(57)【要約】【課題】装置が大型化することを防止することができるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１０は、被着体ＷＦを支持する支持面２４Ａを有する支持手段２０と、被着体ＷＦに接着シートＡＳを貼付する貼付手段３０と、支持面２４Ａを清掃する清掃手段４０とを備え、清掃手段４０は、支持面２４Ａに対し、当該支持面２４Ａの一端から他端に向かってまたは、当該支持面２４Ａの中央部から外縁に向かって気体を吹き付ける吹付け手段４１を備えている。【選択図】図１
0003210743.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
被着体を支持する支持面を有する支持手段と、
前記被着体に接着シートを貼付する貼付手段と、
前記支持面を清掃する清掃手段とを備え、
前記清掃手段は、前記支持面に対し、当該支持面の一端から他端に向かってまたは、当該支持面の中央部から外縁に向かって気体を吹き付ける吹付け手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記清掃手段は、前記吹付け手段が吹き付けた気体を吸引する吸引手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、シート貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、支持面を清掃する清掃手段を備えた装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１４０９８２号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたような従来の装置では、テーブルＴの上面（支持面）上を転動するピックアップローラ１２（清掃手段）で当該支持面を清掃する構成のため、清掃手段に付着した塵やコンタミネーション等の塵埃を除去する転着ローラ１３等の構成が必要となり、装置が大型化するという不都合がある。
【０００５】
本考案の目的は、装置が大型化することを防止することができるシート貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は、各請求項に記載した構成を採用した。
【考案の効果】
【０００７】
本考案によれば、支持面に気体を吹き付けて当該支持面を清掃するので、清掃手段に付着した塵埃を除去する構成が不要となり、装置が大型化することを防止することができる。
また、吹き付けた気体を吸引するようにすれば、支持面から除去した塵埃が再び支持面に付着することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）は本考案の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。（Ｂ）は（Ａ）の部分平面図。
【図２】（Ａ）は本考案の変形例に係るシート貼付装置を示す側面図。（Ｂ）は（Ａ）の部分平面図。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１において、シート貼付装置１０は、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦを支持する支持面２４Ａを有する支持手段２０と、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する貼付手段３０と、支持面２４Ａを清掃する清掃手段４０とを備えている。
【００１１】
支持手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１と、リニアモータ２１のスライダ２１Ａに支持され、前後左右に位置する側面部２２Ａ〜２２Ｄと底面部２２Ｅとからなる外側テーブル２２と、底面部２２Ｅに支持された駆動機器としての直動モータ２３と、直動モータ２３の出力軸２３Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面２４Ａを有する内側テーブル２４とを備えている。
【００１２】
貼付手段３０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ３１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ３２と、剥離シートＲＬを折り曲げて当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３３と、駆動機器としての回動モータ３４によって駆動される駆動ローラ３５と、駆動ローラ３５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ３６と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３７と、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３８とを備えている。
【００１３】
清掃手段４０は、支持面２４Ａに対し、当該支持面２４Ａの一端である左端から他端である右端に向かって空気やガス等の気体を吹き付ける吹付け手段４１と、当該吹付け手段４１が吹き付けた気体を吸引する吸引手段４２とを備えている。
吹付け手段４１は、外側テーブル２２の左側の側面部２２Ａに設けられた複数の吹付け孔４１Ａと、給気管４１Ｂを介して吹付け孔４１Ａに接続された加圧ポンプやタービン等の加圧手段４１Ｃとを備えている。
吸引手段４２は、外側テーブル２２の右側の側面部２２Ｃに設けられた吸引孔４２Ａと、吸引管４２Ｂを介して吸引孔４２Ａに接続された減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段４２Ｃとを備えている。
【００１４】
以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１（Ａ）中実線で示す状態のシート貼付装置１０に対し、当該シート貼付装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が原反ＲＳを同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段３０が回動モータ３４を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、先頭の接着シートＡＳが剥離板３３で所定長さ剥離されたことがカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の図示しない検知手段に検知されると、貼付手段３０が回動モータ３４の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
【００１５】
次に、使用者または、ベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送手段により、図１（Ａ）中実線で示すように、内側テーブル２４上にウエハＷＦが載置されると、支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、当該ウエハＷＦを支持面２４Ａで吸着保持した後、リニアモータ２１を駆動し、スライダ２１Ａを左方に移動させる。そして、ウエハＷＦが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、貼付手段３０が回動モータ３４を駆動し、内側テーブル２４の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離板３３で剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ３８によって図１（Ａ）中二点鎖線で示すようにウエハＷＦに押圧されて貼付され、次の接着シートＡＳが剥離板３３で所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、貼付手段３０が回動モータ３４の駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。
【００１６】
ウエハＷＦへの接着シートＡＳの貼付が完了すると、支持手段２０がリニアモータ２１および図示しない減圧手段の駆動を停止する。そして、使用者または図示しない搬送手段がウエハＷＦを次工程に搬送すると、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、図１（Ａ）中下側の二点鎖線で示すように、内側テーブル２４を下降させる。次に、支持手段２０がリニアモータ２１を駆動し、スライダ２１Ａを初期位置に復帰させるとともに、清掃手段４０が加圧手段４１Ｃおよび減圧手段４２Ｃを駆動し、図１（Ｂ）に示すように、支持面２４Ａの左端から右端に向かって気体を吹き付ける。これにより、支持面２４Ａ上に塵やコンタミネーション等の塵埃が存在していたとしても、当該塵埃は、吹付け手段４１が吹き付けた気体によって吹き飛ばされて吸引手段４２に吸引され、支持面２４Ａが清掃される。
【００１７】
次いで、清掃手段４０が加圧手段４１Ｃおよび減圧手段４２Ｃの駆動を停止した後、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、内側テーブル２４を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００１８】
以上のような実施形態によれば、支持面２４Ａに気体を吹き付けて当該支持面２４Ａを清掃するので、清掃手段４０に付着した塵埃を除去する構成が不要となり、装置が大型化することを防止することができる。
【００１９】
以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。
【００２０】
例えば、シート貼付装置１０は、支持手段２０および清掃手段４０に代えて、図２に示す支持手段２０Ａおよび清掃手段４０Ａを備えてもよい。
支持手段２０Ａは、リニアモータ２１と、外側テーブル２２と、複数の直動モータ２３と、直動モータ２３の出力軸２３Ａに支持された内側テーブル２５とを備えている。内側テーブル２５は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面２５Ａと、支持面２５Ａの中央部に形成された上下に貫通する貫通孔２５Ｂとを備えている。
清掃手段４０Ａは、支持面２５Ａに対し、当該支持面２５Ａの中央部から外縁に向かって気体を吹き付ける吹付け手段４３と、吹付け手段４３が吹き付けた気体を吸引する吸引手段４４とを備えている。
吹付け手段４３は、外側テーブル２２の底面部２２Ｅに支持され、放射状に設けられた複数の吹付け孔４３Ａを有する吹付けノズル４３Ｂと、吹付け孔４３Ａに接続された加圧ポンプやタービン等の図示しない加圧手段４１Ｃとを備えている。
吸引手段４４は、外側テーブル２２の側面部２２Ａ〜２２Ｄに連続して設けられた環状の吸引溝４４Ａと、側面部２２Ａ〜２２Ｄごとに吸引管４４Ｂを介して吸引溝４４Ａに接続された減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段４２Ｃとを備えている。
このような支持手段２０Ａおよび清掃手段４０Ａを備えたシート貼付装置１０は、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦが次工程に搬送されると、支持手段２０Ａが内側テーブル２５を下降させた後、清掃手段４０Ａが加圧手段４１Ｃおよび減圧手段４２Ｃを駆動し、吹付け孔４３Ａから気体を吹き付け、吹付け手段４３が吹き付けた気体を吸引手段４４が吸引する。
【００２１】
支持手段２０、２０Ａは、ウエハＷＦを固定しておきまたは移動させつつ、貼付手段３０を移動させ、当該ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する構成でもよいし、内側テーブル２４、２５の位置を固定しておきまたは、内側テーブル２４、２５を下降させ、外側テーブル２２を上昇させる構成でもよいし、直動モータ２３は複数でもよいし単数でもよい。
【００２２】
貼付手段３０は、帯状の接着シート基材に閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートＡＳとされ、所定の間隔を隔てて複数の接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、切断刃やレーザカッタ等の切断手段により接着シート基材に閉ループ状の切込を形成し、当該切込の内側に接着シートＡＳを形成してもよい。
【００２３】
清掃手段４０、４０Ａは、吹付け孔４１Ａを介さずに給気管４１Ｂから支持面２４Ａに気体を吹き付けてもよいし、吸引孔４２Ａや吸引溝４４Ａを介さずに吸引管４２Ｂ、４４Ｂで気体を吸引してもよいし、吹付け孔４１Ａを側面部２２Ｃに設け、吸引孔４２Ａを側面部２２Ａに設けてもよいし、吹付け孔４１Ａおよび吸引孔４２Ａの一方を側面部２２Ｂに設け、他方を側面部２２Ｄに設けてもよいし、吹付け孔４１Ａおよび吸引孔４２Ａは、互いに同じ数設けてもよいし、互いに異なる数設けてもよいし、給気管４１Ｂを吹付け孔４１Ａごとに独立して設け、各々別々に加圧手段４１Ｃを接続してもよいし、吸引管４２Ｂを複数設けてもよいし、吸引管４４Ｂを単体で構成してもよいし、側面部２２Ａ〜２２Ｄの内面に断続した吸引溝４４Ａを設けてもよいし、吸引手段４２、４４は、本考案のシート貼付装置１０に備わっていなくてもよい。
【００２４】
接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２５】
本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、被着体を支持する支持面を有するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００２６】
１０    シート貼付装置
２０    支持手段
２４Ａ  支持面
２５Ａ  支持面
３０    貼付手段
４０    清掃手段
４１    吹付け手段
４２    吸引手段
４３    吹付け手段
４４    吸引手段
ＡＳ    接着シート
ＷＦ    ウエハ（被着体）
【図１】
0003210743.tif 000003
【図２】
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