(57)【要約】【課題】単位時間当たりの処理能力が低下することを防止できる処理装置を提供すること。【解決手段】処理装置１０は、取り外し可能に設けられた支持部材２１Ｄを有し、支持部材２１Ｄで処理対象物ＷＦを支持する支持手段２０と、支持部材２１Ｄを加熱または冷却する変温手段３０と、支持部材２１Ｄに支持された処理対象物ＷＦに所定の処理を施す処理手段４０と、加熱または冷却された支持部材２１Ｄを冷却または加熱する取り外し準備手段８０とを備えている。【選択図】図１
0003208356.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
取り外し可能に設けられた支持部材を有し、前記支持部材で処理対象物を支持する支持手段と、
前記支持部材を加熱または冷却する変温手段と、
前記支持部材に支持された処理対象物に所定の処理を施す処理手段と、
加熱または冷却された前記支持部材を冷却または加熱する取り外し準備手段とを備えていることを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記処理対象物を搬送する搬送手段を備え、
前記搬送手段は、前記支持手段への前記取り外し準備手段の搬入および搬出の少なくとも一方を行うことを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、取り外し可能に設けられた支持部材で処理対象物を支持し、支持部材を加熱または冷却して変温させた状態で処理対象物に所定の処理を施す処理装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２８５４１号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたような従来の処理装置は、支持部材を取り外す際に支持部材が加熱または冷却された状態にあるため、支持部材が冷却または加熱されるまで当該処理装置の使用者が支持部材に触れることができない。また、所定の治具を使用して支持部材の取り外しを行う場合でも、当該所定の治具や、取り外した支持部材の載置場所等の耐熱温度等によって、当該支持部材が所定の温度に達するまで待っておかなければならないので、支持部材の取り外しに時間を要してしまい、単位時間当たりの処理能力が低下するという不都合がある。
【０００５】
本考案の目的は、単位時間当たりの処理能力が低下することを防止できる処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は、各請求項に記載した構成を採用した。
【考案の効果】
【０００７】
以上のような本考案によれば、加熱または冷却された支持部材を冷却または加熱するため、速やかに支持部材を取り外すことができ、単位時間当たりの処理能力が低下することを防止することができる。
【０００８】
また、処理対象物を搬送する搬送手段が、支持手段への取り外し準備手段の搬入および搬出の少なくとも一方を行うようにすれば、搬送手段とは別に取り外し準備手段の搬送を行う手段を設ける必要がなくなり、装置の大型化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本考案の一実施形態に係る処理装置を示す側面図。
【図２】シート貼付装置の動作説明図。
【図３】シート貼付装置の動作説明図。
【考案を実施するための形態】
【００１０】
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１１】
図１において、処理装置１０は、取り外し可能に設けられた支持部材としての支持テーブル２１Ｄを有し、当該支持テーブル２１Ｄで処理対象物としてのウエハＷＦを支持する支持手段２０と、支持テーブル２１Ｄを加熱する変温手段３０と、支持テーブル２１Ｄに支持されたウエハＷＦに所定の処理としての接着シートＡＳの貼付を施す処理手段４０と、加熱された支持テーブル２１Ｄを冷却する取り外し準備手段としてのヒートシンク８０と、ウエハＷＦを搬送する搬送手段９０とを備えている。
【００１２】
支持手段２０は、内側テーブル２１と、内側テーブル２１の外側に位置し、接着シートＡＳの切断によって形成された不要シートＵＳを支持する不要シート支持面２２Ａを有する外側テーブル２２と、内側テーブル２１および外側テーブル２２を支持する基台２３とを備えている。
内側テーブル２１は、基台２３に支持され、内部に変温手段３０が設けられる凹部２１Ａを有する収容部材２１Ｂと、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって支持面２１ＣでウエハＷＦを吸着保持可能な支持テーブル２１Ｄとを備えている。なお、支持面２１Ｃから不要シート支持面２２Ａまでの高さは、ウエハＷＦの厚さと同じ寸法に設定されている。
【００１３】
変温手段３０は、一方の面が支持テーブル２１Ｄの支持面２１Ｃの反対側の面に当接して支持テーブル２１Ｄを加熱するコイルヒータ、赤外線ヒータ、ヒートパイプの加熱側等の加熱手段３１と、加熱手段３１の他方の面に当接して加熱手段３１の熱が基台２３に伝わることを抑制する断熱手段としての断熱材３２とを備えている。
【００１４】
処理手段４０は、接着シートＡＳを供給するシート供給手段５０と、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付するシート貼付手段６０と、ウエハＷＦに接着シート部分が残るように当該ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを所定形状に切断する切断手段７０とを備えている。
【００１５】
シート供給手段５０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ５１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ５２Ａ、５２Ｂと、ガイドローラ５２Ａとの間に原反ＲＳを挟み込む押付部材５３Ｂをその出力軸５３Ａで支持する駆動機器としての直動モータ５３と、ガイドローラ５２Ｂを支持し、接着シートＡＳの張力を測定可能な張力検出手段としてのロードセル５４Ａと、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離部材としての剥離板５４Ｂと、駆動機器としての回動モータ５５Ａによって駆動され、ピンチローラ５５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ５５と、図示しない駆動機器によって駆動され、所定の張力で剥離シートＲＬを回収する回収ローラ５６と、シート供給手段５０を構成する上記の各構成部材を支持するフレーム５７と、その図示しないスライダでフレーム５７を支持し、駆動機器としてのリニアモータ５８のスライダ５８Ａ（図２参照）に支持された駆動機器としてのリニアモータ５９とを備えている。
【００１６】
シート貼付手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１のスライダ６１Ａに支持されたフレーム６２と、フレーム６２に支持された駆動機器としての回動モータ６３によって駆動され、ピンチローラ６４とで不要シートＵＳを挟み込む駆動ローラ６５と、図示しない駆動機器によって駆動され、所定の張力で不要シートＵＳを回収する回収ローラ６６と、リニアモータ６１のスライダ６１Ｂにブラケット６７を介して支持された駆動機器としての直動モータ６８と、直動モータ６８の出力軸６８Ａにブラケット６８Ｂを介して回転可能に支持され、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧する押圧部材としての押圧ローラ６９とを備えている。
【００１７】
切断手段７０は、駆動機器としての多関節ロボット７１と、多関節ロボット７１の作業アーム７１Ａに着脱自在に支持された切断刃７２（図２参照）とを備えている。多関節ロボット７１は、その作業範囲内において作業アーム７１Ａに装着したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。
【００１８】
ヒートシンク８０は、図１中の符号ＡＡの図に示すように、支持面２１Ｃに当接する当接面８１と、当接面８１の反対側の面に設けられた複数のフィン８２とを備えている。
【００１９】
搬送手段９０は、多関節ロボット７１と、多関節ロボット７１の作業アーム７１Ａに着脱自在に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な吸着ツール９１を備えている。本実施形態の場合、搬送手段９０は、支持手段２０へのヒートシンク８０の搬入および搬出を行う。
【００２０】
以上の処理装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順について説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示す状態の処理装置１０に対し、当該処理装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が原反ＲＳを同図中実線で示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力する。すると、処理手段４０が回動モータ５５Ａ、６３を駆動し、剥離シートＲＬおよび接着シートＡＳを巻き取り、支持手段２０上に位置する接着シートＡＳの張力が所定値となったことがロードセル５４Ａによって検知されると、回動モータ５５Ａ、６３の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
【００２１】
その後、搬送手段９０が多関節ロボット７１および図示しない減圧手段を駆動し、吸着ツール９１でウエハＷＦを吸着保持した後、当該ウエハＷＦを支持面２１Ｃ上に載置すると、支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持する。次に、変温手段３０が加熱手段３１を駆動し、支持テーブル２１Ｄを加熱し、接着シートＡＳを良好にウエハＷＦに貼付できる貼付温度、例えば６０℃といった所定の温度にまで支持テーブル２１Ｄの温度が達したことを図示しない温度センサや赤外線カメラ等の図示しない温度検知手段が検知すると、処理手段４０が直動モータ６８を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、押圧ローラ６９を下降させて接着シートＡＳを不要シート支持面２２Ａに所定の押圧力で押圧する。このとき、支持手段２０上に位置する接着シートＡＳの張力の上昇がロードセル５４Ａによって検知されると、処理手段４０が回動モータ５５Ａを駆動し、剥離シートＲＬを巻き取ることで接着シートＡＳを繰り出し、当該接着シートＡＳの張力を所定値に保つ制御が行われる。次いで、処理手段４０が直動モータ５３を駆動し、押付部材５３Ｂとガイドローラ５２Ａとで原反ＲＳを挟み込み、接着シートＡＳの繰り出しを抑制する。
【００２２】
そして、処理手段４０がリニアモータ６１を駆動し、押圧ローラ６９を右方に移動させ、当該押圧ローラ６９で接着シートＡＳをウエハＷＦおよび不要シート支持面２２Ａに押圧して貼付する。この際、押圧ローラ６９の移動に伴って、接着シートＡＳにさらなる張力が加わるが、ロードセル５４Ａがそれを検知した瞬間に、処理手段４０がリニアモータ５８、５９を駆動し、ロードセル５４Ａで検出される張力が所定値からずれないようにフレーム５７を左右方向および上下方向へ移動させる制御が行われる。なお、接着シートＡＳの貼付動作中に、切断手段７０が多関節ロボット７１を駆動し、吸着ツール９１から切断刃７２にツール交換を行う。
【００２３】
接着シートＡＳの貼付が完了すると、切断手段７０が多関節ロボット７１を駆動し、図２中二点鎖線で示すように、切断刃７２を接着シートＡＳに突き刺し、当該切断刃７２をウエハＷＦの外周に沿って移動させる。これにより、ウエハＷＦ上に接着シート部分が残り、当該接着シート部分の外周に不要シートＵＳが形成される。次いで、搬送手段９０が多関節ロボット７１を駆動し、切断刃７２から吸着ツール９１にツール交換を行う。また、処理手段４０がリニアモータ６１および回動モータ６３を駆動し、図２中二点鎖線で示すように、フレーム６２を右方向に移動させて不要シートＵＳを回収する。そして、処理手段４０で不要シートＵＳを回収している最中に、搬送手段９０が多関節ロボット７１および図示しない減圧手段を駆動し、吸着ツール９１でウエハＷＦを吸着保持し、内側テーブル２１からウエハＷＦを次工程に搬出する。
【００２４】
その後、処理手段４０が直動モータ５３を駆動し、押付部材５３Ｂとガイドローラ５２Ａとによる原反ＲＳの挟み込みを解除する。そして、処理手段４０が回動モータ６３の駆動を停止させた状態で、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させる。この復帰動作により、所定の繰出量の接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離されて支持手段２０上に配置され、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２５】
ここで、ウエハＷＦのサイズ変更や原反ＲＳの交換等の理由により、支持テーブル２１Ｄの交換が必要になった場合、使用者が図示しない操作手段を介して自動運転停止の信号を入力すると、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、変温手段３０が加熱手段３１の駆動を停止する。次いで、搬送手段９０が多関節ロボット７１および図示しない減圧手段を駆動し、吸着ツール９１でヒートシンク８０を吸着保持し、図３に示すように、当該ヒートシンク８０を支持面２１Ｃ上に載置する。これにより、支持テーブル２１Ｄがヒートシンク８０によって速やかに冷却される。その後、使用者が支持テーブル２１Ｄを素手で触っても火傷しない程度の交換温度、例えば３６℃といった所定の温度にまで支持テーブル２１Ｄの温度が達したことを図示しない温度検知手段が検知すると、搬送手段９０が多関節ロボット７１および図示しない減圧手段を駆動し、吸着ツール９１でヒートシンク８０を吸着保持し、当該ヒートシンク８０を支持面２１Ｃ上から初期位置に復帰させる。そして、使用者が支持テーブル２１Ｄを取り外して交換した後、図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力すると、上記同様の動作が繰り返される。
【００２６】
以上のような実施形態によれば、加熱された支持テーブル２１Ｄを冷却するため、速やかに支持テーブル２１Ｄを取り外すことができ、単位時間当たりの処理能力が低下することを防止することができる。
【００２７】
以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。
【００２８】
例えば、支持手段２０は、外側テーブル２２と基台２３とが一体に形成されてもよい。
内側テーブル２１は、支持面２１Ｃの高さを調整可能な駆動機器を採用してもよい。
内側テーブル２１が支持部材であってもよい。
支持テーブル２１Ｄは、接着シートＡＳを介してウエハＷＦと一体化されるリングフレームを支持できる構成としてもよい。
収容部材２１Ｂは、断熱材３２と一体に形成されてもよいし、なくてもよい。
【００２９】
変温手段３０は、加熱手段３１に代えてまたは併用して、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段を備えてもよいし、支持テーブル２１Ｄ内に設けられてもよいし、支持テーブル２１Ｄを６０℃以上に加熱してもよいし、６０℃以下に加熱してもよく、雰囲気温度以上に支持テーブル２１Ｄを加熱できればよく、冷却手段は、雰囲気温度以下に支持テーブル２１Ｄを冷却できるものであればよい。
加熱手段３１は、支持テーブル２１Ｄを交換する際に、駆動を停止しなくてもよく、使用者が触っても火傷しない温度に支持テーブル２１Ｄを加熱してもよい。
断熱手段は、空気やガス等の気体やジェル状体であってもよいし、なくてもよい。
【００３０】
処理手段は、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを剥離するシート剥離手段、ウエハＷＦを研磨する研磨手段や研削する研削手段、ウエハＷＦを切断するダイシング手段等のウエハＷＦの処理手段の他、食品や容器等の所定の物品にラベルを貼付するラベル貼付手段であってもよい。また、支持手段２０がリングフレームとウエハＷＦとを支持できる構成とし、処理手段がウエハＷＦおよびリングフレームに接着シートＡＳを貼付するマウント手段であってもよい。
【００３１】
シート供給手段５０は、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出す構成でもよく、この場合、剥離板５４Ｂはなくてもよいし、枚葉の接着シートＡＳを繰り出してもよい。
シート供給手段５０は、支持ローラ５１および回収ローラ５６のうち少なくとも一方がフレーム５７に支持されていてもよいし、リニアモータ５８、５９を上下方向および左右方向の各々に対して傾斜して延設してもよいし、それらを互いに直交しない方向に延設してもよいし、リニアモータ５９のスライダでリニアモータ５８を支持し、リニアモータ５８のスライダ５８Ａでフレーム５７を支持してもよいし、リニアモータ５８、５９を採用することなく、押圧ローラ６９の右方への移動に伴い、支持ローラ５１から原反ＲＳを繰り出す構成としてもよい。
シート供給手段５０は、張力検出手段として圧力センサやレギュレータ等、接着シートＡＳの張力を測定可能なものであれば何を採用してもよいし、支持ローラ５１をロック可能な駆動機器で支持する構成として直動モータ５３を省いてもよい。
【００３２】
シート貼付手段６０は、ピンチローラ６４および駆動ローラ６５を採用することなく、外側テーブル２２から直接回収ローラ６６で不要シートＵＳを回収する構成としてもよいし、フレーム６２や回収ローラ６６等をウエハＷＦに沿って移動させることなく不要シートＵＳを回収する構成としてもよい。
【００３３】
切断手段７０は、接着シートＡＳをウエハＷＦと同形状に切断することなく、異なる形状に切断したり、ウエハＷＦよりも大きく切断したり、ウエハＷＦよりも小さく切断したりしてもよいし、なくてもよい。
【００３４】
取り外し準備手段は、変温手段３０が冷却手段を備えている場合、支持テーブル２１Ｄを加熱するコイルヒータ、赤外線ヒータ、ヒートパイプの加熱側等の加熱手段であってもよいし、変温手段３０が加熱手段と冷却手段とを備えている場合、支持テーブル２１Ｄを冷却するペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段と加熱手段とを備えてもよいし、冷却または加熱されたシートを支持面２１Ｃに供給するシート供給手段であってもよいし、支持テーブル２１Ｄに冷気または熱風を吹き付け、支持テーブル２１Ｄに接触してまたは接触せずに当該支持テーブル２１Ｄを冷却または加熱するものであってもよいし、支持テーブル２１Ｄを３６℃以下に冷却してもよいし、３６℃以上に冷却してもよいし、冷却された支持テーブル２１Ｄを加熱する場合も、任意の温度にまで加熱してもよく、使用者や、支持テーブル２１Ｄを取り外す所定の治具や、取り外した支持テーブル２１Ｄの載置場所等の耐熱温度等を考慮して任意の温度にまで冷却してもよいし加熱してもよい。
【００３５】
搬送手段９０は、支持手段２０へのヒートシンク８０の搬入および搬出の一方のみ行ってもよいし、切断手段７０とは別体の独立した構成としてもよい。
【００３６】
また、本考案における接着シートＡＳおよび処理対象物の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、処理対象物としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の処理対象物に貼付することができる。
【００３７】
本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、変温手段は、支持部材を加熱または冷却可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１０    処理装置
２０    支持手段
２１Ｄ  支持テーブル（支持部材）
３０    変温手段
４０    処理手段
８０    ヒートシンク（取り外し準備手段）
９０    搬送手段
ＷＦ    ウエハ（処理対象物）
【図１】
0003208356.tif 000003
【図２】
0003208356.tif 000004
【図３】
0003208356.tif 000005