【事件の表示】
　特願２００８−３１７３５７「タッチパネル及びその製造方法、タッチパネルを利用したディスプレイ」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年　７月　２日出願公開、特開２００９−１４６４２１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　
　本件は、平成２０年１２月１２日（パリ条約による優先権主張、２００７年１２月１４日、中国）の出願であって、平成２１年１２月２５日付けで拒絶理由が通知され、平成２２年４月１日付けで手続補正がなされ、同年６月２９日付けで最後の拒絶理由が通知され、同年９月２８日付けで手続補正がなされたが、平成２３年３月１６日付けで前記平成２２年９月２８日付け手続補正の却下の決定がなされるとともに拒絶査定がなされ、これに対して、同年７月２２日に拒絶査定不服の審判が請求され、平成２４年１０月１５日付けで当審において拒絶理由が通知され、平成２５年１月１６日付けで手続補正がなされ、同年１月３１日付けで当審において拒絶理由が通知され、同年５月２日付けで手続補正がなされたものである。
　そして、本願の特許請求の範囲に係る発明のうち請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２５年５月２日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
　「【請求項１】
　カーボンナノチューブ原料を提供する第一ステップと、
　前記カーボンナノチューブ原料を溶媒に浸漬して、超音波式分散、高強度撹拌又は振動の方法により、綿毛構造を形成する第二ステップと、
　該綿毛構造のカーボンナノチューブを処理して、カーボンナノチューブが分子間力で絡み合っている綿毛構造のカーボンナノチューブ構造体を形成する第三ステップと、
　前記カーボンナノチューブ構造体の同じ表面又は対向する表面に、それぞれ第一電極及び第二電極を設置する第四ステップと、
　を含み、
　前記カーボンナノチューブ原料は、シリコン基板にカーボンナノチューブアレイを成長させ、前記カーボンナノチューブを前記シリコンから削剥することにより得られ、
　前記カーボンナノチューブアレイの成長工程において、まず、基材を提供し、次に、前記基材の表面に触媒層を堆積させ、最後に、前記基材を反応装置内に置いて、保護ガスを導入すると同時に前記基材を５００〜７００℃に加熱して、５〜３０分間カーボンを含むガスを導入することにより、高さが２００〜４００μｍの超配列カーボンナノチューブアレイが成長され、前記超配列カーボンナノチューブアレイにアモルファスカーボン又は触媒剤である金属粒子の不純物が残らず、純粋なカーボンナノチューブアレイが得られ、前記超配列カーボンナノチューブアレイにおいて、カーボンナノチューブの長さは１０μｍ以上であり、一部のカーボンナノチューブは相互に絡み合っていることを特徴とする静電容量方式タッチパネルの製造方法。」
　
２．引用例等
　
　当審の拒絶理由で提示した本願の優先日前に頒布された特開２００５−１７６４２８号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　
ａ）「【００４７】
　実施例に用いたカーボンナノチューブペーパーは、次のようにして得た。すなわち、単層カーボンナノチューブをｐＨ＝１０のＴｒｉｔｏｎＸ−１００水溶液（０．５容量％）中に、超音波洗浄器中で２時間、超音波をかけて分散させた（０．６ｍｇ／ｍｌ）。その分散液５０ｍｌを、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルターを用いて吸引ろ過し、大量の水、メタノールで洗浄した。得られたものを自然乾燥後、フィルターから剥がすと、自立的なカーボンナノチューブのみが絡み合ってできた紙状のカーボンナノチューブペーパーが得られた（厚さは５０μｍ程度）。表面の抵抗は、テスターで測って距離１ｃｍ程度で数オーム以下であった。」（【００４７】の記載。）
　
　してみると、引用例１には以下の発明（以下、「引用例１記載の発明」という。）が記載されている。 
　「単層カーボンナノチューブをｐＨ＝１０のＴｒｉｔｏｎＸ−１００水溶液（０．５容量％）中に、超音波洗浄器中で２時間、超音波をかけて分散させ、その分散液５０ｍｌを、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルターを用いて吸引ろ過し、大量の水、メタノールで洗浄し、得られたものを自然乾燥後、フィルターから剥がし、自立的なカーボンナノチューブのみが絡み合ってできた紙状のカーボンナノチューブペーパーが得られ、そのカーボンナノチューブペーパーの表面の抵抗は、テスターで測って距離１ｃｍ程度で数オーム以下であるカーボンナノチューブペーパーの製造方法。」
　
　当審の拒絶理由で提示した本願の優先日前に頒布された国際公開第２００６／００３２４５号（以下、「周知例１」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　
ｂ）「The present invention relates to a sensor product. The sensor product can be used in computer user interfaces, occupant or passenger monitoring systems, e.g. in keyboards, smart air bag systems, and floor constructions.」（第１頁第５〜８行の記載。）（パテントファミリーである特表２００８−５０６１７３号公報による翻訳。以下、同様。：本発明は、センサ製品に関するものである。本センサ製品は、例えばキーボードなどのコンピュータ用ユーザインターフェース、搭乗者または乗客モニタシステム、スマートエアバッグシステム、および床構造体で使用することができる。）
　
ｃ）「A critical component of any intelligent environment is a user interface. All user interfaces, such as keyboard, mouse, touchpad and touch screen, have their pros and cons. Most of the user interface devices are typically relatively fragile and expensive, have limited scalability for large areas, and are poorly applicable for use outdoors or in harsh environments. Charge source tomography (CST) is a method for sensing an interaction between a user and flat or curved surfaces which are made sensitive by an addition of a conformable resistive sheet that is able to create electric fields. The CST-based user interface device comprises a resistive sheet, peripheral electrodes, and a current/voltage controller. During operation, a controller applies voltage patterns to points on the perimeter of the resistive sheet and measures the currents that arise as a consequence. The user appears in this system as a capacitive load localized to some region of the resistive sheet. (Post E Rehmi, Agarwal Ankur, Pawar Udai, and Gershenfeld Neil, Scalable Interactive Surfaces via Charge Source Tomography, 2nd International Conference on Open Collaborative Design of Sustainable Innovation. December 1-2, 2002, Bangalore, India; Strachan John Paul, Instrumentation and Algorithms for Electrostatic Inverse Problems, Master's Thesis, Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, MA, 2001.)
　
The CST enables an interactive surface to be used with bare hands without touching. Furthermore, the CST makes it possible to manufacture low-cost and mechanically robust user interface devices that are scalable and easy to embed into a variety of surface materials and shapes.
　
SUMMARY OF THE INVENTION
　
A general object of the invention is to provide a cost-effective sensor product for touch-free interfaces. The sensor product may comprise several layers attached to each other.」（第２頁第６行〜第３頁第５行の記載。）（訳：いずれの知的環境でも重要な構成要素はユーザインターフェースである。キーボード、マウス、タッチパッド、およびタッチスクリーンなどのユーザインターフェースはすべて、利点と欠点を有する。ユーザインターフェース装置のほとんどは、一般に比較的脆弱かつ高価であり、広面積に対する拡張性が限定され、屋外や過酷な環境での使用に対する適応性に欠ける。チャージソース・トモグラフィ（CST）は、ユーザと平面もしくは曲面との間の相互作用を検出する方法であり、その平面もしくは曲面には、電界を形成できる柔軟な抵抗シートを追加することで検出性能を与える。CSTを基本としたユーザインターフェース装置は、抵抗シート、外縁電極、および電流／電圧コントローラを有する。作動時、コントローラは抵抗シートの外縁部の数カ所に電圧パターンを印加し、その結果発生した電流を測定する。ユーザは、抵抗シートのある領域に局所化された静電負荷としてこのシステムに出現する。（ポスト・イー・レーミ、アガワル・アンクル、パワル・ウダイ、ジャーシェンフェルド・ニール、「チャージソース・トモグラフィによる拡張性相互作用面」、継続的技術革新に関する開かれた共同設計についての第2回国際会議、2002年12月1日〜2日、インド国バンガロール：ストラッチャン・ジョン・ポール、「静電反転問題に向けた計測器およびアルゴリズム」、修士論文、マサチューセッツ工科大学、マサチューセッツ州ケンブリッジ、2001年）CSTによって、相互作用面は、触れることなく素手で使用できるようになる。さらに、CSTによって、低コストで機械的に頑丈なユーザインターフェース装置の製造が可能になる。そのユーザインターフェース装置は拡張性があり、様々な面材料および面形状に容易に組み込める。
　
【発明の概要】
　
　本発明の全体的な目的は、コスト効率の高い、非接触式インターフェース用のセンサ製品を提供することである。センサ製品は、互いに取り付けられた複数の層を有する。）
　
ｄ）「This invention is not limited to the CST-based user interfaces, but may also be applied to similar sensor technologies, such as capacitive sensors and electrical impedance tomography.」（第３頁第２９〜３１行の記載。）（訳：本発明は、CSTを基本としたユーザインターフェースに限定されるものではなく、容量センサや電気インピーダンストモグラフィなどの同様のセンサ技術に適用することもできる。）
　
ｅ）「At least one electrically conductive area and at least one conductor between the electrically conductive area and the output is formed on the surface of the substrate. According to one embodiment of the invention, the sensor product comprises an electrically conductive area which includes a resistive sheet and at least one peripheral electrode on a flexible substrate. Usually there are more than one electrodes and conductors because accurate sensing requires several electrodes. The number of electrodes also depends on number of variables to be solved. The electrodes and the conductors comprise metal, electrically conductive carbon, or electrically conductive polymers. Common metals in that use are aluminium, copper and silver. Electrically conductive carbon may be mixed in a medium in order to manufacture an ink or a coating. Examples of electrically conductive polymers are polyacetylene, polyaniline and polypyrrole. The electrodes and the connectors can be made, for example, by etching or printing.」（第５頁第１５〜２９行の記載。）（訳：少なくとも1つの導電領域ならびに導電領域と出力部との間の少なくとも1つの導体が基板の表面に形成される。本発明の1つの実施形態によれば、センサ製品は、フレキシブル基板上に抵抗シートおよび少なくとも1つの外縁電極を含む導電領域を有する。正確な検出には数個の電極が必要であることから、通常、1つを超える電極および導体がある。電極の数はまた、解くべき変量の数にも依存する。電極および導体は、金属、導電性カーボン、または導電性ポリマからなる。これに使用する一般的な金属には、アルミニウム、銅、および銀がある。導電性カーボンは、インクまたは被覆物を製造するために溶剤に混合してもよい。導電性ポリマの例には、ポリアセチレン、ポリアニリン、およびポリピロールがある。電極およびコネクタは、例えば、エッチングや印刷によって作ることができる。）
　
ｆ）「The resistive sheet comprise electrically conductive material, and it can be a printed layer, a coated layer, a plastic layer, or a fibrous layer. As an electrically conductive element the resistive sheet may comprise conductive carbon, metallic layers, particles, or fibers, or electrically conductive polymers, such as polyacetylene, polyaniline, or polypyrrole. When a transparent sensor product is desired, electrically conductive materials like ITO (indium tin oxide), PEDOT (poly-3,4- ethylenedioxythiophene), or carbon nanotubes can be used. For example, the carbon nanotubes can be used in coatings which comprise the nanotubes and polymers. The same electrically conductive materials also apply to the electrodes and the conductors.」（第６頁第７〜１７行の記載。）（訳：抵抗シートは導電性材料を含み、印刷層、被覆層、プラスチック層、または繊維質層であり得る。抵抗シートは、導電要素として、導電性カーボン、または金属層、金属粒子、もしくは金属ファイバ、またはポリアセチレン、ポリアニリン、もしくはポリピロールなどの導電性ポリマを有する。透明のセンサ製品が望ましい場合には、ITO（インジウムスズ酸化物）、PEDOT（ポリ−3、4−エチレンジオキシチオフェン）、またはカーボンナノチューブなどの導電材料を使用することができる。例えば、カーボンナノチューブは、ナノチューブとポリマを含む被覆物に使用することができる。同じ導電性材料が電極および導体にも適用される。）
　
ｇ）「Fig. 1a shows a top view and Fig. 1b shows a cross section of a sensor product 7 (section A-A). Electrodes 2 and conductors 3 are formed on a surface of a substrate 6. The conductors 3 connect the electrodes 2 via an output 8 to a connector 5. A resistive sheet 4 overlaps the electrodes 2. A protecting layer 1 is formed on top of the substrate in such a manner that the electrodes 2, conductors 3 and the resistive sheet remain between the substrate 6 and the protecting layer 1.」（第８頁第９〜１５行の記載。）（訳：図1aはセンサ製品7の平面図を示し、図1bはセンサ製品7の断面図（A−A断面）を示している。電極2および導体3は基板6の表面に形成されている。導体3は出力部8を介して電極2をコネクタ5に接続している。抵抗シート4は電極2に重なっている。保護層1は、電極2、導体3および抵抗シートが基板6と保護層1の間に置かれるような形で基板の上面に形成されている。）
　
ｈ）図１ａに、抵抗シート４に重なって設けられた電極２を４つ設けることが示されている。
　
　当審の拒絶理由で提示した本願の優先日前に頒布された黒沢　理、第５章　静電容量式タッチパネルの最新技術動向，タッチパネルの技術と開発，日本，株式会社　シーエムシー出版，２００４年１２月２７日，第１刷，ｐ．５４−６４（以下、「周知例２」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　
ｉ）「２　静電容量式タッチパネルのパネル構成
　パネル構成の断面の一例を図１に示した。
　一般的にはガラス一枚で構成されており，その表裏に透明導電膜及び保護膜（オーバーコート）が形成されている。以下にタッチ面側からの形成膜などのそれぞれの役割を簡単に解説する。
・・・・
（３）　表面透明導電膜（電界層）
　抵抗値を持った透明薄膜で，周りに平等電界を得るための周辺電極が取り付けられている。電流は４辺あるいは４角から入力される。導電膜の材質・シート抵抗や平等電界作製法各社色々であり，回路・位置計算ソフトはこの表面透明導電膜の性質に依存している。」（第５５頁第１〜２０行の記載。）（当審注：丸に数字を括弧に数字とした。）
　
ｊ）「３　静電容量式タッチパネルの駆動回路
・・・
　静電容量式タッチパネルの平等電界を得る方法を図２と図３に示した。図２は４辺入力タイプであり，図３は４角入力タイプである。」（第５７頁第１５〜２１行の記載。）
　
ｋ）第５５頁図１にタッチパネルのパネル構成に隣接してディスプレイ（ＬＣＤ・ＣＲＴ等）が設置されることが示されている。
　
　当審の拒絶理由で提示した本願の優先日前に頒布された特開２００３−９９１９２号公報（以下、「周知例３」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　
ｌ）「【０００７】
【発明の実態の形態】以下、本発明の静電容量式タッチパネル装置における好ましい実施の形態例について図面を参照して説明する。
・・・
【０００９】また、図１（ｂ）に示すように、共通透明電極９の四隅には電流検出器１〜４が取り付けられ、共通透明電極９と共に電流検出回路５を構成している。
・・・
【００１１】・・・この際、共通透明電極９の四隅から電圧が加えられるので、この共通透明電極９に電界が広がり液晶画面２０に均一な電圧の電場が作り出される。
【００１２】このような状態において、液晶画面２０に表示された文字や画像から選択すべき項目が位置する透明絶縁板７上の接触部を、指等の接触物によってタッチすると、接触部分が容量結合して静電容量が変化するので、共通透明電極９の四隅に取り付けられた電流検出器１〜４には、それぞれ接触物までの距離に比例した電流信号Ｓ１〜Ｓ４が流れる。この各電流検出器１〜４で検出された電流値に基づき信号処理回路６は指の位置座標を計算し、その位置座標を示す座標信号Ｓ５を制御回路１２に出力する。」（段落【０００７】〜【００１２】の記載。）
　
　当審の拒絶理由で提示した本願の優先日前に頒布されたGeorge Gruner著、吾郷浩樹訳，新たな汎用電子材料カーボンナノネット，日経サイエンス，日本，日経サイエンス社，２００７年８月１日，第３７巻第９号，ｐ．５２−６０（以下、「周知例４」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　
ｍ）「そのナノチューブがランダムに結びついてできたネット，「カーボンナノネット」が多様な電子機能を実現することがわかってきた。」（第５２頁左欄第２７〜３０行記載。）
　
ｎ）「個々のナノチューブは１本ずつ特性が異なる。しかし，ナノチューブを多数集めることでこの多様性を平均化できることがわかった。１本のナノチューブに欠陥があっても，それを優れた特性を持つほかのナノチューブで補える。最もシンプルな例は，ナノチューブが無造作に結びついてネットを組んだナノネットだ」（第５４頁左欄第１９〜２７行の記載。）
　
ｏ）「導電性ナノネットは，物体がランダムな媒体中をどう進むかを記述する「パーコレーション」の概念の簡単な例だ。・・・分布密度がしきい値を超えるとパーコレーション転移が起こり，経路が１本，２本，……と次々に作られる。・・・銅線で同じことを考えると，銅線の分布密度がある値に達したところでテーブルの一端から他端まで電流が流れるようになり，その電流の大きさは銅線の分布密度で決まる。この概念は以前から理論的に研究されていたが，カリフォルニア大学ロサンゼルス校の私のグループは，ナノネットでその転移を実験的に示すことができた。
　また，ナノネットは透明なものを作ることができ，光の透過が必要とされる応用に利用できる。」（第５４頁右欄第１３行〜第５５頁左欄第１４行の記載。）
　
ｐ）「ナノネットが透明になる可能性が初めて示されたのは２００１年，・・・ナノネットの光学特性を調べていたときのことだった。彼らはナノネットの電気伝導度を正確に測定するために，ナノチューブの厚い膜を作った。この膜は厚すぎて光を透過しなかったが，彼らの実験データは，より薄い膜を用いれば透明性と導電性の両方を実現できることを示していた。・・・現在では，膜の厚さを変えることで，いろいろなレベルの透明度と電気伝導度を持つナノネットをテーラーメードで作れるようになった。」（第５６頁左欄第３〜２７行の記載。）
　
ｑ）「さらに，ナノネットの膜を低価格で，フレキシブルで，軽いタッチスクリーンやディスプレーの中心部に使うことが検討されている。」（第５７頁右欄第１９行〜第５８頁左欄第２行の記載。）
　
　当審の拒絶理由で提示した本願の優先日前に頒布された国際公開第２００６／０１１６５５号（以下、「引用例２」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　
ｒ）「技術分野
この出願の発明は、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）および配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体ならびにそれらの製造方法・装置および応用に関するものであり、さらに詳しくは従来にない高純度化、高比表面積化、ラージスケール化、パターニング化を達成したカーボンナノチューブおよび配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体ならびにそれらの製造方法・装置および応用に関するものである。
　
背景技術
　新しい電子デバイス材料や光学素子材料、導電性材料、生体関連材料等として機能性材料の展開が期待されているカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）については、その収率、品質、用途、量産性、製造方法等の検討が精力的に進められている。」（第１頁第４〜１４行の記載。）
　
ｓ）「この単層カーボンナノチューブは、たとえば上記した第〔１２〕から第〔２７〕の発明の方法により製造することができる。そして得られた単層カーボンナノチューブは、上記のように純度が高いものである。その純度は９８ｍａｓｓ％以上であるが、好ましくは９９ｍａｓｓ％以上、より好ましくは９９．９ｍａｓｓ％以上である。精製処理を行わない場合には、成長直後（ａｓ−ｇｒｏｗｎ）での純度が最終品の純度となる。必要に応じて、精製処理を行ってもよい。」（第２０頁第１２〜１７行の記載。）
　
ｔ）「また、この単層カーボンナノチューブは配向したものとすることができ、好ましくは基板上に垂直配向したものとすることができる。
　この出願の発明による垂直配向した単層カーボンナノチューブは、触媒や副生成物等の混入等が抑えられ、高純度化されたもので、最終製品としての純度はこれまでにないものである。しかも基板上に成長させた場合には、基板または触媒から容易に剥離させることができる。
　単層カーボンナノチューブを剥離させる方法としては、物理的、化学的あるいは機械的に基板上から剥離する方法があり、たとえば電場、磁場、遠心力、表面張力を用いて剥離する方法；機械的に直接、基板より剥ぎ取る方法；圧力、熱を用いて基板より剥離する方法などが使用可能である。簡単な剥離法としては、ピンセットで直接基板より、つまみ、剥離させる方法がある。より好適には、カッターブレードなどの薄い刃物を使用して基板より切り離すこともできる。」（第２０頁第２６行〜第２１頁第１０行の記載。）
　
ｕ）「次に、この出願の第〔１２〕から第〔２７〕の発明のカーボンナノチューブの製造方法について述べる。
　これらの発明は、ＣＶＤ法によりカーボンナノチューブを製造する方法に係わるものであって、その要件としては、反応系に金属触媒を存在させ、かつ反応雰囲気に酸化剤を添加することを特徴としている。
　原料炭素源としての炭素化合物としては、従来と同様に、炭化水素、なかでも低級炭化水素、たとえばメタン、エタン、プロパン、エチレン、プロピレン、アセチレン等が好適なものとして使用可能とされる。これらは１種もしくは２種以上のものであってよく、反応の条件として許容されるのであれば、メタノール、エタノール等の低級アルコールやアセトン、一酸化炭素等の低炭素数の含酸素化合物の使用も考慮される。
　反応の雰囲気ガスは、カーボンナノチューブと反応せず、成長温度で不活性であれば、使用することができ、そのようなものとしては、ヘリウム、アルゴン、水素、窒素、ネオン、クリプトン、二酸化炭素、塩素等や、これらの混合気体が例示でき、特にヘリウム、アルゴン、水素、およびこれらの混合気体が好ましい。
　反応の雰囲気圧力は、これまでカーボンナノチューブが製造された圧力範囲であれば、適用することができ、１０２Ｐａ以上１０７Ｐａ（１００大気圧）以下が好ましく、１０４Ｐａ以上３×１０５Ｐａ（３大気圧）以下がさらに好ましく、５×１０Ｐａ以上９×１０Ｐａ以下が特に好ましい。
　反応系には、前記のとおりの金属触媒を存在させるが、この触媒としては、これまでカーボンナノチューブの製造に使用されたものであれば適宜のものを使用することができ、たとえば塩化鉄薄膜、スパッタで作製された鉄薄膜、鉄−モリブデン薄膜、アルミナ−鉄薄膜、アルミナ−コバルト薄膜、アルミナ−鉄−モリブデン薄膜等を例示することができる。
　触媒の存在量としては、これまでにカーボンナノチューブが製造された量であればその範囲で使用することができ、たとえば鉄金属触媒を用いた場合には、厚さが０．１ｎｍ以上１００ｎｍ以下が好ましく、０．５ｎｍ以上５ｎｍ以下がさらに好ましく、１ｎｍ以上２ｎｍ以下が特に好ましい。
　触媒の配置は、上記のような厚みで金属触媒を配置させる方法であればスパッタ蒸着等適宜の方法を用いることができる。また、後述する金属触媒のパターニングを利用して大量の単層カーボンナノチューブを同時に製造することもできる。
　ＣＶＤ法における成長反応時の温度は、反応圧力、金属触媒、原料炭素源や酸化剤の種類等を考慮することにより適宜定められるが、酸化剤の添加の効果が十分発現するような温度範囲に設定しておくことが望ましい。」（第２１頁第１８行〜第２２頁第２４行の記載。）
　
ｖ）「この出願の発明の方法では、触媒を基板上に配置して基板面に垂直に配向した単層カーボンナノチューブを成長させることができる。この場合の基板としては、・・・たとえば以下のようなものを挙げることができる。
・・・
（３）シリコン」（第２４頁第２４行〜第２５頁第７行の記載。）
　
　当審の拒絶理由で提示した本願の優先日前に頒布された国際公開第２００７／０９９９７５号（以下、「周知例５」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　
ｗ）「［００９６］実施例１　シリコン基板（市販品、１ｃｍ２）に鉄をスパッタリングすることにより、厚さ４ｎｍの鉄皮膜が積層されたシリコン基板を製造した。
［００９７］この基板を熱ＣＶＤ装置内に設置し、熱ＣＶＤ法を行うことにより基板状にカーボンナノチューブ集合体を形成させた。熱ＣＶＤ内に供給したガスは、アセチレンガス及びヘリウムガスの混合ガス（アセチレンガス５．７７ｖｔ％）とした。熱ＣＶＤ条件としては、温度：７００℃、圧力：大気圧下、初期段階におけるアセチレンガス濃度の上昇速度：０．１０ｖｏｌ％／秒、反応時間：１０分とした。
［００９８］実施例１のカーボンナノチューブ集合体において、アモルファスカーボンの被覆率は５７％、アモルファスカーボンの平均厚みは１．１ｎｍであった。実施例１のカーボンナノチューブ集合体のＧ／Ｄ比は０．６６、酸素／炭素原子数比（Ｏ／Ｃ比）は０．００８、嵩密度は４０ｍｇ／ｃｍ３、秩序パラメータ（ＯＰ）は０．９４であった。カーボンナノチューブの平均長さは１９０μｍであった。得られたカーボンナノチューブ集合体の断面の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真を図２に示す。」（［００９６］〜［００９８］の記載。）
　
　当審の拒絶理由で提示した本願の優先日前に公開された中山喜萬，ＣＮＴの糸状長尺化とシート化技術の開発，ナノカーボンハンドブック，株式会社エヌ・ティー・エス，２００７年７月１７日，ｐ．２６１−２６６（以下「周知例６」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　
ｘ）「ブラシ状ＣＮＴは化学気相合成（ＣＶＤ）法により合成され多層のものである。基板はシリコンウェハー、その上に触媒として４〜５ｎｍの鉄薄膜を塗布してある。これを反応管内に設置し、大気圧のＨｅ雰囲気中で７００℃程度の温度まで昇温する。そこに原料ガスとしてアセチレンを導入する。数秒から十分程度で１００〜４００μｍの高さのブラシ状ＣＮＴがシリコン基板上に合成される。」（２６２頁左欄第１１〜１９行の記載。）
　
３．対比
　
　本願発明と引用例１記載の発明とを対比する。
　
（１）引用例１記載の発明は「単層カーボンナノチューブをｐＨ＝１０のＴｒｉｔｏｎＸ−１００水溶液（０．５容量％）中に、超音波洗浄器中で２時間、超音波をかけて分散させ」るものであり、本願の明細書【００２９】に「前記第二ステップにおいて、前記溶媒は、水又は揮発性有機溶剤である。さらに、前記カーボンナノチューブ原料を前記溶媒に浸漬した後、超音波式分散又は高強度撹拌又は振動などの方法により、前記カーボンナノチューブを綿毛構造に形成させる工程が提供されている。本実施形態では、超音波式分散方法により、カーボンナノチューブを含む溶剤に対して１０〜３０分間処理する。カーボンナノチューブは大きい比表面積を持ち、カーボンナノチューブの間に大きい分子間力があるので、前記カーボンナノチューブはそれぞれ絡み合って、綿毛構造に形成される。」と記載されていることを考慮すれば、引用例１記載の発明の「超音波をかけて分散させ」たものは「綿毛構造」が形成されていると認められ、引用例１記載の発明は、本願発明の「カーボンナノチューブ原料を提供する第一ステップと、
 　前記カーボンナノチューブ原料を溶媒に浸漬して、超音波式分散、高強度撹拌又は振動の方法により、綿毛構造を形成する第二ステップ」と、「カーボンナノチューブ原料を提供する第一ステップと、
 　前記カーボンナノチューブ原料を溶媒に浸漬して、超音波式分散により、綿毛構造を形成する第二ステップ」を含む点で一致するといえる。
　
（２）引用例１記載の発明は、カーボンナノチューブを超音波をかけて分散させた「分散液５０ｍｌを、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルターを用いて吸引ろ過し、大量の水、メタノールで洗浄し、得られたものを自然乾燥後、フィルターから剥がし、自立的な
カーボンナノチューブのみが絡み合ってできた
　前記第二ステップにおいて、前記溶媒は、水又は揮発性有機溶剤である。さらに、前記カーボンナノチューブ原料を前記溶媒に浸漬した後、超音波式分散又は高強度撹拌又は振動などの方法により、前記カーボンナノチューブを綿毛構造に形成させる工程が提供されている。本実施形態では、超音波式分散方法により、カーボンナノチューブを含む溶剤に対して１０〜３０分間処理する。カーボンナノチューブは大きい比表面積を持ち、カーボンナノチューブの間に大きい分子間力があるので、前記カーボンナノチューブはそれぞれ絡み合って、綿毛構造に形成される。
　【００３０】
　前記第三ステップにおいて、まず、微多孔膜又はエアーポンプファネル（Ａｉｒ−ｐｕｍｐｉｎｇ　Ｆｕｎｎｅｌ）を提供する。次に、前記微多孔膜又はエアーポンプファネルを利用して、前記綿毛構造のカーボンナノチューブを含む溶剤をろ過して、溶剤を除去させる。最後、前記微多孔膜に残った前記綿毛構造のカーボンナノチューブを乾燥させて、カーボンナノチューブ構造体を形成させる。」と記載されていることを考慮すれば、引用例１記載の発明の「カーボンナノチューブペーパー」は「カーボンナノチューブが分子間力で絡み合っている綿毛構造」であると認められ、引用例１記載の発明は、本願発明と「該綿毛構造のカーボンナノチューブを処理して、カーボンナノチューブが分子間力で絡み合っている綿毛構造のカーボンナノチューブ構造体を形成する第三ステップ」を有する点で一致する。
　
（３）本願発明の「静電容量方式タッチパネルの製造方法」は「カーボンナノチューブ構造体を形成する」ステップを有するから、「カーボンナノチューブ構造体を形成する方法」を有するものであるといえる。
　そして、引用例１記載の発明の「カーボンナノチューブペーパー」は本願発明の「カーボンナノチューブ構造体」に相当するから、引用例１記載の発明の「カーボンナノチューブペーパーの製造方法」は本願発明の「静電容量方式タッチパネルの製造方法」と、「カーボンナノチューブ構造体の製造方法」を含む点で一致する。
　
　したがって、両者は以下の一致点と相違点とを有する。
　
＜一致点＞
　
　「カーボンナノチューブ原料を提供する第一ステップと、
 　前記カーボンナノチューブ原料を溶媒に浸漬して、超音波式分散、高強度撹拌又は振動の方法により、綿毛構造を形成する第二ステップと、
 　該綿毛構造のカーボンナノチューブを処理して、カーボンナノチューブが分子間力で絡み合っている綿毛構造のカーボンナノチューブ構造体を形成する第三ステップと、
　を含む、
カーボンナノチューブ構造体の製造方法。」
　
＜相違点１＞
　
　本願発明は「カーボンナノチューブ構造体の同じ表面又は対向する表面に、それぞれ第一電極及び第二電極を設置する第四ステップ」を含み「カーボンナノチューブ構造体」が「静電容量方式タッチパネル」に用いられた、「静電容量方式タッチパネルの製造方法」であるのに対し、引用例１記載の発明はその様なステップは記載されておらず、また、「カーボンナノチューブ構造体」の用途が「静電容量方式タッチパネル」ではなく「静電容量方式タッチパネルの製造方法」ではない点。
　
＜相違点２＞
　
　本願発明は「カーボンナノチューブ原料は、シリコン基板にカーボンナノチューブアレイを成長させ、前記カーボンナノチューブを前記シリコンから削剥することにより得られ、
　前記カーボンナノチューブアレイの成長工程において、まず、基材を提供し、次に、前記基材の表面に触媒層を堆積させ、最後に、前記基材を反応装置内に置いて、保護ガスを導入すると同時に前記基材を５００〜７００℃に加熱して、５〜３０分間カーボンを含むガスを導入することにより、高さが２００〜４００μｍの超配列カーボンナノチューブアレイが成長され、前記超配列カーボンナノチューブアレイにアモルファスカーボン又は触媒剤である金属粒子の不純物が残らず、純粋なカーボンナノチューブアレイが得られ、前記超配列カーボンナノチューブアレイにおいて、カーボンナノチューブの長さは１０μｍ以上であり、一部のカーボンナノチューブは相互に絡み合っている」のに対し、引用例１記載の発明はどのようにして得られたカーボンナノチューブを用いるのか明らかではない点。
　
４．判断
　
＜相違点１についての判断＞
　
　周知例１〜３に記載されるように、透明な導電構造体の同じ表面又は対向する表面に、それぞれ第一電極及び第二電極を設置し、静電容量方式タッチパネルを製造することは周知のことである。
　また、タッチパネルの透明な導電構造体をカーボンナノチューブにより形成することも、周知例１、周知例４に記載されるように、周知技術である。
　よって、引用例１記載の発明に上記周知の技術を適用し、引用例１記載の発明のカーボンナノチューブペーパーの製造方法により製造されたカーボンナノチューブペーパーを静電容量方式タッチパネルに用い、相違点１に係る本願発明の構成を得ることは、当業者が適宜為し得ることである。
　
＜相違点２についての判断＞
　
　まず、本願発明には、「超配列カーボンナノチューブアレイにおいて、カーボンナノチューブの長さは１０μｍ以上であり、一部のカーボンナノチューブは相互に絡み合っている」と記載されているが、本願の明細書【００２５】に「第一ステップでは、前記カーボンナノチューブ原料は、次のようにして得られる。まず、シリコン基板にカーボンナノチューブアレイを成長させる。次に、ブレードなどの工具を利用して、前記カーボンナノチューブを前記シリコンから削剥して、カーボンナノチューブ原料が得られる。ここで、前記カーボンナノチューブ原料において、単一のカーボンナノチューブの長さは、１０μｍ以上である。」と、本願の明細書【００２６】に「これにより、高さが２００〜４００μｍの超配列カーボンナノチューブアレイ（Ｓｕｐｅｒａｌｉｇｎｅｄ　ａｒｒａｙ　ｏｆ　ｃａｒｂｏｎ　ｎａｎｏｔｕｂｅｓ，非特許文献１）が成長される。前記超配列カーボンナノチューブアレイは、相互に平行に基材に垂直に成長する複数のカーボンナノチューブからなる。前記の方法により、前記超配列カーボンナノチューブアレイにアモルファスカーボン又は触媒剤である金属粒子などの不純物が残らず、純粋なカーボンナノチューブアレイが得られる。」と、本願の明細書【００２８】に「ブレードなどの工具を利用して、前記カーボンナノチューブを前記シリコンから削剥した後においては、一部のカーボンナノチューブは相互に絡み合っている。単一の前記カーボンナノチューブの長さは１０μｍである。」と記載されていることを考慮すれば、「カーボンナノチューブの長さは１０μｍ以上であり、一部のカーボンナノチューブは相互に絡み合っている」のは、「超配列カーボンナノチューブアレイ」ではなく該超配列カーボンナノチューブアレイをシリコン基板から削剥して得られたカーボンナノチューブであると認められる。
　したがって、相違点２に係る本願発明の構成は、「カーボンナノチューブ原料は、シリコン基板にカーボンナノチューブアレイを成長させ、前記カーボンナノチューブを前記シリコンから削剥することにより得られ、
　前記カーボンナノチューブアレイの成長工程において、まず、基材を提供し、次に、前記基材の表面に触媒層を堆積させ、最後に、前記基材を反応装置内に置いて、保護ガスを導入すると同時に前記基材を５００〜７００℃に加熱して、５〜３０分間カーボンを含むガスを導入することにより、高さが２００〜４００μｍの超配列カーボンナノチューブアレイが成長され、前記超配列カーボンナノチューブアレイにアモルファスカーボン又は触媒剤である金属粒子の不純物が残らず、純粋なカーボンナノチューブアレイが得られ、前記超配列カーボンナノチューブアレイ
を前記シリコンから削剥することにより得られたカーボンナノチューブ原料
　これに対し、引用例２には、単層カーボンナノチューブを、基板上に垂直配向したものを、カッターブレードなどの薄い刃物を使用して基板より切り離して製造する技術、ＣＶＤ法によりカーボンナノチューブを製造する方法であり、原料炭素源としてアセチレン等が使用可能とされ、反応の雰囲気ガスは、ヘリウム等を用い、鉄薄膜等の金属触媒を存在させ、触媒の配置はスパッタ蒸着等適宜の方法を用いる技術、触媒を基板上に配置して基板面に垂直に配向した単層カーボンナノチューブを成長させ、基板としてシリコン等を用いる技術が記載されている。
　また、周知例５，６に記載されるように、引用例２に記載された技術によりカーボンナノチューブを製造する場合に、基板をシリコン基板とすること、温度を５００〜７００℃とすること、反応時間を５〜３０分間とすること、合成されたカーボンナノチューブの長さを２００〜４００μｍ程度とすることは、周知技術である。
　そして、本願の明細書【００２５】に「第一ステップでは、前記カーボンナノチューブ原料は、次のようにして得られる。まず、シリコン基板にカーボンナノチューブアレイを成長させる。次に、ブレードなどの工具を利用して、前記カーボンナノチューブを前記シリコンから削剥して、カーボンナノチューブ原料が得られる。ここで、前記カーボンナノチューブ原料において、単一のカーボンナノチューブの長さは、１０μｍ以上である。」と、本願の明細書【００２６】に「本実施形態において、前記カーボンナノチューブアレイは化学気相堆積法（ＣＶＤ法）により成長される。次に、前記カーボンナノチューブアレイの成長工程について詳しく説明する。まず、基材を提供する。該基材としては、Ｐ型又はＮ型のシリコン基材、又は表面に酸化物が形成されたシリコン基材が利用される。本実施形態において、厚さが４インチのシリコン基材を提供する。次に、前記基材の表面に触媒層を堆積させる。該触媒層は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ又はそれらの合金である。次に、前記触媒層が堆積された前記基材を、７００〜９００℃、空気の雰囲気において３０〜９０分間アニーリングする。最後に、前記基材を反応装置内に置いて、保護ガスを導入すると同時に前記基材を５００〜７００℃に加熱して、５〜３０分間カーボンを含むガスを導入する。これにより、高さが２００〜４００μｍの超配列カーボンナノチューブアレイ（Ｓｕｐｅｒａｌｉｇｎｅｄ　ａｒｒａｙ　ｏｆ　ｃａｒｂｏｎ　ｎａｎｏｔｕｂｅｓ，非特許文献１）が成長される。前記超配列カーボンナノチューブアレイは、相互に平行に基材に垂直に成長する複数のカーボンナノチューブからなる。前記の方法により、前記超配列カーボンナノチューブアレイにアモルファスカーボン又は触媒剤である金属粒子などの不純物が残らず、純粋なカーボンナノチューブアレイが得られる。」と、本願の明細書【００２８】に「ブレードなどの工具を利用して、前記カーボンナノチューブを前記シリコンから削剥した後においては、一部のカーボンナノチューブは相互に絡み合っている。単一の前記カーボンナノチューブの長さは１０μｍである。」と記載されていることを考慮すれば、上記周知技術により「合成されたカーボンナノチューブ」は「超配列カーボンナノチューブアレイ」であり「アモルファスカーボン又は触媒剤である金属粒子などの不純物が残らず、純粋なカーボンナノチューブアレイ」であるものと認められ、上記周知技術の条件で合成された、引用例２に記載されたカーボンナノチューブアレイを基板より切り離して製造した単層カーボンナノチューブは、「一部のカーボンナノチューブは相互に絡み合っている」ものと認められる。
　また、２００〜４００μｍ程度に合成されたカーボンナノチューブアレイより切り離したカーボンナノチューブの長さを１０μｍ以上とすることは、当業者が適宜なし得る設計事項にすぎない。
　よって、引用例１記載の発明に引用例２に記載された技術及び上記周知技術を適用し、引用例１記載の発明で用いられる単相カーボンナノチューブとして、所定条件のＣＶＤ法で合成されたカーボンナノチューブを用い、相違点２に係る本願発明の構成を得ることは、当業者が容易に為し得たことである。
　
　したがって、本願発明は、引用例１記載の発明、引用例２に記載された技術及び各周知技術に基づいて当業者が容易に為し得たものである。
　
　そして、本願発明が奏する作用、効果についてみても、引用例１記載の発明、引用例２に記載された技術及び各周知技術から当業者が予想できる程度のものである。
　
５．むすび
　
　以上のとおり、本願発明は、引用例１に記載された発明、引用例２に記載された技術及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願は、他の請求項について検討するまでもなく、拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。