(57)【要約】保持保持搬送機は、テーブルに載置された基板（１）を吸引して保持する吸引固定部材（６９）により、テーブル（８４）に載置された基板（１）を吸引して固定する。支持部材（６１）は、この吸引固定部材を支持する。吸引固定部材（６９）の複数箇所に前記テーブル表面から吸引固定部材までの距離を個別に調節できる距離調節手段（８２）を備える。
2003049909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブルに載置された基板を吸引により保持する吸引固定部材を備える吸引保持搬送機において、
前記吸引固定部材を支持する支持部材と、
前記吸引固定部材に取り付けられ、前記テーブルの表面と前記吸引固定部材との間の距離を個別に調節する複数の距離調節手段と
を具備することを特徴とする吸引保持搬送機。
【請求項２】
前記距離調節手段は、
テーブルにストッパーとして当接するバーと、
そのバーを上下するモータと、
前記吸引固定部材に固定され、前記バーと前記モータを支持する支持部材と
を具備することを特徴とする請求項１記載の吸引保持搬送機。
【請求項３】
さらに、前記吸引固定部材が前記テーブルに対して平行であることを検出する検出手段を具備することを特徴とする請求項１記載の吸引保持搬送機。
【請求項４】
さらに、前記支持部材を支持し、移動させる移動装置を具備することを特徴とする請求項１に記載された吸引保持搬送機。
【請求項５】
テーブルに載置された基板を吸引固定部材に保持させる吸引保持方法において、
前記吸引固定部材により、前記基板を吸引保持させる際に、前記テーブルの表面と前記吸引固定部材との間の距離を前記吸引固定部材の複数箇所で変化させることにより、前記吸引固定部材の傾きと前記テーブルの表面からの距離を調整することを特徴とする吸引保持方法。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、貼り合わせマザー液晶パネル基板などの基板を吸引保持する吸引保持方法およびその方法を用いる吸引保持搬送機に関する。
背景技術
貼り合わせマザー液晶パネル基板などの脆性材料基板の分断において、スクライブ装置とブレイク装置などの複数の装置を用いて分断加工が連続的に行われる。この分断工程において、パネル基板は、搬送機により保持されこれらの装置の間を搬送させられる。たとえば、スクライブ装置でスクライブラインが形成されたパネル基板が、次にブレイク装置に搬送させられ、スクライブラインに沿って押下されることにより、分断される。
図１は、貼り合わせマザー液晶パネル基板の分断工程を示す。
（１）まず、第１のスクライブ装置にて、貼り合わせマザー液晶パネル基板１の一方のガラス基板Ａにガラスカッタホイール２を圧接転動させることによりスクライブラインＳａが形成される。
（２）その貼り合わせマザー液晶パネル基板１は、その表裏が反転させられて第１のブレイク装置へ搬送され、マットＭ上でガラス基板Ｂにブレークバー３をスクライブラインＳａに沿って押下させることにより、下側のガラス基板ＡをスクライブラインＳａに沿って分断させる。
（３）次に、その貼り合わせマザー液晶パネル基板１は第２のスクライブ装置に搬送され、他方のガラス基板Ｂにガラスカッタホイール２を圧接転動させることによりスクライブラインＳｂが形成される。
（４）次に、貼り合わせマザー液晶パネル基板１は、その表裏が反転させられて第２のブレイク装置へ搬送され、マットＭ上でガラス基板ＡにスクライブラインＳｂに沿ってブレイクバー３を押下させることにより、下側のガラス基板ＢをスクライブラインＳｂに沿って分断させて、貼り合わせマザー液晶パネル基板１は２つに分断される。
図２と図３は、従来の片持ち支持構造の搬送機を示す。図１に示した貼り合わせマザー液晶パネル基板の分断において、次工程への搬送では、図２と図３に示す搬送機により、そのままの状態で、貼り合わせマザー液晶パネル基板全体を吸引固定して保持され、搬送されていた。
この搬送機において、移動台２０はモータ２３により、ピニオンギヤ１９が回転し、ピニオンギヤ１９とラック１８の組み合わせによりレール１７に沿って移動する。その移動台２０より側方へ延在する延設片２５に取り付けられたシリンダ２７により、水平支持板４８が上下動し、その水平支持板４８の下側にスプリング５３を介してボルト５１およびナット５２により、吸引固定手段４９、５０（多孔性材質）が支持されている。これにより、吸引固定手段のテーブル表面に対する傾きや吸引固定手段のテーブルからの距離が調節される。
しかし、この従来の搬送機では、吸引固定手段４９、５０は、片持ち支持構造の延設片２５で支持されているため、延設片２５は僅かながら下方に撓み、吸引固定手段４９，５０が傾く場合がある。その場合には、吸引固定手段５０の下面と貼り合わせマザー液晶パネル基板表面との間の真空圧が低下するため、貼り合わせマザー液晶パネル基板１の一部が吸引固定手段５０に吸引されなかったり、貼り合わせマザー液晶パネル基板１の表面を押さえ過ぎて、貼り合わされたそれぞれのガラス基板の分断面に欠けが生じて、貼り合わせマザー液晶パネル基板１の分断後の単一の製品基板である液晶パネルセル基板の品質不良となることがある。
そこでこのような不具合を生じさせないために、水平支持板４８の下面に４箇所あるボルト５１およびナット５２を調整するにより、吸引固定手段が、テーブルに載置された貼り合わせマザー液晶パネル基板１（テーブル）に対して水平（平行）になる。しかし、その調整には手間がかかり、しかも貼り合わせマザー液晶パネル基板１の品種が変更される度に、また、貼り合わせマザー液晶パネル基板１の厚みが変わる度に、上記の調整が再度必要となっていた。
発明の開示
本発明の目的は、吸引固定部材のテーブル表面に対する傾きや吸引固定部材のテーブルからの距離を容易に調整可能とした吸引保持方法およびその方法を用いる吸引保持搬送機を提供することである。
本発明に係る吸引保持搬送機は、テーブルに載置された基板を吸引により保持する吸引固定部材を備える吸引保持搬送機であって、前記吸引固定部材を支持する支持部材と、前記吸引固定部材に取り付けられ、前記テーブルの表面と前記吸引固定部材との間の距離を個別に調節する複数の距離調節手段とを具備する。
この吸引保持搬送機において、前記距離調節手段は、たとえば、テーブルにストッパーとして当接するバーと、そのバーを上下するモータと、前記吸引固定部材に固定され、前記バーと前記モータを支持する支持部材とを具備する。また、この吸引保持搬送機は、好ましくは、さらに、前記吸引固定部材が前記テーブルに対して平行であることを検出する検出手段を具備する。また、この吸引保持搬送機は、好ましくは、さらに、前記支持部材を支持し、移動させる移動装置を具備する。
本発明に係る保持方法は、テーブルに載置された基板を吸引固定部材に保持させる吸引保持方法において、前記吸引固定部材により、前記基板を吸引保持させる際に、前記テーブルの表面と前記吸引固定部材との間の距離を前記吸引固定部材の複数箇所で変化させることにより、前記吸引固定部材の傾きと前記テーブルの表面からの距離を調整する。
本発明では、吸引固定部材をテーブル表面に対して平行に保持できるため、分断された脆性材料などの基板の分断面に欠け等を生じさせることなく、確実に基板を保持できる。また、基板の厚みが変わった場合でも、複数の傾斜調節バーのそれぞれの下端の位置を変更するだけで確実に基板を保持できる。
発明を実施するための最良の形態
以下、添付の図面を参照して発明の実施の形態を説明する。
図４は、本発明の１実施形態に係る吸引保持搬送機の構成を示す。この吸引保持搬送機は、図２に示した従来の搬送機に比べて、脆性材料基板を吸引固定させる吸引固定部の構成が異なり、テーブル８４の上の脆性材料（たとえばガラス）のパネル基板１（たとえば貼り合わせマザー液晶パネル）を保持して搬送する。
この吸引保持搬送機の概略構成を説明すると、移動台２０は、貼り合わせマザー液晶パネル基板１を載置するテーブル８４の側方に設置される。移動台２０は、モータ２３によりピニオンギヤ１９が回転すると、ピニオンギヤ１９とラック１８の組み合わせによりレール１７に沿って移動する。その移動台２０より、その移動方向に対して側方へ延在する延設片６１を設け、そこにシリンダ６４を取り付ける。延設片６１の下方に水平支持板６２が位置され、水平支持板６２の下方に、貼り合わせマザー液晶パネル基板１を吸引する吸引固定部材６９が位置される。シリンダ６４は、水平支持板６２を支持し、水平支持板６２を上下に移動させる。ここで、２本のシャフト６３が、シリンダ６４に支持される水平支持板６２に、延設片６１の長手方向に関してシリンダ６４の両側で固定され、延設片６１に設けられたリニアブッシュ７０（図５）を挿通自在に貫通する。吸引固定部材６９に固定されている４本のシャフト６７が、水平支持板６２を挿通し、スプリング７１（図５）を介してナット６６（図５）を調節することにより吸引固定部材６９自体の水平方向のバランスが調整される。さらに、複数の距離調節手段の１つの例として傾斜調節板８２が吸引固定部材６９に取り付けられ、吸引固定部材６９の、パネル基板１を載置するテーブル８４の表面に対する距離が個別に調節できる。これにより、吸引固定部材の傾きが調節される。
さらに詳しく説明すると、図５は、吸引固定部材６９とその周辺を示した側面図であり、図６はその平面図を示す。延設片６１（支持部材）は、図５において、左端で、この延設片６１（支持部材）を紙面と鉛直方向に移動させる移動装置（不図示）で支持されている。この延設片６１の下方には水平支持板６２が位置し、この水平支持板６２より上方に向かう２本のシャフト６３が延設片６１に対してリニアブッシュ７０を介して挿通自在に貫通している。水平支持板６２は、シリンダ６４の両側に配置した２本のシャフト６３をガイドとしてシリンダ６４の駆動により上下動可能となっている。
そして、延設片６１側に設けたシリンダ６４のロッド６４ａはフローティングジョイント６５を介して水平支持板６２に固定されている。さらに、水平支持板６２の下方に位置している吸引固定部材６９が設けられ、リニアブッシュ６８より上部に位置するシャフト６７にはスプリング７１が嵌められており、４つのナット６６とスプリング７１により吸引固定部材６９は、支持部材（延設片１）に支持されると共に、ナット６６により吸引固定部材６９自体の水平方向のバランスが調整されている。
吸引固定部材６９に固定した４本のシャフト６７が上方に向けて取り付けられており、そのシャフト６７は、水平支持板６２に設けたリニアブッシュ６８に挿通されている。このシャフト６７は、図６に示すように、水平支持板６２の４隅に設けられる。
リニアブッシュ６８とシャフト６７間及びリニアブッシュ７０とシャフト６３間には若干のクリアランスがあり、また、水平支持板６２とロッド６４ａとの間はフローティングジョイント６５が介在するため、水平支持板６２および吸引固定部材６９は±５°の範囲で傾くことができる。
吸引固定部材６９は、内部が空洞になっており、その下面には、吸引盤８０が複数個取り付けられている。図７は、これらの吸引盤８０を下方から見た図を示している。吸引盤８０は感光性樹脂材からなる円盤状のものであり、周縁のフラットな面の気密部８０ａと、それ以外の吸引部８０ｂとがあり、吸引部８０ｂには微細な凹部が多数形成されている。そして、吸引盤８０の中央には、吸引固定部材６９の空洞部に貫通する吸入口８０ｃが設けられている。この吸引盤８０の詳細については特開平１１−１９８３８号公報にて説明されている。
さらに、この吸引固定部材６９の４隅には、テーブル８４の表面から吸引固定部材６９までの距離を調節する複数の距離調節手段の一つの例として傾斜調節器８２が取り付けられている。その傾斜調節器８２上部のバー上下用のモータ８２ａ（図４に図示）を駆動させることにより、傾斜調節バー８２ｂが上下動し、その下端がテーブル８４にストッパーとして当接するようになっている。
次に、以上のような構成になる本実施形態の吸引保持搬送機のパネル基板を吸引保持させる方法について述べる。
テーブル８４の表面に向かって、シリンダ６４を駆動させることにより吸引固定部材６９を降下させ、吸引盤８０をテーブル面より１ｍｍから２ｍｍの間隔をもたせた位置にする。その後、吸引固定部材６９の上面に水準器などを置き、吸引固定部材６９が水平となるように、４つの傾斜調節器８２の傾斜調節バー８２ｂの下端のそれぞれの位置を調節する。
吸引固定部材６９が水平に支持されるようになれば、そのときの４つの傾斜調節バー８２ｂの下端のそれぞれの位置をスケール、リニアパルススケールやエンコーダなどの検出手段を用いて検出し、第１の位置データＡとしてメモリに記憶しておく。そして、例えば５ｍｍ、４つの傾斜調節バーをそれぞれ延出させた後、シリンダ６４を駆動させて、吸引固定部材６９を上昇させる。
その後、テーブル８４にパネル基板１を載置し、再び、シリンダ６４を駆動させて、吸引固定部材６９を下降させる。テーブル８４に載置されるパネル基板１の厚みが１ｍｍあれば、４つの傾斜調節バー８２ｂの下端の位置をそれぞれ等しく上昇させていき、吸引盤８０がパネル基板１を吸引固定する最適の状態の高さに吸引固定部材６９を位置させる。このときの傾斜調節バー８２ｂの下端のそれぞれの位置を再びメモリに第２の位置データＢとして記憶しておく。
位置データを記憶する方法の例としては次のような方法がある。
１：  人がスケールで読み取りその値をノートなど（記録あるいは記憶手段）に記録する方法。
２：  ＮＣコントローラ、シーケンサ、パソコンなどの半導体メモリ（記憶手段）に書き込む方法
次に、パネル基板１の厚みが例えば２ｍｍである品種に変更されたときには、４つの傾斜調節バー８２ｂの下端のそれぞれの位置を記憶された第２の位置データＢに基づき、４つの傾斜調節バー８２ｂのそれぞれの下端の位置を１ｍｍづつ下降させればよい。このように搬送対象の脆性材料基板の厚みが変わっても記憶されている位置データＡとＢを基準に４つの傾斜調節バー８２ｂの調節量を決めればよく、貼り合わせ液晶パネル基板１の品種の変更に対して容易に対応できる。
また、吸引固定部材６９がテーブル８４の表面に対して平行（水平）であることを検出する手段としては、上記の水準器の他にジャイロ８６やレーザジャイロなどを用いることもできる。ジャイロ８６やレーザジャイロを用いれば、全て自動で、吸引固定部材６９の傾きと高さを調整することができる。
なお、上述の実施の形態においては、４つの傾斜調節バーを備える距離調節手段を備える例を説明したが、傾斜調節バーの数はこの数に限るものではない。たとえば、吸引固定部材の２辺に沿って所定の長さの傾斜調節部材を設けることでも本発明の目的は達成できる。即ち、距離調節手段は複数あれば良い。
また、距離調節手段によって、テーブルから吸引固定部材までの距離を調節する箇所は吸引固定部材の４隅に限ることはない。２箇所以上の複数箇所でテーブルから吸引固定部材までの距離を調節することができれば吸引固定部材の傾きとテーブル表面からの距離を調整することができる。
また、本実施形態では、脆性材料基板を吸引固定して次工程の装置へ搬送する吸引保持搬送機を説明した。しかし、脆性材料基板を単に受け取り、そしてその位置で保持するだけの受け取り装置も本発明の吸引保持搬送機に含まれる。
なお、本発明は上述の実施の形態により説明されたが、本発明は実施の形態に限定されない。たとえば、本実施形態では、貼り合わせマザー基板などの脆性材料を保持する吸引保持方法および吸引保持搬送機について説明したが、吸引固定部材に吸引保持される基板は、脆性材料基板に限るものではなく、たとえばプリント基板、プラスチック基板、金属基板、非金属基板などにも本発明を適用できる。
【図面の簡単な説明】
図１は、貼り合わせマザー液晶パネル基板のスクライブおよびブレイクの工程の手順を示した図である。
図２は、従来の吸引保持搬送機の側面図である。
図３は、図２の吸引保持搬送機の平面図である。
図４は、本発明の１実施形態の吸引保持搬送機の側面図である。
図５は、図４の吸引保持部材の側面図である。
図６は、図５の吸引保持部材の平面図である。
図７は、吸引盤の詳細を示した図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2003049909.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月23日(2004.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  テーブルに載置された基板を吸引により保持する吸引固定部材を備える吸引保持搬送機において、
前記テーブルの表面に当接し、前記吸引固定部材との間の距離を調節する複数のストッパーと、
前記の複数のストッパーをそれぞれ上下させるモータと、
前記ストッパーと前記モータが設けられた前記吸引固定部材を支持する支持部材と
を具備することを特徴とする吸引保持搬送機。
【請求項２】  前記吸引固定部材が前記テーブルに対して平行であることを検出する検出手段を具備することを特徴とする請求項１記載の吸引保持搬送機。
【請求項３】  前記支持部材を支持し、移動させる移動装置を具備することを特徴とする請求項１に記載された吸引保持搬送機。
【請求項４】  テーブルに載置された基板を吸引固定部材に保持させる吸引保持方法において、
前記吸引固定部材により、前記基板を吸引保持させる際に、前記吸引固定部材に取り付けられた前記テーブルに当接させる複数のストッパーの下端の位置をそれぞれ変化させることにより、前記吸引固定部材の傾きと前記テーブルの表面からの距離を調整することを特徴とする吸引保持方法。
【国際調査報告】
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2003049909.tif 000011