【事件の表示】
　特願２００７−３４１４４７「ディスク被覆システム」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年　７月　３日出願公開、特開２００８−１５０７１１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　
　本願は、２００４年１月２０日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００３年２月１０日、米国）を国際出願日とする出願である特願２００６−５００９８６号の一部を新たな特許出願とした特願２００７−２０７１５０号の一部を平成１９年１２月２８日に新たな特許出願としたものであって、平成２１年３月２７日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年６月２６日付けで拒絶査定不服審判が請求され、同年７月１６日付けで手続補正書が提出された。
　
　その後、当審において、平成２２年１１月３０日付けで前置報告書（特許法第１６４条第３項）を利用した審尋を行ったところ、平成２３年３月１日付けで回答書が提出され、同年７月１４日付けで拒絶理由を通知したところ、同年１１月７日付けで手続補正書及び意見書が提出され、平成２４年１月６日付けで拒絶理由を通知したところ、同年３月２６日付けで手続補正書及び意見書が提出されたものである。
　
　
２．本願発明
　
　本願の請求項１ないし１１に係る発明は、平成２４年３月２６日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１１に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）、その請求項１０に係る発明（以下、「本願発明２」という。）は、次のとおりのものである。
　
「　　【請求項１】
　各基板の両方の面を処理して磁気ディスクを作製する基板処理システムであって、
　該基板処理システムは、
　ライン状に配置された第１のセットの処理ステーションであって、該第１のセットの処理ステーションのそれぞれは、一度に該基板のうちの１つの基板の両方の面を処理し、該第１のセットの処理ステーションのそれぞれは、各基板が、第１の方向に、該第１のセットの処理ステーションのうちの１つの処理ステーションから、該第１のセットの処理ステーションのうちの隣接する処理ステーションへ
と
　第２のセットの処理ステーションであって、該第２のセットの処理ステーションは、該第２のセットの処理ステーションの取り付け領域が該第１のセットの処理ステーションの取り付け領域内に存在するように、該ライン状に配置されており、かつ、該第１のセットの処理ステーションと積層された関係で配置されており、該第２のセットの処理ステーションのそれぞれは、一度に該基板のうちの１つの基板の両方の面を処理し、該第２のセットの処理ステーションのそれぞれは、各基板が、第２の方向に、該第２のセットの処理ステーションのうちの１つの処理ステーションから、該第２のセットの処理ステーションのうちの隣接する処理ステーションへ
と
　複数のキャリアであって、該複数のキャリアのそれぞれは、該基板のうちの１つを支持する、複数のキャリアと、
　第１のエレベータと第２のエレベータとを含むエレベータシステムであって、該第１のエレベータは、該第１のセットの処理ステーションと該第２のセットの処理ステーションとの間に直列に接続されており、該第１のエレベータは、一度に１つの基板を、該第１のセットの処理ステーションから該第２のセットの処理ステーションへの第３の方向に移動させ、該第２のエレベータは、該第１のセットの処理ステーションと該第２のセットの処理ステーションとの間に直列に接続されており、該第２のエレベータは、一度に１つの基板を、該第２のセットの処理ステーションから該第１のセットの処理ステーションへの第４の方向に移動させる、エレベータシステムと、
　各処理ステーションの基部および各キャリアの基部に配置された磁気駆動搬送システムであって、該キャリアによって支持されている基板を
、
、
セットの
　を備え、
　各処理ステーションは、
複数の処理ステーションを互いに分離させるための、隣接する処理ステーションに取り付けられた、
別の
、
　該複数のキャリアは、各基板の両方の面が、該磁気駆動搬送システムによって移動される基板の移動の該第１の方向および該第２の方向のそれぞれに対して平行な平面に対して平行になるように、基板を支持し、該平面は、該第１のエレベータおよび該第２のエレベータによって移動させられる該基板の移動の第３の方向および第４の方向のそれぞれに対しても平行であり、
　機構により、該第１のセットの処理ステーションに設けられている入口から該第１のセットの処理ステーションに該基板が入り、
　該機構により、該第１のセットの処理ステーションに設けられている出口から該基板が出され、
　該基板の処理段階では、基板が一つずつ、各基板の両方の面が各処理ステーションにおいて処理され得るように、各基板は、処理ステーションにあるか、エレベータにあり、
　それによって、該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である、基板処理システム。」
　
「　　【請求項１０】
　第１のレベルにおける第１のセットの処理ステーションと、第２のレベルにおける第２のセットの処理ステーションとを有する処理システムにおいて基板を処理する
ことによって磁気ディスクを作製する
　該方法は、
　処理されるべき基板を真空環境に置くことと、
　該基板を該真空環境内のキャリアに載せることと、
　該キャリアを該第１のセットの処理ステーションの第１の処理ステーション
に
　該キャリアにおける該基板の両方の面が該第１のセットの処理ステーションのうちの１つの処理ステーションから隣接する処理ステーションへの該キャリアの移動の方向および該第１のレベルから該第２のレベルへの該キャリアの移動の方向に平行な平面に平行になるように該キャリアを保持しながら、該第１のセットの処理ステーションのうちの１つ以上の処理ステーションにおいて該基板の両方の面を同時に処理することと、
　
該
　該第１のエレベータを用いて、該キャリアにおける該基板の高さを該第１のレベルから該第２のレベルに変更することと、
　該キャリアにおける該基板を該第２のセットの処理ステーションの第１の処理ステーション
に
　該基板を該第１のセットの処理ステーションと同一の方向に保持しながら、該第２のセットの処理ステーションのうちの１つ以上の処理ステーションにおいて該基板の両方の面を同時に処理することと、
　
該
　該第２のエレベータを用いて、該キャリアにおける該基板の高さを該第２のレベルから該第１のレベルに変更することと、
　全ての処理ステーションにおいて処理が完了した後、該キャリアから該基板を降ろすことと、
　該キャリアから降ろされた該基板を該真空環境から取り除くことと
　を包含し、
　各処理ステーションは、各処理ステーションにおいて各基板の両方の面を処理している間に、密封され、
　該第１のセットの処理ステーションは、互いに直列に接続されており、該第２のセットの処理ステーションは、互いに直列に接続されており、該第１のエレベータは、該積層された関係の一方側で該第１のセットの処理ステーションを該第２のセットの処理ステーションに直列に接続し、該第２のエレベータは、該積層された関係の他方側で該第２のセットの処理ステーションを該第１のセットの処理ステーションに直列に接続し、
　各処理ステーションは、
複数の処理ステーションを互いに分離させるための、隣接する処理ステーションに取り付けられた、
別の
、
　それによって、該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である、方法。」
　
　
３．当審の拒絶理由
　
　当審において、平成２４年１月６日付けで通知した拒絶の理由の概要は、以下のとおりである。
　
（１）
「Ｄ．この出願は、発明の詳細な説明の記載が下記の点で、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。」
　
「＜理由Ｄに対して＞
　
　キャリアを移送する手段（方法）について、以下の点で、発明が実施可能な程度に記載されていない。」
　
（ア）
「（ａ）処理ステーション内の移送、隣接する処理ステーション間の移送について
　磁気駆動搬送システム（磁気駆動システム、複数のホイールおよび磁気手段）により移送するとのことであるが、【００２０】、図４Ｃ等を参酌しても、具体的な実現手段（実現方法）が理解できない。
　出願人は、意見書等により、具体的かつ詳細に釈明されたい。
（【００２０】には、「移送ドライブ区画212（磁気ドライブシステム212と同義？）内に配置されたホイール137」、「一部が各チャンバのベースに配置され、一部が嵌合構造体として各ディスクキャリア216のベースに配置された磁気ドライブシステム212」、「各ディスクキャリア及び各チャンバは、磁気ドライブシステム212による動作用の個別移送エレメントを有する」、「ホイールはロータリー真空フィードスルーを利用した通常のモーターにより駆動される」、「ディスクキャリアは、キャリアベース216内に設置された４００シリーズのステンレススチールのような軟質磁性材料により移動される」とありますが、「嵌合構造体」、「個別移送エレメント」、「ロータリー真空フィードスルーを利用した通常のモーター」が、具体的に何を意味するのか不明であるうえ、これらの記載から、具体的に何をどうすることでディスクキャリアを移送できるのか（キャリアベース内に軟質磁性材料を設置したディスクキャリアがホイールを使用して移送できる原理及びその実現手段（実現方法））が理解できません。）
（また、【００２０】には、通常のモーターを「リニアモーターと置換されてもよい」とありますが、具体的に理解できません。）」
　
（イ）
「（ｂ）処理ステーションからエレベータへの移送、エレベータから処理ステーションへの移送について
　明細書及び図面を参酌しても、具体的な実現手段（実現方法）が理解できない。
　出願人は、意見書等により、具体的に釈明されたい。」
　
（ウ）
「（ｃ）エレベータでの移送について
　明細書及び図面を参酌しても、具体的な実現手段（実現方法）が理解できない。
　出願人は、意見書等により、具体的に釈明されたい。」
　
（２）
「Ｃ．この出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。」
　
「＜理由Ｃに対して＞」
　
（ア）
「（１）請求項１及び従属請求項について、以下の不備がある。
　「各処理ステーションは、該処理ステーションの一方の面における分離バルブと、該処理ステーションを隣接する処理ステーションに取り付けるか、または、該処理ステーションを該第１のエレベータまたは該第２のエレベータに取り付けるための、該処理ステーションの他方の面における開口部とを含み、
該隣接する処理ステーションは、複数の処理ステーションを互いに分離させるための、該開口部に取り付けられた分離バルブを含み
（処理ステーションは一方の面に分離バルブ、他方の面に開口部を含む旨の記載がある一方で、（隣接する）処理ステーションは開口部に取り付けられた分離バルブを含む旨の記載があり、発明が不明瞭です。）」
　
（イ）
「（２）請求項１０及び従属請求項について、以下の不備がある。
　上記（１）と同様の不備がある。」
　
　
４．当審の判断
　
（１）上記「３．」の（１）について
（ア）について
　本願発明１（及び２）において、「磁気駆動搬送システム」を備える（「磁気駆動システム」を含む）、「それによって、該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」との特定があるところ、当業者が、明細書及び図面（特に、【００２０】、図４Ｃ）に記載した事項と本願出願時の技術常識とに基づき、当該「磁気駆動搬送システム」（「磁気駆動システム」）を実施することができる程度に、発明の詳細な説明が記載されていない。
　以下、その理由を説明する。
　
　本願の明細書（【００２０】）及び図面（図４Ｃ）には、次の事項が記載されている（なお、下線は当審で付した。）。
「　【００２０】
　図４Cは図４Bに示されるディスクロード／アンロード区画の側面図である。図において、ディスクキャリア136は側面図で示されている。この図において、移送ドライブ区画212内に配置されたホイール137が見える。
ホイールはシステムを通じてディスクキャリアを移送するのに使用される
ディスクキャリアは、一部が各チャンバのベースに配置され、一部が嵌合構造体として各ディスクキャリア216のベースに配置された磁気ドライブシステム212により処理チャンバから処理チャンバへ移動される
このシステムのホイールはロータリー真空フィードスルーを利用した通常のモーターにより駆動されるが、リニアモーターと置換されてもよい
ディスクキャリアは、キャリアベース216内に設置された４００シリーズのステンレススチールのような軟質磁性材料により移動される
　
　そして、当該記載によれば、
　「システム」（本願発明１の「基板処理システム」）は、「システムを通じてディスクキャリアを移送するのに使用される」「通常のモーターにより駆動される」「ホイール」と、「ディスクキャリア」を「処理チャンバから処理チャンバへ移動」させる「磁気ドライブシステム212」（本願発明１の「磁気駆動搬送システム」）とを有すること、
　「磁気ドライブシステム212」は、「一部が各チャンバのベースに配置され、一部が嵌合構造体として各ディスクキャリア216のベースに配置された」ものであり、「ディスクキャリアは、キャリアベース216内に設置された４００シリーズのステンレススチールのような軟質磁性材料」を有すること、
　「ホイール」を「駆動」する「通常のモーター」は、「リニアモーターと置換されてもよい」こと、
が理解できる。
　しかしながら、「磁気駆動搬送システム」に関して、
（ａ）具体的に何をどうすることで「ディスクキャリア」を「処理チャンバから処理チャンバへ移動」させることができるのか、
（ｂ）「磁気ドライブシステム212による動作用の個別移送エレメント」が何を意味するのか、
が理解できない。
　
　ここで、（ａ）について、請求人は、平成２４年３月２６日付け意見書において、「「嵌合構造体」という用語は、互いにフィットする／一緒になって機能する構造体に読者の注意を向けるために用いられているものです。」、「すなわち、磁気ドライブシステムは、ペアとしてまたは相対物として、一緒になって機能する／互いにフィットする２つのパーツを有し、これらのパーツのうちの１つが、各チャンバのベースに配置され、そして、これらのパーツのうちの１つが、各キャリアのベースに配置されるということを意味しています。」と説明している。
　そして、「嵌合」とは、形状が合ったものを嵌め合わせることを通常は意味するところ、上記説明を参酌するに、磁気駆動搬送システムは、互いに嵌め合わせることができる形状をした２つの構造体を有し、これらの構造体のうちの一方が、各チャンバのベースに配置され、これらの構造体のうちの他方が、各ディスクキャリアのベースに配置されたものである、と理解できる。
　さらに、請求人は、同意見書において、「「嵌合構造体」に関して、請求人は、当業者であれば、磁気ドライブが移送動作を実行するために２つのエレメントをどのように必要とするか（例えば、（１）磁石が（２）強磁性材料に作用する）を容易に理解することができると思料いたします。」と主張している。
　しかしながら、各ディスクキャリアのベース内に軟質磁性材料（強磁性材料）が設置されることは理解できるとしても、前記軟質磁性材料に作用する磁石を必要とすること、各チャンバのベースに前記軟質磁性材料に作用する磁石が設置されることは、本願の明細書及び図面に記載されておらず、本願出願時の技術常識でもないので、理解できない。その結果、互いに嵌め合わせることができる形状をした２つの構造体を有し、これらの構造体のうちの一方が、各チャンバのベースに配置され、これらの構造体のうちの他方が、各ディスクキャリアのベースに配置されたものである磁気駆動搬送システムにより、ディスクキャリアを移動できることが理解できないので、上記主張は採用できない。
（なお、仮に、各チャンバのベースに前記軟質磁性材料に作用する磁石が設置されることが理解できたとしても、単に磁石を設置しただけでは、ディスクキャリアを移動できないことは明らかであり、磁気駆動搬送システムによりディスクキャリアを移動できるための具体的な実現手段が理解できないので、やはり上記主張は採用できない。）
　
　また、（ｂ）について、請求人は、同意見書において、「「個別移送エレメント」に関して、請求人は、このような事項は、当業者であれば容易に理解することができると思料いたします。例えば、この文言が本願明細書全体の文脈内で読まれた場合、当業者であれば、システムは個別移送エレメントから形成されるということを理解することができるはずです。」と主張している。
　しかしながら、「個別移送エレメント」が具体的に何を意味するのかについて何ら釈明されておらず、「磁気ドライブシステム212による動作用の個別移送エレメント」が何を意味するのか理解できないので、上記主張は採用できない。
　
　したがって、本願の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本願発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものであるとはいえない。
　
（イ）について
　本願発明１（及び２）において、「基板処理システム」（「処理システム」）は、「キャリア」を「処理ステーション」と「エレベータ」との間で移動させており、「それによって、該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」との特定があるところ、当業者が、明細書及び図面（特に、【００２０】）に記載した事項と本願出願時の技術常識とに基づき、これを実施することができる程度に、発明の詳細な説明が記載されていない。
　以下、その理由を説明する。
　
　本願の明細書（【００２０】）には、
　「システム」（本願発明１の「基板処理システム」）は、「システムを通じてディスクキャリアを移送するのに使用される」「ホイール」を有すること、
　「ホイールはロータリー真空フィードスルーを利用した通常のモーターにより駆動される」こと、
　「ホイール」を「駆動」する「通常のモーター」は、「リニアモーターと置換されてもよい」こと、
が記載されている。
　しかしながら、
（ａ）「ロータリー真空フィードスルー」が何を意味するのか、及び、「通常のモーター」において、どのようにして「ロータリー真空フィードスルー」を利用することで「ホイール」を「駆動」するのか、さらには、当該モーターにより、「該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」のか、
（ｂ）どのような「リニアモーター」により、「該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」のか、
が理解できない。
　
　ここで、（ａ）について、請求人は、平成２４年３月２６日付け意見書において、「「ホイールはロータリー真空フィードスルーを利用した通常のモーターにより駆動される」に関して、請求人は、この記載についても、当業者であれば容易に理解することができると思料いたします。」と主張している。
　しかしながら、同意見書に記載のＶａｃＳｏｌ社のウェブサイトの抜粋については、その存在（例えば、ウェブサイト上でのアドレスなど）や公開日（本願出願時に知られていること）が確認できないから、これに基づく上記主張は採用できない。また、同意見書に記載のＦｅｒｒｏｔｅｃ社の回転フィードスルーのＧｏｏｇｌｅ画像についても、その存在や公開日が確認できないから、これに基づく上記主張は採用できない。
　また、同意見書に記載の理学メカトロニクス社のウェブサイトの抜粋（http://web.archive.org/web/20030817121916//http://www.rigakumsc.com/vacuum/about.html）については、そこに記載された「MAGNASEAL rotary feedthroughs」が本願の明細書に記載された「ロータリー真空フィードスルー」に対応するものであること、及び、「MAGNASEAL rotary feedthroughs」がモーターに利用されること、が理解できないし、さらには、「MAGNASEAL rotary feedthroughs」を利用したモーターにより、「システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」ことも理解できないので、上記主張は採用できない。
　
　また、（ｂ）について、請求人は、同意見書において、「リニアモーター」の用語について説明している。
　しかしながら、「該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」ための「リニアモーター」の具体的な実現手段が理解できない。
　
　さらに、請求人は、同意見書において、「エレベータへの移送、エレベータからの移送に関して、この特徴は、任意の一般的な公知の手段を用いて実装され得ます。例えば、当業者に容易に理解されるように、処理チャンバにおいて用いられるものと同一のホイールが用いられ得ます。本願明細書の全体を考慮してこの特徴を具体的に実現するための手段を理解することにおいては、困難性は明らかに存在しないので、請求人は、エレベータへの移送、エレベータからの移送については、実施可能性の欠如は存在しないと思料いたします。」と主張している。
　しかしながら、キャリアの、エレベータへの移送、エレベータからの移送に関して、処理チャンバにおいて用いられるものと同一のホイールが用いられることは理解できるとしても、ホイールを駆動する手段（モーター）について、単に任意の一般的な公知の手段を用いては、「該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」とは限らないことは明らかであり、「該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」ための具体的な実現手段が理解できないので、上記主張は採用できない。
　
　したがって、本願の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本願発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものであるとはいえない。
　
（ウ）について
　本願発明１（及び２）において、「基板処理システム」（「処理システム」）は、「キャリア」を「エレベータ」で移動させており、「それによって、該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」との特定があるところ、当業者が、明細書及び図面（特に、【００２０】）に記載した事項と本願出願時の技術常識とに基づき、これを実施することができる程度に、発明の詳細な説明が記載されていない。
　以下、その理由を説明する。
　
　本願の明細書（【００２０】）には、
　「システム」（本願発明１の「基板処理システム」）は、「システムを通じてディスクキャリアを移送するのに使用される」「ホイール」を有すること、
　「ホイールはロータリー真空フィードスルーを利用した通常のモーターにより駆動される」こと、
　「ホイール」を「駆動」する「通常のモーター」は、「リニアモーターと置換されてもよい」こと、
が記載されている。
　しかしながら、
（ａ）「ロータリー真空フィードスルー」が何を意味するのか、及び、「通常のモーター」において、どのようにして「ロータリー真空フィードスルー」を利用することで「ホイール」を「駆動」するのか、さらには、当該モーターにより、「該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」のか、
（ｂ）どのような「リニアモーター」により、「該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」のか、
（ｃ）エレベータにおいて、なぜホイールを用いて、キャリアを移動することができるのか、
が理解できない。
　
　ここで、（ａ）及び（ｂ）については、上記「（イ）について」で説明した内容と同様である。
　
　また、（ｃ）について、エレベータにおいて、ホイールを用いて、キャリアを移動できるための具体的な実現手段が理解できない。
　
　さらに、請求人は、平成２４年３月２６日付け意見書において、「エレベータでの移送に関して、この特徴は、任意の一般的な手段を用いて実装され得ます。例えば、本願の審査過程で引用された特開平８−１１５９６８号公報をご参照ください。本願明細書の全体および本願出願時の一般的な知識を考慮してこの特徴を具体的に実現するための手段を理解することにおいては、困難性は明らかに存在しないので、請求人は、エレベータでの移送については、実現可能性の欠如は存在しないと思料いたします。」と主張している。
　しかしながら、キャリアのエレベータでの移送に関して、単に任意の一般的な手段を用いては、「該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」とは限らないことは明らかであり、また、例示された「特開平８−１１５９６８号公報」については、ホイールを用いてキャリアを移動させるエレベータであること、エレベータにより、「システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」こと、は記載されておらず、「該システムは、一時間あたり少なくとも７００個の基板を処理することが可能である」ための具体的な実現手段が理解できないので、上記主張は採用できない。
　
　したがって、本願の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本願発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものであるとはいえない。
　
（２）上記「３．」の（２）について
（ア）及び（イ）について
　本願発明１及び２において、「各処理ステーションは、複数の処理ステーションを互いに分離させるための、
隣接する処理ステーションに取り付けられた、該処理ステーションの一方の面における分離バルブ
　したがって、本願発明１及び２は、発明が明確でない。
　
　
５．むすび
　
　以上のとおり、本願は、発明の詳細な説明の記載が、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。
　また、本願は、特許請求の範囲の記載が、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　したがって、本願は、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。