(57)【要約】【課題】大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができる多面付け蒸着マスクの製造方法を提供すること。【解決手段】前記フレームと、スリットが設けられた金属マスクを複数枚と、前記各金属マスクに対応する樹脂フィルム材を、を準備する工程と、前記複数枚の金属マスクを前記フレームに取り付ける工程と、上記金属マスクをフレームに取り付ける工程と前後して、前記樹脂フィルム材を前記複数枚の金属マスクに対し、取り付ける工程と、前記樹脂フィルム材を加工して、蒸着作製するパターンに対応した開口部を形成することによって、樹脂マスクを作製する工程とにより、多面付け蒸着マスクを製造する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレーム内の開口空間に、複数のマスクを配置してなる多面付け蒸着マスクであって、
前記各マスクは、貫通孔が設けられた金属マスクと、当該金属マスクの表面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が配置された樹脂マスクとにより構成されていることを特徴とする多面付け蒸着マスク。
【請求項２】
前記フレームと前記金属マスクとが、スポット溶接によって接合していることを特徴とする請求項１に記載の多面付け蒸着マスク。
【請求項３】
前記フレームと前記金属マスクとが接合されており、この接合部分にはスポット溶接部が存在することを特徴とする請求項１に記載の多面付け蒸着マスク。
【請求項４】
前記各マスクを樹脂マスク側から平面視した場合に、樹脂マスクから金属マスクが露出しており、当該金属マスクの露出部分と前記フレームとがスポット溶接によって接合していることを特徴とする請求項１に記載のフレーム付き蒸着マスク。
【請求項５】
前記各マスクを樹脂マスク側から平面視した場合に、樹脂マスクから金属マスクが露出しており、当該金属マスクの露出部分と前記フレームとが接合されており、この接合部分にはスポット溶接部が存在することを特徴とする請求項１に記載の多面付け蒸着マスク。
【請求項６】
前記フレームと前記金属マスクとは点接合しており、前記金属マスクと前記樹脂マスクとは面接合していることを特徴とする請求項１に記載の多面付け蒸着マスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多面付け蒸着マスクの製造方法及びこれにより得られる多面付け蒸着マスク並びに有機半導体素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機ＥＬ素子の製造において、有機ＥＬ素子の有機層或いはカソード電極の形成には、例えば、蒸着すべき領域に多数の微細なスリットを微小間隔で平行に配列してなる金属から構成される蒸着マスクが使用されていた。この蒸着マスクを用いる場合、蒸着すべき基板表面に蒸着マスクを載置し、裏面から磁石を用いて保持させているが、スリットの剛性は極めて小さいことから、蒸着マスクを基板表面に保持する際にスリットにゆがみが生じやすく、高精細化或いはスリット長さが大となる製品の大型化の障害となっていた。
【０００３】
スリットのゆがみを防止するための蒸着マスクについては、種々の検討がなされており、例えば、特許文献１には、複数の開口部を備えた第一金属マスクを兼ねるベースプレートと、前記開口部を覆う領域に多数の微細なスリットを備えた第二金属マスクと、第二金属マスクをスリットの長手方向に引っ張った状態でベースプレート上に位置させるマスク引張保持手段を備えた蒸着マスクが提案されている。すなわち、２種の金属マスクを組合せた蒸着マスクが提案されている。この蒸着マスクによれば、スリットにゆがみを生じさせることなくスリット精度を確保できるとされている。
【０００４】
ところで近時、有機ＥＬ素子を用いた製品の大型化或いは基板サイズの大型化にともない、蒸着マスクに対しても大型化の要請が高まりつつあり、金属から構成される蒸着マスクの製造に用いられる金属板も大型化している。しかしながら、現在の金属加工技術では、大型の金属板にスリットを精度よく形成することは困難であり、たとえ上記特許文献１に提案されている方法などによってスリット部のゆがみを防止できたとしても、スリットの高精細化への対応はできない。また、金属のみからなる蒸着マスクとした場合には、大型化に伴いその重量も増大しフレームを含めた総質量も増大し、取り扱いに支障をきたすこととなる。
【０００５】
またさらに、通常蒸着マスクはフレームに固定された状態で使用されるところ、蒸着マスクを大型化していった場合には、フレームと蒸着マスクの位置合わせを精度よく行うことができないといった問題も生じうる。特に、フレーム内の縦横方向に区画して複数のマスクを配置してなる多面付け蒸着マスクの場合においては、各マスクとフレームとの位置合わせも精度よく行わないと、各マスクの開口パターンにずれが生じてしまうため、位置合わせの精度問題が顕著となるものであった。
【０００６】
また、多面付け蒸着マスクに関し、特許文献２においては、フレームの取り付けられる蒸着マスクとして、フレーム開口部の長手方向において、分割された複数のストリップ状の単位マスク（当該単位マスクにはその長手方向に沿って所定の間隔をおいて複数の単位マスキングパターンが形成されている。）を用い、当該複数の単位マスクのそれぞれの両端部を、フレーム開口部の短手方向におけるフレームに所定の引張り力が与えられるように固定して取り付ける構成が提案されている。この構成によれば、多面付け蒸着マスク（フレームの開口部面積）が大型化していっても、マスクの自重等による歪みに起因する各単位マスキングパターンの位置ずれを抑制することができるものとされている。
【０００７】
特許文献２におけるように、短冊状の単位マスクを複数用いることで、確かに、フレーム開口部における一方向（短手方向）におけるに位置ずれはある程度抑制は可能であるが、当該ストリップ状の単位マスクをそれぞれフレームに取り付ける際の位置合わせも精度よく行わないと、他方向(長手方向）における開口パターンにずれの問題は解消されず、
また、当該短冊状の単位マスクは金属板により構成されているため、マスクの自重等による歪みに起因する各単位マスキングパターンの位置ずれの問題や、フレームを含めた総質量も増大による取り扱いの困難性といった問題は根本的に解消されるものではなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−３３２０５７号公報
【特許文献２】特開２００３−２１７８５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができる多面付け蒸着マスクの製造方法を提供すること、またこのようにして得られる多面付け蒸着マスク並びに有機半導体素子を精度よく製造することができる有機半導体素子の製造方法を提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための本発明は、フレーム内の開口空間にその縦横方向に区画して、複数のマスクを配置してなる多面付け蒸着マスクの製造方法であって、前記フレームと、スリットが設けられた金属マスクを複数枚と、前記各金属マスクに対応する樹脂フィルム材を、を準備する工程と、前記複数枚の金属マスクを前記フレームに取り付ける工程と、上記金属マスクをフレームに取り付ける工程と前後して、前記樹脂フィルム材を前記複数枚の金属マスクに対し、取り付ける工程と、前記樹脂フィルム材を加工して、蒸着作製するパターンに対応した開口部を形成することによって、樹脂マスクを作製する工程と、を有することを特徴とする。あるいはまた上記課題を解決するための本発明は、フレーム内の開口空間にその縦横方向に区画して、複数のマスクを配置してなる多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレームを準備する工程と、前記フレームに対して、複数の、スリットが設けられた金属マスク、および、前記複数の金属マスクの表面側に位置させた樹脂フィルム材を取り付ける工程と、前記樹脂フィルム材を加工して、蒸着作製するパターンに対応した開口部を縦横に複数列形成することによって、樹脂マスクを作製する工程とを有することを特徴とする。
【００１１】
上記の発明においては、（１）前記フレームがその開口空間を縦横方向に複数に区画する桟部を有するものとするとともに、前記樹脂フィルム材として、前記各金属マスクに対し個々に相応する寸法を有するものを、複数枚用いるものとすることができる。この場合においては、前記複数枚の樹脂フィルム材のそれぞれを前記フレームの桟部に対して取り付ける前後において、前記樹脂フィルム材のそれぞれの上の所定位置にそれぞれ金属マスクを配置させることができる。
【００１２】
上記の発明においては、（２）樹脂フィルム材は、前記フレーム内の開口空間の実質的に全面を覆う１枚のものであってもよい。この場合、前記複数の金属マスクは、前記樹脂フィルム材を前記フレームに取り付ける前後において、前記樹脂フィルム材上の所定位置にそれぞれ配置させることができる。
【００１３】
上記の発明においては、（３）樹脂フィルム材は、前記フレーム内の開口空間の縦横方向のいずれか一方の方向の寸法に対応する長さを有しかつ他方の方向においては開口空間の寸法よりも短い長さを有するものを、複数枚組合せるものであってもよい。この場合においても、前記複数の金属マスクは、前記樹脂フィルム材を前記フレームに取り付ける前後において、前記樹脂フィルム材上の所定位置にそれぞれ配置させることができる。
【００１４】
また、上記の発明においては、前記複数の金属マスクとして、当該複数個のうちのいくつか、例えば、縦横の配列における一列全部ないしその一部を一体的に形成してなる金属マスク集合体部材として形成し、これを複数個用いることも可能である。
【００１５】
また、上記の発明においては、前記フレーム内に前記金属マスクを配置するにおいて、その設計上の配置位置と実際の配置位置との間におけるスリットの幅方向における最大許容誤差が、前記開口部のピッチの０．２倍以内であり、スリットの長さ方向における最大許容誤差が、５ｍｍ以内とすることができる。
【００１６】
また、上記の発明においては、前記フレームに対して、各金属マスク、および、前記樹脂マスクを作成するための樹脂フィルム材を取り付ける工程に代えて、各金属マスクを作成するための金属板、および、前記樹脂マスクを作成するための樹脂フィルム材を取り付ける工程を行い、フレームに対して金属板および樹脂フィルム材が取り付けられた状態で、当該金属板を加工して、金属板のみを貫通するスリットを設けて金属マスクとし、その後、前記樹脂フィルム材を加工して、蒸着作製するパターンに対応した開口部を縦横に複数列形成することも可能である。
【００１７】
また、上記の発明においては、樹脂フィルム材を加工して、蒸着作製するパターンに対応した開口部を縦横に複数列形成するにおいて、前記開口部に対応するパターンが予め設けられた基準板を準備し、この基準板を、樹脂フィルム材の金属マスクが設けられていない側の面に貼り合せ、前記基準板のパターンを樹脂フィルム材を介して認識しながら、金属マスク側から、基準板のパターンに従ってレーザー照射を行って、樹脂フィルム材に開口パターンを形成することも可能である。
【００１８】
また、上記課題を解決するための本発明は、フレーム内の開口空間にその縦横方向に区画して、複数のマスクを配置してなる多面付け蒸着マスクであって、前記各マスクを、スリットが設けられた金属マスクと、当該金属マスクの表面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスクとにより構成させたことを特徴とする。あるいはまた上記課題を解決するための本発明は、フレーム内の開口空間にその縦横方向に区画して、複数のマスクを配置してなる多面付け蒸着マスクであって、前記フレームは矩形状の外枠部分に加えて、当該外枠部分によって形成される開口空間をその縦および／または横方向に複数に区画するための桟部分を有するものであり、また前記各マスクを、スリットが設けられた金属マスクと、当該金属マスクの表面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が配置された樹脂マスクとにより構成させたことを特徴とする。
【００１９】
また、上記課題を解決するための本発明は、有機半導体素子の製造方法であって、上記特徴を有する製造方法で製造された多面付け蒸着マスクが用いられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の多面付け蒸着マスクの製造方法によれば、フレーム内に配置させる複数のマスクの各マスクを、スリットが設けられた金属マスクと、当該金属マスクの表面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスクとにより構成することにより軽量化することがきるため、大型化した場合でもその軽量化が可能である。
【００２１】
さらに、フレーム内に前記複数の金属マスクおよび前記樹脂マスクを形成するための樹脂フィルム材を配置した後に、前記樹脂フィルム材を加工して、蒸着作製するパターンに対応した開口部を正確に設けるため、金属マスクの配置時における精細な精度は要求されず、比較的粗く配置しても、マスクの高精細化が可能である。このように本発明によれば、高精細化と軽量化の双方を満たすことができる多面付け蒸着マスクを歩留まり良く簡単に製造することができる。
【００２２】
また、本発明の多面付け蒸着マスクによれば、上記したように高精細化と軽量化の双方を満したものとなるので、有機半導体素子等の製造における蒸着処理を精度よく実施することが可能となる。
【００２３】
さらに、本発明の有機半導体素子の製造方法によれば、有機半導体素子を精度よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の製造方法によって得られる多面付け蒸着マスクの一実施形態の構成を模式的に示す図面である。
【図２】図１に示す多面付け蒸着マスクの一実施形態における各マスク部分の構成を説明するための、マスク部分の金属マスクと樹脂マスクを分解して示す概略拡大斜視図であり、（ａ）は金属マスク、（ｂ）は樹脂マスクをそれぞれ示すものである。
【図３】（ａ）図２に示した各マスク部分の金属マスク側から見た正面図であり、（ｂ）同マスク部分の概略断面図であり、（ｃ）、（ｄ）はそれぞれ別の実施形態におけるマスク部分の一例の金属マスク側から見た正面図である。
【図４】図３（ｂ）に示した蒸着マスク部分の拡大断面図である。を示す蒸着マスクの金属マスク側から見た正面図であり、（ｃ）は（ｂ）の部分拡大断面図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の製造方法によって得られる多面付け蒸着マスクのフレームの構成例を示す模式図である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の製造方法の各工程を模式的に示す断面図である。第２の製造方法で製造した蒸着マスクの拡大断面図である。
【図７】（ａ）〜（ｆ）は、本発明の製造方法において用いられ得る、金属マスクと樹脂フィルム材との配置例をそれぞれ示す模式図である。
【図８】シャドウと、金属マスクの厚みとの関係を示す概略断面図である。
【図９】金属マスクのスリットと、樹脂マスクの開口部との関係を示す部分概略断面図である。
【図１０】金属マスクのスリットと、樹脂マスクの開口部との関係を示す部分概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下に、本発明を図面を用いて具体的に説明する。
【００２６】
まず、本発明の多面付け蒸着マスクの製造方法の説明に先立ち、当該製造方法によって得られる本発明に係る多面付け蒸着マスクの構成につき説明する。
【００２７】
本発明の多面付け蒸着マスクは、フレーム内の開口空間にその縦横方向に区画して、複数のマスクを配置してなる多面付け蒸着マスクのであって、前記各マスクを、スリットが設けられた金属マスクと、当該金属マスクの表面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスクとにより構成させたことを特徴とするものである。
【００２８】
本発明に係る多面付け蒸着マスク１は、例えば、図１に示すように、フレーム２内の開口空間３にその縦横方向に区画して、複数のマスク１００を配置してなるものである。
【００２９】
ここで、フレーム２内に配置された複数のマスクの夫々のマスク１００の部分の構成を見ると、図２〜４に示すようにスリット１５が設けられた金属マスク１０と、金属マスク１０の一表面（図２（ｂ）に示す場合にあっては、金属マスク１０の下面）に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部２５が縦横に複数列配置された樹脂マスク２０が積層された構成をとる。
【００３０】
ここで、当該マスク１００の質量と、従来公知の金属のみから構成される蒸着マスク材の質量とを、蒸着マスク全体の厚みが同一であると仮定して比較すると、従来公知の蒸着マスクの金属材料の一部を樹脂材料に置き換えた分だけ、本発明の蒸着マスク１００の質量は軽くなる。また、金属のみから構成される蒸着マスクを用いて、軽量化を図るためには、当該蒸着マスクの厚みを薄くする必要などがあるが、蒸着マスクの厚みを薄くした場合には、蒸着マスクを大型化した際に、蒸着マスクに歪みが発生する場合や、耐久性が低下する場合が起こる。一方、本発明に係るマスクによれば、大型化したときの歪みや、耐久性を満足させるべく、蒸着マスク全体の厚みを厚くしていった場合であっても、樹脂マスク２０の存在によって、金属のみから形成される蒸着マスクよりも軽量化を図ることができる。従って、このような構成をとる蒸着マスク１００を複数組み合わせた形となる本発明の多面付け蒸着マスク１においては、前記したような樹脂材料を用いたことによる重量軽減の効果が特に高まり、大型化しても自重等による歪みに起因する各単位マスキングパターンの位置ずれの問題や、フレームを含めた総質量も増大による取り扱いの困難性といった問題が解消されることとなる。また、樹脂材料を用いたことにより、後述するように、その製造工程において、フレームに、樹脂マスクの原反となる樹脂フィルム（および金属マスク）を取り付けた後に、当該樹脂フィルムを加工して、所定パターンに対応する開口部を形成することができることから、予め開口部を設けたマスクをフレームに取り付ける場合における開口部の位置ずれの問題も解消することができる。さらに、樹脂フィルムを用いることにより、後述するように例えば、蒸着作製するパターン、すなわち形成すべき開口部に対応するパターンが予め設けられた基準板を準備し、この基準板を、樹脂フィルム材に貼り合せた状態で、基準板のパターンを見ながらレーザー照射等により開口パターンを形成する、いわゆる向こう合わせの状態で、樹脂フィルム材に開口部を形成することが可能となり、開口の寸法精度および位置精度が極めて高い高精細な開口部を有する多面付け蒸着マスクとすることができるものである。
【００３１】
以下、本発明の多面付け蒸着マスクを構成するそれぞれの部材について具体的に説明する。
【００３２】
（樹脂マスク）
樹脂マスク２０は、樹脂から構成され、図２（ｂ）に示すように、蒸着作製するパターンに対応した開口部２５が縦横に複数列配置されている。なお、この開口部２５の形成は、後述するように、フレーム２に対し、金属マスク１０および当該樹脂マスク２０の原反となる樹脂フィルム材２００を接合した後に行われるものである。従って、図２〜図４に示すように、樹脂マスクの開口部２５は金属マスク１０のスリット１５と重なる位置に形成される。また、本願明細書において蒸着作製するパターンとは、当該蒸着マスクを用いて作製しようとするパターンを意味し、例えば、当該蒸着マスクを有機ＥＬ素子の有機層の形成に用いる場合には、当該有機層の形状である。
【００３３】
樹脂マスク２０は、従来公知の樹脂材料を適宜選択して用いることができ、その材料について特に限定されないが、レーザー加工等によって高精細な開口部２５の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン−メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、その熱膨張係数が１６ｐｐｍ／℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が１．０％以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。本発明では、樹脂マスク２０が上述したように金属材料と比較して、高精細な開口部２５の形成が可能な樹脂材料から構成される。したがって、高精細な開口部２５を有する蒸着マスク１００とすることができる。
【００３４】
樹脂マスク２０の厚みについても特に限定はないが、本発明の蒸着マスク１００を用いて蒸着を行ったときに、蒸着作成するパターンに不充分な蒸着部分、つまり目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる蒸着部分、所謂シャドウが生じることを防止するためには、樹脂マスク２０は可能な限り薄いことが好ましい。しかしながら、樹脂マスク２０の厚みが３μｍ未満である場合には、ピンホール等の欠陥が生じやすく、また変形等のリスクが高まる。一方で、２５μｍを超えるとシャドウの発生が生じ得る。この点を考慮すると樹脂マスク２０の厚みは３μｍ以上２５μｍ以下であることが好ましい。樹脂マスク２０の厚みをこの範囲内とすることで、ピンホール等の欠陥や変形等のリスクを低減でき、かつシャドウの発生を効果的に防止することができる。特に、樹脂マスク２０の厚みを、３μｍ以上１０μｍ以下、より好ましくは４μｍ以上８μｍ以下とすることで、３００ｐｐｉを超える高精細パターンを形成する際のシャドウの影響をより効果的に防止することができる。なお、マスク１００において、金属マスク１０と樹脂マスク２０とは、直接的に接合されていてもよく、粘着剤層を介して接合されていてもよいが、粘着剤層を介して金属マスク１０と樹脂マスク２０とが接合される場合には、上記シャドウの点を考慮して、樹脂マスク２０と粘着剤層との合計の厚みが３μｍ以上２５μｍ以下、好ましくは３μｍ以上１０μｍ、特に好ましくは、４μｍ以上８μｍ以下の範囲内となるように設定することが好ましい。
【００３５】
開口部２５の形状、大きさについて特に限定はなく、蒸着作製するパターンに対応する形状、大きさであればよい。また、図３（ａ）に示すように、隣接する開口部２５の横方向のピッチＰ１や、縦方向のピッチＰ２についても蒸着作製するパターンに応じて適宜設定することができる。
【００３６】
開口部２５を設ける位置や、開口部２５の数についても特に限定はなく、スリット１５と重なる位置に１つ設けられていてもよく、縦方向、或いは横方向に複数設けられていてもよい。例えば、図３（ｃ）に示すように、スリットが縦方向に延びる場合に、当該スリット１５と重なる開口部２５が、横方向に２つ以上設けられていてもよい。
【００３７】
開口部２５の断面形状についても特に限定はなく、開口部２５を形成する樹脂マスクの向かいあう端面同士が略平行であってもよいが、図３（ｂ）や図４に示すように、開口部２５はその断面形状が、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。換言すれば、金属マスク１０側に向かって広がりをもつテーパー面を有していることが好ましい。開口部２５の断面形状を当該構成とすることにより、本発明の蒸着マスクを用いて蒸着を行ったときに、蒸着作成するパターンにシャドウが生じることを防止することができる。図４に示されるテーパー角θについては、樹脂マスク２０の厚み等を考慮して適宜設定することができるが、樹脂マスクの開口部における下底先端と、同じく樹脂マスクの開口部における上底先端を結んだ角度（θ）が２５°〜６５°の範囲内であることが好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。さらに、図３（ｂ）や図４にあっては、開口部２５を形成する端面２５ａは直線形状を呈しているが、これに限定されることはなく、外に凸の湾曲形状となっている、つまり開口部２５の全体の形状がお椀形状となっていてもよい。このような断面形状を有する開口部２５は、例えば、開口部２５の形成時における、レーザーの照射位置や、レーザーの照射エネルギーを適宜調整する、或いは照射位置を段階的に変化させる多段階のレーザー照射を行うことで形成可能である。
【００３８】
樹脂マスク２０は、樹脂材料が用いられることから、従来の金属加工に用いられる加工法、例えば、エッチングや切削等の加工法によらず、開口部２５の形成が可能である。つまり、開口部２５の形成方法について特に限定されることなく、各種の加工方法、例えば、高精細な開口部２５の形成が可能なレーザー加工法や、精密プレス加工、フォトリソ加工等を用いて開口部２５を形成することができる。レーザー加工法等によって開口部２５を形成する方法については後述する。
【００３９】
エッチング加工法としては、例えば、エッチング材を噴射ノズルから所定の噴霧圧力で噴霧するスプレーエッチング法、エッチング材が充填されたエッチング液中に浸漬エッチング法、エッチング材を滴下するスピンエッチング法等のウェットエッチング法や、ガス、プラズマ等を利用したドライエッチング法を用いることができる。
【００４０】
（金属マスク）
金属マスク１０は、金属から構成され、該金属マスク１０の正面からみたときに、開口部２５と重なる位置、換言すれば、樹脂マスク２０に配置された全ての開口部２５がみえる位置に、縦方向或いは横方向に延びるスリット１５が複数列配置されている。なお、図２、３では、金属マスク１０の縦方向に延びるスリット１５が横方向に連続して配置されている。また、図２、３に示す実施形態では、スリット１５が縦方向、或いは横方向に延びるスリット１５が複数列配置された例を挙げて説明をしているが、スリット１５は、縦方向、或いは横方向に１列のみ配置されていてもよい。
【００４１】
スリット１５の幅Ｗについて特に限定はないが、少なくとも隣接する開口部２５間のピッチよりも短くなるように設計することが好ましい。具体的には、図３（ａ）に示すように、スリット１５が縦方向に延びる場合には、スリット１５の横方向の幅Ｗは、横方向に隣接する開口部２５のピッチＰ１よりも短くすることが好ましい。同様に、図示はしないが、スリット１５が横方向に伸びている場合には、スリット１５の縦方向の幅は、縦方向に隣接する開口部２５のピッチＰ２よりも短くすることが好ましい。一方で、スリット１５が縦方向に延びる場合の縦方向の長さＬについては、特に限定されることはなく、金属マスク１０の縦の長さおよび樹脂マスク２０に設けられている開口部２５の位置に応じて適宜設計すればよい。
【００４２】
また、縦方向、或いは横方向に連続して延びるスリット１５が、ブリッジ１８によって複数に分割されていてもよい。なお、図３（ｄ）は、蒸着マスク１００の金属マスク１０側から見た正面図であり、図３（ａ）に示される縦方向に連続して延びる１つのスリット１５が、ブリッジ１８によって複数（スリット１５ａ、１５ｂ）に分割された例を示している。ブリッジ１８の幅について特に限定はないが５μｍ〜２０μｍ程度であることが好ましい。ブリッジ１８の幅をこの範囲とすることで、金属マスク１０の剛性を効果的に高めることができる。ブリッジ１８の配置位置についても特に限定はないが、分割後のスリットが、２つ以上の開口部２５と重なるようにブリッジ１８が配置されていることが好ましい。
【００４３】
金属マスク１０に形成されるスリット１５の断面形状についても特に限定されることはないが、上記樹脂マスク２０における開口部２５と同様、図３（ｂ）に示すように、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。
【００４４】
金属マスク１０の材料について特に限定はなく、蒸着マスクの分野で従来公知のものを適宜選択して用いることができ、例えば、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金、アルミニウム合金などの金属材料を挙げることができる。中でも、鉄ニッケル合金であるインバー材は熱による変形が少ないので好適に用いることができる。
【００４５】
また、本発明の蒸着マスク１００を用いて、基板上へ蒸着を行うにあたり、基板後方に磁石等を配置して基板前方の蒸着マスク１００を磁力によって引きつけることが必要な場合には、金属マスク１０を磁性体で形成することが好ましい。磁性体の金属マスク１０としては、純鉄、炭素鋼、Ｗ鋼、Ｃｒ鋼、Ｃｏ鋼、ＫＳ鋼、ＭＫ鋼、ＮＫＳ鋼、Ｃｕｎｉｃｏ鋼、Ａｌ−Ｆｅ合金等を挙げることができる。また、金属マスク１０を形成する材料そのものが磁性体でない場合には、当該材料に上記磁性体の粉末を分散させることにより金属マスク１０に磁性を付与してもよい。
【００４６】
金属マスク１０の厚みについても特に限定はないが、５μｍ〜１００μｍ程度であることが好ましい。蒸着時におけるシャドウの防止を考慮した場合、金属マスク１０の厚さは薄い方が好ましいが、５μｍより薄くした場合、破断や変形のリスクが高まるとともにハンドリングが困難となる可能性がある。ただし、本発明では、金属マスク１０は樹脂マスク２０と一体化されていることから、金属マスク１０の厚さが５μｍと非常に薄い場合であっても、破断や変形のリスクを低減させることができ、５μｍ以上であれば使用可能である。なお、１００μｍより厚くした場合には、シャドウの発生が生じ得るため好ましくない。
【００４７】
以下、図８（ａ)〜図８（ｃ）を用いてシャドウの発生と、金属マスク１０の厚みとの
関係について具体的に説明する。図８（ａ）に示すように、金属マスク１０の厚みが薄い場合には、蒸着源から蒸着対象物に向かって放出される蒸着材は、金属マスク１０のスリット１５の内壁面や、金属マスク１０の樹脂マスク２０が設けられていない側の表面に衝突することなく金属マスク１０のスリット１５、及び樹脂マスク２０の開口部２５を通過して蒸着対象物へ到達する。これにより、蒸着対象物上へ、均一な膜厚での蒸着パターンの形成が可能となる。つまりシャドウの発生を防止することができる。一方、図８（ｂ）に示すように、金属マスク１０の厚みが厚い場合、例えば、金属マスク１０の厚みが１００μｍを超える厚みである場合には、蒸着源から放出された蒸着材の一部は、金属マスク１０のスリット１５の内壁面や、金属マスク１０の樹脂マスク２０が形成されていない側の表面に衝突し、蒸着対象物へ到達することができない。蒸着対象物へ到達することができない蒸着材が多くなるほど、蒸着対象物に目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる未蒸着部分が生ずる、シャドウが発生することとなる。
【００４８】
シャドウ発生を十分に防止するには、図８（ｃ）に示すように、スリット１５の断面形状を、蒸着源に向かって広がりをもつような形状とすることが好ましい。このような断面形状とすることで、蒸着マスク１００に生じうる歪みの防止、或いは耐久性の向上を目的として、蒸着マスク全体の厚みを厚くしていった場合であっても、蒸着源から放出された蒸着材が、スリット１５の当該表面や、スリット１５の内壁面に衝突等することなく、蒸着材を蒸着対象物へ到達させることができる。より具体的には、金属マスク１０のスリット１５における下底先端と、同じく金属マスク１０のスリット１５における上底先端を結んだ直線と金属マスク１０の底面とのなす角度が２５°〜６５°の範囲内であることが好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。このような断面形状とすることで、蒸着マスク１００に生じうる歪みの防止、或いは耐久性の向上を目的として金属マスク１０の厚みを比較的厚くした場合であっても、蒸着源から放出された蒸着材が、スリット１５の内壁面に衝突等することなく、蒸着材を蒸着対象物へ到達させることができる。これにより、シャドウ発生をより効果的に防止することができる。なお、図８は、シャドウの発生と金属マスク１０のスリット１５との関係を説明するための部分概略断面図である。なお、図８（ｃ）に示す形態では、金属マスク１０のスリット１５が蒸着源側に向かって広がりを持つ形状となっており、樹脂マスク２０の開口部の向かいあう端面は略平行となっているが、シャドウの発生をより効果的に防止するためには、金属マスク１０のスリット、及び樹脂マスク２０の開口部２５は、ともにその断面形状が、蒸着源側に向かって広がりを持つ形状となっていることが好ましい。したがって、本発明の多面付け蒸着マスクの製造方法では、金属マスクのスリットや、樹脂マスクの開口部の断面形状が蒸着源側に向かって広がりをもつ形状となるように金属マスク１０のスリット１５や、樹脂マスク２０の開口部２５を製造することが好ましい。
【００４９】
図９（ａ）〜（ｄ）は、金属マスクのスリットと、樹脂マスクの開口部との関係を示す部分概略断面図であり、図示する形態では、金属マスクのスリット１５と樹脂マスクの開口部２５とにより形成される開口全体の断面形状が階段状を呈している。図９に示すように、開口全体の断面形状を蒸着源側に向かって広がりをもつ階段状とすることでシャドウの発生を効果的に防止することができる。
【００５０】
したがって、本発明の多面付け蒸着マスクの製造方法では、金属マスクのスリットと樹脂マスクの開口部２５とにより形成される開口全体の断面形状が階段状となるように製造することが好ましい。
【００５１】
金属マスクのスリット１５や、樹脂マスク２０の断面形状は、図９（ａ）に示すように、向かいあう端面が略平行となっていてもよいが、図９（ｂ）、（ｃ）に示すように、金属マスクのスリット１５、樹脂マスクの開口部の何れか一方のみが、蒸着源側に向かって広がりをもつ断面形状を有しているものであってもよい。なお、上記で説明したように、シャドウの発生をより効果的に防止するためには、金属マスクのスリット１５、及び樹脂マスクの開口部２５は、図４や、図９（ｄ）に示すように、ともに蒸着源側に向かって広がりをもつ断面形状を有していることが好ましい。
【００５２】
上記階段状となっている断面における平坦部（図９における符号（Ｘ））の幅について特に限定はないが、平坦部（Ｘ）の幅が１μｍ未満である場合には、金属マスクのスリットの干渉により、シャドウの発生防止効果が低下する傾向にある。したがって、この点を考慮すると、平坦部（Ｘ）の幅は、１μｍ以上であることが好ましい。好ましい上限値については特に限定はなく、樹脂マスクの開口部の大きさや、隣り合う開口部の間隔等を考慮して適宜設定することができ、一例としては、２０μｍ程度である。
【００５３】
なお、上記図９（ａ）〜（ｄ）では、スリットが縦方向に延びる場合に、当該スリット１５と重なる開口部２５が、横方向に１つ設けられた例を示しているが、図１０に示すように、スリットが縦方向に延びる場合に、当該スリット１５と重なる開口部２５が、横方向に２つ以上設けられていてもよい。図１０では、金属マスクのスリット１５、及び樹脂マスクの開口部２５は、ともに蒸着源側に向かって広がりをもつ断面形状を有しており、当該スリット１５と重なる開口部２５が、横方向に２つ以上設けられていている。
【００５４】
（フレーム）
次に、上記したような金属マスク１０と樹脂マスク２０とを組み合わせて構成されるマスク１００を複数個保持するためのフレーム２の構成としても、特に限定されるものではなく、例えば、図１に示す実施形態においては、フレーム２には矩形状の外枠部分２ａに加えて、当該外枠部分によって形成される開口空間３をその縦横方向に複数に区画するための、縦方向桟部分２ｂと横方向桟部分２ｃとを有してなるものであるが、フレーム２は外枠部分２ａを少なくとも有していれば、縦方向桟部分２ｂ、横方向桟部分２ｃについては、その有無については任意である。例えば、図５（ａ）に示すように、外枠部分２ａのみからなるフレーム２、図５（ｂ）、（ｃ）に示すように、外枠部分２ａと縦方向桟部分２ｂまたは横方向桟部分２ｃのいずれかからなるフレーム２等の構成とすることもできる。
【００５５】
また、例えば、図５（ｄ）に示すように、図１に示すような外枠部分２ａ、縦方向桟部分２ｂ、横方向桟部分２ｃを有するフレーム２を本体部とし、これに、当該縦方向桟部分２ｂおよび横方向桟部分２ｃで区画されて形成される各マスクに対応した開口部に、それぞれ取り付け可能な小枠部材３を別途複数個用意することも可能である。この場合、この複数の小枠部材３のそれぞれに後述するように、樹脂フィルム材２００および金属マスク１０を配置した上で、本体部となるフレーム２の各マスクに対応した開口部に小枠部材３を配置して接合することができる。
【００５６】
図５（ｂ）、（ｃ）に示すように、外枠部分２ａと縦方向桟部分２ｂまたは横方向桟部分２ｃのいずれかからなるフレーム２とした場合であっても、これらのフレーム２を本体部とし、図５（ｄ）に示すものと同様に各マスクに対応した小枠部材３を別途複数個用意し、これらを本体部となるフレーム２に配列接合することも可能である。この場合、本体部となるフレーム２には縦方向桟部分２ｂまたは横方向桟部分２ｃのいずれかしか存在しないが、小枠部材３によって、本体部となるフレーム２に存在しない横方向または縦方向の桟が補えることになる。
【００５７】
（本発明の製造方法）
本発明に係る多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム２内の開口空間３にその縦横方向に区画して、複数のマスク１００を配置してなる多面付け蒸着マスクの製造方法であって、上述したように、前記各マスク１００を、スリットが設けられた金属マスク１０と、当該金属マスクの表面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスク２０とにより構成させるにおいて、前記フレーム２に対して、各金属マスク１０、および、前記樹脂マスクを作成するための樹脂フィルム材２００を取り付けた後に、前記樹脂フィルム材２００を加工して、蒸着作製するパターンに対応した開口部を縦横に複数列形成するものである。
【００５８】
図６は、本発明の多面付け蒸着マスクの製造方法を説明するための工程図である。なお（ａ）〜（ｄ）はすべて断面図であり、図解を容易とするために各部材の肉厚、寸法を誇張して表している。
【００５９】
図６（ａ）に示すように、まずフレーム２を準備する。
【００６０】
このフレーム２に対して、図６（ｂ）に示すように、複数の、スリットが設けられた金属マスク１０、および、前記複数の金属マスクの表面側に位置させた樹脂フィルム材２００を取り付ける。
【００６１】
ここで、フレーム２に対する金属マスク１０の配置における位置精度については、もちろんその精度が高いものとすることに何ら問題はないが、本発明の製造方法においては、フレーム２内に前記複数の金属マスク１０および前記樹脂マスクを形成するための樹脂フィルム材２００を配置した後に、前記樹脂フィルム材２００を加工して、蒸着作製するパターンに対応した開口部を正確に設けるため、金属マスク１０の配置時における特段に高い精度は要求されず、比較的粗く配置しても、マスクの高精細化が可能である。例えば、前記フレーム２内に前記金属マスク１０を配置するにおいて、その設計上の配置位置と実際の配置位置との間におけるスリットの幅方向における最大許容誤差が、開口部２５のピッチＰ１の０．２倍以内であり、好ましくは０．１５倍以内であり、スリットの長さ方向における最大許容誤差が、５ｍｍ以内としても製品歩留まりの低下を生じる虞れはなく、作業効率の向上を図ることができる。
【００６２】
なお、フレーム２に対する、複数の金属マスク１０および樹脂フィルム材２００の取り付け方法および取り付け順序等については、特に限定されるものではなく、各種の態様を取り得る。この点に関しては、以下に詳述する。
【００６３】
その後、図６（ｃ）に示すように、フレーム２に対して、複数の金属マスク、および、樹脂フィルム材を全て取り付けた状態において、樹脂フィルム材２００を加工して、図６（ｄ）に示すように、樹脂フィルムに蒸着作製するパターンに対応した開口部を縦横に複数列形成して、樹脂マスク２０を作製することで、多面付け蒸着マスクを製造する。樹脂フィルム材２００を加工して、開口部を形成する方法としては特に限定されるものではないが、例えば、従来公知のレーザー加工法によるパターン開口により行うことができ、金属マスク側からレーザー光Ｘを照射し、前記樹脂板に蒸着作製するパターンに対応した開口部を縦横に複数列形成する。なお、本願明細書において蒸着作製するパターンとは、当該蒸着マスクを用いて作製しようとするパターンを意味し、例えば、当該蒸着マスクを有機ＥＬ素子の有機層の形成に用いる場合には、当該有機層の形状である。
【００６４】
なお、上記したようにフレーム２に対して、複数の金属マスク、および、樹脂フィルム材を全て取り付けた状態に固定された状態において、樹脂フィルム材２００を加工して開口部を設けるに際し、蒸着作製するパターン、すなわち形成すべき開口部２５に対応するパターンが予め設けられた基準板を準備し、この基準板を、樹脂フィルム材２００の金属マスク１０が設けられていない側の面に貼り合せた状態で、金属マスク１０側から、基準板のパターンに対応するレーザー照射を行ってもよい。この方法によれば、樹脂フィルム材２００と貼り合わされた基準板のパターンを見ながらレーザー照射を行う、いわゆる向こう合わせの状態で、樹脂フィルム材２００に開口部２５を形成することができ、開口の寸法精度が極めて高い高精細な開口部２５を有する樹脂マスク２０を形成することができる。また、この方法は、フレームに固定された状態で開口部２５の形成が行われることから、寸法精度のみならず、位置精度にも優れた蒸着マスクとすることができる。
【００６５】
なお、上記方法を用いる場合には、金属マスク１０側から、樹脂フィルム材２００を介して基準板のパターンをレーザー照射装置等で認識することができることが必要である。樹脂フィルム材２００としては、ある程度の厚みを有する場合には透明性を有するものを用いることが必要となるが、前述したようにシャドウの影響を考慮した好ましい厚み、例えば、３μｍ〜２５μｍ程度の厚みとする場合には、着色された樹脂フィルム材であっても、基準板のパターンを認識させることができる。
【００６６】
樹脂フィルム２００と基準板との貼り合せ方法についても特に限定はなく、例えば、金属マスク１０が磁性体である場合には、基準板の後方に磁石等を配置して、樹脂フィルム材２００と基準板とを引きつけることで貼り合せることができる。これ以外に、静電吸着法等を用いて貼り合せることもできる。基準板としては、例えば、所定のパターンを有するＴＦＴ基板や、フォトマスク等を挙げることができる。
【００６７】
（本発明の製造方法における任意設定事項：フレームに対する金属マスクおよび樹脂フィルム材の取り付け方法および取り付け順序）
上記したように、本発明の製造方法において、フレーム２に対する、複数の金属マスク１０および樹脂フィルム材２００の取り付け方法および取り付け順序等については、特に限定されるものではなく、各種の態様を取り得る。
【００６８】
すなわち、フレーム２に対しての、金属マスク１０および樹脂フィルム材２００の支持方法としては、（Ａ）フレーム２に対し、金属マスク１０を、例えばスポット溶接等によって接合し、当該金属マスク１０に接着剤、粘着剤、融着等により接合された樹脂フィルム材２００を、フレーム２に対し支持する方法（この場合、樹脂フィルム材は金属マスクの面積と等しいかこれより若干も小さいものとなる。）であっても、あるいは（Ｂ）フレーム２に対し、樹脂フィルム材２００を接着剤、粘着剤、溶着（高周波融着等）等により接合し、当該樹脂フィルム材上に同様に接着剤、粘着剤、溶着（高周波融着等）等により接合された金属マスク１０を、フレーム２に対し支持する方法（この場合、金属マスクは、樹脂フィルム材の面積より小さいものとなり、１の樹脂フィルム材上に複数の金属マスクを配置することも可能となる。）であってもよい。また、（Ａ）、（Ｂ）のいずれの態様においても、フレーム２に対する金属マスク１０または樹脂フィルム材２００の接合と、金属マスク１０と樹脂フィルム材２００との接合との順序は、いずれが先となってもよい。
【００６９】
樹脂フィルム材とは、金属マスク１０の原板となる金属板に対し、樹脂液をコーティングして得られる樹脂層であっても良い。上記（Ａ）のような態様においては、金属マスク１０の原板となる金属板に対し、樹脂液をコーティングして樹脂フィルム層を形成したり、あるいは、例えば、金属板の延展の際に樹脂コーティングを行って製造される樹脂フィルム被覆金属板を利用することも可能である。あるいは、金属板に、樹脂板を貼り合せて樹脂層付き金属板を得ることもできる。金属板と樹脂板との貼り合せ方法としては、例えば各種粘着剤を用いてもよく、または自己粘着性を有する樹脂板を用いてもよい。この場合、表面に樹脂フィルム材が被覆された金属板に対し、当該金属板のみを貫通するスリットを形成することにより、樹脂フィルム材２００が接合された金属マスク１０とする。この工程は特に限定されることはなく、所望のスリットを金属マスクのみに形成することができればいかなる工程であってもよいが、例えば、公知のドライまたはウェットエッチング法等を採用できる。このような金属板からの金属スリットの形成についても、樹脂フィルム被覆金属板を、フレーム２に接合する前あるいは後のいずれにおいても実施することが可能である。
【００７０】
樹脂フィルム層は成形の後ある程度の期間は、温度ないし湿度の影響によって経時変化を起こすため、形状が落ち着くまでの間、いわゆるエイジング期間を設けることが歩留向上の観点から好ましい。
【００７１】
また、上記（Ｂ）のような態様においては、樹脂フィルム材２００に対する、金属マスクの配置方法として、種々の態様を採択することが可能となる。このような実施形態の例を、図７（ａ）〜（ｆ）に示す。
【００７２】
図７（ａ）に示す実施形態は、複数の金属マスク１０のそれぞれに対して、１対１で対応する複数の樹脂フィルム材２００を用いる例を示したものである。
【００７３】
この実施形態においては、用いられるフレーム２として、先に示した図１に図示したような外枠部分２ａおよび縦方向桟部分２ｂと横方向桟部分２ｃを有するフレームを用いるか、あるいは、図５（ｄ）において示したような小枠部材４を複数別途用意して、各マスクに対応したそれぞれの開口部に、１つの金属マスク１０を配置した樹脂フィルム材２００をそれぞれ接合するものである。なお、各樹脂フィルム材２００に対する各金属マスク１０の接合は、各樹脂フィルム材２００のフレーム２への接合の前あるいは後の、いずれにおいても実施することが可能である。
【００７４】
図７（ｂ）〜（ｄ）に示す実施形態は、前記樹脂フィルム材２００として、前記フレーム内の開口空間の実質的に全面を覆う１枚のものを用いる例を示したものである。
【００７５】
図７（ｂ）の実施形態においては、樹脂フィルム材２００の縦横方向に、複数の金属マスク１０が配列されている。
【００７６】
なお、複数の金属マスク１０は、図７（ｂ）に示すようにこれらをそれぞれ別個の部材として形成する必要は、必ずしもなく、前記複数の金属マスクとして、当該複数個のうちのいくつか、例えば、縦横の配列における一列全部ないしその一部を、一体的に形成してなる金属マスク集合体部材として形成し、これを複数個用いることも可能である。図７（ｃ）、（ｄ）に示す実施形態は、このような例を示したものであり、図７（ｃ）の実施形態においては、図上縦方向における一列全部の複数の金属マスクを一体的に形成してなる金属マスク集合体部材３００を作成し、この金属マスク集合体部材３００を複数個、図上横方向に配置した形態としている。また、図７（ｄ）の実施形態においても、図７（ｃ）と同様に、図上縦方向における一列全部の複数の金属マスクを一体的に形成してなる金属マスク集合体部材３０１としているが、この金属マスク集合体部材３０１は、図７（ｃ）の金属マスク集合体部材３００とは異なり、各金属マスク相互を横方向に区画する枠部分が存在せず、当該金属マスク集合体部材３０１に、図上縦方向に形成されたスリット３１５がそのほぼ全長にわたって連続したものとして形成されている。図７（ｄ）に示すような態様のものであっても、フレーム２の形状として適切なもの、すなわち、図１に図示したような外枠部分２ａおよび縦方向桟部分２ｂと横方向桟部分２ｃを有するフレーム、あるいは、外枠部分２ａおよび横方向桟部分２ｃを有するフレーム等を組み合わせて用いることによって、個々の金属マスクを区画形成することができる。なお、図７（ｄ）に示すような実施形態においては、フレーム２の桟部との位置関係から、フレーム２に対する樹脂フィルム材２００の接合に先立ち、樹脂フィルム材２００に当該金属マスク集合体部材３０１を配置する必要がある。
【００７７】
図７（ｅ）、（ｆ）に示す実施形態は、前記樹脂フィルム材２００として、前記フレーム２内の開口空間の縦横方向のいずれか一方の方向の寸法に対応する長さを有しかつ他方の方向においては開口空間の寸法よりも短い長さを有するものを、複数枚組合せる例を示したものである。すなわち、図７（ｅ）、（ｆ）に示す実施形態においては、図上縦方向において、装着を予定されるフレーム２内の開口空間の縦方向の寸法に対応する長さ有しかつ開口空間の横縦方向の寸法よりも短い長さを有する前記樹脂フィルム材２００を、複数枚組合せる例である。
【００７８】
樹脂フィルム材は、大面積になればなるほど、フレーム２への取り付け時に加わる外部応力や熱膨張ないし収縮等による寸法変化が相対的に大きくなる傾向が生じるが、このように、樹脂フィルム材をある程度短寸化することによって、これらの不具合を減少させることが可能となる。
【００７９】
図７（ｅ）の実施形態においては、上記したような短幅の樹脂フィルム材２００のそれぞれの縦方向に、複数の金属マスク１０が一列づつ配列されている。なお、前記樹脂フィルム材２００に対する複数の金属マスク１０の接合は、各樹脂フィルム材２００のフレーム２への接合の前あるいは後の、いずれにおいても実施することが可能である。
【００８０】
また、図７（ｆ）の実施形態においては、前記図７（ｄ）に示したと同様の形状を有する金属マスク集合体部材３０１が１つづつ配列されている。このような金属マスク集合体部材３０１と組み合わせるフレーム２の形状としては、図７（ｄ）の実施形態の説明において行ったものと同様のものである。なお、このような実施形態においては、前記したと同様に、フレーム２に対する樹脂フィルム材２００の接合に先立ち、樹脂フィルム材２００に当該金属マスク集合体部材３０１を配置する必要がある。
【００８１】
（本発明の製造方法における任意設定事項：スリミング工程）
また、本発明の製造方法においては、上記で説明した工程間、或いは工程後にスリミング工程を行ってもよい。当該工程は、本発明の製造方法における任意の工程であり、金属マスク１０の厚みや、樹脂マスク２０の厚みを最適化する工程である。金属マスク１０や樹脂マスク２０の好ましい厚みとしては、前述した好ましい範囲内で適宜設定すればよく、ここでの詳細な説明は省略する。
【００８２】
たとえば、樹脂フィルム付き金属板として、ある程度の厚みを有するものを用いた場合には、製造工程中において、樹脂フィルム付き金属板や、樹脂フィルム付き金属マスク１０を搬送する際、上記製造方法で製造された多面付き蒸着マスク１を搬送する際に優れた耐久性や搬送性を付与することができる。一方で、シャドウの発生等を防止するためには、本発明の製造方法で得られる多面付き蒸着マスク１中に組み込まれた各蒸着マスク１００の厚みは最適な厚みであることが好ましい。スリミング工程は、製造工程間、或いは工程後において耐久性や搬送性を満足させつつ、蒸着マスク１００の厚みを最適化する場合に有用な工程である。
【００８３】
金属マスク１０となる金属板や金属マスク１０のスリミング、すなわち金属マスクの厚みの最適化は、上記で説明した工程間、或いは工程後に、金属板の樹脂フィルム２００と接しない側の面、或いは金属マスク１０の樹脂フィルム２００又は樹脂マスク２０と接しない側の面を、金属板や金属マスク１０をエッチング可能なエッチング材を用いてエッチングすることで実現可能である。
【００８４】
樹脂マスク２０となる樹脂フィルム２００や樹脂マスク２０のスリミング、すなわち、樹脂フィルム２００、樹脂マスク２０の厚みの最適化についても同様であり、上記で説明した何れかの工程間、或いは工程後に、樹脂フィルム２００の金属板や金属マスク１０と接しない側の面、或いは樹脂マスク２０の金属マスク１０と接しない側の面を、樹脂フィルム２００や樹脂マスク２０の材料をエッチング可能なエッチング材を用いてエッチングすることで実現可能である。また、多面付け蒸着マスク１を形成した後に、金属マスク１０、樹脂マスク２０の双方をエッチング加工することで、双方の厚みを最適化することもできる。
【００８５】
スリミング工程において、樹脂フィルム２００、或いは樹脂マスク２０をエッチングするためのエッチング材については、樹脂フィルム２００や樹脂マスク２０の樹脂材料に応じて適宜設定すればよく、特に限定はない。例えば、樹脂フィルム２００や樹脂マスク２０の樹脂材料としてポリイミド樹脂を用いる場合には、エッチング材として、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムを溶解させたアルカリ水溶液、ヒドラジン等を用いることができる。エッチング材は市販品をそのまま使用することもでき、ポリイミド樹脂のエッチング材としては、東レエンジニアリング（株）製のＴＰＥ３０００などが使用可能である。
【００８６】
（有機半導体素子の製造方法）
本発明の有機半導体素子の製造方法は、上記で説明した本発明の製造方法で製造された多面付蒸着マスク１を用いて有機半導体素子を形成することを特徴とするものである。多面付蒸着マスク１については、上記で説明した本発明の製造方法で製造された多面付け蒸着マスク１をそのまま用いることができ、ここでの詳細な説明は省略する。上記で説明した本発明の多面付け蒸着マスクによれば、当該多面付け蒸着マスク１中に配された各蒸着マスク１００が有する寸法精度の高い開口部２５によって、高精細なパターンを有する有機半導体素子を形成することができる。本発明の製造方法で製造される有機半導体素子としては、例えば、有機ＥＬ素子の有機層、発光層や、カソード電極等を挙げることができる。特に、本発明の有機半導体素子の製造方法は、高精細なパターン精度が要求される有機ＥＬ素子のＲ、Ｇ、Ｂ発光層の製造に好適に用いることができる。
【００８７】
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記したような実施形態に何ら限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内において種々の形態を採択し得るものである。
【符号の説明】
【００８８】
１…多面付け蒸着マスク
２…フレーム
３…フレーム内の開口空間
１００…蒸着マスク
１０…金属マスク
１５…スリット
１８…ブリッジ
２０…樹脂マスク
２５…開口部
２００…樹脂フィルム材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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