(57)【要約】      （修正有）【課題】単位時間当たりの剥離能力が大幅に低下することを防止することができるシート剥離装置を提供する。【解決手段】接着シートＡＳが貼付された半導体ウエハＷＦを支持する支持手段２０と、支持手段２０に支持された半導体ウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する剥離手段３０と、支持手段２０を清掃する清掃手段４０と、剥離手段３０と清掃手段４０との間で支持手段２０を移動させる移動手段５０とを備え、支持手段２０は、複数で構成されている。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
接着シートが貼付された半導体ウエハを支持する支持手段と、
前記支持手段に支持された前記半導体ウエハから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記支持手段を清掃する清掃手段と、
前記剥離手段と清掃手段との間で前記支持手段を移動させる移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されていることを特徴とするシート剥離装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、シート剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−６４８５０号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート剥離装置では、支持手段１１（支持手段）の支持面上を清掃する清掃手段を設けた場合、当該清掃手段による清掃が完了するまで次のウエハＷ（ウエハ）を支持面上にセットできないため、単位時間当たりにウエハから接着シートＳ（接着シート）を剥離する剥離能力が大幅に低下するという不都合を発生する。
【０００５】
本考案の目的は、単位時間当たりの剥離能力が大幅に低下することを防止することができるシート剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は、請求項に記載した構成を採用した。
【考案の効果】
【０００７】
本考案によれば、支持手段を複数で構成したので、１の支持手段で支持したウエハから接着シートを剥離手段で剥離する動作中に、他の支持手段を清掃手段で清掃する動作を行うことができるので、単位時間当たりの剥離能力が大幅に低下することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本考案の一実施形態に係るシート剥離装置の側面図。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）はシート剥離装置の動作説明図。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
シート剥離装置１０は、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを支持する支持手段２０と、支持手段２０に支持されたウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する剥離手段３０と、支持手段２０を清掃する清掃手段４０と、剥離手段３０と清掃手段４０との間で支持手段２０を移動させる移動手段５０とを備えている。
【００１１】
支持手段２０は、第１支持手段２１と第２支持手段２２との複数で構成されている。
第１支持手段２１は、上面が支持面２１Ｂとされた第１支持テーブル２１Ａと、支持面２１Ｂに吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備えている。
第２支持手段２２は、上面が支持面２２Ｂとされた第２支持テーブル２２Ａと、支持面２２Ｂに吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備えている。
【００１２】
剥離手段３０は、帯状の剥離用接着シートＡＳＲを支持する支持ローラ３１と、剥離用接着シートＡＳＲを案内するガイドローラ３２と、駆動機器としての直動モータ３３の出力軸３３Ａに回転可能に支持された剥離ローラ３４と、駆動機器としての回動モータ３５Ａによって駆動する駆動ローラ３５との間に剥離用接着シートＡＳＲを挟み込むピンチローラ３６と、駆動機器としての回動モータ３７Ａによって駆動し、剥離用接着シートＡＳＲを回収する回収ローラ３７とを備えている。
【００１３】
清掃手段４０は、下面に吸引口４１Ａが形成された吸引ケース４１と、吸引口４１Ａに吸引力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備え、第１、第２支持手段２１、２２の支持面２１Ｂ、２２Ｂを清掃するようになっている。
【００１４】
移動手段５０は、第１支持手段２１を移動させる第１移動手段５１と、第２支持手段２２を移動させる第２移動手段５２とを備えている。
第１移動手段５１は、駆動機器としての第１Ｘ軸リニアモータ５１Ａと、そのスライダ５１Ｂに支持された駆動機器としての第１Ｚ軸リニアモータ５１Ｃと、そのスライダ５１Ｄに支持され、第１支持手段２１を支持する第１支持アーム５１Ｅとを備え、第１支持手段２１の手前側から当該第１支持手段２１を支持している
第２移動手段５２は、駆動機器としての第２Ｘ軸リニアモータ５２Ａと、そのスライダ５２Ｂに支持された駆動機器としての第２Ｚ軸リニアモータ５２Ｃと、そのスライダ５２Ｄに支持され、第２支持手段２２を支持する第２支持アーム５２Ｅとを備え、第２支持手段２２の後方側から当該第２支持手段２２を支持している。
【００１５】
以上のシート剥離装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が図１中実線で示す初期位置で待機しているシート剥離装置１０に対し、当該シート剥離装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が剥離用接着シートＡＳＲを同図のようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が図１に示すように、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを第１支持テーブル２１Ａ上に載置すると、支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面２１ＢでのウエハＷＦの吸着保持を開始する。その後、本実施形態のシート剥離装置１０は、第１支持テーブル２１Ａで支持したウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する「剥離動作」と、第２支持テーブル２２Ａの支持面２２Ｂを清掃する「清掃動作」とを同時進行させる。すなわち、第１支持テーブル２１ＡでのウエハＷＦの吸着保持が開始されると、移動手段５０が第１Ｘ軸リニアモータ５１Ａおよび第２Ｚ軸リニアモータ５２Ｃを駆動し、第１支持テーブル２１Ａを左方へ移動させるとともに、第２支持テーブル２２Ａを下降させる。
【００１６】
次に、第１支持テーブル２１Ａが左方へ移動し、図２（Ａ）中実線で示すように、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳの左端部が剥離ローラ３４の最下端部直下に到達すると、移動手段５０が第１Ｘ軸リニアモータ５１Ａの駆動を停止する。そして、剥離手段３０が直動モータ３３を駆動し、剥離ローラ３４を下降させて剥離用接着シートＡＳＲを接着シートＡＳの左端部に貼付した後、移動手段５０および剥離手段３０が第１Ｘ軸リニアモータ５１Ａおよび回動モータ３５Ａ、３７Ａを駆動し、図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、第１支持テーブル２１Ａを左方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用接着シートＡＳＲを回収ローラ３７で巻き取り、接着シートＡＳをウエハＷＦから剥離する。次いで、ウエハＷＦから接着シートＡＳ全体が剥離されると、剥離手段３０が直動モータ３３を駆動し、剥離ローラ３４を初期位置に復帰させた後、回動モータ３５Ａ、３７Ａの駆動を停止する。その後、第１支持テーブル２１Ａが第２支持テーブル２２Ａの初期位置に到達すると、移動手段５０が第１Ｘ軸リニアモータ５１Ａの駆動および図示しない減圧手段の駆動を停止した後、使用者または図示しない搬送手段がウエハＷＦを保持し、当該ウエハＷＦを次工程に搬送する。
【００１７】
一方、第２支持テーブル２２Ａが下降し、その支持面２２Ｂが吸引ケース４１の下面よりも所定距離下方に到達すると、移動手段５０が第２Ｚ軸リニアモータ５２Ｃの駆動を停止した後、第２Ｘ軸リニアモータ５２Ａを駆動し、第２支持テーブル２２Ａを右方へ移動させる。次に、第２支持テーブル２２Ａが吸引ケース４１の左下方所定位置に到達すると、清掃手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、吸引口４１Ａでの吸引を開始する。その後も第２支持テーブル２２Ａの右方への移動が続行されると、図２（Ａ）に示すように、支持面２２Ｂ上に存在する塵や埃等の塵埃が清掃手段４０で除去され、当該支持面２２Ｂの清掃が行われる。そして、支持面２２Ｂ全体の清掃が完了すると、清掃手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、第２支持テーブル２２Ａが第１支持テーブル２１Ａの初期位置の下方所定位置に到達すると、移動手段５０が第２Ｘ軸リニアモータ５２Ａの駆動を停止する。次いで、移動手段５０が第２Ｚ軸リニアモータ５２Ｃを駆動し、第２支持テーブル２２Ａを第１支持テーブル２１Ａの初期位置に配置する。
【００１８】
以上のように剥離動作と清掃動作とが同時進行で行われた後は、使用者または図示しない搬送手段が接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを第２支持テーブル２２Ａ上に載置し、図２（Ｂ）に示すように、第２支持テーブル２２Ａは、上記同様の剥離動作によって初期位置に復帰し、第１支持テーブル２１Ａは、上記同様の清掃動作によって初期位置に復帰する。そして、以降、上記同様の動作が繰り返される。
【００１９】
以上のようなシート剥離装置１０によれば、支持手段２０を複数で構成したので、第１支持手段２１で支持したウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離手段３０で剥離する動作中に、第２支持手段２２の支持面２２Ｂを清掃手段４０で清掃する動作を行うことができるので、単位時間当たりの剥離能力が大幅に低下することを防止することができる。
【００２０】
本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離手段は、支持手段に支持された半導体ウエハから接着シートを剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００２１】
支持手段２０は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを支持する構成でもよいし、第３支持手段、第４支持手段といった３体以上の複数で構成されていてもよく、この場合、剥離手段３０と清掃手段４０との間で３体以上の支持手段２０を移動させることができる移動手段を採用すればよい。
【００２２】
剥離手段３０は、剥離ローラ３４が昇降しない構成としてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、磁力、吸引吸着、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で接着シートＡＳを保持して剥離する構成でもよいし、枚葉の剥離用接着シートＡＳＲを接着シートＡＳに貼付し、当該枚葉の剥離用接着シートＡＳＲに張力を付与してウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する構成としてもよいし、支持手段２０を移動させずにまたは移動させつつ、自身（剥離手段３０）を移動させてウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する構成としてもよい。
【００２３】
清掃手段４０は、例えば、第１、第２支持テーブル２１Ａ、２２Ａの側面や下面等、第１、第２支持手段２１、２２の支持面２１Ｂ、２２Ｂ以外の部位を清掃する構成でもよいし、加圧ポンプやタービン等の加圧手段で支持面２１Ｂ、２２Ｂ上の塵埃を吹き飛ばしたり、接着シートや粘着シート等の付着部材を支持面２１Ｂ、２２Ｂ上に接着させて支持面２１Ｂ、２２Ｂ上の塵埃を当該付着部材に転写させたり、ブラシ部材やはけ状の部材等の掃い部材で支持面２１Ｂ、２２Ｂ上の塵埃を掃い落したり、支持面２１Ｂ、２２Ｂ上を水洗いや洗剤洗いしたり、それらを適宜に組み合わせたりして支持面２１Ｂ、２２Ｂを清掃する構成としてもよい。
【００２４】
移動手段５０は、剥離用接着シートＡＳＲを接着シートＡＳの左端部に貼付する際、剥離ローラ３４を下降させずにまたは下降させつつ、第１支持テーブル２１Ａ（第２支持テーブル２２Ａ）を上昇させてもよいし、剥離ローラ３４および第１支持テーブル２１Ａ（第２支持テーブル２２Ａ）の両方を昇降させなくてもよい。
【００２５】
シート剥離装置１０は、剥離動作と清掃動作とを同時進行される際、支持面２１ＢでウエハＷＦの吸着保持を開始するタイミングに合わせて、第２支持テーブル２２Ａの移動を開始させたり、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳの左端部が剥離ローラ３４の最下端部直下に到達し、第１Ｘ軸リニアモータ５１Ａの駆動を停止したタイミングに合わせて、第２支持テーブル２２Ａの移動を開始させたりしてもよく、一方の支持手段で支持したウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する剥離動作中に、他方の支持手段の支持面の清掃動作を行うことができればどのようなタイミングでもよく、剥離動作の完了と清掃動作の完了とが同じタイミングでもよいし、剥離動作が完了する前に清掃動作が完了していてもよいし、剥離動作が完了した後に清掃動作が完了していてもよいし、第１、第２支持テーブル２１Ａ、２２Ａの初期位置も前記実施形態で示した位置でなくてもよいし、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、ウエハＷＦの下面や側面等に貼付された接着シートＡＳを剥離するように構成してもよい。
【００２６】
本考案における接着シートＡＳ、剥離用接着シートＡＳＲおよびウエハＷＦの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、剥離用接着シートＡＳＲおよびウエハＷＦは、例えば、円形状、楕円形状、三角形状や四角形状等の多角形状、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳおよび剥離用接着シートＡＳＲは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段で加熱して接着すればよい。また、接着シートＡＳおよび剥離用接着シートＡＳＲは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、そのような両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってもよい。また、ウエハＷＦとしては、例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、半導体チップであってもよい。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００２７】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、剥離ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよい。
【符号の説明】
【００２８】
１０…シート剥離装置
２０…支持手段
２１Ｂ、２２Ｂ…支持面
３０…剥離手段
４０…清掃手段
５０…移動手段
ＡＳ…接着シート
ＷＦ…半導体ウエハ
【図１】
0003213154.tif 000003
【図２】
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