【事件の表示】
　特願２００６−３２６２１９「基板処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年　６月１９日出願公開、特開２００８−１４１０１０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１８年（２００６年）１２月１日を出願日とする特願２００６−３２６２１９号であって、平成２３年４月６日付けで拒絶理由が通知され、同年６月９日付けで意見書が提出されるとともに、同日付けで手続補正がなされ、同年７月１５日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年１０月２６日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同時に手続補正がなされたものである。
　その後、当審において平成２４年４月２７日付けで前置報告書の内容について請求人に事前に意見を求める審尋をなし、同年７月２日付けで回答書が提出された。
　
第２　平成２３年１０月２６日付けの手続補正についての補正の却下の決定
　
[補正の却下の決定の結論]
　平成２３年１０月２６日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
[理由]
１　本件補正後の本願発明
　本件補正により、明細書の特許請求の範囲の請求項１は、
「【請求項１】
　基板を保持しつつ回転させる基板保持手段と、
　前記基板保持手段により保持された基板に処理液を供給する処理液供給手段と、
　前記基板保持手段を取り囲むように設けられ、基板から周囲に飛散する処理液を受け止める第１の飛散防止部材と、
　前記第１の飛散防止部材を支持するとともに上下動可能に設けられた複数の第１の支持部材と、
　前記複数の第１の支持部材にそれぞれ対応して設けられ、前記複数の第１の支持部材を上下方向に駆動する複数の第１の駆動装置と、
　前記第１の飛散防止部材を取り囲むように設けられ、基板から周囲に飛散する処理液を受け止める第２の飛散防止部材と、
　前記第２の飛散防止部材を支持するとともに上下動可能に設けられた複数の第２の支持部材と、
　前記複数の第２の支持部材にそれぞれ対応して設けられ、前記複数の第２の支持部材を上下方向に駆動する複数の第２の駆動装置と、
　前記複数の第１の駆動装置が互いに同期して前記複数の第１の支持部材を駆動するように前記複数の第１の駆動装置を同期制御するとともに、前記複数の第２の駆動装置が互いに同期して前記複数の第２の支持部材を駆動するように前記複数の第２の駆動装置を同期制御する制御部とを備え、
　前記第１の飛散防止部材の上部は、内側上方に向かって湾曲するように設けられ、
　前記第２の飛散防止部材の上部は、前記第１の飛散防止部材の上部と上下に重なるように、内側上方に向かって湾曲するように設けられ、
　前記制御部は、前記複数の第１の駆動装置および前記複数の第２の駆動装置が互いに同期して前記複数の第１の支持部材および前記複数の第２の支持部材を駆動するように前記複数の第１の駆動装置および前記複数の第２の駆動装置を同期制御し、
　前記複数の第１の駆動装置および前記複数の第２の駆動装置の各々は、サーボモータを含むことを特徴とする基板処理装置。」
と補正された。
　
　本件補正は、本件補正前の請求項１に係る発明を特定するために必要な事項である「複数の第１の駆動装置」及び「複数の第２の駆動装置」について、「前記複数の第１の駆動装置および前記複数の第２の駆動装置の各々は、サーボモータを含む」と限定する補正を含む。
　
　以上のことから、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２（以下単に「特許法第１７条の２」という。）第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする補正に該当する。
　
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反しないか）について検討する。
　
２　引用例
（１）引用例１
　原査定の拒絶理由に引用された本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００６−２８６８３５号公報（以下「引用例」という。）には、以下の事項が記載されている。（後述する引用発明の認定に関連する箇所に下線を付した。）
　
[記載事項ア]
「【００２１】以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置の構成を示す平面図である。この
基板処理装置
ウエハＷをほぼ水平に保持して、そのウエハＷをほぼ鉛直な回転軸線Ｃ（
まわりに回転させるためのスピンチャック１
スピンチャック１に保持されたウエハＷの表面（上面）に第１薬液、第２薬液および純水を選択的に供給するためのノズル３
　
[記載事項イ]
「【００２４】回転軸４は、モータ６の駆動軸と一体化された中空軸であり、その内部には、裏面処理液供給管７が挿通されている。この裏面処理液供給管７には、第１薬液、第２薬液および純水が選択的に供給されるようになっている。また、裏面処理液供給管７の上端部には、裏面処理液供給管７に
選択的に供給される処理液（第１薬液、第２薬液および純水）を吐出する裏面ノズル８が形成されている。
　
[記載事項ウ]
「【００２８】
カップ２は、互いに独立して昇降可能な内構成部材１９、中構成部材２０および外構成部材２１を備えている。
内構成部材１９は、スピンチャック１の周囲を取り囲み、
この内構成部材１９は、
上端部が滑らかな円弧を描きつつ中心側（ウエハＷの回転軸線Ｃに近づく方向）斜め上方に延びる第１案内部２５とを一体的に備えている。
　
[記載事項エ]
「【００３４】閉鎖部材４５には、接続口４６が形成されており、この接続口４６を介して、回収タンクから延びる回収配管４７が継手４３に接続されている。内側回収溝２７に集められる処理液は、連通孔４１、移動筒部材４０、固定筒部材３８、継手４３および回収配管４７を介して回収タンクに回収される。
　
中構成部材２０は
【００３５】第２案内部４８は、内構成部材１９の第１案内部２５の外側において、第１案内部２５の下端部と同軸円筒状をなす下端部４８ａと、この
下端部４８ａの上端から滑らかな円弧を描きつつ中心側（ウエハＷの回転軸線Ｃに近づく方向）斜め上方に延びる上端部４８ｂ
を有している。
上端部４８ｂは、内構成部材１９の第１案内部２５の上端部２５ｂと上下方向に重なるように設けられ、
 
[記載事項オ]
「【００４０】折返し部２１ｃは、中構成部材２０と外構成部材２１とが最も近接した状態で、第２案内部４８の上端部４８ｂと水平方向に重なるように形成されている。
　また、カップ２は、内構成部材１９を昇降させるための第１昇降機構６６と、中構成部材２０を昇降させるための第２昇降機構６７と、外構成部材２１を昇降させるための第３昇降機構６８とを備えている。　
【００４１】第１昇降機構６６は、図１に示すように、たとえば、スピンチャック１を挟んで互いに対向する位置（回転軸線Ｃに対して互いに対称をなす位置）にそれぞれ設けられている。
各第１昇降機構６６は、
内構成部材１９の底部２２に固定されたブロック７２と、ボールねじ機構７０の
シャフト８４をブロック７２に連結するための連結部材７３と
を備えている。
【００４２】第２昇降機構６７は、図１に示すように、たとえば、スピンチャック１を挟んで互いに対向する位置（回転軸線Ｃに対して互いに対称をなす位置）にそれぞれ設けられている。
各第２昇降機構６７は、
中構成部材２０の側面に固定されるとともに、ボールねじ機構７０の
シャフト８４が連結された連結ブロック７７
を備えている。
　
[記載事項カ]
「【００４４】図５は、ボールねじ機構７０の構成を示す断面図である。ボールねじ機構７０は、保持筒体８２と、この保持筒体８２の上端部に嵌合保持されたボールスプライン軸受８３と、このボールスプライン軸受８３に直動可能に保持されたシャフト８４とを備えている。
　保持筒体８２の上端部には、外周面から側方へ張り出すフランジ部８５が形成されている。保持筒体８２は、フランジ部８５にボルト８６が挿通され、そのボルト８６が取付部材６９，７５（図４参照）にねじ込まれることによって、取付部材６９，７５に対して取り付けられる。
【００４５】シャフト８４は、その約下半分の周面にねじ溝８７が切られている。このねじ溝８７には、ナット８８が螺着されている。また、シャフト８４は、後述する
モータ９１，９２
からの回転力が入力されるプーリ８９
プーリ８９に回転力が入力されると、プーリ８９とともにナット８８が回転し、このナット８８の回転がねじ溝８７によってシャフト８４の直線運動に変換され、シャフト８４が鉛直方向に直動する。
【００４６】図６は、第１昇降機構６６、第２昇降機構６７および第３昇降機構６８に駆動力を伝達するための構成を簡略化して示す平面図である。この
基板処理装置は
、各２つの第１昇降機構６６、第２昇降機構６７
　モータ９１は、２つの第１昇降機構６６の一方の近傍に配置されている。
モータ９１の出力軸９４には、モータプーリ９５が固着されており、このモータプーリ９５には、無端状のベルト９６が巻き掛けられている。ベルト９６は、２つの第１昇降機構６６の他方
に備えられているボールねじ機構７０のプーリ８９に巻き掛けられている。
ベルト９６は、
２つの第１昇降機構６６の一方に備えられているボールねじ機構７０のプーリ８９を両側から挟むように設けられている。
２つのテンションプーリ９７
によって、
ベルト９６と各プーリ８９およびモータプーリ９５との間で滑りが生じない程度の張力が付与されている。
【００４７】モータ９２は、２つの第２昇降機構６７の一方の近傍に配置されている。
モータ９２の出力軸９８には、モータプーリ９９が固着されており、このモータプーリ９９には、無端状のベルト１００が巻き掛けられている。ベルト１００は、２つの第２昇降機構６７の他方
に備えられているボールねじ機構７０のプーリ８９に巻き掛けられている。また、ベルト１００は、モータプーリ９９の近傍において、２つの第２昇降機構６７の一方に備えられているボールねじ機構７０のプーリ８９を両側から挟むように設けられている。さらに、
２つのテンションプーリ１０１
によって、
ベルト１００と各プーリ８９およびモータプーリ９９との間で滑りが生じない程度の張力が付与されている。
　
[記載事項キ]
「【００４９】これにより、モータ９１，９２，９３を個別に駆動することにより、
モータ９１，９２
から発生される回転力を、それぞれ第１昇降機構６６、第２昇降機構６７
に個別に入力することができる。そして、第１昇降機構６６、第２昇降機構６７
によって、それぞれ内構成部材１９、中構成部材２０
を互いに独立して昇降させることができる。
【００５０】また、この基板処理装置には、マイクロコンピュータを含む構成の制御部１０６が備えられている。
制御部１０６は、ウエハＷに対する処理の各工程において、内構成部材１９、中構成部材２０
がそれぞれ適切な位置に配置されるように、モータ９１，９２
を制御する。
　図７ないし図１０は、ウエハＷに対する処理の各工程における内構成部材１９、中構成部材２０および外構成部材２１の位置を図解的に示す断面図である。ウエハＷの搬入前は、図７に示すように、内構成部材１９、中構成部材２０および外構成部材２１が最も下方まで下げられることにより、内構成部材１９の第１案内部２５の上端部２５ｂ、中構成部材２０の第２案内部４８の上端部４８ｂおよび外構成部材２１の上端部２１ｂがいずれも、スピンチャック１によるウエハＷの保持位置よりも下方に位置している。」　
　
[記載事項ク]
「【００５４】ウエハＷへの第１薬液の供給が所定時間にわたって行われると、内構成部材１９および中構成部材２０が上昇されて、図９に示すように、内構成部材１９の第１案内部２５の上端部２５ｂ、中構成部材２０の第２案内部４８の上端部４８ｂおよび外構成部材２１の上端部２１ｂが、スピンチャック１に保持されたウエハＷよりも上方に配置される。このとき、
内構成部材１９および中構成部材２０は、
相対的な位置関係を保った状態）で、同期をとって上昇される。
　
[記載事項ケ]
「【００５６】
ウエハＷの周縁から振り切られて側方に飛散する純水
は、内構成部材１９
に捕獲される。
　
[記載事項コ]
「【００６０】
ウエハＷの周縁から振り切られて側方に飛散する第２薬液は、内構成部材１９の第１案内部２５の上端部２５ｂと中構成部材２０の第２案内部４８の上端部４８ｂとの間に飛入する。
　
【図１】
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
【図４】
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
【図１０】
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
　【図１】及び【図４】から、中構成部材２０が内構成部材１９を取り囲むように設けられていることが読み取れる。
　【図４】から、４本のシャフト８４のうち内側の２つがブロック７２を介して内構成部材１９に、また外側の２つが連結ブロック７７を介して中構成部材２０にそれぞれ取り付けられていることが読み取れ、また、上記段落【００４１】の「各第１昇降機構６６は、・・・内構成部材１９の底部２２に固定されたブロック７２と、ボールねじ機構７０のシャフト８４をブロック７２に連結するための連結部材７３と・・・を備えている。」という記載、及び上記段落【００４２】の「各第２昇降機構６７は、・・・中構成部材２０の側面に固定されるとともに、ボールねじ機構７０のシャフト８４が連結された連結ブロック７７・・・を備えている。」という記載から、【図４】の４本のシャフト８４のうち、内側の２つのシャフト８４がブロック７２を介して内構成部材１９に、また外側の２つのシャフト８４が連結ブロック７７を介して中構成部材２０にそれぞれ結合されていることがわかる。そして、段落【００４０】には、「カップ２は、内構成部材１９を昇降させるための第１昇降機構６６と、中構成部材２０を昇降させるための第２昇降機構６７・・・とを備えている。」と記載され、【図１】及び【図４】から、内構成部材１９に連結されている内側の２つのシャフト８４以外の部材及び中構成部材２０に連結されている外側の２つのシャフト８４以外の部材は認められないことから、内側の２つのシャフト８４は内構成部材１９を支持し、外側の２つのシャフト８４は中構成部材２０をそれぞれ支持していることが理解できる。
　【図１０】及び上記段落【００６０】の「ウエハＷの周縁から振り切られて側方に飛散する第２薬液は、内構成部材１９の第１案内部２５の上端部２５ｂと中構成部材２０の第２案内部４８の上端部４８ｂとの間に飛入する」という記載から、中構成部材２０は、ウェハＷから周囲に飛散する第２薬液を受け止めることが読み取れる。
　
　記載事項ア〜コの記載内容並びに【図１】、【図４】及び【図１０】の図示内容からして、引用例には
「ウエハＷをほぼ水平に保持して、そのウエハＷをほぼ鉛直な回転軸線Ｃまわりに回転させるためのスピンチャック１と、
　スピンチャック１に保持されたウエハＷの表面（上面）に第１薬液、第２薬液および純水を選択的に供給するためのノズル３と、裏面処理液供給管７に選択的に供給される処理液（第１薬液、第２薬液および純水）を吐出する裏面ノズル８と、
　スピンチャック１の周囲を取り囲み、ウエハＷの周縁から振り切られて側方に飛散する純水を捕獲する内構成部材１９と、
　内構成部材１９を支持する内側の２つのシャフト８４と、
　内側構成部材１９を取り囲むように設けられ、ウェハＷから周囲に飛散する第２薬液を受け止める中構成部材２０と、
　中構成部材２０を支持する外側の２つのシャフト８４と、
　内構成部材１９、中構成部材２０をそれぞれ互いに独立して昇降させる２つの第１昇降機構６６及び２つの第２昇降機構６７と、
　第１のモータ９１及び第２のモータ９２から発生する回転力をそれぞれ２つの第１昇降機構及び２つの第２昇降機構に個別に入力することにより、ウエハＷに対する処理の各工程において、内構成部材１９及び中構成部材２０がそれぞれ適切な位置に配置されるように第１のモータ９１及び第２のモータ９２を制御する制御部１０６とを備え、
　内構成部材１９は、上端部が滑らかな円弧を描きつつ中心側（ウエハＷの回転軸線Ｃに近づく方向）斜め上方に延びる第１案内部２５を一体的に備え、
　中構成部材２０は、下端部４８ａの上端から滑らかな円弧を描きつつ中心側（ウエハＷの回転軸線Ｃに近づく方向）斜め上方に延び、内構成部材１９の第１案内部２５の上端部２５ｂと上下方向に重なるように設けられた上端部４８ｂを有し、
　各第１昇降機構６６は、内構成部材１９の底部２２に固定されたブロック７２と、ボールねじ機構７０のシャフト８４をブロック７２に連結するための連結部材７３を備え、
　各第２昇降機構６７は、中構成部材２０の側面に固定されるとともに、ボールねじ機構７０のシャフト８４が連結された連結ブロック７７を備え、
　第１のモータ９１の出力軸９４に固着されたモータプーリ９５に巻き掛けられた無端状ベルト９６が２つの第１昇降機構６６の一方に備えられているボールねじ機構７０のプーリ８９を両側から挟むように設けられ、２つのテンションプーリ９７によってベルト９６と各プーリ８９及びモータプーリ９５との間で滑りが生じない程度の張力が付与され、
　第２のモータ９２の出力軸９８に固着されたモータプーリ９９に巻き掛けられた無端状ベルト１００が２つの第２昇降機構６７の一方に備えられているボールねじ機構７０のプーリ８９を両側から挟むように設けられ、他方に備えられているボールねじ機構７０のプーリ８９に巻き掛けられ、２つのテンションプーリ１０１によってベルト１００と各プーリ８９及びモータプーリ９９との間で滑りが生じない程度の張力が付与され、
　第１のモータ９１及び第２のモータ９２から発生される回転力がプーリ８９に入力されると、プーリ８９とともにナット８８が回転し、このナット８８の回転がねじ溝８７によってシャフト８４の直線運動に変換され、シャフト８４が鉛直方向に直動し、
　内構成部材１９および中構成部材２０は相対的な位置関係を保った状態で、同期をとって上昇される基板処理装置。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているといえる。
　
（２）引用例２
　原査定の拒絶理由に引用された本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００３−２９７８０１号公報（以下「引用例２」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
[記載事項サ]
「【００２５】上記第１の上部仕切体２５は第１のシリンダ３１によって上下方向に駆動され、第２の上部仕切体２６は第２のシリンダ３２によって上下方向に駆動される。さらに、第３の上部仕切体２７は第３のシリンダ３３によって上下方向に駆動される。
【００２６】図1では、環状の各上部仕切体２５〜２７にそれぞれ１つのシリンダ３１〜３３が連結されているが、各仕切体２６（当審注：２５の誤記と認める。）〜２７には少なくとも２つのシリンダ２５〜２７（当審注：３１〜３３の誤記と認める。）を連結した方が上下動を円滑に行なうことができる。」
　
【図１】
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
３　対比
　本願補正発明と引用発明を対比する。
　
（１）引用発明の「ウェハＷ」は、本願補正発明の「基板」に、引用発明の「スピンチャック１」は、本願補正発明の「基板保持手段」に、引用発明の「ノズル３」及び「裏面ノズル８」は、本願補正発明の「処理液供給手段」に、引用発明の「第１薬液」、「第２薬液」、「純水」及び「処理液」は、本願補正発明の「処理液」に、引用発明の「内構成部材１９」は、本願補正発明の「第１の飛散防止部材」に、引用発明の「中構成部材２０」は、本願補正発明の「第２の飛散防止部材」に、引用発明の「制御部１０６」は、本願補正発明の「制御部」に、引用発明の「基板処理装置」は本願補正発明の「基板処理装置」にそれぞれ相当する。
　
（２）引用発明の「ウエハＷをほぼ水平に保持して、そのウエハＷをほぼ鉛直な回転軸線Ｃまわりに回転させるためのスピンチャック１」は、本願補正発明の「基板を保持しつつ回転させる基板保持手段」に、
　引用発明の「スピンチャック１に保持されたウエハＷの表面（上面）に第１薬液、第２薬液および純水を選択的に供給するためのノズル３と、裏面処理液供給管７に選択的に供給される処理液（第１薬液、第２薬液および純水）を吐出する裏面ノズル８」は、本願補正発明の「前記基板保持手段により保持された基板に処理液を供給する処理液供給手段」に、
　引用発明の「スピンチャック１の周囲を取り囲み、ウエハＷの周縁から振り切られて側方に飛散する純水を捕獲する内構成部材１９」は、本願補正発明の「前記基板保持手段を取り囲むように設けられ、基板から周囲に飛散する処理液を受け止める第１の飛散防止部材」に、
　引用発明の「内側構成部材１９を取り囲むように設けられ、ウェハＷから周囲に飛散する第２薬液を受け止める中構成部材２０」は、本願補正発明の「前記第１の飛散防止部材を取り囲むように設けられ、基板から周囲に飛散する処理液を受け止める第２の飛散防止部材」に、
　引用発明の「内構成部材１９は、上端部が滑らかな円弧を描きつつ中心側（ウエハＷの回転軸線Ｃに近づく方向）斜め上方に延びる第１案内部２５を一体的に備え」る点は、本願補正発明の「前記第１の飛散防止部材の上部は、内側上方に向かって湾曲するように設けられ」る点に、
　引用発明の「中構成部材２０は、下端部４８ａの上端から滑らかな円弧を描きつつ中心側（ウエハＷの回転軸線Ｃに近づく方向）斜め上方に延び、内構成部材１９の第１案内部２５の上端部２５ｂと上下方向に重なるように設けられた上端部４８ｂを有」する点は、本願補正発明の「前記第２の飛散防止部材の上部は、前記第１の飛散防止部材の上部と上下に重なるように、内側上方に向かって湾曲するように設けられ」る点に、それぞれ相当する。
　
（３）引用発明の「シャフト８４」は、「第１のモータ９１及び第２のモータ９２から発生される回転力がプーリ８９に入力されると、プーリ８９とともにナット８８が回転し、このナット８８の回転がねじ溝８７によってシャフト８４の直線運動に変換され、シャフト８４が鉛直方向に直動」することから、引用発明の「内構成部材１９を支持する内側の２つのシャフト８４」及び「中構成部材２０を支持する外側の２つのシャフト８４」は、いずれも上下可動に設けられていることがわかる。してみると、引用発明の「上下動可能な」「内構成部材１９を支持する内側の２つのシャフト８４」及び「中構成部材２０を支持する外側の２つのシャフト８４」は、本願補正発明の「前記第１の飛散防止部材を支持するとともに上下動可能に設けられた複数の第１の支持部材」及び「前記第２の飛散防止部材を支持するとともに上下動可能に設けられた複数の第２の支持部材」にそれぞれ相当する。
　また、引用発明の「第１のモータ９１」が回転することにより内側の２つの「シャフト８４」が「鉛直方向に直動」することは明らかであるから、「第１のモータ９１」は「内側の２つのシャフト８４」に対応して設けられているといえる。そうすると、引用発明の「内側の２つのシャフト８４」に対応して設けられ、「内側の２つのシャフト８４」を「鉛直方向に直動」する「第１のモーター９１」と、本願補正発明の「前記複数の第１の支持部材にそれぞれ対応して設けられ、前記複数の第１の支持部材を上下方向に駆動する複数の第１の駆動装置」とは、「前記複数の第１の支持部材に対応して設けられ、前記複数の第１の支持部材を上下方向に駆動する第１の駆動装置」である点で共通している。
　同様に、引用発明の「外側の２つのシャフト８４」に対応して設けられ、「外側の２つのシャフト８４」を「鉛直方向に直動」する「第２のモーター９２」と、本願補正発明の「前記複数の第２の支持部材にそれぞれ対応して設けられ、前記複数の第２の支持部材を上下方向に駆動する複数の第２の駆動装置」とは、「前記複数の第２の支持部材に対応して設けられ、前記複数の第２の支持部材を上下方向に駆動する第２の駆動装置」である点で共通している。
　
（４）引用発明は「第１のモータ９１の出力軸９４に固着されたモータプーリ９５に巻き掛けられた無端状のベルト９６が２つの第１昇降機構６６の一方に備えられているボールねじ機構７０のプーリ８９を両側から挟むように設けられ、他方に備えられているボールねじ機構７０のプーリ８９に巻き掛けられ、２つのテンションプーリ９７によってベルト９６と各プーリ８９及びモータプーリ９５との間で滑りが生じない程度の張力が付与され、第２のモータ９２の出力軸９８に固着されたモータプーリ９９に巻き掛けられた無端状のベルト１００が２つの第２昇降機構６７の一方に備えられているボールねじ機構７０のプーリ８９を両側から挟むように設けられ、他方に備えられているボールねじ機構７０のプーリ８９に巻き掛けられ、２つのテンションプーリ１０１によってベルト１００と各プーリ８９及びモータプーリ９９との間で滑りが生じない程度の張力が付与され、第１のモータ９１及び第２のモータ９２から発生される回転力がプーリ８９に入力されると、プーリ８９とともにナット８８が回転し、このナット８８の回転がねじ溝８７によってシャフト８４の直線運動に変換され、シャフト８４が鉛直方向に直動」するものであることから、「第１のモータ９１が内側の２つのシャフト８４を互いに同期して駆動するとともに、第２のモータ９２が外側の２つのシャフト８４を互いに同期して駆動する」ことは明らかである。そして、この「第１のモータ９１が内側の２つのシャフト８４を互いに同期して駆動するとともに、第２のモータ９２が外側の２つのシャフト８４を互いに同期して駆動する」点と、本願補正発明の「前記複数の第１の駆動装置が互いに同期して前記複数の第１の支持部材を駆動するように前記複数の第１の駆動装置を同期制御するとともに、前記複数の第２の駆動装置が互いに同期して前記複数の第２の支持部材を駆動するように前記複数の第２の駆動装置を同期制御する制御部とを備え」る点とは、「前記第１の駆動装置が前記複数の第１の支持部材を互いに同期して駆動するとともに、前記第２の駆動装置が前記複数の第２の支持部材を互いに同期して駆動」する点で共通している。
　
（５）引用発明の「内構成部材１９および中構成部材２０は相対的な位置関係を保った状態で、同期をとって上昇される基板処理装置。」について、同じく引用発明の「第１のモータ９１及び第２のモータ９２から発生する回転力をそれぞれ２つの第１昇降機構及び２つの第２昇降機構に個別に入力することにより、ウエハＷに対する処理の各工程において、内構成部材１９及び中構成部材２０がそれぞれ適切な位置に配置されるように第１のモータ９１及び第２のモータ９２を制御する制御部１０６」という構成から、制御部１０６が第１のモータ９１及び第２のモータ９２を互いに同期させて内構成部材１９を支持する内側の２つのシャフト８４と中構成部材２０を支持する外側の２つのシャフト８４との相対的な位置関係を保つように制御されるものであることは明らかであるから、引用発明の明らかな構成である「制御部１０６が第１のモータ９１及び第２のモータ９２を互いに同期させて内構成部材１９を支持する内側の２つのシャフト８４と中構成部材２０を支持する外側の２つのシャフト８４との相対的な位置関係を保つように制御」する「基板処理装置」と、本願発明の「前記制御部は、前記複数の第１の駆動装置および前記複数の第２の駆動装置が互いに同期して前記複数の第１の支持部材および前記複数の第２の支持部材を駆動するように前記複数の第１の駆動装置および前記複数の第２の駆動装置を同期制御し、前記複数の第１の駆動装置および前記複数の第２の駆動装置の各々は、サーボモータを含むことを特徴とする基板処理装置。」とは、「制御部は、前記第１の駆動装置および前記第２の駆動装置が互いに同期して前記複数の第１の支持部材および前記複数の第２の支持部材を駆動するように前記第１の駆動装置および前記第２の駆動装置を同期制御し、前記第１の駆動装置および前記第２の駆動装置の各々は、モータを含む基板処理装置。」である点で共通している。
　
　そうすると、本願補正発明と引用発明は、
「基板を保持しつつ回転させる基板保持手段と、
　前記基板保持手段により保持された基板に処理液を供給する処理液供給手段と、
　前記基板保持手段を取り囲むように設けられ、基板から周囲に飛散する処理液を受け止める第１の飛散防止部材と、
　前記第１の飛散防止部材を支持するとともに上下動可能に設けられた複数の第１の支持部材と、
　前記複数の第１の支持部材に対応して設けられ、前記複数の第１の支持部材を上下方向に駆動する第１の駆動装置と、
　前記第１の飛散防止部材を取り囲むように設けられ、基板から周囲に飛散する処理液を受け止める第２の飛散防止部材と、
　前記第２の飛散防止部材を支持するとともに上下動可能に設けられた複数の第２の支持部材と、
　前記複数の第２の支持部材に対応して設けられ、前記複数の第２の支持部材を上下方向に駆動する第２の駆動装置と、
　制御部とを備え、
　前記第１の駆動装置が前記複数の第１の支持部材を互いに同期して駆動するとともに、前記第２の駆動装置が前記複数の第２の支持部材を互いに同期して駆動し、
　前記第１の飛散防止部材の上部は、内側上方に向かって湾曲するように設けられ、
　前記第２の飛散防止部材の上部は、前記第１の飛散防止部材の上部と上下に重なるように、内側上方に向かって湾曲するように設けられ、
　前記制御部は、前記第１の駆動装置および前記第２の駆動装置が互いに同期して前記複数の第１の支持部材および前記複数の第２の支持部材を駆動するように前記第１の駆動装置および前記第２の駆動装置を同期制御し、
　前記第１の駆動装置および前記第２の駆動装置の各々は、モータを含む基板処理装置。」
である点で一致し、次の点で相違する。
　
[相違点]
　本願補正発明では、複数の第１の支持部材及び複数の第２の支持部材にそれぞれ対応してサーボモータを含む第１の駆動装置及び第２の駆動装置が複数設けられており、制御部が、複数の第１の駆動装置が互いに同期して前記複数の第１の支持部材を駆動するように複数の第１の駆動装置を同期制御するとともに、複数の第２の駆動装置が互いに同期して前記複数の第２の支持部材を駆動するように複数の第２の駆動装置を同期制御し、かつ複数の第１の駆動装置および複数の第２の駆動装置が互いに同期して複数の第１の支持部材および複数の第２の支持部材を駆動するように複数の第１の駆動装置および複数の第２の駆動装置を同期制御するのに対し、引用発明では、第１のモータ９１からの駆動力を無端状のベルト９６、モータプーリ９５、２つのプーリ８９及びテンションプーリ９７により複数のボールねじ機構７０を介して内側の２つのシャフト８４を互いに同期させて駆動し、第２のモータ９２が無端状のベルト１００、モータプーリ９９、プーリ８９及びテンションプーリ１０１により複数のボールねじ機構７０を介して外側の２つのシャフト８４を互いに同期させて駆動し、制御部１０６は第１のモータ９１及び第２のモータ９２が互いに同期するように制御するのみである点。
　　
４ 当審の判断
　上記相違点について検討する。
　引用例２は本願補正発明と同様の技術分野であるスピン処理装置に係るものであって、その段落【００２５】及び【００２６】には、それぞれ「第１の上部仕切体２５は第１のシリンダ３１によって上下方向に駆動され、第２の上部仕切体２６は第２のシリンダ３２によって上下方向に駆動される。さらに、第３の上部仕切体２７は第３のシリンダ３３によって上下方向に駆動される。」及び「環状の各上部仕切体２５〜２７にそれぞれ１つのシリンダが３１〜３３連結されているが、各仕切体２５〜２７には少なくとも２つのシリンダ３１〜３３を連結した方が上下動を円滑に行なうことができる。」と記載されているように、１つの駆動対象を２つの駆動装置が直接駆動することが示唆されている。そして、単一のモータ、無端状のベルト、モータプーリ、２つのプーリ及びテンションプーリと、２つのモータ及びそれらを制御する制御部とは、共に複数の駆動対象を同期させるために互換可能な手段である点、及びサーボモータが同期制御のための駆動に特に適したモータである点は、いずれも駆動制御の分野における技術常識であるから、引用発明の複数の第１の支持部材及び第２の複数の支持部材の同期を直接駆動して行うために、単一のモータ、無端状のベルト、モータプーリ、２つのプーリ及びテンションプーリに代えて、複数のボールねじ機構のそれぞれを直接駆動する複数のサーボモータを含む第１の駆動装置及び複数のサーボモータを含む第２の駆動装置とし、その際に制御部が複数の第１の駆動装置及び複数の第２の駆動装置の互いの同期制御、並びに複数の第１の駆動装置および前記複数の第２の駆動装置の同期制御を行うようにして上記相違点に係る本願発明の発明特定事項を得ることは当業者であれば容易になし得ることである。
　そして、本願補正発明の効果は、引用発明、引用例２及び上記技術常識から予測し得る範囲内のものであり、格別のものではない。
　
　したがって、本願補正発明は、引用発明１、引用例２及び上記技術常識に基いて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
５　むすび
　以上のとおり、本件補正は特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明について
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２３年６月９日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された以下のとおりのものである。
「基板を保持しつつ回転させる基板保持手段と、
　前記基板保持手段により保持された基板に処理液を供給する処理液供給手段と、
　前記基板保持手段を取り囲むように設けられ、基板から周囲に飛散する処理液を受け止める第１の飛散防止部材と、
　前記第１の飛散防止部材を支持するとともに上下動可能に設けられた複数の第１の支持部材と、
　前記複数の第１の支持部材にそれぞれ対応して設けられ、前記複数の第１の支持部材を上下方向に駆動する複数の第１の駆動装置と、
　前記第１の飛散防止部材を取り囲むように設けられ、基板から周囲に飛散する処理液を受け止める第２の飛散防止部材と、
　前記第２の飛散防止部材を支持するとともに上下動可能に設けられた複数の第２の支持部材と、
　前記複数の第２の支持部材にそれぞれ対応して設けられ、前記複数の第２の支持部材を上下方向に駆動する複数の第２の駆動装置と、
　前記複数の第１の駆動装置が互いに同期して前記複数の第１の支持部材を駆動するように前記複数の第１の駆動装置を同期制御するとともに、前記複数の第２の駆動装置が互いに同期して前記複数の第２の支持部材を駆動するように前記複数の第２の駆動装置を同期制御する制御部とを備え、
　前記第１の飛散防止部材の上部は、内側上方に向かって湾曲するように設けられ、
　前記第２の飛散防止部材の上部は、前記第１の飛散防止部材の上部と上下に重なるように、内側上方に向かって湾曲するように設けられ、
　前記制御部は、前記複数の第１の駆動装置および前記複数の第２の駆動装置が互いに同期して前記複数の第１の支持部材および前記複数の第２の支持部材を駆動するように前記複数の第１の駆動装置および前記複数の第２の駆動装置を同期制御することを特徴とする基板処理装置。」
　
第４　引用例
　原査定の拒絶の理由で引用された引用例１、２及びその記載事項は「第２」、「２　引用例」に記載したとおりである。
　
第５　対比・判断
　本願発明は、前記「第２」「１　本件補正後の本願発明」で検討した本願補正発明から「前記複数の第１の駆動装置および前記複数の第２の駆動装置の各々は、サーボモータを含む」という限定を省くものである。
　
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「第２」「４　当審の判断」に記載したとおり、引用発明、引用例２及び上記技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明、引用例２及び上記技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるといえる。
　
第６　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明、引用例２に記載された発明及び上記技術常識に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。