(57)【要約】      （修正有）【課題】イオン注入装置における高度のイオン衝撃部位を有するデバイスに適し、且つフッ素化合物を含む気体又は酸化物を含む気体がある高温の稼働環境（500〜900℃）において、例えばイオンチャンバ、イオンチャンバ出口などの耐用年数が2〜5倍になる炭化タングステンでコーティングされるタングステン製のイオン注入構造を提供する。【解決手段】主体層100及び炭化タングステンコーティング層110を含み、主体層はタングステン金属を含む化合物又は純粋なタングステン金属であり、主体層の上に炭化タングステンコーティング層が設けられる。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
炭化タングステンでコーティングされるタングステン製のイオン注入構造であって、以下を含む：
主体層であって、該主体層はタングステン金属を含む化合物又は純粋なタングステン金属である；及び
炭化タングステンコーティング層であって、該炭化タングステンコーティング層は該主体層の上に設けられる。
【請求項２】
請求項1に記載の炭化タングステンでコーティングされるタングステン製のイオン注入構造を有するイオン注入装置であって、そのうち以下を含む：
主機ユニットであって、電圧を提供する；及び
イオンチャンバであって、該イオンチャンバは該主機ユニットと連結され、且つ真空を保持し、そのうち該イオンチャンバは以下を含む：
底板であって、該主機ユニットと連結される；
四つのバッフルであって、そのうちそれぞれの該バッフルの底辺は該底板と連結され、それぞれの該バッフルの二つの側縁は隣接する該バッフルと連結される；
イオンチャンバ出口であって、そのうち該イオンチャンバ出口はそれぞれの該バッフルの上縁と連結される；
四つの側板であって、そのうちそれぞれの該側板は対応するそれぞれの該バッフルと連結される；及び
そのうち該底板、それぞれの該バッフル、該イオンチャンバ出口の一つ又は任意の二つ以上は該主体層である。
【請求項３】
請求項1に記載の炭化タングステンでコーティングされるタングステン製のイオン注入構造を有するイオン注入装置であって、そのうち以下を含む：
主機ユニットであって、電圧を提供する；及び
イオンチャンバであって、該イオンチャンバは該主機ユニットと連結され、且つ真空を保持し、そのうち該イオンチャンバは以下を含む：
底板であって、該主機ユニットと連結される；
四つのバッフルであって、そのうちそれぞれの該バッフルの底辺は該底板と連結され、それぞれの該バッフルの二つの側縁は隣接する該バッフルと連結される；
第一イオンチャンバ出口であって、そのうち該イオンチャンバ出口はそれぞれの該バッフルの上縁と連結される；
第二イオンチャンバ出口であって、そのうち該第二イオンチャンバ出口は該第一イオンチャンバ出口の上に設けられる；及び
四つの側板であって、そのうちそれぞれの該側板は対応するそれぞれの該バッフルと連結される；
そのうち該底板、それぞれの該バッフル、該第一イオンチャンバ出口、該第二イオンチャンバ出口の一つ又は任意の二つ以上は該主体層である。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本創作は炭化タングステンでコーティングされるタングステン製のイオン注入構造に関し、特に炭化タングステンコーティングによってイオン注入装置の耐用年数を向上させる構造である。
【背景技術】
【０００２】
従来のイオン注入装置は設計不良のせいで、気体が侵入しイオンチャンバにコーティング層(Coating)を生成してアーク放電(Arcing)という現象を引き起こすことは多い。
【０００３】
ここにおいてコーティング層が生成する主因はイオンが生成してアークチャンバ(Arc chamber)本体の内部に通される気体の約80%を分離することはできなく、且つソースチャンバ(Source chamber)まで拡散し、アークチャンバのビーム(Beam)送信端から最も近く離れる電極は分離されない気体に接触し、それによりこの分離されない気体は高圧絶縁体の表面に付着してコーティング層を生成し、それで絶縁効果を低下させる。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
このため、如何なるイオン注入装置の耐用年数及び耐久性を保持するかなどという問題は既に、各方に研究される課題になっている。ここから見ると、上記従来の手段に複数の欠陥が存在しているが、本当によい設計ではなく、早期に改良すべきであることが分かる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本創作は炭化タングステンでコーティングされるタングステン製のイオン注入構造を提供し、主体層及び炭化タングステンコーティング層を含み、そのうち主体層はタングステン金属を含む化合物又は純粋のタングステン金属及び主体層の上に設けられる炭化タングステンコーティング層である。
【０００６】
本創作は炭化タングステンでコーティングされるタングステン製のイオン注入構造を有するイオン注入装置を提供し、主に主機ユニット及びイオンチャンバを含む。そのうちイオンチャンバは主機ユニットと連結され且つ主機ユニットで提供される電圧を受け、イオンチャンバの中は真空を保持し且つ更に底板、四つのバッフル、四つの側板及びイオンチャンバ出口を含む。そのうち底板は主機ユニットと連結され、四つのバッフルの底辺は底板と連結され、それぞれのバッフルの二つの側縁はもう二つの隣接するバッフルと連結され、それぞれのバッフルの片側に更に側板が設けられ、及びイオンチャンバ出口はそれぞれのバッフルの上縁と連結される。
【０００７】
本創作は炭化タングステンでコーティングされるタングステン製のイオン注入構造を有するイオン注入装置を提供し、主に主機ユニット及びイオンチャンバを含む。そのうちイオンチャンバは主機ユニットと連結され且つ主機ユニットに提供される電圧を受け、イオンチャンバの中は真空を保持し且つ更に底板、四つのバッフル、四つの側板、第一イオンチャンバ出口及び第二イオンチャンバ出口を含む。そのうち底板は主機ユニットと連結され、四つのバッフルの底辺は底板と連結され、それぞれのバッフルの二つの側縁はもう二つの隣接するバッフルと連結され、それぞれのバッフルの片側に側板が設けられ、及び第一イオンチャンバ出口はそれぞれのバッフルの上縁と連結され、第二イオンチャンバは第一イオンチャンバ出口の上方に設けられる。
【考案の効果】
【０００８】
本案は従来技術と比べると、タングステン金属を含む化合物又は純粋のタングステン金属である主体層は硬度が良いである他、その表面に更に炭化タングステンコーティング層を有し、特にイオン注入装置における高度なイオン衝撃部位を有するデバイスに適し、且つフッ素化合物を含む気体又は酸化物を含む気体がある高温の稼働環境（500〜900℃）において、例えばイオンチャンバ、イオンチャンバ出口など、その耐用年数は従来技術の2〜5倍になる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本創作の炭化タングステンでコーティングされるタングステン製のイオン注入構造の断面図である。
【図２】本創作のイオン注入構造の案内図である。
【図３】本創作のもう一つのイオン注入構造の案内図である。
【考案を実施するための形態】
【００１０】
図１に参照してください。それは本創作の炭化タングステンでコーティングされるタングステン製のイオン注入構造の案内図であって、図に示すように、主体層100及び炭化タングステンコーティング層110を含み、そのうち主体層100はタングステン金属を含む化合物又は純粋なタングステン金属であり、及び主体層100の上表面に設けられる炭化タングステンコーティング層110は、フッ素化合物を含む気体又は酸化物を含む気体の腐食を抵抗する特性を有する。
【００１１】
図２に参照してください。それは本創作のイオン注入構造の案内図であって、図に示すように、イオン注入装置200は主に主機ユニット210及びイオンチャンバ220を含む。そのうちイオンチャンバ220は主機ユニット210と連結され且つ主機ユニット210で提供される電圧を受け、イオンチャンバ220の中は真空を保持し且つ更に底板221、四つのバッフル222、四つの側板223及びイオンチャンバ出口230を含む。そのうち底板221は主機ユニット210と連結され、四つのバッフル222の底辺は底板221と連結され、それぞれのバッフル222の二つの側縁はもう二つの隣接するバッフル222と連結され、それぞれのバッフル222の片側に更に側板223が設けられ、及びイオンチャンバ出口230はそれぞれのバッフル222の上縁と連結され、そのうちイオンチャンバ220におけるそれぞれのデバイスの一つ又は二つ以上は主体層100とすることができ、且つ炭化タングステンコーティング層110によって高度なイオン衝撃を抵抗する特性を有し、耐用年数は従来技術の2〜5倍になる。
【００１２】
図３に参照してください。それは本創作のもう一つのイオン注入構造の案内図であって、図に示すように、イオン注入装置300は主に主機ユニット310及びイオンチャンバ320を含む。そのうちイオンチャンバ320は主機ユニット310と連結され且つ主機ユニット310に提供される電圧を受け、イオンチャンバ320の中は真空を保持し且つ更に底板321、四つのバッフル322、四つの側板323、第一イオンチャンバ出口330及び第二イオンチャンバ出口340を含む。そのうち底板321は主機ユニット310と連結され、四つのバッフル322の底辺は底板321と連結され、それぞれのバッフル322の二つの側縁はもう二つの隣接するバッフル322と連結され、それぞれのバッフル322の片側に更に側板323が設けられ、及び第一イオンチャンバ出口330はそれぞれのバッフル322の上縁と連結され、第一イオンチャンバ出口330の上方に更に第二イオンチャンバ出口340が設けられ、そのうちイオンチャンバ320におけるそれぞれのデバイスの一つ又は二つ以上は主体層100とすることができ、且つ炭化タングステンコーティング層110によって高度なイオン衝撃を抵抗する特性を有し、耐用年数は従来技術の2〜5倍になる。
【符号の説明】
【００１３】
１００      主体層
１１０      炭化タングステンコーティング層
２００      イオン注入装置
２１０      主機ユニット
２２０      イオンチャンバ
２２１      底板
２２２      バッフル
２２３      側板
２３０      イオンチャンバ出口
３００      イオン注入装置
３１０      主機ユニット
３２０      イオンチャンバ
３２１      底板
３２２      バッフル
３２３      側板
３３０      第一イオンチャンバ出口
３４０      第二イオンチャンバ出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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