(57)【要約】      （修正有）【課題】低電力で性能が安定し、信頼性と効果が高い低温プラズマ発生装置を提供する。【解決手段】低温プラズマ発生装置は、底筒座１と、導流ブロック２と、電極３と、前スリーブ４と、からなる。底筒座は絶縁性のある凹型体で、前方は開孔１１を有し、横に吸気導管１２を設置する。導流ブロックは、底筒座の凹型体に設置されて、吸気して、旋転気流を生成する。電極は、グラファイト等の導電物によりなる細長い立体で、後部は導流ブロックで接続し、前方は突出して、底筒座の口縁から出る。前スリーブは金属材質で、底筒座前方に設置され、筒内は電極先端に対応して、単一のガス室を形成する。ガス室のもう一端はノズル５を設置して、ガスを噴出し、噴圧を生成することができる。これにより、簡単な構造の単一ガス室と、効果的な導流設計により、低電力で、性能が安定し、信頼度が高く、好ましい効果のプラズマを生成することができる。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
低温プラズマ発生装置であって、主に、底筒座と、導流ブロックと、電極と、前スリーブと、からなり、
前記底筒座は、長方形で、絶縁性のある凹型体で、前方は開孔を有し、横に吸気導管を設置し、
前記導流ブロックは、前記底筒座の凹型体に設置されて、吸気して、旋転気流を生成し、
前記電極は、導電物によりなる細長い立体で、後部は前記導流ブロックで接続し、前方は突出して、前記底筒座の口縁から出て、
前記前スリーブは、桶状で、金属材質からなり、前記底筒座前方に設置され、下方に細長いスリットを有し、ノズルと組み合わされると斧状になり、筒内は電極先端に対応して、単一のガス室を形成し、ガス室のもう一端はノズルを設置して、ガスを噴出し、噴圧を生成することができ、
これにより、簡単な構造の単一ガス室と、効果的な導流設計により、低電力で、性能が安定し、信頼度が高く、優れた効果のプラズマを生成することができることを特徴とする低温プラズマ発生装置。
【請求項２】
前記底筒座と、前記導流ブロックと、前記電極の三者の中心は、ねじにより接続され、また、前記底筒座は円凹形で、底部は貫通する中心孔を有し、前記導流ブロックは前記底筒座内部に対応する円柱体で、前端は導流円錐部を形成し、前記円錐部中心は凹孔を有し、前記凹孔中にパッドを設置して、前記電極底部と接続し、前記電極は前後で径が異なる細長い立体で、後部は導流ブロックで接続し、前記前スリーブと前記底筒座は螺紋により接続され、ノズルを円柱体に組み合わせることを特徴とする請求項１に記載の低温プラズマ発生装置。  
【請求項３】
前記前スリーブ内部はセラミック管を有し、且つ、前記電極前方先端は前記セラミック管を突出し、前記スリーブ管の前端は螺紋を有して、管状ノズルを接続することを特徴とする請求項２に記載の低温プラズマ発生装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、低温プラズマ発生装置に関するものであって、特に、分解、組み立てが容易で、単一のガス室しかない簡潔な構造で、低電力で性能が安定し、信頼性と効果が高いプラズマを生成することができるプラズマ発生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマは自由電子と帯電イオンを主要成分とする物質形態で、宇宙に広く存在し、固体、液体、気体である以外に、物質の第四種の形態があり、それがプラズマである。
図１は、公知のプラズマ構造１００を示す図で、以下のような欠点がある。１．構造が複雑で、内部には前後の二ガス室があり、加圧出力は大きいが、生成される騒音は人の我慢を越える。
２．内部中心にグラファイト等の導電物を設置し、二ガス室の設計が、前ガス室の放電を生じて、導電物が焼損する恐れがある。
３．ノズル構造中に隔絶層を有するが、設計が不当であると、交換が容易でなく、一旦、導電物が焼損すると、全て交換しなければならないので、精度が掌握しにくい。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
本考案は、上述の問題を改善することができる低温プラズマ発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
低温プラズマ発生装置は、底筒座と、導流ブロックと、電極と、前スリーブと、からなる。底筒座は絶縁性のある凹型体で、前方は開孔を有し、横に吸気導管を設置する。導流ブロックは、底筒座の凹型体に設置されて、吸気して、旋転気流を生成する。電極は、グラファイト等の導電物によりなる細長い立体で、後部は導流ブロックで接続し、前方は突出して、底筒座の口縁から出る。前スリーブは金属材質で、底筒座前方に設置され、筒内は電極先端に対応して、単一のガス室を形成する。ガス室のもう一端はノズルを設置して、ガスを噴出し、噴圧を生成することができる。
【考案の効果】
【０００５】
本考案の低温プラズマ発生装置により、簡単な構成の単一ガス室と効果的な導流設計で、低電力で性能が安定し、信頼度が高く、効果がよいプラズマを生成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】公知の構造動作図である。
【図２】本考案の立体分解図である。
【図３】本考案の立体組み合わせ図である。
【図４】本考案の組み合わせ断面図である。
【図５】本考案の動作図である。
【図６】本考案のもう一つの実施例の立体組み合わせ図である。
【実施例１】
【０００７】
図２〜図６は、本考案による低温プラズマ発生装置を示す図で、主に、底筒座１と、導流ブロック２と、電極３と、前スリーブ４と、からなる。
底筒座１は絶縁性のある凹型体で、前方は開孔１１を有し、横に吸気導管１２を設置する。
導流ブロック２は、底筒座１の凹型体に設置されて、吸気して、旋転気流を生成する。
電極３は、グラファイト等の導電物によりなる細長い立体で、後部は導流ブロック２と接続し、前方は突出して、底筒座１の口縁から出る。
前スリーブ４は金属材質で、底筒座１前方に設置され、筒内は電極３先端に対応して、単一のガス室４１を形成する。ガス室４１のもう一端はノズル５を設置して、ガスを噴出し、噴圧を生成することができる。
実施時、底筒座１と、導流ブロック２と、電極３の三者の中心は、ねじ６により接続される。また、底筒座１は円凹形で、底部は貫通する中心孔１３を有する。導流ブロック２は底筒座１内部に対応する円柱体で、前端は導流円錐部２１を形成する。円錐部２１中心は凹孔２２を有して、電極３底部と接続する。電極３は、前後が異なる径の細長い形状で、後部は導流ブロック２の凹孔２２と結合し、導流ブロックの凹孔２２中にパッド２３を設置する。また、前スリーブ４と底筒座１は螺紋により接続される。前スリーブ４中、セラミック管４２を設置し、前スリーブ４の前端は螺紋を有して、管状ノズル５を螺接する。これにより、ノズル組み合わせ後の外観は円柱体で、構造が簡潔で、分解しやすく、公知の二ガス室の複雑な構造の種々の欠点を克服することができる。
図３〜図５で示されるように、本考案の組み立て応用時、電極３前方先端が、セラミック管を突出しているのが最適であり、全体は、底筒座１、および、前スリーブ４により簡単な構造の単一ガス室４１を構成し、更に、内置された導流ブロック２が円錐部２１を有する効果的な導流設計により、吸気して、最適な旋転気流を生成し、前端の電極２を経て、単一ガス室４１中で、効果的に解離して、ノズル５から噴出し、低電力で、性能が安定し、信頼度が高く、効果に優れたプラズマを生成することができる。
【実施例２】
【０００８】
この他、図６を参照すると、本考案の実施時、その外観は、前述の構造に限定されず、底筒座１は直方体、前スリーブ４は桶状でもよく、ノズルを組み合わせた後に斧状になり、下方のノズル５は、細長いスリット（図示しない）を形成し、ノズル５口径は実際の用途に応じて異なる設計にでき、製品の応用範囲を広げる。
本考案の長所は以下のようである。
１．電極の配置が非常に容易で、内部は単一のガス室しかないので、分解が容易で、可燃素子がないので、公知の二ガス室の電極が焼損する欠点を改善する。２．単一ガス室と、内置される導流ブロック体を利用するので、放電効果が強化され、効果的に解離して、気体と電力用量を大幅に減少させる。
３．構造が簡潔で、単一のチャンバを使用するので、消耗電力が少なく、信頼性が高く、低電力で、公知の構造と相同の功能の最適洗浄効果が得られる。
４．構成されるノズル構造は、実際の用途に応じて異なる設計にでき、製品の応用範囲が広い。
本考案では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本考案に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本考案の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本考案の保護範囲は、実用新案請求の範囲で指定した内容を基準とする。
【符号の説明】
【０００９】
公知のプラズマ構造１００
底筒座１
導流ブロック２
電極３
前スリーブ４
ノズル５
ねじ６
開孔１１
吸気導管１２
中心孔１３
導流円錐部２１
凹孔２２
パッド２３
セラミック管４２
ガス室４１
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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