【事件の表示】
　特願２００６−３２７９１１「半導体製造用搬送装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年　６月１９日出願公開、特開２００８−１４１０９５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１８年１２月５日の出願であって、その主な手続の経緯は、以下のとおりである。
　平成２３年　１月２４日　拒絶理由通知
　平成２３年　３月３１日　意見書及び手続補正書提出
　平成２３年　９月　６日　拒絶査定
　平成２３年１２月１３日　審判請求書及び手続補正書提出
　平成２４年　７月　３日　拒絶理由通知
　平成２４年　９月　６日　面接
　平成２４年　９月１０日　意見書及び手続補正書提出
　平成２４年　９月１８日　手続補正指令
　平成２４年１０月　１日　手続補正書提出
　
　
２．本願発明
　本願の請求項１ないし４に係る発明は、平成２４年１０月１日付け手続補正書によって補正対象項目の欄が補正された、平成２４年９月１０日付け手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定されるとおりのものと認めるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は以下のとおりである。
「　　【請求項１】
　本体部と、
　一端部が前記本体部に水平面内で回転自在に支持された第１アームと、
　一端部が前記第１アームの他端部に水平面内で回転自在に支持された第２アームと、
　前記第２アームの他端部に水平面内で回転自在に支持された第３アームと、
　ワークを積載または懸垂保持して搬送するハンド部であって、前記第３アームに直線的に往復移動自在に支持されたハンド部と、
　前記第１〜第３アームのそれぞれを個別に回転させる第１〜第３の駆動部と、
　前記ハンド部を往復直線移動させる第４の駆動部と、を備え、
　前記第１アームの一端部、前記第２アームの一端部及び前記第３アームが、それぞれ前記本体部、前記第１アームの他端部及び前記第２アームの他端部に対して互いに独立して回転し、
　前記ハンド部が、前記第３アームに対して前記第１〜第３アームの回転とは独立して往復移動し、
　前記ハンド部は、平面視において、前記往復移動における後退した状態では全体が前記第３アーム内に位置し、前進した状態では少なくとも前記ワークに接する部分が前記第３アームから露出し、
　前記ワークの搬送時に、前記ハンド部を後退させた状態で前記第１〜第３アームを回転させた後に前記ハンド部を往復移動させるように前記第１〜４の駆動部を動作させる半導体製造用搬送装置。」
　
　
３．刊行物の記載事項及び刊行物記載の発明
　
（１）刊行物１の記載事項及び刊行物１記載の発明
　当審で通知した平成２４年７月３日付け拒絶理由通知書で引用した、本願出願前に頒布された刊行物である特開平１１−３００６６３号公報（以下、「刊行物１」という。）には、以下の事項及び発明が記載されている。
　
　ア．段落【０００１】
「【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ウェハやガラス基板等の薄型基板を搬送する搬送装置に関し、さらに、旋回半径を小さくするように構成された多関節ロボットを有する搬送装置に関する。」
　
　イ．段落【００１２】
「【００１２】本形態の薄型基板搬送装置（以下装置という）Ｍは、図１の斜視図及び図２の平面図に示すように、処理前の基板Ｗが収納されているカセット１、処理後の基板Ｗが収納されるカセット２と、基板Ｗを搬送する多関節ロボット（以下、ロボットという）３と、ロボット３を挟んで対向するように設置される複数の処理装置（４Ａ・４Ｂ・４Ｃ・４Ｄ）と、を有している。カセット１・２及び処理装置４Ａ・４Ｂ・４Ｃ・４Ｄはロボット３に対して略平行に設置されているとともに、ロボット３がカセット１内の基板Ｗをいずれかの処理装置４に搬送する用に作動される。」
　
　ウ．段落【００１５】
「【００１５】水平旋回アーム体１４は、第１の形態においては図３〜４に示すように、２組のアーム組３０（第１アーム組３０Ａと第２アーム組３０Ｂ）を有し、それぞれ第１リンク３１と第２リンク３２とハンド３３とを有して構成され、それぞれのアーム組３０が、ハンド３３の先端部を直線的に移動させる駆動機構を備えて構成される。・・・・・（後略）」
　
　エ．段落【００３０】ないし【００３３】
「【００３０】図１０に示す第２の形態のロボットは、一次旋回を水平旋回によって行なっているものである。ロボット５０は、一次旋回手段としての下部水平旋回アーム体５１が機台５２に水平方向に回動可能に支持され、二次旋回手段としての上部水平旋回アーム体５４が移動機台５５に水平方向に回動可能に支持されている。そして、上部水平旋回アーム体５４は、第１の形態と同様に２組のアーム組３０Ａ・３０Ｂが採用されている。
【００３１】下部水平旋回アーム体５１は、図１１に示すように、第１アーム６１と第２アーム６２とを有して、それぞれの端部で回動可能に支持され、第１アーム６１の一端は機台５２に軸支され、第２アームの一端は移動機台５５に軸支される。さらに下部水平旋回アーム体５１は機台５２内に装着された図示しない駆動装置により上下移動（Ｚ軸移動）を行なうとともに、第１アーム６１は機台５２内に支持されたモータ６３によって水平旋回され、第２アーム６２は第１アーム６１の一端に支持されたモータ６４によって水平旋回を行なう。移動機台５５には内部に第２アーム６２と連結するモータ６５が支持され、モータ６５を作動することによって第２アーム６２に対して移動機台５５を回転することになる。この移動機台５５による回転は、下部水平旋回アーム体５１の旋回時にそれぞれのハンド３３を一定方向に向けさせるとともに、下部水平旋回アーム体５１の停止時に上部水平旋回アーム体５４全体を回転させる（θ回転）。さらに、移動機台５５内の上部にはそれぞれのアーム組３０Ａ・３０Ｂを旋回するためのモータ６６Ａ・６６Ｂが取り付けられている。
【００３２】この形態のロボット５０は、図１２〜１４に示すように作動される。第１の形態に比べて、上部水平旋回アーム体５４の動きは同様に作動され、下部水平旋回アーム体５１の動きが異なる。
【００３３】第１の形態と同様に、ロボット５０は加工前の基板Ｗを取り出すために、下部水平旋回アーム体５１の第１アーム６１・第２アーム６２をそれぞれのモータの作動で旋回させることによって、ハンド３３Ａをカセット１の正面に対向し、基板Ｗの有無を確認した後、図１２に示すように、一方のアーム組３０Ａのハンド３３Ａをカセット１内に侵入して基板Ｗを吸着保持する。基板Ｗを吸着保持した後、一旦、アーム組３０Ａを屈曲してハンド３３Ａを戻し、下部水平旋回アーム体５１の第１アーム６１・第２アーム６２をそれぞれ旋回させ、また、移動機台５５をθ回転させて、図１３に示すように例えば処理装置４Ｄに搬入する。」
　
　オ．刊行物１記載の発明
　上記エ．に摘示する段落【００３１】には、第１アーム６１がモータ６３によって水平旋回され、第２アーム６２がモータ６４によって水平旋回され、移動機台５５がモータ６５によって回転されることの開示があるところ、それらのモータが、他のモータの回転に依存せずに回転できること、すなわち各モータが個別ないしは独立して回転できることは自明であるから、当該開示は、第１アーム６１、第２アーム６２及び旋回機台５５が、モータ６３、モータ６４及びモータ６５によって、それぞれ個別ないしは独立して回転されることを意味している。
　また、上記エ，に摘示する段落【００３３】の「ロボット５０は加工前の基板Ｗを取り出すために、下部水平旋回アーム体５１の第１アーム６１・第２アーム６２をそれぞれのモータの作動で旋回させることによって、ハンド３３Ａをカセット１の正面に対向し、基板Ｗの有無を確認した後、図１２に示すように、一方のアーム組３０Ａのハンド３３Ａをカセット１内に侵入して基板Ｗを吸着保持する。」という記載は、基板Ｗの搬送時に、ハンド３３Ａを後退させた状態で第１アーム６１及び第２アーム６２を回転させた後にハンド３３Ａを前進移動させることを意味するといえるし、「基板Ｗを吸着保持した後、一旦、アーム組３０Ａを屈曲してハンド３３Ａを戻し」という記載は、ハンド３３Ａを後退移動させることを意味している。そして、そのような回転や前進及び後退移動を行うために、モータ６３、モータ６４及びモータ６６Ａを駆動させることは、明らかである。さらに「ハンド３３Ａをカセット１の正面に対向」させるためには、必要に応じて「モータ６５」を駆動して「移動機台５５」を回転させることは、当然である。
　
　以上の記載事項を、技術常識をふまえて本願発明の記載に沿って整理すると、刊行物１には、以下の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が開示されていると認める。
　
「機台５２と、
　一端部が前記機台５２に水平面内で回転自在に支持された第１アーム６１と、
　一端部が前記第１アーム６１の他端部に水平面内で回転自在に支持された第２アーム６２と、
　前記第２アーム６２の他端部に水平面内で回転自在に支持された移動機台５５と、
　基板Ｗを吸着保持して搬送するハンド３３Ａであって、前記移動機台５５に支持されたアーム組３０Ａにより直線的に移動自在に回転支持されたハンド３３Ａと、
　前記第１アーム６１、第２アーム６２及び移動機台５５のそれぞれを個別に回転させるモータ６３、モータ６４及びモータ６５と、
　前記ハンド３３Ａを直線的に移動自在に回転支持するアーム組３０Ａを駆動するモータ６６Ａと、を備え、
　前記第１アーム６１の一端部、前記第２アーム６２の一端部及び前記移動機台５５が、それぞれ前記機台５２、前記第１アーム６１の他端部及び前記第２アーム６２の他端部に対して互いに独立して回転し、
　前記ハンド３３Ａが、前記移動機台５５に対して前記第１アーム６１、第２アーム６２及び移動機台５５の回転とは独立して前進及び後退移動し、
　前記基板Ｗの搬送時に、前記ハンド３３Ａを後退させた状態で前記第１アーム６１、前記第２アーム６２及び前記移動機台５５を回転させた後に前記ハンド３３Ａを前進及び後退移動させるように前記モータ６３、前記モータ６４、前記モータ６５及び前記モータ６６Ａを駆動させる基板Ｗの搬送装置。」
　
（２）刊行物２の記載事項
　当審で通知した平成２４年７月３日付け拒絶理由通知書で引用した、本願出願前に頒布された刊行物である特開２００６−１２３１３５号公報（以下、「刊行物２」という。）の段落【０００２】には、以下の記載がある。
「【０００２】
  搬送ロボットのうち、直線状の移動行程に沿ってハンドを移動させる機構（直線移動機構）をもつものは、いわゆる多関節型ロボットに比較して構成が簡単で安価であり、たとえば、半導体装置の製造工程、あるいは、液晶表示パネルの製造工程において、各処理室へのウエハ、あるいはガラス基板等の薄板状ワークの搬入あるいは搬出用のロボットとして多用されている。」
　
（３）刊行物３の記載事項
　当審で通知した平成２４年７月３日付け拒絶理由通知書で引用した、本願出願前に頒布された刊行物である特開平１０−２２３６４号公報（以下、「刊行物３」という。）の段落【００１３】には、以下の記載がある。
「【００１３】このように構成されるハンド１は、周知の搬送装置、例えば、図３に示されるように、機枠１３上に配設される第１アーム１４、第２アーム１５を備える搬送装置Ｍであったり、図４に示されるように、搬送アーム１９が機枠２０に対して直線的に移動可能に配設される搬送装置Ｍ１等に取り付けられる。」
　
　
４．対比
　本願発明と、刊行物１記載の発明とを対比すると、刊行物１記載の発明の「機台５２」が本願発明の「本体部」に相当することは明らかであって、以下同様に、「第１アーム６１」が「第１アーム」に相当し、「第２アーム６２」が「第２アーム」に相当し、「移動機台５５」が「第３アーム」に相当し、「基板Ｗ」が「ワーク」に相当し、「吸着保持して搬送する」ことが「積載または懸垂保持して搬送する」ことに相当し、「ハンド３３Ａ」が「ハンド部」に相当し、「モータ６３、モータ６４及びモータ６５」が「第１〜第３の駆動部」に相当し、「前進及び後退移動」することが「往復移動」することに相当することも明らかである。
　また、刊行物１記載の発明の「基板Ｗの搬送装置」は、上記３．（１）イ．に摘示するように、基板Ｗを処理する装置に対して基板Ｗを搬送しているから、本願発明の「半導体製造用搬送装置」に相当する。
　また、刊行物１記載の発明の「移動機台５５に支持されたアーム組３０Ａにより直線的に移動自在に回転支持されたハンド３３Ａ」は、「第３アームに直線的に移動するハンド部」という点で、本願発明の「第３アームに直線的に往復移動自在に支持されたハンド部」と共通し、「ハンド３３Ａを直線的に移動自在に回転支持するアーム組３０Ａを駆動する」ことは、「ハンド部を直線的に移動させる」という点で、「ハンド部を往復直線移動させる」ことと共通し、刊行物１記載の発明の「モータ６６Ａ」は、本願発明の「第４の駆動部」に相当する。
　
　以上から、本願請求項１に係る発明と刊行物１記載の発明との一致点及び相違点は、以下のとおりである。
　
＜一致点＞
「　本体部と、
　一端部が前記本体部に水平面内で回転自在に支持された第１アームと、
　一端部が前記第１アームの他端部に水平面内で回転自在に支持された第２アームと、
　前記第２アームの他端部に水平面内で回転自在に支持された第３アームと、
　ワークを積載または懸垂保持して搬送するハンド部であって、前記第３アームに直線的に移動するハンド部と、
　前記第１〜第３アームのそれぞれを個別に回転させる第１〜第３の駆動部と、
　前記ハンド部を直線的に移動させるハンド駆動部と、を備え、
　前記第１アームの一端部、前記第２アームの一端部及び前記第３アームが、それぞれ前記本体部、前記第１アームの他端部及び前記第２アームの他端部に対して互いに独立して回転し、
　前記ハンド部が、前記第３アームに対して前記第１〜第３アームの回転とは独立して往復移動し、
　前記ワークの搬送時に、前記ハンド部を後退させた状態で前記第１〜第３アームを回転させた後に前記ハンド部を往復移動させるように前記第１〜４の駆動部を動作させる半導体製造用搬送装置。」である点。
　
＜相違点＞
　本願発明のハンド部は、「第３アームに直線的に往復移動自在に支持され」ており、「平面視において、往復移動における後退した状態では全体が第３アーム内に位置し、前進した状態では少なくともワークに接する部分が前記第３アームから露出し」ているうえに、当該ハンド部を移動させる駆動部が、「ハンド部を往復直線移動させる第４の駆動部」であるのに対して、刊行物１記載の発明のハンド部は、「移動機台５５に支持されたアーム組３０Ａにより直線的に移動自在に回転支持された」ものであって、当該ハンド部を移動させる駆動部が、「ハンド３３Ａを直線的に移動自在に回転支持するアーム組３０Ａを駆動するモータ６６Ａ」である点。
　
　
５．相違点についての検討及び判断
　上記相違点について検討すると、基板を搬送する装置のハンド部において、ハンド部を直線的に移動させるための具体的手段として、２つのアームによってハンドを回転支持する手段と、ハンドを直線的に往復移動自在に支持する手段とが存在することは、上記３．（３）に摘示するほかに、例えば、特開２０００−２５２３４７号公報の段落【００５４】ないし【００５５】に示すように、周知の技術的事項である。
　そして、上記３．（２）に摘示する刊行物２に示すように、２つのアームによってハンドを回転支持する手段、すなわち多関節型ロボットのアームに比べて、ハンドを直線的に往復移動自在に支持する手段、すなわち直線移動機構のアームが安価であることは、公知である。
　さらに、直線的に往復移動自在にハンド部を支持するにあたり、平面視において、往復移動における後退した状態では全体がアーム内に位置し、前進した状態では少なくともワークに接する部分が前記アームから露出するようにハンド部を設けることは、例えば特開２００３−２０３９６３号公報の図２に示すように周知の技術的事項である。
　上記３．（２）に摘示する刊行物２に接した当業者であれば、刊行物１記載の発明において、ハンド部を直線的に移動させるための具体的手段である「アーム組３０Ａにより直線的に移動自在に回転支持されたハンド３３Ａ」に代えて、より安価な手段である、直線的に往復移動自在に支持されたハンド部の適用を試みることは、当然であるし、その際に、周知の技術的事項である、平面視において、往復移動における後退した状態では全体がアーム内に位置し、前進した状態では少なくともワークに接する部分が前記アームから露出するようにハンド部を設けることは、格別の困難性を有するものではない。
　以上から、刊行物１記載の発明において、「アーム組３０Ａにより直線的に移動自在に回転支持されたハンド３３Ａ」及び「ハンド３３Ａを直線的に移動自在に回転支持するアーム組３０Ａを駆動する」手段に代えて、第３アームに直線的に往復移動自在に支持されたハンド部及びハンド部を往復直線移動させる手段を適用し、平面視において、往復移動における後退した状態では全体が第３アーム内に位置し、前進した状態では少なくともワークに接する部分が前記第３アームから露出するようにハンド部を設けることは、刊行物２の記載事項及び上記の各周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明できたものである。
　
　
６．むすび
　したがって、本願請求項１に係る発明は、上記刊行物１記載の発明、及び刊行物２ないし３の記載事項、並びに上記の各周知の技術的事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、請求項２ないし４に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。