(57)【要約】本発明は、基板等の回路基板と各種の回路部品との間に介在し、これらを導通させる異方導電性シート及びその製造方法に関するものであり、近年の高集積された回路基板や電子部品が要求するファインピッチの異方性の導電性を確保し、導電性部材の耐久を高めた異方導電性シートを提供する。導電性ピース（２４）と非導電性ピース（２２）が交互に配置された縞模様の短冊状部材（１４）と、非導電性短冊状部材（１２）を交互に配置して異方導電性シート（１０）を構成するようにした。
2003079494.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１の平面に広がる異方導電性シートであって、前記１の平面に含まれる１の方向をＸ方向とし、このＸ方向に直交し前記１の平面に含まれる方向をＹ方向とし、前記Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向とした場合に、Ｚ方向に所定の厚みを有し、前記１の平面（Ｘ−Ｙ平面）に略平行な表面及び裏面を有する異方導電性シートが、Ｙ方向に巾を持ちＸ方向に伸びる縞模様の短冊状部材であって、導電性ピース及び非導電性ピースをＸ方向に交互に配置した縞模様の短冊状部材と、Ｙ方向に巾を持ちＸ方向に伸びる非導電性短冊状部材と、を相互にＹ方向に並んだ状態で含むことを特徴とする異方導電性シート。
【請求項２】
前記縞模様の短冊状部材における前記導電性ピースと前記非導電性ピースの繰り返し間隔がＸ方向に約８０μｍ以下であり、Ｙ方向に約１１０μｍ以下であり、前記縞模様の短冊状部材の巾が約８０μｍ以下であり、前記非導電性短冊状部材の巾が約８０μｍ以下である、請求の範囲第１項に記載の異方導電性シート。
【請求項３】
前記導電性ピースが導電性エラストマーからなり、前記非導電性ピースが第１非導電性エラストマーからなり、前記非導電性短冊状部材が第２非導電性エラストマーからなる、請求の範囲第１項又は第２項に記載の異方導電性シート。
【請求項４】
前記導電性ピースと、前記非導電性ピースと、及び／又は、前記縞模様の短冊状部材と、前記非導電性短冊状部材と、は相互に化学結合がされているものであり、前記化学結合の少なくとも一部がカップリング剤により行われている請求の範囲第３項に記載の異方導電性シート。
【請求項５】
前記異方導電性シートの表面及び／又は裏面において、前記導電性ピースがそのまわりの前記非導電性ピース又は非導電性短冊状部材に比べ、突出している請求の範囲第１項〜第４項のいずれかに記載の異方導電性シート。
【請求項６】
前記縞模様の短冊状部材が直方体形状を有している請求の範囲第１項〜第４項の何れかに記載の異方導電性シート。
【請求項７】
前記非導電性短冊状部材が直方体形状を有している請求の範囲第１項〜第４項の何れかに記載の異方導電性シート。
【請求項８】
所定の厚みを有すると共にこの厚みの表及び裏にそれぞれ所定の表面及び裏面を有する可撓性の異方導電性シートを製造する方法であって、導電性シート（Ａ）と第１非導電性シート（Ｂ）とを交互に積み重ねてＡＢシート積層体（Ｃ）を得るＡＢシート積層工程と、このＡＢシート積層工程で得られた前記ＡＢシート積層体（Ｃ）を所定の厚さで切断してゼブラ状シートを得る第１の切断工程と、この第１の切断工程で得られた前記ゼブラ状シートと第２非導電性シート（Ｄ）とを交互に積み重ねてゼＤシート積層体（Ｅ）を得るゼＤシート積層工程と、このゼＤシート積層工程で得られた前記ゼＤシート積層体（Ｅ）を所定の厚さで切断する第２の切断工程と、を含む異方導電性シートを製造する方法。
【請求項９】
前記ＡＢシート積層工程において、前記導電性シート（Ａ）を前記非導電性シート（Ｂ）の上に積み重ねる前にカップリング剤を前記非導電性シート（Ｂ）に施し、前記非導電性シート（Ｂ）を前記導電性シート（Ａ）の上に積み重ねる前にカップリング剤を前記導電性シート（Ａ）に施し、前記ゼＤシート積層工程において、前記ゼブラ状シートを前記非導電性シート（Ｄ）の上に積み重ねる前にカップリング剤を前記非導電性シート（Ｄ）に施し、前記非導電性シート（Ｄ）を前記ゼブラ状シートの上に積み重ねる前にカップリング剤を前記ゼブラ状シートに施すこと、を特徴とする異方導電性シートを製造する方法。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、基板等の回路基板と各種の回路部品との間に介在し、これらを導通させる異方導電性シート及びその製造方法に関する。
背景技術
最近の電子機器の小型化・薄型化に伴い、微細な回路同士の接続、微細部分と微細な回路の接続等の必要性が飛躍的に増大してきている。その接続方法として、半田接合技術や、異方性の導電性接着剤が使用されている。また、異方導電性エラストマーシートを電子部品と回路基板との間に介在させ、導通させる方法も行われている。
異方導電性エラストマーシートは、ある方向にのみ導電性があるエラストマーシートのことをいう。一般に、厚み方向にのみ導電性を示すもの、または厚み方向に加圧されたときに厚み方向にのみ導電性を示すもの等がある。ハンダ付けあるいは機械的嵌合などの手段を用いずにコンパクトな電気的接続を達成することが可能であり、機械的な衝撃やひずみを吸収してソフトな接続が可能であることなどの特長を有するため、例えば、携帯電話、電子計算機、電子式デジタル時計、電子カメラ、コンピュータなどの分野において広く用いられている。また、回路装置、例えばプリント回路基板とリードレスチップキャリア、液晶パネルなどとの相互間の電気的な接続を達成するためのコネクタとしても広く用いられている。
また、プリント回路基板や半導体集積回路などの回路装置の電気的検査においては、検査対象である回路装置の少なくとも一面に形成された被検査電極と、検査用回路基板の表面に形成された検査用電極との電気的な接続を達成するために、回路装置の被検査電極領域と検査用回路基板の検査用電極領域との間に異方導電性エラストマーシートを介在させることが行われている。
従来、このような異方導電性エラストマーシートとしては、並置された金属細線を絶縁体で一体化することにより作成された異方導電性ブロックを金属細線に直角の方向に薄く切断することにより得られることが知られている（特開２０００−３４００３７号公報等）。
しかし、このような異方性導電性膜では、金属細線を用いているために、金属細線間の距離を小さくすることが困難で、近年の高集積された回路基板や電子部品が要求するファインピッチの異方性の導電性を確保することが難しい。また、金属細線は使用による圧縮力等で座屈しやすかったり、使用を繰り返すと抜けやすくなり、異方性導電性膜の機能が十分に担保されないことがある。
本発明では、以上のような課題に鑑み、近年の高集積回路基板や電子部品が要求するファインピッチの異方性導電性シートであって、高い耐久性を持つ異方導電性シートを提供する。
発明の開示
本発明においては、導電性ピースと非導電性ピースが交互に配置された縞模様の短冊状部材と、非導電性短冊状部材と、を交互に配置して構成されるようにしたことを特徴とする。
より具体的には、本発明は、以下のようなものを提供する。
（１）  １の平面に広がる異方導電性シートであって、前記１の平面に含まれる１の方向をＸ方向とし、このＸ方向に直交し前記１の平面に含まれる方向をＹ方向とし、前記Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向とした場合に、Ｚ方向に所定の厚みを有し、前記１の平面（Ｘ−Ｙ平面）に略平行な表面及び裏面を有する異方導電性シートが、Ｙ方向に巾を持ちＸ方向に伸びる縞模様の短冊状部材であって、導電性ピース及び非導電性ピースをＸ方向に交互に配置した縞模様の短冊状部材と、Ｙ方向に巾を持ちＸ方向に伸びる非導電性短冊状部材と、を相互にＹ方向に並んだ状態で含むことを特徴とする異方導電性シート。
（２）  前記縞模様の短冊状部材における前記導電性ピースと前記非導電性ピースの繰り返し間隔がＸ方向に約８０μｍ以下であり、Ｙ方向に約１１０μｍ以下であり、前記縞模様の短冊状部材の巾が約８０μｍ以下であり、前記非導電性短冊状部材の巾が約８０μｍ以下である上記（１）に記載の異方導電性シート。
（３）  前記導電性ピースが導電性エラストマーからなり、前記非導電性ピースが第１非導電性エラストマーからなり、前記非導電性短冊状部材が第２非導電性エラストマーからなる、上記（１）又は（２）に記載の異方導電性シート。
（４）  前記導電性ピースと、前記非導電性ピースと、及び／又は、前記縞模様の短冊状部材と、前記非導電性短冊状部材と、は相互に化学結合がされているものであり、前記化学結合の少なくとも一部がカップリング剤により行われている上記（３）に記載の異方導電性シート。
（５）  前記異方導電性シートの表面及び／又は裏面において、前記導電性ピースがそのまわりの前記非導電性ピース又は非導電性短冊状部材に比べ、突出していることを特徴とする上記（１）〜（４）のいずれかに記載の異方導電性シート。
（６）  前記縞模様の短冊状部材が直方体形状を有している上記（１）〜（４）の何れかに記載の異方導電性シート。
（７）  前記非導電性短冊状部材が直方体形状を有している上記（１）〜（４）の何れかに記載の異方導電性シート。
（８）  所定の厚みを有すると共にこの厚みの表及び裏にそれぞれ所定の表面及び裏面を有する可撓性の異方導電性シートを製造する方法であって、導電性シート（Ａ）と第１非導電性シート（Ｂ）とを交互に積み重ねてＡＢシート積層体（Ｃ）を得るＡＢシート積層工程と、このＡＢシート積層工程で得られた前記ＡＢシート積層体（Ｃ）を所定の厚さで切断してゼブラ状シートを得る第１の切断工程と、この第１の切断工程で得られた前記ゼブラ状シートと第２非導電性シート（Ｄ）とを交互に積み重ねてゼＤシート積層体（Ｅ）を得るゼＤシート積層工程と、このゼＤシート積層工程で得られた前記ゼＤシート積層体（Ｅ）を所定の厚さで切断する第２の切断工程と、を含む異方導電性シートを製造する方法。
（９）  前記ＡＢシート積層工程において、前記導電性シート（Ａ）を前記非導電性シート（Ｂ）の上に積み重ねる前にカップリング剤を前記非導電性シート（Ｂ）に施し、前記非導電性シート（Ｂ）を前記導電性シート（Ａ）の上に積み重ねる前にカップリング剤を前記導電性シート（Ａ）に施し、前記ゼＤシート積層工程において、前記ゼブラ状シートを前記非導電性シート（Ｄ）の上に積み重ねる前にカップリング剤を前記非導電性シート（Ｄ）に施し、前記非導電性シート（Ｄ）を前記ゼブラ状シートの上に積み重ねる前にカップリング剤を前記ゼブラ状シートに施すこと、を特徴とする異方導電性シートを製造する方法。
本発明では、所定の厚みを有すると共にこの厚みの表及び裏に所定の表面及び裏面を有する可撓性の異方導電性シートであって、前記所定の厚みに略合致する所定の高さと、所定の巾とを有し、これらの高さ及び巾のいずれよりも長い長さを有する短冊状部材であって、この短冊状部材の長さ方向に導電性ピースと非導電性ピースとが交互に配置される縞模様の短冊状部材と、前記所定の厚みに略合致する所定の高さと、所定の巾とを有し、これらの高さ及び巾のいずれよりも長い長さを有する短冊状部材であって、非導電性短冊状部材とが、それぞれの高さと長さをそろえるようにして、巾方向に並んだ幅の広い短冊状部材を、その高さが前記異方導電性シートの厚みに略相当するように含むことを特徴としてよい。
「１の平面に含まれる１の方向をＸ方向とし、このＸ方向に直交し前記１の平面に含まれる方向をＹ方向とし、前記Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向とした場合に、Ｚ方向に所定の厚みを有し、前記１の平面（Ｘ−Ｙ平面）に略平行な表面及び裏面を有する」とは、通常のシートが持つ特徴であってよい。この異方導電性シートは、ある厚みを有し、厚みよりも大きな寸法で規定される表面及び裏面を厚みの前後若しくは上下に有していてよい。「可撓性」とは、シートが撓み得ることを意味してよい。縞模様の短冊状部材は、導電性ピースと非導電性ピースが交互につながったような細長い形状をしていてよい。縞模様の短冊状部材の高さ（又は厚み）は、導電性ピース及び非導電性ピースの高さ（又は厚み）と略同じであってよく、一定の高さ（又は厚み）を持ってよい。また、縞模様の短冊状部材の巾は、導電性ピース及び非導電性ピースの巾と略同じであってよく、一定の巾を持ってよい。非導電性短冊状部材は、縞模様の短冊状部材と略同じ高さ（又は厚み）と長さを持ってよい。従って、巾の広い短冊状部材は、縞模様の短冊状部材と非導電性短冊状部材が高さと長さをそろえて巾方向に結合されたもので、上記縞模様の短冊状部材の巾と非導電性短冊状部材の巾とを足した以上又は略同一の巾を持ってよい。
導電性を有するというのは、導電率が十分高いことであってよい。また、電気抵抗が十分低いことであってよい。また、異方導電性シート全体としては、かかる構成を有する異方導電性シートの導電性方向において十分な導電性を持たせることができるような導電性を有することを意味し、通常接続される端子間の抵抗が１００Ω以下（より好ましくは１０Ω以下、更に好ましくは１Ω以下）であることが好ましい。
非導電性とは、導電率が十分低いことであってよく、また、電気抵抗が十分高いことであってよい。また、異方導電性シート全体としては、かかる構成を有する異方導電性シートの非導電性方向において十分な非導電性を持たせることができるような非導電性を有することを意味し、抵抗が１０ｋΩ以上（より好ましくは１００ｋΩ以上、更に好ましくは１ＭΩ以上）であることが好ましい。
交互に配置された縞模様の短冊状部材とは、導電性ピースと非導電性ピースが交互に配置され、仮に導電性ピースと非導電性ピースの色が違えば縞模様になっている細長い部材であってよく、実際に縞模様に見える必要はない。但し、このような交互配置は、縞模様の短冊状部材の全体にわたる必要はなく、一部にそのような状態があればよい。
繰り返し間隔とは、隣り合う導電性ピースと非導電性ピースの長さ（短冊状部材の長手方向）を足して２で割った距離が相当し、かかる距離が複数存在する場合は、最も短い距離のことを意味してよい。また、一般には、ある略直線をシート上に描いたときにその略直線をたどることにより導電性ピース（Ｉ）／非導電性ピース（ＩＩ）／導電性ピース（ＩＩＩ）／非導電性ピース（ＩＶ）、又は、非導電性ピース（Ｉ）／導電性ピース（ＩＩ）／非導電性ピース（ＩＩＩ）／導電性ピース（ＩＶ）、を通過する際に、上述の（ＩＩ）と（ＩＩＩ）を通過するときのそれぞれの距離を足して２で割ったものが相当すると考えられる。また、適用される端子間隔とは、例えば、異方導電性シートの導電性方向において回路基板及び／又は電子部品に複数の接続すべき端子がある場合に、それらの端子間の当該シートの非導電性方向における距離をいい、かかる距離が複数ある場合は、最小の距離を意味してよい。
また、本発明では、前記縞模様の短冊状部材において前記導電性ピースと非導電性ピースの繰り返し間隔がＸ方向に約８０μｍ以下であり、Ｙ方向に約１１０μｍ以下であり、前記縞模様の短冊状部材の巾が約８０μｍ以下であり、前記非導電性短冊状部材の巾が約８０μｍ以下であることを特徴としてもよい。縞模様については上述のように実際に縞模様に見える必要はなく、交互に配置された状態を表現しているにすぎない。ここで、繰り返し間隔は上述と同様であり、Ｘ及びＹ方向の繰り返し間隔がＸ方向に約８０μｍ以下であり、Ｙ方向に約１１０μｍ以下であり、かつ、上記２つの巾が、約８０μｍ以下、である必要がある。また、より好ましくは、それぞれに約５０μｍ以下である。
また、本発明では、前記導電性ピースが導電性エラストマーからなり、前記非導電性ピースが第１非導電性エラストマーからなり、前記非導電性短冊状部材が第２非導電性エラストマーからなってもよい。第１非導電性エラストマーと、第２非導電性エラストマーとは、同一であってもよいし、異なっていてもよい。
また、本発明では、前記導電性ピースと、前記非導電性ピースと、及び／又は、前記縞模様の短冊状部材と、前記非導電性短冊状部材と、は相互に化学結合がされているものであり、前記化学結合の少なくとも一部がカップリング剤により行われていることを特徴としてよい。本発明では、上記の各要素間において化学結合が行われていてよく、異方導電性シートは一体として取り扱われてもよい。一般に、未加硫のエラストマー（即ち、加熱等の架橋処理を行っていないもの）の場合は、加硫（即ち、加熱等の架橋処理）により、同じく未加硫のエラストマーや加硫済みのエラストマーとの間で架橋に伴い分子レベルでの化学結合が可能である。また、これらの組合わせであっても、それ以外の組合わせであっても、カップリング剤により（プライマー等による表面処理を含んでよい）、界面において分子レベルでの化学結合が行われることが可能である。この化学結合の特徴は、結合力が強いことであり、例えば、金属細線をエラストマー内に挿入した異方導電性シートにおける金属細線とエラストマーとの結合よりも強固である。また、この化学結合は、物理結合や機械的結合に対する言葉として把握することもできる。
導電性エラストマーとは、導電性を有するエラストマーのことをいい、通常、体積固有抵抗を低く（例えば、１Ω・ｃｍ以下）するように、導電性の材料を混ぜたエラストマーであってよい。具体的には、エラストマーとして、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、ブタジエン−スチレン、ブタジエン−アクリロニトル、ブタジエン−イソブチレン等のブタジエン共重合体や共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴム、軟質液状エポキシゴム、シリコーンゴム、またはフッ素ゴムなどが使用される。これらの中でも、耐熱性、耐寒性、耐薬品性、耐候性、電気絶縁性、および安全性に優れるシリコーンゴムが好適に用いられる。このようなエラストマーに、金属の粉末、フレーク、小片、箔等やカーボン等の非金属の粉末、フレーク、小片、箔等の導電性の物質を混合することにより、導電性エラストマーが構成される。金属としては、例えば、金、銀、銅、ニッケル、タングステン、白金、パラジウム、その他の純金属、ステンレス鋼、りん青銅、ベリリウム銅等の合金が含まれる。尚、カーボンにはカーボンナノチューブやフラーレン等を含んでいてよい。
非導電性エラストマーとは、導電性がない又は導電性が著しく低いエラストマーのことをいい、具体的には、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、ブタジエン−スチレン、ブタジエン−アクリロニトル、ブタジエン−イソブチレン等のブタジエン共重合体や共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴム、軟質液状エポキシゴム、シリコーンゴム、またはフッ素ゴムなどが使用される。これらの中でも、耐熱性、耐寒性、耐薬品性、耐候性、電気絶縁性、および安全性に優れるシリコーンゴムが好適に用いられる。このような非導電性エラストマーは、通常は体積抵抗が高い（例えば、１００Ｖで、１ＭΩ・ｃｍ以上）ため、非導電性である。
これらの導電性エラストマー及び非導電性エラストマーを結合させるカップリング剤は、これらの部材を結合させる結合剤で、通常の市販の接着剤を含んでよい。具体的には、シラン系、アルミニウム系、チタネート系等のカップリング剤であってよく、シランカップリング剤が良好に用いられる。
また、本発明に係る異方導電性シートにおいては、前記導電性ピースが前記非導電性マトリックスに比べ、突出していることを特徴としてよい。「突出している」とは、異方導電性シートの厚みにおいて、非導電性マトリックス部位よりも導電性ピースの部位の方が厚い場合、異方導電性シートを水平に置いたときに非導電性マトリックスの上側面の位置が導電性ピースの上側面の位置よりも低い場合、及び／又は、異方導電性シートを水平に置いたときに非導電性マトリックスの下側面の位置が導電性ピースの下側面の位置よりも高い場合、であってよい。このようにすると、電子部品や基板の端子の電気的接触がより確実になる。これら端子がシートに近づく際に導電性ピースに最初に接触し、シートへの押付け力により適度な接触圧が確保できるからである。
あるいは、本発明では、前記縞模様の短冊状部材が直方体形状を有していてもよい。また、前記非導電性短冊状部材が直方体形状を有していてもよい。
また、本発明は、所定の厚みを有すると共にこの厚みの表及び裏にそれぞれ所定の表面及び裏面を有する可撓性の異方導電性シートを製造する方法であって、導電性シート（Ａ）と第１非導電性シート（Ｂ）を交互に積み重ねてＡＢシート積層体（Ｃ）を得るＡＢシート積層工程と、前記ＡＢシート積層体（Ｃ）を所定の厚さで切断してゼブラ状シート部材を得る第１の切断工程と、前記ゼブラ状シート部材と第２非導電性シート（Ｄ）とを交互に積み重ねてゼＤシート積層体（Ｅ）を得るゼＤシート積層工程と、前記ゼＤシート積層体（Ｅ）を所定の厚さで切断する第２の切断工程とを含むことを特徴とする。
ここで、前記導電性シート（Ａ）、前記非導電性シート（Ｂ）は、それぞれ、単一の種類のシート部材であってもよく、異なる種類のシート部材の集まりであってもよい。例えば、導電性シート（Ａ）が、材質は同じであってもその厚さを変えたシート部材の集まりであってもよい。交互に積み重ねるとは、前記導電性シート（Ａ）と前記非導電性シート（Ｂ）を任意の順で互い違いに積み重ねることを意味してよいが、第３のシートや膜、その他の部材等を更に前記導電性シート（Ａ）と前記非導電性シート（Ｂ）間に挟み込むことを妨げない。また、各シート部材を積み重ねる工程において、シート間にカップリング剤を施し、シート間が結合されるようにしてもよい。このような積み重ねで作られたＡＢシート積層体（Ｃ）は、シート間の結合性を増すため、シート部材自体のキュアをより進めるために、或いは、その他の目的で加熱等をしてもよい。
前記ＡＢシート積層体（Ｃ）については、超鋼カッター、セラミックカッター、等の刃による切断や、ファインカッターのような砥石を使った切断、ソーのようなのこぎりによる切断や、その他の切削機器や切断器具（レーザー切断機のような非接触型の切断装置を含んでもよい）による切断をすることができる。また、切断の過程において、過熱を防止するために、きれいな切断面を出すために、或いは、その他の目的のために切削油等の切削流動体（ｆｌｕｉｄ）を用いてもよく、乾式で切断してもよい。また切断の対象物（例えばワーク）を単独で或いは切削機器・器具と共に回転等して動かして切断してもよいが、切断のための種々の条件は、前記ＡＢシート積層体（Ｃ）に合わせて適宜選択されるのはいうまでもない。所定の厚さで切断するとは、予め決めておいた厚さを持つシート部材が得られるように切断することを意味してよく、所定の厚さは、均一でなければならないわけではなく、シート部材の場所により厚みが変化してもよい。
第１非導電性シート（Ｂ）と第２非導電性シート（Ｄ）とは、同一であってもよいし、異なっていてもよい。
前記ゼブラ状シートと前記非導電性シート（Ｄ）とを交互に積み重ねてゼＤシート積層体（Ｅ）を得るゼＤシート積層工程においても、上述の導電性シート（Ａ）および非導電性シート（Ｂ）からＡＢシート積層体（Ｃ）を得るＡＢシート積層工程と同様である。また、前記ゼＤシート積層体（Ｅ）を所定の厚さで切断する第２の切断工程においても、上述のＡＢシート積層体（Ｃ）を切断する第１の切断工程と同様である。
好ましい発明の実施形態
以下、図面を参照し、本発明の実施例を挙げつつ、本発明をより詳しく説明する。もっとも、本実施例は本発明の好適な例として具体的な材料や数値をあげたものであるので、本発明は本実施例に限られるものではない。
第１図は、本発明の実施例である異方導電性シート１０を示す。左上のところにこの異方導電性シート１０のＸＹＺの直交座標系が示されている（第２図において同じ）。本実施例の異方導電性シート１０は矩形状のシート部材であり、非導電性短冊状部材１２と、導電性ピース及び非導電性ピースを交互に配置した縞模様の短冊状部材１４と、が交互に配置されている。隣り合う前記非導電性短冊状部材１２と縞模様の短冊状部材１４は、カップリング剤により結合されている。本実施例の異方導電性シートでは、非導電性短冊状部材１２及び縞模様の短冊状部材１４に導電性エラストマー及び非導電性エラストマーが用いられている。導電性エラストマーとしては、信越ポリマー株式会社製の導電性シリコーンゴムを用いており、非導電性のエラストマーとしては、三菱樹脂株式会社製のシリコーンゴムや信越ポリマー株式会社製のシリコーンゴム等を用いている。また、本実施例の異方導電性シートでは、適宜、カップリング剤が用いられており、カップリング剤は、信越ポリマー株式会社製のシランカップリング剤を用いている。
第２図は、第１図の左上隅を拡大した部分拡大図で、非導電性短冊状部材１２及び縞模様の短冊状部材１４をより詳しく示している。第１図の非導電性短冊状部材１２は、ここでは、非導電性短冊状部材２０、４０、６０等が相当し、第１図の縞模様の短冊状部材１４は、非導電性ピース２２、２６、３０、３４等、及び導電性ピース２４、２８、３２等、からなる縞模様の短冊状部材、非導電性ピース４２、４６、５０、５４等、及び導電性ピース４４、４８、５２、５６等、からなる縞模様の短冊状部材等が相当する。即ち、非導電性短冊状部材２０の隣に非導電性ピース２２、２６、３０、３４等、及び導電性ピース２４、２８、３２等、からなる縞模様の短冊状部材が配置され、その隣に非導電性短冊状部材４０が配置され、更に、非導電性ピース４２、４６、５０、５４等、及び導電性ピース４４、４８、５２、５６等、からなる縞模様の短冊状部材が配置される構造となっている。これらの短冊状部材の厚みは、本実施例においては略同じ（Ｔ）である。上述のように隣り合う両短冊状部材は、互いにカップリング剤により結合されており、縞模様の短冊状部材１４を構成する隣り合う導電性及び非導電性ピースもカップリング剤で結合されており、第１図に示すような１枚のシートを構成する。ここで、結合させているカップリング剤は、非導電性であり、シートの面方向の非導電性は担保されている。
非導電性短冊状部材２０、４０、６０等は、それぞれの巾がｔ３１、ｔ３２、ｔ３３、・・・、ｔ３ｋ（ｋは４以上の自然数）であり、縞模様の短冊状部材１４は、それぞれの巾が、ｔ４１、ｔ４２、ｔ４３、・・・、ｔ４ｋ（ｋは４以上の自然数）である。これらの巾は、本実施例では全て同一であるが、他の実施例において、全て同一であってもよく、全て異なっていてもよい。これらの巾は、後に述べる本実施例の異方導電性シートの製造方法において容易に調整できる。また、縞模様の短冊状部材１４は、長さ１ｔ１１、１ｔ１２、１ｔ１３、・・・、１ｔ１ｍ（ｍは４以上の自然数）；２ｔ１１、２ｔ１２、２ｔ１３、・・・、２ｔ１ｎ（ｎは４以上の自然数）・・・の非導電性ピース２２、２６、３０、３４、・・・、４２、４６、５０、５４、・・・及び長さ１ｔ２１、１ｔ２２、１ｔ２３、・・・、１ｔ２ｍ（ｍは４以上の自然数）；２ｔ２１、２ｔ２２、２ｔ２３、・・・、２ｔ２ｎ（ｎは４以上の自然数）・・・の導電性ピース２４、２８、３２、・・・、４４、４８、５２、・・・から構成される。これらの各部材の長さは、本実施例において全て同一であるが、他の実施例において全て同一であってもよく、全て異なっていてもよい。これらの長さは、後に述べる本実施例の異方導電性シートの製造方法において容易に調整できる。
尚、本実施例においては、縞模様の短冊状部材の導電性ピースの長さを約５０μｍとし、非導電性ピースの長さを約３０μｍとし、縞模様の短冊状部材の巾を約５０μｍとし、非導電性短冊状部材の巾を約５０μｍとしているが、他の実施例において、それらより長く（若しくは大きく）又は短く（若しくは小さく）することができることはいうまでもない。
本実施例の場合、繰り返し間隔は、２つの隣り合う異種エラストマーの長さを足して２で割った数値、即ち、［（ｋｔ１ｍ＋ｋｔ２ｍ）／２］若しくは［（ｋｔ１ｍ＋ｋｔ２（ｍ−１））／２］が相当する。異方導電性シート全体としては、これらの数値の平均値を用いてもよく、最小値を用いることもでき、シートの必要な場所の最小値又は平均値を用いることもできる。平均値を用いる場合は、シート全体としてのファインピッチの性能を示し、最小値を用いるときは、保証できる最小端子間間隔を規定すると考えられる。また、比較的均一に導電性エラストマーが配置されている場合は、縞模様の短冊状部材において、単位長さあたりの所定の長さの導電性エラストマーの出現回数や導電性エラストマーの累積長さを用いてもよい。本実施例においては、繰り返し間隔は、平均若しくは最小値を用いたとしても約４０μｍであり、単位長さあたりの導電性エラストマーの累積長さは、約０．６ｍｍ／ｍｍである。
本実施例の異方導電性シートは、上述の巾や長さを足すことにより、その寸法が明示できるが、巾や長さに制限はなく、また、厚みＴについても制限がない（本実施例の異方導電性シートの厚みは、約１ｍｍである。）。但し、回路基板と電子部品の端子間を接続するために用いる場合は、これらの寸法と整合するような大きさであると好ましい。このような場合は、通常０．５〜３．０ｃｍ×０．５〜３．０ｃｍの厚みが０．５〜２．０ｍｍである。
第３図から第６図において、上述の実施例の異方導電性シートを製造する方法を説明する。第３図においては、導電性シート（Ａ）７０及び非導電性シート（Ｂ）８０が用意されており、これらから、各種シート部材を交互に積み上げてＡＢシート積層体（Ｃ）を作成している様子を示している。積み上げ途中のＡＢシート積層体（Ｃ）９０には、更に、非導電性シート（Ｂ）８２が積み上げられ、その上に導電性シート（Ａ）７２が積み上げられている。これらのシート部材の間には、カップリング剤が施されており、シート部材間は結合される。積み上げ途中のＡＢシート積層体（Ｃ）９０の一番下には、非導電性シート（Ｂ）８３が配置されており、このシート部材の厚みが、第１図及び第２図における１ｔ１１に相当すると考えてよく、そのすぐ上の導電性シート（Ａ）７３の厚みが、第１図及び第２図における１ｔ２１に相当すると考えてよく、順次、シート部材８４、７４、８５、７５の厚みが、それぞれ、第１図及び第２図における１ｔ１２、１ｔ２２、１ｔ１３、１ｔ２３に相当すると考えてよい。即ち、第１図及び第２図の縞模様の短冊状部材１４における非導電性ピース及び導電性ピースの長さは、これらシート部材の厚みを変えることにより自由に変えることができる。同様に、非導電性短冊状部材４０と６０に挟まれた縞模様の短冊状部材の各種部材の長さ２ｔ１１、２ｔ２１、２ｔ１２、２ｔ２２、２ｔ１３、２ｔ２３は、対応する非導電性及び導電性シートの厚みに対応する。通常これらの厚みは、約８０μｍ以下であり、ファインピッチとしてより好ましくは、約５０μｍ以下である。本実施例においては、非導電性ピースの長さを約３０μｍとし、導電性ピースの長さを約５０μｍとするように厚さを調整した。
尚、導電性シートと非導電性シートを交互に積み上げることには、導電性シートを２枚以上連続して積み上げ、それから、非導電性シートを１枚以上積み上げることを含んでよい。また、非導電性シートを２枚以上連続して積み上げ、それから、導電性シートを１枚以上積み上げることが同様に交互に積み上げることに含まれてよい。
第４図は、上述のＡＢシート積層工程により作成されたＡＢシート積層体（Ｃ）９２を切断する第１の切断工程を示している。ＡＢシート積層体（Ｃ）９２は、得られるゼブラ状シート９１の厚みが所望のｔ４ｋ（ｋは自然数）となるように、１−１切断線より切断される。この厚みｔ４ｋは、第１図及び第２図におけるｔ４１、ｔ４２等、に相当する。このように、第１図及び第２図における縞模様の短冊状部材１４の巾は自在に調整することができ、全てを同一としても、異なるとしてもよく、通常は、約８０μｍ以下で、より望ましくは、約５０μｍ以下にされる。本実施例では、約５０μｍとした。
第５図は、上述の第１の切断工程により作成されたゼブラ状シート９３及び非導電性シート（Ｄ）８０から、これらシート部材を交互に積み上げてゼＤシート積層体（Ｅ）を作成しているようすを示している。積み上げ途中のゼＤシート積層体（Ｅ）１００には、更に、非導電性シート８６が積み上げられ、その上にゼブラ状シート９６が積み上げられている。これらのシート部材の間には、カップリング剤が施されており、シート部材間が結合される。積み上げ途中のゼＤシート積層体１００の一番下には、非導電性シート８７が配置されており、このシート部材の厚みが、第１図及び第２図における非導電性短冊状部材１２の巾であるｔ３１に相当すると考えてよく、そのすぐ上のシート部材９７の厚みが、第１図及び第２図におけるｔ４１に相当すると、上述のように考えてよく、順次、シート部材８９、９９の厚みが、それぞれ、第１図及び第２図におけるｔ３２、ｔ４２、に相当すると考えてよい。即ち、第１図の非導電性短冊状部材１２と縞模様の短冊状部材１４の巾は、これらシート部材の厚みを変えることにより自由に変えることができる。通常これらの巾は、約８０μｍ以下であり、ファインピッチとして、より好ましくは約５０μｍ以下である。本実施例においては、非導電性短冊状部材１２の巾を約３０μｍとし、縞模様の短冊状部材１４の巾を約５０μｍとするように厚さを調整した。
第６図は、上述のゼＤシート積層工程により作成されたゼＤシート積層体（Ｅ）１０２を切断する第２の切断工程を示している。積層体１０２は、得られる異方導電性シート１０４の厚みが所望のＴとなるように、２−２切断線より切断される。従って、通常は難しい薄い異方導電性シートの作成や厚い異方導電性シートの作成が容易にできる。通常は、約１ｍｍ程度であるが、薄くする場合は、約１００μｍ以下（特に望まれる時には約５０μｍ以下）にすることもでき、数ｍｍとすることもできる。本実施例では、約１ｍｍとした。
第７図及び第８図に上述の異方導電性シートを製造する方法をフローチャートに表した。第７図は、ゼブラ状シートを作成する工程を示す。まず、非導電性シート（Ｂ）を積み重ねるための所定の位置に置く（Ｓ−０１）。オプションとしてカップリング剤を上記非導電性シート（Ｂ）の上に施す（Ｓ−０２）。オプションであるため、この工程を省くことができることはいうまでもない（以下同様）。導電性シート（Ａ）をその上に置く（Ｓ−０３）。積まれたＡＢシート積層体（Ｃ）の厚さ（又は高さ）が所望の厚さ（又は高さ）になっているかをチェックする（Ｓ−０４）。もし所望（所定）の厚さになっていれば第１の切断工程（Ｓ−０８）へと進む。もし所望（所定）の厚さになっていなければオプションとしてカップリング剤を上記導電性シート（Ａ）に施す（Ｓ−０５）。非導電性シート（Ｂ）をその上に置く（Ｓ−０６）。積まれたＡＢシート積層体（Ｃ）の厚さ（又は高さ）が所望の厚さ（又は高さ）になっているかをチェックする（Ｓ−０７）。もし所望（所定）の厚さになっていれば第１の切断工程（Ｓ−０８）へと進む。もし所望（所定）の厚さになっていなければＳ−０２工程に戻り、オプションとしてカップリング剤を上記非導電性シート（Ｂ）に施す。第１の切断工程（Ｓ−０８）では、１枚ずつ若しくは複数枚同時にゼブラ状シートを切り出し、ゼブラ状シートをストックしておく（Ｓ−０９）。
第８図は、ゼブラ状シートと非導電性シート（Ｄ）から異方導電性シートを作成するゼＤシート積層工程を示す。まず、非導電性シート（Ｄ）を積み重ねるための所定の位置に置く（Ｓ−１０）。オプションとしてカップリング剤を上記非導電性シート（Ｄ）の上に施す（Ｓ−１１）。ゼブラ状シートをその上に置く（Ｓ−１２）。積まれたゼＤシート積層体（Ｅ）の厚さ（又は高さ）が所望の厚さ（又は高さ）になっているかをチェックする（Ｓ−１３）。もし所望（所定）の厚さになっていれば第２の切断工程（Ｓ−１７）へと進む。もし所望（所定）の厚さになっていなければオプションとしてカップリング剤を上記ゼブラ状シートに施す（Ｓ−１４）。非導電性シート（Ｄ）をその上に置く（Ｓ−１５）。積まれたゼＤシート積層体（Ｅ）の厚さ（又は高さ）が所望の厚さ（又は高さ）になっているかをチェックする（Ｓ−１６）。もし所望（所定）の厚さになっていれば第２の切断工程（Ｓ−１７）へと進む。もし所望（所定）の厚さになっていなければＳ−１１工程に戻り、オプションとしてカップリング剤を上記ゼブラ状シートに施す。第２の切断工程（Ｓ−１７）では、１枚ずつ若しくは複数枚同時に異方導電性シートを切り出す（Ｓ−１８）。
第９図、第１０図、及び、第１１図に、第２の実施例を示す。この第２の実施例では、加硫済みの導電性シートと未加硫の非導電性シートを用い、上述のような方法で異方導電性シート１１０を作成した。第１０図及び第１１図は、この異方導電性シート１１０のＡ−Ａ断面及びＢ−Ｂ断面を示している。これらの図からわかるように、シート表面では、導電性ピース１２４、１２８、１３２、１４８が凸状態にあり、非導電性ピース１２２、１２６、１３０、１３４、１２０、１４０、１６０よりも突出しているので、コンタクトの信頼性が高い。このような形状となったのは、加熱による未加硫のゴムが収縮したからである。この時の導電性エラストマーは、加硫済みのものであり、非導電性エラストマーは未加硫のものである。未加硫の非導電性エラストマーは、加熱等により加硫済みのエラストマーと接着することができる。そのため、上述の製造方法において、オプションのカップリング剤の付与は必ずしも必要ではなく、工程から削除することができる。
以上のように、本発明の異方導電性シートは、面方向の絶縁性を担保しつつ、厚み方向の導電性を満足するという効果があるばかりでなく、非導電性ピースや導電性ピースの長さ等のサイズを自由に設定でき、高集積化により望まれるファインピッチを容易に達成することができる。また、導電性ピースと非導電性ピースは化学的に結合（ゴムの架橋）しているため、線状の金属等を導電性部に用いたときに生じやすい、導電性部の抜け等による欠落がないという効果がある。更に、導電性ピースは必ず非導電性ピースに囲まれているため、金属などの導電性粒子等を混入させた異方導電性シートに生じやすいシートの面方向における導電性粒子の近接・接触による混線が生じないという効果がある。また、本発明にかかる異方導電性シートは、縞模様の短冊状部材と非導電性短冊状部材を構成要素としているため、短冊状部材間の結合状態を調整することにより、短冊状部材の方向に切断することが容易となることが期待できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の実施例の１つである異方導電性シートを示す見取り図である。
第２図は、第１図の本発明の実施例の１つである異方導電性シートの上左部を部分的に拡大した部分拡大図である。
第３図は、本発明の実施例の１つである異方導電性シートを製造する方法に関し、導電性シートと非導電性シートを積層する工程を図解したものである。
第４図は、本発明の実施例の１つである異方導電性シートを製造する方法に関し、第３図において積層した導電性シートと非導電性シートの積層体を切断する工程を図解したものである。
第５図は、本発明の実施例の１つである異方導電性シートを製造する方法に関し、第４図において切断したシートと非導電性シートを積層する工程を図解したものである。
第６図は、本発明の実施例の１つである異方導電性シートを製造する方法に関し、第５図において積層した積層体を切断する工程を図解したものである。
第７図は、本発明の実施例の１つである異方導電性シートを製造する方法において、積層体（Ｃ）そしてゼブラ状シート部材を作成する方法をフローで示したものである。
第８図は、本発明の実施例の１つである異方導電性シートを製造する方法において、ゼブラ状シート部材等から異方導電性シートを作成する方法をフローで示したものである。
第９図は、本発明のもう１つの実施例である異方導電性シートの平面図である。
第１０図は、第９図における本発明のもう１つの実施例である異方導電性シートのＡ−Ａ断面図である。
第１１図は、第９図における本発明のもう１つの実施例である異方導電性シートのＢ−Ｂ断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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