(57)【要約】      （修正有）【課題】真空チャンバ内などの圧力を微調整することができるコンダクタンス調整装置を提供する。【解決手段】第１開口部２０を備えるハウジングと、ハウジングに一方の端部が支持される複数の羽根部１４、１６と、第２開口部を備えるとともに羽根部１４、１６の他方の端部を支持する回転体と、を有し、回転体がハウジング１４に対して円周方向一方側に向かって回転することにより羽根部１４、１６を移動させて第１開口部２０と第２開口部との連通孔４８の開口面積を拡大し、回転体がハウジング１２に対して円周方向他方側に向かって回転することにより羽根部１４、１６を移動させて連通孔４８の開口面積を縮小するコンダクタンス調整装置１０であって、羽根部１４、１６に、回転体がハウジングに対して円周方向他方側に向かって回転したときに、連通孔４８を閉塞する遮蔽部４０を設けた。【選択図】図６
0003149153.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
第１開口部を備えるハウジングと、前記ハウジングに一方の端部が支持される複数の羽根部と、第２開口部を備えるとともに前記羽根部の他方の端部を支持する回転体と、を有し、前記回転体が前記ハウジングに対して円周方向一方側に向かって回転することにより前記羽根部を移動させて前記第１開口部と前記第２開口部との連通孔の開口面積を拡大し、前記回転体が前記ハウジングに対して円周方向他方側に向かって回転することにより前記羽根部を移動させて前記連通孔の開口面積を縮小するコンダクタンス調整装置であって、
前記羽根部に、前記回転体が前記ハウジングに対して円周方向他方側に向かって回転したときに、前記連通孔を閉塞する遮蔽部を設けたことを特徴とするコンダクタンス調整装置。
【請求項２】
前記遮蔽部は、対向する一対の羽根部の各々から延在して設けられた延在部であり、
前記延在部は、直線に延びた直線状端部を有し、
前記回転体が前記ハウジングに対して円周方向他方側に向かって回転したときに、前記延在部の前記直線状端部が相互に当接して前記連通孔を閉塞することを特徴とする請求項１に記載のコンダクタンス調整装置。
【請求項３】
前記延在部に、相互に当接したときに面接触するための厚肉部を設けたことを特徴とする請求項２に記載のコンダクタンス調整装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、半導体製造装置などの圧力調整用に使用されているＡＰＣ（Ａｄａｐｔｉｖｅ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）バルブに適用されるコンダクタンス調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体製造装置などでは、プロセスにおいて反応ガスをより効果的に反応させるため、真空チャンバ内の圧力を調整する必要がある。そこで、従来から、真空チャンバ内の圧力を調整するために、真空チャンバと排気ポンプとの間にＡＰＣバルブを取り付けて排気流量を調整している。
【０００３】
このＡＰＣバルブには、コンダクタンス調整装置が使用されている。このコンダクタンス調整装置として、カメラの絞り機構を設けている。ここで、カメラの絞り機構は、複数の羽根部と、各羽根部を回転可能に支持する円筒と、を有し、円筒をモータなどにより回転させることにより、各羽根部を円周方向に移動させて開口部の面積（開口面積）を拡大又は縮小させる（下記特許文献１参照）。これにより、開口部の面積（開口面積）を調整することができる。
【特許文献１】実開昭６０−１６７８６３号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、カメラの絞り機構の各羽根部を回転させて開口部の面積を縮小した場合でも、開口部の面積はゼロにならない。換言すれば、カメラの絞り機構の円筒を最大限に回転させた場合でも、開口部が消滅することがない。このため、カメラの絞り機構の各羽根部を回転させて開口部の面積を縮小した場合でも流体が開口部の僅かな隙間から漏れるため、真空チャンバ内の圧力を微調整することができない。
【０００５】
そこで、本考案は、真空チャンバ内などの圧力を微調整することができるコンダクタンス調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の考案は、第１開口部を備えるハウジングと、前記ハウジングに一方の端部が支持される複数の羽根部と、第２開口部を備えるとともに前記羽根部の他方の端部を支持する回転体と、を有し、前記回転体が前記ハウジングに対して円周方向一方側に向かって回転することにより前記羽根部を移動させて前記第１開口部と前記第２開口部との連通孔の開口面積を拡大し、前記回転体が前記ハウジングに対して円周方向他方側に向かって回転することにより前記羽根部を移動させて前記連通孔の開口面積を縮小するコンダクタンス調整装置であって、前記羽根部に、前記回転体が前記ハウジングに対して円周方向他方側に向かって回転したときに、前記連通孔を閉塞する遮蔽部を設けたことを特徴とする。
【０００７】
請求項１に記載の考案によれば、回転体がハウジングに対して円周方向他方側に最大限に回転したときに、羽根部に設けられた遮蔽部により連通孔が閉塞される。これにより、コンダクタンス調整装置を絞った場合に、第１開口部と第２開口部との連通孔が閉塞され、その開口面積がゼロになる。これにより、圧力の微調整が可能になり、コンダクタンス調整装置の圧力調整精度を高めることができる。
【０００８】
請求項２に記載の考案は、請求項１に記載のコンダクタンス調整装置において、前記遮蔽部は、対向する一対の羽根部の各々から延在して設けられた延在部であり、前記延在部は、直線に延びた直線状端部を有し、前記回転体が前記ハウジングに対して円周方向他方側に向かって回転したときに、前記延在部の前記直線状端部が相互に当接して前記連通孔を閉塞することを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の考案によれば、対向する一対の羽根部の各々から延在して設けられた延在部同士が当接することにより、第１開口部と第２開口部との連通孔が閉塞さる。このとき、各延在部の各直線状端部同士が接触することにより、各延在部は隙間なく接触することが可能になる。この結果、圧力の微調整を確実に行うことができ、コンダクタンス調整装置の圧力調整精度をさらに高めることができる。
【００１０】
請求項３に記載の考案は、請求項２に記載のコンダクタンス調整装置において、前記延在部に、相互に当接したときに面接触するための厚肉部を設けたことを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の考案によれば、各延在部が相互に当接したときに、厚肉部によって相互に面接触する。このため、例えば、各羽根部を薄材（強度の低い材質）で構成した場合でも、各延在部が面接触していることにより、各延在部が破損したり、曲げ変形することを防止できる。これにより、各延在部同士の接触精度を高め、かつ安定させることができる。この結果、コンダクタンス調整装置の圧力調整精度を一層高めることができる。
【考案の効果】
【００１２】
本考案によれば、真空チャンバ内などの圧力を微調整することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に、本考案の第1実施形態に係るコンダクタンス調整装置について説明する。本考案のコンダクタンス調整装置は、一例として、半導体製造装置などの圧力調整用に使用されている排気系のＡＰＣバルブに適用されるものであるが、これに限定されるものではなく、気体、液体、粉体、光、音などの誘導途中における絞り機構として広く適用することができる。
【００１４】
図１乃至図４に示すように、コンダクタンス調整装置１０（図６参照）は、ハウジング１２と、複数の第１羽根部１４と、複数の第２羽根部１６と、回転体１８と、を備えている。
【００１５】
ハウジング１２は、全体として円環状に形成されており、その中央部には貫通孔となる第１開口部２０が形成されている。また、ハウジング１２には、円周方向に沿って複数の軸受孔２２が形成されている。本実施形態では、各軸受孔２２は、合計１８個形成されており、隣接する軸受孔２２の開き角度が約２０°の等角度となるように設定されている。
【００１６】
第１羽根部１４は、全体として湾曲状（ブーメラン形状）に形成されている。第１羽根部１４の一方側端部には、湾曲部２４が形成されている。また、第１羽根部１４の湾曲部２４の表面側には、固定ピン２６が設けられている。また、第１羽根部１４の他方側端部には、直線状の傾斜部２８が形成されている。また、第１羽根部１４の傾斜部２８の裏面側には、駆動ピン３０が設けられている。なお、本実施形態では、第１羽根部１４は、１６個設けられている。
【００１７】
第２羽根部１６は、第１開口部２０と第２開口部４４とを連通する連通孔４８の開口面積を拡大した状態又は連通孔４８を閉塞した状態で、相互に対向するようにハウジング１２上に配置されている。各第２羽根部１６は、全体として湾曲状（ブーメラン形状）に形成されている。第２羽根部１６の一方側端部には、湾曲部３２が形成されている。また、第２羽根部１６の湾曲部３２の表面側には、固定ピン３４が設けられている。また、第２羽根部１６の他方側端部には、直線状の傾斜部３６が形成されている。また、第２羽根部１６の傾斜部３６の裏面側には、駆動ピン３８が設けられている。ここで、第２羽根部１６には、内周面から延在した延在部４０が形成されている。各延在部４０には、直線状に延びる直線状端部４２がそれぞれ形成されており、連通孔４８の閉塞時に各延在部４０が当接したときに各直線状端部４２同士が隙間なく接触するように構成されている。なお、本実施形態では、第２羽根部１６は、２個設けられている。
【００１８】
回転体１８は、ハウジング１２は、全体として円環状に形成されており、その中央部には貫通孔となる第２開口部４４が形成されている。また、回転体１８には、放射状（径方向）に延びる複数の溝部４６が形成されている。本実施形態では、各溝部４６は、合計１８個形成されており、隣接する溝部４６の開き角度が約２０°の等角度となるように設定されている。
【００１９】
また、回転体１８の裏面には、駆動ギア（図示省略）が接続されている。駆動ギアが図示しない駆動モータにより回転駆動されると、回転体１８が円周方向に沿って回転する。ここで、回転体１８の回転角度は、９０°の範囲に設定されている。なお、駆動ギアは、回転体１８に設けられている構成に限られるものではなく、ハウジング１２側に設けられている構成でもよい。この構成では、ハウジング１２が円周方向に沿って回転する。
【００２０】
なお、各構成部材の材質として、例えば、ハステロイ、アルミニウム、セラミック材、ＰＥＥＫ材などを適宜使用することが好ましい。これにより、耐食性及び耐パーティクル性を発揮することができる。
【００２１】
次に、コンダクタンス調整装置１０の構造を詳細に説明する。
【００２２】
図５及び図６に示すように、第１羽根部１４及び第２羽根部１６は、ハウジング１２と回転体１８との間に移動可能に支持されて構成されている。詳細には、各第１羽根部１４の各固定ピン２６は、ハウジング１２の各軸受孔２２に挿入され、各軸受孔２２により回転可能に支持されている。また、各第１羽根部１４の各駆動ピン３０は、回転体１８の各溝部４６内部に挿入され、溝部４６内部を移動可能となっている。
【００２３】
ここで、回転体１８の回転角度が０°の状態（図５及び図６の回転角度０°の状態）で、各第２羽根部１６は、ハウジング１２及び回転体１８の各開口部２０、４４に干渉しない位置で、かつ相互に対向する位置（中心に対して対称となる位置）に配置されている。
【００２４】
また、各第２羽根部１６と隣接する位置には、第１羽根部１４が配置されている。回転体１８の回転角度が０°の状態で、各第１羽根部１４は、ハウジング１２及び回転体１８の各開口部２０、４４に干渉しない位置に配置されている。
【００２５】
先ず、第２羽根部１６が相互に対向する位置になるように設定し、その状態を固定して、各第２羽根部１６に隣接する位置に第１羽根部１４を配置する。このとき、基準となる第２羽根部１６の湾曲部３２に隣接するハウジング１２の軸受孔２２に、第１羽根部１４の固定ピン２６を挿入する。そして、この第１羽根部１４の湾曲部２４に隣接するハウジング１２の軸受孔２２に、次の第１羽根部１４の固定ピン２６を挿入する。回転体１８への取付けも同様にして、基準となる第２羽根部１６の湾曲部３２に隣接する回転体１８の溝部４６に、第１羽根部１４の駆動ピン３０を挿入する。このようにして、ハウジング１２の軸受孔２２に隣接する別の軸受孔２２に各第１羽根部１４の固定ピン２６を順番に挿入し、回転体１８の溝部４６に隣接する別の溝部４６に各第１羽根部１４の駆動ピン３０を順番に挿入して、位相をずらしながら第１羽根部１４を取り付ける。
【００２６】
なお、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６の取付けでは、各湾曲部２４、３２を並べるようにして実行し、各湾曲部２４、３２及び各傾斜部２８、３６の向きを一定にする。
【００２７】
次に、コンダクタンス調整装置１０の動作について説明する。
先ず、わかりやすくするために、２つの第２羽根部１６のみの動作に着目して説明する。
【００２８】
図５に示すように、回転体１８の初期状態（図５の回転角度０°の状態）では、２つの第２羽根部１６は、相互に対向する位置（１８０°開いた位置）に位置している。このとき、２つの第２羽根部１６は、ハウジング１２の第１開口部２０及び回転体１８の第２開口部４４を干渉しない部位に位置している。このため、第１開口部２０と第２開口部４４とを連通する連通孔４８の開口は、全開した状態になっている。また、各第２羽根部１６の各駆動ピン３８は、溝部４６の径方向外側の部位に位置している。
【００２９】
次に、駆動モータにより駆動ギアが駆動されて、回転体１８が０°から４５°の範囲を回転すると、各第２羽根部１６は、各固定ピン３４を回転基準にして、各駆動ピン３８が溝部４６の径方向内側の部位に向かって移動する。そして、回転体１８が０°から４５°回転すると、各駆動ピン３８が溝部４６の径方向内側の部位に到達する。このとき、一方の第２羽根部１６の傾斜部３６が、他方の第２羽根部１６の湾曲部３２に近接して交わることになる（図５の回転角度４５°の状態）。この状態では、２つの第２羽根部１６は、ハウジング１２の第１開口部２０及び回転体１８の第２開口部４４を干渉する部位に位置している。このため、第１開口部２０と第２開口部４４とを連通する連通孔４８の開口の一部には、各第２羽根部１６が掛け渡された状態になっている。
【００３０】
次に、駆動モータにより駆動ギアが駆動されて、回転体１８が４５°から９０°の範囲を回転すると、各第２羽根部１６は、各固定ピン３４を回転基準にして、各駆動ピン３８が溝部４６の径方向外側の部位に向かって移動する。そして、回転体１８が４５°から９０°回転すると、各駆動ピン３８が溝部４６の径方向外側の部位に到達する。このとき、一方の第２羽根部１６と他方の第２羽根部１６との交差が大きくなり、回転体１８が９０°回転した位置で、各第２羽根部１６の各延在部４０同士が当接する（図５の回転角度９０°の状態）。詳細には、各第２羽根部１６の各延在部４０の各直線状端部４２同士が隙間なく接触する。
【００３１】
一方、駆動モータにより回転体１８を逆方向に回転させた場合には、第２羽根部１６は、上記各工程における移動方向と逆方向に移動して、最終的には、初期状態（図５の回転角度０°の状態）に戻る。
【００３２】
次に、回転体１８の回転に伴う全ての第１羽根部１４及び第２羽根部の動作について説明する。回転体１８の回転に伴い、各第１羽根部１４も、第２羽根部１６と同様の動作を実行する。
【００３３】
図６に示すように、回転体１８の初期状態（図６の回転角度０°の状態）では、各第１羽根部１４及び第２羽根部１６は、隣接する羽根部同士が相互に重なり合うように位置している。このとき、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６は、ハウジング１２の第１開口部２０及び回転体１８の第２開口部４４を干渉しない部位に位置している。このため、第１開口部２０と第２開口部４４とを連通する連通孔４８の開口は、全開した状態になっており、その開口面積は、第１開口部２０（第２開口部４４）の開口面積と略同じになる。また、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６の各駆動ピン３０、３８は、溝部４６の径方向外側の部位に位置している。
【００３４】
次に、駆動モータにより駆動ギアが駆動されて、回転体１８が０°から４５°の範囲を回転すると、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６は、各固定ピン２６、３４をそれぞれの回転基準にして、各駆動ピン３０、３８が溝部４６の径方向外側の部位に向かってそれぞれ移動する。そして、回転体１８が４５°から９０°回転すると、各駆動ピン３０、３８が溝部４６の径方向外側の部位に到達する。このとき、第１開口部２０と第２開口部４４とを連通する連通孔４８の開口面積は、全開時（図６の回転角度０°の状態）の開口面積の約５０％に縮小した状態になっている（図６の回転角度４５°の状態）。
【００３５】
次に、駆動モータにより駆動ギアが駆動されて、回転体１８が４５°から９０°の範囲を回転すると、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６は、各固定ピン２６、３４をそれぞれの回転基準にして、各駆動ピン３０、３８が溝部４６の径方向外側の部位に向かってそれぞれ移動する。そして、回転体１８が４５°から９０°回転すると、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６の各駆動ピン３０、３８が溝部４６の径方向外側の部位に到達する。このとき、相互に対向していた第１羽根部１４同士、及び相互に対向していた第２羽根部１６同士の交差が大きくなり、回転体１８が９０°回転した位置で、各第２羽根部１６の各延在部４０同士が当接する（図６の回転角度９０°の状態）。詳細には、各第２羽根部１６の各延在部４０の各直線状端部４２同士が隙間なく接触する。
【００３６】
ここで、従来のアイリス機構を適用したコンダクタンス調整装置の各羽根部の開閉状態と比較する。図７に示すように、従来のアイリス機構を適用した場合には、本実施形態の第１羽根部１４と同じ形状の羽根部のみで構成されている。すなわち、本実施形態の第２羽根部１６は存在せず、１８枚全てが第１羽根部１４の形状と同じ形状の羽根部となる。このような構成のコンダクタンス調整装置の回転体１８が９０°回転すると、第１開口部２０と第２開口部４４との連通孔４８が完全に閉塞されず、中心には最小径の開口部である最小開口部５０が形成された状態になる（図７の回転角度９０°の状態）。
【００３７】
これに対して、図６に示すように、本実施形態のコンダクタンス調整装置１０によれば、各第２羽根部１６には、各延在部４０が形成されているため、回転体１８が９０°回転すると、各第２羽根部１６の各延在部４０同士が当接して最小開口部５０を閉塞する。すなわち、各延在部４０は、各延在部４０同士が当接することにより最小開口部５０の開口面積を占めるような形状及び大きさに設計されているため、回転体１８が９０°回転した場合に、最小開口部５０が発生することがない。これにより、回転体１８が０°から９０°回転すると、第１開口部２０と第２開口部４４との連通孔４８が徐々に小さくなり、最終的には完全に消滅する。
【００３８】
一方、駆動モータにより回転体１８を逆方向に回転させた場合には、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６は、上記各工程における移動方向と逆方向に移動して、最終的には、初期状態（図６の回転角度０°の状態）に戻る。これにより、第１開口部２０と第２開口部４４との連通孔４８の開口が全開となり、第１開口部２０（第２開口部４４）の開口面積と略同じになる。
【００３９】
以上のように、回転体１８を円周方向一方側に回転させると、第１開口部２０と第２開口部４４との連通孔４８の開口面積を拡大させ、回転体１８を円周方向他方側に回転させると、第１開口部２０と第２開口部４４との連通孔４８の開口面積を縮小させる。
【００４０】
第１実施形態のコンダクタンス調整装置１０によれば、回転体１８を０°から９０°回転させた場合には、第１開口部２０と第２開口部４４との連通孔４８が閉塞され、その開口面積がゼロになる。これにより、圧力の微調整が可能になり、コンダクタンス調整装置１０の圧力調整精度を高めることができる。
【００４１】
特に、対向する一対の第２羽根部１６の各々から延在して設けられた延在部４０同士が当接することにより、第１開口部２０と第２開口部４４との連通孔４８が閉塞される。このとき、各延在部４０の各直線状端部４２同士が接触することにより、各延在部４０は隙間なく接触することが可能になる。この結果、圧力の微調整を確実に行うことができ、コンダクタンス調整装置１０の圧力調整精度をさらに高めることができる。
【００４２】
また、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６は、固定ピン２６、３４及び駆動ピン３０、３８を介して、ハウジング１２及び回転体１８に支持されているため、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６の長手方向両端部で支持されている。これにより、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６の支持強度を高めることができ、また、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６が動作（移動）するときの安定性及び円滑性を増加させることができる。
【００４３】
また、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６の支持強度を高めることができるため、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６を極めて薄い部材（小さな質量の部材）で構成することができる。この結果、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６を駆動させるための駆動モータの出力を低減することができるため、製造コストを低減でき、コンダクタンス調整装置１０を小型化することができる。さらに、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６を摩擦の少ない部材で構成することにより、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６のハウジング１２及び回転体１８に対する摩擦力が低下するため、各第１羽根部１４及び各第２羽根部１６の動作を円滑にすることができる。
【００４４】
次に、本考案の第２実施形態に係るコンダクタンス調整装置について説明する。なお、本考案の第1実施形態に係るコンダクタンス調整装置の構成と重複する構成には、同符号を付し、その説明を適宜省略する。
【００４５】
図８に示すように、第２実施形態のコンダクタンス調整装置は、各第２羽根部１６の各延在部４０には、肉厚部５２が設けられている。この肉厚部５２は、各延在部４０の厚みを第２羽根部１６の他の部位よりも厚く成形してもよいし、別部材を各延在部４０に取り付けて各延在部４０の厚みを増加させるようにしてもよい。これにより、各第２羽根部１６の各延在部４０の厚みが厚くなり、強度も増加する。
【００４６】
第２実施形態のコンダクタンス調整装置によれば、第２羽根部１６を厚みの薄い材料で構成した場合でも、各第２羽根部１６の各延在部４０の厚みが厚くなるため、各延在部４０同士が当接すると、面接触する。これにより、各延在部４０の強度が向上し、各延在部４０が破損したり、曲げ変形することを防止できる。これにより、各延在部４０の接触精度を高めることができる。また、各延在部４０が相互に及ぼす圧力を高めることができるため、各延在部４０の接触強度及び接触安定性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本考案の第１実施形態に係るコンダクタンス調整装置を構成するハウジングの平面図である。
【図２】（Ａ）は、本考案の第１実施形態に係るコンダクタンス調整装置を構成する第１羽根部の平面図であり、（Ｂ）は、本考案の第１実施形態に係るコンダクタンス調整装置を構成する第１羽根部の側面図である。
【図３】（Ａ）は、本考案の第１実施形態に係るコンダクタンス調整装置を構成する第２羽根部の平面図であり、（Ｂ）は、本考案の第１実施形態に係るコンダクタンス調整装置を構成する第２羽根部の側面図である。
【図４】本考案の第１実施形態に係るコンダクタンス調整装置を構成する回転体の平面図である。
【図５】本考案の第１実施形態に係るコンダクタンス調整装置を構成する第２羽根部の回転動作を示した説明図である。
【図６】本考案の第１実施形態に係るコンダクタンス調整装置を構成する第１羽根部及び第２羽根部の回転動作を示した説明図である。
【図７】従来のアイリス機構を適用したコンダクタンス調整装置の羽根部の回転動作を示した説明図である。
【図８】（Ａ）は、本考案の第２実施形態に係るコンダクタンス調整装置を構成する第２羽根部の平面図であり、（Ｂ）は、本考案の第２実施形態に係るコンダクタンス調整装置を構成する第２羽根部の側面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０      コンダクタンス調整装置
１２      ハウジング
１４      第１羽根部（羽根部）
１６      第２羽根部（羽根部）
１８      回転体
２０      第１開口部
４０      延在部（遮蔽部）
４２      直線状端部
４４      第２開口部
４８      連通孔
５２      厚肉部
【図１】
0003149153.tif 000003
【図２】
0003149153.tif 000004
【図３】
0003149153.tif 000005
【図４】
0003149153.tif 000006
【図５】
0003149153.tif 000007
【図６】
0003149153.tif 000008
【図７】
0003149153.tif 000009
【図８】
0003149153.tif 000010