(57)【要約】シリンダ１０の中にはピストン１３が軸方向に往復動自在に収容されており、ピストン１３に固定されたピストンロッド１４がロッドカバー１２を貫通して外部に突出している。膨張収縮室２１，２２と作動ポート５，６との間に接続された負圧供給路２３，２４には、膨張収縮室２１，２２に向かう空気の流れを許容し逆方向の流れを阻止する負圧用逆止弁３１，３２が設けられている。膨張収縮室２１，２２を外部に連通させる排気流路２５，２６には膨張収縮室２１，２２から外部に向かう流れを許容し逆方向の流れを阻止する排気用逆止弁３３，３４が設けられている。ピストン１３の往復動によりそれぞれの負圧供給路２３，２４は真空状態となる。
2003029653.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピストンロッドに固定されたピストンを軸方向に往復動自在に収容するシリンダと、
前記ピストンロッドに連結され、前記ピストンを軸方向に往復駆動する駆動手段と、
前記シリンダ内に形成された膨張収縮室と、正圧若しくは負圧の空気が供給される作動ポートとを接続する圧力供給路と、
前記圧力供給路に設けられ、前記ピストンの往復動に伴う前記膨張収縮室の膨張収縮時に前記圧力供給路を介して前記作動ポートと前記膨張収縮室とを連通させる開放用逆止弁と、
前記圧力供給路に接続された補助流路に設けられ、前記開放用逆止弁が前記圧力供給路を開放するときに前記補助流路を閉じ、前記圧力供給路を閉じるときに前記補助流路を開放する補助逆止弁とを有し、
前記ピストンにより前記膨張収縮室を膨張させて前記作動ポートに正圧若しくは負圧の空気を供給することを特徴とする圧力発生装置。
【請求項２】
請求項１記載の圧力発生装置において、前記ピストンの一方側の膨張収縮室に接続された第１の圧力供給路に設けられる第１の開放用逆止弁と、前記第１の圧力供給路に接続された第１の補助流路に設けられる第１の補助逆止弁と、前記ピストンの他方側の膨張収縮室に接続された第２の圧力供給路に設けられる第２の開放用逆止弁と、前記第２の圧力供給路に接続された第２の補助流路に設けられる第２の補助逆止弁とを有し、前記ピストンの往復動によりそれぞれの前記圧力供給路が接続された２つの前記作動ポートに交互に正圧若しくは負圧の空気を供給することを特徴とする圧力発生装置。
【請求項３】
請求項１記載の圧力発生装置において、部品を搬送する部品搬送部に形成された前記作動ポートに、前記圧力供給路を接続したことを特徴とする圧力発生装置。
【請求項４】
請求項２記載の圧力発生装置において、前記第１の開放用逆止弁および前記第１の補助逆止弁によりなる第１の逆止弁組立体と、前記第２の開放用逆止弁および前記第２の補助逆止弁によりなる第２の逆止弁組立体とを前記シリンダに前記ピストンの往復動方向にずらして設けたことを特徴とする圧力発生装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、パルス状の負圧空気若しくは正圧空気を発生させる圧力発生装置に関し、たとえば、半導体チップ、コンデンサや抵抗器などの小型かつ軽量な部品を搬送する搬送部において部品の姿勢ないし位置決めを行うための正圧若しくは負圧の空気を発生させる圧力発生装置に関する。
背景技術
半導体チップ、コンデンサや抵抗器などの小型かつ軽量な部品を実装基板やテストボードに搭載する場合には、部品供給部からチップマウンタによって実装基板やテストボードにまで搬送するようにしている。比較的小型の部品を搭載する場合には、部品はテープフィーダやバルクフィーダに収容された状態となって部品供給部に配置される。テープフィーダはテープに所定の間隔毎に部品を装着し、テープを搬送しながら部品を繰り出すようにしている。また、バルクフィーダは部品収容部からガイドレールに直線状に配列して搬送するようにし、ガイドレールの先端部から部品を繰り出すようにしている。
テープフィーダは部品が取り出された後には、空のテープが残ることになり、それを廃棄物として処理することが必要となるのに対して、バルクフィーダは廃棄物を発生させることがないという利点を有している。しかしながら、バルクフィーダを使用して部品を取り出すためには、バルクフィーダのガイドレールの取り出し口の位置で部品を位置決めする必要がある。部品を所定の姿勢として所定の位置に位置決めするために、部品を真空によってガイドレールの所定の位置に位置決めする試みがなされた。
真空は、１９８９年２月２５、株式会社オーム社発行の「油空圧便覧」第４５０〜４５１頁に記載されるように、真空ポンプやエジェクターによって発生させることができるが、バルクフィーダなどに真空ポンプを組み込むようにするとフィーダ自体が大型となってしまう。また、エジェクターを用いて真空を発生させるには、圧縮空気を常にノズルからディフューザ部に供給する必要があるので、部品搬送装置にコンプレッサなどの空気圧発生源を設けなければならず、搬送装置が大型となってしまう。
たとえば、バルクフィーダにより所定の搬出口まで搬送される部品の姿勢を調整するとともに位置決めを行うために、部品を真空吸着させる場合には、常に部品を真空により吸着したのでは、バルクフィーダにより形成される部品供給部から実装基板まで搬送ヘッドにより部品を持ち上げる際に、部品を軽く持ち上げることができなくなる。そこで、バルクフィーダに部品を吸着するために、パルス状に負圧空気を供給するようにしたところ、部品は瞬間的に吸着と吸着解除とが繰り返されることになり、部品の位置決めを確実に行うことができるとともに、吸着が解除されたときに搬送ヘッドにより部品を確実に持ち上げることが可能となることが判明した。また、部品を搬送するために、パルス状の圧縮空気を供給しても、同様に部品の位置決めを確実に行うことが可能であることが判明した。
しかしながら、真空ポンプやエジェクターによって発生させた負圧空気やコンプレッサによって発生させた正圧空気をパルス状に供給するには、真空路や正圧路にこの流路を開閉するための電磁弁を設ける必要がある。
本発明の目的は正圧空気若しくは負圧空気を発生させる小型の圧力発生装置を提供することにある。
本発明の他の目的はパルス状の正圧空気若しくは負圧空気を発生させる小型の圧力発生装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、小型かつ軽量の部品を搬送部材に沿って搬送する際に、搬送部材の所定の位置で正圧若しくは負圧の空気によって部品を位置決めし、先頭の部品を確実に搬送部材から取り出し得るようにする圧力発生装置を提供することにある。
発明の開示
本発明の圧力発生装置は、ピストンロッドに固定されたピストンを軸方向に往復動自在に収容するシリンダと、前記ピストンロッドに連結され、前記ピストンを軸方向に往復駆動する駆動手段と、前記シリンダ内に形成された膨張収縮室と、正圧若しくは負圧の空気が供給される作動ポートとを接続する圧力供給路と、前記圧力供給路に設けられ、前記ピストンの往復動に伴う前記膨張収縮室の膨張収縮時に前記圧力供給路を介して前記作動ポートと前記膨張収縮室とを連通させる開放用逆止弁と、前記圧力供給路に接続された補助流路に設けられ、前記開放用逆止弁が前記圧力供給路を開放するときに前記補助流路を閉じ、前記圧力供給路を閉じるときに前記補助流路を開放する補助逆止弁とを有し、前記ピストンにより前記膨張収縮室を膨張させて前記作動ポートに正圧若しくは負圧の空気を供給する。
本発明の圧力発生装置は、前記ピストンの一方側の膨張収縮室に接続された第１の圧力供給路に設けられる第１の開放用逆止弁と、前記第１の圧力供給路に接続された第１の補助流路に設けられる第１の補助逆止弁と、前記ピストンの他方側の膨張収縮室に接続された第２の圧力供給路に設けられる第２の開放用逆止弁と、前記第２の圧力供給路に接続された第２の補助流路に設けられる第２の補助逆止弁とを有し、前記ピストンの往復動によりそれぞれの前記圧力供給路が接続された２つの前記作動ポートに交互に正圧若しくは負圧の空気を供給する。
本発明の圧力発生装置は、部品を搬送する部品搬送部に形成された前記作動ポートに、前記圧力供給路を接続したことを特徴とする。
本発明の圧力発生装置は、前記第１の開放用逆止弁および前記第１の補助逆止弁によりなる第１の逆止弁組立体と、前記第２の開放用逆止弁および前記第２の補助逆止弁によりなる第２の逆止弁組立体とが前記シリンダに前記ピストンの往復動方向にずらして設けられている。
本発明にあっては、シリンダ内に組み込まれたピストンを直線方向に往復動することによって小型の装置により正圧空気あるいは負圧空気を発生させることができる。ピストンの往復動によって正圧あるいは負圧の空気を発生させるようにしたので、ピストンの往動と復動の一方の移動時に正圧あるいは負圧の空気を発生させ、他方の移動時には正圧あるいは負圧の空気の発生を停止させることができ、電磁弁などを使用することなく、簡単かつ小型の装置によって正圧あるいは負圧の空気の供給と供給の停止とを繰り返してパルス状に発生させることができる。また、膨張収縮室と逆止弁との距離を近づけることによって、空気の流れる空間を小さくでき、そのためパルス状に発生させる正圧あるいは負圧空気の高速応答性が向上する。部品を搬送する部品搬送部に形成された作動ポートにパルス状の圧縮空気あるいは負圧空気を供給することによって、部品を部品搬送部で所定時間位置決め停止させた後に、部品を部品搬送部から取り出すことができる。
発明を実施するための最良の形態
図１に示される圧力発生装置はバルクフィーダにより形成される部品供給部から図示しない実装基板に対して半導体チップなどの部品を搬送供給するための部品搬送装置に適用されており、部品搬送装置に負圧空気を供給することにより部品が所定の位置で位置決めされ、先頭の部品から外部に取り出されるようになっている。つまり、この圧力発生装置は負圧発生用として適用されている。
図１にはバルクフィーダの部品搬出口が示されており、部品Ｗはガイドレール１に沿って整列されて搬送されるようになっている。ガイドレール１には矢印で示すように直線方向に往復動自在に開閉式のシャッター２が設けられおり、このシャッター２により部品搬出口３が開閉される。シャッター２により部品搬出口３が開かれた状態のもとで、図示しない搬送ヘッドに設けられた吸着具４が下降移動して吸着具４により部品Ｗは吸着されて上昇し、実装基板などの所定の組み付け位置まで水平方向に搬送される。所定の位置まで搬送された後、吸着具４を下降移動させることにより、部品Ｗは実装基板などの被組み付け部材に搭載される。
ガイドレール１に沿って搬送された部品Ｗを部品搬出口３の所定の位置で位置決めするとともに所定の姿勢に設定するために、ガイドレール１の底面には負圧空気つまり真空が供給されるようになった２つの作動ポート５，６が形成されている。これらに負圧空気を供給するための圧力発生装置は、一端にヘッドカバー１１が設けられ他端部にロッドカバー１２が設けられたシリンダ１０を有し、このシリンダ１０の中にはピストン１３が軸方向に往復動自在に収容されている。
ピストン１３に固定されたピストンロッド１４はロッドカバー１２を貫通して外部に突出しており、ピスントロッド１４は、駆動手段としての図示しない電動モータにより回転駆動される回転部材１５にリンク機構１６および連結ねじ部材１７を介して連結されている。これにより、電動モータの回転がリンク機構１６を介してピストンロッド１４の軸方向往復動に変換され、ピストン１３は直線方向に往復動する。ただし、ピストン１３の往復動は電動モータに限られず、空気圧シリンダなどの他の駆動手段を用いても良い。
シリンダ１０内にはピストン１３の両側にそれぞれ膨張収縮室２１，２２が形成されており、膨張収縮室２１はピストン１３が図１において左側に移動すると収縮し、右側に移動すると膨張する。逆に、膨張収縮室２２はピストン１３が図１において左側に移動すると膨張し、右側に移動すると収縮する。一方の膨張収縮室２１とガイドレール１の底面との間には負圧供給路２３が圧力供給路として接続されており、この負圧供給路２３はガイドレール１の底面に形成された作動ポート５に連通されている。他方の膨張収縮室２２とガイドレール１の底面との間には負圧供給路２４が圧力供給路として接続されており、この負圧供給路２４はガイドレール１の底面に形成された作動ポート６に連通されている。
一方の負圧供給路２３には補助流路として排気流路２５が接続されており、この排気流路２５は負圧供給路２３を介して膨張収縮室２１に連通している。他方の負圧供給路２４には補助流路として排気流路２６が接続されており、この排気流路２６は負圧供給路２４を介して膨張収縮室２２に連通している。
それぞれの負圧供給路２３，２４には、それぞれ作動ポート５，６から膨張収縮室２１，２２に向かう空気の流れを許容し、逆方向の流れを阻止する負圧用逆止弁３１，３２が開放用逆止弁として設けられている。つまり、負圧用逆止弁３１はピストン１３の往復動に伴って膨張収縮室２１が膨張すると負圧供給路２３を開放してこの負圧供給路２３を介して作動ポート５と膨張収縮室２１とが連通状態となり、収縮すると負圧用逆止弁３１により負圧供給路２３は閉じられることになる。また、負圧用逆止弁３２はピストン１３の往復動に伴って膨張収縮室２２が膨張すると負圧供給路２４を開放してこの負圧供給路２４を介して作動ポート６と膨張収縮室２２とが連通状態となり、収縮すると負圧用逆止弁３２により負圧供給路２４は閉じられることになる。
それぞれの排気流路２５，２６には、それぞれの膨張収縮室２１，２２から外部に向かう空気の流れを許容し、逆方向の流れを阻止する排気用逆止弁３３，３４が補助逆止弁として設けられている。つまり、排気用逆止弁３３は負圧用逆止弁３１が負圧供給路２３を開放するときには排気流路２５を閉じ、負圧用逆止弁３１が負圧供給路２３を閉じるときには排気流路２５を開放することになる。また、排気用逆止弁３４は負圧用逆止弁３２が負圧供給路２４を開放するときには排気流路２６を閉じ、負圧用逆止弁３２が負圧供給路２４を閉じるときには排気、流路２６を開放することになる。
したがって、ピストン１３が図１において右方向に移動して膨張収縮室２１が膨張すると、負圧用逆止弁３１は開かれて負圧供給路２３は負圧状態になり、作動ポート５には負圧空気が供給される。一方、左方向に移動すると、負圧用逆止弁３１が閉じられ、排気用逆止弁３３が開かれて排気流路２５は外部と連通して膨張収縮室２１内の空気は外部に排出される。
同様に、ピストン１３が図１において左方向に移動して膨張収縮室２２が膨張すると、負圧用逆止弁３２は開かれて負圧供給路２４は負圧状態になり、作動ポート６には負圧空気が供給される。一方、右方向に移動すると、負圧用逆止弁３２が閉じられ、排気用逆止弁３４が開かれて排気流路２６は外部と連通して膨張収縮室２２内の空気は外部に排出される。つまり、この発力発生装置は正圧空気発生装置として適用されている。
図２は本発明の他の実施の形態である圧力発生装置を示す概略図である。この圧力発生装置は図１に示すものと同様の部品搬送装置に適用されており、部品搬送装置に正圧空気を供給することにより部品が所定の位置で位置決めされ、先頭の部品から外部に取り出されるようになっている。
図２においては図１に示された部材と共通する部材には同一の符号が付されており、この場合には作動ポート５，６はガイドレール１の側面に開口され、ここから正圧空気を部品Ｗに吹き付けることにより、部品Ｗはガイドレール１の所定の位置に位置決めされる。
作動ポート５と膨張収縮室２１との間には圧力供給路としての正圧供給路２３ａが接続され、作動ポート６と膨張収縮室２２との間には圧力供給路としての正圧供給路２４ａが接続されている。それぞれの正圧供給路２３ａ，２４ａには、それぞれの膨張収縮室２１，２２が収縮する際にそれぞれの正圧供給路２３ａ，２４ａを開放して正圧空気をそれぞれの作動ポート５，６に供給する正圧用逆止弁３１ａ，３２ａが設けられている。
一方、それぞれの正圧供給路２３ａ，２４ａに接続された補助流路としての外気案内流路２５ａ，２６ａには正圧用逆止弁３１ａ，３２ａが正圧供給路２３ａ，２４ａを開放するときに外気案内流路２５ａ，２６ａを閉じ、正圧供給路２３ａ，２４ａを閉じるときに外気案内流路２５ａ，２６ａを開放する外気案内逆止弁３３ａ，３４ａが補助逆止弁として設けられている。
したがって、ピストン１３が図２におい左方向に移動して膨張収縮室２１が収縮すると、正圧用逆止弁３１ａは開かれて正圧供給路２３ａは正圧状態になり、作動ポート５には正圧空気が供給される。一方、右方向に移動すると、正圧用逆止弁３１ａが閉じられ、外気案内用逆止弁３３ａが開かれて外気案内流路２５ａから膨張収縮室２１には外気が案内される。
同様に、ピストン１３が図２において右方向に移動して膨張収縮室２２が収縮すると、正圧用逆止弁３２ａは開かれて正圧供給路２４ａは正圧状態になり、作動ポート６には正圧空気が供給される。一方、左方向に移動すると、正圧用逆止弁３２ａが閉じられ、外気案内用逆止弁３４ａが開かれて外気案内流路２６ａから膨張収縮室２２には外気が案内される。
図３は本発明の他の実施の形態である圧力発生装置を示す概略図である。この圧力発生装置は図１に示すものと同様に部品搬送装置に適用されており、部品搬送装置に負圧空気を供給することにより部品が所定の位置で位置決めされ、先頭の部品から外部に取り出されるようになっている。図３においては、図１に示された部材と共通する部材には同一の符号が付されている。
この部品搬送装置は図１に示す場合と同様に、部品通路構成部材つまりガイドレール１内に案内されて部品が搬送されるようになっている。ガイドレール１は部品供給装置のフレーム４１に取り付けられ、ガイドレール１の先頭部には開閉式のシャッター２が設けられている。このシャッター２とシリンダ１０のピストンロッド１４とを同期させて駆動するために、部品供給装置のフレーム４１には図３において上下方向に往復動自在に操作レバー４２が取り付けられており、この操作レバー４２は図示しない空気圧シリンダなどの駆動手段により上下方向に駆動される。
部品供給装置のフレーム４１に支持軸４３により揺動自在に支持されたシャッター駆動レバー４４の一端部には操作レバー４２がピン結合され、シャッター２に固定された係合ピン４５が係合するスリット４６を有するとともに、支持軸４７により揺動自在に部品供給装置のフレーム４１に取り付けられた従動レバー４８は、連動レバー４９を介してシャッター駆動レバー４４の他端部にピン結合されている。したがって、操作レバー４２が図３において下方に駆動されると、シャッター駆動レバー４４と連動レバー４９と従動レバー４８を介してシャッター２は図３において左方向にスライドして部品排出口が開かれる。シャッター２には閉じる方向のばね力が圧縮コイルばね５０により加えられている。
部品供給装置のフレーム４１には図示しないブラケットに支持軸５１が取り付けられ、この支持軸５１には直角方向に折れ曲がったシリンダ駆動レバー５２が揺動自在に取り付けられている。このシリンダ駆動レバー５２の一端部は操作レバー４２にピン結合され、他端部はピストンロッド１４にピン結合されている。したがって、操作レバー４２が図３において下方に駆動されると、シリンダ駆動レバー５２を介してピストンロッド１４は右方向に駆動される。シリンダ駆動レバー５２にはピストンロッド１４を左方向に駆動するためのばね力が圧縮コイルばね５３により加えられており、操作レバー４２に対する下方への駆動を解除すると、ばね力によってピストンロッド１４は左方向に駆動される。
このように、図３に示す部品搬送装置にあっては、シャッター２とシリンダ１０の駆動とが１つの駆動手段によって同期して行われるようになっている。シリンダ１０に取り付けられたそれぞれの負圧用逆止弁３１，３２は、図１に示す場合と同様に、負圧供給路２３，２４により作動ポート５，６に接続されている。
図１〜図３に示す圧力発生装置にあっては、０．１秒以下の高速でピストンロッドを往復動させ、パルス状の圧縮空気あるいは負圧空気を発生させることができる。部品としては、１．０×０．５ｍｍの角形あるいは０．６×０．３ｍｍの角形の電子部品のように、非常に小型かつ軽量な部品を空気圧シリンダ１０による吸気や排気を利用して、部品搬送装置の所定の位置に確実に位置決めさせることができ、部品を確実に取り出すことができる。
図４（Ａ）は図１に示す圧力発生装置の具体的構造を示す平面図であり、図４（Ｂ）は同図（Ａ）の断面図である。シリンダ１０は両端部にヘッドカバー１１とロッドカバー１２とが固定されたシリンダチューブ１０ａにより形成されており、ヘッドカバー１１とロッドカバー１２にはそれぞれ逆止弁組立体５５，５６が取り付けられている。
一方の逆止弁組立体５５を拡大して示すと図５の通りであり、他方の逆止弁組立体５６も同様の構造となっている。この逆止弁組立体５５はロッドカバー１２に固定される取付金具５７を有し、この取付金具５７には２つの中空部材６１，６２が取り付けられている。中空部材６１には内部を貫通し、取付金具５７に形成された連通路５８に連通する流路６３が形成されており、先端にはジョイント部材６４がねじ止めされ、ジョイント部材６４は負圧供給路２３を形成する図示しないチューブにより作動ポートに接続されるようになっている。なお、符号６５はガスケットである。
中空部材６１の後端部には負圧用逆止弁３１を形成するゴム製等の弾性体からなる弁体６６が設けられ、この弁体６６にはばね部材６７により流路６３を閉じる方向のばね力が加えられている。中空部材６２は連通路５８と外部とを連通させる流路６８が形成されており、中空部材６２には排気用逆止弁３３を形成するゴム製の弁体６９が設けられ、この弁体６９にはばね部材７１により流路６８を閉じる方向のばね力が加えられている。
したがって、流路６３から連通路５８に空気が流れるときには、負圧用逆止弁３１としての弁体６６は開き、逆方向の流れは弁体６６により阻止される。一方、連通路５８から流路６８に空気が流れるときには、排気用逆止弁３３としての弁体６９は開き、逆方向の流れは弁体６９により阻止される。
中空部材６１の中には、多孔質材料からなり円筒形状に形成されたフィルタ７２が組み込まれており、このフィルタ７２のジョイント部材側の端部は蓋部材７３により閉塞されている。したがって、流路６３内を空気が流れる際には、その内部に含まれるゴミなどの異物はフィルタ７２によって捕捉される。同様に、中空部材６２の端部には多孔質材料からなり円柱形状に形成されたフィルタ７４が組み込まれており、このフィルタ７４によって外部に排出される空気の中の異物が除去されるとともに、このフィルタ７４は排気音を低減するマフラーとしても機能する。
上述した構成の圧力発生装置にあっては、ピストンロッド１４を直線方向に往復動させると、ピストンロッド１４が図１および図４において右側に後退移動するときには、作動ポート５は負圧状態になり、左側にピストンロッド１４が前進移動するときには、作動ポート５には負圧は供給されない。同様に、右側に後退移動させるときには、作動ポート６には負圧空気は供給されず、左側に前進移動させるときには、作動ポート６は負圧状態となる。それぞれの作動ポート５，６に対しては、パルス状となった負圧空気が供給されることになり、ピストンロッド１４を連続的に往復動することによって、それぞれの作動ポート５，６に対して負圧空気の供給と供給停止とがパルス状に繰り返される。
図５に示すように、中空部材６２の端部には弁体６６に向けて突出して突出部７５が形成されている。これにより、膨張収縮室が膨張して流路６３から膨張収縮室に向けて空気が流れると、その空気は弁体６６の外周面に沿って流れることになる。その空気は弁体６６が突出部７５によって弁体６９に作用することなく、膨張収縮室内に流れ込むことになる。このため、突出部７５によって弁間距離を大きくとらなくても、弁体６９への空気の作用を防止して逆止弁組立体の小型化を容易に実現できる。この空気の流れは、所定の真空度の吸気流を確実に発生させ、空気の逆流を防止するように作用することになり、所定量の負圧空気を確実に部品に作用させることができる。
逆に、膨張収縮室が収縮すると、そこから流出する空気は突出部７５に当たって弁体６６に対してこれを閉じる方向に作用し、弁体６９にはばね力に抗して開くように作用する。これにより、空気の流れは弁体６６を確実にシールするように作用し、空気の吸気と排気の切換を確実に実現することができる。
これにより、図１に示すように、バルクフィーダのガイドレール１の部品搬出口にそれぞれの負圧供給路２３，２４を接続すると、ガイドレール１の底面には負圧空気の供給と供給停止とがパルス状に繰り返されることになり、部品搬出口３にまで搬送された部品Ｗは瞬間的にガイドレール１の底面に引き付けられて所定の位置に所定の姿勢となって位置決めされる。
しかも、負圧空気の供給と供給停止とが繰り返されることから、吸着具４によって部品Ｗを真空吸着する際には、負圧空気の供給が停止された状態のもとで、部品Ｗを上昇させると、円滑に部品Ｗを吸着具４によって上昇搬送させることができる。なお、２つの作動ポート５，６の一方をガイドレール１の側壁に設けるようにしても良い。
図６は逆止弁組立体５５の変形例を示す断面図であり、この逆止弁組立体５５はそれぞれの弁体６６，６９の構造を除いて図５と同様の構造となっている。それぞれの弁体６６，６９は、図５に示したものがゴム等の弾性体により成形された一体形の弁であるのに対して、弁本体７６とＯリング部７７とから形成されている。弁本体７６は円筒部７６ａと、端板部７６ｂとを有し、端板部７６ｂにはＯリング部７７を支持する突部７６ｃが設けられるとともに、通気孔７８が形成されている。
図７は逆止弁組立体５５の他の変形例を示す断面図であり、この逆止弁組立体５５におけるそれぞれの弁体６６，６９は、中空部材６２の中に装着されたコア７９に取れ付けられるゴム等の弾性体からなるシール材によって形成されており、それぞれの弁体６６，６９は内周部８１と外周部８２とこれらをつなぐ径方向部８３とを有し、断面がＵ字形状となっている。それぞれの弁体６６，６９はコア７９に形成された環状溝８４，８５に取り付けられている。コア７９には径方向に貫通する通気孔８６が形成され、流路６３から膨張収縮室に向かう空気は弁体６６の外周部８２の外側を流れ、膨張収縮室から流路６８に向けて流れる空気は弁体６９の外周部８２の外側を流れることになる。
図６および図７はそれぞれ逆止弁組立体５５の変形例を示すが、逆止弁組立体５６も同様の構造となっている。
図８（Ａ）はシリンダ１０の変形例を示す平面図であり、図８（Ｂ）は同図（Ａ）の断面図であり、それぞれ図４に対応する部分を示す。図８に示すシリンダ１０は、一方の弁体６６を収容する中空部材６１と他方の弁体６９を収容する中空部材６２とが分離されており、相互にシリンダ１０の中心軸に対して１８０度の位相で相互に対向してシリンダ１０に取り付けられている。弁体６６，６９の構造は図４に示す場合と同様となっている。
図９はシリンダ１０のさらに他の変形例を示す正面図であり、この場合には、図８に示した逆止弁が隣り合って配置されている。
図１０〜図１４は圧力発生装置のさらに他の変形例を示す図であり、シリンダ１０の一端部に取り付けられたヘッドカバー１１には負圧用逆止弁３２と排気用逆止弁３４とフィルタ７２とが組み込まれ、シリンダ１０の他端部に取り付けられたロッドカバー１２には負圧用逆止弁３１と排気用逆止弁３３とフィルタ７２とが組み込まれている。
負圧用逆止弁３２は膨張収縮室２２とジョイント部材６４とを連通させる連通路５８ａを開閉する弁体６６を有し、この弁体６６はピストンロッド１４が図１４において左方向に前進移動する際には膨張収縮室２２内への空気の流れを許容し、ピストンロッド１４が後退移動するときには膨張収縮室２２からジョイント部材６４への空気の流れを阻止する。排気用逆止弁３４は図１１に示すように排気孔８１と膨張収縮室２２とを連通させる連通路５８ｂを開閉する弁体６９を有し、この弁体６９はピストンロッド１４が図１４において右方向に後退移動する際には膨張収縮室２２から排気孔８１への空気の流れを許容し、ピストンロッド１４が左方向に前進移動する際には排気孔８１から膨張収縮室２２への空気の流れを阻止する。
負圧用逆止弁３１は膨張収縮室２１とジョイント部材６４とを連通させる連通路５８ａを開閉する弁体６６を有し、この弁体６６はピストンロッド１４が図１４において右方向に後退移動する際には膨張収縮室２１内への空気の流れを許容し、ピストンロッド１４が前進移動するときには膨張収縮室２１からジョイント部材６４への空気の流れを阻止する。排気用逆止弁３３は図１１に示すように排気孔８２と膨張収縮室２１とを連通させる連通路５８ｂを開閉する弁体６９を有し、この弁体６９はピストンロッド１４が図１４において左方向に前進移動する際には膨張収縮室２１から排気孔８２への空気の流れを許容し、ピストンロッド１４が右方向に後退移動する際には排気孔８２から膨張収縮室２１への空気の流れを阻止する。
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、図示する圧力空発生装置は、ピストン１３の両側の膨張収縮室を作動ポートに接続するようにしているが、一方の膨張収縮収縮室のみを作動ポートに接続するようにしても良い。また、両方の圧力供給路を相互に接続させるようにして、ピストン１３の前進移動と後退移動との両方で同一の作動ポートに正圧あるいは負圧の空気を供給するようにしても良い。その場合には、作動ポートには脈動とならずに平滑化された所定の圧力の正圧あるいは負圧の空気が常時供給されることになる。さらに、図示する場合には、部品Ｗを実装基板に搭載するための搬送装置に適用されているが、テストボードに搭載する場合に適用しても良い。また、図１に示された吸着具４に対する負圧供給をこの圧力発生装置によって供給するようにしても良い。さらに、本発明の圧力供給装置は、このような場合に限られず、負圧あるいは正圧を供給する必要がある場合であれば、どのような場合にも適用することができる。
産業上の利用可能性
本発明の圧力発生装置は、パルス状の正圧空気若しくは負圧空気を発生させるために使用される。
【図面の簡単な説明】
図１は本発明の一実施の形態である圧力発生装置を示す概略図であり、図２は本発明の他の実施の形態である圧力発生装置を示す概略図であり、図３は本発明の他の実施の形態である圧力発生装置を示す概略図であり、図４（Ａ）は図１に示す圧力発生装置を示す平面図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の断面図であり、図５は図４に示された逆止弁組立体を拡大して示す断面図であり、図６は逆止弁組立体の変形例を示す断面図であり、図７は逆止弁組立体の他の変形例を示す断面図であり、図８は（Ａ）は圧力発生装置の変形例を示す平面図であり、図８（Ｂ）は図８（Ａ）の断面図であり、図９は圧力発生装置の他の変形例を示す正面図であり、図１０は圧力発生装置のさらに他の変形例を示す平面図であり、図１１は図１０の正面図であり、図１２は図１１の左側面図であり、図１３は図１１の右側面図であり、図１４は図１０の断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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