(57)【要約】【課題】バグフィルターの目詰まりが生じにくい集塵装置を提供する。【解決手段】集塵装置１は、筐体１０と、バグフィルター２０とを備える。筐体１０は、集塵室１１と、導入口１２と、排出口１３とを有する。導入口１２は、集塵室１１に接続されている。排出口１３は、導入口１２よりも上方に設けられている。排出口１３は、集塵室１１に接続されている。バグフィルター２０は、導入口１２と排出口１３とを隔離するように集塵室１１に設けられている。バグフィルター２０は、可撓性を有するシート材により構成されている。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
集塵室と、前記集塵室に接続された導入口と、前記導入口よりも上方に設けられており、前記集塵室に接続された排出口とを有する筐体と、
前記導入口と前記排出口とを隔離するように前記集塵室に設けられたバグフィルターと、
を備え、
バグフィルターは、可撓性を有するシート材により構成されている集塵装置。
【請求項２】
前記バグフィルターは、
下方に向かって延びる側壁部と、
前記側壁部の下端部に接続された底壁部と、
を有する、請求項１に記載の集塵装置。
【請求項３】
前記バグフィルターの底部に取り付けられた錘をさらに備える、請求項１又は２に記載の集塵装置。
【請求項４】
前記バグフィルターは、前記筐体に振動又は揺動が加わったときに変形可能な厚みに設けられている、請求項１〜３のいずれか一項に記載の集塵装置。
【請求項５】
前記バグフィルターを振動又は揺動させる機構をさらに備える、請求項１〜４のいずれか一項に記載の集塵装置。
【請求項６】
前記集塵室の前記バグフィルターよりも前記導入口側の部分に配された、ガスを処理する処理剤をさらに備える、請求項１〜５のいずれか一項に記載の集塵装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、集塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、排気ガスによる環境負荷を低減するために、排気ガスに対する規制が厳しくなってきている。これに伴い、排気ガスの処理装置が種々提案されている。例えば、ドライエッチングを行った際に排出される排気ガスのように、粉体を含む排気ガスの処理に際しては、排気ガスの処理装置の前段に集塵装置を設けることがある。例えば特許文献１には、その一例が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５２００４５３号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
集塵装置では、目詰まりした際にバグフィルターを交換する必要がある。このため、バグフィルターの取り替え頻度を少なくするために、バグフィルターの目詰まりを抑制したいという要望がある。
【０００５】
本考案の主な目的は、バグフィルターの目詰まりが生じにくい集塵装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案に係る集塵装置は、筐体と、バグフィルターとを備える。筐体は、集塵室と、導入口と、排出口とを有する。導入口は、集塵室に接続されている。排出口は、導入口よりも上方に設けられている。排出口は、集塵室に接続されている。バグフィルターは、導入口と排出口とを隔離するように集塵室に設けられている。バグフィルターは、可撓性を有するシート材により構成されている。
【考案の効果】
【０００７】
本考案によれば、バグフィルターの目詰まりが生じにくい集塵装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施形態に係る集塵装置の模式的断面図である。
【図２】第２の実施形態に係る集塵装置の模式的断面図である。
【図３】第３の実施形態に係る集塵装置の模式的断面図である。
【図４】第４の実施形態に係る集塵装置の模式的断面図である。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本考案は、下記の実施形態に何ら限定されない。
【００１０】
また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものである。図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
【００１１】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る集塵装置１の模式的断面図である。この集塵装置１は、ガスに含まれる粉体を集塵し、粉体の濃度が低減されたガスを供給する装置である。集塵装置１は、例えば、ガスの処理装置の前段に接続されて使用される。
【００１２】
集塵装置１は、筐体１０を有する。筐体１０には、集塵室１１が設けられている。集塵室１１には、導入口１２と、排出口１３とが接続されている。導入口１２よりガスが集塵室１１に導入される。集塵室１１においてガスに含まれる粉体が取り除かれる。粉体が取り除かれたガスは、集塵室１１から排出口１３を経由して排出される。
【００１３】
導入口１２は、排出口１３よりも下方に位置している。このため、集塵室１１において、ガスは、上下方向における上方向に向かって流れる。
【００１４】
集塵室１１には、バグフィルター２０が設けられている。バグフィルター２０は、導入口１２と排出口１３とを隔離するように設けられている。すなわち、バグフィルター２０は、集塵室１１を、導入口１２側の部分１１ａと、排出口１３側の部分１１ｂとに区画するように設けられている。より具体的には、集塵室１１を、導入口１２側の部分１１ａと、排出口１３側の部分１１ｂとに区画する隔壁２１が設けられている。隔壁２１には、集塵室１１の導入口１２側の部分１１ａと、排出口１３側の部分１１ｂとを接続している貫通孔２１ａが形成されている。バグフィルター２０は、この貫通孔２１ａを覆うように隔壁２１に取り付けられている。本実施形態では、隔壁２１に複数の貫通孔２１ａが設けられており、各貫通孔２１ａに対してバグフィルター２０が取り付けられている。
【００１５】
バグフィルター２０は、複数の貫通孔を有するシート材により構成されている。バグフィルター２０は、例えば、織布又は不織布により構成されていてもよい。バグフィルター２０に設けられた貫通孔よりも大きな粉体はバグフィルター２０により集塵される。貫通孔の大きさは、被処理ガスに含まれる、または被処理ガスにおいて発生する粉体の粒子径等に応じて適宜設定することができる。貫通孔の大きさは、例えば、１０μｍ〜１００μｍ程度とすることができ。２０μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。
【００１６】
集塵装置１では、バグフィルター２０が可撓性を有するシート材により構成されている。バグフィルター２０は、筐体１０に振動や揺動が加わった際に変形可能な厚みに設けられている。このため、筐体１０に振動や揺動が加わった際に、バグフィルター２０が変形する。例えば、バグフィルター２０が振動したり、揺動したりする。このバグフィルター２０の変形により、バグフィルター２０に詰まっていた粉体が振り落とされる。その結果、バグフィルター２０の目詰まりが解消され得る。従って、集塵装置１では、バグフィルター２０の寿命が長い。
【００１７】
集塵装置１では、バグフィルター２０が、凸状に設けられている。具体的には、バグフィルター２０は、下方に向かって延びる側壁部２０ａと、側壁部２０ａの下端部に設けられた底壁部２０ｂとを有する。このため、筐体１０に振動や揺動が加わった際にバグフィルター２０が変形しやすい。従って、バグフィルター２０の目詰まりがより解消されやすい。
【００１８】
バグフィルター２０の目詰まりがさらに解消されやすくする観点からは、バグフィルター２０の高さ（Ｈ）に対するバグフィルター２０の幅（Ｗ）の比（（Ｈ）／（Ｗ））が０．５以上であることが好ましく、２以上であることがより好ましい。但し、比（（Ｈ）／（Ｗ））が大きすぎると、装置の高さが大きくなりすぎ転倒の危険性がある。従って、比（（Ｈ）／（Ｗ））は、１５以下であることが好ましく、１０以下であることがより好ましい。
【００１９】
バグフィルター２０は、例えば、例えば樹脂シートにより構成することができる。具体的には、バグフィルター２０は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体、ポリビニリデンフルオライド、ポリクロロトリフルオロエチレン又はクロロトリフルオエチレン・エチレン共重合体等からなるシートにより構成されていることが好ましい。
【００２０】
バグフィルター２０を構成している樹脂シートの厚みは、例えば、０．１〜１０程度であることが好ましく、０．５〜２であることがより好ましい。
【００２１】
以下、本考案の好ましい実施形態の他の例について説明する。以下の説明において、上記第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。
【００２２】
（第２の実施形態）
図２は、第２の実施形態に係る集塵装置１ａの模式的断面図である。集塵装置１ａでは、集塵室１１にガスを処理する処理剤１４が配されている。具体的には、処理剤１４は、集塵室１１のバグフィルター２０よりも導入口１２側の部分１１ａに配されている。この処理剤１４は、被処理ガスに含まれる有害物質などの濃度を低減させる薬剤である。集塵装置１ａには処理剤１４が設けられているため、集塵装置１ａに導入されるガスの処理を行うことができる。集塵装置１ａは、集塵機能と処理機能とを兼ね備えている。もちろん、集塵装置１ａとは別体にガスの処理装置を設けてもよい。また、バグフィルターの下流側に処理剤を配してもよい。
【００２３】
処理剤１４は、被処理ガスの種類等に応じて適宜選択することができる。処理剤１４は、例えば、被処理ガス中に含まれる、濃度を低減させようとする物質を吸着する吸着剤であってもよいし、濃度を低減させようとする物質と反応する反応剤、濃度を低減させようとする物質を反応させる触媒等であってもよい。処理剤１４は、吸着剤、反応剤及び触媒のうちの少なくとも２つを含んでいてもよい。処理剤１４は、被処理ガスの種類に応じて適宜選択することができる。吸着剤の具体例としては、例えば、ゼオライト、活性炭、活性白土、水酸化カルシウム、添着活性炭（酸化銅及び酸化亜鉛の少なくとも一方が担持された活性炭）等が挙げられる。反応剤の具体例としては、例えば、酸化鉄、酸化マンガン等が挙げられる。好ましく用いられる酸化鉄の具体例としては、例えば、酸化鉄（ＩＩ）（ＦｅＯ）、酸化鉄（ＩＩＩ）（Ｆｅ２Ｏ３）等が挙げられる。好ましく用いられる酸化マンガンの具体例としては、例えば、一酸化マンガン（ＭｎＯ）、二酸化マンガン（ＭｎＯ２）、四酸化三マンガン（Ｍｎ３Ｏ４）、七酸化二マンガン（Ｍｎ２Ｏ７）等が挙げられる。触媒の具体例として、例えば、白金、パラジウム等が挙げられる。
【００２４】
（第３の実施形態）
図３は、第３の実施形態に係る集塵装置１ｂの模式的断面図である。第３の実施形態に係る集塵装置１ｂでは、バグフィルター２０の底部に錘２２が取り付けられている。このため、筐体１０に振動や揺動が加わった際に、バグフィルター２０が大きく変形しやすい。よって、バグフィルター２０の目詰まりがより解消されやすい。
【００２５】
錘２２は、例えば、ステンレス、アルミニウム等により構成することができる。
【００２６】
（第４の実施形態）
図４は、第４の実施形態に係る集塵装置１ｃの模式的断面図である。第４の実施形態に係る集塵装置１ｃでは、振動／揺動機構２３が設けられている。この振動／揺動機構２３は、バグフィルター２０を振動又は揺動させる機構である。具体的には、振動／揺動機構２３は、筐体１０に取り付けられており、筐体１０を振動又は揺動させることにより、バグフィルター２０を振動又は揺動させる機構である。この振動／揺動機構２３を駆動させることにより、バグフィルター２０を振動又は揺動させることができる。例えば、バグフィルター２０の目詰まりが激しくなったときに、振動／揺動機構２３を駆動させ、通常よりも大きな振動または揺動をバグフィルター２０に加え得る。これにより、バグフィルター２０の目詰まりを解消させることができる。
【符号の説明】
【００２７】
１、１ａ、１ｂ、１ｃ：集塵装置
１０：筐体
１１：集塵室
１１ａ：集塵室の導入口側の部分
１１ｂ：集塵室の排出口側の部分
１２：導入口
１３：排出口
１４：処理剤
２０：バグフィルター
２０ａ：側壁部
２０ｂ：底壁部
２１：隔壁
２１ａ：貫通孔
２２：錘
２３：振動／揺動機構
【図１】
0003211746.tif 000003
【図２】
0003211746.tif 000004
【図３】
0003211746.tif 000005
【図４】
0003211746.tif 000006