(57)【要約】板ガラス（１）の面に接当して板ガラス（１）との間を密閉する環状の密閉部（１０）と減圧可能な内部空間（１１）とを備え、複層ガラス（Ｐ）を形成する板ガラス（１）に設けられた減圧用の吸引口（６ａ）周りに密閉部（１０）を接当させて内部空間（１１）を減圧することにより、吸引口（６ａ）を介して複層ガラス（Ｐ）の間隙部（Ｖ）を減圧するように構成されているガラスパネル用減圧容器で、減圧容器（９）の密閉部（１０）が、板ガラス（１）に接当する金属製の接当端部（１６）と、接当端部（１６）の外側に設けられた減圧可能な凹入溝（１５）と、凹入溝（１５）の外側に配設されたシール部材（１９）により構成されている。
2003095388.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板ガラス（１）の面に接当して板ガラス（１）との間を密閉する環状の密閉部（１０）と減圧可能な内部空間（１１）とを備え、ガラスパネル（Ｐ）を形成する板ガラス（１）に設けられた減圧用の吸引口（６ａ）周りに前記密閉部（１０）を接当させて前記内部空間（１１）を減圧することにより、前記吸引口（６ａ）を介して前記ガラスパネル（Ｐ）の間隙部（Ｖ）を減圧するように構成されているガラスパネル用減圧容器であって、
その減圧容器（９）の前記密閉部（１０）が、前記板ガラス（１）に接当する金属製の接当端部（１６）と、その接当端部（１６）の外側に設けられた減圧可能な凹入溝（１５）と、その凹入溝（１５）の外側に配設されたシール部材（１９）により構成されているガラスパネル用減圧容器。
【請求項２】
前記密閉部（１０）が、前記凹入溝（１５）の外側で、かつ、前記シール部材（１９）の内側に位置して前記板ガラス（１）に接当する金属製の外側接当端部（２０）を備えている請求項１に記載のガラスパネル用減圧容器。
【請求項３】
前記密閉部（１０）が、前記外側接当端部（２０）の外側で、かつ、前記シール部材（１９）の内側に位置する減圧可能な外側凹入溝（２１）を備えている請求項２に記載のガラスパネル用減圧容器。
【請求項４】
前記内部空間（１１）と前記外側凹入溝（２１）とが、互いに異なる減圧系統により減圧可能に構成されている請求項３に記載のガラスパネル用減圧容器。
【請求項５】
前記減圧容器のうち、前記シール部材（１９）を除く他の部分が、金属材料により一体的に構成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載のガラスパネル用減圧容器。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、板ガラスの面に接当して板ガラスとの間を密閉する環状の密閉部と減圧可能な内部空間とを備え、ガラスパネルを形成する板ガラスに設けられた減圧用の吸引口周りに前記密閉部を接当させて前記内部空間を減圧することにより、前記吸引口を介して前記ガラスパネルの間隙部を減圧するように構成されているガラスパネル用減圧容器に関する。
背景技術
減圧すべき間隙部を有するガラスパネルの製造に際しては、ガラスパネルを加熱することによって間隙部内に存在する水分、有機物、油脂などを気化させ、その気化させた水分などを間隙部から吸引除去するベーキング処理が不可欠である。
本発明に係る減圧容器は、そのベーキング処理を実行する際に使用されるもので、従来、減圧容器の密閉部が、ゴムや合成樹脂からなるシール用のＯリングで構成されたものが多用されている。
また、減圧容器を金属材料で構成するとともに、その密閉部に凹入溝を形成して、凹入溝に隣接する部分を板ガラスへの金属製の接当端部とし、凹入溝を減圧することによって、板ガラスに対する接当端部の密着性を向上させて、金属製接当端部により密閉するように構成されたものも知られている（例えば、ＷＯ００／２９７０３号公報参照）。
ところが、ベーキング処理に際しては、上述したようにガラスパネルを加熱する必要があるため、当然、減圧容器の密閉部が接当する板ガラス部分も加熱によって温度上昇することになる。
その場合、ゴムや合成樹脂などからなるＯリングにより密閉部を構成したものでは、板ガラスの温度が１００℃以上になると、Ｏリング内に含まれる有機系材料などが気化し、減圧容器の内部空間内へ吸引されて内部空間の減圧を阻害することになる。したがって、ベーキング処理において、ガラスパネルをあまり高い温度にまで加熱することができず、そのためにベーキング処理に長時間を要し、生産性の低下に伴うガラスパネルのコストアップを招くおそれがある。
その点、減圧可能な凹入溝と金属製の接当端部により密閉部を構成したものでは、有機系材料などが気化するおそれもなく、ベーキング処理に際してガラスパネルを高い温度にまで加熱することが可能となる。
その場合、板ガラスの温度が３００℃以上になると、板ガラスが変形しやすくなるため、板ガラスに対する金属製接当端部の密着性はよくなるが、２００℃以下であると、板ガラスの変形が不十分で必要な密着性が得られず、減圧容器の内部空間を所望どおりに減圧することができなくなるおそれがある。
本発明は、このような従来の問題点に着目したもので、その目的は、ガラスパネルのベーキング処理に際し、板ガラスの温度の如何にかかわらず、常に減圧容器の内部空間を所望どおりに減圧して、ガラスパネルの間隙部から必要な気体を吸引除去することのできるガラスパネル用減圧容器を提供することである。
発明の開示
本発明のガラスパネル用減圧容器の特徴構成は次の通りである。
本発明に係る第１の特徴構成は、図３〜図１１に例示するごとく、板ガラス１の面に接当して板ガラス１との間を密閉する環状の密閉部１０と減圧可能な内部空間１１とを備え、ガラスパネルＰを形成する板ガラス１に設けられた減圧用の吸引口６ａ周りに前記密閉部１０を接当させて前記内部空間１１を減圧することにより、前記吸引口６ａを介して前記ガラスパネルＰの間隙部Ｖを減圧するように構成されているガラスパネル用減圧容器であって、その減圧容器９の前記密閉部１０が、前記板ガラス１に接当する金属製の接当端部１６と、その接当端部１６の外側に設けられた減圧可能な凹入溝１５と、その凹入溝１５の外側に配設されたシール部材１９により構成されているところにある。
本構成であれば、減圧容器の密閉部が、板ガラスに接当する金属製の接当端部と、その接当端部の外側に設けられた減圧可能な凹入溝により構成されているので、例えば、ベーキング処理に際して板ガラスの温度が３００℃以上になれば、板ガラスの変形と凹入溝の減圧による吸着作用が有効に機能して、金属製の接当端部が板ガラスに対して確実に密着し、減圧容器の内部空間を所望どおりに減圧することが可能となる。
そして、その金属製の接当端部と減圧可能な凹入溝により構成される密閉部には、さらに、凹入溝の外側に配設されたＯリングなどのシール部材が設けられているので、例えば、板ガラスの温度が２００℃以下であって、板ガラスの変形と凹入溝の減圧による吸着作用が十分に機能しない場合には、シール部材によるシール機能が十分に発揮されるのであり、たとえシール部材内に含まれる有機系材料などが気化しても、その気化した有機系材料は、シール部材の内側に位置する凹入溝から外部へ吸引されるため、減圧容器の内部空間内へ吸引されることもなく、減圧容器の内部空間を所望どおりに減圧することができる。
このように板ガラスの温度に自然と対応して、金属製の接当端部と凹入溝による密着機能やシール部材によるシール機能、さらには、両機能の協働による密閉作用が確実に実行されるので、ガラスパネルのベーキング処理に際し、その加熱温度に制限を受けることなく、常に減圧容器の内部空間を所望どおりに減圧して、ガラスパネルの間隙部から必要な気体を吸引除去することができる。
本発明に係る第２の特徴構成は、図６〜図１１に例示するごとく、前記密閉部１０が、前記凹入溝１５の外側で、かつ、前記シール部材１９の内側に位置して前記板ガラス１に接当する金属製の外側接当端部２０を備えているところにある。
本構成であれば、減圧容器の密閉部が、凹入溝の外側で、かつ、シール部材の内側に位置して板ガラスに接当する金属製の外側接当端部を備えているので、上述した作用、効果に加えて、金属製の外側接当端部による密閉作用も期待でき、減圧容器の内部空間をより確実に減圧することができる。
本発明に係る第３の特徴構成は、図８および図９に例示するごとく、前記密閉部１０が、前記外側接当端部２０の外側で、かつ、前記シール部材１９の内側に位置する減圧可能な外側凹入溝２１を備えているところにある。
本構成であれば、減圧容器の密閉部が、外側接当端部の外側で、かつ、シール部材の内側に位置する減圧可能な外側凹入溝を備えているので、上述した凹入溝による吸着作用に加えて、外側凹入溝による吸着作用も期待でき、特に外側接当端部にあっては、内側と外側に位置する両凹入溝による両側からの吸着作用によって、板ガラスに対して確実に密着されることになり、減圧容器の内部空間を一層確実に減圧することが可能となる。
本発明に係る第４の特徴構成は、図８に例示するごとく、前記内部空間１１と前記外側凹入溝２１とが、互いに異なる減圧系統により減圧可能に構成されているところにある。
本構成であれば、減圧容器の内部空間と密閉部の外側凹入溝とが、互いに異なる減圧系統により減圧可能に構成されているので、減圧容器の内部空間は、できるだけ高真空になるように減圧し、密閉部の外側凹入溝は、所定の吸着作用を期待できる程度に減圧するなど、それぞれの目的に応じた減圧状態に容易に制御することができる。
さらに、減圧容器の内部空間と密閉部の外側凹入溝とを同じ減圧系統により減圧する場合には、シール部材から気化して外側凹入溝から吸引された有機系材料などが、その減圧系統を逆流して減圧容器の内部空間内に侵入する可能性も考えられるが、互いに異なる減圧系統により減圧することで、減圧容器の内部空間内への有機系材料などの逆流は皆無となる。
本発明に係る第５の特徴構成は、図３〜図１１に例示するごとく、前記減圧容器９のうち、前記シール部材１９を除く他の部分が、金属材料により一体的に構成されているところにある。
本構成であれば、減圧容器のうち、シール部材を除く他の部分が、金属材料により一体的に構成されているので、例えば、減圧容器の一部を透明な石英ガラスで構成したり、密閉部のみを金属材料で構成するのに比して、減圧容器を簡単な構造で安価に、かつ、減圧にも十分に耐え得るように丈夫に構成することが可能となる。
発明を実施するための最良の形態
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
本発明では、複数枚の板ガラスから成るユニットをガラスパネルとする。
本発明の減圧容器を使用して製造するガラスパネルとしては、例えば、真空複層ガラスがあり、その真空複層ガラスＰは、図１に示すように、一対の板ガラス１，２において、両板ガラス１，２の面が、その間にステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）やインコネル７１８などからなる多数のスペーサ３を介在させ、それによって、両板ガラス１，２の間に間隙部Ｖを有する状態で互いに対向するように配置され、両板ガラス１，２の周縁部が、両板ガラス１，２よりも溶融温度が低く、かつ、気体透過度の低い低融点ガラス４で接合され、両板ガラス１，２の間隙部Ｖが、減圧状態で密閉されて構成されている。
両板ガラス１，２の間隙部Ｖは、０．１３３Ｐａ（１×１０−３Ｔｏｒｒ）以下に減圧され、一方の板ガラス１には、間隙部Ｖ内の気体を排気して減圧するため、図２および図３に詳細に示すように、断面が円形の減圧用の吸引孔５が穿設されている。
この吸引孔５には、ガラス製の吸引管６が挿入されて、吸引管６や板ガラス１よりも溶融温度の低い低融点ガラス７によって板ガラス１に接着固定され、さらに、その吸引管６の吸引口６ａ、つまり、真空複層ガラスＰの間隙部Ｖを減圧するための減圧用の吸引口６ａ（図３参照）が、加熱による溶融で密閉状態に封止されて（図２参照）、吸引管６を覆うキャップ８が板ガラス１に接着されて構成されている。
つぎに、この真空複層ガラスＰを製造するのに使用する減圧容器９につき、その第１〜第４の実施形態を図３〜図１１に基づいて説明する。
［第１の実施形態］
第１の実施形態による減圧容器９は、図３〜図５に示すように、上面が閉鎖されて下面が開口された有底の円筒状に形成され、その円筒の下部は、真空複層ガラスＰを形成する両板ガラス１，２のうちの吸引孔５を有する板ガラス１の面上に接当して板ガラス１との間を密閉する円環状の密閉部１０に構成されている。その減圧容器９には、内部空間１１に連通する減圧ポート１２が設けられ、その減圧ポート１２にフレキシブルパイプ１３が接続されて、図外のロータリーポンプやターボ分子ポンプによる吸引によって、減圧容器９の内部空間１１が減圧可能に構成されるとともに、減圧容器９の内部空間１１内には、吸引管６の吸引口６ａを加熱して溶融するためのヒータ１４が配設されている。
円環状の密閉部１０には、図４に拡大して示すように、円環状の凹入溝１５が設けられ、その凹入溝１５の内側に隣接する円環状部分が下方に突出されて、板ガラス１に直接接当する金属製の接当端部１６に構成されるとともに、凹入溝１５に連通する吸引ポート１７が設けられ、その吸引ポート１７にフレキシブルパイプ１８が接続されて、図外のロータリーポンプなどによる吸引により、凹入溝１５内が減圧可能に構成されている。
好ましくは、吸引ポート１７のフレキシブルパイプ１８には、減圧容器９の内部空間１１を減圧するロータリーポンプなどとは異なる別のロータリーポンプなどが接続され、換言すると、減圧容器９の内部空間１１と密閉部１０の凹入溝１５とが、互いに異なる減圧系統により減圧可能に構成されている。
さらに、凹入溝１５の外側には、シール溝２４が設けられ、板ガラス１に接触して板ガラス１との間をシールするゴムや合成樹脂からなるシール部材としてのＯリング１９が、その一部をシール溝２４内に収容した状態で配設されて、前記密閉部１０が、金属製の接当端部１６と、その接当端部１６の外側に設けられた減圧可能な凹入溝１５と、その凹入溝１５の外側に配設されたシール用のＯリング１９により構成され、密閉部１０を含む減圧容器９のうち、Ｏリング１９を除く他の部分が、金属材料により全て一体的に構成されている。
シール部材として、例えば、各種のパッキンやガスケットを使用することも可能であるが、耐熱性を備えていれば使用可能であるため、比較的入手しやすいＯリング１９を使用するのが、コストの面で好ましい。
また、使用するＯリング１９のサイズに関しては、減圧容器９が板ガラス１に吸着したときの圧縮量などを考慮して設定するのが好ましい。
例えば、Ｏリング１９の断面径が４．１±０．１ｍｍで、その内径が６９．０±０．６１ｍｍであれば、Ｏリング１９の断面径が大き過ぎて、後述するベーキング処理実行の際、接当端部１６が板ガラス１に密着することができず、接当端部１６によるシール性の確保はむずかしくなる。しかし、Ｏリング１９の断面径が３．１±０．１ｍｍ以下であると、逆に、Ｏリング１９の断面径が小さ過ぎて圧縮量も小さく、やはりシール性の確保はむずかしくなる。このような理由から、本実施形態では、使用するＯリング１９としては、その断面径が３．４〜３．７ｍｍ程度で、内径が６９．４ｍｍ程度、外径が７６．５ｍｍ程度とすると、シール性の確保において良好な結果が得られた。実際に実験に用いたＯリング１９の寸法は、３．５３±０．１ｍｍ、内径が６９．４４ｍｍ、外径が７６．５０ｍｍであった。
また、Ｏリング１９により十分なシール効果を得るためには、シール溝２４の深さも重要で、上述した断面径が３．５３±０．１ｍｍのものを使用するのであれば、０．３〜０．５ｍｍの圧縮量を確保するため、減圧容器９が板ガラス１に吸着したとき、板ガラス１の上面からシール溝２４の底面までが３．２ｍｍ程度になるように設定するのが好ましい。
［第２の実施形態］
第２の実施形態による減圧容器９は、図６および図７に示すように、円環状の凹入溝１５の外側に隣接する円環状部分も下方に突出されて、板ガラス１に直接接当する金属製の外側接当端部２０に構成され、円環状の密閉部１０が、金属製の接当端部１６と、その接当端部１６の外側に設けられた減圧可能な凹入溝１５と、その凹入溝１５の外側に位置する金属製の外側接当端部２０と、その外側接当端部２０の外側に配設されたシール用のＯリング１９により構成されている。つまり、第２の実施形態による密閉部１０は、第１の実施形態による密閉部１０に外側接当端部２０が付加されたような構成とされ、この第２の実施形態においても、減圧容器９のうち、Ｏリング１９を除く他の部分が、金属材料により全て一体的に構成されている。
尚、その他の構成については、第１の実施形態と同じであるため、同じ参照番号を付すことで説明を省略する。
［第３の実施形態］
第３の実施形態による減圧容器９は、図８および図９に示すように、外側接当端部２０とＯリング１９との間にも円環状の外側凹入溝２１が設けられ、かつ、その凹入溝２１に連通する外側吸引ポート２２が設けられて、その外側吸引ポート２２にフレキシブルパイプ２３が接続され、図外のロータリーポンプなどによる吸引により、外側凹入溝２１内が減圧可能に構成されている。
つまり、第３の実施形態による密閉部１０は、第２の実施形態による密閉部１０に外側凹入溝２１が付加されたような構成とされ、やはり、Ｏリング１９以外の部分が、金属材料により全て一体的に構成されている。
そして、その外側吸引ポート２２のフレキシブルパイプ２３には、減圧容器９の内部空間１１を減圧するロータリーポンプなどとは異なる別のロータリーポンプなどが接続され、換言すると、減圧容器９の内部空間１１と密閉部１０の外側凹入溝２１とが、互いに異なる減圧系統により減圧可能に構成されている。この場合、外側凹入部２１の減圧系統と、その内側に位置する凹入溝１５の減圧系統とを同じ減圧系統で構成することも、互いに異なる別の減圧系統で構成することもできる。
尚、その他の構成については、第１および第２の実施形態と同じであるため、同じ参照番号を付すことで説明を省略する。
［第４の実施形態］
第４の実施形態による減圧容器９は、図１０および図１１に示すように、第２の実施形態と同様に、円環状の密閉部１０が、金属製の接当端部１６と、その接当端部１６の外側に設けられた減圧可能な凹入溝１５と、その凹入溝１５の外側に位置する金属製の外側接当端部２０と、その外側接当端部２０の外側に配設されたシール用のＯリング１９により構成され、Ｏリング１９以外の部分が、金属材料により全て一体的に構成されている。
この第４の実施形態が第２の実施形態と異なるのは、図１１から明らかなように、円柱状の内部空間１１が減圧容器９の中心に対して偏心して設けられている点であり、そのため、凹入溝１５の幅が、周方向で連続的に異なるように構成されている。このように構成することで、減圧用の吸引孔５が両板ガラス１，２の周縁部に近接している場合にも対応可能となる。
尚、その他の構成については、第１および第２の実施形態、特に第２の実施形態と同じであるため、同じ参照番号を付すことで説明を省略する。
つぎに、この真空複層ガラスＰを製造する工程などについて説明する。
まず、一対の板ガラス１，２のうち、吸引孔５の穿設されていない方の板ガラス２をほぼ水平に支持して、その周縁部の上面にペースト状の低融点ガラス４を塗布し、かつ、多数のスペーサ３を所定の間隔で配設して、その上方から他方の板ガラス１を載置するとともに、吸引孔５に吸引管６を挿入して、その周りにペースト状の低融点ガラス７を塗布する。
そして、両板ガラス１，２をほぼ水平にして図外の加熱炉内に収納し、焼成により低融点ガラス４，７を溶融させ、その溶融状態にある低融点ガラス４，７によって両板ガラス１，２の周縁部を接合して間隙部Ｖを密閉する接合処理を実行するとともに、吸引管６を板ガラス１に接合する。
その後、吸引管６を覆うようにして、減圧容器９を板ガラス１の上面に載置し、間隙部Ｖを加熱しながら、減圧ポート１２に接続したフレキシブルパイプ１３からの吸引で減圧容器９の内部空間１１を減圧し、間隙部Ｖ内の気体を吸引孔５や吸引管６を介して吸引排気するベーキング処理を実行し、さらに、間隙部Ｖ内を０．１３３Ｐａ（１×１０−３Ｔｏｒｒ）以下にまで減圧する。
その際、第１、第２、第４の実施形態では、吸引ポート１７に接続したフレキシブルパイプ１８からの吸引により、また、第３の実施形態では、吸引ポート１７に接続したフレキシブルパイプ１８と外側吸引ポート２２に接続したフレキシブルパイプ２３からの吸引によって、例えば、各凹入溝１５，２１を１３３Ｐａ（１Ｔｏｒｒ）以下にまで減圧する。
いずれの実施形態においても、密閉部１０の最も内側に金属製の接当端部１６が位置し、その外側に位置する凹入溝１５が減圧されるので、例えば、ベーキング処理により板ガラス１が３００℃以上に加熱されていれば、板ガラス１の変形と凹入溝１５の減圧による吸着作用によって、金属製の接当端部１６が板ガラス１に対して確実に密着されて減圧容器９の内部空間１１が密閉される。
また、例えば、板ガラス１の温度が２００℃以下で、金属製の接当端部１６が板ガラス１に対して確実に密着しない場合には、密閉部１０の最も外側に位置するＯリング１９によるシール機能が期待でき、たとえ、Ｏリング１９内に含まれる有機系材料などが気化しても、その気化した有機系材料は、凹入溝１５から外部へ吸引され、減圧容器９の内部空間１１内へ吸引されることはない。
その際、Ｏリング１９は、その一部がシール溝２４内に収容されているので、所定の位置に確実に保持されるとともに、ベーキング処理の実行に際し、Ｏリング１９が凹入溝１５や内部空間１１内へ吸い込まれるおそれもない。
さらに、第２〜第４の実施形態では、金属製の外側接当端部２０による密閉作用も期待でき、特に第３の実施形態では、その外側接当端部２０の外側に外側凹入溝２１が位置するので、外側接当端部２０に対してその内側と外側に凹入溝１５，２１が位置することになり、両凹入溝１５，２１による両側からの吸着作用が期待でき、減圧容器９の内部空間１１を確実に減圧することが可能となる。
そして、ベーキング処理実行中に、ヒータ１４により吸引管６の先端を局部的に加熱して溶融させ、吸引管６の吸引口６ａを封止するのである。
［別実施の形態］
〈１〉上記実施形態では、減圧容器９を円筒状に形成し、密閉部１０を円環状に形成した例を示したが、例えば、減圧容器９を矩形の筒状や多角形の筒状、さらには、ドーム状に形成し、それに応じて、密閉部１０の形状を変更することもでき、密閉容器９や密閉部１０の形状については適宜変更が可能である。
また、減圧容器９に関しても、Ｏリング１９を除く他の部分を金属材料により一体的に構成した例を示したが、減圧容器９の一部を透明な石英ガラスで構成して、減圧容器９の内部を目視可能に構成することも、さらに、減圧容器９の密閉部１０のみを金属材料で構成して、他の部分をセラミックやガラスによって構成することもできる。
〈２〉上記実施形態では、真空複層ガラスＰを製造するに際し、その間隙部Ｖを０．１３３Ｐａ（１×１０−３Ｔｏｒｒ）以下にまで減圧し、密閉部１０の凹入溝１５，２１を１３３Ｐａ（１Ｔｏｒｒ）以下にまで減圧した例を示したが、これは単なる一例に過ぎず、間隙部Ｖと凹入溝１５，２１の減圧に関しては適宜変更して実施することができる。
さらに、間隙部Ｖと凹入溝１５，２１を同じ圧力にまで減圧することもでき、その場合には、減圧用のロータリーポンプやターボ分子ポンプなどを共用することもできる。
〈３〉上記実施形態では、複層ガラスの一例として真空複層ガラスＰを示したが、両板ガラス１，２の間隙部Ｖに気体を封入したプラズマディスプレイパネルなどのガラスパネルの製造にも適用することができ、その場合には、ベーキング処理を実行した後、間隙部Ｖに所定の気体を封入することになる。
産業上の利用可能性
本発明のガラスパネル用減圧容器は、真空複層ガラス、建築物や乗り物（自動車、鉄道車両及び船舶）用の窓ガラス、或いは、プラズマディスプレイパネル等の機器要素をはじめとして、冷蔵庫や保温装置等のような各種装置の扉や壁部等に使用される、種々のガラスパネルの製造に用いることが可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図は、真空複層ガラスの一部切欠き斜視図であり、
第２図は、真空複層ガラスの要部の断面図であり、
第３図は、第１の実施形態による減圧容器の断面図であり、
第４図は、第１の実施形態による減圧容器の要部の断面図であり、
第５図は、第１の実施形態による減圧容器の平面図であり、
第６図は、第２の実施形態による減圧容器の断面図であり、
第７図は、第２の実施形態による減圧容器の要部の断面図であり、
第８図は、第３の実施形態による減圧容器の断面図であり、
第９図は、第３の実施形態による減圧容器の要部の断面図であり、
第１０図は、第４の実施形態による減圧容器の断面図であり、
第１１図は、第４の実施形態による減圧容器の平面図である。
【図１】
2003095388.tif 000003
【図２】
2003095388.tif 000004
【図３】
2003095388.tif 000005
【図４】
2003095388.tif 000006
【図５】
2003095388.tif 000007
【図６】
2003095388.tif 000008
【図７】
2003095388.tif 000009
【図８】
2003095388.tif 000010
【図９】
2003095388.tif 000011
【図１０】
2003095388.tif 000012
【図１１】
2003095388.tif 000013
【国際調査報告】
2003095388.tif 000014
2003095388.tif 000015
2003095388.tif 000016
2003095388.tif 000017