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　特願２００８−　２３３８８「電界放射型電子源の電子流制御方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年　８月２０日出願公開、特開２００９−１８７６８４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２０年（２００８年）２月２日に出願された特願２００８−２３３８８号であって、平成２３年６月１４日付けで拒絶理由が通知され、同年８月１１日付けで手続補正がなされ、同年９月９日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年１２月１２日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同時に手続補正がなされたものである。
　その後、当審において平成２４年６月２２日付けで、回答書の提出の期限を定めて、前置報告書の内容について請求人に事前に意見を求める審尋をなしたが、回答書の提出の期限を過ぎても回答書の提出はなされなかった。
　
第２　平成２３年１２月１２日付けの手続補正についての補正の却下の決定
　
［補正の却下の決定の結論］
　平成２３年１２月１２日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１　本件補正について
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、平成２３年８月１１日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載の、
　
「電界が印加されることにより電子を放出する電界放射型電子源の電子流制御方法であって、ターゲットに対し電子流を放出するエミッタの周囲に導電性材料を、前記エミッタの先端が当該導電性材料の上面よりも前記ターゲット側に位置するように配置し、該導電性材料に前記エミッタに対して負の電圧を印加することにより、前記電子流を制御することを特徴とする電子流制御方法。」が　
　
「電界が印加されることにより電子を放出する電界放射型電子源の電子流制御方法であって、ターゲットに対し電子流を放出するエミッタの周囲に導電性材料を、前記エミッタの先端が当該導電性材料の上面よりも前記ターゲット側に位置するように配置し、
該ターゲットには前記エミッタに対して正の電圧を印加し、
該エミッタから該ターゲットに供給する
　
　そして、この補正は、「電子流」について、「ターゲットにはエミッタに対して正の電圧を印加」することにより「該エミッタから該ターゲットに供給する」ものであることを限定する補正事項からなり、特許請求の範囲のいわゆる限定的減縮を目的とする補正であるといえる。
　すなわち、特許法第１７条の２第５項第２号に掲げる事項を目的とするものである。
　
２　独立特許要件違反についての検討
　そこで、次に、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものか（本件補正における請求項１に係る発明の補正は、平成２３年法律第６３号改正附則第２条第１８項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下「平成２３年改正前特許法」という。）第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反しないか）について検討する。
　
（１）本願補正発明
　本願補正発明は、平成２３年１２月１２日付けの手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載されている事項により特定されるものである。（上記の「１　本件補正について」の記載参照。）
　
（２）引用例
ア　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の出願前に頒布された刊行物である特開昭５７−１８００５９号公報（以下「引用例１」という。）には、次の事項が記載されている。（なお、下記「イ　引用例１に記載された発明の認定」において直接引用した記載に下線を付した。）
　
「本発明は
電子放出源と開口を有するビーム加速電極と電子放出源の付近に設けられかつ電子放出源からの電界放出を変調する調整信号に応動するウエーネルト電極または制御電極とを有する電界放出形電子銃
　
「第１図は陰極電子放出源１０を有する電界電子流放出形電子銃を示す回路略図であり、その場合
陰極電子放出源は
陰極１０の局部基準接地電位に対して所定のプラスの電位に保持された加速陽極１２に向つて容易に電子ビームを放射する。加速陽極１２は同軸の開口を有し、この開口を通して電子ビームの部分は、
アース接地電位で陰極１０の局部基準接地電位に対して非常に高いプラスの電位に保持された試料１４に向かつて加速される。
　
試料１４をボンバードするために用いられる実際のビーム電流は電流−電圧変換器１６で測定され、変換器１６の出力信号は比較器１８で（図示されてない）所定の直流基準信号と比較され、かつ比較器１８の出力信号はウエーネルト電極２０に加えられて、陰極１０の頂部付近の電界強度を変化させ、かつそれによつて陰極１０からの放射を変化しかつ調整する。
　第２図は陰極１０の頂部から放射を行う光学的に等価な装置を断面図で示し、ここで放射ビームの収束作用が不安定になる問題につき説明する。第２図からわかるように、第１図の尖鋭に形成された陰極１０はウエーネルト電極２０があることによつて生ずる電界を表わす凸レンズ２２内に設けられている。第１図の比較器１８から供給される変調調整電圧によつて、電界が変化し、これはレンズ２２の収束作用を変化する効果を有する。
比較器１８からの調整信号が基準値０に関してプラスである場合、陰極の電界強度は増加するので放射電流が増加し、一層多くの電子が第１図のプラスのウエーネルト電極２０に向つて引出されるようになる。
それに対して比較器１８から供給される調整信号が基準値に関してマイナスである場合、電子はウエーネルト電極から反撥されるような力を受けるので、レンズ部分２８の収束作用が増加
　
「第２図の凹レンズ３２は第１図の加速電極１２の作用を示し、加速電極１２は陰極電子放出源１０に関してプラスの電位を有するので、電子を吸引して電子ビームを発散させる。またこのレンズ３２でも発散作用が変化する、それはその場合ウエーネルト電極２０で生ずるプラスの電位が増加すると、ウエーネルト電極および第１の陽極１２間の電界が減少することによつて第１の陽極の開口で電界の変化が弱められるからである。そこでウエーネルト電極に加わる基準値に関してプラスの電圧によつて、弓形の表面３４で示すレンズ作用が生じ、また調整信号がマイナスになるとレンズ作用はレンズ３２の弓形の部分３６によつて表わされる。レンズ２２と３２が適正な間隔を置いて設けられ、ウエーネルト電極としてのレンズに加わる可変な調整信号によつてそれぞれのレンズの発散作用と収束作用とが適正な値だけ変化するものとすれば、３極管構造から放射されるビームはその３極管構造の軸線３８の周りで対称になり、かつすべてのビームは陰極電子放出源１０即ち電界放出形電子銃の仮想の電子放出源である固定点４０で収斂される。即ち３極管ユニツトを適正な構造にした場合にはじめて、第１図の比較器１８で生じかつウエーネルト電極２０に加わる調整信号の振幅または極性の変化には無関係に、電子銃に対する仮想の電子放出源は動かずに固定される。」（第３ページ左下欄第２行〜右下欄第８行）
　
「第３図は電界放出形３極管ユニツトを更に詳しく示す正面からみた断面図であり、電界放出形３極管ユニツトは陰極１０と第１の陽極または加速電極１２とウエーネルト電極または制御電極２０とを有する。前述のように第１の陽極１２は陰極１０に関する局部基準接地電位に対してプラスの電位に保持されている。ウエーネルト電極２０は第１図の比較器１８から供給される調整信号に依存して電位の極性と振幅とが変化する。」（第３ページ右下欄末行〜第４ページ左上欄第９行）
　
「第３図に示されているように
陽極１２の上方の面４２は陰極１０の電子放出端部からＬｃで示す距離だけ離れており、かつ薄いウエーネルト電極２０の上方の面からはＬｗで示す距離だけ離れている。
　Ｄｗ＝３．０ｍｍ
　Ｄａ＝３００μ
　Ｌｃ＝１．０〜１．３ｍｍ
　Ｌｗ＝１．９ｍｍ
　ビーム制限開口４０の直径の標準値は１００μの程度で、陽極１２の厚さは略１．８ｍｍの程度にすることができる。これらの２つの寸法は前述のように装置の収束安定性に対しては重要でない。またこの例において、
Ｌｗの値はＬｃの値より大きい、即ち陰極１０の電子放出端の部分はウエーネルト電極２０の開口に突入している
　これまでに説明した本発明の有利な実施例において、電界放出形電子銃は局部的基準接地電位を有する陰極から第１の陽極を通して試料に達する電子流を発生している。その場合試料は有利には、陰極の局部的基準接地電位に関してプラス数千ボルトの基準接地電位に保持されている。」（第４ページ左上欄末行〜左下欄第１６行）
　
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
イ　引用例１に記載された発明の認定
　上記記載（図面の記載も含む）から、引用例１には、電子ビームの制御方法について記載されているといえる。よって、引用例１には、
「電子放出源（陰極１０）と開口を有するビーム加速電極（陽極１２）と電子放出源の付近に設けられかつ電子放出源からの電界放出を変調する調整信号に応動するウエーネルト電極２０とを有する電界放出形電子銃における電子ビームの制御方法に関し、
　電子放出源（陰極１０）は陰極１０の局部基準接地電位に対して所定のプラスの電位に保持された陽極１２に向つて電子ビームを放射し、陽極１２の開口を通して電子ビームの部分は、アース接地電位で陰極１０の局部基準接地電位に対して非常に高いプラスの電位に保持された試料１４に向かつて加速され、
　陽極１２の上方の面４２は陰極１０の電子放出端部からＬｃで示す距離だけ離れており、かつ薄いウエーネルト電極２０の上方の面からはＬｗで示す距離だけ離れているとき、Ｌｗの値はＬｃの値より大きい、即ち陰極１０の電子放出端の部分はウエーネルト電極２０の開口に突入し、
　試料１４をボンバードするために用いられる実際のビーム電流は電流−電圧変換器１６で測定され、変換器１６の出力信号は比較器１８で所定の直流基準信号と比較され、かつ比較器１８の出力信号はウエーネルト電極２０に加えられて、陰極１０の頂部付近の電界強度を変化させ、かつそれによつて陰極１０からの放射を変化しかつ調整し、
　比較器１８からの調整信号が基準値０に関してプラスである場合、陰極の電界強度は増加するので放射電流が増加し、一層多くの電子が引出されるようになるのに対して、比較器１８から供給される調整信号が基準値０に関してマイナスである場合、電子はウエーネルト電極から反撥されるような力を受けるので、レンズ部分２８の収束作用が増加する電子ビームの制御方法。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
（３）対比及び当審の判断
ア　本願補正発明と引用発明との対比
　本願補正発明と引用発明とを対比する。
　引用発明の「電子放出源（陰極１０）と開口を有するビーム加速電極（陽極１２）と電子放出源の付近に設けられかつ電子放出源からの電界放出を変調する調整信号に応動するウエーネルト電極２０とを有する電界放出形電子銃における電子ビームの制御方法」が、本願補正発明の「電界が印加されることにより電子を放出する電界放射型電子源の電子流制御方法」に相当する。
　
　引用発明の「試料１４」「電子放出源（陰極１０）」及び「（電子放出源の付近に設けられた）ウエーネルト電極２０」が、それぞれ、本願補正発明の「ターゲット」「電子流を放出するエミッタ」及び「（エミッタの周囲の）導電性材料」に相当し、引用発明の「陽極１２の上方の面４２は陰極１０の電子放出端部からＬｃで示す距離だけ離れており、かつ薄いウエーネルト電極２０の上方の面からはＬｗで示す距離だけ離れているとき、Ｌｗの値はＬｃの値より大きい、即ち陰極１０の電子放出端の部分はウエーネルト電極２０の開口に突入」していることが、本願補正発明の「ターゲットに対し電子流を放出するエミッタの周囲に導電性材料を、前記エミッタの先端が当該導電性材料の上面よりも前記ターゲット側に位置するように配置」することに相当する。
　
　引用発明の「試料１４」が「陰極１０の局部基準接地電位に対して非常に高いプラスの電位に保持され」ることが、本願補正発明の「該ターゲットには前記エミッタに対して正の電圧を印加」することに相当する。
　
　引用発明の「比較器１８の出力信号はウエーネルト電極２０に加えられ」「比較器１８から供給される調整信号が基準値０に関してマイナスである場合、電子はウエーネルト電極から反撥されるような力を受けるので、レンズ部分２８の収束作用が増加する」ことが、本願補正発明の「該導電性材料に前記エミッタに対して負の電圧を印加することにより、該エミッタから該ターゲットに供給する電子流を制御する」ことに相当する。
　
　引用発明の「電子ビームの制御方法」が、本願補正発明の「電子流制御方法」に相当する。
　
イ　一致点及び相違点
　よって、本願補正発明と引用発明は、
「電界が印加されることにより電子を放出する電界放射型電子源の電子流制御方法であって、ターゲットに対し電子流を放出するエミッタの周囲に導電性材料を、前記エミッタの先端が当該導電性材料の上面よりも前記ターゲット側に位置するように配置し、該ターゲットには前記エミッタに対して正の電圧を印加し、該導電性材料に前記エミッタに対して負の電圧を印加することにより、該エミッタから該ターゲットに供給する電子流を制御する電子流制御方法。」の発明である点で一致し、両者に、格別、相違するところが存在しない。
　
ウ　当審の判断
　よって、本願補正発明は実質的に引用発明であるということができるから、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当し、特許を受けることができない。
　
３　むすび
　したがって、本願補正発明は特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるということができないから、本件補正は、平成２３年改正前特許法第１７条の２第６項で準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、同法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
 第３　本願発明について
１　本願発明
　平成２３年１２月１２日付けの手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２３年８月１１日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである。（上記「第２　平成２３年１２月１２日付けの手続補正についての補正の却下の決定」の「１　本件補正について」の記載参照。）
　
２　引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例の記載事項及び引用発明については、上記「第２　平成２３年１２月１２日付けの手続補正についての補正の却下の決定」の「２　独立特許要件違反についての検討」の「（２）引用例」に記載したとおりである。
　
３　対比・判断
　上記「第２　平成２３年１２月１２日付けの手続補正についての補正の却下の決定」の「１　本件補正について」に記載したように、本願発明に対して、「電子流」について、「ターゲットにはエミッタに対して正の電圧を印加」することにより「該エミッタから該ターゲットに供給する」ものであることを限定して特定したものが本願補正発明である。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、本願発明をさらに限定したものに相当する本願補正発明が、上記「第２　平成２３年１２月１２日付けの手続補正についての補正の却下の決定」の「２　独立特許要件違反についての検討」の「（３）対比及び当審の判断」において記載したとおり、実質的に引用発明であるから、本願発明も、同様に、実質的に引用発明である。よって、本願発明は、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当し、特許を受けることができない。
　
　なお、原審の拒絶査定においては、拒絶理由書に記載した、本願発明は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないとする理由（理由２）によって本願は拒絶すべきものであるとしたが、上記拒絶理由通知書には、本願発明は、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当し特許を受けることができないという理由（理由１）も記載されていたのであり、この点については、その後に出願人（請求人）が提出した意見書の記載から、出願人（請求人）が認識していたことは明らかであるから、当審においては改めて拒絶理由を通知することなく上記のとおり審決した。
　
４　むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、実質的に引用発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当し、特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。