【事件の表示】
　特願２００７−２６９０９２「柔軟バネ型振動板を有するコンデンサーマイクロホン及びその製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年６月２６日出願公開、特開２００８−１４８２８３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許出願は、平成１９年１０月１６日の出願（パリ条約による優先権主張　２００６（平成１８）年１２月６日、ＫＲ（大韓民国））であって、平成２３年１月２７日付けで通知した拒絶理由に対し、平成２３年４月２７日付けで手続補正がなされ、さらに同年５月２０日付けで通知した最後の拒絶の理由に対し、同年８月２４日付けで補正がなされたが、前記最後の拒絶の理由により同年９月３０日付けで拒絶査定がされ、これに対して、平成２４年２月３日に拒絶査定不服審判が請求されたものである。
　
２．本願発明
　本件特許出願の請求項１ないし１６に係る発明は、平成２３年８月２４日付けで手続補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１６に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、そのうち、請求項１２に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
「【請求項１２】
　下部シリコン層上に形成された第１絶縁層と、
　前記第１絶縁層上に形成され、板面を貫通する多数の音響ホールが形成されたバックプレートと、
　前記音響ホールが閉塞されないように前記バックプレートの周り領域に形成された第２絶縁層と、
　前記第２絶縁層と接触する接触領域と、該接触領域から上向き突出し、前記バックプレートと共にエアーギャップを形成する振動領域と、前記振動領域の板面を貫通する複数のエアホールとを備える振動板と
　を含み、
　前記複数のエアホールは、前記振動板の中心に対しそれぞれ同心円状に形成された複数列の半円形状のスロット形態を有するように形成されていることを特徴とするコンデンサーマイクロホン。」
　
３．引用例
　本件特許出願の優先権主張の日の前に頒布された刊行物であって、原査定の拒絶の理由に引用された特表２００１−５０８９４０号公報（平成１３年７月３日公表、以下「引用例１」という。）には、図面と共に、以下の記載がある。なお、下線は、当審で付した。
　
（１）「この種のセンサのもう１つの用途は短時間の圧力変動、特に音波に関する圧力変動の測定であり、その際センサは音波を電気信号に変える音の変換器、即ち
マイクロフォン
シリコン製のマイクロメカニカルデバイスとしてのマイクロフォン
このマイクロフォンの駆動回路に用いられる電子デバイスをＣＭＯＳプロセスの枠内で製造する場合、マイクロフォンのマイクロメカニカル構成部品もこのプロセスと互換性に製造されれば有利である。
このマイクロフォンにチップ上に固定された対向電極に対してマイクロフォンの導電性のダイヤフラムの容量測定を行う
コンデンサ・マイクロフォン
　
マイクロメカニカルマイクロフォンに生じる１つの問題は、小形ダイヤフラムが極く僅かにしか歪曲できず
　
（２）「本発明によるセンサは、
比較的厚いバルク・シリコン層が例えば二酸化シリコンであってもよい絶縁層により薄いボディー・シリコン層と分離されているＳＯＩ基板を使用
ダイヤフラムはボディー・シリコン層上にダイヤフラムの振動を可能にする空洞を有する間隔層上に設置され
空洞はボディー・シリコン層内の開口及び絶縁層とバルク・シリコン層内の大きな空所により圧力平衡が生じるように環境と接続されている
空気がボディー・シリコン層内の開口を通って流入及び流出することによりダイヤフラムが歪曲する
ダイヤフラムは僅かに減衰されるに過ぎない。それによりセンサの感度が高められ、従って例えばマイクロフォンに使用するのに好適である
　
（３）「
センサの容量は、ダイヤフラム７が振動し、それによりその間隔が対向電極として作用するドープ領域８に対して変化する時に変化する。
  ダイヤフラムの層平面に対し垂直な投影面内のその裏側に空所９が存在する。この空所９はバルク・シリコン層１と絶縁層２内の開口部により形成されている。
ボデー・シリコン層３内にはダイヤフラムの下の空洞６を空所９と接続する複数個の開口１０がある
これらの開口１０は十分大きくまた数多くある
　
（４）図面には、ダイヤフラム７の空洞に面しない縁側に、間隔層から突出する部分が図示されている。
　また、開口１０と接続する空洞６と、間隔層４が図示されている。
　
　上記摘示事項及び図面を参照すると、引用例１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認める。
「バルク・シリコン層と、バルク・シリコン層上の絶縁層と、数多くの開口がある絶縁層上のボディー・シリコン層と、
　ボディー・シリコン層上の、ダイヤフラムの振動を可能にする空洞を有する間隔層と、
　間隔層上に設置されているダイヤフラムとを備えた
　コンデンサマイクロフォン。」
　
４．対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
　引用発明の「バルク・シリコン層」は、本願発明の「下部シリコン層」に相当し、引用例の「バルク・シリコン層上の絶縁層」は、本願発明の「下部シリコン層上に形成された第１絶縁層」に相当する。
　引用発明の「数多くの開口がある絶縁層上のボディー・シリコン層」は、本願発明の「前記第１絶縁層上に形成され、板面を貫通する多数の音響ホールが形成されたバックプレート」に相当する。
　引用発明の「ダイヤフラム」は、本願発明の「振動板」に相当する。
　
　引用発明の「ボディー・シリコン層の上に形成され、ダイヤフラム層を担持し、ダイヤフラム層の振動を可能にする空洞を有する間隔層」は、本願発明の「音響ホールが閉塞されないようにバックプレートの周り領域に形成された第２絶縁層」に相当する。
　
　引用発明の「空洞」は、ボディー・シリコン層とダイヤフラムで形成される間隙（ギャップ）ということができるから、本願発明の「エアーギャップ」に相当する。
　引用例１の図面も参照すると、引用発明の「ダイアフラム」は、周辺部を「間隔層」に取り付けられ、中央部は「空洞」に面して振動する領域となることが明らかであるから、本願発明の「第２絶縁層と接触する接触領域」、及び「バックプレートと共にエアーギャップを形成する振動領域」を備えている点で、本願発明の「振動板」と一致する。
　引用発明と本願発明とは、いずれも「コンデンサーマイクロホン」に関する発明である点で一致する。
　
　そうすると、本願発明と引用発明との＜一致点＞及び＜相違点＞は次のとおりである。
＜一致点＞
「下部シリコン層上に形成された第１絶縁層と、
　前記第１絶縁層上に形成され、板面を貫通する多数の音響ホールが形成されたバックプレートと、
　前記音響ホールが閉塞されないように前記バックプレートの周り領域に形成された第２絶縁層と、
　前記第２絶縁層と接触する接触領域と、前記バックプレートと共にエアーギャップを形成する振動領域とを備える振動板と
　を有するように形成されているコンデンサーマイクロホン。」
　
＜相違点＞
相違点（１）
　振動板の振動領域について、本願発明では「接触領域から上向き突出し」と特定するのに対して、引用発明の「ダイアフラム」には、間隔層から上向きの突出する部分の特定がない点。
相違点（２）
　同じく振動板について、本願発明では「振動領域の板面を貫通する複数のエアホールを備え」、及び「複数のエアホールは、振動板の中心に対しそれぞれ同心円状に形成された複数列の半円形状のスロット形態」と特定するのに対して、引用発明にはこのような特定がない点。
　
５．判断
　上記各相違点について検討する。
相違点（１）について
　引用例１の図面を参照すると、間隔層は、ダイヤフラムを所定の間隔だけ持ち上げてボディー・シリコン層と空洞を形成しつつ対向させる構造となっていることが明らかである。また、ダイヤフラム層５は、その周辺で間隔層４に接触して設けられ、ダイヤフラム７は、外周辺でダイヤフラム層５に接続しているが、間隔層４には直接接触して設けられているわけではないことが認められ、したがって、引用例１には実質的に、ダイヤフラム層が「接触領域から上向き突出し」との構造を有することが示されている。
　また、仮に、図面に示される事項とは別に、空洞との間隔を所定の寸法とするためにダイヤフラムに当該間隔を維持する構造を設けるために「接触領域から上向き突出」させる程度の変更は、当業者が、空洞の高さ方向寸法すなわちボディー・シリコン層との間隔を設定するために適宜なしうる程度の変更にすぎないものである。
　すると、相違点（１）は、引用例１に実質的に記載されている事項であるか、又は、ダイヤフラムの位置を適宜設定するために当業者が容易に想到しうることにすぎないものである。
　
相違点（２）について
　拒絶査定の際に提示された特開昭５９−７９７００号公報（以下、「引用例２」という。）には、振動検知装置例えばイヤマイクロフォンの可動電極について、可動電極の中心に対しそれぞれ同心円状に形成された複数列の半円形状のスロットを形成して、柔軟な可動電極とし、周波数特性等を改善する例が第６図（ｂ）に示されている。
　引用例２の可動電極は、「可動電極６が振動し、固定電極９との間に容量変化が発生し、これが電気信号としてＦＥＴ１１に印加される。（２頁右上欄１９行〜左下欄１行）」との記載から明らかなように、実質的にコンデンサマイクロフォンのダイヤフラムといえるから、引用発明に対し、引用例２に記載された可動電極の構造を適用することについては十分動機があるもので、引用発明において、ダイヤフラムの柔軟性が増加するようにダイヤフラムの振動領域の板面に貫通する複数のエアホール設けること、及び当該複数のエアホールの形態を、ダイヤフラムの中心に対しそれぞれ同心円状に形成された複数列の半円形状のスロット状にすることは、引用例２に記載された可動電極の構造を適用することにより、当業者が容易に想到し得るものである。
　
　そして、上記相違点を総合的に判断しても、本願発明が奏する効果に顕著なものがあるとすることはできない。
　
６．むすび
　以上のとおり、本件特許出願の請求項１２に係る発明は、引用例１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件特許出願は、その余の請求項について論及するまでもなく拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。