(57)【要約】【課題】複数の液体吐出部の特性ばらつきを抑えつつ、滞留領域の発生を抑制することができる液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、圧力室と、圧力室内における液体の圧力の変動に応じて液体を吐出するノズルと、圧力室に連通し、圧力室からノズルに供給されずに排出される液体が通る個別排出流路と、を各々有する複数の液体吐出部と、複数の液体吐出部が有する複数の個別排出流路に連通し、複数の個別排出流路を通った液体が所定の流入区間において流入する共通排出流路と、流入区間を間に挟む位置で共通排出流路に接続され、共通排出流路から流出する液体がそれぞれ通る一対の流出流路と、圧力室に供給される液体を貯留する液体貯留部と、液体貯留部に連通するとともに、流入区間内で共通排出流路に接続され、液体貯留部から流入した液体を共通排出流路に導くバイパス流路と、を備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
変形に応じて内部に貯留された液体の圧力を変動させる圧力室と、
前記圧力室に連通し、当該圧力室内における液体の圧力の変動に応じて液体を吐出するノズルと、
前記圧力室に連通し、当該圧力室から前記ノズルに供給されずに排出される液体が通る個別排出流路と、
を各々有する複数の液体吐出部と、
前記複数の液体吐出部が有する複数の前記個別排出流路に連通し、当該複数の個別排出流路を通った液体が所定の流入区間において流入する共通排出流路と、
前記流入区間を間に挟む位置で前記共通排出流路に接続され、当該共通排出流路から流出する液体がそれぞれ通る一対の流出流路と、
前記圧力室に供給される液体を貯留する液体貯留部と、
前記液体貯留部に連通するとともに、前記流入区間内で前記共通排出流路に接続され、前記液体貯留部から流入した液体を前記共通排出流路に導くバイパス流路と、
を備える液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記液体貯留部と、前記複数の液体吐出部が有する複数の圧力室と、に連通し、前記液体貯留部から流入した液体を前記複数の圧力室に導く共通供給流路を備え、
前記バイパス流路は、前記共通供給流路と前記共通排出流路とを繋いでおり、前記共通供給流路を介して前記液体貯留部に連通している請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記複数の液体吐出部の各々は、前記圧力室と前記液体貯留部とを繋ぎ、前記液体貯留部から流入した液体を前記圧力室に導く個別供給流路を有し、
前記バイパス流路は、前記液体貯留部と前記共通排出流路とを繋いでいる請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記バイパス流路は、前記一対の流出流路の各々が接続されている位置から前記共通排出流路に沿って等距離にある位置で前記共通排出流路に接続されている請求項１から３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記一対の流出流路の各々は、前記共通排出流路の端部に接続されている請求項１から４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記バイパス流路を複数備える請求項１から５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記バイパス流路は、当該バイパス流路における液体の圧力損失が、前記複数の液体吐出部の前記個別排出流路を通る経路における液体の圧力損失の合計より大きくなるように設けられている請求項１から５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記複数のバイパス流路は、当該複数のバイパス流路における液体の圧力損失の合計が、前記複数の液体吐出部の前記個別排出流路を通る経路における液体の圧力損失の合計より大きくなるように設けられている請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体吐出ヘッドに設けられたノズルからインクなどの液体を吐出させて所望の位置に着弾させることで画像や微小構造などを形成する液体吐出装置がある。液体吐出装置の液体吐出ヘッドとしては、変形に応じて内部に貯留された液体の圧力を変動させる圧力室を有し、当該圧力室内の液体の圧力の変動に応じて、圧力室に連通するノズルから液体を吐出させるものが知られている。このような液体吐出ヘッドでは、圧力室に供給される液体を貯留する液体貯留部が設けられる。
【０００３】
液体吐出ヘッドでは、圧力室に気泡や異物が混入すると、液体に対して正常に圧力が印加されなくなるため、ノズルからの液体の吐出不良に繋がる。このため、従来、圧力室からノズルの開口部までの液体流路から分岐する個別排出流路を圧力室ごとに設け、各圧力室に供給される液体の一部を気泡や異物とともに個別排出流路を介して液体吐出ヘッドの外部に排出させる技術がある。
【０００４】
また、圧力室、ノズル及び個別排出流路を有する液体吐出部が複数設けられている液体吐出ヘッドでは、複数の液体吐出部における複数の個別排出流路を共通排出流路に連通させて、共通排出流路を介して外部に液体を排出させることで、液体の排出流路（個別排出流路及び共通排出流路）の総延長を短くすることができる（例えば、特許文献１、２）。
【０００５】
共通排出流路における液体の排出方向について上流側の端部近傍における袋小路状の区間では、液体が滞留する滞留領域が生じ得る。この滞留領域では、気泡や異物も滞留して集積されたり、溶質が沈降したりすることで液体が異常な状態となりやすく、このような異常な状態の液体が共通排出流路内の液体の流れに乗って排出方向下流側にある液体吐出部に進入すると、液体吐出部の不具合に繋がる。これに対し、共通排出流路の排出方向上流側の端部に、液体貯留部に連通するバイパス流路を設けることで、滞留領域の発生を抑制する技術がある（例えば、特許文献３、４）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２４１１２０号公報
【特許文献２】特開２０１５−１００９８９号公報
【特許文献３】特開２０１８−１４１２号公報
【特許文献４】特開２０１５−３６２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、共通排出流路に排出される液体の流速は、共通排出流路に対する接続位置が排出方向について上流側である液体吐出部ほど小さくなるため、上流側の液体吐出部で気泡や異物を排出する作用が弱くなって複数の液体吐出部の特性ばらつきに繋がる。また、滞留領域の発生を抑制するために排出方向の上流側端部にバイパス流路を設けると、特に上流側端部近傍の液体吐出部から排出される液体の流速が低下するため、液体吐出部の特性ばらつきが拡大しやすい。
このように、上記従来の技術では、複数の液体吐出部の特性ばらつきを抑えつつ、滞留領域の発生を抑制するのが容易でないという課題がある。
【０００８】
この発明の目的は、複数の液体吐出部の特性ばらつきを抑えつつ、滞留領域の発生を抑制することができる液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの発明は、
変形に応じて内部に貯留された液体の圧力を変動させる圧力室と、
前記圧力室に連通し、当該圧力室内における液体の圧力の変動に応じて液体を吐出するノズルと、
前記圧力室に連通し、当該圧力室から前記ノズルに供給されずに排出される液体が通る個別排出流路と、
を各々有する複数の液体吐出部と、
前記複数の液体吐出部が有する複数の前記個別排出流路に連通し、当該複数の個別排出流路を通った液体が所定の流入区間において流入する共通排出流路と、
前記流入区間を間に挟む位置で前記共通排出流路に接続され、当該共通排出流路から流出する液体がそれぞれ通る一対の流出流路と、
前記圧力室に供給される液体を貯留する液体貯留部と、
前記液体貯留部に連通するとともに、前記流入区間内で前記共通排出流路に接続され、前記液体貯留部から流入した液体を前記共通排出流路に導くバイパス流路と、
を備える。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記液体貯留部と、前記複数の液体吐出部が有する複数の圧力室と、に連通し、前記液体貯留部から流入した液体を前記複数の圧力室に導く共通供給流路を備え、
前記バイパス流路は、前記共通供給流路と前記共通排出流路とを繋いでおり、前記共通供給流路を介して前記液体貯留部に連通している。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記複数の液体吐出部の各々は、前記圧力室と前記液体貯留部とを繋ぎ、前記液体貯留部から流入した液体を前記圧力室に導く個別供給流路を有し、
前記バイパス流路は、前記液体貯留部と前記共通排出流路とを繋いでいる。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記バイパス流路は、前記一対の流出流路の各々が接続されている位置から前記共通排出流路に沿って等距離にある位置で前記共通排出流路に接続されている。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記一対の流出流路の各々は、前記共通排出流路の端部に接続されている。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記バイパス流路を複数備える。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、請求項１から５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記バイパス流路は、当該バイパス流路における液体の圧力損失が、前記複数の液体吐出部の前記個別排出流路を通る経路における液体の圧力損失の合計より大きくなるように設けられている。
【００１６】
請求項８に記載の発明は、請求項６に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記複数のバイパス流路は、当該複数のバイパス流路における液体の圧力損失の合計が、前記複数の液体吐出部の前記個別排出流路を通る経路における液体の圧力損失の合計より大きくなるように設けられている。
【００１７】
また、上記目的を達成するため、請求項９に記載の液体吐出装置の発明は、
請求項１から８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドを備える。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に従うと、複数の液体吐出部の特性ばらつきを抑えつつ、滞留領域の発生を抑制することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１の実施形態のインクジェット記録装置の構成を示す図である。
【図２】インクジェットヘッドの構成を示す斜視図である。
【図３】インクジェットヘッドの構成を示す断面図である。
【図４】ヘッドチップを上側から見た平面図である。
【図５】ヘッドチップのうち一のインク吐出部を含む部分の断面図である。
【図６】インク循環機構の構成を示す模式図である。
【図７】実施形態の効果を確認するためのシミュレーションの結果を示す図である。
【図８】第２の実施形態のインクジェットヘッドの構成を示す断面図である。
【図９】第２の実施形態のヘッドチップを上側から見た平面図である。
【図１０】第２の実施形態のヘッドチップのうち一のインク吐出部を含む部分の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に係る実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
（第１の実施形態）
図１は、本発明に係る第１の実施形態のインクジェット記録装置１００の構成を示す図である。
インクジェット記録装置１００（液体吐出装置）は、搬送ベルト１０１、搬送ローラー１０２、ヘッドユニット１０３などを備える。
【００２２】
搬送ローラー１０２は、図示しない搬送モーターの駆動によって、図１のＸ方向に平行な回転軸を中心に回転する。搬送ベルト１０１は、一対の搬送ローラー１０２により内側が支持された輪状のベルトであり、搬送ローラー１０２が回転動作するのに従って一対の搬送ローラー１０２の回りを周回移動する。インクジェット記録装置１００は、搬送ベルト１０１上に記録媒体Ｍが載置された状態で、搬送ローラー１０２の回転速度に応じた速度で搬送ベルト１０１が周回移動することで記録媒体Ｍを搬送ベルト１０１の移動方向（図１のＹ方向）に搬送する搬送動作を行う。
【００２３】
ヘッドユニット１０３は、搬送ベルト１０１により搬送される記録媒体Ｍに対して画像データに基づいてノズルからインク（液体）を吐出して記録媒体Ｍ上に画像を記録する。本実施形態のインクジェット記録装置１００では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の４色のインクにそれぞれ対応する４つのヘッドユニット１０３が記録媒体Ｍの搬送方向上流側から順に所定の間隔で並ぶように配列されている。
【００２４】
各ヘッドユニット１０３は、平板状の基部１０３ａと、当該基部１０３ａを貫通する孔部に篏合した状態で基部１０３ａに固定された複数の（ここでは７つの）インクジェットヘッド１（液体吐出ヘッド）とを有する。
【００２５】
インクジェットヘッド１では、インクを吐出する複数のノズルＮが記録媒体Ｍの搬送方向と交差する方向（本実施形態では搬送方向と直交する幅方向、すなわちＸ方向）に配列されている。また、各インクジェットヘッド１では、Ｘ方向に一次元配列されたノズルＮからなるノズル列が複数（本実施形態では、４列）設けられており（図２（ｂ）参照）、当該複数のノズル列は、ノズルＮの位置が互いにＸ方向にずれる位置関係で設けられている。
インクジェットヘッド１には、各ノズルＮに対応して、ノズルＮからインクを吐出させるための機構であるインク吐出部７（チャネル、液体吐出部）（図５参照）が設けられている。インク吐出部７の詳細な構成については後述する。
【００２６】
各ヘッドユニット１０３における複数のインクジェットヘッド１は、ノズルＮのＸ方向についての配置範囲が、搬送ベルト１０１上の記録媒体Ｍのうち画像が記録可能な領域のＸ方向についての幅をカバーするように千鳥格子状に配置されている。このようにインクジェットヘッド１が配置されることで、インクジェット記録装置１００では、ヘッドユニット１０３を固定した状態でインクジェットヘッド１から画像データに応じた適切なタイミングでインクを吐出することにより、搬送される記録媒体Ｍ上に画像を記録することができる。すなわち、インクジェット記録装置１００は、シングルパス方式で画像を記録する。
【００２７】
図２は、インクジェットヘッド１の構成を示す斜視図である。図２（ａ）は、インクジェットヘッド１を上側（＋Ｚ方向側）から見た斜視図であり、図２（ｂ）は、インクジェットヘッド１を下側（−Ｚ方向側）から見た斜視図である。
インクジェットヘッド１は、ノズルＮが設けられているヘッドチップ２と、ヘッドチップ２に供給されるインクやヘッドチップ２から排出されたインクを一時的に貯留するインク貯留室３と、ヘッドチップ２に電気的に接続された配線を有する配線部材４と、ヘッドチップ２及びインク貯留室３の間に設けられてヘッドチップ２を保持する保持部材５などを備える。
【００２８】
ヘッドチップ２は、インク貯留室３の供給マニホールド３ａ（液体貯留部）から供給されたインクをノズルＮから吐出する。また、ヘッドチップ２には、供給されたインクの一部をインク貯留室３の排出液室３ｂに排出させるためのインク排出流路が設けられている。
【００２９】
インク貯留室３は、ヘッドチップ２のインク吐出部７に供給されるインクを貯留する供給マニホールド３ａと、ヘッドチップ２から排出されたインクを貯留する排出液室３ｂと、外部から供給マニホールド３ａに供給されるインクが流入するインレット３０１と、排出液室３ｂから外部へ排出されるインクが流出するアウトレット３０２などを備える。
【００３０】
図３は、インクジェットヘッド１の構成を示す断面図である。
図３（ａ）は、インク貯留室３のＺ方向に垂直な断面を示す断面図である。図３（ａ）に示されるように、供給マニホールド３ａは、インク貯留室３の前面（＋Ｙ方向側の面）の一部に沿って設けられている。また、排出液室３ｂは、供給マニホールド３ａの側面及び後面を囲むように一繋がりに設けられている。
【００３１】
図３（ｂ）は、インクジェットヘッド１のＹ方向に垂直な断面を示す断面図である。より詳しくは、図３（ｂ）は、供給マニホールド３ａからヘッドチップ２へのインクの供給経路を含む位置での断面図である。図３（ｂ）では、インクの流動方向が矢印で示されている。
図３（ｂ）に示されるように、ヘッドチップ２は、下側から順にノズル基板１０、共通流路基板２０、中間基板３０、圧力室基板４０、スペーサー基板５０及び配線基板６０が積層された構造を有している。このうち共通流路基板２０には、複数のノズルＮに対応する複数のインク吐出部７（図３（ｂ）では不図示）に対して共通にインクを供給するための共通供給流路２２がＸ方向に沿って設けられている。この共通供給流路２２は、ノズル列ごとに設けられている。また、各共通供給流路２２は、Ｘ方向の両端近傍の位置で、それぞれ供給連通路２ａを介して供給マニホールド３ａに連通しており、供給マニホールド３ａからこれらの一対の供給連通路２ａを介して共通供給流路２２にインクが供給される。供給連通路２ａは、供給マニホールド３ａから配線基板６０、スペーサー基板５０、圧力室基板４０及び中間基板３０をＺ方向に貫通する形状で設けられている。
【００３２】
図３（ｃ）は、インクジェットヘッド１のＹ方向に垂直な断面であって、図３（ｂ）とは異なる断面を示す断面図である。より詳しくは、図３（ｃ）は、ヘッドチップ２から排出液室３ｂへのインクの排出経路を含む位置での断面図である。図３（ｃ）では、インクの流動方向（インクの排出方向）が矢印で示されている。
ヘッドチップ２の共通流路基板２０には、複数のノズルＮに対応する複数のインク吐出部７（図３（ｃ）では不図示）から排出されたインクが流入する共通排出流路２３がＸ方向に沿って設けられている。この共通排出流路２３は、ノズル列ごとに設けられている。また、各共通排出流路２３は、Ｘ方向の両端近傍の位置で、一対の流出流路２ｂを介して排出液室３ｂに連通しており、共通排出流路２３からこれらの一対の流出流路２ｂにそれぞれ流出したインクが排出液室３ｂに導かれる。流出流路２ｂは、排出液室３ｂから配線基板６０、スペーサー基板５０、圧力室基板４０及び中間基板３０をＺ方向に貫通する形状で設けられている。
【００３３】
図３（ｂ）及び図３（ｃ）に示されているインクの流れは、インクジェット記録装置１００が有するインク循環機構９（図６参照）により発生させることができる。インク循環機構９の構成については、後述する。
【００３４】
図４は、ヘッドチップ２を上側から見た平面図である。図４では、ヘッドチップ２の内部に形成されている共通供給流路２２、共通排出流路２３及び複数のインク吐出部７が破線で描かれている。図４では、インク吐出部７の構成要素のうち、個別供給流路７ａ、圧力室４２及びノズルＮが描かれている。図４におけるＡ−Ａ線での断面図が図３（ｂ）に相当し、Ｂ−Ｂ線での断面図が図３（ｃ）に相当する。
【００３５】
ヘッドチップ２には、４つの共通供給流路２２と４つの共通排出流路２３とがＹ方向について交互に設けられている。また、ヘッドチップ２の上面には、各共通供給流路２２の両端近傍に対応する位置にそれぞれ供給連通路２ａの開口部が設けられ、共通排出流路２３の両端近傍に対応する位置にそれぞれ流出流路２ｂの開口部が設けられている。
【００３６】
共通供給流路２２には、各インク吐出部７の個別供給流路７ａが接続されており、この個別供給流路７ａは、圧力室４２に連通している。したがって、共通供給流路２２は、供給連通路２ａを介して供給マニホールド３ａに連通するとともに、個別供給流路７ａを介して圧力室４２に連通しており、供給マニホールド３ａから流入したインクを複数のインク吐出部７における複数の圧力室４２に導く。
【００３７】
圧力室４２は、変形に応じて内部に貯留されたインクの圧力を変動させる。また、圧力室４２は、ノズルＮに連通しており、圧力室４２内におけるインクの圧力の変動に応じてノズルＮからインクが吐出される。
圧力室４２に供給されたインクの一部は、ノズルＮから吐出されずに、各インク吐出部７が有する個別排出流路１２（図５参照）を介して共通排出流路２３に排出される。
以下では、各共通排出流路２３における、複数のインク吐出部７の個別排出流路１２からインクが流入する区間を、流入区間２３ａと記す。
【００３８】
一対の流出流路２ｂは、流入区間２３ａを間に挟む位置でそれぞれ共通排出流路２３に接続されている。ここで、流出流路２ｂを共通排出流路２３のＸ方向についての端部の接続することで、意図しない乱流を生じさせずにインクを円滑に流出流路２ｂに導くことができる。ただし、流出流路２ｂの接続位置は、必ずしも共通排出流路２３のＸ方向についての端部でなくても良い。流出流路２ｂが共通排出流路２３の端部以外の位置に接続される場合には、流出流路２ｂの接続位置から共通排出流路２３の端部までの区間が袋小路状となってインクが滞留する滞留領域（止水領域）が生じ得るが、この区間はインクの排出方向について下流側であるため、当該滞留領域に気泡や異物が集積されて滞留したり、溶質が沈降したりすることでインクが異常な状態となっても、当該異常な状態のインクがインク吐出部７側に逆流することはなく、インク吐出部７の特性劣化などの問題には繋がらない。
【００３９】
また、同一のノズル列に対応する共通供給流路２２と共通排出流路２３とは、共通流路基板２０に設けられたバイパス流路２ｃにより接続されている。バイパス流路２ｃは、共通供給流路２２及び供給連通路２ａを介して供給マニホールド３ａに連通するとともに、流入区間２３ａ内で共通排出流路２３に接続されており、供給マニホールド３ａから流入したインクの一部を共通排出流路２３に導く。より詳しくは、バイパス流路２ｃは、流入区間２３ａのうち、共通排出流路２３における一対の流出流路２ｂの各接続位置から当該共通排出流路２３に沿って等距離となる位置で共通排出流路２３に接続されている。すなわち、バイパス流路２ｃは、共通排出流路２３のＸ方向についての中央位置に接続されている。
共通排出流路２３のうち一対の流出流路２ｂの中間位置では、インクが滞留する滞留領域が生じやすいが、このようにバイパス流路２ｃが設けられていることにより、共通供給流路２２からバイパス流路２ｃを介して共通排出流路２３に流入するインクの流れが生じるため、滞留領域の発生を抑制することができる。
なお、バイパス流路２ｃは、一対の共通供給流路２２及び共通排出流路２３について複数設けられていても良い。
【００４０】
図５は、ヘッドチップ２のうち一のインク吐出部７を含む部分の断面図である。
インク吐出部７は、個別供給流路７ａからノズルＮに至るインク流路の途中に圧力室４２を有し、圧電素子５２の変形に応じて圧力室４２の上壁面をなす振動板４３が弾性変形することで圧力室４２内のインクをノズルＮから吐出させる。また、インク吐出部７は、ノズルＮから吐出されなかったインクの一部を共通排出流路２３に導く個別排出流路１２を有する。
【００４１】
ノズル基板１０には、ノズルＮと、ノズルＮに連通しノズルＮよりも径の大きな大径部１１と、大径部１１から分岐して設けられインクの排出に使用される個別排出流路１２と、が形成されている。
ノズル基板１０は、ＳＯＩ基板を異方性エッチングにより高精度に加工することで形成されたものである。
【００４２】
共通流路基板２０には、大径部２１と、上述の共通供給流路２２及び共通排出流路２３とが形成されている。また、共通流路基板２０には、図５に示される断面とは異なる位置で、共通供給流路２２及び共通排出流路２３とを繋ぐバイパス流路２ｃが形成されている。共通流路基板２０は、例えばシリコン基板からなる。
大径部２１は、ノズル基板１０の大径部１１と同径の貫通孔であり、大径部１１と重なる位置に設けられて大径部１１に連通している。
【００４３】
共通供給流路２２は、共通流路基板２０の下面側から形成された溝であり、下面側の開口がノズル基板１０で封止されることで流路をなしている。
また、共通流路基板２０のうち共通供給流路２２の上部に相当する部分は、ダンパー２４を構成している。ダンパー２４は、共通供給流路２２と、ダンパー２４の上部に設けられた空気室３２との圧力差に応じて弾性変形することで、共通供給流路２２の急激な圧力変動を抑制する。
また、ダンパー２４の一部には、個別供給流路７ａの一部を構成する貫通孔２６が設けられている。
【００４４】
共通排出流路２３は、個別排出流路１２の一部と重なる範囲において、共通流路基板２０の下面側から設けられた溝であり、下面側の開口の一部がノズル基板１０で封止されることで流路をなすとともに、個別排出流路１２と重なる部分において個別排出流路１２に連通している。個別排出流路１２及び共通排出流路２３と、上述の流出流路２ｂと、によってインク排出流路が構成される。
また、共通流路基板２０のうち共通排出流路２３の上部に相当する部分は、ダンパー２５を構成している。ダンパー２５は、共通排出流路２３と、ダンパー２５の上部に設けられた空気室３３との圧力差に応じて弾性変形することで、共通排出流路２３を含むインク排出流路の急激な圧力変動を抑制する。
【００４５】
中間基板３０には、大径部２１と重なる位置でＺ方向に貫通する連通孔３１と、ダンパー２４の上部に設けられた凹部からなる空気室３２と、ダンパー２５の上部に設けられた凹部からなる空気室３３と、貫通孔２６と重なる位置でＺ方向に貫通する貫通孔３４と、が形成されている。中間基板３０は、例えばガラス基板からなる。
連通孔３１は、インクが通過する経路の径を絞る形状となっており、インクの吐出においてインクに加えられる運動エネルギーを調整するように形成されている。
貫通孔３４は、貫通孔２６とともに個別供給流路７ａを構成する。
【００４６】
圧力室基板４０は、圧力室層４１及び振動板４３からなる。圧力室層４１は、例えばシリコン基板である。
圧力室４２は、圧力室層４１に設けられた貫通孔により形成された空間である。圧力室４２は、−Ｙ方向端部の下部において個別供給流路７ａに連通しているとともに、＋Ｙ方向端部の下部において連通孔３１に連通しており、個別供給流路７ａから供給されたインクをノズルＮに向けて送出する。
振動板４３は、圧力室４２の上部開口を覆うように圧力室層４１に積層され、圧力室４２の上壁面を構成している。振動板４３の表面には、酸化膜が形成されている。
【００４７】
スペーサー基板５０は、例えば４２アロイにより構成された基板であり、振動板４３と配線基板６０との間に、圧電素子５２等を収容するための空間５１を形成する隔壁層である。
圧電素子５２は、Ｚ方向から見て圧力室４２と略同一の形状で形成され、圧力室４２と重なる位置で振動板４３上に固着されている。圧電素子５２は、振動板４３を変形させるためのＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなるアクチュエーターである。また、圧電素子５２には、上面及び下面にそれぞれ電極５２１、５２２が設けられており、このうち下面側の電極５２２が振動板４３に固着されている。
【００４８】
配線基板６０は、シリコン製の基板であるインターポーザー６１と、保護層６９とを備えている。インターポーザー６１の下面は、二層の酸化ケイ素の絶縁層６２、６３で被覆され、上面は、同じく酸化ケイ素の絶縁層６４で被覆されている。そして、絶縁層６２、６３のうち下方に位置する絶縁層６３が、スペーサー基板５０の上面に積層されている。
インターポーザー６１には、Ｚ方向に貫通するスルーホール６１１が形成されており、このスルーホール６１１には、貫通電極６５が設けられている。貫通電極６５の下端には、水平方向に延在する配線６６の一端が接続されている。
この配線６６の他端は、接続部６７を介して圧電素子５２上面の電極５２１に電気的に接続されている。接続部６７は、配線６６の下面に設けられたスタッドバンプ６７１と、スタッドバンプ６７１の下端側に塗布されて形成された導電性材料６７２とからなる。スタッドバンプ６７１は、例えば、金を材料としたワイヤーボンディングにより形成される。また、導電性材料６７２としては、各種の導電性接着剤や半田を用いることができる。
また、貫通電極６５の上端には、個別配線６８が接続されている。個別配線６８は、水平方向に延在し、配線部材４（図２）に接続されている。配線部材４は、図示しない駆動回路と個別配線６８とを電気的に接続しており、当該駆動回路から、配線部材４及び個別配線６８を介して圧電素子５２上の電極５２１に駆動信号が供給されることで、圧電素子５２が変形する。
保護層６９は、保持部材５に接着される感光性樹脂層であるとともに、個別配線６８を保護する層であり、個別配線６８を覆いつつ、インターポーザー６１の絶縁層６４の上面に積層されている。
【００４９】
次に、インクジェットヘッド１内においてインクを還流させて排出させるためのインク循環機構９の構成について説明する。
図６は、インク循環機構９の構成を示す模式図である。
インク循環機構９は、供給用サブタンク９１、還流用サブタンク９２及びメインタンク９３などを備える。
【００５０】
供給用サブタンク９１は、インク貯留室３の供給マニホールド３ａに供給されるインクを貯留する。供給用サブタンク９１は、インク流路９４によってインレット３０１に接続されている。
還流用サブタンク９２は、インク流路９５によってアウトレット３０２に接続されており、インク貯留室３の排出液室３ｂから排出されたインクを貯留する。
供給用サブタンク９１及び還流用サブタンク９２は、インク流路９６で接続されている。そして、インク流路９６に設けられたポンプ９８により、還流用サブタンク９２から供給用サブタンク９１にインクを戻すことができるようになっている。
メインタンク９３は、供給用サブタンク９１に供給されるインクを貯留する。メインタンク９３は、インク流路９７によって供給用サブタンク９１に接続されている。また、インク流路９７に設けられたポンプ９９により、メインタンク９３から供給用サブタンク９１にインクが供給される。
【００５１】
供給用サブタンク９１は、その液面が、ヘッドチップ２のインク吐出面（以下、「位置基準面」とも記す）より高くなる位置に設けられ、還流用サブタンク９２の液面は、その液面が位置基準面より低くなる位置に設けられている。よって、位置基準面と供給用サブタンク９１との水頭差による圧力Ｐ１と、位置基準面と還流用サブタンク９２との水頭差による圧力Ｐ２が生じている。この結果、インレット３０１におけるインクの圧力がアウトレット３０２におけるインクの圧力よりも高くなっている。この圧力差により、インレット３０１から供給マニホールド３ａ、供給連通路２ａ、共通供給流路２２、インク吐出部７、共通排出流路２３、流出流路２ｂ、排出液室３ｂを経てアウトレット３０２に向かうインクの流れが生じ、インク吐出部７へのインク供給、及びインク吐出部７からのインクの排出（還流）がなされるようになっている。また、当該圧力差により、共通供給流路２２からバイパス流路２ｃを通って共通排出流路２３に向かうインクの流れが生じる。また、各サブタンク内のインク量や、各サブタンクの鉛直方向の位置を変更することで、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２を調整することができ、これによりインクの流速を調整することができる。
【００５２】
また、インレット３０１及びアウトレット３０２の圧力差により、共通排出流路２３に対する、バイパス流路２ｃからの単位時間当たりのインクの流入量（以下では、バイパス流量と記す）と、複数のインク吐出部７からの単位時間当たりのインクの流入量（以下では、総排出流量と記す）との合計が定まる。ここで、バイパス流量と総排出流量との大小関係は、バイパス流路２ｃにおけるインクの圧力損失（以下では、バイパス圧力損失と記す）と、複数のインク吐出部７の個別排出流路１２を通る経路におけるインクの圧力損失の合計（以下では、総排出圧力損失と記す）との大小関係によって定まる。具体的には、バイパス圧力損失が総排出圧力損失より小さい場合には、バイパス流量が総排出流量より大きくなり、バイパス圧力損失が総排出圧力損失より大きい場合には、バイパス流量が総排出流量より小さくなる。本実施形態では、インク吐出部７からの総排出流量を十分に確保するために、バイパス圧力損失が総排出圧力損失より大きくなるようにバイパス流路２ｃが設けられている。
なお、一組の共通供給流路２２及び共通排出流路２３に対して複数のバイパス流路２ｃが設けられている場合には、複数のバイパス流路２ｃにおけるインクの圧力損失の合計が、総排出圧力損失より大きくなるように各バイパス流路２ｃを設ければ良い。
【００５３】
バイパス圧力損失及び総排出圧力損失の大小関係の調整方法は、特には限られないが、例えばバイパス流路２ｃの断面積を小さくしたり、途中に絞り部を設けたり、長さを増大させたりすることで、バイパス圧力損失を相対的に増大させることができる。また、インク吐出部７内のインクの経路の断面積や、個別排出流路１２と共通排出流路２３との接続部の断面積（平面視で個別排出流路１２と共通排出流路２３とが重なる面積）を大きくして総排出圧力損失を減少させることで、相対的にバイパス圧力損失を増大させても良い。
【００５４】
また、共通排出流路２３の断面積を大きくするほど、共通排出流路２３におけるインクの圧力損失が低下するため、共通排出流路２３のインクの排出方向について上流側に接続されるインク吐出部７からのインクの排出速度（及び単位時間当たりの排出流量）の低下を抑えることができる。これにより、複数のインク吐出部７におけるインクの排出速度（及び排出流量）のばらつきを抑えることができる。
【００５５】
次に、本実施形態の構成による効果について説明する。
図７（ａ）〜図７（ｃ）は、本実施形態の効果を確認するためのシミュレーションの結果を示す図である。
図７（ａ）〜図７（ｃ）の横軸とされているチャネル番号は、シミュレーションの対象のノズル列におけるノズルＮの配列番号（すなわち、インク吐出部７のＸ方向についての配列番号）である。ここでは、一のノズル列に２５０個のノズルＮが含まれている例を用いて説明する。
【００５６】
図７（ａ）の曲線ａ１〜ａ３は、各インク吐出部７（チャネル）から排出されるインクのチャネル内での流速（より詳しくは、ノズルＮ直上の大径部１１内での流速）のシミュレーション結果を示している。
図７（ｂ）の曲線ｂ１〜ｂ３は、各インク吐出部７のノズルＮの直上位置（大径部１１内）におけるインクの圧力のシミュレーション結果を示している。
図７（ｃ）の曲線ｃ１〜ｃ３は、共通排出流路２３における各インク吐出部７の位置での単位時間当たりのインク流量のシミュレーション結果を示している。
これらのうち曲線ａ１、ｂ１、ｃ１は、共通排出流路２３の一方の端部に流出流路２ｂを設け、他方の端部にバイパス流路２ｃを設けた従来の構成（以下、比較例と記す）におけるシミュレーション結果を示す比較例である。
また、曲線ａ２、ｂ２、ｃ２は、本実施形態の構成、すなわち共通排出流路２３の両端に一対の流出流路２ｂが設けられ、共通排出流路２３の中央にバイパス流路２ｃが接続されている構成におけるシミュレーション結果を示している。
また、曲線ａ３、ｂ３、ｃ３は、本実施形態の構成からさらに共通排出流路２３の断面積を２倍にした構成におけるシミュレーション結果を示している。
【００５７】
図７（ａ）の曲線ａ１に示されるように、比較例の構成では、流出流路２ｂからの距離が増大するに従って、共通排出流路２３内におけるインクの圧力損失によりチャネル内流速が単調減少するため、チャネル内流速の最大差（チャネル内流速の分布における最大値と最小値との差分）が約０．００４［ｍ／ｓ］と大きくなっている。
これに対し、本実施形態の構成のように共通排出流路２３の両端に流出流路２ｂを設けることで、曲線ａ２に示されるように、チャネル内流速が単調減少（単調増加）する範囲が比較例の半分に抑えられる。この結果、チャネル内流速の最大差が、比較例の約２／３（０．００２６［ｍ／ｓ］）に抑えられる。
さらに、曲線ａ３に示されるように、共通排出流路２３の断面積を２倍に増大させることで、共通排出流路２３における圧力損失が低減される結果、排出方向下流側（ノズル列の中央付近）のチャネルにおけるチャネル内流速の落ち込みが抑えられる。これにより、チャネル内流速の最大差が、比較例の約１／４（０．００１［ｍ／ｓ］）に抑えられている。
【００５８】
また、図７（ｂ）における曲線ｂ１〜ｂ３に示されるように、ノズル直上圧力の分布についても、比較例の構成では最大差が最も大きくなり（曲線ｂ１）、本実施形態のように共通排出流路２３の両端からインクを排出させる構成とすることによりノズル直上圧力の分布における最大差を低減することができる（曲線ｂ２）。また、共通排出流路２３の断面積を増大させることで、ノズル直上圧力の分布における最大差をさらに低減することができる（曲線ｂ３）。
【００５９】
また、図７（ｃ）における曲線ｃ１〜ｃ３に示されるように、共通排出流路２３内の流量の分布についても、比較例の構成では最大差が最も大きくなり（曲線ｃ１）、本実施形態の構成とすることにより流量の分布における最大差を低減することができる（曲線ｃ２）。また、共通排出流路２３の断面積を増大させることで、共通排出流路２３の各位置でのインクの流量、したがって各インク吐出部７からのインクの排出流量を底上げして、より効果的にインク吐出部７から気泡や異物を排出させることができる（曲線ｃ３）。
【００６０】
以上のように、本実施形態の液体吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド１は、変形に応じて内部に貯留された液体の圧力を変動させる圧力室４２と、圧力室４２に連通し、当該圧力室４２内における液体の圧力の変動に応じて液体を吐出するノズルＮと、圧力室４２に連通し、当該圧力室４２からノズルＮに供給されずに排出される液体が通る個別排出流路１２と、を各々有する複数のインク吐出部７と、複数のインク吐出部７が有する複数の個別排出流路１２に連通し、当該複数の個別排出流路１２を通った液体が流入区間２３ａにおいて流入する共通排出流路２３と、流入区間２３ａを間に挟む位置で共通排出流路２３に接続され、当該共通排出流路２３から流出する液体がそれぞれ通る一対の流出流路２ｂと、圧力室４２に供給される液体を貯留する供給マニホールド３ａと、供給マニホールド３ａに連通するとともに、流入区間２３ａ内で共通排出流路２３に接続され、供給マニホールド３ａから流入した液体を共通排出流路２３に導くバイパス流路２ｃと、を備える。
このような構成によれば、複数のインク吐出部７から共通排出流路２３に流入したインクを、流入区間２３ａの両側で流出流路２ｂから排出させることができる。これにより、複数のインク吐出部７の各々から共通排出流路２３に排出されるインクの流速（チャネル内流速）は、インク吐出部７の共通排出流路２３に沿った位置に応じて、流入区間２３ａの一方の端部側から一対の流出流路２ｂの中間位置にかけて単調減少するものの、当該中間位置から他方側の端部にかけて単調増加する。よって、流入区間２３ａの片側のみからインクを排出させる従来の構成と比較して、共通排出流路２３におけるインクの圧力損失によってチャネル内流速が単調減少する区間を半減させることができる。この結果、複数のインク吐出部７のチャネル内流速の分布における流速の最大差を低減させることができるため、複数のインク吐出部７の各々における気泡や異物を排出する作用を均等に近付けることができ、複数のインク吐出部７の特性ばらつきを抑えることができる。
また、一対の流出流路２ｂを設けると、当該一対の流出流路２ｂの間（特に、中間位置）で、インクが滞留する滞留領域が発生しやすいが、流入区間２３ａ内にバイパス流路２ｃを接続することにより、供給マニホールド３ａからバイパス流路２ｃを介して共通排出流路２３に流入するインクの流れが生じるため、滞留領域の発生を抑制することができる。
【００６１】
また、インクジェットヘッド１は、供給マニホールド３ａと、複数のインク吐出部７が有する複数の圧力室４２と、に連通し、供給マニホールド３ａから流入した液体を複数の圧力室４２に導く共通供給流路２２を備え、バイパス流路２ｃは、共通供給流路２２と共通排出流路２３とを繋いでおり、共通供給流路２２を介して供給マニホールド３ａに連通している。
このような構成によれば、供給マニホールド３ａから共通供給流路２２を介して複数のインク吐出部７にインクを供給する構成のインクジェットヘッド１において、複数のインク吐出部７の特性ばらつきを抑えつつ、滞留領域の発生を抑制することができる。また、このように供給マニホールド３ａから一旦共通供給流路２２にインクが供給される構成とすることで、供給マニホールド３ａから当該供給マニホールド３ａの外部へのインクの供給経路を最小限に抑えることができる。よって、供給マニホールド３ａに隣接する構成部材（上記実施形態では、ヘッドチップ２の配線基板６０）がインクと接触する面積を低減させることができるため、当該構成部材におけるインクとの接触に起因する不具合の発生を抑制することができる。
【００６２】
また、バイパス流路２ｃは、一対の流出流路２ｂの各々が接続されている位置から共通排出流路２３に沿って等距離にある位置で共通排出流路２３に接続されている。このような構成によれば、最も滞留領域が生じやすい位置にバイパス流路２ｃが接続されて、バイパス流路２ｃからのインクの流れを発生させることができるため、より効果的に滞留領域の発生を抑制することができる。
【００６３】
また、一対の流出流路２ｂの各々は、共通排出流路２３の端部に接続されている。このような構成によれば、共通排出流路２３の端部近傍における滞留領域の発生を抑制することができる。
【００６４】
また、バイパス流路２ｃを複数備える構成とすることで、流入区間２３ａにおけるより広い範囲においてバイパス流路２ｃからのインクの流れを発生させることができるため、より効果的に滞留領域の発生を抑制することができる。
【００６５】
また、バイパス流路２ｃは、当該バイパス流路２ｃにおけるインクの圧力損失が、複数のインク吐出部７の個別排出流路１２を通る経路におけるインクの圧力損失の合計より大きくなるように設けられている。これにより、複数の個別排出流路１２から共通排出流路２３への単位時間当たりのインクの流入量を、バイパス流路２ｃから共通排出流路２３への単位時間当たりのインクの流入量より大きくすることができる。よって、より効率良くインク吐出部７から気泡や異物を排出させることができる。
【００６６】
また、バイパス流路２ｃが複数設けられている場合には、複数のバイパス流路２ｃは、当該複数のバイパス流路２ｃにおけるインクの圧力損失の合計が、複数のインク吐出部７の個別排出流路１２を通る経路におけるインクの圧力損失の合計よりも大きくなるように設けられる。これにより、複数の個別排出流路１２から共通排出流路２３への単位時間当たりのインクの流入量を、複数のバイパス流路２ｃから共通排出流路２３への単位時間当たりのインクの流入量より大きくすることができる。よって、より効率良くインク吐出部７から気泡や異物を排出させることができる。
【００６７】
また、本実施形態の液体吐出装置としてのインクジェット記録装置１００は、上記インクジェットヘッド１を備えるため、複数のインク吐出部７の特性ばらつきに起因する記録画像の画質の低下を抑えることができる。
【００６８】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。本実施形態は、ヘッドチップ２の構成の一部が第１の実施形態と異なる。以下では、第１の実施形態との相違点を中心に説明する。
【００６９】
図８は、第２の実施形態のインクジェットヘッド１の構成を示す断面図である。
図８（ａ）は、インク貯留室３のＺ方向に垂直な断面を示す断面図である。また、図８（ｂ）は、ヘッドチップ２から排出液室３ｂへのインクの排出経路を含む位置での断面図である。
本実施形態のインクジェットヘッド１では、供給マニホールド３ａと共通排出流路２３とがバイパス流路２ｃによって直接繋げられている。バイパス流路２ｃは、ヘッドチップ２（配線基板６０）の上面に開口部を有し、配線基板６０、スペーサー基板５０、圧力室基板４０及び中間基板３０をＺ方向に貫通する形状で設けられている。
また、供給マニホールド３ａは、下面が開放されており、ヘッドチップ２の上面全体に供給マニホールド３ａ内のインクが接触している。
【００７０】
図９は、第２の実施形態のヘッドチップ２を上側から見た平面図である。図９におけるＣ−Ｃ線での断面図が図８（ｂ）に相当する。
本実施形態のヘッドチップ２では、共通供給流路２２が設けられておらず、各インク吐出部７の個別供給流路７ａが、ヘッドチップ２の上面まで延設されて、当該上面に開口部を形成している。上述のとおり、ヘッドチップ２の上面には供給マニホールド３ａ内のインクが接触しているため、当該インクが個別供給流路７ａの開口部から流入してインク吐出部７内の圧力室４２に導かれる。
【００７１】
また、ヘッドチップ２の上面には、平面視で共通排出流路２３の一部と重なる位置にバイパス流路２ｃの開口部が設けられている。バイパス流路２ｃは、当該開口部から下方に伸びて共通排出流路２３に連通している。
また、本実施形態のヘッドチップ２では、共通供給流路２２が設けられないことで、共通排出流路２３の幅を、第１の実施形態（図４）の約２倍とすることができる。したがって、チャネル内流速の分布、ノズル直上圧力の分布、及び共通排出流路２３内の流速分布は、それぞれ図７（ａ）の曲線ａ３、図７（ｂ）の曲線ｂ３、図７（ｃ）の曲線ｃ３に示される分布となる。
【００７２】
図１０は、第２の実施形態のヘッドチップ２のうち一のインク吐出部７を含む部分の断面図である。本実施形態のインク吐出部７は、ヘッドチップ２の上面（配線基板６０の上面）に開口部を有する個別供給流路７ａからノズルＮに至るインク流路を有し、当該インク流路の途中に設けられた圧力室４２内のインクの圧力変化に応じて圧力室４２内のインクをノズルＮから吐出させる。
【００７３】
本実施形態の共通流路基板２０には、大径部２１及び共通排出流路２３が形成されており、共通供給流路２２は形成されていない。これにより、共通流路基板２０における共通排出流路２３のＹ方向の幅を大きく取ることができる。
また、中間基板３０には、連通孔３１、及び共通排出流路２３上の空気室３３のみが形成されている。
また、振動板４３、スペーサー基板５０、インターポーザー６１、保護層６９に、互いに重なる位置にそれぞれ貫通孔４３１、５３、６１２、６９１が設けられており、これらの貫通孔４３１、５３、６１２、６９１により個別供給流路７ａが構成されている。
【００７４】
以上のように、本実施形態に係る液体吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド１では、複数のインク吐出部７の各々は、圧力室４２と供給マニホールド３ａとを繋ぎ、供給マニホールド３ａから流入した液体を圧力室４２に導く個別供給流路７ａを有し、バイパス流路２ｃは、供給マニホールド３ａと共通排出流路２３とを繋いでいる。このような構成によれば、供給マニホールド３ａからインク吐出部７に直接インクを供給する構成のインクジェットヘッド１において、複数のインク吐出部７の特性ばらつきを抑えつつ、滞留領域の発生を抑制することができる。また、このような構成とすることで、共通供給流路２２を省略することができるため、共通排出流路２３の幅（断面積）を大きく確保することができる。これにより、共通排出流路２３におけるインクの圧力損失を低減することができるため、圧力損失によるチャネル内流速の低減幅を抑えることができ、複数のインク吐出部７の特性ばらつきをより効果的に抑えることができる。
【００７５】
なお、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。
例えば、上記実施形態では、一のノズル列に対して共通供給流路２２及び共通排出流路２３が一つずつ設けられる例を用いて説明したが、これに限られず、共通供給流路２２及び共通排出流路２３が、複数のノズル列に対して一つずつ設けられても良い。
また、共通供給流路２２及び共通排出流路２３は、Ｘ方向に直線状に伸びる形状に限られず、途中で屈曲していても良い。
【００７６】
また、上記実施形態では、圧力室４２からノズルＮに至るインク流路のうちノズルＮの直上の位置で個別排出流路１２が分岐する例を用いて説明したが、これに限られず、個別排出流路１２は、圧力室４２からノズルＮまでのインク流路の任意の位置から分岐させることができる。
【００７７】
また、共通供給流路２２、共通排出流路２３及び個別排出流路１２は、上記実施形態とは異なる基板に設けられても良い。
例えば、第１の実施形態において、共通供給流路２２と共通排出流路２３とを別個の基板に（すなわち、異なる層に）設けても良い。また、ノズル基板１０にノズルＮのみを形成し、ノズル基板１０と共通流路基板２０との間に、個別排出流路１２を形成した基板をさらに設けても良い。
【００７８】
また、上記実施形態では、一対の流出流路２ｂから等距離の位置にバイパス流路２ｃを設ける例を挙げて説明したが、これに限られず、バイパス流路２ｃは、例えば流入区間２３ａの中心位置に設けても良い。
【００７９】
また、上記実施形態では、複数のノズル列を有するインクジェットヘッド１を例に挙げて説明したが、単一のノズル列を有するインクジェットヘッド１に対して本発明を適用しても良い。
【００８０】
また、インク循環機構９として、水頭差によってインクを還流させるものを例に挙げて説明したが、ポンプ等の圧力発生手段によりインレット３０１とアウトレット３０２との間でインクの圧力差を生じさせる構成としても良い。
【００８１】
また、上記実施形態では、液体吐出ヘッドとして、液体としてのインクを吐出するインクジェットヘッド１を例に挙げて説明したが、インク以外の他の任意の液体を吐出する液体吐出ヘッドに対して本発明を適用することができる。例えば、液体吐出ヘッドは、樹脂層形成材料を含む液体を吐出して樹脂層を形成するものや、導電層形成材料を含む液体を吐出して導電パターンを形成するものなどであっても良い。
【００８２】
また、インクジェットヘッド１として、圧電素子５２を用いてインクを吐出するものを例に挙げて説明したが、圧力室内の液体の圧力を変動させてノズルから液体を吐出する他の方式のインクジェットヘッド、例えば、加熱によりインクに気泡を生じさせてインクを吐出するサーマル方式のインクジェットヘッドに対して本発明を適用しても良い。
【００８３】
また、上記実施形態では、シングルパス形式のインクジェット記録装置１００を例に挙げて説明したが、インクジェットヘッド１を走査させながら画像の記録を行うインクジェット記録装置１００に本発明を適用しても良い。
【００８４】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、本発明の範囲は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲とその均等の範囲を含む。
【符号の説明】
【００８５】
１  インクジェットヘッド
２  ヘッドチップ
２ａ  供給連通路
２ｂ  流出流路
２ｃ  バイパス流路
３  インク貯留室
３ａ  供給マニホールド
３ｂ  排出液室
４  配線部材
５  保持部材
７  インク吐出部
７ａ  個別供給流路
９  インク循環機構
１０  ノズル基板
１２  個別排出流路
２０  共通流路基板
２２  共通供給流路
２３  共通排出流路
２３ａ  流入区間
２４、２５  ダンパー
３０  中間基板
３２、３３  空気室
４０  圧力室基板
４２  圧力室
４３  振動板
５０  スペーサー基板
５２  圧電素子
６０  配線基板
１００  インクジェット記録装置
１０１  搬送ベルト
１０２  搬送ローラー
１０３  ヘッドユニット
３０１  インレット
３０２  アウトレット
Ｍ  記録媒体
Ｎ  ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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