【事件の表示】
　特許第６５０７８８５号発明「真空ポンプ」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６５０７８８５号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１−４〕について訂正することを認める。
　特許第６５０７８８５号の請求項３、４に係る特許を維持する。
　特許第６５０７８８５号の請求項１、２に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第６５０７８８５号の請求項１〜４に係る特許についての出願は、平成２７年６月２９日に出願され、平成３１年４月１２日にその特許権の設定登録がされ、令和元年５月８日に特許掲載公報が発行された。本件特許異議の申立ての経緯は、次のとおりである。
　令和元年１１月　８日提出：　特許異議申立人中野善和による請求項１〜４に係る特許に対する特許異議の申立て
　令和２年　２月１７日付け：　取消理由通知書
　令和２年　４月　９日提出：　特許権者による意見書及び訂正請求書
　
第２　訂正の適否
１．訂正の内容
　令和２年４月９日にされた訂正請求（以下、「本件訂正請求」という。）の請求の趣旨は、本件特許の特許請求の範囲を、訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１〜４について訂正することを求めるものである。
　この訂正（以下、「本件訂正」という。）の内容は、次のとおりである。下線は訂正箇所を示す。
　
（１）訂正事項１
　請求項１を削除する。
（２）訂正事項２
　請求項２を削除する。
（３）訂正事項３
　本件訂正前の特許請求の範囲の請求項３に
　「【請求項３】
　請求項２に記載の真空ポンプにおいて、
　前記緩衝部材は、前記吸気口フランジに設けられたピン穴および前記補助フランジに設
けられたピン穴に係合するピンである、真空ポンプ。」
　とあるのを、独立形式に改め、
　「【請求項３】
　
回転駆動されるロータと、
　
吸気口フランジが形成され、前記ロータを収容するポンプケーシングと、
　
前記吸気口フランジと分離して設けられ、前記吸気口フランジを装置側フランジに固定する補助フランジと、を備え、
　
前記補助フランジは、
　
前記装置側フランジにボルトにより締結される締結部と、
　
前記吸気口フランジの背面に当接し、前記吸気口フランジを前記装置側フランジとの間に挟持する挟持部とを有し、
　
前記挟持部は、前記吸気口フランジを前記装置側フランジと共に挟持するための１つの平面を有し、かつ、前記吸気口フランジに係合する部分を有しておらず、前記１つの平面においてのみ前記吸気口フランジの背面に当接し、
　
前記吸気口フランジの径方向外周壁面と、前記径方向外周壁面と対向する前記補助フランジの径方向内周壁面との間には隙間が形成されており、
　
前記ポンプケーシングに回転トルクが発生した際に、前記挟持部と前記装置側フランジとの間で前記吸気口フランジが滑るように、前記ポンプケーシングが回転し、前記挟持部および前記装置側フランジと前記吸気口フランジとの摩擦によって回転エネルギーを消費し
　
前記吸気口フランジから前記補助フランジを介して前記ボルトに伝達される衝撃を緩和する緩衝部材を、前記吸気口フランジと前記補助フランジとの間に備え、
　前記緩衝部材は、前記吸気口フランジに設けられたピン穴および前記補助フランジに設けられたピン穴に係合するピンである、真空ポンプ。」
　と訂正する。
　
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否
（１）訂正事項１
　訂正事項１に係る請求項１についての訂正は、訂正前の請求項１を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、訂正事項１に係る請求項１についての訂正が、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないことは明らかである。
（２）訂正事項２
　訂正事項２に係る請求項２についての訂正は、訂正前の請求項２を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、訂正事項２に係る請求項２についての訂正が、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないことは明らかである。
（３）訂正事項３
　訂正事項３に係る請求項３についての訂正は、訂正前の請求項１を引用する訂正前の請求項２をさらに引用する訂正前の請求項３について、独立形式に改めるものであるから、他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすることを目的とするものである。
　そして、訂正事項３に係る請求項３についての訂正が、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないことは明らかである。
　
３．一群の請求項ごとに訂正を請求することについて
　訂正前の請求項２〜請求項４は、それぞれ直前の請求項の記載を引用するものであり、訂正前の請求項１を直接的又は間接的に引用するものであるから、訂正前の請求項１〜請求項４は、特許法施行規則第４５条の４に規定する関係を有する一群の請求項を構成する。そして、本件訂正請求は、訂正事項１〜訂正事項３により、訂正前の請求項１〜請求項３の記載を訂正しようとするものであり、一群の請求項１〜請求項４に対して請求されている。
　したがって、本件訂正請求は特許法第１２０条の５第４項の規定に適合する。
　
４．小括
　前記のとおり、訂正事項１〜訂正事項３に係る訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号又は第４号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合し、さらに、同法第１２０条の５第４項の規定に適合する。
　したがって、特許請求の範囲を、令和２年４月９日に提出された訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１−４〕について訂正することを認める。
　
第３　訂正後の本件特許発明
　本件訂正請求により訂正された請求項３，４に係る発明（以下、「本件特許発明３」、「本件特許発明４」という。）は、訂正特許請求の範囲の請求項３，４に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
　
１．本件特許発明３
「【請求項３】
　回転駆動されるロータと、
　吸気口フランジが形成され、前記ロータを収容するポンプケーシングと、
　前記吸気口フランジと分離して設けられ、前記吸気口フランジを装置側フランジに固定する補助フランジと、を備え、
　前記補助フランジは、
　前記装置側フランジにボルトにより締結される締結部と、
　前記吸気口フランジの背面に当接し、前記吸気口フランジを前記装置側フランジとの間に挟持する挟持部とを有し、
　前記挟持部は、前記吸気口フランジを前記装置側フランジと共に挟持するための１つの平面を有し、かつ、前記吸気口フランジに係合する部分を有しておらず、前記１つの平面においてのみ前記吸気口フランジの背面に当接し、
　前記吸気口フランジの径方向外周壁面と、前記径方向外周壁面と対向する前記補助フランジの径方向内周壁面との間には隙間が形成されており、
　前記ポンプケーシングに回転トルクが発生した際に、前記挟持部と前記装置側フランジとの間で前記吸気口フランジが滑るように、前記ポンプケーシングが回転し、前記挟持部および前記装置側フランジと前記吸気口フランジとの摩擦によって回転エネルギーを消費し、
　前記吸気口フランジから前記補助フランジを介して前記ボルトに伝達される衝撃を緩和する緩衝部材を、前記吸気口フランジと前記補助フランジとの間に備え、
　前記緩衝部材は、前記吸気口フランジに設けられたピン穴および前記補助フランジに設けられたピン穴に係合するピンである、真空ポンプ。」
　
２．本件特許発明４
「【請求項４】
　請求項３に記載の真空ポンプにおいて、
　前記吸気口フランジおよび前記補助フランジに設けられたピン穴と前記ピンとの隙間寸法は、前記吸気口フランジの移動可能量が前記締結部に設けられたボルト孔と前記ボルトとの隙間寸法よりも小さくなるように設定されている、真空ポンプ。」
　
第４　取消理由通知に記載した取消理由について
１．取消理由の概要
　訂正前の請求項１及び２に係る特許に対して、当審が令和２年２月１７日付けで特許権者に通知した取消理由の要旨は、次のとおりである。
　
（進歩性）請求項１及び２に係る発明は、本件特許出願前に日本国内又は外国において、頒布された以下の引用文献１に記載された発明、及び引用文献２に記載された発明に基いて、本件特許出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１及び２に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきものである。
　
引用文献１：実願昭６３−１７０４０７号（実開平２−９１２８８号）のマイクロフィルム（甲第１号証）
引用文献２：「真空装置用ベーカブルフランジの形状・寸法」、日本真空協会、昭和５７年１２月１日発行（甲第２号証）
２．当審の判断
　本件訂正の訂正事項１及び訂正事項２により、訂正前の請求項１及び請求項２は削除されたため、取消理由通知に記載した取消理由は、その対象となる請求項１及び請求項２に係る特許が存在しないものとなった。
　
第５　取消理由通知において採用しなかった特許異議申立理由について
１．新規性について
　本件訂正の訂正事項１により、訂正前の請求項１は削除されたため、特許異議申立書に記載された特許法第２９条第１項第３号についての特許異議申立理由は、その対象となる請求項１に係る特許が存在しないものとなった。
２．進歩性について
（１）引用文献の記載及び引用発明
ア．引用文献１
（ア）取消理由通知において引用した前記引用文献１には以下の事項が記載されている（下線は、当審にて付与。以下同様。）。
ａ．「（Ｂ）　従来の技術
　従来の
ターボ分子ポンプは
ケーシング１の内方にターボ機構Ｔが内蔵されており
ターボ機構が電動機
にて回転され作動する
ＲとＫはターボ機構Ｔを構成する回転翼と固定翼であり
　
ｂ．「（Ｃ）　考案が解決しようとする課題
　従来のターボ分子ポンプにおいては、フランジ２がケーシング１に対して固着されており、したがって被排気側との連結用孔２Ｈもケーシング１に対しては固定位置となる。
　ところが
排気口側位置との関係でフランジ２への被排気側の連接位置を調整したい場合、連結孔２Ｈのピッチ分しか調整できない。したがってピッチ角度以内の微調整は不可能なのである。
ｃ．「第１図は、この考案による
ターボ分子ポンプ
ｄ．「これらの図面から明らかなとおり
２がケーシング１の開口端部に配設され、かつこのケーシング１と一体の固定フランジ
４がこの固定フランジ２に対し回転可能に付設された回転フランジである。
　
ｅ．「
固定フランジ２の外周上部には段部２Ｓが形成されているが、この段部に回転フランジ４の上面に面着固定された薄板
ゴム板
５が係止されるようになっている。
　
ｆ．「この
回転フランジ４には連結用孔４Ｈが穿設されている。
回転フランジ４は第２図に示すように被排気側８と連接される
固定フランジ２の下面に係止される部分
　この間隙ｔの存在によって
連結ボルト６，ナット７により被排気側８を連接する
　
ｇ．「しかも
被排気側８の位置（角度）を微調整する必要があるときは、ボルト６，ナット７をゆるめ、回転フランジ４を微少回転させる。
ｈ．記載事項ａ．並びに第３図及び第４図には、従来の技術が記載されているが、引用文献１の記載全体を総合すると、この従来の技術におけるターボ分子ポンプの構成は、引用文献１の明細書第３ページ第１４行〜第５ページ第１８行並びに第１図及び第２図に記載された実施例におけるターボ分子ポンプの構成と齟齬しない範囲において、当該実施例におけるターボ分子ポンプの構成においても採用されているといえる。すると、引用文献１の実施例におけるターボ分子ポンプは、電動機にて回転され作動するターボ機構Ｔを構成する回転翼Ｒを備えているといえる。
　
ｉ．記載事項ａ．によると、従来の技術におけるターボ分子ポンプにおいて、ケーシング１の内方にターボ機構Ｔが内蔵されており、この構成についても、前記ｈ．で示した理由と同様の理由により、実施例におけるターボ分子ポンプの構成に採用されているといえる。また、記載事項ｄ．によると、ケーシング１の開口端部に固定フランジ２が配設されているといえるから、引用文献１の実施例におけるケーシング１は、開口端部に固定フランジ２が配設され、ターボ機構Ｔが内蔵されるものといえる。
ｊ．記載事項ｄ．によると、回転フランジ４は、固定フランジ２に対し回転可能に付設されており、記載事項ｆ．によると、回転フランジ４は、被排気側８と連接されているといえる。すると、回転フランジ４は、固定フランジ２に対し回転可能に付設され、被排気側８と連接されているといえる。
ｋ．第１図及び第２図によると、連結用孔４Ｈに連結ボルト６が貫通しているといえ、記載事項ｆ．も考慮すると、回転フランジ４は、被排気側８を連接する連結ボルト６が貫通する連結用孔４Ｈを有し、また、固定フランジ２の下面に係止される部分を有しているといえる。
　
ｌ．第１図及び第２図によると、固定フランジ２の径方向外周壁面と、回転フランジ４の径方向内周壁面とが対向しているといえる。
　
ｍ．記載事項ｅ．によると、ゴム板が、回転フランジ４の上面に面着固定され、固定フランジ２の外周上部に形成された段部２Ｓに係止されているといえる。
（イ）引用発明
　記載事項ａ．〜ｍ．によれば、引用文献１には以下の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「電動機にて回転され作動するターボ機構Ｔを構成する回転翼Ｒと、
　開口端部に固定フランジ２が配設され、前記ターボ機構Ｔが内蔵されるケーシング１と、
　前記固定フランジ２に対し回転可能に付設され、被排気側８と連接される回転フランジ４と、を備え、
　前記回転フランジ４は、
　前記被排気側８を連接する連結ボルト６が貫通する連結用孔４Ｈと、
　前記固定フランジ２の下面に係止される部分とを有し、
　前記固定フランジ２の径方向外周壁面と、前記回転フランジ４の径方向内周壁面とが対向しており、
　ゴム板が、前記回転フランジ４の上面に面着固定され、前記固定フランジ２の外周上部に形成された段部２Ｓに係止されている、ターボ分子ポンプ。」
イ．引用文献２
　取消理由通知において引用した前記引用文献２には以下の事項が記載されている。
（ア）「１．適用範囲
　この規格は、真空装置の管、ポンプ、弁などを連結するときに用いる固定又は回転式のボルト締めベーカブルフランジ（以下、フランジという。）の形状及び寸法について規定する。」（第１ページ第３行〜第５行）
　
（イ）第２ページの「表１　フランジの形状・寸法」には、「回転式フランジ」についての図面、及び表として以下の事項が記載されている。
（ウ）記載事項（イ）の表によると、呼び径が１６ｍｍ〜２５０ｍｍのいずれのものも、ＳがＴより０．１ｍｍ大きくなっており、また、「回転式フランジ」についての図面も考慮すると、回転式フランジは、ボルトで固定される外側のフランジと、この外側のフランジに回転可能に支持される内側のフランジとで構成され、内側のフランジの径方向外周壁面と、この外周壁面と対向する外側のフランジの径方向内周壁面との間に隙間を形成しているといえる。
ウ．引用文献５
　本件特許についての出願前に日本国内又は外国において、頒布された引用文献５（特表２００９−５００５４９号公報（甲第５号証））には以下の事項が記載されている。
　
（ア）「【０００１】
　本発明は、
真空ポンプ装置、特にターボ分子ポンプ装置
（イ）「【０００８】
　
回動防止装置として保持エレメントはピンを有していてよい。このピンは、ポンプ室ハウジングに設けられた切欠きもしくは孔内に係合する。
本発明による保持エレメントの有利な構成は、たとえば切欠き内に係合するピンの形の回動防止装置と、固定エレメントとを有しており、この固定エレメントは真空室ハウジングに設けられたねじ山にねじ込まれる。
（ウ）「【００１３】
　図面には、真空ポンプ装置が図示されている。この真空ポンプ装置はポンプハウジング１０を有しており、このポンプハウジング１０内には、長手方向軸線１２を中心にして回転するロータ１４が配置されている。ロータ１４の個々のロータブレード（動翼）の間には、ポンプハウジング１０に結合されたステータ１６のステータブレード（静翼）が配置されている。ロータ１４は結合エレメント１８を介して駆動軸２０に固く結合されている。相応して、ステータ１６は結合エレメント２２を介してポンプハウジング１０に固く結合されている。
【００１４】
　真空室２４内に真空を発生させるためには、ポンプハウジング１０が真空室ハウジング２６に開口２８の範囲で固定されている。
【００１５】
　固定のためには、ポンプハウジング１０が、図示の実施例では円環状に形成されているポンプフランジ３０を有している。このポンプフランジ３０は横断面Ｌ字形に形成されているので、円環状の溝３２が形成されている。
【００１６】
　
保持エレメント３４を用いて、ポンプハウジング１０はポンプフランジ３０を介して真空室ハウジング２６に固定される。
【００１７】
　真空室ハウジング２６に保持エレメント３４を固定するためには、固定エレメントとしてねじ３８が設けられている。この場合、本発明による
保持エレメント３４（図２）は固定エレメント３８ならびに回動防止装置４０を有しており、この場合、図示の実施例では、固定エレメント３８も回動防止装置４０も、ねじとして形成されている。回動防止装置４０は切欠き４２内に係合する。この切欠き４２は、図示の実施例では真空室ハウジング２６に設けられたねじ山付孔である。
【００１８】
　本発明による
保持エレメント３４は固定エレメント３８の他に回動防止装置４０を有しているので、故障発生時には、固定エレメント３４の回動が生じないことが保証されている。
【００１９】
　図２に示したポンプハウジング１０の斜視図は、ポンプハウジングのフランジ側を斜め上から見た図である。この場合、円環状のポンプフランジ３０には４つの本発明による保持エレメント３４ならびに４つの単独型保持エレメント４４が配置されている。本発明による保持エレメント３４はそれぞれ１つの円環状の付設部３６を有しており、この付設部３６はポンプフランジ３０の溝３２（図１）内に係合する。さらに、保持エレメント１つ当たり２つのねじ３８，４０が設けられており、これらのねじは固定エレメントもしくは回動防止装置として働く。
【００２０】
　ねじ３８，４０は、保持エレメント３４に設けられた貫通孔４６によって案内されている。
【００２１】
　公知先行技術を明示するために、
図４には、単独型保持エレメント４４が故障発生時の状態で図示されている。
故障発生時に生じる高いトルクに基づき、図面で見て矢印５０の方向におけるポンプハウジング１０の回動が行われる。
図面で見て逆時計回り方向での単独型保持エレメント４４の回動が行われる。このことはポンプフランジ３０ならびに真空室ハウジング２６の損傷を招く。
エ．引用文献６
　本件特許についての出願前に日本国内又は外国において、頒布された引用文献６（国際公開第２０１２／１１４８６２号（甲第６号証））には以下の事項が記載されている。
　
（ア）「［０００９］
ターボ分子ポンプのポンプ本体Ｔは、ベース１と、ベース１の上面に載置される略円筒形状のケーシング２と
を備えている。
ケーシング２の上端に設けられた吸気口フランジ部２ａは、図示しない半導体製遣装置側の真空チャンバのフランジに、ボルトによって締結される。
（イ）「［００１７］このようなことから、本実施の形態では、
ベース１とケーシング２との締結構造
ケーシング２の下端にはフランジ２ｂが形成されており、このフランジ２ｂをベース１にボルト締結することによりケーシング２がベース１に固定されている。
［００１８］ケーシング２は中心軸がロータ３の中心軸とほぼ一致するようにベース１に固定され、フランジ２ｂに形成されるボルト孔１１０は、ケーシング２の中心軸に対して同心円上に配置されている。また、図２の符号１００で示す部材は、
ベース１とケーシング２との締結部に設けられたピンである。
［００１９］図３（ａ）は、図２のＢ−Ｂ断面を示し、図３（ｂ）は図２のＣ−Ｃ断面を示す。図３（ａ）に示すように、ベース１およびフランジ２ｂには、非貫通のピン穴１０１，１０２が形成されている。
ピン１００は、ピン穴１０１，１０２によって形成される袋状のピン穴に収納されている。
（２）当審の判断
ア．本件特許発明３について
（ア）対比
　本件特許発明３と引用発明とを対比すると、引用発明の「回転翼Ｒ」は、本件特許発明３の「ロータ」に相当する。また、引用発明の「電動機にて回転され作動するターボ機構Ｔを構成する回転翼Ｒ」は、電動機にて回転駆動されるものであるから、本件特許発明３の「回転駆動されるロータ」に相当する。
　引用発明の「固定フランジ２」及び「ケーシング１」は、それぞれ本件特許発明３の「吸気口フランジ」及び「ポンプケーシング」に相当する。そして、引用発明の「開口端部に固定フランジ２が配設され、前記ターボ機構Ｔが内蔵されるケーシング１」は、ターボ機構Ｔを構成する回転翼Ｒも内蔵しているといえるから、本件特許発明３の「吸気口フランジが形成され、前記ロータを収容するポンプケーシング」に相当する。
　引用発明の「回転フランジ４」は、本件特許発明３の「補助フランジ」に相当する。また、引用発明の「被排気側８」は、引用文献１の第２図の記載によると、連結ボルト６が貫通する部位がフランジ状であるといえるから、本件特許発明３の「装置側フランジ」に相当する。そして、引用発明の「前記固定フランジ２に対し回転可能に付設され、被排気側８と連接される回転フランジ４」は、固定フランジ２と別部材で構成され、固定フランジ２を被排気側８に固定するためのものといえるから、本件特許発明３の「前記吸気口フランジと分離して設けられ、前記吸気口フランジを装置側フランジに固定する補助フランジ」に相当する。
　引用発明の「連結ボルト６」は、本件特許発明３の「ボルト」に相当する。そして、引用発明の回転フランジ４の「前記被排気側８を連接する連結ボルト６が貫通する連結用孔４Ｈ」が設けられる部分は、連結ボルト６で被排気側８に締結される部分であるといえるから、本件特許発明３の「前記装置側フランジにボルトにより締結される締結部」に相当する。
　引用発明の「前記固定フランジ２の下面」は、本件特許発明３の「前記吸気口フランジの背面」に相当する。そして、引用発明の回転フランジ４の「前記固定フランジ２の下面に係止される部分」は、引用文献１の第２図の記載によると、固定フランジ２の下面に当接しており、固定フランジ２を被排気側８との間で挟持する部分であるといえるから、本件特許発明３の「前記吸気口フランジの背面に当接し、前記吸気口フランジを前記装置側フランジとの間に挟持する挟持部」に相当する。
　引用発明の「前記固定フランジ２の径方向外周壁面と、前記回転フランジ４の径方向内周壁面とが対向して」いるという事項は、本件特許発明３の「前記吸気口フランジの径方向外周壁面と、前記径方向外周壁面と対向する前記補助フランジの径方向内周壁面との間には隙間が形成されて」いるという事項と、「前記吸気口フランジの径方向外周壁面と、前記径方向外周壁面と対向する前記補助フランジの径方向内周壁面を備えて」いる点において共通する。
　引用発明の「ゴム板」は、「前記回転フランジ４の上面に面着固定され、前記固定フランジ２の外周上部に形成された段部２Ｓに係止されて」おり、その一端側が回転フランジ４の上面に固定され、その他端側が固定フランジ２の外周上部に形成された段部２Ｓに係止されているから、固定フランジ２と回転フランジ４との間に設けられ、固定フランジ２に衝撃が加わった際、固定フランジ２から回転フランジ４を介してボルト６に伝達される衝撃を緩和する機能を備えているといえる。そして、本件特許発明３は、緩衝部材が設けられる位置について、吸気口フランジと補助フランジとの間のどの部分に設けるかまで特定するものではないから、引用発明の「ゴム板」は、本件特許発明３の「緩衝部材」に相当し、引用発明の「ゴム板が、前記回転フランジ４の上面に面着固定され、前記固定フランジ２の外周上部に形成された段部２Ｓに係止されている」という事項は、本件特許発明３の「前記吸気口フランジから前記補助フランジを介して前記ボルトに伝達される衝撃を緩和する緩衝部材を、前記吸気口フランジと前記補助フランジとの間に備える」という事項に相当する。
　引用発明の「ターボ分子ポンプ」は、本件特許発明３の「真空ポンプ」に相当する。
　
　そうすると、本件特許発明３と引用発明とは、
「回転駆動されるロータと、
　吸気口フランジが形成され、前記ロータを収容するポンプケーシングと、
　前記吸気口フランジと分離して設けられ、前記吸気口フランジを装置側フランジに固定する補助フランジと、を備え、
　前記補助フランジは、
　前記装置側フランジにボルトにより締結される締結部と、
　前記吸気口フランジの背面に当接し、前記吸気口フランジを前記装置側フランジとの間に挟持する挟持部とを有し、
　前記吸気口フランジの径方向外周壁面と、前記径方向外周壁面と対向する前記補助フランジの径方向内周壁面を備えており、
　前記吸気口フランジから前記補助フランジを介して前記ボルトに伝達される衝撃を緩和する緩衝部材を、前記吸気口フランジと前記補助フランジとの間に備える、真空ポンプ。」
　である点で一致し、以下の点で相違する。
　
［相違点１］
　本件特許発明３は、「前記挟持部は、前記吸気口フランジを前記装置側フランジと共に挟持するための１つの平面を有し、かつ、前記吸気口フランジに係合する部分を有しておらず、前記１つの平面においてのみ前記吸気口フランジの背面に当接し」、「前記ポンプケーシングに回転トルクが発生した際に、前記挟持部と前記装置側フランジとの間で前記吸気口フランジが滑るように、前記ポンプケーシングが回転し、前記挟持部および前記装置側フランジと前記吸気口フランジとの摩擦によって回転エネルギーを消費」するのに対し、引用発明は、回転フランジ４の固定フランジ２の下面に係止される部分が、１つの平面を有するか明確でなく、また、ケーシング１に回転トルクが発生した際、どのような作用を奏するかも明確でない点。
［相違点２］
　吸気口フランジの径方向外周壁面と、この径方向外周壁面と対向する補助フランジの径方向内周壁面について、本件特許発明３は、これらの「間には隙間が形成されて」いるのに対し、引用発明は、このような隙間が形成されているか明確でない点。
［相違点３］
　緩衝部材について、本件特許発明３は、「前記吸気口フランジに設けられたピン穴および前記補助フランジに設けられたピン穴に係合するピンである」のに対し、引用発明は、回転フランジ４の上面に面着固定され、固定フランジ２の外周上部に形成された段部２Ｓに係止されているゴム板であって、ピン穴及びピンを備えていない点。
　
（イ）判断
　事案に鑑みて、［相違点３］から検討する。
　引用発明のゴム板は、回転フランジ４の上面に面着固定され、固定フランジ２の外周上部に形成された段部２Ｓに係止されているものであって、引用文献１には、固定フランジ２にピン穴を設け、回転フランジ４にこのピン穴に係合するピンを設けることについて、何ら記載も示唆もされていない。
　また、引用文献５には、前記「（１）ウ．」の記載事項（イ）によると、回動防止装置として、保持エレメントにピンを有し、このピンを、ポンプ室ハウジングに設けられた切欠きもしくは孔内に係合する点が記載されている。しかしながら、引用文献５の実施例では、回動防止手段４０として、ねじを用い、このねじを真空室ハウジング２６に設けられた切欠き４２に係合することが記載されているのみであり（前記「（１）ウ．」の記載事項（ウ）参照）、この実施例を考慮しても、回動防止装置として、ピンを用いた際に、保持エレメントのピンが係合する切欠きもしくは孔が、ポンプ室ハウジングのどの部分に設けられるのかを把握することができず、ポンプフランジ３０に設けられるか否かも不明である。
　さらに、引用文献６には、前記「（１）エ．」の記載事項（ア）及び（イ）によると、ピン１００を、ピン穴１０１，１０２によって形成される袋状のピン穴に収納する点が記載されているが、ピン１００及びピン穴１０１，１０２が設けられる箇所は、ターボ分子ポンプのポンプ本体Ｔを構成する、ベース１とケーシング２との締結部であって、ケーシング２の上端に設けられた吸気口フランジ部２ａと、半導体製遣装置側の真空チャンバのフランジとの締結部ではない。
　そうすると、引用文献５及び引用文献６のいずれにも、本件特許発明３の前記相違点３に係る発明特定事項である「緩衝部材は、前記吸気口フランジに設けられたピン穴および前記補助フランジに設けられたピン穴に係合するピンである」という事項に相当する開示はない。同様に、引用文献２、引用文献３（「保全作業安全ガイドライン　改定版」、日本真空工業会ＣＳ委員会、２０１０年３月第１刷発行（甲第３号証））、引用文献４（「コンパクトな電源一体化ターボ分子ポンプ「ＴＭＰ―Ｘ２９０５／Ｘ３４０５シリーズ」を発売」、株式会社島津製作所、２０１３年８月２９日プレスリリース（甲第４号証））にも、緩衝部材として、このようなピン穴及びピンを設けることについて、何ら記載も示唆もされていない。
　そして、引用発明の回転フランジ４は、「固定フランジ２に対し回転可能に付設され」るものであり、また、前記「（１）ア．（ア）」の記載事項ｂ．及びｇ．によると、引用発明は、ケーシング１の排気口３の位置を調整するために、ケーシング１に配設される固定フランジ２と、被排気側８と連接される回転フランジ４との相対的な位置（角度）関係について、連結用孔４Ｈのピッチ角度以内の微調整を可能にするものであって、ボルト６、ナット７をゆるめて、固定フランジ２と回転フランジ４とを相対的に微少回転させるものである。そして、引用発明において、仮に、固定フランジ２にピン穴を設け、回転フランジ４にこのピン穴に係合するピンを設けたとすると、このピン穴とピンとの干渉により、固定フランジ２と回転フランジ４との相対的な位置（角度）関係の微調整、つまり、ケーシング１の排気口３の位置の微調整に制限が加わることとなる。
　そうすると、引用発明において、固定フランジ２にピン穴を設け、回転フランジ４にこのピン穴に係合するピンを設けることは、ケーシング１の排気口３の位置を調整するという引用発明の課題を解決するうえで、調整に制限を加えるものであるから、引用発明のゴム板に代えて、又は加えて、本件特許発明３の前記相違点３に係る発明特定事項を設けることの動機付けはなく、むしろ当該発明特定事項を設けることを阻害する理由が存在するといえる。
　さらに、本件特許発明３は、「真空ポンプ」において、「緩衝部材は、前記吸気口フランジに設けられたピン穴および前記補助フランジに設けられたピン穴に係合するピンである」という発明特定事項を備えることにより、緩衝部材として設けられたピンが破壊又は塑性変形することによって、補助フランジに加わる衝撃をやわらげる働きをするため、ロータ破壊等が発生した場合でも、ポンプ固定用のボルトの破断や大きな変形を防止することができるとともに、ピンを補助フランジと別体で設けているので、破損又は変形したピンを交換することで補助フランジを再利用することができるという作用効果を奏するものである（本件特許明細書の段落【００２６】参照。）。このような作用効果については、引用文献１〜引用文献６のいずれにも、何ら示唆されていないから、引用発明、引用文献２に記載された事項、引用文献３に記載された事項、引用文献４に記載された事項、引用文献５に記載された事項及び引用文献６に記載された事項から当業者が予測できるものではない。
　すると、本件特許発明３の前記相違点３に係る発明特定事項は、当業者といえども、引用発明、引用文献２に記載された事項、引用文献３に記載された事項、引用文献４に記載された事項、引用文献５に記載された事項及び引用文献６に記載された事項に基づき、容易に想到できるものではない。
　
（ウ）まとめ　
　前記「（イ）」に示したように、本件特許発明３の前記相違点３に係る発明特定事項は、当業者といえども、引用発明、引用文献２に記載された事項、引用文献３に記載された事項、引用文献４に記載された事項、引用文献５に記載された事項及び引用文献６に記載された事項に基づき、容易に想到できるものではないから、他の相違点について検討するまでもなく、本件特許発明３は、当業者といえども、引用発明、引用文献２に記載された事項、引用文献３に記載された事項、引用文献４に記載された事項、引用文献５に記載された事項及び引用文献６に記載された事項に基づいて、容易に発明をすることができたものではない。
　
イ．本件特許発明４ついて
　請求項４は請求項３を引用するものであり、本件特許発明４も「緩衝部材は、前記吸気口フランジに設けられたピン穴および前記補助フランジに設けられたピン穴に係合するピンである」という発明特定事項を備えるものであるから、本件特許発明３と同じ理由により、本件特許発明４は、当業者といえども、引用発明、引用文献２に記載された事項、引用文献３に記載された事項、引用文献４に記載された事項、引用文献５に記載された事項及び引用文献６に記載された事項に基づいて、容易に発明をすることができたものではない。
３．特許法第３６条第６項第１号及び第２号、並びに第４項第１号について
（１）異議申立人の主張について
　特許異議申立人は、本件特許発明３の「前記吸気口フランジの径方向外周壁面と、前記径方向外周壁面と対向する前記補助フランジの径方向内周壁面との間には隙間が形成されて」いるという事項（以下、「隙間構成」という。）の作用効果は、特許査定時の明細書の段落［００２４］の記載によれば、「吸気口フランジ２１１が径方向にも移動した場合」に「衝撃を低減」するものであるが、平成３０年１０月１９日に提出された意見書（甲第７号証）の主張によれば、「ポンプケーシングが回転」した場合に「回転エネルギー」を消費するものと把握され、特許査定時の明細書に記載のものと相違している旨、主張している。
（２）特許法第３６条第６項第１号について
　特許異議申立人は、前記（１）に示した主張を前提に、意見書の主張に対応する隙間構成は特許査定時の明細書に記載されていないため、出願経過を参酌すれば、本件発明は、発明の詳細な説明に記載されたものでなく、本件特許に係る特許請求の範囲の記載は特許法第３６条第６項第１号の要件を満たさない旨、主張している。
　しかしながら、本件特許発明３の「前記吸気口フランジの径方向外周壁面と、前記径方向外周壁面と対向する前記補助フランジの径方向内周壁面との間には隙間が形成されて」いるという発明特定事項について、本件特許明細書の発明の詳細な説明の段落［００２４］には、「図３に示す例では、吸気口フランジ２１１の外周面と締結部２２３の内周面との間に隙間Ｇが設けられている。」との開示があるから、意見書において、発明の詳細な説明に明示していない作用効果を主張したとしても、そのことをもって、本件特許発明３の前記発明特定事項が、発明の詳細な説明に記載されたものでないとはいえない。
　そうすると、本件特許発明３は、発明の詳細な説明に記載した発明であるといえ、同様に、請求項３を引用する請求項４に係る本件特許発明４は、発明の詳細な説明に記載した発明であるといえる。
　したがって、特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第１号の要件を満たすものである。
（３）特許法第３６条第６項第２号について
　特許異議申立人は、前記（１）に示した主張を前提に、特許査定時の明細書に記載のものと、意見書の主張のものとで隙間構成の作用効果が相違しているから、隙間構成の技術的意義を特定することができず、隙間構成は明確ではなく、本件特許に係る特許請求の範囲の記載は特許法第３６条第６項第２号の要件を満たさない旨、主張している。
　しかしながら、本件特許発明３の「前記吸気口フランジの径方向外周壁面と、前記径方向外周壁面と対向する前記補助フランジの径方向内周壁面との間には隙間が形成されて」いるという発明特定事項は、吸気口フランジの径方向外周壁面と、補助フランジの径方向内周壁面との間に、隙間が形成されたことを特定するものであって、明確といえるから、本件特許明細書の発明の詳細な説明に記載された作用効果と、意見書で主張する作用効果が異なるものであるとしても、そのことをもって、本件特許発明３の前記発明特定事項が、明確でないとはいえない。
　そうすると、本件特許発明３は、明確であるといえ、同様に、請求項３を引用する請求項４に係る本件特許発明４は、明確であるといえる。
　したがって、特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第２号の要件を満たすものである。
（４）特許法第３６条第４項第１号について
　特許異議申立人は、前記（１）に示した主張を前提に、隙間構成が特許査定時の明細書等に記載されていない以上、本件特許に係る特許請求の範囲の記載に接した当業者は、これをどのように実施すればよいか、特許査定時の明細書等の記載から把握することができないから、本件特許に係る発明の詳細な説明の記載は特許法第３６条第４項第１号の要件を満たさない旨、主張している。
　しかしながら、本件特許発明３の「前記吸気口フランジの径方向外周壁面と、前記径方向外周壁面と対向する前記補助フランジの径方向内周壁面との間には隙間が形成されて」いるという発明特定事項について、本件特許明細書の発明の詳細な説明の段落［００２４］には、「図３に示す例では、吸気口フランジ２１１の外周面と締結部２２３の内周面との間に隙間Ｇが設けられている。」との開示があるから、この開示に接した当業者であれば、吸気口フランジの径方向外周壁面と、補助フランジの径方向内周壁面との間に、隙間を形成することは可能といえる。
　そうすると、発明の詳細な説明は、当業者が本件特許発明３の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されているといえ、同様に、請求項３を引用する請求項４に係る本件特許発明４の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されているといえる。
　したがって、発明の詳細な説明の記載は、特許法第３６条第４項第１号の要件を満たすものである。
　
第６　むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立理由によっては、請求項３及び請求項４に係る特許を取り消すことはできない。
　そして、他に請求項３及び請求項４に係る特許を取り消す理由を発見しない。
　また、本件訂正請求により、請求項１及び請求項２は削除されたため、請求項１及び請求項２に係る特許についての特許異議の申立ては、その対象となる特許が存在しないものとなったから、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法１３５条の規定により、その申立てを却下する。
　
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
令和２年６月１日（２０２０．６．１）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　（削除）
　【請求項２】
　（削除）
　【請求項３】
　
回転駆動されるロータと、
　
吸気口フランジが形成され、前記ロータを収容するポンプケーシングと、
　
前記吸気口フランジと分離して設けられ、前記吸気口フランジを装置側フランジに固定する補助フランジと、を備え、
　
前記補助フランジは、
　
前記装置側フランジにボルトにより締結される締結部と、
　
前記吸気口フランジの背面に当接し、前記吸気口フランジを前記装置側フランジとの間に挟持する挟持部とを有し、
　
前記挟持部は、前記吸気口フランジを前記装置側フランジと共に挟持するための１つの平面を有し、かつ、前記吸気口フランジに係合する部分を有しておらず、前記１つの平面においてのみ前記吸気口フランジの背面に当接し、
　
前記吸気口フランジの径方向外周壁面と、前記径方向外周壁面と対向する前記補助フランジの径方向内周壁面との間には隙間が形成されており、
　
前記ポンプケーシングに回転トルクが発生した際に、前記挟持部と前記装置側フランジとの間で前記吸気口フランジが滑るように、前記ポンプケーシングが回転し、前記挟持部および前記装置側フランジと前記吸気口フランジとの摩擦によって回転エネルギーを消費し、
　
前記吸気口フランジから前記補助フランジを介して前記ボルトに伝達される衝撃を緩和する緩衝部材を、前記吸気口フランジと前記補助フランジとの間に備え、
　前記緩衝部材は、前記吸気口フランジに設けられたピン穴および前記補助フランジに設けられたピン穴に係合するピンである、真空ポンプ。
　【請求項４】
　請求項３に記載の真空ポンプにおいて、
　前記吸気口フランジおよび前記補助フランジに設けられたピン穴と前記ピンとの隙間寸法は、前記吸気口フランジの移動可能量が前記締結部に設けられたボルト孔と前記ボルトとの隙間寸法よりも小さくなるように設定されている、真空ポンプ。