(57)【要約】      （修正有）【課題】研磨具の種類等に合わせて、砥粒の粒度等を最適なものに簡単に設定でき、しかも安価に構成できるようにするとともに、目立て効果や研磨屑の掻き出し効果の高いコンディショニングディスクを提供する。【解決手段】台金２の外周部に、放射方向に延びる複数のスリット溝状凹部６で分断される複数の肉厚の円弧状領域７を形成し、この厚肉の円弧状領域の表面に、耐熱性樹脂中に砥粒を混練りして成膜することで砥粒の一部を外部に露出させた柔軟な研磨シート３を貼着する。この研磨シート３は、予め砥粒の粒度が異なる複数種類を準備しておき、適宜形状に裁断して貼着する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
台金上面の所定箇所に研磨シートが貼着され、この研磨シートは、バインダー樹脂中に砥粒を混練りして成膜することで砥粒の一部を外部に露出させた柔軟なシートであることを特徴とするコンディショニングディスク。
【請求項２】
前記研磨シートは、台金の円周方向に対して所定の間隔で隙間を持たせた状態で貼着されることを特徴とする請求項１に記載のコンディショニングディスク。
【請求項３】
前記台金には、外周側に厚みの厚いリング状の領域が形成され、この厚みの厚い領域は、放射方向に延びる複数本のスリット溝状凹部によって複数個の円弧状領域として分断されとともに、これら円弧状領域に前記研磨シートが貼着されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のコンディショニングディスク。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、例えばウェハー等研磨用の研磨パッド等の研磨具をドレッシングするためのコンディショニングディスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えばウェハー等の被研磨物の表面精度を高めるための研磨においては、被研磨物をキャリヤと呼ばれる保持部材で保持し、微細な砥粒や各種化学成分を含むスラリーを流しながら研磨パッド等の研磨具で押し付け、相対運動させることで表面を研磨するのが一般的であるが、研磨がある程度繰り返されると、研磨具の表面が平滑化して研磨能力が低下するようになる。このため、研磨具の研磨能力が低下すると、定期的にコンディショニングディスクと呼ばれる治具を用いて研磨具の研磨面をドレッシングして目立てするような作業が行われる。
このようなコンディショニングディスクとして、円盤状の台金の表面にダイヤモンド粒子を円環状に電着するような技術（例えば、特許文献１参照。）や、台金の外周側をリング状に盛り上げた領域に砥粒をニッケルメッキ層で電着固定し、メッキ層の上面に撥水性コートを形成するようにした技術（例えば、特許文献２参照。）等が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１２１４１７号広報。
【特許文献２】特開２００８−２２９７７５号広報。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記のような技術は、いずれも砥粒を台金に電着等によって固着しているため、ドレッシング作業が繰り返されて目立て面が磨耗したりすると、ディスク全体を交換等しなければならなくなり、コスト高になるという問題があった。
また、上記技術の場合、台金に固着される砥粒が、円周方向に切れ間なく連続して設けられているため、研磨具の凹部等に入り込んだ研磨屑等の掻き出し効果や、排出効果があまり良くなかった。
さらに、研磨具の種類に対応して、コンディショニングディスクの砥粒にも最適の粒度が存在するため、コンディショニングディスクの粒度を自由に選択できることが好ましいが、電着等のディスクの場合は、適切な粒度のものを選択しようとしても簡易に選択することが難しかった。
一方、従来一般の被研磨物を研磨するための研磨シートとして、ポリエチレンポリフタレート樹脂等に樹脂系接着剤を使用してダイヤモンド砥粒等を接着したような研磨シートが知られているが、接着剤で保持しているため砥粒の保持力が弱くて耐久性に乏しいという問題があった。
【０００５】
そこで本考案は、研磨具の種類等に合わせて、砥粒の粒度等を簡易に設定でき、しかも安価に構成できるようにするとともに、目立て効果や研磨屑の掻き出し効果が高く、しかも耐久性の高いコンディショニングディスクを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため本考案は、台金上面の所定箇所に研磨シートを貼着し、この研磨シートとして、バインダー樹脂中に砥粒を混練りして成膜することで砥粒の一部を外部に露出させた柔軟なシートとした。
【０００７】
このように、台金上面の所定箇所に研磨シートを貼着するようにすることで、極めて簡単且つ安価に構成でき、しかも、研磨シートとして、粒度の異なるタイプのものを複数種類準備しておけば、研磨具の種類等に合わせて最適の粒度の研磨シートを選択して貼り付けるだけの手順で準備できるため簡便である。
この際、研磨シートとして、バインダー樹脂中に砥粒を混練りして成膜することで砥粒の一部を外部に露出させたものにすることで、砥粒の保持力が高まって耐久性が向上する。
なお、目立て効果が得られなくなった場合には、研磨シートを剥がして、新しいものを貼着すれば、台金は継続して使用できるため安価で且つ簡易である。
【０００８】
また、本考案では、前記研磨シートを、台金の円周方向に対して所定の間隔で隙間を持たせた状態で貼着するようにした。
ここで、台金上に研磨シートを貼着すれば、貼着部分は研磨シートの厚み分だけ厚みが厚くなるが、円周方向に対して所定の間隔で隙間を持たせて貼着すれば、隙間の部分の高さが低くなるような段差が生じて、研磨方向に対して周期的に高さの高い研磨面に摺接するようになり、特に研磨具の凹部等に入り込んだ研磨屑の掻き出し効果等が高まると同時に、掻き出された研磨屑が隙間の部分から排出されるようになって研磨屑の排出効果も高まる。
【０００９】
また本発明では、前記台金として、外周側に厚みの厚いリング状の領域を形成し、前記厚みの厚い領域を、放射方向に延びる複数本のスリット溝状凹部によって複数個の円弧状領域として分断するとともに、これら円弧状領域に前記研磨シートを貼着するようにした。
このような構成により、研磨具から掻き出された研磨屑やドレッシング屑等が厚みの薄い部分（スリット溝状凹部を含む）から一層効果的に排出されるようになる。
【考案の効果】
【００１０】
研磨具の研磨能力を維持するためのコンディショニングディスクとして、バインダー樹脂中に砥粒を混和して分散させた液状物を支持シート表面に被膜形成した研磨シートを、台金上面の所定箇所に貼着することで、極めて簡単且つ安価に構成でき、しかも、研磨パッドの種類等に合わせて最適の粒度の研磨シートを選択して貼り付けることでできるようになる。また、目立て効果が得られなくなった場合には、研磨シートを剥がして、新しいものを貼着すれば、台金は継続して使用できるためランニングコストが安価である。
この際、研磨シートを円周方向に対して隙間を持たせた状態で貼着することで、研磨具の凹部に入り込んだ研磨屑を掻き出す効果や研磨屑の排出効果が高まり、また、台金に厚みの厚い領域と薄い領域を形成し、研磨シートを厚みの厚い領域に貼着することで、研磨屑等の排出効果を一層高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本考案に係るコンディショニングディスクの一例を示す斜視図である。
【図２】研磨シートの構造を説明する説明図である。
【考案を実施するための形態】
【００１２】
本考案の実施の形態について添付した図面に基づき説明する。
本考案に係るコンディショニングディスクは、研磨具をドレッシングするにあたり、研磨具の種類等に合わせて砥粒の粒度を簡単にセットでき、しかも安価に構成できるようにされるとともに、目立て効果や研磨屑の掻き出し効果を高めることができるようにされ、予め形成しておいた研磨シートを台金の所定領域に貼着するだけで形成できるようにされている。
【００１３】
ウェハー等の被研磨物を研磨する際は、キャリヤで保持される被研磨物を定盤に設けられる研磨パッド等の研磨具に押し付け、定盤とキャリヤを相対回転させながら、研磨具と被研磨物の摺接面にコロイダルシリカ等のスラリーを滴下させることで行われており、研磨具の研磨能力が低下したような場合には、研磨具の表面をドレッシングするためのコンディショニングが行われる。
【００１４】
そして、このようなコンディショニングには、従来であれば、台金に電着等によって砥粒を固着したようなコンディショニングディスクが使用されるのが一般的であり、目立て面が磨耗したりすると、ディスク全体を交換等しなければならなくなり、コスト高になるという不具合があることについては前述の通りである。
【００１５】
このため、本コンディショニングディスク１は、図１に示すように、台金２の上部に研磨シート３を貼着するようにされており、極めて簡単な構造で安価に作製できるようにされている。
【００１６】
前記台金２は、例えばステンレス鋼等によって構成され、中心部に貫通孔４を備えるとともに、中心側が座グリ孔部５として厚みの薄い円形状の領域とされ、また、外周側のリング状部分が、放射方向に延びる複数本のスリット溝状凹部６で分断される厚みの厚い円弧状領域７として形成されている。
【００１７】
そして、本実施例では、スリット溝状凹部６は、円周等間隔に５本形成され、このスリット溝状凹部６の厚みは、座グリ孔部５の厚みと同一にされるとともに、厚みの厚い５箇所の円弧状領域７に、円弧状の研磨シート３が貼着されている。
【００１８】
研磨シート３は、図２に示すように、例えば耐摩耗性、耐薬品性等に優れた耐熱性樹脂９にダイヤモンド砥粒８を混練して成膜することで、砥粒８の一部を外部に露出させた柔軟性のあるシートであり、砥粒の粒径としては、１００番（１７０〜２００μｍ）〜１００００番（０〜１μｍ）のうちの任意の粒径のものが準備されている。
【００１９】
そしてこのような研磨シート３は、砥粒８の保持力が極めて強く、シート自体に大きな引っ張り強度や高い弾性率があって強い引き裂き力に耐えることができ、はさみやカッター等で簡単に裁断でき、しかも耐熱性があるため、研磨熱による影響が少ないという特性を有するものである。
【００２０】
以上のようなコンディショニングディスク１において、研磨パッド等の研磨具のドレッシングを行う際は、研磨具の種類等に合わせて目立てに最適な粒度の研磨シート３のコンディショニングディスク１を選定するが、研磨シート３は台金２に貼着するだけであるため、簡単に最適のディスク１を準備することができる。
そして、ドレッシングは、研磨具の研磨面とコンディショニングディスク１の研磨シート３を接触させて相対回転させることで行われる。
【００２１】
この場合、研磨シート３の砥粒は保持力が高いため、砥粒８の脱落が起きにくいため耐久性が高く、ドレッシング能力が低下しても、研磨シート３だけを交換すれば良く、台金２は継続して使用できるため安価で便利である。
【００２２】
また本案では、円弧状の研磨シート３を円周方向に隙間を持たせた状態で貼着するようにしているため、例えば、台金１の表面が平坦な場合であっても、研磨シート３の厚みによって、周期的に高さの高い研磨面が研磨具に摺接するようになり、特に研磨具の凹部等に入り込んだ研磨屑の掻き出し効果等が高まると同時に、掻き出された研磨屑が隙間の部分から排出されるようになって研磨屑の排出効果も高まる。
【００２３】
それに加えて、本実施例では、台金２にスリット溝状凹部６や、座グリ孔部５のような凹部と、円弧状領域７のような凸部が形成されているため、研磨屑等の掻き出し効果や、掻き出された研磨屑等の排出効果は一層高まっている。
なお、本実施例では、台金２の表裏面とも、外周側の円弧状領域７や研磨シート３やスリット溝状凹部６等を設けている。
【００２４】
なお、本考案は以上のような実施形態に限定されるものではない。本考案の実用新案登録請求の範囲に記載した事項と実質的に同一の構成を有し、同一の作用効果を奏するものは本考案の技術的範囲に属する。
例えば、スリット溝状凹部６や円弧状領域７の数等は任意である。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
研磨パッド等のドレッシングを行うコンディショニングディスクを簡単且つ安価に作製することができ、しかも、ドレッシング能力が低下したような場合は、研磨シートだけを交換すればよいため極めて安価である。このため、例えば半導体製造部門等における広い普及が期待される。
【符号の説明】
【００２６】
１…コンディショニングディスク、２…台金、３…研磨シート、６…スリット溝状凹部、７…円弧状領域、８…砥粒。
【図１】
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【図２】
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