(57)【要約】この発明による電気ヒータは、円筒状主断熱体（１１）の内周面に、金属素線製発熱体素子（１２）が装着されているものである。発熱体素子（１２）は、これを長さ方向に分割した複数の抵抗発熱部（６１）〜（６４）（７１）〜（７４）（８１）〜（８４）よりなる。同抵抗発熱部（６１）〜（６４）（７１）〜（７４）（８１）〜（８４）は、並列に接続されている。
2003078910.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主断熱体の内面に、金属素線製発熱体素子が装着されている熱処理炉用電気ヒータにおいて、発熱体素子が、複数の抵抗発熱部よりなり、それらの抵抗発熱部が、一対の接続部材を介して並列に接続されていることを特徴とする熱処理炉用電気ヒータ。
【請求項２】
主断熱体の外側に、層状の内断熱材および外断熱材が被覆されており、内断熱材および外断熱材の間に、両接続部材が介在させられている請求項１に記載の熱処理炉用電気ヒータ。
【請求項３】
各抵抗発熱部の両端部にスリーブがそれぞれはめ被せられて、かしめおよび溶接の少なくともいずれか一方により固定されており、両接続部材に、抵抗発熱部の数に対応する貫通孔がそれぞれあけられており、対応する端部において、スリーブが貫通孔に通されて、スリーブおよび貫通孔周縁部が溶接されており、抵抗発熱部、接続部材およびスリーブが、同種材料によって形成されている請求項１または２に記載の熱処理炉用電気ヒータ。
【請求項４】
各抵抗発熱部の両端部にキャップがそれぞれはめ被せられて、かしめおよび溶接の少なくともいずれか一方により固定されており、両接続部材に、抵抗発熱部の数に対応する貫通孔がそれぞれあけられており、対応する端部において、キャップが貫通孔に通されて、キャップおよび貫通孔周縁部が溶接されており、抵抗発熱部、接続部材およびキャップが、同種材料によって形成されている請求項１または２に記載の熱処理炉用電気ヒータ。
【請求項５】
主断熱体の内面に、抵抗発熱部の数以上の複数の並列状溝が形成されており、各抵抗発熱部が、溝の幅よりも大きい振幅をもつ波形に形成されて、その幅方向両側部分を対応する各溝の両側面より主断熱体内に入り込ませ、かつ１つの溝から隣接する少なくとも１つの溝にまたがるように主断熱体に一体的に支持されている請求項１〜４のいずれか１つに記載の熱処理炉用電気ヒータ。
【請求項６】
内断熱材および外断熱材が、耐熱性クロス製被覆材に多数の微孔質断熱材製微少中空球体を封入したパウチよりなる請求項２〜５のいずれか１つに記載の熱処理炉用電気ヒータ。
【発明の詳細な説明】
背景技術
この発明は、熱処理炉用電気ヒータに関し、例えば、半導体ウエハの酸化、拡散、ＣＶＤの熱処理を行う熱処理装置に特に好適に用いられる電気ヒータに関する。
従来、円筒状主断熱体の内周面に、金属素線製発熱体素子が装着されており、金属素線として、コイル状に加工した線径７〜１０ｍｍのヘビー・ゲージと称されるものを用いた電気ヒータは既知である。
また、本出願人は、先に、上記電気ヒータに代わるものとして、特開２００１−２６７２６１号公報に開示されている電気ヒータを提案した。これは、主断熱体の内周面に、複数の並列状溝が主断熱体長さ方向にのびかつ周方向に間隔をおいて形成されており、一繋がりの金属素線製発熱体素子が、溝の幅よりも大きい振幅をもつ波形に形成されて、その幅方向両側部分を対応する各溝の両側面より主断熱体内に入り込ませかつ全ての溝の隣接するもの同士に順次またがるように主断熱体周方向に蛇行しながら主断熱体に一体的に支持されており、金属素線として、線径１〜３ｍｍのライト・ゲージと称されるものを用いたものである。
上記既知の電気ヒータでは、ヘビー・ゲージの金属素線を用いているため、発熱体素子の重量が大きくて、熱容量が大きくなり、ヒータを高速で昇降温できないという問題点がある。またそのため、一回のヒートサイクル当たりのエネルギー損失も大きい。
この点に関し、本出願人提案の上記電気ヒータでは、ライト・ゲージの金属素線を用いていることにより、その問題点は解消されている。
ところが、前者と後者の電気ヒータでは、電流仕様が異なるため、そのままでは後者のヒータを前者のヒータの設置された既設熱処理装置に使用することはできない。何故なら、双方の電気ヒータの出力を同一にしようとすると、素線径の違いにより、前者の電気ヒータでは低電圧・大電流で駆動されるのに対し、後者の電気ヒータでは高電圧・低電流で駆動されるからである。例えば、低電圧・大電流での駆動には降圧トランスが必要であるし、高電圧・低電流での駆動はトランスレスが前提となる。
以上は、従来の２つのタイプのヒータの電源仕様の相違について触れた。従ってヘビーゲージのヒータを使った既設の熱処理装置に対して熱特性の改良されたライトゲージの電気ヒータの使用を可能とするためには、電源仕様への対応に加えて、物理的構造面での互換性も必要である。すなわち、ヒータの外径、内径、長さ等に関わる互換性、さらには、温度プロファイルを達成するための温度ゾーンの分割、パワー配分等の互換性が求められる。
この発明の目的は、ヒータを高速で昇降温することができ、しかも、低電圧・大電流での駆動を可能とする電気ヒータを提供することにある。
発明の開示
この発明による熱処理炉用電気ヒータは、主断熱体の内面に、金属素線製発熱体素子が装着されている熱処理炉用電気ヒータにおいて、発熱体素子が、複数の抵抗発熱部よりなり、それらの抵抗発熱部が、一対の接続部材を介して並列に接続されていることを特徴とするものである。
この発明による熱処理炉用電気ヒータでは、主断熱体の内面に、金属素線製発熱体素子が装着されている熱処理炉用電気ヒータにおいて、発熱体素子が、複数の並列状抵抗発熱部よりなるから、発熱体素子が一繋がりのものと比較して、発熱体素子の抵抗値が低くなる。発熱体素子として、ライト・ゲージの金属素線を用いたとしても、一繋がりのヘビー・ゲージの金属素線を用いた発熱体素子と同等の低電圧・大電流で駆動することが可能となる。また、素線の重量をヘビーゲージの約１／１０にできる。したがって、素線の熱容量が約１／１０となり、ヒータを高速で昇降温することができ、しかも、低電圧・大電流での駆動を可能とする電気ヒータを提供するすることができる。
また、複数の抵抗発熱部の間に、一対の接続部材が介在させられているから、抵抗発熱部同士を直接に接続しなくても良い構造とすることができる。
さらに、主断熱体の外側に、層状の内断熱材および外断熱材が被覆されており、内断熱材および外断熱材の間に、両接続部材が介在させられていると、接続部材をヒータの高温域から隔離することができるため、並列接続か所が温度プロファイルへの悪影響を避けることができるとももに、熱変形が起こり難く、熱的安定性の高い構造とすることができる。
また、各抵抗発熱部の両端部にスリーブまたはキャップがそれぞれはめ被せられてかしめおよび／または溶接により固定されており、両接続部材に、抵抗発熱部の数に対応する貫通孔がそれぞれあけられており、対応する端部において、スリーブまたはキャップが貫通孔に通されて、スリーブまたはキャップおよび貫通孔周縁部が溶接されており、抵抗発熱部、接続部材およびスリーブまたはキャップが、同種材料によって形成されていると、抵抗発熱部、接続部材およびスリーブまたはキャップ間の物性の不連続、とくに冶金学的な、および熱膨張の係数の不連続を避けることができ、熱的安定性をさらに高めることができる。
また、主断熱体の内面に、抵抗発熱部の数以上の複数の並列状溝が形成されており、各抵抗発熱部が、溝の幅よりも大きい振幅をもつ波形に形成されて、その幅方向両側部分を対応する各溝の両側面より主断熱体内に入り込ませ、かつ１つの溝から隣接する少なくとも１つの溝にまたがるように主断熱体に一体的に支持されていると、発熱体素子として、ライト・ゲージの金属素線を用い易い構造とすることができる。
また、内断熱材および外断熱材が、耐熱性クロス製被覆材に多数の微孔質断熱材製微少中空球体を封入したパウチよりなると、微少中空球体の働きにより内断熱材および外断熱材が極めて高い断熱性を発揮する。
発明を実施するための最良の形態
この発明の実施の形態を図面を参照してつぎに説明する。
図１および図２を参照すると、電気ヒータは、円筒状主断熱体（１１）と、主断熱体（１１）の内周面に装着されている発熱体素子（１２）と、主断熱体（１１）外周面に、可撓性を有する緩衝用セラミックファイバ製マット（２２）を介して被覆されている層状の内断熱材（１３）および外断熱材（１４）と、外断熱材（１４）の外周面に被覆されている金属シェル（１５）とを備えている。
図４を参照すると、電気ヒータは、左から右にかけて順次並んだレフトゾーン（Ｌ）、センターゾーン（Ｃ）およびライトゾーン（Ｒ）に区画されている。図１には、レフトゾーン（Ｌ）およびセンターゾーン（Ｃ）の一部のみが示されている。
主断熱体（１１）は、断熱材であるセラミックファイバの真空成形によるものである。主断熱体（１１）内周面には複数の並列状溝（２１）が主断熱体（１１）長さ方向にのびかつ周方向に間隔をおいて形成されている。溝（２１）の数を具体的に言うと、ここでは、２０である。
発熱体素子（１２）は、鉄・クロム・アルミ系の金属素線よりなり、冒頭で説明した線径１〜３ｍｍのライト・ゲージと称されるものである。
図３には、発熱体素子（１２）の装着の仕方の一部が示されている。発熱体素子（１２）は、波形に成形されている。波形発熱体素子（１２）の振幅は、溝（２１）の幅よりも大きくなされている。波形発熱体素子（１２）の幅方向両側部分が溝（２１）の両側面より主断熱体（１１）内に入ることにより、主断熱体（１１）に発熱体素子（１２）が一体的に支持されている。
図３において、一番手前の溝（２１）の左端部において、発熱体素子（１２）の一端部が同溝（２１）の底を貫通して主断熱体（１１）外に突出させられている。発熱体素子（１２）の同端部から、同溝（２１）内を発熱体素子（１２）は蛇行しながら右向きにのびていき、同溝（２１）の右端部に至っている。同溝（２１）の右端部では、同溝（２１）とその隣の手前から二番目の溝（２１）間の隔壁を発熱体素子（１２）は貫通し、その手前から二番目の溝（２１）内に入り込んでいる。そこから、今度は逆に、その二番目の溝（２１）内を左向きにのびている。二番目の溝（２１）内の左端部からは、さらに三番目の溝（２１）内に入り込み、一番手前の溝（２１）と同様に、三番目の溝（２１）内を右向きにのびている。このようにして、一番手前の溝（２１）から、発熱体素子（１２）は、主断熱体（１１）周方向に蛇行しながら、順次隣り合うの溝（２１）間を移動していき、手前から数えて五番目の溝（２１）に達している。同五番目の溝（２１）内を発熱体素子（１２）はのびていき、同五番目の溝（２１）の右端部に至ると、そこからは、５つの溝（２１）の隣り合うもの同士間の隔壁の全てを貫通し、一番手前の溝（２１）の右端部に戻っている。一番手前の溝（２１）の右端部からは、同溝（２１）の底を貫通して主断熱体（１１）外に発熱体素子（１２）の他端部が突出させられている。
以上は一例であり、最適設計のため、発熱体素子（１２）の適宜配置が変更される。例えば、発熱体素子（１２）が隣り合う溝（２１）間の隔壁を貫通する代わりに、同溝（２１）を乗り越えるように構成してもよい。
内断熱材（１３）は、半円筒状に成形された２種類の長パウチ（３１）および短パウチ（３２）よりなる。半円筒状長短パウチ（３１）（３２）は、主断熱体（１１）を挟んで、２つずつ同じ種類のもの同士の縁部（３１ａ）（３２ａ）を当接させて円筒状長短パウチ（３１）（３２）となされている。円筒状長短パウチ（３１）（３２）は、主断熱体（１１）の左端から長短の順で、主断熱体（１１）の長さ方向に交互に並べられることにより、主断熱体（１１）外面の全体が長短パウチ（３１）（３２）によって取り囲まれている。また、隣り合う半円筒状長短パウチ（３１）（３２）の当接縁部（３１ａ）（３２ａ）は、主断熱体（１１）周方向にずらされている。
長短パウチ（３１）（３２）は、それぞれ、シリカまたはガラスクロス製耐熱性被覆材に微孔質断熱材製微少中空球体を封入し、たとえば半円筒形に圧縮成型したもので、可撓性が殆んど無く、容易に変形し難いものである。微少中空球体は、ミクロン単位の大きさのもので、シリカを主成分とし、かつ多数のマイクロボアを有する材料で形成されている。被覆材のシリカクロスは、６００℃以上の高温にも耐えられる。微少中空球体の内径は、空気中の気体分子の平均自由行程よりも小さくなされている。そのため、空気中の気体分子が微少中空球体の壁によって隔離されることになり、気体分子が同壁により跳ね返される確率が高くなって気体分子同士の衝突が抑制され、その結果、長短パウチ（３１）（３２）が優れた断熱性を発揮する。
外断熱材（１４）は、内断熱材（１３）と径等は異にするが、これと同様の長短パウチ（３１′）（３２′）よりなる。これらの長短パウチ（３１′）（３２′）は、内断熱材（１３）の長短パウチ（３１）（３２）に準じて並べられ、内断熱材（１３）外面全体を取り囲んでいる。ただし、内断熱材（１３）と外断熱材（１４）とで、長短パウチ（３１）（３２）（３１′）（３２′）の主断熱体（１１）長さ方向の並び方は、長短が逆となっていて、隣合う円筒状長短パウチ（３１）（３２）（３１′）（３２′）の相対する端部（３１ｂ）（３２ｂ）（３１ｂ′）（３２ｂ′）の位置は、主断熱体（１１）長さ方向にずれている。また、外断熱材（１４）の左端の短パウチ（３２′）には２つのスリット（３２ｃ）（３２ｄ）があけられている。
シェル（１５）は、半円筒状に形成した複数のステンレス製外板（４１）よりなる。２つずつ外板（４１）は、パウチ（３１）（３２）（３１′）（３２′）と同様に、縁部（４１ａ）同士を当接させるようにして、外断熱材（１４）を被覆している。左端の外板（４１）の一方には、短パウチ（３２′）のスリット（３２ｃ）（３２ｄ）と合致させられたスリット（４１ｃ）（４１ｄ）があけられている。
再び、図４を参照しながら、発熱体素子（１２）の全体構成を詳しく説明する。図４は、主断熱体（１１）を周方向に展開し、発熱体素子（１２）を、主断熱体（１１）外側から見たものである。
発熱体素子（１２）は、レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）、センターゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｃ）およびライトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｒ）よりなる。これらの素子群（５１Ｌ）（５１Ｃ）（５１Ｒ）は、以下で述べるように、互いに独立して制御可能な構成とされている。
レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）は、発熱体素子（１２）を長さ方向に分割した４つの第１〜第４抵抗発熱部（６１）〜（６４）よりなる。第１〜第４抵抗発熱部（６１）〜（６４）は、通常は同一の電気抵抗を有するものを使用し、図４において、上から下にかけて順次並べられかつ電気的に並列に接続されている。第４抵抗発熱部（６４）が、図３を参照して説明した発熱体素子（１２）に相当する。第１〜第３抵抗発熱部（６１）〜（６３）は、第４抵抗発熱部（６４）と同様に、主断熱体（１１）に支持されている。先に説明したように、主断熱体（１１）の溝（２１）は、２０であるが、第１〜第４抵抗発熱部（６１）〜（６４）に対して、５つずつの溝（２１）が対応している。
レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）と同様に、センターゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｃ）は、第１〜第４抵抗発熱部（７１）〜（７４）よりなり、ライトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｒ）は、第１〜第４抵抗発熱部（８１）〜（８４）よりなる。これらの抵抗発熱部（７１）〜（７４）（８１）〜（８４）もまた、レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）の第４抵抗発熱部（６４）と同様に、主断熱体（１１）に支持されている。
レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）の左側には上下２つの帯板状第１接続部材（９１）（９２）が上下方向にのびるように配置されている。上下第１接続部材（９１）（９２）は、第１継手バー（９３）により接続されている。レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）の右側には上下２つの帯板状第２接続部材（９４）（９５）が同様に配置されている。上下第２接続部材（９４）（９５）は、第２継手バー（９６）により接続されている。
レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）と同様に、センターゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｃ）にも接続部材（１０１）（１０２）（１０４）（１０５）および継手バー（１０３）（１０６）が備えられるとももに、ライトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｒ）にも接続部材（１１１）（１１２）（１１４）（１１５）および継手バー（１１３）（１１６）が備えられている。
レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）の第１および第２抵抗発熱部（６１）（６２）の左端部は、上第１接続部材（９１）に接続されるとともに、その右端部は、上第２接続部材（９４）に接続されている。同抵抗発熱部群（５１Ｌ）の第３および第４抵抗発熱部（６３）（６４）の左端部は、下第１接続部材（９２）に接続されるとともに、その右端部は、下第２接続部材（９５）に接続されている。以上により、レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）の並列接続が果たされているが、その接続の態様は、センターゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｃ）およびライトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｒ）についても同様に適用される。
レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）の下第１接続部材（９２）にはＬ字板状第１ターミナル（１２１）が接続されている。レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）の上第２接続部材（９４）およびセンターゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｃ）の上第１接続部材（１０１）には、これらにまたがってＬ字板状左中間ターミナル（１２２）が接続されている。さらに、センターゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｃ）の上第２接続部材（１０４）およびライトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｒ）の上第２接続部材（１１１）には、これらにまたがってＬ字板状右中間ターミナル（１２３）が接続されている。ライトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｒ）の下第１接続部材（１１５）にはＬ字板状第２ターミナル（１２４）が接続されている。以上により、発熱体素子（１２）は、レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）、センターゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｃ）およびライトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｒ）の電気的に独立に制御可能な接続が果たされている。
図５は、レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）の第１および第２抵抗発熱部（６１）（６２）の左端部と、上第１接続部材（９１）との接続か所を示すものである。第１および第２抵抗発熱部（６１）（６２）の同端部には筒状第１および第２スリーブ（１３１）（１３２）がそれぞれはめ被せられている。各スリーブ（１３１）（１３２）は、かしめられて溶接されることにより、対応する抵抗発熱部（６１）（６２）の端部に固定されている。接続部材（９１）には丸孔（１４１）および長孔（１４２）が１つずつあけられている。これらの丸孔（１４１）および長孔（１４２）と合致するように２つの丸孔（１４３）（１４４）が内断熱材（１３）にあけられている。第１スリーブ（１３１）は、２つの丸孔（１４１）（１４３）に通されている。同スリーブ（１３１）外面および丸孔（１４１）（１４３）の周縁部は、溶接されている。第２スリーブ（１３２）は、長孔（１４２）および丸孔（１４４）に通されている。同スリーブ（１３２）外面、長孔（１４２）および丸孔（１４４）の周縁部は、溶接されている。
図７に、第１スリーブ（１３１）の上記溶接の態様が詳しく示されている。第１スリーブ（１３１）の周壁には貫通状溶接孔（１４５）があけられている。溶接孔（１４５）に充満させられるように溶接部（１４６）が形成されている。さらに、第１抵抗発熱部（６１）および第１スリーブ（１３１）端面とその周辺部を被覆するように溶接部（１４７）が形成されている。
図６は、レフトゾーン用抵抗発熱部群（５１Ｌ）の第３抵抗発熱部（６３）の左端部と、下第１接続部材（９２）との接続か所を示すものである。第３抵抗発熱部（６３）の同端部にも筒状スリーブ（１５１）がはめ被せられかつかしめられて溶接されている。同接続部材（９２）には長孔（１６２）が形成されている。この長孔（１６２）と合致させられた丸孔（１６３）が内断熱材（１３）にあけられている。同スリーブ（９２）は、長孔（１６２）および丸孔（１６３）に通されかつ溶接によって同接続部材（９２）に接続されている。また、図６は、同接続部材（９２）に第１ターミナル（１２１）が溶接されている様子を示している。説明は省略するが、他の抵抗発熱部（６４）（７１）〜（７４）（８１）〜（８４）の接続部材（９１）（９４）（９５）（１０４）（１０５）（１１１）（１１２）（１１４）（１１５）への接続の態様、接続部材と（９４）（１０１）（１０４）（１１１）（１１５）とターミナル（１２２）（１２３）（１２４）への接続の態様は、上記と同様である。
図８は、図７に示す筒状スリーブ（１３１）に代えて、キャップ（１８１）を用いた例を示すものである。同キャップ（１８１）の周壁には溶接孔（１８２）があけられている。溶接孔（１８２）には溶接部（１８３）が充満され、同キャップ（１８１）の頂面およびその周囲に溶接部（１８４）が拡がっている。
さらに、図５から明らかなように、第１および第２スリーブ（１３１）（１３２）は、内断熱材（１３）を貫通してその外方に突出させられ、そこで、上第１接続部材（９１）に溶接されている。上第１接続部材（９１）は、内断熱材（１３）および外断熱材（１４）の間に挟まれている。図６を参照すると、同じように、第３抵抗発熱部（６３）にはめ被せられたスリーブ（１５１）もまた、内断熱材（１３）を貫通してその外方に突出させられ、そこで、下第１接続部材（９２）に溶接されている。また、下第１接続部材（９２）は、内断熱材（１３）および外断熱材（１４）の間に挟まれている。他の接続部材（９４）（１０１）（１０４）（１１１）（１１５）については、図示しないが、同様に、内断熱材（１３）および外断熱材（１４）の間に挟まれている。
再び、図１を参照すると、第１ターミナル（１２１）は、外断熱材（１４）およびシェル（１５）の一方のスリット（３２ｄ）（４１ｄ）に通され、もう一方のスリット（３２ｃ）（４１ｃ）には左中間ターミナル（１２２）が通されることが理解できよう。
全ての接続部材（９１）（９２）（９４）（９５）（１０４）（１０５）（１１１）（１１２）（１１４）（１１５）、継手バー（９３）（９６）（１０３）（１０６）（１１３）（１１６）、ターミナル（１２１）（１２２）（１２３）（１２４）、スリーブ（１３１）（１３２）（１５１）およびキャップ（１８１）は、発熱体素子（１２）と同じ材料すなわち、鉄・クロム・アルミ系の金属で構成されている。このように構成することにより、この材質に特有のやっかいなシグマ脆性、すなわち、一度高温加熱されると脆くなるという性質の改善されることになる。
以上の説明から明らかなように、本発明は円筒型ヒータに限定されるものではなく、また半導体熱処理炉にも限定されることがなく、例えば、平板型ヒータにも適用でき、多くの工学分野に応用できるものである。
さらに、本発明は、開示内容に限定されることなく、本発明の範囲から逸脱することなく、種々の変形が可能である。
産業上の利用可能性
この発明電気ヒータは、熱処理炉用電気ヒータ、例えば、半導体ウェハの酸化、拡散、ＣＶＤの熱処理を行う熱処理装置に特に好適に用いられる。
【図面の簡単な説明】
図１は、この発明による電気ヒータの分解斜視図である。
図２は、同電気ヒータの横断面図である。
図３は、同電気ヒータの主断熱体および発熱体素子の部分斜視図である。
図４は、同電気ヒータの発熱体素子の展開図である。
図５は、同発熱体素子の端部の接続状態を示す拡大横断面図である。
図６は、図６とは別の部分の接続状態を示す拡大横断面図である。
図７は、図５に示す部分の拡大断面図である。
図８は、図８に示す部分の変形例を示す拡大断面図である。
【図１】
2003078910.tif 000003
【図２】
2003078910.tif 000004
【図３】
2003078910.tif 000005
【図４】
2003078910.tif 000006
【図５】
2003078910.tif 000007
【図６】
2003078910.tif 000008
【図７】
2003078910.tif 000009
【図８】
2003078910.tif 000010
【国際調査報告】
2003078910.tif 000011
2003078910.tif 000012
2003078910.tif 000013
2003078910.tif 000014