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　特願２００９−５０８５００「真空ポンプ」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年１１月２２日国際公開，ＷＯ２００７／１３２２５９，平成２１年１０月１５日国内公表，特表２００９−５３６７０７〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は，成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願の発明　
　本願は，２００７年（平成１９年）　４月１６日（パリ条約による優先権主張外国庁受理　２００６年（平成１８年）　５月１１日，英国）を国際出願日とする特許出願であって，平成２４年　９月１９日付けで拒絶査定がなされ，この査定を不服として，平成２５年　１月２４日に本件審判が請求された。　
　そして，この出願の請求項１〜１５に係る発明は，平成２４年　５月２５日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜１５に記載された事項により特定されるものと認められるところ，そのうちの請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は，次のとおりである。
「【請求項１】　
　ステータ部品と，少なくとも１つのロータ部品と，を有する，塩素，三塩化ホウ素，臭化水素，フッ素，および三フッ化塩素の少なくとも１つを排気するための乾式真空ポンプにおいて，　
　ステータ部品および／または前記少なくとも１つのロータ部品は，オーステンパダクタイル鋳鉄で形成される，　
　ことを特徴とする乾式真空ポンプ。」　
　
２．引用例とその記載事項　
　原査定における拒絶の理由で引用された本願の優先権主張の日前に頒布された刊行物である特開２００５−９８２１０号公報（以下，「引用例１」という。）には，「多段ドライポンプ」に関し，図面とともに次の事項が記載されている。　
　
・「【技術分野】　
【０００１】　
　本発明は回転軸の軸長方向において複数のロータを並設状態に担持したロータ回転部材を備えた多段ドライポンプに関する。ドライポンプはポンプ室に潤滑油を使用することを抑えつつ減圧状態を形成するポンプである。　
　
・「【０００４】　
　ここで，二個一組のロータ回転部材のうちロータ同士の間，ロータとポンプハウジングの内壁面との間に，わずかな隙間を保ちながら，ロータが回転する。このような多段ドライポンプによれば，到達真空度や排気速度等のポンプの性能を良くするためには，この隙間をできる限り小さく保つことが好ましい。」　
　
・「【発明が解決しようとする課題】　
【０００５】　
　上記した多段ドライポンプによれば，ポンプ室の内部を比較的高い温度に保持してポンプを運転することが好ましいことがある。例えば，半導体製造工程，液晶部品製造工程等においては，反応生成物を析出しやすい気体，凝縮性気体等の気体を主吸引口から吸引して主排気口から排気することがある。この場合には，ポンプ内部でそれらの気体が液化または固体化しないように，気体のままポンプのポンプ室内を通過させることが好ましい。気体の液化または固体化がポンプ室内で生じると，ロータの円滑回転性が損なわれるおそれがある。気体の液化または固体化を抑制するためには，ポンプ室の内部を比較的高い温度に保持することが好ましい。」　
　
・「【００１１】　
　また他の従来例として，繭形をなすロータ自体が線膨張係数の小さなオ−ステナイト系鋳鉄で構成されている場合もある。しかしながらオ−ステナイト系鋳鉄は粘くて切削加工が容易ではない難切削材である。この場合，繭形のロータは難切削材で形成されているにもかかわらず，複雑なプロフィールが必要されるばかりか，上記した微小な隙間を保持するための精密な加工とが必要とされるため，生産性やコストの面で問題となっていた。　
【００１２】　
　本発明は前述した実情に鑑みてなされたものであり，その課題は，ポンプ室の温度を高温化するとき特に問題となる熱膨張を小さくすることができ，ひいてはロータとポンプハウジングのポンプ室の内壁面との間で熱膨張によりロータロック現象が発生することを抑制でき，さらにまた，プロフィールが複雑であり加工に高い精度が要求されるロータを，加工しやすくし，製造コストを低減できるようにした多段ドライポンプを提供することにある。」　
　
・「【００１６】　
　さらに様相１に係る多段ドライポンプによれば，プロフィールが複雑で加工に高い精度が要求されるロータは，回転軸よりも加工性がよい材料で形成されているため，ロータは加工しやすく，製造コストの低減に有利である。回転軸よりも加工性がよい材料としては，アルミニウム，アルミニウム合金，片状黒鉛鋳鉄，球状黒鉛鋳鉄，いも虫状黒鉛鋳鉄，共晶黒鉛鋳鉄，炭素鋼のうちの少なくともいずれかが例示される。」　
　
・「【００３０】　
　１は多段ドライポンプを示す。多段ドライポンプ１は上下に分離されたポンプハウジング２，２’を有する。本明細書では上付きの『’』は，対をなすものを意味する。このポンプハウジング２，２’内においては，隔壁５，６，７で仕切られた第一段目ポンプ室８，第二段目ポンプ室９，第三段目ポンプ室１０，第四段目ポンプ室１１の複数個（４個）のポンプ室が形成されている。このような４個のポンプ室８，９，１０，１１は，この順序で，ドライポンプ１の主吸気口３から主排気口４に至る間に一方向に並設されている。上側のポンプハウジング２においては，多段ドライポンプ１のうち対象室９０に連通する主吸気口３が第一段目ポンプ室８の吸気口８ｘと連通するように形成されている。また下側のポンプハウジング２’においては，大気に連通する主排気口４が第四段目ポンプ室１１の排気口１１ｘと連通するように形成されている。　
【００３１】　
　ポンプ室容積については，ポンプ室８，９，１０，１１の順に小さく設定されており，主吸気口３側の第一段目ポンプ室８の容積が最も大きく，主排気口４側の第四段目ポンプ室１１の容積が最も小さくされている。従って，ポンプ室の軸長サイズについては，ポンプ室８，９，１０，１１の順に小さく設定されており，主吸気口３側の第一段目ポンプ室８の軸長サイズが最も大きく，主排気口４側の第四段目ポンプ室１１の軸長サイズが最も小さくされている。　
【００３２】　
　これは主として次の理由による。即ち，ポンプ室８，９，１０，１１の順に，吸引側と排出側との圧力の差が大きくなる。即ち，ポンプ室１１では，吸引側と排出側との圧力の差が他のポンプ室８，９，１０よりも大きくなる。このため，主排気口４側の第四段目ポンプ室１１の圧縮仕事が最も大きく，第四段目ポンプ室１１において発生する圧縮熱が最も大きく，主排気口４側の第四段目ポンプ室１１の温度は，他のポンプ室８，９，１０の温度よりも高くなる。そこで，ポンプ室８，９，１０，１１のポンプ室容積を下流に向かうにつれて小さくし，主吸気口３側の第一段目ポンプ室８と主排気口４側の第四段目ポンプ室１１との圧縮仕事の差が過剰に大きくならないようにしている。この結果，第一段目ポンプ室８と第四段目ポンプ室１１との圧縮熱の差が過剰に大きくならないようになる。なお。図１に示すように，ポンプハウジング２，２’は，内蔵している回転軸１６，１６’の軸長方向にそって延設されている。　
【００３３】　
　図５に示すように，第一段目ポンプ室８内では，二個一対の回転軸１６，１６’に雛型形状の二個一対の第一段目ロータ１２，１２’が回転可能に配置されている。同様に，第二段目ポンプ室９内では２つの回転軸１６，１６’に雛型形状の二個一対の第二段目ロータ１３，１３’が回転可能に配置されている。また図２及び図５に示すように，第三段目ポンプ室１０内では，互いに並設されている二個一対の回転軸１６，１６’のそれぞれに，雛形状をなす二個一対の第三段目ロータ１４，１４’が回転可能に配置されている。同様に，第四段目ポンプ室１１内では，二個一対の回転軸１６，１６’に雛型形状の二個一対の第四段目ロータ１５，１５’が回転可能に配置されている。　
【００３４】　
　図１に示すように，回転軸１６，１６’の軸長方向において互いに隣設するポンプ室８，９は，気体移送通路１７で連通されている。回転軸１６，１６’の軸長方向において互いに隣設するポンプ室９，１０は，気体移送通路１８で連通されている。回転軸１６，１６’の軸長方向において互いに隣設するポンプ室１０，１１は，気体移送通路１９で連通されている。これにより主吸気口３から矢印Ａ１方向に吸引した気体を，四段で圧縮して主排気口４から矢印Ａ２方向に排気するようになっている。　
【００３５】　
　また図１に示すように，ポンプハウジング２，２’は，主吸気口３側ではサイドカバー２２と一体となっており，且つ，主排気口４側ではサイドカバー２３と一体となっている。この主吸気口３側のサイドカバー２２には，主吸気口３側の軸受２４，２４’が設けられている。同様に，主排気口４側のサイドカバー２３には，主排気口４側の軸受２５，２５’が設けられている。一方の回転軸１６の両端部は，軸受２４，２５で回転可能に支持されている。他方の回転軸１６’の両端部は，軸受２４’，２５’で回転可能に支持されている。一方の回転軸１６はモータ２０に接続されて駆動軸とされている。他方の回転軸１６’はモータ２０に接続されておらず，従動軸とされている。　
【００３６】　
　ここで，回転軸１６，１６’に噛合するように取り付けられたタイミングギア２１，２１’を介して，二個一対の回転軸１６，１６’は連動して一体的に互いに逆方向に回転する。図１に示すように，サイドカバー２３の軸端にはエンドカバー２６が取り付けられている。エンドカバー２６の油室２６ｃにはタイミングギア２１，２１’が収容されている。油室２６ｃには，タイミングギア２１，２１’等の駆動機構を潤滑する油２７が収容されている。サイドカバー２３と回転軸１６，１６’の外周面との間には，油室２６ｃの油２７がポンプ室１１側に進入することを抑えるシール部材４０が装備されている。　
【００３７】　
　図２に示す二個一対のロータ１４，１４’は互いに逆回転し，ロータ１４，１４’が収容されているポンプ室１０で吸気・排気が行なわれるようになっている。同様に，回転軸１６，１６’に取り付けられている二個一対の各ロータ１２，１２’は，互いに逆回転し，ロータ１２，１２’を収容するポンプ室８で吸気・排気が行なわれるようになっている。同様に，回転軸１６，１６’に取り付けられている二個一対のロータ１３，１３’は互いに逆回転し，ロータ１３，１３’が収容されているポンプ室９で吸気・排気が行なわれるようになっている。また回転軸１６，１６’に取り付けられている二個一対のロータ１５，１５’は，互いに逆回転し，ロータ１５，１５’を収容するポンプ室１１で吸気・排気が行なわれるようになっている。　
【００３８】　
　図２において，二個一対のロータ１４，１４’同士の間にわずかな隙間が形成されており，ロータ１４，１４’同士は非接触となるように配置されている。また二個一対のロータ１４，１４’については，ロータ１４，１４’の外壁面とポンプ室１０の内壁面との間にわずかな隙間が形成されており，互いに非接触となるように配置されている。他の二個一対のロータ１２，１２’，二個一対のロータ１３，１３’，二個一対のロータ１５，１５’についても同様とされている。」　
　
・「【００４３】　
　さて本実施形態によれば，二個一対の回転軸１６，１６’は線膨張係数が６×１０-6ｍ／ｍ・Ｋ以下，殊に４×１０-6ｍ／ｍ・Ｋ以下の金属材料で形成されている。具体的には，ニッケルリッチ（ニッケル：３０〜４０重量％）のオーステナイト系材料（例えばオーステナイト系鋳鉄）で形成されている。これにより回転軸１６，１６’はポンプ室８，９，１０，１１に架設されているため軸長寸法が長いものの，軸長方向における熱膨張が抑えられている。　
【００４４】　
　またポンプハウジング２，２’は，回転軸１６，１６’と同じように，線膨張係数が６×１０-6ｍ／ｍ・Ｋ以下，殊に４×１０-6ｍ／ｍ・Ｋ以下に設定された熱膨張しにくい材料で形成されている。具体的には，ニッケルリッチ（ニッケル：３０〜４０重量％）のオ−ステナイト系材料（例えばオ−ステナイト系鋳鉄）で形成されている。上記したオーステナイト系鋳鉄は球状黒鉛鋳鉄でも片状黒鉛鋳鉄でも良いが，球状黒鉛鋳鉄の方が，耐食性の向上，熱伝達率の低減，強度増加等に有利である。　
【００４５】　
　また一方の回転軸１６の外周部に担持されているロータ１２，１３，１４，１５は，加工性の良いアルミニウムまたはアルミニウム合金，片状黒鉛鋳鉄，球状黒鉛鋳鉄，いも虫状黒鉛鋳鉄，共晶黒鉛鋳鉄，炭素鋼等の金属材料で形成されている。同様に，他方の回転軸１６’の外周部に担持されているロータ１２’，１３’，１４’，１５’は，加工性の良いアルミニウムまたはアルミニウム合金，片状黒鉛鋳鉄，球状黒鉛鋳鉄，いも虫状黒鉛鋳鉄，共晶黒鉛鋳鉄，炭素鋼等の金属材料で形成されている。」　
　
・「【００５４】　
　前記した材料は，ニッケルリッチのオーステナイト系材料（例えばオ−ステナイト系鋳鉄）は粘いため加工がしにくく，且つ，切削工具の摩耗も大きく，従って，高い精度を必要とする繭形のプロフィールをもつロータ１２，１３，１４，１５，１２’，１３’，１４’，１５’において，特に生産性や製造コストに問題がある。この点本実施形態によれば，ロータ１２，１３，１４，１５，１２’，１３’，１４’，１５’は，回転軸１６，１６’の基材であるオ−ステナイト系鉄（例えばオ−ステナイト系鋳鉄）よりも加工しやすい材料で構成されているため，高い精度を必要とするプロフィールをもつ前記したロータ１２，１３，１４，１５，１２’，１３’，１４’，１５’を容易に形成でき，生産性を高めてコストを低廉化させることができる。」　
　
・「【００５９】　
　・・・。殊に，回転軸１６，１６’，ポンプハウジング２，２’を構成するオーステナイト系材料がオーステナイト系の球状黒鉛鋳鉄であれば，黒鉛が片状ではなく球状であるため，強度を確保するのに有利であるばかりか，熱伝達率を小さくするのに有利であり，ポンプ温度を高くするのに貢献できる。　
【００６０】　
　また多段ドライポンプ１で吸引搬送される気体が腐食性を有する場合であっても，回転軸１６，１６’，ポンプハウジング２，２’は，耐食性が良好なニッケルリッチのオーステナイト系材料（例えばオーステナイト系鋳鉄）で形成されているため，耐食性が確保される。よって，多段ドライポンプを長期にわたり使用したとしても，腐食劣化に起因する隙間増加が抑制され，隙間を介しての気体の逆流を防止するのに有利である。殊に，回転軸１６，１６’，ポンプハウジング２，２’を構成するオーステナイト材料がオーステナイト系の球状黒鉛鋳鉄であれば，黒鉛が片状ではなく球状であるため，片状黒鉛鋳鉄に比較して耐食性が良好であり，気体が腐食性を有する場合に適する。」　
　
 ・「【００６５】　
　上記した実施形態によれば，ロータ１２，１３，１４，１５，ロータ１２’，１３’，１４’，１５’をニッケルリッチのオ−ステナイト系鋳鉄よりも加工性が良いアルミニウムやアルミ合金，片状黒鉛鋳鉄や球状黒鉛鋳鉄，いも虫状黒鉛鋳鉄，共晶黒鉛鋳鉄，炭素鋼等で形成しているが，耐触性を更に向上させるために，ニッケルメッキ等のメッキ膜を施したものやフッ素樹脂等の樹脂コーティングを，各ロータの表面に施すことにしても良い。上記した実施形態によれば，反応生成物を析出しやすい気体，凝縮性気体等を主吸引口３から吸引して主排気口４から排気するのに好適としているが，気体としてはこれらに限定されるものではない。その他，本発明は上記し且つ図面に示した実施形態のみに限定されるものではなく，要旨を逸脱しない範囲内で必要に応じて適宜変更して実施できるものである。　
【産業上の利用可能性】　
【００６６】　
　本発明は例えば半導体製造工程，液晶製品製造工程等において高真空を得るのに使用される多段ドライポンプに利用することができる。」　
　
・上記段落【００４４】，【００４５】等から，ロータ１２，１３，１４，１５，１２’，１３’，１４’，１５’の材料として，ポンプハウジングや回転軸に用いられるオーステナイト系の球状黒鉛鋳鉄等の材料よりも加工性の良い材料として球状黒鉛鋳鉄を用いることができることが理解できる。　
　
　これらの記載事項及び図示内容を総合すると，引用例１には，次の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されていると認められる。　
「ポンプハウジング２，２’とロータ１２，１３，１４，１５，１２’，１３’，１４’，１５’と，を有する，半導体製造工程において反応生成物を析出しやすい気体を吸引，排気，又は，腐食性を有する気体を吸引搬送する，高真空を得るのに使用される多段ドライポンプにおいて，　
　ロータ１２，１３，１４，１５，１２’，１３’，１４’，１５’は，球状黒鉛鋳鉄で形成される，高真空を得るのに使用される多段ドライポンプ。」　
　
　原査定における拒絶の理由で引用された本願の優先権主張の日前に頒布された刊行物である特開２００３−１８４７６９号公報（以下，「引用例２」という。）には，「スクリュー圧縮機及びスクリュー圧縮機用ロータの製作方法」に関し，図面とともに次の事項が記載されている。　
　
・「【０００１】　
【発明の属する技術分野】本発明はスクリュー圧縮機及びスクリュー圧縮機用ロータの製作方法に係り，特にタイミングギヤを持たない油冷式のスクリュー圧縮機において，ロータ歯面の信頼性を確保しながら圧縮機の性能を向上するようにしたものである。　
【０００２】　
【従来の技術】従来の油冷式のスクリュー圧縮機は，駆動用モータの軸に雄ロータを直結またはカップリングで結合し，雄ロータが駆動軸となって雌ロータを回転させるようにしたものが一般的である。また，雄雌ロータを構成する為に，幾何学上雄ロータ歯数が雌ロータ歯数よりも少なくなっている。さらに，これらロータの素材には球状黒鉛鋳鉄などの鋳物を加工し使用している。　
【０００３】　
【発明が解決しようとする課題】・・・
【０００４】しかし，鋳物をロータ材料として雌ロータで雄ロータを駆動する場合，雌ロータの駆動面の負荷に対して強度が不足し，ピッチング，スコーリングなどの歯面損傷が発生する問題があることがわかった。　
【０００５】本発明の目的は，漏れを低減して圧縮機の性能向上を図ることができ，しかもロータ歯面の信頼性も確保できることのできるスクリュー圧縮機を得ることにある。」　
・「【０００６】　
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為，本発明の第１の特徴は，互いに噛み合う少なくとも一対の雄ロータと雌ロータ，これらのロータを支持する軸受部材，前記ロータを駆動するためのモータ，これらを収納するためのケーシング部材を備えたスクリュー圧縮機において，前記モータにより前記雌ロータを駆動すると共に，この雌ロータにより前記雄ロータが駆動される構成とし，前記雄ロータまたは雌ロータの少なくとも一方を，鋳鉄に表面硬化処理を施した部材で構成したことにある。ここで，前記表面硬化処理としては浸硫窒化処理，或いは窒化処理により行うと良い。
【０００７】本発明の第２の特徴は，上記表面硬化処理に代えて，鋳鉄に焼き入れを含む熱処理を施された部材で構成したことにある。ここで，前記熱処理はオーステンパー処理にすると良い。」　
　
・「【００１３】次に，冷媒ガス及び油の流れを説明する。モータカバ２に設けられた吸入口８から吸入された低温・低圧の冷媒ガスは，駆動用モータ７とケーシング１の間に設けられたガス通路（図示せず），及びステータとモータロータ間のエアギャップを通過してモータ７を冷却し，その後ケーシング１に形成された吸入ポートから雄，雌スクリューロータの噛み合い歯面とケーシングにより形成される圧縮室に吸入される。圧縮室に吸入された冷媒ガスは，モータ７に連結された雌ロータ６ｆの回転と共に圧縮室に密閉され，この圧縮室の縮小により徐々に圧縮され，高温・高圧の冷媒ガスとなり，吐出ケーシング３に形成された吐出通路を通って，吐出空間４内に吐出される。油とガスの混合体は吐出空間４に設けられている油分離手段（例えばメッシュデミスター）１７により油とガスに分離され，油は油溜り１６に溜められ，ガスは吐出口１４から吐出される。圧縮時に雄，雌スクリューロータに作用する荷重のうち，ラジアル荷重はころ軸受１０，１１，１２により支持され，またスラスト荷重は玉軸受１３により支持される。これらの軸受の潤滑及び冷却用の油は，吐出空間４内下部に設けられている高圧の油溜り１６から，各軸受部に連通する給油通路１７を介して差圧により給油され，圧縮ガスと共に吐出空間４へ吐出される。」　
　
・「【００１８】従来，ロータの素材としては球状黒鉛鋳鉄がよく用いられているが，上記雌ロータ駆動の場合の面圧は球状黒鉛鋳鉄の耐力を上回り，ピッチングやスコーリングなどの歯面損傷を引き起こす原因となることがわかった。そこで，本実施例では，表面硬度を上げ過大な面圧に耐えるようにするため，ロータの歯面に表面硬化処理を施している。」　
　
・「【００２２】また，上記表面硬化処理の代わりに，熱処理を施すことによっても高荷重で耐摩耗性にすぐれたロータを製作することができる。この熱処理としては，オーステンパー処理が最適である。オーステンパー処理は，ロータを球状黒鉛鋳鉄で製作し，このロータを例えば無酸化雰囲気中で８００〜９００℃の温度に加熱した後，２００〜４５０℃の塩浴で高温焼き入れ処理し，その後前記塩浴中で２００〜４５０℃（好ましくは２００〜２７０℃）の温度で５〜２４０分（硬度を向上させたい場合５〜３０分，硬度を若干犠牲にしても引張強度も向上させたい場合には３０〜９０分程度が好適である）の間保持し，その後水洗い処理して製作する。オーステンパー処理により，ロータの靭性，耐磨耗・耐衝撃性を格段に向上させることができ，しかも熱処理による歪みや寸法変化も少なくできる特徴がある。」　
　
・「【００２４】　
【発明の効果】本発明によれば，モータにより雌ロータを駆動すると共に，この雌ロータにより雄ロータが駆動される構成とし，このロータを，鋳鉄に表面硬化処理を施すか，焼き入れを含む熱処理を施すように構成したので，ロータ回転速度を上げ，漏れを低減して性能の向上を図ることができると共に，ロータ歯面の信頼性も向上でき，圧縮機の小形化も可能になる効果が得られる。」　
　
３．発明の対比　
　本願発明と引用発明とを対比すると，後者の「ポンプハウジング２，２’」は前者の「ステータ部品」に相当し，以下同様に，「ロータ１２，１３，１４，１５，１２’，１３’，１４’，１５’」は「少なくとも１つのロータ部品」に，「高真空を得るのに使用される多段ドライポンプ」は「乾式真空ポンプ」に，それぞれ相当する。
　また，後者の「半導体製造工程において反応生成物を析出しやすい気体を吸引，排気，又は，腐食性を有する気体を吸引搬送する」態様と，前者の「塩素，三塩化ホウ素，臭化水素，フッ素，および三フッ化塩素の少なくとも１つを排気する」態様とは，「腐食性ガスを排気する」という概念において共通する。
　そして，「球状黒鉛鋳鉄」は「ダクタイル鋳鉄」のことであるから，後者の「ロータ１２，１３，１４，１５，１２’，１３’，１４’，１５’は，球状黒鉛鋳鉄で形成される」態様と，前者の「ステータ部品および／または少なくとも１つのロータ部品は，オーステンパダクタイル鋳鉄で形成される」態様とは，「少なくとも１つのロータ部品は，ダクタイル鋳鉄を元に形成される」概念において共通する。　
　そうすると，両者は，　
「ステータ部品と少なくとも１つのロータ部品と，を有する，腐食性ガスを排気するための乾式真空ポンプにおいて，　
　少なくとも１つのロータ部品は，ダクタイル鋳鉄を元に形成される，乾式真空ポンプ。」　
の点で一致し，以下の各点で相違すると認められる。　
　
＜相違点１＞　
　腐食性ガスが，本願発明では，「塩素，三塩化ホウ素，臭化水素，フッ素，および三フッ化塩素の少なくとも１つ」とされているのに対して，引用発明では，「半導体製造工程において反応生成物を析出しやすい気体又は腐食性の気体」とされているものの，それ以上の特定はなされていない点。　
　
＜相違点２＞　
　ダクタイル鋳鉄を元に形成される少なくとも１つのロータ部品の材料として，本願発明では，「オーステンパダクタイル鋳鉄」とされているのに対して，引用発明では，「球状黒鉛鋳鉄」とされている点。　
　
４．相違点の検討・当審の判断　
＜相違点１について＞　
　半導体製造装置に用いられる腐食性ガスとして，塩素，三塩化ホウ素，臭化水素，フッ素，三フッ化塩素は，本願の優先権主張の日前に周知である（以下，「周知の事項１」という。必要があれば，特開平１１−９２９１２号公報の段落【０００２】，特開２００４−５３０１６号公報の段落【００２２】を参照のこと。）。
　この周知の事項１に鑑みれば，「半導体製造工程において反応生成物を析出しやすい気体又は腐食性の気体」に対するものである引用発明において，相違点１に係る本願発明の構成を採用することは，当業者が適宜なし得たことにすぎない。　
　
＜相違点２について＞　
　上記引用例２には，「スクリュー圧縮機用のロータを球状黒鉛鋳鉄で製作し，表面処理する代わりにオーステンパ−処理したもの，つまり，オーステンパダクタイル鋳鉄で形成されるものであり，ロータの靱性，耐摩耗性・耐衝撃性を格段に向上させること」が開示されている。　
　また，そもそもオーステンパダクタイル鋳鉄が加工性に優れることは，本願の優先権主張の日前に周知の事項である（以下，「周知の事項２」という。必要があれば，特開平５−７８７３５号公報の段落【００２９】，【００３０】，特開２００４−９０７１号公報の段落【００１８】を参照のこと。）。　
　引用発明におけるロータの材料は，加工性の良いものを用いるものであるから，上述した引用例２に開示された事項，上記周知の事項２に鑑みれば，これをオーステンパダグタイル鋳鉄とすることは，当業者にとって格別の創作力を要することではない。　
　したがって，引用発明において，相違点２に係る本願発明の構成とすることは，当業者が容易に想到し得たものである。　
　
　そして，引用発明も半導体製造装置における腐食性ガスに対する耐食性を備えたものであって，本願明細書の記載の限りでは，本願発明により，引用発明，引用例２に開示された事項，及び，上記周知の事項１，２から予測される以上の効果が奏されるとは認められない。　
　
　したがって，本願発明は，引用発明，引用例２に開示された事項，及び，上記周知の事項１，２に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものである。　
　
５．むすび 
　以上のとおりであるから，本願発明は，引用発明，引用例２に開示された事項，及び，上記周知の事項１，２に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　そうすると，このような特許を受けることができない発明を包含する本願は，他の請求項に係る発明について検討するまでもなく，拒絶されるべきものである。　
　よって，結論のとおり審決する。