【事件の表示】
　特願２０１１−１９３４３７号「半導体ウェハを操作するための改善されたロボット」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年２月２３日出願公開、特開２０１２−３９１２５号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
I．手続の経緯
　本願は、平成１３年４月１６日（パリ条約による優先権主張　平成１２年４月１４日　アメリカ合衆国）に出願した特願２００１−１１７１１５号の一部を平成２３年９月６日に新たな特許出願としたものであって、平成２３年１１月１７日付けで拒絶理由が通知され、これに対して平成２４年５月１４日付けで意見書が提出されるとともに、同日付けで手続補正がなされ、平成２４年６月４日付けで拒絶査定がなされたところ、平成２４年１０月４日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
II．本願発明
　本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２４年５月１４日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された、以下のとおりのものである。
「半導体処理装置においてウェハを操作するためのロボットであって、
　少なくとも一つのハブ壁を有するハブと、
　前記ハブによって支持された第１の軸受組立体と、
　前記第１の軸受組立体によって回転可能に支持された第１の環状体と、
　前記第１の環状体によって支持された第２の軸受組立体と、
　前記第２の軸受組立体によって回転可能に支持された第２の環状体と、
　前記ハブによって支持された第３の軸受組立体と、
　前記第３の軸受組立体によって回転可能に支持された第３の環状体と、
　前記第３の環状体によって支持された第４の軸受組立体と、
　前記第４の軸受組立体によって回転可能に支持された第４の環状体と、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ前記第１の環状体に固定された近端を有する第１のアームと、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ前記第２の環状体に固定された近端を有する第２のアームであって、前記第１及び第２のアームは移動可能に一つに接合され且つ第１のウェハ保持ブレードを支持する遠端をそれぞれ有する、第２のアームと、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ前記第３の環状体に固定された近端を有する第３のアームと、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ前記第４の環状体に固定された近端を有する第４のアームであって、前記第３及び第４のアームは移動可能に一つに接合され且つ第２のウェハ保持ブレードを支持する遠端をそれぞれ有する、第４のアームと、
　少なくとも一つのハブ壁を介して前記第１の環状体に磁気的に結合された第１の磁気結合組立体と、
　前記第１の磁気結合組立体を回転するように構成された第１のサーボ・モータと、
　少なくとも一つのハブ壁を介して前記第２の環状体に磁気的に結合された第２の磁気結合組立体と、
　前記第２の磁気結合組立体を回転するように構成された第２のサーボ・モータと、
　少なくとも一つのハブ壁を介して前記第３の環状体に磁気的に結合された第３の磁気結合組立体と、
　前記第３の磁気結合組立体を回転するように構成された第３のサーボ・モータと、
　少なくとも一つのハブ壁を介して前記第４の環状体に磁気的に結合された第４の磁気結合組立体と、
　前記第４の磁気結合組立体を回転するように構成された第４のサーボ・モータと、
　を備え、前記ハブが、前記第１の環状体と第４の環状体との間に垂直な間隙を有し、前記第１、第２、第３及び第４のアームはそれぞれ一部が前記垂直な間隙内に後退可能である、ロボット。」
　
III．引用文献の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先権主張日の前に頒布された刊行物である特開平１０−４１３１号公報（以下、「引用文献」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている。
ア：「図１には、デュアルロボット組立体１０の１つの具体例が半導体ウエハ処理システムとして示され、ここでは、それぞれのロボットの一方のアームが隣接するチャンバ１８ａの中まで伸び、他方それぞれのロボットの対向するアームが別のチャンバ１８ａから移送チャンバ１２の中に完全に引き込まれている様子が示されている。この図では、図３、６及び９と同様に、内部にロボットアーム駆動部品が配置されている組立体のサイズを誇張して描き、詳細部を拡大している。この代表的な処理システムは、移送チャンバ１２を有しており、この中にロボット組立体１０が載置され、これは少なくとも２つの別のチャンバ１８ａ及び１８ｂに接続されている。・・・（略）・・・図１に示される本発明の代表的な具体例では、マルチチャンバウエハ処理システムの中央移送チャンバの中の中央に配置されるデュアルロボット組立体を示しているが、このシステムは２つの図示されるプロセス（反応）チャンバを有していることに注目すべきである（他はロボットによって隠れているか、あるいは部分的に断面図のために取り去られている）。・・・（略）・・・」（【００１４】）
　
イ：「図１には、好ましいロボット駆動システムの拡大図が示される。この駆動システムは、ここに記載されるロボットの具体例のそれぞれに対して好ましい駆動システムである。図示の具体例では、上ロボット組立体と下ロボット組立体のそれぞれは、別々の磁気カップリング組立体１０００、１００２によって駆動される（図１参照）。磁気カップリング組立体１０００、１００２のそれぞれの構成の詳細は、ここに述べる事項以外は同じである。従って、上磁気カップリング組立体１０００の構成のみを説明する。
　磁気カップリング組立体１０００は、アーム２１、２２を軸Ａの周りに弓状の運動を与えるように構成されており、そのため、２つのロボットブレード３３、４０のハブからの伸張引込を可能にし、また、ハブの周囲に軌道経路によるブレードの通路を与えるように構成される。更に、磁気カップリング組立体１０００は、この運動において真空中で接触運動する部分を最小にすることにより、真空中で粒子の発生を最小にする。この具体例では、移送チャンバの頂部に配置されるハウジング１００８の中に第１のシンクロモーター１００４と第２のシンクロモーター１００６を配置し、ハウジング１００８の円筒状の薄壁部１０１４の中且つこれに隣接して配置される磁気リング組立体１０１０、１０１２に、モーター１００４、１００６の出力を結合させることにより、このロボットの特徴が与えられる。薄壁部１０１４は、移送チャンバ１０の上壁又はカバー１２にシール接続により接続され、移送チャンバ１０の内部をチャンバの外側の環境からシールする。駆動磁気リング１０１６、１０１８は、ハウジング１００８の真空側に配置され、ハウジング１００８の薄壁部１０１４に隣接しこれを包囲する。第１の磁気リング１０１０は、第１の駆動磁気リング組立体１０１６に磁気的に結合し、第２の磁気リングは第２の駆動磁気リング組立体１０１８に結合する。アーム１０。２１は駆動磁気リング１０１６、１０１８の受容される一方に結合する。このように、モーター１００２、１００４の回転運動は、雰囲気からハウジング１００８の真空側へと磁気的に転送され、アーム２０、２１の弓状の運動を発生して、ロボットブレード３３、４０の運動を実効させる（図１）。
　好ましいモーター１００４、１００６の構成では、同調装置付きサーボモーターであってステーターがローターに結合し、ローターの弓状のポジションが近接に制御されてもよい。・・・（略）・・・
　モーターが回転することにより、駆動磁気リング組立体１０１６、１０１８に磁気により結合している磁気リング組立体１０１０、１０１２に回転が与えられ、薄壁部１０１４の周縁の周りのそれぞれのアームのベースを回転し、ブレードの運動に影響を与える。
　・・・（略）・・・駆動磁気リング組立体１０１６、１０１８を懸下しハブ１００８に対しての回転を可能にするために、第１の駆動磁気リング組立体１０１８は、第１のベアリング１０４２のレースの上に受容されこれに懸下する環状のアーム支持体１０４０を有している。第１のベアリング１０４２は、内側レースの上で薄壁部１０１４にクランプ止めされる。第２のベアリング１０４４の外側レースはリング１０４０にクランプ止めされ、第２の磁気リング組立体１０１６のレッジ部１０４６が第２のベアリングのレースにクーラントランプ（当審注：「クーラントランプ」は誤記であって、正しくは「クランプ」であることは明らかである。）止めされて、第２の駆動磁気リング組立体１０１８をハウジング１００８に固定する。
　それぞれのベアリングは「クロス」タイプのベアリングであり、これは半径方向、長さ方向、そして本ケースでは高さ方向の支持を与えて、駆動磁気リング組立体１０１６、１０１８の調心及び位置決めを確保する。
　磁気リング組立体１０１０、１０１２のそれぞれをそれぞれ対応する駆動磁気リング組立体０１６、１０１８に結合するため、磁気リング組立体１０１０、１０１２及び駆動磁気リング組立体１０１６、１０１８のそれぞれは、同じ数の複数の磁石を有していることが好ましく、磁気リング組立体１０１０、１０１２の磁石それぞれは駆動磁気リング組立体１０１６、１０１８の１つに結合している。・・・（略）・・・
　下ロボット組立体１６は、ハウジング１００８’が移送チャンバ１２から懸下し駆動磁気リング組立体１０１６’、１０１８’が移送チャンバ１０のベース状に載置されているベアリングに支持されている点を除いて、上ロボット組立体と同一である。」（【００１６】〜【００２３】）
　
ウ：「図８〜１０に戻れば、本発明の別の具体例が示され、ここでは２つのロボット組立体１２、１４のためのモーターが移送チャンバから懸下される。モーターの出力をそれぞれのロボット組立体のための駆動磁気リング組立体１０１０、１０１２、１０１０’及び１０１２’に接続させるため、駆動モーターの出力は、駆動磁気リング組立体にそれぞれが結合する重ならないように同心に配置されたシャフトに結合する。
　図８に示されるように、駆動システムは４つのモーター１００４、１００５、１００４’、１００５’を有し、これらは、前述のモーター１００４、１００６と同じ構成を有し、図５〜７で説明した中央コラムとだいたい同じ構成を有するハブ１１００に結合する。この前の具体例とは対称的に、上ロボット組立体の駆動のためのモーター１００４及び１００６は、下ロボット組立体の駆動のためのモーター１００４’及び１００６’の下に懸下されており、付加的な１対の同心シャフトが上ロボット組立体モーター１００４及び１００６から下ロボット組立体モーター１００４’及び１００６’とハブ１１００の中心を通って伸び、そこで前述のように磁気リング組立体１０１０、１０１２に接続する。本発明のシングルブレード２つが独立した具体例が図１０に示され、ここでは装置のつながりを良く例示するため、中央コラム１２０のサイズを縮小して描いている。
　駆動モーター１００４、１００６、１００４’、１００６’が伸張ハウジング１０７０のの中に収容され、移送チャンバ１０の下側に接続される。ハウジング１０７０は内部に１対のモーター支持フランジ１０７２、１０７４を有し、そのそれぞれに対して上ロボット組立体１００４、１００６又は下ロボット組立体１００４’、１００６’が支持及び調心のために接続する。駆動磁気リング組立体１０１２’をコラム１２０内で支持するため、ローター、又はモーター１００４’の出力が、そこから伸張し駆動リング組立体に接続される駆動フランジ１０８０を有している。このように、フランジ１０８０は駆動磁気リング１００４’に対して支持及び回転を与える。下磁気リング組立体モーター１００６’は中空のシャフト１０８２に結合し、このシャフトはモーター１００６’、１００４’及びフランジ１０８０の中を通って伸び、そこで、ベアリング１０８４により下磁気リング組立体１０１２’上で支持される下磁気リング組立体１０１０’に取り付けられている。ベアリング１０８４は好ましくは、シャフト１０８２とフランジ１０８０の両方の端部の中に導かれる。第２のシャフト１０８６が、磁気リング組立体１０１０’の上面に接続されたベアリング１０８８上に支持される。モーター１００４の出力はシャフト１０９０に結合し、このシャフト１０９０はシャフト１０８６の中を伸びて磁気リング組立体１０１２に接続し、磁気リング組立体１０１２は、磁気リング組立体１０１０、１０１２に接続するベアリング１０９２上で支持される。
　図５〜７及び図８〜１０に示される本発明の具体例では、ロボット組立体がシングルブレードロボットとして示されており、即ち、各ロボット組立体はロボットブレード、キャリアないしエンドエフェクターを１つのみ有している。駆動システムの各具体例は、シングルブレードロボット又はデュアルブレードロボットの何れと共に用いられてもよく、また、所望により、単一の移送チャンバの中でシングルブレードロボットとデュアルブレードロボットを用いてもよい。図５〜７を再び参照すれば、シングルブレードロボット組立体のそれぞれがロボット組立体と同じ構成を具備し、ここでは、駆動アーム２１、２２（下ロボット組立体１６では５１、５２）がモーター１００４、１００６と磁気カップリング組立体１０００、１００２に結合しているが、ストラットアーム２９、３０（又は、下ロボット組立体ではストラットアーム２９’、３０’）の１対だけがキャリア（ブレード又はエフェクター）に結合している。このように、図１〜４に示される具体例とは異なり、ロボット組立体１４、１６のそれぞれが１つのロボットブレードだけ、即ちをウエハ１枚だけを一度に操作することができる。・・・（略）・・・」（【００３１】〜【００３４】）　
　
エ：図９には「半導体処理装置においてウェハを操作するためのロボット」につき、図１に示された具体例において駆動磁気リング組立体、ベアリング等の各部材が磁気カップリング組立体１０００の薄壁部及び磁気カップリング組立体１００２の薄壁部に対して配置されているのと同様の態様で、図１の駆動磁気リング組立体、ベアリング等の各部材と同形状の部材が中央コラム１２０の壁部に対して配置されている態様が示されているといえる。
　そして、上記アの「図１には、デュアルロボット組立体１０の１つの具体例が半導体ウエハ処理システムとして示され、・・・この図では、図３、６及び９と同様に、内部にロボットアーム駆動部品が配置されている組立体のサイズを誇張して描き、詳細部を拡大している。」との記載、上記アの「図１に示される本発明の代表的な具体例」との記載、上記ウの「図８〜１０に戻れば、本発明の別の具体例が示され、ここでは２つのロボット組立体１２、１４のためのモーターが移送チャンバから懸下される。」との記載からして、図１には、引用文献に記載された発明の代表的な具体例が示され、図９には図１に示された代表的な具体例の２つのロボット組立体の駆動モーターを移送チャンバから懸下した変形例が示されているといえる。
　参考：引用文献の【図１】
　参考：引用文献の【図９】
　そうすると、図１に示された具体例における駆動磁気リング組立体、ベアリング等の各部材についての引用文献の記載は、図９に示された変形例にも当てはまることは明らかだから、図１に示された具体例についての上記イの「駆動磁気リング組立体１０１６、１０１８を懸下しハブ１００８に対しての回転を可能にするために、第１の駆動磁気リング組立体１０１８は、第１のベアリング１０４２のレースの上に受容されこれに懸下する環状のアーム支持体１０４０を有している。第１のベアリング１０４２は、内側レースの上で薄壁部１０１４にクランプ止めされる。第２のベアリング１０４４の外側レースはリング１０４０にクランプ止めされ、第２の磁気リング組立体１０１６のレッジ部１０４６が第２のベアリングのレースにクランプ止めされて、第２の駆動磁気リング組立体１０１８をハウジング１００８に固定する。それぞれのベアリングは「クロス」タイプのベアリングであり、これは半径方向、長さ方向、そして本ケースでは高さ方向の支持を与えて、駆動磁気リング組立体１０１６、１０１８の調心及び位置決めを確保する。・・・下ロボット組立体１６は、ハウジング１００８’が移送チャンバ１２から懸下し駆動磁気リング組立体１０１６’、１０１８’が移送チャンバ１０のベース状に載置されているベアリングに支持されている点を除いて、上ロボット組立体と同一である。」との記載を含む引用文献の記載に接した当業者であれば、図１，９の図示内容から、図９に示された具体例の「半導体処理装置においてウェハを操作するためのロボット」につき、
　壁を有する中央コラム１２０と、
　中央コラム１２０にクランプ止めされた上から１番目のベアリングと、
　上から１番目のベアリングによって回転可能に懸架され、上から１番目のアームに接続された上から１番目の駆動磁気リング組立体と、
　上から１番目の駆動磁気リング組立体にクランプ止めされた上から２番目のベアリングと、
　上から２番目のベアリングによって回転可能に懸架され、上から２番目のアームに接続された上から２番目の駆動磁気リング組立体と、
　中央コラム１２０の下端で断面Ｌ字形状部上に載置された上から４番目のベアリングと、
　上から４番目のベアリングによって回転可能に支持され、上から４番目のアームに接続された上から４番目の駆動磁気リング組立体と、
　上から３番目の駆動磁気リング組立体と上から４番目の駆動磁気リング組立体との間に取り付けられた上から３番目のベアリングと、
  上から３番目のベアリングによって回転可能に支持され、上から３番目のアームに接続された上から３番目の駆動磁気リング組立体とを備えた態様を理解するといえる。
　
　参考：引用文献の【図１０】
オ：上記ウの「図５〜７及び図８〜１０に示される本発明の具体例では、ロボット組立体がシングルブレードロボットとして示されており、即ち、各ロボット組立体はロボットブレード、キャリアないしエンドエフェクターを１つのみ有している。・・・図５〜７を再び参照すれば、シングルブレードロボット組立体のそれぞれがロボット組立体と同じ構成を具備し、ここでは、駆動アーム２１、２２（下ロボット組立体１６では５１、５２）がモーター１００４、１００６と磁気カップリング組立体１０００、１００２に結合しているが、ストラットアーム２９、３０（又は、下ロボット組立体ではストラットアーム２９’、３０’）の１対だけがキャリア（ブレード又はエフェクター）に結合している。」との記載、上記ウの「本発明のシングルブレード２つが独立した具体例が図１０に示され、ここでは装置のつながりを良く例示するため、中央コラム１２０のサイズを縮小して描いている。」との記載を含む引用文献の記載に接した当業者であれば、図１，９，１０の図示内容から、図１０に図示されたアーム２１，２９、アーム２２，３０、アーム２１’，２９’、アーム２２’，３０’が、それぞれ「その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ駆動磁気リング組立体に接続された近端を有するアーム」を構成するとともに、上記エの図９に示された具体例の「半導体処理装置においてウェハを操作するためのロボット」につき、
  その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ上から１番目の駆動磁気リング組立体に接続された近端を有する上から１番目のアームと、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ上から２番目の駆動磁気リング組立体に接続された近端を有する上から２番目のアームであって、上から１番目のアーム及び上から２番目のアームは移動可能に一つに接合され且つロボットブレード４０を支持する遠端をそれぞれ有する、上から２番目のアームと、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ上から３番目の駆動磁気リング組立体に接続された近端を有する上から３番目のアームと、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ上から４番目の駆動磁気リング組立体に接続された近端を有する上から４番目のアームであって、上から３番目のアーム及び上から４番目のアームは移動可能に一つに接合され且つロボットブレード４０’を支持する遠端をそれぞれ有する、上から４番目のアームとを備えている態様を理解するといえる。
　
カ：図１に示された具体例についての上記イの「好ましいモーター１００４、１００６の構成では、同調装置付きサーボモーターであって」との記載及び上記イの「モーターが回転することにより、駆動磁気リング組立体１０１６、１０１８に磁気により結合している磁気リング組立体１０１０、１０１２に回転が与えられ、薄壁部１０１４の周縁の周りのそれぞれのアームのベースを回転し、ブレードの運動に影響を与える。」との記載は図９に示された具体例についても当てはまることは明らかであって、図９に示された具体例についての上記ウの「図８〜１０に戻れば、本発明の別の具体例が示され、ここでは２つのロボット組立体１２、１４のためのモーターが移送チャンバから懸下される。モーターの出力をそれぞれのロボット組立体のための駆動磁気リング組立体１０１０、１０１２、１０１０’及び１０１２’に接続させるため、駆動モーターの出力は、駆動磁気リング組立体にそれぞれが結合する重ならないように同心に配置されたシャフトに結合する。・・・この前の具体例とは対称的に、上ロボット組立体の駆動のためのモーター１００４及び１００６は、下ロボット組立体の駆動のためのモーター１００４’及び１００６’の下に懸下されており、付加的な１対の同心シャフトが上ロボット組立体モーター１００４及び１００６から下ロボット組立体モーター１００４’及び１００６’とハブ１１００の中心を通って伸び、そこで前述のように磁気リング組立体１０１０、１０１２に接続する。・・・駆動磁気リング組立体１０１２’をコラム１２０内で支持するため、ローター、又はモーター１００４’の出力が、そこから伸張し駆動リング組立体に接続される駆動フランジ１０８０を有している。このように、フランジ１０８０は駆動磁気リング１００４’に対して支持及び回転を与える。下磁気リング組立体モーター１００６’は中空のシャフト１０８２に結合し、このシャフトはモーター１００６’、１００４’及びフランジ１０８０の中を通って伸び、そこで、ベアリング１０８４により下磁気リング組立体１０１２’上で支持される下磁気リング組立体１０１０’に取り付けられている。・・・モーター１００４の出力はシャフト１０９０に結合し、このシャフト１０９０はシャフト１０８６の中を伸びて磁気リング組立体１０１２に接続し、磁気リング組立体１０１２は、磁気リング組立体１０１０、１０１２に接続するベアリング１０９２上で支持される。」との記載を含む引用文献の記載に接した当業者であれば、図１，９の図示内容から、上記エの図９に示された具体例の「半導体処理装置においてウェハを操作するためのロボット」につき、
　中央コラム１２０の壁部を介して上から１番目の駆動磁気リング組立体に磁気的に結合された磁気リング組立体１０１２と、
　磁気リング組立体１０１２を回転するように構成されたサーボモータ１００４と、
　中央コラム１２０の壁部を介して上から２番目の駆動磁気リング組立体に磁気的に結合された磁気リング組立体１０１０と、
　磁気リング組立体１０１０を回転するように構成されたサーボモータ１００６と、
　中央コラム１２０の壁部を介して上から３番目の駆動磁気リング組立体に磁気的に結合された磁気リング組立体１０１０’と、
　磁気リング組立体１０１０’を回転するように構成されたサーボモータ１００６’と、
　中央コラム１２０の壁部を介して上から４番目の駆動磁気リング組立体に磁気的に結合された磁気リング組立体１０１２’と、
　磁気リング組立体１０１２’を回転するように構成されたサーボモータ１００４’とを備えている態様を理解するといえる。
　
キ：当業者であれば、図１，９，１０の図示内容から、上記エの図９に示された具体例の「半導体処理装置においてウェハを操作するためのロボット」につき、
　中央コラム１２０が、上から２番目の駆動磁気リング組立体と上から３番目の駆動磁気リング組立体との間に垂直な間隙を有し、上から１〜４番目のアームはそれぞれ一部が前記垂直な間隙内に後退可能である態様を理解するといえる。
　
　これら記載事項及び図示内容を総合すると、引用文献には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
「半導体処理装置においてウェハを操作するためのロボットであって、
　壁を有する中央コラム１２０と、
　中央コラム１２０にクランプ止めされた上から１番目のベアリングと、
　上から１番目のベアリングによって回転可能に懸架された上から１番目の駆動磁気リング組立体と、
　上から１番目の駆動磁気リング組立体にクランプ止めされた上から２番目のベアリングと、
　上から２番目のベアリングによって回転可能に懸架された上から２番目の駆動磁気リング組立体と、
　中央コラム１２０の下端で断面Ｌ字形状部上に載置された上から４番目のベアリングと、
　上から４番目のベアリングによって回転可能に支持された上から４番目の駆動磁気リング組立体と、
　上から３番目の駆動磁気リング組立体と上から４番目の駆動磁気リング組立体との間に取り付けられた上から３番目のベアリングと、
 上から３番目のベアリングによって回転可能に支持された上から３番目の駆動磁気リング組立体と、
  その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ上から１番目の駆動磁気リング組立体に接続された近端を有する上から１番目のアームと、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ上から２番目の駆動磁気リング組立体に接続された近端を有する上から２番目のアームであって、上から１番目のアーム及び上から２番目のアームは移動可能に一つに接合され且つロボットブレード４０を支持する遠端をそれぞれ有する、上から２番目のアームと、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ上から３番目の駆動磁気リング組立体に接続された近端を有する上から３番目のアームと、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ上から４番目の駆動磁気リング組立体に接続された近端を有する上から４番目のアームであって、上から３番目のアーム及び上から４番目のアームは移動可能に一つに接合され且つロボットブレード４０’を支持する遠端をそれぞれ有する、上から４番目のアームと、　
  中央コラム１２０の壁部を介して上から１番目の駆動磁気リング組立体に磁気的に結合された磁気リング組立体１０１２と、
　磁気リング組立体１０１２を回転するように構成されたサーボモータ１００４と、
　中央コラム１２０の壁部を介して上から２番目の駆動磁気リング組立体に磁気的に結合された磁気リング組立体１０１０と、
　磁気リング組立体１０１０を回転するように構成されたサーボモータ１００６と、
　中央コラム１２０の壁部を介して上から３番目の駆動磁気リング組立体に磁気的に結合された磁気リング組立体１０１０’と、
　磁気リング組立体１０１０’を回転するように構成されたサーボモータ１００６’と、
　中央コラム１２０の壁部を介して上から４番目の駆動磁気リング組立体に磁気的に結合された磁気リング組立体１０１２’と、
　磁気リング組立体１０１２’を回転するように構成されたサーボモータ１００４’と、
　を備え、中央コラム１２０が、上から２番目の駆動磁気リング組立体と上から３番目の駆動磁気リング組立体との間に垂直な間隙を有し、上から１〜４番目のアームはそれぞれ一部が前記垂直な間隙内に後退可能である、ロボット。」
　
IV．対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
　引用発明の「中央コラム１２０」は本願発明の「ハブ」に相当し、以下同様に、「中央コラム１２０の下端で断面Ｌ字形状部上に載置された上から４番目のベアリング」は「前記ハブによって支持された第３の軸受組立体」に、「上から４番目のベアリングによって回転可能に支持された上から４番目の駆動磁気リング組立体」は「前記第３の軸受組立体によって回転可能に支持された第３の環状体」に、「上から３番目の駆動磁気リング組立体と上から４番目の駆動磁気リング組立体との間に取り付けられた上から３番目のベアリング」は「前記第３の環状体によって支持された第４の軸受組立体」に、「上から３番目のベアリングによって回転可能に支持された上から３番目の駆動磁気リング組立体」は「前記第４の軸受組立体によって回転可能に支持された第４の環状体」に、それぞれ相当する。
　
　引用発明の「上から２番目のベアリング」は「第１の軸受組立体」といえ、以下同様に、「上から２番目の駆動磁気リング組立体」は「第１の環状体」といえ、「上から１番目のベアリング」は「第２の軸受組立体」といえ、「上から１番目の駆動磁気リング組立体」は「第２の軸受組立体」といえ、「懸架」と「支持」とは「保持」という概念で共通するといえるから、引用発明の「上から２番目のベアリングによって回転可能に懸架された上から２番目の駆動磁気リング組立体」は「第１の軸受組立体によって回転可能に保持された第１の環状体」といえ、引用発明の「上から１番目のベアリングによって回転可能に懸架された上から１番目の駆動磁気リング組立体」は「第２の軸受組立体によって回転可能に保持された第２の環状体」といえる。
　
　引用発明の「上から２番目のアーム」は本願発明の「第１のアーム」に相当し、以下同様に、「上から１番目のアーム」は「第２のアーム」に、「上から４番目のアーム」は「第３のアーム」に、「上から３番目のアーム」は「第４のアーム」に、「ロボットブレード４０」は「第１のウェハ保持ブレード」に、「ロボットブレード４０’」は「第２のウェハ保持ブレード」に、それぞれ相当する。
　
　引用発明の「磁気リング組立体１０１０」は本願発明の「第１の磁気結合組立体」に相当し、以下同様に、「磁気リング組立体１０１２」は「第２の磁気結合組立体」に、「磁気リング組立体１０１２’」は本願発明の「第３の磁気結合組立体」に、「磁気リング組立体１０１０’」は本願発明の「第４の磁気結合組立体」に、「サーボモータ１００６」は「第１のサーボ・モータ」に、「サーボモータ１００４」は「第２のサーボ・モータ」に、「サーボモータ１００４’」は「第３のサーボ・モータ」に、「サーボモータ１００６’」は「第４のサーボ・モータ」に、それぞれ相当する。
  　
　以上によれば、本願発明と引用発明とは次の点で一致する。　
（一致点）
「半導体処理装置においてウェハを操作するためのロボットであって、
　少なくとも一つのハブ壁を有するハブと、
　第１の軸受組立体と、
　前記第１の軸受組立体によって回転可能に保持された第１の環状体と、
　第２の軸受組立体と、
　前記第２の軸受組立体によって回転可能に保持された第２の環状体と、
　前記ハブによって支持された第３の軸受組立体と、
　前記第３の軸受組立体によって回転可能に支持された第３の環状体と、
　前記第３の環状体によって支持された第４の軸受組立体と、
　前記第４の軸受組立体によって回転可能に支持された第４の環状体と、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ前記第１の環状体に固定された近端を有する第１のアームと、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ前記第２の環状体に固定された近端を有する第２のアームであって、前記第１及び第２のアームは移動可能に一つに接合され且つ第１のウェハ保持ブレードを支持する遠端をそれぞれ有する、第２のアームと、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ前記第３の環状体に固定された近端を有する第３のアームと、
　その中心部分で水平方向に屈曲可能で且つ前記第４の環状体に固定された近端を有する第４のアームであって、前記第３及び第４のアームは移動可能に一つに接合され且つ第２のウェハ保持ブレードを支持する遠端をそれぞれ有する、第４のアームと、
　少なくとも一つのハブ壁を介して前記第１の環状体に磁気的に結合された第１の磁気結合組立体と、
　前記第１の磁気結合組立体を回転するように構成された第１のサーボ・モータと、
　少なくとも一つのハブ壁を介して前記第２の環状体に磁気的に結合された第２の磁気結合組立体と、
　前記第２の磁気結合組立体を回転するように構成された第２のサーボ・モータと、
　少なくとも一つのハブ壁を介して前記第３の環状体に磁気的に結合された第３の磁気結合組立体と、
　前記第３の磁気結合組立体を回転するように構成された第３のサーボ・モータと、
　少なくとも一つのハブ壁を介して前記第４の環状体に磁気的に結合された第４の磁気結合組立体と、
　前記第４の磁気結合組立体を回転するように構成された第４のサーボ・モータと、
　を備え、前記ハブが、前記第１の環状体と第４の環状体との間に垂直な間隙を有し、前記第１、第２、第３及び第４のアームはそれぞれ一部が前記垂直な間隙内に後退可能である、ロボット。」
　
　そして、両発明は以下の点で相違する。　
（相違点）
　「ハブ」によって「第１の環状体」と「第２の環状体」とを保持する構成につき、
　本願発明では、
「前記ハブによって支持された第１の軸受組立体と、
　前記第１の軸受組立体によって回転可能に支持された第１の環状体と、
　前記第１の環状体によって支持された第２の軸受組立体と、
　前記第２の軸受組立体によって回転可能に支持された第２の環状体と」を備える構成であるの対して、
　引用発明では、上から２番目のベアリング（第１の軸受組立体）が中央コラム１２０（ハブ）によって支持されておらず、
「中央コラム１２０（ハブ）にクランプ止めされた上から１番目のベアリング（第２の軸受組立体）と、
　上から１番目のベアリング（第２の軸受組立体）によって回転可能に懸架された上から１番目の駆動磁気リング組立体（第２の環状体）と、
　上から１番目の駆動磁気リング組立体（第２の環状体）にクランプ止めされた上から２番目のベアリング（第１の軸受組立体）と、
　上から２番目のベアリング（第１の軸受組立体）によって回転可能に懸架された上から２番目の駆動磁気リング組立体（第１の環状体）と」を備える構成である点。
　
V．判断
　相違点について検討する。
（１）部材を固定するに当たり、上方から懸架したり、下方から支持したりすることは、例示するまでもなく本願の優先権主張日の前から一般的に行われている程度の事項であり、加えて、引用文献の「それぞれのベアリングは「クロス」タイプのベアリングであり、これは半径方向、長さ方向、そして本ケースでは高さ方向の支持を与えて、駆動磁気リング組立体１０１６、１０１８の調心及び位置決めを確保する。」（記載事項イ）との記載からして、引用文献には、ベアリング（軸受組立体）を駆動磁気リング組立体（環状体）の高さ方向の支持に用いることが示唆されているといえる。
　そうすると、引用発明において、上から１，２番目の駆動磁気リング組立体を上から１，２番目のベアリングを介して中央コラム１２０に固定する構成を、上から３，４番目の駆動磁気リング組立体を上から３，４番目のベアリングを介して中央コラム１２０に固定する構成と同様に、下方に位置する、上から２番目の駆動磁気リング組立体（第１の環状体）をベアリング（第１の軸受組立体）を介して中央コラム１２０（ハブ）によって支持するとともに、該上から２番目の駆動磁気リング組立体（第１の環状体）によって支持されたベアリング（第２の軸受組立体）を介して上から１番目の駆動磁気リング組立体（第２の環状体）を支持するようにする構成とし、相違点に係る本願発明の発明特定事項とすることは当業者が容易に想到し得る程度の事項である。
　
（２）請求人は、審判請求書の「（２）本願発明が進歩性を有する理由」の項において以下のように主張する。
i．「第１引用例は、環状体がどのように取り付けられているかを開示しておらず、特に、順番に、他の環状体により支持されている軸受組立体により支持されている環状体を開示していません。」 
ii．「本願請求項１及び５に係る発明は、４つのアーム、又は、各組が２つのアームを有する２組を持ち、１組のアームのぞれぞれのアームが別個に回転可能である１つのロボットに関する発明であります（明細書の段落［０００９］参照）。一方、第１引用例に記載された発明は、２つのロボットを持ち、各ロボットが互いに別個に回転可能である２つのアームを有する（明細書の段落［００１５］及び［００２５］参照）、マルチロボット組立体（明細書の段落［０００７］参照）に関する発明であります。よって、第１引用例は４つのアームではなく２つのアームを持つロボットを開示しています。」
　請求人の上記主張について検討する。　
i．について
　引用文献の図９には各部材の符号が詳細には記載されていないものの、図９に示された具体例は、図１に示された代表的具体例の変形例であって、図１には図９と同様の形状の各部材に符号が付されるとともに、引用文献には該各部材の名称と機能が説明されていることからして、引用文献の図１，９についての記載に接した当業者であれば、図９に示された具体例につき、引用発明に係る構成を理解し、該引用発明に基いて「順番に、他の環状体により支持されている軸受組立体により支持されている環状体」を容易に想到し得ることは、以上説示したとおりである。
ii．について
　特許請求の範囲の請求項１には、単に「ロボット」と記載されているだけなので、本願発明は「マルチロボット組立体」を排除するものではなく、しかも、引用文献の図９に示された具体例のアームについての図１０の図示内容を参酌すると、当業者であれば、図９に示された具体例につき、本願発明と同様の構成のアームを備えている態様を理解することは、以上説示したとおりである。
　以上によれば、請求人の上記主張は採用することができない。
　
（３）そして、本願発明の効果は、引用発明から当業者が予測し得た程度のものであって、格別のものとはいえない。
　
（４）したがって、本願発明は、引用発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
VI．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願の請求項１に係る発明（本願発明）が特許を受けることができないものである以上、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。