【事件の表示】
　特願２００７−１０３３９７「能動型振動絶縁システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年１２月　６日出願公開、特開２００７−３１５５９０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本願は、平成１９年４月１１日（パリ条約による優先権主張２００６年４月１１日、ＥＰ欧州特許庁）の出願であって、平成２２年９月２４日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２３年１月３１日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、その後、当審において、平成２３年１２月１３日付けで拒絶理由が通知されたものである。
　
２．本願発明 
　本願の請求項１〜１８に係る発明は、平成２２年３月３０日付け手続補正、及び平成２４年６月１４日付け手続補正により補正された明細書、特許請求の範囲、及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜１８に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。 
「【請求項１】
　振動絶縁装置上に置かれた少なくとも１つの振動絶縁対象質量と、
　前記振動絶縁対象質量の位置変化または振動を検出するための、能動型振動絶縁システムのテーブルの複数のベアリングの近くに位置する少なくとも１つのセンサと、
　前記振動絶縁対象質量の位置変化または振動を打ち消すための少なくとも１つのアクチュエータと、
　を具備する能動型振動絶縁システムであって、
　理想的な剛体ではない振動絶縁対象質量から生じる構造振動を検出するための少なくとも１つのさらなるセンサを有し、
　前記振動絶縁対象質量の前記構造振動を減ずるために、前記テーブルに作用する前記少なくとも１つのアクチュエータを駆動するための制御装置を有し、その場合補償信号を前記制御装置によって能動型振動絶縁を行うための１つまたは複数の補償信号に加えることができる、能動型振動絶縁システム。
　　【請求項２】
　前記振動絶縁対象質量は、振動絶縁対象を支持するためのホルダを具備する、請求項１に記載の能動型振動絶縁システム。
　　【請求項３】
　前記ホルダの構造振動は、前記少なくとも１つのさらなるセンサによって検出可能である、請求項１または２に記載の能動型振動絶縁システム。
　　【請求項４】
　前記振動絶縁対象の構造振動は、前記少なくとも１つのセンサまたは第３のセンサによって検出可能である、請求項２または３のいずれか１項に記載の能動型振動絶縁システム。
　　【請求項５】
　前記振動絶縁対象質量の構造振動は、少なくとも２つの自由度に関して前記さらなるセンサによって検出可能である、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の能動型振動絶縁システム。
　　【請求項６】
　前記少なくとも１つのさらなるセンサは、前記振動絶縁システムのベアリングから離れた位置に配置され、好ましくは搭載される物体上に配置される、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の能動型振動絶縁システム。
　　【請求項７】
　前記少なくとも１つのさらなるセンサは、前記振動絶縁システムの２つの向き合うベアリングのそれぞれから原則同じ距離離れている、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の能動型振動絶縁システム。
　　【請求項８】
　前記能動型振動絶縁システムは、励起周波数５Ｈｚにおいて、３ｄＢを超えるダンピングを有する、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の能動型振動絶縁システム。
　　【請求項９】
　前記能動型振動絶縁システムは、励起周波数１５Ｈｚにおいて、１０ｄＢを超えるダンピングを有する、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の能動型振動絶縁システム。
　　【請求項１０】
　前記能動型振動絶縁システムは、１０００Ｎを超える負荷容量を有する、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の能動型振動絶縁システム。
　　【請求項１１】
　前記１つまたは複数のアクチュエータは、前記振動絶縁対象質量に、接触することなく作用する、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の能動型振動絶縁システム。
　　【請求項１２】
　前記振動絶縁システムは、少なくとも３つのエア・ベアリングを具備する、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の能動型振動絶縁システム。
　　【請求項１３】
　振動絶縁対象質量が振動絶縁装置上に置かれた振動絶縁方法であって、
　前記振動絶縁対象質量の位置変化または振動は少なくとも１つのセンサによって検出され、
　前記振動絶縁対象質量の位置変化または振動は少なくとも１つのアクチュエータによって打ち消され、
　理想的な剛体ではない振動絶縁対象質量から生じる構造振動は、少なくとも１つのさらなるセンサによって検出され、前記アクチュエータを駆動する際に考慮に入れられ、
　振動絶縁システムは、前記振動絶縁対象質量の前記構造振動を減ずるために、テーブルに作用する前記少なくとも１つのアクチュエータを駆動するための制御装置を有し、補償信号が前記制御装置によって能動型振動絶縁を行うための１つまたは複数の補償信号に加えられる、振動絶縁方法。
　　【請求項１４】
　振動絶縁対象はホルダの上に置かれ、前記ホルダの構造振動は前記少なくとも１つのさらなるセンサによって検出される、請求項１３に記載の振動絶縁方法。
　　【請求項１５】
　前記振動絶縁対象の構造振動は、前記少なくとも１つのセンサまたは第３のセンサによって検出される、請求項１３または１４に記載の振動絶縁方法。
　　【請求項１６】
　検出される前記構造振動は、前記振動絶縁対象質量の固有周波数振動を含み、特に振動絶縁対象またはホルダ、特にテーブルの固有周波数振動を含む、請求項１３乃至１５のいずれか１項に記載の振動絶縁方法。
　　【請求項１７】
　異なる装置構成、特に異なる振動絶縁対象質量を表す特性値または前記特性値から派生した値が保存される、請求項１３乃至１６のいずれか１項に記載の振動絶縁方法。
　　【請求項１８】
　請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の振動絶縁システムを具備する、振動絶縁ベアリングのためのプラットフォーム。」
　
３．本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）について
（１）本願発明１
　本願発明１は上記のとおりである。
（２）引用例
（２−１）引用例１
　特開２００２−２２１２４９号公報（以下、「引用例１」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（あ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体露光装置等を構成する構造物に発生する剛体振動や、構造共振などの振動を安定かつ迅速に制振することで装置の良好な性能を実現するのに適した能動制振装置、能動制振方法およびこれを用いた露光装置等に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体露光装置の高精度化に伴い、より高性能な除振・制振装置が求められている。特に半導体露光装置においては、露光に悪影響を及ぼす振動が露光用ステージや露光装置本体を構成する構造体に発生しないようにする必要がある。そのためには、露光装置本体を床などの装置設置基礎からの振動をはじめとする外部振動から極力絶縁するとともに、装置本体に搭載されたＸＹステージなどの駆動手段を有する機器の動作によって発生する振動を速やかに低減する必要がある。また、露光装置本体に搭載された装置・機器に構造的な共振振動があり、その減衰性が十分に確保されていない場合には、これらの共振振動をも効果的に低減・抑制して、装置性能に悪影響を及ぼさないようにする必要がある。
【０００３】特に半導体露光装置では、露光用ステージ装置のステップ・アンド・リピートという間欠的な繰り返し動作、あるいは、スキャニング露光のためのスキャン動作が、装置本体の振動を励起する。ステージ装置の駆動反力、および、ステージ装置の荷重移動が装置本体を構成する機器や構造物を励振してしまうのである。従ってこの分野における除振・制振装置には、床などの装置設置基礎からの振動をはじめとする外部振動から装置本体を振動的に絶縁するとともに、装置本体に搭載された機器の動作によって発生する装置本体の剛体振動や共振振動を効果的に低減・抑制することが必須条件として求められている。特にスキャン露光装置では、露光用ステージ装置がスキャン動作をしている状態で露光を行うため、振動の低減・抑制性能への要求は厳しく、一段と高性能な除振・制振装置が不可欠となっている。
【０００４】このような要求に対しては、半導体露光装置本体を搭載する除振台の振動をセンサで検出し、その検出信号を補償して、除振台に制御力を加えるアクチュエータにフィードバックすることにより能動的に振動制御を行う、各種の能動除振・制振装置が開発され、実用化されている。
【０００５】半導体露光装置における除振・制振装置としては、従来から、除振台を防振支持する支持機構を用いて除振台の振動を低減・抑制する、除振脚式の能動除振装置が広く用いられてきた。つまり、除振台を装置設置基礎上で支持する空気ばね、あるいは、そのような空気ばね、および、これと力学的に並列に配置され、除振台と装置設置基礎の間に制御力を作用させる電磁アクチュエータを併用したものをアクチュエータとして用いて、除振台の振動を制御する構成の除振装置が広く用いられてきた。
【０００６】この種の能動除振装置、および、これを半導体露光装置に適用した例としては、本出願人が特開平１１−２９４５２０号で提案している「除振装置、これを用いた露光装置およびデバイス製造方法、ならびに除振方法」がある。当該先行技術では、除振台を装置設置基礎上で支持する空気ばねをエアアクチュエータとして利用するとともに、これと力学的に並列に配置され、除振台と装置設置基礎の間に制御力を作用させる電磁駆動のリニアモータを併用して、除振台の振動を低減・抑制する構成の能動除振装置、および、これを構成した半導体露光装置が開示されている。この装置では、センサを用いて除振台の変位、加速度などを検出し、それに補償演算を施して得た信号、および、除振台に搭載されたＸＹステージなどの駆動手段を備えた機器からの信号を補償して得た信号、装置設置基礎の振動を検出し、それに補償演算を施して得た信号、などに基いて、前記各アクチュエータを制御している。この装置では、大推力を容易に得られるエアアクチュエータ、応答性の優れた電磁アクチュエータ、双方のメリットを活かして制御機能を分担させることで、それ以前に広く適用されてきた空気圧駆動式の能動除振装置にはない、優れた除振・制振性能を実現している。
【０００７】しかし、こうした除振脚式の能動除振装置よりもさらにキメの細かい振動制御を行うことで、より高度な除振・制振性能を実現するために、錘となる慣性負荷をアクチュエータで駆動し、その駆動反力を制御力として利用するアクティブ・マス・ダンパ、あるいはカウンタマスなどと呼ばれる能動制振装置が、精密振動制御の分野でも適用されつつある。」
（い）「【００１８】ところで、従来から半導体露光装置等で広く用いられてきた除振脚式の能動除振装置は、制御力を、除振台、またはそれに剛に締結された部材に加える構造となっている。つまり、露光装置を構成する各種の機器を搭載する除振台や定盤の振動を低減・抑制する構造となっている。この場合、除振台や定盤に搭載される機器・構造物が、除振台や定盤に剛に締結されていて、かつ、それらに構造共振がなければ、搭載機器・構造物の振動も除振脚式の除振装置で十分に低減・抑制できる。
【００１９】しかし、実際の装置においては、機器設計上の様々な制約により、搭載機器・構造物に構造的な共振振動を生じ、かつ、その共振振動に対して十分に減衰特性を付与できない場合が多い。また、重量のある搭載機器・構造物を除振台・定盤に締結する場合においては、締結剛性不足によりバネ・マス系が構成されて、装置性能を確保するうえで無視できないレベルの振動を生じてしまうことがある。このような搭載機器・構造物の振動が生じる場合においては、除振台や定盤の振動を低減・抑制しても、これらの機器・構造物の振動を十分に抑えることができないため、装置挙動に悪影響を及ぼして、露光性能を低下させてしまう。特に、半導体露光装置においては、機器配置設計上、やむを得ず片持ち支持構造となってしまう構造物があり、その支持点を中心とした首振り振動が発生して半導体露光装置の性能に悪影響を及ぼしてしまうことがある。」
（う）「【００２５】本発明の第１の目的は、アクチュエータを用いた能動制振装置において、慣性負荷の可動ストロークや質量などに対する制約が大きい場合に発生する、前述のような問題点を解決するためのものであり、振動抑制効果と、大振動発生時の安定動作とを両立させ、制約条件下で最大限の制振性能を得ることができる能動制振装置およびその制御方法を提供することである。
【００２６】本発明の第２の目的は、以上に述べたような、従来の除振脚式の除振装置では十分に低減・抑制できない種類の振動、あるいは、除振脚式除振装置の適用が適さない種類の振動を、安定かつ迅速に抑制できる、機器配置設計上の制約の小さい構造の能動制振装置、およびこれを構成した、高性能の露光装置を提供することである。
【００２７】本発明の第２の目的は、より具体的には、半導体露光装置等の本体構造体を構成する構造物に発生する剛体振動のみならず、露光装置を構成する片持ち支持構造物に発生する構造共振などの局所的振動、あるいは、露光装置本体ではなく、それを設置する設置基礎側の構造物に発生する構造振動などといった、先行技術が対象としていなかった種類の振動をも効果的に低減・抑制することである。
【００２８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、本発明は、以下に詳述する装置等を提供する。すなわち、本発明が開示する装置は、制振対象物に固定され、推力を発生するアクチュエータと、前記アクチュエータに接続され、前記制振対象物に対して相対的に運動する慣性負荷と、駆動指令信号に応じて前記アクチュエータを駆動する駆動回路とを有し、前記アクチュエータが発生する推力により前記慣性負荷を駆動する際に発生する駆動反力によって前記制振対象物に制御力を加え機器の振動を低減する制振ユニットを備える能動制振装置である。該能動制振装置は、前記制振対象物の振動を検出する振動検出手段と、前記振動検出手段で検出された前記制振対象物の振動に相当する信号に補償演算処理を施す補償演算手段とを備えたものであることが望ましい。この際、該補償演算手段は、前記振動検出手段で検出された前記制振対象物の振動に相当する信号に対して、非線形補償演算を施すものであってもよい。前記アクチュエータは直線方向に推力を発生して前記慣性負荷を直線方向に駆動するものであってもよい。なお、この、慣性負荷を直線方向に駆動して制振対象物に制御力を加えるタイプの制振ユニットを、以降、直動制振ユニットと呼ぶこととする。
【００２９】また、前記能動制振装置は、前記補償演算手段によって得られた信号に基いて前記制振ユニットを駆動することにより前記制振対象物の振動を低減するものであることが望ましい。前記の能動制振装置において、前記非線形補償演算は、前記振動検出手段で検出された前記制振対象物の振動に相当する信号に対して、比例補償、積分補償、微分補償、位相進み補償、位相遅れ補償などの少なくともいずれかを含む線形補償演算を施し、さらにその信号に対して非線形補償演算を施すものであってもよく、前記非線形補償演算は、単調増加または単調減少であり、かつその入力信号の中立点から離れるほど該入力信号に対してより絶対値の小さいゲインを乗じた信号を出力する非線形関数に従うものであってもよい。」
（え）「【００３６】また、上記いずれかの能動制振装置が、基板、もしくは原版を載置してその精密位置決め動作を行うステージ装置が搭載された定盤、または該定盤に搭載された構造物に作用して、該定盤または構造物の振動を低減する露光装置や、上記いずれかの能動制振装置または能動制振装置の制御方法のうちの一つを用いた露光装置や、前記直動制振ユニットを用いた能動制振装置と、回転制振ユニットを用いた能動制振装置とを併用して、制振対象物の振動を低減する能動制振装置を備えたことを特徴とする露光装置も、本発明の範囲に含まれる。
【００３７】前記いずれかの能動制振装置は、露光装置を構成する片持ち支持構造の構造物に取付けられ、この構造物の、片持ち支持点を中心とした構造振動を低減・抑制するように作用するものであってもよい。」
（お）「【００４６】この能動制振装置は、振動検出手段を用いて前記制振対象物の振動を検出し、補償演算手段にて前記振動検出手段で検出された前記制振対象物の振動に相当する信号に対して補償演算を施し、その出力として得られた信号に基いて前記制振ユニットを駆動して、前記制振対象物の振動を低減するように動作させることが望ましい。
【００４７】前記制振対象物の振動に相当する信号に対して施す補償演算は、非線形補償演算であってもよい。その際の非線形補償演算は、前記振動検出手段で検出された前記制振対象物の振動に相当する信号に対して、比例補償、積分補償、微分補償などの線形補償演算を施し、さらにその信号に対して、非線形演算を施すものであってもよい。
【００４８】また、これらの非線形補償演算には、単調増加、または単調減少であり、かつその入力信号の中立点から離れるほど該入力信号に対してより絶対値の小さいゲインを乗じた信号を出力する非線形関数に従った演算処理を適用することができる。
【００４９】また、ＸＹステージなどの駆動手段を備えた機器が制振対象物に搭載された場合、あるいは該駆動手段を備えた機器と制振対象物とが高い剛性で締結された場合においては、前向き補償演算手段にて、前記駆動手段を備えた機器の動作状態、またはその制御手段からの信号に対して、適切な補償演算処理を施し、その出力信号に基いて、前記制振ユニットを駆動することが望ましい。」
（か）「【００６６】
【発明の実施の形態】（第１の実施形態）本発明の第１の実施形態では、精密機器搭載用除振台や除振台の搭載物に発生する、半導体露光装置などの精密機器に悪影響を及ぼす、振動を低減する以下の能動制振装置について説明する。
【００６７】図１は本発明の第１の実施形態に係る能動除振装置の構成を表す図である。本実施形態に係る能動制振装置は、制振対象物を、空気ばねなどの支持機構２により防振支持された除振台１とした場合の例である。半導体露光装置においては、除振装置により支持された露光装置本体や、基板（シリコンウエハ等）、もしくは原版（レチクル等）を載置してその精密位置決め動作を行うステージ装置を搭載する除振台などが、この実施形態と同等の対象となる。以下、本実施形態について、図１を用いて説明する。
【００６８】本実施形態に係る能動制振装置は、ここでの制振対象物である除振台１に制御力を加える直動制振ユニット５０、制振対象物である除振台１の振動を検出する振動検出手段３、振動検出手段３の出力信号に基き、制振対象物の振動に相当する信号に適切な補償演算を施す補償演算手段４、および除振台１上に搭載されたＸＹステージなどの機器の動作状態、またはその制御手段からの信号に対して補償演算を施す前向き補償演算手段５などを備える。支持機構２としては、空気ばねやゴムなどをはじめとする弾性部材を用いた防振支持機構を用いることができる。また、支持機構２としては、除振台１の振動をセンサなどで検出し、その信号を補償して得た信号に基き、除振台１に制御力を加えるアクチュエータを用いて、その振動を低減するように制御する能動除振装置なども用いることができる。
【００６９】直動制振ユニット５０は、制振対象物である除振台１に固定されており、図２に示すとおり、駆動信号に応じて推力を発生する直動アクチュエータ５１、直動アクチュエータ５１に接続され、除振台１に対して相対的に直線方向に運動する慣性負荷５２、ベース部材５３、慣性負荷５２の動作範囲をある一定の範囲内に制限するストッパ５４、直動アクチュエータ５１の駆動回路５５などを備える。駆動回路５５は、直動アクチュエータ５１、慣性負荷５２などとは別にして、除振台１に搭載しない構成としてもよい。
（き）「【００７４】次に、本実施形態に係る制振装置の動作について、図１を参照にして説明する。本実施形態に係る装置は、振動検出手段３や補償演算手段４を用いて、制振対象物である除振台１の振動に相当する信号を補償した信号を直動制振ユニット５０にフィードバックする制御動作、前向き補償演算手段５を用いて除振台１上に搭載されたＸＹステージ４５などの機器の動作状態、またはその制御手段からの情報を直動制振ユニット５０にフィードフォワードする制御動作などを行う。」
（く）「【０１０１】（第２の実施形態）図８は、本発明の第２の実施形態として説明する、除振台１に搭載された構造物６の振動を低減するための装置の構成例を示す図である。第１の実施形態では、制振対象物を除振台１とした場合を例にして、本発明に係る装置を詳細に説明した。ここでは、第２の実施形態として、除振台１に比較的高い剛性で締結された構造物６に発生する局所的な共振振動を、本発明に係る能動制振装置で低減・抑制する例を示す。本実施形態における制振対象物は、除振台１と支持機構２とからなる振動系の固有振動ではなく、除振台１上に搭載され、除振台１に比較的高い剛性で締結された構造物６の構造的な共振振動である。半導体露光装置においては、除振台上に搭載された、光学系、計測系などを支持する構造体が、この構造物６に相当する。
【０１０２】本実施形態が装置の構成上、第１の実施形態と異なる点は、直動制振ユニット５０と振動検出手段３が除振台１ではなく、除振台１に締結された構造物６に取付けられていることである。本実施形態は、振動検出手段３が、ここでの制振対象物である構造物６の振動を検出する点、直動制振ユニット５０が構造物６に対して制御力を加える点が、第１の実施形態と異なる点であり、それ以外は、構成要素、動作とも第１の実施形態に係る装置と、基本的には同じである。ただし、本実施形態に係る補償演算手段４、および前向き補償演算手段５の動作は、第１の実施形態の場合と若千異なるので、この点についてのみ、以下に説明を加えておく。
【０１０３】まず、本実施形態に係る補償演算手段４について説明する。第１の実施形態で制振対象物とした、除振台１と支持機構２からなる振動系は、通常、１０Ｈｚ以下の比較的低い固有振動数を有するが、ここで制振対象物としている構造物６は、通常、数十Ｈｚ以上の周波数で構造的に共振する。そのため、構造物６の共振振動を低減・抑制するために直動制振ユニット５０に要求される制御力には、第１の実施形態の場合に比較して高い周波数成分が含まれている。直動制振ユニット５０の発生制御力は、慣性負荷５２の駆動反力に比例する、つまり、慣性負荷５２の動作加速度に比例する。一般的によく知られているように、同じ加速度で動作している場合でも、その動作周波数成分が高い場合は、動作変位量が小さくなる。そのため、構造物６の共振振動を低減・抑制するために必要な慣性負荷５２の動作範囲は、第１の実施形態に比較して小さく、ストロークオーバの可能性は小さくなる。従って、本実施形態に係る装置は、振動検出手段３の出力信号に対して、適切なフィルタ処理を施し、除振台１と支持機構２からなる振動系の比較的低周波数の固有振動成分をカットして構造物６の構造共振成分を抽出する、あるいは、受動的・能動的手段で慣性負荷５２を所定中立位置に維持するための剛性を調整すれば、慣性負荷５２の動作ストロークを小さく抑えつつも、構造物６の振動を効果的に低減・抑制できる。
【０１０４】しかし、除振台１と支持機構２からなる振動系の固有振動数と、構造物６の共振周波数が比較的近い場合は、これらの処置によっても、除振台１と支持機構２からなる振動系の固有振動の影響の除去は困難で、この低周波数成分が能動制振装置の制御系に入力され、慣性負荷５２の動作ストロークを大きくしてしまう。
【０１０５】そこで、本実施形態においても、第１の実施形態と同様、非線形演算を含む補償演算を行う。つまり、構造物６の振動速度に比例した制御力を構造物６にフィードバックするなどして、構造物６の共振振動に減衰を付与する際に、第１の実施形態で詳細に説明した、数１で表されるような非線形関数が併用される。つまり、本実施形態に係る装置は、振動検出手段３の検出信号に線形補償演算を施し、さらにその演算結果に数１に示すような非線形演算を施し、その結果として得られた信号を用いて、直動制振ユニット５０を制御する。なお、構造物６の共振振動の低減・抑制を目的とした本実施形態では、除振台１と支持機構２とからなる振動系の低い周波数の固有振動の影響を極力回避するために、線形補償演算の前処理として、適切なフィルタ処理を施すことが望ましい。
【０１０６】このような制御を施すことにより、制振対象としていない振動成分によって、慣性負荷５２が大きく揺らされるおそれのある場合においても、慣性負荷５２の動作範囲がストッパ５４で制限されたストロークの範囲に対して十分に余裕のある範囲内に収まる制御力で対処できる振動は、比較的高い制御ゲインにより良好な振動低減効果を確保し、大きな振動が発生した場合は、相対的に低い制御ゲインで制御された場合と等価の動作をすることで、慣性負荷５２のストロークオーバを発生させることなく、安定に制振制御を行うことができる。つまり、制約条件下で最大限の制振性能を得ることができるのである。
【０１０７】前向き補償演算手段５についても、同様の考え方で制御できる。つまり、線形補償演算と非線形補償演算を併せて適用した補償演算を行うことができる。ただし、本実施形態のように駆動手段を有するＸＹステージ４５と、制振対象物である構造物６との締結が、振動的に十分に剛とみなせず、構造物６の共振振動が発生するような場合には、第１の実施形態のように、ＸＹステージ４５の駆動加速度、またはその駆動反力に比例する信号を基に、所望の制御帯域でそれに比例する制御力が除振台１に付与されるような線形補償演算を施すのではなく、別の補償演算を行う必要がある。ＸＹステージ４５と構造物６との間の機械剛性などを考慮に入れ、ＸＹステージ４５の動作によって構造物６に発生する振動を、直動制振ユニット５０によってキャンセルできるような信号を生成する補償を行う必要がある。本実施形態は、この点が、第１の実施形態と異なる点である。なお、前向き補償演算手段５において非線形補償演算を行うことにより、慣性負荷５２の許容ストロークという制約条件下で最大限の制振性能を得られるという点は、第１の実施形態と同様であり、この点は、本発明によって得られる大きなメリットである。」
（け）「【０１１１】（第３の実施形態）本発明の第３の実施形態では、露光性能に悪影響を及ぼす、振動を低減するための図８に示した能動制振装置を備えた、以下のような半導体露光装置を例として説明する。
【０１１２】この第３の実施形態では、半導体露光装置を構成する片持ち支持構造の構造物に能動制振装置を取付け、この構造物の、片持ち支持点を中心とした構造振動を低減・抑制するようにした装置を説明する。ここでは、制振対象とする片持ち支持構造の構造物を、原版であるレチクル上の回路パターンを光学レンズシステムを介して基板であるシリコンウエハに露光するための露光光を照射する照明光学系を構成する機械構造体とした場合の、一実施例を説明する。
【０１１３】図１０は、半導体露光装置の構成の一実施形態を示す立面図である。
…略…
【０１１５】除振装置９２としては、定盤９９の振動をセンサなどで検出し、その信号を補償して得た信号に基き、定盤９９に制御力を加えるアクチュエータを制御して、その振動を低減する能動除振装置などが用いられる。
…略…
【０１１８】このような半導体露光装置は、ウエハステージ９４やレチクルステージ９５が駆動されたときに発生する振動や、装置設置基礎１００から伝達してくる振動を大変に嫌う。そのために、本実施形態では、以降に説明する能動制振装置を用いて、半導体露光装置を構成する構造物に発生する振動を低減・抑制する。本実施形態では、このうち、照明光学系９８を構成する機械構造物に発生する構造共振などの振動を低減・抑制する例を説明する。
【０１１９】ここでは、図１０の構成の半導体露光装置に本発明に係る能動制振装置を適用した場合を例として、能動制振装置については、便宜上図８を用いて、本発明の第３の実施形態を説明する。」
（こ）「【０１３０】次に、本実施形態に係る装置の動作について、図８を参照して説明する。本実施形態に係る装置は、振動検出手段３や補償演算手段４を用いて、制振対象物である構造物６の振動に相当する信号を補償して得た信号を直動制振ユニット５０にフィードバックする制御動作と、前向き補償演算手段５を用いて除振台１上に搭載されたＸＹステージ４５などの機器の動作状態、または、その制御手段４６からの情報を直動制振ユニット５０にフィードフォワードする制御動作などを行う。
【０１３１】まず、振動検出手段３、補償演算手段４などを用いたフィードバック制御動作を説明する。フィードバック制御動作では、装置設置基礎からの振動伝達、あるいは、除振台１上に搭載されたＸＹステージ４５などの機器の動作によって発生する構造物６の振動を、構造物６に設置された振動検出手段３を用いて検出し、その検出信号に対して補償演算手段４にて、適切に補償演算処理を施す。そして、その結果として得られた信号に基いて、直動制振ユニット５０を駆動し、構造物６の振動を低減・抑制する。
【０１３２】補償演算手段４では、例えば、構造物６の構造共振に減衰特性を付与するために、構造物６の振動速度に比例する制御力が、直動制振ユニット５０によって構造物６に加えられるような補償演算を施す。これは、振動検出手段３として加速度センサを用い、直動制振ユニット５０における直動アクチュエータ５１として、応答性の高い電磁駆動モータなどを用いた場合、補償演算手段４によって、振動検出手段３で検出された構造物６の振動加速度に相当する信号に対して積分補償演算を中心とした補償演算を施すことにより実現できる。電磁駆動モータは、構造物６の共振周波数より高い周波数まで優れた応答特性を示すものがあるため、減衰特性を必要とする該共振周波数付近の周波数領域では、電磁駆動モータは駆動電流指令信号を受けて、該信号の指令する推力にほぼ一致する推力を瞬時に発生できる。従って、振動検出手段３で検出される構造物６の加速度信号に対して、積分補償を施して速度に比例する信号を得、これをフィードバックすればよい。同様の考え方に従えば、振動検出手段３として速度センサを用いた場合、補償演算手段４では、比例補償演算を施せばよいことはいうまでもない。
【０１３３】なお、ここでは、補償演算手段４における補償演算を、構造物６の構造共振に減衰特性を付与する場合を例にして説明したが、加速度や速度などの振動に関する信号を適宜複合して利用し、積分補償や比例補償、それ以外の補償演算をも併せて適用し、構造物６の振動を適切な状態に制御してもよい。
【０１３４】また、ここで制振対象としている構造物６は、通常、数十Ｈｚ以上の周波数で構造的な共振振動を発生するのに対して、構造物６を締結・搭載している除振台１とその支持機構２からなる振動系は、通常、１０Ｈｚ以下の比較的低い固有振動数を有する。そのため、除振台１と支持機構２からなる振動系の低周波数の固有振動が振動検出手段３で検出され、能動制振装置の制御系に入力されると、その影響で直動制振ユニット５０に構成される慣性負荷５２の動作ストロークを必要以上に大きくしてしまうことがある。
【０１３５】ここでの制振対象は、構造物６の構造共振である。従って、補償演算手段４では、さきに説明した補償演算処理に加えて、振動検出手段３の出力信号に対して、適切なフィルタ処理を施し、除振台１と支持機構２とからなる振動系の比較的低周波数の固有振動成分をカットして構造物６の構造共振成分を抽出する処理、あるいは、能動的な手段で慣性負荷５２を所定中立位置に復元するための剛性を付与するための処理などを施して、慣性負荷５２の動作ストロークを小さく抑えつつも、構造物６の振動を効果的に低減・抑制するような演算処理を行うようにする。ただし、慣性負荷５２を所定中立位置に復元するための剛性を付与する手段には、ばね機構などの受動的な素子を用いてもよい。」
（さ）「【０１４３】また、ここでは、直動制振ユニット５０を１台用いて、構造物６の振動を低減・抑制する場合を例に説明したが、以上に説明した直動制振ユニット、および、その制御系を複数配置して、所望の制振効果を得るような構成としてもよい。
【０１４４】さらに、ここでは、制振対象物を片持ち支持の構造物として説明したが、これ以外の種類の振動モードを有する構造物においても、直動制振ユニット５０を、振動が最も顕著に現れる、振動モードの腹の部分に設置して、該振動を低減するようにしてもよい。この場合も、振動検出手段３は、直動制振ユニット５０の直近に配置することが望ましい。
【０１４５】以上のような能動制振装置を備えた半導体露光装置では、照明光学系を構成する機械構造物のような片持ち支持構造物の構造共振をはじめとする、露光装置の様々な構造物振動を低減・抑制できるため、この種の振動による機器への悪影響を低減あるいは解消することができる。そのため、高い精度、高いスループットを有する、高性能の半導体露光装置を実現することができる。」
　以上の記載事項及び図面からみて、引用例１には次の発明（以下、「引用例１発明」という。）が示されている。 
「空気ばねなどの支持機構により防振支持され、除振台１、構造物６等の制振対象物と、制振対象物に固定され、推力を発生するアクチュエータと、前記アクチュエータに接続され、前記制振対象物に対して相対的に運動する慣性負荷と、駆動指令信号に応じて前記アクチュエータを駆動する駆動回路とを有し、前記アクチュエータが発生する推力により前記慣性負荷を駆動する際に発生する駆動反力によって前記制振対象物に制御力を加え機器の振動を低減する制振ユニットを備え、
　前記制振対象物の振動を検出する振動検出手段と、前記振動検出手段で検出された前記制振対象物の振動に相当する信号に補償演算処理を施す補償演算手段と、前記補償演算手段によって得られた信号に基づいて前記制振ユニットを駆動することにより前記制振対象物の振動を低減する能動制振装置。」
（３）対比
　本願発明１と引用例１発明とを比較すると、後者の「空気ばねからなる支持機構」は前者の「振動絶縁装置」に相当し、以下同様に、「制振対象物」は「振動絶縁対象質量」に、「能動制振装置」は「能動型振動絶縁システム」に、「前記制振対象物の振動を検出する振動検出手段」は「前記振動絶縁対象質量の位置変化または振動を検出するための、」「少なくとも１つのセンサ」に、それぞれ相当する。
　後者の「制振対象物に固定され、推力を発生するアクチュエータ」は、「前記制振対象物に対して相対的に運動する慣性負荷」が「接続され」ていて、「前記アクチュエータが発生する推力により前記慣性負荷を駆動する際に発生する駆動反力によって前記制振対象物に制御力を加え機器の振動を低減する」のであるから、前者の「前記振動絶縁対象質量の位置変化または振動を打ち消すための少なくとも１つのアクチュエータ」に相当する。
　したがって、両者は、本願発明１の用語に倣って整理すると、
「振動絶縁装置上に置かれた少なくとも１つの振動絶縁対象質量と、
　前記振動絶縁対象質量の位置変化または振動を検出するための少なくとも１つのセンサと、
　前記振動絶縁対象質量の位置変化または振動を打ち消すための少なくとも１つのアクチュエータと、
　を具備する能動型振動絶縁システム。」である点で一致し、以下の点で相違する。 
［相違点１］
　本願発明１の「センサ」は「能動型振動絶縁システムのテーブルの複数のベアリングの近くに位置する」ものであり、「少なくとも１つのアクチュエータ」は「テーブルに作用する」ものであるのに対し、引用例１発明の「振動検出手段」はどこに位置するか、「アクチュエータ」は何に作用するか、不特定である点。
［相違点２］
　本願発明１は、「理想的な剛体ではない振動絶縁対象質量から生じる構造振動を検出するための少なくとも１つのさらなるセンサを有し、
　前記振動絶縁対象質量の前記構造振動を減ずるために、前記テーブルに作用する前記少なくとも１つのアクチュエータを駆動するための制御装置を有し、その場合補償信号を前記制御装置によって能動型振動絶縁を行うための１つまたは複数の補償信号に加えることができる」のに対し、引用例１発明は、そのような事項を具備していない点。
（４）判断 
（４−１）相違点１について
　引用例１には、特に、「【００３６】…能動制振装置が、基板、もしくは原版を載置してその精密位置決め動作を行うステージ装置が搭載された定盤、または該定盤に搭載された構造物に作用して、該定盤または構造物の振動を低減する露光装置や、…露光装置も、本発明の範囲に含まれる。【００３７】前記いずれかの能動制振装置は、露光装置を構成する片持ち支持構造の構造物に取付けられ、この構造物の、片持ち支持点を中心とした構造振動を低減・抑制するように作用するものであってもよい。」、「【００６９】直動制振ユニット５０は、制振対象物である除振台１に固定されており、…」、「【０１０１】…本実施形態における制振対象物は、除振台１と支持機構２とからなる振動系の固有振動ではなく、除振台１上に搭載され、除振台１に比較的高い剛性で締結された構造物６の構造的な共振振動である。半導体露光装置においては、除振台上に搭載された、光学系、計測系などを支持する構造体が、この構造物６に相当する。」、「【０１４４】さらに、ここでは、制振対象物を片持ち支持の構造物として説明したが、これ以外の種類の振動モードを有する構造物においても、直動制振ユニット５０を、振動が最も顕著に現れる、振動モードの腹の部分に設置して、該振動を低減するようにしてもよい。この場合も、振動検出手段３は、直動制振ユニット５０の直近に配置することが望ましい。」と記載されている。
　これらの記載及び技術常識からすると、引用例１発明の「能動制振装置」ないし「直動制振ユニット」をどこに配置するかは、半導体露光装置等の制振対象物の種類・用途・構成や、それに応じた所要の制振特性等を考慮して、適宜設計すべき事項である。そして、引用例１（特に【００２８】、【０００４】、図１）には、半導体露光装置本体を搭載する除振台の振動をセンサで検出し、その検出信号を補償して、除振台に制御力を加えるアクチュエータにフィードバックすることにより能動的に振動制御を行う能動制振装置が開示されていることに留意すると、引用例１発明において、除振台１に「能動制振装置」ないし「直動制振ユニット」を配設し、相違点１に係る本願発明１の上記事項に想到することは、当業者にとって格別困難なことではない。
（４−２）相違点２について
　引用例１には、特に、「【０００２】【従来の技術】…特に半導体露光装置においては、露光に悪影響を及ぼす振動が露光用ステージや露光装置本体を構成する構造体に発生しないようにする必要がある。そのためには、…、装置本体に搭載されたＸＹステージなどの駆動手段を有する機器の動作によって発生する振動を速やかに低減する必要がある。…」、「【０００３】特に半導体露光装置では、露光用ステージ装置のステップ・アンド・リピートという間欠的な繰り返し動作、あるいは、スキャニング露光のためのスキャン動作が、装置本体の振動を励起する。ステージ装置の駆動反力、および、ステージ装置の荷重移動が装置本体を構成する機器や構造物を励振してしまうのである。…」、「【００１９】…重量のある搭載機器・構造物を除振台・定盤に締結する場合においては、締結剛性不足によりバネ・マス系が構成されて、装置性能を確保するうえで無視できないレベルの振動を生じてしまうことがある。…」、「【０１０１】…半導体露光装置においては、除振台上に搭載された、光学系、計測系などを支持する構造体が、この構造物６に相当する。」と記載されている。
　これらの記載及び技術常識からすると、ＸＹステージなどの駆動手段を有する機器の動作によって除振台１に発生する振動と、構造物６を除振台１に締結した場合にバネ・マス系を構成する構造物６に生じる振動とが相互に関連することは明らかである。この点に留意すると、「（４−１）相違点１について」で述べたように除振台１に「能動制振装置」ないし「直動制振ユニット」を配設する場合に、制振制御の性能・精度の向上等を考慮して、除振台１の振動の検出信号に基づいて制振対象物に制御力を加えるアクチュエータを駆動制御するにとどまらず、除振台１の振動に関連する構造物６の振動も検出し、該検出信号に基づいてアクチュエータの駆動を補償・補正するように構成することは、当業者が容易に想到し得たものと認められる。このようにしたものは、実質的に、相違点２に係る本願発明１の上記事項を備えているといえる。
　なお、引用例１（特に【００４６】、【００４９】）にも、制振対象物の振動を検出し、補償演算を施して制振ユニットを駆動することに加えて、ＸＹステージなどの駆動手段を備えた機器の動作状態、またはその制御手段からの信号に対して前向き補償演算手段において適切な補償演算処理を施し、制振ユニットを駆動することが示されており、ＸＹステージなどの駆動手段を備えた機器に関してではあるが、除振台１以外の他の構成要素の振動に基づいて補償・補正するという事項が記載ないし示唆されている。
　そして、本願発明１の効果も、引用例１に記載された発明に基づいて当業者が予測し得たものであって、格別のものではない。
（５）むすび
　したがって、本願発明１は、引用例１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　
　本願発明１が、引用例１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたことは、上述したとおりであるが、これに関して補足すると、次のようにいうこともできる。
　引用例１（特に図１、図８、【請求項２０】、【０１４３】）には、
　制振対象物が半導体露光装置を搭載した除振台１であって、
　制振対象物に固定され、推力を発生するアクチュエータと、前記アクチュエータに接続され、前記制振対象物に対して相対的に運動する慣性負荷と、駆動指令信号に応じて前記アクチュエータを駆動する駆動回路とを有し、制振対象物の振動に相当する信号を補償した信号を制振ユニットにフィードバックして、前記アクチュエータが発生する推力により前記慣性負荷を駆動する際に発生する駆動反力によって前記制振対象物に制御力を加え機器の振動を低減する制振ユニット、及び、
　制振対象物が、除振台上に搭載された半導体露光装置の光学系、計測系などを支持する構造物６であって、
　制振対象物に固定され、推力を発生するアクチュエータと、前記アクチュエータに接続され、前記制振対象物に対して相対的に運動する慣性負荷と、駆動指令信号に応じて前記アクチュエータを駆動する駆動回路とを有し、制振対象物の振動に相当する信号を補償した信号を制振ユニットにフィードバックして、前記アクチュエータが発生する推力により前記慣性負荷を駆動する際に発生する駆動反力によって前記制振対象物に制御力を加え機器の振動を低減する制振ユニット、
とを備えた能動制振装置が示されている。
　前者の制振ユニットにおいては、除振台の振動を検出しているにすぎず、「理想的な剛体ではない振動絶縁対象質量から生じる構造振動を検出するための少なくとも１つのさらなるセンサ」を有していない。しかし、ＸＹステージなどの駆動手段を有する機器の動作によって除振台１に発生する振動と、構造物６を除振台１に締結した場合にバネ・マス系を構成する構造物６に生じる振動とが相互に関連することは明らかであり、制振制御の性能・精度の向上等を考慮して、除振台１の振動に基づいて制振対象物に制御力を加えるアクチュエータを駆動制御するにとどまらず、除振台１の振動に関連する構造物６の振動に基づいてアクチュエータの駆動を補償・補正するように構成することは、当業者が容易に想到し得たものと認められる。このようにしたものは、相違点２に係る本願発明１の上記事項を備えているといえる。
　
４．結語
　以上のとおり、本願発明１（本願の請求項１に係る発明）が特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである以上、本願の請求項２〜１８に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。