【事件の表示】
　特願２００８−　９９９１９「パネル研磨装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年１１月２７日出願公開、特開２００８−２８４６７８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯と本件発明
　本願は平成２０年４月８日（先の出願に基づく優先権主張、同１９年４月１６日）の出願であって、同２３年９月２１日付拒絶理由通知に対して同２３年１１月２２日に意見書と手続補正書が提出されたが、同２３年１２月７日付で拒絶査定がなされたものである。これに対し、平成２４年２月９日に該査定の取消しを求めて本件審判が請求されるとともに手続補正書が提出され、その後、当審において、同２４年４月１６日付審尋に対して同２４年６月１２日に回答書が提出され、さらに同２４年７月３１日付拒絶理由通知に対して同２４年１０月２日に意見書と手続補正書が提出されている。
　本願の請求項１ないし３に係る発明は、平成２４年１０月２日付手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項によって特定されるとおりのものと認めるところ、請求項１には次のとおりの発明が記載されている。
「パネルを連続的に水平搬送可能なパネル搬送機構と、該パネルの表面及び裏面の両面をパネルを境にして上下に配置された一対の研磨テープで挟み込み、該パネルの両面を上下に配置された該一対の研磨テープにより同時に研磨またはクリーニングする上下一対の研磨機構とが備えられ、上記一対の各研磨機構は、各研磨テープをパネルの搬送方向と交差する方向に間欠的又は連続的に移送可能なテープ移送機構と、上下一対の各研磨テープの移送経路途中を該パネルの表面及び裏面の両面に同時に押し付けて挟み込む押圧面が形成された上下一対のパッド部材をもつテープ押圧機構と、各テープ移送機構と上記テープ押圧機構との間に生ずる上記研磨テープの弛みを取り除くための弛み取り機構とからなり、該一対の各研磨機構における該テープ移送機構と該テープ押圧機構とは相互に分離独立した構造に構成され、上記パネルが通過する開口通路部を境にして上下位置に水平往復台をそれぞれ独立して水平往復運動自在に配置し、該それぞれの水平往復台に該一対の上下の各パッド部材の該パネル側に形成された各押圧面をもつ上記テープ押圧機構をそれぞれ配設し、該各テープ押圧機構が配設された該それぞれの水平往復台を該研磨テープの移送方向としての上記パネルの搬送方向と交差する方向に互いに逆向きに水平往復運動させる異方向往復作動機構を設け、該異方向往復作動機構は、往復動作用モータを共通の駆動源として、上記各テープ押圧機構を互いに１８０度の位相差をもって水平往復運動させる一対のクランク機構を備えてなることを特徴とするパネル研磨装置。」（以下、「本件発明」という。）
　
２．当審の拒絶理由の概要
　当審が平成２４年７月３１日付で通知した拒絶理由は、概略、本願の請求項１ないし４に係る発明が、本願出願前に頒布された以下の刊行物に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
　刊行物１：　特開２００１−６２６９６号公報
　刊行物２：　特開２００４−３２２３０５号公報
　刊行物３：　特開昭６０−１５１８３８号公報
　
３．刊行物に記載された発明または事項
3.1　刊行物１
ａ．（特許請求の範囲、請求項５，６）
「【請求項５】平板の両面を研掃するための研掃装置であって、（１）平板の表側と裏側とに、それぞれ、対向して配列した各硬度が７０以下の少なくとも一対のプレスローラ、（２）平板を前進させながらこれら対向して配列したプレスローラの間を通過させる手段、（３）これらプレスローラの各々を介して前記研掃テープを平板の前進方向と逆方向に走行させるための手段、（４）これら一対のプレスローラの各々を介して研掃テープを平板の表裏両側から挟むようにして平板の両面のそれぞれに押し付けるための手段、及び（５）平板の両面に洗浄液を供給するための手段、から成り、平板を前進させながら、この平板の両面に前記洗浄液を供給し、前記一対のプレスローラを介してこの平板を表裏両側から挟むようにこの平板の両面に前記研掃テープを押し付けるとともにこれら研掃テープを平板の前進方向と逆方向に走行させることによって、平板の両面が研掃される、研掃装置。
【請求項６】前記平板の片側の面に押し付けた研掃テープをこの平板の前進方向と逆方向に走行させながらこの平板の前進方向と垂直な横方向に往復移動させるための手段、をさらに含む請求項５の研掃装置。」
ｂ．（発明の詳細な説明、段落１）
「【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、ガラス、等の平板の表面を研掃して、平板に付着した異物や汚れ及び平板上の突起を除去するための方法及び装置に関し、特に、液晶表示器用の液晶カラーフィルター基板、液晶パネル基板、等のように高度の平坦性及び清浄性が表裏両面に要求される平板を研掃するための方法及び装置に関する。」
ｃ．（同、段落１８〜２６）
「【００１８】
【発明の実施の形態】＜研掃装置＞　本発明の研掃装置は、図１及び図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、平板Ｐを矢印Ｔの方向に送るための搬送システム１０、及びこの搬送システム１０により送られる平板Ｐの両面を研掃するための研掃ヘッド４０、５０をそれぞれ有する上下ユニット２０、３０、から構成される。
【００１９】搬送システム１０は、水平に並置した複数の搬送ローラ１１、電動モータ、等によりこれら搬送ローラ１１を回転させるための駆動機構１４、及び搬送ローラ１１によって送られる平板Ｐを上から押さえるための補助ローラ１２、から構成される。各搬送ローラ１１には、滑りどめ用のゴム製のリング１３が取り付けられる。搬送ローラ１１上に載せた平板Ｐは、搬送ローラ１１の回転により、矢印Ｔの方向に送られる。補助ローラ１２は、プレスローラ４２、５２の間に平板Ｐが挟まれて研掃されるときに、平板Ｐが横方向にズレたり上下方向に傾かないように、平板Ｐを押さえつけるためのものである。
【００２０】上ユニット２０は、図１及び図２（ａ）に示すように、研掃テープＳの送出ローラ２２及び巻取ローラ２３を収容したケース２１、及び平板Ｐの表面を研掃するための研掃ヘッド４０、から構成される。
【００２１】研掃テープＳを送り出し、巻き取るための送出ローラ２２及び巻取ローラ２３は、それぞれ、ケース２１の側面に固定した電動モータＭ１、Ｍ２によって駆動される（図２（ａ））。
【００２２】研掃ヘッド４０は、左右側面、及びこれら側面のそれぞれの上部を連結する左右方向に長い上面、から構成される正面略コ字状のフレーム４１を有し、このフレーム４１には、左右方向に長いプレスローラ４２が、フレーム４１の左右側面に、軸棒４３を介して回転可能に取り付けられる（図２（ａ））。
【００２３】この軸棒４３の符号４４で示す一端部は、断面多角形状であり、軸棒４３の一端部４４と同形状の開口を有する軸受け２８内に矢印Ｈの方向に移動可能に挿入される。
【００２４】軸受け２８にはプーリー２６が固定され、このプーリー２６はケース２１に固定した電動モータＭ４に連結したプーリー２５とベルト２７を介して連結されていおり、電動モータＭ４を駆動すると、プーリー２５、２６とベルト２７を介して軸受け２８が回転し、軸受け２８の開口内に挿入された軸棒４３が回転する。
【００２５】電動モータＭ１、Ｍ２、Ｍ４によって、研掃テープＳは、ケース２１内の送出ローラ２２からケース２１の底面に設けた開口（図示せず）を通過し、研掃ヘッド４０のプレスローラ４２を介してケース２１の底面に設けた開口（図示せず）を通過し、ケース２１内の巻取ローラ２３へ送られる（図１の矢印ｔで示す方向）。
【００２６】プレスローラ４２を介して走行する研掃テープＳの速さやその引張具合は、これら電動モータＭ１、Ｍ２、Ｍ４の出力を調節することによって適宜に調節される。」
ｄ．（同、段落２８〜３２）
「【００２８】フレーム４１の上面には、図２（ｂ）に示すような左右方向に真っ直ぐに貫通する断面Ｉ字状の凹部を形成した二つの嵌合部材４５が固定される。これら嵌合部材４５は、ケース２１の底面に固定した図２（ｂ）に示すような断面Ｉ字状の左右方向に長いレール２４に貫挿され、これにより、研掃ヘッド４０が、ケース２１に関して矢印Ｈで示す方向（すなわち、図１に示す平板Ｐを送る矢印Ｔで示す方向と垂直な横方向）に移動可能に、ケース２１に取り付けられる。
【００２９】また、フレーム４１は、ケース２１に固定した電動モータＭ３により駆動される既知のピストン・クランク機構４６に連結され、このピストン・クランク機構４６を作動させることにより、研掃ヘッド４０がケース２１に関して矢印Ｈで示す方向に往復移動される。
【００３０】研掃ヘッド４０のプレスローラ４２は、上述したように、フレーム４１の左右側面に軸棒４３を介して回転可能に取り付けられる。この軸棒４３の左右両側には、図２（ａ）に示すように、フレーム４１が上記のピストン・クランク機構４６の駆動により矢印Ｈで示す方向に往復移動したとき、このフレーム４１とプレスローラ４２とが一体的に矢印Ｈで示す左右の方向に移動するように、リング４７が固定されている。ここで、電動モータＭ３、Ｍ４を駆動すると、研掃ヘッド４０が矢印Ｈで示す方向に往復移動し、軸棒４３が回転しながら軸受け２８の開口内を矢印Ｈの方向に移動する。
【００３１】よって、上記した各電動モータＭ１〜４を同時に駆動することにより、プレスローラ４２を介して研掃テープＳを平板Ｐの前進方向（矢印Ｔ）と逆方向（矢印ｔ）に走行させながら、研掃テープＳを往復移動（矢印Ｈ）できる。
【００３２】下ユニット３０は、上ユニット２０と同様に、研掃テープＳの送出ローラ３２及び巻取ローラ３３を収容したケース３１、及びこのケース３１に固定した研掃ヘッド５０、から構成される。下ユニット３０の研掃ヘッド５０は、ケース３１に固定されているので、上ユニット２０の研掃ヘッド４０のように、研掃ヘッド４０を横方向に往復移動させるための構成（ピストン・クランク機構４６、軸受け２８、等）を有さず、この構成を除けば、下ユニット３０は、上記の上ユニット２０と上下対称の構成である。」
ｅ．（同、段落４１〜４５）
「【００４１】予めプレスローラ４２、５２の間の距離を調節し、研掃テープＳが平板Ｐの両面に所定の圧力で押し付けられるようにする。そして、電動モータＭ１、Ｍ２、Ｍ４を駆動して研掃テープＳを所定の速度で矢印ｔの方向に走行させ、搬送システム１０の駆動機構１４を駆動する。
【００４２】平板Ｐを搬送ローラ１１上に載せ、矢印Ｔの方向に前進させる。平板Ｐを前進させながら、プレスローラ４２、５２の前方に配置したノズル（図示せず）から平板Ｐの両面に洗浄液を供給する。
【００４３】そのまま平板Ｐを前進させながら、矢印ｔの方向に走行する研掃テープＳをプレスローラ４２、５２を介して挟み込む。このとき、平板Ｐには、その前進を妨げるように研掃テープＳが走行するが、平板Ｐは、補助ローラ１２によって搬送ローラ１１に押し付けられているので、そのまま前進し、平板Ｐが横にズレたり上下に傾くことなく、プレスローラ４２、５２の間を通過する。
【００４４】ここで、各プレスローラ４２、５２の孔から洗浄液を吹き出し、研掃テープＳに織布テープを使用することにより、研掃中に平板Ｐから除去した異物や汚れ及び突起をより確実に速やかに平板Ｐから排除できる。
【００４５】また、平板Ｐがプレスローラ４２、５２の間を通過するとき、ピストン・クランク機構４６（図２（ａ））を作動し、研掃ヘッド４５を矢印Ｈの方向に往復移動させてもよい。研掃ヘッド４５の往復移動速度は、電動モータＭ３の出力を調節して行える。」
　
　上記を、技術常識を考慮しつつ本件発明に記載に沿って整理すると、刊行物１には以下の発明が記載されていると認められる。
「平板Ｐを連続的に水平搬送可能な搬送システム１０と、該平板Ｐの表面及び裏面の両面を平板Ｐを境にして上下に配置された一対の研掃テープＳで挟み込み、該平板Ｐの両面を上下に配置された該一対の研掃テープＳにより同時に研掃する上下一対のユニット２０，３０とが備えられ、上記一対の各ユニット２０，３０は、各研掃テープＳを平板Ｐの搬送方向と逆の方向に連続的に移送可能な送出ローラ２２，３２、巻取ローラ２３，３３及び電動モータＭ１、Ｍ２と、上下一対の各研掃テープＳの移送経路途中を該平板Ｐの表面及び裏面の両面に同時に押し付けて挟み込む上下一対のプレスローラ４２，５２をもつ研掃ヘッド４０，５０とからなり、該一対の各ユニット２０，３０のうち上のユニット２０における該送出ローラ２２、巻取ローラ２３及び電動モータＭ１、Ｍ２と該研掃ヘッド４０とは相互に分離独立した構造に構成され、上記平板Ｐが通過する開口通路部を境にして上のユニット２０の研掃ヘッド４０を水平往復運動自在に配置し、該研掃ヘッド４０を上記平板Ｐの搬送方向と交差する方向に水平往復運動させるピストン・クランク機構４６を設け、該ピストン・クランク機構４６は、電動モータＭ３を駆動源として、上記研掃ヘッド４０を水平往復運動させるクランク機構を備えてなる、平板研掃装置。」（以下、「刊行物１記載の発明」という。）
　
3.2　刊行物２
ａ．（発明の詳細な説明、段落１）
「【０００１】
　本発明は、例えば有機ＥＬ用ＩＴＯ膜基板、ＩＣウェハー、液晶用ガラス基板等の基板表面をポリシングして基板表面を平坦化し洗浄する基板表面平坦化・洗浄装置に関するものである。」
ｂ．（同、段落６８〜７３）
「【００６８】
　実施例２のポリシングヘッドＰは、固定板14に一対のリール12を設けると共に接離移動用の駆動装置13（エアシリンダー）を設け、この駆動装置13により基体９としてのポリシングプレート９を支承する支承体21を駆動することでポリシングプレート９を接離移動させるように構成し、前記一方のリール12からラッピングフィルム２（ラッピングテープ２）を巻き出して他方のリール12へ巻き取るように構成してラッピングフィルム２を下方に張設し、ポリシング面４を形成している。尚、実施例１と同一構成部分には同一符号を付した。
【００６９】
　従って、磨耗したら巻き取って行き、またリール12毎交換できるため交換も簡単である。
【００７０】
　また、前記ポリシングプレート９にクッション材10を支承当接し、このクッション材10にラッピングフィルム２が張設されるように構成し、ラッピングフィルム２で形成したポリシング面４を基板１に押圧面接した際、このクッション材10により支承されてポリシングを行なうことから、基板１に凹凸やうねりがあっても均一にポリシングできることになる。
【００７１】
　また、実施例２の前記支承体21は、基部21ａと、この基部21ａに取り付けられるアーム部21ｂと、アーム部21ｂの先端部により支承されポリシングプレート９を支承する支承部21ｃとから成り、実施例２においては適宜な弾性部材によりアーム部21ｂが（支承部21ｃを介して）ポリシングプレート９を常に下方に付勢してラッピングフィルム２を張設するように構成している。従って、基板１に凹凸やうねりがあっても前記適宜な弾性部材の伸縮により良好にポリシングすることができ、この点からも良好にポリシングを行える構成である。尚、前記適宜な弾性部材はアーム部21ｂに設けてこのアーム部21ｂが伸縮動作するように構成としても良いし、基部21ａに設けてこの弾性部材の伸縮により前記アーム部21ｂが上下動するように構成しても良い。
【００７２】
　また、実施例２においては、ポリシングヘッドＰを基板１に対して相対的に揺動させる揺動機構として、この基体９を往復移動させてラッピングフィルム２（ポリシング面４）を長さ方向に往復移動させる往復運動機構（図示省略）を設けている。
【００７３】
　また、この基体９に巻き回したラッピングフィルム２の張設度合いを調整する調整機構22（ガイドローラ）を一対のリール12とクッション材10の長さ方向両端部との間に夫々ラッピングフィルム２を介して設け、この調整機構22にラッピングフィルム２が支持された状態でこの調整機構22同志が接離移動することで、ラッピングフィルム２の張設度合いを調整して極めて良好なポリシングが行えるように構成している。具体的には一対のガイドローラ間にラッピングフィルム２を挾持した状態で、この一対のガイドローラ同志を接離移動させることでラッピングフィルム２の張設度合いを調整する。尚、図中符号23は固定ローラである。」
ｃ．（同、段落８５，８６）
「【００８５】
　また、ポリシングヘッドＰは基板１の搬送方向に対して直交状態に設けると共に、これに沿って高圧ジェット洗浄部６も直交状態に設ける。
【００８６】
　即ち、帯状のポリシング面４を有するポリシングヘッドＰを基板１の搬送方向に対して直交状態にして面接し、ポリシングを行なうように構成している。」
ｄ．（図１、図２）
　ポリシングプレート９が、ポリシングヘッドＰのリール12を支持する固定板14に対し、クランク機構よりなる往復運動機構15によって、基板１の搬送方向に交差する方向に往復運動可能であることが理解される。
　
　上記において、「調整機構22」がリール12とポリシングプレートとの間に生じるラッピングフィルム2の弛みを取り除くことは当業者にとって自明であり、また、ポリシングプレート９は固定板14に対して往復運動するため、ポリシングプレート9と固定板14に支持されたリール12とが相互に分離独立した構造であることも自明である。
　また、上記ｂに示す実施例２において「図示省略」とされている往復運動機構として、上記ｄに示す実施例１の往復運動機構と同じ構造のものが採用されていることは、当業者が容易に理解し得る。
　そこで、技術常識を勘案しつつ上記を整理すると、刊行物２には以下の事項が記載されていると認められる。
「基板１の表面をラッピングフィルム２によりポリシングする基板表面平坦化・洗浄装置において、ポリシングヘッドＰは、ラッピングフィルム２を基板１の搬送方向と交差する方向に間欠的又は連続的に移送可能な一対のリール12と、ラッピングフィルム２の移送経路途中を該基板１の表面に押し付ける押圧面が形成されたクッション材10をもつポリシングプレート９と、リール12とポリシングプレート９との間に生ずる上記ラッピングフィルム2の弛みを取り除くための調整機構22とからなり、該ポリシングヘッドＰにおけるリール12とポリシングプレート9とは相互に分離独立した構造に構成され、ポリシングプレート９がラッピングフィルム２の移送方向としての基板１パネルの搬送方向と交差する方向に往復運動させる往復作動機構を設ける点。」「以下、「刊行物２記載の事項」という。）
　
3.3　刊行物３
ａ．（第１ページ右下欄第２〜３行）
「本発明は磁気ディスク、磁気シート等の表面研磨方法に関するものであり、」
ｂ．（第２ページ左下欄第１０行〜右下欄第６行）
「５及び６はウエブ状磁性フィルムを挟持するごとく研磨テープ７を弾接させる研磨用弾性ロールである。７は研磨テープ、８は研磨テープの供給側ロール、９はその巻取側ロールであり、１０はそのパスローラである。二点鎖線で示した１１及び１２は弾性ロール及びパスローラを所定に配設保持した上面側及び下面側研磨機構部であり、１３は下面側研磨機構部の弾性圧接用の圧縮バネである。なお、上面側研磨機構部１１（上面側の弾性ロール、研磨テープ、研磨テープ供給側及び巻取側ロール、パスローラ）及び下面側研磨機構部１２（下面側の弾性ロール、研磨テープ、研磨テープ供給側及び巻取側ロール、パスローラ）はそれぞれ一体化されており、ウエブ状磁性フィルムの走行方向（矢印走行方向）に対して直角方向への揺動機能（矢印揺動方向）を備えている。」
ｃ．（第３ページ左上欄第９〜１７行）
「すなわちウエブ状磁性フィルム１の両面には研磨テープ７が弾性ロール５，６及び圧縮バネ13の力により、ウエブ状磁性フィルム１を挟持するごとく弾性圧接され、かつこの状態においてウエブ状磁性フィルムの走行方向と直角方向に揺動をうけることにより、研磨テープ７とウエブ状磁性フィルム１の間に研磨作用が発生する。なお上面側及び下面側の研磨機構部の揺動方向はそれぞれ逆になっている。」
　
　上記を整理すると、刊行物３には以下の事項が記載されていると認められる。
「研磨テープ７によるウエブ状被研磨体の上下両面の研磨において、上下の各研磨テープ７を被研磨体の搬送方向と直角方向に互いに逆向きに水平往復運動させること。」（以下、「刊行物３記載の事項」という。）
　
　
４．対比
　本件発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、以下のとおりである。
　刊行物１には、摘記事項ｂに「研掃」について、「平板に付着した異物や汚れ及び平板上の突起を除去する」との記載があることから、「研掃」が「研磨またはクリーニング」を意味することは明らかである。
　そうすると、後者の「平板Ｐ」、「搬送システム１０」、「研掃テープＳ」、「ユニット２０，３０」、「研掃ヘッド４０，５０」、「電動モータＭ３」及び「平板研掃装置」が、前者の「パネル」、「パネル搬送機構」、「研磨テープ」、「研磨機構」、「テープ押圧機構」、「往復動作用モータ」及び「パネル研磨装置」にそれぞれ相当することは明白である。
　後者の「送出ローラ２２，３２、巻取ローラ２３，３３及び電動モータＭ１、Ｍ２」は、研磨テープをパネルの搬送方向と異なる方向に連続的に移送可能である「テープ移送機構」である限りにおいて、前者の「テープ移送機構」と共通し、後者の「ピストン・クランク機構４６」は、テープ押圧機構をパネルの搬送方向と交差する方向に水平往復運動させる「往復作動機構」である限りにおいて、前者の「異方向往復作動機構」と共通する。
　また、後者の「上のユニット２０の研掃ヘッド４０」と、前者の「テープ押圧機構」とは、ともにパネルの搬送方向に交差する方向に水平往復運動自在に配置されるものである。
　そうしてみると、本件発明と刊行物１記載の発明とは、以下の点において一致し、また相違すると認められる。
＜一致点＞
「パネルを連続的に水平搬送可能なパネル搬送機構と、該パネルの表面及び裏面の両面をパネルを境にして上下に配置された一対の研磨テープで挟み込み、該パネルの両面を上下に配置された該一対の研磨テープにより同時に研磨またはクリーニングする上下一対の研磨機構とが備えられ、上記一対の各研磨機構は、各研磨テープをパネルの搬送方向と異なる方向に連続的に移送可能なテープ移送機構と、上下一対の各研磨テープの移送経路途中を該パネルの表面及び裏面の両面に同時に押し付けて挟み込む上下一対のテープ押圧機構とからなり、該一対の各研磨機構のうち少なくとも一方の研磨機構における該テープ移送機構と該テープ押圧機構とは相互に分離独立した構造に構成され、該少なくとも一方のテープ押圧機構はパネルの搬送方向に交差する方向に水平往復動自在に配置され、該少なくとも一方のテープ押圧機構を上記パネルの搬送方向と交差する方向に水平往復運動させる往復作動機構を設け、該往復作動機構は、往復動作用モータを駆動源として、上記少なくとも一方のテープ押圧機構を水平往復運動させるクランク機構を備えてなる、パネル研磨装置。」である点。
＜相違点１＞
　テープ移送機構は、前者では研磨テープをパネルの搬送方向と交差する方向に移送可能であるのに対し、後者では研磨テープをパネルの搬送方向と逆方向に移送する点。
＜相違点２＞
　テープ押圧機構は、前者ではパネルの両面に同時に押し付けて挟み込む押圧面が形成された上下一対のパッド部材をもつのに対し、後者ではパネルの両面に同時に押し付けて挟み込む上下一対のプレスローラをもつ点。
＜相違点３＞
　各研磨機構は、前者ではテープ移送機構とテープ押圧機構との間に生ずる研磨テープの弛みを取り除くための弛み取り機構をもつのに対し、後者では弛み取り機構をもたない点。
＜相違点４＞
　前者では一対の各研磨機構におけるテープ移送機構とテープ押圧機構とが相互に分離独立した構造に構成され、パネルが通過する開口通路部を境にして上下位置に水平往復台をそれぞれ独立して水平往復運動自在に配置し、該それぞれの水平往復台にテープ押圧機構をそれぞれ配設するのに対し、後者では上側の研磨機構のみテープ移送機構とテープ押圧機構とが相互に分離独立した構造に構成され、水平往復台がない点。
＜相違点５＞
　往復作動機構は、前者では各テープ押圧機構が配設された各水平往復台を研磨テープの移送方向としてのパネルの搬送方向と交差する方向に互いに逆向きに水平往復運動させる異方向往復作動機構であって、往復動作用モータを共通の駆動源として、各テープ押圧機構を互いに１８０度の位相差をもって水平往復運動させるのに対し、後者では一方のテープ押圧機構を研磨テープの移送方向とは異なり、パネルの搬送方向と交差する方向に水平往復運動させるものであって、往復動作用モータを駆動源として、一方のテープ押圧機構を水平往復運動させる点。
　
５．当審の判断
　以下、上記各相違点について検討する。
　
5.1　＜相違点１＞について
　刊行物２記載の事項において、「基板１」、「ラッピングフィルム２」、「ポリシングヘッドＰ」、及び「リール12」が、「パネル」、「研磨テープ」、「研磨機構」、及び「テープ移送機構」にそれぞれ相当することは明白であるから、刊行物２記載の事項の「基板表面平坦化・洗浄装置」は、パネルの表面を研磨する装置である。
　したがって、刊行物２には「パネル研磨装置において、研磨装置に、研磨テープをパネルの搬送方向と交差する方向に移送可能なテープ移送機構を設けること」が記載されているということができ、同じくパネル研磨装置である刊行物１記載の発明において、テープ移送機構を、パネルの搬送方向と逆方向に移送するものに代えて、刊行物２記載の事項のように、パネルの搬送方向に交差する方向に移送するものとすることは、当業者であれば容易に想到し得る。
　
5.2　＜相違点２＞について
　刊行物２記載の事項において、「ポリシングプレート12」が「押圧機構」に相当し、「クッション材10」がパッド部材であることは明白であるから、刊行物２には、「パネル研磨装置において、研磨装置に、パネルの表面に押し付ける押圧面が形成されたパッド部材をもつテープ押圧機構を設けること」が記載されているということができる。
　そして、同じくパネル研磨装置である刊行物１記載の発明において、テープ押圧機構の上下一対のプレスローラに代えて、刊行物２記載の事項のように、パネルの両面に同時に押し付けて挟み込む押圧面が形成された上下一対のパッドを採用することは、当業者が容易に想到し得る。
　
5.3　＜相違点３＞について
　パネル研磨装置において、研磨機構のテープ移送機構とテープ押圧機構との間に生じる研磨テープの弛みを取り除くための弛み取り機構を設けることは、刊行物２に記載されており、5.1及び5.2同様、刊行物１記載の発明においてもテープ移送機構とテープ押圧との間に弛み取り機構を設けることは当業者が容易に想到し得る。
　
5.4　＜相違点４＞について
　刊行物１記載の発明ではパネルの上側に位置するテープ押圧機構のみをパネルの搬送方向に交差する方向に水平往復運動させるが、パネルの表裏両面を同様に研磨する目的で、パネルの上下両側のテープ押圧機構をともにパネルの搬送方向に交差する方向に水平往復運動自在とすること、そしてそのために上下の各研磨機構におけるテープ移送機構とテープ押圧機構とをともに相互に分離独立した構造に構成することは、当業者にとっては設計上の選択にすぎない。
　また、水平往復台を水平往復動自在に配置し、水平往復台にテープ押圧機構を配設することは、従来より周知慣用の機構を採用してテープ押圧機構を水平往復運動自在とすることにほかならず、刊行物１記載の発明における水平往復運動自在の往復台と比較しても、格別の作用効果の差を生じるものではない。
　
5.5　＜相違点５＞について
　上下の各研磨テープを被研磨体の搬送方向と直角方向に互いに逆向きに水平往復運動させることは、刊行物３に記載されている。
　上下の各研磨テープを被研磨体の搬送方向と直角方向に互いに逆向きに水平往復運動させるための往復作動機構として、往復動作用モータを共通の駆動源として、各テープ押圧機構を互いに１８０度の位相差をもって水平往復運動させる異方向往復作動機構を採用して、各テープ押圧機構が配設された各水平往復台を研磨テープの移送方向としてのパネルの搬送方向と交差する方向に互いに逆向きに水平往復運動させることは、従来より周知かつ慣用のクランクやロッド等の機械要素を組み合わせて当業者が適宜設計し得る程度のものにすぎない。
　
5.6　本件発明の作用効果について
　本件発明の作用効果にも、刊行物１記載の発明、刊行物２及び３記載の事項及び従来周知の技術事項に基づいて通常に予測される範囲を超える格別のものを見出すことはできない。
　したがって、本件発明は刊行物１記載の発明、刊行物２及び３記載の事項及び従来周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は刊行物１記載の発明、刊行物２及び３記載の事項及び従来周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるため、特許法第２９条第２項の規定により特許をうけることができないものであるから、本願の請求項２及び３に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきである。
　よって、結論のとおり審決する。
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