(57)【要約】      （修正有）【課題】正確なフォトカレントを測定でき、隣接する二つのダイオード間の相互干渉を改善するフォトダイオードアレイ構造を提供する。【解決手段】フォトダイオードアレイ構造は、主に、第１電極上１１０に間隔を開いてアレイ状に配列された複数の第２電極１２０が設けられ、複数の遮断部１３０をこれらの間隔を開いて配列された複数の第２電極１２０の間にそれぞれ設ける。フォトカレントテストを行う場合に、正確なフォトカレントを測定でき、ひいて、隣接の二つのダイオード間の相互干渉の問題を改善し、ノイズ干渉、Ｓ／Ｎ比低下の現象を有効に抑えられる。【選択図】図１
0003155074.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
第１電極と、
前記第１電極上に間隔を開いてアレイ状に配列された複数の第２電極と、
前記各第２電極の間に設けられ、光拡散電流の流れを遮断する複数の遮断部とを含むフォトダイオードアレイ構造。
【請求項２】
前記第１電極は陽極であり、前記第２電極は陰極であることを特徴とする請求項１に記載のフォトダイオードアレイ構造。
【請求項３】
前記第１電極は陰極であり、前記第２電極は陽極であることを特徴とする請求項１に記載のフォトダイオードアレイ構造。
【請求項４】
前記遮断部の深さは、前記第２電極の深さより大きいことを特徴とする請求項１に記載のフォトダイオードアレイ構造。
【請求項５】
前記遮断部の深さは、５〜５５０μｍであることを特徴とする請求項１に記載のフォトダイオードアレイ構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、フォトダイオードアレイ構造に係り、特に、正確なフォトカレントを測定でき、隣接の二つのダイオード間の相互干渉の問題を改善できるフォトダイオードアレイ構造に関わるものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、フォトダイオードアレイ（Ｐｈｏｔｏｄｉｏｄｅ  Ａｒｒａｙ）は、電子製品に幅広く適用されつつある。図５は、従来のフォトダイオードアレイ構造を示す図である。フォトダイオードアレイ構造２００は、陰極２１０及び複数の陽極２２０を含み、各陽極２２０が陰極２１０にアレイ状に配列されている。しかしながら、単一のフォトダイオードアレイのフォトカレントを測定する時に、アレイ上の近隣のフォトダイオードアレイのフォトカレントに影響され、フォトダイオードアレイが発生したフォトカレントが上昇されることになり、ひいて、その正確性を影響してしまう。
【０００３】
前記を鑑みて、本考案の創作者は、専念に研究や設計、組み立てをし、正確なフォトカレントを測定できるフォトダイオードアレイ構造の提供を期し、コストを低下させ、稼働率を向上させることは、本考案が創作しようとする動機である。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
本考案の主な目的は、正確なフォトカレントを測定でき、隣接の二つのダイオード間の相互干渉の問題を改善できるフォトダイオードアレイ構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するため、本考案によるフォトダイオードアレイ構造は、第１電極と、第１電極上に間隔を開いてアレイ状に配列された複数の第２電極と、各第２電極の間に設けられ、光拡散電流の流れを遮断する複数の遮断部とを含む。よって、正確なフォトカレントを測定でき、ひいて、隣接の二つのダイオード間の相互干渉の問題を改善し、ノイズ干渉、Ｓ／Ｎ比低下の現象を有効に抑えられ、素子の精確率、機能の安定性を増加し、製品の不良率を低下できる。
【０００６】
すなわち、本願の第１考案は、第１電極と、前記第１電極上に間隔を開いてアレイ状に配列された複数の第２電極と、前記各第２電極の間に設けられ、光拡散電流の流れを遮断する複数の遮断部とを含むフォトダイオードアレイ構造の提供をその要旨とする。
また、本願の第２考案は、前記第１電極は陽極であり、前記第２電極は陰極であることを特徴とする前記第１考案に記載のフォトダイオードアレイ構造の提供をその要旨とする。
また、本願の第３考案は、前記第１電極は陰極であり、前記第２電極は陽極であることを特徴とする前記第１考案に記載のフォトダイオードアレイ構造の提供をその要旨とする。
また、本願の第４考案は、前記遮断部の深さは、前記第２電極の深さより大きいことを特徴とする前記第１考案に記載のフォトダイオードアレイ構造の提供をその要旨とする。
また、本願の第５考案は、前記遮断部の深さは、５〜５５０μｍであることを特徴とする前記第１考案に記載のフォトダイオードアレイ構造の提供をその要旨とする。
【０００７】
以下に本考案に関る詳細な説明及び添付図面を参照すれば、本考案の特徴、特点及び技術内容をさらに深く了解を得られるが、添付図面は、参考や説明のみ提供されるものであって、本考案を局限するものではない。
【考案の効果】
【０００８】
本考案によれば、隣接の二つのダイオード間の相互干渉の問題を改善し、ノイズ干渉、Ｓ／Ｎ比低下の現象を有効に抑えられ、素子の精確率、機能の安定性を増加し、製品の不良率を低下できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本考案によるフォトダイオードアレイ構造を示す斜視図である。
【図２】本考案によるフォトダイオードアレイ構造を示す平面図である。
【図３】本考案によるフォトダイオードアレイ構造を示す断面図である。
【図４】本考案によるフォトダイオードアレイ構造と従来のフォトダイオードアレイとのフォトカレント曲線の比較図であり、そのうち、Ｌ１は第１比較例、Ｌ２は第１実施例、Ｌ３は第２実施例、Ｌ４は第３実施例を示す。
【図５】従来のフォトダイオードアレイ構造を示す図である。
【考案を実施するための形態】
【００１０】
図１〜図３は、それぞれ、本考案によるフォトダイオードアレイ構造を示す斜視図、平面図及び断面図である。図１〜図３に示すように、本考案によるフォトダイオードアレイ構造１００は、第１電極１１０と、複数の第２電極１２０と、複数の遮断部１３０とを含み、フォトカレントテストを行う場合に、正確なフォトカレントを測定できる。
【００１１】
第２電極１２０は、第１電極１１０上に間隔を開いてアレイ状に配列され、そのうち、第１電極１１０は陰極である場合に、第２電極１２０は陽極であり、第１電極１１０は陽極である場合に、第２電極１２０は陰極であり、本実施例では、第１電極１１０は陰極である。
【００１２】
各遮断部１３０は、それぞれ間隔を開いて配列された第２電極１２０の間に設けられ、フォトダイオードアレイ構造１００がフォトカレントテストを行う場合に、隣接の二つのダイオード間の相互干渉（ｃｒｏｓｓ−ｔａｌｋ）の問題を改善し、且つ、遮断部１３０の深さが第２電極の深さより大きく、その範囲は５〜５５０μｍである。
【００１３】
図４及び図５は、それぞれ、フォトダイオードアレイ構造のフォトカレントを示す曲線図であり、表１に示す割合に応じて、同一工程でフォトダイオードアレイ構造を有するダイをハーフカットする。
【００１４】
【表１】
0003155074.tif 000003
【００１５】
それぞれ、前記ダイをハーフカットして得たフォトダイオードアレイ構造を有するダイにフォトカレントテストを行い、その結果が表２〜表５に示され、また、表２〜表５のデータに基づいて比較図（図４に示すように、Ｌ１は第１比較例、Ｌ２は第１実施例、Ｌ３は第２実施例、Ｌ４は第３実施例を示す）を作成する。
【００１６】
【表２】
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【００１７】
【表３】
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【００１８】
【表４】
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【００１９】
【表５】
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【００２０】
表２〜表５及び図４のテスト結果から分かるように、本考案によるフォトダイオードアレイ構造が測定したフォトカレントが、遮断部が設けられないフォトダイオードアレイ構造が測定したフォトカレントの標準差数値より低く、より正確なフォトカレントを測定でき、また、深い深さのある遮断部のフォトダイオードアレイ構造が測定したフォトカレントが、浅い深さのある遮断部のフォトダイオードアレイ構造が測定したフォトカレントの標準差数値より低く、すなわち、フォトダイオードアレイ構造の第２電極を受光エリアとし、隣接の二つの第２電極の間に設けられた遮断部を光遮断路をとすることにより、フォトダイオードアレイ構造を受光させる時に、発生された光拡散電流が、遮断部からなる断層により遮断され、フォトダイオードアレイ構造は、より安定な電流判断を得られるようになる。
【００２１】
以上のように、本考案によるフォトダイオードアレイ構造は、主に、第１電極上に間隔を開いてアレイ状に配列された複数の第２電極が設けられ、複数の遮断部をこれらの間隔を開いて配列された複数の第２電極の間にそれぞれ設けて、フォトカレントテストを行う場合に、正確なフォトカレントを測定でき、ひいて、隣接の二つのダイオード間の相互干渉の問題を改善し、ノイズ干渉、Ｓ／Ｎ比低下の現象を有効に抑えられ、素子の精確率、機能の安定性を増加し、製品の不良率を低下でき、且つ、光源に整合する確率を考える必要はなく、テスト手続き及びコストを省略できる。
【００２２】
以上の説明は、単に本考案の好ましい具体的な実施例に過ぎず、本考案の実用新案登録請求の範囲を局限するものではなく、いずれの当該分野における通常の知識を有する専門家が本考案の分野の中で、適当に変更や修飾などを実施できるが、それらの実施のことが本考案の主張範囲内に納入されるべきことは言うまでもないことである。
【符号の説明】
【００２３】
１００  フォトダイオードアレイ構造
１１０  第１電極
１２０  第２電極
１３０  遮断部
２００  フォトダイオードアレイ構造
２１０  陰極
２２０  陽極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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