(57)【要約】電気光学効果を有する基板（１）と、基板（１）に設けた光導波路（２）と、基板（１）に設けた進行波型の電極（３）とを備える光変調器において、電極（３）を伝搬するマイクロ波の進行速度が導波路を伝搬する光の進行速度よりも遅い第１の領域（１１）と、電極を伝搬するマイクロ波の進行速度が導波路を伝搬する光の進行速度よりも速い第２の領域（１２）とを備え、第１の領域（１１）および第２の領域（１２）の全体でのマイクロ波の進行速度の平均値を、光導波路（２）を伝搬する光の速度と概一致させるように、第１の領域（１１）と第２の領域（１２）とを配置する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学効果を有する基板と、光を伝搬させるための前記基板に設けた光導波路と、前記基板に設けた進行波型の電極とを備える光変調器において、
前記電極を伝搬するマイクロ波の進行速度が前記導波路を伝搬する光の進行速度よりも遅い第１の領域と、
前記電極を伝搬するマイクロ波の進行速度が前記導波路を伝搬する光の進行速度よりも速い第２の領域と、
を備え、
前記第１の領域と前記第２の領域との全体でのマイクロ波の進行速度の平均値を、前記光導波路を伝搬する光の速度と概一致させたことを特徴とする光変調器。
【請求項２】
前記第１の領域と前記第２の領域とが複数交互に並んでいることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の光変調器。
【請求項３】
前記第１の領域における電極の厚さが、前記第２の領域における電極の厚さよりも薄いことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の光変調器。
【請求項４】
前記第１の領域における電極の厚さが、前記第２の領域における電極の厚さよりも薄いことを特徴とする請求の範囲第２項に記載の光変調器。
【請求項５】
電気光学効果により前記光導波路の屈折率を変化させ、前記光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の位相を変調することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の光変調器。
【請求項６】
電気光学効果により前記光導波路の屈折率を変化させ、前記光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の位相を変調することを特徴とする請求の範囲第２項に記載の光変調器。
【請求項７】
電気光学効果により前記光導波路の屈折率を変化させ、前記光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の位相を変調することを特徴とする請求の範囲第３項に記載の光変調器。
【請求項８】
電気光学効果により前記光導波路の屈折率を変化させ、前記光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の位相を変調することを特徴とする請求の範囲第４項に記載の光変調器。
【請求項９】
前記光導波路が、途中を２つの経路に分岐させたマッハツェンダー型の導波路であり、電気光学効果により前記光導波路の屈折率を変化させ、前記２つの経路の光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の強度を変調することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の光変調器。
【請求項１０】
前記基板にニオブ酸リチウムを用いたことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の光変調器。
【請求項１１】
前記基板にタンタル酸リチウムを用いたことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の光変調器。
【請求項１２】
前記基板にガリウム砒素を用いたことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の光変調器。
【発明の詳細な説明】
技術分野
この発明は、高速光通信システムの送信装置などに用いられる光変調器に関するものである。
背景技術
第５図は、１９９３年電子情報通信学会春季大会講演論文集Ｃ−２１４に記載された従来の光変調器を示す図である。同図において、１は基板、２は光導波路、３は電極、４はＹ分岐、５は光入力端子、６は光出力端子、７はマイクロ波入力端子、８は終端抵抗をそれぞれ示している。同図において、基板１はニオブ酸リチウムなどの電気光学効果を有する材料で作られている。基板１にはＴｉ拡散法などによって光導波路２が形成されており、２つのＹ分岐４によって、光導波路２が分離／結合されている。基板１には、さらに金属によって電極３が形成されている。
第５図において、電極３に電圧が印加されると、光導波路２を間に含むそれぞれの電極３間に電界が生じ、基板１の電気光学効果により、光導波路２の屈折率が変化する。この屈折率の変化が、光導波路２の２つの経路に、光の速度差を生じさせる。そして、この光の速度差が光の位相差を作りだし、Ｙ分岐４で合波される光の強度を変化させる。このように、印加する電圧の値によって、Ｙ分岐４で取り出される合波出力光の強度を変化させることができる。したがって、送信するデータ０、１に対応して異なる適当な電圧の値を設定し、この電圧を電極３に印加することにより、入力データによって光の強度が変化する光の強度変調器として動作させることができる。
この光変調器は、小さい電圧値でも動作するが、変調効率のよい光変調器を得るためには、電極３に電圧を印加したときに生じる電界が、光導波路２をできるだけ効率よく横切るようにし、基板１の電気光学効果を効果的に引き出すことが必要である。
ところで、電極３に入力するデータが高速に変化し、ビットレートが大きいマイクロ波領域になると、光が光導波路２を通過するのに要する時間が無視できなくなる。このような高ビットレートの場合には、電極３を進行波型にし、電極３を伝搬するマイクロ波の速度と光導波路２を伝搬する光の速度とを一致させる、いわゆる速度整合が必要になる。
一般的に、基板１に使用するニオブ酸リチウムなどの材料では、光に対する誘電率とマイクロ波に対する誘電率の値が大きく異なっており、光に対する誘電率よりもマイクロ波に対する誘電率の値が大きい。このため、通常ではマイクロ波の速度は光の速度に対して遅くなり、速度整合がとれない状態になっている。
第６図は、第５図に示す従来の光変調器のＡ−Ａ’線の断面図である。第６図から分かるように、電極３の厚さを非常に厚くしているが、この理由はつぎのとおりである。同図の矢印が示すように、電極３間に生じる電界の一部を基板１の中を通過させる一方で、電界の多くを空気中に洩漏させることにより、マイクロ波の実効誘電率を低くし、マイクロ波の速度が光の速度よりも速くなる現象を利用し、マイクロ波の速度と光の速度との速度整合をとるようにしているからである。
しかしながら、電界の多くを空気中に漏洩させることは、基板１を通過させ、光導波路２を横切る電界を少なくさせることであり、その分変調効率を大きく劣化させる原因を生じさせていることを意味する。
このように、従来の光変調器では、高速に動作させるためは速度整合をとる必要があり、その結果、光導波路を通過する電界が少なくなり、光変調器の変調効率が劣化するという欠点があった。
したがって、この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、高速で動作する場合であっても、変調効率の劣化を局限した光変調器を提供することを目的としている。
発明の開示
この発明にかかる光変調器は、電気光学効果を有する基板と、光を伝搬させるための前記基板に設けた光導波路と、前記基板に設けた進行波型の電極とを備える光変調器において、前記電極を伝搬するマイクロ波の進行速度が前記導波路を伝搬する光の進行速度よりも遅い第１の領域と、前記電極を伝搬するマイクロ波の進行速度が前記導波路を伝搬する光の進行速度よりも速い第２の領域とを備え、前記第１の領域と前記第２の領域との全体でのマイクロ波の進行速度の平均値を、前記光導波路を伝搬する光の速度と概一致させることを特徴とする。
この発明によれば、第１の領域では、電極を伝搬するマイクロ波の進行速度が導波路を伝搬する光の進行速度よりも遅くなり、第２の領域では、電極を伝搬するマイクロ波の進行速度が導波路を伝搬する光の進行速度よりも速くなるので、領域全体としてマイクロ波と光の速度との速度整合がとられ、高ビットレートの入力データにも追随できる光変調器を得ることができるという効果を奏する。
つぎの発明にかかる光変調器は、上記の発明において、前記第１の領域と前記第２の領域とが複数交互に並んでいることを特徴とする。
つぎの発明によれば、第１の領域と第２の領域とを複数交互に並べることで、マイクロ波の速度と光の速度との局所的なずれが各領域で大きくならないうちに領域を切り換えることができるので、領域全体としてマイクロ波と光の速度の速度整合がとられ、高ビットレートの入力データにも追随できる光変調器を得ることができるという効果を奏する。
つぎの発明にかかる光変調器は、上記の発明において、前記第１の領域における電極の厚さが、前記第２の領域における電極の厚さよりも薄いことを特徴とする。
この発明によれば、第１の領域ではマイクロ波の速度が光より遅く、第２の領域ではマイクロ波の速度が光より速くなり、領域全体で速度整合をとることができるとともに、第１の領域での変調効率を非常に大きくすることができるので、全体として、より低電圧で動作しかつ変調効率のよい光変調器を得ることができるという効果を奏する。
つぎの発明にかかる光変調器は、上記の発明において、前記第１の領域における電極の厚さが、前記第２の領域における電極の厚さよりも薄いことを特徴とする。
この発明によれば、第１の領域ではマイクロ波の速度が光より遅く、第２の領域ではマイクロ波の速度が光より速くなり、領域全体で速度整合をとることができるとともに、第１の領域での変調効率を非常に大きくすることができるので、全体として、より低電圧で動作しかつ変調効率のよい光変調器を得ることができるという効果を奏する。
つぎの発明にかかる光変調器は、上記の発明において、電気光学効果により前記光導波路の屈折率を変化させ、前記光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の位相を変調することを特徴とする。
この発明によれば、電気光学効果により光導波路の屈折率を変化させ、光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の位相を変調することができるので、高速で動作し、変調効率のよい光強度変調器が得られるという効果を奏する。
つぎの発明にかかる光変調器は、上記の発明において、電気光学効果により前記光導波路の屈折率を変化させ、前記光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の位相を変調することを特徴とする。
この発明によれば、電気光学効果により光導波路の屈折率を変化させ、光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の位相を変調することができるので、高速で動作し、変調効率のよい光強度変調器が得られるという効果を奏する。
つぎの発明にかかる光変調器は、上記の発明において、電気光学効果により前記光導波路の屈折率を変化させ、前記光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の位相を変調することを特徴とする。
この発明によれば、電気光学効果により光導波路の屈折率を変化させ、光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の位相を変調することができるので、高速かつ低電圧で動作し、変調効率のよい光強度変調器が得られるという効果を奏する。
つぎの発明にかかる光変調器は、上記の発明において、電気光学効果により前記光導波路の屈折率を変化させ、前記光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の位相を変調することを特徴とする。
この発明によれば、電気光学効果により光導波路の屈折率を変化させ、光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の位相を変調することができるので、高速かつ低電圧で動作し、変調効率のよい光強度変調器が得られるという効果を奏する。
つぎの発明にかかる光変調器は、上記の発明において、前記光導波路が、途中を２つの経路に分岐させたマッハツェンダー型の導波路であり、電気光学効果により前記光導波路の屈折率を変化させ、前記２つの経路の光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の強度を変調することを特徴とする。
この発明によれば、光導波路が、途中を２つの経路に分岐させたマッハツェンダー型の導波路の屈折率を電気光学効果により変化させ、２つの経路の光導波路を伝搬する光の位相変化を利用して、出力光の強度を変調することができるので、高速かつ低電圧で動作し、変調効率のよい光強度変調器が得られるという効果を奏する。
つぎの発明にかかる光変調器は、上記の発明において、前記基板にニオブ酸リチウムを用いたことを特徴とする。
この発明によれば、ニオブ酸リチウムを用いた基板により、電極を伝搬するマイクロ波の速度と光導波路を伝搬する光の速度との大小を、効率よく切り換えることができるので、高速かつ低電圧で動作し、変調効率のよい光強度変調器が得られるという効果を奏する。
つぎの発明にかかる光変調器は、上記の発明において、前記基板にタンタル酸リチウムを用いたことを特徴とする。
この発明によれば、タンタル酸リチウムを用いた基板により、電極を伝搬するマイクロ波の速度と光導波路を伝搬する光の速度との大小を、効率よく切り換えることができるので、高速かつ低電圧で動作し、変調効率のよい光強度変調器が得られるという効果を奏する。
つぎの発明にかかる光変調器は、上記の発明において、前記基板にガリウム砒素を用いたことを特徴とする。
この発明によれば、ガリウム砒素を用いた基板により、電極を伝搬するマイクロ波の速度と光導波路を伝搬する光の速度との大小を、効率よく切り換えることができるので、高速かつ低電圧で動作し、変調効率のよい光強度変調器が得られるという効果を奏する。
発明を実施するための最良の形態
以下、添付図面を参照して、この発明にかかる光変調器の好適な実施の形態を詳細に説明する。
実施の形態１．
第１図は、この実施の形態１である光変調器の構成を模式的に示す説明図である。同図において、１は基板、２は光導波路、３は電極、４はＹ分岐、５は光入力端子、６は光出力端子、７はマイクロ波入力端子、８は終端抵抗、１１は第１の領域、１２は第２の領域をそれぞれ示している。
第１図において、基板１は電気光学効果を有するＸカットのニオブ酸リチウムを用いており、Ｔｉ拡散法によって光導波路２を形成している。光導波路２は、一方のＹ分岐４により２つの経路に分離され、他方のＹ分岐４により２つの経路が結合されている。基板１上、光導波路２が２つの経路に分かれている部分には、金属により進行波型の電極３が設けられ、この電極３の両端にはマイクロ波入力端子７および終端抵抗８が接続されている。なお、電極３の部分で、マイクロ波が伝搬する方向に沿って、構造の異なる２つの領域が存在し、これらの２つの領域をそれぞれ、第１の領域１１および第２の領域１２として示している。
第２図は、第１図における光導波路２および電極３の部分を示した断面図であり、第２図（ａ）は第１の領域１１のＡ−Ａ’線の断面図であり、第２図（ｂ）は第２の領域１２のＢ−Ｂ’線の断面図である。第２図（ａ）に示すように第１の領域１１の部分では、電極３の全体の厚さを非常に薄くしているのに対し、第２図（ｂ）に示す第２の領域１２の部分では、中央の電極３の厚さを厚くしている点に特徴がある。
第１図において、マイクロ波入力端子７を通して電極３に電圧が印加されると、電極３間に電界が生じ、基板１の電気光学効果により光導波路２の屈折率が変化する。この屈折率の変化が、光導波路２の２つの経路において、光の速度差を生じさせる。また、この光の速度差が光の位相差を作りだし、Ｙ分岐４で合波した光の強度を変化させる。このように、印加する電圧の値によって、Ｙ分岐４の合波出力光の強度を変化させることができる。したがって、送信したいデータ０、１に対応して異なる適当な電圧の値を設定し、この電圧をマイクロ波入力端子７を通して電極３に印加することにより、入力データによって光の強度が変化する光の強度変調器として動作させることができる。この動作については、第５図に示した従来の光変調器としての動作と同様のものである。しかし、第１図にかかる実施の形態１の光変調器は、従来の光変調器と異なり、上述したように、電極３の部分が、構造の異なる第１の領域１１と第２の領域１２とを備えている。
電極３間に生じる電界は、電極３の対向する面積に比例するので、第２図（ａ）に示す第１の領域１１に形成されるような薄い電極では、従来の光変調器に比べ、同図の矢印で示すように、空気中へ漏洩する電界が少なく、その一方で、基板１の中を通過する電界、すなわち、光導波路２を横切る電界が多くなる。
このため、電極３に印加する電圧が低い場合でも、光導波路２を横切る電界が多くなり基板１の電気光学効果を効率よく引き出すことができる。したがって光変調器の変調効率を極めて大きくすることができる。ただし、空気中に漏洩する電界が少なく、マイクロ波の実効誘電率は大きくなるため、マイクロ波の速度は光の速度よりも小さく、速度整合はとれていない。しかし、速度整合にとらわれずに電極３の形状を最適に設計できるため、従来の光変調器に比べ極めて大きな変調効率を得ることができる。
一方、第２図（ｂ）に示す第２の領域１２では、中央部の電極３の厚さを非常に厚くしているので、第２図（ａ）に比して、空気中に漏洩する電界が多くなっている。逆に、基板１を通る電界は少ない。このため、マイクロ波の実効誘電率は小さくなる。ところで、光の電界は、ほとんどが光導波路２および基板１の内部に閉じ込められているので、光の速度に関しては、第１の領域１１の部分でも、第２の領域１２の部分でもあまり大きくは変化しない。一方、第２の領域１２の部分では、第１の領域１１とは逆に、マイクロ波の実効誘電率が小さくなるため、電極３を伝搬するマイクロ波の速度が光導波路２を伝搬する光の速度よりも速くなる。
このように、第１の領域１１では、電極３を伝搬するマイクロ波の速度は光より遅く、光に対して徐々に遅れていく。一方、第２の領域１２ではマイクロ波の速度は光より速く、光に対して徐々に進んでいく。その結果、第１の領域１１と第２の領域１２の部分を合わせて通過したときのマイクロ波の平均の速度は、光の速度と概ね一致するようになっている。
つまり、第１の領域１１、第２の領域１２それぞれにおいて、マイクロ波と光の速度は一致していないが、全体としてマイクロ波と光の速度が概ね一致し、擬似速度整合がとられているため、従来の速度整合をとった光変調器と同様に高いビットレートの入力データにも対応できる高速な動作が可能となる。さらに、第１の領域１１の部分では変調効率を非常に大きくすることができるため、全体として、従来の光変調器と比較して、より低電圧で動作し、かつ、変調効率のよい光変調器を得ることができる。
なお、例えば、光変調器の全体の長さを長くしたい場合、第１の領域１１または第２の領域１２の長さをあまり長くすると、マイクロ波と光の速度のずれが局所的に大きくなり、速度整合の効率が劣化する。このため、第１の領域１１と第２の領域１２の長さをそれぞれ短くし、これらを交互に並べる構成とすることにより、全体の長さが長くても効率のよい速度整合を可能とする光変調器を得ることができる。
以上のように、この実施の形態１では、第１の領域１１と第２の領域１２とで、電極３の部分を異なる構造とすることにより、高速で動作し、変調効率のよい光強度変調器が得られるという効果がある。
なお、上述した実施の形態１では、基板１としてＸカットのニオブ酸リチウムを用いた場合について説明したが、Ｚカットのニオブ酸リチウムを用いてもよい。この場合良く知られているように光導波路２や電極３等の構造を若干変化させる必要があるが、この実施の形態１と同様な効果が得られる。また、ニオブ酸リチウム以外にタンタル酸リチウムやガリウム砒素等、電気光学効果を有する他の材料を基板１として用いることもでき、この場合も同様の効果を得ることができる。
また、実施の形態１では、Ｔｉ拡散法によって製作した光導波路２を有する光変調器を例示したが、これに限定されるものではなく、Ｍｇ拡散法やプロトン交換法など種々の製造法により製作した光導波路２を用いても同様の効果が得られる。
さらに、実施の形態１では、電極の厚さを変化させることにより第１の領域１１と第２の領域１２のマイクロ波の速度を変化させる構成について示したが、これに限定されるものでもなく、例えば中央の電極と外側の電極との間隔、導波路の厚み等のパラメータを調整し、空気中に漏洩する電界と基板を通過する電界の比を可変することにより速度を変化させてもよく、この場合も同様の効果が得られる。
実施の形態２．
第３図は、この実施の形態２である光変調器の構成を模式的に示す説明図である。同図において、１は基板、２は光導波路、３は電極、５は光入力端子、６は光出力端子、７はマイクロ波入力端子、８は終端抵抗、１１は第１の領域、１２は第２の領域をそれぞれ示している。第１図と比較して、単一の導波路を有する構造であり、Ｙ分岐を用いていない点が相違している。
第３図において、基板１は電気光学効果を有するＸカットのニオブ酸リチウムを用いており、Ｔｉ拡散法によって光導波路２を形成している。また、金属により進行波型の電極３が設けられ、この電極３の両端にはマイクロ波入力端子７および終端抵抗８が接続されている。なお、電極３の部分で、マイクロ波の伝搬方向に沿って、構造の異なる２つの領域が存在し、これらの２つの領域をそれぞれ、第１の領域１１および第２の領域１２としている。
第４図は、第３図における光導波路２および電極３の部分を示した断面図であり、第４図（ａ）は第１の領域１１のＡ−Ａ’線の断面図であり、第４図（ｂ）は第２の領域１２のＢ−Ｂ’線の断面図である。第４図（ａ）に示す第１の領域１１の部分では、電極３の厚さを非常に薄くし、第４図（ｂ）に示す第２の領域１２の部分では、中央の電極３の厚さを厚くしている点は、それぞれ、第２図（ａ）および第２図（ｂ）と同じ特徴を有している。
第３図において、マイクロ波入力端子７を通して電極３に電圧が印加されると、電極３間に電界が生じ、基板１の電気光学効果により、光導波路２の屈折率が変化する。この屈折率の変化が、光導波路２を伝搬する光の速度が変化し、光の位相に変化を生じさせる。したがって、送信したいデータ０、１に対応して異なる適当な電圧の値を対応させ、この電圧をマイクロ波入力端子７を通して電極３に印加することにより、入力データによって光の位相が変化する光の位相変調器として動作させることができる。
実施の形態１においても説明したように、電極３間に生じる電界は、電極３の対向する面積に比例するので、第４図（ａ）の第１の領域１１に示すような薄い電極では、同図の矢印で示すように、空気中へ漏洩する電界が少なく、その一方で、基板１の中を通過する電界、すなわち、光導波路２を横切る電界が多くなる。このため、電極３に印加する電圧が低い場合でも、光導波路２を横切る電界が多くなり基板１の電気光学効果を効率よく引き出すことができ、光変調器の変調効率を極めて大きくすることができる。ただし、空気中に漏洩する電界が少なく、マイクロ波の実効誘電率は大きくなるため、マイクロ波の速度は光の速度よりも小さく、速度整合はとれていない。しかし、速度整合にとらわれずに電極３の形状を最適に設計できるため、従来の光変調器に比べ極めて大きな変調効率を得ることができる。
一方、第４図（ｂ）に示す第２の領域１２では、電極３の厚さを非常に厚くしているので、第４図（ａ）に比して、空気中に漏洩する電界が多くなっており、その反面、基板１を通る電界が少なくなっている。このため、マイクロ波の実効誘電率は小さくなる。ところで、光の電界は、ほとんどが光導波路２および基板１の内部に閉じ込められているので、光の速度に関しては、第１の領域１１の部分でも、第２の領域１２の部分でもあまり大きくは変化しない。一方、第２の領域１２の部分では、第１の領域１１とは逆に、マイクロ波の実効誘電率が小さくなるため、電極３を伝搬するマイクロ波の速度が光導波路２を伝搬する光の速度よりも速くなる。
このように第１の領域１１では、電極３を伝搬するマイクロ波の速度は光より遅く、光に対して徐々に遅れていく。しかし、第２の領域１２ではマイクロ波の速度は光より速く、光に対して徐々に進んでいく。そして、第１の領域１１と第２の領域１２の部分を合わせて通過したときのマイクロ波の平均の速度が、光の速度と概ね一致するようになっている。
つまり、第１の領域１１、第２の領域１２それぞれにおいては、マイクロ波と光の速度は一致していないが、全体としてマイクロ波と光の速度が概ね一致している擬似速度整合がとられているため、実施の形態１の光変調器と同様に、高いビットレートの入力データにも対応できる高速な動作が可能である。さらに、第１の領域１１の部分では変調効率を非常に大きくすることができるため、全体として、従来の光変調器と比較して、より低電圧で動作し、かつ、変調効率のよい光変調器を得ることができる。
なお、例えば、光変調器の全体の長さを長くしたい場合、第１の領域１１と第２の領域１２の長さをあまり長くすると、マイクロ波と光の速度のずれが局所的に大きくなり、速度整合の効率が劣化する。このため、第１の領域１１と第２の領域１２の長さそれぞれを短くし、これらを交互に並べる構成とすることにより、全体の長さが長くても効率のよい速度整合を可能とする光変調器を得ることができる。
以上のように、この発明にかかる実施の形態２では、第１の領域１１と第２の領域１２とで、電極３の部分を異なる構造とすることにより、高速で動作し、変調効率のよい光位相変調器が得られるという効果がある。
なお、実施の形態２においても、基板１として、Ｚカットのニオブ酸リチウムや他の電気光学効果を有する材料を用いてもよく、この場合にも同様の効果を得ることができる。
また、実施の形態２では、Ｔｉ拡散法によって製作した光導波路２を有する光変調器を例示したが、これに限定されるものではなく、Ｍｇ拡散法やプロトン交換法など種々の製造法により製作した光導波路２を用いても同様の効果が得られる。
さらに、実施の形態１では、電極の厚さを変化させることにより第１の領域１１と第２の領域１２のマイクロ波の速度を変化させる構成について示したが、これに限定されるものでもなく、例えば中央の電極と外側の電極との間隔、導波路の厚み等のパラメータを調整し、空気中に漏洩する電界と基板を通過する電界の比を可変することにより速度を変化させてもよく、この場合も同様の効果が得られる。
産業上の利用可能性
以上のように、この発明にかかる光変調器は、ビットレートが大きく、入力データが高速に変化するようなデータ通信を実現するための光変調器を必要とする高速光通信の分野に適している。
【図面の簡単な説明】
第１図は、この実施の形態１である光変調器の構成を模式的に示す説明図であり、第２図（ａ）は第１の領域１１のＡ−Ａ’線の断面図であり、第２図（ｂ）は第２の領域１２のＢ−Ｂ’線の断面図であり、第３図は、この実施の形態２である光変調器の構成を模式的に示す説明図であり、第４図（ａ）は第１の領域１１のＡ−Ａ’線の断面図であり、第４図（ｂ）は第２の領域１２のＢ−Ｂ’線の断面図であり、第５図は、１９９３年電子情報通信学会春季大会講演論文集Ｃ−２１４に記載された従来の光変調器を示す図であり、第６図は、第５図に示す従来の光変調器のＡ−Ａ’線の断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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