【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３８６６０２５号発明「吸着搬送装置およびそれに用いる流路切換ユニット」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
第１．手続の経緯及び本件発明
　
１．手続の経緯
　本件特許第３８６６０２５号の請求項１ないし３に係る発明についての手続の経緯は、以下のとおりである。
　平成１２年　９月　６日　特願２０００−２６９６７７号出願
　平成１８年１０月１３日　特許第３８６６０２５号の設定登録
　平成２３年１１月２９日　本件無効審判請求書提出（請求人）
　平成２４年　２月　９日　答弁書提出（被請求人）
　平成２４年　５月　９日　口頭審理陳述要領書提出（請求人）
　平成２４年　５月　９日　口頭審理陳述要領書提出（被請求人）
　平成２４年　５月２３日　口頭審理
　
　
２．本件特許発明、並びに、課題、効果、及び作用
　
（１）本件特許発明について
　本件特許の請求項１ないし３に係る発明（以下「本件特許発明１」ないし「本件特許発明３」という。）は、本件特許の願書に添付した明細書の特許請求の範囲に記載された、次のとおりのものである。
　
「　【請求項１】　上下動部材の先端に設けられた吸着具の吸着面にワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置であって、
　正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、および前記吸着具の着脱路に連通する出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁と、
　真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、前記着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに前記正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁とを有し、
　前記正圧源からの正圧空気を前記着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、前記真空供給制御弁の前記真空ポートを前記大気開放ポートに連通させ、前記真空破壊制御弁の前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記着脱路に連通させることを特徴とする吸着搬送装置。
　
　　【請求項２】　請求項１記載の吸着搬送装置において、ワークの吸着を停止する際に前記真空供給制御弁により前記真空流路を閉じかつ前記脱着路を大気に開放させた後に、前記真空破壊制御弁により前記正圧流路を開くことを特徴とする吸着搬送装置。
　
　　【請求項３】　上下動部材の先端に設けられた吸着具の吸着面にワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニットであって、
　正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、前記吸着具の着脱路に連通する出力ポート、真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、前記着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに前記正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートが形成された流路ブロックと、
　前記流路ブロックに設けられ、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁と、
　前記流路ブロックに設けられ、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁とを有し、
　前記正圧源からの正圧空気を前記着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、前記真空供給制御弁の前記真空ポートを前記大気開放ポートに連通させ、前記真空破壊制御弁の前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させることにより、前記出力ポートと前記真空ポートとを連通させて前記流路ブロックに形成された流路を介して前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記着脱路とに連通させることを特徴とする流路切換ユニット。」
　
　
（２）本件特許発明が解決しようとする課題、効果、及び作用
ア．課題に関する特許明細書の記載
　本件特許発明の解決しようとする課題について、特許明細書の段落【０００６】ないし【０００８】には、以下の記載がある。
「【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
　昨今、吸着搬送される被吸着物であるＩＣなどの電子部品は、その形状がますます小さく、かつ軽くなってきており、被吸着物を吸着具から離脱させるために吸着具に真空破壊用の正圧空気を供給したときに、被吸着物が正圧空気によって吹き飛ばされて、所定の位置に正確に搭載することができない場合がある。
【０００７】
　流量調整用のニードル弁により正圧流路を絞ると、着脱路に供給される真空破壊用の正圧空気の流量を、圧力を変化させることなく、低下させることができるので、正圧流路を絞ったり、正圧空気の圧力を低下させると、真空破壊時に被吸着物であるワークが吹き飛ばされることを防止できる。
【０００８】
　しかしながら、真空破壊用の正圧空気の流量を低下させたり、圧力を低下させると、吸着具から被吸着物を離脱させるまでに時間がかかり、チップマウンタの場合には電子部品の搭載に要するタクトタイムが長くなり、生産性が低下してしまう。」
　
イ．効果に関する特許明細書の記載
　本件特許発明の効果について、特許明細書の段落【００３８】ないし【００３９】には、以下の記載がある。
「【００３８】
【発明の効果】
　本発明によれば、吸着具に吸着されたワークを吸着具から離反つまり離脱させる際には、着脱路は大気開放ポートに連通するとともに正圧源に連通することになり、迅速にワークを離脱させることができる。これにより、電子部品を実装基板などの被搭載物に搭載するためのタクトタイムを短くすることができる。
【００３９】
　離脱時にはワークが吸着具から吹き飛ばされることがないので、ワークはずれることなく、所定の被搭載位置に高精度に位置決めしてワークを搭載することができる。」
　
ウ．作用に関する特許明細書の記載
　本件特許発明の作用について、特許明細書の段落【００２６】には、以下の記載がある。
「【００２６】
　このように、真空状態の着脱路１４には大気圧の空気と正圧空気とが大気開放ポートＴと正圧供給ポートＰの両方から供給されることになり、迅速に所定の圧力に設定されることになる。着脱路１４が大気圧以上となると、正圧供給ポートＰからの正圧空気は着脱路１４に流入するとともに、大気開放ポートＴから一部が排気されることになるので、高い圧力の圧縮空気が大量にワークＷに吹き付けられることが防止される。しかも、大気開放ポートＴから大気を導入しないで、正圧空気のみを着脱路１４に供給する場合には、着脱路１４内の圧力と正圧空気の圧力との差圧が大きいので、吸着されているワークＷには大きな衝撃力が作用することになるが、大気開放ポートＴを着脱路１４に連通させることによって、ワークの離脱動作を遅くすることなく、ワークの吹き飛びを確実に防止することができる。」
　
エ．平成１８年８月２１日付けの意見書における作用についての主張
　本件特許発明に係る出願の審査において提出された、平成１８年８月２１日付けの意見書の【意見の内容】の「２．本願発明について」の欄において、本件特許発明の作用に関して、出願人、すなわち被請求人は、「比較図」を示したうえで、以下のとおり主張した。
「　・・・・・（前略）
　従来の吸着搬送装置は、段落［０００５］に記載のように、真空供給制御弁と真空破壊制御弁として、いずれも２ポート電磁弁が使用されており、別紙の比較図にこの従来例を示しました。従来例では吸着具からワークを離脱させるために吸着具に真空破壊用の正圧空気を供給すると、正圧空気が全て吸着具に流れるために、段落［０００６］に記載したように、小型の電子部品は真空破壊用の空気により吹き飛ばされることがありました。正圧空気を全て吸着具に流した場合の着脱路の圧力変化特性が別紙の比較図に示されております。電子部品が吹き飛ばされないようにするために流路を絞ると、着脱路は比較図に示す場合よりもゆっくりと変化することになりますが、それでは吸着物の離脱に時間がかかることになります。
　別紙比較図における参考例は、真空破壊のために正圧空気を供給することなく、大気を吸着具に供給した場合の着脱路の圧力変化特性を示しております。このように大気を導入して真空破壊を行うと、正圧空気を供給する場合に比して、吸着物の離脱に時間がかかることになります。
　本願発明においては、
真空供給制御弁２４の大気開放ポートＴを着脱路に大気を供給するために利用するとともに正圧供給ポートＰからの正圧空気の一部を排出つまり逃がすために使用しております。すなわち、大気開放ポートＴは大気を外部から導入するだけでなく、正圧空気の一部を外部に逃がすためにも利用しております。
　これにより、本願発明においては、別紙比較図に示すように切換初期には、吸着具１０に正圧空気と大気圧空気とが流入することになり、流入正圧と流入大気とが合流して吸着具１０に流れることから、吸着物を迅速に離脱させることができるのであります。
　しかも、着脱路が大気圧以上になると正圧空気の一部は、正圧供給ポートＰが大気開放ポートＴに連通されるので、大気開放ポートＴから外部に排気されて外部に逃げることになり、ワークの吹き飛びを確実に防止することができるという特段の効果が得られるのであります（［００２６］）。
　このように、本願発明は吸着を停止する際に、停止初期には、大気開放ポートＴを正圧供給ポートＰと真空ポートＶとに連通させ、大気開放ポートＴからの大気圧空気を吸着具に正圧空気とともに供給して迅速に吸着物の離脱を行う一方、大気開放ポートＴから正圧空気を逃がして吸着具に吸着されていた吸着物が吹き飛ばされないようにするという技術思想を有する発明であります。・・・・・（後略）」
　
オ．本件特許発明の課題、効果、及び作用のまとめ
　上記ア．ないしウ．の記載や、上記エ．の主張を考慮すると、本件特許発明１及び３は、被吸着物を吸着具から離脱させるために吸着具に真空破壊用の正圧空気を供給したときに、「比較図」の「従来例」に示すように、真空破壊の圧力が高くなりすぎて、被吸着物が吹き飛ばされ、逆に、被吸着物が吹き飛ばされないように、真空破壊用の正圧空気の流量や圧力を低下させると、「比較図」の「参考例」に示すように、吸着物の離脱に時間がかかるという課題を解決しようとするものである。そして、大気開放ポートを、着脱路に大気を供給するために利用するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出するために使用することにより、流入正圧と流入大気とが合流して吸着具に流れる作用によって、迅速に着脱路の圧力を高め、また、着脱路が大気圧以上になると、正圧空気の一部は大気開放ポートから外部に排気される結果、「比較図」の「本願発明」に示すように、圧力が高くなりすぎることがないから、ワークが吸着具から吹き飛ばされることがなく、迅速にワークを吸着具から離脱させることができるという効果を奏するものであると認める。
　
　
第２．当事者の主張
　
１．請求人の主張する請求の趣旨及び理由
　請求人は、本件特許発明１ないし３についての特許を無効とする、審判費用は被請求人の負担とする、との審決を求め、その請求の理由は、本件特許発明１ないし３は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないので、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、同項の規定により無効とすべきものであるというものであって、個々の理由の概略は、以下のとおりである。なお、記載箇所を示す行数については、空白行を含まない。
　
（１）本件特許発明１についての無効理由
ア．甲第１号証記載の発明に基づく理由
（請求書第３２ページ第２４行ないし第３６ページ第２５行）
　本件特許発明１は、甲第１号証記載の発明及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。
　
イ．甲第２号証記載の発明に基づく理由
（請求書第３６ページ第２６行ないし第４０ページ第１０行）
　本件特許発明１は、甲第２号証記載の発明及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。
　
ウ．甲第３号証記載の発明に基づく理由
（請求書第４０ページ第１１行ないし第４３ページ第１９行）
　本件特許発明１は、甲第３号証記載の発明及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。
　
エ．甲第４号証記載の発明に基づく理由
（請求書第４３ページ第２０行ないし第４７ページ第１５行）
　本件特許発明１は、甲第４号証記載の発明、甲第２及び７号証に示す周知の技術的事項、甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項、並びに甲第１１号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。
　
（２）本件特許発明２についての無効理由
ア．甲第１号証記載の発明に基づく理由
（請求書第４７ページ第２４行ないし第４８ページ第２１行）
　本件特許発明２は、甲第１号証記載の発明、及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項、並びに甲第８ないし９号証記載の技術に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。
　
イ．甲第２号証記載の発明に基づく理由
（請求書第４８ページ第２２行ないし第４９ページ第９行）
　本件特許発明２は、甲第２号証記載の発明及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。
　
ウ．甲第３号証記載の発明に基づく理由
（請求書第４９ページ第１０行ないし第５０ページ第５行）
　本件特許発明２は、甲第３号証記載の発明、及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項、並びに甲第８ないし９号証記載の技術に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。
　
エ．甲第４号証記載の発明に基づく理由
（請求書第５０ページ第６行ないし第５１ページ第１行）
　本件特許発明２は、甲第４号証記載の発明、甲第２及び７号証に示す周知の技術的事項、甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項、甲第１１号証に示す周知の技術的事項、並びに甲第８ないし９号証記載の技術に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。
　
（３）本件特許発明３についての無効理由
ア．甲第１号証記載の発明に基づく理由
（請求書第５１ページ第６行ないし第５６ページ第５行）
　本件特許発明３は、甲第１号証記載の発明、甲第３及び１０号証、甲第２ないし４号証、並びに甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。
　
イ．甲第２号証記載の発明に基づく理由
（請求書第５６ページ第６行ないし第６０ページ最終行）
　本件特許発明３は、甲第２号証記載の発明、甲第３及び１０号証、並びに甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。
　
ウ．甲第３号証記載の発明に基づく理由
（請求書第６１ページ第１行ないし第６５ページ第９行）
　本件特許発明３は、甲第３号証記載の発明、並びに甲第１ないし２号証、及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。
　
エ．甲第４号証記載の発明に基づく理由
（請求書第６５ページ第１０行ないし第７０ページ第１３行）
　本件特許発明３は、甲第４号証記載の発明、甲第２及び７号証、甲第３及び１０号証、甲第５ないし６号証、並びに甲第１１号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。
　
２．証拠方法
　証拠方法として以下の甲第１ないし１１号証が提出されている。
　
　甲第　１号証　特開平１−２１０２８６号公報
　甲第　２号証　特開２０００−５９１００号公報
　甲第　３号証　特開平１１−２１４８９３号公報
　甲第　４号証　特開平１１−２８９０２６号公報
　甲第　５号証　特開平１０−２３６７５９号公報
　甲第　６号証　「油空圧」、社団法人日本油空圧工業会、１９９０、第４巻、第１号　第３１ないし３５ページの写し
　甲第　７号証　特開平１０−５８２５０号公報
　甲第　８号証　特開平８−２６２３８７号公報
　甲第　９号証　特開２０００−２２１４７９号公報
　甲第１０号証　特開平８−６８４００号公報
　甲第１１号証　「実用空気圧ポケットブック（１９９５年版）」、社団法人日本油空圧工業会、平成７年１０月３１日、第３０４ないし３０５ページの写し
　なお、口頭審理陳述要領書に添付された甲第１２及び１３号証は、参考資料とされた（口頭審理調書の「請求人　２」欄。）。
　
３．被請求人の主張する答弁の趣旨
　被請求人の主張する答弁の趣旨は、本件特許無効審判の請求は成り立たない、審判費用は請求人の負担とする、との審決を求めるものであり、その理由は、概略、本件特許発明１ないし３は、甲第１ないし１１号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に想到できたものではない、というものである。
　なお、答弁書に添付された乙第１号証は、参考資料とされた（口頭審理調書の「被請求人　３」欄。）。
　
　
第３．各甲号証の記載、及び甲号証記載の各発明
　
１．甲第１号証の記載事項、及び甲第１号証記載の発明
　
ア．第１ページ左下欄第５ないし１０行
「真空発生源とバキュームパッドを備え、バキュームパッドに作用する負圧を切換弁によってオン・オフするようにした吸着装置において、この吸着装置は前記切換弁のオフ動作と連動してバキュームパッドに気体を供給する気体供給手段を有することを特徴とする吸着装置。」
　
イ．第１ページ左下欄第２０行ないし第２ページ左上欄第２行
「そして、従来の吸着装置は真空ポンプ等の真空発生源とバキュームパッドとをつなぐ管路の途中に切換弁を設け、ワークを所定の部材上にセットする場合等のようにワークの吸着状態を解除する場合には、切換弁によってバキュームパッドにつながる管路を大気に開放するようにしている。
（発明が解決しようとする課題）
　上述した従来の吸着装置にあっては、例えばグロメットのように比較的軽量なワークを部材上にセットする場合、大気に開放してもバキュームバッドにワークが付着したまま剥れず、特にバキュームパッドと真空発生源とをつなぐ管路が長いとこの傾向が強くなるという課題がある。
（課題を解決するための手段）
　上記課題を解決するべく本発明は、バキュームパッドに作用する負圧をオン・オフする切換弁のオフ動作と連動してバキュームパッドに気体を供給する気体供給手段を設けた。
（作用）
　ワークの吸着解除にあたっては、バキュームパッドから積極的に気体を噴出せしめるようにしたので、ワークはバキュームパッドから確実に剥れる。」
　
ウ．第２ページ左上欄第６ないし１６行
「第１図は本発明に係る吸着装置を適用したグロメット取付け装置の正面図であり、グロメット取付け装置は車体１の長さ方向と平行（紙面垂直方向）なレール２に基台３を係合し、この基台３上に車体１に対して進退動をなす移動体４を設け、この移動体４に移動体４の軸廻りに回動するとともに上下方向に揺動するアーム５の下端部を支持し、アーム５の先端に上下方向に揺動するアーム６の基端部を支持し、更にアーム６の先端部に複数のグロメットを同時に保持する吸着装置７を設けている。」
　
エ．第２ページ左下欄第４行ないし右下欄第２行
「第３図は吸着装置７の管路図であり、各バキュームパッド１７はロータリジョイント１１を介して個別の真空発生源３０につながっており、各真空発生源３０は１つの加圧空気供給源３１につながっている。
　真空発生源３０の構造は第４図に示すように、切換弁３２、ベンチュリー３３、排気装置３４、破壊バルブ３５及び真空スイッチ３６を備え、加圧空気供給源３１からの空気を切換弁３２及び管路３７を介してベンチュリー３３に供給し排気装置３４から外部に放出することで管路３８内の空気を矢印方向に引き込んで負圧を発生せしめ、バキュームパッド１７にてグロメットＷを吸着するようにしている。また、破壊バルブ３５からは管路３９、４０、４１が導出し、管路３９は切換弁３２と、管路４０は管路３７と、管路４１はベンチュリー３３よりも下流側（バキュームパッド側）において管路３８にそれぞれ接続している。」
　
オ．第２ページ右下欄第１７行ないし第３ページ左上欄第５行
「そして、グロメットＷを嵌付けたならば、第５図に示すように切換弁３２を切換える。すると、バキュームパッド１７につながる管路３８は排気装置３４を介して大気に開放されるのと同時に、加圧空気供給源３１からの空気は、切換弁３２、管路３９、破壊バルブ３５、管路４１を介して管路３８に供給され、バキュームパッド１７から噴出し、いままで吸着していたグロメットＷの吸着状態を積極的に解除する。」
　
カ．第３ページ左上欄第１２ないし１８行
「また負圧を発生するために加圧空気供給源とベンチュリーを用い、この加圧空気供給源を吸着解除にも利用するようにしたので、機構的に簡略化し得るが、真空ポンプを用いても良い。この場合には別の加圧空気供給源を管路３８につなげる必要がある。」
　
キ．第５図の図示
　第５図には、切換弁３２と加圧空気供給源３１とを連通する流路が存在し、加圧空気供給源３１が、当該流路、管路３９、破壊バルブ３５及び管路４１を介して管路３８に連通することの図示がある。
　
ク．甲第１号証記載の発明
　上記キ．に示す、切換弁３２と加圧空気供給源３１とを連通する流路が、正圧流路であることは、明らかであるし、当該流路は切換弁３２と連通しているから、切換弁３２には、そのためのポート、すなわち正圧供給ポートが存在することは、明らかである。
　さらに、切換弁３２は、管路３９、破壊バルブ３５及び管路４１を介して管路３８に連通するから、そのためのポート、すなわち出力ポートを有することは、明らかである。
　
　以上を技術常識をふまえて、本件特許発明１の記載に沿って整理すると、甲第１号証には、次の発明（以下、「甲第１号証記載の発明」という。）が記載されていると認める。
　
「上下方向に揺動するアーム６の先端に設けられたバキュームパッド１７の吸着面にグロメットＷを吸着させてグロメットＷを搬送する吸着装置であって、
 加圧空気供給源３１に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、並びに管路３９、破壊バルブ３５及び管路４１を介して前記バキュームパッド１７の管路３８に連通する出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる状態と、前記正圧供給ポートを管路３７に連通させる状態とに作動する切換弁３２と、
　前記切換弁３２に連通する管路３７と、管路３７及び管路３８に連通するベンチュリー３３と、ベンチュリー３３の排出側に接続された排気装置３４とを有し、加圧空気供給源３１からの空気を前記切換弁３２及び前記管路３７を介して前記ベンチュリー３３に供給し、前記排気装置３４から外部に排出することで前記管路３８の空気を引き込んで負圧を発生せしめるように構成された真空供給手段とを有し、
　前記正圧源からの正圧空気を前記管路３８に連通させて前記グロメットＷの吸着を停止する際に、前記切換弁３２の前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させることにより、前記排気装置３４を前記正圧供給ポートと前記管路３８に同時に連通させる吸着装置。」
　
　
２．甲第２号証の記載事項、及び甲第２号証記載の発明
　
ア．段落【０００１】
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、部品吸着装置、特に、真空圧発生手段により発生する真空圧により部品を吸着し、真空圧を破壊することにより部品の吸着を解除する部品吸着装置に関する。」
　
イ．段落【０００３】
「【０００３】この場合、部品搭載時は瞬時に真空圧を破壊しノズル内を大気圧にする必要がある。仮に搭載後のＺ軸上昇時に真空圧（残圧）があると、基板に粘着力の乏しく、軽量の小型チップ部品は搭載されず吸い上げられることになる。このため、残圧を無くし、瞬時に大気圧開放する方法として、正圧を瞬間的に加える方法が考えられるが、この加圧時間が長いと搭載後のＺ軸上昇時に、ノズル先端から加圧されたエアが漏れ、正常に搭載された周囲の部品をずらしてしまう、という問題が発生する。」
　
ウ．段落【０００７】
「【０００７】従って、本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、部品吸着に関連する機器あるいは部材の故障ないし異常を確実に検出でき、また真空圧を最適に破壊して部品を確実に搭載できる部品吸着装置を提供することをその課題とする。」
　
エ．段落【００１４】ないし【００１７】
「【００１４】図１には、本発明に係わる部品吸着装置の一実施形態の構成が図示されており、同図において、符号１０で示すものは、吸着ノズルを保持するノズル保持部で、このノズル保持部１０の下端には、ノズル径の異なる種々の吸着ノズル１１が着脱可能に保持される。ノズル保持部１０内には配管１２が形成されていて、配管１２はエアフィルタ１３を介して他の配管１４並びに吸着ノズル１１内の配管１５に連通している。なお、吸着ノズル１１は、検査時には取り外されるので、一点鎖線で図示されている。
【００１５】ノズル保持部１０の配管１２は、配管１６を介して真空発生器（エジェクタ）１７に接続されており、この真空発生器１７は、制御装置（ＣＰＵ）１８により制御される真空発生電磁弁１９がオンになったとき、エア供給源２０より供給される圧縮エアにより作動し、配管１６、１２、１４、１５に負圧を発生させる。これにより吸着ノズル１１はその下端部で部品（不図示）を吸着できるようになる。部品を正常に吸着しているときには、真空圧になり、また吸着していないときには、負圧にならないので、配管１６の圧力を検出する圧力センサ２１により吸着部品の有無が判定され、その情報が制御装置１８に入力される。
【００１６】また、吸着部品を吸着ノズル１１から離脱させるときには、真空発生電磁弁１９をオフにして真空発生器１７を停止させ、真空を解除する。このとき、真空を解除後早急に大気圧に回復させるために、制御装置１８により駆動される真空破壊電磁弁２２をオンにしてエア供給源２０より正圧を配管１６に供給するようにしている。
【００１７】通常、ノズル保持部１０、吸着ノズル１１、真空発生器１７、真空発生電磁弁１９、真空破壊電磁弁２２、圧力センサ２１は、電子部品実装装置（チップマウンタ）の吸着ヘッド（不図示）に取り付けられている。吸着ヘッドは、制御装置１８により制御されるＸＹ駆動機構２３によりＸＹ移動して、フィーダから供給される部品を吸着ノズル１１により吸着し、回路基板上にその部品を搭載する。部品吸着時並びに搭載時には、同様に制御装置１８により制御されるＺ軸昇降機構２４によりノズル保持部１０と吸着ノズル１１が上下に昇降されるように制御される。」
　
オ．段落【００２５】
「【００２５】以上のような故障解析を終了したあと、ステップＳ５で真空発生電磁弁１９をオフにして、続くステップＳ６で真空破壊（自然破壊）時のチェックを行ない、故障解析を行なう。この真空破壊時の状態が図４に図示されている。ｔ３で真空発生電磁弁１９をオフにすると、配管１６、１２、１４、２６に発生していた真空圧が破壊されるので、圧力センサ２１、２７により測定される真空圧は大気圧まで減少する。そこで、監視圧Ｐ２に達するまでの時間ｔ４、ｔ５を制御装置１８内のタイマーを用いて測定する。」
　
カ．段落【００２８】ないし【００２９】
「【００２８】上記ステップＳ５、Ｓ６では、真空発生電磁弁１９がオフにされて故障解析が行なわれるが、その場合、各配管内の真空は自然に破壊されるので、大気圧に戻るのに時間がかかる。そこで、その時間を減少させるために、正圧を加圧し真空を加圧破壊することが行なわれる。すなわち、ステップＳ７で真空発生電磁弁１９をオンにして真空圧を発生させた後、ステップＳ８でオフにすると、自然に真空圧は破壊されるが、その時間を減少させるために、ステップＳ９で真空破壊電磁弁２２をオンにして正圧を発生させる。
【００２９】この状態が図５に図示されており、ｔ６で真空発生電磁弁１９がオフにされた後、ｔ７で真空破壊電磁弁２２をオンにすると、正圧が発生するので、大気圧に戻る傾斜が大きくなる。そして、時刻ｔ１０で真空破壊電磁弁２２をオフにする（ステップＳ１０）。それにより圧力は、正圧がなくなるので、一旦負圧側に反動して大気圧に戻る。このとき、圧力センサ２１、２７が測定する加圧到達圧Ｐ３、Ｐ３’、真空破壊電磁弁２２がオンしてから（ｔ７）、圧力センサ２１、２７がそれぞれ監視圧Ｐ２を測定する時刻ｔ８、ｔ９、それに真空破壊電磁弁２２がオフしてから（ｔ１０）、圧力センサ２１、２７がそれぞれ加圧到達圧Ｐ３、Ｐ３’を測定する時刻ｔ１１、ｔ１２を測定する。」
　
キ．段落【００３５】
「【００３５】また、上記構成においては、真空発生器１７にエジェクタを用いているが、これは、真空ポンプ等の真空発生器を用いてもよい。この実施形態が図６に図示されており、制御装置１８により真空発生電磁弁１９が作動されると、真空ポンプ３０により真空圧が発生され、また制御装置１８により真空破壊電磁弁２２が作動されると、エア供給源２０により正圧が加圧され、真空圧が破壊される。」
　
ク．段落【００３７】
「【００３７】また、本発明では、真空圧を遮断する時点、正圧を加える時点、さらに正圧を加える期間を調整できるので、真空破壊を最適化でき、部品搭載が確実になる、など種々の効果が得られる。」
　
ケ．図６の図示
　図６には、真空破壊電磁弁２２とエア供給源２０とを連通する流路が存在し、真空破壊電磁弁２２と配管１６とが連通し、真空発生電磁弁１９と真空ポンプ３０とを連通する流路が存在し、真空発生電磁弁１９と配管１６とが連通していることの図示がある。
　
コ．図１の図示
　図１には、配管１６が、配管１２、エアフィルタ１３及び配管１４を介して、吸着ノズル１１内の配管１５と連通していることの図示がある。
　
サ．甲第２号証記載の発明
　上記オ．の摘示や、上記カ．の摘示には、故障解析における電磁弁の動作に関する記載があるところ、当該故障解析は、部品吸着装置が、部品の吸着搬送の際に正常に動作し得るかどうかを判定するものであるから、故障解析における電磁弁の動作は、吸着装置が部品を吸着搬送する際の電磁弁の動作と同様であるといえる。
　また、上記キ．に摘示する「真空発生器１７にエジェクタを用いているが、これは、真空ポンプ等の真空発生器を用いてもよい。この実施形態が図６に図示されており」という記載からみて、図６は、図１に図示されている真空発生器１７に代えて、真空ポンプ等の真空発生器を用いることにより、図１における制御装置（ＣＰＵ）１８、真空発生器１７、真空発生電磁弁１９、エア供給源２０、真空破壊電磁弁２２に関する構成を、図６に図示されているとおりに置き換えた構成を示しているといえるから、図６に示されていない、その余の構成は、いずれも図１に示されているとおりの構成であるといえる。
　そして、図６において、真空破壊電磁弁２２とエア供給源２０とを連通する流路が正圧流路であることは、明らかであるし、当該流路は真空破壊電磁弁２２と連通しているから、真空破壊電磁弁２２には、そのためのポート、すなわち正圧供給ポートが存在することは、明らかである。さらに、真空破壊電磁弁２２と配管１６とが連通しており、上記コ．に摘示するように、当該配管１６は吸着ノズル１１内の配管１５と連通しているから、真空破壊電磁弁には、その連通のためのポート、すなわち出力ポートが存在することは明らかである。
　また、図６において、真空発生電磁弁１９と真空ポンプ３０とを連通する流路が真空流路であることは、明らかであるし、当該流路は真空発生電磁弁１９と連通しているから、真空発生電磁弁１９には、そのためのポート、すなわち真空供給ポートが存在することは、明らかである。さらに、真空発生電磁弁１９と配管１６とが連通しており、上記コ．に摘示するように、当該配管１６は吸着ノズル１１内の配管１５と連通しているから、真空発生電磁弁１９には、その連通のためのポート、すなわち真空ポートが存在することは明らかである。
　また、上記キ．には「制御装置１８により真空発生電磁弁１９が作動されると、真空ポンプ３０により真空圧が発生され、また制御装置１８により真空破壊電磁弁２２が作動されると、エア供給源２０により正圧が加圧され、真空圧が破壊される。」との記載があるところ、正圧を加圧して真空圧を破壊させる際に、正圧空気が真空ポンプに吸入されないようにすること、すなわち真空発生電磁弁１９の真空供給ポートを遮断させることは、技術常識である。
　そして、以上を技術常識をふまえて、本件特許発明１の記載に沿って整理すると、甲第２号証には、次の発明（以下、「甲第２号証記載の発明」という。）が記載されていると認める。
　
「上下動するノズル保持部１０の先端に設けられた吸着ノズル１１の吸着面に部品を吸着させて部品を搬送する部品吸着装置であって、
　エア供給源２０に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、および前記吸着ノズル１１内の管路１５に連通する出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊電磁弁２２と、
　真空ポンプ３０に真空流路を介して連通する真空供給ポートと、前記管路１５に連通する真空ポートとを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空供給ポートを遮断する状態とに作動する真空発生電磁弁１９とを有し、
　前記エア供給源２０からの正圧空気を前記管路１５に連通させて部品の吸着を停止する際に、前記真空発生電磁弁１９により前記真空供給ポートを遮断し、前記真空破壊電磁弁２２の前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させることにより、前記管路１５に正圧を供給する、
　部品吸着装置。」
　
　
３．甲第３号証の記載事項、及び甲第３号証記載の各発明
　
ア．特許請求の範囲の【請求項１】
「【請求項１】  複数の電子部品を収容する部品供給ステージと前記電子部品が搭載される被搭載部材を支持する搭載ステージとを有する搭載テーブルに沿って水平方向に移動自在となった搭載ヘッドを有する電子部品の吸着搬送装置であって、
前記搭載ヘッドに取り付けられ、先端に前記電子部品を吸着する吸着具を有するピストンロッドを上下方向に駆動する四角柱形状の空気圧シリンダと、
前記空気圧シリンダに固定され、ディフューザとこれに空気を供給するノズルとからなるエジェクタが内部に組み込まれた真空発生ブロックと、
前記空気圧シリンダの上端部に取り付けられ、前記真空発生ブロックに形成された給気ポートに連通する給気路を開閉して前記ピストンロッドの上下動を制御するピストン作動用の電磁弁と、
前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記給気ポートから前記ノズルに連通する給気路を開閉して前記エジェクタの作動を制御するエジェクタ作動用の電磁弁と、
前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記エジェクタにより発生した真空を前記吸着具に案内する真空路に連通された真空破壊路を開閉する真空破壊用の電磁弁と、
前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記真空路内に圧力を検出するセンサとを有する吸着搬送器を前記搬送ヘッドに複数個装着し、
前記それぞれの吸着搬送器における前記給気ポートから供給された圧縮空気を前記空気圧シリンダと前記エジェクタの前記ノズルと前記真空破壊路とに共通に案内するようにしたことを特徴とする電子部品の吸着搬送装置。」
　
イ．段落【０００８】
「【０００８】本発明の目的は、電子部品を吸着して搬送するようにした吸着搬送装置における吸着搬送器の軽量化を可能とすることにある。」
　
ウ．段落【００２０】
「【００２０】図１は本発明の一実施の形態である吸着搬送装置を示す概略平面図であり、部品ステージに配置されたＩＣなどの電子部品を検査ボードに自動的に搭載するためにこの吸着搬送装置が使用されている。検査ボードに搭載された所定の数の電子部品は、この位置から自動的に搬送されて検査ステージにまで送られるようになっている。」
　
エ．段落【００２５】
「【００２５】図３に示すように、ＩＣなどの電子部品Ｗを吸着する吸着具２６が上下方向つまりＺ軸方向に移動自在となっており、たとえば、図１の部品供給ステージ２３におけるＡ位置の電子部品を検査ボード１２のＢ位置に搭載する場合には、搬送ヘッド１６を図１においてＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させて、所定の吸着具２６を部品供給ステージ２３のＡ位置の真上に位置させた状態で、吸着具２６を下降移動させる。これにより、吸着具２６は電子部品に接触した状態となり、この状態で吸着具に真空を供給することにより電子部品は吸着具に保持される。この状態で吸着具を上昇移動させながら、搬送ヘッド１６をＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させて、吸着具をＢ位置の真上に位置決めする。この状態で吸着具２６を下降移動させることにより、電子部品を検査ボード１２の所定の位置に搭載することができる。吸着具２６には、図３に示すように、吸着搬送器２５の真空ポートに接続された真空ホース２７が接続されるようになっている。」
　
オ．段落【００２８】ないし【００２９】
「【００２８】８つの吸着搬送器２５は断面Ｌ字形状となり搬送ヘッド１６に取り付けられたブラケット２８に固定され、それぞれの吸着搬送器２５は、図４に示すような内部構造となっており、空気圧シリンダ３１とこれに固定された真空発生ブロック３２とを有している。空気圧シリンダ３１は四角柱形状となっており、真空発生ブロック３２は直方体形状となっている。空気圧シリンダ３１の内部に形成された空気圧室内にはピストン３３が軸方向に往復動自在に装着され、このピストン３３に取り付けられたピストンロッド３４の先端には吸着具２６が取り付けられるようになっている。
【００２９】真空発生ブロック３２の先端面には、圧縮空気が供給される給気ポート３５が形成され、この給気ポート３５は真空発生ブロック３２および空気圧シリンダ３１に形成された給気路３６により、ピストン後退用の空気圧室３７ａに連通されている。空気圧シリンダ３１の後端部に設けられた弁ブロック３８には、給気路３６に連通する給気路３６ａをピストン前進用の空気圧室３７ｂに対して開閉するピストン作動用の電磁弁３９が設けられている。この電磁弁３９のソレノイドに通電がなされていないときには、ピストンロッド３４は空気圧室３７ａ内に供給される空気により、図４に示すように、後退限位置となり、ソレノイドに通電すると、空気圧室３７ｂにも空気が供給されて、空気圧室３７ａよりも空気圧室３７ｂの方の断面積が大きく設定させていることから、ピストンロッド３４は前進移動することになる。」
　
カ．段落【００３１】ないし【００３５】
「【００３１】真空発生ブロック３２内にはディフューザ４６が組み込まれており、このディフューザ４６の混合通路４６ａに空気を供給するノズル４７がディフューザ４６に対向して配置され、これらのディフューザ４６とノズル４７とによりエジェクタつまり真空発生装置が形成されている。ノズル４７には給気ポート３５に連通する給気路３６ｂからの空気が供給されるようになっており、ディフューザ４６に混合通路４６ａに連通させて形成された吸引ポート４６ｂは真空路４８を介して真空ポート４９に連通されている。この真空ポート４９には、図３に示すように、接続プラグ５０が取り付けられるようになっており、この接続プラグ５０と吸着具２６との間に、真空ホース２７が接続される。
【００３２】したがって、給気ポート３５に供給された空気をノズル４７からディフューザ４６の混合通路４６ａ内に噴出すると、混合通路４６ａ内には吸引ポート４６ｂからの空気を吸い込んだ空気の流れが発生して、真空ポート４９は真空つまり負圧状態となる。ディフューザ４６から排出された空気は、給気ポート３５に隣接して設けられた排気ポート５１から外部に排出されることになる。
【００３３】給気ポート３５からの空気をノズル４７に対して供給制御するために、流路ブロック５２と弁ブロック５３を介して真空発生ブロック３２にはエジェクタ作動用の電磁弁５４が取り付けられている。この電磁弁５４はピストン作動用の電磁弁３９と同一構造のものが使用されており、この電磁弁５４のソレノイドに対して通電していない状態では、給気ポート３５に連通した給気路３６ｂを従動弁４４が開いて、この給気路３６ｂをノズル４７に連通した給気路３６ｃに対して連通させる状態とし、通電されると従動弁４４が閉じてノズル４７への空気の供給は停止される。
【００３４】真空発生ブロック３２に弁ブロック５３に対して反対側に取り付けられた弁ブロック５５には真空破壊用の電磁弁５６が取り付けられており、この電磁弁５６は電磁弁３９、５４と同様の構造のものが使用されている。弁ブロック５５にはこの中に形成された空気供給室５７と給気ポート３５とを連通する給気路３６ｄが形成されており、電磁弁５６のソレノイドに通電すると、給気路３６ｄが開かれて空気供給室５７内に空気が供給されるようになっている。通電が解かれると図４に示すように、プランジャ４２が前進して主弁４１により給気路３６ｄが閉じられることになる。空気供給室５７は真空発生ブロック３２に形成された真空破壊路５８に連通されており、この真空破壊路５８は真空路４８に連通されている。
【００３５】したがって、図３に示す吸着具２６により吸着保持されている電子部品を吸着具２６から外す場合には、エジェクタ作動用の電磁弁５４への通電を解き、真空破壊用の電磁弁５６へ通電する。これにより、真空路４８には空気が供給されるので、吸着具２６から電子部品は外されることになる。」
　
キ．段落【００３８】
「【００３８】しかも、各々の吸着搬送器２５は空気圧シリンダ３１の空気圧室３７ａ，３７ｂと、ディフューザ４６とノズル４７とからなるエジェクタと、真空破壊路５８とに対して１つの共通の給気ポート３５から分配して供給することができるので、それぞれに空気を供給するためのホースを這い回すことなく、全体的にコンパクトかつ軽量の吸着搬送器２５とすることができる。したがって、これらをたとえば、８つ積層して１つの吸着搬送ユニット２４としても、その重量を大きくすることなく、搬送ヘッド１６を迅速に移動させることができる。」
　
ク．図４の図示
　図４には、真空発生ブロック３２に流路ブロック５２及び弁ブロック５５が設けられ、流路ブロック５２に弁ブロック５３が設けられ、弁ブロック５３に電磁弁５４が設けられ、弁ブロック５５に電磁弁５６が設けられていることの図示がある。
　また、弁ブロック５５には、給気路３６ｄに連通するポートが設けられており、空気供給室５７に連通するポートが設けられていることの図示がある。
　また、真空発生ブロック３２、流路ブロック５２及び弁ブロック５３には、給気路３６ｂに連通するポートと、給気路３６ｃに連通するポートとが、それぞれ設けられていることの図示がある。
　
ケ．甲第３号証記載の第１発明
　上記カ．に摘示する段落【００３４】の記載からみて、給気路３６ｄは電磁弁５６と連通しているから、電磁弁５６には、そのためのポート、すなわち正圧供給ポートが存在することは、明らかである。
　また、上記カ．に摘示する段落【００３１】の記載からみて、真空ホース２７が真空ポート４９と連通し、真空ポート４９が真空路４８と連通しており、さらに段落【００３４】の記載からみて、真空路４８が真空破壊路５８と連通し、真空破壊路５８が空気供給室５７と連通し、空気供給室５７が電磁弁５６と連通しているから、真空ホース２７は電磁弁５６と連通しているということができ、電磁弁５６には、その連通のためのポート、すなわち出力ポートが存在することは、明らかである。
　また、上記カ．に摘示する段落【００３３】の記載からみて、給気路３６ｂは電磁弁５４と連通しているから、電磁弁５４には、そのためのポート、すなわち第１のポートが存在するといえるし、給気路３６ｃは電磁弁５４と連通しているから、電磁弁５４には、そのためのポート、すなわち第２のポートが存在するといえる。
　そして、以上を技術常識をふまえて、本件特許発明１の記載に沿って整理すると、甲第３号証には、次の発明（以下、「甲第３号証記載の第１発明」という。）が記載されていると認める。
　
「上下動するピストンロッド３４の先端に設けられた吸着具２６の吸着面に電子部品Ｗを吸着させて電子部品Ｗを搬送する吸着搬送装置であって、
　正圧源に給気路３６ｄを介して連通する正圧供給ポート、および前記吸着具２６の真空ホース２７に連通する出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊用の電磁弁５６と、
　給気路３６ｂに連通する第１のポートと、給気路３６ｃに連通する第２のポートを有し、前記第２のポートを前記第１ポートに連通させる状態と、前記第２のポートを前記第１のポートから遮断する状態とに作動するエジェクタ作動用の電磁弁５４と、
　ディフューザ４６とノズル４７とから形成されるエジェクタであって、前記ディフューザ４６は、ノズル４７及び吸引ポート４６ｂと、大気に開放される排気ポート５１とを連通し、前記ノズル４７は、前記給気路３６ｃと、前記吸引ポート４６ｂ及びディフューザ４６とを連通し、前記吸引ポート４６ｂは前記真空ホース２７と連通している、エジェクタとを有し、
　前記正圧源からの正圧空気を前記真空ホース２７に連通させて電子部品Ｗの吸着を停止する際に、前記エジェクタ作動用の電磁弁５４の前記第２のポートを前記第１のポートから遮断し、真空破壊用の電磁弁５６の前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる吸着搬送装置。」
　
コ．甲第３号証記載の第２発明
　上記オ．で摘示する段落【００２９】の記載からみて、吸気ポート３５に圧縮空気を供給するための流路、すなわち正圧流路が接続されることは、明らかである。
　また、上記ク．で認定するように、弁ブロック５３には、給気路３６ｂと連通するポート、すなわち第１のポートが存在するといえるし、給気路３６ｃと連通するポート、すなわち第２のポートが存在するといえる。
　また、上記ク．で認定するように、弁ブロック５５には、給気路３６ｄに連通するポート、すなわち給気ポート３５に連通するポートが存在するといえる。
　また、上記カ．に摘示する段落【００３１】の記載からみて、真空ホース２７が真空ポート４９と連通し、真空ポート４９が真空路４８と連通しており、さらに段落【００３４】の記載からみて、真空路４８が真空破壊路５８と連通し、真空破壊路５８が空気供給室５７と連通し、上記ク．で認定するように、弁ブロック５５には、空気供給室５７と連通するポートが設けられているから、弁ブロック５５には、空気供給室５７を介して吸着具２６の真空ホース２７に連通するポート、すなわち出力ポートが存在するといえる。
　さらに、上記ク．で認定するように、真空発生ブロック３２に流路ブロック５２及び弁ブロック５５が設けられ、流路ブロック５２に弁ブロック５３が設けられ、弁ブロック５３に電磁弁５４が設けられ、弁ブロック５５に電磁弁５６が設けられているから、それらを一組の構成、すなわちユニットとして認識できるし、その一組の構成が、流路を切り換えているといえるから、流路切換ユニットであるといえる。
　そして、以上を技術常識をふまえて、本件特許発明３の記載に沿って整理すると、甲第３号証には、次の発明（以下、「甲第３号証記載の第２発明」という。）が記載されていると認める。
　
「上下動するピストンロッド３４の先端に設けられた吸着具２６の吸着面に電子部品Ｗを吸着させて電子部品Ｗを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニットであって、
　正圧源に正圧流路を介して連通する吸気ポート３５、空気供給室５７に連通するポート、前記吸着具２６の真空ホース２７に連通する真空ポート４９、給気路３６ｂに連通するポート、給気路３６ｃに連通するポート、及び大気に開放される排気ポート５１が形成された真空発生ブロック３２と、
　前記真空発生ブロック３２に設けられ、前記給気ポート３５と連通するポート、及び前記空気供給室５７を介して吸着具２６の真空ホース２７に連通する出力ポートを有する弁ブロック５５と、
　前記弁ブロック５５に設けられ、前記給気ポート３５を前記出力ポートに連通させる状態と前記給気ポート３５を遮断する状態とに作動する真空破壊用の電磁弁５６と、
　前記真空発生ブロック３２に設けられ、前記給気路３６ｂに連通するポートと、前記給気路３６ｃに連通するポートとを有する流路ブロック５２と、
　前記流路ブロック５２に設けられ、前記給気路３６ｂに連通する第１のポートと、前記給気路３６ｃに連通する第２のポートとを有する弁ブロック５３と、
　前記弁ブロック５３に設けられ、前記第２のポートを、前記第１のポートに連通させる状態と、前記第２のポートを前記第１のポートから遮断する状態とに作動するエジェクタ作動用の電磁弁５４と、
　前記真空発生ブロック３２に設けられ、ディフューザ４６とノズル４７とから形成されるエジェクタであって、前記ディフューザ４６は、前記ノズル４７及び吸引ポート４６ｂと、前記排気ポート５１とを連通し、前記ノズル４７は、前記第２のポートと、前記吸引ポート４６ｂ及び前記ディフューザ４６とを連通し、前記吸引ポート４６ｂは前記真空ポート４９と連通している、エジェクタとを有し、
　前記正圧源からの正圧空気を前記真空ホース２７に連通させて電子部品Ｗの吸着を停止する際に、前記エジェクタ作動用の電磁弁５４により前記第２のポートを前記第１のポートから遮断し、前記真空破壊用の電磁弁５６により前記給気ポート３５を前記出力ポートに連通させる流路切換ユニット。」
　
　
４．甲第４号証の記載事項、及び甲第４号証記載の発明
　
ア．段落【０００１】
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半田ボールを吸着してワークに搭載する吸着ヘッドの圧力調整に特徴を有する半田ボールマウント装置に関するものであって、主としてＢＧＡ（ボールグリッドアレー）半田ボールマウント装置で、半田ボールを基板に搭載する際の吸着ヘッド内のエアー圧力調整を主眼に開発されたものである。」
　
イ．段落【０００４】ないし【０００６】
「【０００４】半田ボールマウント装置における吸着ヘッドは、半田ボールをワークに搭載するため上昇、下降の動作を行わなければならず、配管はフレキシブルチューブを利用することになる。
【０００５】半田ボールが吸着されている状態ではフレキシブルチューブ内の気圧は負圧であるため、フレキシブルチューブは収縮し、フレキシブルチューブ内容積も減少している。この状態から半田ボールをワークに搭載するに際し、真空破壊を行い加圧装置と接続されるとフレキシブルチューブは膨張し、フレキシブルチューブ内容積も増加する。更に、フレキシブルチューブの膨張は反応が遅いため、図２に現れるように真空破壊直後に正圧となるが、フレキシブルチューブの膨張により負圧に戻る現象が生じるのである。このとき吸着ヘッドが上昇すると半田ボールは吸着ヘッドに戻されることになり、リメインボールが発生しやすくなるのである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、真空破壊時の吸着ヘッド内の正圧状態が維持できればリメインボールの発生は減少する点に着目し、吸着ヘッド内を大気へ接続する切替手段を設け、半田ボールをワークに搭載する際、吸着ヘッド内が負圧から正圧になった後、負圧に戻らないように切替手段を作動させて吸着ヘッド内を大気へ接続しようとするものである。」
　
ウ．段落【０００８】ないし【００１６】
「【０００８】
【発明の実施の形態】以下図示の実施例とともに発明の実施の形態につき説明する。図１は、本発明の一実施例を示す配管図である。図中１が半田ボール２を吸着してワークに搭載する吸着ヘッドであり、３が吸着ヘッド１内に負圧を発生させる真空吸引装置となる真空ポンプである。
【０００９】真空ポンプ３と吸着ヘッド１との間に存在する図中４は、真空破壊弁であり、真空破壊弁４と吸着ヘッド１の間は、フレキシブルチューブ５で接続されている。真空破壊弁４には、真空ポンプ３とともに吸着ヘッド１内に正圧を発生させる加圧装置である圧縮空気源６が接続されている。
【００１０】真空破壊弁４は、ＯＮで吸着ヘッド１と真空ポンプ３とを接続し、吸着ヘッド１内を負圧とする。ＯＦＦでは、圧縮空気源６側と吸着ヘッド１とを接続する。尚、真空破壊弁４と圧縮空気源６との間には、切替弁７が設けられている。切替弁７は、ＯＮで圧縮空気源６の圧縮空気を真空破壊弁４に接続し、ＯＦＦで圧縮空気源６と真空破壊弁４との接続を遮断する。
【００１１】吸着ヘッド１には、真空破壊弁４とともに大気開放弁８が接続されている。大気開放弁８は吸着ヘッド１近傍に設けられる。大気開放弁８は、ＯＮで大気と吸着ヘッド１が接続され、ＯＦＦで大気と吸着ヘッド１との接続を遮断する。
【００１２】図示の実施例では、切替弁７、真空破壊弁４、大気開放弁８は、ソレノイドバルブである。
【００１３】続いて、半田ボールをワークに搭載する際の動作を、真空破壊弁４、切替弁７、大気開放弁８のＯＮ／ＯＦＦ状態とともに説明する。まず、吸着ヘッド１が、半田ボール２をワークにマウントするため下降中、真空破壊弁４はＯＮ、切り替え弁７はＯＦＦ、大気開放弁８もＯＦＦの状態である。すなわち、吸着ヘッド１は真空ポンプ３と接続されており負圧状態で半田ボール２を吸着している。
【００１４】その後、吸着ヘッド１は下降を継続し、真空破壊弁４はＯＮ、切替弁７がＯＮ、大気開放弁８はＯＦＦとなる。すなわち、半田ボール２を離す前に切替弁７をＯＮにしておくのである。この結果、真空破壊弁４の機能により、吸着ヘッド１は、真空ポンプ３と接続されているが、真空破壊弁４には圧縮空気源６の正圧も掛かっているのである。
【００１５】吸着ヘッド１が、下降端で停止すると、真空破壊弁４はＯＦＦとなる。この時すでに切替弁７はＯＮとされているので、吸着ヘッド１は、圧縮空気源６と接続され、正圧とされ、半田ボール２を離す。尚、切替弁７は、所定時間フレキシブルチューブ５側にエアーを供給するとＯＦＦとなる。大気開放弁８は、真空破壊弁４のＯＦＦと同時または少し遅れてＯＮとなる。これにより、吸着ヘッド１内の圧力変化は図３に示すような波形となり、再度の負圧への戻りは防止しされ、リメインボールの発生を防止する。
【００１６】真空破壊弁４がＯＦＦ、切替弁７がＯＦＦ、大気開放弁８がＯＮの状態で、吸着ヘッド１は上昇し、半田ボール搭載動作が終了し、大気開放弁８もＯＦＦとなる。」
　
エ．図１の図示
　図１には、切替弁７と圧縮空気源６との間に流路が存在し、真空破壊弁４と真空ポンプ３との間に流路が存在することの図示がある。
　
オ．甲第４号証記載の発明
　上記エ．で認定するように、切替弁７と圧縮空気源６との間に流路が存在し、当該流路が正圧流路であることは、明らかであるし、当該流路は切替弁７と連通しているから、切替弁７には、そのためのポート、すなわち正圧供給ポートが存在することは、明らかである。
　また、上記ウ．に摘示する段落【００１０】の「切替弁７は、ＯＮで圧縮空気源６の圧縮空気を真空破壊弁４に接続し」という記載からみて、切替弁７が、圧縮空気を出力するためのポート、すなわち正圧出力ポートを有し、真空破壊弁４が、圧縮空気を入力するためのポート、すなわち正圧入力ポートを有することは、明らかである。
　また、上記エ．で認定するように、真空破壊弁４と真空ポンプ３との間に流路が存在し、当該流路が真空流路であることは、明らかであるし、当該流路は真空破壊弁４と連通しているから、真空破壊弁４には、そのためのポート、すなわち真空供給ポートが存在することは、明らかである。
　また、上記ウ．に摘示する段落【０００９】の「真空破壊弁４と吸着ヘッド１の間は、フレキシブルチューブ５で接続されている」との記載からみて、真空破壊弁４には、フレキシブルチューブ５と接続するためのポート、すなわち真空ポートが存在することは、明らかである。
　また、上記ウ．に摘示する段落【００１１】の「大気開放弁８は、ＯＮで大気と吸着ヘッド１が接続され、ＯＦＦで大気と吸着ヘッド１との接続を遮断する。」との記載からみて、大気開放弁８が、大気に開放するポート、すなわち大気開放ポートと、フレキシブルチューブ５に連通するポートとを有することは、明らかである。
　さらに、上記ウ．に摘示する段落【００１５】の「大気開放弁８は、真空破壊弁４のＯＦＦと同時または少し遅れてＯＮとなる。これにより、吸着ヘッド１内の圧力変化は図３に示すような波形となり、再度の負圧への戻りは防止しされ」という記載からみて、大気開放弁の大気開放ポートは、大気と接続することで、吸着ヘッド１内が負圧とならないように機能すること、すなわち、フレキシブルチューブ５を介して大気を吸着ヘッド１内に供給しているといえる。
　以上を技術常識をふまえて、本件特許発明１の記載に沿って整理すると、甲第４号証には、次の発明（以下、「甲第４号証記載の発明」という。）が記載されていると認める。
　
「上下動部材の先端に設けられた吸着ヘッド１の吸着面に半田ボール２を吸着させて半田ボール２を搬送する半田ボールマウント装置であって、
　圧縮空気源６に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、及び正圧を出力する正圧出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記正圧出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する切替弁７と、
　真空ポンプ３に真空流路を介して連通する真空供給ポートと、前記吸着ヘッド１のフレキシブルチューブ５に連通する真空ポートと、前記切替弁７の前記正圧出力ポートに連通する正圧入力ポートとを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記正圧入力ポートに連通させる状態とに作動する真空破壊弁４と、
　大気に開放され大気を前記フレキシブルチューブ５に供給する大気開放ポートと、前記フレキシブルチューブ５に連通するポートを有し、前記大気開放ポートを前記フレキシブルチューブ５に連通するポートに連通させる状態と前記大気開放ポートを遮断する状態とに作動する大気開放弁８と、を備え、
　前記圧縮空気源６からの正圧空気を前記フレキシブルチューブ５に連通させて半田ボール２の吸着を停止する際に、前記大気開放弁８の前記大気開放ポートをフレキシブルチューブ５に連通するポートに連通させて、前記吸着ヘッド１に連通させ、前記切替弁７の前記正圧供給ポートを前記正圧出力ポートに連通させ、前記真空破壊弁４の前記真空ポートを前記正圧入力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記フレキシブルチューブ５に連通させる半田ボールマウント装置。」
　
　
５．甲第５号証の記載事項及び甲第５号証記載の技術的事項
　
ア．段落【０００１】
「【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、バキュームパッドをガラス，木材，紙，鉄板等の吸着対象物に接触させ、それらをバキュームによる吸引力により持ち上げて目的とする場所に移動させるバキューム運搬装置に使用されるバキュームパッド用制御弁及びそれを使用したフィーダー，キャリヤ等の運搬システムに関する。」
　
イ．段落【００３１】ないし【００３２】
「【００３１】このように構成されるバキュームパッド用制御弁１を使用して運搬システムを構成する場合には、例えば図３に示すような構成にする。まず、上述したようにバキュームパッド用制御弁１の入口ポート３にバキュームパッドユニット２０を装着し、出口ポート４を真空系５に接続するが、その出口ポート４と真空系５との間の流路１７(ホース等により形成する)には切換弁１８を配設する。
【００３２】そして、その切換弁１８を、出口ポート４を真空系５に接続する図示の切換位置と、その出口ポート４を真空系５から遮断して出口ポート４にフィルタ２５を介して大気を導入する位置（図３から左方に切り換えた位置）とに切換可能にしている。なお、真空系５は、例えば真空タンク２６と、その真空タンク２６内が所定の真空度よりも低下したときに作動して、真空タンク２６内を再び所定の真空度に保つようにする真空ポンプ２７とからなる真空装置である。」
　
ウ．図３の図示
　図３には、ポートＡ、ポートＢ、及びポートＰを有する切換弁１８の図示があり、ポートＡが真空系５の真空タンク２６に接続されており、ポートＢがフィルタ２５に接続されており、ポートＰがバキュームパッド用制御弁１の出口ポート４に接続されていることの図示がある。
　
エ．甲第５号証記載の技術的事項　
　上記ウ．で認定するように、切換弁１８のポートＡが真空系５の真空タンク２６に接続されているから、その接続のための流路が真空流路であることは、明らかである。同様に、切換弁１８のポートＰがバキュームパッド用制御弁１の出口ポート４に接続されているから、その接続のための流路が着脱路であることは、明らかである。
　以上を技術常識をふまえて、本件特許発明１の記載に沿って整理すると、甲第５号証には、次の技術的事項（以下、「甲第５号証記載の技術的事項」という。）が記載されていると認める。
　
「真空系５の真空タンク２６に真空流路を介して連通するポートＡ、着脱路に連通するポートＰ、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するポートＢを有し、前記ポートＰを前記ポートＡに連通させる状態と前記ポートＰを前記ポートＢに連通させる状態とに作動する切換弁１８を、バキューム運搬装置に設けること。」
　
　
６．甲第６号証の記載事項及び甲第６号証記載の技術的事項
　
ア．第３４ページ左欄第１７行ないし最終行
「３．４　真空破壊と逆止弁による真空保持
　真空破壊
　搬送後、ワークの離すために、真空破壊（真空を大気に戻す）する方法にはいくつかある。
（１）全体のサイクル時間長い場合は、供給圧を止めて、エゼクタのサイレンサ、ディフューザからや、真空制御弁の場合フリーポートから大気を自然流入させて、真空破壊する。
（２）エゼクタ式真空ポンプのなかには、真空発生か強制的に真空破壊のための圧縮空気を流すかの２位置式のものがある。これはサイクルが極端に短い場合に適している。
（３）真空発生と強制破壊と別々に制御する。
　自然真空破壊と強制真空破壊の回路を図４に示す。」
　
イ．第３４ページ図４の左上欄の図示
　第３４ページ図４の左上欄には、「エゼクタ」における「自然真空破壊」についての図示があり、左側から、加圧源（二重丸の記号）と接続する流路を介して、真空制御弁が存在し、真空制御弁と接続する流路を介して、エゼクタのディフューザ及びサイレンサが存在し、また、エゼクタから下に向かう流路が、真空スイッチ及びフィルタを介して、パッドに連通するように、図示されている。
　また、真空制御弁には、フリーポートが示されており、真空制御弁は、エゼクタに接続する流路を加圧源に接続する流路に連通する状態と、エゼクタに接続する流路をフリーポートに接続する状態とに作動するように、図示されている。
　
ウ．第３４ページ図４の左下欄の図示
　第３４ページ図４の左下欄には、「真空ポンプ」における「自然真空破壊」についての図示があり、左側から、真空ポンプ（丸の中にＰの記号）と接続する流路を介して、真空制御弁が存在し、真空制御弁と接続する流路が下に向かっており、真空スイッチ及びフィルタを介して、パッドに連通するように、図示されている。
　また、真空制御弁には、フリーポートが示されており、真空制御弁は、パッドに連通する流路を真空ポンプに接続する流路に連通する状態と、パッドに連通する流路をフリーポートに接続する状態とに作動するように、図示されている。
　
エ．甲第６号証記載の技術的事項
　
　上記イ．で認定するように、真空制御弁が真空ポンプに接続されているから、その接続のための流路が真空流路であることや、真空制御弁にその接続のためのポート、すなわち真空供給ポートが存在することは、明らかである。同様に、真空制御弁がパッドに連通する流路に接続しているから、その流路が着脱路であることや、真空制御弁がその接続のためのポート、すなわち真空ポートを有することは、明らかである。
　以上を技術常識をふまえて、本件特許発明１の記載に沿って整理すると、甲第６号証には、次の技術的事項（以下、「甲第６号証記載の技術的事項」という。）が記載されていると認める。
　
「真空ポンプに真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するフリーポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記フリーポートに連通させる状態とに作動する真空制御弁を、ワークの運搬装置に設けること。」
　
　
７．甲第７号証の記載事項、甲第７号証記載の技術的事項、及び甲第７号証記載の発明
　
ア．段落【００１１】ないし【００１４】
「【００１１】まず、図１を参照して導電性ボールの搭載装置の全体構造を説明する。１０は導電性ボールの供給部としての容器であり、その内部には導電性ボール１が収納されている。９は基台である。１１はワークであり、その上面にはパッド１２が多数個形成されている。ワーク１１は位置決め部１３上に位置決めされている。位置決め部１３は可動テーブルであり、ワーク１１をＸ方向やＹ方向へ水平移動させてその位置を調整することができる。
【００１２】容器１０と位置決め部１３の上方には移動テーブル１４が設けられている。移動テーブル１４にはケース１５が保持されており、ケース１５には吸着ヘッド２１が保持されている。移動テーブル１４が駆動すると、ケース１５および吸着ヘッド２１は移動テーブル１４に沿って容器１０とワーク１１の間を移動する。
【００１３】図２において、ケース１５上にはモータ１６が設けられている。またケース１５の内部には、垂直な送りねじ１７が設けられている。送りねじ１７にはナット１８が装着されており、吸着ヘッド２１はナット１８に結合されている。したがってモータ１６が駆動して送りねじ１７が回転すると、ナット１８は送りねじ１７に沿って上下動し、吸着ヘッド２１も上下動する。すなわち、モータ１６、送りねじ１７、ナット１８は吸着ヘッド２１の上下動手段となっている。１９はケース１５の前面に設けられた垂直なガイドレール、２０は吸着ヘッド２１の背面に設けられてこのガイドレール１９に嵌合するスライダであり、ガイドレール１９とスライダ２０は吸着ヘッド２１の上下動を案内する。
【００１４】図２において、吸着ヘッド２１の内部には空間２２があり、またその下面には吸着孔２３が多数開孔されている。２４は吸引部であって、第１の弁２５や配管２６、２７を介して空間２２に接続されている。２８は高圧空気供給部であって、第２の弁２９や配管２６、２７を介して空間２２に接続されている。３０は第３の弁であって、配管２７を介して空間２２に接続されている。３１は第４の弁であって、配管３２を介して空間２２に接続されている。３３は制御部であって、吸引部２４、高圧空気供給部２８、第１の弁２５、第２の弁２９、第３の弁３０、第４の弁３１およびモータ制御部３４を制御する。モータ制御部３４はモータ１６の駆動を制御する。３５は記憶部であって、装置の運転に必要なデータを記憶する。３６はキーボードやマウスなどの入力部であって、必要なデータの入力などを行う。」
　
イ．段落【００１９】ないし【００２０】
「【００１９】次に、タイミング６で第１の弁２５を閉じることにより、吸引部２４による真空吸引を中止するとともに、第２の弁２９を開いて高圧空気供給部２８から空間２２に空気が送られる。これにより空間２２内は真空破壊され、その内圧は図４（ｅ）に示すように急激に上昇して負圧から正圧に瞬間的に切り替わる。次にタイミングｔ７で、第３の弁３０およびまたは第４の弁３１を開く。すると空間２２は外部と連通して外部の空気は空間２２内に瞬間的に導入され、空間２２の内圧は正圧から大気圧へ急激に低下する（タイミングｔ８）。また、タイミングｔ６〜ｔ８の間は、正圧となった空間２２から吹き出す空気によって導電性ボール１が吹き飛ばされないようにするために吸着ヘッド２１を下降させたままにしておき、吸引孔２３で導電性ボール１が移動しないようにその位置を規制しておく。
【００２０】以上のようにして空間２２はタイミングｔ６からタイミングｔ８の間に負圧→正圧→大気圧へ急激に変化し、吸着孔２３は導電性ボール１の真空吸着状態を積極的に解除する。そこでタイミングｔ８で第３の弁３０およびまたは第４の弁３１を閉じるとともに、吸着ヘッド２１は上昇を開始し（図３（ｃ）参照）、一連の搭載動作は終了する。以上のように本方法、高圧空気供給部２８から空間２２に正圧を付与して空間２２内の真空破壊を積極的に行うことにより、吸着孔２３からの導電性ボール１の離れをよくし、短時間で導電性ボール１をワーク１１のパッド１２上に搭載することができる。なおタイミングｔ１〜ｔ８は、プログラムデータとして予め記憶部３５に登録されている。」
　
ウ．図２の図示
　図２には、第１の弁２５と第２の弁２９とが、並列に設けられていることの図示がある。
　
エ．図４の図示
　図４（ｄ）及び（ｅ）には、タイミングｔ７及びタイミングｔ８の間において、第３の弁が開き、吸着ヘッド内圧の変化について、内圧が低下するように図示されている。
　
オ．甲第７号証記載の技術的事項
　上記ア．ないしイ．に摘示する記載事項、及び上記ウ．に摘示する図示を、技術常識をふまえて整理すると、甲第７号証には、次の技術的事項（以下、「甲第７号証記載の技術的事項」という。）が記載されていると認める。
　
「吸着ヘッド２１に連通する配管２６と高圧空気供給部２８との間を開閉する第２の弁２９と、吸着ヘッド２１に連通する配管２６と吸引部２４との間を開閉する第１の弁２５とを、並列に設けること。」
　
カ．甲第７号証記載の発明
　（ア）甲第７号証の誤記について
　上記イ．に摘示する段落【００１９】には、「次にタイミングｔ７で、第３の弁３０およびまたは第４の弁３１を開く。すると空間２２は外部と連通して外部の空気は空間２２内に瞬間的に導入され、空間２２の内圧は正圧から大気圧へ急激に低下する（タイミングｔ８）。」との記載があるところ、当該記載のうちの「外部の空気は空間２２内に瞬間的に導入され」という記載事項は、空間２２の圧力よりも外部の圧力の方が高いことを意味する一方、当該記載事項に続く、「空間２２の内圧は正圧から大気圧へ急激に低下する」という記載事項は、空間２２の圧力が正圧であること、すなわち空間２２の圧力よりも外部の圧力の方が低いことを意味するから、これらの２つの記載は、相互に矛盾している。そこで、上記図４の図示を参照すると、タイミングｔ７において、吸着ヘッド内圧、すなわち空間２２の圧力が大気圧よりも高く、タイミングｔ７及びタイミングｔ８の間において、吸着ヘッドの内圧が大気圧に至るまで低下していることを理解できるから、上記の段落【００１９】における「外部の空気は空間２２内に瞬間的に導入され」という記載事項は、誤記であると認める。
　
　（イ）甲第７号証記載の発明について
　上記ア．に摘示する段落【００１４】の記載からみて、第２の弁２９は高圧空気供給部２８と接続しているから、その接続のための流路、すなわち正圧流路が存在することは明らかであるし、第２の弁２９には、その接続のためのポート、すなわち正圧供給ポートが存在することは、明らかである。そして、第２の弁２９は、配管２６、２７を介して吸着ヘッド２１と接続しているから、第２の弁２９には、その接続のためのポート、すなわち出力ポートが存在することは、明らかである。
　また、第１の弁２５は吸引部２４と接続しているから、その接続のための流路、すなわち真空流路が存在することは明らかであるし、第１の弁２５には、その接続のためのポート、すなわち真空供給ポートが存在することは、明らかである。そして、第１の弁２５は、配管２６、２７を介して吸着ヘッド２１と接続しているから、第１の弁２５には、その接続のためのポート、すなわち真空ポートが存在することは、明らかである。
　また、第３の弁３０は配管２７と接続しているから、そのためのポートが存在することは明らかであるし、上記イ．に摘示する段落【００１９】の記載からみて、第３の弁３０は、外部に連通して、吸着ヘッド２１の内圧を低下させるポート、すなわち外部連通ポートが存在することは、明らかである。
　
　上記ア．ないしイ．に摘示する記載事項、及び上記ウ．に摘示する図示を、技術常識をふまえて、本件特許発明１の記載に沿って整理すると、甲第７号証には、次の発明（以下、「甲第７号証記載の発明」という。）が記載されていると認める。
　
「上下動するケース１５に設けられた吸着ヘッド２１の吸着孔２３に導電性ボール１を吸着させて導電性ボール１を移動させる搭載装置であって、
　高圧空気供給部２８に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、及び前記吸着ヘッド２１の配管２６、２７に連通する出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する第２の弁２９と、
　吸引部２４に真空流路を介して連通する真空供給ポート、及び前記配管２６、２７に連通する真空ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを遮断する状態とに作動する第１の弁２５と、
　外部に連通し吸着ヘッド２１の内圧を低下させる外部連通ポート、及び前記配管２７に連通するポートを有し、前記配管２７に連通するポートを、前記外部連通ポートに連通させる状態と、前記配管２７に連通するポートを遮断する状態とに作動する第３の弁３０とを有し、
　前記高圧空気供給部２８からの正圧空気を前記配管２６、２７に連通させて前記導電性ボール１の吸着を停止する際に、タイミングｔ６において、前記第１の弁２５の前記真空ポートを遮断し、前記タイミングｔ６において、前記第２の弁２９の前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させ、タイミングｔ７において、前記第３の弁３０の前記配管２７に連通するポートを、前記外部連通ポートに連通させることにより、前記吸着ヘッド２１の内圧を低下させる、搭載装置。」
　
　
８．甲第８号証の記載事項及び甲第８号証記載の技術的事項
　
ア．段落【００１２】ないし【００１３】
「【００１２】まず、真空吸着を解除するため、第１のエアオペレートバルブ１７をオフ状態に操作し、ステージ１１の配管１３に通じる真空吸着配管１６とバキューム配管１８との間を遮断する。次に、第３のエアオペレートバルブ２７をオン操作して、連通配管２６とエキゾースト配管２８との間を連通させる。このとき、連通配管２６は、第２のエアオペレートバルブ２２の一方の弁体２２ａによってエアブロー配管２１およびステージ１１の配管１３に通じており、第３のエアオペレートバルブ２７がオン状態となることにより、ステージ１１の表面とガラス基板１２との間は大気解放され、真空破壊される。
【００１３】次に、第２のエアオペレートバルブ２２をオン操作すると、他方の弁体２２ｂを通してエア配管２３とエアブロー配管２１とが連通する。このため、エア配管２３から供給される空気がエアブロー配管２１およびステージ１１の配管１３を通ってステージ１１の表面とガラス基板１２との間にエアブローされ、ガラス基板１２に対する真空吸着解除が行なわれる。」
　
イ．段落【００２９】ないし【００３０】
「【００２９】次に、ステージ１１上に真空吸着されたガラス基板１２を分離するべくエアブローを行なう場合、まず、第１のエアオペレートバルブ１７をオフにし、真空吸着配管１６とバキューム配管１８との間を遮断する。次に、第３のエアオペレートバルブ２７をオン操作して、連通配管２６とエキゾースト配管２８との間を連通させ、第２のエアオペレートバルブ２２の一方の弁体２２ａを通してステージ１１の表面とガラス基板１２との間を大気解放する。
【００３０】次に、エアブロー系２０を作動させるべく第２のエアオペレートバルブ２２をオン操作し、その他方の弁体２２ｂを通してエア配管２３とエアブロー配管２１とを連通させ、エア配管２３からエアブロー配管２１に空気を供給する。」
　
ウ．甲第８号証記載の技術的事項
　以上を技術常識をふまえて整理すると、甲第８号証には、次の技術的事項（以下、「甲第８号証記載の技術的事項」という。）が記載されていると認める。
　
「真空吸着を解除する際に、第１のエアオペレートバルブ１７をオフ状態に操作して、ステージ１１の配管１３に通じる真空吸着配管１６とバキューム配管１８との間を遮断し、次に、第３のエアオペレートバルブ２７をオン操作して、配管１３、エアブロー配管２１、第２のエアオペレートバルブ２２、連通配管２６及びエキゾースト配管２８を介して、ステージ１１を大気開放し、次に、第２のエアオペレートバルブ２２をオン操作して、エア配管２３、エアブロー配管２１及び配管１３を介して、ステージ１１にエアブローを行うこと。」
　
　
９．甲第９号証の記載事項及び甲第９号証記載の技術的事項
ア．段落【００１４】
「【００１４】以下、本実施の形態における液晶パネルの吸着ステージの動作を説明する。まず、液晶パネルが搬送ロボットにて吸着ステージ本体１の吸着面２に載置された後、２方向電磁制御弁１２ａ，１２ｂは常閉から常開に作動する。２方向電磁制御弁１２ｂが常開になると高圧空気が吸着空圧回路に供給され始める。供給された空気圧はチェック弁付き流量制御弁１４により任意に設定された流量に調整され、３方向２位置電磁制御弁１３から手動式排水器付きフィルタ１０を経て、常開状態の２方向電磁制御弁１２ａにより流れを方向制御され、外部へ排気される。このときに、液晶パネルが載置されて閉ざされた空気室となった真空吸着溝７の空気は、圧力差により手動式排水器付きフィルタ１０を通る空気の流れに引っ張られる作用を受け、真空吸着管８を介して外部へ排気され、圧力スイッチ１１の設定値に到達するまでそれらの動作が続けられる。圧力スイッチ１１が設定値に到達後、２方向電磁制御弁１２ａ，１２ｂが常閉状態に切り替わり、高圧空気の供給と排気が停止して本空圧回路は閉回路となり、液晶パネルの真空吸着を保持する。研削加工の仕事を終え、完了信号を受け取り後、２方向電磁制御弁１２ａが常開状態に切り替わり、真空吸着溝７は大気圧に戻るので液晶パネルの真空吸着は開放される。さらに、２方向電磁制御弁１２ｃが常開状態に切り替わり、真空吸着管８を介して真空吸着溝７から液晶パネルに向けてエアーブローされ搬送アームによって液晶パネルは吸着面２から剥離、取り出される。」
　
イ．甲第９号証記載の技術的事項
　上記ア．に摘示する記載事項を、技術常識をふまえて整理すると、甲第９号証には、次の技術的事項（以下、「甲第９号証記載の技術的事項」という。）が記載されていると認める。
　
「研削加工の仕事を終え、完了信号を受け取り後、２方向電磁制御弁１２ａが常開状態に切り替わり、真空吸着溝７は大気圧に戻るので液晶パネルの真空吸着は開放され、さらに、２方向電磁制御弁１２ｃが常開状態に切り替わり、真空吸着管８を介して真空吸着溝７から液晶パネルに向けてエアーブローされ搬送アームによって液晶パネルは吸着面２から剥離、取り出されること。」
　
　
１０．甲第１０号証の記載事項及び甲第１０号証記載の技術的事項
ア．段落【００２３】
「【００２３】なお前記封止弁４０と負圧流通路１１の端部である吸引口５１との間には、フィルタ５２が設けてあると共に、吸引口５１付近には、真空スイッチ５３が設けてある。ここで、前記高圧空気導入口５０と破壊用マスターバルブ６０との間の高圧流通路１０からは、操作分岐路１４が設けられ、負圧を発生させるための発生電磁弁５４及び負圧破壊を行うための破壊電磁弁５５に連通させてある。」
　
イ．図１の図示
　図１には、発生電磁弁５４と破壊電磁弁５５とが、ブロック状の部材に設けられており、当該ブロック状の部材には、流路やポートが設けられていることの図示がある。
　
ウ．甲第１０号証記載の技術的事項
　以上を技術常識をふまえて整理すると、甲第１０号証には、次の技術的事項（以下、「甲第１０号証記載の技術的事項」という。）が記載されていると認める。
　
「発生電磁弁５４と破壊電磁弁５５とが、ブロック状の部材に設けられており、当該ブロック状の部材には、流路やポートが設けられていること。」
　
　
１１．甲第１１号証の記載事項及び甲第１１号証記載の技術的事項
ア．第３０５ページ第１１ないし１７行
「（ｃ）　単動シリンダ回路
　単動シリンダは、一旦空気圧で作動させてその排気により操作力を解除し、スプリング・自重あるいは外力によって復帰させるものである。従ってその制御弁には一般的に３ポート弁を使用する。（図４−６）なお供給用および排気用の２ポート弁２個を使用してもよい（図４−７）。」
　
イ．甲第１１号証記載の技術的事項
　上記ア．に摘示する記載事項を、技術常識をふまえて整理すると、甲第１１号証には、次の技術的事項（以下、「甲第１１号証記載の技術的事項」という。）が記載されていると認める。
　
「単動シリンダの制御弁には、一般的に３ポート弁を使用するが、２ポート弁２個を使用してもよいこと。」
　
　
第４．対比及び判断
１．本件特許発明１について
　
（１）本件特許発明１と甲第１号証記載の発明との対比及び判断
　
ア．本件特許発明１と甲第１号証記載の発明との一致点及び相違点
　甲第１号証記載の発明の「上下方向に揺動するアーム６」が、本件特許発明１の「上下動部材」に相当し、「バキュームパッド１７」が「吸着具」に相当し、「グロメットＷ」が「ワーク」に相当し、「グロメットＷを吸着させてグロメットＷを搬送する吸着装置」が「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置」に相当することは、明らかである。
　また、甲第１号証記載の発明の「加圧空気供給源３１」が本件特許発明１の「正圧源」に相当し、「正圧供給ポート」が「正圧供給ポート」に相当することも、明らかである。そして、甲第１号証記載の発明において「管路３９、破壊バルブ３５及び管路４１を介して前記バキュームパッド１７の管路３８に連通する」ことは、本件特許発明１において「吸着具の着脱路に連通する」ことに相当するから、甲第１号証記載の発明の「出力ポート」は、本件特許発明１の「出力ポート」に相当する。また、甲第１号証記載の発明の「正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と、正圧供給ポートを管路３７に連通させる状態とに作動する切換弁３２」は、「正圧供給ポートを出力ポートに連通する状態に作動する制御弁」という点で、本件特許発明１の「正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁」と共通する。
　そして、甲第１号証記載の発明において、「正圧源からの正圧空気を管路３８に連通させてグロメットＷの吸着を停止する際に、切換弁３２の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、排気装置３４を正圧供給ポートと管路３８に同時に連通させる」ことは、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通する」という点で、本件特許発明１において、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記着脱路に連通させること」と共通する。
　以上から、本件特許発明１と甲第１号証記載の発明とは、以下の一致点Ａの点で一致し、相違点１ないし３の点で相違する。
　
　＜一致点Ａ＞
　「上下動部材の先端に設けられた吸着具の吸着面にワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置であって、
　正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、および前記吸着具の着脱路に連通する出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通する状態に作動する制御弁を有し、
　正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、制御弁の前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通する吸着搬送装置。」である点。
　
　＜相違点１＞
　本件特許発明１の真空破壊弁は、「正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する」のに対して、甲第１号証記載の発明の「切換弁３２」は、「正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と、正圧供給ポートを管路３７に連通させる状態とに作動する」点。
　
　＜相違点２＞
　本件特許発明１は、「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」を備えるのに対して、甲第１号証記載の発明は、そのような真空供給弁を備えていない点。
　
　＜相違点３＞
　正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、本件特許発明１では、「真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと着脱路に連通させる」のに対して、甲第１号証記載の発明では、真空供給制御弁を有しておらず、「切換弁３２の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、排気装置３４を正圧供給ポートと管路３８に同時に連通させる」点。
　
イ．相違点１についての判断
　甲第１号証記載の発明の切換弁３２が、「正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と、正圧供給ポートを管路３７に連通させる状態とに作動する」理由は、正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態において、真空破壊を行う一方、正圧供給ポートを管路３７に連通させる状態において、ベンチュリー３３に正圧空気を供給し、管路３８に負圧を発生させるためであるところ、上記第３．１．カ．に摘示するように、甲第１号証には、負圧を発生するための手段として、加圧空気供給源３１及びベンチュリー３３に代えて、真空ポンプを用い、その場合には、「別の加圧空気供給源」を管路３８につなげることの教示がある。当該教示における真空ポンプが、真空吸着を行うための真空源を意味し、「別の加圧空気供給源」が、真空破壊を行うための正圧源を意味することは、明らかであるから、当該教示のとおりに真空ポンプ及び「別の加圧空気供給源」を採用して、「別の加圧空気供給源」を管路３８につなげるとすれば、上記ア．で説示した、甲第１号証記載の発明の「加圧空気供給源３１」に代えて、「別の加圧空気供給源」が本件特許発明１の「正圧源」に相当することになる。
　そして、そのように真空ポンプ及び「別の加圧空気供給源」を採用するとすれば、「別の加圧空気供給源」と管路３８とを連通させる状態において真空破壊を行う一方、真空ポンプによって管路３８に負圧を発生させて真空吸着を行う際には、「別の加圧空気供給源」と管路３８との連通を遮断する必要があることは明らかである。さらに、流路を連通する状態と、遮断する状態とに切り換えるための手段として、流路に弁を設けることは、ごく普通に行われている事項といえるから、本件特許発明１の「正圧源」に相当する「別の加圧空気供給源」と管路３８とを連通させる状態と、「別の加圧空気供給源」と管路３８との連通を遮断する状態とを実現するように、正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する弁、すなわち本件特許発明１における真空破壊弁を設けることは、当業者にとって、格別に困難な事項ではない。
　
ウ．相違点２についての判断
　（ア）甲第５及び６号証に示す周知の技術的事項について
　上記第３．５．エ．に摘示する甲第５号証記載の技術的事項は、
「真空系５の真空タンク２６に真空流路を介して連通するポートＡ、着脱路に連通するポートＰ、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するポートＢを有し、前記ポートＰを前記ポートＡに連通させる状態と前記ポートＰを前記ポートＢに連通させる状態とに作動する切換弁１８を、バキューム運搬装置に設けること。」
であるところ、甲第５号証記載の技術的事項の「真空系５の真空タンク２６」が、本件特許発明１の「真空源」に相当し、「ポートＡ」が「真空供給ポート」に相当し、「ポートＰ」が「真空ポート」に相当し、「バキューム運搬装置」が「吸着搬送装置」に相当することは、明らかである。また、甲第５号証記載の技術的事項の「大気に開放され大気を前記着脱路に供給するポートＢ」は、「大気に開放され大気を着脱路に供給する大気供給ポート」という点で、本件特許発明１の「大気に開放され大気を着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポート」と共通する。
　
　また、上記第３．６．エ．に摘示する甲第６号証記載の技術的事項は、
「真空ポンプに真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するフリーポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記フリーポートに連通させる状態とに作動する真空制御弁を、ワークの運搬装置に設けること。」
であるところ、甲第６号証記載の技術的事項の「真空ポンプ」が、本件特許発明１の「真空源」に相当し、「真空供給ポート」が「真空供給ポート」に相当し、「真空ポート」が「真空ポート」に相当し、「ワークの運搬装置」が「吸着搬送装置」に相当することは、明らかである。また、甲第６号証記載の技術的事項の「大気に開放され大気を前記着脱路に供給するフリーポート」は、「大気に開放され大気を着脱路に供給する大気供給ポート」という点で、本件特許発明１の「大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに前記正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポート」と共通する。
　そうすると、甲第５ないし６号証記載の技術的事項を、本件特許発明１の用語を用いて整理すると、
「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、及び大気に開放され大気を着脱路に供給する大気供給ポートを有し、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気供給ポートに連通させる状態とに作動する制御弁を、吸着搬送装置に設けること。」といえる。
　以上のとおり、「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、及び大気に開放され大気を着脱路に供給する大気供給ポートを有し、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気供給ポートに連通させる状態とに作動する制御弁」は、上記第３．５．エ．に摘示する甲第５号証記載の技術的事項や、上記第３．６．エ．に摘示する甲第６号証記載の技術的事項に示すように、周知の技術的事項である。
　
　（イ）甲第１号証記載の発明に周知の制御弁を適用することについて
　上記第３．１．カ．に摘示するように、甲第１号証には、加圧空気供給源３１及びベンチュリー３３に代えて、真空ポンプを用い、「別の加圧空気供給源」を管路３８につなげることの開示がある。
　しかし、甲第１号証には、真空ポンプを用いる際に、周知の技術的事項に係る制御弁を採用することの開示や示唆はないから、甲第１号証記載の発明において、加圧空気供給源及びベンチュリ−に代えて、真空ポンプを用いる際に、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態とに作動する制御弁を採用するべき理由はない。
　
　これに対して、請求人は、審判請求書第３５ページ第１ないし２０行において、甲第１号証には、「大気開放」による真空破壊と「正圧供給」による真空破壊との両方を行うという技術思想が開示されているから、甲第１号証記載の発明において、加圧空気供給源３１及びベンチュリー３３に代えて、真空ポンプを用いる際に、「大気開放」による真空破壊が実現されるように、大気供給ポートを有する周知の制御弁を採用することは、当業者が容易に想到し得るものであって、周知の制御弁を採用すれば、その大気供給ポートは、大気を着脱路に供給するだけでなく、「正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する」機能を備えることになる旨、主張しているので、以下に検討する。
　甲第１号証における「大気開放」は、上記第３．１．オ．に摘示するように、「排気装置３４」を介して行われるものであるところ、当該「排気装置３４」は、上記第３．１．エ．に摘示するように、「ベンチュリー３３」に供給された正圧空気を外部に放出するものであるから、当該「排気装置３４」は、ベンチュリーに付属する構成であるということができ、甲第１号証における「大気開放」は、ベンチュリーが存在することに付随して行われる作用であるといえる。また、上記第３．１．カ．に摘示する甲第１号証の記載にしたがって、ベンチュリーに代えて真空ポンプを採用するとすれば、ベンチュリーに付属する構成である「排気装置３４」が存在しなくなるから、ベンチュリーに付随した「大気開放」は生じない。
　そして、上記第３．１．イ．に摘示する「（発明が解決しようとする課題）」の欄や、「（作用）」の欄を参照すると、「大気に開放」することによる真空破壊では、ワークの吸着解除が行えない場合があるのに対して、「積極的に気体を噴出せしめる」こと、すなわち「正圧供給」による真空破壊を行えば、確実にワークの吸着解除を行うことができると理解できるから、ワークの吸着解除という作用に関しては、「正圧供給」による真空破壊の方が優れており、「大気開放」による真空破壊の方が劣っていると考えざるを得ない。
　これらを考慮すると、請求人が主張するように、甲第１号証には、「大気開放」と「正圧供給」の両方を行うという技術思想が開示されているけれども、「大気開放」と「正圧供給」の両方を行う理由は、ベンチュリーに付随して行われる「大気開放」による真空破壊では、ワークが吸着解除なされない場合があるから、「正圧供給」による真空破壊を重畳して付加することで、ワークの吸着解除を確実に行うことにあるといえる。そして、甲第１号証記載の発明において、加圧空気供給源３１及びベンチュリー３３に代えて、真空ポンプを用いるとすれば、ベンチュリー３３に付随した「大気開放」は生じないし、甲第１号証記載の発明は、ワークの吸着解除という作用に関して優れている「正圧供給」による真空破壊が実現されているのであるから、加圧空気供給源３１及びベンチュリー３３に代えて真空ポンプを用いる際に、ワークの吸着解除という作用に関して劣っている「大気開放」による真空破壊を、「正圧供給」による真空破壊に重畳して付加することは、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　したがって、請求人が主張するように、甲第１号証に、「大気開放」による真空破壊と「正圧供給」による真空破壊との両方を行うという技術思想が開示されており、甲第１号証記載の発明において、加圧空気供給源３１及びベンチュリー３３に代えて、真空ポンプを用いるとしても、その際に、周知の技術的事項に係る真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態とに作動する制御弁を採用することにはならない。
　そして、本件特許発明１は、上記第１．２．（２）オ．で認定したとおり、大気を着脱路に供給すると共に、正圧空気の一部を大気開放ポートから排気させるように、本件特許発明１に係る真空供給制御弁を採用しているところ、甲第１号証や、その他の甲第２ないし１１号証には、「大気に開放され大気を着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートを有」するような制御弁について、開示も示唆もない。
　すなわち、上記（ア）に説示する周知の制御弁の「大気供給ポート」は、大気を着脱路に供給することはあり得るとしても、そもそも着脱路に正圧が供給されることがないから、「大気供給ポート」から正圧空気の一部を排気させるものではない。
　したがって、大気を着脱路に供給すると共に、正圧空気の一部を大気開放ポートから排気させるように、本件特許発明１に係る真空供給制御弁を採用する理由はない。
　以上から、甲第１号証記載の発明において、周知の技術的事項に係る制御弁を採用することは、当業者にとって、容易に想到できたものとはいえないし、甲第１号証記載の発明において、相違点２に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者にとって、容易に想到できたものとはいえない。
　
エ．相違点３についての判断
　当該相違点３は、相違点２に係る真空供給制御弁が存在することを前提とするものであるところ、上記ウ．（イ）で説示したとおり、甲第１号証記載の発明において、加圧空気供給源３１及びベンチュリー３３に代えて、真空ポンプを用いる際に、周知の制御弁を採用する理由はないし、大気を着脱路に供給すると共に、正圧の一部を大気開放ポートから排気させるように、本件特許発明１に係る真空供給制御弁を採用する理由もないから、相違点３に係る構成についても、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
オ．甲第１号証記載の発明に基づく理由のむすび
　上記ウ．ないしエ．に説示したとおりであるから、本件特許発明１は、甲第１号証記載の発明及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
（２）本件特許発明１と甲第２号証記載の発明との対比及び判断
　
ア．本件特許発明１と甲第２号証記載の発明との一致点及び相違点
　甲第２号証記載の発明の「上下動するノズル保持部１０」が、本件特許発明１の「上下動部材」に相当し、「吸着ノズル１１」が「吸着具」に相当し、「部品」が「ワーク」に相当し、「部品を吸着させて部品を搬送する部品吸着装置」が「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置」に相当することは、明らかである。
　また、甲第２号証記載の発明の「エア供給源２０」が本件特許発明１の「正圧源」に相当し、「正圧供給ポート」が「正圧供給ポート」に相当し、「吸着ノズル１１の管路１５」が「吸着具の着脱路」に相当し、「出力ポート」が「出力ポート」に相当し、「真空破壊電磁弁２２」が「真空破壊制御弁」に相当することは、明らかである。
　また、甲第２号証記載の発明の「真空ポンプ３０」が本件特許発明１の「真空源」に相当し、「真空供給ポート」が「真空供給ポート」に相当し、「真空ポート」が「真空ポート」に相当することは、明らかである。そして、甲第２号証記載の発明の「真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と前記真空供給ポートを遮断する状態とに作動する真空発生電磁弁１９」は、「真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態に作動する制御弁」という点で、本件特許発明１の「真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」と共通する。
　そして、甲第２号証記載の発明において、「エア供給源２０からの正圧空気を管路１５に連通させて部品の吸着を停止する際に、真空発生電磁弁１９により真空供給ポートを遮断し、真空破壊電磁弁２２の正圧供給ポートを出力ポートに連通させること」は、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させる」という点で、本件特許発明１において、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記着脱路に連通させること」と共通する。
　以上から、本件特許発明１と甲第２号証記載の発明とは、以下の一致点Ｂの点で一致し、相違点４ないし５の点で相違する。
　
　＜一致点Ｂ＞
　「上下動部材の先端に設けられた吸着具の吸着面にワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置であって、
　正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、および前記吸着具の着脱路に連通する出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁と、
　真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、及び前記着脱路に連通する真空ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態に作動する制御弁とを有し、
　前記正圧源からの正圧空気を前記着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、前記真空破壊制御弁の前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる吸着搬送装置。」
である点。
　
　＜相違点４＞
　本件特許発明１の「真空供給制御弁」は、「大気に開放され大気を着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートを有し、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態とに作動する」のに対して、甲第２号証記載の発明の「真空発生電磁弁１９」は、大気開放ポートを有しておらず、真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態には作動しない点。
　＜相違点５＞
　正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、本件特許発明１では、「真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと着脱路に連通させる」のに対して、甲第２号証記載の発明では、大気開放ポートを有していないから、大気開放ポートを正圧供給ポートと着脱路に連通させていない点。
　
イ．相違点４についての判断
　上記（１）ウ．（ア）に説示するように、「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、及び大気に開放され大気を着脱路に供給する大気供給ポートを有し、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気供給ポートに連通させる状態とに作動する制御弁」は、周知の技術的事項である。
　しかし、甲第２号証には、図６に示す吸着搬送装置に関して、真空発生電磁弁１９に代えて、周知の技術的事項に係る制御弁を採用することの開示や示唆はないから、甲第２号証記載の発明において、真空発生電磁弁１９に代えて、大気供給ポートを有する周知の技術的事項に係る制御弁を採用するべき理由はない。
　
　これに対して、請求人は、審判請求書の第３８ページ第１６行ないし第３９ページ第１行において、上記第３．２．エ．に摘示する甲第２号証の段落【００１６】、及び上記第３．２．カ．に摘示する段落【００２８】には、大気開放による真空破壊の開示があるから、甲第２号証記載の発明においても、大気開放による真空破壊をすることは当然に予定していることであり、大気開放による真空破壊をするための構成として、大気供給ポートを有する制御弁は、甲第５ないし６号証に示すように周知であるから、甲第２号証記載の発明の真空発生電磁弁１９に代えて、大気供給ポートを有する周知の制御弁を採用することは、当業者にとって、想到することが容易である旨を主張し、さらに、審判請求書の第３９ページ第２０行ないし第４０ページ第１行において、甲第２号証記載の発明に周知の制御弁を採用すれば、その大気供給ポートは、大気を着脱路に供給するだけでなく、「正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する」機能を備えることになる旨、主張しているので、以下に検討する。
　甲第２号証の上記段落【００１６】及び上記段落【００２８】には、真空発生電磁弁１９をオフにすると、自然に真空圧が破壊されることについての記載はあるが、当該記載は、図１に示す真空発生器１７についての記載であって、上記第３．２．エ．に摘示する段落【００１５】を参照すると、真空発生器１７は、「エジェクタ」である。
　そして、当該「エジェクタ」とは、上記第３．１．エ．に摘示する甲第１号証の「ベンチュリー」や、上記第３．６．ア．ないしイ．に摘示する甲第６号証の「エゼクタ」と同様に、正圧空気を噴射することにより生じる負圧を利用して、真空を発生する装置であって、当該装置は、甲第１号証の「ベンチュリ−」や、甲第６号証の「エゼクタ」と同様に、噴射された正圧空気を排気するための排気装置を有しており、正圧空気の噴射が停止すると、排気装置から、大気圧によって大気が流入して、自然に真空破壊が行われるものであることは、明らかである。
　そうすると、上記段落【００２８】に記載されている、自然に真空圧が破壊されることは、真空発生器１７がエジェクタであることにより、エジェクタが有している排気装置から、大気圧により大気が流入して、自然に真空破壊されることを意味しているといえる。
　また、上記段落【００２８】には、「上記ステップＳ５、Ｓ６では、真空発生電磁弁１９がオフにされて故障解析が行なわれるが、その場合、各配管内の真空は自然に破壊されるので、大気圧に戻るのに時間がかかる。そこで、その時間を減少させるために、正圧を加圧し真空を加圧破壊することが行なわれる。すなわち、ステップＳ７で真空発生電磁弁１９をオンにして真空圧を発生させた後、ステップＳ８でオフにすると、自然に真空圧は破壊されるが、その時間を減少させるために、ステップＳ９で真空破壊電磁弁２２をオンにして正圧を発生させる。」との記載があり、当該記載は、真空発生電磁弁１９がオフにされることにより自然に行われる真空破壊は、大気圧に戻るまでの時間がかかるから、その時間を短縮させるために、真空破壊電磁弁２２をオンにして正圧を発生させることを示している。
　また、上記第３．２．カ．に摘示する段落【００２９】には、「この状態が図５に図示されており、ｔ６で真空発生電磁弁１９がオフにされた後、ｔ７で真空破壊電磁弁２２をオンにすると、正圧が発生するので、大気圧に戻る傾斜が大きくなる。・・・（後略）」との記載があり、当該記載から、大気圧に戻る傾斜、すなわち、真空を破壊して大気圧に戻す能力は、真空破壊電磁弁２２をオンにして正圧を供給することによる真空破壊の方が、傾斜が大きいこと、すなわち能力が優れており、それに対して、真空発生電磁弁１９がオフにされることにより大気圧で自然に行われる真空破壊の方が、能力が劣っているといえる。
　これらを総合すると、上記段落【００２８】ないし【００２９】には、図１に示す真空発生電磁弁１９がオフにされると、真空発生器１７がエジェクタであることにより、エジェクタが有している排気装置から大気圧で大気が流入して、自然に真空破壊されるところ、その真空破壊の能力が劣っており、大気圧に戻るまでの時間がかかるために、その時間を短縮させるように、真空破壊電磁弁２２をオンにして正圧を発生させることによる真空破壊を重畳して行うことが示されているといえる。
　甲第２号証記載の発明は、エジェクタを有していないから、上記段落【００１６】及び上記段落【００２８】に記載されているような、大気圧による自然真空破壊が行われることはないし、甲第２号証記載の発明は、真空破壊電磁弁２２を有しているから、正圧を発生させることによる真空破壊を行う吸着搬送装置であり、その真空破壊の能力は、自然真空破壊によるものよりも、優れているといわざるをえない。そうすると、正圧を発生させることによる真空破壊を行う甲第２号証記載の発明に、真空破壊の能力に関して劣っている、大気圧による自然真空破壊を重畳して行うように、周知の技術的事項に係る制御弁を採用することは、当業者が容易に想到し得る事項とはいえない。
　したがって、請求人が主張するように、甲第２号証の段落【００１６】及び段落【００２８】に大気開放による真空破壊の開示があるとしても、甲第２号証記載の発明において、大気開放による真空破壊を重畳する理由がない以上、真空発生電磁弁１９に代えて、周知の技術的事項に係る制御弁を採用することは、当業者にとって、容易に想到できたものとはいえない。
　そして、本件特許発明１は、上記第１．２．（２）オ．で認定したとおり、大気を着脱路に供給すると共に、正圧の一部を大気開放ポートから排気させるように、本件特許発明１に係る真空供給制御弁を採用しているところ、甲第２号証や、甲第１号証及び甲第３ないし１１号証には、「大気に開放され大気を着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートを有」するような制御弁について、開示も示唆もない。
　したがって、大気を着脱路に供給すると共に、正圧空気の一部を大気開放ポートから排気させるように、甲第２号証記載の発明に、相違点４に係る真空供給制御弁を採用する理由はない。
　以上から、甲第２号証記載の発明において、真空発生電磁弁１９に代えて、周知の技術的事項に係る制御弁を採用することは、当業者にとって、容易に想到できたものとはいえないし、甲第２号証記載の発明において、相違点４に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者にとって、容易に想到できたものとはいえない。
　
ウ．相違点５についての判断
　当該相違点５は、相違点４に係る真空供給制御弁が存在することを前提とするものであるところ、上記イ．で説示したとおり、甲第２号証記載の発明において、真空発生電磁弁１９に代えて、周知の技術的事項に係る制御弁を採用するべき理由はないし、大気を着脱路に供給すると共に、正圧の一部を大気開放ポートから排気させるように、本件特許発明１に係る真空供給制御弁を採用する理由もないから、相違点５に係る構成についても、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
エ．甲第２号証記載の発明に基づく理由のむすび
　上記イ．ないしウ．に説示したとおりであるから、本件特許発明１は、甲第２号証記載の発明及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
（３）本件特許発明１と甲第３号証記載の第１発明との対比及び判断
　
ア．本件特許発明１と甲第３号証記載の第１発明との一致点及び相違点
　甲第３号証記載の第１発明の「上下動するピストンロッド３４」が、本件特許発明１の「上下動部材」に相当し、「吸着具２６」が「吸着具」に相当し、「電子部品Ｗ」が「ワーク」に相当し、「電子部品Ｗを吸着させて電子部品Ｗを搬送する吸着搬送装置」が「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置」に相当することは、明らかである。
　また、甲第３号証記載の第１発明の「正圧源」が本件特許発明１の「正圧源」に相当し、「給気路３６ｄ」が「正圧流路」に相当し、「正圧供給ポート」が「正圧供給ポート」に相当し、「吸着具２６の真空ホース２７」が「吸着具の着脱路」に相当し、「出力ポート」が「出力ポート」に相当し、「真空破壊用の電磁弁５６」が「真空破壊制御弁」に相当することは、明らかである。
　そして、甲第３号証記載の第１発明において、「正圧源からの正圧空気を真空ホース２７に連通させて電子部品Ｗの吸着を停止する際に、エジェクタ作動用の電磁弁５４の第２のポートを第１のポートから遮断し、真空破壊用の電磁弁５６の正圧供給ポートを出力ポートに連通させる」ことは、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させる」という点で、本件特許発明１において、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記着脱路に連通させること」と共通する。
　以上から、本件特許発明１と甲第３号証記載の第１発明とは、以下の一致点Ｃの点で一致し、相違点６ないし７の点で相違する。
　
　＜一致点Ｃ＞
「上下動部材の先端に設けられた吸着具の吸着面にワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置であって、
　正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、および前記吸着具の着脱路に連通する出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁を有し、
　前記正圧源からの正圧空気を前記着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、前記真空破壊制御弁の前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる吸着搬送装置。」である点。
　
　＜相違点６＞
　本件特許発明１は、「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、及び大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」を備えるのに対して、甲第３号証記載の第１発明は、そのような真空供給制御弁を備えていない点。
　
　＜相違点７＞
　正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、本件特許発明１では、「真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと着脱路に連通させる」のに対して、甲第３号証記載の第１発明では、真空供給制御弁を有していないから、そのような連通を行っていない点。
　
イ．相違点６についての判断
　甲第３号証記載の第１発明の吸着搬送装置は、本件特許発明１と同様に、真空を利用して吸着具の吸着面にワークを吸着させる装置ではあるが、真空を供給する手段としてエジェクタを採用しているため、本件特許発明１のような「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート」を有する真空供給制御弁を備えていない。
　そして、甲第３号証には、真空を供給する手段として、エジェクタに代えて、真空ポンプのような真空源を採用することの記載や示唆はないから、甲第３号証記載の第１発明のエジェクタに代えて真空源を採用する理由がなく、真空源を有していない以上、本件特許発明１のような「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート」を有する真空供給弁を設ける理由もない。
　
　これに対して、請求人は、審判請求書の第４２ページ第４ないし１０行において、真空供給手段として、エジェクタを利用したタイプと、真空ポンプを利用したタイプとがあり、これを適宜選択して使用し得ることは、上記第３．６．イ．ないしウ．に摘示する甲第６号証や、上記第３．１．カ．に摘示する甲第１号証、及び上記第３．２．キ．に摘示する甲第２号証に示すように周知の技術的事項であるから、甲第３号証記載の第１発明のエジェクタに代えて、真空ポンプのような真空源を採用することが、当業者にとって容易である旨、主張している。
　そこで、当該主張について検討すると、甲第３号証には、上記第３．３．イ．に摘示する段落【０００８】に、「本発明の目的は、電子部品を吸着して搬送するようにした吸着搬送装置における吸着搬送器の軽量化を可能とすることにある。」と記載され、また、上記第３．３．ア．に摘示する請求項１の末尾に「・・・・・（前略）前記それぞれの吸着搬送器における前記給気ポートから供給された圧縮空気を前記空気圧シリンダと前記エジェクタの前記ノズルと前記真空破壊路とに共通に案内するようにしたことを特徴とする電子部品の吸着搬送装置。」と記載され、さらに、上記第３．３．キ．に摘示する段落【００３８】に、「各々の吸着搬送器２５は空気圧シリンダ３１の空気圧室３７ａ，３７ｂと、ディフューザ４６とノズル４７とからなるエジェクタと、真空破壊路５８とに対して１つの共通の給気ポート３５から分配して供給することができるので、それぞれに空気を供給するためのホースを這い回すことなく、全体的にコンパクトかつ軽量の吸着搬送器２５とすることができる。したがって、これらをたとえば、８つ積層して１つの吸着搬送ユニット２４としても、その重量を大きくすることなく、搬送ヘッド１６を迅速に移動させることができる。」と記載されている。
　これらの記載を考慮すると、甲第３号証には、吸着搬送器の軽量化を可能とすることを目的とし、当該目的を達成するために、「給気ポートから供給された圧縮空気を空気圧シリンダとエジェクタのノズルと真空破壊路とに共通に案内する」ことが示されているといえる。
　そして、請求人の主張のとおりに、甲第３号証記載の第１発明のエジェクタに代えて、真空ポンプのような真空源を採用するならば、圧縮空気をエジェクタのノズルと真空破壊路とに共通に案内することにはならないから、吸着搬送器の軽量化、すなわち、甲第３号証に記載された目的に反することになる。
　したがって、真空供給手段として、エジェクタを利用したタイプと、真空ポンプを利用したタイプとがあり、これを適宜選択して使用し得ることは、甲第６号証や甲第１ないし２号証に示すように周知の技術的事項であるとしても、甲第３号証に記載されている目的に反する以上、甲第３号証記載の第１発明のエジェクタに代えて、真空ポンプのような真空源を採用することは、当業者にとって想到することが容易であるとはいえない。
　そして、甲第３号証記載の第１発明のエジェクタに代えて真空源を採用する理由がない以上、本件特許発明１のような「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート」を有する真空供給制御弁を設ける理由もない。
　したがって、甲第３号証記載の第１発明の着搬送装置に、相違点６に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者にとって容易に想到できた事項とはいえない。
　
　なお、仮に、甲第３号証記載の第１発明のエジェクタに代えて真空源を採用することが、当業者にとって容易に想到できたとしても、甲第３号証記載の第１発明に甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に係る制御弁を採用する理由はないし、甲第３号証記載の第１発明に本件特許発明１に係る真空供給制御弁を採用する理由もない。
　すなわち、甲第３号証記載の第１発明は、真空破壊制御弁を有しており、正圧を発生させることによる真空破壊を行う吸着搬送装置であるから、大気開放による真空破壊を重畳する理由がなく、大気開放による真空破壊を重畳する理由がない以上、大気供給ポートを有する周知の制御弁を採用することは、当業者にとって、容易に想到できたものとはいえない。また、甲第１号証ないし２号証や、甲第４号証ないし１１号証のいずれの文献にも、「大気に開放され大気を着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートを有」するような制御弁について、開示も示唆もないから、甲第３号証記載の第１発明の吸着搬送装置に、相違点６に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者にとって容易に想到できた事項とはいえない。
　
ウ．相違点７についての判断
　当該相違点７は、相違点６に係る真空供給制御弁が存在することを前提とするものであるところ、上記イ．で説示したとおり、甲第３号証記載の第１発明において、真空供給制御弁を設ける理由はないから、相違点７に係る構成についても、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
エ．甲第３号証記載の発明に基づく理由のむすび
　上記イ．ないしウ．に説示したとおりであるから、本件特許発明１は、甲第３号証記載の発明及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
（４）本件特許発明１と甲第４号証記載の発明との対比
　
ア．本件特許発明１と甲第４号証記載の発明との一致点及び相違点
　甲第４号証記載の発明の「上下動部材」が、本件特許発明１の「上下動部材」に相当し、「吸着ヘッド１」が「吸着具」に相当し、「半田ボール２」が「ワーク」に相当し、「半田ボール２を吸着させて半田ボール２を搬送する半田ボールマウント装置」が「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置」に相当することは、明らかである。
　また、甲第４号証記載の発明の「圧縮空気源６」が本件特許発明１の「正圧源」に相当し、「正圧供給ポート」が「正圧供給ポート」に相当することは、明らかである。
　また、甲第４号証記載の発明の「真空ポンプ３」が本件特許発明１の「真空源」に相当し、「真空供給ポート」が「真空供給ポート」に相当し、「フレキシブルチューブ５」が「着脱路」に相当し、「真空ポート」が「真空ポート」に相当することは、明らかである。
　また、甲第４号証記載の発明の「大気に開放され大気をフレキシブルチューブ５に供給する大気開放ポート」は、「大気に開放され着脱路に大気を供給する大気供給ポート」という点で、本件特許発明１の「大気に開放され大気を着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポート」と共通する。
　そして、甲第４号証記載の発明の「圧縮空気源６に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、および正圧を出力する正圧出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記正圧出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する切替弁７」、「真空ポンプ３に真空流路を介して連通する真空供給ポートと、吸着ヘッド１のフレキシブルチューブ５に連通する真空ポートと、切替弁７の正圧出力ポートに連通する正圧入力ポートとを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記正圧入力ポートに連通させる状態とに作動する真空破壊弁４」、及び、「大気に開放され大気をフレキシブルチューブ５に供給する大気開放ポートと、前記フレキシブルチューブ５に連通するポートを有し、前記大気開放ポートを前記フレキシブルチューブ５に連通するポートに連通させる状態と前記大気開放ポートを遮断する状態とに作動する大気開放弁８」は、「正圧流路を介して正圧源に連通する正圧供給ポート、吸着具の着脱路に連通する真空ポート、真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、及び大気に開放され着脱路に大気を供給する大気供給ポートを有し、真空破壊や、真空供給及び大気供給の機能を奏する複数の弁」という点で、本件特許発明１の「正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、および吸着具の着脱路に連通する出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁」、及び、「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」と共通する。
　また、甲第４号証記載の発明において「圧縮空気源６からの正圧空気をフレキシブルチューブ５に連通させて半田ボール２の吸着を停止する際に、大気開放弁８の大気開放ポートをフレキシブルチューブ５に連通するポートに連通させて、吸着ヘッド１に連通させ、切替弁７の正圧供給ポートを正圧出力ポートに連通させ、真空破壊弁４の真空ポートを正圧入力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記フレキシブルチューブ５に連通させる」ことは、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、大気供給ポートを正圧供給ポートと着脱路に連通させる」という点で、本件特許発明１において「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記着脱路に連通させること」と共通する。
　以上から、本件特許発明１と甲第４号証記載の発明とは、以下の一致点Ｄの点で一致し、相違点８ないし９の点で相違する。
　
　＜一致点Ｄ＞
　「上下動部材の先端に設けられた吸着具の吸着面にワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置であって、
　正圧流路を介して正圧源に連通する正圧供給ポート、吸着具の着脱路に連通する真空ポート、真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、及び大気に開放され着脱路に大気を供給する大気供給ポートを有し、真空破壊や、真空供給及び大気開放の機能を奏する複数の弁を有し、
　前記正圧源からの正圧空気を前記着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、大気供給ポートを正圧供給ポートと着脱路に連通させる吸着搬送装置。」である点。
　
　＜相違点８＞
　「正圧流路を介して正圧源に連通する正圧供給ポート、吸着具の着脱路に連通する真空ポート、真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、及び大気に開放され着脱路に大気を供給する大気供給ポートを有し、真空破壊や、真空供給及び大気開放の機能を奏する複数の弁」が、本件特許発明１では、「正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、および吸着具の着脱路に連通する出力ポートを有し、正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁」、及び、「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」であるのに対して、甲第４号証記載の発明では、「圧縮空気源６に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、及び正圧を出力する正圧出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記正圧出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する切替弁７」、「真空ポンプ３に真空流路を介して連通する真空供給ポートと、吸着ヘッド１のフレキシブルチューブ５に連通する真空ポートと、切替弁７の正圧出力ポートに連通する正圧入力ポートとを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記正圧入力ポートに連通させる状態とに作動する真空破壊弁４」、及び、「大気に開放され大気をフレキシブルチューブ５に供給する大気開放ポートと、前記フレキシブルチューブ５に連通するポートを有し、前記大気開放ポートを前記フレキシブルチューブ５に連通するポートに連通させる状態と前記大気開放ポートを遮断する状態とに作動する大気開放弁８」である点。
　
　＜相違点９＞
　「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、大気供給ポートを正圧供給ポートと着脱路に連通させる」にあたり、本件特許発明１では、「真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと着脱路に連通させる」ものであるのに対して、甲第４号証記載の発明では、「大気開放弁８の大気開放ポートをフレキシブルチューブ５に連通するポートに連通させて、吸着ヘッド１に連通させ、切替弁７の正圧供給ポートを正圧出力ポートに連通させ、真空破壊弁４の真空ポートを正圧入力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記フレキシブルチューブ５に連通させる」ものである点。
　
イ．相違点８についての判断
　甲第４号証記載の発明は、切替弁７、真空破壊弁４及び大気開放弁８という３つの弁が、相互に関連することで、真空破壊や、真空供給及び大気開放の機能が奏されている。
　これに対して、本件特許発明１は、真空破壊制御弁及び真空供給制御弁という２つの弁が、相互に関連することで、真空破壊や、真空供給及び大気開放の機能が奏されている。
　請求人は、審判請求書第４４ページ第５行ないし第４６ページ第１３行において、真空破壊用の切換弁と真空供給用の切換弁とを並列に接続することが、上記第３．２．ケ．に摘示する甲第２号証の図６や、上記第３．７．オ．に摘示する甲第７号証記載の技術的事項に示すように公知であり、また、甲第５ないし６号証に示すように、大気供給ポートを有する制御弁が周知であり、さらに、１つの３ポート弁に代えて、２つの２ポート弁を用いることが、上記第３．１１．イ．に摘示する甲第１１号証記載の技術的事項に示すように周知であることを理由に、甲第４号証記載の発明の、切替弁７、真空破壊弁４及び大気開放弁８という相互に関連する３つの弁を、本件特許発明１に係る真空破壊制御弁及び真空供給制御弁という相互に関連する２つの弁に置き換えることが、当業者にとって容易である旨、主張している。
　しかし、甲第４号証には、切替弁７、真空破壊弁４及び大気開放弁８という相互に関連する３つの弁を、本件特許発明１に係る真空破壊制御弁及び真空供給制御弁という相互に関連する２つの弁に置き換えることについて、記載も示唆もない。
　また、甲第１ないし３号証や、甲第５ないし１１号証のいずれの文献にも、真空破壊や、真空供給及び大気開放の機能を奏する相互に関連する３つの弁を、同様の機能を奏する相互に関連する２つの弁に置き換えることについて、開示も示唆もない。
　したがって、甲第４号証記載の発明において、切替弁７、真空破壊弁４及び大気開放弁８という相互に関連する３つの弁を、相違点８に係る真空破壊制御弁及び真空供給制御弁という相互に関連する２つの弁に置き換えることは、当業者にとって容易に想到できた事項とはいえない。
　
ウ．相違点９についての判断
　当該相違点は、相違点８に係る真空供給制御弁が存在することを前提とするものであるところ、上記イ．で説示したとおり、甲第４号証記載の発明において、真空供給制御弁を設けることは、当業者にとって、想到することが容易であるとはいえないから、相違点９に係る構成についても、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
エ．甲第４号証記載の発明に基づく理由のむすび
　上記イ．ないしウ．に説示したとおりであるから、本件特許発明１は、甲第４号証記載の発明、甲第２及び７号証に示す周知の技術的事項、甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項、並びに甲第１１号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
（５）本件特許発明１と甲第７号証記載の発明との対比
　
　上記（１）ないし（４）に説示するように、本件特許発明１は、甲第１ないし４号証記載の発明に基づく、請求人主張の理由によっては、当業者が容易に想到できたものとはいえないから、さらに進んで、甲第７号証記載の発明に基づく理由についても、一応検討する。
　
ア．本件特許発明１と甲第７号証記載の発明との一致点及び相違点
　甲第７号証記載の発明の「上下動するケース１５」が、本件特許発明１の「上下動部材」に相当し、「吸着ヘッド２１」が「吸着具」に相当し、「吸着孔２３」が「吸着面」に相当し、「導電性ボール１」が「ワーク」に相当し、「導電性ボール１を吸着させて導電性ボール１を移動させる搭載装置」が「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置」に相当することは、明らかである。
　また、甲第７号証記載の発明の「高圧空気供給部２８」が本件特許発明１の「正圧源」に相当し、「正圧供給ポート」が「正圧供給ポート」に相当し、「吸着ヘッド２１の配管２６、２７」が「吸着具の着脱路」に相当し、「出力ポート」が「出力ポート」に相当し、「第２の弁２９」が「真空破壊制御弁」に相当することは、明らかである。
　また、甲第７号証記載の発明の「吸引部２４」が本件特許発明１の「真空源」に相当し、「真空供給ポート」が「真空供給ポート」に相当し、「真空ポート」が「真空ポート」に相当することは、明らかである。
　また、甲第７号証記載の発明の「外部連通ポート」は、「大気に連通する大気連通ポート」という点で、本件発明１の「大気開放ポート」と共通する。
　そして、甲第７号証記載の発明の「吸引部２４に真空流路を介して連通する真空供給ポート、及び前記配管２６、２７に連通する真空ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを遮断する状態とに作動する第１の弁２５」、及び、「外部に連通し吸着ヘッド２１の内圧を低下させる外部連通ポート、及び前記配管２７に連通するポートを有し、前記配管２７に連通するポートを、前記外部連通ポートに連通させる状態と、前記配管２７に連通するポートを遮断する状態とに作動する第３の弁３０」は、「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、及び大気に連通する大気連通ポートを有する流路制御手段」という点で、本件特許発明１の「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」と共通する。
　さらに、甲第７号証記載の発明において、「高圧空気供給部２８からの正圧空気を配管２６、２７に連通させて導電性ボール１の吸着を停止する際に、タイミングｔ６において、第１の弁２５の真空ポートを遮断し、前記タイミングｔ６において、第２の弁２９の正圧供給ポートを出力ポートに連通させ、タイミングｔ７において、第３の弁３０の前記配管２７に連通するポートを、外部連通ポートに連通させることにより、前記吸着ヘッド２１の内圧を低下させる」ことは、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、大気連通ポートを正圧供給ポートと着脱路に連通させる」という点で、本件特許発明１において「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記着脱路に連通させること」と共通する。
　以上から、本件特許発明１と甲第７号証記載の発明とは、以下の一致点Ｅの点で一致し、相違点１０ないし１１の点で相違する。
　
　＜一致点Ｅ＞
　「上下動部材の先端に設けられた吸着具の吸着面にワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置であって、
　正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、および前記吸着具の着脱路に連通する出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁と、
　真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、前記着脱路に連通する真空ポート、及び大気に連通する大気連通ポートを有する流路制御手段とを有し、
　前記正圧源からの正圧空気を前記着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、前記大気連通ポートを前記正圧供給ポートと前記着脱路に連通させる吸着搬送装置。」
　
　＜相違点１０＞
　「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、及び大気に連通する大気連通ポートを有する流路制御手段」が、本件特許発明１では、「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」という１つの弁であるのに対して、甲第７号証記載の発明では、「吸引部２４に真空流路を介して連通する真空供給ポート、及び前記配管２６、２７に連通する真空ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを遮断する状態とに作動する第１の弁２５」、及び、「外部に連通し吸着ヘッド２１の内圧を低下させる外部連通ポート、及び前記配管２７に連通するポートを有し、前記配管２７に連通するポートを、前記外部連通ポートに連通させる状態と、前記配管２７に連通するポートを遮断する状態とに作動する第３の弁３０」という２つの弁である点。
　
　＜相違点１１＞
　「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、大気連通ポートを正圧供給ポートと着脱路に連通させる」にあたり、本件特許発明１では、「真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと着脱路に連通させる」のに対して、甲第７号証記載の発明では、「タイミングｔ６において、第１の弁２５の真空ポートを遮断し、前記タイミングｔ６において、第２の弁２９の正圧供給ポートを出力ポートに連通させ、タイミングｔ７において、第３の弁３０の配管２７に連通するポートを、外部連通ポートに連通させることにより、吸着ヘッド２１の内圧を低下させる」点。
　
イ．相違点１０についての判断
　本件特許発明１は、真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートが、真空供給制御弁という１つの弁、すなわち３ポート弁に設けられているのに対して、甲第７号証記載の発明は、真空供給ポート、及び真空ポートを有する第１の弁２５と、外部連通ポート、及び前記配管２７に連通するポートを有する第３の弁３０という２つの弁、すなわち２ポート弁２つが、相互に関連するように構成されている。
　そして、上記第４．１．（１）ウ．（ア）に説示するように、「真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、着脱路に連通する真空ポート、及び大気に開放され大気を着脱路に供給する大気供給ポートを有し、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気供給ポートに連通させる状態とに作動する制御弁」、すなわち３ポートの制御弁は、周知の技術的事項である。
　さらに、１つの３ポート弁を、２つの２ポート弁に置換可能であることは、上記第３．１１．イ．に摘示する甲第１１号証記載の技術的事項に示されている。
　そこで、甲第７号証記載の発明の第１の弁２５及び第３の弁３０に代えて、周知の技術的事項である制御弁を設けることが、当業者にとって容易に想到できた事項であるかどうかについて検討する。
　上記第３．７．イ．に摘示する甲第７号証の段落【００１９】には、「次に、タイミング６で第１の弁２５を閉じることにより、吸引部２４による真空吸引を中止するとともに、第２の弁２９を開いて高圧空気供給部２８から空間２２に空気が送られる。・・・（中略）・・・次にタイミングｔ７で、第３の弁３０およびまたは第４の弁３１を開く。」と記載されているように、甲第７号証記載の発明の第１の弁２５の真空ポートを遮断するタイミングｔ６と、第３の弁３０の外部連通ポートを連通するタイミングｔ７とは、同じではなく、タイミングｔ７は、タイミングｔ６よりも遅れた時刻となっている。
　そして、上記段落【００１９】の「・・・（中略）・・・すると空間２２は外部と連通して外部の空気は空間２２内に瞬間的に導入され、空間２２の内圧は正圧から大気圧へ急激に低下する（タイミングｔ８）。また、タイミングｔ６〜ｔ８の間は、正圧となった空間２２から吹き出す空気によって導電性ボール１が吹き飛ばされないようにするために吸着ヘッド２１を下降させたままにしておき、吸引孔２３で導電性ボール１が移動しないようにその位置を規制しておく。」という記載（なお付言すると、上記第３．７．カ．（ア）で説示するように、当該記載における「外部の空気は空間２２内に瞬間的に導入され」という記載事項は、誤記である。）をさらに参照すると、タイミングｔ７において第３の弁３０の外部連通ポートを連通する理由は、タイミングｔ７で吸着ヘッド２１の空間２２の圧力が正圧となることにより真空が破壊され、その正圧空気を、第３の弁３０の外部連通ポートを介して大気に排出することであるといえる。
　当該段落【００１９】の記載によれば、タイミングｔ７で吸着ヘッド２１の空間２２の圧力が正圧となることに続いて、その正圧空気を第３の弁３０の外部連通ポートを介して大気に排出することを理解できるから、当該記載に接した当業者が、タイミングｔ７よりも早いタイミングｔ６、すなわち吸着ヘッド２１の空間２２の圧力が負圧である時刻において、第３の弁３０の外部連通ポートを連通するように想定することはない。
　そして、甲第７号証記載の発明の第１の弁２５及び第３の弁３０に代えて、周知の技術的事項である制御弁を設けるとすれば、真空ポートを遮断するタイミングｔ６と外部連通ポートを連通するタイミングｔ７とが、同じ時刻とならざるを得ないところ、上記段落【００１９】の記載に接した当業者であれば、真空ポートを遮断するタイミングｔ６と、外部連通ポートを連通するタイミングｔ７とを、同時刻とすることを想定する理由がなく、真空ポートを遮断することと、外部連通ポートを連通することとを同時刻とする理由がない以上、第１の弁２５及び第３の弁３０に代えて、周知の技術的事項である３ポートの制御弁を採用する理由はない。
　以上から、甲第７号証記載の発明において、第１の弁２５及び第３の弁３０に代えて、周知の技術的事項である３ポートの制御弁を採用することは、当業者が容易に想到できた事項とはいえない。
　また、甲第１号証ないし６号証や、甲第８号証ないし１１号証のいずれの文献にも、「大気に開放され大気を着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートを有」するような制御弁について、開示も示唆もない以上、甲第７号証記載の発明に、相違点１０に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者にとって容易に想到できた事項とはいえない。
　
ウ．相違点１１についての判断
　当該相違点１１は、相違点１０に係る真空供給制御弁が存在することを前提とするものであるところ、上記イ．で説示したとおり、甲第７号証記載の発明において、第１の弁２５及び第３の弁３０に代えて、周知の技術的事項である制御弁や、本件特許発明１に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者が容易に想到できた事項とはいえないから、相違点１１に係る構成についても、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
エ．甲第７号証記載の発明に基づく理由のむすび
　上記イ．ないしウ．に説示したとおりであるから、本件特許発明１は、甲第７号証記載の発明及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
（６）本件特許発明１についてのむすび
　以上のとおりであるから、本件特許発明１は、甲第１号証記載の発明及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえないし、甲第２号証記載の発明及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえないし、甲第３号証記載の発明及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえないし、甲第４号証記載の発明、甲第２及び７号証に示す周知の技術的事項、甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項、並びに甲第１１号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえないうえに、甲第７号証記載の発明及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
２．本件特許発明２について
　本件特許発明２は、本件特許発明１を引用する発明であるところ、上記のとおり、本件特許発明１は、甲第１ないし４号証、及び甲第７号証記載の、いずれの発明に基づいても、当業者が容易に想到できたものとはいえないから、本件特許発明２についても、甲第１ないし４号証、及び甲第７号証記載の、いずれの発明に基づいても、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
３．本件特許発明３について
　
（１）本件特許発明３と甲第１号証記載の発明との対比及び判断
　
ア．本件特許発明３と甲第１号証記載の発明との一致点及び相違点
　甲第１号証記載の発明の「上下方向に揺動するアーム６」が、本件特許発明３の「上下動部材」に相当し、「バキュームパッド１７」が「吸着具」に相当し、「グロメットＷ」が「ワーク」に相当することは、明らかである。また、甲第１号証記載の発明の「グロメットＷを吸着させてグロメットＷを搬送する吸着装置」は、グロメットＷ、すなわちワークを吸着するために流路を切り換える装置を含んでいるといえるから、「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換装置」という点で、本件特許発明３の「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニット」と共通する。
　また、甲第１号証記載の発明の「加圧空気供給源３１」が本件特許発明３の「正圧源」に相当することは、明らかであるし、甲第１号証記載の発明の「正圧供給ポート」は、「正圧供給流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「正圧供給ポート」と共通する。そして、甲第１号証記載の発明において「管路３９、破壊バルブ３５及び管路４１を介して前記バキュームパッド１７の管路３８に連通する」ことは、本件特許発明３において「吸着具の着脱路に連通する」ことに相当するから、甲第１号証記載の発明の「出力ポート」は、「出力流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「出力ポート」と共通する。
　また、甲第１号証記載の発明の「正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と、正圧供給ポートを管路３７に連通させる状態とに作動する切換弁３２」は、「正圧供給流路を出力流路に連通する状態に作動する制御弁」という点で、本件特許発明３の「流路ブロックに設けられ、正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁」と共通する。
　そして、甲第１号証記載の発明において、「正圧源からの正圧空気を管路３８に連通させてグロメットＷの吸着を停止する際に、切換弁３２の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、排気装置３４を正圧供給ポートと管路３８に同時に連通させる」ことは、「正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、正圧供給流路を出力流路に連通する」という点で、本件特許発明３において、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、前記出力ポートと前記真空ポートとを連通させて流路ブロックに形成された流路を介して前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと着脱路とに連通させること」と共通する。
　以上から、本件特許発明３と甲第１号証記載の発明とは、以下の一致点Ｆの点で一致し、相違点１２ないし１６の点で相違する。
　
　＜一致点Ｆ＞
　「上下動部材の先端に設けられた吸着具の吸着面にワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換装置であって、
　正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給流路が存在し、吸着具の着脱路に連通する出力流路が存在しており、
　前記正圧供給流路を前記出力流路に連通する状態に作動する制御弁を有し、
　正圧空気を前記着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、前記正圧供給流路を前記出力流路に連通する流路切換装置。」である点。
　
　＜相違点１２＞
　本件特許発明３は、「ワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニット」であるのに対して、甲第１号証記載の発明は、「グロメットＷを吸着させてグロメットＷを搬送する吸着装置」である点。
　
　＜相違点１３＞
　本件特許発明３は、「正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、吸着具の着脱路に連通する出力ポート、真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、前記着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに前記正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートが形成された流路ブロック」を有しているのに対して、甲第１号証記載の発明は、そのような流路ブロックを有していない点。
　
　＜相違点１４＞
　本件特許発明３の「真空破壊制御弁」は、「流路ブロックに設けられ」ており、流路ブロックのポートの連通や遮断を行うものであるのに対して、甲第１号証記載の発明の「切換弁３２」は、流路ブロックに設けられていないから、流路ブロックのポートの連通や遮断を行うものではない点。
　
　＜相違点１５＞
　本件特許発明３は、「流路ブロックに設けられ、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」を有しているのに対して、甲第１号証記載の発明は、そのような真空供給制御弁を有していない点。
　
　＜相違点１６＞
　正圧源からの正圧空気を前記着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、本件特許発明３は、「真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、出力ポートと真空ポートとを連通させて流路ブロックに形成された流路を介して大気開放ポートを正圧供給ポートと着脱路とに連通させる」のに対して、甲第１号証記載の発明は、「切換弁３２の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、排気装置３４を正圧供給ポートと管路３８に同時に連通させ」ている点。
　
イ．相違点１５についての判断
　事案に鑑み、まず相違点１５について検討すると、上記１．（１）ウ．（イ）に説示した理由と同様の理由により、甲第１号証記載の発明において、甲第５ないし６号証に示す周知の制御弁を採用することや、本件特許発明３に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者にとって、容易に想到できたものとはいえない。
　
ウ．甲第１号証記載の発明に基づく理由のむすび
　上記イ．に示すとおり、甲第１号証記載の発明において、甲第５ないし６号証に示す周知の制御弁を採用することや、本件特許発明３に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者にとって、容易に想到できたものとはいえないから、その他の相違点１２ないし１４、及び相違点１６について判断するまでもなく、本件特許発明３は、甲第１号証記載の発明、甲第３及び１０号証、甲第２ないし４号証、並びに甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
（２）本件特許発明３と甲第２号証記載の発明との対比及び判断
　
ア．本件特許発明３と甲第２号証記載の発明との一致点及び相違点
　甲第２号証記載の発明の「上下動するノズル保持部１０」が、本件特許発明３の「上下動部材」に相当し、「吸着ノズル１１」が「吸着具」に相当し、「部品」が「ワーク」に相当することは、明らかである。また、甲第２号証記載の発明の「部品を吸着させて部品を搬送する部品吸着装置」は、部品、すなわちワークを吸着するために流路を切り換える装置を含んでいるといえるから、「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換装置」という点で、本件特許発明３の「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニット」と共通する。
　また、甲第２号証記載の発明の「エア供給源２０」が本件特許発明３の「正圧源」に相当することは、明らかであるし、甲第２号証記載の発明の「正圧供給ポート」は、「正圧供給流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「正圧供給ポート」と共通する。また、甲第２号証記載の発明の「吸着ノズル１１の管路１５」が本件特許発明３の「吸着具の着脱路」に相当することは、明らかであるし、甲第２号証記載の発明の「出力ポート」は、「出力流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「出力ポート」と共通する。また、甲第２号証記載の発明の「真空ポンプ３０」が本件特許発明３の「真空源」に相当することは、明らかであるし、甲第２号証記載の発明の「真空供給ポート」は、「真空供給流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「真空供給ポート」と共通する。さらに、甲第２号証記載の発明の「真空ポート」は、「真空接続流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「真空ポート」と共通する。
　そして、甲第２号証記載の発明の「正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊電磁弁２２」は、「正圧供給流路を出力流路に連通させる状態と前記正圧供給流路を遮断する状態とに作動する真空破壊用の制御弁」という点で、本件特許発明３の「流路ブロックに設けられ、正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁」と共通する。
　また、甲第２号証記載の発明の「真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と前記真空供給ポートを遮断する状態とに作動する真空発生電磁弁１９」は、「真空接続流路を真空供給流路に連通させる状態に作動する真空用の制御弁」という点で、本件特許発明３の「真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」と共通する。
　そして、甲第２号証記載の発明において、「エア供給源２０からの正圧空気を管路１５に連通させて部品の吸着を停止する際に、真空発生電磁弁１９により真空供給ポートを遮断し、真空破壊電磁弁２２の正圧供給ポートを出力ポートに連通させること」は、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空破壊制御弁により、出力流路を正圧供給流路と連通させる」という点で、本件特許発明３において、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、出力ポートと真空ポートとを連通させて流路ブロックに形成された流路を介して大気開放ポートを正圧供給ポートと着脱路とに連通させること」と共通する。
　以上から、本件特許発明３と甲第２号証記載の発明とは、以下の一致点Ｇの点で一致し、相違点１７ないし２１の点で相違する。
　
　＜一致点Ｇ＞
　「上下動部材の先端に設けられた吸着具の吸着面にワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換装置であって、
　正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給流路が存在し、前記吸着具の着脱路に連通する出力流路が存在し、真空源に真空流路を介して連通する真空供給流路が存在し、前記着脱路に連通する真空接続流路が存在しており、
　前記正圧供給流路を前記出力流路に連通させる状態と前記正圧供給流路を遮断する状態とに作動する真空破壊用の制御弁と、
　前記真空接続流路を前記真空供給流路に連通させる状態に作動する真空用の制御弁とを有し、
　正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空破壊制御弁により、出力流路を正圧供給流路と連通させる流路切換装置。」である点。
　
　＜相違点１７＞
　本件特許発明３は、「ワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニット」であるのに対して、甲第２号証記載の発明は、「部品を吸着させて部品を搬送する部品吸着装置」である点。
　
　＜相違点１８＞
　本件特許発明３は、「正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、吸着具の着脱路に連通する出力ポート、真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、前記着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに前記正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートが形成された流路ブロック」を有しているのに対して、甲第２号証記載の発明は、そのような流路ブロックを有していない点。
　
　＜相違点１９＞
　本件特許発明３の「真空破壊制御弁」は、「流路ブロックに設けられ」ており、流路ブロックのポートの連通や遮断を行うものであるのに対して、甲第２号証記載の発明の「真空破壊電磁弁２２」は、流路ブロックに設けられていないから、流路ブロックのポートの連通や遮断を行うものではない点。
　
　＜相違点２０＞
　本件特許発明３の「真空供給制御弁」は、「流路ブロックに設けられ、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態とに作動する」のに対して、甲第２号証記載の発明の「真空発生電磁弁１９」は、流路ブロックに設けられていないから、流路ブロックの真空ポートを流路ブロックの真空供給ポートに連通させる状態に作動しないし、流路ブロックの真空ポートを流路ブロックの大気開放ポートに連通させる状態に作動しない点。
　
　＜相違点２１＞
　正圧源からの正圧空気を前記着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、本件特許発明３は、「真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、出力ポートと真空ポートとを連通させて流路ブロックに形成された流路を介して大気開放ポートを正圧供給ポートと着脱路とに連通させる」のに対して、甲第２号証記載の発明は、「真空発生電磁弁１９により真空供給ポートを遮断し、真空破壊電磁弁２２の正圧供給ポートを出力ポートに連通させる」点。
　
イ．相違点２０についての判断
　事案に鑑み、まず相違点２０について検討すると、上記１．（２）イ．に説示した理由と同様の理由により、甲第２号証記載の発明において、甲第５ないし６号証に示す周知の制御弁を採用することや、本件特許発明３に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者にとって、容易に想到できたものとはいえない。
　
ウ．甲第２号証記載の発明に基づく理由のむすび
　上記イ．に示すとおり、甲第２号証記載の発明において、甲第５ないし６号証に示す周知の制御弁を採用することや、本件特許発明３に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者にとって、容易に想到できたものとはいえないから、その他の相違点１７ないし１９、及び相違点２１について判断するまでもなく、本件特許発明３は、甲第２号証記載の発明、甲第３及び１０号証、並びに甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
（３）本件特許発明３と甲第３号証記載の第２発明との対比及び判断
　
ア．本件特許発明３と甲第３号証記載の第２発明との一致点及び相違点
　甲第３号証記載の第２発明の「上下動するピストンロッド３４」が、本件特許発明３の「上下動部材」に相当し、「吸着具２６」が「吸着具」に相当し、「電子部品Ｗ」が「ワーク」に相当し、「電子部品Ｗを吸着させて電子部品Ｗを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニット」が「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニット」に相当することは、明らかである。
　また、甲第３号証記載の第２発明の「真空発生ブロック３２」、「流路ブロック５２」、「弁ブロック５５」、及び「弁ブロック５３」は、流路を構成するブロックであるから、本件特許発明３の「流路ブロック」に相当し、甲第３号証記載の第２発明の「真空発生ブロック３２」に連通する「正圧源」が、本件特許発明３の「正圧源」に相当し、「正圧流路」が「正圧流路」に相当し、「給気ポート３５」が「正圧供給ポート」に相当し、「吸着具２６の真空ホース２７に連通する真空ポート４９」が「吸着具の着脱路に連通する出力ポート」に相当することは、明らかである。また、甲第３号証記載の第２発明の「弁ブロック５５」に設けられている「空気供給室５７を介して吸着具２６の真空ホース２７に連通する出力ポート」が、本件特許発明３の「出力ポート」に相当するといえるし、甲第３号証記載の第２発明の「真空発生ブロック３２」に設けられている「大気に開放される排気ポート５１」は、「大気に開放されるポート」という点で、本件特許発明３の「大気に開放され大気を着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポート」と共通する。
　また、甲第３号証記載の第２発明の「真空破壊用の電磁弁５６」は、「弁ブロック５５」すなわち流路ブロックに設けられているうえに、その作動の状態からみて、本件特許発明３の真空破壊制御弁に相当する。
　そして、甲第３号証記載の第２発明において、「正圧源からの正圧空気を真空ホース２７に連通させて電子部品Ｗの吸着を停止する際に、エジェクタ作動用の電磁弁５４により第２のポートを第１のポートから遮断し、真空破壊用の電磁弁５６により給気ポート３５を出力ポートに連通させる」ことは、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空破壊制御弁により、正圧供給ポートを出力ポートに連通させる」という点で、本件特許発明３において、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、出力ポートと真空ポートとを連通させて流路ブロックに形成された流路を介して大気開放ポートを前記供給ポートと着脱路とに連通させること」と共通する。
　以上から、本件特許発明３と甲第３号証記載の第２発明とは、以下の一致点Ｈの点で一致し、相違点２２ないし２４の点で相違する。
　
　＜一致点Ｈ＞
　「上下動部材の先端に設けられた吸着具の吸着面にワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニットであって、
　正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、前記吸着具の着脱路に連通する出力ポート、真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、前記着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放されるポートが形成された流路ブロックと、
　前記流路ブロックに設けられ、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁と、
を有し、
　正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空破壊制御弁により、前記正圧供給ポートを前記出力ポートに連通させる流路切換ユニット。」である点。
　
　＜相違点２２＞
　「大気に開放されるポート」が、本件特許発明３では、「大気に開放され大気を着脱路に供給するとともに正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポート」であるのに対して、甲第３号証記載の第２発明では、「大気に開放される排気ポート５１」である点。
　
　＜相違点２３＞
　本件特許発明３の流路切換ユニットは、「流路ブロックに設けられ、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」を有しているのに対して、甲第３号証記載の第２発明は、そのような真空供給制御弁を有していない点。
　
　＜相違点２４＞
　正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、本件特許発明３の流路切換ユニットは、「真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、出力ポートと真空ポートとを連通させて流路ブロックに形成された流路を介して大気開放ポートを正圧供給ポートと着脱路とに連通させる」ものであるのに対して、甲第３号証記載の第２発明の流路切換ユニットは、「エジェクタ作動用の電磁弁５４により第２のポートを第１のポートから遮断し、真空破壊用の電磁弁５６により給気ポート３５を出力ポートに連通させる」ものである点。
　
イ．相違点２３についての判断
　事案に鑑み、まず相違点２３について検討すると、上記１．（３）イ．に説示した理由と同様の理由により、甲第３号証記載の第２発明において、本件特許発明３に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者にとって、容易に想到できたものとはいえない。
　
ウ．甲第３号証記載の第２発明に基づく理由のむすび
　上記イ．に示すとおり、甲第３号証記載の第２発明において、本件特許発明３に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者にとって、容易に想到できたものとはいえないから、その他の相違点２２及び相違点２４について判断するまでもなく、本件特許発明３は、甲第３号証記載の第２発明、並びに甲第１ないし２号証、及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
（４）本件特許発明３と甲第４号証記載の発明との対比及び判断
　
ア．本件特許発明３と甲第４号証記載の発明との一致点及び相違点
　甲第４号証記載の発明の「上下動部材」が、本件特許発明３の「上下動部材」に相当し、「吸着ヘッド１」が「吸着具」に相当し、「半田ボール２」が「ワーク」に相当することは、明らかである。また、甲第４号証記載の発明の「半田ボール２を吸着させて半田ボール２を搬送する半田ボールマウント装置」は、半田ボール２、すなわちワークを吸着するために流路を切り換える装置を含んでいるといえるから、「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換装置」という点で、本件特許発明３の「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニット」と共通する。
　また、甲第４号証記載の発明の「圧縮空気源６」が本件特許発明３の「正圧源」に相当することは明らかであるし、甲第４号証記載の発明の「正圧供給ポート」は、「正圧供給流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「正圧供給ポート」と共通する。
　また、甲第４号証記載の発明の「真空ポンプ３」が本件特許発明３の「真空源」に相当し、「フレキシブルチューブ５」が「着脱路」に相当することは明らかであるし、甲第４号証記載の発明の「真空供給ポート」は、「真空供給流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「真空供給ポート」と共通し、「真空ポート」は、「真空接続流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「真空ポート」と共通する。
　また、甲第４号証記載の発明の「大気開放ポート」は、「着脱路に大気を供給する大気供給流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「大気開放ポート」と共通する。
　そして、甲第４号証記載の発明の「圧縮空気源６に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、及び正圧を出力する正圧出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記正圧出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する切替弁７」、「真空ポンプ３に真空流路を介して連通する真空供給ポートと、吸着ヘッド１のフレキシブルチューブ５に連通する真空ポートと、切替弁７の正圧出力ポートに連通する正圧入力ポートとを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記正圧入力ポートに連通させる状態とに作動する真空破壊弁４」、及び、「大気に開放され大気をフレキシブルチューブ５に供給する大気開放ポートと、前記フレキシブルチューブ５に連通するポートを有し、前記大気開放ポートを前記フレキシブルチューブ５に連通するポートに連通させる状態と前記大気開放ポートを遮断する状態とに作動する大気開放弁８」は、「真空破壊や、真空供給及び大気開放の機能を奏する複数の弁」という点で、本件特許発明３の「流路ブロックに設けられ、正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁」、及び、「流路ブロックに設けられ、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」と共通する。
　また、甲第４号証記載の発明において「圧縮空気源６からの正圧空気をフレキシブルチューブ５に連通させて半田ボール２の吸着を停止する際に、大気開放弁８の大気開放ポートをフレキシブルチューブ５に連通するポートに連通させて、吸着ヘッド１に連通させ、切替弁７の正圧供給ポートを正圧出力ポートに連通させ、真空破壊弁４の真空ポートを正圧入力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記フレキシブルチューブ５に連通させる」ことは、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、大気供給流路を正圧供給流路と着脱路に連通させる」という点で、本件特許発明３において「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、出力ポートと真空ポートとを連通させて流路ブロックに形成された流路を介して大気開放ポートを正圧供給ポートと着脱路とに連通させること」と共通する。
　以上から、本件特許発明３と甲第４号証記載の発明とは、以下の一致点Ｉの点で一致し、相違点２５ないし２８の点で相違する。
　
　＜一致点Ｉ＞
　「上下動部材の先端に設けられた吸着具の吸着面にワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換装置であって、
　正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給流路が存在し、吸着具の着脱路に連通する真空接続流路が存在し、真空源に真空流路を介して連通する真空供給流路が存在し、大気に開放され着脱路に大気を供給する大気供給流路が存在し、
　真空破壊や、真空供給及び大気開放の機能を奏する複数の弁を有し、
　前記正圧源からの正圧空気を前記着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、大気供給流路を正圧供給流路と着脱路に連通させる吸着搬送装置に使用する流路切換装置。」である点。
　
　＜相違点２５＞
　本件特許発明３は、「ワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニット」であるのに対して、甲第４号証記載の発明は、「半田ボール２を吸着させて半田ボール２を搬送する半田ボールマウント装置」である点。
　
　＜相違点２６＞
　本件特許発明３は、「正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、前記吸着具の着脱路に連通する出力ポート、真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、前記着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに前記正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートが形成された流路ブロック」を有しているのに対して、甲第４号証記載の発明は、そのような流路ブロックを有していない点。
　
　＜相違点２７＞
　「真空破壊や、真空供給及び大気開放の機能を奏する複数の弁」が、本件特許発明３では、「流路ブロックに設けられ、正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁」、及び「流路ブロックに設けられ、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」であるのに対して、甲第４号証記載の発明では、「圧縮空気源６に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、及び正圧を出力する正圧出力ポートを有し、前記正圧供給ポートを前記正圧出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する切替弁７」、「真空ポンプ３に真空流路を介して連通する真空供給ポートと、吸着ヘッド１のフレキシブルチューブ５に連通する真空ポートと、切替弁７の正圧出力ポートに連通する正圧入力ポートとを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを前記正圧入力ポートに連通させる状態とに作動する真空破壊弁４」、及び、「大気に開放され大気をフレキシブルチューブ５に供給する大気開放ポートと、前記フレキシブルチューブ５に連通するポートを有し、前記大気開放ポートを前記フレキシブルチューブ５に連通するポートに連通させる状態と前記大気開放ポートを遮断する状態とに作動する大気開放弁８」である点。
　
＜相違点２８＞
　「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、大気供給流路を正圧供給流路と着脱路に連通させる」にあたり、本件特許発明３では、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、出力ポートと真空ポートとを連通させて流路ブロックに形成された流路を介して前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記着脱路とに連通させる」ものであるのに対して、甲第４号証記載の発明では、「圧縮空気源６からの正圧空気をフレキシブルチューブ５に連通させて半田ボール２の吸着を停止する際に、大気開放弁８の大気開放ポートをフレキシブルチューブ５に連通するポートに連通させて、吸着ヘッド１に連通させ、切替弁７の正圧供給ポートを正圧出力ポートに連通させ、真空破壊弁４の真空ポートを正圧入力ポートに連通させることにより、前記大気開放ポートを前記正圧供給ポートと前記フレキシブルチューブ５に連通させる」ものである点。
　
イ．相違点２７についての判断
　事案に鑑み、まず相違点２７について検討すると、上記１．（４）イ．に説示した理由と同様の理由により、甲第４号証記載の発明において、切替弁７、真空破壊弁４及び大気開放弁８という相互に関連する３つの弁を、本件特許発明３に係る真空破壊制御弁及び真空供給制御弁という相互に関連する２つの弁に置き換えることは、当業者にとって容易に想到できた事項とはいえない。
　
ウ．甲第４号証記載の発明に基づく理由のむすび
　上記イ．に示すとおり、甲第４号証記載の発明において、切替弁７、真空破壊弁４及び大気開放弁８という相互に関連する３つの弁を、本件特許発明３に係る真空破壊制御弁及び真空供給制御弁という相互に関連する２つの弁に置き換えることは、当業者にとって容易に想到できた事項とはいえないから、その他の相違点２５ないし２６及び相違点２８について判断するまでもなく、本件特許発明３は、甲第４号証記載の発明、甲第２及び７号証、甲第３及び１０号証、甲第５ないし６号証、並びに甲第１１号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
（５）本件特許発明３と甲第７号証記載の発明との対比及び判断
　
　上記（１）ないし（４）に説示するように、本件特許発明３は、甲第１ないし４号証記載の発明に基づく、請求人主張の理由によっては、当業者が容易に想到できたものとはいえないから、さらに進んで、甲第７号証記載の発明に基づく理由についても、一応検討する。
　
ア．本件特許発明３と甲第７号証記載の発明との一致点及び相違点
　甲第７号証記載の発明の「上下動するケース１５」が、本件特許発明３の「上下動部材」に相当し、「吸着ヘッド２１」が「吸着具」に相当し、「吸着孔２３」が「吸着面」に相当し、「導電性ボール１」が「ワーク」に相当することは、明らかである。また、甲第７号証記載の発明の「導電性ボール１を吸着させて導電性ボール１を移動させる搭載装置」は、導電性ボール１、すなわちワークを吸着するために流路を切り換える装置を含んでいるといえるから、「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換装置」という点で、本件特許発明３の「ワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニット」と共通する。
　また、甲第７号証記載の発明の「高圧空気供給部２８」が本件特許発明３の「正圧源」に相当することは、明らかであるし、甲第７号証記載の発明の「正圧供給ポート」は、「正圧供給流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「正圧供給ポート」と共通する。また、甲第７号証記載の発明の「吸着ヘッド２１の配管２６、２７」が本件特許発明３の「吸着具の着脱路」に相当することは、明らかであるし、甲第７号証記載の発明の「出力ポート」は、「出力流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「出力ポート」と共通する。また、甲第７号証記載の発明の「吸引部２４」が本件特許発明３の「真空源」に相当することは、明らかであるし、甲第７号証記載の発明の「真空供給ポート」は、「真空供給流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「真空供給ポート」と共通する。さらに、甲第７号証記載の発明の「真空ポート」は、「真空接続流路が存在」するという点で、本件特許発明３の「真空ポート」と共通するし、甲第７号証記載の発明の「外部連通ポート」は、「大気に連通する大気連通流路が存在」するという点で、本件発明３の「大気開放ポート」と共通する。
　そして、甲第７号証記載の発明の「正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する第２の弁２９」は、「正圧供給流路を出力流路に連通させる状態と前記正圧供給流路を遮断する状態とに作動する真空破壊用の制御弁」という点で、本件特許発明３の「流路ブロックに設けられ、正圧供給ポートを出力ポートに連通させる状態と前記正圧供給ポートを遮断する状態とに作動する真空破壊制御弁」と共通する。
　また、甲第７号証記載の発明の「吸引部２４に真空流路を介して連通する真空供給ポート、及び前記配管２６、２７に連通する真空ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを遮断する状態とに作動する第１の弁２５」、及び「外部に連通し吸着ヘッド２１の内圧を低下させる外部連通ポート、及び前記配管２７に連通するポートを有し、前記配管２７に連通するポートを、前記外部連通ポートに連通させる状態と、前記配管２７に連通するポートを遮断する状態とに作動する第３の弁３０」は、「真空供給流路、真空接続流路、及び大気連通流路を切り換え制御する流路制御手段」という点で、本件特許発明３の「流路ブロックに設けられ、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」と共通する。
　そして、甲第７号証記載の発明において、
「高圧空気供給部２８からの正圧空気を配管２６、２７に連通させて導電性ボール１の吸着を停止する際に、タイミングｔ６において、第１の弁２５の真空ポートを遮断し、前記タイミングｔ６において、第２の弁２９の正圧供給ポートを出力ポートに連通させ、タイミングｔ７において、第３の弁３０の前記配管２７に連通するポートを、外部連通ポートに連通させることにより、吸着ヘッド２１の内圧を低下させる」ことは、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、大気連通流路を正圧供給流路と着脱路に連通させる」という点で、本件特許発明３において、「正圧源からの正圧空気を着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、出力ポートと真空ポートとを連通させて流路ブロックに形成された流路を介して大気開放ポートを正圧供給ポートと着脱路とに連通させること」と共通する。
　以上から、本件特許発明３と甲第７号証記載の発明とは、以下の一致点Ｊの点で一致し、相違点２９ないし３３の点で相違する。
　
　＜一致点Ｊ＞
　「上下動部材の先端に設けられた吸着具の吸着面にワークを吸着させてワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換装置であって、
　正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給流路が存在し、前記吸着具の着脱路に連通する出力流路が存在し、真空源に真空流路を介して連通する真空供給流路が存在し、前記着脱路に連通する真空接続流路が存在し、大気に連通する大気連通流路が存在しており、
　前記正圧供給流路を出力流路に連通させる状態と前記正圧供給流路を遮断する状態とに作動する真空破壊用の制御弁と、
　前記真空供給流路、前記真空接続流路、及び前記大気連通流路を切り換え制御する流路制御手段とを有し、
　前記正圧源からの正圧空気を前記着脱路に連通させて前記ワークの吸着を停止する際に、前記大気連通流路を前記正圧供給流路と前記着脱路に連通させる流路切換装置。」である点。
　
　＜相違点２９＞
　本件特許発明３は、「ワークを搬送する吸着搬送装置に使用する流路切換ユニット」であるのに対して、甲第７号証記載の発明は、「導電性ボール１を吸着させて導電性ボール１を移動させる搭載装置」である点。
　
　＜相違点３０＞
　本件特許発明３は、「正圧源に正圧流路を介して連通する正圧供給ポート、吸着具の着脱路に連通する出力ポート、真空源に真空流路を介して連通する真空供給ポート、前記着脱路に連通する真空ポート、および大気に開放され大気を前記着脱路に供給するとともに前記正圧供給ポートからの正圧空気の一部を排出する大気開放ポートが形成された流路ブロック」を有しているのに対して、甲第７号証記載の発明は、そのような流路ブロックを有していない点。
　
　＜相違点３１＞
　本件特許発明３の「真空破壊制御弁」は、「流路ブロックに設けられ」ており、流路ブロックのポートの連通や遮断を行うものであるのに対して、甲第７号証記載の発明の「第２の弁２９」は、流路ブロックに設けられていないから、流路ブロックのポートの連通や遮断を行うものではない点。
　
　＜相違点３２＞
　「真空供給流路、真空接続流路、及び大気連通流路を切り換え制御する流路制御手段」が、本件特許発明３では、「流路ブロックに設けられ、真空ポートを真空供給ポートに連通させる状態と真空ポートを大気開放ポートに連通させる状態とに作動する真空供給制御弁」であるのに対して、甲第７号証記載の発明では、「吸引部２４に真空流路を介して連通する真空供給ポート、及び前記配管２６、２７に連通する真空ポートを有し、前記真空ポートを前記真空供給ポートに連通させる状態と前記真空ポートを遮断する状態とに作動する第１の弁２５」、及び「外部に連通し吸着ヘッド２１の内圧を低下させる外部連通ポート、及び前記配管２７に連通するポートを有し、前記配管２７に連通するポートを、前記外部連通ポートに連通させる状態と、前記配管２７に連通するポートを遮断する状態とに作動する第３の弁３０」である点。
　
　＜相違点３３＞
　正圧源からの正圧空気を前記着脱路に連通させてワークの吸着を停止する際に、本件特許発明３は、「真空供給制御弁の真空ポートを大気開放ポートに連通させ、真空破壊制御弁の正圧供給ポートを出力ポートに連通させることにより、出力ポートと真空ポートとを連通させて流路ブロックに形成された流路を介して大気開放ポートを正圧供給ポートと着脱路とに連通させる」のに対して、甲第７号証記載の発明は、「タイミングｔ６において、第１の弁２５の真空ポートを遮断し、前記タイミングｔ６において、第２の弁２９の正圧供給ポートを出力ポートに連通させ、タイミングｔ７において、第３の弁３０の前記配管２７に連通するポートを、外部連通ポートに連通させることにより、前記吸着ヘッド２１の内圧を低下させる」点。
　
イ．相違点３２についての判断
　事案に鑑み、まず相違点３２について検討すると、上記１．（５）イ．に説示した理由と同様の理由により、甲第７号証記載の発明において、第１の弁２５及び第３の弁３０に代えて、周知の技術的事項である３ポートの制御弁を採用することや、本件特許発明３に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者が容易に想到できた事項とはいえない。
　
ウ．甲第７号証記載の発明に基づく理由のむすび
　上記イ．に示すとおり、甲第７号証記載の発明において、第１の弁２５及び第３の弁３０に代えて、周知の技術的事項である３ポートの制御弁を採用することや、本件特許発明３に係る真空供給制御弁を採用することは、当業者が容易に想到できた事項とはいえないから、その他の相違点２９ないし３１、及び相違点３３について判断するまでもなく、本件特許発明３は、甲第７号証記載の発明に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
（６）本件特許発明３についてのむすび
　以上のとおりであるから、本件特許発明３は、甲第１号証記載の発明、甲第３及び１０号証、甲第２ないし４号証、並びに甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえないし、甲第２号証記載の発明、甲第３及び１０号証、並びに甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえないし、甲第３号証記載の第２発明、並びに甲第１ないし２号証、及び甲第５ないし６号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえないし、甲第４号証記載の発明、甲第２及び７号証、甲第３及び１０号証、甲第５ないし６号証、並びに甲第１１号証に示す周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえないうえに、甲第７号証記載の発明に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　
　
第５．むすび
　上記第４．で判断したとおり、請求人の主張する理由及び提出した証拠方法によっては、本件特許発明１ないし３について、特許法第２９条第２項の規定により特許を無効とすることはできない。
　
　また、他に、本件特許発明１ないし３を無効とすべき理由を発見しない。
　
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、請求人が負担すべきものとする。
　
　よって、結論のとおり審決する