(57)【要約】【課題】回転移動部に予期せず回転モーメントが作用することを抑制する。【解決手段】本発明は、真空チャンバーと、前記真空チャンバー内に移動可能に設置される移動体と、前記真空チャンバーを構成する面と前記移動体との間に配置されて、一端部が前記移動体に連結され、他端部が前記真空チャンバーを構成する面に回動可能に連結され、かつ、前記回動の軸に沿った方向に相対移動が可能である回転移動部とを含み、前記真空チャンバーを構成する面は、開口を有し、前記回転移動部は、前記開口を通じて前記真空チャンバーの外部に連通した中空部分を有し、前記回転移動部の前記他端部側に設置され、前記回転移動部に対して、前記回動の軸に沿った方向、かつ、前記真空チャンバーの内側から外側への方向に力を提供する力付与手段を含む真空蒸着装置を提供する。【選択図】図３
2019026932.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空蒸着装置において、
真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内に移動可能に設置される移動体と、
前記真空チャンバーを構成する面と前記移動体との間に配置されて、一端部が前記移動体に連結され、他端部が前記真空チャンバーを構成する面に回動可能に連結され、かつ、前記回動の軸に沿った方向に相対移動が可能である回転移動部とを含み、
前記真空チャンバーを構成する面は、開口を有し、
前記回転移動部は、前記開口を通じて前記真空チャンバーの外部に連通した中空部分を有し、
前記回転移動部の前記他端部側に設置され、前記回転移動部に対して、前記回動の軸に沿った方向、かつ、前記真空チャンバーの内側から外側への方向に力を提供する力付与手段を含むことを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項２】
真空蒸着装置において、
真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内に移動可能に設置される移動体と、
前記真空チャンバーを構成する面と前記移動体との間に配置されて、一端部が前記移動体に連結され、他端部が前記真空チャンバーを構成する面に回動可能に連結され、かつ、前記回動の軸に沿った方向に相対移動が可能である回転移動部とを含み、
前記真空チャンバーを構成する面は、開口を有し、
前記回転移動部は、前記開口を通じて大気開放され中空部分を有し、
前記回転移動部の前記他端部側に設置され、大気開放された前記開口に対向する前記回転移動部の内面に作用する圧力の方向とは反対方向の力を、前記回転移動部に対して提供する力付与手段を含むことを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項３】
前記力付与手段による、前記回転移動部の移動範囲を規制する移動規制手段をさらに含むことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の真空蒸着装置。
【請求項４】
前記回転移動部は、前記真空チャンバーを構成する面に形成された前記開口内に挿入される回転軸部を含み、
前記移動規制手段は、前記回転軸部と接続される前記真空チャンバーの底面から前記回転軸部の下面よりも下の位置において、前記開口の中心側に形成されたストッパーを含むことを特徴とする、請求項３に記載の真空蒸着装置。
【請求項５】
前記力付与手段は、圧縮コイルばねを含むことを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項６】
前記回転移動部は、前記真空チャンバーを構成する面に形成された前記開口内に挿入される回転軸部を含み、
前記圧縮コイルばねは、前記回転軸部の下部で放射状外側に形成されたベース部と、前記ベース部の上部で前記開口を形成する前記真空チャンバーの面との間に連結設置されることを特徴とする、請求項５に記載の真空蒸着装置。
【請求項７】
前記圧縮コイルばねは、前記回転軸部の周囲に複数設置されることを特徴とする、請求項６に記載の真空蒸着装置。
【請求項８】
前記力付与手段は、板ばねを含むことを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項９】
前記回転移動部は、前記真空チャンバーを構成する面に形成された前記開口内に挿入される回転軸部を含み、
前記板ばねは、前記回転軸部の外周を囲む形で前記回転軸部と前記真空チャンバーとの間に連結設置されることを特徴とする、請求項８に記載の真空蒸着装置。
【請求項１０】
前記回転移動部は、前記真空チャンバーを構成する面に形成された前記開口内に挿入される回転軸部を含み、
前記力付与手段は、大気と連通された内部空間を有し、前記内部空間内外の圧力差により膨張することによって、前記回転移動部の前記回転軸部に対して、前記力を提供する伸縮部材を含むことを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項１１】
前記伸縮部材はベローズであることを特徴とする、請求項１０に記載の真空蒸着装置。
【請求項１２】
前記伸縮部材は、前記回転軸部外部の前記真空チャンバー内の空間において、両端部が前記回転軸部と前記真空チャンバーにそれぞれ接して設けられ、前記回転軸部と接した端部を通じて前記伸縮部材の内部空間が大気と連通されることを特徴とする、請求項１０または１１に記載の真空蒸着装置。
【請求項１３】
前記伸縮部材は、前記回転軸部の周囲に複数設置されることを特徴とする、請求項１０乃至請求項１２のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項１４】
前記伸縮部材は、前記回転軸部の周囲に一つのリング（ｒｉｎｇ）形状に設置されることを特徴とする、請求項１０乃至請求項１２のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項１５】
前記回転移動部は、前記真空チャンバーを構成する面に形成された前記開口内に挿入される回転軸部を含み、
前記回転移動部は、前記真空チャンバーを構成する面に一端が回動可能に連結された第１アームと、前記第１アームの他端に一端が回動可能に連結され且つ前記移動体に他端が回動可能に連結された第２アームを含み、
前記第１アームの一端が前記回転軸部を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項１４のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項１６】
前記移動体は、前記真空チャンバー内の被蒸着体に蒸着される蒸着物質が収容される蒸発源を含む蒸発源ユニットであることを特徴とする請求項１乃至請求項１５のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項１７】
前記真空チャンバーを構成する面と、前記回転移動部とは、磁性流体シールからなる接続部材によって連結されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１６のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項１８】
真空領域内に移動可能に設置される移動体を支持する移動体支持装置であって、
前記真空領域に設置される回転移動部と、力付与手段とを有し、
前記回転移動部は、内部が空洞となった中空部分を有し、前記中空部分は、前記真空領域の外側と接続され、
前記回転移動部は、一端部が前記移動体に連結され、他端部が前記真空領域を構成する面に回動可能に連結され、かつ、前記回動の軸に沿った方向に相対移動が可能であり、
前記力付与手段は、前記回転移動部に対して、前記回動の軸に沿った方向、かつ、前記真空領域から前記真空領域の外側への方向に力を提供することを特徴とする移動体支持装
置。
【請求項１９】
真空チャンバーにおいて被蒸着体に蒸発源ユニットに収納された蒸着物質を蒸着する蒸着方法であって、
前記真空チャンバーを真空にする第１の工程と、
前記蒸発源ユニットのシャッターをあけて、前記蒸発源ユニットに接続する回転移動部を動かし、前記被蒸着体に蒸着を行う第２の工程と、を含み、
前記第２の工程において、前記回転移動部に対して、回転の軸に沿った方向、かつ、前記真空チャンバーの内側から外側への方向に力を付与することを特徴とする蒸着方法。
【請求項２０】
前記第１の工程と前記第２の工程との間に、
前記蒸発源ユニットのシャッターを閉じた状態で、前記蒸発源ユニットの加熱装置に電源を入れる第３の工程と、
前記真空チャンバー内にマスクを搬入する第４の工程と、
前記真空チャンバーに被蒸着体をいれ、前記マスクと前記被蒸着体のアライメントを行う第５の工程と、をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の蒸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空チャンバー内に移動可能に設置される移動体を支持する移動体支持装置と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近、フラットパネルディスプレイとして有機電界発光ディスプレイ（ＯＬＥＤ）が脚光を浴びている。有機電界発光ディスプレイは、２つの向かい合う電極（カソード電極、アノード電極）の間に発光を起こす有機物層が形成された基本構造を有し、有機電界発光ディスプレイの有機物層は、減圧状態の真空チャンバー内で蒸発源に収容されている蒸着物質を蒸発させて真空チャンバー内の被蒸着体に蒸着させることで形成される。有機物質の蒸着に使用されるこのような真空蒸着装置においては、真空チャンバー内の蒸発源を含む蒸発源ユニットに含まれた各種部品及び装置に電源を供給するための配線及び配管（蒸発源を冷却させるための冷却水配管など）が、真空チャンバーの外部から連結される。
【０００３】
このため、従来技術においては、真空チャンバーを構成する底面と蒸発源ユニットの間に大気アーム部を設けていた。大気アーム部は真空チャンバーを構成する底面に回動可能に連結される。大気アーム部の内部は各種の配線及び配管が通る中空部となっており、その内部を大気圧状態に維持するために、特許文献１に開示されたように、連結部、つまり、大気アーム部と真空チャンバーを構成する底面間の連結部は、真空チャンバー内部の真空をシール（ｓｅａｌ）する磁性流体シールによって接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】韓国登録特許第１０−１６６５３８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、蒸発源ユニットに対する回転移送部としての機能と配線／配管の連結通路の機能をする大気アーム部は、内部が大気に開放された状態で大気圧に維持されており、大気アーム部に設けられた回転移動部で、真空に維持される外部の真空チャンバーを構成する底面に対して、磁性流体シールなどのシール部材によってシールされ、回転可能に連結されている。このような場合においては、真空チャンバーと大気アーム部との圧力差によって、回転移動部に予期せぬ回転モーメントが作用することがある。
【０００６】
駆動中の移動体に予期せぬ回転モーメントが作用する場合は、回転移動部に設けられたシール部材が瞬間的に破れる現象が生ずる可能性がある。磁性流体シールの破壊は高真空状態に維持されていた真空チャンバーの瞬間的な圧力上昇を招き、究極的には被蒸着物に対する原料物質蒸着の品質を低下させる原因になる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様による真空蒸着装置は、真空チャンバーと、前記真空チャンバー内に移動可能に設置される移動体と、前記真空チャンバーを構成する面と前記移動体との間に配置されて、一端部が前記移動体に連結され、他端部が前記真空チャンバーを構成する面に回動可能に連結され、かつ、前記回動の軸に沿った方向に相対移動が可能である回転移動部とを含み、前記真空チャンバーを構成する面は、開口を有し、前記回転移動部は、前記開口を通じて前記真空チャンバーの外部に連通した中空部分を有し、前記回転移動部の前記他端部側に設置され、前記回転移動部に対して、前記回動の軸に沿った方向、かつ、前
記真空チャンバーの内側から外側への方向に力を提供する力付与手段を含むことを特徴とする。
【０００８】
本発明の他の一態様による真空蒸着装置は、真空チャンバーと、前記真空チャンバー内に移動可能に設置される移動体と、前記真空チャンバーを構成する面と前記移動体との間に配置されて、一端部が前記移動体に連結され、他端部が前記真空チャンバーを構成する面に回動可能に連結され、かつ、前記回動の軸に沿った方向に相対移動が可能である回転移動部とを含み、前記真空チャンバーを構成する面は、開口を有し、前記回転移動部は、前記開口を通じて大気開放された中空部分を有し、前記回転移動部の前記他端部側に設置され、大気開放された前記開口に対向する前記回転移動部の内面に作用する圧力の方向とは反対方向の力を、前記回転移動部に対して提供する力付与手段を含むことを特徴とする。
【０００９】
本発明の他の一態様による移動体支持装置は、真空領域内に移動可能に設置される移動体を支持する移動体支持装置であって、前記真空領域に設置される回転移動部と、力付与手段とを有し、前記回転移動部は、内部が空洞となった中空部分を有し、前記中空部分は、前記真空領域の外側と接続され、前記回転移動部は、一端部が前記移動体に連結され、他端部が前記真空領域を構成する面に回動可能に連結され、かつ、前記回動の軸に沿った方向に相対移動が可能であり、前記力付与手段は、前記回転移動部に対して、前記回動の軸に沿った方向、かつ、前記真空領域から前記真空領域の外側への方向に力を提供することを特徴とする。
【００１０】
本発明の他の一態様による蒸着方法は、真空チャンバーにおいて被蒸着体に蒸発源ユニットに収納された蒸着物質を蒸着する蒸着方法であって、前記真空チャンバーを真空にする第１の工程と、前記蒸発源ユニットのシャッターをあけて、前記蒸着源ユニットに接続する回転移動部を動かし、前記被蒸着体に蒸着を行う第２の工程と、を含み、前記第２の工程において、前記回転移動部に対して、回転の軸に沿った方向、かつ、前記真空チャンバーの内側から外側への方向に力を付与することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、回転移動部に予期せず回転モーメントが作用することを抑制することができ、それによって、移動体動作中のシール部材の破壊及びこれによる真空チャンバーの圧力上昇を防止し、被蒸着物に対する蒸着品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の一実施例による真空蒸着装置の構成を概略的に示した図面である。
【図２】図２は、図１の真空蒸着装置の蒸発源ユニットを移動させるための蒸発源移動機構及び回転移動部を概略的に示した図面である。
【図３】図３（ａ）は、図２の回転移動部と真空チャンバーを構成する底面との連結部分を示す断面図で、図３（ｂ）は、図３（ａ）の真空蒸着装置の底面側から開口に向けて見た図面である。
【図４】図４は、本発明の他の実施例による真空蒸着装置の構成として、図４（ａ）は回転移動部と真空チャンバーを構成する底面との連結部分の断面図で、図４（ｂ）は板ばねの形状を示した平面図である。
【図５】図５は、本発明の他の実施例による真空蒸着装置の構成として、図５（ａ）は回転移動部と真空チャンバーを構成する底面との連結部分の断面図で、図５（ｂ）は伸縮部材付近の拡大図である。
【図６】図６は、本発明によるデバイス製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図７】図７は、大気アーム内部の大気圧の作用状態を説明するための概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照し、本発明の実施例を詳しく説明する。本発明は多様な変更ができ、多様な実施例を有することができる。特定の実施例を図面に基づき例示して説明するが、本発明はこの特定の実施例に限定されるのではなく、本発明の思想および技術範囲に含まれるすべての変更、均等物乃至代替物を含むものと理解されるべきである。
【００１４】
（第１の実施例）
【００１５】
図１は本発明の一実施例による真空蒸着装置の全体的な構成を概略的に示す図面である。図１（ａ）に示されたとおり、本発明の一実施例による真空蒸着装置１は、減圧雰囲気の下で被蒸着体（例えば、基板）に対して蒸着が行われる空間を定義する真空チャンバー３及び、蒸着物質を蒸発させ放出する蒸発源ユニット２を含む。
【００１６】
蒸発源ユニット２は、蒸着物質を収容する収容部と、蒸着物質を加熱し蒸発させるための加熱部などで構成される蒸発源２１を含む。蒸発源２１は、被蒸着体４，５の蒸着面に向いて蒸着材料を放出する放出孔或いはノズルを複数備える構造を持つが、これに限らず、被蒸着体４，５、マスクのパターン、蒸着物質の種類等に合わせて、適宜選定すればよく、例えば、ポイントソースや、リニアーソース、あるいは、小型の蒸着物質収容部に、蒸着材料を放出する複数の放出孔を持つ拡散室を接続した構造の蒸発源等を用いてもよい。
【００１７】
また、本発明の真空蒸着装置１は、図１（ｂ）に示されたように、膜厚モニタ２１８と、膜厚計２１７と、電源２１６と、被蒸着体ホルダー２１３と、マスクホルダー２１５などの他の構成部品を更に含む。膜厚モニタ２１８は、蒸発源２１から放出された蒸着材料の蒸発レートをモニタする。膜厚計２１７は、膜厚モニタ２１８からの入力信号を受け膜厚を計測する。電源２１６は、蒸発源２１に設けられた加熱装置を制御する。被蒸着体ホルダー２１３は、被蒸着体４，５を保持し、被蒸着体をマスク２１４や蒸発源に対して相対的に移動させることができる。マスクホルダー２１５は、マスク２１４を保持し、マスクを被蒸着体や蒸発源２１に対して相対的に移動させることができる。
【００１８】
このような構成を持つ真空蒸着装置１は、真空チャンバー３内を減圧雰囲気にした状態で蒸発源ユニット２の蒸発源２１内に収容されている蒸着物質を加熱・蒸発させ、蒸発された蒸着物質を所定のパターンが形成されているマスク２１４或いはパターンシートを通じて、被蒸着体４、５上に求められるパターンの蒸着物質の薄膜を形成する。本発明の真空蒸着装置１を用いて有機ＥＬディスプレイデバイスを製造する具体的な方法については、後述する。
【００１９】
蒸発源２１を含む蒸発源ユニット２は、通常、真空チャンバー３の下方に一つが配置され、一つの蒸発源ユニットで被蒸着体全体に対して均一な厚さの薄膜を蒸着するために、蒸発源ユニット２を被蒸着体の長手方向にスライド移動させながら蒸着を行う。そのため、蒸発源ユニット２は、真空チャンバー３の内部に、移動可能に設置される。
【００２０】
図１（ａ）の真空蒸着装置１は、一つの真空チャンバー３内に２つの被蒸着体が搬入され、その中の一つの被蒸着体４に対して蒸着が行われる間（例えば、Ａ側ステージ）に、他の被蒸着体５に対しては（例えば、Ｂ側ステージ）、マスクと被蒸着体間の整列（アライメント）が行われる、いわゆる、「デュアルステージ」で蒸着可能な真空蒸着装置を図示している。
【００２１】
このようなデュアルステージの真空蒸着装置においては、それぞれのステージ内で蒸着工程が行われる時の、被蒸着体の長手方向に蒸発源ユニット２を移動させる前述したスライド移動に加え、蒸発源ユニット２を各ステージ間に移動させる動作も行われる。以下では、デュアルステージの真空蒸着装置の例を挙げて本発明の構成を説明するが、この限りではなく、本発明は真空チャンバー内での蒸発源ユニットの移動が伴う場合には適用可能である。
【００２２】
このような蒸発源２１を含む蒸発源ユニット２は、真空チャンバー３の下方に設けられた蒸発源移動機構６に沿って、被蒸着体４に対向する面内で水平移動しながら、被蒸着体４に対するスキャン蒸着を行う。蒸発源移動機構６は、蒸発源２１に対して、この線形移動の駆動力を提供し、またその移動をガイドするための機構で、駆動力を提供するリニアモーターと、モーターの駆動によって移動をガイドするラック・ピニオン結合構造などで構成される。駆動力を生成するリニアモーターなどの構成部品は蒸発源２１の下部に設けられる大気ボックス内に収納配置されることができる。
【００２３】
このように構成される真空蒸着装置１においては、前述したように、蒸着工程が行われる間に蒸着物質を加熱・蒸発させる蒸発源２１の加熱部、蒸発源２１に移動駆動力を提供するリニアモーターなどに対して電源の供給が行われ、そのために、真空チャンバーの外部から電源供給のための電気配線が連結されなければならない。また、蒸発源ユニット２には、このような電気配線以外にも、加熱された蒸発源２１を冷却させる冷却水を循環させるための配管なども真空チャンバー３の外部から連結され得る。
【００２４】
蒸発源ユニット２に真空チャンバー３外部からの電気配線や配管を提供するための構成として、本発明では中空内部を有する回転移動部７を使用する。回転移動部７は真空チャンバー３を構成する底面に形成された開口３１（図３参照）と蒸発源ユニット２の間に設置され、その内部は大気圧で維持される中空部７１（図３参照）になっている。回転移動部７の中空部７１には真空チャンバー外部から蒸発源ユニット２に連結される各種の電気配線及び配管が配設される。蒸発源ユニット２は、このような回転移動部７を通じて電気配線及び配管が連結された状態で、真空チャンバー３内を移動しながら、蒸着工程を行うことになる。
【００２５】
以下、回転移動部７の構成を詳細に説明する。
【００２６】
回転移動部７は前述したように真空チャンバー３を構成する底面と蒸発源ユニット２の間に配置されて、一端部は蒸発源ユニット２に回動可能に連結され、他端部は真空チャンバー３を構成する底面に回動可能に連結される。具体的に、回転移動部７は、図２に示されたように、真空チャンバー３を構成する底面と蒸発源ユニット２側にそれぞれ回動可能に接続された２つのアーム７２、７３が相互リンク構造で連結された構成を有する。つまり、回転移動部７は、一端が真空チャンバー３を構成する底面の開口３１側に回動可能に連結されている第１アーム７２と、一端が蒸発源ユニット２の大気ボックスの下部に回動可能に連結されている第２アーム７３を含む。また、大気ボックスの下部と第２アーム７３との連結は、固定された連結であっても、本発明の本質には寄与しない。第１アーム７２の他端と第２アーム７３の他端も回動可能に連結され、第１アーム７２と第２アーム７３が真空チャンバー３を構成する底面と蒸発源ユニット２の間で全体的にリンク構造の連結構造を形成する。このような構造を通じて、回転移動部７は蒸発源ユニット２に対して電気配線及び配管連結を提供しながら、蒸発源ユニット２の移動に従動して移動する。
【００２７】
回転移動部７と、蒸発源ユニット２及び真空チャンバー３を構成する底面との間の各連結部（つまり、蒸発源ユニット２と第２アーム７３との連結部、第２アーム７３と第１ア
ーム７２との連結部、第１アーム７２と真空チャンバー３を構成する底面との連結部）は、大気圧で維持される回転移動部７内部の中空部７１と、真空状態にある回転移動部７外部の真空チャンバー３内の空間を、それぞれの大気圧・真空状態を維持しながら連結するように、基本的には磁性流体シールなどの接続部材を使って真空シール（ｓｅａｌ）する。磁性流体シールは、連結部材間の相対回転は許容しながら真空シールができるため、回転移動部７の基本的な連結部として使用するのに適している。
【００２８】
本発明の真空蒸着装置１において、回転移動部７或いは第１アーム７２と、真空チャンバー３を構成する底面とを、蒸発源ユニット２の方に向かう方向、すなわち、真空チャンバー３を構成する底面に垂直な方向である第１方向に相対移動ができるように接続する（つまり、真空チャンバーを構成する底面に対してフローティングさせる）。つまり、真空チャンバー３を構成する面側に連結される回転移動部７（または、第１アーム７２）の端部は、真空チャンバー３を構成する面に対して、回動可能、かつ、前記回動の軸に沿った方向に相対移動可能に連結される。具体的に、第１アーム７２の一端は真空チャンバー３を構成する底面に形成された開口３１へ挿入される回転軸７２１（図３参照）を含み、この第１アーム７２の回転軸７２１と真空チャンバー３を構成する底面の開口３１との間はオーリング（Ｏ−ｒｉｎｇ；９）とブッシュ１０によって真空シールされる。これにより、真空チャンバーの変形による真空チャンバーを構成する面に垂直方向（第１方向）の荷重を吸収し、回転移動部７に伝えられる変形力を低減させることができる。
【００２９】
このように、回転移動部７は、真空チャンバー３を構成する底面側の開口３１と接続される第１アーム７２の一端を通じて大気に開放された状態でその内部が大気圧に維持され、蒸着工程中、真空に維持される外部の真空チャンバー３とは磁性流体シールなどのシール部材によってシールされている。
【００３０】
このような回転移動部７を構成する大気アーム（第１アーム７２及び第２アーム７３）の内外部の圧力差によって、各アームの接続部に予期せぬ回転モーメントが作用することがある。
【００３１】
図７は、このような大気アーム内部の大気圧の作用状態を説明するための概念図である。示したとおり、大気アームは、上部アームと下部アームが、リンク構造を通じて相互に回動可能に接続された構造を有する。被移送体である蒸発源ユニットに対して移動駆動力を提供するリニアモーターなどの構成部品を収納するための密閉容器としての大気ボックスが上部アームの上にさらに接続されることもできる。下部アームの一端は真空チャンバーを構成する底面に形成された開口を通じて大気に開放されている。このように大気アームの内部は大気圧で、大気アームの外部の真空チャンバーは真空でそれぞれ維持された状態で蒸着工程が行われる場合、大気アームの各内壁には、矢印で示したように、大気アーム内部から真空チャンバーの方向へ向かう圧力（典型的には大気圧）が作用することになる。大気アームの各内壁に作用する大気圧成分のほとんどは対向する反対側の内壁に作用する同一の大きさの大気圧成分によって相殺され、バランスを成している。しかし、真空チャンバーを構成する底面上の開口と対向する内壁（下部アームの一端側内壁）に作用する大気圧成分は相殺する力成分が存在せず、不釣合圧力成分として残る。この不釣合圧力成分は大気アームに対して、予期せぬ回転モーメント（大気アームが位置した平面に対して垂直方向）を発生させる原因となりうる。大気アームがこのように回転モーメントを受けた状態で駆動され蒸着工程が行われる場合は、各アームの連結部位を真空シールしていた磁性流体シールが瞬間的に破れる現象が生ずる可能性がある。磁性流体シールの破壊は高真空状態に維持されていた真空チャンバーの瞬間的な圧力上昇を招き、究極的には被蒸着物に対する原料物質蒸着の品質を低下させる原因になる。
【００３２】
本発明の発明者は、このように回転移動部を構成する大気アームの内外部の圧力差によ
って各アームの接続部に予期せぬ回転モーメントが作用することがあり、この回転モーメントが大気アーム接続部のシール部材の破損、ひいては蒸着品質低下の原因となりうるとの点に着目し、このような新たな知見から本発明に至った。つまり、本発明は、回転移動部を構成する大気アームに予期せぬ回転モーメントが作用することを抑制できる真空蒸着装置を提供することである。
【００３３】
このための構成として、本発明の真空蒸着装置１は、真空チャンバー３底面の開口３１に対向する回転移動部７（第１アーム７２の一端側）の内壁に作用する不釣合圧力（大気圧）を反対方向に相殺させる力、言い換えると、回転移動部７の回動の軸に沿った方向、かつ真空チャンバー３の内側から外側への方向に力を提供する力付与手段を、回転移動部７（第１アーム７２の一端側）に設置したことを特徴とする。
【００３４】
具体的に、図３に示されたように、本発明の一実施例による真空蒸着装置１では、第１アーム７２の一端から接続して形成されて真空チャンバー３底面側の開口３１へ挿入される回転軸７２１の下面と、真空チャンバー３の面との間に、力付与手段としての圧縮コイルばね１１を連結設置している。より具体的に、回転軸７２１の下部に放射状外側（真空チャンバーを構成する面側）にベース部１２を形成し、このベース部１２とその上部の真空チャンバーの面との間に圧縮コイルばね１１を連結設置する。
【００３５】
圧縮コイルばね１１は、真空チャンバー３底面側の開口３１と対向する回転移動部７（第１アーム７２の一端側）の内壁に不釣合圧力としての大気圧が印加されるとき、回転軸７２１（及びこれに連結された回転移動部７）に対して、この大気圧に相応する反対方向の反力を同一軸線上で提供する役割をする。これにより、真空チャンバー３底面側の開口３１と対向する回転移動部７の内壁に大気圧が不釣合圧力として作用しても、これを圧縮コイルばね１１によって提供される反対方向の反力を利用して相殺し、回転移動部７に作用する予期せぬ回転モーメントを抑制することができ、したがって回転移動部７動作中のアーム連結部位の磁性流体シールの破壊やこれによる真空チャンバー３の瞬間的な圧力上昇を防止することができるようになる。
【００３６】
圧縮コイルばね１１は、回転軸７２１の周囲に複数の位置に設置されることができる。図３（ｂ）は、真空蒸着装置１の底面側から開口３１に向けて見た図で、示したように、例えば、回転軸７２１の下部に４か所に圧縮コイルばね設置用のベース部１２を等間隔に形成し、この各ベース部１２と真空チャンバーの面との間に圧縮コイルばね１１を連結設置することができる。しかし、これに限定されることはなく、圧縮コイルばね１１の設置位置及び個数は適宜選択可能である。
【００３７】
一方、本発明の真空蒸着装置１は、圧縮コイルばね１１による、不釣合圧力と反対方向への回転軸７２１の移動を許容範囲以内に規制する移動規制手段をさらに含むことができる。つまり、図３及び図４に示したように、回転移動部７の回転軸７２１と接続される真空チャンバー３の底面側下部には、回転軸７２１の下面よりも下の位置において、内側（真空チャンバー３の開口３１中心側）に形成されて、回転軸７２１の下側への移動を所定の範囲に規制するためのストッパー１３が設けられている。
【００３８】
前述のように、蒸着工程が行われる時は、真空チャンバー３は真空排気された状態で、回転移動部７の内部は大気圧状態で維持されるが、メンテナンスなどのために真空チャンバー３内の真空状態を一時的に解除し、大気圧状態にする場合がある。このときは、回転移動部７内の大気圧はこれ以上不釣合圧力として作用しないが、その場合にも依然として回転移動部７が圧縮コイルばね１１によって力を受け、下方に移動し続けようとすると、圧縮コイルばね１１による力がむしろ逆方向に回転モーメントを発生させる原因になりうる。
【００３９】
ストッパー１３は、このような圧縮コイルばね１１による回転移動部７の移動を所定の範囲で規制することによって、真空チャンバー３が真空排気された状態だけでなく、大気圧状態にある場合にも回転移動部７に作用するモーメントを抑制できるようにする。
【００４０】
ストッパー１３は、図３（ｂ）に示したように、圧縮コイルばね１１が設置されていない位置に、真空チャンバー３の底面側下部の周りに沿って形成される。しかし、これに限定されることはなく、ストッパーの設置位置と形状は設計に応じて適切に構成することができる。
【００４１】
（第２の実施例）
【００４２】
以下、図４を参照して、本発明による第２の実施例の構成を説明する。
【００４３】
本発明の第２の実施例は、真空チャンバー３の底面の開口３１に対向する回転移動部７（第１アーム７２の一端側）の内壁に作用する不釣合圧力（大気圧）を反対方向に相殺させる力付与手段として、圧縮コイルばね１１の代わりに、板ばねを利用している点が第１の実施例と異なる。それ以外の構成は第１の実施例の構成と同様であるので、同一の構成に対する説明は省略する。
【００４４】
第２の実施例では、変形を通じてあらかじめ与圧が加えられた状態の板ばねの復元力によって、不釣合圧力（大気圧）と反対方向の力を回転移動部７に提供する。具体的に、図４（ａ）のように、第１アーム７２の回転軸７２１の外周を囲む形で、回転軸７２１の磁性流体シール８と真空チャンバー３を構成する面との間に、板ばね１５が連結設置されている。板ばね１５は、図示したように、あらかじめ与圧を加えて変形させた状態で取り付けられている。したがって、第１の実施例と同様に、真空チャンバー３の底面側の開口３１と対向する回転移動部７（第１アーム７２の一端側）の内壁に不釣合圧力としての大気圧が印加されるとき、回転軸７２１（及びこれに連結された回転移動部７）に対して、板ばね１５の復元力を利用して、大気圧に相応する反対方向の反力を同一軸線上で提供することができる。
【００４５】
これにより、第１の実施例と同様に、真空チャンバー３底面側の開口３１と対向する回転移動部７の内壁に大気圧が不釣合圧力として作用する場合であっても、回転移動部７に予期せぬ回転モーメントがかかることを抑制することができ、アーム連結部位の磁性流体シールの破壊及び真空チャンバー３の瞬間的な圧力上昇を防止する、同一の効果を得ることができる。
【００４６】
図４（ｂ）は、板ばね１５の形状を示した平面図である。板ばね１５は、回転軸７２１の周りを取り囲む同心円形状の個別板ばねが複数積層されて形成される。各個別板ばねは、内部に穴が開いた形状であっても（左側の図面）、穴と類似な形態の切り欠きが形成された形状であっても（中央の図面）、穴や切り欠き等のような変形が加えられていない形状であっても（右側の図面）よい。板ばねは、組み立て時の積層誤差などによる影響を減らすためには、積層誤差を吸収できるほど十分に変形させた状態で設置することが望ましい。ところが、板ばねを大きく変形させた状態で設置する場合には回転移動部７へ与えられる不釣合圧力の影響を微細な範囲内で調整することが難しくなる可能性がある。よって、このような場合は、板ばねに穴や、切り欠き等に変形を加えることで、ばね定数を小さく調整した板ばねを使用するのがより効果的である。しかし、板ばね１５の最適形状は回転移動部７の形状によるもので、例えば、不釣合圧力の影響を比較的に広い範囲で調整する必要がある回転移動部に対しては、穴が開いていない、ばね定数が比較的に大きい板ばねを使用するなど、適宜対応する必要がある。
【００４７】
一方、第２の実施例の真空蒸着装置１も、第１の実施例と同様、板ばね１５による、大気圧と反対方向への回転軸７２１の移動を許容範囲以内で規制する移動規制手段をさらに含むことができる。移動規制手段としてのストッパー１３は、第１の実施例と同様に構成でき、詳しい説明は省略する。
【００４８】
（第３の実施例）
【００４９】
以下、図５を参照して、本発明による第３の実施例の構成を説明する。
【００５０】
本発明の第３の実施例は、真空チャンバー３の底面の開口３１に対向する回転移動部７（第１アーム７２の一端側）の内壁に作用する不釣合圧力（大気圧）を反対方向に相殺させる力付与手段として、伸縮部材であるベローズ１６を利用している点が前述の実施例と異なる。それ以外の構成は前述の実施例の構成と同様であるので、同一の構成に対する説明は省略する。
【００５１】
第３の実施例では、内部空間が大気と連通された伸縮部材（ベローズ）を使用し、真空チャンバーの真空排気時、前記内部空間内外の圧力差によって伸縮部材を回転移動部７に対して、回動の軸に沿った方向、かつ、真空チャンバーの内側から外側への方向に膨張させ、不釣合圧力（大気圧）と反対方向の力を回転移動部７に提供する。具体的に、図５（ａ）に示したように、回転軸７２１の上端部の真空チャンバー３内の空間において、両端部が回転軸７２１と真空チャンバー３を構成する面にそれぞれ接する伸縮部材１６が設けられている。伸縮部材１６は、回転移動部７に対して、回動の軸に沿った方向の面は伸縮可能なベローズで構成され、回転軸７２１及び真空チャンバー３を構成する面にそれぞれ接続されて構成されている。回転軸７２１と接触する下面は、回転軸７２１の内部に形成された空間を通じて装置外部の大気と連通されるように構成されている。つまり、伸縮部材１６は回転軸７２１と真空チャンバー３との間のチャンバー内の空間に設置され、装置の真空排気時にその外部は真空状態にあり、一方、伸縮部材１６の内部空間は回転軸７２１の内部と連通されることによって大気状態にあるように形成される。
【００５２】
言い換えると、蒸着工程のため装置が真空排気されると、排気と同時に伸縮部材１６の内外部空間には圧力差が自動的に発生し、この圧力差によって伸縮部材１６には回転移動部７に対して、回動の軸に沿った方向に膨張しようとする力が発生することになる。この時、前述のように、伸縮部材１６の上面は剛性が大きい固定された真空チャンバー３を構成する面に接触されているため、チャンバー３側の面に作用する力はその反力として下方に向うようになり、よって伸縮部材１６の長手方向の膨張力は主に下面に接した回転軸７２１の方へ作用することになる。したがって、前述の実施例と同様に、真空チャンバー３の底面側開口３１と対向する回転移動部７（第１アーム７２の一端側）の内側壁に不釣合圧力としての大気圧が印加されても、回転軸７２１（及びこれに連結された回転移動部７）に対して、伸縮部材１６の回転移動部７対して、回動の軸に沿った方向の膨張力を通じて大気圧に相応する反対方向の反力を同一軸線上で提供することができる。
【００５３】
これにより、前述の実施例と同様に、回転移動部７に作用する予期せぬ回転モーメントを抑制することができ、アーム連結部位の磁性流体シールの破壊及び真空チャンバー３の圧力上昇を防止する同一の効果が得られる。
【００５４】
一方、本実施例では、前述のように、蒸着工程のため真空チャンバー３が真空に排気される時のみ伸縮部材１６の内外部の圧力差を利用して不釣合圧力としての大気圧を相殺させる力を回転軸７２１に提供し、メンテナンスなどのため真空チャンバー３が大気圧状態にある時（つまり、伸縮部材１６の内外部の圧力差が無い場合）には回転軸７２１に別途
の力を提供しない構成となっている。この点、真空チャンバー３の真空排気状態と関係なく回転軸７２１に力を提供する前述の実施例の構成と異なり、したがって、本実施例では前述の実施例とは違って、主に真空チャンバー３の大気圧状態時の回転軸７２１の移動を所定範囲内で規制するためのストッパーなどの移動規制手段は設置しなくてもよい。
【００５５】
本実施例における伸縮部材１６は、回転軸７２１の周囲に一体化された一つのリング（ｒｉｎｇ）形状でもよいし、複数の分離された伸縮部材を回転軸７２１周囲に環状に配置してもよい。つまり、真空排気時の不釣合圧力としての大気圧を相殺する反対方向の力を同一軸線上で提供できるのであれば、伸縮部材の配置形状は特に限定されない。
【００５６】
以上、実施例の構成に基づいて本発明を説明したが、本発明は、多様な変形例の構成を有することができる。例えば、以上説明した実施例では、真空チャンバー３を構成する底面と蒸発源ユニット２との間に回転移動部７を設置する構成を中心に説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、蒸発源ユニット２が真空チャンバー３を構成する底面ではなく上面または側面などの壁面に隣接するように設置され、回転移動部７が蒸発源ユニット２と真空チャンバーを構成する上面または側面との間に設置される場合や、回転移動部７が真空チャンバー内に設置される他の移動体に電源や配線を供給するため、真空チャンバーを構成する面と当該移動体間に設置される場合にも適用することができる。本発明は、これらの各構成において、回転移動部に対し、前述の各実施形態による力付与手段を提供することによって、移動体に発生し得る予期せぬ回転モーメントを効果的に防止することができる。このような力付与手段が提供された回転移動部、即ち、回転移動部と力付与手段をまとめて、「移動体支持装置」と称することとし、本発明は、この移動体支持装置及びこれを備えた真空蒸着装置に適用することができる。
【００５７】
（本発明の真空蒸着装置を用いるデバイスの製造方法）
【００５８】
以下では、図１、６を参照して、本発明の真空蒸着装置を用い、デバイスを製造する方法について具体的に説明する。
【００５９】
まず、制御部（不図示）は、前記真空チャンバー３を真空に排気する（Ｓ０）。続いて、蒸発源２１内の蒸着材料を気化するために、蒸発源２１に設けられた加熱装置を電源２１６によって制御する。この時、蒸発源２１に設けられたシャッター（不図示）は閉じられており、気化された蒸着材料は真空チャンバー３内に放出しないようになっている。シャッターが閉じられた状態で、蒸発源２１に設けられた加熱装置の電源を入れる（Ｓ１）。被蒸着体に蒸着しようとするパターンが形成されたマスク２１４が、搬送手段（不図示）によって、真空チャンバー３内に搬入され、マスクを保持するマスクホルダー２１５に載置される。マスクホルダー２１５は、移動機構を有しており、マスク２１４の位置を所定の位置に移動させる（Ｓ２）。このとき、マスクを管理する制御部（不図示）は、マスク使用回数Ｍを１とする。
【００６０】
この状態で、蒸着材料が蒸着される対象である被蒸着体４は、搬送手段によって、真空チャンバー３内に搬入され、被蒸着体ホルダー２１３に載置される。続いて、マスク２１４に設けられたアライメントマークと被蒸着体４に設けられたアライメントマークに基づいて、マスク２１４を被蒸着体ホルダー２１３の移動機構によって移動させ、マスク２１４と被蒸着体４のアライメントを行う（Ｓ３）。被蒸着体ホルダー２１３を移動制御してマスク２１４と被蒸着体４のアライメントを行う代わりに、被蒸着体４が、真空チャンバー３内に搬入され、被蒸着体ホルダー２１３によって所定の位置に配置された後に、マスク２１４をマスクホルダー２１５によって移動し、マスク２１４と被蒸着体４とのアライメントを行ってもよい。
【００６１】
アライメント終了後、蒸発源２１のシャッターを開けて、蒸発源２１に接続する回転移動部７を動かし、マスク２１４のパターンに沿って被蒸着体４に成膜材料を蒸着する（Ｓ４）。蒸発源２１に接続する回転移動部７は、真空チャンバーを構成する底面に対して、回動可能、かつ、前記回動の軸に沿った方向に相対移動可能に連結されるので、蒸発源２１が移動しながら蒸着が行われる際に真空チャンバーを構成する面の変形が蒸発源２１の移動に及ぼす影響を低減でき、被蒸着体４への均一な厚さの蒸着を可能にする。また、蒸発源２１を動かしながら蒸着を行う間に、前述の力付与手段１１，１５，１６により、回転移動部７に対して、前記回動の軸に沿った方向、かつ、前記真空チャンバー３の内側から外側への方向に、力が付与されるようにする。これにより、蒸着工程中、回転移動部７を構成するアームの接続部に予期せず回転モーメントが作用することを防止する。
【００６２】
水晶振動子等の膜厚モニタ２１８は、蒸発レートを計測し、膜厚計２１７で膜厚に換算している。膜厚計２１７で換算された膜厚が、目標膜厚になるまで蒸着を続ける（Ｓ５）。膜厚計２１７で換算した膜厚が目標膜厚に達した後、蒸発源２１のシャッターを閉じ蒸着を終了する。その後、搬送手段によって被蒸着体４を真空チャンバー３外に搬出する（Ｓ６）。マスク２１４は、前述のマスク使用回数Ｍが、所定の回数ｎ以上（ｎ≧２）になった場合に交換を行う。使用回数Ｍが所定回数ｎより小さい場合は、Ｍ＋１とし、次の被蒸着体４を搬入し同様の工程で蒸着を行う（Ｓ７）。マスク２１４の交換頻度は、マスク２１４への蒸着材料の堆積具合等により、適宜決めることができる。
【００６３】
このような工程を経て、有機ＥＬディスプレイデバイスのようなデバイスを製造することができるが、本発明のデバイス製造方法は、これに限るものではなく、各工程の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【符号の説明】
【００６４】
１：  真空蒸着装置
２：  蒸発源ユニット
２１：  蒸発源
３：  真空チャンバー
３１：  開口
４：  被蒸着体（Ａステージ）
５：  被蒸着体（Ｂステージ）
６：  蒸発源移動機構
７：  回転移動部
７１：  中空部
７２：  第１アーム
７２１：  回転軸
７３：  第２アーム
８：  磁性流体シール
９：  オーリング
１０：  ブッシュ
１１：  圧縮コイルばね
１３：  ストッパー
１５：  板ばね
１６：  伸縮部材
【図１】
2019026932.tif 000003
【図２】
2019026932.tif 000004
【図３】
2019026932.tif 000005
【図４】
2019026932.tif 000006
【図５】
2019026932.tif 000007
【図６】
2019026932.tif 000008
【図７】
2019026932.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成30年12月14日(2018.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空蒸着装置において、
真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内に移動可能に設置される移動体と、
前記真空チャンバーを構成する面と前記移動体との間に配置されて、一端部が前記移動体に連結され、他端部が前記真空チャンバーを構成する面に回動可能に連結され、かつ、前記回動の軸に沿った方向に相対移動が可能である回転移動部とを含み、
前記真空チャンバーを構成する面は、開口を有し、
前記回転移動部は、前記開口を通じて前記真空チャンバーの外部に連通した中空部分を有し、
前記回転移動部の前記他端部側に設置され、前記回転移動部に対して、前記回動の軸に沿った方向、かつ、前記真空チャンバーの内側から外側への方向に力を提供する力付与手段を含むことを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項２】
真空蒸着装置において、
真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内に移動可能に設置される移動体と、
前記真空チャンバーを構成する面と前記移動体との間に配置されて、一端部が前記移動体に連結され、他端部が前記真空チャンバーを構成する面に回動可能に連結され、かつ、前記回動の軸に沿った方向に相対移動が可能である回転移動部とを含み、
前記真空チャンバーを構成する面は、開口を有し、
前記回転移動部は、前記開口を通じて大気開放され中空部分を有し、
前記回転移動部の前記他端部側に設置され、大気開放された前記開口に対向する前記回転移動部の内面に作用する圧力の方向とは反対方向の力を、前記回転移動部に対して提供する力付与手段を含むことを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項３】
前記力付与手段による、前記回転移動部の移動範囲を規制する移動規制手段をさらに含むことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の真空蒸着装置。
【請求項４】
前記回転移動部は、前記真空チャンバーを構成する面に形成された前記開口内に挿入さ
れる回転軸部を含み、
前記回転軸部は、オーリングを介して前記開口との間を接続され、
前記移動規制手段は、前記回転軸部と接続される前記真空チャンバーの底面から前記回転軸部の下面よりも下の位置において、前記開口の中心側に形成されたストッパーを含むことを特徴とする、請求項３に記載の真空蒸着装置。
【請求項５】
前記力付与手段は、圧縮コイルばねを含むことを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項６】
前記回転移動部は、前記真空チャンバーを構成する面に形成された前記開口内に挿入される回転軸部を含み、
前記回転軸部は、オーリングを介して前記開口との間を接続され、
前記圧縮コイルばねは、前記回転軸部の下部で放射状外側に形成されたベース部と、前記ベース部の上部で前記開口を形成する前記真空チャンバーの面との間に連結設置されることを特徴とする、請求項５に記載の真空蒸着装置。
【請求項７】
前記圧縮コイルばねは、前記回転軸部の周囲に複数設置されることを特徴とする、請求項６に記載の真空蒸着装置。
【請求項８】
前記力付与手段は、板ばねを含むことを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項９】
前記回転移動部は、前記真空チャンバーを構成する面に形成された前記開口内に挿入される回転軸部を含み、
前記回転軸部は、オーリングを介して前記開口との間を接続され、
前記板ばねは、前記回転軸部の外周を囲む形で前記回転軸部と前記真空チャンバーとの間に連結設置されることを特徴とする、請求項８に記載の真空蒸着装置。
【請求項１０】
前記回転移動部は、前記真空チャンバーを構成する面に形成された前記開口内に挿入される回転軸部を含み、
前記回転軸部は、オーリングを介して前記開口との間を接続され、
前記力付与手段は、大気と連通された内部空間を有し、前記内部空間内外の圧力差により膨張することによって、前記回転移動部の前記回転軸部に対して、前記力を提供する伸縮部材を含むことを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項１１】
前記伸縮部材はベローズであることを特徴とする、請求項１０に記載の真空蒸着装置。
【請求項１２】
前記伸縮部材は、前記回転軸部外部の前記真空チャンバー内の空間において、両端部が前記回転軸部と前記真空チャンバーにそれぞれ接して設けられ、前記回転軸部と接した端部を通じて前記伸縮部材の内部空間が大気と連通されることを特徴とする、請求項１０または１１に記載の真空蒸着装置。
【請求項１３】
前記伸縮部材は、前記回転軸部の周囲に複数設置されることを特徴とする、請求項１０乃至請求項１２のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項１４】
前記伸縮部材は、前記回転軸部の周囲に一つのリング（ｒｉｎｇ）形状に設置されることを特徴とする、請求項１０乃至請求項１２のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項１５】
前記回転移動部は、前記真空チャンバーを構成する面に形成された前記開口内に挿入さ
れる回転軸部を含み、
前記回転軸部は、オーリングを介して前記開口との間を接続され、
前記回転移動部は、前記真空チャンバーを構成する面に一端が回動可能に連結された第１アームと、前記第１アームの他端に一端が回動可能に連結され且つ前記移動体に他端が回動可能に連結された第２アームを含み、
前記第１アームの一端が前記回転軸部を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項１４のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項１６】
前記移動体は、前記真空チャンバー内の被蒸着体に蒸着される蒸着物質が収容される蒸発源を含む蒸発源ユニットであることを特徴とする請求項１乃至請求項１５のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項１７】
前記回転移動部内のアーム連結部位は、磁性流体シールからなる接続部材によって連結されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１６のいずれか一項に記載の真空蒸着装置。
【請求項１８】
真空領域内に移動可能に設置される移動体を支持する移動体支持装置であって、
前記真空領域に設置される回転移動部と、力付与手段とを有し、
前記回転移動部は、内部が空洞となった中空部分を有し、前記中空部分は、前記真空領域の外側と接続され、
前記回転移動部は、一端部が前記移動体に連結され、他端部が前記真空領域を構成する面に回動可能に連結され、かつ、前記回動の軸に沿った方向に相対移動が可能であり、
前記力付与手段は、前記回転移動部に対して、前記回動の軸に沿った方向、かつ、前記真空領域から前記真空領域の外側への方向に力を提供することを特徴とする移動体支持装置。
【請求項１９】
真空チャンバーにおいて被蒸着体に蒸発源ユニットに収納された蒸着物質を蒸着する蒸着方法であって、
前記真空チャンバーを真空にする第１の工程と、
前記蒸発源ユニットのシャッターをあけて、前記蒸発源ユニットに接続する回転移動部を動かし、前記被蒸着体に蒸着を行う第２の工程と、を含み、
前記第２の工程において、前記回転移動部に対して、回転の軸に沿った方向、かつ、前記真空チャンバーの内側から外側への方向に力を付与することを特徴とする蒸着方法。
【請求項２０】
前記第１の工程と前記第２の工程との間に、
前記蒸発源ユニットのシャッターを閉じた状態で、前記蒸発源ユニットの加熱装置に電源を入れる第３の工程と、
前記真空チャンバー内にマスクを搬入する第４の工程と、
前記真空チャンバーに被蒸着体をいれ、前記マスクと前記被蒸着体のアライメントを行う第５の工程と、をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の蒸着方法。