(57)【要約】【課題】取手とオープンカセット本体とを一体成型することにより形成してハンドリング処理時に取手がオープンカセット本体から離脱することを回避して搬送作業の安定化を図りウエハを破損させることがない半導体ウエハ搬送用オープンカセットを提供する。【解決手段】ハンドリング手段（２０）を備えた半導体ウエハ搬送用オープンカセットであり、ハンドリング手段を、オープンカセット本体（１０）を構成するトッププレート（１３）の外表面にオープンカセット本体と一体成型により形成しかつハ字状に位置取りした左右一対の取手（２１Ａ，２１Ｂ）より形成している。【選択図】図１
0003155041.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ハンドリング手段を備えた半導体ウエハ搬送用オープンカセットであって、
前記ハンドリング手段を、オープンカセット本体を構成するトッププレートの外表面にオープンカセット本体と一体成型することにより形成しかつハ字状に位置取りした左右一対の取手により形成したことを特徴とする半導体ウエハ搬送用オープンカセット。
【請求項２】
オープンカセット本体とハンドリング手段とから構成され、
前記オープンカセット本体を、対向して設けたプレートメンバと、該プレートメンバを連結し内壁にウエハを案内するティースが複数個形成された左右一対のウエハサポートと、収容するウエハの底部を支持するティースが複数個形成されたリアーストッパとより構成し、
前記プレートメンバをベースプレートとトッププレートより形成して前記オープンカセット本体の外側周部に開放面を形成し、
前記ハンドリング手段を、前記オープンカセット本体のトッププレート面に前記オープンカセット本体と一体成型することにより形成した左右一対の取手により構成し、かつ該取手をハ字状に位置取りして形成した
ことを特徴とする半導体ウエハ搬送用オープンカセット。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本考案は、ハンドリング手段を備えた半導体ウエハ搬送用オープンカセットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】自動化された半導体工場における処理プロセスの工程内及び工程間において、半導体ウエハ（以下、「ウエハ」という。）の搬送を担う機器（容器）の一つに開放型の半導体ウエハ搬送用オープンカセット（以下、「オープンカセット」という）がある。【０００３】ＩＣ等の半導体装置は、シリコン等からなるウエハ（基板）に対し、酸化膜の形成、フォトレジスタの塗布、パターンの転写、現像、エッチング、ドーピング等の処理や各種の計測・検査が行われることにより製造される。マイクロデバイス製造システムは、レジスト塗布装置、露光装置、現像装置、その他の各種プロセス装置、各種計測・検査装置、ウエハを保管する保管装置（以下、各装置を「基板取扱装置」ということがある）等を備えて構成され、ウエハは順次各工程に搬送され処理が施される。各装置間でのウエハの搬送は、オープンカセットに収納して行なわれる。複数のウエハを収納したカセットは、各種基板取扱装置の近傍に設置されたカセット設置台上に、あるいは各種基板取扱装置間を移動する搬送車のカセット載置台上に載置される。【０００４】手動でハンドリングするための取手（ハンドル）をオープンカセットのトッププレート表面に備えたものが提案されている。このオープンカセットは、通例、別体により形成された取手を、
（１）ボス部を熱溶着することにより潰しかしめてオープンカセット本体のトッププレートの表面に取付ける、
（２）取手の外周を超音波を用いて熔接してオープンカセット本体のトッププレートの表面に取付ける、
かしている。
【先行技術文献】
【特許文献１】
【０００５】特開平１１−３５４６２５号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】オープンカセットに収容するウエハが１２インチ（直径３００ｍｍ）の大径のウエハにあっては１枚の重量が１，０００ｇを超えるものがあり、このウエハを全投入した大型のオープンカセットの重量は１５ｋｇを超えることがある。また、半導体工場における処理プロセスには１７０℃の加熱処理を施すプロセスがある。【０００７】したがって、従来のこの種のオープンカセットにあっては、上記のように、取手をオープンカセット本体に接合しているため、
（１）ハンドリング処理の使用頻度が重なりオープンカセット本体と取手との接合箇所が劣化して当該部の強度不足が生じて破断すると、ハンドリング処理時に取手がオープンカセット本体から外れるおそれがあり作業中にバランスを失ってウエハの落下・破損の危険性がある、
（２）荷重負荷と加熱の繰り返しによる経時的変化にともない接合部の馴染みが悪くなり取手の変形による寸法差が生じてカセットが使用不可となりやすくオープンカセットとしての寿命が短い、
という問題点が指摘されていた。【０００８】本考案は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、取手とオープンカセット本体とを一体成型することにより形成してハンドリング処理時に取手がオープンカセット本体から離脱することを回避して搬送作業の安定化を図りウエハを破損させることがない半導体ウエハ搬送用オープンカセットを提供することにある。【０００９】本考案の他の目的は、寿命の永い半導体ウエハ搬送用オープンカセットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】本考案に係る半導体ウエハ搬送用オープンカセットは、ハンドリング手段を備えた半導体ウエハ搬送用オープンカセットであって、前記ハンドリング手段を、オープンカセット本体を構成するトッププレートの外表面にオープンカセット本体と一体成型することにより形成しかつハ字状に位置取りした左右一対の取手により形成したことを特徴とするものである。【００１１】また、本考案に係る半導体ウエハ搬送用オープンカセットは、オープンカセット本体とハンドリング手段とから構成され、前記オープンカセット本体を、対向して設けたプレートメンバと、該プレートメンバを連結し内壁にウエハを案内するティースが複数個形成された左右一対のウエハサポートと、収容するウエハの底部を支持するティースが複数個形成されたリアーストッパとより構成し、前記プレートメンバをベースプレートとトッププレートより形成して前記オープンカセット本体の外側周部に開放面を形成し、前記ハンドリング手段を、前記オープンカセット本体のトッププレート面に前記オープンカセット本体と一体成型することにより形成した左右一対の取手により構成し、かつ該取手をハ字状に位置取りして形成するとよい。
【考案の効果】
【００１２】本考案によれば、ハンドリング用の取手とオープンカセット本体を一体成型して強度を賦与しているため、手動ハンドリングによりウエハを搬送する際に取手が欠けることがなく搬送作業の信頼性が高くなり、また寿命の長い半導体ウエハ搬送用オープンカセットが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本考案に係るオープンカセットを示し、１２インチウエハを収納するカセットを示す斜視図である。
【図２】図１に示すオープンカセットの正面図である。
【図３】図１に示すオープンカセットの側面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１４】本考案に係る半導体ウエハ搬送用オープンカセットは、ハンドリング手段を備えた半導体ウエハ搬送用オープンカセットである。前記ハンドリング手段は、オープンカセット本体のトッププレートの外表面にオープンカセット本体と一体成型することにより形成されハ字状に位置取りした左右一対の取手により形成されている。
【実施例】
【００１５】以下は本考案の実施例についての説明である。
本考案に係るオープンカセット１は、オープンカセット本体１０とハンドリング手段２０とから構成され、プラスチック樹脂をモールド成型することにより一体成型し製造される。【００１６】このうち、前記オープンカセット本体１０は、対向して設けたプレートメンバ１１と、該プレートメンバを連結し内壁にウエハの周縁近傍を案内し支持するティース１６が複数個形成された左右一対のウエハサポート１５Ａ，１５Ｂと、収容するウエハ２の底部を支持（載置）するティース１８が複数個形成されたリアーストッパ１７とを備えている。前記オープンカセット本体１０の正面は収納対象であるウエハ２の搬入及び搬送を可能とするように開放されたオープン型として形成され、さらに前記オープンカセット本体１０の外側周部の大部分は開放面を形成している。【００１７】前記プレートメンバ１１は、ベースプレート１２とトッププレート１３より形成されている。また、前記ベースプレート１２の外表面にはグルーブ（凹部）１４が３個当て均等に形成されている。また、カセット載置台（図示せず）には、前記グルーブ１４に係合する３個のピン（凸部）が均等配置されて形成され、前記グルーブと前記カセット載置台のピンとでキネマティク・カップリングを構成している。【００１８】前記ハンドリング手段２０は、前記オープンカセット本体１０のトッププレート１３の外表面に前記オープンカセット本体１０と一体成型することにより形成した左右一対の取手２１Ａ，２１Ｂとして構成され、該取手２１Ａ，２１Ｂはハ字状に位置取りして形成されている。
【符号の説明】
【００１９】１        半導体ウエハ用オープンカセット
２        ウエハ
１０      オープンカセット本体
２０      ハンドリング手段
【図１】
0003155041.tif 000003
【図２】
0003155041.tif 000004
【図３】
0003155041.tif 000005