【事件の表示】
　上記当事者間の特許第４４９２５３９号発明「液浸型光学系及び投影露光装置、並びにデバイス製造方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第４４９２５３９号の請求項１ないし３１に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　本件特許第４４９２５３９号（以下「本件特許」という。）は、平成１６年９月２９日を国際出願日として国際特許出願されたものであって（優先権主張　平成１５年９月２９日）、平成２２年４月１６日にその設定登録がなされた。
　その後、平成２４年５月２３日に無効審判が請求され、同年６月１９日付けで被請求人に対して答弁指令がなされたが、答弁書が提出されることなく指定期間が経過した。
 　 
 第２　本件特許発明 
　本件特許の請求項１ないし３１に係る発明（以下それぞれ「本件発明１」ないし「本件発明３１」という。）は、それぞれ、その本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし３１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 
 　 
 「【請求項１】
　第１の浸液に接触する光学面を有する光学系本体と、
　前記光学系本体の光学面に対向して配置され、かつ２つの面を有し、前記２つの面の一方が前記第１の浸液に接触するとともに、前記２つの面の他方が第２の浸液に接触する光透過部材と、
　前記光透過部材を前記一方の面が前記光学系本体の前記光学面に対向するように着脱自在に支持する保持部材と
を備える液浸型光学系。
【請求項２】
　前記第１及び第２の浸液は、それぞれ水を含むことを特徴とする請求項１記載の液浸型光学系。
【請求項３】
　前記第１の浸液は、前記第２の浸液と分離されていることを特徴とする請求項１記載の液浸型光学系。
【請求項４】
　前記第１の浸液は、周囲を閉じた閉空間内に収容されており、前記第２の浸液は、周囲を開放した開放空間内に存在することを特徴とする請求項３記載の液浸型光学系。
【請求項５】
　前記閉空間内に収容されている前記第１の浸液の量は、前記開放空間内に存在する前記第２の浸液の量よりも多いことを特徴とする請求項４記載の液浸型光学系。
【請求項６】
　前記光学系本体と前記光透過部材との間に前記第１の浸液を供給する吐出ノズルと、前記光学系本体と前記光透過部材との間から前記第１の浸液を吸引する吸引ノズルとを有することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項記載の液浸型光学系。
【請求項７】
　前記吸引ノズルは、第１液体供給装置に接続されることを特徴とする請求項６記載の液浸型光学系。
【請求項８】
　前記第２の浸液を前記２つの面の他方に接触するように供給する第２液体供給装置と、当該他方の面に接触している前記第２の浸液を回収する液体回収装置とをさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項記載の液浸型光学系。
【請求項９】
　前記光学系本体及び前記光透過部材の間の前記第１の浸液と、前記光透過部材に設けた前記他方の面に接触する前記第２の浸液との少なくとも一方を循環させる循環機構をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項記載の液浸型光学系。
【請求項１０】
　前記循環機構は、前記第１の浸液を循環させる第１循環系と、前記第２の浸液を循環させる第２循環系とを有することを特徴とする請求項９記載の液浸型光学系。
【請求項１１】
　前記第１及び第２の浸液の少なくとも一方の温度を調節する温度調節装置をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか一項記載の液浸型光学系。
【請求項１２】
　前記第１及び第２の浸液は、ともに脱イオン水であることを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか一項記載の液浸型光学系。
【請求項１３】
　前記光透過部材は、蛍石で形成されていることを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか一項記載の液浸型光学系。
【請求項１４】
　前記光学系本体の前記光学面を構成する光学素子は、合成石英で形成されていることを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか一項記載の液浸型光学系。
【請求項１５】
　前記光学系本体を構成する光学素子及び前記光透過部材は、投影露光用の紫外光を透過させることを特徴とする請求項１から請求項１４のいずれか一項記載の液浸型光学系。
【請求項１６】
　前記紫外光は、ＡｒＦエキシマレーザ光、ＫｒＦエキシマレーザ光、Ｆ２レーザ光及び水銀ランプのｉ線のいずれかであることを特徴とする請求項１５記載の液浸型光学系。
【請求項１７】
　前記光学系本体を構成する光学素子及び前記光透過部材の少なくとも一方は、反射防止膜を有することを特徴とする請求項１から請求項１６のいずれか一項記載の液浸型光学系。
【請求項１８】
　前記光透過部材は、平行平板、又は屈折率を有するレンズで形成されることを特徴とする請求項１から請求項１７のいずれか一項記載の液浸型光学系。
【請求項１９】
　投影光学系を用いてパターン像を基板上に投影露光する装置であって、
　前記投影光学系は、請求項１から請求項１８のいずれか一項記載の液浸型光学系で構成されることを特徴とする投影露光装置。
【請求項２０】
　投影光学系を用いてパターン像を基板上に投影露光する投影露光装置であって、
　前記投影光学系は、
　第１の浸液に接触する光学面を有する光学系本体と、
　前記光学系本体の光学面に対向して配置され、かつ２つの面を有し、前記２つの面の一方が前記第１の浸液に接触するとともに、前記２つの面の他方が第２の浸液に接触する光透過部材とを有し、
　前記第２の浸液で前記基板上に局所的に液浸領域を形成して、前記第１及び第２の浸液を介して前記基板を露光する投影露光装置。
【請求項２１】
　前記光透過部材を保持する保持部材を有し、
　前記保持部材は、前記光学系本体に対して着脱可能に取り付けられる請求項２０記載の投影露光装置。
【請求項２２】
　前記光透過部材は、平行平板状又は屈折率を有するレンズで形成されることを特徴とする請求項２０又は請求項２１記載の投影露光装置。
【請求項２３】
　前記第１及び第２の浸液は、それぞれ水を含む請求項２０から請求項２２のいずれか一項記載の投影露光装置。
【請求項２４】
　前記第１の浸液は、前記第２の浸液と分離されていることを特徴とする請求項２０から請求項２３のいずれか一項記載の投影露光装置。
【請求項２５】
　前記光学系本体と前記光透過部材との間に、前記第１の浸液を供給するとともに、供給した前記第１の浸液を回収する第１供給回収機構をさらに備える請求項２０から請求項２４のいずれか一項記載の投影露光装置。
【請求項２６】
　前記第１の浸液の温度を調節する温度調節装置を備えた請求項２５記載の投影露光装置。
【請求項２７】
　前記第１供給回収機構は、前記第１の浸液の循環系を含む請求項２６記載の投影露光装置。
【請求項２８】
　前記基板と前記光透過部材との間に、前記第２の浸液を供給するとともに、前記第２の浸液を回収する第２供給回収機構をさらに備える請求項２０から請求項２７のいずれか一項記載の投影露光装置。
【請求項２９】
　前記第２の浸液の温度を調節する温度調節装置を備えた請求項２８記載の投影露光装置。
【請求項３０】
　前記第２供給回収機構は、前記第２の浸液の循環系を含む請求項２９記載の投影露光装置。
【請求項３１】
　請求項１９から請求項３０のいずれか一項記載の投影露光装置を用いるデバイス製造方法。」
 　 
 第３　当事者の主張
 １　請求人の主張及び証拠
　請求人は、本件発明１〜３１についての特許を無効とする、審判費用は、被請求人の負担とする、との審決を求め、証拠方法として甲第１ないし１６号証を提出し、以下のとおりの無効理由Ｉ〜VIを主張している。
（無効理由Ｉ）
　本件発明１〜３，６〜１９，３１は、出願前の他の特許出願であって出願後に出願公開された甲第１号証の出願当初明細書に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができないものであり、その特許は同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
（無効理由II）
　本件発明１〜３１は、甲第１２号証に記載された発明、周知技術及び技術常識に基いて（無効理由II−１）、甲第１２号証及び甲第１３号証に記載された発明並びに技術常識に基いて（無効理由II−２）、甲第１２号証及び甲第１４号証に記載された発明並びに技術常識に基いて（無効理由II−３）、甲第１２号証及び甲第１５号証に記載された発明並びに技術常識に基いて（無効理由II−４）、甲第１２号証に記載された発明及び技術常識に基いて（無効理由II−５）、出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであり、その特許は同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
（無効理由III）
　本件発明２０は、甲第１２号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により、特許をうけることができないものであり、その特許は同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
（無効理由IV）
　本件発明１８，２２は、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない補正によるものであるから、このような新規事項追加補正をした特許出願に対してされた本件特許は、同法第１２３条第１項第１号に該当し、無効とすべきである。
（無効理由Ｖ）
　本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本件発明１６の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものでないから、特許法第３６条第４項第１号の規定により、特許を受けることができないものである、本件特許は、同法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきである。
（無効理由VI）
　本件発明１６は、本件特許明細書の発明の詳細な説明に記載したものでないから、特許法第３６条第６項第１号の規定により、特許を受けることができないものである、本件特許は、同法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきである。
　
（甲第１ないし１６号証）
　なお、請求人が提出した証拠方法（甲第１〜１６号証）は、次のとおりである。
（１）甲第１号証：国際公開第２００４／１０７０４８号（国際出願ＰＣＴ／ＥＰ２００４／００５８１６号）
（２）甲第２号証：国際出願ＰＣＴ／ＥＰ２００４／００５８１６号の優先権証明書
（３）甲第３号証：Alex k. raub et.al., “Deep UV immersion interferometric lithography ”，Optical Microlithography XVI, Proceedings of SPIE, 2003年6月26日, vol.5040,pp.667-678
（４）甲第４号証：M. Switkes et.al., “Resolution enhancement of 157 nm lithography by liquid immersion”, Optical Microlithography XV, Proceedings of SPIE, 2002年7月30日, vol.4691,pp.459-465
（５）甲第５号証：国際公開第９９／４９５０４号
（６）甲第６号証：特開２００１−２２３４２２号公報
（７）甲第７号証：特開２００１−８９１７０号公報
（８）甲第８号証：特開２００１−３４２０３４号公報
（９）甲第９号証：特開２００２−１５８１５７号公報
（１０）甲第１０号証：特開２００２−１３９６６３号公報
（１１）甲第１１号証：特開２００１−１６８０００号公報
（１２）甲第１２号証：旧東ドイツ特許出願公告明細書DD−２２１５６３号
（１３）甲第１３号証：米国特許出願公開第２００２／１６７７４０号明細書
（１４）甲第１４号証：国際公開第２００２／５２６２４号
（１３）甲第１５号証：特開平１０−５４９３２号公報
（１４）甲第１６号証：特開平１０−３０３１１４号公報
　
２　被請求人の応答
　被請求人は、平成２４年６月１９日付けの答弁指令に対して答弁書の提出や訂正請求によって応答することなく、指定期間が経過した。
　
第４　当審の判断
１　本件発明１について
（１）上記「第３　当事者の主張」の「１　請求人の主張及び証拠」に記載した無効理由Ｉ〜無効理由VIのうち、はじめに、無効理由IIの無効理由II−１について判断する。
　無効理由II−１は、甲第１２号証に記載された発明を主引例として、本件発明１は、当業者が容易に発明をすることができたものであるとするものであるから、甲第１２号証刊行物に記載された発明を認定した後、本件発明１と、甲第１２号証に記載された発明とを対比することにより、判断する。
　
（２）甲第１２号証刊行物に記載された発明
ア　甲第１２号証の記載事項
　甲第１２号証刊行物には、次の事項が記載されている。（日本語訳を記載する。なお、日本語訳は、請求人が審判請求書において記載した仮訳を採用し、それに基づくものである。また、下線は、当審において付したものである。）
　
（ア）「本発明は、集積半導体回路を製造するためのフォトリソグラフィ法においてマスク構造を半導体基板上に逐次投影結像するための液浸対物系に関する。」（第１ページ第６〜１０行）
　
（イ）「本発明の目標は、液浸対物系を用いた逐次的かつ部分的構造結像時に阻害となる液浸液中の気泡含有および条痕形成を回避すると共に、基板縁、基板支持台および基板背面の液浸液による濡れを阻止することにある。」（第４ページ第３〜９行）
　
（ウ）「本発明に基づく
液浸対物系はその半導体基板に対向する側に２つの液浸系を有しており、第１の液浸系は、対物系に設置された前側装置がその基板に対向するテーパー状開口において光透過性板より媒質密封的に閉じられており、対物系の最終光学素子と前記光透過性板との間の空間が液浸液により完全に満たされることにより形成されている。さらに第２の液浸系は、前記前側装置において半導体基板の表面に平行に配置されたリングによって前記光透過性板と半導体基板との間に第２の液浸液が提供されることにより、形成されている。
　
（エ）「前記前側装置自体において、一方で減圧装置、閉鎖装置、貯留・調圧装置としての容器およびサーモスタット装置を有する液浸液用供給管が設置されており、また他方では前記の供給管が排出管と接続されているため、閉鎖系が構成されている。」（第５ページ第２１〜２８行）
　
（オ）「液浸露光のために、前記前側装置はその半導体基板に対向したテーパー状開口における光透過性板として、平行平面ガラス板または低屈折力の平凸レンズを有する。」（第６ページ第１〜５行）
　
（カ）「平行平面ガラス板、平凸レンズまたはフォイルと半導体基板上のフォトレジストの表面との間隔が５μｍ〜５ｍｍの範囲にあることが有利である。」（第６ページ第１８〜２４行）
　
（キ）「構造転写用光源は、その波長が２００〜４５０ｎｍのスペクトル領域にある紫外線を有する。」（第７ページ第１６〜１８行）
　
（ク）「露光ステップのために前側装置は、半導体基板に対向するテーパー状開口に配置された例えば平行平面ガラス板からなる光学的中性層と対物系の対物系側の最終光学素子との間において、液浸液により完全に満たされており、液浸液は絶えず供給および排出されると共に、一定温度に維持される。」（第７ページ第２７〜３６行）
　
（ケ）「照射範囲における液浸液内の条痕形成を防止するために、液の均等分配手段が供給開口部に設けられる。液体は適切なフィルタを介して排出され、また適切な上記のチューブおよびパイプ管路を介して調圧・貯留装置の温度管理装置に供給され、前記調圧・貯留装置が出口側で再び前側装置と接続することにより、第１液浸系が構成される。」（第８ページ第１〜１０行）
　
（コ）「第２液浸系は、転写ステップの開始直前に、液浸液が基板支持台の移動方向から見て前側装置の前にリングに設けられた供給用開口を通って、当該調整・制御装置により半導体基板またはそのフォトレジストおよび湿潤剤を備えた表面に供給され、さらにリングと前側装置の下部の光透過性板との間に形成された液浸液膜が基板支持台の移動中に一定に維持されかつ破断しないように、前側装置が下降することによって形成される。その際に液浸液の供給は、供給開口の前に液体壁が生じるように、分量適正に行われる。」（第８ページ第１１〜２７行）
　
（サ）「図１に示すように、液浸対物系には対物系１に、その基板支持台１６に対向する側で露光口径までテーパー状になっている前側装置７がある。このテーパー状開口は、マウント３．１によって媒質密封的に光透過板３により閉鎖されている。」（第１０ページ第１〜６行）
　
（シ）「他の実施形態において、前側装置７の図面右側にある外壁７．１に配置された供給管１７は、閉鎖装置１５および継手１４．１を備えた調圧・貯留装置１４に接続されている。図面左側にある外壁７．１に配置された排出管１８はろ過・サーモスタット装置８を有しており、その出口８．１は継手１４．１に接続されている。対物系側の最終光学素子２と光学的に中性の透過板３との間に存在する空間４は液浸液４．１により完全に満たされており、また該液は供給および排出管１７；１８ならびに出口８．１および継手１４．１を介して広がっているため、閉じた第１液浸系が形成される。」（第１０ページ第２０〜３６行）
　
（ス）「第２の液浸液を形成するために、前側装置７の下側にリング９が設けられるが、該リングには基板移動方向において前側装置７の前後に、それぞれ少なくともひとつの開口１０および１１が配置されている。開口１０；１１の複数配置は、例えばそれらが共通の部分円上に位置して前側装置７の下部開口の周囲においてそれぞれ中央を占める仕様とすることができる。リング９における１つまたは複数の開口１０は当該の接続および結合要素を介してチューブ管路またはパイプ管路１２に接しており、これらの管路はさらに調圧および／または貯留装置１４に接続している。その際の管路は、チューブ管路またはパイプ管路１２が調圧および／または貯留装置の前で分岐しており、流体技術的には、第２の液浸液４．１のための分岐１２．１が、開いた閉鎖装置１５を通る流れ方向、およびもう１つの分岐において閉鎖方向に配置された閉鎖装置１５．１による流れ方向を与える。」（第１１ページ第１〜２３行）
　
（セ）「閉鎖装置１５の後にろ過・サーモスタット装置８が設置されており、また調圧および／または貯留装置１４の後ではその出口側接続部においてチューブ管路またはパイプ管路１２が接続しており、さらに分岐の前にはこの方向から流れる液浸液４．１を通過させるように配置された閉塞装置１５．１が設置されている。」（第１１ページ第２４〜３１行）
　
（ソ）「供給管として複数のチューブ管路またはパイプ管路１２が設けられる場合には、それらは分岐１２．１の前で結合され、設けられたすべての開口１０を介して液浸液の供給が行われる。」（第１１ページ第３２〜３６行）
　
（タ）「図１に示された変更形態において、１つまたは複数の開口１１は吸引部としてのチューブ管路またはパイプ管路１３と接続しており、吸引された液浸液４．１は、適切な上記の装置により運ばれ、調整および被覆された半導体基板１６上で前側装置７の前への供給のための装置に供給される。」（第１２ページ第１〜８行）
　
（チ）「図１にしたがって使用される液浸液４．１は、前側装置７内だけでなく、前側装置７と被覆されたフォトレジスト２６；２７の表面の間においても温度管理されており、その際に好ましくは２２±１℃の温度が一定に維持される。」（第１２ページ第１６〜２１行）
　
（ツ）「図２には、露光ステップのブロック回路図が示されている。
　半導体基板の露光は所定の流れプログラムにしたがって行われる、すなわち、半導体基板は湿潤剤により前処理されて露光装置へ送られ、予備調整ステップ後に基板支持台に固定される。
　湿潤剤を予備調整または固定ステップ後に、露光装置において直接的に塗布することもできる。
　それに続いて、半導体基板と共に基板支持台が前側装置を備えた対物系の下方へ移動し、前側装置が露光距離まで下降する。基板支持台が円形に移動する際に当該開口を通過する温度管理された液浸液の供給により、フォトレジストまたは湿潤剤と前側装置の光透過性板下縁またはリングとの間での安定的な液浸液被膜の形成が行われる。
　続くステップでは、第１露光位置に到達するが、同時に更なる液浸液が供給され、半導体基板が位置決めされて、第１露光ステップが行われる。
　以後の露光シーケンスが第１露光と同様に半導体基板露光が完了するまで実施された後に、液浸液の供給が停止される。」（第１５ページ第１〜３０行）
　
（テ）「特許請求の範囲
１．
集積半導体回路を製造するためのフォトリソグラフィ法においてマスク構造を半導体基板上に投影結像するための液浸対物系であって、
２．前側装置（７）には一方で液浸液（４．１）用の複数の管（１７）が設置されており、それらには圧力低減装置（５）および閉塞装置（１５）が含まれていること、さらに液浸液（４．１）用の貯留・調圧装置（１４）としての容器が配置されていること、また他方でろ過・サーモスタット装置（８）を備えた少なくともひとつの排出管（１８）が設置されており、該回路は供給および調圧装置（１４）の継手（１４．１）と共に閉鎖系を形成していることを特徴とする請求項１に記載の液浸対物系。」（第１７ページ第１行〜第１８ページ第１３行）
　
（ト）「９．光透過性板（３）が半導体基板（２５）の上方５μｍから５ｍｍの範囲に配置されていることを特徴とする請求項１および５〜８に記載の液浸対物系。」（第１９ページ第１２〜１５行）
　
（ナ）図面の記載
「
Ｆｉｇ．１　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
（ニ）図面の記載
「
Ｆｉｇ．３　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　　
イ　甲第１２号証に記載された発明の認定
　図面の記載から、光透過性板（３）が、、対物系（１）の最終光学素子（２）に対向するように、対物系（１）に配置された前側装置（７）のケーシング（７．１）に、マウント（３．１）を介して保持されていることが見て取れる。
　上記記載から、甲第１２号証には、
「集積半導体回路を製造するためのフォトリソグラフィ法においてマスク構造を半導体基板上に投影結像するための液浸対物系であって、
　液浸対物系はその半導体基板に対向する側に２つの液浸系を有しており、第１の液浸系は、対物系に設置された前側装置がその基板に対向するテーパー状開口において光透過性板より媒質密封的に閉じられており、対物系の最終光学素子と前記光透過性板との間の空間が液浸液により完全に満たされることにより形成され、さらに第２の液浸系は、前記前側装置において半導体基板の表面に平行に配置されたリングによって前記光透過性板と半導体基板との間に第２の液浸液が提供されることにより形成され、
　光透過性板は、対物系の最終光学素子に対向するように、対物系に配置された前側装置のケーシングに、マウントを介して保持されている液浸対物系。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
（３）本件発明１と引用発明の対比
ア　ここで、本件発明１と引用発明とを対比する。
　引用発明の「対物系」が本件発明１の「光学系本体」に相当し、引用発明の「第１の液浸系」における「液浸液」が本件発明１の「第１の浸液」に相当する。
　引用発明においては「対物系の最終光学素子と前記光透過性板との間の空間が液浸液により完全に満たされる」のだから、引用発明の「最終光学素子」は、液浸液に接する面を有することが明らかであり、引用発明の当該「最終光学素子」の液浸液に接する面が、本件発明１の「第１の浸液に接触する光学面」に相当する。
　
　引用発明においては、「第１の液浸系は、対物系に設置された前側装置がその基板に対向するテーパー状開口において光透過性板より媒質密封的に閉じられており、対物系の最終光学素子と前記光透過性板との間の空間が液浸液により完全に満たされることにより形成され、さらに第２の液浸系は、前記前側装置において半導体基板の表面に平行に配置されたリングによって前記光透過性板と半導体基板との間に第２の液浸液が提供される」のであるから、引用発明の「光透過性板」は、「対物系」（の最終光学素子）に対向して配置され、一方の面で第１の液浸系の液浸液に接し、他方の面で第２の液浸系の液浸液に接しているものであることは、明らかである。
　よって、引用発明の「第１の液浸系は、対物系に設置された前側装置がその基板に対向するテーパー状開口において光透過性板より媒質密封的に閉じられており、対物系の最終光学素子と前記光透過性板との間の空間が液浸液により完全に満たされることにより形成され、さらに第２の液浸系は、前記前側装置において半導体基板の表面に平行に配置されたリングによって前記光透過性板と半導体基板との間に第２の液浸液が提供される」構成における「光透過性板」が、本件発明１の「前記光学系本体の光学面に対向して配置され、かつ２つの面を有し、前記２つの面の一方が前記第１の浸液に接触するとともに、前記２つの面の他方が第２の浸液に接触する光透過部材」に相当する。
　
　引用発明の「光透過性板」を「対物系の最終光学素子に対向するように」「保持」している「前側装置のケーシング」及び「マウント」と、本件発明１の「前記光透過部材を前記一方の面が前記光学系本体の前記光学面に対向するように着脱自在に支持する保持部材」とは、「前記光透過部材を前記一方の面が前記光学系本体の前記光学面に対向するように支持する保持部材」である点で一致する。
　
　引用発明の「液浸対物系」が、本件発明１の「液浸型光学系」に相当する。
　
イ　一致点
　よって、本件発明１と引用発明とは、
「第１の浸液に接触する光学面を有する光学系本体と、
　前記光学系本体の光学面に対向して配置され、かつ２つの面を有し、前記２つの面の一方が前記第１の浸液に接触するとともに、前記２つの面の他方が第２の浸液に接触する光透過部材と、
　前記光透過部材を前記一方の面が前記光学系本体の前記光学面に対向するように支持する保持部材と
を備える液浸型光学系。」
の発明である点で一致し、次の相違点１で相違する。
　
ウ　相違点１
　光透過部材が、本件発明においては「着脱自在」に保持されているのに対し、引用発明（の光透過性板）においては、その点が明確でない点。
　
（４）判断
ア　相違点１についての検討
（ア）相違点１に関連する甲第１３〜１５号証の記載
ａ　甲第１３号証刊行物（米国特許出願公開第２００２／１６７７４０号明細書）には、次の事項が記載されている。（日本語訳を記載する。なお、下線は当審において付したものである。）
「［００４４］図３乃至７は、多数の弾性部材１５を有するクランプリング１４を備えたクランプ装置の形状をした、
交換可能な光学部材としての端板３
　
ｂ　甲第１４号証刊行物（国際公開第２００２／５２６２４号）には、次の事項が記載されている。（下線は当審において付したものである。）
「前記投影系鏡筒２８内には、前記照明光学系３１によって照明されるレチクルＲ上のパターンの像を前記ウエハＷ上に投影するための投影光学系４１が収容されている。この投影光学系４１は、光学部材としての複数のレンズエレメント４２からなっている。前記投影系鏡筒２８の両端の開口部４３には、前記平行平板３８と同様の光学部材及び光学素子としての平行平板４４が嵌合され、その投影系鏡筒２８の内部に第１空間としての投影気密室４５が形成されている。」（第８ページ第１４〜１９行）
「（ハ）　露光装置２０は、保持機構８０が、平行平板３８，４４及びカバーガラス６４，７６の周囲を保持する枠材８１に設けられた突出部８２と、先端鏡筒８３に設けられ、突出部８２が係合する係合部８４とを有している。そして、前記保持機構８０は、突出部８２と係合部８４とを係合位置で係合するとともに、突出部８２と係合部８４との係合をその係合位置と異なる脱着位置で解除するようになっている。
　このような簡単な構成の保持機構８０を装備することで、不純物で汚染された
平行平板３８，４４及びカバーガラス６４，７６を容易かつ迅速に脱着することができる
　
ｃ　甲第１５号証刊行物（特開平１０−５４９３２号公報）には、次の事項が記載されている。（下線は当審において付したものである。）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体回路パターン等を感光基板上に転写する投影露光装置に用いられる投影光学装置及びそれを含む投影露光装置に関する。」
「【００３４】次に、図１及び２に示した投影光学装置１０における球面収差及び像面湾曲の調整法を説明する。前述のように
投影光学装置１０の下端に螺着するガラス枠５０を複数個用意しておく。
好適なガラス板の厚み及び曲率半径を有するガラス板５２が装着されたガラス枠５０を選択し、それを先に投影光学装置１０に装着した特定のガラス枠５０と交換する。
　
（イ）上記甲１３号証刊行物の「端板３」、甲第１４号証刊行物の「平行平板３８，４４及びカバーガラス６４，７６」、甲第１５号証刊行物の「ガラス枠５０」は、いずれも、露光装置の投影光学系の最終端の位置に、半導体基板に対向して配置された光透過性の部材という意味において、引用発明の「光透過性板」に相当するものである。そして、甲１３号証刊行物の「端板３」、甲第１４号証刊行物の「平行平板３８，４４及びカバーガラス６４，７６」、甲第１５号証刊行物の「ガラス枠５０」は、いずれも、保持部材に着脱可能に保持されたものであることから、露光装置の投影光学系の最終端の位置に、半導体基板に対向して配置された光透過性の部材を、着脱可能に設けることは、甲第１３〜１５号証刊行物に記載されているように周知の技術的事項である。
　
（ウ）引用発明においても、液浸液中の不純物が付着する等により「光透過性板」が汚れる可能性があることが想定でき、「光透過性板」の汚れを減少させることは自明の課題である。したがって、引用発明において、「光透過性板」の汚れを減少させるために、上記の甲第１３〜１５号証刊行物に記載されている周知技術を適用し、「交換可能」すなわち「着脱可能」として、上記相違点１に係る本件発明１の発明特定事項を得ることは当業者が容易に想到し得ることである。
　
イ　本件発明１が奏する作用効果について
　そして、本件発明１によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
（５）まとめ
　以上のとおり、本件発明１は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
２　本件発明２について
（１）本件発明２と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明２と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「ウ　相違点」において記載した相違点１に加えて次の相違点２において相違する。
　
イ　相違点２
　本件発明２においては「第１及び第２の浸液は、それぞれ水を含む」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明２の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点２について
ａ　甲第３号証刊行物には次の事項が記載されている（日本語訳を記載する）。
「２つの液浸液が試験された：脱イオン水及びクライトックスＲペルフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）オイルが検討された。これらの液は１９３ｎｍのレジストに適合した。クライトックスＲ２８％の、脱イオン水について４１％の解像向上率が実証された。」（第６６７ページ第１１〜１４行）
ｂ　甲第４号証刊行物には次の事項が記載されている（日本語訳を記載する）。
「１５７ｎｍでの液浸リソグラフィのフィージビリティスタディの結果を示す。」（第４５９ページ第８行）
「より長い波長では、透明な液浸液について幅広い選択肢があることも指摘する。１９３ｎｍでは、測定された最も透明な液である脱イオン水のα１９３は、０．０３６ｃｍ−１（底１０）である。」
ｃ甲第５号証刊行物には次の事項が記載されている
「本発明は、・・・更に詳しくは液浸液を用いた投影露光方法及び装置に関する。」（第１ページ第６〜１０行）
「また、液体７として、本例では例えば純水を使用する。純粋は、半導体製造工場等で容易に大量に入手できると共に、ウエハ上のフォトレジストや光学レンズに対する悪影響がない利点がある。また、純水は環境に対する悪影響がないと共に、不純物の含有量が極めて低いため、ウエハの表面、及びレンズ４の表面を洗浄する作用も期待できる。」（第１２ページ第１〜５行）
　
　上記ａ〜ｃの記載からも認められるように、液浸液の浸液として水を用いることは、甲第３〜５号証刊行物にも記載されているように周知技術であり、「水」は上記甲第５号証刊行物に記載された「容易に大量に入手できる」「ウエハ上のフォトレジストや光学レンズに対する悪影響がない」「環境に対する悪影響がない」「ウエハの表面、及びレンズ４の表面を洗浄する作用」を有するなどの利点を有することを勘案して、引用発明において液浸液に「水」を採用し、上記相違点２に係る本件発明２の発明特定事項を得ることはことは当業者が容易に想到し得ることである。
　
イ　本件発明２が奏する作用効果について
　そして、本件発明２によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明２は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
３　本件発明３について
（１）本件発明３と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　対比
　本件発明３と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べた対応関係に加え次の対応関係がある。
　すなわち、引用発明の「第１の液浸系は、対物系に設置された前側装置がその基板に対向するテーパー状開口において光透過性板より媒質密封的に閉じられており、対物系の最終光学素子と前記光透過性板との間の空間が液浸液により完全に満たされることにより形成され、さらに第２の液浸系は、前記前側装置において半導体基板の表面に平行に配置されたリングによって前記光透過性板と半導体基板との間に第２の液浸液が提供されることにより形成され」ていることから、引用発明においては「第１の液浸系」と「第２の液浸系」は光透過性板等によって分離されていることは明らかである。よって、引用発明の「第１の液浸系は、対物系に設置された前側装置がその基板に対向するテーパー状開口において光透過性板より媒質密封的に閉じられており、対物系の最終光学素子と前記光透過性板との間の空間が液浸液により完全に満たされることにより形成され、さらに第２の液浸系は、前記前側装置において半導体基板の表面に平行に配置されたリングによって前記光透過性板と半導体基板との間に第２の液浸液が提供されることにより形成され」ていることが本件発明３の「前記第１の浸液は、前記第２の浸液と分離されている」ことに相当する。
イ　一致点・相違点
　すると、本件発明３と引用発明とは、「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「イ　一致点」で述べた一致点に加えて、「前記第１の浸液は、前記第２の浸液と分離されている」ことにおいても一致し、「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ウ　相違点」において記載した相違点１で相違する。
（２）判断
　そして，上記相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明３の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
　また、本件発明３によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　よって、本件発明３は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（３）まとめ
　以上のとおり、本件発明３は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
４　本件発明４について
（１）本件発明４と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　対比
　本件発明４と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」、及び、上記「３　本件発明３について」の「（１）本件発明３と引用発明の対比・一致点・相違点」の「ア」で述べた対応関係に加え次の対応関係がある。
　すなわち、引用発明の「第１の液浸系は、対物系に設置された前側装置がその基板に対向するテーパー状開口において光透過性板より媒質密封的に閉じられており、対物系の最終光学素子と前記光透過性板との間の空間が液浸液により完全に満たされることにより形成され、さらに第２の液浸系は、前記前側装置において半導体基板の表面に平行に配置されたリングによって前記光透過性板と半導体基板との間に第２の液浸液が提供されることにより形成され」ていることから、引用発明においては「前記第２の浸液」については２つの平行に配置された部材間に供給することから「周囲を開放した開放空間内に存在する」ことは明らかである。よって、引用発明の「第１の液浸系は、対物系に設置された前側装置がその基板に対向するテーパー状開口において光透過性板より媒質密封的に閉じられており、対物系の最終光学素子と前記光透過性板との間の空間が液浸液により完全に満たされることにより形成され、さらに第２の液浸系は、前記前側装置において半導体基板の表面に平行に配置されたリングによって前記光透過性板と半導体基板との間に第２の液浸液が提供されることにより形成され」ていることが本件発明４の「前記第１の浸液は、周囲を閉じた閉空間内に収容されており、前記第２の浸液は、周囲を開放した開放空間内に存在する」ことに相当する。
イ　一致点・相違点
　すると、本件発明４と引用発明とは、「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比の「イ　一致点」、及び、上記「３　本件発明３について」の「（１）本件発明３と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ　一致点・相違点」で述べた一致点に加えて、「前記第１の浸液は、周囲を閉じた閉空間内に収容されており、前記第２の浸液は、周囲を開放した開放空間内に存在する」ことにおいても一致し、「ウ　相違点」において記載した相違点１で相違する。
（２）判断
　そして，上記相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明４の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
　また、本件発明４によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　よって、本件発明４は、本件発明３と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（３）まとめ
　以上のとおり、本件発明４は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
５　本件発明５について
（１）本件発明５と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明５と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」、「３　本件発明３について」の「（１）本件発明３と引用発明の対比・一致点・相違点」の「ア　対比」、及び、「４　本件発明４について」の「（１）本件発明４と引用発明の対比・一致点・相違点」の「ア　対比」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「４　本件発明４について」の「（１）本件発明４と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ　一致点・相違点」で述べた一致点において一致し、そして、「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ウ　相違点」において記載した相違点１に加えて次の相違点５において相違する。
　
イ　相違点５
　本件発明５においては「前記閉空間内に収容されている前記第１の浸液の量は、前記開放空間内に存在する前記第２の浸液の量よりも多い」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明１の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点５について
　第１の浸液の量及び第２の浸液の量をどの程度にするかは、投影光学系を含めた装置全体に起因する要請に応じて当業者が適宜設定し得る設計事項である。
　したがって、第１の浸液の量は第２の浸液の量より多いと設定した点は、単なる設計的事項であり、それによって発明の進歩性が生じるものではない。
　
イ　本件発明５が奏する作用効果について
　そして、本件発明５によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明５は、本件発明４と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明５は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
６　本件発明６について
（１）本件発明６と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明６と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「ウ　相違点」において記載した相違点１に加えて次の相違点６において相違する。
　
イ　相違点６
　本件発明６においては「前記光学系本体と前記光透過部材との間に前記第１の浸液を供給する吐出ノズルと、前記光学系本体と前記光透過部材との間から前記第１の浸液を吸引する吸引ノズルとを有する」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明６の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点６について
　相違点６について、甲第１２号証刊行物に記載されている技術的事項である。（上記「１　本件発明１について」の「（２）甲第１２号証刊行物に記載された発明」の「ア　甲第１２号証の記載事項」の（ケ）及び図面の記載（ニ）から、甲第１２号証刊行物には、「光学系本体と光透過部材（光透過性板）との間に第１の浸液を供給する吐出ノズルと、光学系本体と光透過部材（光透過性板）との間から第１の浸液を吸引する吸引ノズルとを有する」ことが記載されていることは明らかである。）
　そうすると、上記相違点６は、本件発明６と甲第１２号証刊行物に記載されているものとの相違点ではないので、上記相違点６によって発明の進歩性が生じるものではない。
　
イ　本件発明６が奏する作用効果について
　そして、本件発明６によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明６は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明６は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
７　本件発明７について
（１）本件発明７と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明７と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」及びで述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ウ　相違点」において記載した相違点１及び上記「６　本件発明６について」の「（１）本件発明６と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」に記載した相違点６に加えて次の相違点７において相違する。
　
イ　相違点７
　本件発明７においては「前記吸引ノズルは、第１液体供給装置に接続される」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明７の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点６について
　相違点６については、上記「６　本件発明６について」の「（２）判断」の「（イ）相違点６について」において既に検討したとおり、相違点６に係る本件発明７の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（ウ）相違点７について
　相違点７について、甲第１２号証刊行物に記載されている技術的事項である。（上記「１　本件発明１について」の「（２）甲第１２号証刊行物に記載された発明」の「ア　甲第１２号証の記載事項」の（ケ）及び図面の記載（ニ）から、甲第１２号証刊行物には、「吸引ノズルは、第１液体供給装置に接続される」ことが記載されていることは明らかである。）
　そうすると、上記相違点７は、本件発明７と甲第１２号証刊行物に記載されているものとの相違点ではないので、上記相違点７によって発明の進歩性が生じるものではない。
　
イ　本件発明７が奏する作用効果について
　そして、本件発明７によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明７は、本件発明６と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明７は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
８　本件発明８について
（１）本件発明８と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明８と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「ウ　相違点」において記載した相違点１に加えて次の相違点８において相違する。
　
イ　相違点８
　本件発明８においては「前記第２の浸液を前記２つの面の他方に接触するように供給する第２液体供給装置と、当該他方の面に接触している前記第２の浸液を回収する液体回収装置とをさらに備える」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明８の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点８について
　相違点８について、甲第１２号証刊行物に記載されている技術的事項である。（上記「１　本件発明１について」の「（２）甲第１２号証刊行物に記載された発明」の「ア　甲第１２号証の記載事項」の（コ）並びに図面の記載（ナ）及び（ニ）から、甲第１２号証刊行物には、「第２の浸液を光透過性板の２つの面の他方に接触するように供給する第２液体供給装置と、当該他方の面に接触している第２の浸液を回収する液体回収装置とをさらに備える」ことが記載されていることは明らかである。）
　そうすると、上記相違点８は、本件発明８と甲第１２号証刊行物に記載されているものとの相違点ではないので、上記相違点８によって発明の進歩性が生じるものではない。
　
イ　本件発明８が奏する作用効果について
　そして、本件発明８によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明８は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明８は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
９　本件発明９について
（１）本件発明９と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明９と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「ウ　相違点」において記載した相違点１に加えて次の相違点９において相違する。
　
イ　相違点９
　本件発明９においては「前記光学系本体及び前記光透過部材の間の前記第１の浸液と、前記光透過部材に設けた前記他方の面に接触する前記第２の浸液との少なくとも一方を循環させる循環機構をさらに備える」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明９の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点９について
　相違点９について、甲第１２号証刊行物に記載されている技術的事項である。（上記「１　本件発明１について」の「（２）甲第１２号証刊行物に記載された発明」の「ア　甲第１２号証の記載事項」の（ツ）並びに図面の記載（ナ）及び（ニ）（特に、（ツ）には、「ろ過・サーモスタット装置（８）を備えた少なくともひとつの排出管（１８）が設置されており、該回路は供給および調圧装置（１４）の継手（１４．１）と共に閉鎖系を形成している」こと記載されており、上記「閉鎖系」は「循環機構」であるといえる。）から甲第１２号証刊行物には、「光学系本体及び前記光透過部材の間の前記第１の浸液と、光透過部材に設けた他方の面に接触する前記第２の浸液との少なくとも一方を循環させる循環機構をさらに備える」ことが記載されていることは明らかである。）
　そうすると、上記相違点９は、本件発明９と甲第１２号証刊行物に記載されているものとの相違点ではないので、上記相違点９によって発明の進歩性が生じるものではない。
　
イ　本件発明９が奏する作用効果について
　そして、本件発明９によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明９は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明９は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
１０　本件発明１０について
（１）本件発明１０と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明１０と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」及びで述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ウ　相違点」において記載した相違点１及び上記「９　本件発明９について」の「（１）本件発明９と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」に記載した相違点９に加えて次の相違点１０において相違する。
　
イ　相違点１０
　本件発明１０においては「前記循環機構は、前記第１の浸液を循環させる第１循環系と、前記第２の浸液を循環させる第２循環系とを有する」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明１０の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点９について
　相違点９については、上記「９　本件発明９について」の「（２）判断」の「（イ）相違点９について」において既に検討したとおり、相違点９に係る本件発明１０の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（ウ）相違点１０について
　相違点１０は、循環機構を「第１の浸液」の供給・排出回路と「第２の液浸」の供給・排出回路の両方に設けることを意味している。これに対して、甲第１２号証には、「９　本件発明９について」の「（２）判断」の「（イ）相違点９について」において記載したように、循環機構を「第１の浸液」の供給・排出回路と「第２の液浸」の供給・排出回路の少なくとも一方に設けることが記載されている。そして、同様の２つの供給・排出回路の一方に設けたものを他方にも設けることは、当業者が必要に応じて適宜なし得ることに過ぎないから、上記の一方に設けられた循環機構を他方にも設け、上記相違点１０に係る本件発明１０の発明特定事項を得ることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　
イ　本件発明１０が奏する作用効果について
　そして、本件発明１０によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明１０は、本件発明９と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明１０は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
１１　本件発明１１について
（１）本件発明１１と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明１１と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「ウ　相違点」において記載した相違点１に加えて次の相違点１１において相違する。
　
イ　相違点１１
　本件発明１１においては「前記第１及び第２の浸液の少なくとも一方の温度を調節する温度調節装置をさらに備える」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明１１の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点１１について
　相違点１１について、甲第１２号証刊行物に記載されている技術的事項である。（上記「１　本件発明１について」の「（２）甲第１２号証刊行物に記載された発明」の「ア　甲第１２号証の記載事項」の（チ）には、「液浸液４．１は、前側装置７内だけでなく、前側装置７と被覆されたフォトレジスト２６；２７の表面の間においても温度管理されており、その際に好ましくは２２±１℃の温度が一定に維持される」と記載されており、第１の浸液又は第２の浸液の温度を管理する温度調節装置が設けられていることは明らかであるから、甲第１２号証刊行物には、「第１及び第２の浸液の少なくとも一方の温度を調節する温度調節装置をさらに備える」ことが記載されていることは明らかである。）
　そうすると、上記相違点１１は、本件発明１１と甲第１２号証刊行物に記載されているものとの相違点ではないので、上記相違点１１によって発明の進歩性が生じるものではない。
　
イ　本件発明１１が奏する作用効果について
　そして、本件発明１１によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明１１は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明１１は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
１２　本件発明１２について
（１）本件発明１２と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明１２と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「ウ　相違点」において記載した相違点１に加えて次の相違点１２において相違する。
　
イ　相違点１２
　本件発明１２においては「第１及び第２の浸液は、ともに脱イオン水である」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明１２の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点１２について
　相違点１２については、甲第３〜５号証刊行物に記載されているように周知の技術的事項である。（甲第３〜５号証刊行物の記載事項については、「２　本件発明２について」の「（２）判断」の「ア　各相違点についての検討」の「（イ）相違点２について」の記載参照）
　すなわち、液浸液の浸液として脱イオン水（純水）を用いることは、甲第３〜５号証刊行物にも記載されているように周知技術であり、「水」は上記甲第５号証刊行物に記載された「容易に大量に入手できる」「ウエハ上のフォトレジストや光学レンズに対する悪影響がない」「環境に対する悪影響がない」「ウエハの表面、及びレンズ４の表面を洗浄する作用を有する」などの利点を有することを勘案して、引用発明において液浸液に「脱イオン水（純水）」を採用し、上記相違点１２に係る本件発明１２の発明特定事項を得ることはことは当業者が容易に想到し得ることである。
　
イ　本件発明１２が奏する作用効果について
　そして、本件発明１２によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明１２は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明１２は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
１３　本件発明１３について
（１）本件発明１３と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明１３と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「ウ　相違点」において記載した相違点１に加えて次の相違点１３において相違する。
　
イ　相違点１３
　本件発明１３においては「光透過部材は、蛍石で形成されている」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明１３の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点１３について
　相違点１３については、甲第６〜８号証刊行物に記載されているように周知の技術的事項である。
　
ａ　甲第６号証刊行物には次の事項が記載されている。
「【０００７】また微細な加工を行うための次世代露光機として、波長が１９３ｎｍのアルゴンフッ素（ＡｒＦ）エキシマレーザを露光光源に用いた露光機が用いられ始めて
おり、これはＡｒＦ露光機と呼ばれる。
【０００８】ＡｒＦ露光機では、縮小投影光学系には、通常、石英と蛍石の二種の材質から成る色消しレンズが用いられる。」
「【００１２】一方、このようなフッ素レーザを露光光源として用いるフッ素露光機では、それまで（すなわちＡｒＦ露光機まで）の露光機で一般に用いられてきたレンズのみによる屈折型の縮小投影光学系が適用困難になる。
【００１３】その理由としては、波長１５７ｎｍでは、一般に紫外域での透過率が高いとされている合成石英においても、透過率が１ｃｍ当たり約１０％以下と非常に低くなるため、合成石英も利用できなくなる。従って、従来においては、フッ素レーザ用の光学部材としては、フッ化カルシウムのみが利用されていた。」
ｂ　甲第７号証刊行物には次の事項が記載されている。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、紫外線レーザー、特に波長１５７ｎｍのＦ２エキシマレーザの透過材料として好適に使用できる光学用シリカガラス部材に関し、紫外線用の光学系を構成する、例えばＦ２エキシマレーザー用のレンズ、ウィンドウ、フィルター、ビームスプリッター、フォトマスクなどの光学部材に適したＦ２エキシマレーザー透過用光学シリカガラス部材及びその製造方法に関する。」
「【０００５】しかしながら、Ｆ２エキシマレーザー用の光学材料としては、その発振波長が１５７ｎｍとＡｒＦよりもさらに短いため、ＫｒＦ、ＡｒＦ用の従来の合成シリカガラスでは、十分な透過率が得られず使用できなかった。これまでは使用できる光学材料は蛍石（フッ化カルシウム）しかなく、そのため露光装置の設計上の大きな制約となっていた。一方、シリカガラスの１５７ｎｍに対する透過率の向上にはフッ素をシリカガラス中にドープすることで大幅に改善されることが知られている。特開平４−１９５１０号にはシリカガラス中にフッ素をドープすることにより、１５５〜４００ｎｍの広い波長領域にわたって構造欠陥による吸収を軽減、若しくは、ほとんど消失させることができ、さらに、高エネルギー紫外線を長期にわたって照射しても構造欠陥が生じないようにする方法が示されている。
【０００６】また、特開平８−６７５３０号には、シリカガラスにフッ素を１ｍｏｌ％以上及びＯＨ基濃度１０ｐｐｍ以上ドープすることで、ＡｒＦエキシマレーザーに対する安定性を向上せしめる技術が開示されているが、同公報には同時に、Ｆ２エキシマレーザー波長領域である１５７ｎｍ付近の紫外線透過率が大幅に改善されていることが示されている。さらに、特開平８−７５９０１号には、フッ素と水素をドープすると共にＯＨ基の濃度を制御することにより、真空紫外域の透過率及び耐紫外線性に優れた合成シリカガラスの製造方法を提供している。」
ｃ　甲第８号証刊行物には次の事項が記載されている。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、F２エキシマレーザー光を透過するレンズ、プリズム、フィルター、フォトマスク等の合成石英ガラス光学部材及びそのための光学材料に関する。」
「【０００６】しかしながら、F２エキシマレーザー用の光学材料としては、その発振波長が157nmとArFエキシマレーザーより更に短い為、KrF、ArF用の従来の合成石英ガラスでは、充分な透過率が得られず、使用出来なかった。このため使用できる光学材料は蛍石しかなく、装置設計上の大きな制約となっていた。」
　
　上記ａ〜ｃの記載からも認められるように、投影露光装置の光学素子としてArFエキシマレーザ用等より短い波長のレーザに使用できる材料である「蛍石」を用いることは周知技術である。引用発明においも、より短波長のレーザ光を使用するために光学部材である光透過性板として「蛍石」を採用し、上記相違点１３に係る本件発明１３の発明特定事項を得ることはことは当業者が容易に想到し得ることである。
　
イ　本件発明１３が奏する作用効果について
　そして、本件発明１３によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明１３は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明１３は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
１４　本件発明１４について
（１）本件発明１４と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明１４と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「ウ　相違点」において記載した相違点１に加えて次の相違点１４において相違する。
　
イ　相違点１４
　本件発明１４においては「光学系本体の前記光学面を構成する光学素子は、合成石英で形成されている」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明１４の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点１４について
　相違点１４については、甲第６〜８号証刊行物に記載されているように周知の技術的事項である。（上記「１３　本件発明１３について」の「（２）判断」の「ア　各相違点についての検討」の「（イ）相違点１３について」の記載参照）
　
　上記ａ〜ｃの記載からも認められるように、投影露光装置の光学素子として合成石英を用いることは、甲第６〜８号証刊行物にも記載されているように、周知技術である。引用発明においも、上記の周知技術を採用し、上記相違点１４に係る本件発明１４の発明特定事項を得ることはことは当業者が容易に想到し得ることである。
　
イ　本件発明１４が奏する作用効果について
　そして、本件発明１４によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明１４は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明１４は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
１５　本件発明１５について
（１）本件発明１５と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明１５と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「ウ　相違点」において記載した相違点１に加えて次の相違点１５において相違する。
　
イ　相違点１５
　本件発明１５においては「前記光学系本体を構成する光学素子及び前記光透過部材は、投影露光用の紫外光を透過させる」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明１５の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点１５について
　相違点１５について、甲第１２号証刊行物に記載されている技術的事項である。上記「１　本件発明１について」の「（２）甲第１２号証刊行物に記載された発明」の「ア　甲第１２号証の記載事項」の（キ）には、「構造転写用光源は、その波長が２００〜４５０ｎｍのスペクトル領域にある紫外線を有する。」こと記載されており、この記載から甲第１２号証刊行物には、「光学系本体を構成する光学素子及び光透過部材は、投影露光用の紫外光を透過させる」ことが記載されているに等しいといえる。
　そうすると、上記相違点１５は、本件発明１５と甲第１２号証刊行物に記載されているものとの相違点ではないので、上記相違点１５によって発明の進歩性が生じるものではない。
　
イ　本件発明１５が奏する作用効果について
　そして、本件発明１５によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明１５は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明１５は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
１６　本件発明１６について
（１）本件発明１６と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明１６と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ウ　相違点」において記載した相違点１及び上記「１５　本件発明１５について」の「（１）本件発明１５と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」に記載した相違点１５に加えて次の相違点１６において相違する。
　
イ　相違点１６
　本件発明１６においては「投影露光用の紫外光」が「ＡｒＦエキシマレーザ光、ＫｒＦエキシマレーザ光、Ｆ２レーザ光及び水銀ランプのｉ線のいずれかである」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明１６の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点１５について
　相違点１５については、上記「１５　本件発明１５について」の「（２）判断」の「（イ）相違点１５について」において既に検討したとおり、上記相違点１５は、本件発明１５と甲第１２号証刊行物に記載されているものとの相違点ではないので、上記相違点１５によって発明の進歩性が生じるものではない。
（ウ）相違点１６について
　相違点１６については、甲第６〜８号証刊行物に記載されているように周知の技術的事項である。（上記「１３　本件発明１３について」の「（２）判断」の「ア　各相違点についての検討」の「（イ）相違点１３について」の記載参照）
　引用発明においても、上記の周知技術を採用し、上記相違点１６に係る本件発明１６の発明特定事項を得ることはことは当業者が容易に想到し得ることである。
　
イ　本件発明１６が奏する作用効果について
　そして、本件発明１６によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明１６は、本件発明１５と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明１６は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
１７　本件発明１７について
（１）本件発明１７と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明１７と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「ウ　相違点」において記載した相違点１に加えて次の相違点１７において相違する。
　
イ　相違点１７
　本件発明１７においては「前記光学系本体を構成する光学素子及び前記光透過部材の少なくとも一方は、反射防止膜を有する」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明１７の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点１７について
　相違点１７については、甲第９〜１１号証刊行物に記載されているように周知の技術的事項である。
　
ａ　甲第９号証刊行物には次の事項が記載されている。
「【００１４】 また、マスクのパターンを照明した光束は、投影光学系を構成する複数の光学素子を介してウエハ上にパターン像を結像するが、これらの光学素子は反射防止膜で被膜されており、膜を透過する際の光路長の差異等により光学素子の中心と外周側とでは光束の透過率が若干異なる。そのため、ウエハ上の照度分布は、中心側が外側に比較して大きくなる傾向があり、従来では中心側の照度を抑えることでこの照度分布を、例えば１％以下の照度むらの範囲に均一化していた。ところが、大σ形状の光束のみならず、小σ形状、さらには輪帯形状の光束を選択して用いると、ウエハ上の照度分布を所定範囲内に抑えることが困難であった。」
ｂ　甲第１０号証刊行物には次の事項が記載されている。
「【００３８】投影露光装置の全体概略構成を図３に示しており、この投影露光装置ＳＴＰは、光源２から出射される露光光を照明レンズ３からレチクルＲに照射してレチクルＲを均一に照明するための露光用照明光学系１を有する。レチクルＲは、図３（Ａ）に示すように、表面に露光転写される回路パターンＰが形成されており、投影露光装置ＳＴＰの所定位置に保持されて、露光用照明光学系１から均一な露光光が照射される。レチクルＲの下側（露光光の出射側）に透明なガラス板からなる補正板５が配設されている。」
「【００８７】次に、ステップＳ４２の工程へ移行する。ここでは、レンズ加工装置（光学部材加工装置）及びレンズ研磨装置（光学部材研磨装置）を用いて、ガラスインゴットから切り出された多数の光学ガラス部材の加工及び研磨を行い、その加工及び研磨されたレンズＬが光学設計値どおりとなって投影レンズ１０を構成する光学部材として機能するまで（許容製造誤差となるまで）加工及び研磨の工程が繰り返される。
【００８８】次に、加工及び研磨を終えたレンズ部品に、その透過率等を高めるために反射防止膜が薄膜形成装置によってコートされ、投影レンズ１０を組み上げるためのレンズＬが製造される。」
「【０１５１】その後、図２６の研磨装置により加工されたディストーション補正板５に対して反射防止膜を蒸着し、図３の投影光学装置の所定位置に加工されたディストーション補正板を載置する。尚、図２６の研磨装置においては、研磨皿１２３はＸＹ方向において固定されているが、ステージ１２１をＸＹ方向へ移動させる代わりにこの研磨皿１２３を移動させても良い。」
ｃ　甲第１１号証刊行物には次の事項が記載されている。
「【０１５６】次いで、投影光学系ＰＬに挿入されていた未加工の像歪み補正板Ｇ１を取り外し、図１１に示す専用研磨加工機のＸＹステージ上にセットする。そして、回転研磨ヘッド部を計算された傾斜角度で所望の研磨領域に所定の力で押圧することにより、ステップＳ１５の算出結果に基づいて、像歪み補正板Ｇ１の補正面を所要の面形状に研磨加工する（Ｓ１６）。また、研磨加工された像歪み補正板Ｇ１の補正面には、必要に応じて、所要のコート（反射防止膜など）が施される。　最後に、研磨加工された像歪み補正板Ｇ１を、投影光学系ＰＬ中の所定位置に挿入して位置決めする（Ｓ１７）。すなわち、研磨加工された像歪み補正板Ｇ１を、研磨加工前のディストーション特性計測の時点で未加工の像歪み補正板Ｇ１が設置されていた位置に戻す。」
　
　上記ａ〜ｃの記載からも認められるように、投影露光装置の光学素子等に「反射防止膜」を設けることは周知技術である。引用発明においても、光学特性の向上のため、投影露光装置の光学素子等に「反射防止膜」を採用し、上記相違点１７に係る本件発明１７の発明特定事項を得ることは当業者が容易に想到し得ることである。
　
イ　本件発明１７が奏する作用効果について
　そして、本件発明１７によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明１７は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明１７は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
１８　本件発明１８について
（１）本件発明１８と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明１８と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「ウ　相違点」において記載した相違点１に加えて次の相違点１８において相違する。
　
イ　相違点１８
　本件発明１８においては「前記光透過部材は、平行平板、又は屈折率を有するレンズで形成される」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点１について
　相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明１８の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
（イ）相違点１８について
　相違点１８について、甲第１２号証刊行物に記載されている技術的事項である。（上記「１　本件発明１について」の「（２）甲第１２号証刊行物に記載された発明」の「ア　甲第１２号証の記載事項」の（オ）には、「液浸露光のために、前記前側装置はその半導体基板に対向したテーパー状開口における光透過性板として、平行平面ガラス板または低屈折力の平凸レンズを有する。」と記載されており、この記載から甲第１２号証刊行物には、「光透過部材（光透過性板）は、平行平板、又は屈折率を有するレンズで形成される」ことが記載されているといえる。）
　そうすると、上記相違点１８は、本件発明１８と甲第１２号証刊行物に記載されているものとの相違点ではないので、上記相違点１８によって発明の進歩性が生じるものではない。
　
イ　本件発明１８が奏する作用効果について
　そして、本件発明１８によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明１８は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明１８は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
                
１９　本件発明１９について
（１）本件発明１９と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　対比
　本件発明１９と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べた対応関係に加え次の対応関係がある。
　すなわち、引用発明の「集積半導体回路を製造するためのフォトリソグラフィ法においてマスク構造を半導体基板上に投影結像するための液浸対物系」であることが本件発明１９の「投影光学系を用いてパターン像を基板上に投影露光する装置であって、前記投影光学系は、液浸型光学系で構成される」ことに相当する。
イ　一致点・相違点
　すると、本件発明１９と引用発明とは、「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「イ　一致点」で述べた一致点に加えて、「投影光学系を用いてパターン像を基板上に投影露光する装置であって、前記投影光学系は、液浸型光学系で構成される」ことにおいても一致し、「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ウ　相違点」において記載した相違点１で相違する。
（２）判断
　そして，上記相違点１については、上記「２　本件発明１について」の「（４）判断」において既に検討したとおり、相違点１に係る本件発明１９の発明特定事項を得ることは当業が容易になし得たことである。
　また、本件発明１９によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　よって、本件発明１９は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（３）まとめ
　以上のとおり、本件発明１９は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
２０　本件発明２０について
（１）本件発明２０と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明２０と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、次の相違点２０において相違する。
　
イ　相違点２０
　本件発明２０においては「前記第２の浸液で前記基板上に局所的に液浸領域を形成」するのに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　相違点２０についての検討
　相違点２０については、甲第１２号証刊行物に記載されている技術的事項である。（上記「１　本件発明１について」の「（２）甲第１２号証刊行物に記載された発明」の「ア　甲第１２号証の記載事項」の（コ）（ソ）及び（タ）の記載、並びに、（ナ）及び（ニ）の記載から、甲第１２号証には、「第２の浸液で基板上に局所的に液浸領域を形成」することが記載されているといえる。）
　そうすると、上記相違点２０は、本件発明２０と甲第１２号証刊行物に記載されているものとの相違点ではないので、上記相違点２０によって発明の進歩性が生じるものではない。
　
イ　本件発明２０が奏する作用効果について
　そして、本件発明２０によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明２０は、本件発明１と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２０は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
２１　本件発明２１について
（１）本件発明２１と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明２１と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ウ」の相違点１及び上記「２０　本件発明２０について」の「（１）本件発明２０と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２０において相違する。
　
（２）判断
ア　相違点１，２０についての検討
　相違点１については、上記「１　本件発明１について」の「（４）判断」において述べたように、引用発明に甲第１３〜１５号証刊行物に記載されている周知技術を適用し、「光透過性板」を「着脱可能」として、上記相違点１に係る本件発明２１の発明特定事項を得ることはことは当業者が容易に想到し得ることである。
　また、相違点２０については、上記「２０　本件発明２０について」の「（２）判断」において述べたように、上記相違点２０は、本件発明２０と甲第１２号証刊行物に記載されているものとの相違点ではないので、上記相違点２０によって発明の進歩性が生じるものではない。
　
イ　本件発明２１が奏する作用効果について
　そして、本件発明２１によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
ウ　よって、本件発明２１は、本件発明２０と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２１は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
２２　本件発明２２について
（１）本件発明２２と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明２２と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「２０　本件発明２０について」の「（１）本件発明２０と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２０に加えて次の相違点２２において相違する。
イ　相違点２２
　本件発明２２においては「前記光透過部材は、平行平板、又は屈折率を有するレンズで形成される」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点２０について
　相違点２０については、上記「２０　本件発明２０について」の「（２）判断」において既に検討したとおり、上記相違点２０によって発明の進歩性が生じるものではない。
（イ）相違点２２について
　相違点２２は、上記「１８　本件発明１８について」の「（１）本件発明１８と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」で述べた相違点１８と同様の相違点である。よって、相違点２２については、上記「１８　本件発明１８について」の「（２）判断」ですでに検討した相違点１８と同様に、上記相違点２２は、それによって発明の進歩性が生じるものではない。
イ　本件発明２２が奏する作用効果について
　そして、本件発明２２によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
ウ　よって、本件発明２２は、本件発明２０と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２２は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
２３　本件発明２３について
（１）本件発明２３と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明２３と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「２０　本件発明２０について」の「（１）本件発明２０と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２０に加えて次の相違点２３において相違する。
イ　相違点２３
　本件発明２３においては「第１及び第２の浸液は、それぞれ水を含む」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点２０について
　相違点２０については、上記「２０　本件発明２０について」の「（２）判断」において既に検討したとおり、上記相違点２０によって発明の進歩性が生じるものではない。
（イ）相違点２３について
　相違点２３は、上記「２　本件発明２について」の「（１）本件発明２と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」で述べた相違点２と同様の相違点である。よって、相違点２については、上記「２　本件発明２について」の「（２）判断」ですでに検討した相違点２と同様に、上記相違点２３に係る本件発明２３の発明特定事項を得ることはことは当業者が容易に想到し得ることである。
イ　本件発明２３が奏する作用効果について
　そして、本件発明２３によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
ウ　よって、本件発明２３は、本件発明２０と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２３は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
２４　本件発明２４について
（１）本件発明２４と引用発明の対比・一致点・相違点
　本件発明２４と引用発明を対比すると、上記「３　本件発明３について」の「（１）本件発明３と引用発明の対比・一致点・相違点」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点（「前記第１の浸液は、前記第２の浸液と分離されている」ことにおいても一致しすることも含む）において一致し、そして、「２０　本件発明２０について」の「（１）本件発明２０と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２０において相違する。
　
（２）判断
ア　相違点２０についての検討
　相違点２０については、上記「２０　本件発明２０について」の「（２）判断」において既に検討したとおり、上記相違点２０によって発明の進歩性が生じるものではない。
イ　本件発明２４が奏する作用効果について
　そして、本件発明２４によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
ウ　よって、本件発明２４は、本件発明２０と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２４は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
２５　本件発明２５について
（１）本件発明２５と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明２５と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「２０　本件発明２０について」の「（１）本件発明２０と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２０に加えて次の相違点２５において相違する。
イ　相違点２５
　本件発明２５においては「前記光学系本体と前記光透過部材との間に、前記第１の浸液を供給するとともに、供給した前記第１の浸液を回収する第１供給回収機構をさらに備える」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点２０について
　相違点２０については、上記「２０　本件発明２０について」の「（２）判断」において既に検討したとおり、上記相違点２０によって発明の進歩性が生じるものではない。
（イ）相違点２５について
　相違点２５については、甲第１２号証刊行物に記載されている技術的事項である。（上記「１　本件発明１について」の「（２）甲第１２号証刊行物に記載された発明」の「ア　甲第１２号証の記載事項」の（ケ）（コ）及び図面の記載（ナ）（ニ）から、甲第１２号証刊行物には、「光学系本体と光透過部材（光透過性板）との間に、第１の浸液を供給するとともに、供給した第１の浸液を回収する第１供給回収機構をさらに備える」ことが記載されていることは明らかである。）
　そうすると、上記相違点２５は、本件発明２５と甲第１２号証刊行物に記載されているものとの相違点ではないので、上記相違点２５によって発明の進歩性が生じるものではない。
イ　本件発明２５が奏する作用効果について
　そして、本件発明２５によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
ウ　よって、本件発明２５は、本件発明２０と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２５は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
２６　本件発明２６について
（１）本件発明２６と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明２６と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」及びで述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、そして、「２０　本件発明２０について」の「（１）本件発明２０と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２０及び「２５　本件発明２５について」の「（１）本件発明２５と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２５に加えて次の相違点２６において相違する。
イ　相違点２６
　本件発明２６においては「第１の浸液の温度を調節する温度調節装置を備え」るのに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点２０、２５について
　相違点２０及び２５については、それぞれ、上記「２０　本件発明２０について」「２５　本件発明２５について」において既に検討したとおり、それによって発明の進歩性が生じるものではない。
（イ）相違点２６について
　相違点２６は、上記「１１　本件発明１１について」の「（１）本件発明１１と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」で述べた相違点１１と同様の相違点である。よって、相違点２６については、上記「１１　本件発明１１について」の「（２）判断」ですでに検討した相違点１１と同様に、それによって発明の進歩性が生じるものではない。
イ　本件発明２６が奏する作用効果について
　そして、本件発明２６によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
ウ　よって、本件発明２６は、本件発明２５と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２６は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
２７　本件発明２７について
（１）本件発明２７と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明２７と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」及びで述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、そして、「２０　本件発明２０について」の「（１）本件発明２０と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２０、「２５　本件発明２５について」の「（１）本件発明２５と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２５及び「２６　本件発明２６について」の「（１）本件発明２６と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２６に加えて次の相違点２７において相違する。
イ　相違点２７
　本件発明２７においては「前記第１供給回収機構は、前記第１の浸液の循環系を含む」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点２０、２５及び２６について
　相違点２０、２５及び２６については、それぞれ、上記「２０　本件発明２０について」「２５　本件発明２５について」及び「２６　本件発明２６について」において既に検討したとおり、それによって発明の進歩性が生じるものではない。
（イ）相違点２７について
　相違点２７は、上記「９　本件発明９について」の「（１）本件発明９と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」で述べた相違点９と同様の相違点である。よって、相違点２７については、上記「９　本件発明９について」の「（２）判断」ですでに検討した相違点９と同様に、それによって発明の進歩性が生じるものではない。
イ　本件発明２７が奏する作用効果について
　そして、本件発明２７によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
ウ　よって、本件発明２７は、本件発明２６と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２７は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
２８　本件発明２８について
（１）本件発明２８と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明２８と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「２０　本件発明２０について」の「（１）本件発明２０と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２０に加えて次の相違点２８において相違する。
イ　相違点２８
　本件発明２８においては「前記基板と前記光透過部材との間に、前記第２の浸液を供給するとともに、前記第２の浸液を回収する第２供給回収機構をさらに備える」のに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点２０について
　相違点２０については、上記「２０　本件発明２０について」の「（２）判断」において既に検討したとおり、上記相違点２０によって発明の進歩性が生じるものではない。
（イ）相違点２８について
　相違点２８については、甲第１２号証刊行物に記載されている技術的事項である。（上記「１　本件発明１について」の「（２）甲第１２号証刊行物に記載された発明」の「ア　甲第１２号証の記載事項」の（ケ）（コ）及び図面の記載（ナ）（ニ）から、甲第１２号証刊行物には、「基板と光透過部材（光透過性板）との間に、第２の浸液を供給するとともに、第２の浸液を回収する第２供給回収機構をさらに備える」ことが記載されていることは明らかである。）
　そうすると、上記相違点２８は、本件発明２８と甲第１２号証刊行物に記載されているものとの相違点ではないので、上記相違点２８によって発明の進歩性が生じるものではない。
イ　本件発明２８が奏する作用効果について
　そして、本件発明２８によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
ウ　よって、本件発明２８は、本件発明２０と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２８は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
２９　本件発明２９について
（１）本件発明２９と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明２９と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」及びで述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、そして、「２０　本件発明２０について」の「（１）本件発明２０と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２０及び「２８　本件発明２８について」の「（１）本件発明２８と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２８に加えて次の相違点２９において相違する。
イ　相違点２９
　本件発明２９においては「第２の浸液の温度を調節する温度調節装置を備え」るのに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点２０、２８について
　相違点２０及び２８については、それぞれ、上記「２０　本件発明２０について」「２８　本件発明２８について」において既に検討したとおり、それによって発明の進歩性が生じるものではない。
（イ）相違点２９について
　相違点２９は、上記「１１　本件発明１１について」の「（１）本件発明１１と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」で述べた相違点１１と同様の相違点である。よって、相違点２９については、上記「１１　本件発明１１について」の「（２）判断」ですでに検討した相違点１１と同様に、それによって発明の進歩性が生じるものではない。
イ　本件発明２９が奏する作用効果について
　そして、本件発明２９によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
ウ　よって、本件発明２９は、本件発明２８と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明２９は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
３０　本件発明３０について
（１）本件発明３０と引用発明の対比・一致点・相違点
ア　本件発明３０と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」及びで述べたのと全く同様の対応関係にあり、「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「２０　本件発明２０について」の「（１）本件発明２０と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２０、「２８　本件発明２８について」の「（１）本件発明２８と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２８及び「２９　本件発明２９について」の「（１）本件発明２９と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２９に加えて次の相違点３０において相違する。
イ　相違点３０
　本件発明３０においては「前記第２供給回収機構は、前記第２の浸液の循環系を含む」るのに対して、引用発明においては、その点の特定がない点。
　
（２）判断
ア　各相違点についての検討
（ア）相違点２０、２８及び２９について
　相違点２０、２８及び２９については、それぞれ、上記「２０　本件発明２０について」「２８　本件発明２８について」及び「２９　本件発明２９について」において既に検討したとおり、それらによって発明の進歩性が生じるものではない。
（イ）相違点３０について
　相違点３０は、上記「９　本件発明９について」の「（１）本件発明９と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」で述べた相違点９と同様の相違点である。よって、相違点３０については、上記「９　本件発明９について」の「（２）判断」ですでに検討した相違点９と同様に、それによって発明の進歩性が生じるものではない。
イ　本件発明３０が奏する作用効果について
　そして、本件発明３０によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
ウ　よって、本件発明３０は、本件発明２９と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明３０は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
３１　本件発明３１について
（１）本件発明３１と引用発明の対比・一致点・相違点
　本件発明３１と引用発明を対比すると、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「ア」で述べた対応関係に加え次の対応関係がある。
　すなわち、引用発明の「集積半導体回路を製造するためのフォトリソグラフィ法」が、本件発明３１の「投影露光装置を用いるデバイス製造方法」ことに相当する。
　そうすると、本件発明３１と引用発明とは、上記「１　本件発明１について」の「（３）本件発明１と引用発明の対比」の「イ　一致点」で述べた一致点において一致し、そして、「２０　本件発明２０について」の「（１）本件発明２０と引用発明の対比・一致点・相違点」の「イ」の相違点２０において相違する。
　
（２）判断
ア　相違点２０についての検討
　相違点２０については、上記「２０　本件発明２０について」の「（２）判断」において既に検討したとおり、上記相違点２０によって発明の進歩性が生じるものではない。
イ　本件発明３１が奏する作用効果について
　そして、本件発明３１によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
ウ　よって、本件発明３１は、本件発明２０と同様に引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであり、本件発明３１は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
３２　まとめ
　以上のとおり、本件発明１〜３１は、いずれも、甲第１２号証に記載された発明、周知技術及び技術常識に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものである。
　
第５　結論
　以上のとおりであるから、他の無効理由および証拠を検討するまでもなく、本件特許第４４９２５３９号の請求項１ないし３１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し無効とすべきものである。
　
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
  
 　よって、結論のとおり審決する。