(57)【要約】本発明は、例えばインクジェット方式のプリンタに適用して、耐薬品性に優れ、接着力を確保し得る所定の材料（５、６）を介して、ノズルシート７を基板３に保持することにより、より具体的には、環化ゴムを介して、又はパターンニング可能な接着性を有する弾性材料を介してノズルシートを基板に保持し、若しくはポリイミドにより液室及び流路の隔壁を形成する。
2003084759.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動素子により液室の圧力を可変し、前記液室に保持した液体の液滴を所定のノズルより飛び出させる液体吐出ヘッドにおいて、
前記駆動素子を保持する基板に、前記液室に前記液体を導く流路及び前記液室を構成する隔壁を介して、前記ノズルが形成されてなるノズルシートが接着保持され、
少なくとも前記隔壁の前記ノズルシートとの接着面は、前記液体に対する耐薬品性を有するとともに前記ノズルシートに対する接着力を確保し得る所定の材料により形成されてなる
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記所定の材料が、
環化ゴムである
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記環化ゴムが、
ポリイソプレンゴムである
ことを特徴とする請求の範囲第２項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記環化ゴムが、
ポリブタジエンゴムである
ことを特徴とする請求の範囲第２項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記環化ゴムが、
感光性である
ことを特徴とする請求の範囲第２項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記環化ゴムにより、前記隔壁が形成された
ことを特徴とする請求の範囲第２項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記環化ゴムと所定の樹脂材料との積層により、前記隔壁が形成された
ことを特徴とする請求の範囲第２項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記所定の樹脂材料が、
感光性樹脂である
ことを特徴とする請求の範囲第７項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記液体が、
印刷に供する液体であり、
前記ノズルが、
前記印刷の印刷対象における印刷幅で、複数設けられてなる
ことを特徴とする請求の範囲第２項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記所定の材料が、
パターンニング可能な接着性を有する弾性材料である
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記所定の材料により、前記基板上に前記隔壁が形成され、
前記隔壁の端面に、前記ノズルシートが接着保持され、
前記所定の材料が、
ポリイミドである
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記隔壁が、
感光性の材料により形成された
ことを特徴とする請求の範囲第１１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記隔壁が、
ブロック共重合材料で形成された
ことを特徴とする請求の範囲第１１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記隔壁が、
印刷可能な材料で形成された
ことを特徴とする請求の範囲第１１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記隔壁が、
活性エネルギー線の照射により重合したネガ型により形成された
ことを特徴とする請求の範囲第１１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記隔壁が、
活性エネルギー線の照射によるポジ型により形成された
ことを特徴とする請求の範囲第１１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】
液体吐出ヘッドにより液滴を印刷対象に付着させる液体吐出装置において、
前記液体吐出ヘッドは、
駆動素子により液室の圧力を可変し、前記液室に保持した液体の液滴を所定のノズルより飛び出させ、
前記駆動素子を保持する基板に、前記液室に前記液体を導く流路及び前記液室を構成する隔壁を介して、前記ノズルが形成されてなるノズルシートが接着保持され、
少なくとも前記隔壁の前記ノズルシートとの接着面は、前記液体に対する耐薬品性を有するとともに前記ノズルシートに対する接着力を確保し得る所定の材料により形成されてなる
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１８】
前記所定の材料が、
環化ゴムである
ことを特徴とする請求の範囲第１７項に記載の液体吐出装置。
【請求項１９】
前記環化ゴムが、
ポリイソプレンゴムである
ことを特徴とする請求の範囲第１８項に記載の液体吐出装置。
【請求項２０】
前記環化ゴムが、
ポリブタジエンゴムである
ことを特徴とする請求の範囲第１８項に記載の液体吐出装置。
【請求項２１】
前記環化ゴムが、
感光性である
ことを特徴とする請求の範囲第１８項に記載の液体吐出装置。
【請求項２２】
前記環化ゴムにより、前記隔壁が形成された
ことを特徴とする請求の範囲第１８項に記載の液体吐出装置。
【請求項２３】
前記環化ゴムと所定の樹脂材料との積層により、前記隔壁が形成された
ことを特徴とする請求の範囲第１８項に記載の液体吐出装置。
【請求項２４】
前記所定の樹脂材料が、
感光性樹脂である
ことを特徴とする請求の範囲第２３項に記載の液体吐出装置。
【請求項２５】
前記液体が、
印刷に供する液体であり、
前記ノズルが、
前記印刷の印刷対象における印刷幅で、複数設けられてなる
ことを特徴とする請求の範囲第１８項に記載の液体吐出装置。
【請求項２６】
前記所定の材料が、
パターンニング可能な接着性を有する弾性材料である
ことを特徴とする請求の範囲第１７項に記載の液体吐出装置。
【請求項２７】
前記所定の材料により、前記基板上に前記隔壁が形成され、
前記隔壁の端面に、前記ノズルシートが接着保持され、
前記所定の材料が、
ポリイミドである
ことを特徴とする請求の範囲第１７項に記載の液体吐出装置。
【請求項２８】
前記隔壁が、
感光性の材料により形成された
ことを特徴とする請求の範囲第２７項に記載の液体吐出装置。
【請求項２９】
前記隔壁が、
ブロック共重合材料で形成された
ことを特徴とする請求の範囲第２７項に記載の液体吐出装置。
【請求項３０】
前記隔壁が、
印刷可能な材料で形成された
ことを特徴とする請求の範囲第２７項に記載の液体吐出装置。
【請求項３１】
前記隔壁が、
活性エネルギー線の照射により重合したネガ型により形成された
ことを特徴とする請求の範囲第２７項に記載の液体吐出装置。
【請求項３２】
前記隔壁が、
活性エネルギー線の照射によるポジ型により形成された
ことを特徴とする請求の範囲第２７項に記載の液体吐出装置。
【請求項３３】
駆動素子により液室の圧力を可変し、前記液室に保持した液体の液滴をノズルシート状に形成された所定のノズルより飛び出させる液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記駆動素子を保持する基板に、前記液室に前記液体を導く流路及び前記液室を構成する隔壁を、少なくとも前記隔壁の前記ノズルシートとの接着面が前記液体に対する耐薬品性を有するとともに前記ノズルシートに対する接着力を確保し得る所定の材料により形成し、
前記隔壁の端面に、前記ノズルシートを接着する
ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３４】
前記所定の材料が、
環化ゴムである
ことを特徴とする請求の範囲第３３項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３５】
活性エネルギー線を用いたフォトリソグラフィーにより、感光性の有する前記環化ゴムをパターンニングする
ことを特徴とする請求の範囲第３４項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３６】
印刷により、前記基板に前記環化ゴムを配置する
ことを特徴とする請求の範囲第３４項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３７】
前記印刷が、
スクリーン印刷である
ことを特徴とする請求の範囲第３６項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３８】
前記印刷が、
凹版印刷である
ことを特徴とする請求の範囲第３６項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３９】
前記隔壁を前記環化ゴムと所定の樹脂材料との積層により形成する
ことを特徴とする請求の範囲第３４項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４０】
前記所定の樹脂材料が、
感光性樹脂である
ことを特徴とする請求の範囲第３９項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４１】
活性エネルギー線を用いたフォトリソグラフィーにより、感光性を有する前記環化ゴム及び前記所定の樹脂材料とを一体的にパターンニングして前記隔壁を形成する
ことを特徴とする請求の範囲第４０項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４２】
活性エネルギー線の照射により、感光性を有する前記環化ゴム及び前記所定の樹脂材料を一体に露光した後、個別に又は一体に現像し、前記隔壁を形成する
ことを特徴とする請求の範囲第４０項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４３】
活性エネルギー線の照射により、感光性を有する前記環化ゴム及び前記所定の樹脂材料を個別に露光した後、個別に又は一体に現像し、前記隔壁を形成する
ことを特徴とする請求の範囲第４０項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４４】
前記所定の樹脂材料を、前記隔壁の形状に加工した後、前記所定の樹脂材料の端面に、前記環化ゴムを印刷により積層することにより前記隔壁を形成する
ことを特徴とする請求の範囲第３９項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４５】
前記印刷が、
スクリーン印刷である
ことを特徴とする請求の範囲第４４項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４６】
前記印刷が、
凹版印刷である
ことを特徴とする請求の範囲第４４項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４７】
前記所定の材料が、
パターンニング可能な接着性を有する弾性材料で形成する
ことを特徴とする請求の範囲第３３項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４８】
前記所定の材料により、前記基板上に前記隔壁を形成し、
前記隔壁の端面に、前記ノズルシートを接着保持し、
前記所定の材料が、
ポリイミドである
ことを特徴とする請求の範囲第３３項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４９】
前記隔壁を、
印刷により形成する
ことを特徴とする請求の範囲第４８項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５０】
前記印刷が、
スクリーン印刷である
ことを特徴とする請求の範囲第４９項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５１】
前記印刷が、
凹版印刷である
ことを特徴とする請求の範囲第４９項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５２】
前記隔壁を、
感光性の前記ポリイミドを用いて活性エネルギー線の照射によるネガ型により形成する
ことを特徴とする請求の範囲第４８項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５３】
前記隔壁を、
感光性の前記ポリイミドを用いて活性エネルギー線の照射によるポジ型により形成する
ことを特徴とする請求の範囲第４８項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
発明の背景
技術分野
本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関し、例えばインクジェット方式のプリンタに適用することができる。本発明は、耐薬品性に優れ、接着力を確保し得る所定の材料を介して、ノズルシートを基板に保持することにより、より具体的には、環化ゴムを介して、又はパターンニング可能な接着性を有する弾性材料を介してノズルシートを基板に保持することにより、若しくはポリイミドにより液室及び流路の隔壁を形成することにより、使用による信頼性の低下を有効に回避することができる。
背景技術
従来、インクジェット方式のプリンタにおいては、プリンタヘッドよりインク液滴を吐出させて用紙等の印刷対象に付着させることにより、所望の画像等を印刷対象に印刷するようになされている。
このようなプリンタに適用されるプリンタヘッドは、駆動素子を駆動して液室の圧力を可変することにより、この液室に保持したインクをインク液滴としてノズルから飛び出させるようになされており、このような駆動素子として発熱素子、ピエゾ素子等が適用されるようになされている。またエポキシ樹脂、アクリル樹脂等の樹脂材料により液室、流路の隔壁が微細に作成されるようになされている（特開平６１−１５４９４７号公報、特開昭６２−２５３４５７号公報、特開平３−１８４８６８号公報、特開平６−２８６１４９号公報、特開平７−２１４７８３号公報等）。
すなわちプリンタヘッドは、例えば半導体製造工程により、駆動素子を駆動する駆動回路と一体に液室の圧力を可変する駆動素子が半導体基板上に形成され、スピンコートにより感光性エポキシ樹脂等が塗布された後、この感光性エポキシ樹脂等のフォトリソグラフィーにより液室、流路の隔壁が作成される。また別工程において、例えば電鋳処理によりノズルを作成してなるシート状部材（以下、ノズルシートと呼ぶ）が作成され、このノズルシートが半導体基板上に配置されて作成されるようになされている。
このようなプリンタヘッドにおいては、熱圧着により、液室、流路の隔壁を構成する感光性エポキシ樹脂等にこのノズルシートが保持されるようになされている。
ところが従来のプリンタヘッドにおいては、使用により徐々に信頼性が低下する問題がある。
すなわち従来のプリンタヘッドにおいては、使用により流路、液室の隔壁を構成するエポキシ樹脂等の樹脂材料が、浸食され、また膨潤し、これによりノズルシートと隔壁端面との間の密着力が低下する。これによりプリンタヘッドにおいては、最悪の場合には、隣接する液室間で、ノズルシートと隔壁端面との間に隙間が形成され、隣接する液室間で、いわゆるクロストークが発生する。
特に、ニッケル等の金属材料によりノズルシートを構成する場合、さらには耐熱性のあるポリイミド製シートによりノズルシートを構成する場合、ノズルシートと隔壁端面との間の密着性が当初より悪いことにより、プリンタヘッドにおいては、このような隙間の発生が激しくなり、クロストークが著しくなる。
プリンタヘッドにおいては、このように隣接する液室間でクロストークが発生すると、プリンタにおいては、解像度等の印刷の能力が極端に低下し、所望する画像を綺麗に印刷することが困難になる。
発明の開示
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、使用による信頼性の低下を有効に回避することができる液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法を提案しようとするものである。
かかる課題を解決するため本発明においては、駆動素子により液室の圧力を可変し、液室に保持した液体の液滴を所定のノズルより飛び出させる液体吐出ヘッドに適用して、駆動素子を保持する基板に、液室に液体を導く流路及び液室を構成する隔壁を介して、ノズルが形成されてなるノズルシートが接着保持され、少なくとも隔壁のノズルシートとの接着面は、液体に対する耐薬品性を有するとともにノズルシートに対する接着力を確保し得る所定の材料により形成されてなるようにする。
本発明の構成によれば、駆動素子により液室の圧力を可変し、液室に保持した液体の液滴を所定のノズルより飛び出させる液体吐出ヘッドに適用することにより、例えばこの液滴がインク液滴、各種染料の液滴、保護層形成用の液滴等であるプリンタヘッド、この液滴が試薬等であるマイクロディスペンサー、各種測定装置、各種試験装置、この液滴がエッチングより部材を保護する薬剤であるパターン描画装置等に適用することができる。本発明の構成によれば、駆動素子を保持する基板に、液室に液体を導く流路及び液室を構成する隔壁を介して、ノズルが形成されてなるノズルシートが接着保持され、少なくとも隔壁のノズルシートとの接着面は、液体に対する耐薬品性を有するとともにノズルシートに対する接着力を確保し得る所定の材料により形成されてなるようにすることにより、使用による信頼性の低下を有効に回避することができる。
また本発明においては、このような液体吐出ヘッドの構成において、この所定の材料が、環化ゴムであるようにする。
本発明の構成によれば、このような液体吐出ヘッドの構成において、この所定の材料が、環化ゴムであることにより、この環化ゴムには、耐薬品性に優れ、弾性を有し、微細な形状への加工であるパターンニングが容易で、かつノズルシートをニッケル等により作成した場合でも十分な接着力を確保できる材料である。これによりノズルシートを強固に保持することができ、また隔壁を構成する樹脂材料が膨潤して環化ゴムが保持されてなる部位が変形した場合でも、この変形を吸収することができる。これにより長期の使用による信頼性の劣化を有効に回避することができ、長期の使用によっても、隣接する液室間でのクロストークの発生を防止して、プリンタヘッドに適用した場合には、綺麗な印刷結果を得ることができる。
また本発明においては、このような液体吐出ヘッドの構成において、この所定の材料が、パターンニング可能な接着性を有する弾性材料であるようにする。
本発明の構成によれば、このような液体吐出ヘッドの構成において、この所定の材料が、パターンニング可能な接着性を有する弾性材料であることにより、ノズルシートを強固に保持することができ、また隔壁を構成する樹脂材料が膨潤して環化ゴムが保持されてなる部位が変形した場合でも、この変形を吸収することができる。これにより長期の使用による信頼性の劣化を有効に回避することができ、長期の使用によっても、隣接する液室間でのクロストークの発生を防止して、プリンタヘッドに適用した場合には、綺麗な印刷結果を得ることができる。
また本発明においては、このような液体吐出ヘッドの構成において、この所定の材料により、基板上に隔壁が形成され、この隔壁の端面に、ノズルシートが接着保持され、この所定の材料が、ポリイミドであるようにする。
本発明の構成によれば、このような液体吐出ヘッドの構成において、この所定の材料により、基板上に、液室に液体を導く流路の隔壁、液室の隔壁が形成され、この隔壁の端面に、ノズルシートが保持され、この所定の材料が、ポリイミドであることにより、ポリイミドにおいては、耐薬品性に優れることにより、膨潤、浸食を防止することができる。これにより長期の使用による信頼性の劣化を有効に回避することができ、長期の使用によっても、隣接する液室間でのクロストークの発生を防止して、プリンタヘッドに適用した場合には、綺麗な印刷結果を得ることができる。またポリイミドにおいては、接着力も確保することができ、これによっても信頼性を確保することができる。またポリイミドにおいては、感光性を有するものにあっては、活性エネルギー線の照射により微細加工することができ、ブロック共重合ポリイミドにおいては、各種の所望する特性を簡易に確保することができ、これにより印刷等の種々の加工に適用して十分な信頼性を確保することができる。
また本発明においては、液体吐出ヘッドにより液滴を印刷対象に付着させる液体吐出装置に適用して、この液体吐出ヘッドは、駆動素子により液室の圧力を可変し、液室に保持した液体の液滴を所定のノズルより飛び出させ、駆動素子を保持する基板に、液室に液体を導く流路及び液室を構成する隔壁を介して、ノズルが形成されてなるノズルシートが接着保持され、少なくとも隔壁のノズルシートとの接着面は、液体に対する耐薬品性を有するとともにノズルシートに対する接着力を確保し得る所定の材料により形成されてなるようにする。
また本発明においては、このような液体吐出装置の構成において、この所定の材料が、環化ゴムであるようにする。
また本発明においては、このような液体吐出装置の構成において、この所定の材料が、パターンニング可能な接着性を有する弾性材料であるようにする。
また本発明においては、このような液体吐出装置の構成において、この所定の材料により、基板上に隔壁が形成され、この隔壁の端面に、ノズルシートが接着保持され、この所定の材料が、ポリイミドであるようにする。
これにより本発明の構成によれば、長期の使用による信頼性の劣化を有効に回避することができる液体吐出装置を提供することができる。
また本発明においては、駆動素子により液室の圧力を可変し、液室に保持した液体の液滴をノズルシート状に形成された所定のノズルより飛び出させる液体吐出ヘッドの製造方法に適用して、駆動素子を保持する基板に、液室に液体を導く流路及び液室を構成する隔壁を、少なくとも隔壁のノズルシートとの接着面が液体に対する耐薬品性を有するとともにノズルシートに対する接着力を確保し得る所定の材料により形成し、この隔壁の端面に、ノズルシートを接着する。
また本発明においては、このような液体吐出ヘッドの製造方法において、この所定の材料が、環化ゴムであるようにする。
また本発明においては、このような液体吐出ヘッドの製造方法において、この所定の材料が、パターンニング可能な接着性を有する弾性材料であるようにする。
また本発明においては、このような液体吐出ヘッドの製造方法において、所定の材料により、基板上に隔壁を形成し、この隔壁の端面に、ノズルシートを接着保持し、所定の材料が、ポリイミドであるようにする。
これにより本発明の構成によれば、長期の使用による信頼性の劣化を有効に回避することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。
発明を実施するための最良の形態
以下、適宜図面を参照しながら本発明の実施例を詳述する。
（１）第１の実施例
（１−１）第１の実施例の構成
第１図は、本発明の第１の実施例に係るプリンタに適用されるプリンタヘッドについて、一部断面を取って示す斜視図である。このプリンタは、このプリンタヘッド１よりインク液滴を飛び出させて印刷対象に付着させ、これにより所望の画像等を印刷するようになされている。
ここでこのプリンタヘッド１は、印刷対象である用紙の印刷幅で、複数のノズル２が設けられてなるフルラインタイプのラインプリンタ用プリンタヘッドであり、さらにこの複数のノズル２によるノズル列が用紙送り方向に複数列形成され、各列にそれぞれ各色のインクが割り当てられるようになされている。これによりこのプリンタヘッド１は、カラー画像を印刷できるようになされている。
第１図は、このように構成されるプリンタヘッド１において、１つのノズル列の一部を示す斜視図である。プリンタヘッド１は、基板３上に、インクを保持する液室４の隔壁５、この液室４にインクを導く流路の隔壁６が形成された後、ノズルシート７が配置されて形成される。
基板３は、半導体製造プロセスにより、シリコンウエハ上に、液室４の圧力を可変する駆動素子である発熱素子８、この発熱素子８を駆動する駆動回路が一体に形成され、このウエハが所定形状により切り出されて形成される。これによりこのプリンタヘッド１では、駆動素子である発熱素子８により液室４の圧力を可変し、この液室４に保持した液体であるインクの液滴をノズル２より飛び出させ、印刷対象に付着させるようになされている。
ノズルシート７は、電鋳処理より製作したニッケル製のもの、又は耐熱性のあるポリイミド製シート材により形成される。なお電鋳処理より製作したニッケル製のノズルシート７にあっては、微細なノズル２を高い精度により簡易に作成することができる。またポリイミド製シート材によるノズルシート７においては、ポリイミドが耐薬品性に優れることにより高い信頼性を確保することができる。
隔壁５及び６は、全体が、パターンニング可能な接着性を有する弾性材料により形成され、これによりこのプリンタヘッド１では、このパターンニング可能な接着性を有する弾性材料を介して、ノズルシート７を基板３に保持し、使用による信頼性の低下を有効に回避するようになされている。
具体的に、隔壁５及び６は、環化ゴムであるポリイソプレンゴムにより形成される。ここでポリイソプレンゴムは、天然又は合成のシス−１，４ポリイソプレンを部分環化したもので、接着性が高く、品質が安定しており、耐薬品性が高い等の特徴を有する。
また環化ゴムには、感光性を有するレジストによるものが適用される。ここでこのような感光性を有するレジストによる環化ゴムにおいては、ゴム系レジストとして長い歴史をもった信頼性の高い材料であり、分子内に不飽和二重結合を有する高分子化合物でフォトファブリケーション用として広く使用されている材料である。なおここでフォトファブリケーションとは、レジストを使用しフォトリソグラフィー技術によってレジスト膜をパターンニングし、これをマスクとして化学エッチング、電解エッチング又は電気メッキを主体とするエレクトロフォーミング技術の単独又は組み合わせにより各種精密部品を製造する技術の総称であり、現在の精密微細加工技術の主流の技術である。これによりこの実施例においては、フォトリソグラフィーにより環化ゴムをパターンニングして、高い精度により微細な形状による隔壁５及び６を形成するようになされている。
なお、感光性をもった環化ゴムによるレジストとしては、ポリイソプレン又はポリブタジエンを原料としたゴム系レジストがあり、具体的には、富士フィルムアーチ社製のＳＣシリーズ、ＩＣ−Ｔ３シリーズ、ＨＲシリーズ、ＨＮＲシリーズ、ＶＨＲ−２等、東京応化工業社製のＥＰＰＲシリーズ、日本ゼオン社製のＺＰＮ１０３−３９等がある。
第２（Ａ）図〜第２（Ｅ）図は、このプリンタヘッド１の作成工程を示す断面図である。この製造工程では、半導体プロセスによりシリコン基板３に発熱素子８等を作成した後（第２（Ａ）図）、必要に応じて基板３を表面処理、表面改質し、さらには基板３と隔壁５、６との密着性を改善するための材料層を基板３に形成する。なおこの密着性を改善するための材料層にあっては、この種の処理に広く適用される材料を適用することができる。
続いて第２（Ｂ）図に示すように、この工程は、感光性環化ゴムによるレジストを所定膜厚により基板３上に塗布し、レジスト層１１を形成する。ここでこの塗布にあっては、スピンコート、バーコート、カーテンコート等の半導体プロセスに適用される各種塗布手法を適用することができる。また膜厚にあっては、最終的に液室４が所望する高さとなるように設定される。
続いて第２（Ｃ）図に示すように、この工程は、感光性環化ゴムによるレジスト層１１を活性エネルギー線１２により選択的に露光する。なお第２（Ｃ）図においては、この露光した領域を符号１１Ａにより示す。ここで活性エネルギー線１２は、レジストの特性に応じてＵＶ、電子ビーム、Ｘ線等を適用することができる。この実施例においては、ＵＶ露光設備を利用して、２８０〔ｎｍ〕〜４８０〔ｎｍ〕に分光感度を有するＵＶの照射により感光性環化ゴムによるレジスト層１１を露光する。なお第２（Ｃ）図において、符号１３は、フォトマスクである。
続いて第２（Ｄ）図に示すように、この工程は、所定の現像液、溶剤等によりレジスト層１１を現像することにより、レジスト層１１より未露光部分を除去する。これによりこの工程は、活性エネルギー線１２によるフォトリソグラフィーにより環化ゴムをパターンニングし、液室、流路の隔壁５、６を形成するようになされている。
続いて第２（Ｅ）図に示すように、この工程は、ノズルシート７を位置決めして圧接し、これによりパターンニングした材料自体の接着性（以下２次接着性と呼ぶ）によりノズルシート７を保持する。なおこのとき単にノズルシート７を押し付けて貼り付けるようにしてもよく、またノズルシート７を貼り付けた状態で、熱、光、電子線等によるエネルギを供給して密着力を強化するようにしてもよい。またこのような熱、光、電子線等によるエネルギの供給にあっては、ノズルシート７を押し付けた状態で実行してもよい。
これによりこの工程は、隔壁５、６を構成する環化ゴム１１Ａによりノズルシート７を基板３に保持すると、ベーキングの処理により環化ゴム１１Ａをキュアし、環化ゴム１１Ｂに強固なゴム皮膜を形成する。なお環化ゴム１１Ａのキュアにあっては、ノズルシート７を貼り付ける際に実行してもよく、またノズルシート７を貼り付ける前に実行してもよい。しかしながらノズルシート７を貼り付ける前に実行する場合には、ノズルシート７を貼り付ける際に、十分な接着性が確保されていることが前提となる。
第３図は、上記のプリントヘッド１を備えたラインプリンタを示す斜視図である。
ラインプリンタ１０１は、全体が長方形状の筐体１０２に収納されて形成され、記録媒体としての用紙１０４を収納した用紙トレイ１０３をこの筐体１０２の正面に形成されたトレイ出入口より装着することにより、用紙１０４を給紙できるようになされている。
用紙トレイ１０３は、このようにトレイ出入口よりラインプリンタ１０１に装着されると、所定の機構により用紙１０４が給紙ローラ１０６に押し当てられ、この給紙ローラ１０６の回転により、矢印Ａ方向で示すように、用紙１０４が用紙トレイ１０３よりラインプリンタ１０１の背面側に向かって送り出される。ラインプリンタ１０１は、この用紙送りの側に反転ローラ１０７が配置され、この反転ローラ１０７の回転等により、矢印Ｂで示すように、正面方向に用紙１０４の送り方向が切り換えられる。
ラインプリンタ１０１は、このようにして用紙送り方向が矢印Ｂで示す方向に切り換えられてなる用紙１０４が用紙トレイ１０３の上を横切るように拍車ローラ１０８等により搬送され、矢印Ｃに示すように、ラインプリンタ１０１の正面側に配置された排出口より排出される。ラインプリンタ１０１は、この拍車ローラ１０８から排出口までの間に、矢印Ｄにより示すように、ヘッドカートリッジ１２０が交換可能に配置される。
ヘッドカートリッジ１２０は、それぞれイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックのラインヘッドをそれぞれ配置してなるプリンタヘッド１が所定形状のホルダー１２２の下面側に配置され、このホルダー１２２に順次イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックのインクカートリッジＹ、Ｍ、Ｃ、Ｂを配置して形成されるようになされている。これによりラインプリンタ１０１は、これら各色のインクに対応するラインヘッドより用紙１０４に付着させて画像を印刷できるようになされている。
ラインプリンタ１０１では、このような４色が一体となってノズルシートが形成されることにより、各吐出ノズルの位置精度が補償され、カートリッジの交換も容易となるようになされている。
第４図は、本実施例によるヘッドチップ３の配列構成を示しており、第３図の用紙１０４側より一部を拡大した図である。第４図に示すように、各色のインクのインク流路１３３の両側に、交互（千鳥状に）に同一構成によるヘッドチップ３がノズルシート７上に配置して構成される。また、各ヘッドチップ３においては、それぞれヒータ８がインク流路側となるように配置されており、つまりインク流路１３３側を介して両側のヘッドチップ３は向きが１８０度回転させた関係となるように配置されている。これによりプリンタヘッド１は、それぞれ各色において１系統のインク流路１３３で各ヘッドチップ３にインクを供給できるようになされ、その分、簡易な構成により印刷精度を高解像度化することができる。
また、ヘッドチップ３は、このようにして１８０度回転して配置した場合でも、吐出ノズル２の並ぶ方向にはパッド１３４の位置が変化しないように、これら吐出ノズル２の並ぶ方向（印刷幅方向）のほぼ中央にパッド１３４が配置され、これによりプリンタヘッド１では、隣り合うヘッドチップ３のパッド１３４に接続するフレキシブル配線基板が近接することを防止する、つまりフレキシブル配線基板の一部への集中を防止するようになされている。
なお、このようにして吐出ノズル２をシフトさせた場合、インク流路１３３の上方及び下方に配置されるヘッドチップ３においては、駆動信号に対してヒータ８の駆動順序が逆転することになる。本実施例において、各ヘッドチップ３は、このような駆動順序に対応するように、駆動回路における駆動順序を切り換えることができるように構成されている。
（１−２）第１の実施例の動作
以上の構成において、このプリンタヘッド１では、駆動素子等を形成してなる半導体基板３上に、パターンニング可能な接着性を有する弾性材料の１つである環化ゴムにより、液室４の隔壁５、流路の隔壁６が形成され、この隔壁５、６にノズルシート７が押し付けられて保持される。これによりプリンタヘッド１では、パターンニング可能な接着性を有する弾性材料の１つである環化ゴムを介して、基板３にノズルシート７が保持される。
このようにして形成されるプリンタヘッド１においては、流路を介して液室４にインクが導かれ、発熱素子８の駆動により液室４の圧力が変化し、この圧力の変化によりノズルシート７のノズル２からインクが液滴として吐出する。またプリンタにおいては、このようにして吐出したインクの液滴が印刷対象に付着する。
プリンタヘッド１においては、これにより長期の使用により、液室４、流路の隔壁５、６がインクに曝され、隔壁５、６が浸食される場合、さらには膨潤する場合には、ノズルシート７と隔壁５、６の端面との間の密着力が低下する恐れがあり、さらには隣接する液室４間でクロストークが発生する恐れがある。
しかしながらこの実施例においては、パターンニング可能な接着性を有する弾性材料の１つである環化ゴムにより、液室４の隔壁５、流路の隔壁６が形成され、この環化ゴムによりノズルシート７が基板３に保持されていることにより、ノズルシート７と隔壁５、６の端面との間で十分な密着力を確保することができ、また熱サイクルによる応力を緩和して密着力の低下も有効に回避することができる。これにより隣接する液室４間におけるクロストークを有効に回避することができ、長期の使用による信頼性の低下を有効に回避することができる。
またこの実施例では、液室４の隔壁５、流路の隔壁６自体がパターンニング可能な接着性を有する弾性材料の１つである環化ゴムにより形成されることにより、環化ゴムの耐薬品性により隔壁５、６の浸食、膨潤についても防止することができる。これによりこれら浸食、膨潤による密着力の低下についても、十分に防止することができ、これによっても長期の使用による信頼性の低下を有効に回避することができる。
また液室４の隔壁５、流路の隔壁６自体がパターンニング可能な接着性を有する弾性材料の１つである環化ゴムにより形成されることにより、各種の微細加工技術を適用して高い精度により液室４、流路を作成することができ、その分、これら液室４、流路の加工のばらつきによる印刷精度の劣化、機器間の製品のばらつきを少なくすることができる。
特にこの実施例に係るプリンタヘッド１においては、この環化ゴムが感光性を有するレジストにより作成されることにより、さらにはこの種の感光性を有する材料として実績のあるポリイソプレンゴムを適用することにより、この種の微細加工技術のうちのフォトリソグラフィーの処理により高い精度で、確実に液室４、流路を作成することができる。これによりシリコン基板３の加工から液室４、流路を作成するまでの一連の処理を、半導体製造プロセスにより実行して、簡易な製造プロセスによりプリンタヘッドを作成して十分な信頼性を確保することが可能となる。
（１−３）第１の実施例の効果
以上の構成によれば、パターンニング可能な接着性を有する弾性材料の１つである環化ゴムにより、液室４の隔壁５、流路の隔壁６を形成し、この隔壁５、６にノズルシート７を押し付けて保持し、これによりパターンニング可能な接着性を有する弾性材料の１つである環化ゴムを介して、基板３にノズルシート７を保持することにより、使用による信頼性の低下を有効に回避することができる。
またこの環化ゴムがポリイソプレンゴムであることにより、十分な信頼性を確保することができ、さらにはフォトリソグラフィーの処理のために感光性を有するレジストについても十分な信頼性を確保することができる。
またこのような環化ゴムが感光性を有することにより、フォトリソグラフィーの処理により液室の隔壁等を微細かつ高い精度により簡易に作成することができる。
またフォトリソグラフィーの処理により液室の隔壁等を作成することにより、半導体製造プロセスの技術を適用して微細かつ高い精度により液室等を作成することができる。
（２）第２の実施例
この実施例においては、第１の実施例について上述したポリイソプレンゴムによる環化ゴムに代えて、ポリブタジエンゴムによる環化ゴムを適用する点を除いて、第１の実施例と同一に構成される。
ここでポリブタジエンは、ポリイソプレンゴムによる環化ゴムと同様に、接着性が高く、品質が安定しており、耐薬品性が高い特徴を有する。またパターンニング可能な微細加工に適した弾性材料である。さらにポリブタジエンは、感光基としてビスアジド化合物を添加することにより、感光性のあるフォトレジストとして使用することができる。これによりこの実施例では、この感光性を有する環化ゴムを用いて、フォトリソグラィーの処理により液室４の隔壁５、流路の隔壁６を形成する。またこの感光性を有する環化ゴムによる隔壁を介して、圧接によるノズルシート７を保持する。
ちなみにポリブタジエンの感光基であるこのビスアジド化合物は、紫外線を照射すると、窒素ガスを放出してナイトレンラジカルとなり、環化ゴムの２重結合に架橋する反応、いわゆる水素引き抜き反応、ナイトレン同志の結合反応等が発現し、感光された部分が選択的に現像液に不溶化する。またビスアジド化合物自体の感光波長は、２３０〜４８０〔ｎｍ〕程度であり、２，６−ジ−（４’−アジドベンジリデン）−４−シクロヘキサノンや２，６−ジ−（４’−アジドベンジリデン）−４−メチルシクロヘキサノン等は実用感度が高く、広く用いられている材料である。
この実施例によれば、第１の実施例について上述したポリイソプレンゴムによる環化ゴムに代えて、ポリブタジエンゴムによる環化ゴムを適用するようにしても、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。
（３）第３の実施例
この実施例においては、第５図に示すように、パターンニングの１つの手法であり、また印刷の１つの手法であるスクリーン印刷を適用して、環化ゴムにより液室の隔壁、流路の隔壁を作成する。
すなわち隔壁の形状によりパターンニングされてなるスクリーン１５上に、ペースト状のレジストによる環化ゴム材料１６を設け、スキージ１７の可動により、液室の隔壁、流路の隔壁の形状で、この環化ゴム材料１６を付着させる。さらに溶剤を乾燥させた後、必要に応じてベーキング等の処理を実行し、架橋処理して隔壁を形成する。なおこれら一連の処理においては、隔壁の作成精度に応じてスクリーン１５のメッシュが選定され、さらにはスクリーン１５と基板３との間の位置合わせ、ギャップ、スキージ１７の傾き、押圧力、環化ゴム材料１６の粘度等が最適化されるようになされている。
この実施例では、このようにして作成した隔壁に、第１の実施例と同様に圧接によりノズルシート７が配置される。
第５図に示すように、スクリーン印刷により環化ゴムで液室の隔壁、流路の隔壁を作成するようにすれば、第１の実施例の効果に加えて、さらに一段と効率良く液室の隔壁、流路の隔壁を作成することができる。
（４）第４の実施例
この実施例においては、第６（Ａ）図〜第６（Ｆ）図に示すように、パターンニングの１つの手法であり、また印刷の１つの手法である凹版印刷の凹版転写方式であるパット印刷を適用して、環化ゴムにより液室の隔壁、流路の隔壁を作成する。
すなわちこの工程では、第６（Ａ）図に示すように、環化ゴム材料１６を、隔壁の形状による凹部が形成されてなる凹版２１上に所定量だけ保持し、スキージ１７の可動により、この凹版２１の凹部に環化ゴム材料１６を充填すると共に、余分な環化ゴム材料１６をすくい取る。
さらに続いて第６（Ｂ）図に示すように、この凹版２１に転写パッド２２を押し付け、続いて第６（Ｃ）図に示すように、転写パッド２２を所定の速度で凹版２１から引き離すことにより、凹版２１の凹部に充填されてなる環化ゴム材料１６を転写パッド２２に移しかえる。
続いて転写パッド２２を基板３上に移動させた後、第６（Ｄ）図に示すように、基板３に転写パッド２２を押し付け、その後、第６（Ｅ）図に示すように、転写パッド２２を基板３から引き離すことにより、転写パッド２２に保持された隔壁の形状による環化ゴム材料１６を基板３に移しかえる。その後、環化ゴム材料１６の溶剤を乾燥させた後、必要に応じてベーキング等の処理を実行し、架橋処理して隔壁５、６を形成する。なおこれらの一連の処理において、転写パッド２２の移動に代えて、凹版２１、基板３を移動させるようにしてもよい。また必要とする精度に応じて、各種条件が最適化され、また凹版２１、転写パッド２２、基板３が位置決めされるようになされている。
この実施例では、第６（Ｆ）図に示すように、このようにして作成した隔壁５、６に、第１の実施例と同様に圧接によりノズルシート７が配置される。
第６（Ａ）図〜第６（Ｆ）図に示すように、凹版印刷により環化ゴムによる隔壁５、６を作成するようにしても、第３の実施例と同様の効果を得ることができる。
（５）第５の実施例
この実施例においては、第７（Ａ）図〜第８（Ｈ）図に示すように、環化ゴムと所定の樹脂材料との積層により、流路の隔壁、液室の隔壁を形成する。これによりこの実施例においては、パターンニング可能な接着性を有する弾性材料である環化ゴムを介して、ノズルシートを基板に保持する。
またこの樹脂材料に感光性の樹脂を適用し、活性エネルギー線を用いたフォトリソグラフィーにより、環化ゴムと樹脂材料とを一体にパターンニングし、流路の隔壁、液室の隔壁を形成する。
すなわち接着性を有する弾性材料と所定の樹脂材料との積層により流路の隔壁、液室の隔壁を形成し、これによりこの弾性材料を介して、ノズルシートを基板に保持するようにすれば、この樹脂材料が膨潤して変形した場合でも、この変形を弾性材料の変形により補い、ノズルシートと隔壁との間には隙間が発生しないようにすることができる。さらに熱サイクルによる応力も緩和することができる。またこの弾性材料が接着性を有することにより、従来のように単に隔壁を所定の樹脂材料により作成する場合に比して、隔壁とノズルシートとの間に隙間が発生しないようにすることができる。これらにより使用による信頼性の低下を防止することができる。
またこの弾性材料がパターンニング可能なことにより、微細なインク液室等の形状を精度良く作成することができる。またこの樹脂材料が感光性を有することにより、半導体製造プロセスにより隔壁の根元側を作成した後、この上に環化ゴムを種々の方法により積層して隔壁を作成することができる。さらには活性エネルギー線を用いたフォトリソグラフィーにより、環化ゴムと樹脂材料とを一体にパターンニングし、流路の隔壁、液室の隔壁を形成するようにすれば、効率良くこのような積層体による隔壁を作成することができる。
第７（Ａ）図〜第８（Ｈ）図は、この実施例に係るプリンタヘッドの製造工程を示す断面図である。この工程では、第７（Ａ）図に示すように、第１の実施例と同様にして基板３上に駆動素子８等を作成し、さらには必要に応じて表面処理、表面改質処理等を実行する。
続いて第７（Ｂ）図に示すように、隔壁の根元側を構成する感光性樹脂材料３１を所定膜厚により基板３上に塗布する。ここでこの塗布にあっては、スピンコート、バーコート、カーテンコート等の半導体プロセスに適用される各種塗布手法を適用することができる。またこの感光性樹脂材料３１としては、感光性エポキシ樹脂及びその派生樹脂、感光性アクリル樹脂及びその派生樹脂、感光性ポリイミド及びその派生樹脂等が好適に使用されるが、インクによる膨潤や浸食等の問題のないものであれば、これらの材料に限られるものではない。この工程では、この樹脂材料に応じて、その後、溶剤を揮発させ、さらには基板３の加熱により樹脂材料膜を安定化する。
続いて第７（Ｃ）図に示すように、この工程は、感光性環化ゴムによるレジスト層４１をスピンコート、バーコート、カーテンコート等により作成し、必要に応じて乾燥、加熱の処理が実行される。
続いてこの工程は、第７（Ｄ）図に示すように、フォトマスク１３を用いて隔壁の形状によりマスキングして、活性エネルギー線１２により樹脂材料膜３１、レジスト層４１をまとめて露光する（第７（Ｃ）図においては、この露光した領域を符号３１Ａ、４１Ａにより示す）。ここで活性エネルギー線１２は、ＵＶ、電子ビーム、Ｘ線等の各種フォトリソグラフィーを適用することができる。この実施例においては、ＵＶ露光設備を利用して、２８０〔ｎｍ〕〜４８０〔ｎｍ〕に分光感度を有するＵＶの照射により露光する。因みに、このように２層に塗布されている材料にあっては、それぞれが活性化エネルギー線１２の波長に対して異なる感度を持つ場合があることにより、このようにまとめて露光する場合には露光時間を最適化する必要がある。
続いて第７（Ｅ）図に示すように、この工程は、所定の現像液、溶剤等によりレジスト層４１を現像することにより、レジスト層４１より未露光部分を除去する。これによりこの工程は、活性エネルギー線によるフォトリソグラフィーにより環化ゴムをパターンニングし、隔壁５、６の先端側４１Ａを形成するようになされている。
続いて第８（Ｆ）図に示すように、この工程は、リンス液４２を用いたスピンコートにより基板３を洗浄し、第８（Ｇ）図に示すように、現像液、溶剤等により樹脂材料層３１を現像することにより、樹脂材料層３１より未露光部分を除去する。これによりこの工程は、隔壁５、６を形成するようになされている。
なお例えばＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）等の極性溶剤を使用することにより、このような各層３１、４１毎の現像の処理に代えて、これらの層３１、４１をまとめて現像するようにしてもよい。このようにすれば、第７（Ｅ）図及び第８（Ｆ）図に示す工程を省略することができることにより、その分、製造工程を簡略化することができる。
続いて第８（Ｈ）図に示すように、この工程は、ノズルシート７を位置決めして圧接し、これによりパターンニングした流路材料自体の接着性によりノズルシート７を保持する。なおこのとき単にノズルシート７を押し付けて貼り付けるようにしてもよく、またノズルシート７を貼り付けた状態で、熱、光、電子線等によるエネルギーを供給して密着力の強化を図るようにしてもよい。またこのような熱、光、電子線等によるエネルギーの供給にあっては、ノズルシート７を押し付けた状態で実行してもよい。
この実施例の構成によれば、環化ゴムと所定の樹脂材料との積層により、流路の隔壁、液室の隔壁を形成し、これによりパターンニング可能な接着性を有する弾性材料である環化ゴムを介して、ノズルシートを基板に保持することにより、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。また樹脂材料を適宜選定できることにより、材料選択の自由度を向上することができる。
またこの樹脂材料に感光性樹脂を適用したことにより、活性エネルギー線を用いたフォトリソグラフィーにより、樹脂材料をパターンニングし、隔壁の根元側を形成することができる。
また活性エネルギー線を用いたフォトリソグラフィーにより、環化ゴムと樹脂材料とを一体にパターンニングし、流路の隔壁、液室の隔壁を形成することにより、これらの積層により隔壁を作成する場合でも、半導体製造プロセスにより隔壁を作成することができる。
またこのとき環化ゴムと樹脂材料とを一体に露光した後、個別に又は一体に現像することにより、必要に応じて樹脂材料に適した工程によりパターンニングの処理を実行することができる。
（６）第６の実施例
この実施例においては、第９（Ａ）図〜第１０（Ｉ）図に示すように、環化ゴムと樹脂材料との積層により、流路の隔壁、液室の隔壁を形成するにつき、これら環化ゴムと樹脂材料とを個別に露光する。なおこの実施例において、樹脂材料等にあっては、第５の実施例と同一であることにより、上述した第５の実施例と同一の構成については、重複した説明を省略する。
すなわちこの工程では、第５の実施例と同様に、第９（Ａ）図に示すように、基板３上に駆動素子８等を作成し、さらには必要に応じて表面処理、表面改質処理等を実行する。続いて第９（Ｂ）図に示すように、隔壁の根元側を構成する感光性樹脂材料３１を所定膜厚により基板３上に塗布する。
続いてこの工程は、第９（Ｃ）図に示すように、フォトマスク１３Ａを用いて隔壁の根元側形状によりマスキングし、活性エネルギー線１２により樹脂材料膜３１を露光する。ここで活性エネルギー線１２は、ＵＶ、電子ビーム、Ｘ線等の各種フォトリソグラフィーを適用することができる。なおこの樹脂材料３１が、化学増幅タイプの樹脂の場合には、発生する酸によるパターン増幅のためにＰＥＢ（ポストエクスポージャーベーク）と呼ばれる露光後の加熱が必要になる。因みにこの加熱の処理においては、この露光工程で実行してもよく、後述する処理において適宜実行するようにしてもよい。また必要に応じて露光膜の安定化、露光した部位における樹脂の重合促進を目的として、基板３を加熱するようにしてもよい。
続いて第９（Ｄ）図に示すように、この工程は、感光性環化ゴムによるレジスト層４１をスピンコート、バーコート、カーテンコート等により作成し、必要に応じて乾燥、加熱の処理が実行される。
続いてこの工程は、第９（Ｅ）図に示すように、フォトマスク１３Ｂを用いてレジスト層４１を露光する。なおこの露光の処理においても、各種の活性エネルギー線１２を適宜選定して適用することができる。この場合に、フォトマスク１３Ｂを樹脂材料膜４１の露光に供するフォトマスク１３Ａと同一パターンによるものとしてもよく、樹脂材料膜４１の露光に供するフォトマスク１３Ａのパターンに比して幅狭のパターンのものとしてもよい。
続いて第１０（Ｆ）図に示すように、この工程は、所定の現像液、溶剤等によりレジスト層４１を現像することにより、レジスト層４１より未露光部分を除去する。これによりこの工程は、活性エネルギー線１２によるフォトリソグラフィーにより環化ゴムをパターンニングし、隔壁５、６の先端側部位４１Ａを形成するようになされている。
続いて第１０（Ｇ）図に示すように、この工程は、リンス液４２を用いたスピンコートにより基板３を洗浄し、第１０（Ｈ）図に示すように、現像液、溶剤等により樹脂材料層４１を現像することにより、樹脂材料層３１より未露光部分を除去する。これによりこの工程は、隔壁５、６を形成するようになされている。なおこの実施例においても、このような各層３１、４１毎の現像の処理に代えて、これらの層３１、４１をまとめて現像するようにしてもよい。このようにすれば、第１０（Ｆ）図及び第１０（Ｇ）図に示す工程を省略することができることにより、その分、製造工程を簡略化することができる。
続いて第１０（１）図に示すように、この工程は、ノズルシート７を位置決めして圧接し、これによりパターンニングした流路材料自体の接着性によりノズルシート７を保持する。なおこのとき単にノズルシート７を押し付けて貼り付けるようにしてもよく、またノズルシート７を貼り付けた状態で、熱、光、電子線等によるエネルギーを供給して密着力を強化するようにしてもよい。またこのような熱、光、電子線等によるエネルギーの供給にあっては、ノズルシート７を押し付けた状態で実行してもよい。
この実施例によれば、環化ゴムと所定の樹脂材料との積層により、流路の隔壁、液室の隔壁を形成するにつき、個別に露光処理するようにしても、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。またこのように個別に露光処理する分、樹脂材料における材料選択の自由度を向上することができる。
（７）第７の実施例
この実施例においても、環化ゴムと所定の樹脂材料との積層により、流路の隔壁、液室の隔壁を形成する。このとき所定の樹脂材料を隔壁の形状に加工した後、この樹脂材料の端面に、環化ゴムを印刷により積層することにより、これら流路の隔壁、液室の隔壁を形成する。またこの印刷をスクリーン印刷により実行する。
すなわちこの実施例においては、従来と同一の工程により、基板３上に、所定の樹脂材料で流路の隔壁６、液室４の隔壁５を形成する。なおこの樹脂材料においては、第５の実施例について上述した各種樹脂材料を適宜選択して適用することができる。
さらに第１１図に示すように、所定のスクリーン１５、このスクリーン１５上にペースト状の環化ゴム材料１６を配置してなるスクリーン印刷装置に、このように隔壁５Ａを作成してなる基板３を位置決めして保持し、スキージ１７の可動により、隔壁５Ａの端面にこの環化ゴム材料１６を付着させる。さらに溶剤を乾燥させた後、ベーキング等の処理を実行し、架橋処理して隔壁を形成する。なおこれらの一連の処理においては、隔壁の作成精度に応じてスクリーン１５のメッシュが選定され、さらにはスクリーン１５と基板３との間の位置合わせ、ギャップ、スキージ１７の傾き、押圧力、環化ゴム材料１６の粘度等が最適化されていることは言うまでもない。
この実施例によれば、環化ゴムと所定の樹脂材料との積層により、流路の隔壁、液室の隔壁を形成するにつき、事前に樹脂材料により隔壁を形成した後、スクリーン印刷により環化ゴムを積層するようにしても、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。またこのようにして別途スクリーン印刷により環化ゴムを積層するようにすれば、従来の工程により隔壁まで作成した後、スクリーン印刷により環化ゴムを積層することができることにより、従来工程にスクリーン印刷の工程を設けるだけで、プリンタヘッドの信頼性を向上することができる。
（８）第８の実施例
この実施例においても、スクリーン印刷に代えて、凹版印刷により、環化ゴムを積層する。
すなわち第６（Ａ）図〜第６（Ｆ）図との対比により第１２（Ａ）図〜第１２（Ｆ）図に示すように、この工程では、第７の実施例と同様に、基板３上に、所定の樹脂材料で流路の隔壁６、液室の隔壁５を形成する。この工程は、第１２（Ａ）図に示すように、このようにして形成された隔壁に対応する形状に凹部が形成されてなる凹版２１に、ペースト状による環化ゴム材料１６を配置し、スキージ１７の可動により、この凹版２１の凹部に環化ゴム材料１６を充填すると共に、余分な環化ゴム材料１６をすくい取る。
さらに続いて第１２（Ｂ）図に示すように、この凹版２１に転写パッド２２を押し付け、続いて第１２（Ｃ）図に示すように、転写パッド２２を所定の速度で凹版２１から引き離し、凹版２１の凹部に充填されてなる環化ゴム材料１６を転写パッド２２に移しかえる。
続いて転写パッド２２を上述した基板３上に移動させた後、第１２（Ｄ）図に示すように、基板３に転写パッド２２を押し付け、その後、第１２（Ｅ）図に示すように、転写パッド２２を基板３から引き離すことにより、転写パッド２２に保持された環化ゴム材料１６を基板３の隔壁５Ａの端面に移しかえる。その後、環化ゴム材料１６の溶剤を乾燥させた後、ベーキング等の処理を実行し、架橋処理して隔壁５、６を形成する。なおこれらの一連の処理において、転写パッド２２の移動に代えて、凹版２１、基板３を移動させるようにしてもよい。またこの工程は、必要とする精度に応じて、各種条件が最適化され、また凹版２１、転写パッド２２、基板３が位置決めされるようになされている。
この実施例では、第１２（Ｆ）図に示すように、このようにして作成した隔壁５、６に、第１の実施例と同様の圧接によりノズルシート７が配置される。
この実施例の構成によれば、スクリーン印刷に代えて凹版印刷を適用するようにしても、第７の実施例と同様の効果を得ることができる。
（９）第９の実施例
（９−１）第９の実施例の構成
この実施例においては、ポリイミドにより隔壁５、６が形成される。なおこの実施例においては、この隔壁５、６に係る構成が異なる点を除いて、上述の第１の実施例と同一に構成されることにより、以下においては、第１図及び第２（Ａ）図〜第２（Ｅ）図を流用して説明する。
すなわちこの実施例に係るプリンタヘッド１において、基板３は、半導体製造プロセスにより、半導体ウエハ上に、液室４の圧力を可変する駆動素子である発熱素子８、この発熱素子８を駆動する駆動回路が一体に形成され、このウエハが所定形状により切り出されて形成される。これによりこのプリンタヘッド１では、駆動素子である発熱素子８により液室４の圧力を可変し、この液室４に保持した液体であるインクの液滴をノズル２より飛び出させ、印刷対象に付着させるようになされている。
ノズルシート７は、電鋳処理より製作したニッケル製のもの、又は耐熱性のあるポリイミド製シート材により形成される。なお電鋳処理より製作したニッケル製のノズルシート７にあっては、微細なノズル２を高い精度により簡易に作成することができる。またポリイミド製シート材によるノズルシート７においては、ポリイミドが耐薬品性に優れることにより高い信頼性を確保することができる。
隔壁５及び６は、全体が、ポリイミドにより形成され、これにより使用による信頼性の低下を有効に回避するようになされている。さらにこのポリイミドは、フォトレジストによるブロック共重合ポリイミドであって、かつ十分な接着力を有するものにより形成され、これにより半導体製造プロセスにより簡易に隔壁を作成できるようになされ、さらには十分な密着力を確保できるようになされている。
ここでブロック共重合ポリイミドは、従来の感光性ポリイミド等とは異なり、ポリイミド前駆体であるポリアミック酸を経ずにポリイミドを直接合成するものであり（米国特許：５，５０２，１４３等）、既に重合されたポリイミド（ブロックと呼ぶ）をつなぎ合わせて生成するものである。このブロック共重合ポリイミドは、最小単位であるブロックの特性の設定により、所望の性状を持ったポリイミド材料を自由に設計、合成することができる。またブロック共重合ポリイミドは、このブロック単位が既にポリイミド化されていることから、従来の感光性ポリイミド等と比較して、高温でのキュアが不要であるという特徴も有している。具体的にこの実施例においては、ブロック共重合ポリイミドにおいて、各ブロックの設定により所望する特性を確保するようになされている。
このプリンタヘッド１の製造工程では、半導体プロセスにより半導体基板３に、発熱素子８等を作成した後（第２（Ａ）図）、必要に応じて基板３を表面処理、表面改質し、さらには基板３と隔壁５、６との密着性を改善するための材料層を基板３に形成する。なおこの密着性を改善するための材料層にあっては、この種の処理に適用される材料を広く適用することができる。
続いて第２（Ｂ）図に示すように、この工程は、ブロック共重合ポリイミドのフォトレジストを所定膜厚により基板３上に塗布し、レジスト層１１を形成する。ここでこの塗布にあっては、スピンコート、バーコート、カーテンコート等の半導体プロセスに適用される各種塗布手法を適用することができる。また膜厚にあっては、最終的に液室４が所望する高さとなるように設定される。
続いて第２（Ｃ）図に示すように、この工程は、レジスト層１１を活性エネルギー線１２により選択的に露光し、レジスト中の各ブロックを結合させる。なお、第２（Ｂ）図においては、露光部分を符号１１Ａにより示す。ここで活性エネルギー線１２は、フォトレジストの特性に応じてＵＶ、電子ビーム、Ｘ線等を適用することができる。この実施例においては、ＵＶの照射によりレジスト層１１を露光する。なお第２（Ｃ）図において、符号１３は、フォトマスクである。
続いて第２（Ｄ）図に示すように、この工程は、所定の現像液によりレジスト層１１を現像することにより、レジスト層１１より未露光部分を除去する。これによりこの工程は、活性エネルギー線１２によるフォトリソグラフィーによりパターンニングし、液室、流路の隔壁５、６をポリイミドにより形成するようになされている。
続いて第２（Ｅ）図に示すように、この工程は、ノズルシート７を位置決めして圧接し、これによりパターンニングした材料自体の接着性によりノズルシート７を保持する。なおこの場合に、必要に応じてノズルシート７を圧接した状態で、熱、光、電子線等によるエネルギを供給して密着力を強化してもよい。
なおブロック共重合ポリイミドのフォトレジストにおいては、ポジ型を適用することもでき、この場合には、露光時におけるフォトマスクのパターンが異なる点、未露光部分の処理工程が異なる点を除いて、ネガ型である上述したフォトレジストの処理と同一に実行される。
（９−２）第９の実施例の動作
以上の構成において、このプリンタヘッド１では、駆動素子８等を形成してなる半導体基板３上に、ポリイミドにより、液室４の隔壁５、流路の隔壁６が形成され、この隔壁５、６の端面にノズルシート７が押し付けられて保持される。このようにして形成されるプリンタヘッド１においては、流路を介して液室４にインクが導かれ、発熱素子８の駆動により液室４の圧力が変化し、この圧力の変化によりノズルシート７のノズル２からインクが液滴として吐出する。またプリンタにおいては、このようにして吐出したインクの液滴が印刷対象に付着する。
プリンタヘッド１においては、これにより長期の使用により、液室４、流路の隔壁５、６がインクに曝され、隔壁５、６が浸食される場合、さらには膨潤する場合には、ノズルシート７と隔壁５、６の端面との間の密着力が低下する恐れがあり、さらには隣接する液室４間でクロストークが発生する恐れがある。
しかしながらこのプリンタヘッド１は、流路、液室４の隔壁がポリイミドにより作成され、ポリイミドにおいては、従来のエポキシ樹脂等に比して耐薬品性に優れる特徴がある。これによりプリンタヘッド１では、流路の隔壁６、液室４の隔壁５がインクに曝されても、浸食、膨潤を従来に比して格段的に少なくすることができる。これにより浸食、膨潤を原因とするノズルシート７の剥がれを有効に回避することができ、その分、使用による信頼性の低下を有効に回避することができる。
またこのプリンタヘッド１は、このポリイミドにブロック共重合ポリイミドが適用され、十分な接着力、感光性を確保するようになされており、これにより単にノズルシート７を圧接させるだけの簡易な作業により、十分な密着力でノズルシート７を保持するようになされ、これによっても使用によるクロストークの発生を有効に回避し、使用による信頼性の劣化を防止できるようになされている。
また感光性を確保することにより、フォトリソグラフィーにより隔壁５、６をパターンニングすることができ、さらにこのようなフォトリソグラフィーにより隔壁５、６をパターンニングすることにより、半導体製造プロセスを有効に利用して十分に高い精度によりインク液室等を作成することができる。
（９−３）第９の実施例の効果
以上の構成によれば、ポリイミドにより液室及び流路の隔壁を形成することにより、使用による信頼性の低下を有効に回避することができる。
また隔壁を感光性の材料により形成することにより、半導体製造プロセスの技術を適用して高い精度によりインク液室等を作成することができ、これによっても信頼性を向上することができる。
またブロック共重合材料であるブロック共重合ポリイミドにより隔壁を形成することにより、隔壁に求められる感光性、強固な密着力等の特性を、簡易に確保することができる。
（１０）第１０の実施例
この実施例においては、第９の実施例について上述したブロック共重合ポリイミドに代えて、従来の感光性ポリイミドにより隔壁を作成する。なお、このような感光性ポリイミドは、電子材料、半導体向けの工業材料として広く上市されており、例えば東レ株式会社製のフォトニース、住友ベークライト株式会社製のＣＲＣシリーズ、日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社製のＰＩＱ／ＰＩ／ＨＤシリーズ等がある。
これらの感光性ポリイミドは、ネガ型の場合、一般的に、ポリイミドの前駆体にエステル結合を介してメタクリロイル基等の感光基を導入するものが代表的である。またポジ型の場合、ポリイミドの前駆体に側鎖のｏ−ニトロソベンジルエステル基を有するもの、エステル結合型のポリイミド前駆体に不飽和化合物とベンゾインエーテル系化合物を配したもの、エステル結合型感光性ポリイミド前駆体にチオ酢酸を配合したもの等がある。
これらの感光性ポリイミドは、何れも光の照射により生成されるポリアミック酸を前駆体として使用するものであるが、ネガ型においては、活性エネルギー線にて前駆体が形成されて重合を開始するものであり、ポジ型においては、活性エネルギー硬化線をあてた部分の分子構造が変化して、現像液・溶剤等に可溶となるものである。
この実施例においては、第９の実施例について上述したと同様にして、基板上に感光性ポリイミドによるレジスト層を形成した後、露光処理、現像処理する。なおこの場合にポジ型及びネガ型に応じてフォトマスクが異なることは言うまでもない。
続いてこの工程は、所定の温度によりベーキングして基板上に取り残されたレジストをキュア処理し、これによりポリイミド前駆体から強固なポリイミド皮膜を形成する。この工程は、その後、第９の実施例と同様にしてノズルシートを貼り付ける。なお現像後のベーキングの処理においては、ノズルシートを貼り付けた後に実行してもよい。
第１０の実施例によれば、通常の感光性ポリイミドにより隔壁を作成するようにしても、ポリイミドの耐薬品性等により使用による信頼性の低下を有効に回避することができる。
（１１）第１１の実施例
この実施例においては、パターンニングの１つの手法であり、また印刷の１つの手法であるスクリーン印刷を適用して、ポリイミドにより液室の隔壁、流路の隔壁を作成する。なおこの実施例においては、隔壁に係る構成が異なる点を除いて、第３の実施例と同一に構成されることにより、以下においては、第３の実施例について上述した第５図を流用して説明する。
ここでこの実施例に適用されるポリイミドにおいては、上述したブロック共重合ポリイミド、感光性ポリイミド、さらにはスクリーン印刷用のブロック共重合ポリイミドインク、感光性を持たないものもを広く適用することができる。但し、スクリーン印刷に適するように、粘度等が調整されてペースト状にレジストが形成されるようになされている。なおこのように感光性を持たないものにあっては、例えば宇部興産製のユピコート（ポリイミド系オーバーコートインク）がある。
この実施例においては、隔壁の形状によりパターンニングされてなるスクリーン１５上に、ペースト状によるレジスト１６を設け、スキージ１７の可動により、液室の隔壁、流路の隔壁の形状で、このレジスト１６を基板３に付着させる。さらに溶剤を乾燥させた後、各レジストに適したキュア等の処理により隔壁を形成する。なおこれらの一連の処理において、隔壁の作成精度に応じてスクリーン１５のメッシュが選定され、さらにはスクリーン１５と基板３との間の位置合わせ、ギャップ、スキージ１７の傾き、押圧力、レジスト１６の粘度等が最適化されていることは言うまでもない。
この実施例では、このようにして作成した隔壁に、第９の実施例と同様に圧接によりノズルシート７が配置される。
第５図に示すように、スクリーン印刷により液室の隔壁、流路の隔壁を作成するようにすれば、第９の実施例の効果に加えて、さらに一段と効率良く液室の隔壁、流路の隔壁を作成することができる。
（１２）第１２の実施例
この実施例においては、パターンニングの１つの手法であり、また印刷の１つの手法である凹版印刷のうちの凹版転写方式であるパット印刷を適用して、液室の隔壁、流路の隔壁をポリイミドにより作成する。なおこの実施例においては、隔壁に係る構成が異なる点を除いて、第４の実施例と同一に構成されることにより、以下においては、第４の実施例について上述した第６（Ａ）図〜第６（Ｆ）図を流用して説明する。なおこの実施例に適用されるポリイミドにおいては、上述したブロック共重合ポリイミド、感光性ポリイミド等を適用することができる。但し、凹版印刷に適するように、粘度等が調整されてレジストが形成されるようになされている。
すなわちこの工程では、第６（Ａ）図に示すように、レジスト１６を、隔壁の形状による凹部が形成されてなる凹版２１上に所定量だけ保持し、スキージ１７の可動により、この凹版２１の凹部にレジスト１６を充填すると共に、余分なレジスト１６をすくい取る。
さらに続いて第６（Ｂ）図に示すように、この凹版２１に転写パッド２２を押し付け、続いて第６（Ｃ）図に示すように、転写パッド２２を所定の速度で凹版２１から引き離すことにより、凹版２１の凹部に充填されてなるレジスト１６を転写パッド２２に移しかえる。
続いて転写パッド２２を基板３上に移動させた後、第６（Ｄ）図に示すように、基板３に転写パッド２２を押し付け、その後、第６（Ｅ）図に示すように、転写パッド２２を基板３から引き離すことにより、転写パッド２２に保持された隔壁の形状によるレジスト１６を基板３に移しかえる。その後、各レジストに適した処理により隔壁を形成する。なおこれらの一連の処理において、転写パッド２２の移動に代えて、凹版２１、基板３を移動させるようにしてもよい。また必要とする精度に応じて、各種条件が最適化され、また凹版２１、転写パッド２２、基板３が位置決めされるようになされている。
この実施例では、第６（Ｆ）図に示すように、このようにして作成した隔壁５、６に、第９の実施例と同様の圧接によりノズルシート７が配置される。
なお凹版印刷には、凹版直印刷（ダイレクト印刷）方式と凹版転写（凹版オフセット）方式とがあり、凹版直印刷方式は、金属ローラーにエッチング又は彫刻で凹部が形成されて凹版が形成され、一般に、高速印刷が可能で、主に紙、フィルムの印刷に使用される。これに対して凹版転写方式は、インクを一度ゴムローラー、パッド等に転写して印刷するもので、被印刷物の表面形状が平坦でない場合に適用される。またパット印刷においては、被印刷物の表面形状に特に凹凸が激しい場合に適用される。
この実施例において、基板３には、発熱素子による駆動素子、この駆動素子を駆動する駆動回路等が形成されていることにより、印刷対象の表面に微細な凹凸が存在することになる。これによりこのような隔壁の形成には、この実施例のような凹版転写方式が適していると言える。なお凹版印刷においては、凸版印刷、平印刷に比して、印刷対象に付着したインクの厚みを厚くすることができ、凹部の深さを選定することにより、隔壁の実際の高さである１０〜１００〔μｍ〕に対して十分な印刷能力を備えている。
第６（Ａ）図〜第６（Ｆ）図に示すように、凹版印刷により液室の隔壁、流路の隔壁を作成するようにすれば、第１１の実施例と同様の効果を得ることができる。
（１３）他の実施例
なお上述の第４、第８及び第１２の実施例においては、凹版印刷のうちの凹版転写方式であるパット印刷により隔壁を作成する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、実用上十分な精度を確保できる場合には、通常の凹版印刷を適用してもよく、さらには凹版直印刷を適用してもよい。
また上述の第４、第１１及び第１２の実施例等においては、スクリーン印刷及び凹版印刷により隔壁を作成する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、実用上十分な場合には、凸版印刷、平印刷を適用することもできる。
また上述の第９の実施例においては、スピンコート等によりレジストを基板上に配置する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば感光性ポリイミドがシート材の場合にはラミネート等の方法により配置するようにしてもよい。
また上述の第９〜第１２の実施例においては、ポリイミドによる隔壁に直接ノズルシートを保持する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、接着層を介してノズルシートを保持するようにしてもよい。このようにすれば、この接着層の接着力によりさらに一段と使用による信頼性の低下を有効に回避することができる。
また上述の実施例においては、駆動素子と、この駆動素子を駆動する駆動回路とを一体に基板に形成する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、駆動素子だけを基板に配置する場合にも広く適用することができる。
また上述の実施例においては、駆動素子として発熱素子を適用する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、駆動素子としてピエゾ素子等を適用する場合にも広く適用することができる。
また上述の実施例においては、本発明をプリンタヘッド及びプリンタに適用してインク液滴を飛び出される場合について述べたが、本発明はこれに限らず、インク液滴に代えて各種染料の液滴、保護層形成用の液滴等であるプリンタヘッド、さらには液滴が試薬等であるマイクロディスペンサー、各種測定装置、各種試験装置、液滴がエッチングより部材を保護する薬剤である各種のパターン描画装置等に広く適用することができる。
上述のように本発明によれば、耐薬品性に優れ、接着力を確保し得る所定の材料を介して、ノズルシートを基板に保持することにより、より具体的には、環化ゴムを介して、又はパターンニング可能な接着性を有する弾性材料を介してノズルシートを基板に保持することにより、若しくはポリイミドにより液室及び流路の隔壁を形成することにより、使用による信頼性の低下を有効に回避することができる。
産業上の利用可能性
本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関し、例えばインクジェット方式のプリンタに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の第１の実施例に係るプリンタヘッドを示す斜視図である。
第２（Ａ）図、第２（Ｂ）図、第２（Ｃ）図、第２（Ｄ）図及び第２（Ｅ）図は、第１図のプリンタヘッドの製造工程を示す断面図である。
第３図は、第１図のプリンタヘッドによるラインプリンタを示す斜視図である。
第４図は、第１図のプリンタヘッドに係るヘッドチップの配列構成を示す平面図である。
第５図は、本発明の第３の実施例に係るプリンタヘッドの製造工程の説明に供する断面図である。
第６（Ａ）図、第６（Ｂ）図、第６（Ｃ）図、第６（Ｄ）図、第６（Ｅ）図及び第６（Ｆ）図は、本発明の第４の実施例に係るプリンタヘッドの製造工程の説明に供する断面図である。
第７（Ａ）図、第７（Ｂ）図、第７（Ｃ）図、第７（Ｄ）図及び第７（Ｅ）図は、本発明の第５の実施例に係るプリンタヘッドの製造工程の説明に供する断面図である。
第８（Ｆ）図、第８（Ｇ）図及び第８（Ｈ）図は、第７（Ｅ）図の続きの工程を示す断面図である。
第９（Ａ）図、第９（Ｂ）図、第９（Ｃ）図、第９（Ｄ）図及び第９（Ｅ）図は、本発明の第６の実施例に係るプリンタヘッドの製造工程の説明に供する断面図である。
第１０（Ｆ）図、第１０（Ｇ）図、第１０（Ｈ）図及び第１０（Ｉ）図は、第９（Ｅ）図の続きの工程を示す断面図である。
第１１図は、本発明の第７の実施例に係るプリンタヘッドの製造工程の説明に供する断面図である。
第１２（Ａ）図、第１２（Ｂ）図、第１２（Ｃ）図、第１２（Ｄ）図、第１２（Ｅ）図及び第１２（Ｆ）図は、本発明の第８の実施例に係るプリンタヘッドの製造工程の説明に供する断面図である。
符号の説明
１……プリンタヘッド、２……ノズル、３……基板、４……液室、５、５Ａ、６……隔壁、７……ノズルシート、８……駆動素子、１１、４１……レジスト層、１１Ａ、４１Ａ……環化ゴム、１２……活性エネルギー線、１３、１３Ａ、１３Ｂ……フォトマスク、１５……スクリーン、１６……環化ゴム材料、１７……スキージ、２１……凹版、２２……転写パット、３１、３１Ａ……感光性樹脂材料、４２……リンス液、１０１……ラインプリンタ、１０２……筐体、１０３……用紙トレイ、１０４……用紙、１０６……給紙ローラ、１０７……反転ローラ、１０８……拍車ローラ、１２０……ヘッドカートリッジ、１２２……ホルダー、１３３……インク流路、１３４……パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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