【事件の表示】
　特願２００８−２６６２８５号「ウェーハ移載装置及び縦型熱処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年　４月３０日出願公開、特開２０１０−　９８０４８号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本願は、平成２０年１０月１５日の出願であって、平成２４年２月３日付けで手続補正がなされ、平成２４年５月２４日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年８月２８日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
２．本願発明
　本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２４年２月３日付け手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 
 「ウェーハ収納容器と熱処理ボートのウェーハ裏面の全周縁部を支持できるリング状ウェーハ支持部との間でウェーハを移載するウェーハ移載装置であって、少なくとも、
　ウェーハを着脱可能に把持する把持部材を下面に備えた把持板を有し、前記ウェーハ収納容器と前記熱処理ボートの間に配置され、前記ウェーハ収納容器内及び前記熱処理ボートのリング状ウェーハ支持部間に前記把持板を挿入して、ウェーハを上方から把持又は解放する移載手段と、
　前記リング状ウェーハ支持部の厚さより長い支持ピンを備えた、前記リング状ウェーハ支持部と垂直方向に相対移動可能な突き上げ部を有し、前記熱処理ボートのリング状ウェーハ支持部間に前記突き上げ部を挿入し、該挿入された状態で前記突き上げ部の垂直方向の相対移動によって上方の前記リング状ウェーハ支持部より上に前記支持ピンを突き出す支持手段とからなり、
　前記把持板が、前記熱処理ボートのリング状ウェーハ支持部間に挿入されて、前記把持部材の前記ウェーハの着脱により、前記突き上げ部の支持ピン上にウェーハを支持させる、又は、前記突き上げ部の支持ピン上のウェーハを把持するものであって、前記突き上げ部が、前記熱処理ボートのリング状ウェーハ支持部間に挿入されて、前記リング状ウェーハ支持部と垂直方向に相対移動することにより、前記支持ピン上のウェーハを前記リング状ウェーハ支持部に載置、又は、前記リング状ウェーハ支持部上のウェーハを前記支持ピンにより突き上げて支持するものであることを特徴とするウェーハ移載装置。」 
 　 
３．引用刊行物 
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された、特開平５−１３５４８号公報（以下「引用刊行物１」という。）には、図面と共に次の事項が記載されている。 
（ア）「【産業上の利用分野】本発明はウエハの移載装置に関する。」（段落【０００１】）
（イ）「【従来の技術】一般に、半導体素子の製造工程において、半導体ウエハ等を搬送する場合に、キャリアあるいはカセットと称されるウエハ収納容器が用いられる。このウエハ収納容器は、軽量で安価な樹脂等からなり、ウエハを複数枚例えば25枚収納可能に構成されている。
　一方、熱処理装置等によって多数のウエハをバッチ処理するような場合、上記のような樹脂製のウエハ収納容器に収納された状態でウエハの熱処理を行うことはできず、化学的に安定でかつ耐熱性に優れた石英ガラス等からなる熱処理用ウエハ保持具にウエハを移載してから熱処理を行う必要がある。」（段落【０００２】〜【０００３】）
（ウ）「図７および図８に熱処理用ウエハ保持具の一例を示す。図７は、熱処理用ウエハ保持具を上方から見た説明図であり、図８は図７のＣ−Ｏ−Ｃ断面図である。この熱処理用ウエハ保持具60は、４本の支柱61と、複数のリング状ウエハ支持板65とよりなる。支柱61には一定のピッチで溝62が形成され、この溝62にリング状ウエハ支持板65の周縁が嵌合されることにより、リング状ウエハ支持板65が支柱61に保持されている。65Ａはウエハ支持面であり、ウエハＷは、その下面がウエハ支持面65Ａに対接されることにより、リング状ウエハ支持板65に支持される。
　ここに、１回のバッチ処理によって処理されるウエハの数は、熱処理用ウエハ保持具のリング状ウエハ支持板の配列数によって決まる。然るに、上記のような縦型の熱処理用ウエハ保持具においては、熱処理炉の容量や搬送性などの観点から高さが制限されるため、１回のバッチ処理によって多数のウエハを処理するためには、リング状ウエハ支持板間のピッチをできるだけ小さくすることが必要となる。」（段落【０００４】〜【０００５】）
（エ）「一方、ウエハをウエハ収納容器から、熱処理用ウエハ保持具へ移載する手段としては、図１２に示すような移載手段が用いられる。この移載手段は、ウエハ移載用フォーク91（以下「移載用フォーク91」という）と、ウエハ突き上げ用フォーク95（以下「突き上げ用フォーク95」という）とを備えている。移載用フォーク91は、ウエハの下面と対接する上面を有する板状体であり、突き上げ用フォーク95は、その上面にウエハの下面と対接する３ヶ所の突起部98を有する板状体である。移載用フォーク91はフォーク保持機構92に接続されて矢印Ｘに示す方向への往復運動が可能であり、突き上げ用フォーク95はフォーク保持機構96に接続されて矢印Ｘに示す方向への往復運動が可能である。また、フォーク保持機構92およびフォーク保持機構96は、それぞれ軸97に沿って矢印Ｚに示す方向への往復運動および軸97を中心として矢印θに示す回転運動が可能であり、従って、移載用フォーク91および突き上げ用フォーク95は、それぞれＺ方向への往復運動およびθ方向への回転運動が可能になる。」（段落【０００６】）
（オ）「ここに、ウエハ収納容器から熱処理用ウエハ保持具へのウエハの移載方法としては、  ○１（原表示は、１を○囲みしたもの。以下同様）移載用フォーク91により、ウエハ収納容器からウエハを搬出し、移載用フォーク91の先端が熱処理用ウエハ保持具に対向するまで、フォーク保持機構92をθ方向へ旋回させる。  ○２　図９に示すように、ウエハＷを支持している移載用フォーク91を、リング状ウエハ支持板65(651) と65(652) との間に挿入するとともに、突き上げ用フォーク95を、リング状ウエハ支持板65(652) と65(653) との間に挿入する。  ○３　突き上げ用フォーク95を、突起部98がウエハＷの下面に対接するまで上昇させ、この状態で移載用フォーク91を熱処理用ウエハ保持具60から退去させる。これにより、図１０に示すように、突き上げ用フォーク95によりウエハＷが支持される。  ○４　突き上げ用フォーク95を下降させる。これにより、図１１に示すように、ウエハＷはリング状ウエハ支持板65(652) に支持される。  ○５　突き上げ用フォーク95を熱処理用ウエハ保持具60から退去させる。ここで、上記図９〜図１１は、それぞれ図７におけるＤ−Ｄ断面図であり、一部を省略して示している。
　リング状ウエハ支持板65の各配置レベルにおいて、上記の操作を繰り返すことにより、ウエハ収納容器から熱処理用ウエハ保持具60へのウエハＷの移載が行われる。」（段落【０００７】〜【０００８】）
（カ）上記記載事項（ウ）、図７及び図８より、リング状ウエハ支持板65は、熱処理用ウエハ保持具60のウエハ裏面の全周縁部を支持できるといえる。
（キ）上記記載事項（エ）、上記記載事項（オ）及び図９〜図１２より、移載手段の一部として、ウエハを支持する移載用フォーク91を有し、ウエハ収納容器と熱処理用ウエハ保持具60の間に配置され、前記ウエハ収納容器内及び前記熱処理用ウエハ保持具60のリング状ウエハ支持板65間に前記移載用フォーク91を挿入して、ウエハを下方から支持する移載用フォーク91及びフォーク保持機構92を構成するといえる。
（ク）上記記載事項（エ）、上記記載事項（オ）及び図９〜図１２より、フォーク保持機構96は、リング状ウエハ支持板65の厚さより長い突起部98を備えた、リング状ウエハ支持板65と垂直方向に相対移動可能な突き上げ用フォーク95を有し、熱処理用ウエハ保持具60のリング状ウエハ支持板65間に突き上げ用フォーク95を挿入し、該挿入された状態で突き上げ用フォーク95の垂直方向の相対移動によって上方のリング状ウエハ支持板65より上に突起部98を突き出すといえる。
（ケ）上記記載事項（エ）、上記記載事項（オ）及び図９〜図１２より、移載用フォーク91は、熱処理用ウエハ保持具60のリング状ウエハ支持板65間に挿入されて、移載用フォーク91のウエハの支持・不支持により、突き上げ用フォーク95の突起部98上にウエハを支持させる、又は、突き上げ用フォーク95の突起部98上のウエハを支持するものといえる。
（コ）上記記載事項（エ）、上記記載事項（オ）及び図９〜図１２より、突き上げ用フォーク95は、熱処理用ウエハ保持具60のリング状ウエハ支持板65間に挿入されて、リング状ウエハ支持板65と垂直方向に相対移動することにより、突起部98上のウエハをリング状ウエハ支持板65に載置、又は、リング状ウエハ支持板65上のウエハを突起部98により突き上げて支持するものであるといえる。
　
　上記記載事項及び図示内容を総合すると、引用刊行物１には、次の発明（以下「引用発明」という。） が記載されている。
 「ウエハ収納容器と熱処理用ウエハ保持具60のウエハ裏面の全周縁部を支持できるリング状ウエハ支持板65との間でウエハを移載するウエハの移載装置であって、少なくとも、
　移載手段の一部として構成される、ウエハを支持する移載用フォーク91を有し、前記ウエハ収納容器と前記熱処理用ウエハ保持具60の間に配置され、前記ウエハ収納容器内及び前記熱処理用ウエハ保持具60のリング状ウエハ支持板65間に前記移載用フォーク91を挿入して、ウエハを下方から支持する移載用フォーク91及びフォーク保持機構92と、
　前記リング状ウエハ支持板65の厚さより長い突起部98を備えた、前記リング状ウエハ支持板65と垂直方向に相対移動可能な突き上げ用フォーク95を有し、前記熱処理用ウエハ保持具60のリング状ウエハ支持板65間に前記突き上げ用フォーク95を挿入し、該挿入された状態で前記突き上げ用フォーク95の垂直方向の相対移動によって上方の前記リング状ウエハ支持板65より上に前記突起部98を突き出すフォーク保持機構96とからなり、
　前記移載用フォーク91が、前記熱処理用ウエハ保持具60のリング状ウエハ支持板65間に挿入されて、前記移載用フォーク91の前記ウエハの支持・不支持により、前記突き上げ用フォーク95の突起部98上にウエハを支持させる、又は、前記突き上げ用フォーク95の突起部98上のウエハを支持するものであって、前記突き上げ用フォーク95が、前記熱処理用ウエハ保持具60のリング状ウエハ支持板65間に挿入されて、前記リング状ウエハ支持板65と垂直方向に相対移動することにより、前記突起部98上のウエハを前記リング状ウエハ支持板65に載置、又は、前記リング状ウエハ支持板65上のウエハを前記突起部98により突き上げて支持するものであるウエハの移載装置。」 
　
　また、原査定の拒絶の理由に引用された特開２００３−３３８５３１号公報（以下「引用刊行物２」という。）には、図面と共に次の事項が記載されている。 
（サ）「【請求項１】  搬送するウエハ周縁部における下側面に係止して、前記ウエハを吊り下げ状態で支持する複数の係止部材が備えられ、前記各係止部材は、前記ウエハを吊り下げ状態で支持するウエハ支持位置と、前記ウエハの外形周縁の外側まで移動して前記ウエハの支持状態を解除するウエハ解除位置との間で往復移動できるように構成される共に、前記各係止部材は、前記ウエハ支持位置およびウエハ解除位置の範囲でアクチュエータにより往復駆動されるように構成したことを特徴とする半導体ウエハの搬送装置。
【請求項２】  前記係止部材は、平板状に形成された搬送部材の下側面に突出するようにして配置され、前記ウエハを各係止部材によって水平姿勢に支持した状態において、当該ウエハの上面が前記搬送部材の下側面に非接触状態で吊り下げられるように構成したことを特徴とする請求項１に記載された半導体ウエハの搬送装置。・・・」（【特許請求の範囲】）
（シ）「【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハを例えば縦型ウエハボートに搬入または搬出させるのに好適な半導体ウエハの搬送装置に関し、特に酸化あるいは拡散等の熱処理工程において、半導体ウエハにスリップを発生させる度合いを低減させることに寄与できる半導体ウエハの搬送装置およびこれを用いた熱処理装置に関する。」（段落【０００１】）
（ス）「前記ロッド部材３１，３２の他端部には、図２に示すように係止部材３６，３７が一体に形成されており、この係止部材３６，３７は前記搬送部材２４の下側面に突出するようにして配置されている。また、同様に前記ロッド部材３３，３４の他端部にも、図２に示すように係止部材３８，３９が一体に形成されており、この係止部材３８，３９も前記搬送部材２４の下側面に突出するようにして配置されている。
　そして、搬送部材２４における基端部側に配置された一対の係止部材３６，３７と、搬送部材２４における自由端部側に配置された一対の係止部３８，３９とは、搬送部材２４の裏面において長手方向で対向するようになされ、前記アクチュエータ２６の駆動動作によって、仮想線で示したウエハＷを吊り下げ状態で支持するウエハ支持位置と、前記ウエハＷの外形周縁の外側まで移動して前記ウエハの支持状態を解除するウエハ解除位置との間で往復移動できるように構成されている。なお、図１および図２においては、各係止部材３６〜３９は、ウエハＷを吊り下げ状態で支持することができるウエハ支持位置に設定されている状態を示している。」（段落【００３４】〜【００３５】）
（セ）「図７は、前記したウエハ搬送装置２１によって、ウエハＷを支持した状態を示している。この場合、前記ウエハＷは各係止部材３６〜３９におけるオーバハング部３６ｂ〜３９ｂが、ウエハ周縁部における下側面に当接し、ウエハＷは水平姿勢の状態まま、吊り下げられるようにして支持される。そして、ウエハＷが前記各係止部材３６〜３９によって支持された状態においては、当該ウエハＷの上面は前記搬送部材２４の下側面に接触することなく吊り下げられるように、各係止部材における前記した各鉛直部３６ａ〜３９ａの寸法が設定されている。この構成により、ウエハ搬送装置２１の搬送移動に基づいて多少の振動等を受けても、ウエハＷの上面に傷をつけるなどの不都合を回避することができる。
　また、前記した構成の搬送装置２１によると、各係止部材３６〜３９に駆動力を伝達するロッド部材３１〜３４は、搬送部材２４の上面に配置されているので搬送部材とロッド部材との間の摩擦により発生するパーティクルが、ウエハの上面に付着する度合いを大幅に低減させることができる。この場合、前記係止部材３６〜３９、並びにロッド部材３１〜３４を合成樹脂、好ましくはＰＥＥＫ（ポリ・エーテル・エーテル・ケトン樹脂）により一体に形成し、また搬送部材２４にフッ素樹脂コートを施すことにより、前記したパーティクルの発生をより低減させることができ、ウエハをパーティクルによって汚染させる度合いを相乗的に低減させることが可能となる。
　前記したウエハ搬送装置２１は、そのテーブル２２を水平方向（Ｘ，Ｙ方向）に移動させつつ、鉛直軸２３を介して搬送部材２４を水平方向に回動させる駆動動作を実行させることで、鉛直方向に移動できる図示せぬウエハカセットから、ウエハＷを取り出すことができる。また、鉛直方向に移動できる図９に示した縦型ウエハボート１に、ウエハＷを搬入することができる。また、熱処理済みのウエハＷを、同様にして縦型ウエハボート１から搬出し、ウエハカセットに戻すことができる。」（段落【００４７】〜【００４９】）
 
４．対比・判断
　そこで、本願発明と引用発明とを対比すると、後者における「ウエハの移載装置」が、その機能・作用等からみて前者における「ウェーハ移載装置」に相当し、同様に、「ウエハ」が「ウェーハ」に、「ウエハ収納容器」は「ウェーハ収納容器」に、「熱処理容ウエハ保持具60」は「熱処理ボート」に、「リング状ウエハ支持板65」は「リング状ウェーハ支持部」に、「突起部98」は「支持ピン」に、「突き上げ用フォーク95」は「突き上げ部」に、及び「フォーク保持機構96」は「支持手段」に、それぞれ相当している。  
　また、引用発明の「移載手段の一部として構成される、ウエハを支持する移載用フォーク91を有し、前記ウエハ収納容器と前記熱処理用ウエハ保持具60の間に配置され、前記ウエハ収納容器内及び前記熱処理用ウエハ保持具60のリング状ウエハ支持板65間に前記移載用フォーク91を挿入して、ウエハを下方から支持する移載用フォーク91及びフォーク保持機構92と」と本願発明の「ウェーハを着脱可能に把持する把持部材を下面に備えた把持板を有し、前記ウェーハ収納容器と前記熱処理ボートの間に配置され、前記ウェーハ収納容器内及び前記熱処理ボートのリング状ウェーハ支持部間に前記把持板を挿入して、ウェーハを上方から把持又は解放する移載手段」とは、「ウェーハを支持する支持部材を有し、前記ウェーハ収納容器と前記熱処理ボートの間に配置され、前記ウェーハ収納容器内及び前記熱処理ボートのリング状ウェーハ支持部間に前記支持部材を挿入して、ウェーハを支持又は解放する移載手段の一部として構成されるものと」という点で共通する。 
　また、引用発明の「前記移載用フォーク91が、前記熱処理用ウエハ保持具60のリング状ウエハ支持板65間に挿入されて、前記移載用フォーク91の前記ウエハの支持・不支持により、前記突き上げ用フォーク95の突起部98上にウエハを支持させる、又は、前記突き上げ用フォーク95の突起部98上のウエハを支持するものであって」と本願発明の「前記把持板が、前記熱処理ボートのリング状ウェーハ支持部間に挿入されて、前記把持部材の前記ウェーハの着脱により、前記突き上げ部の支持ピン上にウェーハを支持させる、又は、前記突き上げ部の支持ピン上のウェーハを把持するものであって」とは、「前記支持部材が、前記熱処理ボートのリング状ウェーハ支持部間に挿入されて、前記支持部材の前記ウェーハの支持・不支持により、前記突き上げ部の支持ピン上にウェーハを支持させる、又は、前記突き上げ部の支持ピン上のウェーハを支持するものであって」という点で共通する。 
　
　したがって、両者は、 
 「ウェーハ収納容器と熱処理ボートのウェーハ裏面の全周縁部を支持できるリング状ウェーハ支持部との間でウェーハを移載するウェーハ移載装置であって、少なくとも、
　ウェーハを支持する支持部材を有し、前記ウェーハ収納容器と前記熱処理ボートの間に配置され、前記ウェーハ収納容器内及び前記熱処理ボートのリング状ウェーハ支持部間に前記支持部材を挿入して、ウェーハを支持又は解放する移載手段の一部として構成されるものと、
　前記リング状ウェーハ支持部の厚さより長い支持ピンを備えた、前記リング状ウェーハ支持部と垂直方向に相対移動可能な突き上げ部を有し、前記熱処理ボートのリング状ウェーハ支持部間に前記突き上げ部を挿入し、該挿入された状態で前記突き上げ部の垂直方向の相対移動によって上方の前記リング状ウェーハ支持部より上に前記支持ピンを突き出す支持手段とからなり、
　前記支持部材が、前記熱処理ボートのリング状ウェーハ支持部間に挿入されて、前記支持部材の前記ウェーハの支持・不支持により、前記突き上げ部の支持ピン上にウェーハを支持させる、又は、前記突き上げ部の支持ピン上のウェーハを支持するものであって、前記突き上げ部が、前記熱処理ボートのリング状ウェーハ支持部間に挿入されて、前記リング状ウェーハ支持部と垂直方向に相対移動することにより、前記支持ピン上のウェーハを前記リング状ウェーハ支持部に載置、又は、前記リング状ウェーハ支持部上のウェーハを前記支持ピンにより突き上げて支持するものであることを特徴とするウェーハ移載装置。」の点で一致し、以下の点で相違している。 
 　 
相違点１：移載手段として構成されるものが、本願発明は、把持部材を下面に備えた把持板によりウェーハを把持又は解放するものであるのに対し、引用発明では、ウェーハの下方から移載用フォークを挿入して搬出入を行うものである点。
　
　そこで上記相違点１について検討する。
（相違点１について）
　引用刊行物２の上記記載事項（ス）、（セ）から、引用刊行物２には「ウエハ搬送装置２１が、係止部材３６〜３９を下面に備えたウエハ搬送部材２４によりウエハをつり下げ状態で支持又は解除するもの」が記載されており、また、引用刊行物２の段落【０００９】〜【００１８】の記載、及び、【図１０】から、ウエハを下面から支持するフォーク１６を有する搬送装置を、「係止部材３６〜３９を下面に備えたウエハ搬送部材２４によりウエハをつり下げ状態で支持又は解除するもの」に代替することが記載または示唆されている。
　そして、引用発明の移載用フォーク９１は、ウエハの移載時には、ウエハの下面から支持する、即ち、フォーク上にウエハを載置するのみであり、引用刊行物１に接した当業者であれば、その載置が不安定であること、移載時のウエハを確実に固定する手段に代替する必要があることは当然想到し得ることであり、上記引用刊行物２に記載された、ウエハを下面から支持するフォークの代替手段として用いられることが記載または示唆されている「係止部材を下面に備えたウエハ搬送部材２４」を、引用発明の移載用フォーク９１に適用して、相違点１に係る本願発明のように構成することは、当業者が容易に想到し得たことである。
　また、その適用に際しても、引用発明の移載用フォーク９１と突き上げ用フォーク９５とは、それぞれ、ウエハを載置して水平方向に移動させることと、ウエハを上方に持ち上げることという独立した機能を備えるものであり、また、ウエハヘの接触部位も両者は相違しており、さらに構成においても、両者は、その一部が軸９７に固定されるものであるものの、別部材で構成されていることを考慮すれば、引用発明の移載用フォーク９１のみを引用刊行物２に記載のウエハ搬送部材２４に代替することに格別の困難性も阻害要因も認められない。
　 
　また、本願発明の効果も引用発明及び引用刊行物２に記載された発明から当業者が予測し得る範囲内のものにすぎない。 
　
５．むすび 
　したがって、本願発明は、引用発明及び引用刊行物２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　よって、結論のとおり審決する。