(57)【要約】【課題】メッシュを補強したメッシュ部材を提供する。【解決手段】メッシュ部材１の外枠５の対向する枠辺５１、５２に跨って設けた帯状の支持枠６をメッシュ４の窪み２とこの窪み２に連なる孔３とに跨って埋設したので、窪み２とこの窪み２に連なる孔３とで形成された所謂矢尻形状の箇所１２に支持枠６の一部が埋設されるため、メッシュ４の振動による経年変化で支持枠６とメッシュ４との接着部分が離れても矢尻形状の箇所１２により支持枠６がメッシュ４から抜け落ちることはない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の径の粒子を捕捉する窪みとこの窪みに形成され前記粒子を通過させる孔とを有するメッシュと、このメッシュの外周を固定する外枠とを備え、前記窪みとこの窪みに連なる前記孔とに跨って埋設される帯状の支持枠を前記外枠の対向する枠辺に跨って設けたことを特徴とするメッシュ部材。
【請求項２】
前記支持枠が格子状に形成されている請求項１に記載のメッシュ部材。
【請求項３】
前記支持枠がシリコンゴム、ウレタンゴム、ポリマーの何れかである請求項１に記載のメッシュ部材。
【請求項４】
前記メッシュを振動させて前記粒子が前記孔を通過して分級される篩として使用される請求項１に記載のメッシュ部材。
【請求項５】
前記孔を通過しない前記粒子以外の異物を濾過するフィルタとして使用される請求項１に記載のメッシュ部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メッシュを振動させて超微細な球形の粒子を分級する篩、又は空気中に含まれている微細な塵埃や、船舶のバラスト水に含まれている微生物等の異物を取り出して除去するフィルタとして使用されるメッシュ部材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
メッシュを振動させて粒子を分級する篩においては、振動によりメッシュが上下方向に
波を打つように撓み、破損する虞がある。このため、特許文献１には、篩網（メッシュ）の下面に網状の支持部材を密着させて設けることにより篩網のばたつきを防止する振動篩が開示されている。又、特許文献２には、目開き網（メッシュ）の下側と網目が大きい補強部材を接触させて溶接や接着や融着により固着し、目開き網と補強部材とを一体化した篩部材が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６３−２５６１６９号
【特許文献２】実開昭６３−１３０１７３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されている振動篩では、篩網と支持部材とを単に密着させているに過ぎないため、篩網の振動により篩網と支持部材とが離れてしまう虞があった。又、特許文献２に開示されている篩部材では、目開き網と網目が大きい補強部材とを接触させて融着により固着しているものの目開き網の振動による経年変化により目開き網と補強部材とが離れてしまう虞があった。
【０００５】
本発明は、上記課題に着目し、メッシュを補強する支持枠がメッシュと離れるのを確実に防止するようにしたもので、特に電鋳技術を用いて製作する厚さがミクロンオーダーの薄肉の金属製又は樹脂製のメッシュを補強するのに適したメッシュ部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１態様に係るメッシュ部材は、所定の径の粒子を捕捉する窪みとこの窪みに形成され前記粒子を通過させる孔とを有するメッシュと、このメッシュの外周を固定する外枠とを備え、前記窪みとこの窪みに連なる前記孔とに跨って埋設される帯状の支持枠を前記外枠の対向する枠辺に跨って設けてある。
【０００７】
このメッシュ部材では、外枠の対向する枠辺に跨って設けた帯状の支持枠をメッシュの窪みとこの窪みに連なる孔とに跨って埋設したので、窪みとこの窪みに連なる孔とで形成された所謂矢尻形状の箇所に支持枠の一部が埋設されるため、メッシュの振動による経年変化で支持枠とメッシュとの接着部分が離れても矢尻形状の箇所により支持枠がメッシュから抜け落ちることはない。
【０００８】
第２の態様は、第１の態様に係るメッシュ部材において、前記支持枠が格子状に形成されている。
【０００９】
格子状の支持枠がメッシュ部材の全域に亘って配置されているので、メッシュの全面が支持枠により補強される。
【００１０】
第３の態様は、第１の態様に係るメッシュ部材において、前記支持枠がシリコンゴム、ウレタンゴム、ポリマーの何れかである。
【００１１】
このメッシュ部材では、支持枠をシリコンゴム、ウレタンゴム、ポリマーの何れかの材料を用いて、例えば、外枠の対向する枠辺に跨る十文字形の帯状に作製し、外枠とメッシュとに押し当てて加熱すると支持枠の一部が溶融して、窪みとこの窪みに連なる孔とで形成された所謂矢尻形状の箇所に溶け込んで埋設される。
【００１２】
第４の態様は、第１の態様に係るメッシュ部材において、前記メッシュを振動させて前記粒子が前記孔を通過して分級される篩として使用される。
【００１３】
このメッシュ部材は、メッシュが支持枠により補強されているため、メッシュを振動させる篩に最適である。
【００１４】
第５の態様は、第１の態様に係るメッシュ部材において、前記孔を通過しない前記粒子以外の異物を濾過するフィルタとして使用される。
【００１５】
このメッシュ部材は、メッシュを振動させて異物を濾過するフィルタにも最適である。尚、メッシュを振動させないで異物を濾過するフィルタの場合でもメッシュの強度をアップできるため適している。
【発明の効果】
【００１６】
本発明におけるメッシュ部材によれば、外枠の対向する枠辺に跨って設けた帯状の支持枠をメッシュの窪みとこの窪みに連なる孔とに跨って埋設したので、窪みとこの窪みに連なる孔とで形成された所謂矢尻形状の箇所に支持枠の一部が埋設されるため、メッシュの振動による経年変化で支持枠とメッシュとの接着部分が離れても矢尻形状の箇所により支持枠がメッシュから抜け落ちることはなく、確実にメッシュを支持枠により補強することができる、という優れた効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係るメッシュ部材の平面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るメッシュ部材の底面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るメッシュ部材の製造工程を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る補強前のメッシュ部材の断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る補強後のメッシュ部材の要部断面を示す図１のI―I          断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る支持枠の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明のメッシュ部材の実施形態について、図面に基づいて詳述する。
図１、図２において、１は窪み２の底部に孔３を有するメッシュ４とこのメッシュ４の外周を固定する外枠５とから成る厚さ１０〜２０μｍの厚さのメッシュ部材で、パラジウムとニッケルとの合金又はニッケルにより電鋳技術を用いて製作したものであり、後述する支持枠６を有している。
【００１９】
この製作工程を図３（ａ）〜図３（ｆ）に基づいて説明する。
図３（ａ）に示すように、基板７に感光性レジスト８を所定の厚さに塗布した。尚、基板７として、導電性のないシリコン基板やガラス基板を用いる場合は導電薄膜（例えば銅）を付加するが、ステンレス基板、ニッケル基板、銅基板などの導電性を有するものでも良い。
【００２０】
次に、図３（ｂ）に示すように、所定のパターンが描画されたＣｒマスク９を介して紫外線１０を照射することで露光を実施した。ここで、紫外線１０の代わりにＸ線を光源とする場合はＣｒマスク９の代わりにＸ線マスクを用いることになる。
【００２１】
次に、図３（ｃ）に示すように、現像工程を経ることで基板７上に感光性レジスト８をパターン化した。
【００２２】
次に、図３（ｄ）に示すように、基板６の表面から電鋳によってパラジウム・ニッケル合金の析出成膜１１を析出させ、パターン化した感光性レジスト８を覆いかぶさるように電鋳によるパラジウム・ニッケルの析出成膜１１の析出を連続的に実施し、所定の孔３を残すところで電鋳を終了させた。
【００２３】
次に、図３（ｅ）に示すように、形成した感光性レジスト８を有機溶媒により除去して窪み２を形成した。この感光性レジスト８の除去は酸素プラズマによるドライエッチングを利用してもよい。
【００２４】
最後に、図３（ｆ）に示すように、基板７を剥離、もしくはエッチング除去して上下反転することにより、図１、図２に示すメッシュ４を有するメッシュ部材１を製作した。
【００２５】
かかる製作により孔３は窪み２の底部中央に円弧上に形成され、直径が５〜２０μｍで
超微細な球形の粒子を通過させて粒子を分級するためのものである。又、窪み２は、直径が１０〜４０μｍ、深さが５〜１０μｍで分級する粒子を捕捉するためのものである。
【００２６】
かかる構成を有するメッシュ部材１は、メッシュ４を振動させて超微細な球形の粒子を分級する篩として使用される際、図４に示す矢印のように、メッシュ４が上下方向に波を打つように撓み、破損する虞がある。
【００２７】
このため、本発明は図１、図２、図５に示すように、窪み２とこの窪み２に連なる孔３とに跨って埋設されるように図６に示す十字形の帯状の支持枠６を外枠５の対向する枠辺５１、５２に跨って設けたものである。
【００２８】
詳述すると、上述したとおり製作したメッシュ部材１にシリコンゴム、ウレタンゴム、ポリマーの何れかの材質で形成された支持枠６を外枠５の対向する枠辺５１、５２に跨って配置し、押し当てて加熱すると支持枠６の一部が溶融して窪み２とこの窪み２に連なる孔３とで形成された所謂矢尻形状の箇所１２に支持枠６の一部が埋設されるため、メッシュ４の振動による経年変化で支持枠６とメッシュ４との接着部分が離れても矢尻形状の箇所１２により支持枠６がメッシュ４から抜け落ちることはない。
【００２９】
このように、電鋳で製作したメッシュ部材１において、外枠５の対向する枠辺５１、５２に跨って配置して熱溶着することにより支持枠６を後付けで設けるようにしたが、スクリーン印刷によりメッシュ部材１と支持枠６とを同時に製作することができる。
この製作方法は、図面を省略しているが、基板上にスクリーンマスクとスキージーを用いて有機物又はセラミックからなるインクにより窪み２を有するメッシュ４と支持枠６とを形成する工程と、スクリーン印刷後にスクリーンマスクを離型し、インクを重合又は焼成する工程と、この重合又は焼成されたインクを基板から離型することにより支持枠６が一体形成されたメッシュ部材１を製作することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明は、上記実施形態のように、メッシュ部材１の外枠５の対向する枠辺５１、５２に跨って設けた十字形の帯状の支持枠６をメッシュ２の窪み２とこの窪み２に連なる孔３とに跨って埋設したので、窪み２とこの窪み２に連なる孔３とで形成された所謂矢尻形状の箇所１２に支持枠６の一部が埋設されるため、メッシュ４の振動による経年変化で支持枠６とメッシュ４との接着部分が離れても矢尻形状の箇所１２により支持枠６がメッシュ２から抜け落ちることはない。
従って、メッシュを振動させて超微細な球形の粒子を分級する篩、又は空気中に含まれている微細な塵埃や、船舶のバラスト水に含まれている微生物等の異物を取り出して除去するフィルタとして使用されるメッシュ部材として利用でき、産業上極めて有用である。
【符号の説明】
【００３１】
１          メッシュ部材
２          窪み      
３          孔        
４          メッシュ
５          外枠
５１、５２  枠辺
６          支持枠
１２        矢尻形状の箇所
【図１】
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【図２】
2019181352.tif 000004
【図３】
2019181352.tif 000005
【図４】
2019181352.tif 000006
【図５】
2019181352.tif 000007
【図６】
2019181352.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成30年4月11日(2018.4.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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