(57)【要約】【課題】パネル中央部の撓みを抑制できるパネル収納容器を提供する。【解決手段】複数のパネルＰを収納する容器本体２０と、パネルＰを支持するパネル支持手段と、を備えるパネル収納容器１であって、パネル支持手段は、パネルＰの左右端部を支持するパネル支持部３０と、パネルＰの中央部を支持する中央サポート部６０と、を含むものである。また、中央サポート部６０は、パネルＰを左右方向に離れた位置で支持する棒状の中央サポート部材６１であり、隣接する中央サポート部材６１同士が連結されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のパネルを収納する容器本体と、
前記パネルを支持するパネル支持手段と、を備えるパネル収納容器であって、
前記パネル支持手段は、
前記パネルの左右端部を支持するパネル支持体と、
前記パネルの中央部を支持する中央サポート部と、を含む
ことを特徴とするパネル収納容器。
【請求項２】
前後方向に沿って延在するとともに、その一端部が前記容器本体に取り付けられるサイドサポート部を備え、
前記サイドサポート部は、前記パネル支持体と連結されるように設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載のパネル収納容器。
【請求項３】
前記サイドサポート部の他端部には、前記パネルの前後方向の位置決めをするストッパ部材が設けられる
ことを特徴とする請求項２に記載のパネル収納容器。
【請求項４】
前記中央サポート部は、前記パネルを左右方向に離れた位置で支持する
ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項５】
前記中央サポート部は、棒状の中央サポート部材であり、
隣接する前記中央サポート部材同士が連結されている
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項６】
前記中央サポート部は、前記パネルを面状に支持する
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項７】
前記中央サポート部は、前記パネルに接触するパネル接触部が、金属材料よりも摩擦性の高い又はクッション性の高い材料で形成されている
ことを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項８】
前記中央サポート部は、円柱状であり、
前記パネル接触部は、円筒状である
ことを特徴とする請求項７に記載のパネル収納容器。
【請求項９】
前記中央サポート部は、導電性材料で形成されているか、又は、導電性材料で形成された部品を有する
ことを特徴とする請求項１から８までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項１０】
前記パネル支持体は、金属材料よりも摩擦性の高い又はクッション性の高い材料で形成されているか、又は、金属材料よりも摩擦性の高い又はクッション性の高い材料で形成されたパネル接触部を有する
ことを特徴とする請求項１から９までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項１１】
前記パネル支持体は、導電性材料で形成されているか、又は、導電性材料で形成された部品を有する
ことを特徴とする請求項１から１０までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項１２】
前記中央サポート部は、前後方向後端部が、サポート支持部材を介して前記容器本体に取り付けられ、
前記サポート支持部材は、前記パネルの前後方向の位置決めをする位置決め部を有し、
前記位置決め部は、前記サポート支持部材を前記容器本体に対する取付方向の選択に基づいて、前記パネルを位置決めする前後方向の位置が変更される
ことを特徴とする請求項１から１１までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項１３】
前記サポート支持部材は、取付方向を変更しても、前記中央サポート部材を支持する高さは変わらない
ことを特徴とする請求項１２に記載のパネル収納容器。
【請求項１４】
前記容器本体は、搬送機械に保持される第１被搬送用部品を天面の外側に有する
ことを特徴とする請求項１から１３までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項１５】
前記容器本体は、搬送機械に保持される第２被搬送用部品を左右側面の外側に有する
ことを特徴とする請求項１から１４までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項１６】
前記容器本体は、搬送機械又は加工装置の位置決め手段に支持される装置位置決め部を、底面の外側に少なくとも３か所有する
ことを特徴とする請求項１から１５までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項１７】
前記容器本体は、正面に開口を有するフロントオープンボックスタイプの容器であるとともに、前記開口がシールガスケットを有する蓋体により閉止されることで、気密状態が維持され、
前記蓋体は、ロック手段により前記容器本体に対して施錠又は解錠可能である
ことを特徴とする請求項１から１６までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項１８】
前記容器本体は、内部に気体を給気する給気部又は内部から気体を排気する排気部を有する
ことを特徴とする請求項１７に記載のパネル収納容器。
【請求項１９】
前記容器本体は、直方体形状に組み立てられた枠体である
ことを特徴とする請求項１から１６までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【請求項２０】
前記パネルは、矩形形状である
ことを特徴とする請求項１から１９までのいずれか１項に記載のパネル収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パネルを収納するパネル収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル用ガラス基板などのパネルを扱う製造工程では、パネルを製造装置から別工程の製造装置に移送する際や、パネルを一時的に保管する際に、複数のパネルを収納するパネル収納容器が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
近年、液晶パネルは大型化しており、それに伴って、液晶パネル用キャリアパネルも大型化している。キャリアパネルが大型化してくると、キャリアパネルの重量も、例えば、１枚当たり５ｋｇ〜８ｋｇと重くなるため、キャリアパネルの左右端部を支持するパネル支持部の強度が必要になってきている。
【０００４】
ところで、液晶パネルに限らず、ＩＣチップなどの電子部品も量産化のため、一枚のパネル上に複数形成する必要があり、パネルが大型化している。このパネル形態の電子部品は、例えば、大型のキャリアパネル（ガラス板、ステンレス板など）上に多数の電子部品を接着・載置する工程、これらの電子部品をエポキシ樹脂などで封止する工程、封止された電子部品をパネル形態でキャリアパネルから剥がす工程、パネル形態の電子部品を個別に切り出す工程などを経て製造されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２０１０／１３４４９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、これらの大型パネルを左右両端側で支持すると、パネルの中央部が撓み変形するため、パネルが破損することがあり、また、破損しない場合でも、ロボットなどの移送装置によるパネル収納容器への挿入又は取出に不都合が起きることがある。
【０００７】
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、パネル中央部の撓みを抑制できるパネル収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明に係る１つの態様は、複数のパネルを収納する容器本体と、前記パネルを支持するパネル支持手段と、を備えるパネル収納容器であって、前記パネル支持手段は、  前記パネルの左右端部を支持するパネル支持体と、前記パネルの中央部を支持する中央サポート部と、を含むものである。
（２）上記（１）の態様において、前後方向に沿って延在するとともに、その一端部が前記容器本体に取り付けられるサイドサポート部を備え、前記サイドサポート部は、前記パネル支持体と連結されるように設けられてもよい。
（３）上記（２）の態様において、前記サイドサポート部の他端部には、前記パネルの前後方向の位置決めをするストッパ部材が設けられてもよい。
（４）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記中央サポート部は、前記パネルを左右方向に離れた位置で支持してもよい。
（５）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記中央サポート部は、棒状の中央サポート部材であり、隣接する前記中央サポート部材同士が連結されてもよい。
（６）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記中央サポート部は、前記パネルを面状に支持してもよい。
（７）上記（１）から（６）までのいずれか１つの態様において、前記中央サポート部は、前記パネルに接触するパネル接触部が、金属材料よりも摩擦性の高い又はクッション性の高い材料で形成されてもよい。
（８）上記（７）の態様において、前記中央サポート部は、円柱状であり、前記パネル接触部は、円筒状であってもよい。
（９）上記（１）から（８）までのいずれか１つの態様において、前記中央サポート部は、導電性材料で形成されているか、又は、導電性材料で形成された部品を有してもよい。
（１０）上記（１）から（９）までのいずれか１つの態様において、前記パネル支持体は、金属材料よりも摩擦性の高い又はクッション性の高い材料で形成されているか、又は、金属材料よりも摩擦性の高い又はクッション性の高い材料で形成されたパネル接触部を有してもよい。
（１１）上記（１）から（１０）までのいずれか１つの態様において、前記パネル支持体は、導電性材料で形成されているか、又は、導電性材料で形成された部品を有してもよい。
（１２）上記（１）から（１１）までのいずれか１つの態様において、前記中央サポート部は、前後方向後端部が、サポート支持部材を介して前記容器本体に取り付けられ、前記サポート支持部材は、前記パネルの前後方向の位置決めをする位置決め部を有し、前記位置決め部は、前記サポート支持部材を前記容器本体に対する取付方向の選択に基づいて、前記パネルを位置決めする前後方向の位置が変更されてもよい。
（１３）上記（１）から（１２）までのいずれか１つの態様において、前記サポート支持部材は、取付方向を変更しても、前記中央サポート部材を支持する高さは変わらなくてもよい。
（１４）上記（１）から（１３）までのいずれか１つの態様において、前記容器本体は、搬送機械に保持される第１被搬送用部品を天面の外側に有してもよい。
（１５）上記（１）から（１４）までのいずれか１つの態様において、前記容器本体は、搬送機械に保持される第２被搬送用部品を左右側面の外側に有してもよい。
（１６）上記（１）から（１５）までのいずれか１つの態様において、前記容器本体は、搬送機械又は加工装置の位置決め手段に支持される装置位置決め部を、底面の外側に少なくとも３か所有してもよい。
（１７）上記（１）から（１６）までのいずれか１つの態様において、前記容器本体は、正面に開口を有するフロントオープンボックスタイプの容器であるとともに、前記開口がシールガスケットを有する蓋体により閉止されることで、気密状態が維持され、前記蓋体は、ロック手段により前記容器本体に対して施錠又は解錠可能であってもよい。
（１８）上記（１７）の態様において、前記容器本体は、内部に気体を給気する給気部又は内部から気体を排気する排気部を有してもよい。
（１９）上記（１）から（１６）までのいずれか１つの態様において、前記容器本体は、直方体形状に組み立てられた枠体であってもよい。
（２０）上記（１）から（１９）までのいずれか１つの態様において、前記パネルは、矩形形状であってもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、パネル中央部の撓みを抑制できるパネル収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係る第１実施形態のパネル収納容器の斜視図である。
【図２】容器本体の正面図である。
【図３】容器本体の下面図である。
【図４】パネル支持部を示す要部平面図である。
【図５】パネル支持部を示す要部側面図である。
【図６】パネル支持部を示す要部正面図である。
【図７】パネル支持体に形成された取付孔を示す要部平面図であり、（ａ）長孔形状の取付孔、（ｂ）ダルマ形状の取付孔、（ｃ）ホームベース形状の取付孔である。
【図８】取付方向を変更したパネル支持体を示す概略正面図であり、（ａ）パネル位置決め寸法Ａ１の状態、（ｂ）パネル位置決め寸法Ｂ１の状態である。
【図９】中央サポート部を示す要部平面図である。
【図１０】中央サポート部を示す要部側面図である。
【図１１】中央サポート部を示す要部正面図である。
【図１２】図９のＩ−Ｉ断面図である。
【図１３】取付方向を変更した中央サポート部を示す概略側面図であり、（ａ）パネル位置決め寸法Ａ２の状態、（ｂ）パネル位置決め寸法Ｂ２の状態である。
【図１４】変形例の中央サポート部材６１を示す図であり、（ａ）円柱クッション部材６１ａ、（ａ）円柱クッション部材６１ａ、（ｃ）三角柱クッション部材６１ｂ、それぞれ適用した断面図である。
【図１５】パネル支持手段を示す要部平面図である。
【図１６】サイドサポート部を示す要部側面図である。
【図１７】取付方向を変更したサイドサポート部を示す概略側面図であり、（ａ）パネル位置決め寸法Ａ２の状態、（ｂ）パネル位置決め寸法Ｂ２の状態である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態に係るパネル収納容器１について詳細に説明する。
【００１２】
（第１実施形態）
［パネル収納容器の全体構成］
図１は、本発明に係る第１実施形態のパネル収納容器１の分解斜視図である。図２は、容器本体２０の正面図である。図３は、容器本体２０の下面図である。なお、図１において、Ｘ軸に沿って延在するＸ方向を左右方向とし、Ｙ軸に沿って延在するＹ方向を前後方向とし、Ｚ軸に沿って延在するＺ方向を上下方向とする。
【００１３】
図１から図３に示すように、本実施形態のパネル収納容器１は、複数枚（例えば、６枚、１２枚・・・２５枚）の矩形形状のパネルＰを収納する容器本体２０と、容器本体２０の正面に形成される開口部２１を開閉自在に覆う蓋体４０と、を備える。
【００１４】
パネル収納容器１は、電子部品を製造する製造装置（製造工程）に使用されるものであり、例えば、ガラス板、ステンレス板など大型のキャリアパネルＰｃ（図８参照）上に多数の電子部品を形成する工程と、これらの電子部品をエポキシ樹脂などで封止する工程、封止された電子部品（パネル形態）をキャリアパネルＰｃから剥がす工程、封止パネルＰｅから電子部品を切り出す工程などの各工程間でパネルＰを移送する際に使用される。つまり、パネル収納容器１に収納されるパネルＰのサイズには、例えば、キャリアパネルＰｃのサイズである６２５ｍｍ×６１５ｍｍと、封止パネルＰｅのサイズである６００ｍｍ×６００ｍｍとの２種類が存在する。そのため、パネル収納容器１は、各サイズに対応した２種類以上のものが準備されるとよい。
【００１５】
容器本体２０は、正面に開口部２１を有するフロントオープンボックスタイプの容器であり、パネルＰの左右端部を支持するパネル支持部３０と、パネルＰの左右中央部を支持する中央サポート部６０を有している。具体的には、左右の側壁２２ａ，２２ｂの内面に、パネル支持部３０が対設され、背面壁２８の内面に、中央サポート部６０が設けられている。パネル支持部３０及び中央サポート部６０の詳細は後述する。なお、本実施形態の容器本体２０は、直方体形状に組み立てられた枠体に、その上面、下面、左側面、右側面及び背面を気密的に覆う壁部材を組付けて構成されるが、容器本体２０の構造は、これに限定されない。
【００１６】
また、パネル収納容器１の内部の清浄性や低湿度を保つようにガス置換を行うために、容器本体２０の底板２３には、容器本体２０内に不活性ガスを給気し、又は、容器本体２０内のエアを排気する給排気部５０が複数設けられてもよい。本実施形態では、給排気部５０は、例えば、開口部２１側の２か所が排気部となり、背面（奥側）の２か所が給気部となるが、給気部及び排気部の数量や位置は、図示したものに限らない。あるいは、給排気部５０は、蓋体４０の側に設けられてもよい。
【００１７】
また、底板２３の底面には、搬送機械又は加工装置の位置決め手段に支持される装置位置決め部２４が少なくとも３か所に設けられる。
【００１８】
容器本体２０の天板２５の上面には、製造工場の天井搬送機構に保持される搬送用のロボティックフランジ２６（第１被搬送用部品）が設けられ、容器本体２０の左右の側壁２２ａ，２２ｂの外面には、搬送機械に保持される搬送用のリフトフランジ２７（第２被搬送用部品）が前後方向に沿って突出形成されている。さらに、容器本体２０の天板２５の上面の左右端部には、作業員がパネル収納容器１を搬送できるようにハンドル２９（第３被搬送用部品）が４か所に設けられている。
【００１９】
一方、蓋体４０は、シールガスケット（図示せず）を介して容器本体２０の開口部２１を気密状態で閉止するもので、蓋本体４１と、容器本体２０の開口部２１を閉止する蓋体４０を施錠又は解錠する施錠機構４２（ロック手段）と、を有している。施錠機構４２は、鍵穴４３に挿入される鍵（図示せず）の操作に応じて施錠位置と解錠位置とに変位するラッチ（図示せず）を備え、ラッチが容器本体２０側の係合部（図示せず）に係合されたり、係合解除されたりすることで、蓋体４０の施錠及び解錠が行われる。
【００２０】
容器本体２０や蓋体４０は、金属材料や樹脂材料で成形される複数の部品の組み合わせで構成される。樹脂部品の成形材料に含まれる樹脂としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、ポリメタクリル酸メチルなどのアクリル樹脂、アクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体といった熱可塑性樹脂やこれらのアロイなどがあげられる。
【００２１】
これらの樹脂には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマーなどからなる導電物質やアニオン、カチオン、非イオン系などの各種帯電防止剤が必要に応じて添加される。また、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ヒンダードアミン系の紫外線吸収剤が添加されたり、剛性を向上させるガラス繊維や炭素繊維なども選択的に添加されたりする。
【００２２】
そして、容器本体２０は、軽量化を優先すれば、左右の側壁２２ａ，２２ｂ、底板２３及び天板２５の材料がアルミニウムであることが望ましく、なお、強度を優先すれば、左右の側壁２２ａ，２２ｂ、底板２３及び天板２５の材料がステレンスであることが望ましい。
【００２３】
図３に示される容器本体２０の背面壁２８は、全体が容器本体２０の内部を目視することができるような透明な樹脂材料で形成されるが、これに限らず、背面壁２８の一部（例えば、中央部）が透明な樹脂材料で形成されてもよい。なお、この透明な樹脂材料は、アクリル樹脂、ポリカーボネート又はシクロオレフィンポリマーであることが望ましい。
【００２４】
［パネル支持部］
つぎに、パネル支持部３０の詳細について、図４から図８を参照しつつ説明する。図４は、パネル支持部３０を示す要部平面図である。図５は、パネル支持部３０を示す要部側面図である。図６は、パネル支持部３０を示す要部正面図である。図７は、パネル支持体３１に形成された、（ａ）長孔形状の取付孔３１ａ、（ｂ）ダルマ形状の取付孔３１ａ、（ｃ）ホームベース形状の取付孔３１ａ、をそれぞれ示す要部平面図である。図８は、取付方向を変更したパネル支持体３１を示す概略正面図であり、（ａ）パネル位置決め寸法Ａ１の状態、（ｂ）パネル位置決め寸法Ｂ１の状態である。
【００２５】
図４から図８に示すように、パネル支持部３０は、パネルＰの左右端部を支持するパネル支持体３１と、パネル支持体３１の基端側に形成される取付孔３１ａに挿通される支持軸３２と、容器本体２０の側壁２２ａ，２２ｂの内面側に立設され、複数の固定部材３３を介して支持軸３２が固定される固定壁３４（以後、単に「支柱３４」という。）と、を備える。
【００２６】
なお、本実施形態のパネル支持部３０では、６枚のパネル支持体３１と、４本の支持軸３２と、１２個の固定部材３３と、４本の支柱３４と、をそれぞれ左右に備えているが、これらの数量は、収納するパネルＰの枚数や重量に応じて適宜変更することができる。例えば、２本の支持軸３２でパネル支持体３１を取り付け固定してもよく、２個の固定部材３３で１本の支持軸３２を１本の支柱３４に取り付け固定してもよい。
【００２７】
［パネル支持体］
パネル支持体３１は、平面視で前後方向に長い矩形形状を有し、パネルＰの左右端部をそれぞれ１枚のパネル支持体３１で支持する。パネル支持体３１を形成する材料は、帯電防止のために導電性を有する樹脂材料又は金属材料であることが望ましい。本実施形態のパネル支持体３１は、支持するパネルＰの滑りを防止するために金属材料よりも摩擦性が高く、かつ、支持するパネルＰの損傷を防止するために金属材料よりも、ゴム材、エラストマー材料等のクッション性が高い導電性の樹脂材料で形成してもよい。
【００２８】
また、パネル支持体３１の基端側には、上下方向に貫通する取付孔３１ａが前後方向に所定の間隔をあけて複数形成され、さらに、パネル支持体３１のパネルＰを支持する面には、パネルＰの位置決めをするための位置決め用の段差部３１ｂ，３１ｃが形成されるが、取付孔３１ａ及び段差部３１ｂ，３１ｃの形状については、後述する。
【００２９】
［支柱］
支柱３４は、容器本体２０の側壁２２ａ，２２ｂの内面側に前後方向に所定の間隔をあけて複数立設される。支柱３４には、パネル支持体３１の基端部を嵌合支持する嵌合溝３４ａが前後方向に沿って形成される。嵌合溝３４ａは、支柱３４の内側面において、上下方向に所定の間隔をあけて複数形成されており、前後方向に並ぶ複数の支柱３４の同じ高さの嵌合溝３４ａにパネル支持体３１の基端部を嵌合させることで、パネル支持体３１が支柱３４に仮固定される。なお、支柱３４の嵌合溝３４ａに嵌合するパネル支持体３１の基端部には、嵌合溝３４ａに嵌合する際に押し潰されることで、嵌合ガタを除去するガタ取り用の突起を設けることが好ましい。
【００３０】
また、支柱３４の内側面には、支持軸３２と係合する係合溝３４ｂが上下方向に沿って形成されている。このような係合溝３４ｂによれば、支柱３４に支持軸３２を固定する際、支柱３４に対する支持軸３２の前後方向の取付位置を位置決めできるだけでなく、固定後における支持軸３２の前後方向のずれを規制することができる。
【００３１】
支柱３４を形成する材料は、帯電防止のために導電性を有する樹脂材料又は金属材料であることが望ましい。さらに、本実施形態の支柱３４は、軽量化を重視するために、アルミニウムで形成されることがより望ましい。なお、支柱３４は、側壁２２ａ，２２ｂと別部材で形成されるが、支柱３４を側壁２２ａ，２２ｂと一体に形成してもよい。
【００３２】
［支持軸］
支持軸３２は、支柱３４の嵌合溝３４ａで仮固定されたパネル支持体３１の取付孔３１ａに挿通された状態で、複数の固定部材３３を介して支柱３４に固定されることにより、パネル支持体３１を強固に固定する。なお、本実施形態の支持軸３２は、円柱状、楕円柱状であるが、角柱状であってもよい。また、固定部材３３は、支柱３４との間で支持軸３２を挟持する状態で、左右一対のネジ３３ａを介して支柱３４に固定されることにより、支持軸３２を支柱３４に固定するが、固定部材３３の固定構造は、これに限定されない。
【００３３】
支持軸３２を形成する材料は、帯電防止のために導電性を有する樹脂材料又は金属材料であることが望ましい。さらに、本実施形態の支持軸３２は、ステレンスやアルミニウムで形成されることがより望ましい。
【００３４】
［取付孔の形状］
図７（ａ）から（ｃ）に示すように、パネル支持体３１に形成される取付孔３１ａは、パネル支持体３１の先端側と基端側とを結ぶ方向をＸ方向とするとき、Ｘ方向の長さＬ１が支持軸３２のＹ方向の長さＬ２よりも長い形状を有する。例えば、図７（ａ）に示す取付孔３１ａは、Ｘ方向に長い長孔形状であり、支持軸３２を挿通する際、支持軸３２のＸ方向の位置ずれを許容することにより、組立性を向上させる。また、取付孔３１ａに支持軸３２を挿通した後、支持軸３２を取付孔３１ａのパネル支持体３１の基端側の端部に押し当てることにより、支持軸３２が取付孔３１ａの端部に３点で接触し、パネル支持体３１のＸ方向及びＹ方向の位置が決まる。
【００３５】
図７（ｂ）に示す取付孔３１ａは、パネル支持体３１の先端側に、支持軸３２の外形よりも大きい部分が形成されている。具体的に説明すると、図７（ｂ）に示す取付孔３１ａは、パネル支持体３１の先端側のＹ方向の長さＬ３が、図７（ａ）に示す長孔形状の取付孔３１ａのＹ方向の長さＬ４よりも長いダルマ形状を有する。このような取付孔３１ａによれば、支持軸３２を挿通する際、支持軸３２のＸ方向及びＹ方向の位置ずれを許容することにより、組立性を向上させる。また、取付孔３１ａに支持軸３２を挿通した後、支持軸３２を取付孔３１ａのパネル支持体３１の基端側の端部に押し当てることにより、支持軸３２が取付孔３１ａの端部に３点で接触し、パネル支持体３１のＸ方向及びＹ方向の位置が決まる。
【００３６】
図７（ｃ）に示す取付孔３１ａは、パネル支持体３１の先端側から基端側に向うに従って、支持軸３２の外形よりもＹ方向の幅が狭くなる部分を有する。具体的に説明すると、図７（ｃ）に示す取付孔３１ａは、パネル支持体３１の基端側が頂点となるように配置された三角形状又はホームベース形状であり、支持軸３２を挿通する際、支持軸３２のＸ方向及びＹ方向の位置ずれを許容することにより、組立性を向上させる。また、取付孔３１ａに支持軸３２を挿通した後、支持軸３２を取付孔３１ａのパネル支持体３１の基端側の端部に押し当てることにより、支持軸３２が取付孔３１ａの端部に２点で接触し、パネル支持体３１のＸ方向及びＹ方向の位置が決まる。なお、取付孔３１ａの頂部の角度は、６０°〜１２０°が好ましい。
【００３７】
［段差形状］
図８に示すように、パネル支持体３１は、取付方向の選択に基づいて異なる面でパネルＰを支持可能であり、パネルＰを支持可能な複数の面が異なる段差形状を有する。具体的に説明すると、本実施形態のパネル支持体３１は、パネルＰを支持可能な面として、第１の面Ｓ１と、その裏側の面である第２の面Ｓ２と、を有し、第１の面Ｓ１に第１の段差部３１ｂが形成され、第２の面Ｓ２に第２の段差部３１ｃが形成されている。第１の段差部３１ｂは、第２の段差部３１ｃよりもパネル支持体３１の基端側に形成されており、図８（ａ）に示すように、第１の面Ｓ１がパネルＰの支持面となるようにパネル支持体３１を取り付けた場合は、左右のパネル支持体３１で左右端部が支持されるパネルＰの左右方向の位置決め寸法がＡ１となり、図８（ｂ）に示すように、第２の面Ｓ２がパネルＰの支持面となるようにパネル支持体３１を取り付けた場合は、左右のパネル支持体３１で左右端部が支持されるパネルＰの左右方向の位置決め寸法がＡ１よりも短いＢ１となる。
【００３８】
本実施形態のパネル位置決め寸法Ａ１は、キャリアパネルＰｃを位置決めするためのものであり、キャリアパネルＰｃの左右幅（例えば、６１５ｍｍ）に所定のクリアランス（例えば、片側２ｍｍから３ｍｍ）を加えて設定される。また、パネル位置決め寸法Ｂ１は、封止パネルＰｅを位置決めするためのものであり、封止パネルＰｅの左右幅（例えば、６００ｍｍ）に所定のクリアランス（例えば、片側２ｍｍから３ｍｍ）を加えて設定される。このようなパネル支持体３１によれば、取付方向の選択に基づいて２種類のパネル位置決め寸法Ａ１、Ｂ１を実現できるので、パネル位置決め寸法に応じて２種類のパネル支持体３１を製造する場合に比べ製造コストを抑制できる。
【００３９】
このとき、パネル支持体３１は、取付方向を変更しても、パネルＰを支持する高さが変わらないように形成されている。具体的に説明すると、第１の面Ｓ１における段差部３１ｂの上段面（基端側上端面）から下段面（パネル支持面）までの上下方向の寸法Ｃ１と、第２の面Ｓ２における段差部３１ｃの上段面（基端側上端面）から下段面（パネル支持面）までの上下方向の寸法Ｄ１と、が一致するように形成されている。このようなパネル支持体３１によれば、ロボットの高さ設定を変更することなく、サイズの異なるパネルＰの収納及び取出を行うことができる。
【００４０】
［中央サポート部］
つぎに、中央サポート部６０の詳細について、図９から図１３を参照しつつ説明する。図９は、中央サポート部６０を示す要部平面図である。図１０は、中央サポート部６０を示す要部側面図である。図１１は、中央サポート部６０を示す要部正面図である。図１２は、図９のＩ−Ｉ断面図である。図１３は、取付方向を変更した中央サポート部６０を示す概略側面図であり、（ａ）パネル位置決め寸法Ａ２の状態、（ｂ）パネル位置決め寸法Ｂ２の状態である。なお、図１０から図１２は、下段の中央サポート部６０を取り外した状態で示している。
【００４１】
図９から図１３に示すように、中央サポート部６０は、１枚のパネルＰの中央部下面を左右方向に離れた位置で支持する一対の中央サポート部材６１と、前後方向に沿う中央サポート部材６１の前端部に設けられるストッパ部材６２と、ストッパ部材６２を介して一対の中央サポート部材６１の前端部同士を連結する連結部材６３と、背面壁２８の内面の左右方向に離れた位置に立設される一対の支柱６４と、中央サポート部材６１の後端部を支柱６４に固定するサポート支持部材６５と、を備える。
【００４２】
なお、中央サポート部６０は、１２本の中央サポート部材６１と、１２個のストッパ部材６２と、６本の連結部材６３と、２本の支柱６４と、１２個のサポート支持部材６５と、を備えるが、これらの数量は、収納するパネルＰの枚数や重量に応じて適宜変更することができる。
【００４３】
［中央サポート部材］
中央サポート部材６１は、前後方向に沿う金属製の円柱部材であり、その周囲には、支持するパネルＰに接触する円筒状のパネル接触部６１ｔを備える。また、中央サポート部材６１の前後両端部は、後述する抜け止めピン６２ｂ及び６４ｃが挿入されるピン挿入孔を備えるが、図示は省略する。
【００４４】
パネル接触部６１ｔは、支持するパネルＰの滑りを防止するために金属材料よりも摩擦性が高く、かつ、支持するパネルＰの損傷を防止するために金属材料よりもクッション性が高い導電性の樹脂材料で形成されるとよい。
【００４５】
［ストッパ部材］
ストッパ部材６２は、樹脂材料で形成されており、中央サポート部材６１の前端部が挿入されるサポート挿入孔６２ａと、サポート挿入孔６２ａに挿入された中央サポート部材６１を抜け止めする抜け止めピン６２ｂが挿入されるピン挿入孔６２ｃと、連結部材６３の一端部が挿入される連結挿入孔６２ｄと、連結挿入孔６２ｄに挿入された連結部材６３を抜け止めする抜け止めピン６２ｅが挿入されるピン挿入孔６２ｆと、パネルＰの前後方向の位置決めを行う位置決め部６２ｇと、を備える。
【００４６】
［連結部材］
連結部材６３は、金属製の円柱部材又は円筒部材で形成されており、ストッパ部材６２を介して一対の中央サポート部材６１の前端部同士を連結することにより、一対の中央サポート部材６１の間隔を維持するとともに、一対の中央サポート部材６１の振動を抑制しているが、パネルＰの寸法が小さい場合や重量が軽い場合は省略されてもよい。
【００４７】
［支柱］
支柱６４は、背面壁２８の内面に左右方向に所定の間隔をあけて２本立設される。なお、支柱６４は、背面壁２８と別部材で形成されるが、支柱６４を背面壁２８と一体に形成してもよい。
【００４８】
支柱６４には、中央サポート部材６１の基端部を嵌合支持する丸穴状の嵌合凹部６４ａと、サポート支持部材６５の一部を嵌合支持する嵌合溝６４ｂと、嵌合された中央サポート部材６１及びサポート支持部材６５を抜け止めする抜け止めピン６４ｃが挿入されるピン挿入孔６４ｄと、が形成されている。
【００４９】
支柱６４を形成する材料は、帯電防止のために導電性を有する樹脂材料又は金属材料が選択されるとよい。なお、本実施形態の支柱６４は、中央サポート部材６１の支持強度を優先し、金属材料で形成される。
【００５０】
［サポート支持部材］
サポート支持部材６５は、樹脂材料で形成されており、中央サポート部材６１の後端部が挿入されるサポート挿入孔６５ａと、支柱６４の嵌合溝６４ｂに嵌合してサポート支持部材６５の上下位置を規定する嵌合部６５ｂと、支柱６４の左右側面に当接してサポート支持部材６５の左右位置を規定する左右一対の当接部６５ｃと、前述した抜け止めピン６４ｃを挿入するためのピン挿入孔６５ｄと、パネルＰの前後方向の位置決めをする第１位置決め部６５ｆ及び第２位置決め部６５ｇと、を備える。
【００５１】
サポート支持部材６５の後端部を支柱６４に固定する場合は、まず、支柱６４の嵌合溝６４ｂにサポート支持部材６５の嵌合部６５ｂを嵌入させた後、サポート支持部材６５の後端部をサポート支持部材６５のサポート挿入孔６５ａを介して支柱６４の嵌合凹部６４ａに嵌合させる。この状態で、サポート支持部材６５のピン挿入孔６５ｄに抜け止めピン６４ｃを挿入すると、抜け止めピン６４ｃが、支柱６４のピン挿入孔６４ｄ及び中央サポート部材６１のピン挿通孔を貫通することにより、中央サポート部材６１及びサポート支持部材６５が支柱６４から抜け止めされる。
【００５２】
ここで、図１３に示すように、サポート支持部材６５は、支柱６４に対して上下反転して取り付けることが可能である。そして、図１３（ａ）に示す取付状態では、第１位置決め部６５ｆが有効となり、図１３（ｂ）に示す取付状態では、第２位置決め部６５ｇが有効となる。第１位置決め部６５ｆと第２位置決め部６５ｇは、前後方向の位置が相違しており、図１３（ａ）に示す取付状態では、第１位置決め部６５ｆとストッパ部材６２の位置決め部６２ｇとの間で規定されるパネルＰの前後方向の位置決め寸法がＡ２となり、図１３（ｂ）に示す取付状態では、第２位置決め部６５ｇとストッパ部材６２の位置決め部６２ｇとの間で規定されるパネルＰの前後方向の位置決め寸法がＢ２となる。
【００５３】
また、サポート支持部材６５は、取付方向を変更しても、中央サポート部材６１を支持する高さが変わらないように形成されている。具体的に説明すると、第１位置決め部６５ｆの上下方向の寸法Ｃ２と、第２位置決め部６５ｇの上下方向の寸法Ｄ２と、が一致するように形成されている。このようなサポート支持部材６５によれば、ロボットによるパネルＰの挿入高さを変更することなく、また、ロボットによるパネルＰの挿入量を変更することなく、サイズの異なるパネルＰの収納又は取り出しを行うことができる。
【００５４】
本実施形態のパネル位置決め寸法Ａ２は、キャリアパネルＰｃを位置決めするためのものであり、キャリアパネルＰｃの前後幅（例えば、６２５ｍｍ）に所定のクリアランス（例えば、片側２ｍｍから３ｍｍ）を加えて設定される。また、本実施形態のパネル位置決め寸法Ｂ２は、封止パネルＰｅを位置決めするためのものであり、封止パネルＰｅの前後幅（例えば、６００ｍｍ）に所定のクリアランス（例えば、片側２ｍｍから３ｍｍ）を加えて設定される。このようなサポート支持部材６５によれば、取付方向の選択に基づいて２種類のパネル位置決め寸法Ａ２，Ｂ２を実現できるので、パネル位置決め寸法に応じて２種類の位置決め部材を製造する場合に比べ製造コストを抑制できる。
【００５５】
［実施形態の効果］
以上のように構成された本実施形態のパネル収納容器１によれば、複数のパネルＰを収納する容器本体２０と、パネルＰを支持するパネル支持手段と、を備えるパネル収納容器１であって、パネル支持手段は、パネルＰの左右端部を支持するパネル支持部３０と、パネルＰの中央部を支持する中央サポート部６０と、を含むので、パネルＰの中央部の撓み変形を抑制しつつ、大型のパネルＰを収納することができる。
【００５６】
また、中央サポート部材６１の前後方向後端部は、サポート支持部材６５を介して支柱６４に取り付けられ、サポート支持部材６５は、パネルＰの前後方向の位置決めをする位置決め部６５ｆ，６５ｇを有し、位置決め部６５ｆ，６５ｇは、サポート支持部材６５を支柱６４に取り付ける取付方向の選択に基づいて、パネルＰを位置決めする前後方向の位置が変更されるので、１種類のサポート支持部材６５で複数種類のパネル位置決め寸法Ａ２，Ｂ２を実現できる。
【００５７】
［変形例］
つぎに、本発明に係る変形例について、図１４を参照しつつ説明する。図１４は、変形例の中央サポート部材６１を示す図であり、（ａ）円柱クッション部材６１ａ、（ｂ）円柱クッション部材６１ａ、（ｃ）三角柱クッション部材６１ｂ、それぞれ適用した断面図である。ただし、本実施形態と相違する構成のみを説明し、本実施形態と共通の構成については、本実施形態と同じ符号を用いることにより、本実施形態の説明を援用する。
【００５８】
図１４に示すように、変形例の中央サポート部材６１Ｂが、４角柱状の金属材料で形成されており、パネルＰを支持する面に、金属材料よりも摩擦性が高く、かつ、クッション性の高い材料で形成されたクッション部材６１ａ，６１ｂ（パネル接触部）が装着されている。具体的に説明すると、中央サポート部材６１Ｂのパネル支持面には、前後方向に沿うクッション装着溝６１ｃ，６１ｄ，６１ｅが形成され、このクッション装着溝６１ｃ，６１ｄ，６１ｅに対し、上端がパネル支持面から突出する状態でクッション部材６１ａ、６１ｂが装着される。例えば、図１４（ａ）は、断面半円状のクッション装着溝６１ｃに円柱クッション部材６１ａを装着した例を示し、図１４（ｂ）は、アリミゾ状のクッション装着溝６１ｄに円柱クッション部材６１ａを装着した例を示し、図１４（ｃ）は、アリミゾ状のクッション装着溝６１ｅに三角柱クッション部材６１ｂを装着した例を示している。
【００５９】
また、パネル支持体３１の変形例として、変形例の中央サポート部材６１Ｂと同様な構成が考えられる。すなわち、パネル支持体が、金属材料で形成されており、パネルＰを支持する面に、金属材料よりも摩擦性が高く、かつ、クッション性の高い材料で形成されたクッション部材（パネル接触部）が装着されている。具体的に説明すると、パネル支持体のパネル支持面には、前後方向に沿うクッション装着溝が形成され、このクッション装着溝に対し、上端がパネル支持面から突出する状態でクッション部材が装着される。
【００６０】
（第２実施形態）
上記第１実施形態では、パネル収納容器１は、パネルＰの左右端部を支持するパネル支持部３０と、パネルＰの中央部を支持する中央サポート部６０と、を含むが、第２実施形態では、パネル収納容器１は、パネル支持部３０及び中央サポート部６０に加えて、サイドサポート部７０を含む。
以下、第２実施形態のパネル収納容器１について、図１５〜図１７を参照しつつ説明する。なお、第２実施形態では、上記第１実施形態と同様の点については、説明を省略し、上記第１実施形態と主に異なる点について説明する。
【００６１】
図１５は、パネル支持手段を示す要部平面図である。図１６は、サイドサポート部を示す要部側面図である。図１７は、取付方向を変更したサイドサポート部を示す概略側面図であり、（ａ）パネル位置決め寸法Ａ２の状態、（ｂ）パネル位置決め寸法Ｂ２の状態である。
【００６２】
［中央サポート部］
第１実施形態では、中央サポート部６０が、平面視で２つ形成されるのに対し、第２実施形態では、中央サポート部６０が、平面視で１つ形成される。このため、第２実施形態の中央サポート部６０は、連結部材６３を備えていない点で第１実施形態の中央サポート部６０と異なるが、他の点においては、第１実施形態の中央サポート部６０と同様であるため、説明を省略する。
【００６３】
［パネル支持部］
第２実施形態のパネル支持部３０は、パネル支持体３１Ａ、支持軸３２、固定部材３３及び支柱３４を備え、第２実施形態の支持軸３２、固定部材３３及び支柱３４が上記第１実施形態の支持軸３２、固定部材３３及び支柱３４と同様であるため、説明を省略する。
【００６４】
一方、第２実施形態のパネル支持体３１Ａは、第１実施形態のパネル支持体３１と異なり、前後方向の寸法に比べて左右方向の寸法が長い短冊形状であり、前後方向に所定の間隔をあけて複数並設されている。また、それぞれのパネル支持体３１Ａの先端側には、サイドサポート部７０が貫通できるように、前後方向に貫通する貫通孔３１ｇが形成されている。
【００６５】
［サイドサポート部］
サイドサポート部７０は、図１５及び図１６に示すように、容器本体２０の前後方向に沿いつつ容器本体２０の側壁２２ａ，２２ｂ付近に設けられる一対のサイドサポート部材７１と、前後方向に沿う一対のサイドサポート部材７１の前端部に設けられるストッパ部材７２と、一対のサイドサポート部材７１に対応して背面壁２８の内面の左右方向に離れた位置に立設される一対の支柱７３と、サイドサポート部材７１の後端部を支柱７３に固定する一対のサポート支持部材７４と、を備える。なお、中央サポート部７０は、ストッパ部材７２を備えなくてもよい。
【００６６】
サイドサポート部材７１は、前後方向に沿うステレンスなどからなる金属製の円柱部材であり、その外周側には、支持するパネルＰに接触する円筒状のパネル接触部７１ｔを備える。また、サイドサポート部材７１の前後両端部は、後述する抜け止めピン７２ｂ及び７３ｃが挿入されるピン挿入孔を備えるが、図示は省略する。
【００６７】
パネル接触部７１ｔは、支持するパネルＰの滑りを防止するために金属材料よりも摩擦性が高く、かつ、支持するパネルＰの損傷を防止するために金属材料よりもクッション性が高い導電性の樹脂材料で形成されるとよい。
【００６８】
一対のサイドサポート部材７１は、それぞれ側壁部２２ａ及び側壁部２２ｂに取り付けられた複数のパネル支持体３１Ａと連結されるように設けられている。
【００６９】
詳細には、パネル支持体３１Ａの先端側には、前後方向に貫通する貫通孔３１ｇが形成され、この貫通孔３１ｇには、嵌合するようにサイドサポート部材７１の円柱部材が挿通されている。なお、この場合、サイドサポート部材７１の円柱部材の貫通孔３１ｇから露出する部分は、少なくとも、パネル接触部７１ｔによって被覆されている。
【００７０】
あるいは、パネル支持体３１Ａの先端側のパネル支持面には、前後方向に沿う凹溝が設けられ、この凹溝には、上端がパネル支持面から突出する状態又はパネル支持面と同一面とする状態でサイドサポート部材７１が装着されてもよい。
【００７１】
ストッパ部材７２は、樹脂材料で形成されており、パネルＰの前後方向の位置決めをするものである。また、ストッパ部材７２は、サイドサポート部材７１の前端部が挿入されるサポート挿入孔７２ａと、サポート挿入孔７２ａに挿入されたサイドサポート部材７１を抜け止めする抜け止めピン７２ｂが挿入されるピン挿入孔７２ｃと、パネルＰの前後方向の位置決めを行う位置決め部７２ｇと、を備える。
【００７２】
支柱７３は、背面壁２８の内面の左右方向に離れた位置に立設される。なお、支柱７３は、背面壁２８と別部材で形成されるが、支柱７３を背面壁２８と一体に形成してもよい。
【００７３】
支柱７３には、サイドサポート部材７１の後端部を嵌合支持する丸穴状の嵌合凹部７３ａと、サポート支持部材７４の一部を嵌合支持する嵌合溝７３ｂと、嵌合されたサイドサポート部材７１及びサポート支持部材７４を抜け止めする抜け止めピン７３ｃが挿入されるピン挿入孔７３ｄと、が形成されている。
【００７４】
支柱７３を形成する材料は、帯電防止のために導電性を有する樹脂材料又は金属材料が選択されるとよい。なお、本実施形態の支柱７３は、サイドサポート部材７１の支持強度を優先し、金属材料で形成される。
【００７５】
サポート支持部材７４は、樹脂材料で形成されており、サイドサポート部材７１の後端部が挿入されるサポート挿入孔７４ａと、支柱７３の嵌合溝７３ｂに嵌合してサポート支持部材７４の上下位置を規定する嵌合部７４ｂと、支柱７３の左右側面に当接してサポート支持部材７４の左右位置を規定する左右一対の当接部７４ｃと、前述した抜け止めピン７３ｃを挿入するためのピン挿入孔７４ｄと、パネルＰの前後方向の位置決めをする第１位置決め部７４ｆ及び第２位置決め部７４ｇと、を備える。
【００７６】
サポート支持部材７４の後端部を支柱７３に固定する場合は、まず、支柱７３の嵌合溝７３ｂにサポート支持部材７４の嵌合部７４ｂを嵌入させた後、サポート支持部材７４の後端部をサポート支持部材７４のサポート挿入孔７４ａを介して支柱７３の嵌合凹部７３ａに嵌合させる。この状態で、サポート支持部材７４のピン挿入孔７４ｄに抜け止めピン７３ｃを挿入すると、抜け止めピン７３ｃが、支柱７３のピン挿入孔７３ｄ及びサイドサポート部材７１のピン挿通孔を貫通することにより、サイドサポート部材７１及びサポート支持部材７４が支柱７３から抜け止めされる。
【００７７】
ここで、図１７に示すように、サポート支持部材７４は、支柱７３に対して上下反転して取り付けることが可能である。そして、図１７（ａ）に示す取付状態では、第１位置決め部７４ｆが有効となり、図１７（ｂ）に示す取付状態では、第２位置決め部７４ｇが有効となる。第１位置決め部７４ｆと第２位置決め部７４ｇは、前後方向の位置が相違しており、図１７（ａ）に示す取付状態では、第１位置決め部７４ｆとストッパ部材７２の位置決め部７２ｇとの間で規定されるパネルＰの前後方向の位置決め寸法がＡ２となり、図１７（ｂ）に示す取付状態では、第２位置決め部７４ｇとストッパ部材７２の位置決め部７２ｇとの間で規定されるパネルＰの前後方向の位置決め寸法がＢ２となる。
【００７８】
また、サポート支持部材７４は、取付方向を変更しても、中央サポート部材７１を支持する高さが変わらないように形成されている。具体的に説明すると、第１位置決め部７４ｆの上下方向の寸法Ｃ２と、第２位置決め部７４ｇの上下方向の寸法Ｄ２と、が一致するように形成されている。このようなサポート支持部材７４によれば、ロボットによるパネルＰの挿入高さを変更することなく、また、ロボットによるパネルＰの挿入量を変更することなく、サイズの異なるパネルＰの収納又は取り出しを行うことができる。
【００７９】
また、サイドサポート部材７１は、上述のように、パネル支持体３１Ａと共にパネルＰに接触する場合に、サイドサポート部材７１と連結されるパネル支持体３１Ａは、複数ではなく、１つ設けられてもよい。
【００８０】
なお、サイドサポート部材７１は、パネルＰに接触しないように構成されてもよい。この場合、１つのサイドサポート部材７１は、複数のパネル支持体３１Ａを連結しているため、その後端部がサポート支持部材７４を介して支柱７３に取り付けられなくてもよい。
【００８１】
このように、第２実施形態のパネル収納容器１によれば、パネルＰの左右中央部を支持する中央サポート部材６１と、パネルＰの左右端部を支持するパネル支持体３１Ａと、パネル支持体３１Ａと連結されるサイドサポート部７０と、を備えることにより、上記第１実施形態と同様の効果が得られるとともに、複数のパネル支持体３１Ａの間隔を維持するとともに、パネル支持体３１Ａの振動を抑制することができる。
【００８２】
以上、具体的な実施形態に基づき、本発明のパネル収納容器について説明してきたが、本発明は、上記の具体的な実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲には、本発明の目的が達成される範囲での様々な変形や改良などが含まれるものであり、そのことは当業者にとって特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００８３】
例えば、上記実施形態の中央サポート部６０は、１枚のパネルＰを左右方向に離れた２本の中央サポート部材６１で支持するが、中央サポート部材６１の本数は１本でもよいし、３本以上であってもよい。棒状の中央サポート部材６１でなく、板状のものでパネルＰを面状に支持してもよい。
【００８４】
例えば、上記実施形態では、パネル収納容器１の内部のエアを不活性ガスに置換するために、上面、下面、左側面、右側面及び背面が壁部材によって気密的に覆われていたが、気密性が求められない場合は、直方体形状に組み立てられた枠体とし、周囲を覆う壁部材を省略してもよい。
【００８５】
また、上記実施形態では、キャリアパネルＰｃ又は封止パネルＰｅの寸法差が比較的小さなパネルＰを収納したが、６２５ｍｍ×６１５ｍｍ又は３００ｍｍ×３００ｍｍなど寸法差が大きいパネルＰを収納してもよい。
【符号の説明】
【００８６】
１      パネル収納容器
２０    容器本体
２１  開口部、２２ａ，２２ｂ  側壁、２３  底板、２４  装置位置決め部、２５  天板、２６  ロボティックフランジ（第１被搬送用部品）、２７  リフトフランジ（第２被搬送用部品）、２８  背面壁、２９  ハンドル（第３被搬送用部品）
３０    パネル支持部
３１，３１Ａ  パネル支持体、３１ａ  取付孔、３１ｂ，３１ｃ  段差部、３１ｇ  貫通孔
３２  支持軸、３３  固定部材、３４  支柱、３４ａ  嵌合溝、３４ｂ  係合溝
４０    蓋体
４１  蓋本体、４２  施錠機構（ロック手段）、
５０    給排気部（給気部、排気部）
６０    中央サポート部
６１，６１Ｂ  中央サポート部材、６１ｔ，６１ａ，６１ｂ  パネル接触部
６２  ストッパ部材
６３  連結部材
６４  支柱
６５  サポート支持部材
７０    サイドサポート部
７１  サイドサポート部材
７２  ストッパ部材
７３  支柱
７４  サポート支持部材
【図１】
2019031297.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2019031297.tif 000013
【図１２】
2019031297.tif 000014
【図１３】
2019031297.tif 000015
【図１４】
2019031297.tif 000016
【図１５】
2019031297.tif 000017
【図１６】
2019031297.tif 000018
【図１７】
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