【事件の表示】
　特許第５１６２５５９号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第５１６２５５９号に係る明細書及び特許請求の範囲を本件審判請求書に添付された訂正明細書及び訂正特許請求の範囲のとおり訂正することを認める。
【理　由】
１　経緯
　本件特許第５１６２５５９号に係る出願は、平成２１年１０月１４日（パリ条約による優先権主張２００８年１０月２４日、米国）の外国語書面出願であって、同年１２月２１日付けで翻訳文提出書が提出され、平成２３年１１月２１日付けで拒絶の理由が通知され、これに対して、平成２４年２月１４日付けで意見書が提出されるとともに手続補正がなされ、同年１０月３１日付けで特許査定がなされた後、同年１２月２１日に特許権の設定登録がなされた。
　本件は、その後、平成２５年１月２５日に請求された訂正審判である。
　
２　請求の趣旨
　本件審判の請求の要旨は、特許第５１６２５５９号の明細書及び特許請求の範囲を審判請求書に添付した訂正明細書及び訂正特許請求の範囲のとおり訂正することを求めるものである。
　
３　訂正事項
（１）訂正事項１
　本件特許の特許請求の範囲の請求項１について、
「可塑性の接続要素」とあるのを、
「可撓性の接続要素」と訂正する。
　
（２）訂正事項２
　本件特許の特許請求の範囲の請求項１について、
「可塑性の第二の接続要素」とあるのを、
「可撓性の第二の接続要素」と訂正する。
　
（３）訂正事項３
　本件特許の特許請求の範囲の請求項７について、
「可塑性の接続要素」とあるのを、
「可撓性の接続要素」と訂正する。
　
（４）訂正事項４
　本件特許の特許請求の範囲の請求項７について、
「可塑性の第二の接続要素」とあるのを、
「可撓性の第二の接続要素」と訂正する。
　
４　当審の判断
　以下、上記訂正事項（１）乃至（４）について検討する。
（１）訂正事項１について
　本件特許の特許請求の範囲の請求項１に記載された「接続要素」に関し、本件特許出願の外国語書面の翻訳文における特許請求の範囲には、
「【請求項１】
　リソグラフィ装置であって、
　放射ビームにパターンを与えてパターン付き放射ビームを形成するパターニングデバイスを支持する支持体と、
　前記支持体を第一方向に移動する位置決めデバイスと、
　前記支持体に対する前記パターニングデバイスの相対位置を測定して、測定信号を生成する測定デバイスとを含み、該測定デバイスが、
　　固定された相対位置で前記パターニングデバイスに結合される基準ユニットと、
　　前記支持体に対する前記基準ユニットの位置を測定する位置センサとを含み、
　前記位置決めデバイスが、前記測定信号に基づいて前記支持体の位置を補正する、リソグラフィ装置。
【請求項２】
　前記基準ユニットが接続要素を介して前記支持体に接続される、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３】
　前記接続要素が、前記第一方向に対して実質的に直角の方向で可撓性である、請求項２に記載のリソグラフィ装置。
【請求項４】
　前記第一方向が前記支持体のスキャン方向である、請求項３に記載のリソグラフィ装置。
【請求項５】
　前記接続要素がクランプ領域を備える、請求項２に記載のリソグラフィ装置。
【請求項６】
　前記基準ユニットが前記クランプ領域の内縁に接続される、請求項５に記載のリソグラフィ装置。
【請求項７】
　前記基準ユニットが接続要素を介して前記支持体に接続され、該接続要素が少なくとも前記第一方向で可撓性である、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項８】
　前記接続要素がクランプ領域を備える、請求項７に記載のリソグラフィ装置。
【請求項９】
　前記パターニングデバイスが、クランプ領域を備える接続要素を介して前記支持体に接続される、請求項８に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１０】
　前記基準ユニットが着脱自在である、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１１】
　前記位置決めデバイスがロングストロークモータ又はショートストロークモータである、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１２】
　前記位置センサが容量センサ、又は誘導センサ、又は光センサを含む、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１３】
　前記基準ユニットがミラー又は回折格子である、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１４】
　前記請求項１の１つに記載の装置で製造されたデバイス。
【請求項１５】
　デバイス製造方法であって、
　放射ビームにパターンを与えてパターン付き放射ビームを形成するパターニングデバイスを支持する支持体を第一方向で位置決めし、
　測定デバイスで前記支持体に対する前記パターニングデバイスの相対位置を測定して、測定信号を生成することを含み、前記測定することが、
　　固定された相対位置で前記パターニングデバイスに結合される基準ユニットの位置を前記支持体に対して測定することを含み、
　前記測定信号に基づいて前記支持体の位置を補正することをさらに含む、デバイス製造方法。」と記載されている。
　上記特許請求の範囲には、その請求項３、及び、請求項７に、「接続要素が、前記第一方向に対して実質的に直角の方向で可撓性である」こと、及び、「接続要素が少なくとも前記第一方向で可撓性である」ことがそれぞれ記載されている。
　また、本件特許の特許請求の範囲の請求項１に記載された「接続要素」に関し、本件特許出願の外国語書面の翻訳文における明細書には、
「【００３７】
[0049]　これは、少なくとも１方向で剛性が低い接続要素８に基準ユニット７を取り付け、基準ユニット７がパターニングデバイスＭＡに取り付けられていない場合にパターニングデバイス支持体ＭＴに対して基準ユニット７を支持することにより実現することができる。少なくとも１方向で剛性が低い接続要素８は板ばねであるが、例えばばね、棒、折り曲げた板ばねなどのように、複数の方向で剛性が低い他の接続要素が当技術分野で知られている。この概念をさらに練り上げるのは、パターニングデバイス支持体ＭＴに対するパターニングデバイスＭＡの相対変位を補償するために、（より多次元の）低剛性要素を組み合わせて、あらゆる種類の可能な組み合わせ及び方向の範囲を広げることである。接続要素８の剛性は、パターニングデバイス支持体ＭＴに対するパターニングデバイスＭＡの変位に従うほど十分に低いことが好ましい。」
「【００３９】
[0051]　図５Ａは、本発明の実施形態の略上面図を示している。この実施形態では、例えば回折格子スケールなどの基準ユニット７がクランプ１２の内縁１２．２に配置され、内縁は、パターニングデバイスＭＡの中心線１４の最も近くに配置されたクランプの縁部として画定される。図５Ｂは、線Ｍ−Ｍ’に従って、図５Ａの発明の実施形態の略側面図を示している。パターニングデバイス支持体ＭＴとパターニングデバイスＭＡ間の滑動は、パターニングデバイス支持体ＭＴの加速及び減速中にクランプ１２．１の外縁で生じることがあるが、クランプの内縁１２．２は図５Ａに示すように滑動しない。これは、測定デバイス４の範囲が接続要素８の予想される最大変形に制限されることがあり、これがパターニングデバイスＭＡの初期位置に依存しないこともさらに保証する。これによって、測定信号５を生成するために、パターニングデバイスＭＡを一切改造することなく、干渉計デバイス、光学デバイスばかりでなく、容量デバイス、誘導デバイスなどのようにあらゆる種類の測定デバイス４を適用する機会が得られ、その結果、専用のリソグラフィ装置を使用しなくてもよい。
【００４０】
[0052]　図６Ａは、本発明の改良型の実施形態の略上面図を示している。この実施形態では、クランプ領域の一部がそれをクランプ１２から切り離すことによって分離され、基準ユニット７が小さい方の第二クランプ領域１３に配置される。この方法でこれは、パターニングデバイスＭＡ及びパターニングデバイス支持体ＭＴ自体の加速及び減速によるパターニングデバイス支持体ＭＴの変形による剪断力から実質的に自由な別個のクランプ領域になる。第二クランプ領域１３は、接続要素８ｂによってパターニングデバイス支持体ＭＴに接続される。この接続要素が好ましくは全方向に低い剛性を有するので、第二クランプ領域１３は、基準ユニット７と第二クランプ領域１３の加速及び減速による慣性力、及びおそらくは低剛性の接続要素８の変形による小さい追加の力を超えるのに十分なクランプ力しか提供しなくてよい。これは、基準ユニット７の位置がパターニングデバイスＭＡを正確に表すことを保証する。この実施形態のさらなる利点は、基準ユニット７がパターニングデバイスＭＡに対して着脱自在なことである。これによって、測定信号５を生成するために、パターニングデバイスＭＡを一切改造することなく、干渉計デバイス、光学デバイスばかりでなく、容量デバイス、誘導デバイスなどのようにあらゆる種類の測定デバイス４を適用する機会が得られ、その結果、専用のリソグラフィ装置を使用しなくてもよい。」と記載されている。
　上記明細書の記載から、本件特許の特許請求の範囲の請求項１における「接続要素」は、「少なくとも１方向で剛性が低い接続要素８」であって、「例えばばね、棒、折り曲げた板ばねなどのように、複数の方向で剛性が低い他の接続要素」でもよいのであるから、「可塑性」でないものが含まれている。
　さらに、本件特許の特許請求の範囲の請求項１の「接続要素」が「可塑性」であることが付加されたのは平成２４年２月１４日付けの手続補正であるが、同日付けの意見書では、その補正の根拠として、「補正前の（請求項）７乃至９、当初明細書の［００４０］段落及び図６（Ａ）（Ｂ）の記載等」を挙げているものの、該手続補正以前の特許請求の範囲及び明細書には、「接続要素」が「可塑性」である旨の記載は何ら存在しないし、上記補正の根拠に挙げられている箇所のうち補正前の請求項３及び７には、「接続要素」が「可撓性」であると記載されている。
　これら記載を考慮すると、本件特許の特許請求の範囲の請求項１の「接続要素」は「可撓性」であって、「可塑性」でないことは明らかである。
　したがって、訂正前請求項１の「可塑性の接続要素」を「可撓性の接続要素」に訂正することは、誤記の訂正であると認められる。
　
（２）訂正事項２について
　本件特許の特許請求の範囲の請求項１に記載された「第二の接続要素」に関し、本件特許出願の外国語書面の翻訳文における明細書及び特許請求の範囲には、「接続要素」なる用語として上記「（１）訂正事項１について」で摘記した箇所に記載されているだけである。
　そうすると、上記「（１）訂正事項１について」で述べた理由と同様の理由により、本件特許の特許請求の範囲の請求項１の「第二の接続要素」は「可撓性」であって、「可塑性」でないことは明らかである。
　したがって、訂正前請求項１の「可塑性の第二の接続要素」を「可撓性の第二の接続要素」に訂正することは、誤記の訂正であると認められる。
　
（３）訂正事項３及び訂正事項４について
　訂正事項３及び訂正事項４は特許請求の範囲の請求項７の訂正であって、それぞれ特許請求の範囲の請求項１の訂正である、訂正事項１及び訂正事項２と実質的に同様の訂正である。
　したがって、訂正前請求項７の「可塑性の接続要素」及び「可塑性の第二の接続要素」をそれぞれ「可撓性の接続要素」及び「可撓性の第二の接続要素」に訂正することは、誤記の訂正であると認められる。
　
　以上によれば、本件訂正は、特許法第１２６条第１項ただし書き第２号に掲げる事項を目的とするものである。
　
（４）訂正の適合性
ア　一群の請求項
　訂正事項１乃至４は、一見独立請求項のみの訂正であるが、実質的には、請求項１の従属項である請求項２乃至６も請求項１と同様に訂正請求するものであることは明らかといえるから、訂正事項１乃至４は、一群の請求項ごとに行うものであると認められる。
　
イ　訂正の範囲
　上記「（１）訂正事項１について」乃至「（３）訂正事項３及び訂正事項４について」で検討したように、訂正事項１乃至４は、訂正前の特許請求の範囲の記載を、外国語書面の翻訳文に記載した事項の範囲内においてしたものであることは明らかである。
　また、本件特許出願の外国語書面のclaim3及び7には、「connecting element」(接続部材)が「compliant」（可撓性）であることが記載されており、訂正事項１乃至４は、訂正前の特許請求の範囲の記載を、外国語書面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　
ウ　特許請求の範囲の拡張・変更
　訂正事項１乃至４が、誤記の訂正を目的としていることは上記の通り明らかであるから、訂正事項１乃至４は、いずれも実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
エ　独立特許要件
　訂正事項１乃至４が誤記の訂正を目的としていることは上記の通り明らかであるところ、訂正後における特許請求の範囲の各請求項に係る発明について、特許出願の際に独立して特許を受けることができない理由を発見しない。
　したがって、訂正後における特許請求の範囲の各請求項に係る発明は、特許出願の際に独立して特許を受けることができるものである。
　
　以上によれば、本件訂正は、特許法第１２６条第４項ないし第７項までの規定に適合する。
　
５　まとめ
　したがって、本件審判の請求に係る訂正は、特許法第１２６条第１項ただし書き第２号に掲げる事項を目的とし、同条第４項ないし第７項までの規定に適合するので、適法な訂正と認める。
　よって、結論のとおり審決する。