(57)【要約】本発明の層間接続構造の形成方法は、絶縁層（２６）の両面に形成された配線層（２２）又は金属層（２７）が、層間接続突起（Ｂ）を介して層間で接続された層間接続構造の形成方法であって、プレス面（１）と前記層間接続突起が形成された被積層体との間に、少なくとも、凹状変形を許容するシート材（２）、金属層形成材、及び熱接着性の絶縁層形成材をこの順序で配置する工程、この配置状態でプレス面により加熱プレスを行って、層間接続突起に対応する位置に凸部を有し表面に金属層が形成された積層体を得る工程、この積層体の凸部を除去して、層間接続突起を露出させる工程、及び露出した層間接続突起と、絶縁層を隔てて近接する金属層とを導電接続する工程を含むものである。本発明によると、層間に介在する絶縁層の厚みを均一化することができ、補強繊維を絶縁層に含む場合でも、表面の平坦化や絶縁層の厚み制御が可能な層間接続構造の形成方法、並びに当該方法で形成された層間接続構造及び多層配線基板を提供できる。
2003098984.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁層の両面に形成された配線層又は金属層が、層間接続突起を介して層間で接続された層間接続構造の形成方法であって、
（１ａ）プレス面と前記層間接続突起が形成された被積層体との間に、少なくとも、凹状変形を許容するシート材、金属層形成材、及び熱接着性の絶縁層形成材をこの順序で配置する工程、
（１ｂ）この配置状態でプレス面により加熱プレスを行って、層間接続突起に対応する位置に凸部を有し表面に金属層が形成された積層体を得る工程、
（１ｃ）この積層体の凸部を除去して、層間接続突起を露出させる工程、及び
（１ｄ）露出した層間接続突起と、絶縁層を隔てて近接する金属層とを導電接続する工程を含む層間接続構造の形成方法。
【請求項２】
前記シート材として、離型性を有するクッション紙、金属箔又は離型性を有するゴムシートを用いる請求項１記載の層間接続構造の形成方法。
【請求項３】
絶縁層の両面に形成された配線層又は金属層が、層間接続突起を介して層間で接続された層間接続構造の形成方法であって、
（２ａ）前記層間接続突起に対向する位置のプレス面に凹部を形成するか、又は当該凹部を形成するためのプレートを配置する工程、
（２ｂ）プレス面と前記層間接続突起が形成された被積層体との間に、少なくとも金属層形成材、及び熱接着性の絶縁層形成材をこの順序で配置する工程、
（２ｃ）この配置状態でプレス面により加熱プレスを行って、層間接続突起に対応する位置に凸部を有し表面に金属層が形成された積層体を得る工程、
（２ｄ）前記積層体の凸部を除去して、層間接続突起を露出させる工程、及び
（２ｅ）露出した層間接続突起と、絶縁層を隔てて近接する金属層とを導電接続する工程を含む層間接続構造の形成方法。
【請求項４】
絶縁層の両面に形成された配線層又は金属層が、層間接続突起を介して層間で接続された層間接続構造の形成方法であって、
（３ａ）前記層間接続突起が形成された被積層体、熱接着性の絶縁層形成材、及び金属層形成材を、前記層間接続突起の上面が前記金属層形成材の表面近傍に位置するように積層一体化する工程、
（３ｂ）前記金属層形成材のうち少なくとも前記層間接続突起の上面と重複する部分をエッチングして開口を形成する工程、
（３ｃ）その開口から露出する絶縁層の少なくとも一部を除去して、前記層間接続突起の上面を露出させる工程、及び
（３ｄ）露出した前記層間接続突起の上面から少なくとも前記開口の内周面にかけて導電体層を形成する工程を含む層間接続構造の形成方法。
【請求項５】
絶縁層の両面に形成された配線層又は金属層が、層間接続突起を介して層間で接続された層間接続構造において、その層間接続突起の上面が絶縁層から露出する部分を、絶縁層を隔てて近接する前記配線層又は金属層と導電体層により接続したことを特徴とする層間接続構造。
【請求項６】
前記導電体層がメッキにより形成されたものである請求項５に記載の層間接続構造。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の層間接続構造を何れかの層間に備える多層配線基板。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、多層配線基板などに配線層間の導電接続構造や層間の放熱構造を形成するための層間接続構造の形成方法、並びに当該方法で形成された層間接続構造及び多層配線基板に関する。
背景技術
近年、電子機器等の小形化や高機能化に伴い、電子部品を実装するための配線基板に対しても、多層化、薄層化、ファインパターン化等の要求が高まっている。このため、多層配線基板を構成する絶縁層や配線層も、薄層化する傾向にある。また、高周波信号に対応して特性インピーダンスを制御する場合、絶縁層や配線層の厚み制御を高精度で行う必要がある。
多層配線基板を製造する際、絶縁層上に金属層や配線パターンを形成する工程が必要となるが、これらの方法として、樹脂付き銅箔をラミネートする方法や、当該方法で形成した金属層をエッチングしてパターン形成する方法などが一般的であった。更に、配線層を転写用基材に形成しておき、これを配線基板の最外層に設けた熱接着性の絶縁層に転写する方法なども知られている。
一方、多層配線基板には、配線層間を導電接続するための構造が必要であり、絶縁層の両面に形成された配線層又は金属層が、層間接続突起を介して層間で接続された層間接続構造が幾つか提案されている。例えば、特開平６−３１４８７８号公報には、下層の配線層にバイアホール部分が開口するメッキレジストを積層した後、電解銅めっきによって開口内部に柱状金属体を形成し、続いてメッキレジストを除去してから絶縁性樹脂を全面に塗布して平坦化した後、上層の配線層を形成することで、配線層間を導電接続する方法が開示されている。
また、ＷＯ００／５２９７７号公報には、柱状金属体を構成する金属のエッチング時に耐性を示す別の金属を、下層の配線層の非パターン部を含めた全面に被覆して保護金属層を形成し、その保護金属層の全面に前記柱状金属体を構成する金属のメッキ層を電解メッキにより形成した後、そのメッキ層の表面部分にマスク層を形成してメッキ層をエッチングして柱状金属体を形成した後、保護金属層の浸食が可能なエッチングを行って、非パターン部を被覆する保護金属層を除去した後、絶縁性樹脂を全面に塗布して平坦化した後、上層の配線層を形成することで、配線層間を導電接続する方法が開示されている。
しかしながら、上記のように絶縁性樹脂を塗布して絶縁層を形成する方法では、塗布、硬化、平坦化といった一連の工程が煩雑になると共に、絶縁層の厚み精度（平坦化度）を維持するのも困難になり易い。
一方、配線層間接続用の金属体突起（柱状金属体を含む）を形成した配線層上に、熱接着性の樹脂シートや銅箔付樹脂シートをラミネートすることで、絶縁層を形成する方法も幾つか知られている。特に、銅箔付樹脂シートをラミネートする場合、同時に銅箔が積層されるため、これをエッチングすることで上層の配線層を形成できるという利点がある。
しかし、このようにして形成される導電接続構造では、金属体突起と銅箔は圧接しているだけであり、また、両者の間に樹脂が介在し易く、面同士が均一に接触しにくいなど、配線層間の導電接続の信頼性は十分とは言えなかった。特に絶縁層が補強繊維を含む場合には、補強繊維が接触の妨げとなり、導電接続が行えなかった。
そこで、本発明の目的は、層間に介在する絶縁層の厚みを均一化することができ、補強繊維を絶縁層に含む場合でも、表面の平坦化や絶縁層の厚み制御が可能な層間接続構造の形成方法、並びに当該方法で形成された層間接続構造及び多層配線基板を提供することにある。
発明の開示
上記目的は、以下の如き本発明により達成できる。なお、本発明の層間接続構造の形成方法は、第１発明〜第３発明を含むものである。
即ち、第１発明の層間接続構造の形成方法は、絶縁層の両面に形成された配線層又は金属層が、層間接続突起を介して層間で接続された層間接続構造の形成方法であって、（１ａ）プレス面と前記層間接続突起が形成された被積層体との間に、少なくとも、凹状変形を許容するシート材、金属層形成材、及び熱接着性の絶縁層形成材をこの順序で配置する工程、（１ｂ）この配置状態でプレス面により加熱プレスを行って、層間接続突起に対応する位置に凸部を有し表面に金属層が形成された積層体を得る工程、（１ｃ）この積層体の凸部を除去して、層間接続突起を露出させる工程、及び（１ｄ）露出した層間接続突起と、絶縁層を隔てて近接する金属層とを導電接続する工程を含むことを特徴とする。
第１発明の層間接続構造の形成方法によると、プレス面と被積層体との間に、凹状変形を許容するシート材を配置して、金属層形成材と熱接着性の絶縁層形成材と被積層体とを加熱プレスするため、層間接続突起に対応する位置でシート材の凹状変形が生じて絶縁層形成材の逃げ場が確保できる。このため、層間接続突起の周辺の絶縁層の厚みが変化しにくく、また、逃げ場にあたる凸部は、後の工程で除去されるため、層間接続突起の上方も平坦になる。従って、層間に介在する絶縁層の厚みを均一化しつつ、補強繊維を絶縁層に含む場合でも、表面の平坦化が可能な層間接続構造を形成することができる。また、熱接着性の絶縁層形成材がシート状であるため、塗布方式と比較して、絶縁層の薄層化に好適に対応できる。そして、積層体の凸部を除去して、層間接続突起を露出させた後、露出した層間接続突起とその周囲の金属層とを導電接続するため、絶縁層の両面の金属層を導電接続することができる。なお、凹状変形を許容するシート材を用いる方法では、層間接続突起の形成位置が異なる場合でも同じものが使用できるため、量産化に適する方法となる。
前記シート材として、離型性を有するクッション紙、金属箔又は離型性を有するゴムシートを用いることが好ましい。この場合、シート材に適度な凹状変形が生じて得られる積層体に好適な凸部が形成でき、また、シート材と積層体の金属層との離型も容易になる。
また、第２発明の層間接続構造の形成方法は、絶縁層の両面に形成された配線層又は金属層が、層間接続突起を介して層間で接続された層間接続構造の形成方法であって、（２ａ）前記層間接続突起に対向する位置のプレス面に凹部を形成するか、又は当該凹部を形成するためのプレートを配置する工程、（２ｂ）プレス面と前記層間接続突起が形成された被積層体との間に、少なくとも金属層形成材、及び熱接着性の絶縁層形成材をこの順序で配置する工程、（２ｃ）この配置状態でプレス面により加熱プレスを行って、層間接続突起に対応する位置に凸部を有し表面に金属層が形成された積層体を得る工程、（２ｄ）前記積層体の凸部を除去して、層間接続突起を露出させる工程、及び（２ｅ）露出した層間接続突起と、絶縁層を隔てて近接する金属層とを導電接続する工程を含むことを特徴とする。
第２発明の層間接続構造の形成方法によると、層間接続突起に対向する位置に凹部を形成したプレス面又は凹部を形成するためのプレートを配置したプレス面によって、金属層形成材と熱接着性の絶縁層形成材と被積層体とを加熱プレスするため、層間接続突起の形成位置に絶縁層形成材の逃げ場が確保できる。このため、層間接続突起の周辺の絶縁層の厚みが変化しにくく、また、逃げ場にあたる凸部は、後の工程で除去されるため、層間接続突起の上方も平坦になる。従って、層間に介在する絶縁層の厚みを均一化しつつ、補強繊維を絶縁層に含む場合でも、表面の平坦化が可能な層間接続構造を形成することができる。また、熱接着性の絶縁層形成材がシート状であるため、塗布方式と比較して、絶縁層の薄層化に好適に対応できる。そして、積層体の凸部を除去して、層間接続突起を露出させた後、露出した層間接続突起とその周囲の金属層とを導電接続するため、絶縁層の両面の金属層を導電接続することができる。
第３発明の層間接続構造の形成方法は、絶縁層の両面に形成された配線層又は金属層が、層間接続突起を介して層間で接続された層間接続構造の形成方法であって、（３ａ）前記層間接続突起が形成された被積層体、熱接着性の絶縁層形成材、及び金属層形成材を、前記層間接続突起の上面が前記金属層形成材の表面近傍に位置するように積層一体化する工程、（３ｂ）前記金属層形成材のうち少なくとも前記層間接続突起の上面と重複する部分をエッチングして開口を形成する工程、（３ｃ）その開口から露出する絶縁層の少なくとも一部を除去して、前記層間接続突起の上面を露出させる工程、及び（３ｄ）露出した前記層間接続突起の上面から少なくとも前記開口の内周面にかけて導電体層を形成する工程を含むことを特徴とする。
第３発明の層間接続構造の形成方法によると、熱接着性の絶縁層形成材、及び金属層形成材を用いて積層するため、表面の平坦性も良好で、製造工程的にも有利となる。また、熱接着性の絶縁層形成材がシート状であるため、塗布方式と比較して、絶縁層の薄層化に好適に対応できる。更に、層間接続突起の上面と重複する部分をエッチングして開口を形成するため、その開口を介して絶縁層を除去することで、層間接続突起の上面を露出させることができる。これにより、層間接続突起の上面から少なくとも前記開口の内周面にかけて導電体層が形成できるため、従来技術のような単なる圧接構造と異なり、確実な導電接続が行えるので、配線層等と層間接続突起との導電接続の信頼性が高くなる。
一方、本発明の層間接続構造は、絶縁層の両面に形成された配線層又は金属層が、層間接続突起を介して層間で接続された層間接続構造において、その層間接続突起の上面が絶縁層から露出する部分を、絶縁層を隔てて近接する前記配線層又は金属層と導電体層により接続したことを特徴とする。本発明の層間接続構造によると、層間接続突起の上面が絶縁層から露出する部分を、絶縁層を隔てて近接する前記配線層又は金属層と導電体層により接続してあるため、本発明の形成方法で製造することができるので、層間に介在する絶縁層の厚みを均一化することができ、補強繊維を絶縁層に含む場合でも、表面の平坦化や絶縁層の厚み制御が可能な層間接続構造となる。
上記において、前記導電体層がメッキにより形成されたものであることが好ましい。導電体層がメッキにより形成される場合、導電接続の信頼性がより高い層間接続構造とすることができる。
他方、本発明の多層配線基板は、上記の層間接続構造を何れかの層間に備えることを特徴とする多層配線基板である。本発明の多層配線基板によると、層間接続構造が何れかの層間に存在するため、層間に介在する絶縁層の厚みを均一化することができ、補強繊維を絶縁層に含む場合でも、表面の平坦化や絶縁層の厚み制御が可能で、導電接続の信頼性の高い層間接続構造を有する多層配線基板となる。
発明を実施するための最良の形態
（第１発明の層間接続構造の形成方法）
本実施形態では、コア基板の両面に形成された配線層２２と、絶縁層２６を介してその上層に形成された金属層２７とを、層間接続突起Ｂを介して層間で接続する層間接続構造を形成する例を示す。
先ず、図１（１）に示すように、基材２１の両面に配線層２２がパターン形成され、更にその配線層２２に層間接続突起Ｂが形成された被積層体Ｌを準備する。その際、配線層２２のパターン形成の方法はいずれでもよく、例えば、エッチングレジストを使用する方法や、パターンメッキ用レジストを使用する方法等で作製したもの用いることができる。配線層２２を構成する金属としては、通常、銅、ニッケル、錫等が使用されるが、銅が好ましい。基材２１としては、ガラス繊維とポリイミド樹脂、エポキシ樹脂等の各種反応硬化性樹脂とからなる基材を用いることができる。配線層２２の厚みは、例えば５〜５０μｍ程度である。
配線層２２上に層間接続突起Ｂの形成する方法は、配線層２２と層間接続突起Ｂとが導電接続可能な方法であれば何れでもよく、例えば金属層のエッチングにより形成する方法、金属のメッキにより形成する方法、導電性ペーストにより形成する方法などが挙げられる。
金属層のエッチングにより形成する方法はＷＯ００／５２９７７号公報とＷＯ００／３０４２０号公報に、その形成方法の詳細が開示されている。金属のメッキにより形成する方法は特開平６−３１４８７８号公報などにその形成方法の詳細が開示されている。
本実施形態では、ＷＯ００／５２９７７号公報に記載の形成方法により、層間接続突起Ｂが配線層２２の上に形成された例について説明する。当該形成方法によると、層間接続突起Ｂは、下地導電層１０と保護金属層１１とメッキ層２４とで構成される。
具体的には、層間接続突起Ｂの形成方法は、柱状金属体を構成する金属のエッチング時に耐性を示す別の金属を、下層の配線層２２の非パターン部を含めた略全面に被覆して保護金属層１１を形成する工程、その保護金属層１１の略全面に、柱状金属体を構成する金属のメッキ層２４を電解メッキにより形成する工程、そのメッキ層２４の前記柱状金属体を形成する表面部分に、マスク層を形成する工程、前記メッキ層２４のエッチングを行う工程、及び少なくとも前記保護金属層１１の浸食が可能なエッチングを行って、少なくとも前記非パターン部を被覆する保護金属層１１を除去する工程を含む。その際、予めパターン形成した下層の配線層２２の非パターン部を含めた全面に無電解メッキを行って下地導電層１０を形成した後、更に略全面に電解メッキを行って保護金属層１１を形成している。
本発明の（１ａ）工程は、図１（２）に示すように、プレス面１と層間接続突起Ｂが形成された被積層体Ｌとの間に、少なくとも、凹状変形を許容するシート材２、金属層形成材３、及び熱接着性の絶縁層形成材４をこの順序で配置するものである。本実施形態では、金属層形成材３と絶縁層形成材４とが予め積層一体化された樹脂付き銅箔ＲＣを使用し、プレス面１とは別体のシート材２を配置する例を示す。
このような樹脂付き銅箔ＲＣは、各種のものが市販されており、それらをいずれも使用できる。また、金属層形成材３と絶縁層形成材４とは各々を別々に配置してもよい。
金属層２７となる金属層形成材３としては、銅、ニッケル、錫等、いずれの金属を用いてもよいが、導電性、エッチングのし易さ、コストなどの観点から、配線パターンに汎用されている銅が最も好ましい。また、金属層形成材３の絶縁層形成材４側表面には、樹脂等との接着性を高める目的で黒化処理などを施していてもよい。金属層形成材３の厚みは、例えば５〜５０μｍ程度である。
絶縁層形成材４としては、積層時に変形して加熱等により固化すると共に、配線基板に要求される耐熱性を有するものであれば何れの材料でもよい。具体的には、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂等の各種反応硬化性樹脂や、それとガラス繊維、セラミック繊維、アラミド繊維等との複合体（プリプレグ）などが挙げられる。中でも加熱プレスにより硬化して、被積層体Ｌと積層一体化可能な材料が好ましい。
絶縁層形成材４の厚みは、接着後に層間接続突起Ｂの上面が金属層２７の上面付近又は上面より上方に位置するような厚みとするのが好ましい。具体的には、絶縁層形成材４の厚みは、層間接続突起Ｂの高さ−４０μｍ〜＋２０μｍが好ましく、層間接続突起Ｂの高さ−２０μｍ〜＋１０μｍがより好ましい。なお、本発明では、加熱プレスにより層間接続突起Ｂと金属層形成材３とを圧接して導電接続するものでないため、絶縁層形成材４の厚み精度がさほど厳密に要求されないという利点がある。
シート材２は、加熱プレス時に凹状変形を許容する材料であればよく、クッション紙、ゴムシート、エラストマーシート、不織布、織布、多孔質シート、発泡体シート、金属箔これらの複合体、などが挙げられる。特に、クッション紙、ゴムシート、エラストマーシート、発泡体シート、これらの複合体などの、弾性変形可能なものが好ましい。また、金属層形成材３が加熱プレス時に凹状変形するのを防止する観点から、金属層形成材３に凹状変形を許容する金属箔を介在させて使用するのが好ましい。かかる金属箔としては、銅箔、アルミ箔などの変形し易い金属が好ましい。更に、離型性を有するクッション紙、又は離型性を有するゴムシートを用いるのが好ましい。
シート材２の厚みは、層間接続突起Ｂの高さの半分より厚いのが好ましく、層間接続突起Ｂの高さより厚いのが好ましい。シート材２の厚みや硬さを調整することによって、加熱プレスによって形成される積層体の凸部５の高さや形状を制御することができる。一般に、シート材２の厚みを小さく、また硬さを硬くすると、形成される積層体の凸部５の高さや体積は小さくなる。
両面に同時積層する場合の配置の仕方としては、下型のプレス面１と上型のプレス面１との間に、図１（２）に示す順序で各層を積層配置するのがよい。
本発明の（１ｂ）工程は、図２（３）に示すように、上記のような配置状態でプレス面１により加熱プレスを行って、層間接続突起Ｂに対応する位置に凸部５を有し表面に金属層２７が形成された積層体を得るものである。この工程では、シート材２が、層間接続突起Ｂの存在によって加熱プレス時に凹状変形するため、それに対応する凸部５が積層体に形成される。特に、絶縁層形成材４が補強繊維を含む場合には、凸部５の高さや体積が大きくなる。
加熱プレスの方法としては、加熱加圧装置（熱ラミネータ、加熱プレス）などを用いて行えばよく、その際、空気の混入を避けるために、雰囲気を真空（真空ラミネータ等）にしてもよい。加熱温度、圧力など条件等は、絶縁層形成材４と金属層形成材３の材質や厚みに応じて適宜設定すればよいが、圧力としては、被積層体Ｌに形成された層間接続突起Ｂの総数などに応じて、０．５〜３０ＭＰａの範囲で調整するのが好ましい。これによって、被積層体Ｌの表面形状に応じて絶縁層形成材４と金属層形成材３とが変形して、硬化した絶縁層２６と金属層２７が形成される。形成後に、積層体は脱型、冷却などが通常なされる。
本発明の（１ｃ）工程は、図２（４）に示すように、この積層体の凸部５を除去して、層間接続突起Ｂを露出させるものである。その際、積層体の金属層２７の上面より層間接続突起Ｂの上面が高くなる分を、同時に除去して平坦化してもよい。
凸部５の除去方法としては、研削や研磨による方法が好ましく、ダイヤモンド製等の硬質刃を回転板の半径方向に複数配置した硬質回転刃を有する研削装置を使用する方法や、サンダ、ベルトサンダ、グラインダ、平面研削盤、硬質砥粒成形品などを用いる方法などが挙げられる。研削装置を使用すると、当該硬質回転刃を回転させながら、固定支持された配線基板の上面に沿って移動させることによって、上面を平坦化することができる。また、研磨の方法としては、ベルトサンダ、バフ研磨等により軽く研磨する方法が挙げられる。本発明のように積層体に凸部５が形成されていると、その部分のみを研削するのが容易になり、全体の平坦化がより確実に行える。
本発明の（１ｄ）工程は、図２（５）に示すように、露出した層間接続突起Ｂと、絶縁層２６を隔てて近接する金属層２７とを導電接続するものである。本実施形態では、層間接続突起Ｂの上面を含む金属層２７の略全面に対し、メッキにより導電体層２８を形成する例を示す。これにより、層間接続突起Ｂの上面に接合した導電体層２８を介して、層間接続突起Ｂと金属層２７とが導電接続される。
メッキによる導電体層２８の形成は、無電解メッキ、又は無電解メッキと電解メッキの組合せ、スパッタリングや蒸着と電解メッキの組合せなどにより行うことができる。但し、導電接続の信頼性を高める上で無電解メッキと電解メッキの組合せで形成するのが好ましい。導電体層２８の厚みは１〜３０μｍが好ましい。
無電解メッキには、通常、銅、ニッケル、錫等のメッキ液が使用されるが、これらの金属は、金属層２７を構成する金属と同一でも異なっていてもよく、銅が好ましい。無電解メッキのメッキ液は、各種金属に対応して周知であり、各種のものが市販されている。一般的には、液組成として、金属イオン源、アルカリ源、還元剤、キレート剤、安定剤などを含有する。なお、無電解メッキに先立って、パラジウム等のメッキ触媒を沈着させてもよい。電解メッキについても、周知の方法で行うことができる。
本発明では、更に、導電体層２８と金属層２７とのエッチングを行って金属パターンを形成することができる。導電体層２８と金属層２７とを構成する金属が同じ場合は、同時にエッチングすることができるが、異なる場合には順次エッチングを行えばよい。
以上のようにして得ることができる本発明の層間接続構造は、図２（５）に示すように、絶縁層２６の両面に形成された配線層２２又は金属層２７が、層間接続突起Ｂを介して層間で接続された層間接続構造において、その層間接続突起Ｂの上面が絶縁層２６から露出する部分を、絶縁層２６を隔てて近接する前記配線層２２又は金属層２７と導電体層２８（好ましくはメッキ層）により接続したことを特徴とする。
一方、本発明の多層配線基板は、上記の層間接続構造を何れかの層間に備えることを特徴とする。図示した例では、第１層と第２層を接続および第３層と第４層の接続に、本発明の層間接続構造が採用されてた４層基板となっている。さらに両側の上層に同様な層間接続構造を形成することにより、更に多層化した多層配線基板を形成することができる。また、コア基板や両面金属箔積層板に対しても、本発明の層間接続構造を形成することができる。
〔第１発明の別の実施形態〕
以下、本発明の別の実施形態について説明する。
（１）前記の実施形態では、金属層形成材と絶縁層形成材とが予め積層一体化された樹脂付き銅箔を使用し、プレス面とは別体のシート材を配置する例を示したが、図３（ａ）〜（ｂ）に示すような配置の仕方も可能である。
図３（ａ）に示す例は、プレス面１にシート材２を形成しておくものである。シート材２をプレス面１に直接形成してもよいが、接着剤や粘着剤を用いてシート材２を接着してもよい。また、シート材２の表面に離型層を設けてもよい。特に、離型性及び耐熱性に優れるシリコーンゴムシートを使用するのが好ましい。
図３（ｂ）に示す例は、プレス面１と被積層体Ｌとの間に、シート材２、金属層形成材３、及び絶縁層形成材４を別々に配置すると共に、シート材２と金属層形成材３との間に、離型シート６を追加配置したものである。離型シート６としては、フッ素樹脂フィルム、シリコーン樹脂フィルム、各種の離型紙、繊維補強フッ素樹脂フィルム、繊維補強シリコーン樹脂フィルムなどが挙げられる。
（２）前記の実施形態では、層間接続突起が形成された配線層に対して、本発明の層間接続構造を形成する方法の例を示したが、配線パターンを形成していない、又は形成する前の金属層に層間接続突起が形成されたものに対しても、前記の実施形態と同様にして本発明の層間接続構造を形成することができる。その場合でも、使用する被積層体が異なる以外、同じ工程で実施することができる。このようにして得られるものは、両面金属箔積層板として使用することも可能であり、上記の金属層と金属箔とを同時にエッチングしてパターン形成することも可能である。また、金属層をパターン形成せずにグランド層や電源層として利用することも可能である。
（３）前記の実施形態では、導電体層の形成をメッキにより行う例を示したが、導電性ペーストの塗布、スパッタ蒸着、真空蒸着などにより行うことも可能である。また、これらと電解メッキ等を組み合わせて導電体層を形成してもよい。
導電性ペーストを塗布する場合、スクリーン印刷、スクイーズ法などで塗布すればよく、導電性ペーストとしては、配線基板に使用されるものが何れも使用できる。
（４）前記の実施形態では、両面に配線層が形成されたコア基板を被積層体とし、両面に層間接続構造を形成すべく、両側のプレス面で加熱プレスを行う例を示したが、基板の片面側だけに層間接続構造を形成してもよい。その場合、加熱のためのプレス面を片側だけに設けてもよい。
（第２発明の層間接続構造の形成方法）
第２発明の層間接続構造の形成方法は、絶縁層の両面に形成された配線層又は金属層が、層間接続突起を介して層間で接続された層間接続構造の形成方法であって、（２ａ）前記層間接続突起に対向する位置のプレス面に凹部を形成するか、又は当該凹部を形成するためのプレートを配置する工程、（２ｂ）プレス面と前記層間接続突起が形成された被積層体との間に、少なくとも金属層形成材、及び熱接着性の絶縁層形成材をこの順序で配置する工程、（２ｃ）この配置状態でプレス面により加熱プレスを行って、層間接続突起に対応する位置に凸部を有し表面に金属層が形成された積層体を得る工程、（２ｄ）前記積層体の凸部を除去して、層間接続突起を露出させる工程、及び（２ｅ）露出した層間接続突起と、絶縁層を隔てて近接する金属層とを導電接続する工程を含むものであり、（２ａ）工程と（２ｂ）工程のみが前述した層間接続構造の形成方法と相違する。以下、相違点のみについて説明する。
まず、図４（ａ）に示す状態で配置を行う場合について説明する。この実施形態では、（２ａ）工程において、層間接続突起Ｂに対向する位置のプレス面１に凹部１ａを形成する。
プレス面１の凹部１ａの開口形状と大きさは、層間接続突起Ｂの形状と大きさに応じて決定することができ、凹部１ａの開口面積は、層間接続突起Ｂの上面面積より大きいことが好ましい。また、凹部１ａの深さは、凹部１ａの容積が、層間接続突起Ｂの体積と略同じ又はそれ以上になるように設定することが好ましく、層間接続突起Ｂの体積と略同じになるように設定することがより好ましい。具体的には、例えば凹部１ａの深さが５μｍ以上、好ましくは１０μｍ以上である。
プレス面の凹部１ａの全体形状としては、円錐台、円柱、四角錘台、四角柱などが挙げられるが、円錐台または四角錘台のように、側壁がテーパー状であることが好ましい。
プレス面１に凹部１ａを形成する方法としては、エッチングレジストを用いたハーフエッチング、鋳造、ＮＣ加工などが挙げられる。特に、層間接続突起Ｂを形成する際のパターンを利用して、ハーフエッチングを行うのが、精度及びコストの面から有利である。
（２ｂ）工程では、プレス面１と層間接続突起Ｂが形成された被積層体Ｌとの間に、少なくとも金属層形成材３、及び熱接着性の絶縁層形成材４をこの順序で配置する。なお、プレス面１と金属層形成材３との間には適当なクッション材、離型シートなどを介在させてもよい。
次に、図４（ｂ）に示す状態で配置を行う場合について説明する。この実施形態では、（２ａ）工程において、層間接続突起Ｂに対向する位置のプレス面１に凹部を形成するためのプレート７を配置する。このプレート７には凹部の形成位置に貫通孔７ａが設けられている。プレート７の材質は、金属、樹脂など何れでも良い。
貫通孔７ａを形成する方法としては、エッチングレジストを用いたエッチングやハーフエッチング、鋳造、ＮＣ加工、パンチング、ドリリングなどが挙げられる。プレート７は被積層体Ｌに対して適切に位置合わせがなされる。
更に、図５（ａ）に示す状態で配置を行う場合について説明する。この実施形態では、（２ａ）工程において、層間接続突起Ｂに対向する位置のプレス面１に凹部８ａを形成するためのプレート８を配置する際に、（２ｂ）工程で金属層形成材３を配置するために、プレート８に金属層形成材３の層を形成しておく例である。（２ａ）工程において、層間接続突起Ｂに対向する位置のプレス面１に凹部１ａを形成しておき、同様にプレス面１に金属層形成材３の層を形成してもよい。
なお、プレート８又はプレス面１に金属層形成材３の層を形成する際に、離型層を介在させてもよい。離型層は、金属層形成材３の層を電解メッキで形成する上で、金属製のものが好ましい。金属製の離型層としては、金属層が銅の場合、ニッケル、ステンレス、特に無電解メッキで形成したニッケルなどが好ましい。離型層がセラミック、樹脂などの絶縁性の場合、金属層の形成には無電解メッキなどと電解メッキの組合せが利用される。
（第３発明の層間接続構造の形成方法）
本実施形態では、コア基板の両面の配線層に形成された層間接続突起に対し、本発明の導電接続構造を形成する例を示す。
先ず、図６（１）に示すように、第１発明と同様に基材２１の両面上に配線層２２をパターン形成したものを準備する。
次に、図６（２）に示すように、層間で導電接続を行うための層間接続突起Ｂを配線層２２の上に形成する。層間接続突起Ｂの形成方法は、配線層２２と層間接続突起Ｂとが導電接続可能な方法であれば何れでもよく、例えば金属層のエッチングにより形成する方法、又は金属のメッキにより形成する方法などが挙げられる。前者はＷＯ００／５２９７７号公報とＷＯ００／３０４２０号公報に、後者は特開平６−３１４８７８号公報などにその形成方法の詳細が開示されている。
本実施形態では、ＷＯ００／５２９７７号公報に記載の形成方法により、柱状金属体２４が配線層２２の上に形成された例を前提に説明する。当該形成方法によると、柱状金属体２４と配線層２２との間に、下地導電層１０と保護金属層１１とが介在する。本発明では、これらの層は必ずしも必要なく、柱状金属体２４と配線層２２とを別の金属で構成する場合など、省略することが可能である。
一方、本発明では、熱接着性の絶縁層形成材及び金属層形成材を使用して、これを被積層体に積層一体化するが、絶縁層形成材及び金属層形成材は、別々であっても、予め積層一体化されたものでもよい。本実施形態では、接着性の絶縁層２６ａが形成された金属箔２７を使用する例を示す。このような積層板は、各種のものが市販されており、それらをいずれも使用できる。例えば、金属箔２７としては、いずれの金属を用いてもよいが、導電性、エッチングのし易さ、コストなどの観点から、配線パターンに汎用されている銅が最も好ましい。また、金属箔２７の表面の絶縁層２６ａ側は、樹脂等との接着性を高める目的で黒化処理などを施していてもよい。
接着性の絶縁層２６ａとしては、積層時に変形して加熱等により固化すると共に、配線基板に要求される耐熱性を有するものであれば何れの材料でもよい。具体的には、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂等の各種反応硬化性樹脂や、それとガラス繊維、アラミド繊維等との複合体（プリプレグ）などが挙げられる。中でも加熱加圧（熱ラミネート）により硬化して、コア基板と積層一体化可能な材料が製造工程を簡易化する上で好ましい。
絶縁層２６ａの厚みは、接着後に層間接続突起２４の上面が前記金属箔２７の表面近傍に位置するような厚みとするのが好ましい。具体的には、基材２１表面から層間接続突起２４の上面までの高さに相当する厚み程度であればよい。なお、本発明では、当該積層工程により層間接続突起２４と金属箔２７とを圧接して導電接続するものでないため、絶縁層２６ａの厚み精度がさほど厳密に要求されないという利点がある。
本発明の（３ａ）工程は、図７（３）に示すように、層間接続突起２４が形成された配線層２２と接着性の絶縁層２６ａが形成された金属箔２７とを、層間接続突起２４の上面２４ａが金属箔２７の表面近傍に位置するように積層一体化するものである。ここで、金属箔２７の表面近傍とは、金属箔２７に接していてもよく、１０μｍ以下の距離が好ましい。なお、配線層２２の代わりに配線パターンを形成する前の金属層を用いることも可能である（これについては後述する）。
積層一体化の方法としては、層間接続突起２４が形成されたコア基板等の上下に絶縁層２６ａ付きの金属箔２７を積層配置して、加熱加圧（熱ラミネート、加熱プレス）などすればよい。その際、空気の混入を避けるために、雰囲気を真空（真空ラミネート）にしてもよい。なお、加熱温度など条件等は、絶縁層２６ａの材質に応じて適宜設定される。これによって、コア基板の表面形状に応じて変形して硬化した絶縁層２６が形成される。
本発明の（３ｂ）工程は、図７（４）〜（５）に示すように、前記金属箔２７のうち少なくとも前記層間接続突起Ｂの上面２４ａと重複する部分をエッチングして開口２７ａを形成するものである。ここで、層間接続突起Ｂに相当する柱状金属体２４の上面２４ａは、完全に平坦である必要はなく、メッキで形成した場合には、曲面になり易い。その場合、柱状金属体２４の周壁以外の部分を上面２４ａとする。
また、本発明において、層間接続突起Ｂの上面２４ａと重複する部分とは、層間接続突起Ｂの上面２４ａを金属箔２７に投影した領域と、開口２７ａの領域とが重複（完全一致、部分一致、一方が包含される場合を含む）するような部分を指す。本発明では、導電接続の面積を大きくする観点より、層間接続突起Ｂすなわち柱状金属体２４の上面２４ａを金属箔２７に投影した領域の８０％以上、特に１００％が開口２７ａの領域に含まれるのが好ましい。但し、金属箔２７の開口２７ａの面積が大きすぎると、その周囲に残すべき金属箔２７の幅も大きくなるため配線パターンのファイン化に不利となる。このため、開口２７ａの面積は、層間接続突起Ｂの上面２４ａの面積の０．８〜５倍が好ましい。
エッチングの方法としては、ドライエッチングも可能であるが、ウエットエッチングが好ましく、なかでもドライフィルムレジストなどの感光性樹脂を用いる方法がより好ましい。感光性樹脂とは光により光分解、光架橋、又は光重合を起こすような、低分子量及び／又は高分子量の成分を含む樹脂組成物を指す。被覆には、ドライフィルムをラミネートする方法や感光性樹脂組成物を塗布・硬化させる方法等が利用できる。ドライフィルム（フォトレジスト）は、有機溶剤現像タイプやアルカリ水溶液現像タイプが存在し、加熱圧着ロール等を有するドライフィルムラミネータ等を用いて、熱圧着（ラミネート）が行われる。感光性樹脂組成物の塗布は、各種コーターを用いて行うことができる。
次いで、開口２７ａを形成する部分又はその反転部分を露光し、現像して前者の部分を除去する。このような露光は、フォトマスク用フィルムを介在させつつ、又はフォトプロッター等による直接露光により、露光機を用いて通常、紫外線等により行われる。現像には、ドライフィルムの種類に応じた現像液等が使用され、例えば有機溶剤現像タイプに対してはトリクロロエタン等、アルカリ水溶液現像タイプに対しては、炭酸ナトリウム等が使用される。
上記のようにして、図７（４）に示すような開口３８ａを有するエッチングレジスト３８が形成される。次いで、図７（５）に示すように、金属箔２７の材質に応じたエッチング液を用いて開口２７ａが形成される。エッチング液としては、市販のアルカリエッチング液、塩化物エッチング液、過硫酸アンモニウム、過酸化水素／硫酸等が挙げられる。
エッチングの終了後、必要に応じてエッチングレジスト３８が除去されるが、薬剤除去、剥離除去など、エッチングレジスト３８の種類に応じて適宜選択すればよい。例えば、ドライフィルムレジストである場合、例えば有機溶剤現像タイプに対してはメチレンクロライド等、アルカリ水溶液現像タイプに対しては、水酸化ナトリウム等で剥離することができる。なお、エッチングレジスト３８の除去を次の（３ｃ）工程と同時に行うことも可能である。
本発明の（３ｃ）工程は、図８（６）に示すように、開口２７ａから露出する絶縁層２６の少なくとも一部を除去して、層間接続突起２４の上面２４ａを露出させるものである。ここで、層間接続突起２４の上面２４５は全て露出させる必要はないが、導電接続の面積を大きくする観点より、上面２４ａの全てを露出させることが好ましい。
絶縁層２６を除去する方法は、バフ研磨、ベルトサンダ、機械研削、レーザー照射、プラズマエッチング、転写剥離などを使用することも可能であるが、ブラスト加工、又はケミカルエッチングにより、開口２７ａから露出する絶縁層２６を選択的に除去する手段を用いるのが好ましい。サンドブラスト等のブラスト加工では表面の凹部に対しても研削効果が得られ、しかも金属より樹脂等の絶縁層をより速く除去できるため、柱状金属体の上面をより確実に露出させられるようになる。また、ケミカルエッチングでも同様に絶縁層を選択的に除去することができる。
ブラスト加工としては、乾式又は湿式によるサンドブラスト、金属粒子ブラストなどが挙げられる。ケミカルエッチングとしては樹脂を選択的に分解等する薬液等が使用できる。なお、絶縁層２６を除去する際、先に設けたエッチングレジスト３８を、マスク材として利用することも可能であり、その場合、エッチングレジスト３８は、（３ｃ）工程の後に除去される。
本発明の（３ｄ）工程は、図８（７）に示すように、露出した層間接続突起２４の上面２４ａから少なくとも開口２７ａの内周面にかけて導電体層２９を形成するものである。本実施形態では、上面２４ａを含む金属箔２７の略全面へメッキにより導電体層２９を形成する例を示す。これにより、上面２４ａに接合した導電体層２９ａ、開口２７ａの内周面に接合した導電体層２９ｂ、その周囲の導電体層２９ｃを介して、層間接続突起２４と金属箔２７とが導電接続される。
メッキによる導電体層２９の形成は、無電解メッキ、又は無電解メッキと電解メッキの組合せなどにより行うことができるが、導電接続の信頼性を高める上で無電解メッキと電解メッキの組合せで形成するのが好ましい。その際、導電体層２９の厚みは１〜５０μｍが好ましい。
無電解メッキには、通常、銅、ニッケル、錫等のメッキ液が使用されるが、これらの金属は、金属箔２７を構成する金属と同一でも異なっていてもよく、銅が好ましい。無電解メッキのメッキ液は、各種金属に対応して周知であり、各種のものが市販されている。一般的には、液組成として、金属イオン源、アルカリ源、還元剤、キレート剤、安定剤などを含有する。なお、無電解メッキに先立って、パラジウム等のメッキ触媒を沈着させてもよい。電解メッキについても、周知の方法で行うことができる。
本実施形態では、図８（８）〜図９（１０）に示すように、更に、導電体層２９と金属箔２７とのエッチングを行って金属パターンを形成する（３ｅ）工程を実施することができる。導電体層２９と金属箔２７とを構成する金属が同じ場合は、同時にエッチングすることができるが、異なる場合には順次エッチングを行えばよい。
まず、図８（８）に示すように、ドライフィルムレジストなどがラミネートされ、図９（９）に示すように、金属パターンの形状に応じて露光し、現像してエッチングレジスト３０ａが形成される。次いで、図９（１０）に示すように、導電体層２９と金属箔２７の材質に応じたエッチング液を用いてエッチングが行われて金属パターン２７ｂが形成される。その後、図９（１１）に示すように、エッチングレジスト３０ａが除去される。これらの工程は、（３ｂ）工程と同様にして行うことができる。
以上のようにして得ることができる本発明の導電接続構造は、図９（１１）に示すように、層間で導電接続を行うための層間接続突起２４と、その層間接続突起２４の上面２４ａの少なくとも一部を露出させつつ層間接続突起２４の周囲に配置された絶縁層２６と、その絶縁層２６に積層され前記層間接続突起２４の上面２４ａと重複して開口する金属パターン２７ｂと、層間接続突起２４の上面２４ａから少なくとも前記金属パターン２７ｂの開口２７ａの内周面にかけて形成された導電体層２９とを備えるものである。
（第３発明の別の実施形態）
以下、本発明の別の実施形態について説明する。
（１）前記の実施形態では、ＷＯ００／５２９７７号公報に記載の方法で、層間接続突起を成形する例を示したが、第１発明と同様に、他の方法で形成することも可能である。
（２）前記の実施形態では、層間接続突起が形成された配線層に対して、本発明の導電接続構造を形成する方法の例を示したが、配線パターンを形成していない、又は形成する前の金属層に層間接続突起が形成されたものに対しても、前記の実施形態と同様にして本発明の導電接続構造を形成することができる。
その場合、配線パターンを有さない金属層と、接着性の絶縁層が形成された金属箔とを、層間接続突起の上面が前記金属箔の表面近傍に位置するように積層一体化すればよく、その後の工程は全く同じである。但し、このようにして得られるものは、両面金属箔積層板として使用することも可能であり、上記の金属層と金属箔とを同時にエッチングしてパターン形成することも可能である。また、金属層をパターン形成せずにグランド層や電源層として利用することも可能である。
（３）前記の実施形態では、層間接続突起の上面を含む金属箔の略全面へメッキして導電体層を形成する例を示したが、露出した層間接続突起の上面から開口の内周面にかけてメッキすることで導電体層を形成してもよい。
その場合、開口と一致し又はそれよりやや小さく重複した開口部を有するメッキレジストを設けてから、導電体層が形成される。そのとき、開口部の内側に選択的にメッキが行われるようにするのが好ましく、電解メッキを行う場合にはメッキレジストを設ける前に導電性の下地となる無電解メッキ層を形成すればよい。また、無電解メッキで導電体層を形成する場合、触媒を開口部の内側に選択的に吸着させるなどすればよい。
（４）前記の実施形態では、導電体層の形成をメッキにより行う例を示したが、導電性ペーストの充填、スパッタ蒸着、真空蒸着などにより行うことも可能である。また、これらと電解メッキ等を組み合わせて導電体層を形成してもよい。
導電性ペーストを充填する場合、金属箔の開口を介して、その内部にスクリーン印刷、スクイーズ法などで充填すればよく、導電性ペーストとしては、配線基板に使用されるものが何れも使用できる。また、導電性ペーストの充填は、金属箔の表面と略同じ高さになるように行うのが好ましく、これによって金属パターンの平坦化が可能となり、層間接続突起の直上に上層の層間接続突起が形成し易くなる。
スパッタ蒸着や真空蒸着についても、導電性の薄膜が形成できればよく、従来公知の薄膜形成方法が何れも使用できる。なお、スパッタ蒸着や真空蒸着を、上記（３）のメッキレジストを設ける前に行って、導電体層を電解メッキで形成する際の下地導電層としてもよい。
産業上の利用可能性
本発明によると、層間に介在する絶縁層の厚みを均一化することができ、補強繊維を絶縁層に含む場合でも、表面の平坦化や絶縁層の厚み制御が可能な層間接続構造の形成方法、並びに当該方法で形成された層間接続構造及び多層配線基板を提供できる。従って、本発明は産業上の利用可能性が高いものである。
【図面の簡単な説明】
図１〜図２は、第１発明の層間接続構造の形成方法の一例を示す工程図である。図３は、第１発明の層間接続構造の形成方法の他の例を示す工程図である。図４〜図５は、第２発明の層間接続構造の形成方法の一例を示す工程図である。図６〜図９は、第２発明の層間接続構造の形成方法の一例を示す工程図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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