(57)【要約】部品を検査する検査用ソケットと、検査前の部品を待機させるトレイ配置領域１３０ｄと、検査後の部品を収納するトレイ配置領域１３０ａ，１３０ｂと、部品を吸着可能な吸着ノズルをもち、この吸着ノズルにより部品を吸着した状態で搬送する部品搬送機構１６０ａ，１６０ｂと、搬送中の部品を撮像可能な部品位置確認カメラ１５１ａと、トレイ配置領域１３０ｄから検査用ソケットへの部品の搬送途中に吸着ノズルによる部品の吸着状態を撮像すべく部品位置確認カメラ１５１ａによる撮像位置を経由してから検査用ソケットに部品を搬送するとともに、その撮像結果に基づいて検査用ソケット１５２ａに部品をセットすべく部品搬送装置１６０ａ，１６０ｂを駆動制御する制御部とを備えている。
2003075027.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を検査する検査部と、
検査前の部品を待機させる部品待機部と、
検査後の部品を収納する部品収納部と、
部品を吸着可能な吸着ノズルをもち、この吸着ノズルにより部品を吸着した状態で前記部品待機部又は部品収納部と前記検査部との間で部品を搬送する部品搬送手段と、
この部品搬送手段による搬送中の部品を撮像可能な撮像手段と、
前記部品待機部から前記検査部への部品の搬送途中に前記吸着ノズルによる部品の吸着状態を撮像すべく前記撮像手段による撮像位置を経由してから前記検査部に部品を搬送するとともに、その撮像結果に基づいて前記検査部に部品をセットすべく前記部品搬送手段を駆動制御する制御手段と
を備えていることを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電子部品検査装置において、
前記吸着ノズルの可動領域内に前記検査部、部品待機部、部品収納部および撮像手段が一列に配置されている
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の電子部品検査装置において、
前記部品搬送手段は、前記検査部、部品待機部、部品収納部および撮像手段の配列方向に延びる軌道を有し、この軌道に沿って前記吸着ノズルを移動させる
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載の電子部品検査装置において、
前記部品搬送手段は、前記検査部、部品待機部、部品収納部および撮像手段を挟んで互いに平行に延びる一対の前記軌道を有するとともに、これら軌道に沿ってそれぞれ移動する一対の吸着ノズルを有している
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項５】
請求項３に記載の電子部品検査装置において、
前記部品待機部、部品収納部および撮像手段として二組の部品待機部、部品収納部および撮像手段が設けられ、これら二組の部品待機部、部品収納部および撮像手段が共通の前記検査部を挟んで一列に配列され、さらに前記部品搬送手段は、共通の前記軌道に沿って前記各組にそれぞれ対応する部分を移動する一対の前記吸着ノズルを有している
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項６】
請求項３に記載の電子部品検査装置において、
前記部品待機部、部品収納部および撮像手段として二組の部品待機部、部品収納部および撮像手段が設けられ、これら二組の部品待機部、部品収納部および撮像手段が共通の前記検査部を挟んで一列に配列され、
前記部品搬送手段は、前記検査部と前記二組の部品待機部、部品収納部および撮像手段を挟んで互いに平行に延びる一対の前記軌道を有し、さらに各軌道毎に、前記各組にそれぞれ対応する部分を移動する一対の前記吸着ノズルを有している
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項７】
部品を検査する検査部と、
検査前の部品を待機させる部品待機部と、
検査後の部品を収納する部品収納部と、
部品を吸着可能な吸着ノズルをもち、この吸着ノズルにより部品を吸着した状態で前記部品待機部又は部品収納部と前記検査部との間で部品を搬送する部品搬送手段とを備えた電子部品検査装置であって、
前記吸着ノズルの可動領域内に前記検査部、部品待機部および部品収納部が一列に配置されている
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項８】
請求項７に記載の電子部品検査装置において、
前記部品搬送手段は、前記検査部、部品待機部および部品収納部の配列方向に延びる軌道を有し、この軌道に沿って前記吸着ノズルを移動させる
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項９】
請求項８に記載の電子部品検査装置において、
前記部品搬送手段は、前記検査部、部品待機部および部品収納部を挟んで互いに平行に延びる一対の前記軌道を有するとともに、これら軌道に沿ってそれぞれ移動する一対の吸着ノズルを有している
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の電子部品検査装置において、
前記部品待機部および部品収納部として二組の部品待機部および部品収納部が設けられ、これら二組の部品待機部および部品収納部が共通の前記検査部を挟んで一列に配列され、さらに前記部品搬送手段は、共通の前記軌道に沿って前記各組にそれぞれ対応する部分を移動する一対の前記吸着ノズルを有している
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１１】
請求項８に記載の電子部品検査装置において、
前記部品待機部および部品収納部として二組の部品待機部および部品収納部が設けられ、これら二組の部品待機部および部品収納部が共通の前記検査部を挟んで一列に配列され、
前記部品搬送手段は、前記検査部と前記二組の部品待機部および部品収納部を挟んで互いに平行に延びる一対の前記軌道を有し、さらに各軌道毎に、前記各組にそれぞれ対応ずる部分を移動する一対の前記吸着ノズルを有している
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１２】
請求項４、５、６、９、１０および１１の何れかに記載の電子部品検査装置において、
前記軌道に沿って移動する吸着ノズル同士の間隔が所定間隔以下となる接近状態に達したことを検知する検知手段と、
この検知手段による前記接近状態の検知に基づいて吸着ノズル同士の衝突を回避すべく前記部品搬送手段を駆動制御する衝突回避制御手段とを備えている
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の電子部品検査装置において、
共通の前記軌道に沿って一対の吸着ノズルが移動するものであって、
前記衝突回避制御手段は、前記検知手段による前記接近状態の検知に基づいて一対の吸着ノズルのうち少なくとも一方側の吸着ノズルを逆方向に移動させる
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１４】
請求項１２に記載の電子部品検査装置において、
一対の前記軌道に沿ってそれぞれ吸着ノズルが移動するものであって、
前記部品搬送手段は、前記吸着ノズルのうち少なくとも一方側の吸着ノズルが前記軌道の方向以外の方向へ移動可能に構成され、
前記衝突回避制御手段は、前記検知手段による前記接近状態の検知に基づいて吸着ノズルを前記軌道の方向以外の方向へ移動させる
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１５】
請求項１乃至１４の何れかに記載の電子部品検査装置において、
前記部品待機部および部品収納部の少なくとも一方は、部品を容器に収納した状態で保持する構成とされている
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の電子部品検査装置において、
前記部品待機部に検査前の部品を収納した前記容器が載置される一方、
前記部品収納部に検査後の部品のうち合格部品を収納する前記容器と不合格部品を収納する容器とが載置され、
これら各容器が前記軌道に沿って一列に配列されている
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１７】
請求項１５又は１６に記載の電子部品検査装置において、
前記容器を水平面上で前記吸着ノズルの移動方向以外の方向に移動させる容器移動手段を備えている
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の電子部品検査装置において、
前記容器移動手段は、前記吸着ノズルの移動方向と直交する方向に前記容器を移動させる
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１９】
請求項１７又は１８に記載の電子部品検査装置において、
前記部品待機部に検査前の部品を収納した前記容器が載置される一方、
前記部品収納部に検査後の部品のうち合格部品を収納する前記容器と不合格部品を収納する容器とが載置されるものであって、
前記容器移動手段は、前記各部の各容器を独立して移動させる
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項２０】
請求項１５乃至１９に記載の電子部品検査装置において、
前記部品待機部又は部品収納部に対して前記容器を出し入れ可能な容器収納部と、
前記部品待機部又は部品収納部と容器収納部との間で容器を搬送する容器搬送手段とを備えている
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項２１】
請求項２０に記載の電子部品検査装置において、
前記部品待機部および部品収納部に対してそれぞれ前記容器収納部が設けられ、これら容器収納部が対応する部品待機部又は部品収納部に並べられた状態で、かつ前記軌道に沿って一列に配列されている
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項２２】
請求項２０又は２１に記載の電子部品検査装置において、
前記容器移動手段を有するものであって、この容器移動手段が前記容器収納部の容器を出し入れ可能に構成されることにより、容器搬送手段の機能を兼ね備えている、
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項２３】
請求項１５乃至２２の何れかに記載の電子部品検査装置において、
前記部品搬送手段は、前記軌道に沿って前記容器を搬送可能に構成されていることを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項２４】
請求項１乃至１４の何れかに記載の電子部品検査装置において、
前記部品待機部は、前記部品であるチップ部品がダイシングされた状態のウエハを待機させるように構成されている
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項２５】
請求項１乃至１４の何れかに記載の電子部品検査装置において、
前記部品待機部は、前記部品であるチップ部品を単体で載置するように構成され、
前記部品待機部の側方に、チップ部品がダイシングされた状態のウエハを載置するウエハ載置部とこのウエハ載置部から前記部品待機部にチップ部品を取出すチップ部品取出手段とが設けられ、
このチップ部品取出手段は、前記ウエハからそのままチップ部品を持ち上げたフェイスアップ姿勢で該チップ部品を保持する状態とこの状態からチップ部品を反転させたフェイスダウン姿勢でチップ部品を保持する状態とに切換え可能に構成され、
前記部品搬送手段は、前記部品待機部においてフェイスアップ姿勢で載置されるチップ部品又は前記チップ部品取出手段によりフェイスダウン姿勢で保持されているチップ部品を前記吸着ノズルにより吸着して前記検査部に搬送する
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項２６】
請求項２４又は２５に記載の電子部品検査装置において、
前記部品待機部は、さらに複数の部品を容器に収納した状態で待機させるように構成され、チップ部品がダイシングされた状態のウエハ又はチップ部品を待機させる位置と部品を容器に収納した状態で待機させる位置とが前記軌道に沿って一列に配列されている
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項２７】
請求項１乃至１４の何れかに記載の電子部品検査装置において、
前記部品収納部に、部品収納用の多数の凹部を一列に備えたテープの前記凹部に検査後の部品を収納しながら部品収納後の前記凹部の開口をカバーテープで閉塞する部品収納テープの製造装置が組み込まれ、
前記部品搬送手段は、前記テープの凹部に検査後の部品を収納する
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、パッケージＩＣ等のパッケージ部品やウエハからダイシングされたベアチップ等の電子部品に各種検査を施す電子部品検査装置に関するものである。
背景技術
半導体デバイス等の電子部品の製造課程においては、最終的に製造されたＩＣ等の電子部品に対して各種検査を施す必要があり、例えば、特開平１０−１４８５０７（先行技術）に開示されるようなデバイス検査装置（電子部品検査装置）が知られている。
この検査装置は、アンローダ部、ローダ部、空トレイ部、加熱部、２つのソート部、ＩＣソケット、デバイス搬送機構等を備えている。第１のソート部、アンローダ部、ローダ部、空トレイ部がＸ軸方向に並んだ状態で配置され、これらからＹ軸方向に離間してＩＣソケット（検査部）が配置され、さらに第２のソート部、および加熱部が第１のソート部等からＹ軸方向に離間して並んだ状態で配置されている。
そして、ローダ上のデバイスをデバイス搬送機構（以下、部品搬送手段という）の吸着パッド（以下、吸着ノズルという）により加熱部に搬送し、さらに加熱されたデバイス（以下、部品という）をＩＣソケットに搬送して検査を行い、検査が終了したデバイスのうち合格品はアンローダ部に、不合格品は第１または第２のソート部にそれぞれデバイス搬送機構により搬送するように構成されている。
この種の検査装置では、検査部に対して予め定められた方向で正確に部品を位置決めした状態で検査を行うことが部品検査を確実、かつ正確に行う上で重要であり、この点、先行技術の装置では、部品搬送手段に搭載したＣＣＤカメラによりローダ上の検査前部品を撮像してその位置等を画像認識し、吸着ノズルによる吸着位置を予め補正してから該部品を吸着して搬送するように構成されている。
しかしながら、吸着ノズルによる部品吸着時に吸着ずれが生じたり、あるいは搬送途中の振動等により吸着ずれが生じる場合もある。そのため、先行技術の装置は、部品を検査部に対して精度良く位置決めできるものとはいえず、この点を改善することが望まれている。なお、上記先行技術の構成において、検査部へ部品をセットする直前に一旦部品を載置し、その部品をＣＣＤカメラにより画像認識して吸着し直してから検査部へセットすることも考えられる。しかし、この場合でも、画像認識後の部品の吸着時に吸着ずれが生じる虞れがあり完全とは言えず、また、部品を吸着し直す分、時間が余計にかかる。そのため、検査を効率良く、かつ精度良く行う上で得策とは言えない。
また、先行技術の装置では、ローダ部等からＹ軸方向に変位した位置にソート部や検査部を配置しているため、部品搬送手段は部品をローダ部から検査部へ、又検査部からアンローダ部あるいはソート部（特に加熱部側）へ部品を搬送する際にＸ軸方向に加えてＹ軸方向へも大きく吸着ノズルを移動させる必要があり、そのため、装置がＹ軸方向に大きくなり易く、装置の小型化を図る上でのマイナス要素となっている。また、Ｘ軸、Ｙ軸方向の双方に吸着ノズルを大きく移動させるため、例えば制御的に搬送速度を高めるのが難しく、検査を効率良く行う上でもマイナス要素となっている。
発明の開示
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、電子部品検査装置において、部品の検査を効率良く、かつ精度良く行うとともに、装置の小型化を図ることを目的としている。
そして、この目的を達成するために、本発明の電子部品検査装置は、部品を検査する検査部と、検査前の部品を待機させる部品待機部と、検査後の部品を収納する部品収納部と、部品を吸着可能な吸着ノズルをもち、この吸着ノズルにより部品を吸着した状態で部品待機部又は部品収納部と前記検査部との間で部品を搬送する部品搬送手段と、この部品搬送手段による搬送中の部品を撮像可能な撮像手段と、前記部品待機部から前記検査部への部品の搬送途中に前記吸着ノズルによる部品の吸着状態を撮像すべく前記撮像手段による撮像位置を経由してから前記検査部に部品を搬送するとともに、その撮像結果に基づいて前記検査部に部品をセットすべく前記部品搬送手段を駆動制御する制御手段とを備えていることを特徴とするものである。
また、本発明の別の電子部品検査装置は、部品を検査する検査部と、検査前の部品を待機させる部品待機部と、検査後の部品を収納する部品収納部と、部品を吸着可能な吸着ノズルをもち、この吸着ノズルにより部品を吸着した状態で前記部品待機部又は部品収納部と前記検査部との間で部品を搬送する部品搬送手段とを備えた電子部品検査装置であって、前記吸着ノズルの可動領域内に前記検査部、部品待機部および部品収納部が一列に配置されていることを特徴とするものである。
発明を実施するための最良の形態
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の第１の実施形態に係る電子部品検査装置１Ａを表す斜視図である。また、図２〜４それぞれは電子部品検査装置１Ａを図１のＺ、Ｘ、Ｙ軸方向それから見た状態を表す上面図、側面図、および正面図である。
電子部品検査装置１Ａは、電子部品Ｄの搬送および検査を行う装置であり、図１〜４に示されるように、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニット１００Ａと電子部品Ｄを検査する電子部品検査ユニット２００とを組み合わせて構成されている。
ここで、電子部品検査装置１Ａとは、後述する検査用ソケット１５２ａ、１５３ｂが設置された検査板１５３が取り付けられる前の状態の、あるいは検査板１５３が取り付けられた状態の主に検査対象部品を搬送する電子部品搬送ユニット１００Ａを言う。あるいはさらに、電子部品搬送ユニット１００Ａに加え、検査用ソケット１５２ａ、１５３ｂ及び電子部品搬送ユニット１００Ａの制御部１９０とそれぞれ信号線で連結され、電子部品の検査を実行し、検査結果データを制御部１９０やその他に出力し、あるいは記憶し、さらに表示する電子部品の検査制御に関わる装置である電子部品検査ユニット２００を含む装置を言う。
また、電子部品Ｄは、ＩＣ等半導体デバイスを含む電子部品一般であり、後記トレイとは本発明の容器を指すものである。
（電子部品搬送ユニット１００Ａの構成）
電子部品搬送ユニット１００Ａは、主に基台１１０、２本のＸ軸ロボット１２０（１２０ａ、１２０ｂ）、トレイ配置領域１３０（１３０ａ〜１３０ｄ）、ストッカー配置領域１４０（１４０ａ〜１４ｄ）、検査領域１５０、部品搬送機構１６０（１６０ａ〜１６０ｄ）、Ｘ方向トレイ搬送機構１７０（１７０ａ，１７０ｂ）、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０（１８０ａ〜１８０ｄ）、制御部１９０、およびカバー３００等から構成される。
なお、電子部品検査装置１Ａの上記構成のうちアルファベットの添え字を付しているものについては、特に区別する必要がある場合を除き、以下の説明中（図面中を含む）では除え添え字を省略して説明するものとする。
基台１１０は、上面が略矩形状、底面が略Ｌ字型状をなし、検査領域１５０の下方に略直方体状の空間１１１を有する。この空間１１１には、電子部品搬送ユニット１００Ａとの接続のため電子部品検査ユニット２００が挿入される。空間１１１がＸ，Ｙ軸方向双方の側面で開口していることから、電子部品検査ユニット２００の挿入はＸ、Ｙ軸方向のいずれからでも行える。
Ｘ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂは、詳しく図示していないが、固定磁石で形成されるＸ軸レールと、このＸ軸レールに沿って移動可能とされる移動磁石からなるリニアモータや、サーボモータに連結されるネジ軸と、ネジ軸とＸ軸レールに嵌合し、回り止めされつつＸ軸レールに沿って移動可能とされる移動ナットからなる単軸ロボット等からなり、部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄをＸ軸方向に移動させることにより電子部品Ｄの搬送を行うように構成れている。この実施形態では、２つのＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂを用いることにより、検査効率の向上が図られている。
なお、この実施形態では、これらＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂが本発明の軌道を構成し、これらＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂおよび部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄが本発明の部品搬送手段を構成する。なお、Ｘ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂが上記のようにＸ軸レールを有する場合には、このＸ軸レールを本発明の軌道と見なすこともできる。
（トレイ配置領域１３０の詳細）
トレイ配置領域１３０は、基台１１０上のＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂ間に設定され、トレイＴ１〜Ｔ４をそれぞれ配置する４つの略矩形状の領域（トレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄ）を含んでいる。
詳しくは、図５に示すように、トレイ配置領域１３０は、検査済部品のうち検査に合格した部品を収納するトレイＴ１を配置するトレイ配置領域１３０ａ（本発明の部品収納部）、検査済み部品のうち不合格部品を収納するトレイＴ１を配置するトレイ配置領域１３０ｂ（本発明の部品収納部）、空トレイＴ３を配置するトレイ配置領域１３０ｃ、および未検部品が収納されたトレイＴ４を配置するトレイ配置領域１３０ｄ（本発明の部品待機部）に区分されている。
これらの各トレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄは後述する検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂと共にＸ軸方向に一列に配置されている。これによりトレイＴ１〜Ｔ４がＸ軸方向に一列に並べて配置されることとなり、Ｙ軸方向における省スペース化（電子部品検査装置１Ａの小型化）が達成されている。
そして、後に詳述するように、部品搬送機構１６０によってトレイ配置領域１３０ｄのトレイＴ４から検査領域１５０に電子部品Ｄが搬送されて検査が行われる一方、部品搬送機構１６０によって検査後の電子部品Ｄが検査領域１５０からトレイ配置領域１３０ａ又は１３０ｂに搬送され、その検査結果に応じたトレイＴ１，Ｔ２に収納されるようになっている。また、電子部品Ｄの取出しに伴いトレイ配置領域１３０ｄのトレイＴ４が空になると（空トレイＴ３になると）、この空トレイＴ３がＸ軸方向トレイ搬送機構１７０によってトレイ配置領域１３０ｄからトレイ配置領域１３０ｃに搬送されるようになっている。
トレイ配置領域１３０のＹ軸方向長さは、トレイＴ１〜Ｔ４のＹ軸方向の１辺より大きくその２倍より小さい範囲で適宜に設定することができる。
トレイＴ１〜Ｔ４の具体的な構成についてはこの発明により限定されるものではないが、その上面には電子部品Ｄを区分して載置するための構造（例えば、窪み、突起）が形成されており、図示の例では、縦に１０個、横に５個の電子部品Ｄを収納可能なものをとされている。
なお、トレイＴ１〜Ｔ４については、特に区別する必要がある場合を除き以下の説明では単にトレイＴとして番号を省略する。
（トレイＴの配置）
以下、トレイＴの配置につき、さらに詳しく述べる。
本実施形態では、上記の通り検査済み用トレイＴ１，Ｔ２、空トレイＴ３，未検査品用トレイＴ４の順でトレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄにトレイＴを並べているがこの順序は適宜変更可能である。トレイＴの配置の例として、図６の配置１〜３が考えられる。このうち配置１は本実施形態で既に示した配置である。
図６の配置１〜３では未検査品用トレイＴ４を２つの検査済品用トレイＴ１，Ｔ２よりも検査領域１５０側（同図では右側）に配置している。このように配置することで、未検査の電子部品Ｄの検査済品用トレイＴ１，Ｔ２への混入を防止することができる。すなわち、未検査の電子部品Ｄを検査領域１５０に搬送する際に検査済品用トレイＴ１，Ｔ２上を通過することがないため、仮に部品搬送機構１６０から未検査の電子部品Ｄが落下しても検査済品用トレイＴ１，Ｔ２に混入することがない。
また、図６の配置１のように空トレイＴ３を検査済品用トレイＴ１，Ｔ２と未検査品用トレイＴ４の間に配置することで、未検査品用トレイＴ４の配置領域１３０ｄおよび検査済品用トレイＴ１，Ｔ２の配置領域１３０ａ，１３０ｂと空トレイＴ３の配置領域１３０ｃとの間で空トレイＴ３を速やか移動させることができるというメリットがある。なお、このようなトレイＴ３の移動はＸ方向トレイ搬送機構１７０によって行われる。
なお、部品搬送機構１６０からの電子部品Ｄの脱落の問題がなければ、図６に示した配置で未検査品用トレイＴ４と検査済品用トレイＴ１，Ｔ２の配置を逆にしても差し支えない。そして、このどちらでも電子部品Ｄの搬送距離に変わりはないので、検査速度に相違が出ることがない。
２つの検査済品用トレイＴ１，Ｔ２の内、合格品用トレイＴ１、不合格品用トレイＴ２をどちらに配置するかは、すなわちいずれのトレイＴ１，Ｔ２を検査領域１５０側に配置するかは検査による歩留まりに応じて定めると良い。
通例は歩留まりが５０％以上なので、合格品用トレイＴ１を不合格品用トレイＴ２よりも検査領域１５０に近づけた方が検査速度が向上する。
これに対して、歩留まりが５０％より小さければ、不合格品用トレイＴ２を合格品用トレイＴ１より検査領域１５０に近づけた方が検査速度を高める上で有利である。
このような歩留まりに応じて、合格品用トレイＴ１と不合格品用トレイＴ２の必要量が異なる。通例は、歩留まりが５０％以上なので合格品用トレイＴ１の個数の方が結果的に多くなる。
各トレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄのトレイＴ１〜Ｔ４は、後述するＹ方向トレイ搬送機構１８０によって互いに独立してＹ軸方向に移動され得るようになっており、これにより部品搬送機構１６０をＹ軸方向に（ほとんどあるいは全く）動かすことなく、トレイＴ１〜Ｔ４内の所望の場所で電子部品Ｄを着脱することができるようになっている。即ち、トレイＴに収納された電子部品Ｄの全ての検査が可能であるとともに、検査済み電子部品ＤをトレイＴの全ての収納場所に収納することができるようになっている。これによりトレイＴ全体を効率よく利用することが可能となり、電子部品Ｄの個数に対して用意するトレイＴの個数を少なくすることができる。
また、部品搬送機構１６０による電子部品Ｄの移動とＹ方向トレイ搬送機構１８０によるトレイＴの移動を同時に行うことができる。この結果、検査速度の向上（効率化）がもたらされる。
トレイＴの移動は、未検査品用トレイ上から全ての電子部品Ｄが搬送されたとき、および検査済品用トレイが検査済みの電子部品Ｄで一杯になったときにも行われる。すなわち、空となった未検査用トレイＴ４が空トレイＴ３のトレイ配置領域１３０ｃへ移され、電子部品Ｄが満載された検査済品用トレイＴ１（又はトレイＴ２）がＹ方向トレイ搬送機構１８０で後述するストッカー配置領域１４０へ搬出される。
そしてその後、トレイ配置領域１３０ｃ上の空トレイＴ３が検査済品用のトレイ配置領域１３０ａ（又は１３０ｂ）へ移される。この移動はＸ方向トレイ搬送機構１７０によって行われるが、後述する吸着ヘッド１６５を用いて行っても差し支えない。このようにすると、吸着ヘッド１６５が電子部品Ｄの搬送とトレイＴの搬送の双方を行うこととなり、装置の製作コストを低減できる（Ｘ方向トレイ搬送機構１７０を省略することが可能となる）。
（ストッカー配置領域１４０の詳細）
図５は、トレイ配置領域１３０と後述するストッカー配置領域１４０との対応関係を示している。この図に示すように、ストッカー配置領域１４０は、Ｘ軸ロボット１２０ｂに沿って設けられ、かつ前記各トレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄに対応して４つのストッカー配置領域１４０ａ〜１４０ｄに区分されている。
各ストッカー配置領域１４０ａ〜１４０ｄには、トレイＴを積層した状態で収納可能なストッカー１４１ａ〜１４１ｄが配置されている。具体的には、基台１１０上にＸ軸ロボット１２０ｂに沿って４つの開口部が形成され、これら開口部にストッカー１４１ａ〜１４１ｄがそれぞれ着脱自在に設置されている。
これらストッカー１４１（ストッカー１４１ａ〜１４１ｄ）のうち、ストッカー１４１ａ、１４１ｂはそれぞれトレイＴ１、Ｔ２を収納する検査済品用ストッカー（例えば、それぞれ合格品用、不合格品用）、ストッカー１４１ｃはトレイＴ３を収納する空トレイ収納用ストッカー、ストッカー１４１ｄはストッカーＴ４を収納する未検査品用ストッカーである。
既述のように、ストッカー配置領域１４０は、検査済品用トレイ用ストッカー配置領域１４０ａ、１４０ｂ、空トレイ用ストッカー配置領域１４０ｃ、未検査品用トレイ用ストッカー配置領域１４０ｄに区分され、ストッカー１４１ａ〜１４１ｄはそれぞれこの区分された領域に配置されている。そして、この区分された領域は、トレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄと対応している。
このようにストッカー１４１それぞれがトレイ配置領域１３０の区分された領域と対応するように所定のトレイＴを収納することで、トレイ配置領域１３０間とのトレイＴの搬送を効率よく行うことができる。なお、この実施形態では、ストッカー配置領域１４０に設置される前記ストッカー１４１ａ〜１４１ｄにより本発明の容器収納部がそれぞれ構成されている。
図７および図８は、ストッカー１４１（１４１ａ〜１４１ｄ）を側面図および正面図で示している。
ストッカー１４１ａ〜１４１ｄは収納するトレイＴの役割は異なるが、構成は同一である。従って、ストッカー１４１ａ〜１４１ｄについては、特に区別する必要がある場合を除き、以下の説明（図面を含む）では添え字を省略して説明するものとする。
ストッカー１４１は、４つの支柱１４３，底部１４４，４つのトレイ分離フック１４５，トレイ昇降機構１４６から構成され、その内部に後に詳述するＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入するトレイ搬送機構進入領域１４７が形成されている。このうち、支柱１４３、トレイ分離フック１４５、トレイ搬送機構進入領域１４７は基台１１０の上面より上方に、底部１４４，およびトレイ昇降機構１４６は基台１１０の上面より下方に設置される。
支柱１４３は、基台１１０に接続された部材に接続され、断面が略Ｌ字状の柱であり、トレイＴの４隅に対応してＸ−Ｙの２軸方向においてトレイＴの移動を防止する。
底部１４４は、支柱１４３に接続され、略矩形の底板および４つの側板より構成される。なお、この側板を除外し、底部１４４である底板に支柱１４３が直接接続されても差し支えない。
なお、ストッカー１４１は、前方（図３の右手）壁が開閉可能な扉とされ、ストッカー１４１へのトレイＴの挿入、搬出の作業性の向上が図られている。天井部１４２は、ストッカー１４１の天井として脱着不能とされるが、ストッカー１４１へのトレイＴの挿入、搬出の作業をストッカー１４１の上方から実施する場合には脱着可能とされる。
トレイ分離フック１４５は４つの支柱１４３が接続されている部材に設置され、ストッカー１４１内の最下段のトレイＴの互いに対向する側面に対応して配置される。具体的には、トレイＴの対向する側面に凹部が形成されており、トレイ分離フック１４５がトレイＴの凹部内に挿入されることで、最下段のトレイＴが下方（Ｚ負方向）に落下することを防止する。トレイ分離フック１４５には図示しない駆動機構が接続され、トレイＴの側面凹部へのトレイ分離フック１４５の挿入、取り出しを行う。この挿入、取り出しによってトレイＴのＺ方向の固定およびその解除が行われる。
トレイ昇降機構１４６は、トレイＴを載置する平板（トレイ載置板）を上下に昇降することで、トレイＴをストッカー１４１内上下に昇降する機構である。
トレイ昇降機構１４６は、トレイＴが載置されていないＹ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域１４７内に位置する状態で、トレイ載置板の上昇及び下降が可能である。さらに、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０のトレイ側を切欠き、コの字状の形状にすることで、トレイ昇降機構１４６がトレイ載置板を上昇させている状態で、トレイＴが載置されていないＹ方向トレイ搬送機構１８０をトレイ搬送機構進入領域１４７内に移動可能とすることができ、トレイ昇降機構１４６のトレイ載置板を先行して上昇させることで、ストッカー１４１内からのトレイＴの搬出時間を短くできる。
トレイ搬送機構進入領域１４７は、基台１１０の上面の上、かつトレイ分離フック１４５より下方に設定された略直方体状の空間であり、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がＹ正方向から出入りする。
ストッカー１４１内からトレイ配置領域１３０へのトレイＴの移動は、以下の手順によって行われる。ここで、ストッカー１４１内におけるトレイＴの移動動作について図９を用いて説明する。
（１）トレイ昇降機構１４６の作動によりトレイ載置板が上昇し、トレイ載置板がストッカー１４１内の最下段のトレイＴ底面に当接するとトレイ分離フック１４５が解除される（トレイ分離フック１４５をトレイＴ側面の凹部内から取出す）（図９（Ａ）参照）。
（２）トレイ昇降機構１４６の作動によりトレイ載置板がトレイＴ一枚分下降し（トレイ載置板を降下する）、最下段から２つ目のトレイがトレイ分離フック１４５に対応する高さ位置にセットされる。
（３）トレイ分離フック１４５が動作し、最下段から２つ目のトレイＴを固定する（トレイ分離フック１４５を最下段から２つ目のトレイＴの側面の凹部に挿入する）（図９（Ｂ）参照）。
（４）トレイ昇降機構１４６が作動し、トレイ載置板と共に最下段のトレイＴが降下する。このとき、最下段から２番目のトレイＴはトレイ分離フック１４５によって固定されている。
（５）さらに最下段のトレイＴがトレイ搬入機構進入領域１４７に対応する高さ位置までトレイ載置板が降下する。この際、予めトレイ搬入機構進入領域１４７内にＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入している。
その結果、トレイ昇降機構１４６上のトレイＴがトレイ搬入機構進入領域１４７内のＹ方向トレイ搬送機構１８０上に降下、載置される（図９（Ｃ）参照）。
Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上に載置されたトレイＴは、トレイ載置板がさらに降下してもそのままＹ方向トレイ搬送機構１８０上に載置、保持する。このようにして、トレイ昇降機構１４６上に載置されたトレイＴがＹ方向トレイ搬送機構１８０に引き渡される。
（６）Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上に載置されたトレイＴは、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域１４７から退出することで、ストッカー１４１内から搬出され、トレイ配置領域１３０に配置される。
トレイ配置領域１３０からストッカー１４１へのトレイＴの移動、載置は、以下のようにして行われる。
（１）トレイＴがＹ方向トレイ搬送機構１８０上に載置された状態で、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ配置領域１３０からトレイ搬送機構進入領域１４７内に進入する。これによりストッカー１４１内にトレイＴが搬入される（図９（Ｃ）参照）。
（２）トレイ昇降機構１４６の作動によりトレイ載置板が上昇する。その結果、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上に載置されたトレイＴがトレイ昇降機構１４６（トレイ載置板）に引き渡される。
トレイ昇降機構１４６のトレイ載置板がさらに上昇し、載置されたトレイＴをストッカー１４１内の最下段のトレイＴ底面に接触する高さ位置まで上昇させる（図９（Ｂ）参照）。
（３）トレイ昇降機構１４６によってトレイＴを接触させた状態でトレイ分離フック１４５が解除される（トレイ分離フック１４５をトレイＴ側面の凹部内から取出す）。
（４）トレイ昇降機構１４６の動作によりトレイ載置板がトレイＴ一枚分だけ上昇し、トレイ昇降機構１４６上に載置されたトレイＴがトレイ分離フック１４５に対応する高さ位置に配置される（図９（Ａ）参照）。
（５）トレイ分離フック１４５が動作し、トレイ昇降機構１４６上に載置されたトレイＴを固定する。
かくして、トレイ配置領域１３０上のトレイＴがストッカー１４１内の最下段に収納、固定される。
（６）その後、トレイ昇降機構１４６のトレイ載置板が降下する。この際、ストッカー１４１の最下段のトレイＴがトレイ分離フック１４５によって固定されているため、トレイ載置板が降下してもそのままトレイＴがストッカー１４１内に保持されることとなる。トレイ昇降機構１４６のトレイ載置板はトレイ搬入機構進入領域１４７より下方まで降下する。
以上のようにして、トレイ配置領域１３０上のトレイＴがストッカー１４１内の最下段に収納、固定される。
このように、ストッカー１４１ａ〜１４１ｄはトレイＴを多段に積み重ねた状態で収納するようになっているため、トレイＴの交換作業性が良好に行われることとなる。即ち、トレイ搬入機構進入領域１４７の上方にトレイＴを多段に積み重ねていることから、ストッカー１４１の最下段のトレイＴをトレイ搬入機構進入領域１４７へ搬入搬出することが容易に行える。また、トレイ搬入機構進入領域１４７とトレイ配置領域１３０間の距離がいずれのストッカーＴでも同一なので、その間でのトレイＴの搬送時間が揃っており、検査速度の向上に寄与する。
（検査領域１５０の詳細）
検査領域１５０は、Ｘ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂの間であって、かつトレイ配置領域１３０のＸ軸方向延長上に設定された略矩形状の領域であり、その下方には電子部品検査ユニット２００が配置されている。
図１０及び図１１はそれぞれ検査領域１５０を上面図および断面図で示している。これらの図に示すように、検査領域１５０には、本発明の撮像手段を構成する２つの部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂと、本発明の検査部である２つの検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂとが配置される。部品位置確認カメラ１５１ａ、１５１ｂは基台１１０上に設置され、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂは検査板１５３上に設置され、この検査板１５３を介して基台１１０に着脱可能にセットされている。なお、これら部品位置確認カメラ１５１ａ、１５１ｂおよび検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂについては、特に区別する必要がある場合を除き、以下の説明（図面を含む）では添え字を省略して説明するものとする。
部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂは、部品搬送機構１６０により搬送されてくる電子部品Ｄの位置（吸着状態）を確認するための撮像カメラであり、ラインセンサ、ＣＣＤカメラ、ビジュンカメラ等から構成される。電子部品Ｄの平面的（場合により一軸方向上の）の画像情報を入手可能であれば特に構成は限定されない。
部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂは検査領域１５０上にＹ軸方向に沿って、かつＹ軸方向中心に対称に並んで配置され、それぞれその上方を通過する電子部品Ｄの画像を撮影する。撮影された画像を画像処理することで、部品搬送機構１６０に対する電子部品Ｄの位置が検出される。この結果、部品搬送機構１６０で電子部品Ｄを吸着したときの電子部品Ｄの位置ズレ（Ｘ，Ｙ，Ｒ方向）を検知し、検査用ソケット１５２への電子部品Ｄの接続の際に電子部品Ｄの位置を補正して接続の確実性を向上できる。即ち、電子部品Ｄの電極と検査用ソケット１５２の電極とをより確実に接触、連結することが可能となる。
部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂは、電子部品Ｄの外観の検査に用いることも可能である。この検査は、電子部品Ｄの位置の確認と同様、部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂ上を電子部品Ｄを吸着した部品搬送機構１６０が通過する際に行える。このようにして、電子部品検査装置１Ａは電子部品Ｄの電気的検査に加えて、容易に外観検査を行える。さらには、電子部品Ｄが表面にコードを表示するものにおいては、コードを部品位置確認カメラ１５１ａ、１５１ｂで読み取ることで電子部品Ｄそのものから種別を判断することもできる（多機能検査）。
検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂは電子部品Ｄおよび電子部品検査ユニット２００双方との電気的な接続により、電子部品検査ユニット２００による電子部品Ｄの電気的な検査を可能とする電気的な接続部材である。
検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂは、検査領域１５０上のＹ軸方向中心にＸ方向に並んで設置されている。検査板１５３は検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂが接続された略平板であり、基台１１０に対して脱着可能とされる。
ここで、検査領域１５０における部品位置確認カメラ１５１と検査用ソケット１５２との配置の詳細について説明する。
本実施形態では部品位置確認カメラ１５１および検査用ソケット１５２はいずれも２つであり、検査用ソケット１５２がＸ軸方向に並んでいるが、これらの個数、配置を変えることも可能である。
図１２及び図１３は、部品位置確認カメラ１５１と検査用ソケット１５２の配置例を模式的に表す上面図である。図１２は部品位置確認カメラ１５１が２つ、図１３は部品位置確認カメラ１５１が１つの場合を表す。
これらの図１２，１３の（Ａ）〜（Ｃ）に表すように、部品位置確認カメラ１５１と検査用ソケット１５２の配置例には、部品位置確認カメラ１５１が１つまたは２つ、検査用ソケット１５２が２つまたは４つの組み合わせがある。この内、図１２（Ａ）が図１０で示した本実施形態における配置に対応するものである。
検査用ソケット１５２の個数が多いと多くの電子部品Ｄの同時並行的な検査が行いやすくなる。また、部品位置確認カメラ１５１を複数備えると、複数の電子部品Ｄの位置を同時に確認することが可能となる。
これらの個数および配置は部品搬送機構１６０の個数や配置等に応じて適宜に選択することが好ましい。本実施形態では、検査用ソケット１５２をトレイＴの略中央をＸ軸方向に延長した方向に配置することで、部品搬送機構１６０のＹ軸方向の移動量の低減を可能としている。
基台１１０に対する検査板１５３の取り付け方向は一定としたまま、図１２、図１３の（Ａ）、（Ｂ）の２種の検査板１５３の取り付け種別を、後述する検査位置確認カメラ１５４で認識するか、不図示の入力装置で制御装置１９０に入力するようにする。
なお、図１２、図１３の（Ａ）、（Ｂ）に示すように、検査板１５３の取付け方向を変えることで、検査用ソケット１５２の列の並ぶ方向がＸ軸方向からＹ軸方向へと変化するようにしても良い。
検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの取付け方向の検知（検査板１５３の取付け方向の検知）は、検査位置確認カメラ１５４を使って画像認識し、又はデータ入力により行うことが可能であるが、この実施形態では、図１０、図１１に示すように、検査板１５３に開口部１５５が形成され、この開口部１５５と対応する開口検知部１５６が基台１１０に設けられることにより行われている。つまり、開口検知部１５６による開口部１５５の検知の有無により検査板１５３の取付け方向を検知できるようになっている。
開口検知部１５６としては例えば光センサを用いることができる。つまり、例えば図１１に示すように、開口検知部１５６の上方に発光部１５７を設けておき、発光部１５８から開口検知部１５６に向かう光が検査板１５３によって遮られるか否かで検査板１５３の取付け方向を検知することができる。
また、開口検知部１５６をリミットスイッチで構成し、このリミットスイッチのオン、オフにより開口部１５５を検知することもできる。リミットスイッチ上に開口部１５５が位置すればリミットスイッチがオフ状態となり、リミットスイッチ上に開口部１５５がこなけば検査板１５３によってリミットスイッチが押されてオン状態となる。なお、このときには開口部１５５は検査板１５３を貫通した孔で構成する必要はなく、リミットスイッチの先端が挿入できる凹部とすれば足りる。
（部品搬送機構１６０の詳細）
部品搬送機構１６０（１６０ａ〜１６０ｄ）は、電子部品Ｄを吸着、搬送するものである。ここで、部品搬送機構１６０ａ、１６０ｂはＸ軸ロボット１２０ａに、部品搬送機構１６０ｃ、１６０ｄはＸ軸ロボット１２０ｂ上にそれぞれ搭載されている。このように部品搬送機構１６０ａ、１６０ｂと部品搬送機構１６０ｃ、１６０ｄとが、異なるＸ軸ロボット１２０ａ，１２０ｂ上に搭載されていることにより、Ｘ軸方向に互いに独立して電子部品Ｄを搬送することができるようになっており、その結果、電子部品Ｄの検査効率を高め得るようになっている。
図１４、図１５はそれぞれ部品搬送機構１６０を拡大して表した上面図および側面図である。
これらの図に示すように部品搬送機構１６０はそれぞれ、Ｘ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方向駆動部１６３、Ｒ方向駆動部１６４、吸着ヘッド１６５、吸着ノズル１６６から構成される。
４つの部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄのうち、トレイ配置領域１３０側の部品搬送機構１６０ａ、１６０ｃにはそれぞれＸ方向トレイ搬送機構１７０ａ，１７０が設けられ、反対側の一方の部品搬送機構１６０ｂの吸着ヘッド１６５ｂには検査位置確認カメラ１５４が接続されている。
Ｘ方向駆動部１６１は、Ｘ軸ロボット１２０上をＸ軸方向に移動することで、吸着ヘッド１６５のＸ軸方向の移動を可能とする。
Ｙ方向駆動部１６２は、Ｘ方向駆動部１６１に接続され、Ｙ方向駆動基体１６２１、Ｙ方向駆動体１６２２から構成される。
Ｙ方向駆動基体１６２１に対してＹ方向駆動体１６２２をＹ軸方向に伸縮させることにより、吸着ヘッド１６５のＹ軸方向の移動を可能にしている。また、部品搬送機構１６０ａ、１６０ｂと部品搬送機構１６０ｃ、１６０ｄとがＸ軸方向において近接する場合には、Ｙ方向駆動部１６２により吸着ヘッド１６５をＹ軸方向に移動させ、これにより互いの干渉（接触）を防止できるようにしている。
Ｚ方向駆動部１６３は、Ｙ方向駆動体１６２２の端部に接続され、Ｚ方向駆動基体１６３１、Ｚ方向駆動体１６３２から構成される。Ｚ方向駆動基体１６３１に対してＺ方向駆動体１６３２をＺ方向に上下動させることで、吸着ヘッド１６５のＺ方向の移動を可能としている。
なお、Ｚ方向への上下動はＹ方向駆動部１６２のようにボールネジ、ボールナット機構、あるいは油圧シリンダ機構、リニアモータ機構等の駆動体によっても行える。この逆にＹ方向駆動部１６２において、Ｚ方向駆動部１６３のように、部材同士のズレ運動に基づいて吸着ヘッド１６５をＹ軸方向に移動させることも可能である。
Ｒ方向駆動部１６４は、Ｚ方向駆動体１６３２の上端に接続され、Ｚ軸を回転軸とする吸着ヘッド１６５の回転（Ｒ方向回転：Ｘ−Ｙ平面内での左右回転）を行わせるものである。
吸着ヘッド１６５は、ヘッド本体１６５１、吸着ノズル支持部材１６５２から構成されている。ヘッド本体１６５１は、Ｚ方向駆動体１６３２の下端に接続され、Ｘ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２およびＺ方向駆動部１６３によって、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ方向への移動のそれぞれを独立に行うことができるようになっている。
吸着ノズル支持部材１６５２は、ヘッド本体１６５１の下端に接続され、吸着ノズル１６６を支持する。吸着ノズル支持部材１６５２は、Ｒ方向駆動部１６４によってヘッド本体１６５１に対して回転するようになっている。
なお、これらの移動に際してはＸ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方向駆動部１６３、Ｒ方向駆動部１６４の移動量をエンコーダ等で検知し、制御部１９０にフィードバックすることで、より適切な制御が可能になる。
吸着ノズル１６６は、吸着ヘッド１６５に着脱自在に接続され、図示しない吸引機構により先端に負圧あるいは正圧の空気圧を作用させ、電子部品Ｄの吸着、離着（装着）、あるいは装着保持を行う。吸着ヘッド１６５は電子部品Ｄの形状に応じて、交換して使用することもできる。
吸着ノズル１６６は、吸着ヘッド１６５に接続されており、従って、前記Ｘ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方向駆動部１６３およびＲ方向駆動部１６４の各駆動に伴いＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動するとともにＲ軸回りに回転する。
検査位置確認カメラ１５４は、吸着ヘッド１６５ｂの側面に設置され、検査用ソケット１５２、トレイＴ、および検査板１５３上に識別用コードがある場合にはこの識別用コードの画像を上方から撮影できるようになっている。検査位置確認カメラ１５４は、ラインセンサ、ＣＣＤカメラ、ビジュンカメラ等から構成され、電子部品Ｄの平面的（場合により一軸方向）の画像情報を入手可能であれば特に構成は限定されない。撮影された画像を画像処理することで、検査用ソケット１５２やトレイＴの位置、および識別用コードが検出される。
なお、検査位置確認カメラ１５４を部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄのそれぞれに配置することも可能であり、この場合には、検査位置確認カメラ１５４によりトレイＴ上の未検査部品Ｄの位置を確認し、確認された位置に対応して吸着ノズル１６６の位置を補正することができる。これによれば、電子部品Ｄを吸着したときの吸着ノズル１６６に対する電子部品Ｄの位置ずれ（Ｘ，Ｙ，Ｒ方向）を低減でき、吸着ノズル１６６への電子部品Ｄの吸着不良を防止して、検査効率を高めることができる。
また、検査用ソケット１５２の位置を確認し、電子部品Ｄを検査用ソケット１５２に接続（装着）する際に電子部品Ｄの位置を補正できる。この結果、検査用ソケット１５２への電子部品Ｄの装着不良を防止して、検査の確実性を向上することができる。
（Ｘ方向トレイ搬送機構１７０の詳細）
図１４および図１５に示すように、Ｘ方向トレイ搬送機構１７０（１７０ａ，１７０ｂ）は、Ｚ方向トレイ駆動部１７１およびトレイ吸着部１７２から構成される。
Ｚ方向トレイ駆動部１７１は、Ｙ方向駆動基体１６２１に接続されＸ方向駆動部１６１によりＸ軸方向に移動可能であると共に、トレイ吸着部１７２を上下に昇降する。
トレイ吸着部１７２は、Ｘ方向駆動部１６１およびＺ方向トレイ駆動部１７１により、ＸおよびＺ方向に移動可能な平板形状であり、その下面に図示しない吸着孔が１個あるいは複数形成されている。トレイ吸着部１７２には図示しない吸着機構に接続され、吸着孔からのエアの吸引および吸引の停止を行うことで、トレイＴの吸着、離着を行うことができる。なお、トレイ吸着部１７２によるトレイＴの吸着、離着は吸着ノズル１６６による電子部品Ｄの吸着、離着と互いに独立して行うことができる。
Ｘ方向トレイ搬送機構１７０により、トレイ配置領域１３０上のトレイＴを搬送することができる。この搬送は以下のように行われる。
（１）Ｘ方向駆動部１６１によって、トレイ吸着部１７２をＸ軸方向に移動し、搬送したいトレイＴの上方に搬送する。
（２）Ｚ方向トレイ駆動部１７１により、トレイ吸着部１７２を降下させ、その下面を搬送したいトレイＴの上面に接触または近接させる。
（３）トレイ吸着部１７２を動作させ、トレイ吸着部１７２にトレイＴを吸着する。
（４）Ｚ方向トレイ駆動部１７１により、トレイ吸着部１７２を上昇する。トレイ吸着部１７２に吸着したトレイＴは、トレイ吸着部１７２と共に上昇する。
（５）Ｘ方向駆動部１６１によって、トレイＴを吸着したトレイ吸着部１７２をＸ軸方向の搬送目標位置上に移動する。
（６）Ｚ方向トレイ駆動部１７１によって、トレイＴを吸着したトレイ吸着部１７２を降下し、トレイＴの下面をトレイ配置領域１３０に接触または近接させる。
（７）トレイ吸着部１７２によるトレイＴの吸着を解除（離着）し、Ｚ方向トレイ駆動部１７１によってトレイ吸着部１７２を上昇する。この結果、トレイ吸着部１７２から離着したトレイＴは搬送された場所にそのまま配置された状態となる。
以上のトレイＴのＸ軸方向搬送は、例えば未検査品用トレイＴ４から電子部品Ｄが搬出され空トレイＴとなったときにこの空トレイＴをトレイＴ３の位置（トレイ配置領域１３０ｃ）に搬送する場合に用いられる。
また検査済品用トレイＴ１，Ｔ２上が検査済みの電子部品Ｄで一杯になったときに、このトレイＴ１，Ｔ２に代えて、空トレイＴ３を新たな検査済品用トレイとしてトレイＴ１，Ｔ２の位置（トレイ配置領域１３０ａ，１３０ｂ）に搬送するために用いられる。なお、検査済みの電子部品Ｄで一杯になった検査済品用トレイＴ１，Ｔ２はＹ方向トレイ搬送機構１８０によってストッカー１４１内に搬送される。
（Ｙ方向トレイ搬送機構１８０の詳細）
Ｙ方向トレイ搬送機構１８０（１８０ａ〜１８０ｄ）は、トレイＴ１〜Ｔ４とストッカー１４１ａ〜１４１ｄ間でトレイＴをＹ軸方向に搬送するための機構であり、図７および図８に示すようにシャフト１８１、移動部１８２、トレイ載置部１８３、一対のトレイ固定部１８４から構成される。
シャフト１８１は、略円柱状の棒にネジ溝が形成されたボールネジであり、トレイ配置領域１３０からストッカー配置領域１４０（具体的には、ストッカー１４１内のトレイ搬送機構進入領域１４７）を結ぶ方向に沿って配置されている。シャフト１８１は図示しないサーボモータからなる回転機構に接続され、この回転機構を作動することでシャフト１８１がその軸を中心として回転する。なお、この回転に際しては回転機構の動作量をエンコーダ等で検知し、制御部１９０にフィードバックすることで、的確な制御が容易に行える。
移動部１８２は略平板状であり、ボールナット部を有する。このボールナット部はシャフト１８１によって貫通されている。シャフト１８１が回転することで、シャフト１８１と移動部１８２とのボールネジとボールナットの噛み合わせにより、シャフト１８１の軸に沿って移動部１８２が前後に移動する。
トレイ載置部１８３は、略矩形状の平板からなりトレイＴを載置する。トレイ載置部１８３は、その一端近傍の下面において移動部１８２の一辺と接続され、移動部１８２と共にシャフト１８１の軸に沿って移動する。
トレイ載置部１８３の上面側の４辺にそれぞれ配置される、略矩形断面形状の棒状部材からなる。４辺のトレイ固定部１８４の内、Ｘ軸方向の２辺の内少なくとも一方が図示しない移動装置によりＸ軸方向に移動可能とされる。その結果、トレイ固定部１８４のＸ軸方向の間隔を適宜に制御することができ、トレイ載置部１８３上のトレイＴをその両側面で押圧、固定することができる。
なおさらに、４辺のトレイ固定部１８４の内、Ｙ軸方向の２辺の内少なくとも一方が図示しない移動装置によりＹ軸方向に移動可能とし、Ｙ軸方向の大きさの異なるトレイＴを搬送可能としても良い。
Ｙ方向トレイ搬送機構１８０は、トレイＴをストッカー１４１からトレイ配置領域１３０あるいはその逆に移動する場合に用いることができる。これに加えて、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０は、トレイ配置領域１３０内でトレイＴを移動することで、吸着ヘッド１６５のＹ軸方向の移動量を低減することができる。このときの移動は、それぞれのトレイＴを独立に、あるいは一体として行うことができる。
すなわち、当実施形態では、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０により本発明の容器移動手段および容器搬送手段が構成されている。換言すればこのＹ方向トレイ搬送機構１８０により本発明の容器移動手段が構成され、さらにＹ方向トレイ搬送機構１８０が本発明の容器搬送手段の機能を兼ね備えた構成となっている。
なお、この電子部品検査装置１Ａでは、上記のようにＹ方向トレイ搬送機構１８０が設けられている結果、部品搬送機構１６０については、吸着ノズル１６６を殆ど又は全くＹ軸方向に移動させることなく、トレイ配置領域１３０のトレイＴに対して電子部品Ｄの出し入れを行い得るようになっている。
（制御部の詳細）
制御部１９０は、基台１１０内に設けられ、ＣＰＵ１８１、ＲＯＭ１８２、ＲＡＭ１８３、通信コントローラ１９４、Ｉ／Ｏコントローラ１９５、モーションコントローラ１９６および画像コントローラ１９７等から構成され、電子部品搬送ユニット１００Ａの駆動を制御すると共に、電子部品検査ユニット２００の不図示の制御部との通信を行う。
ＣＰＵ１９１は、ＲＯＭ１９２，ＲＡＭ１９３に記憶されたソフトウェアに基づき、通信コントローラ１９４，Ｉ／Ｏコントローラ１９５，モーションコントローラ１９６，画像コントローラ１９７を通じて電子部品搬送ユニット１００Ａの駆動制御、電子部品検査ユニット２００との通信を行うもので、ソフトウェアは、検査の対象となる電子部品Ｄと検査用ソケット１５２の組み合わせおよび電子部品検査ユニット２００からの信号に応じて、電子部品ＤおよびトレイＴの搬送を実施し、電子部品検査ユニット２００は、電子部品Ｄに対応する検査内容のソフトウェアに基づき検査を実施する。なお、当実施形態では、このＣＰＵ１９１が部品搬送手段を駆動制御する制御手段および衝突回避制御手段として機能する。
ＲＯＭ１９２、ＲＡＭ１９３はそれぞれ、固定的、一時的な情報の記憶を行う記憶手段であり、例えば電子部品搬送ユニット１００Ａの動作手順、内容を表すソフトウェア、電子部品搬送ユニット１００Ａの状況を表す情報等が記憶される。この情報には、吸着ヘッド１６５がトレイＴ上の電子部品Ｄを吸着した際の部品吸着情報、検査用ソケット１５２に電子部品Ｄを装着した際の部品装着情報等が含められる。吸着ヘッド１６５による電子部品Ｄの吸着、離着に際してこれらの情報を参照することで、より確実な誤動作の排除が可能となる。
ＲＯＭ１９２、ＲＡＭ１９３は、さらにＩ／Ｏコントローラ１９５が開口検知部１５６から受け取った検査用ソケット１５２の取付方向の情報、およびこの取付方向に対応して吸着ヘッド１６５を回転または移動するためのソフトウェアを記憶する。即ち、検査用ソケット１５２に対応するように吸着ヘッド１６５を回転または移動させ、検査用ソケット１５２に対する電子部品Ｄの装着を確実に行う。なお、吸着ヘッド１６５の回転は吸着ヘッド１６５の移動中に行うのが検査の効率上好ましい（検査速度の低下を防止するためである）。
通信コントローラ１９４は、電子部品検査ユニット２００との間で、例えば検査用ソケット１５２に電子部品Ｄが正しく載置されているか否かの情報、あるいはさらに電子部品Ｄの種別情報を電子部品検査ユニット２００へ出力し、電子部品検査ユニット２００による電子部品Ｄの検査結果を表す検査結果情報を電子部品検査ユニット２００から入力し、また電子部品搬送ユニット１００Ａの状態を表す装置状態情報等の入出力を行う。このようにして、電子部品Ｄの搬送、検査に際して電子部品搬送ユニット１００Ａと電子部品検査ユニット２００間での情報のやり取りが行われる。
通信コントローラ１９４（電子部品搬送ユニット１００Ａ）と電子部品検査ユニット２００間での通信は有線、無線等種々の方法で行うことができる。例えば作業者が信号カプラーを接続することで、電子部品搬送ユニット１００Ａと電子部品検査ユニット２００との通信が可能となる。また、電子部品検査ユニット２００を電子部品搬送ユニット１００Ａ下部の空間１１１に挿入するときに、電子部品検査ユニット２００と電子部品搬送ユニット１００Ａ双方の信号カプラーが自動的に接続されるようにしても差し支えない。
Ｉ／Ｏコントローラ１９５とモーションコントローラ１９６はそれぞれ、部品搬送機構１６０、Ｘ方向トレイ搬送機構１７０、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０、ストッカー１４１の駆動を行う図示しない駆動ユニットに接続される。なお、この駆動ユニットはＸ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方向駆動部１６３、Ｒ方向駆動部１６４等に接続される。
Ｉ／Ｏコントローラ１９５は、部品搬送機構１６０等からその状態を表す状態情報を入力し、モーションコントローラ１９６は部品搬送機構１６０等に動作内容を指示する動作指令を出力する。
この結果、部品搬送機構１６０による電子部品Ｄの吸着、離着、搬送、Ｘ方向トレイ搬送機構１７０によるトレイＴの吸着、離着、搬送、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０によるトレイＴの固定、固定解除、搬送、ストッカー１４１からのトレイＴの搬入、搬出の制御等が行われる。
また、Ｉ／Ｏコントローラ１９５は、検査用ソケット１５２の取付方向の情報を開口検知部１５６から受け取る。この情報は吸着ヘッド１６５を検査用ソケット１５２に対応するように回転または移動し、検査用ソケット１５２に対する電子部品Ｄの装着を確実に行うために用いられる。
画像コントローラ１９７は、部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂ、検査位置確認カメラ１５４に接続され、これらへの撮像を指示する撮像指令の出力、これらからの撮像結果（画像情報）の入力等を行う。撮像された画像情報は、ＣＰＵ１９１によって画像処理が行われ、吸着ヘッド１６５の位置、吸着ヘッド１６５に対する電子部品Ｄの位置、検査用ソケット１５２やトレイＴの位置、および検査用ソケット１５２やトレイＴに対する電子部品Ｄの位置等が検出される。
なお、電子回路検査用の信号の入出力を制御する電子部品検査ユニット２００側の不図示の制御部と、主に電子部品搬送ユニット１００Ａ側を制御する制御部１９０を一体化し、電子部品検査ユニット２００側に配置しても良い。あるいは電子部品搬送ユニット１００Ａ側に配置しても良い。
（電子部品検査ユニット２００の詳細）
電子部品検査ユニット２００は検査用ソケット１５２に電気的に接続され、電子部品Ｄの電気的な検査を行うものである。
電子部品検査ユニット２００内には、電子部品Ｄを検査するための測定器等が設置され、これらの測定器は検査用ソケット１５２に電気的に接続されている。この結果、電子部品検査ユニット２００は、検査用ソケット１５２を介して電子部品Ｄの検査を行うことができる。
電子部品検査ユニット２００は、基台１１０の空間１１１にＸ，Ｙの２方向いずれからでも挿入できるように構成されている。これは空間１１１が電子部品搬送ユニット１００Ａの側面の２方向で開口しているためであり、その結果、電子部品搬送ユニット１００Ａと電子部品検査ユニット２００の接続が容易に行い得るようになっている。
（電子部品検査装置１Ａの動作）
次に、前記制御部１９０の制御に基づく電子部品検査装置１Ａによる部品の検査動作について説明する。
図１６は電子部品検査装置１Ａの動作手順を表すタイミングチャートであり、図１７〜図２４は、図１６に示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置１Ａの状態を表す上面図である。
ここで、図１６の横軸は時間であり、縦軸はＸ、Ｙ、Ｚ、Ｒ方向それぞれについての駆動命令の出力状態を表す。ここに示されたＸ，Ｙ，Ｚ，Ｒの添え字ａ〜ｄはそれぞれ、部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄに対応する。なお、図１６に示された時間範囲内では吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄがＸ、Ｒ方向への移動を行わないことから、図１６ではＸｃ、Ｘｄ、Ｒｃ、Ｒｄについての記載を省略している。また、以下の説明では、各部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｂによって保持されている電子部品を区別するため、符号Ｄに１〜６の数字を付して説明する。
（１）時刻ｔ０（図１７参照）
時刻ｔ０においては電子部品Ｄ１，Ｄ２が検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに接続され、検査が行われている。
ここで、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂはそれぞれ、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに接続された電子部品Ｄ１，Ｄ２を検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂへ押圧した状態となっている。一方、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄはそれぞれ、未検査品である電子部品Ｄ３，Ｄ４を吸着した状態でそれぞれ、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂのＹ軸負方向（図１７では下側）に待機している。
（２）時刻ｔ１〜ｔ２
時刻ｔ１において、電子部品Ｄ１，Ｄ２の検査が終了する。
吸着ノズル１６６ａ，１６６ｂへの供給エア圧が正圧から負圧に切り換えられるともに、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂそれぞれがＺ軸正方向に移動する（上昇する）。この結果、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂに吸着された電子部品Ｄ１，Ｄ２それぞれが検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂから離間する。
（３）時刻ｔ２〜ｔ３（図１８参照）
吸着ヘッド１６５ａ〜１６５ｄが揃ってＹ軸正方向（図１８では上側）に移動する。この結果、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂに代わって吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄが検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの上方に配置される。
（４）時刻ｔ３〜ｔ４
時刻ｔ３において吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂがＸ軸負方向（図１８では左側）に移動を開始する。また、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄが揃ってＺ軸負方向に移動し（下降し）、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄが所定の高さ位置に到達すると、吸着ノズル１６６ｃ、１６６ｄ先端に供給されるエア圧が負圧から正圧に切り換えられ、これによって吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄに吸着された電子部品Ｄ３，Ｄ４が検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂにセットされ、時刻ｔ４において電子部品Ｄ３，Ｄ４の検査が開始される。
（５）時刻ｔ５〜ｔ６（図１９参照）
吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂがＸ軸方向に移動することにより、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂと吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄとがＸ軸方向にずれた状態となる。この際、吸着ヘッド１６５ｂが吸着ヘッド１６５ｃを通過すると（Ｘ軸方向にすれ違うと）、両吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂがＹ軸負方向（図１８では下側）に移動する。
つまり、一方側の吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄ（又は吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂ）が検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの位置上にあるときに、他方側の吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂ（又は吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄ）をＸ軸方向に移動させると吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂと吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄとが干渉（接触）することとなるが、上記のように一方側の吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂ（又は吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄ）がＹ軸方向に退避した状態でＸ軸方向に移動することにより、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂと吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄとの干渉が回避されることとなる。なお、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂと吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄとが干渉（接触）する領域を当実施形態ではヘッド干渉エリア（図１７〜図２４中符号Ａｉを付して示す）とよび、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂと吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄとが行き交う場合には、上記のように一方側の吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂ（又は吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄ）がこのヘッド干渉エリアＡｉ外に配置されることにより吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂと吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄとの干渉（接触）が回避されるようになっている。
（６）時刻ｔ７〜ｔ８（図２０参照）
検査済品用トレイＴのうちＴ１が合格品用トレイで、Ｔ２が合格品用トレイである場合であって、一方、吸着ヘッド１６５ａの電子部品Ｄ１が合格品で、吸着ヘッド１６５ｂの電子部品Ｄ２が不合格品である場合には、時刻ｔ７において、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂがそれぞれ検査済みトレイＴ１，Ｔ２上に移動した後、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂの昇降に伴い電子部品Ｄ１、Ｄ２を検査済品用トレイＴ１，Ｔ２内に収納する。この際、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが下降した後、上昇に先立って電子部品Ｄ１、Ｄ２が離着されることにより該部品Ｄ１、Ｄ２が検査済品用トレイＴ１，Ｔ２内に収納される。
なお、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂの電子部品Ｄ１，Ｄ２が両方とも合格品の場合には、一方側の吸着ヘッド１６５ａ（又は吸着ヘッド１６５ｂ）をトレイＴ１上に配置して下降させ、電子部品Ｄ１を離着した後、吸着ヘッド１６５ａを上昇させ、その後、他方の吸着ヘッド１６５ｂ（又は吸着ヘッド１６５ａ）をトレイＴ１上に配置して同様に電子部品Ｄ２を離着させる。この際、他方側の吸着ヘッド１６５ｂのＸ軸方向移動と同時に、一方側の吸着ヘッド１６５ａをトレイＴ１上からＸ軸方向に退避させることにより、吸着ヘッド同士の干渉を避けるようにする。
また、吸着ヘッド１６５ａの電子部品Ｄ１が不合格品で、吸着ヘッド１６５ｂの電子部品Ｄ２が合格品である場合には、一方側の吸着ヘッド１６５ａをトレイＴ２上に配置して下降させ、電子部品Ｄ１を離着した後、吸着ヘッド１６５ａを上昇させ、その後、他方側の吸着ヘッド１６５ｂをトレイＴ１上に配置して同様に電子部品Ｄ２を離着させる。このように他方側の吸着ヘッド１６５ｂをトレイＴ１上へセットする際には、一方側の吸着ヘッド１６５ａとの干渉を回避すべく吸着ヘッド１６５ａをＸ軸負方向に移動させる。
（７）時刻ｔ８〜ｔ１０
時刻ｔ８において吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが未検査品用トレイＴ４に向かってＸ軸正方向への移動を開始する。この際、吸着ヘッド１６５ｂは、Ｙ軸方向およびＲ方向の基準位置に移動する。同時にＹ軸方向トレイ搬送機構１８０が作動しトレイＴ４をＹ軸方向に移動する。なおＹ軸方向の基準位置Ｙ０は部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂの中間点で、図１７〜２４中にＹ０として表されている。
（８）時刻ｔ１０〜ｔ１２（図２１参照）
時刻ｔ１０において、一方側の吸着ヘッド１６５ｂがトレイＴ３の上方に到達する。
その後、吸着ヘッド１６５ｂが降下してトレイＴ３に収納された電子部品Ｄ６の上面に接触または接近して電子部品Ｄ６を吸着する。その果、吸着ヘッド１６５ｂにより電子部品Ｄ６が吸着された状態でトレイＴ３から取出される。
時刻ｔ１０ｂから吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂがＸ軸方向に移動して、時刻ｔ１１で他方側の吸着ヘッド１６５ａがトレイＴ３上方に到達する。そして、時刻ｔ１１からｔ１２の間において前記他方側の吸着ノズル１６６ｂの場合と同様にして吸着ノズル１６６ａによって電子部品Ｄ５が吸着され、時刻ｔ１２において、吸着ヘッド１６５ａが検査用ソケット１５２ａに向かってＸ軸正方向への移動を開始する。
（９）時刻ｔ１３〜ｔ１５（図２２参照）
Ｘ軸方向への移動中、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂはＹ軸正方向に移動する。このＹ軸方向移動は、ヘッド干渉エリアＡｉ内での吸着ヘッド同士の干渉を防止するためのものであり、ヘッド干渉エリアＡｉに入る前に行われる。
その後、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが、Ｘ軸方向への移動中に、部品位置確認カメラ１５１ａの上方を通過する。具体的には吸着ヘッド１６５ｂ，１６５ａの順で部品位置確認カメラ１５１ａ上を通過し、この通過の際に部品位置確認カメラ１５１ａによる撮像が行われ、撮像された画像情報に基づき電子部品Ｄ５，Ｄ６の位置（吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂに対する相対的な位置；つまり電子部品Ｄ５，Ｄ６の吸着状態）が画像認識される。
（１０）時刻ｔ１５〜ｔ１６
画像認識された電子部品Ｄ５，Ｄ６の位置に基づき、Ｘ軸方向への移動中、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂのＹ軸方向、Ｒ軸方向の位置を修正（補正）する。これは電子部品Ｄ５，Ｄ６の検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂへの接続を確実、かつ確実に行うためである。すなわち、電子部品Ｄ５，Ｄ６がトレイＴ３に収納されていたときの載置位置のずれ等により部品吸着時に誤差が生じる場合があるが、上記の処理によりこのような誤差を解消する。
（１１）時刻ｔ１７〜ｔ１８（図２３参照）
時刻ｔ１７において、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂのＸ軸方向の移動が完了する。また、電子部品Ｄ３，Ｄ４の検査が終了する。
時刻ｔ１７〜ｔ１８において、吸着ヘッド１６５ｃ，１６５ｄが電子部品Ｄ３，Ｄ４を吸着して上昇する。
（１２）時刻ｔ１８〜ｔ１９（図２４参照）
吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂ、吸着ヘッド１６５ｃ，１６５ｄが一斉にＹ軸負方向に移動する。その結果、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの上方に位置する。この際、時刻ｔ１５〜ｔ１６において吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂの位置が補正されているので、電子部品Ｄ５，Ｄ６は検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂとの接続に対応した適切な位置（上方）に配置されることとなる。
（１３）時刻ｔ１９〜ｔ２０
吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが降下して電子部品Ｄ５，Ｄ６が検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに接続される。その後、時刻ｔ２０において電子部品Ｄ５，Ｄ６の検査が開始される。ここでの動作は、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂと吸着ヘッド１６５ｃ，１６５ｄの役割が交換したことを除き、基本的に時刻ｔ３〜ｔ４のときと同様である。
（１４）時刻ｔ２０以降
その後は、電子部品Ｄ５，Ｄ６の検査が継続する。そして、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂと吸着ヘッド１６５ｃ，１６５ｄの役割が交換したことを除き、時刻ｔ４以降と対応する動作が繰り返し継続される。
以上の電子部品検査装置１Ａの動作では、検査用ソケット１５２がＸ軸方向に並んでいる場合について説明し、また、検査用板５１３の取付方向の検知および検知された取付方向に基づく吸着ヘッド１６５の位置の制御については記載を省略しているが、実際には、検査位置確認カメラ１５４，開口検知部１５６等による検査用ソケット１５２の種類、および取付方向の検知が行われた後、検知された検査用ソケット１５２の種類、および取付方向に対応して吸着ヘッド１６５（１６５ａ〜１６５ｄ）を移動させる。その結果、時刻ｔ３，ｔ１９において吸着ヘッド１６５が検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの上方に位置するようになる。
なお、検査用ソケット１５２の種類、および取付け方向の検知は、電子部品検査装置１Ａの動作開始時に１回のみ行えば足りる。
以上のように、この電子部品検査装置１Ａでは、検査領域１５０に部品位置確認カメラ１５１を設け、吸着ヘッド１６５によってトレイＴ４から電子部品Ｄを吸着した状態で取出した後、この電子部品Ｄをそのまま部品位置確認カメラ１５１上に移動させて電子部品Ｄの吸着状態を画像認識し、その画像認識に基づいて吸着ずれを補正してから検査用ソケット１５２に電子部品Ｄを挿入するように構成しているので、電子部品Ｄは、トレイＴ４から取出されて検査用ソケット１５２に挿入されるまで一度も降ろされることなく吸着ノズル１６６に吸着されたままで搬送されることとなる。従って、電子部品Ｄを画像認識して検査用ソケット１５２に正確に挿入する一方で、トレイＴ４から検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂへの電子部品Ｄの搬送を速やかに行うことができる。
特に、吸着ノズル１６６により吸着されている電子部品Ｄそのものを画像認識するため、正確な吸着状態を検出することが可能であり、これにより電子部品Ｄを検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに対してより正確、かつ確実に挿入することができる。つまり、従来のように、載置された電子部品を画像認識してから電子部品を吸着する場合には、画像認識後、部品吸着時にずれが生じると、その後そのずれを補正するができないため、検査用ソケットに対して電子部品を正確に挿入できない場合も起こり得るが、上記実施形態の電子部品検査装置１Ａによると、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂへの挿入直前に、吸着ノズル１６６に吸着されている電子部品Ｄそのものを画像認識して吸着状態を調べるので、その後に電子部品Ｄに吸着ずれが生じる余地がない。従って、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに対してより正確、かつ確実に電子部品Ｄを挿入することができるようになる。
また、上記電子部品検査装置１Ａでは、トレイ配置領域１３０の各トレイＴ１〜Ｔ４（合格部品用のトレイＴ１、不合格部品用のトレイＴ２、空トレイＴ３および検査前部品用のトレイＴ４）と、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂと、部品位置確認カメラ１５１ａ（又は１５１ｂ）とが略一列に並べて設けられ、これによりトレイＴ１から取出した電子部品ＤをＸ軸方向にほぼ直線的に搬送させ得るように構成しているので、電子部品ＤをＸ軸方向およびＹ軸方向の双方に大きく移動させる従来のこの種の装置に比べると電子部品Ｄの搬送速度を高めることが可能となる。また、トレイ配置領域１３０等がＸ軸方向に一列に配列されているため、該トレイ配置領域１３０をコンパクにレイアウトすることが可能であり、特に、Ｙ軸方向にコンパクトな構成の電子部品検査装置１Ａを提供することができる。
また、上記実施形態の電子部品検査装置１Ａでは、２つのＸ軸ロボット１２０ａ，１２０ｂが設けられ、これらＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂにそれぞれ一対の部品搬送機構１６０（部品搬送機構１６０ａ，１６０ｂ、部品搬送機構１６０ｃ，１６０ｄ）が設置され、これら一対の部品搬送機構１６０により交互に電子部品Ｄを搬送するように構成されているので、検査用ソケット１５２に電子部品Ｄを連続的に搬送しながら電子部品Ｄの検査を連続的に行うことができる。従って、極めて効率よく電子部品Ｄの検査を行うことができる。
（第２の実施形態）
図２５は本発明の第２の実施形態に係る電子部品検査装置１Ｂを示す上面図である。この図に示す電子部品検査装置１Ｂは、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニットとして以下に説明するような電子部品搬送ユニット１００Ｂを有しており、この電子部品搬送ユニット１００Ｂと電子部品検査ユニット２００との組み合わせにより構成されている。
なお、以下に説明する第２〜第９の実施形態に係る電子部品検査装置１Ｂ〜１０１はいずれも第１の実施形態の電子部品検査装置１Ａと基本構成は共通しており、従って、以下の説明において第１の実施形態と共通する部分についてはできるだけ同一の符号を付して説明を省略（又は簡略化）し、相違点について詳しく説明することにする。
第２の実施形態における電子部品搬送ユニット１００Ｂは、基台１１０、部品搬送機構１６０（１６０ａ〜１６０ｄ）、Ｘ軸ロボット１２０（１２０ａ、１２０ｂ）、トレイ配置領域２１３０（２１３０ａ、２１３０ｂ）、ストッカー配置領域２１４０（２１４０ａ、２１４０ｂ）、検査領域１５０、部品搬送機構１６０（１６０ａ〜１６０ｄ），Ｘ方向トレイ搬送機構１７０（１７０ａ，１７０ｂ）、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０（１８０ａ〜１８０ｄ）、制御部１９０等から構成され、カバーで覆われている。
この実施形態では、基台１１０の底部が略コの字型の形状とされており、電子部品検査ユニット２００がＹ軸方向から基台１１０の空間２１１１内に挿入される。このように基台１１０の底部が略コの字型の形状に構成されていることにより、基台１１０の４隅で重量を支えることが可能となっており、機械的な力（例えば地震）が加えられた場合でも転倒しにくく安定性した構成となっている。
基台１１０の中央近傍には検査領域１５０が配置され、トレイ配置領域２１３０として２つのトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂが検査領域１５０をＸ軸方向に挟んで設けられるとともに、ストッカー配置領域２１４０として２つのストッカー配置領域２１４０ａ、２１４０ｂがそれぞれトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂに対応して設けられている。
この実施形態では、トレイＴ１〜Ｔ４を各トレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂに区分して配置している。ここで、未検査品用トレイＴ４と検査済品用トレイＴ１，Ｔ２を異なる領域に配置することで、未検査の電子部品Ｄと検査済みの電子部品Ｄとの混入を確実に防止できるようになっている。
なお、この第２の実施形態においては、仮想線で示したように、トレイＴ１〜Ｔ４をそれぞれトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂの双方に配置することも可能である。この構成によれば、４つの吸着ヘッド１６５を有効に活用して、検査速度の向上を図ることができる。このとき、トレイ配置領域２１３０から検査領域１５０への電子部品Ｄの搬送および検査をトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂ間で交互に行うことで、トレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂによる検査領域１５０の共用化を図りつつ、かつ効率の良い検査を行うことができる。この共用化は装置の製造コスト、設置面積の低減に寄与する。この場合には、部品位置確認カメラ１５１は、トレイ配置領域２１３０ａとトレイ配置領域２１３０ｂにそれぞれ２つづつ配置する。
ストッカー１４１はストッカー配置領域２１４０ａ，２１４０ｂの双方で同一の構成としなくても良い。例えば、ストッカー１４１の平面的な配置、ストッカー１４１を基台１１０の上下どちらに配置するか（トレイＴの積層方向）をストッカー配置領域２１４０ａ，２１４０ｂで異ならせてもよい。なお、ストッカー１４１を基台１１０の下方に配置する構成の詳細は後の実施形態で述べることにする。
なお、この実施形態では、Ｘ軸ロボット１２０を２本用いているが、Ｘ軸ロボット１２０を１本のみ用い（例えばＸ軸ロボット１２０ａ）、このＸ軸ロボット１２０ａに対して２つの部品搬送機構１６０ａ，１６０ｂを移動可能に搭載した構成としてもよい。この場合、Ｘ軸ロボット１２０上の２つの部品搬送機構１６０を効率よく用いることで検査を効率的に行うことが可能となる。
また、一つのＸ軸ロボット１２０（例えばＸ軸ロボット１２０ａ）に対して４つの部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄを搭載した構成としてもよい。この場合、部品搬送機構１６０ａ、１６０ｂによりトレイ配置領域２１３０ａと検査領域１５０の間とので電子部品Ｄを搬送させ、部品搬送機構１６０ｃ、１６０ｄによってトレイ配置領域２１３０ｂと検査領域１５０との間で電子部品Ｄを搬送させることにより、効率良く部品の検査を行うことが可能となる。なお、この場合には、部品位置確認カメラ１５１をトレイ配置領域２１３０ａとトレイ配置領域２１３０ｂにそれぞれ１つづつ配置すればよい。
（第３の実施形態）
図２６は本発明の第３の実施形態に係る電子部品検査装置１Ｃを示す上面図である。この図に示す電子部品検査装置１Ｃは、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニットとして以下に説明するような電子部品搬送ユニット１００Ｃを有しており、この電子部品搬送ユニット１００Ｃと電子部品検査ユニット２００との組み合わせにより構成されている。
この図に示す電子部品搬送ユニット１００Ｃには、２つのトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂが検査領域１５０をＸ軸方向に挟んで設けられ、これらトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂに対応して２つのストッカー配置領域２１４０ａ、２１４０ｂが設けられている点で図２５に示した電子部品検査装置１Ｂと構成が共通している。しかし、以下の点において図２５に示した電子部品検査装置１Ｂと構成が相違している。
すなわち、一方側のＸ軸ロボット１２０ａ，１２０ｂに４つの部品搬送機構１６０ａ，１６０ｂおよび１６０ｅ，１６０ｆが搭載され、他方側のＸ軸ロボット１２０ａ，１２０ｂにも同様に４つの部品搬送機構１６０ｃ，１６０ｄおよび１６０ｇ，１６０ｈが搭載されている。そして、一方側のＸ軸ロボット１２０ａに搭載される部品搬送機構１６０ａ，１６０ｂおよび１６０ｅ，１６０ｆのうち両外側（Ｘ軸方向両外側）の部品搬送機構１６０ａ，１６０ｅにそれぞれＸ方向トレイ搬送機構１７０ａ，１７０ｃが設けられる一方、他方側のＸ軸ロボット１２０ｂに搭載される部品搬送機構１６０ｃ，１６０ｄおよび１６０ｇ，１６０ｈのうち両外側の部品搬送機構１６０ｃ，１６０ｇにそれぞれＸ方向トレイ搬送機構１７０ｂ，１７０ｄが設けられている。また、一方側のＸ軸ロボット１２０ａに搭載される部品搬送機構１６０ａ，１６０ｂおよび１６０ｅ，１６０ｆのうち内側の部品搬送機構１６０ｂ，１６０ｆにそれぞれ検査位置確認カメラ１５４が設けられている。
そして、各トレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂにそれぞれトレイＴ１〜Ｔ４が配置されるとともに、ストッカー配置領域２１４０ａ，２１４０ｂに、それぞれストッカー配置領域１４１ａ〜１４１ｄ、１４１ｅ〜１４１ｈが設けられている。
また、検査領域１５０には、それぞれ検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂを有する一対の検査板１５３ａ，１５３ｂがＸ軸方向に隣接した状態で設けられるとともに、一方側の検査板１５３ａと一方側のトレイ配置領域２１３０ａとの間に部品位置確認カメラ１５１ａ、１５１ｂが設けられ、他方側の検査板１５３ｂと他方側のトレイ配置領域２１３０ｂとの間に部品位置確認カメラ１５１ｃ、１５１ｄが設けられている。
つまり、この電子部品検査装置１Ｃでは、部品搬送機構１６０ａ，１６０ｂおよび１６０ｃ，１６０ｄを使って一方側のトレイ配置領域２１３０ａと一方側の検査用ソケット１５２との間で電子部品Ｄを搬送しながら当該部品Ｄの検査を行う一方で、これとは別に、部品搬送機構１６０ｅ，１６０ｆおよび１６０ｇ，１６０ｈを使って他方側のトレイ配置領域２１３０ｂと他方側の検査用ソケット１５２との間で電子部品Ｄを搬送しながら当該部品Ｄの検査を行うように構成されている。
この電子部品検査装置１Ｃによると、第１の実施形態の電子部品検査装置１Ａの２倍分の構成を含んでいるため、より効率よく電子部品Ｄの検査を行うことが可能となる。
なお、この第３の実施形態の電子部品検査装置１Ｃの構成では、一方側のＸ軸ロボット１２０ａに部品搬送機構１６０ａ，１６０ｂおよび１６０ｃ，１６０ｄが搭載され、他方側のＸ軸ロボット１２０ｂに部品搬送機構１６０ｅ，１６０ｆおよび１６０ｇ，１６０ｈがそれぞれ搭載されているが、例えば図２７に示すように、部品搬送機構１６０ａ，１６０ｂ、部品搬送機構１６０ｃ，１６０ｄ、部品搬送機構１６０ｅ，１６０ｆおよび部品搬送機構１６０ｇ，１６０ｈをそれぞれ、個別のＸ軸ロボット１２０ａ−１，１２０ａ−２，１２０ｂ−１，１２０ｂ−２に搭載する構成としてもよい。
（第４の実施形態）
図２８は本発明の第４の実施形態に係る電子部品検査装置１Ｄを示す上面図である。この図に示す電子部品検査装置１０Ｄは、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニットとして以下に説明するような電子部品搬送ユニット１００Ｄを有しており、この電子部品搬送ユニット１００Ｄと電子部品検査ユニット２００との組み合わせにより構成されている。
電子部品搬送ユニット１００Ｄは、基台１１０、２本のＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂ、トレイ配置領域１３０、ストッカー配置領域１４０、検査領域１５０、部品搬送機構３１６０ａ，３１６０ｂ、Ｘ方向トレイ搬送機構３１７０、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０ａ〜１８０ｄ、制御部当から構成されている。
図２９および図３０は、部品搬送機構３１６０（３１６０ａ，３１６０ｂ）を拡大して表した上面部および側面図である。
同図に示すように、この実施形態では、部品搬送機構３１６０ａ、３１６０ｂが両Ｘ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂに跨った状態で設けられるＹ軸ロボット３１６２を基礎として構成される。すなわち、各部品搬送機構３１６０ａ、３１６０ｂは、それぞれＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂに搭載される一対のＸ方向駆動部３１６１、これらＸ方向駆動部３１６１に亘って支持されるＹ軸ロボット３１６２、このＹ軸ロボット３１６２によりＹ軸方向に移動するＺ方向駆動部３１６３、このＺ方向駆動部３１６３に連結されるＲ方向駆動部３１６５、このＲ方向駆動部３１６５に接続される吸着ヘッド本体３１６６、この吸着ヘッド本体３１６６に接続される吸着ノズル支持部材３１６７および吸着ノズル３１６８等から構成されている。
そして、各Ｘ方向駆動部３１６１の作動によりＹ軸ロボット３１６２をＸ軸方向に移動させる一方で、Ｙ軸ロボット３１６２の作動によりＺ方向駆動部３１６３等をＹ軸方向に移動させることにより吸着ノズル３１６８をＸ軸およびＹ軸方向に移動させ、Ｚ方向駆動部３１６３およびＲ方向駆動部３１６５の作動によりに吸着ノズル３１６８をＺ軸方向に移動（昇降）させ、またＲ軸回りに回転させるように構成されている。
なお、部品搬送機構３１６０ａ、３１６０ｂのうち、一方側の部品搬送機構３１６０ａには第１の実施形態のＸ方向トレイ搬送機構１７０と同一構成のＸ方向トレイ搬送機構３１７０が設けられ、また、他方側の部品搬送機構３１６０ｂの吸着ヘッド本体３１６６には検査位置確認カメラ１５４が設けられている。
検査領域１５０には、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂを有する検査板１５３が設けられるが、検査板１５３ａとトレイ配置領域１３０との間には部品位置確認カメラ１５１が一つだけ設けられた構成となっている（図１３（Ａ）参照）。
以上のようなＸ軸ロボット１２０ａ，１２０ｂとＹ軸ロボット３１６２等との組み合わせかならる部品搬送機構３１６０ａ，３１６０ｂを備えた電子部品搬送ユニット１００Ｄおよび電子部品検査ユニット２００かなる電子部品検査装置１０Ｃを構成することもできる。
（第５の実施形態）
図３１は本発明の第５の実施形態に係る電子部品検査装置１Ｅを示す上面図である。この図に示す電子部品検査装置１Ｅは、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニットとして以下に説明するような電子部品搬送ユニット１００Ｅを有しており、この電子部品搬送ユニット１００Ｂと電子部品検査ユニット２００との組み合わせにより構成されている。
この図に示す電子部品搬送ユニット１００Ｅには、２つのトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂが検査領域１５０をＸ軸方向に挟んで設けられ、これらトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂに対応して２つのストッカー配置領域２１４０ａ、２１４０ｂが設けられている。
そして、第４の実施形態と同様の、Ｘ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂに跨った構成の４つの部品搬送機構３１６０ａ〜３１６０ｄが設けられている。そして、これら部品搬送装置３１６０ａ〜３１６０ｄのうち両外側の部品搬送装置３１６０ａ，１６０ｃにそれぞれＸ方向トレイ搬送機構３１７０，３１７０が設けられる一方、内側の各部品搬送装置３１６０ｂ，３１６０ｄにそれぞれ検査位置確認カメラ１５４が設けられている。なお、Ｘ方向トレイ搬送機構３１７０の基本構成は第１の実施形態のＸ方向トレイ搬送機構１７０と同一である。
そして、各トレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂにそれぞれトレイＴ１〜Ｔ４が配置されるとともに、ストッカー配置領域２１４０ａ，２１４０ｂに、それぞれストッカー配置領域１４１ａ〜１４１ｄ、１４１ｅ〜１４１ｈが設けられている。
また、検査領域１５０には、それぞれ検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂを有する一対の検査板１５３ａ，１５３ｂがＸ軸方向に隣接した状態で設けられ、各検査板１５３ａ，１５３ｂとそれらの外側（Ｙ軸方向外側）のトレイ配置領域２１３０ａ，２１３０ｂとの間にそれぞれ部品位置確認カメラ１５１が設けられている。
つまり、この電子部品検査装置１Ｅでは、上記のようにＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂに跨った構成の部品搬送装置３１６０ａ，３１６０ｂを使って一方側の検査板１５３ａとトレイ配置領域２１３０ａとの間で電子部品Ｄを搬送しながら当該部品Ｄの検査を行う一方で、これとは別に、部品搬送装置３１６０ｃ，３１６０ｄを使って他方側の検査板１５３ｂとトレイ配置領域２１３０ｂとの間で電子部品Ｄを搬送しながら当該部品Ｄの検査を行うように構成されている。
この電子部品検査装置１Ｅによると、第４の実施形態の電子部品検査装置１Ｄの２倍分の構成を含んでいるため、第４の実施形態の電子部品検査装置１Ｄに比べて、より効率よく電子部品Ｄの検査を行うことが可能となる。
（第６の実施形態）
図３２は本発明の第６の実施形態に係る電子部品検査装置１Ｆを示す斜視図である。この図に示す電子部品検査装置１Ｆは、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニットとして以下に説明するような電子部品搬送ユニット１００Ｆを有しており、この電子部品搬送ユニット１００Ｆと電子部品検査ユニット２００との組み合わせにより構成されている。
第６の実施形態に係る電子部品検査装置１Ｆは、ストッカー配置領域１４０の各ストッカー４１４１（４１４１ａ〜４１４１ｄ）が基台１１０の下方に設置されており、これにより電子部品検査装置１Ｆの高さが低く抑えられている点で第１の実施形態の電子部品検査装置１Ａと構成が相違している。以下、詳細に説明する。なお、ストッカー４１４１ａ〜４１４１ｄはいずれも共通の構成を有しており、従って、以下の説明では、特に必要な場合を除きストッカー４１４１ａ〜４１４１ｄを区別することなくストッカー４１４１として説明する。
図３３、図３４はそれぞれは電子部品検査装置１Ｆを図３２のＸ、Ｙ軸方向からそれぞれ見た状態を表す側面図および正面図で、図３５、図３６はそれぞれ、ストッカー４１４１の構成を示す側面図および正面図である。
ストッカー４１４１は、蓋部４１４２、４つの支柱４１４３、底部４１４４、４つのトレイ分離フック４１４５、トレイ昇降機構４１４６から構成され、その内部にＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入可能なトレイ搬送機構進入領域４１４７が形成されている。このうち、蓋部４１４２、支柱４１４３の上部、トレイ分離フック４１４５およびトレイ搬送機構進入領域４１４７は基台１１０の上面より上方（上側）に配置され、支柱４１４３の下部、底部４１４４およびトレイ昇降機構４１４６は基台１１０上面より下方（下側）に配置されている。
蓋部４１４２は、外形が略直方体状であり、その下方が開口している。また、内部にトレイ搬送機構進入領域４１４７を有し、トレイ配置領域１３０側の側面にトレイ搬送機構進入領域４１４７に通じる開口を有する。さらに、２対のトレイ分離フック４１４５が接続されている。
支柱４１４３は、蓋部４１４２の４隅に接続され、断面が略Ｌ字状の柱であり、トレイＴの４隅に対応してＸ軸−Ｙ軸の２方向においてトレイＴを保持する。
底部４１４４は、支柱４１４３に接続され、略矩形の底板および４つの側板より構成される。なお、この側板を除外し、底部４１４４である底板に支柱４１４３が直接接続されても差し支えない。
トレイ分離フック４１４５は蓋部４１４２に設置され、トレイ搬送機構進入領域４１４７内にトレイＴを支持するように、トレイＴの互いに対向する側面に対応して配置される。トレイ分離フック４１４５がトレイＴの凹部内に挿入されることで、トレイＴが固定される。トレイ分離フック４１４５には図示しない駆動機構が接続され、トレイＴの側面凹部へのトレイ分離フック４１４５の挿入、取り出しを行う。この挿入、取り出しによってトレイＴの固定およびその解除が行われる。
トレイ昇降機構４１４６は、積層したトレイＴを載置する平板（トレイ載置板）を有し、これを上下に昇降することで、積層したトレイＴをストッカー４１４１内上下に昇降する機構である。
トレイ搬送機構進入領域４１４７は、蓋部４１４２内に設定された略直方体状の空間であり、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０が蓋部４１４２側面の開口部を通じてＹ正方向から出入りするようになっている。
ここで、ストッカー４１４１内からトレイ配置領域１３０へのトレイＴの移動動作について、図３７の模式図を用いて説明する。
（１）まず、トレイ昇降機構４１４６の作動によりトレイ載置板が上昇し、トレイ搬送機構進入領域４１４７内で最上層のトレイＴをトレイ分離フック４１４５に対応した高さ位置に配置する（図３７（Ａ）参照）。なお、トレイ搬入機構進入領域４１４７内にはＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入していないものとする。
（２）トレイ分離フック４１４５が作動し、最上層のトレイＴをトレイ搬送機構進入領域４１４７内で固定する。
（３）トレイ昇降機構４１４６の作動によりトレイ載置板が降下する。その結果、積層されたトレイが一体に降下し、トレイ分離フック４１４５に固定されたトレイＴのみがトレイ搬送機構進入領域４１４７内に保持される。（図３７（Ｂ）参照）。
（４）トレイ搬入機構進入領域４１４７内にＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入するとともに、トレイ分離フック４１４５が解除され、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上にトレイＴが載置される（図３７（Ｃ）参照）。
こうしてＹ方向トレイ搬送機構１８０上に載置されたトレイＴがトレイ載置部１８３に固定され、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域４１４７から退出することにより、トレイＴがストッカー４１４１内から搬出されてトレイ配置領域１３０に配置されることとなる。
一方、トレイ配置領域１３０からストッカー４１４１内へのトレイＴの移動、載置は、以下のように行われる。
（１）まず、トレイＴがＹ方向トレイ搬送機構１８０上に載置された状態で、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ配置領域１３０からトレイ搬送機構進入領域４１４７内に進入する。これによりストッカー４１４１内にトレイＴが搬入される（図３７（Ｃ）参照）。
（２）Ｙ方向トレイ搬送機構１８０のトレイ固定部１８４によるトレイＴの固定状態が解除されるとともに、トレイ分離フック４１４５が作動してトレイＴを固定する。その後、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域４１４７内から退出する（図３７（Ｂ）参照）。
（３）トレイ昇降機構４１４６の作動によりトレイ載置板が上昇し、トレイ載置板状に積層されているトレイＴがトレイ分離フック４１４５で固定されたトレイＴ底面に接触すると、トレイ分離フック４１４５が解除され、これによりストッカー４１４１内のトレイ全てがトレイ昇降機構４１４６のトレイ載置板上に載置された状態となる。（図３７（Ａ）参照）。
（４）トレイ昇降機構４１４６の作動によりトレイ載置板が降下することにより、積層されたトレイＴが一体にストッカー４１４１内の下方に移動する。
以上のようにして、トレイ配置領域１３０上のトレイＴがストッカー４１４１内の最上段に載置されることとなる。
このような第６の実施形態の電子部品検査装置１Ｆによると、基台１１０上の突出部分を抑えることができるので、電子部品検査装置１Ｆの高さを低くコンパクトに抑えることが可能となるという利点がある。
（第７の実施形態）
図３８は本発明の第７の実施形態に係る電子部品検査装置１Ｇを示す斜視図である。この図に示す電子部品検査装置１Ｇは、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニットとして以下に説明するような電子部品搬送ユニット１００Ｇを有しており、この電子部品搬送ユニット１００Ｇと電子部品検査ユニット２００との組み合わせにより構成されている。
第７の実施形態に係る電子部品検査装置１Ｇは、ストッカー５１４１が基台１１０のトレイ配置領域１３０に設置された構成となっている。即ち、トレイ配置領域１３０とストッカー配置領域１４０とが共通化されて装置の小型化が図られており、この点で第１の実施形態の電子部品検査装置１Ａと構成が相違している。以下、詳細に説明する。なお、ストッカーは、例えばトレイＴ１〜Ｔ４に対応して同一構成のものが設置されるが、以下の説明では、これらを特に区別することなくストッカー５１４１として説明することにする。
ストッカー５１４１は、蓋部５１４２（図３８では、その一部を切り欠いた状態を表している）、４つの支柱５１４３、底部５１４４、４つのトレイ分離フック５１４５、トレイ昇降機構５１４６等から構成され、その内部にＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入するトレイ搬送機構進入領域５１４７が形成されている。このうち、蓋部５１４２と，支柱５１４３の上部、トレイ分離フック５１４５、およびトレイ搬送機構進入領域５１４７は基台１１０上面より上方（上側）に、支柱５１４３の下部、底部５１４４，およびトレイ昇降機構５１４６は基台１１０上面より下方（下側）に設置される。
本実施形態では、蓋部５１４２は、主として２つの側板から形成され、その上下双方およびＹ軸方向の両側面が開口している。また、内部にトレイ搬送機構進入領域５１４７を有する。さらに、２対のトレイ分離フック５１４５が設置されている。
蓋部５１４２の上方が開口しているのは、部品搬送機構１６０が蓋部５１４１内（トレイ搬送機構進入領域５１４７内）のトレイＴに対する電子部品Ｄの吸着、離着を可能とするためである。トレイＴがＹ方向トレイ搬送機構１８０またはトレイ分離フック５１４５のいずれかによって固定された状態で、電子部品Ｄの吸着、離着が行われる。
Ｘ方向トレイ搬送機構１７０によりトレイＴのＸ軸方向の搬送が可能なことは、第１〜６の実施形態と同様である。
本実施形態では、最上段のトレイＴの上方に吸着ヘッド１６６がアクセス可能な状態なので（蓋部５１４２の上方が開口しているため）、ストッカー５１４１内に収納、積み重ねられた状態のトレイＴをそのまま用いて電子部品Ｄを検査することが可能である。この場合には、最上段のトレイＴに対して電子部品を吸着、または離着する。
このような第７の実施形態の電子部品検査装置１Ｇによると、上記のようにトレイ配置領域１３０に対してストッカー配置領域１４０を共通化することができるので、その分、電子部品検査装置１Ｇをコンパクトに構成することができるという利点がある。
なお、この実施形態では基台１１０の下方にストッカー５１４１を配置しているが、基台１１０の上方にストッカーを配置してその最下段のトレイＴをトレイ配置領域１３０上に降下させて配置するように構成してもよい。
（第８の実施形態）
図３９は本発明の第８の実施形態に係る電子部品検査装置１Ｈを示す斜視図である。この図に示す電子部品検査装置１Ｈは、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニットとして以下に説明するような電子部品搬送ユニット１００Ｈを有しており、この電子部品搬送ユニット１００Ｈと電子部品検査ユニット２００との組み合わせにより構成されている。
第８の実施形態に係る電子部品検査装置１Ｈは、ストッカー６１４１の上下それぞれにトレイＴが収納され、これによりトレイＴの収納効率を向上させた構成となっており、この点で第１の実施形態の電子部品検査装置１Ａと構成が相違している。以下、詳細に説明する。なお、ストッカー配置領域１４０には４つのストッカーが設置されるが、以下の説明では、これらを特に区別することなくストッカー６１４１として説明することにする。
ストッカー６１４１は、蓋部６１４２、４つの支柱６１４３、底部６１４４、二組のトレイ分離フック６１４５ａ，６１４５ｂ、トレイ昇降機構６１４６から構成され、その内部にＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入するトレイ搬送機構進入領域６１４７が形成されている。このうち、蓋部６１４２、支柱６１４３の上部、トレイ分離フック６１４５ａ，６１４５ｂおよびトレイ搬送機構進入領域６１４７は基台１１０上面より上方（上側）に、支柱６１４３の下部、底部６１４４およびトレイ昇降機構６１４６は基台１１０上面より下方（下側）に設置されている。
トレイＴはストッカー６１４１の上下に収納されている。上方に収納されたトレイはトレイ分離フック６１４５ａに固定され、下方に収納されたトレイはトレイ昇降機構６１４６のトレイ載置板上に載置されている。
蓋部６１４２は、外形が略直方体状であり、その下方が開口している。なお、蓋部６１４２は平板状でも差し支えない。
支柱６１４３は、蓋部６１４２の４隅に接続され、断面が略Ｌ字状の柱であり、トレイＴの４隅に対応してＸ軸−Ｙ軸の２方向においてトレイＴを保持する。
底部６１４４は支柱６１４３に接続され、略矩形の底板および４つの側板より構成されている。なお、この側板を除外し、底部６１４４である底板に支柱６１４３が直接接続されていていても差し支えない。
２組のトレイ分離フック６１４５ａ、６１４５ｂは支柱６１４３の上下に設置されている。４つの支柱６１４３それぞれにトレイ分離フック６１４５ａ、６１４５ｂが設置されていることから、支柱６１４３には併せて８つのトレイ分離フック６１４５が備えられている。
トレイ分離フック６１４５ａは、ストッカー６１４１内上方の最下段のトレイＴを固定するために設置されている。また、トレイ分離フック６１４５ｂは、トレイ搬送機構進入領域６１４７内でトレイＴを固定するために設置されている。
トレイ分離フック６１４５ａ、６１４５ｂはいずれも、トレイＴの互いに対向する側面に対応して配置される。トレイ分離フック６１４５ａ、６１４５ｂがトレイＴの凹部内に挿入されることで、トレイＴが下方に落下するのが防止されている。トレイ分離フック６１４５ａ，６１４５ｂには図示しない駆動機構が接続されており、トレイＴの側面凹部へのトレイ分離フック６１４５ａ、６１４５ｂの挿入、取出しが行われる。この挿入、取出しによってトレイＴのＺ方向の固定およびその解除が行われる。
トレイ昇降機構６１４６は、積層したトレイＴを載置する平板（トレイ載置板）を有し、これを上下に昇降することで、積層したトレイＴをストッカー６１４１内上下に昇降する機構である。
トレイ搬送機構進入領域６１４７は、上方、下方のトレイＴの間に設定された略直方体状の空間であり、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がＹ正方向から出入りするようになっている。
ここで、ストッカー６１４１内上方からトレイ配置領域１３０へのトレイＴの移動動作について、図４０の模式図を用いて説明する。
（１）まず、トレイ昇降機構６１４６の作動によりトレイ載置板が上昇し、トレイ載置板上に積載された最上段のトレイＴが、トレイ分離フック６１４５ａに固定されているトレイＴ０（上方の最下段のトレイＴ：移動対象のトレイＴ０）の底面に接触した状態となる（図４０（Ａ）参照）。
（２）トレイ分離フック６１４５ａが解除され、トレイ昇降機構６１４６の動作によりトレイＴがトレイＴ一枚分だけ下降し（トレイ載置板が降下する）、トレイＴ０の１つ上のトレイＴがトレイ分離フック６１４５ａに対応する高さ位置に配置される。
（３）トレイ分離フック６１４５ａが動作し、トレイＴ０の１つ上のトレイＴが固定される（トレイ分離フック６１４５ａがトレイＴ０の１つ上のトレイＴ側面の凹部に挿入される）（図４０（Ｂ）参照）。
（４）トレイ昇降機構６１４６の動作によりトレイＴ０が降下する。このとき、トレイＴ０の１つ上のトレイＴはトレイ分離フック６１４５ａによって固定されている。
その後、トレイ昇降機構６１４６の作動によりトレイＴ０がトレイ分離フック６１４５ｂに対応する高さ位置、即ちトレイ搬入機構進入領域６１４７に配置される。
（５）トレイ分離フック６１４５ｂが作動しトレイＴ０が固定される。その後、トレイ昇降機構６１４６の作動によりトレイ載置板が降下する。その結果、トレイＴ０のみがトレイ分離フック６１４５ｂに固定され、このトレイＴ０から分離された状態でその他のトレイＴがストッカー６１４１の上下両側に積層状態で配置される（図４０（Ｃ）参照）。
（６）トレイ搬入機構進入領域６１４７内にＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入するとともに、トレイ分離フック６１４５ｂが解除され、これによりＹ方向トレイ搬送機構１８０上にトレイＴ０が載置される（図４０（Ｄ）参照）。そして、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域６１４７から退出することにより、トレイＴ０がストッカー６１４１内から搬出されてトレイ配置領域１３０に配置されることとなる。
一方、トレイ配置領域１３０からストッカー６１４１の上方へのトレイＴの移動、載置は、以下のように行われる。
（１）まず、対象とするトレイＴ０がＹ方向トレイ搬送機構１８０上に載置された状態で、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ配置領域１３０からトレイ搬送機構進入領域６１４７内に進入することにより、ストッカー６１４１内にトレイＴ０が搬入される（図４０（Ｄ）参照）。
（２）Ｙ方向トレイ搬送機構１８０によるトレイＴ０の固定が解除される一方で、トレイ分離フック６１４５ｂによりトレイＴ０が固定される。その後、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域４１４７内から退出する（図４０（Ｃ）参照）。
（３）トレイ昇降機構６１４６の作動によりトレイ載置板が上昇し、その最上段のトレイＴがトレイＴ０の底面に押し当る高さ位置に配置される。これにより全てのトレイＴがトレイ昇降機構６１４６により支持された状態となり、この状態でトレイ分離フック６１４５ｂが解除される（図４０（Ｂ）参照）。
（４）トレイ昇降機構６１４６の作動によりトレイＴがトレイＴ一枚分だけ上昇し、トレイＴ０がトレイ分離フック６１４５ａに対応する高さ位置に配置される。
（５）トレイ分離フック６１４５ａが動作し、トレイ昇降機構１４６上に載置されたトレイＴが固定される（図４０（Ａ）参照）。こうして、トレイ配置領域１３０上のトレイＴ０がストッカー６１４１内の上方最下段に収納、固定される。
（６）トレイ昇降機構６１４６の作動によりトレイ載置板が降下する。この際、トレイＴ０はトレイ分離フック６１４５ａによって固定されているので、トレイ載置板が降下してもそのまま保持されることとなる。
以上のようにして、トレイ配置領域１３０上のトレイＴがストッカー６１４１内の上方最下段に収納、固定されることとなる。
なお、ストッカー６１４１内下方へのトレイＴの収納、取り出しは第６の実施形態と同様にして行われることとなる。
このような第８の実施形態の電子部品検査装置１Ｈによると、トレイ搬送機構進入領域４１４７を挟んでストッカー６１４１の上下両側にそれぞれトレイＴを出し入れ可能に収納することができるため空間利用効率を高めることができるという利点がある。
（第９の実施形態）
図４１および図４２は、第９の実施形態に係る電子部品検査装置１Ｉを概略図で示しており、図４１は斜視図で、図４２は平面図でそれぞれ電子部品検査装置１Ｉを示している。
この図に示す電子部品検査装置１Ｉは、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニットとして以下に説明するような電子部品搬送ユニット１００Ｉを有しており、この電子部品搬送ユニット１００Ｉと電子部品検査ユニット２００（図示省略）との組み合わせにより構成されている。なお、第９の実施形態の基本構成は第１の実施形態に係る電子部品検査装置１Ａと共通するものの細部の構成に相違点が多いため、図面中の符号は必ずしも第１の実施形態と共通ものとはなっておらず、第１の実施形態と共通する部分についても、あえて重複して説明している場合がある。
これらの図に示すように、電子部品搬送ユニット１００Ｉの基台１１０上は３つの領域から構成されている。具体的には、電子部品の検査を実施する検査領域Ｔａと、検査前の部品を供給するとともに検査済みの部品（不合格部品）を排出する部品給排領域Ｓａと、検査済み部品（合格部品）をテープフィーダ用のテープに収納するテープコンポーネント領域Ｐａ（以下、コンポーネント領域Ｐａと略す）とから構成されている。これらの領域Ｔａ，Ｓａ，Ｐａは同図に示すようにＸ軸方向に一列に（図示の例では、装置右側から順に領域Ｔａ，Ｓａ，Ｐａの順番で一列に）配列されており、前記基台１１０上には、さらにこれら各領域Ｔａ，Ｓａ，Ｐａに亘って部品を搬送する部品搬送手段１０００が設けられている。
部品搬送手段１０００は、Ｙ軸方向に一定間隔を隔てて互いに平行な状態で前記領域Ｔａ，Ｓａ，Ｐａに亘ってＸ軸方向に延びる一対のレール部材１１ａ，１１ｂと、これらレール部材１１ａ，１１ｂにそれぞれ装着されてＸ軸方向に移動可能な一対のヘッドユニット１２ａ，１２ｂ（第１ヘッドユニット１２ａ，第２ヘッドユニット１２ｂという）とから構成されている。
これらのヘッドユニット１２ａ，１２ｂには、部品吸着用のノズル（吸着ノズル１６（図４３参照））をそれぞれ備えた一対の部品用ヘッド１３，１４と、トレイ吸着用のノズル（図示省略）を備えたトレイ用ヘッド１５とがそれぞれ搭載されている。なお、トレイ用ヘッド１５は、第１の実施形態のＸ方向トレイ搬送機構１７０に相当する部材である。
各ヘッドユニット１２ａ，１２ｂの前記ヘッド１３〜１５は、互いに向かい合う状態で前記レール部材１１ａ，１１ｂの内側にＸ軸方向に一列に配列されている。各ヘッド１３〜１５は、ヘッドユニット１２ａ，１２ｂの本体部分に対して相対的にＹ軸方向に移動可能に構成されるとももに、一のヘッド１３に対してその他のヘッド１４，１５がＸ軸方向に相対的に移動可能に構成されている。この構成により、各ヘッド１３〜１５がヘッドユニット１２ａ，１２ｂにおいて相対的にＸ軸およびＹ軸方向に移動し得るようになっている。なお、前記吸着ノズル１６は、各部品用ヘッド１３，１４に対して昇降（Ｚ軸方向の移動）および回転（Ｚ軸回りの回転）が可能となっている。
前記検査領域Ｔａには、一対のソケット（図示省略）を備えた検査板１５３と、部品用ヘッド１３，１４の各吸着ノズル１６による部品の吸着状態を撮像する部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂとが配置されている。
前記部品給排領域Ｓａはさらに２つの領域、具体的には検査領域Ｔａ側（図４２では右側）のトレイ領域Ｓａ１とコンポーネント領域Ｐａ側のウエハ領域Ｓａ２とから構成されている。
トレイ領域Ｓａ１には、部品収納用のトレイＴ（空トレイＴ３）を待機させる空トレイ待機部３１と、この空トレイ待機部３１に供給するための空トレイＴ３を積み重ねた状態で載置するストッカー３０と、検査後の部品のうち不合格品を収納するトレイＴ（トレイＴ２）を載置する部品収納部３２と、不合格部品が収納されたトレイＴ２を排出可能な状態に積み重ねて載置しておくストッカー３３とが設けられている。
空トレイ待機部３１および部品収納部３２は、それぞれ両レール部材１１ａ，１１ｂの内側にＸ軸方向に隣接した状態で設けられており、これに対して、ストッカー３０，３３は、一方側（図４２では下側）のレール部材１１ｂを挟んでそれぞれ空トレイ待機部３１および部品収納部３２の反対側（レール部材１１ｂの外側）に配設されている。すなわち、この実施形態では、トレイ領域Ｓａ１のうち空トレイ待機部３１が第１の実施形態のトレイ配置領域１３０ｃに相当し、部品収納部３２の領域が第１の実施形態のトレイ配置領域１３０ｄに相当する。また、ストッカー３０が配置される領域が第１の実施形態のストッカー配置領域１４０ｃに相当し、ストッカー３３が配置される領域が第１の実施形態のストッカー配置領域１４０ｃに相当する。
トレイ領域Ｓａ１には、さらにストッカー３０に載置されたトレイＴ３を空トレイ待機部３１に移動させるトレイ移動機構が設けられるとともに、部品収納部３２に載置された部品（不合格部品）収納後のトレイＴ２をストッカー３３に移動させるトレイ移動機構が設けられている。
これらのトレイ移動機構（本発明の容器搬送手段）は、基本的には共通した構成を有しており、以下、空トレイ待機部３１とストッカー３０の間でトレイＴを移動させるトレイ移動機構を例にその構成について説明する。なお、これ以降の説明においては、特に必要な場合を除きトレイＴ２，Ｔ３は区別することなくトレイＴとして説明する。
トレイ移動機構は、図４３に概略的に示すように、基台１１０の下方に配置されてＹ軸方向に延びるレール部材３４と、このレール部材３４に移動可能に装着される移動部材３５と、ストッカー３０に積み重ねられたトレイＴのうち最下位のトレイＴ以外のものをリフトアップして最下位のトレイＴを他のトレイＴから分離するリフトアップ装置（図示省略）とから構成されている。
移動部材３５には、トレイＴに対してその下側から係合可能な可倒式のフック３６が設けられている。このフック３６は、基台１１０に形成されるＹ軸方向に細長のスリット状の開口部を介して基台上に突出しており、この突出状態でトレイＴにその下側から係合し得るようになっている。
つまり、同図に示すように、リストアップ装置の作動により空トレイ載置部３０に積み重ねられたトレイＴのうち最下位のトレイＴ以外のトレイＴをリフトアップさせた状態とし、前記フック３６を基台上に突出させた状態で移動部材３５をレール部材３４に沿って移動させることにより、この移動部材３５の移動に伴い空トレイ載置部３０に在る最下位のトレイＴにフック３６を係合させて該トレイＴを空トレイ載置部３０から引き出して空トレイ待機部３１に移動させるように構成されている。移動後は、フック３６が傾倒姿勢（基台下に退避した状態）に切換えられ、この状態で移動部材３５が空トレイ載置部３０にリセットされることにより、トレイＴが空トレイ待機部３１に残されることとなる。
なお、部品収納部３２とトレイ排出部３３との間のトレイ移動機構については図示を省略するが、このトレイ移動機構も、実質的には上記と同一の構成となっており、部品収納部３２に在るトレイＴをトレイ排出部３３に移動させてトレイ排出部３３に既に積み重ねられているトレイＴの最下位に挿入するように構成されている。
ウエハ領域Ｓａ２には、部品としてベアチップ（チップ部品）を待機させる部品待機部５５と、ウエハＷａを収納したカセット４１をセットするカセット設置部４０と、ウエハＷａを移動可能に支持するウエハ載置部４２と、このウエハ載置部４２に置かれたウエハＷａから前記部品待機部５５へとベアチップを取出すベアチップ取出し装置５０（チップ部品取出手段）とが設けられている。
部品待機部５５は、レール部材１１ａ，１１ｂの間に設けられている。部品待機部５５にはテーブル５５ａが設置されており、ウエハＷａから取出されるベアチップが前記ヘッドユニット１２ａ，１２ｂにより吸着可能な状態でこのテーブル５５ａ上に載置されるようになっている。
カセット設置部４０は、基台１１０から側方（図４２では下側）に張り出した状態で設けられており、ウエハＷａ（ベアチップがダイシングされた状態のウエハ）を上下多段に収納したカセット４１がこのカセット設置台４０に脱着可能にセットされるようになっている。図示を省略するが、このカセット設置部４０には、カセット４１に対してウエハＷａを出し入れするウエハ出入機構が設けられており、この機構によりカセット４１内のウエハＷａが取出されてウエハ載置部４２の後記ステージ４８上に移載されるようになっている。
ウエハ載置部４２は、一方側のレール部材１１ｂと前記カセット設置部４０との間に部分に設けられており、このウエハ載置部４２には、図４４に示すようなウエハ移動ユニット４３が装備されている。
このウエハ移動ユニット４３は、基台１１０の下方に配置されており、Ｘ軸方向に延びる一対のレール部材４４に沿って移動可能な可動部材４５と、この可動部材４５に対してＹ軸方向に移動可能なベース部材４６と、このベース部材４６上に昇降軸４７を介して上下動（Ｚ軸方向の移動）に支持されるウエハ載置用のテーブル４８とを有している。そして、このテーブル４８上にウエハＷａを支持した状態で、前記可動部材４５がＸ軸方向に、ベース部材４６がＹ軸方向にそれぞれ移動することによりウエハＷａをＸ−Ｙ平面上で（二次元的に）移動させるように構成されている。
ベアチップ取出し装置５０は、前記ウエハ載置部４２から部品待機部５５に亘ってＹ軸方向に延びる高架のレール部材５１と、このレール部材５１に沿って移動可能な可動ユニット５２とから構成されている。可動ユニット５２には、その本体部分に対して昇降可能な昇降フレーム５４が設けられ、部品吸着用のノズル（吸着ノズル５３ａ）をもつ吸着ヘッド５３がこの昇降フレーム５４に搭載されるとともに、この昇降フレーム５４に対して水平軸回りに回転可能に支持されている。
つまり、このウエハ領域Ｓａ２では、カセット設置部４０にセットされたカセット４１からウエハＷａを取出してウエハ載置部４２のテーブル４８上に移載し、ベアチップ取出し装置５０によってこのテーブル４８上のウエハＷａから順次ベアチップを部品待機部５５に取出すようになっている。
ベアチップ取出し装置５０によるベアチップの取出しは、次のようにして行われる。すなわち、図４５の左側図に示すように、吸着ノズル５３ａを下向きにした状態でウエハ載置部４２上方の所定のチップ吸着位置に可動ユニット５２が配置さた後、昇降フレーム５４が可動ユニット５２の本体部分に対して昇降し、この昇降動作に伴い、基台１１０の開口部４９を介してウエハＷａからベアチップが前記吸着ノズル５３ａにより吸着された状態でピックアップされる。この際、前記ウエハ移動ユニット４３の作動によるウエハＷａの移動により、取出し対象のベアチップが吸着ノズル５３ａに対向する位置および取出し高さ位置に配置される。そして、ベアチップのピックアップ後、可動ユニット５２が部品待機部５５に配置され、同図の左側図（破線）に示すようにフェイスアップ姿勢、すなわち吸着ノズル１６によりベアチップを吸着してウエハＷａからピックアップしたままの姿勢でベアチップがテーブル５５ａ上に載置されるか、又は実線に示すようにフェイスダウン姿勢、すなわちベアチップを吸着したまま前記吸着ヘッド５３が回転駆動されることによりベアチップが上下反転された姿勢でテーブル５５ａの上方に保持される。
なお、図４１および図４２中、符号５６は、ウエハ載置部４２の上方に配置されるチップ認識カメラで、支持アーム５７により基台１１０に固定されている。このチップ認識カメラ５６は、ＣＣＤエリアセンサ等の撮像素子を有し、ベアチップ上に記される後記マーク（バットマーク）の有無を認識すべく、基台１１０の前記開口部４９を介してウエハＷａの各ベアチップを撮像するように構成されている。
コンポーネント領域Ｐａは、電子部品の実装装置において使われるテープフィーダ用のテープを製作する領域、具体的には、検査後のベアチップ（合格品）を専用テープに収納する作業を行う領域であり、次のような構成を有している。
コンポーネント領域Ｐａには、レール部材１１ａ，１１ｂを挟んで一方側（図２では上側）に、部品収納用の多数の凹部を一列に備えたベーステープ６３を巻回したリール６２が支持され、レール部材１１ａ，１１ｂを挟んでこのリール６２の反対側に、カバーテープを巻回したリール６０と製品テープ６１を巻回するリール６１とが支持されている。そして、両レール部材１１ａ，１１ｂの間に部品収納部６４が設けられ、前記リール６２から導出されたベーステープ６３がこの部品収納部６４を経由して前記リール６１に案内されつつこのレール６１に巻き取られるとともに、その直前でベーステープ６３にカバーテープが貼り付けられて前記凹部の開口が塞がれるように構成されている。つまり、前記部品収納部６４を経由するベーステープ６３の前記凹部に順次検査後のベアチップ（合格部品）を収納しながらカバーテープを貼り付けて前記凹部を塞ぐように構成されている。
図示を省略するが、この電子部品検査装置１０１も第１の実施形態の電子部品検査装置１Ａ等と同様に制御部１９０を有しており、上述したヘッドユニット１２ａ，１２ｂ等の動作は全てこの制御部により統括的に制御されるようになっている。以下、この制御部による電子部品検査装置１０Ｉの動作例について図４６のフローチャートに従って説明する。
検査動作が開始されると、まず、ウエハＷａがウエハ載置部４２に取出されているか否かが判断される（ステップＳ１）。そして、ウエハＷａが取出されていないと判断された場合には、カセット設置台４０にセットされたカセット４１からウエハＷａが取出されてウエハ移動ユニット４３の前記テーブル４８上に移載される（ステップＳ２）。
次いで、テーブル４８上に載置されたウエハＷａの画像認識が行われる（ステップＳ３）。すなわち、ダイシングされたベアチップのうち既に製造過程で形状的な不良等が発生しているものには前工程において予めバットマークが記されており、ステップＳ４では、ウエハ移動ユニット４３の作動により前記チップ認識カメラ５６に対してウエハＷａを相対的に移動させながら各ベアチップを撮像することにより、ウエハＷａ中のベアチップのうちバットマークが付されたベアチップの位置（座標）を画像認識する処理が行われる。
ベアチップの画像認識が終わると、可動ユニット５２が所定の部品取出し位置に配置されるとともに、取出し対象であるベアチップが吸着ヘッド５３に対向するようにウエハ移動ユニット４３の作動によりウエハＷａが可動ユニット５２に対して相対的に移動させられ、ベアチップの取出しが行われる（ステップＳ４）。
吸着ヘッド５３によりベアチップが取出された後、反転の有無判断が行われる（ステップＳ５）。ここで、反転が不要（無し）と判断された場合には、可動ユニット５２が部品待機部５５に移動し、ベアチップがフェイスアップ姿勢で前記テーブル５５ａ上に載置される（ステップＳ６）。これに対し、反転が必要（有り）と判断された場合には、可動ユニット５２が部品待機部５５へ移動した後、吸着ヘッド５３の回転駆動によりベアチップがフェイスダウン姿勢でテーブル５５ａの上方に配置される（ステップＳ１２）。
次いで、部品待機部５５の上方に第１ヘッドユニット１２ａ（又は第２ヘッドユニット１２ｂ）が移動した後、部品用ヘッド１３，１４の作動によりテーブル５５ａ上のベアチップ、又は吸着ヘッド５３に吸着保持されているベアチップが第１ヘッドユニット１２ａ（又は第２ヘッドユニット１２ｂ）により吸着される（ステップＳ７）。
第１ヘッドユニット１２ａ（又は第２ヘッドユニット１２ｂ）により部品（ベアチップ服務）が吸着されると、第１ヘッドユニット１２ａ（第２ヘッドユニット１２ｂ）の移動によりベアチップが部品位置確認カメラ１５１ａ（又は１５１ｂ）の上方に配置され、ベアチップの吸着状態の認識処理が行われる（ステップＳ８）。
その後、第１ヘッドユニット１２ａ（又は第２ヘッドユニット１２ｂ）が検査板１５３の上方に配置された後、部品用ヘッド１３，１４の下降に伴いベアチップが検査板１５３のソケット内に挿入され、該ベアチップに対する検査が実施される（ステップＳ９）。この際、ステップＳ８の認識結果に応じて第１ヘッドユニット１２ａ（又は第２ヘッドユニット１２ｂ）の動作が制御されることにより、前記ソケットに対するベアチップの挿入が良好に行われる。また、検査中は、ベアチップを部品用ヘッド１３等により吸着したままで該部品用ヘッド１３等によりベアチップを下向きに押圧した状態で検査が行われる。
こうして検査が終了すると、その検査結果が合格か否かが判断され（ステップＳ１０）、その結果に応じて振り分けが行われる。具体的には、検査結果が不合格の場合には、第１ヘッドユニット１２ａ（又は第２ヘッドユニット１２ｂ）の作動により、そのベアチップがそのまま部品収納部３２のトレイＴに収納される（ステップＳ１３）。これに対して、検査結果が合格の場合には、第１ヘッドユニット１２ａ（又は第２ヘッドユニット１２ｂ）の作動により、そのベアチップがそのままコンポーネント領域Ｐａに運ばれ、テープ（ベーステープ６３）に収納されることとなる。こうして一連のベアチップの検査動作が終了する。
なお、上記のような検査動作中、部品収納部３２に置かれた不合格品収納用のトレイＴ２が満載状態となると、このトレイＴ２をストッカー３３に払い出して新たな空トレイＴ３を搬入すべく、以下のようにトレイＴの移し替えが行われる。まず、現在部品収納部３２で使用されているトレイＴ２がトレイ移動機構の作動により部品収納部３２からストッカー３３に払い出される。次いで、第１ヘッドユニット１２ａ（第２ヘッドユニット１２ｂ）が空トレイ待機部３１上に移動して前記トレイ吸着ヘッド１５により空トレイＴ３を吸着した後、該ヘッドユニット１２ａが部品収納部３２に移動することにより空トレイＴ３を部品収納部３２に移し変える。これにより該空トレイＴ３が不合格部品収納用のトレイＴとして使用される。そして、この移し替えが完了すると、トレイ移動機構の作動によりストッカー３０に置かれた次の空トレイＴ３が空トレイ待機部３１に引き出されることとなる。
なお、上記のような第９の実施形態の電子部品検査装置１０１において、ウエハＷａから取出したベアチップを常にフェイスアップ姿勢で検査に供す場合には、ベアチップ取出し装置５０を省略した構成としてもよい。この場合には、例えば図４７に示すように、前記テーブル５５ａの代わりに部品待機部５５に前記ウエハ載置部４２の構成を設ければよい。具体的には、基台１１０にベアチップ取出し用の開口部４９を形成し、その下方に前記ウエハ移動ユニット４３を設け、前記ヘッドユニット１２ａ，１２ｂ（部品用ヘッド１３，１４）によりテーブル４８上に保持されたウエハＷａから直接ベアチップを吸着して取出すように構成すればよい。
この構成によると、一旦ヘッドユニット１２ａ，１２ｂによりベアチップを吸着した後は、検査を経てテープ（ベーステープ６３）等へベアチップを収納するまで、一切ベアチップの受渡しを行うことがないので、ベアチップの検査を更に安全に実施することができるという効果がある。
なお、この場合には、図４５においてウエハ移動ユニット４３が配設されていた部分にカセット設置台４０を設けるようにすればよい。これによれば、基台１１０の側方へのカセット設置台４０の張り出しが無くなり、装置の占有スペースが縮小されるというメリットがある。
このような第９の実施形態の電子部品検査装置１Ｉによると、検査板１５３、部品待機部５５、部品収納部３２、６４が一列に配列されているため、部品搬送手段１０００もヘッドユニット１２ａ，１２ｂを直線的に移動させるシンプルな構成で済む。従って、装置構成を簡素化することができるという効果がある。しかも、この装置では、上述のように、ヘッドユニット１２ａ，１２ｂにトレイ用ヘッド１５が搭載され、空トレイ待機部３１から部品収納部３２への空トレイＴ３の移し替え（搬送）手段として部品搬送用のヘッドユニット１２ａ，１２ｂが兼用された合理的構成が達成されているので、専用のトレイ搬送手段を設ける場合に比べると、装置構成を簡略化することができ、またその分、装置を安価に提供することができるという効果もある。
また、この構成では実装装置において使われるテープフィーダ用のテープを製作するための機能（コンポーネント領域Ｐａ）を電子部品検査装置１Ｉにもたせているので、テープに収納されるベアチップの性能に関する信頼性をも高めることができるという効果もある。すなわち、上記電子部品検査装置１Ｉでは、検査後、ヘッドユニット１２ａ，１２ｂに保持されているベアチップをそのままベーステープ６３に収納して製品化するので、テープ製品化の過程でベアチップが搬送機構間で受渡されて衝撃や静電気等の影響を受けるということがない。従って、テープに収納されるベアチップを物理的破壊等から良好に保護することができ、テープに収納されているベアチップの性能に関する信頼性を高めることができるようになる。
なお、第９の実施形態の電子部品検査装置１Ｉについては、次のような構成を採用することもできる。
例えば、ウエハＷａから取出したベアチップを常にフェイスアップ姿勢で検査に供す場合には、ベアチップ取出し装置５０を省略した構成としてもよい。この場合には、例えば図４７に示すように、前記テーブル５５ａの代わりに部品待機部５５に前記ウエハ載置部４２の構成を設ければよい。具体的には、基台１１０にベアチップ取出し用の開口部４９を形成し、その下方に前記ウエハ移動ユニット４３を設け、前記ヘッドユニット１２ａ，１２ｂ（部品用ヘッド１３，１４）によりテーブル４８上に保持されたウエハＷａから直接ベアチップを吸着して取出すように構成すればよい。
この構成によると、一旦ヘッドユニット１２ａ，１２ｂによりベアチップを吸着した後は、検査を経てテープ（ベーステープ６３）等へベアチップを収納するまで、一切ベアチップの受渡しを行うことがないので、ベアチップの検査を更に安全に実施することができるという効果がある。
なお、この場合には、図４５においてウエハ移動ユニット４３が配設されていた部分にカセット設置台４０を設けるようにすればよい。これによれば、基台１１０の側方へのカセット設置台４０の張り出しが無くなり、装置の占有スペースが縮小されるというメリットがある。
（その他の実施形態）
本発明の実施形態は上記実施形態には限られず拡張、変更できる。拡張、変更された実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）第１の実施形態では、検査用ソケット１５２に対する電子部品Ｄの接続の確実性を向上させるため、画像認識に基づいてソフト的に電子部品Ｄの吸着ずれ補正を行うようにしているが、例えば機械的に電子部品Ｄの位置を修正する部品位置調節機構を設けても差し支えない。
図４８（Ａ）、（Ｂ）は部品位置調節機構４００の一例を拡大して示す上面図および断面図である。なお、部品位置調節機構４００は、電子部品搬送ユニットの基台上いずれに設けても差し支えない。
部品位置調節機構４００を用いると電子部品Ｄの位置が調節されることから、部品位置確認カメラ等の部品位置確認手段を省略することが可能になる。
図４８に示す部品位置調節機構４００は、位置基準部４０１およびガイド部４０２から構成される。
位置基準部４０１は、電子部品検査装置１Ａの所定の座標（Ｘ，Ｙ，Ｒ）に対して位置決めされ、かつ電子部品Ｄの外形に対応して形成された凹部である。この例での位置基準部４０１は、電子部品Ｄの外形が平板矩形状であるとして、底面が矩形状の略直方体状の凹部から構成されている。
ガイド部４０２は、位置基準部４０１に電子部品Ｄを導くガイドの役割を有し、電子部品Ｄの外形より少し大きく形成された凹部から構成される。この例では、位置基準部４０１の底面の４つの頂点に向かう辺を有する略４角推台状の凹部から構成される。
図４９は、部品位置調節機構４００による位置調節のメカニズムを示している。この図に示すように、部品位置調節機構４００により位置調整を行う場合には、例えば部品搬送機構１６０の吸着ノズル１６６（第９の実施形態ではヘッドユニット１２ａ，１２ｂの吸着ノズル１６）により電子部品Ｄを吸着し、部品位置調節機構４００上に搬送する（図４９（Ａ）参照）。そして、吸着ノズル１６６を下降させて電子部品Ｄを離着し、部品位置調節機構４００のガイド部４０２内に載置（あるいは落下）する。このようにすると部品位置調節機構４００上に載置された電子部品Ｄが自重（重力）でガイド部４０２に沿って位置基準部４０１に導かれ、基準の位置に到達し、位置の調節が行われる（図４９（Ｂ）参照）。
その後、部品搬送機構１６０により電子部品Ｄを吸着すれば、部品搬送機構１６０に対する電子部品Ｄの位置が補正されることとなり（図４９（Ｃ）参照）、これにより、電子部品Ｄの検査用ソケットへの装着等が正確に行われることとなる。
図５０は、部品位置調節機構の他の例（部品位置調節機構４１０）を示す上面図である。この部品位置調節機構４１０は、２つの位置基準壁４１１、４１２から構成される。
各位置基準壁４１１、４１２は、電子部品検査装置の所定の座標（Ｘ，Ｙ，Ｒ）に対して位置決めされ、かつ電子部品Ｄの外形に対応して形成された壁（凸部）である。この例での位置基準壁４１１、４１２は、電子部品Ｄの外形が平板矩形状であるとして、その２つの側面の形状に対応した基準面を有する。
図５１は、この部品位置調節機構４１０による位置調節のメカニズムを示している。この図に示すように、部品位置調節機構４１０により位置調整を行う場合には、例えば部品搬送機構１６０の吸着ノズル１６６（第９の実施形態ではヘッドユニット１２ａ，１２ｂの吸着ノズル１６）により電子部品Ｄを吸着して移動し、部品位置調節機構４１０上に搬送する。その後、部品位置調節機構４１０の位置基準壁４１１、４１２の隅の近傍に電子部品Ｄを載置する（図５１（Ａ）参照）。
そして、さらに電子部品Ｄの一側面が位置基準壁４１１の基準面に押し当てられるように電子部品Ｄの位置を調節し（図５１（Ｂ）参照）、電子部品Ｄの一側面が位置基準壁４１１の基準面に押し当てられた状態を保持しつつ、電子部品Ｄの他の側面が位置基準壁４１２の基準面に押し当てられる状態となるまで電子部品Ｄを移動させる。このように電子部品Ｄを両位置基準壁４１１，４１２に押し当てることにより電子部品Ｄの位置調節が完了する。
その後、部品搬送機構１６０により電子部品Ｄを吸着すれば、部品搬送機構１６０に対する電子部品Ｄの位置が補正されることとなり（図５１（Ｃ）参照）、これにより、電子部品Ｄの検査用ソケットへの装着等が正確に行われることとなる。
（２）第１の実施形態では、いずれもトレイ配置領域１３０を挟んでのその両側（Ｙ軸方向両側）に一対のＸ軸ロボット１２０（第９の実施形態ではレール部材１１ａ，１１ｂ）を設け、トレイ配置領域１３０の両側を吸着ノズル１６６等が移動する構成となっているが、勿論、一つのＸ軸ロボット１２０等を設けることによりトレイ配置領域１３０の片側でのみ吸着ノズル１６６等が移動するように構成しても差し支えない。このような構成によればＹ軸方向についての装置の設置面積を軽減することが可能となる。
（３）第１の実施形態では、一本のＸ軸ロボット１２０の軌道上に部品搬送機構１６０を２つ設置しているが、一本のＸ軸ロボット１２０の軌道上に１つ、又は３つ以上の部品搬送機構を設置する構成としてもよい。
また、Ｘ軸ロボット１２０の軌道となるＸ軸レール上をどのような手段で構成するかも適宜に設定できる。例えば、図５２は、Ｘ軸レールと部品搬送機構の対応関係の例を表す模式図である。
図５２（Ａ）では、Ｘ軸レール５１１上に２つの部品搬送機構５１２ａ，５１２ｂが設置されてＸ軸ロボットが構成されている。これは、第１の実施形態に対応する構成であり、例えばリニアモータを用いて実現することができる。
図５２（Ｂ）では、Ｘ軸レール５２１ａ，５２１ｂ上それぞれに部品搬送機構５２２ａ、５２２ｂが設置されてＸ軸ロボットが構成され、例えばリニアモータを用いて実現できる。
図５２（Ｃ）では、Ｘ軸レール５３１ａ，５３１ｂ上それぞれに部品搬送機構５３２ａ、５３２ｂが設置されている。ここでは、ボールネジを用いて、Ｘ軸ロボット５３１ａ，５３１ｂを構成している。部品搬送機構５３２ａ、５３２ｂはこのボールネジを回転することで、ボールネジたるＸ軸レール５３１ａ，５３１ｂ上それぞれを移動する。
図５２（Ｄ）では、Ｘ軸レール５４１上に基体５４２が設置され、その基体５４２上に部品搬送機構５４３ａ、５４３ｂが設置されている。部品搬送機構５４３ａ、５４３ｂは相対移動手段５４４によって、基体５４２上においてＸ軸方向での互いの相対的な位置を変化することができる。これは、第９の実施形態の構成に類似するものである。
ここで、Ｘ軸レール５４１および相対移動手段５４４は、例えばボールネジで構成できる。これらのボールネジを回転することで、Ｘ軸レール５４１上の基体５４２の移動および部品搬送機構５４３ａ、５４３ｂの相対的な位置の変化が独立に行える。なお、Ｘ軸レール５４１および相対移動手段５４４をリニアモータにより構成しても差し支えない。
（４）例えば、第１の実施形態では、部品搬送機構１６０にＹ方向駆動部１６２を設けることにより吸着ノズル１６６をＹ軸方向に移動させ得るように構成しているが、例えば、基台１１０上にＹ軸ロボットを設け、このＹ軸ロボットによりＸ軸ロボット１２０をＹ軸方向に移動させることにより吸着ノズル１６６をＹ軸方向に移動させるように構成してもよい。この場合、Ｘ軸ロボット１２０は１本、２本のいずれの構成であってもよい。
（５）第１の実施形態では、基台１１０上であって、かつ両Ｘ軸ロボット１２０ａ，１２０ｂの間に設けられたトレイ配置領域１３０に空トレイＴ３を配置しているが、空トレイＴ３をこの領域外に配置するように構成してもよい。
この場合には、空トレイＴ３を収納するストッカーを別途設け、専用のトレイ搬送機構によりトレイ配置領域１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｄとの間で空トレイＴ３の搬送を行うようにすればよい。
（６）第１の実施形態では、吸着ヘッド１６５に単一の吸着ノズル１６６を配置しているが、２つ以上の吸着ノズルを配置してもよい。また、検査板１５３の検査用ソケットは１つでもよく、又３つ以上であってもよい。他の実施形態についても同様である。
（７）第１の実施形態の各Ｘ軸ロボット１２０に設置される部品搬送機構１６０に対応して、トレイＴ上の領域をＹ軸方向に２つに区分し、この区分された領域において各Ｘ軸ロボット１２０に設置された品搬送機構１２０がそれぞれ分担して電子部品の搬送を行うように構成してもよい。このようにすると、部品搬送機構１６０のＹ軸方向の移動量を低減でき、また、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０によるトレイＴのＹ軸方向の移動量を低減することができる。従って、Ｙ軸方向における装置サイズを低減することが可能となる。
（８）第１の実施形態では、電子部品搬送ユニット１００Ａと電子部品検査ユニット２００との間で通信を行っているが、この通信を不要とすることもできる。例えば、検査位置確認カメラ１５４によって検査用ソケット１５２を監視し、検査用ソケット１５２への電子部品Ｄの装着が確認されたことをトリガーとして、電子部品Ｄの搬送および検査を開始したがり、あるいは検査用ソケット１５２上にソケットの種別、検査内容を表すマークを形成しておき、これを検査位置確認カメラ１５４により読み取って検査内容等を選択するように構成することで、上記通信を不要とすることが考えられる。なお、検査内容としては、検査対象の電子部品Ｄの種別、検査手順等が挙げられる。この場合、このマークと検査内容の対応関係を表すテーブルを備えておけば、このテーブルを参照することで、適切な検査内容を選択できる。
（９）第１の実施形態では、検査領域１５０において、異なるＸ軸ロボット１２０に設置される部品搬送機構１６０（吸着ヘッド１５６）同士が干渉するのを回避すべく、互いに干渉するおそれのある吸着ヘッド１５６のうち一方側をＹ軸方向に退避させる干渉回避動作を行わせているが、このような干渉回避動作は、勿論、検査領域１５０以外で行うようにしてもよい。
また、共通のＸ軸ロボット１２０に搭載される複数の部品搬送機構１６０が互いに接近する方向に移動している場合には、一方の部品搬送機構１６０又は両方の部品搬送機構１６０を進行方向と反対側に移動させ、これにより部品搬送機構１６０同士の衝突を回避するように構成すればよい。この場合、例えば上記エンコーダの出力応じて両部品搬送機構１６０の間隔が一定間隔以内に接近した状態を検知する検知手段を設け、この検知手段による検知に基づき上記のような衝突回避動作を実行するようにすればよい。
（１０）第１の実施形態では、検査板１５３（検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂ）の取付け方向の検知は、検査板１５３に形成された開口部１５５を基台１１０側の開口検知部１５６（例えば、光センサ、リミットスイッチ等）で検出することによって行っているが、これに代えて他の手段で検査板１５３の取付方向を検知することも可能である。
▲１▼例えば、第１の実施形態において、検査板１５３にマーク（例えば点状、十字状のマーク）を形成しておき、検査位置確認カメラ１５４によって検査板上のマークを確認することで、検査板１５３、ひいては検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの取付け方向、さらには必要に応じてその位置（Ｘ，Ｙ軸方向座標）を検知することができる。このように検査板１５３の位置を予め検知しておくようにすれば、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに対する電子部品Ｄの接続をより正確、かつ確実に行えるようになる。
▲２▼検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂにマーク（例えば点状、十字状のマーク）を形成しておき、検査位置確認カメラ１５４によって検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂ上のマークを確認することで検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの取付け方向を検知することもできる。この場合には、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂ自体の方向および位置（Ｘ，Ｙ軸方向座標）を直接的に検知できるので、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂへの電子部品Ｄの接続を確実に行えるようになる。
▲３▼このような、検査板１５３、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに形成するマークは、１つでもよいが、２つ以上とすることもできる。例えば、２つのマークを検査板１５３、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂのいずれかに形成し、これを検査位置確認カメラ１５４で撮像し、２つのマークの座標に基づき検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの位置、方向を検知できる。この場合には、異なる位置に配置されたマークを用いることで、より正確に検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの位置、方向を検知できる。
▲４▼検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの位置、方向は、上記のような取付け方向の検知手段を設けることなく、入力手段（入力スイッチ、マウス、キーボード等）を用いて作業者が入力することも可能である。
なお、上述した「その他の実施形態」は、主に第１の実施形態の電子部品検査装置１Ａを対象として説明しているが、勿論、第２〜第９の実施形態についても提供可能であることは言うまでもない。
産業上の利用可能性
以上のように、本発明に係る電子部品検査装置は、部品待機部にある電子部品を部品搬送手段により検査部に搬送し、ここで所定の検査を行った後、検査後の電子部品を部品搬送手段によりその結果結果に応じた部品収納部に搬送して収納するように構成された電子部品検査装置に関するものであり、特に、電子部品の検査を効率的、かつ精度良く行うのに有用なものである。
【図面の簡単な説明】
図１は；本発明の第１の実施形態に係る電子部品検査装置を表す斜視図である。
図２は；第１の実施形態に係る電子部品検査装置を図１のＺ軸方向から見た状態を表す上面図である。
図３は；第１の実施形態に係る電子部品検査装置を図１のＸ軸方向から見た状態を表す側面図である。
図４は；第１の実施形態に係る電子部品検査装置を図１のＹ軸方向から見た状態を表す正面図である。
図５は；トレイ配置領域とストッカー配置領域の対応関係を表す模式図である。
図６は；トレイ配置領域におけるトレイＴの配置例を表す表である。
図７は；ストッカーを拡大して表す側面図である。
図８は；ストッカーを拡大して表す正面図である。
図９は；ストッカー内におけるトレイＴの移動状態を表す模式図である。
図１０は；検査領域を拡大した状態を表す上面図断面図である。
図１１は；検査領域を拡大した状態を表す断面図である。
図１２は；部品位置確認カメラと検査用ソケットの配置例を模式的に表す上面図である。
図１３は；部品位置確認カメラと検査用ソケットの配置例を模式的に表す上面図である。
図１４は；部品搬送機構を拡大して表した状態を表す上面図である。
図１５は；部品搬送機構を拡大して表した状態を表す側面図である。
図１６は；電子部品検査装置の動作手順を表すタイミングチャートである。
図１７は；図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
図１８は；図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
図１９は；図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
図２０は；図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
図２１は；図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
図２２は；図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
図２３は；図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
図２４は；図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
図２５は；本発明の第２の実施形態に係る電子部品検査装置を上面から見た状態を表す上面図である。
図２６は；本発明の第３の実施形態に係る電子部品検査装置を上面から見た状態を表す上面図である。
図２７は；第３の実施形態に係る電子部品検査装置の別の例を上面から見た状態を表す上面図である。
図２８は；本発明の第４の実施形態に係る電子部品検査装置を上面から見た状態を表す上面図である。
図２９は；第４の実施形態に係る電子部品検査装置の部品搬送機構を拡大して表した上面図である。
図３０は；第４の実施形態に係る電子部品検査装置の部品搬送機構を拡大して表した側面図である。
図３１は；本発明の第５の実施形態に係る電子部品検査装置を上面から見た状態を表す上面図である。
図３２は；本発明の第６の実施形態に係る電子部品検査装置を表す斜視図である。
図３３は；第６の実施形態に係る電子部品検査装置を図３２のＸ軸方向から見た状態を表す側面図である。
図３４は；第６の実施形態に係る電子部品検査装置を図３２のＹ軸方向から見た状態を表す正面図である。
図３５は；第６の実施形態に係る電子部品検査装置のストッカーを拡大して表す側面図である。
図３６は；第６の実施形態に係る電子部品検査装置のストッカーを拡大して表す正面図である。
図３７は；第６の実施形態に係る電子部品検査装置のストッカー内におけるトレイＴの移動状態を表す模式図である。
図３８は；本発明の第７の実施形態に係る電子部品検査装置を表す側面図である。
図３９は；本発明の第８の実施形態に係る電子部品検査装置を表す側面図である。
図４０は；第８の実施形態に係る電子部品検査装置のストッカー内におけるトレイＴの移動状態を表す模式図である。
図４１は；本発明の第９の実施形態に係る電子部品検査装置を表す斜視図である。
図４２は；第９の実施形態に係る電子部品検査装置を表す上面図である。
図４３は；トレイ移動機構の構成を示す側面図である。
図４４は；ウエハ移動ユニットの構成を示す斜視図である。
図４５は；チップ部品取出し装置の構成を示す斜視図である。
図４６は；第９の実施形態に係る電子部品検査装置における検査動作を示すフローチャートである。
図４７は；第９の実施形態に係る電子部品検査装置の別の例を表す斜視図である。
図４８は；部品位置調節機構の一例を拡大して表す上面図および断面図である。
図４９は；図４８に示した部品位置調節機構による位置調節のメカニズムを示す模式図である。
図５０は；部品位置調節機構の他の例を拡大して表す上面図および断面図である。
図５１は；図５０に示した部品位置調節機構による位置調節のメカニズムを示す模式図である。
図５２は；Ｘ軸レールと部品搬送機構の対応関係の例を表す模式図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【国際調査報告】
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