【事件の表示】
　特願２００９−　６８９６９「基板の処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年１０月　７日出願公開、特開２０１０−２２５６８７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成２１年３月１９日の出願であって、平成２３年３月１０日に手続補正がなされ、同年６月２８日付けで拒絶理由が通知され、同年８月２９日に意見書が提出され、平成２４年１月２３日付けで拒絶査定がなされ、同年４月２６日に拒絶査定に対する審判請求とともに手続補正がなされ、同年８月２１日付けで審尋がされ、同年１０月２９日に回答書が提出されたものである。
　
２．平成２４年４月２６日付け手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成２４年４月２６日付け手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１が、以下のとおり補正された。
　
（補正前）
「処理槽を有し、この処理槽内を搬送される基板を処理する基板の処理装置であって、
　上記処理槽は、
　上面に第１の基準面が形成された
複数
　この下部フレームの四隅部に下端部が連結されて立設された支柱部材と、
　上記下部フレームとほぼ同じ大きさの矩形状に形成され上記支柱部材の上端部に四隅部が連結されて設けられた上部フレームと、
　上記支柱部材の高さ寸法に対応する間隔で上下方向に離間した上記下部フレームと上記上部フレームとがなす４つの側面に設けられ所定方向に位置する一対の側面の一方に上記基板の搬入口が形成され他方に上記基板の搬出口が形成された側壁部材と、
　上記連結部材の第１の基準面を基準にして取付けられ上記搬入口から内部に搬入された基板を上記搬出口に向かって搬送する搬送ユニットと、
　上記下部フレームの開口部分を閉塞する底部材と、
　上記上部フレームの開口部分を閉塞する天井部材と
　によって構成されていることを特徴とする基板の処理装置。」
　
（補正後）
「処理槽を有し、この処理槽内を搬送される基板を処理する基板の処理装置であって、
　上記処理槽は、
　上面に第１の基準面が
それぞれ
３つ以上
　この下部フレームの四隅部に下端部が連結されて立設された支柱部材と、
　上記下部フレームとほぼ同じ大きさの矩形状に形成され上記支柱部材の上端部に四隅部が連結されて設けられた上部フレームと、
　上記支柱部材の高さ寸法に対応する間隔で上下方向に離間した上記下部フレームと上記上部フレームとがなす４つの側面に設けられ所定方向に位置する一対の側面の一方に上記基板の搬入口が形成され他方に上記基板の搬出口が形成された側壁部材と、
　上記連結部材の第１の基準面を基準にして取付けられ上記搬入口から内部に搬入された基板を上記搬出口に向かって搬送する搬送ユニットと、
　上記下部フレームの開口部分を閉塞する底部材と、
　上記上部フレームの開口部分を閉塞する天井部材と
　によって構成されていることを特徴とする基板の処理装置。」
　
　本件補正は、請求項１に係る発明を特定するために必要な事項である「連結部材」に関して、補正前の「上面に第１の基準面が形成された複数の連結部材」から、「上面に第１の基準面がそれぞれ形成された３つ以上の連結部材」にするものである。
　
　これらが、願書に最初に添付した明細書等（以下「当初明細書」という。）に記載した事項の範囲内であるかについて検討する。
　連結部材について、当初明細書には、以下の記載がある。
「下部フレームに所定間隔で架設されそれぞれの上面に第１の基準面が形成された複数の連結部材」（段落００１４）
「下部フレームに架設された複数の連結部材の上面を第１の基準面とし」（段落００１９）
「この枠体５を構成する上記下部フレーム２は、所定間隔で離間した一対の横部材２ａの中途部及び両端部を３本の中実な角柱状の連結部材９で連結して形成されている。」（段落００２２）
「図５と図６に示すように、上記下部フレーム２の３本の連結部材９のうち、幅方向両端に位置する２本の連結部材９の上面と、中央に位置する連結部材９の上面に設けられた基準板１０の上面はそれぞれ同一平面をなす第１の基準面１８に形成され、３本の連結部材９の下面はそれぞれ同一平面をなす第２の基準面１９に形成されている。」（段落００２９）
「図１に示すように、上記下部フレーム２の３本の連結部材９の間に形成された２つの開口部は、それぞれ底部材２１ａ，２１ｂによって閉塞されている。３本の連結部材９の下面の第２の基準面１９は底部材２１ａ，２１ｂから下方に突出している。」（段落００３１）
「このように構成された処理槽１は、図１に示すように上記連結部材９の第２の基準面１９を基準にして被設置部材としての設置フレーム２６の上面に設置される。３本の連結部材９の第２の基準面１９は同一平面に位置するよう設定されている。」（段落００３５）
「処理槽１内に取り込んだ各ユニット部２９ａ，２９ｂは、下部フレーム２に設けられた３本の連結部材９の上面に形成された第１の基準面１８を基準にして設置する。３本の連結部材９の上面に形成された３つの第１の基準面１８は同一平面をなしている。・・・。
　しかも、上記下部フレーム２に設けられた３本の連結部材９の上面を第１の基準面１８としておくことで、・・・。
　上記下部フレーム２の３本の連結部材９の下面は第２の基準面１９に形成され、・・・。」（段落００５３〜００５５）
　　
　また、当初図面である図１、図３、図４によれば、「連結部材９」が３本であることが看取できる。
　
　これらによれば、当初明細書には、「連結部材９」が「複数」又は「３本」であり、「それぞれ」の上面に第１の基準面１８が形成されるものが記載されている。
　しかしながら、連結部材を３つ「以上」とする点は、記載も示唆もないことから、本件補正は、これにより新たな技術的事項を導入するものであって、当初明細書に記載した事項の範囲内であるとは認められない。
　よって、本件補正は、特許法第１７条の２第３項の規定に適合しないものであり、同法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　なお、請求人は、回答書の（１）において、この点を争ってはいない。
　
　仮に、本件補正が、特許法第１７条の２第３項の規定に適合し、同条第５項の特許請求の範囲の減縮に相当するものであったとしても、以下の理由により、本件補正後の請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により独立して特許を受けることができないから、同条第６項の規定に適合せず、本件補正が却下されるべきものであることに変わりはない。
　本件補正後の請求項１に係る発明は、補正前の請求項１に係る発明を基本としたものであるが、補正前の請求項１に係る発明については、後記のとおり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　そして、補正後の請求項１に係る発明特有の、「それぞれ」の上面に第１の基準面が形成された「３つ以上」の連結部材については、連結部材の数を増やすことで、剛性が高まることは明らかであり、しかも刊行物２の図４に、３本の連結材（２２ａ、２２ｂ、２４ｂ）を有する態様が記載されていることから、この点は必要に応じてなしうる事項にすぎない。
　その際、「それぞれ」の上面が第１の基準面となることは、後記相違点１で検討したとおりである。
　よって、補正後の請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　
３．本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜５に係る発明は、平成２３年３月１０日付けで補正された特許請求の範囲に記載された事項により特定されるとおりであると認められ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記２．（補正前）のとおりである。
　
４．刊行物記載の発明
（１）刊行物１
　原査定の拒絶の理由に引用された特開２００６−９３３３９号公報（以下「刊行物１」という。）には、図面とともに、以下の記載がある。
　
ア．段落０００１
「【０００１】
　この発明は処理槽内を搬送される基板をたとえば薬液などの処理液で処理する基板の処理装置に関する。」
　
イ．段落０００８〜００１０
「【０００８】
　この発明は、処理槽が大型化しても、板材を厚くすることなく剛性を備えることができるようにした基板の処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
　この発明は、基板を処理するための処理装置であって、
　板材によって上面が開口した箱型状に形成され一側面に上記基板の搬入口、他側面に搬出口が形成された処理槽と、
　上記処理槽の上部の外周面に沿って一体的に設けられこの処理槽を形成する板材を補強する補強フレームと、
　この補強フレームに取り付けられ上記処理槽の上面開口を開閉する蓋部材と
　を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
【００１０】
　上記処理槽は平面形状が矩形状であって、上記補強フレームは、上記処理槽の外周面の角部に設けられる４本の角筒状の支柱部材と、上記処理槽の４つの外面の上部に設けられ両端部が各角部に位置する上記支柱部材に連結されて上記処理槽と対応する矩形枠状をなした４本の角筒状の横部材とによって構成されていることが好ましい。」
　
ウ．段落００１５〜００１６
「【００１５】
　つまり、処理槽１は、図３に示す基板Ｗの搬送方向に位置する第１の側板１ａと第２の側板１ｂ、これら側板１ａ，１ｂと交差する方向に位置する前板１ｃと後板１ｄ及び底板１ｅとによって上述した箱型状に形成されている。
【００１６】
　上記処理槽１の第１の側板１ａと第２の側板１ｂとには、それぞれスリット状の搬入口２と搬出口３とが上記基板Ｗの搬送方向と交差する前後方向に対して所定の角度で傾斜して形成されている。この実施の形態では上記搬入口２と搬出口３は処理槽１の後方から前方に向かって低く傾斜して形成されている。」
　
エ．段落００２８
「【００２８】
　上記吸引ダクト１１の内面には、処理槽１の幅方向中央に前後方向に沿って断面Ｕ字状の支持部材１５が架設されている。上記処理槽１の第１の側板１ａと第２の側板１ｂとの外面に設けられた上記補強フレーム７の一対の横部材９の上面にはそれぞれ蓋部材１６が一端部をヒンジ１７によって回動可能に連結されている。」
　
オ．段落００３１
「【００３１】
　図３に示すように、上記処理槽１内には、搬送ローラ２１が軸方向に所定間隔で設けられた搬送軸２２が処理槽１の前後方向に沿って設けられている。この搬送軸２２は、上記搬入口２及び搬出口の傾斜角度に対応する角度で傾斜して回転可能に支持されている。各搬送軸２２は図示しない駆動機構によって回転駆動される。」
　
カ．段落００３３
「【００３３】
　このように構成された処理装置によれば、処理槽１を単体では高い剛性を得ることができない厚さの合成樹脂製の板材によって形成しても、この処理槽１は補強フレーム７によって補強されている。つまり、第１、第２の側板１ａ，１ｂ、前板１ｃ及び後板１ｄの外面の上部外面に、４本の支柱部材８によって矩形枠状に連結された横部材９をそれぞれ固定するようにした。」
　
キ．図１、図２、図４
　４本の支柱部材８の上端部に、横部材９が連結されて矩形状のフレームが形成されている。
　
　これらをもとに、技術常識を考慮して、本願発明に照らして整理すると、刊行物１には、以下の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されている。
「処理槽１を有し、この処理槽１内を搬送される基板Ｗを処理する基板の処理装置であって、
　上記処理槽１は、
　四隅部に立設された支柱部材８と、
　矩形状に形成され上記支柱部材８の上端部に四隅部が連結されて設けられたフレームと、
　４つの側面に設けられ、基板Ｗの搬送方向に位置する第１の側板１ａに上記基板の搬入口２が形成され第２の側板１ｂに上記基板の搬出口３が形成された、第１、第２の側板１ａ，１ｂ、前板１ｃ及び後板１ｄと、
　上記搬入口２から内部に搬入された基板Ｗを上記搬出口３に向かって搬送する搬送ローラ２１と、
　上記処理槽１の底部を閉塞する底板１ｅと、
　上記フレームの開口部分を閉塞する蓋部材１６と
　によって構成されている基板の処理装置。」
　
（２）刊行物２
　同じく特開２００８−６０６１４号公報（以下「刊行物２」という。）には、図面とともに、以下の記載がある。
　
ア．段落０００１
「【０００１】
　本発明は、基板が搭載される基台上を一軸方向に移動するガントリ部を有するステージ装置に関する。」
　
イ．段落０００６〜０００８
「【０００６】
　このステージ装置では、基台が上部フレームと下部フレームとを有し、これを連結材で連結して、いわゆるボックス構造としているため、缶材により構成されて軽量化が図られているにも拘らず、剛性が高められている。・・・。
【０００７】
  ・・・。
【０００８】
　前記上部フレームは外形が矩形状であり、前記下部フレームは前記上部フレームの外形に沿い四隅が窪んだ矩形状であり、前記架台は前記上部フレームの外形に沿う矩形状の枠体と、前記下部フレームの四隅の窪みを通して前記上部フレームの四隅を下方から支持する支柱とを有し、・・・。」
　
ウ．図１４
　下部フレーム１２２上に連結材１１８が立設されている。
　
　これらを技術常識を踏まえ整理すると、刊行物２には、以下の事項（以下「刊行物２事項」という。）が記載されている。
「基板についてのステージ装置であり、矩形状の上部フレームと、前記上部フレームの外形に沿い矩形状の下部フレームとを有し、下部フレームの四隅を連結材で連結して、いわゆるボックス構造とすることで、剛性を高めたもの。」
　
４．対比
　本願発明と刊行物１発明とを対比する。
　刊行物１発明の「フレーム」は、本願発明の「上部フレーム」に相当し、同様に、「基板Ｗの搬送方向に位置する第１の側板１ａに上記基板の搬入口２が形成され第２の側板１ｂに上記基板の搬出口３が形成された、第１、第２の側板１ａ，１ｂ、前板１ｃ及び後板１ｄ」は「所定方向に位置する一対の側面の一方に上記基板の搬入口が形成され他方に上記基板の搬出口が形成された側壁部材」に、「搬送ローラ２１」は「搬送ユニット」に、「底板１ｅ」は「底部材」に、「蓋部材１６」は「天井部材」に、それぞれ相当する。
　また、刊行物１発明の「処理槽１の底部」と本願発明の「下部フレームの開口部分」は、「処理槽の底部」である限りにおいて一致する。
　
　したがって、両者は、以下の点で一致する。
「処理槽を有し、この処理槽内を搬送される基板を処理する基板の処理装置であって、
　上記処理槽は、
　四隅部に立設された支柱部材と、
　矩形状に形成され上記支柱部材の上端部に四隅部が連結されて設けられた上部フレームと、
　４つの側面に設けられ所定方向に位置する一対の側面の一方に上記基板の搬入口が形成され他方に上記基板の搬出口が形成された側壁部材と、
　上記搬入口から内部に搬入された基板を上記搬出口に向かって搬送する搬送ユニットと、
　上記処理槽の底部を閉塞する底部材と、
　上記上部フレームの開口部分を閉塞する天井部材と
　によって構成されている基板の処理装置。」
　
　そして、以下の点で相違する。
　相違点１：本願発明は、「上面に第１の基準面が形成された複数の連結部材を有し、これら連結部材が所定間隔で架設された矩形状の下部フレーム」を有し、「下部フレームの四隅部」に支柱部材の「下端部が連結されて」おり、上部フレームが「下部フレームとほぼ同じ大きさ」であり、４つの側面が「支柱部材の高さ寸法に対応する間隔で上下方向に離間した上記下部フレームと上記上部フレーム」とからなるものであり、底部材は「下部フレームの開口部分」を閉塞するものであるが、刊行物１発明は下部フレームを有しない点。
　相違点２：「搬送ユニット」について、本願発明は、「連結部材の第１の基準面を基準にして取付けられ」るが、刊行物１発明は、明らかでない点。
　
５．判断
　相違点１について検討する。
　刊行物２事項は、上記のとおりであり、刊行物１発明と同様、基板処理装置に関するものであり、剛性を高めたものである。
　刊行物１発明においても、剛性の向上は望ましいことであるから、刊行物２事項の「矩形状の上部フレームと、前記上部フレームの外形に沿い矩形状の下部フレームとを有し、下部フレームの四隅を連結材で連結するボックス構造」を適用することは、必要に応じてなしうる事項である。
　その際、刊行物２の図１４にみられる態様を採用すると、下部フレーム上に、連結材（本願発明の「支柱」）を設けることから、下部フレームの上面が「第１の基準面」となることは明らかである。
　また、刊行物２事項は、剛性向上のために適用するのであるから、下部フレームの高さ方向の位置は、側面の下部とすることが自然であり、結果として、４つの側面が「支柱部材の高さ寸法に対応する間隔で上下方向に離間した上記下部フレームと上記上部フレーム」とから形成されることとなる。
　よって、刊行物１発明において、下部フレームを設け、相違点１に係るものとすることに、困難性は認められない。
　
　相違点２について検討する。
　部材を精度良く取り付けるために、「基準面」を利用することは、特開２０００−３５１２１１号公報の請求項１、特開２０００−１５７０５３号公報の段落００６８、特開２００１−１２４６５号公報の要約、特開２００２−１４５４６４号公報の段落００３５、特開平７−１２４８３１号公報の要約にみられるごとく、分野を問わず、ごく一般的な周知技術である。
　そして、相違点１において検討したように、下部フレームの上面は、連結材（本願発明の「支柱」）を設けるために必要な精度を有しており、しかも、「搬送ユニット」との位置関係が問題となる搬入口、搬出口の近傍に存することから、連結部材の上面、すなわち第１の基準面を、「搬送ユニット」を取り付けるための「基準面」とすることに困難性は認められない。
　請求人は、回答書で、公知例が示されていない旨主張するが、上記のとおり、周知技術の適用にすぎない程度のものと解されるから、公知例を示すまでもない。
　
　また、かかる相違点を総合勘案しても、格別の効果が生じるとは認められない。
　
６．結論
　本願発明は、刊行物１発明、刊行物２事項、及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明を検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。