【事件の表示】
　特願２００５−３７７１３５「表面に微細凹凸構造を有する成形体の製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年　７月１２日出願公開、特開２００７−１７８７２４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯　
　本願は、平成１７年１２月２８日の出願であって、平成２３年７月１９日付けで手続補正がなされ、平成２４年５月１０日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年８月７日付けで拒絶査定不服審判が請求されると同時に手続補正がなされ、当審において、平成２５年３月２２日付けで拒絶の理由（以下「当審拒絶理由」という。）が通知され、同年５月２７日付けで手続補正がなされたものである。
　なお、請求人は、当審拒絶理由に対して平成２５年５月２７日付け意見書を提出している。
　
２　本願発明
　本願の請求項１及び２に係る発明は、平成２５年５月２７日付けで補正された特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項によりそれぞれ特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明は、平成２５年５月２７日付け補正後の明細書及び特許請求の範囲の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの次のものと認める。
　
「隣り合う凸部もしくは凹部の間隔が１０〜５００ｎｍ、高さもしくは深さが３０ｎｍ以上である微細凹凸構造を有し、且つ表面張力が１３ｍＮ／ｍ以下であるスタンパを用い、該スタンパと光透過性成形体との間へ、フッ素化合物を含み、離型剤（但し、前記フッ素化合物を除く）を含まない光硬化性樹脂組成物を供給し圧延した後、光を照射して該光硬化性樹脂組成物を硬化させて前記スタンパの微細凹凸構造を転写することを特徴とする微細凹凸構造を有する成形体の製造方法。」（以下「本願発明」という。）
　
３　刊行物の記載事項
（１）当審拒絶理由に引用した「本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００５−４７０８０号公報（以下「引用例１」という。）」には、図とともに以下の事項が記載されている（下線は審決で付した。以下同じ）。
　ア　「【請求項１】
光透過性樹脂を射出成形してサブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を成型するための型であって、
サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を成形するためのキャビティ空間を画定する第１の母型及び第２の母型とが備えられ、前記第１の母型と第２の母型の少なくとも一方の内面に前記樹脂製光学部品の微細凹凸形成面と逆の凹凸形状が形成された微細凹凸形成面を有する無機酸化層からなるマスター型が設けられ、該マスター型の微細凹凸形成面上に表面自由エネルギーが４μＪ／ｃｍ
２
以下の被覆層が形成されている
微細凹凸面を有する樹脂製光学部品成形用型
…略…
【請求項７】
サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を成形用型を用いた射出成形法により製造する方法
前記成形用型として請求項１乃至６のいずれか一項に記載の樹脂製光学部品成形用型を用い、該型のキャビティ空間に光透過性樹脂を射出成形して前記マスター型の微細凹凸形成面の微細凹凸形状を樹脂製光学部品に転写する
微細凹凸面を有する樹脂製光学部品の製造方法。
　
　イ　「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、サブミクロンオーダーの微細凹部又は凸部が複数形成された樹脂製光学部品成形用型と該成形用型を用いて上記樹脂製光学部品を製造する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が多数形成された樹脂製光学部品としては、例えば、反射型の液晶パネルの前面に備えられるフロントライトと称する照明装置の導光板や反射防止層等を挙げることができる。
図６は、従来の製造方法により製造された導光板と反射防止層を備えたフロントライトが設けられた液晶表示装置の断面構成図であり、この図に示す液晶表示装置１００は、液晶パネル１２０と、この液晶パネル１２０の前面側に配設されたフロントライト１１０とから構成されている。
フロントライト１１０は、平板状の導光板１１２と、この導光板１１２の側端面１１２ａに配設された棒状の光源１１３とを備えて構成されており、光源１１３から出射された光を導光板１１２の側端面１１２ｃから導光板１１２内へ導入し、この光を導光板１１２の反射面１１２ｃで反射させることにより光の伝搬方向を変え、導光板１１２の出射面１１２ｂから液晶パネル１２０へ向けて照射するようになっている。反射面１１２ｃには、断面くさび型の微細な凹部（溝）１１５が多数形成されている。
また、上記出射面１１２ｂには、反射防止層１１７が形成されており、導光板１１２内部を伝搬する光を効率よく液晶パネル１２０側へ取り出すことができるようになっており、また、反射型の液晶パネル１２０からの反射光が導光板１１２表面で反射して減衰するのを防ぐことができるようになっている。反射防止層１１７は、表面にＡＲ（Ａｎｔｉ−Ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ）格子と称される多数の微細な凸部（突起）が形成されたものである。
【０００３】
上記のような導光板１１２や
反射防止層１１７などのようにサブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が多数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品の
キャビティ空間に上記微細凹凸形成面と逆の凹凸形状が形成されたＮｉ電鋳型を用い、キャビティ空間に光学部品材料のシリコン系樹脂等を射出する射出成形法
上記のＮｉ電鋳型を作製するには、前記樹脂製光学部品の外形と同じ凹凸形状のマスター型を用い、このマスター型の表面上にＮｉを電解によって必要な厚さに付けた後、離型すると、マスター型表面の凹凸形状と凹凸が逆の凹凸形状を有する型面を備えた電鋳型が得られる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平６−２０１９０８号公報
【特許文献２】
特開２００２−３７２６０３号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら
Ｎｉ電鋳型を用いる従来の樹脂製光学部品の製造方法においては、上記微細凹凸形成面の微細な凸部又は凹部がサブミクロンオーダーの樹脂製光学部品を製造しようとすると、上記マスター型の凹凸形状をＮｉ電鋳型に転写する精度が悪く、従って最終的に得られる樹脂製光学部品の寸法精度が低下してしまう。また、Ｎｉ電鋳型から樹脂射出成形物（樹脂製光学部品）を離型するときの離型性が悪いため製造効率を向上できないという問題があった
なお、
離型操作を容易にする技術としては、Ｎｉ電鋳型の表面に高融点のワックス類やシリコーン油等の離型剤を塗布する方法があるが、Ｎｉ電鋳型の表面に離型剤を塗布する作業が面倒であり、また、数回ショットした毎に離型剤の塗布が必要なため製造効率が悪くなってしまう
【０００６】
本発明は、
上記の課題を解決するために
また、本発明は、
サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を寸法精度良く製造でき、しかも樹脂射出成形物の離型性を向上させることで製造効率を向上できる樹脂製光学部品の製造方法を提供することを目的の一つとする
　
　ウ　「【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
本発明に係わる微細凹凸面を有する樹脂製光学部品成形用型は、光透過性樹脂を射出成形してサブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を成型するための型であって、
サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を成形するためのキャビティ空間を画定する第１の母型及び第２の母型とが備えられ、前記第１の母型と第２の母型の少なくとも一方の内面に前記樹脂製光学部品の微細凹凸形成面と逆の凹凸形状が形成された微細凹凸形成面を有する無機酸化層からなるマスター型が設けられ、該マスター型の微細凹凸形成面上に表面自由エネルギーが４μＪ／ｃｍ２以下の被覆層が形成されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の樹脂製光学部品成形用型では、前記第１の母型と第２の母型の少なくとも一方の内面に前記樹脂製光学部品の微細凹凸形成面と逆の凹凸形状が形成された微細凹凸形成面を有する無機酸化層からなるマスター型が設けられたことにより、樹脂製光学部品の製造の際にはキャビティ空間に光透過性樹脂を射出すれば、このマスター型の微細凹凸形成面の凹凸形状が樹脂射出成形物（樹脂製光学部品）に直接転写でき、しかも転写のときに形状が崩れることもないので、従来のようにマスター型の凹凸形状を転写したＮｉ電鋳型に比べてサブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を寸法精度良く製造できる。
また、上記マスター型の細凹凸形成面に表面自由エネルギーが４μＪ／ｃｍ２以下の被覆層が形成されたことより、被転写物（樹脂射出成形物）との物理結合が弱くなるため、樹脂射出成形物を成形用型から離型するときの離型性が優れる。
また、上記の被覆層が形成されたことにより、マスター型の細凹凸形成面が露出せず、保護されたこととなるので、マスター型の耐薬品性と耐擦性を向上できる。それは、本発明の樹脂製光学部品成形用型を用いて射出成形を行うと、成形用型の内面に光透過性樹脂等の成形材料が熱分解したガス等が付着してしまうため、数万ショット毎に洗浄等のメンテナンスを行う必要がある。その洗浄の際に用いる洗浄剤の種類によっては前記マスター型の形状が崩れる恐れがあるため、マスター型の微細凹凸形成面が上記被覆層で覆われることで、洗浄剤等の薬液にさらされても前記マスター型の形状を維持することができ、型としての寿命が長くなる。特に、前記マスター型が後述のＳｉＯ２層から形成されている場合は、ＳｉＯ２は強アルカリ性の洗浄剤に対して耐性がない（耐アルカリ性が劣る）ことから、形状が崩れ易いため、上記被覆層が形成されていると、前記マスター型の劣化を防止でき、形状を維持することができる。
【０００９】
本発明の樹脂製光学部品成形用型においては、上記マスター型の微細凹凸形成面上に形成される被覆層は、フッ素を含有するダイヤモンドライクカーボン層又はフッ素構造を有するシラン化合物層から形成されていてもよい。
上記被覆層がフッ素を含有するダイヤモンドライクカーボン層から構成した場合、上記被覆層はフッ素を含有しているので、表面自由エネルギーを小さくでき、樹脂射出成形物（被転写物）との物理結合が弱くなるため、樹脂射出成形物を成形用型から離型するときの離型性を向上できる。また、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層が用いられたことにより被覆層の表面粗さを小さくでき、被転写物を成形用型から離型するときのマスター型と被転写物間（詳しくは上記被覆層と上記被転写物間）の摩擦係数を低くできるため、離型性を向上できる。
また、ＤＬＣ層は、スパッタ法により成膜することができるため緻密であり、従って、このようなＤＬＣ層から構成された被覆層でマスター型の微細凹凸形成面を覆うことで、マスター型を保護でき、耐薬品性と耐擦性が優れたものとすることができる。
【００１０】
上記被覆層がフッ素構造を有するシラン化合物層から構成した場合、上記被覆層はフッ素構造を有しているので、表面自由エネルギーを小さくでき、樹脂射出成形物（被転写物）との物理結合が弱くなるため、樹脂射出成形物を成形用型から離型するときの離型性を向上できる。
なお、ここでのフッ素構造を有するとは、化学結合によりフッ素原子を分子中に有するという意味である。
【００１１】
前記被覆層がフッ素を含有するＤＬＣ層から形成されている場合、被覆層は厚み方向のフッ素濃度に勾配が付けられていてもよい。
本発明に係わるマスター型の微細凹凸形成面上に形成される被覆層は、少なくとも表面が４μＪ／ｃｍ２以下（４０ｅｒｇ／ｃｍ２以下）の表面自由エネルギーを満たしていれば良いく、また、微細凹凸形成面側はマスター型を構成する無機酸化層と密着性が優れていることが好ましいため、微細凹凸形成面側のフッ素濃度を表面側よりも小さくすることでフッ素濃度に傾斜を付けている。
【００１２】
また、本発明の樹脂製光学部品成形用型においては、前記被覆層の厚さが５０ｎｍ以下であることが好ましい。上記被覆層の厚さが５０ｎｍ以下であれば、上記被覆層にもマスター型の微細凹凸形成面と同様の凹凸形状が形成されるので、樹脂射出成形物の形状に影響が出ることがなく、寸法精度が良い樹脂製光学部品を製造できる。
【００１３】
本発明の樹脂製光学部品成形用型においては、前記マスター型の微細凹凸形成面に形成された微細な凹部又は凸部のアスペクト比（凹部の場合は深さと幅の比あるいは深さと凹部のピッチの比であり、凸部の場合は高さと幅の比あるいは高さと凸部のピッチの比である。）が１以上であってもよい。
かかる構成の樹脂製光学部品成形用型においては、樹脂製光学部品に設ける微細凹凸形成面の微細な凹部又は凸部のアスペクト比が１以上のものであっも寸法精度良く製造することができる。
また、本発明の樹脂製光学部品成形用型においては、前記マスター型はＳｉＯ２層から形成されているものであってもよい。
【００１４】
また、本発明の微細凹凸面を有する樹脂製光学部品の製造方法は、サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を成形用型を用いた射出成形法により製造する方法であって、
前記成形用型として上記のいずれかの構成の本発明の樹脂製光学部品成形用型を用い、該型のキャビティ空間に光透過性樹脂を射出成形して前記マスター型の微細凹凸形成面の微細凹凸形状を樹脂製光学部品に転写することを特徴とする。
【００１５】
かかる構成の微細凹凸面を有する樹脂製光学部品の製造方法によれば、サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を寸法精度良く製造できる。また、樹脂射出成形物を離型するときの離型性も優れるので、上記のような樹脂製光学部品を効率良く製造できる。」
　
　エ　「【００１９】
本実施形態に係るフロントライト１０の導光板１２は、その出射面１２ｂ側に、本発明の製造方法により製造された反射防止層１７が形成されており、この反射防止層１７の表面には、サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が格子状に配列形成されている。
この反射防止層１７について、図２と図３を参照して以下に説明する。図２は、反射防止層１７の表面形状を模式的に示す部分斜視図である。図３は図２の反射防止層１７の部分断面図である。
【００２０】
反射防止層１７の一方の面（導光板側の面）には、直径０．１５〜０．４μｍ程度（あるいは凸部７のピッチが０．１５〜０．４μｍ程度）の多数の微細な凸部７が格子状に配列されて形成されており、幅広い波長域の光を高い透過率で透過させることができるようになっている。上記のような微細な凹凸形状を設けることにより光の反射を防止できるのは、それぞれの凸部が可視領域の波長以下の高さ及び繰り返しピッチで配列形成されているために、入射した光の反射が生じないことによる。反射防止層１７の面のうち上記ような微細な凸部７が多数設けられた面を微細凹凸面１７ａと呼ぶ。反射防止層１７は上記微細凹凸面１７ａが導光板１２の出射面１２ｂ側となるように配置されている。
【００２１】
そして、このような反射防止層１７が設けられていることで、導光板１２内部を伝搬する光が出射面１２ｂに入射した際に反射光がほとんど生じず、効率よく液晶パネル２０を照明できるようになっている。また、出射面１２ｂの内面側での反射がほとんど生じないことで、出射面１２ｂで反射された光が使用者に到達することにより生じる白化現象を抑え、コントラストを向上させて表示品質を向上させることができる。
また、反射型の液晶パネル２０により反射された光が、導光板１２の出射面１２ｂに入射する際にも、この反射防止層１７が有効に作用し、高い透過率で液晶パネル２０の反射光を透過させ、結果として高輝度の表示が得られるようになっている。これは、液晶パネル２０の反射光が、導光板１２の出射面１２ｂで反射されると表示光の一部が損失されて輝度が低下することとなり、また出射面１２ｂでの反射により導光板１２の白化がおこるために表示のコントラストが低下することとなるが、上記導光板１２に、反射防止層１７が設けられていることで、上記の現象を防止することができるためである。
【００２２】
また、凸部７の直径あるいはピッチは０．３μｍ以下とすることが好ましく、また凸部７の高さＨは０．１３μｍ程度以上とすることが好ましい。これは、ピッチＰが０．３μｍを越えると、導光板に光を入射させた際に色づきが発生するからである。また、凸部７の高さＨが０．１３μｍ未満であると、防反射効果が不十分であり、反射率が高くなるからである。
上記凸部７のピッチは、小さくするほど反射防止層１７の透過率を高めることができるが、０．１３μｍ以下の極微細な凸部７を、均一な寸法で配列形成するのは困難であり、製造コストの増加の原因となるため、実用的には凸部７のピッチの下限値は、０．２０μｍ程度である。
また、凸部７のアスペクト比（高さＨと凸部７のピッチＰの比）は、１以上の範囲とされ、好ましくは１以上２以下の範囲である。これは凸部７のアスペクト比が１未満であると、充分な防反射効果が得られないからである。
反射防止層１７の材質としては、
シリコン系樹脂、アクリル樹脂、ノルボルネン樹脂などの光透過性樹脂
　
　オ　「【００２６】
（反射防止層の製造方法）
次に、上記本実施形態に係る反射防止層の製造方法について、以下に説明する。
図１に示す反射防止層１７は、図４〜図５に示す反射防止層成形用型（樹脂製光学部品成形用型）を用いる射出成形により製造することができる。図４は、反射防止層成形用型３０の概略構成を示す断面図であり、図５は、図４の反射防止層成形用型に備えられたマスター型を示す部分拡大図である。
この反射防止層成形用型３０は、反射防止層１７を成形するためのキャビティ空間３５を画定する第１の母型３０ａ及び第２の母型３０ｂとが備えられ、第１の母型３０ａの内面３１ａに反射防止層１７の微細凹凸形成面１７ａと逆の凹凸形状が形成された微細凹凸形成面３６ａを有する無機酸化層からなるマスター型３６が配置され、第２の母型３０ｂの内面３１ｂは反射防止層１７の微細凹凸形成面１７ａと反対側の面を成形する面とされている。また、第１の母型３０ａと第２の母型３０ｂの側端には型内に反射防止層１７の構成材料のシリコン系樹脂を注入する射出口３２が形成されている。
第１の母型３０ａと第２の母型３０ｂの材質としては、シリコンウエハ等のセラミックスが用いられる。
【００２７】
マスター型３６の微細凹凸形成面３６ａは、サブミクロンオーダーの微細な凹部３７を複数有し、しかもこれら凹部３７が格子状に配列された
凹部３７の
ピッチＰ２は、反射防止層１７の凸部７の径あるいはピッチＰと略同じ大きさの０．１５〜０．４μｍ、好ましくは０．３μｍ以下とされ
  また、
凹部３７の高さＨ２は、凸部７の高さＨと略同じ大きさの０．２μｍ以上とされ
【００２８】
マスター型３６の微細凹凸形成面３６ａは、
表面自由エネルギーが４μＪ／ｃｍ
２
以下
、好ましくは３．５μＪ／ｃｍ
２
以下
表面自由エネルギーが４μＪ／ｃｍ
２
を超えると、
樹脂射出成形物を成形用型から離型する際の離型性が低下してしまう
この被覆層３８の表面には、マスター型３６の微細凹凸形成面３６ａと同様の凹凸形状が形成されている。
被覆層３８は、
フッ素を含有するＤＬＣ層、フッ素構造を有するシラン化合物層等から構成され
【００２９】
被覆層３８をフッ素を含有するＤＬＣ層から構成した場合、表面自由エネルギーが４μＪ／ｃｍ２以下になるように被覆層３８中のフッ素の含有量が調整される。被覆層３８中のフッ素の含有量は、１０ｗｔ％〜３０ｗｔ％の範囲（あるいは１０質量％〜３０質量％）とすることが離型性の向上と、母型との密着性の両方を満足できる点で好ましい。
被覆層３８中のフッ素の含有量が多くなるに従って離型性が向上し、フッ素の含有量が少なくなるに従って母型３０ａとの密着性が低下するため、微細凹凸形成面３６ａ側のフッ素濃度を表面側（キャビティ空間３５側）よりも小さくすることで被覆層３８の厚み方向のフッ素濃度に勾配を付けられていてもよい。このように厚み方向のフッ素濃度に勾配をつけたＤＬＣ層を傾斜ＦＤＬＣ層と呼ぶ。
傾斜ＦＤＬＣ層から構成した被覆層３８は、少なくとも表面側が４０ｅｒｇ／ｃｍ２以下の表面自由エネルギーを満たすようにされる。このようにすることにより、被覆層３８の表面は優れた離型性を有することができ、微細凹凸形成面３６ａ側はマスター型を構成する無機酸化層との密着性が優れたものとすることができる。
【００３０】
被覆層３８の厚さとしては５０ｎｍ以下であることが先に述べた理由により好ましく、さらに好ましくは３０μｍ以下とされる。
上記のような被覆層３８の作製方法としては、フッ素を含有するＤＬＣ層の場合、フッ素を含有する雰囲気中でスパッタを行うことにより成膜できる。傾斜ＤＬＣ層の場合は、雰囲気中のフッ素濃度を変更しながらスパッタを行うことにより成膜できる。フッ素構造を有するシラン化合物層の場合は、デイップコーティングすることより成膜できる。
【００３１】
このような反射防止層成形用型３０を用いて反射防止層１７を作製するには、反射防止層成形用型３０を射出成型機にセットして、
射出口３２から溶融した反射防止層１７の材料のシリコン系樹脂等の光透過性樹脂を射出して樹脂射出成形物を成形すると、
【００３２】
本実施形態の反射防止層の製造方法によれば、上記のような構成の反射防止層成形用型３０を用いて射出成形するので、マスター型３６の微細凹凸形成面３６ａの凹凸形状が樹脂射出成形物に直接転写でき、しかも転写のときに形状が崩れることもないので、従来のようにマスター型の凹凸形状を転写したＮｉ電鋳型に比べてサブミクロンオーダーの微細な凸部７が複数形成された微細凹凸形成面１７ａを有する反射防止層１７を寸法精度良く製造できる。
【００３３】
また、マスター型３６の細凹凸形成面３６ａに表面自由エネルギーが４μＪ／ｃｍ２以下の被覆層３８が形成されたことより、樹脂射出成形物との物理結合が弱くなるため、樹脂射出成形物を成形用型から離型するときの離型性を向上でき、反射防止層１７を効率良く製造できる。また、マスター型３６の細凹凸形成面３６ａに被覆層３８が形成されたことにより、マスター型３６の細凹凸形成面３６ａが露出せず、保護されたこととなるので、反射防止層成形用型３０のメンテナンスの際に用いる洗浄剤によってマスター型３６の微細凹凸形成面３６ａの形状が劣化するのを防止でき、型としての寿命が長くなる。
【００３４】
また、反射防止層成形用型３０において、第２の母型３０ｂの内面３１ｂにも上記のようなマスター型３６と同様のマスター型を配置し、このような反射防止層形成型を用いて射出成形すれば、両面（導光板側の面と液晶パネル側の面）に微細凹凸形成面が形成された反射防止層を作製できる。
【００３５】
なお、上記実施形態においては樹脂製光学部品成形用型を用いて反射防止層を製造する場合について説明したが、本発明の樹脂製光学部品の製造方法は、導光板１２を製造する場合にも適用でき、その場合に用いる導光板成形用型としては、導光板１２の微細凹凸形成面（複数の凸部１４が形成されている面であり、図１では反射面１２ｃ）と逆の凹凸形状が形成された微細凹凸形成面を有するマスター型が第１の母型又は第２の母型の一方の内面に備えられ、他方の母型の内面に導光板１２の出射面１２ｂを成形する面が形成されたものを用いて射出成形すれば、導光板１２を製造することができる。」
　
　カ　「【００３６】
【実施例】
（実施例１）
図４乃至図５と同様の反射防止層成形用型を作製した。ここで作製した反射防止層成形用型に備えられたマスター型の微細凹凸形成面の凹部のピッチは０．２２μｍ、アスペクト比は１．２であった。また、このマスター型の微細凹凸形成面を覆う被覆層の材質としては、傾斜ＦＤＬＣ層を用いた。この傾斜ＦＤＬＣ層の厚さは３０ｎｍであった。また、この傾斜ＦＤＬＣ層の表面自由エネルギーは３．１２μＪ／ｃｍ２（３１．２ｅｒｇ／ｃｍ２）であった。
次に、作製した反射防止層成形用型を射出成型機にセットして、射出口から溶融した反射防止層の材料の株式会社ＪＳＲ製の商品名アートンを射出して樹脂射出成形物を成形した後、離型し反射防止層を得た。得られた反射防止層は、マスター型の微細凹凸形成面の微細凹凸形状が転写されており、寸法精度が優れた微細凹凸面を有するものであった。ここで離型する際の上記被覆層の接着仕事量（Ｗｂｓ）を調べたところ７．４２μＪ／ｃｍ２（７４．２ｅｒｇ／ｃｍ２）であり、離型性が良好であり、また、マスター型の微細凹凸面上に形成された被覆層には反射防止層材料の付着は見られなかった。
【００３７】
（実施例２）
図４乃至図５と同様の反射防止層成形用型を作製した。ここで作製した反射防止層成形用型に備えられたマスター型の微細凹凸形成面の凹部のピッチは０．２５μｍ、アスペクト比は１．３であった。また、このマスター型の微細凹凸形成面を覆う被覆層の材質としては、株式会社東レ製の商品名ＡＹ４３−１５８（フッ素構造を有するシラン化合物）を用いた。この被覆層の厚さは１０ｎｍであった。
この被覆層の表面自由エネルギーは１．６μＪ／ｃｍ２（１６．０ｅｒｇ／ｃｍ２）であった。
次に、作製した反射防止層成形用型を射出成型機にセットして、射出口から溶融した反射防止層の材料の株式会社ＪＳＲ製のアートン（商品名）を射出して樹脂射出成形物を成形した後、離型し反射防止層を得た。得られた反射防止層は、マスター型の微細凹凸形成面の微細凹凸形状が転写されており、寸法精度が優れた微細凹凸面を有するものであった。ここで離型する際の上記被覆層の接着仕事量（Ｗｂｓ）を調べたところ４．５５μＪ／ｃｍ２（４５．５ｅｒｇ／ｃｍ２）であり、離型性が優れており、また、マスター型の微細凹凸面上に形成された被覆層には反射防止層材料の付着は見られなかった。
【００３８】
（比較例１）
マスター型の微細凹凸形成面上に被覆層を形成しない以外は実施例１と同様にして反射防止層成形用型を作製した。マスター型の微細凹凸形成面の表面自由エネルギーは５．３６μＪ／ｃｍ２（５３．６ｅｒｇ／ｃｍ２）であった。
次に、作製した反射防止層成形用型を射出成型機にセットして、射出口から溶融した反射防止層の材料の株式会社ＪＳＲ製のアートン（商品名）を射出して樹脂射出成形物を成形した後、離型する際の上記マスター型の接着仕事量（Ｗｂｓ）を調べたところ９．３μＪ／ｃｍ２（９３．０ｅｒｇ／ｃｍ２）であり、マスター型の表面に反射防止層材料が付着してしまい離型が困難であった。」
　
　キ　「【００３９】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように本発明によれば、
サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を寸法精度良く製造でき、しかも樹脂射出成形物を離型するときの離型性を向上
　
　ク　上記アないしキから、引用例１には、
「サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を成形用型を用いた射出成形法により製造する方法において、
　キャビティ空間に樹脂製光学部品の反射防止層が有するサブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が多数形成された微細凹凸形成面と逆の凹凸形状が形成されたＮｉ電鋳型を用い、キャビティ空間に光学部品材料のシリコン系樹脂等を射出する射出成形法による従来の樹脂製光学部品の製造方法では、マスター型の凹凸形状をＮｉ電鋳型に転写する精度が悪く、従って最終的に得られる樹脂製光学部品の寸法精度が低下してしまい、また、Ｎｉ電鋳型から樹脂射出成形物である樹脂製光学部品を離型するときの離型性が悪いため製造効率を向上できず、Ｎｉ電鋳型の表面に高融点のワックス類やシリコーン油等の離型剤を塗布して離型操作を容易にするにはＮｉ電鋳型の表面に離型剤を塗布する作業が面倒であり、また、数回ショットした毎に離型剤の塗布が必要なため製造効率が悪くなってしまうという問題があったので、
　これらの課題を解決し、サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を寸法精度良く製造でき、しかも樹脂射出成形物の離型性を向上させることで製造効率を向上することを目的とし、
　サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を成形するためのキャビティ空間を画定する第１の母型及び第２の母型とを備え、
　前記第１の母型と第２の母型の少なくとも一方の内面に前記樹脂製光学部品の微細凹凸形成面と逆の凹凸形状が形成された微細凹凸形成面を有する無機酸化層からなるマスター型を設け、
　該マスター型の微細凹凸形成面の表面自由エネルギーが４μＪ／ｃｍ２を超えると、樹脂射出成形物を成形用型から離型する際の離型性が低下してしまうので、該マスター型の微細凹凸形成面上に、フッ素を含有するＤＬＣ層、フッ素構造を有するシラン化合物層等から構成され、表面自由エネルギーが４μＪ／ｃｍ２以下、好ましくは３．５μＪ／ｃｍ２以下の被覆層を形成して前記成形用型とし、
　該マスター型の微細凹凸形成面を、サブミクロンオーダーの微細な凹部を複数有し、しかもこれら凹部を格子状に配列し、該凹部のピッチを樹脂製光学部品の反射防止層の凸部のピッチと略同じ大きさの０．１５〜０．４μｍ、好ましくは０．１５〜０．３μｍとし、 また、前記凹部の高さを前記凸部の高さと略同じ大きさの０．２μｍ以上とし、
　該型のキャビティ空間に射出口から溶融した反射防止層の材料のシリコン系樹脂、アクリル樹脂、ノルボルネン樹脂などの光透過性樹脂を射出し、光透過性樹脂を射出成形して前記マスター型の微細凹凸形成面の微細凹凸形状を樹脂製光学部品に転写することにより、
　サブミクロンオーダーの微細な凹部又は凸部が複数形成された微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品を寸法精度良く製造でき、しかも樹脂射出成形物を離型するときの離型性を向上した、
　微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品の製造方法。」の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。
　
（２）当審拒絶理由に引用した「本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００５−９７３７１号公報（以下「引用例２」という。）」には以下の事項が記載されている。
　ア　「【請求項１】
  
フッ素含有化合物を少なくとも含み、光学物品の微細凹凸構造を形成するのに用いられる
フッ素含有樹脂組成物
…略…
【請求項６】
  
請求項１
に記載のフッ素含有樹脂組成物を用いて微細凹凸構造が形成され、表面にフッ素原子を含む
光学物品
…略…
【請求項１２】
  光学物品に形成する微細凹凸構造と相補的な
微細凹凸構造を有するスタンパーを
フッ素含有樹脂組成物から形成される層に圧接させて該スタンパーの微細凹凸構造を転写してなる請求項６
記載の光学物品
【請求項１３】
  光学物品が、反射防止膜、
反射防止フィルム
　
　イ　「【技術分野】
【０００１】
  本発明は、光学特性及び
耐汚染性に優れた周期的微細凹凸構造を効率よく形成することができる
反射防止フィルム
【背景技術】
【０００２】
  近年、
可視光波長以下の周期的微細凹凸構造を有する
反射防止フィルム
  例えば、前記反射防止膜及び反射防止フィルムは、陰極管表示装置（ＣＲＴ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、エレクトロルミネッセンスディスプレイ（ＥＬＤ）及び液晶表示装置（ＬＣＤ）のようなディスプレイ装置、ショウウインドウ等において外光の反射によるコントラストの低下や像の映り込みを防止するのに用いられている。また、太陽電池等において反射を防止して光の利用効率を高めるのに利用されている。
【０００３】
  従来、反射防止膜及び反射防止フィルムとしては、支持体上に屈折率の異なる複数の層を適切な膜厚で蒸着、スパッタ、又は塗布により積層した多層膜が一般的である。該多層膜は、光学干渉の原理に基づき各層界面からの反射光を互いに相殺することによって反射防止を行うものであり、層数を増やすことにより低い反射率特性、及び低い反射率波長依存性を実現でき、コスト的な観点から１〜４層程度の層数のものが実用化されている。しかし、該多層膜は、平均反射率０．２〜０．３％程度が限界であり、反射率の波長依存性が大きいため、赤味や青味等の着色が問題になる。また、光の入射角によって反射率特性が大きく変化してしまうという欠点がある。
【０００４】
  一方、反射防止の別の手段としては、サイズの大きな粒子をバインダーに混合し、皮膜表面に粗い凹凸構造を形成することによって反射光を散乱させる方法があり、前記多層膜による光学干渉方法と併用することも行われている。これらの方法は、比較的安価であるが粗い凹凸構造がヘイズの上昇及びコントラストの低下を招いてしまい、十分な反射防止効果が得られないという問題がある。
【０００５】
  前記皮膜表面に可視光波長以下の周期的微細凹凸構造を形成した場合には
可視光を散乱させることなく、低屈折率の表面を形成することができ
広い波長域にわたって低い反射率であり、かつ入射角依存性の少ない極めて優れた反射防止効果が得られる
【０００６】
  前記微細凹凸構造の形成方法としては、バインダー量を減らして微粒子を充填する方法、エッチング方法（例えば、ホウ珪酸塩のゾルゲル反応で得られる皮膜を酸に浸漬し、酸の拡散に従って皮膜表面から内部に向かってホウ酸塩成分の溶出量を変化させる方法）等が従来から知られているが、これらの方法では微細凹凸形状の精密なコントロールが困難であり、精度にも問題がある。
【０００７】
  近年、より確実な微細凹凸構造の形成方法として、電子線レジストやレーザーの２光束干渉露光方式による直接描画により、微細なレリーフ形状を形成する方法が開発されている（非特許文献１参照）。しかし、前記方法は、露光に時間がかかり、大面積、大量生産には適していないという問題がある。そこで、大面積加工、大量生産に適した方法として、射出成型法、プレス加工法等の形状転写法が提案されている（非特許文献３及び特許文献１参照）。これらの提案は、前記直接描画方法によってレジスト材料に微細な凹凸形状を形成したマスターを利用し、更に電鋳加工によりマスターと相補的な
微細凹凸構造を有するスタンパー（金型）
を利用して樹脂等に形状を転写するもの
  また、別の手段として樹脂の相分離を利用した方法についても報告されており、大面積加工が可能であり、安価に製造することが可能性である（特許文献２参照）。
【０００８】
  したがって、周期的微細凹凸構造は優れた光学特性を発現し、安価であり、大面積加工も可能になりつつあるが、
微細凹凸構造への油滴の染み込み等が生じ易く、外部環境にさらされる条件で使用するためには耐汚染性の向上が大きな問題
【０００９】
【非特許文献１】菊田久雄  電子情報通信学会論文  J83-C(3),173-181(2000)
【非特許文献２】Bernhard,C.G.,Endeavour,26,79(1967)
【非特許文献３】A.Gombert et.al.,Thin Solid Films,351,73(1999)
【特許文献１】特開２００２−２６７８１６号公報
【特許文献２】欧州公開特許第１０９４１０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
  本発明は、前記
従来における諸問題を解決し、
光学特性及び耐汚染性に優れた可視光波長以下の周期的微細凹凸構造を形成
反射防止フィルム
ことを目的とする
　
　ウ　「【発明の効果】
【００１５】
  本発明によると、従来における諸問題を解決でき、反射防止性能が高く、
優れた耐汚染性を有し、
　
　エ　「【０１５４】
−反射防止フィルムの作製−
  厚み１００μｍのポリエチレンテレフタレート（
ＰＥＴ）フィルム上に
フッ素含有樹脂組成物を
塗布し
  次に、該フィルムの樹脂層塗布面上に、周期約２５０ｎｍ×高さ約２５０ｎｍの円錐形状の周期的
微細凹凸構造を有する
スタンパーを押し当て、
圧接した後、ＰＥＴフィルムの裏面から
紫外線を照射して樹脂層を硬化させ
表面に微細凹凸構造の形成された
反射防止フィルムを作製
　
　オ　上記アないしエから、引用例２には、
「可視光波長以下の周期的微細凹凸構造を、微細凹凸構造を有するスタンパー（金型）を利用して樹脂等に形状を転写して形成し、可視光を散乱させることなく、低屈折率の表面を形成することができ、広い波長域にわたって低い反射率であり、かつ入射角依存性の少ない極めて優れた反射防止効果が得られる反射防止フィルムの製造方法において、
　微細凹凸構造への油滴の染み込み等が生じ易く、外部環境にさらされる条件で使用するためには耐汚染性の向上が問題であったので、従来における諸問題を解決し、光学特性及び耐汚染性に優れた可視光波長以下の周期的微細凹凸構造を形成することを目的として、
　微細凹凸構造を形成するのに、フッ素含有化合物を少なくとも含むフッ素含有樹脂組成物を用い、微細凹凸構造の表面にフッ素原子を含ませることにより、優れた耐汚染性を有するものとし、具体的には、ＰＥＴフィルム上に前記フッ素含有樹脂組成物を塗布し、微細凹凸構造を有するスタンパーを押し当て圧接した後、ＰＥＴフィルムの裏面から紫外線を照射して該フッ素含有樹脂組成物を硬化させて前記スタンパーの微細凹凸構造を転写するようにした、表面に微細凹凸構造の形成された反射防止フィルムの製造方法。」の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されているものと認められる。
　
４　対比
　本願発明と引用発明１を対比する。
（１）引用発明１の「微細凹凸形成面」、「凹部のピッチ」、「凹部の高さ」、「表面自由エネルギー」、「光透過性樹脂」、「樹脂製光学部品」及び「樹脂製光学部品の製造方法」は、それぞれ、本願発明の「微細凹凸構造」、「隣り合う凹部の間隔」、「隣り合う凹部の高さもしくは深さ」、「表面張力」、「樹脂組成物」、「成形体」及び「成形体の製造方法」に相当する。
　
（２）引用発明１の「微細凹凸構造（微細凹凸形成面）」は、サブミクロンオーダーの微細な凹部を複数有し、しかもこれら凹部を格子状に配列し、該「隣り合う凹部の間隔（凹部のピッチ）」を「成形体（樹脂製光学部品）」の反射防止層の凸部のピッチと略同じ大きさの０．１５〜０．４μｍ、好ましくは０．１５〜０．３μｍとし、 また、前記「隣り合う凹部の高さもしくは深さ（凹部の高さ）」を前記凸部の高さと略同じ大きさの０．２μｍ以上としたものであり、その「表面張力（表面自由エネルギー）」は４μＪ／ｃｍ２以下、好ましくは３．５μＪ／ｃｍ２以下である。
　したがって、引用発明１の「隣り合う凹部の間隔を０．１５〜０．４μｍとした」と本願発明の「隣り合う凸部もしくは凹部の間隔が１０〜５００ｎｍである」とは「隣り合う凹部の間隔が１５０〜４００ｎｍである」点で一致し、引用発明１の「隣り合う凹部の高さもしくは深さを０．２μｍ以上とした」と本願発明の「隣り合う凸部もしくは凹部の高さもしくは深さが３０ｎｍ以上である」とは「隣り合う凹部の高さもしくは深さが２００ｎｍ以上である」点で一致し、引用発明１の「微細凹凸構造」と本願発明の「微細凹凸構造」とは「隣り合う凹部の間隔が１５０〜４００ｎｍ、高さもしくは深さが２００ｎｍ以上である」点で一致する。
　また、本願発明において、「スタンパ」は型であるといえ、その「表面張力」は「１３ｍＮ／ｍ以下」であって４０ｍＮ／ｍ以下であるといえるから、引用発明１の「マスター型」と本願発明の「スタンパ」とは「型」である点で一致し、引用発明１の「表面張力」と本願発明の「表面張力」とは「４０ｍＮ／ｍ以下である」点で一致する。
　
（３）引用発明１において、「樹脂組成物（光透過性樹脂）」は、「成形体（樹脂製光学部品）」を離型するときの離型性が悪いものであるから、「離型剤（但し、前記フッ素化合物を除く）」を含んでいないものであることが当業者に自明である。
　したがって、引用発明１の「型のキャビティ空間に射出口から溶融した反射防止層の材料のシリコン系樹脂、アクリル樹脂、ノルボルネン樹脂などの光透過性樹脂を射出し、光透過性樹脂を射出成形して前記マスター型の微細凹凸形成面の微細凹凸形状を樹脂製光学部品に転写する微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品の製造方法」と本願発明の「スタンパと光透過性成形体との間へ、フッ素化合物を含み、離型剤（但し、前記フッ素化合物を除く）を含まない光硬化性樹脂組成物を供給し圧延した後、光を照射して該光硬化性樹脂組成物を硬化させて前記スタンパの微細凹凸構造を転写する微細凹凸構造を有する成形体の製造方法」とは、上記（１）及び（２）に照らせば、「型との間へ、離型剤（但し、前記フッ素化合物を除く）を含まない樹脂組成物を供給した後、該樹脂組成物を硬化させて前記型の微細凹凸構造を転写する微細凹凸構造を有する成形体の製造方法」の点で一致するといえる。
　
（４）上記（１）ないし（３）から、本願発明と引用発明とは、
「隣り合う凹部の間隔が１５０〜４００ｎｍ、高さもしくは深さが２００ｎｍ以上である微細凹凸構造を有し、且つ表面張力が４０ｍＮ／ｍ以下である型を用い、該型へ、離型剤（但し、前記フッ素化合物を除く）を含まない樹脂組成物を供給し該樹脂組成物を硬化させて前記型の微細凹凸構造を転写する、微細凹凸構造を有する成形体の製造方法。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点１：
　前記表面張力が、本願発明では「１３ｍＮ／ｍ以下」であるのに対して、引用発明１では１３ｍＮ／ｍ以下であるかどうか明らかでない点。
　
相違点２：
　本願発明では、前記型がスタンパであり、前記樹脂組成物が光硬化性でありかつフッ素化合物を含み、該樹脂組成物を前記型と光透過性成形体との間へ供給し圧延した後、光を照射して硬化させるのに対して、
　引用発明１では、前記樹脂組成物は光硬化性ではなくかつフッ素化合物を含んでおらず、該樹脂組成物を射出して成形しており、圧延するのではないので前記型はスタンパとは呼べない点。
　
５　判断
　上記相違点１及び２について検討する。
（１）相違点１について、
　ア　表面エネルギーが１３ｍＪ／ｍ２（ｄｙｎ／ｃｍ、ｍＮ／ｍ）未満であるコート層は本願の出願前に周知である（以下「周知技術１」という。例．特表２００４−５２６６０６号公報（【０１０３】〜【０１０６】参照。）、特開平９−３１８８０４号公報（【００４８】参照。））。
　
　イ　引用発明１の「型（マスター型）」の「微細凹凸構造（微細凹凸形成面）」は、「表面張力（表面自由エネルギー）」が４μＪ／ｃｍ２（４０ｍＪ／ｍ２）以下、好ましくは３．５μＪ／ｃｍ２（３５ｍＪ／ｍ２）以下の被覆層を形成したものであるところ、引用発明１において、「型」の「微細凹凸構造」に「表面張力」が１３ｍＪ／ｍ２（ｄｙｎ／ｃｍ、ｍＮ／ｍ）未満の被覆層を形成すること、すなわち、引用発明１において、上記相違点１に係る本願発明の構成となすことは、当業者が周知技術１に基づいて適宜なし得た程度のことである。
　
（２）相違点２について、
　ア　引用例２には、上記３（２）のとおり、引用発明２（上記３（２）オ参照。）が記載されている。
　引用発明２は、「可視光波長以下の周期的微細凹凸構造を、微細凹凸構造を有するスタンパー（金型）を利用して樹脂等に形状を転写して形成し、可視光を散乱させることなく、低屈折率の表面を形成することができ、広い波長域にわたって低い反射率であり、かつ入射角依存性の少ない極めて優れた反射防止効果が得られる反射防止フィルムの製造方法」において、微細凹凸構造への油滴の染み込み等が生じ易く、外部環境にさらされる条件で使用するためには耐汚染性の向上が問題であったので、従来における諸問題を解決し、光学特性及び耐汚染性に優れた可視光波長以下の周期的微細凹凸構造を形成することを目的として、「微細凹凸構造を形成するのに、フッ素含有化合物を少なくとも含むフッ素含有樹脂組成物を用い、微細凹凸構造の表面にフッ素原子を含ませることにより、優れた耐汚染性を有するものとした」ものであって、具体的には、「ＰＥＴフィルム上にへ前記フッ素含有樹脂組成物を塗布し、微細凹凸構造を有するスタンパーを押し当て圧接した後、ＰＥＴフィルムの裏面から紫外線を照射して該フッ素含有樹脂組成物を硬化させて前記スタンパーの微細凹凸構造を転写するようにした」ものである。
　
　イ　微細凹凸が設けられたスタンパ（型）と透光性基板との間に光硬化性樹脂組成物を置き、押し付けて光硬化性樹脂組成物を押し広げた後、紫外線を照射して該光硬化性樹脂組成物を硬化させて前記スタンパの微細凹凸を転写して反射防止構造を形成する方法は、本願の出願前に周知である（以下「周知技術２」という。例．いずれも当審拒絶理由で引用した、特開２００３−２２２７０１号公報（【００５７】、【００５８】参照。）、特開昭６３−７５７０２号公報（２頁右上欄７行〜同頁左下欄１４行参照。））。
　
　ウ　上記ア及びイからみて、引用発明１において、前記「微細凹凸構造（微細凹凸形成面）」を耐汚染性に優れた反射防止フィルムのものとするために、前記「樹脂組成物」を光硬化性でありかつフッ素含有化合物を少なくとも含むフッ素含有樹脂組成物とし、該「樹脂組成物」を前記「型」とＰＥＴフィルム等の透光性基板との間に置き、押し付けて「樹脂組成物」を押し広げた後、紫外線を照射して該「樹脂組成物」を硬化させて前記「型」の微細凹凸を転写して、表面に微細凹凸構造の形成された反射防止フィルムを製造する、微細凹凸形成面を有する樹脂製光学部品の製造方法となすことは、当業者が引用発明２及び周知技術２に基づいて容易になし得た程度のことである。
　ここで、「フッ素含有化合物」、「ＰＥＴフィルム等の透光性基板」、「置く」、「押し広げ」及び「紫外線を照射して硬化させ」は、本願発明の「フッ素化合物」、「光透過性成形体」、「供給」、「圧延し」及び「光を照射して硬化させ」に相当し、「型」は押し付けるのでスタンパといえる。
　したがって、引用発明１において、上記相違点２に係る本願発明の構成となすことは、当業者が引用発明２及び周知技術２に基づいて容易になし得た程度のことである。
　
（３）本願発明の奏する効果は、引用発明１の奏する効果、引用発明２の奏する効果、周知技術１の奏する効果及び周知技術２の奏する効果から当業者が予測することができた程度のことである。
　
（４）したがって、本願発明は、当業者が引用例１に記載された発明、引用例２に記載された発明、周知技術１及び周知技術２に基づいて容易に発明をすることができたものである。
　
６　むすび
　本願発明は、以上のとおり、当業者が引用例１に記載された発明、引用例２に記載された発明、周知技術１及び周知技術２に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。