【事件の表示】
　特願２００６−１３７３５６「研磨パッド」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年１１月２９日出願公開、特開２００７−３０７６３９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続きの経緯
　本願は、平成１８年５月１７日を出願日とする出願であって、平成２３年９月２日付けで拒絶理由が通知され、同年１０月２４日付けで意見書及び手続補正書が提出され、平成２４年２月２７日付けで拒絶理由が通知され、同年５月７日付けで意見書及び手続補正書が提出されたが、同年８月２０日付けで拒絶査定がなされた。
　これに対し、平成２４年１０月１９日に審判請求がなされるとともに、同日付けで手続補正書が提出され、平成２５年１月１８日に前置報告に基づく審尋が送付され、同年３月１２日付けで回答書が提出されたものである。
　　
第２　平成２４年１０月１９日付けの手続補正についての補正の却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成２４年１０月１９日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
［理由］
１．補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項１を下記のように補正する補正を含むものである。
「【請求項１】
研磨領域及び光透過領域を含む研磨層を有する研磨パッドにおいて、前記光透過領域は、芳香環濃度が２重量％以下のポリウレタン樹脂からなり、かつ前記光透過領域の光透過率は、波長３００〜４００ｎｍの全範囲で３０％以上であり、前記光透過率は、前記光透過領域の厚みが１ｍｍの場合の値、又は１ｍｍの厚みに
Lambert-Beerの法則を用いて
　　
２．補正の適否　　
（１）補正の目的に係る要件
　本願補正発明は、補正前の請求項１の「１ｍｍの厚みに換算した場合の値」を、「１ｍｍの厚みにLambert-Beerの法則を用いて換算した場合の値」と限定するものであり、この補正は、補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項を限定するものである。
　したがって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下、「平成１８年改正前特許法」という）第１７条の２第４項第２号に規定された特許請求の範囲の減縮を目的とする補正を含むものである。  
　そこで、本願補正発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否か（平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するか否か）について、以下に検討する。
　　
（２）刊行物の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の出願日前に頒布された刊行物である特開２００５−１７５４６４号公報（以下、「引用刊行物」という。）には、「光透過性が高い窓を有する研磨パッド」について、図面とともに下記の事項が記載されている。
ア「【請求項１】
　中に形成された終点検出のための窓を有する研磨パッドを含むケミカルメカニカル研磨パッドであって、前記窓が、脂肪族ポリイソシアネート、ヒドロキシル含有材料及び硬化剤の反応から形成されるものである研磨パッド。」
　
イ「【０００１】
　本発明は、ケミカルメカニカルプラナリゼーション（ＣＭＰ）のための研磨パッドに関し、特に、光学終点検出を実施するために形成された窓を中に有する研磨パッドに関する。」
　　
ウ「【０００５】
　ウェーハを平坦化する際に重要な工程は、加工の終点を決定することである。したがって、多様なプラナリゼーション終点検出法、たとえば、ウェーハ表面その場での光学的計測を伴う方法が開発された。光学的技術は、光の波長を選択するための窓を研磨パッドに設けることを含む。光ビームがその窓を通してウェーハ表面に当てられると、そこで反射し、窓を逆に通過して検出器（たとえば分光光度計）に達する。この戻り信号に基づき、終点検出のためにウェーハ表面の性質（たとえば膜の厚さ）を測定することができる。」
　　
エ「【０００７】
　たとえば、典型的な従来技術の窓は、４５０nmで約５０％の透過率、４３０nmで４０％をどうにか超える透過率しか提供しない。４００nmで、透過率は約１３％まで急低下して、信頼性のあるその場での終点検出又は計測を困難にする。これは、より短波長の終点検出要件（たとえば４００nm）の要求のせいで、特に問題である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
　したがって、要望されているものは、広い範囲の波長、特に短めの波長でのＣＭＰの際の信頼性のある終点検出又は計測のための研磨パッド及び方法である。・・・・」
　　
オ「【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
　図１を参照すると、本発明の研磨パッド１が示されている。研磨パッド１は、下層２及び上層４を含む。下層２は、フェルト地のポリウレタン、たとえば米デラウェア州NewarkのRodel社製のSUBA-IV（商標）でできていることができる。上層４は、ポリウレタンパッド（たとえば微小球を充填したパッド）、たとえばRodel社製のIC1000（商標）を含むことができる。薄い感圧接着剤層６が上層４と下層２とを合わせて保持する。
【００１４】
　典型的な実施態様では、加工されていない下層２（すなわち、層２の中に開口部が形成されていない）が、その上面を感圧接着剤６でコーティングされる。そして、加工されていない上層４が下層２及び感圧接着剤６の上に設けられる。あるいはまた、上層４は、感圧接着剤６で合わされる前に、すでに開口部８を含むこともできる。次に、下層２に開口部１０が形成される。この開口部１０の形成が開口部１０内の感圧接着剤６を除去して、研磨パッド１中に通路が存在するようにする。上層４中の開口部８は下層２中の開口部１０よりも幅が広い。このため、感圧接着剤６で覆われた棚状部１２が形成される。その後、透明な窓材料片１４が棚状部１２の感圧接着剤６の上に配置される。透明な窓材料片１４は上層４の開口部８を完全に埋める。したがって、レーザ分光光度計（図示せず）からのレーザ光を開口部１０及び透明な窓材料片１４に通してウェーハ又は基材に当てて、終点検出を容易にすることができる。
【００１５】
　本発明の典型的な実施態様では、窓１４は、脂肪族ポリイソシアネート含有材料（「プレポリマー」）から製造される。プレポリマーは、脂肪族ポリイソシアネート（たとえばジイソシアネート）とヒドロキシル含有材料との反応生成物である。そして、プレポリマーを硬化剤で硬化させる。好ましい脂肪族ポリイソシアネートは、・・・・１，６−ヘキサメチレン−ジイソシアネート、・・・・及びこれらの混合物を含むが、これらに限定されない。好ましい脂肪族ポリイソシアネートは、１４％未満の未反応のイソシアネート基を有する。
【００１６】
　好都合には、ヒドロキシル含有材料はポリオールである。典型的なポリオールは、ポリエーテルポリオール、・・・・を含むが、これらに限定されない。」
　　
カ「【００１８】
　好都合には、硬化剤はポリジアミンである。・・・・４，４′−メチレン−ビス−（２−クロロアニリン）（「ＭＯＣＡ」）、・・・・及びこれらの混合物を含むが、これらに限定されない。・・・・」
　　
キ「【００２１】
　次に図２を参照すると、本発明の研磨パッドを使用したＣＭＰ装置２０が示されている。装置２０は、半導体ウェーハ２４を研磨プラテン２６に対して保持又は押し当てるためのウェーハキャリヤ２２を含む。研磨プラテン２６は、本発明の、窓１４を含むパッド１を備えている。先に論じたように、パッド１は、プラテンの表面と対面する下層２及び化学研磨スラリーとともに使用されてウェーハ２４を研磨する上層４を有する。・・・・加えて、穴３２がプラテン２６に設けられ、パッド１の窓１４にかぶさっている。したがって、穴３２は、ウェーハ２４の研磨の間、正確な終点検出のために、窓１４を介してウェーハ２４の表面へのアクセスを提供する。すなわち、レーザ分光光度計が３４がプラテン２６の下方に設けられ、これが、ウェーハ２４の研磨の間、正確な終点検出のために、レーザービーム３６を投射して、穴３２及び高透過率窓１４に通し、反射させる。」
　　
ク「【実施例】
【００２２】
　実施例では、数字が本発明の例を表し、文字が比較例を表す。この実験では、本発明の典型的な窓の光透過率を、３６０nm〜７５０nmの波長範囲に関し、Gretag Macbeth 3000A分光光度計を使用して計測した。特に、脂肪族ジイソシアネート含有材料から形成された窓を、芳香族ジイソシアネート含有材料から形成された窓と対比して試験した。・・・・
【００２３】
【表１】　
　
　
　
【００２４】
　上記表１に示すように、脂肪族ジイソシアネート含有材料から製造された窓はすべて、３６０nm〜７５０nmの波長範囲で全体的に改善された透過率を提供した。試験２は、３６０nm〜７５０nmの全波長範囲で少なくとも９０％の終点信号透過率を示した。試験１、３及び４は、３６０nm〜７５０nmの波長範囲で少なくとも８４％の透過率を提供した。試験５〜８は、４５０nm〜７５０nmの波長範囲で少なくとも６９％の透過率値を示した。実際に、試験５〜７は、４５０nm〜７５０nmの波長範囲で少なくとも８７％の透過率値を提供した。それに比べ、試験Ａは、４５０nm〜７５０nmの波長範囲で約５７％の透過率値しか示さなかった。４００nmでは、試験１〜８は少なくとも２１％の透過率値を示したが、試験Ａは１３％の透過率値しか示さなかった。」
　　
ケ「【００２６】
　したがって、本発明は、中に形成された窓を含むケミカルメカニカル研磨パッドであって、窓が脂肪族ポリイソシアネート含有材料から形成されている研磨パッドを提供する。特に、窓は、脂肪族ポリイソシアネート、ヒドロキシル含有材料及び硬化剤の反応から形成される。本発明の窓は、その場での光学終点検出又は計測システムの波長範囲で、光透過率がより低い従来技術の窓で可能であるよりも大きな光学信号強度（たとえば窓に出入りするビームの相対強さ）を可能にする。信号強度におけるこれらの改善は、ウェーハ表面パラメータのその場での光学計測における有意な改善につながる。特に、終点検出の信頼性及び計測精度が改善される。」
　
コ　表１には、脂肪族ジイソシアネート含有材料から製造された窓材料片について、３６０nm〜７５０nmの波長範囲での透過率が示され、試験１では３６０nmの透過率が８９％、試験２では３６０nmの透過率が９０％、試験３では３６０nmの透過率が８７％、試験４では３６０nmの透過率が８４％であり、試験１〜４では、３６０nm〜７５０nmの波長範囲で少なくとも８４％の透過率を有することが示されている。
　　
（３）引用刊行物に記載された発明
　引用刊行物（段落【００１５】）の脂肪族ポリイソシアネートとヒドロキシル含有材料（ポリオール）との反応生成物（プレポリマー）を硬化剤で硬化させて形成した窓材料片は、技術常識からして、ポリウレタン樹脂からなるものといえる。
　そうすると、引用刊行物の上記摘記事項及び技術常識を考慮すると、引用刊行物には下記の発明が記載されていると認められる。
「研磨パッドは上層と下層を含み、ウェーハを研磨する上層に開口部を設け、その開口部を透明な窓材料片で完全に埋め、この窓材料片は、脂肪族ポリイソシアネートとヒドロキシル含有材料（ポリオール）との反応生成物（プレポリマー）を硬化剤で硬化させたポリウレタン樹脂からなり、窓材料片の光透過率は、３６０nm〜７５０nmの波長範囲で少なくとも８４％の透過率を有し、全体的に改善された透過率であって、特に短めの波長での終点検出の信頼性及び計測精度が改善された、研磨パッド。」（以下、「引用発明」という。）
　
（４）対比・判断
　本願補正発明と引用発明を対比すると、引用発明の「ウェーハを研磨する上層」、「透明な窓材料片」、「研磨パッド」は、それぞれ、本願発明の「研磨領域」、「光透過領域」、「研磨パッド」に相当する。
　また、引用発明の「窓材料片」は「上層」の開口部に完全に埋められ、ウェーハを研磨する「上層」と共にウェーハに面する「研磨層」を構成するものといえるから、
　本願補正発明と引用発明は、
「研磨領域及び光透過領域を含む研磨層を有する研磨パッドにおいて、前記光透過領域はポリウレタン樹脂からなる、研磨パッド」で一致し、下記の点で相違する。
　
・相違点１
　本願補正発明の光透過領域が、「芳香環濃度が２重量％以下のポリウレタン樹脂からな」るのに対し、引用発明の窓材料片は、「脂肪族ポリイソシアネートとポリオールとの反応生成物（プレポリマー）を硬化剤で硬化させたポリウレタン樹脂からな」るものの、芳香環濃度について特定されていない点。
　　
・相違点２
　本願補正発明の光透過領域の光透過率が、「波長３００〜４００ｎｍの全範囲で３０％以上であり、この光透過率は、光透過領域の厚みが１ｍｍの場合の値、又は１ｍｍの厚みにLambert-Beerの法則を用いて換算した場合の値である」のに対し、引用発明の光透過率は、「３６０nm〜７５０nmの波長範囲で少なくとも８４％の透過率を有し、全体的に改善された透過率であって、特に短めの波長での終点検出の信頼性及び計測精度が改善された」ものである点。
　　
　そこで、上記相違点について検討する。
・相違点１について
　ポリウレタン樹脂中に芳香族炭化水素基を有する化合物を含有させると、形成されたポリウレタン樹脂の短波長側での光透過率が低下する傾向にあることは、周知の技術的事項（例えば、特開２００６−１１０６８６号公報（段落【００４３】）、特開２００４−２９７０６２号公報（段落【００４８】）参照）である。
　引用発明は、研磨の終点検出を正確に行うために、窓材料片における短波長光の透過率向上を図ったものであって、短波長光の透過率をさらに向上させるために、上記周知の技術的事項に基づいて、窓材料片を形成する樹脂中の芳香環成分の含有率を低くしようとすることは、当業者であれば当然考慮する事項であり、含有率を２重量％以下と設定することは、当業者が容易に成し得たものである。
　　
　なお、上記周知の技術的事項について、上記特開２００６−１１０６８６号公報には、下記のように記載されている（特開２００４−２９７０６２号公報にも同様の記載がある。）。
「【００３８】
　前記ポリウレタン樹脂は、有機イソシアネート、ポリオール（高分子量ポリオールや低分子量ポリオール）、及び鎖延長剤からなるものである。
・・・・
【００４３】
　鎖延長剤としては、・・・・低分子量ポリオール類、あるいは・・・・ポリアミン類を挙げることができる。・・・・また、芳香族炭化水素基を有する化合物を用いると短波長側での光透過率が低下する傾向にあるため、このような化合物を用いないことが特に好ましい。」
　　
・相違点２について
　光を物質に通過させた場合、その物質の厚さにより光の透過率が変化するため、研磨パッドの光透過領域を透過する光の透過率を比較する際には、Ｌａｍｂｅｒｔ―Ｂｅｅｒの法則より光が通過する光透過領域を１ｍｍの厚みの場合に換算して、光透過領域の光透過率を算出することが、当該分野の計測手法として従来より広く行われてきたもの（例えば、特開２００４−２９７０６２号公報（段落【００２５】）、特開２００６−６００３１号公報（段落【００２１】）、国際公開第２００４／０９０９６３号（明細書２９頁下から２行〜末行）参照）といえることから、引用発明の窓材料片（光透過領域）の光透過率は、一般的な計測手法であるＬａｍｂｅｒｔ―Ｂｅｅｒの法則より光透過領域を１ｍｍの厚みの場合に換算して求めたものであるとみるのが妥当である。
　　
　なお、光透過領域を１ｍｍの厚みの場合に換算することについて、上記特開２００４−２９７０６２号公報には、
「本発明における光透過領域の光透過率は、光透過領域の厚みが１ｍｍの場合の値、又は１ｍｍの厚みに換算した場合の値である。一般に、光透過率は、Ｌａｍｂｅｒｔ―Ｂｅｅｒの法則より、光透過領域の厚みによって変化する。厚みが大きいほど、光透過率は低下するため、厚みを一定にした時の光透過率を算出する必要がある。」（【００２５】）と、
　上記特開２００６−６００３１号公報には、
「本発明の透過率とは、日立製作所（株）製Ｕ−３４１０分光硬度計を使用して測定した得られたサンプルの透過率の値からランベルト・ベール式ｔ１＝ｔ（−１／Ｌ）を用いて１ｍｍ厚さ当たりの値に換算したものである。ここで、ｔ１は１ｍｍ厚さ当たりの透過率、ｔは分光高度計から得られたサンプルの透過率、Ｌはサンプルの厚み（ｍｍ）である。」（【００２１】）と、
　上記国際公開第２００４／０９０９６３号には、
「・・・・測定値はランベルトベールの法則を用いて板厚１ｍｍの透過率に換算した。」（明細書２９頁下から２行〜末行）と、それぞれ記載されている。
　　
　一方、引用発明は、研磨の終点検出を正確に行うために、３６０nm〜７５０nmの波長範囲で少なくとも８４％の透過率を有し、窓材料片における短波長光の透過率向上を図ったものであるが、研磨の終点検出に３６０nm以下の波長範囲の光を用いることは周知の技術的事項（例えば、特表２００２−５１７９１１号公報（「光源117 は広帯域幅の光源であり、好ましくは２００乃至１０００ｎｍの範囲の波長の光スペクトルを有し」（【００２１】）、上記国際公開第２００４／０９０９６３号（「研磨パッドを介して被研磨物の研磨面へ波長１９０〜３５００ｎｍの光線を照射し、その反射率の変化を検知することにより、研磨終点を管理する。」（明細書１９頁１６行〜１８行）参照）であり、研磨の終点検出に用いられる光に３６０nm以下の波長範囲のものが想定されるなら、それらの３６０nm以下の波長範囲の短波長光についても、適切に終点検知できる程度の光透過率を設定することは、当業者であれば当然考慮する事項であるといえる。
　そして、引用発明では３００nm〜３６０nmの波長範囲の透過率について特定されていないものの、３６０nmの波長で少なくとも８４％の透過率を有するものであり、隣接する３００nm〜３６０nmの波長範囲で透過率３０％以上とすることは、格別困難な事項であるとはいえない。
　このことは、上記国際公開第２００４／０９０９６３号（明細書１７頁１行〜１４行）に「１９０〜３５００nmの範囲の波長の光線を透過するとは、・・・・透過率は好ましくは３０〜１００％である。」と記載されていることからも追認することができる。
　　
　さらに、本願補正発明により奏される効果は、引用発明及び上記周知の技術的事項から容易に予測できるものである。
　　
　以上のとおり、本願補正発明は、引用発明及び周知の技術的事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　　
（５）結論
　よって、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　　　　
第３　本願発明について
１．本願発明
　平成２４年１０月１９日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし６に係る発明は、平成２４年５月７日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された事項により特定され、そのうち、請求項１に係る発明は以下のとおりのものである。
「【請求項１】
研磨領域及び光透過領域を含む研磨層を有する研磨パッドにおいて、前記光透過領域は、芳香環濃度が２重量％以下のポリウレタン樹脂からなり、かつ前記光透過領域の光透過率は、波長３００〜４００ｎｍの全範囲で３０％以上であり、前記光透過率は、前記光透過領域の厚みが１ｍｍの場合の値、又は１ｍｍの厚みに換算した場合の値であることを特徴とする研磨パッド。」（以下、「本願発明」という。）
　
２．刊行物の記載事項
　これに対して、本願の出願日前に頒布された刊行物である引用刊行物の記載事項は、上記「第２　２．（２）」に記載したとおりである。
　
３．対比・判断
　本願発明は、上記「第２　２．（１）」で検討したように、本願補正発明における「Lambert-Beerの法則を用いて」との限定事項を省いたものであるから、本願発明の特定事項を全て含み、さらに他の特定事項を限定したものに相当する本願補正発明が、前記「第２　２．（４）」に記載したとおり、引用発明及び周知の技術的事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものであるといえる。
　
４．むすび
　したがって、本願発明は、引用発明及び周知の技術的事項に基いて、当業
者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないので、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきである。
　よって、結論のとおり審決する。