【事件の表示】
　特願２０００−３６４３４８「基板搬送用ロボット」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　６月１１日出願公開、特開２００２−１６６３７６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成１２年１１月３０日の特許出願であって、同２１年６月１６日付けで拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同２１年９月１１日に意見書と共に明細書について手続補正書が提出されたが、同２２年３月３０日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同２２年７月２６日に本件審判の請求がされ、同時に明細書について再度手続補正書が提出されたものである。
　その後、当審の同２３年４月２２日付けの審尋に対して、同２３年７月５日に回答書が提出された。
　
第２　平成２２年７月２６日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成２２年７月２６日付けの手続補正を却下する。
［理由］
１　補正の内容の概要
　平成２２年７月２６日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲について補正をすると共にそれに関連して発明の詳細な説明の一部について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
（１）補正前
「ロボット本体内に、第１のモータ（Ｍ１）により回転駆動され、旋回軸心（Ｑ）を有する回転基台（３）が備えられ、
　前記回転基台（３）の上部には、第２のモータ（Ｍ２）により回転駆動され、前記旋回軸心（Ｑ）と同軸に配置された第１支軸（４）が、該回転基台（３）の回動とは無関係の状態に突出させられ、
　前記第１支軸（４）には、第１アーム（５）の一端部が取り付けられ、
　前記第１アーム（５）の他端部には、該第１アーム（５）の回動とともに、該第１アーム（５）の体内でプーリおよびタイミングベルトを介して２：１のギア比で回動されることとなる第２支軸（６）が、該第１アーム（５）の回動とは無関係の状態に突出させられ、
　前記第２支軸（６）には、第２アーム（７）の一端部が取り付けられ、
　前記第２アーム（７）の他端部には、該第２アーム（７）の回動とともに、該第２アーム（７）の体内でプーリおよびタイミングベルトを介して１：２のギア比で回動されることとなる第３支軸（８）が、該第２アーム（７）の回動とは無関係の状態に突出させられ、
　前記第１・第２支軸（４）・（６）間の距離と前記第２・第３支軸（６）・（８）間の距離とは、同じにされており、
　前記第３支軸（８）には、第３アーム（９）の一端部が取り付けられ、
　前記第３アーム（９）の他端部には、基板を保持するためのハンド（10）が固設され、
　前記回転基台（３）の回転角度をθとし、前記第１アーム（５）の回転角度をφとしたとき、前記ハンド（10）が保持する前記基板の中心の一点が前記旋回軸心（Ｑ）から外れて前記ハンド（10）の到達範囲内にある任意の方向の直線（Ｈ）上を前記ロボット本体に対して直線移動し、前記基板が回転しながら容器に受け渡し・取り出しされるように、これらの回転角度θとφとをそれぞれ制御する制御装置が設けられ、
　前記制御装置は、
　前記第１アーム（５）、前記第２アーム（７）、および前記第３アーム（９）を、回転させつつ、前記基板の中心の一点を、前記旋回軸心（Ｑ）から一定距離ｈだけ外れて、かつ、前記ハンド（10）の到達範囲内にある任意の方向の直線（Ｈ）上を、前記ロボット本体に対して直線移動させる際、
　前記第１・第２支軸（４）・（６）間の距離＝前記第２・第３支軸（６）・（８）間の距離＝Ｌ、前記第３支軸（８）と前記基板の中心との間の距離＝ｍ、としたとき、
　｛ｍ＋２Ｌsin(φ) ｝sin(θ) ＝ｈ（一定）
を満足するように、前記第１のモータ（Ｍ１）および前記第２のモータ（Ｍ２）の回転を制御し、前記回転角度θと前記回転角度φとをそれぞれ制御するものである
ことを特徴とする基板搬送用ロボット。」
（２）補正後
「ロボット本体内に、第１のモータ（Ｍ１）により回転駆動され、旋回軸心（Ｑ）を有する回転基台（３）が備えられ、
　前記回転基台（３）の上部には、第２のモータ（Ｍ２）により回転駆動され、前記旋回軸心（Ｑ）と同軸に配置された第１支軸（４）が、該回転基台（３）の回動とは無関係の状態に突出させられ、
　前記第１支軸（４）には、第１アーム（５）の一端部が取り付けられ、
　前記第１アーム（５）の他端部には、該第１アーム（５）の回動とともに、該第１アーム（５）の体内でプーリおよびタイミングベルトを介して２：１のギア比で回動されることとなる第２支軸（６）が、該第１アーム（５）の回動とは無関係の状態に突出させられ、
　前記第２支軸（６）には、第２アーム（７）の一端部が取り付けられ、
　前記第２アーム（７）の他端部には、該第２アーム（７）の回動とともに、該第２アーム（７）の体内でプーリおよびタイミングベルトを介して１：２のギア比で回動されることとなる第３支軸（８）が、該第２アーム（７）の回動とは無関係の状態に突出させられ、
　前記第１・第２支軸（４）・（６）間の距離と前記第２・第３支軸（６）・（８）間の距離とは、同じにされており、
　前記第３支軸（８）には、第３アーム（９）の一端部が取り付けられ、
　前記第３アーム（９）の他端部には、基板を保持するためのハンド（10）が固設され、
　前記回転基台（３）の回転角度をθとし、前記第１アーム（５）の回転角度をφとしたとき、前記ハンド（10）が保持する前記基板の中心の一点が前記旋回軸心（Ｑ）から外れて前記ハンド（10）の到達範囲内にある任意の方向の直線（Ｈ）上を前記ロボット本体に対して直線移動し、前記基板が回転しながら容器に受け渡し・取り出しされるように、これらの回転角度θとφとをそれぞれ
同時的に
　前記制御装置は、
　前記第１アーム（５）、前記第２アーム（７）、および前記第３アーム（９）を、回転させつつ、前記基板の中心の一点を、前記旋回軸心（Ｑ）から一定距離ｈだけ外れて、かつ、前記ハンド（10）の到達範囲内にある任意の方向の直線（Ｈ）上を、前記ロボット本体に対して直線移動させる際、
　前記第１・第２支軸（４）・（６）間の距離＝前記第２・第３支軸（６）・（８）間の距離＝Ｌ、前記第３支軸（８）と前記基板の中心との間の距離＝ｍ、としたとき、
　｛ｍ＋２Ｌsin(φ) ｝sin(θ) ＝ｈ（一定）
を満足するように、前記第１のモータ（Ｍ１）および前記第２のモータ（Ｍ２）の回転を制御し、前記回転角度θと前記回転角度φとをそれぞれ
同時的に
して、ロボット進退時における前記第１アーム（５）、前記第２アーム（７）、および前記第３アーム（９）の進行の移動軌跡と退行の移動軌跡とを同じにするべく、ロボット旋回とロボット進退とを同時的に制御
ことを特徴とする基板搬送用ロボット。」
２　補正の適否
　本件補正のうち特許請求の範囲の請求項１についてする補正は、回転角度θとφとをそれぞれ「同時的に」制御するものであると特定し、また、ロボット旋回とロボット進退の制御について、「ロボット進退時における前記第１アーム（５）、前記第２アーム（７）、および前記第３アーム（９）の進行の移動軌跡と退行の移動軌跡とを同じにするべく、ロボット旋回とロボット進退とを同時的に制御する」ものであると特定したものであって、特許請求の範囲を限定的に減縮するものであることが明らかであるので、さらに、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、上記１（２）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「基板搬送用ロボット」であると認める。
（２）引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に頒布された刊行物である国際公開第００／１８５４７号（以下、「引用刊行物１」という。）、特開平１１−３３９４７号公報（以下、「引用刊行物２」という。）の記載内容は以下のとおりである。
ア　引用刊行物１
　引用刊行物１には以下の記載がある。なお、括弧内は、引用刊行物１の対応する日本語文献である特表２００３−５１７７１７号公報を参照した日本語翻訳文及び同公報における該当箇所である。
（ア）第１ページ第２行〜第５行（第７ページ第３行〜第４行）
「1. Field of the Invention
The present invention relates to a substrate transport apparatus and, more particularly, to a robot transport arm of a substrate transport apparatus.」
（１．発明の技術分野
  本発明は基板搬送装置、特に基板搬送装置のロボット搬送アームに関する。）
（イ）第６ページ第１８行〜末行（第１０ページ第６行〜第１５行）
「The apparatus  10  generally comprises a frame  20 , a car  22 , a robot  24 , a controller  52  and substrate cassettes  26 . The apparatus  10  is adapted to move substrates, such as semiconductor wafers or flat panel display substrates, between the cassettes  26  and the load locks  12 . The apparatus  10  employs the robot  24  to individually remove substrates from the cassettes  26  and insert the substrates into the load locks  12 . When the processing device  14  finishes processing the substrates, the apparatus  10  is used to return the substrates from the load locks  12  to the cassettes  26 . The apparatus  10  operates in atmospheric pressure, but could be used in other pressure conditions, including a vacuum. The apparatus  10  is adapted to hold a number of the cassettes  26 .」
（装置１０は、全体としてフレーム２０、カー２２、ロボット２４、コントローラ５２および基板カセット２６から成る。装置１０は、カセット２６とロードロック１２との間で半導体ウェーハまたはフラットパネルディスプレイ基板等の基板を移動するために設置される。装置１０は、カセット２６から基板を個々に移動し、かつロードロック１２に基板を挿入するために、ロボット２４を使用する。処理装置１４が基板を処理し終わったときに、装置１０はロードロック１２からカセット２６まで基板を戻すために用いられる。装置１０は大気圧下で稼働するが、真空を含む他の圧力状況下においても使用され得る。装置１０は多くのカセット２６を保持するようになっている。）
（ウ）第７ページ第１３行〜第３０行（第１０ページ第２６行〜第１１ページ第８行）
「Substrates are transported into and out of the cassettes  26  through the front access opening along an axis X orientated substantially parallel to the sides  127  of the cassette  26 . The cassettes are arranged generally side by side near the front  11  of the frame  20 . The substrate access openings  126  of the cassettes  26  face in the same direction, towards the rear  13  of the frame  20 . Thus, the axes X along which the substrates are transported into and out of the respective cassettes  26  are aligned substantially parallel to each other. At the rear  13  of the frame  20 , a track area  21  extends the length of the frame  20 . The car  22  is movably mounted on the track area  21  of the frame to move or roll between positions B and C along pathway A. A car drive mechanism  23  drivingly connects the car to the frame  20 . The drive mechanism  23  is controlled by the controller  52  to controllably move the car  22  to different positions along the track area  21 .」
（基板は、カセット２６の側面１２７と実質的に平行に方向付けられた軸Ｘに沿って、正面アクセス開口部を通ってカセット２６の中へかつそこから外へ搬送される。カセットはフレーム２０の正面１１の近くにほぼ並んで配置される。カセット２６の基板アクセス開口部１２６は、フレーム２０の背面部１３の方と同じ方向に面する。よって、それぞれのカセット２６の中へかつそこから外へ基板がそれに沿って搬送される軸Ｘは、互いに実質的に平行に整列配置される。フレーム２０の背面部１３で、軌道エリア２１はフレーム２０の長さを延長する。カー２２は移動できるようにフレームの軌道エリア２１に載置され、経路Ａに沿って位置ＢからＣの間を移動するかまたは転動する。カー駆動機構２３は、カーをフレーム２０に駆動自在に接続する。駆動機構２３は軌道エリア２１に沿って異なる位置に制御可能にカー２２を移動するようにコントローラ５２によって制御される。）
（エ）第８ページ第３行〜第７行（第１１ページ第１４行〜第１７行）
「The robot  24  is mounted to the car  22 . Thus, the robot  24  moves with the car  22 . The robot  24  generally comprises a movable arm assembly  25  and a drive section  27 . In the preferred embodiment, the drive section  27  connects the movable arm assembly  25  to the car  22 ,」
（ロボット２４はカー２２に搭載される。よって、ロボット２４はカー２２と共に移動する。ロボット２４は全体として可動アームアセンブリ２５および駆動部２７から成る。好適な実施例において、駆動部２７は可動アームアセンブリ２５をカー２２に接続するが、）
（オ）第８ページ第２７行〜第９ページ第１６行（第１２ページ第２行〜第１７行）
「The arm assembly  25  generally has three arm sections connected in series including an upper arm  31 , a forearm  32 , and a wrist extension  34 . The upper arm  31  supports the arm assembly  25  from the drive section  27 . The wrist extension  34  is connected to the upper arm  31  by the forearm  32  and includes an end effector section  44  at its distal end. The upper arm  31  of the movable arm assembly  25  is mounted to the drive section  27  to rotate about a vertical axis of rotation Y1  at the shoulder  40  of the arm assembly. The forearm  32  is pivotably mounted to the upper arm  31  to form an elbow  41  of the arm assembly  25 . The forearm  32  rotates relative to the upper arm  31  about a vertical axis of rotation Y2  at the elbow  41  of the movable arm assembly  25 . Opposite the elbow  41 , the forearm  32  is pivotably connected to the wrist extension  34  to form a wrist  42  of the arm assembly. The wrist extension  34  rotates relative to the forearm  32  about a vertical axis of rotation Y3  at the wrist  42 . In the preferred embodiment, the end effector section  44  is located on the wrist extension  34  to hold a substrate S with its center generally aligned with a radial axis r. The radial axis r extends through the axes of rotation Y1 , Y3  at the shoulder  40  and wrist  42  (see  FIG. 4 ). 」
（アームアセンブリ２５は、全体として、上部アーム３１、前方アーム部３２およびリスト延長部３４を含む順に接続した３つのアーム部を有する。上部アーム３１は駆動部２７からアームアセンブリ２５を支持する。リスト延長部３４は前方アーム部３２を介して上部アーム３１に接続していて、その末端で末端作動体部４４を含む。可動アームアセンブリ２５の上部アーム３１は駆動部２７に搭載され、アームアセンブリの肩部４０において垂直回転軸Ｙ１の回りに回転する。前方アーム部３２は上部アーム３１に回動可能に搭載され、アームアセンブリ２５の肘部４１を形成する。前方アーム部３２は可動アームアセンブリ２５の肘部４１において、垂直回転軸Ｙ２の回りに上部アーム３１と連動して回転する。肘部４１の反対側に前方アーム部３２は回動可能にリスト延長部３４に接続しており、アームアセンブリのリスト部４２を形成する。リスト延長部３４はリスト部４２において、前方アーム部３２と連動して垂直回転軸Ｙ３の回りに回転する。好適な実施例において、末端作動体部４４はリスト延長部３４に置かれ、基板Ｓをその中心が半径方向軸ｒにほぼ合う様に保持する。半径方向軸ｒは、肩部４０およびリスト部４２における回転軸Ｙ１、Ｙ３を通って延在する（図４参照）。）
（カ）第９ページ第２１行〜第１０ページ第３１行（第１２ページ第２１行〜第１３ページ第２１行）
「Drive sections for actuating articulated arms are known in the art. The drive section  27 , in the preferred embodiment, may be of a type which includes two co-axially mounted drive shafts  46 ,  48 , although any other suitable drive system may be used. The co-axial drive shafts  46 ,  48  are located to spin on the axis of rotation Y1  at the shoulder  40  of the movable arm assembly  25 . The upper arm  31  is fixedly mounted to the first drive shaft  46  to turn in unison with the shaft  46  about the axis Y1  at the shoulder  40 . The second drive shaft  48  is operably connected by a transmission system  140  to the forearm  32  to rotate the forearm about the axis of rotation Y2  at the elbow  41  of the arm assembly  25 . In the preferred embodiment, the transmission system is located inside the upper arm  40 . The drive shaft to forearm transmission  140  may include a link and crank or otherwise a belt and pulley system imparting the rotation of the second drive shaft  48  to rotate the forearm  32  about the elbow  41 . In an alternate embodiment, the transmission system may be located outside the upper arm. In another alternate embodiment, the drive shaft for rotating the forearm about the elbow may be located to directly drive the rotation of the forearm (e.g. the second drive shaft may be mounted to the upper arm at the elbow with the forearm directly mounted to the second drive shaft). The wrist extension  34  is operably connected to the forearm  32  by an elbow to wrist transmission system  142  which synchronously counter-rotates the wrist extension  34  about the axis of rotation Y3  at the wrist  42  in response to rotation of the forearm about the elbow  41 . In the preferred embodiment, the elbow to wrist transmission system  142  is generally located inside the forearm  31 . The elbow to wrist transmission system may comprise a link and offset crank or a belt and pulley system connecting the forearm  32  to the wrist extension  34  so that rotation of the forearm about the elbow  41  in one direction rotates the wrist extension  34  about the wrist  42  in an opposite direction. For example, clockwise rotation of the forearm  31 about the elbow  41  results in the wrist extension  32  rotating counter-clockwise about the wrist  42 , and conversely, counter-clockwise rotation of the forearm  31  about the elbow  41  drives the wrist extension clockwise around the wrist  42 . Thus, the rotation of the wrist extension  34  about the wrist  41  is slaved to the rotation of the forearm  31  about the elbow  41 .」
（関節アームを動かすための駆動部は周知である。好適な実施例において、駆動部２７は同軸的に取り付けられた駆動軸４６、４８を含むタイプであり得る。なお、他のいかなる適切な駆動システムも使用され得る。同軸駆動軸４６、４８は可動アームアセンブリ２５の肩部４０において、回転軸Ｙ１の回りをスピンするように位置する。上部アーム３１は、肩部４０における軸Ｙ１の回りにシャフト４６と同調して向きを変えるために第１の駆動軸４６に固定的に搭載される。第２の駆動軸４８は前方アーム部３２に伝動システム１４０によって操作可能な状態で接続され、アームアセンブリ２５の肘部４１において回転軸Ｙ２の回りに前方アーム部を回転させる。好適な実施例において、伝動システムは上部アーム４０内に位置する。前方アーム伝動部１４０に対する駆動軸は、リンクおよびクランクを含み得、さもなくば肘部４１の回りに前方アーム部３２を回転させるために第２の駆動軸４８の回転を伝えるベルトおよび滑車システムを含み得る。別の実施例においては、伝動システムは上部アームの外側に位置し得る。更なる実施例においては、肘部に対して前方アーム部を回転させるための駆動軸は、直接前方アーム部の回転をなすように位置し得る。（例えば、第２の駆動軸は第２の駆動軸に直接搭載される前方アーム部を有する肘部において、上部アームに搭載され得る。）肘部４１の回りの前方アーム部の回転に応答してリスト部４２で回転軸Ｙ３の回りにリスト延長部３４を同期して逆回転するリスト部伝動システム１４２に、リスト延長部３４は、肘部によって前方アーム部３２に接続している。好適な実施例において、リスト部伝動システム１４２に対する肘部は一般に前方アーム部３１の内に位置する。リスト部伝動システムに対する肘部は、リンクおよびオフセットのクランク、または前方アーム部３２をリスト延長部３４に接続しているベルトおよび滑車システムから成ることができ、その結果肘部４１に対して前方アーム部の回転はリスト部４２に対する反対の一方向へリスト延長部３４を回転させる。例えば、肘部４１に対して前方アーム部３１の時計回りの回転はリスト部４２に対して反時計回りに回転しているリスト延長部３２に帰結する。そして、逆に肘部４１の回りの前方アーム部３１の反時計回りの回転は、リスト部４２の回りで時計回りにリスト延長部を駆動する。よって、リスト部４１の回りのリスト延長部３４の回転は、肘部４１の回りの前方アーム部３１の回転に従属する。）
（キ）第１０ページ第３２行〜第１２ページ第４行（第１３ページ第２３行〜第１４ページ第２０行）
「The drive section  27  is capable of independently turning the drive shafts  46 ,  48  in either direction at various rates of rotation. The controller  52  controls the direction and rate of rotation of the two drive shafts  46 ,  48  to manipulate the movable arm assembly  25 . To rotate the movable arm assembly  25  as a unit about the axis of rotation Y1  at the shoulder  40 , both drive shafts  46 ,  48  are rotated in unison. (e.g. To rotate the arm  25  clockwise about the shoulder  40 , both shafts  46 ,  48  are rotated clockwise in unison.) Rotation of both shafts  46 ,  48  in unison rotates the arm assembly  25  as a unit about the shoulder  40  because there is no relative rotation between the upper arm  31  and the forearm  32 . This rotation, indicated by the arrows T on  FIG. 4 , of the movable arm assembly  25  as a unit about the shoulder  40  is otherwise know as T movement of the movable arm assembly  25 . Extension and retraction of the movable arm assembly  25  to displace the wrist  42  relative to the shoulder  41  substantially along a radial axis (a movement otherwise know as R movement of the arm assembly) is accomplished by counter-rotating the drive shafts  46 ,  48 . Counter-rotation of the drive shafts  46 ,  48  in turn causes relative rotation between the upper arm  31  and forearm  32  and hence displacement of the wrist  42  relative to the shoulder  40 . (e.g. In the embodiment shown, with the movable arm assembly  25  in an extended position, clockwise rotation of shaft  46  rotates the upper arm  31  clockwise about the shoulder  40 , and counter-clockwise rotation of shaft  48  rotates the forearm  32  counter-clockwise about the elbow  41  thereby moving the wrist  42  towards the shoulder.) Counter-rotating the drive shafts  46 ,  48  at the same rate moves the wrist  42  relative to the shoulder  40  generally along a single radial axis as indicated by the arrows R in  FIG. 4 . As described previously, the rotation of the forearm  32  about the elbow  41  automatically counter-rotates the wrist extension  34  about the wrist  42 . The elbow to wrist transmission synchronously counter-rotates the wrist extension  34  relative to the forearm  32  to maintain the center of a substrate held by the end effector section  44  substantially aligned with the wrist  42  on the radial axis along which the wrist  42  is being translated during extension or retraction (i.e. R type movement) of the movable arm assembly  25 .」
（駆動部２７は、様々な回転速度でいずれの方向へも駆動軸４６、４８を独立して回転させることが可能である。コントローラ５２は、２本の駆動軸４６、４８の方向及び回転速度を制御し、可動アームアセンブリ２５を操作する。肩部４０において可動アームアセンブリ２５を回転軸Ｙ１の回りに単体として回転させるために、駆動軸４６、４８は共に同調して回転する。（例えば肩部４０に対して時計回りにアーム２５を回転させるために、軸４６、４８は共に同調して時計回りに回転する。）上部アーム３１と前方アーム部３２の間の回転は相関していないので、同調した両軸４６、４８の回転はアームアセンブリ２５を肩部４０の回りに単体として回転させる。図４上の矢印Ｔで示される単体としての可動アームアセンブリ２５の肩部４０の回りのこの回転は、一方では可動アームアセンブリ２５の『Ｔ』移動とされる。実質的に半径方向の軸に沿って肩部４１に対してリスト部４２を移動する可動アームアセンブリ２５の伸展および格納（一方ではアームアセンブリの『Ｒ』移動とされる運動）は駆動軸４６、４８を逆回転することによって達成される。駆動軸４６、４８の逆回転は上部アーム３１と前方アーム部３２との間の相対的な回転を生じ、それゆえに肩部４０に対するリスト部４２の移動を生じる。（例えばこの実施例において、伸展位置の可動アームアセンブリ２５については、軸４６の時計回りの回転は肩部４０の回りに時計回りに上部アーム３１を回転させ、そして軸４８の反時計回りの回転は、肘部４１の回りに反時計回りに前方アーム部３２を回転させ、それにより肩部へ向かってリスト部４２を移動する。）同速度での駆動軸４６、４８の逆回転は、図４の矢印Ｒによって示されるように、肩部４０に対して単一の半径方向の軸にほぼ沿ってリスト部４２を移動させる。上述したように、肘部４１回りの前方アーム部３２の回転は、リスト部４２の回りにリスト延長部３４を自動的に逆回転する。肘部からリスト部への伝動は前方アーム部３２に対してリスト延長部３４を同時に逆回転し、末端作動体部４４によって保持されている基板の中心を、リスト部４２が可動アームアセンブリ２５の伸展または格納（すなわち『Ｒ』型運動）の間、それに沿っている半径方向の軸上にリスト部４２と共に維持する。）
（ク）第１２ページ第５行〜第１３ページ第３行（第１４ページ第２２行〜第１５ページ第１３行）
「The controller  52  also controls the drive section to substantially simultaneously rotate and extend or retract the movable arm assembly  25  in a compound R and T movement of the arm assembly. To achieve the compound R and T movement of the movable arm assembly  25 , the drive shafts  46 ,  48  are rotated at dissimilar rates. The dissimilar rates of rotation of the drive shafts result in dissimilar rates of rotation of the upper arm  31  and the forearm  32  which brings about rotation of the movable arm assembly  25  about the shoulder  40  (i.e. T movement) compounded with extension/retraction of the arm assembly (i.e. R movement). The elbow to wrist transmission system which automatically counter-rotates the wrist extension  34  relative to the rotation of the forearm  32 , maintains the wrist  42  and the center of the substrate on the end effector section  44  generally aligned on an axis intersecting the axis of rotation Y1  at the shoulder  40 . In other words, as the wrist  42  is rotated about the shoulder  40  by the compound R and T movement of the movable arm assembly  25 , the wrist extension  34  is automatically rotated about the wrist  42  so that the center of the substrate S on the end effector  44  rotates about the shoulder  40  at substantially the same rate as the wrist  42 , and hence, the center of the shoulder  40 , the center of the wrist  42  and the center of the substrate S on the end effector  44  are points that generally remain co-linear. For example, when the arm assembly  25  is extended as shown in  FIG. 3A , the wrist  42  and center of the substrate S held by the end effector are generally aligned with radial axis R3  which extends through the shoulder  40 . When the arm assembly  25  is retracted as shown in  FIG. 3B , the wrist  42  and center of the substrate S are generally aligned with radial axis R4  which again extends through the shoulder  40 .」
（コントローラ５２もまたアームアセンブリの『Ｒ』および『Ｔ』の複合移動において、駆動部を実質的に同時に可動アームアセンブリ２５を回転し、伸展または格納するために制御する。可動アームアセンブリ２５の『Ｒ』および『Ｔ』の複合移動を成し遂げるために、駆動軸４６、４８は異なる速度で回転する。駆動軸の異なる回転速度は、上部アーム３１および前方アーム部３２の異なる速度に帰結し、それはアームアセンブリの伸展／格納（すなわち『Ｒ』運動）と合成される肩部４０の回りの可動アームアセンブリ２５の回転（すなわち『Ｔ』運動）をもたらす。前方アーム部３２の回転に対してリスト延長部３４を自動的に逆回転する肘部からリスト部への伝動システムは、リスト部４２と末端作動体部４４上の基板の中心とを、肩部４０で回転軸Ｙ１を横切っている軸上にほぼ整列するように維持する。換言すれば、リスト部４２が可動アームアセンブリ２５の『Ｒ』および『Ｔ』の複合移動によって肩部４０の回りに回転するにつれて、末端作動体４４上の基板Ｓの中心がリスト部４２と実質的に同一速度で肩部４０の回りに回転するためにリスト延長部３４はリスト部４２に対して自動的に回転し、それゆえに肩部４０の中心、リスト部４２の中心および末端作動体４４上の基板Ｓの中心はほぼ同一直線上のままの位置にある。例えば、アームアセンブリ２５が図３Ａに示されるように伸展されるときに、リスト部４２および末端作動体によって保持した基板Ｓの中心は肩部４０を通って延びる半径方向の軸Ｒ３にほぼ整列する。アームアセンブリ２５が図３Ｂに示されるように格納されるときに、リスト部４２および基板Ｓの中心は再び肩部４０を通って延びる半径方向の軸Ｒ４にほぼ整列する。）
（ケ）第１３ページ第４行〜第１５ページ第３１行（第１５ページ第１５行〜第１７ページ第２０行）
「The procedure for moving substrates between the cassettes  26  and the load locks  12  is substantially as follows. Referring also to  Figs. 2A-2C  and  3A-3C, the first step of the procedure is to move the car  22  to place the shoulder  40 , and hence the axis of rotation Y1  about which the movable arm assembly  25  rotates, at position D. Position D is located between the cassettes  26L,  26R. When the shoulder  40  of the arm assembly  25  is located at position D, the respective axes X1 , X2  along which substrates are moved into and out of the two side by side cassettes  26L,  26R extend on both sides of the shoulder  40 . After moving the movable arm assembly  25  to locate its shoulder  40  at position D, the arm assembly  25  is articulated to insert the end effector  44  into one of the side by side cassettes  26L,  26R to capture a substrate. With the shoulder  40  located at position D, the movable arm assembly  25  can be articulated to insert the end effector  44  into either of the two cassettes  26L,  26R without relocating the shoulder  40  relative to the cassettes. To insert the end effector  44  into the cassette  26L,  26R in the preferred embodiment, the controller  52  first rotates the arm entire assembly  25  as a unit about the shoulder  40  (T movement) to radially align the wrist  42  with the opening of the cassette  26L,  26R, (see  Figs. 2C and 3C ) and after the T movement is complete, extends the arm assembly  25  substantially along the radial (R movement) to insert the end effector  44  into the cassette  26L,  26R. In this embodiment, the location of the inner sides  127L,  127R (see  Fig. 2 ) of cassettes  26L,  26R relative to the shoulder  40  at position D is such that the sides  127L,  127R do not interfere with translating the end effector  44  substantially along a single radial into the cassettes  26L,  26R. In alternate embodiments, where the location of the inner sides of the cassettes interfere with the R movement of the arm assembly  25 , the end effector  44  is inserted into the cassettes by translating the end effector relative to the cassettes along an axis at a small angle relative to substrate removal/insertion axis X1 , X2  corresponding to the particular cassette. This is accomplished by the controller  52  moving the arm assembly  25  in a compound R and T movement to provide a straight X axis movement of the center of the end effector  44 . With the end effector  44  in the cassette  26L,  26R, the end effector  44  then captures a substrate S. Once the substrate S is captured by the end effector  44 , the movable arm assembly  25  is articulated to remove the substrate S from the cassette  26L,  26R. The substrate S held by the end effector  44  is removed from the cassette  26L,  26R substantially along the corresponding substrate removal axis X1 , X2 . Thus, removal of the substrate S is along a different path then the insertion path of the end effector  44  into the cassette  26L,  26R (see  Figs. 2B-2C  and  3B-3C). To move the substrate S on the end effector  44  substantially along axis X1 , X2 , the movable arm assembly  25  is moved in a compound R and T movement (see  Figs. 2A-2B  and  3A-3B). The controller  52  controls the turn rate and direction of the two drive shafts  46 ,  48  to move the arm assembly  25  in a compound R and T movement which results in the substrate S being removed from the cassette  26L,  26R substantially along axis X1 , X2 . After the substrate S is out of the cassette  26L,  26R, the movable arm assembly  25  transports the substrate S into the load lock  12 . If, as shown in  Figs. 2B and 3B , the position D of the shoulder  40  is substantially in front of the load lock  12 , the shoulder  40  stays in place in position D and the arm assembly  25  moves the substrate S by undergoing a series of T movements and R movements. If position D of the shoulder  40  is not substantially in front but rather adjacent to the load lock  12 , then the movable arm assembly  25  moves the substrate S into the load lock by undergoing a compound R and T movement with the shoulder staying in position D. Otherwise, to transport the substrate S into the load lock  12 , the car  22  moves the shoulder  40  of the movable arm assembly  25  from position D to a different position to allow the arm assembly to insert the substrate into the load lock  12 . Subsequent to the release of the substrate S in the load lock  12 , the movable arm assembly  25  returns the end effector  44  to the cassette  26L,  26R as described above. The above sequence of steps is repeated as required until the cassette  26L,  26R is unloaded. In addition, the transfer of substrates between cassettes  26L,  26R and a load lock  12  need not be done one cassette at a time, because as noted previously, from position D, the movable arm assembly  25  may move substrates into and out of either the cassette  26L on the left or the cassette  26R on the right. Thus, during unloading of the cassettes, substrates may be removed sequentially from both the left and right cassettes  26L,  26R without relocating the shoulder  40  from position D. Alternatively, substrates may be removed from one cassette  26L,  26R on the first half of the transport cycle of the arm assembly  25  and different (i.e. processed) substrates may be returned to the adjoining cassette  26R,  26L on the return or second half of the transport cycle with the shoulder  40  of the arm assembly  25  staying in position D.」
（カセット２６とロードロック１２との間での基板の移動手順は、実質的に以下の通りである。図２Ａ−２Ｃおよび３Ａ−３Ｃからも明らかなように、当該手順の第１のステップはカー２２を動かして肩部４０を位置決めして、それゆえに位置Ｄで可動アームアセンブリ２５が回転する回転軸Ｙ１を位置決めすることである。位置Ｄはカセット２６Ｌと２６Ｒの間に位置する。アームアセンブリ２５の肩４０が位置Ｄに位置すると、それに沿って基板が２つの横に並んだカセット２６Ｌ、２６Ｒの中へ及びそこから外へ移動する軸Ｘ１、Ｘ２は肩４０の両側に延伸する。その肩部４０を位置Ｄに位置決めするように可動アームアセンブリ２５を移動した後、アームアセンブリ２５は作動せしめられ、並置されたカセット２６Ｌと２６Ｒとのどちらか一方に末端作動体４４を挿入して基板を捕捉する。肩部４０が位置Ｄにある故、可動アームアセンブリ２５は、末端作動体４４を、カセットに対して肩部４０の再配置することなしに２つのカセット２６Ｌ、２６Ｒのどちらにでも挿入出来るように作動せしめられ得る。好適な実施例において、末端作動体４４をカセット２６Ｌ、２６Ｒに挿入するために、コントローラ５２はカセット２６Ｌ、２６Ｒの開口部と共にリスト部４２を半径方向に整列させるために肩部４０の回りに最初に単体としてのアームアセンブリ２５全体を回転させ（『Ｔ』運動）、『Ｔ』運動の終了後、カセット２６Ｌ、２６Ｒに末端作動体４４を挿入するために半径方向に沿って、実質的にアームアセンブリ２５を伸展する（『Ｒ』運動）。本実施例において、位置Ｄにおける肩部４０に対するカセット２６Ｌ、２６Ｒの内側部１２７Ｌ、１２７Ｒ（図２参照）の位置は、側部１２７Ｌ、１２７Ｒがカセット２６Ｌ、２６Ｒ内に実質的に単一の半径方向に沿って末端作動体４４を並進させることを妨げないようなものである。別の実施例においては、カセットの内側の位置がアームアセンブリ２５の『Ｒ』移動を妨げるところでは、末端作動体４４はカセットに対応する基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に対して小さい角度の軸に沿って、カセットに対して末端作動体を並進させることによりカセットに挿入される。このことは、末端作動体４４の中心のまっすぐなＸ軸運動を提供する、『Ｒ』及び『Ｔ』の複合運動をなすようにアームアセンブリ２５を動かすコントローラ５２によって達成される。カセット２６Ｌ、２６Ｒ中に末端作動体４４が存在する状態において、末端作動体４４は基板Ｓを捕らえる。一旦、基板Ｓが末端作動体４４によって捕えられると、可動アームアセンブリ２５はカセット２６Ｌ、２６Ｒへ基板Ｓを移動するために作動せしめられる。末端作動体４４によって保持される基板Ｓは対応する基板除去軸Ｘ１、Ｘ２に実質的に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒから移動される。よって、基板Ｓの除去はカセット２６Ｌ、２６Ｒへの末端作動体４４の挿入経路とは異なる経路に沿う（図２Ｂ−２Ｃ及び３Ｂ−３Ｃ参照）。軸Ｘ１、Ｘ２に実質的に沿って末端作動体４４上の基板Ｓを移動するために、可動アームアセンブリ２５は、『Ｒ』及び『Ｔ』の複合運動において移動される（図２Ａ−２Ｂ及び３Ａ−３Ｂ参照）。コントローラ５２は２本の駆動軸４６、４８の旋回速度および方向を制御し、実質的に軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒからの基板Ｓの移動を招来する『Ｒ』および『Ｔ』の複合運動でのアームアセンブリ２５の移動をなす。基板Ｓがカセット２６Ｌ、２６Ｒの外に出た後、可動アームアセンブリ２５はロードロック１２に基板Ｓを搬送する。図２Ｂ及び３Ｂに示すように、肩部４０の位置Ｄが実質的にロードロック１２の前にあるならば、肩部４０は位置Ｄの場所にとどまり、そしてアームアセンブリ２５は一連の『Ｔ』運動および『Ｒ』運動を経ることによって基板Ｓを移動する。もし肩部４０の位置Ｄが実質的にロードロック１２の正面でなくむしろ隣接しているならば、可動アームアセンブリ２５は肩部４０の位置Ｄにとどまっているままで『Ｒ』及び『Ｔ』の複合運動を経ることによって、ロードロックに基板Ｓを移動する。さもなければ、ロードロック１２に基板Ｓを搬送するために、カー２２は位置Ｄから異なる位置まで可動アームアセンブリ２５の肩部４０を移動することで、アームアセンブリが基板をロードロック１２に挿入することができる。ロードロック１２における基板Ｓの解放に続き、可動アームアセンブリ２５は末端作動体４４を上記の通りにカセット２６Ｌ、２６Ｒに戻す。カセット２６Ｌ、２６Ｒが空になるまで、上記の一連のステップは必要に応じて繰り返される。加えて、カセット２６Ｌ、２６Ｒとロードロック１２との間における基板の転送は、一度に１つのカセットになされる必要はない。それは、既述したように、位置Ｄから可動アームアセンブリ２５は左上のカセット２６Ｌと右上のカセット２６Ｒのいずれに対する基板の出し入れをすることも可能であるからである。よって、カセットから基板を取り出す間、基板は、位置Ｄから肩部４０を再配置することなく、順番に左右のカセット２６Ｌ、２６Ｒ双方から移動され得る。あるいは、基板はアームアセンブリ２５の搬送サイクルの前半において１つのカセット２６Ｌ、２６Ｒから移動され得る。そして異なる（すなわち既処理の）基板はアームアセンブリ２５の肩部４０が位置Ｄにとどまっている間、搬送サイクルの戻りまたは後半において隣接しているカセット２６Ｒ、２６Ｌに戻され得る。）
（コ）第１５ページ第３２行〜第１６ページ第２１行（第１７ページ第２２行〜第１８ページ第９行）
「When returning substrates to their respective cassette  26L,  26R with the shoulder  40  of the arm assembly  25  located in position D, the substrate S held on the end effector  44  of the arm assembly  25  is also inserted into the cassette  26L,  26R substantially along axis X1 , X2 . To move the substrate S into the cassette  26L,  26R substantially along axis X1 , X2 , the arm assembly  25  again performs a compound R and T movement substantially in reverse to the compound R and T movement performed to remove the substrate from the cassette along axis X1 , X2  (see  Figs. 2A-2B  and  3A-3B). After the substrate S is released by the end effector  44  in the cassette  26L,  26R the end effector  44  is withdrawn from the cassette by merely retracting the arm assembly (R movement only). Thus, withdrawal of the end effector  44  after release of a substrate is along a different path than the insertion path of the substrate into the cassette  26L,  26R (see  Figs. 2B-2C  and  3B-3C)  Figs. 2A-2C  and  3A-3C show the movable arm assembly  25  moving substrates into and out of two cassettes  26L,  26R located at a side of the frame  20  of the apparatus, though the procedure and movements of the arm assembly  25  when moving substrates into and out of any two side by side cassettes  26  is substantially the same as shown in  Figs. 2A-2C  and  3A-3C and as described above.」
（アームアセンブリ２５の肩部４０が位置Ｄに設置されたカセット２６Ｌ、２６Ｒそれぞれに基板を戻す際に、アームアセンブリ２５の末端作動体４４に保持される基板Ｓはまた、実質的に軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒに挿入される。実質的に軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒに基板Ｓを移動するために、アームアセンブリ２５は再び『Ｒ』及び『Ｔ』の複合運動を、軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセットから基板を移動するために実行される『Ｒ』及び『Ｔ』の複合運動とは逆になるように、実行する（図２Ａ−２Ｂ及び３Ａ−３Ｂ参照）。基板Ｓがカセット２６Ｌ、２６Ｒにおける末端作動体４４によって解放された後、末端作動体４４はアームアセンブリを格納するだけ（『Ｒ』運動のみ）でカセットから引き戻される。よって、基板解放後の末端作動体４４の引き戻しは、カセット２６Ｌ、２６Ｒへの基板の挿入経路とは異なる経路に沿ってなされる（図２Ｂ−２Ｃ及び３Ｂ−３Ｃ参照）。図２Ａ−２Ｃ及び３Ａ−３Ｃは装置のフレーム２０の側面に設置される２つのカセット２６Ｌ、２６Ｒの中そして外へ基板を移動する可動アームアセンブリ２５を示しており、並んだカセット２６のいずれかの２つの中そして外へ基板を移動する際のアームアセンブリ２５の手順及び運動は、本質的に図２Ａ−２Ｃと３Ａ−３Ｃに示された、かつ上述されたものと同じである。）
（サ）第１７ページ第１８行〜第１８ページ第１１行（第１９ページ第５行〜第２３行）
「In the prior art, robots of substrate transport apparatus moved substrates into and out of cassettes by locating the shoulder of the movable arm assembly directly in front of the cassette and moved the substrate by pure extension or retraction of the arm assembly (i.e. only R movement of the arm assembly). This required that the robot be relocated to the front of each cassette when a substrate was to be moved into or out of that particular cassette. The additional time required to relocate the arm assembly reduced the throughput of the apparatus of the prior art. Otherwise, the movable arm assembly of the robots in the prior art were provided with a separate and independent drive system to independently rotate the wrist extension of the movable arm assembly about the wrist which enabled these types of arm assemblies to move substrates into and out of cassettes without having to position the shoulder of the arm directly in front of the cassette. However, the additional drive system required for the wrist extension of the arm assemblies increased the complexity and cost of the transport apparatus of the prior art. The present invention solves the problems of the prior art by allowing the movable arm assembly  25  to move substrates into and out of cassettes  26  without having to relocate the movable arm assembly  25  to the front of each cassette from or into which the substrates are being moved and without an additional independent drive system dedicated to independently rotate the wrist extensions about the wrist.」
（従来技術において、基板搬送装置のロボットはカセットの前に直接可動アームアセンブリの肩部を設置することによりカセットの中へ及びそこから外へ基板を移動し、そしてアームアセンブリの単なる伸展または格納（即ちアームアセンブリの『Ｒ』移動のみ）により基板を移動してきた。このことは、基板がその特定のカセットの中へ及びそこから外へ移動されるべき際にロボットが各々のカセットの正面へ再配置されることを必要とした。アームアセンブリを再配置するために必要とされた追加の時間は、従来技術の装置のスループットを減少させた。別な方法では、従来技術のロボット可動アームアセンブリは、リスト部に対して独立して可動アームアセンブリのリスト延長部を回転させるために別々に独立した駆動システムを備えていて、そのリスト部はこれらの型のアームアセンブリがカセットの前に直接アームの肩部を配置することなしに、カセットの中へ及びそこから外へ基板を移動するのを可能にした。しかしながら追加された駆動システムは、アームアセンブリのリスト延長部に対して従来技術の搬送装置の複雑さとコストの増加を必要とした。本発明は、そこからまたはその中へ基板が移動される各々のカセットの正面へ可動アームアセンブリ２５を再配置することなしに、また、リスト部に対して独立してリスト延長部を回転することに専従している追加の独立駆動システムなしで、可動アームアセンブリ２５が、カセット２６の中へ及びそこから外へ基板を移動することが可能になったことで従来技術の課題を解決した。）
（シ）ここで、図面の図４を参照すると、上部アーム３１は、その一端部で駆動軸４６に固定されているのが見て取れる。そして、上部アーム３１の他端部における肘部４１において、前方アーム部３２と垂直回転軸Ｙ２を中心として回転自在に連結されているのが理解できる。すなわち、前方アーム部３２は、その一端部において、上部アーム３１に回転自在に連結されている。さらに、前方アーム部３２の他端部におけるリスト部４２において、リスト延長部３４と垂直回転軸Ｙ３を中心として回転自在に連結されているのが理解できる。また、リスト延長部３４は、その一端部が前方アーム部３２の他端部に回転自在に連結され、その他端部において末端作動体部４４が設けられているのが理解できる。
　そして、上記摘記事項（オ）の「好適な実施例において、末端作動体部４４はリスト延長部３４に置かれ、基板Ｓをその中心が半径方向軸ｒにほぼ合う様に保持する。半径方向軸ｒは、肩部４０およびリスト部４２における回転軸Ｙ１、Ｙ３を通って延在する」の記載から、末端作動体部４４に載せられた基板Ｓの中心は、肩部４０における垂直回転軸Ｙ１、リスト部４２における垂直回転軸Ｙ３を通る半径方向軸ｒに沿うように移動するものであることが理解できる。
　さらに、摘記事項（カ）における「さもなくば肘部４１の回りに前方アーム部３２を回転させるために第２の駆動軸４８の回転を伝えるベルトおよび滑車システムを含み得る。」の記載、及び「リスト部伝動システム１４２に対する肘部は一般に前方アーム部３１の内に位置する。リスト部伝動システムに対する肘部は、・・・前方アーム部３２をリスト延長部３４に接続しているベルトおよび滑車システムから成ることができ、その結果肘部４１に対して前方アーム部の回転はリスト部４２に対する反対の一方向へリスト延長部３４を回転させる。」の記載から、駆動軸４８における垂直回転軸Ｙ１、肘部４１における垂直回転軸Ｙ２、リスト部４２における垂直回転軸Ｙ３は、ベルト及び滑車システムにより回転力が伝達されるものであることが理解できる。
　また、上記摘記事項（ウ）における「それぞれのカセット２６の中へかつそこから外へ基板がそれに沿って搬送される軸Ｘは、互いに実質的に平行に整列配置される」の記載、及び図面の図２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂを参照することにより、基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２は、互いに平行で、カセット２６Ｌ、２６Ｒに挿入された基板Ｓの中心を通るものであることが理解できる。そうすると、当然、図２、図３に示されるようにカセット２６Ｌ、２６Ｒの間に肩部４０が位置決めされた場合、肩部における垂直回転軸Ｙ１は、基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に対して一定距離離れているものであることは明らかである。
　そして、摘記事項（ケ）の「好適な実施例において、末端作動体４４をカセット２６Ｌ、２６Ｒに挿入するために、コントローラ５２はカセット２６Ｌ、２６Ｒの開口部と共にリスト部４２を半径方向に整列させるために肩部４０の回りに最初に単体としてのアームアセンブリ２５全体を回転させ（『Ｔ』運動）、『Ｔ』運動の終了後、カセット２６Ｌ、２６Ｒに末端作動体４４を挿入するために半径方向に沿って、実質的にアームアセンブリ２５を伸展する（『Ｒ』運動）」、「一旦、基板Ｓが末端作動体４４によって捕えられると、可動アームアセンブリ２５はカセット２６Ｌ、２６Ｒへ基板Ｓを移動するために作動せしめられる。末端作動体４４によって保持される基板Ｓは対応する基板除去軸Ｘ１、Ｘ２に実質的に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒから移動される。」の記載、及び摘記事項（コ）の「アームアセンブリ２５の肩部４０が位置Ｄに設置されたカセット２６Ｌ、２６Ｒそれぞれに基板を戻す際に、アームアセンブリ２５の末端作動体４４に保持される基板Ｓはまた、実質的に軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒに挿入される。」、「基板Ｓがカセット２６Ｌ、２６Ｒにおける末端作動体４４によって解放された後、末端作動体４４はアームアセンブリを格納するだけ（『Ｒ』運動のみ）でカセットから引き戻される。」の記載から、可動アームアセンブリ２５は、その肩部４０がカセット２６Ｌ、２６Ｒの間の位置Ｄに位置決めされた場合、末端作動体部４４上に基板Ｓが載置されている基板除去／基板挿入動作では、末端作動体部４４の中心が基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に沿って移動し、末端作動体部４４上に基板Ｓが載置されていない状態では、末端作動体部４４の中心が、肩部４０の垂直回転軸Ｙ１に対して実質的に半径方向に移動する運動であるＲ運動するものであることが理解できる。
（ス）引用刊行物１記載の発明
　引用刊行物１記載の事項を補正発明に照らして整理すると引用刊行物１には以下の発明が記載されていると認める。
「カー２２に搭載されたロボット２４であって、可動アームアセンブリ２５及び駆動部２７から成り、可動アームアセンブリ２５は上部アーム３１、前方アーム部３２及びリスト延長部３４を順に接続した３つのアーム部を有し、
　垂直回転軸Ｙ１を中心に回転する同軸的に取り付けられた駆動軸４６、４８を有し、駆動軸４６には上部アーム３１の一端部が固定的に搭載され、前記上部アーム３１の他端部には、前方アーム部３２の一端部が肘部４１における垂直回転軸Ｙ２を中心として回転自在に取り付けられ、前方アーム部３２の他端部には、リスト延長部３４の一端部がリスト部４２における垂直回転軸Ｙ３を中心として回転自在に取り付けられ、リスト延長部３４の他端部には、末端作動体部４４が設けられ、駆動軸４８における垂直回転軸Ｙ１と肘部４１における垂直回転軸Ｙ２とはベルト及び滑車によって回転力が伝達され、肘部４１における垂直回転軸４１とリスト部４２における垂直回転軸Ｙ３とはベルト及び滑車により回転力が伝達されるものであって、駆動軸４６、４８を共に同調して回転することにより、可動アームアセンブリ２５を肩部４０の回りに単体として回転させるＴ移動をさせ、駆動軸４６、４８を逆回転することにより、可動アームアセンブリ２５の進展および格納させるＲ移動させ、末端作動体部４４に載せられた基板Ｓの中心は、肩部４０における垂直回転軸Ｙ１、リスト部４２における垂直回転軸Ｙ３を通る半径方向軸ｒに沿うように移動するものであり、
　カー２２を動かして肩部４０をカセット２６Ｌと２６Ｒの間の位置Ｄに位置決めした際、末端作動体部４４によって保持される基板Ｓの中心は、カセット２６Ｌ、２６Ｒに対応する互いに平行な基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に実質的に沿って移動されるように可動アームアセンブリ２５を制御するコントローラ５２が設けられ、
　コントローラ５２は、可動アームアセンブリ２５が、その肩部４０がカセット２６Ｌ、２６Ｒの間の位置Ｄに位置決めされた場合、末端作動体部４４上に基板Ｓが載置されている基板除去／基板挿入動作では、末端作動体部４４の中心が基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に沿って移動し、末端作動体部４４上に基板Ｓが載置されていない状態では、末端作動体部４４の中心が、肩部４０の垂直回転軸Ｙ１に対して実質的に半径方向に移動する運動であるＲ運動するように制御されるものであるロボットアーム搬送装置。」（以下、「引用発明」という。）
イ　引用刊行物２
　引用刊行物２には、以下の記載がある。
（セ）段落【０００１】
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転出力の取出し方向が同方向で同軸上の２軸回転駆動装置に係り、特に半導体基板やガラス基板のような被処理物を処理ステーション間で搬送する搬送用ロボットの駆動源に好適な２軸回転駆動装置に関するものである。」
（ソ）段落【００３０】〜【００３３】
「【００３０】第１駆動用モータ１及び第２駆動用モータ２はともに汎用モータから構成される。第１駆動用モータ１のモータ回転軸１ａにカップリング７を介して同軸的に第１回転出力軸３が取り付けられる。第１回転出力軸３は中空に形成されており、第１駆動用モータ側に近い軸方向の後部３ｂが閉じ、モータ１側から遠い前部３ａが開放した円筒形をしている。第１回転出力軸３は、その中間部よりも小径に形成された前部３ａ及び後部３ｂの突起軸３ｅが、回転負荷保持用ベアリング５ａ、５ｂを介して支持枠１１、１２に回転自在に支承されている。
【００３１】中空円筒状の第１回転出力軸３内に上記第２駆動用モータ２が、そのモータ回転軸２ａが第１回転出力軸３と同軸上になるように一体的に取り付けられる。この第２駆動用モータ２のモータ回転軸２ａにカップリング８を介して同軸的に第２回転出力軸４が取り付けられる。この第２回転出力軸４は、中空円筒状の第１回転出力軸３の開放した前部３ａから軸方向に突出して第１回転出力軸３と同軸的に配設される。第２回転出力軸４は、ベアリング５ｃを介して開放した前部３ａの内壁に回転自在に支承されている。
【００３２】上記構成において、第２駆動用モータ２を停止保持し、第１駆動用モータ１を駆動した場合、中空円筒状の第１回転出力軸３が回転する。中空円筒状の第１回転出力軸３内に第２駆動用モータ２が一体的に取り付けられているので、第１回転出力軸３の回転に伴って第２駆動用モータ２自身も回転する。このため第２駆動用モータ２のモータ回転軸２ａに取り付けられた内部の第２回転出力軸４も回転する。このように第１駆動用モータ１のみを駆動させることによって、第２回転出力軸４を第１回転出力軸３と同期回転させることができる。
【００３３】また、第２駆動用モータ２を駆動して、第１駆動用モータ１を停止保持した場合、外部の第１回転出力軸３は回転せず、その内部の第２回転出力軸４のみが回転する。したがって、第２回転出力軸４のみの回転も確保できる。」
（タ）段落【００３４】〜【００３６】
「【００３４】つぎに図２、図３を用いて上記２軸回転駆動装置を搬送用ロボットの駆動源として採用したときのロボットアーム６の作動を説明する。ロボットアーム６の構成は図８に示したものと同一である。また駆動用モータ１、２の第１回転出力軸３、第２回転出力軸４のロボットアーム６に対する連結の仕方も図８と同じであり、外部の第１回転出力軸３には固定プーリ６３が、また内部の第２回転出力軸４には第１アーム６１が連結されているものとする。
【００３５】(1) 第１駆動用モータ１停止保持、第２駆動用モータ２のみ駆動（図２）
第２駆動用モータ２を作動してその回転出力軸２４を反時計方向に回動させると、第１アーム６１も反時計方向に回転し、この回転に伴って第２アーム６２は時計方向に回動する。第２アーム６２が第１アーム６１に対して回動することで基板受載板６７が反時計方向に回転する。その結果、ロボットアーム６は、（ａ）→（ｂ）→（ｃ）のように作動して半導体基板Ｗの一方向直線搬送を行う。
【００３６】(2) 第２駆動用モータ２停止保持、第１駆動用モータ１のみ駆動（図３）
第１駆動用モータ１により第１回転出力軸３が回転すると、その内部に保持されている第２駆動用モータ２も一緒に回転されるため、第１アーム６１に対するプーリ６３の相対回転が生じない。したがって、これにベルト６８を介して連結されている第２プーリ６４ａにも回転が生じない。よって、ロボットアーム６は、第１アーム６１、第２アーム６２を重ねたままの姿勢保持状態で（ａ）から（ｂ）→（ｃ）のように作動して、半導体基板Ｗの回転搬送を行う。」
（チ）段落【０００５】〜【００１４】
「【０００５】上記２軸回転駆動装置を、半導体基板を搬送するための搬送用ロボットの駆動源として採用する場合には、２軸回転駆動装置は図８のようにロボットアーム６と結合される。
【０００６】ロボットアーム６は２つの中空のアーム６１、６２からなり、３つの関節を有する。第１関節６Ａは第１アーム６１の付根に、第２関節６Ｂは第１アーム６１と第２アーム６２との接続部に、第３関節６Ｃは第２アーム６２の先端にそれぞれ設けられる。第１関節６Ａを中心に第１アーム６１を回転させ、第２関節６Ｂを中心に第１アーム６１及び第２アーム６２を相対回転させ、第３関節６Ｃを中心に基板受載板６７を回転させようになっている。
【０００７】２軸回転駆動装置は、既述したように、ダイレクトドライブモータ２１によって回転駆動する中空円筒状の第１回転出力軸２３内に、ダイレクトドライブモータ２１の下部に同軸的に設けたダイレクトドライブモータ２２によって駆動回転する第２回転出力軸２４を挿通して、第１回転出力軸２３及び第２回転出力軸２４をそれぞれ回転自在に支承する。
【０００８】第１関節軸となる第２回転出力軸２４の上端に第１アーム６１の基端側を固着して回転自在に設ける。第１アーム６１の先端側に第２関節軸となる連結軸６４を回転自在に設け、連結軸６４は第１アーム６１の上方に突出させ、連結軸６４の上端には第２アーム６２を固着する。
【０００９】第１回転出力軸２３の上端に固定プーリ６３を固着し、第１アーム６１の内部の連結軸６４の下端部に拡径した伝動プーリ６４ａを設け、固定プーリ６３と伝動プーリ６４ａとをベルト６８によって連結する。
【００１０】第２アーム６２に遊動プーリ６５を固着立設し、第２アーム６２は遊動プーリ６５に回転自在に嵌合させ、連結軸６４は遊動プーリ６５に回転自在に貫通させる。第２アーム６２の回動先端側に第３関節軸となる従動軸６６を回転自在に設け、従動軸６６の下端に拡径した従動プーリ６６ａを設け、従動プーリ６６ａと遊動プーリ６５とをベルト６９により連結する。そして従動軸６６の上端には基板受載板６７を固着する。
【００１１】図９は上述した第１アーム６１と第２アーム６２とが重なったときの待機位置でのロボットアーム６の平面図であり、基板受載板６７に取り付けたツィーザ６７ａ上に半導体基板Ｗが載置されている状態を示す。
【００１２】図１０を用いて、第１駆動用モータが停止保持された状態で、第２駆動用モータを作動させた場合のロボットアーム６の作動を説明する。なお、モータの停止保持とは、モータを駆動せず、回転出力軸の回転をロックさせることである。第２駆動用モータを作動してその回転出力軸２４を反時計方向に回動させると、第１アーム６１も反時計方向に回転する。この回転に伴って固定プーリ６３が相対回転し、この固定プーリ６３の相対回転はベルト６８を介して伝動プーリ６４ａに伝達され、伝動プーリ６４ａは連結軸６４を介して第２アーム６２を時計方向に回動させる。
【００１３】第２アーム６２が第１アーム６１に対して回動することで第２アーム６２と遊動プーリ６５との間で相対回転を生じ、この相対回転はベルト６９を介して従動プーリ６６ａに伝達され、従動プーリ６６ａは従動軸６６を介して基板受載板６７を時計方向に回転させる。
【００１４】そして固定プーリ６３と伝動プーリ６４ａとの回転比と、遊動プーリ６５と従動プーリ６６ａとの回転比を逆比（２：１）としている。この逆比により、図１１の略図に示す通り、第１アーム６１が角度αだけ回転するとそれに連動して第２アーム６２が角度２αだけ回転する装置となる。これにより基板受載板６７は同一姿勢を保持しつつ直進運動をし、ロボットアーム６による半導体基板Ｗの一方向安定搬送が可能となる。」
（ツ）ここで、図面の図１を参照すると、搬送用ロボットの駆動源として、第１駆動用モータ１が第１回転出力軸３を回転し、該第１回転出力軸３内部に第２駆動用モータ２が設けられているのが見て取れる。ここで、図１ないし図３記載の搬送用ロボットにおけるロボットアーム６の構成につき、摘記事項（タ）における「ロボットアーム６の構成は図８に示したものと同一である」の記載から、引用刊行物２における従来例における図８、図９を説明する記載である摘記事項（チ）を参照し、また、摘記事項（タ）における「外部の第１回転出力軸３には固定プーリ６３が、また内部の第２回転出力軸４には第１アーム６１が連結されている」の記載から、第１回転出力軸３は固定プーリ６３に結合されており、第２回転出力軸４は第１アーム６１に接続されていることが理解できる。
　そして、図８を参照することにより、第１関節６Ａと第２関節６Ｂ間の距離と、第２関節６Ｂと第３関節６Ｃ間の距離は同じであることが見て取れる。
　また、第１駆動用モータ１による第１回転出力軸３と第２駆動用モータ２による第２回転出力軸４とは第１関節６Ａを中心として同軸的に設けられていることから、これが搬送用ロボットの旋回軸心であることは明らかである。
　さらに、図１を参照すると、第２回転出力軸４の先端は、第１回転出力軸３から突出しているのが見て取れ、図８を参照すると、連結軸６４は第１アーム６１から突出し、従動軸６６は第２アーム６２から突出しているのが見て取れる。
　図９を参照すると、基板受載板６７は、その一端部で従動軸６６に取り付けられ、他端部にツィーザ６７ａが固設されているのが見て取れる。
（テ）引用刊行物２記載の事項
　上記摘記事項（セ）ないし（チ）、及び上記認定事項（ツ）から、引用刊行物２には、以下の事項が記載されているものと認められる。
「第１駆動用モータ１により回転駆動され、旋回軸心を有する第１回転出力軸３が備えられ、前記第１回転出力軸３の内部には、第２駆動用モータ２により回転駆動され、前記旋回軸心と同軸に配置された第２回転出力軸４が、該第１回転出力軸３の回動とは無関係の状態に突出させられ、前記第２回転出力軸４には、第１アーム６１の基端側が取り付けられ、前記第１アーム６１の先端側には、該第１アーム６１の回動とともに、該第１アーム６１の体内でプーリ及びベルトを介して２：１のギア比で回動されることとなる連結軸６４が、該第１アーム６１の回動とは無関係の状態に突出させられ、該連結軸６４には、第２アーム６２の基端側が取り付けられ、前記第２アーム６２の先端側には、該第２アーム６２の体内でプーリ及びベルトを介して１：２のギア比で回動されることとなる従動軸６６が、該第２アーム６２の回動とは無関係の状態に突出させられ、第１関節６Ａと第２関節６Ｂ間の距離と、第２関節６Ｂと第３関節６Ｃ間の距離は、同じにされており、前記従動軸６６には、基板受載板６７の一端部が取り付けられ、基板受載板６７の他端部には、基板Ｗを載置するためのツィーザ６７ａが固設されている搬送用ロボット。」（以下、「引用刊行物２記載事項」という。）
（３）対比
　補正発明と引用発明とを対比すると以下のとおりである。
　引用発明の「コントローラ５２」は、補正発明の「制御装置」に相当し、以下同様に、「基板Ｓ」が「基板」に、「ロボットアーム搬送装置」が「基板搬送用ロボット」にそれぞれ相当することが明らかである。
　引用発明の「肩部４０」、「上部アーム３１」、「肘部４１」、「前方アーム部３２」、「リスト部４２」、「リスト延長部３４」、「末端作動体部４４」、「ベルト」、「滑車」は、それぞれ、補正発明の「第１支軸」、「第１アーム」、「第２支軸」、「第２アーム」、「第３支軸」、「第３アーム」、「ハンド」、「ベルト」、「プーリ」に相当し、引用発明の「肩部４０」は補正発明の「旋回軸心」にも相当する。また、引用発明の「カー２２を動かして肩部４０をカセット２６Ｌと２６Ｒの間の位置Ｄに位置決めした際、末端作動体部４４によって保持される基板Ｓの中心は、カセット２６Ｌ、２６Ｒに対応する互いに平行な基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に実質的に沿って移動されるように可動アームアセンブリ２５を制御する」ことは、可動アームアセンブリ２５の回転中心である肩部４０が位置Ｄ上にある際に、基板Ｓの中心が、Ｄから離れた直線である基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２上に沿って移動するものであるから、補正発明の「ハンドが保持する基板の中心の一点が旋回軸心から外れて前記ハンドの到達範囲内にある任意の方向の直線上をロボット本体に対して直線移動するように制御する」ことに相当する。そして、引用発明のＴ移動は補正発明の回転基台の回転駆動と共通し、引用発明のＲ移動は補正発明の第１支軸の回転駆動と共通する。したがって、引用発明の「カー２２に搭載されたロボット２４であって、可動アームアセンブリ２５及び駆動部２７から成り、可動アームアセンブリ２５は上部アーム３１、前方アーム部３２及びリスト延長部３４を順に接続した３つのアーム部を有し、垂直回転軸Ｙ１を中心に回転する同軸的に取り付けられた駆動軸４６、４８を有し、駆動軸４６には上部アーム３１の一端部が固定的に搭載され、前記上部アーム３１の他端部には、前方アーム部３２の一端部が肘部４１における垂直回転軸Ｙ２を中心として回転自在に取り付けられ、前方アーム部３２の他端部には、リスト延長部３４の一端部がリスト部４２における垂直回転軸Ｙ３を中心として回転自在に取り付けられ、リスト延長部３４の他端部には、末端作動体部４４が設けられ、駆動軸４８における垂直回転軸Ｙ１と肘部４１における垂直回転軸Ｙ２とはベルト及び滑車によって回転力が伝達され、肘部４１における垂直回転軸４１とリスト部４２における垂直回転軸Ｙ３とはベルト及び滑車により回転力が伝達されるものであって、駆動軸４６、４８を共に同調して回転することにより、可動アームアセンブリ２５を肩部４０の回りに単体として回転させるＴ移動をさせ、駆動軸４６、４８を逆回転することにより、可動アームアセンブリ２５の進展および格納させるＲ移動させ、末端作動体部４４に載せられた基板Ｓの中心は、肩部４０における垂直回転軸Ｙ１、リスト部４２における垂直回転軸Ｙ３を通る半径方向軸ｒに沿うように移動するものであり、カー２２を動かして肩部４０をカセット２６Ｌと２６Ｒの間の位置Ｄに位置決めした際、末端作動体部４４によって保持される基板Ｓの中心は、カセット２６Ｌ、２６Ｒに対応する互いに平行な基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に実質的に沿って移動されるように可動アームアセンブリ２５を制御するコントローラ５２が設けられ」る点は、「第１のモータ及び第２のモータにより回転駆動され、旋回軸心と同軸に配置された第１支軸を有し、前記第１支軸には、第１アームの一端部が取り付けられ、前記第１アームの他端部には、該第１アームの回動とともに、プーリおよびベルトを介して回動されることとなる第２支軸が設けられ、前記第２支軸には、第２アームの一端部が取り付けられ、前記第２アームの他端部には、該第２アームの回動とともに、プーリおよびベルトを介して回動されることとなる第３支軸が設けられ、前記第３支軸には、第３アームの一端部が取り付けられ、前記第３アームの他端部には、基板を保持するためのハンドが固設され、Ｔ移動とＲ移動とが可能で、前記ハンドが保持する前記基板の中心の一点が前記旋回軸心から外れて前記ハンドの到達範囲内にある直線上をロボット本体に対して直線移動するように制御する制御装置が設けられ」る限りにおいて、補正発明の「第１のモータ（Ｍ１）により回転駆動され、旋回軸心（Ｑ）を有する回転基台（３）が備えられ、
　前記回転基台（３）の上部には、第２のモータ（Ｍ２）により回転駆動され、前記旋回軸心（Ｑ）と同軸に配置された第１支軸（４）が、該回転基台（３）の回動とは無関係の状態に突出させられ、
　前記第１支軸（４）には、第１アーム（５）の一端部が取り付けられ、
　前記第１アーム（５）の他端部には、該第１アーム（５）の回動とともに、該第１アーム（５）の体内でプーリおよびタイミングベルトを介して２：１のギア比で回動されることとなる第２支軸（６）が、該第１アーム（５）の回動とは無関係の状態に突出させられ、
　前記第２支軸（６）には、第２アーム（７）の一端部が取り付けられ、
　前記第２アーム（７）の他端部には、該第２アーム（７）の回動とともに、該第２アーム（７）の体内でプーリおよびタイミングベルトを介して１：２のギア比で回動されることとなる第３支軸（８）が、該第２アーム（７）の回動とは無関係の状態に突出させられ、
　前記第１・第２支軸（４）・（６）間の距離と前記第２・第３支軸（６）・（８）間の距離とは、同じにされており、
　前記第３支軸（８）には、第３アーム（９）の一端部が取り付けられ、
　前記第３アーム（９）の他端部には、基板を保持するためのハンド（10）が固設され、
　前記回転基台（３）の回転角度をθとし、前記第１アーム（５）の回転角度をφとしたとき、前記ハンド（10）が保持する前記基板の中心の一点が前記旋回軸心（Ｑ）から外れて前記ハンド（10）の到達範囲内にある任意の方向の直線（Ｈ）上を前記ロボット本体に対して直線移動し、前記基板が回転しながら容器に受け渡し・取り出しされるように、これらの回転角度θとφとをそれぞれ同時的に制御する制御装置が設けられ」る点と共通している。
　したがって、補正発明と引用発明とは、以下の点で一致しているということができる。
＜一致点＞
「第１のモータ及び第２のモータにより回転駆動され、旋回軸心と同軸に配置された第１支軸を有し、前記第１支軸には、第１アームの一端部が取り付けられ、前記第１アームの他端部には、該第１アームの回動とともに、プーリおよびベルトを介して回動されることとなる第２支軸が設けられ、前記第２支軸には、第２アームの一端部が取り付けられ、前記第２アームの他端部には、該第２アームの回動とともに、プーリおよびベルトを介して回動されることとなる第３支軸が設けられ、前記第３支軸には、第３アームの一端部が取り付けられ、前記第３アームの他端部には、基板を保持するためのハンドが固設され、Ｔ移動とＲ移動とが可能で、前記ハンドが保持する前記基板の中心の一点が前記旋回軸心から外れて前記ハンドの到達範囲内にある直線上をロボット本体に対して直線移動するように制御する制御装置が設けられる基板搬送用ロボット。」
　そして、補正発明と引用発明とは、以下の点で相違している。
ア　＜相違点１＞
　ロボットの構造に関して、補正発明では、回転基台や第１支軸等が「ロボット本体内」に設けられていると特定しているのに対して、引用発明では、駆動部２７等がどこに設けられているのか不明な点。
イ　＜相違点２＞
　第１のモータ及び第２のモータにより回転駆動され、旋回軸心と同軸に配置された第１支軸を有し、前記第１支軸には、第１アームの一端部が取り付けられ、前記第１アームの他端部には、該第１アームの回動とともに、プーリおよびベルトを介して回動されることとなる第２支軸が設けられ、前記第２支軸には、第２アームの一端部が取り付けられ、前記第２アームの他端部には、該第２アームの回動とともに、プーリおよびベルトを介して回動されることとなる第３支軸が設けられ、前記第３支軸には、第３アームの一端部が取り付けられ、前記第３アームの他端部には、基板を保持するためのハンドが固設されるロボットアームの関節構造に関して、補正発明は、「第１のモータ（Ｍ１）により回転駆動され、旋回軸心（Ｑ）を有する回転基台（３）が備えられ、前記回転基台（３）の上部には、第２のモータ（Ｍ２）により回転駆動され、前記旋回軸心（Ｑ）と同軸に配置された第１支軸（４）が、該回転基台（３）の回動とは無関係の状態に突出させられ、前記第１支軸（４）には、第１アーム（５）の一端部が取り付けられ、前記第１アーム（５）の他端部には、該第１アーム（５）の回動とともに、該第１アーム（５）の体内でプーリおよびタイミングベルトを介して２：１のギア比で回動されることとなる第２支軸（６）が、該第１アーム（５）の回動とは無関係の状態に突出させられ、前記第２支軸（６）には、第２アーム（７）の一端部が取り付けられ、前記第２アーム（７）の他端部には、該第２アーム（７）の回動とともに、該第２アーム（７）の体内でプーリおよびタイミングベルトを介して１：２のギア比で回動されることとなる第３支軸（８）が、該第２アーム（７）の回動とは無関係の状態に突出させられ、前記第１・第２支軸（４）・（６）間の距離と前記第２・第３支軸（６）・（８）間の距離とは、同じにされており、前記第３支軸（８）には、第３アーム（９）の一端部が取り付けられ、前記第３アーム（９）の他端部には、基板を保持するためのハンド（10）が固設され」る構造であるのに対して、引用発明は、カー２２に搭載されたロボット２４であって、可動アームアセンブリ２５及び駆動部２７から成り、可動アームアセンブリ２５は上部アーム３１、前方アーム部３２及びリスト延長部３４を順に接続した３つのアーム部を有し、垂直回転軸Ｙ１を中心に回転する同軸的に取り付けられた駆動軸４６、４８を有し、駆動軸４６には上部アーム３１の一端部が固定的に搭載され、前記上部アーム３１の他端部には、前方アーム部３２の一端部が肘部４１における垂直回転軸Ｙ２を中心として回転自在に取り付けられ、前方アーム部３２の他端部には、リスト延長部３４の一端部がリスト部４２における垂直回転軸Ｙ３を中心として回転自在に取り付けられ、リスト延長部３４の他端部には、末端作動体部４４が設けられ、駆動軸４８における垂直回転軸Ｙ１と肘部４１における垂直回転軸Ｙ２とはベルト及び滑車によって回転力が伝達され、肘部４１における垂直回転軸４１とリスト部４２における垂直回転軸Ｙ３とはベルト及び滑車により回転力が伝達されるものであって、末端作動体部４４に載せられた基板Ｓの中心は、肩部４０における垂直回転軸Ｙ１、リスト部４２にお���る垂直回転軸Ｙ３を通る半径方向軸ｒに沿うように移動するものである点。
ウ　＜相違点３＞
　ハンドが保持する前記基板の中心の一点が旋回軸心から外れて前記ハンドの到達範囲内にある直線上をロボット本体に対して直線移動するように制御する制御装置の制御に関して、補正発明では、「回転基台（３）の回転角度をθとし、前記第１アーム（５）の回転角度をφとしたとき、前記ハンド（10）が保持する前記基板の中心の一点が前記旋回軸心（Ｑ）から外れて前記ハンド（10）の到達範囲内にある任意の方向の直線（Ｈ）上を前記ロボット本体に対して直線移動し、前記基板が回転しながら容器に受け渡し・取り出しされるように、これらの回転角度θとφとをそれぞれ同時的に制御する」と特定しているのに対して、引用発明では、カー２２を動かして肩部４０をカセット２６Ｌと２６Ｒの間の位置Ｄに位置決めした際、末端作動体部４４によって保持される基板Ｓの中心は、カセット２６Ｌ、２６Ｒに対応する互いに平行な基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に実質的に沿って移動されるように可動アームアセンブリ２５を制御するものである点。
エ　＜相違点４＞
　制御装置の制御に関し、補正発明では、「第１アーム（５）、第２アーム（７）、および第３アーム（９）を、回転させつつ、基板の中心の一点を、旋回軸心（Ｑ）から一定距離ｈだけ外れて、かつ、ハンド（10）の到達範囲内にある任意の方向の直線（Ｈ）上を、ロボット本体に対して直線移動させる際、第１・第２支軸（４）・（６）間の距離＝第２・第３支軸（６）・（８）間の距離＝Ｌ、第３支軸（８）と基板の中心との間の距離＝ｍ、としたとき、
　｛ｍ＋２Ｌsin(φ) ｝sin(θ) ＝ｈ（一定）
を満足するように、第１のモータ（Ｍ１）および第２のモータ（Ｍ２）の回転を制御し、回転角度θと回転角度φとをそれぞれ同時的に制御して、ロボット進退時における前記第１アーム（５）、前記第２アーム（７）、および前記第３アーム（９）の進行の移動軌跡と退行の移動軌跡とを同じにするべく、ロボット旋回とロボット進退とを同時的に制御する」ものであるのに対して、引用発明では、可動アームアセンブリ２５が、その肩部４０がカセット２６Ｌ、２６Ｒの間の位置Ｄに位置決めされた場合、末端作動体部４４上に基板Ｓが載置されている基板除去／基板挿入動作では、末端作動体部４４の中心が基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に沿って移動し、末端作動体部４４上に基板Ｓが載置されていない状態では、末端作動体部４４の中心が、肩部４０の垂直回転軸Ｙ１に対して実質的に半径方向に移動する運動であるＲ運動するように制御されるものである点。
（４）相違点の検討
ア　＜相違点１＞について
　ロボットの駆動機構をロボット本体内に設けることは、例示するまでもなく、従来周知の事項である。
イ　＜相違点２＞について
　引用刊行物２記載事項は、「第１駆動用モータ１により回転駆動され、旋回軸心を有する第１回転出力軸３が備えられ、前記第１回転出力軸３の内部には、第２駆動用モータ２により回転駆動され、前記旋回軸心と同軸に配置された第２回転出力軸４が、該第１回転出力軸３の回動とは無関係の状態に突出させられ、前記第２回転出力軸４には、第１アーム６１の基端側が取り付けられ、前記第１アーム６１の先端側には、該第１アーム６１の回動とともに、該第１アーム６１の体内でプーリ及びベルトを介して２：１のギア比で回動されることとなる連結軸６４が、該第１アーム６１の回動とは無関係の状態に突出させられ、該連結軸６４には、第２アーム６２の基端側が取り付けられ、前記第２アーム６２の先端側には、該第２アーム６２の体内でプーリ及びベルトを介して１：２のギア比で回動されることとなる従動軸６６が、該第２アーム６２の回動とは無関係の状態に突出させられ、第１関節６Ａと第２関節６Ｂ間の距離と、第２関節６Ｂと第３関節６Ｃ間の距離は、同じにされており、前記従動軸６６には、基板受載板６７の一端部が取り付けられ、基板受載板６７の他端部には、基板Ｗを載置するためのツィーザ６７ａが固設されている搬送用ロボット。」である。ここで、引用刊行物２記載事項における「第１駆動用モータ１」、「第２駆動用モータ２」、「第１回転出力軸３」、「第２回転出力軸４」、「第１アーム６１」、「第２アーム６２」、「基板受載板６７」、「ツィーザ６７ａ」、「連結軸６４」、「従動軸６６」は、それぞれ、補正発明の「第１のモータ」、「第２のモータ」、「回転基台」、「第１支軸」、「第１アーム」、「第２アーム」、「第３アーム」、「ハンド」、「第２支軸」、「第３支軸」に相当し、刊行物２記載事項における「基端側」、「先端側」は、それぞれ、「一端部」、「他端部」と言えるものであり、刊行物２記載事項における「第１関節６Ａと第２関節６Ｂ間の距離と、第２関節６Ｂと第３関節６Ｃ間の距離」は補正発明の「第１・第２支軸間の距離と第２・第３支軸間の距離」に相当し、引用刊行物２記載事項における「載置する」ことは「保持する」と言えるものであるから、引用刊行物２記載事項は、「第１のモータにより回転駆動され、旋回軸心を有する回転基台が備えられ、前記回転基台の内部には、第２のモータにより回転駆動され、前記旋回軸心と同軸に配置された第１支軸が、該回転基台の回動とは無関係の状態に突出させられ、前記第１支軸には、第１アームの一端部が取り付けられ、前記第１アームの他端部には、該第１アームの回動とともに、該第１アームの体内でプーリ及びベルトを介して２：１のギア比で回動されることとなる第２支軸が、該第１アームの回動とは無関係の状態に突出させられ、該第２支軸には、第２アームの一端部が取り付けられ、前記第２アームの他端部には、該第２アームの体内でプーリ及びベルトを介して１：２のギア比で回動されることとなる第３支軸が、該第２アームの回動とは無関係の状態に突出させられ、前記第１・第２支軸間の距離と前記第２・第３支軸間の距離とは、同じにされており、前記第３支軸には、第３アームの一端部が取り付けられ、前記第３アームの他端部には、基板を保持するためのハンドが固設されている搬送用ロボット。」と言い換えることができる。そして、引用刊行物２記載事項も引用発明も、ともに、２つの駆動源により駆動させられる搬送用ロボットであり、３つのアームを有し、それぞれのアームはベルト及びプーリにより回転駆動させられるものであることから、引用発明における駆動部２７及び可動アームアセンブリ２５を引用刊行物２記載事項に置き換えることは、当業者にとって格別の困難性を有するものではない。
　なお、補正発明では、さらに、第２のモータは回転基台の「上部」に設けられるものと特定し、また、回転伝達機構であるプーリ及びベルトを「プーリ及びタイミングベルト」と特定している。
　しかしながら、第２のモータを設置する位置を刊行物２記載事項における回転基台の「内部」に代えて「上部」としても、そのことによる格別の作用を有するものではないので、この点は単なる設計上の微差に過ぎない。また、回転伝達機構を「プーリ及びタイミングベルト」に特定した点については、ロボットの関節駆動機構に用いるベルト及びプーリとして、タイミングベルト及びプーリを用いることは、例示するまでもなく従来慣用されている技術であることから、引用発明において、ベルト及びプーリとして、タイミングベルト及びプーリを用いることは、単なる設計的事項に過ぎない。
ウ　＜相違点３＞について
　引用発明も補正発明も、ハンドが保持する基板の中心の一点が旋回軸心から外れて前記ハンドの到達範囲内にある直線上をロボット本体に対して直線移動するように制御するものである点では同じである。また、引用発明においても、末端作動体部４４に基板Ｓは載置されているだけであるから、リスト延長部３４のカセット２６Ｌ、２６Ｒに対する進入角度が変更されれば、末端作動体部４４に載置された基板Ｓはカセット２６Ｌ、２６Ｒに受け渡し、取り出される際には当然回転するものである。相違点２に関する補正発明では、その際に、「回転基台の回転角度をθとし、第１アームの回転角度をφとしたとき、回転角度θとφとをそれぞれ同時的に制御するものである」と特定したものであるが、引用発明において、可動アームアセンブリ２５を引用刊行物２記載事項に置き換えた場合、回転基台に相当する第１回転出力軸３の回転角度をθと、第１アームの回転角度に相当する第２回転出力軸の回転角度をφとすれば、引用発明において、互いに平行な基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に沿って末端作動体部４４の中心が移動するようにするためには、回転角度θとφとをそれぞれ同時的に制御しなけれればならないものであることは明らかである。
　したがって、相違点２については、相違点１による刊行物２記載事項を採用することによって、当然変更しなければならない、単なる設計的事項に過ぎない。
エ　＜相違点４＞について
　補正発明は、相違点４として、制御装置が、「第１アーム（５）、第２アーム（７）、および第３アーム（９）を、回転させつつ、基板の中心の一点を、旋回軸心（Ｑ）から一定距離ｈだけ外れて、かつ、ハンド（10）の到達範囲内にある任意の方向の直線（Ｈ）上を、ロボット本体に対して直線移動させる際、第１・第２支軸（４）・（６）間の距離＝第２・第３支軸（６）・（８）間の距離＝Ｌ、第３支軸（８）と基板の中心との間の距離＝ｍ、としたとき、
　｛ｍ＋２Ｌsin(φ) ｝sin(θ) ＝ｈ（一定）
を満足するように、第１のモータ（Ｍ１）および第２のモータ（Ｍ２）の回転を制御し、回転角度θと回転角度φとをそれぞれ同時的に制御して、ロボット進退時における前記第１アーム（５）、前記第２アーム（７）、および前記第３アーム（９）の進行の移動軌跡と退行の移動軌跡とを同じにするべく、ロボット旋回とロボット進退とを同時的に制御する」と特定している。
　すなわち、引用発明では、可動アームアセンブリ２５が、その肩部４０がカセット２６Ｌ、２６Ｒの間の位置Ｄに位置決めされた場合、末端作動体部４４上に基板Ｓが載置されている基板除去／基板挿入動作では、末端作動体部４４の中心が基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に沿って移動し、末端作動体部４４上に基板Ｓが載置されていない状態では、末端作動体部４４の中心が、肩部４０の垂直回転軸Ｙ１に対して実質的に半径方向に移動する運動であるＲ運動するように制御されるものであるのに対し、補正発明では、基板の中心の一点を、旋回軸心から一定距離ｈだけ外れた直線Ｈ上を、第１ないし第３アームの進行の移動軌跡と退行の移動軌跡とを同じにするように制御するものである。
　しかしながら、引用発明において、末端作動体部４４上に基板Ｓが載置されない状態では、末端作動体部４４の中心が、肩部４０の垂直回転軸Ｙ１に対して実質的に半径方向に移動することが移動距離において最短経路であって、この最短経路を通るように末端作動体部４４を移動させているものである。ここで、引用刊行物１における摘記事項（ケ）に「別の実施例においては、カセットの内側の位置がアームアセンブリ２５の『Ｒ』移動を妨げるところでは、末端作動体４４はカセットに対応する基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に対して小さい角度の軸に沿って、カセットに対して末端作動体を並進させることによりカセットに挿入される。」と記載されているように、末端作動体部４４をカセット２６Ｌ、２６Ｒへの最短経路が妨げられる場合には、末端作動体部４４の中心の移動経路を基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に対して小さい角度で動かすことが示唆されているし、小さい角度が０、すなわち、移動経路をＸ１、Ｘ２とすれば、末端作動体部４４の移動がカセット２６Ｌ、２６Ｒの内側により妨げられないことは明らかであるから、引用発明において、末端作動体部４４上に基板Ｓが載置されていない状態においても、末端作動体部４４の中心が基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に沿って移動するように制御することは、当業者にとって格別の困難性を有するものではない。
オ　＜補正発明の効果＞について
　補正発明によってもたらされる効果も、引用発明及び上記従来周知の各事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
カ　したがって、補正発明は、引用発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
３　むすび
　よって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
４　平成２３年７月５日付け回答書の主張について
　審判請求人は、平成２３年７月５日付け回答書第４ページ第３行〜第８ページ末行にあるように、特許請求の範囲を補正案のとおり補正する用意があることを主張している。
　すなわち、補正案における請求項１に係る発明は、「基板の受け渡し時の往復動作および基板の取り出し時の往復動作の際の、」ロボット進退時における前記第１アーム（５）、前記第２アーム（７）、および前記第３アーム（９）の進行の移動軌跡と退行の移動軌跡とを同じにするべく、ロボット旋回とロボット進退とを同時的に制御すると特定し、また、旋回軸心（Ｑ）から一定距離ｈだけ外れる任意の方向の直線（Ｈ）につき、「基板の中心を旋回軸心（Ｑ）とを結ぶ直線を除く」と除くクレームとするものである。
　しかしながら、上記＜相違点４＞についての判断で言及したとおり、引用発明において、末端作動体部４４上に基板Ｓが載置されていない状態においても、末端作動体部４４の中心が基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に沿って移動するように制御することは、当業者にとって格別の困難性を有するものではないと判断される以上、上記請求人の補正案を仮に採用したとしても、同様に、補正案に示される発明は、引用発明、及び従来周知の事項から当業者が容易になし得たものであると判断せざるを得ない。
　したがって、審判請求人の上記主張は採用できない。
　
第３　本件出願の発明について
１　本件出願の発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、平成２１年９月１１日付け手続補正書により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項２に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本件出願の発明」という。）は、上記第２の１（１）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの「基板搬送用ロボット」である。
２　引用刊行物
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載内容は、上記第２の２（２）に示したとおりである。
３　対比・検討
　本件出願の発明は、上記第２の２で検討した補正発明から、実質上、回転角度θとφとをそれぞれ「同時的に」制御するものであると発明特定事項を削除し、また、ロボット旋回とロボット進退の制御について、「ロボット進退時における前記第１アーム（５）、前記第２アーム（７）、および前記第３アーム（９）の進行の移動軌跡と退行の移動軌跡とを同じにするべく、ロボット旋回とロボット進退とを同時的に制御する」ものであるという発明特定事項を削除したものである。
　そうすると、実質上、本件出願の発明を構成する事項の全てを含み、さらに他の事項を付加する補正発明が上記第２の２（４）で示したとおり、引用刊行物１記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件出願の発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
４　むすび
　したがって、本件出願の発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、本件出願の請求項２に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。