(57)【要約】電気抵抗が１０３Ω／□以下の抵抗層（Ｂ）又は導体層（Ａ）と磁性体微粒子を誘電体バインダーで固定した磁性体層（Ｃ）を積層した電磁波遮蔽シートは、伝送ケーブル又はＬＳＩ用シートとして最適であり、これらのシートで被覆した電磁波遮蔽伝送ケーブル又は電磁波遮蔽ＬＳＩは自らの電磁波輻射を抑制し、また外部からの電磁波による影響を受けることが少ない。
2003081973.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気抵抗が１０３Ω／□以下の抵抗層又は導体層（Ｂ又Ａ）と磁性体微粒子を誘電体バインダーで固定した磁性体層（Ｃ）を積層したことを特徴とする電磁波遮蔽シート
【請求項２】
前記（Ｂ）が、電気抵抗１０−２〜１０３Ω／□の抵抗層であることを特徴とする請求の範囲第１項記載の電磁波遮蔽シート。
【請求項３】
前記（Ｂ又はＡ）と（Ｃ）からなる積層体のさらに片面に絶縁層、反対面に補強層を積層したことを特徴とする請求の範囲第１又は２項記載の電磁波遮蔽シート。
【請求項４】
磁性体層（Ｃ）を構成する磁性体微粒子の初期透磁率が５以上であることを特徴とする請求の範囲第１〜３項いずれか記載の電磁波遮蔽シート。
【請求項５】
請求の範囲第１〜４項いずれか記載の電磁波遮蔽シートを伝送ケーブルの電磁波遮蔽のために用いることを特徴とする伝送ケーブル用電磁波遮蔽シート。
【請求項６】
抵抗層（Ｂ）が、磁性体層（Ｃ）の両側に積層されていることを特徴とする請求の範囲第５項記載の伝送ケーブル用電磁波遮蔽シート。
【請求項７】
前記（Ｂ）が、電気抵抗１〜１０２Ω／□の抵抗層である請求の範囲第５又は６項記載の伝送ケーブル用電磁波遮蔽シート。
【請求項８】
前記（Ｂ）が、電気抵抗１〜６０Ω／□の抵抗層である請求の範囲第５又は６項記載の伝送ケーブル用電磁波遮蔽シート。
【請求項９】
請求の範囲第１〜４項いずれか記載の電磁波遮蔽シートをＬＳＩの電磁波遮蔽のために用いることを特徴とするＬＳＩ用電磁波遮蔽シート。
【請求項１０】
前記（Ｂ又はＡ）が磁性体層（Ｃ）の片側に積層されていることを特徴とする請求の範囲第９項記載のＬＳＩ用電磁波遮蔽シート。
【請求項１１】
前記（Ｂ）又は（Ａ）が、電気抵抗２０Ω／□以下の抵抗層又は導体層であることを特徴とする請求の範囲第９又は１０項記載のＬＳＩ用電磁波遮蔽シート。
【請求項１２】
前記（Ｂ）が、電気抵抗１０−２〜２０Ω／□の抵抗層であることを特徴とする請求の範囲第９又は１０項記載のＬＳＩ用電磁波遮蔽シート。
【請求項１３】
磁性体層（Ｃ）の厚みが０．０５〜０．５ｍｍであることを特徴とする請求の範囲第９〜１２項いずれか記載のＬＳＩ用電磁波遮蔽シート。
【請求項１４】
本文で定義する、電磁波発生源から１ｍ離れた点で測定した輻射電界強度減衰量が４ｄＢ以上であることを特徴とする請求の範囲第９〜１３項いずれか記載のＬＳＩ用電磁波遮蔽シート。
【請求項１５】
電気抵抗が１０３Ω／□以下の抵抗層又は導体層（Ｂ又Ａ）と磁性体微粒子を誘電体バインダーで固定した磁性体層（Ｃ）を積層した電磁波遮蔽シートで、ケーブルの長手方向の一部又は全長を被覆したことを特徴とする電磁波遮蔽伝送ケーブル。
【請求項１６】
請求の範囲第２〜８項いずれか記載の電磁波遮蔽シートで、ケーブルの長手方向の一部又は全長を被覆したことを特徴とする電磁波遮蔽伝送ケーブル。
【請求項１７】
請求の範囲第２〜８項いずれか記載の電磁波遮蔽シートで、ケーブルの長手方向の一部又は全長を被覆し、さらにその外側を熱収縮チューブで被覆したことを特徴とする電磁波遮蔽伝送ケーブル。
【請求項１８】
抵抗層又は導体層（Ｂ又はＡ）の両端または片端を接地した請求の範囲第１５〜１７項いずれか記載の電磁波遮蔽伝送ケーブル。
【請求項１９】
多芯ケーブルにおいて、信号を伝送する２線を隣接するように配置した請求の範囲第１５〜１８いずれか記載の電磁波遮蔽伝送ケーブル。
【請求項２０】
請求の範囲第１〜８項いずれか記載の電磁波遮蔽シートを磁性体コアと接触させて用いることを特徴とする請求の範囲第１５又は１６項記載の電磁波遮蔽伝送ケーブル。
【請求項２１】
磁性体コアを導電体で被覆し、この導電体に電磁波遮蔽シートを接触させて用いることを特徴とする請求の範囲第２０項記載の電磁波遮蔽伝送ケーブル。
【請求項２２】
電気抵抗が１０３Ω／□以下の抵抗層又は導体層（Ｂ又はＡ）と磁性体微粒子を誘電体バインダーで固定した磁性体層（Ｃ）を積層した電磁波遮蔽シートで、ＬＳＩを被覆したことを特徴とする電磁波遮蔽ＬＳＩ。
【請求項２３】
請求の範囲第２〜４、９〜１４項いずれか記載の電磁波遮蔽シートで、ＬＳＩを被覆したことを特徴とする電磁波遮蔽ＬＳＩ。
【請求項２４】
磁性体層（Ｃ）がＬＳＩ側にくるように電磁波遮蔽シートを被覆したことを特徴とする請求の範囲第２２又は２３項記載の電磁は遮蔽ＬＳＩ。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は電磁波遮蔽シート及びその用途に関し、更に詳しくは、デジタル情報の有線伝送ケーブル、あるいは大規模集積回路（ＬＳＩ＝Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）におけるＥＭＣ（不要輻射を出さないし、受けない機構）を改良するための電磁波遮蔽シート及びそれを適用した電磁波遮蔽伝送ケーブル及び電磁波遮蔽ＬＳＩに関する。
背景技術
ＬＡＮあるいはＡＤＳＬなどのデジタル情報の伝送には、ツイスト・ペアーと称する伝送ケーブルが多用されている。この伝送ケーブルで情報の伝送を行う場合、半導体の不平衡動作に起因する不平衡成分（コモンモード）が生じ、ＥＭＣを劣化させるという問題がある。
従来、これを抑制する手段としては、図６に示すように、複数の芯線４を絶縁体７で被覆したケーブル６を円筒型焼結フエライト８に貫通させ、このケーブル６を流れる電流により生じる磁束をフエライトに交差させることでヒステレシス損失を生じさせ、不平衡成分による不要輻射を抑圧するようにしていた。
ケーブルで情報伝送を行う場合、図７（ａ）に示すノーマルモード（平衡成分）と図７（ｂ）に示すコモンモード（不平衡成分）の２種類の伝送形態がある。図７（ａ）のノーマルモードでは、電界１および磁界２がケーブル６の芯線４の中心に集中するので、外部輻射は無視できるほど小さくなっている。これに対して、図７（ｂ）のコモンモードでは、複数の芯線４（図では簡単の為に２本だけで表示）の電界１および磁界２が外部に広がり、電磁エネルギーがケーブル外部に輻射される。１５は仮想大地を示す。
そこで、図８（ａ），（ｂ）に示すように、ケーブル６の絶縁体外被７の一部を焼結フエライトコア３で覆い、電磁エネルギーが中央に集中するノーマルモードでは無視できる輻射に留め（図８（ａ））、また電磁エネルギーの広がるコモンモードに対しては、大きなヒステレシス損失を与えることにより輻射を抑制するようにしてきた（図８（ｂ））。  しかしながら、上記のように円筒型焼結フエライト３でケーブル６の一部を覆うようにする従来の方法では、（１）コモンモードの電流が大きい（当該インピーダンスが低い）点で大きな磁界がフエライトに交差しないと大きな損失が得られない。すなわち、高インピーダンス点では効果が低い。また、（２）スネークの限界（Ｓｎｏｅｋ’ｓ  ｌｉｍｉｔ）と称される周波数限界により、３００ＭＨｚ以上の周波数では磁性体の作用が低下するので、最近のギガビット伝送では使えない、と言う二つの問題があった。特にマイクロ波のように波長の短い周波数では、ケーブルのインピーダンスの高低はケーブルの電気長に沿い周期的に変動するので、上記問題を一層難しくしている。
一方、電子機器の電磁波遮蔽においては、高速デジタルＬＳＩなどのＬＳＩから輻射する電磁波が他の電子部品、電子回路或いは電子機器に妨害を与えたり、逆にこれらから輻射した電磁波から干渉を受けたりしないようにする対策（ＥＭＣ対策）が要求されている。従来のＥＭＣ対策には、図１２に示すような構成が採用されている。
すなわち、図１２において、１０２がＬＳＩであり、その表面はシリコーンコンパウンド１０２ａで封止されている。このＬＳＩ１０２は電子基板１０３に取り付けられ、シリコーンコンパウンド１０２ａで封止された上面に磁性体シート１１１を貼り付けることにより、ＬＳＩ１０２から輻射される電磁波１０４を抑圧するようにしている。その磁性体シート１１１には、磁性体粉末をバインダーで固めたものが一般的に使用されており、通常厚さが約１ｍｍになっている。
上記ＥＭＣ構造に使用される磁性体シート１１１の輻射減衰率の測定には、図１３に示すような簡便法が使用され、ＬＳＩに代えて信号源１０８により励振される電波を放射する微小ループアンテナ１０５を磁性体シート１１１に距離ｄに近接配置する。この距離ｄの大きさは、ＬＳＩに外装されたシリコーンコンパウンド１０２ａの厚さで決められ、通常は約１ｍｍ程度である。磁性体シート１１１を透過した電磁波は反対側に近接配置した受信ループアンテナ１０５’で受信し、受信計器１０６により磁性体シート１１１による透過量を測定する。この測定で得られる結果を近−近点の測定結果という。
この近−近点の測定結果は図１５のグラフのようになる。図１５において、曲線ａは磁性体シート１１１の厚さが１ｍｍの場合であり、同じく曲線ｂは厚さが０．０９ｍｍの場合である。磁性体の厚さが１ｍｍあれば１０〜１５ｄＢ前後の減衰量が得られる。しかるに、実際の電子基板の遮蔽は近接した点に限定されることはなく、図１４に示すように、数十ミリ或いは数メートルの距離Ｄが離れた点（遠点）の遮蔽減衰も必要とされる。この場合の受信点は近接したループではなく、通常のアンテナ７を使用して測定することになる。これを遠−近点測定結果という。
図１６は、図１４による近−遠点測定結果（Ｄ＝１ｍ）を示す。（だだし、縦軸は輻射強度で示す。）同図１６において、曲線ａは磁性体シートの厚さが１ｍｍの場合であり、曲線ｂは厚さが０．０９ｍｍの場合である。ここで注目すべきは、磁性体シートの厚さが１ｍｍの場合の輻射量が増大しており、目的に反した特性になっている。また、シートの厚さを０．０９ｍｍにすれば、図１５に示すように近−近点の遮蔽効果を失うことになる。
ところが、実際に必要とされるＬＳＩの電磁遮蔽は、遠−近、近−近のいずれの場合にも抑圧効果をもつものでなければならない。
発明の開示
本発明の第１の目的は電磁波の輻射を防止し、また外部からの電磁波妨害を受けない電磁波遮蔽シートを提供する。
その発明の構成は、電気抵抗が１０３Ω／□以下の抵抗層又は導体層（Ｂ又はＡ）と磁性体微粒子を誘電体バインダーで固定した磁性体層（Ｃ）を積層したことを特徴とする電磁波遮蔽シートである。
また、前記（Ｂ）が、電気抵抗１０−２〜１０３Ω／□の抵抗層であること、前記（Ｂ又はＡ）と（Ｃ）からなる積層体のさらに片面に絶縁層、反対面に補強層を積層すること、磁性体層（Ｃ）を構成する磁性体微粒子の初期透磁率が５以上であることは好ましい態様である。
本発明の第２の目的は、伝送ケーブルを被覆するための伝送ケーブル用電磁波遮蔽シートを提供する。
その発明の構成は、上記電磁波遮蔽シートを伝送ケーブルの電磁波遮蔽のために用いることを特徴とする伝送ケーブル用電磁波遮蔽シートである。
また、抵抗層又は導体層（Ｂ又はＡ）が、磁性体層（Ｃ）の両側に積層されていること、前記（Ｂ）が、電気抵抗１〜１０２Ω／□の抵抗層であること、前記（Ｂ）が、電気抵抗１〜６０Ω／□の抵抗層であることは好ましい態様である。
本発明の第３の目的は、ＬＳＩを被覆するためのＬＳＩ被覆用電磁波遮蔽シートを提供することにある。
その発明の構成は、上記電磁波遮蔽シートをＬＳＩの電磁波遮蔽のために用いることを特徴とするＬＳＩ用電磁波遮蔽シートである。
また、前記（Ｂ又はＡ）が磁性体層（Ｃ）の片側に積層されていること、前記（Ｂ）が、電気抵抗２０Ω／□以下の抵抗層又は導体層であること、前記（Ｂ）が、電気抵抗１０−２〜２０Ω／□の抵抗層であること、磁性体層（Ｃ）の厚みが０．０５〜０．５ｍｍであること、本文で定義する、電磁波発生源から１ｍ離れた点で測定した輻射電界強度減衰量が４ｄＢ以上であることは好ましい態様である。
本発明の第４の目的は、インピーダンスに関係なく数ギガビットであってもコモンモードの抑制作用を実現可能にする電磁波遮蔽伝送ケーブルを提供する。
その発明の構成は、上記電磁波遮蔽シート又は伝送ケーブル用電磁波遮蔽シートで伝送ケーブルの長手方向の一部又は全長を被覆したことを特徴とする電磁波遮蔽伝送ケーブルである。
また、多芯ケーブルにおいて、信号を伝送する２線を隣接するように配置し、その多芯ケーブルの長手方向の一部又は全長を被覆したことを特徴とする電磁波遮蔽伝送ケーブルである。
さらには、磁性体コアと電磁波遮蔽シートを併用してケーブルを被覆する電磁波遮蔽電送ケーブルである。
また、電磁波遮蔽シート又はチューブ状シートでケーブルの長手方向の一部又は全長を被覆し、さらにその外側を収縮チューブで被覆し固定すること、抵抗層又は導体層（Ｂ又はＡ）の両端または片端を接地することは、好ましい態様である。
本発明の第５の目的は、遠−近点間及び近−近点間のいずれの場合にも、電磁波抑圧効果を有する電磁波遮蔽ＬＳＩを提供する。
その発明の構成は、上記電磁波遮蔽シート又はＬＳＩ用電磁波遮蔽シートでＬＳＩの上面を被覆したことを特徴とする電磁波遮蔽ＬＳＩである。
また、磁性体層（Ｃ）がＬＳＩ側にくるように電磁波遮蔽シートで被覆することは好ましい態様である。
発明を実施するための形態
本発明において、抵抗層Ｂとは抵抗体をシート状に構成したものを言い、抵抗体とは、電気抵抗が１０−２〜１０３Ω／□のものを言う。導体層Ａとは導電体をシート状に構成したものであり、導電体とは、電気抵抗が１０−２Ω／□以下のものを言う。
本発明で言うシートとは、テープ状、チューブ状、リボン状、幅の広い敷物状などすべての形状を含む概念を言う。そして、本発明の電磁波遮蔽シートをケーブルに捲回するにはテープ状のものが好ましく、本発明ではその場合電磁波遮蔽テープと呼ぶ。
図１は、本発明の伝送ケーブル用電磁波遮蔽テープの一例を長手方向に直交する横断面で示したものである。
この電磁波遮蔽テープ５は、導体層Ａ（又は抵抗層Ｂ）と抵抗層Ｂの間に磁性体層Ｃを挟むように積層して構成されている。また、中間の磁性体層Ｃは、磁性体微粒子と誘電体バインダーとの混合体からなり、磁性体微粒子は誘電体バインダーで固定された状態になっている。
この電磁波遮蔽テープ５を、図２に示すように、伝送ケーブル６の長手方向に沿って、その一部または全長を覆うように巻き付けることにより、後述するようにケーブル６から電磁波を輻射したり、かつ外から受けたりしないようにする作用効果を奏する。ここでケーブル６は、複数の芯線４を一括した中心導体４０の周囲にゴム、軟質樹脂などの絶縁体７を被覆して形成されている。また、電磁波遮蔽テープ５は、ケーブル６に対し抵抗層Ｂを内側にして巻き付けられる。巻き付け方は特に限定されないが、ケーブル６の長手方向に対して斜めに螺旋状に連続的に巻き付けるのがよい。
抵抗層Ｂとしては、電気抵抗が１０−２〜１０３Ω／□のものであり、好ましくは電気抵抗が１〜１０２Ω／□以上であるものがよい。例えば、プラスチックやゴムに対し、アルミニウム、銀、ニッケル等の金属、ＩＴＯ（インジウム・錫酸化物）、酸化錫などの金属酸化物、カーボンブラックなどの導電体をメッキ、蒸着、熔射等の手法で作成した膜をつけたものやこれらの物質を通常の方法でプラスチックに混合したシートを使用することができる。
磁性体層Ｃは、磁性体微粒子を誘電体バインダーで固定したものである。磁性体層の透磁率は大きい程よいが、通常１５以上あれば使用可能である。磁性体微粒子としては、初期透磁率が５以上であることが好ましく、ニッケル、パーマロイ、アモルファス合金などの金属、フェライト、カルボニール鉄のような金属化合物の微粒子を使用することができる。現実的には、磁気テープ等の磁性テープを複数枚重ねたものでもよい。特に、廃ビデオテープは資源リサイクルも兼ねることができるので、一層好ましく使用することができる。
本発明の伝送ケーブル用電磁波遮蔽テープは、上記のように導体層Ａ（又は抵抗層Ｂ）と抵抗層Ｂの間に磁性体層Ｃをサンドイッチ状に積層した構成としたことにより、（１）ケーブルの周囲を磁性体層Ｃで覆うのみならず、抵抗層Ｂを付加して覆っているので、電界の高い（インピーダンスの高い）点であっても減衰が増えるようにすることができる。また、（２）焼結型フエライトではなくフエライト微粒子を誘電体バインダーで固定した磁性体と誘電体との双方の作用を持つ電磁波遮蔽テープでケーブルを覆っているので、減衰機能が可能な周波数を焼結型フエライトの１０〜２０倍に拡張することができる。
図２を参照して具体的に説明すると、複数の芯線４を一括した中心導体４０にコモンモード電流ｉが流れると、中心導体４０の周囲には磁界Ｈが生じる。この磁界Ｈは負荷インピーダンスが低ければ大きな値となり、電磁波遮蔽テープ５の磁性体層Ｃによりヒステレシス損失を受ける。一方、負荷インピーダンスが高い点では電界Ｅが高まり、抵抗層Ｂにより損失を受ける。すなわち、電磁波遮蔽テープ５は、ケーブル６のインピーダンスの高低に拘らず、コモンモード電磁エネルギーに損失を与える作用をことが出来るのである。
また、電磁波遮蔽テープ５の特記すべき作用は、もし磁性体層Ｃが無ければ抵抗層Ｂが導体層Ａに密着するので、抵抗層Ｂに印加される高周波電界Ｅは導体層Ａが抵抗層Ｂに短絡されて実質抵抗値を失い、伝送損失を失うことになる。しかし、電磁波遮蔽テープ５は磁性体層Ｃを有するため、その磁性体層Ｃの存在により導体層Ａが抵抗層Ｂに及ぼす影響を大きく軽減することができる。
上記の抵抗層Ｂは、電気抵抗が１〜１０２Ω／□であることが好ましく、さらに好ましくは１〜６０Ω／□であるのがよい。このときの導体層（Ａ）は、電気抵抗が１０−２Ω／□以下の導体から構成されたものであれば特に限定されない。例えば、銅、アルミニウム等の金属箔、或いはフィルムや編織物等の表面に導電性物質をメッキ、蒸着、熔射などで導電性薄膜を形成したもの等を使用することができる。
また、図３（ａ）の接続において、図４（ａ）及び（ｂ）のように磁性体コアと併用すれば低域周波数の遮蔽効果を向上させることができる。
上記は、磁性体層Ｃを導体層Ａと抵抗層Ｂで挟む例について説明したが、伝送ケーブルの電磁波遮蔽の場合は、２枚の抵抗層Ｂ、Ｂで磁性体層Ｃ挟むようにしてもほぼ同様の効果が得られる。
次に、ＬＳＩ用の電磁波遮蔽シートについて説明する。
ＬＳＩは、一般にシリコーンコンパウンドで封止された状態で用いられる。
本発明の電磁波遮蔽ＬＳＩは、上記シリコーンコンパウンド封止ＬＳＩの上面に電磁波遮蔽シートを貼り付けるに当たり、その電磁波遮蔽シートとして、磁性体微粒子を誘電体バインダーで固定した磁性体層Ｃの外表面に電気抵抗が１００Ω／□以下の抵抗層又は導体層Ｂ又はＡを積層した構成のシートを用いるようにしたものである。
図９は本発明の電磁波遮蔽ＬＳＩを例示したものである。
ＬＳＩ１０２はシリコーンコンパウンド１０２ａで表面を封止され、電子基板１０３に取り付けられている。このＬＳＩ１０２のシリコーンコンパウンド１０２ａで封止された上面に電磁波遮蔽シート１０１が貼り付けられ、この電磁波遮蔽シート１０１によりＬＳＩ１０２から輻射される電磁波を抑圧するようにしている。
図１０は上記のようにＬＳＩの上面に貼り付けられる電磁波遮蔽シートを例示した断面図である。
電磁波遮蔽シート１０１は、磁性体層Ｃと導体層Ａとの積層体からなる。磁性体層Ｃは磁性体微粒子と誘電体バインダーとの混合体であり、かつ分散状態にした磁性体微粒子が誘電体バインダーにより固定された構成になっている。
ここで磁性体微粒子とは、ニッケル、パーマロイ、アモルファス合金、フェライト、カルボニル鉄などの金属微粒子をいう。磁性体微粒子が誘電体バインダーと混合分散して形成された磁性体層Ｃは、磁性体層を構成する磁性体微粒子の初期透磁率が大きいほど好ましく、通常５以上であるものがよい。
磁性体層Ｃは、現実的には磁気テープ等の磁性テープを複数枚重ねたものでもよく、特に廃ビデオテープを使用すれば資源リサイクルの観点からも好ましい。磁性体層Ｃの厚さは特に限定されず、磁性体の定数によって適正化すべきであるが、従来の磁性体シートのように１ｍｍもの厚さは必要なく、通常０．５ｍｍ以下でよく、好ましくは０．０２５〜０．５ｍｍ程度で十分である。
導体層Ａは、電気抵抗が１０−２Ω／□以下の導体から構成される。例えば、銅、アルミニウム等の金属箔、或いは樹脂フィルムや編織物等に導電物質をメッキ、蒸着、熔射することにより導電薄膜を形成したもの等を使用することができる。
この導体層Ａは、外部からの電磁波の干渉を受けないようにする反射板として機能するものである。この導体層Ａは、１辺の電気長が半波長近傍の周波数において共振現象を誘起して、パッチ・アンテナと称するアンテナの動作を行い当該抑圧効果を損なうこともある。この場合は、導体層Ａの代わりに抵抗層Ｂにするか、導体層Ａの上にさらに抵抗層を貼るようにすれば共振を抑圧するようにすることができる。
また、図示していないが導体層Ａの代わりに抵抗層Ｂを用いることもでき、その遮蔽効果はほぼ同じである。この場合の抵抗層Ｂの電気抵抗は１０３Ω／□以下、好ましくは１０−２〜２０Ω／□である。
また、電磁波遮蔽シートのＬＳＩへの接着を容易にするため、接着剤を使用したり、電磁波遮蔽シートの表面にＬＳＩの名板を印刷あるいはシールを貼り付けるようにしてもよい。
通常、大気による空間は３７７Ωの波動インピーダンスを持つ事が知られている。しかし、電流源（即ち、磁気源）の近傍の波動インピーダンスは測定が不可能であり、かつ、理論上では非常に低い値である。そのため本発明では、電磁波遮蔽シートを磁性体層の背面に導体層又は抵抗層を設けた構成にし、さらにその厚さを調節することによりシートのインピーダンスを電流源のインピーダンスに近づけるようにした。
ＬＳＩ側から磁性体層を見たインピーダンスを、前述のＬＳＩが呈するインピーダンスに近づければ、ＬＳＩからの電磁波は磁性体層の損失により吸収減衰される。このように本発明によれば、磁性体層の背面に反射層となる導体層又は抵抗層を設けることにより、近−近点間及び近−遠点間の双方の減衰量の電磁波抑圧作用を実現することができる。
実施例１
単位面積当たり重量が２６０ｇ／ｍ２、厚さが１００μｍの導体層Ａと電気抵抗が３０／□の抵抗層Ｂとの間に、平均粒径１５μｍのアモルファス合金微粒子を６０ｇ／ｍ２の接着材で固定した厚さ１２０μｍの磁性体層Ｃを介在するように積層した電磁波遮蔽テープを作成した。次いで、この電磁波遮蔽テープを広くＬＡＮの標準ケーブルとして使用されている伝送ケーブル（１００ＢＡＳＥ−Ｔ、Ｃａｔｅｇｏｒｙ−５）に２６０ｍｍの長さにわたり巻き付けた。
次いで、この伝送ケーブルに、図３（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、複数の芯線４がコモンモードであるので同相電流が流れるとして、一括して電源インピーダンス（Ｚｇ）１１が５０Ωになる信号源１２に接続して信号を供給するようにした。また、終端に電気抵抗が５０Ωである負荷抵抗（ＺＬ）１３を接続した。また、ケーブル６の外側に巻き付けた電磁波遮蔽テープ５の導体層Ａの大地１５に対する接地状態を３通りに異ならせ、図３ａ）は両端開放、図３（ｂ）は片端接地、図３（ｃ）は両端接地にした。
これら図３（ａ），（ｂ），（ｃ）の３通りの接続につき、それぞれに消費される電力から当該ケーブル６のコモンモードの損失量を計測した。この損失量がケーブルから輻射される不要電磁波の減衰にほぼ等しいといえる。
図４は磁性体コアと電磁波遮蔽シートを併用した例を示し、図４（ａ）では、内径７ｍｍ、外形１０ｍｍ、長さ２８ｍｍの筒状焼結フェライトコア３に電送ケーブル６を貫通し、フェライトコア３の端部とケーブル６の一部を電磁波遮蔽テープ５で巻き付け、被覆した状態を示している。また、図４（ｂ）は、フェライトコア３の表面をアルミ箔からなる導体１６で覆い、その導体１６の端部に接触させて電磁波遮蔽テープ５を巻いた状態を示している。
図５（ａ），（ｂ）のグラフは、それぞれ上記３通りの接続ケースについて測定した高域周波数および低域周波数の動作特性を示す。図５（ａ）は高域周波数特性であり、図５（ｂ）は低域周波数特性である。また、各グラフにおいて、（ｉ）は図３（ａ）の接続、（ｉｉ）は図３（ｂ）の接続、（ｉｉｉ）は図３（ｃ）の接続を表す。
図５（ａ）のグラフから、高域周波数では導体層Ａの接地状態に拘らず図６に示す従来の方法で達成される３〜５ｄＢより遥かに大きな減衰量を示す。また、図５（ｂ）から、低域周波数においては両端開放（ｉ）（図３（ａ）に相当）では数ｄＢの損失に留まっている。この両端開放（ｉ）での低域周波数動作は低域同期信号伝送などの特殊な目的に有効である。  この測定例は両端が５０Ω終端という条件であるが、図３ｂ或いは図３ｃの接地条件であれば、終端インピーダンスの条件に拘らず有効な伝送損失が確保できることが検証されている。
なお、本来の伝送対象であるノーマルモードに対する実効損失は非常に低く、測定不能であった。
また、図３（ａ）の接続において、焼結フェライトコアを図４（ａ）のようにケーブルに被覆し、さらに電磁波遮蔽テープを巻き付けた場合の減衰量を図５（ｉｖ）に示した。
実施例２
シリコーンコンパウンド封止ＬＳＩの上面に、厚さ０．０９ｍｍの酸化第２鉄を主成分とする磁性体粉末をプラスチック・バインダーで固定した磁性体層Ｃと導体層Ａとの積層体からなる電磁波遮蔽用シートを貼り付けた電磁波遮蔽ＬＳＩを製造した。
この電磁波遮蔽ＬＳＩの近−遠点の電磁波吸収減衰データを測定し、図１１の結果を得た。図１１から、０．０１〜０．１ＧＨｚの低域周波数では１５ｄＢ、２ＧＨｚの高域周波数でも約５ｄＢの抑圧を認めることができた。なお、近−近点間の減衰量は非常に大きく測定不能な値であった。
また、上記電磁波遮蔽シートは、図１２に示す従来の磁性体シートに比べて厚さが約１／１０であるため軽量であり、かつ低コストで製作することができた。
実施例３
電気抵抗０．１Ω／□、厚さ０．０１５ｍｍの抵抗層Ｂに、表１に示した厚さの磁性体層Ｃを積層してＬＳＩ用電磁波遮蔽シートを作成した。この電磁波遮蔽シート１０１を、図１７（ａ）に示したように、厚さ１ｍｍの発泡スチロール１６の上に積層し、その下に電磁波発生源として微小ループアンテナ１０５を貼り付けた。この微小ループアンテナ１０５は、直径３．３ｍｍセミリジッドケーブルで外径８ｍｍのループを作り、電界の影響を避けるため図１７（ｂ）に示すように中央部に切り込み１０９を入れたものである。
表１に示したように周波数０．１〜５．０Ｈｚの電磁波を発生させ、電磁波遮蔽シートから１ｍ離れた所に設置したログペリオアンテナ１１０で輻射電界を測定した。
結果を表１に示す。
2003081973.tif 000003
注（１）表中の数値は減衰量（ｄＢ）である。
（２）厚さ０．０２ｍｍ以下は磁性体粒子の径に近くなるため、均一な層ができない。
産業上の利用可能性
本発明は電子機器、特に伝送ケーブル、ＬＳＩから出る電磁波の輻射を防止し、また外部からの電磁波妨害を受けないような電磁波遮蔽シート、あるいはこのシートで被覆した電磁波遮蔽伝送ケーブル、電磁波遮蔽ＬＳＩであり、電子機器を扱う分野において極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
図１は、本発明の電磁波遮蔽テープを例示した断面図である。
図２は、図１の電磁波遮蔽テープが巻き付けられた本発明の電磁波遮蔽伝送ケーブルの一部を示す断面図である。
図３（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ本発明の電磁波遮蔽伝送ケーブルの態様を示す説明図である。
図４（ａ）及び（ｂ）は、磁性体コアと電磁波遮蔽シートを併用した場合の、本発明の電磁波遮蔽伝送ケーブルの態様を示す説明図である。
図５（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ本発明の実施例１の効果を示す実測データグラフである。
図６は、従来の電磁波遮蔽ケーブルの説明図である。
図７（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ伝送ケーブルの電界と磁界の状態を示す説明図である。
図８（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ伝送ケーブルを損失体で覆う場合の効果を示す説明図である。
図９は、本発明の電磁波遮蔽ＬＳＩを示す概略図である。
図１０は本発明に使用されるＬＳＩ電磁波遮蔽用シートを例示した断面図である。
図１１は、本発明の実施例で製作したＬＳＩ電磁波遮蔽用シートの周波数−輻射強度特性を示すグラフである。
図１２は、従来の電磁波遮蔽ＬＳＩを示す概略図である。
図１３は、従来のＬＳＩ電磁波遮蔽用シートの評価方法の説明図である。
図１４は、従来のＬＳＩ電磁波遮蔽用シートの別の評価方法の説明図である。
図１５は、従来のＬＳＩ電磁波遮蔽用シートの周波数−輻射減衰量特性を示すグラフである。
図１６は、従来のＬＳＩ電磁波遮蔽用シートの周波数−輻射強度特性を示すグラフである。
図１７（ａ）及び（ｂ）、それぞれ実施例３で行った輻射強度の測定法を説明する説明図であり、図１７（ａ）は全体図、図１７（ｂ）はループアンテナの平面図である。
【図１】
2003081973.tif 000004
【図２】
2003081973.tif 000005
【図３】
2003081973.tif 000006
【図４】
2003081973.tif 000007
【図５】
2003081973.tif 000008
【図６】
2003081973.tif 000009
【図７】
2003081973.tif 000010
【図８】
2003081973.tif 000011
【図９】
2003081973.tif 000012
【図１０】
2003081973.tif 000013
【図１１】
2003081973.tif 000014
【図１２】
2003081973.tif 000015
【図１３】
2003081973.tif 000016
【図１４】
2003081973.tif 000017
【図１５】
2003081973.tif 000018
【図１６】
2003081973.tif 000019
【図１７】
2003081973.tif 000020
【国際調査報告】
2003081973.tif 000021
2003081973.tif 000022
2003081973.tif 000023
2003081973.tif 000024