【事件の表示】
　特願２００６−５１８８５９「小型カタジオプトリック型対物系を用いた検査システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　３月２４日国際公開、ＷＯ２００５／０２６７８２、平成１９年　９月２７日国内公表、特表２００７−５２７５４５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯  
　本願は、２００４年７月６日（優先権主張２００３年７月７日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成２２年１２月２４日付けで手続補正書が提出されたが、平成２３年１１月１４日付けで拒絶査定がなされた。
　これに対し、平成２４年３月１９日に拒絶査定に対する審判請求がなされ、同時に手続補正がなされたものである。
　その後、同年９月５日付けで、審判請求人に前置報告書の内容を示し意見を求めるための審尋を行ったところ、平成２５年３月１１日付けで回答書が提出された。
　
第２　平成２４年３月１９日付けの手続補正の補正の却下の決定 
［補正の却下の決定の結論］ 
　　平成２４年３月１９日付けの手続補正を却下する。 
　
［理由］ 
１．補正後の請求項に記載された発明 
　平成２４年３月１９日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）により、本願の特許請求の範囲の請求項１は、特許請求の範囲の減縮を目的として、以下のように補正された。
　「所定波長域内の照明光エネルギを発する照明システムと、
　照明光エネルギを受け取り標本に向かわせるよう構成及び方向設定された結像サブシステムであって、各々の最大直径が約１００ｍｍ未満であって、すべてが単一の軸上に配置された複数個の光学素子を有し、ＮＡ値が約０．９０において約０．４ｍｍを超える視野サイズを提供する結像サブシステムと、
　を備える標本検査システム。」
　
　そこで、本件補正後の上記請求項１に記載された発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下に検討する。
　
２．引用刊行物 
　　
（１）引用文献１
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開平１０−１７７１３９号公報（以下「引用文献１」という。）には、以下の事項が記載されている。
（１ａ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、広帯域スペクトルの紫外線(UV)画像を処理する光学システムに関わる。特に、広帯域スペクトルの紫外線画像を処理することを可能にする反射及び屈折の両特性を備えた光学レンズを用いた新しい画像光学システムに関わる。即ち、１つ或いは２つの要素レンズを組み合わせ、更に１つ或いは２つの要素反射面（鏡面）を加えて組み合わせ、新しい画像光学システムを構成している。本発明は、画像のゆがみ、ひずみ並びにそれ等と関連する色収差の矯正に関る諸問題について光学システムの設計的観点から解決を図ることを目的とする。」
（１ｂ）「【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施形態を示しており、カタディオプトリック（反射と屈折の両特性を有する）を共に具備して成る画像システムであって、特に広帯域遠紫外線に於ける応用を意図している。先ず、フォーカス（焦点形成）レンズ群１１にて構成され、中間像１３を形成する。そして、フィールドレンズ群１５を中間像１３の近くに設置して、歪みの為に発生する色収差の補正を実行する。更に、反射と屈折の両特性を共に具備して成る画像光学要素群１７があって中間像１３からの光線を通過せしめ最終画像１９が形成される様にする。」
（１ｃ）「【００１３】フィールドレンズ群１５は、図２に示した。」
（１ｄ）「【００２０】広帯域の紫外線光学系に於ける最適設計の２例を次頁と次々頁に示した。その１つは図２のフィールドレンズ群であり、他の例は、図３のフィールドレンズ群である。これ等について、次に述べる。以下のレンズ表面に関る設計データは、０．２００、０．２２０、０．２４５、０．２９０及び０．４００ミクロンの波長の屈折率の値（空気に対する相対値）に基づいている。結果として得た設計例では、開口数０．９、視野画面の対角線長を０．５mmとした。」
（１ｅ）「【００２１】
【表１】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（１ｆ）「【００２３】図１の画像処理システムを発展させて、顕微鏡の対物レンズ系に筒型形状を使う設計の例を図４に示した。紫外線光源６１からの光は図１の対物レンズを通して、観察試料表面を照射する。」
（１ｇ）「【００３０】３６５nmのｉ線と２４８nmの遠紫外線ステッパーを使用するウェーハファブに於ては、本発明の広帯域紫外線レンズを用いたレチクル検査システムが効力を発揮する為には、３６５nmのｉ線と２４８nmの光源の切換えが必須であるが、本発明はこれを可能にする。この利点は重大で、レチクルが露光時に使用される、正にその同じ波長（波長マッチング）での検査が実現したのである。この波長マッチングは、上にも述べた様に、その利点は重大である。何故なら、これは最先端のフェーズ（位相）シフトマスク検査に不可欠だからである。フェーズシフトマスク検査は、波長マッチング無しでは意味をなさない。同様に、本発明の広帯域紫外線レンズを用いることに依って、ウェーハ上のフォトレジストのパターン検査装置に於て、新たな性能と言える「利用する波長の選択と切換え可能」の改良が実現した。フォトレジスト材料は、可視光では透明である。従って、可視光ではコントラスト不足で検査が困難にならざるを得ない。しかしながら、フォトレジストは、短波長域、即ち紫外では不透明になる。不透明化する波長の値は、それぞれ材料に依って異なる。よって、 i線フォトレジストは、３１３nm の波長 域で不透明化が達成されるので、この波長で高感度の検査が可能になった。遠紫外フォトレジスト（２４８nm専用レジスト ）が塗布されたパターン付ウェーハ に於ては、仮に２２０nm近傍の波長を用いて検査した時、その結果が波長２４８nmを使った場合の検査と比べて異なっても、それは当然である。本発明が提供するレンズ系をウェーハ検査に応用すれば、ｉ線フォトレジスト及び遠紫外フォトレジスト共に、同一検査装置が使えるが、これは大きなメリットである。」
（１ｈ）「【図１】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（１ｉ）「【図２】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（１ｊ）「【図４】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（１ｋ）図１及び表２に示された設計値を照らし合わせると、図１に示された光学要素のうち最大の直径を有するのが反射膜４１であって、その曲率半径が６４．２９０ｍｍであることがわかる。
　
　これらの記載事項及び図面を含む引用文献１全体の記載並びに当業者の技術常識を総合すれば、引用文献１には、以下の発明が記載されている。
　「開口数０．９、視野画面の対角線長を０．５mmとし、光学要素のうち最大の直径を有するものの曲率半径が６４．２９０ｍｍとなるように設計された光学系を通して、紫外線光源からの光が観察試料表面を照射する、
広帯域紫外線レンズを用いたレチクル検査システム。」（以下「引用発明」という。）
　
３．対比 
　補正発明と引用発明を対比する。
（１）引用発明の「紫外線光源からの光」は補正発明の「所定波長域内の照明光エネルギ」に相当するから、引用発明は補正発明の「照明システム」に相当する構成を有する。
（２）同様に、引用発明は「紫外線光源からの光が観察試料表面を照射する」から、補正発明の「照明光エネルギを受け取り標本に向かわせるよう構成及び方向設定された結像サブシステム」に相当する構成を有する。
（３）引用発明の「光学系」と補正発明の「結像サブシステム」は、ともに「複数個の光学素子を有し、ＮＡ値が約０．９０において約０．４ｍｍを超える視野サイズを提供する結像サブシステム」である点で共通する。
（４）引用発明の「レチクル検査システム」は補正発明の「標本検査システム」に相当する。
　
　してみると両者は、 
　「所定波長域内の照明光エネルギを発する照明システムと、
　照明光エネルギを受け取り標本に向かわせるよう構成及び方向設定された結像サブシステムであって、複数個の光学素子を有し、ＮＡ値が約０．９０において約０．４ｍｍを超える視野サイズを提供する結像サブシステムと、
　を備える標本検査システム。」
の点で一致し、次の点で相違している。
　
（相違点）
　結像サブシステムの複数個の光学素子が、補正発明では「各々の最大直径が約１００ｍｍ未満であって、すべてが単一の軸上に配置された」ものであるのに対して、引用発明では「光学要素のうち最大の直径を有するものの曲率半径が６４．２９０ｍｍ」であるものの、上記の構成を有するかどうか不明な点。
　
４．判断 
　上記相違点について検討する。
　補正発明における「すべてが単一の軸上に配置された」の指し示す技術的意味は必ずしも明確ではないが、請求人が回答書で釈明しているとおり、「複数の光学素子のすべて」が「単一の光軸上に配置された」ことであるとすると、引用発明の複数個の光学素子も、光学的には当然単一の光軸上に配置されたものであるから、両者に差異はない。
　また、上記事項の指し示す技術的意味が「複数の光学素子のすべて」が物理的に「単一の軸上に配置された」ことであるとすると、複数個の光学素子を有する光学系において、すべての光学素子を物理的に単一の軸上に配置することはごく普通に行われている周知技術であって、引用発明の複数個の光学素子をそのように配置することに、格別の技術的困難性も阻害要因もない。
　また、光学素子の最大直径については、光学素子の曲率半径が光学素子を半球面と仮定した場合の直径に等しい（請求人の提出した上記回答書に記載の図面参照）ことから、光学素子の直径は最大でもその曲率半径の２倍になる。
　そうすると、引用発明の最大の光学素子である反射膜４１の直径は、それが半球面と仮定した最大の場合でも６４．２９０×２＝１２８．５８ｍｍとなる。
　一方、引用文献１の各図面の記載や当業者の技術常識に照らして、反射膜４１が半球面より小さいことは明らかであって、システムを小型化するという課題は本願明細書にも記載されているとおり周知の課題であるから、引用発明の最大の光学素子の直径をどの程度にするかは、光学系のＮＡ値や視野サイズとともに上記の課題等を考慮して、当業者が適宜決定しうる事項である。そして、引用発明の引用発明の最大の光学素子の直径を約１００ｍｍ未満に設計することに格別の技術的困難性も阻害要因もない。
　以上のことから、引用発明に上記相違点に係る構成を採用することは、当業者が容易になしうる事項である。
　
　そして、補正発明全体の効果も、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る範囲のものであって格別なものではない。
　
　したがって、補正発明は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
　なお、請求人が回答書に添付した補正案を参酌しても、上記判断に変わりはない。
　
５．小括 
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項の規定において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　よって、上記［補正の却下の決定の結論］のとおり、決定する。
 　
第３　本願発明について 
　平成２４年３月１９日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、平成２２年１２月２４日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
「所定波長域内の照明光エネルギを発する照明システムと、
　照明光エネルギを受け取り標本に向かわせるよう構成及び方向設定された結像サブシステムであってその最大直径が約１００ｍｍ未満の複数個の光学素子を有する結像サブシステムと、
　を備える標本検査システム。」（以下「本願発明」という。）
　
１．引用刊行物
　原査定に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物及びその記載内容は、前記「第２」の「２．」に記載したとおりである。
　
２．対比
　本願発明は、前記「第２」で検討した補正発明の「各々の最大直径が約１００ｍｍ未満であって、すべてが単一の軸上に配置された複数個の光学素子を有し、ＮＡ値が約０．９０において約０．４ｍｍを超える視野サイズを提供する結像サブシステム」という事項を「最大直径が約１００ｍｍ未満の複数個の光学素子を有する結像サブシステム」という特定事項に拡張したものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、更に限定したものに相当する補正発明が、前記「第２」の「４．」に記載したとおり、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第５　むすび 
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶されるべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。