(57)【要約】【課題】本考案は、配管への熱電対の取り付け作業が極めて容易かつ確実に行うことができるばかりではなく、一旦取り付けた熱電対がずれたりすることがなく、熱電対により、常に正確な温度が測定できることを担保する配管用熱電対取付けクリップを提供する。【解決手段】本考案は、配管にはめ込んで、配管に熱電対を取り付ける配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）であって、金属製薄板から成り、長さ方向に垂直な断面の形状が、一端に開口部（１）を有する略円形、略楕円形又は略長円形であり、かつ、該略円形、略楕円形又は略長円形をなす部分の少なくとも一部に、これら円形部分の中心方向から外方向に向かって突出する熱電対保持部分（２）を備え、かつ、上記開口部（１）を形成するこれら円形部分の両端から、これら円形部分に対して外方向に屈曲して伸びるツバ部分（３）を備える、配管用熱電対取付けクリップである。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
配管にはめ込んで、配管に熱電対を取り付ける配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）であって、金属製薄板から成り、長さ方向に垂直な断面の形状が、一端に開口部（１）を有する略円形、略楕円形又は略長円形であり、かつ、該略円形、略楕円形又は略長円形をなす部分の少なくとも一部に、これら円形部分の中心方向から外方向に向かって突出する熱電対保持部分（２）を備え、かつ、上記開口部（１）を形成するこれら円形部分の両端から、これら円形部分に対して外方向に屈曲して伸びるツバ部分（３）を備える、配管用熱電対取付けクリップ。
【請求項２】
上記熱電対保持部分（２）の内側に熱電対測温部又はその近傍が接合されている、請求項１記載の配管用熱電対取付けクリップ。
【請求項３】
上記熱電対保持部分（２）が一つ備えられている、請求項１又は２記載の配管用熱電対取付けクリップ。
【請求項４】
長さ方向に垂直な断面において、上記開口部（１）の最短内径（Ｌ１）が、該最短内径に平行な、上記円形部分の最長内径（Ｌ２）の８０〜９０％である、請求項１〜３のいずれか一つに記載の配管用熱電対取付けクリップ。
【請求項５】
長さ方向に垂直な断面において、上記開口部（１）の最短内径（Ｌ１）に平行な、上記円形部分の最長内径（Ｌ２）が３．０〜２５．０ｍｍである、請求項１〜４のいずれか一つに記載の配管用熱電対取付けクリップ。
【請求項６】
半導体装置用の、請求項１〜５のいずれか一つに記載の配管用熱電対取付けクリップ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、配管用熱電対取付けクリップに関し、更に詳しくは、熱電対、例えば、配管の加熱温度を制御するための温度調節装置に付随する熱電対を、配管に密着させて容易に取り付けることができる配管用熱電対取付けクリップに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、熱電対、例えば、配管の加熱温度を制御するための温度調節装置に付随する熱電対を取り付けるためには、通常、熱電対を配管に沿わせて、ポリアミドフィルムテープ又はアルミニウムフィルムテープ等のような高い耐熱性のある粘着テープを使用して固定していた。しかしながら、このような粘着テープでは、高い温度で比較的長い時間使用すると、粘着テープ自体が剥がれることがあり、あるいは、粘着テープ自体は剥がれなくても、熱電対測温部が測定箇所からずれることがあるために正確な温度が測定できず、その結果として、温度調節に支障をきたし、製造される製品の品質に悪影響を与えてしまうことも少なからず生じていた。
【０００３】
かかる問題を解決するために、例えば、測定対象の配管外周面に沿わせて配置される金属製薄板状のパッドと、上記パッドに測温部が固定されているシース熱電対と、  上記パッドの外側から取り付けられ、上記パッドを上記配管に固定するためのパッド固定バンドと、このパッド固定バンドを上記配管に締め付け固定する締結手段とを有していることを特徴とする表面温度計の取付構造（特許文献１）、熱電対のパット部の両脇に、同熱電対と測定対象物を締め付け固定するバンドを通す単数又は複数の切り込み部を設けたことを特徴とする熱電対（特許文献２）等が知られている。しかし、このような取付け構造では、熱電対測温部が測定箇所からずれたりすることは回避し得るが、取り付け作業が著しく面倒になるばかりではなく、かつ、例えば、半導体装置のような狭い空間に複数の異なったサイズの配管が入り込んだ装置においては、取り付けること自体が困難であり、殆ど使用不可能であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２４８３０号公報
【特許文献２】特開２０００−２０５９６７号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案は、熱電対の配管への取り付け作業が極めて容易かつ確実に行うことができるばかりではなく、一旦取り付けた熱電対（熱電対測温部）が測定箇所からずれたりすることがなく、熱電対により、常に正確な温度が測定できることを担保する配管用熱電対取付けクリップを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案者は、如何にすれば上記課題を解決し得るかについて鋭意検討を重ねた。その結果、下記所定の形状を有する配管用熱電対取付けクリップを使用すれば、配管への取付け及び取り外しがワンタッチで容易に行え、かつ、熱電対（熱電対測温部）を配管に確実に固定することができることを見出し、本考案を完成するに至った。
【０００７】
即ち、本考案は、
（１）配管にはめ込んで、配管に熱電対を取り付ける配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）であって、金属製薄板から成り、長さ方向に垂直な断面の形状が、一端に開口部（１）を有する略円形、略楕円形又は略長円形であり、かつ、該略円形、略楕円形又は略長円形をなす部分の少なくとも一部に、これら円形部分の中心方向から外方向に向かって突出する熱電対保持部分（２）を備え、かつ、上記開口部（１）を形成するこれら円形部分の両端から、これら円形部分に対して外方向に屈曲して伸びるツバ部分（３）を備える、配管用熱電対取付けクリップである。
【０００８】
好ましい態様として、
（２）上記熱電対保持部分（２）の内側に熱電対測温部又はその近傍が保持されている、上記（１）記載の配管用熱電対取付けクリップ、
（３）上記熱電対保持部分（２）の内側に熱電対測温部又はその近傍が接合されている、上記（１）記載の配管用熱電対取付けクリップ、
（４）上記熱電対保持部分（２）が一つ又は二つ備えられている、上記（１）〜（３）のいずれか一つに記載の配管用熱電対取付けクリップ、
（５）上記熱電対保持部分（２）が一つ備えられている、上記（１）〜（３）のいずれか一つに記載の配管用熱電対取付けクリップ、
（６）長さ方向に垂直な断面において、上記開口部（１）の最短内径（Ｌ１）が、該最短内径に平行な、上記円形部分の最長内径（Ｌ２）の８０〜９０％である、上記（１）〜（５）のいずれか一つに記載の配管用熱電対取付けクリップ、
（７）長さ方向に垂直な断面において、上記開口部（１）の最短内径（Ｌ１）が、該最短内径に平行な、上記円形部分の最長内径（Ｌ２）の８２〜８７％である、上記（１）〜（５）のいずれか一つに記載の配管用熱電対取付けクリップ、
（８）長さ方向に垂直な断面において、上記開口部（１）の最短内径（Ｌ１）に平行な、上記円形部分の最長内径（Ｌ２）が３．０〜２５．０ｍｍである、上記（１）〜（７）のいずれか一つに記載の配管用熱電対取付けクリップ、
（９）長さ方向に垂直な断面において、上記開口部（１）の最短内径（Ｌ１）に平行な、上記円形部分の最長内径（Ｌ２）が略１０．０ｍｍである、上記（１）〜（７）のいずれか一つに記載の配管用熱電対取付けクリップ、
（１０）半導体装置用の、上記（１）〜（９）のいずれか一つに記載の配管用熱電対取付けクリップ
を挙げることができる。
【考案の効果】
【０００９】
本考案の配管用熱電対取付けクリップは、配管に押し込んではめ込むことにより、片手でワンタッチで取り付け可能であり、かつ、ツバ部分を引き上げることにより、片手でワンタッチで取り外し可能であることから、配管への熱電対の取り付け及び取り外し作業を極めて簡便に実施することができる。このように、取り付け及び取り外しが極めて簡便であることから、熱電対による配管の温度測定位置の変更を容易に実施することもできる。加えて、本考案の配管用熱電対取付けクリップは、熱電対保持部分を備えていることから、好ましくは、熱電対測温部又はその近傍の外径と略同一の内径を有する熱電対保持部分を備えていることから、該熱電対保持部分の内側に熱電対測温部又はその近傍が効果的に保持され、好ましくは、この内側に熱電対測温部又はその近傍が接合されていることから、熱電対測温部が配管にピタリと密着して、温度測定を確実かつ正確に実施することができる。その上、クリップで配管に密着させていることから、取付け後に熱電対（熱電対測温部）が温度測定位置からずれることがなく、熱電対（熱電対測温部）を確実に保持することができ、かつ、取り付けに接着剤等を使用しないので、取り外し後に配管に不要な痕跡が残ることもない。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本考案の配管用熱電対取付けクリップの一実施態様の外観を示した斜視図である。
【図２】図２は、本考案の配管用熱電対取付けクリップの一実施態様の長さ方向に垂直な断面図である。
【図３】図３は、本考案の配管用熱電対取付けクリップの別の一実施態様の外観を示した斜視図である。
【図４】図４は、本考案の配管用熱電対取付けクリップの別の一実施態様の長さ方向に垂直な断面図である。
【図５】図５は、本考案の配管用熱電対取付けクリップにより配管に熱電対を取り付けた際の概略図である。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
本考案の配管用熱電対取付けクリップは、熱電対、例えば、配管の加熱温度を制御するための温度調節装置に付随する熱電対を、配管、好ましくは、半導体装置の配管に取り付けるために使用される。以下、本考案の配管用熱電対取付けクリップの一実施態様を、図１及び図２を参照して説明する。ここで、図１は、本考案の配管用熱電対取付けクリップの一実施態様の外観を示した斜視図であり、図２は、図１に示した本考案の配管用熱電対取付けクリップの一実施態様の長さ方向に垂直な断面図である。本考案の配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）は、金属製薄板から成る。該金属薄板としては、好ましくは、ＳＵＳ３０４製のばね用ステンレス鋼が使用され、より好ましくは、焼き入れされたものである。該金属薄板の厚さは、好ましくは０．２０〜０．６０ｍｍであり、より好ましくは０．３５〜０．４５ｍｍであり、特に好ましくは略０．４０ｍｍである。該金属薄板として、該材質及び厚さを採用することにより、該クリップ（Ａ）の取り付け及び取り外しが容易になるばかりではなく、該クリップ（Ａ）が、配管をしっかりと把持することが可能となる。
【００１２】
図２に示すように、本考案の配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）は、長さ方向に垂直な断面の形状が、一端に開口部（１）を有する略円形、略楕円形又は略長円形であり、かつ、該略円形、略楕円形又は略長円形を形成する部分の少なくとも一部に、これら円形部分の中心方向から外側方向に向かって突出する熱電対保持部分（２）を備える。熱電対保持部分（２）は、好ましくは一つ又は二つ備えられており、通常、一つ備えられている。熱電対保持部分（２）が一つ備えられている場合、熱電対保持部分（２）は上記円形部分の外周のほぼ中央部分に備えられることが好ましい。熱電対保持部分（２）には、その内側（上記円形部分の中心側）に、熱電対測温部又はその近傍が据え付けられて保持され、好ましくは、熱電対測温部又はその近傍が接合されている。該接合の方法に、特に制限はないが、好ましくは溶接により接合される。熱電対測温部又はその近傍を接合することにより、熱電対をしっかりと配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）に固定することができることから、熱電対を配管に取り付けた後に、温度測定箇所からの熱電対のずれをより効果的に防止することができる。クリップ（Ａ）の長さ方向に垂直な断面において、熱電対保持部分（２）の形状は、取り付ける熱電対の測温部又はその近傍が適度に収まるほどの形状であれば特に制限はなく、その内側内面の一部に、好ましくは半径（Ｌ４）０．３〜１．６ｍｍ、より好ましくは半径（Ｌ４）略０．８ｍｍの円弧を有するものであることが好ましい。
【００１３】
本考案の配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）は、該クリップ（Ａ）を配管にはめ込むことを可能にする開口部（１）を備える。該開口部（１）の寸法は下記の通りである。即ち、該クリップ（Ａ）の長さ方向に垂直な断面における開口部（１）の最短内径（Ｌ１）が、該最短内径（Ｌ１）に平行な、クリップ（Ａ）を構成する略円形、略楕円形又は略長円形部分の最長内径（Ｌ２）の好ましくは８０〜９０％であり、より好ましくは８２〜８７％である。開口部（１）の最短内径（Ｌ１）を上記範囲にすることにより、配管への該クリップ（Ａ）の取付け及び取り外しを円滑に実施することができる。また、クリップ（Ａ）を構成する略円形、略楕円形又は略長円形部分の最長内径（Ｌ２）は、該クリップ（Ａ）を取り付ける配管の外径に依存して決定され、好ましくは３．０〜２５．０ｍｍであり、より好ましくは８．０〜１５．０ｍｍであり、通常、略１０ｍｍ程度のものが多く使用される。
【００１４】
本考案の配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）は、一旦、配管に取り付けたクリップ（Ａ）を容易に取り外すことを可能にするツバ部分（３）を備える。該ツバ部分（３）は、上記の開口部（１）を形成する、略円形、略楕円形又は略長円形部分の両端から、これら円形部分に対して外方向に屈曲して伸びている。図２においては、該ツバ部分（３）は、ほぼ平面状であるが、上部に多少屈曲した円弧状であることもできる。該ツバ部分（３）の長さ（Ｌ３）は、好ましくは１．０〜２．０ｍｍである。また、本考案の配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）の長さ方向の寸法に特に制限はないが、作業上の取り扱い易さ及び製造コスト等を考慮して、好ましくは５．０〜２０．０ｍｍ程度である。
【００１５】
図１及び図２に示した本考案の配管用熱電対取付けクリップの一例としては、例えば、金属製薄板の材質が、ＳＵＳ３０４製のばね用ステンレス鋼であって、その厚さが０．４０ｍｍであるものであり、長さ方向に垂直な断面の形状におけるＬ１が１０．１ｍｍであり、Ｌ２が１２．０ｍｍであり、Ｌ３が１．５ｍｍであり、かつ、Ｌ４が０．８ｍｍであって、その長さが１０．０ｍｍであるものが挙げられる。
【００１６】
図３及び図４に示した本考案の配管用熱電対取付けクリップは、図１及び図２に示した配管用熱電対取付けクリップとは別の実施態様のものである。ここで、図３は、本考案の配管用熱電対取付けクリップの該実施態様の外観を示した斜視図であり、図４は、本考案の配管用熱電対取付けクリップの該実施態様の長さ方向に垂直な断面図である。該実施態様の配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）は、熱電対保持部分（２）が、クリップ（Ａ）を構成する略円形、略楕円形又は略長円形部分の中心方向から外方向に向かって大きく突出しているものである。該クリップ（Ａ）の金属薄板の材質及び厚さ、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３及びＬ４等の各寸法、形状、及び、長さ等は、上記の図１及び図２に示した配管用熱電対取付けクリップと同様である。図３及び図４に示した本考案の配管用熱電対取付けクリップの一例としては、例えば、金属製薄板の材質がＳＵＳ３０４製のばね用ステンレス鋼であって、その厚さが０．４０ｍｍであるものであり、長さ方向に垂直な断面の形状におけるＬ１が６．３５ｍｍであり、Ｌ２が５．３０ｍｍであり、Ｌ３が１．５ｍｍであり、かつ、Ｌ４が０．８ｍｍであって、その長さが１０．０ｍｍであるものが挙げられる。該クリップ（Ａ）は、例えば、６．３５φ配管に熱電対測温部（１．６φ）を取り付ける場合等に有用である。
【００１７】
図５には、図１及び図２に示した、本考案の配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）により熱電対［熱電対測温部又はその近傍（４）］を配管に取り付けた際の概略図を示した。この場合、熱電対保持部分（２）の内側であって、熱電対測温部の先端が、該クリップ（Ａ）内部に隠れて収まるように、熱電対測温部又はその近傍（４）が保持されており、クリップ（Ａ）により熱電対測温部又はその近傍（４）が配管（５）にピタリと密着している。これにより、取付け後に熱電対測温部又はその近傍（４）が温度測定位置からずれることがなく、熱電対測温部又はその近傍（４）を確実に保持することができる。上記は本考案の配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）により、熱電対測温部を保持する際の熱電対測温部の先端の位置の好ましい一態様を示したものに過ぎず、熱電対測温部の先端が、該クリップ（Ａ）内部に隠れて収まる態様であれば、特に制限はなく、例えば、熱電対測温部の先端が、該クリップ（Ａ）の熱電対保持部分（２）の端部と丁度一致していてもよい。また、熱電対測温部により、正確な温度を測定し得る限り、熱電対測温部の先端が、熱電対保持部分（２）の端部から多少突出していても問題はない。また、本考案の配管用熱電対取付けクリップ（Ａ）を複数個使用して、熱電対測温部又はその近傍（４）を配管（５）に密着させることもできる。図５には、２個のクリップ（Ａ）を使用した場合を点線により示している。これにより、熱電対の更に強固な取付けを可能にすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本考案の配管用熱電対取付けクリップによれば、熱電対の配管への取り付け作業が極めて容易かつ確実に行うことができるばかりではなく、一旦取り付けた熱電対（熱電対測温部）が測定箇所からずれたりすることがなく、熱電対により、常に正確な温度が測定できることから、今後、各種の製造装置、とりわけ、狭い空間に種々の径の配管が入り込んだ半導体製造装置の配管の温度測定に、大いに利用されることが期待される。
【符号の説明】
【００１９】
Ａ    本考案の配管用熱電対取付けクリップ
Ｌ１  クリップ（Ａ）の長さ方向に垂直な断面における開口部（１）の最短内径
Ｌ２  最短内径（Ｌ１）に平行な、クリップ（Ａ）を構成する略円形、略楕円形又は略長円形部分の最長内径
Ｌ３  ツバ部分（３）の長さ
Ｌ４  熱電対保持部分（２）の一部を構成する円弧状の内側内面の半径
１    開口部
２    熱電対保持部分
３    ツバ部分
４    熱電対測温部又はその近傍
５    配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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