(57)【要約】【課題】配置されている全てのフィルタユニットを使い切ることができるクーラント浄化装置を提供する。【解決手段】クーラントタンク２と、クーラントタンク２に着脱可能な複数のフィルタユニット４〜６と、を備えるクーラント浄化装置であって、複数のフィルタユニット４〜６のそれぞれは、一方の端がクーラントタンク２の側壁内側に接続される接続端であると共に他方の端が開放端であり、接続端よりも開放端が上方に位置すると共に、開放端がクーラントタンク２を上から下に見て全て視認できるように、複数のフィルタユニット４〜６のそれぞれが配置されている、クーラント浄化装置。【選択図】図２
2019181642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クーラントタンクと、前記クーラントタンクに着脱可能な複数のフィルタユニットと、を備えるクーラント浄化装置であって、
前記複数のフィルタユニットのそれぞれは、一方の端が前記クーラントタンクの側壁内側に接続される接続端であると共に他方の端が開放端であり、
前記接続端よりも前記開放端が上方に位置すると共に、前記開放端が前記クーラントタンクを上から下に見て全て視認できるように、前記複数のフィルタユニットのそれぞれが配置されている、クーラント浄化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クーラント浄化装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
使用済みクーラントをフィルタに通すことによって浄化する装置が知られている。
例えば、特許文献１には、クーラントタンクに着脱可能な複数のフィルタユニットを有するクーラント浄化装置が開示されている。粒子径が不揃いな切削粉を含有するクーラントは、目が粗いフィルタユニットに通過された後に、目が細かいフィルタユニットに通過されることによって、浄化される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−０５９９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
発明者らは、クーラント浄化装置に関し、以下の課題を見出した。
粒子径が揃った切削粉を含有するクーラントを浄化すると、クーラントに含有される切削粉よりも目が粗いフィルタユニットには、切削粉が残留しない。また、切削粉の直径よりも目が細かいフィルタユニットのみに切削粉が残留する。つまり、粒子径が揃った切削粉を含有するクーラントを浄化する場合、全てのフィルタユニットを使い切ることができない。
【０００５】
本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、配置されている全てのフィルタユニットを使い切ることができるクーラント浄化装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための一態様は、クーラントタンクと、前記クーラントタンクに着脱可能な複数のフィルタユニットと、を備えるクーラント浄化装置であって、前記複数のフィルタユニットのそれぞれは、一方の端が前記クーラントタンクの側壁内側に接続される接続端であると共に他方の端が開放端であり、前記接続端よりも前記開放端が上方に位置すると共に、前記開放端が前記クーラントタンクを上から下に見て全て視認できるように、前記複数のフィルタユニットのそれぞれが配置されている。
【０００７】
本発明に係るクーラント浄化装置では、複数のフィルタユニットのそれぞれは、一方の端がクーラントタンクの側壁内側に接続される接続端であると共に他方の端が開放端である。さらに、接続端よりも開放端が上方に位置すると共に、開放端がクーラントタンクを上から下に見て全て視認できるように、複数のフィルタユニットのそれぞれが配置されている。
【０００８】
使用済みのクーラントをクーラント浄化装置の上方から投入すると、最も上側に配置されたフィルタユニットとクーラントタンクの側壁とによって形成された空間に、使用済みのクーラントが投入される。投入された使用済みクーラントは、最も上側に配置されたフィルタユニットにおいて浄化される。使用済みクーラントを浄化すると、フィルタユニットには、切削粉が残留する。一定量以上の切削粉が残留すると、フィルタユニットは、目詰まりを起こす。
【０００９】
最も上側に配置されたフィルタユニットが目詰まりを起こすと、クーラントは、最も上側に配置されたフィルタユニットの開放端からオーバフローする。複数のフィルタユニットのそれぞれは、開放端がクーラントタンクを上から下に見て全て視認できるように配置されている。したがって、最も上側に配置されたフィルタユニットの開放端からオーバフローしたクーラントは、上から２番目に配置されたフィルタユニットとクーラントタンクの側壁とによって形成された空間に投入される。
【００１０】
このように最も下側に配置されたフィルタユニットが目詰まりを起こすまでクーラントの浄化を行うことができる。このような構成によって、配置されている全てのフィルタユニットを使い切ることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、配置されている全てのフィルタユニットを使い切ることができるクーラント浄化装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施の形態に係るクーラント浄化装置の平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。
【図３】フィルタユニットの断面図である。
【図４】プレートの平面図である。
【図５】プレートの変形例の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。ただし、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。
【００１４】
まず、図１及び図２を参照して、本実施の形態に係るクーラント浄化装置の構成について説明する。図１は、本実施の形態に係るクーラント浄化装置の平面図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。クーラント浄化装置１は、図１に示すように、クーラントタンク２、（複数の）フィルタユニット４〜６、及びポンプ８を備える。なお、図１及び図２においては、クーラント７も図示している。また、図２における矢印は、クーラント７が投入される方向を示す。
【００１５】
なお、当然のことながら、図１及びその他の図面に示した右手系ｘｙｚ直交座標は、構成要素の位置関係を説明するための便宜的なものである。通常、ｚ軸正方向が鉛直上向き、ｘｙ平面が水平面であり、図面間で共通である。
【００１６】
クーラントタンク２は、図２に示すように、内部にクーラント７を貯留することができるタンクである。クーラントタンク２は、例えば、図１に示すように、矩形状の底を有する。クーラントタンク２内には、図２に示すように、（複数の）フィルタユニット４〜６が配置されている。
【００１７】
フィルタユニット４〜６は、図２に示すように、互いに所定の間隔を開けて配置されている。フィルタユニット４〜６は、クーラントタンク２から着脱可能である。図１及び図２においては、３つのフィルタユニットが配置される場合を図示したが、配置されるフィルタユニットの個数は、２個以上であれば特に限定されない。
【００１８】
フィルタユニット４〜６は、例えば、矩形状の板状部材である。フィルタユニット４〜６のそれぞれの一方の端は、図２に示すように、クーラントタンク２の側壁内側に接続されている接続端である。また、フィルタユニット４〜６のそれぞれの他方の端は、図２に示すように、開放端である。
【００１９】
フィルタユニット４は、図２に示すように、フィルタユニット４〜６のうちで最もｚ軸正方向側、すなわち上側に配置されている。フィルタユニット４の開放端は、図２に示すように、フィルタユニット４の接続端よりも、上側に位置するように配置されている。図２に示す例では、フィルタユニット４の上面は、その接続端から開放端に向かうにつれて上方に傾斜した傾斜面を形成している。したがって、図２に示すように、フィルタユニット４とクーラントタンク２の側壁とで形成される空間にクーラント７を貯留しつつ、フィルタユニット４を用いてクーラント７を浄化することができる。
【００２０】
フィルタユニット５は、図２に示すように、フィルタユニット４〜６のうちで上から２番目に配置されている。フィルタユニット５の開放端は、図２に示すように、フィルタユニット５の接続端よりも、上側に位置するように配置されている。フィルタユニット６は、図２に示すように、フィルタユニット４〜６のうちで最も下側に配置されている。フィルタユニット６の開放端は、図２に示すように、フィルタユニット６の接続端よりも、上側に位置するように配置されている。フィルタユニット４〜６の傾きは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００２１】
フィルタユニット４〜６の傾きが全て同じである場合、図２に示すように、フィルタユニット４のｘ軸方向の長さは、フィルタユニット５のｘ軸方向の長さよりも短い。さらに、フィルタユニット５のｘ軸方向の長さは、フィルタユニット６のｘ軸方向の長さよりも短い。
【００２２】
また、フィルタユニット４〜６の形状を全て同一とし、クーラントタンク２の側壁内側に調節部材（不図示）を設けることによってフィルタユニット４〜６を配置する位置を調節してもよい。調節部材は、例えば、クーラントタンク２の側壁内側からｘ軸正方向に向かって水平に延設される板状部材である。また、調節部材は、フィルタユニット４〜６と平行に延設される板状部材であってもよい。フィルタユニット４〜６の形状が同一であると、フィルタユニット４〜６のストックを共通とすることができる。
【００２３】
フィルタユニット５の開放端は、フィルタユニット４の開放端よりも、ｘ軸正方向側に位置している。また、フィルタユニット６の開放端は、フィルタユニット５の開放端よりも、ｘ軸正方向側に位置している。つまり、フィルタユニット４〜６のそれぞれの開放端は、図１に示すように、上から下にクーラントタンク２を見たときに、全て視認できる。
【００２４】
フィルタユニット４〜６の開放端以外の端は、図１に示すように、クーラントタンク２の側壁内側にそれぞれ接触している。したがって、クーラント７は、フィルタユニット４〜６とクーラントタンク２の側壁との間隙を通過することができない。フィルタユニット４とクーラントタンク２の側壁とによって形成された空間に投入されたクーラント７は、図２に示すように、フィルタユニット４を通過して下方に流れる。
【００２５】
フィルタユニット４の目が詰まると、クーラント７はフィルタユニット４を通過することができない。したがって、クーラント７は、フィルタユニット４の開放端からオーバフローする。フィルタユニット５の開放端は、フィルタユニット４の開放端よりも、ｘ軸正方向側に位置している。したがって、フィルタユニット４の開放端からオーバフローしたクーラント７は、フィルタユニット５とクーラントタンク２の側壁とによって形成される空間に投入される。フィルタユニット５とクーラントタンク２の側壁とによって形成された空間に投入されたクーラント７は、フィルタユニット５を通過して下方に流れる。
【００２６】
フィルタユニット５の目が詰まると、クーラント７はフィルタユニット５を通過することができない。したがって、クーラント７は、フィルタユニット５の開放端からオーバフローする。フィルタユニット６の開放端は、フィルタユニット５の開放端よりも、ｘ軸正方向側に位置している。したがって、フィルタユニット４の開放端からオーバフローしたクーラント７は、フィルタユニット６とクーラントタンク２の側壁とによって形成された空間に投入される。フィルタユニット６とクーラントタンク２の側壁とによって形成された空間に投入されたクーラント７は、フィルタユニット６を通過して下方に流れる。
【００２７】
フィルタユニット６を通過して下方に流れたクーラント７は、図２に示すように、クーラントタンク２内に貯留される。クーラントタンク２内には、図２に示すように、ポンプ８が接続されている。クーラントタンク２内に貯留されたクーラント７は、ポンプ８を差動させることによって、クーラント浄化装置１の外に搬出される。
【００２８】
フィルタユニット４〜６の目の粗さは、全て同じ程度である。フィルタユニット４〜６の目の粗さは、クーラント７が含有する切削粉の粒子径に合わせて適宜変更される。クーラント７が含有する切削粉の粒子径が揃っている場合、フィルタユニット４、５、又は６の少なくとも１つを通過することによって、クーラント７は十分浄化される。
【００２９】
本実施の形態に係るクーラント浄化装置１では、フィルタユニット４〜６にクーラント７を通過させることによって浄化している。したがって、沈降によって浄化することが困難な粒子径が小さな切削粉を含有するクーラント７であっても、浄化することができる。クーラント浄化装置１は、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）を用いて構成される半導体を製造する際に発生する使用済みクーラントの浄化に好適である。ＳｉＣを用いて構成される半導体を製造する際に発生する使用済みクーラントは、粒子径が小さく且つ揃った切削粉が含有されている。
【００３０】
このような構成によって、フィルタユニット４〜６が全て目詰まりを起こすまで、クーラント浄化装置１を稼動させることができる。つまり、本実施の形態に係るクーラント浄化装置は、配置されている全てのフィルタユニットを使い切ることができる。クーラント浄化装置１は、フィルタユニット４〜６が全て目詰まりを起こすまでフィルタユニット４〜６を洗浄する必要がない。したがって、フィルタユニット４〜６を洗浄するためにクーラント浄化装置１を停止させて設備点検する頻度を、低くすることができる。
【００３１】
次に、図３を参照して、フィルタユニット４の構成について説明する。フィルタユニット４は、図３に示すように、フィルタ４ａ、プレート４ｂ、及びプレート４ｃを備える。なお、図３においては、フィルタガイド４ｄ、フィルタガイド４ｅ、バネ板４ｆ、及びバネ板４ｇも図示している。また、フィルタユニット５及び６は、フィルタユニット４と同様の構成であるため、説明を省略する。
【００３２】
フィルタ４ａは、所定の目の粗さを有するフィルタである。フィルタ４ａは、例えば、メッシュ状の布を用いて構成される。フィルタ４ａの目の粗さは、クーラント７に含有される切削粉をクーラント７から除去することができる大きさである。フィルタ４ａは、厚みが薄いため、クーラント７の液圧によって変形する虞がある。そこで、プレート４ｂ及び４ｃを用いてフィルタ４ａを挟持することによって、フィルタ４ａを所定の傾斜面を形成するように配置することができる。
【００３３】
プレート４ｂ及び４ｃは、対向配置された一対の板状部材である。プレート４ｂ及び４ｃは、フィルタ４ａを挟持している。プレート４ｂ及び４ｃには、貫通孔が設けられている。フィルタユニット４の上方から投入されたクーラント７は、プレート４ｂに設けられた貫通孔を通過する。そして、フィルタ４ａにおいて浄化される。浄化されたクーラント７は、プレート４ｃに設けられた貫通孔を通過し、下方へ流れる。
【００３４】
フィルタユニット４は、フィルタガイド４ｄ、４ｅ、及びバネ板４ｆ、４ｇによってクーラントタンク２に接続されている。フィルタガイド４ｄ及び４ｅは、直線状のレールである。フィルタガイド４ｄ及び４ｅは、クーラントタンク２の側壁内側に沿って延設されている。フィルタガイド４ｄ及び４ｅは、図３に示すように、フィルタユニット４に向かって突出する凸部を有する。フィルタユニット４は、図３に示すように、フィルタガイド４ｄ及び４ｅに設けられた凸部の上に配置される。
【００３５】
フィルタガイド４ｄの上面には、バネ板４ｆが固定されている。フィルタガイド４ｅの上面には、バネ板４ｇが固定されている。つまり、フィルタユニット４のｙ軸正方向側の側端は、図３に示すように、フィルタガイド４ｄに設けられた凸部と、バネ板４ｆと、によって挟持されている。また、フィルタユニット４のｙ軸負方向側の側端は、フィルタガイド４ｅに設けられた凸部と、バネ板４ｇと、によって挟持されている。フィルタユニット４は、フィルタガイド４ｄ及び４ｅに沿って摺動することができる。したがって、クーラント浄化装置１を稼動している際にも、フィルタユニット４を着脱することができる。
【００３６】
次に、図４及び図５を参照して、プレート４ｂに設けられた貫通孔の形状について、説明する。図４は、プレートの平面図である。図５は、プレートの変形例の平面図である。なお、プレート４ｃに設けられた貫通孔の形状は、プレート４ｂに設けられた貫通孔の形状と同様であるため、説明を省略する。また、図４及び図５は、プレート４ｂに設けられた貫通孔の形状の一例を示すものである。つまり、図４及び図５は、プレート４ｂに設けられた貫通孔の形状を限定するものではない。
【００３７】
プレート４ｂには、貫通孔が設けられている。貫通孔の形状は、クーラント７を通過することができる形状であれば、特に限定されない。プレート４ｂに設けられた貫通孔は、例えば、図４に示すように、円形状である。プレート４ｂに設けられた貫通孔は、例えば、図４に示すように、マトリクス状に配置される。また、プレート４ｂ設けられた貫通孔は、図５に示すように、矩形状であってもよい。プレート４ｂに設けられた貫通孔の面積の合計が大きいほど、短時間でクーラント７を浄化することができる。
【００３８】
以上で説明した本実施の形態に係る発明により、配置されている全てのフィルタユニットを使い切ることができるクーラント浄化装置を提供することができる。
【００３９】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１  クーラント浄化装置
２  クーラントタンク
４、５、６  フィルタユニット
４ａ  フィルタ
４ｂ、４ｃ  プレート
４ｄ、４ｅ  フィルタガイド
４ｆ、４ｇ  バネ板
７  クーラント
８  ポンプ
【図１】
2019181642.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2019181642.tif 000006
【図５】
2019181642.tif 000007