(57)【要約】【課題】搬送精度を向上させることが可能な搬送システムを提供すること。【解決手段】一実施形態の搬送システムは、被処理体を保持して搬送するフォークと、被処理体の搬送先又は搬送元である載置台と、を備える被処理体の搬送システムであって、前記フォークは、前記被処理体の裏面に接触して保持する複数の保持部を有し、前記載置台は、前記フォークとの間で前記被処理体の受け渡しを行う複数の支持部を有し、前記複数の保持部と前記複数の支持部との相対位置は、前記被処理体を前記フォークと前記載置台との間で受け渡す位置において、前記複数の保持部のうち一の保持部と前記一の保持部に隣接する２つの支持部とを結ぶ２つの線分がなす角度が、前記一の保持部と前記一の保持部に隣接する２つの保持部とを結ぶ２つの線分がなす角度以上である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を保持して搬送するフォークと、被処理体の搬送先又は搬送元である載置台と、を備える被処理体の搬送システムであって、
前記フォークは、前記被処理体の裏面に接触して保持する複数の保持部を有し、
前記載置台は、前記フォークとの間で前記被処理体の受け渡しを行う複数の支持部を有し、
前記複数の保持部と前記複数の支持部との相対位置は、前記被処理体を前記フォークと前記載置台との間で受け渡す位置において、
前記複数の保持部のうち一の保持部と前記一の保持部に隣接する２つの支持部とを結ぶ２つの線分がなす角度が、前記一の保持部と前記一の保持部に隣接する２つの保持部とを結ぶ２つの線分がなす角度以上である、
搬送システム。
【請求項２】
前記被処理体を前記フォークと前記載置台との間で受け渡す位置は、前記複数の保持部を結んで形成される多角形の重心と、前記複数の支持部を結んで形成される多角形の重心と、が一致する位置である、
請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記複数の保持部は３つであり、前記複数の支持部は３つである、
請求項１又は２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記複数の保持部は、前記被処理体の裏面との間の摩擦係数が０．２以上である、
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記複数の保持部は、ショア硬度が１００以下である、
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記複数の保持部は、フッ素ゴムにより形成されている、
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記複数の保持部は、前記被処理体を保持する保持面を有し、
前記保持面は、前記フォークの上面に対して傾斜して設けられている、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項８】
前記複数の保持部の各々は、前記複数の保持部の中心を通る仮想円の周方向に対して所定の角度で傾斜して設けられている、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項９】
被処理体を保持して搬送するフォークを有する搬送室と、
前記被処理体を載置する載置台を有する載置室と、
を備え、
前記フォークは、前記被処理体の裏面に接触して保持する複数の保持部を有し、
前記載置台は、前記フォークとの間で前記被処理体の受け渡しを行う複数の支持部を有し、
前記複数の保持部と前記複数の支持部との相対位置は、前記被処理体を前記フォークと前記載置台との間で受け渡す位置において、
前記複数の保持部のうち一の保持部と前記一の保持部に隣接する２つの支持部とを結ぶ２つの線分がなす角度が、前記一の保持部と前記一の保持部に隣接する２つの保持部とを結ぶ２つの線分がなす角度以上である、
基板処理システム。
【請求項１０】
前記搬送室は、大気圧雰囲気に保持されている、
請求項９に記載の基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システム及び基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のモジュール間でウエハの搬送を行う搬送機構を備える基板処理システムが知られている。基板処理システムでは、搬送機構が各モジュール内へウエハを搬入し、各モジュール内に配置された載置台から突出するリフトピンへウエハを受け渡す。搬送機構は、旋回及び伸縮が可能なアームと、アームの先端に設けられウエハを保持するフォークとを有し、アームが旋回及び伸縮することにより複数のモジュール間でウエハの搬送を行う。
【０００３】
このような搬送機構によりウエハを高速で搬送すると、停止時の衝撃でウエハの位置ずれが発生する場合がある。そこで従来では、位置ずれを防止するために、フォークの上面に、ウエハの裏面に接触してウエハを保持するパッドを設けた搬送機構が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−９９５４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の搬送機構では、パッドがウエハの裏面に固着する場合がある。パッドがウエハの裏面に固着すると、各モジュールの載置台から突出するリフトピンへウエハを受け渡す際、ウエハがリフトピンの上で振動して位置ずれが発生し、搬送精度が低下する場合がある。
【０００６】
そこで、上記課題に鑑み、搬送精度を向上させることが可能な搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る搬送システムは、被処理体を保持して搬送するフォークと、被処理体の搬送先又は搬送元である載置台と、を備える被処理体の搬送システムであって、前記フォークは、前記被処理体の裏面に接触して保持する複数の保持部を有し、前記載置台は、前記フォークとの間で前記被処理体の受け渡しを行う複数の支持部を有し、前記複数の保持部と前記複数の支持部との相対位置は、前記被処理体を前記フォークと前記載置台との間で受け渡す位置において、前記複数の保持部のうち一の保持部と前記一の保持部に隣接する２つの支持部とを結ぶ２つの線分がなす角度が、前記一の保持部と前記一の保持部に隣接する２つの保持部とを結ぶ２つの線分がなす角度以上である。
【発明の効果】
【０００８】
開示の搬送システムによれば、搬送精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送システムが適用される基板処理システムの概略図
【図２】本発明の実施形態に係る搬送システムの第１構成例を示す図
【図３】フォークの上面に設けられたパッドの形状を説明するための図（１）
【図４】フォークの上面に設けられたパッドの形状を説明するための図（２）
【図５】フォークの上面に設けられたパッドの形状を説明するための図（３）
【図６】フォークの上面に設けられたパッドの形状を説明するための図（４）
【図７】本発明の実施形態に係る搬送システムの第２構成例を示す図
【図８】本発明の実施形態に係る搬送システムの第３構成例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く。
【００１１】
〔基板処理システム〕
本発明の実施形態に係る搬送システムが適用される基板処理システムの一例として、枚葉で被処理体であるウエハにプラズマ処理等の各種処理を施すことが可能な基板処理システムについて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る搬送システムが適用される基板処理システムの概略図である。図１においては、説明の便宜上、基板処理システムの各モジュールの天板等の図示を省略している。
【００１２】
図１に示されるように、基板処理システム１は、トランスファモジュール１０と、６つのプロセスモジュール２０と、ローダモジュール３０と、２つのロードロックモジュール４０と、を備える。
【００１３】
トランスファモジュール１０は、平面視において略五角形状を有する。トランスファモジュール１０は、真空室からなり、内部に搬送機構１１が配置されている。搬送機構１１は、ガイドレール（図示せず）と、２つのアーム１２と、各アーム１２の先端に配置されてウエハＷを支持するフォーク１３と、を有する。各アーム１２は、スカラアームタイプであり、旋回、伸縮自在に構成されている。搬送機構１１は、ガイドレールに沿って移動し、プロセスモジュール２０やロードロックモジュール４０の間でウエハＷを搬送する。
【００１４】
プロセスモジュール２０は、トランスファモジュール１０の周りに放射状に配置されてトランスファモジュール１０に接続されている。プロセスモジュール２０は、真空室からなり、内部に配置された円柱状のステージ２１を有する。ステージ２１は、上面から突出自在な複数の細棒状の３つのリフトピン２２を有する。各リフトピン２２は平面視において同一円周上に配置され、ステージ２１の上面から突出することによってステージ２１に載置されたウエハＷを支持して持ち上げると共に、ステージ２１内へ退出することによって支持するウエハＷをステージ２１へ載置させる。プロセスモジュール２０は、ステージ２１にウエハＷが載置された後、内部を減圧して処理ガスを導入し、さらに内部に高周波電力を印加してプラズマを生成し、プラズマによってウエハＷにプラズマ処理を施す。トランスファモジュール１０とプロセスモジュール２０とは、開閉自在なゲートバルブ２３で仕切られている。
【００１５】
ローダモジュール３０は、トランスファモジュール１０に対向して配置されている。ローダモジュール３０は、直方体状であり、大気圧雰囲気に保持された大気搬送室である。ローダモジュール３０の長手方向に沿った一の側面には、２つのロードロックモジュール４０が接続されている。ローダモジュール３０の長手方向に沿った他の側面には、３つのロードポート３１が接続されている。ロードポート３１には、複数のウエハＷを収容する容器であるＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod)が載置される。ローダモジュール３０の短手方向に沿った一の側面には、アライナ３２が接続されている。また、ローダモジュール３０内には、搬送機構３５が配置されている。
【００１６】
アライナ３２は、内部に配置された円柱状のステージ３３を有する。ステージ３３には、上面から突出した複数の細棒状の３つの突起部３４が設けられている。各突起部３４は、平面視において同一円周上に配置され、ステージ３３が上昇（または、アーム３６が下降）することによってウエハＷを支持して持ち上げる。アライナ３２は、ロードロックモジュール４０に対するウエハＷの搬送位置の調整のために用いられる。具体的には、アライナ３２は、ウエハＷの中心位置及びウエハＷの中心に対するウエハＷのノッチの方向を検出し、ロードロックモジュール４０内においてウエハＷの中心位置及びノッチの方向が所定位置及び所定方向となるようにウエハＷの搬送位置を調整する。
【００１７】
搬送機構３５は、ガイドレール（図示せず）と、アーム３６と、アーム３６の先端に配置されてウエハＷを支持するフォーク３７と、を有する。アーム３６は、スカラアームタイプであり、ガイドレールに沿って移動自在に構成されると共に、旋回、伸縮自在に構成される。ローダモジュール３０では、搬送機構３５が各ロードポート３１に載置されたＦＯＵＰ（図示せず）、アライナ３２、及びロードロックモジュール４０の間でウエハＷを搬送する。
【００１８】
ロードロックモジュール４０は、トランスファモジュール１０とローダモジュール３０との間に配置されている。ロードロックモジュール４０は、内部を真空、大気圧に切り換え可能な内圧可変室からなり、内部に配置された円柱状のステージ４１を有する。ロードロックモジュール４０は、ウエハＷをローダモジュール３０からトランスファモジュール１０へ搬入する際、内部を大気圧に維持してローダモジュール３０からウエハＷを受け取った後、内部を減圧してトランスファモジュール１０へウエハＷを搬入する。また、ウエハＷをトランスファモジュール１０からローダモジュール３０へ搬出する際、内部を真空に維持してトランスファモジュール１０からウエハＷを受け取った後、内部を大気圧まで昇圧してローダモジュール３０へウエハＷを搬入する。ステージ４１は、上面から突出自在な複数の細棒状の３つのリフトピン４２を有する。各リフトピン４２は平面視において同一円周上に配置され、ステージ４１の上面から突出することによってウエハＷを支持して持ち上げると共に、ステージ４１内へ退出することによって支持するウエハＷをステージ４１へ載置させる。
【００１９】
基板処理システム１は、例えばコンピュータからなる制御装置５０を有する。制御装置５０は、基板処理システム１の各構成要素の動作を制御する。
【００２０】
〔搬送システム〕
（第１構成例）
本発明の実施形態に係る搬送システムの第１構成例について説明する。図２は、本発明の実施形態に係る搬送システムの第１構成例を示す図であり、平面視において、ウエハＷを受け渡す位置におけるフォーク３７及びステージ４１の位置関係を示している。
【００２１】
図２に示されるように、第１構成例の搬送システムは、ローダモジュール３０内に配置された搬送機構３５のフォーク３７と、ロードロックモジュール４０内に配置されたステージ４１のリフトピン４２と、を含む。
【００２２】
フォーク３７は、二股状の平板部材によって構成される。フォーク３７の上面には、同一円周上に３つのパッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃが設けられる。
【００２３】
各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、フォーク３７がウエハＷを支持する際、ウエハＷの裏面に接触してウエハＷを保持する。各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、ウエハＷの裏面との間の摩擦係数が０．２以上であることが好ましい。これにより、ウエハＷを高速で搬送する際の停止時の衝撃等によるウエハＷの位置ずれを防止できる。また、各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、ショア硬度が１００以下であることが好ましい。これにより、ウエハＷを高速で搬送する際の停止時の衝撃等によるウエハＷの位置ずれを防止できる。このようなパッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃの材料としては、例えばバイトン（登録商標）、カルレッツ（登録商標）等のフッ素ゴムが挙げられる。
【００２４】
各リフトピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃは、ウエハＷをフォーク３７とステージ４１との間で受け渡す位置において、フォーク３７の二股部分の内側又は外側に位置するように配置される。これにより、各リフトピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃは、フォーク３７と干渉することなく上方へ突出することができる。そのため、各リフトピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃの上端がフォーク３７の各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃの上端よりも上方に位置するときには、各リフトピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃがウエハＷの裏面に接触してウエハＷを持ち上げる。一方、各リフトピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃの上端が各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃの上端よりも下方に位置するときには、各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃがウエハＷの裏面に接触してウエハＷを支持する。即ち、本発明の実施形態に係る搬送システムでは、各リフトピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃが上下方向に移動し、フォーク３７に対する相対位置を変更することにより、ウエハＷの受け渡しを行う。
【００２５】
次に、パッド３８とリフトピン４２との相対位置について説明する。
【００２６】
パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃとリフトピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃとの相対位置は、ウエハＷをフォーク３７とステージ４１との間で受け渡す位置において、以下の関係を満たす。パッド３８ａに着目すると、パッド３８ａとパッド３８ａに隣接する２つのリフトピン４２ｂ，４２ｃとを結ぶ２つの線分のなす角度θ１が、パッド３８ａとパッド３８ａに隣接する２つのパッド３８ｂ，３８ｃとを結ぶ２つの線分がなす角度θ２以上である。パッド３８ｂ、３８ｃに着目した場合にも同様の関係を満たす。即ち、パッド３８ｂに着目すると、パッド３８ｂとパッド３８ｂに隣接する２つのリフトピン４２ｃ，４２ａとを結ぶ２つの線分がなす角度が、パッド３８ｂとパッド３８ｂに隣接する２つのパッド３８ｃ，３８ａとを結ぶ２つの線分がなす角度以上である。パッド３８ｃとパッド３８ｃに隣接する２つのリフトピン４２ａ，４２ｂとを結ぶ２つの線分がなす角度が、パッド３８ｃとパッド３８ｃに隣接する２つのパッド３８ａ，３８ｂとを結ぶ２つの線分がなす角度以上である。これにより、フォーク３７からステージ４１にウエハＷを受け渡す際、パッド３８がウエハＷの裏面に固着した場合であっても安定したウエハＷの受け渡しが可能となり、搬送精度が向上する。
【００２７】
例えば、初めに１つのパッド３８がウエハＷの裏面から引き剥がされた場合、ウエハＷの裏面に固着した残り２つのパッド３８が引き剥がされて解放される際に生じる反力を３つのリフトピン４２によって３点で保持できる。そのため、リフトピン４２上でのウエハＷの振動を抑制し、安定したウエハＷの受け渡しが可能となり、搬送精度が向上する。また、ウエハＷの裏面にリフトピン４２が接触することで生じる接触傷を軽減できる。また、例えば初めに２つのパッド３８がウエハＷの裏面から引き剥がされた場合、θ１≧θ２であることにより、ウエハＷの裏面に固着した残り１つのパッド３８が引き剥がされて解放される際に生じる反力を分散できる。そのため、リフトピン４２上でのウエハＷの振動を抑制し、安定したウエハＷの受け渡しが可能となり、搬送精度が向上する。また、ウエハＷの裏面にリフトピン４２が接触することで生じる接触傷を軽減できる。
【００２８】
ウエハＷをフォーク３７とステージ４１との間で受け渡す位置は、パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃを結んで形成される三角形の重心Ｇ３８とリフトピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃを結んで形成される三角形の重心Ｇ４２とが一致する位置であることが好ましい。これにより、リフトピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃにウエハＷを受け渡したときのウエハＷの振動を特に抑制できる。
【００２９】
次に、パッド３８の形状の例について、図３から図６に基づき説明する。但し、パッド３８の形状は、図３から図６に示されるものに限定されるものではない。図３から図６は、フォーク３７の上面に設けられたパッド３８の形状を説明するための図である。図３から図６は、パッド３８がウエハＷを保持しているときにフォーク３７及びステージ４１を側面から見たときの図である。
【００３０】
図３に示されるパッド３８Ｐは、上端が平らな保持面を有し、フォーク３７がウエハＷを支持する際、パッド３８Ｐの保持面がウエハＷの裏面に接触してウエハＷを保持する。係る構成においては、パッド３８ＰとウエハＷの裏面との接触面積が大きいので、ウエハＷを高速で搬送する際の位置ずれを防止できる。
【００３１】
図４に示されるパッド３８Ｑは、図３に示されるパッド３８Ｐの保持面が、フォーク３７の上面に対して傾斜して設けられている。係る構成においては、パッド３８ＱとウエハＷの裏面との接触を点接触にすることができる。そのため、パッド３８ＱがウエハＷの裏面に固着する力を弱め、フォーク３７からステージ４１にウエハＷを受け渡す際に、リフトピン４２上でのウエハＷの振動を抑制し、安定したウエハＷの受け渡しが可能となり、搬送精度が向上する。なお、パッド３８Ｑの保持面のフォーク３７の上面に対する傾斜方向は、複数のパッド３８Ｑの全てが同一の方向に傾斜していてもよく、各々のパッド３８Ｑが異なる方向に傾斜していてもよい。また、パッド３８Ｑの保持面のフォーク３７の上面に対する傾斜角は、複数のパッド３８Ｑの全てが同一の角度であってもよく、各々のパッド３８Ｑが異なる角度であってもよい。
【００３２】
図５に示されるパッド３８Ｒは、図３に示されるパッド３８Ｐの保持面が、フォーク３７の上面に対して傾斜して設けられており、複数のパッド３８Ｒの各々は、複数のパッド３８Ｒの中心を通る仮想円の周方向に対して所定の角度で傾斜して設けられている。即ち、複数のパッド３８Ｒは、扇風機の羽根のように傾斜して設けられている。係る構成においては、プロセス処理後に凹状又は凸状に反りが生じたウエハＷに対しても、複数のパッド３８ＲのすべてがウエハＷの裏面との接触を点接触にすることができる。そのため、ウエハＷの反りの状態によらず、パッド３８ＲがウエハＷの裏面に固着する力を弱め、フォーク３７からステージ４１にウエハＷを受け渡す際に、リフトピン４２上でのウエハＷの振動を抑制し、安定したウエハＷの受け渡しが可能となる。その結果、搬送精度が向上する。
【００３３】
図６に示されるパッド３８Ｓは、上面に半球状の突起３８Ｓ１を有し、フォーク３７がウエハＷを支持する際、パッド３８Ｓの突起３８Ｓ１の上端がウエハＷの裏面に接触してウエハＷを保持する。係る構成においては、パッド３８ＳとウエハＷの裏面との接触を点接触にすることができる。そのため、パッド３８ＳがウエハＷの裏面に固着する力を弱め、フォーク３７からステージ４１にウエハＷを受け渡す際に、リフトピン４２上でのウエハＷの振動を抑制し、安定したウエハＷの受け渡しが可能となり、搬送精度が向上する。なお、突起３８Ｓ１の形状は半球状に限定されるものではなく、ウエハＷの裏面との接触を点接触にできれば他の形状であってもよい。他の形状としては、例えば三角形状が挙げられる。
【００３４】
（第２構成例）
本発明の実施形態に係る搬送システムの第２構成例について説明する。図７は、本発明の実施形態に係る搬送システムの第２構成例を示す図であり、平面視において、ウエハＷを受け渡す位置におけるフォーク３７及びステージ３３の位置関係を示している。
【００３５】
図７に示されるように、第２構成例の搬送システムは、ローダモジュール３０内に配置された搬送機構３５のフォーク３７と、アライナ３２内に配置されたステージ３３の突起部３４と、を含む。
【００３６】
フォーク３７は、二股状の平板部材によって構成される。フォーク３７の上面には、同一円周上に３つのパッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃが設けられる。
【００３７】
各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、フォーク３７がウエハＷを支持する際、ウエハＷの裏面に接触してウエハＷを保持する。各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、ウエハＷの裏面との間の摩擦係数が０．２以上であることが好ましい。これにより、ウエハＷを高速で搬送する際の位置ずれを防止できる。また、各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、ショア硬度が１００以下であることが好ましい。これにより、ウエハＷを高速で搬送する際の位置ずれを防止できる。具体的には、各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃとしては、例えばバイトン（登録商標）、カルレッツ（登録商標）等のフッ素ゴムを好適に用いることができる。
【００３８】
ステージ３３及び各突起部３４ａ，３４ｂ，３４ｃは、ウエハＷをフォーク３７とステージ３３との間で受け渡す位置において、フォーク３７の二股部分の内側に位置するように配置される。これにより、ステージ３３及び各突起部３４ａ，３４ｂ，３４ｃは、フォーク３７と干渉することなく上方へ移動することができる。そのため、各突起部３４ａ，３４ｂ，３４ｃの上端がフォーク３７の各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃの上端よりも上方に位置するときには、各突起部３４ａ，３４ｂ，３４ｃがウエハＷの裏面に接触してウエハＷを持ち上げる。一方、各突起部３４ａ，３４ｂ，３４ｃの上端が各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃの上端よりも下方に位置するときには、各パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃがウエハＷの裏面に接触してウエハＷを支持する。即ち、本発明の実施形態に係る搬送システムでは、ステージ３３及び各突起部３４ａ，３４ｂ，３４ｃが上下方向に移動し、フォーク３７に対する相対位置を変更することにより、ウエハＷの受け渡しを行う。
【００３９】
次に、パッド３８と突起部３４との相対位置について説明する。
【００４０】
パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃと突起部３４ａ，３４ｂ，３４ｃとの相対位置は、ウエハＷをフォーク３７とステージ３３との間で受け渡す位置において、以下の関係を満たす。パッド３８ａに着目すると、パッド３８ａとパッド３８ａに隣接する２つの突起部３４ｂ，３４ｃとを結ぶ２つの線分がなす角度θ１１が、パッド３８ａとパッド３８ａに隣接する２つのパッド３８ｂ，３８ｃとを結ぶ２つの線分がなす角度θ１２以上である。パッド３８ｂ，３８ｃに着目した場合にも同様の関係を満たす。即ち、パッド３８ｂに着目すると、パッド３８ｂとパッド３８ｂに隣接する２つの突起部３４ｃ，３４ａとを結ぶ２つの線分がなす角度が、パッド３８ｂとパッド３８ｂに隣接する２つのパッド３８ｃ，３８ａとを結ぶ２つの線分がなす角度以上である。パッド３８ｃに着目すると、パッド３８ｃとパッド３８ｃに隣接する２つの突起部３４ａ，３４ｂとを結ぶ線分がなす角度が、パッド３８ｃとパッド３８ｃに隣接する２つのパッド３８ａ，３８ｂとを結ぶ線分がなす角度以上である。これにより、フォーク３７からステージ３３にウエハＷを受け渡す際、パッド３８がウエハＷの裏面に固着した場合であっても安定したウエハＷの受け渡しが可能となり、搬送精度が向上する。
【００４１】
例えば、初めに１つのパッド３８がウエハＷの裏面から引き剥がされた場合、ウエハＷの裏面に固着した残り２つのパッド３８が引き剥がされて解放される際に生じる反力を３つの突起部３４によって３点で保持できる。そのため、突起部３４上でのウエハＷの振動を抑制し、安定したウエハＷの受け渡しが可能となり、搬送精度が向上する。また、例えば初めに２つのパッド３８がウエハＷの裏面から引き剥がされた場合、θ１１≧θ１２であることにより、ウエハＷの裏面に固着した残り１つのパッド３８が引き剥がされて解放される際に生じる反力を分散できる。そのため、突起部３４上でのウエハＷの振動を抑制し、安定したウエハＷの受け渡しが可能となり、搬送精度が向上する。
【００４２】
ウエハＷをフォーク３７とステージ３３との間で受け渡す位置は、パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃを結んで形成される三角形の重心Ｇ３８と突起部３４ａ，３４ｂ，３４ｃを結んで形成される三角形の重心Ｇ３４とが一致する位置であることが好ましい。これにより、突起部３４ａ，３４ｂ，３４ｃにウエハＷを受け渡したときのウエハＷの振動を特に抑制できる。
【００４３】
なお、第２構成例においても第１構成例と同様に、図３から図６に示される種々の形状のパッド３８を用いることができる。
【００４４】
（第３構成例）
本発明の実施形態に係る搬送システムの第３構成例について説明する。図８は、本発明の実施形態に係る搬送システムの第３構成例を示す図であり、平面視において、ウエハＷを受け渡す位置におけるフォーク３７及びステージ４１の位置関係を示している。
【００４５】
図８に示されるように、第３構成例の搬送システムは、ローダモジュール３０内に配置された搬送機構３５のフォーク３７と、ロードロックモジュール４０内に配置されたステージ４１のリフトピン４２と、を含む。
【００４６】
第３構成例に係る搬送システムは、フォーク３７の上面に４つのパッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄが設けられている点で、第１構成例に係る搬送システムと異なる。なお、その他の構成については、第１構成例に係る搬送システムと同様の構成とすることができるので、説明の一部を省略する。
【００４７】
パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄとリフトピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃとの相対位置は、ウエハＷをフォーク３７とステージ４１との間で受け渡す位置において、以下の関係を満たす。パッド３８ａに着目すると、パッド３８ａとパッド３８ａに隣接する２つのリフトピン４２ｂ，４２ｃとを結ぶ２つの線分がなす角度θ２１が、パッド３８ａとパッド３８ａに隣接する２つのパッド３８ｂ，３８ｄとを結ぶ２つの線分がなす角度θ２２以上である。パッド３８ｂ，３８ｃ，３８ｄに着目した場合にも同様の関係を満たす。即ち、パッド３８ｂに着目すると、パッド３８ｂとパッド３８ｂに隣接する２つのリフトピン４２ｃ，４２ａとを結ぶ線分のなす角度が、パッド３８ｂとパッド３８ｂに隣接する２つのパッド３８ｃ，３８ａとを結ぶ線分がなす角度以上である。パッド３８ｃに着目すると、パッド３８ｃとパッド３８ｃに隣接する２つのリフトピン４２ａ，４２ｂとを結ぶ線分のなす角度が、パッド３８ｃとパッド３８ｃに隣接する２つのパッド３８ｂ，３８ｄとを結ぶ線分のなす角度以上である。パッド３８ｄに着目すると、パッド３８ｄとパッド３８ｄに隣接する２つのリフトピン４２ａ，４２ｂとを結ぶ線分のなす角度が、パッド３８ｄとパッド３８ｄに隣接する２つのパッド３８ｃ，３８ａとを結ぶ線分のなす角度以上である。これにより、フォーク３７からステージ４１にウエハＷを受け渡す際、パッド３８がウエハＷの裏面に固着した場合であっても安定したウエハＷの受け渡しが可能となり、搬送精度が向上する。
【００４８】
例えば、初めに１つのパッド３８がウエハＷの裏面から引き剥がされた場合、ウエハＷの裏面に固着した残り３つのパッド３８が引き剥がされて解放される際に生じる反力を３つのリフトピン４２によって３点保持できる。そのため、リフトピン４２上でのウエハＷの振動を抑制し、安定したウエハＷの受け渡しが可能となり、搬送精度が向上する。また、例えば初めに３つのパッド３８がウエハＷの裏面から引き剥がされた場合、θ２１≧θ２２であることにより、ウエハＷの裏面に固着した残り１つのパッド３８が引き剥がされて解放される際に生じる反力を分散できる。そのため、リフトピン４２上でのウエハＷの振動を抑制し、安定したウエハＷの受け渡しが可能となり、搬送精度が向上する。
【００４９】
ウエハＷをフォーク３７とステージ４１との間で受け渡す位置は、パッド３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄを結んで形成される四角形の重心Ｇ３８とリフトピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃを結んで形成される三角形の重心Ｇ４２とが一致する位置であることが好ましい。これにより、リフトピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃにウエハＷを受け渡したときのウエハＷの振動を特に抑制できる。
【００５０】
なお、第３構成例においても第１構成例と同様に、図３から図６に示される種々の形状のパッド３８を用いることができる。
【００５１】
上記の実施形態において、ステージ２１，３３，４１は、ウエハＷの搬送先又は搬送元である載置台の一例である。リフトピン２２，４２及び突起部３４は、支持部の一例である。パッド３８は、保持部の一例である。トランスファモジュール１０及びローダモジュール３０は、搬送室の一例である。プロセスモジュール２０、アライナ３２、及びロードロックモジュール４０は、載置室の一例である。
【００５２】
以上、本発明を実施するための形態について説明したが、上記内容は、発明の内容を限定するものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。
【００５３】
上記の実施形態では、パッド３８が３つ又は４つの場合を例に挙げて説明したが、これに限定されず、例えば５つ以上であってもよい。また、リフトピン２２，４２及び突起部３４が３つの場合を例に挙げて説明したが、これに限定されず、例えば４つ以上であってもよい。この場合、ウエハＷをフォーク３７とステージ２１，４１，３３との間で受け渡す位置は、複数のパッド３８を結んで形成される多角形の重心と複数のリフトピン２２，４２又は突起部３４を結んで形成される多角形の重心とが一致する位置であることが好ましい。これにより、リフトピン２２，４２又は突起部３４にウエハＷを受け渡したときのウエハＷの振動を特に抑制できる。
【００５４】
また、上記の実施形態では、搬送システムが、フォーク３７と、ステージ４１の各リフトピン４２又はステージ３３の各突起部３４と、を含む構成を例に挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、搬送システムは、トランスファモジュール１０内に配置された搬送機構１１のフォーク１３と、ロードロックモジュール４０内に配置されたステージ４１の各リフトピン４２と、を含む構成であってもよい。また、例えば搬送システムは、トランスファモジュール１０内に配置された搬送機構１１のフォーク１３と、プロセスモジュール２０内に配置されたステージ２１の各リフトピン２２と、を含む構成であってもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１    基板処理システム
１０  トランスファモジュール
１１  搬送機構
１３  フォーク
２０  プロセスモジュール
２１  ステージ
２２  リフトピン
３０  ローダモジュール
３２  アライナ
３３  ステージ
３４  突起部
３５  搬送機構
３７  フォーク
３８  パッド
４０  ロードロックモジュール
４１  ステージ
４２  リフトピン
Ｗ    ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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