(57)【要約】【課題】回収流路に滞留する気泡の排出性を向上する。【解決手段】液体を吐出する複数のノズル４と、ノズル４に通じる複数の個別液室６と、ノズル連通路５を介して個別液室６に通じる複数の個別回収流路４１とを備え、ノズル４から液体を吐出した後、圧電素子１２Ａに与える電圧を基準電位に戻すことによって振動板３の振動領域３０が初期位置に復元し、個別液室６が膨張して負圧が発生し、個別液室６への液体再供給（リフィル）が行われるときに、個別回収経路４１側からも液体が個別液室６にリフィルされるように、吐出量を設定し、流路を構成している。【選択図】図８
2019181935.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズルと、
前記ノズルに通じる個別液室と、
前記個別液室に通じる個別供給流路と、
前記個別液室に通じる個別回収流路と、を含む液体吐出ヘッドを備え、
前記ノズルから液体を吐出させるときに前記個別回収流路内の前記液体が逆流する
ことを特徴とする液体を吐出する装置。
【請求項２】
前記液体吐出ヘッドは、前記個別液室から前記個別回収流路に向かう液体の流れを回収方向とするとき、前記回収方向において、前記個別回収流路の下流側にはフィルタ部材が配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体を吐出する装置。
【請求項３】
前記液体吐出ヘッドを駆動制御するヘッド駆動制御手段を備え、
前記ヘッド駆動制御手段は、前記液体吐出ヘッドから前記液体を吐出させるとき、前記個別回収流路内の前記液体が逆流する吐出量で前記液体吐出ヘッドを駆動制御する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、個別液室（圧力室）に供給された液体の内の吐出されなかった液体を、個別回収流路を通じて回収して、個別液室内に混入した気泡の排出性の向上及び液体の特性変化の抑制を図る個別液室（圧力室）循環型ヘッドが知られている。
【０００３】
例えば、インク導入口からインクが供給されるインク供給流路と、インク排出口にインクを排出するインク排出流路と、インク供給流路とインク排出流路とを連通し、インクを吐出するノズルを有するインク室と、インク室の振動板を変位させ、インク室内のインクに圧力を加える圧電アクチュエータとを備えるものが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５０４５８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、個別液室循環型液体吐出ヘッドにおいても、個別回収流路内の気泡や個別回収流路の下流側などに配置される回収側フィルタに付着した気泡の排出性が十分でないという課題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、気泡排出性を向上することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出するノズルと、
前記ノズルに通じる個別液室と、
前記個別液室に通じる個別供給流路と、
前記個別液室に通じる個別回収流路と、を含む液体吐出ヘッドを備え、
前記ノズルから液体を吐出させるときに前記個別回収流路内の前記液体が逆流する
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、気泡排出性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の一例の概略説明図である。
【図２】同印刷装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。
【図３】液体吐出ヘッドの一例のノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。
【図４】同じくノズル配列方向に沿う方向（液室短手方向）の断面説明図である。
【図５】液体循環装置の一例のブロック説明図である。
【図６】液体吐出ヘッドを駆動制御するヘッド駆動制御装置の一例のブロック説明図である。
【図７】同ヘッド駆動制御装置の説明に供する駆動波形の一例の説明図である。
【図８】本発明の第１実施形態における液体の吐出を行うときの逆流の説明に供する断面説明図である。
【図９】同じく単位時間当たりの吐出量及び液体の流れの方向並びに気泡排出性について説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の一例について図１及び図２を参照して説明する。図１は同印刷装置の概略説明図、図２は同印刷装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。
【００１１】
この液体を吐出する装置である印刷装置５００は、連続体５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連続体５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連続体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連続体５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連続体５１０を搬出する搬出手段５０９などを備えている。
【００１２】
連続体５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。
【００１３】
この連続体５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上をヘッドユニット５５０及びヘッドユニット５５５に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が形成され、ヘッドユニット５５５から吐出される処理液で後処理が行われる。
【００１４】
ここで、ヘッドユニット５５０には、例えば、搬送方向上流側から、４色分のフルライン型ヘッドアレイ５５１Ａ、５５１Ｂ、５５１Ｃ、５５１Ｄ（以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ５５１」という。）が配置されている。
【００１５】
各ヘッドアレイ５５１は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続体５１０に対してブラックＫ，シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。
【００１６】
ヘッドアレイ５５１は、例えば、液体を吐出する液体吐出ヘッド（これを、単に「ヘッド」ともいう。）１００をベース部材５５２上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。
【００１７】
次に、液体吐出ヘッドの一例について図３及び図４を参照して説明する。図３は同液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図、図４は同じくノズル配列方向に沿う方向（液室短手方向）の断面説明図である。
【００１８】
この液体吐出ヘッド１００は、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材としての振動板３とを積層接合している。そして、振動板３を変位させる圧電アクチュエータ１１と、フレーム部材としての共通流路部材２０を備えている。
【００１９】
ノズル板１は、液体を吐出する複数のノズル４を有している。ここでは、複数のノズル４を配列したノズル列を二列有しているが、一列のノズル列に含まれるノズル４のみを図示している。
【００２０】
流路板２は、ノズル４にノズル連通路５を介して通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７に通じる液導入部８となる貫通穴や溝部を形成している。ノズル連通路５は、ノズル４と個別液室６にそれぞれ連なって通じる流路である。また、流体抵抗部７及び液導入部８が個別供給流路を構成している。
【００２１】
振動板３は、流路板２の個別液室６の壁面を形成する変形可能な振動領域３０を有する。
【００２２】
そして、この振動板３の個別液室６とは反対側に、振動板３を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。
【００２３】
この圧電アクチュエータ１１は、ノズル配列方向に沿って所定の間隔で配置された所要数の柱状の電気機械変換素子である圧電素子（圧電柱）１２Ａ、１２Ｂを有し、圧電素子１２Ａは振動領域３０に接合されている。
【００２４】
また、流路板２には、個別液室６にノズル連通路５を介して通じる個別回収流路４１が設けられ、個別回収流路４１は流路板２を貫通する液導出部４４が形成されている。
【００２５】
共通流路部材２０には、共通供給流路１０及び共通回収流路４５が形成されている。共通供給流路１０は、振動板３で形成した供給側フィルタ９１を介して液導入部８に通じている。共通回収流路４５は、振動板３で形成した回収側フィルタ９２を介して液導出部４４に通じている。
【００２６】
この液体吐出ヘッド１００においては、例えば圧電素子１２Ａに与える電圧を基準電位から下げることによって圧電素子１２Ａが収縮し、振動板３の振動領域３０が引かれて個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入する。
【００２７】
その後、圧電素子１２Ａに印加する電圧を上げて圧電素子１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板３をノズル４に向かう方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させることにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液体が吐出される。
【００２８】
そして、圧電素子１２Ａに与える電圧を基準電位に戻すことによって振動板３の振動領域３０が初期位置に復元し、個別液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通供給流路１０及び個別回収流路４１側から個別液室６内に液体が充填される（リフィル）。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の吐出のための動作に移行する。
【００２９】
また、ノズル４から吐出されない液体は、ノズル４を通過して個別回収流路４１、液導出部４４、回収側フィルタ９２を経て共通回収流路４５に回収される。そして、共通回収流路４５から外部の循環経路を通じて共通供給流路１０に再度供給される。また、液体吐出を行っていないときも、共通供給流路１０から共通回収流路４５に流れ、更に外部の循環経路を通じて共通供給流路１０に再度供給される。
【００３０】
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。
【００３１】
次に、液体循環装置の一例について図５を参照して説明する。図５は同循環装置のブロック説明図である。なお、ここでは１つのヘッドのみ図示しているが、図２に示すように、複数のヘッドを配列する場合には、マニホールドなどを介して複数のヘッドの供給側、回収側にそれぞれ供給側液体経路、回収側液体経路を接続することになる。
【００３２】
液体循環装置６００は、供給タンク６０１、回収タンク６０２、メインタンク６０３、第１送液ポンプ６０４、第２送液ポンプ６０５、コンプレッサ６１１、レギュレータ６１２、真空ポンプ６２１、レギュレータ６２２、供給側圧力センサ６３１、回収側圧力センサ６３２などで構成されている。
【００３３】
ここで、コンプレッサ６１１及び真空ポンプ６２１は、供給タンク６０１内の圧力と回収タンク６０２内の圧力とに差圧を生じさせる手段を構成している。
【００３４】
供給側圧力センサ６３１は、供給タンク６０１とヘッド１００との間であって、ヘッド１００の供給ポート２１に繋がった供給側液体経路に接続されている。回収側圧力センサ６３２は、ヘッド１００と回収タンク６０２との間であって、ヘッド１００の回収ポート２２に繋がった回収側液体経路に接続されている。
【００３５】
回収タンク６０２の一方は、第１送液ポンプ６０４を介して供給タンク６０１と接続されており、回収タンク６０２の他方は第２送液ポンプ６０５を介してメインタンク６０３と接続されている。
【００３６】
これにより、供給タンク６０１から供給ポート２１を通ってヘッド１００内に液体が流入し、回収ポート２２から回収タンク６０２へ回収され、第１送液ポンプ６０４によって回収タンク６０２から供給タンク６０１へ液体が送られることによって、液体が循環する循環経路が構成される。
【００３７】
ここで、供給タンク６０１にはコンプレッサ６１１がつなげられており、供給側圧力センサ６３１で所定の正圧が検知されるように制御される。一方、回収タンク６０２には真空ポンプ６２１がつなげられており、回収側圧力センサ６３２で所定の負圧が検知されるよう制御される。
【００３８】
これにより、ヘッド１００内を通って液体を循環させつつ、メニスカスの負圧を一定に保つことができる。
【００３９】
また、ヘッド１００のノズル４から液体を吐出すると、供給タンク６０１及び回収タンク６０２内の液体量が減少していく。そのため、適宜、第２送液ポンプ６０５を用いて、メインタンク６０３から回収タンク６０２に液体を補充する。
【００４０】
なお、メインタンク６０３から回収タンク６０２への液体補充のタイミングは、回収タンク６０２内の液体の液面高さが所定高さよりも下がったときに液体補充を行うなど、回収タンク６０２内に設けた液面センサなどの検知結果によって制御することができる。
【００４１】
次に、液体吐出ヘッドを駆動制御するヘッド駆動制御装置の一例について図６及び図７を参照して説明する。図６は同ヘッド駆動制御装置のブロック説明図、図８は同じく駆動波形の一例の説明図である。
【００４２】
ヘッド駆動制御装置７００は、駆動波形生成部７０１と、ヘッド制御部７０２と、波形データ格納部７０３と、ヘッドドライバ７０９とを含んでいる。
【００４３】
波形データ格納部７０３は、ＲＯＭなどで構成され、駆動波形のデータが格納されている。駆動波形生成部７０１は、波形データ格納部７０３から読み出される駆動波形のデータをＤ／Ａ変換するＤ／Ａ変換部、変換した駆動波形の信号を電流増幅、電圧増幅する増幅手段などを含み、共通駆動波形Ｖｃｏｍを生成して出力する。ここで、駆動波形生成部７０１からは、１印刷周期（１駆動周期）内に、液体を吐出させる１又は複数の駆動パルス（駆動信号）が時系列で配置された駆動波形Ｖｃｏｍを生成出力する。
【００４４】
ヘッド制御部７０２は、印刷画像の画像データに応じた２ビットの画像データ（階調信号０、１）と、クロック信号、ラッチ信号、駆動波形を構成する駆動パルスを選択する選択信号（滴制御信号）１〜４を出力する。
【００４５】
ここで、駆動波形生成部７０１からは、１印刷周期（１駆動周期）内に、液体を吐出させる１又は複数の駆動パルス（駆動信号）が時系列で配置された駆動波形Ｖｃｏｍが生成出力される。
【００４６】
なお、選択信号１〜４は、ヘッドドライバ７０９のスイッチ手段であるアナログスイッチＡＳの開閉を滴毎に指示する信号である。駆動波形ＰＶの印刷周期（駆動周期）に合わせて選択すべき駆動パルス（又は波形要素で）Ｈレベル（ＯＮ）に状態遷移し、非選択時にはＬレベル（ＯＦＦ）に状態遷移する。
【００４７】
ヘッドドライバ５０９は、シフトレジスタ７１１と、ラッチ回路７１２と、デコーダ７１３と、レベルシフタ７１４と、アナログスイッチアレイ７１５とを備えている。
【００４８】
シフトレジスタ７１１は、ヘッド制御部７０２からの転送クロック（シフトクロック）及びシリアル画像データ（階調データ：２ビット／１チャンネル（１ノズル）を入力する。ラッチ回路７１２は、シフトレジスタ７１１の各レジスト値をラッチ信号によってラッチする。
【００４９】
デコーダ７１３は、階調データと選択信号をデコードして結果を出力する。レベルシフタ７１４は、デコーダ７１３のロジックレベル電圧信号をアナログスイッチアレイ７１５のアナログスイッチＡＳが動作可能なレベルへとレベル変換する。
【００５０】
アナログスイッチアレイ７１５のアナログスイッチＡＳは、レベルシフタ７１４を介して与えられるデコーダ７１３の出力でオン／オフ（開閉）される。
【００５１】
アナログスイッチアレイ７１５のアナログスイッチＡＳは、圧電素子１２Ａの個別電極に接続され、駆動波形生成部７０１からの駆動波形Ｖｃｏｍが入力されている。したがって、シリアル転送された画像データ（階調データ）と選択信号をデコーダ７１３でデコードした結果に応じてアナログスイッチＡＳがオンにする。これにより、駆動波形ＰＶを構成する所要の駆動信号である駆動パルス（あるいは波形要素）が通過して（選択されて）、圧電素子１２Ａの個別電極に与えられる。
【００５２】
例えば、図７に示すように、駆動波形Ｖｃｏｍは、４つの駆動パルス（駆動信号）Ｐ１〜Ｐ４を時系列で含んでいる。駆動パルスＰ１は、液体を吐出させない程度にメニスカスを振動させる微駆動パルス（非吐出パルス）である。駆動パルスＰ２〜Ｐ４は、液体を吐出させる吐出パルスである。
【００５３】
そして、選択信号１〜４によって所要の駆動パルスＰ１〜Ｐ４を選択する。これにより、液体吐出ヘッド１００の圧電素子１２Ａに印加される波形として、非吐出パルスＰ１で非吐出駆動波形を、吐出パルスＰ４で小滴用吐出駆動波形を、吐出パルスＰ３、Ｐ４で中滴用吐出駆動波形を、吐出パルスＰ２〜Ｐ４で大滴用吐出駆動波形を形成することができる。
【００５４】
このように、複数の駆動信号を生成出力し、複数の駆動信号の１又は２以上の駆動信号を選択することで、小滴、中滴及び大滴という大きさの異なる液滴を形成することができる。そして、駆動波形Ｖｃｏｍの吐出パルスＰ４は、いずれの大きさの液滴を形成する場合にも共通して選択される駆動信号（吐出パルス）となる。
【００５５】
次に、本発明の第１実施形態について図８及び図９も参照して説明する。図８は液体の吐出を行うときの逆流の説明に供する断面説明図、図９は単位時間当たりの吐出量及び液体の流れの方向並びに気泡排出性について説明する説明図である。
【００５６】
まず、前述したように、ノズル４から液体を吐出していないときには、図３に矢印で示すように共通供給流路１０側から個別液室６、個別回収流路４１、共通回収流路４５と液体が流れ、外部の循環装置６００を経て、液体吐出ヘッド１００の共通供給流路１０に液体が戻されている。
【００５７】
そして、ノズル４から液体を吐出した後、圧電素子１２Ａに与える電圧を基準電位に戻すことによって振動板３の振動領域３０が初期位置に復元し、個別液室６が膨張して負圧が発生し、個別液室６への液体再供給（リフィル）が行われる。
【００５８】
このとき、ノズル４からの吐出量に対して共通供給流路１０側からの液体供給が間に合わないときには、図８に矢印で示すように、個別回収経路４１側からも液体が個別液室６にリフィルされるようになる。
【００５９】
つまり、液体を吐出した後のリフィル動作で、個別回収経路４１側の液体が逆流するように吐出量を設定し、流路を構成している。
【００６０】
この液体の逆流によって個別回収流路４１の壁面や回収側フィルタ９２に付着している気泡が一旦引きはがされるので、気泡排出性が向上する。
【００６１】
この場合、個別液室６への供給量ごとに逆流が起きる吐出量を予め実験で求め、実験に基づいて得られる逆流の吐出量を格納手段（メモリ）に記憶しておき、ヘッド制御部７０２は逆流させたいタイミングで格納されている吐出量よりも多い吐出を行わせるような信号を出力させる。
【００６２】
ここで、各吐出条件における個別供給流路の流量（供給流量）と個別回収流路の流量（回収流量）並びに気泡排出までの駆動回数の一例を図９に示している。なお、図９において流量がマイナスの値であるときには、逆流していることを示している。
【００６３】
この図９から分かるように、吐出滴量×吐出周波数で得られる単位時間（分）当たりの吐出量を多くするほど、逆流する流量が増加し、気泡排出までの駆動回数が少なくなり、気泡排出性が向上する。
【００６４】
また、ノズル４から吐出する滴量（吐出滴量）に対して個別液室６からノズル４側に供給される供給量を少なくすることで、ノズル４からの滴吐出時にも、個別回収流路４１からノズル４側への液体の逆流を生じさせることができる。
【００６５】
この逆流によっても、個別回収流路４１の壁面や回収側フィルタ９２に付着している気泡が一旦引きはがされるので、気泡排出性が向上する。
【００６６】
なお、滴吐出時やリフィルが生じる毎に、個別回収流路４１からの液体の逆流が生じるようにする必要はない。例えば、前述したように複数サイズの滴を吐出できるとき、大滴を吐出するときだけ、吐出量及び流路構成によって滴吐出時やリフィル時に逆流が生じるようにすることもできる。
【００６７】
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【００６８】
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
【００６９】
また、「液体を吐出する装置」には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【００７０】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【００７１】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【００７２】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【００７３】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【００７４】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【００７５】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【００７６】
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【００７７】
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【００７８】
１００  液体吐出ヘッド
１  ノズル板
４  ノズル
２  流路板
３  振動板
６  個別液室
１０  共通供給流路
１２  圧電部材
１２Ａ，１２Ｂ  圧電素子
２０  共通流路部材
４１  個別回収流路
４５  共通回収流路
５００  印刷装置（液体を吐出する装置）
５５０  ヘッドユニット
６００  液体循環装置
【図１】
2019181935.tif 000003
【図２】
2019181935.tif 000004
【図３】
2019181935.tif 000005
【図４】
2019181935.tif 000006
【図５】
2019181935.tif 000007
【図６】
2019181935.tif 000008
【図７】
2019181935.tif 000009
【図８】
2019181935.tif 000010
【図９】
2019181935.tif 000011