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　特願２００８−　１３９６８「スペックル低減レーザー及びそれを採用したレーザーディスプレイ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年　８月１４日出願公開、特開２００８−１８７１７５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯・本願発明
　本願は、平成２０年１月２４日（パリ条約による優先権主張２００７年１月２６日、大韓民国）の出願であって、平成２３年２月２日付けで手続補正がなされたところ、同年９月２６日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２４年２月３日に拒絶査定不服審判請求がなされると同時に手続補正がなされ、その後、当審において同年１０月２６日付けで拒絶理由が通知され、平成２５年１月３０日付けで手続補正がなされたものである。
　
　そして、本願の請求項に係る発明は、平成２５年１月３０日付け手続補正後の明細書、特許請求の範囲及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された事項によって特定されるものと認められるところ、その請求項１に係る発明は次のものである。
　
「スクリーンにレーザー光を走査して画像を表示するレーザーディスプレイ装置であって、
　活性層から放射される光を共振させることによって第１側面からレーザー光を放射する半導体部と、前記第１側面と対向する第２側面に対向して配置され、前記第２側面に対し垂直方向に振動して前記レーザー光を反射させるミラーを有する振動ミラー部と、を有し、前記レーザー光は、前記第１側面と前記ミラーとの間の共振により発生し、前記レーザー光の共振のモードは、前記ミラーの振動によって変動するスペックル低減レーザーを有するレーザー照明系を備え、前記振動ミラー部の振動周波数は、前記レーザーディスプレイ装置により表示される画像の画素周波数より大きいか、または同じであり、
　前記レーザー照明系から照射されるレーザー光を前記スクリーンに走査して画像を形成する走査システムをさらに備え、
　前記走査システムは、前記レーザー照明系からのビームを水平及び垂直方向に走査する２次元光スキャナーを備え、
　前記レーザー光の共振のモードの周波数スペクトルの変動幅は、前記変動前の前記共振のモードにおける周波数スペクトル間の間隔と同じであるか、またはそれより狭いことを特徴とするレーザーディスプレイ装置。」（以下「本願発明」という。）
　
　
２　引用刊行物の記載事項
（１）引用刊行物１
　当審において通知した拒絶の理由に引用した、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００６−７２３１９号公報（以下「引用刊行物１」という。）には、図とともに下記の事項が記載されている。
　
　ア　「【０００１】
  本発明は、レーザ光をスクリーン上で走査することによって画像を表示する背面投射型のプロジェクタに関するものである。」
　
　イ　「【００１５】
［第１の実施の形態］
  図１は、本発明の第１の実施の形態に係るプロジェクタの構成を示す模式図である。本実施形態のプロジェクタ１００は、レーザ光を射出する光源１０１、コリメート光学系１０４とビーム整形光学系１０５とを含むレンズ光学系１０３、入射されたレーザ光を２次元方向に走査するスキャナ１０６、走査された光を拡大投射する投射レンズ１０８、投射された光をスクリーン１２０に向けて反射する反射ミラー１０９によって概略構成されている。このプロジェクタ１００では、光源１０１、レンズ光学系１０３、スキャナ１０６、投射レンズ１０８、反射ミラー１０９は、スクリーン１２０を備えた筐体１１０の内部に収容されており、筐体１１０内を走らせたレーザ光をスクリーン１２０上に走査することによって画像が表示されるようになっている。
【００１６】
  …
  光源１０１は、赤色のレーザ光を射出する赤色レーザダイオード１０２Ｒ、緑色のレーザ光を射出する緑色レーザダイオード１０２Ｇ、青色のレーザ光を射出する青色レーザダイオード１０２Ｂの３種類のレーザダイオードからなる。これらのレーザダイオード１０２Ｒ，１０２Ｇ，１０２Ｂは、制御部１０７からの画像信号に応じて変調された強度のレーザ光を出力する。光源１０１から射出されたレーザ光は、コリメート光学系１０４及びビーム整形光学系１０５からなるレンズ光学系１０３に入射する。レンズ光学系１０３は、光源１０１から射出された各色のレーザ光を、指向性の高い略平行な光に整形する。レンズ光学系１０３で整形された各色のレーザ光は、スキャナ１０６に入射する。スキャナ１０６は、入射された各色のレーザ光を２次元方向にスキャン（走査）することによって画像を形成するデバイスである。スキャナ１０６の動作は、制御部１０７によって、各色の画像信号に応じて制御されている。スキャナ１０６から射出された各色のレーザ光は拡大光学系である投射レンズ１０８に入射され、ここで拡大された後、スクリーン１２０に対向して設けられている反射ミラー１０９に入射する。そして、反射ミラー１０９に入射した各色のレーザ光はスクリーン１２０に向けて反射され、スクリーン１２０を透過して観察者に視認される。」
　
　ウ　「【００２０】
　…
  図２は、スクリーン１２０の断面構造を示す模式図である。
  図２（ａ）に示すように、スクリーン１２０は、視野角特性の向上やスペックルの低減を図るため、高拡散性の拡散層１２１を包含している。特に本実施形態では光源１０１が直進性及び可干渉性が高いレーザ光源であるため、強力な拡散性が必要であり、リアプロジェクタで一般的なマイクロレンズアレイを用いた程度の光拡散機構では足りない。そのため、かなり分厚いミー散乱層等を包含している。…」
　
　エ　「【００２３】
　…
  スキャナ１０６は、Ｒ，Ｇ，Ｂそれぞれのレーザ光を２次元方向にスキャンし、それぞれスクリーン上に照射されるレーザスポットをスクリーン上にスキャンさせることによって映像を形成するためのデバイスである。水平方向のスキャンと垂直方向のスキャンを１つのデバイスで行ってもよいし（即ち、１つのスキャナデバイスで２軸スキャンをする）、水平方向と垂直方向のスキャンを別々のデバイスで行ってもよい。本実施形態では、２軸スキャンできるシリコン製のＭＥＭＳスキャナを用いる。
【００２４】
  図５は、スキャナ１０６の一例を示す模式図である。
  図５（ａ）に示すように、スキャナ１０６は、略矩形枠状に設けられた枠体１４１と、この枠体１４１の内側に設けられた反射ミラー部１４２によって概略構成されている。枠体１４１の対向する一対の辺の中央位置には、内側に向かう第１の回動軸１４３が設けられており、これと直交する一対の辺の中央位置には、外側に向かう第２の回動軸１４４が設けられている。第１の回動軸１４３の内側端部には、枠体１４１の内側に位置する反射ミラー部１４２につながっており、反射ミラー部１４２は、これら第１の回動軸１４３及び第２の回動軸１４４を中心として２軸方向に回動可能に構成されている。」
　
　上記ア、イ及びエの記載を総合すると、引用刊行物１には、次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。
　
「レーザ光を射出する光源１０１、コリメート光学系１０４とビーム整形光学系１０５とを含むレンズ光学系１０３、入射されたレーザ光を２次元方向に走査するスキャナ１０６、走査された光を拡大投射する投射レンズ１０８、投射された光をスクリーン１２０に向けて反射する反射ミラー１０９によって概略構成されており、光源１０１、レンズ光学系１０３、スキャナ１０６、投射レンズ１０８、反射ミラー１０９は、スクリーン１２０を備えた筐体１１０の内部に収容され、筐体１１０内を走らせたレーザ光をスクリーン１２０上に走査することによって画像が表示されるようになっているプロジェクタ１００であって、
　光源１０１は、赤色のレーザ光を射出する赤色レーザダイオード１０２Ｒ、緑色のレーザ光を射出する緑色レーザダイオード１０２Ｇ、青色のレーザ光を射出する青色レーザダイオード１０２Ｂの３種類のレーザダイオードからなり、光源１０１から射出されたレーザ光は、コリメート光学系１０４及びビーム整形光学系１０５からなるレンズ光学系１０３に入射し、レンズ光学系１０３で整形された各色のレーザ光は、スキャナ１０６に入射し、スキャナ１０６は、入射された各色のレーザ光を２次元方向にスキャン（走査）することによって画像を形成するデバイスであり、スキャナ１０６から射出された各色のレーザ光は拡大光学系である投射レンズ１０８に入射され、ここで拡大された後、スクリーン１２０に対向して設けられている反射ミラー１０９に入射し、反射ミラー１０９に入射した各色のレーザ光はスクリーン１２０に向けて反射され、スクリーン１２０を透過して観察者に視認され、
　スキャナ１０６は、略矩形枠状に設けられた枠体１４１と、この枠体１４１の内側に設けられた反射ミラー部１４２によって概略構成されており、枠体１４１の対向する一対の辺の中央位置には、内側に向かう第１の回動軸１４３が設けられており、これと直交する一対の辺の中央位置には、外側に向かう第２の回動軸１４４が設けられており、第１の回動軸１４３の内側端部には、枠体１４１の内側に位置する反射ミラー部１４２につながっており、反射ミラー部１４２は、これら第１の回動軸１４３及び第２の回動軸１４４を中心として２軸方向に回動可能に構成されている、プロジェクタ１００。」
　
（２）引用刊行物２
　同じく、特開平１１−２５１６８１号公報（以下「引用刊行物２」という。）には、図とともに下記の事項が記載されている。
　
　ア　「【特許請求の範囲】
【請求項１】基台上に一体に形成された二つの共振器端面を有する半導体レーザと、
前記半導体レーザの一方端面から所定の距離離間した前記基台上の所定の位置に設けられた、前記半導体レーザの一方の端面と略平行な反射面を有する少なくとも一の外部ミラーと、
前記外部ミラーを前記半導体レーザの共振器長方向に略平行な方向に所定の周波数で振動させる振動手段とを有する半導体レーザ装置。
…
【請求項４】前記振動手段による振動の振幅は、レーザの有する波長の約半分である請求項１に記載の半導体レーザ装置。
…」
　
　イ　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体レーザ装置に関する。」
　
　ウ　「【０００２】
【従来の技術】半導体レーザは、たとえばガスレーザ、発光ダイオード等の他の光出力装置と比較して、寸法が小さく、軽量であり、寿命が長く、動作電圧および動作電流が低く、高効率、高輝度である等の特徴を有する。このような半導体レーザは、たとえば、多モード光ファイバ伝送系や、ディスプレイ装置や、種々の光計測装置への利用が図られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体レーザは、時間的および空間的コヒーレンスが高すぎるためスペックルノイズが多く、上述の多モード光ファイバ伝送系や、ディスプレイ装置や、種々の光計測装置への利用が難しい。
…
【０００６】本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであって、スペックルノイズが大幅に低減され、かつ小型化され、動作が安定した半導体レーザ装置を提供することを目的とする。」
　
　エ　「【００１１】
…
図１は、本発明の半導体レーザ装置の一実施形態を示す斜視図である。図１に示す半導体レーザ装置は、マウント基台１と、マウント基台１上に一体に形成された半導体レーザ２と、マウント基台１上に半導体レーザ２の一端面２ａに略平行に距離Ｓをおいて設けられた外部ミラー４と、図示しない振動手段とを有する。
【００１２】半導体レーザ２は、たとえば、波長０．８μｍで発振するＡｌＧａＡｓ系からなるストライプ構造の半導体レーザであり、一方の端面２ａおよび他方の端面２ｂからレーザ光Ｌを出射する。半導体レーザ２の一方の端面２ａはノンコート状態にあり、半導体レーザ２の共振器長は約２５０μｍである。また、半導体レーザ２の他方の端面は、所定の反射率のへき開反射面となっている。
【００１３】外部ミラー４は、半導体レーザ２の一方の端面２ａから距離Ｓの位置に端面２ａに略平行に配置される。距離Ｓは、好ましくは、１０μｍの範囲内の何れかの値とするが、本実施形態では約２μｍとした。外部ミラー４は、半導体レーザ２の一方の端面２ａ側に反射面４ａが形成されており、反射面４ａは半導体レーザ２の一方の端面２ａから出射されるレーザ光Ｌを反射して、半導体レーザ２の活性層に入射する。…
【００１４】図示しない振動手段は、外部ミラー４を微小な振幅Ａ０，所定の周波数ｆ１で、半導体レーザのレーザストライプ２ｃと略平行な方向(矢印Ｂ１およびＢ２の方向) に振動させる。なお、振動手段については後述する。外部ミラー４の振動振幅Ａ０は、たとえば、レーザ光Ｌの波長の半分程度の±０．４μｍ〜±０．５μｍ程度とする。また駆動する周波数ｆ１は、特に限定されないが、１００ｋＨｚ以上とすることができる。
【００１５】上記構成の半導体レーザ装置では、半導体レーザ２から外部ミラー４に向けて出射されたレーザ光Ｌは、外部ミラー４の反射面４ａに入射する。外部ミラー４は、周波数ｆ１、振幅Ａ０で振動しているため、半導体レーザ２の端面２ａと外部ミラー４の反射面４ａとの距離Ｓは変化する。したがって、外部ミラー４の反射面４ａによって反射されて半導体レーザ２の活性層に戻る光の光量と位相は、周波数ｆ１で周期的に変化する。したがって、半導体レーザ２の他方の端面２ｂと外部ミラー４の反射面４ａとの間で発振する発振波長は大きく変化することになる。発振波長の変化量は、半導体レーザの構造にもよるが、本実施形態では、たとえば、約５０ｎｍ以上の幅で変化する。…
【００１６】本実施形態では、発振波長が変化する結果、半導体レーザ２の端面２ｂから出力されるレーザ光Ｌの時間的コヒーレンスを大幅に低減することが可能となり、周波数ｆ１よりも低い周波数帯域でのスペックルノズルを大幅に抑制することが可能となる。
…
【００１８】さらに、本実施形態では、半導体レーザ２の一方の端面２ａに近接する位置に外部ミラー４を配置して振動させるため、レーザ光の波長程度の微小振幅変調でもスペックルノイズを十分抑制できるレーザ波長変化が得られる。
【００１９】また、本実施形態に係る半導体レーザ装置は、波長約０．６３５μｍの赤色半導体レーザ、波長約０．５２５μｍの緑色半導体レーザ、波長約０．４７μｍの青色半導体レーザに対しても適用可能であり、たとえば、スペックルが実質上見えないフルカラーレーザディスプレイ装置への適用が可能である。」
　
　上記の記載を総合すると、引用刊行物２には、次の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されていると認められる。
　
「基台上に一体に形成された二つの共振器端面を有する半導体レーザと、前記半導体レーザの一方端面から所定の距離離間した前記基台上の所定の位置に設けられた、前記半導体レーザの一方の端面と略平行な反射面を有する少なくとも一の外部ミラーと、前記外部ミラーを前記半導体レーザの共振器長方向に略平行な方向に所定の周波数で振動させる振動手段とを有し、前記振動手段による振動の振幅は、レーザの有する波長の約半分であり、スペックルノイズが大幅に低減される、半導体レーザ装置。」
　
　
３　対比
　本願発明と引用発明１を対比する。
　
（１）引用発明１の「（赤色のレーザ光を射出する赤色レーザダイオード１０２Ｒ、緑色のレーザ光を射出する緑色レーザダイオード１０２Ｇ、青色のレーザ光を射出する青色レーザダイオード１０２Ｂの３種類のレーザダイオードからなる）光源１０１」は、それぞれ活性層を有し、該活性層から放射される光を、レーザー光を放射する一側面と、対向する他の反射面との間で共振させることにより、その一側面からレーザー光を放射する半導体部を有するものといえることは明らかであるから、引用発明１の「光源１０１」と、本願発明の「（活性層から放射される光を共振させることによって第１側面からレーザー光を放射する半導体部と、前記第１側面と対向する第２側面に対向して配置され、前記第２側面に対し垂直方向に振動して前記レーザー光を反射させるミラーを有する振動ミラー部と、を有し、前記レーザー光は、前記第１側面と前記ミラーとの間の共振により発生し、前記レーザー光の共振のモードは、前記ミラーの振動によって変動するスペックル低減レーザーを有する）レーザー照明系」とは、「（活性層から放射される光を共振させることによって第１側面からレーザー光を放射する半導体部を有し、前記レーザー光は、前記第１側面と、対向する他の反射面との間の共振により発生する）レーザー照明系」である点で一致する。
　
（２）引用発明１は、「光源１０１から射出されたレーザ光は、…レンズ光学系１０３に入射し、…スキャナ１０６に入射し、スキャナ１０６は、入射された各色のレーザ光を２次元方向にスキャン（走査）することによって画像を形成するデバイスであり、スキャナ１０６から射出された各色のレーザ光は…投射レンズ１０８に入射され、…反射ミラー１０９に入射し、…スクリーン１２０に向けて反射され、スクリーン１２０を透過して観察者に視認され」るものであり、「スキャナ１０６は、略矩形枠状に設けられた枠体１４１と、この枠体１４１の内側に設けられた反射ミラー部１４２によって概略構成されており、枠体１４１の対向する一対の辺の中央位置には、内側に向かう第１の回動軸１４３が設けられており、これと直交する一対の辺の中央位置には、外側に向かう第２の回動軸１４４が設けられており、第１の回動軸１４３の内側端部には、枠体１４１の内側に位置する反射ミラー部１４２につながっており、反射ミラー部１４２は、これら第１の回動軸１４３及び第２の回動軸１４４を中心として２軸方向に回動可能に構成されている」から、
　ア　引用発明１の「スキャナ１０６」は、本願発明の「（前記レーザー照明系から照射されるレーザー光を前記スクリーンに走査して画像を形成する）走査システム」に相当し、
　イ　引用発明１は、本願発明の「前記レーザー照明系から照射されるレーザー光を前記スクリーンに走査して画像を形成する走査システムをさらに備え、前記走査システムは、前記レーザー照明系からのビームを水平及び垂直方向に走査する２次元光スキャナーを備え」との事項を備える。
　
（３）引用発明１の「（レーザ光をスクリーン１２０上に走査することによって画像が表示されるようになっている）プロジェクタ１００」は、本願発明の「（スクリーンにレーザー光を走査して画像を表示する）レーザーディスプレイ装置」に相当する。
　
　よって、本願発明と引用発明１とは、
「スクリーンにレーザー光を走査して画像を表示するレーザーディスプレイ装置であって、
　活性層から放射される光を共振させることによって第１側面からレーザー光を放射する半導体部を有し、前記レーザー光は、前記第１側面と、対向する他の反射面との間の共振により発生するレーザー照明系を備え、
　前記レーザー照明系から照射されるレーザー光を前記スクリーンに走査して画像を形成する走査システムをさらに備え、
　前記走査システムは、前記レーザー照明系からのビームを水平及び垂直方向に走査する２次元光スキャナーを備える、レーザーディスプレイ装置。」
の点で一致し、以下の点で相違するものと認められる。  
 　  
　本願発明では、レーザー照明系が、（レーザー光を放射する）第１側面と対向する第２側面に対向して配置され、前記第２側面に対し垂直方向に振動して前記レーザー光を反射させるミラーを有する振動ミラー部を有し、レーザー光は、前記第１側面と前記ミラーとの間の共振により発生し、前記レーザー光の共振のモードは、前記ミラーの振動によって変動するスペックル低減レーザーを有するものであり、前記振動ミラー部の振動周波数は、前記レーザーディスプレイ装置により表示される画像の画素周波数より大きいか、または同じであり、また、前記レーザー光の共振のモードの周波数スペクトルの変動幅は、前記変動前の前記共振のモードにおける周波数スペクトル間の間隔と同じであるか、またはそれより狭いのに対し、引用発明１では、レーザー照明系が、そのような振動ミラー部を備えていない点（以下「相違点」という。）。
　
　
４　判断
　上記相違点につき検討する。
　引用刊行物１には、「…スクリーン１２０には、視野角特性の向上やスペックルの低減を図るため、高拡散性の拡散層１２１を包含している。特に本実施形態では光源１０１が直進性及び可干渉性が高いレーザ光源であるため、強力な拡散性が必要であり、…」との記載があり（【００２０】、上記２（１）ウ参照。）、「（スクリーン１２０を備え、可干渉性が高いレーザ光源を用いる）プロジェクタ１００」において、スペックルの低減を図るべきことが示唆されている。しかるところ、上記２（２）によれば、引用刊行物２には、「基台上に一体に形成された二つの共振器端面を有する半導体レーザと、前記半導体レーザの一方端面から所定の距離離間した前記基台上の所定の位置に設けられた、前記半導体レーザの一方の端面と略平行な反射面を有する少なくとも一の外部ミラーと、前記外部ミラーを前記半導体レーザの共振器長方向に略平行な方向に所定の周波数で振動させる振動手段とを有し、前記振動手段による振動の振幅は、レーザの有する波長の約半分であり、スペックルノイズが大幅に低減される、半導体レーザ装置。」の発明（引用発明２）が記載されているから、引用発明１の「プロジェクタ１００」において、そのスペックルの低減を図るために、上記引用発明２を適用し、各色レーザダイオードからなる光源として、当該レーザダイオードの一方の端面と略平行な反射面を有し、該レーザダイオードの共振器長方向に略平行な方向に所定の周波数で振動し、かつ、その振動の振幅がレーザの有する波長の約半分である外部ミラーを備えたものを用いることは、当業者が容易になし得たことである。そして、その際、当該外部ミラー（を振動させる振動手段）の振動周波数を、プロジェクタ１００により表示される画像の画素周波数に比べてどの程度のものとするかは、当業者がレーザダイオードの光源として振動する外部ミラーを備えたものを用いる上記の「プロジェクタ１００」を実施する上で、設計上適宜に定めるべき事項であって、スペックルノイズの低減を図るべく、振動する外部ミラーの振動周波数を、上記の「プロジェクタ１００」により表示される画像の画素周波数より大きいか、または同じとすることは、当業者が必要に応じて適宜になし得ることである。
　また、引用発明２は、「振動手段による振動の振幅」が、「レーザの有する波長の約半分であ」るところ、本願明細書の【数２】（【００３５】）、
　　Δνｍ＝…＝（ｃ／λ０）（Δｌ／（ｎｃｌ０+Δｌ））
及び、【数３】（【００３９】）、
　　νｍ＝…＝（ｃ／２ｎｃｌ０）
の各式に照らして（Δνｍは共振モードの変動量、ｃは光速、Δｌは振動ミラーの振動幅、ｎｃは半導体部の屈折率、ｌ０は半導体部の縦方向長、νｍは共振モードの間隔）、振動手段（外部ミラー）の振動振幅Δｌとして、
　　Δｌ＝λ０／２（λ０はレーザ光の発振波長）
なる式を上記【数２】に代入すると、
　　Δνｍ＝（ｃ／λ０）（Δｌ／（ｎｃｌ０+Δｌ））
　　　　＝（ｃ／λ０）（（λ０／２）／（ｎｃｌ０+λ０／２））
　　　　＜（ｃ／λ０）（（λ０／２）／（ｎｃｌ０））
　　　　＝（ｃ／２ｎｃｌ０）
　　　　＝νｍ　
となる。すなわち、レーザダイオード光源として、その振動振幅がレーザの有する波長の約半分である外部ミラーを用いる上記の「プロジェクタ１００」においては、おのずとΔνｍ＜νｍとなるといえるから、上記の「プロジェクタ１００」は、本願発明の「レーザー光の共振のモードの周波数スペクトルの変動幅は、前記変動前の前記共振のモードにおける周波数スペクトル間の間隔と同じであるか、またはそれより狭い」との構成を満たすものといえる。
　以上の検討によれば、引用発明１において、引用発明２を適用して、上記相違点に係る本願発明の構成となすことは、当業者が容易になし得ることである。
　
　
５　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物１、２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。