【事件の表示】
　特願２０１１−　　２１３６「カタディオプトリックの光学システム、高い解像度の広帯域の紫外の結像させるシステム、カタディオプトリックの光学システムを構築するための方法およびカタディオプトリックの光学システムで物体を結像させる方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　４月　７日出願公開、特開２０１１−　７０２３０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続きの経緯
　本願は、特願２００４−３２９０６５号（原出願日：平成１０年８月７日、パリ条約による優先権主張１９９７年８月７日、米国）の一部を平成２３年１月７日に新たな特許出願としたものであって、平成２４年５月１０日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年９月２０日に審判請求がなされたものである。
　その後、平成２４年１０月１９日付けで当審による拒絶理由の通知がなされ、これに対して平成２５年４月２２日付けで意見書及び手続補正書が提出された。
　
第２　拒絶理由通知の概要
　当審による拒絶理由の概要は以下のとおり。
　
１．本願は、以下の理由により、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
　
　本願明細書の記載、及び優先日当時の技術常識に照らすと、本願の請求項１〜３及び５の「高い開口数のカタディオプトリックの光学システムの非ズーミングの群の少なくとも一つは、前記波長の帯域にわたって前記ズーミングチューブレンズ群の補正されていない安定したより高い次数の色の収差の残余を補償する」並びに請求項６の「ズーミングチューブレンズ群の補正されていない安定したより高い次数の色の収差の残余を補償するものである遠紫外を透過する屈折性の材料から作られたレンズ群を含む非ズーミングの高い開口数のカタディオプトリックの対物系のレンズセクション」という事項は、本願各発明の課題そのものに他ならない。
　しかしながら、上記各請求項には、本願各発明の当該課題を解決するための、発明の詳細な説明に記載された具体的手段（例えばレンズデータ）が反映されていないため、発明の詳細な説明に記載した範囲を超えて特許を請求することとなる。
　
２．本願は、以下の理由により、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。
 　 
（１）特許請求の範囲の請求項２〜３、５の「それのより高い次数の色の収差を変化させることなくズームする及び倍率を変化させることができるものである及び屈折性の表面を備えたチューブレンズ群」及び請求項４の「それのより高い次数の色の収差を変化させることなくズームする及び倍率を変化させることができるものであるズーミングチューブレンズセクション」並びに請求項６の「複数の紫外の波長にわたってそれの色の収差の少なくとも一部分を変化させることなくズームする及び倍率を変化させることができるものであるズーミングチューブレンズ群」という事項に関して、本願の発明の詳細な説明の記載では、実施例として開示されているものの色収差が、具体的にどのような状態になっているのかを確認することができない。（各実施例における、ズームレンズ系及び全体のレンズ系についての色収差に関するデータが不明である。）
　したがって、本願明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本願各発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものではない。
（２）省略
　
３．省略
　
第３　本願明細書等の記載
　本願の特許請求の範囲及び明細書（以下「本願明細書等」という。）の記載は、願書に添付された本願明細書等に記載されているとおりであるが、特に、以下のとおり記載されている。
（１）特許請求の範囲（平成２５年４月２２日提出の手続補正書参照）
「【請求項６】
　高い開口数０．９を有し、０．２から０．４ミクロンの広いスペクトルの領域のカタディオプトリックの光学システムで物体を結像させる方法であって、
　ズーム及び倍率を変化させることが可能であるズーミングチューブレンズ群でズームすること；及び、
　少なくとも二つの反射性の表面及び少なくとも一つの屈折性の表面の組み合わせを含み、前記ズーミングチューブレンズ群の補正されていない安定したより高い次数の色の収差の残余を補償するものである遠紫外を透過する屈折性の材料から作られたレンズ群を含む、カタディオプトリックのリレー群で前記物体を結像させること
：を備える、方法。」
（２）「【発明が解決しようとする課題】
　【００１０】
　［発明の概要］
　本発明の目的は、像収差、像収差の色変動、縦方向（軸方向）色及び横方向色を補正し、かつ、近紫外及び極紫外スペクトル帯域（０．２乃至０．４ミクロン）の超広スペクトル域に亘って残りの（２次及びより高次の）横方向色補正を含む、カタディオプトリック映像システムを提供することである。
　【００１１】
　本発明のもう一つの目的は、大きい開口数０．９と、少なくとも１ミリメートルの視野とを備えた顕微鏡若しくはマイクロリソグラフィー光学系として有用な紫外映像システムを提供することである。このシステムは、好ましくは、テレセントリック系である。
【課題を解決するための手段】
　【００１２】
　本発明によるズーミング機能を備えた高性能、高開口数の超広域スペクトル域カタディオプトリック光学系は、１個のコリメート形共役を備え、ズーミング中に高次色収差（特に、高次の横方向色）が変化しないように構成された全屈折ズーミングチューブレンズ部と、ズーミングチューブレンズ部の補正されていない（しかし、ズーム中に安定した）高次の色収差の残りを補正する非ズーミング高開口数カタディオプトリック対物レンズ部とを有する。」
（３）「【００２２】
　フレキシブルな極紫外顕微鏡システムの場合、種々の倍率、開口数、視野サイズ及び色を提供することが重要である。原理的に、紫外顕微鏡システムは、数枚のカタディオプトリック対物レンズと、チューブレンズと、ズームレンズとにより構成される。しかし、完全な顕微鏡システムを設計する場合には、幾つかの問題点が生ずる。第１に、顕微鏡設計は、種々の倍率及び開口数を提供するため、多数の大型サイズのカタディオプトリック対物レンズを収容する必要がある。第２に、画質を維持するため、各チューブレンズの収差の色変動は体物レンズ自体と同程度に補正去れる必要がある。第３に、ズーミング系の収差の色変動は、ズームの全範囲に亘って補正される必要がある。」
（４）「【００２４】
　カタディオプトリック対物レンズ部１２８は、紫外スペクトル域（約０．２０乃至０．４０ミクロン波長）で超広帯域映像化を行うため最適化される。カタディオプトリック対物レンズ部は、高い開口数及び大きい対物視野に関して優れた性能をもつ。本発明は、軸方向色及び１次横方向色を補正するためＯｆｆｎｅｒ視野レンズと組み合わせてＳｃｈｕｐｍａｎｎ原理を使用し、より高次の横方向色を補正するため色消し処理された視野レンズ群を使用する。残りの高次色収差を除去すると、超広帯域紫外対物レンズ設計が行えなくなる。」
（５）「【００２７】
　本発明によれば、焦点レンズ群１２９は多数のレンズ部品を有し、好ましくは、すべてのレンズ部品は１種類の材料から作製され、回折面の曲率及び位置は、モノクロ収差及びモノクロ収差の色変動の両方を補正し、光を中間像に集光させるように選択される。焦点レンズ群１２９において、低度数のレンズ１３０の特殊な組み合わせは、球面収差、コマ収差、及び、非点収差の色変動に対し系を補正する。
　【００２８】
　視野レンズ群１２７及び低度数レンズ群１３０の設計上の特徴は、本発明において重要である。カタディオプトリック対物レンズ１２８と組み合わされたズーミングチューブレンズ１３９は、多数の望ましい特徴を示す。このような全屈折ズーミングレンズは、理想的には検出器アレイ１４０をズーミング中に静止させるが、本発明は、このような好ましい実施例の状況に制限されない。カタディオプトリック対物レンズ系１２８が全くズーミング機能を具備しない場合に、ズーミングチューブレンズ系１３９には２通りの設計上の可能性が拓かれる。
　【００２９】
　第１に、ズーミング部１３９は、石英ガラスのような全く同一の屈折材料でもよく、１次縦方向及び１次横方向色がズーミング中に変化しないように設計されるべきである。これらの１次色収差は零に補正する必要はなく、１種類のガラスタイプだけが使用される場合には零に補正できないが、安定している必要があり、これは実現可能である。カタディオプトリック対物レンズ１２８の設計は、これらのズーミングチューブレンズの補正されていないが安定した色収差を補償するよう修正されるべきである。この修正は実行可能であるが、得られる解決策は良い画質を伴うことが必要である。画質の制限にもかかわらず、このような設計が可能であることは非常に望ましい。その理由は、結合された顕微鏡システム全体が、フッ化カルシウム、又は、色消し処理されたＯｆｆｎｅｒタイプの視野レンズ内の回折面を除いて単一の材料、すなわち、石英ガラスであることによる。
　【００３０】
　第２に、ズーミングチューブレンズ群１３９は、カタディオプトリック対物レンズ１２８とは独立して収差を補正することができる。このため、石英ガラスとフッ化カルシウムのような異なる分散を有する少なくとも２個の屈折材料、又は、回折面を使用する必要がある。残念ながら、その結果として、チューブレンズ系は、ズーム範囲全体に亘って残留する高次の縦方向及び横方向色を避けることができないので、非常に広い紫外スペクトル域に亘って高性能を得ることができない。したがって、スペクトル域を狭小化する形、合成された系の視野サイズを縮小する形、若しくは、これらの組み合わされた形で妥協する必要がある。その結果として、カタディオプトリック対物レンズの非常に高い能力は、独立に補正されるズーミングチューブレンズを用いて２倍にすることができない。
　【００３１】
　本発明は、上記の２種類の状況を両立させる。ズーミングチューブレンズ１３９は、最初に、二つの屈折材料（例えば、石英ガラスとフッ化カルシウム）を用いて、カタディオプトリック対物レンズ１２８とは独立に補正される。レンズ１３９は、次に、カタディオプトリック対物レンズ１２８と合成され、カタディオプトリック対物レンズは、ズーミングチューブレンズ系の残りの高次色収差を補償するように変更される。このようにできる理由は、上記のカタディオプトリック対物レンズの視野レンズ群１２７及び低度数レンズ群１３０の設計上の特徴に起因する。合成された系は、最良の性能を得るべく変更されるすべてのパラメータを用いて最適化される。
　【００３２】
　本発明の一つの格別な特徴は、ズーミングチューブレンズの具体的な細部である。このズーミング系の高次残留色収差がズーム中に変化する場合、カタディオプトリック対物レンズは、１個所のズーム位置以外では高次残留色収差を厳密に補償できない。低次色収差がズーム中に変化せず、零に補正されるズーミングチューブレンズを設計することは簡単である。しかし、（系自体では零に補正することができない）高次色収差残留分がズーミング中に変化しないズーミングチューブレンズを見つけることは非常に困難である。
　【００３３】
　チューブレンズ部は、ズーム中にその高次色収差が有意な量で変化しないように設計することが可能である。検出器アレイ１４０がズーム中に移動してもよい場合、設計上の問題はより簡単化されるが、系の残りの部分に対し像位置が固定されている場合と同じ程度には望ましくない。」
　
第４　検討・判断
１．「第２」の「１．」の拒絶理由について
（１）検討
　請求項６の記載に、本願の請求項６に係る発明の課題を解決するための、発明の詳細な説明に記載された具体的手段が反映されているかどうかについて検討する。
　本願の請求項６に係る発明の課題は、本願明細書等の記載（上記摘記事項（２）等参照）を参酌すれば、少なくとも「像収差、像収差の色変動、縦方向（軸方向）色及び横方向色を補正し、かつ、近紫外及び極紫外スペクトル帯域（０．２乃至０．４ミクロン）の超広スペクトル域に亘って残りの（２次及びより高次の）横方向色補正を含む、カタディオプトリック映像システムを提供すること」である。
　この点を踏まえて請求項６の記載（上記摘記事項（１）参照）を見ると、まず、（ａ）当該記載のうちの「高い開口数０．９を有し、０．２から０．４ミクロンの広いスペクトルの領域のカタディオプトリックの光学システムで物体を結像させる方法」の部分は、色収差の補正に関する事項を含んでいないことから、上記課題を解決するための具体的手段ではない。
（ｂ）また、「ズーム及び倍率を変化させることが可能であるズーミングチューブレンズ群でズームすること」という記載は、発明の構成を示唆するものではあるが、当該構成自体は周知のものであり、当該構成のみで上記課題が解決できないことは本願明細書等の記載に照らしても明らかであるから、課題を解決するための具体的手段となり得ない。
（ｃ）次に、「少なくとも二つの反射性の表面及び少なくとも一つの屈折性の表面の組み合わせを含み、前記ズーミングチューブレンズ群の補正されていない安定したより高い次数の色の収差の残余を補償するものである遠紫外を透過する屈折性の材料から作られたレンズ群を含む、カタディオプトリックのリレー群で前記物体を結像させること」の記載について検討する。
　当該記載のうちの「少なくとも二つの反射性の表面及び少なくとも一つの屈折性の表面の組み合わせを含み、」の部分は、上記（ｂ）と同様に、発明の構成を示唆するものではあるが、当該構成自体は周知のものであり、当該構成のみで上記課題が解決できないことは本願明細書等の記載に照らしても明らかであるから、課題を解決するための具体的手段となり得ない。
　そして、「前記ズーミングチューブレンズ群の補正されていない安定したより高い次数の色の収差の残余を補償するものである遠紫外を透過する屈折性の材料から作られたレンズ群を含む、カタディオプトリックのリレー群」の記載は、本願明細書の上記各記載に照らせば、本願各発明の課題そのものに他ならず、課題を解決するための具体的手段とはいえない。
　
（２）小括
　してみると、請求項６には、本願の請求項６に係る発明の課題を解決するための、発明の詳細な説明に記載された具体的手段が反映されているとはいえないから、発明の詳細な説明に記載した範囲を超えて特許を請求することとなる。
　したがって、本願は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
　
２．「第２」の「２．」の拒絶理由について
（１）検討
　本願明細書の段落【００３７】〜【００４０】には、本願の請求項６に記載した発明（以下「本願発明６」という。）の実施例に相当すると思われるレンズデータが記載されていることから、一見、当業者は当該記載に基き本願発明６を容易に実施することができるようにも見える。
　しかしながら、本願発明６を実施するということは、その記載内容からも明らかなとおり「ズーミングチューブレンズ群の補正されていない安定したより高い次数の色の収差の残余を補償するものである」光学システムを実現することに他ならないが、本願明細書の発明の詳細な説明の記載では、実施例として開示されているレンズデータに係るものの色収差が、具体的にどのような状態になっているのかを確認することができない。（各実施例における、ズームレンズ系及び全体のレンズ系についての色収差に関するデータが不明である。また、そのような事項が本願の優先日時点で自明の事項であるともいえない。）
　すなわち、当業者は当該レンズデータが本当に本願発明６に該当するのかどうかを確認することができない。
　
（２）小括
　してみると、本願明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本願各発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものとはいえないから、本願は、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。
　
第５　むすび 
　以上のとおりであるから、本願は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしておらず、また、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。したがって、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。