(57)【要約】【課題】電気取出部に対するＰＭの付着や堆積を防止することにより、信頼性を向上させることが可能なプラズマリアクタを提供すること。【解決手段】本発明のプラズマリアクタが備えるプラズマパネル積層体は、放電電極１０１，１１１を有する電極パネル３１，３２を積層した構造を有し、隣接する電極パネル３１，３２間に形成されたガス流路にガスを流して電圧を印加することによりプラズマを発生させる。放電電極１０１，１１１は、積層方向に隣接する放電電極１０１，１１１との間で放電を発生させる主放電電極１０２，１１２と、主放電電極１０２，１１２とは極性が異なる副放電電極１０３，１１３とからなる。なお、副放電電極１０３，１１３は、電極パネル３１，３２の外周部に配置され、沿面放電を発生させる沿面放電発生電極である。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電電極を有する複数の電極パネルを積層した構造を有し、隣接する前記電極パネル間に形成されたガス流路にガスを流して電圧を印加することによりプラズマを発生させるプラズマパネル積層体を備え、前記放電電極が、積層方向に隣接する前記放電電極との間で放電を発生させる主放電電極と、前記主放電電極とは極性が異なる副放電電極とからなるプラズマリアクタであって、
前記副放電電極は、前記電極パネルの外周部に配置され、沿面放電を発生させる沿面放電発生電極であることを特徴とするプラズマリアクタ。
【請求項２】
前記電極パネルは、前記ガス流路を挟んで互いに反対側に位置する一対の端部を有し、
前記端部に、互いに極性が異なる一対の電気取出部が設けられ、
前記副放電電極は、前記主放電電極と前記一対の電気取出部との間に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載のプラズマリアクタ。
【請求項３】
前記電極パネルは、前記ガス流路に沿って延びる突条を含んだ肉厚部を前記一対の端部にそれぞれ有し、
一方の前記端部に配置された前記肉厚部に、前記一対の電気取出部が設けられ、
前記副放電電極は、前記ガス流路に沿って延びる帯状を成し、前記電極パネルを厚さ方向から見たときに前記肉厚部と前記主放電電極との間に配置される
ことを特徴とする請求項２に記載のプラズマリアクタ。
【請求項４】
前記電極パネルは、前記ガス流路に沿って延びる突条を含んだ肉厚部を前記一対の端部にそれぞれ有し、
一方の前記端部に配置された前記肉厚部に、前記一対の電気取出部が設けられ、
前記副放電電極は、前記ガス流路に沿って延びる帯状を成し、前記電極パネルを厚さ方向から見たときに前記肉厚部の領域内に配置される
ことを特徴とする請求項２に記載のプラズマリアクタ。
【請求項５】
前記肉厚部は、隣接する前記肉厚部に対向する内側面を有し、
前記一対の電気取出部が設けられる前記肉厚部に、前記内側面にて開口する凹部が形成され、
前記副放電電極は、前記凹部の内側領域に配置される
ことを特徴とする請求項４に記載のプラズマリアクタ。
【請求項６】
前記副放電電極は、前記一対の電気取出部のうち前記主放電電極とは極性が異なる電気取出部に対して電気的に接続されていることを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項７】
前記電極パネルは、面方向において前記ガス流路を挟んで互いに反対側に位置する一対の端部を有し、かつ、厚さ方向において互いに反対側に位置する一対の主面を有し、
前記端部に、互いに極性が異なる一対の電気取出部が設けられ、
前記一対の電気取出部は、前記主面に形成される取出電極をそれぞれ有し、
前記副放電電極は、前記電極パネルを厚さ方向から見たときに、前記一対の電気取出部が一方の前記主面上にそれぞれ有する一対の前記取出電極の間に配置される
ことを特徴とする請求項１に記載のプラズマリアクタ。
【請求項８】
前記副放電電極は、前記一対の電気取出部のうち、前記主放電電極とは極性が異なる電気取出部が有する前記取出電極に対して電気的に接続されていることを特徴とする請求項７に記載のプラズマリアクタ。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載のプラズマリアクタを制御する方法であって、
パネル間放電に必要な電圧を印加することにより、前記主放電電極と積層方向に隣接する前記主放電電極との間で放電を発生させ、
パネル間放電に必要な電圧よりも低い電圧を印加することにより、前記主放電電極と前記副放電電極との間で沿面放電を発生させる
ことを特徴とするプラズマリアクタの制御方法。
【請求項１０】
前記プラズマリアクタは、通常運転時において、前記主放電電極と積層方向に隣接する前記主放電電極との間で放電を発生させ、メインテナンス時において、前記主放電電極と前記副放電電極との間で沿面放電を発生させることを特徴とする請求項９に記載のプラズマリアクタの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内燃機関（エンジン）の排ガスを浄化するための装置に好適なプラズマリアクタ及びその制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、エンジンや焼却炉の排ガスをプラズマ場に通すことにより、排ガス中に含まれているＣＯ（一酸化炭素）、ＨＣ（炭化水素）、ＮＯｘ（窒素酸化物）及びＰＭ（Particulate Matter：粒子状物質）などの有害物質を処理するプラズマリアクタが提案されている。
【０００３】
例えば、放電電極を内蔵した電極パネルを積層し、隣接する電極パネル間に電圧を印加して誘電体バリア放電による低温プラズマ（非平衡プラズマ）を発生させることにより、電極パネル間を流れる排ガス中のＰＭを酸化して除去するプラズマリアクタが種々提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。なお、各電極パネルの放電電極は、電気取出部を介して電源に対して電気的に接続されている。具体的に言うと、特許文献１では、放電電極が、電極パネルの外周部にある電極（電気取出部）を介して電源に接続されている。また、特許文献２では、放電電極が、リードライン部材（電気取出部）を介して電源に接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−４８７７３号公報（図１，図５，図６等）
【特許文献２】特許第３８３２６５４号公報（図４等）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、プラズマリアクタを車両等に搭載して使用する際には、隣接する電極パネル間に形成されたガス流路内に煤（ＰＭ）を含んだ排ガスが流入する。ところが、特許文献１に記載の従来技術では、電気取出部である電極がガス流路内に露出しているため、ガス流路内の排ガスが電極に接触する可能性が高い。その結果、排ガス中のＰＭが電極に付着し、堆積する虞がある。また、特許文献２に記載の従来技術では、ガス流路内の排ガスが、隣接する電極パネル間に生じた隙間に侵入して電気取出部であるリードライン部材に接触するため、リードライン部材に対して排ガス中のＰＭが付着し、堆積する虞がある。
【０００６】
そして、電気取出部にＰＭが付着すると、隣接する電気取出部の間がＰＭを介して導通してしまうため、隣接する電気取出部間の絶縁を確保できないという問題がある。また、複数の電極パネルを積層した構造を有する積層体をケース内に収容し、積層体を収容したケースを排気管に取り付ける場合には、電気取出部とケースとの間がＰＭを介して導通してしまうため、電気取出部とケースとの間の絶縁を確保できないという問題がある。よって、これらの場合には、リーク電流が発生するため、投入電力に対するプラズマの発生量が少なくなり、排ガスの浄化効率が低くなる可能性がある。
【０００７】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、電気取出部に対するＰＭの付着や堆積を防止することにより、信頼性を向上させることが可能なプラズマリアクタ及びその制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための手段（手段１）としては、放電電極を有する複数の電極パネルを積層した構造を有し、隣接する前記電極パネル間に形成されたガス流路にガスを流して電圧を印加することによりプラズマを発生させるプラズマパネル積層体を備え、前記放電電極が、積層方向に隣接する前記放電電極との間で放電を発生させる主放電電極と、前記主放電電極とは極性が異なる副放電電極とからなるプラズマリアクタであって、前記副放電電極は、前記電極パネルの外周部に配置され、沿面放電を発生させる沿面放電発生電極であることを特徴とするプラズマリアクタがある。
【０００９】
従って、上記手段１に記載の発明では、放電電極が主放電電極と副放電電極とからなり、副放電電極が、電極パネルの外周部に配置され、沿面放電を発生させる沿面放電発生電極となっている。このため、電極パネルの外周部で沿面放電が生じ、プラズマが発生するようになる。よって、電極パネルの外周部に電気取出部を配置すれば、電気取出部の周囲で沿面放電が発生するようになるため、ガス流路を流れる排ガス中のＰＭをプラズマを用いて酸化して除去する場合に、電気取出部へのＰＭの付着や堆積が防止されるようになる。その結果、ＰＭを介した隣接する電気取出部間の導通や、同じくＰＭを介した電気取出部−プラズマパネル積層体が収容されるケース間の導通が防止されるため、隣接する電気取出部間の絶縁や、電気取出部とケースとの間の絶縁を確保することができる。ゆえに、プラズマリアクタの信頼性を向上させることができる。
【００１０】
上記プラズマリアクタを構成するプラズマパネル積層体は、放電電極を有する複数の電極パネルを積層した構造を有する。放電電極の形成材料としては、例えば、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、酸化ルテニウム（ＲｕＯ２）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）などを挙げることができる。
【００１１】
ここで、電極パネルが、ガス流路を挟んで互いに反対側に位置する一対の端部を有し、端部に、互いに極性が異なる一対の電気取出部が設けられる場合、副放電電極は、主放電電極と一対の電気取出部との間に配置されていることが好ましい。このようにすれば、主放電電極と一対の電気取出部との間の領域において、沿面放電が発生し、ガス流路を流れる排ガス中のＰＭがプラズマによって除去されるようになる。その結果、ＰＭが電気取出部に到達しにくくなるため、電気取出部へのＰＭの付着や堆積を確実に防止することができる。
【００１２】
さらに、電極パネルが、ガス流路に沿って延びる突条を含んだ肉厚部を一対の端部にそれぞれ有し、一方の端部に配置された肉厚部に、一対の電気取出部が設けられている場合、副放電電極は、ガス流路に沿って延びる帯状を成していることが好ましい。このようにすれば、ガス流路の上流側から下流側に亘る比較的広い範囲において沿面放電が生じうるようになるため、主放電電極と一対の電気取出部との間の領域において、ＰＭがプラズマによって確実に除去されるようになる。その結果、電気取出部へのＰＭの到達がいっそう困難になるため、電気取出部へのＰＭの付着や堆積をより確実に防止することができる。
【００１３】
なお、副放電電極は、電極パネルを厚さ方向から見たときに肉厚部と主放電電極との間に配置されていてもよいし、電極パネルを厚さ方向から見たときに肉厚部の領域内に配置されていてもよい。副放電電極が肉厚部と主放電電極との間に配置される場合には、副放電電極と主放電電極との間の絶縁距離が小さくなるため、副放電電極−主放電電極間において沿面放電が発生しやすくなる。一方、副放電電極が肉厚部の領域内に配置される場合には、副放電電極の配置に伴って主放電電極の面積を小さくしなくても済むため、積層方向に隣接する放電電極と主放電電極との間で、放電を確実に発生させることができる。なお、副放電電極が肉厚部の領域内に配置される具体例としては、肉厚部が、隣接する肉厚部に対向する内側面を有し、一対の電気取出部が設けられる肉厚部に、内側面にて開口する凹部が形成され、副放電電極が、凹部の内側領域に配置されること等が挙げられる。この場合、副放電電極がガス流路内に露出した状態となるため、副放電電極が電極パネルに埋設される場合に比べて、副放電電極と主放電電極との間での沿面放電が発生しやすくなる。その結果、副放電電極が肉厚部の領域内に配置されることで、副放電電極と主放電電極との絶縁距離が大きくなったとしても、主放電電極と積層方向に隣接する放電電極との間で発生する放電（空間放電）を抑制しつつ、所望の沿面放電を発生させることができる。また、副放電電極の配置に伴って主放電電極の面積を小さくしたりしなくても済む。
【００１４】
なお、副放電電極が、主放電電極と一対の電気取出部との間に配置される場合、副放電電極は、一対の電気取出部のうち主放電電極とは極性が異なる電気取出部に対して電気的に接続されていることがよい。このようにした場合に、副放電電極と主放電電極との間で沿面放電を生じさせることが可能となる。
【００１５】
また、電極パネルが、面方向においてガス流路を挟んで互いに反対側に位置する一対の端部を有し、かつ、厚さ方向において互いに反対側に位置する一対の主面を有し、端部に、互いに極性が異なる一対の電気取出部が設けられている場合、一対の電気取出部は、主面に形成される取出電極をそれぞれ有し、副放電電極は、電極パネルを厚さ方向から見たときに、一対の電気取出部が一方の主面上にそれぞれ有する一対の取出電極の間に配置されていてもよい。このようにした場合、一対の取出電極の間の領域において、沿面放電が発生し、排ガス中のＰＭが除去されるようになる。その結果、ＰＭを介した一対の取出電極間の導通を確実に防止することができる。ゆえに、プラズマリアクタの信頼性がよりいっそう向上する。
【００１６】
なお、副放電電極が一対の取出電極の間に配置される場合、副放電電極は、一対の電気取出部のうち、主放電電極とは極性が異なる電気取出部が有する取出電極に対して電気的に接続されていることがよい。このようにした場合に、副放電電極と、主放電電極と極性が同じ取出電極との間で、沿面放電を生じさせることが可能となる。
【００１７】
上記課題を解決するための別の手段（手段２）としては、上記手段１に記載のプラズマリアクタを制御する方法であって、パネル間放電に必要な電圧を印加することにより、前記主放電電極と積層方向に隣接する前記主放電電極との間で放電を発生させ、パネル間放電に必要な電圧よりも低い電圧を印加することにより、前記主放電電極と前記副放電電極との間で沿面放電を発生させることを特徴とするプラズマリアクタの制御方法がある。
【００１８】
従って、上記手段２に記載の発明では、パネル間放電に必要な電圧を印加することにより、主放電電極と積層方向に隣接する主放電電極との間で放電（空間放電）が発生し、パネル間放電に必要な電圧よりも低い電圧を印加することにより、主放電電極と副放電電極との間で沿面放電が発生する。即ち、必要に応じて電圧を変更するだけで、２種類の放電を行うことができる。また、副放電電極は、電極パネルの外周部に配置されるものであるため、電極パネルの外周部に電気取出部を配置すれば、電気取出部の周囲で沿面放電が発生し、プラズマが発生するようになる。よって、ガス流路を流れる排ガス中のＰＭをプラズマを用いて酸化して除去する場合に、電気取出部へのＰＭの付着や堆積が防止されるようになる。その結果、ＰＭを介した隣接する電気取出部間の導通や、同じくＰＭを介した電気取出部−プラズマパネル積層体が収容されるケース間の導通が防止されるため、隣接する電気取出部間の絶縁や、電気取出部とケースとの間の絶縁を確保することができる。ゆえに、プラズマリアクタの信頼性を向上させることができる。
【００１９】
なお、プラズマリアクタは、通常運転時において、主放電電極と積層方向に隣接する主放電電極との間で放電を発生させ、メインテナンス時において、主放電電極と副放電電極との間で沿面放電を発生させることが好ましい。このようにすれば、通常運転時において、沿面放電の影響を受けることなく、隣接する主放電電極間での放電を確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態におけるプラズマリアクタを示す概略断面図。
【図２】プラズマリアクタを示す斜視図。
【図３】プラズマパネル積層体、クランプ、電源供給端子及びマットを示す斜視図。
【図４】プラズマパネル積層体、クランプ及び電源供給端子を示す斜視図。
【図５】プラズマパネル積層体及びクランプを示す概略断面図。
【図６】第１の電極パネルを示す斜視図。
【図７】第１の電極パネルを示す平面図。
【図８】第２の電極パネルを示す平面図。
【図９】空間放電を説明するための断面図。
【図１０】沿面放電を説明するための断面図。
【図１１】第２実施形態における第１の電極パネルを示す平面図。
【図１２】第２実施形態における第２の電極パネルを示す平面図。
【図１３】他の実施形態において、電極パネルを示す平面図。
【図１４】他の実施形態において、プラズマパネル積層体を示す概略断面図。
【図１５】他の実施形態において、電極パネルを示す平面図。
【図１６】他の実施形態において、電極パネルを示す平面図。
【図１７】他の実施形態において、電極パネルを示す要部斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
［第１実施形態］
以下、本発明のプラズマリアクタ１を具体化した第１実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
【００２２】
図１，図２に示されるように、本実施形態のプラズマリアクタ１は、自動車のエンジン（図示略）の排ガスに含まれているＰＭを除去する装置であり、排気管２に取り付けられている。プラズマリアクタ１は、電源３、ケース１０及びプラズマパネル積層体２０を備えている。
【００２３】
ケース１０は、例えばステンレス鋼を用いて矩形筒状に形成されている。ケース１０の第１端部（図１では左端部）には第１コーン部１１が接続され、ケース１０の第２端部（図１では右端部）には第２コーン部１２が接続されている。さらに、第１コーン部１１は、排気管２の上流側部分４（エンジン側の部分）に接続され、第２コーン部１２は、排気管２の下流側部分５（エンジン側とは反対側の部分）に接続されている。なお、エンジンからの排ガスは、排気管２の上流側部分４から第１コーン部１１を介してケース１０内に流入し、ケース１０内を通過した後、第２コーン部１２を介して排気管２の下流側部分５に流出する。
【００２４】
図１，図３〜図５に示されるように、プラズマパネル積層体２０は、ケース１０内に収容されており、排ガスが流入する上流側端面２１と、排ガスが流出する下流側端面２２と、４つのガス非通過面２３，２４，２５，２６とを有する略直方体状を成している。上流側端面２１及び下流側端面２２は、プラズマパネル積層体２０において互いに反対側に位置している。各ガス非通過面２３〜２６は、上流側端面２１と下流側端面２２との間に位置している。
【００２５】
また、プラズマパネル積層体２０は、第１の電極パネル３１と第２の電極パネル３２とを交互に積層した構造を有している。各電極パネル３１，３２は、上流側端面２１側から下流側端面２２側に流れる排ガスの通過方向Ｆ１（第１コーン部１１から第２コーン部１２に向かう方向）と平行に配置されており、互いに隙間（本実施形態では、０．５ｍｍの隙間）を有するように配置されている。詳述すると、プラズマパネル積層体２０は、隣接する電極パネル３１，３２間に、排ガスが通過するガス流路２７（図１参照）を有している。
【００２６】
図１に示されるように、第１の電極パネル３１には第１の配線６が電気的に接続され、第２の電極パネル３２には第２の配線７が電気的に接続されている。第１の配線６は、電源３の第１の端子に電気的に接続され、第２の配線７は、電源３の第２の端子に電気的に接続されている。
【００２７】
図５〜図８に示されるように、本実施形態の電極パネル３１，３２は、厚さ方向において互いに反対側に位置する一対の主面（第１主面３３及び第２主面３４）を有し、縦１００ｍｍ×横２００ｍｍの略矩形板状を成している。さらに、第１の電極パネル３１は、矩形板状の誘電体３５に第１の放電電極１０１（厚さ１０μｍ）を内蔵してなる構造を有している。同様に、第２の電極パネル３２は、矩形板状の誘電体３５に第２の放電電極１１１（厚さ１０μｍ）を内蔵してなる構造を有している。本実施形態において、誘電体３５はアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）等のセラミックからなり、放電電極１０１，１１１はタングステン（Ｗ）からなる。
【００２８】
また、電極パネル３１，３２は、第２主面３４にて開口する凹部３６を有している。凹部３６は、電極パネル３１，３２の横方向に延びており、電極パネル３１，３２の両端面にて開口している。本実施形態のプラズマパネル積層体２０では、凹部３６の内側面と下層側に隣接する電極パネル（第１の電極パネル３１または第２の電極パネル３２）の第１主面３３との間に、上記したガス流路２７が構成される。なお、プラズマパネル積層体２０を構成する最下層の電極パネル（本実施形態では第２の電極パネル３２）には、下層側に電極パネル３１，３２が存在しないため、凹部３６は形成されていない。
【００２９】
図５〜図８に示されるように、各電極パネル３１，３２は、面方向においてガス流路２７を挟んで互いに反対側に位置する一対の端部（第１端部４１及び第２端部５１）を有している。また、電極パネル３１，３２は、第１端部４１に第１肉厚部４２を有するとともに、第２端部５１に第２肉厚部５２を有している。そして、第１肉厚部４２は、ガス流路２７に沿って延びる第１突条４３を含んで構成されており、第２肉厚部５２は、同じくガス流路２７に沿って延びる第２突条５３を含んで構成されている。
【００３０】
また、第１肉厚部４２は、隣接する肉厚部（第２肉厚部５２）に対向する内側面４４と、第１肉厚部４２の幅方向において内側面４４の反対側に位置する外側面４５とを有している。一方、第２肉厚部５２も、隣接する肉厚部（第１肉厚部４２）に対向する内側面５４と、第２肉厚部５２の幅方向において内側面５４の反対側に位置する外側面５５とを有している。なお、肉厚部４２，５２は、長さ２００ｍｍ×幅１０ｍｍ×厚さ１ｍｍとなっており、肉厚部４２，５２の一部を構成する突条４３，５３は、長さ２００ｍｍ×幅１０ｍｍ×厚さ０．５ｍｍとなっている。
【００３１】
そして、図５〜図８に示されるように、一方の端部（第１端部４１）に配置された肉厚部（第１肉厚部４２）には、互いに極性が異なる一対の電気取出部６１，６２が設けられている。各電気取出部６１，６２は、ガス流路２７を流れる排ガスの通過方向Ｆ１に沿って離間配置されている。また、各電気取出部６１，６２は、放電電極１０１，１１１に電気的に接続されている。詳述すると、各電気取出部６１，６２は、スルーホール導体６３、第１取出電極６４及び第２取出電極６５を備えている。スルーホール導体６３は、第１肉厚部４２を厚さ方向に貫通している。また、第１取出電極６４は、第１主面３３に形成されており、スルーホール導体６３の第１主面３３側端部に対して電気的に接続されている。一方、第２取出電極６５は、第２主面３４に形成されており、スルーホール導体６３の第２主面３４側端部に対して電気的に接続されている。なお、第１取出電極６４及び第２取出電極６５は、それぞれ長方形状を成しており、表面にＮｉ等のめっきが施されている。
【００３２】
図３〜図５に示されるように、プラズマリアクタ１は、各電極パネル３１，３２（プラズマパネル積層体２０）をガス非通過面２４側から挟み込んで固定する３つの第１クランプ７１，７２，７３と、各電極パネル３１，３２をガス非通過面２６側から挟み込んで固定する３つの第２クランプ７４，７５，７６とを備えている。各クランプ７１〜７６は、金属板（例えば、ＳＵＳ４３０等の材料からなるステンレス板）を折り曲げることによって形成されている。また、第１クランプ７１〜７３は、ガス非通過面２４において、排ガスの通過方向Ｆ１に沿って等間隔に配置され、第２クランプ７４〜７６は、ガス非通過面２６において、排ガスの通過方向Ｆ１に沿って等間隔に配置されている。
【００３３】
なお、ガス非通過面２４の上流側部分に配置された第１クランプ７１、及び、ガス非通過面２６に配置された第２クランプ７４〜７６は、各電極パネル３１，３２を積層方向に挟み込む機能のみを有している。一方、ガス非通過面２４の中央部分及び下流側部分に配置された第１クランプ７２，７３は、各電極パネル３１，３２を積層方向に挟み込む機能に加えて、放電電極１０１，１１１に電気的に接続する機能を有している。
【００３４】
図３〜図５に示されるように、各クランプ７１〜７６は、板部材７７及び押さえ板７８を備えている。板部材７７は、電極パネル３１，３２の積層方向に延びている。押さえ板７８は、板部材７７と一体に形成され、板部材７７の両端部に配置されている。両押さえ板７８は、弾性を有しており、折り返し構造を有する板ばねである。なお、両押さえ板７８は、プラズマパネル積層体２０のガス非通過面２３とガス非通過面２５とにそれぞれ圧接している。そして、第１クランプ７２，７３を構成する両押さえ板７８は、ガス非通過面２３（最上層の電極パネル（第１の電極パネル３１）の第１主面３３）に形成された第１取出電極６４と、ガス非通過面２５（最下層の電極パネル（第２の電極パネル３２）の第２主面３４）に形成された第２取出電極６５とにそれぞれ圧接している。
【００３５】
図１〜図４に示されるように、プラズマリアクタ１は、一対の電源供給端子８１，８２を備えている。本実施形態の電源供給端子８１，８２は、スパークプラグと同様の構成を有している。詳述すると、電源供給端子８１，８２は、外部接続部、金属粉末を含む導電性シール、絶縁体、主体金具、滑石、パッキン類等を備えている。外部接続部は、導電性シールを介して中心軸８３に接続されている。中心軸８３は、片側の端部が絶縁体内に配置されている。なお、電源供給端子は、本実施形態のものに限定される訳ではなく、絶縁体によって外部接続部とケース１０との間が絶縁されている構造であれば、他の構造であってもよい。
【００３６】
また、電源供給端子８１は、基端部（中心軸８３）が第１クランプ７２の板部材７７に電気的に接続され、先端部がケース１０から露出している。同様に、電源供給端子８２は、基端部（中心軸８３）が第１クランプ７３の板部材７７に電気的に接続され、先端部がケース１０から露出している。そして、各電源供給端子８１，８２は、互いに同一方向に突出している。なお、本実施形態では、電源供給端子８１の先端部が第１の配線６（図１参照）に接続されるとともに、電源供給端子８２の先端部が第２の配線７（図１参照）に接続されるようになっている。
【００３７】
また、ケース１０とプラズマパネル積層体２０との間には、側面視で矩形環状を成すマット９１（図３参照）が介在されている。マット９１は、プラズマパネル積層体２０をケース１０に固定する機能を有している。また、マット９１は、プラズマパネル積層体２０の外表面を覆っている。ここで、マット９１を構成する材料としては、例えば、セラミック繊維、金属繊維、発泡金属等の絶縁材料を用いることができる。
【００３８】
図３に示されるように、本実施形態のマット９１には、同マット９１を厚さ方向に貫通する２つの切欠部９２，９３が形成されている。切欠部９２の内側領域には、第１クランプ７２と電源供給端子８１の中心軸８３とが配置され、切欠部９３の内側領域には、第１クランプ７３と電源供給端子８２の中心軸８３とが配置されている。
【００３９】
図５〜図７に示されるように、第１の電極パネル３１が有する第１の放電電極１０１は、主放電電極１０２と副放電電極１０３とからなっている。主放電電極１０２は、積層方向に隣接する放電電極（具体的には、第２の放電電極１１１の主放電電極１１２）との間で空間放電を発生させるための空間放電発生電極である。また、主放電電極１０２は、電極本体１０４と、電極本体１０４から外周側に延出する延出部１０５とを有している。電極本体１０４は、長さ１９０ｍｍ×幅７０ｍｍ×厚さ１０μｍの矩形板状を成し、第１の電極パネル３１を厚さ方向から見たときにガス流路２７（凹部３６）の領域内に配置されている。また、延出部１０５は、幅２ｍｍ×厚さ１０μｍの帯板状を成し、第１の電極パネル３１を厚さ方向から見たときに、殆どの部分が第１肉厚部４２の領域内に配置されている。詳述すると、延出部１０５は、基端側直線部１０６と先端側直線部１０７とからなっている。基端側直線部１０６は、電極本体１０４の上流側端部と側部側端部との接続部分（図７では、電極本体１０４の左下部分）に接続されており、ガス流路２７の幅方向（図７では上下方向）に延びている。先端側直線部１０７は、基端側直線部１０６の先端部に対して直交した状態に接続されており、ガス流路２７の長さ方向（図７では左右方向）に延びている。なお、先端側直線部１０７の先端部は、電気取出部６１のスルーホール導体６３が貫通している。つまり、主放電電極１０２は、電気取出部６１に対して電気的に接続される電極である。
【００４０】
また、図５〜図７に示される副放電電極１０３は、主放電電極１０２とは極性が異なっており、主放電電極１０２との間で沿面放電を発生させる沿面放電発生電極である。また、副放電電極１０３は、第１の電極パネル３１の外周部に配置されており、電極本体１０８と、電極本体１０８から外周側に延出する延出部１０９とを有している。詳述すると、電極本体１０８は、第１の電極パネル３１を厚さ方向から見たときに、主放電電極１０２と電気取出部６１，６２との間、具体的には、主放電電極１０２と第１肉厚部４２との間に配置されている。電極本体１０８は、長さ１８０ｍｍ×幅２ｍｍ×厚さ１０μｍの帯板状を成し、ガス流路２７に沿って延びている。また、延出部１０９は、長さ１０ｍｍ×幅５ｍｍ×厚さ１０μｍの矩形板状を成し、第１の電極パネル３１を厚さ方向から見たときに、殆どの部分が第１肉厚部４２の領域内に配置されている。詳述すると、延出部１０９は、電極本体１０８の下流側端部寄りの位置に接続されており、ガス流路２７の幅方向（図７では上下方向）に延びている。なお、延出部１０９の先端部は、電気取出部６２のスルーホール導体６３が貫通している。つまり、副放電電極１０３は、主放電電極１０２とは極性が異なる電気取出部６２に対して電気的に接続される電極である。
【００４１】
図５，図８に示されるように、第２の電極パネル３２が有する第２の放電電極１１１は、第１の放電電極１０１と同様に、主放電電極１１２と副放電電極１１３とからなっている。主放電電極１１２は、積層方向に隣接する放電電極（具体的には、第１の放電電極１０１の主放電電極１０２）との間で空間放電を発生させるための空間放電発生電極である。また、主放電電極１１２は、電極本体１１４と、電極本体１１４から外周側に延出する延出部１１５とを有している。電極本体１１４は、長さ１９０ｍｍ×幅７０ｍｍ×厚さ１０μｍの矩形板状を成し、第２の電極パネル３２を厚さ方向から見たときにガス流路２７（凹部３６）の領域内に配置されている。また、延出部１１５は、幅２ｍｍ×厚さ１０μｍの帯板状を成し、第２の電極パネル３２を厚さ方向から見たときに、殆どの部分が第１肉厚部４２の領域内に配置されている。詳述すると、延出部１１５は、基端側直線部１１６と先端側直線部１１７とからなっている。基端側直線部１１６は、電極本体１１４の下流側端部と側部側端部との接続部分（図８では、電極本体１１４の右下部分）に接続されており、ガス流路２７の幅方向（図８では上下方向）に延びている。先端側直線部１１７は、基端側直線部１１６の先端部に対して直交した状態に接続されており、ガス流路２７の長さ方向（図８では左右方向）に延びている。なお、先端側直線部１１７の先端部は、電気取出部６２のスルーホール導体６３が貫通している。つまり、主放電電極１１２は、電気取出部６２に対して電気的に接続される電極である。
【００４２】
また、図５，図８に示される副放電電極１１３は、主放電電極１１２とは極性が異なっており、主放電電極１１２との間で沿面放電を発生させる沿面放電発生電極である。また、副放電電極１１３は、第２の電極パネル３２の外周部に配置されており、電極本体１１８と、電極本体１１８から外周側に延出する延出部１１９とを有している。詳述すると、電極本体１１８は、第２の電極パネル３２を厚さ方向から見たときに、主放電電極１１２と電気取出部６１，６２との間、具体的には、主放電電極１１２と第１肉厚部４２との間に配置されている。電極本体１１８は、長さ１８０ｍｍ×幅２ｍｍ×厚さ１０μｍの帯板状を成し、ガス流路２７に沿って延びている。また、延出部１１９は、長さ１０ｍｍ×幅５ｍｍ×厚さ１０μｍの矩形板状を成し、第２の電極パネル３２を厚さ方向から見たときに、殆どの部分が第１肉厚部４２の領域内に配置されている。詳述すると、延出部１１９は、電極本体１１８の長さ方向における中央部に接続されており、ガス流路２７の幅方向（図８では上下方向）に延びている。なお、延出部１１９の先端部は、電気取出部６１のスルーホール導体６３が貫通している。つまり、副放電電極１１３は、主放電電極１１２とは極性が異なる電気取出部６１に対して電気的に接続される電極である。
【００４３】
次に、プラズマリアクタ１の制御方法を説明する。
【００４４】
なお、図１に示されるように、本実施形態のプラズマリアクタ１は、排ガスに含まれているＰＭを除去するために用いられる。通常運転時において、プラズマリアクタ１は、電源３から隣接する電極パネル３１，３２間に対して、パネル間放電に必要なパルス電圧（例えば、ピーク電圧：５ｋＶ（５０００Ｖ）、パルス繰返し周波数：２００〜１０００Ｈｚ）を印加する。その結果、主放電電極１０２の電極本体１０４（または主放電電極１１２の電極本体１１４）と積層方向に隣接する主放電電極１１２の電極本体１１４（または主放電電極１０２の電極本体１０４）との間に、誘電体バリア放電（空間放電）が発生し（図９の矢印Ａ１参照）、誘電体バリア放電によるプラズマが発生する。そして、プラズマの発生により、電極本体１０４，１１４間を流れる排ガスに含まれるＰＭが酸化（燃焼）されて除去される。
【００４５】
また、メインテナンス時において、プラズマリアクタ１は、パネル間放電に必要なパルス電圧よりも低いパルス電圧（本実施形態では、ピーク電圧：２ｋＶ（２０００Ｖ）、パルス繰返し周波数：２００〜１０００Ｈｚ）を印加する。その結果、主放電電極１０２の電極本体１０４（または主放電電極１１２の電極本体１１４）と副放電電極１０３の電極本体１０８（または副放電電極１１３の電極本体１１８）との間に、沿面放電が発生し（図１０の矢印Ａ２参照）、沿面放電によるプラズマが発生する。そして、プラズマの発生により、電極本体１０４と電極本体１０８との間、及び、電極本体１１４と電極本体１１８との間に到達した排ガスに含まれるＰＭが酸化（燃焼）されて除去される。ここで、沿面放電に必要な電圧は、パネル間放電（空間放電）に必要な電圧の１０分の１以上２分の１以下であることが好ましく、具体的には、０．５ｋＶ以上２．５ｋＶ以下であることが好ましい。なお、本実施形態では、空間放電に必要な電圧が印加される際には沿面放電が発生しないことや、沿面放電に必要な電圧が印加される際には空間放電が発生しないことが実験で確認されている。
【００４６】
なお、図６，図７に示されるように、主放電電極１０２の電極本体１０４と副放電電極１０３の電極本体１０８との離間距離（換言すると、電極本体１０４と電極本体１０８との間の隙間の大きさ）は、プラズマの形成に必要な電圧のレベルに応じて変化する。また、図８に示されるように、主放電電極１１２の電極本体１１４と副放電電極１１３の電極本体１１８との離間距離（換言すると、電極本体１１４と電極本体１１８との間の隙間の大きさ）も、プラズマの形成に必要な電圧のレベルに応じて変化する。一般的に、沿面放電を発生させるためには、１ｍｍ当り１ｋＶの電圧を印加すればよいことが知られている。従って、電極本体１０４と電極本体１０８との離間距離や、電極本体１１４と電極本体１１８との離間距離は、メインテナンス時に印加される電圧に応じた距離であることがよく、例えば２ｍｍ以下（本実施形態では１．５ｍｍ）であることが好ましい。
【００４７】
次に、プラズマリアクタ１の製造方法を説明する。
【００４８】
まず、アルミナ粉末を主成分とするセラミック材料を用いて、誘電体３５となる第１〜第３のセラミックグリーンシートを形成する。なお、セラミックグリーンシートの形成方法としては、テープ成形や押出成形などの周知の成形法を用いることができる。そして、各セラミックグリーンシートに対してレーザ加工を行い、スルーホール導体６３用の貫通孔を形成する。なお、貫通孔の形成を、パンチング加工、ドリル加工等によって行ってもよい。
【００４９】
次に、従来周知のペースト印刷装置（図示略）を用いて、スルーホール導体６３用の貫通孔に導電性ペースト（本実施形態では、タングステンペースト）を充填し、スルーホール導体６３となる未焼成のスルーホール導体部を形成する。
【００５０】
次に、第１のセラミックグリーンシートを支持台（図示略）に載置する。さらに、ペースト印刷装置を用いて、第１のセラミックグリーンシートの裏面上に導電性ペーストを印刷する。その結果、第１のセラミックグリーンシートの裏面上に、第１の放電電極１０１または第２の放電電極１１１となる厚さ１０μｍの未焼成電極が形成される。なお、第１のセラミックグリーンシートに対する未焼成電極の印刷方法としては、スクリーン印刷などの周知の印刷法を用いることができる。
【００５１】
そして、導電性ペーストの乾燥後、未焼成電極が印刷された第１のセラミックグリーンシートの裏面上に、第２のセラミックグリーンシート及び第３のセラミックグリーンシートを順番に積層し、シート積層方向に押圧力を付与する。その結果、各セラミックグリーンシートが一体化され、セラミック積層体が形成される。さらに、ペースト印刷装置を用いて、第１のセラミックグリーンシートの主面上に導電性ペーストを印刷し、未焼成の第１取出電極６４を形成するとともに、第３のセラミックグリーンシートの裏面上に導電性ペーストを印刷し、未焼成の第２取出電極６５を形成する。なお、第３のセラミックグリーンシートは、凹部３６の形状に合わせた打抜加工を施した後に積層される。
【００５２】
次に、周知の手法に従って乾燥工程や脱脂工程などを行った後、セラミックグリーンシート及び未焼成電極をアルミナ及びタングステンが焼結しうる所定の温度（例えば、１４００℃〜１６００℃程度）に加熱する同時焼成を行う。その結果、セラミックグリーンシート中のアルミナ、及び、導電性ペースト中のタングステンが同時焼結し、誘電体３５、第１の放電電極１０１（または第２の放電電極１１１）、スルーホール導体６３、取出電極６４，６５が同時焼成によって形成され、第１〜第３のセラミックグリーンシートが第１の電極パネル３１（または第２の電極パネル３２）となる。このとき、第１の放電電極１０１が主放電電極１０２と副放電電極１０３とを有する形状となり、第２の放電電極１１１が主放電電極１１２と副放電電極１１３とを有する形状となる。また、第３のセラミックグリーンシートが第１突条４３及び第２突条５３となる。
【００５３】
その後、積層工程を行い、得られた第１の電極パネル３１と第２の電極パネル３２とを交互に積層して、プラズマパネル積層体２０を形成する。次に、クランプ７１〜７６を用いて、複数の電極パネル３１，３２を積層方向に挟み込んで固定する。このとき、第１クランプ７２，７３を構成する一対の押さえ板７８が、第１取出電極６４と第２取出電極６５とに圧接する。さらに、溶接等を行うことにより、第１クランプ７２を構成する板部材７７に電源供給端子８１の中心軸８３を電気的に接続するとともに、第１クランプ７３を構成する板部材７７に電源供給端子８２の中心軸８３を電気的に接続する。次に、プラズマパネル積層体２０の外表面を覆うようにマット９１を取り付けた後、マット９１の外表面を覆うようにケース１０を取り付ける。その後、電源供給端子８１の先端部に第１の配線６を接続するとともに、電源供給端子８２の先端部に第２の配線７を接続する。以上のプロセスを経て、プラズマリアクタ１が完成する。
【００５４】
従って、本実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
【００５５】
（１）本実施形態のプラズマリアクタ１では、副放電電極１０３，１１３が、主放電電極１０２，１１２と電気取出部６１，６２との間に配置され、沿面放電を発生させる沿面放電発生電極となっている。このため、主放電電極１０２，１１２と電気取出部６１，６２との間の領域において、沿面放電が生じ、ガス流路２７を流れる排ガス中のＰＭがプラズマによって除去されるため、ＰＭが電気取出部６１，６２に到達しにくくなり、電気取出部６１，６２へのＰＭの付着や堆積が防止されるようになる。その結果、ＰＭを介した隣接する電気取出部６１，６２間の導通や、同じくＰＭを介した電気取出部６１，６２−ケース１０間の導通が防止されるため、隣接する電気取出部６１，６２間の絶縁や、電気取出部６１，６２とケース１０との間の絶縁を確保することができる。ゆえに、プラズマリアクタ１の信頼性を向上させることができる。
【００５６】
（２）しかも、本実施形態では、副放電電極１０３，１１３が、肉厚部４２，５２の領域内ではなく、肉厚部４２，５２と主放電電極１０２，１１２との間に配置されている。この場合、副放電電極１０３，１１３と主放電電極１０２，１１２との間の絶縁距離が小さくなるため、副放電電極１０３，１１３−主放電電極１０２，１１２間において沿面放電が発生しやすくなる。その結果、沿面放電によって排ガス中のＰＭが確実に除去され、電気取出部６１，６２へのＰＭの付着や堆積が確実に防止されるため、プラズマリアクタ１の信頼性がよりいっそう向上する。
【００５７】
（３）本実施形態のプラズマリアクタ１は、第１コーン部１１及び第２コーン部１２を介して排気管２に取り付けられている。その結果、排気管２の上流側部分４→第１コーン部１１→プラズマリアクタ１→第２コーン部１２→排気管２の下流側部分５の順番に排ガスが流れる排ガス流路内の抵抗が低減されるため、排ガス流路内における圧力損失を抑えることができる。ひいては、圧力損失に伴うエンジンの出力低下も防止することができる。
【００５８】
［第２実施形態］
以下、本発明を具体化した第２実施形態を図面に基づいて説明する。ここでは、前記第１実施形態と相違する部分を中心に説明する。本実施形態は、電極パネルに内蔵された放電電極の形状が前記第１実施形態とは異なる形態である。
【００５９】
詳述すると、本実施形態のプラズマリアクタが備えるプラズマパネル積層体は、第１の電極パネル１２１（図１１参照）と第２の電極パネル１２２（図１２参照）とを交互に積層した構造を有している。図１１に示されるように、第１の電極パネル１２１が有する第１の放電電極１２３は、主放電電極１２４と副放電電極１２５とからなっている。主放電電極１２４は、電極本体１２６と、電極本体１２６から外周側に延出する延出部１２７とを有している。詳述すると、延出部１２７は、幅２ｍｍ×厚さ１０μｍの帯板状を成し、基端側直線部１２８、先端側直線部１２９及び沿面放電部１３０からなっている。基端側直線部１２８は、電極本体１２６の上流側端部と側部側端部との接続部分（図１１では、電極本体１２６の左下部分）に接続されている。先端側直線部１２９は、基端側直線部１２８の先端部に対して直交した状態に接続されている。なお、先端側直線部１２９の先端部は、電気取出部１３１のスルーホール導体１３２が貫通している。さらに、沿面放電部１３０は、先端側直線部１２９の先端部に接続されており、凹部１３３（ガス流路２７）の幅方向（図１１では上下方向）に延びている。
【００６０】
また、図１１に示されるように、副放電電極１２５は、主放電電極１２４とは極性が異なっており、主放電電極１２４との間で沿面放電を発生させる沿面放電発生電極である。副放電電極１２５は、電極本体１３４と、電極本体１３４から外周側に延出する第１延出部１３５と、同じく電極本体１３４から外周側に延出する第２延出部１３６とを有している。詳述すると、電極本体１３４は、長さ１８０ｍｍ×幅２ｍｍ×厚さ１０μｍの帯板状を成し、ガス流路２７に沿って延びている。第１延出部１３５は、長さ１０ｍｍ×幅５ｍｍ×厚さ１０μｍの矩形板状を成し、第１の電極パネル１２１を厚さ方向から見たときに、殆どの部分が第１肉厚部１３７の領域内に配置されている。また、第１延出部１３５は、電極本体１３４の下流側端部寄りの位置に接続されており、凹部１３３の幅方向（図１１では上下方向）に延びている。なお、第１延出部１３５の先端部は、電気取出部１３８のスルーホール導体１３２が貫通している。つまり、副放電電極１２５は、主放電電極１２４とは極性が異なる電気取出部１３８の第１取出電極１３９及び第２取出電極（図示略）に対して電気的に接続されている。
【００６１】
図１１に示されるように、第２延出部１３６は、長さ１０ｍｍ×幅２ｍｍ×厚さ１０μｍの矩形板状を成し、第１の電極パネル１２１を厚さ方向から見たときに、殆どの部分が第１肉厚部１３７の領域内に配置されている。また、第２延出部１３６は、電極本体１３４において第１延出部１３５よりも上流側の位置に接続されており、第１延出部１３５と平行に延びている。そして、第２延出部１３６は、第１の電極パネル１２１を厚さ方向から見たときに、電気取出部１３１が第１主面１４０上に有する第１取出電極１３９と、電気取出部１３８が第１主面１４０上に有する第１取出電極１３９との間に配置されている。換言すると、第２延出部１３６は、第１の電極パネル１２１を厚さ方向から見たときに、電気取出部１３１が第１主面１４０の裏側に位置する第２主面（図示略）上に有する第２取出電極（図示略）と、電気取出部１３８が第２主面上に有する第２取出電極との間に配置されている。また、第２延出部１３６は、主放電電極１２４の沿面放電部１３０から１．５ｍｍだけ離間した状態で、沿面放電部１３０と平行に配置されている。
【００６２】
一方、図１２に示されるように、第２の電極パネル１２２が有する第２の放電電極１４１は、第１の放電電極１２３と同様に、主放電電極１４２と副放電電極１４３とからなっている。主放電電極１４２は、電極本体１４４と、電極本体１４４から外周側に延出する延出部１４５とを有している。詳述すると、延出部１４５は、幅２ｍｍ×厚さ１０μｍの帯板状を成し、基端側直線部１４６、先端側直線部１４７及び沿面放電部１４８からなっている。基端側直線部１４６は、電極本体１４４の下流側端部と側部側端部との接続部分（図１２では、電極本体１４４の右下部分）に接続されている。先端側直線部１４７は、基端側直線部１４６の先端部に対して直交した状態に接続されている。なお、先端側直線部１４７の先端部は、電気取出部１３８のスルーホール導体１３２が貫通している。さらに、沿面放電部１４８は、先端側直線部１４７の先端部に接続されており、凹部１３３（ガス流路２７）の幅方向（図１２では上下方向）に延びている。
【００６３】
また、図１２に示されるように、副放電電極１４３は、主放電電極１４２とは極性が異なっており、主放電電極１４２との間で沿面放電を発生させる沿面放電発生電極である。副放電電極１４３は、電極本体１４９と、電極本体１４９から外周側に延出する第１延出部１５０と、同じく電極本体１４９から外周側に延出する第２延出部１５１とを有している。詳述すると、電極本体１４９は、長さ１８０ｍｍ×幅２ｍｍ×厚さ１０μｍの帯板状を成し、ガス流路２７に沿って延びている。第１延出部１５０は、長さ１０ｍｍ×幅５ｍｍ×厚さ１０μｍの矩形板状を成し、第２の電極パネル１２２を厚さ方向から見たときに、殆どの部分が第１肉厚部１３７の領域内に配置されている。また、第１延出部１５０は、電極本体１４９の長さ方向における中央部に接続されており、凹部１３３の幅方向（図１２では上下方向）に延びている。なお、第１延出部１５０の先端部は、電気取出部１３１のスルーホール導体１３２が貫通している。つまり、副放電電極１４３は、主放電電極１４２とは極性が異なる電気取出部１３１の第１取出電極１３９及び第２取出電極（図示略）に対して電気的に接続されている。
【００６４】
図１２に示されるように、第２延出部１５１は、長さ１０ｍｍ×幅２ｍｍ×厚さ１０μｍの矩形板状を成し、第２の電極パネル１２２を厚さ方向から見たときに、殆どの部分が第１肉厚部１３７の領域内に配置されている。また、第２延出部１５１は、電極本体１４９において第１延出部１５０よりも下流側の位置に接続されており、第１延出部１５０と平行に延びている。そして、第２延出部１５１は、第２の電極パネル１２２を厚さ方向から見たときに、電気取出部１３１が第１主面１４０上に有する第１取出電極１３９と、電気取出部１３８が第１主面１４０上に有する第１取出電極１３９との間に配置されている。換言すると、第２延出部１５１は、第２の電極パネル１２２を厚さ方向から見たときに、電気取出部１３１が第１主面１４０の裏側に位置する第２主面（図示略）上に有する第２取出電極（図示略）と、電気取出部１３８が第２主面上に有する第２取出電極との間に配置されている。また、第２延出部１５１は、主放電電極１４２の沿面放電部１４８から１．５ｍｍだけ離間した状態で、沿面放電部１４８と平行に配置されている。
【００６５】
従って、本実施形態によれば、上記第１実施形態に記載の効果に加え、さらに以下の効果を得ることができる。
【００６６】
（４）本実施形態の第１の電極パネル１２１では、副放電電極１２５の第２延出部１３６と、主放電電極１２４と極性が同じ電気取出部１３１の第１取出電極１３９及び第２取出電極との間で、沿面放電が発生し、排ガス中のＰＭが除去されるようになる。同様に、本実施形態の第２の電極パネル１２２では、副放電電極１４３の第２延出部１５１と、主放電電極１４２と極性が同じ電気取出部１３８の第１取出電極１３９及び第２取出電極との間で、沿面放電が発生し、排ガス中のＰＭが除去されるようになる。その結果、ＰＭを介した一対の第１取出電極１３９間の導通や、同じくＰＭを介した一対の第２取出電極間の導通を確実に防止することができる。ゆえに、プラズマリアクタの信頼性がよりいっそう向上する。
【００６７】
なお、上記各実施形態を以下のように変更してもよい。
【００６８】
・上記第１実施形態では、副放電電極１０３，１１３の電極本体１０８，１１８が、第１肉厚部４２と主放電電極１０２，１１２の電極本体１０４，１１４との間に配置されていた（図６〜図８参照）。また、上記第２実施形態では、副放電電極１２５，１４３の電極本体１３４，１４９が、第１肉厚部１３７と主放電電極１２４，１４２の電極本体１２６，１４４との間に配置されていた（図１１，図１２参照）。しかし、図１３の電極パネル１６１に示されるように、副放電電極１６２の全体が、電極パネル１６１を厚さ方向から見たときに肉厚部１６３の領域内に配置されるようになっていてもよい。このようにすれば、副放電電極１６２の配置に伴って主放電電極１６４の面積を小さくしなくても済むため、積層方向に隣接する放電電極（主放電電極１６４）と主放電電極１６４との間で、放電を確実に発生させることができる。
【００６９】
さらに、図１４のプラズマパネル積層体２１０に示されるように、一対の電気取出部（図示略）が設けられる肉厚部２１１に、内側面２１２にて開口する凹部２１３を形成し、凹部２１３の内側領域に副放電電極２１４（沿面放電発生電極）を配置してもよい。なお、凹部２１３は、電極パネル２１６の第１主面２１７を含んで構成される。また、主放電電極２１５は電極パネル２１６に内蔵され、副放電電極２１４は電極パネル２１６の第１主面２１７上に形成される。このようにすれば、放電電極のうち副放電電極２１４がガス流路２１８内に露出した状態となるため、主放電電極２１５と副放電電極２１４との両方が電極パネル２１６に埋設される場合に比べて、副放電電極２１４と主放電電極２１５との間での沿面放電が発生しやすくなる。しかも、沿面放電が発生しやすくなることから、比較的低電圧であっても沿面放電を発生させることが可能となる。ゆえに、プラズマリアクタの省電力化を図ることができる。
【００７０】
・上記第２実施形態の副放電電極１２５，１４３は、電極本体１３４，１４９が、第１肉厚部１３７と主放電電極１２４，１４２の電極本体１２６，１４４との間に配置されるとともに、第２延出部１３６，１５１が、一対の電気取出部１３１，１３８がそれぞれ有する一対の第１取出電極１３９の間に配置される電極であった（図１１，図１２参照）。しかし、図１５の電極パネル１７１に示されるように、副放電電極１７２は、先端部に沿面放電部１７３を有し、沿面放電部１７３が、一対の電気取出部１７４，１７５がそれぞれ有する一対の取出電極１７６の間に配置される電極であってもよい。なお、副放電電極１７２の基端部には、主放電電極１７７とは極性が異なる電気取出部１７５のスルーホール導体１７８が貫通している。
【００７１】
・上記各実施形態の電極パネル３１，３２，１２１，１２２では、一方の端部（第１端部４１）に配置された肉厚部（第１肉厚部４２，１３７）に、一対の電気取出部６１，６２が設けられていた。しかし、図１６の電極パネル１８１に示されるように、一方の端部（第１端部１８２）に配置された第１肉厚部１８３に電気取出部１８４を配置するとともに、もう一方の端部（第２端部１８５）に配置された第２肉厚部１８６に、電気取出部１８４とは極性が異なる電気取出部１８７を配置してもよい。
【００７２】
・上記各実施形態の電気取出部６１，６２，１３１，１３８は、スルーホール導体６３，１３２、第１取出電極６４，１３９及び第２取出電極６５からなる構造を有していたが、電気取出部の構造を変更してもよい。例えば、図１７に示されるように、電気取出部１９１，１９２は、いわゆる端面スルーホール１９３や、第１取出電極１９４及び第２取出電極１９５からなっていてもよい。なお、端面スルーホール１９３は、肉厚部１９６の外側面１９７に形成された凹部１９８の内壁面に対してタングステンペーストを塗布した後、焼成することにより形成される。また、第１取出電極１９４は、端面スルーホール１９３の第１主面１９９側端部に対して電気的に接続され、第２取出電極１９５は、端面スルーホール１９３の第２主面２００側端部に対して電気的に接続されている。さらに、電極パネル１９０が有する一対の電気取出部１９１，１９２のうち、一方の電気取出部１９１を構成する取出電極１９４は、ビア導体２０１を介して主放電電極２０２の延出部２０３に電気的に接続され、もう一方の電気取出部１９２を構成する取出電極１９４は、ビア導体２０４を介して副放電電極２０５の延出部２０６に電気的に接続されている。なお、取出電極１９４，１９５や端面スルーホール１９３の表面には、タングステンの酸化を抑制するために、Ｎｉ等のめっきが施されることが好ましい。
【００７３】
・上記各実施形態のプラズマリアクタ１は、自動車のエンジンの排ガス浄化に用いられていたが、例えば、船舶等のエンジンの排ガス浄化に用いてもよい。また、プラズマリアクタ１は、プラズマ処理を行うものであればよく、排ガスの処理を行うものでなくてもよいし、浄化に用いるものでなくてもよい。
【００７４】
次に、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技術的思想を以下に列挙する。
【００７５】
（１）上記手段１において、前記電極パネルは、面方向において前記ガス流路を挟んで互いに反対側に位置する一対の端部を有し、かつ、前記ガス流路に沿って延びる突条を含んだ肉厚部を前記一対の端部にそれぞれ有し、前記副放電電極は、電極本体と、前記電極本体から外周側に延出する延出部とを有し、前記電極本体は、前記ガス流路に沿って延びる帯状を成し、前記電極パネルを厚さ方向から見たときに、前記肉厚部と前記主放電電極との間に配置されることを特徴とするプラズマリアクタ。
【００７６】
（２）上記手段１において、前記電極パネルは、面方向において前記ガス流路を挟んで互いに反対側に位置する一対の端部を有し、かつ、厚さ方向において互いに反対側に位置する一対の主面を有し、前記一対の端部は、前記ガス流路に沿って延びる突条を含んだ肉厚部をそれぞれ有し、前記肉厚部に、互いに極性が異なる一対の電気取出部が設けられ、前記電気取出部は、前記肉厚部を厚さ方向に貫通するスルーホール導体と、前記一対の主面にそれぞれ形成され、前記スルーホール導体の両端部に対してそれぞれ電気的に接続される取出電極とを備えることを特徴とするプラズマリアクタ。
【００７７】
（３）技術的思想（２）において、前記副放電電極は、電極本体と、前記電極本体から外周側に延出する延出部とを有し、前記スルーホール導体が前記延出部の先端部を貫通していることを特徴とするプラズマリアクタ。
【符号の説明】
【００７８】
１…プラズマリアクタ
２０，２１０…プラズマパネル積層体
２７，２１８…ガス流路
３１，１２１…電極パネルとしての第１の電極パネル
３２，１２２…電極パネルとしての第２の電極パネル
１４０…主面としての第１主面
４１，１８２…端部としての第１端部
４２，１３７，１８３…肉厚部としての第１肉厚部
４３…突条としての第１突条
５１，１８５…端部としての第２端部
５２，１８６…肉厚部としての第２肉厚部
５３…突条としての第２突条
６１，６２，１３１，１３８，１７４，１７５，１８４，１８７，１９１，１９２…電気取出部
１０１，１２３…放電電極としての第１の放電電極
１０２，１１２，１２４，１４２，１６４，１７７，２０２，２１５…主放電電極
１０３，１１３，１２５，１４３，１６２，１７２，２０５，２１４…副放電電極
１１１，１４１…放電電極としての第２の放電電極
１３９…取出電極としての第１取出電極
１６１，１７１，１８１，１９０，２１６…電極パネル
１６３，１９６，２１１…肉厚部
１７６…取出電極
２１２…内側面
２１３…凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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