(57)【要約】微弱な圧力をかけることで、水蒸気移動制御装置の膜体や箱体にストレスを加えることなく、高感度で精度よく箱体の気密状態を検査して、箱体の破損や膜体の破れ等を原因とした気密の漏洩を発見することができる気密検査装置である。内部に圧力緩衝空間１０が形成された圧力取込ケーシング１と、上流側送気路４１と、下流側送気路１８と、差圧計５４を備え、上流側送気路の先端管部４５は、先端口４６が下流側送気路の基端部内部に開口するように、圧力緩衝空間内を通り過ぎて下流側送気路の基端部に挿入され、戻側圧力取込路５２は、直線Ｃに対し角度（直角）を持つように分岐して圧力取込ケーシングに接続されている。戻側圧力取込路から差圧計に取り込んだ戻側気体の圧力と、往側圧力取込路５３から差圧計に取り込んだ往側気体の圧力との差圧を計測する。
2003095964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の通気口が被検査体である箱体の内部に連通され、他方の通気口が大気に開放され、前記二つの通気口間に複数の小室が通気性及び透湿性を有する膜体によって区画形成されて、両通気口間での水蒸気の移動を制御する水蒸気移動制御装置を備えている箱体を対象とした気密検査装置であって、
内部に圧力緩衝空間が形成された圧力取込ケーシングと、
先端が圧力取込ケーシングに接続され、基端が気体注入装置に接続された上流側送気路と、
先端に前記箱体との接続金具が設けられ、基端が前記圧力取込ケーシングに接続された下流側送気路と、
前記上流側送気路から分岐した往側圧力取込路と、前記圧力取込ケーシングから分岐した戻側圧力取込路との間に接続された差圧計とを備え、
前記上流側送気路と下流側送気路とは直線上に配置した状態で圧力取込ケーシングに接続されると共に、上流側送気路の先端管部は、その先端口が下流側送気路の基端部内部に開口するように、圧力緩衝空間内を通り過ぎて下流側送気路の基端部に挿入され、
前記戻側圧力取込路は、前記上流側送気路と下流側送気路とが配置された直線に対し角度を持つように分岐して圧力取込ケーシングに接続され、
前記気体注入装置から送気される往側気体を上流側送気路から下流側送気路を経て箱体の内部に送気すると共に、この箱体の内部から反射した戻側気体を下流側送気路から圧力緩衝空間を経て前記戻側圧力取込路から差圧計に取り込み、
この戻側圧力取込路から差圧計に取り込んだ戻側気体の圧力と、前記往側圧力取込路から差圧計に取り込んだ往側気体の圧力との差圧を計測することを特徴とした水蒸気移動制御装置を備えた箱体の気密検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の気密検査装置において、前記下流側送気路の先端に、箱体の内部から流下した水を受け止めるために水受け器が設けられている水蒸気移動制御装置を備えた箱体の気密検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の気密検査装置において、前記戻側圧力取込路は、前記上流側送気路と下流側送気路とが配置された直線に対し直角に分岐するように圧力取込ケーシングに接続されている水蒸気移動制御装置を備えた箱体の気密検査装置。
【請求項４】
請求項１又は２又は３記載の気密検査装置において、前記気体注入装置の吸気側に空気乾燥手段が設けられている水蒸気移動制御装置を備えた箱体の気密検査装置。
【請求項５】
請求項１又は２又は３又は４記載の気密検査装置において、前記上流側送気路から分岐した通気路に圧力安全弁が設けられている水蒸気移動制御装置を備えた箱体の気密検査装置。
【請求項６】
請求項５記載の気密検査装置において、
前記圧力安全弁は、一端が前記上流側送気路に接続されると共に他端の通気口が弁室内に開口された通気路と、一端が大気に連通されると共に他端の排気口が弁室内に開口された排気路とがシリンダー内に該シリンダーの軸方向に形成され、
前記弁室内に弁体としての鉄含有球体が収容され、この鉄含有球体が、常時は前記通気口を囲む状態に形成された弁座に密着した状態に保持されて通気路と排気路との連通を遮断させ、一方、被使用装置に異常圧力が生じると、弁座から離反して通気路と排気路を連通させるように形成された圧力安全弁であって、
前記鉄含有球体を前記弁座に密着した状態に保持させる手段として磁石が用いられ、
この磁石は、前記鉄含有球体が弁座に密着した状態において、鉄含有球体及び弁座から離隔をおいて配置され、
前記鉄含有球体を弁座に吸着して密着保持させるための磁力が、前記被使用装置の動作上要求される動作しきい値に調整されている水蒸気移動制御装置を備えた箱体の気密検査装置。
【請求項７】
請求項５又は６記載の気密検査装置において、前記磁石をシリンダの軸方向に移動させて、磁石と、鉄含有球体及び弁座との離隔距離を調整するための離隔調整手段が設けられている水蒸気移動制御装置を備えた箱体の気密検査装置。
【請求項８】
請求項５又は６又は７記載の気密検査装置において、前記磁石の取り付け位置を調整するためのスペーサが設けられている水蒸気移動制御装置を備えた箱体の気密検査装置。
【請求項９】
請求項５〜８のいずれかに記載の気密検査装置において、弁室内に開口された排気口の内面に、鉄含有球体の移動距離を大きくするための凹部が形成されている水蒸気移動制御装置を備えた箱体の気密検査装置。
【請求項１０】
請求項５〜９のいずれかに記載の気密検査装置において、弁座から離反した鉄含有球体が排気口を閉塞するのを防止するために、前記排気口の内面に排気路に連通する通気溝が形成されている水蒸気移動制御装置を備えた箱体の気密検査装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、特殊な膜体とその配列で水蒸気の移動方向を制御することによって、加湿装置、除湿装置、調湿装置等として利用される水蒸気移動制御装置を備えた箱体の気密検査装置に関する。
本出願人において、既に水蒸気移動制御装置を提案している（特開平５−３２２０６０号公報参照）。
又、水蒸気移動制御装置を取り付けた箱体の気密状態を確認する気密検査装置についても、本出願人において、既に提案している（国際公開第９９／６６３００号パンフレット参照）。
この従来の水蒸気移動制御装置は、一方の通気口が箱体の内部に連通され、他方の通気口が大気に開放され、この二つの通気口間に複数の小室が通気性及び透湿性を有する膜体によって区画形成されている。
そして、各膜体の通気度及び透湿度を使用して、外気と箱体の温度変動速度により、箱体の内部を除湿又は加湿又は調湿するように水蒸気の移動を制御するものであった。
この水蒸気移動制御装置は、上記したように、箱体に取り付けられるもので、この箱体の気密保持を前提として水蒸気移動制御装置が機能することになる。
このような箱体の気密状態を確認する気密検査装置は、図２０に示すように、水蒸気移動制御装置９が取り付けられた箱体９０の内部に送気管９１を介して連通する圧力緩衝空間９２と、この圧力緩衝空間９２を経て箱体９０の内部に気体を一定圧力で供給する気体注入装置９３と、圧力緩衝空間９２内の圧力を測定する圧力測定計９４を備えている。
使用に際しては、送気管９１を箱体９０連結したのち、気体注入装置９３からの空気を圧力調整弁９５で圧力緩衝空間９２を経て箱体９０内に一定圧力で注入しながら、この圧力緩衝空間９２内の圧力を圧力測定計９４及び圧力測定計９６で測定し、その測定圧力値が、気体の注入前の圧力値よりも上昇する速度がほぼ等しい場合は箱体９０の気密が保持され、測定圧力値が、注入前の圧力値との変化が大きな場合には箱体９０の気密が漏洩していると認定する検査方法であった。
水蒸気移動制御装置を備えた箱体の気密検査装置では、水蒸気移動制御装置に設けられている膜体や箱体等にストレスを加えることがないように、できるだけ微弱な圧力を加えることが望ましく、この点から言えば、上記した従来の気密検査装置では、圧力緩衝空間９２内の圧力をそのまま圧力測定計９４で測定するために、どうしても高い圧力を加えなければならず、しかも圧力緩衝空間９２内の圧力をそのまま測定する圧力測定計９４及び圧力測定計９６を用いているため、測定感度も低くなり、検査の正確さに欠けるという問題を残していた。
又、水蒸気移動制御装置は、屋外（例えば、鉄塔）に設置された箱体に取り付けられるため、箱体に破損や扉の気密不良がある場合には、箱体の内部に雨水が侵入して溜まることがある。
このような状態で、気密検査装置を使用すると、箱体に送気管を連結した際に、雨水が送気管を流下して装置内部にまで侵入し、気密検査装置の故障を招いたり、又、感電事故等の安全面で問題が生じことになる。
また、このような気密検査装置にあっては、人為的な適用の過誤や、不可避な予測外の異常圧力によって、正確な測定ができないなど、機能不全を生じることがあり、このような機能不全を可及的に予防する必要がある。
本発明は、上記のような従来の問題を解決するためになされたもので、微弱な圧力をかけることによって、水蒸気移動制御装置の膜体や箱体にストレスを加えることなく、しかも高感度で精度よく箱体の気密状態を検査して、箱体の破損や膜体の破れ等を原因とした気密の漏洩を発見することができるようにした気密検査装置を提供することを第１の課題としている。
加えて、箱体の内部に水が溜まっているような場合での検査に際し、箱体から流下する水を直ちに受け止めて、装置の内部に水が侵入するのを防止して、適切な検査を行なうことができるようにした気密検査装置を提供することを第２の課題としている。
更に、異常圧力等による機能不全を回避できる気密検査装置を提供することを第３の課題としている。
発明の開示
上記第１の課題を解決するために、本発明（請求項１）の気密検査装置は、
一方の通気口が被検査体である箱体の内部に連通され、他方の通気口が大気に開放され、前記二つの通気口間に複数の小室が通気性及び透湿性を有する膜体によって区画形成されて、両通気口間での水蒸気の移動を制御する水蒸気移動制御装置を備えている箱体を対象とした気密検査装置であって、
内部に圧力緩衝空間が形成された圧力取込ケーシングと、
先端が圧力取込ケーシングに接続され、基端が気体注入装置に接続された上流側送気路と、
先端に前記箱体との接続金具が設けられ、基端が前記圧力取込ケーシングに接続された下流側送気路と、
前記上流側送気路から分岐した往側圧力取込路と、前記圧力取込ケーシングから分岐した戻側圧力取込路との間に接続された差圧計とを備え、
前記上流側送気路と下流側送気路とは直線上に配置した状態で圧力取込ケーシングに接続されると共に、上流側送気路の先端管部は、その先端口が下流側送気路の基端部内部に開口するように、圧力緩衝空間内を通り過ぎて下流側送気路の基端部に挿入され、
前記戻側圧力取込路は、前記上流側送気路と下流側送気路とが配置された直線に対し角度を持つように分岐して圧力取込ケーシングに接続され、
前記気体注入装置から送気される往側気体を上流側送気路から下流側送気路を経て箱体の内部に送気すると共に、この箱体の内部から反射した戻側気体を下流側送気路から圧力緩衝空間を経て前記戻側圧力取込路から差圧計に取り込み、
この戻側圧力取込路から差圧計に取り込んだ戻側気体の圧力と、前記往側圧力取込路から差圧計に取り込んだ往側気体の圧力との差圧を計測する構成とした。
上記気密検査装置（請求項１）において、戻側圧力取込路から差圧計に取り込んだ戻側気体の圧力と、前記往側圧力取込路から差圧計に取り込んだ往側気体の圧力との差圧を計測した結果、往側気体の圧力が戻側気体の圧力よりも大きいと、差圧計が差圧を表示し、箱体又は膜体に破損が有って気密が漏洩していると認定し、又、往側気体の圧力と戻側気体の圧力とがほぼ同一の場合には、差圧計が差圧を表示しないことから気密が保持されていると認定することになる。
尚、前記気密検査装置において、箱体の気密が漏洩していると認定した場合でも、その漏洩が水蒸気移動制御装置の調湿能力を下回る程度であれば、水蒸気移動制御装置は、その機能を果たすことができ、漏洩が直ちに不良と認定されることはない。
又、上記第２の課題を解決するために、本発明（請求項２）の気密検査装置は、前記気密検査装置（請求項１）において、前記下流側送気路の先端に、箱体の内部から流下した水を受け止めるために水受け器が設けられている構成とした。
尚、前記発明（請求項１又は２）において、前記戻側圧力取込路は、前記上流側送気路と下流側送気路とが配置された直線に対し直角に分岐するように圧力取込ケーシングに接続されている態様（請求項３）がある。
又、前記発明（請求項１又は２又は３）において、前記気体注入装置の吸気側に空気乾燥手段が設けられている態様（請求項４）がある。
又、上記第３の課題を解決するために、本発明（請求項５）の気密検査装置は、前記気密検査装置（請求項１又は２又は３又は４）において、前記上流側送気路から分岐した通気路に圧力安全弁が設けられている構成とした。
尚、前記気密検査装置（請求項５）において、
前記圧力安全弁は、一端が前記上流側送気路に接続されると共に他端の通気口が弁室内に開口された通気路と、一端が大気に連通されると共に他端の排気口が弁室内に開口された排気路とがシリンダー内に該シリンダーの軸方向に形成され、
前記弁室内に弁体としての鉄含有球体が収容され、この鉄含有球体が、常時は前記通気口を囲む状態に形成された弁座に密着した状態に保持されて通気路と排気路との連通を遮断させ、一方、被使用装置に異常圧力が生じると、弁座から離反して通気路と排気路を連通させるように形成された圧力安全弁であって、
前記鉄含有球体を前記弁座に密着した状態に保持させる手段として磁石が用いられ、
この磁石は、前記鉄含有球体が弁座に密着した状態において、鉄含有球体及び弁座から離隔をおいて配置され、
前記鉄含有球体を弁座に吸着して密着保持させるための磁力が、前記被使用装置の動作上要求される動作しきい値に調整されている態様（請求項６）がある。
従って、この圧力安全弁では、磁石が鉄含有球体及び弁座と離隔を保つので、磁石に付着することがある磁石粉末や被磁性吸引物質（鉄粉など）によって、鉄含有球体の表面が汚損されることを予防し、球体の移動によって生じる磁石粉末の生成を予防することができる。
又、磁石の損耗や鉄含有球体の損耗によって発生した切削粉が、磁石に吸着されるため、弁座と鉄含有球体との気密性を妨げることがない。
又、磁力を用いて、鉄含有球体を弁座に密着させる構造であるため、弁動作が極低圧で動作可能となる。
又、磁石と鉄含有球体とは、接触することがない距離、即ち、最接近時でも鉄含有球体と磁石が距離を保つように距離をおくので、鉄含有球体が磁化することがなく、球体の弁座に対する吸着力が低下することがない。即ち、鉄含有球体と、弁座並びに磁石は電気的に絶縁され、又、鉄含有球体の運動距離も小さいので、一時磁性体である鉄含有球体が磁化しにくく、このため、弁座への吸着力は安定し、経年変化しにくい。
又、前記気密検査装置（請求項５又は６）において、前記磁石をシリンダの軸方向に移動させて、磁石と、鉄含有球体及び弁座との離隔距離を調整するための離隔調整手段が設けられている態様（請求項７）がある。
このように、離隔調整手段を設けることにより、鉄含有球体を弁座に吸着して密着保持させるための磁力を、鉄含有球体と磁石との微妙な距離関係の調整によって調整することができ、弁動作が極低圧で動作可能となるし、被使用装置の動作上要求される動作しきい値に的確に調整することができる。
又、前記気密検査装置（請求項５又は６又は７）において、前記磁石の取り付け位置を調整するためのスペーサが設けられている態様（請求項８）がある。
このように、スペーサを設けると、磁石の取り付け位置を調整でき、磁石による鉄含有球体に対する吸着力を調整できる。
又、前記気密検査装置（請求項５〜８のいずれか）において、弁室内に開口された排気口の内面に、鉄含有球体の移動距離を大きくするための凹部が形成されている態様（請求項９）がある。
このように、凹部を形成すると、前記離隔調整手段による調整幅を広く取ることができる。
又、前記気密検査装置（請求項５〜９のいずれか）において、弁座から離反した鉄含有球体が排気口を閉塞するのを防止するために、前記排気口の内面に排気路に連通する通気溝が形成されている態様（請求項１０）がある。
異常圧力によって大きな通気量が瞬間的に生じて、鉄含有球体が弁座から離反したとき、鉄含有球体によって排気口が閉塞されることがある。このように排気口が閉塞されると、異常圧力を逃がすことができなくなり、被使用装置側にトラブルが生じてしまう。
そこで、通気溝を設けることによって、鉄含有球体によって排気口が閉塞されたとしても、異常圧力を、この通気溝を介して排気路に逃がすことができる。
尚、鉄含有球体の表面を防蝕加工（例えば、テフロン加工、ニッケルコバルトメッキなどのメッキ加工）すると、鉄含有球体球体の錆び付きや表面が汚損するのを防止できるし、鉄含有球体の移動に伴う磁石粉末の生成を予防することができる。
この場合、鉄含有球体として、低質ステンレス鋼球によるベアリング球などの表面不動能化防蝕層を有する材質が好ましい。
尚、鉄含有球体は、磁性体にも変化する一時磁石であり、軟質（ソフト）磁性材料である。
又、弁座にフッ化ゴムによるパッキンを装着させると、鉄含有球体と弁座との気密性を確保でき、弁座と鉄含有球体との接触抵抗の軽減や耐油性による劣化予防などの効果が得られ、しきい値による動作が精密な弁構造にできる。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の実施の形態を図面に示す実施例より説明する。
図１は気密検査装置の１実施例を示す全体図、図２は気密検査装置に設けた圧力取込ケーシング部分の断面図、図３は気密検査装置に設けた水受け器の断面図である。
本実施例の気密検査装置Ａは、水蒸気移動制御装置Ｓを備えた箱体Ｋの内部の気密状態を検査するためのもので、微弱な圧力をかけることによって、水蒸気移動制御装置Ｓの膜体Ｍや箱体Ｋにストレスを加えることなく、しかも高感度で精度よく箱体Ｋの気密状態を検査して、箱体Ｋの破損や膜体Ｍの破れ等を原因とした気密の漏洩を発見することができるようにしたものである。
尚、箱体Ｋとしては、例えば、鉄塔やビルの屋上に設置されている電源キュービクル、制御ボックス、スイッチボックス、このほか配電ボックスや一定の閉路を有する空間が内部に形成された箱体等を想定している。
前記水蒸気移動制御装置Ｓは、３枚の膜体Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３（膜体を総称する場合は図面の符号Ｍとする）によって２個の小室Ｒ，Ｒが通気口Ｎ，Ｎ間に区画形成され、この両通気口Ｎ，Ｎ間で水蒸気の移動を制御するものとなっている。即ち、一方の通気口Ｎを外気に開放し、他方の通気口Ｎを箱体Ｋの内部に接続する状態にして使用されるもので、前記各膜体Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３の通気度及び透湿度の傾斜を活用して、外気と箱体Ｋの温度変動速度により、箱体Ｋの内部を除湿又は加湿（調湿）するように水蒸気の移動を制御する。
尚、この水蒸気移動制御装置Ｓとしては、周囲の温度変動のみを駆動源とするタイプと、周囲の温度変動に加えて微小電力で作動する機器（例えば、ベルチェ素子付与型、駆動ファン内蔵型、ヒータ内蔵型、振動圧付与型）を単独あるいは組み合わせて駆動源とするタイプとがあり、この両タイプを適用することができる。
後者のタイプでは、水蒸気が装置内部から拡散して調湿対象である閉鎖空間の反調湿現象が発生しないように、温度変動を利用しながら、その目的とする機能の反対の方向への水蒸気移動を阻止するのに有効である。
又、この水蒸気移動制御装置Ｓの箱体Ｋに対する取付位置は、箱体Ｋの上面下面、側面のいずれでもよく、状況に応じて適宜に決定する。
次に、気密検査装置Ａの構成を説明する。
図１、図２において、１は圧力取込ケーシングで、透明な合成樹脂により内部に圧力緩衝空間１０が形成された円柱形のケーシングに形成されている。この圧力取込ケーシング１には、中心線Ｃ（直線）上に配置されるように、下端面中央部に下端接続口１１が形成され、上端面中央部に上端接続口１２が形成されている。
又、側面に側面接続口１３が形成され、この側面接続口１３は、圧力緩衝空間１０の底面よりも高さＴを持った位置に形成されている。
又、１４はドレン口で、開閉弁１５を備えたドレン管路１６が取り付けられ、このドレン管路１６の先端には、逆止弁１７が取り付けられている。
この逆止弁１７は、後述するダイヤフラムポンプ４３の始動による排水の逆流を防ぐためと、気密検査装置Ａの温度変化による排水の逆流を防ぐために設けたもので、この逆止弁１７を設けることにより、排水は一方向にしか流れず、排水の逆流を防ぐことができる。
前記圧力取込ケーシング１の上端接続口１２には、フレキシブルホースによる下流側送気路１８の基端がコネクタ１９を介して着脱可能に接続され、この下流側送気路１８の先端には、箱体Ｋの内部から流下した水を受け止めるための水受け器２が設けられている。
前記上端接続口１２は、通常時は密閉状態に保たれ、気密検査にも使用することが可能である。上端接続口１２にコネクタ１９を装着した時は、上端接続口１２が開放して下流側送気路１８は連通状態となる。
尚、気密検査の前段階として、上端接続口１２を密封すると共に、開閉弁１５を開放させ、この状態で気密検査装置Ａを作動させることにより、各配管系や差圧計５４の内部を乾燥させ、内部の湿気を除去させることができる。
前記水受け器２は、図３に示すように、透明な合成樹脂により形成された円筒体２０の上端に上側接続筒２１を介して上端キャップ２２が取り付けられ、円筒体２０の下端に下側接続筒２３を介して下端キャップ２４が取り付けられ、前記上端キャップ２２に接続プラグ２５が突設され、下端キャップ２４に下流側送気路１８の先端が接続されている。
前記接続プラグ２５は、箱体Ｋの底面に取り付けたソケット２６にワンタッチで着脱可能に形成されるもので、このソケット２６は、常時は弁体２７により密封状態に閉鎖され、接続プラグ２５をソケット２６に嵌着させると、弁体２７が解放して箱体Ｋの内部と円筒体２０の内部が連通するようになっている。
又、前記下側接続筒２３の側面には開口部２８が形成され、この開口部２８を開閉するカバー筒２９が前記下側接続筒２３の外周に上下摺動可能に嵌合されている。このカバー筒２９は、常時は下降状態で開口部２８を閉鎖し、円筒体２０の内部に受け止めた水を排出する際には、上昇させて開口部２８を解放させるようになっている。
又、前記下端キャップ２４には、円筒体２０の内部において上方に延長した延長管３０が設けられ、この延長管３０の上端部に形成した連通口３１が円筒体２０の内部に開口されると共に、この連通口３１を覆うように、延長管３０の上端に防水カバー３２が取り付けられている。
従って、接続プラグ２５をソケット２６に嵌着させると、箱体Ｋの内部と円筒体２０の内部が連通し、そして、この円筒体２０の内部と延長管３０とが連通口３１を介して連通すると共に、延長管３０と下流側送気路１８とが連通しているため、下流側送気路１８と箱体Ｋの内部が一連に連通して気体の流通を確保することができる。
又、防水カバー３２を設けているため、連通口３１からの水の侵入を防止でき、延長管３０及び下流側送気路１８への水の侵入を防止することができる。
又、前記圧力取込ケーシング１には、上流側送気路４１を介して気体注入装置４２が接続されている。
この気体注入装置４２としては、微弱な圧力で空気を吐出送気するダイヤフラムポンプ４３が用いられ、このダイヤフラムポンプ４３の吐出口４４に上流側送気路４１の基端が接続され、上流側送気路４１の先端が圧力取込ケーシング１の下端接続口１１に接続されている。
この場合、前記上流側送気路４１の先端管部４５は、その先端口４６が下流側送気路１８の基端部内部に開口するように、圧力緩衝空間１０内を通り過ぎて下流側送気路１８の基端部に挿入されている。
前記ダイヤフラムポンプ４３は、電動モータ４７に連結されており、この電動モータ４７は、バッテリーを電源として作動するようになっている。そこで、バッテリーの消耗を予防するために、一定時間何ら操作スイッチ（後述するスタートスイッチ２０３など）が入り切りの操作が行なわれないときには、オートパワーオフ回路を用いて、例えば、５〜１０分経過後に主電源が自動的に切断されるようにしてもよい。このときの時間設定は、任意に変更することができる。
尚、このダイヤフラムポンプ４３は、安価で、構造簡単で、送気量が多いため、本発明の気密検査装置に好適に使用できるが、これ以外に遠心ポンプ等を使用することもできる。
又、ダイヤフラムポンプ４３及び電動モータ４７は、駆動ケーシング４８内に収容され、この駆動ケーシング４８の吸気口４９には、空気乾燥手段としてのシリカゲルケーシング５が送気管路５０を介して接続されている。この送気管路５０は、シリカゲルケーシング５の適宜位置に接続させることができる。
このシリカゲルケーシング５は、気密検査装置Ａを多湿環境時でも使用できるようにするためのもので、ダイヤフラムポンプ４３の吸気側に内部にシリカゲルを収納したシリカゲルケーシング５を接続し、外気が高湿度にある場合でも一定の水蒸気圧による乾燥空気を通気することにより、検査結果が安定して得られるように配慮したものである。
水蒸気圧は、最も温度変化に敏感で影響しやすいので、気密性の検査には影響しやすいことになる。そこで、シリカゲルケーシング５を付けない場合には検査ができないようにリードスイッチ２２１を設けている。このリードスイッチ２２１は、シリカゲルケーシング５の適宜位置に取り付けることができる。
又、シリカゲルケーシング５は、シリカゲルの劣化を確認できるように、透明ケーシングで形成されており、シリカゲルが吸湿状態にあって交換を要する場合には、通常は青色のシリカゲルがピンク色に変色する細粒を含むのが好ましい。
シリカゲルケーシング５を装着しない場合には、測定ができないが、シリカゲルを抜いた空のケーシングを装着したままの状態でも測定を行うことができる。ただし、この場合、気密検査装置Ａ内の管路の通気は一定の湿度以下に保たれていることはない。気密検査装置Ａ内の管路を乾燥させるためには、シリカゲルケーシング５を、青色の細粒の正規の乾燥したシリカゲルで満たし、通気運転を行う必要がある。
箱体Ｋ側や水蒸気移動制御装置Ｓが湿潤しているとき、与圧することにより、箱体Ｋや水蒸気移動制御装置Ｓ内の水蒸気は濃度変化を生じるので、箱体Ｋ側や水蒸気移動制御装置Ｓ内が湿潤状態にない時に比べて、気密性検査は高くなる場合もあれば、温度変化によっては次第に内部圧力の下降が発生する場合がある。そこで、与圧量を上げ、検査の所要時間を短縮することができる。
又、前記圧力取込ケーシング１の側面接続口１３には、戻側圧力取込路５２が中心線Ｃに対し直角に分岐するように接続され、又、前記上流側送気路４１には往側圧力取込路５３が分岐するように接続され、この往側圧力取込路５３と戻側圧力取込路５２との間に差圧計５４が接続されている。尚、前記戻側圧力取込路５２は、中心線Ｃに対し角度を持って分岐するように接続してもよく、この場合の角度は、中心線Ｃに対し３０°〜９０°の範囲が好ましい。
尚、圧力取込ケーシング１の上端接続口１２には、保護キャップ５５が着脱可能に取り付けられている。
又、この保護キャップ５５は、防塵、及び衝撃からの保護を目的として取り付けられるもので、取り外し状態での脱落を防止するために、チエン５６等によって本体ケーシング５７に取り付けられている。
又、前記送気管路５０から分岐した外気交通路５８が３方弁５９を介して戻側圧力取込路５２に接続されている。この３方弁５９を切り替えることによって、圧力取込ケーシング１の側面接続口１３と差圧計５４とが戻側圧力取込路５２によって連通する状態と、送気管路５０と差圧計５４とが外気交通路５８を介して連通する状態とに切替えることができる。
従って、箱体Ｋの容量が大容量の場合、３方弁５９の切替えによって送気管路５０からの外気を外気交通路５８により差圧計５４に取り込んで、その時の値を初期値として、以後の測定の基準値として用いるようにすれば、ポンプの故障や配管異常時の目安とすることができるし、計測時間の短縮を図ることができる。
又、前記上流側送気路４１には、往側圧力取込路５３よりも上流側に圧力安全弁が設けられている。
この圧力安全弁の特徴としては、圧力の動作しきい値が例えば５ｃｍ水柱のような低い値で動作させることができ、又、１ｍ〜１．５ｍ水中のような高い圧力まで調節して変化でき、かつ長期にわたる使用によっても、動作しきい値となる圧力条件は変化しにくく、劣化速度が遅く安定して使用することができる。
又、本発明の気密検査装置Ａを用いて、水蒸気移動正制御装置Ｓ自体の破損や性能劣化を検査するために、図１仮想線で示すように、測定口付き仮封蓋Ｓ１を水蒸気移動制御装置Ｓの箱体内側又は外気側に装着して、この測定口付き仮封蓋Ｓ１に設けた測定口Ｓ１０を介して水受け器２または上端接続口１２などの下流側送気路１８に接続コネクタを用いて接続させることができる。
又、箱体側の機密検査を補助するために、水蒸気移動制御装置Ｓを仮封する場合もある。即ち、水蒸気移動制御装置Ｓ自体に破損が生じているか、施工中の過程にあって箱体Ｋの気密を確保するための通線経路などの気密施工の過程には水蒸気移動制御装置Ｓを仮封した方が簡便である。そこで、このような場合には、図１破線で示すように、仮封蓋Ｓ２を水蒸気移動制御装置Ｓの箱体内側又は外気側に装着して、気密検査を簡素化することができる。尚、仮封蓋Ｓ２を水蒸気移動制御装置Ｓの外気側に装着することによって、水蒸気移動制御装置Ｓの膜体Ｍ１，Ｍ２の破損や劣化を確認することができる。
この圧力安全弁の構成を説明する。
図４は第１実施例の圧力安全弁Ｖ１を示す断面図、図５（イ）、（ロ）、図６（イ）、（ロ）、図７（イ）、（ロ）は鉄含有球体と弁座との離反・密着状態を示す断面図、図８及び図９はパッキンの弁座に対する取り付け構造の例を示す断面図である。図１０は弁室に形成した通気溝を示す斜視図である。
図４において、６０はシリンダで、通気側シリンダ６１と、排気側シリンダ６２を備え、前記通気側シリンダ６１のネジ穴６１ａに排気側シリンダ６２のネジ部６２ａに螺合させることで一体に連結されている。
この通気側シリンダ６１と、排気側シリンダ６２は、透明合成樹脂（アクリル、ポリカーボネート等）により形成され、内部の状態が見え、水滴（結露）の付着や錆びや汚れ等、鉄含有球体７５の状態を確認することができるようになっている。その他、防カビ材を含有する合成樹脂や耐紫外線性の合成樹脂を用いることができるし、シリンダ６０に日除けを設けたり、耐熱材で覆ったりして保護してもよい。
前記通気側シリンダ６１は、その中心に組み付け穴６４が形成され、この組み付け穴６４には、内部が通気路６５に形成された通気管６６がシリンダ６０の軸方向に取り付けられている。
前記通気路６５の上端は屈曲可能なチューブ６７及び弁管路６８によって上流側送気路４１に連通され、他方、下端の通気口６９は弁室７０内に開口され、その通気口６９を囲む状態に前記通気管６６の下端面に弁座７１が形成されている。
又、前記通気側シリンダ６１の通気路６５の途中には、空気濾過手段としてのフイルタ７２が装着されており、前記組み付け穴６４に螺合させたエンド部材７３を着脱することによってフイルタ７２の交換ができるようになっている。
尚、前記弁座７１は、図５で示すように、通気路６５の通気口６９の内縁に沿うようにリング状のパッキン７４が装着されている形態のもの、図６に示すように、通気管６６の外縁に沿うようにリング状のパッキン７４が装着されている形態のもの、図７に示すように、通気管６６の下端面を凹面に形成しただけのものがある。この場合、弁体としての鉄含有球体７５との密着を確保しながら、鉄含有球体７５との付着防止を図る上で、図５で示す形態が最も好ましい。
尚、前記図５、図６、図７において、（イ）は鉄含有球体７５が弁座７１から離反した状態を示し、（ロ）は鉄含有球体７５が弁座７１に密着した状態を示している。
尚、弁座７１を形成する通気管６６の材料については、透磁体が用いられるもので、例えば、テフロン材やステンレス材、銅、真鍮、セラミックなどが考えられる。これらの材質の中でも、真鍮は加工性もよく、耐触性もよいが、低質のステンレス素材では、強度上、好ましいが、一時磁性体（一時磁石）となることがあり、一時磁石となる可能性がある材質は、通気管６６には好ましくない。また、弁座７１を形成する通気管６６には耐油性が要求され、腐蝕しにくい物質を選択する必要がある。
又、鉄含有球体７５の動作圧力の誤差を軽減し、微圧動作を確実にするためには、弁座７１への鉄含有球体７５の密着と、パッキン７４との離反が容易かつ確実に行なわれるように、パッキン７４の材質を選択する必要がある。
前記リング状のパッキン７４の材質としては、耐候性を考慮し、高温に耐え、耐油性に富む物質を選択する必要がある。また、空気中には、排ガスなどの油成分が浮遊していることがあり、このような汚損された空気も弁座７１を汚すことがある。
そこで、パッキン７４に用いられる材質として、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、アクリルゴム（ＡＣＭ）、シリコーンゴム（ＶＭＱ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ）などが用いられるが、このなかでも、フッ素ゴム（ＦＫＭ）が最も適している。
又、図８及び図９はパッキンの弁座に対する取り付け構造の例を示す断面図である。
図８では、パッキンとして断面楕円形のパッキン７６が用いられ、図９では、パッキンとして中程に切欠部が形成されたリップパッキン７７が用いられている。
鉄含有球体７５が弁座７１から離反する場合、鉄含有球体７５がパッキン７６，７７に引っ付いてしまうことがある。そこで、図に示すように、パッキン７６，７７の嵌合溝７８にアンダーカット部７９を形成して、鉄含有球体７５とパッキン７６，７７との引っ着きを防止するようにしている。
又、パッキン７６，７７の外径は嵌合溝７８の内径よりも大径に形成され、これにより、パッキン７６，７７と嵌合溝と７８を接着剤等で接着させることなく密着させてシール性を確保するようにしている。
図４で示すように、前記排気側シリンダ６２の中心には、前記通気路６５と一直線になるように排気路８０が形成され、この排気路８０の下端は大気に開放され、他方、上端の排気口８１は前記弁室７０内に開口されている。
尚、前記排気側シリンダ６２の上端面には、弁室７０の内面を形成する半円形凹部８２が排気路８０の排気口８１を囲む状態に形成され、この半円形凹部８２の上端縁がテーパ面８３に面取りされている。
又、前記排気側シリンダ６２の排気路８０の途中には、空気濾過手段としてのフイルタ８４が装着されており、排気側シリンダ６２の下端に螺合させたエンド部材８５を着脱することによってフイルタ８４の交換ができるようになっている。
前記弁室７０内には、弁体としての鉄含有球体７５が収容され、この鉄含有球体７５は、常時は弁座７１に密着した状態に保持されて通気路６５と排気路８０との連通を遮断させ、一方、被使用装置（箱体Ｋ）に異常圧力が生じると、弁座７１から離反して通気路６５と排気路８０を連通させるように形成されている。
前記鉄含有球体７５の表面は、防蝕加工（例えば、テフロン加工）されており、これにより、鉄含有球体７５の錆び付きや表面が汚損するのを防止できるし、鉄含有球体７５の移動に伴う磁石粉末の生成を予防することができる。
この場合、鉄含有球体７５として、低質ステンレス鋼球によるベアリング球などの表面不動能化防蝕層を有する材質が好ましい。
尚、鉄含有球体７５は、磁性体にも変化する一時磁石であり、軟質（ソフト）磁性材料である。
尚、前記弁座７１から離反した鉄含有球体７５が排気口８１を閉塞するのを防止するために、図１０に示すように、前記弁室７０の内面である半円形凹部８２からテーパ面８３にかけての部分に排気路８０に連通する通気溝８６が、排気側シリンダ６２に直接加工して形成されている。
そして、前記鉄含有球体７５を前記弁座７１に密着した状態に保持させる手段として磁石８７（永久磁石）が用いられている。
この磁石８７は、前記鉄含有球体７５を弁座７１に吸着して密着保持させるための磁力が、前記箱体Ｋに取り付けた水蒸気移動制御装置Ｓの動作上要求される動作しきい値に調整されている。
又、前記磁石８７は、前記鉄含有球体７５が弁座７１に密着した状態において、鉄含有球体７５及び弁座７１から離隔をおいて配置されている。
この場合、通気側シリンダ６１の内部に形成したシリンダ穴６１ｂに、２個のリング状の磁石８７，８７を重ねた状態で、前記通気管６６との間に隙を保持して嵌め込むことにより、磁石８７と、鉄含有球体７５及び弁座７１との間に離隔を設けるようにしている。
又、前記磁石８７には、この磁石８７をシリンダ６０の軸方向に移動させて、磁石８７と、鉄含有球体７５及び弁座７１との離隔距離を調整するための離隔調整手段が設けられている。
この離隔調整手段としては、シリンダ穴６１ｂの奥部にスプリング８８を設けて、このスプリング８８により前記磁石８７を常時は、排気側シリンダ６２に対向する方向（図面では下向き）に介在部材８７ａを介して付勢させるようにしている。
そして、前記排気側シリンダ６２の通気側シリンダ６１に対するネジ部６２ａとネジ穴６１ａとの螺合を利用して離隔距離を調整するもので、この場合、排気側シリンダ６２を後退方向（図面では下向き）に緩めていくと、前記スプリング８８により付勢されて磁石８７が下向きに移動し、磁石８７が鉄含有球体７５及び弁座７１に近づき、鉄含有球体７５に対して磁力を強く作用させることができる。
他方、排気側シリンダ６２を前進方向（図面では上向き）に締めていくと、前記スプリング８８により抗して磁石８７が上向きに移動し、磁石８７が鉄含有球体７５及び弁座７１から離れて、鉄含有球体７５に対して磁力を弱く作用させることができる。
このように、離隔距離の調整、すなわち、限度圧力の調整は、排気側シリンダ６２を締めたり、緩めたりすることで行なわれるため、その調整度合いを目視によって確認できるように、排気側シリンダ６２及び通気側シリンダ６１に、離隔距離を限度圧力に換算した目盛８９，８９を表示するようにしている。この場合の目盛８９，８９としては、距離測定具としてのノギスで用いられているような副尺目盛を用いるのが、正確な調整を行うためにも好ましい。このほか、目盛の表示として、取り付ける箱体Ｋの容積や使用する地域の平均温度帯域を表示して、簡便な調整を施すようにしてもよい。
このような弁機構では、鉄含有球体７５が弁座７１に接触する磁力強度や鉄含有球体７５の自重により密着力が大きく影響を受ける。
そこで、鉄含有球体７５と磁石８７との距離を大きく変化させる必要があり、このため、前記したように、弁室７０の内面に半円形凹部８２を形成しておくと、鉄含有球体７５の移動範囲が広くなり、その分、離隔調整手段による離隔距離の調整幅を大きく取ることができる。
次に、図１１は第２実施例の圧力安全弁を示す断面図である。
この圧力安全弁Ｖ２では、前記第１実施例のように、通気側シリンダ６１の内部に形成したシリンダ穴に磁石８７を嵌め込むと同時に、排気側シリンダ６２の内部にも磁石８７ｃを取り付けて、この両磁石８７，８７ｃを同一の磁極（図面では、Ｓ極同士）が対向するように配置している。
このように、同一の磁極を対向させる状態で、鉄含有球体７５の上下に磁石８７，８７ｃを配置させると、図で示すように、磁力線に歪みが生じて鉄含有球体７５を抱き込むようになるため、鉄含有球体７５に対して磁力を確実に作用させて、確実に作動させることができる。
尚、その他の構成は、前記第１実施例と同様である。
次に、図１２は第３実施例の圧力安全弁を示す断面図である。
この圧力安全弁Ｖ３では、磁石８７は、前記鉄含有球体７５が弁座７１に密着した状態において、鉄含有球体７５及び弁座７１から離隔をおいて配置されているが、この場合、通気側シリンダ６１の内部に形成したシリンダ穴６１ｂに、１個のリング状の磁石８７を、前記通気管６６との管に隙を保持して嵌め込むと共に、この磁石８７と介在部材８７ａの間にスペーサ８７ｂを取り付けることで、磁石８７と、鉄含有球体７５との間隔を調整できるようにしている。
すなわち、スペーサ８７ｂの高さを変更させることにより、磁石８７の取り付け位置（鉄含有球体７５との間隔）を調整でき、磁石８７による鉄含有球体７５に対する吸着力を調整できる。
尚、その他の構成及び作用は、前記第１実施例の圧力安全弁Ｖ１と同様である。
本実施例の圧力安全弁は、本体ケーシング５７に天地反転可能に取り付けられている。
この場合、本体ケーシング５７の外側面に固定プレート１００を取り付け、この固定プレート１００及び本体ケーシング５７の側壁を貫通して反転ケース１０１が天地反転可能に軸支され、この反転ケース１０１内に圧力安全弁Ｖ１が取り付けられている。
又、固定プレート１００及び本体ケーシング５７の側壁を貫通して連通管１０２が設けられると共に、前記反転ケース１０１には、この連通管１０２を貫通させる半円弧長穴によるガイド穴１０３が形成されている。なお、反転ケース１０１の外面は、透明板１０４により閉鎖され、この透明板１０４を通して内部が見えるようになっている。
前記連通管１０２は下流側送気路５に弁管路６８を介して接続されると共に、前記チューブ６７によって圧力安全弁Ｖ１の通気路６５に連通されている。
従って、反転ケース１０１を支軸１０４を中心として回転させると、この反転ケース１０１は、ガイド穴１０３が連通管１０２によってガイドされながら１８０°反転し、圧力安全弁Ｖ１を天地反転させることができる。
尚、圧力安全弁Ｖ１の天地位置は、係止装置１０５により位置決めできるようになっている。この係止装置１０５は、図１３に示すように、前記支軸１０４に設けたフランジ１０６の外周１８０°位置に係止凹部１０７，１０７を形成し、一方、この係止凹部１０７に係合させる係止ローラ１０８をテコ腕１０９に取り付けて、このテコ腕１０９に取り付けたスプリング１１０より、係止ローラ１０８を係止凹部１０７に係合させる状態に付勢させるようになっている。
前記反転ケース１０１を図１の状態から１８０度天地半転させると、圧力安全弁Ｖ１が図４の状態から天地反転して、鉄含有球体７５の自重が弁座７１に加わるため、この鉄含有球体７５の重量を考慮に入れて磁石８７の吸着力を調整する必要がある。
圧力安全弁Ｖ１は、弁を構成する鉄含有球体７５と磁石８７との上下の位置関係により，感応しきい値や応答圧力に差が発生する。圧力安全弁Ｖ１が図４の状態から天地反転して、鉄含有球体７５が磁石８７より上にある時は、鉄含有球体７５の自重により感応しきい値は高くなり、一方、図４に示すように、磁石８７が上方で鉄含有球体７５が下方にあるときは、感応しきい値は低くなりやすい。そこで、この上下の位置関係による感応しきい値の差を活用して、気密検査や調湿装置の検査を行うことができるように、圧力安全弁Ｖ１の上下の位置関係を１８０°天地反転させ、変更できるようにした。
通常は、図４に示すように、鉄含有球体７５が磁石８７の下方に配置されるように設定するので、同じ方向で測定を行えば、箱体Ｋへの与圧量は小さくなりやすい。他方、圧力安全弁Ｖ１の鉄含有球体７５が磁石８７の上方に位置する場合には、箱体Ｋへの与圧量は高くなりやすい。この差は、後述する図１８のグラフで示した差分と考えられる。
又、箱体Ｋが大きな容積を持つ場合や、気密に疑問がある場合には与圧量を大きくした方が検査時間を短縮できるが、水蒸気移動制御装置Ｓに対する負担は大きくなる。逆に水蒸気移動制御装置Ｓが装着されていない場合や箱体Ｋの気密に疑問がある場合には、適した検査方法となる。水蒸気移動制御装置Ｓの経年劣化に対して、残る耐力を検査したり、初期設定時の機能確認に用いることができる。一方、同じ方向の配置による検査では、与圧量は小さいので，容積の小さな箱体Ｋでの検査に有用である。
尚、本発明の実施例において、磁石８７の磁力は、鉄含有球体７５の重量を、約５ｇとして、約３０．８ｇｆ／ｃｍ２程度の永久磁石を用いた事例として、図４、図１１、図１２を示した。この他、磁石の磁力を強化したり、逆に減弱したものを用いることができるる。
又、磁石（磁性材料）の材質としては、Ａｌｎｉｃｏ  Ｒ−Ｃｏ；Ｂａフェライトによる硬質磁性材料や、Ｆｅ−Ｓｉ；Ｍｎ−Ｚｎフェライトによる軟質磁性材料を用いることができるが、硬質磁性材料が好ましい。
尚、本発明において、水蒸気移動制御装置や気密性検査装置等、箱体や圧力安全弁の各構成部材に防カビ樹脂を用いたり、その表面に防ガビ剤や撥水剤を使用することができるし、適宜の部位（特に、圧力安全弁の通気路）などに、温度指示塗料を塗布して、異常温度になったら表示するようにしてもよい。
尚、本発明の気密検査装置Ａにおいて、前記上流側送気路４１、下流側送気路１８、往側圧力取込路５３、戻側圧力取込路５２、送気管路５０、外気交通路５８等の配管、前記チューブ６７等は、耐熱性（耐寒：−５０℃〜＋５０℃、耐熱：−３０℃〜＋８０℃）を有するものを用いるのが好ましい。材質としては、吸水性が無い、例えば、塩化ビニル、軟質塩化ビニル等を使用するとよい。
図１８は本発明の圧力安全弁の限度圧力の試験結果をグラフで示した図である。
線Ｃ１：２個の磁石８７，８７を鉄含有球体７５の下方に配置した場合の限度圧力（図４の第１実施例の状態から天地反転させた状態）
線Ｃ２：１個の磁石８７を鉄含有球体７５の上方にスペーサ８７ｂを介して配置した場合の限度圧力（図１２の第３実施例の状態）
線Ｃ３：１個の磁石８７を鉄含有球体７５の下方にスペーサ７９を介して配置した場合の限度圧力
線Ｃ４：２個の磁石８７，８７を鉄含有球体７５の上方に配置した場合（図４の第１実施例の状態）の限度圧力
線Ｃ５：１個の磁石８７を鉄含有球体７５の上方及び下方に配置した時の限度圧力
この図では、磁石８７が鉄含有球体７５に近づいている時には、限度圧力が高く、磁石８７が鉄含有球体７５から離れていくと、限度圧力が低くなっていくことが判る。
従って、離隔調整手段によって、磁石８７と、鉄含有球体７５及び弁座７１との離隔距離を調整したり、又、スペーサ８７ｂによって、磁石８７の取り付け位置（鉄含有球体７５との間隔）を調整することにより、磁石８７による鉄含有球体７５への吸着力を調整できることが、この図によって理解できる。
尚、磁石８７による鉄含有球体７５への吸着力の調整を容易にするためには、磁石８７が鉄含有球体７５から離れていくにしたがって、限度圧力が次第に低くなっていくのが好ましく、この点では、図１８において、線Ｃ３、線Ｃ４、線Ｃ５の形態が好ましいといえる。
このように、本発明の圧力安全弁は、水蒸気移動制御装置の設定時に使用する気密性検査装置などの、内部の局部的な異常圧力が発生した場合に、この異常圧力を逃がすことができる。
又、磁石８７による鉄含有球体７５への吸着力を調整できるため、圧力安全弁の限度圧力を調整できるもので、従って、例えば、水蒸気移動制御装置としては、所定の規格による１種類の水蒸気移動制御装置を作り、この際、圧力安全弁の限度圧力を調整すれば、１種類の水蒸気移動制御装置をサイズや設置環境や材質が異なる条件の箱体に適用することができる。
この場合の水蒸気移動制御装置として、図１９で示すように、膜体の安全使用範囲Ｌよりも更に内側の範囲Ｌ１内で圧力安全弁が作動するようにしてもよいし、又、破壊しうる与圧範囲Ｌ２内であれば、安全使用範囲Ｌを越える範囲で圧力安全弁が作動するようにしてもよい。
従って、上記のように構成した圧力安全弁では、水蒸気や空気の移動の境界部の破壊や急速な劣化による水蒸気移動特性の変化に伴う水蒸気移動制御装置、加湿装置、除湿装置、およびこれらの設定時に使用する気密性検査装置などの、内部の局部的な異常圧力が発生した場合に、この異常圧力を逃がして、膜の破損を防止することができる。
又、磁石８７が鉄含有球体７５及び弁座７１と離隔を保つので、磁石８７に付着することがある磁石粉末や被磁性吸引物質（鉄粉など）によって、鉄含有球体７５の表面が汚損されることを予防し、鉄含有球体７５の移動によって生じる磁石粉末の生成を予防することができる。
又、磁石８７の損耗や鉄含有球体７５の損耗によって発生した切削粉が、磁石８７に吸着されるため、弁座７１と鉄含有球体７５との気密性を妨げることがない。
又、磁力を用いて、鉄含有球体７５を弁座７１に密着させる構造であるため、弁動作が極低圧で動作可能となる。
又、磁石８７と鉄含有球体７５とは、接触することがない距離、即ち、最接近時でも鉄含有球体７５と磁石８７が距離を保つように距離をおくので、鉄含有球体７５が磁化することがなく、鉄含有球体７５の弁座７１に対する吸着力が低下することがない。即ち、鉄含有球体７５と、弁座７１並びに磁石８７は電気的に絶縁され、又、鉄含有球体７５の運動距離も小さいので、一時磁性体である鉄含有球体７５が磁化しにくく、このため、弁座７１への吸着力は安定し、経年変化しにくい。
又、空気濾過手段としてのフイルタ７２，８４を設けているので、外気からの外来の被磁性吸引物質（鉄粉等）などの汚損物質（空気中の汚染物質として排気ガスオイル、塵埃、小動物など）や磁石に８７付着することがある磁石粉末や磁性吸引物質（鉄粉など）が、弁室７０内に侵入するのを防止できる。
離隔調整手段を設けているので、鉄含有球体７５を弁座７１に吸着して密着保持させるための磁力を、鉄含有球体７５と磁石８７との微妙な距離関係の調整によって調整することができ、弁動作が極低圧で動作可能となるし、被使用装置の動作上要求される動作しきい値に的確に調整することができる。
又、スペーサ８７ｂを設けると、磁石８７の取り付け位置を調整でき、磁石８７による鉄含有球体７５に対する吸着力を調整できるし、半円形凹部８２を形成させているので、離隔調整手段による調整幅を広く取ることができる。又、通気溝８６を設けているので、鉄含有球体７５によって排気口８１が閉塞されたとしても、異常圧力を、この通気溝８６を介して排気路８０に逃がすことができる。
更に、鉄含有球体７５の表面を防蝕加工させているので、鉄含有球体７５の錆び付きや表面が汚損するのを防止できるし、鉄含有球体７５の移動に伴う磁石粉末の生成を予防することができる。
弁座７１にフッ化ゴムによるパッキンを装着させているので、鉄含有球体７５と弁座７１との気密性を確保でき、弁座７１と鉄含有球体７５との接触抵抗の軽減や耐油性による劣化予防などの効果が得られ、精密な弁構造にできる。
本実施例の気密検査装置Ａには、図１４に示すように、その外側面に操作部２００が設けられている。
この操作部２００には、電源スイッチ２０１、照明スイッチ２０２、スタートスイッチ２０３、ブザースイッチ２０４、電圧切換スイッチ２０５、差圧計表示部２０６、タイマー設定ダイヤル２０７が設けられている。
尚、２０８はバッテリー収納部である。
本実施例の気密検査装置Ａは、作業者が携帯可能な本体ケーシング５７内に組み込まれている。
この本体ケーシング５７は、強化プラスチック製であり、断熱構造に形成するのが好ましい。
この本体ケーシング５７の外側面には、磁石２１０等の取付手段が設けられ、この取付手段によって、測定場所（例えば、鉄塔）における固定部材（例えば、鉄塔柱や梁等）に取り付けることができるようにしている。
尚、図示省略したが、本体ケーシングの適宜内面や圧力取込ケーシング１の下面等、適宜の場所にサーモペイントが施され、各部品が異常過熱した場合に、このサーモペイントの変色によって、その異常過熱を発見し易くしている。
又、各配管に用いるパイプ材として、その内面に防カビ材を塗布したり、防カビ材を含浸したパイプ材を用いることができる。
又、本体ケーシング５７に水蒸気移動制御装置を取り付けてもよく、これにより、気密検査装置Ａの内部（本体ケーシング５７の内部）の湿度調整を行なうことができる。
本体ケーシング５７内には、傾斜スイッチ２１１が取り付けられ、本体ケーシング５７が一定の角度を越えて取り付けられた場合に、振り子２１２が振れ限度を越えて傾斜してスイッチが入り、気密検査装置Ａの駆動を停止するようになっている。
この傾斜スイッチ２１１は気密検査装置Ａの傾斜が正規の傾き範囲内にあることを検出するためのものである。
尚、この傾斜スイッチ２１１は、振り子２１２で作動するため、その持ち運びに際し、振り子２１２が振れ動いてスイッチ本体等に衝突し、図１５のように振り子が屈曲等、変形して正確な判別ができなくなることがある。
そこで、図１６に示すように、振り子２１２の振れ動きをロック装置２１３に固定できるようにしている。このロック装置２１３は、手動ダイヤル２１４を往復回転させることで、クランクバー２１５を介してロックバー２１６を往復移動させ、図に示すように、このロックバー２１６の前進によって振り子２１２を固定させ、逆に、気密検査を行なう場合には、ロックバー２１６を後退させて振り子２１２の固定を解除させるようになっている。
次に、図１７に示すブロック図により、気密検査装置Ａの電気部品の制御回路を説明する。
まず、電源制御回路２２０は、リードスイッチ２２１を操作することでリレードライバ２３０を介してリレー２３１を動作させる事により電源部２３２から各回路への電源を制御する。
傾斜スイッチ２１１、リミットスイッチ２３３を設ける事により異常時に電源部２３２から各回路への電源を遮断できる。
この電源制御回路２２０の主要部品であるリードスイッチ２２１は、シリカゲルケーシング５に取り付けられ、通過空気の乾燥剤挿入時のみ各回路への電源を供給するために設けた。
又、傾斜スイッチ２１１は測定状態が正しい姿勢時の時のみ各回路への電源を供給するためのもので、本体ケーシング５７内に取り付けられている。
又、リミットスイッチ２３３は圧力安全弁Ｖ１の方向が正しい姿勢時の時のみ各回路への電源を供給するためのもので、前記図１３で示したテコ腕１０９の作動に連動し、圧力安全弁Ｖ１が上向き、或いは下向きの適正位置に位置決めされた状態でのみＯＮする。
次に、時限タイマーリレー回路２４０は、秒数設定部（タイマー設定ダイヤル２０７）を設定してスタートスイッチ２０３を操作する事でタイマーＩＣ２４２、リレードライバ２４３を介してリレー２４４を動作させる事により電源部２３２からリレードライバ２４５への電源を制御する。そして、ＬＥＤ２４６を設ける事によりリレー２４４を動作させたことを視覚的に確認できる。
この時限タイマーリレー回路２４０の主要部品である秒数設定部（タイマー設定ダイヤル２０７）は、箱体Ｋの容積と圧送空気の量における関係により設定できるようにしたもので、操作部２００に設けられている。
リレー２４４はダイヤフラムポンプ４３及び本体ケーシング５７内に設けたブザー２４７の動作を制御する。
次に、ロータリースイッチ２５０は、前記タイマー設定ダイヤル２０７を設定する際に同時にポンプ電圧設定部２５１を設定するもので、電圧切換スイッチ２０５を操作することでポンプ電圧設定部２５１に依存しない一定電圧に変更できる。
このロータリースイッチ２５０は、これを使用することでタイマー設定ダイヤル２０７、ポンプ電圧設定部２５１を同時に設定し、箱体容積と圧送空気の量における関係が一動作により設定可能であると共に測定時間の短縮が可能にするために設けた。
電圧切換スイッチ２０５は、タイマー設定ダイヤル２０７の設定はそのままにポンプ電圧設定部２５１に依存しない一定電圧に切換を行い、箱体容積と圧送空気の量における関係を任意に設定できるように設けた。
次に、微小電流増幅回路２６０は、リレー２６１を介したアナログ出力部２６２の出力を増幅回路２６３、リレードライバ２６４を介してリレー２６５を動作させることにより、電源部２３２からリレードライバ２４５への電源を制御する。なお、ＬＥＤ２６６を設ける事によりリレー２６５を動作させた事を視覚的に確認できる。
微小電流増幅回路２６０の主要部品であるリレー２６５はダイヤフラムポンプ４３、ブザー２４７の動作を制御する。
次に、差圧計５４の差圧の値を用いてリレードライバ２７１を介してリレー２６１を動作させることによりアナログ出力部２６２から増幅回路２６３への出力を制御する。
この差圧計５４の主要部品であるリレー２６１はアナログ出力を制御する。
ダイヤフラムポンプ４３及びブザー２４７ついては、リレードライバ２４５を介してリレー２４８を動作させることにより、電源部２３２からダイヤフラムポンプ４３、ブザー２４７への電源を制御する。
ブザースイッチ２０４を操作することでリレー２４８に依存せずにブザー２４７の動作を制御できる。
ダイヤフラムポンプ４３は箱体内に空気を圧送するために設けた。このダイヤフラムポンプ４３の回転速度については、一定速度でもよいし、又、箱体の容量に応じ、例えば、容量が大きくなるほど回転速度を増加させるように調整できるようにすれば、検査時間の短縮を図ることができる。尚、一定速度の場合には、本気密検査装置の機能テストに用いることができる。
又、ブザー２４７は聴覚的に圧力増加、測定終了を確認できるように設けた。
次に、ＥＬ回路２８０は、照明スイッチ２０２を操作することでインバータ２８１を介してＥＬ板２８２（シート状照光板）の動作を制御する。
このＥＬ回路２８０の主要部品であるＥＬ板２８２は通気路内に水分が入っていないかを暗闇内でも確認できるように設けた。
次に、電源スイッチ２０１は、箱体の容量に応じて電源部２３２から回路全体への電源を制御することができるように切り換えることができるし、この電源スイッチ２０１を操作することで同時に秒数設定部（タイマー設定ダイヤル２０７）も設定できるようになっている。
尚、電源制御回路２２０の検出に関連した傾斜スイッチ２１１、リミットスイッチ２３３、スタートスイッチ２０３等については、動作点検用、又は測定を簡略にするためのジャンパースイッチを設けてもよい。
本実施例の気密検査装置Ａを使用するには、箱体Ｋに設けたソケット２６に水受け器２の上端に設けた接続プラグ２５を嵌着させ、この状態で、電動モータ４７によりダイヤフラムポンプ４３を作動させる。
このダイヤフラムポンプ４３から送気される往側気体は、上流側送気路４１から下流側送気路１８を経て箱体Ｋの内部に送気され、この箱体Ｋ及び下流側送気路１８の内部から反射した戻側気体は下流側送気路１８から圧力緩衝空間１０を経て戻側圧力取込路５２から差圧計５４に取り込まれる。
そして、この戻側圧力取込路５２から差圧計５４に取り込まれた戻側気体の圧力Ｐ２と、前記往側圧力取込路５３から差圧計５４に取り込まれた往側気体の圧力Ｐ１との差圧を差圧計５４によって計測することで、箱体Ｋの気密状態を検査することになる。
この場合、戻側圧力取込路５２から差圧計５４に取り込んだ戻側気体の圧力Ｐ２と、前記往側圧力取込路５３から差圧計５４に取り込んだ往側気体の圧力Ｐ１との差圧を計測した結果、往側気体の圧力Ｐ１が戻側気体の圧力Ｐ２よりも大きいと（Ｐ１＞Ｐ２）、箱体Ｋ又は膜体Ｍに破損が有って気密が漏洩していると認定し、又、往側気体の圧力Ｐ１と戻側気体の圧力Ｐ２とがほぼ同一の場合には（Ｐ１≒Ｐ２）、気密が保持されていると認定することになる。
尚、差圧計５４には、気密保持状態（Ｐ１≒Ｐ２）では、正常を表すランプが点灯し、又、一定時間経過後にタイマリレーでダイヤフラムポンプ４３の電動モータ４７に停止信号が出力され、ダイヤフラムポンプ４３を停止させるようになっている。又、異常圧力を一定時間以上検出したときにも、停止信号が出力され、ダイヤフラムポンプ４３を停止させるようになっている。
又、差圧計５４が故障しているような場合、ダイヤフラムポンプ４３の電動モータ４７への停止信号が出力されず、箱体Ｋや膜体Ｍへの過剰な与圧を生じてしまうことがある。そこで、このような過剰な与圧によって圧力安全弁Ｖ１が開くもので、この圧力安全弁Ｖ１の開放によって箱体Ｋの気密が保持されていると認定することができる。逆に箱体Ｋの気密が漏洩しているときは、そこから圧力の漏れが生じるため、圧力安全弁Ｖ１の開放はなく、このように、差圧計５４が故障している場合には、圧力安全弁Ｖ１の開閉によって箱体Ｋの気密状態を検査することができる。
上記のように、本実施例の気密検査装置Ａでは、ダイヤフラムポンプ４３によって微弱な圧力をかけることから、水蒸気移動制御装置Ｓの膜体Ｍや箱体Ｋにストレスを加えることないし、しかも差圧計５４を用いたので、測定しきい値が低くなり、高感度で精度よく箱体Ｋの気密状態を検査して、箱体Ｋの破損や膜体Ｍの破れ等を原因とした気密の漏洩を発見することができる。
特に、上流側送気路４１の先端管部４５を、その先端口４６が下流側送気路１８の基端部内部に開口するように、圧力緩衝空間１０内を通り過ぎて下流側送気路１８の基端部に挿入したので、往側気体と戻側気体とが圧力緩衝空間１０内で干渉し合うことによる乱流や空気振動の干渉波を防止できるし、更に、戻側圧力取込路５２を、中心線Ｃに対し角度（直角）を持って分岐するように接続したので、ダイヤフラムポンプ４３による脈動の影響を避けて戻側気体の圧力を圧力緩衝空間１０から静かに差圧計５４に取り込むことができ、差圧計５４による測定を高精度で行なうことができる。
尚、戻側圧力取込路５２の基端側や圧力取込ケーシング１の圧力緩衝空間１０内にサイレンサ（例えば、邪魔板構造）を設けるようにしてもよい。
又、下流側送気路１８の先端に水受け器２を設けているため、箱体Ｋの内部に雨水等の水が溜まっているような状態で、気密検査装置Ａを使用しても、箱体Ｋから流下する水は直ちに水受け器２の内部に受け止められ、装置の内部に水が侵入したり、感電事故を招くといったトラブルを防止することができる。
水受け器２を設けているにもかかわらず、下流側送気路１８と箱体Ｋの内部が一連に連通しているため、水を受け止めながら、気体の流通を確保することができ、気密検査装置Ａによる箱体Ｋの気密検査を支障なく行なうことができる。
又、水受け器２及び圧力取込ケーシング１が透明であるため、検査時の状態を目視によって確認することができる。
又、圧力安全弁Ｖ１を設けているので、異常圧力を逃がすことができ、機能不全、差圧計５４やダイヤフラムポンプ４３等の装置各部の破損を回避できる。
産業上の利用可能性
以上説明してきたように、本発明の気密検査装置（請求項１）によれば、差圧計を用いたので、微弱な圧力を測定でき、水蒸気移動制御装置の膜体や箱体にストレスを加えることなく、しかも高感度で精度よく箱体の気密状態を検査して、箱体の破損や膜体の破れ等を原因とした気密の漏洩を発見することができる。
特に、上流側送気路の先端管部を、その先端口が下流側送気路の基端部内部に開口するように、圧力緩衝空間内を通り過ぎて下流側送気路の基端部に挿入したので、往側気体と戻側気体とが圧力緩衝空間内で干渉し合うことによる乱流を防止できるし、更に、戻側圧力取込路を、中心線に対し角度（直角）を持って分岐するように接続したので、ダイヤフラムポンプによる脈動の影響を避けて戻側気体の圧力を圧力緩衝空間から静かに差圧計に取り込むことができ、差圧計による測定を高精度で行なうことができる。
又、本発明の気密検査装置（請求項２）によれば、加えて、箱体の内部に水が溜まっているような場合での検査に際し、箱体から流下する水を水受け器によって直ちに受け止めることができ、装置の内部に水が侵入したり、感電事故を招くといったトラブルを防止することができる。
又、本発明の気密検査装置（請求項４）によれば、気体注入装置の吸気側に空気乾燥手段を設けたので、外気が高湿度にある場合でも一定の水蒸気圧による乾燥空気を通気することができ、安定した検査結果を得ることができる。
又、本発明の気密検査装置（請求項５）によれば、圧力安全弁を設けたので、異常圧力を逃がすことができ、機能不全、差圧計やダイヤフラムポンプ等の装置各部の破損を回避できる。
又、本発明の気密検査装置（請求項６）によれば、圧力安全弁に関して、磁石が鉄含有球体及び弁座と離隔を保つので、磁石に付着することがある磁石粉末や被磁性吸引物質（鉄粉など）によって、鉄含有球体の表面が汚損されることを予防し、球体の移動によって生じる磁石粉末の生成を予防することができる。
又、磁石の損耗や鉄含有球体の損耗によって発生した切削粉が、磁石に吸着されるため、弁座と鉄含有球体との気密性を妨げることがない。
又、磁力を用いて、鉄含有球体を弁座に密着させる構造であるため、弁動作が極低圧で動作可能となる。
又、磁石と鉄含有球体とは、接触することがない距離、即ち、最接近時でも鉄含有球体と磁石が距離を保つように距離をおくので、鉄含有球体が磁化することがなく、球体の弁座に対する吸着力が低下することがない。即ち、鉄含有球体と、弁座並びに磁石は電気的に絶縁され、又、鉄含有球体の運動距離も小さいので、一時磁性体である鉄含有球体が磁化しにくく、このため、弁座への吸着力は安定し、経年変化しにくい。
又、本発明の気密検査装置（請求項７）によれば、圧力安全弁に関して、離隔調整手段を設けたので、鉄含有球体を弁座に吸着して密着保持させるための磁力を、鉄含有球体と磁石との微妙な距離関係の調整によって調整することができ、弁動作が極低圧で動作可能となるし、被使用装置の動作上要求される動作しきい値に的確に調整することができる。
又、本発明の気密検査装置（請求項８）によれば、圧力安全弁に関して、スペーサを設けたので、磁石の取り付け位置を調整でき、磁石による鉄含有球体に対する吸着力を調整できる。
又、本発明の気密検査装置（請求項９）によれば、圧力安全弁に関して、凹部（円形凹部）を形成したので、離隔調整手段による調整幅を広く取ることができる。
又、本発明の気密検査装置（請求項１０）によれば、圧力安全弁に関して、通気溝を設けたので、鉄含有球体によって排気口が閉塞されたとしても、異常圧力を、この通気溝を介して排気路に逃がすことができる。
【図面の簡単な説明】
図１は気密検査装置の１実施例を示す全体概略図である。
図２はこの気密検査装置に設けた圧力取込ケーシング部分の断面図である。
図３はこの気密検査装置に設けた水受け器の断面図である。
図４はこの気密検査装置に設けた圧力安全弁を示す断面図である。
図５は圧力安全弁における鉄含有球体と弁座との離反・密着状態を示す断面図である。
図６は圧力安全弁における鉄含有球体と弁座との離反・密着状態を示す断面図である。
図７は圧力安全弁における鉄含有球体と弁座との離反・密着状態を示す断面図である。
図８は圧力安全弁におけるパッキンの弁座に対する取り付け構造の例を示す断面図である。
図９は圧力安全弁におけるパッキンの弁座に対する取り付け構造の例を示す断面図である。
図１０は圧力安全弁における弁室に形成した通気溝を示す斜視図である。
図１１は第２実施例の圧力安全弁を示す断面図である。
図１２は第３実施例の圧力安全弁を示す断面図である。
図１３は気密検査装置に設けた圧力安全弁を天地位置に位置決めするための係止装置を示す説明図である。
図１４は気密検査装置に設けた操作部の説明図である。
図１５は気密検査装置に設けた傾斜スイッチの振り子が曲げ変形した状態の説明図である。
図１６は気密検査装置に設けた傾斜スイッチの振り子をロックするためのロック装置を示す説明図である。
図１７は気密検査装置の電気部品の制御回路を示すブロック図である。
図１８は低水圧試験装置を用いた圧力安全弁の限度圧力試験の結果をグラフで示した図である。
図１９は箱体に加わる圧力を日変化で示した図である。
図２０は従来の気密検査装置を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【国際調査報告】
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2003095964.tif 000024
2003095964.tif 000025
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