(57)【要約】【課題】安定した噴射動作が可能な液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】この液体噴射ヘッドは、液体を噴射する液体噴射ヘッドチップと、その液体噴射ヘッドチップへ液体を導く流路を有する流路部材と、それら流路部材と液体噴射ヘッドチップとを接着する接着層と、流路部材と液体噴射ヘッドチップとの間に設けられた、接着層よりも柔らかい弾性体とを備えたものである。【選択図】図５Ａ
2019084784.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射する液体噴射ヘッドチップと、
前記液体噴射ヘッドチップへ前記液体を導く流路を有する流路部材と、
前記流路部材と前記液体噴射ヘッドチップとを接着する接着層と、
前記流路部材と前記液体噴射ヘッドチップとの間に設けられた、前記接着層よりも柔らかい弾性体と
を備えた
液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記弾性体は、前記液体噴射ヘッドチップと当接するように設けられている
請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記弾性体は、少なくとも前記接着層により、前記液体から隔離されるように配置されている
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記接着層および前記弾性体は、前記流路部材のうちの前記流路が占める領域以外の周辺領域と対応する位置に設けられている
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記液体噴射ヘッドチップは、前記流路の延在方向に並ぶと共に前記流路の延在方向と交差する方向へそれぞれ延びる複数の吐出チャネルを有し、
前記弾性体は、前記流路の延在方向に沿って前記複数の吐出チャネルを横断するように設けられている
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
複数の前記弾性体が前記流路の延在方向に沿って離散的に設けられている
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記弾性体は、前記流路に対応する位置にスリットを有するシート状部材である
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記弾性体は接着剤である
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記弾性体のヤング率は前記接着層のヤング率よりも小さい
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドが取り付けられるキャリッジと
を備えた液体噴射記録装置。
【請求項１１】
流路を有する流路部材と、液体噴射ヘッドチップとを用意することと、
前記流路部材と前記液体噴射ヘッドチップとの間に、弾性体を配置することと、
接着剤を硬化させることにより、前記流路部材と前記液体噴射ヘッドチップとを接着する接着層を形成することと
を含み、
前記弾性体を、硬化後の前記接着層よりも柔らかい材料により形成する
液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記弾性体を前記液体噴射ヘッドチップ上に形成したのち、前記液体噴射ヘッドチップおよび前記流路部材の少なくとも一方に前記接着剤を塗布する
請求項１１記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、液体噴射ヘッドおよびその製造方法、ならびに液体噴射記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射記録装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出（噴射）して画像や文字等の記録を行う、インクジェット方式の記録装置が提供されている。この方式の液体噴射記録装置では、インクタンクからインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）へインクを供給し、このインクジェットヘッドのノズルから被記録媒体に対してインクを吐出することで、画像や文字等の記録が行われるようになっている。また、このようなインクジェットヘッドにおいては、インクを封止するための接着剤が使用されている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３-１００８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような液体噴射ヘッドでは、ノズルから噴射されたインクにおける、被記録媒体上の着地点（着弾位置）のばらつきが小さいことが望ましい。すなわち、安定した噴射動作が可能な液体噴射ヘッドおよびその製造方法、ならびにそのような液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置を提供することが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射する液体噴射ヘッドチップと、その液体噴射ヘッドチップへ液体を導く流路を有する流路部材と、それら流路部材と液体噴射ヘッドチップとを接着する接着層と、流路部材と液体噴射ヘッドチップとの間に設けられた、接着層よりも柔らかい弾性体とを備えたものである。
【０００６】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドと、その液体噴射ヘッドが取り付けられるキャリッジとを備えたものである。
【０００７】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、流路を有する流路部材と、液体噴射ヘッドチップとを用意することと、流路部材と液体噴射ヘッドチップとの間に、弾性体および接着剤を配置することと、接着剤を硬化させることにより、流路部材と液体噴射ヘッドチップとを接着する接着層を形成することとを含み、弾性体を、硬化後の接着層よりも柔らかい材料により形成するものである。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、流路部材と液体噴射ヘッドチップとを接着する接着層よりも柔らかい弾性体を、流路部材と液体噴射ヘッドチップとの間に設けるようにした。このため、例えば液体噴射ヘッドチップ内のある位置で発生した噴射の際の圧力波の影響が、その近傍へ及ぶのを抑制できる。そのため、安定した噴射動作が可能となる。また、本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法によれば、そのような安定した噴射動作が可能である液体噴射ヘッドを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。
【図２】図１に示した循環機構等の詳細構成例を表す模式図である。
【図３】図１に示した液体噴射ヘッドの詳細構成例を表す模式側面図である。
【図４Ａ】図１に示した液体噴射ヘッドのうちの流路プレートカバーを表す平面図である。
【図４Ｂ】図１に示した液体噴射ヘッドのうちの流路プレートを表す平面図である。
【図５Ａ】図１に示した液体噴射ヘッドのうちの流路部材と液体噴射ヘッドチップとの界面近傍を表す模式断面図である。
【図５Ｂ】図５Ａに示した流路部材と液体噴射ヘッドチップとの界面近傍を表す模式平面図である。
【図６】図３に示した液体噴射ヘッドチップを表す模式平面図である。
【図７】図３に示した液体噴射ヘッドチップの模式分解斜視図である。
【図８】図３に示した液体噴射ヘッドチップの模式平面図である。
【図９】図３に示した液体噴射ヘッドチップにおける、図８のＩＸ−ＩＸ線に沿った模式断面図である。
【図１０Ａ】図１に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一工程を表す模式断面図である。
【図１０Ｂ】図１０Ａに続く一工程を表す模式断面図である。
【図１１】変形例１としての液体噴射ヘッドのうちの流路部材と液体噴射ヘッドチップとの界面近傍を表す模式平面図である。
【図１２】変形例２としての液体噴射ヘッドのうちの流路部材と液体噴射ヘッドチップとの界面近傍を表す模式平面図である。
【図１３】変形例３としての液体噴射ヘッドのうちの流路部材と液体噴射ヘッドチップとの界面近傍を表す模式断面図である。
【図１４】変形例４としての液体噴射ヘッドのうちの流路部材と液体噴射ヘッドチップとの界面近傍を表す模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（複数の弾性体が流路部材とヘッドチップとの間に配列された例。）
２．変形例
変形例１（流路部材の複数の流路同士の間の領域において流路に沿って弾性体が延在するように配置された例。）
変形例２（流路に対応する位置にスリットを有するシート状の弾性体が、流路部材とヘッドチップとの間に配置された例。）
変形例３（弾性体が流路部材およびヘッドチップの双方と当接するように配置された例。）
変形例４（流路部材とヘッドチップとを、それらの端面において固定するようにした例。）
３．その他の変形例
【００１１】
＜１．実施の形態＞
［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。このプリンタ１は、インク９（後出の図３参照）を利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。
【００１２】
プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、インク循環機構５と、走査機構６とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。また、本明細書では、図１に示したＺ軸方向を鉛直方向として説明する。詳細には、＋Ｚ方向を鉛直方向上方とし、−Ｚ方向を鉛直方向下方として説明する。
【００１３】
ここで、プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応し、インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。
【００１４】
搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２はそれぞれ、Ｙ軸方向（記録紙Ｐの幅方向）に沿って延設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（ＺＸ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等によって構成されている。
【００１５】
（インクタンク３）
インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｂ）の４色のインク９を個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインク９を収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインク９を収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインク９を収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインク９を収容するインクタンク３Ｂとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００１６】
なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂはそれぞれ、収容するインク９の色以外については同一の構成であるので、以下ではインクタンク３と総称して説明する。
【００１７】
（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズルＨ１，Ｈ２から記録紙Ｐに対して液滴状のインクを噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４として、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂにそれぞれ収容されている４色のインク９を個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｂとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００１８】
なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂはそれぞれ、利用するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成については、後述する。
【００１９】
（インク循環機構５）
図２は、インク循環機構５の概略構成例を表した模式図である。インク循環機構５は、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間でインク９を循環させる機構である。インク循環機構５は、インク供給管５０ａおよびインク排出管５０ｂにより構成されるインク循環流路５０と、インク供給管５０ａに設けられた加圧ポンプ５１ａと、インク排出管５０ｂに設けられた吸引ポンプ５１ｂとを備える。インク供給管５０ａおよびインク排出管５０ｂは、例えば、インクジェットヘッド４を支持する走査機構６の動作に追従可能な程度に可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。
【００２０】
加圧ポンプ５１ａは、インク供給管５０ａ内を加圧し、インク供給管５０ａを通してインクジェットヘッド４にインク９を送り出すものである。加圧ポンプ５１ａの機能により、インクジェットヘッド４に対し、加圧ポンプ５１ａとインクジェットヘッド４との間のインク供給管５０ａ内は正圧となっている。
【００２１】
吸引ポンプ５１ｂは、インク排出管５０ｂ内を減圧し、インク排出管５０ｂを通してインクジェットヘッド４からインク９を吸引するものである。吸引ポンプ５１ｂの機能により、インクジェットヘッド４に対して、吸引ポンプ５１ｂとインクジェットヘッド４との間のインク排出管５０ｂ内は負圧となっている。インク９は、加圧ポンプ５１ａおよび吸引ポンプ５１ｂの駆動により、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間を、インク循環流路５０を通して循環可能となっている。
【００２２】
（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、これらのガイドレール６１ａ，６１ｂに移動可能に支持されたキャリッジ６２と、このキャリッジ６２をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構６３と、を有している。また、駆動機構６３は、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置された一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、これらのプーリ６３１ａ，６３１ｂ間に巻回された無端ベルト６３２と、プーリ６３１ａを回転駆動させる駆動モータ６３３と、を有している。
【００２３】
プーリ６３１ａ，６３１ｂはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って、各ガイドレール６１ａ，６１ｂにおける両端付近に対応する領域に配置されている。無端ベルト６３２には、キャリッジ６２が連結されている。このキャリッジ６２は、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂを載置する平板状の基台６２ａと、この基台６２ａから垂直（Ｚ軸方向）に立ち上げられた壁部６２ｂとを有している。基台６２ａ上には、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂが、Ｙ軸方向に沿って並んで載置されている。
【００２４】
なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成されるようになっている。
【００２５】
［インクジェットヘッド４の詳細構成］
次に、図１に加えて図３を参照して、インクジェットヘッド４の詳細構成例について説明する。図３は、インクジェットヘッド４の詳細構成例を、模式的に側面図（ＺＸ側面図）で表したものである。
【００２６】
本実施の形態のインクジェットヘッド４は、後述するヘッドチップ４１における複数のチャネル（複数のチャネルＣ１および複数のチャネルＣ２）の延在方向の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。また、このインクジェットヘッド４は、前述したインク循環機構５（インク循環流路５０）を用いることで、インクタンク３との間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドである。
【００２７】
図３に示したように、インクジェットヘッド４は、ヘッドチップ４１、支持部材４２、制御機構４３、カバー４４および流路部材４５を備えている。なお、図３では、ヘッドチップ４１を保護するためにヘッドチップ４１の周囲に設けられたベースプレートやノズルガード等の部材の記載を省略している。
【００２８】
支持部材４２は、ヘッドチップ４１上に設けられ、後述する制御機構４３における回路基板４３０を支持する部材である。
【００２９】
ヘッドチップ４１は、インク９をＺ軸方向に沿って噴射する部材である。なお、ヘッドチップ４１の詳細構成については後述する。
【００３０】
（制御機構４３）
制御機構４３は、回路基板４３０を有している。
【００３１】
回路基板４３０は、ヘッドチップ４１を駆動するための駆動回路（電気回路）を搭載する基板である。回路基板４３０は、上記した支持部材４２に支持（固定）されており、鉛直方向（この例ではＺ軸方向）に沿って立設されている。
【００３２】
（カバー４４）
カバー４４は、図３に示したように、ヘッドチップ４１上において回路基板４３０の周囲を覆うように配置されており、回路基板４３０へのインク９の付着を防止するための部材である。
【００３３】
（流路部材４５）
流路部材４５は、図３に示したように、ヘッドチップ４１の上面に流路プレート４６と流路プレートカバー４７とが順に積層配置されたものである。図４Ａおよび図４Ｂは、それぞれ、流路プレートカバー４７および流路プレート４６のＸＹ平面を表す平面図である。なお、流路プレートカバー４７と流路プレート４６との間には、可撓性を有する膜（図示せず）が設けられている。図４Ａに示したように、流路プレートカバー４７は、４つの流入孔４７１と、４つの流出孔４７２と、Ｘ軸方向に各々延びると共にＹ軸方向に並ぶ複数のスリット４７３とを有している。流路プレートカバー４７の上面には、インク循環機構５におけるインク供給管５０ａおよびインク排出管５０ｂがそれぞれ接続されている。４つの流入孔４７１にはそれぞれインク供給管５０ａから供給されるインク９が流入するようになっており、４つの流出孔４７２から流出するインク９がインク排出管５０ｂへ流入するようになっている。図４Ｂに示したように、流路プレート４６は、Ｘ軸方向に各々延びる流路４６１（４６１Ａ〜４６１Ｄ）および流路４６２（４６２Ａ〜４６２Ｄ）を有している。なお、流路４６１の一端はＺ軸方向において流入孔４７１と対応する位置に設けられており、流路４６２の一端はＺ軸方向において流出孔４７２と対応する位置に設けられている。このような構成により、インク供給管５０ａから流路４６１に流入したインク９がヘッドチップ４１を経て流路４６２からインク排出管５０ｂへ流出するようになっている。
【００３４】
（接着層４８および弾性体４９）
図５Ａは、流路部材４５とヘッドチップ４１との界面近傍を拡大して表す模式断面図である。また、図５Ｂは、ヘッドチップ４１から眺めた流路部材４５（流路プレート４６）と弾性体４９（後出）との位置関係を表す模式平面図である。
【００３５】
図５Ａに示したように、流路部材４５のうちの流路プレート４６と、ヘッドチップ４１とは、接着層４８を介して互いに接着されている。さらに、流路プレート４６とヘッドチップ４１との間には、硬化後の接着層４８よりも柔らかい弾性体４９が複数設けられている。ここで、弾性体４９が硬化後の接着層４８よりも柔らかい、とは、例えばプランジャ試験機により測定される、表面を露出させた弾性体４９における硬さの指標の数値が、硬化後の接着層４８における硬さの指標の数値よりも小さいことをいう。なお、硬さの指標としては、例えばヤング率を挙げることができる。すなわち、本実施の形態では、弾性体４９のヤング率が接着層４８のヤング率よりも小さい。接着層４８は、例えばエポキシなどの熱硬化型樹脂やシリコン系の吸湿硬化型樹脂、あるいは２液混合により硬化するフッ素系樹脂などが好適に用いられる。これら接着層４８を構成する材料としては、硬化後の硬度が高く、インク９に対する耐性が高いもの、すなわち、インク９と接することにより溶解や膨潤などの変質を生じにくいものが好ましい。一方、弾性体４９の構成材料としては、例えばシリコン、エポキシまたはゴムなどが挙げられる。また、弾性体４９の構成材料は、硬化後の硬さ（例えばヤング率）が接着層４８を構成する材料の硬化後の硬さ（ヤング率）よりも低い接着剤であってもよい。
【００３６】
また、図５Ｂに示したように、複数の弾性体４９は、例えばヘッドチップ４１の上面と当接するように設けられており、ヘッドチップ４１の上面と当接する部分以外の部分が接着層４８により覆われているとよい。すなわち、複数の弾性体４９は、少なくとも接着層４８により、インク９から隔離されるように配置されているとよい。また、接着層４８および弾性体４９は、流路プレート４６のうちの流路４６１，４６２が占める領域以外の周辺領域と対応する位置に設けられている。また、複数の弾性体４９は、流路４６１，４６２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って離散的に設けられているとよい。
【００３７】
（ヘッドチップ４１）
図６は、ヘッドチップ４１を流路部材４５の方向から眺めた様子を表す模式平面図（ＸＹ上面図）である。また、図７は、ヘッドチップ４１の詳細構成例を、模式的に分解斜視図で表したものである。図８は、図７に示したノズルプレート７１（噴射孔プレート）を取り外した状態におけるヘッドチップ４１の構成例を、模式的に底面図（ＸＹ底面図）で表したものである。図９は、図８に示したＩＸ−ＩＸ線に沿った断面構成例（ＺＸ断面構成例）を、模式的に表したものである。但し、図７および図８では、ヘッドチップ４１のうちＹ軸方向における半分、すなわち、インク室７３１Ａ，７３２Ａ，７３１Ｂ，７３２Ｂが形成された領域の一部を拡大して表している。ヘッドチップ４１のうち、インク室７３１Ｃ，７３２Ｃ，７３１Ｄ，７３２Ｄが形成された領域についても実質的に図７および図８に示した構造を有するので、以下ではその説明を省略する。
【００３８】
ヘッドチップ４１は、図７に示したように、インク９をＺ軸方向に沿って噴射する部材であり、各種のプレートを用いて構成されている。具体的には図７に示したように、ヘッドチップ４１は、ノズルプレート７１、アクチュエータプレート７２およびカバープレート７３を、主に備えている。これらのノズルプレート７１、アクチュエータプレート７２およびカバープレート７３と、上記した流路部材４５とはそれぞれ、例えば接着剤等を用いて互いに貼り合わされており、Ｚ軸方向に沿ってこの順に積層されている。なお、以下では、Ｚ軸方向に沿って流路部材４５側（カバープレート７３側）を上方と称すると共に、ノズルプレート７１側を下方と称して説明する。
【００３９】
＜ノズルプレート７１＞
ノズルプレート７１は、例えば５０μｍ程度の厚みを有する、ポリイミド等のフィルム材からなり、図７および図９に示したように、アクチュエータプレート７２の下面に接着されている。ただし、ノズルプレート７１の構成材料は、ポリイミド等の樹脂材料には限られず、例えばステンレス鋼などの金属材料であってもよい。また、図６に破線で示したように、ノズルプレート７１には、実際には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する４列のノズル列（ノズル列７１１〜７１４）が設けられているが、図７および図８では、そのうちノズル列７１１，７１２のみを示している。これらのノズル列７１１〜７１４同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている（図６）。
【００４０】
ノズル列７１１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズルＨ１を有している。これらのノズルＨ１はそれぞれ、ノズルプレート７１をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通しており、例えば図９に示したように、アクチュエータプレート７２における吐出チャネルＣ１ｅ内に連通している。具体的には図８に示したように、各ノズルＨ１は、吐出チャネルＣ１ｅ上においてＹ軸方向に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズルＨ１におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ１ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一（同一ピッチ）となっている。このようなノズル列７１１内のノズルＨ１からは、吐出チャネルＣ１ｅ内から供給されるインクが吐出（噴射）されるようになっている。
【００４１】
ノズル列７１２も同様に、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズルＨ２を有している。これらのノズルＨ２もそれぞれ、ノズルプレート７１をその厚み方向に沿って貫通しており、アクチュエータプレート７２における吐出チャネルＣ２ｅ内に連通している。具体的には図８に示したように、各ノズルＨ２は、吐出チャネルＣ２ｅ上においてＹ軸方向に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズルＨ２におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ２ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一となっている。このようなノズル列７１２内のノズルＨ２からも、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ２ｅ内から供給されるインクが吐出されるようになっている。なお、これらのノズルＨ１，Ｈ２はそれぞれ、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の貫通孔となっている。
【００４２】
＜アクチュエータプレート７２＞
アクチュエータプレート７２は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。アクチュエータプレート７２は、図９に示したように、分極方向が互いに異なる２つの圧電基板を、厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って積層して構成されている（いわゆる、シェブロンタイプ）。ただし、アクチュエータプレート７２の構成としては、このシェブロンタイプには限られない。すなわち、例えば、分極方向が厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って一方向に設定されている１つ（単一）の圧電基板によって、アクチュエータプレート７２を構成するようにしてもよい（いわゆる、カンチレバータイプ）。また、アクチュエータプレート７２には、実際には、４つのノズル列７１１〜７１４に対応するように、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する４列のチャネル列がＹ軸方向に隣り合うように設けられている。しかしながら、図７および図８では、そのうちの２列のチャネル列７２１，７２２を示している。これらのチャネル列７２１，７２２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。
【００４３】
このようなアクチュエータプレート７２では、図８に示したように、Ｘ軸方向に沿った中央部（チャネル列７２１，７２２の形成領域）に、インク９の吐出領域（噴射領域）Ａ１が設けられている。一方、アクチュエータプレート７２において、Ｘ軸方向に沿った両端部（チャネル列７２１，７２２の非形成領域）には、インク９の非吐出領域（非噴射領域）Ａ２が設けられている。この非吐出領域Ａ２は、吐出領域Ａ１に対して、Ｘ軸方向に沿った外側に位置している。なお、アクチュエータプレート７２におけるＹ軸方向に沿った両端部はそれぞれ、尾部７２０を構成している。
【００４４】
上記したチャネル列７２１は、図７および図８に示したように、Ｙ軸方向に沿って延在する複数のチャネルＣ１を有している。これらのチャネルＣ１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ１は、圧電体（アクチュエータプレート７２）からなる駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている（図９参照）。
【００４５】
チャネル列７２２も同様に、Ｙ軸方向に沿って延在する複数のチャネルＣ２を有している。これらのチャネルＣ２は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ２もまた、上記した駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている（図９参照）。
【００４６】
ここで、図７および図８に示したように、チャネルＣ１には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ１ｅと、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ１ｄとが存在している。チャネル列７２１において、これらの吐出チャネルＣ１ｅとダミーチャネルＣ１ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート７１におけるノズルＨ１と連通している一方、各ダミーチャネルＣ１ｄはノズルＨ１には連通しておらず、ノズルプレート７１の上面によって下方から覆われている。
【００４７】
同様に、チャネルＣ２には、インクを吐出させるための吐出チャネルＣ２ｅと、インクを吐出させないダミーチャネルＣ２ｄとが存在している。チャネル列７２２において、これらの吐出チャネルＣ２ｅとダミーチャネルＣ２ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート７１におけるノズルＨ２と連通している一方、各ダミーチャネルＣ２ｄはノズルＨ２には連通しておらず、ノズルプレート７１の上面によって下方から覆われている。
【００４８】
また、図８に示したように、チャネルＣ１における吐出チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄは、チャネルＣ２における吐出チャネルＣ２ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄに対し、互い違いとなるように配置されている。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、チャネルＣ１における吐出チャネルＣ１ｅと、チャネルＣ２における吐出チャネルＣ２ｅとが、千鳥状に配置されている。なお、図７に示したように、アクチュエータプレート７２において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに対応する部分には、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおけるＹ軸方向に沿った外側端部に連通する、浅溝部Ｄｄが形成されている。
【００４９】
図７および図８に示したように、上記した駆動壁Ｗｄにおける対向する内側面にはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って延在する駆動電極Ｅｄが設けられている。駆動電極Ｅｄには、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに面する内側面に設けられたコモン電極Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに面する内側面に設けられたアクティブ電極Ｅｄａとが存在している。なお、駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）は、図９に示したように、駆動壁Ｗｄの内側面上において、深さ方向（Ｚ軸方向）の全体に亘って形成されている。
【００５０】
同一の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）内で対向する一対のコモン電極Ｅｄｃ同士は、コモン端子（不図示）において互いに電気的に接続されている。また、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａ同士は、互いに電気的に分離されている。一方、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａ同士は、アクティブ端子（不図示）において互いに電気的に接続されている。
【００５１】
ここで、前述した尾部７２０においては、図７に示したように、駆動電極Ｅｄと回路基板４３０（図３）との間を電気的に接続する、フレキシブルプリント基板７４が実装されている。このフレキシブルプリント基板７４に形成された配線パターン（不図示）は、上記したコモン端子およびアクティブ端子に対して電気的に接続されている。これにより、フレキシブルプリント基板７４を介して、回路基板４３０から各駆動電極Ｅｄに対して、駆動電圧が印加されるようになっている。
【００５２】
＜カバープレート７３＞
カバープレート７３は、図７に示したように、アクチュエータプレート７２における各チャネルＣ１，Ｃ２（各チャネル列７２１，７２２）を閉塞するように配置されている。具体的には、このカバープレート７３は、アクチュエータプレート７２の上面に接着された板状部材である。
【００５３】
図６に示したように、カバープレート７３は、Ｘ軸方向に各々延びるインク室７３１Ａ〜７３１Ｄおよびインク室７３２Ａ〜７３２Ｄを有している。なお、インク室７３１Ａ〜７３１ＤはＺ軸方向において流路４６１Ａ〜４６１Ｄとそれぞれ対応する位置に設けられており、インク室７３２Ａ〜７３２ＤはＺ軸方向において流路４６２Ａ〜４６２Ｄとそれぞれ対応する位置に設けられている。但し、図７では、インク室７３１Ａ〜７３１Ｄ，７３２Ａ〜７３２Ｄのうち、一対のインク室７３１Ａ，７３２Ａおよび一対のインク室７３１Ｂ，７３２Ｂのみを示している。一対のインク室７３１Ａ，７３２Ａは、アクチュエータプレート７２におけるチャネル列７２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に形成されている。また、一対のインク室７３１Ｂ，７３２Ｂは、アクチュエータプレート７２におけるチャネル列７２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に形成されている。
【００５４】
インク室７３１Ａは、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。インク室７３１Ａにおいて、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート７３をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通する、供給スリットＳａが形成されている。同様に、インク室７３１Ｂは、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。このインク室７３１Ｂにおいて、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、上記した供給スリットＳａが形成されている。
【００５５】
インク室７３２Ａは、図７に示したように、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。このインク室７３２Ａにおいて、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート７３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳｂが形成されている。同様に、インク室７３２Ｂは、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。このインク室７３２Ｂにおいて、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、上記した排出スリットＳｂが形成されている。
【００５６】
このようにして、インク室７３１Ａおよびインク室７３２Ａはそれぞれ、供給スリットＳａおよび排出スリットＳｂを介して各吐出チャネルＣ１ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ１ｄには連通していない。すなわち、各ダミーチャネルＣ１ｄは、これらインク室７３１Ａおよびインク室７３２Ａにおける底部によって、閉塞されるようになっている。
【００５７】
同様に、インク室７３１Ｂおよびインク室７３２Ｂはそれぞれ、供給スリットＳａおよび排出スリットＳｂを介して各吐出チャネルＣ２ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ２ｄには連通していない。すなわち、各ダミーチャネルＣ２ｄは、これらインク室７３１Ｂおよびインク室７３２Ｂにおける底部によって、閉塞されるようになっている。
【００５８】
［インクジェットヘッド４の製造方法］
次に、インクジェットヘッド４の製造方法について説明する。本実施形態のインクジェットヘッド４の製造方法は、ヘッドチップ４１を作製するヘッドチップ作製工程と、流路部材４５を作製する流路部材作製工程と、ヘッドチップ４１と流路部材４５とを接合するプレート接合工程と、を含む。これらの工程のうち、プレート接合工程以外の工程は既知の方法を用いることができる。よって、以下の説明ではプレート接合工程について説明する。
【００５９】
＜プレート接合工程＞
図１０Ａは、プレート接合工程における第１工程を表す模式断面図である。ここでは、まずヘッドチップ４１を用意したのち、図１０Ａに示したようにカバープレート７３の上面に、Ｘ軸方向に並ぶ複数の弾性体４９をドットパターン状に形成する。その際、例えば図５Ｂに示したように、流路プレート４６における流路４６１Ａと流路４６２Ａとの間、流路４６１Ｂと流路４６２Ｂとの間、流路４６１Ｃと流路４６２Ｃとの間、および流路４６１Ｄと流路４６２Ｄとの間の４つの領域に複数の弾性体４９の列をそれぞれ形成する。弾性体４９は、例えば液状、ペースト状もしくはゲル状の原料を、ディスペンサなどを用いて一定量ずつカバープレート７３の上面に吐出し、付着させることで形成する。弾性体４９の原料としては、完成段階において硬化後の接着層４８よりも柔らかい材料を用いる。
【００６０】
図１０Ｂは、プレート接合工程における第２工程を表す模式断面図である。弾性体４９を形成したのち、図１０Ｂに示したように、ヘッドチップ４１の上面（カバープレート７３の上面７３Ｓ）および弾性体４９を覆うように、接着層４８の原料としての接着剤４８Ｚを塗布する。なお、図１０Ｂに示したように、流路プレート４６の下面（カバープレート７３と対向する面）にも接着剤４８Ｚを塗布するようにしてもよい。あるいは、カバープレート７３の上面および流路プレート４６の下面のいずれか一方のみに接着剤４８Ｚを塗布するようにしてもよい。いずれにせよ、接着剤４８Ｚは、流路４６１Ａ〜４６１Ｄ，４６２Ａ〜４６２Ｂを塞ぐことのないように、流路４６１Ａ〜４６１Ｄ，４６２Ａ〜４６２Ｂが形成された領域以外の領域を選択的に覆うように塗布する。
【００６１】
そののち、弾性体４９が形成されたカバープレート７３の上面と、流路プレート４６の下面とが対向するようにカバープレート７３と流路プレート４６とを接着剤４８Ｚを介して密着させる。その状態で加熱し、あるいは乾燥させることにより接着剤４８Ｚを硬化させることで接着層４８を形成する。以上により、プレート接合工程が完了し、流路部材４５とヘッドチップ４１との間に弾性体４９を挟みつつ、流路部材４５とヘッドチップ４１とが接着層４８により接着された状態となる（図５Ａ）。
【００６２】
［動作］
（Ａ．プリンタ１の基本動作）
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインク９は、インク循環機構５を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。
【００６３】
このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に、記録紙Ｐが搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構６３における駆動モータ６３３が、プーリ６３１ａ，６３１ｂをそれぞれ回転させることで、無端ベルト６３２を動作させる。これにより、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂにガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）によって、４色のインク９を記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。
【００６４】
（Ｂ．インクジェットヘッド４における詳細動作）
続いて、図１，２，７〜９などを参照して、インクジェットヘッド４における詳細動作（インク９の噴射動作）について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド４（サイドシュートタイプ，循環式のインクジェットヘッド）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。
【００６５】
まず、上記したキャリッジ６２（図１参照）の往復移動が開始されると、制御機構４３は、フレキシブルプリント基板７４を介して、インクジェットヘッド４内の駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）に対し、駆動電圧を印加する。具体的には、制御機構４３は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを画成する一対の駆動壁Ｗｄに配置された各駆動電極Ｅｄに対し、駆動電圧を印加する。これにより、これら一対の駆動壁Ｗｄがそれぞれ、その吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに隣接するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ側へ、突出するように変形する（図９参照）。
【００６６】
ここで、前述したように、アクチュエータプレート７２では、分極方向が厚み方向に沿って異なっている（前述した２つの圧電基板が積層されている）と共に、駆動電極Ｅｄが、駆動壁Ｗｄにおける内側面上の深さ方向の全体に亘って形成されている。このため、上記した駆動回路によって駆動電圧を印加することで、駆動壁Ｗｄにおける深さ方向の中間位置を中心として、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形することになる。そして、このような駆動壁Ｗｄの屈曲変形により、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形する。ちなみに、アクチュエータプレート７２の構成が、このようなシェブロンタイプではなく、前述したカンチレバータイプである場合には、以下のようにして、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形する。すなわち、このカンチレバータイプの場合、駆動電極Ｅｄが深さ方向の上半分まで斜め蒸着によって取り付けられることになるため、この駆動電極Ｅｄが形成されている部分のみに駆動力が及ぶことによって、駆動壁Ｗｄが（駆動電極Ｅｄの深さ方向端部において）屈曲変形する。その結果、この場合においても、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形するため、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形することになる。
【００６７】
このように、一対の駆動壁Ｗｄでの圧電厚み滑り効果による屈曲変形によって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大する。そして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大することにより、インク室７３１Ａ，７３１Ｂ内に貯留されたインク９が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されることになる。
【００６８】
次いで、このようにして吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に伝播する。そして、ノズルプレート７１のノズルＨ１，Ｈ２にこの圧力波が到達したタイミングで、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧が、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁Ｗｄが復元する結果、一旦増大した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が、再び元に戻ることになる（図９参照）。
【００６９】
このようにして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が元に戻ると、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内部の圧力が増加し、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズルＨ１，Ｈ２を通って外部へと（記録紙Ｐへ向けて）吐出される（図９参照）。このようにしてインクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作が行われることになる。
【００７０】
特に、本実施の形態のノズルＨ１，Ｈ２はそれぞれ、前述したように、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパ状となっているため（図９参照）、インク９を高速度で真っ直ぐに（直進性良く）吐出することができる。よって、高画質な記録を行うことが可能となる。
【００７１】
［作用・効果］
次に、本実施の形態のインクジェットヘッド４およびプリンタ１における作用および効果について詳細に説明する。
【００７２】
本実施の形態のインクジェットヘッド４では、ヘッドチップ４１と流路部材４５との間に、それらヘッドチップ４１と流路部材４５とを接着する接着層４８よりも柔らかい弾性体４９を備えるようにした。このため、弾性体４９を備えていない場合と比較して、ある吐出チャネルＣ１ｅの吐出動作時にヘッドチップ４１内において発生する圧力波が弾性体４９により吸収され、その吐出チャネルＣ１ｅの近傍の他の吐出チャネルＣ１ｅへの不要な圧力波の伝達が抑制される。そのため、他の吐出チャネルＣ１ｅの吐出動作への悪影響が回避され、安定した噴射動作が可能となる。また、本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法によれば、そのような安定した噴射動作が可能である液体噴射ヘッドを製造することができる。
【００７３】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、弾性体４９は、ヘッドチップ４１と当接するように設けられている。このような構成により、ヘッドチップ４１において発生する圧力波が弾性体４９へ伝播しやすくなり、噴射動作を行う吐出チャネルＣ１ｅと隣接する他の吐出チャネルＣ１ｅへ向かう圧力波がより減衰されやすくなる。
【００７４】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、弾性体４９が、少なくとも接着層４８により、インク９から隔離されるように配置されている。このように弾性体４９がインク９と直接触れないので、インク耐性を有さない材料であっても弾性体４９を形成できる。このため、弾性体４９を構成する材料を選択する際の設計自由度が向上する。
【００７５】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、接着層４８および弾性体４９は、流路プレート４６のうちの流路４６１，４６２が占める領域以外の周辺領域と対応する位置に設けられているので、インク９の流れを阻害せず、良好なインク９の噴射が行われる。
【００７６】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、複数の弾性体４９が流路４６１，４６２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って離散的に設けられるようにした。このため、流路４６１，４６２の延在方向に沿って直線状に弾性体を設ける場合と比較して、接着層４８の接着面積を増やしやすく、接着強度を向上させやすい。
【００７７】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、弾性体４９を接着剤により構成した場合には、ヘッドチップ４１と流路部材４５との接着力をより高めることができる。
【００７８】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド４の製造方法では、弾性体４９をヘッドチップ４１（カバープレート７３）上に形成したのち、ヘッドチップ４１（カバープレート７３）および流路部材４５（流路プレート４６）の少なくとも一方に接着剤４８Ｚを塗布するようにした。このようにすることで、弾性体４９がヘッドチップ４１（カバープレート７３）と確実に当接する。その結果、ヘッドチップ４１において発生する圧力波の弾性体４９への伝播がしやすくなり、噴射動作を行う吐出チャネルＣ１ｅと隣接する他の吐出チャネルＣ１ｅへ向かう圧力波がより減衰されやすくなる。
【００７９】
＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１〜４）について説明する。なお、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００８０】
［変形例１］
図１１は、変形例１に係るインクジェットヘッド４Ａにおける、流路部材４５とヘッドチップ４１との界面近傍を表す模式平面図である。上記実施の形態のインクジェットヘッド４では、複数の弾性体４９が流路４６１，４６２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って離散的に設けるようにした。これに対し図１１に示した変形例１に係るインクジェットヘッド４Ａでは、流路４６１，４６２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って延在する直線状の弾性体４９Ａを設けるようにした。ここで、ヘッドチップ４１は、Ｘ軸方向へ並ぶと共にＹ軸方向へそれぞれ延びる複数の吐出チャネルＣ１ｅを有していることから、直線状の弾性体４９Ａは複数の吐出チャネルＣ１ｅを横断するように設けられていることになる。すなわち、吐出チャネルＣ１ｅの並び方向、ひいては流路４６１，４６２の延在方向に沿って弾性体４９Ａが延在している。このため、圧力波の発生源となるある吐出チャネルＣ１ｅから、それに隣り合う他の吐出チャネルＣ１ｅへのその圧力波の伝達が十分に抑制される。また、上記実施の形態のインクジェットヘッド４と比較して、そもそも弾性体４９Ａの全体積を大きくすることができるので、圧力波の減衰量を大きくできる。したがって、よりいっそう安定性に優れた液体噴射動作が実現できる。
【００８１】
［変形例２］
図１２は、変形例２に係るインクジェットヘッド４Ｂにおける、流路部材４５とヘッドチップ４１との界面近傍を表す模式平面図である。インクジェットヘッド４では、複数の弾性体４９が流路４６１，４６２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って離散的に設けるようにした。これに対し図１２に示した変形例２に係るインクジェットヘッド４Ｂでは、流路４６１，４６２に対応する位置にスリットを有するシート状部材として弾性体４９Ｂを設けるようにしたものである。この変形例２では、弾性体４９Ｂは一体に形成されたシート状部材であるので、圧力波に対し高い減衰効果を発揮できる（減衰効率に優れる）。また、シート状部材である弾性体４９Ｂの厚さを管理することで、ヘッドチップ４１と流路部材４５とのギャップ管理を行うこともできる。さらに、上記実施の形態にようにディスペンサなどによりドット状の複数の弾性体４９を形成する場合と比較して、弾性体４９Ｂを容易に、かつ短時間で形成できる。
【００８２】
［変形例３］
図１３は、変形例３に係るインクジェットヘッド４Ｃにおける、流路部材４５とヘッドチップ４１との界面近傍を表す模式断面図である。上記実施の形態のインクジェットヘッド４では、複数の弾性体４９がヘッドチップ４１（カバープレート７３）の上面と当接する一方で、複数の弾性体４９と流路部材４５（流路プレート４６）の下面との間には接着層４８の一部が介在するようにした。これに対し図１３に示した変形例３に係るインクジェットヘッド４Ｃは、流路部材４５（流路プレート４６）の下面とヘッドチップ４１（カバープレート７３）の上面との双方に当接するように配置された弾性体４９Ｃを有するものである。この変形例３では、弾性体４９よりも硬い接着層４８が介在しない箇所が存在するので、近傍の他の吐出チャネルＣ１ｅへ向かう圧力波がより減衰されやすくなる。なお、変形例３に係るインクジェットヘッド４Ｃは、図１０Ａおよび図１０Ｂを参照して説明したように、ヘッドチップ４１におけるカバープレート７３の下面に弾性体４９を形成したのち、接着剤４８Ｚを塗布すると共に流路プレート４６を載置することで製造できる。あるいは、インクジェットヘッド４Ｃは、流路プレート４６の上面に弾性体４９を形成したのち、接着剤４８Ｚを塗布すると共にヘッドチップ４１におけるカバープレート７３を載置するようにしても製造できる。
【００８３】
［変形例４］
図１４は、変形例４に係るインクジェットヘッド４Ｄにおける、流路部材４５とヘッドチップ４１との界面近傍を表す模式断面図である。インクジェットヘッド４Ｄは、上記変形例２に係るインクジェットヘッド４Ｂの構成に加え、流路部材４５（流路プレート４６）の端面とヘッドチップ４１（カバープレート７３）の端面とを接着する接着層４８Ｄをさらに設けるようにしたものである。この変形例４では変形例２のインクジェットヘッド４Ｂの構成に接着層４８Ｄをさらに設けることで、変形例２と同様の効果に加えて、インク９の漏洩を十分に防ぐことができる。すなわち、インク９が、弾性体４９Ｂと流路プレート４６との隙間や弾性体４９Ｂとヘッドチップ４１との隙間から漏れ出した場合であっても、そのインク９を接着層４８Ｄによりせき止めることで外部への漏洩を防ぐことができる。
【００８４】
＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態および変形例をいくつか挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。
【００８５】
例えば、上記実施の形態等では、プリンタ、インクジェットヘッドおよびヘッドチップにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。
【００８６】
具体的には、上記実施の形態等では、例えばドット状、直線状およびシート状の弾性体を例示したが、本開示の弾性体は上記以外の形状を採り得るものである。また、弾性体の配置位置についても上記実施の形態等に挙げたものに限定されない。
【００８７】
さらに、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド４）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。
【００８８】
また、上記実施の形態等では、流路部材４５（流路プレート４６）とヘッドチップ４１（カバープレート７３）との間に接着層４８を設けるようにしたが、本開示はこれに限定されるものではない。例えば、図１４に示した変形例４に係るインクジェットヘッド４Ｄにおいて、流路部材４５（流路プレート４６）とヘッドチップ４１（カバープレート７３）との間に接着層４８を設けることなく、流路部材４５（流路プレート４６）の端面とヘッドチップ４１（カバープレート７３）の端面とを接着する接着層４８Ｄのみ設けるようにしてもよい。そうすることで、吐出チャネルＣ１ｅの噴射動作に伴う振動が接着層４８を介して他の吐出チャネルＣ１ｅへ伝達されるのを防ぎ、その振動を弾性体４９によりいっそう減衰させることができる。ただし、その場合、流路プレート４６において入口側の流路４６１Ａ〜４６１Ｄと出口側の流路４６２Ａ〜４６２Ｄとが連通しないような仕切り構造が設けられている。
【００８９】
また、上記実施の形態等では、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドを例示して説明するようにしたが、本開示はこれに限定されるものではない。本開示では、ヘッドチップにおける複数のチャネルの延在方向に沿ってインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドを採用することもできる。
【００９０】
なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
【００９１】
また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体を噴射する液体噴射ヘッドチップと、
前記液体噴射ヘッドチップへ前記液体を導く流路を有する流路部材と、
前記流路部材と前記液体噴射ヘッドチップとを接着する接着層と、
前記流路部材と前記液体噴射ヘッドチップとの間に設けられた、前記接着層よりも柔らかい弾性体と
を備えた
液体噴射ヘッド。
（２）
前記弾性体は、前記液体噴射ヘッドチップと当接するように設けられている
上記（１）記載の液体噴射ヘッド。
（３）
前記弾性体は、少なくとも前記接着層により、前記液体から隔離されるように配置されている
上記（１）または（２）に記載の液体噴射ヘッド。
（４）
前記接着層および前記弾性体は、前記流路部材のうちの前記流路が占める領域以外の周辺領域と対応する位置に設けられている
上記（１）から（３）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（５）
前記液体噴射ヘッドチップは、前記流路の延在方向に並ぶと共に前記流路の延在方向と交差する方向へそれぞれ延びる複数の吐出チャネルを有し、
前記弾性体は、前記流路の延在方向に沿って前記複数の吐出チャネルを横断するように設けられている
上記（１）から（４）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（６）
複数の前記弾性体が前記流路の延在方向に沿って離散的に設けられている
上記（１）から（４）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（７）
前記弾性体は、前記流路に対応する位置にスリットを有するシート状部材である
上記（１）から（４）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（８）
前記弾性体は接着剤である
上記（１）から（７）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（９）
前記弾性体のヤング率は前記接着層のヤング率よりも小さい
上記（１）から（８）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（１０）
上記（１）から（９）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドが取り付けられるキャリッジと
を備えた液体噴射記録装置。
（１１）
流路を有する流路部材と、液体噴射ヘッドチップとを用意することと、
前記流路部材と前記液体噴射ヘッドチップとの間に、弾性体を配置することと、
接着剤を硬化させることにより、前記流路部材と前記液体噴射ヘッドチップとを接着する接着層を形成することと
を含み、
前記弾性体を、硬化後の前記接着層よりも柔らかい材料により形成する
液体噴射ヘッドの製造方法。
（１２）
前記弾性体を前記液体噴射ヘッドチップ上に形成したのち、前記液体噴射ヘッドチップおよび前記流路部材の少なくとも一方に前記接着剤を塗布する
上記（１１）記載の液体噴射ヘッド。
【符号の説明】
【００９２】
１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）…インクジェットヘッド、４１…ヘッドチップ、７１…ノズルプレート（噴射孔プレート）、７２…アクチュエータプレート、７３…カバープレート、７１１〜７１４…ノズル列、７２１，７２２…チャネル列、７３１Ａ〜７３１Ｄ，７３２Ａ〜７３２Ｄ…インク室、４２…支持部材、４３…制御機構、４３０…回路基板、４４…カバー、４５…流路部材、４６…流路プレート、４７…流路プレートカバー、４８…接着層、４９…弾性体、５…インク循環機構、５０…インク循環流路、５０ａ…インク供給管、５０ｂ…インク排出管、５１ａ…加圧ポンプ、５１ｂ…吸引ポンプ、６…走査機構、６１ａ，６１ｂ…ガイドレール、６２…キャリッジ、６２ａ…基台、６２ｂ…壁部、６３…駆動機構、６３１ａ，６３１ｂ…プーリ、６３２…無端ベルト、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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