(57)【要約】      （修正有）【課題】凹凸面を有する被保護部材の保護シート及び該保護シート付積層体を提供する。【解決手段】粘着層１と、粘着層１の凹凸面２１とは反対側の面に配置された中間層２とを有し、粘着層１が凹凸面２１と密着して、剥離可能な特性を有し、中間層２は、凹凸面２１に追従可能な硬度を有し、中間層２の厚みをＴ１とし、凹凸面２１の凹凸の高低差をＴ２とし、粘着層１の厚みをＴ３としたとき、Ｔ１＋Ｔ３≧Ｔ２を満たし、中間層２の粘着層１が配置された側とは反対側の面に、基材３を有する保護シート１０、及び保護シート１０と、凹凸面を有する被保護部材２０とが積層されてなる保護シート付積層体１００であって、粘着層１が、被保護部材２０の凹凸面側２１に密着している保護シート付積層体１００。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹凸面を有する被保護部材の前記凹凸面を保護する保護シートであって、
粘着層と、前記粘着層の前記凹凸面とは反対側の面に配置された中間層とを有し、
前記粘着層が前記凹凸面と密着して前記被保護部材を保護する保護シート。
【請求項２】
前記粘着層は、前記被保護部材の前記凹凸面に密着した後、剥離可能な特性を有する請求項１に記載の保護シート。
【請求項３】
前記中間層は、前記凹凸面に追従可能な硬度を有する請求項１または請求項２に記載の保護シート。
【請求項４】
前記中間層の厚みをＴ１とし、前記凹凸面の凹凸の高低差をＴ２とし、前記粘着層の厚みをＴ３としたとき、Ｔ１＋Ｔ３≧Ｔ２を満たす請求項１から請求項３までのいずれかの請求項に記載の保護シート。
【請求項５】
前記中間層の前記粘着層が配置された側とは反対側の面に、基材を有する請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載の保護シート。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれかの請求項に記載の保護シートと、凹凸面を有する被保護部材とが積層されてなる保護シート付積層体であって、
前記粘着層が、前記被保護部材の前記凹凸面側に密着している保護シート付積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、保護シートおよび保護シート付積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、フレキシブルプリント回路基板（Flexible printed circuits : ＦＰＣ）やプリント基板（Printed circuit board : ＰＣＢ）等の製造工程においては、上記基板の傷つきや薬品による汚染、製造工程中に用いられる薬品または製造工程中の加熱による上記基板の劣化が生じる場合がある。そのため、上記基板の製造工程においては、上述したような傷つきや汚染、劣化等を防止することを目的として、上記基板の表面を保護する保護シートを用いる技術が提案されている（例えば特許文献１〜３）。このような保護シートは、例えば、基材と、上記基材の一方の面に配置された粘着層とを有する。また、保護シートは、被保護部材である製品から、最終的に剥離される部材である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５３６１７６０号
【特許文献２】特許第５８７５３１８号
【特許文献３】特開２０１７−８１７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＦＰＣやＰＣＢ等の被保護部材の表面に保護シートを貼付する場合であって、被保護部材の表面が凹凸面を有する場合、被保護部材と保護シートとの間に隙間が生じてしまうという問題がある。具体的には、例えば図４（ａ）に示すように、被保護部材２０の表面が凸部２１を有する凹凸面であり、当該凹凸面に保護シート１０’を貼付した場合、図４（ｂ）に示すように、被保護部材２０の凸部２１を有する凹凸面と、保護シート１０’との間に隙間Ｇが生じてしまうことがある。このように被保護部材の凹凸面と保護シートとの間に隙間が生じると、被保護部材の凹凸面に保護シートを貼付したときに、被保護部材の凹凸面と保護シートとが密着する面積が狭まり、保護シートが被保護部材から剥がれてしまうといった不具合が生じてしまう。なお、図４（ａ）、（ｂ）における符号１は粘着層を示し、符号３は基材を示す。
【０００５】
本開示の発明者等は、被保護部材の凹凸面と保護シートとの間の隙間の発生を抑制する方法について検討した。そこで、発明者等は、保護シートを構成する粘着層の厚みを厚くし、被保護部材の凹凸面と保護シートとの間の隙間を埋める方法に着想した。しかしながら、上記方法を採用するにあたり、次のような課題を新たに発見した。まず、保護シートは、最終的に被保護部材から剥離する部材である。そのため、保護シートには、被保護部材から保護シートを剥離することが可能な特性を有する粘着層を用いることが好ましい。このような粘着層としては、例えば、エネルギー線の照射や熱処理等の弱粘着化処理により粘着力が低下し、容易な剥離が可能となる粘着層や、初めから粘着力が微粘着である粘着層等がある。前者の粘着層の場合、粘着層の厚みを厚くするに連れて、上記弱粘着化処理に時間がかかるという問題がある。一方、後者の粘着層の場合、粘着層の厚みを厚くするに連れて、粘着層の粘着力が増すため、粘着力を微粘着とすることが困難になり、保護シートを被保護部材から剥離することが困難になるという問題がある。また、仮に被保護部材から保護シートを剥離することができたとしても、保護シートにおける粘着層と基材との界面が剥離面となり、凝集破壊を引き起こすことによる糊残り等の不具合が生じる場合がある。さらに、これらの粘着層は厚みを厚くするに連れて、例えば粘着層を形成する際に行われる乾燥工程等に多大な時間を費やすことで、製造効率が低下する等の製造上の問題が生じる。
【０００６】
本開示は、上記実情に鑑みてなされたものであり、保護シートにおける粘着層の厚みを厚くすることなく、被保護部材の凹凸面に十分に追従させることが可能な保護シートを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示においては、凹凸面を有する被保護部材の上記凹凸面を保護する保護シートであって、粘着層と、上記粘着層の上記凹凸面とは反対側の面に配置された中間層とを有し、上記粘着層が上記凹凸面と密着して上記被保護部材を保護する保護シートを提供する。
【０００８】
また、本開示においては、保護シートと、凹凸面を有する被保護部材とが積層されてなる保護シート付積層体であって、上記粘着層が、上記被保護部材の上記凹凸面側に密着している保護シート付積層体を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本開示の保護シートは、保護シートにおける粘着層の厚みを厚くすることなく、被保護部材の凹凸面に十分に追従させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本開示の保護シートおよび保護シート付積層体を説明するための模式図である。
【図２】本開示の保護シートの一例を示す概略断面図である。
【図３】本開示における被保護部材を説明するための模式図である。
【図４】従来の保護シートおよび保護シート付積層体を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本明細書において、ある部材又はある領域等のある構成が、他の部材又は他の領域等の他の構成の「上に（又は下に）」あるとする場合、特段の限定がない限り、これは他の構成の直上（又は直下）にある場合のみでなく、他の構成の上方（又は下方）にある場合を含み、すなわち、他の構成の上方（又は下方）において間に別の構成要素が含まれている場合も含む。
【００１２】
以下、本開示の実施の態様を、図面等を参照しながら説明する。但し、本開示は多くの異なる態様で実施することが可能であり、以下に例示する実施の態様の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、図面は説明をより明確にするため、実施の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本開示の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。また、説明の便宜上、上方又は下方という語句を用いて説明する場合があるが、上下方向が逆転しても良い。
【００１３】
以下、本開示の保護シートおよび保護シート付積層体について、詳細に説明する。
なお、本開示においては、「シート」および「フィルム」を同義として用いる場合がある。
【００１４】
Ａ．保護シート
本開示の保護シートは、凹凸面を有する被保護部材の上記凹凸面を保護するシートであって、粘着層と、上記粘着層の上記凹凸面とは反対側の面に配置された中間層とを有し、上記粘着層が上記凹凸面と密着して上記被保護部材を保護するシートである。
【００１５】
本開示の保護シートについて、図を用いて説明する。図１（ａ）、（ｂ）は保護シートを説明するための模式図である。図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本開示の保護シート１０は、被保護部材２０の凹凸面に貼付され、被保護部材２０の凹凸面を保護する部材である。また、本開示の保護シート１０は、粘着層１と、粘着層１の一方の面に配置された中間層２とを有する。なお、図１（ａ）、（ｂ）に示す保護シート１０は、中間層２の粘着層１とは反対側の面に基材３を有する例である。
【００１６】
従来、例えば図４（ａ）に示すように、被保護部材２０の凹凸面（図４（ａ）、（ｂ）は、被保護部材２０が表面が凸部２１を有する例である。）に保護シート１０’を貼付すると、図４（ｂ）に示すように、被保護部材２０の凸部２１を有する凹凸面と、保護シート１０’との間に隙間Ｇが生じてしまうことがある。このように被保護部材の凹凸面と保護シートとの間に隙間が生じると、被保護部材の表面に保護シートを貼付したときに、被保護部材の凹凸面と保護シートとが密着する面積が狭まり、保護シートが被保護部材から剥がれてしまうといった不具合が生じてしまう。また、この他にも、例えば、紫外線の照射により粘着力が低下する粘着層を用いた場合には、被保護部材と保護シートとの間に隙間が生じることで、酸素阻害が生じてしまうことがある。さらに、被保護部材の凹凸面に保護シートを設けた状態で任意の処理を行う場合には、当該任意の処理に用いられる溶剤や水系薬液が被保護部材と保護シートとの間の隙間に侵入してしまい、保護シートの保護機能が低下してしまうことがある。
【００１７】
本開示の発明者等は、被保護部材の凹凸面と保護シートとの間の隙間の発生を抑制する方法として、保護シートを構成する粘着層の厚みを厚くし、被保護部材の凹凸面と保護シートとの間の隙間を埋める方法について検討した。その結果、粘着層の厚みを凸部の厚みよりも厚くすることで、被保護部材の凸部を有する表面と保護シートとの間の隙間を十分に埋めることができるという知見を得た。しかしながら、粘着層の厚みを厚くした場合には上述したような問題が生じる。したがって、粘着層の厚みを被保護部材の凸部の厚みよりも厚くするのには限界がある。
【００１８】
本開示によれば、粘着層の被保護部材に貼付する面とは反対側の面に中間層を設けることで、保護シートにおける粘着層の厚みを厚くすることなく、被保護部材の凹凸面に十分に追従させることが可能な保護シートを提供することができる。
【００１９】
１．中間層
本開示における中間層は、後述する粘着層の凹凸面とは反対側の面に配置される部材である。
【００２０】
本開示における中間層は、単一の層から構成される単一構造であってもよく、２層以上が積層された積層構造であってもよい。中間層が積層構造を有する場合、中間層を構成する層数は、保護シートの厚みや用途等に応じて適宜選択することができ特に限定されないが、例えば、１層以上５層以下とすることができる。図２は、中間層２が、第１中間層２ａ、第２中間層２ｂ、および第３中間層２ｃの３層が積層された積層構造を有する例を示す。本開示においては、例えば中間層の厚みを厚く設計する場合に、中間層を積層構造とすることが好ましい。中間層は、製造上の問題から、単一の層で所定以上の厚みを達成することが困難な場合がある。このような場合に、中間層を積層構造とすることで、中間層を構成する各層の総厚みにより、所定以上を厚みを達成することができるからである。
【００２１】
本開示における中間層は、保護シートを貼付する被保護部材の凹凸面に追従する層であることが好ましい。したがって、本開示における中間層は、被保護部材の凹凸面に追従可能な硬度を有することが好ましい。中間層の具体的な硬度としては、例えば、室温で３００Ｈｖ以下であることが好ましく、中でも１００Ｈｖ以下であることが好ましく、特に２５Ｈｖ以下であることが好ましい。また、中間層の具体的な硬度の下限は、特に限定されない。なお、中間層の硬度は、ＪＩＳ  Ｇ  ０５６２におけるビッカース硬さの測定方法に準拠して測定することができる。
【００２２】
本開示においては、中間層が積層構造を有する場合、中間層を構成する各層の硬度は同じであってもよく、各層の硬度が異なっていてもよい。例えば図２に示すように中間層２が積層構造を有し、中間層２を構成する第１中間層２ａ、第２中間層２ｂ、および第３中間層２ｃの硬度が異なる場合、粘着層１側に位置するに連れて各層の硬度が低くなることが好ましい。すなわち、図２においては、各層の硬度が、第１中間層２ａの硬度＜第２中間層２ｂの硬度＜第３中間層２ｃの硬度となることが好ましい。第１保護シートを貼付する被保護部材の凹凸面に十分に追従する保護シートとすることができるからである。なお、中間層を構成する各層の具体的な硬度については、上述した数値範囲と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００２３】
本開示における中間層の厚みは、保護シートを貼付する被保護部材の凹凸面に十分に追従する程度の厚みであることが好ましく、保護シートの用途に応じて適宜変更することができる。中間層の厚みは、例えば、図１（ａ）に示すように、中間層２の厚みをＴ１とし、凹凸面の凹凸の高低差（図１（ａ）では、被保護部材２０の凹凸面は凸部２１を有する面であるため、凸部２１の厚み）をＴ２とし、粘着層１の厚みをＴ３としたとき、Ｔ１＋Ｔ３≧Ｔ２を満たすことが好ましい。したがって、中間層の厚みは、被保護部材の凹凸面にある凹凸の高低差、および粘着層の厚みに応じて決定することが好ましい。具体的な中間層の厚みとしては、例えば、２μｍ以上とすることができ、また２０μｍ以上とすることができ、さらに５０μｍ以上とすることができ、さらにまた１００μｍ以上とすることができる。中間層の厚みが上記下限を有することで、保護シートを貼付する被保護部材の凹凸面に十分に追従する保護シートとすることができる。一方、中間層の厚みとしては、例えば、１０ｍｍ以下とすることができる。中間層の厚みが上記上限を有することで、中間層を良好に形成することができる。
【００２４】
ここで、上記式Ｔ１＋Ｔ３≧Ｔ２における「Ｔ１＋Ｔ３」、すなわち中間層の厚みおよび粘着層の厚みの合計は、保護シートにおける中間層の厚みおよび粘着層の厚みが一定でない場合には、保護シートにおいて中間層の厚みおよび粘着層の厚みの合計が最も大きい領域の厚みであることが好ましい。また、「Ｔ２」、すなわち被保護部材の凹凸面における凹凸の高低差は、被保護部材に保護シートを貼付したときに、保護シートにおいて上記式の「Ｔ１＋Ｔ３」の厚みとなる領域に対応する、被保護部材の領域における凹凸の高低差を指す。すなわち、上記式Ｔ１＋Ｔ３≧Ｔ２における「Ｔ１＋Ｔ３」が、図１（ａ）における符号Ｒで示す領域の「Ｔ１＋Ｔ３」である場合、上記式における「Ｔ２」も、図１（ａ）における符号Ｒで示す領域の「Ｔ２」となる。
【００２５】
本開示においては、中間層が積層構造を有する場合、中間層を構成する各層の厚みは同じであってもよく、各層の厚みが異なっていてもよい。
【００２６】
本開示における中間層は、所定の光透過性を有していてもよい。例えば、保護シートに用いられる粘着層が、エネルギー線照射により粘着力が低下する態様である場合、粘着層へのエネルギー線照射は、通常、中間層を介して行われる。そのため、中間層が所定の光透過性を有することで、粘着層へエネルギー線を良好に照射することができる。なお、エネルギー線照射により粘着力が低下する態様の粘着層については後述するため、ここでの記載は省略する。中間層の光透過性は、例えば、粘着層の弱粘着化に用いられるエネルギー線に対する透過率が、１０％以上であることが好ましく、中でも２０％以上であることが好ましく、特に３０％以上であることが好ましい。中間層の光透過性は、用いられるエネルギー線に応じて、それぞれ周知の方法を用いて測定することができる。
【００２７】
また、粘着層に照射されるエネルギー線が紫外線である場合には、中間層の厚みが５０μｍのときの紫外線透過率が、例えば、１０％以上であることが好ましく、中でも２０％以上であることが好ましく、特に３０％以上であることが好ましい。なお、中間層の紫外線透過率は、例えば、日本分光（株）  Ｖ−７１００を用いて測定することができる。
【００２８】
本開示における中間層の材料は、所望の中間層を得ることができる材料であれば特に限定されないが、例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネイト樹脂、オレフィン樹脂、ウレタン樹脂、プラスチック材料、ゴム材料等が挙げられる。中でも、アクリル樹脂であることが好ましく、具体的には水酸基が導入された変性メチルメタクリレート−ブチルアクリレート−メチルメタクリレートの３元共重合体が挙げられる。
【００２９】
本開示における中間層は、上述した材料以外にも、その他の材料として、被保護部材よりも硬度の低い材料を適宜選択することができる。
【００３０】
本開示における中間層の製造方法としては、所望の中間層を得ることができる方法であればよく、例えば、コーティング法や押出し法等が挙げられる。
【００３１】
２．粘着層
本開示における粘着層は、上述した中間層の一方の面に配置される部材である。また、粘着層は、被保護部材の凹凸面と密着する部材である。ここで、「粘着」とは、「接着」に含まれる概念である。粘着は一時的な接着現象の意味として用いられるのに対し、接着は永久的な接着現象の意味として用いられる点で区別されることがある（岩波書店  理化学事典第５版）。「粘着性」および「粘着力」とは、感圧により接着する性質およびそのときの接着力を指す。
【００３２】
本開示における粘着層は、保護シートを被保護部材に貼付するための層である。また、粘着層は、被保護部材の凹凸面に密着した後、剥離可能な特性を有することが好ましい。換言すると、粘着層は、最終的に被保護部材から剥離する再剥離性を有することが好ましい。ここで、粘着層が再剥離性を有するとは、粘着層により被保護部材に保護シートを粘着および密着して固定することができ、かつ、被保護部材から保護シートを剥離する際に、被保護部材を破壊せず、被保護部材表面への糊残りの発生を抑えて剥離可能であることをいう。
【００３３】
このような粘着層としては、例えば、弱粘着化処理により粘着力が低下して剥離性が向上する粘着層（粘着層の第１態様）、微粘着性を示す粘着層（粘着層の第２態様）が挙げられる。以下、各態様に分けて説明する。
【００３４】
（１）粘着層の第１態様
粘着層の第１態様（以下、本項目内においては、「本態様の粘着層」と称する場合がある。）は、弱粘着化処理により粘着力が低下して剥離性が向上する粘着層である。弱粘着化処理としては、例えば、エネルギー線照射により弱粘着化する処理や、加熱により弱粘着化する処理、冷却により弱粘着化する処理、エネルギー線照射による発熱により弱粘着化する処理等が挙げられる。弱粘着化処理としては、特にエネルギー線照射により弱粘着化する処理であることが好ましい。以下、エネルギー線照射により弱粘着化する弱粘着化処理について説明する。
【００３５】
本態様の粘着層は、初期粘着力により被保護部材の表面に十分に密着固定することが可能である。また、被保護部材から保護シートを剥離する際には、エネルギー線を粘着層に照射することで、粘着層の粘着力が低下して剥離性が向上するため、被保護部材表面への糊残りの発生を抑え、容易に保護シートを剥離することができる。
【００３６】
ここで、本態様の粘着層がエネルギー線照射により被保護部材から剥離するとは、本態様の粘着層が、エネルギー線照射を受ける前は、強粘着性を示して被保護部材に密着固定することができるが、エネルギー線の照射を受けると、粘着力が著しく低下して被保護部材から容易に剥離可能になることをいう。具体的には、本態様の粘着層は、エネルギー線照射前の粘着力が０．５Ｎ／２５ｍｍ以上２０Ｎ／２５ｍｍ以下であり、エネルギー線照射後の粘着力が２．０Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。粘着層の粘着力は、ポリエステルフィルム（厚さ５０μｍ）を基材とし、上記基材の片面に本態様の粘着層を後述する厚さの範囲内となるように形成した粘着性基材を用い、巾２５ｍｍ×長さ１５０ｍｍの大きさの短冊状の試験片をカットし、次にＪＩＳ Ｚ０２３７の規格に準拠した条件でステンレス板にラミネートし、最後に、試験片を剥離角１８０°、剥離速度３００ｍｍ／分、室温下の条件で、試験片の長さ方向に剥がすことにより測定することができる。また、このような１８０°剥離強度測定には、例えば、インストロン社製の万能試験機５５６５を用いることができる。
【００３７】
粘着層に照射するエネルギー線としては、例えば、遠紫外線、紫外線、近紫外線、赤外線等の光線、Ｘ線、γ線等の電磁波のほか、電子線、プロトン線、中性子線等が挙げられる。中でも汎用性等の観点から、紫外線が好ましい。
【００３８】
本態様の粘着層の組成は、エネルギー線照射前後で所定の粘着力を示すものであればよく、例えば樹脂（粘着主剤）、エネルギー線重合性オリゴマー、および重合開始剤を少なくとも含む組成とすることができる。このような組成とすることで、エネルギー線の照射により本態様の粘着層に含まれるエネルギー線重合性オリゴマーが硬化して、粘着力を低下させることができ、また、このとき凝集力が高まるため、被保護部材への転着が生じにくくなり、剥離が容易になるからである。
【００３９】
粘着層に用いられる樹脂としては、例えば、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、シリコーン系樹脂等、一般に粘着剤の主剤として用いられる樹脂が挙げられ、中でもアクリル系樹脂が好ましい。
以下、粘着層の組成、すなわち粘着剤組成物に含まれる各組成について説明する。
【００４０】
（ａ）アクリル系樹脂
アクリル系樹脂については、特に限定されず、例えば（メタ）アクリル酸エステルを単独重合させた(メタ)アクリル酸エステル重合体、（メタ）アクリル酸エステルを主成分として（メタ）アクリル酸エステルと他の単量体とを共重合させた（メタ）アクリル酸エステル共重合体が挙げられるが、（メタ）アクリル酸エステル共重合体が好ましい。（メタ）アクリル酸エステルおよび他の単量体の具体例としては、例えば特開２０１２−３１３１６号公報に開示されるものが挙げられる。他の単量体は単独または２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、ここでの主成分とは、共重合割合が５１質量％以上であることを意味し、好ましくは６５質量％以上である。
なお、本明細書において、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸およびメタクリル酸の少なくとも一方をいうものとする。
【００４１】
（ｂ）エネルギー線重合性オリゴマー
エネルギー線重合性オリゴマーは、エネルギー線の照射を受けて重合するものであれば特に限定されず、例えば、光ラジカル重合性、光カチオン重合性、光アニオン重合性等のオリゴマーが挙げられる。中でも、光ラジカル重合性オリゴマーが好ましい。硬化速度が速く、また、多種多様な化合物から選択することができ、更には、硬化前の粘着性や硬化後の剥離性等の物性を容易に制御することができるからである。
【００４２】
（ｃ）重合開始剤
重合開始剤は、一般的な光重合開始剤を用いることができる。重合開始剤の市販品としては、例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ７５４（ＢＡＳＦ ジャパン社製），ＩＲＧＡＣＵＲＥ２９５９（ＢＡＳＦ ジャパン社製）等が挙げられる。
【００４３】
（ｄ）架橋剤
架橋剤は、少なくともアクリル系樹脂間を架橋するものであれば特に限定されるものではなく、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤等が挙げられる。架橋剤は、単独または２種以上を組み合わせて用いることができ、アクリル系樹脂の種類等に応じて、適宜選択することができる。
【００４４】
（ｅ）任意の組成
粘着剤組成物は、上述のエネルギー線重合性オリゴマーに加えてエネルギー線重合性モノマーを含有してもよい。エネルギー線を照射した際に、粘着剤組成物を３次元架橋により硬化させて粘着力を低下させるとともに、粘着剤組成物の凝集力を高めて、被保護部材表面へ転着させないようにすることができるからである。
【００４５】
エネルギー線重合性モノマーとしては、光ラジカル重合性モノマーが好ましく、中でも一分子中に（メタ）アクリロイル基を３個以上有する多官能性アクリレートや多官能性メタクリレートが好ましい。具体的には、特開２０１０−１７３０９１号公報に記載のエネルギー線重合性モノマーが挙げられる。
【００４６】
粘着剤組成物は、必要に応じて、シランカップリング剤、粘着付与剤、金属キレート剤、界面活性剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、顔料、染料、着色剤、耐電防止剤、防腐剤、消泡剤、ぬれ性調整剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。また、本態様の粘着層の再剥離性を向上させるために、フッ素系樹脂等の樹脂を含んでいてもよい。
【００４７】
（ｆ）その他
本態様の粘着層の厚さとしては、十分な粘着力が得られ、且つ、エネルギー線が内部まで透過することが可能な大きさであればよく、具体的には３μｍ以上５０μｍ以下、中でも５μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましい。
【００４８】
（２）粘着層の第２態様
粘着層の第２態様（以下、本項目内においては、「本態様の粘着層」と称する場合がある。）は、微粘着性を示す粘着層である。
【００４９】
本態様の粘着層は、初期粘着力が低いため、被保護部材の表面に密着固定することが可能である。また、被保護部材から保護シートを剥離する際に、本態様の粘着層が微粘着性を示すことで、被保護部材に対する剥離性が良好であり、被保護部材の表面への糊残りの発生を抑え、容易に剥離することが可能となる。
【００５０】
ここで、本態様の粘着層が示す微粘着性とは、粘着層により保護シートを被保護部材に密着固定することができ、被保護部材から保護シートを剥離するまで、被保護部材に対する保護シートの位置ずれを生じさせず、且つ、剥離に際して被保護部材の表面に糊残りが生じない程度の粘着力を示すことをいう。具体的には、本態様の粘着層の初期粘着力が、６Ｎ／２５ｍｍ以下、好ましくは３Ｎ／２５ｍｍ以下、より好ましくは２Ｎ／２５ｍｍ以下である。また、本態様の粘着層の初期粘着力は、０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。粘着層の粘着力は、基材としてポリイミドフィルム（厚さ２５μｍ、東レ・デュポン製、製品名：１００Ｈ）を用いて測定することができる。具体的な測定方法は、上述した「（１）粘着層の第１態様」の項に記載した方法と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００５１】
本態様の粘着層の組成は、上述の初期粘着力を示すことが可能な組成であれば特に限定されないが、中でもアクリル系樹脂を少なくとも含むことが好ましく、アクリル系樹脂および硬化樹脂を含むことがより好ましい。アクリル系樹脂および硬化樹脂を含むことで、微粘着性を示すことができるからである。また、本態様の粘着層は、シリコン系樹脂を含むシリコン粘着層であってもよい。
【００５２】
ここで、本態様の粘着層がアクリル系樹脂を含むとは、層内において、アクリル系樹脂が架橋を形成せずに単体で存在していてもよく、アクリル系樹脂間もしくはアクリル系樹脂と他の樹脂との間で架橋形成されてなる架橋体として存在していてもよく、単体および架橋体の両方が存在していてもよい。また、本態様の粘着層に含まれる硬化樹脂とは、熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂が熱や光照射を受けて硬化されたものをいう。
【００５３】
本態様の粘着層は、所望の粘着力を示すことが可能な厚さであればよく、例えば３μｍ以上５０μｍ以下、中でも５μｍ以上３０μｍとすることが好ましい。
【００５４】
３．その他の構成
本開示の保護シートは、上述した中間層および粘着層を有していればよいが、必要に応じてその他の構成を有していてもよい。その他の構成としては、例えば、基材やセパレータが挙げられる。以下、それぞれの構成について説明する。
【００５５】
（１）基材
本開示の保護シートは、中間層の粘着層が配置された側とは反対側の面に、基材を有していてもよい。基材は、粘着層および中間層を支持できる層であることが好ましい。本開示における基材は、保護シートに耐熱性や耐薬品性等を付与することができる部材である。そのため、例えば、被保護部材の製造工程において、被保護部材の表面が製造過程における加熱や薬品により劣化や汚染されることを抑制するために、被保護部材の表面に基材を有する保護シートを貼付したとき、被保護部材を熱や薬品から良好に保護することができる。
【００５６】
本開示における基材は、所定の耐熱性を有することが好ましい。本開示の保護シートに耐熱機能を付与することができるからである。基材の耐熱性は、例えば基材材料の１５０℃〜２５０℃の範囲内における熱膨張係数が５ｐｐｍ／℃〜５０ｐｐｍ／℃の範囲内、中でも１０ｐｐｍ／℃〜３０ｐｐｍ／℃の範囲内であることが好ましい。
【００５７】
上記基材は、可撓性を有していてもよく有さなくてもよい。この様な基材としては、例えば、石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の無機基材、樹脂フィルム、光学用樹脂板等の樹脂基材等を挙げることができる。
【００５８】
樹脂基材に用いられる樹脂としては、上述の熱膨張係数を示すものが好ましいが、中でも、上記物性に加えて、寸法安定性、エネルギー線透過性、剛性、伸長性、積層適性、耐薬品性にも優れる点から、ポリイミド系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ガラスエポキシ樹脂（ガラエポ）であることが好ましい。樹脂基材は、１種の樹脂により構成された単層であってもよく、２種以上の樹脂基材が積層された多層体であってもよい。
【００５９】
基材の厚さは、特に限定されず、材質や可撓性の有無、粘着層の種類に応じて適宜選択することができる。
【００６０】
基材の形態は特に限定されず、可撓性の有無に応じて、例えば板状、シート状、フィルム状、テープ状等が挙げられる。また、上記基材は、ロール状であってもよく、枚葉状であってもよい。
【００６１】
基材は、透明性を有していてもよく有していなくてもよい。粘着層が第１態様である場合は、基材側から粘着層の粘着力を低下させるのに十分なエネルギー線を照射可能とするために、上記基材は透明性を有することが好ましい。このときの基材の光透過率については、所望の量のエネルギー線が透過可能であればよく、適宜設定することができる。
【００６２】
基材は、粘着層との密着性を高めるために、粘着層が形成される面にコロナ処理やプライマー処理等の表面処理が施されていてもよい。
【００６３】
（２）セパレータ
本開示の保護シートは、粘着層の中間層とは反対側の面にセパレータを有していてもよい。セパレータは、粘着層から剥離可能に設けられ、保護シートを被保護部材に貼付する際に、粘着層から剥離される。粘着層の表面にセパレータを設けることにより、粘着層を介して保護シートを被保護部材に貼付するまでの間に、粘着層の表面が汚れたり傷つき、粘着層の初期粘着力が低下するといった不具合の発生を抑制することができる。
【００６４】
このようなセパレータとしては、例えば、離型フィルム、セパレート紙、セパレートフィルム、セパ紙、剥離フィルム、剥離紙等の従来公知のセパレータを用いることができる。具体的には、ポリプロピレンやポリエチレン、フッ素フィルムなどが挙げられる。また、セパレータは、上記に例示した単層で離型性を有していてもよいが、上質紙、コート紙、含浸紙、プラスチックフィルムなどの離型紙用基材の片面または両面に離型層を形成した積層体を用いてもよい。離型層としては、離型性を有する材料であれば、特に限定されないが、例えば、シリコーン樹脂、有機樹脂変性シリコーン樹脂、フッ素樹脂、アミノアルキド樹脂、メラミン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、長鎖アルキル樹脂などがある。これらの樹脂は、エマルジョン型、溶剤型または無溶剤型のいずれもが使用できる。
【００６５】
セパレータは、粘着層と接する面に易剥離処理が施されていることが好ましい。
【００６６】
セパレータは、防湿性を有していてもよい。セパレータが防湿性を有することで、粘着層を介して被保護部材に保護シートを貼付するまでの間、粘着層と湿気との接触を防ぐことができるからである。セパレータが防湿性を有するとは、例えば温度４０℃湿度９０％ＲＨ下におけるセパレータの水蒸気透過度が１ｇ／ｍ２／ｄａｙ以下であることが好ましく、中でも０．１ｇ／ｍ２／ｄａｙ以下であることが好ましい。水蒸気透過度は、ＪＩＳ  Ｋ７１２９に準拠して測定することができる。防湿性を有するセパレータとしては、例えば、シリコーン等の剥離処理がされたアルミ蒸着フィルム、シリカ蒸着フィルム、アルミ箔、厚みが０．１ｍｍ以上のポリエチレンフィルム、防湿フィラーを含むフィルム等が挙げられる。
【００６７】
セパレータは、粘着層に含有される材料の種類や、施工環境に応じて、遮光性を有していてもよい。粘着層を介して被保護部材に保護シートを貼付するまでの間に、粘着層が紫外線等の照射を受けて劣化するのを抑制することができるからである。遮光性を有するセパレータとしては、例えば、アルミ箔セパレータ、アルミ蒸着フィルムや紙セパレータ、着色セパレータ、紫外線吸収剤入りのフィルムセパレータ等が挙げられる。
【００６８】
４．被保護部材
本開示における被保護部材は、凹凸面を有する部材である。なお、本開示における被保護部材については、後述する「Ｂ．保護シート付積層体  ２．被保護部材」の項で説明するため、ここでの記載は省略する。
【００６９】
Ｂ．保護シート付積層体
本開示の保護シート付積層体は、保護シートと、凹凸面を有する被保護部材とが積層されてなる部材であって、上記粘着層が、上記被保護部材の上記凹凸面側に密着している部材である。
【００７０】
本開示の保護シート付積層体の図面を用いた説明については、上述した「Ａ．保護シート」の項で説明した図１（ｂ）の説明と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００７１】
本開示によれば、保護シートにおける粘着層の厚みを厚くすることなく、被保護部材の凹凸面に保護シートが十分に追従した保護シート付積層体とすることができる。なお、本開示における詳細な効果の説明は、上述した「Ａ．保護シート」の項で説明した内容と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００７２】
１．保護シート
本開示における保護シートは、凹凸面を有する被保護部材の上記凹凸面を保護する部材であって、粘着層と、上記粘着層の上記凹凸面とは反対側の面に配置された中間層とを有し、上記粘着層が上記凹凸面と密着して上記被保護部材を保護する部材である。
【００７３】
本開示における保護シートについては、上述した上述した「Ａ．保護シート」の項で説明した内容と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００７４】
２．被保護部材
本開示における被保護部材は凹凸面を有し、凹凸面側に保護シートが密着される部材である。ここで、「凹凸面」とは、所定の凹凸形状を有する面であればよく、被保護部材の種類に応じて異なるため、特に限定されない。被保護部材の凹凸面としては、例えば、平面に凹部が形成された面、平面に凸部が形成された面、または平面の凹部および凸部の両方が形成された面等が挙げられる。
【００７５】
本開示においては、保護シートが中間層を有する所定の構成を有することで、被保護部材の凹凸面に保護シートを貼付したときに、図４（ｂ）のように、被保護部材２０と保護シート１０’との間に隙間Ｇが形成されるのを抑制することができる。本開示においては、被保護部材の凹凸面の凹凸の高低差が大きい程、上記効果が顕著となる。
【００７６】
本開示において被保護部材の凹凸面は、凹部または凸部の少なくとも一方を有する。被保護部材の凹凸面における凹部および凸部は、被保護部材の表面を凹凸形状とすることができればよく、具体的な形状については特に限定されない。被保護部材の凹凸面における凸部の立体形状は、例えば、図３（ａ）に示すようなライン状であってもよく、図３（ｂ）に示すような筒状であってもよい。なお、被保護部材がＦＰＣである場合であって、被保護部材の表面の凸部が配線である場合には、凸部の立体形状は、ライン状となる。また、被保護部材の凹凸面における凹部の形状については、上記凸部と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００７７】
また、被保護部材の凹凸面における凸部の縦断面形状としては、例えば、三角形、正方形、長方形、台形状、縦断面形状を構成する２側面のうち少なくとも一方において、斜辺が２本以上の直線または曲線にて構成されるテーパー形状、四辺が曲線である形状等が挙げられる。なお、凸部の縦断面形状とは、例えば、図３（ａ）における凸部２１のＡ−Ａ線断面形状、または図３（ｂ）における凸部２１のＢ−Ｂ線断面形状に相当する。また、被保護部材の凹凸面における凹部の縦断面形状については、上記凸部と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００７８】
本開示における被保護部材の凹凸面の凹凸の高低差は、粘着層の厚みよりも大きくてもよい。この場合、例えば図４（ａ）、（ｂ）に示すように、従来の保護シート１０’を被保護部材２０に貼付すると、被保護部材２０の凹凸面により、保護シート１０’と被保護部材２０との間に隙間Ｇが生じるという課題が顕著となる。一方、本開示においては、保護シートが中間層を備えた所定の構成を有することで、上述のような課題を解決することができる。したがって、本開示においては、被保護部材の凹凸面の凹凸の高低差が、粘着層の厚みよりも大きいことで、本開示の効果を顕著なものとすることができる。なお、被保護部材の凹凸面の凹凸の高低差は、凹部および凸部が隣接している場合には、当該隣接する凹部および凸部の高低差となり、平面上に凹部または凸部を有する場合には、当該凹部の深さ、または凸部の高さ（図１（ａ）の符号Ｔ２で示す距離）となる。
【００７９】
本開示における被保護部材の凹凸面の凹凸の具体的な高低差は、被保護部材となる物品の種類に応じて適宜決定されるため、特に限定されないが、例えば、０．１μｍ以上５ｍｍ以下とすることができ、また０．５μｍ以上１ｍｍ以下とすることができ、さらに１μｍ以上１００μｍ以下とすることができる。なお、ここでの被保護部材の凹凸面の凹凸の高低差は、被保護部材において隣接する凹部および凸部の最大高低差、凹部の最大深さ、および凸部の最大高さのうち最も大きい距離に相当する。
【００８０】
本開示における被保護部材の材料は、保護シートを貼付することが可能な材料であればよく、被保護部材となる物品の種類に応じて適宜決定されるため、特に限定されない。また、被保護部材が、台座部とは別体である凸部を有する場合、当該凸部としては、例えば配線が挙げられる。
【００８１】
本開示における被保護部材としては、例えば、ＦＰＣ、ＰＣＢ、ＳＩＰ（System in a Package）、ＳＯＰ(Small Outline Package)、ＰＬＰ（Panel Level Package）、ＷＬＰ（Wafer Level Package）、ＣＳＰ（Chip Size Package）、ＰＯＰ（Package on Package）等のパッケージ部品、センサーモジュール、タッチパネルや有機ＥＬパネル等の液晶モジュールが挙げられる。
【００８２】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【００８３】
[実施例１]
（保護シートの作製）
基材としてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基材を準備した。次に、ＰＥＴ基材上に、溶剤で溶解したアルケマ社製Nanostrength  M22Nを塗布し、その後乾燥させて中間層（厚み：４０μｍ）を得た。次いで、中間層のＰＥＴ基材とは反対側の面に、「Ａ．保護シート  ２．粘着層  （１）粘着層の第１態様」の項に記載の粘着層（厚み：２０μｍ）を形成した。このようにして、保護シートを得た。
【００８４】
（保護シート付積層体の作製）
得られた保護シートの粘着層側の面を、被保護部材（シリコンウエハ配線層）の凸部（厚み：５０μｍ）を有する側の面に対向させ貼付した。このようにして、保護シート付積層体を作成した。
【００８５】
（保護シートの剥離）
得られた保護シート付積層体に対し、保護シートのＰＥＴ基材側の面からＵＶ照射し、粘着層の粘着力を低下させた後に保護シートを剥離した。
【００８６】
[実施例２]
（保護シートの作製）
基材としてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基材を準備した。次に、ＰＥＴ基材上に、中間層としてＯＣＡ層（グンゼ社製  NNX-50、厚み：５０μｍ）を形成した。次いで、中間層のＰＥＴ基材とは反対側の面に、シリコン粘着層（厚み：５μｍ）を形成した。このようにして、保護シートを得た。
【００８７】
（保護シート付積層体の作製）
得られた保護シートの粘着層側の面を、被保護部材（Ｃｕ薄膜）の凸部（厚み：３５μｍ）を有する側の面に対向させ貼付した。このようにして、保護シート付積層体を作成した。
【００８８】
（保護シートの剥離）
得られた保護シート付積層体から、ピーリングテープを用いて機械的に保護シートを剥離した。
【００８９】
[実施例３]
（保護シートの作製）
基材としてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基材を準備した。次に、ＰＥＴ基材上に、中間層としてＯＣＡ層（グンゼ社製  NNX-100、厚み：１００μｍ）を形成した。次いで、中間層のＰＥＴ基材とは反対側の面に、シリコン粘着層（厚み：１０μｍ）を形成した。このようにして、保護シートを得た。
【００９０】
（保護シート付積層体の作製）
得られた保護シートの粘着層側の面を、被保護部材（ウエハチップ）の凸部（半田ボール、厚み（直径）：８０μｍ）を有する側の面に対向させ貼付した。このようにして、保護シート付積層体を作成した。
【００９１】
（保護シートの剥離）
得られた保護シート付積層体から、機械的に保護シートを剥離した。
【符号の説明】
【００９２】
１  …粘着層
２  …中間層
３  …基材
１０…保護シート
２０…被保護部材
２１…凸部
１００…保護シート付積層体
【図１】
2019026803.tif 000003
【図２】
2019026803.tif 000004
【図３】
2019026803.tif 000005
【図４】
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