(57)【要約】【課題】摩擦熱などによって飛散したグリースが被蒸着体やマスクに付着することを低減する。【解決手段】本発明のディスプレイ製造装置は、処理対象体に対する処理が行われるチャンバーと；前記チャンバー内で移動する移動体と；前記移動体を移動させるための移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む移動機構と；少なくとも前記移動機構の前記潤滑部位を覆うように前記移動機構に隣接して設けられるカバー部材とを含む。これにより、チャンバー内の移動機構から処理対象体を向かって飛散する潤滑部材をカバー部材によって遮断することができる。【選択図】図３
2019026931.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスプレイ製造装置において、
処理対象体に対する処理が行われるチャンバーと、
前記チャンバー内で移動する移動体と、
前記移動体を移動させるための移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む移動機構と、
少なくとも前記移動機構の前記潤滑部位を覆うように前記移動機構に隣接して設けられるカバー部材とを含むディスプレイ製造装置。
【請求項２】
ディスプレイ製造装置において、
被蒸着体に対する蒸着が行われる真空チャンバーと、
蒸着物質が充填される蒸発源を含む蒸発源ユニットと、
前記蒸発源ユニットを第１方向に移動させるための第１移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む第１移動機構と、
少なくとも前記第１移動機構の前記潤滑部位を覆うように前記第１移動機構に隣接して設けられる第１移動機構カバー部材とを含むディスプレイ製造装置。
【請求項３】
前記第１移動機構は、前記第１方向に延びるように設けられる第１レール部材と、前記蒸発源ユニットを支持し、前記第１レール部材上で前記第１方向に移動可能に設けられる第１移動可能部材とを含み、
前記第１移動機構カバー部材は、少なくとも前記第１レール部材と前記第１移動可能部材の潤滑部位を覆うように前記第１レール部材と前記第１移動可能部材に隣接して設けられる第１カバー部材を含む請求項２に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項４】
前記第１移動機構は、前記真空チャンバーの下部に配置され、
前記第１カバー部材は、前記第１レール部材の上面の少なくとも一部を覆うように前記第１移動可能部材の前記第１方向の前端及び後端から前記第１方向に所定の長さで延びる請求項３に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項５】
前記第１カバー部材は、前記第１方向から見て前記第１レール部材の両側面の少なくとも一部を覆うように形成される請求項３又は請求項４に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項６】
前記第１移動機構は、前記第１方向に延びるように設けられる第１レール部材と、前記蒸発源ユニットを支持し、前記第１レール部材上で前記第１方向に移動可能に設けられる第１移動可能部材と、前記第１移動可能部材を前記第１方向に移動させるための回転駆動力を発生させる第１モーターと、前記第１モーターの回転駆動力を直線駆動力に転換するための第１駆動力転換機構とを含み、
前記第１移動機構カバー部材は、少なくとも前記第１駆動力転換機構の潤滑部位を覆うように前記第１駆動力転換機構に隣接して設けられる第２カバー部材を含む請求項２乃至請求項５のいずれか１項に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項７】
前記第１移動機構は、前記真空チャンバーの下部に配置され、
前記第１駆動力転換機構は、前記第１モーターの回転軸に連結された第１ピニオンと、前記第１ピニオンとかみ合う第１ラックとを含み、
前記第２カバー部材は、前記第１ピニオンの上面の少なくとも一部を覆うように形成され、前記第１方向に延びる請求項６に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項８】
前記第２カバー部材は、前記第１方向から見て、前記第１ラックの外側で前記第１ピニオン及び前記第１ラックの側面の少なくとも一部をさらに覆うように形成される請求項７
に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項９】
ディスプレイ製造装置において、
被蒸着体に対する蒸着が行われる真空チャンバーと、
蒸着物質が充填される蒸発源を含む蒸発源ユニットと、
前記蒸発源ユニットを第１方向に移動させるための第１移動機構と、
前記第１移動機構を前記第１方向と交差する第２方向に移動させるための第２移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む第２移動機構と、
少なくとも前記第２移動機構の前記潤滑部位を覆うように、前記第２移動機構に隣接して設けられる第２移動機構カバー部材とを含むディスプレイ製造装置。
【請求項１０】
前記第２移動機構は、前記第２方向に延びるように設けられる第２レール部材と、前記第１移動機構を支持し、前記第２レール部材上で前記第２方向に移動可能に設けられる第２移動可能部材とを含み、
前記第２移動機構カバー部材は、少なくとも前記第２レール部材と前記第２移動可能部材の潤滑部位を覆うように前記第２レール部材と前記第２移動可能部材に隣接して設けられる第３カバー部材を含む請求項９に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１１】
前記第２移動機構は、前記真空チャンバーの下部に設置され、
前記第３カバー部材は、前記第２移動可能部材の上面の少なくとも一部を覆うように形成され、前記第２方向に延びる請求項１０に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１２】
前記第３カバー部材は、前記第２方向から見て前記第２レール部材の内側で前記第２レール部材及び第２移動可能部材の側面の少なくとも一部を覆うように形成される請求項１１に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１３】
前記第２移動機構は、前記第２方向に延びるように設けられる第２レール部材と、前記第１移動機構を支持し、前記第２レール部材上で前記第２方向に移動可能に設けられる第２移動可能部材とを含み、
前記第２移動機構カバー部材は、前記第２方向から見て、前記第２レール部材と前記第２移動可能部材の側面のうち、前記真空チャンバーの壁面に向かう外側の側面の少なくとも一部を覆うように形成される第４カバー部材を含む請求項９乃至請求項１２のいずれか１項に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１４】
前記第２移動機構は、前記第２方向に延びるように設けられる第２レール部材と、前記第１移動機構を支持し、前記第２レール部材上で前記第２方向に移動可能に設けられる第２移動可能部材と、前記第２移動可能部材を前記第２方向に移動させるための駆動力を発生させる第２モーターと、前記第２モーターの回転駆動力を直線駆動力に転換させるための第２駆動力転換機構とを含み、
前記第２移動機構カバー部材は、少なくとも前記第２駆動力転換機構の潤滑部位を覆うように前記第２駆動力転換機構に隣接して設けられる第５カバー部材を含む請求項９乃至請求項１３のいずれか１項に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１５】
前記第２移動機構は、前記真空チャンバーの下部に設置され、
前記第２駆動力転換機構は、前記第２モーターの回転軸に連結された第２ピニオンと、前記第２ピニオンとかみ合い、第２方向に延びる第２ラックとを含み、
前記第５カバー部材は、前記第２ピニオンの上面及び前記第２ラックの上面の少なくとも一部を覆うように形成される請求項１４に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１６】
前記第５カバー部材は、前記第２方向から見て、前記第２ピニオンの側面のうち第２ピ
ニオンの外側の側面の少なくとも一部をさらに覆うように形成される請求項１５に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１７】
前記第１移動機構が固定設置され、前記第２移動機構によって前記第２方向に移動するベースプレートをさらに含み、
前記第２移動機構カバー部材は、前記ベースプレートから前記第１方向及び前記第２方向と交差する第３方向に延びる第６カバー部材を含む請求項９乃至請求項１６のいずれか１項に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１８】
ディスプレイ製造装置において、
被移動体が収納されるチャンバーと、
前記チャンバー内の被移動体を移動させるための移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む移動機構と、
少なくとも前記移動機構の前記潤滑部位を覆うように、前記移動機構に隣接して設けられる移動機構カバー部材とを含むディスプレイ製造装置。
【請求項１９】
ディスプレイ製造装置において、
マスクが収納されるチャンバーと、
使用前後のマスクを区分して収納する複数のカセットと、
前記カセットを昇降させるための昇降機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む昇降機構と、
少なくとも前記昇降機構の前記潤滑部位を覆うように、前記昇降機構に隣接して設けられる昇降機構カバー部材とを含むディスプレイ製造装置。
【請求項２０】
前記昇降機構は、前記昇降機構の昇降方向に延びるボールねじと、前記ボールねじの両側に形成される第３レール部材と、前記第３レール部材上で前記昇降方向に移動可能に設けられる第３移動可能部材とを含み、
前記昇降機構カバー部材は、少なくとも前記ボールねじの潤滑部位を覆うように、前記ボールねじと前記カセットとの間で前記ボールねじに隣接して設けられる第７カバー部材を含む請求項１９に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項２１】
前記昇降機構は、前記昇降機構の昇降方向に延びるボールねじと、前記ボールねじの両側に形成される第３レール部材と、前記第３レール部材上で前記昇降方向に移動可能に設けられる第３移動可能部材とを含み、
前記昇降機構カバー部材は、前記第３移動可能部材の前記昇降方向の端部から前記昇降方向に所定の長さで延び、前記第３レール部材の周囲を囲むように形成される第８カバー部材を含む請求項１９又は請求項２０に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項２２】
ディスプレイ製造装置において、
被蒸着体が収納されるチャンバーと、
前記被蒸着体を収納するカセットと、
前記チャンバー内で前記カセットを昇降させる昇降機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む昇降機構と、
少なくとも前記昇降機構の前記潤滑部位を覆うように、前記昇降機構に隣接して設けられる昇降機構カバー部材とを含むディスプレイ製造装置。
【請求項２３】
前記昇降機構は、前記昇降機構の昇降方向に延びるボールねじと、前記ボールねじの両側に設けられる第４レール部材と、前記第４レール部材上で前記昇降方向に移動可能に設けられる第４移動可能部材とを含み、
前記昇降機構カバー部材は、少なくとも前記ボールねじの潤滑部位及び前記第４レール
部材と前記第４移動可能部材の潤滑部位を覆うように、前記昇降機構と前記カセットとの間で前記昇降方向に延びる第９カバー部材を含む請求項２２に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項２４】
ディスプレイ製造装置において、
被蒸着体の流れ方向の下流側の蒸着ステーションに被蒸着体を伝達するチャンバーと、
前記チャンバー内で被蒸着体が置かれるステージと、
前記ステージの下部に設置され、前記ステージを移送するための移送機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む移送機構と、
少なくとも前記移送機構の前記潤滑部位を覆うように、前記移送機構に隣接して設けられる移送機構カバー部材とを含むディスプレイ製造装置。
【請求項２５】
前記移送機構は、前記移送機構の移送方向に延びるボールねじと、前記ボールねじの両側に設けられる第５レール部材と、前記第５レール部材上で前記移送方向に移動可能に設置される第５移動可能部材を含み、
前記移送機構カバー部材は、前記ボールねじの上面及び前記第５レール部材と第５移動可能部材の上面の少なくとも一部を覆うように、前記ステージと前記移送機構との間で、前記移送方向に延びる第１０カバー部材を含む請求項２４に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項２６】
請求項１乃至請求項２５のいずれか１項に記載のディスプレイ製造装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はディスプレイ製造装置及びこれを用いたデバイス製造方法に関するもので、具体的には、有機電界発光ディスプレイ（ＯＬＥＤ）の製造装置内で被移動体を移動させるための移動機構から潤滑部材が飛散して被蒸着体やマスクに付着することを低減するための構造を持つディスプレイ製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近、フラットパネルディスプレイとして有機電界発光ディスプレイ（ＯＬＥＤ）が脚光を浴びている。有機電界発光ディスプレイは自発光ディスプレイで、応答速度、視野角、薄型化などの特性が液晶パネルディスプレイより優れており、モニタ、テレビ、スマートフォンに代表される各種の携帯端末などで、既存の液晶パネルディスプレイを急速に代替している。また、自動車用のディスプレイ等にも、その応用分野が広がっている。
【０００３】
有機電界発光ディスプレイの素子は、２つの向かい合う電極（カソード電極、アノード電極）の間に発光を起こす有機物層が形成された基本構造を有し、有機電界発光ディスプレイの素子の有機物層は、真空チャンバー内で蒸発源に収容されている蒸着物質を蒸発させて真空チャンバー内の被蒸着体に蒸着させることで形成される。
【０００４】
大型化された被蒸着体上に均一な膜厚を持つ有機物層を形成するために、真空チャンバー内に停止されている被蒸着体に対して蒸発源が移動しながら、蒸着工程が行われる。このように蒸発源が移動するムービングソースからなる場合、蒸発源の移動のためにガイドレールが設置され、そのガイドレールの上を蒸発源が移動することになる。
【０００５】
この際、ガイドレール上にはガイドレールに沿って移動するガイドブロックが設けられ、ガイドブロック上には蒸発源の胴体が乗せられる。蒸発源が乗せられたガイドブロックはガイドレールに沿って移動するので、ガイドブロックとガイドレールと間の摩擦を低減するために、ガイドレールとガイドのブロックとの間にはグリース（ｇｒｅａｓｅ）のような潤滑剤が加えられる。
【０００６】
ところで、真空蒸着工程が行われる間、ガイドレールとこれと相対的に移動するガイドブロック間の摩擦熱が持続的に発生し、また、蒸着物質を蒸発させるための蒸発源ユニットの加熱によって真空チャンバー内部の温度そのものが上がる。これによってグリースが加熱されて蒸発してしまう。特に、蒸着工程は、真空状態で行われるため、グリース成分が蒸発しやすいだけでなく空気抵抗がないため、蒸発されたグリースが真空チャンバーの上部に配置される被蒸着体やマスクに向かって飛散しやすく、被蒸着体の蒸着面やマスクに付着してしまうことがある。このように被蒸着体の蒸着面に付着したグリースは、有機電界発光表示素子の寿命を短縮させる原因になる。
【０００７】
このようなグリース飛散による問題は真空蒸着装置だけでなく、真空蒸着装置とともに、有機電界発光ディスプレイ製造ラインを構成する他の装置（マスクストックチャンバー、被蒸着体ストックチャンバー、パスチャンバーなど）のように、移動機構や昇降機構を用いて被蒸着体やマスクの移送／昇降を行う装置においても同様の問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明が解決しようとする課題乃至目的は、摩擦熱などによって飛散したグリースが被蒸着体やマスクに付着することを低減することができるディスプレイ製造装置を提供する
ことである。
【０００９】
本発明の課題乃至目的は、前述した技術的課題ないし目的に制限されず、言及されていない、他の技術的課題乃至目的は以下の記載から、当業者が明確に理解することができる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のディスプレイ製造装置は、処理対象体に対する処理が行われるチャンバーと；前記チャンバー内で移動する移動体と；前記移動体を移動させるための移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む移動機構と；少なくとも前記移動機構の前記潤滑部位を覆うように前記移動機構に隣接して設けられるカバー部材とを含む。
【００１１】
本発明の一態様によるディスプレイ製造装置は、被蒸着体に対する蒸着が行われる真空チャンバーと；蒸着物質が充填される蒸発源を含む蒸発源ユニットと；前記蒸発源ユニットを第１方向に移動させるための第１移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む第１移動機構と；少なくとも前記第１移動機構の前記潤滑部位を覆うように前記第１移動機構に隣接して設けられる第１移動機構カバー部材とを含む。
【００１２】
本発明の他の一態様によるディスプレイ製造装置は、被蒸着体に対する蒸着が行われる真空チャンバーと；蒸着物質が充填される蒸発源を含む蒸発源ユニットと；前記蒸発源ユニットを第１方向に移動させるための第１移動機構と；前記第１移動機構を前記第１方向と交差する第２方向に移動させるための第２移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む第２移動機構と；少なくとも前記第２移動機構の前記潤滑部位を覆うように、前記第２移動機構に隣接して設けられる第２移動機構カバー部材とを含む。
【００１３】
本発明の他の一態様によるディスプレイ製造装置は、被移動体が収納されるチャンバーと；前記チャンバー内の被移動体を移動させるための移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む移動機構と；少なくとも前記移動機構の前記潤滑部位を覆うように、前記移動機構に隣接して設けられる移動機構カバー部材とを含む。
【００１４】
本発明の他の一態様によるディスプレイ製造装置は、マスクが収納されるチャンバーと；使用前後のマスクを区分して収納する複数のカセットと；前記カセットを昇降させるための昇降機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む昇降機構と；少なくとも前記昇降機構の前記潤滑部位を覆うように、前記昇降機構に隣接して設けられる昇降機構カバー部材とを含む。
【００１５】
本発明の他の一態様によるディスプレイ製造装置は、被蒸着体が収納されるチャンバーと；前記被蒸着体を収納するカセットと；前記チャンバー内で前記カセットを昇降させる昇降機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む昇降機構と；少なくとも前記昇降機構の前記潤滑部位を覆うように、前記昇降機構に隣接して設けられる昇降機構カバー部材とを含む。
【００１６】
本発明の他の一態様によるディスプレイ製造装置は、被蒸着体の流れ方向の下流側の蒸着ステーションに被蒸着体を伝達するチャンバーと；前記チャンバー内で被蒸着体が置かれるステージと；前記ステージの下部に設置され、前記ステージを移送するための移送機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む移送機構と；少なくとも前記移送機構の前記潤滑部位を覆うように、前記移送機構に隣接して設けられる移送機構カバー部材とを含む。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によると、真空蒸着装置において蒸発源ユニットを真空チャンバー内で移動させるための蒸発源移動機構から飛散するフッ化物グリースのような潤滑部材が被蒸着体やマスクに付着することを低減することができ、これによって、本発明の真空蒸着装置によって製造される有機電界発光ディスプレイの不良を効果的に防止することができる。また、マスクストックチャンバー、被蒸着体ストックチャンバー、パスチャンバーのように有機電界発光ディスプレイの製造ラインを構成する各チャンバー内で被蒸着体やマスクの移送／昇降機構からグリースなどが飛散し、被蒸着体やマスクに付着することを効果的に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、有機電界発光ディスプレイ製造ラインの概略図である。
【図２】図２は、有機電界発光ディスプレイ製造ラインに使用される真空蒸着装置の概略図である。
【図３】図３は、真空蒸着装置の蒸発源ユニットを移動させるための第１移動機構及び潤滑部材の飛散を防止するためのカバー部材の概略図である。
【図４】図４は、真空蒸着装置の蒸発源ユニットを真空蒸着装置のステージ間に移動させるための第２移動機構及び潤滑部材の飛散を防止するためのカバー部材の概略図である。
【図５】図５は、マスクストックチャンバー内のマスクカセットを昇降させるための昇降機構及び潤滑部材の飛散を防止するためのカバー部材の概略図である。
【図６】図６は、被蒸着体ストックチャンバー内で被蒸着体カセットを昇降させるための昇降機構及び潤滑部材の飛散を防止するためのカバー部材の概略図である。
【図７】図７は、パスチャンバー内で被蒸着体を移送するための移送機構及び潤滑部材の飛散を防止するためのカバー部材の概略図である。
【図８】図８は、本発明のディスプレイ製造装置を用いて、有機電界発光ディスプレイを製造する方法に関するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照し、本発明の実施例を詳しく説明する。
【００２０】
本発明は多様な変更ができ、多様な実施例を有することができる。特定の実施例を図面に基づき例示して説明するが、本発明はこの特定の実施例に限定されず、本発明の思想および技術範囲に含まれるすべての変更、均等物乃至代替物を含むものと理解されるべきである。
【００２１】
図１は有機電界発光ディスプレイの製造ラインの構成を簡略に示した図面である。有機電界発光ディスプレイ製造ラインは複数の蒸着ステーションから成り、各蒸着ステーションは、トランスファーチャンバー１（ｔｒａｎｓｆｅｒ  ｃｈａｍｂｅｒ）、トランスファーチャンバー１に連結された複数の真空蒸着装置２、トランスファーチャンバー１に連結され、使用前後のマスクが収納されるマスクストックチャンバー３を含む。各蒸着ステーションの間には、被蒸着体の流れ方向において、上流側の蒸着ステーションから被蒸着体を受けとり、下流側の蒸着ステーションに被蒸着体を流す前に一時的に被蒸着体を収納する被蒸着体ストックチャンバー４、被蒸着体ストックチャンバー４の下流側に設置され、被蒸着体ストックチャンバー４からの被蒸着体を水平旋回させるためのターンチャンバー５（ｔｕｒｎ  ｃｈａｍｂｅｒ）、ターンチャンバー５から被蒸着体を受け取って次の蒸着ステーションに被蒸着体をパスするためのパスチャンバー６（ｐａｓｓ  ｃｈａｍｂｅｒ）などが設置される。
【００２２】
有機電界発光ディスプレイ製造ラインにはターンチャンバー５がないものもあり、このような製造ラインではパスチャンバー６内に被蒸着体を１８０度回転させる回転装置及び
回転された被蒸着体を水平移送するための移送機構を設けることが一般的である。
【００２３】
本発明は、このような有機電界発光ディスプレイ製造ラインを構成する様々な装置乃至チャンバー内の移動／昇降機構から飛散した潤滑部材が各装置乃至チャンバー内の被蒸着体やマスクに付着して被蒸着体やマスクを汚染させる問題を低減させるためのものである。
【００２４】
このため、本発明では、潤滑部材の飛散源である移動機構または昇降機構と被蒸着体乃至マスクとの間の潤滑部材の飛散経路をブロッキングするカバー部材を移動機構／昇降機構の周りに隣接して設置することを特徴としている。すなわち、本発明のディスプレイ製造装置は、潤滑部材の飛散源である移動機構／昇降機構の潤滑部位（すなわち、移動機構／昇降機構で潤滑部材が加えられる部位）を少なくとも覆うように、移動機構／昇降機構に隣接して設置されるカバー部材を含むことを特徴とする。
【００２５】
以下、各装置乃至チャンバー別に本発明の構成について具体的に説明している。
【００２６】
（第１実施例）
【００２７】
図２は、本発明の一実施例による真空蒸着装置２の全体的な構成を概略的に示す図面である。
【００２８】
図２（ａ）に示されたとおり、本発明の一実施例による真空蒸着装置２は、減圧雰囲気の下で被蒸着体７（処理対象体、例えば、基板）に対して蒸着が行われる空間を定義する真空チャンバー１０及び蒸着物質を蒸発させて放出する蒸発源ユニット１１を含む。
【００２９】
蒸発源ユニット１１は蒸着物質を収容し、蒸着物質を加熱して蒸発させるための蒸発源１２を含む。蒸発源１２は、被蒸着体７の蒸着面に向いて蒸着物質を放出する放出孔或いはノズルを複数備えた構造を持つが、これに限らず、被蒸着体７、マスク８のパターン、蒸着物質の種類などに合わせて、適宜選択できる。例えば、点（ｐｏｉｎｔ）蒸発源や線形（ｌｉｎｅａｒ）蒸発源、小型の蒸着物質収容部に、蒸着物質を放出する複数の放出孔を持つ拡散室に接続した構造の蒸発源などを用いてもよい。
【００３０】
また、本発明の真空蒸着装置２は、図２（ｂ）に示されたように、蒸発源１２から蒸発し被蒸着体に向けて噴射される蒸着物質を遮断乃至通過させる開閉シャッター（不図示）と、蒸発源１２から放出された蒸着物質の蒸発レートをモニタする膜厚モニタ１３と、膜厚モニタ１３からの入力信号を受け膜厚を計測する膜厚計１４と、蒸発源１２に設けられた加熱装置を制御する電源１５と、被蒸着体７を保持し、被蒸着体７をマスク８や蒸発源１２に対して相対的に移動させることができる被蒸着体ホルダー１６と、マスク８を保持し、マスク８を被蒸着体７や蒸発源１２に対して相対的に移動させることができるマスクホルダー１７等の他の構成部品をさらに含むことができる。
【００３１】
このような構成を持つ真空蒸着装置２は真空チャンバー１０内を減圧雰囲気（例えば、真空）にした状態で蒸発源ユニット１１の蒸発源１２内に収容されている蒸着物質を加熱・蒸発させ、蒸発された蒸着物質を所定のパターンが形成されているマスク８又はパターンシートを通じて、被蒸着体７上に蒸着させ、被蒸着体７上に求められるパターンを持つ蒸着物質の薄膜を形成する。本発明の真空蒸着装置２を用いて有機電界発光ディスプレイデバイスを製造する具体的な方法については、後述する。
【００３２】
蒸発源１２を含む蒸発源ユニット１１は、通常、真空チャンバー１０の下方に一つが配置され、一つの蒸発源ユニット１１で被蒸着体７全体に均一な厚さの薄膜を蒸着するため
に、蒸発源ユニット１１を被蒸着体７の長手方向に沿って真空チャンバー１０のドア側から真空チャンバー１０の奥側（図２（ａ）に示された矢印の方向に）移動させながら蒸着を行う。
【００３３】
図２（ａ）の真空蒸着装置２は、一つの真空チャンバー１０内に２つの被蒸着体７が搬入され、その中の一つの被蒸着体７に蒸着が行われている間（例えば、Ａ側ステージ）、他の被蒸着体７に対して（例えば、Ｂ側ステージ）は、マスク８と被蒸着体７間の整列（アライメント）が行われる、いわゆる、「デュアルステージ」で蒸着可能な真空蒸着装置２を図示している。
【００３４】
このようなデュアルステージの真空蒸着装置２においては、それぞれのステージ内で蒸着工程が行われる際に被蒸着体７の長手方向に沿って蒸発源ユニット１１を移動させることに加え、蒸発源ユニット１１を各ステージ間に移動させる。以下では、デュアルステージの真空蒸着装置２の例を挙げて本発明の構成を説明するが、この限りではなく、本発明は真空チャンバー１０内での蒸発源ユニット１１の移動が伴う場合には適用可能である。
【００３５】
蒸発源ユニット１１を被蒸着体７に対向する面内で被蒸着体７の長手方向に移動させたり、各ステージ間に移動させるため、真空チャンバー１０の下方には蒸発源移動機構１８が配置される。すなわち、蒸発源移動機構１８は蒸発源ユニット１１を被蒸着体の長手方向である第１方向に移動させるための第１移動機構及び蒸発源ユニット１１を第１方向と交差する第２方向に移動させるための第２移動機構を含む。
【００３６】
蒸発源移動機構１８の第１移動機構及び第２移動機構はそれぞれ、蒸発源ユニット１１を移動させるために、その移動をガイドするための機構であり、駆動力を提供するサーボモーターと、サーボモーターの回転駆動力を直線駆動力に転換する駆動力転換機構としてのラック／ピニオンと、蒸発源ユニット１１の移動をガイドするガイドレール及びガイドレール上でガイドレールに沿って移動可能なガイドブロックなどを含む。
【００３７】
具体的に、図３に図示されたとおり、蒸発源ユニット１１を被蒸着体の長手方向に移動させるための移動機構である第１移動機構は、被蒸着体の長手方向である第１方向に延びる２つの第１ガイドレール１９（第１レール部材）、それぞれの第１ガイドレール１９上に設置され、第１方向に移動可能な第１ガイドブロック２０（第１移動可能部材）を含む。第１ガイドブロック２０は蒸発源ユニット１１を支持し、蒸発源ユニット１１の大気ボックス内の第１サーボモーター２１の回転軸端に連結された第１ピニオン２２とベースプレート２９に固定された第１ラック２３との連結によって、第１サーボモーター２１から駆動力を受け、第１ガイドレール１９上で、第１方向に移動する。第１ピニオン２２と第１ラック２３とが、本実施例の第１駆動力転換機構に当たるが、本発明は、このような駆動力転換機構に限定されず、駆動源であるモーターの回転駆動力を直線駆動力に転換できる他の駆動力転換機構を含むことができる。例えば、ボールねじのような他の駆動力転換機構を含むこともできる。
【００３８】
第１ガイドレール１９と第１ガイドブロック２０との間、そして、第１サーボモーター２１の回転軸端に連結された第１ピニオン２２とベースプレート２９に固定された第１ラック２３との間には摩擦抵抗を低減させるために、フッ素成分のグリース（ｇｒｅａｓｅ）のような潤滑部材が加えられる。
【００３９】
本実施例による真空蒸着装置２は、蒸発源ユニット１１を第１方向に移動させる第１移動機構の潤滑部位（潤滑部材が加えられた部位）から被蒸着体７やマスク８に向かう潤滑部材の飛散経路を遮断するため、少なくとも第１移動機構の潤滑部位を覆うように、第１移動機構に隣接して設置された第１移動機構カバー部材を含む。
【００４０】
具体的に、図３に図示されたとおり、本実施例による真空蒸着装置２は、第１移動機構カバー部材として、第１ガイドブロック２０に固定され、第１ガイドレール１９の上面の少なくとも一部を覆うように第１ガイドブロック２０の第１方向の前端及び後端から第１方向に所定の長さで延びる第１カバー部材２５を含む。第１カバー部材２５は第１ガイドレール１９と第１ガイドブロック２０との間の潤滑部材が真空チャンバー１０内の上部に位置する被蒸着体７やマスク８に到達する経路を遮断する機能を果たす。
【００４１】
第１カバー部材２５は、第１ガイドレール１９と第１ガイドブロック２０との間から被蒸着体に向かう潤滑部材の飛散経路をより確実に遮断するために、図３（ｂ）に示したように、第１ガイドレール１９を３つの面（つまり、上面及び第１方向から見た際の両側面）で囲むように形成することがより望ましい。つまり、潤滑部材の飛散源である移動機構から被蒸着体７やマスク８が見えないように飛散源の移動機構を覆う位置だけでなく、直接的な視線（ｌｉｎｅ  ｏｆ  ｓｉｇｈｔ）経路上ではない位置（移動機構から被蒸着体で直接的に向かう方向ではない位置）にもカバー部材を設置することで、潤滑部材の飛散をさらに確実に遮断することができる。これは、潤滑部材が被蒸着体７やマスク８に直接的に向かう方向ではない他の方向に飛散し始めたとしても、再び被蒸着体７やマスク８に向くように飛散経路が変わりうるからである。
【００４２】
図３（ａ）に示されたように、第１カバー部材２５の第１方向の長さは被蒸着体７に向かう飛散経路の遮断程度及び真空蒸着装置２の他の構成部品との干渉の如何を考慮して決めることが望ましい。すなわち、第１カバー部材２５の第１方向の長さを長くするほど被蒸着体７に向かう飛散経路をより確実に遮断することができるが、第１方向の移動の両端で第１カバー部材２５が例えば、真空チャンバー１０の壁面にぶつかる可能性があるので、このような要素のバランスを考慮して第１方向の長さを定めることが望ましい。例えば、第１カバー部材２５の中、真空チャンバー１０の奥側壁面に向かうカバー部材はその反対側のものより短く形成し、真空チャンバー１０の奥側壁面とのぶつかりを防止することができる。
【００４３】
本実施例の真空蒸着装置２は第１移動機構カバー部材として、図３に図示されたとおり、第１カバー部材２５以外に、第１ピニオン２２と第１ラック２３との間（第１駆動力転換機構の潤滑部位）に加えられた潤滑部材の飛散経路を遮断するための第２カバー部材２６を含むことができる。
【００４４】
第２カバー部材２６は、図３（ｂ）に図示されたとおり、少なくとも第１ピニオン２２と第１ラック２３と間の潤滑部位を覆うように形成されるが、具体的に、第１ピニオン２２の上面の少なくとも一部を覆うように形成される。第２カバー部材２６は、潤滑部材の飛散経路をより確実に遮断するために、第１ピニオン２２の上面の少なくとも一部だけでなく、第１ピニオン２２と第１ラック２３との間の結合部位の外側の側面（第１方向から見て、第１ラック２３に対して蒸発源ユニット１１と反対側）の少なくとも一部も覆うように形成されることがより望ましい。このため、第２カバー部材２６は、第１ラック２３の外側から垂直方向（第３方向）に延び、その上端部が、第１ピニオン２２の上部側に（第１方向と交差する第２方向に）曲がった形状を持つ。第２カバー部材２６は、図３（ａ）に示されたとおり、第１ガイドレール１９の第１方向に延びるように形成されるが、第１ガイドレール１９の第１方向の長さ全体にわたって設置するほうがより望ましい。こうした第２カバー部材２６は、蒸発源ユニット１１がＡステージの被蒸着体７に蒸着を行う間飛散する潤滑部材がＢステージ側の被蒸着体７及びマスク８に向かって飛散したり、その逆でＢステージ側の蒸発源ユニット１１からＡステージ側の被蒸着体７やマスク８に向かって飛散するのも低減できる。
【００４５】
以上では、蒸発源ユニット１１の第１移動機構からの潤滑部材が真空チャンバー１０内の被蒸着体７やマスク８に向かう経路を遮断するためのカバー部材として第１カバー部材２５及び第２カバー部材２６を説明したが、本実施例の真空蒸着装置２は、それ以外にも蒸発源ユニット１１の第１移動機構から被蒸着体７やマスク８に向かう経路を遮断できる他のカバー部材を追加で持つことができる。また、第１カバー部材２５及び第２カバー部材２６は、真空蒸着装置２の全体的な構造によって、その具体的な形状、長さや設置位置が変更され得る。特に、潤滑部材の飛散源である移動機構に可能な限り隣接するように設置することで、カバー部材の大きさを小さくすることができるだけでなく、潤滑部材の飛散をより効果的に遮断することができる。
【００４６】
以下では、図４を参照して、本実施例の真空蒸着装置２において、蒸発源ユニット１１のステージ間の移動に使用される第２移動機構及び第２移動機構の潤滑部位から被蒸着体７やマスク８に向かう潤滑部材の飛散経路を遮断するための第２移動機構カバー部材について説明する。第２移動機構カバー部材はすくなくとも第２移動機構の潤滑部位を覆うように、第２移動機構に隣接して設ける。
【００４７】
本実施例の真空蒸着装置２の第２移動機構は、蒸発源ユニット１１をＡステージからＢステージに（又はその反対に）移動させるために、第１方向と交差する第２方向に延びる第２ガイドレール２７（第２レール部材）及び第２ガイドレール２７上で第２方向に移動可能な第２ガイドブロック２８（第２移動可能部材）を含む。第２ガイドブロック２８上のベースプレート２９には第１移動機構（第１ガイドレール１９と第１ガイドブロック２０など）が乗せられる。第２ガイドブロック２８は、第２方向への移動の駆動源である第２サーボモーター３０と、第２サーボモーター３０の回転駆動力を直線駆動力に転換するための第２駆動力転換機構としての第２ラック３２と第２ピニオン３１によって、第２ガイドレール２７上を第２方向に移動する。これにより、第２ガイドブロック２８によって支持された第１移動機構及び第１移動機構の第１ガイドブロック上に乗せられた蒸発源ユニット１１は第２方向にステージ間を移動することができるようになる。本実施例では、第２駆動力転換機構として、第２ラック３２と第２ピニオン３１を例示しているが、本発明はこれに限定されず、駆動源であるモーターの回転駆動力を直線駆動力に転換できる他の駆動力転換機構を使用することができる。例えば、ボールねじのような他の駆動力転換機構を含むことができる。
【００４８】
第２方向への移動の駆動源である第２サーボモーター３０は、図４（ｃ）に示されたとおり、真空チャンバー１０の底面に固定され、第２サーボモーター３０の回転軸に第２ピニオン３１を設置し、これをベースプレート２９の側面に形成された第２ラック３２とかみ合わせることで、第２ガイドブロック２８を第２方向へ移動させる。
【００４９】
第２ガイドレール２７と第２ガイドブロック２８との間及び第２ピニオン３１と第２ラック３２との間にも摩擦抵抗の低減のために、フッ素成分が含まれたグリースのような潤滑部材が加えられるので、真空蒸着装置２内の他のグリース飛散源となる。したがって、本実施例の真空蒸着装置２は第２移動機構カバー部材として、第２ガイドレール２７と第２ガイドブロック２８との間の潤滑部材が被蒸着体に向かって飛散する経路を遮断するための第３カバー部材３３及び第４カバー部材３４と、第２ピニオン３１と第２ラック３２の間（第２駆動力転換機構の潤滑部位）の潤滑部材の飛散経路を遮断するための第５カバー部材３５及び第６カバー部材３６を含む。
【００５０】
第３カバー部材３３は、第２ガイドレール２７と第２ガイドブロック２８との間から被蒸着体に向かう潤滑部材の飛散経路を遮断するために、図４（ｂ）に図示されたとおり、第２ガイドブロック２８の上面の少なくとも一部を覆い、また、図４（ａ）に示されたとおり、第２方向に延びる構造を持つ。潤滑部材の飛散をさらに確実に低減させるため、第
３カバー部材３３は第２ガイドレール２７の内側（第２方向から見た時、第２サーボモーター３０の反対側）で第２ガイドレール２７及び第２ガイドブロックの側面の少なくとも一部をさらに覆うように形成されることができる。すなわち、第３カバー部材３３は、２つの第２ガイドレール２７の内側で第２ガイドレール２７に隣接して垂直方向（第３方向）に延びることによって、第２ガイドレール２７と第２ガイドブロック２８の内側の側面の少なくとも一部を覆い、その上端部が、第２ガイドブロック２８側に向かって（すなわち、第１方向に）曲がって、第２ガイドブロック２８の上面の少なくとも一部を覆う構造を持つことがより望ましい。また、第３カバー部材３３は第２方向には、第２ガイドレール２７のほぼ全長にわたって第２ガイドレール２７に平行に形成されることがより望ましい。
【００５１】
本実施例の真空蒸着装置２は、第２ガイドレール２７と第２ガイドブロック２８からの潤滑部材の飛散を遮断する別のカバー部材である第４カバー部材３４を有することができる。第４カバー部材３４は、２つの第２ガイドレール２７の中、真空チャンバー１０の奥側に設けられた第２ガイドレール２７の外側（真空チャンバー１０の奥側の第２ガイドレール２７と真空チャンバー１０の奥側壁面との間）で第２ガイドレール２７及び第２ガイドブロック２８の側面（真空チャンバー１０の奥側壁面を向かう面）の少なくとも一部を覆うように、第２ガイドレール２７の外側の側面に隣接して設けられる。第４カバー部材３４は、第２方向には第２ガイドレール２７に沿って延びるように形成される。
【００５２】
本実施例の第５カバー部材３５は、第２駆動力転換機構である第２ピニオン３１及び第２ラック３２の潤滑部位を覆うためのカバー部材であり、図４（ｃ）に図示されたように、第２ピニオン３１上面及び第２ラック３２の上面の少なくとも一部を覆うように形成される。第２駆動力転換機構からのグリースの飛散をさらに確実に防止するために、第５カバー部材３５は、第２方向から見て第２ピニオン３１の外側（第２方向から見た際、真空チャンバー１０のドア側、及び奥側壁面側）側面の少なくとも一部をさらに覆うように形成されることが望ましい。即ち、第５カバー部材３５は、第２サーボモーター３０の回転軸の上端に連結された第２ピニオン３１の外側の側面（第２方向から見て、外側の面）の少なくとも一部を覆うように垂直方向（第３方向）に延び、その上部が少なくとも第２ピニオン３１の上面及び第２ラック３２の上面の一部を覆うように第２レール部材側に（つまり、第１方向に）曲がっている。第２ピニオン３１と第２ラック３２との間の飛散源からの潤滑部材の飛散経路をさらに確実に遮断するため、図４（ａ）に示されたとおり、第５カバー部材３５は第２ピニオン３１の第１方向から見た際の両側面を追加で覆うように（したがって、全体的に上面及び３側面を覆うように）形成されることもでき、第２ピニオン３１とかみ合う第２ラック３２の少なくとも一部を覆うように第２方向に延長することもできる。
【００５３】
第２ピニオン３１／第２ラック３２から被蒸着体に向かう飛散経路をさらに確実に遮断するため、図４（ｃ）に図示されたように、第１ガイドレール１９を乗せていて第２ガイドブロック２８上に設置されるベースプレート２９（ｂａｓｅ  ｐｌａｔｅ）に垂直な方向（第３方向）に延びる第６カバー部材３６を追加で設置することができる。第６カバー部材３６は第１方向では第２ピニオン３１より内側に設置され、第２方向では、第２ガイドレール２７に沿って第２ガイドレール２７の長さ全体にわたって設置することができる。
【００５４】
図４には、第２移動機構から被蒸着体への潤滑部材飛散経路を遮断するため、第３乃至第６カバー部材を図示したが、第２移動機構の構造に従って、これらのカバー部材以外の他のカバー部材が第２移動機構と被蒸着体の間の空間で（第２移動機構に隣接して）少なくとも第２移動機構の潤滑部位を覆うように形成されることもでき、第３乃至第６カバー部材の具体的な形状や設置位置も本発明の技術思想の範囲内で変更することができる。
【００５５】
本実施例では、真空蒸着装置２内の蒸発源ユニット１１の移動機構から飛散する潤滑部材を遮断するためのカバー部材を中心に説明したが、本発明はこれに限定されず、真空蒸着装置２の他の被移動体の移動機構から被蒸着体やマスクへと向かう経路を遮断するためのカバー部材を含むことができる。例えば、被蒸着体ホルダー１６やマスクホルダー１７等の移動機構にも、必要に応じて、潤滑部材の飛散経路を遮断するためのカバー部材を設置することができる。
【００５６】
（第２実施例）
【００５７】
以下、図５を参照して、本発明による第２実施例の構成を説明する。
【００５８】
第２実施例は、有機電界発光ディスプレイ製造ラインのマスクストックチャンバー３内でグリース飛散源からマスクに向かう経路を遮断するために、カバー部材を設置するという点で真空蒸着装置２内のグリース飛散源のカバー部材に関する第１実施例の構成と異なる。
【００５９】
マスクストックチャンバー３は真空蒸着装置２内で被蒸着体に蒸着工程を行う際に用いられるマスク８を収納するチャンバーであり、真空蒸着工程に使用される前の新たなマスク及び使用済みのマスクを別途のマスクカセット３９に収納する構造を持つ。マスクストックチャンバー３ではマスクが収納された複数のマスクカセット３９を第１ステージ４０上に乗せ、第１ステージ４０をマスク出入り口に向かって昇降機構によって昇降させてマスクストックチャンバー３からマスクを搬出入させる。
【００６０】
マスクストックチャンバー３に使用される昇降機構は、第１ボールねじ４１と第１ボールねじ４１の両側に設けられる第３ガイドレール４２（第３レール部材）と第３ガイドブロック４３（第３移動可能部材）とを含む。駆動源である第３モーター（不図示）は第１ボールねじ４１の下端に連結されており、第３モーターからの駆動力は第１ボールねじ４１と第３ガイドレール４２上に移動可能に設置された第３ガイドブロック４３を通じて、第３ガイドブロック４３に連結された第１ステージ４０に伝達される。
【００６１】
マスクストックチャンバー３内の昇降装置である第１ボールねじ４１及び第３ガイドレール４２／第３ガイドブロック４３にも摩擦抵抗を低減させるために潤滑部材が加えられるので、本実施例では、彼らからマスクストックチャンバー３内に収納されたマスク８に向かって潤滑部材が飛散する経路を遮断するために、昇降機構カバー部材を少なくとも昇降機構の潤滑部位を覆うように昇降機構に隣接して設置する。
【００６２】
具体的に、本実施例のマスクストックチャンバーは、第１ボールねじ４１の潤滑部位から飛散するグリースを遮断するための、マスクストックチャンバー内の昇降機構カバー部材として、第７カバー部材４４を含む。第７カバー部材４４は、マスクストックチャンバー３内で垂直方向（昇降機構の昇降方向）に延びる第１ボールねじ４１からマスク収納空間に向かう面の少なくとも一部を覆うように、第１ボールねじ４１とマスクカセット３９との間の空間で第１ボールねじ４１に沿って延びる。本実施例による第７カバー部材４４は第１ボールねじ４１の昇降方向の全長にわたって延びるプレート部材の形状を持つことがより望ましい。
【００６３】
第１ボールねじ４１からマスクに向かう潤滑部材の飛散経路をさらに確実に遮断するため、図５に図示されたとおり、第１ボールねじ４１を３つの面（マスク収納空間に向かう面及び両側面）で包む構造に第７カバー部材４４を形成することがより望ましい。図５に図示したように、第７カバー部材４４は第１ボールねじ４１からマスク収納空間に向かう
面を覆う部分とその両側面を覆う部分を別途の部材にしても、一体に形成してもいい。
【００６４】
図５（ｂ）には第７カバー部材４４が第１ボールねじ４１周囲の長方形の形で３つの面を包む構造に図示されたが、本実施例の第７カバー部材４４はこれに限定されず、第１ボールねじ４１の設置状態及びマスク収納空間との空間的な配置によって様々な形状を持つことができる。
【００６５】
また、本実施例のマスクストックチャンバーはマスクストックチャンバー３内の第３ガイドレール４２と第３ガイドブロック４３との間の潤滑部材の飛散を遮断するための昇降機構カバー部材として、第８カバー部材４５を含むことができる。本実施例による第８カバー部材４５は、図５（ｃ）に示されたとおり、潤滑部材第３ガイドブロック４３の上下の両端部から垂直方向（昇降方向）に所定の長さで延長し、第３ガイドレール４２の周りを包む構造を持つ。
【００６６】
本実施例では、マスクストックチャンバー３内のカセット昇降機構からの潤滑部材の飛散を遮断するための昇降機構カバー部材を中心に説明したが、マスクストックチャンバー３内の他の移動機構からの潤滑部材の飛散を遮断するためのカバー部材も本発明の範囲に含まれる。
【００６７】
（第３実施例）
【００６８】
以下、図６を参照して、本発明による第３実施例の構成を説明する。
【００６９】
第３実施例は、有機電界発光ディスプレイ製造ラインの被蒸着体ストックチャンバー４内で潤滑部材の飛散源から被蒸着体に向かう経路を遮断するために、カバー部材を設置するという点で他の実施例の構成と異なる。
【００７０】
被蒸着体ストックチャンバー４は、被蒸着体の流れ方向の上流側蒸着ステーションで蒸着が完了した被蒸着体を下流側蒸着ステーションに移送する前に一時的に収納するチャンバーであり、被蒸着体７が収納された被蒸着体カセット４６を被蒸着体ストックチャンバー４の第２ステージ４７上に乗せて、必要に応じて、望む被蒸着体７を搬出入させるため、第２ステージ４７を搬出入口に向かって昇降させる。このための昇降機構として、第２ボールねじ４８及び第２ボールねじ４８の両側に設けられる第４ガイドレール４９（第４レール部材）及び第４ガイドブロック５０（第４移動可能部材）を使用する。被蒸着体ストックチャンバー４でも、第２ボールねじ４８及び第４ガイドレール４９と第４ガイドブロック５０との間の摩擦抵抗を低減させるため、フッ素成分のグリースのような潤滑部材を使用する。
【００７１】
本実施例の被蒸着体ストックチャンバーは、少なくとも被蒸着体ストックチャンバー４の昇降機構の潤滑部位を覆う昇降機構カバー部材として、第９カバー部材５１を含む。すなわち、本実施例では、潤滑部材が被蒸着体ストックチャンバー４内に設置された第２ボールねじ４８及び第４ガイドレール４９と第４ガイドブロック５０との間から被蒸着体の収納空間に向かって飛散する経路を遮断するために、第９カバー部材５１を少なくとも昇降機構の潤滑部位を覆うように昇降機構に隣接して設置する。
【００７２】
具体的に、図６（ａ）に示されたとおり、本実施例の第９カバー部材５１は垂直方向（昇降方向）に延びる第２ボールねじ４８及び第４ガイドレール４９と第４ガイドブロック５０から被蒸着体（被蒸着体収納空間）に向かう面の少なくとも一部を覆うようにその垂直方向（昇降方向）に延びる。第９カバー部材５１は、第２ボールねじ４８の昇降方向の長さ全体にわたって形成されるのがより望ましい。潤滑部材の飛散経路をより確実に遮断
するため、図６（ｂ）に図示されたとおり、第２ボールねじ４８及び第４ガイドレール４９／第４ガイドブロック５０を３面（被蒸着体収納空間を向かう面とその両側面）で囲む構造で第９カバー部材５１を形成してもよい。この際、被蒸着体収納空間に向かう面（正面）を覆うための部材と両側面を覆うための部材はお互いに別途の部材にしてもよい。第９カバー部材５１の具体的な構造は被蒸着体ストックチャンバー４内の昇降装置の構造及び被蒸着体収納空間の構造によってこれと異なる構造を持つことができる。
【００７３】
本実施例では、被蒸着体ストックチャンバー４内の被蒸着体昇降機構からの潤滑部材の飛散を遮断するための昇降機構カバー部材を中心に説明したが、被蒸着体ストックチャンバー４内の他の移動機構からの潤滑部材の飛散を遮断するためのカバー部材も本発明の範囲に含まれる。
【００７４】
（第４実施例）
【００７５】
以下、図７を参照して、本発明による第４実施例の構成を説明する。
【００７６】
第４実施例は、有機電界発光ディスプレイ製造ラインのパスチャンバー６内でグリース飛散源からマスクに向かう経路を遮断するために、カバー部材を設置するという点で他の実施例の構成と異なる。
【００７７】
パスチャンバー６は、有機電界発光ディスプレイ製造ラインのタイプによって、ターンチャンバー５がない場合には、被蒸着体ストックチャンバー４から移送された被蒸着体を次の蒸着ステーションのトランスファーチャンバー１のロボットアームに渡す前に、被蒸着体７を平面上で１８０度回転させて、被蒸着体７を事前整列のステージに水平方向に移送して被蒸着体の事前整列を行う機能を持つチャンバーである。ターンチャンバー５がある場合には、ターンチャンバー５から渡された基板を次の蒸着ステーションに送る前に事前整列させる機能をもつ。
【００７８】
パスチャンバー６の水平移送機構は、図７に図示されたとおり、被蒸着体７が置かれる第３ステージ５５の下部にパスチャンバー６の長手方向に延びる第３ボールねじ５２及び第３ボールねじ５２の両側に設けられる第５ガイドレール５３／第５ガイドブロック５４を含む。これら第３ボールねじ５２及び第５ガイドレール５３と第５ガイドブロック５４との間には摩擦抵抗を低減させるため、フッ素成分が含まれたグリースのような潤滑部材が加えられる。
【００７９】
本実施例のパスチャンバーは少なくとも移送機構の潤滑部位を覆う移送機構カバー部材として、第１０カバー部材５６を含む。第１０カバー部材５６は、パスチャンバー６の長手方向に延びる第３ボールねじ５２と第５ガイドレール５３から第３ステージ５５に向かう、第３ボールねじ５２と第５ガイドレール５３の上面の少なくとも一部を覆うように設置される。第１０カバー部材５６は、第３ボールねじ５２と第５ガイドレール５３のほぼ全長にわたって設けられるのがより望ましい。より確実に潤滑部材の飛散経路を遮断するため、図７に図示されたとおり、第３ボールねじ５２及び第５ガイドレール５３／第５ガイドブロック５４を３面（上面及び両側）で包む構造に第１０カバー部材５６を形成してもよい。この時、被蒸着体（または第３ステージ５５）に向かう面（上面）を覆うためのカバー部材と両側面を覆うためのカバー部材はお互いに別途の部材にしてもよい。その他、第１０カバー部材５６の具体的な構造はパスチャンバー６内の移送装置の構造及び第３ステージ５５の構造によってこれと異なる構造を持つことができる。
【００８０】
以上では、有機電界発光ディスプレイ製造ラインでグリース飛散源から被蒸着体やマスクに向かう潤滑部材の飛散経路を遮断するためのカバー部材を、真空蒸着装置２、マスク
ストックチャンバー３、被蒸着体ストックチャンバー４、パスチャンバー６を例にとって説明したが、本発明の技術的思想はこれらの装置やチャンバーに限定されず、被蒸着体やマスクの移動／昇降機構を含む他の装置やチャンバーなどにも利用できる。
【００８１】
（本発明のディスプレイ製造装置を使用したディスプレイデバイスの製造方法）
【００８２】
以下では、図２及び８を参照して、本発明のディスプレイ製造装置を使用してデバイスを製造する方法について具体的に説明する。
【００８３】
まず、制御部（不図示）は、蒸着物質を気化させるため、蒸発源１２に設けられた加熱装置を電源１５によって制御する。この時、蒸発源１２に設けられたシャッター（不図示）が閉じられており、気化された蒸着物質は真空チャンバー１０内に放出しないようになっている。シャッターが閉られた状態で蒸発源１２に設けられた加熱装置の電源１５を入れる（Ｓ１）。
【００８４】
被蒸着体７に蒸着しようとするパターンが形成されたマスク８が、搬送手段（不図示）によって、真空チャンバー１０内に搬入され、マスク８を保持するマスクホルダー１７に載置される。マスクホルダー１７は、移動機構を有しており、マスク８の位置を所定の位置に移動させる（Ｓ２）。この時、マスク８を管理する制御部（不図示）は、マスク使用回数（Ｍ）を１とする。
【００８５】
この状態で、蒸着物質が蒸着される対象である被蒸着体７は、搬送手段によって、真空チャンバー１０内に搬入され、被蒸着体ホルダー１６に載置される。マスク８に設けられたアライメントマークと被蒸着体７に設けられたアライメントマークに基づいて、被蒸着体ホルダー１６の移動機構を制御することにより、マスク８と被蒸着体７間のアライメントを行う（Ｓ３）。被蒸着体ホルダー１６を移動制御して被蒸着体７とマスク８間のアライメントを行う代わりに、被蒸着体７が真空チャンバー１０内に搬入され、被蒸着体ホルダー１６によって所定の位置に配置された後に、マスク８をマスクホルダー１７によって移動し、マスク８と被蒸着体７とのアライメントを行ってもよい。
【００８６】
アライメント終了後、蒸発源１２のシャッターを開き、気化された蒸着物質を放出して、マスクパターンに沿って被蒸着体７に蒸着物質を蒸着する（Ｓ４）。
【００８７】
この時、被蒸着体７全体にわたって均一な厚さで蒸着を行うために、蒸発源１２は蒸発源移動機構１８によっても図２（ｂ）の紙面に垂直な方向に移動（例えば，被蒸着体の長手方向に移動）する。このような蒸着工程において、蒸発源移動機構１８と被蒸着体７またはマスク８との間に蒸発源移動機構１８に隣接するように設けられたカバー部材（２５、２６、３３、３４、３５、３６）を含む本発明のディスプレイ製造装置（真空蒸着装置２）を使用することにより、蒸発源移動機構１８の潤滑部位に加えられる潤滑部材が蒸発源移動機構１８の潤滑部位から被蒸着体７やマスク８に飛散する経路を効果的に遮断できるようになり、これにより、ディスプレイデバイスの不良を低減できるようになる。
【００８８】
蒸着工程中に水晶振動子などの膜厚のモニタ１３は、蒸発レートを計測し、膜厚計１４で膜厚に換算する。膜厚計１４で換算された膜厚が目標とする膜厚になるまで蒸着を続ける（Ｓ５）。
【００８９】
膜厚計１４で換算した膜厚が目標値に到達した後、蒸発源１２のシャッターを閉じ蒸着を終了する。その後、搬送手段によって被蒸着体７を真空チャンバー１０外に搬出する（Ｓ６）。マスク８は前述のマスク使用回数（Ｍ）が所定回数（ｎ）以上（ｎ≧２）になった場合に交換を行う。使用回数（Ｍ）が所定回数（ｎ）より小さい場合には使用回数（Ｍ
）を１だけ上げて、次の被蒸着体７を搬入し、同様の工程で蒸着を行う（Ｓ７）。マスク８の交換頻度はマスク８への蒸着材料の堆積具合などによって適切に定めることができる。
【００９０】
このような工程を経て、有機電界発光ディスプレイデバイスのようなデバイスを製造することができるが、本発明のデバイス製造方法はこれに限らず、各工程の具体的な構成は適切に変更可能である。
【００９１】
以上説明した本発明によると、有機電界発光ディスプレイ製造ラインで蒸発源ユニット１１、被蒸着体７やマスク８などを移動乃至昇降させるための機構の潤滑部位から被蒸着体７やマスク８に向かう潤滑部材の飛散経路をカバー部材によって遮断することにより、これら移動機構に使われる潤滑部材が被蒸着体７やマスク８に付着することで有機電界発光ディスプレイデバイスに不具合が発生する問題を低減させることができる。
【符号の説明】
【００９２】
１：トランスファーチャンバー
２：真空蒸着装置
３：マスクストックチャンバー
４：被蒸着体ストックチャンバー
５：ターンチャンバー
６；パスチャンバー
７：被蒸着体
８：マスク
１０：真空チャンバー
１１：蒸発源ユニット
１２：蒸発源
１３：膜厚モニタ
１４：膜厚計
１５：電源
１６：被蒸着体ホルダー
１７：マスクホルダー
１８：蒸発源移動機構
１９：第１ガイドレール（第１レール部材）
２０：第１ガイドブロック（第１移動可能部材）
２１：第１サーボモーター
２２：第１ピニオン
２３：第１ラック
２５：第１カバー部材
２６：第２カバー部材
２７：第２ガイドレール（第２レール部材）
２８：第２ガイドブロック（第２移動可能部材）
２９：ベースプレート
３０：第２サーボモーター
３１：第２ピニオン
３２：第２ラック
３３：第３カバー部材
３４：第４カバー部材
３５：第５カバー部材
３６：第６カバー部材
３９：マスクカセット
４０：第１ステージ
４１：第１ボールねじ
４２：第３ガイドレール（第３レール部材）
４３：第３ガイドブロック（第３移動可能部材）
４４：第７カバー部材
４５：第８カバー部材
４６：被蒸着体カセット
４７：第２ステージ
４８：第２ボールねじ
４９：第４ガイドレール（第４レール部材）
５０：第４ガイドブロック（第４移動可能部材）
５１：第９カバー部材
５２：第３ボールねじ
５３：第５ガイドレール（第５レール部材）
５４：第５ガイドブロック（第５移動可能部材）
５５：第３ステージ
５６：第１０カバー部材
【図１】
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【図２】
2019026931.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【手続補正書】
【提出日】平成30年7月27日(2018.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスプレイ製造装置において、
処理対象体に対する処理が行われるチャンバーと、
前記チャンバー内で移動する移動体と、
前記移動体を移動させるための移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む移動機構と、
少なくとも前記移動機構の前記潤滑部位を覆うように前記移動機構の移動可能部材に固定して設けられるカバー部材とを含むディスプレイ製造装置。
【請求項２】
ディスプレイ製造装置において、
被蒸着体に対する蒸着が行われる真空チャンバーと、
蒸着物質が充填される蒸発源を含む蒸発源ユニットと、
前記蒸発源ユニットを第１方向に移動させるための第１移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む第１移動機構と、
少なくとも前記第１移動機構の前記潤滑部位を覆うように前記第１移動機構の移動可能部材に固定して設けられる第１移動機構カバー部材とを含むディスプレイ製造装置。
【請求項３】
前記第１移動機構は、前記第１方向に延びるように設けられる第１レール部材と、前記蒸発源ユニットを支持し、前記第１レール部材上で前記第１方向に移動可能に設けられる第１移動可能部材とを含み、
前記第１移動機構カバー部材は、少なくとも前記第１レール部材と前記第１移動可能部材の潤滑部位を覆うように前記第１移動可能部材に固定して設けられる第１カバー部材を含む請求項２に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項４】
前記第１移動機構は、前記真空チャンバーの下部に配置され、
前記第１カバー部材は、前記第１レール部材の上面の少なくとも一部を覆うように前記第１移動可能部材の前記第１方向の前端及び後端から前記第１方向に所定の長さで延びる請求項３に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項５】
前記第１カバー部材は、前記第１方向から見て前記第１レール部材の両側面の少なくとも一部を覆うように形成される請求項３又は請求項４に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項６】
前記第１移動機構は、前記第１方向に延びるように設けられる第１レール部材と、前記蒸発源ユニットを支持し、前記第１レール部材上で前記第１方向に移動可能に設けられる第１移動可能部材と、前記第１移動可能部材を前記第１方向に移動させるための回転駆動力を発生させる第１モーターと、前記第１モーターの回転駆動力を直線駆動力に転換するための第１駆動力転換機構とを含み、
前記第１移動機構カバー部材は、少なくとも前記第１駆動力転換機構の潤滑部位を覆うように前記第１駆動力転換機構に隣接して設けられる第２カバー部材を含む請求項２乃至請求項５のいずれか１項に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項７】
前記第１移動機構は、前記真空チャンバーの下部に配置され、
前記第１駆動力転換機構は、前記第１モーターの回転軸に連結された第１ピニオンと、前記第１ピニオンとかみ合う第１ラックとを含み、
前記第２カバー部材は、前記第１ピニオンの上面の少なくとも一部を覆うように形成され、前記第１方向に延びる請求項６に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項８】
前記第２カバー部材は、前記第１方向から見て、前記第１ラックの外側で前記第１ピニオン及び前記第１ラックの側面の少なくとも一部をさらに覆うように形成される請求項７に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項９】
前記第１移動機構を前記第１方向と交差する第２方向に移動させるための第２移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む第２移動機構と、
少なくとも前記第２移動機構の前記潤滑部位を覆うように、前記第２移動機構に隣接して設けられる第２移動機構カバー部材とをさらに含む請求項２乃至請求項８のいずれか１項に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１０】
前記第２移動機構は、前記第２方向に延びるように設けられる第２レール部材と、前記第１移動機構を支持し、前記第２レール部材上で前記第２方向に移動可能に設けられる第２移動可能部材とを含み、
前記第２移動機構カバー部材は、少なくとも前記第２レール部材と前記第２移動可能部材の潤滑部位を覆うように前記第２レール部材と前記第２移動可能部材に隣接して設けられる第３カバー部材を含む請求項９に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１１】
前記第２移動機構は、前記真空チャンバーの下部に設置され、
前記第３カバー部材は、前記第２移動可能部材の上面の少なくとも一部を覆うように形成され、前記第２方向に延びる請求項１０に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１２】
前記第３カバー部材は、前記第２方向から見て前記第２レール部材の内側で前記第２レール部材及び第２移動可能部材の側面の少なくとも一部を覆うように形成される請求項１１に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１３】
前記第２移動機構は、前記第２方向に延びるように設けられる第２レール部材と、前記第１移動機構を支持し、前記第２レール部材上で前記第２方向に移動可能に設けられる第２移動可能部材とを含み、
前記第２移動機構カバー部材は、前記第２方向から見て、前記第２レール部材と前記第２移動可能部材の側面のうち、前記真空チャンバーの壁面に向かう外側の側面の少なくとも一部を覆うように形成される第４カバー部材を含む請求項９乃至請求項１２のいずれか１項に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１４】
前記第２移動機構は、前記第２方向に延びるように設けられる第２レール部材と、前記
第１移動機構を支持し、前記第２レール部材上で前記第２方向に移動可能に設けられる第２移動可能部材と、前記第２移動可能部材を前記第２方向に移動させるための駆動力を発生させる第２モーターと、前記第２モーターの回転駆動力を直線駆動力に転換させるための第２駆動力転換機構とを含み、
前記第２移動機構カバー部材は、少なくとも前記第２駆動力転換機構の潤滑部位を覆うように前記第２駆動力転換機構に隣接して設けられる第５カバー部材を含む請求項９乃至請求項１３のいずれか１項に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１５】
前記第２移動機構は、前記真空チャンバーの下部に設置され、
前記第２駆動力転換機構は、前記第２モーターの回転軸に連結された第２ピニオンと、前記第２ピニオンとかみ合い、第２方向に延びる第２ラックとを含み、
前記第５カバー部材は、前記第２ピニオンの上面及び前記第２ラックの上面の少なくとも一部を覆うように形成される請求項１４に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１６】
前記第５カバー部材は、前記第２方向から見て、前記第２ピニオンの側面のうち第２ピニオンの外側の側面の少なくとも一部をさらに覆うように形成される請求項１５に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１７】
前記第１移動機構が固定設置され、前記第２移動機構によって前記第２方向に移動するベースプレートをさらに含み、
前記第２移動機構カバー部材は、前記ベースプレートから前記第１方向及び前記第２方向と交差する第３方向に延びる第６カバー部材を含む請求項９乃至請求項１６のいずれか１項に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項１８】
ディスプレイ製造装置において、
被移動体が収納されるチャンバーと、
前記チャンバー内の被移動体を移動させるための移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む移動機構と、
少なくとも前記移動機構の前記潤滑部位を覆うように、前記移動機構の移動可能部材に固定して設けられる移動機構カバー部材とを含むディスプレイ製造装置。
【請求項１９】
ディスプレイ製造装置において、
マスクが収納されるチャンバーと、
使用前後のマスクを区分して収納する複数のカセットと、
前記カセットを昇降させるための昇降機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む昇降機構と、
少なくとも前記昇降機構の前記潤滑部位を覆うように、前記昇降機構の移動可能部材から延長して設けられる昇降機構カバー部材とを含むディスプレイ製造装置。
【請求項２０】
前記昇降機構は、前記昇降機構の昇降方向に延びるボールねじと、前記ボールねじの両側に形成される第３レール部材と、前記第３レール部材上で前記昇降方向に移動可能に設けられる第３移動可能部材とを含み、
前記昇降機構カバー部材は、少なくとも前記ボールねじの潤滑部位を覆うように、前記ボールねじと前記カセットとの間で前記ボールねじに隣接して設けられる第７カバー部材を含む請求項１９に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項２１】
前記昇降機構は、前記昇降機構の昇降方向に延びるボールねじと、前記ボールねじの両側に形成される第３レール部材と、前記第３レール部材上で前記昇降方向に移動可能に設けられる第３移動可能部材とを含み、
前記昇降機構カバー部材は、前記第３移動可能部材の前記昇降方向の端部から前記昇降
方向に所定の長さで延び、前記第３レール部材の周囲を囲むように形成される第８カバー部材を含む請求項１９又は請求項２０に記載のディスプレイ製造装置。
【請求項２２】
請求項１乃至請求項２１のいずれか１項に記載のディスプレイ製造装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のディスプレイ製造装置は、処理対象体に対する処理が行われるチャンバーと；前記チャンバー内で移動する移動体と；前記移動体を移動させるための移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む移動機構と；少なくとも前記移動機構の前記潤滑部位を覆うように前記移動機構の移動可能部材に固定して設けられるカバー部材とを含む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の一態様によるディスプレイ製造装置は、被蒸着体に対する蒸着が行われる真空チャンバーと；蒸着物質が充填される蒸発源を含む蒸発源ユニットと；前記蒸発源ユニットを第１方向に移動させるための第１移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む第１移動機構と；少なくとも前記第１移動機構の前記潤滑部位を覆うように前記第１移動機構の移動可能部材に固定して設けられる第１移動機構カバー部材とを含む。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の他の一態様によるディスプレイ製造装置は、被移動体が収納されるチャンバーと；前記チャンバー内の被移動体を移動させるための移動機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む移動機構と；少なくとも前記移動機構の前記潤滑部位を覆うように、前記移動機構の移動可能部材に固定して設けられる移動機構カバー部材とを含む。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の他の一態様によるディスプレイ製造装置は、マスクが収納されるチャンバーと；使用前後のマスクを区分して収納する複数のカセットと；前記カセットを昇降させるための昇降機構であって、潤滑部材が加えられる潤滑部位を含む昇降機構と；少なくとも前記昇降機構の前記潤滑部位を覆うように、前記昇降機構の移動可能部材から延長して設けられる昇降機構カバー部材とを含む。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】