【事件の表示】
　特願２００９−２１８４２７「加工装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　４月　７日出願公開、特開２０１１−　６７８７６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯と本件発明
　本願は平成２１年９月２４日に出願され、平成２３年７月２６日付拒絶理由通知に対して平成２３年１０月３日に意見書と手続補正書が提出され、さらに、平成２３年１１月１１日付拒絶理由通知に対して平成２４年１月１６日に意見書と手続補正書が提出されたが、平成２４年２月２３日付で平成２４年１月１６日付手続補正が却下されるとともに、拒絶査定がなされたものである。これに対し、請求人は平成２４年５月２８日に該査定の取消を求めて審判を請求すると同時に、明細書と特許請求の範囲を補正対象とする手続補正書を提出した。その後、当審による平成２４年９月２８日付審尋に対して平成２４年１２月３日に回答書が提出され、平成２５年３月４日付拒絶理由通知に対して平成２５年５月７日に意見書と手続補正書が提出されている。
　本願の請求項１ないし３に係る発明は、平成２５年５月７日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明は次のとおりである。
「回転して被加工物を切断もしくは被加工物に対して溝入れするダイシング用の円板状の砥石と、
　前記砥石の外周部に設けられた切削部に前記砥石の径方向から対向するとともに前記砥石の幅方向に位置調節可能に設けられ、前記砥石に向けて切削水を吐出するノズルと、
を備え、
　前記ノズルの断面形状は、前記砥石の幅方向に沿った方向の寸法が、前記砥石の周方向に沿った方向の寸法より大きい矩形状、もしくは楕円形状に形成されていて、切削水の水圧が最も高くなる範囲が前記ノズルの幅方向に沿って広がっており、
　前記砥石の幅方向の中心が、前記ノズルから吐出される切削水の水圧が最も高くなる範囲内に位置して前記砥石の両側の水圧差が調整され得るように、前記砥石の幅方向に対する前記ノズルの位置が調節可能とされていることを特徴とする加工装置。」（以下、「本件発明」という。）
　
２．当審の拒絶理由の概要
　当審が平成２５年３月４日に通知した拒絶理由は、概略、本願の請求項１ないし３に係る発明が、本願の出願前に頒布された以下の刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
　刊行物１：　実公昭４６−８６８号公報
　刊行物２：　特開２００７−２７３５２７号公報
　
３．刊行物に記載された発明または事項
3.1　刊行物１
　刊行物１には、以下の記載が見いだされる。
ａ．（第１欄第１５，１６行）
「本考案はタイル、石材等の材料に切断、或は溝切加工を行う装置に関する。」
ｂ．（第１欄第２６行〜第２欄第１８行）
「図面に於いて、切断用研削車１は、その一部を基板２上面に長孔３を貫通して突出させて回動可能に設けられており、前記長孔の一端と前記研削車との間には、冷却水噴射ノズル４を開口させる
　このノズルは研削車回転軸線に対し平行な平面をなす如く圧扁され、噴流は研削車と被加工体５とが接触を開始する部位に指向する如くしてある
　このような装置にあつて被加工体５に溝切りを行うに際しては、第１図に示す如く、基板２上面に被加工体５を接触させ研削車１の方向に押進し研削車により溝切りを行うものであるが、研削車と研加工体とが接触し、加工の開始されつつある部位に対し、ノズル４から冷却水が噴射されるので、冷却は良好完全に行われる。
　又、この時、冷却水は前記部位に指向されるのみでなく、基板２の裏面の長孔３両側をあたかも１枚の水膜の如き状態で流過するので、（以下省略）。」
ｃ．（第２欄第２０〜２６行）
「基板上面に基板に設けた長孔を貫通して研削車の一部を突出させ、前記基板下面には前記研削車の回転軸と略々平行な平面をなす如く圧扁した形状をなし前記長孔幅より大きな開口幅を有するノズルを、このノズルからの噴流が前記研削車と被加工体が接触を開始する点に略々指向される如く設けて成るタイル等の切断装置。」
ｄ．（第１図〜第３図）
　研削車１が円板状であること、研削車１の外周部の接触開始部位にノズル４が径方向から対向すること、ノズル４は研削車の軸線に平行な方向の寸法が周方向に沿った寸法より大きい偏平な断面形状を有すること、が理解される。
　上記記載事項を本件発明の記載に倣って整理すると、刊行物１には次の発明が記載されているということができる。
「回動してタイル、石材等の被加工体を切断もしくは被加工体に対して溝切りする円板状の研削車と、
　前記研削車の外周部の接触開始部位に前記研削車の径方向から対向し、前記研削車に向けて冷却水を吐出するノズルと、
を備え、
　前記ノズルの断面形状は、前記研削車の軸線方向に沿った方向の寸法が、前記研削車の周方向に沿った方向の寸法より大きく偏平に形成されている、切断装置。」（以下、「刊行物１記載の発明」という。）の発明が記載されていると認める。
　
3.2　刊行物２
　刊行物２には、以下の記載が見いだされる。
ａ．（明細書段落２）
「【０００２】
　従来から、ＩＣ，ＬＳＩ等のデバイスが分割予定ラインによって区画され形成されたウエーハは、切削ブレードを含む切削装置によって分割予定ラインが切削され個々のデバイスに分割されパッケージングされて、携帯電話、パソコン等の電子機器に利用される。」
ｂ．（同段落４，５）
「【０００４】
　また、切削手段には、切削ブレードの切刃外周部に切削水を供給する切削水噴射ノズル手段が配設されており、切削ブレードの切刃外周部に切削水を噴射させて切削ブレードの切削点を冷却するとともに洗浄することで、切削ブレードによる切削効率の向上を図っている（例えば、特許文献１参照）。
　【０００５】
　ここで、切削水噴射ノズル手段による切削水の噴射は、切削水がブレード表裏両面に対して均等に分散するように切削ブレードの切刃外周部の中央部に対して行わせることが重要である。そこで、従来の切削装置は、切削ブレードの切刃外周部に対する切削水噴射ノズル手段の噴射ノズルの位置を調整するための調整手段を備え、作業者が鏡等を利用して切削ブレードと噴射ノズルとの位置関係を目視で確認しながら噴射ノズルの位置調整を行うようにしている。」
ｃ．（同段落８）
「【０００８】
　切削ブレードの切刃外周部の中央部に噴射ノズルの噴射口を位置づけられないと、切削水がブレード表裏両面に対して均等に分散するように供給されず、切削加工時の発熱の冷却が不十分となってブレード焼けを生じ切削ブレードが異常磨耗するとか、ブレード曲がりにより切削ブレードが破損するとか、切削不良により切削ブレードが曲がって被加工物にカーフずれが生ずるとか、切削水による洗浄が不十分で切削ブレードのコンタミネーションを除去できないとか、切削不良によるチッピングレベルの悪化を生ずるといった問題を生じ、加工品質が安定しなくなってしまう。」
ｄ．（同段落１０）
「【００１０】
　上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された前記被加工物を切削する切削手段と、を備える切削装置であって、前記切削手段は、切削ブレードと、該切削ブレードを支持するマウントと、該マウントに連結されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、該ハウジングに固定され前記切削ブレードを覆うブレードカバーと、該ブレードカバーに配設され前記切削ブレードの切刃外周部に切削水を供給する噴射ノズルを有する切削水噴射ノズル手段と、を備え、前記切削水噴射ノズル手段は、前記切削ブレードの前記切刃外周部を撮像する撮像部と、該撮像部が撮像した画像を表示する表示部と、前記切削ブレードの回転軸心方向の所要位置に前記噴射ノズルを位置づける噴射ノズル位置調整部と、を備えることを特徴とする。」
ｅ．（同段落１７）
「【００１７】
（実施の形態１）
　図１は、本発明の実施の形態１の切削装置の構成例を示す概略斜視図である。本実施の形態１の切削装置１０は、半導体ウエーハ、ＣＳＰ基板等の板状物を切削するための装置であり、例えば半導体ウエーハＷをダイシングする場合は、被加工物１１は、半導体ウエーハＷが保持テープＴを介してフレームＦと一体となった状態でカセット部１２に複数収容される。本実施の形態１の切削装置１０は、搬出入手段１３、搬送手段１４、洗浄手段１５、搬送手段１６とともに、フレームＦと一体となった半導体ウエーハＷからなる被加工物１１を保持するチャックテーブル１７と、アライメント用のカメラ１８と、チャックテーブル１７に保持された被加工物１１を切削する切削手段２０と、を備える。」
ｆ．（同段落２１）
「【００２１】
　ここで、切削手段２０の構成について説明する。図２は、本実施の形態１の切削手段２０の構成例を示す分解斜視図であり、図３は、その組立て状態の斜視図である。本実施の形態１の切削手段２０は、切削ブレード２１と、切削ブレード２１を支持するマウント２２と、水平方向（Ｙ軸方向）に軸心を有して先端がマウント２２に連結されるスピンドル２３と、スピンドル２３を回転可能に支持するハウジング２４と、ハウジング２４に固定され切削ブレード２１を覆うブレードカバー２５と、ブレードカバー２５に配設され切削ブレード２１の切刃外周部２１ａに切削水を供給する噴射ノズル４１を有する切削水噴射ノズル手段４０とを備える。」
ｇ．（同段落２３〜２５）
「【００２３】
　切削水噴射ノズル手段４０は、切削水供給部４２に対して開閉弁４３を介して連結されて、切削ブレード２１の切刃外周部２１ａに切削水を供給する流通経路４４（図４−１、図４−２参照）を形成する略Ｌ字状の噴射ノズル４１を主として構成され、噴射ノズル４１が埋め込まれた取り付けブロック４５を第一のカバー部２５ａに取り付けることにより噴射ノズル４１の噴射口４１ａが切刃外周部２１ａに対向するようにブレードカバー２５に配設される。ここで、取り付けブロック４５は、矩形状の溝部４５ａが第一のカバー部２５ａの一端面に分離形成された矩形状のガイドレール２５ｄ，２５ｅ間に亘って嵌合することにより回転防止されつつ前後方向（Ｙ軸方向）にスライド可能とされている。
　【００２４】
　また、本実施の形態１の切削水噴射ノズル手段４０は、噴射ノズル４１に加え、撮像部４６と表示部４７と噴射ノズル位置調整部４８とエアー供給部４９とを備える。図４−１、図４−２は、撮像部４６の取り付け構成例を示す概略的な縦断正面図であり、図４−１は、ダイシング時の様子を示し、図４−２は、調整時の様子を示す。撮像部４６は、切削ブレード２１の切刃外周部２１ａに正対してＣＣＤ等の撮像素子を用いて切刃外周部２１ａを撮像するためのものであり、図４−１、図４−２に示すように、噴射ノズル４１の噴射口４１ａに至るＸ軸方向に水平な流通経路４４の延長線上に位置させて噴射ノズル４１と一体に配設されている。ここで、撮像部４６は、撮像素子に結像するための対物レンズ５０が流通経路４４に臨む境界部分に気密状態で配設されている。表示部４７は、撮像部４６が撮像した画像を表示するためのものであり、例えば切削装置１０の上部等の適宜箇所に配設されたモニタが用いられる。
　【００２５】
　図５は、噴射ノズル位置調整部４８の構成例を示す概略的な水平断面図である。噴射ノズル位置調整部４８は、ボールネジ５１を有する調整棒５２と、撮像部４６を一体に有する取り付けブロック４５に形成されてボールネジ５１に螺合するナット４５ｂを有する係合部４５ｃとからなる。調整棒５２は、ボールネジ５１がガイドレール２５ｄ，２５ｅ間に位置するようにガイドレール２５ｄ，２５ｅの貫通孔２５ｆ，２５ｇを貫通させるとともに操作つまみ５３と抜け止めリング５４とにより抜け止めされて回転自在に設けられたものである。係合部４５ｃは、取り付けブロック４５の溝部４５ａの噴射ノズル４１に対応する中央位置に一体に設けられたもので、ナット４５ｂがボールネジ５１に螺合することにより、調整棒５２の回転操作方向に従いＹ軸方向の前側または後側に変位移動する。これにより、噴射ノズル位置調整部４８は、切削ブレード２１の回転軸心方向（Ｙ軸方向）の所要位置に噴射ノズル４１を位置づけ可能に構成されている。」
ｈ．（同段落３１）
「【００３１】
　そこで、図３中に示すように、切刃外周部２１ａの画像Ａが、ノズル中心ＣＮからずれている場合には、操作つまみ５３を回動操作して噴射ノズル位置調整部４８の作用により取り付けブロック４５の位置、したがって撮像部４６および噴射口４１ａの位置をＹ軸方向に変位移動させることにより、撮像部４６により撮像される切刃外周部２１ａの画像Ａの位置にノズル中心ＣＮの位置を一致させる。」
ｉ．（同段落３３）
「【００３３】
　図６は、切削ブレード２１の切刃外周部２１ａの中央部に噴射ノズル４１の噴射口４１ａが正確に位置づけられた様子を示す底面図である。本実施の形態１によれば、上述のように、切刃外周部２１ａの中央部に噴射口４１ａが正確に位置づけられるので、図４−１等に示すようなダイシング時には、切削ブレード２１の表裏両面に対して均等に分散するように切削水を噴射させて冷却および洗浄を行わせることができる。よって、切削ブレード２１の異常磨耗、ブレード破損等の問題を回避して、加工品質を安定化させることができる。」
ｊ．（図２）
　切削ブレード２１が円板状であることが理解される。
ｋ．（図６）
　ノズルの位置調節の結果、ノズル４１の中心位置が、切削ブレード２１の切刃外周部の中心位置に一致することが理解される。
　上記を整理すると、刊行物２には以下の事項が記載されているということができる。
「回転して半導体ウエーハをダイシングする円板状の切削ブレードの表裏両面には、切削水が均等に分散するように供給されなければブレード曲がりを生じ、これを防止するために、切削水噴射ノズルを砥石の回転軸線方向に位置づけ可能に設け、ブレードの切刃外周部の中心位置にノズル中心の位置を一致させること。」（以下、「刊行物２記載の事項」という。）
　
４．対比
　本件発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「回動」、「被加工体」「溝切り」、「研削車」、「軸線方向」及び「切断装置」が、前者の「回転」、「被加工物」、「溝入れ」、「砥石」、「幅方向」及び「加工装置」にそれぞれ相当することは明白であり、また、後者の「接触開始部位」は、研削車の外周が被加工物に接触を開始する部位を指すことは明白であって、被加工物材料の除去が生じる部位であるから、前者の「切削部」に相当する。後者の「冷却水」は、切削部を冷却するとともに、切削屑を洗い流す作用もあることは当業者にとって明らかであって、「切削水」と呼ぶことができるものである。
　そうしてみると、本件発明と刊行物１記載の発明とは、以下の点で一致及び相違するものということができる。
＜一致点＞
「回転して被加工物を切断もしくは被加工物に対して溝入れする円板状の砥石と、
　前記砥石の外周部に設けられた切削部に前記砥石の径方向から対向するとともに前記砥石に向けて切削水を吐出するノズルと、
を備え、
　前記ノズルの断面形状は、前記砥石の幅方向に沿った方向の寸法が、前記砥石の周方向に沿った方向の寸法より大きく形成されている、加工装置。」である点。
＜相違点１＞
　砥石が、前者ではダイシング用であるのに対し、後者ではタイル、石材等の切断、溝切り用である点。
＜相違点２＞
　ノズルの断面形状が、前者では矩形状、もしくは楕円形状に形成されていて、切削水の水圧が最も高くなる範囲が前記ノズルの幅方向に沿って広がっているのに対し、後者ではこのような特定がない点。
＜相違点３＞
　前者では、ノズルが砥石の幅方向に位置調節可能に設けられ、砥石の幅方向の中心が、ノズルから吐出される切削水の水圧が最も高くなる範囲内に位置して前記砥石の両側の水圧差が調整され得るように、砥石の幅方向に対するノズルの位置が調節可能とされているのに対し、後者ではこのようにされていない点。
　
５．当審の判断
　上記各相違点について検討する。
　
5.1　＜相違点１＞について
　半導体ウェハ等をダイシング用砥石でダイシングすること、及び、そのためのダイシング用砥石は従来周知である。
　半導体ウェハは、刊行物１記載の発明が加工対象とするタイルや石材と同様の硬脆質の材料であるから、タイルや石材の切断あるいは溝入れを目的とする刊行物１記載の発明の加工装置を半導体ウェハ等のダイシングに転用することは当業者が容易に想到し得るものであり、そのために砥石をダイシング用のものとすることは加工対象の変更に伴う当然の選択にすぎない。
　
5.2　＜相違点２＞について
　刊行物１記載の発明のノズルは、砥石の幅方向の寸法が周方向に沿った寸法より大きい偏平な断面形状を有しており、このような断面形状のノズルでは、切削水の流速が最大の範囲がノズルの幅方向に沿って広がりをもつことは、当業者であれば理解し得るところである。
　本件発明において、切削水は大気中に放出されて大気圧以外の静圧はもたないから、「水圧が最も高くなる範囲」とは動圧、ひいては総圧が最大となる範囲を指すものと解される。しかるに、動圧は流速の二乗に比例するため、動圧または総圧が最大となる範囲は、流速が最大の範囲と一致する。
　したがって、刊行物１記載の発明のノズルにおいて、切削水の流速が最大の範囲は水圧が最大となる範囲であるから、切削水の水圧が最も高くなる範囲は、流速同様、ノズルの幅方向に広がりをもつものであって、本件発明と共通する。
　刊行物１記載の発明のノズルの偏平な断面形状を矩形状、もしくは楕円形状としても、ノズルの幅方向両端付近のみにおける形状、ひいては流速と水圧に影響を与えるものにすぎず、流速と水圧が最大となるノズルの幅方向中央付近の流速と水圧に影響を与えるものではないから、断面形状を矩形状または楕円形状とすることは、当業者が適宜選択し得る設計事項にすぎない。
　
5.3　＜相違点３＞について
　刊行物２には、半導体ウエーハのダイシング用の切削ブレード、すなわちダイシング砥石に対し、切削水を供給するノズルを、砥石の回転軸線方向、すなわち幅方向に位置調節可能に設けて、ノズル中心の位置を砥石外周の中心の位置、すなわち幅方向の中心に一致させることが記載されている。
　刊行物２記載の事項のノズルであっても、ノズルから吐出される切削水は、ノズル中心位置付近の範囲内において流速が最大かつほぼ一様となることは流体力学上の常識であり、5.2で述べたように、流速が最大の範囲は水圧が最大の範囲でもある。
　したがって、刊行物２には実質的に、ノズルが砥石の幅方向に位置調節可能に設けられ、砥石の幅方向の中心が、ノズルから吐出される切削水の水圧が最も高くなる範囲内に位置するように、砥石の幅方向に対するノズルの位置が調節可能とすることが記載されているということができる。そして、ノズル中心付近の範囲では流速、ひいては水圧がほぼ一定であるから、砥石の両側の水圧差はほぼ解消、すなわち調整される。
　刊行物１記載の発明のように偏平な形状のノズルを用いても、砥石の幅方向全域にわたって切削水の流速、したがって水圧を正確に一様とすることが極めて困難であることは、当業者間で普通に知られた事項である。したがって、刊行物１記載の発明においても、刊行物２に記載されたように、ノズルを砥石幅方向に位置調節可能として、砥石の両側の水圧差が調整され得るようにすることは、当業者が当然試みるものである。
　
5.4　本件発明の作用効果について
　本件発明において、ノズルを砥石の幅方向に長い断面形状としたことにより、ノズル位置の調節に微妙な操作が不要となるという作用効果は、刊行物１の記載事項ｃにみられるように、砥石の幅方向に長い断面形状をもつノズルを用いて、ノズル位置を調節することなく、長孔の両側、すなわち砥石の両面に十分な切削水を供給することができることから、普通に予測される程度のものである。また、本件発明の上記以外の作用効果にも、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び従来周知の技術事項に基づいて普通に予測される範囲を超える格別のものを見出すことはできない。
　
5.5　まとめ
　以上のとおりであるから、本件発明は刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び従来周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものというべきである。
　
６．むすび
　本願の請求項１に係る発明は、上述のとおり、本願の出願前に頒布された刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、請求項２及び３に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきである。
　よって、結論のとおり審決する。
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