【事件の表示】
　特願２００９−５０７２８７「搬送装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年１０月　９日国際公開、ＷＯ２００８／１２０２９４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯  
　本件出願は、平成１９年３月２日を国際出願日とする特許出願であって、同２４年５月１０日付けで拒絶をすべき旨の査定がなされた。 
　これに対し、平成２４年８月７日に該査定の取消を求めて本件審判の請求がされるとともに手続補正書が提出され、同２５年１月２９日付けで当審から拒絶の理由が通知され、同２５年３月１日に意見書とともに特許請求の範囲及び明細書について手続補正書が提出されたものである。  
　  
第２　本願発明  
　本願の請求項１に係る発明は、平成２５年３月１日提出の手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認めるところ、その記載は以下のとおりである。  
「　【請求項１】
　真空室内に配置され、固定ベースと、この固定ベースに対して垂直軸を中心として旋回可能に保持された旋回ベースと、この旋回ベースに支持された直線移動機構と、この直線移動機構に支持されたハンドとを備え、
　上記旋回ベースの所望の旋回位置において上記直線移動機構の作動により上記ハンドに載置したワークを水平に保持しながら搬送する搬送装置であって、
　上記旋回ベースの下面側の適部に設けられた熱輻射面と、
　上記真空室を形成する壁のうち、上記旋回ベースの下面側と対向する壁の少なくとも一部に設けられ、かつ、平面視において上記旋回ベースの平面的な旋回領域を含む広さを有する熱吸収面と、
　上記熱吸収面によって吸収された熱を外部に放出するための冷却手段と、を備え、
　上記冷却手段は、上記垂直軸を中心として略同心円状に所定の間隔を隔てて設けられ、かつ、上記熱吸収面に接しつつ当該熱吸収面の所定領域に満遍なく面状に配置された部分を有する、冷媒を通すための配管、を含んで構成されていることを特徴とする、搬送装置。」（以下、請求項１に係る発明を「本願発明」という。）  
　
第３　引用刊行物記載の発明  
　これに対して、当審での平成２５年１月２９日付けの拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された下記刊行物には、以下の発明、あるいは事項が記載されていると認められる。  
　  
　刊行物１：国際公開第２００６／０６２１８３号 
　刊行物３：特開２００４−２９３１４号公報 
　刊行物４：特開平９−９２６１３号公報 
　   
１　刊行物１
（１）刊行物１記載の事項  
　刊行物１には、「搬送ロボット及び搬送装置」に関して、図面とともに、以下の事項が記載されている。  
　  
ア　特許請求の範囲の請求項１  
「［１］
　台座部と、
　支持軸によって前記台座部に支持されたアームとを有し、
　前記アームを移動させ、基板を搬送する搬送ロボットであって、
　前記台座部は、前記基板と対面可能な第一面と、前記第一面とは反対側の第二面とを有し、
　前記第二面には、表面処理によって、表面処理前の状態よりも輻射比が高くされた放熱側高輻射比部が配置され、
　前記放熱側高輻射比部と表面が対向して配置され、前記放熱側高輻射比部から放射される熱を受熱する受熱板とを有する搬送ロボット。」  
　　  
イ　段落［００２１］〜［００２２］
「［００２１］
　図１の符号１は本発明の搬送装置の一例を示しており、この搬送装置１は搬送ロボット２と、真空槽７とを有してる。
　搬送ロボット２は、板状のベースフランジ１５と、ベースフランジ１５の一面側に位置し、駆動力を発生させるモータ部１９（駆動系）と、ベースフランジ１５の他面側に位置し、モータ部１９の駆動力を受けて後述する基板を移動させる搬送系３とを有している。
［００２２］
　真空槽７の底壁にはベースフランジ１５の平面形状よりも小径の貫通孔が設けられており、搬送ロボット２は搬送系３が真空槽７内部に配置され、モータ部１９が真空槽７の外部に配置された状態で、ベースフランジ１５の縁部分が貫通孔の周囲に密着して取り付けられている。従って、貫通孔はベースフランジ１５で塞がれた状態になっている。」
　
ウ　段落［００２７］
「［００２７］
　搬送系３は台座部３０と、支持軸３５と、アーム２０とを有している。台座部３０は中空であって、その底壁が内筒１３の上端に固定されており、内筒１３が回転すると、内筒１３と一緒に台座部３０も中心軸線Ｂを中心として回転する。」
　
エ　段落［００３３］〜［００３４］
「［００３３］
　アーム２０は不図示のリンク機構を有しており、支持軸３５が回転するとそのリンク機構が動作し、アーム２０が伸縮する。
　図３は搬送ロボット２の真空槽７側に配置された部分の斜視図を示している。アーム２０の先端上にはハンド２５が取り付けられており、搬送対象物である基板９はこのハンド２５上に載置される。
 ［００３４］
　ハンド２５はアーム２０と一緒に移動するようになっているので、アーム２０の伸縮と台座部３０の回転によって、ハンド２５上の基板９が所望位置に搬送される。」
　
オ　段落［００３９］〜［００４０］
「 ［００３９］
　本発明の搬送ロボット２では、台座部３０はベースフランジ１５上に位置するため、台座部３０の下側の面（第二面）と、ベースフランジ１５の上側の面が対面している。
　台座部３０の下側の面と、ベースフランジ１５の上側の面に後述する表面処理が施され、放熱側高輻射比部４１と受熱側高輻射比部４２が形成されている。台座部３０の表面処理される前の平坦な表面の輻射比を前処理輻射比とすると、前処理輻射比は台座部３０がステンレス製の場合は０．４以下、台座部３０がアルミニウム製の場合は０.０５以上０．２以下であるのに対し、表面処理によって放熱側高輻射比部４１の輻射比と、受熱側高輻射比部４２の輻射比は０．４を超え、台座部３０の前処理輻射比よりも高くなっている。
［００４０］
　上述したように、台座部３０の下側の面とベースフランジ１５の上側の面は対面しているから、放熱側高輻射比部４１と受熱側高輻射比部４２は対向しており、台座部３０の熱は電磁波（例えば赤外線）に変換されて放熱側高輻射比部４１から放射され、その赤外線は受熱側高輻射比部４２に入射する。」    
　  
（２）刊行物１記載の発明  
　まず、上記摘記事項エに「アーム２０は不図示のリンク機構を有しており、支持軸３５が回転するとそのリンク機構が動作し、アーム２０が伸縮する」とあることから、これらをまとめて、支持軸３５、アーム２０及びリンク機構からなる移動機構、ということができる。
　次に、上記認定事項オの「台座部３０の下側の面」に「表面処理が施され、放熱側高輻射比部４１」「が形成されている。」との記載に関し、適部配置は設計の常識であることを踏まえ、台座部３０の下側の面の適部に設けられた放熱側高輻射比部４１、といえる。
　また、上記摘記事項オの「受熱側高輻射比部４２」は、「ベースフランジ１５の上側の面に」形成されたものであるところ、（ｉ）ベースフランジ１５は真空槽７の壁面の一部を構成しており、（ｉｉ）また、ベースフランジ１５の上側の面は台座部３０の下側の面の対向しているものであり、（ｉｉｉ）さらに、図２の記載を合理的に解釈すれば、受熱側高輻射比部４２は平面視において台座部３０の平面的な旋回領域を含む広さを有するものと認められる。したがって、該受熱側高輻射比部４２は、真空槽７を形成する壁のうち、台座部３０の下側の面の対向する壁の少なくとも一部に設けられ、かつ、平面視において台座部３０の平面的な旋回領域を含む広さを有する受熱側高輻射比部４２、ということができる。
　　
　そこで、刊行物１の上記摘記事項アないしオを図面を参照しつつ、技術常識を踏まえて本願発明に照らして整理すると、刊行物１には以下の発明が記載されていると認められる。  
「真空槽７内に配置され、ベースフランジ１５と、このベースフランジ１５に対して中心軸線Ｂを中心として旋回可能に保持された台座部３０と、この台座部３０に支持された支持軸３５、アーム２０及びリンク機構からなる移動機構と、この移動機構に支持されたハンド２５とを備え、
　上記台座部３０の所望の旋回位置において上記移動機構の作動により上記ハンド２５に載置した基板９を水平に保持しながら搬送する搬送装置であって、
　上記台座部３０の下側の面の適部に設けられた放熱側高輻射比部４１と、
　上記真空槽７を形成する壁のうち、上記台座部３０の下側の面と対向する壁の少なくとも一部に設けられ、かつ、平面視において上記台座部３０の平面的な旋回領域を含む広さを有する受熱側高輻射比部４２と、を備える、搬送装置。」（以下「刊行物１発明」という。）  
　
２　刊行物３
（１）刊行物３記載の事項
　刊行物３には、「光学素子冷却装置、光学素子冷却方法及び露光装置」に関して、図面とともに、以下の事項が記載されている。
 
ア　特許請求の範囲の請求項１
「【請求項１】
光学素子の光の入射・出射しない面に沿って近接配置された、該光学素子から熱輻射を受ける受熱板と、
該受熱板を冷却する冷却手段と、
を具備することを特徴とする光学素子冷却装置。」
　
イ　段落【００３１】〜【００３２】
「【００３１】
受熱板（第１受熱板）３は、ミラー１の裏面１ｂ及び側周面（反射面１ａ以外の部分）に沿って非接触で近接配置されている。この受熱板３は、ミラー１だけではなくミラー保持機構（図示されず）とも機械的に干渉しないように配置されている。受熱板３は、入射したＥＵＶ光の一部を吸収して熱エネルギの蓄積したミラー１から熱輻射を受ける。
【００３２】
受熱板３は、高輻射率・高熱伝導率の金属又はセラミックス製（例えばＡｌ２Ｏ３等）の薄板から形成されている。受熱板３を薄板状とすることで、ミラー１裏面側のスペースが確保し易くなり、ミラー１の厚さを薄くしなくて済む。そのため、ミラー１の剛性が低下せず、変形の可能性が低減されている。さらに、この薄板状の受熱板３の表面（ミラー１側を向いた面）又は表面の一部には、ミラー１から受熱板３への熱輻射率を高めるための加工が施されている。」
　
ウ　段落【００３５】
「【００３５】
図１に示すように、受熱板３には冷却機構５が接続されている。図２に示すように、冷却機構５は、受熱板３の反ミラー側の面に貼り付けられたヒートパイプ４と、このヒートパイプ４の端部に設けられた水冷ジャケット６からなる。冷却機構５は、図２に示す例では受熱板３の周方向に離れて計８個設けられている。各ヒートパイプ４の固定端４ａは受熱板３の中心に集められて固定されている。一方、各ヒートパイプ４の延出端４ｂは受熱板３の外方に延び出ており、端部に水冷ジャケット６が固定されている。ヒートパイプ４は、断面径（あるいは幅）が数ｍｍ以下のものを用いることができるので、小さなスペースに収納でき、真空中での使用が容易であり、通常の熱伝導よりも効率よく熱を伝えることができる。このような冷却機構５は、受熱板３の熱がヒートパイプ４の固定端４ａから吸収されて延出端４ｂ側へ高速で移動する。ヒートパイプ４の延出端４ｂの熱は、水冷ジャケット６で冷却される。」
　
エ　段落【００３６】
「【００３６】
なお、図１に示す受熱板３は、ミラー１の裏面１ｂ及び側周面に沿う形状を有しているが、これ以外に単なる平盤状（円盤状等）や半月状等、ミラー１の形状に合わせて熱移動効率が高くなる形状を採用することができる。その場合、冷却機構５のヒートパイプ４も、受熱板の形状に合わせて所望温度が得易い位置に配置する。あるいは、受熱板を複数の薄板で構成し、各々の受熱板にヒートパイプ等の冷却機構を設けてもよい。」
　
（３）刊行物３事項
　刊行物３の上記摘記事項アないしエを、図面を参照しつつ技術常識を踏まえて整理すると、刊行物３には以下の技術的事項が記載されていると認められる。  
「ミラー１の裏面側の熱輻射面と、
　上記ミラー１の裏面側と対向する位置に設けられ、かつ、ミラー１の裏面側及び側周面に沿う形状を有する受熱板３と、
　上記受熱板３によって吸収された熱を外部に放出するための冷却機構５と、を備え、
　上記冷却機構５は、受熱板３の中心から外方に延び出す周方向に離れて複数個設けられたヒートパイプ４とその端部に固定された水冷ジャケット６、を含んで構成されていること。」（以下「刊行物３事項」という。）
　
３　刊行物４記載の事項
（１）刊行物４記載の事項
　刊行物４には、「温調装置及び走査型露光装置」に関して、図面とともに、以下の事項が記載されている。
　
ア　特許請求の範囲の請求項１  
「【請求項１】  基板の温度を調整する温調装置であって、
前記基板に対向配置可能で温度制御可能な輻射プレートと；前記輻射プレートに所定の真空層を介して対向配置された赤外線透過窓と；前記輻射プレートと前記窓とを一体的に支持するとともに当該両者間及び前記真空層を断熱する断熱支持体とを有する温調装置。」
　
イ　段落【００３９】〜【００４１】
「【００３９】図３には、一方の温調装置１９ａの構成が示されている。この温調装置１９ａは、マスクパターン面ＰＡに対向して配置された輻射プレートとしての輻射冷却プレート２３と、この輻射冷却プレート２３に対向してレチクルＲ寄りに配置された赤外線透過窓２１と、これら両者２３、２１を一体的に保持すると共に、両者間及び両者間の空間２２を断熱する断熱支持体２５とを備えている。輻射冷却プレート２３と赤外線透過窓２１との間の空間２２は、真空断熱層とされている。すなわち、温調装置１９ａでは、輻射冷却プレート２３、真空断熱層２２、赤外線透過窓２１から成る層構造が採用されている。これは、このような層構造を採用することによって雰囲気気体への伝熱を少なくし、輻射冷却プレート２３の温度制御性を向上させるためである。・・・（中略）・・・
【００４１】前記輻射冷却プレート２３は、冷却配管２４の内部を通る冷媒との熱交換によって冷却されるようになっている。この輻射冷却プレート２３の温度は、温度センサ２６でモニタされ、その温度信号は図１に示される温調装置コントローラ１６に伝えられ、後述するようにして目標値に制御されるようになっている。輻射冷却プレート２３の温度制御は、前記冷媒の温度を変えることでも達成できるし、・・・（後略）」
　
（２）刊行物４事項
　刊行物４の上記摘記事項ア及びイを、図面（特に図３）を参照しつつ技術常識を踏まえて整理すると、刊行物４には以下の技術的事項が記載されていると認められる。  
「マスクパターン面ＰＡと、
　上記マスクパターン面ＰＡと対向する位置に設けられた輻射冷却プレート２３と、
　上記輻射冷却プレート２３によって吸収された熱を外部に放出するための冷却手段と、を備え、
　上記冷却手段は、冷却配管２４の内部を通る冷媒との熱交換によって冷却するものであること。」（以下「刊行物４事項」という。）
　
第４　対比  
　本願発明と刊行物１発明とを対比すると以下のとおりである。  
　刊行物１発明の「真空槽７」が本願発明の「真空室」に相当することは、技術常識に照らして明らかであり、以下同様に、「ベースフランジ１５」は「固定ベース」に、「中心軸線Ｂ」は「垂直軸」に、「台座部３０」は「旋回ベース」に、「ハンド２５」は「ハンド」に、「基板９」は「ワーク」に、「下側の面」は「下面側」に、「放熱側高輻射比部４１」は「熱輻射面」に、「受熱側高輻射比部４２」は「熱吸収面」にそれぞれ相当することも明らかである。  
　次に、刊行物１発明の「支持軸３５、アーム２０及びリンク機構からなる」「移動機構」と本願発明の「直線移動機構」は、移動機構、である限りにおいて共通する。
　 
　したがって、本願発明と刊行物１発明とは、以下の点で一致しているということができる。  
＜一致点＞  
「真空室内に配置され、固定ベースと、この固定ベースに対して垂直軸を中心として旋回可能に保持された旋回ベースと、この旋回ベースに支持された移動機構と、この移動機構に支持されたハンドとを備え、
　上記旋回ベースの所望の旋回位置において上記移動機構の作動により上記ハンドに載置したワークを水平に保持しながら搬送する搬送装置であって、
　上記旋回ベースの下面側の適部に設けられた熱輻射面と、
　上記真空室を形成する壁のうち、上記旋回ベースの下面側と対向する壁の少なくとも一部に設けられ、かつ、平面視において上記旋回ベースの平面的な旋回領域を含む広さを有する熱吸収面と、を備える、搬送装置。」  
　  
　そして、本願発明と刊行物１発明とは、以下の２点で相違している。  
１　＜相違点１＞  
　移動機構について、本願発明は、「直線移動機構」であるのに対し、刊行物１発明の「移動機構」は、そのようなものか不明である点。  
２　＜相違点２＞  
　本願発明は、「熱吸収面によって吸収された熱を外部に放出するための冷却手段」「を備え、上記冷却手段は、垂直軸を中心として略同心円状に所定の間隔を隔てて設けられ、かつ、上記熱吸収面に接しつつ当該熱吸収面の所定領域に満遍なく面状に配置された部分を有する、冷媒を通すための配管、を含んで構成されている」のに対し、刊行物１発明は、特にそのような（積極的な）冷却手段を有していない点。 
　　  
第５　相違点の検討  
１　＜相違点１＞について  
　旋回ベースの所望の旋回位置において直線移動機構の作動によりワークを水平に保持しながら搬送する搬送装置は、当審の拒絶理由通知にて示した、特開２００５−１２５４７９号公報（段落【００８３】、図１７等参照）に示されるように、従来周知の技術であり、かかる従来周知の直線移動機構を、同じ旋回ベースに支持された移動機構を備えた搬送装置たる刊行物１発明の移動機構に適用して、相違点１に係る本願発明の特定事項とすることは、当業者が容易に想到し得たものである。 
　  
２　＜相違点２＞について 
　上記第３の２（３）にて指摘したように、刊行物３事項は、  
「ミラー１の裏面側の熱輻射面と、
　上記ミラー１の裏面側と対向する位置に設けられ、かつ、ミラー１の裏面側及び側周面に沿う形状を有する受熱板３と、
　上記受熱板３によって吸収された熱を外部に放出するための冷却機構５と、を備え、
　上記冷却機構５は、受熱板３の中心から外方に延び出す周方向に離れて複数個設けられたヒートパイプ４とその端部に固定された水冷ジャケット６、を含んで構成されていること。」というものであるところ、これを本願発明の用語に倣って表現すれば、刊行物３事項の「裏面側」は「下面側」と表現でき、以下同様に、「受熱板３」は「熱吸収面」と、「冷却機構５」は「冷却手段」と表現できる。また、刊行物３事項の「ミラー１」と本願発明の「旋回ベース」は、発熱体である限りにおいて共通する。
　したがって、刊行物３事項は、
「発熱体の下面側の熱輻射面と、
　上記発熱体の下面側と対向する位置に設けられ、かつ、発熱体の下面側及び側周面に沿う形状を有する熱吸収面と、
　上記熱吸収面によって吸収された熱を外部に放出するための冷却手段と、を備え、
　上記冷却手段は、熱吸収面の中心から外方に延び出す周方向に離れて複数個設けられたヒートパイプ４とその端部に固定された水冷ジャケット６、を含んで構成されていること。」と言い換えることができる。  
　ここで、刊行物１発明と刊行物３事項は、いずれも、熱輻射を利用して冷却を行うものである点で共通しており、刊行物３に接した当業者が刊行物１発明に刊行物３事項を適用することを試みることに困難性はない。そうすると、刊行物１発明に刊行物３事項を適用して、受熱側高輻射比部４２（熱吸収面）によって吸収された熱を外部に放出するための冷却手段を備えることも、当業者が容易に推考し得るものというべきである。 
　 
　そして、そのように刊行物１発明に刊行物３事項を適用するにあたり、冷却手段として冷媒を通すための配管を用いることも、例えば上記第３の３（２）にて指摘した刊行物４事項も備えるように従来周知の事項であり、かかる従来周知の事項を刊行物３事項に併せて刊行物１発明に適用することに何ら困難性はない。
　次に、上記第３の２（１）エにて摘記したように、刊行物３には「その場合、冷却機構５のヒートパイプ４も、受熱板の形状に合わせて所望温度が得易い位置に配置する。」と記載されており、刊行物３には、冷却パイプを受熱体の形状に合わせて配置することの示唆があるといえる。さらに、同心円状の冷却配管は、例えば、特開平７−２７８６２７号公報（図１（ｂ）等を参照）に示されるように、ごく一般的なものである。
　これらを併せ考えると、刊行物３事項における、受熱板３の中心から外方に延び出す周方向に離れて複数個設けられたヒートパイプ４等からなる冷却手段の構成を刊行物１発明に適用するに際し、（軸対称円形の）受熱側高輻射比部４２（すなわち熱吸収面）の形状に合わせて冷却のためのパイプを配置すべく、軸対称円形形状のごく一般的な一態様である、軸中心の同心円状に間隔を隔てたパイプの配置とすることも、当業者が通常の創作能力の発揮によりなし得たことと解するのが相当である。
　
　以上から、刊行物１発明に刊行物３事項及び従来周知の事項を適用して相違点２に係る本願発明の特定事項とすることは、当業者が容易に想到し得たものである。
　 
３　本願発明の効果について  
　上記相違点１及び相違点２を総合的に勘案しても、刊行物１発明、刊行物３事項及び上記従来周知の事項から当業者であれば予測できない格別な効果が生じるとは考えられない。　  
　  
４　小括  
　したがって、本願発明は、刊行物１発明、刊行物３事項及び上記従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。  
　  
第６　むすび  
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１発明、刊行物３事項及び従来周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることがないものである。  
　したがって、本願はその余の請求項２ないし５に係る発明について検討するまでもなく、拒絶されるべきものである。  
　よって、結論のとおり審決する。