(57)【要約】【課題】複数の無塵室の状態を監視する無塵室中のファン・フィルタ・ユニットシステムを有するネットワーク専用の環境条件多点監視システムを提供する。【解決手段】無塵室中のファン・フィルタ・ユニットシステムを有するネットワーク専用の環境条件多点監視システムの複数組のファン・フィルタ・ユニットＵ，Ｕ’は、複数の無塵室内に設置されるとともに、接続線Ｐを介して互いに直列接続される上、複数の環境モニタＭにも接続され、ゲートウェイＧＷを介してコンピュータＰＣと通信する。ファン・フィルタ・ユニットＵ，Ｕ’の監視ネットワークシステムは、ＭＯＤＢＵＳ  ＴＣＰ／ＩＰ及びＭＯＤＢＵＳ  ＲＴＵネットワークアーキテクチャ中に構築されるとともに、ファン・フィルタ・ユニットＵ，Ｕ’の末端又はファン・フィルタ・ユニットＵ，Ｕ’間の任意の空間に設置されて多点監視を行う。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
複数組のファン・フィルタ・ユニットは、複数の無塵室内に設置されるとともに、接続線を介して互いに直列接続される上、複数の環境モニタにも接続され、ゲートウェイを介してコンピュータと通信し、
前記ファン・フィルタ・ユニットの監視ネットワークシステムは、ＭＯＤＢＵＳ  ＴＣＰ／ＩＰ及びＭＯＤＢＵＳ  ＲＴＵネットワークアーキテクチャ中に構築されるとともに、前記ファン・フィルタ・ユニットの末端又は前記ファン・フィルタ・ユニット間の任意の空間に設置されて多点監視を行う上、同時期にビッグデータの収率を分析し、前記複数の無塵室内に設置された前記ファン・フィルタ・ユニットがネットワークを有し、プラグアンドプレイの機能を有することを特徴とする無塵室中のファン・フィルタ・ユニットシステムを有するネットワーク専用の環境条件多点監視システム。
【請求項２】
前記複数の環境モニタには、プラグが取り付けられ、プラグアンドプレイの機能を有することを特徴とする請求項１に記載の無塵室中のファン・フィルタ・ユニットシステムを有するネットワーク専用の環境条件多点監視システム。
【請求項３】
前記コンピュータにインストールされたグラフィック・コントロール・ソフトウェア又は前記コンピュータが有するヒューマン・マシン・インターフェイスにより監視を行うことを特徴とする請求項１に記載の無塵室中のファン・フィルタ・ユニットシステムを有するネットワーク専用の環境条件多点監視システム。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、無塵室中のファン・フィルタ・ユニット（Ｆａｎ  Ｆｉｌｔｅｒ  Ｕｎｉｔ：ＦＦＵ）システムを有するネットワーク専用の環境条件多点監視システムに関し、特に、複数組のファン・フィルタ・ユニットは、複数の無塵室内に設置されるとともに、接続線を介して互いに接続される上、複数の環境モニタにも接続され、複数の無塵室の状態を監視する無塵室中のファン・フィルタ・ユニットシステムを有するネットワーク専用の環境条件多点監視システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の無塵室中に取り付けるファン・フィルタ・ユニットには、独立したネットワークシステムが採用されていたため、独立したネットワークシステムを構築するコストが別途必要である上、独立したシステムに必要な部品は一般的でないため、メンテナンスが容易でなく、任意に増減したり変更して組み合わせたりすることは容易でなく、生産環境の必要に応じて取付け箇所を変更することができないという欠点があった。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
本考案の主な目的は、複数組のファン・フィルタ・ユニットが、無塵室内に設置されるとともに、接続線を介して互いに直列接続される上、複数の環境モニタにも接続され、ゲートウェイ（ｇａｔｅｗａｙ）を介してコンピュータと通信して監視を行い、ファン・フィルタ・ユニットシステムの監視システムは、ＭＯＤＢＵＳ  ＴＣＰ／ＩＰ及びＭＯＤＢＵＳ  ＲＴＵネットワークアーキテクチャ中に構築されるとともに、複数の無塵室領域を監視し、監視データをゲートウェイからコンピュータへ送信し、コンピュータにインストールされたグラフィック・コントロール・ソフトウェア（Ｇｒａｐｈｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｓｏｆｔｗａｒｅ）又はコンピュータが有するヒューマン・マシン・インターフェイス（Ｈｕｍａｎ  Ｍａｃｈｉｎｅ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ：ＨＭＩ）により監視を行い、圧差、風量、温度、湿度、振動、気体などを検出・監視して表示する、無塵室中のファン・フィルタ・ユニットシステムを有するネットワーク専用の環境条件多点監視システムを提供することにある。
【考案の効果】
【０００４】
本考案の無塵室中のファン・フィルタ・ユニットシステムを有するネットワーク専用の環境条件多点監視システムは、以下（１）〜（５）の効果を有する。
（１）新たなネットワークシステムを構築する必要がないため、工費が安い。
（２）市販の共通工業規格の部品が使用されているため、メンテナンスが非常に容易である。
（３）使用するセンサ素子を任意に増減したり、変更して組み合わせたりすることができる。
（４）生産環境の必要に応じて取付け箇所を任意に変更することができる。
（５）ファン・フィルタ・ユニットがネットワークを有するため、プラグアンドプレイの機能を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
【図１】図１は、本考案の一実施形態に係る無塵室中のファン・フィルタ・ユニットを組立てた状態の説明図である。
【図２】図２は、本考案の一実施形態に係るファン・フィルタ・ユニットを組立てた状態の説明図である。
【図３】図３は、本考案の一実施形態に係るネットワーク専用の環境条件多点監視のファン・フィルタ・ユニットシステムを示す実施例図である。
【考案を実施するための形態】
【０００６】
以下、本考案の実施形態について図に基づいて説明する。なお、これによって本考案が限定されるものではない。
【０００７】
図１〜図３を参照する。図１〜図３に示すように、本考案の一実施形態に係る無塵室中のファン・フィルタ・ユニットシステムを有するネットワーク専用の環境条件多点監視システム１’は、複数組のファン・フィルタ・ユニット（Ｆａｎ  Ｆｉｌｔｅｒ  Ｕｎｉｔ：ＦＦＵ）Ｕ，Ｕ’を含む。複数組のファン・フィルタ・ユニットＵ，Ｕ’は、複数の無塵室Ａ，Ｂ内に設置される。無塵室ＣＲの外部上方には、排気ファンＥ１が設置される。無塵室ＣＲの内部上方には、複数組のファン・フィルタ・ユニットＵ，Ｕ’を互いに接続する接続線Ｐが設けられる。無塵室ＣＲの底部には、排気ファンＥ２に接続された複数の移動可能なガス装置Ｇ１，Ｇ２が設置される。排気ファンＥ２には、ダンパＤ１が接続される。ダンパＤ１の横には、ＣＯ２円筒室Ｃ１が設置される。複数組のファン・フィルタ・ユニットＵ，Ｕ’は、接続線Ｐを介して互いに直列接続される上、複数の環境モニタＭ，Ｍ’にも接続され、環境モニタＭ，Ｍ’にはプラグＭ１，Ｍ’１が設けられ、ゲートウェイ（ｇａｔｅｗａｙ）ＧＷを介してコンピュータＰＣと通信し、コンピュータにインストールされたグラフィック・コントロール・ソフトウェア（Ｇｒａｐｈｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｓｏｆｔｗａｒｅ）又はコンピュータＰＣが有するヒューマン・マシン・インターフェイス（Ｈｕｍａｎ  Ｍａｃｈｉｎｅ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ：ＨＭＩ）により監視を行う。無塵室中のファン・フィルタ・ユニットシステムを有するネットワーク専用の環境条件多点監視システム１’は、ＭＯＤＢＵＳ  ＴＣＰ／ＩＰ及びＭＯＤＢＵＳ  ＲＴＵネットワークアーキテクチャ中に構築される。図３に示すように、無塵室Ａ，Ｂ内で、接続線Ｐを介してファン・フィルタ・ユニットＵ１，Ｕ’１が互いに直列接続される上、環境モニタＭ，Ｍ’にも接続される。複数の環境モニタＭ，Ｍ’は、ファン・フィルタ・ユニットＵ１，Ｕ’１の末端又はファン・フィルタ・ユニットＵ１，Ｕ’１間の任意の空間に設置されて多点監視を行う上、同時期にビッグデータの収率を分析し、複数の無塵室領域内に設置されたファン・フィルタ・ユニットＵ１，Ｕ’１がネットワークを有するため、プラグアンドプレイ（Ｐｌｕｇ  ａｎｄ  Ｐｌａｙ：ＰｎＰ）の機能を有する。
【０００８】
当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本考案の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本考案を限定するものではない。本考案の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本考案の実用新案登録請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【符号の説明】
【０００９】
１’  無塵室中のファン・フィルタ・ユニットシステムを有するネットワーク専用の環境条件多点監視システム
Ａ    無塵室
Ｂ    無塵室
ＣＲ  無塵室
Ｃ１  ＣＯ２円筒室
Ｄ１  ダンパ（ｄａｍｐｅｒ）
Ｅ１  排気ファン
Ｅ２  排気ファン
Ｇ１  移動可能なガス装置
Ｇ２  移動可能なガス装置
Ｍ    環境モニタ
Ｍ’  環境モニタ
Ｍ１  プラグ
Ｍ’１  プラグ
ＧＷ  ゲートウェイ
Ｐ    接続線
ＰＣ  コンピュータ
Ｕ    複数組のファン・フィルタ・ユニット
Ｕ’  複数組のファン・フィルタ・ユニット
Ｕ１  ファン・フィルタ・ユニット
Ｕ’１  ファン・フィルタ・ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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