(57)【要約】表面に信号の案内溝あるいはピットが形成され書き換え可能な記録多層膜が成膜された厚い基板の上に、スタンパを用いて基板とスタンパの間に分離層と共にその表面にスタンパより信号の案内溝あるいはピットを転写する際、スタンパと基板の間隔が不均一なため分離層の厚みにむらが生じる。第ｋ信号基板１０３の第ｋ信号記録層１００と、第（ｋ−１）スタンパ１０６上の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５がある面とが沿うような状態にして、その間に第（ｋ−１）分離層１０７を形成して、第（ｋ−１）スタンパ１０６を剥離する。第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５がある面と第ｋ信号記録層１００の間隔が均一になるため、第（ｋ−１）分離層１０７の厚みを均一にすることができる。
2003081584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｎ層（ｎは２以上の整数）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する多層光情報記録媒体の製造方法において、
記録面または再生面から第ｋ番目（ｋは２以上ｎ以下の整数のいずれか）の信号記録層を第ｋ信号記録層とし、前記第ｋ信号記録層を表面に有する基板を第ｋ信号基板とし、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有するスタンパを第（ｋ−１）スタンパとし、第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層との間にある分離層を第（ｋ−１）分離層とする時、
現在のまたは過去に製造された一つまたは複数の前記ｋ信号基板の面形状を測定する測定工程と、
前記第（ｋ−１）スタンパの前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を前記ｋ信号基板の面形状に対応するような形状にして、その第（ｋ−１）スタンパを利用して前記第（ｋ−１）信号記録層を形成する信号記録層形成工程と、
前記第（ｋ−１）分離層と前記第（ｋ−１）スタンパとの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離する剥離工程とを備え、
ｎ層の前記信号記録層のうち少なくとも１層が前記信号記録層形成工程によって作成される多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記第ｋ信号基板が前記第ｋ信号記録層を包むように反っている時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパを前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面とは反対側の面を包むように反らせた形状にする請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記第ｋ信号基板が第ｋ信号記録層の反対側の面を包むように反っている時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパを前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を包むように反らせた形にする請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板の第ｋ信号記録層と、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面とを実質上同じ曲率半径を有する形状にする請求項２または３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記第（ｋ−１）分離層は、放射線硬化樹脂である請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記放射線硬化樹脂が紫外線硬化樹脂である請求項５に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記第（ｋ−１）分離層は、複数の層から構成される請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項８】
前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記第（ｋ−１）スタンパと前記第ｋ信号記録層の間に存在する、前記第（ｋ−１）分離層を構成する各層の界面も含めた複数の界面のうち、前記転写層と前記第（ｋ−１）スタンパとの界面が最も剥離し易い界面となる請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項９】
前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、少なくとも前記転写層が放射線硬化性材料である請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１０】
前記放射線硬化性材料は、紫外線硬化樹脂である請求項９に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１１】
前記紫外線硬化樹脂の粘度は、１〜１０００ｍＰａ・ｓである請求項１０に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１２】
前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記第（ｋ−１）分離層の、転写層以外の層のうち少なくとも一つの層が感圧性接着剤である請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１３】
前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパの案内溝及び／またはピットのある面の上に、前記転写層となる放射線硬化性材料をコートしたうえ硬化し、前記転写層を除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した前記第ｋ信号基板と貼り合わせる請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１４】
前記転写層がコートされた前記第（ｋ−１）スタンパと、前記転写層を除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した前記第ｋ信号基板とを貼り合わせる際、前記第（ｋ−１）スタンパにコートされた前記転写層と接する前記第（ｋ−１）分離層の表面が放射線硬化性材料である請求項１３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１５】
前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパと、前記転写層とを除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した前記第ｋ信号基板との間に前記転写層となる放射線硬化性材料を配置した後に、前記放射線硬化性材料を硬化する請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１６】
前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板の前記転写層を除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した面と、前記第（ｋ−１）スタンパの案内溝及び／またはピットのある面の少なくとも一方に、前記転写層となる放射線硬化性材料を塗布した後、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパを重ね合わせて前記放射線硬化性材料を硬化する請求項１５に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１７】
前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパとを、前記第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパの少なくとも一方を保持した上で、前記放射線硬化性材料を硬化する請求項１３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１８】
前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパの少なくとも一方を、所望の表面形状を有する支持台上に固定した上で、前記放射線硬化材料を硬化する請求項１７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１９】
前記第（ｋ−１）スタンパはプラスチックである請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
。
【請求項２０】
前記プラスチックは透明である請求項１９記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２１】
前記第（ｋ−１）スタンパは、ポリカーボネート、オレフィン樹脂、アクリル樹脂、ノルボルネン系樹脂のいずれかであり、金属製マスタスタンパを用いて射出成形法により作製された請求項２０に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２２】
前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパを作製する際の射出成形法の条件により、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパを、第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように制御する請求項２１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２３】
前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面とは反対側の面を包むように反った形にするために、前記第（ｋ−１）スタンパを射出成形法で作製する際、一対の成形金型の一方に載せた前記金属製マスタスタンパより他方の金型鏡面温度を高くする請求項２２に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２４】
前記信号記録層形成工程は、一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面温度より他方の金型鏡面温度を高くする請求項２３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２５】
一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面とは反対側の金型鏡面の裏面に、断熱材料が設置されている請求項２３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２６】
前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を包むように反った形にするために、前記第（ｋ−１）スタンパを射出成形法で作製する際、一対の成形金型の金型鏡面に載せた前記金属製マスタスタンパの温度を他方の金型鏡面温度より高くする請求項２２記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２７】
前記信号記録層形成工程は、一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面温度を他方の金型鏡面温度より高くする請求項２６に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２８】
一対の成形金型に載せた、前記金属製マスタスタンパの裏面と前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面の裏面の少なくとも１つに断熱材料が設置されている請求項２６に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２９】
前記第（ｋ−１）スタンパは、金属である請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３０】
前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが電鋳により作製され、電鋳浴のｐＨ値、温度、電鋳時の電流密度から選ばれる少なくとも１つの電鋳条件により、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパとを、前記第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように制御する請求項２９に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３１】
前記剥離工程の工程の後、さらに転写された前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットの上に記録多層膜（以下、第（ｋ−１）記録多層膜と呼ぶ）或いは反射膜を成膜することにより、第（ｋ−１）信号記録層を完成する膜形成工程を備えた請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３２】
前記第（ｋ−１）スタンパ上の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットの上に第（ｋ−１）記録多層膜あるいは反射膜を成膜しておき、前記剥離工程は、前記第（ｋ−１）記録多層膜と前記第（ｋ−１）スタンパの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離して前記第（ｋ−１）記録多層膜あるいは反射膜を前記第（ｋ−１）分離層上へ移す請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３３】
第１信号記録層の上に透明カバー層を形成する請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３４】
第１信号記録層の上に、透明な基板を透明な接着剤で接着し前記透明カバー層とする請求項３３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３５】
前記透明カバー層を透明な放射線硬化性材料で形成する請求項３３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３６】
前記透明カバー層の少なくとも一部を感圧性接着剤で形成することを特徴とする請求項３３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３７】
第１信号記録層上に形成されている透明カバー層の厚みが０．３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項３３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はｎ層（ｎは２以上）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する片面より記録及び再生を行う、多層光情報記録媒体の製造方法に関するものである。
背景技術
高密度光情報記録媒体として、片面２層再生のＤＶＤのような厚み方向に信号記録面を複数層有する、多層光情報記録媒体が提案されている。例えば、片面２層再生のＤＶＤは２枚の基板のうち１枚の情報記録面に金、シリコン等の透光性の反射層を、もう一枚の情報記録面に従来のアルミニウム等からなる反射層を、それぞれ成膜し、これらの情報記録面が内側になるように貼り合わせた構造となっている。さらに、１層あたりの面記録密度を向上するために、青紫色レーザ光源（波長４００ｎｍ前後）と高ＮＡのレンズを用い、厚さが０．１ｍｍといった薄型の記録再生側透明カバー層をもつ高密度光情報記録媒体が提案されている。この高密度光情報記録媒体は、厚い信号基板の表面に信号の案内溝あるいはピットを形成して、その上に書き換え可能な記録多層膜を成膜、さらにその上に透明カバー層が形成された構造になっている。
この薄型透明カバー層タイプの高密度光情報記録媒体でも２つの信号記録面を有するものが考えられる。その作製方法の一つの例としては以下の方法が挙げられる。
（１）表面に信号の案内溝あるいはピットが形成され書き換え可能な記録多層膜が成膜された厚い基板の上に、さらに紫外線硬化樹脂を用いて分離層を形成すると共に、その分離層の表面に２層目の信号の案内溝あるいはピットを形成する。
（２）２層目の２層目の信号の案内溝あるいはピットの上に書き換え可能な透光性の記録多層膜を成膜する。
（３）厚さが０．１ｍｍといった薄型の記録再生側透明カバー層を形成する。
具体的な作製方法として特開２００２−２６０３０７号公報がある。なお、特開２００２−２６０３０７号公報の文献の全ての開示は、そっくりそのまま引用する（参照する）ことにより、ここに一体化する。すなわち、特開２００２−２６０３０７号公報では、上記（１）の工程のためにプラスチック製のスタンパを用いて、そのスタンパ上の信号案内溝あるいはピットに紫外線硬化樹脂を塗布し硬化した後、異なる性質を有するもう１つの紫外線硬化樹脂を用いて、１層目の記録多層膜が成膜された基板と貼り合わせ、硬化後スタンパを剥離している。このような方法を用いれば、剛性のある厚い基板をベースとして、その上に分離層を介して、もう一層、さらには複数の信号記録層を積み上げて多層光情報記録媒体を作製することができる。
しかしながら、多層光情報記録媒体の信号記録層の間に存在する分離層は均一である必要がある。分離層が均一であれば、分離層の前後にある信号記録層では記録あるいは再生の際に受ける他方からの反射光の影響が一定になる。他方の信号記録層からの反射光が変動すると、再生信号の外乱成分となり、Ｓ／Ｎが悪化する。逆に、分離層が均一であれば、他方の信号記録層からの外乱が一定であるため、記録あるいは再生が安定になり、良好な再生信号の品質は向上する。実際には、表面に信号の案内溝あるいはピットが形成され書き換え可能な記録多層膜が成膜された厚い基板の上に、スタンパを用いて基板とスタンパの間に分離層と共にその表面にスタンパより信号の案内溝あるいはピットを転写する際、分離層の厚みにむらが生じる。
発明の開示
本発明は、上記課題に鑑み、ある２つの信号記録層の分離層が均一となる多層光情報記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
上述した課題を解決するために、第１の本発明は、ｎ層（ｎは２以上の整数）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する多層光情報記録媒体の製造方法において、
記録面または再生面から第ｋ番目（ｋは２以上ｎ以下の整数のいずれか）の信号記録層を第ｋ信号記録層（１００）とし、前記第ｋ信号記録層（１００）を表面に有する基板を第ｋ信号基板（１０３）とし、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット（１０５）を有するスタンパを第（ｋ−１）スタンパ（１０６）とし、第ｋ信号記録層（１００）と前記第（ｋ−１）信号記録層との間にある分離層を第（ｋ−１）分離層（１０７）とする時、
現在のまたは過去に製造された一つまたは複数の前記ｋ信号基板（１０３）の面形状を測定する測定工程と、
前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）の前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット（１０５）を有する面を前記ｋ信号基板（１０３）の面形状に対応するような形状にして、その第（ｋ−１）スタンパ（１０６）を利用して前記第（ｋ−１）信号記録層を形成する信号記録層形成工程と、
前記第（ｋ−１）分離層（１０７）と前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）との界面より前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）を剥離する剥離工程とを備え、
ｎ層の前記信号記録層のうち少なくとも１層が前記信号記録層形成工程によって作成される多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記本発明の多層光情報記録媒体の製造方法によれば、前記第（ｋ−１）スタンパと前記第ｋ信号基板とが互いに沿うような形になっているため、それらの間の距離は一様に均一となり、作製される第（ｋ−１）分離層の厚みも均一になる。
また、第２の本発明は、前記第ｋ信号基板（１０３）が前記第ｋ信号記録層（１００）を包むように反っている時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）を前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット（１０５）を有する面とは反対側の面を包むように反らせた形状にする第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、第ｋ信号基板の反りを変えることなく、第ｋ信号記録層と第（ｋ−１）信号記録層の案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面との距離が均一に近くなるため、作製される第（ｋ−１）分離層の厚みは均一になる。
また、第３の本発明は、前記第ｋ信号基板（８０３）が第ｋ信号記録層（８００）の反対側の面を包むように反っている時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパ（８０６）を前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット（８０５）を有する面を包むように反らせた形にする第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、第ｋ信号基板の反りを変えることなく、第ｋ信号記録層と第（ｋ−１）信号記録層の案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面との距離が均一に近くなるため、作製される第（ｋ−１）分離層の厚みは均一になる。
また、第４の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板（１０３）の第ｋ信号記録層（１００）と、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット（１０５）を有する面とを実質上同じ曲率半径を有する形状にする第２または３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、第ｋ信号基板の反りを変えることなく、第ｋ信号記録層と第（ｋ−１）信号記録層の案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面との距離が均一に近くなるため、作製される第（ｋ−１）分離層の厚みは均一になる。
また、第５の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層（３１０）は、放射線硬化樹脂（３０１、３０７）である第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、均一な厚みに形成された第（ｋ−１）分離層を放射線の照射により容易に硬化することができ、生産性を向上することができる。
また、第６の本発明は、前記放射線硬化樹脂が紫外線硬化樹脂である第５の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、ＣＤ、ＤＶＤといった従来の光情報記録媒体で用いられる紫外線硬化型の接着剤が使用できると共に、生産設備の利用も可能となる。
また、第７の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層（３１０）は、複数の層（３０３、３０８）から構成される第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、第（ｋ−１）分離層のうち、第ｋ信号記録層と接する材料として、第ｋ信号記録層と接着性の良好な材料を用い、第（ｋ−１）分離層のうち、第（ｋ−１）スタンパ上の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面と接する材料として、第（ｋ−１）スタンパと剥離し易い材料を用いる等、異なる特徴を有する材料を第（ｋ−１）分離層の厚み方向に配置でき、安定に剥離することが可能になる。
また、第８の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層（３１０）の複数の層（３０３、３０８）のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）から転写する層を転写層（３０３）とする時、前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）と前記第ｋ信号記録層（１００）の間に存在する、前記第（ｋ−１）分離層（３１０）を構成する各層の界面も含めた複数の界面のうち、前記転写層（３０３）と前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）との界面が最も剥離し易い界面となる第７の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、前記第（ｋ−１）分離層と前記第（ｋ−１）スタンパの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離する工程において、複数ある界面のうち前記転写層と前記第（ｋ−１）スタンパの界面で安定に剥離でき、剥離工程での歩留まりを向上できる。
また、第９の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層（３１０）の複数の層（３０３、３０８）のうち案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）から転写する層を転写層（３０３）とする時、少なくとも前記転写層（３０３）が放射線硬化性材料（３０１）である第７の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、放射線硬化性材料は放射線照射により容易に硬化するため、第（ｋ−１）スタンパより確実に溝あるいはピットの形状を写し取ることができる。
また、第１０の本発明は、前記放射線硬化性材料は、紫外線硬化樹脂である第９の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、ＣＤ、ＤＶＤといった従来の光情報記録媒体で用いられる生産設備の利用も可能となる。
また、第１１の本発明は、前記紫外線硬化樹脂の粘度は、１〜１０００ｍＰａ・ｓである第１０の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、第（ｋ−１）スタンパの溝あるいはピットに紫外線硬化樹脂が十分入り込むことができるので、溝あるいはピットの転写を向上できる。
また、第１２の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層（９０９）の複数の層（９０１、９０３）のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパ（９０２）から転写する層を転写層（９０３）とする時、前記第（ｋ−１）分離層（９０９）の、転写層（９０３）以外の層のうち少なくとも一つの層が感圧性接着剤（９０１）である第７の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、感圧性接着剤を第（ｋ−１）分離層の一部として用いれば、放射線硬化等の硬化処理を行わなくとも第（ｋ−１）分離層の一部を形成できるため、生産性を向上することができる。
また、第１３の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層（３１０）の複数の層（３０３、３０８）のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパ（３００）から転写する層を転写層（３０３）とする時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパ（３００）の案内溝及び／またはピットのある面の上に、前記転写層（３０３）となる放射線硬化性材料をコートしたうえ硬化し、前記転写層（３０３）を除いた前記第（ｋ−１）分離層（３０８）を形成した前記第ｋ信号基板（３０６）と貼り合わせる第７の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、硬化後剥離し易い放射線硬化性材料を予め第（ｋ−１）スタンパへ転写層として塗布し硬化した上で、第（ｋ−１）分離層の転写層と接する側の材料を硬化した転写層と接着し易い材料にすることができ、第（ｋ−１）スタンパの剥離の際に第（ｋ−１）分離層を一体化して確実に剥離することが可能となる。
また、第１４の本発明は、前記転写層がコートされた前記第（ｋ−１）スタンパ（３００）と、前記転写層（３０３）を除いた前記第（ｋ−１）分離層（３０８）を形成した前記第ｋ信号基板（３０６）とを貼り合わせる際、前記第（ｋ−１）スタンパ（３００）にコートされた前記転写層（３０３）と接する前記第（ｋ−１）分離層の表面が放射線硬化性材料（３０１）である第１３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、放射線を照射することにより容易に、第（ｋ−１）スタンパ上の転写層と第ｋ信号基板上の第（ｋ−１）分離層を接着することができる。
また、第１５の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパと、前記転写層とを除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した前記第ｋ信号基板との間に前記転写層となる放射線硬化性材料を配置した後に、前記放射線硬化性材料を硬化する第７の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、第（ｋ−１）スタンパと、第ｋ信号基板の上に形成された転写層を除いた第（ｋ−１）分離層との間に放射線硬化性材料を配置すれば、毛細管現象により放射線硬化樹脂は均一に広がり、より分離層の厚み均一性が向上できる。また、その均一性を保ちつつ放射線照射により容易に転写層も形成できる。
また、第１６の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板の前記転写層を除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した面と、前記第（ｋ−１）スタンパの案内溝及び／またはピットのある面の少なくとも一方に、前記転写層となる放射線硬化性材料を塗布した後、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパを重ね合わせて前記放射線硬化性材料を硬化する第１５の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、重ねる前に第（ｋ−１）スタンパあるいは第ｋ信号基板の上に放射線硬化性材料が全面に塗られるので、前記第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板を面で接着でき、分離層を全面で一体化できる。
また、第１７の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパとを、前記第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパの少なくとも一方を保持した上で、前記放射線硬化性材料を硬化する第１３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパの形状が互いに沿った形になっていなくとも、少なくとも一方を保持して互いに沿った形にして放射線硬化性材料を硬化するため、第ｋ信号基板や第（ｋ−１）スタンパの形状を制御する必要がなく、第ｋ信号基板や第（ｋ−１）スタンパの作製マージンが広がる。
また、第１８の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパの少なくとも一方を、所望の表面形状を有する支持台上に固定した上で、前記放射線硬化材料を硬化する第１７の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、支持体を用いてその表面形状を所望の形状にしておけば、第ｋ信号基板あるいは第（ｋ−１）スタンパの形状を容易に変え互いに沿ったようにできる。
また、第１９の本発明は、前記第（ｋ−１）スタンパはプラスチックである第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、第（ｋ−１）スタンパが軽量になるため扱い易く、生産性も良い。
また、第２０の本発明は、前記プラスチックは透明である第１９の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、分離層が放射線硬化性材料の場合、第（ｋ−１）スタンパを通して放射線を照射すれば分離層を硬化できる。
また、第２１の本発明は、前記第（ｋ−１）スタンパは、ポリカーボネート、オレフィン樹脂、アクリル樹脂、ノルボルネン系樹脂のいずれかであり、金属製マスタスタンパを用いて射出成形法により作製された第２０の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、スタンパを安価、かつ大量に作製できるため、多層光情報記録媒体の量産性が向上する。
また、第２２の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパを作製する際の射出成形法の条件により、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパを、第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように制御する第２１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、第ｋ信号基板がどのような反りをもっていようと、第（ｋ−１）スタンパの形状を射出成形の条件だけで正確に制御できる。
また、第２３の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面とは反対側の面を包むように反った形にするために、前記第（ｋ−１）スタンパを射出成形法で作製する際、一対の成形金型の一方に載せた前記金属製マスタスタンパより他方の金型鏡面温度を高くする第２２の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、射出成形法で作成されるプラスチックからなる第（ｋ−１）スタンパの表面は、成形金型から取り出された直後、案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面とは反対側の面の方が温度が高くなるため、より多く収縮が起こり、その案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面とは反対側の面を包むように反った形にすることができる。
また、第２４の本発明は、前記信号記録層形成工程は、一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面温度より他方の金型鏡面温度を高くする第２３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、射出成形法で作成されるプラスチックからなる第（ｋ−１）スタンパの表面は、成形金型から取り出された直後、案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面とは反対側の面の方が温度が高くなるため、より多く収縮が起こり、その案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面とは反対側の面を包むように反った形にすることができる。
また、第２５の本発明は、一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面とは反対側の金型鏡面の裏面に、断熱材料が設置されている第２３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面とは反対側の金型鏡面は、その裏面の断熱材料により熱が逃げにくくなるため、効果的に温度を高く保つことができる。
また、第２６の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を包むように反った形にするために、前記第（ｋ−１）スタンパを射出成形法で作製する際、一対の成形金型の金型鏡面に載せた前記金属製マスタスタンパの温度を他方の金型鏡面温度より高くする第２２の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、射出成形法で作成されるプラスチックからなる第（ｋ−１）スタンパの表面は、成形金型から取り出された直後、案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面の方がその反対側の面より温度が高くなるため、より多く収縮が起こり、その案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面を包むように反った形にすることができる。
また、第２７の本発明は、前記信号記録層形成工程は、一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面温度を他方の金型鏡面温度より高くする第２６の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
これによって、容易に金属製マスタスタンパの温度を他方の金型鏡面温度より高くすることができる。
また、第２８の本発明は、一対の成形金型に載せた、前記金属製マスタスタンパの裏面と前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面の裏面の少なくとも１つに断熱材料が設置されている第２６の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
この方法によっても、射出された高温のプラスチックの熱が成型金型の金型鏡面へ拡散することを抑制することでき、相対的に金属製マスタスタンパの温度を相対的に他方の金型鏡面温度より高くすることができる。
また、第２９の本発明は、前記第（ｋ−１）スタンパは、金属である第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、金属は比較的硬度が高いため、第（ｋ−１）スタンパを第ｋ信号基板から剥離する際に生ずる第（ｋ−１）スタンパの傷や変形を抑制でき、多層光情報記録媒体の生産性を向上できる。
また、第３０の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが電鋳により作製され、電鋳浴のｐＨ値、温度、電鋳時の電流密度から選ばれる少なくとも１つの電鋳条件により、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパとを、前記第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように制御する第２９の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、第（ｋ−１）スタンパが容易に、また低コストに作製できる。また、電鋳は技術が確立されている従来の方法であるため、安定に電鋳条件によりスタンパの形状を制御することが可能である。
また、第３１の本発明は、前記剥離工程の工程の後、さらに転写された前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットの上に記録多層膜（以下、第（ｋ−１）記録多層膜と呼ぶ）或いは反射膜を成膜することにより、第（ｋ−１）信号記録層を完成する膜形成工程を備えた第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
また、第３２の本発明は、前記第（ｋ−１）スタンパ上の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットの上に第（ｋ−１）記録多層膜あるいは反射膜を成膜しておき、前記剥離工程は、前記第（ｋ−１）記録多層膜と前記第（ｋ−１）スタンパの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離して前記第（ｋ−１）記録多層膜あるいは反射膜を前記第（ｋ−１）分離層上へ移す第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
また、第３３の本発明は、第１信号記録層の上に透明カバー層を形成する第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
また、第３４の本発明は、第１信号記録層の上に、透明な基板を透明な接着剤で接着し前記透明カバー層とする第３３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、容易に均一な透明カバー層を形成できる。
また、第３５の本発明は、前記透明カバー層を透明な放射線硬化性材料で形成する第３３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、コストを安価にすることができる。
また、第３６の本発明は、前記透明カバー層の少なくとも一部を感圧性接着剤で形成することを特徴とする第３３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、容易に均一な透明カバー層を形成できる。
また、第３７の本発明は、第１信号記録層上に形成されている透明カバー層の厚みが０．３ｍｍ以下であることを特徴とする第３３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
上記構成によれば、０．６以上の大きな開口数のレンズを用いて記録あるいは再生を行う際に、多層光情報記録媒体の反りによるフォーカス光の収差を抑制できるため、高密度な情報の記録あるいは再生が可能となる。
また、第３８の発明は、ｎ層（ｎは２以上の整数）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する多層光情報記録媒体の製造装置において、
記録面または再生面から第ｋ番目（ｋは２以上ｎ以下の整数のいずれか）の信号記録層を第ｋ信号記録層とし、前記第ｋ信号記録層を表面に有する基板を第ｋ信号基板とし、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有するスタンパを第（ｋ−１）スタンパとし、第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層との間にある分離層を第（ｋ−１）分離層とする時、
現在のまたは過去に製造された一つまたは複数の前記ｋ信号基板の面形状を測定する測定手段と、
前記第（ｋ−１）スタンパの前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を前記ｋ信号基板の面形状に対応するような形状にする形状維持手段と、
その第（ｋ−１）スタンパを利用して前記第（ｋ−１）信号記録層を形成する信号記録層形成手段と、
前記第（ｋ−１）分離層と前記第（ｋ−１）スタンパとの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離する剥離手段とを備えた多層光情報記録媒体の製造装置である。本発明は、第３８の発明であってもよい。
上記本発明の多層光情報記録媒体の製造方法によれば、第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板とが沿った形状に保持することが容易であり、かつ、それらの間に分離層の形成でき、第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板の剥離も可能となる。これによって、分離層の厚みが均一な多層光情報記録媒体を製造することができる。
また、第３９の発明は、前記第ｋ信号基板が反っている時、前記第ｋ信号基板の反りに応じて、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットと、前記第ｋ信号記録層が沿うように、前記形状維持手段が前記第（ｋ−１）スタンパを保持する機構を有する第３８の本発明の多層光情報記録媒体の製造装置である。本発明は第３９の発明であってもよい。
上記構成によれば、第ｋ信号基板の反りに応じて、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットと、前記第ｋ信号記録層が沿うため、間に形成される第（ｋ−１）分離層の厚みを均一にすることができる。
また、第４０の発明は、前記形状維持手段は、テーブル状であり、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットと前記第ｋ信号記録層とが沿うように、前記第（ｋ−１）スタンパと接する表面形状を有する第３９の本発明の多層光情報記録媒体の製造装置である。本発明は第４０の発明であってもよい。
上記構成によれば、テーブル形状により容易に第（ｋ−１）スタンパの形状を変えることができる。
また、第４１の発明は、前記形状維持手段は、前記第（ｋ−１）スタンパと前記第ｋ信号基板との少なくとも一方の、前記第（ｋ−１）分離層が形成されない面を真空吸引により支持する第３８の本発明の多層光情報記録媒体の製造装置である。本発明は第４１の発明であってもよい。
上記構成によれば、前記第（ｋ−１）スタンパあるいは前記第ｋ信号基板を確実に形状維持することができる。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。
（実施の形態１）
本発明の多層光情報記録媒体の製造方法の実施の形態を図１に示す。図１は、ｎ層（ｎは２以上）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する片面より記録及び再生を行う円盤型多層光情報記録媒体の、第ｋ信号記録層１００と第（ｋ−１）信号記録層の間にある第（ｋ−１）分離層１０７を形成する工程の模式図である。ここで、第ｋ信号記録層１００とは、記録再生面から第ｋ番目（ｋは２以上ｎ以下の何れか）の信号記録層、第ｋ信号記録層１００を表面に有する基板を第ｋ信号基板１０３とする。また、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５を有するスタンパを第（ｋ−１）スタンパ１０６とする。
なお、本実施の形態の第（ｋ−１）分離層１０７を形成する工程は本発明の信号記録層形成工程の例である。
本実施の形態１の多層光情報記録媒体の製造方法は、１層あたりの面記録密度を向上するために、青紫色レーザ光源（波長４００ｎｍ前後）と高ＮＡのレンズを用い、厚さが０．３ｍｍ以下２ミクロン以上といった薄型の記録再生側透明カバー層をもつ高密度光情報記録媒体を製造の対象とする。なお、実施の形態１以外の他の実施の形態の多層光情報記録媒体の製造方法も実施の形態１と同様の高密度光情報記録媒体を製造の対象とする。なお、このような高密度光情報記録媒体でなくても、本実施の形態の多層光情報記録媒体の製造方法を適用できることは言うまでもない。
図１の第ｋ信号基板１０３と第（ｋ−１）スタンパ１０６は共に円盤型をなし中心に中心穴を有する。第ｋ信号基板１０３は、第（ｋ−１）分離層１０７の形成工程の後に続く、その他信号記録層の形成工程、或いは第１信号記録層の上への透明カバー層の形成工程といった工程で発生しうる反りを見越して反った形状にされている。また、第ｋ信号記録層１００の第ｋ記録多層膜の成膜やその他第（ｋ＋１）〜ｎ分離層の形成および第（ｋ＋１）〜ｎ記録多層膜の成膜等の工程による応力により自然に反ってしまっているのが一般的である。本実施の形態１では、その一例として、第ｋ信号基板１０３が第ｋ信号記録層１００を包むように反ったものである場合を示す。
まず、図１（１）に示すように第ｋ信号基板１０３を準備する。第ｋ信号基板１０３には表面に第ｋ信号記録層１００がある他、順に第（ｋ＋１）信号記録層１０１、さらに第ｎ信号記録層１０２まで計（ｎ−ｋ−１）個の信号記録層がある。ここで、信号記録層とは、多層光情報記録媒体に記録及び再生する際に記録光及び再生光をガイドするための案内溝やアドレス情報を示すピットと、ＧｅＳｂＴｅやＡｇＩｎＳｂＴｅ等の相変化膜、磁性体膜、色素膜に代表される記録膜とそれらを挟むＺｎＳ等の誘電体膜からなる記録多層膜あるいは反射膜からなる。また、各信号記録層の間には第ｋ分離層１１０に代表される分離層が配置されている。なお、本実施の形態の多層光情報記録媒体は、製造後に映像音声データが書き込まれる案内溝だけから構成されるものに限らず、製造時に映像音声データが書き込まれるピットから構成されるものや、案内溝の内部あるいは外部にピットが形成されたものであってもよい。
一方、表面に第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５をもつ第（ｋ−１）スタンパ１０６も準備する。第（ｋ−１）スタンパ１０６は、後述する実施の形態５の図１４に示される反り測定手段１４０１のように現在のまたは過去に製造された一つまたは複数のｋ信号基板１０３の面形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ１０６の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５を有する面をｋ信号基板１０３の面形状に対応するような形状にして形成されたものである。すなわち、第（ｋ−１）スタンパ１０６は、ｋ信号基板１０３の形状に沿うように形成されたものである。
そして、ｋ信号基板１０３の面形状の測定は、例えば、工場が稼働する朝一番に前日に製造されたｋ信号基板１０３の面形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ１０６の形状を決めてもよい。また、第ｋ信号基板１０３が製造される毎に一枚一枚第ｋ信号基板１０３の形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ１０６の形状を決めてもよい。また、ロット毎にｋ信号基板１０３の面形状を測定した実績を用いて、第（ｋ−１）スタンパ１０６の形状を決めてもよい。
すなわち、第ｋ信号基板１０３の形状を上述したように測定し、その測定結果から第（ｋ−１）スタンパ１０６の形状を決めることにより、第（ｋ−１）スタンパ１０６と第ｋ信号基板１０３は図示のように互いが沿った形になる。つまり、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５と第ｋ信号記録層１００の互いが沿った状態になっていて、その距離が半径方向及び面内で均一になっている。すなわち、第ｋ信号基板１０３の第ｋ信号記録層１００と、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット１０５を有する面とを実質上同じ曲率半径を有する形状にする。一般的に第ｋ信号基板１０３のように、複数の信号記録層を有する基板は記録多層膜や反射膜といった膜の応力により反っている。そこで、本実施の形態の第（ｋ−１）スタンパ１０６は、既に反っている第ｋ信号基板１０３に沿うような形状になっており、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５と第ｋ信号記録層１００とが対向するように配置されている。
次に、図１（２）に示すように、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５と第ｋ信号記録層１００との間に第（ｋ−１）分離層１０７を形成する。この時、第（ｋ−１）分離層１０７の第（ｋ−１）スタンパ側が第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５の中まで入り込むように形成される必要がある。図１（１）において、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５と第ｋ信号記録層１００の距離が半径方向及び面内で均一になっているため、第（ｋ−１）分離層１０７の厚みは均一になる。第（ｋ−１）分離層１０７の構成としては、１つの材料であることに限らず、異なる材料からなる複数の層から構成されていても良い。例えば、第（ｋ−１）分離層１０７のうち第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５に接する層を転写層とした時、転写層として硬化性を有する液体材料を用いると第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５の中まで入り込み易く、転写が向上できる。この場合、転写層を硬化させて第（ｋ−１）分離層１０７が完成となる。
次に図１（３）に示すように、第（ｋ−１）分離層１０７上の転写された第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０８と第（ｋ−１）スタンパ１０６の界面より剥離を行う。このように剥離を行うことにより、第（ｋ−１）信号基板を得ることが出来る。剥離を確実に行うためには、第（ｋ−１）分離層１０７と第（ｋ−１）スタンパ１０６の界面が、第（ｋ−１）スタンパ１０６と第ｋ信号記録層１００の間に存在する複数の界面の中で最も剥離し易いことが重要である。そのために、転写層の材料や第（ｋ−１）スタンパ１０６の材料及びその表面の材料等を選択することができる。
以上のように、第（ｋ−１）スタンパ１０６の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５と第ｋ信号基板１０３の上の第ｋ信号記録層１００を互いに沿った形状にして、第（ｋ−１）分離層１０７を形成することにより均一な分離層を形成することができる。複数ある分離層の何れも以上の工程を用いて作製すれば、多層光情報記録媒体全体の精度を向上することができ、各信号記録層において情報の記録あるいは再生の性能を大いに向上することができる。
以下、上記図１の各工程の例について詳しく説明する。図２に第（ｋ−１）スタンパの作製工程を示す。ここでは、第（ｋ−１）スタンパの材料としてプラスチックを用いる。プラスチックは軽量であるため操作性に優れ、射出成形法により容易に大量に作製することができ便利である。また、成形条件を制御すれば容易に所望の形状（反り）をもたせることができるという利点もある。ここでは、第（ｋ−１）スタンパの材料としてポリカーボネートを用いる。また、ポリカーボネート以外にも、オレフィン樹脂、アクリル樹脂、ノルボルネン系樹脂等を用いることができる。
まず、図２（ａ）に示すように、一対の成形金型２００の金型鏡面Ａの上にマスタスタンパ２０１を設置し、成形金型２００内に３８０℃で溶融したポリカーボネート２０２を射出充填する。マスタスタンパ２０１は例えば、ニッケル等の金属を主成分とする材料からなる。成形金型２００のマスタスタンパ２０１と金型鏡面Ｂの間にできるキャビティ２０３は第（ｋ−１）スタンパの所望の厚みになるように決められる。ここでは、厚み約１．１ｍｍの第（ｋ−１）スタンパを成形するためキャビティ２０３の厚みは１．１ｍｍである。成形金型２００の金型鏡面Ａと金型鏡面Ｂは各々の温度に設定されている。
ここでは、（金型鏡面Ａの温度）＜（金型鏡面Ｂの温度）になるように金型鏡面Ａ、Ｂの温度をそれぞれ１１５℃、１２５℃に設定する。これらの温度により３８０℃で溶融したポリカーボネート２０２が冷却され固化される。ポリカーボネートが射出充填される際、成形金型２００には２０〜３０トンの型締め力を加える。型締め力により溶融したポリカーボネートはマスタスタンパ２０１に形成されている案内溝及びピットの間に入り込み、それらを転写することになる。
冷却（例えば、１０秒間）後、図２（ｂ）に示すように、第（ｋ−１）スタンパ２０４は成形金型２００より取り出される。その時、（金型鏡面Ａの温度）＜（金型鏡面Ｂの温度）とされているため、第（ｋ−１）スタンパ２０４の案内溝及びピットが形成された面２０５よりその反対側の面２０６の方が温度が高くなっている。そのため、温度が室温まで下がる時の収縮量が反対側の面２０６の方が大きくなり、結果、第（ｋ−１）スタンパ２０４は反対側の面２０６を包むような形状になる。図１（１）に示された第（ｋ−１）スタンパ１０６はこのように作製される。
図３に第（ｋ−１）分離層を形成する工程を示す。本実施の形態１では第（ｋ−１）分離層が２つの材料からなり、第ｋ信号基板および第（ｋ−１）スタンパの外径が共に直径１２０ｍｍのものの場合について一例を用いて説明する。まず図３（ａ）のように、第（ｋ−１）スタンパ３００をテーブル３０５上に第（ｋ−１）スタンパの案内溝及びピットのある面を上にして設置する。第（ｋ−１）スタンパ３００は図２に示す方法で作製することができる。設置された第（ｋ−１）スタンパ３００は真空吸引等の方法でテーブル３０５上に固定される。この時、テーブル３０５の表面形状は図示のように第（ｋ−１）スタンパと同じ曲率をもった形状であるのが好ましい。なぜなら、図２に示す工程で第（ｋ−１）スタンパ３００がもつ形状そのものを制御しているためである。
第（ｋ−１）スタンパの案内溝及びピットのある面に転写層用紫外線硬化樹脂３０１を滴下して、テーブル３０５を回転することにより、余分な転写層用紫外線硬化樹脂を振りきり、均一な厚みの転写層用紫外線硬化樹脂の層を得る。紫外線硬化樹脂としては紫外線照射によりラジカル反応を起こすアクリル系樹脂が好ましい。本実施の形態では、ポリカーボネート製の第（ｋ−１）スタンパ３００と剥離のし易い、粘度２００ＭＰａ・ｓのアクリル系紫外線硬化樹脂を用いる。粘度が１〜１０００ＭＰａ・ｓのものであれば、スタンパ上の案内溝およびピットの凹凸に十分入り込むことができる。また、スピンの回転は４０００ｒｐｍで５秒間とし、厚み約８ミクロンの転写層を得た。
次に図３（ｂ）に示すように、紫外線ランプ３０２を用いて紫外線を照射する。紫外線ランプ３０２としてはメタルハライドランプ、高圧水銀ランプ、キセノンランプ等が良い。紫外線を照射することにより、転写層用紫外線硬化樹脂３０１は硬化され、転写層３０３が形成される。
次に、図３（ｃ）のように転写層３０３が形成された第（ｋ−１）スタンパ３００と第ｋ信号基板３０６を貼り合わせる。第ｋ信号基板３０６は第ｋ信号記録層の案内溝及びピットと第ｋ記録多層膜が形成されている他、第（ｋ＋１）〜第ｎ信号記録層を有している（図示せず）。第ｋ信号基板３０６をテーブル３０９に真空吸引にて固定して第ｋ信号記録層上に接着剤となる接着層用紫外線硬化樹脂３０７を滴下し、その上から第（ｋ−１）スタンパ３００の転写層３０３と接着層用紫外線硬化樹脂３０７が接するように置く。その後、図示のようにテーブル３０９を回転して、余分な接着層用紫外線硬化樹脂を振り切る。本実施の形態では５０００ｒｐｍで８秒間回転を行った。接着層用紫外線硬化樹脂３０７としては、第ｋ記録多層膜と転写層３０３に対して接着強度の高い、６００ｍＰａ・ｓのアクリル系紫外線硬化樹脂を用いた。
次に図３（ｄ）に示すように、紫外線ランプ３０２により紫外線を照射して接着層用紫外線硬化樹脂３０７を硬化する。紫外線ランプ３０２としては、上記図３（ｂ）同様メタルハライドランプ、高圧水銀ランプ、キセノンランプ等を用いることができる。第（ｋ−１）スタンパ３００はポリカーボネート等の透明性を有しているため、幾分か紫外線を透過し、接着層用紫外線硬化樹脂３０７を硬化することができる。硬化後、接着層３０８の厚みの平均は２２ミクロンであり、硬化により一体化された転写層３０３と接着層３０８が第（ｋ−１）分離層３１０となる。
第（ｋ−１）分離層３１０の厚みは図４（ａ）に示すようなものであった。図４（ａ）では、第（ｋ−１）分離層の半径方向の厚みむらは２７〜３１ミクロンで４ミクロンと均一となった。一方、図４（ｂ）は第（ｋ−１）スタンパは従来の方法で作製した第（ｋ−１）分離層の半径方向の厚みむらである。内周半径になるにつれ厚くなる傾向があり、２３〜３７ミクロンの範囲で１４ミクロンとむらは大きい。なお、本実施の形態では、図４（ａ）に示すように、第（ｋ−１）分離層の半径方向の厚みむらは４ミクロンで均一になっていたが、６ミクロン以下であれば、高密度光情報記録媒体の性能を維持することが出来る。
図５は、従来方法のように、射出成形法で第（ｋ−１）スタンパを平坦な形状に作製した場合の第（ｋ−１）分離層の作製の様子を示す図である。第（ｋ−１）スタンパ５００の形状が平坦である以外、図３に示した工程とほぼ同じである。図５（ａ）及び（ｂ）は転写層５０３の形成工程、図５（ｃ）及び（ｄ）は接着層５０８を形成し第（ｋ−１）分離層５１０を完成する工程を示す。第（ｋ−１）スタンパ５００の形状が平坦であるためテーブル５０５は平坦にするのが自然である。また、図５（ｃ）に示すように第（ｋ−１）スタンパ５００が平坦であるため、第（ｋ−１）スタンパ５００の案内溝及びピットのある面と第ｋ信号基板３０６の第ｋ信号記録層の距離は内周半径になるにつれ離れる。そのため、図５（ｄ）に示すように、接着層５０８の厚みは内周半径になるにつれ厚くなり、結果、接着層５０８と転写層５０３からなる第（ｋ−１）分離層５１０の厚みも内周半径になるにつれ厚くなる。
図３に第（ｋ−１）分離層を形成する工程を説明したが、代わりに以下（Ａ）〜（Ｃ）に記す工程も有効である。
（Ａ）図３（ａ）の工程により第（ｋ−１）スタンパの上に転写層用紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線により硬化しない。一方、図３（ａ）と同様の方法により第ｋ信号基板の上に接着層用紫外線硬化樹脂を塗布する。第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板を減圧したチャンバ内で重ねた後、図３（ｄ）に示すように紫外線にて、転写層用紫外線硬化樹脂と接着層用紫外線硬化樹脂を硬化する。
（Ｂ）図３（ａ）の工程により第（ｋ−１）スタンパの上に転写層用紫外線硬化樹脂の塗布し、図３（ｂ）のように紫外線により硬化する。一方、図３（ａ）と同様の方法により第ｋ信号基板の上に接着層用紫外線硬化樹脂を塗布する。第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板を減圧したチャンバ内で重ねた後、図３（ｄ）に示すように紫外線にて、接着層用紫外線硬化樹脂を硬化する。
（Ｃ）図３（ａ）の工程により第（ｋ−１）スタンパの上に転写層用紫外線硬化樹脂の塗布し、紫外線により硬化しない。一方、図３（ａ）と同様の方法により第ｋ信号基板の上に接着層用紫外線硬化樹脂を塗布して、紫外線により硬化する。第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板を減圧したチャンバ内で重ねた後、図３（ｄ）に示すように紫外線にて、転写層用紫外線硬化樹脂を硬化する。
また、図３（ｃ）では、第ｋ信号基板３０６をテーブル３０９に真空吸引にて固定して第ｋ信号記録層上に接着剤となる接着層用紫外線硬化樹脂３０７を滴下し、その上から第（ｋ−１）スタンパ３００の転写層３０３と接着層用紫外線硬化樹脂３０７が接するように置き、その後、テーブル３０９を回転して、余分な接着層用紫外線硬化樹脂を振り切るとして説明したが、これに限らない。
第（ｋ−１）スタンパ３００上に転写層用紫外線硬化樹脂３０１の層を形成した後、接着層用紫外線硬化樹脂３０７を転写層用紫外線硬化樹脂３０１の層が形成された第（ｋ−１）スタンパ３００の上に塗布し、その後、第（ｋ−１）スタンパ３００と第ｋ信号基板３０６とを貼り合わせても構わない。また、第ｋ信号基板３０６上に接着層用紫外線硬化樹脂３０７を塗布した後、第ｋ信号基板３０６の接着層用紫外線硬化樹脂３０７の上に転写層用紫外線硬化樹脂３０１を塗布し、その後、第（ｋ−１）スタンパ３００と第ｋ信号基板３０６とを貼り合わせても構わない。
図６に剥離工程を示す。図３で図示された工程で接着された第（ｋ−１）スタンパ３００と第ｋ信号基板３０６とを剥離用テーブル６００の上に固定する。固定の手段は図６（ａ）の真空吸引が挙げられるが、その他の手段として、例えば第ｋ信号基板３０６の外周端面を保持する機械であっても良い。次に図６（ｂ）のように、第（ｋ−１）スタンパ３００と第ｋ信号基板３０６の中心穴にツメ６１０を挿入し、第（ｋ−１）分離層３１０の一部である転写層３０３と第（ｋ−１）スタンパ３００との界面にツメ６１０を挿入する。ツメ６１０の先端は鋭くなっているので、容易に楔として転写層３０３と第（ｋ−１）スタンパ３００との界面に挿入することができる。
図６（ｃ）のようにツメ６１０を外周に向けて開きながら、加圧されたエア６１５を剥離用テーブル６００の中心部より導入してエア６１５を転写層３０３と第（ｋ−１）スタンパ３００との間に導く。この時、ハンドリング手段６１２で第（ｋ−１）スタンパ３００を引っ張りあげる。ハンドリング手段６１２で引っ張りあげることにより剥離が容易になる。最後は図６（ｄ）のように第（ｋ−１）スタンパ３００は剥離される。
第（ｋ−１）分離層の上に転写された第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットの上に第（ｋ−１）記録多層膜を成膜する。第（ｋ−１）記録多層膜はその材料によって成膜方法は異なるが、ＧｅＳｂＴｅやＡｇＩｎＳｂＴｅ等の相変化膜、磁性体膜といった記録膜とそれらを挟むＺｎＳ等の誘電体膜、金属反射膜等はスパッタリングや蒸着によって成膜される。また、色素膜の場合はスピンコーティングが用いられる。第（ｋ−１）記録多層膜を成膜してようやく第（ｋ−１）信号記録層は完成される。第（ｋ−１）信号記録層の上に図２、図３、図６に示す工程と記録多層膜の成膜を繰り返すことでｎ層の信号記録層を有する第１信号基板が作製される。
上記の成膜方法の他に図１１に示す方法も用いることができる。第（ｋ−１）分離層の上に転写された第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットの上に第（ｋ−１）記録多層膜を成膜することが困難な場合に有効である。図１１（ａ）に示すように予めターゲット１１００を用いて、第（ｋ−１）スタンパ３００上に第（ｋ−１）記録多層膜１１０１をスパッタリング法により成膜する。ここではターゲットは１つだけ図示しているが、実際は第（ｋ−１）記録多層膜１１０１は複数の材料の膜からなるのでターゲットは複数必要となる。次に、図３の工程で転写層３０３及び接着層３０８からなる第（ｋ−１）分離層３１０を形成する。
そして図１１（ｂ）に示すように、剥離用テーブル６００において固定して、図１１（ｃ）に示すように、ハンドリング手段６１２を用いて、第（ｋ−１）スタンパ３００を剥離する。剥離するまでの手順は図６同様であるので、ここでは省略する。この時、第（ｋ−１）スタンパ３００は第（ｋ−１）記録多層膜１１０１から剥離して、第（ｋ−１）記録多層膜１１０１は第（ｋ−１）分離層３１０上に移動する。転写層３０３の上には案内溝及びピットが形成される同時に第（ｋ−１）記録多層膜１１０１も形成されることになる。この工程を用いると、第ｋ信号基板上への第（ｋ−１）分離層の形成と同時に第（ｋ−１）記録多層膜形成も可能であり、タクトタイム短縮が期待できる。
図７に第１信号記録層の上に透明カバー層を作製する工程の例を示す。ここでは、透明カバー層の厚みは１００ミクロンの場合を示す。図７（ａ）は９０ミクロンの厚みのフィルム７００を１０ミクロンの厚みの接着層７３０を用いてテーブル７２０上でスピンコーティングで接着してカバー層を形成するものである。フィルム７００の材料としてはポリカーボネート、オレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂等が挙げられる。接着層７３０としては紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂のような放射線硬化材料を用いることができる。
接着手順としては、図７（ａ）のように第１信号基板７１０とフィルム７００の間に接着用材料を配置してスピンで振り切る方法や、フィルム７００を下にして上から第１信号基板７１０を重ねてスピンする方法、或いは第１信号基板７１０とフィルム７００の少なくとも一方に予め接着用材料を全面に塗布して真空中で貼る方法等がある。何れの方法でも第１信号基板７１０とフィルム７００を接着用材料を介して重ねた後は硬化が必要となる。
図７（ｂ）は感圧性接着剤７４０を用いてフィルム７００を接着してカバー層を形成する方法を示す。この場合、感圧性接着剤７４０の厚みは２０〜３０ミクロン、フィルム７００は１００ミクロンから感圧性接着剤７４０の厚みを差し引いた厚みのものを用いる。接着方法は、例えば、図７（ｂ）に示す減圧したチャンバ７４５内でフィルム７００と感圧性接着剤７４０を重ねる方法である。重ねた後で高圧の圧縮空気でフィルム面を押し接着を確実にする。この方法の他に、大気中あるいは減圧下でローラで貼る方法でも構わない。
図７（ｃ）はカバー材料７５０をフィルムを用いずスピンコートで塗布するものである。カバー材料７５０の供給条件とスピンの回転条件を最適化することで均一な１００ミクロンの透明カバー層を形成できる。以上のような図７に示す方法により透明カバー層を形成し、多層光情報記録媒体が完成する。
上記実施の形態１では、厚み１．１ｍｍのプラスチック製の第（ｋ−１）スタンパを用いたが、プラスチック製であれば、厚みが０．５ｍｍ以上であれば良い。厚みが０．５ｍｍ以上であれば、剛性もあるため射出成形法においても成形条件により形状を制御し易く、また扱い易いため生産性向上に適している。
また、実施の形態１では、第（ｋ−１）分離層が２つの材料からなる場合について説明したが、３つ以上の複数の材料からなっていても構わない。また、紫外線硬化樹脂を用いて説明したが、その他熱硬化性材料をはじめとする放射線硬化性材料を用いても良い。
（実施の形態２）
本発明の多層光情報記録媒体の製造方法の実施の形態２を説明する。図８は実施の形態１とは逆の反り、つまり第ｋ信号基板が第ｋ信号記録層とは反対側の面を包むように反ったものである場合を示す。図１同様、図８の第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパは共に円盤型をなし中心に中心穴を有する。
まず、図８（１）に示すように、第ｋ信号基板８０３には第ｋ分離層８１０の表面に第ｋ信号記録層８００がある他、順に第（ｋ＋１）信号記録層８０１、さらに第ｎ信号記録層８０２まで計（ｎ−ｋ−１）個の信号記録層がある。ここで、実施の形態１同様、信号記録層とは、多層光情報記録媒体に記録及び再生する際に記録光及び再生光をガイドするための案内溝やアドレス情報を示すピットと、ＧｅＳｂＴｅやＡｇＩｎＳｂＴｅ等の相変化膜、磁性体膜、色素膜に代表される記録膜とそれらを挟むＺｎＳ等の誘電体膜からなる記録多層膜あるいは反射膜からなる。
一方、表面に第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５をもつ第（ｋ−１）スタンパ８０６も準備する。第（ｋ−１）スタンパ８０６は、後述する実施の形態５の図１４に示される反り測定手段１４０１のように現在のまたは過去に製造された一つまたは複数のｋ信号基板８０３の面形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ８０６の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット８０５を有する面をｋ信号基板８０３の面形状に対応するような形状にして形成されたものである。すなわち、第（ｋ−１）スタンパ８０６は、ｋ信号基板８０３の形状に沿うように形成されたものである。
従って、第（ｋ−１）スタンパ８０６と第ｋ信号基板８０３は図示のように互いが沿った形、第（ｋ−１）スタンパ８０６は第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５を包むように反っている。つまり、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５と第ｋ信号記録層８００の互いが沿った状態になっていて、その距離が半径方向及び面内で均一になっている。すなわち、第ｋ信号基板８０３の第ｋ信号記録層８００と、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット８０５を有する面とを実質上同じ曲率半径を有する形状にする。
次に、図８（２）に示すように、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５と第ｋ信号記録層８００の間に第（ｋ−１）分離層８０７を形成する。この時、第（ｋ−１）分離層８０７の第（ｋ−１）スタンパ側が第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５の中まで入り込むように形成される必要がある。図８（１）において、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５と第ｋ信号記録層８００の距離が半径方向及び面内で均一になっているため、第（ｋ−１）分離層の厚みは均一になる。第（ｋ−１）分離層８０７の構成としては、１つの材料であることに限らず、異なる材料からなる複数の層から構成されていても良い。例えば、第（ｋ−１）分離層８０７のうち第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５に接する層を転写層とした時、転写層として硬化性を有する液体材料を用いると第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５の中まで入り込み易く、転写が向上できる。この場合、転写層を硬化させて第（ｋ−１）分離層８０７が完成となる。
次に図８（３）に示すように、第（ｋ−１）分離層８０７上の転写された第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０８と第（ｋ−１）スタンパ８０６の界面より剥離を行う。
以上のように、第ｋ信号基板の反りが実施の形態１と異なっていても、第（ｋ−１）スタンパに逆の反りを持たせることで、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパの距離を半径方向に沿って均一にでき、第（ｋ−１）分離層の厚みも均一にできる。例えば、第（ｋ−１）スタンパが実施の形態１同様のプラスチックであれば、図２のような射出成形法で第（ｋ−１）スタンパを作製できる。図２の金型鏡面Ａの温度を金型鏡面Ｂより高く設定することで、成形金型２００から取り出した後第（ｋ−１）スタンパ２０４は案内溝及びピットが形成された面２０５を包む形となる。
次に図８（２）で示した第（ｋ−１）分離層の形成方法の具体例について説明する。図９は厚み３０ミクロンの第（ｋ−１）分離層を感圧性接着剤と転写層を用いて形成する一例を示す。図９は第（ｋ−１）分離層の一部として感圧性接着剤を用いる方法である。感圧性接着剤は半固体状のフィルム状をなしているため厚み精度に優れている。その一方、粘度が非常に高いため、第（ｋ−１）スタンパの案内溝及びピットを転写することは困難である。この形成方法では粘度の低い転写層を別に用いる。
まず、図９（ａ）に示すように、第ｋ信号基板９００と厚み２５ミクロンの感圧性接着剤９０１をチャンバ９０５内に入れ、チャンバ９０５内を真空引きする。例えば、真空度としては１〜１００ｈＰａの範囲が適している。その後、感圧性接着剤９０１を第ｋ信号基板９００の第ｋ信号記録層の面に重ね合わせる。この時、感圧性接着剤９０１の中心部より徐々に外側へ重ねるのが良い。こうすれば、感圧性接着剤９０１を重ねたことによる第ｋ信号基板９００内の応力の増大を少なくできる。また、感圧性接着剤９０１は直径Ｄ１の中心穴を有する。Ｄ１は第ｋ信号基板の中心穴の直径Ｄ０より大きい。重ねた後、第ｋ信号基板と感圧性接着剤は大気中に取り出され、高圧の圧縮空気で感圧性接着剤を押し接着を確実にしても良い。
図９（ａ）に並行して、第（ｋ−１）スタンパ９０２は図９（ｂ）に示すようにテーブル９０４上に固定され、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットのある面に転写層用紫外線硬化樹脂９０３がコートされる。ここでは、スピンコートによる塗布を一例として示す。転写層用紫外線硬化樹脂９０３としては、実施の形態１同様紫外線照射によりラジカル反応を起こすアクリル系樹脂が好ましい。プラスチック製（例えば、ポリカーボネート、オレフィン樹脂等）の第（ｋ−１）スタンパ９０２と剥離のし易い、粘度２００ＭＰａ・ｓのアクリル系紫外線硬化樹脂を用いる。粘度が１〜１０００ＭＰａ・ｓのものであれば、スタンパ上の案内溝およびピットの凹凸に十分入り込むことができる。また、スピンの回転は４０００ｒｐｍで５秒間とし、厚み約８ミクロンの転写層を得た。また、コートされた転写層用紫外線硬化樹脂９０３の内径は第（ｋ−１）スタンパ９０２の中心穴の直径Ｄ０より小さいＤ２である。
次に、図９（ｃ）に示すように、転写層用紫外線硬化樹脂９０３をコートされた第（ｋ−１）スタンパ９０２と、感圧性接着剤９０１が第ｋ信号基板９００とを、チャンバ９０８内で重ねる。この時、チャンバ９０８内の真空度は１〜１００ｈＰａとする。Ｄ２＜Ｄ１であるため、感圧性接着剤９０１と第（ｋ−１）スタンパ９０２とは接触することはない。これは、第（ｋ−１）分離層形成後、第（ｋ−１）スタンパ９０２を剥離する工程において、感圧性接着剤９０１が第（ｋ−１）スタンパ９０２に直接接触して第（ｋ−１）スタンパ９０２を剥離できなくなることを防ぐためである。
転写層用紫外線硬化樹脂９０３は粘度が低いため、重ねた時広がることになり、転写層用紫外線硬化樹脂９０３と感圧性接着剤９０１との合計の厚みの平均値は３０ミクロンとなった。重ねた後、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパを大気中に取り出し、高圧の圧縮空気により、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパを押し重ねた時の気泡をつぶしたり、接着を確実にしても良い。
最後に図９（ｄ）に示すように、未硬化である転写層用紫外線硬化樹脂９０３へ紫外線ランプ９１０による紫外線により硬化する。硬化により感圧性接着剤９０１と転写層用紫外線硬化樹脂９０３からなる第（ｋ−１）分離層９０９ができる。紫外線は第（ｋ−１）スタンパ９０２が透明であれば、幾らかは透過するため十分に転写層用紫外線硬化樹脂９０３を硬化することができる。紫外線ランプとしてはメタルハライドランプ、高圧水銀ランプ、キセノンランプ等が用いることができる。
以上図９に示す工程で重要なことは、感圧性接着剤と転写性紫外線硬化樹脂の材料選定である。感圧性接着剤は、第ｋ信号記録層と硬化後の転写性紫外線硬化樹脂とに接着強度をもつものである必要がある。一方、転写性紫外線硬化樹脂は、硬化後第（ｋ−１）スタンパと剥離し易いものであることが重要であるのは言うまでもない。このような図９に示す工程の後、実施の形態１同様図６に示す剥離工程を行うことができる。
なお、図９では転写層用紫外線硬化樹脂９０３を第（ｋ−１）スタンパ９０２上に塗布したが、第ｋ信号基板９００の上に重ね合わされた感圧性接着剤９０１の上に転写層用紫外線硬化樹脂９０３を塗布しても良い。また、図９では、第ｋ信号基板９００上に感圧性接着剤９０１を重ね合わせたが、これに限らず、転写層用紫外線硬化樹脂９０３を第（ｋ−１）スタンパ９０２上に塗布した後、転写層用紫外線硬化樹脂９０３が塗布された第（ｋ−１）スタンパ９０２上に感圧性接着剤９０１を重ね合わせ、その後第ｋ信号基板９００と第（ｋ−１）スタンパ９０２とを張り合わてもよい。また、図３（ｃ）の工程を用いて、接着層用紫外線硬化樹脂３０７の代わりに転写性紫外線硬化樹脂９０３を用い、第（ｋ−１）スタンパ９０２と感圧性接着剤９０１の付加された第ｋ信号基板９００を共に回転することで貼り合わせても良い。また、感圧性接着剤９０１が硬化後の転写層用紫外線硬化樹脂９０３との接着強度が不足する場合は、感圧性接着剤９０１の上にさらに、硬化後の転写層用紫外線硬化樹脂９０３と十分な接着強度を得られる別の接着剤を配置しても良い。
図１０（ａ）に図８と図９の方法で形成された第（ｋ−１）分離層９０９の厚みの分布を示す。内周から外周にかけて２９．５〜３０．５ミクロンの１ミクロンの分布がある。これは、スピンコートによる転写層用紫外線硬化樹脂９０３の厚みむらによるものである。図４（ａ）に示す実施の形態１の第（ｋ−１）分離層より均一である。実施の形態２では厚み精度の高い感圧性接着剤を使用するためである。
図１０（ｂ）は、図５に示したような従来のような平坦な第（ｋ−１）スタンパ５００を用いて図９の方法で第（ｋ−１）分離層を形成した場合のものである。第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパの距離は内周では近く外周では離れるため、内周から外周にかけて第（ｋ−１）分離層の厚みが厚くなる傾向が見られ、２７〜３３ミクロンの６ミクロンの分布が発生している。このように、図８と図９は第（ｋ−１）分離層の厚み均一性には有効である。
本実施の形態２での第ｋ信号基板への感圧性接着剤の接着方法（図９（ａ））の他に、大気中あるいは減圧下でローラで貼る方法も可能である。
また、実施の形態２においても、感圧性接着剤の代わりに実施の形態１で示した接着層用紫外線硬化樹脂を用いて図３の方法でも厚みの均一な第（ｋ−１）分離層を作製できる。また、逆に、実施の形態１のように第ｋ信号基板が第ｋ信号記録層を包むように反っている場合にも、図９に示す感圧性接着剤を用いる方法を適用できる。
上記実施の形態２では、厚み１．１ｍｍのプラスチック製の第（ｋ−１）スタンパを用いたが、プラスチック製であれば、厚みが０．５ｍｍ以上であれば良い。厚みが０．５ｍｍ以上であれば、剛性もあるため射出成形法においても成形条件により形状を制御し易く、また扱い易いため生産性向上に適している。
また、実施の形態２では、第（ｋ−１）分離層が２つの材料からなる場合について説明したが、３つ以上の複数の材料からなっていても構わない。また、紫外線硬化樹脂を用いて説明したが、その他熱硬化性材料をはじめとする放射線硬化性材料を用いても良い。
（実施の形態３）
ここでは、図２に示した第（ｋ−１）スタンパの作製方法の代替となる方法について説明する。図１２に断熱材料を備える成形金型の模式図である。第（ｋ−１）スタンパを案内溝及びピットのある面とは反対側の面を包むように反らせるためのものである。
図１２（ａ）はマスタスタンパ２０１と金型鏡面Ａとの間に断熱板１２００を配置した場合である。冷却水路Ａと冷却水路Ｂには、成形金型２００のキャビティ２０３内に導入される溶融したポリカーボネート２０２を冷却するために、冷却水が流される。断熱板１２００を挿入することで、冷却水路Ｂに流される冷却水の温度に応じて金型鏡面Ｂ側は冷却されるが、マスタスタンパ２０１側は溶融されたポリカーボネート２０２の温度が冷却されづらくなるため、図２に示した成形金型で成形した第（ｋ−１）スタンパより反ったものができる。冷却水路Ａには断熱板１２００が熱で破壊されないために必要十分な温度の冷却水を流せば良い。図１２（ｂ）は断熱材１２０３を金型鏡面Ａの後ろに組み込んだ成形金型である。この構成でも同様の効果が得られる。
また、図１２の以外にも、金型鏡面Ｂの後ろに断熱材を組み込んでも良い。この場合、金型鏡面Ｂの表面の温度はマスタスタンパ側より高くなる傾向がある。そのため、成形された第（ｋ−１）スタンパは案内溝及びピットのある面とは反対側の面を包むように反ることになる。
さらには、上記のように一対の成形金型の片側金型鏡面にだけではなく、両面の金型鏡面に断熱材を組み込んでも良い。
上記実施の形態３では、厚み１．１ｍｍのプラスチック製の第（ｋ−１）スタンパを用いたが、プラスチック製であれば、厚みが０．５ｍｍ以上であれば良い。厚みが０．５ｍｍ以上であれば、剛性もあるため射出成形法においても成形条件により形状を制御し易く、また扱い易いため生産性向上に適している。
（実施の形態４）
実施の形態４では、金属製の第（ｋ−１）スタンパの作製方法について説明する。金属は比較的硬度が高いため、第（ｋ−１）スタンパを第ｋ信号基板から剥離する際に生ずる第（ｋ−１）スタンパの傷や変形を抑制できるため、効果的である。図２、図１２でも示したマスタスタンパ２０１と第（ｋ−１）スタンパは案内溝あるいはピットの凹凸が反転している必要がある。従って、マスタスタンパ２０１を用いて金属製の第（ｋ−１）スタンパを作製することができる。
一般的にマスタスタンパは、マスタスタンパ上の案内溝やピットとは凹凸が反転した形状を有するガラスマスタ原盤を用いて作られる。ガラスマスタ原盤には、ガラスの表面にフォトレジストで形成された案内溝やピットといった凹凸が形成されている。まずガラス板の表面にフォトレジストを均一に塗布し、フォトレジスト上を紫外〜遠紫外の波長域の集光されたレーザ、さらには電子線を用いて案内溝やピットの形状に露光する。露光されたフォトレジスト部分は現像工程により取り除かれ、ガラスマスタ原盤には案内溝やピットといった凹凸が形成される。
次に、ガラスマスタ原盤の案内溝やピットの面にニッケル薄膜を蒸着やスパッタリングで形成し、ニッケル薄膜を電極として電鋳によりニッケルを堆積させる。一般的には０．３ｍｍの厚さになるまでニッケルを堆積させガラスマスタ原盤の表面にニッケル板をつくる。ニッケル板をガラスマスタ原盤から剥離すれば、ニッケル板上にはガラスマスタ原盤上の凹凸（案内溝とピット）と反転した凹凸（案内溝とピット）をもつマスタスタンパとなる。
ニッケル製マスタスタンパからニッケル製第（ｋ−１）スタンパを作製する方法を以下に示す。
（１）マスタスタンパの凹凸（案内溝・ピット）面の表面酸化処理
水酸化ナトリウム水溶液の中へマスタスタンパを浸漬しアノードとして、６０秒間電流２０アンペア流す。これにより、マスタスタンパの凹凸面は酸化処理され酸化膜が形成される。
（２）マスタスタンパの凹凸面上に電鋳によりニッケル製第（ｋ−１）スタンパを形成
マスタスタンパ全体を電鋳浴に浸し、負電極として電鋳を行う。サルファミン酸ニッケル濃度５５０グラム／リットル、ホウ酸濃度３１グラム／リットルの電鋳浴を用いる。電鋳浴のｐＨ値や温度、また電鋳時の電流密度は必要に応じて調整する。電鋳により厚み０．３ｍｍになるまでニッケルをマスタスタンパ上に形成して、０．３ｍｍのニッケル製の第（ｋ−１）スタンパを得る。
（３）ニッケル製の第（ｋ−１）スタンパの剥離及び打ち抜き加工
マスタスタンパからニッケル製の第（ｋ−１）スタンパを剥離し、必要な外径と内径に打ち抜く。
以上、第（ｋ−１）スタンパの作製方法を簡単に示したが、金属製第（ｋ−１）スタンパの反りを第ｋ信号基板の形状に沿うように制御するには、上記（２）の電鋳浴のｐＨ値や温度、また電鋳時の電流密度を制御すれば良い。図１３は電鋳時の電流密度と電鋳浴の温度、ｐＨ値を変えて第（ｋ−１）スタンパを作製した時の各パラメータに対する第（ｋ−１）スタンパの反りの変化を示している。ここで、反りの方向が＋とは第（ｋ−１）スタンパの凹凸面とは反対側の面に反っていることを意味し、逆に反りの方向が−とは第（ｋ−１）スタンパの凹凸面に反っていることを意味する。反りの大きさは、第（ｋ−１）スタンパの半径方向と第（ｋ−１）スタンパの接線とがなす角度で示す。
図１３（ａ）に示すように、電流密度では２０アンペア／ｄｍ＾２を境に＋反りと−反りが変わっている。図１３（ｂ）では電鋳浴の温度が４５℃より低い温度では＋反りに、高い温度では−反りになる。図１３（ｃ）の電鋳浴のｐＨではｐＨ４．５で最小値、つまり第（ｋ−１）スタンパがフラットになり、それから離れるに従い＋側の反りを有することになる。以上のように、第（ｋ−１）スタンパを電鋳により作製する場合、電鋳時の電流密度、電鋳浴の温度、ｐＨ値の少なくとも一つを制御して電鋳を行えば、第（ｋ−１）スタンパの反りを制御することができる。これらのパラメータにより第ｋ信号基板に沿う形の第（ｋ−１）スタンパの作製が可能である。
以上の工程で作製された金属製の第（ｋ−１）スタンパは図３や図９に示した方法で第ｋ信号基板との間に分離層を形成することができる。但し、分離層を形成する際、金属製の第（ｋ−１）スタンパは不透明で紫外線透過性がないため、接着層用紫外線硬化樹脂３０７や転写層用紫外線硬化樹脂９０３の代わりに熱硬化性材料等の放射線硬化材料を用いて、遠赤外線等の放射線を硬化に使用することが必要となる。また、接着層用紫外線硬化樹脂３０７の代わりには、感圧性接着剤も使用可能である。分離層形成後には図６に示す方法で第ｋ信号基板との剥離が可能である。
また、実施の形態４では、金属としてニッケルの用いたが、材質としては電鋳が可能なその他の金属でも構わない。
（実施の形態５）
実施の形態５として、多層光情報媒体の製造装置を説明する。製造装置は、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパを、第ｋ信号記録層と第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットを有する面を対向させて配置し、第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板とが互いに沿うような形状に保持する形状維持手段と、第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板との少なくとも一方が前記形状維持手段によって互いに沿うような形状に保持されている状態において、第ｋ信号記録層と第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットの間に第（ｋ−１）分離層を形成する分離層形成手段と、第（ｋ−１）分離層と第（ｋ−１）スタンパの界面より第（ｋ−１）スタンパを剥離する剥離手段を有している。図１４、図１５に形状維持手段と分離層形成手段の例を示す。
なお、本実施の形態の分離層形成手段は本発明の信号記録層形成手段の例である。
図１４は形状維持手段がアームである場合の例である。図１４（ａ）に示す案内溝及びピット上に転写層５０３が形成された、フラットな第（ｋ−１）スタンパ５００を用いる。転写層は図５（ａ）、（ｂ）に示す方法で形成される。第ｋ信号基板３０６は第ｋ信号記録層を包むように反っている。反り測定手段１４０１は測定光１４０２を第ｋ信号基板３０６上の第ｋ信号記録層に入射させて、反射した測定光１４０２の位置を検知することにより、第ｋ信号基板上の第ｋ信号記録層の傾き角を計算する。
形状維持アーム１４００は図１４（ｂ）に示すように、第（ｋ−１）スタンパ５００の、転写層５０３が形成されている面とは反対側の面を内周側と外周側を保持する。この時、形状維持アーム１４００は、反り測定手段１４０１から得た第ｋ信号記録層の傾き角に応じて、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットが第ｋ信号記録層に沿うように、第（ｋ−１）スタンパ５００を反らした状態に保持する。すなわち、反り測定手段１４０１は、現在のまたは過去に製造された一つまたは複数のｋ信号基板３０６の第ｋ信号記録層の面形状を測定し、形状維持アーム１４００は、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ５００の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面をｋ信号基板３０６の面形状に対応するような形状にして形成する。すなわち、形状維持アーム１４００は、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ５００をｋ信号基板３０６の形状に沿うように形成する。
そして、ｋ信号基板３０６の形状の測定は、例えば、工場が稼働する朝一番に前日に製造されたｋ信号基板３０６の形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ５００の形状を決めてもよい。また、第ｋ信号基板３０６が製造される毎に一枚一枚第ｋ信号基板３０６の形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ５００の形状を決めてもよい。また、ロット毎にｋ信号基板３０６の形状を測定した実績を用いて、第（ｋ−１）スタンパ５００の形状を決めてもよい。
第（ｋ−１）スタンパ５００の形状を変えるために、形状維持アーム１４００のスタンパを保持する部材にはエアシリンダやステッピングモータ、アクチュエータ等の駆動手段をもっている。また、保持方法としては真空吸引、外周側であれば爪のような機械的な保持方法もある。
次に、図１４（ｃ）に示すように、第（ｋ−１）スタンパ５００の形状が維持された状態で第ｋ信号基板３０６との間に第（ｋ−１）分離層の一部となる接着層用紫外線硬化樹脂３０７を塗布する。ノズル１４０３を第（ｋ−１）スタンパ５００と第ｋ信号基板３０６の間に挿入して、第ｋ信号基板３０６の内周部に接着層用紫外線硬化樹脂３０７を滴下する。この時、第ｋ信号基板３０６はテーブル３０９上で保持され、テーブル３０９を回転することで接着層用紫外線硬化樹脂３０７はリング状に滴下される。第（ｋ−１）スタンパ５００は形状維持アーム１４００で保持されているため、第ｋ信号基板３０６との間隔は半径方向に均一にすることができる。
次に、第（ｋ−１）スタンパ５００を形状維持アーム１４００で形状維持しながら、第ｋ信号基板３０６を保持したテーブル３０９を回転する。この時、形状維持アーム１４００も第（ｋ−１）スタンパ５００を保持しながらテーブル３０９に同期して回転する。この回転により、接着層用紫外線硬化樹脂３０７は半径方向に広がり、第（ｋ−１）スタンパ５００と第ｋ信号基板３０６の間に均一な接着層を形成する。形状維持アーム１４００で第（ｋ−１）スタンパ５００を形状維持したまま、紫外線により接着層を硬化して、図６に示すように剥離を行う。図６のツメ６１０とハンドリング手段６１２が剥離手段の一部となる。
また、第ｋ信号基板が第ｋ信号記録層のある面とは反対側の面を包むように反っている場合、図１４（ｄ）のように形状維持アーム１４００は第（ｋ−１）スタンパ５００を保持することになる。
図１５には形状維持手段がテーブル状である場合を示す。図１５（ａ）に示す案内溝及びピット上に転写層５０３が形成された、フラットな第（ｋ−１）スタンパ５００を用いる。転写層は図５（ａ）、（ｂ）に示す方法で形成される。第ｋ信号基板３０６は第ｋ信号記録層を包むように反っている。反り測定手段１４０１は測定光１４０２を第ｋ信号基板３０６上の第ｋ信号記録層に入射させて、反射した測定光１４０２の位置を検知することにより、第ｋ信号基板上の第ｋ信号記録層の傾き角を計算する。
形状維持テーブル１５００は図１５（ｂ）に示すように、第（ｋ−１）スタンパ５００の、転写層５０３が形成されている面を保持する。この時、形状維持テーブル１５００は、反り測定手段１４０１から得た第ｋ信号記録層の傾き角に応じて、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットが第ｋ信号記録層に沿うように、第（ｋ−１）スタンパ５００を反らした状態に保持する。つまり、第ｋ信号記録層の傾き角に応じて、図１５（ｂ）に示したような第（ｋ−１）スタンパ５００を案内溝及びピットのある面とは反対側の面を包むような形状にする凸状の形状維持テーブル１５００と、図１５（ｄ）に示すような第（ｋ−１）スタンパ５００を案内溝及びピットのある面を包むような形状にする凹形状維持テーブル１５０１との、何れかを選択し、第（ｋ−１）スタンパ５００を保持する。また、保持方法としては真空吸引、外周側であれば爪のような機械的な保持方法もある。
次に、図１５（ｃ）に示すように、第（ｋ−１）スタンパ５００の形状が維持された状態で第ｋ信号基板３０６との間に第（ｋ−１）分離層の一部となる接着層用紫外線硬化樹脂３０７を塗布する。ノズル１４０３を第（ｋ−１）スタンパ５００と第ｋ信号基板３０６の間に挿入して、第ｋ信号基板３０６の内周部に接着層用紫外線硬化樹脂３０７を滴下する。この時、第ｋ信号基板３０６はテーブル３０９上で保持され、テーブル３０９を回転することではリング状に滴下される。第（ｋ−１）スタンパ５００は形状維持テーブル１５００で保持されているため、第ｋ信号基板３０６との間隔は半径方向に均一にすることができる。
次に、第（ｋ−１）スタンパ５００を形状維持テーブル１５００で形状維持しながら回転する。この回転により、接着層用紫外線硬化樹脂３０７は半径方向に広がり、第（ｋ−１）スタンパ５００と第ｋ信号基板３０６の間に均一な接着層を形成する。その後、形状維持テーブル１５００で第（ｋ−１）スタンパを形状維持したまま、紫外線により接着層を硬化して、図６に示すように剥離を行う。図６のツメ６１０とハンドリング手段６１２が剥離手段の一部となる。
なお、図１５（ｃ）には第ｋ信号基板３０６と第（ｋ−１）スタンパ５００の間にノズル１４０３を挿入して接着層用紫外線硬化樹脂３０７を滴下する方法を示したが、第（ｋ−１）スタンパ上へ直接ノズルで接着層用紫外線硬化樹脂３０７を滴下して、そのあと第ｋ信号基板を上から落としても良い。これら２種類の滴下方法は、図３（ｃ）の工程でも用いることができる。
実施の形態５では、転写層と紫外線硬化樹脂を用いた接着層の２種類から材料から第（ｋ−１）分離層を形成する方法を挙げたが、第ｋ信号基板上に転写層以外の第（ｋ−１）分離層がある場合でも実施の形態５を適用できる。例えば、第ｋ信号基板上に感圧性接着剤があり、感圧性接着剤の上に転写層となる材料を滴下するという方法においても、本実施の形態を適用できる。
また、実施の形態５では、複数の信号記録層を有する第ｋ信号基板の形状（反り）に応じて、第（ｋ−１）スタンパの形状を形状維持手段で変える方法を示したが、第ｋ信号基板の形状を変えても良い。一般的には、形状を変えることにより、複数の信号記録層が歪むことになるので、第（ｋ−１）スタンパの形状を変えるほうが好ましいと考えられる。
上記実施の形態５では、厚み１．１ｍｍのプラスチック製の第（ｋ−１）スタンパを用いたが、プラスチック製であれば、厚みが０．５ｍｍ以上であれば良い。厚みが０．５ｍｍ以上であれば、剛性もあるため射出成形法においても成形条件により形状を制御し易く、また扱い易いため生産性向上に適している。また、プラスチック製の第（ｋ−１）スタンパでなくとも、実施の形態４に示した金属製のものでも構わない。
また、実施の形態５では、第（ｋ−１）分離層が２つの材料からなる場合について説明したが、３つ以上の複数の材料からなっていても構わない。また、紫外線硬化樹脂を用いて説明したが、その他熱硬化性材料をはじめとする放射線硬化性材料を用いても良い。
産業上の利用可能性
以上のように、本発明の多層光情報記録媒体の製造方法は、第ｋ信号基板の第ｋ信号記録層と、第（ｋ−１）スタンパの案内溝あるいはピット、案内溝及びピットを有する面とが互いに沿うような状態にして第（ｋ−１）分離層を形成するため、第ｋ信号基板の第ｋ信号記録層と、第（ｋ−１）スタンパの案内溝あるいはピット、案内溝及びピットを有する面との間隔が一定にすることが可能であり、形成される第（ｋ−１）分離層の厚みを均一することができる。
【図面の簡単な説明】
図１は、
（１）本発明の実施の形態１における多層光情報記録媒体の製造方法のうち、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパを準備する工程を示す模式図
（２）本発明の実施の形態１における多層光情報記録媒体の製造方法のうち、第（ｋ−１）信号記録層と第ｋ信号記録層との間に分離層を形成する工程を示す図
（３）本発明の実施の形態１における多層光情報記録媒体の製造方法のうち、第（ｋ−１）分離層上の転写された第（ｋ−１）信号記録層と第（ｋ−１）スタンパとの界面より剥離を行う工程を示す図
図２は、
（ａ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）スタンパの作成方法のうち、成形金型に溶融したポリカーボネートを射出充填する工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）スタンパの作成方法のうち、第（ｋ−１）スタンパを成形金型から取り出す工程を示す図
図３は、
（ａ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）分離層の形成方法の一例のうち、第（ｋ−１）スタンパ上に転写層用紫外線硬化樹脂を形成する工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）分離層の形成方法の一例のうち、紫外線を照射することにより転写層用紫外線硬化樹脂を硬化する工程を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）分離層の形成方法の一例のうち、転写層が形成された第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板とを貼り合わせる工程を示す図
（ｄ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）分離層形成方法の一例のうち、紫外線を照射することにより接着用紫外線硬化樹脂を硬化する構成を示す図  図４は、
本発明の多層光情報記録媒体の製造方法により形成した分離層の厚み分布の一例を示す図
（ａ）本発明の実施の形態１における多層光情報記録媒体の製造方法により形成した分離層の厚み分布の一例を示す図
（ｂ）従来の方法で形成した分離層の厚み分布の一例を示す図
図５は、
（ａ）従来の多層光情報記録媒体の製造方法の一例のうち、転写層の形成工程を示す図
（ｂ）従来の多層光情報記録媒体の製造方法の一例のうち、転写層を硬化する工程を示す図
（ｃ）従来の多層光情報記録媒体の製造方法の一例のうち、接着層を形成する工程を示す図
（ｄ）従来の多層光情報記録媒体の製造方法の一例のうち、第（ｋ−１）分離層を完成する工程を示す図
図６は、
（ａ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）スタンパの剥離方法の一例のうち、真空吸引する工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）スタンパの剥離方法の一例のうち、転写層と第（ｋ−１）スタンパの界面にツメを挿入する工程を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）スタンパの剥離方法の一例のうち、ハンドリング手段で第（ｋ−１）スタンパを引っ張りあげる工程を示す図
（ｄ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）スタンパの剥離方法の一例のうち、第（ｋ−１）スタンパが剥離された工程を示す図
図７は、
（ａ）本発明の実施の形態１における透明カバー層の形成方法であって、第１信号基板とフィルムとの間に接着用材料を配置してスピンで振り切る方法を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態１における透明カバー層の形成方法であって、感圧接着剤を用いてフィルムを接着してカバー層を形成する方法を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態１における透明カバー層の形成方法であって、カバー材料をフィルムを用いずスピンコートで塗布する方法を示す図
図８は、
（１）本発明の実施の形態２における多層光情報記録媒体の製造方法のうち、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパを準備する工程を示す模式図
（２）本発明の実施の形態２における多層光情報記録媒体の製造方法のうち、第（ｋ−１）信号記録層と第ｋ信号記録層との間に分離層を形成する工程を示す図
（３）本発明の実施の形態２における多層光情報記録媒体の製造方法のうち、第（ｋ−１）分離層上の転写された第（ｋ−１）信号記録層と第（ｋ−１）スタンパとの界面より剥離を行う工程を示す図
図９は、
（ａ）本発明の実施の形態２における分離層の形成方法のうち、第ｋ信号基板と感圧性接着剤をチャンバ内に入れ、チャンバ内を真空引きする工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態２における分離層の形成方法のうち、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットのある面に転写層用紫外線硬化樹脂をコートする工程を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態２における分離層の形成方法のうち、第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板とを重ねる工程を示す図
（ｄ）本発明の実施の形態２における分離層の形成方法のうち、紫外線を照射して未硬化である転写層用紫外線硬化樹脂を硬化する工程を示す図
図１０は、
（ａ）本発明の実施の形態２における分離層の形成方法により形成した分離層の厚み分布を示す図
（ｂ）従来の分離層の形成方法により形成した分離層の厚み分布を示す図
図１１は、
（ａ）本発明の実施の形態１における記録多層膜形成方法の一例のうち、ターゲットを用いて第（ｋ−１）スタンパ上に第（ｋ−１）記録多層膜をスパッタリング法により成膜する工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態１における記録多層膜形成方法の一例のうち、剥離用テーブルに固定する工程を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態１における記録多層膜形成方法の一例のうち、ハンドリング手段を用いて第（ｋ−１）スタンパを剥離する工程を示す図
図１２は、
（ａ）本発明の実施の形態３における射出成形法により第（ｋ−１）スタンパを作成する際の一例のうち、マスタスタンパと金型鏡面Ａとの間に断熱板を配置した場合を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態３における射出成形法により第（ｋ−１）スタンパを作成する際の一例のうち、断熱材を金型鏡面Ａの後ろに組み込んだ成形金型を示す図
図１３は、
（ａ）本発明の実施の形態４における金属製第（ｋ−１）スタンパを電鋳条件により形状制御する時の条件のうち、カソード電流密度と第（ｋ−１）スタンパの反りの程度との関係を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態４における金属製第（ｋ−１）スタンパを電鋳条件により形状制御する時の条件のうち、電鋳浴の温度と第（ｋ−１）スタンパの反りの程度との関係を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態４における金属製第（ｋ−１）スタンパを電鋳条件により形状制御する時の条件のうち、電鋳浴のｐＨと第（ｋ−１）スタンパの反りの程度との関係を示す図
図１４は、
（ａ）本発明の実施の形態５における第ｋ信号基板の形状を測定する工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態５における形状維持手段で第（ｋ−１）スタンパを保持することを示す図
（ｃ）本発明の実施の形態５における第（ｋ−１）スタンパの形状が維持された状態で第ｋ信号基板との間に第（ｋ−１）分離層の一部となる接着層用紫外線硬化樹脂を塗布することを示す図
（ｄ）本発明の実施の形態５における第ｋ信号基板が第ｋ信号記録層のある面とは反対側の面を包むように反っている場合に、形状維持手段が第（ｋ−１）スタンパを保持することを示す図
図１５は、
（ａ）本発明の実施の形態５における形状維持手段と分離層形成手段の第２の例であって、第ｋ信号基板の形状を測定する工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態５における形状維持手段と分離層形成手段の第２の例であって、第（ｋ−１）スタンパを形状維持する工程を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態５における形状維持手段と分離層形成手段の第２の例であって、分離層の一部となる接着層用紫外線硬化樹脂を塗布する工程を示す図
（ｄ）本発明の実施の形態５における形状維持手段と分離層形成手段の第２の例であって、凹形状維持テーブルにより第（ｋ−１）スタンパを保持する工程を示す図
（符号の説明）
１０３，３０６，８０３，９００  第ｋ信号基板
１００，８００  第ｋ信号記録層
１０１，８０１  第（ｋ＋１）信号記録層
１０２，８０２  第ｎ信号記録層
１１０  第ｋ分離層
１０５，８０５  第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット
１０６，２０４，３００，５００，８０６，９０２  第（ｋ−１）スタンパ
１０７，３１０，５１０，８０７，９０９  第（ｋ−１）分離層
１０８，８０８  転写された第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット
２００  成形金型
２０１  マスタスタンパ
２０２  ポリカーボネート
２０３  キャビティ
２０５  案内溝及びピットが形成された面
２０６  反対側の面
３０５，３０９，５０９，７２０，９０４  テーブル
３０１，９０３  転写層用紫外線硬化樹脂
３０２，９１０  紫外線ランプ
３０３，５０３  転写層
３０７  接着層用紫外線硬化樹脂
３０８，５０８，７３０  接着層
６００  剥離用テーブル
６１０  ツメ
６１５  エア
６１２  ハンドリング手段
７００  フィルム
７１０  第１信号基板
７４０，９０１  感圧性接着剤
７４５，９０５  チャンバ
７５０  カバー材料
１１００  ターゲット
１１０１  第（ｋ−１）記録多層膜
１２００  断熱板
１４００  形状維持アーム
１４０１  反り測定手段
１４０２  測定光
１４０３  ノズル
１５００  形状維持テーブル
１５０１  凹形状維持テーブル
Ｄ１  感圧性接着剤の中心穴の直径
Ｄ０  第ｋ信号基板の中心穴と第（ｋ−１）スタンパの中心穴の直径
Ｄ２  転写層用紫外線硬化樹脂の内径
【図１（１）】
2003081584.tif 000003
【図１（２）】
2003081584.tif 000004
【図１（３）】
2003081584.tif 000005
【図２（ａ）】
2003081584.tif 000006
【図２（ｂ）】
2003081584.tif 000007
【図３（ａ）】
2003081584.tif 000008
【図３（ｂ）】
2003081584.tif 000009
【図３（ｃ）】
2003081584.tif 000010
【図３（ｄ）】
2003081584.tif 000011
【図４（ａ）】
2003081584.tif 000012
【図４（ｂ）】
2003081584.tif 000013
【図５（ａ）】
2003081584.tif 000014
【図５（ｂ）】
2003081584.tif 000015
【図５（ｃ）】
2003081584.tif 000016
【図５（ｄ）】
2003081584.tif 000017
【図６（ａ）】
2003081584.tif 000018
【図６（ｂ）】
2003081584.tif 000019
【図６（ｃ）】
2003081584.tif 000020
【図６（ｄ）】
2003081584.tif 000021
【図７（ａ）】
2003081584.tif 000022
【図７（ｂ）】
2003081584.tif 000023
【図７（ｃ）】
2003081584.tif 000024
【図８（１）】
2003081584.tif 000025
【図８（２）】
2003081584.tif 000026
【図８（３）】
2003081584.tif 000027
【図９（ａ）】
2003081584.tif 000028
【図９（ｂ）】
2003081584.tif 000029
【図９（ｃ）】
2003081584.tif 000030
【図９（ｄ）】
2003081584.tif 000031
【図１０（ａ）】
2003081584.tif 000032
【図１０（ｂ）】
2003081584.tif 000033
【図１１（ａ）】
2003081584.tif 000034
【図１１（ｂ）】
2003081584.tif 000035
【図１１（ｃ）】
2003081584.tif 000036
【図１２（ａ）】
2003081584.tif 000037
【図１２（ｂ）】
2003081584.tif 000038
【図１３（ａ）】
2003081584.tif 000039
【図１３（ｂ）】
2003081584.tif 000040
【図１３（ｃ）】
2003081584.tif 000041
【図１４（ａ）】
2003081584.tif 000042
【図１４（ｂ）】
2003081584.tif 000043
【図１４（ｃ）】
2003081584.tif 000044
【図１４（ｄ）】
2003081584.tif 000045
【図１５（ａ）】
2003081584.tif 000046
【図１５（ｂ）】
2003081584.tif 000047
【図１５（ｃ）】
2003081584.tif 000048
【図１５（ｄ）】
2003081584.tif 000049
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月28日(2004.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】  明細書
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ｎ層（ｎは２以上の整数）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する多層光情報記録媒体の製造方法において、
記録面または再生面から第ｋ番目（ｋは２以上ｎ以下の整数のいずれか）の信号記録層を第ｋ信号記録層とし、前記第ｋ信号記録層を表面に有する基板を第ｋ信号基板とし、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有するスタンパを第（ｋ−１）スタンパとし、第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層との間にある分離層を第（ｋ−１）分離層とする時、
現在のまたは過去に製造された一つまたは複数の前記ｋ信号基板の面形状を測定する測定工程と、
前記第（ｋ−１）スタンパの前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を前記ｋ信号基板の面形状に対応するような形状にして、その第（ｋ−１）スタンパを利用して前記第（ｋ−１）信号記録層を形成する信号記録層形成工程と、
前記第（ｋ−１）分離層と前記第（ｋ−１）スタンパとの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離する剥離工程とを備え、
ｎ層の前記信号記録層のうち少なくとも１層が前記信号記録層形成工程によって作成される多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】  前記第ｋ信号基板が前記第ｋ信号記録層を包むように反っている時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパを前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面とは反対側の面を包むように反らせた形状にする請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】  前記第ｋ信号基板が第ｋ信号記録層の反対側の面を包むように反っている時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパを前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を包むように反らせた形にする請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】  前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板の第ｋ信号記録層と、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面とを実質上同じ曲率半径を有する形状にする請求項２または３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】  前記第（ｋ−１）分離層は、放射線硬化樹脂である請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項６】  前記放射線硬化樹脂が紫外線硬化樹脂である請求項５に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項７】  前記第（ｋ−１）分離層は、複数の層から構成される請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項８】  前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記第（ｋ−１）スタンパと前記第ｋ信号記録層の間に存在する、前記第（ｋ−１）分離層を構成する各層の界面も含めた複数の界面のうち、前記転写層と前記第（ｋ−１）スタンパとの界面が最も剥離し易い界面となる請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項９】  前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、少なくとも前記転写層が放射線硬化性材料である請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１０】  前記放射線硬化性材料は、紫外線硬化樹脂である請求項９に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１１】  前記紫外線硬化樹脂の粘度は、１〜１０００ｍＰａ・ｓである請求項１０に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１２】  前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記第（ｋ−１）分離層の、転写層以外の層のうち少なくとも一つの層が感圧性接着剤である請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１３】  前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパの案内溝及び／またはピットのある面の上に、前記転写層となる放射線硬化性材料をコートしたうえ硬化し、前記転写層を除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した前記第ｋ信号基板と貼り合わせる請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１４】  前記転写層がコートされた前記第（ｋ−１）スタンパと、前記転写層を除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した前記第ｋ信号基板とを貼り合わせる際、前記第（ｋ−１）スタンパにコートされた前記転写層と接する前記第（ｋ−１）分離層の表面が放射線硬化性材料である請求項１３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１５】  前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパと、前記転写層とを除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した前記第ｋ信号基板との間に前記転写層となる放射線硬化性材料を配置した後に、前記放射線硬化性材料を硬化する請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１６】  前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板の前記転写層を除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した面と、前記第（ｋ−１）スタンパの案内溝及び／またはピットのある面の少なくとも一方に、前記転写層となる放射線硬化性材料を塗布した後、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパを重ね合わせて前記放射線硬化性材料を硬化する請求項１５に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１７】  前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパとを、前記第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパの少なくとも一方を保持した上で、前記放射線硬化性材料を硬化する請求項１３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１８】  前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパの少なくとも一方を、所望の表面形状を有する支持台上に固定した上で、前記放射線硬化材料を硬化する請求項１７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１９】  前記第（ｋ−１）スタンパはプラスチックである請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
。
【請求項２０】  前記プラスチックは透明である請求項１９記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２１】  前記第（ｋ−１）スタンパは、ポリカーボネート、オレフィン樹脂、アクリル樹脂、ノルボルネン系樹脂のいずれかであり、金属製マスタスタンパを用いて射出成形法により作製された請求項２０に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２２】  前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパを作製する際の射出成形法の条件により、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパを、第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように制御する請求項２１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２３】  前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面とは反対側の面を包むように反った形にするために、前記第（ｋ−１）スタンパを射出成形法で作製する際、一対の成形金型の一方に載せた前記金属製マスタスタンパより他方の金型鏡面温度を高くする請求項２２に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２４】  前記信号記録層形成工程は、一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面温度より他方の金型鏡面温度を高くする請求項２３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２５】  一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面とは反対側の金型鏡面の裏面に、断熱材料が設置されている請求項２３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２６】  前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を包むように反った形にするために、前記第（ｋ−１）スタンパを射出成形法で作製する際、一対の成形金型の金型鏡面に載せた前記金属製マスタスタンパの温度を他方の金型鏡面温度より高くする請求項２２記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２７】  前記信号記録層形成工程は、一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面温度を他方の金型鏡面温度より高くする請求項２６に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２８】  一対の成形金型に載せた、前記金属製マスタスタンパの裏面と前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面の裏面の少なくとも１つに断熱材料が設置されている請求項２６に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２９】  前記第（ｋ−１）スタンパは、金属である請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３０】  前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが電鋳により作製され、電鋳浴のｐＨ値、温度、電鋳時の電流密度から選ばれる少なくとも１つの電鋳条件により、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパとを、前記第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように制御する請求項２９に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３１】  前記剥離工程の工程の後、さらに転写された前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットの上に記録多層膜（以下、第（ｋ−１）記録多層膜と呼ぶ）或いは反射膜を成膜することにより、第（ｋ−１）信号記録層を完成する膜形成工程を備えた請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３２】  前記第（ｋ−１）スタンパ上の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットの上に第（ｋ−１）記録多層膜あるいは反射膜を成膜しておき、前記剥離工程は、前記第（ｋ−１）記録多層膜と前記第（ｋ−１）スタンパの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離して前記第（ｋ−１）記録多層膜あるいは反射膜を前記第（ｋ−１）分離層上へ移す請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３３】  第１信号記録層の上に透明カバー層を形成する請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３４】  第１信号記録層の上に、透明な基板を透明な接着剤で接着し前記透明カバー層とする請求項３３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３５】  前記透明カバー層を透明な放射線硬化性材料で形成する請求項３３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３６】  前記透明カバー層の少なくとも一部を感圧性接着剤で形成することを特徴とする請求項３３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３７】  第１信号記録層上に形成されている透明カバー層の厚みが０．３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項３３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はｎ層（ｎは２以上）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する片面より記録及び再生を行う、多層光情報記録媒体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
高密度光情報記録媒体として、片面２層再生のＤＶＤのような厚み方向に信号記録面を複数層有する、多層光情報記録媒体が提案されている。例えば、片面２層再生のＤＶＤは２枚の基板のうち１枚の情報記録面に金、シリコン等の透光性の反射層を、もう一枚の情報記録面に従来のアルミニウム等からなる反射層を、それぞれ成膜し、これらの情報記録面が内側になるように貼り合わせた構造となっている。さらに、１層あたりの面記録密度を向上するために、青紫色レーザ光源（波長４００ｎｍ前後）と高ＮＡのレンズを用い、厚さが０．１ｍｍといった薄型の記録再生側透明カバー層をもつ高密度光情報記録媒体が提案されている。この高密度光情報記録媒体は、厚い信号基板の表面に信号の案内溝あるいはピットを形成して、その上に書き換え可能な記録多層膜を成膜、さらにその上に透明カバー層が形成された構造になっている。
【０００３】
この薄型透明カバー層タイプの高密度光情報記録媒体でも２つの信号記録面を有するものが考えられる。その作製方法の一つの例としては以下の方法が挙げられる。
【０００４】
（１）表面に信号の案内溝あるいはピットが形成され書き換え可能な記録多層膜が成膜された厚い基板の上に、さらに紫外線硬化樹脂を用いて分離層を形成すると共に、その分離層の表面に２層目の信号の案内溝あるいはピットを形成する。
【０００５】
（２）２層目の２層目の信号の案内溝あるいはピットの上に書き換え可能な透光性の記録多層膜を成膜する。
【０００６】
（３）厚さが０．１ｍｍといった薄型の記録再生側透明カバー層を形成する。
【０００７】
具体的な作製方法として特許文献１がある。なお、特許文献１の文献の全ての開示は、そっくりそのまま引用する（参照する）ことにより、ここに一体化する。すなわち、特許文献１では、上記（１）の工程のためにプラスチック製のスタンパを用いて、そのスタンパ上の信号案内溝あるいはピットに紫外線硬化樹脂を塗布し硬化した後、異なる性質を有するもう１つの紫外線硬化樹脂を用いて、１層目の記録多層膜が成膜された基板と貼り合わせ、硬化後スタンパを剥離している。このような方法を用いれば、剛性のある厚い基板をベースとして、その上に分離層を介して、もう一層、さらには複数の信号記録層を積み上げて多層光情報記録媒体を作製することができる。
【特許文献１】特開２００２−２６０３０７号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、多層光情報記録媒体の信号記録層の間に存在する分離層は均一である必要がある。分離層が均一であれば、分離層の前後にある信号記録層では記録あるいは再生の際に受ける他方からの反射光の影響が一定になる。他方の信号記録層からの反射光が変動すると、再生信号の外乱成分となり、Ｓ／Ｎが悪化する。逆に、分離層が均一であれば、他方の信号記録層からの外乱が一定であるため、記録あるいは再生が安定になり、良好な再生信号の品質は向上する。実際には、表面に信号の案内溝あるいはピットが形成され書き換え可能な記録多層膜が成膜された厚い基板の上に、スタンパを用いて基板とスタンパの間に分離層と共にその表面にスタンパより信号の案内溝あるいはピットを転写する際、分離層の厚みにむらが生じる。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑み、ある２つの信号記録層の分離層が均一となる多層光情報記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、第１の本発明は、ｎ層（ｎは２以上の整数）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する多層光情報記録媒体の製造方法において、
記録面または再生面から第ｋ番目（ｋは２以上ｎ以下の整数のいずれか）の信号記録層を第ｋ信号記録層（１００）とし、前記第ｋ信号記録層（１００）を表面に有する基板を第ｋ信号基板（１０３）とし、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット（１０５）を有するスタンパを第（ｋ−１）スタンパ（１０６）とし、第ｋ信号記録層（１００）と前記第（ｋ−１）信号記録層との間にある分離層を第（ｋ−１）分離層（１０７）とする時、
現在のまたは過去に製造された一つまたは複数の前記ｋ信号基板（１０３）の面形状を測定する測定工程と、
前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）の前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット（１０５）を有する面を前記ｋ信号基板（１０３）の面形状に対応するような形状にして、その第（ｋ−１）スタンパ（１０６）を利用して前記第（ｋ−１）信号記録層を形成する信号記録層形成工程と、
前記第（ｋ−１）分離層（１０７）と前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）との界面より前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）を剥離する剥離工程とを備え、
ｎ層の前記信号記録層のうち少なくとも１層が前記信号記録層形成工程によって作成される多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００１１】
上記本発明の多層光情報記録媒体の製造方法によれば、前記第（ｋ−１）スタンパと前記第ｋ信号基板とが互いに沿うような形になっているため、それらの間の距離は一様に均一となり、作製される第（ｋ−１）分離層の厚みも均一になる。
【００１２】
また、第２の本発明は、前記第ｋ信号基板（１０３）が前記第ｋ信号記録層（１００）を包むように反っている時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）を前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット（１０５）を有する面とは反対側の面を包むように反らせた形状にする第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００１３】
上記構成によれば、第ｋ信号基板の反りを変えることなく、第ｋ信号記録層と第（ｋ−１）信号記録層の案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面との距離が均一に近くなるため、作製される第（ｋ−１）分離層の厚みは均一になる。
【００１４】
また、第３の本発明は、前記第ｋ信号基板（８０３）が第ｋ信号記録層（８００）の反対側の面を包むように反っている時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパ（８０６）を前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット（８０５）を有する面を包むように反らせた形にする第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００１５】
上記構成によれば、第ｋ信号基板の反りを変えることなく、第ｋ信号記録層と第（ｋ−１）信号記録層の案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面との距離が均一に近くなるため、作製される第（ｋ−１）分離層の厚みは均一になる。
【００１６】
また、第４の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板（１０３）の第ｋ信号記録層（１００）と、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット（１０５）を有する面とを実質上同じ曲率半径を有する形状にする第２または３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００１７】
上記構成によれば、第ｋ信号基板の反りを変えることなく、第ｋ信号記録層と第（ｋ−１）信号記録層の案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面との距離が均一に近くなるため、作製される第（ｋ−１）分離層の厚みは均一になる。
【００１８】
また、第５の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層（３１０）は、放射線硬化樹脂（３０１、３０７）である第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００１９】
上記構成によれば、均一な厚みに形成された第（ｋ−１）分離層を放射線の照射により容易に硬化することができ、生産性を向上することができる。
【００２０】
また、第６の本発明は、前記放射線硬化樹脂が紫外線硬化樹脂である第５の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００２１】
上記構成によれば、ＣＤ、ＤＶＤといった従来の光情報記録媒体で用いられる紫外線硬化型の接着剤が使用できると共に、生産設備の利用も可能となる。
【００２２】
また、第７の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層（３１０）は、複数の層（３０３、３０８）から構成される第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００２３】
上記構成によれば、第（ｋ−１）分離層のうち、第ｋ信号記録層と接する材料として、第ｋ信号記録層と接着性の良好な材料を用い、第（ｋ−１）分離層のうち、第（ｋ−１）スタンパ上の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面と接する材料として、第（ｋ−１）スタンパと剥離し易い材料を用いる等、異なる特徴を有する材料を第（ｋ−１）分離層の厚み方向に配置でき、安定に剥離することが可能になる。
【００２４】
また、第８の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層（３１０）の複数の層（３０３、３０８）のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）から転写する層を転写層（３０３）とする時、前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）と前記第ｋ信号記録層（１００）の間に存在する、前記第（ｋ−１）分離層（３１０）を構成する各層の界面も含めた複数の界面のうち、前記転写層（３０３）と前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）との界面が最も剥離し易い界面となる第７の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００２５】
上記構成によれば、前記第（ｋ−１）分離層と前記第（ｋ−１）スタンパの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離する工程において、複数ある界面のうち前記転写層と前記第（ｋ−１）スタンパの界面で安定に剥離でき、剥離工程での歩留まりを向上できる。
【００２６】
また、第９の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層（３１０）の複数の層（３０３、３０８）のうち案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパ（１０６）から転写する層を転写層（３０３）とする時、少なくとも前記転写層（３０３）が放射線硬化性材料（３０１）である第７の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００２７】
上記構成によれば、放射線硬化性材料は放射線照射により容易に硬化するため、第（ｋ−１）スタンパより確実に溝あるいはピットの形状を写し取ることができる。
【００２８】
また、第１０の本発明は、前記放射線硬化性材料は、紫外線硬化樹脂である第９の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００２９】
上記構成によれば、ＣＤ、ＤＶＤといった従来の光情報記録媒体で用いられる生産設備の利用も可能となる。
【００３０】
また、第１１の本発明は、前記紫外線硬化樹脂の粘度は、１〜１０００ｍＰａ・ｓである第１０の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００３１】
上記構成によれば、第（ｋ−１）スタンパの溝あるいはピットに紫外線硬化樹脂が十分入り込むことができるので、溝あるいはピットの転写を向上できる。
【００３２】
また、第１２の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層（９０９）の複数の層（９０１、９０３）のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパ（９０２）から転写する層を転写層（９０３）とする時、前記第（ｋ−１）分離層（９０９）の、転写層（９０３）以外の層のうち少なくとも一つの層が感圧性接着剤（９０１）である第７の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００３３】
上記構成によれば、感圧性接着剤を第（ｋ−１）分離層の一部として用いれば、放射線硬化等の硬化処理を行わなくとも第（ｋ−１）分離層の一部を形成できるため、生産性を向上することができる。
【００３４】
また、第１３の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層（３１０）の複数の層（３０３、３０８）のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパ（３００）から転写する層を転写層（３０３）とする時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパ（３００）の案内溝及び／またはピットのある面の上に、前記転写層（３０３）となる放射線硬化性材料をコートしたうえ硬化し、前記転写層（３０３）を除いた前記第（ｋ−１）分離層（３０８）を形成した前記第ｋ信号基板（３０６）と貼り合わせる第７の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００３５】
上記構成によれば、硬化後剥離し易い放射線硬化性材料を予め第（ｋ−１）スタンパへ転写層として塗布し硬化した上で、第（ｋ−１）分離層の転写層と接する側の材料を硬化した転写層と接着し易い材料にすることができ、第（ｋ−１）スタンパの剥離の際に第（ｋ−１）分離層を一体化して確実に剥離することが可能となる。
【００３６】
また、第１４の本発明は、前記転写層がコートされた前記第（ｋ−１）スタンパ（３００）と、前記転写層（３０３）を除いた前記第（ｋ−１）分離層（３０８）を形成した前記第ｋ信号基板（３０６）とを貼り合わせる際、前記第（ｋ−１）スタンパ（３００）にコートされた前記転写層（３０３）と接する前記第（ｋ−１）分離層の表面が放射線硬化性材料（３０１）である第１３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００３７】
上記構成によれば、放射線を照射することにより容易に、第（ｋ−１）スタンパ上の転写層と第ｋ信号基板上の第（ｋ−１）分離層を接着することができる。
【００３８】
また、第１５の本発明は、前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパと、前記転写層とを除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した前記第ｋ信号基板との間に前記転写層となる放射線硬化性材料を配置した後に、前記放射線硬化性材料を硬化する第７の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００３９】
上記構成によれば、第（ｋ−１）スタンパと、第ｋ信号基板の上に形成された転写層を除いた第（ｋ−１）分離層との間に放射線硬化性材料を配置すれば、毛細管現象により放射線硬化樹脂は均一に広がり、より分離層の厚み均一性が向上できる。また、その均一性を保ちつつ放射線照射により容易に転写層も形成できる。
【００４０】
また、第１６の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板の前記転写層を除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した面と、前記第（ｋ−１）スタンパの案内溝及び／またはピットのある面の少なくとも一方に、前記転写層となる放射線硬化性材料を塗布した後、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパを重ね合わせて前記放射線硬化性材料を硬化する第１５の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００４１】
上記構成によれば、重ねる前に第（ｋ−１）スタンパあるいは第ｋ信号基板の上に放射線硬化性材料が全面に塗られるので、前記第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板を面で接着でき、分離層を全面で一体化できる。
【００４２】
また、第１７の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパとを、前記第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパの少なくとも一方を保持した上で、前記放射線硬化性材料を硬化する第１３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００４３】
上記構成によれば、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパの形状が互いに沿った形になっていなくとも、少なくとも一方を保持して互いに沿った形にして放射線硬化性材料を硬化するため、第ｋ信号基板や第（ｋ−１）スタンパの形状を制御する必要がなく、第ｋ信号基板や第（ｋ−１）スタンパの作製マージンが広がる。
【００４４】
また、第１８の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパの少なくとも一方を、所望の表面形状を有する支持台上に固定した上で、前記放射線硬化材料を硬化する第１７の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００４５】
上記構成によれば、支持体を用いてその表面形状を所望の形状にしておけば、第ｋ信号基板あるいは第（ｋ−１）スタンパの形状を容易に変え互いに沿ったようにできる。
【００４６】
また、第１９の本発明は、前記第（ｋ−１）スタンパはプラスチックである第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００４７】
上記構成によれば、第（ｋ−１）スタンパが軽量になるため扱い易く、生産性も良い。
【００４８】
また、第２０の本発明は、前記プラスチックは透明である第１９の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００４９】
上記構成によれば、分離層が放射線硬化性材料の場合、第（ｋ−１）スタンパを通して放射線を照射すれば分離層を硬化できる。
【００５０】
また、第２１の本発明は、前記第（ｋ−１）スタンパは、ポリカーボネート、オレフィン樹脂、アクリル樹脂、ノルボルネン系樹脂のいずれかであり、金属製マスタスタンパを用いて射出成形法により作製された第２０の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００５１】
上記構成によれば、スタンパを安価、かつ大量に作製できるため、多層光情報記録媒体の量産性が向上する。
【００５２】
また、第２２の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパを作製する際の射出成形法の条件により、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパを、第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように制御する第２１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００５３】
上記構成によれば、第ｋ信号基板がどのような反りをもっていようと、第（ｋ−１）スタンパの形状を射出成形の条件だけで正確に制御できる。
【００５４】
また、第２３の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面とは反対側の面を包むように反った形にするために、前記第（ｋ−１）スタンパを射出成形法で作製する際、一対の成形金型の一方に載せた前記金属製マスタスタンパより他方の金型鏡面温度を高くする第２２の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００５５】
上記構成によれば、射出成形法で作成されるプラスチックからなる第（ｋ−１）スタンパの表面は、成形金型から取り出された直後、案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面とは反対側の面の方が温度が高くなるため、より多く収縮が起こり、その案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面とは反対側の面を包むように反った形にすることができる。
【００５６】
また、第２４の本発明は、前記信号記録層形成工程は、一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面温度より他方の金型鏡面温度を高くする第２３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００５７】
上記構成によれば、射出成形法で作成されるプラスチックからなる第（ｋ−１）スタンパの表面は、成形金型から取り出された直後、案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面とは反対側の面の方が温度が高くなるため、より多く収縮が起こり、その案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面とは反対側の面を包むように反った形にすることができる。
【００５８】
また、第２５の本発明は、一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面とは反対側の金型鏡面の裏面に、断熱材料が設置されている第２３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００５９】
上記構成によれば、前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面とは反対側の金型鏡面は、その裏面の断熱材料により熱が逃げにくくなるため、効果的に温度を高く保つことができる。
【００６０】
また、第２６の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を包むように反った形にするために、前記第（ｋ−１）スタンパを射出成形法で作製する際、一対の成形金型の金型鏡面に載せた前記金属製マスタスタンパの温度を他方の金型鏡面温度より高くする第２２の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００６１】
上記構成によれば、射出成形法で作成されるプラスチックからなる第（ｋ−１）スタンパの表面は、成形金型から取り出された直後、案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面の方がその反対側の面より温度が高くなるため、より多く収縮が起こり、その案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットを有する面を包むように反った形にすることができる。
【００６２】
また、第２７の本発明は、前記信号記録層形成工程は、一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面温度を他方の金型鏡面温度より高くする第２６の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００６３】
これによって、容易に金属製マスタスタンパの温度を他方の金型鏡面温度より高くすることができる。
【００６４】
また、第２８の本発明は、一対の成形金型に載せた、前記金属製マスタスタンパの裏面と前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面の裏面の少なくとも１つに断熱材料が設置されている第２６の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００６５】
この方法によっても、射出された高温のプラスチックの熱が成型金型の金型鏡面へ拡散することを抑制することでき、相対的に金属製マスタスタンパの温度を相対的に他方の金型鏡面温度より高くすることができる。
【００６６】
また、第２９の本発明は、前記第（ｋ−１）スタンパは、金属である第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００６７】
上記構成によれば、金属は比較的硬度が高いため、第（ｋ−１）スタンパを第ｋ信号基板から剥離する際に生ずる第（ｋ−１）スタンパの傷や変形を抑制でき、多層光情報記録媒体の生産性を向上できる。
【００６８】
また、第３０の本発明は、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが電鋳により作製され、電鋳浴のｐＨ値、温度、電鋳時の電流密度から選ばれる少なくとも１つの電鋳条件により、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパとを、前記第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように制御する第２９の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００６９】
上記構成によれば、第（ｋ−１）スタンパが容易に、また低コストに作製できる。また、電鋳は技術が確立されている従来の方法であるため、安定に電鋳条件によりスタンパの形状を制御することが可能である。
【００７０】
また、第３１の本発明は、前記剥離工程の工程の後、さらに転写された前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットの上に記録多層膜（以下、第（ｋ−１）記録多層膜と呼ぶ）或いは反射膜を成膜することにより、第（ｋ−１）信号記録層を完成する膜形成工程を備えた第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００７１】
また、第３２の本発明は、前記第（ｋ−１）スタンパ上の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットの上に第（ｋ−１）記録多層膜あるいは反射膜を成膜しておき、前記剥離工程は、前記第（ｋ−１）記録多層膜と前記第（ｋ−１）スタンパの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離して前記第（ｋ−１）記録多層膜あるいは反射膜を前記第（ｋ−１）分離層上へ移す第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００７２】
また、第３３の本発明は、第１信号記録層の上に透明カバー層を形成する第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００７３】
また、第３４の本発明は、第１信号記録層の上に、透明な基板を透明な接着剤で接着し前記透明カバー層とする第３３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００７４】
上記構成によれば、容易に均一な透明カバー層を形成できる。
【００７５】
また、第３５の本発明は、前記透明カバー層を透明な放射線硬化性材料で形成する第３３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００７６】
上記構成によれば、コストを安価にすることができる。
【００７７】
また、第３６の本発明は、前記透明カバー層の少なくとも一部を感圧性接着剤で形成することを特徴とする第３３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００７８】
上記構成によれば、容易に均一な透明カバー層を形成できる。
【００７９】
また、第３７の本発明は、第１信号記録層上に形成されている透明カバー層の厚みが０．３ｍｍ以下であることを特徴とする第３３の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００８０】
上記構成によれば、０．６以上の大きな開口数のレンズを用いて記録あるいは再生を行う際に、多層光情報記録媒体の反りによるフォーカス光の収差を抑制できるため、高密度な情報の記録あるいは再生が可能となる。
【００８１】
また、第３８の発明は、ｎ層（ｎは２以上の整数）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する多層光情報記録媒体の製造装置において、
記録面または再生面から第ｋ番目（ｋは２以上ｎ以下の整数のいずれか）の信号記録層を第ｋ信号記録層とし、前記第ｋ信号記録層を表面に有する基板を第ｋ信号基板とし、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有するスタンパを第（ｋ−１）スタンパとし、第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層との間にある分離層を第（ｋ−１）分離層とする時、
現在のまたは過去に製造された一つまたは複数の前記ｋ信号基板の面形状を測定する測定手段と、
前記第（ｋ−１）スタンパの前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を前記ｋ信号基板の面形状に対応するような形状にする形状維持手段と、
その第（ｋ−１）スタンパを利用して前記第（ｋ−１）信号記録層を形成する信号記録層形成手段と、
前記第（ｋ−１）分離層と前記第（ｋ−１）スタンパとの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離する剥離手段とを備えた多層光情報記録媒体の製造装置である。本発明は、第３８の発明であってもよい。
【００８２】
上記本発明の多層光情報記録媒体の製造方法によれば、第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板とが沿った形状に保持することが容易であり、かつ、それらの間に分離層の形成でき、第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板の剥離も可能となる。これによって、分離層の厚みが均一な多層光情報記録媒体を製造することができる。
【００８３】
また、第３９の発明は、前記第ｋ信号基板が反っている時、前記第ｋ信号基板の反りに応じて、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットと、前記第ｋ信号記録層が沿うように、前記形状維持手段が前記第（ｋ−１）スタンパを保持する機構を有する第３８の本発明の多層光情報記録媒体の製造装置である。本発明は第３９の発明であってもよい。
【００８４】
上記構成によれば、第ｋ信号基板の反りに応じて、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝、或いはピット、或いは案内溝及びピットと、前記第ｋ信号記録層が沿うため、間に形成される第（ｋ−１）分離層の厚みを均一にすることができる。
【００８５】
また、第４０の発明は、前記形状維持手段は、テーブル状であり、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットと前記第ｋ信号記録層とが沿うように、前記第（ｋ−１）スタンパと接する表面形状を有する第３９の本発明の多層光情報記録媒体の製造装置である。本発明は第４０の発明であってもよい。
【００８６】
上記構成によれば、テーブル形状により容易に第（ｋ−１）スタンパの形状を変えることができる。
【００８７】
また、第４１の発明は、前記形状維持手段は、前記第（ｋ−１）スタンパと前記第ｋ信号基板との少なくとも一方の、前記第（ｋ−１）分離層が形成されない面を真空吸引により支持する第３８の本発明の多層光情報記録媒体の製造装置である。本発明は第４１の発明であってもよい。
【００８８】
上記構成によれば、前記第（ｋ−１）スタンパあるいは前記第ｋ信号基板を確実に形状維持することができる。
【００８９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。
【００９０】
（実施の形態１）
本発明の多層光情報記録媒体の製造方法の実施の形態を図１に示す。図１は、ｎ層（ｎは２以上）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する片面より記録及び再生を行う円盤型多層光情報記録媒体の、第ｋ信号記録層１００と第（ｋ−１）信号記録層の間にある第（ｋ−１）分離層１０７を形成する工程の模式図である。ここで、第ｋ信号記録層１００とは、記録再生面から第ｋ番目（ｋは２以上ｎ以下の何れか）の信号記録層、第ｋ信号記録層１００を表面に有する基板を第ｋ信号基板１０３とする。また、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５を有するスタンパを第（ｋ−１）スタンパ１０６とする。
【００９１】
なお、本実施の形態の第（ｋ−１）分離層１０７を形成する工程は本発明の信号記録層形成工程の例である。
【００９２】
本実施の形態１の多層光情報記録媒体の製造方法は、１層あたりの面記録密度を向上するために、青紫色レーザ光源（波長４００ｎｍ前後）と高ＮＡのレンズを用い、厚さが０．３ｍｍ以下２ミクロン以上といった薄型の記録再生側透明カバー層をもつ高密度光情報記録媒体を製造の対象とする。なお、実施の形態１以外の他の実施の形態の多層光情報記録媒体の製造方法も実施の形態１と同様の高密度光情報記録媒体を製造の対象とする。なお、このような高密度光情報記録媒体でなくても、本実施の形態の多層光情報記録媒体の製造方法を適用できることは言うまでもない。
【００９３】
図１の第ｋ信号基板１０３と第（ｋ−１）スタンパ１０６は共に円盤型をなし中心に中心穴を有する。第ｋ信号基板１０３は、第（ｋ−１）分離層１０７の形成工程の後に続く、その他信号記録層の形成工程、或いは第１信号記録層の上への透明カバー層の形成工程といった工程で発生しうる反りを見越して反った形状にされている。また、第ｋ信号記録層１００の第ｋ記録多層膜の成膜やその他第（ｋ＋１）〜ｎ分離層の形成および第（ｋ＋１）〜ｎ記録多層膜の成膜等の工程による応力により自然に反ってしまっているのが一般的である。本実施の形態１では、その一例として、第ｋ信号基板１０３が第ｋ信号記録層１００を包むように反ったものである場合を示す。
【００９４】
まず、図１（１）に示すように第ｋ信号基板１０３を準備する。第ｋ信号基板１０３には表面に第ｋ信号記録層１００がある他、順に第（ｋ＋１）信号記録層１０１、さらに第ｎ信号記録層１０２まで計（ｎ−ｋ−１）個の信号記録層がある。ここで、信号記録層とは、多層光情報記録媒体に記録及び再生する際に記録光及び再生光をガイドするための案内溝やアドレス情報を示すピットと、ＧｅＳｂＴｅやＡｇＩｎＳｂＴｅ等の相変化膜、磁性体膜、色素膜に代表される記録膜とそれらを挟むＺｎＳ等の誘電体膜からなる記録多層膜あるいは反射膜からなる。また、各信号記録層の間には第ｋ分離層１１０に代表される分離層が配置されている。なお、本実施の形態の多層光情報記録媒体は、製造後に映像音声データが書き込まれる案内溝だけから構成されるものに限らず、製造時に映像音声データが書き込まれるピットから構成されるものや、案内溝の内部あるいは外部にピットが形成されたものであってもよい。
【００９５】
一方、表面に第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５をもつ第（ｋ−１）スタンパ１０６も準備する。第（ｋ−１）スタンパ１０６は、後述する実施の形態５の図１４に示される反り測定手段１４０１のように現在のまたは過去に製造された一つまたは複数のｋ信号基板１０３の面形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ１０６の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５を有する面をｋ信号基板１０３の面形状に対応するような形状にして形成されたものである。すなわち、第（ｋ−１）スタンパ１０６は、ｋ信号基板１０３の形状に沿うように形成されたものである。
【００９６】
そして、ｋ信号基板１０３の面形状の測定は、例えば、工場が稼働する朝一番に前日に製造されたｋ信号基板１０３の面形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ１０６の形状を決めてもよい。また、第ｋ信号基板１０３が製造される毎に一枚一枚第ｋ信号基板１０３の形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ１０６の形状を決めてもよい。また、ロット毎にｋ信号基板１０３の面形状を測定した実績を用いて、第（ｋ−１）スタンパ１０６の形状を決めてもよい。
【００９７】
すなわち、第ｋ信号基板１０３の形状を上述したように測定し、その測定結果から第（ｋ−１）スタンパ１０６の形状を決めることにより、第（ｋ−１）スタンパ１０６と第ｋ信号基板１０３は図示のように互いが沿った形になる。つまり、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５と第ｋ信号記録層１００の互いが沿った状態になっていて、その距離が半径方向及び面内で均一になっている。すなわち、第ｋ信号基板１０３の第ｋ信号記録層１００と、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット１０５を有する面とを実質上同じ曲率半径を有する形状にする。一般的に第ｋ信号基板１０３のように、複数の信号記録層を有する基板は記録多層膜や反射膜といった膜の応力により反っている。そこで、本実施の形態の第（ｋ−１）スタンパ１０６は、既に反っている第ｋ信号基板１０３に沿うような形状になっており、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５と第ｋ信号記録層１００とが対向するように配置されている。
【００９８】
次に、図１（２）に示すように、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５と第ｋ信号記録層１００との間に第（ｋ−１）分離層１０７を形成する。この時、第（ｋ−１）分離層１０７の第（ｋ−１）スタンパ側が第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５の中まで入り込むように形成される必要がある。図１（１）において、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５と第ｋ信号記録層１００の距離が半径方向及び面内で均一になっているため、第（ｋ−１）分離層１０７の厚みは均一になる。第（ｋ−１）分離層１０７の構成としては、１つの材料であることに限らず、異なる材料からなる複数の層から構成されていても良い。例えば、第（ｋ−１）分離層１０７のうち第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５に接する層を転写層とした時、転写層として硬化性を有する液体材料を用いると第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５の中まで入り込み易く、転写が向上できる。この場合、転写層を硬化させて第（ｋ−１）分離層１０７が完成となる。
【００９９】
次に図１（３）に示すように、第（ｋ−１）分離層１０７上の転写された第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０８と第（ｋ−１）スタンパ１０６の界面より剥離を行う。このように剥離を行うことにより、第（ｋ−１）信号基板を得ることが出来る。剥離を確実に行うためには、第（ｋ−１）分離層１０７と第（ｋ−１）スタンパ１０６の界面が、第（ｋ−１）スタンパ１０６と第ｋ信号記録層１００の間に存在する複数の界面の中で最も剥離し易いことが重要である。そのために、転写層の材料や第（ｋ−１）スタンパ１０６の材料及びその表面の材料等を選択することができる。
【０１００】
以上のように、第（ｋ−１）スタンパ１０６の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット１０５と第ｋ信号基板１０３の上の第ｋ信号記録層１００を互いに沿った形状にして、第（ｋ−１）分離層１０７を形成することにより均一な分離層を形成することができる。複数ある分離層の何れも以上の工程を用いて作製すれば、多層光情報記録媒体全体の精度を向上することができ、各信号記録層において情報の記録あるいは再生の性能を大いに向上することができる。
【０１０１】
以下、上記図１の各工程の例について詳しく説明する。図２に第（ｋ−１）スタンパの作製工程を示す。ここでは、第（ｋ−１）スタンパの材料としてプラスチックを用いる。プラスチックは軽量であるため操作性に優れ、射出成形法により容易に大量に作製することができ便利である。また、成形条件を制御すれば容易に所望の形状（反り）をもたせることができるという利点もある。ここでは、第（ｋ−１）スタンパの材料としてポリカーボネートを用いる。また、ポリカーボネート以外にも、オレフィン樹脂、アクリル樹脂、ノルボルネン系樹脂等を用いることができる。
【０１０２】
まず、図２（ａ）に示すように、一対の成形金型２００の金型鏡面Ａの上にマスタスタンパ２０１を設置し、成形金型２００内に３８０℃で溶融したポリカーボネート２０２を射出充填する。マスタスタンパ２０１は例えば、ニッケル等の金属を主成分とする材料からなる。成形金型２００のマスタスタンパ２０１と金型鏡面Ｂの間にできるキャビティ２０３は第（ｋ−１）スタンパの所望の厚みになるように決められる。ここでは、厚み約１．１ｍｍの第（ｋ−１）スタンパを成形するためキャビティ２０３の厚みは１．１ｍｍである。成形金型２００の金型鏡面Ａと金型鏡面Ｂは各々の温度に設定されている。
【０１０３】
ここでは、（金型鏡面Ａの温度）＜（金型鏡面Ｂの温度）になるように金型鏡面Ａ、Ｂの温度をそれぞれ１１５℃、１２５℃に設定する。これらの温度により３８０℃で溶融したポリカーボネート２０２が冷却され固化される。ポリカーボネートが射出充填される際、成形金型２００には２０〜３０トンの型締め力を加える。型締め力により溶融したポリカーボネートはマスタスタンパ２０１に形成されている案内溝及びピットの間に入り込み、それらを転写することになる。
【０１０４】
冷却（例えば、１０秒間）後、図２（ｂ）に示すように、第（ｋ−１）スタンパ２０４は成形金型２００より取り出される。その時、（金型鏡面Ａの温度）＜（金型鏡面Ｂの温度）とされているため、第（ｋ−１）スタンパ２０４の案内溝及びピットが形成された面２０５よりその反対側の面２０６の方が温度が高くなっている。そのため、温度が室温まで下がる時の収縮量が反対側の面２０６の方が大きくなり、結果、第（ｋ−１）スタンパ２０４は反対側の面２０６を包むような形状になる。図１（１）に示された第（ｋ−１）スタンパ１０６はこのように作製される。
【０１０５】
図３に第（ｋ−１）分離層を形成する工程を示す。本実施の形態１では第（ｋ−１）分離層が２つの材料からなり、第ｋ信号基板および第（ｋ−１）スタンパの外径が共に直径１２０ｍｍのものの場合について一例を用いて説明する。まず図３（ａ）のように、第（ｋ−１）スタンパ３００をテーブル３０５上に第（ｋ−１）スタンパの案内溝及びピットのある面を上にして設置する。第（ｋ−１）スタンパ３００は図２に示す方法で作製することができる。設置された第（ｋ−１）スタンパ３００は真空吸引等の方法でテーブル３０５上に固定される。この時、テーブル３０５の表面形状は図示のように第（ｋ−１）スタンパと同じ曲率をもった形状であるのが好ましい。なぜなら、図２に示す工程で第（ｋ−１）スタンパ３００がもつ形状そのものを制御しているためである。
【０１０６】
第（ｋ−１）スタンパの案内溝及びピットのある面に転写層用紫外線硬化樹脂３０１を滴下して、テーブル３０５を回転することにより、余分な転写層用紫外線硬化樹脂を振りきり、均一な厚みの転写層用紫外線硬化樹脂の層を得る。紫外線硬化樹脂としては紫外線照射によりラジカル反応を起こすアクリル系樹脂が好ましい。本実施の形態では、ポリカーボネート製の第（ｋ−１）スタンパ３００と剥離のし易い、粘度２００ＭＰａ・ｓのアクリル系紫外線硬化樹脂を用いる。粘度が１〜１０００ＭＰａ・ｓのものであれば、スタンパ上の案内溝およびピットの凹凸に十分入り込むことができる。また、スピンの回転は４０００ｒｐｍで５秒間とし、厚み約８ミクロンの転写層を得た。
【０１０７】
次に図３（ｂ）に示すように、紫外線ランプ３０２を用いて紫外線を照射する。紫外線ランプ３０２としてはメタルハライドランプ、高圧水銀ランプ、キセノンランプ等が良い。紫外線を照射することにより、転写層用紫外線硬化樹脂３０１は硬化され、転写層３０３が形成される。
【０１０８】
次に、図３（ｃ）のように転写層３０３が形成された第（ｋ−１）スタンパ３００と第ｋ信号基板３０６を貼り合わせる。第ｋ信号基板３０６は第ｋ信号記録層の案内溝及びピットと第ｋ記録多層膜が形成されている他、第（ｋ＋１）〜第ｎ信号記録層を有している（図示せず）。第ｋ信号基板３０６をテーブル３０９に真空吸引にて固定して第ｋ信号記録層上に接着剤となる接着層用紫外線硬化樹脂３０７を滴下し、その上から第（ｋ−１）スタンパ３００の転写層３０３と接着層用紫外線硬化樹脂３０７が接するように置く。その後、図示のようにテーブル３０９を回転して、余分な接着層用紫外線硬化樹脂を振り切る。本実施の形態では５０００ｒｐｍで８秒間回転を行った。接着層用紫外線硬化樹脂３０７としては、第ｋ記録多層膜と転写層３０３に対して接着強度の高い、６００ｍＰａ・ｓのアクリル系紫外線硬化樹脂を用いた。
【０１０９】
次に図３（ｄ）に示すように、紫外線ランプ３０２により紫外線を照射して接着層用紫外線硬化樹脂３０７を硬化する。紫外線ランプ３０２としては、上記図３（ｂ）同様メタルハライドランプ、高圧水銀ランプ、キセノンランプ等を用いることができる。第（ｋ−１）スタンパ３００はポリカーボネート等の透明性を有しているため、幾分か紫外線を透過し、接着層用紫外線硬化樹脂３０７を硬化することができる。硬化後、接着層３０８の厚みの平均は２２ミクロンであり、硬化により一体化された転写層３０３と接着層３０８が第（ｋ−１）分離層３１０となる。
【０１１０】
第（ｋ−１）分離層３１０の厚みは図４（ａ）に示すようなものであった。図４（ａ）では、第（ｋ−１）分離層の半径方向の厚みむらは２７〜３１ミクロンで４ミクロンと均一となった。一方、図４（ｂ）は第（ｋ−１）スタンパは従来の方法で作製した第（ｋ−１）分離層の半径方向の厚みむらである。内周半径になるにつれ厚くなる傾向があり、２３〜３７ミクロンの範囲で１４ミクロンとむらは大きい。なお、本実施の形態では、図４（ａ）に示すように、第（ｋ−１）分離層の半径方向の厚みむらは４ミクロンで均一になっていたが、６ミクロン以下であれば、高密度光情報記録媒体の性能を維持することが出来る。
【０１１１】
図５は、従来方法のように、射出成形法で第（ｋ−１）スタンパを平坦な形状に作製した場合の第（ｋ−１）分離層の作製の様子を示す図である。第（ｋ−１）スタンパ５００の形状が平坦である以外、図３に示した工程とほぼ同じである。図５（ａ）及び（ｂ）は転写層５０３の形成工程、図５（ｃ）及び（ｄ）は接着層５０８を形成し第（ｋ−１）分離層５１０を完成する工程を示す。第（ｋ−１）スタンパ５００の形状が平坦であるためテーブル５０５は平坦にするのが自然である。また、図５（ｃ）に示すように第（ｋ−１）スタンパ５００が平坦であるため、第（ｋ−１）スタンパ５００の案内溝及びピットのある面と第ｋ信号基板３０６の第ｋ信号記録層の距離は内周半径になるにつれ離れる。そのため、図５（ｄ）に示すように、接着層５０８の厚みは内周半径になるにつれ厚くなり、結果、接着層５０８と転写層５０３からなる第（ｋ−１）分離層５１０の厚みも内周半径になるにつれ厚くなる。
【０１１２】
図３に第（ｋ−１）分離層を形成する工程を説明したが、代わりに以下（Ａ）〜（Ｃ）に記す工程も有効である。
【０１１３】
（Ａ）図３（ａ）の工程により第（ｋ−１）スタンパの上に転写層用紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線により硬化しない。一方、図３（ａ）と同様の方法により第ｋ信号基板の上に接着層用紫外線硬化樹脂を塗布する。第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板を減圧したチャンバ内で重ねた後、図３（ｄ）に示すように紫外線にて、転写層用紫外線硬化樹脂と接着層用紫外線硬化樹脂を硬化する。
【０１１４】
（Ｂ）図３（ａ）の工程により第（ｋ−１）スタンパの上に転写層用紫外線硬化樹脂の塗布し、図３（ｂ）のように紫外線により硬化する。一方、図３（ａ）と同様の方法により第ｋ信号基板の上に接着層用紫外線硬化樹脂を塗布する。第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板を減圧したチャンバ内で重ねた後、図３（ｄ）に示すように紫外線にて、接着層用紫外線硬化樹脂を硬化する。
【０１１５】
（Ｃ）図３（ａ）の工程により第（ｋ−１）スタンパの上に転写層用紫外線硬化樹脂の塗布し、紫外線により硬化しない。一方、図３（ａ）と同様の方法により第ｋ信号基板の上に接着層用紫外線硬化樹脂を塗布して、紫外線により硬化する。第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板を減圧したチャンバ内で重ねた後、図３（ｄ）に示すように紫外線にて、転写層用紫外線硬化樹脂を硬化する。
【０１１６】
また、図３（ｃ）では、第ｋ信号基板３０６をテーブル３０９に真空吸引にて固定して第ｋ信号記録層上に接着剤となる接着層用紫外線硬化樹脂３０７を滴下し、その上から第（ｋ−１）スタンパ３００の転写層３０３と接着層用紫外線硬化樹脂３０７が接するように置き、その後、テーブル３０９を回転して、余分な接着層用紫外線硬化樹脂を振り切るとして説明したが、これに限らない。
第（ｋ−１）スタンパ３００上に転写層用紫外線硬化樹脂３０１の層を形成した後、接着層用紫外線硬化樹脂３０７を転写層用紫外線硬化樹脂３０１の層が形成された第（ｋ−１）スタンパ３００の上に塗布し、その後、第（ｋ−１）スタンパ３００と第ｋ信号基板３０６とを貼り合わせても構わない。また、第ｋ信号基板３０６上に接着層用紫外線硬化樹脂３０７を塗布した後、第ｋ信号基板３０６の接着層用紫外線硬化樹脂３０７の上に転写層用紫外線硬化樹脂３０１を塗布し、その後、第（ｋ−１）スタンパ３００と第ｋ信号基板３０６とを貼り合わせても構わない。
【０１１７】
図６に剥離工程を示す。図３で図示された工程で接着された第（ｋ−１）スタンパ３００と第ｋ信号基板３０６とを剥離用テーブル６００の上に固定する。固定の手段は図６（ａ）の真空吸引が挙げられるが、その他の手段として、例えば第ｋ信号基板３０６の外周端面を保持する機械であっても良い。次に図６（ｂ）のように、第（ｋ−１）スタンパ３００と第ｋ信号基板３０６の中心穴にツメ６１０を挿入し、第（ｋ−１）分離層３１０の一部である転写層３０３と第（ｋ−１）スタンパ３００との界面にツメ６１０を挿入する。ツメ６１０の先端は鋭くなっているので、容易に楔として転写層３０３と第（ｋ−１）スタンパ３００との界面に挿入することができる。
【０１１８】
図６（ｃ）のようにツメ６１０を外周に向けて開きながら、加圧されたエア６１５を剥離用テーブル６００の中心部より導入してエア６１５を転写層３０３と第（ｋ−１）スタンパ３００との間に導く。この時、ハンドリング手段６１２で第（ｋ−１）スタンパ３００を引っ張りあげる。ハンドリング手段６１２で引っ張りあげることにより剥離が容易になる。最後は図６（ｄ）のように第（ｋ−１）スタンパ３００は剥離される。
【０１１９】
第（ｋ−１）分離層の上に転写された第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットの上に第（ｋ−１）記録多層膜を成膜する。第（ｋ−１）記録多層膜はその材料によって成膜方法は異なるが、ＧｅＳｂＴｅやＡｇＩｎＳｂＴｅ等の相変化膜、磁性体膜といった記録膜とそれらを挟むＺｎＳ等の誘電体膜、金属反射膜等はスパッタリングや蒸着によって成膜される。また、色素膜の場合はスピンコーティングが用いられる。第（ｋ−１）記録多層膜を成膜してようやく第（ｋ−１）信号記録層は完成される。第（ｋ−１）信号記録層の上に図２、図３、図６に示す工程と記録多層膜の成膜を繰り返すことでｎ層の信号記録層を有する第１信号基板が作製される。
【０１２０】
上記の成膜方法の他に図１１に示す方法も用いることができる。第（ｋ−１）分離層の上に転写された第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットの上に第（ｋ−１）記録多層膜を成膜することが困難な場合に有効である。図１１（ａ）に示すように予めターゲット１１００を用いて、第（ｋ−１）スタンパ３００上に第（ｋ−１）記録多層膜１１０１をスパッタリング法により成膜する。ここではターゲットは１つだけ図示しているが、実際は第（ｋ−１）記録多層膜１１０１は複数の材料の膜からなるのでターゲットは複数必要となる。次に、図３の工程で転写層３０３及び接着層３０８からなる第（ｋ−１）分離層３１０を形成する。
【０１２１】
そして図１１（ｂ）に示すように、剥離用テーブル６００において固定して、図１１（ｃ）に示すように、ハンドリング手段６１２を用いて、第（ｋ−１）スタンパ３００を剥離する。剥離するまでの手順は図６同様であるので、ここでは省略する。この時、第（ｋ−１）スタンパ３００は第（ｋ−１）記録多層膜１１０１から剥離して、第（ｋ−１）記録多層膜１１０１は第（ｋ−１）分離層３１０上に移動する。転写層３０３の上には案内溝及びピットが形成される同時に第（ｋ−１）記録多層膜１１０１も形成されることになる。この工程を用いると、第ｋ信号基板上への第（ｋ−１）分離層の形成と同時に第（ｋ−１）記録多層膜形成も可能であり、タクトタイム短縮が期待できる。
【０１２２】
図７に第１信号記録層の上に透明カバー層を作製する工程の例を示す。ここでは、透明カバー層の厚みは１００ミクロンの場合を示す。図７（ａ）は９０ミクロンの厚みのフィルム７００を１０ミクロンの厚みの接着層７３０を用いてテーブル７２０上でスピンコーティングで接着してカバー層を形成するものである。フィルム７００の材料としてはポリカーボネート、オレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂等が挙げられる。接着層７３０としては紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂のような放射線硬化材料を用いることができる。
【０１２３】
接着手順としては、図７（ａ）のように第１信号基板７１０とフィルム７００の間に接着用材料を配置してスピンで振り切る方法や、フィルム７００を下にして上から第１信号基板７１０を重ねてスピンする方法、或いは第１信号基板７１０とフィルム７００の少なくとも一方に予め接着用材料を全面に塗布して真空中で貼る方法等がある。何れの方法でも第１信号基板７１０とフィルム７００を接着用材料を介して重ねた後は硬化が必要となる。
【０１２４】
図７（ｂ）は感圧性接着剤７４０を用いてフィルム７００を接着してカバー層を形成する方法を示す。この場合、感圧性接着剤７４０の厚みは２０〜３０ミクロン、フィルム７００は１００ミクロンから感圧性接着剤７４０の厚みを差し引いた厚みのものを用いる。接着方法は、例えば、図７（ｂ）に示す減圧したチャンバ７４５内でフィルム７００と感圧性接着剤７４０を重ねる方法である。重ねた後で高圧の圧縮空気でフィルム面を押し接着を確実にする。この方法の他に、大気中あるいは減圧下でローラで貼る方法でも構わない。
【０１２５】
図７（ｃ）はカバー材料７５０をフィルムを用いずスピンコートで塗布するものである。カバー材料７５０の供給条件とスピンの回転条件を最適化することで均一な１００ミクロンの透明カバー層を形成できる。以上のような図７に示す方法により透明カバー層を形成し、多層光情報記録媒体が完成する。
【０１２６】
上記実施の形態１では、厚み１．１ｍｍのプラスチック製の第（ｋ−１）スタンパを用いたが、プラスチック製であれば、厚みが０．５ｍｍ以上であれば良い。厚みが０．５ｍｍ以上であれば、剛性もあるため射出成形法においても成形条件により形状を制御し易く、また扱い易いため生産性向上に適している。
【０１２７】
また、実施の形態１では、第（ｋ−１）分離層が２つの材料からなる場合について説明したが、３つ以上の複数の材料からなっていても構わない。また、紫外線硬化樹脂を用いて説明したが、その他熱硬化性材料をはじめとする放射線硬化性材料を用いても良い。
【０１２８】
（実施の形態２）
本発明の多層光情報記録媒体の製造方法の実施の形態２を説明する。図８は実施の形態１とは逆の反り、つまり第ｋ信号基板が第ｋ信号記録層とは反対側の面を包むように反ったものである場合を示す。図１同様、図８の第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパは共に円盤型をなし中心に中心穴を有する。
【０１２９】
まず、図８（１）に示すように、第ｋ信号基板８０３には第ｋ分離層８１０の表面に第ｋ信号記録層８００がある他、順に第（ｋ＋１）信号記録層８０１、さらに第ｎ信号記録層８０２まで計（ｎ−ｋ−１）個の信号記録層がある。ここで、実施の形態１同様、信号記録層とは、多層光情報記録媒体に記録及び再生する際に記録光及び再生光をガイドするための案内溝やアドレス情報を示すピットと、ＧｅＳｂＴｅやＡｇＩｎＳｂＴｅ等の相変化膜、磁性体膜、色素膜に代表される記録膜とそれらを挟むＺｎＳ等の誘電体膜からなる記録多層膜あるいは反射膜からなる。
【０１３０】
一方、表面に第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５をもつ第（ｋ−１）スタンパ８０６も準備する。第（ｋ−１）スタンパ８０６は、後述する実施の形態５の図１４に示される反り測定手段１４０１のように現在のまたは過去に製造された一つまたは複数のｋ信号基板８０３の面形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ８０６の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット８０５を有する面をｋ信号基板８０３の面形状に対応するような形状にして形成されたものである。すなわち、第（ｋ−１）スタンパ８０６は、ｋ信号基板８０３の形状に沿うように形成されたものである。
【０１３１】
従って、第（ｋ−１）スタンパ８０６と第ｋ信号基板８０３は図示のように互いが沿った形、第（ｋ−１）スタンパ８０６は第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５を包むように反っている。つまり、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５と第ｋ信号記録層８００の互いが沿った状態になっていて、その距離が半径方向及び面内で均一になっている。すなわち、第ｋ信号基板８０３の第ｋ信号記録層８００と、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピット８０５を有する面とを実質上同じ曲率半径を有する形状にする。
【０１３２】
次に、図８（２）に示すように、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５と第ｋ信号記録層８００の間に第（ｋ−１）分離層８０７を形成する。この時、第（ｋ−１）分離層８０７の第（ｋ−１）スタンパ側が第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５の中まで入り込むように形成される必要がある。図８（１）において、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５と第ｋ信号記録層８００の距離が半径方向及び面内で均一になっているため、第（ｋ−１）分離層の厚みは均一になる。第（ｋ−１）分離層８０７の構成としては、１つの材料であることに限らず、異なる材料からなる複数の層から構成されていても良い。例えば、第（ｋ−１）分離層８０７のうち第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５に接する層を転写層とした時、転写層として硬化性を有する液体材料を用いると第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０５の中まで入り込み易く、転写が向上できる。この場合、転写層を硬化させて第（ｋ−１）分離層８０７が完成となる。
【０１３３】
次に図８（３）に示すように、第（ｋ−１）分離層８０７上の転写された第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット８０８と第（ｋ−１）スタンパ８０６の界面より剥離を行う。
【０１３４】
以上のように、第ｋ信号基板の反りが実施の形態１と異なっていても、第（ｋ−１）スタンパに逆の反りを持たせることで、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパの距離を半径方向に沿って均一にでき、第（ｋ−１）分離層の厚みも均一にできる。例えば、第（ｋ−１）スタンパが実施の形態１同様のプラスチックであれば、図２のような射出成形法で第（ｋ−１）スタンパを作製できる。図２の金型鏡面Ａの温度を金型鏡面Ｂより高く設定することで、成形金型２００から取り出した後第（ｋ−１）スタンパ２０４は案内溝及びピットが形成された面２０５を包む形となる。
【０１３５】
次に図８（２）で示した第（ｋ−１）分離層の形成方法の具体例について説明する。図９は厚み３０ミクロンの第（ｋ−１）分離層を感圧性接着剤と転写層を用いて形成する一例を示す。図９は第（ｋ−１）分離層の一部として感圧性接着剤を用いる方法である。感圧性接着剤は半固体状のフィルム状をなしているため厚み精度に優れている。その一方、粘度が非常に高いため、第（ｋ−１）スタンパの案内溝及びピットを転写することは困難である。この形成方法では粘度の低い転写層を別に用いる。
【０１３６】
まず、図９（ａ）に示すように、第ｋ信号基板９００と厚み２５ミクロンの感圧性接着剤９０１をチャンバ９０５内に入れ、チャンバ９０５内を真空引きする。例えば、真空度としては１〜１００ｈＰａの範囲が適している。その後、感圧性接着剤９０１を第ｋ信号基板９００の第ｋ信号記録層の面に重ね合わせる。この時、感圧性接着剤９０１の中心部より徐々に外側へ重ねるのが良い。こうすれば、感圧性接着剤９０１を重ねたことによる第ｋ信号基板９００内の応力の増大を少なくできる。また、感圧性接着剤９０１は直径Ｄ１の中心穴を有する。Ｄ１は第ｋ信号基板の中心穴の直径Ｄ０より大きい。重ねた後、第ｋ信号基板と感圧性接着剤は大気中に取り出され、高圧の圧縮空気で感圧性接着剤を押し接着を確実にしても良い。
【０１３７】
図９（ａ）に並行して、第（ｋ−１）スタンパ９０２は図９（ｂ）に示すようにテーブル９０４上に固定され、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットのある面に転写層用紫外線硬化樹脂９０３がコートされる。ここでは、スピンコートによる塗布を一例として示す。転写層用紫外線硬化樹脂９０３としては、実施の形態１同様紫外線照射によりラジカル反応を起こすアクリル系樹脂が好ましい。プラスチック製（例えば、ポリカーボネート、オレフィン樹脂等）の第（ｋ−１）スタンパ９０２と剥離のし易い、粘度２００ＭＰａ・ｓのアクリル系紫外線硬化樹脂を用いる。粘度が１〜１０００ＭＰａ・ｓのものであれば、スタンパ上の案内溝およびピットの凹凸に十分入り込むことができる。また、スピンの回転は４０００ｒｐｍで５秒間とし、厚み約８ミクロンの転写層を得た。また、コートされた転写層用紫外線硬化樹脂９０３の内径は第（ｋ−１）スタンパ９０２の中心穴の直径Ｄ０より小さいＤ２である。
【０１３８】
次に、図９（ｃ）に示すように、転写層用紫外線硬化樹脂９０３をコートされた第（ｋ−１）スタンパ９０２と、感圧性接着剤９０１が第ｋ信号基板９００とを、チャンバ９０８内で重ねる。この時、チャンバ９０８内の真空度は１〜１００ｈＰａとする。Ｄ２＜Ｄ１であるため、感圧性接着剤９０１と第（ｋ−１）スタンパ９０２とは接触することはない。これは、第（ｋ−１）分離層形成後、第（ｋ−１）スタンパ９０２を剥離する工程において、感圧性接着剤９０１が第（ｋ−１）スタンパ９０２に直接接触して第（ｋ−１）スタンパ９０２を剥離できなくなることを防ぐためである。
【０１３９】
転写層用紫外線硬化樹脂９０３は粘度が低いため、重ねた時広がることになり、転写層用紫外線硬化樹脂９０３と感圧性接着剤９０１との合計の厚みの平均値は３０ミクロンとなった。重ねた後、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパを大気中に取り出し、高圧の圧縮空気により、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパを押し重ねた時の気泡をつぶしたり、接着を確実にしても良い。
【０１４０】
最後に図９（ｄ）に示すように、未硬化である転写層用紫外線硬化樹脂９０３へ紫外線ランプ９１０による紫外線により硬化する。硬化により感圧性接着剤９０１と転写層用紫外線硬化樹脂９０３からなる第（ｋ−１）分離層９０９ができる。紫外線は第（ｋ−１）スタンパ９０２が透明であれば、幾らかは透過するため十分に転写層用紫外線硬化樹脂９０３を硬化することができる。紫外線ランプとしてはメタルハライドランプ、高圧水銀ランプ、キセノンランプ等が用いることができる。
【０１４１】
以上図９に示す工程で重要なことは、感圧性接着剤と転写性紫外線硬化樹脂の材料選定である。感圧性接着剤は、第ｋ信号記録層と硬化後の転写性紫外線硬化樹脂とに接着強度をもつものである必要がある。一方、転写性紫外線硬化樹脂は、硬化後第（ｋ−１）スタンパと剥離し易いものであることが重要であるのは言うまでもない。このような図９に示す工程の後、実施の形態１同様図６に示す剥離工程を行うことができる。
【０１４２】
なお、図９では転写層用紫外線硬化樹脂９０３を第（ｋ−１）スタンパ９０２上に塗布したが、第ｋ信号基板９００の上に重ね合わされた感圧性接着剤９０１の上に転写層用紫外線硬化樹脂９０３を塗布しても良い。また、図９では、第ｋ信号基板９００上に感圧性接着剤９０１を重ね合わせたが、これに限らず、転写層用紫外線硬化樹脂９０３を第（ｋ−１）スタンパ９０２上に塗布した後、転写層用紫外線硬化樹脂９０３が塗布された第（ｋ−１）スタンパ９０２上に感圧性接着剤９０１を重ね合わせ、その後第ｋ信号基板９００と第（ｋ−１）スタンパ９０２とを張り合わてもよい。また、図３（ｃ）の工程を用いて、接着層用紫外線硬化樹脂３０７の代わりに転写性紫外線硬化樹脂９０３を用い、第（ｋ−１）スタンパ９０２と感圧性接着剤９０１の付加された第ｋ信号基板９００を共に回転することで貼り合わせても良い。また、感圧性接着剤９０１が硬化後の転写層用紫外線硬化樹脂９０３との接着強度が不足する場合は、感圧性接着剤９０１の上にさらに、硬化後の転写層用紫外線硬化樹脂９０３と十分な接着強度を得られる別の接着剤を配置しても良い。
【０１４３】
図１０（ａ）に図８と図９の方法で形成された第（ｋ−１）分離層９０９の厚みの分布を示す。内周から外周にかけて２９．５〜３０．５ミクロンの１ミクロンの分布がある。これは、スピンコートによる転写層用紫外線硬化樹脂９０３の厚みむらによるものである。図４（ａ）に示す実施の形態１の第（ｋ−１）分離層より均一である。実施の形態２では厚み精度の高い感圧性接着剤を使用するためである。
【０１４４】
図１０（ｂ）は、図５に示したような従来のような平坦な第（ｋ−１）スタンパ５００を用いて図９の方法で第（ｋ−１）分離層を形成した場合のものである。第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパの距離は内周では近く外周では離れるため、内周から外周にかけて第（ｋ−１）分離層の厚みが厚くなる傾向が見られ、２７〜３３ミクロンの６ミクロンの分布が発生している。このように、図８と図９は第（ｋ−１）分離層の厚み均一性には有効である。
【０１４５】
本実施の形態２での第ｋ信号基板への感圧性接着剤の接着方法（図９（ａ））の他に、大気中あるいは減圧下でローラで貼る方法も可能である。
【０１４６】
また、実施の形態２においても、感圧性接着剤の代わりに実施の形態１で示した接着層用紫外線硬化樹脂を用いて図３の方法でも厚みの均一な第（ｋ−１）分離層を作製できる。また、逆に、実施の形態１のように第ｋ信号基板が第ｋ信号記録層を包むように反っている場合にも、図９に示す感圧性接着剤を用いる方法を適用できる。
【０１４７】
上記実施の形態２では、厚み１．１ｍｍのプラスチック製の第（ｋ−１）スタンパを用いたが、プラスチック製であれば、厚みが０．５ｍｍ以上であれば良い。厚みが０．５ｍｍ以上であれば、剛性もあるため射出成形法においても成形条件により形状を制御し易く、また扱い易いため生産性向上に適している。
【０１４８】
また、実施の形態２では、第（ｋ−１）分離層が２つの材料からなる場合について説明したが、３つ以上の複数の材料からなっていても構わない。また、紫外線硬化樹脂を用いて説明したが、その他熱硬化性材料をはじめとする放射線硬化性材料を用いても良い。
【０１４９】
（実施の形態３）
ここでは、図２に示した第（ｋ−１）スタンパの作製方法の代替となる方法について説明する。図１２に断熱材料を備える成形金型の模式図である。第（ｋ−１）スタンパを案内溝及びピットのある面とは反対側の面を包むように反らせるためのものである。
【０１５０】
図１２（ａ）はマスタスタンパ２０１と金型鏡面Ａとの間に断熱板１２００を配置した場合である。冷却水路Ａと冷却水路Ｂには、成形金型２００のキャビティ２０３内に導入される溶融したポリカーボネート２０２を冷却するために、冷却水が流される。断熱板１２００を挿入することで、冷却水路Ｂに流される冷却水の温度に応じて金型鏡面Ｂ側は冷却されるが、マスタスタンパ２０１側は溶融されたポリカーボネート２０２の温度が冷却されづらくなるため、図２に示した成形金型で成形した第（ｋ−１）スタンパより反ったものができる。冷却水路Ａには断熱板１２００が熱で破壊されないために必要十分な温度の冷却水を流せば良い。図１２（ｂ）は断熱材１２０３を金型鏡面Ａの後ろに組み込んだ成形金型である。この構成でも同様の効果が得られる。
【０１５１】
また、図１２の以外にも、金型鏡面Ｂの後ろに断熱材を組み込んでも良い。この場合、金型鏡面Ｂの表面の温度はマスタスタンパ側より高くなる傾向がある。そのため、成形された第（ｋ−１）スタンパは案内溝及びピットのある面とは反対側の面を包むように反ることになる。
【０１５２】
さらには、上記のように一対の成形金型の片側金型鏡面にだけではなく、両面の金型鏡面に断熱材を組み込んでも良い。
【０１５３】
上記実施の形態３では、厚み１．１ｍｍのプラスチック製の第（ｋ−１）スタンパを用いたが、プラスチック製であれば、厚みが０．５ｍｍ以上であれば良い。厚みが０．５ｍｍ以上であれば、剛性もあるため射出成形法においても成形条件により形状を制御し易く、また扱い易いため生産性向上に適している。
【０１５４】
（実施の形態４）
実施の形態４では、金属製の第（ｋ−１）スタンパの作製方法について説明する。金属は比較的硬度が高いため、第（ｋ−１）スタンパを第ｋ信号基板から剥離する際に生ずる第（ｋ−１）スタンパの傷や変形を抑制できるため、効果的である。図２、図１２でも示したマスタスタンパ２０１と第（ｋ−１）スタンパは案内溝あるいはピットの凹凸が反転している必要がある。従って、マスタスタンパ２０１を用いて金属製の第（ｋ−１）スタンパを作製することができる。
【０１５５】
一般的にマスタスタンパは、マスタスタンパ上の案内溝やピットとは凹凸が反転した形状を有するガラスマスタ原盤を用いて作られる。ガラスマスタ原盤には、ガラスの表面にフォトレジストで形成された案内溝やピットといった凹凸が形成されている。まずガラス板の表面にフォトレジストを均一に塗布し、フォトレジスト上を紫外〜遠紫外の波長域の集光されたレーザ、さらには電子線を用いて案内溝やピットの形状に露光する。露光されたフォトレジスト部分は現像工程により取り除かれ、ガラスマスタ原盤には案内溝やピットといった凹凸が形成される。
【０１５６】
次に、ガラスマスタ原盤の案内溝やピットの面にニッケル薄膜を蒸着やスパッタリングで形成し、ニッケル薄膜を電極として電鋳によりニッケルを堆積させる。一般的には０．３ｍｍの厚さになるまでニッケルを堆積させガラスマスタ原盤の表面にニッケル板をつくる。ニッケル板をガラスマスタ原盤から剥離すれば、ニッケル板上にはガラスマスタ原盤上の凹凸（案内溝とピット）と反転した凹凸（案内溝とピット）をもつマスタスタンパとなる。
【０１５７】
ニッケル製マスタスタンパからニッケル製第（ｋ−１）スタンパを作製する方法を以下に示す。
【０１５８】
（１）マスタスタンパの凹凸（案内溝・ピット）面の表面酸化処理
水酸化ナトリウム水溶液の中へマスタスタンパを浸漬しアノードとして、６０秒間電流２０アンペア流す。これにより、マスタスタンパの凹凸面は酸化処理され酸化膜が形成される。
【０１５９】
（２）マスタスタンパの凹凸面上に電鋳によりニッケル製第（ｋ−１）スタンパを形成
マスタスタンパ全体を電鋳浴に浸し、負電極として電鋳を行う。サルファミン酸ニッケル濃度５５０グラム／リットル、ホウ酸濃度３１グラム／リットルの電鋳浴を用いる。電鋳浴のｐＨ値や温度、また電鋳時の電流密度は必要に応じて調整する。電鋳により厚み０．３ｍｍになるまでニッケルをマスタスタンパ上に形成して、０．３ｍｍのニッケル製の第（ｋ−１）スタンパを得る。
【０１６０】
（３）ニッケル製の第（ｋ−１）スタンパの剥離及び打ち抜き加工
マスタスタンパからニッケル製の第（ｋ−１）スタンパを剥離し、必要な外径と内径に打ち抜く。
【０１６１】
以上、第（ｋ−１）スタンパの作製方法を簡単に示したが、金属製第（ｋ−１）スタンパの反りを第ｋ信号基板の形状に沿うように制御するには、上記（２）の電鋳浴のｐＨ値や温度、また電鋳時の電流密度を制御すれば良い。図１３は電鋳時の電流密度と電鋳浴の温度、ｐＨ値を変えて第（ｋ−１）スタンパを作製した時の各パラメータに対する第（ｋ−１）スタンパの反りの変化を示している。ここで、反りの方向が＋とは第（ｋ−１）スタンパの凹凸面とは反対側の面に反っていることを意味し、逆に反りの方向が−とは第（ｋ−１）スタンパの凹凸面に反っていることを意味する。反りの大きさは、第（ｋ−１）スタンパの半径方向と第（ｋ−１）スタンパの接線とがなす角度で示す。
【０１６２】
図１３（ａ）に示すように、電流密度では２０アンペア／ｄｍ＾２を境に＋反りと−反りが変わっている。図１３（ｂ）では電鋳浴の温度が４５℃より低い温度では＋反りに、高い温度では−反りになる。図１３（ｃ）の電鋳浴のｐＨではｐＨ４．５で最小値、つまり第（ｋ−１）スタンパがフラットになり、それから離れるに従い＋側の反りを有することになる。以上のように、第（ｋ−１）スタンパを電鋳により作製する場合、電鋳時の電流密度、電鋳浴の温度、ｐＨ値の少なくとも一つを制御して電鋳を行えば、第（ｋ−１）スタンパの反りを制御することができる。これらのパラメータにより第ｋ信号基板に沿う形の第（ｋ−１）スタンパの作製が可能である。
【０１６３】
以上の工程で作製された金属製の第（ｋ−１）スタンパは図３や図９に示した方法で第ｋ信号基板との間に分離層を形成することができる。但し、分離層を形成する際、金属製の第（ｋ−１）スタンパは不透明で紫外線透過性がないため、接着層用紫外線硬化樹脂３０７や転写層用紫外線硬化樹脂９０３の代わりに熱硬化性材料等の放射線硬化材料を用いて、遠赤外線等の放射線を硬化に使用することが必要となる。また、接着層用紫外線硬化樹脂３０７の代わりには、感圧性接着剤も使用可能である。分離層形成後には図６に示す方法で第ｋ信号基板との剥離が可能である。
【０１６４】
また、実施の形態４では、金属としてニッケルの用いたが、材質としては電鋳が可能なその他の金属でも構わない。
【０１６５】
（実施の形態５）
実施の形態５として、多層光情報媒体の製造装置を説明する。製造装置は、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパを、第ｋ信号記録層と第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットを有する面を対向させて配置し、第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板とが互いに沿うような形状に保持する形状維持手段と、第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板との少なくとも一方が前記形状維持手段によって互いに沿うような形状に保持されている状態において、第ｋ信号記録層と第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットの間に第（ｋ−１）分離層を形成する分離層形成手段と、第（ｋ−１）分離層と第（ｋ−１）スタンパの界面より第（ｋ−１）スタンパを剥離する剥離手段を有している。図１４、図１５に形状維持手段と分離層形成手段の例を示す。
【０１６６】
なお、本実施の形態の分離層形成手段は本発明の信号記録層形成手段の例である。
【０１６７】
図１４は形状維持手段がアームである場合の例である。図１４（ａ）に示す案内溝及びピット上に転写層５０３が形成された、フラットな第（ｋ−１）スタンパ５００を用いる。転写層は図５（ａ）、（ｂ）に示す方法で形成される。第ｋ信号基板３０６は第ｋ信号記録層を包むように反っている。反り測定手段１４０１は測定光１４０２を第ｋ信号基板３０６上の第ｋ信号記録層に入射させて、反射した測定光１４０２の位置を検知することにより、第ｋ信号基板上の第ｋ信号記録層の傾き角を計算する。
【０１６８】
形状維持アーム１４００は図１４（ｂ）に示すように、第（ｋ−１）スタンパ５００の、転写層５０３が形成されている面とは反対側の面を内周側と外周側を保持する。この時、形状維持アーム１４００は、反り測定手段１４０１から得た第ｋ信号記録層の傾き角に応じて、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットが第ｋ信号記録層に沿うように、第（ｋ−１）スタンパ５００を反らした状態に保持する。すなわち、反り測定手段１４０１は、現在のまたは過去に製造された一つまたは複数のｋ信号基板３０６の第ｋ信号記録層の面形状を測定し、形状維持アーム１４００は、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ５００の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面をｋ信号基板３０６の面形状に対応するような形状にして形成する。すなわち、形状維持アーム１４００は、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ５００をｋ信号基板３０６の形状に沿うように形成する。
【０１６９】
そして、ｋ信号基板３０６の形状の測定は、例えば、工場が稼働する朝一番に前日に製造されたｋ信号基板３０６の形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ５００の形状を決めてもよい。また、第ｋ信号基板３０６が製造される毎に一枚一枚第ｋ信号基板３０６の形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ５００の形状を決めてもよい。また、ロット毎にｋ信号基板３０６の形状を測定した実績を用いて、第（ｋ−１）スタンパ５００の形状を決めてもよい。
【０１７０】
第（ｋ−１）スタンパ５００の形状を変えるために、形状維持アーム１４００のスタンパを保持する部材にはエアシリンダやステッピングモータ、アクチュエータ等の駆動手段をもっている。また、保持方法としては真空吸引、外周側であれば爪のような機械的な保持方法もある。
【０１７１】
次に、図１４（ｃ）に示すように、第（ｋ−１）スタンパ５００の形状が維持された状態で第ｋ信号基板３０６との間に第（ｋ−１）分離層の一部となる接着層用紫外線硬化樹脂３０７を塗布する。ノズル１４０３を第（ｋ−１）スタンパ５００と第ｋ信号基板３０６の間に挿入して、第ｋ信号基板３０６の内周部に接着層用紫外線硬化樹脂３０７を滴下する。この時、第ｋ信号基板３０６はテーブル３０９上で保持され、テーブル３０９を回転することで接着層用紫外線硬化樹脂３０７はリング状に滴下される。第（ｋ−１）スタンパ５００は形状維持アーム１４００で保持されているため、第ｋ信号基板３０６との間隔は半径方向に均一にすることができる。
【０１７２】
次に、第（ｋ−１）スタンパ５００を形状維持アーム１４００で形状維持しながら、第ｋ信号基板３０６を保持したテーブル３０９を回転する。この時、形状維持アーム１４００も第（ｋ−１）スタンパ５００を保持しながらテーブル３０９に同期して回転する。この回転により、接着層用紫外線硬化樹脂３０７は半径方向に広がり、第（ｋ−１）スタンパ５００と第ｋ信号基板３０６の間に均一な接着層を形成する。形状維持アーム１４００で第（ｋ−１）スタンパ５００を形状維持したまま、紫外線により接着層を硬化して、図６に示すように剥離を行う。図６のツメ６１０とハンドリング手段６１２が剥離手段の一部となる。
【０１７３】
また、第ｋ信号基板が第ｋ信号記録層のある面とは反対側の面を包むように反っている場合、図１４（ｄ）のように形状維持アーム１４００は第（ｋ−１）スタンパ５００を保持することになる。
【０１７４】
図１５には形状維持手段がテーブル状である場合を示す。図１５（ａ）に示す案内溝及びピット上に転写層５０３が形成された、フラットな第（ｋ−１）スタンパ５００を用いる。転写層は図５（ａ）、（ｂ）に示す方法で形成される。第ｋ信号基板３０６は第ｋ信号記録層を包むように反っている。反り測定手段１４０１は測定光１４０２を第ｋ信号基板３０６上の第ｋ信号記録層に入射させて、反射した測定光１４０２の位置を検知することにより、第ｋ信号基板上の第ｋ信号記録層の傾き角を計算する。
【０１７５】
形状維持テーブル１５００は図１５（ｂ）に示すように、第（ｋ−１）スタンパ５００の、転写層５０３が形成されている面を保持する。この時、形状維持テーブル１５００は、反り測定手段１４０１から得た第ｋ信号記録層の傾き角に応じて、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットが第ｋ信号記録層に沿うように、第（ｋ−１）スタンパ５００を反らした状態に保持する。つまり、第ｋ信号記録層の傾き角に応じて、図１５（ｂ）に示したような第（ｋ−１）スタンパ５００を案内溝及びピットのある面とは反対側の面を包むような形状にする凸状の形状維持テーブル１５００と、図１５（ｄ）に示すような第（ｋ−１）スタンパ５００を案内溝及びピットのある面を包むような形状にする凹形状維持テーブル１５０１との、何れかを選択し、第（ｋ−１）スタンパ５００を保持する。また、保持方法としては真空吸引、外周側であれば爪のような機械的な保持方法もある。
【０１７６】
次に、図１５（ｃ）に示すように、第（ｋ−１）スタンパ５００の形状が維持された状態で第ｋ信号基板３０６との間に第（ｋ−１）分離層の一部となる接着層用紫外線硬化樹脂３０７を塗布する。ノズル１４０３を第（ｋ−１）スタンパ５００と第ｋ信号基板３０６の間に挿入して、第ｋ信号基板３０６の内周部に接着層用紫外線硬化樹脂３０７を滴下する。この時、第ｋ信号基板３０６はテーブル３０９上で保持され、テーブル３０９を回転することではリング状に滴下される。第（ｋ−１）スタンパ５００は形状維持テーブル１５００で保持されているため、第ｋ信号基板３０６との間隔は半径方向に均一にすることができる。
【０１７７】
次に、第（ｋ−１）スタンパ５００を形状維持テーブル１５００で形状維持しながら回転する。この回転により、接着層用紫外線硬化樹脂３０７は半径方向に広がり、第（ｋ−１）スタンパ５００と第ｋ信号基板３０６の間に均一な接着層を形成する。その後、形状維持テーブル１５００で第（ｋ−１）スタンパを形状維持したまま、紫外線により接着層を硬化して、図６に示すように剥離を行う。図６のツメ６１０とハンドリング手段６１２が剥離手段の一部となる。
【０１７８】
なお、図１５（ｃ）には第ｋ信号基板３０６と第（ｋ−１）スタンパ５００の間にノズル１４０３を挿入して接着層用紫外線硬化樹脂３０７を滴下する方法を示したが、第（ｋ−１）スタンパ上へ直接ノズルで接着層用紫外線硬化樹脂３０７を滴下して、そのあと第ｋ信号基板を上から落としても良い。これら２種類の滴下方法は、図３（ｃ）の工程でも用いることができる。
【０１７９】
実施の形態５では、転写層と紫外線硬化樹脂を用いた接着層の２種類から材料から第（ｋ−１）分離層を形成する方法を挙げたが、第ｋ信号基板上に転写層以外の第（ｋ−１）分離層がある場合でも実施の形態５を適用できる。例えば、第ｋ信号基板上に感圧性接着剤があり、感圧性接着剤の上に転写層となる材料を滴下するという方法においても、本実施の形態を適用できる。
【０１８０】
また、実施の形態５では、複数の信号記録層を有する第ｋ信号基板の形状（反り）に応じて、第（ｋ−１）スタンパの形状を形状維持手段で変える方法を示したが、第ｋ信号基板の形状を変えても良い。一般的には、形状を変えることにより、複数の信号記録層が歪むことになるので、第（ｋ−１）スタンパの形状を変えるほうが好ましいと考えられる。
【０１８１】
上記実施の形態５では、厚み１．１ｍｍのプラスチック製の第（ｋ−１）スタンパを用いたが、プラスチック製であれば、厚みが０．５ｍｍ以上であれば良い。厚みが０．５ｍｍ以上であれば、剛性もあるため射出成形法においても成形条件により形状を制御し易く、また扱い易いため生産性向上に適している。また、プラスチック製の第（ｋ−１）スタンパでなくとも、実施の形態４に示した金属製のものでも構わない。
【０１８２】
また、実施の形態５では、第（ｋ−１）分離層が２つの材料からなる場合について説明したが、３つ以上の複数の材料からなっていても構わない。また、紫外線硬化樹脂を用いて説明したが、その他熱硬化性材料をはじめとする放射線硬化性材料を用いても良い。
【０１８３】
【発明の効果】
以上のように、本発明の多層光情報記録媒体の製造方法は、第ｋ信号基板の第ｋ信号記録層と、第（ｋ−１）スタンパの案内溝あるいはピット、案内溝及びピットを有する面とが互いに沿うような状態にして第（ｋ−１）分離層を形成するため、第ｋ信号基板の第ｋ信号記録層と、第（ｋ−１）スタンパの案内溝あるいはピット、案内溝及びピットを有する面との間隔が一定にすることが可能であり、形成される第（ｋ−１）分離層の厚みを均一することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
（１）本発明の実施の形態１における多層光情報記録媒体の製造方法のうち、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパを準備する工程を示す模式図
（２）本発明の実施の形態１における多層光情報記録媒体の製造方法のうち、第（ｋ−１）信号記録層と第ｋ信号記録層との間に分離層を形成する工程を示す図
（３）本発明の実施の形態１における多層光情報記録媒体の製造方法のうち、第（ｋ−１）分離層上の転写された第（ｋ−１）信号記録層と第（ｋ−１）スタンパとの界面より剥離を行う工程を示す図
【図２】
（ａ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）スタンパの作成方法のうち、成形金型に溶融したポリカーボネートを射出充填する工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）スタンパの作成方法のうち、第（ｋ−１）スタンパを成形金型から取り出す工程を示す図
【図３】
（ａ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）分離層の形成方法の一例のうち、第（ｋ−１）スタンパ上に転写層用紫外線硬化樹脂を形成する工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）分離層の形成方法の一例のうち、紫外線を照射することにより転写層用紫外線硬化樹脂を硬化する工程を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）分離層の形成方法の一例のうち、転写層が形成された第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板とを貼り合わせる工程を示す図
（ｄ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）分離層形成方法の一例のうち、紫外線を照射することにより接着用紫外線硬化樹脂を硬化する構成を示す図
【図４】
本発明の多層光情報記録媒体の製造方法により形成した分離層の厚み分布の一例を示す図
（ａ）本発明の実施の形態１における多層光情報記録媒体の製造方法により形成した分離層の厚み分布の一例を示す図
（ｂ）従来の方法で形成した分離層の厚み分布の一例を示す図
【図５】
（ａ）従来の多層光情報記録媒体の製造方法の一例のうち、転写層の形成工程を示す図
（ｂ）従来の多層光情報記録媒体の製造方法の一例のうち、転写層を硬化する工程を示す図
（ｃ）従来の多層光情報記録媒体の製造方法の一例のうち、接着層を形成する工程を示す図
（ｄ）従来の多層光情報記録媒体の製造方法の一例のうち、第（ｋ−１）分離層を完成する工程を示す図
【図６】
（ａ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）スタンパの剥離方法の一例のうち、真空吸引する工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）スタンパの剥離方法の一例のうち、転写層と第（ｋ−１）スタンパの界面にツメを挿入する工程を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）スタンパの剥離方法の一例のうち、ハンドリング手段で第（ｋ−１）スタンパを引っ張りあげる工程を示す図
（ｄ）本発明の実施の形態１における第（ｋ−１）スタンパの剥離方法の一例のうち、第（ｋ−１）スタンパが剥離された工程を示す図
【図７】
（ａ）本発明の実施の形態１における透明カバー層の形成方法であって、第１信号基板とフィルムとの間に接着用材料を配置してスピンで振り切る方法を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態１における透明カバー層の形成方法であって、感圧接着剤を用いてフィルムを接着してカバー層を形成する方法を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態１における透明カバー層の形成方法であって、カバー材料をフィルムを用いずスピンコートで塗布する方法を示す図
【図８】
（１）本発明の実施の形態２における多層光情報記録媒体の製造方法のうち、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパを準備する工程を示す模式図
（２）本発明の実施の形態２における多層光情報記録媒体の製造方法のうち、第（ｋ−１）信号記録層と第ｋ信号記録層との間に分離層を形成する工程を示す図
（３）本発明の実施の形態２における多層光情報記録媒体の製造方法のうち、第（ｋ−１）分離層上の転写された第（ｋ−１）信号記録層と第（ｋ−１）スタンパとの界面より剥離を行う工程を示す図
【図９】
（ａ）本発明の実施の形態２における分離層の形成方法のうち、第ｋ信号基板と感圧性接着剤をチャンバ内に入れ、チャンバ内を真空引きする工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態２における分離層の形成方法のうち、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットのある面に転写層用紫外線硬化樹脂をコートする工程を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態２における分離層の形成方法のうち、第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板とを重ねる工程を示す図
（ｄ）本発明の実施の形態２における分離層の形成方法のうち、紫外線を照射して未硬化である転写層用紫外線硬化樹脂を硬化する工程を示す図
【図１０】
（ａ）本発明の実施の形態２における分離層の形成方法により形成した分離層の厚み分布を示す図
（ｂ）従来の分離層の形成方法により形成した分離層の厚み分布を示す図
【図１１】
（ａ）本発明の実施の形態１における記録多層膜形成方法の一例のうち、ターゲットを用いて第（ｋ−１）スタンパ上に第（ｋ−１）記録多層膜をスパッタリング法により成膜する工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態１における記録多層膜形成方法の一例のうち、剥離用テーブルに固定する工程を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態１における記録多層膜形成方法の一例のうち、ハンドリング手段を用いて第（ｋ−１）スタンパを剥離する工程を示す図
【図１２】
（ａ）本発明の実施の形態３における射出成形法により第（ｋ−１）スタンパを作成する際の一例のうち、マスタスタンパと金型鏡面Ａとの間に断熱板を配置した場合を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態３における射出成形法により第（ｋ−１）スタンパを作成する際の一例のうち、断熱材を金型鏡面Ａの後ろに組み込んだ成形金型を示す図
【図１３】
（ａ）本発明の実施の形態４における金属製第（ｋ−１）スタンパを電鋳条件により形状制御する時の条件のうち、カソード電流密度と第（ｋ−１）スタンパの反りの程度との関係を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態４における金属製第（ｋ−１）スタンパを電鋳条件により形状制御する時の条件のうち、電鋳浴の温度と第（ｋ−１）スタンパの反りの程度との関係を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態４における金属製第（ｋ−１）スタンパを電鋳条件により形状制御する時の条件のうち、電鋳浴のｐＨと第（ｋ−１）スタンパの反りの程度との関係を示す図
【図１４】
（ａ）本発明の実施の形態５における第ｋ信号基板の形状を測定する工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態５における形状維持手段で第（ｋ−１）スタンパを保持することを示す図
（ｃ）本発明の実施の形態５における第（ｋ−１）スタンパの形状が維持された状態で第ｋ信号基板との間に第（ｋ−１）分離層の一部となる接着層用紫外線硬化樹脂を塗布することを示す図
（ｄ）本発明の実施の形態５における第ｋ信号基板が第ｋ信号記録層のある面とは反対側の面を包むように反っている場合に、形状維持手段が第（ｋ−１）スタンパを保持することを示す図
【図１５】
（ａ）本発明の実施の形態５における形状維持手段と分離層形成手段の第２の例であって、第ｋ信号基板の形状を測定する工程を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態５における形状維持手段と分離層形成手段の第２の例であって、第（ｋ−１）スタンパを形状維持する工程を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態５における形状維持手段と分離層形成手段の第２の例であって、分離層の一部となる接着層用紫外線硬化樹脂を塗布する工程を示す図
（ｄ）本発明の実施の形態５における形状維持手段と分離層形成手段の第２の例であって、凹形状維持テーブルにより第（ｋ−１）スタンパを保持する工程を示す図
【符号の説明】
１０３，３０６，８０３，９００  第ｋ信号基板
１００，８００  第ｋ信号記録層
１０１，８０１  第（ｋ＋１）信号記録層
１０２，８０２  第ｎ信号記録層
１１０  第ｋ分離層
１０５，８０５  第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット
１０６，２０４，３００，５００，８０６，９０２  第（ｋ−１）スタンパ
１０７，３１０，５１０，８０７，９０９  第（ｋ−１）分離層
１０８，８０８  転写された第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピット
２００  成形金型
２０１  マスタスタンパ
２０２  ポリカーボネート
２０３  キャビティ
２０５  案内溝及びピットが形成された面
２０６  反対側の面
３０５，３０９，５０９，７２０，９０４  テーブル
３０１，９０３  転写層用紫外線硬化樹脂
３０２，９１０  紫外線ランプ
３０３，５０３  転写層
３０７  接着層用紫外線硬化樹脂
３０８，５０８，７３０  接着層
６００  剥離用テーブル
６１０  ツメ
６１５  エア
６１２  ハンドリング手段
７００  フィルム
７１０  第１信号基板
７４０，９０１  感圧性接着剤
７４５，９０５  チャンバ
７５０  カバー材料
１１００  ターゲット
１１０１  第（ｋ−１）記録多層膜
１２００  断熱板
１４００  形状維持アーム
１４０１  反り測定手段
１４０２  測定光
１４０３  ノズル
１５００  形状維持テーブル
１５０１  凹形状維持テーブル
Ｄ１  感圧性接着剤の中心穴の直径
Ｄ０  第ｋ信号基板の中心穴と第（ｋ−１）スタンパの中心穴の直径
Ｄ２  転写層用紫外線硬化樹脂の内径
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月10日(2004.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ｎ層（ｎは２以上の整数）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する多層光情報記録媒体の製造方法において、
記録面または再生面から第ｋ番目（ｋは２以上ｎ以下の整数のいずれか）の信号記録層を第ｋ信号記録層とし、前記第ｋ信号記録層を表面に有する基板を第ｋ信号基板とし、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有するスタンパを第（ｋ−１）スタンパとし、第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層との間にある分離層を第（ｋ−１）分離層とする時、
現在のまたは過去に製造された一つまたは複数の前記ｋ信号基板の面形状を測定する測定工程と、
前記第（ｋ−１）スタンパの前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を前記ｋ信号基板の面形状に対応するような形状にして、その第（ｋ−１）スタンパを利用して前記第（ｋ−１）信号記録層を形成する信号記録層形成工程と、
前記第（ｋ−１）分離層と前記第（ｋ−１）スタンパとの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離する剥離工程とを備え、
ｎ層の前記信号記録層のうち少なくとも１層が前記信号記録層形成工程によって作成される多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】  前記第ｋ信号基板が前記第ｋ信号記録層を包むように反っている時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパを前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面とは反対側の面を包むように反らせた形状にする請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】  前記第ｋ信号基板が第ｋ信号記録層の反対側の面を包むように反っている時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパを前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を包むように反らせた形にする請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】  前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板の第ｋ信号記録層と、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面とを実質上同じ曲率半径を有する形状にする請求項２または３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】  前記第（ｋ−１）分離層は、放射線硬化樹脂である請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項６】  前記放射線硬化樹脂が紫外線硬化樹脂である請求項５に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項７】  前記第（ｋ−１）分離層は、複数の層から構成される請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項８】  前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記第（ｋ−１）スタンパと前記第ｋ信号記録層の間に存在する、前記第（ｋ−１）分離層を構成する各層の界面も含めた複数の界面のうち、前記転写層と前記第（ｋ−１）スタンパとの界面が最も剥離し易い界面となる請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項９】  前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、少なくとも前記転写層が放射線硬化性材料である請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１０】  前記放射線硬化性材料は、紫外線硬化樹脂である請求項９に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１１】  前記紫外線硬化樹脂の粘度は、１〜１０００ｍＰａ・ｓである請求項１０に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１２】  前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記第（ｋ−１）分離層の、転写層以外の層のうち少なくとも一つの層が感圧性接着剤である請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１３】  前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパの案内溝及び／またはピットのある面の上に、前記転写層となる放射線硬化性材料をコートしたうえ硬化し、前記転写層を除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した前記第ｋ信号基板と貼り合わせる請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１４】  前記転写層がコートされた前記第（ｋ−１）スタンパと、前記転写層を除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した前記第ｋ信号基板とを貼り合わせる際、前記第（ｋ−１）スタンパにコートされた前記転写層と接する前記第（ｋ−１）分離層の表面が放射線硬化性材料である請求項１３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１５】  前記第（ｋ−１）分離層の複数の層のうち、案内溝及び／またはピットを前記第（ｋ−１）スタンパから転写する層を転写層とする時、前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパと、前記転写層とを除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した前記第ｋ信号基板との間に前記転写層となる放射線硬化性材料を配置した後に、前記放射線硬化性材料を硬化する請求項７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１６】  前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板の前記転写層を除いた前記第（ｋ−１）分離層を形成した面と、前記第（ｋ−１）スタンパの案内溝及び／またはピットのある面の少なくとも一方に、前記転写層となる放射線硬化性材料を塗布した後、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパを重ね合わせて前記放射線硬化性材料を硬化する請求項１５に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１７】  前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパとを、前記第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパの少なくとも一方を保持した上で、前記放射線硬化性材料を硬化する請求項１３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１８】  前記信号記録層形成工程は、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパの少なくとも一方を、所望の表面形状を有する支持台上に固定した上で、前記放射線硬化材料を硬化する請求項１７に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１９】  前記第（ｋ−１）スタンパはプラスチックである請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２０】  前記プラスチックは透明である請求項１９記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２１】  前記第（ｋ−１）スタンパは、ポリカーボネート、オレフィン樹脂、アクリル樹脂、ノルボルネン系樹脂のいずれかであり、金属製マスタスタンパを用いて射出成形法により作製された請求項２０に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２２】  前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパを作製する際の射出成形法の条件により、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパを、第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように制御する請求項２１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２３】  前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面とは反対側の面を包むように反った形にするために、前記第（ｋ−１）スタンパを射出成形法で作製する際、一対の成形金型の一方に載せた前記金属製マスタスタンパより他方の金型鏡面温度を高くする請求項２２に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２４】  前記信号記録層形成工程は、一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面温度より他方の金型鏡面温度を高くする請求項２３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２５】  一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面とは反対側の金型鏡面の裏面に、断熱材料が設置されている請求項２３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２６】  前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を包むように反った形にするために、前記第（ｋ−１）スタンパを射出成形法で作製する際、一対の成形金型の金型鏡面に載せた前記金属製マスタスタンパの温度を他方の金型鏡面温度より高くする請求項２２記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２７】  前記信号記録層形成工程は、一対の成形金型の前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面温度を他方の金型鏡面温度より高くする請求項２６に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２８】  一対の成形金型に載せた、前記金属製マスタスタンパの裏面と前記金属製マスタスタンパを設置した金型鏡面の裏面の少なくとも１つに断熱材料が設置されている請求項２６に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２９】  前記第（ｋ−１）スタンパは、金属である請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３０】  前記信号記録層形成工程は、前記第（ｋ−１）スタンパが電鋳により作製され、電鋳浴のｐＨ値、温度、電鋳時の電流密度から選ばれる少なくとも１つの電鋳条件により、前記第ｋ信号基板と前記第（ｋ−１）スタンパとを、前記第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を対向させて配置した時、前記第（ｋ−１）スタンパが前記第ｋ信号基板に沿うような形になるように制御する請求項２９に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３１】  前記剥離工程の工程の後、さらに転写された前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットの上に記録多層膜（以下、第（ｋ−１）記録多層膜と呼ぶ）或いは反射膜を成膜することにより、第（ｋ−１）信号記録層を完成する膜形成工程を備えた請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３２】  前記第（ｋ−１）スタンパ上の第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットの上に第（ｋ−１）記録多層膜あるいは反射膜を成膜しておき、前記剥離工程は、前記第（ｋ−１）記録多層膜と前記第（ｋ−１）スタンパの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離して前記第（ｋ−１）記録多層膜あるいは反射膜を前記第（ｋ−１）分離層上へ移す請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３３】  第１信号記録層の上に透明カバー層を形成する請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３４】  第１信号記録層の上に、透明な基板を透明な接着剤で接着し前記透明カバー層とする請求項３３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３５】  前記透明カバー層を透明な放射線硬化性材料で形成する請求項３３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３６】  前記透明カバー層の少なくとも一部を感圧性接着剤で形成することを特徴とする請求項３３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３７】  第１信号記録層上に形成されている透明カバー層の厚みが０．３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項３３に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３８】  ｎ層（ｎは２以上の整数）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する多層光情報記録媒体の製造装置において、
記録面または再生面から第ｋ番目（ｋは２以上ｎ以下の整数のいずれか）の信号記録層を第ｋ信号記録層とし、前記第ｋ信号記録層を表面に有する基板を第ｋ信号基板とし、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有するスタンパを第（ｋ−１）スタンパとし、第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層との間にある分離層を第（ｋ−１）分離層とする時、
現在のまたは過去に製造された一つまたは複数の前記ｋ信号基板の面形状を測定する測定手段と、
前記第（ｋ−１）スタンパの前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を前記ｋ信号基板の面形状に対応するような形状にする形状維持手段と、
その第（ｋ−１）スタンパを利用して前記第（ｋ−１）信号記録層を形成する信号記録層形成手段と、
前記第（ｋ−１）分離層と前記第（ｋ−１）スタンパとの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離する剥離手段とを備えた多層光情報記録媒体の製造装置。
【請求項３９】  前記第ｋ信号基板が反っている時、前記第ｋ信号基板の反りに応じて、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットと、前記第ｋ信号記録層が沿うように、前記形状維持手段が前記第（ｋ−１）スタンパを保持する機構を有する請求項３８記載の多層光情報記録媒体の製造装置。
【請求項４０】  前記形状維持手段は、テーブル状であり、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットと前記第ｋ信号記録層とが沿うように、前記第（ｋ−１）スタンパと接する表面形状を有する請求項３９記載の多層光情報記録媒体の製造装置。
【請求項４１】  前記形状維持手段は、前記第（ｋ−１）スタンパと前記第ｋ信号基板との少なくとも一方の、前記第（ｋ−１）分離層が形成されない面を真空吸引により支持する請求項３８記載の多層光情報記録媒体の製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
（２）２層目の信号の案内溝あるいはピットの上に書き換え可能な透光性の記録多層膜を成膜する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
また、第３８の本発明は、ｎ層（ｎは２以上の整数）の信号記録層を有し、各信号記録層の間に分離層を有する多層光情報記録媒体の製造装置において、
記録面または再生面から第ｋ番目（ｋは２以上ｎ以下の整数のいずれか）の信号記録層を第ｋ信号記録層とし、前記第ｋ信号記録層を表面に有する基板を第ｋ信号基板とし、第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有するスタンパを第（ｋ−１）スタンパとし、第ｋ信号記録層と前記第（ｋ−１）信号記録層との間にある分離層を第（ｋ−１）分離層とする時、
現在のまたは過去に製造された一つまたは複数の前記ｋ信号基板の面形状を測定する測定手段と、
前記第（ｋ−１）スタンパの前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットを有する面を前記ｋ信号基板の面形状に対応するような形状にする形状維持手段と、
その第（ｋ−１）スタンパを利用して前記第（ｋ−１）信号記録層を形成する信号記録層形成手段と、前記第（ｋ−１）分離層と前記第（ｋ−１）スタンパとの界面より前記第（ｋ−１）スタンパを剥離する剥離手段とを備えた多層光情報記録媒体の製造装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
また、第３９の本発明は、前記第ｋ信号基板が反っている時、前記第ｋ信号基板の反りに応じて、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットと、前記第ｋ信号記録層が沿うように、前記形状維持手段が前記第（ｋ−１）スタンパを保持する機構を有する第３８の本発明の多層光情報記録媒体の製造装置である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
また、第４０の本発明は、前記形状維持手段は、テーブル状であり、前記第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及び／またはピットと前記第ｋ信号記録層とが沿うように、前記第（ｋ−１）スタンパと接する表面形状を有する第３９の本発明の多層光情報記録媒体の製造装置である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
また、第４１の本発明は、前記形状維持手段は、前記第（ｋ−１）スタンパと前記第ｋ信号基板との少なくとも一方の、前記第（ｋ−１）分離層が形成されない面を真空吸引により支持する第３８の本発明の多層光情報記録媒体の製造装置である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３８】
次に、図９（ｃ）に示すように、転写層用紫外線硬化樹脂９０３をコートされた第（ｋ−１）スタンパ９０２と、感圧性接着剤９０１が重ねられた第ｋ信号基板９００とを、チャンバ９０８内で重ねる。この時、チャンバ９０８内の真空度は１〜１００ｈＰａとする。Ｄ２＜Ｄ１であるため、感圧性接着剤９０１と第（ｋ−１）スタンパ９０２とは接触することはない。これは、第（ｋ−１）分離層形成後、第（ｋ−１）スタンパ９０２を剥離する工程において、感圧性接着剤９０１が第（ｋ−１）スタンパ９０２に直接接触して第（ｋ−１）スタンパ９０２を剥離できなくなることを防ぐためである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４１】
以上図９に示す工程で重要なことは、感圧性接着剤と転写層用紫外線硬化樹脂の材料選定である。感圧性接着剤は、第ｋ信号記録層と硬化後の転写層用紫外線硬化樹脂とに接着強度をもつものである必要がある。一方、転写層用紫外線硬化樹脂は、硬化後第（ｋ−１）スタンパと剥離し易いものであることが重要であるのは言うまでもない。このような図９に示す工程の後、実施の形態１同様図６に示す剥離工程を行うことができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６５】
（実施の形態５）
実施の形態５として、多層光情報記録媒体の製造装置を説明する。製造装置は、第ｋ信号基板と第（ｋ−１）スタンパを、第ｋ信号記録層と第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットを有する面を対向させて配置し、第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板とが互いに沿うような形状に保持する形状維持手段と、第（ｋ−１）スタンパと第ｋ信号基板との少なくとも一方が前記形状維持手段によって互いに沿うような形状に保持されている状態において、第ｋ信号記録層と第（ｋ−１）信号記録層の案内溝及びピットの間に第（ｋ−１）分離層を形成する分離層形成手段と、第（ｋ−１）分離層と第（ｋ−１）スタンパの界面より第（ｋ−１）スタンパを剥離する剥離手段を有している。図１４、図１５に形状維持手段と分離層形成手段の例を示す。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６９】
そして、第ｋ信号基板３０６の形状の測定は、例えば、工場が稼働する朝一番に前日に製造されたｋ信号基板３０６の形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ５００の形状を決めてもよい。また、第ｋ信号基板３０６が製造される毎に一枚一枚第ｋ信号基板３０６の形状を測定し、その測定結果に基づいて第（ｋ−１）スタンパ５００の形状を決めてもよい。また、ロット毎にｋ信号基板３０６の形状を測定した実績を用いて、第（ｋ−１）スタンパ５００の形状を決めてもよい。
【国際調査報告】
2003081584.tif 000050
2003081584.tif 000051
2003081584.tif 000052
2003081584.tif 000053