【事件の表示】
　特願２００４−　　９４３４「電子ビーム装置及び検出装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　８月　５日出願公開、特開２００４−２２１０８９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続きの経緯
　本願は、平成１６年１月１６日（パリ条約による優先権主張、２００３年１月１６日、ドイツ）の出願であって、平成２２年２月１９日及び同年９月２４日に手続補正がなされたが、同年１１月４日付けで平成２２年９月２４日付けの手続補正についての補正の却下の決定がなされ、平成２３年６月１６日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年１０月２１日に審判請求がなされたものである。
　
第２　本願発明
　上記のとおり、平成２２年９月２４日付けの手続補正が却下されたため、本願の請求項２０に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２２年２月１９日付けの手続補正書の特許請求の範囲の請求項２０に記載された事項により特定される、次のとおりのものと認める。
　「光軸を有する電子ビーム装置であって、
　電子ビームを発生するビーム発生器と、
　アノード電位が印加され、それによって前記ビーム発生器で発生された電子ビームの電子が該アノード電位まで加速されるアノードと、
　前記アノード電位にあり、内部で電子のエネルギが維持されるビーム案内管と、
　標本に電子ビームを集光させる対物レンズと、
　前記電子ビームの前記電子が、前記標本に当たる少し前に所望の低いエネルギに減速されるように、前記標本とともに前記ビーム案内管の電位と比べ低い電位を有する電極と、
　前記標本において散乱された電子、および、前記標本により放出された電子のうち少なくとも一方を検出する、前記ビーム案内管とともに前記光軸に沿って配置された少なくとも一つの検出器と、
　前記少なくとも一つの検出器の前記標本側設けられた少なくとも一つの逆電界格子であって、前記標本において散乱された電子のみが前記少なくとも一つの検出器によって検出されるように、前記逆電界格子に電圧が印加される逆電界格子と
を有する電子ビーム装置。」
　
第３　刊行物に記載された発明
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である、国際公開第０１／７５９２９号（以下「刊行物１」という。）には、図面とともに以下の記載がある。
　
（ａ）頁番号８、９〜１５行
「次に○２（当審注：○の中に数字の２）の二次電子のエネルギー差を分離検出するエネルギーフィルタリングについて説明する。エネルギーフィルタは、一般的にメッシュ状の電極を有する。走査電子顕微鏡のように電子を検出する装置の場合、メッシュ状電極に負電圧が印加されるか、或いはメッシュ状電極と他部材との間で、電子検出器方法に向かう二次電子に対する減速電界を形成することで、或る一定以上のエネルギーを持つ二次電子を選択的に通過させ、検出する。」
　
（ｂ）頁番号１２、１０行〜頁番号１３、５行
「以下、本発明実施例のエネルギーフィルタを組み込んだ走査電子顕微鏡について説明する。第１０図は走査電子顕微鏡の概略図である。
　第１０図は、二次電子放出比が１を超えるような低加速電圧で用いられる走査形電子顕微鏡で、特に低加速電圧でも高分解能が得られるように対物レンズ内に設けた加速円筒に正の電圧を印加する後段加速法と試料に負電圧を印加して試料直前で電子ビームを減速するリターデング法を採用している。
　電界放出陰極１と引出電極２との間に引出電圧３を印加すると、放出電子４が放出される。放出電子４は、引出電極２と接地電圧にある陽極５の間でさらに加速（減速の場合もある）される。陽極５を通過した電子ビーム（一次電子ビーム７）の加速電圧は電子銃加速電圧６と一致する。一次電子ビーム７はコンデンサレンズ１４，上走査偏向器１５，下走査偏向器１６で走査偏向を受ける。
　上走査偏向器１５，下走査偏向器１６の偏向強度は、対物レンズ１７のレンズ中心を支点として試料１２上を二次元走査するように調整されている。偏向を受けた一次電子ビーム７は、対物レンズ１７の通路に設けられた加速円筒９に印加された後段加速電圧２２の加速をうける。後段加速された一次電子ビーム７は、対物レンズ１７のレンズ作用で試料１２上に細く絞られる。対物レンズ１７を通過した一次電子ビーム７は、リターデング電圧１３（負電圧）が印加された試料１２と加速円筒９間に作られる減速電界で減速されて、試料１２に到達する。」
　
（ｃ）頁番号１４、１３行〜頁番号１５、５行
「一次電子ビーム７を試料１２に照射すると二次電子１１が発生する。本実施例で言う二次電子とは加速電圧が５０ｅＶ以下程度の狭義の意味での二次電子と、反射電子を含むものである。
　試料１２に与えている電界は、発生した二次電子１１に対しては加速電界として作用するため、対物レンズ１７の通路内（加速円筒９内）に吸引され、対物レンズ１７の磁界でレンズ作用を受けながら上昇する。対物レンズ１７内を通過した二次電子１１は走査偏向器１５，１６を通過する。
　走査偏向器１５，１６を通過した二次電子１１はエネルギーフィルタ５０に入射する。エネルギーフィルタ５０を通過した二次電子１１ａ（エネルギーの高い二次電子及び／または反射電子）は反射板２９に衝突する。反射板２９は中央に一次電子ビーム７を通過させる開口を持った導電性の板である。二次電子１１ａが衝突する面は二次電子の発生効率のよい物質、例えば金蒸着面になっている。なお、以下の説明はエネルギーフィルタを通過した二次電子１１ａを反射板２９に衝突させて検出する例を採って説明するが、例えばシンチレータやマイクロチャンネルプレートを反射板と同じような位置に配置して二次電子１１ａを検出するようにしても良い。」
　
（ｄ）頁番号１７、１３行〜頁番号１８、４行
「次にエネルギーフィルタを動作させたときに得られる信号について詳細に説明する。第１２図はエネルギーフィルタを通過した二次電子を検出している第１の電子検出器の出力とフィルタメッシュ３８に印加するフィルタ電圧４４（ＶＦ）の関係を示したものである。グラフの横軸はフィルタ電圧４４で、負電圧を与える。
　カーブ２０５は第３図のコンタクト配線１０５から放出された二次電子のフィルタ電圧４４による変化を示している。エネルギーフィルタ５０へ入射するときの二次電子１１の内、５０ｅＶ以下の二次電子は、ほぼリターデング電圧１３による加速に相当するエネルギーを持っている（試料から放出された後、リターデング電圧１３と後段加速電圧２２で加速されるが、加速円筒９を出るとき後段加速電圧２２の減速を受ける）。
　一方、反射電子は電子銃加速電圧６の相当するエネルギーを持っている。そのため、フィルタ電圧４４がリターデング電圧（Ｖｒ）になったところからまず加速エネルギーの低い二次電子が透過できなくなり、信号が減り始める。更に１０Ｖ程度負電圧にすると減少が止まり、ほぼ一定値になる。この後の信号はほとんど反射電子である。」
　
（ｅ）頁番号２４、１４行〜頁番号２５、１８行
「第２１図は本発明の他の実施例である。第１０図の実施例で二次電子は試料１２に印加されたリターデング電圧に相当するエネルギーを持ってエネルギーフィルタに入射している。すなわち、リターデング電圧１３が印加されていることが必須の条件である。第２１図は試料に電圧を印加しない場合での本発明の実施例である。二次信号を加速円筒９に印加した後段加速電圧２２で加速円筒９内に引き込む。
　加速円筒９の試料１２とは反対側にエネルギーフィルタ５０が設置されている。・・・
　この実施例では、第１の電子検出器で反射電子を検出する事はできない。エネルギーフィルタの上方に加速円筒９と同電位の反射板を設け、エネルギーフィルタ５０を透過した二次電子を衝突させ、発生した二次電子を検出するようにしてもよい。この方法では、エネルギーフィルタで二次電子を遮断した場合には、反射電子のみの検出が可能になる。」
　
（ｆ）「第１０図
」
　
（ｇ）「第１２図
」
　
（ｈ）第１０図を参照すれば、試料１２の上方近傍に試料１２に印加されたリターデング電圧１３と同じ電圧が印加される電極２７が見て取れる。
　
（ｉ）第１０図を参照すれば、反射板２９が放出電子４の光軸に沿って配置されているのがわかる。
　
　上記各記載事項及び図面を含む刊行物１全体の記載並びに当業者の技術常識を総合すると、刊行物１には、以下の発明が記載されているものと認められる。
　
「放出電子（４）を放出する電界放出陰極（１）と、
　放出電子を加速する陽極（５）と、
　陽極を通過した電子ビームを試料（１２）上に細く絞る対物レンズ（１７）と、
　対物レンズの通路に設けられた加速円筒（９）と、
を備え、
　対物レンズを通過した電子ビームは、リターデング電圧（１３）が印加された試料及び試料近傍の電極（２７）と加速円筒間に作られる減速電界で減速されて、試料に到達する走査電子顕微鏡であって、
　メッシュ状の電極を有し、メッシュ状電極と他部材との間で、電子検出器に向かう二次電子及び／または反射電子に対する減速電界を形成することで、或る一定以上のエネルギーを持つ電子を選択的に通過させるエネルギーフィルタ（５０）を有し、
　一次電子ビーム（７）を試料に照射することにより、加速電圧が５０ｅＶ以下程度の狭義の意味での二次電子と反射電子を含む二次電子（１１）が発生し、
　該二次電子は前記エネルギーフィルタに入射し、エネルギーフィルタを通過したエネルギーの高い二次電子及び／または反射電子は、光軸に沿って配置される反射板（２９）と同じような位置に配置されたシンチレータやマイクロチャンネルプレートのような電子検出器によって検出される走査電子顕微鏡。」（以下「引用発明」という。）
　
第４　対比・判断
　本願発明と引用発明を対比する。
（あ）引用発明の「走査電子顕微鏡」は本願発明の「電子ビーム装置」に相当し、走査電子顕微鏡が光軸を有することは自明である。
　同様に、引用発明の「陽極」は本願発明の「アノード」に相当し、陽極にアノード電位が印加されることは自明である。
　同様に、引用発明の「電界放出陰極」は本願発明の「ビーム発生器」に相当し、引用発明の「電子ビーム」が電界放出陰極から放出された放出電子から構成されることは明らかである。
（い）引用発明の「対物レンズ」及び「試料」は、それぞれ、本願発明の「対物レンズ」及び「標本」に相当し、引用発明において「電子ビームを試料上に細く絞る」ことは本願発明の「標本に電子ビームを集光させる」ことに相当する。
（う）引用発明のリターデング電圧は電子ビームを減速させるためのものであるから、本願発明の「電子ビームの電子が所望の低いエネルギに減速されるよう」な「低い電位」に相当する。したがって、引用発明の「試料近傍の電極」と本願発明の「電極」は、ともに、「標本に当たる少し前に所望の低いエネルギに減速されるように、前記標本とともに低い電位を有する電極」である点で共通する。
（え）引用発明の「反射電子」は本願発明の「標本において散乱された電子」に相当し、引用発明の「シンチレータやマイクロチャンネルプレートのような電子検出器」は光軸に沿って配置されており、少なくとも反射電子を検出することから、当該検出器と本願発明の「少なくとも一つの検出器」とは「標本において散乱された電子を検出する、光軸に沿って配置された検出器」である点で一致する。
（お）引用発明の「メッシュ状の電極を有」する「エネルギーフィルタ」は本願発明の「逆電界格子」に相当し、エネルギーフィルタを通過した電子には反射電子（本願発明の「標本において散乱された電子」に相当）が含まれているから、引用発明の「エネルギーフィルタ」と本願発明の「逆電界格子」は、ともに「標本において散乱された電子が前記検出器によって検出されるように電圧が印加される逆電界格子」である点で共通する。ここで、引用発明のエネルギーフィルタが検出器の標本側に設けられていることは明らかである。
　
　したがって両者は、
「光軸を有する電子ビーム装置であって、
　電子ビームを発生するビーム発生器と、
　アノード電位が印加され、それによって前記ビーム発生器で発生された電子ビームの電子が該アノード電位まで加速されるアノードと、
　標本に電子ビームを集光させる対物レンズと、
　前記電子ビームの前記電子が、前記標本に当たる少し前に所望の低いエネルギに減速されるように、前記標本とともに低い電位を有する電極と、
　前記標本において散乱された電子を検出する、前記光軸に沿って配置された検出器と、
　前記検出器の前記標本側設けられた逆電界格子であって、前記標本において散乱された電子が前記検出器によって検出されるように、前記逆電界格子に電圧が印加される逆電界格子と
を有する電子ビーム装置。」
の点で一致し、以下の点で相違している。
　
（相違点１）　
　本願発明は「アノード電位にあり、内部で電子のエネルギが維持されるビーム案内管」を有し、その結果、電極の電位が「ビーム案内管の電位と比べ」低い電位を有するのに対して、引用発明はそのようなビーム案内管を有さない点。
（相違点２）
　検出器によって検出される電子が、本願発明では、標本において散乱された電子のみであるのに対して、引用発明では、エネルギーフィルタを通過したエネルギーの高い二次電子及び／または反射電子である点。
　
　上記各相違点について検討する。
（相違点１について）
　ビーム発生器から発生する電子ビームをアノード電位で加速し、標本に当たる手前で電極によって減速する構成の電子ビーム装置において、アノード電位にあり、内部で電子のエネルギが維持されるビーム案内管を設けることは、ごく普通に行われている周知技術（特開２０００−３０６５４号公報、ビーム案内管４参照）である。
　引用発明に当該周知のビーム案内管を付加することに格別の技術的困難性も阻害要因もない。
　してみると、引用発明に上記相違点１に係る構成を採用することは、当業者が容易になし得る事項である。
（相違点２について）
　引用発明のエネルギーフィルタは或る一定以上のエネルギーを持つ電子を選択的に通過させるためのものであり、しかも刊行物１には、減速電界を変化させることにより選択される電子が変化すること（上記摘記事項（１ｄ）参照）、及び、反射電子のみを検出すること（上記摘記事項（ｅ）参照）が示唆されているから、引用発明の減速電界を、検出器によって検出される電子が反射電子のみ、すなわち標本において散乱された電子のみであるように設定することは、その必要に応じて、当業者が適宜なし得る事項である。
　
　そして、本願発明の効果も引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る範囲のものであって格別なものではない。
　
　したがって、本願発明は、引用発明及び周知技術に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
第５　むすび  
　以上のとおり、本願発明は特許を受けることができないから、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。