(57)【要約】本発明の真空中での基板保持方法は、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド（２０）又は粘着シートによりガラス基板（５）を保持する。これにより、粘着剤が基板に付着するのを防止するとともに、基板を貼り付け後には容易に粘着シートを基板から剥がすことができるようにする。
2003075343.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより基板を保持することを特徴とする真空中での基板保持方法。
【請求項２】
前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴とする請求項１記載の真空中での基板保持方法。
【請求項３】
前記粘着パッド又は粘着シートは、粘着面に凹凸形状を有していることを特徴とする請求項１記載の真空中での基板保持方法。
【請求項４】
前記粘着パッド又は粘着シートの凹凸形状における凸部の粘着面には、前記凸部よりも微細な微細凸部が形成されていることを特徴とする請求項３記載の真空中での基板保持方法。
【請求項５】
前記凸部は、ハニカム形状における六角形の少なくとも辺の一部を構成し、六角形を形成するように配列されていることを特徴とする請求項３記載の基板保持方法。
【請求項６】
前記凸部は、ハニカム形状における六角形の１辺を構成するように配列されていることを特徴とする請求項５記載の基板保持方法。
【請求項７】
前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を含んでいることを特徴とする請求項５記載の基板保持方法。
【請求項８】
前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を中心として、隣接する３個の六角形の少なくとも辺の一部を構成するように、３方向に延びた形状を有していることを特徴とする請求項７記載の基板保持方法。
【請求項９】
貼り合わせる２枚の基板の内、いずれか一方の基板に前記２枚の基板同士を固定するためのシール材を塗布し、いずれか一方の基板に液晶を滴下して、真空中で２枚の基板を貼り合わせる工程を含む液晶表示装置の製造方法において、
上記基板を貼り合わせるときに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより上側に配置する基板を保持して真空中で２枚の基板を貼り合わせることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴とする請求項９記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１１】
貼り合わせる２枚の基板の内、いずれか一方の基板に前記２枚の基板同士を固定するためのシール材を塗布し、いずれか一方の基板に液晶を滴下して、真空中で２枚の基板を貼り合わせる工程を含む液晶表示装置の製造方法において、
上記基板を貼り合わせるときに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形され、かつ粘着面に凹凸形状を有する粘着パッド又は粘着シートにより、上側または下側に配置する何れか一方の基板、もしくは双方の基板を保持し、真空中で２枚の基板を貼り合わせることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記粘着パッド又は粘着シートの凹凸形状における凸部の粘着面には、前記凸部よりも微細な微細凸部が形成されていることを特徴とする請求項１１記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴とする請求項１１記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記凸部は、ハニカム形状における六角形の少なくとも辺の一部を構成し、六角形を形成するように配列されていることを特徴とする請求項１１記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記凸部は、ハニカム形状における六角形の１辺を構成するように配列されていることを特徴とする請求項１４記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を含んでいることを特徴とする請求項１４記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を中心として、隣接する３個の六角形の少なくとも辺の一部を構成するように、３方向に延びた形状を有していることを特徴とする請求項１６記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１８】
真空中で基板を保持する基板保持装置において、
上記基板を保持するためのジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートが設けられていることを特徴とする基板保持装置。
【請求項１９】
前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴とする請求項１８記載の基板保持装置。
【請求項２０】
前記粘着パッドのパッドを自在に貫通させる貫通口を有し、かつ基板側に平面を有するステージが設けられていることを特徴とする請求項１８又は１９記載の基板保持装置。
【請求項２１】
前記貫通口は、粘着パッドのパッドにて保持した基板に向けてガスを噴出可能となっていることを特徴とする請求項２０記載の基板保持装置。
【請求項２２】
前記粘着パッド又は粘着シートは、粘着面に凹凸形状を有していることを特徴とする請求項１８記載の基板保持装置。
【請求項２３】
前記粘着パッド又は粘着シートの凹凸形状における凸部の粘着面には、前記凸部よりも微細な微細凸部が形成されていることを特徴とする請求項２２記載の基板保持装置。
【請求項２４】
前記凸部は、ハニカム形状における六角形の少なくとも辺の一部を構成し、六角形を形成するように配列されていることを特徴とする請求項２２記載の基板保持装置。
【請求項２５】
前記凸部は、ハニカム形状における六角形の１辺を構成するように配列されていることを特徴とする請求項２４記載の基板保持装置。
【請求項２６】
前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を含んでいることを特徴とする請求項２４記載の基板保持装置。
【請求項２７】
前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を中心として、隣接する３個の六角形の少なくとも辺の一部を構成するように、３方向に延びた形状を有していることを特徴とする請求項２６記載の基板保持装置。
【請求項２８】
真空中にて基板の保持動作を行うことを特徴とする請求項２２記載の基板保持装置。
【請求項２９】
可撓性を有し、外力が解除された場合に一定の形状を保持可能な粘着部材であり、かつそれ自体が粘着性を有している粘着部材にて基板を保持することを特徴とする基板保持装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、真空中で２枚の基板を貼り合わせる真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板保持装置に関するものである。
背景技術
液晶表示パネルの製造においては、透明電極や薄膜トランジスタアレイ等を設けた２枚のガラス基板を数μｍ程度の極めて接近した間隔でシール材にて貼り合わせ、その間隔内に液晶を充填して封止する必要がある。
ここで、従来の液晶の充填及び封止は、例えば、以下のような方法を採っていた。
先ず、常圧下において、液晶を注入する口を設けたシール材料を基板内のセルの外周に形成し、２枚の基板を貼り合わせてプレス・硬化を行う。次に、上記の貼り合わせた基板を上記注入口がガラスエッジにくるように所定のセルサイズ等に分断を行う。さらに、所定のセルサイズに分断したものを上記注入口から従来の液晶注入方式にてセル内に液晶を封入していた。
上記における液晶の封入方式では、２枚の基板を貼り合わせる工程と液晶を封入する工程とを別々に行う必要がある。このため、最近では、それを同時に行うことができるように、前記のシールを形成した基板に液晶を滴下した後に、真空中で２枚の基板を貼り合わせることによって、基板の貼り合わせと液晶の封入とを同時に行うようになってきている。
具体的には、上記の真空装置内での液晶の封入は、真空下において、貼り合わせるいずれか片方の基板にシール材を塗布し、いずれか片方の基板に液晶を滴下して２枚の基板を貼り合わせている。
ところで、上記真空下における滴下貼り合わせにおいては、以下のような課題がある。
すなわち、上記封入工程自体が真空装置内で行われているので、上部に配置する基板の保持として真空吸着方法は使用できない。また、静電チャックを使用して基板の保持をする方法が考えられるが、基板を保持するときに高電圧を印加するので、基板上に形成したＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：薄膜トランジスタ）素子の特性が変化してしまうという問題がある。
このような問題を解決するために、例えば、日本国公開特許公報「特開２００１−１３３７４５公報」（公開日２００１年５月１８日）では、真空中の基板の保持として粘着シート等の粘着材料を使用することが提案されている。
この方法により、基板サイズが大型化、薄型化しても容易に真空中にて基板を高精度に貼り合わせることが可能となる。
しかしながら、上記従来の公報に記載された真空中での基板保持方法では、使用する粘着シートについて具体的に明記されていない。
一般的な、粘着シートとして考えられるのは、粘着剤を塗布したテープ等が考えられる。しかし、このような粘着剤を塗布したテープにて基板を保持した場合には、粘着剤が基板に付着するという問題点を有している。また、粘着力が強すぎる場合には、基板を貼り付けた後に粘着シートが基板から剥がれず、その結果、粘着シートを基板から外す際に、基板を損傷するおそれがあるという問題点を有している。
また、上下の液晶ガラス基板同士を貼り合わせた場合、これら両基板の間隔は、２〜９μｍ程度と非常に狭い間隔であり、この間隔の大小により液晶表示の明暗が変化するなど、液晶表示パネルの性能・品質に影響する。このため、液晶ガラス基板を貼り合わせする際には基板全体に渡って均一な高さおよび押圧力で貼り合わせることが重要である。しかしながら、粘着テープの類では厚みが一定でなく、基板全体に対してほぼ均一な押圧力を与えることができなかった。
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、粘着剤が基板に付着するのを防止するとともに、基板を貼り付けた後には容易に粘着シートを基板から剥がすことができる真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板保持装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、基板全体に渡って均一な押圧力を付与し、基板同士を均一な基板間隔に貼り合わせることができる真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板保持装置の提供することにある。
発明の開示
本発明の真空中での基板保持方法は、上記課題を解決するために、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより基板を保持することを特徴としている。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記課題を解決するために、貼り合わせる２枚の基板の内、いずれか一方の基板に前記２枚の基板同士を固定するためのシール材を塗布し、いずれか一方の基板に液晶を滴下して、真空中で２枚の基板を貼り合わせる工程を含む液晶表示装置の製造方法において、上記基板を貼り合わせるときに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより上側に配置する基板を保持して真空中で２枚の基板を貼り合わせることを特徴としている。
また、本発明の基板保持装置は、上記課題を解決するために、真空中で基板を保持する基板保持装置において、上記基板を保持するためのジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パット又は粘着シートが設けられていることを特徴としている。
上記の発明によれば、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パット又は粘着シートにて基板を保持することとしており、このジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートは、両端にＣＨ２−を有し、真空中において基板を保持する場合に、適度な粘着性及び離脱性が得られる。
すなわち、粘着剤を塗布した両面テープ等のように、粘着剤が基板に付着することがない上、付着力が強すぎて粘着パッド又は粘着シートが基板から剥がれないということがない。
したがって、粘着剤が基板に付着するのを防止するとともに、基板の貼り付けた後には容易に粘着パッド及び粘着シートを基板から剥がすことができる真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板保持装置を提供することができる。
また、特に、液晶表示装置を製造する際に、本発明では、静電チャックを使用して基板の保持を行うというものではないので、基板を保持するときの高電圧印加に伴うＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：薄膜トランジスタ）素子の特性変化を防止することができる。さらに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにて基板を保持するので、真空内における基板保持装置が複雑とならない。
また、本発明の真空中での基板保持方法は、上記記載の真空中での基板保持方法において、前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴としている。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記液晶表示装置の製造方法において、前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴としている。
また、本発明の基板保持装置は、上記記載の基板保持装置において、前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴としている。
上記の発明によれば、ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなっている。
この不飽和ポリブタジエンは、ジエン系樹脂において、真空中において基板を保持する場合に、適度な粘着性及び離脱性が得られる。また、真空中においても、粘着性が落ちることがないとともに、ガスの発生等もなく安定している。さらに、ごみが付いても水洗いして乾燥させれば粘着力が復活する。
また、本発明の基板保持装置は、上記記載の基板保持装置において、前記粘着パッドのパッドを自在に貫通させる貫通口を有し、かつ基板側に平面を有するステージが設けられていることを特徴としている。
上記の発明によれば、ステージには貫通口が設けられ、この貫通口は、粘着パッドのパッドを自在に貫通させることができるものとなっている。
このため、貫通口の径及びこの貫通口を通る粘着パッドにおけるパッドの粘着面の広さを、真空中での保持に必要な時間に応じて設定することができる。
また、粘着パッドのパッドがステージに対して突出していると、基板全体に対して均一にプレス圧力を加えることができない。
この点、本発明では、ステージの貫通口は、粘着パッドのパッドを自在に貫通させることができるものとなっているので、粘着パッドにて基板を保持するときに、この粘着パッドのパッドをステージから突出させないようにすることができる。
したがって、基板を、平面を有するステージに当接した状態で粘着パッドにて保持することができるので、基板全体をステージに当接することができる。その結果、例えば、基板の貼り付け時における基板の押圧に際して、基板における、パッドに当接していた部分がムラになるのを防止することができる。
また、本発明の基板保持装置は、上記記載の基板保持装置において、前記貫通口は、粘着パッドのパッドにて保持された基板に向けてガスを噴出可能となっていることを特徴としている。
上記の発明によれば、貫通口は、粘着パッドのパッドにて保持した基板に向けてガスを噴出可能となっているので、この貫通口を通して基板を剥がすべく基板に向けてガスを噴出することができる。
したがって、基板の離脱を容易に行うととともに、離脱するときに基板が損傷するのを防止することができる。
上記の真空中での基板保持方法、および基板保持装置は、前記粘着パッド又は粘着シートが、粘着面に凹凸形状を有している構成である。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、貼り合わせる２枚の基板の内、いずれか一方の基板に前記２枚の基板同士を固定するためのシール材を塗布し、いずれか一方の基板に液晶を滴下して、真空中で２枚の基板を貼り合わせる工程を含む液晶表示装置の製造方法において、上記基板を貼り合わせるときに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形され、かつ粘着面に凹凸形状を有する粘着パッド又は粘着シートにより、上側または下側に配置する何れか一方の基板、もしくは双方の基板を保持し、真空中で２枚の基板を貼り合わせる構成である。
上記の構成によれば、粘着パッド又は粘着シートにおいて、保持する基板と接するのは凹凸形状の凸部であり、粘着パッド又は粘着シートにて保持した基板同士を両側から押圧して貼り合わせる場合には、凸部が適宜変形可能である。したがって、粘着面が凹凸形状を有することなく平坦面となった粘着パッド又は粘着シートを使用する場合と比較して、基板全体に渡って均一な押圧力を付与し、基板同士を均一な基板間隔に貼り合わせることができる。
また、保持する基板に対する粘着力を凹凸形状により調整することができる。したがって、保持する基板に対して過度の粘着力が作用し、基板と粘着パッド又は粘着シートとを引き剥がすときに、基板に大きなストレスが生じる事態を防止することができる。
上記の真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法および基板保持装置において、前記粘着パッド又は粘着シートの凹凸形状における凸部の粘着面には、前記凸部よりも微細な微細凸部が形成されている構成としてもよい。
上記の構成によれば、凸部の粘着面に微細凸部が形成されていることにより、この微細凸部によって基板との接触面積、即ち凸部での粘着力を調整可能である。したがって、凸部での粘着力を調整するために凸部の粘着面が過度に小さくなって基板に対して凸部から局部的に過度の押圧力が加わる事態、あるいは凸部の剛性が過度に低下する事態を防止することができる。
上記の真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法および基板保持装置において、前記凸部は、ハニカム形状における六角形の少なくとも辺の一部を構成し、六角形を形成するように配列されている構成としてもよい。
また、前記凸部は、ハニカム形状における六角形の１辺を構成するように配列されている構成としてもよい。
また、前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を含んでいる構成としてもよい。
さらに、前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を中心として、隣接する３個の六角形の少なくとも辺の一部を構成するように、３方向に延びた形状を有している構成としてもよい。
上記の構成によれば、粘着パッド又は粘着シートにより基板を粘着して保持し、例えばこのようにしてそれぞれ保持した２枚の基板同士を両側から押圧して貼り合わせる場合に、凸部による凹凸パタンによりセル厚ムラ（貼り合わされた基板間の厚みムラ）を発生させないように、粘着パッド又は粘着シートにおいて凸部を密に配置し易くなる。また、上記のように基板同士を貼りあわせる際に基板同士を位置合わせする場合において、凸部は、単に一方向に並んで配列されているような場合と比較して、倒れが生じ難く、基板同士の位置合わせが容易となる。
また、上記の基板保持装置は、真空中にて基板の保持動作を行う構成としてもよい。このように、粘着パッド又は粘着シートにより基板を粘着して保持する基板保持装置では、真空中においても基板を適切に保持可能であり、液晶基板等の基板に対して静電チャックで問題となる電気的ダメージを与えることもなく、真空中での使用に好適である。
本発明の基板保持装置は、可撓性を有し、外力が解除された場合に一定の形状を保持可能な粘着部材であり、かつそれ自体が粘着性を有している粘着部材にて基板を保持することを特徴としている。
上記の構成によれば、粘着剤を塗布したテープ等で生じる、保持した基板に粘着剤が付着するといった問題が生じず、また、基板を保持しかつ基板を離脱する上において適度な粘着力が得易く、基板を保持する装置として好適である。
本発明のさらに他の目的、特徴、および優れた点は、以下に示す記載によって十分わかるであろう。また、本発明の利益は、添付図面を参照した次の説明で明白になるであろう。
発明を実施するための最良の形態
以下、実施例および比較例により、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらにより何ら限定されるものではない。
〔実施の形態１〕
本発明の実施の一形態について図１ないし図１２に基づいて説明すれば、以下の通りである。
本実施の形態の液晶表示装置の液晶表示パネル１０は、例えば、図２に示すように、画素領域の液晶材料１を個別に電界印加により駆動できるよう画素電極２を配設した基板としてのガラス基板３と、対向電極４を配設した基板としてのガラス基板５とを対向させ、液晶材料１を一定の厚みで狭持し、周辺部をシール材６にて固着して貼り合せたものである。上記液晶表示パネル１０には、さらに、偏光板７・８及びアルミニウム等からなる反射板９が設けられるとともに、図示しない位相差板、光拡散板、カラーフィルタ層等が設けられている。また、上記ガラス基板３側には、図示しないＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：薄膜トランジスタ）素子等の駆動用素子が設けられている。そして、この液晶表示パネル１０に図示しない駆動用回路等を接続することにより、液晶表示装置が構成されている。
ただし、本発明の液晶表示装置においては、必ずしもこれに限らず、液晶表示パネル１０に他の部材が設けられていてよく、或いは、上記液晶表示パネル１０における反射板９の代わりに、さらにバックライトユニット等と組み合わせて構成する等、必要に応じて各部材を追加及び省略することが可能である。
上記の液晶表示パネル１０を形成する際には、図３に示すように、ガラス基板３の周辺にシール材６を塗布するとともに、このガラス基板３のシール材６の内部に液晶材料１を滴下し、図４に示すように、上側からガラス基板３にて押圧することにより、図２に示すように、液晶材料１を封入した状態で２枚のガラス基板３・５を貼り合わせる。なお、シール材６の塗布及び液晶材料１の滴下はいずれのガラス基板３・５であっても良い。
ここで、上記の液晶材料１の封入工程においては、気泡を混入させないことが要求される。このため、真空装置内にて、液晶材料１の封入工程が行われるが、その場合に、どのようにしてガラス基板５を保持するかが問題となる。この点、本実施の形態では、図１に示すように、粘着パッド２０…により、例えば、上側の基板であるガラス基板５を保持するようにしている。
すなわち、粘着パッド２０は、図５（ａ）（ｂ）に示すように、数ミリ程度の薄肉円柱形状のものからなっているとともに、ゴム状にて弾性を有している。この粘着パッド２０は、複数のものが、ステージとしての上ステージ３２に部分的に貼り付け固定されている。なお、粘着パッド２０の粘着面の面積は、真空中での貼り合わせに必要な時間以上、ガラス基板５を保持できるように設定すればよい。
ここで、粘着パッド２０は、この形態に限らず、他の形態を採用することが可能である。例えば、図６（ａ）（ｂ）に示すように、平板部２１ｂの表面から部分的に円柱状に突出する複数のパッド２１ａ…を有するというように、平板部２１ｂとパッド２１ａ…とが一体に形成された粘着パッド２１とすることが可能である。なお、この場合、粘着パッド２１が柔らかい場合には、平板部２１ｂの厚みを厚くしたり、粘着パッド２１を前記上ステージ３２に貼り付け固定したり、又は硬質の平板に固着したりする等して用いることができる。
また、必ずしも前記粘着パッド２０及び粘着パッド２１のように、円柱状のパッド形状のものに限らず、例えば、図７（ａ）（ｂ）に示すように、粘着シート２２からなるものであってもよい。なお、この場合も、粘着シート２２が柔らかい場合には、粘着シート２２の厚みを厚くしたり、粘着シート２２を前記上ステージ３２に貼り付け固定したり、又は硬質の平板に固着したりする等して用いることができる。
さらに、図８に示すように、上ステージ３２に貫通口３２ａを設けるとともに、この上ステージ３２よりも厚い円柱状のパッド２３ａを硬質基板２３ｂに固定し、上記円柱状のパッド２３ａが上記貫通口３２ａに自由に嵌挿できるようにした粘着パッド２３とすることができる。これによって、図９（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、ガラス基板５を保持したときに、ガラス基板５を粘着パッド２３から剥がすときに、容易に剥がすことができるものとなっている。
すなわち、図９（ａ）に示すように、真空チャンバ内において、最初の状態では、粘着パッド２３のパッド２３ａの下端面は、上ステージ３２の平面からなる下面３２ｂよりも入り込んだ状態となっている。この状態から、ガラス基板５を上ステージ３２の下方に配置し、真空吸着することで、図９（ｂ）に示すように、ガラス基板５が上ステージ３２の下面３２ｂ側に吸引され、下面３２ｂに当接される。そして、図９（ｃ）に示すように、粘着パッド２３を下降させて、パッド２３ａの下端面をガラス基板５に接触させることにより、粘着パッド２３にてガラス基板５を保持することができる。なお、粘着パッド２３の下降は、できるだけガラス基板５が上ステージ３２の下面３２ｂに当接している状態を維持する範囲に抑えることが好ましい。これは、ガラス基板５を水平に維持するためである。
上記粘着パッド２３によるガラス基板５の保持は、真空チャンバを大気圧状態に戻しても維持されており、ガラス基板５は粘着パッド２０から落下しない。
一方、この粘着パッド２３にて保持されたガラス基板５を粘着パッド２３から外すときには、上ステージ３２を固定した状態で粘着パッド２３を上昇させることにより、容易にガラス基板５を粘着パッド２３から外すことができる。
次に、本実施の形態の粘着パッド２０・２１・２３及び粘着シート２２の材質について詳述する。
本実施の形態の粘着パッド２０・２１・２３及び粘着シート２２は、ジエン系樹脂を含む材料にて成形したものからなっており、具体的には、ジエン系樹脂である不飽和ポリブタジエンからなっている。
上記不飽和ポリブタジエンは、硬化前は、
ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＨ＝ＣＨ２
という化学式を有しており、不飽和の二重結合を２個有するジエン系樹脂となっている。この、不飽和ポリブタジエンが硬化すると、
−ＣＨ２−ＣＨ＝ＣＨ−ＣＨ２−
という化学式になる。本実施の形態の粘着パッド２０・２１・２３及び粘着シート２２の粘着性は、この化学式の両端のＣＨ２−によるものと考えられ、真空中でも働くが、水分が付着するか又はごみが付いて表面が隠れると粘着力は働かなくなる。ただし、ごみが付いても水洗いし、乾燥させれば粘着力は復活する。また、粘着力は、例えば、１００ｇ／ｃｍ２以上である。
この不飽和ポリブタジエンの粘着パッド２０・２１・２３及び粘着シート２２は、Ａ３サイズまでなら、例えば、板厚０．３ｍｍ〜５ｍｍ程度、Ａ３サイズを超え、７３０×９２０ｍｍまでなら、例えば、板厚１ｍｍ〜５ｍｍ程度に仕上げることができる。
上記の粘着パッド２３を用いた基板貼り合わせ装置にて、液晶表示装置の液晶表示パネル１０を製造する方法について説明する。
基板保持装置としての基板貼り合わせ装置３０は、図１０（ａ）に示すように、真空チャンバ３１内において、２枚のガラス基板３・５の内、上部に配置するガラス基板５を押圧するための上ステージ３２と、この上ステージ３２の貫通口３２ａ内で上下移動可能に設けられた不飽和ポリブタジエンを成形した粘着パッド２３とを備えている。また、その下方には、他方のガラス基板３を載置するための下ステージ３３が設けられている。上記上ステージ３２は上下方向に移動可能になっているとともに、粘着パッド２３もこの上ステージ３２とは別個に上下移動できるようになっている。
なお、同図においては、真空チャンバ３１を真空にするための真空配管等は省略している。
また、このとき、真空チャンバ３１内における基板貼り合わせ装置３０の側方には、図示しない前記画素電極２を配したガラス基板３と、図示しない前記対向電極４を配したガラス基板５とが準備されている。このガラス基板３には、周囲にシール材６が塗布されているとともに、その内側中央部に液晶材料１が滴下された状態となっている。なお、同図においては、シール材６はガラス基板３に塗布されているが、必ずしもこれに限らず、ガラス基板５に塗布しておくことも可能である。
この状態から、ガラス基板５を上ステージ３２の下方に移動し、真空吸着することで図１０（ｂ）に示すように、ガラス基板５が上ステージ３２に当接される。この状態にて、粘着パッド２３を下降し、ガラス基板５に当接させることにより、ガラス基板５が粘着パッド２３に保持される。
このとき、不飽和ポリブタジエンの粘着パッド２３は粘着性を有しており、真空中でも粘着性が落ちることもない。また、真空中においてもガスの発生等もなく安定しているため、ガラス基板５・３の貼り合わせの際に真空中に晒しても問題はない。さらに、粘着パッド２３によって、ガラス基板５の保持ができているので、真空吸着を解除してもガラス基板５が落ちることはない。
また、粘着パッド２３のパッド２３ａは、上ステージ３２に対して突出していると、貼り合わせの際に均一にプレス圧力を加えることができない。そして、貼り合わせた後に、ガラス基板５におけるパッド２３ａに当接していた部分がセル厚ムラになるため、できるだけ上ステージ３２からのパッド２３ａの突出をなくすようにする。
次いで、図１０（ｃ）に示すように、ガラス基板３を下ステージ３３に移動して、この下ステージ３３にガラス基板３を載置する。次いで、真空チャンバ３１内を所定の真空度になるようにさらに吸引する。なお、同図においては、下側のガラス基板３を上側のガラス基板５よりも後に基板貼り合わせ装置３０に導入しているが、必ずしもこれに限らず、ガラス基板５よりも先にガラス基板３を基板貼り合わせ装置３０に導入することも可能である。
次いで、図１０（ｄ）に示すように、粘着パッド２３と一体に上ステージ３２を下降させ、上下のガラス基板５・３を位置決めしながら貼り合わせていく。この際、上側のガラス基板５は、粘着パッド２３により保持されているため、ずれることはない。なお、下側のガラス基板３に関しては、例えば、この粘着パッド２３を使用してもよく、或いは機械的に位置ズレしないように保持してもよい。
次いで、図１１（ａ）に示すように、ガラス基板５とガラス基板３との間隔が一定となる状態まで押圧することによって、押圧完了状態となる。
その後、図１１（ｂ）に示すように、上ステージ３２を固定した状態で粘着パッド２３を上昇させることにより、粘着パッド２３とガラス基板５との粘着が解除され、その後、上ステージ３２を上昇移動させる。なお、この貼り合わせ完了後のガラス基板５・３の引き剥がしに関しては、例えば、プレス圧力を抜いた後真空吸着用の隙間つまり上ステージ３２の貫通口３２ａにおけるパッド２３ａとの間の隙間から窒素ガス又はドライエアによるバックブローをかけることによっても引き剥がし可能である。この際の真空チャンバ３１内の圧力は、大気圧に戻した後よりも真空中で行った方が引き剥がし易い。
次に、真空チャンバ３１内を大気圧状態に戻した後、図１１（ｃ）に示すように、貼り付けたガラス基板３・５を真空チャンバ３１から取り出す。次いで、貼り付けたガラス基板３・５に、紫外線照射及び熱焼成を施すことにより、シール材６を完全に硬化させる。
この後、さらに、ガラス基板３・５に、前記偏光板７・８及びアルミニウム等からなる反射板９等を取り付けることにより液晶表示パネル１０が完成するとともに、この液晶表示パネル１０に図示しない駆動用回路等を接続することにより、液晶表示装置が完成する。
このように、本実施の形態の真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板貼り合わせ装置３０では、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド２０・２１・２３及び粘着シート２２を用いており、このジエン系樹脂は、両端にＣＨ２−を有し、真空中においてガラス基板５を保持する場合に、適度な粘着性及び離脱性が得られる。
すなわち、粘着剤を塗布した両面テープ等のように、粘着剤がガラス基板５に付着することがない上、付着力が強すぎて粘着パッド２０・２１・２３及び粘着シート２２がガラス基板５から剥がれないということがない。
したがって、粘着剤がガラス基板５に付着するのを防止するとともに、ガラス基板５・３の貼り付け後には容易に粘着パッド２０・２１・２３及び粘着シート２２をガラス基板５から剥がすことができる真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板貼り合わせ装置３０を提供することができる。
また、特に、液晶表示装置を製造する際に、本実施の形態では、静電チャックを使用してガラス基板５・３の保持を行うというものではないので、ガラス基板３を保持するときの高電圧印加に伴うＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：薄膜トランジスタ）素子の特性変化を防止することができる。さらに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド２０・２１・２３及び粘着シート２２にてガラス基板５を保持するので、真空内における基板貼り合わせ装置３０が複雑とならない。
また、本実施の形態の真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板貼り合わせ装置３０では、ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなっている。
この不飽和ポリブタジエンは、ジエン系樹脂において、真空中においてガラス基板５を保持する場合に、適度な粘着性及び離脱性が得られる。また、真空中においても、粘着性が落ちることがないとともに、ガスの発生等もなく安定している。さらに、ごみが付いても水洗いして乾燥させれば粘着力が復活する。さらに、溶剤等の薬剤に対して高い耐久性を有している。
また、本実施の形態の基板貼り合わせ装置３０では、上ステージ３２には貫通口３２ａが設けられ、この貫通口３２ａは、粘着パッド２３のパッド２３ａを自在に貫通させることができるものとなっている。
このため、貫通口３２ａの径及びこの貫通口３２ａを通る粘着パッド２３におけるパッド２３ａの粘着面の広さを、真空中での保持に必要な時間に応じて設定することができる。
また、粘着パッド２３のパッド２３ａが上ステージ３２に対して突出していると、ガラス基板５の全体に対して均一にプレス圧力を加えることができない。
この点、本実施の形態では、上ステージ３２の貫通口３２ａは、粘着パッド２３のパッド２３ａを自在に貫通させることができるものとなっているので、粘着パッド２３にてガラス基板５を保持するときに、この粘着パッド２３のパッド２３ａを上ステージ３２から突出させないようにすることができる。
したがって、ガラス基板５を、平面を有する上ステージ３２に当接した状態で粘着パッド２３にて保持することができるので、ガラス基板５の全体を上ステージ３２に当接することができる。その結果、ガラス基板５・３の貼り付け時におけるガラス基板５の押圧に際して、ガラス基板５における、パッド２３ａに当接していた部分がムラになるのを防止することができる。
また、本実施の形態の基板貼り合わせ装置３０では、貫通口３２ａは、粘着パッド２３のパッド２３ａにて保持されたガラス基板５に向けてガスを噴出可能となっているので、この貫通口３２ａを通してガラス基板５を剥がすべくガラス基板５に向けてガスを噴出することができる。
したがって、ガラス基板５の離脱を容易に行うととともに、離脱するときにガラス基板５が損傷するのを防止することができる。
なお、本実施の形態では、基板として液晶表示パネル１０を製造する場合のガラス基板５・３として説明したが、必ずしもこれに限らず、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ：Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）基板、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｅｎｃｅ）基板、プラズマアドレス（ＰＡＬＣ）基板、電界放射ディスプレイ（ＦＥＤ：Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）基板、シリコンボール等の各基板に適用できる。なお、シリコンボールとは、図１２に示すように、プリント基板に、シリコンボールを取り付けたものであり、シリコンボール表面に配した電極を介して、プリント基板とシリコンボール及びシリコンボール同士の接続を行う。これにより、メモリやプロセッサといった各種機能を搭載したシリコンボール同士を立体的に接続して、システムＬＳＩを構築できるものである。
（実施例１）
前記実施の形態で述べた不飽和ポリブタジエンからなる粘着パッド２１の粘着効果を確認するために、実験を行った。
先ず、粘着パッド２１の材質である不飽和ポリブタジエンは、旭化成株式会社製の不飽和ポリブタジエン樹脂（商品名「ＡＰＲ  Ｋ−１１」）を使用した。なお、ＡＰＲは登録商標である。また、この不飽和ポリブタジエンは、主に、凸版印刷の版材として使用されているものである。
上記不飽和ポリブタジエン樹脂を用いて、先ず、露光装置のガラス板の上に、ネガフィルム、カバーフィルム、上記不飽和ポリブタジエン樹脂、ベースフィルムの順にセットし、上側ガラス板にて押さえる。
次いで、バック露光にて、先ず、バック析出層を形成し、続いて、レリーフ露光する。これにより、シャープなレリーフ部つまりパッド部分を形成することができる。その後、ウォッシャー液にて、未硬化樹脂を洗浄する。
次いで、温風で乾燥後、必要であれば、細い部分を確実に硬化させるために後露光を行う。
これによって、粘着パッド２０を形成した。この粘着パッド２０を用いて、真空装置内でガラス基板５の保持を行ったところ、保持性能を満足することがわかった。また、この粘着パッド２０を用いて、ガラス基板５を保持した後の離脱性も十分満足して使用できることが判明した。
また、真空中においても、粘着性が落ちることがないとともに、ガスの発生等もなく安定していることが判明した。さらに、ごみが付いても水洗いし、乾燥させれば粘着力が復活することが確認された。また、真空吸着を解除してもガラス基板５が落ちることはなかった。
なお、比較例として、アクリル樹脂系粘着剤を用いた両面粘着テープ、粘着ラベルでは、保持後の離脱性に難点があること、及び粘着剤がガラス基板５に残る可能性があることがわかった。また、不飽和ポリエステル、ポリエステルとウレタンとの混合物について検討したが、粘着性が十分でないことがわかった。
〔実施の形態２〕
本発明の実施の他の形態について図１３ないし図２０に基づいて説明すれば、以下の通りである。
本実施の形態において、図２に示した液晶表示パネル１０を形成する際には、図３に示したように、ガラス基板３の周辺にシール材６を塗布するとともに、このガラス基板３のシール材６の内部に液晶材料１を滴下し、ガラス基板３・５の少なくとも一方を押圧することにより、図２に示したように、液晶材料１を封入した状態で２枚のガラス基板３・５を貼り合わせる。なお、シール材６の塗布及び液晶材料１の滴下はいずれのガラス基板３・５に対して行っても良い。
ここで、前述のように、液晶材料１の封入工程においては、気泡を混入させないことが要求される。このため、真空装置内にて、液晶材料１の封入工程が行われるが、その場合に、どのようにしてガラス基板３・５を保持するかが問題となる。この点に関し、本実施の形態では、図１３に示すように、粘着シート５１により、例えば、上側の基板であるガラス基板５を保持するようにし、粘着パッド５２により、例えば、下側の基板であるガラス基板３を保持している。なお、図１３は本実施の形態における基板貼り合わせ装置を示す縦断面図である。
粘着シート５１は、上基板保持装置５３の保持基体部５４における下面に設けられている。保持基体部５４は内部に空間部５４ａを有し、この空間部５４ａから下面に貫通する複数の貫通孔５４ｂを有し、さらに空間部５４ａから側面に貫通する真空引き孔５４ｃを有している。
一方、粘着パッド５２は、下基板保持装置５５の保持基体部５６における円柱形をなす凸部５７の上面に設けられている。保持基体部５６は内部に空間部５６ａを有し、この空間部５６ａから上面に貫通する複数の貫通孔５６ｂを有し、さらに空間部５６ａから側面に貫通する真空引き孔５６ｃを有している。
保持基体部５６の凸部５７および粘着パッド５２は、平板状の下ステージ５８を貫通している円柱穴状の開口部５８ａに配されており、保持基体部５６が上下移動することにより、開口部５８ａにおいて進出および退行動作を行うようになっている。
粘着シート５１は、その平面図である図１４（ａ）に示すように、下面、即ち粘着面のほぼ全面に多数の凸部６１が形成され、これら凸部６１の群れの中に、吸着パッド部６２がほぼ均等に分散した状態で形成されている。
上記の凸部６１は、図１４（ａ）の拡大図である図１４（ｂ）に示すように、ハニカム形状を形成するように連なって配されている。即ち、各凸部６１は六角形の１辺を構成するように配され、かつこれら凸部６１によって形成される六角形の壁は、六角形の環状に閉じることなく、隣り合う凸部６１同士の間において開放された構造となっている。
一方、吸着パッド部６２は、例えば円形の環状をなし、吸着パッド部６２の突出した壁は環状に閉じた構造となっている。吸着パッド部６２の中心部には、粘着シート５１を厚さ方向に貫通する貫通孔６３が形成されている。この貫通孔６３は保持基体部５４における貫通孔５４ｂと連通している。
また、粘着シート５１は、図１４（ｂ）におけるＸ−Ｘ線矢視断面図である図１４（ｃ）に示す縦断面形状を有している。同図に示すように、粘着シート５１は、総厚みＨが数ｍｍ程度であり、凸部６１の高さｈが１００μｍ〜１ｍｍ程度、さらに好ましくは３００〜５００μｍとなっており、ゴム状にて弾性を有している。
さらに、粘着シート５１の凸部６１の粘着面には、図１５（ａ）（ｂ）に示すように、微小凸部６４が形成されている。なお、図１５（ａ）は凸部６１の粘着面の拡大図であり、図１５（ｂ）は図１５（ａ）におけるＹ−Ｙ線矢視断面図である。微小凸部６４の深さｄは、１０〜１００μｍ程度とすることが好ましく、さらに好ましくは２０〜４０μｍである。なお、微小凸部６４を形成しない場合、凸部６１の粘着面の自然に生じる凹凸における凸部の高さは数μｍ程度である。
粘着シート５１における上記の凸部６１および微小凸部６４の形状（配置形状）、並びに凸部６１および微小凸部６４のピッチについては、真空中においてガラス基板５等の基板を保持するのに必要な粘着力、上下のガラス基板５・３を貼り合せたときに粘着シート５１の凹凸パタンが貼り合せ後のガラス基板５・３においてセル厚ムラを発生させないピッチ、および貼り合せ後のガラス基板５からの良好な離脱性がそれぞれ得られるように定められている。
凸部６１の配置形状を上記のように六角形状としているのは次の理由による。一つには、上下のガラス基板５・３を貼り合せたときに粘着シート５１の凹凸パタンによってセル厚ムラを発生させないように、凸部６１を密に配置しやすいためである。他には、ガラス基板５・３の貼り合わせ中のアライメント時（ガラス基板５・３同士の位置合わせ時）において、アラインメントが収束し易い（ガラス基板５・３同士の位置合わせを行い易い）ためである。
即ち、上記アラインメントに関して、上側のガラス基板５と下側のガラス基板３とを貼り合わせる際には、これら両者を液晶材料１やシール材１１を介した状態で水平方向において位置合わせする。この場合には、ガラス基板５と粘着シート５１との間に水平方向の力が加わる。このとき、凸部６１の配置が偏っている場合等においては、凸部６１の倒れを生じ、アライメントが収束しないなどの不具合を生じる恐れがある。そこで、凸部６１を六角形状に配置しておけば、３６０度方向に対して凸部６１の横倒れに対する剛性のバランスが良好となり、アラインメントが容易に収束する。なお、凸部６１の横倒れに対する剛性のバランスが良好であれば、凸部６１の配置形状は六角形に限定されるものではなく、円形や四角形、その他多角形、棒線状、波線状、もしくはこれらの組み合わせでも良い。
また、粘着シート５１において、六角形の各辺を構成する凸部６１は、その頂点において六角形に閉じた形状ではなく、各凸部６１が独立した状態となっている。したがって、粘着シート５１がガラス基板５を保持した状態において周囲を真空雰囲気とした場合にも、凸部６１によって形成される六角形の内部の空気の抜け道が確保される。これにより、凸部６１によって形成される六角形の内部の空気が膨張してガラス基板５の保持状態が不安定になる事態、さらにはガラス基板５が外れてしまう事態を防止することができる。
なお、凸部６１の配置形状は、空気の抜け道が確保されるならば、六角形状に限定されない。また、保持基体部５４の貫通孔５４ｂと連通する真空引き用の吸着パッド部６２は閉じた形状とする。
また、凸部６１および微小凸部６４は、例えば従来周知のフォトリソグラフィを使用した方法により作製することができる。あるいは、機械的方法により作製してもよい。
上基板保持装置５３によりガラス基板５を保持する際には、基板搬送手段、例えばロボットアーム（図示せず）等にてガラス基板５を粘着シート５１の直下に準備する。次に、保持基体部５４の真空引き孔５４ｃから例えば真空ポンプにより空間部５４ａ内の真空引きを行う。これにより、粘着シート５１の貫通孔６３から真空引きが行われ、吸着パッド部６２にガラス基板５が吸着される。この吸着後、ガラス基板５は粘着シート５１における凸部６１の粘着面（下面）の粘着力により、粘着シート５１に保持される。なお、このときには、上基板保持装置５３から、吸着ピン（図示せず）のような部分吸着手段をガラス基板５に向けて下降させ、ガラス基板５を粘着あるいは真空吸着して粘着シート５１の位置まで上昇させるなどの補助手段を用いても良い。
一方、上基板保持装置５３の粘着シート５１にて保持されているガラス基板５を粘着シート５１から離脱させる際には、基板搬送手段、例えばロボットアーム（図示せず）等をガラス基板５の直下に準備するとともに、粘着シート５１の貫通孔６３からエアパージを行うことにより、ガラス基板５を離脱させる。なお、このときには、上基板保持装置５３から離脱ピン（図示せず）のような離脱手段をガラス基板５に向けて下降させ、離脱させるなどの補助手段を用いることもできる。
粘着パッド５２は、下基板保持装置５５の平面図である図１６（ａ）、および下基板保持装置５５の縦断面図である図１６（ｂ）に示すように、外形が薄い円柱形状となっている。粘着パッド５２は、下基板保持装置５５において複数個が分散するように設けられ、粘着シート５１と同様、上面、即ち粘着面のほぼ全面に多数の凸部６１が形成されている。また、上面の中央部に吸着パッド部６２が形成され、この吸着パッド部６２の中心部には貫通孔６３が形成されている。凸部６１は粘着シート５１の場合と同様の形状に配置され、吸着パッド部６２も同様の形状となっている。
粘着パッド５２は、粘着シート５１と同様、図１４（ｃ）に示したように、総厚みＨが数ｍｍ程度であり、凸部６１の高さｈが１００μｍ〜１ｍｍ程度、さらに好ましくは３００〜５００μｍとなっており、ゴム状にて弾性を有している。
さらに、粘着パッド５２の凸部６１の粘着面には、粘着シート５１の場合と同様、図１５（ａ）（ｂ）に示したように、微小凸部６４が形成されている。微小凸部６４の深さｄは、１０〜１００μｍ程度とすることが好ましく、さらに好ましくは２０〜４０μｍである。
下基板保持装置５５によりガラス基板３を保持する際には、基板搬送手段、例えば、ロボットアーム（図示せず）等にてガラス基板３を下ステージ５８の直上に準備する。次に、下基板保持装置５５からリフトピン（図示せず）をガラス基板３に向けて上昇させ、基板搬送手段からガラス基板３を離した状態で基板搬送手段を待避させたのちリフトピンを下降させる。このとき、下ステージ５８の上面と粘着パッド５２の上面が同一高さ面となるように粘着パッド５２を上昇させておく。次に、保持基体部５６の真空引き孔５６ｃから例えば真空ポンプにより空間部５６ａ内の真空引きを行う。これにより、粘着パッド５２の貫通孔６３から真空引きが行われ、吸着パッド部６２にガラス基板３が吸着される。この吸着後、ガラス基板３は粘着パッド５２における凸部６１の粘着面（上面）の粘着力により、粘着パッド５２に保持される。
一方、下基板保持装置５５の粘着パッド５２にて保持されているガラス基板３を粘着パッド５２から離脱させる際には、下ステージ５８を固定した状態で粘着パッド５２を下降させる。これにより、ガラス基板３を粘着パッド５２から容易に外すことができる。このとき、貫通穴６３よりエアパージを併用して行えばより容易に離脱できる。
本実施の形態の粘着シート５１及び粘着パッド５２の材質は、前述の粘着パッド２０・２１・２３や粘着シート２２と同様、粘着剤等を塗布することなく、それ自身が粘着機能を有するものである。具体的には、粘着シート５１及び粘着パッド５２は、ジエン系樹脂を含む材料にて成形したものからなっており、さらに具体的には、ジエン系樹脂である不飽和ポリブタジエンからなっている。この不飽和ポリブタジエンの機能等については前述したとおりである。
不飽和ポリブタジエンからなる粘着シート５１及び粘着パッド５２は、Ａ３サイズまでなら、例えば、板厚０．３ｍｍ〜５ｍｍ程度、Ａ３サイズを超え、７３０×９２０ｍｍまでなら、例えば、板厚１ｍｍ〜５ｍｍ程度に仕上げることができる。
ここで、表１には、不飽和ポリブタジエンと液晶パネル用のガラス基板、プラスチック液晶と呼ばれる液晶パネル用のＰＥＳ（ポリエーテルスルホン）基板、および液晶パネル用のエポキシ基板との粘着力についての測定結果を示す。測定方法については、凹凸形状のない平坦な直径２０ｍｍの不飽和ポリブタジエン製の粘着部材を試作し、上記の各被粘物に対して、１．９６Ｎの押圧力で１０秒間加圧した後、垂直に引っ張って剥離したときの引っ張り力をプッシュプルゲージにて測定した。表１の数値は、その測定値を１平方メートル当たりの粘着力に換算したものである。
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次に、粘着シート５１および粘着パッド５２において、実際に必要な粘着力とその調整方法ついて説明する。
粘着させようとするワークが、例えば比重が約２．８ｇ／ｃｍ３で、厚さが０．７ｍｍの液晶用のガラス基板５である場合、１平方センチメートル当たりの重量は約０．２ｇとなる。粘着シート５１の粘着力は、３９５ｇ／ｃｍ２もあるため、ガラス基板５全面を粘着したのでは粘着力が過剰となり、離脱のときにガラス基板５に余計なストレスが加わる。このため、本実施の形態の粘着シート５１では、六角形の凸部６１パタンのピッチＰ（図１５参照）を８．６６ｍｍ、長さＬを２．２ｍｍ、幅Ｗを０．５ｍｍとし、粘着シート５１の全体面積（下面の面積）の概ね約５％の面積に相当する凸部６１を形成し、さらにそれら凸部６１における下面全体の１０％の面積に相当する微小凸部６４を形成した。これにより、粘着シート５１全体として０．５％の面積のみが直接的にガラス基板５と接するようにした。粘着シート５１において上記のような凸部６１を形成した結果、粘着シート５１の平均粘着力は約２ｇ／ｃｍ２となった。したがって、本実施の形態の粘着シート５１では、１平方センチメートル当たりの重量が約０．２ｇのガラス基板５を粘着するには充分な粘着力と、ガラス基板５を離脱させる場合にガラス基板５に余計なストレスを発生することなく離脱できる粘着力とを両立することができた。
また、ワークが、比重が１．９ｇ／ｃｍ３で、厚さが０．４ｍｍの液晶用のエポキシ基板である場合、１平方センチメートル当たりの重量は約０．０８ｇとなる。粘着シート５１の粘着力は、１８３ｇ／ｃｍ２もあるため、エポキシ基板全面を粘着したのでは同様に粘着力が過剰となり、離脱のときにエポキシ基板に余計なストレスが加わる。このため、この場合の粘着シート５１では、六角形の凸部６１パタンのピッチＰ（図１５参照）を８．６６ｍｍ、長さＬを２．２ｍｍ、幅Ｗを０．４ｍｍとし、粘着シート５１の全体面積（下面の面積）の概ね約４％の面積に相当する凸部６１を形成し、さらにそれら凸部６１における下面全体の１０％の面積に相当する微小凸部６４を形成した。これにより、粘着シート５１全体として０．４％の面積のみが直接的にエポキシ基板と接するようにした。粘着シート５１において上記のような凸部６１を形成した結果、粘着シート５１の平均粘着力は約０．８ｇ／ｃｍ２となった。したがって、この粘着シート５１では、１平方センチメートル当たりの重量が約０．０８ｇのエポキシ基板を粘着するには充分な粘着力と、エポキシ基板を離脱させる場合にエポキシ基板に余計なストレスを発生することなく離脱できる粘着力とを両立することができた。
なお、凸部６１や微小凸部６４の面積の割合、およびワークの大きさに対する粘着シート５１や粘着パッド５２の大きさを調整することにより、上述したガラス基板５やエポキシ基板の他、表１に記載したＰＥＳ基板など、種々の比重や形状を有するワークに対しても対応可能であることは言うまでもない。
次に、上記の粘着シート５１及び粘着パッド５２を用いた基板貼り合わせ装置（基板保持装置）にて、液晶表示装置の液晶表示パネル１０を製造する方法について説明する。ここで、図１７（ａ）に示すように、使用する基板貼り合わせ装置７０は、粘着シート５１を有する前記上基板保持装置５３と、粘着パッド５２を有する前記下基板保持装置５５と、下ステージ５８と、これらを収納した真空チャンバ７１とを備えたものとなっている。上基板保持装置５３および下基板保持装置５５は上下移動が可能である。また、同図においては、真空チャンバ７１を真空にするための真空配管等は省略している。
まず、基板貼り合わせ装置７０では、図１７（ａ）に示すように、真空チャンバ７１の扉７２が開放され、真空チャンバ７１内において、上基板保持装置５３と下基板保持装置５５とが所定の間隔をおいた状態に配される。また、真空チャンバ７１の出入り口７３の側方においては、２枚のガラス基板３・５、即ち前記画素電極２を配したガラス基板３と前記対向電極４を配したガラス基板５とが真空チャンバ７１内へ搬入可能な状態に準備される。
この場合、ガラス基板３には、周囲にシール材６が塗布され、その内側中央部に液晶材料１が滴下された状態となっている。なお、同図においては、シール材６はガラス基板３に塗布されているが、必ずしもこれに限らず、ガラス基板５に塗布しておくことも可能である。
次に、上記の状態から、基板搬送手段、例えば、ロボットアーム（図示せず）等にてガラス基板５を粘着シート５１の直下に移動するとともに、粘着シート５１の貫通孔６３から真空引きすることにより、図１７（ｂ）に示すように、ガラス基板５を粘着シート５１に保持させる。このとき、上基板保持装置５３から、吸着ピン（図示せず）のような部分吸着手段をガラス基板５に向けて下降し、粘着ないし真空吸着し、ガラス基板５を粘着シート５１へと上昇させるなどの補助手段を用いても良い。
次に、基板搬送手段、例えば、ロボットアーム（図示せず）等にてガラス基板３を下ステージ５８の直上に移動するとともに、下基板保持装置５５からリフトピン（図示せず）をガラス基板３に向けて上昇させ、基板搬送手段からガラス基板３を離した状態で基板搬送手段を待避させた後、リフトピンを下降させる。このとき下ステージ５８の上面と粘着パッド５２の上面とが同一高さ面とになるように粘着パッド５２を上昇させておき、その貫通孔６３から真空吸引を行うことで、図１７（ｃ）に示すように、ガラス基板３を粘着パッド５２に粘着させ、保持させる。
次に、図１８（ａ）に示すように、真空チャンバ７１の扉７２を閉じて、真空チャンバ７１内を真空引きする。このとき、不飽和ポリブタジエンからなる粘着シート５１及び粘着パッド５２は、粘着性を有しており、真空中でも粘着性が落ちることはない。また、真空中においてもガスの発生等もなく安定しているため、ガラス基板５・３の貼り合わせの際に真空中に晒しても問題はない。さらに、ガラス基板５は、粘着シート５１により保持されているので、真空吸着を解除しても落下することがなく、同様に、ガラス基板３は、粘着パッド５２により保持されているので位置ズレすることがない。
次に、粘着シート５１を備える上基板保持装置５３を下降させ、上下のガラス基板５・３を位置決めしながら貼り合わせていく。この際、上側のガラス基板５は粘着シート５１により、また下側のガラス基板３は粘着パッド５２によりそれぞれ保持されているため、位置ズレすることはない。
次に、図１８（ｂ）に示すように、ガラス基板５とガラス基板３との間隔が一定となる状態まで押圧することによって、押圧完了状態となる。
次に、図１８（ｃ）に示すように、下ステージ５８を固定した状態で粘着パッド５２、即ち下基板保持装置５５を下降させる。これにより、粘着パッド５２とガラス基板３との粘着が解除される。
次に、図１９（ａ）に示すように、上基板保持装置５３を上昇移動させる。この場合、上記のように貼り合わされたガラス基板５とガラス基板３とは、ガラス基板５が粘着シート５１に粘着されていることにより、上基板保持装置５３と共に上昇移動する。
また、真空チャンバ７１内には、図１８（ｂ）に示す押圧完了後から図１９（ａ）に示す上基板保持装置５３の上昇完了後までの間に、大気またはＮ２などのパージガスを導入し、ガス圧にて上下のガラス基板５・３が押し付けられる状態とする。
この状態において、真空チャンバ７１の扉７２を開き、貼り合されたガラス基板３・５の直下に基板搬送手段、例えば、ロボットアーム（図示せず）を移動させ、粘着シート５１の貫通孔６３からエアパージを行うことにより、粘着シート５１からガラス基板５を離脱する。これによって、貼り合わされたガラス基板５・３を基板移動手段上に載置させ、さらに、図１９（ｂ）に示すように、基板移動手段により真空チャンバ７１から取り出す。なお、ガラス基板５の離脱の際には、上基板保持装置５３から、離脱ピン（図示せず）のような離脱手段をガラス基板５に向けて下降させて離脱させるなどの補助手段を用いることもできる。
次に、貼り合わされたガラス基板３・５に、紫外線照射及び熱焼成を施すことにより、シール材６を完全に硬化させる。
その後、さらに、ガラス基板３・５に、前記偏光板７・８及びアルミニウム等からなる反射板９等を取り付けることにより液晶表示パネル１０が完成する。また、この液晶表示パネル１０に図示しない駆動用回路等を接続することにより液晶表示装置が完成する。
このように、本実施の形態の真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板貼り合わせ装置では、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着シート５１及び粘着パッド５２を用いており、このジエン系樹脂は、両端にＣＨ２−を有し、真空中においてガラス基板５・３を保持する場合に、適度な粘着性及び離脱性が得られる。
すなわち、粘着剤を塗布した両面テープ等のように、粘着剤がガラス基板５・３に付着することがない上、付着力が強すぎてガラス基板５・３から剥がれないということがない。したがって、粘着剤がガラス基板５・３に付着するのを防止するとともに、ガラス基板５・３の貼り付け後には容易に粘着シート５１及び粘着パッド５２をガラス基板５・３から剥がすことができる。
なお、本実施の形態においては、粘着シート５１を上側のガラス基板５の保持に、粘着パッド５２を下側のガラス基板３の保持に用いているが、これら粘着シート５１と粘着パッド５２とを入れ替えた構成にすることも可能である。また、固定状態の粘着シートと可動である粘着パットとを例えば下基板保持装置５５において組み合わせるなどの配置をとることも可能である。
また、本実施の形態の構成において、静電チャックを使用していないので、高電圧印加に伴うＴＦＴ素子の特性変化を防止できる点、粘着シート５１及び粘着パッド５２がジエン系樹脂を含む材料、さらには不飽和ブタジエンにて形成されていることから、真空内における基板貼り合わせ装置が複雑とならない点、真空中においてガラス基板５・３に対して適度な粘着性及び離脱性が得られる点、ガスの発生等がなく、ごみが付いても水洗いして乾燥させれば粘着力が復活する点等は、先の実施の形態の場合と同様である。また、液晶用の基板だけでなく、プラズマディスプレイ基板、ＥＬ基板、プラズマアドレス基板、電界放射ディスプレイ基板、シリコンボール等の各基板にも適用できる点についても同様である。
（実施例２）
上記の実施の形態に示した、凸部６１が六角形状に配置されている粘着シート５１および粘着パッド５２によるガラス基板に対しての均一な押圧機能を確認するために、比較試験を行った。
試験に際しては、図１４（ａ）〜図１４（ｃ）に示した粘着シート５１に対する比較例として、図２０（ａ）〜図２０（ｃ）に示す粘着シート８１を作成した。粘着シート８１は、その平面図である図２０（ａ）に示すように、下面、即ち粘着面に、粘着シート５１の凸部６１に相当する、楕円形状の多数の凸部８２が同方向を長手方向として並設されている。凸部８２は、図２０（ａ）の拡大図である図２０（ｂ）に示すように、突出した壁が環状に閉じた構造となっている。即ち、粘着シート８１において、凸部は楕円の環状をなすように閉じた構造となっている。凸部８２が形成する楕円形状の中心部には、図２０（ｂ）におけるＺ−Ｚ線矢視断面図にも示すように、粘着シート８１を厚さ方向に貫通する、真空引き用の貫通孔８３が形成されている。
各凸部８２は、楕円形状における長さＬ１が７５ｍｍ、楕円形状における幅Ｌ２が１５ｍｍ、凸部８２における突出部分の幅Ｗ１が０．６ｍｍ、Ｘ方向（楕円形状の幅方向）における凸部８２の形成ピッチＰＸが２５ｍｍ、Ｙ方向（楕円形状の長手方向）における凸部８２の形成ピッチＰＹが１００ｍｍである。これによって、粘着シート８１の全体面積（下面の面積）の概ね約４％の面積に相当する凸部８２を形成し、さらにそれら凸部８２における下面全体の１２．５％の面積に相当する前記微小凸部６４を形成した。これにより、粘着シート８１全体として０．５％の面積のみが直接的にガラス基板５と接するようにした。
上記の各粘着シートおよび粘着パッドは、前記の実施例１の場合と同様、旭化成株式会社製の不飽和ポリブタジエン樹脂（商品名「ＡＰＲＫ−１１」）を使用し、同様の方法により作製した。また、ガラス基板５・３の貼り合わせは、前述の図１７〜図１９に示した方法にて行った。
また、ワークとなるガラス基板５・３としては、前述のものと同様、比重が約２．８ｇ／ｃｍ３で、厚さが０．７ｍｍ、１平方センチメートル当たりの重量が約０．２ｇのものを使用した。
この比較試験の結果、凸部６１が六角形状に配置されている粘着シート５１では、前述のように、平均粘着力が約２ｇ／ｃｍ２であり、１平方センチメートル当たりの重量が約０．２ｇのガラス基板５を粘着して確実に保持し、かつ凸部６１による押しムラ、即ちセル厚ムラが生じることなく、ガラス基板５・３を良好に貼り合わせることができた。
一方、凸部８２を有する粘着シート８１では、平均粘着力が約２ｇ／ｃｍ２であり、１平方センチメートル当たりの重量が約０．２ｇのガラス基板５を粘着して確実に保持できたものの、貫通孔８３から真空排気して基板を吸着させた際に、楕円形の凸部８２の内側に向かってガラス基板５が変形し、その状態で貼り合わされたため、凸部８２の内側に押し圧が十分に加わらず、貼り合わせたガラス基板５・３に表示不良の原因となるセル厚ムラが生じた。
（実施例３）
さらに、図１４（ａ）〜図１４（ｃ）に示した粘着シート５１に対する比較例として、図２１（ａ）〜図２１（ｃ）に示す粘着シート９１を作成した。粘着シート９１は、その平面図である図２１（ａ）に示すように、下面、即ち粘着面に、粘着シート５１の凸部６１に相当する、多数の凸部９２が設けられている。凸部９２は、図２１（ａ）の拡大図である図２１（ｂ）に示すように、円形の環状形状になっており、これら凸部９２の中心には、図２１（ｂ）におけるＺＺ−ＺＺ線矢視断面図にも示すように、粘着シート９１を厚さ方向に貫通する、真空引き用の貫通孔９３が形成されている。
各凸部９２は、円状の環状形状における頂点の外径Ｄ１が３ｍｍ、内径Ｄ２が２ｍｍ、凸部９２の形成ピッチＰＸＹが２８ｍｍである。これによって、粘着シート９１の全体面積（下面の面積）の概ね約０．５％の面積に相当する凸部９２を形成し、それら凸部９２には微小凸部６４を形成しなかった。これにより、粘着シート９１全体として０．５％の面積が直接的にガラス基板５と接するようにした。
上記の各粘着シートおよび粘着パッドは、前記の実施例１の場合と同様、旭化成株式会社製の不飽和ポリブタジエン樹脂（商品名「ＡＰＲＫ−１１」）を使用し、同様の方法により作製した。また、ガラス基板５・３の貼り合わせは、前述の図１７〜図１９に示した方法にて行った。
また、ワークとなるガラス基板５・３としては、前述のものと同様、比重が約２．８ｇ／ｃｍ３で、厚さが０．７ｍｍ、１平方センチメートル当たりの重量が約０．２ｇのものを使用した。
この比較試験の結果、凸部６１が六角形状に配置されている粘着シート５１では、前述のように、平均粘着力が約２ｇ／ｃｍ２であり、１平方センチメートル当たりの重量が約０，２ｇのガラス基板５を粘着して確実に保持し、かつ凸部６１による押しムラ、即ちセル厚ムラが生じることなく、ガラス基板５・３を良好に貼り合わせることができた。
一方、凸部９２を有する粘着シート９１では、平均粘着力が約２ｇ／ｃｍ２であり、１平方センチメートル当たりの重量が約０．２ｇのガラス基板５を粘着して確実に保持でき、貫通孔９３から真空排気して基板を吸着させた際に、粘着シート８１の楕円形の凸部８２のように内側に向かってガラス基板５が変形することもなかった。しかしながら、貼り合わせの際の押し圧が粘着シート９１全体の０．５％に相当する凸部９２に集中する結果、その部分が潰れすぎる一方、他の部分に十分に押し圧が加わらず、ガラス基板５・３に表示不良の原因となるセル厚ムラが生じた。
したがって、凸部６１が六角形状に配置されている粘着シート５１および粘着パッド５２は、均一なセル厚を得る上において、ガラス基板５・３の貼り合わせに適していることが分かった。
上記の例では、凸部６１がハニカム形状における六角形の１辺を構成するように配列されている場合について示した。しかしながら、凸部６１は、これに限定されることなく、ハニカム形状における六角形の少なくとも辺の一部を構成し、六角形を形成するように配列されていてもよい。その具体例についてさらに説明する。
例えば前記粘着シート５１に代わる粘着シート１０１は、その平面図である図２２（ａ）に示すように、下面、即ち粘着面のほぼ全面に多数の凸部１１１が形成され、これら凸部１１１の群れの中に、吸着パッド部１１２がほぼ均等に分散した状態で形成されている。
上記の凸部１１１は、図２２（ａ）の拡大図である図２２（ｂ）に示すように、ハニカム形状を形成するように連なって配されている。即ち、各凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を中心として、隣接する３個の六角形の少なくとも辺の一部を構成するように、３方向に延びた形状を有している。また、凸部１１１は、ハニカム形状における六角形の頂点を含んでいる。これら凸部１１１によって形成される六角形の壁は、六角形の環状に閉じることなく、隣り合う凸部１１１同士の間において開放された構造となっている。したがって、各凸部１１１は、前記凸部６１と同様、ハニカム形状における六角形の少なくとも辺の一部を構成し、六角形を形成するように配列されている。
一方、吸着パッド部１１２は、例えば円形の環状をなし、吸着パッド部１１２の突出した壁は環状に閉じた構造となっている。吸着パッド部１１２の中心部には、粘着シート１０１を厚さ方向に貫通する貫通孔１１３が形成されている。この貫通孔１１３は図１３に示す保持基体部５４における貫通孔５４ｂと連通している。
また、粘着シート１０１は、図２２（ｂ）におけるＸＸ−ＸＸ線矢視断面図である図１４（ｃ）に示す縦断面形状を有している。同図に示すように、粘着シート１０１は、総厚みＨが数ｍｍ程度であり、凸部１１１の高さｈが１００μｍ〜１ｍｍ程度、さらに好ましくは３００〜５００μｍとなっており、ゴム状にて弾性を有している。
さらに、粘着シート１０１の凸部１１１の粘着面には、前記粘着シート５１における微小凸部６４と同様の微小凸部が形成されている。この微小凸部の深さは前記微小凸部６４の深さと同様である。
粘着シート１０１における上記の凸部１１１および微小凸部の形状（配置形状）、並びに凸部１１１および微小凸部のピッチについては、前記粘着シート５１と同様、真空中においてガラス基板５等の基板を保持するのに必要な粘着力、上下のガラス基板５・３を貼り合せたときに粘着シート１０１の凹凸パタンが貼り合せ後のガラス基板５・３においてセル厚ムラを発生させないピッチ、および貼り合せ後のガラス基板５からの良好な離脱性がそれぞれ得られるように定められている。
凸部１１１の配置形状を上記のように六角形状としているのは前記前記粘着シート５１の場合と同様、一つには、上下のガラス基板５・３を貼り合せたときに粘着シート１０１の凹凸パタンによってセル厚ムラを発生させないように、凸部１１１を密に配置しやすいためである。他には、ガラス基板５・３の貼り合わせ中のアライメント時（ガラス基板５・３同士の位置合わせ時）において、アラインメントが収束し易い（ガラス基板５・３同士の位置合わせを行い易い）ためである。
即ち、上記アラインメントに関して、上側のガラス基板５と下側のガラス基板３とを貼り合わせる際には、これら両者を液晶材料１やシール材１１を介した状態で水平方向において位置合わせする。この場合には、ガラス基板５と粘着シート１０１との間に水平方向の力が加わる。このとき、凸部１１１の配置が偏っている場合等においては、凸部１１１の倒れを生じ、アライメントが収束しないなどの不具合を生じる恐れがある。そこで、凸部１１１を六角形状に配置しておけば、３６０度方向に対して凸部６１の横倒れに対する剛性のバランスが良好となり、アラインメントが容易に収束する。
また、粘着シート１０１において、六角形の辺を構成する凸部１１１は、六角形に閉じた形状ではなく、各凸部１１１が独立した状態となっている。したがって、粘着シート１０１がガラス基板５を保持した状態において周囲を真空雰囲気とした場合にも、凸部１１１によって形成される六角形の内部の空気の抜け道が確保される。これにより、凸部１１１によって形成される六角形の内部の空気が膨張してガラス基板５の保持状態が不安定になる事態、さらにはガラス基板５が外れてしまう事態を防止することができる。
以上のように、本発明の液晶表示装置の製造方法は、貼り合わせる２枚の基板の内、いずれか一方の基板に上記２枚の基板を固定するためのシール材を塗布し、いずれか一方の基板に液晶を滴下して、真空中で２枚の基板を貼り合わせる基板を組み立てて、液晶表示パネルを形成する液晶表示装置の製造方法において、上記基板を貼り合わせるときに、上側に配置する基板の保持としてジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより基板を保持して真空中で２枚の基板を貼り合わせる構成である。
尚、発明を実施するための最良の形態の項においてなした具体的な実施態様または実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、そのような具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではなく、本発明の精神と次に記載する特許請求の範囲内で、いろいろと変更して実施することができるものである。
産業上の利用の可能性
本発明の真空中での基板保持方法は、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより基板を保持する方法である。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、基板を貼り合わせるときに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより上側に配置する基板を保持して真空中で２枚の基板を貼り合わせる方法である。
また、本発明の基板保持装置は、上記課題を解決するために、基板を保持するためのジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パット又は粘着シートが設けられているものである。
それゆえ、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートは、両端にＣＨ２−を有し、真空中において基板を保持する場合に、適度な粘着性及び離脱性が得られる。
したがって、粘着剤が基板に付着するのを防止するとともに、基板の貼り付けた後には容易に粘着パッド及び粘着シートを基板から剥がすことができる真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板保持装置を提供することができるという効果を奏する。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、基板を貼り合わせるときに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形され、かつ粘着面に凹凸形状を有する粘着パッド又は粘着シートにより、上側または下側に配置する何れか一方の基板、もしくは双方の基板を保持し、真空中で２枚の基板を貼り合わせる構成である。
これにより、凹凸形状の凸部が適宜変形可能であり、粘着面が凹凸形状を有することなく平坦面となった粘着パッド又は粘着シートを使用する場合と比較して、基板全体に渡って均一な押圧力を付与し、基板同士を均一な基板間隔に貼り合わせることができる。
また、保持する基板に対する粘着力を凹凸形状により調整することができる。したがって、保持する基板に対して過度の粘着力が作用し、基板と粘着パッド又は粘着シートとを引き剥がすときに、基板に大きなストレスが生じる事態を防止することができるといった効果を奏する。
本発明の基板保持装置は、可撓性を有し、外力が解除された場合に一定の形状を保持可能な粘着部材であり、かつそれ自体が粘着性を有している粘着部材にて基板を保持する構成である。
これにより、粘着剤を塗布したテープ等で生じる、保持した基板に粘着剤が付着するといった問題が生じず、また、基板を保持しかつ基板を離脱する上において適度な粘着力が得易く、基板を保持する装置として好適であるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
図１は、本発明における実施の一形態を示すものであり、真空中での基板保持方法を示す正面図である。
図２は、上記真空中での基板保持方法、及び液晶表示装置の製造方法にて製造される液晶表示装置の構成を示す断面図である。
図３は、上記液晶表示装置における液晶表示パネルの液晶材料の封入工程を示す斜視図である。
図４は、上記液晶表示装置における液晶表示パネルの液晶材料の封入工程を示す断面図である。
図５（ａ）は上ステージに設けられた粘着パッドを示す正面図であり、図５（ｂ）は上ステージに設けられた粘着パッドを示す底面図である。
図６（ａ）は他の粘着パッドを示す断面図であり、図６（ｂ）は他の粘着パッドを示す底面図である。
図７（ａ）は粘着シートを示す正面図であり、図７（ｂ）は粘着シートを示す底面図である。
図８は、さらに他の粘着パッドを示す断面図である。
図９（ａ）〜（ｃ）は基板における粘着保持の工程を示す断面図である。
図１０（ａ）は基板の貼り合わせ工程における基板導入前状態を示す断面図、図１０（ｂ）は上基板を基板貼り合わせ装置に導入した状態を示す断面図、図１０（ｃ）は下基板を基板貼り合わせ装置に導入した状態を示す断面図、図１０（ｄ）は貼り合わせ途中を示す断面図である。
図１１（ａ）は基板の貼り合わせ工程におけるプレス完了状態を示す断面図、図１１（ｂ）は粘着パッドの粘着を解除した後、上ステージを上昇させる状態を示す断面図、図１１（ｃ）は貼り合わせ基板を基板貼り合わせ装置から排出した状態を示す断面図である。
図１２は、シリコンボールの構成を示す斜視図である。
図１３は、本発明の実施の他の形態における基板貼り合わせ装置を示す縦断面図である。
図１４（ａ）は、図１３に示した基板貼り合わせ装置の上基板保持装置に備えられている粘着シートを示す平面図、図１４（ｂ）は図１４（ａ）の拡大図、図１４（ｃ）は図１４（ｂ）におけるＸ−Ｘ線矢視断面図である。
図１５（ａ）は図１４（ｂ）に示した凸部の粘着面の拡大図、図１５（ｂ）は図１５（ａ）におけるＹ−Ｙ線矢視断面図である。
図１６（ａ）は、図１３に示した基板貼り合わせ装置の下基板保持装置を示す平面図、図１６（ｂ）は図１６（ａ）に示した下基板保持装置の縦断面図である。
図１７（ａ）は図１３に示した基板貼り合わせ装置を使用する、基板の貼り合わせ工程における基板導入前状態を示す断面図、図１７（ｂ）は上基板を基板貼り合わせ装置に導入した状態を示す断面図、図１７（ｃ）は下基板を基板貼り合わせ装置に導入した状態を示す断面図である。
図１８（ａ）は、図１７（ｃ）の状態に続く状態であって、真空チャンバの扉を閉じて真空チャンバ内を真空引きする状態を示す断面図、図１８（ｂ）は、基板の押圧完了状態を示す断面図、図１８（ｃ）は、下基板保持装置の粘着パッドと下側の基板との粘着を解除した状態を示す断面図である。
図１９（ａ）は、図１８（ｃ）の状態に続く状態であって、上基板保持装置を上昇移動させた状態を示す断面図、図１９（ｂ）は、真空チャンバ内から基板を取り出した状態を示す断面図である。
図２０（ａ）は、図１４に示した粘着シートの比較例となる粘着シートを示す平面図、図２０（ｂ）は図２０（ａ）の拡大図、図２０（ｃ）は図２０（ｂ）におけるＺ−Ｚ線矢視断面図である。
図２１（ａ）は、図１４に示した粘着シートの他の比較例となる粘着シートを示す平面図、図２１（ｂ）は図２１（ａ）の拡大図、図２１（ｃ）は図２１（ｂ）におけるＺＺ−ＺＺ線矢視断面図である。
図２２（ａ）は、図１３に示した基板貼り合わせ装置の上基板保持装置に備えられている粘着シートの他の例を示す平面図、図２２（ｂ）は図２２（ａ）の拡大図、図２２（ｃ）は図２２（ｂ）におけるＸＸ−ＸＸ線矢視断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2003075343.tif 000006
【図４】
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【図５（ａ）】
2003075343.tif 000008
【図５（ｂ）】
2003075343.tif 000009
【図６（ａ）】
2003075343.tif 000010
【図６（ｂ）】
2003075343.tif 000011
【図７（ａ）】
2003075343.tif 000012
【図７（ｂ）】
2003075343.tif 000013
【図８】
2003075343.tif 000014
【図９（ａ）】
2003075343.tif 000015
【図９（ｂ）】
2003075343.tif 000016
【図９（ｃ）】
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【図１０（ａ）】
2003075343.tif 000018
【図１０（ｂ）】
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【図１０（ｃ）】
2003075343.tif 000020
【図１０（ｄ）】
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【図１１（ａ）】
2003075343.tif 000022
【図１１（ｂ）】
2003075343.tif 000023
【図１１（ｃ）】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４（ａ）】
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【図１４（ｂ）】
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【図１４（ｃ）】
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【図１５（ａ）】
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【図１５（ｂ）】
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【図１６（ａ）】
2003075343.tif 000032
【図１６（ｂ）】
2003075343.tif 000033
【図１７（ａ）】
2003075343.tif 000034
【図１７（ｂ）】
2003075343.tif 000035
【図１７（ｃ）】
2003075343.tif 000036
【図１８（ａ）】
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【図１８（ｂ）】
2003075343.tif 000038
【図１８（ｃ）】
2003075343.tif 000039
【図１９（ａ）】
2003075343.tif 000040
【図１９（ｂ）】
2003075343.tif 000041
【図２０（ａ）】
2003075343.tif 000042
【図２０（ｂ）】
2003075343.tif 000043
【図２０（ｃ）】
2003075343.tif 000044
【図２１（ａ）】
2003075343.tif 000045
【図２１（ｂ）】
2003075343.tif 000046
【図２１（ｃ）】
2003075343.tif 000047
【図２２（ａ）】
2003075343.tif 000048
【図２２（ｂ）】
2003075343.tif 000049
【図２２（ｃ）】
2003075343.tif 000050
【国際調査報告】
2003075343.tif 000051
2003075343.tif 000052
2003075343.tif 000053
2003075343.tif 000054