(57)【要約】【課題】高温になるポンプ本体から制御部が受ける悪影響を低減したドライ真空ポンプ装置を提供する。【解決手段】ドライ真空ポンプ装置１００は、ポンプ本体部３２とポンプ制御部３６とを有する。ポンプ本体部３２は、ドライ真空ポンプ２８と、ドライ真空ポンプ２８を駆動するモータ３０とを有する。ポンプ制御部３６は、ポンプ本体部３２とは別箇独立に設けられる。ポンプ制御部３６は、モータ３０に電力を供給するための電力ケーブル３４によってポンプ本体部３２と接続可能であり、モータ３０に供給される電力を制御する。【選択図】図２
2019031924.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドライ真空ポンプおよび前記ドライ真空ポンプを駆動するモータを有するポンプ本体部とは別箇独立に設けられて、前記モータに電力を供給するための電力ケーブルによって前記ポンプ本体部と接続可能であり、前記モータに供給される前記電力を制御することを特徴とするドライ真空ポンプ用ポンプ制御部。
【請求項２】
前記ポンプ本体部は、前記ドライ真空ポンプおよび／または前記モータの状態を検知するセンサを有し、
前記センサの出力を前記ポンプ制御部に送信するための信号ケーブルは、前記ポンプ制御部に接続可能であることを特徴とする請求項１記載のドライ真空ポンプ用ポンプ制御部。
【請求項３】
前記ポンプ制御部は、前記モータの回転速度を制御する第１制御部と、前記第１制御部の動作を制御して、前記ポンプ本体部の起動及び停止を制御する第２制御部とを有し、
前記第１制御部と前記第２制御部とは、互いに別箇独立に設けられることを特徴とする請求項１または２記載のドライ真空ポンプ用ポンプ制御部。
【請求項４】
前記ポンプ本体部は複数個あり、
前記第１制御部は複数個あり、
複数の前記第１制御部と複数の前記ポンプ本体部は１対１に対応しており、前記第１制御部の各々は、対応する前記ポンプ本体部の前記モータの回転速度を制御し、
前記第２制御部は、複数の前記第１制御部の動作を制御して、複数の前記ポンプ本体部の起動及び停止を制御することを特徴とする請求項３記載のドライ真空ポンプ用ポンプ制御部。
【請求項５】
ドライ真空ポンプと、前記ドライ真空ポンプを駆動するモータとを有するポンプ本体部と、
前記ポンプ本体部とは別箇独立に設けられて、前記モータに電力を供給するための電力ケーブルによって前記ポンプ本体部と接続可能であり、前記モータに供給される前記電力を制御するポンプ制御部とを有することを特徴とするドライ真空ポンプ装置。
【請求項６】
前記ポンプ本体部は、前記ドライ真空ポンプおよび／または前記モータの状態を検知するセンサを有し、
前記センサの出力を前記ポンプ制御部に送信するための信号ケーブルは、前記ポンプ制御部に接続可能であることを特徴とする請求項５記載のドライ真空ポンプ装置。
【請求項７】
前記ポンプ制御部は、前記モータの回転速度を制御する第１制御部と、前記第１制御部の動作を制御して、前記ポンプ本体部の起動及び停止を制御する第２制御部とを有し、
前記第１制御部と前記第２制御部とは、互いに別箇独立に設けられることを特徴とする請求項５または６記載のドライ真空ポンプ装置。
【請求項８】
複数の前記ポンプ本体部と、複数の前記第１制御部とを有し、複数の前記第１制御部と複数の前記ポンプ本体部は１対１に対応しており、前記第１制御部の各々は、対応する前記ポンプ本体部の前記モータの回転速度を制御し、
前記第２制御部は、複数の前記第１制御部の動作を制御して、複数の前記ポンプ本体部の起動及び停止を制御することを特徴とする請求項７記載のドライ真空ポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドライ真空ポンプ用ポンプ制御部およびドライ真空ポンプ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス、液晶、太陽光パネル、ＬＥＤ等の生産ラインにおいて、各種処理を行うチャンバ内を真空排気するためにドライ真空ポンプ装置が広く使用されている。ドライ真空ポンプ装置は、特開２００４−１２４７６５号公報等に示すように、ドライ真空ポンプと、ドライ真空ポンプを駆動するモータと、モータの回転速度（すなわち回転周波数）を制御するインバータと、インバータの動作を制御する制御装置とを備える。ドライ真空ポンプ装置は、モータに可変周波数の交流電力を供給することにより、ドライ真空ポンプの回転速度を制御する。
【０００３】
ドライ真空ポンプ装置は、半導体の製造等に用いられる様々なガスを圧縮して排気する。このとき、ガスが冷却されると、半導体の製造過程における副生成物が析出し、配管を詰まらせたり、ドライ真空ポンプを故障させたりする。生成物の析出を抑制するためには、ドライ真空ポンプや配管は高温であることが望ましい。ドライ真空ポンプはガスの圧縮熱で発熱するが、さらに高温化するために、ドライ真空ポンプや配管を、ヒータにて加熱する方法や、高温のガスを導入する手法が広く使用されている。
【０００４】
一方で、モータや制御部は低温であることが望ましい。特に制御部に使用される電解コンデンサなどの電子部品は、使用環境温度がその部品寿命に与える影響が非常に大きいため、高温になるドライ真空ポンプから悪影響を受けるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１２４７６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の一形態は、このような問題点を解消すべくなされたもので、その目的は、高温になるドライ真空ポンプから制御部が受ける悪影響を低減したドライ真空ポンプ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、第１の形態では、ドライ真空ポンプおよび前記ドライ真空ポンプを駆動するモータを有するポンプ本体部とは別箇独立に設けられて、前記モータに電力を供給するための電力ケーブルによって前記ポンプ本体部と接続可能であり、前記モータに供給される前記電力を制御することを特徴とするドライ真空ポンプ用ポンプ制御部という構成を採っている。
【０００８】
本実施形態によれば、ポンプ本体部とは別箇独立にポンプ制御部が設けられるため、高温になるポンプ本体部からポンプ制御部が受ける悪影響を低減したドライ真空ポンプ用ポンプ制御部を提供できる。さらに、ポンプ制御部を、高温になるポンプ本体部から離し、ポンプ制御部のみの冷却が可能になる。発熱量の少ないポンプ制御部のみを冷却すればよいため、冷却設備の小型化、低価格化を実現できる。発熱量の少ないポンプ制御部を温度の低い場所に設置できるときは、冷却液の循環機構や冷却ファン等の冷却設備を省くこと
も可能である。
【０００９】
ここで、別箇独立に設けられるとは、ポンプ本体部と、ポンプ制御部は、物理的に、独立していることを意味する。たとえば、ポンプ制御部は、ポンプ本体部が収納される筐体とは別箇独立の筐体内に収納される。もしくは、ポンプ本体部と、ポンプ制御部は、異なる空間または室内に配置される。また、ポンプ本体部と、ポンプ制御部は、同一の場所に設置されてもよいが、ポンプ制御部は、ポンプ本体部からの熱的影響が少ないように設置することが好ましい。例えば、ポンプ制御部は、ポンプ本体部に対して非接触で、距離を置いて配置することが好ましい。
【００１０】
または、ポンプ制御部とポンプ本体部とを接触させて配置するときは、ポンプ制御部と、ポンプ本体部との間に熱シールドを設けることが好ましい。熱シールドは、ポンプ本体部からポンプ制御部への熱対流及び／又は熱伝導及び／又は熱輻射を低減できることが好ましい。さらに、ポンプ制御部と、ポンプ本体部とを同一の筐体内に収納する場合、ポンプ制御部と、ポンプ本体部との間に熱シールドを設けて、ポンプ本体部からの熱的影響が少ないようにすることが好ましい。
【００１１】
第２の形態では、前記ポンプ本体部は、前記ドライ真空ポンプおよび／または前記モータの状態を検知するセンサを有し、前記センサの出力を前記ポンプ制御部に送信するための信号ケーブルは、前記ポンプ制御部に接続可能であることを特徴とする第１の形態のドライ真空ポンプ用ポンプ制御部という構成を採っている。
【００１２】
第３の形態では、前記ポンプ制御部は、前記モータの回転速度を制御する第１制御部と、前記第１制御部の動作を制御して、前記ポンプ本体部の起動及び停止を制御する第２制御部とを有し、前記第１制御部と前記第２制御部とは、互いに別箇独立に設けられることを特徴とする第１の形態または第２の形態のドライ真空ポンプ用ポンプ制御部という構成を採っている。
【００１３】
ここで、第１制御部と第２制御部が別箇独立に設けられるとは、既述のポンプ本体部とポンプ制御部が別箇独立に設けられることと同様である。すなわち、第１制御部と第２制御部は、物理的に、独立していることを意味する。たとえば、第１制御部は、第２制御部が収納される筐体とは別箇独立の筐体内に収納される。他の点についても、第１制御部と第２制御部が別箇独立に設けられるとは、既述のポンプ本体部とポンプ制御部が別箇独立に設けられることと同様である。
【００１４】
本実施形態によれば、高速処理を必要とする第１制御部を、ポンプ付近に設置し、高速処置を必要としない第２制御部と分離することができる。第１制御部と第２制御部の間は、イーサネット（登録商標）等の通信手段により情報を伝送することができる。第２制御部の設置自由度が高くなる。第２制御部を、第１制御部とは別の建物や、別の県、別の国に設置することが可能である。例えば、工場に第１制御部とポンプ本体部を設置し、ポンプ本体部を監視するために工場外に設けられた監視室に第２制御部を設置できる。
【００１５】
第４の形態では、前記ポンプ本体部は複数個あり、前記第１制御部は複数個あり、複数の前記第１制御部と複数の前記ポンプ本体部は１対１に対応しており、前記第１制御部の各々は、対応する前記ポンプ本体部の前記モータの回転速度を制御し、前記第２制御部は、複数の前記第１制御部の動作を制御して、複数の前記ポンプ本体部の起動及び停止を制御することを特徴とする第３の形態のドライ真空ポンプ用ポンプ制御部という構成を採っている。
【００１６】
本実施形態によれば、第２制御部は複数のポンプに対し１台だけ設置すれば良い。また
、第２制御部は、複数の第１制御部と接続されて、複数の第１制御部を処理できるソフトウェアを有することができる。１個の第２制御部の制御ソフトウェアを更新することで、制御ソフトウェアの更新に対応することができる。複数の第１制御部と、これらに１対１に対応した複数の第２制御部とを有する場合と比較すると、第２制御部の制御ソフトウェアの更新が容易になる。
【００１７】
第５の形態では、ドライ真空ポンプと、前記ドライ真空ポンプを駆動するモータとを有するポンプ本体部と、前記ポンプ本体部とは別箇独立に設けられて、前記モータに電力を供給するための電力ケーブルによって前記ポンプ本体部と接続可能であり、前記モータに供給される前記電力を制御するポンプ制御部とを有することを特徴とするドライ真空ポンプ装置という構成を採っている。
【００１８】
本実施形態によれば、ポンプ本体部とは別箇独立にポンプ制御部が設けられるため、高温になるポンプ本体部からポンプ制御部が受ける悪影響を低減したドライ真空ポンプ装置を提供できる。
【００１９】
第６の形態では、前記ポンプ本体部は、前記ドライ真空ポンプおよび／または前記モータの状態を検知するセンサを有し、前記センサの出力を前記ポンプ制御部に送信するための信号ケーブルは、前記ポンプ制御部に接続可能であることを特徴とする第５の形態のドライ真空ポンプ装置という構成を採っている。
【００２０】
第７の形態では、前記ポンプ制御部は、前記モータの回転速度を制御する第１制御部と、前記第１制御部の動作を制御して、前記ドライ真空ポンプ装置の起動及び停止を制御する第２制御部とを有し、前記第１制御部と前記第２制御部とは、互いに別箇独立に設けられることを特徴とする第５の形態または第６の形態のドライ真空ポンプ装置という構成を採っている。
【００２１】
第８の形態では、複数の前記ポンプ本体部と、複数の前記第１制御部とを有し、複数の前記第１制御部と複数の前記ポンプ本体部は１対１に対応しており、前記第１制御部の各々は、対応する前記ポンプ本体部の前記モータの回転速度を制御し、前記第２制御部は、複数の前記第１制御部の動作を制御して、複数の前記ポンプ本体部の起動及び停止を制御することを特徴とする第７の形態のドライ真空ポンプ装置という構成を採っている。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態に係るドライ真空ポンプ装置を示す模式図である。
【図２】図２は、ドライ真空ポンプ装置の構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、ポンプ制御部の構成を示すブロック図である。
【図４】図４は、第１制御部と第２制御部を、互いに別箇独立に設けられた２個の筐体内にそれぞれ収納したドライ真空ポンプ装置のブロック図である。
【図５】図５は、複数のポンプ本体部３２と、複数の第１制御部と、１個の第２制御部とを有するドライ真空ポンプ装置のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各実施形態において、同一または相当する部材には同一符号を付して重複した説明を省略する。図１は、本発明の一実施形態に係るドライ真空ポンプ装置を示す模式図である。図１に示すように、ドライ真空ポンプ装置１００の吸気口１０は、半導体製造装置１２等の処理容器１４に、配管１６を介して接続されている。処理容器１４内をドライ真空ポンプ装置１００により真空排気する。処理容器１４には、半導体の製造に必要なガス１８が導入される。ドライ真空ポンプ装置１００は、排気口２０からガスを排気する。
【００２４】
本実施形態では、半導体製造装置１２は床面２４に設置されている。半導体製造装置１２が設置されている階の下の階の床面２６にドライ真空ポンプ装置１００は設置されている。配管１６は、床面２４を貫通している。
【００２５】
図２に、ドライ真空ポンプ装置１００の構成を示す。図２は、ドライ真空ポンプ装置１００の構成を示すブロック図である。ドライ真空ポンプ装置１００は、ドライ真空ポンプ２８と、ドライ真空ポンプ２８を駆動するモータ３０とを有するポンプ本体部３２を有する。ドライ真空ポンプ装置１００は、さらにポンプ制御部３６（ドライ真空ポンプ用ポンプ制御部）を有する。ポンプ制御部３６は、ポンプ本体部３２とは別箇独立に設けられて、モータ３０に電力を供給するための電力ケーブル３４によってポンプ本体部３２と接続される。ポンプ制御部３６は、モータ３０に供給される電力を制御する。ポンプ制御部３６は、モータ３０に供給される電力を制御するためのソフトウェア９０を有する。ソフトウェア９０は、ドライ真空ポンプ装置１００の異常を検知するためのソフトウェアや、ユーザの運転指令を従って、ドライ真空ポンプ２８を制御するためのソフトウェアでもある。
【００２６】
ポンプ本体部３２は、ドライ真空ポンプ２８およびモータ３０の状態を検知するセンサ３８を有する。センサ３８は複数個設けられて、ドライ真空ポンプ２８の回転位置、温度等のドライ真空ポンプ２８の物理量を検知する。センサ３８は、モータ３０の電流値、電圧値、回転位置、温度等のモータ３０の物理量も検知する。センサ３８の個数及び測定する物理量は任意に設定することができる。図２においては、例示的に、ドライ真空ポンプ２８に３個のセンサ３８を設け、モータ３０に３個のセンサ３８を設けた場合を示す。
【００２７】
センサ３８の出力は、パラレル信号をシリアル信号に変換する変換器４２に入力される。複数のセンサ３８の出力は、１個のシリアル信号に変換される。変換された信号は、この信号をポンプ制御部３６に送信するための信号ケーブル４０を介して、ポンプ制御部３６に出力される。なお、センサ３８の出力は、必ずしもシリアル信号に変換する必要はない。複数のセンサ３８の出力を、そのままポンプ制御部３６に出力してもよい。また、複数のセンサ３８の出力のうち、一部のみをシリアル信号に変換してもよい。ポンプ制御部３６の詳細については後述する。
【００２８】
ドライ真空ポンプ２８の吸気口１０は、吸気口１０に接続された配管１６を介して処理容器１４に接続されており、処理容器１４内をドライ真空ポンプ２８により真空排気する。排ガスは、排気口２０から、排気口２０に接続された配管４６を介して排気される。ドライ真空ポンプ２８や配管１６，２０は高温であることが望ましい。一方で、モータ３０やポンプ制御部３６は低温であることが望ましい。本実施形態によれば、ポンプ本体部３２とは別箇独立にポンプ制御部３６が設けられるため、高温になるポンプ本体部３２からポンプ制御部３６が受ける悪影響を低減したドライ真空ポンプ装置１００を提供できる。
【００２９】
次に、図３により、ポンプ制御部３６の詳細について説明する。図３は、ポンプ制御部３６の構成を示すブロック図である。ポンプ制御部３６は、信号ケーブル４０に接続されてセンサ３８からの電流値等を入力されるセンサ信号入力部５０と、モータ３０に可変周波数の交流電力を供給するモータ駆動制御部４８を備えている。
【００３０】
モータ駆動制御部４８は、モータ３０に交流の電流を供給してモータ３０を駆動するインバータ主回路(図示せず)を有する。モータ駆動制御部４８は、センサ信号入力部５０からの、信号線５２を介した電流値等の信号と、ポンプ起動停止判断部５４から入力される信号線６２を介した起動停止信号とを入力される。モータ駆動制御部４８は、電流値等の信号と起動停止信号に従って、インバータ主回路を制御して、間接的にモータ３０の起動
停止及び回転数の制御を行う。モータ駆動制御部４８は、ケーブル８２を介して外部から供給される交流電力を入力される。交流電力は、インバータ主回路に供給される。モータ駆動制御部４８は、ユーザ端末６４からの運転指示等に基づいてＰＷＭ信号を生成し、これをインバータ主回路に送信する。
【００３１】
ポンプ制御部３６は、さらに、センサ信号入力部５０，異常検出部５６、ポンプ起動停止判断部５４、ユーザ信号入力部６８を有する。センサ信号入力部５０は、電流、電圧、温度等の入力された信号を、信号線６０を介して異常検出部５６に出力する。異常検出部５６は、信号線６０を介して入力された電流、電圧、温度等の信号から、ドライ真空ポンプ２８やモータ３０の異常を検知する。異常検出部５６は、異常を検知すると、ポンプ起動停止判断部５４に異常を検知したことを示す信号を、信号線５８を介して出力する。ポンプ起動停止判断部５４は、ポンプ起動停止判断部５４からの異常を検知したことを示す信号を受信すると、モータ駆動制御部４８に停止信号を、信号線６２を介して出力する。
【００３２】
さらに、ポンプ起動停止判断部５４は、ユーザ信号入力部６８から起動停止指令などの指示を、信号線７０を介して入力された時、モータ駆動制御部４８に起動信号または停止信号を、信号線６２を介して出力する。
【００３３】
ドライ真空ポンプ装置１００のユーザは、ユーザ端末６４から、ドライ真空ポンプ２８の起動停止指令、回転数などの指示を入力する。起動停止指令、回転数などの運転指示は、信号線６６を介して、ポンプ制御部３６のユーザ信号入力部６８に送られる。
【００３４】
ユーザ信号入力部６８は、起動停止指令などの指示を、信号線７０を介して、ポンプ起動停止判断部５４に出力する。ユーザ信号入力部６８は、回転数などの運転指示を、信号線７２を介して、モータ駆動制御部４８に出力する。
【００３５】
ポンプ制御部３６は、表示・状態出力制御部７４を有する。表示・状態出力制御部７４は、センサ信号入力部５０から信号線７６を介して、電流、電圧、温度等の信号を入力される。表示・状態出力制御部７４は、これらの信号を、ユーザが理解しやすい表示に変換して、ユーザ端末６４の表示モニターに、信号線７８を介して出力する。表示・状態出力制御部７４は、信号線８０を介して、異常検出部５６から異常を検知したことを示す信号を入力される。表示・状態出力制御部７４は、異常を検知したことを示す信号を、ユーザが理解しやすい表示に変換して、ユーザ端末６４の表示モニターに、信号線７８を介して出力する。
【００３６】
ポンプ制御部３６は、ポンプ本体部３２と信号ケーブル４０を介して情報の授受を行う通信部（シリアルポート）であるセンサ信号入力部５０と、ポンプ本体部３２以外の外部の機器と信号ケーブルを介して情報の授受を行う通信部（図示せず）と、各種のプログラムを記憶したメモリ（図示せず）（ＲＯＭや書換え可能な不揮発性記憶素子であるフラッシュメモリ等）と、メモリに記憶されたプログラムに基づいて演算制御動作を行うＣＰＵ（図示せず）とを備えている。
【００３７】
メモリには、センサ信号入力部５０を介した情報の授受、ユーザ端末６４との情報の授受を行うためのプログラム、モータ３０の制御（インバータ制御および運転制御）のためのプログラム等が記憶されている。これらのプログラムは、ＣＰＵによって実行される。
【００３８】
ポンプ制御部３６は、モータ３０の回転速度を制御するためのセンサ信号入力部５０およびモータ駆動制御部４８（第１制御部８４）と、第１制御部の動作を制御して、ドライ真空ポンプ装置１００の起動及び停止を制御するユーザ信号入力部６８，ポンプ起動停止判断部５４、異常検出部５６、および表示・状態出力制御部７４（第２制御部８６）とを
有する。本実施形態では、第１制御部８４と第２制御部８６は、１個の筐体内に収納されている。第１制御部８４と第２制御部８６は、互いに別箇独立に設けられた２個の筐体内にそれぞれ収納することとしてもよい。
【００３９】
第１制御部８４と第２制御部８６を、互いに別箇独立に設けられた２個の筐体内にそれぞれ収納した別の実施形態を図４により説明する。図４は、第１制御部８４と第２制御部８６を、互いに別箇独立に設けられた２個の筐体内にそれぞれ収納したドライ真空ポンプ装置１００のブロック図である。本実施形態によれば、高速処理を必要とする第１制御部８４を、ポンプ付近に設置し、高速処置を必要としない第２制御部８６と分離することができる。
【００４０】
第１制御部８４と第２制御部８６の間でやり取りされる信号線６０，６２，７２，７６は、イーサネット等の通信手段により実現することができる。このため、第２制御部８６の設置自由度が高くなる。第２制御部８６を、第１制御部８４とは別の建物や、別の県、別の国に設置することが可能である。例えば、工場に第１制御部８４とポンプ本体部３２を設置し、ポンプ本体部３２を監視するために工場外に設けられた監視室に第２制御部８６を設置できる。
【００４１】
本実施形態では、図２に示すソフトウェア９０は、第１制御部８４内のソフトウェア９２と、第２制御部８６内のソフトウェア８８から構成される。ソフトウェア９２は、モータ３０に供給される電力を制御するためのソフトウェア（インバータ制御および運転制御のためのソフトウェア）である。ソフトウェア８８は、ドライ真空ポンプ装置１００の異常を検知するためのソフトウェアや、ユーザの運転指令を従って、ドライ真空ポンプ２８を制御するためのソフトウェアである。ソフトウェア９２およびソフトウェア８８には、第１制御部８４と第２制御部８６との間のデータ授受のためのソフトウェアも含まれる。第１制御部８４と第２制御部８６は、それぞれが有するソフトウェアを実行するために、それぞれ、メモリとＣＰＵを備える。
【００４２】
さらに別の実施形態を図５により説明する。図５は、複数のポンプ本体部３２と、複数の第１制御部８４と、１個の第２制御部８６とを有するドライ真空ポンプ装置１００のブロック図である。図５のドライ真空ポンプ装置１００は、複数のポンプ本体部３２と、複数の第１制御部８４とを有し、複数の第１制御部８４と複数のポンプ本体部３２は１対１に対応している。第１制御部８４の各々は、対応するポンプ本体部３２のモータ３０の回転速度を制御する。第２制御部８６は、複数の第１制御部８４の動作を制御して、複数のポンプ本体部３２の起動及び停止を制御する。
【００４３】
本実施形態によれば、第２制御部８６は複数のポンプに対し１台だけ設置すれば良い。また、第２制御部８６は、複数の第１制御部８４と接続されて、複数の第１制御部８４を処理できるソフトウェア８８を有することができる。１個の第２制御部８６のソフトウェア８８を更新することで、ソフトウェア８８の更新に対応することができる。複数の第１制御部８４と、これらに１対１に対応した複数の第２制御部８６とを有する場合と比較すると、第２制御部８６のソフトウェアの更新が容易になる。
【００４４】
この点について、さらに説明する。ドライ真空ポンプの制御は、図２に示すポンプ制御部３６内のソフトウェア９０で行われる。ソフトウェア９０の高機能化は日進月歩ですすんでいるため、納入後のドライ真空ポンプに対しても、ソフトウェア９０の変更の要求がある。ドライ真空ポンプが稼動する工場は大規模であり、数十台から数百台のドライ真空ポンプが使用される。その為、ユーザは古いソフトウェアを、新機能が追加された新ソフトウェアに入れ替えを行いたい。しかし、以下の理由により、ソフトウェアの更新を容易に進められない。
・ドライ真空ポンプの台数が多いため、ソフトウェアの更新の労力が大きい。
・どのドライ真空ポンプに対してどのバージョンのソフトがインストールされているか、バージョンの管理が煩雑になる。
【００４５】
図５に示す本実施形態は、上記課題を解決することができるもので、以下の構成を有することができる。
・  第１制御部８４と第２制御部８６とをインターネット等のネットワークを介して接続し、ドライ真空ポンプは、ネットワーク上で動作するソフトウェア８８によって制御することができる。
・ネットワークは、有線でも、無線でも良い。ネットワークは、インターネットでなくても良い。
・ポンプを制御する１個のソフトウェア８８により、複数台のポンプの運転を制御することができる。
【００４６】
既述のように、ドライ真空ポンプ装置１００は、各種センサの情報を取得して、高速にエラー等の判定を行っている。このため、ソフトウェア８８の動作にタイムラグがあることは望ましくない。かかる問題を解決するために、ソフトウェア８８を実行するための演算装置が、工場ごと、あるいは建物のフロアごと、あるいは製造プロセスごとにあると良い。
【００４７】
本実施形態により、ドライ真空ポンプ装置１００の制御ソフトウェアの更新を１台の第２制御部８６に対してのみ実施することで、複数のドライ真空ポンプの制御方法の更新が可能になるため、ソフトウェア更新の障壁が軽減される。このため、ソフトウェア更新によるポンプの高機能化をスムーズに行うことができる。第１制御部８４と第２制御部８６は、ネットワークに接続する通信機能を有することが好ましい。第２制御部８６は、複数のドライ真空ポンプの制御を行うソフトウェア８８と、ソフトウェア８８が動作する演算装置から構成することができる。ドライ真空ポンプの制御は、個々のドライ真空ポンプで無く、当該演算装置上で動作するソフトウェア８８によって行うことができる。
【００４８】
以上、本発明の実施形態の例について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
【符号の説明】
【００４９】
１２…半導体製造装置
１４…処理容器
１６…配管
２８…ドライ真空ポンプ
３０…モータ
３２…ポンプ本体部
３４…電力ケーブル
３６…ポンプ制御部
３８…センサ
８４…第１制御部
８６…第２制御部
【図１】
2019031924.tif 000003
【図２】
2019031924.tif 000004
【図３】
2019031924.tif 000005
【図４】
2019031924.tif 000006
【図５】
2019031924.tif 000007