(57)【要約】【課題】印刷線幅３９μｍ以下の細線印刷が可能であって、スクリーン印刷版が破断しにくい十分な強度を有するスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材及び該金属箔メッシュ部材を使用したスクリーン印刷版を提供する。【解決手段】スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材は、印刷パターンを形成する樹脂と一体化させて用いられる金属箔からなるスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材であって、金属箔メッシュ部材の一方向に沿ってピッチＸで配列された複数の開口部の開口幅をＹ、一方向に沿って並ぶ２つの開口部に挟まれた金属箔からなるリブの一方向に沿って厚さ方向に切断した場合のリブの断面積をＡとした場合、開口幅Ｙが１０μｍ以上３９μｍ以下であって、リブの一方向に沿った幅Ｃが３０μｍ以下であり、リブの断面積ＡをピッチＸで除して得られる単位長さ当たりのリブの断面積Ｂが、３（μｍ２／μｍ）≦Ｂ（μｍ２／μｍ）の関係式を満たす。【選択図】図３
2019031045.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷パターンを形成する樹脂と一体化させて用いられる金属箔からなるスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材であって、
前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の一方向に沿ってピッチＸで配列された複数の開口部の前記一方向に沿った開口幅をＹ、前記一方向に沿って並ぶ２つの開口部に挟まれた前記金属箔からなるリブの前記一方向に沿って厚さ方向に切断した場合の前記リブの断面積をＡとした場合、
前記開口幅Ｙが１０μｍ以上３９μｍ以下であって、
前記リブの前記一方向に沿った幅Ｃが３０μｍ以下であり、
前記リブの前記断面積Ａを前記ピッチＸで除して得られる前記一方向に沿った単位長さ当たりの前記リブの断面積Ｂが、３（μｍ２／μｍ）≦Ｂ（μｍ２／μｍ）の関係式を満たす、スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材。
【請求項２】
前記ピッチＸが６５μｍ以下であって、
前記金属箔の厚みＺが５μｍ以上２０μｍ以下である、請求項１に記載のスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材。
【請求項３】
前記金属箔は、電鋳製である請求項１又は２に記載のスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材を含む、スクリーン印刷版。
【請求項５】
前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の前記一方向に沿って配列されている前記複数の開口部を覆う樹脂と、
長手方向が前記一方向であって、前記開口部を覆う前記樹脂を前記一方向と交差する印刷パターン開口幅Ｗで開口している複数の印刷パターン開口部からなる印刷パターンと、
をさらに備えた、請求項４に記載のスクリーン印刷版。
【請求項６】
複数の前記印刷パターン開口部の平均面積が１３７５μｍ２以下である、請求項５に記載のスクリーン印刷版。
【請求項７】
前記樹脂の厚みをＥ、前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の厚みをＺとした場合、Ｅ≧０．６×Ｚ、且つ、（Ｚ＋Ｅ）／Ｗ≦１．３３の関係式を満たし、
総厚み（Ｚ＋Ｅ）は、１０μｍ以上４５μｍ以下であって、
前記印刷パターン開口幅Ｗは、１０μｍ以上４０μｍ以下である、請求項５又は６に記載のスクリーン印刷版。
【請求項８】
太陽電池用電極配線用途である、請求項４乃至７のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版。
【請求項９】
請求項４乃至８のいずれか一項に記載の前記スクリーン印刷版と、印刷対象物である太陽電池基板と、を用意する工程と、
前記スクリーン印刷版を用いてスクリーン印刷を行って、前記太陽電池基板にフィンガー電極を形成する工程と、
を含む、太陽電池セルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材、スクリーン印刷版、及び、該スクリーン印刷版を用いた太陽電池の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
結晶シリコン系の太陽電池は、多くの場合、シリコンウエハ上にスクリーン印刷によって任意のパターンに銀ペーストを印刷、焼成することで銀電極を形成している。
【０００３】
一般的にシリコンウエハ上に形成される銀電極のパターンは、フィンガー電極と、該フィンガー電極に対して直交するバスバー電極とから構成されている。フィンガー電極は、幅４５μｍ〜１００μｍ、長さ１５０ｍｍ〜１６０ｍｍのパターンである。バスバー電極は、フィンガー電極と垂直方向に幅１ｍｍ〜２ｍｍ、長さ１５０ｍｍ〜１６０ｍｍのパターンである。これらの銀電極は、太陽光によってシリコンウエハ内に生じた電子・正孔対を集電するために必要なものである。その一方で、シリコンウエハ表面の銀電極は、シリコンウエハに入射する太陽光を遮光して発電量を抑制する要因にもなっている。
【０００４】
太陽光によって生成された電子・正孔対をより多く集めるために、太陽電池表面のフィンガー数を増加させる必要がある。しかし、フィンガー数を増加させると太陽電池表面での遮光面積、つまり、太陽光の吸収を妨げる銀電極の面積が増加して却って発電効率の低下を引き起こす。そのためフィンガー数増加と同時にフィンガー電極の細線化が求められている。具体的には、印刷線幅４０μｍ以下の細線印刷が求められている。また、フィンガー電極の配線抵抗が高いと変換効率の低下を招くため、フィンガー電極は細いだけではなく、平均で１５μｍ程度の厚さが求められている。
【０００５】
一部の太陽電池メーカーは、必要な電極厚さを得るためにフィンガー電極を二回、重ねて印刷しており工数が増加している。そのため細く、且つ、厚く印刷できるスクリーン印刷版が求められている。
【０００６】
銀電極の印刷に一般的に使用される金属ワイヤーメッシュを用いたスクリーン印刷版の製造方法を説明する。ポリエステル細線を編んだメッシュ織物をアルミニウム製の型枠に張った後、金属細線を編んだメッシュ織物をポリエステルメッシュに接着し、金属メッシュ織物と重なっているポリエステルメッシュ部分を切除する。その後、感光性乳剤を金属メッシュ織物部分に塗布し、金属メッシュ織物上に目的の印刷パターンを露光・現像することでスクリーン印刷版を作製する。
【０００７】
金属ワイヤーメッシュはポリエステルメッシュを介してアルミニウム製型枠に引っ張られており、張力に対して金属ワイヤーメッシュの強度が不十分な場合は金属細線が切れてスクリーン印刷版が破断してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第４８８６９０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
太陽電池表面のフィンガー電極の細線化を実現するために、金属ワイヤーメッシュに使用されるワイヤーは年々細くなってきており、ワイヤーが細くなっても張力に耐えられるよう金属細線の編数も同時に増やされている。しかしながら、金属細線の編数が増えても、ワイヤー自体の強度は細くなることで低下しているため、印刷時に印刷版と印刷対象物との間に異物が入り込んだ際などにワイヤーが破断してしまう危険性は高まっている。印刷時に印刷版が破断すると、スクリーン印刷版上の銀ペーストが周囲に飛び散ってしまい、製造を止めて清掃を行う必要があり、生産能力の低下を招く。そのため、太陽電池の変換効率向上のための細く、且つ、厚さのある電極の印刷と、生産能力の低下を防ぐ破断しにくい強度を同時に実現するスクリーン印刷版が求められている。
【００１０】
本発明の目的は、スクリーン印刷版に用いた場合に印刷線幅４０μｍ以下の細線印刷が可能であって、スクリーン印刷版が破断しにくい十分な強度を有するスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材及び同金属箔メッシュを使用したスクリーン印刷版を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係るスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材は、印刷パターンを形成する樹脂と一体化させて用いられる金属箔からなるスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材であって、
前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の一方向に沿ってピッチＸで配列された複数の開口部の前記一方向に沿った開口幅をＹ、前記一方向に沿って並ぶ２つの開口部に挟まれた前記金属箔からなるリブの前記一方向に沿って厚さ方向に切断した場合の前記リブの断面積をＡとした場合、
前記開口幅Ｙが１０μｍ以上３９μｍ以下であって、
前記リブの前記一方向に沿った幅Ｃが３０μｍ以下であり、
前記リブの前記断面積Ａを前記ピッチＸで除して得られる前記一方向に沿った単位長さ当たりの前記リブの断面積Ｂが、３（μｍ２／μｍ）≦Ｂ（μｍ２／μｍ）の関係式を満たす。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材によれば、これを用いたスクリーン印刷版によって印刷線幅４０μｍ以下の細線印刷が可能であって、製版時及び印刷時にスクリーン印刷版が破断しにくい十分な強度を有するスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材及びそれを用いたスクリーン印刷版を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施の形態１に係るスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の概要を示す平面図である。
【図２】実施の形態１に係るスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材のラインパターン部分を示す拡大平面図である。
【図３】図２のα−α方向からみた断面構造を示す拡大断面図である。
【図４】実施の形態１に係るスクリーン印刷版の概要を示す平面図である。
【図５】図４の金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版のラインパターン部分のスキージ面側からみた拡大平面図である。
【図６】図４の金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版のラインパターン部分の印刷面側からみた拡大平面図である。
【図７】図５のスクリーン印刷版のβ−β方向からみた断面構造を示す拡大断面図である。
【図８】図５のスクリーン印刷版のγ−γ方向からみた断面構造を示す拡大断面図である。
【図９】実施の形態１に係るスクリーン印刷版におけるラインパターン部分の印刷パターン開口部の平均面積とスクリーン印刷によって得られるラインパターンの印刷線幅との関係を示す概略図である。
【図１０】異なる厚みの金属箔メッシュ部材によって得られるラインパターンの印刷線幅との関係を示す概略図である。
【図１１】リブ幅が長すぎる場合に導電性ペーストがリブの下を通って次の印刷パターン開口部までたどり着けず、印刷パターンに断線が発生する機構を示す模式図である。
【図１２】長円形状の開口部を有する金属箔メッシュ部材の平面図である。
【図１３】矩形形状の開口部を有する金属箔メッシュ部材の平面図である。
【図１４】金属箔メッシュ部材の開口部に複数回にわたって樹脂を積層したスクリーン印刷版の印刷パターン開口部の周辺での状態を示す図５のδ−δ方向からの断面ＳＥＭ像である。
【図１５】図１４の総厚さと印刷パターン開口部の周辺での印刷面側における樹脂の凹み量との関係を示す概略図である。
【図１６】実施の形態１に係る結晶シリコン系の太陽電池の概要を示す平面図である。
【図１７】スクリーン印刷による太陽電池セルの製造方法の概要を示す概略図である。
【図１８】スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材のラインパターン部分を示すスキージ面側の光学顕微鏡像である。
【図１９】スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材のリブの断面構造を示す断面ＳＥＭ像である。
【図２０】印刷されたラインパターンの構成を示す光学顕微鏡像である。
【図２１】ワイヤーメッシュを用いたスクリーン印刷版のラインパターン部分を示す拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
第１の態様に係るスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材は、印刷パターンを形成する樹脂と一体化させて用いられる金属箔からなるスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材であって、
前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の一方向に沿ってピッチＸで配列された複数の開口部の前記一方向に沿った開口幅をＹ、前記一方向に沿って並ぶ２つの開口部に挟まれた前記金属箔からなるリブの前記一方向に沿って厚さ方向に切断した場合の前記リブの断面積をＡとした場合、
前記開口幅Ｙが１０μｍ以上３９μｍ以下であって、
前記リブの前記一方向に沿った幅Ｃが３０μｍ以下であり、
前記リブの前記断面積Ａを前記ピッチＸで除して得られる前記一方向に沿った単位長さ当たりの前記リブの断面積Ｂが、３（μｍ２／μｍ）≦Ｂ（μｍ２／μｍ）の関係式を満たす。
【００１５】
第２の態様に係るスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材は、上記第１の態様において、前記ピッチＸが６５μｍ以下であって、
前記金属箔の厚みＺが５μｍ以上２０μｍ以下であってもよい。
【００１６】
第３の態様に係るスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材は、上記第１又は第２の態様において、前記金属箔は、電鋳製であってもよい。
【００１７】
第４の態様に係るスクリーン印刷版は、上記第１から第３のいずれかの態様における前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材を含む。
【００１８】
第５の態様に係るスクリーン印刷版は、上記第４の態様において、前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の前記一方向に沿って配列されている前記複数の開口部を覆う樹脂と、
長手方向が前記一方向であって、前記開口部を覆う前記樹脂を前記一方向と交差する印刷パターン開口幅Ｗで開口している複数の印刷パターン開口部からなる印刷パターンと、をさらに備えてもよい。
【００１９】
第６の態様に係るスクリーン印刷版は、上記第５の態様において、複数の前記印刷パターン開口部の平均面積が１３７５μｍ２以下であってもよい。
【００２０】
第７の態様に係るスクリーン印刷版は、上記第５又は第６の態様において、前記樹脂の厚みをＥ、前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の厚みをＺとした場合、Ｅ≧０．６×Ｚ、且つ、（Ｚ＋Ｅ）／Ｗ≦１．３３の関係式を満たし、
総厚み（Ｚ＋Ｅ）は、１０μｍ以上４５μｍ以下であって、
前記印刷パターン開口幅Ｗは、１０μｍ以上３９μｍ以下であってもよい。
【００２１】
第８の態様に係るスクリーン印刷版は、上記第４から第７のいずれかの態様において、太陽電池用電極配線用途であってもよい。
【００２２】
第９の態様に係る太陽電池の製造方法は、上記第４から第８のいずれかの態様における前記スクリーン印刷版と、印刷対象物である太陽電池基板と、を用意する工程と、
前記スクリーン印刷版を用いてスクリーン印刷を行って、前記太陽電池基板にフィンガー電極を形成する工程と、
を含む。
【００２３】
＜本発明に至った経緯について＞
本発明者らは金属箔に多数の開口部を設けたスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版では、同程度の印刷パターン開口幅Ｗを有する従来のワイヤーメッシュ部材を用いたスクリーン印刷版と比較して、得られる印刷パターンの印刷線幅が太いという問題を見出した。
【００２４】
一方、本発明者らは従来のワイヤーメッシュ部材を用いたスクリーン印刷版において、図２１に示すワイヤーメッシュ部材と樹脂とから形成される印刷パターン開口部５２の平均開口面積が、図５に示す金属箔に多数の開口部を設けた金属箔メッシュ部材１０を用いたスクリーン印刷版２０における金属箔と樹脂とから形成される印刷パターン開口部１７の平均開口面積よりも小さいことを見出した。
【００２５】
ワイヤーメッシュ部材＃３６０−φ１６ＣＬを用いた印刷パターン開口幅３５μｍのスクリーン印刷版のラインパターン１．６ｍｍ長に含まれる開口部一つ当たりの平均開口面積は、１０３２μｍ２である。一方、比較に用いた金属箔に多数の開口部を設けたスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版では、平均開口面積は、１５４０μｍ２で、ワイヤーメッシュ部材を用いたスクリーン印刷版より平均開口面積が１．４９倍大きい。
以上のことから、金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版の印刷パターン開口部１７一つ当たりの面積がワイヤーメッシュ部材を用いたスクリーン印刷版の印刷パターン開口部より大きく、ペーストがより多く吐出されると考えた。その結果、金属箔に多数の開口部を設けたスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版の印刷幅が従来のワイヤーメッシュ部材に対して太くなると思われる。
【００２６】
そこで、本発明者らは金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版に設ける印刷パターン開口部の面積を変化させた時の印刷線幅を調査・分析した。これにより、金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版の印刷パターン開口部１７の開口面積が小さいほど、印刷線幅が細くなることを発見した。その調査・分析内容について説明する。
【００２７】
金属箔メッシュの厚みは２０μｍ、樹脂の厚みは１０μｍから１３μｍ、スクリーン印刷版のテンションは２４Ｎ／ｃｍ、印刷速度２００ｍｍ／秒、印刷ペーストはＤｕｐｏｎｔ製ＰＶ１９Ｂを用いた。その他印刷版の仕様、印刷線幅を表１及び図９に示す。
【００２８】
【表１】
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【００２９】
図９に示す印刷結果から、開口面積が小さいほど印刷線幅が細くなる傾向が見られ、印刷線幅４０μｍは、印刷パターン開口部１７の開口面積を１３７５μｍ２以下にすることで得られると推測された。開口面積は、金属箔メッシュ部材に設けられる一方向に沿った開口幅Ｙと樹脂によって形成される印刷パターン開口幅Ｗから形成されるため、より細いラインパターンを印刷するために、金属箔メッシュ部材に小さい開口を形成することは有効である。小さい開口を形成した金属箔の作製方法としては、例えば、金属箔に化学エッチング、レーザー、機械加工によって開口を形成する方法や、電鋳方式があげられる。小さい孔を精度よく設ける、という点では化学エッチング及び電鋳方式が優れている。
【００３０】
また、図１０に示すように金属箔メッシュ部材の厚みを２０μｍ、２５μｍと比較した印刷試験から薄い２０μｍ箔の方が細線印刷に適していることを発見した。印刷試験に使用した金属箔メッシュ部材はＳＵＳ３０１箔をエッチング加工したものである。また、金属箔メッシュの開口幅Ｙは、４０μｍでピッチＸは、６０μｍ、印刷パターン開口幅Ｗは、３５μｍ及び４０μｍ、樹脂厚みは１０μｍで、印刷速度は２００ｍｍ／秒、印刷ペーストはＤｕｐｏｎｔ製ＰＶ１９Ｂである。
【００３１】
図９及び図１０に示した実験から、本発明者らは、細線印刷の実現には金属箔メッシュ部材に設ける開口幅Ｙを小さくしてスクリーン印刷版の印刷パターン開口部１７の開口面積を小さくすること、及び、金属メッシュ部材の厚みＺを薄くすることが有効であると考えるに至った。
しかしながら、金属箔に多数の開口部を設けたスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材に設ける開口幅Ｙを小さくするだけでは、細線印刷及びスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材に必要な強度を実現することはできない。図１１に示すように、開口幅Ｙを小さくしても２つの開口部の間の金属箔部分（リブ１１と呼ぶ。）の幅（以下、リブ幅Ｃと呼称する）が３０μｍ以上と長すぎると、開口から吐出されたペースト４３がリブ１１の下を通って次の開口部までたどり着くことができない。その結果、印刷パターンに断線が発生したり、印刷された配線の高低差が大きくなり、配線抵抗が上昇してしまう。一方、リブ幅Ｃを短くし過ぎるとスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材に必要な強度が確保できず、金属箔メッシュ部材の破断を引き起こしてしまうおそれがある。
【００３２】
これらの知見を基にして、金属箔に多数の開口部を設けたスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材を改良することにより、細線印刷と強度を同時に実現するスクリーン印刷用メッシュ部材及び該スクリーン印刷用メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版を得ることができ、本発明に至った。
【００３３】
以下、実施の形態に係るスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材及びスクリーン印刷版について、添付図面を参照しながら説明する。なお、図面において実質的に同一の部材については同一の符号を付している。
【００３４】
（実施の形態１）
＜スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材＞
図１は、実施の形態１に係るスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材１０の概要を示す平面図である。図２は、実施の形態１に係るスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材１０のラインパターン部分を示す拡大平面図である。図３は、図２のα−α方向からみた断面構造を示す拡大断面図である。なお、図面における開口部１２は単に例示であって寸法比等は実際の状態を示すものではない。
【００３５】
実施の形態１に係るスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材１０は、印刷パターンを形成する樹脂と一体化させて用いられる金属箔からなる。このスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材１０は、ラインパターン部分に複数の開口部１２が一方向に沿って配列されている。一方向に沿った開口部１２の開口幅をＹ、一方向に沿って並ぶ２つの開口部１２に挟まれた金属箔からなるリブ１１の一方向に沿って厚さ方向に切断した場合のリブ１１の断面積をＡとする。この場合に、開口幅Ｙが１０μｍ以上３９μｍ以下である。また、リブ１１の一方向に沿った幅Ｃが３０μｍ以下である。さらに、リブ１１の断面積ＡをピッチＸで除して得られる一方向に沿った単位長さ当たりのリブ１１の断面積Ｂが、３（μｍ２／μｍ）≦Ｂ（μｍ２／μｍ）の関係式を満たす。
【００３６】
このスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材１０によれば、一方向に沿った開口部１２の開口幅Ｙが１０μｍ以上３９μｍ以下である。これによってスクリーン印刷版とした場合に印刷パターン開口幅Ｗを適切な幅とすることで印刷線幅を細くすることができる。
また、リブ１１の一方向に沿った幅Ｃが３０μｍ以下である。これによって、スクリーン印刷時に導電性ペーストがリブ１１の下を通って次の印刷パターン開口部の下に届く。そこで、印刷細線の断線を防ぎ、安定した印刷性を実現できる。
さらに、単位長さ当たりのリブ１１の断面積Ｂが、関係式３（μｍ２／μｍ）≦Ｂ（μｍ２／μｍ）を満たす。これによって、上記のように細線化したことによるスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材１０の強度の低下を抑制できる。
また、このスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材１０を用いたスクリーン印刷版によって細線印刷、且つ、電極の平均厚さが１５μｍ以上の印刷が可能である。さらに、製版時及び印刷時にスクリーン印刷版が破断しにくい十分な強度を有するスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材及びそれを用いたスクリーン印刷版を提供することができる。
【００３７】
なお、図２及び図３に示すように、一方向に沿って配列された複数の開口部１２のピッチＸが６５μｍ以下であってもよい。また、金属箔の厚みＺが５μｍ以上２０μｍ以下であってもよい。
【００３８】
以下に、このスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材１０を構成する各部材について説明する。
【００３９】
＜金属箔＞
金属箔は圧延金属箔に限られず、電鋳による金属箔であってもよい。
また、金属箔は、例えば、ステンレス鋼、チタン、チタン合金、ニッケル、ニッケル合金、銅、銅合金、アルミ合金の群から選ばれる少なくとも一つを含んでもよい。
【００４０】
図１０は、異なる厚みの金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版によって得られるラインパターンの印刷線幅との関係を示す概略図である。金属箔の厚みＺは、５μｍ以上２０μｍ以下である。厚みＺの下限が５μｍであるのは、厚みが５μｍより薄くなると、金属箔メッシュ部材の取り扱い時に金属箔メッシュ部材１０が折れたり破れたりする懸念があり、取り扱いが難しいからである。厚みＺの上限が２０μｍであるのは、図１０に示すように、金属箔メッシュ部材１０の厚みＺを２０μｍ、２５μｍのそれぞれの場合で本願発明者らが印刷試験を実施したところ、厚みＺが薄い２０μｍの方が厚みＺが２５μｍの場合と比べてより細線印刷に適していることを発見したためである。また、金属箔メッシュ部材１０の取り扱いやすさを考慮すると、その厚みＺは、望ましくは１０μｍ以上、２０μｍ以下である。
【００４１】
＜開口部＞
図１２は、長円形状の開口部１２を有する金属箔メッシュ部材１０の概要を示す平面図である。図１３は、矩形形状の開口部１２ａを有する金属箔メッシュ部材１０の平面図である。開口部の平面形状は、図１２の長円形状、図１３の矩形形状に限られず、楕円形状等の他の形状であってもよい。
また、金属箔に設ける多数の開口部１２は、化学的エッチング、機械的な孔開け処理、あるいは電鋳方式によって形成されてもよい。
金属箔に化学エッチング方式で開口部を形成する場合と電鋳方式で開口部を形成する場合のそれぞれの特性を対比した結果を表２に示す。
【００４２】
【表２】
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【００４３】
エッチング方式の場合、金属箔に圧延金属箔を用いることで素材の強度を高めるとともに金属箔の厚みのバラつきが小さくなる利点がある。また、金属箔の両面に塗布したフォトレジストに異なるサイズの開口を形成して両面からエッチングすることで両面の開口幅を制御することができ、
開口のテーパー形状が制御できる。またロール状の金属箔を使用することで連続加工が可能なため、大量生産によって低コスト化が可能である。一方でエッチング加工時に、金属箔上のフォトレジスト開口幅よりも金属箔の開口が広くなるまでエッチング加工（サイドエッチング）を進めなければ開口バラつきを抑えることができない。このため、最小開口径はフォトレジストの解像性にサイドエッチング量が加わり、電鋳に比べて最小開口径が大きくなる。また、薄箔を得るために圧延工程を繰り返すと、材料が硬くなり割れ等が発生するようになるため得られる薄箔にも限界がある。
【００４４】
電鋳方式の場合、フォトレジストの解像性がそのまま最小開口径につながるため最小開口径をエッチング方式よりも小さくできる。また、開口寸法のバラつきもエッチング方式よりも小さくなる。さらに、ボトムアップで金属箔を形成するため、圧延箔よりも薄い箔を得ることができる。一方でテーパー形状の制御はエッチング方式に比べて困難である。また、特許文献１にあるように、電鋳では圧延工程を経ていないため、厚みのバラつきや強度の面でエッチング方式に劣る。さらに、電鋳方式ではエッチング方式のように連続加工はできずバッチ方式になるためコスト面でもエッチング方式に劣る。
なお、いずれの方式にも長所短所があり、いずれの方式を用いてもよい。
【００４５】
＜リブ幅について＞
図１１は、リブ幅Ｃが長すぎる場合に導電性ペースト４３がリブ１１の下を通って次の印刷パターン開口部１７までたどり着けず、印刷パターンに断線が発生する機構を示す模式図である。
図１１に示すように、リブ幅が長すぎると、印刷時にペーストがリブ下に十分に回り込むことができず、印刷不良が発生する。本発明者らの作製したＳＵＳ３０１圧延金属箔を用いたスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材を使用したスクリーン印刷版の印刷試験では、印刷面側のリブ幅Ｃが３０μｍで印刷不良(断線)は発生しなかった。このため、印刷面側のリブ幅Ｃは３０μｍ以下が好ましい。
これによって、スクリーン印刷時に導電性ペーストがリブ１１の下を通って次の印刷パターン開口部の下に届く。そこで、印刷細線の断線を防ぎ、安定した印刷性を実現できる。
【００４６】
＜スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の引張強度＞
図１２及び図１３における矢印８は、金属箔メッシュ部材１０がスクリーン印刷版に加工されて全方向から引っ張られた際に最も弱い引張強度の方向を示している。一方向に沿って多数の開口部１２が配列された金属箔メッシュ部材１０では、図１２及び図１３の矢印８の引張強度が最も小さい。これは、引っ張り方向８に対して垂直方向の金属箔断面が、開口部１２が設置されているために金属箔部分が他の方向よりも少ないためである。そのため２つの開口部１２に挟まれたリブ１１の単位長さ当たりの断面積がある程度大きくなければスクリーン印刷版に加工する際あるいは、印刷中に金属箔メッシュ部材１０が破断するおそれがある。
【００４７】
＜一方向に沿った単位長さ当たりのリブの断面積＞
このスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材１０では、上記の通り、リブ１１の断面積ＡをピッチＸで除して得られる一方向に沿った単位長さ当たりのリブ１１の断面積Ｂが、３（μｍ２／μｍ）≦Ｂ（μｍ２／μｍ）の関係式を満たすことを特徴としている。
ＳＵＳ３０１圧延材を用いた金属箔メッシュ部材について、本発明者らは、一方向に沿った単位長さ当たりのリブの断面積が２．９７μｍ２／μｍの金属箔メッシュ部材をスクリーン印刷版に加工できることを見出した。つまり、一方向に沿った単位長さ当たりのリブの断面積が２．９７μｍ２／μｍのとき、４５０ｍｍ角のアルミ枠にポリエステル紗を使用したコンビネーション製スクリーン印刷版において、テンションゲージＳＴＧ−７５ＮＡの沈みこみ量が０．９５ｍｍ〜１．１０ｍｍとなるテンションでスクリーン印刷版に加工し印刷試験を行うことができた。そこで、一方向に沿った単位長さ当たりのリブ１１の断面積Ｂの下限を３μｍ２／μｍと規定できる。
上記関係式を満たすことで、細線化と共に、スクリーン印刷版とした場合にも十分な引張強度を確保できる。
【００４８】
リブ１１の断面形状が正方形又は長方形等の矩形形状の場合には、図３に示すように、２つの開口部１２に挟まれたリブ１１の断面積Ａは、リブ幅Ｃと金属箔の厚みＺとの積Ｃ×Ｚで表される。リブ幅Ｃは、ピッチＸと開口幅Ｙとの差（Ｘ−Ｙ）で表される。そこで、リブ１１の断面積Ａは、（Ｘ−Ｙ）×Ｚで表される。
なお、リブ１１の断面形状は、通常、上記矩形形状でなく、台形形状、一部に曲面を含む形状であるが、この場合にも上記関係式は適用される。
【００４９】
＜スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の製造方法＞
スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材１０は、上述のようにエッチング方式又は電鋳方式等によって製造できる。エッチング方式では、さらに、開口部１２は、例えば金属箔の片面又は両面からエッチングによって形成できる。開口部１２の所望の形状及び面積、及びその分布等に応じて適宜エッチングを行えばよい。例えば、金属箔にレジストを塗布し、所望の大きさ及び配置で複数の開口部を配列し、印刷したパターンを描画したマスクを使って露光後、現像する。その後、エッチングにより、開口部を開ける部分の金属箔を溶かして、金属箔に開口部を開けたスクリーン印刷用メッシュ部材を作製できる。
なお、スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の製造方法としては、金属箔へのエッチングに製造方法を限定するものではなく、例えば、機械的な孔開け加工、電鋳による製造法でも実現可能である。
【００５０】
＜スクリーン印刷版＞
図４は、実施の形態１に係るスクリーン印刷版２０の概要を示す平面図である。図５は、図４の金属箔メッシュ部材１０を用いたスクリーン印刷版２０のラインパターン部分のスキージ面側４７からみた拡大平面図である。図６は、図４の金属箔メッシュ部材１０を用いたスクリーン印刷版２０のラインパターン部分の印刷面側４８からみた拡大平面図である。図７は、図５のスクリーン印刷版２０のβ−β方向からみた断面構造を示す拡大断面図である。図８は、図５のスクリーン印刷版２０のγ−γ方向からみた断面構造を示す拡大断面図である。
【００５１】
このスクリーン印刷版２０は、図４に示すようにアルミ製の枠２２にポリエステル紗２４を介して上記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材１０を配置している。ポリエステル紗２４は、ポリエステル細線を編んだメッシュ織物である。また、アルミ製の枠２２と、ポリエステル紗２４とは、接着部２３を介して接着されている。ポリエステル紗２４と金属箔メッシュ部材１０とは、接着部２５を介して接着されている。このスクリーン印刷版２０は、上記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材１０を覆う樹脂２６が印刷パターンに沿って除去されており、図５及び図６に示すように金属箔メッシュ部材１０の開口部１２とラインパターンを形成する樹脂から形成される印刷パターン開口部１７を有している。金属箔メッシュ部材１０の開口部１２の長手方向とラインパターンとは直交していてもよいし、角度をなして交差していてもよい。
【００５２】
＜金属箔メッシュ部材＞
金属箔メッシュ部材１０には上記のものを用いるので、重複する記載を省略する。
【００５３】
＜樹脂＞
樹脂は、図５及び図６に示すように、一方向に沿って配置されている複数の開口部１２を覆っている。この樹脂は、例えば、感光性乳剤を光硬化させたものである。なお、ここでは樹脂をラインパターンの形成に使用しているが、樹脂の代わりに電鋳によって形成した金属でラインパターンを形成してもよい。
【００５４】
＜印刷パターン開口部＞
金属箔メッシュ部材１０の開口部１２を覆う樹脂１６を開口して、印刷パターン開口幅Ｗで開口する印刷パターン開口部１７が形成されている。
印刷パターン開口部１７の開口面積は、１３７５μｍ２以下にすることが好ましい。これによって印刷線幅を４０μｍ以下にすることができる。
また、印刷パターン開口幅Ｗは、１０μｍ以上、４０μｍ以下である。１０μｍ以下の印刷パターン開口幅Ｗの形成は樹脂の解像性が不足して形成が困難である。また、印刷線幅は印刷パターン開口幅Ｗよりも太くなる傾向があるため、印刷線幅３９μｍ以下の細線印刷をするためには印刷パターン開口幅Ｗは４０μｍ以下でなければならない。導電性銀ペーストを印刷すると、一般的には印刷パターン開口幅Ｗに対して５μｍ程広がるため、印刷パターン開口幅Ｗは望ましくは３５μｍ以下である。
【００５５】
樹脂の厚みをＥ、樹脂によって形成される印刷パターン開口幅をＷ、金属箔メッシュ部材の厚みをＺとした場合、Ｅ≧０．６×Ｚ、且つ、（Ｚ＋Ｅ）／Ｗ≦１．３３であることを特徴とする。また、総厚さ（Ｚ＋Ｅ）は、１０μｍ以上４５μｍ以下、印刷パターン開口幅Ｗは、１０μｍ以上４０μｍ以下である。
【００５６】
まず、樹脂の厚みＥが薄すぎると、ペースト４３がリブ１１下に十分回り込むことができず、印刷不良が発生する（図１１）。また、樹脂の厚みＥが金属箔メッシュ部材１０のリブ１１の厚みＺに対して薄いと、金属箔メッシュ部材１０に樹脂１６をコーティングした際に金属箔メッシュ部材の開口部１２に充填される樹脂１６が印刷面側に対して凹んだ状態になるという問題がある（図１４）。その結果、このスクリーン印刷版を用いて印刷した際に印刷面側の凹んだ隙間からペーストが一方向と垂直な方向、つまり幅方向に滲み広がってしまう。そして印刷線幅が広がってしまう。
【００５７】
本発明者らは、この樹脂１６の印刷面側の凹みは樹脂１６の厚みＥを大きくすることで低減できることを発見した。図１４は、金属箔メッシュ部材１０の開口部１２に異なる表面形状を示す２種類の樹脂を複数回にわたって積層したスクリーン印刷版の印刷パターン開口部の周辺での状態を示す、図５のδ−δ方向からの切断面のＳＥＭ観察像である。なお、図１４では順次の積層状態の境界線を見易くするため異なる２種類の樹脂を用いて積層している。つまり、２種類の樹脂の境界線で順次積層される樹脂１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅ、１６ｆが示されている。図１４によれば、樹脂１６ａ、１６ｂ、１６ｃ等の樹脂厚Ｅが薄い段階では、樹脂の境界線の凹みが大きく、樹脂１６ｄ、１６ｅ、１６ｆ等の樹脂厚Ｅが大きくなるにつれて境界線の凹みが小さくなる様子が確認できる。図１５は、図１４の総厚さ（Ｅ＋Ｚ）と印刷パターン開口部１７の周辺での印刷面側における凹み量との関係を示す概略図である。図１５に示すように金属箔メッシュ厚が２５μｍの時、凹みが２μｍ以下になる総厚（Ｅ＋Ｚ）は４０μｍでＥは１５μｍである。金属箔メッシュ厚が２０μｍの時、凹みが２μｍ以下になる総厚（Ｅ＋Ｚ）は３２μｍで樹脂厚Ｅは１２μｍとなっている。また、金属箔メッシュ部材の厚みＺが薄くなるにつれて、凹みが２μｍ以下になる樹脂厚Ｅも小さくなっており、その比率（Ｅ／Ｚ）は、およそ０．６である。よって印刷線幅の滲み広がりを抑えるために、樹脂の凹みを２μｍ以下にするには、Ｅ≧０．６＊Ｚの条件が好ましい。
【００５８】
また、金属箔メッシュ部材と樹脂の厚みとの合計（Ｚ＋Ｅ）と印刷パターン開口幅Ｗのアスペクト比（Ｚ＋Ｅ）／Ｗが大きすぎると、ペーストが金属箔メッシュと樹脂によって形成される印刷パターン開口部１７を通り抜けることができず、印刷不良が発生する。
本発明者らの行った印刷試験では上記アスペクト比１．３３において印刷不良が発生しなかったが、アスペクト比１．６０では印刷不良が発生した。そのためアスペクト比（Ｚ＋Ｅ）／Ｗは１．３３以下であることが好ましい。
【００５９】
なお、金属箔の厚みＺは、５μｍ以上２０μｍ以下であり、総厚み（Ｚ＋Ｅ）は、１０μｍ以上４５μｍ以下であり、Ｅ≧０．６×Ｚであるので、樹脂１６の厚みＥは、３．８μｍ以上４０μｍ以下となる。
【００６０】
＜スクリーン印刷版の製造方法＞
このスクリーン印刷版は、例えば、以下のようにして作製できる。例えば、金属箔の全面に樹脂（感光性乳剤）を塗布した後、開口させるラインパターンに対応する部分をマスクで覆って、マスクで覆った箇所以外を露光する。露光した箇所の樹脂（感光性乳剤）を硬化させ、マスクで覆った箇所の開口させる部分の樹脂（感光性乳剤）を除去して、スクリーン印刷版を作製できる。なお、上記作製方法は例示であってこれに限定されるものではない。
【００６１】
＜太陽電池＞
図１６は、実施の形態１に係る結晶シリコン系の太陽電池３０の概要を示す平面図である。この太陽電池３０は、太陽電池基板であるシリコンウエハ３２と、シリコンウエハ３２上に太陽光の受光によって生じた電子・正孔対を集電するためのフィンガー電極３４及びバスバー電極３６を有する。フィンガー電極３４は、例えば、幅４５μｍ以上１００μｍ以下、長さ１５０ｍｍ以上１６０ｍｍの導電性パターンである。バスバー電極３６は、例えば、フィンガー電極３４と直交する方向に延びる幅１ｍｍ以上２ｍｍ以下、長さ１５０ｍｍ以上１６０ｍｍ以下の導電性パターンである。フィンガー電極３４及びバスバー電極３６は、例えば、銀電極である。
なお、上記では太陽電池の表面側の電極パターンについて規定したが、太陽電池の裏面側の電極パターンについても形成してもよい。
【００６２】
＜スクリーン印刷による太陽電池の製造方法について＞
図１７は、スクリーン印刷による太陽電池の製造方法の概要を示す概略図である。
（１）スクリーン印刷版２０と、印刷対象物である太陽電池基板４６と、を用意する。スクリーン印刷版２０のスキージ面４７を鉛直上面とし、印刷面４８を鉛直下面とする。印刷面４８をスクリーン印刷する印刷対象物である太陽電池基板４６に対向させる。
（２）次いで、スキージ面にはペースト４３を載せると共に、スキージ４２を図１７の左から右へ移動させることにより、スクリーン印刷版の印刷パターン開口部１７にペースト４３を充填して、太陽電池基板４６にペースト４３を付着させる。スキージ４２が通過した後は、スクリーン印刷版２０の張力（テンション）によりスクリーン印刷版２０と太陽電池基板４６とが離れる。一方、ペースト４３は太陽電池基板４６に残る。
以上により、スクリーン印刷が行われ、スクリーン印刷版２０の印刷パターン開口部１７の配列に対応したペースト４３が印刷される。その後、印刷パターン開口部１７の配置に由来する凹凸を有するペースト４３はレべリング過程を経て、太陽電池基板４６上にフィンガー電極が形成される。これによって太陽電池が得られる。
【００６３】
（実施例）
以下、本発明を実施例によってさらに詳細に説明するが、下記実施例は本発明を限定する性質のものではなく、前・後記の趣旨に適合しうる範囲で適当に変更して実施することも可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に含まれる。
【００６４】
図９に示した実験において、本発明者らはスクリーン印刷版の印刷パターン開口部の平均開口面積を１３７５μｍ２以下にすることで印刷線幅３９μｍ以下の細線印刷ができると推測した。そこで印刷線幅３９μｍ以下の細線印刷を実現するべく、本開示で示した金属箔メッシュ部材を電鋳方式でＮｉ−Ｃｏ合金を用いて作製した。一方向に沿って設置した開口部の単位長さ当たりのリブの断面積は３．６０μｍ２／μｍから４．３４μｍ２／μｍ、開口部のピッチＸを４０μｍ以上６５μｍ以下、開口幅Ｙは２４μｍ以上３９μｍ以下、金属箔の厚みＺは１５μｍとした。製造した金属箔メッシュ部材の開口部のピッチＸが４０μｍ、開口幅Ｙが２４μｍの開口仕様の光学顕微鏡写真を図１８に、同開口部のリブの断面ＳＥＭ観察写真を図１９にそれぞれ示す。
【００６５】
この金属箔メッシュ部材を用いて乳剤厚１４μｍ、印刷パターン幅２９μｍ、３２μｍのスクリーン印刷版を作製した。作製した印刷版を用いて導電性銀ペースト（Ｈｅｒａｅｕｓ社製ＦＳ４１）を使った印刷を行い、マイクロスコープ（オリンパス株式会社製：型式ＤＳＸ５００）で印刷されたペーストの形状を測定した。
印刷の結果を図９に示す。図９に示すように、開口面積が小さいほど印刷線幅が細くなる傾向が見られ、印刷パターン開口部１７の平均開口面積を１３７５μｍ２以下にすることで印刷線幅４０μｍ以下を実現することができた。開口部１２のピッチＸが４０μｍ、開口幅Ｙが２４μｍ、印刷パターン開口幅Ｗが２８μｍの仕様で印刷された、印刷線幅３４．７μｍ、平均高さ２１．６μｍでアスペクト比０．６３（平均高さ÷印刷線幅）のフィンガー電極のμスコープ観察像を図２０に示す。
【００６６】
上記実施例に係る金属箔メッシュ部材及びスクリーン印刷版を使用することで印刷線幅３９μｍ以下、平均高さ２０μｍ以上、アスペクト比０．５以上のラインパターンをスクリーン印刷によって実現することができた。また、このスクリーン印刷版を使用することで太陽電池セルの表面銀電極の細線化が実現され太陽電池の変換効率が向上するだけでなく、一回印刷での高いアスペクト比の印刷により、従来の二回印刷を置き換えることで太陽電池セル製造工程を削減し、コストダウンを図ることができる。
【００６７】
なお、本開示においては、前述した様々な実施の形態及び／又は実施例のうちの任意の実施の形態及び／又は実施例を適宜組み合わせることを含むものであり、それぞれの実施の形態及び／又は実施例が有する効果を奏することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明に係る金属箔メッシュ部材によれば、これを用いたスクリーン印刷版によって印刷線幅３９μｍ以下の細線印刷が可能であって、製版時及び印刷時にスクリーン印刷版が破断しにくい十分な強度を有するスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材及びそれを用いたスクリーン印刷版を提供することができる。
【符号の説明】
【００６９】
２  フィンガー電極用パターン
４  バスバー電極用パターン
８  応力
９  試験片
１０  スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材
１１  リブ
１２、１２ａ  開口部（孔、長円、矩形）
１６、１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅ、１６ｆ  樹脂（感光性乳剤）
１７  印刷パターン開口部
２０  スクリーン印刷版
２２  アルミ枠
２３  アルミ枠とポリエステル紗との接着部
２４  ポリエステル紗
２５  金属箔メッシュ部材とポリエステル紗との接着部
２６  樹脂コート部（金属箔メッシュ部材）
３０  太陽電池
３２  シリコンウエハ
３４  フィンガー電極
３６  バスバー電極
４２  スキージ
４３  銀ペースト
４４  スクレッパ
４６  Ｓｉウエハ
４７  スキージ面
４８  印刷面
５０  スクリーン印刷版
５１  ワイヤ
５２  開口部
５６  樹脂（感光性乳剤）
【図１】
2019031045.tif 000005
【図２】
2019031045.tif 000006
【図３】
2019031045.tif 000007
【図４】
2019031045.tif 000008
【図５】
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【図６】
2019031045.tif 000010
【図７】
2019031045.tif 000011
【図８】
2019031045.tif 000012
【図９】
2019031045.tif 000013
【図１０】
2019031045.tif 000014
【図１１】
2019031045.tif 000015
【図１２】
2019031045.tif 000016
【図１３】
2019031045.tif 000017
【図１４】
2019031045.tif 000018
【図１５】
2019031045.tif 000019
【図１６】
2019031045.tif 000020
【図１７】
2019031045.tif 000021
【図１８】
2019031045.tif 000022
【図１９】
2019031045.tif 000023
【図２０】
2019031045.tif 000024
【図２１】
2019031045.tif 000025
【手続補正書】
【提出日】平成30年1月11日(2018.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷パターンを形成する樹脂と一体化させて用いられる金属箔からなるスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材であって、
前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の一方向に沿ってピッチＸで配列された複数の開口部の前記一方向に沿った開口幅をＹ、前記一方向に沿って並ぶ２つの開口部に挟まれた前記金属箔からなるリブの前記一方向に沿って厚さ方向に切断した場合の前記リブの断面積をＡとした場合、
前記開口幅Ｙが１０μｍ以上３９μｍ以下であって、
前記リブの前記一方向に沿った幅Ｃが３０μｍ以下であり、
前記リブの前記断面積Ａを前記ピッチＸで除して得られる前記一方向に沿った単位長さ当たりの前記リブの断面積Ｂが、３（μｍ２／μｍ）≦Ｂ（μｍ２／μｍ）の関係式を満たすと共に、
前記金属箔の厚みＺが５μｍ以上２０μｍ未満である、スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材。
【請求項２】
前記ピッチＸが６５μｍ以下である、請求項１に記載のスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材。
【請求項３】
前記金属箔は、電鋳製である請求項１又は２に記載のスクリーン印刷用金属箔メッシュ部材。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材を含む、スクリーン印刷版。
【請求項５】
前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の前記一方向に沿って配列されている前記複数の開口部を覆う樹脂と、
長手方向が前記一方向であって、前記開口部を覆う前記樹脂を前記一方向と交差する印刷パターン開口幅Ｗで開口している複数の印刷パターン開口部からなる印刷パターンと、
をさらに備えた、請求項４に記載のスクリーン印刷版。
【請求項６】
複数の前記印刷パターン開口部の平均面積が１３７５μｍ２以下である、請求項５に記載のスクリーン印刷版。
【請求項７】
前記樹脂の厚みをＥ、前記スクリーン印刷用金属箔メッシュ部材の厚みをＺとした場合、Ｅ≧０．６×Ｚ、且つ、（Ｚ＋Ｅ）／Ｗ≦１．３３の関係式を満たし、
総厚み（Ｚ＋Ｅ）は、１０μｍ以上４５μｍ以下であって、
前記印刷パターン開口幅Ｗは、１０μｍ以上４０μｍ以下である、請求項５又は６に記載のスクリーン印刷版。
【請求項８】
太陽電池用電極配線用途である、請求項４乃至７のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版。
【請求項９】
請求項４乃至８のいずれか一項に記載の前記スクリーン印刷版と、印刷対象物である太陽電池基板と、を用意する工程と、
前記スクリーン印刷版を用いてスクリーン印刷を行って、前記太陽電池基板にフィンガー電極を形成する工程と、
を含む、太陽電池セルの製造方法。