【事件の表示】
　特願２０１０−５１９３９８号「マイクロメカニカル素子およびマイクロメカニカル素子の振動素子を励振するための方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年　２月１２日国際公開、ＷＯ２００９／０１９０８６、平成２２年１１月２５日国内公表、特表２０１０−５３６０５８号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本願は、平成２０年７月２日（パリ条約による優先権主張　２００７年８月９日、ドイツ国）を国際出願日とする出願であって、平成２３年３月８日付けで拒絶理由が通知され、これに対し、平成２３年７月７日付けで意見書及び手続補正書が提出され、平成２３年８月１１日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２３年１２月１６日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同日付けで特許請求の範囲についての手続補正がなされたものである。
　
II．平成２３年１２月１６日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成２３年１２月１６日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１．補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、次のように補正された。
　
「フレーム（２）を有し、該フレーム（２）は外部懸架素子（３）によって支持基板（４）と結合されているマイクロメカニカル素子であって、
　前記フレーム（２）は第１の軸（１０）を中心に、前記支持基板（４）の主伸長面（５）内で振動可能であり、かつ前記第１の軸（１０）に対して垂直の第２の軸（１１）を中心に主伸長面（５）内で振動可能であり、
　前記マイクロメカニカル素子（１）は振動素子（２０）を有し、
　該振動素子（２０）は内部懸架素子（２１）によって前記フレーム（２）と結合されており、前記第２の軸（１１）を中心に振動可能である形式のマイクロメカニカル素子において、
　前記外部懸架素子（３）は、前記第２の軸（１１）を中心にする前記フレーム（２）の第１の振動が、当該第２の軸（１１）を中心にする前記振動素子（２０）の第２の振動の共振曲線の半値幅
の周波数範囲内
おり
　
前記フレーム（２）が少なくとも１つの導体路（３０）を有し、
　
第１の振動と第２の振動の励振は、前記導体路（３０）における励振周波数での周期的な電流強度変化と磁界の印加により行われ、
　
第１の軸（１０）を中心にするフレーム（２）の第３の振動の励振が、前記導体路（３０）における別の励振周波数での周期的な電流強度変化と磁界の印加により行われる
　
２．補正の目的の適否及び新規事項の追加の有無
　本件補正は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「フレーム（２）」及び「振動素子（２０）」について、「前記フレーム（２）が少なくとも１つの導体路（３０）を有し、第１の振動と第２の振動の励振は、前記導体路（３０）における励振周波数での周期的な電流強度変化と磁界の印加により行われ、第１の軸（１０）を中心にするフレーム（２）の第３の振動の励振が、前記導体路（３０）における別の励振周波数での周期的な電流強度変化と磁界の印加により行われる」との限定事項を付加するとともに、明りょうでない記載の釈明を目的として「前記外部懸架素子（３）は、前記第２の軸（１１）を中心にする前記フレーム（２）の第１の振動が、当該第２の軸（１１）を中心にする前記振動素子（２０）の第２の振動の共振曲線の半値幅内にある共振周波数で行われるように構成されている」を「前記外部懸架素子（３）は、前記第２の軸（１１）を中心にする前記フレーム（２）の第１の振動が、当該第２の軸（１１）を中心にする前記振動素子（２０）の第２の振動の共振曲線の半値幅の周波数範囲内で行われるように構成されている」と補正するものであり、かつ、補正後の請求項１に記載された発明は、補正前の請求項１に記載された発明と、産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるので、本件補正は、平成２３年法律第６３号改正附則第２条第１８項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮及び同法第１７条の２第５項第４号の明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　
　そして、本件補正は、新規事項を追加するものではない。
　
３．独立特許要件
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成２３年法律第６３号改正附則第２条第１８項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
３−１．引用刊行物の記載事項
（刊行物１）
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願優先権主張日前に頒布された刊行物である特開２００３−２０７７３７号公報（以下、「刊行物１」という。）には、図面と共に次の事項が記載されている。
（ア）「【請求項１】反射面を備えたミラー部と、ミラー部を囲むとともに、第１の両持ち梁を介してミラー部を支持する内部フレームと、内部フレームを囲むとともに、前記第１の両持ち梁と交叉する方向に延びる第２の両持ち梁を介して内部フレームを支持する外側フレームと、前記第２の両持ち梁に応力を発生させるアクチュエータとを有して、該アクチュエータの駆動で前記第２の両持ち梁を捩れおよび曲げ振動させることにより、前記第１の両持ち梁および第２の両持ち梁を２軸として前記ミラー部を回動させて、ミラー部の反射面に入射する光を２次元に走査反射することを特徴とする２次元光スキャナ。
【請求項２】前記第１の両持ち梁の捩れ振動と第２の両持ち梁の曲げ振動の共振周波数を略同じに設定してあることを特徴とする請求項１記載の２次元光スキャナ。
【請求項３】前記第２の両持ち梁は、前記第１の両持ち梁の方向に対して直交していることを特徴とする請求項１または２記載の２次元光スキャナ。
【請求項４】前記ミラー部が方形で、前記内部フレームおよび外側フレームがそれぞれ４角枠形状であり、前記第１の両持ち梁は前記ミラー部の対向する２辺の中央を通る線上に延び、前記第２の両持ち梁は前記内部フレームの対向する２辺の中央を通る線上に延びていることを特徴とする請求項３記載の２次元光スキャナ。
【請求項５】前記ミラー部、内部フレーム、外側フレーム、第１の両持ち梁および第２の両持ち梁は、半導体基板をエッチングして形成され、前記ミラー部上に金属反射膜を形成して前記反射面としてあることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の２次元光スキャナ。・・・」（【特許請求の範囲】）
　
（イ）「【発明の属する技術分野】本発明は、光センサやレーザ応用機器など走査に用いられる２次元光スキャナに関する。」（段落【０００１】）
　
（ウ）「したがって本発明は、上記の問題点に鑑み、２重フレーム構成を採用して共振周波数の設計自由度を高く確保し、しかも大きな変位角度を可能としながら、構造が簡単でコンパクトに、かつ安価に実現可能な２次元光スキャナを提供することを目的とする。」（段落【００１３】）
　
（エ）「【発明の効果】請求項１の発明では、ミラー部と外側フレームの間に内部フレームを配し、これらの間を方向が交叉する第１の両持ち梁と第２の両持ち梁で順次に接続し、アクチュエータで第２の両持ち梁を捩れおよび曲げ振動させるものとしたので、ミラー部が捩れ振動で第２の両持ち梁まわりに回動するとともに第２の両持ち梁の曲げ振動で第１の両持ち梁まわりに回動して、第２の両持ち梁に対応させたアクチュエータだけで２次元に光を走査でき、装置が小型化され、コストも低減する。また、ミラー部の回動軸として第１の両持ち梁と第２の両持ち梁を備えるので、それぞれ独立した共振周波数の設定ができ、反りや破損の間題も低減することができる。
　請求項２の発明は、第１の両持ち梁の捩れ振動と第２の両持ち梁の曲げ振動の共振周波数を略同じに設定したので、アクチュエータで第２の両持ち梁を曲げ振動させたとき、ミラー部はとくに効率よく第１の両持ち梁まわりに回動する。
　請求項３の発明は、第２の両持ち梁が第１の両持ち梁の方向に対して直交しているので、各梁まわりの回動量が他方の梁へ影響を与える成分を含まないので、２次元走査の、演算・制御が簡単となる。
　請求項４の発明では、外側フレームに対する可動部としてのミラー部および内部フレームはそれぞれの辺の中央を通る線上の第１の両持ち梁および第２の両持ち梁で支持されるので、片振れなしに滑らかに回動する。
　請求項５の発明は、ミラー部、内部フレーム、外側フレーム、第１の両持ち梁および第２の両持ち梁が半導体基板をエッチングして形成され、ミラー部の反射面も金属反射膜の形成によるので、２次元光スキャナがとくに小型・コンパクトに実現される。この際、半導体のバッチプロセスが利用できるので、大量生産により低価格化が可能となる。」（段落【００２０】〜【００２４】）
　
（オ）「【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を実施例により説明する。図１は実施例を示す平面図、図２は図１におけるＡ−Ａ部断面図である。本実施例は、シリコンまたはガラスからなる台座基板３８上にシリコン基板から形成したスキャナ基板３０を載置して接合固定されている。スキャナ基板３０には、固定側としての外側フレーム３１の内側に、可動部分として枠状に形成された内部フレーム３２と、さらに内部フレーム３２の内側に形成された方形状のミラー部３３が形成されている。
　ミラー部３３は、対向する辺から外方へ延びる第１の弾性ビーム３４（３４ａ、３４ｂ）により、両側から内部フレーム３２に弾性的に支持されている。また、内部フレーム３２は弾性ビーム３４と直交方向に、両側から第２の弾性ビーム３５（３５ａ、３５ｂ）により外側フレーム３１に弾性的に支持されている。これらの内部フレーム３２、ミラー部３３、および弾性ビーム３４、３５は、シリコン基板の異方性エッチングにより一体的に形成されている。ミラー部３３の上には、金やＡｌ（アルミニウム）等の金属薄膜による反射膜３６が形成されており、入射光ビームの反射率を上げるようになっている。」（段落【００２８】〜【００２９】）
　
（カ）「弾性ビーム３４および３５は、外側フレーム３１の厚さに比べて薄くなっており、曲げ変形ならびに捩れ変形が容易にできるようになっている。ここで、弾性ビーム３４の捩れ振動の共振周波数ｆ１ｔは、弾性ビーム３５の逆相の曲げ共振モードの共振周波数ｆ２ｂに近く、２つの共振モードがカップリングするよう弾性ビーム３４と３５、内部フレーム３２、およびミラー部３３の厚さなど各寸法が設定されている。
　弾性ビーム３５（３５ａ、３５ｂ）の各裏面にはそれぞれ磁歪膜３７が形成され、弾性ビーム３５の長さ方向の磁界印加に対して曲げと捩れの応力を発生するような方向に磁化されている。そして、弾性ビーム３５ａ、３５ｂのそれぞれに対応させて、外部コイル３９が設けられて、磁歪膜３７と外部コイル３９とでアクチュエータが構成されている。
　外部コイル３９に弾性ビーム３５の捩れ振動の共振周波数ｆ２ｔの駆動電流を流すと、内部フレーム３２は弾性ビーム３５の軸回りに捩れ共振し、これにより同時に、ミラー部３３も弾性ビーム３５を軸として回動する。一方、外部コイル３９、３９に弾性ビーム３５ａ、３５ｂを逆相とする曲げ共振モードの共振周波数ｆ２ｂの駆動電流を流すと、図１におけるＣ−Ｃ部断面図である図３に示すように、左側の弾性ビーム３５ａの表面が伸び、右側の弾性ビーム３５ｂの表面が縮んで、内部フレーム３２がシーソーのように振動する。この結果、弾性ビーム３４の軸回りに捩れ共振モードが励振されて、ミラー部３３は弾性ビーム３４を軸として回動することとなる。
　したがって、共振周波数ｆ２ｔの成分と共振周波数ｆ２ｂの成分を重畳した駆動電流を外部コイル３９、３９に流すことにより、弾性ビーム３５の軸回りと弾性ビーム３４の軸回りの捩れ振動が任意の割合で励起できる。これにより、ミラー部３３に照射された光ビームを２次元的にスキャンすることが可能となる。」（段落【００３０】〜【００３３】）
　
（キ）上記記載事項（オ）及び（カ）に関連して、スキャナ基板３０及びその製造プロセスの断面図である図２、図３及び図５には、「スキャナ基板３０に形成された外側フレーム３１、内部フレーム３２、ミラー部３３、第１の弾性ビーム３４及び第２の弾性ビーム３５が略同一平面上にある」様態が示されている。
　
　以上の記載事項から、刊行物１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　
「内部フレーム３２を有し、該内部フレーム３２は第２の弾性ビーム３５によってスキャナ基板３０に形成された固定側としての外側フレーム３１に支持されている２次元光スキャナであって、
　内部フレーム３２は第２の弾性ビーム３５の軸回りに捩れ共振し、かつ左側の弾性ビーム３５ａの表面が伸び、右側の弾性ビーム３５ｂの表面が縮んで、内部フレーム３２がシーソーのように振動し、
　２次元光スキャナはミラー部３３を有し、
　該ミラー部３３は、第２の弾性ビーム３５の方向に対して直交している第１の弾性ビーム３４によって内部フレーム３２に支持されており、内部フレーム３２がシーソーのように振動する結果、第１の弾性ビーム３４の軸回りに捩れ共振し、
　ミラー部３３が方形で、内部フレーム３２および外側フレーム３１がそれぞれ４角枠形状であり、第１の弾性ビーム３４はミラー部３３の対向する２辺の中央を通る線上に延び、第２の弾性ビーム３５は内部フレーム３２の対向する２辺の中央を通る線上に延びるように形成され、
　スキャナ基板３０に形成された外側フレーム３１、内部フレーム３２、ミラー部３３、第１の弾性ビーム３４及び第２の弾性ビーム３５が略同一平面上にある２次元光スキャナにおいて、
　第２の弾性ビーム３５は、第１の弾性ビーム３４の捩れ振動の共振周波数ｆ１ｔと、第２の弾性ビーム３５の逆相の曲げ共振モードの共振周波数ｆ２ｂが略同じとなるように厚さなど各寸法が設定されており、
　第２の弾性ビーム３５の各裏面にはそれぞれ磁歪膜３７が形成され、第２の弾性ビーム３５の長さ方向の磁界印加に対して曲げと捩れの応力を発生するような方向に磁化されており、
　第２の弾性ビーム３５の捩れ振動の共振周波数ｆ２ｔの成分と第２の弾性ビーム３５の逆相の曲げ共振モードの共振周波数ｆ２ｂの成分を重畳した駆動電流を外部コイル３９に流すことにより、第２の弾性ビーム３５の軸回りと第１の弾性ビーム３４の軸回りの捩れ振動が任意の割合で励起できる、２次元光スキャナ。」
　
３−２．対比
（１）本願補正発明と引用発明とを対比すると、その意味、構造又は機能からみて、引用発明の「２次元光スキャナ」は、本願補正発明の「マイクロメカニカル素子」に相当し、以下同様に、「内部フレーム３２」は「フレーム（２）」に、「第２の弾性ビーム３５」は「外部懸架素子（３）」に、「スキャナ基板３０に形成された固定側としての外側フレーム３１」は「支持基板（４）」に、「に支持されている」は「と結合されている」に、「第２の弾性ビーム３５の軸」は「第１の軸（１０）」に、「軸回りに捩れ共振し」は「軸を中心に振動可能であり」に、「ミラー部３３」は「振動素子（２０）」に、「第１の弾性ビーム３４」は「内部懸架素子（２１）」に、「第１の弾性ビーム３４の軸」は「第２の軸（１１）」に、「ように形成された」は「形式の」に、それぞれ相当する。
（２）本願補正発明における「フレーム（２）は第１の軸（１０）を中心に、支持基板（４）の主伸長面（５）内で振動可能であり」との発明特定事項の技術的意義を確認するために本願明細書及び図面の記載を参酌すると、段落【００１７】の「図１では、第１の実施形態による本発明のマイクロメカニカル素子１が斜視図に示されている。」の記載、段落【００１８】の「ここでマイクロメカニカル素子１はフレーム２を有し、フレーム２は外部懸架素子３によって支持基板４と結合されている。フレーム２は第１の軸１０を中心に、支持基板４の主伸長面５内で揺動可能であり」の記載、及び図１の記載からして、本願補正発明における当該発明特定事項は、「フレーム（２）は、支持基板（４）の主伸長面（５）内にある第１の軸（１０）を中心に振動可能であり」との様態を意味するものと解される。
　一方、引用発明では、「スキャナ基板３０に形成された外側フレーム３１、内部フレーム３２、ミラー部３３、第１の弾性ビーム３４及び第２の弾性ビーム３５が略同一平面上にある」ところ、第２の弾性ビーム３５の軸は外側フレーム３１の主伸長面内にあるといえるから、引用発明の「内部フレーム３２は第２の弾性ビーム３５の軸回りに捩れ共振し」は、本願補正発明の「フレーム（２）は、支持基板（４）の主伸長面（５）内にある第１の軸（１０）を中心に振動可能であり」、すなわち「フレーム（２）は第１の軸（１０）を中心に、支持基板（４）の主伸長面（５）内で振動可能であり」に相当する。
（３）本願補正発明における「フレーム（２）は・・・第１の軸（１０）に対して垂直の第２の軸（１１）を中心に主伸長面（５）内で振動可能であり」との発明特定事項の技術的意義を確認するために本願明細書及び図面の記載を参酌すると、上記（２）において参照した本願明細書の記載に加えて、段落【００１９】の「図２では、第１の実施形態による本発明のマイクロメカニカル素子１が斜視図に示されている。」の記載、段落【００２０】の「ここでは図１とは異なり、９０°だけ主伸長面５の面垂線を中心にして回転されており、・・・ここでフレーム２は第２の軸１１を中心に振動する。」の記載、及び図２の記載からして、本願補正発明における当該発明特定事項は、「フレーム（２）は、第１の軸（１０）に対して垂直であり主伸長面（５）内にある第２の軸（１１）を中心に振動可能であり」との様態を意味するものと解される。
　一方、引用発明は、「左側の弾性ビーム３５ａの表面が伸び、右側の弾性ビーム３５ｂの表面が縮んで、内部フレーム３２がシーソーのように振動する」ものであって、「第１の弾性ビーム３４及び第２の弾性ビーム３５が直交しており」、「ミラー部３３が方形で、内部フレーム３２および外側フレーム３１がそれぞれ４角枠形状であり、第１の弾性ビーム３４はミラー部３３の対向する２辺の中央を通る線上に延び、第２の弾性ビーム３５は内部フレーム３２の対向する２辺の中央を通る線上に延びるように形成され」、「スキャナ基板３０に形成された外側フレーム３１、内部フレーム３２、ミラー部３３、第１の弾性ビーム３４及び第２の弾性ビーム３５が略同一平面上にある」ものであるところ、内部フレーム３２は、第１の弾性ビーム３４の軸を中心に振動可能であるとともに、第１の弾性ビーム３４の軸は第２の弾性ビーム３５に対して垂直でありかつ外側フレーム３１の主伸長面内にあるといえるから、引用発明は、本願補正発明の「フレーム（２）は、第１の軸（１０）に対して垂直であり主伸長面（５）内にある第２の軸（１１）を中心に振動可能であり」、すなわち「フレーム（２）は・・・第１の軸（１０）に対して垂直の第２の軸（１１）を中心に主伸長面（５）内で振動可能であり」との発明特定事項を有するといえる。
（４）引用発明の「ミラー部３３」は、「内部フレーム３２がシーソーのように振動する結果、第１の弾性ビーム３４の軸回りに捩れ共振」するものであるから、引用発明は、本願補正発明の「振動素子（２０）は・・・第２の軸（１１）を中心に振動可能である」との発明特定事項を有するといえる。
（５）上記（２）ないし（４）より、引用発明の「左側の弾性ビーム３５ａの表面が伸び、右側の弾性ビーム３５ｂの表面が縮んで、内部フレーム３２がシーソーのように振動する」「第２の弾性ビーム３５の逆相の曲げ共振」は、本願補正発明の「第２の軸（１１）を中心にするフレーム（２）の第１の振動」に相当し、以下同様に、「ミラー部３３」の「第１の弾性ビーム３４の軸回り」の「捩れ共振」は「第２の軸（１１）を中心にする振動素子（２０）の第２の振動」に、「内部フレーム３２」の「第２の弾性ビーム３５の軸回り」の「捩れ共振」は「第１の軸（１０）を中心にするフレーム（２）の第３の振動」に、それぞれ相当するといえる。
　
　そこで、本願補正発明の用語を用いて表現すると、両者は次の点で一致する。
（一致点）
「フレーム（２）を有し、該フレーム（２）は外部懸架素子（３）によって支持基板（４）と結合されているマイクロメカニカル素子であって、
　前記フレーム（２）は第１の軸（１０）を中心に、前記支持基板（４）の主伸長面（５）内で振動可能であり、かつ前記第１の軸（１０）に対して垂直の第２の軸（１１）を中心に主伸長面（５）内で振動可能であり、
　前記マイクロメカニカル素子（１）は振動素子（２０）を有し、
　該振動素子（２０）は内部懸架素子（２１）によって前記フレーム（２）と結合されており、前記第２の軸（１１）を中心に振動可能である形式のマイクロメカニカル素子。」
　
　そして、両者は次の点で相違する。
（相違点１）
　外部懸架素子（３）に関して、本願補正発明では、「前記第２の軸（１１）を中心にする前記フレーム（２）の第１の振動が、当該第２の軸（１１）を中心にする前記振動素子（２０）の第２の振動の共振曲線の半値幅の周波数範囲内で行われるように構成されて」いるのに対し、引用発明では、「第１の弾性ビーム３４の捩れ振動の共振周波数ｆ１ｔと、第２の弾性ビーム３５の逆相の曲げ共振モードの共振周波数ｆ２ｂが略同じとなるように厚さなど各寸法が設定されて」いる点。
　
（相違点２）
　本願補正発明では、「前記フレーム（２）が少なくとも１つの導体路（３０）を有し、第１の振動と第２の振動の励振は、前記導体路（３０）における励振周波数での周期的な電流強度変化と磁界の印加により行われ、第１の軸（１０）を中心にするフレーム（２）の第３の振動の励振が、前記導体路（３０）における別の励振周波数での周期的な電流強度変化と磁界の印加により行われる」ものであるのに対し、引用発明では、「第２の弾性ビーム３５の各裏面にはそれぞれ磁歪膜３７が形成され、第２の弾性ビーム３５の長さ方向の磁界印加に対して曲げと捩れの応力を発生するような方向に磁化されており、第２の弾性ビーム３５の捩れ振動の共振周波数ｆ２ｔの成分と第２の弾性ビーム３５の逆相の曲げ共振モードの共振周波数ｆ２ｂの成分を重畳した駆動電流を外部コイル３９に流すことにより、第２の弾性ビーム３５の軸回りと第１の弾性ビーム３４の軸回りの捩れ振動が任意の割合で励起できる」ものである点。
　
３−３．相違点の判断
　上記相違点について検討する。
　
（相違点１について）
　引用発明は、第２の弾性ビーム３５の逆相の曲げ共振モードの共振周波数ｆ２ｂ（すなわち、第２の軸を中心にするフレームの第１の振動の共振周波数）と、第１の弾性ビーム３４の捩れ振動の共振周波数ｆ１ｔ（すなわち第２の軸を中心にする振動素子の第２の振動の共振周波数）が
略同じ
　ここで、引用発明において、第１の振動の共振周波数ｆ２ｂと第２の振動の共振周波数ｆ１ｔとを略同じに設定しているのは、第１の振動を「共振周波数ｆ２ｂ」で励起する結果として、第２の振動をその共振周波数で効率よく励起することを可能とするためである（上記記載事項（エ）及び（カ）を参照）。してみると、第１の振動の共振周波数ｆ２ｂと第２の振動の共振周波数ｆ１ｔとが
同じ
同じ
　したがって、引用発明において、上記相違点１に係る本願補正発明の発明特定事項のようにすることは当業者が容易に想到し得たことである。
　
（相違点２について）
　引用発明は、「第２の弾性ビーム３５の各裏面にはそれぞれ磁歪膜３７が形成され、第２の弾性ビーム３５の長さ方向の磁界印加に対して曲げと捩れの応力を発生するような方向に磁化されており、第２の弾性ビーム３５の捩れ振動の共振周波数ｆ２ｔの成分と第２の弾性ビーム３５の逆相の曲げ共振モードの共振周波数ｆ２ｂの成分を重畳した駆動電流を外部コイル３９に流すことにより、第２の弾性ビーム３５の軸回りと第１の弾性ビーム３４の軸回りの捩れ振動が任意の割合で励起できる」ものであって、二つの共振周波数の成分を重畳した一の電流により、二つの軸周りの振動を励起するものである。
　フレームが外部懸架素子によって支持基板と結合され、振動素子が内部懸架素子によって当該フレームと結合されたマイクロメカニカル素子の技術分野において、フレームに導体路を設け、導体路に複数の励振周波数が重畳した電流を流し、内部懸架素子の軸を中心にするフレーム及び振動素子の振動の励振を、導体路を流れる電流における一の励振周波数での周期的な電流強度変化と磁界の印加により行うとともに、外部懸架素子の軸を中心にするフレームの振動の励振を、導体路を流れる電流における別の励振周波数での周期的な電流強度変化と磁界の印加により行うことは、周知の技術事項である（特開２００２−１４８５３６号公報の【００２０】〜【００２２】、図１、米国特許出願公開第２００５／０２５３０５５号明細書の請求項１〜６、４７〜５８、［００８６］、図１、４Ａ等参照）。
　してみると、引用発明において、共通の技術分野に属するとともに二つの共振周波数の成分を重畳した一の電流により、二つの軸周りの振動を励起するものである上記周知の技術事項に基づいて、フレームに導体路を設け、第１の振動と第２の振動の励振を、導体路における励振周波数での周期的な電流強度変化と磁界の印加により行い、第１の軸を中心にするフレームの第３の振動の励振を、導体路における別の励振周波数での周期的な電流強度変化と磁界の印加により行うように構成し、上記相違点２に係る本願補正発明の発明特定事項のようにすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　
　そして、本願補正発明による効果も、引用発明及び上記周知の技術事項から当業者が予測し得た程度のものであって、格別のものとはいえない。
　
　したがって、本願補正発明は、引用発明及び上記周知の技術事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
３−４．むすび
　したがって、本件補正は、平成２３年法律第６３号改正附則第２条第１８項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
III．本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、同項記載の発明を、「本願発明」という。）は、平成２３年７月７日付けの手続補正書により補正された、拒絶査定時の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
　
「フレーム（２）を有し、該フレーム（２）は外部懸架素子（３）によって支持基板（４）と結合されているマイクロメカニカル素子であって、
　前記フレーム（２）は第１の軸（１０）を中心に、前記支持基板（４）の主伸長面（５）内で振動可能であり、かつ前記第１の軸（１０）に対して垂直の第２の軸（１１）を中心に主伸長面（５）内で振動可能であり、
　前記マイクロメカニカル素子（１）は振動素子（２０）を有し、
　該振動素子（２０）は内部懸架素子（２１）によって前記フレーム（２）と結合されており、前記第２の軸（１１）を中心に振動可能である形式のマイクロメカニカル素子において、
　前記外部懸架素子（３）は、前記第２の軸（１１）を中心にする前記フレーム（２）の第１の振動が、当該第２の軸（１１）を中心にする前記振動素子（２０）の第２の振動の共振曲線の半値幅内にある共振周波数で行われるように構成されている、ことを特徴とするマイクロメカニカル素子。」
　
IV．引用刊行物の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物１の記載事項は、前記II．３−１に記載したとおりである。
　
Ｖ．対比
　本願発明は、前記II．１の本願補正発明から、「フレーム（２）」及び「振動素子（２０）」の限定事項である「前記フレーム（２）が少なくとも１つの導体路（３０）を有し、第１の振動と第２の振動の励振は、前記導体路（３０）における励振周波数での周期的な電流強度変化と磁界の印加により行われ、第１の軸（１０）を中心にするフレーム（２）の第３の振動の励振が、前記導体路（３０）における別の励振周波数での周期的な電流強度変化と磁界の印加により行われる」との構成を省いたものである。
　
　してみると、前記II．３−２での検討結果を参酌して、本願発明と引用発明とを対比すると、両者は次の点で一致する。
（一致点）
「フレーム（２）を有し、該フレーム（２）は外部懸架素子（３）によって支持基板（４）と結合されているマイクロメカニカル素子であって、
　前記フレーム（２）は第１の軸（１０）を中心に、前記支持基板（４）の主伸長面（５）内で振動可能であり、かつ前記第１の軸（１０）に対して垂直の第２の軸（１１）を中心に主伸長面（５）内で振動可能であり、
　前記マイクロメカニカル素子（１）は振動素子（２０）を有し、
　該振動素子（２０）は内部懸架素子（２１）によって前記フレーム（２）と結合されており、前記第２の軸（１１）を中心に振動可能である形式のマイクロメカニカル素子。」
　
　そして、両者は、次の点で相違する。
（相違点３）
　外部懸架素子（３）に関して、本願発明では、「前記第２の軸（１１）を中心にする前記フレーム（２）の第１の振動が、当該第２の軸（１１）を中心にする前記振動素子（２０）の第２の振動の共振曲線の半値幅内にある共振周波数で行われるように構成されて」いるのに対し、引用発明では、「第１の弾性ビーム３４の捩れ振動の共振周波数ｆ１ｔと、第２の弾性ビーム３５の逆相の曲げ共振モードの共振周波数ｆ２ｂが略同じとなるように厚さなど各寸法が設定されて」いる点。
　
VI．判断
　前記II．２に記載したとおり、相違点１に係る本願補正発明の発明特定事項は、明りょうでない記載の釈明を目的として、相違点３に係る本願発明の発明特定事項を補正したものであって、相違点１に係る本願補正発明の発明特定事項と相違点３に係る本願発明の発明特定事項との間に実質的な差異はないから、相違点３に係る本願発明の発明特定事項は、前記II．３−３において相違点１について検討したのと同様の理由で、引用発明に基いて、当業者が容易に想到し得たことであり、本願発明による効果も、引用発明から当業者が予測し得た程度のものであって、格別のものとはいえない。
　したがって、本願発明は、引用発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
VII．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　そして、本願の請求項１に係る発明が特許を受けることができないものである以上、本願の請求項２ないし８に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。