(57)【要約】【課題】被搬送物を確実に、安定的に保持して搬送でき、保持操作と保持状態の解除操作が誰でも簡単に且つスムーズに行え、取扱い易く、使い勝手が良く、構成簡素で、量産に適し、低廉で、経済的な保持装置を提供する。【解決手段】ベースフレームＡと、ベースフレームＡに装着して上下方向に揺動自在な左右下部揺動フレームＢと、ベースフレームＡに立設固定する左右マストプレートＤと、左右マストプレートＤに装着して上下方向に揺動自在な左右上部揺動フレームＣと、左右下部揺動フレームＢの基端部と左右上部揺動フレームＣの基端部とを連設する連結杆Ｅとを備え、左右下部揺動フレームＢの先端部の左右受けプレート６の上に跨るよう被搬送物Ｈを載せ、左右受けプレート６を下方に揺動させると、左右押えプレート１１が下方に大きく揺動し、被搬送物Ｈを上方から押えて保持できるよう構成する。【選択図】図４
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ワゴンに防振体を介して装着されるベースフレームと、このベースフレームに左右の下部軸ピンを介して上下方向に揺動自在となるように夫々装着される左右の下部揺動フレームと、ベースフレームに立設固定される左右のマストプレートと、この左右のマストプレートの上部に夫々配設される左右の上部軸ピンを介して上下方向に揺動自在となるように夫々装着される左右の上部揺動フレームと、左右の下部揺動フレームの基端部と左右の上部揺動フレームの基端部とを結ぶように連設すると共に、左右の下部揺動フレームと左右の上部揺動フレームとの揺動動作を夫々連繋させる連結杆とを備え、左右の下部揺動フレームの先端部に夫々設けた左右の受けプレートの上に跨るように被搬送物を載せて、被搬送物の荷重により左右の下部揺動フレームの左右の受けプレートを下方に揺動させると、左右の上部揺動フレームの先端部に設けた左右の押えプレートが下方に大きく揺動し、被搬送物を上方から押えて保持できるように構成したことを特徴とするワゴン用被搬送物の保持装置。
【請求項２】
受けプレート上面及び押えプレート下面に緩衝シートを設けたことを特徴とする請求項１記載のワゴン用被搬送物の保持装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、適宜被搬送物（例えば、半導体ウェハー或いはその他の半導体部品或いは半導体製品或いは薬品類等を複数収納した収納ケースや、精密機器等）を、クリーンルーム内（或いはその他の場所）に於いて使用されるワゴン等に自在に載置させることができると共に、被搬送物を保持させることができるようにした保持装置に係り、被搬送物を振動させることなく確実に且つ安定的に保持して搬送できるようにすると共に、その保持操作と保持状態の解除操作が簡単に行え、取扱い易くて、使い勝手が良く、しかも、構成が簡素で、量産に適し、低廉で、経済的なものを提供できるように工夫したワゴン用被搬送物の保持装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、クリーンルーム内に於いて使用されるワゴンとしては、例えば、本願出願人によって特許文献１に示されているようなクリーンルーム用ワゴンが既に提案されている。
これは、半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を、クリーンルーム内で振動させることなく搬送できるように形成したワゴンであって、底部枠の下面に導電性を有するキャスターが複数配されているワゴン基体と、このワゴン基体の底部枠に導電性を有する防振具を介して固定される防振フレームと、この防振フレームの棚枠に導電性を有する防振具を介して固定される適数の防振トレーとからなり、この防振トレーには、複数の被搬送物が収納されるケースを載置可能となるような複数の収容凹部を形成したものである。
【０００３】
【特許文献１】実用新案登録第３１２４４２２号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前述のようなクリーンルーム用ワゴンの提供により、ケースを安定した状態で載置できると共に、ケース内の被搬送物の振動を低減できるようになった。
しかしながら、本願考案者は、これに満足することなくその研究開発を継続していたもので、この度、被搬送物を振動させることなくより確実に且つ安定的に保持して搬送でき、また、その保持操作と保持状態の解除操作が簡単に且つスムーズに行え、取扱い易くて、使い勝手が良く、しかも、構成が簡素で、量産に適し、低廉で、経済的なワゴン用被搬送物の保持装置を案出することができたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
しかして、前述の如き課題等を達成すべく、請求項１記載のワゴン用被搬送物の保持装置にあっては、ワゴンＷに防振体Ｇを介して装着されるベースフレームＡと、このベースフレームＡに左右の下部軸ピンＦ１を介して上下方向に揺動自在となるように夫々装着される左右の下部揺動フレームＢと、ベースフレームＡに立設固定される左右のマストプレートＤと、この左右のマストプレートＤの上部に夫々配設される左右の上部軸ピンＦ３を介して上下方向に揺動自在となるように夫々装着される左右の上部揺動フレームＣと、左右の下部揺動フレームＢの基端部と左右の上部揺動フレームＣの基端部とを結ぶように連設すると共に、左右の下部揺動フレームＢと左右の上部揺動フレームＣとの揺動動作を夫々連繋させる連結杆Ｅとを備え、左右の下部揺動フレームＢの先端部に夫々設けた左右の受けプレート６の上に跨るように被搬送物Ｈを載せて、被搬送物Ｈの荷重により左右の下部揺動フレームＢの左右の受けプレート６を下方に揺動させると、左右の上部揺動フレームＣの先端部に設けた左右の押えプレート１１が下方に大きく揺動し、被搬送物Ｈを上方から押えて保持できるように構成する手段を採用した。
【０００６】
また、請求項２記載のワゴン用被搬送物の保持装置にあっては、受けプレート６上面及び押えプレート１１下面に緩衝シートを設ける手段を採用した。
【考案の効果】
【０００７】
従って、本考案の請求項１記載の保持装置によれば、搬送時に生じるワゴンＷの振動（或いは、不意の衝撃）は、ワゴンＷとベースフレームＡとの間に介装される防振体Ｇによって低減されるようになり、被搬送物Ｈを振動（或いは、不意の衝撃）から確実に保護できるようになる。更に、被搬送物Ｈを上下で挟むように保持でき、搬送中に被搬送物Ｈがズレたり、落下したり、或いは跳ねたりする虞のないものとなる。
特に、左右の下部揺動フレームＢの先端部に夫々設けた左右の受けプレート６の上に跨るように被搬送物Ｈを載せて、被搬送物Ｈの荷重により左右の下部揺動フレームＢの左右の受けプレート６を下方に揺動させると、左右の上部揺動フレームＣの先端部に設けた左右の押えプレート１１が下方に大きく揺動し、被搬送物Ｈを上方から押えて保持できるように構成したので、被搬送物Ｈをより確実に且つ安定的に保持して搬送できるようになり、加えて、その保持操作と保持状態の解除操作が誰でも簡単に且つスムーズに行えるようになり、取扱い易くて、使い勝手が良いものとなる。
しかも、保持装置自体の構成が簡素で、量産に適し、低廉で、経済的に提供できるものとなる。
【０００８】
また、本考案の請求項２記載の保持装置によれば、受けプレート６上面及び押えプレート１１下面に設けた緩衝シートによって、被搬送物Ｈへの密着性が良くなり、滑り止め効果も発揮できるようになり、被搬送物Ｈや受けプレート６の損傷を防止できるようになり、被搬送物Ｈをガタつくことなくより安定的に保持できるようになると共に、被搬送物Ｈの保護にも役立つようになる。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本考案を図示例に基づいて説明すると、次の通りである。
本考案は、例えば、クリーンルーム内（或いはその他の場所でも良い）に於いて使用される適宜ワゴンＷに装着されるワゴン用被搬送物の保持装置で、この保持装置は、適宜被搬送物Ｈ（例えば、半導体ウェハー或いはその他の半導体部品或いは半導体製品或いは薬品類等を複数収納した収納ケースや、精密機器等）を、簡単に載置できて、安定的に保持させることができ、この保持状態のまま搬送でき、また、その保持状態を簡単に解除することができるように構成されたものである。
具体的には、ワゴンＷに防振体Ｇを介して装着されるベースフレームＡと、このベースフレームＡに左右の下部軸ピンＦ１を介して上下方向に揺動自在となるように夫々装着される左右の下部揺動フレームＢと、ベースフレームＡに立設固定される左右のマストプレートＤと、この左右のマストプレートＤの上部に夫々配設される左右の上部軸ピンＦ３を介して上下方向に揺動自在となるように夫々装着される左右の上部揺動フレームＣと、左右の下部揺動フレームＢの基端部と左右の上部揺動フレームＣの基端部とを結ぶように連設すると共に、左右の下部揺動フレームＢと左右の上部揺動フレームＣとの揺動動作を夫々連繋させる連結杆Ｅとを備えている。
そして、左右の下部揺動フレームＢの先端部に夫々設けた左右の受けプレート６の上に跨るように被搬送物Ｈを載せて、被搬送物Ｈの荷重により左右の下部揺動フレームＢの左右の受けプレート６を下方に揺動させると、左右の上部揺動フレームＣの先端部に設けた左右の押えプレート１１が下方に大きく揺動し、被搬送物Ｈを上方から押えて保持できるように構成することにより、前記課題を達成できるようにした。
【実施例】
【００１０】
前記ベースフレームＡは、例えば、導電性を有する適宜金属材によって略矩形枠状に形成されている。しかも、ワゴンＷの上部枠部材より僅かに小さい寸法に形成されている。すなわち、ワゴンＷの上部枠部材より側方に突出することがなく、側壁等にベースフレームＡが直に接触して、衝撃や振動を受けないように形成してある。
更に、ベースフレームＡには、ワゴンＷの上部枠材に設けた横架材に対峙するような横架材１が左右に配設されており、この横架材１と上部枠材の横架材との間に複数の防振体Ｇが介装されて、ワゴンＷの振動がベースフレームＡに伝わり難くなるように構成されている。
また、ベースフレームＡの長手方向の枠材夫々の内側には、矩形板を略Ｌ字状に折曲したようなストッパー２が固定されており、このストッパー２は、下部揺動フレームＢの先端部分が所定位置（被搬送物Ｈが保持状態となる位置）まで下方に揺動した時に当接して、左右の下部揺動フレームＢを支えられるように形成したものである（図４参照）。
【００１１】
前記下部揺動フレームＢは、例えば、正面略く字形帯板状を呈すると共に所定間隔に離れた状態に配される一対の下部揺動アーム５と、この一対の下部揺動アーム５の先端部分を結ぶように配される受けプレート６と、一対の下部揺動アーム５の基端部分を結ぶように配される横架連結材７とによって平面略矩形枠状に形成されている。しかも、これらは、導電性を有する適宜金属材によって形成されている。
また、下部揺動フレームＢは、ベースフレームＡの所定位置に装着されている下部軸ピンＦ１によって一対の下部揺動アーム５夫々の中央部分が貫通されるように形成してあり、下部軸ピンＦ１を支点として上下方向に揺動自在となるように構成されている。
更に、横架連結材７には、略細長帯板状の係止突片８が固着（或いは一体的に連設）されており、この係止突片８は、下部揺動フレームＢの先端部分が所定位置（被搬送物Ｈの保持状態が解除されていて下部揺動フレームＢの先端部分が最も高い位置）まで上方に揺動した時に、ベースフレームＡの短手方向の枠材上面に当接して、左右の下部揺動フレームＢを支えられるように形成したものである（図２参照）。尚、係止突片８下面（或いはベースフレームＡの短手方向の枠材上面）には、適宜クッション材を固定しておき、係止突片８がベースフレームＡの短手方向の枠材上面に当接する際に緩衝材となるように形成してあっても良い。
加えて、一対の下部揺動アーム５の基端寄り部分には、これらを貫通するような下部連結軸Ｆ２が装着されている。
【００１２】
前記受けプレート６は、被搬送物Ｈの底部を安定的に受けられるように形成されたものであれば良く、しかも、その上面には、例えば、シリコン製の緩衝シートが接着されて、被搬送物Ｈへの密着性を良くし、滑り止め効果を発揮できるようにし、被搬送物Ｈや受けプレート６の損傷を防止できるようにし、また、被搬送物Ｈをガタつくことなくより安定的に保持できて、被搬送物Ｈの保護にも役立つように構成してある。
【００１３】
前記上部揺動フレームＣは、例えば、正面略変形Ｌ字形帯板状を呈すると共に所定間隔に離れた状態に配される一対の上部揺動アーム１０と、この一対の上部揺動アーム１０の先端部分を結ぶように配される押えプレート１１とによって平面略溝枠状に形成されている。しかも、これらは、導電性を有する適宜金属材によって形成されている。
また、上部揺動フレームＣは、一対のマストプレートＤの上部を貫通するように装着されている上部軸ピンＦ３によって一対の上部揺動アーム１０夫々の中央部分が貫通されるように形成してあり、この上部軸ピンＦ３を支点として上下方向に揺動自在となるように構成されている。
加えて、一対の上部揺動アーム１０の基端寄り部分には、これらを貫通するような上部連結軸Ｆ４が装着されている。
【００１４】
前記押えプレート１１は、被搬送物Ｈの上部を安定的に押えられるように形成されたものであれば良く、しかも、その下面には、例えば、シリコン製の緩衝シートが接着されて、被搬送物Ｈへの密着性を良くし、滑り止め効果を発揮できるようにし、被搬送物Ｈや押えプレート１１の損傷を防止できるようにし、また、被搬送物Ｈをガタつくことなくより安定的に保持できて、被搬送物Ｈの保護にも役立つように構成してある。
【００１５】
前記マストプレートＤは、例えば、導電性を有する適宜金属板材によって形成され、ベースフレームＡの長手方向の枠材の左右端部寄りに夫々固着されている。しかも、左右にある一対のマストプレートＤの上部相互を結ぶように上部軸ピンＦ３が夫々横架配設されている。すなわち、マストプレートＤは、上部揺動フレームＣを安定的に支えられるようにすると共に、被搬送物Ｈの保持操作の邪魔にならないように形成されたものであれば良い。
【００１６】
前記連結杆Ｅは、例えば、導電性を有する略細長帯板状の適宜金属材によって形成され、その上端部分は上部連結軸Ｆ４に貫通され、その下端部分は下部連結軸Ｆ２に貫通され、下部揺動フレームＢの基端部分と上部揺動フレームＣの基端部分を連結できるように設けられたものである。すなわち、下部揺動フレームＢと上部揺動フレームＣとを連繋せしめて、下部揺動フレームＢの受けプレート６に被搬送物Ｈを載せて、その負荷により下部揺動フレームＢを下方に揺動させたときに、連結杆Ｅによって上部揺動フレームＣが大きく下方に揺動して、押えプレート１１によって被搬送物Ｈを上方から押えられるようにしたものである。尚、下部揺動フレームＢの揺動量に対する上部揺動フレームＣの揺動量は、下部軸ピンＦ１と下部連結軸Ｆ２の間隔と、上部軸ピンＦ３と上部連結軸Ｆ４の間隔との割合を調節することにより自由に設定できるようになる。
【００１７】
前記防振体Ｇは、例えば、導電性を有する適宜ゴム材等によって構成され、ワゴンＷの振動がベースフレームＡ（保持装置）に伝わり難くなるように形成されたものであれば良い。
【００１８】
前記ワゴンＷは、クリーンルーム内等をスムーズに移動させることができるように構成されると共に、発生した静電気を導電性のあるクリーンルームの床部に流すことができるように構成されたものが望ましい。
加えて、前記ベースフレームＡや下部揺動フレームＢや上部揺動フレームＣやマストプレートＤや連結杆Ｅや下部軸ピンＦ１や下部連結軸Ｆ２や上部軸ピンＦ３や上部連結軸Ｆ４や防振体Ｇ等も導電性を有する材料によって構成され、保持装置自体に発生した静電気等が、ワゴンＷを介してクリーンルームの床部に流すことができるように構成されている。すなわち、保持装置自体に発生した静電気等が、被搬送物Ｈに悪影響を与えることがないように配慮したものであれば良い。
【００１９】
前記被搬送物Ｈは、例えば、半導体ウェハー或いはその他の半導体部品或いは半導体製品を複数収納した合成樹脂製の収納ケースや、薬品類を複数収納した収納ケースや、検査機等の精密機器等があり、これらの具体的寸法、形状に応じて、受けプレート６の形状や間隔、押えプレート１１の形状や間隔等を設定、変更できるものである。
【００２０】
ところで、保持装置の具体的構成、形状、寸法、材質、ワゴンＷへの具体的搭載手段、搭載位置、ベースフレームＡの具体的構成、形状、寸法、材質、横架材１の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、ストッパー２の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、下部揺動フレームＢの具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、下部揺動アーム５の具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、受けプレート６の具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、横架連結材７の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、係止突片８の具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、上部揺動フレームＣの具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、上部揺動アーム１０の具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、押えプレート１１の具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、マストプレートＤの具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、連結杆Ｅの具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、下部軸ピンＦ１の具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、下部連結軸Ｆ２の具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、上部軸ピンＦ３の具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、上部連結軸Ｆ４の具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、防振体Ｇの具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、ワゴンＷの具体的構成、形状、寸法、材質等は図示例のもの等に限定されることなく適宜自由に設定、変更できるものである。
【００２１】
本考案の保持装置は前述の如く構成されており、これを使用する場合は、例えば、作業者が被搬送物Ｈを持って、左右の下部揺動フレームＢの先端部に夫々設けた左右の受けプレート６の上に跨るように被搬送物Ｈを載せる（図２、図３参照）。すると、被搬送物Ｈの荷重（自重）によって被搬送物Ｈが降下すると共に、ストッパー２に当接するまで下部揺動フレームＢが揺動する。このとき、上部揺動フレームＣは、連結杆Ｅによって大きく下方に揺動し、左右の上部揺動フレームＣの先端部に設けた左右の押えプレート１１が被搬送物Ｈを上方から押えて被搬送物Ｈが保持状態となる（図４、図５参照）。
そして、この保持状態を解除するには、作業者が被搬送物Ｈを直に持ち上げるだけで良く、他の場所に簡単に持ち運べるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本考案の保持装置をワゴンに設置した状態を例示する正面図である。
【図２】本考案の保持装置を例示する縦断正面図である。
【図３】本考案の保持装置を例示する一部切欠平面図である。
【図４】本考案の保持装置を例示する縦断正面図である。
【図５】本考案の保持装置を例示する一部切欠平面図である。
【符号の説明】
【００２３】
Ａ      ベースフレーム
１      横架材
２      ストッパー
Ｂ      下部揺動フレーム
５      下部揺動アーム
６      受けプレート
７      横架連結材
８      係止突片
Ｃ      上部揺動フレーム
１０    上部揺動アーム
１１    押えプレート
Ｄ      マストプレート
Ｅ      連結杆
Ｆ１    下部軸ピン
Ｆ２    下部連結軸
Ｆ３    上部軸ピン
Ｆ４    上部連結軸
Ｇ      防振体
Ｈ      被搬送物
Ｗ      ワゴン
【図１】
0003148508.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
0003148508.tif 000006
【図５】
0003148508.tif 000007