(57)【要約】【課題】基板のエッジの両板面両角を研磨すると共に、研磨部位に冷却水及びリンス用水を噴射しながら噴射水及びミストやカレットをカバー内に回収する面取り研磨装置を提供する。【解決手段】基板ａを吸引保持するテーブルＡと、基板ａのエッジの上下板面の両角を研磨する突条５が交互に噛み合いモーターに接続した櫛歯状上側砥石３及び下側砥石４と、砥石３、４を覆い基板ａの研磨部分が嵌入する開口１０を有するカバー７と、開口１０に向けてエアーと研削用冷却水との混合流体及びリンス用水とエアーとの混合流体を噴出する上側ノズル１１及び下側ノズル１２と、カバー７内を吸引する吸引口２０と、テーブルＡとカバー７の片方を進退走行させる走行手段Ｂとからなる構成を採用する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
上面に供給載置した基板を保持する吸引機能付きのテーブルと、このテーブルの前方に前記テーブルの前縁から突出する上記基板のエッジの上下板面の両角を研磨する突条が交互に噛み合うようにして上下に配置した櫛歯状上側砥石及び下側砥石と、この上側砥石及び下側砥石の中心にドライブ軸を接続した第１モーター及び第２モーターと、上記上側砥石及び下側砥石を覆うと共に、上記テーブル側周壁に上記保持基板の研磨エッジ部分が嵌入するように設けた開口を有するカバーと、上記テーブルから突出する基板のエッジ上下面から上記開口に向けてエアーと研削用冷却水との混合流体及びリンス用水とエアーとの混合流体を噴出するように設けた上側ノズル及び下側ノズルと、上記カバー内を吸引するように設けた吸引口と、上記テーブル或いは上記カバーの片方を左右方向に進退走行させるように設けた走行手段とからなる面取り研磨装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この考案は、ガラス基板・セラミック板などの基板のエッジの両板面側の縁を面取り加工する研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板材の端面の両板面両角を砥粒付回転ホイール（マルチ砥石）により面取り研削加工を行う方式がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２２３０２７号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１の研削加工方式によると、板材の端面両角に砥粒付回転ホイールの周面を当接させて、面取り加工を行っている。
【０００５】
このような方式によると、研削にともない飛散するスラッジやカレットの回収手段がないため、飛散したスラッジやカレットが板材の板面に付着するので、次工程でのスラッジやカレットの除去作業が必要になる問題があった。
【０００６】
また、研削にともなう昇温により研削部の焼けが発生することもある。
【０００７】
さらに、上述の問題にともない板材の板面が汚れ、この汚れによる不都合をなくするため、次工程での洗滌作業が必要になる問題もあった。
【０００８】
そこで、この考案は、上記の問題を解決した研磨装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、この考案は、上面に供給載置した基板を保持する吸引機能付きのテーブルと、このテーブルの前方に前記テーブルの前縁から突出する上記基板のエッジの上下板面の両角を研磨する突条が交互に噛み合うようにして上下に配置した櫛歯状上側砥石及び下側砥石と、この上側砥石及び下側砥石の中心にドライブ軸を接続した第１モーター及び第２モーターと、上記上側砥石及び下側砥石を覆うと共に、上記テーブル側周壁に上記保持基板の研磨エッジ部分が嵌入するように設けた開口を有するカバーと、上記テーブルから突出する基板のエッジ上下面から上記開口に向けてエアーと研削用冷却水との混合流体及びリンス用水とエアーとの混合流体を噴出するように設けた上側ノズル及び下側ノズルと、上記カバー内を吸引するように設けた吸引口と、上記テーブル或いは上記カバーの片方を左右方向に進退走行させるように設けた走行手段とからなる構成を採用する。
【考案の効果】
【００１０】
以上のように、この考案の研磨装置によれば、テーブル上に供給載置してある吸引保持基板の研磨エッジを開口からカバー内に嵌入し、この状況下でテーブルと共に基板を走行手段により走行させる（テーブルに代えてカバーと共に上側砥石及び下側砥石を走行することも可）。
【００１１】
この走行にともない上側ノズルから基板の上面に、また下側ノズルから基板の下面に供給エアーと供給冷却水との混合流体及びリンス用水とエアーとの混合流体を噴射しつつ、上側砥石と下側砥石との噛み合う研磨突条を基板のエッジの上角、下角にそれぞれ当接させて、エッジの上角及び下角を研磨するので、両角を同時に面取り研磨することができる。
【００１２】
すなわち、上下の砥石による研磨の際の焼けの防止や研磨にともなう研磨効率の向上及び研削速度の向上にもつながり、また研削部位に付着するスラッジなどの除去にも効果があると共に、砥石が持つ極限迄の能力が引き出せると同時に、ドレス回数も少なく処理でき、そしてカバー内の吸引にともない外部への水の飛散やカレットの飛散もなく回収できる。
【００１３】
そして、リンス水とエアーの噴射にともない基板面の汚れによる不都合をなくすると共に、カバー内の吸引にともない噴射リンス水や汚れた水をカバー内に吸引回収し、その結果、外部への汚水の飛散をなくすることができる。
【００１４】
なお、上述の効果により、外部への飛散にともなう研削後に検査（カメラの読み取りにともなう）によるチッピングなどの読み取り誤検査にともない不良品との判断が回避できる。その要因は、カバー内の吸引にともない水滴が残留しないことによる。すなわち、二つの流体噴出ノズルを上下の砥石を被う吸引機能付カバーの搭載による。
【００１５】
このとき、研磨（研削）にともなう混合流体のミスト及びミストに混入するカレットも開口からカバー内に流入し、またリンス用水とエアーとの混合流体で流れを洗い落としてカバー内の吸引にともない吸引口に向かうので、カバー内にミストやカレットを回収し、飛散による開口の外側の基板板面に付着する不都合、すなわち、汚れや研磨後の付着物の洗滌除去作業などが簡素化される。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】この考案の実施形態を示す一部切欠側面図である。
【図２】同上の一部切欠背面図である。
【図３】回転砥石の部分を示す一部切欠背面図である。
【図４】ノズルと回転砥石の部分を示す一部切欠拡大側面図である。
【図５】混合流体の供給を示す正面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１７】
以下、この考案の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
この考案の実施形態では、図１から図４に示すように、Ａは上面に供給載置したガラス基板、セラミック基板などの基板ａを保持する吸引保持機能付きのテーブルである。
【００１８】
このテーブルＡは、図１に示すように、中空ボックス１と、このボックス１の下面に設けた吸引口に吸引ホース（図示省略）を接続してボックス１内を吸引し、ボックス１の頂壁に設けてある小孔２群によりボックス１上に基板ａを保持させるようになっている。
【００１９】
なお、テーブルＡ上に保持した基板ａの研磨エッジ縁は、テーブルＡの辺縁からはみ出すように前方に突出させてある。
【００２０】
また、テーブルＡの前方には、基板ａのエッジの上下縁をそれぞれ研磨（研削）して面取り加工する円形状の上側砥石３と下側砥石４とが設けてある。
【００２１】
上記の上側砥石３及び下側砥石４は、図２、３、４に示すように、基板ａのエッジの上下板面の上下両角を研摩（研削）する研摩用環状の突条５が交互に噛み合うように（嵌め込む）櫛歯状に並列に設けてある（この並列は、図２、３に示す場合、上側砥石３に二条、下側砥石４に一条設けたが、限定されず、そして並列条の場合は、突条５となる円板状の砥石間にスペーサ６を介在して櫛歯状になっている）。
【００２２】
そして、上記の上側砥石３及び下側砥石４は、カバー７内に組み込んで軸承すると共に、カバー７に据え付けた第１モーター８により上側砥石３が図１反時計方向に、カバー７に据え付けた第２モーター９により下側砥石４が図１時計方向に回転するように上側砥石３及び下側砥石４のセンタに第１モーター８及び第２モーター９の駆動軸２１と接続してある。
【００２３】
さらに、カバー７のテーブルＡの前縁と対向する位置には、基板ａの研磨前縁が嵌入する開口１０が設けてあり、上側砥石３と下側砥石４との両突条５により開口１０から挿入したエッジの上下両板面の角を研磨するようになっている。
【００２４】
また、カバー７に据え付けて開口１０から上記上側砥石３と下側砥石４の外周、すなわち突条５による研磨（研削）基板ａのエッジの上側板面と下側板面に向け後述の混合圧送流体を噴射する上側ノズル１１及び下側ノズル１２が設けてある。
【００２５】
なお、上側ノズル１１及び下側ノズル１２の末端側には、挿通する中空の溜まり部１３が設けてある。
【００２６】
この上側溜まり部１３と下側溜まり部１３とには、図１、５に示すように、連通する二本一組の第１通路１４からリンス用水が、第２通路１５から研磨用冷却水がそれぞれ供給され、上記第１通路１４及び第２通路１５の途中に設けてあるエアー圧入口１６からの圧送エアーによりリンス用水及び研磨用冷却水の流速が一段と高速化され、この高速化された流出噴射にともない洗滌や研磨にともなう昇温化を大幅に減少して、著しく洗滌効率を高め、かつ研磨（研削）効率を向上する以外に、カバー７内への流入（回収）を促進することができる。
【００２７】
なお、上述のカバー７内には、ミストと共に研磨にともなう研磨粉粒体も洗い流されながら回収され、カバー７の底部の吸引口２０に接続してあるホース（図示省略）をへて回収され、その結果、基板ａの汚れや、板面にカレットが残存するような不都合をなくするようになっている。勿論、上側ノズル１１及び下側ノズル１２から噴射する流体によって上側砥石３及び下側砥石４を洗滌することもできる。
【００２８】
上述の二本一組の第１通路１４及び第２通路１５は、上側砥石３の突条５が二条のために図５で示すように左右二組並設し、下側砥石４の突条５が一条のため一組設けて、各突条５にリンス用水や冷却用冷却水が充分に行き渡るようにしたが、限定されず、上側ノズル１１及び下側ノズル１２からの噴射幅を作用幅に行き渡るようにすることも可能である。
【００２９】
また、テーブルＡ或いはカバー７のいずれか片方を進退走行手段Ｂにより左右方向に往復走行するようになっている。
【００３０】
上記の走行手段Ｂは、図示の場合、テーブルＢを走行させるようにしたが、限定されず、カバー７を走行させてもよい。
【００３１】
上記の走行手段Ｂは、図示の場合、左右方向のレール１７にボックス１の下面に設けてあるスライダ１８をスライド自在に係合すると共に、レール１７とスライダ１８との滑走面に設けてあるリニアモーター１９により進退走行するようにしたが、限定されず、その他の構成によって走行するよにしてもよい。
【００３２】
すると、基板ａの走行にともない上側砥石３と下側砥石４との各突条５によって基板ａの上面下面の両角を同時に面取り研磨することができる。
図中２２は、カバー７の支持部材、２３は下側砥石４の位置決めカラーである。
【００３３】
なお、上側ノズル１１及び下側ノズル１２の噴出幅（左右方向の）は、図２に示すように、噛み合う両側突条５の並列（両左右の）間隔よりも大きくしてあり、この大きな幅により基板ａの上下研磨（研削）幅よりも広幅な範囲に噴出するようになっている。
【００３４】
上記のように構成すると、上側砥石３及び下側砥石４による研磨（研削）の際の焼けを第２通路１５から上側ノズル１１及び下側ノズル１２より噴射する冷却水により防止するので、研磨効果の向上をはかると共に、研磨速度の向上にもつながり、また研削部位に付着するスラッジなどの除去にも効果があると共に、砥石がもつ極限迄の能力が引き出せ、かつドレス回数も少なく処理でき、そしてカバー７内の吸引にともない外部への水の飛散やカレットの飛散もなく回収できる。
【００３５】
そして、第１通路１４からのリンス水とエアーの噴射にともない基板ａ面の汚れを洗い流して汚れによる不都合をなくすると共に、カバー７内の吸引にともない外部への汚れた水（リンス水の）飛散もなく回収することができる。
【００３６】
その結果、外部への飛散にともなう研磨後の検査（搭載カメラの）によるチッピングなどの読み取り誤検査にともなう不良品との判断が回避できる。その要因は、カバー７内の吸引にともなう水滴が残留しないことによる。すなわち、二つの流体の噴射した流体を吸引機能付のカバー７に吸引する。そして、搭載したカメラ（図示省略）機能の検査を組み合わせて行うことができる。
【符号の説明】
【００３７】
Ａ  テーブル
ａ  基板
Ｂ  走行手段
１  ボックス
２  小孔
３  上側砥石
４  下側砥石
５  突条
６  スペーサ
７  カバー
８  第１モータ
９  第２モータ
１０  開口
１１  上側ノズル
１２  下側ノズル
１３  溜まり部
１４  第１通路
１５  第２通路
１６  エアー圧入口
１７  レール
１８  スライダ
１９  リニアモーター
２０  吸引口
２１  駆動軸
２２  支持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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