(57)【要約】【課題】本発明は、複数の膜モジュールを適切なタイミングで洗浄することができる水処理装置の提供を課題とする。【解決手段】本発明の水処理装置は、並列に配設される複数の膜モジュールと、上記複数の膜モジュールに原水を圧送するポンプと、少なくとも１つの上記膜モジュールに供給される原水の供給圧力を測定可能な第１圧力計と、上記複数の膜モジュールを透過した濾過水の排出圧力を測定可能な第２圧力計と、上記第２圧力計の測定値及び上記第１圧力計の測定値から上記排出圧力と供給圧力との差圧を検出する検出制御部と、上記差圧に基づいて上記複数の膜モジュールを洗浄する洗浄機構とを備える。【選択図】図１
2019022870.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列に配設される複数の膜モジュールと、
上記複数の膜モジュールに原水を圧送するポンプと、
少なくとも１つの上記膜モジュールに供給される原水の供給圧力を測定可能な第１圧力計と、
上記複数の膜モジュールを透過した濾過水の排出圧力を測定可能な第２圧力計と、
上記第２圧力計の測定値及び上記第１圧力計の測定値から上記排出圧力と供給圧力との差圧を検出する検出制御部と、
上記差圧に基づいて上記複数の膜モジュールを洗浄する洗浄機構と
を備える水処理装置。
【請求項２】
上記ポンプに接続される原水供給管と、
上記原水供給管から分岐し、上記複数の膜モジュールに接続される複数の分岐管と、
上記複数の膜モジュールを透過した濾過水を排出する排出管と、
一端が上記分岐管に接続され、かつ他端にバルブが設けられる１又は複数の圧力引き出し用の接続管と
を備え、
上記第１圧力計が上記１又は複数の接続管に上記バルブを介して接続され、かつ上記第２圧力計が上記排出管に接続される請求項１に記載の水処理装置。
【請求項３】
上記接続管が、少なくとも上記原水供給管の最上流側に接続される分岐管に接続される請求項２に記載の水処理装置。
【請求項４】
複数の上記接続管が、全ての上記分岐管に接続されており、
上記第１圧力計が、上記複数の接続管にそれぞれ配設される上記バルブの開閉操作によって上記複数の膜モジュールに供給される原水の供給圧力を順次測定する請求項２又は請求項３に記載の水処理装置。
【請求項５】
上記複数の膜モジュールを有し、それぞれ独立して上記原水供給管に接続される複数の膜モジュール群と、
上記複数の膜モジュール群の上記差圧を平均し、この平均値に基づいて上記膜モジュール群毎に原水の流量を調節する演算部をさらに備える請求項２、請求項３又は請求項４に記載の水処理装置。
【請求項６】
原水を圧送する圧送工程と、
上記圧送工程で圧送された原水を並列に配設された複数の膜モジュールによって膜分離する膜処理工程と、
少なくとも１つの膜モジュールに供給される原水の供給圧力を測定する第１測定工程と、
上記膜処理工程後の濾過水の排出圧力を測定する第２測定工程と、
上記第２測定工程の測定値及び上記第１測定工程の測定値から上記排出圧力と供給圧力との差圧を検出する検出制御工程と、
上記検出制御工程で検出した差圧に基づいて上記複数の膜モジュールを洗浄する洗浄工程と
を備える水処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水処理装置及び水処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
工業廃水、畜産汚水、海水、下水等の浄化処理を行うにあたり、複数の加圧式膜モジュールを備える水処理装置が用いられている。この水処理装置は、例えば微生物を用いた生物処理後の比較的浮遊物質の少ない原水を複数の膜モジュールに供給し、これらの膜モジュールを透過した濾過水を排出可能に構成されている。
【０００３】
上記膜モジュールは原水を膜分離する濾過膜を有する。しかしながら、この濾過膜は、原水を膜分離するにつれて表面に濁質等の不純物が付着し濾過効率が低下する。そのため、上記水処理装置は、予め定めた一定時間毎に濾過膜を洗浄するよう構成されている（特開平９−８５０６６号公報参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−８５０６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記公報に記載される洗浄方法によると、濾過膜への不純物の付着度合に応じた適切なタイミングで洗浄し難い。そのため、洗浄回数の不要な増加に起因する水処理効率の低下や、洗浄のタイミングが遅れることで濾過膜の回復率が低くなり、ひいては膜モジュールの寿命が短くなるおそれがある。
【０００６】
本発明は、このような事情に基づいてなされたものであり、複数の膜モジュールを適切なタイミングで洗浄することができる水処理装置及び水処理方法の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためになされた本発明の一態様に係る水処理装置は、並列に配設される複数の膜モジュールと、上記複数の膜モジュールに原水を圧送するポンプと、少なくとも１つの上記膜モジュールに供給される原水の供給圧力を測定可能な第１圧力計と、上記複数の膜モジュールを透過した濾過水の排出圧力を測定可能な第２圧力計と、上記第２圧力計の測定値及び上記第１圧力計の測定値から上記排出圧力と供給圧力との差圧を検出する検出制御部と、上記差圧に基づいて上記複数の膜モジュールを洗浄する洗浄機構とを備える。
【０００８】
また、上記課題を解決するためになされた本発明の一態様に係る水処理方法は、原水を圧送する圧送工程と、上記圧送工程で圧送された原水を並列に配設された複数の膜モジュールによって膜分離する膜処理工程と、少なくとも１つの膜モジュールに供給される原水の供給圧力を測定する第１測定工程と、上記膜処理工程後の濾過水の排出圧力を測定する第２測定工程と、上記第２測定工程の測定値及び上記第１測定工程の測定値から上記排出圧力と供給圧力との差圧を検出する検出制御工程と、上記検出制御工程で検出した差圧に基づいて上記複数の膜モジュールを洗浄する洗浄工程とを備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る水処理装置及び水処理方法は、複数の膜モジュールを適切なタイミングで洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る水処理装置を示す模式図である。
【図２】図１の水処理装置を用いた水処理方法を示すフロー図である。
【図３】図１の水処理装置とは異なる実施形態に係る水処理装置を示す模式図である。
【図４】図３の水処理装置を用いた水処理方法を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
［本発明の実施形態の説明］
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
【００１２】
本発明の一態様に係る水処理装置は、並列に配設される複数の膜モジュールと、上記複数の膜モジュールに原水を圧送するポンプと、少なくとも１つの上記膜モジュールに供給される原水の供給圧力を測定可能な第１圧力計と、上記複数の膜モジュールを透過した濾過水の排出圧力を測定可能な第２圧力計と、上記第２圧力計の測定値及び上記第１圧力計の測定値から上記排出圧力と供給圧力との差圧を検出する検出制御部と、上記差圧に基づいて上記複数の膜モジュールを洗浄する洗浄機構とを備える。
【００１３】
当該水処理装置は、第２圧力計によって測定される複数の膜モジュールを透過した濾過水の排出圧力と、第１圧力計によって測定される少なくとも１つの膜モジュールに供給される原水の供給圧力との差圧に基づいて上記複数の膜モジュールを洗浄することができる。これにより、当該水処理装置は、少なくとも１つの膜モジュールのファウリング（より詳しくは、膜モジュールが有する濾過膜のファウリング）の程度に応じて並列に配設される複数の膜モジュールを適切なタイミングで洗浄することができる。
【００１４】
当該水処理装置は、上記ポンプに接続される原水供給管と、上記原水供給管から分岐し、上記複数の膜モジュールに接続される複数の分岐管と、上記複数の膜モジュールを透過した濾過水を排出する排出管と、一端が上記分岐管に接続され、かつ他端にバルブが設けられる１又は複数の圧力引き出し用の接続管とを備え、上記第１圧力計が上記１又は複数の接続管に上記バルブを介して接続され、かつ上記第２圧力計が上記排出管に接続されるとよい。この構成によると、上記第１圧力計によって上記接続管が接続される分岐管から膜モジュールに供給される原水の供給圧力を容易かつ確実に測定することができると共に、上記第２圧力計によって上記複数の膜モジュールを透過した濾過水の排出圧力を容易かつ確実に測定することができる。
【００１５】
上記接続管が、少なくとも上記原水供給管の最上流側に接続される分岐管に接続されるとよい。このように、上記接続管が少なくとも上記原水供給管の最上流側に接続される分岐管に接続されることによって、ファウリングが比較的進行しやすい膜モジュールの差圧に基づいて複数の膜モジュールを洗浄することができ、ひいては複数の膜モジュールの膜処理効率の低下を抑制しやすい。
【００１６】
当該水処理装置は、複数の上記接続管が、全ての上記分岐管に接続されており、上記第１圧力計が、上記複数の接続管にそれぞれ配設される上記バルブの開閉操作によって上記複数の膜モジュールに供給される原水の供給圧力を順次測定するとよい。このように、複数の上記接続管が、全ての上記分岐管に接続されており、上記第１圧力計が、上記複数の接続管にそれぞれ配設される上記バルブの開閉操作によって上記複数の膜モジュールに供給される原水の供給圧力を順次測定することで、全ての膜モジュールのファウリングの進行具合を個別に加味しつつ、複数の膜モジュールを洗浄することができる。これにより、複数の膜モジュールの洗浄頻度の最適化を図ることができる。
【００１７】
当該水処理装置は、上記複数の膜モジュールを有し、それぞれ独立して上記原水供給管に接続される複数の膜モジュール群と、上記複数の膜モジュール群の上記差圧を平均し、この平均値に基づいて上記膜モジュール群毎に原水の流量を調節する演算部をさらに備えるとよい。このように、上記複数の膜モジュールを有し、それぞれ独立して上記原水供給管に接続される複数の膜モジュール群と、上記複数の膜モジュール群の上記差圧を平均し、この平均値に基づいて上記膜モジュール群毎に原水の流量を調節する演算部をさらに備えることによって、複数の膜モジュール群全体の洗浄効率及び水処理効率の最適化を図ることができる。
【００１８】
また、本発明の他の一態様に係る水処理方法は、原水を圧送する圧送工程と、上記圧送工程で圧送された原水を並列に配設された複数の膜モジュールによって膜分離する膜処理工程と、少なくとも１つの膜モジュールに供給される原水の供給圧力を測定する第１測定工程と、上記膜処理工程後の濾過水の排出圧力を測定する第２測定工程と、上記第２測定工程の測定値及び上記第１測定工程の測定値から上記排出圧力と供給圧力との差圧を検出する検出制御工程と、上記検出制御工程で検出した差圧に基づいて上記複数の膜モジュールを洗浄する洗浄工程とを備える。
【００１９】
当該水処理方法は、第２測定工程で測定される複数の膜モジュールを透過した濾過水の排出圧力と、第１測定工程で測定される少なくとも１つの膜モジュールに供給される原水の供給圧力との差圧に基づいて上記複数の膜モジュールを洗浄することができる。これにより、当該水処理方法は、少なくとも１つの膜モジュールのファウリングの程度に応じて並列に配設される複数の膜モジュールを適切なタイミングで洗浄することができる。
【００２０】
［本発明の実施形態の詳細］
本発明の好適な実施形態について、以下に図面を参照しつつ説明する。
【００２１】
［第一実施形態］
＜水処理装置＞
図１の水処理装置１は、並列に配設される複数の膜モジュール２と、複数の膜モジュール２に原水Ｘを圧送するポンプ３と、少なくとも１つの膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を測定可能な第１圧力計４と、複数の膜モジュール２を透過した濾過水Ｙの排出圧力を測定可能な第２圧力計５と、第２圧力計５の測定値及び第１圧力計４の測定値から上記排出圧力と供給圧力との差圧を検出する検出制御部６と、上記差圧に基づいて複数の膜モジュール２を洗浄する洗浄機構７とを備える。
【００２２】
当該水処理装置１は、第２圧力計５によって測定される複数の膜モジュール２を透過した濾過水Ｙの排出圧力と、第１圧力計４によって測定される少なくとも１つの膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力との差圧に基づいて複数の膜モジュール２を洗浄することができる。これにより、当該水処理装置１は、少なくとも１つの膜モジュール２のファウリングの程度に応じて並列に配設される複数の膜モジュール２を適切なタイミングで洗浄することができる。
【００２３】
まず、当該水処理装置１の各部の接続関係について説明する。当該水処理装置１は、ポンプ３に接続される原水供給管１１と、原水供給管１１から分岐し、複数の膜モジュール２に接続される複数の分岐管１２と、複数の膜モジュール２を透過した濾過水Ｙを排出する排出管１３と、一端が分岐管１２に接続され、かつ他端にバルブ１５が設けられる複数の圧力引き出し用の接続管１４とを備える。
【００２４】
複数の分岐管１２は、原水供給管１１の軸方向に沿って設けられている。具体的には、当該水処理装置１は、原水供給管１１から分岐する４つの分岐管１２（第１分岐管１２ａ、第２分岐管１２ｂ、第３分岐管１２ｃ及び第４分岐管１２ｄ）を有しており、第１分岐管１２ａ乃至第４分岐管１２ｄが原水供給管１１の原水圧送方向の上流側から下流側にこの順で設けられている。当該水処理装置１は、これらの分岐管１２に１対１対応で膜モジュール２が接続されており、詳細には、第１分岐管１２ａに第１膜モジュール２ａが接続され、第２分岐管１２ｂに第２膜モジュール２ｂが接続され、第３分岐管１２ｃに第３膜モジュール２ｃが接続され、第４分岐管１２ｄに第４膜モジュール２ｄが接続されている。当該水処理装置１では、複数の分岐管１２にはバルブが設けられていない。当該水処理装置１は、ポンプ３から供給される原水Ｘの流量を分岐管１２毎に調節しないことで、製造コスト及び運転コストの低減を図っている。
【００２５】
また、当該水処理装置１は、全ての分岐管１２に１対１対応で接続管１４が接続されている。詳細には、当該水処理装置１は、第１分岐管１２ａに接続される第１接続管１４ａと、第２分岐管１２ｂに接続される第２接続管１４ｂと、第３分岐管１２ｃに接続される第３接続管１４ｃと、第４分岐管１２ｄに接続される第４接続管１４ｄとを有している。
【００２６】
当該水処理装置１は、第１接続管１４ａの上記他端に第１バルブ１５ａが設けられ、第２接続管１４ｂの上記他端に第２バルブ１５ｂが設けられ、第３接続管１４ｃの上記他端に第３バルブ１５ｃが設けられ、第４接続管１４ｄの上記他端に第４バルブ１５ｄが設けられている。さらに、当該水処理装置１は、全ての膜モジュール２を透過した濾過水Ｙが１本の排出管１３に導入され、この排出管１３を通って排出可能に構成されている。また、当該水処理装置１は、１つの第１圧力計４が複数の接続管１４にバルブ１５を介して接続され、かつ１つの第２圧力計５が排出管１３に接続されている。当該水処理装置１は、１つの第１圧力計４によって複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を測定するよう構成されているので、比較的低コストで複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を測定することができる。なお、濾過水を「排出」とは、濾過水を直接装置外に排出する場合の他、他の配管等を介して濾過水を装置外に排出する場合も含む。
【００２７】
上述のように、当該水処理装置１は、ポンプ３に接続される原水供給管１１と、原水供給管１１から分岐し、複数の膜モジュール２に接続される複数の分岐管１２と、複数の膜モジュール２を透過した濾過水Ｙを排出する排出管１３と、一端が分岐管１２に接続され、かつ他端にバルブ１５が設けられる複数の圧力引き出し用の接続管１４とを備え、第１圧力計４が複数の接続管１４にバルブ１５を介して接続され、かつ第２圧力計５が排出管１３に接続されている。これにより、当該水処理装置１は、複数の接続管１４を介して第１圧力計４によって複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を容易かつ確実に測定することができる。また、第２圧力計５によって複数の膜モジュール２を透過した濾過水Ｙの排出圧力を容易かつ確実に測定することができる。
【００２８】
続いて、当該水処理装置１の各部の構成について説明する。
【００２９】
（ポンプ）
ポンプ３は、原水Ｘを原水供給管１１側に圧送する。原水Ｘとしては、特に限定されないが、例えば生物処理後の比較的浮遊物質の少ない工業廃水、畜産汚水、海水、下水等が挙げられる。
【００３０】
なお、当該水処理装置１は、ポンプ３と電気的に接続されるインバータ１６を有する。また、このインバータ１６は、検出制御部６と電気的に接続されている。これにより、当該水処理装置１は、検出制御部６から入力される制御信号に基づいてポンプ３の回転速度を制御可能に構成されている。
【００３１】
（膜モジュール）
複数の膜モジュール２は、分岐管１２から供給される原水Ｘを膜分離する。各膜モジュール２は、例えば加圧式膜モジュールとして構成されている。各膜モジュール２は、ケーシングと、このケーシング内に配設される濾過膜とを有する。上記濾過膜としては、例えば限外濾過膜、精密濾過膜等が挙げられる。上記限外濾過膜は、例えば平均径が２ｎｍ以上０．１μｍ以下程度の多数の孔を有する多孔質膜である。また、上記精密濾過膜は、例えば平均径が１０ｎｍ以上１０μｍ以下程度の多数の孔を有する多孔質膜である。上記濾過膜は、スパイラル型やチューブラー型に構成されてもよく、中空糸膜又は平膜として構成されてもよい。各膜モジュール２の濾過方式としては、特に限定されないが、デッドエンド方式が好ましい。
【００３２】
上記濾過膜の主成分としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリフッ化ビニリデン、エチレン−ビニルアルコール共重合体、ポリアミド、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリスチレン、ポリサルホン、ポリビニルアルコール、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンサルファイド、酢酸セルロース、ポリアクリロニトリル、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等が挙げられる。これらの中でも耐薬品性、耐熱性、耐候性、不燃性等に優れ、多孔質性であるＰＴＦＥが好ましく、１軸又は２軸延伸したＰＴＦＥがより好ましい。また、上記濾過膜の形成材料には、他のポリマー、潤滑剤などの添加剤等が適宜配合されていてもよい。なお、「主成分」とは、最も含有量の多い成分をいい、例えば５０質量％以上含有される成分をいう。
【００３３】
（第１圧力計）
第１圧力計４は、例えばデジタル圧力計である。第１圧力計４は、複数の接続管１４にそれぞれ配設されるバルブ１５の開閉操作によって複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を測定可能に構成されている。より具体的には、第１圧力計４は、複数の接続管１４にそれぞれ配設されるバルブ１５の開閉操作によって複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を順次測定可能に構成されている。当該水処理装置１は、１つのバルブ１５のみが開かれるよう、例えば２秒以上１０秒以下、好ましくは３秒以上７秒以下程度の一定間隔で複数のバルブ１５を順次開閉していく。さらに、当該水処理装置１は、バルブ１５が開かれた接続管１４を介し、第１圧力計４によって複数の膜モジュール１２に供給される原水Ｘの供給圧力を順次測定する。当該水処理装置１は、上述のように全ての分岐管１２に接続管１４が接続されている。そのため、当該水処理装置１は、複数の接続管１４にそれぞれ配設されるバルブ１５の開閉操作によって１つの第１圧力計４により全ての膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を順次測定することができる。その結果、当該水処理装置１は、全ての膜モジュール２のファウリングの進行具合を個別に加味しつつ、複数の膜モジュール２を同時に洗浄することができる。これにより、複数の膜モジュール２の洗浄頻度の最適化を図ることができる。
【００３４】
当該水処理装置１は、第１接続管１４ａが原水供給管１１の原水圧送方向における最上流側に接続される第１分岐管１２ａに接続されており、これにより第１膜モジュール２ａに供給される原水Ｘの供給圧力を測定可能に構成されている。当該水処理装置１にあっては、ポンプ３によって圧送される原水Ｘは、原水供給管１１の最上流側に接続される第１分岐管１２ａに比較的多く供給されやすい。そのため、第１分岐管１２ａに接続される第１膜モジュール２ａのファウリングが比較的進行しやすい。この点に関し、当該水処理装置１は、第１圧力計４によって第１膜モジュール２ａに供給される原水Ｘの供給圧力を測定することができるので、ファウリングが比較的進行しやすい膜モジュール２ａの差圧に基づいて複数の膜モジュール２を洗浄することができ、ひいては複数の膜モジュール２の膜処理効率の低下を抑制しやすい。
【００３５】
（第２圧力計）
第２圧力計５は、例えばデジタル圧力計である。第２圧力計５は、全ての膜モジュール２を透過した濾過水Ｙが合流した後の排出圧力を測定可能に構成されている。
【００３６】
（検出制御部）
検出制御部６は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）及びＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）等のメモリを含むコンピュータから構成される。検出制御部６は、第１圧力計４及び第２圧力計５と電気的に接続されている。また、当該水処理装置１は、排出管１３に、流量計１７及び温度計１８が接続されており、検出制御部６は、流量計１７及び温度計１８と電気的に接続されている。検出制御部６は、第２圧力計５の測定値及び第１圧力計４の測定値から算出される濾過水Ｙの排出圧力及び原水Ｘの供給圧力の差圧を基に洗浄機構７を制御する。
【００３７】
検出制御部６による洗浄機構７の制御手順について説明する。当該水処理装置１は、上述のように全ての分岐管１２に接続管１４が接続されている。また、第１圧力計４は、複数の接続管１４にそれぞれ配設されるバルブ１５の開閉操作によって複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を順次測定するよう構成されている。検出制御部６は、例えば第２圧力計５によって測定される濾過水Ｙの排出圧力と、第１圧力計４によって測定される各膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力との差圧を順次検出し、これらの差圧の最大値が所定の値を超えた場合に全ての膜モジュール２を洗浄するよう洗浄機構７を制御する。また、検出制御部６は、第２圧力計５によって測定される濾過水Ｙの排出圧力と、第１圧力計４によって測定される複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力の平均値との差圧が所定の値を超えた場合に全ての膜モジュール２を洗浄するよう洗浄機構７を制御してもよい。当該水処理装置１は、検出制御部６が複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力の平均値を基に上記差圧を検出することによって、複数の膜モジュール２全体の水処理効率の最適化を図りつつ、適切な頻度で複数の膜モジュール２を洗浄することができる。さらに、検出制御部６は、各膜モジュール２毎の上記差圧の上昇速度が所定の値を超えた場合に全ての膜モジュール２を洗浄するよう洗浄機構７を制御してもよい。
【００３８】
（洗浄機構）
洗浄機構７は、検出制御部６によって制御可能に構成されている。洗浄機構７は、検出制御部６の制御に基づいて全ての膜モジュール２を同時に洗浄する。洗浄機構７は、原水供給管１１に接続され、複数の膜モジュール２に薬剤が混合された洗浄水を供給可能な薬剤供給管７ａを有する（第１洗浄機構）。また、洗浄機構７は、排出管１３に接続される濾過水貯留槽７ｂと、濾過水貯留槽７ｂ及び排出管１３を接続し、濾過水貯留槽７ｂに貯留された濾過水Ｙを複数の膜モジュール２に供給可能な濾過水供給管７ｃと、濾過水貯留槽７ｂに貯留された濾過水Ｙを濾過水供給管７ｃから複数の膜モジュール２側に圧送可能なポンプ７ｄとを有する（第２洗浄機構）。当該水処理装置１は、薬剤供給管７ａから複数の膜モジュール２に上記洗浄水を供給することで複数の膜モジュール２を薬剤洗浄可能に構成されている。また、当該水処理装置１は、濾過水貯留槽７ｂに貯留された濾過水Ｙを濾過水供給管７ｃを介して複数の膜モジュール２に供給することで複数の膜モジュール２を逆洗浄可能に構成されている。上記薬剤としては、例えば有機物に対して高い洗浄効果が得られる次亜塩素酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、二酸化塩素、過酸化水素、オゾンや、金属酸化物に対して高い洗浄効果が得られるシュウ酸、クエン酸、硝酸、塩酸、硫酸、エチレンジアミン四酢酸等が挙げられる。なお、当該水処理装置１は、必ずしも上記第１洗浄機構及び第２洗浄機構を共に有する必要ななく、第１洗浄機構及び第２洗浄機構のいずれか一方のみを有していてもよい。
【００３９】
＜水処理方法＞
次に、図２を参照して、本発明の一実施形態に係る水処理方法について説明する。なお、以下では図１の水処理装置１を用いた場合について説明する。
【００４０】
図２の水処理方法は、原水Ｘを圧送する圧送工程（Ｓ１）と、圧送工程（Ｓ１）で圧送された原水Ｘを並列に配設された複数の膜モジュール２によって膜分離する膜処理工程（Ｓ２）と、少なくとも１つの膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を測定する第１測定工程（Ｓ３）と、膜処理工程（Ｓ２）後の濾過水Ｙの排出圧力を測定する第２測定工程（Ｓ４）と、第２測定工程（Ｓ４）の測定値及び第１測定工程（Ｓ３）の測定値から上記排出圧力と供給圧力との差圧を検出する検出制御工程（Ｓ５）と、検出制御工程（Ｓ５）で検出した差圧に基づいて複数の膜モジュール２を洗浄する洗浄工程（Ｓ６）とを備える。
【００４１】
当該水処理方法は、第２測定工程（Ｓ４）で測定される複数の膜モジュール２を透過した濾過水Ｙの排出圧力と、第１測定工程（Ｓ３）で測定される少なくとも１つの膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力との差圧に基づいて複数の膜モジュール２を洗浄することができる。これにより、当該水処理方法は、少なくとも１つの膜モジュール２のファウリングの程度に応じて並列に配設される複数の膜モジュール２を適切なタイミングで洗浄することができる。
【００４２】
（圧送工程）
圧送工程（Ｓ１）は、ポンプ３によって行われる。圧送工程（Ｓ１）では、原水Ｘを原水供給管１１側に圧送する。圧送工程（Ｓ１）における原水Ｘの供給圧力としては、例えば２０ｋＰａ以上２００ｋＰａ以下とすることができる。
【００４３】
（膜処理工程）
膜処理工程（Ｓ２）は、複数の膜モジュール２によって行われる。膜処理工程（Ｓ２）では、複数の膜モジュール２に供給された原水Ｘを濾過膜を透過した濾過水Ｙと、原水Ｘに含まれる濁質等の不純物とに膜分離する。
【００４４】
（第１測定工程）
第１測定工程（Ｓ３）は、第１圧力計４によって行われる。第１測定工程（Ｓ３）では、少なくとも圧送工程（Ｓ１）で圧送される原水Ｘの圧送方向の最上流側に配設される膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を測定する。これにより、ファウリングが比較的進行しやすい膜モジュール２ａの差圧に基づいて複数の膜モジュール２を洗浄することができ、ひいては複数の膜モジュール２の膜処理効率の低下を抑制しやすい。
【００４５】
第１測定工程（Ｓ３）では、複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を順次測定することが好ましい。第１測定工程（Ｓ３）で複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を順次測定する場合、膜モジュール２毎の測定間隔としては、例えば２秒以上１０秒以下が好ましく、３秒以上７秒以下がより好ましい。当該水処理方法は、第１測定工程（Ｓ３）で、複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力を順次測定することによって、複数の膜モジュール２のファウリングの進行具合を個別に加味しつつ、複数の膜モジュール２を同時に洗浄することができる。これにより、複数の膜モジュール２の洗浄頻度の最適化を図ることができる。
【００４６】
（第２測定工程）
第２測定工程（Ｓ４）は、第２圧力計５によって行われる。第２測定工程（Ｓ４）では、全ての膜モジュール２を透過した濾過水Ｙが合流した後の排出圧力を測定する。
【００４７】
（検出制御工程）
検出制御工程（Ｓ５）は、検出制御部６によって行われる。検出制御工程（Ｓ５）では、第２測定工程（Ｓ４）の測定値及び第１測定工程（Ｓ３）の測定値から算出される濾過水Ｙの排出圧力及び原水Ｘの供給圧力の差圧に基づいて洗浄工程（Ｓ６）を制御する。検出制御工程（Ｓ５）では、例えば第２測定工程（Ｓ４）で測定される濾過水Ｙの排出圧力と、第１測定工程（Ｓ３）で測定される各膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力との差圧を順次検出し、これらの差圧の最大値が所定の値を超えた場合に全ての膜モジュール２を洗浄するよう上記洗浄工程を制御する。また、検出制御工程（Ｓ５）では、第２測定工程（Ｓ４）で測定される濾過水Ｙの排出圧力と、第１測定工程（Ｓ３）で測定される複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力の平均値との差圧が所定の値を超えた場合に全ての膜モジュール２を洗浄するよう上記洗浄工程を制御してもよい。当該水処理方法は、検出制御工程（Ｓ５）で、複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力の平均値を基に上記差圧を検出することによって、複数の膜モジュール２全体の水処理効率の最適化を図りつつ、適切な頻度で複数の膜モジュール２を洗浄することができる。さらに、検出制御工程（Ｓ５）では、各膜モジュール２毎の上記差圧の上昇速度が所定の値を超えた場合に全ての膜モジュール２を洗浄するよう洗浄工程（Ｓ６）を制御してもよい。
【００４８】
（洗浄工程）
洗浄工程（Ｓ６）は、洗浄機構７によって行われる。洗浄工程（Ｓ６）では、検出制御工程（Ｓ５）の制御に基づいて全ての膜モジュール２を同時に洗浄する。
【００４９】
［第二実施形態］
＜水処理装置＞
図３の水処理装置２１は、並列に配設される複数の膜モジュールを有する複数の膜モジュール群を備える。具体的には、当該水処理装置２１は、並列に配設される複数の膜モジュール２２ａを有する第１膜モジュール群２３ａと、並列に配設される複数の膜モジュール２２ｂを有する第２膜モジュール群２３ｂとを備える（なお、以下では、第１膜モジュール群２３ａを構成する複数の膜モジュール２２ａ及び第２膜モジュール群２３ｂを構成する複数の膜モジュール２２ｂを合わせて、単に「複数の膜モジュール２２」ともいう）。また、当該水処理装置２１は、複数の膜モジュール２２に原水Ｘを圧送するポンプ３と、各膜モジュール群において、少なくとも１つの膜モジュール２２に供給される原水Ｘの供給圧力を測定可能な一対の第１圧力計４と、各膜モジュール群において、複数の膜モジュール２２を透過した濾過水Ｙの排出圧力を測定可能な一対の第２圧力計５と、各膜モジュール群において、第２圧力計５の測定値及び第１圧力計４の測定値から上記排出圧力と供給圧力との差圧を検出する一対の検出制御部６と、上記差圧に基づいて膜モジュール群毎に複数の膜モジュール２２を洗浄する一対の洗浄機構７とを備える。さらに、当該水処理装置２１は、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの上記差圧を平均し、この平均値に基づいて第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂ毎に原水Ｘの流量を調節する演算部２８を備える。当該水処理装置２１は、１つのポンプ３によって第１膜モジュール群２３ａの複数の膜モジュール２２ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの複数の膜モジュール２２ｂに原水Ｘを供給可能に構成されている。
【００５０】
当該水処理装置２１は、ポンプ３に接続される原水供給管３１を有する。原水供給管３１は、原水圧送方向の下流側が二又に分岐しており、一方の分岐部分に第１モジュール群２３ａが接続され、他方の分岐部分に第２モジュール群２３ｂが接続されている。これにより、当該水処理装置２１は、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂがそれぞれ独立して原水供給管３１に接続されている。より詳しくは、第１膜モジュール群２３ａを構成する複数の膜モジュール２２ａ及び第２膜モジュール群２３ｂを構成する複数の膜モジュール２２ｂがそれぞれ分岐管３２を介して原水供給管３１に接続されている。また、当該水処理装置２１は、原水供給管３１の各分岐部分における分岐管３２との接続部分よりも上流側に原水Ｘの流量を調整するための一対のバルブ３３を有する。これにより、当該水処理装置２１は、１つの膜モジュール群を構成する複数の膜モジュール２２に供給される原水Ｘの流量を１つのバルブ３３によって調節することができる。その結果、製造コスト及び運転コストを低減することができる。
【００５１】
当該水処理装置２１は、図１の複数の膜モジュール２、第１圧力計４、第２圧力計５、検出制御部６及び洗浄機構７がそれぞれ原水供給管３１の分岐部分に対応して備えられている。そのため、以下では図１の水処理装置１と相違する構成についてのみ説明する。
【００５２】
（演算部）
演算部２８は、複数の膜モジュール群間での原水Ｘの流量を制御する。つまり、当該水処理装置２１は、一対の検出制御部６が膜モジュール群毎に差圧、温度等を制御し、演算部２８が膜モジュール群間の流量を制御する。演算部２８は、一対の検出制御部６によって検出される膜モジュール群毎の濾過水Ｙの排出圧力と原水Ｘの供給圧力との差圧に基づいて膜モジュール群間の原水Ｘの流量を制御する。なお、演算部２８は、洗浄機構７によって第１膜モジュール群２３ａ又は第２膜モジュール群２３ｂを洗浄した直後に原水Ｘの流量を制御することが好ましい。
【００５３】
演算部２８による原水Ｘの流量の制御手順について詳説する。まず、演算部２８は、一対の検出制御部６によって膜モジュール群毎に検出される上記差圧の平均値を算出する。なお、各モジュール群において検出される差圧は、例えば複数の膜モジュール２２に供給される原水Ｘの供給圧力の最大値と濾過水Ｙの排出圧力との差であってもよく、各膜モジュール２２に供給される原水Ｘの供給圧力と濾過水Ｙの排出圧力との差の平均値であってもよい。続いて、演算部２８は、一対の検出制御部６を介してバルブ３３の開閉を調節して第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの差圧が上記平均値と等しくなるよう第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂに供給する原水Ｘの流量を調節する。これにより、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの差圧の上昇を抑えることができ、ひいては第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの洗浄頻度を低減することができる。また、この構成によると、洗浄頻度を高めなくても比較的差圧が小さい状態で洗浄することができるので、複数の膜モジュール２２のファウリングを効果的に抑制することができる。さらに、この構成によると、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂのいずれか一方の流量が大きくなり過ぎることに起因する濾過膜の負荷を抑えることができ、膜モジュール２２の長寿命化を促進することができる。従って、当該水処理装置２１は、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂ全体の水処理効率の最適化を図ることができる。
【００５４】
＜水処理方法＞
次に、図４を参照して、本発明の第二実施形態に係る水処理方法について説明する。なお、以下では、図３の水処理装置２１を用いた場合について説明する。
【００５５】
図４の水処理方法は、原水Ｘを圧送する圧送工程（Ｓ１１）と、圧送工程（Ｓ１１）で圧送された原水Ｘをそれぞれ並列に配設された各膜モジュール群の複数の膜モジュール２２によって膜分離する膜処理工程（Ｓ１２）と、各膜モジュール群において、少なくとも１つの膜モジュール２２に供給される原水Ｘの供給圧力を測定する第１測定工程（Ｓ１３）と、膜処理工程（Ｓ１２）後の各膜モジュール群における濾過水Ｙの排出圧力を測定する第２測定工程（Ｓ１４）と、第２測定工程（Ｓ１４）の測定値及び第１測定工程（Ｓ１３）の測定値から上記排出圧力と供給圧力との差圧を膜モジュール群毎に検出する検出制御工程（Ｓ１５）と、検出制御工程（Ｓ１５）で検出した差圧に基づいて膜モジュール群毎に複数の膜モジュール２を洗浄する洗浄工程（Ｓ１６）と、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの上記差圧を平均し、この平均値に基づいて第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂ毎に原水Ｘの流量を調節する流量調節工程（Ｓ１７）とを備える。当該水処理方法の圧送工程（Ｓ１１）乃至洗浄工程（Ｓ１６）については、図２の水処理方法と同様に行うことができる。そのため、以下では流量調節工程（Ｓ１７）についてのみ説明する。
【００５６】
（流量調節工程）
流量調節工程（Ｓ１７）は、演算部２８によって行われる。流量調節工程（Ｓ１７）は、例えば洗浄工程（Ｓ１６）の直後に行われることが好ましい。まず、流量調節工程（Ｓ１７）では、検出制御工程（Ｓ１５）によって膜モジュール群毎に検出される上記差圧の平均値を算出する。続いて、流量検出工程（Ｓ１７）では、バルブ３３の開閉を調節して第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの差圧が上記平均値と等しくなるよう第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂに供給する原水Ｘの流量を調節する。これにより、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの差圧の上昇を抑えることができ、ひいては第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの洗浄頻度を低減することができる。また、この構成によると、洗浄頻度を高めなくても比較的差圧が小さい状態で洗浄することができるので、複数の膜モジュール２２のファウリングを効果的に抑制することができる。さらに、この構成によると、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂのいずれか一方の流量が大きくなり過ぎることに起因する濾過膜の負荷を抑えることができ、膜モジュール２２の長寿命化を促進することができる。従って、当該水処理装置２１は、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂ全体の水処理効率の最適化を図ることができる。
【００５７】
［その他の実施形態］
今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【００５８】
例えば当該水処理装置が複数の膜モジュール群を備える場合、これらの膜モジュール群の個数は特に限定されるものではない。また、１つの膜モジュール群を構成する複数の膜モジュールの個数についても特に限定されるものではない。
【００５９】
上記洗浄機構は、濾過水の排出圧力及び少なくとも１つの膜モジュールに供給される原水の供給圧力の差圧に基づいて複数の膜モジュールを洗浄可能に構成される限り、その具体的構成は特に限定されるものではない。
【００６０】
当該水処理装置は、ポンプから圧送される原水が並列に配設される複数の膜モジュールに供給され、かつ複数の膜モジュールを透過した濾過水が単一の流路を介して排出される限り、流路の具体的構成については特に限定されない。
【００６１】
上記第１圧力計は、１つの膜モジュールに供給される原水の供給圧力のみを測定可能に構成されていてもよい。つまり、上記第１圧力計は、１つの接続管のみにバルブを介して接続されていてもよい。また、上記第１圧力計は、任意の複数の膜モジュールに供給される原水の供給圧力を測定可能に構成されてもよい。
【実施例】
【００６２】
以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００６３】
［Ｎｏ．１］
下水２次処理水を原水Ｘとして用い、この原水Ｘを図１の水処理装置１のポンプ３から複数の膜モジュール２に流束５０Ｌ／ｈ・ｍ２で供給し、第１圧力計４及び第２圧力計５で各膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力及び複数の膜モジュール２から排出される濾過水Ｙの排出圧力を測定した。その結果、運転３０日目に、濾過水Ｙの排出圧力と第１膜モジュール２ａ乃至第４膜モジュール２ｄに供給される原水Ｘの供給圧力との差圧が、１００ｋＰａ、６５ｋＰａ、６０ｋＰａ及び５５ｋＰａとなった。そこで、それぞれの膜モジュール２の濾過膜を濃度３０００ｐｐｍの次亜塩素酸ナトリウムに２時間浸漬した後、濾過水Ｙで逆洗浄し、さらに濃度１％の塩酸に１時間浸漬して薬剤洗浄を行った。原水Ｘの供給開始前（つまり、水処理実施前）及び上記薬剤洗浄後における５０ｋＰａの圧力でポンプ３から複数の膜モジュール２に純水を供給した際の純水の流束を表１に示す。
【００６４】
［Ｎｏ．２］
Ｎｏ．１と同様の原水Ｘを図１の水処理装置１のポンプ３から複数の膜モジュール２に流束５０Ｌ／ｈ・ｍ２で供給し、第１圧力計４及び第２圧力計５で各膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力及び複数の膜モジュール２から排出される濾過水Ｙの排出圧力を測定した。その結果、運転２１日目に、第２圧力計５によって測定される濾過水Ｙの排出圧力と、第１圧力計４によって測定される複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力の平均値との差圧が５５ｋＰａとなった。そこで、Ｎｏ．１と同様の薬剤洗浄を行った。原水Ｘの供給開始前及び上記薬剤洗浄後における５０ｋＰａの圧力でポンプ３から複数の膜モジュール２に純水を供給した際の純水の流束を表１に示す。
【００６５】
【表１】
2019022870.tif 000003
【００６６】
［Ｎｏ．３］
Ｎｏ．１と同様の原水Ｘを図１の水処理装置１のポンプ３から複数の膜モジュール２に流束５０Ｌ／ｈ・ｍ２で供給し、第１圧力計４及び第２圧力計５で各膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力及び複数の膜モジュール２から排出される濾過水Ｙの排出圧力を測定した。その結果、運転２日目に、第１膜モジュール２ａの差圧上昇速度が２０ｋＰａ／３０ｈとなった。そこで、Ｎｏ．１と同様の薬剤洗浄を行った。これにより、濾過水Ｙの排出圧力と第１膜モジュール２ａに供給される原水Ｘの供給圧力との差圧が２０ｋＰａ低下し、複数の膜モジュール２のファウリングの進行を早期かつ効果的に防ぐことができた。
【００６７】
＜評価結果＞
Ｎｏ．１〜Ｎｏ．３では、複数の膜モジュール２を透過した濾過水Ｙの排出圧力と、第１圧力計４によって測定される複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力との差圧に基づいて複数の膜モジュール２を洗浄することで、複数の膜モジュール２のファウリングの程度に応じて複数の膜モジュール２を適切なタイミングで洗浄することができている。特に、第２圧力計５によって測定される濾過水Ｙの排出圧力と、第１圧力計４によって測定される複数の膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力の平均値との差圧に基づいて複数の膜モジュール２の洗浄を行ったＮｏ．２は、複数の膜モジュール２の回復率が高く、水処理効率の向上及び複数の膜モジュール２の濾過膜の長寿命化を効果的に図ることができた。
【００６８】
［Ｎｏ．４］
下水２次処理水を原水Ｘとして用い、この原水Ｘを図３の水処理装置２１のポンプ３から各膜モジュール群の複数の膜モジュール２２に流量５０Ｌ／ｈ・ｍ２で供給し、第１圧力計４及び第２圧力計で各膜モジュール群の各膜モジュール２に供給される原水Ｘの供給圧力及び複数の膜モジュール２から排出される濾過水Ｙの排出圧力を測定した。その結果、運転１４日目に、第１膜モジュール群２３ａにおいて、濾過水Ｙの排出圧力と、複数の膜モジュール２２ａに供給される原水Ｘの供給圧力の平均値との差圧が４０ｋＰａとなり、第２膜モジュール群２３ｂにおいて、濾過水Ｙの排出圧力と、複数の膜モジュール２２ｂに供給される原水Ｘの供給圧力の平均値との差圧が６０ｋＰａとなった。この時点で、第２膜モジュール群２３ｂの複数の膜モジュール２２ｂの濾過膜Ｙを濃度３０００ｐｐｍの次亜塩素酸ナトリウムに２時間浸漬して薬剤洗浄した。その結果、第２膜モジュール群２３ｂの上記差圧は２０ｋＰａとなった。そこで、演算部２８によって第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの上記差圧がそれぞれ３０ｋＰａ（すなわち、第１膜モジュール群２３ａにおける上記差圧と第２膜モジュール群２３ｂにおける上記差圧との平均値）となるようにポンプ３から供給される原水Ｘの流量を制御した。その結果、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの上記差圧が６０ｋＰａに達するまで４５日を要した。
【００６９】
［Ｎｏ．５］
Ｎｏ．４と同様に水処理を行い、Ｎｏ．４と同様に薬剤洗浄を行った後、演算部２８によってポンプ３から供給される原水の流量を制御することなく運転を続けた。その結果、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの上記差圧は３０日で６０ｋＰａとなった。
【００７０】
［評価結果］
Ｎｏ．４では薬剤洗浄後に各膜モジュール群に供給される原水Ｘの圧力が第１膜モジュール群２３ａにおける上記差圧と第２膜モジュール群２３ｂにおける上記差圧との平均値となるように原水Ｘの流量を制御したので、薬剤洗浄後の差圧の上昇が抑えられており、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂの洗浄頻度を抑えることができると共に、第１膜モジュール群２３ａ及び第２膜モジュール群２３ｂ全体の水処理効率を向上することができた。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
以上のように、本発明に係る水処理装置は、複数の膜モジュールを適切なタイミングで洗浄することができるので、下水等の浄化処理に適している。
【符号の説明】
【００７２】
１，２１  水処理装置
２，２２ａ，２２ｂ  膜モジュール
２ａ  第１膜モジュール
２ｂ  第２膜モジュール
２ｃ  第３膜モジュール
２ｄ  第４膜モジュール
３  ポンプ
４  第１圧力計
５  第２圧力計
６  検出制御部
７  洗浄機構
７ａ  薬剤供給管
７ｂ  濾過水貯留槽
７ｃ  濾過水供給管
７ｄ  ポンプ
１１，３１  原水供給管
１２，３２  分岐管
１２ａ  第１分岐管
１２ｂ  第２分岐管
１２ｃ  第３分岐管
１２ｄ  第４分岐管
１３  排出管
１４  接続管
１４ａ  第１接続管
１４ｂ  第２接続管
１４ｃ  第３接続管
１４ｄ  第４接続管
１５  バルブ
１５ａ  第１バルブ
１５ｂ  第２バルブ
１５ｃ  第３バルブ
１５ｄ  第４バルブ
１６  インバータ
１７  流量計
１８  温度計
２３ａ  第１膜モジュール群
２３ｂ  第２膜モジュール群
２８  演算部
３３  バルブ
Ｘ  原水
Ｙ  濾過水
【図１】
2019022870.tif 000004
【図２】
2019022870.tif 000005
【図３】
2019022870.tif 000006
【図４】
2019022870.tif 000007