【事件の表示】
　特願２００７−５０５００９「流動化した有機材料の気化」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年１０月　６日国際公開、ＷＯ２００５／０９３１１７、平成１９年１１月　８日国内公表、特表２００７−５３１８１９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１７年３月１４日（パリ条約による優先権主張２００４年３月２２日　米国）を国際出願日とする出願であって、平成２０年３月１４日付けで手続補正がされ、平成２３年３月２８日付けで拒絶理由が通知され、同年１０月４日付けで手続補正がされ、平成２４年７月６日付けで拒絶査定がされ、これに対し、同年１１月９日に拒絶査定不服審判が請求されたものである。
　
第２　本願発明
　本願の請求項２に係る発明は、平成２３年１０月４日付けの手続補正により、補正された特許請求の範囲の請求項２に記載された事項により特定される以下のとおりのものと認める。
「【請求項２】
　有機材料を気化させて基板の表面に膜を形成する方法であって、
　（a）所定量の粉末形態の有機材料を容器に供給し；
　（b）その粉末形態の有機材料を流動化し、計量し、流動化した粉末流として透過可能な第１の部材の上に誘導し；
　（c）その透過可能な第１の部材を加熱し、流動化した上記粉末流を、その透過可能な上記第１の部材の中を通過するときに気化させ；
　（d）気化した有機材料をマニホールド内に回収し；
　（e）そのマニホールドと一体化された又はそのマニホールドに取り付けられた第２の部材に複数の開口部を用意し、気化した有機材料を該マニホールドから該複数の開口部を通して上記基板の表面に誘導して膜を形成する操作を含む方法。」
（以下、本願の請求項２に係る発明を「本願発明」という。）。
　
第３　原査定の理由の概要
　本願発明は、その優先日前に日本国内又は外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明に基いて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　
　刊行物１　特開平４−１２０２７０号公報
　刊行物２　国際公開第０２／０２７０６４号
　
第４　当審の判断
１．刊行物の記載事項（以下、審決中、「・・・」は、記載事項の省略を意味する。）
（１）刊行物１
１−１
「.蒸着物質の超微粒子２２を混合したガスを坩堝１９内に連続的に導入しながら、蒸着物質の超微粒子２２を抵抗加熱用ヒータ２４により加熱することで蒸着物質の超微粒子２２を蒸発させ、坩堝内部の蒸着物質の蒸気の圧力を増加させる。このとき、坩堝内部の圧力および温度を検出し、坩堝への加熱入力および超微粒子２２を混合したガスの流量を制御することにより、坩堝内部の蒸着物質の蒸発蒸気１８の分圧およびキャリアガスの分圧をそれぞれ約ＩＴｏｒｒに設定する。」（第４頁右下欄第１２行〜第５頁左上欄第１行）
１−２
「超微粒子を混合したガスの流量を調整し、坩堝内圧を制御することにより、製膜速度すなわちクラスタの流量の制御も容易となり、製膜速度の安定化を達成できる。」（第５頁右上欄第１４〜１８行）
１−３
「円筒状の坩堝本体１９ｂの内部には、連続した気孔を有する円柱状の多孔質体３９を形成し、坩堝本体１９ｂと熱的に密着させている。したがって、坩堝本体１９ｂの温度と多孔質体３９の温度をほぼ等しくすることが可能となる。」（第５頁右下欄第１８行〜第６頁左上欄第３行）
１−４
「坩堝１９内の多孔質体３９の下部には空間を形成しているため、坩堝内に供給された蒸着物質の超微粒子２２を混合したガスは、多孔質体３９内を均一に流動する。
　本実施例によれば、抵抗加熱用ヒータ２４により坩堝１９を加熱すれば、坩堝本体１９ｂと多孔質体３９の温度はほぼ同じになるため、超微粒子２２を加熱するための伝熱面積を著しく増大させることができる。すなわち、より少ない加熱入力で、効率的に超微粒子２２を均一に加熱し、蒸発させることができる。したがって、蒸着物質の蒸気の温度および圧力を一様化できる。さらに、多孔質体３９の上部に空間を形成しているため、蒸発した蒸気は混合し、坩堝から噴出する直前の蒸着物質の蒸気の温度および圧力はほぼ一様なものとなる。・・・この結果　製膜した膜は非常に均質なものとなる。」（第６頁左上欄第１８行〜第６頁右上欄第１６行）
１−５
「
」
　
（２）刊行物２
「Verfahren zum Abscheiden insbesondere organischer Schichten, bei dem in einem beheizten Reaktor (1) ein in einer von einem Behalter (2) gebildeten Quelle (I) bevorrateter, nicht gasformiger Ausgangsstoff (3) mit-tels eines Tragergases (4) im gasformigen Zustand (5) von der Quelle (I) zu einem Substrat (II) transportiert wird, wo er auf dem Substrat (II) deponiert」（請求項１）」
（仮訳）
「特に有機皮膜を沈積する方法において、加熱された反応炉（１）内で容器（２）を形成する供給源（Ｉ）に貯蔵されガス状でない初期材料（３）が、搬送ガス（４）によってガスの状態（５）で供給源（Ｉ）から基板（ＩＩ）に輸送され、基板（ＩＩ）に沈積される方法において」
　
２．刊行物１に記載された発明について
　刊行物１には、坩堝内に供給された蒸着物質の超微粒子を混合したガスは、多孔質体内を均一に流動し、多孔質体の上部に空間を形成しているため、蒸発した蒸気は混合し、坩堝から噴出する直前の蒸着物質の蒸気の温度および圧力はほぼ一様なものとなる結果、製膜した膜は非常に均質なものとなり、抵抗加熱用ヒータにより坩堝を加熱すれば、坩堝本体と多孔質体の温度はほぼ同じになる製膜方法（１−３、１−４）の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　
３．対比・判断
（１）対比
　引用発明の「蒸着物質」、「超微粒子」、「多孔質体」、「蒸発」は、本願発明の「材料」、「粉末」、「透過可能な第１の部材」、「気化」に相当する。
　そして、引用発明は、蒸着物質を製膜するものであるが、これが材料を気化させて基板の表面に膜を形成するものに相当すること、引用発明の「混合したガス」に含まれる「蒸着物質の超微粒子」という状態は、「蒸着物質の超微粒子」が流動化した状態に他ならないから、引用発明の「蒸着物質の超微粒子を混合」は、本願発明の「材料を流動化」に相当することは明らかである。
　また、引用発明は、「坩堝内に供給された蒸着物質の超微粒子を混合したガスは、多孔質体内を均一に流動し、多孔質体の上部に空間を形成しているため、蒸発した蒸気は混合」されるのだから、本願発明の「流動化した上記粉末流を、その透過可能な上記第１の部材の中を通過するときに気化させ」（１−５を見るに、多孔質体の下部の超微粒子が多孔質体の上部でより小さな「蒸着物質の蒸気」になったと解される。）に相当することは明らかである。
　さらに、引用発明は、「蒸着物質の蒸気」が「坩堝から噴出する」から、そこに開口部があることは明らかである。
　そこで、引用発明と本願発明を対比すると、両者は、
「　材料を気化させて基板の表面に膜を形成する方法であって、
　（b）粉末形態の材料を流動化し、流動化した粉末流として透過可能な第１の部材の上に誘導し；
　（c）その透過可能な第１の部材を加熱し、流動化した上記粉末流を、その透過可能な上記第１の部材の中を通過するときに気化させ；
　（d）気化した材料を回収し；
　（e）気化した材料を開口部を通して上記基板の表面に誘導して膜を形成する操作を含む方法」である点で一致する。
　他方、本願発明が「有機材料」を対象にするのに対し、引用発明がこれにつき明らかでない点（相違点１）、本願発明が有機材料を「計量」するのに対し、引用発明がこれにつき明らかでない点（相違点２）、本願発明が気化した有機材料を「マニホールド」内に回収するのに対し、引用発明がこれにつき明らかでない点（相違点３）、本願発明が「マニホールドと一体化された又はそのマニホールドに取り付けられた第２の部材に複数の開口部」を有しているのに対し、引用発明がこれにつき明らかでない点（相違点４）、本願発明が「所定量の粉末形態の有機材料を容器に供給」するものであるのに対し、引用発明がこれにつき明らかでない点（相違点５）で相違する。　
（２）判断
　そこで、上記相違点について検討する。
ア．相違点１について
　引用発明の技術分野において、成膜する材料として有機材料を選択することは、周知であるから（特開平３−１６２５６７号公報［産業上の利用分野］、特開平５−１２５５２５号公報【０００１】、特開平４−１７６８６３号公報［産業上の利用分野］、特開昭５８−１６７６０２号公報、特許請求の範囲、特開平１−１０２４３６号公報、特許請求の範囲）、材料として有機材料を選択することは、当業者が適宜成し得る設計事項にすぎない。
　そうすると、相違点１は、当業者が容易に成し得るというべきである。
　
イ．相違点２について
　刊行物１には、坩堝への超微粒子を混合したガスの流量を制御することにより、坩堝内部の蒸着物質の蒸発蒸気の分圧を設定することや（１−１）、製膜速度の安定化を達成することが記載されているし（１−２）、成膜に際し膜の材料の量を調整することは、技術常識であるから（特開２０００−１６４３５６号公報【請求項１】、特開２００２−２３３７９６号公報【０００４】、特開２０００−２２３２６９号公報【００１４】、特開２００２−２４６１７５号公報【００３０】、特開２００３−７５７９号公報【請求項６】、特開２００３−２９３１４０号公報【００１３】）、引用発明の技術分野において、材料を計量することは、当業者が適宜成し得ることである。
　そうすると、相違点２は、当業者が容易に成し得るというべきである。
　
ウ．相違点３について
　本願発明における「マニホールド」は、気化した有機材料を回収するものであるところ、確かに、刊行物１には、「マニホールド」という文言はないが、多孔質体の上部にある空間で蒸着物質の蒸気が温度および圧力はほぼ一様の状態になり、坩堝から噴出することが開示され（１−４）、多孔質体の下側では比較的大きな超微粒子が多孔質体の上側では比較的小さな蒸着物質の蒸気になって、多孔質体の上部にある空間に滞留しているから（１−５）、多孔質体の上部にある空間は、実質的に「マニホールド」と解され、相違点３は、実質的な相違点とはいえない。
　仮に、相違するとしても、成膜前に気化した材料を回収するマニホールドを設けることは、１−４、１−５の記載事項に照らし、当業者が適宜成し得ることである。
　そうすると、相違点３は、当業者が容易に成し得るというべきである。
　
エ．相違点４について
　引用発明の技術分野において、マニホールドと一体化された又はそのマニホールドに取り付けられた部材に複数の開口部を設けることは、周知である（特開２００３−２９７５７０号公報【００２８】【００２９】【０１０７】、特開平４−１７６８６３号公報［従来の技術］、特開平７−２３８３６８号公報【請求項６】、特開平７−２３２９９２号公報【図１】、特開平７−１３８７３８号公報【図３】、特開平１−１０３８５７号公報第４頁右下欄及び第７図）。
　そうすると、相違点４は、当業者が容易に成し得るというべきである。
　
オ．相違点５について
　引用発明も、坩堝内に蒸着物質の超微粒子を供給するものであるから（１−４）、蒸着物質の超微粒子自体の供給源として、何らかの容器があることは自明であるし（２−１）、坩堝内に蒸着物質の超微粒子を供給する際、所定量供給することは自明であるから、相違点５は、実質的な相違点とはいえない。
　仮に、相違するとしても、所定量の蒸着物質の超微粒子を容器に供給することは、１−４、２−１の記載事項に照らし、当業者が適宜成し得ることである。。
　そうすると、相違点５は、当業者が容易に成し得るというべきである。
　
　以上から、本願発明は、刊行物１、２に記載された技術的事項及び周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。
　
第６　むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明については検討するまでもなく、本願は、原査定の理由により拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。