(57)【要約】      （修正有）【課題】コネクターの内側ねじ山が摩耗、又は損傷した場合に、このねじ付きコネクターを容易かつ迅速に取り外して交換できるフォトレジスト容器用蓋を提供する。【解決手段】キャップ組立体１と、ねじ付きコネクター２とを備え、キャップ組立体は、装着板と、接続基部と、カバー板とを備える。該装着板は、底面と、上面と、貫通して形成された中央孔とを有する。該接続基部は、該装着板の該中央孔に装着され、該装着板の該底面に当接する。該カバー板は、該装着板の該上面上に装着され、該接続基部に接続される。該ねじ付きコネクターは、貫通して形成され内側ねじ山を有する通過孔を備え、該装着板に取り外し可能に接続される。【選択図】図１
0003148084.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
キャップ組立体と、ねじ付きコネクターとを備え、
キャップ組立体は、
底面と、上面と、貫通して形成された中央孔とを有する装着板と、
該装着板の該中央孔に装着され、該装着板の該底面に当接する接続基部と、
該装着板の該上面上に装着され、該接続基部に接続されるカバー板と
を備え、
ねじ付きコネクターは、貫通して形成され内側ねじ山を有する通過孔を備え、該装着板に取り外し可能に接続されるフォトレジスト容器用蓋。
【請求項２】
前記装着板は貫通して形成された複数の装着孔を有し、
前記ねじ付きコネクターは、
該装着板の該複数の装着孔に対応しこれらとそれぞれ整列される複数のねじ付き穴と、
該装着板の該複数の装着孔にそれぞれ挿通されて、該複数のねじ付き穴にそれぞれねじ込まれる複数の取付けボルトと
を有する請求項１に記載のフォトレジスト容器用蓋。
【請求項３】
前記装着板は、その前記底面において前記中央孔の周りに形成された環状凹部を更に有し、
前記接続基部は、該装着板の該環状凹部に係合し保持される環状フランジを更に有する請求項２に記載のフォトレジスト容器用蓋。
【請求項４】
前記接続基部は、複数のねじ付き穴を更に有し、
前記カバー板は、
貫通して形成され、該接続基部の該複数のねじ付き穴に対応しこれらとそれぞれ整列される複数の貫通孔と、
該複数の貫通孔にそれぞれ挿通されて、該接続基部の該複数のねじ付き穴にそれぞれねじ込まれる複数の接続ボルトと
を更に有する請求項３に記載のフォトレジスト容器用蓋。
【請求項５】
前記装着板は、
貫通して形成された複数の位置決め孔と、
該複数の位置決め孔にそれぞれ挿通されて、該装着板の底面から突出する複数の位置決めピンと
を更に有し、
前記ねじ付きコネクターは、該装着板の該複数の位置決め孔とそれぞれ整列され、該装着板の該複数の位置決めピンとそれぞれ係合する複数の位置決め穴を更に有する請求項４に記載のフォトレジスト容器用蓋。
【請求項６】
前記装着板は、貫通して形成された複数の取り外し孔を更に有する請求項５に記載のフォトレジスト容器用蓋。
【請求項７】
前記装着板は、その前記底面において前記中央孔の周りに形成された環状凹部を更に有し、
前記接続基部は、該装着板の該環状凹部に係合し保持される環状フランジを更に有する請求項１に記載のフォトレジスト容器用蓋。
【請求項８】
前記接続基部は、複数のねじ付き穴を更に有し、
前記カバー板は、
貫通して形成され、該接続基部の該複数のねじ付き穴に対応しこれらとそれぞれ整列される複数の貫通孔と、
該複数の貫通孔にそれぞれ挿通されて、該接続基部の該複数のねじ付き穴にそれぞれねじ込まれる複数の接続ボルトと
を更に有する請求項１に記載のフォトレジスト容器用蓋。
【請求項９】
前記装着板は、
貫通して形成された複数の位置決め孔と、
該複数の位置決め孔にそれぞれ挿通されて、該装着板の底面から突出する複数の位置決めピンと
を更に有し、
前記ねじ付きコネクターは、該装着板の該複数の位置決め孔とそれぞれ整列され、該装着板の該複数の位置決めピンとそれぞれ係合する複数の位置決め穴を更に有する請求項１に記載のフォトレジスト容器用蓋。
【請求項１０】
前記装着板は、貫通して形成された複数の取り外し孔を更に有する請求項１に記載のフォトレジスト容器用蓋。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は蓋に関し、特にフォトレジスト容器用のねじが切られた取り外し可能コネクターを備える蓋に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８を参照すると、従来のこの種の蓋は、ねじ付きキャップ（９）と、浸漬管（６）と、還流管（７）と、押し上げ管（８）とを備える。ねじ付きキャップ（９）は一体型であり、内側ねじ山を有し、ねじ込むことでフォトレジスト容器にしっかりと装着されフォトレジスト容器を封止する。浸漬管（６）、還流管（７）、及び押し上げ管（８）はねじ付きキャップ（９）に挿通される。
【０００３】
従来の蓋は、フォトレジスト容器を開閉するために頻繁にねじられると、ねじ付きキャップ（９）の内側ねじ山は、摩耗し損傷を受ける。従って、従来の蓋は、全体を交換しなければならない。しかし、ねじ付きキャップ（９）の他の部品はまだ使用可能であるので、この蓋全体の交換は経済的でなく、また環境への配慮がない。
【０００４】
この欠点を克服するために、本考案は上記問題を低減又は除去するフォトレジスト容器用蓋を提供する。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案の主な目的は、フォトレジスト容器用のねじが切られた取り外し可能コネクターを備える蓋を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案に係るフォトレジスト容器用蓋は、キャップ組立体と、ねじ付きコネクターとを備える。キャップ組立体は、装着板と、接続基部と、カバー板とを備える。該装着板は、底面と、上面と、貫通して形成された中央孔とを有する。該接続基部は、該装着板の該中央孔に装着され、該装着板の該底面に当接する。該カバー板は、該装着板の該上面上に装着され、該接続基部に接続される。該ねじ付きコネクターは、貫通して形成され内側ねじ山を有する通過孔を備え、該装着板に取り外し可能に接続される。ねじ付きコネクターの内側ねじ山が摩耗又は損傷した場合、このねじ付きコネクターを容易かつ迅速に取り外し交換することができる。従って、本考案に係る蓋は、全部を廃棄する必要はなく、経済的で、かつ環境に優しい。
【０００７】
本考案の他の目的、利点、及び新規な特徴は、下記の詳細な説明と添付の図面からより明らかとなろう。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１〜図４を参照すると、本考案に係るフォトレジスト容器用蓋は、キャップ組立体（１）と、ねじ付きコネクター（２）と、浸漬管組立体（６）と、還流管組立体（７）と、押し上げ管組立体（８）とを備える。
【０００９】
キャップ組立体（１）は装着板（１１）と、接続基部（１２）と、カバー板（１３）とを備える。装着板（１１）は略円形で、底面、上面、複数の装着孔（１１１）、複数の位置決め孔（１１２）、複数の取り外し孔（１１３）、複数の位置決めピン（１１４）、中央孔（１１５）、及び環状凹部（１１６）を有する。装着孔（１１１）は装着板（１１）を貫通して形成されており、口が皿穴になっていてよい。６つの装着孔（１１１）を設けるのが好ましい。位置決め孔（１１２）は装着板（１１）を貫通して形成されている。位置決め孔（１１２）の数は２つで、装着板（１１）の直径に沿って両側に設けるのが好ましい。取り外し孔（１１３）は装着板（１１）を貫通して形成されている。取り外し孔（１１３）の数は２つで、装着板（１１）の直径に沿って両側に設けるのが好ましい。位置決めピン（１１４）は位置決め孔（１１２）に装入され、装着板（１１）の底面から突出する。中央孔（１１５）は円形で、装着板（１１）を貫通して形成されている。環状凹部（１１６）は装着板（１１）の底面において中央孔（１１５）の周りに形成されている。
【００１０】
接続基部（１２）は円形で、装着板（１１）の中央孔（１１５）に装着されて、装着板（１１）の底面に当接する。接続基部（１２）は複数の取付け孔（１２１）と、複数のねじ付き穴（１２２）と、環状フランジ（１２３）とを有する。取付け孔（１２１）は、接続基部（１２）を貫通して形成され、ねじが切られている。３つの取付け孔（１２１）を設けるのが好ましい。ねじ付き穴（１２２）は接続基部（１２）に形成される。ねじ付き穴（１２２）の数は３つでそれぞれ、近接した取付け孔（１２１）の間に配置されるのが好ましい。環状フランジ（１２３）は、装着板（１１）の環状凹部（１１６）に係合し保持される。
【００１１】
カバー板（１３）は円形で、装着板（１１）の上面上に装着され、複数の挿入孔（１３１）と、複数の貫通孔（１３２）と、複数の接続ボルト（１３３）とを有する。挿入孔（１３１）はカバー板（１３）を貫通して形成され、接続基部（１２）の取付け孔（１２１）に対応しこれと整列される。貫通孔（１３２）は口が皿穴になっており、カバー板（１３）を貫通して形成され、接続基部（１２）のねじ付き穴（１２２）に対応しこれと整列される。接続ボルト（１３３）は貫通孔（１３２）に挿通されて、接続基部（１２）のねじ付き穴（１２２）にねじ込まれる。従って、カバー板（１３）は接続基部（１２）に接続され、装着板（１１）はカバー板（１３）と接続基部（１２）との間に挟まれる。
【００１２】
また図４、図５を参照すると、ねじ付きコネクター（２）は円形で、キャップ組立体（１）に取り外し可能に接続され、通過孔（２１）と、複数のねじ付き穴（２２）と、複数の位置決め穴（２３）と、複数の取付けボルト（２４）とを有する。通過孔（２１）はねじ付きコネクター（２）を貫通して形成され、内側ねじ山（２１１）を有し、カバー板（１３）の該複数の挿入孔（１３１）を囲むように配置される。ねじ付き穴（２２）はねじ付きコネクター（２）に形成され、装着板（１１）の装着孔（１１１）に対応しこれと整列される。位置決め穴（２３）は、ねじ付きコネクター（２）に形成され、装着板（１１）の位置決め孔（１１２）と整列され、装着板（１１）の位置決めピン（１１４）と係合する。取付けボルト（２４）は装着板（１１）の装着孔（１１１）に挿通されて、ねじ付き穴（２２）にねじ込まれて、装着板（１１）とねじ付きコネクター（２）とを結合する。
【００１３】
また図６を参照すると、浸漬管組立体（６）は、カバー板（１３）と接続基部（１２）とに挿通され、浸漬管（６１）と、下部コネクター（６２）と、上部コネクター（６３）と、逆止め弁（６４）とを備える。浸漬管（６１）は、カバー板（１３）の複数の挿入孔（１３１）の１つと接続基部（１２）の対応する取付け孔（１２１）とに挿通され、液体を収容するフォトレジスト容器内へ延びることができる。下部コネクター（６２）は浸漬管（６１）に装着され、対応する取付け孔（１２１）にねじ込まれる。上部コネクター（６３）は浸漬管（６１）に装着され、供給管に接続されてよい。逆止め弁（６４）は浸漬管（６１）に装着され、液体が逆流するのを防ぐ。従って、浸漬管（６１）は液体を引き上げ該供給管に送ることができる。
【００１４】
還流管組立体（７）はカバー板（１３）と接続基部（１２）とに挿通され、還流管（７１）と、下部コネクター（７２）と、上部コネクター（７３）とを備える。還流管（７１）は、カバー板（１３）の他の２つの挿入孔（１３１）の１つと接続基部（１２）の対応する取付け孔（１２１）とに挿通され、液体を収容するフォトレジスト容器内へ延びることができる。下部コネクター（７２）は還流管（７１）に装着され、対応する取付け孔（１２１）にねじ込まれる。上部コネクター（７３）は還流管（７１）に装着される。従って、溢れた液体は集められ、還流管（７１）を通して該フォトレジスト容器に送ることができる。
【００１５】
押し上げ管組立体（８）はカバー板（１３）と接続基部（１２）とに挿通され、押し上げ管（８１）と、下部コネクター（８２）と、上部コネクター（８３）とを備える。押し上げ管（８１）は、カバー板（１３）の残る１つの挿入孔（１３１）と接続基部（１２）の対応する取付け孔（１２１）とに挿通され、液体を収容するフォトレジスト容器内へ延びることができる。下部コネクター（８２）は押し上げ管（８１）に装着され、対応する取付け孔（１２１）にねじ込まれる。上部コネクター（８３）は押し上げ管（８１）に装着され、高圧ガス源に接続されてもよい。高圧ガスが押し上げ管（８１）を通してフォトレジスト容器内に供給されると、フォトレジスト容器内の圧力は上昇し、浸漬管（６１）内へ流れるよう液体を押す。
【００１６】
ねじ付きコネクター（２）はキャップ組立体（１）に取り外し可能に接続されているので、ねじ付きコネクター（２）の内側ねじ山（２１１）が摩耗又は損傷した場合、ねじ付きコネクター（２）を容易かつ迅速に交換することができる。従って、本考案に係る蓋は、全部を廃棄する必要はなく、経済的で、かつ環境に優しい。
【００１７】
損傷したねじ付きコネクター（２）を次のステップに従って取り外し交換する。
１．取付けボルト（２４）を緩め、損傷したねじ付きコネクター（２）を解放する。
２．装着板（１１）の取り外し孔（１１３）に２つの取り外しピンを挿入し、損傷したねじ付きコネクター（２）を押し装着板（１１）から離す。
３．新しいねじ付きコネクター（２）を装着板（１１）の下に置く。
４．新しいねじ付きコネクター（２）の位置決め穴（２３）を装着板（１１）の位置決めピン（１１４）と整列させ係合させる。新しいねじ付きコネクター（２）を押し装着板（１１）に連結する。
５．取付けボルト（２４）を装着板（１１）の装着孔（１１１）に挿通し、ねじ付き穴（２２）にねじ込み、装着板（１１）とねじ付きコネクター（２）とを結合する。
図７を参照すると、ねじ付きコネクター（２Ａ）は、様々な異なるサイズのフォトレジスト容器に接続されるよう任意の適切なサイズにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本考案に係るフォトレジスト容器用蓋の展開斜視図である。
【図２】図１のフォトレジスト容器用蓋のキャップ組立体の展開斜視図である。
【図３】図１のフォトレジスト容器用蓋のキャップ組立体の斜視図である。
【図４】図１のフォトレジスト容器用蓋のキャップ組立体とねじ付きコネクターの展開斜視図である。
【図５】図１のフォトレジスト容器用蓋のキャップ組立体とねじ付きコネクターの斜視図である。
【図６】図１のフォトレジスト容器用蓋の斜視図である。
【図７】本考案に係るフォトレジスト容器用蓋の別の実施形態の展開斜視図である。
【図８】従来技術に係る従来のフォトレジスト容器用蓋の斜視図である。
【符号の説明】
【００１９】
１  キャップ組立体
２  ねじ付きコネクター
６  浸漬管組立体
７  還流管組立体
８  押し上げ管組立体
１１  装着板
１２  接続基部
１３  カバー板
２１  通過孔
２２  ねじ付き穴
２４  取付けボルト
１１１  装着孔
１１５  中央孔
１１６  環状凹部
１２２  ねじ付き穴
１２３  環状フランジ
１３２  貫通孔
１３３  接続ボルト
２１１  内側ねじ山
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0003148084.tif 000008
【図７】
0003148084.tif 000009
【図８】
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