(57)【要約】レーザモジュール（１０）において、エタロン（１３）は、レンズ（１２ａ）からの平行ビーム（２）の一部が入射されるように設けられる。そして、エタロン（１３）は、入射された平行ビーム（２）に含まれる特定波長平行ビーム（３）を透過させる。又、レンズ（１２ａ）は、平行ビーム（２）が、ＬＤ（１１）から出射されたレーザ光（１）の光軸中心に平行な第１の方向より上方に出射するように設けられる。
2004010551.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射するレーザと、
該レーザからの前記レーザ光を平行ビームに変換し、該平行ビームが、前記レーザ光の光軸中心に平行な第１の方向に対して角度を有して出射するように設けられたレンズと、
該レンズからの前記平行ビームの一部が入射されるように設けられ、該入射された平行ビームに含まれる特定の波長を持つ特定波長平行ビームを透過させる波長選択制御素子と、
前記レンズからの前記平行ビームを受光する第１の受光素子と、
前記波長選択制御素子からの前記特定波長平行ビームを受光する第２の受光素子と
を備えることを特徴とするレーザモジュール。
【請求項２】
前記波長選択制御素子は、該波長選択制御素子の側面に前記平行ビームが入射しないように前記平行ビームに対して傾斜して設けられることを特徴とする請求の範囲第１項記載のレーザモジュール。
【請求項３】
前記波長選択制御素子の前記平行ビームに対する傾斜の角度は、該傾斜の角度を前記波長選択制御素子の側面に前記平行ビームが入射しないようにして変化させていった時の前記第２の受光素子のモニタ電流値の隣接する極大点と極小点の中間点における角度に設定されることを特徴とする請求の範囲第２項記載のレーザモジュール。
【請求項４】
前記第１の受光素子及び前記第２の受光素子は、前記第１の受光素子からの前記平行ビームの反射光及び前記第２の受光素子からの前記特定波長平行ビームの反射光が、前記波長選択制御素子に入射しないように設けられることを特徴とする請求の範囲第１項記載のレーザモジュール。
【請求項５】
レーザからのレーザ光を平行ビームに変換するレンズを、前記平行ビームが、前記レーザ光の光軸中心に平行な第１の方向に対して角度を有して出射するように前記レーザに対して配置し、
前記平行ビームが入射される位置に複数の受光素子を配置し、
前記受光素子のいずれかに入射される平行ビーム中に、該平行ビームに含まれる特定の波長を持つ特定波長平行ビームを透過させる波長選択制御素子を、該波長選択制御素子の側面に前記平行ビームが入射しないように前記平行ビームに対して傾斜させて配置することを特徴とするレーザモジュールの製造方法。
【請求項６】
前記複数の受光素子からの前記平行ビーム及び前記特定波長平行ビームの反射光が、前記波長選択制御素子へ反射しないように、前記複数の受光素子を配置することを特徴とする請求の範囲第５項記載のレーザモジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、レーザモジュール及びレーザモジュールの製造方法に関する。特に、レーザが出射するレーザ光の波長を安定化させる波長ロック機能を備えたレーザモジュール及びその製造方法に関する。
【背景技術】  従来、波長ロック機能を備えたレーザモジュール５０には、図１に示すものがある。図１は、従来のレーザモジュール５０の構成を示す上面図である。図１に示すように、レーザモジュール５０は、レーザダイオード（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ、以下「ＬＤ」という）５１と、レンズ５２と、エタロン５３と、フォトダイオード（Ｐｈｏｔｏ  Ｄｉｏｄｅ、以下「ＰＤ」という）５４，５５と、ビームスプリッタ５６と、パッケージ５７と、キャリア５８とから構成される。
ＬＤ５１は、レーザ光を出射する。ＬＤ５１の前方出力（図１における左方向への出力）は、レンズ、アイソレータ、ファイバを介してレーザモジュール５０の外部に導かれ、通常の出力光として用いられる。図１では、前方出力の図示を省略している。ＬＤ５１は、後方出力（図１における右方向への出力）のレーザ光５を、レンズ５２に入射する。レンズ５２は、ＬＤ５１からのレーザ光５を、平行ビーム６に変換し、ビームスプリッタ５６に入射する。
ビームスプリッタ５６は、平行ビーム６を２つの平行ビーム６ａと平行ビーム６ｂとに分岐する。ビームスプリッタ５６は、一方の平行ビーム６ａを、ＰＤ５５に入射し、他方の平行ビーム６ｂを、エタロン５３に入射する。エタロン５３は、平行ビーム６ｂに含まれる特定の波長を持つ特定波長平行ビーム７を透過させ、ＰＤ５４に入射する。
ＰＤ５５は、パワーモニタ用の受光素子である。ＰＤ５５は、ビームスプリッタ５６から入射され、受光する平行ビーム６ａの受光強度の変化を検出することにより、レーザ光５の出力強度の変化を検出する。ＰＤ５４は、波長制御用の受光素子である。エタロン５３は鋭い波長選択性を有しているため、ＬＤ５１が出射するレーザ光５の波長が変動すると、エタロン５３の透過率が大きく変動する。そのため、ＰＤ５４は、エタロン５３から入射され、受光する特定波長平行ビーム７の受光強度の変化を検出することにより、レーザ光５の波長の変動の有無を検出する。
尚、ＰＤ５４が受光する特定波長平行ビーム７の受光強度は、レーザ光５の出力強度が変動する場合にも、変動してしまう。そのため、レーザモジュール５０では、ＰＤ５５が検出したレーザ光５の出力強度の変動を同時に検出する。そして、レーザモジュール５０では、ＰＤ５４が受光する特定波長平行ビーム７の受光強度の変動が、レーザ光５の波長の変動によるものか、レーザ光５の出力強度の変動によるものかを切り分ける。レーザモジュール５０では、そのような切り分けを行った上で、ＬＤ５１側にレーザ光５の波長の変動をフィードバックし、レーザ光の波長の安定化を図っている。ＬＤ５１、レンズ５２、エタロン５３、ＰＤ５４，５５、ビームスプリッタ５６は、キャリア５８上に配置されて、パッケージ５７内に収容される。
しかしながら、従来のレーザモジュール５０では、ビームスプリッタ５６のような分岐素子を用いて、平行ビーム６を、モニタ用の受光素子であるＰＤ３５に入射される平行ビーム６ａと、エタロン３３に入射される平行ビーム６ｂとに分けている。そして、ＰＤ５５に、平行ビーム６ａがそのまま入射され、波長制御用の受光素子であるＰＤ５４に、エタロン５３により平行ビーム６ｂから取り出された波長特定平行ビーム７が入射される。
従来のレーザモジュール５０では、このようにビームスプリッタ３６を用いることにより、レーザモジュール５０を構成する部品数が多くなり、その分、製造工程も多くなってしまっていた。そのため、従来のレーザモジュール５０では、歩留まり向上や、低価格化を図ることが困難であった。又、図１に示すように、ビームスプリッタ５６のような分岐素子は、平行ビーム６を、互いに直交する平行ビーム６ａと平行ビーム６ｂとに分岐する。
そのため、レーザモジュール５０は、エタロン５３により平行ビーム６ｂから取り出された波長特定平行ビーム７が入射されるＰＤ５４を、平行ビーム６が進行する方向に配置した場合、分岐したもう一方の平行ビーム６ａを受光するＰＤ５５を、平行ビーム６が進行する方向（図１に示すＸ軸方向）ではなく、その方向と直交する方向（図１に示すＹ軸方向）、即ち、平行ビーム６が進行する経路の横に配置した構造になってしまっていた。その結果、レーザモジュール５０は、小型化を図ることが困難であった。
又、レーザモジュール５０では、エタロン５３が平行ビーム６ｂを反射し、その反射光がＬＤ５１に戻ってしまっていた。そのため、エタロン５３からの反射光が、ＬＤ５１に影響を与えていた。更に、エタロン５３から戻された反射光を、ＬＤ５１が再度反射したり、ＰＤ５４がエタロン５３に特定波長平行ビーム７の反射光を戻し、エタロン５３が再度反射したりすることにより、レーザモジュール５０を構成する部品間で多重反射が生じていた。
そして、その多重反射雑音が、エタロン５３の特性に重畳したり、ＰＤ５４に影響を与えたりしていた。そのため、ＰＤ５４がエタロン５３から入射され、受光する特定波長平行ビーム７の受光強度の変動が、その影響を受けていた。その結果、ＰＤ５４が行うレーザ光５の波長変化の検出動作が影響を受けてしまっていた。よって、レーザモジュール５０は、レーザ光５の波長の安定化を図ることが困難であった。以上のことから、従来のレーザモジュール５０では、ＬＤ５１を安定して動作させることができない場合があった。
そこで、本発明は、歩留まり向上や低価格化、小型化を図ることができ、レーザを安定して動作させることができるレーザモジュール及びレーザモジュールの製造方法を提供することを目的とする。
【発明の開示】
本発明のレーザモジュールは、レーザ光を出射するレーザと、レーザからのレーザ光を平行ビームに変換し、その平行ビームが、レーザ光の光軸中心に平行な第１の方向に対して角度を有して出射するように設けられたレンズと、レンズからの平行ビームの一部が入射されるように設けられ、その入射された平行ビームに含まれる特定の波長を持つ特定波長平行ビームを透過させる波長選択制御素子と、レンズからの平行ビームを受光する第１の受光素子と、波長選択制御素子からの特定波長平行ビームを受光する第２の受光素子とを備える。以下、レーザから出射されたレーザ光の光軸中心に平行な方向を「第１の方向」という。
このようなレーザモジュールによれば、波長選択制御素子は、レンズからの平行ビームの一部が入射されるように設けられ、その入射された平行ビームに含まれる特定の波長を持つ特定波長平行ビームを透過させる。そのため、レーザモジュールは、レンズからの平行ビームを、レンズからの平行ビームそのままと、レンズからの平行ビームから取り出した特定波長平行ビームとに、ビームスプリッタのような他の部品を用いずに、容易に分けることができる。そのため、レーザモジュールでは、構成する部品数、製造工程を減らすことができ、歩留まり向上や、低価格化を図ることができる。
又、波長選択制御素子は、レンズからの平行ビームの一部が入射されるように設けられ、特定波長平行ビームを透過させるだけである。そのため、平行ビームと特定波長平行ビームは、同じ方向へ進行する。よって、レンズからの平行ビームをそのまま受光する第１の受光素子と、波長選択制御素子からの特定波長平行ビームを受光する第２の受光素子とを、平行ビームが進行する同じ方向に配置することができる。その結果、レーザモジュールでは、レーザ、レンズ、波長選択制御素子、第１の受光素子、第２の受光素子を、ほぼ直線状に配置することができ、レーザモジュールの小型化を図ることができる。
更に、レンズは、平行ビームが第１の方向に対して角度を有して出射するように設けられる。そのため、レーザモジュールでは、レンズから平行ビームが入射されることにより、波長選択制御素子で生じる平行ビームの反射光を、レーザ上方やレーザ側方に逃がすことができる。よって、レーザモジュールは、反射光がレーザに戻ることを抑制できる。その結果、レーザモジュールは、レーザを安定して動作させることができる。
又、波長選択制御素子は、該波長選択制御素子の側面に平行ビームが入射しないように平行ビームに対して傾斜して設けられることが好ましい。以下、「波長選択制御素子の側面」とは、レンズからの平行ビームが、波長選択制御素子に入射される入射面を正面とした場合の波長選択制御素子の側面をいう。これによれば、レーザモジュールは、波長選択制御素子の側面に、平行ビームが入射されることを防止できる。その結果、波長選択制御素子の側面からは平行ビームの反射光が発生しない。そのため、側面からの反射光が、第１の受光素子や第２の受光素子に影響を与えたり、レーザに戻ったりすることがない。よって、レーザモジュールでは、レーザを安定して動作させることができる。
更に、波長選択制御素子の平行ビームに対する傾斜の角度は、傾斜の角度を波長選択制御素子の側面に平行ビームが入射しないようにして変化させていった時の第２の受光素子のモニタ電流値の隣接する極大点と極小点の中間点における角度に設定されることが好ましい。
これによれば、レーザモジュールは、波長選択制御素子の傾斜角度を、第２の受光素子のモニタ電流値の変動が大きくなる角度に設定できる。その結果、レーザモジュールは、第２の受光素子が特定波長平行ビームの受光強度の変動を検出する感度を向上させることができる。そのため、レーザモジュールは、その検出結果に基づいて、高精度な波長制御を行うことができる。
又、第１の受光素子及び第２の受光素子は、第１の受光素子からの平行ビームの反射光及び第２の受光素子からの特定波長平行ビームの反射光が、波長選択制御素子に入射しないように設けられることが好ましい。これによれば、波長選択制御素子と、第１の受光素子及び第２の受光素子との間で多重反射が生じることを防止できる。そのため、レーザモジュールは、レーザを安定して動作させることができる。
又、本発明のレーザモジュールの製造方法は、レーザからのレーザ光を平行ビームに変換するレンズを、平行ビームが第１の方向に対して角度を有して出射するようにレーザに対して配置し、平行ビームが入射される位置に複数の受光素子を配置し、受光素子のいずれかに入射される平行ビーム中に、平行ビームに含まれる特定の波長を持つ特定波長平行ビームを透過させる波長選択制御素子を、その波長選択制御素子の側面に平行ビームが入射しないように平行ビームに対して傾斜させて配置する。
このようなレーザモジュールの製造方法では、平行ビームが第１の方向に対して角度を有して出射するように、レンズをレーザに対して配置する。そのため、波長選択制御素子で生じる平行ビームの反射光を、レーザ上方やレーザ側方に逃がすことができる。よって、反射光がレーザに戻ることを抑制して、レーザを安定して動作させることのできるレーザモジュールが製造できる。
又、この製造方法では、配置された複数の受光素子のいずれかに入射される平行ビーム中に、その平行ビームに含まれる特定の波長を持つ特定波長平行ビームを透過させる波長選択制御素子を配置する。そのため、レンズからの平行ビームを、レンズからの平行ビームそのままと、レンズからの平行ビームから取り出した特定波長平行ビームとに、ビームスプリッタのような他の部品を用いずに、容易に分けることができるレーザモジュールが製造できる。そのため、この製造方法は、レーザモジュールを構成する部品数、製造工程を減らすことができ、歩留まり向上や、低価格化を図ることができる。
又、波長選択制御素子は、複数の受光素子のいずれかに入射される平行ビーム中に配置され、特定波長平行ビームを透過させるだけなので、平行ビームと特定波長平行ビームは、同じ方向へ進行する。よって、この製造方法では、レンズからの平行ビームをそのまま受光する受光素子と、波長選択制御素子からの特定波長平行ビームを受光する受光素子とを、平行ビームが進行する同じ方向に配置することができる。その結果、レーザモジュールの小型化が図られる。
しかも、この製造方法では、波長選択制御素子を、該波長選択制御素子の側面に平行ビームが入射しないように平行ビームに対して傾斜させて配置する。そのため、波長選択制御素子の側面に、平行ビームが入射されることを防止したレーザモジュールが製造できる。その結果、波長選択制御素子の側面からは平行ビームの反射光が発生しない。そのため、側面からの反射光が、複数の受光素子に影響を与えたり、レーザに戻ったりすることがない。よって、レーザを安定して動作させることができるレーザモジュールが製造できる。
又、複数の受光素子からの平行ビーム及び特定波長平行ビームの反射光が、波長選択制御素子に入射しないように、複数の受光素子を配置することが好ましい。これによれば、波長選択制御素子と、複数の受光素子との間で多重反射が生じることを防止できるレーザモジュールが製造でき、レーザを安定して動作させることができる。
【図面の簡単な説明】  図１は、従来のレーザモジュールの構成を示す上面図である。
図２Ａ及び図２Ｂは、本発明の実施の形態に係るレーザモジュールの構成を示す図である。
図３は、本発明の実施の形態に係るレーザモジュール１０の特性を示すグラフ図である。
図４Ａ及び図４Ｂは、本発明の実施の形態に係るレンズの位置調整方法を示す図である。
図５Ａ及び図５Ｂは、本発明の実施の形態に係るレンズの位置調整方法を示す図である。
図６Ａ及び図６Ｂは、本発明の実施の形態に係るＰＤの配置方法を示す図である。
図７Ａ及び図７Ｂは、本発明の実施の形態に係るエタロンの傾斜角度設定方法を示す図である。
図８は、本発明の実施の形態に係るエタロン傾斜角度とモニタ電流の値との関係を示すグラフ図である。
図９Ａ乃至図９Ｄは、本発明の実施の形態に係るエタロンのＳ方向の位置決定方法を示す図である。
図１０は、本発明の実施の形態に係るエタロンのＳ方向の位置とモニタ電流の値との関係を示すグラフ図である。
図１１は、比較例に係るエタロンのＳ方向の位置とモニタ電流の値との関係を示すグラフ図である。
図１２は、本発明の変更例に係るレーザモジュールの構成を示す上面図である。
図１３は、本発明の変更例に係る他のレーザモジュールの構成を示す上面図である。
【発明を実施するための最良の形態】〔レーザモジュール〕
（レーザモジュールの全体構成）
図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。図２Ａ及び図２Ｂは、レーザモジュール１０の構成を示す図である。図２Ａは、レーザモジュール１０の上面図である。図２Ｂは、図２ＡのＡ−Ａ線断面図である。レーザモジュール１０は、レーザダイオード（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ、以下「ＬＤ」という）１１と、レンズ１２ａと、レンズ１２ｂと、エタロン１３と、フォトダイオード（Ｐｈｏｔｏ  Ｄｉｏｄｅ、以下「ＰＤ」という）１４と、ＰＤ１５と、台座１６と、パッケージ１７と、キャリア１８と、アイソレータ１９と、サーミスタ２０と、ペルチェ素子２１と、保持部材２２ａ〜２２ｅとを備える。ＰＤ１４、ＰＤ１５はそれぞれ、受光部１４ａ、受光部１５ａを備える。
ＬＤ１１は、レーザ光を出射するレーザである。そのため、第１の方向は、ＬＤ１１から出射されたレーザ光１の光軸中心に平行な方向（図２Ａ及び図２Ｂに示すＸ軸方向）となる。ＬＤ１１の前方出力（図２Ａ及び図２Ｂにおける左方向への出力）は、レンズ１２ｂ、アイソレータ１９、ファイバ（図示を省略）等を介して、一定の出力強度、一定の波長のレーザ光として、レーザモジュール１０の外部に導かれ、用いられる。図２Ａ及び図２Ｂでは、ＬＤ１１の前方出力の図示を省略している。ＬＤ１１は、後方出力（図２Ａ及び図２Ｂにおける右方向への出力）のレーザ光１を、レンズ１２ａに入射する。
レンズ１２ａは、ＬＤ１１からのレーザ光１を、平行ビーム２に変換する。レンズ１２ａは、変換した平行ビーム２の一部を、エタロン１３に入射する。レンズ１２ａは、平行ビーム２の残部を、そのまま直進させてＰＤ１５の受光部１５ａに入射する。このように、変換された平行ビーム２は、２つの領域に分けられる。レンズ１２ａとしては、例えば、コリメータレンズを用いることができる。以下、図２Ｂに示すように、レンズ１２ａが出射する平行ビーム２と第１の方向とがなす角度を、「傾斜角度φ」と表す。
エタロン１３は、レンズ１２ａからの平行ビーム２の一部が入射されるように設けられる。エタロン１３は、入射された平行ビーム２に含まれる特定波長平行ビーム３を、選択的に透過させる波長選択制御素子である。特定波長平行ビーム３は、特定の波長を持つ平行ビームである。エタロン１３は、特定波長平行ビーム３を、ＰＤ１４の受光部１４ａに入射する。
エタロン１３には、レーザモジュール１０が維持すべきＬＤ１１が出射するレーザ光１の波長（以下「ロック波長」という）に対する初期透過率が、平行ビーム２に対する傾斜角度に応じて設定されている。又、エタロン１３は、鋭い波長選択性を有している。そのため、ＬＤ１１が出射するレーザ光１の波長が、ロック波長から変動すると、エタロン１３の透過率も、初期透過率から変動する。以下、平行ビーム２と特定波長平行ビーム３との境界面と直交する方向（図２Ａに示すＹ軸方向、及び／または、図２Ｂに示すＺ軸方向）を、「第２の方向」という。そして、図２Ａに示すように、エタロン１３の入射面１３ａと第２の方向とがなす角度を、「エタロン１３の傾斜角度θ」と表す。
ＰＤ１４は、波長制御（ＡＦＣ：Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）のための受光素子である。ＰＤ１４は、エタロン１３からの特定波長平行ビーム３を受光する第２の受光素子である。受光部１４ａは、特定波長平行ビーム３を受光する。上記したように、ＬＤ１１が出射するレーザ光１の波長が、ロック波長から変動すると、エタロン１３の透過率も、初期透過率から変動する。そのため、ＰＤ１４は、エタロン１３の透過率の変動を、エタロン１３から入射され、受光する特定波長平行ビーム３の受光強度の変動として検出することができる。
このＰＤ１４が検出した受光強度の変動は、ＬＤ１１の駆動電流回路（以下「ＬＤ駆動電流回路」という）や、サーミスタ２０やペルチェ素子２１のようなＬＤ１１の温度を制御する温度制御手段に、フィードバックされる。そして、ＬＤ駆動電流回路や、サーミスタ２０やペルチェ素子２１のような温度制御手段は、ＰＤ１４が検出した受光強度の変動に基づいて、レーザ光１の波長の変動の有無を検出し、ＬＤ１１の前方出力の波長の安定化を図る制御を行う。尚、図２Ａ及び図２Ｂでは、ＬＤ駆動回路の図示を省略している。
ＰＤ１５は、パワーモニタ（ＡＰＣ：Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｐｏｗｅｒ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）のための受光素子である。ＰＤ１５は、レンズ１２ａからのそのままの平行ビーム２を受光する第１の受光素子である。受光部１５ａは、平行ビーム２を受光する。ＰＤ１５は、レンズ１２ａから入射され、受光する平行ビーム２の受光強度の変動を検出し、レーザ光１（後方出力）の出力強度の変動を直接検出する。このＰＤＴ５が検出した出力強度の変動は、ＬＤ駆動電流回路や、サーミスタ２０やペルチェ素子２１のような温度制御手段にフィードバックされる。そして、ＬＤ駆動電流回路や、サーミスタ２０やペルチェ素子２１のような温度制御手段は、ＰＤ１５が検出したレーザ光１（後方出力）の出力強度の変動に基づいて、ＬＤ１１の前方出力の出力強度の安定化を図る制御、即ち、パワーモニタを行う。
又、ＰＤ１４が受光する特定波長平行ビーム３の受光強度は、レーザ光１の出力強度が変動する場合にも、変動してしまう。そのため、ＬＤ駆動電流回路や、サーミスタ２０やペルチェ素子２１のような温度制御手段は、ＰＤ１５が検出したレーザ光１の出力強度の変動を用いて、ＰＤ１４が検出した特定波長平行ビーム３の受光強度の変動が、レーザ光１の波長変動によるものか、レーザ光１の出力強度の変動によるものかを切り分ける。ＬＤ駆動電流回路や、サーミスタ２０やペルチェ素子２１のような温度制御手段は、このような切り分けを行った上で、ＰＤ１４やＰＤ１５からフィードバックされた特定波長平行ビーム３の受光強度の変動やレーザ光１（後方出力）の出力強度の変動に基づいて、ＬＤ１１の前方出力の波長、出力強度を常に一定に保つよう制御を行う。尚、温度制御手段は、サーミスタ２０やペルチェ素子２１以外にも、温度制御回路を用いることができる。
図２Ｂに示すように、ＬＤ１１は、台座１６上に配置される。又、レンズ１２ａ、エタロン１３、ＰＤ１４，１５、レンズ１２ｂ、アイソレータ１９は、それぞれ保持部材２２ａ〜２２ｅ上に配置され、保持される。そして、ＬＤ１１、レンズ１２ａ、エタロン１３、ＰＤ１４，１５、レンズ１２ｂ、アイソレータ１９は、台座１６、保持部材２２ａ〜２２ｅを介して、キャリア１８上に、ほぼ直線上に配置される。又、サーミスタ２０もキャリア１８上に配置される。そして、これらの部材が配置されたキャリア１８は、ペルチェ素子２１上に配置され、パッケージ１７内に収容される。キャリア１８は、台座１６を介してＬＤ１１を保持する部分が凸部となっており、ＬＤ１１が所定の高さに位置するようになっている。
尚、エタロン１３は、レーザモジュール１０の外部の温度変化による熱輻射や対流の影響を受けて、温度が変化してしまう。そして、エタロン１３の波長透過特性は、エタロン１３の温度に応じて変化する。そのため、ＰＤ１４の位相がシフトしてしまい、ロック波長がドリフトしてしまう。このような問題を解消するためには、エタロン１３の温度を安定化させて、エタロン１３に対する熱輻射や対流の影響を低減させることが重要である。
そのため、保持部材２２ｂは、熱伝導性が高く、熱膨張係数がエタロン１３の材料の熱膨張係数に等しいか近い材料で形成されることが好ましい。例えば、保持部材２２ｂは、窒化アルミニウムで形成されることが好ましい。このように、エタロン１３の直下に、熱伝導性の良好な窒化アルミニウムが配置されることにより、ペルチェ素子２１とエタロン１３との間の熱伝導性を良好にでき、エタロン１３の温度を安定化させることができる。
或いは、レーザモジュール１０は、従来に比べて高さが低く、底面積が広いエタロン１３を備えるようにしてもよい。例えば、高さが従来の０．７５倍の１．５ｍｍ、底面積が従来の底面積の２倍のエタロン１３を用いることが好ましい。尚、エタロン１３の高さや底面積は、レーザモジュール１０の構造やレーザモジュール１０を用いる装置に応じて、適宜選択することができる。これによれば、ペルチェ素子２１とエタロン１３との間の熱伝導性を良好にでき、エタロン１３の温度を外部温度変化に対して安定化させることができる。よって、エタロン１３に対する熱輻射、対流の影響を低減させることができる。
（レンズ位置）
次に、各構成部分について詳細に説明する。まず、レンズ１２ａの位置について説明する。レンズ１２ａは、図２Ｂに示すように、ＬＤ１１からのレーザ光１のレンズ１２ａへの入射位置が、レンズ１２ａの中心からオフセットされて、配置されることが好ましい。これにより、レンズ１２ａは、平行ビーム２を、第１の方向より上方に傾斜させて出射することができる。
具体的には、図２Ｂに示すように、レンズ１２ａは、保持部材２２ａの高さ（図２Ｂに示すＺ軸方向）を調整することにより、レンズ１２ａの中心が、ＬＤ１１の中心よりもδＹだけ上方に位置するようにオフセットされる。これにより、ＬＤ１１からのレーザ光１のレンズ１２ａへの入射位置は、レンズ１２ａの中心からやや下方に位置するように設定される。この結果、レンズ１２ａが出射する平行ビーム２が、傾斜角度φだけ第１の方向から上方に出射するように調整できる。そして、平行ビーム２は、第１の方向からの傾斜角度φを有して、エタロン１３に入射する。
このように平行ビーム２が出射する方向を、第１の方向より上方にすることにより、レンズ１２ａから平行ビーム２が入射され、エタロン１３の入射面１３ａで生じる平行ビーム２の反射光を、ＬＤ１１上方に逃がすことができる。即ち、エタロン１３の入射面１３ａからの反射光は、レンズ１２ａの方向に戻り、レンズ１２ａを通過する。その後、反射光は、何ら反射物の存在しない、ＬＤ１１の発光源である活性層中心の上方部分に向けて戻る。
以下、この点を更に詳細に説明する。エタロン１３からＬＤ１１の上方にある空間に集光される反射光のスポット半径（電力がｅ−２）を１μｍ、ＬＤ１１の活性層中心とＬＤ１１上面との距離を数μｍ、ＬＤ１１上面から上方への距離がδの位置に反射光が戻るとする。この場合、δが１０μｍ以上に確保されれば、反射光は、ＬＤ１１の上端部に集光することなく、ＬＤ１１の上方にある空間に集光される。尚、レンズ１２ａの位置調整時やレーザモジュール１０製造時のトレランスを考慮して、δは設定されることが好ましい。
そして、ＬＤ１１上面からの距離δと、レンズオフセットする量、即ち、レンズ１２ａの中心をＬＤ１１の中心よりも上方に位置するようにオフセットする量δＹの関係は、以下の（１）式、（２）式で表すことができる。尚、（１）式、（２）式において、φは傾斜角度、ｆはレンズ焦点距離である。
φ＝ａｒｃｔａｎ（δＹ／ｆ）＝δＹ／ｆ              （１）式
δ＝２ｆ×ｔａｎ（φ）＝２ｆ×φ＝２δＹ        （２）式
そのため、確保したいδを決め、（２）式を満たすようにδＹを設定することができる。そして、レンズ１２ａは、レンズ１２ａの中心が、ＬＤ１１の中心よりも、（２）式により設定したδＹだけ上方に位置するようにオフセットされればよい。これにより、エタロン１３からの反射光は、反射物の存在しないＬＤ１１の上方にある空間で結像する。
よって、エタロン１３からの反射光がＬＤ１１に戻って、入射することを防止できる。更に、エタロン１３からの反射光がＬＤ１１に入射した場合に生じるＬＤ１１とエタロン１３との間の多重反射を抑制することができる。この結果、エタロン１３からの反射光がＬＤ１１に影響を与えることを防止できる。更に、ＬＤ１１とエタロン１３との間の多重反射雑音が、ＰＤ１４，１５やエタロン１３に影響を与え、ＰＤ１４，１５が行う特定波長平行ビーム３の受光強度の変動やレーザ光１（後方出力）の出力強度の変動の検出動作に影響を与えることを防止できる。よって、ＰＤ１４，１５の検出動作の精度を向上させることができる。そのため、ＬＤ駆動電流回路や、サーミスタ２０やペルチェ素子２１のような温度制御手段は、ＬＤ１１の前方出力の波長、出力強度の制御を、精度良く行うことができる。従って、レーザモジュール１０は、ＬＤ１１を安定して動作させることができる。
重要なことは、レンズ１２ａを、平行ビーム２が第１の方向より上方に出射するように設け、傾斜角度φを有する平行ビーム２を、エタロン１３に入射することである。例えば、エタロン１３を第２の方向から傾斜角度θを設けて配置するだけであり、傾斜角度φを有しない平行ビーム２をエタロン１３に入射した場合には、上述の効果を得ることはできない。この場合、反射光のＬＤ１１の裏面における結像位置は、ＬＤ裏面出射スポット位置に対してΔだけシフトする。そして、以下の（３）式が成立する。
Δ＝２ｆ×ｔａｎ（２θ）      （３）式
よって、例えば、θが３°、ｆが１．５ｍｍの場合、Δは１５８μｍとなる。そのため、ＬＤ１１のチップ幅が４００μｍと仮定し、ＬＤ１１の側面及び台座１６からの反射を考慮すると、ＬＤ１１がエタロン１３からの反射光を受ける。更に、ＬＤ１１は、ＬＤ１１の裏面近傍から、その反射光を反射してしまう。よって、ＬＤ１１とエタロン１３との間の多重反射を防止する最も効果的な方法は、エタロン１３からの平行ビーム２の反射光が、ＬＤ１１の上方を通過するように、レンズ１２ａを、平行ビーム２が第１の方向より上方に出射するように設ける方法といえる。このように、レンズ１２ａは、エタロン１３からの反射光をＬＤ１１の上方に逃がすように設けることが好ましい。
（エタロン傾斜角度）
エタロン１３は、図２Ａに示すように、エタロン１３の側面１３ｂに平行ビーム２が入射しないように平行ビーム２に対して傾斜して設けられることが好ましい。例えば、エタロン１３を、エタロン１３の入射面１３ａが第２の方向と平行な状態から、図２Ａにおける反時計方向に回転させることにより、平行ビーム２に対して傾斜させて設けることができる。エタロン１３は、図２Ａにおける反時計方向に回転することにより、平行ビーム２に対して、傾斜角度θだけ傾斜して設けられる。
これによれば、レンズ１２ａからの平行ビーム２が、エタロン１３に入射される入射面１３ａを正面とした場合のエタロン１３の側面１３ｂに、平行ビーム２が入射されることを防止できる。その結果、エタロン１３の側面１３ｂからは平行ビーム２の反射光が発生しない。そのため、側面１３ｂからの反射光が、ＰＤ１４，１５に入射して、ＰＤ１４，１５のノイズとなったり、側面１３ｂからの反射光がＬＤ１１に戻ったりすることがない。
この結果、エタロン１３からの反射光がＬＤ１１に影響を与えることを防止できる。更に、ＬＤ１１とエタロン１３との間や、エタロン１３とＰＤ１４，１５との間の多重反射雑音が、ＰＤ１４，１５やエタロン１３に影響を及ぼし、ＰＤ１４，１５が行う特定波長平行ビーム３の受光強度の変動やレーザ光１（後方出力）の出力強度の変動の検出動作に影響を与えることを防止できる。
よって、レーザモジュール１０は、ＰＤ１４，１５の検出動作の精度を向上させることができる。そのため、ＬＤ駆動電流回路や、サーミスタ２０やペルチェ素子２１のような温度制御手段は、ＬＤ１１の前方出力の波長、出力強度の制御を精度良く行うことができる。従って、レーザモジュールは、ＬＤ１１を安定して動作させることができる。尚、エタロン１３が、平行ビーム２に対して第２の方向から傾斜角度θだけ傾斜した状態で、平行ビーム２が入射する高さに位置するように、保持部材２２ｂの高さが調整される。
（ＰＤ傾斜角度）
ＰＤ１４，１５は、図２Ａに示すように、図２Ａにおいて平行ビーム２と直交する状態から、図２Ａにおける反時計方向に回転されて、平行ビーム２や特定波長平行ビーム３に対して傾斜して設けられることが好ましい。これによれば、ＰＤ１４，１５は、ＰＤ１４からの特定波長平行ビーム３の反射光や、ＰＤ１５からの平行ビーム２の反射光が、エタロン１３に入射せずに、エタロン１３から外れるように設けられる。この設定は、エタロン１３と、ＰＤ１４，１５との間で多重反射が生じることを防止できる。
よって、レーザモジュール１０は、その多重反射の雑音が、ＰＤ１４，１５やエタロン１３に影響を及ぼし、ＰＤ１４，１５が行う特定波長平行ビーム３の受光強度の変動やレーザ光１（後方出力）の出力強度の変動の検出動作に影響を与えることを防止できる。よって、レーザモジュール１０は、ＰＤ１４，１５の検出動作の精度を向上させることができる。そのため、ＬＤ駆動電流回路や、サーミスタ２０やペルチェ素子２１のような温度制御手段は、ＬＤ１１の前方出力の波長、出力強度の制御を精度良く行い、波長をロックすることができる。従って、レーザモジュール１０は、ＬＤ１１を安定して動作させることができる。尚、ＰＤ１４，１５が、平行ビーム２や特定波長平行ビーム３に対して第２の方向からの傾斜角度を有した状態で、平行ビーム２や特定波長平行ビーム３が入射する高さに位置するように、保持部材２２ｃの高さが調整される。
（レーザモジュールの特性）
以上説明したレーザモジュール１０のＰＤ１４，１５の特性を図３に示す。図３において、縦軸は、ＰＤ１４，１５が出力するモニタ電流値Ｉｐｄ（単位はμＡ）であり、横軸は、周波数（単位はＴＨｚ）である。又、実線が、ＰＤ１４の特性を示しており、点線が、ＰＤ１５の特性を示している。図３に示すように、０．１ＴＨｚ間隔にあり、ＩＴＵ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｔｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  Ｕｎｉｏｎ）−Ｇｒｉｄ標準規格で規定されている周波数と、ＰＤ１４が出力するモニタ電流値の変化が著しい周波数とが一致している（図３中、丸で囲まれた部分）。
よって、わずかなレーザ光１の波長変動に対しても、ＰＤ１４が出力するモニタ電流値は、大きく変化することができる。そのため、ＰＤ１４は、精度良く検出した特定波長平行ビーム３の受光強度の変動を、ＬＤ制御回路や温度制御手段に、フィードバックすることができる。その結果、ＬＤ制御回路や温度制御手段は、ＬＤ１１の前方出力の波長を常に一定に保つよう適切に制御を行って、レーザ光１の波長をロックすることができる。このように、レーザモジュール１０は、ロックされた急峻なレーザ波長を与えることができる。
〔レーザモジュールの製造方法〕
次に、レーザモジュール１０の製造方法について説明する。最初に、キャリア１８上に台座１６を配置し、台座１６上にＬＤ１１を配置する。
（第１工程：レンズの配置）
まず、ＬＤ１１に対して、レンズ１２ａを配置する第１工程を行う。レンズ１２ａは、平行ビーム２が第１の方向より上方に出射するように、ＬＤ１１に対して配置する。具体的には、図２Ｂに示したように、レンズ１２ａからの平行ビーム２が、傾斜角度φだけ第１の方向から上方に出射されるように、レンズ１２ａの位置を調整して固定する。図４Ａ、４Ｂ、５Ａ、５Ｂを用いて、レンズ１２ａの位置の調整方法を説明する。レンズ１２ａの位置調整は、赤外線カメラを用いて行う。
まず、図４Ａに示すように、レンズ１２ａの中心と、ＬＤ１１の中心とが一致するように、レンズ１２ａを配置する。このときのレンズ１２ａの下面の位置は、図４Ａ中のＣ線である。レンズ１２ａは、変換した平行ビーム２を、赤外線カメラのレンズ２３に入射する。図４Ｂは、図４Ａに示すようにレンズ１２ａを配置した場合に、赤外線カメラの画像モニタ画面２４に映し出される平行ビーム２の画像２５である。レンズ１２ａの中心とＬＤ１１の中心とが一致する場合に、図４Ｂに示すように、平行ビーム２の画像２５が、画像モニタ画面２４の中心に位置するように、赤外線カメラを設定しておく。
次に、図４Ａの状態から、上方（図４Ａに示す矢印Ｂ方向）に、レンズ１２ａを移動させる。レンズ１２ａの上方への移動に伴い、図５Ａに示すように、平行ビーム２は、第１の方向から上方へ曲がる。図５Ｂは、図５Ａに示すようにレンズ１２ａを上方に移動させた場合に、赤外線カメラの画像モニタ画面２４に映し出される平行ビーム２の画像２５である。図５Ｂに示すように、レンズ１２ａの移動に伴って、画像モニタ画面２４に映し出された画像２５も、図４Ｂに示した画像モニタ画面２４の中心の位置から、上方へ移動する。又、レンズ１２ａからの平行ビーム２が、傾斜角度φだけ第１の方向から上方に出射されるときの画像２５の画像モニタ画面２４上の位置（以下「規定位置」という）を、レンズ１２ａと赤外線カメラの焦点位置から予め算出しておく。
そして、レンズ１２ａの移動に伴い、平行ビーム２の画像２５が、画像モニタ画面２４上の規定位置に達したとき、レンズ１２ａを固定する。これにより、レンズ１２ａは、Ｃ線からδＹだけ上方に移動し、レンズ１２ａの中心が、ＬＤ１１の中心よりもδＹだけ上方に位置するようにオフセットされた位置に配置される。即ち、レンズ１２ａは、レンズ１２ａからの平行ビーム２が、傾斜角度φだけ第１の方向から上方に出射する位置に配置される。尚、レンズ１２ａのオフセットされた位置での配置は、図２Ｂに示したレンズ１２ａを保持する保持部材２２ａをキャリア１８上に配置し、その高さを調整することにより行うことができる。
（第２工程：ＰＤの配置）
次に、平行ビーム２が入射される位置に、ＰＤ１４，１５を配置する第２工程を行う。まず、ＰＤ１４，１５の傾斜角度を設定する。図６Ａに示すように、ＰＤ１４，１５を、図６Ａに示す上面図において平行ビーム２と直交する状態から図６Ａにおける時計方向に回転させて、平行ビーム２や特定波長平行ビーム３に対して傾斜させた場合、ＰＤ１４，１５からの反射光４が、図６Ａの矢印で示すように、エタロン１３に入射してしまう。
そのため、ＰＤ１４，１５を、図６Ｂに示すように、図６Ｂに示す上面図において平行ビーム２と直交する状態から、図６Ｂにおける反時計方向に回転させて、平行ビーム２や特定波長平行ビーム３に対して傾斜させる。これにより、ＰＤ１４，１５を、ＰＤ１４からの特定波長平行ビーム３の反射光やＰＤ１５からの平行ビーム２の反射光が、後に配置されるエタロン１３に入射しないように、エタロン１３から外れるように設けることができる。
次に、ＰＤ１４，１５を、図６Ｂにおける反時計方向に回転させて、傾斜させた状態で、ＰＤ１４，１５が受光する光量を調整する。まず、平行ビーム２が入射する位置に、傾斜させた状態でＰＤ１４，１５を配置する。次に、ＰＤ１４，１５を、図６Ｂに示す上面図において平行ビーム２と直交する方向（図６Ｂに示すＳ方向）に、前後（図６Ｂに示すプラス側とマイナス側）に移動させて、ＰＤ１４，１５が受光する平行ビーム２の光量を調整する。即ち、ＰＤ１４，１５を、図６Ｂに示すの矢印Ｄ方向と、矢印Ｅ方向に移動させて、ＰＤ１４，１５が受光する光量を調整する。
ＰＤ１４，１５が受光する平行ビーム２の光量は、ＰＤ１４，１５が受光することになる平行ビーム２や特定波長平行ビーム３の受光強度（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｐｏｗｅｒ）が、ほぼ所望の値となるように調整する。ＰＤ１５には、平行ビーム２がそのまま入射される。これに対して、ＰＤ１４には、実際には、エタロン１３によって透過された、特定の波長を持つ特定波長平行ビーム３が入射される。そのため、ＰＤ１４には、ＰＤ１５よりも多い光量の平行ビーム２が入射するように調整する。そして、ＰＤ１５が受光する平行ビーム２の光量と、ＰＤ１４が受光する特定波長平行ビーム３の光量がほぼ等しくなり、ＰＤ１４における特定波長平行ビーム３の受光強度と、ＰＤ１５における平行ビーム２の受光強度とがほぼ等しくなるように調整する。
具体的には、通常、図６Ｂにおいて、ＰＤ１４が受光する平行ビーム２の光量と、ＰＤ１５が受光する平行ビーム２の光量との比が、約２：１となるように調整する。但し、エタロン１３の種類によって、ＰＤ１４が受光する平行ビーム２の光量と、ＰＤ１５が受光する平行ビーム２の光量との比は適宜設定できる。例えば、両者の比は、約３：１に設定することもできる。重要なことは、ＰＤ１４，１５を、エタロン１３を平行ビーム２の中に最終的に配置した際に、ＰＤ１５が受光する平行ビームの光量と、ＰＤ１４が受光する特定波長平行ビームの光量との比が、ほぼ１：１となるように調整することである。
このようにして、ＰＤ１４，ＰＤ１５が受光する平行ビーム２の光量が、所望の値となるようにＰＤ１４，１５の位置を調整して、ＰＤ１４，１５の位置を決定する。そして、図６Ｂにおける反時計方向に回転させて傾斜させた状態、かつ、決定した位置に、ＰＤ１４，１５を配置する。尚、ＰＤ１４，１５の決定した位置での配置は、図２Ｂに示したＰＤ１４，１５を保持する保持部材２２ｃをキャリア１８上に配置し、その位置、傾斜角度、高さを調整して行うことができる。
このように、ＰＤ１４，ＰＤ１５が受光する平行ビーム２の光量を調整することにより、エタロン１３を透過して、平行ビーム２そのままよりも出力強度が低下してしまう特定波長平行ビーム３を受光するＰＤ１４が受光する光量を増やし、平行ビーム２そのままを受光するＰＤ１５が受光する光量を減らすことができる。そして、ＰＤ１４，ＰＤ１５は、ＰＤ１５が受光する平行ビーム２の光量と、ＰＤ１４が受光する特定波長平行ビーム３の光量が等しくなるように設けられる。そのため、ＰＤ１４，１５が共に、適切な受光強度を検出できる。
（第３工程：エタロンの配置）
次に、ＰＤ１４に入射される平行ビーム２中に、エタロン１３を配置する第３工程を行う。最初に、エタロン１３の傾斜角度を設定する。まず、図７Ａに示すように、平行ビーム２全てがエタロン１３に入射し、第２の方向とエタロン１３の入射面１３ａとが平行になるように、エタロン１３を配置する。
図７Ａに示す第２の方向と平行な状態から、図７Ｂに示すように、エタロン１３を、図７Ｂにおける反時計方向（図７Ｂに示す矢印Ｆ方向）に回転させて、平行ビーム２に対して傾斜させていく。即ち、エタロン１３の傾斜角度θを、エタロン１３の側面１３ｂに平行ビーム２が入射しないように変化させていく。このエタロン１３の回転に伴って、第２の方向からの傾斜角度θが変化し、エタロン１３への平行ビーム２の入射角度が変化する。そのため、エタロン１３の透過率は、波長方向にシフトする。この結果、エタロン１３の傾斜角度θの変化に伴うＰＤ１４，１５のモニタ電流の値は、図８に示すように変化する。
エタロン１３の傾斜角度θは、図８を用いて説明する以下の手順により決定できる。尚、図８において、縦軸は、ＰＤ１４，１５が出力するモニタ電流値Ｉｐｄである（単位はμＡ）。横軸は、エタロン１３の第２の方向からの傾斜角度θである。図８中右方向は、図７Ａにおける時計方向への回転を示しており、左方向は図７Ａにおける反時計方向への回転を示している。又、実線が、ＰＤ１４の特性を示しており、点線が、ＰＤ１５の特性を示している。
まず、上記したように、エタロン１３を、図７Ａの第２の方向と平行な状態から（図８に示すエタロン傾斜角度θが０の状態から）、図７Ｂにおける反時計方向に回転させていく。そのときのＰＤ１４のモニタ電流値の最初の極大点における傾斜角度（θ＝ａ）と、最初の極大点の次に位置し、極大点と隣接しているＰＤ１４のモニタ電流値の極小点における傾斜角度（θ＝ｂ）を求める（手順１）。次に、求めた極大点における傾斜角度（θ＝ａ）と、極大点と隣接する極小点における傾斜角度（θ＝ｂ）との中間の傾斜角度（θ＝ｃ）を求める。そして、その傾斜角度（θ＝ｃ）で、エタロン１３を固定する（手順２）。
このような手順により、モニタ電流値の最初の極大点における傾斜角度（θ＝ａ）と、最初の極大点の次に位置する極小点における傾斜角度（θ＝ｂ）との中間の傾斜角度（θ＝ｃ）で、エタロン１３を固定することができる。即ち、エタロン１３の平行ビーム２に対する傾斜の角度は、エタロン１３の傾斜角度θを、エタロン１３の側面１３ｂに平行ビーム２が入射しないように変化させていった時のＰＤ１４のモニタ電流値の隣接する極大点と極小点の中間点における角度に設定される。
これにより、ＰＤ１４のモニタ電流値の変動が大きい位置（図８に示すｄ点）で、エタロン１３を固定することができる。即ち、レーザモジュール１０は、エタロン１３の傾斜角度を、ＰＤ１４のモニタ電流値の変動が大きくなる角度に設定できる。その結果、ＰＤ１４が特定波長平行ビーム３の受光強度の変動を検出する感度を向上させることができる。そのため、レーザモジュール１０は、その検出結果に基づいて、高精度な波長制御を行うことができる。
尚、ＰＤ１４のモニタ電流値の隣接する極大点と極小点は、エタロン１３の傾斜角度θを０の状態から、エタロン１３の側面１３ｂに平行ビーム２が入射しないように変化させていった時の最初の極大点と、最初の極大点の次に位置する極小点に限られない。即ち、エタロン１３は、エタロン１３を、図７Ｂにおける反時計方向に回転させていったときのいずれかの隣接する極大点と極小点の中間点における傾斜角度を求め、その傾斜角度で固定することができる。
例えば、エタロン１３を、図７Ｂにおける反時計方向に回転させていったときのモニタ電流値の最初の極小点における傾斜角度（θ＝ｈ）と、その極小点の次に位置し、隣接するモニタ電流値の極大点における傾斜角度（θ＝ａ）との中間の傾斜角度を求め、エタロン１３を固定してもよい。この場合でも、ＰＤ１４のモニタ電流値の変動が比較的大きい位置（図８に示すｅ点）で、エタロン１３を固定できる。
同様に、モニタ電流値の極小点における傾斜角度（θ＝ｂ）と、その極小点の次に位置し、隣接するモニタ電流値の極大点における傾斜角度（θ＝ｉ）との中間の傾斜角度でエタロン１３を固定してもよい。この場合でも、ＰＤ１４のモニタ電流値の変動が比較的大きい位置（図８に示すｆ点）で、エタロン１３を固定することができる。又、モニタ電流値の極大点における傾斜角度（θ＝ｉ）と、その極大点の次に位置し、隣接するモニタ電流値の極小点における傾斜角度（図示省略）との中間の傾斜角度でエタロン１３を固定してもよい。この場合でも、ＰＤ１４のモニタ電流値の変動が比較的大きい位置（図８に示すｇ点）で、エタロン１３を固定することができる。このように、隣接する極大点と極小点は、いずれが先であっても構わない。
但し、エタロン１３は、図７Ａに示す第２の方向と平行な状態から図７Ｂにおける反時計方向に回転させていったときのモニタ電流値の最初の極大点における傾斜角度（θ＝ａ）と、最初の極大点の次に位置し、隣接する極小点における傾斜角度（θ＝ｂ）との中間の傾斜角度（θ＝ｃ）で固定されることが好ましい。即ち、エタロン１３の平行ビーム２に対する傾斜角度は、傾斜角度θを０からエタロン１３の側面１３ｂに平行ビーム２が入射しないようにして変化させていった時のＰＤ１４受光素子のモニタ電流値の最初の極大点と、最初の極大点の次に位置する極小点との中間点における角度に設定されることが好ましい。
これによると、上記したようにＰＤ１４のモニタ電流値の変動が最も大きい位置（図８に示すｄ点）でエタロン１３を固定できる。そのため、ＰＤ１４の受光強度の変動の検出感度が最大となる。尚、ＰＤ１４のモニタ電流値の変動が最も大きい位置（図８に示すｄ点）を与える傾斜角度（θ＝ｃ）は、エタロン１３の特性によって、様々な値をとる。
次に、エタロン１３を、傾斜角度θだけ傾斜させた状態で、ＰＤ１４に入射される平行ビーム２中に配置する。即ち、ＰＤ１４にだけ、エタロン１３を透過した特定波長平行ビーム３が入射するように、エタロン１３をＰＤ１４に入射される平行ビーム２中に配置する。具体的には、以下に図９Ａ乃至９Ｄ、図１０を用いて説明するエタロン１３のＳ方向の位置決定方法により決定した位置に、エタロン１３を配置する。尚、エタロン１３のＳ方向の位置決定方法におけるＳ方向とは、図９Ａ乃至９Ｄにおいて平行ビーム２と直交する方向をいう。又、手前、即ち、ＰＤ１５側をＳ方向のプラス側、奥、即ち、ＰＤ１４側をＳ方向のマイナス側とする。図１０において、縦軸は、ＰＤ１４，１５が出力するモニタ電流値Ｉｐｄである（単位はμＡ）。横軸は、エタロン１３のＳ方向の位置であり、図１０における右方向はプラス側を、左方向はマイナス側を示している。又、実線が、ＰＤ１４の特性を示しており、点線が、ＰＤ１５の特性を示している。
まず、図７Ｂに示したように、図７Ｂにおける反時計方向に回転させることによりθ＝ｃの傾斜角度で固定されたエタロン１３を平行ビーム２中から外す。そして、図９Ａに示すように、エタロン１３を、Ｓ方向のマイナス側へ移動させる。次に、エタロン１３を、図９Ｂ、９Ｃに示すように、図９Ａの状態から、Ｓ方向のマイナス側からプラス側へ移動させる（図９Ｂ、９Ｃに示す矢印Ｇ方向）。即ち、エタロン１３を、平行ビーム２を徐々に遮っていくように移動させる。そして、このエタロン１３の移動に伴うＰＤ１４，１５のモニタ電流値の変化を観察する。
エタロン１３の移動に伴うＰＤ１４，１５のモニタ電流の値の変化は、図１０に示すようになる。図９Ａに示すように、エタロン１３がＳ方向のマイナス側にあって、平行ビーム２を全く遮っていないときのエタロン１３の角部の位置を、Ｓ方向の値が最小値の位置とする。このときのモニタ電流値は、図１０の一番左の値となる。以下に示すＳ方向の値は、エタロン１３の角部の位置を表している。
まず、図１０において実線で示されているＰＤ１４のモニタ電流の値の変化を観察する。エタロン１３は、Ｓ方向のマイナス側からプラス側へ移動し、最初にＰＤ１４に入射する平行ビーム２を遮る位置（Ｓ方向の値がｊの位置、図１０に示すＯ点）まで到達する。その後、エタロン１３が、Ｓ方向のマイナス側からプラス側へ移動し、平行ビーム２を遮る面積が拡大するに従って、ＰＤ１４のモニタ電流値は下降し続ける。
そして、エタロン１３が、ＰＤ１４に入射する平行ビーム２を完全に遮ってしまう。その後しばらくの間は、エタロン１３を移動させても、ＰＤ１４のモニタ電流値は変化せずに、フラットな状態を保つ。更に、エタロン１３はプラス側へ移動すると、ＰＤ１４に入射する平行ビーム２を遮らなくなる。エタロン１３が平行ビーム２の一部を遮らなくなる位置（Ｓ方向の値がｍの位置、図１０に示すｒ点）まで到達した後は、ＰＤ１４のモニタ電流値は増加に転じる。最後に、エタロン１３が、図９Ｃに示すように、Ｓ方向のプラス側にあって、平行ビーム２を全く遮らない位置（Ｓ方向の値がｎの位置、図１０中のＳ点）まで移動すると、ＰＤ１５のモニタ電流値は、Ｓ方向の値がｊの位置である図１０に示すＯ点における値と同じ最大値を示す。
次に、図１０において点線で示されているＰＤ１５のモニタ電流値の変化を観察する。エタロン１３が、Ｓ方向のマイナス側からプラス側へ移動し、Ｓ方向の値がｊの位置（図１０に示すＯ点）まで到達し、ＰＤ１４に入射する平行ビーム２を遮り始める。このとき、ＰＤ１５に入射する平行ビーム２には影響がない。そのため、ＰＤ１５のモニタ電流値に変化はない。その後、エタロン１３が、ＰＤ１４に入射する平行ビーム２を完全に遮って、図９Ｂに示すように、ＰＤ１５に入射する平行ビーム２を遮り始める位置（Ｓ方向の値がｌの位置、図１０に示すｑ点）に到達する。到達後、エタロン１３の移動に伴って、ＰＤ１５のモニタ電流値は下降に転じる。そして、エタロン１３が、ＰＤ１５に入射する平行ビーム２を完全に遮ってしまう。その後しばらくの間は、エタロン１３を移動させても、ＰＤ１５のモニタ電流値は変化せずに、フラットな状態を保つ。
更に、エタロン１３はプラス側へ移動すると、ＰＤ１５に入射する平行ビーム２を遮らなくなり、ＰＤ１５のモニタ電流値は増加に転じる。最後に、エタロン１３が、図９Ｃに示すように、Ｓ方向のプラス側で、平行ビーム２を全く遮らない位置（Ｓ方向の値がｎの位置、図１０に示すＳ点）まで移動すると、ＰＤ１５のモニタ電流値は元の値に回復する。
エタロン１３を、ＰＤ１４に入射される平行ビーム２中に配置したい。そのため、ＰＤ１４にだけ、エタロン１３を透過した特定波長平行ビーム３が入射され、ＰＤ１５には、エタロン１３を透過した特定波長平行ビーム３が入射されない位置を、エタロン１３を配置する位置として決定する必要がある。そのため、エタロン１３のＳ方向の最適な位置は、エタロン１３が、ＰＤ１５に入射する平行ビーム２を遮り始めてしまうＳ方向の値がｌの位置（図１０に示すｑ点）よりもマイナス側で、かつ、ＰＤ１４のモニタ電流値が最小値をとる位置（Ｓ方向の値がｋ、図１０に示すＰ点）となる。このようなＳ方向の値がｋの位置は、エタロン１３が、ＰＤ１４に入射される平行ビーム２を完全に遮っており、かつ、ＰＤ１５に入射される平行ビームを全く遮っていない位置となる。
従って、エタロン１３を配置する位置を、Ｓ方向の値がｋの位置と決定する。そして、上記エタロン１３の移動に伴うＰＤ１４，１５のモニタ電流値の変化を観察した後の図９Ｃの状態から、エタロン１３を移動させる。具体的には、図９Ｄに示すように、エタロン１３の角部の位置が、Ｓ方向の値がｋの位置となるように、エタロン１３をマイナス側（図９Ｄに示すＨ方向）に移動させて配置する。尚、エタロン１３の移動に伴うＰＤ１４，１５のモニタ電流値の変化の観察の際に、エタロン１３を、必ずしも、図９Ｃの状態まで移動させる必要はない。図１０に示すＰ点が分かり、Ｓ方向の値ｋが求められた時点で、モニタ電流値の変化の観察を終了してもよい。そして、エタロン１３の角部の位置が、Ｓ方向の値がｋの位置となるように、エタロン１３を配置してもよい。
このようにして、図７Ｂにおける反時計方向に回転させて、エタロン１３の側面１３ａに平行ビーム２が入射しないように平行ビーム２に対して傾斜した状態、かつ、ＰＤ１４に入射される平行ビーム２中に、エタロン１３を配置する。エタロン１３の決定した位置での配置は、図２Ｂに示したエタロン１３を保持する保持部材２２ｂをキャリア１８上に配置し、その位置、傾斜角度、高さを調整して行うことができる。
このエタロン１３の配置方法において特に重要なことは、エタロン１３を、図７Ｂにおける反時計方向に回転させて、平行ビーム２に対して、第２の方向からの傾斜角度θだけ傾斜させて設けることである。比較のために、エタロン１３を図７Ｂにおける時計方向に回転させて傾斜角度を設け、上記したエタロン１３のＳ方向の位置決定方法を行う（比較例）。図１１は、このときのエタロン１３の移動に伴うＰＤ１４，１５のモニタ電流値の変化を示す。
図１１より、エタロン１３の側面１３ｂからの反射光が、ＰＤ１４，１５に入射していることが分かる（図１１に示す丸で囲まれた２箇所）。更に、エタロン１３のＳ方向の最適な位置であるＳ方向の値がｋの位置（図１１に示すｔ点）は、エタロン１３の側面１３ｂからの反射光がＰＤ１５に入射している位置と一致している。反射光は、全く制御されていないため、不安定な出力となることが多い。そのため、エタロン１３を図７Ｂにおける時計方向に回転させて傾斜角度を設け、Ｓ方向の値がｋの位置に配置した場合には、ＬＤ１１を安定して制御することができなくなる。
これに対して、エタロン１３を、図７Ｂにおける反時計方向に回転させて、エタロン１３の側面１３ａに平行ビーム２が入射しないように平行ビーム２に対して、傾斜角度θだけ傾斜させた場合には、図１０に示したように、エタロン１３の側面１３ｂからの反射光が抑制されている。よって、レーザモジュール１０は、安定してＬＤ１１の波長を制御して、ロックできる。
このような第１工程から第３工程によって、台座１６、保持部材２２ａ〜２２ｃを介して、キャリア１８上にＬＤ１１、レンズ１２ａ、エタロン１３、ＰＤ１４，１５が、ほぼ直線状に配置される。その後、キャリア１８上に、ＬＤ１１と並べてサーミスタ２０を配置する。更に、ＬＤ１１、レンズ１２ａ、エタロン１３、ＰＤ１４，１５とほぼ直線状に並ぶように、レンズ１２ｂ、アイソレータ１９をキャリア１８上に配置する。レンズ１２ｂ、アイソレータ１９は、保持部材２２ｄ，２２ｅを介して、キャリア１８上に配置する。そして、パッケージ１７内に、ペルチェ素子２１を配置する。最後に、そのペルチェ素子２１上にキャリア１８を配置して、パッケージ１７に収容する。以上説明したようにして、図３に示したようなＰＤ１４，１５の出力を有する図２Ａ、２Ｂに示したレーザモジュール１０を製造できる。
このようなレーザモジュール１０及びレーザモジュールの製造方法によれば、レーザモジュール１０は、エタロン１３が、レンズ１２ａからの平行ビーム２の一部が入射されるように設けられ、その入射された平行ビーム２に含まれる特定の波長を持つ特定波長平行ビーム３を透過させる。そのため、レーザモジュール１０は、レンズ１２ａからの平行ビーム２を、レンズ１２ａからの平行ビーム２そのままと、レンズ１２ａからの平行ビーム２から取り出した特定波長平行ビーム３とに、ビームスプリッタのような他の部品を用いずに、容易に分けることができる。よって、レーザモジュール１０では、構成する部品数、製造工程を減らすことができ、歩留まり向上や、低価格化を図ることができる。
又、エタロン１３は、レンズ１２ａからの平行ビーム２の一部が入射されるように設けられ、特定波長平行ビーム３を透過させるだけである。そのため、平行ビーム２と特定波長平行ビーム３は、同じ方向へ進行する。よって、レンズ１２ａからの平行ビームをそのまま受光するＰＤ１５と、エタロン１３からの特定波長平行ビーム３を受光するＰＤ１４とを、平行ビーム２が進行する同じ方向に配置することができる。
その結果、レーザモジュール１０では、ＬＤ１１、レンズ１２ａ、エタロン１３、ＰＤ１４，１５を、ほぼ直線状に配置することができる。よって、従来のビームスプリッタ３６のような分岐素子を用いて平行ビーム６を分岐するレーザモジュール３０のように、分岐した一方の平行ビーム６ａを受光するＰＤ５５を、平行ビーム６が進行する方向ではなく、平行ビーム６が進行する経路の横に配置した構造とする必要がない。そのため、レーザモジュールの小型化を図ることができる。
更に、レンズ１２ａは、平行ビーム２が第１の方向より上方に出射するように設けられる。そのため、レーザモジュール１０では、レンズ１２ａから平行ビーム２が入射されることにより、エタロン１３で生じる平行ビーム２の反射光を、ＬＤ１１上方に逃がすことができる。よって、レーザモジュール１０は、反射光がＬＤ１１に戻ることを抑制できる。その結果、レーザモジュール１０は、ＬＤ１１を安定して動作させることができる。
〔変更例〕
尚、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。上記実施形態では、波長選択制御素子として、エタロン１３を用いたが、エタロン１３に代えて、誘電体多層膜フィルタや、同様の機能を有するその他のフィルタを用いることができる。又、上記実施形態で説明した技術は、エタロン１３だけではなく、全ての波長選択制御素子に当てはまる共通の技術であり、同様の効果を得ることができる。
又、図２Ａ及び図７Ｂのように、ＬＤ１１、レンズ１２ａがエタロン１３の左側に配置され、平行ビーム２がエタロン１３の左方向からエタロン１３に入射され、エタロン１３が、平行ビーム２の奥（図２Ａ上方）に配置されている場合には、エタロン１３を反時計方向に回転させる。そして、エタロン１３の側面１３ａに平行ビーム２が入射しないように、エタロン１３を平行ビーム２に対して傾斜させる。しかし、エタロン１３を回転させる方向は、レンズ１２ａ、エタロン１３、ＰＤ１４，１５の配置により決定され、反時計方向に限定されるものではない。
又、図２Ｂでは、レンズ１２ａは、平行ビーム２が、第１の方向より上方に出射するように設けられているが、レンズ１２ａは、第１の方向に対して角度を有して出射するように設けられればよく、第１の方向より上方に出射する場合に限定されない。例えば、図１２、１３に示すレーザモジュール３０，４０のように、レンズ３２ａ，４２ａは、ＬＤ１１からのレーザ光１のレンズ３２ａ，４２ａへの入射位置が、レンズ３２ａ，４２ａの中心から、縦方向（図１２、１３に示すＹ軸方向）にオフセットされて、配置することができる。
詳細には、レンズ３２ａの中心は、ＬＤ１１の中心よりも奥（図１２における上方）に位置するようにオフセットされる。又、レンズ４２ａの中心は、ＬＤ１１の中心よりも手前（図１３における下方）に位置するようにオフセットされる。その結果、レンズ３２ａ，４２ａは、平行ビーム２を第１の方向に対して角度を有して出射することができる。そのため、レーザモジュール３０，４０では、レンズ３２ａ，４２ａから平行ビーム２が入射されることにより、エタロン１３で生じる平行ビーム２の反射光を、ＬＤ１１の側方に逃がすことができる。よって、レーザモジュール３０，４０は、反射光がＬＤ１１に戻ることを抑制できる。その結果、レーザモジュール３０，４０は、ＬＤ１１を安定して動作させることができる。このように、レンズ３２ａ，４２ａは、エタロン１３からの反射光をＬＤ１１の側方に逃がすように設けることが好ましい。
即ち、レンズは、エタロン１３で生じる平行ビーム２の反射光が、ＬＤ１１に戻らないように設ければよい。尚、図１２、１３に示すレーザモジュール３０，４０の構成は、レンズ３２ａ，４２ａ以外は、図２Ａと同様である。そのため、同一の符号を付して説明は省略する。
【産業上の利用可能性】  以上説明したように、本発明のレーザモジュール及びレーザモジュールの製造方法によれば、歩留まり向上や低価格化、小型化を図ることができ、レーザを安定して動作させることができる。
【図１】
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【図３】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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