(57)【要約】      （修正有）【課題】プリント基板等の基板の湿式処理槽の処理液レベルを一定に制御することができる、循環バルブを備えた基板のウエット処理装置を提供する。【解決手段】加工処理槽１１底部に隔壁を隔てて循環槽１２を設け、その内底部に循環槽１２に連通する循環孔１１１を設け、該循環孔１１１に循環バルブ３０を回転して開閉可能に設けて、駆動モジュール４０によりスライド移動操作される連桿ユニット２０により駆動桿２１、回動ブロック２３１、スイングアーム２３２を介して該循環バルブ３０を回転して循環孔１１１を開閉操作する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
加工処理槽と循環槽を設けたウエット処理装置において、
該加工処理槽は、処理空間を備えると共に該処理空間内に該循環槽に連通する少なくとも一つの循環孔を備え、
該循環孔に対して回転して開閉する循環バルブを設けて
駆動モジュールにより駆動される連桿ユニットを該加工処理槽の一側辺に位置して設け、
該連桿ユニットと該循環バルブとを連接して、該駆動モジュールの駆動により連桿ユニットを介して該循環孔に対して該循環バルブを回転させて開閉を行うようにした、ことを特徴とする循環バルブを備えた基板のウエット処理装置。
【請求項２】
更に、前記加工処理槽一側に位置するオーバーフロー水槽を備え、且つ該オーバーフロー水槽の最上部は該加工処理槽に連通することを特徴とする請求項１記載の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置。
【請求項３】
前記連桿ユニットは、前記オーバーフロー水槽内に設置することを特徴とする請求項２記載の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置。
【請求項４】
前記加工処理槽は、前記循環孔の周縁に定位軸受を設けて前記連桿ユニットの一端を、該定位軸受により軸設支持したことを特徴とする請求項２記載の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置。
【請求項５】
前記連桿ユニットは、前記駆動モジュールに連接する駆動桿及び該駆動桿に連接する回転軸を備え、
該回転軸の一端を該駆動桿に対して垂直方向に向けて回転可能に連接すると共に他端を前記前記循環孔の周縁の定位軸受にて軸支することを特徴とする請求項４記載の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置。
【請求項６】
前記駆動桿は、前記駆動モジュールによって前記オーバーフロー水槽の延長方向に沿って縦方向にスライド移動操作可能としたことを特徴とする請求項５記載の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置。
【請求項７】
前記連桿ユニットは、更に前記回転軸を前記駆動桿に対してそのスライド移動操作に伴って回転させる切替部品を介して連接したことを特徴とする請求項５記載の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置。
【請求項８】
前記切替部品は、回動ブロック及び該回動ブロック底側に連通するスイングアームからなり、
該回動ブロックは前記駆動桿に回動可能に設けられ、かつ該スイングアームは該回動ブロックに対してその長さ方向にスライド可能に設けられて、前記回転軸は該スイングアームに結合されてなることにより、
該駆動桿のスライド移動に伴って該回転軸を回転駆動せしめることを特徴とする請求項７記載の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置。
【請求項９】
前記循環バルブは蓋板であって、通孔を形成した凸部を備え、前記回転軸を該通孔に挿入して固定したことを特徴とする請求項５記載の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置。
【請求項１０】
前記蓋板と該循環孔の間は間隙を形成したことを特徴とする請求項９記載の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、プリント基板等のウエット処理装置に関するもので、特に循環バルブを備えた基板のウエット処理装置に係る。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板のウエットプロセス設備内の加工処理槽は、殆どが循環槽及び循環孔を設置し、薬用液の水位レベルの高低を制御し、薬用液が溢れ出ないように防止する。
また、現行の加工処理槽の循環孔は、単純な開口構造でしかないため、処理工程中、薬用液のレベルが低下すると、時間をかけて薬用液を充填するなどコストがかかる対処をしなければならない。
【０００３】
更に基板のウエットプロセスの製造は、噴霧装置を使用し、加圧した薬用液を吹き付けることによって化学処理効果を高める。しかし、薬用液噴射は水位レベルを制御しにくく、更に薬用液排出が間に合わずに溢流することがある。それによって、一般加工処理槽の傍側にはオーバーフロー水槽を追加設置する。それによって漏れ出した薬用液を加工処理槽内へ循環させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１５８７６５号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
解決しようとする問題点は、溢れ出た薬用液は空気と混じって泡となり、その泡は流れ出した薬用液と共に加工処理槽へ流入して化学処理効果に影響するため、改善の必要がある。
【０００６】
本考案者は、上述の現有技術について、研究を重ね、従来技術の問題点を解決することを目標とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案は、機台、連桿ユニット、循環バルブ及び駆動モジュールを含む。機台は加工処理槽及び加工処理槽に連通する循環槽を含み、加工処理槽は処理空間及び処理空間内に位置する少なくとも一つの循環孔を備え、加工処理槽は循環孔を通して循環槽に連通する。連桿ユニットは機台上に設置し、加工処理槽の一側辺に位置する。循環バルブは連桿ユニットに連接し、循環孔上に対応設置し、循環バルブは連桿ユニットの動きによって循環孔に対応して枢設回転する。駆動モジュールは、機台上に設置し、加工処理槽の一側辺に位置し、駆動モジュールが連桿ユニット及び循環バルブを動かし、循環バルブが循環孔に対応して開閉することを最も主要な特徴とする。
【考案の効果】
【０００８】
本考案の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置は、処理液体の高さを調節する時間を短縮し、且つ薬用液が溢れ出るのを防止し、気泡が発生して化学処理に影響するのを防止するという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本考案の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置の立体外観指示図である。
【図２】本考案の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置の一側方向の平面指示図である。
【図３】本考案の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置の使用指示図である。
【図４】本考案の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置の動作指示図である。
【考案を実施するための形態】
【００１０】
循環バルブを設置し、実際使用に応じて循環バルブの開閉を制御し、処理液体のレベルを調節する時間を短縮し、且つ薬用液が溢れ出るのを防止し、気泡が発生して化学処理に影響するのを防止する循環バルブを備えた基板のウエット処理装置を提供することを本考案の目的とする。
【００１１】
上述の目的を達成するため、本考案は、循環バルブを備えた基板のウエット処理装置であり、それは機台、連桿ユニット、循環バルブ及び駆動モジュールを含む。機台は加工処理槽及び加工処理槽に連通する循環槽を含み、加工処理槽は処理空間及び処理空間内に位置する少なくとも一循環孔を備え、加工処理槽は循環孔を通過して循環槽に連通する。連桿ユニットは機台上に設置し、加工処理槽の一側辺に位置する。循環バルブは連桿ユニットに連接し、循環孔上に対応設置し、循環バルブは連桿ユニットの動きによって循環孔に対応して枢設回転する。駆動モジュールは、機台上に設置し、加工処理槽の一側辺に位置し、駆動モジュールが連桿ユニット及び循環バルブを動かし、循環バルブを循環孔に相互に対応させて開閉する。
【００１２】
公知技術と比較して、本考案の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置は、循環孔に循環バルブを設置し、他に循環バルブで開閉する連桿ユニット及び駆動モジュールを設置する。それによって、使用の必要に応じて循環バルブの開閉を制御し、処理液体のレベルを調節する時間を短縮する。その他、薬用液が漏れ出るのを防止し、気泡の発生によって化学処理効果に影響するのを防止し、本考案の実用性を高める。
【実施例】
【００１３】
本考案の詳細な説明及び技術内容は図面と共に、以下の説明のとおりであるが、図面は説明に用いるための参考に過ぎず、本考案の請求範囲を制限するものではない。
【００１４】
図１及び図２は、それぞれ本考案の循環バルブを備えた基板のウエットプロセス処理の立体斜視図及び一側方向の平面指示図である。図１に示すとおり、本考案の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置１は、機台１０、連桿ユニット２０、循環バルブ３０、及び駆動モジュール４０を含む。
該連桿ユニット２０及び該循環バルブ３０は、該機台１０上に設置し、且つ該連桿ユニット２０は該循環バルブ３０を連接する。また、該駆動モジュール４０は、該連桿ユニット２０を駆動して該循環バルブ３０を動かす。該基板のウエットプロセス処理裝置１は、該循環バルブ３０の運転によって処理液体(例として薬用液)レベルを調整する目的を達成する。該基板のウエットプロセス処理裝置１の構造は更に詳しく後述する。
【００１５】
図１に示すとおり、該機台１０は、加工処理槽１１及び該加工処理槽１１に連通する循環槽１２を含む。該加工処理槽１１は処理空間１１０及び該処理空間１１０内に位置する少なくとも一つの循環孔１１１を備え、その他に該循環槽１２は該循環孔１１１を通じて該加工処理槽１１に連通する。本実施例において、該機台１０は更に該加工処理槽１１一側に位置するオーバーフロー水槽１３を含み、且つ該オーバーフロー水槽１３の最上部は該加工処理槽１１が連通する。
【００１６】
該連桿ユニット２０は、該機台１０上に設置して該加工処理槽１１の一側辺に位置する。該連桿ユニット２０は、該オーバーフロー水槽１３内に設置する。本実施例において、該加工処理槽１１は該循環孔１１１の開口縁部に定位軸受１１２を成形し、該連桿ユニット２０の一端は該定位軸受１１２に軸設する。
【００１７】
上記連桿ユニット２０は、駆動モジュール４０に連接する駆動桿２１及び該駆動桿２１に連接する回転軸２２を備え、該駆動桿２１は上記駆動モジュール４０によって駆動されて上記加工処理槽１１の長さ方向に沿って縦方向にスライド移動し、該回転軸２２は一端を該駆動桿２１に垂直に向けて回転可能に連接すると共に、他端を上記循環孔１１１の開口縁部の定位軸受１１２により回転可能に軸支する。
【００１８】
この上記回転軸２２を駆動桿２１に垂直に向けて回転可能に連接する切替部品２３の構造は、駆動桿２１に回動可能に連結された回動ブロック２３１及び該回動ブロック２３１底側に該回動ブロック２３１に対してその長さ方向にスライド可能に設けられたスイングアーム２３２からなり、該スイングアーム２３２に該回転軸２２を結合することにより、該駆動桿２１のスライド移動に伴って該回転軸２２を回転駆動せしめる。
【００１９】
前記少なくとも一つの循環バルブ３０は、前記循環孔１１１上に対応して設置され、連桿ユニット２０によって駆動される前記回転軸に取付けられて、その回転により前記循環孔１１１を開閉する。
好適例として、該循環バルブ３０の形態は蓋板であり、凸部３１の通孔３１０に上記回転軸２２挿通固定する。
【００２０】
注意することとして、該蓋板と該循環孔１１１の間は間隙３００を形成する。これによって、該蓋板は該循環孔１１１と干渉することがなく、スムーズに回転して開閉する。その他、該加工処理槽１１内の処理液体(例として薬用液)が該循環槽１２にゆっくりと流入することで、空気が混入しない。 
【００２１】
本実施例において、該加工処理槽１１には複数の循環孔１１１を設置する。該復数の循環孔１１１は該処理空間１１０内に直線的に配列する。その他、該循環バルブの数は、復数の循環孔１１１の設置に対応して復数となる。
【００２２】
更に、該駆動モジュール４０は、該機台１０上に設置し、該加工処理槽１１の一側辺に位置する。該駆動モジュール４０は該連桿ユニット２０及び該循環バルブ３０を駆動し、該循環バルブ３０が該循環孔１１１を開閉する。説明上、該駆動モジュール４０はサーボモータ装置もしくはスクリュー駆動装置とするが、実際はそれに制限されない。
【００２３】
図２に示すとおり、該基板のウエットプロセス処理裝置１内の処理液体(例として薬用液)が一定量に達する前、該循環孔１１１上の循環バルブ３０は閉鎖状態である。その時、噴射用の該機台１０内の処理液体は該加工処理槽１１内に貯留され、一定のレベルになるのを待ってから処理工程を開始する。それによって待機時間を短縮して作業効率を向上する。
【００２４】
図３及び図４は、本考案の循環バルブを備えた基板のウエット処理装置の使用指示図及び動作指示図である。図３に示すとおり、前記循環バルブ３０を作動する時、先ず駆動モジュール４０を始動し、該駆動モジュール４０が駆動桿２１を駆動して直線的にスライド運動させる。続いて連桿ユニット２０は前記切替部品２３を介して循環バルブ３０に結合した回転軸２２を回転させる。
【００２５】
図４に示すとおり、該循環バルブ３０は該回転軸２２の回転に従い作動し、該循環孔１１１に相対して開放状態になる。その時、加工処理槽１１内の処理液体は該循環孔１１１に流入し、該循環槽１２内に貯留する。それによって、処理液体は該加工処理槽１１内から円滑に流れ出て、液レベルを一定に保つことにより待ち時間が短縮され、作業効率が向上する。
【００２６】
上述のとおり、本考案の基板のウエットプロセス処理裝置１は、循環バルブ３０を設置し、実際使用に応じて循環バルブ３０開閉の制御し、更に処理液体のレベルを調節する時間を短縮し、且つ薬用液が漏れ出るのを防止し、気泡の発生によって化学処理効果に影響するのを防止する。
【００２７】
以上上述は本考案の良好な実施例であり、本考案の実用新案の請求範囲を制限するものではなく、その他本考案の創作精神と同じ同効果の変化は、すべて本考案の請求範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００２８】
１      プロセス処理装置
１０      機台
１１      加工処理槽
１１０      処理空間
１１１      循環孔
１１２      定位軸受
１２      循環槽
１３      オーバーフロー水槽
２０      連桿ユニット
２１      駆動桿
２２      回転軸
２３      切替部品
２３１      回動ブロック
２３２      スイングアーム
３０      循環バルブ
３００      間隙
３１      凸部
３１０      通孔
４０      駆動モジュール
【図１】
0003213437.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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