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　特願２００７−５０８６３８「ワークピース処理システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　４月２０日国際公開、ＷＯ２００６／０４１５３０、平成１９年１１月１５日国内公表、特表２００７−５３３１６７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯と本件発明
　本願は２００５年４月１８日の国際出願（優先権主張２００４年４月１６日、アメリカ合衆国）であって、平成２２年１２月２２日付拒絶理由通知に対して平成２３年４月５日に意見書と手続補正書とが提出されたが、平成２３年９月１２日付で拒絶査定がなされたものである。これに対し、本件審判が平成２４年１月２３日に請求されると同時に特許請求の範囲を補正対象とする手続補正書が提出され、当審の平成２４年３月１６日付審尋に対しては平成２４年７月２３日に回答書が提出され、平成２４年１０月２４日付拒絶理由通知に対しては平成２５年２月１４日に意見書と手続補正書とが提出されている。
　本願の請求項１ないし２２に係る発明は、平成２５年２月１４日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし２２に記載された事項により特定されるとおりのものと認めるところ、請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は次のとおりである。
「a）ロードロックハウジングで囲まれ、ワークピースを高圧領域から低圧領域へ、そして上記高圧領域へ戻す移送を行うために、上記高圧領域に対してそれぞれ異なる角度で対面する第１及び第２アクセス開口を含んで異なる二つの方向からアクセス可能な第1分離ロードロック、
b）上記ロードロックハウジングで囲まれ、ワークピースを高圧領域から低圧領域へ、そして上記高圧領域へ戻す移送を行うために、上記高圧領域に対してそれぞれ異なる角度で対面する第１及び第2アクセス開口を含んで異なる二つの方向からアクセス可能であり、第1分離ロードロックに隣接して該第１分離ロードロックと垂直方向に離れて配置される第2分離ロードロック、
c）低圧でワークピースを処理するための単一のワークピース処理ステーション、
d）それぞれ二つのアームを有し、上記第1及び第2分離ロードロックからワークピースを入手するように上記第１及び第２分離ロードロック内に移動できる、垂直方向に離れて配置された２個のアクティブな端部グリップエンドエフェクタを含み、２つの上記第1及び第2ワークピース分離ロードロックの一つから、ワークピース処理ステーションへワークピースを移送する第１ロボット、
e)上記第1及び第2分離ロードロックと上記ワークピース処理ステーションの中間位置に配置され、上記第１ロボットが一時的にワークピースを駐留させることができる駐留ステーション、
及び
f)上記低圧領域の外側の上記高圧領域内に配置され、ワークピースを、処理前に上記ワークピースのワークピース源から隣接するワークピース分離ロードロックへ移送し、上記処理後に隣接するワークピース分離ロードロックから上記ワークピースの行き先へ移送するために、与えられたワークピース分離ロードロックの上記第１及び第2アクセス開口のうちの特定の一つに対して、そのアクセス開口を通じてワークピースを移動するための対面関係をそれぞれが有するように並べられた、複数の他のロボット、
を含む、低圧でワークピースを処理するためのツールを使用するワークピース移送システム。」
　なお、上記中、「第1及び第2ワークピース分離ロードロック」は「第1及び第2分離ロードロック」を指すものと認められるため、以下においては両者とも「第1及び第2分離ロードロック」として扱う。
　
２．当審の拒絶理由の概要
　当審が平成２４年１０月２４日付で通知した拒絶理由は、概略、本願の請求項１ないし２２に係る発明は、以下の刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
　　刊行物１：　　特開２０００−　１２６４７号公報
　　刊行物２：　　特開２０００−３２３５５１号公報
　
３．刊行物に記載された発明または事項
3.1　刊行物１
　刊行物１には以下の記載が見られる。
ａ．（発明の詳細な説明、段落１８〜２３）
「【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明におけるウエハ搬送装置１０の概略構成図であり、図７にその全体構造を示すイオン注入装置１の端部ステーション２として配置されている。図１において、このウエハ搬送装置１０は、イオンを注入してウエハを処理する真空室３（破断線でハウジング断面の一部のみを示す）へロードロック室４を介してウエハ５を給排するローディング部６からなっている。
【００１９】このローディング部６は、大気中に置かれたプラットフォーム８上に、ほぼ中央に位置するアライナ１２と、これに対向配置された２つのウエハ搬送用のロボット１４，１５と、各ロボットに対応して隣接配置された一対のカセットステーション１６，１７を備えている。
【００２０】アライナ１２は、公知の装置で、ウエハをイオン注入に適した角度方向に位置合わせするために、回転可能なポジショナーに対して装置本体に固定配置されたセンサ発光側プレート及びセンサ受光側プレートを介してウエハの位置決め用カット面やノッチを検出して位置合わせする装置である。
【００２１】ウエハ搬送用のロボット１４（１５）は、図３，図４において後述する３軸アームロボットであり、プラットフォーム８上の所定位置に固定され、ウエハ５（５’）を保持して、ロードロック室４およびカセットステーション１６（１７）内にウエハを給排するためのアーム構造を有し、上下移動、回転および前後移動が可能になっている。
【００２２】また、カセットステーション１６，１７は、多数のウエハ５を積み重ねて格納する取り外し自在のカセット１８を備え、対応するロボット１４，１５に対面する位置に回転可能な構造を有しており、対応するロボットがそのステーションから未処理のウエハ５を取り出す時、また逆に、処理済のウエハ５を格納する時に、開口部がロボットに対面する方向に向くように所定角度旋回する。
【００２３】本実施形態では、このカセットステーション１６，１７は、プラットフォーム８上の一端部側に各ロボットに対して２つ隣接して配置され、全体として４つ設けられている。なお、カセットステーション１６，１７は、各ロボットに対して必要な数だけ配置できるので、スペースに余裕のある限り、４つ以上設置可能である。」
ｂ．（同、段落３１〜３７）
「【００３１】図５，図６において、ロードロック室４は、上側ロードロック室３１と下側ロードロック室３２に分割されており、上側ロードロック室３１には、ローディング部６のロボットのアーム２３が挿入できるようにカバー部材３３の側壁に２つのロックドア３４，３５（図１では、その平面配置を示す）が設けられている。
【００３２】本実施形態では、アライナ１２を中心にして対向配置された２つのロボット１４，１５に対応して、それぞれ専用のドアを設けたが、通常のように、より大きなドアを中央部に配置することも可能である。このドアは、フラップ形式のもので、底部が上方に旋回して開くヒンジ構造を有し、内側面にシールリング３６が取付られ、ドアの閉鎖時に完全に外気から遮断される。
【００３３】ロードロック室４内には、上面にウエハ５，５’を載置するためのウエハ受取りプラテン４０を備える支持台４１が設けられている。支持台４１は、その上面の周囲にシール４３を有し、底部に支軸４２が連結されている。この支軸４２は、図６に見るように、下側ロードロック室３２を貫通してロードロック室４の下側に配置された回転式アクチュエータを有する駆動機構４４に連結されて垂直方向に移動できるようになっている。
【００３４】図５において、駆動機構４４のハウジング４５は、下側ロードロック室３２の底部に固定され、一方、カバー部材３３は、ロードロック室４内を完全に包囲するとともにカバー部材３３の頂部壁がウエハを処理する真空室３の壁面部分に接続されて、全体として端部ステーション２のハウジング３８を構成している。
【００３５】ウエハ受取りプラテン４０は、駆動機構４４により垂直方向に昇降し、支持台４１の上面に設けたシール４３がカバー部材３３の内壁に取り付けたストッパ部材４５に当接する上昇位置と、下側ロードロック室３２の底面に対して支持台の下端部が当接する降下位置との間を正確に垂直移動する。このプラテン４０の上昇位置では、シール４３がストッパ部材４５に密着して上側ロードロック室３１と下側ロードロック室３２の間が完全に閉鎖（アイソレーションバルブの閉じ状態）され、その結果、上側ロードロック室３１を大気圧にして、ロボット１４，１５がウエハ５，５’を上側ロードロック室３１内に挿入できるようになる。そして、ロックドア３４，３５を閉じて上側ロードロック室３１を真空引きした後、プラテン４０の降下位置において、ウエハを真空室３へ真空搬送することが可能となる。
【００３６】一方、真空室３内には、図６に見るように、ウエハ移送アームアセンブリ５０が配置されており、このアセンブリを中心にして、ロードロック室４のウエハ受取りプラテン４０に対向する反対側の位置に、ウエハ受取りプラテン４０と同様にウエハ５を所定位置に保持するイオン注入時のウエハ保持用の静電式プラテン５５を有するプラテンアセンブリ５２が設けられている。
【００３７】ウエハ移送アームアセンブリ５０の上部には、回転可能なトランスファアーム２０が取付けられ、その両端部にウエハを保持するためのリング形状の保持部５１を有している。また、トランスファアーム２０は、真空室３とロードロック室４との間で、ウエハ５またはウエハ５’を真空搬送するために、真空室３に固定されてそれから突出しているハウジング５２及びベローズ５３内に線形移動可能な内軸と回転駆動可能な外軸とを備え、上下移動と回転駆動することができる。」
ｃ．（図１）
　ロードロック室４の２つのロックドア３４，３５が、ローディング部６に対してそれぞれ異なる角度で対面し、ロードロック室４は異なる２つの方向からアクセス可能であること、及び、２つのウエハ搬送用ロボット１４，１５は、与えられた上記ロックドア３４，３５のうちの特定の一つに対して、そのロックドアを通じてウエハ５を移動するための対面関係をそれぞれが有すること、が理解される。
　
　上記載事項を、本件発明の記載に沿って整理すると、「イオン注入装置１」はウエハ５を処理するためのツールであるから、刊行物１には次の発明は記載されていると認められる。
「カバー部材３３で囲まれ、ウエハ５を大気中のローディング部６から真空室３へ、そして上記ローディング部６へ戻す移送を行うために、上記ローディング部６に対してそれぞれ異なる角度で対面するロックドア３４，３５を含んで異なる二つの方向からアクセス可能なロードロック室４、
　真空室３中でウエハ５を処理するための単一のイオン注入装置１、
　上記ロードロック室４からウエハ５を入手するように上記ロードロック室４内に移動できる保持部５１を含み、上記ロードロック室４から、イオン注入装置１へウエハ５を移送するウエハ移送アームアセンブリ５０、及び
　上記真空室３の外側の上記ローディング部６内に配置され、ウエハ５を、処理前にカセットステーション１６，１７から隣接するロードロック室４へ移送し、上記処理後に隣接するロードロック室４からカセットステーション１６，１７へ移送するために、与えられたロードロック室４の上記ロックドア３４，３５のうちの特定の一つに対して、そのロックドアを通じてウエハ５を移動するための対面関係をそれぞれが有するように並べられた、２つのウエハ搬送用ロボット１４，１５、
　を含む、真空中でウエハ５を処理するためのツールを使用するウエハ搬送装置。」（以下、「刊行物１記載の発明」という。）
　
3.2　刊行物２
　刊行物２には以下の記載が見られる。
ａ．（発明の詳細な説明、段落１０，１１）
「【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態について説明する。まず、図１及び図２を用いて本願発明の第一の実施形態について説明する。図１は、本願発明の第一の実施形態の基板処理装置の構成を示す平面概略図であり、図２は、図１の装置のＸ−Ｘでの断面概略図である。図１に示す装置は、内部で基板９に対して所定の処理がなされる処理チャンバー１１，１２と、処理チャンバー１１，１２に対して気密に連続しているロードロックチャンバー２と、ロードロックチャンバー２を経由して大気側と処理チャンバー１１，１２との間で基板９の搬送を行う搬送機構とを備えている。
【００１１】本実施形態の装置では、真ん中にセパレーションチャンバー３が設けられている。そして、セパレーションチャンバー３の一方の側に処理チャンバー１１，１２が気密に接続されており、他方のロードロックチャンバー２が気密に接続されている。尚、「処理チャンバーに対して気密に連続しているロードロックチャンバー」とは、処理チャンバー１１，１２に対してロードロックチャンバー２が直接接続されている場合も含む概念である。」
ｂ．（同、段落１８）
「【００１８】また、本実施形態では、このようなロードロックチャンバー２が二つ設けられており、この二つのロードロックチャンバー２は積層されている。図１及び図２から分かるように、セパレーションチャンバー３は四角筒状のものであり、その一つの側面に二つのロードロックチャンバー２が接続されている。このように二つのロードロックチャンバー２を設けることは生産性向上を考慮してのことであるが、それを積層することで、占有面積の低減を図っている。尚、本明細書で、「積層」とは、二つの部材が上下に重なって設けられていることをいうが、完全に重なっている必要はなく、平面視で半分以上が重なっているものをいうものとする。」
ｃ．（同、段落２３，２４）
「【００２３】次に、ロードロックチャンバー２以外の構成について説明する。まず、ロードロックチャンバー２の外の大気側には、外部カセット６０を配置するロードステーション６が設けられている。ロードステーション６は、所定数の基板９を収容した外部カセット６０を所定位置に保持するためのものである。そして、オートローダ４１は、外部カセット６０から基板９を一枚取り出して一つのロードロックチャンバー２のロック内カセットに搬送することが可能となっている。このオートローダ４１には、アームの先端に基板９を載せて搬送する多関節ロボットが採用されている。オートローダ４１は、アームを水平面内で移動させることが可能であるとともにアームを上下動させることが可能となっている。尚、ロードステーション６とオートローダ４１が一体となったものを使用することもある。
【００２４】また、セパレーションチャンバー３内に設けられた搬送ロボット４２には、オートローダ４１と同様に、アームの先端に基板９を載せて搬送する多関節ロボットが採用されている。この多関節ロボットも、水平面内でのアームの移動が可能であるとともにアームを上下動させることが可能となっている。但し、セパレーションチャンバー３内は真空雰囲気なので、真空中で動作するものが採用されている。また、搬送ロボット４２は、オートローダ４１とは異なり、同時に二枚の基板９を搬送できるよう二つのアームを備えている。二つのアームは、独立又は連動して移動することが可能となっている。」
ｄ．（図１，２）
　セパレーションチャンバー３は、ロードロックチャンバー２と処理チャンバー１１，１２との中間に位置し、基板をアームに載せた搬送ロボット４２がセパレーションチャンバー３の内部を上下動することが理解される。
　
　上記を整理すると、刊行物２には以下の事項が記載されていると認められる。
「基板処理装置において、２つのロードロックチャンバー２を、互いに隣接して垂直方向に離して配置すること、及び、ロードロックチャンバー２と処理チャンバー１１，１２との中間位置に、セパレーションチャンバー３を備え、搬送ロボット４２のアームが基板を載せてセパレーションチャンバー３内を上下移動すること。」（以下、「刊行物２記載の事項」という。）
　
４．対比
　本件発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、以下のとおりである。
　後者の「カバー部材３３」、「ウエハ５」、「真空室３」、「ロックドア３４，３５」、「ロードロック室４」、「イオン注入装置１」、「保持部５１」、「ウエハ移送アームアセンブリ５０」及び「２つのウエハ搬送用ロボット１４，１５」が、本件発明の「ロードロックハウジング」、「ワークピース」、「低圧領域」、「第1及び第2アクセス開口」、「第１分離ロードロック」、「ワークピース処理ステーション」、「エンドエフェクタ」、「第１ロボット」及び「複数の他のロボット」にそれぞれ相当することは明白であり、後者の「カセットステーション１６，１７」が前者の「ワークピース源」及び「ワークピースの行き先」に相当することも明白である。
　また、後者の「ローディング部６」は大気中にあるから、真空室３すなわち本件発明の低圧領域に対する「高圧領域」に相当する。
　そして、後者の「ウエハ搬送装置」は、「ワークピース移送システム」とも呼ぶことができるものである。
　そうすると、本件発明と刊行物１記載の発明とは、以下の点で一致及び相違すると認められる。
＜一致点＞
「ロードロックハウジングで囲まれ、ワークピースを高圧領域から低圧領域へ、そして上記高圧領域へ戻す移送を行うために、上記高圧領域に対してそれぞれ異なる角度で対面する第１及び第２アクセス開口を含んで異なる二つの方向からアクセス可能な第１分離ロードロック、
　低圧でワークピースを処理するための単一のワークピース処理ステーション、
　上記第１分離ロードロックからワークピースを入手するように上記第１分離ロードロック内に移動できるエンドエフェクタを含み、上記第１分離ロードロックから、ワークピース処理ステーションへワークピースを移送する第１ロボット、
及び
　上記低圧領域の外側の上記高圧領域内に配置され、ワークピースを、処理前にワークピース源から隣接する分離ロードロックへ移送し、上記処理後に隣接する分離ロードロックからワークピースの行き先へ移送するために、与えられた分離ロードロックの上記第１及び第２アクセス開口のうちの特定の一つに対して、そのアクセス開口を通じてワークピースを移動するための対面関係をそれぞれが有するように並べられた、複数の他のロボット、
　を含む、低圧でワークピースを処理するためのツールを使用するワークピース移送システム。」である点。
＜相違点１＞
　本件発明は、第１分離ロードロックと同様の構成を有し、第１分離ロードロックに隣接して該第１分離ロードロックと垂直方向に離れて配置される第２分離ロードロックをもつのに対し、刊行物１記載の発明は第２分離ロードロックをもたない点。
＜相違点２＞
　第１ロボットは、本件発明ではそれぞれ二つのアームを有し、第１及び第２分離ロードロックからワークピースを入手するように第１及び第２分離ロードロック内に移動できる、垂直方向に離れて配置された２個のアクティブな端部グリップエンドエフェクタを含み、第１及び第２分離ロードロックの一つから、ワークピース処理ステーションへワークピースを移送するのに対し、刊行物１記載の発明ではそのようなものではない点。
＜相違点３＞
　本件発明は、第１及び第２分離ロードロックとワークピース処理ステーションの中間位置に配置され、第１ロボットが一時的にワークピースを駐留させることができる駐留ステーションをもつのに対し、刊行物１記載の発明は駐留ステーションをもたない点。
　
５．当審の判断
　上記相違点について検討する。
　
5.1　＜相違点１＞について
　刊行物２には、基板処理装置において、２つのロードロックチャンバーを、互いに隣接して垂直方向に離して配置することが記載されているところ、「基板」が「ワークピース」に、「ロードロックチャンバー」が「分離ロードロック」に、それぞれ相当することは明白である。また、刊行物２記載の「基板処理装置」には基板を移送する「ワークピース移送システム」が含まれることは当業者にとって明らかである。
　刊行物２記載の事項はシステムのスループットを向上させることを目的とするものであるところ、スループットの向上はワークピース処理システムにおいては当業者が常に念頭に置く課題であるから、刊行物１記載の発明に刊行物２記載の事項を適用して相違点１に係る発明特定事項を本件発明のものとすることは、当業者が当然試みるものであり、そのことによる効果も刊行物２記載の事項の効果と変わるところがない。
　
5.2　＜相違点２＞について
　上下に配置されたワークピース処理ステーションからワークピースを入手するように上下の処理ステーション内に移動でき、垂直方向に離れて配置された２個のアクティブな端部エンドエフェクタを含み、上下いずれの処理ステーションにもワークピースを移送することができる移送用ロボットは、例えば特開平８−２８８３５７号公報、特開２０００−１２４１２８号公報、特開２０００−１５０３３８号公報に示されるように従来周知のものである。上記周知技術を、ワークピース処理ステーションのみならず、互いに同一の機能を持ち、上下に配置された分離ロードロックのような、他の装置に対する給排にも適用することは、当業者が容易に想到し得る。
　また、移送用ロボットにおいて、２つのアームをもつ端部グリップエンドエフェクタを備えることも、例えば特開平１１−３０７６０８号公報や実開平５−７９９４１号公報に示されるように従来周知であり、上記周知技術の垂直方向に離れて配置された２個のアクティブな端部エンドエフェクタを含む移送用ロボットにこのような端部グリップエンドエフェクタを備えて、本件発明の第１ロボットにとすることには困難性はなく、このことにより格別の作用効果を生じることもない。
　
5.3　＜相違点３＞について
　本件発明において「駐留ステーション」とは、本願の明細書の段落１７及び２５の記載を参酌すると、駐留ステーションにもたらされた第１ロボットのエンドエフェクタが、駐留ステーション内で上下に移動することによって、各エンドエフェクタに保持されたワークピースが第１及び第２分離ロードロックに対応する垂直位置に移動する場所を指し、エンドエフェクタが上下に移動する間、ワークピースは駐留ステーション内に駐留するものと認められる。
　刊行物２には、基板処理装置において、ロードロックチャンバーと処理チャンバーとの中間位置に、セパレーションチャンバーを備え、搬送ロボットのアームが基板を載せてセパレーションチャンバー内を上下移動することが記載されており、アームに載置された基板が垂直方向に離して設けられた２つのロードロックチャンバーに対応する垂直位置に移動する間、基板がセパレーションチャンバー内にとどまることは明らかであるから、刊行物２記載の事項の「セパレーションチャンバー」は本件発明の「駐留ステーション」に相当するものということができる。
　5.1で相違点１について述べたとおり、刊行物２記載の事項を刊行物１記載の発明に適用し、相違点３に係る発明特定事項も本件発明のものとすることは容易である。
　
5.4　まとめ
　本件発明には刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び従来周知の技術事項に基づいて普通に予測される範囲を超える格別の作用効果を見出すこともできないから、本件発明は刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び従来周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項並びに従来周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきである。
　よって、結論のとおり審決する。
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