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　特願２００９−２７１７４７「ペリクル膜の製造方法および装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　６月　９日出願公開、特開２０１１−１１３０３３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２１年１１月３０日の出願であって、平成２３年１２月２７日付けで拒絶理由が通知され、平成２４年３月９日付けで意見書が提出されるとともに、同日付けで手続補正書が提出され、同年７月３日付けで拒絶査定がなされた。本件は、これに対して、同年１０月９日に拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。
　
第２　本願発明について
１．本願発明
　本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２４年３月９日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
　
「ペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの一方の面に接着されたペリクル膜と、前記ペリクルフレームの他方の面に形成された粘着層を有し、
　前記粘着層が、（Ａ）１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を含有し、かつ、主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｂ）１分子中に１個のアルケニル基を含有し、かつ、主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｃ）１分子中に少なくとも２個のヒドロシリル基を有する有機ケイ素化合物および（Ｄ）白金族金属系触媒を含有している硬化性組成物を硬化させることによって形成され、かつ、
　前記粘着層のＡＳＴＭＤ−１４０３に規定される針入度が５０ないし１００の範囲であることを特徴とするリソグラフィー用ペリクル。」
　
２．引用刊行物
（１）原査定の拒絶の理由に引用され、本願の出願前に頒布された刊行物である、特開平９−２０６７２３号公報（以下「引用文献１」という。）には、以下の事項が記載されている。（下線は、当審が付した。）
　
（ａ）「【００１１】以下、本発明につき図面を参照して更に詳しく説明する。
【００１２】
本発明のペリクルは、図１に示したように、ペリクル枠１の一端面（上端面）に接着剤層２を介してペリクル膜３を張設すると共に、ペリクル枠１の他端面（下端面）に溝状凹部４を形成し、この凹部４内に加熱及び／又は光照射により発泡可能な粘着剤層５をペリクル枠１の他端面より外方にはみ出さないように、しかし図２に示したように発泡時にペリクル枠１の他端面より外方に膨出するように形成する。
【００１３】
ここで、粘着剤としては、加熱及び／又は光照射により発泡可能であるものであれば特に制限はなく、一般のゴム系粘着剤やアクリル系粘着剤を用いることもできるが、耐光性、耐薬品性の点でシリコーン系粘着剤を用いることが好ましい。
【００１４】上記発泡性シリコーン粘着剤としては、公知のシリコーン粘着剤にガス化可能な膨張剤を含む樹脂（例えば日本フェライト社製エクスパンセル）を含有させたもの、または末端にシラノール基を有するジメチルポリシロキサンとＳｉＨ基を有するジメチルハイドロジェンシロキサンを含むシリコーン粘着剤で白金系触媒を用いて脱水素反応を行うことにより、水素ガスを発生させて発泡するものが挙げられる。
【００１５】また、上記粘着剤層が形成される溝状凹部の溝幅や深さ、その形状については特に制限はない。例えば、ペリクル枠の他端面の幅が２ｍｍである場合、０．５〜１．５ｍｍ幅の溝をペリクル枠の他端面全周に亘って直線状又はジグザグ状などの態様で連続的又は間欠的に設けることができ、また溝の深さは０．５〜５ｍｍ程度とすることができる。その溝の断面形状は四角形状、半円状、Ｖ字状など適宜な形状に形成できる。
【００１６】更に、発泡後の粘着剤層は、その先端面がペリクル枠の他端面より０．１〜３ｍｍ、好ましくは０．３〜１ｍｍ程度膨出するように発泡前の粘着剤の量、発泡倍率などを決めることが好ましい。
【００１７】上述したペリクルによれば、発泡前は粘着剤層はペリクルの他端面に形成された凹部内にあり、これからはみ出していないので、ペリクルを容器に収納する場合、収納中、容器より取り出す場合の各ハンドリング時にライナーがなくても支障はない。また、粘着剤層を発泡させることにより、体積が増大し、粘着剤層はペリクル枠他端面より膨出するので、従来のペリクルにおいてライナーを剥離除去した状態となり、従って従来のペリクルと同様にペリクルをフォトマスク又はレチクルに圧着して貼り付けることができる。」
　
（ｂ）「
　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 」
（ｃ）「
　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 」
　
　上記引用文献１の記載事項から、引用文献１には、以下の発明が記載されている。
　
「ペリクル枠１の一端面（上端面）に接着剤層２を介してペリクル膜３を張設すると共に、ペリクル枠１の他端面（下端面）に溝状凹部４を形成し、この凹部４内に加熱及び／又は光照射により発泡可能な粘着剤層５をペリクル枠１の他端面より外方にはみ出さないように、しかし発泡時にペリクル枠１の他端面より外方に膨出するように形成し、
　粘着剤としてシリコーン系粘着剤を用いたペリクル。」（以下「引用発明」という。）
　
（２）原査定の拒絶の理由に引用され、本願の出願前に頒布された刊行物である、特開平１１−１１６６８５号公報（以下「引用文献２」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
（ａ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、耐薬品性、耐溶剤性等に優れたゲル硬化物を形成できる付加硬化型のパーフルオロ化合物系組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコーンゴムのゲル硬化物は、その優れた電気・熱絶縁性、安定した電気特性及び柔軟性等を利用して、電気・電子部品のポッティングや封止用の材料として、またパワートランジスター、ＩＣ、コンデンサー等の制御回路素子を外部からの熱的及び機械的障害から保護するための被覆用材料として使用されている。このようなゲル硬化物を形成するシリコーン生ゴムの代表例としては、付加硬化型のオルガノポリシロキサン組成物がある。この付加硬化型オルガノポリシロキサン組成物は、従来より種々のものが知られている。例えば、ケイ素原子に結合したビニル基を有するオルガノポリシロキサンと、ケイ素原子に結合した水素原子、即ちヒドロシリル（ＳｉＨ）基を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンとを含有し、白金触媒の存在下で架橋反応を行ってゲル硬化物を得るものが公知である（特開昭５６−１４３２４１号公報、同６２−３９５９号公報、同６３−３５６５５号公報、同６３−３３４７５号公報等）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらのオルガノポリシロキサン組成物から得られるゲル硬化物は、強塩基、強酸等の薬品類、トルエン、アルコール、ガソリン等の溶剤類や、水分又は湿気に対しては膨潤、劣化等により、その性能を維持できない。本発明は上記事情に鑑みなされたもので、耐薬品性及び耐溶剤性に優れ、しかも透湿性の低い含フッ素ゲル硬化物を形成し得る硬化性組成物を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは従来の付加硬化型オルガノポリシロキサン組成物における上記欠点を除去するため、種々検討した結果、ベース成分として、少なくとも２個のアルケニル基を含有する直鎖状パーフルオロ化合物に、反応性希釈剤として、１個のアルケニル基を含有する直鎖状パーフルオロ化合物を組み合わせた付加硬化型組成物が所期の目的を達成できることを見出し、本発明に到達した。
【０００５】即ち本発明は、（Ａ）１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を含有し、且つ主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｂ）１分子中に１個のアルケニル基を含有し、且つ主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｃ）１分子中に少なくとも２個のヒドロシリル基を有する有機ケイ素化合物、及び（Ｄ）白金族金属系触媒を含有してなる硬化性組成物、及びこの組成物を硬化して得られる針入度（ＡＳＴＭＤ−１４０３）１〜２００のゲル硬化物を提供する。」
　
（ｂ）「【００１４】なお、本発明の組成物を注型、ポッティング、コーティング、含浸、接着又は密着等に使用するためには、この組成物は適当な流動性を備えていること、及び硬化時も適当な物性を備えていることが必要である。このような見地から、（Ａ）成分の粘度（２５℃）は５〜１００，０００ｃｐの範囲にあることが望ましく、また（Ａ）成分としては、組成物の用途に応じて前記範囲において最も適切な粘度を有するものを選択することが望ましい。」
　
（ｃ）「【００３９】ゲル硬化物の形成
上記（Ａ）〜（Ｄ）成分を主成分とする本発明の付加硬化型組成物は、硬化により耐薬品性及び耐溶剤性に優れ、且つ透湿性の低いゲル硬化物を形成することができる。なお、本明細書において、ゲル硬化物とは部分的に三次元構造を有し、応力によって変形及び流動性を示す状態を意味し、具体的には、ＡＳＴＭ　Ｄ−１４０３（１／４コーン）における針入度が１〜２００のもの、或いはＪＩＳ硬度計において、硬さ０以下のものをいう。ゲル硬化物の形成は、本発明組成物を適当な容器内に注入するか、適当な基体上にコーティングした後、加熱、硬化させる等の従来公知の方法により容易に行うことができる。この場合の加熱処理は、通常６０〜１５０℃の温度で３０〜１８０分間程度である。」
　
（ｄ）「【００４１】
【実施例】以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明する。なお、これらの例中、部は全て重量部を示し、Ｍｅ，Ｖｉ，Ｐｈはそれぞれメチル基、ビニル基、フェニル基を示し、また粘度は全て２５℃での値である。
実施例１
（Ａ）成分の直鎖状パーフルオロ化合物として、下記式（Ｉ）：
【００４２】
【化１８】
で表される粘度１４００ｃＳｔのポリマー６０部；（Ｂ）成分の直鎖状パーフルオロ化合物として、下記式（ＩＩ）：
【００４３】
【化１９】
【００４４】で表される粘度６００ｃＳｔのポリマー４０部；エチニルシクロヘキサノールの５０％トルエン溶液０．０４部；（Ｄ）成分の白金族金属触媒として、塩化白金酸・ビニルシロキサン錯体のエタノール溶液（白金濃度で３．０重量％）；及び（Ｃ）成分の有機ケイ素化合物として、下記式（ＩＩＩ）：
【００４５】
【化２０】
【００４６】で表される含フッ素シロキサン１１．０部を混合し、パーフルオロ化合物系硬化性組成物を調製した。この組成物を１５０℃で１時間加熱して硬化させたところ、針入度６５（ＡＳＴＭ　Ｄ−１４０３  １／４コーン、以下同様）の透明なゲル硬化物が得られた。
実施例２
式（Ｉ）のポリマーの量及び式（ＩＩ）のポリマーの量を各々５０部とし、且つ式（ＩＩＩ）の含フッ素シロキサン１１．０部を下記式（ＩＶ）：
【００４７】
【化２１】
【００４８】で表される含フッ素シロキサン２４部に変えた他は実施例１と同じ方法でパーフルオロ化合物系硬化性組成物を調製し、この組成物を実施例１と同様にして硬化させたところ、針入度４２の透明なゲル硬化物が得られた。」
　
３．対比・判断
（１）本願発明と引用発明との対比
（ａ）引用発明の「ペリクル枠１」、「ペリクル膜３」及び「粘着剤層５」は、本願発明の「ペリクルフレーム」、「ペリクル膜」及び「粘着層」に相当するから、引用発明の「ペリクル枠１の一端面（上端面）に接着剤層２を介してペリクル膜３を張設すると共に、ペリクル枠１の他端面（下端面）に溝状凹部４を形成し、この凹部４内に加熱及び／又は光照射により発泡可能な粘着剤層５をペリクル枠１の他端面より外方にはみ出さないように、しかし発泡時にペリクル枠１の他端面より外方に膨出するように形成し」た構成は、本願発明の「ペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの一方の面に接着されたペリクル膜と、前記ペリクルフレームの他方の面に形成された粘着層を有し」た構成に相当する。
　
（ｂ）引用発明の「ペリクル」は、本願発明の「リソグラフィ用ペリクル」に相当する。
　
（２）一致点
　してみると、両者は、
「ペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの一方の面に接着されたペリクル膜と、前記ペリクルフレームの他方の面に形成された粘着層を有するリソグラフィー用ペリクル。」
で一致し、次の点で相違する。
　
（３）相違点
　粘着層について、本願発明では、「（Ａ）１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を含有し、かつ、主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｂ）１分子中に１個のアルケニル基を含有し、かつ、主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｃ）１分子中に少なくとも２個のヒドロシリル基を有する有機ケイ素化合物および（Ｄ）白金族金属系触媒を含有している硬化性組成物を硬化させることによって形成され、かつ、前記粘着層のＡＳＴＭＤ−１４０３に規定される針入度が５０ないし１００の範囲である」のに対して、引用発明では、「シリコーン系粘着剤を用いた」点。
　
（４）判断
（ａ）上記相違点について検討する。
　引用文献１には、一般のゴム系粘着剤やアクリル系粘着剤よりも耐光性、耐薬品性の点でシリコーン粘着剤を用いることが記載されているが、引用文献２では、さらに、オルガノポリシロキサン組成物（シリコーン）よりも耐薬品性及び耐溶剤性に優れたものとして、（Ａ）１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を含有し、且つ主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｂ）１分子中に１個のアルケニル基を含有し、且つ主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｃ）１分子中に少なくとも２個のヒドロシリル基を有する有機ケイ素化合物、及び（Ｄ）白金族金属系触媒を含有してなる硬化性組成物を接着に使用することが記載されている。
　また、ペリクル枠とペリクル膜とを接着する接着剤として、パーフルオロ化合物系組成物を用いることが、特開平６−６７４０９号公報（段落【００１１】参照）、特開平６−２８９５９９号公報（段落【００１１】〜【００１３】参照）、特開２００１−１０９１３１号公報（段落【００１３】参照）に示されるように周知であることも参酌すれば、引用発明の「シリコーン系粘着剤」に換えて、引用文献２に記載された「（Ａ）１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を含有し、且つ主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｂ）１分子中に１個のアルケニル基を含有し、且つ主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｃ）１分子中に少なくとも２個のヒドロシリル基を有する有機ケイ素化合物、及び（Ｄ）白金族金属系触媒を含有してなる硬化性組成物」を用いようとすることは、当業者が容易に想到し得ることである。
　そして、引用発明の「シリコーン系粘着剤」に換えて、引用文献２に記載された「（Ａ）１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を含有し、且つ主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｂ）１分子中に１個のアルケニル基を含有し、且つ主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｃ）１分子中に少なくとも２個のヒドロシリル基を有する有機ケイ素化合物、及び（Ｄ）白金族金属系触媒を含有してなる硬化性組成物」を用いる際に、引用文献２には、硬化性組成物の針入度（ＡＳＴＭＤ−１４０３）が１〜２００であって、針入度が６５である実施例１が記載されており（段落【００４６】参照）、また、用途に応じて硬化時にも適当な物性を備えるように（Ａ）成分の粘度を調整するという技術思想が記載されていること（段落【００１４】参照）、さらに、特開２００１−１０９１３１号公報（段落【０００５】参照）に示されるように、ペリクル枠とペリクル膜との接着における接着剤の硬化後に接着剤が硬いとペリクル膜に歪みが残ってしわが生じるという課題が周知であること、本願発明において、５０、１００という数値に格別な臨界的意味が認められないことを参酌すれば、引用文献２に記載された硬化性組成物の針入度（ＡＳＴＭＤ−１４０３）を、ペリクル枠とフォトマスクとの接着という用途に応じて適正なものとなるように調整して５０ないし１００とすることは、当業者が適宜設計し得ることである。
　してみると、引用発明、引用文献２に記載された技術事項及び周知の技術事項から、引用発明の「シリコーン粘着剤」に換えて、「（Ａ）１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を含有し、かつ、主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｂ）１分子中に１個のアルケニル基を含有し、かつ、主鎖にパーフルオロ構造を有する直鎖状パーフルオロ化合物、（Ｃ）１分子中に少なくとも２個のヒドロシリル基を有する有機ケイ素化合物および（Ｄ）白金族金属系触媒を含有している硬化性組成物を硬化させることによって形成され、かつ、前記粘着層のＡＳＴＭＤ−１４０３に規定される針入度が５０ないし１００の範囲である」粘着剤を採用して、上記相違点に係る発明特定事項を得ることは、当業者が容易に想到し得ることである。
　
（ｂ）効果について
　本願発明が奏し得る効果は、特開２００１−１０９１３１号公報（段落【０００７】参照）に示されるように、ペリクルにおいて、接着剤層が光劣化すること、ペリクル内に有害なガスを生じること、接着工程においてペリクル膜に歪みを生じることという課題が周知であることを参酌すれば、引用発明及び引用文献２に記載された技術事項及び周知の技術事項から当業者が予測し得る範囲のものであって格別なものではない。
　
（ｃ）したがって、本願発明は、引用発明、引用文献２に記載された技術事項及び周知の技術事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明、引用文献２に記載された技術事項及び周知の技術事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって結論のとおり審決する。