(57)【要約】【課題】共上がり防止手段が備わっていても、装置が大型化することを極力防止することができるシート繰出装置を提供すること。【解決手段】シート繰出装置は、閉ループ状の第１切込と各第１切込を結ぶ第２切込とを有し、第１切込の内側に接着シートＡＳ１が形成され、その外側に第２切込を境に第１不要シートＵＳ１および第２不要シートＵＳ２が形成された原接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２を剥離シートＲＬから剥離する剥離手段３０と、第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２を離間させ、それらと共に接着シートＡＳ１が剥離シートＲＬから剥離することを防止する共上がり防止手段４０と、第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２を単一の巻取軸５２で巻き取る巻取手段５０とを備え、共上がり防止手段４０は、巻取軸５２に設けられている。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
所定間隔で設けられた閉ループ状の第１切込と、各第１切込を結ぶ第２切込とを有し、前記第１切込の内側に所定形状の接着シートが形成され、前記第１切込の外側であって前記第２切込を境に第１不要シートおよび第２不要シートが形成された原接着シートが剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記第１不要シートおよび前記第２不要シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記剥離シートから剥離した前記第１不要シートおよび前記第２不要シートを相互に離間させ、それらと共に前記接着シートが前記剥離シートから剥離することを防止する共上がり防止手段と、
前記第１不要シートおよび前記第２不要シートを巻き取る巻取手段とを備え、
前記巻取手段は、前記第１不要シートおよび前記第２不要シートを巻き取る単一の巻取軸を備え、
前記共上がり防止手段は、前記巻取軸に設けられていることを特徴とするシート繰出装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、シート繰出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、剥離シートから剥離した第１不要シートおよび第２不要シートを相互に離間させ、それらと共に接着シートが剥離シートから剥離することを防止する共上がり防止手段を備えた装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４６１０５３８号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置では、ラベルカス１２Ａ、１２Ｂ（第１、第２不要シート）を離間させる中間ローラ２６（共上がり防止手段）と、離間させた第１、第２不要シートを巻き取るカス巻取ローラ２８（巻取軸）とがそれぞれ独立した構成であるため、装置が大型化するという不都合がある。
【０００５】
本考案の目的は、共上がり防止手段が備わっていても、装置が大型化することを極力防止することができるシート繰出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は、請求項に記載した構成を採用した。
【考案の効果】
【０００７】
以上のような本考案によれば、共上がり防止手段を巻取軸に設けたので、共上がり防止手段が備わっていても、装置が大型化することを極力防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本考案の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】（Ａ）は図１のＡＡ矢視図、（Ｂ）は図１のＢＢ矢視図。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１、図２において、シート貼付装置１０は、所定間隔で設けられた閉ループ状の第１切込ＣＵ１と、各第１切込ＣＵ１を結ぶ第２切込ＣＵ２とを有し、第１切込ＣＵ１の内側に所定形状の接着シートＡＳ１が形成され、第１切込ＣＵ１の外側であって第２切込ＣＵ２を境に第１不要シートＵＳ１および第２不要シートＵＳ２が形成された原接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、第１不要シートＵＳ１および第２不要シートＵＳ２を剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離ローラ３０と、剥離シートＲＬから剥離した第１不要シートＵＳ１および第２不要シートＵＳ２を相互に離間させ、それらと共に接着シートＡＳ１が剥離シートＲＬから剥離することを防止する共上がり防止手段４０と、第１不要シートＵＳ１および第２不要シートＵＳ２を巻き取る巻取手段５０と、原反ＲＳを折り返し、剥離シートＲＬから接着シートＡＳ１を剥離する剥離手段としての剥離板６０と、剥離された接着シートＡＳ１を被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ７０と、ウエハＷＦを支持し、当該ウエハＷＦと押圧ローラ７０とを相対移動させる支持手段８０とを備えている。
なお、本願考案のシート繰出装置は、繰出手段２０と、剥離ローラ３０と、共上がり防止手段４０と、巻取手段５０とで構成される。
【００１１】
繰出手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動される駆動ローラ２３と、駆動ローラ２３との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２４と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２５とを備えている。
【００１２】
共上がり防止手段４０は、巻取手段５０の巻取軸５２に設けられ、当該巻取軸５２上を移動して相互に離間接近可能な２つの離間部材４１を備えている。
【００１３】
巻取手段５０は、駆動機器としての回動モータ５１の出力軸５１Ａに支持され、第１不要シートＵＳ１および第２不要シートＵＳ２を巻き取る単一の巻取軸５２を備えている。
【００１４】
支持手段８０は、駆動機器としてのリニアモータ８１のスライダ８１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面８２Ａを有するテーブル８２を備えている。
【００１５】
以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳ１を貼付する手順について説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示す状態のシート貼付装置１０に対し、当該シート貼付装置１０の作業者（以下、単に「作業者」という）が原反ＲＳを同図中実線で示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力する。すると、繰出手段２０および巻取手段５０が回動モータ２３Ａ、５１を駆動し、原反ＲＳを繰り出すとともに、剥離ローラ３０で剥離シートＲＬから剥離された第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２を巻取軸５２で巻き取る。この際、第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２は、離間部材４１によって相互に離間させられるので、接着シートＡＳ１は、それらと共に剥離シートＲＬから剥離することはない。そして、先頭の接着シートＡＳ１が剥離板６０で所定長さ剥離されたことがカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０および巻取手段５０が回動モータ２３Ａ、５１の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
【００１６】
次に、使用者または、ベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送手段により、テーブル８２上にウエハＷＦが載置されると、支持手段８０が図示しない減圧手段を駆動し、当該ウエハＷＦを支持面８２Ａで吸着保持した後、リニアモータ８１を駆動し、テーブル８２を左方に移動させる。そして、ウエハＷＦが所定の位置に到達したことがカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０および巻取手段５０が回動モータ２３Ａ、５１を駆動し、テーブル８２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出すとともに、剥離シートＲＬから剥離された第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２を巻取軸５２で巻き取る。これにより、接着シートＡＳ１が剥離板６０で剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ７０によって図１中二点鎖線で示すようにウエハＷＦに押圧されて貼付され、次の接着シートＡＳ１が剥離板６０で所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０および巻取手段５０が回動モータ２３Ａ、５１の駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。
【００１７】
ウエハＷＦへの接着シートＡＳ１の貼付が完了すると、支持手段８０がリニアモータ８１および図示しない減圧手段の駆動を停止する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦを次工程に搬送すると、支持手段８０がリニアモータ８１を駆動し、テーブル８２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００１８】
以上のような実施形態によれば、共上がり防止手段４０が備わっていても、装置が大型化することを極力防止することができる。
【００１９】
以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。
【００２０】
例えば、原接着シートＡＳに第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成する切断手段を剥離ローラ３０の前段に設け、第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２が形成されていない原接着シートＡＳを繰出手段２０で繰り出しつつ、切断手段で第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成してもよい。
【００２１】
離間部材４１は、１個だけあるいは３個以上設けられていてもよいし、楕円形板、三角形板や四角形板等の多角形板、その他の形状であってもよいし、巻取軸５２とともに回転してもよいし、回転しなくてもよいし、巻取軸５２上を移動しなくてもよい。
【００２２】
支持手段８０は、テーブル８２の位置を固定しておきまたは、テーブル８２を移動させつつ、繰出手段２０、押圧ローラ７０等を移動させて接着シートＡＳ１をウエハＷＦに貼付してもよいし、シート貼付装置１０に対して他の装置でウエハＷＦを移動させる場合、なくてもよい。
【００２３】
また、本考案における原接着シートＡＳ、接着シートＡＳ１、第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ１は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の原接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような原接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、原接着シートＡＳ、接着シートＡＳ１を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２４】
本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離手段は、第１不要シートおよび第２不要シートを剥離シートから剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００２５】
２０    繰出手段
３０    剥離ローラ（剥離手段）
４０    共上がり防止手段
５０    巻取手段
５２    巻取軸
ＡＳ    原接着シート
ＡＳ１  接着シート
ＣＵ１  第１切込
ＣＵ２  第２切込
ＲＬ    剥離シート
ＲＳ    原反
ＵＳ１  第１不要シート
ＵＳ２  第２不要シート
【図１】
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【図２】
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