(57)【要約】      （修正有）【課題】熱の集中現象が起き難く、しかも設備の体積を縮小し、コストを低下させることができる露光装置を提供する。【解決手段】露光装置は、露光光源ユニット６０外部に光発出カバー７０を設置する。光発出カバー７０は、露光プラットフォーム４０移動行程に向かう部位に細長い形状の光貫通槽を設置し、さらに可動遮光板７２を設置し光貫通槽の開閉を制御し、光貫通槽が開いた状態で露光プラットフォーム４０移動行程へと照射する細長い形状の光線を生じる。露光プラットフォーム４０は予定速度で、光発出カバー７０と相対移動する方式で、細長い形状の光線の照射を受け、露光プラットフォーム４０上の被加工物は、露光リソグラフィを完成する。【選択図】図６
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
露光装置は機台、コンベアー、少なくとも１個の露光光源ユニット、少なくとも１個の光発出カバー、制御回路を備え、
前記機台は、ハウジングにより取り囲んで構成する露光室を備え、
前記少なくとも１個の露光プラットフォームは、被加工物及び原版を固定する透明プラットフォームで、
前記コンベアーは、前記少なくとも１個の露光プラットフォームを連動し、前記機台の露光室を出入りさせ、
前記少なくとも１個の露光光源ユニットは、露光室内部の、前記露光プラットフォームの移動行程上方或いは下方位置に設置し、前記各１組の露光光源ユニットは、若干の光源を備え、露光光源を発し、
前記少なくとも１個の光発出カバーは、前記少なくとも１個の露光光源ユニット外部に設置し、前記露光プラットフォーム移動行程の部位に向かい、細長い形状の光貫通槽を設置し、また可動遮光板を設置し、光貫通槽の開閉を制御し、
前記制御回路は、前記コンベアー、前記少なくとも１個の露光光源ユニット、前記可動遮光板の作動を設定し、統合し、
前記露光光源ユニットがランプをオンにすると、その光は前記光発出カバーの光貫通槽を通して、外へと照射され、前記露光プラットフォームの移動行程に向かい照射する細長い形状の光線を生じ、さらに、前記コンベアーを対応させ、前記露光プラットフォームを予定速度で、前記光発出カバーと相対移動する方式で連動し、細長い形状の光線の照射を受けさせ、こうして前記露光プラットフォーム上の被加工物は露光リソグラフィを完成することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記コンベアーは、横方向に延伸し、前記機台の露光室内、外区域に配置する１組の線性スライドレールを備え、これに前記露光プラットフォームを積載し、ベルトを設置し、前記露光プラットフォームと連接し、
さらに、モーターを設置し、前記ベルトの運転を連動することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記可動遮光板と前記光発出カバーとの間には、少なくとも１個のパワーシリンダーを連接し、前記少なくとも１個のパワーシリンダーにより、前記可動遮光板と前記光発出カバーの相対移動を連動し、こうして前記光貫通槽の閉鎖或いは開放を制御することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記制御回路は、前記機台上に設置するタッチスクリーンを備え、これにより関連する動作パラメーターを設定し、
さらに、前記機台において、前記露光プラットフォームの移動行程位置に相対し、少なくとも１個の感知スイッチを設置し、前記露光プラットフォームの相対位置を感知することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項５】
前記露光プラットフォームの移動行程上方と下方位置には、共に露光光源ユニットを設置し、
前記少なくとも１個の露光光源ユニットの光源は、ランプ或いはLED光源で、各ランプは、前記光発出カバーの光貫通槽に沿って、直線に排列し、しかも１組の光反射鏡を設置し、これによりランプの光線を、前記光発出カバーの光貫通槽へと投射することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項６】
前記少なくとも１個の露光光源ユニットの各ランプは、２°の挟角で、光線照射方向に向けて偏った方式で配置することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は露光装置に関し、特に熱の集中現象が起き難く、しかも設備の体積を縮小し、コストを低下させることができる露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、印刷回路板或いは半導体チップの露光リソグラフィ製造工程を行う時には、先ず、被加工物表面に一層のフォトレジストを塗布する。
次に、光を照射し、原版上の回路レイアウトパターンを、被加工物表面のフォトレジスト層上に投射すると、フォトレジスト層の化学性質は、光の照射により変化を生じる。
続いて、フォトレジスト剥離剤を利用し、光の照射を受けたフォトレジスト、或いは露光していないフォトレジストを、被加工物表面から除去する。
こうして、原版に対応する配線レイアウトを形成する。
【０００３】
図１に示すように、露光リソグラフィ加工製造工程を執行する露光装置の基本構造は、主にハウジング11により露光室12を構成し、相対して露光室12を出入りする露光プラットフォーム13を設置する。
しかも、少なくとも該露光室12内部の露光プラットフォーム13に対して上方或いは下方位置に、光源ユニット14を設置する。
図２に示すように、該露光プラットフォーム13は、被加工物20と原版(図示なし)をセットする透明プラットフォームで、露光プラットフォーム13全体は、１組の線性スライドレール15により露光室12を出入りする。
該露光プラットフォーム13が、被加工物20及び原版と共に露光室12に入り定位されると、一般的には、露光室12内部に一定時間(約3〜5秒)留まり、被加工物20は光源ユニット14により露光光源を照射される。
露光が完成すると、露光プラットフォーム13により、被加工物20は送り出される。
【０００４】
しかし、従来の露光装置の多くは、露光プラットフォーム13が露光室12内部に停滞する方式で、露光作業を行なうため、露光プラットフォーム13全体を網羅するに足る平行光源を形成するためには、該光源ユニット14は、行列配置方式のランプ141を大量に備える必要がある。
けれども、大量のランプ141が同時に作動することによって、ハウジング11内部では深刻な熱集中現象を生じる。
そのため、別に水冷システムにより散熱する必要があり、設備コストを押し上げている。
【０００５】
一方、別種の従来の露光装置は、複眼レンズによりランプの光線を、必要とする平行光に修正し、面積も修正するものである。
その動作方式は、以下の通りである。
光源ランプの光線は楕円レンズを通り、１組の第一反射レンズを利用し、複眼レンズへと投射させ、これにより光線を均一化する。
さらに、１組の第二反射レンズを利用し、光線の前進方向を変化させる。
最後に、１組の凸レンズにより、光線を必要とする平行光に修正し、面積の大きさも修正する。
こうして、求められる露光光源を投射し、ランプの数量を減少させることができる。
【０００６】
しかし、このような設計は、露光装置全体の構造を複雑化し、しかも露光装置全体を大きくしてしまう。
特に、ワット数の大きなランプを使用しなければならないが、一般的にそのようなランプの寿命は非常に短いため、ランプの交換頻度が高くなり、必然的に生産コストをも拡大させてしまう。
本考案は、従来の露光装置の上記した欠点に鑑みてなされたものである。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
本考案が解決しようとする課題は、熱の集中現象が起き難く、しかも設備の体積を縮小し、コストを低下させることができる露光装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本考案は下記の露光装置を提供する。
露光装置は、機台上に少なくとも１個の露光プラットフォームを設置し、コンベアーを設置して該少なくとも１個の露光プラットフォームを連動し、該機台の露光室を出入りさせ、
該露光室内部には、該露光プラットフォームの移動行程上方或いは下方位置に相対して露光光源ユニットを設置し、該露光光源ユニット外部には、光発出カバーを設置し、
さらに、１組の制御回路を設置し、該コンベアーと該露光光源ユニット、該光発出カバーの作動を設定し、統合し、
該光発出カバーは、該露光プラットフォーム移動行程の部位に向かい、細長い形状の光貫通槽を設置し、別に可動遮光板を設置し、該光貫通槽の開閉を制御し、
該露光光源ユニットの光源(本実施例では、ランプ)がオンになると、光線は該光発出カバーの光貫通槽を通して外へと照射され、該露光プラットフォームの移動行程に向かい照射する細長い形状の光線を生じ、さらに、該コンベアーを対応させ、該露光プラットフォームを連動し、予定速度で、該光発出カバーと相対移動する方式で、細長い形状の光線の照射を受けさせ、
こうして、該露光プラットフォーム上の被加工物に対して、露光リソグラフィを完成する。
【考案の効果】
【０００９】
本考案は、露光効果を発生する光源に、細長い形状の光源を用いるため、而露光プラットフォーム全体を網羅する大面積の光源ではないため、露光光源ユニット60のランプの個数を大幅に減らすことができる。これにより露光装置全体の体積を縮小でき、設備コストを低下させることができる。該制御回路、露光プラットフォーム40において、細長い形状の光線照射を受ける時、再行調升露光光源ユニットの功率，露光室の熱集中現象を抑えることができる。露光装置全体連続循環輸送の方式の採用に適している。こうして、露光プラットフォームは、順番に露光室を通過し、これにより露光リソグラフィ製造工程の加工生産効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】従来の露光装置の構造断面図である。
【図２】従来の露光装置の露光プラットフォームの外観立体図である。
【図３】本考案露光装置の外観立体図である。
【図４】本考案露光装置の露光室内部構造の立体図である。
【図５】本考案において、露光プラットフォーム移動行程上方位置に設置する露光光源ユニットの外観構造図である。
【図６】本考案において、露光プラットフォーム移動行程上方位置に設置する露光光源ユニットの拡大模式図である。
【図７】本考案において、露光プラットフォーム移動行程下方位置に設置する露光光源ユニット及び光発出カバーの外観構造図である。
【図８】本考案において、露光プラットフォーム移動行程下方位置に設置する露光光源ユニット及び光発出カバーの拡大模式図である。
【図９】本考案において、露光プラットフォーム移動行程下方位置に設置する光発出カバーの構造分解図である。
【図１０】本考案において、露光プラットフォーム移動行程上方位置に設置する露光光源ユニット及び光発出カバーの外観構造図である。
【図１１】本考案において、露光プラットフォーム移動行程上方位置に設置する露光光源ユニットの構造俯瞰図である。
【図１２】本考案のランプシェードの外観構造図である。
【図１３】本考案において、露光プラットフォームが光貫通槽に近い予定行程に到達する動作を示す模式図である。
【図１４】本考案において、露光プラットフォームが露光リソグラフィを完成する予定行程に到達する動作を示す模式図である。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
以下に図面を参照しながら本考案を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
【実施例】
【００１２】
図３、４に示すように、本考案の露光装置は、機台30、少なくとも１個の露光プラットフォーム40、コンベアー50、少なくとも１個の露光光源ユニット60、少なくとも１個の光発出カバー70、制御回路80を備える。
【００１３】
機台30は、ハウジング31により取り囲んで構成する露光室32を備える。
ハウジング31は、瀑光室32の外周に相対して、散熱風排出口311及び少なくとも１個の循環風取入口312を設置する。
しかも、少なくとも１個の循環風取入口312位置には、フィルター33を設置し、ほこり、異物の露光室32への進入を防止する。
少なくとも１個の露光プラットフォーム40は、被加工物及び原版を固定する透明プラットフォームである。
【００１４】
コンベアー50は、少なくとも１個の露光プラットフォーム40を連動し、機台30に相対して露光室32を出入りさせる。
コンベアー50は、横方向に延伸し、機台30の露光室32内、外区域に配置する１組の線性スライドレール51を備え、これに露光プラットフォーム40を積載する。
さらに、ベルト52を設置し、ベルト52は露光プラットフォーム40と連接し、モーター53を設置し、ベルト52の運転を連動する。
こうして、線性スライドレール51の導引により、露光プラットフォーム40は連動され、機台30の露光室32に相対して出入りする。
【００１５】
少なくとも１個の露光光源ユニット60は、露光室32内部の、露光プラットフォーム40の移動行程上方或いは下方位置に設置する。
図５〜８に示すように、各１組の露光光源ユニット60は、若干の光源(本実施例では、ランプ)61を備え、露光光源を生じる。
本実施例中では、露光装置全体は露光プラットフォーム40の移動行程上方と下方位置に、共に露光光源ユニット60を設置し、露光プラットフォーム40上、下両面の被加工物に対して、同時に露光リソグラフィを行なう。
【００１６】
少なくとも１個の光発出カバー70は、少なくとも１個の露光光源ユニット60外部に設置する。
図９に示すように、光発出カバー70は露光プラットフォーム移動行程の部位に向かい、細長い形状の光貫通槽71を設置し、別に可動遮光板72を設置し、光貫通槽71の開閉を制御する。
可動遮光板72と光発出カバー70との間には、少なくとも１個のパワーシリンダー73を連接し、少なくとも１個のパワーシリンダー73により、可動遮光板72と光発出カバー70の相対移動を連動し、こうして光貫通槽71の閉鎖或いは開放を制御する。
【００１７】
図７に示すように、制御回路80はコンベアー50、少なくとも１個の露光光源ユニット60、及び可動遮光板72の作動を設定し、統合する。
それは、機台10上に設置するタッチスクリーン81を備え、これにより関連する動作パラメーターを設定する。
さらに、機台10において、露光プラットフォーム40の移動行程位置に相対し、少なくとも１個の感知スイッチ82を設置し、露光プラットフォーム40の相対位置を感知する。
【００１８】
図１０、１１に示すように、露光光源ユニット60の各ランプ61は、光発出カバー70の光貫通槽71に沿って、直線に排列し、しかも１組の光反射鏡62を設置し、ランプ61の光線を、光発出カバー70の光貫通槽71へと投射する。
また、各ランプは、特定角度（約２°）の挟角により、光線照射方向に対して偏った方式で配置し、これにより各ランプ61の光線は完全に接続する。
各ランプ61のランプシェード611内部には、PIコーティングを施し、その反射率(図１２参照)を拡大し、及び各ランプ61の設置位置に相対し、散熱ファン63を設置し、これにより露光光源ユニット60の排熱排出効率を向上させる。
【００１９】
図１３に示すように、本考案の露光装置は、露光プラットフォーム40が露光室に入る前に、原版と被加工物を、露光プラットフォーム40上に固定する。
しかも、タッチスクリーン81により、露光光源60の出力、及びコンベアー50の運転速度を設定後、作動を開始する。
【００２０】
露光装置の作動開始時は、先ず露光光源ユニット60のランプをオンにし、コンベアー50を起動し、露光プラットフォーム40を連動し、露光室の方向へと移動させる。
露光プラットフォーム40が露光室に入り、しかも光貫通槽71に近い予定行程に到達すると、制御回路80の感知スイッチ82を先ず起動する(図８参照)。
次に、制御回路80により、可動遮光板の動作を操作し、これにより光発出カバー70の光貫通槽71を開かせ、同時に、露光光源ユニット60の出力を調整する。
【００２１】
この時、露光光源ユニット60の光線は、光発出カバー70の光貫通槽71を通して、外へと照射され、露光プラットフォーム40の移動行程へと照射する細長い形状の光線を形成する。
さらに、コンベアー50を対応させ、露光プラットフォーム40を予定速度で、光発出カバー70と相対移動する方式で連動し、細長い形状の光線の照射を受けさせる。
こうして、露光プラットフォーム40上の被加工物は、露光リソグラフィを完成する。
【００２２】
図１４に示すように、露光プラットフォーム40が露光リソグラフィの予定行程を完成させるまで相対移動すると、制御回路80の感知スイッチ82(図８参照)はオフとなり、制御回路80により、可動遮光板72の動作を制御し、光発出カバー70の光貫通槽を閉鎖し、同時に、露光光源ユニット60の出力を落とす。
【００２３】
本考案の露光装置は、露光効果を発生する光源に、細長い形状の光源を用い、露光プラットフォーム全体を網羅する大面積の光源ではないため、露光光源ユニット60のランプの個数を大幅に減らすことができ、これにより露光装置全体の体積を縮小でき、設備コストを低下させることができる。
さらに、制御回路80は、露光プラットフォーム40に細長い形状の光線照射を受ける時に、改めて露光光源ユニット60の出力を上げるため、露光室の熱集中現象を抑えることができる。
本考案の露光装置は、露光リソグラフィを行なう時、露光プラットフォームは予定の速度で、露光室に深く入って行く方向へと持続的に移動するため、露光装置全体は連続循環輸送の方式の採用に適している。
こうして、露光プラットフォームは、順番に露光室を通過し、これにより露光リソグラフィ製造工程の加工生産効率を向上させることができる。
【００２４】
上記のように、本考案は露光装置を提供するが、上記の記載は、本考案技術内容の説明に用いたのみで、本考案を限定するものではない。本考案の精神に基づく等価応用或いは部品（構造）の転換、置換、数量の増減はすべて、本考案の保護範囲に含むものとする。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本考案は実用新案の要件である新規性を備え、従来の同類製品に比べ十分な進歩を有し、実用性が高く、社会のニーズに合致しており、産業上の利用価値は非常に大きい。
【符号の説明】
【００２６】
11  ハウジング
12  露光室
13  露光プラットフォーム
14  光源ユニット
141  ランプ
15  線性スライドレール
20  被加工物
30  機台
31  ハウジング
311  散熱風排出口
312  循環風取入口
32  露光室
33  フィルター
40  露光プラットフォーム
50  コンベアー
51  線性スライドレール
52  ベルト
53  モーター
60  露光光源ユニット
61  ランプ
611  ランプシェード
62  反射レンズ
63  散熱ファン
70  光発出カバー
71  光貫通槽
72  遮光板
73  パワーシリンダー
80  制御回路
81  タッチスクリーン
82  感知スイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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