【事件の表示】
　特願２００８−５４５２７７「Ｘ線発生装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年　５月２９日国際公開、ＷＯ２００８／０６２５１９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１８年（２００６年）１１月２１日を国際出願日とする特願２００８−５４５２７７号であって、平成２３年７月７日付けで拒絶理由が通知され、同年９月９日付けで意見書が提出されるとともに、同日付けで手続補正がなされ、同年１０月１４日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、平成２４年１月１６日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同時に手続補正がなされたものである。
　その後、当審において同年６月２２日付けで、前置報告書の内容について請求人に事前に意見を求める審尋を行ない、同年８月２７日付けで回答書が提出された。
　
第２　平成２４年１月１６日付けの手続補正についての補正の却下の決定
　
［補正の却下の決定の結論］
　平成２４年１月１６日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１　本件補正について
　本件補正により、特許請求の範囲に係る発明は、平成２３年９月９日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲に記載の、
　
「【請求項１】
　電子銃とターゲットとを容器内に収容し、前記電子銃から照射された電子ビームを前記ターゲットに衝突させ、衝突部位から発生したＸ線を前記容器に設けられたＸ線窓から取り出すように構成されたＸ線発生装置であって、電子銃を、前記電子ビームを出射するカソードと、カソード・ターゲット間に配設された少なくとも２つ以上の中間電極とで構成し、これら中間電極のうち前記カソードに最も近い第１電極周りの熱容量を他の電極よりも大きくし、この第１電極に前記容器と同電位の電位を与えるとともに、この電位は接地電位であることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項２】
　請求項１に記載のＸ線発生装置において、前記カソード、ターゲットおよび前記第１電極を除く前記中間電極を含めた装置内の全ての電極の電位が正の電位であることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項３】
　請求項１または請求項２に記載のＸ線発生装置において、前記第１電極には導電部材からなり熱容量の大きな第１電極保持部材を介して電位が与えられるようにすることによって、前記第１電極周りの熱容量を大きくするとともに、前記第１電極に電位が与えられることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項４】
　請求項１または請求項２に記載のＸ線発生装置において、前記第１電極を直接的に前記容器に当接させることで、前記第１電極周りの熱容量を大きくするとともに、前記第１電極に電位が与えられることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項５】
　請求項１または請求項２に記載のＸ線発生装置において、前記第１電極と前記容器との間に単数または互いに当接した複数の導電部材を配設し、その導電部材を前記第１電極に当接させるとともに前記容器に当接させ、前記導電部材を介して前記第１電極を前記容器に間接的に接触させることで、前記第１電極周りの熱容量を大きくするとともに、前記第１電極に電位が与えられることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項６】
　請求項１から請求項５のいずれかに記載のＸ線発生装置において、前記第１電極をＭｏ（モリブデン）、Ｔａ（タンタル）、Ｗ（タングステン）、Ｉｒ（イリジウム）あるいはそれらのいずれかを含む物質で形成することを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項７】
　請求項１から請求項５のいずれかに記載のＸ線発生装置において、前記第１電極をステンレス鋼で形成することを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項８】
　請求項１から請求項５のいずれかに記載のＸ線発生装置において、前記第１電極を融点が２０００℃未満の低融点金属あるいはそれを含む物質で形成することを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項９】
　請求項８に記載のＸ線発生装置において、前記低融点金属は、Ｔｉ（チタン）、Ｚｒ（ジルコニウム）、Ｎｉ（ニッケル）あるいはそれらのいずれかを含む合金であることを特徴とするＸ線発生装置。」が　
　
「【請求項１】
　電子銃とターゲットとを容器内に収容し、前記電子銃から照射された電子ビームを前記ターゲットに衝突させ、衝突部位から発生したＸ線を前記容器に設けられたＸ線窓から取り出すように構成されたＸ線発生装置であって、電子銃を、前記電子ビームを出射するカソードと、カソード・ターゲット間に配設された少なくとも２つ以上の中間電極とで構成し、これら中間電極のうち前記カソードに最も近い電極を第１電極としたとき、前記カソードと前記第１電極の距離がサブミリオーダーであるようにするとともに、前記第１電極を前記容器に直接的に当接することでこの第１電極の電位を前記容器と同電位とし、さらにこの電位を接地電位とし、第１電極周りの熱容量を他の電極の熱容量よりも大きくすることを特徴とするＸ線発生装置。」と補正された。
　
　そして、この補正は、本件補正前の請求項１を、本件補正前の請求項４の内容及び「カソード」と「第１電極」の距離について「サブミリオーダーであるようにする」とする特定事項によって限定する補正事項、本件補正前の表現を変更して文章を整えた補正事項、及び、本件補正前の請求項２−９を削除する補正事項からなる。よって、本件補正は、特許請求の範囲のいわゆる限定的減縮を目的とする補正事項を含むものであるといえる。
　すなわち、本件補正における請求項１に係る発明の補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下「平成１８年改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号に掲げる事項を目的とするものを含む。
　
２　独立特許要件違反についての検討
　そこで、次に、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものか（平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反しないか）について検討する。
　
（１）本願補正発明
　本願補正発明は、平成２４年１月１６日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載されている事項により特定されるものである。（上記の「１　本件補正について」の記載参照。）
　
（２）引用例
ア　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００３−１６３０９８号公報（以下「引用例１」という。）には、次の事項が記載されている。（なお、下記「イ　引用例１に記載された発明の認定」に直接関与する記載に下線を付した。）
　
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＸ線管などを備えたＸ線発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線発生装置は、Ｘ線を放出するＸ線管を組み込んだ装置であり、医療用あるいは工業用の診断装置などに数多く利用されている。Ｘ線管についても、Ｘ線発生装置の用途に応じて種々のものが実用化されている。例えば、Ｘ線で検査対象物の微細構造などを検査する際には、Ｘ線の発生領域である陽極ターゲット上の電子ビームの焦点寸法を数μmから数10μm程度としたＸ線管、いわゆるマイクロフォーカスＸ線管が用いられている（例えば特開2001-273860号公報参照）。
【０００３】上述したマイクロフォーカスＸ線管は、例えばＸ線を放出する陽極ターゲットと陰極をそれぞれ真空容器内に配置した構造を有している。陰極はヒータによる加熱で電子ビームを発生するカソード電極、管電流を制御するグリッド電極、陽極ターゲット上における電子ビームの焦点寸法を制御するフォーカス電極などから構成されている。
【０００４】このような構成を有するＸ線管では、例えばカソード電極、陽極ターゲット、あるいはグリッド電極を接地電位に設定し、陽極ターゲットに所定の管電圧を印加することが一般的である。Ｘ線管の動作状態は、例えばフォーカス電極やグリッド電極に印加する電圧を制御することにより調整される。フォーカス電極に印加する電圧を制御する場合、管電圧を生成する陽極ターゲット用電源とは別に、フォーカス電極に印加するフォーカス電圧を生成するためのフォーカス電極用電源が用いられる。」
　
「【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施するための形態について説明する。
【００１６】図１は本発明の第１の実施形態による
Ｘ線発生装置
真空容器１１内の一方の側には陰極１２が配置され、また他方の側には陽極１３が配置されている。陽極１３は陽極ターゲット１４を有している。
【００１７】
陰極１２は、例えば電子ビームｅを発生するカソード電極１５と、カソード電極１５を加熱するヒータ１６と、電子ビームｅの流れ（例えば管電流）を制御するグリッド電極１７と、電子ビームｅを集束して陽極ターゲット１４上に形成される電子ビームの焦点形状を制御するフォーカス電極１８とから構成されている。
【００１８】この実施形態のＸ線発生装置では、
グリッド電極１７が接地電位Ｇとされている。
【００１９】また、カソード電極１５と接地電位Ｇとの間には出力可変のバイアス電圧発生部２０が接続されており、カソード電極１５にはグリッド電極１７に対して正のバイアス電圧Ｖbが印加される。このカソード電極１５とグリッド電極１７との間のバイアス電圧Ｖbによって、Ｘ線管１０の管電流が制御される。ヒータ１６にはヒータ電圧発生部２１からＤＣあるいはＡＣの所定電力が供給される。
【００２０】管電圧発生部１９の両端には、分圧部３１が並列に接続されている。分圧部３１は2個の抵抗Ｒ１、Ｒ２により構成されている。これら2個の抵抗Ｒ１、Ｒ２は直列に接続されており、例えば管電圧発生部１９の電位の高い側から順に、第１の抵抗Ｒ１および第２の抵抗Ｒ２とされている。第１の抵抗Ｒ１と第２の抵抗Ｒ２との接続点ａはフォーカス電極１８に接続されており、第２の抵抗Ｒ２の両端の電圧がフォーカス電圧Ｖfを形成している。
【００２１】すなわち、分圧部３１は管電圧Ｖtを第１の抵抗Ｒ１および第２の抵抗Ｒ２に基づいて分圧し、第２の抵抗Ｒ２の両端にフォーカス電圧Ｖfを生成するものである。そして、フォーカス電極１８と接地電位Ｇとの間には、分圧部３１で管電圧Ｖtを分圧することにより生成したフォーカス電圧Ｖfが印加される。フォーカス電極１８にはグリッド電極１７に対して正のフォーカス電圧Ｖfが印加されている。
【００２２】
上記構成を有するＸ線発生装置において、カソード電極１５で発生した電子ビームｅはグリッド電極１７で管電流が制御され、さらにフォーカス電極１８で集束されて陽極ターゲット１４上に衝突する。陽極ターゲット１４への電子ビームｅの衝突によって、陽極ターゲット１４から例えば矢印Ｙ方向にＸ線が放出される。
　Ｖf＝Ｖt×Ｒ２／（Ｒ１＋Ｒ２）　……(1)
となる。
【００２３】(1)式から分かるように、フォーカス電圧Ｖfと管電圧Ｖtは図７に示したような比例関係を有している。このフォーカス電圧Ｖfと管電圧Ｖtの比例関係は、基本的に管電圧Ｖｔに脈動などの変動があっても維持されるため、管電圧Ｖｔの変動が電子ビームの焦点径に与える影響を小さくすることができる。その結果として、陽極ターゲット１４上に電子ビームの微小焦点を再現性よく形成することが可能となる。
【００２４】このように、第１の実施形態のＸ線発生装置によれば、電子ビームの焦点形成に対して電圧変動の影響を少なくすることができ、それによって陽極ターゲット１４上に電子ビームの微小焦点を再現性よく形成することが可能となる。さらに、分圧部３１で管電圧Ｖtを分圧してフォーカス電圧Ｖfを生成しているため、従来のＸ線発生装置のようにフォーカス電圧発生部を管電圧発生部１９とは別途に設ける必要がなく、Ｘ線発生装置の装置構成を簡易化することが可能となる。なお、この実施形態ではグリッド電極１７を接地電位Ｇに設定したが、例えば陽極ターゲット１４を接地電位に設定した場合も同様の動作となる。」
　
「【図１】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
イ　引用例１に記載された発明の認定
　図１から、カソード電極１５と陽極ターゲット１４の間にグリッド電極１７とフォーカス電極１８が配置され、これらの電極のうち、グリッド電極１７が最もカソード電極１５に近いことが見て取れる。
　よって、上記記載を総合すれば、引用例１には、
「真空容器１１内の一方の側には陰極１２が配置され、また他方の側には陽極１３が配置され、
　陽極１３は陽極ターゲット１４を有し、
　陰極１２は、電子ビームｅを発生するカソード電極１５と、カソード電極１５を加熱するヒータ１６と、電子ビームｅの流れ（例えば管電流）を制御するグリッド電極１７と、電子ビームｅを集束して陽極ターゲット１４上に形成される電子ビームの焦点形状を制御するフォーカス電極１８とから構成され、カソード電極１５と陽極ターゲット１４の間にグリッド電極１７とフォーカス電極１８が配置され、これらの電極のうち、グリッド電極１７が最もカソード電極１５に近く、
　上記構成を有するＸ線発生装置において、カソード電極１５で発生した電子ビームｅはグリッド電極１７で管電流が制御され、さらにフォーカス電極１８で集束されて陽極ターゲット１４上に衝突し、陽極ターゲット１４への電子ビームｅの衝突によって、陽極ターゲット１４からＸ線が放出され、
　グリッド電極１７が接地電位ＧとされているＸ線発生装置。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
ウ　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００４−６２９５号公報（以下「引用例２」という。）には、次の事項が記載されている。（下線は当審において付したものである。）
　
「【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はＸ線の放出源をして使用されるＸ線管に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線管には陽極が回転する回転陽極型Ｘ線管、あるいは陽極が回転しない固定陽極型Ｘ線管などがある。回転陽極型Ｘ線管は、陽極ターゲットが回転できるように、陽極ターゲットを回転支持機構によって支持している。そして、回転状態の陽極ターゲットに電子ビームを衝突させ、Ｘ線を放出させる構造になっている。」
　
「【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態について図１を参照して説明する。
【００１４】符号１１は回転陽極型Ｘ線管を構成する真空容器で、真空容器１１の一部たとえば管軸ｍ方向に伸びる円筒部１１ａの部分にＸ線を取り出すＸ線出力窓１２が設けられている。真空容器１１はたとえばガラスなどの絶縁物および金属で形成されている。図１の場合、少なくともＸ線出力窓１２周辺たとえばＸ線出力窓１２が取り付けられた円筒部１１ａは金属で構成されている。そして、円筒部１１ａで囲まれた内部に、たとえば基体部分がＭｏ合金で形成された陽極ターゲット１３が配置されている。
【００１５】陽極ターゲット１３は陽極構体の一部を構成し、たとえば図示上半分を構成する第１部分１３Ａと、図示下半分を構成する第２部分１３Ｂとを機械的に結合して構成され、全体の外側部分は肉厚の厚い厚肉部１３１に形成され、全体の中央部分は肉厚の薄い薄肉部１３２に形成されている。」
　
「【００２７】陽極ターゲット１３の図示上方に陰極２３が配置されている。陰極２３はその中心軸ｎが管軸ｍに対して傾いた向きに配置され、電子ビームｅはたとえば真空容器１１側に向かって外向きに放出される。
【００２８】動作時、真空容器１１の金属部分はたとえば接地して０Ｖの電位に、陰極２３は−７０ｋＶの電位に、陽極ターゲット１３は＋７０ｋＶの電位に設定され、陰極２３および陽極ターゲット１３間に電子光学系が形成される。
【００２９】上記した構成において、陰極２３で発生した電子ビームｅは電子光学系によって偏向、集束され、たとえば陽極ターゲット１３の環状溝１６内のＸ線放射層Ｘａ、Ｘｂ上にＸ線焦点を形成し、Ｘ線放射層Ｘａ、ＸｂからＸ線が放出される。このとき、Ｘ線を取り出す方向すなわち利用されるＸ線束の中心軸Ｒ方向とＸ線放射層Ｘａ、Ｘｂに入射する電子ビームｅはほぼ平行し、放出されたＸ線はＸ線出力窓１２から出力される。」
　
「【００３３】次に、本発明の他の実施形態について図２を参照して説明する。図２は、図１に対応する部分に同じ符号を付し重複する説明を一部省略する。
【００３４】この実施形態の場合、陰極２３の前方に、
真空容器１１の金属部分を介して接地されたビーム成型電極３１が配置されている。
　
「【図２】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
エ　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２０００−３０６４１号公報（以下「引用例３」という。）には、次の事項が記載されている。（下線は当審において付したものである。）
　
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線を発生させるＸ線管に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線管は、高真空の封止筐体（管）内に、カソード、ヒータ及びグリッド電極等より成る電子銃と、集束電極と、陽極ターゲットと、を備え、上記カソードをヒータにより加熱して当該カソードから電子を放出させ、この電子をグリッド電極、集束電極を介して、高電圧を印加した陽極ターゲットに集束入射することによりＸ線を発生させるものである。
【０００３】このＸ線管の組立では、筐体と一体化された集束電極に対向して電子銃を筐体内に挿入して当該電子銃の位置（電子進行方向での位置）を決め、電子銃のカソードとは反対側の蓋部分を、筐体に固定して当該筐体を封止する。
【０００４】ここで、Ｘ線管では所定のＸ線を得るべく、電子銃からの電子ビームを陽極ターゲット上に１０μｍ程度に絞る必要があり、この所定の焦点径を得るには、集束電極と電子銃のグリッド電極との間隔を、高精度に所定の間隔とする必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記Ｘ線管にあっては、電子銃を集束電極に対向して筐体内に挿入した時点で、当該電子銃の蓋部分により筐体が蓋されて、グリッド電極と集束電極との間の実際の間隔を測定・検査することができないため、電子銃の位置決め調整によりグリッド電極と集束電極との間隔を高精度に所定の間隔とするのは非常に難しく、さらにこの電子銃の位置決め調整に非常に時間を費やすといった問題があった。
【０００６】因みに、集束電極に対してグリッド電極が所定の間隔に対して例えば１００μｍずれると、所定の焦点径（１０μｍ程度）を得ることはできない。
【０００７】本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、グリッド電極の軸線方向（電極並設方向）での位置決めを正確且つ容易にでき、品質の向上及び組立コストの低減を実現できるＸ線管を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のＸ線管は、真空に封止された筐体内で、カソードを加熱して電子を放出させ、この電子をグリッド電極、集束電極を介して陽極ターゲットに集束させてＸ線を発生させるＸ線管において、一方側の端部がグリッド電極に固定され、他方側の端部が集束電極に当接すると共に、グリッド電極から集束電極に向かう電子が通過可能に筒状にされたスペーサを備えたことを特徴としている。
【０００９】このような本発明に係るＸ線管によれば、グリッド電極から集束電極に向かう電子を遮らないように筒状にされると共に、一方側の端部がグリッド電極に固定され他方側の端部が集束電極に当接するスペーサにより、グリッド電極と集束電極との間隔が所定の間隔に設定される。このため、グリッド電極の軸線方向（電極並設方向）での位置決めが正確且つ容易になされる。また、陽極ターゲットから集束電極を介してカソード側に向かう余分なＸ線は、筒状を成すスペーサ及び当該スペーサを固定するグリッド電極によりカソード側に対して遮蔽される。このため、Ｘ線の筐体からの漏洩がより確実に防止されるようになる。
【００１０】ここで、スペーサの他方側の端部と集束電極とは、嵌合部により嵌め合わされているのが好ましい。
【００１１】このような構成を採用した場合、嵌合部の嵌め合いにより、スペーサの他方側の端部の上記電極並設方向に直交する方向での位置決めが正確且つ容易になされると共に、当該端部及びグリッド電極が集束電極に支持されて、耐震性が向上される。
【００１２】また、スペーサの一方側の端部とグリッド電極とは、嵌合部により嵌め合わされているのが好ましい。
【００１３】このような構成を採用した場合、グリッド電極にスペーサの一方側の端部を固定するにあたって、嵌合部の嵌め合いにより、グリッド電極に対する当該端部の位置決めが正確且つ容易になされる。
【００１４】また、筐体は、冷却媒体により冷却されているのが好ましい。
【００１５】このような構成を採用した場合、
グリッド電極の熱は、当該グリッド電極に固定されるスペーサ、このスペーサが当接する集束電極、筐体を介して積極的に冷却媒体に放熱される。
【００１６】また、スペーサは、周壁にガス抜き用の穴を備えているのが好ましい。
【００１７】このような構成を採用した場合、筒状を成すスペーサ及び当該スペーサを固定するグリッド電極を境界部として画成される陽極ターゲット側の空間部とカソード側の空間部とが、ガス抜き用の穴により連通されるため、筐体内の真空引きが容易になされるようになる。
【００１８】また、
スペーサ及び筐体は導電体であり、集束電極は筐体に電気的に接続され、スペーサには所定の電位が供給されているのが好ましい。
このような構成を採用した場合、所定の電位がスペーサ、集束電極を介して筐体に供給され、スペーサ、集束電極及び筐体の電位は常に所定に維持される。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るＸ線管の好適な実施形態について添付図面を参照しながら説明する。なお、各図において、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２１】図１は、第１実施形態に係るＸ線管の要部を示す断面図である。図１に示すように、Ｘ線管１は、マイクロフォーカスＸ線管であり、電子８０を発生・放出する電子銃部２と、この電子銃部２からの電子８０を受けてＸ線８１を発生させるＸ線発生部３と、を備えている。これらの電子銃部２及びＸ線発生部３は、各構成部品を収容する筐体としての筒状の容器２１，３１より各々の外郭が構成される。これらの容器２１，３１は導電体より成り、互いに直交するように連結されている。容器２１内と容器３１内とは、容器２１，３１の境界部に形成された集束電極２５により仕切られると共に、この集束電極２５に形成された開口２５ａを通して連通され、容器２１内には電子銃５０が、容器３１内には陽極ターゲット３２が、各々配置されている。また、容器２１，３１は密封されて、その内部は真空状態にされている。
【００２２】容器２１内に配置された電子銃５０は概略、発熱源としてのヒータ７６と、このヒータ７６により加熱されて電子８０を発生・放出する熱電子源としてのカソード７３と、このカソード７３から放出された電子８０を加速・集束させる第１、第２グリッド電極７１，７２と、この第２グリッド電極７２と集束電極２５との間に介在して当該第２グリッド電極７２と集束電極２５との間隔を所定の間隔に設定するスペーサ８と、上記第１、第２グリッド電極７１，７２、ヒータ７６、カソード７３に所定の電圧を容器外部より供給するための複数のピン５と、これらのピン５が貫通固定されると共に容器の蓋部として機能するステム４と、を備える。
【００２３】上記ステム４、ヒータ７６、カソード７３、第１、第２グリッド電極７１，７２及びスペーサ８は、集束電極２５側に向かってこの順に並設され、これら構成部品の各軸心が一致すると共に集束電極２５の開口２５ａの軸心、筒状を成す容器２１の軸心と同軸に位置するように配置されている。
【００２４】さらに詳細に説明すれば、上記カソード７３は、絶縁体より成る筒体７４の先端に設けられ、この筒体７４内に、当該カソード７３を加熱する上記ヒータ７６が設けられている。上記第１グリッド電極７１は、カソード７３より集束電極２５側に配置され、この第１グリッド電極７１より集束電極２５側に、上記第２グリッド電極７２が配置される。この第２グリッド電極７２は、第１グリッド電極７１の集束電極２５側に、複数のセラミック棒（絶縁体）９を介して支持され、上記カソード７３及びヒータ７６を有する筒体７４は、第１グリッド電極７１の集束電極２５側とは反対側に、絶縁体７５を介して支持されている。
【００２５】第１、第２グリッド電極７１，７２は、各々円板状を成すと共に、各々の上記カソード７３に対向する位置に、カソード７３からの電子８０が通過する開口７１ａ，７２ａを備える。第２グリッド電極７２は、カソード７３からの電子８０を容器３１内のターゲット３２側に引っ張る電極である。また、第１グリッド電極７１は、第２グリッド電極７２によりターゲット３２側に引っ張られる電子８０をカソード７３側に押し戻す電極であり、この第１グリッド電極７１に供給する電圧を調整することで、ターゲット３２側に向かう電子８０が増減される。また、第１、第２グリッド電極７１，７２の開口７１ａ，７２ａにより、図２に示すように、カソード７３からの電子８０をターゲット３２に集束させる微小電子レンズ群が構成されている。
【００２６】図１に戻って、第２グリッド電極７２と集束電極２５との間には、本実施形態の特徴を成すスペーサ８が介在している。このスペーサ８は、カソード７３からターゲット３２に向かう電子８０が通過可能に筒状にされると共に軸線方向に所定長を有し、一方側の端部８ｂが第２グリッド電極７２の端面に固定され、他方側の端部８ｃが集束電極２５に当接される。この所定長を有するスペーサ８が第２グリッド電極７２と集束電極２５との間に介在することで、当該第２グリッド電極７２と集束電極２５との間隔が所定の間隔に設定されている。ここで言う所定の間隔とは、所望の焦点径を得るのに必要な第２グリッド電極７２と集束電極２５との間隔である。
【００２７】このスペーサ８は、例えばステンレス等の導電体より成り、このスペーサ８を固定する上記第２グリッド電極７２は、例えば耐熱性の良いＭｏ（モリブデン）より成る。このように、本実施形態では、通常の溶接をし難いＭｏを第２グリッド電極７２として用いているため、Ｎｉ（ニッケル）リボン７を複数個用いて抵抗溶接により第２グリッド電極７２とスペーサ８とが連結されている。このＮｉリボン７による連結は、第２グリッド電極７２の端面とスペーサ８の一方側の端部８ｂ内周面との間でなされている。」
　
「【００４５】また、Ｘ線管１は絶縁油に浸漬されているため、
第２グリッド電極７２の熱は、当該第２グリッド電極７２に固定されたスペーサ８、このスペーサ８が当接する集束電極２５、容器２１，３１を介して積極的に絶縁油に放熱され、
【００４６】また、スペーサ８を非導電体とすると、Ｘ線管１の動作時に、当該スペーサ８が帯電して、カソード７３からの電子８０が正常にターゲット３２の先端面３２ａに集束されない虞があるが、本実施形態では、スペーサ８を導電体として、当該スペーサ８に第２グリッド電極７２を介してグランド電位が供給されるため、スペーサ８の異常帯電が防止され、カソード７３からの電子８０を正常にターゲット３２の先端面３２ａに集束できる。
【００４７】さらにまた、
第２グリッド電極７２、スペーサ８、集束電極２５を介して容器２１，３１にもグランド電位が供給されるため、
　
「【図１】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
（３）本願補正発明と引用発明との対比
ア　対比
　本願補正発明と引用発明とを対比する。
　引用発明の「電子ビームｅを発生するカソード電極１５と、カソード電極１５を加熱するヒータ１６と、電子ビームｅの流れ（例えば管電流）を制御するグリッド電極１７と、電子ビームｅを集束して陽極ターゲット１４上に形成される電子ビームの焦点形状を制御するフォーカス電極１８とから構成され」る「陰極１２」が、本願補正発明の「電子銃」に相当し、引用発明の「陽極ターゲット１４」が本願補正発明の「ターゲット」に相当し、引用発明の「真空容器１１」が本願補正発明の「容器」に相当するから、引用発明の「真空容器１１内の一方の側には陰極１２が配置され、また他方の側には陽極１３が配置され、陽極１３は陽極ターゲット１４を有」することが、本願補正発明の「電子銃とターゲットとを容器内に収容」することに相当する。
　
　引用発明の「Ｘ線発生装置」の「真空容器１１」がＸ線を取り出す（Ｘ線）窓を備えることは当然であることを踏まえると、引用発明の「Ｘ線発生装置において、カソード電極１５で発生した電子ビームｅはグリッド電極１７で管電流が制御され、さらにフォーカス電極１８で集束されて陽極ターゲット１４上に衝突し、陽極ターゲット１４への電子ビームｅの衝突によって、陽極ターゲット１４からＸ線が放出され」ることが、本願補正発明の「前記電子銃から照射された電子ビームを前記ターゲットに衝突させ、衝突部位から発生したＸ線を前記容器に設けられたＸ線窓から取り出すように構成されたＸ線発生装置」であることに相当する。
　
　引用発明の「グリッド電極１７」と「フォーカス電極１８」が本願補正発明の「中間電極」に相当するから、引用発明の「陰極１２は、電子ビームｅを発生するカソード電極１５と、カソード電極１５を加熱するヒータ１６と、電子ビームｅの流れ（例えば管電流）を制御するグリッド電極１７と、電子ビームｅを集束して陽極ターゲット１４上に形成される電子ビームの焦点形状を制御するフォーカス電極１８とから構成され」ることが、本願補正発明の「電子銃を、前記電子ビームを出射するカソードと、カソード・ターゲット間に配設された少なくとも２つ以上の中間電極とで構成」することに相当する。
　
　引用発明の「カソード電極１５と陽極ターゲット１４の間にグリッド電極１７とフォーカス電極１８が配置され、これらの電極のうち、グリッド電極１７が最もカソード電極１５に近く」、「グリッド電極１７が接地電位Ｇとされている」ことが、本願補正発明の「これら中間電極のうち前記カソードに最も近い電極を第１電極としたとき」、第１電極の「電位を接地電位と」することに相当する。
　
イ　一致点
　よって、本願補正発明と引用発明は、
「電子銃とターゲットとを容器内に収容し、前記電子銃から照射された電子ビームを前記ターゲットに衝突させ、衝突部位から発生したＸ線を前記容器に設けられたＸ線窓から取り出すように構成されたＸ線発生装置であって、電子銃を、前記電子ビームを出射するカソードと、カソード・ターゲット間に配設された少なくとも２つ以上の中間電極とで構成し、これら中間電極のうち前記カソードに最も近い電極を第１電極としたとき、第１電極の電位を接地電位とするＸ線発生装置。」の発明である点で一致し、次の各点で相違する。
　
ウ　相違点
（ア）相違点１
　カソードと第１電極の距離が、本願補正発明は「サブミリオーダー」であるようにするのに対し、引用発明は、その点が明確でない点。
　
（イ）相違点２
　本願補正発明は、「第１電極を容器に直接的に当接することでこの第１電極の電位を容器と同電位とし」、「第１電極周りの熱容量を他の電極の熱容量よりも大きくする」ものであるのに対して、引用発明は、その点の特定がない点。
　
（４）当審の判断
ア　上記各相違点について検討する。
（ア）相違点１について
　Ｘ線発生装置の精密化のためにＸ線ビームの微小化を図る必要があり、そのために装置を小型化することが要請され、しいては、カソード電極と、カソード電極に最も近い中間電極（グリッド電極）との間の距離をできるだけ接近させる必要があることは、Ｘ線発生装置において自明の技術課題である。
　そして、引用発明においても、上記自明の課題を解決すべく、カソード電極とグリッド電極との間の距離をできるだけ接近させるようにすることは当業者が容易に想到し得ることであり、そして、カソード電極とグリッド電極との間の距離として、サブミリオーダーとすることは、例えば、特開２００５−３８８２５号公報（【００５１】において「０．１〜０．５ｍｍ」と記載されている）、特開２００３−３６８０５号公報（【００３８】において「０．１ｍｍ」と記載されている）にも記載されているように通常のことである点に鑑みれば、引用発明において、カソード電極とグリッド電極をサブミリオーダーの距離に近接させて、上記相違点１に係る本願補正発明の発明特定事項を得ることは当業者が容易になし得たことである。
　
（イ）相違点２について
　引用発明は、「グリッド電極１７が接地電位Ｇとされている」ことが特定されているものである。
　一般に、部材に接地電位を与える手法として、接地電位にある電気容量の大きなものに電気的に接続することは、通常行われている周知の手法である。
　また、引用例２，３には（引用例２においては【００３４】、引用例３においては【００１８】、【００１９】及び【００４７】参照）、カソードと陽極ターゲットの間の電極を接地するに際して、当該電極と容器（筐体）を接続し、両者の電極を同電位とすることが記載されており、Ｘ線発生装置においても、電極を、容量が大きく、接地電位にある容器（筐体）に接続して、接地電位を与えるとすることは周知の技術である。
　そして、電極を容器（筐体）に接続したとき、電極の熱を当該容器を通じて放熱することができることは引用例３にも記載されている（【００１５】及び【００４５】参照）ように当業者が予測し得ることであり、そして、その際においては、容器（筐体）に接続された電極が他の電極より熱容量が大きくなるのは、技術常識から当然であるといえる。
　以上のとおりであるから、引用発明において、上記の周知技術を採用し、グリッド電極を真空容器に接続して接地して、グリッド電極の熱容量を他の電極の熱容量より大きくし、上記相違点２に係る本願補正発明の発明特定事項を得ることは当業者が容易になし得たことである。
　
イ　本願補正発明の奏する作用効果
　そして、本願補正発明によってもたらされる効果は、引用発明並びに周知技術及び技術常識から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　まとめ
　以上のとおり、本願補正発明は、引用発明並びに周知技術及び技術常識に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
３　むすび
　したがって、本願補正発明は特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるということができないから、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、同法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
 第３　本願発明について
１　本願発明
　平成２４年１月１６日付けの手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２３年９月９日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである。（上記「第２　平成２４年１月１６日付けの手続補正についての補正の却下の決定」の「１　本件補正について」の記載参照。）
　
２　引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例の記載事項及び引用発明については、上記「第２　平成２４年１月１６日付けの手続補正についての補正の却下の決定」の「２　独立特許要件違反についての検討」の「（２）引用例」に記載したとおりである。
　
３　対比・判断
　上記「第２　平成２４年１月１６日付けの手続補正についての補正の却下の決定」の「１　本件補正について」に記載したように、本願発明に対して、本件補正前の請求項４の内容及び「カソード」と「第１電極」の距離について「サブミリオーダーであるようにする」とする特定事項によって限定する補正、並びに、本件補正前の表現を変更して文章を整えた補正をしたものが本願補正発明である。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、本願発明をさらに限定したものに相当する本願補正発明が、上記「第２　平成２４年１月１６日付けの手続補正についての補正の却下の決定」の「２　独立特許要件違反についての検討」の「（３）本願補正発明と引用発明との対比」及び「（４）当審の判断」において記載したとおり、引用発明並びに周知技術及び技術常識に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様に、引用発明並びに周知技術及び技術常識に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明並びに周知技術及び技術常識に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。