【事件の表示】
　特願２００７−５０６２９７「超高速光電子顕微鏡のための方法およびシステム」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年１０月２０日国際公開、ＷＯ２００５／０９８８９５、平成１９年１１月８日国内公表、特表２００７−５３１８７６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件は、平成１７年４月１日（パリ条約による優先権主張　外国庁受理　平成１６年４月２日　米国（ＵＳ））を国際出願日とする特許出願（２００７年特許願第５０６２９７号。以下「本件出願」という。）につき、平成２３年４月１日付けで拒絶査定（発送日：同月１２日）がなされたところ、拒絶査定不服審判が同年８月１２日に請求されるとともに同日付けで手続補正書が提出されたものである。
　　
第２　平成２３年８月１２日付けの手続補正について
（１）平成２３年８月１２日付けの手続補正書による手続補正（以下「本件補正」という。）の内容
　本件補正は、本件出願明細書の特許請求の範囲の請求項１〜請求項３７を以下のとおり補正することを含むものである。
　
　　ア　本件補正前（平成２３年１月２０日付けの手続補正書）の特許請求の範囲の請求項１〜請求項３７
「【請求項１】
　１以上の試料を画像化するためのシステムであって、
　画像化される試料を含むステージ装置と、
　持続時間が１ｐｓ未満の光子パルスを放出することができるレーザー源と、
　前記レーザー源によって照射され、持続時間が１ｐｓ未満で約１個から約１０００個の電子を有する電子パルスを放出することができるカソードと、
　前記電子パルスを前記ステージ装置上に配置された前記試料上に焦点が合うように適合された電子レンズ装置と、
　前記試料の画像を代表する前記試料を通過する１以上の電子を捕らえるように合わされ、前記試料の画像を代表する前記試料を通過する前記１以上の電子に関連するデータ信号を供給する検出器と、
　前記検出器に接続され、前記試料を表す前記画像の情報を出力するために、前記試料を通過する前記１以上の電子に関連する前記データ信号を処理するように適合されたプロセッサと、
　前記プロセッサに接続され、前記試料を表す前記画像の前記情報を出力するように適合された出力デバイスと、
　から構成されることを特徴とするシステム。
　　【請求項２】
　前記レーザー源は、半値全幅で５００ｆｓ未満の光子パルス列を供給するモードロックレーザー発振器を備える、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項３】
　前記半値全幅が１００ｆｓ未満である、
　ことを特徴とする請求項２に記載のシステム。
　　【請求項４】
　前記カソードはＬａＢ６を含む結晶から構成される、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項５】
　前記検出器はデジタル電荷結合素子カメラから構成される、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項６】
　前記プロセッサは透過型電子顕微鏡に関連づけられた画像プロセッサから構成される、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項７】
　前記試料は生物学的試料、化学的試料、物理学的試料、および電子的試料から選択される、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項８】
　前記光子パルスは多数の光子パルスのうちの１つである、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項９】
　前記試料は真空状態に維持される、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項１０】
　前記試料は室温または液体窒素温度に維持される、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項１１】
　コンピュータコードを含む１以上のメモリをさらに含み、前記コンピュータコードが、前記電子レンズ装置、前記検出器、前記プロセッサ、または前記出力デバイスのの少なくとも１つを制御するように適合された、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項１２】
　レーザー源と、カソードと、電子レンズ装置と、から構成される透過型電子顕微鏡を操作する方法であって、
　それぞれの半値全幅パルス長が持続時間において１ｐｓ未満であることを特徴とする光子パルス列を形成することと、
　ステージ装置上に配置された画像化のための試料を供給することと、
　前記光子パルス列を前記カソードに衝突させることによって、前記光子パルス列に関連し、電子パルスのそれぞれの半値全幅パルス長が持続時間において１ｐｓ未満であり、電子パルスのそれぞれが約１個から約１０００個の電子を有することを特徴とする電子パルス列を生成することと、
　少なくとも前記電子レンズ装置を用いて、前記電子パルス列を前記試料の方向に導くことと、
　前記電子パルス列の一部を、前記試料の画像の情報を得るための検出装置を用いて捕らえることと、
　前記試料の前記画像の前記情報を処理することと、
　から構成されることを特徴とする方法。
　　【請求項１３】
　前記光子パルス列は、半値全幅で５００ｆｓ未満の前記光子パルス列を生成するモードロックレーザー発振器から構成されるレーザー源から得られる、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項１４】
　前記カソードはＬａＢ６を含む結晶から構成される、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項１５】
　前記検出装置はデジタル電荷結合素子から構成される、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項１６】
　前記試料は真空環境に置かれることをさらに含む、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項１７】
　前記試料は室温または液体窒素温度に維持されることをさらに含む、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項１８】
　それぞれの前記電子パルスは約１０個から約１００個の電子を含む、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項１９】
　前記試料は生物学的試料、化学的試料、物理学的試料、半導体試料、絶縁体試料、および導体試料から選択される、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項２０】
　前記導くことは、少なくとも前記電子レンズ装置を用いて提供される、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項２１】
　前記電子パルス列の前記一部は前記試料の一部を通過する、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項２２】
　１以上の試料の特徴部を示すためのシステムであって、
　特徴付けられる試料を含むステージ装置と、
　持続期間が１ｐｓ未満の光子パルスを放出することができるレーザー源と、
　前記レーザー源によって照射され、持続期間が１ｐｓ未満で約１個から約１０００個の電子を有する電子パルスを放出することができるカソードと、
　前記ステージ装置上に配置された前記試料上に前記電子パルスの焦点を合わせるように適合された電子レンズ装置と、
　前記試料の構造を代表する１以上の電子に関連付けられるデータ信号を供給し、前記試料の構造を代表し前記試料を通過する前記１以上の電子を捕らえるように適合された検出器と、
　前記検出器に接続され、前記試料の構造に関連する情報を出力するために、前記試料の構造を代表する１以上の電子に関連付けられる前記データ信号を処理するように適合されたプロセッサと、
　前記プロセッサに接続され、前記試料の構造に関連付けられる前記情報を出力するように適合された出力デバイスと、
　から構成されることを特徴とするシステム。
　　【請求項２３】
　出力された前記情報は回折特性、画像特性、または分光学的特性に関連付けられている、
　ことを特徴とする請求項２２に記載のシステム。
　　【請求項２４】
　電子顕微鏡を用いて時間分解された画像を得る方法であって、
　画像化される試料の、サイズを有する特徴部を供給することと、
　前記試料をステージ装置上に載せることと、
　前記ステージ装置上の前記試料を真空状態に維持することと、
　電子パルスの平均の時間パルス幅が１ｐｓ未満で、電子パルスのそれぞれが約１個から約１０００個の電子を有する第１の電子パルス列を前記試料の前記特徴部に向けて導くことと、
　時間の第１の部分の間に前記試料の前記特徴部の第１の画像に関連付けられる前記第１の電子パルス列の第１の部分を、検出装置を用いて前記時間の第１の部分の間に捕らえることと、
　前記時間の第１の部分の間の前記試料の前記特徴部の前記第１の画像に関連付けられる前記第１の電子パルス列の前記第１の部分の第１の情報を、前記検出装置から処理デバイスに転送することと、
　電子パルスの平均の時間パルス幅が１ｐｓ未満ので、電子パルスのそれぞれが約１個から約１０００個の電子を有する第２の電子パルス列を前記試料の前記特徴部に向けて導くことと、
　時間の第２の部分の間に前記試料の前記特徴部の第２の画像に関連付けられる前記第２の電子パルス列の第２の部分を、前記検出装置を用いて前記時間の第２の部分の間に捕らえることと、
　前記時間の第２の部分の間の前記試料の前記特徴部の前記第２の画像に関連付けられる前記第２の電子パルス列の前記第２の部分の第２の情報を、前記検出装置から前記処理デバイスに転送することと、
　から構成されることを特徴とする方法。
　　【請求項２５】
　前記第１の電子パルス列と前記第２の電子パルス列とはパルスの時間幅の平均が５００ｆｓ未満である、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項２６】
　前記サイズは１００ナノメートル未満である、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項２７】
　前記第１の画像は、前記第２の画像と比べ１以上の異なった特徴部を有する、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項２８】
　前記時間の第１の部分の間であって前記時間の第２の部分の間ではないときに、電磁放射の１以上のパルスを用いて、前記試料の前記特徴部に照射することをさらに備える、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項２９】
　前記時間の第２の部分の間であって前記時間の第１の部分の間ではないときに、電磁放射の１以上のパルスを用いて、前記試料の前記特徴部に照射することをさらに備える、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項３０】
　前記電磁放射はレーザー源に由来する、
　ことを特徴とする請求項２８に記載の方法。
　　【請求項３１】
　前記電磁放射はレーザー源に由来する、
　ことを特徴とする請求項２９に記載の方法。
　　【請求項３２】
　前記時間の第１の部分は１秒から１０秒であり、前記時間の第２の部分は１秒から１０秒である、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項３３】
　前記第１の電子パルス列と前記第２の電子パルス列とは繰り返し数が１ＭＨｚ超である、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項３４】
　前記第１の電子パルス列と前記第２の電子パルス列とは繰り返し数が約８０ＭＨｚである、
　ことを特徴とする請求項３３に記載の方法。
　　【請求項３５】
　電子顕微鏡装置を用いて１以上の物体の特徴部の時間的特性を決定するための方法であって、
　１以上の特徴部を有しステージ装置上に配置された試料を供給することと、
　持続期間が１ｐｓ未満の半値全幅パルス長を有し、約１個から約１０００個の電子を有する１以上の電子パルスを生成することと、
　検出の期間に関連付けられた時間の期間の間に前記試料の前記１以上の特徴部に向けて前記１以上の電子パルスを導くことと、
　前記試料の前記１以上の特徴部の特性に関連付けられる情報を引き出すために、検出装置を用いて前記１以上の電子パルスの一部を捕らえることと、
　前記試料の前記１以上の特徴部の時間的特性を確認するために、前記情報を処理することと、
　から構成されることを特徴とする方法。
　　【請求項３６】
　前記試料の前記１以上の特徴部は前記試料全体である、
　ことを特徴とする請求項３５に記載の方法。
　　【請求項３７】
　前記検出の期間は、時間において、約２〜３ナノ秒から約５秒以下までの範囲に及ぶ、
　ことを特徴とする請求項３５に記載の方法。」
　　　
　　イ　本件補正後の特許請求の範囲の請求項１〜請求項３７
「【請求項１】
　１以上の試料を画像化するためのシステムであって、
　画像化される試料を含むステージ装置と、
　持続時間が１ｐｓ未満の光子パルスを放出することができるレーザー源と、
　前記レーザー源によって照射され、持続時間が１ｐｓ未満で約１個から約１０００個の電子を有する電子パルスを放出することができるカソードと、
　前記電子パルスを前記ステージ装置上に配置された前記試料上に焦点が合うように適合された電子レンズ装置と、
　前記試料の画像を代表する前記試料を通過する１以上の電子を捕らえるように合わされ、前記試料の画像を代表する前記試料を通過する前記１以上の電子に関連するデータ信号を供給する検出器と、
　前記検出器に接続され、前記試料を表す前記画像の情報を出力するために、前記試料を通過する前記１以上の電子に関連する前記データ信号を処理するように適合されたプロセッサと、
　前記プロセッサに接続され、前記試料を表す前記画像の前記情報を出力するように適合された出力デバイスと、
　から構成されることを特徴とするシステム。
　　【請求項２】
　前記レーザー源は、半値全幅で５００ｆｓ未満の光子パルス列を供給するモードロックレーザー発振器を備える、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項３】
　前記半値全幅が１００ｆｓ未満である、
　ことを特徴とする請求項２に記載のシステム。
　　【請求項４】
　前記カソードはＬａＢ６を含む結晶から構成される、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項５】
　前記検出器はデジタル電荷結合素子カメラから構成される、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項６】
　前記プロセッサは透過型電子顕微鏡に関連づけられた画像プロセッサから構成される、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項７】
　前記試料は生物学的試料、化学的試料、物理学的試料、および電子的試料から選択される、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項８】
　前記光子パルスは多数の光子パルスのうちの１つである、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項９】
　前記試料は真空状態に維持される、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項１０】
　前記試料は室温または液体窒素温度に維持される、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項１１】
　コンピュータコードを含む１以上のメモリをさらに含み、前記コンピュータコードが、前記電子レンズ装置、前記検出器、前記プロセッサ、または前記出力デバイスのの少なくとも１つを制御するように適合された、
　ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項１２】
　レーザー源と、カソードと、電子レンズ装置と、から構成される透過型電子顕微鏡を操作する方法であって、
　それぞれの半値全幅パルス長が持続時間において１ｐｓ未満であることを特徴とする光子パルス列を形成することと、
　ステージ装置上に配置された画像化のための試料を供給することと、
　前記光子パルス列を前記カソードに衝突させることによって、前記光子パルス列に関連し、電子パルスのそれぞれの半値全幅パルス長が持続時間において１ｐｓ未満であり、電子パルスのそれぞれが約１個から約１０００個の電子を有することを特徴とする電子パルス列を生成することと、
　少なくとも前記電子レンズ装置を用いて、前記電子パルス列を前記試料の方向に導くことと、
　前記電子パルス列の一部を、前記試料の画像の情報を得るための検出装置を用いて捕らえることと、
　前記試料の前記画像の前記情報を処理することと、
　から構成されることを特徴とする方法。
　　【請求項１３】
　前記光子パルス列は、半値全幅で５００ｆｓ未満の前記光子パルス列を生成するモードロックレーザー発振器から構成されるレーザー源から得られる、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項１４】
　前記カソードはＬａＢ６を含む結晶から構成される、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項１５】
　前記検出装置はデジタル電荷結合素子から構成される、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項１６】
　前記試料は真空環境に置かれることをさらに含む、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項１７】
　前記試料は室温または液体窒素温度に維持されることをさらに含む、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項１８】
　それぞれの前記電子パルスは約１０個から約１００個の電子を含む、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項１９】
　前記試料は生物学的試料、化学的試料、物理学的試料、半導体試料、絶縁体試料、および導体試料から選択される、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項２０】
　前記導くことは、少なくとも前記電子レンズ装置を用いて提供される、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項２１】
　前記電子パルス列の前記一部は前記試料の一部を通過する、
　ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
　　【請求項２２】
　１以上の試料の特徴部を示すためのシステムであって、
　特徴付けられる試料を含むステージ装置と、
　持続期間が１ｐｓ未満の光子パルスを放出することができるレーザー源と、
　前記レーザー源によって照射され、持続期間が１ｐｓ未満で約１個から約１０００個の電子を有する電子パルスを放出することができるカソードと、
　前記ステージ装置上に配置された前記試料上に前記電子パルスの焦点を合わせるように適合された電子レンズ装置と、
　前記試料の構造を代表する１以上の電子に関連付けられるデータ信号を供給し、前記試料の構造を代表し前記試料を通過する前記１以上の電子を捕らえるように適合された検出器と、
　前記検出器に接続され、前記試料の構造に関連する情報を出力するために、前記試料の構造を代表する１以上の電子に関連付けられる前記データ信号を処理するように適合されたプロセッサと、
　前記プロセッサに接続され、前記試料の構造に関連付けられる前記情報を出力するように適合された出力デバイスと、
　から構成されることを特徴とするシステム。
　　【請求項２３】
　出力された前記情報は回折特性、画像特性、または分光学的特性に関連付けられている、
　ことを特徴とする請求項２２に記載のシステム。
　　【請求項２４】
　電子顕微鏡を用いて時間分解された画像を得る方法であって、
　画像化される試料の、サイズを有する特徴部を供給することと、
　前記試料をステージ装置上に載せることと、
　前記ステージ装置上の前記試料を真空状態に維持することと、
　電子パルスの平均の時間パルス幅が１ｐｓ未満で、電子パルスのそれぞれが約１個から約１０００個の電子を有する第１の電子パルス列を前記試料の前記特徴部に向けて導くことと、
　時間の第１の部分の間に前記試料の前記特徴部の第１の画像に関連付けられる前記第１の電子パルス列の第１の部分を、検出装置を用いて前記時間の第１の部分の間に捕らえることと、
　前記時間の第１の部分の間の前記試料の前記特徴部の前記第１の画像に関連付けられる前記第１の電子パルス列の前記第１の部分の第１の情報を、前記検出装置から処理デバイスに転送することと、
　電子パルスの平均の時間パルス幅が１ｐｓ
未満で
　時間の第２の部分の間に前記試料の前記特徴部の第２の画像に関連付けられる前記第２の電子パルス列の第２の部分を、前記検出装置を用いて前記時間の第２の部分の間に捕らえることと、
　前記時間の第２の部分の間の前記試料の前記特徴部の前記第２の画像に関連付けられる前記第２の電子パルス列の前記第２の部分の第２の情報を、前記検出装置から前記処理デバイスに転送することと、
　から構成されることを特徴とする方法。
　　【請求項２５】
　前記第１の電子パルス列と前記第２の電子パルス列とはパルスの時間幅の平均が５００ｆｓ未満である、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項２６】
　前記サイズは１００ナノメートル未満である、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項２７】
　前記第１の画像は、前記第２の画像と比べ１以上の異なった特徴部を有する、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項２８】
　前記時間の第１の部分の間であって前記時間の第２の部分の間ではないときに、電磁放射の１以上のパルスを用いて、前記試料の前記特徴部に照射することをさらに備える、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項２９】
　前記時間の第２の部分の間であって前記時間の第１の部分の間ではないときに、電磁放射の１以上のパルスを用いて、前記試料の前記特徴部に照射することをさらに備える、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項３０】
　前記電磁放射はレーザー源に由来する、
　ことを特徴とする請求項２８に記載の方法。
　　【請求項３１】
　前記電磁放射はレーザー源に由来する、
　ことを特徴とする請求項２９に記載の方法。
　　【請求項３２】
　前記時間の第１の部分は１秒から１０秒であり、前記時間の第２の部分は１秒から１０秒である、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項３３】
　前記第１の電子パルス列と前記第２の電子パルス列とは繰り返し数が１ＭＨｚ超である、
　ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
　　【請求項３４】
　前記第１の電子パルス列と前記第２の電子パルス列とは繰り返し数が約８０ＭＨｚである、
　ことを特徴とする請求項３３に記載の方法。
　　【請求項３５】
　電子顕微鏡装置を用いて１以上の物体の特徴部の時間的特性を決定するための方法であって、
　１以上の特徴部を有しステージ装置上に配置された試料を供給することと、
　持続期間が１ｐｓ未満の半値全幅パルス長を有し、約１個から約１０００個の電子を有する１以上の電子パルスを生成することと、
　検出の期間に関連付けられた時間の期間の間に前記試料の前記１以上の特徴部に向けて前記１以上の電子パルスを導くことと、
　前記試料の前記１以上の特徴部の特性に関連付けられる情報を引き出すために、検出装置を用いて前記１以上の電子パルスの一部を捕らえることと、
　前記試料の前記１以上の特徴部の時間的特性を確認するために、前記情報を処理することと、
　から構成されることを特徴とする方法。
　　【請求項３６】
　前記試料の前記１以上の特徴部は前記試料全体である、
　ことを特徴とする請求項３５に記載の方法。
　　【請求項３７】
　前記検出の期間は、時間において、約２〜３ナノ秒から約５秒以下までの範囲に及ぶ、
　ことを特徴とする請求項３５に記載の方法。」
　（下線が補正箇所である。）
　　
　（２）　本件補正の目的の適否について
　本件補正は、本件補正前の請求項２４について、「未満ので」を「未満で」と補正することは、誤記の訂正にあたるものであって、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例とされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第３号の誤記の訂正に該当する。
　　
第３　本願発明について
　平成２３年８月１２日付けの手続補正は、上記のとおり適法になされたものと認められるので、本願の請求項１〜３７に係る発明は、平成２３年８月１２日提出の手続補正書で補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１〜３７記載された事項により特定されるとおりのものであって、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、上記「第２（１）イ　本件補正後の特許請求の範囲の請求項１〜請求項３７」の【請求項１】に記載した、次のとおりものと認める。
　　
「【請求項１】
　１以上の試料を画像化するためのシステムであって、
　画像化される試料を含むステージ装置と、
　持続時間が１ｐｓ未満の光子パルスを放出することができるレーザー源と、
　前記レーザー源によって照射され、持続時間が１ｐｓ未満で約１個から約１０００個の電子を有する電子パルスを放出することができるカソードと、
　前記電子パルスを前記ステージ装置上に配置された前記試料上に焦点が合うように適合された電子レンズ装置と、
　前記試料の画像を代表する前記試料を通過する１以上の電子を捕らえるように合わされ、前記試料の画像を代表する前記試料を通過する前記１以上の電子に関連するデータ信号を供給する検出器と、
　前記検出器に接続され、前記試料を表す前記画像の情報を出力するために、前記試料を通過する前記１以上の電子に関連する前記データ信号を処理するように適合されたプロセッサと、
　前記プロセッサに接続され、前記試料を表す前記画像の前記情報を出力するように適合された出力デバイスと、
　から構成されることを特徴とするシステム。」
　 
第４　引用刊行物記載の発明
（４Ａ）原査定の拒絶の理由に引用され、本件出願の優先権主張の日前に頒布された米国特許第５９６３３２９号明細書（以下、「引用刊行物Ａ」という。）には、以下の事項が図面とともに記載されている。（下線は当審で付与したものである。以下、同様である。）
　　
（４Ａ−１）「【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザー照射型電子銃に関するものである。さらに詳しくは、
この発明は、
電子ビームを発生させることができ、透過型電子顕微鏡
などの電子顕微鏡
電子ビームを必要とする技術分野に好適に用いることのできる、新しいレーザー照射型電子銃に関するものである
【０００２】
【従来の技術とその課題】従来より、電子顕微鏡に用いられている電子銃には、熱電子放出型電子銃と電界放射型電子銃が知られている。このうちの熱電子放出型電子銃は、高融点金属を高温に加熱することにより金属表面から飛び出す熱電子を引出し、この熱電子を加速することを特徴としている。一方、電界放射型電子銃は、電子銃のフィラメントの先端部を鋭く、曲率半径を小さくすることにより生じる強電界により電子ビームを発生・加速させるものであり、フィラメントを加熱する加熱式電界放射型電子銃と、フィラメントを全く加熱しない冷陰極式電界放射型電子銃がある。これらの電界放射型電子銃は、強電界による量子力学的トンネル効果を利用することにより電子ビームの電流密度、つまり輝度が熱電子放出型電子銃よりも約２桁程高い高輝度収束電子ビームを発生させることができるという特徴がある。この高輝度収束電子ビームの特徴である高輝度性および電子波の高干渉性により
電子顕微鏡において極微小領域の元素分析を高い位置精度で行うことができるようになり、短時間撮影による画質
が向上された
　
（４Ａ−２）「【０００５】
【作用】この発明では、上記の構成の通り、電子銃のフィラメント先端部にレーザー光を照射するようにしているが、この特徴をさらに原理的に説明すると、たとえば図１に例示したように、電子銃のフィラメントの先端部（１）の表面にレーザー光の振動数νの光子（３）が照射されると、光電効果によりフィラメントの表面近傍の自由電子（２）はｈν（ｈはプランク定数）のエネルギーを得る。このエネルギーと、フィラメントのレーザー照射による加熱と通電による加熱とにより自由電子（２）に与えられる熱エネルギーとの和のエネルギーが、自由電子（２）が表面から飛び出すために必要なエネルギーである仕事関数Ｗを越えた場合、フィラメントの表面近傍から電子（４）が放出される。つまり、表面から飛び出す電子（４）の運動エネルギーには、
【０００６】
【数１】
１
― ｍＶ２＝ｈν＋ｃｋＴ−Ｗ＞０
２
　　ｈν：レーザー光子のエネルギー（光電効果）
　ｃｋＴ：熱エネルギー
　　　ｃ＝０〜１
　　　ｋ＝ボルツマン定数
　　　Ｔ＝フィラメントの先端部の絶対温度
　　　Ｗ：仕事関数
　
【０００７】のような関係が成り立つ。すなわち、この関係がフィラメントからの電子の放出条件であり、この放出条件を満たすようにレーザー光の照射とフィラメントの通電加熱、及びフィラメントの先端部の曲率半径（Ｒ）を調整する。仕事関数Ｗは、フィラメントの先端部の曲率半径（Ｒ）の関数であり、曲率半径（Ｒ）が小さくなると、表面から放出された電子（４）を引き出すための引出し電極との電位差により生じるフィラメント先端部（１）周辺の電界強度が大きくなるためにＷは小さくなり、より多量の電子（４）が放出される。加熱式電界放射型電子銃を用いる場合、曲率半径（Ｒ）が約１００ｎｍの極微小値となるためにトンネル効果が発生して、これによりさらに多量の電子（４）が放出される。
【０００８】このように、レーザー光照射による光電効果、及び加熱による熱的効果、及び極微小曲率半径による量子力学的トンネル効果との相乗効果により極めて高い輝度を有する電子ビームを発生させることができる。レーザー光の波長については、これが短いほど、光電効果により電子に与えるエネルギーが大きくなる。しかし、波長が３００ｎｍ以下より短くなると、一般に量子効率（入射光子数に対する発生電子数の割合（％））が低下することも考慮する必要がある。このため、フィラメントの仕事関数、形状、印加電圧等に応じた最も電子が放出される最適条件の波長を選択する。たとえば、仕事関数が４．５４ｅＶのタングステンフィラメント（古くから、熱電子放出型電子銃に使用。また電界放射型電子銃でも使用されている。）では、波長２７３ｎｍ以下の短波長の光により、光電効果のみで電子が放出される。仕事関数がさらに小さい物質（たとえば、熱電子放出型電子銃として最も輝度が高いＬａＢ６ フィラメントの仕事関数は、２．６６ｅＶと小さい。）では、必ずしも可視光以下の短波長である必要はない。ただ、上記の量子効率が低下しない範囲では、波長が短いほど有利であると考えられる。
【０００９】また、フィラメント先端部から放出される電子は、フィラメントに照射されるレーザー光が強くなるほど多くなる。パルス波では、フィラメントから放出される電子の個数もパルス的に変化する。これは、少なくとも短時間の撮影を行う場合には好ましくない。しかし、パルス幅よりも十分長い露出時間では、それほど問題にならないかもしれない。ただ、パルス的に電流値が変化すると
電子線が照射される試料
【００１０】いずれの場合でも、最も多く電子を放出するレーザー光の波長は、フィラメントの材質（仕事関数、融点）、形状、印加電圧、温度および量子効率のパラメータから求められる。個々の材質（電子顕微鏡の材質）としては、従来よりＷ（タングステン）とＬａＢ6 （ランタンボライドヘキサゴナル）が最も多く使用されている。最近、電界放射型電子銃のオプション的なフィラメントとして、ＺｒＯ／Ｗも使用されている。これらの現存の個々のレーザーの特性を考慮し、フィラメントの選定と組み合わせて、最適な波長を選ぶこととなる。」
　
（４Ａ−３）「【００１２】この発明は、上記の通り、加熱式電界放射型電子銃の
フィラメントの先端部にレーザー光を照射することによ
電子ビームを発生させる
【００１３】電子顕微鏡用の電子ビ−ムとしてより輝度が高いものが得られることが以下の観点から重要である。
１）
短時間撮影の画質
の向上
２）輝度が高くなると必然的に、電子波の干渉性が向上し、電子線ホログラフィーが可能となる。電子線ホログラフィーの応用例としては、物質中の磁場の直接観察がある。このため、酸化物高温超電導体中の超電導状態における磁束量子の観察が可能になる。また、電子線ホログラフィーにより、電子顕微鏡の高分解能化が可能である。輝度が高いほど電子線ホログラフィーの高性能化が期待できる。
【００１４】３）干渉性が向上すると、電子顕微鏡の分解能が向上する。いわゆるインフォメーションリミットとよばれる特殊条件下での分解能の向上である。
４）分析電顕としては、分析時間の短縮化により、分析時の試料の微動量が短くなり、分析位置の精度が向上する。（分析では放出される特性Ｘ線の積算検出線量が分析精度向上のためにある一定量以上必要とされる。）
そしてまた、輝度が高いこと以外にもこの発明による電子顕微鏡用の電子ビームでは、次の通りの優れた性能を有している。
【００１５】○１（当審注：「○１」は○の中に数字１があることを意味する。以下、同様である。） 運動エネルギーの幅が小さいこと。
○２（当審注：「○１」は「○２」の誤記） 運動エネルギー（加速電圧）が時間的に安定していること。
○３（当審注：「○２」は「○３」の誤記）  輝度が時間的に安定していること。（これは秒単位以上の時間変動の意味）
○４（当審注：「○３」は「○４」の誤記）  収束性が良いこと。」
　
（４Ａ−４）「【００１６】
【実施例】以下、実施例を示しさらに詳しくこの発明について説明する。もちろんこの発明は以下の例によって限定されるものではない。図は、この発明の一実施例としてのレーザー照射型電子銃の構造を例示したものである。
レーザー発生器（６）より発生されたレーザー
入射されたレーザーは
フィラメント（１２）の先端部に収束照射される
レーザー照射されたフィラメント（１２）
からは
の電子が放出され
引き出される。引き出された電子は電子線収束用電磁石（１７）により収束された後
電子顕微鏡の試料室に入射される
【００１７】なお、以上の実施例では電子顕微鏡への利用を例示しているが、電子線ホログラフィー等の高輝度電子銃を必要とする技術分野への利用も行うことができる。」
　　
　上記（Ａ−１）〜（Ａ−４）の記載を参照すると、上記引用刊行物Ａには、
「分析用の試料に照射される電子ビームを発生させるためのレーザー照射型電子銃が用いられる透過型電子顕微鏡などの電子顕微鏡であって、
　電子ビームが照射される試料と、
　パルス波のレーザーを発生するレーザー発生器（６）と、
　レーザー発生器（６）より発生されたレーザーが収束照射され、電子ビームを発生させる電子銃のフィラメント（１２）と、
　フィラメント（１２）から発生させる電子ビームを電子顕微鏡の試料室の試料に照射されように収束させる電子線収束用電磁石（１７）と、
　から構成される電子顕微鏡。」
　の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
（４Ｂ）原査定の拒絶の理由に引用され、本件出願の優先権主張の日前に頒布された特開２００２−３５２７６２号公報（以下、「引用刊行物Ｂ」という。）には、以下の事項が図面とともに記載されている。
　
（４Ｂ−１）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料の観察結果を画像データとして保存する方式の電子顕微鏡に係り、特に、同一試料について観察作業を繰り返すことが多い用途に好適な電子顕微鏡に関する。」
　
（４Ｂ−２）「【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明による電子顕微鏡について、図示の実施の形態により詳細に説明する。図１は、本発明を透過型電子顕微鏡に適用した場合の一実施形態で、図示のように、電子顕微鏡本体１の上端(図において)に電子銃２が設けられていて、この電子銃２から放出された電子線Ｂが照射レンズ４により、試料ステージ５に保持されている試料Ｓに照射されるようになっている。
【００１５】そして、この試料Ｓを透過した電子線Ｂは、対物レンズ６と拡大レンズ系７によって拡大され、ＴＶカメラ８に投影される。このとき電子銃２は、電子銃制御装置１１により制御され、照射レンズ４と対物レンズ６、それに拡大レンズ系７は夫々照射レンズ制御装置１２、対物レンズ制御装置１３、拡大レンズ系制御装置１４により制御され、また、試料ステージ５は試料ステージ制御装置１５により制御される。
【００１６】従って、これらの装置、すなわち、電子銃制御装置１１、照射レンズ制御装置１２、対物レンズ制御装置１３、拡大レンズ系制御装置１４、それに試料ステージ制御装置１５が、観察条件設定装置を構成していることになる。
【００１７】ＴＶカメラ８は、シンチレータ板とＣＣＤなどの撮像素子を備え、これに投影された電子線Ｂを光に変換して各画素毎に検出し、検出された信号をＴＶカメラ制御装置１６に供給して時系列的な画像信号に変換する。そして、この画像信号がモニタ１７に供給され、ここで画像として表示される。また、このときＴＶカメラ制御装置１６から出力された画像信号は、制御装置１８にも供給され、ここでメモリに画像データとして記憶し保存される。
【００１８】電子顕微鏡本体１の下端部はカメラ室９を形成し、その中に蛍光板１０が設けてある。従って、図示してない機構を用い、ＴＶカメラ８を電子線３の経路から外すことにより、電子線Ｂによる試料Ｓの拡大画像が蛍光板１０の面上で観察できる。
【００１９】ところで、ここまでは、普通の電子顕微鏡とあまり変わらないが、この実施形態では、電子顕微鏡の観察条件設定装置、すなわち電子銃制御装置１１、照射レンズ制御装置１２、対物レンズ制御装置１３、拡大レンズ系制御装置１４、それに試料ステージ制御装置１５の夫々が、制御装置１８と所定の伝送線路で結合され、相互にデータの授受が行えるようになっていて、制御装置１８により観察条件が設定できるように実行されるように構成されている点で、従来技術とは大きく異なっている。
【００２０】このため、制御装置１８は、例えば所定のプログラムが搭載されたコンピュータを備え、これにより、上記した観察条件設定装置に供給して、それらを制御するのに必要な制御データを生成することができるように構成されている。」
　
（４Ｂ−３）「【００２８】そこで、制御装置１８は、まずＴＶカメラ８から取り込んだ画像信号をＴＩＦ形式(ＴＩＦＦ)のデータに変換する(処理Ａ２)。そして、このＴＩＦ形式に変換された画像データをメモリに記憶し、保存する(処理Ａ３)。
【００２９】一方、この画像データの保存と並行して、制御装置１８は、電子銃制御装置１１、照射レンズ制御装置１２、対物レンズ制御装置１３、それに拡大レンズ制御装置１４から、このときの画像の観察条件をデータとして取り込む。また、試料ステージ制御装置１５からも、同じく、このとき観察している試料Ｓの座標位置をデータとして取り込む。
【００３０】そして、これら観察条件と座標位置を表わすデータを、このときの画像データのタグデータとして、ＴＩＦ形式のタグ領域に記憶させる(処理Ａ４)。従って、この実施形態によれば、“画像記録処理”を実行することにより、或る所望の試料について観察を行った後は、その画像データと共に、その画像の観察条件がＴＩＦ形式のタグ領域に全て記憶され、保存されることになる。
【００３１】そして、この結果、或る試料について、その観察を行った後は、その画像データを読出すだけで、その画像の観察条件もデータとして一緒に読出せることになる。
【００３２】次に、“画像呼出し処理”について説明する。この画像呼出し処理は、操作者が或る所望の試料を選定し、それを試料Ｓとして試料ステージ５に載置し、制御装置１８に所定の指示を入力することにより開始される。このときの所定の指示とは、いま、ここで選定した試料Ｓについて、上記した画像記録処理により既にＴＩＦ形式として保存されている画像データを指定するものである。
【００３３】従って、このときの所望の試料については、上記した画像記録処理により既にＴＩＦ形式の画像データが保存されているものに限られる。なお、このような状況は、例えば或る試料について観察作業中、何等かの理由により作業を中断し、その後、同じ試料について観察作業を再開した場合などが該当する。
【００３４】こうして画像呼出し処理が開始されると、制御装置１８から指定された試料の画像データが呼び出される(処理Ａ５)。そこで、制御装置１８は、この画像データをモニタ１７に供給し、モニタ面に保存されている観察像を表示させ(処理Ａ６)、希望している画像データが正しく呼び出されたか否かが確認できるようにする。このとき、このＴＩＦ形式の画像データには、そのタグ領域に、対応する試料の観察条件と座標位置がタグデータとして付属して保存されている。」
　
（４Ｃ）原査定の拒絶の理由に引用され、本件出願の優先権主張の日前に頒布された特開２００２−９８６５５号公報（以下、「引用刊行物Ｃ」という。）には、以下の事項が図面とともに記載されている。
　
（４Ｃ−１）「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超短パルス電子回折装置
【０００２】
【従来の技術】
電子回折
現象は、固体の結晶構造や気体分子の構造を決定する
【０００３】近年、レーザー技術の発展に伴って、分子の運動を実時間で追跡する試みが行われるようになった。これも、レーザーパルスの時間幅を１ピコ秒よりも狭くすることができるようになり、分子の振動運動や回転運動のタイムスケールと同じ程度に短くなったことによる。このような実時間追跡は、化学反応の仕組みを調べる上で、極めて有効であることは言を待たないが、短パルス化されているものは光であるため、光励起による分子の変化を光によって追跡することになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、分子の時々刻々の動きを光パルスで追跡することは間接的な方法と考えられる。実際、得られたシグナルが二つの光パルスの時間差の関数として変化することをもって、分子の構造の推定をすることになる。
【０００５】このような背景を考えると、
電子パルスの幅を短くし１ピコ秒
よりも短くすることができれば、電子によって誘起された現象を電子回折によって追跡したり、光によって誘起された現象を電子回折によって追跡することが可能となり、分子構造や結晶の幾何学的な構造の時間変化を回折という極めて直接的な方法によって追跡できることになる
　
（４Ｃ−２）「【０００９】そこで、本発明は、上記状況に鑑みて、
フエムト秒領域での試料の分子構造の変化の実時間追跡を可能にする超短パルス電子回折装置
【００１０】
【発明を解決するための手段】本発明は、上記目的を達成するために、
〔１〕
超短パルス電子回折装置において、超短パルスレーザー光発生装置と、この超短パルスレーザー光発生装置からの超短パルスレーザー光が照射される陰極と、この陰極から発生する電子パルスを加速し、短い電子パルスを得る加速装置と、前記短い電子パルスを試料に作用させ
作用部における電子回折像を観測する手段とを具備する
【００１１】〔２〕上記〔１〕記載の超短パルス電子回折装置において、前記短い電子パルスは、回折像の観測に適している１０ｋｅＶから５０ｋｅＶ程度に加速した電子であることを特徴とする。
【００１２】〔３〕上記〔１〕記載の超短パルス電子回折装置において、前記陰極面にほぼ垂直にかつ電子放出方向とは逆方向に超短パルスレーザー光を照射することにより、前記陰極面での光電子放出の際のパルス幅の広がりを抑えるとともに、前記陰極から前記相互作用部までの距離を、前記短い電子パルスのクーロン反発による電子パルスの広がりを抑えるようにした、短い空間的距離に設定することを特徴とする。」
　
（４Ｃ−３）「【００２１】図１は本発明の実施例を示す超短パルス電子回折装置の模式図である。
【００２２】この図において、
１は超短パルスレーザー光発生装置、２はその発生装置１からの超短パルスレーザー光（紫外域）を反射するハーフミラー、３はその超短パルスレーザー光が照射される陰極、４はその陰極３から発生する電子パルスｅを加速し、短い電子パルスｅを得る加速装置
【００２３】５はその
電子パルスを試料
作用させ
７は
作用の結果を記録する蛍光スクリーン（蛍光板）
８は蛍光スクリーン７の回折像を観測する
ＣＣＤ検出器
【００２４】図２は本発明にかかる電子線パルス幅の飛行距離依存性を示す図、図３はその図２の電子線パルス幅の０〜５ピコ秒の部分の拡大図、図４は本発明にかかる飛行距離２０ｃｍにおける電子線パルス幅を示す図である。
【００２５】
図２及び図３は、レーザーパルス（パルス幅１００ｆｓ）
【００２６】また、図４は、
初期レーザーパルス幅を１０ｐｓ〜１００ｆｓ
　
（４Ｃ−４）「【００３３】このような工夫の結果、電子軌道のシミュレーションによれば、相互作用領域における電子パルスの時間幅は、電子数に依存するものの、１ピコ秒かそれ以下に短くできることが明らかとなった。また、超短パルスレーザー光を高繰り返し型とすることによって、単位時間あたりの総電子数を維持しながら１ショットあたりに生成する電子数を少なくすることが可能となる。この場合、レーザー光パルスの時間幅（たとえば１００ｆｓ）をほとんど再現する電子パルスが生成できる可能性がある。
【００３４】また、この場合、試料ガス６には、あらかじめ、超短パルスレーザー光発生装置１から分光し、遅延回路９を介した超短パルスレーザー光を照射したり、超短パルスレーザー光によって発生させた別の超短電子パルスを照射したりすることで励起するようにしておく。すると、プローブ用の超短電子パルスの照射時間の関数として回折像を記録することによって、時間の関数として気体分子の幾何学的構造や結晶表面、結晶構造を決定することができるようになる。
【００３５】このような、陰極表面から相互作用領域までの距離が短く設定された超高真空型チェンバーＢに
光電型超短パルス電子銃部Ａ
【００３６】以下、本発明の超短パルス電子回折装置の具体例について説明する。
【００３７】図５は本発明の具体例を示す超短パルス電子回折装置の正面図、図６は超短パルス電子回折装置の電子銃側を示す図、図７はその超短パルス電子回折装置の蛍光板側を示す図、図８はその超短パルス電子回折装置の電子加速部を示す図である。
【００３８】これらの図において、
Ａは光電型超短パルス電子銃部
Ｂは超高真空型チェンバ
１２は陰極、１３は電子を加速するための電極群
【００３９】この実施例によれば、相互作用領域１４に試料ガスを流し、電子回折像を電子線の進行方向に設置した蛍光スクリーン１５にて検出し」
　
（４Ｃ−５）「【図面の簡単な説明】
・・・
【図３】図２の電子線パルス幅の０〜５ピコ秒の部分の拡大図である。」
　
（４Ｃ−６）図２には、超短パルスレーザー光発生装置１の初期パルス幅が１００ｆｓにおいて、陰極３から発生する電子数（パルス）が少なければ少ないほど、また、電子の飛行距離が短ければ短いほど大きいほど電子パルス幅が狭くなることが示されている。
　また、図４には、
同じ電子数（パルス）では、初期パルス幅が短いほど電子パルス幅が狭くなるとともに、超短パルスレーザー光発生装置１の初期パルス幅が、１０ｐｓ、５ｐｓ、２ｐｓ、１ｐｓではなく、１ｐｓ未満の持続時間である、５００ｆｓ、２００ｆｓ、及び１００ｆｓにおいて、陰極３から発生する電子数（パルス）が１０
６
  から１０
４
に減るほど電子パルス幅（ｐｓ）が狭くなること、及び、電子数（パルス）が１．０×１０
４
〜１．５×１０
４
のとき、電子パルス幅が１ｐｓ未満となる
　
　上記引用刊行物Ｃの摘記事項（４Ｃ−１）〜（４Ｃ−６）の記載、とくに、同（４Ｃ−２）の、
「【０００９】そこで、本発明は、上記状況に鑑みて、
フエムト秒領域での試料の分子構造の変化の実時間追跡を可能にする超短パルス電子回折装置
　の記載に注目すると、上記引用刊行物Ｃには、
「光電型超短パルス電子銃部Ａと超高真空型チェンバーＢを有する超短パルス電子回折装置において、
　レーザーパルス幅が１０ｐｓ〜１００ｆｓと変化する超短パルスレーザー光発生装置１と、
　超短パルスレーザー光が照射される陰極３と、
　陰極３から発生する電子パルスｅを加速し、短い電子パルスｅを得る加速装置４とを備え、
　短い電子パルスｅを試料に作用させ、その結果を蛍光スクリーン７で記録し、ＣＣＤ検出器８で蛍光スクリーン７の回折像を観測して、フエムト秒領域での試料の分子構造の変化の実時間追跡を可能にする際に、
　レーザーパルス幅が１０ｐｓ、５ｐｓ、２ｐｓ、１ｐｓではなく、１ｐｓ未満の持続時間である、５００ｆｓ、２００ｆｓ、及び１００ｆｓにおいて、陰極３から発生する電子数（パルス）が１．０×１０４〜１．５×１０４とき、電子パルス幅が１ｐｓ未満となる超短パルス電子回折装置。」
　の発明が記載されているものと認められる。
　
第５　対比・判断
　（５−ａ）　本願発明と引用発明とを対比する。
（i）本件出願の明細書に、
「【０００７】
  本発明によれば、物体の映像化に関する技術が提供される。特に、
本発明は、透過型電子顕微鏡システムにおいて
１以上の物体を画像化する方法
　と記載されていることから、本願発明のシステムが、電子顕微鏡に関するシステムを含むことは明らかである。
　ところで、上記引用刊行物Ａの摘記事項（４Ａ−３）に、
「【００１３】電子顕微鏡用の電子ビ−ムとしてより輝度が高いものが得られることが以下の観点から重要である。
１）
短時間撮影の画質
　と記載されており、「画質」は、「写真やテレビなどの画像の総合的な品質」（広辞苑第５版）を意味することから、引用発明の「分析用試料に照射される電子ビームを発生させるためのレーザー照射型電子銃が用いられる透過型電子顕微鏡などの電子顕微鏡」が、電子ビームが照射された試料を撮影し、画像化する装置を備えていることは明らかである。そして、同摘記事項（４Ａ−１）に、
「【０００２】
【・・・この高輝度収束電子ビームの特徴である高輝度性および電子波の高干渉性により
電子顕微鏡において極微小領域の元素分析を高い位置精度で行うことができるようになり
　と記載されていることから、引用発明の電子顕微鏡が、各種の試料、すなわち、少なくとも１つ以上の試料の元素分析に用いられるものであるといえる。
　そうすると、引用発明の「分析用の試料に照射される電子ビームを発生させるためのレーザー照射型電子銃が用いられる透過型電子顕微鏡などの電子顕微鏡」が、本願発明の「１以上の試料を画像化するためのシステム」に相当する。
　
（ii）引用発明の「レーザー発生器（６）」は、パルス波のレーザーを発生することから、所定の時間幅のパルス波のレーザーを発生していることは明らかである。
　そうすると、引用発明の「パルス波のレーザーを発生するレーザー発生器（６）」と、本願発明の「持続時間が１ｐｓ未満の光子パルスを放出することができるレーザー源」とは、「持続時間が所定時間の光子パルスを放出することができるレーザー源」である点で共通する。
　
（iii）電子顕微鏡等の電子銃に使用されるフィラメントが、陰極として使用されることは、例えば、特開１０−９２３６６号公報に、
「【０００３】この走査型電子顕微鏡の構成例を図１に示す。電子線は電子銃部のウェネルト円筒内の陰極（フィラメント）を加熱して発生した電子が陽極で加速されたものである。」
　と記載され、また、特開２０００−１９５４５４号公報に、
「【０００２】
・・・特に最近は、
走査形電子顕微鏡
の電子銃に用いられ
ショットキーエミッション
タイプの電界放出型電子銃を備えた粒子線装置の電子銃部１
【０００３】
ショットキーエミッションタイプの電界放出型電子銃は
針状陰極６から電子１１を放出せしめ
針状陰極６のフィラメントを加熱電源Ｖｆで加熱する
　と記載されてるように技術常識である。
　他方、電子顕微鏡等の電子銃に使用されるカソードが、陰極として使用されることは、例えば、特開平４−１３２１３３号公報に、
「冷電子放出電極を用いたものとしては、走査型電子顕微鏡、電子線描画装置などがあり、電子源としての利用が可能である。このうち、冷電子放出電極を用いた走査型
電子顕微鏡は、その電子銃がポイントカソード（冷陰極）と、アノード（陽極）から構成されている
　と記載され、また、特開平１０−２９００５３号公報に、
「【００１５】
電子線源としては、例えば、透過型電子顕微鏡における電子線源と同様の電子線源を応用することができる
電子線源を、電子銃と集束レンズ系（コンデンサレンズ系）から構成することができる
電子銃として
ポイントカソード型の熱陰極
　と記載されているように技術常識である。
　そして、上記引用刊行物Ａの摘記事項（４Ａ−２）に、
「【０００９】また、フィラメント先端部から放出される電子は、フィラメントに照射されるレーザー光が強くなるほど多くなる。
パルス波では
放出される電子の個数もパルス的
と記載されていることから、引用発明の「電子銃のフィラメント（１２）」からは、所定時間、パルス的に電子ビームが発生することは明らかである。
　そうすると、引用発明の「レーザー発生器（６）より発生されたレーザーが収束照射され、電子ビームを発生させる電子銃のフィラメント（１２）」と、本願発明の「前記レーザー源によって照射され、持続時間が１ｐｓ未満で約１個から約１０００個の電子を有する電子パルスを放出することができるカソード」とは、「前記レーザー源によって照射され、所定時間、電子パルスを放出することができる陰極」である点で共通する。
　
（iv）引用発明の「電子線収束用電磁石（１７）」は、電子銃のフィラメント（１２）から発生させる電子ビームを電子顕微鏡の試料室の試料に照射するように収束させていることから、電子ビームを試料に収束させて照射するように制御していることになる。
　また、本願発明の「電子レンズ装置」は、電子パルスをステージ装置上に配置された試料上に焦点が合うように適合していることから、電子パルスを試料上に焦点があうようにして照射するように制御していることになる。
　そうすると、引用発明の「フィラメント（１２）から発生させる電子ビームを電子顕微鏡の試料室の試料に照射されように収束させる電子線収束用電磁石（１７）」と、本願発明の「前記電子パルスを前記ステージ装置上に配置された前記試料上に焦点が合うように適合された電子レンズ装置」とは、「前記電子パルスを前記試料上に照射できるように制御する電子レンズ装置」である点で共通する。
　
（v）上記（i）において検討したように、引用発明の「電子顕微鏡」は、電子ビームが照射された試料を撮影し、画像化する装置を備えていることは明らかである。
　そして、電子ビームが照射された試料を撮影していることから、引用発明の「電子顕微鏡」は、試料を撮影するための撮影手段を備えており、この「撮影手段」と、本願発明の「前記試料の画像を代表する前記試料を通過する１以上の電子を捕らえるように合わされ、前記試料の画像を代表する前記試料を通過する前記１以上の電子に関連するデータ信号を供給する検出器」とは、「前記試料の画像を得るための検出器」である点で共通する。
　また、透過型電子顕微鏡において、電子ビームが照射された試料を撮影し、画像化するする際に、上記引用刊行物Ｂの摘記事項（４Ｂ−２）及び（４Ｂ−３）にそれぞれ、
「【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明による電子顕微鏡について、図示の実施の形態により詳細に説明する。図１は、本発明を
透過型電子顕微鏡に適用した場合の一実施形態で
【００１５】そして、この試料Ｓを透過した電子線Ｂは、対物レンズ６と拡大レンズ系７によって拡大され、ＴＶカメラ８に投影される。・・・
・・・
【００１７】
ＴＶカメラ８
検出された信号をＴＶカメラ制御装置１６に供給して時系列的な画像信号に変換する
ＴＶカメラ制御装置１６から出力された画像信号は、制御装置１８にも供給され
　こと、及び
「【００２８】そこで、
制御装置１８は、まずＴＶカメラ８から取り込んだ画像信号をＴＩＦ形式(ＴＩＦＦ)のデータに変換する(処理Ａ２)
・・・
【００３４】こうして画像呼出し処理が開始されると
、制御装置１８から指定された試料の画像データが呼び出される
制御装置１８は、この画像データをモニタ１７に供給し、モニタ面に保存されている観察像を表示させ
　ことが記載されているように、撮影し画像化する際に、撮影し画像化するための制御手段を備えることは技術常識であるから、引用発明の透過型電子顕微鏡などの電子顕微鏡が電子ビームが照射された試料を撮影し画像化する際に、撮影し画像化するための制御手段を備えていることは明らかであり、この「制御手段」と本願発明の「前記検出器に接続され、前記試料を表す前記画像の情報を出力するために、前記試料を通過する前記１以上の電子に関連する前記データ信号を処理するように適合されたプロセッサ」とは、「前記検出器に接続され、前記試料を表す前記画像の情報を出力するために、処理する制御手段」である点で共通する。
　
（vi）上記（i）において検討したように、上記引用刊行物Ａの摘記事項（４Ａ−３）に、
「【００１３】・・・１）
短時間撮影の画質
　と記載されており、「画質」は、「写真やテレビなどの画像の総合的な品質」（広辞苑第５版）を意味することから、引用発明は、電子ビームが照射された試料を撮影し、画像化する装置を備えており、この「画像化する装置」には、テレビなどの画像化手段を含まれるとともに、上記（v）において検討した「制御手段」と画像化する際に関連があるといえるから、この「画像化する装置」と、本願発明の「前記プロセッサに接続され、前記試料を表す前記画像の前記情報を出力するように適合された出力デバイス」とは、「前記制御手段に接続され、前記試料を表す前記画像の前記情報を出力するように適合された出力デバイス」である点で共通する。
　
（vii）引用発明の「電子顕微鏡」が、本願発明の「システム」に相当する。
　　
　そうすると、本願発明と引用発明とは、
「１以上の試料を画像化するためのシステムであって、
　持続時間が所定時間の光子パルスを放出することができるレーザー源と、
　前記レーザー源によって照射され、所定時間、電子パルスを放出することができる陰極と、
　前記電子パルスを前記試料上に照射できるように制御する電子レンズ装置と、
　前記試料の画像を検出する検出器と、
　前記検出器に接続され、前記試料を表す前記画像の情報を出力するために、処理する制御手段と、
　前記制御手段に接続され、前記試料を表す前記画像の前記情報を出力するように適合された出力デバイスと、
　から構成されるシステム。」
　である点で一致し、次の相違点（あ）〜相違点（か）で相違している。
　　　　
・相違点（あ）
　本願発明では、「画像化される試料を含むステージ装置」を備えているのに対して、引用発明ではそのような構成を備えていない点。
　
・相違点（い）
　持続時間が所定時間の光子パルスを放出することができるレーザー源が、本願発明では、「持続時間が１ｐｓ未満の光子パルスを放出することができるレーザー源」であるのに対して、引用発明では、パルス波のレーザーを発生するレーザー発生器（６）である点。
　
・相違点（う）
　前記レーザー源によって照射され、所定時間、電子パルスを放出することができる陰極が、本願発明では「前記レーザー源によって照射され、持続時間が１ｐｓ未満で約１個から約１０００個の電子を有する電子パルスを放出することができるカソード」であるのに対して、引用発明では、レーザー発生器（６）より発生されたレーザーが収束照射され、電子ビームを発生させる電子銃のフィラメント（１２）である点。
　
・相違点（え）
　前記試料の画像を検出する検出器が、本願発明では、「前記試料の画像を代表する前記試料を通過する１以上の電子を捕らえるように合わされ、前記試料の画像を代表する前記試料を通過する前記１以上の電子に関連するデータ信号を供給する検出器」であるのに対して、引用発明では、試料を撮影するための撮影手段である点。
　
・相違点（お）
　前記検出器に接続され、前記試料を表す前記画像の情報を出力するために、処理する制御手段が、本願発明では、「前記検出器に接続され、前記試料を表す前記画像の情報を出力するために、前記試料を通過する前記１以上の電子に関連する前記データ信号を処理するように適合されたプロセッサ」であるのに対して、引用発明では、試料を撮影したものを画像化する処理をするための制御手段である点。
　
・相違点（か）
　前記試料を表す前記画像の前記情報を出力するように適合された出力デバイスが、本願発明では、「前記プロセッサに接続され」ているのに対して、引用発明では、制御手段と接続されている点。
　　
　（５−ｂ）当審の判断
・相違点（あ）について
　引用発明の透過型電子顕微鏡などの電子顕微鏡が、電子ビームが照射された試料を撮影し、画像化する装置を備えていることは、上記「（５−ａ）」の（i）において検討したとおりである。
　そして、試料を分析する透過型電子顕微鏡において、電子銃からの電子を試料に照射する際に、試料を試料ステージに載置することは、周知の技術事項である。
　例えば、上記引用刊行物Ｂの摘記事項（４Ｂ−１）及び（４Ｂ−２）にそれぞれ、
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、
試料の観察結果を画像データとして保存する方式の電子顕微鏡
　こと、及び　
（４Ｂ−２）「【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明による電子顕微鏡について、図示の実施の形態により詳細に説明する。図１は、本発明を
透過型電子顕微鏡に適用した場合の一実施形態で
の電子銃２から放出された電子線Ｂが照射レンズ４により、試料ステージ５に保持されている試料Ｓに照射される
　ことが記載されている。また、特開２０００−３３１６３７号公報には、
「【０００８】
【発明の実施の形態】実施例１
図１９は、本発明の実施例で使用する
透過電子顕微鏡
電子銃11
試料ステージ18及びその制御回路18’
・・・
【００４１】次に検査項目の設定を行う。生物の自動検査ではウィルスの形状や個数を検索する場合が多い。各ウィルスによって画像前処理や測定すべき幾何的特徴等の検査項目が設定され、計算機19にマクロプログラムとして記録されている。例えば
試料内に分散した直径約20nm〜30nmの球形ウィルスの数と各々の直径を測定する場合について考察する
　と記載されている。
　そうすると、引用発明の電子顕微鏡も上記周知の電子顕微鏡もともに試料を分析する透過型電子顕微鏡である点で共通することから、引用発明の電子顕微鏡において、試料を分析する際に、周知例のごとく、試料を試料ステージに載置して試料を分析する技術事項を採用して、本願発明のごとく、「画像化される試料を含むステージ装置」を備えることは当業者が容易になし得たものである。
　　
・相違点（い）について
　引用発明のレーザー発生器（６）のパルス波の幅の具体的な数値については何ら記載がない。
　しかしながら、上記引用刊行物Ａの摘記事項（４Ａ−３）に、
「【００１４】・・・
そしてまた、輝度が高いこと以外にも
この発明による電子顕微鏡用の電子ビームでは、次の通りの優れた性能を有している
【００１５】・・・
○４（当審注：「○３」は「○４」の誤記）  
収束性が良いこと
　が記載されており、この「収束性」は、「（１）おさまりをつけること。おさまりがつくこと。『自体の−をはかる』（２）・・・収斂。」（広辞苑第５版）を意味することから、引用発明の電子顕微鏡においても、レーザー発生器（６）からのパルス波のレーザーを電子銃のフィラメントに照射した際に、電子銃のフィラメントから発生する電子ビームに収束性があること、すなわち、電子ビームが収まりが良いことを課題としていることは明らかである。
　ところで、上記「第４　引用刊行物記載の発明」の（３Ｃ）において検討したように、上記引用刊行物Ｃには、
「光電型超短パルス電子銃部Ａと超高真空型チェンバーＢを有する超短パルス電子回折装置において、
　レーザーパルス幅が１０ｐｓ〜１００ｆｓと変化する超短パルスレーザー光発生装置１と、
　超短パルスレーザー光が照射される陰極３と、
　陰極３から発生する電子パルスｅを加速し、短い電子パルスｅを得る加速装置４とを備え、
　短い電子パルスｅを試料に作用させ、その結果を蛍光スクリーン７で記録し、ＣＣＤ検出器８で蛍光スクリーン７の回折像を観測して、フエムト秒領域での試料の分子構造の変化の実時間追跡を可能にする際に、
　レーザーパルス幅が１０ｐｓ、５ｐｓ、２ｐｓ、１ｐｓではなく、１ｐｓ未満の持続時間である、５００ｆｓ、２００ｆｓ、及び１００ｆｓにおいて、陰極３から発生する電子数（パルス）が１．０×１０４〜１．５×１０４とき、電子パルス幅が１ｐｓ未満となる超短パルス電子回折装置。」
　の発明が記載されており、さらに、フエムト秒領域での試料の分子構造の変化の実時間追跡を可能にするためには、フエムト秒の電子パルス幅の電子ビームを試料に照射する必要があることは物理的にみて自明な技術事項であるから、上記引用刊行物Ｃに記載された発明では、フエムト秒領域での試料の分子構造の変化の実時間追跡を可能にするために、陰極３から発生する電子数（パルス）が１．０×１０４〜１．５×１０４で、かつ、電子パルス幅が１ｐｓ未満となる、レーザーパルス幅が５００ｆｓ、２００ｆｓ、及び１００ｆｓの１ｐｓ未満の持続時間である長短パルスレーザー光を使用しているものと推認され、この長短パルスレーザー光を使用した場合には、陰極３から発生する電子パルス幅が１ｐｓ未満、すなわち、電子パルス幅が広がらず、短い時間幅の中に電子が収束していることになる。
　そして、引用発明の電子顕微鏡も上記引用刊行物Ｃに記載された発明もともに、電子銃の陰極にパルス波のレーザを照射して、陰極から発生する電子パルスを試料に照射し、試料の分析を行う点で共通し、さらに、引用発明の電子顕微鏡では、電子銃のフィラメントから発生する電子ビームに収束性があること、すなわち、電子ビームが収まりが良いことを課題としていることを考慮すると、引用発明のレーザー発生器（６）のパルス波の幅として、上記引用刊行物Ｃに記載された発明の超短パルス電子回折装置における、陰極３から発生する電子数（パルス）が１．０×１０４〜１．５×１０４で、電子パルス幅が広がらず、１ｐｓ未満の短い時間幅の中に電子が収束している超短パルスレーザー光発生装置１からの、１ｐｓ未満の持続時間である５００ｆｓ、２００ｆｓ、及び１００ｆｓのレーザーパルス幅を採用し、引用発明のレーザー発生器（６）を、本願発明のごとく、「持続時間が１ｐｓ未満の光子パルスを放出することができるレーザー源」とすることは当業者が容易になし得るものである。
　
・相違点（う）について
（う−１）上記「（５−ａ）」の（iii）において検討したように、電子顕微鏡等の電子銃に使用されるフィラメントが、陰極として使用されること、及び、電子銃のカソードが、陰極として使用されることは、ともに技術常識である。
　そして、電子顕微鏡等をはじめとする各種の装置に用いられる電子銃のフィラメントをカソードとして用いていることは技術常識である。
　例えば、特開平１−１４９３４７号公報に、
「
電子銃は電子ビームを発生させるものであり、電子顕微鏡や電子ビーム描画装置等に用いられている
真空蒸着に用いる電子銃の従来構成例を示す図である。図において、１は線状のフィラメントでカソードを形成している
　と記載され、また、特開昭６３−２００４４２号公報に、
「〈産業上の利用分野〉
本発明は、電
子ビーム露光用あるいは電子ビームアニール用等に使用される電子ビーム用電子銃
〈従来の技術〉
　第３図は従来の
電子銃の構成を示し、
カソード１００としてタングステンフィラメントが広く用いられていた
　と記載され、さらに、特開平６−９７４５８号公報に、
「【０００６】・・・
針状カソードを有するカソードフィラメント構造を利用した電子銃
　と記載され、そして、特開平６−２４６５２１号公報に、
「【０００２】
【従来の技術及びその技術的課題】・・・このイオン蒸着法は、ほう素の蒸着と窒素イオンの照射を併用する手法すなわち、電子ビームなどによりほう素を加熱して蒸発させ、その蒸発膜を基板上に堆積させると同時に、窒素イオンを基板に所定角度から照射するものである。・・・
・・・
【０００８】図５はその概要を示しており、１は真空槽、２は真空槽１の内部下方に設けられた
蒸発源であり
蒸発させる手段たとえば電子銃
を備えている
６は熱電子放射用のカソード６
対向するアノード７
カソード６はＷ、Ｔa、Ｗ/Thなどの熱陰極材料で作られたフィラメントからなり、電源６０により通電加熱されることで熱電子を放出する
　と記載されている。
　そうすると、引用発明の陰極を構成する電子銃のフィラメント（１２）は、カソードとして機能しているものと推認できることから、本願発明の「カソード」と、引用発明の「電子銃のフィラメント（１２）」との間に実質的な差異がないものである。
　
（う−２）仮に、引用発明の陰極を構成する電子銃のフィラメント（１２）と、本願発明の「カソード」とが異なっているとしても、上記「（５−ａ）」の（iii）において検討したように、電子顕微鏡等の電子銃に使用されるカソードが、陰極として使用されることは、技術常識であることから、引用発明の陰極を構成する「電子銃のフィラメント（１２）」の代わりに、電子顕微鏡の電子銃の技術分野において、技術常識である、電子銃の陰極として使用されるカソードの構成を採用して、本願発明のごとく、前記レーザー源によって照射され、所定時間、電子パルスを放出することができる陰極が、本「前記レーザー源によって照射され、」「電子パルスを放出することができるカソード」とすることは当業者が容易になし得るものである。
　
（う−３）また、引用発明のレーザー発生器（６）のパルス波の幅として、上記引用刊行物Ｃに記載された発明の超短パルス電子回折装置における、陰極３から発生する電子数（パルス）が１．０×１０４〜１．５×１０４で、電子パルス幅が広がらず、１ｐｓ未満の短い時間幅の中に電子が収束している超短パルスレーザー光発生装置１からの、１ｐｓ未満の持続時間である５００ｆｓ、２００ｆｓ、及び１００ｆｓのレーザーパルス幅を採用することは、上記「相違点（い）について」において検討したとおりであり、また、引用発明の陰極を構成する「電子銃のフィラメント（１２）」の代わりに、電子顕微鏡の電子銃の陰極としてカソード使用することは、上記（う−１）及び（う−２）において検討したとおりであるから、前記レーザー源によって照射され、所定時間、電子パルスを放出することができる陰極が、「前記レーザー源によって照射され、持続時間が１ｐｓ未満で『１．０×１０４〜１．５×１０４』の電子を有する電子パルスを放出することができるカソード」となることは明らかである。
　ところで、上記引用刊行物Ｃの摘記事項（４Ｃ−６）に、
「図２には、
超短パルスレーザー光発生装置１の初期パルス幅が１００ｆｓにおいて、陰極３から発生する電子数（パルス）が少なければ少ないほど
電子パルス幅が狭くなる
　こと、及び
「図４には、
同じ電子数（パルス）では、初期パルス幅が短いほど電子パルス幅が狭くなるとともに、超短パルスレーザー光発生装置１の初期パルス幅が、１０ｐｓ、５ｐｓ、２ｐｓ、１ｐｓではなく、１ｐｓ未満の持続時間である、５００ｆｓ、２００ｆｓ、及び１００ｆｓにおいて、陰極３から発生する電子数（パルス）が１０
６
  から１０
４
に減るほど電子パルス幅（ｐｓ）が狭くなること、及び、電子数（パルス）が１．０×１０
４
〜１．５×１０
４
のとき、電子パルス幅が１ｐｓ未満となる
　ことが記載され、また、同摘記事項（４Ｃ−２）に、
「【００１２】〔３〕上記〔１〕記載の超短パルス電子回折装置において、・・・前記陰極から前記相互作用部までの距離を、前記
短い電子パルスのクーロン反発による電子パルスの広がりを抑えるようにした、短い空間的距離に設定する
　ことが記載され、さらに、上記引用刊行物Ａの摘記事項（４Ａ−２）に、
「【０００９】また、
フィラメント先端部から放出される電子は、フィラメントに照射されるレーザー光が強くなるほど多くなる
　ことが記載されており、これらの記載からすると、引用刊行物Ｃにおいて、陰極３から発生する電子数（パルス）が１０６  から１０４に減ることは、超短パルスレーザー光発生装置１から発生する、例えば、パルス幅の１００ｆｓのレーザ光の強度を小さくしたことによるものであり、さらに、レーザ光の強度を小さくしていけば、陰極３から発生する電子数（パルス）が１×１０４によりさらに減っていき、最後には、陰極３から発生する電子数（パルス）が０になるとともに、陰極３から発生する電子数（パルス）が減れば減るほど、電子数（パルス）のクーロン反発の影響が少なくなり、陰極３から発生する電子パルス幅が狭くなることは、物理学的にみて自明な事項である。
　そして、本件出願明細書においても、
「【０００７】
  本発明によれば、物体の映像化に関する技術が提供される。特に、本発明は、透過型電子顕微鏡システムにおいて、おおよそ
１から１００００個の電子を含
１０から１００個
　と記載され、また、
「【００１３】
  さらに、本発明では電子ビームパルスを用いて、１以上の試料から画像を形成する方法を提供する。本方法は画像化される試料の特徴（feature）を提供することを含む。・・・本方法は、試料の特徴の方向に１以上の電子パルスを導くことを含む。好ましくは、特定の実施例によれば、１以上の電子パルスは、それぞれ、他の個数の電子を有することができるにもかかわらず、
約１０から約１０００個の電子を有する
　と記載され、さらに、
「【００４４】
  ・・・さらに、本発明のいくつかの実施例により供給されるパルスあたりの低い電子総数は、電子パルス内の空間電荷反発力の効果を減らす。・・・」
　と記載されているように、カソードから放出される電子パルスの数は、１〜１００００個の間で適宜選択されるものであることを考慮すると、引用発明の電子顕微鏡では、電子ビームが収束性があること、すなわち、電子ビームが収まりが良いことを課題としており、この課題を解決するために、どの程度まで、電子ビームが収束性、すなわち、電子ビームの収まりの良さを求めるかは当業者が適宜採用する選択事項にすぎないものであり、また、電子銃の陰極をカソードとすることは、上記（う−１）及び（う−２）で検討したとおりであることから、引用発明のレーザー発生器（６）のパルス波の幅として、上記引用刊行物Ｃに記載された発明の超短パルス電子回折装置における、陰極３から発生する電子数（パルス）が１．０×１０４〜１．５×１０４で、電子パルス幅が広がらず、１ｐｓ未満の短い時間幅の中に電子が収束している超短パルスレーザー光発生装置１からの、１ｐｓ未満の持続時間である５００ｆｓ、２００ｆｓ、及び１００ｆｓのレーザーパルス幅を採用した際に、さらに、電子ビームの収束性、すなわち、電子ビームの収まりの良さを求めることにより、１．０×１０４未満の値にして、本願発明ごとく、前記レーザー源によって照射され、所定時間、電子パルスを放出することができる陰極が、「前記レーザー源によって照射され、持続時間が１ｐｓ未満で『約１個から約１０００個の電子を有する』電子パルスを放出することができるカソード」となるように電子パルスの数を選択することは、当業者が適宜成し得る設計的事項にすぎないものである。
　
・相違点（え）〜（か）について
（１）上記（５−ａ）の（v）において検討したように、引用発明の透過型電子顕微鏡などの電子顕微鏡は、電子ビームが照射された試料を、撮影するための撮影手段を備えており、さらに、試料から透過した電子を検出して撮影するには、試料から透過した電子を少なくとも１個以上の電子をデータ信号として検出しないと、試料の状態を撮影できないことから、引用発明の透過型電子顕微鏡などの電子顕微鏡においても、電子ビームが照射された試料を、撮影する際には、本願発明と同様に、「前記試料の画像を検出する検出器として、「前記試料の画像を代表する前記試料を通過する１以上の電子を捕らえるように合わされ、前記試料の画像を代表する前記試料を通過する前記１以上の電子に関連するデータ信号を供給する検出器」を用いて、撮影していることは明らかである（相違点（え））。
　　
（２）また、上記「（５−ａ）」の（v）において検討したように、引用発明の透過型電子顕微鏡などの電子顕微鏡が電子ビームが照射された試料を撮影し画像化する際に、撮影し画像化するための制御手段を備えていることは明らかであり、さらに、透過型電子顕微鏡において、撮影手段及び画像化手段と接続され、撮影し画像化するための制御手段をプロセッサで構成することは周知である。
　例えば、上記引用刊行物Ｂの摘記事項（４Ｂ−２）及び（４Ｂ−３）にはそれぞれ、
「【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明による電子顕微鏡について、図示の実施の形態により詳細に説明する。図１は、本発明を
透過型電子顕微鏡に適用した場合の一実施形態
【００１５】そして、
この試料Ｓを透過した電子線Ｂは
ＴＶカメラ８に投影される
【００１６】従って、これらの装置、すなわち、電子銃制御装置１１、照射レンズ制御装置１２、対物レンズ制御装置１３、拡大レンズ系制御装置１４、それに試料ステージ制御装置１５が、観察条件設定装置を構成していることになる。
【００１７】
ＴＶカメラ８は
検出された信号をＴＶカメラ制御装置１６に供給して時系列的な画像信号に変換する
Ｖカメラ制御装置１６から出力された画像信号は、制御装置１８にも供給され
・・・・【００２０】このため、
制御装置１８は、例えば所定のプログラムが搭載されたコンピュータを備え
　こと、及び
「【００２８】そこで、
制御装置１８は、まずＴＶカメラ８から取り込んだ画像信号をＴＩＦ形式(ＴＩＦＦ)のデータに変換する(処理Ａ２)
そして、このＴＩＦ形式に変換された画像データをメモリに記憶し、保存する(処理Ａ３)
・・・
【００３４】こうして
画像呼出し処理が開始されると、制御装置１８から指定された試料の画像データが呼び出される(処理Ａ５)
制御装置１８は、この画像データをモニタ１７に供給し、モニタ面に保存されている観察像を表示させ
　ことが記載されている。また、特開平５−１３０３３号公報には、
「【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。図１は、
本発明による電子顕微鏡の一実施例の構成を示すブロック図である
電子銃１より発生した電子ビーム２は
試料６の特定部分
を照射する
【０００９】
試料６を透過した電子ビーム７は
検出器９からの信号は演算回路１９に加えられる
【００１０】ステージ制御器２０からの電子ビーム２の試料６上の位置情報及び
演算回路１９の出力信号は、同期を取りながらマイクロプロセッサ等の信号処理装置２１に加えられる。信号処理装置２１は受信した信号を画像信号に処理して、表示装置２２に表示する
　と記載されている。さらに特開２０００−２００５７８号公報には、
「【００２４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明による
透過型電子顕微鏡の一例
【００２５】
電子銃１から放出されて加速された電子線は
試料に照射される
試料を透過した電子線は
シンチレータ３３上に試料の透過像が形成される
シンチレータ３３で光像に変換された試料の透過電子像は
ＴＶカメラ（撮像装置）１１によって撮像される
ＴＶカメラ１１からの映像信号はＴＶカメラ制御部４３、画像取り込みインターフェース４４を介してマイクロプロセッサ３０に取り込まれ、処理された後、ＣＲＴコントローラ３４で制御されるＣＲＴ３５に表示される
　ことが記載されている。
　そして、引用発明の撮影し画像化するための制御手段と上記周知のプロセッサとは、ともに透過型電子顕微鏡において、電子ビームが照射された試料を撮影し画像化するための制御手段である点で共通し、さらに、試料から透過した電子を検出して撮影し画像化するには、試料から透過した電子を少なくとも１個以上の電子をデータ信号として検出し処理する必要があるのは自明な事項であるから、引用発明の撮影し画像化するための制御手段として、周知の、撮影手段及び画像化手段と接続され、撮影し画像化するための制御手段として構成されたプロセッサを採用し、本願発明のごとく、前記検出器に接続され、前記試料を表す前記画像の情報を出力するために、処理する制御手段が、「前記検出器に接続され、前記試料を表す前記画像の情報を出力するために、前記試料を通過する前記１以上の電子に関連する前記データ信号を処理するように適合されたプロセッサ」であるように構成するととも、前記試料を表す前記画像の前記情報を出力するように適合された出力デバイスが、「前記プロセッサに接続され」ているように構成することは当業者が容易になし得るものである。（相違点（お）、相違点（か））
　
　そして、本願発明によってもたらされる効果は、引用発明、引用刊行物Ｃに記載された発明及び周知の技術事項から予測される範囲内のものであって、格別のものではない。
　
　なお、請求人は、当審からの審尋に対する回答書において、
「審査官殿は、請求項に記載の１パルスあたりの電子数を１〜１０００個に減らすことが、クーロン反発から生じるパルス幅を抑えるために必要であることは自明だと指摘しています。審査官殿は特許法第２９条第２項の拒絶理由の裏づけのために引用文献３に依拠しています。しかしながら、引用文献３はこの結論に関する裏づけとはなりません。それどころか、引用文献３の［図２］の線６および線７に明確に示されているように、１００００個の電子からなる電子パケットと２００００個の電子からなる電子パケットでは時間幅が本質的に重なっております。時間幅が重なる（すなわち、線６と線７が実質的に重なる）ことは、引用文献３が、１００００個未満の電子からなるパルス内のクーロン相互作用について記載していないことを意味します。また、引用文献３の図２は、１００００個未満の電子からなるパルスにおいては時間幅がほぼ一定であることを示しています。したがって、１パルスあたりの電子数を１００００個からさらに減少させたとしても、時間幅をさらに抑えることにはなりません。」
　旨の主張をしている。
　しかしながら、上記引用刊行物Ｃ（引用文献３）の図２の電子パルス幅（ｐｓ）を拡大した図３では線６と線７は重なっておらず、更に電子パルス幅（ｐｓ）が短くなっていくようすが窺える。さらに、上記「（う−３）」において検討したように、上記引用刊行物Ｃの摘記事項（４Ｃ−６）に、
「図４には、同じ電子数（パルス）では、初期パルス幅が短いほど電子パルス幅が狭くなるとともに、超短パルスレーザー光発生装置１の初期パルス幅が、１０ｐｓ、５ｐｓ、２ｐｓ、１ｐｓではなく、１ｐｓ未満の持続時間である、５００ｆｓ、２００ｆｓ、及び１００ｆｓにおいて、陰極３から発生する電子数（パルス）が１０６  から１０４に減るほど電子パルス幅（ｐｓ）が狭くなること、及び、電子数（パルス）が１．０×１０４〜１．５×１０４のとき、電子パルス幅が１ｐｓ未満となる」
　ことが記載されており、この記載からすると、図４において、陰極３から発生する電子数（パルス）が１０６  から１０４に減ることは、超短パルスレーザー光発生装置１から発生する、例えば、パルス幅の１００ｆｓのレーザ光の強度を小さくしたことによるものであり、さらに、パルス幅の１００ｆｓ、２００ｆｓにおいては、レーザ光の強度を小さくしていけば、陰極３から発生する電子数（パルス）が１×１０４によりさらに減っていくことが予想され、最後には、陰極３から発生する電子数（パルス）が０になることは物理的にみて自明な事項であるといえ、このことは、陰極３から発生する電子数（パルス）が減れば減るほど、電子数（パルス）のクーロン反発の影響が少なくなり、陰極３から発生する電子パルス幅が狭くなることを意味することは明らかであるから、請求人の主張は採用できないものである。
　
　したがって、本願発明は、引用発明、引用刊行物Ｃに記載された発明及び周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　　
第６　むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるので、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は、拒絶をすべきものである。
  よって、結論のとおり審決する。