(57)【要約】  【課題】容易にモータの良否判定ができるモータの検査装置を提供する。  【解決手段】モータ１００の振動に基づいて前記モータ１００の検査を行うモータの検査装置１である。検査装置１は、前記モータ１００のハウジング１０１外表面に取り付けられ、前記モータの駆動時に生じる振動に関する情報を計測する振動計測部４と、前記振動計測部４により計測された前記モータ１００の振動に関する情報を、周波数解析することにより、周波数に応じた振動強度を得る振動強度解析部１２と、前記振動強度解析部１２によって得られた前記振動強度を用いて、周波数帯域ごとに前記モータ１００の不良の有無を判定する良否判定部１３と、を有する。【選択図】  図１
2019060795.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータの振動に基づいて前記モータの検査を行うモータの検査装置であって、
前記モータのハウジング外表面に取り付けられ、前記モータの駆動時に生じる振動に関する情報を計測する振動計測部と、
前記振動計測部により計測された前記モータの振動に関する情報を、周波数解析することにより、周波数に応じた振動強度を得る振動強度解析部と、
前記振動強度解析部によって得られた前記振動強度を用いて、周波数帯域ごとに前記モータの不良の有無を判定する良否判定部と、
を有する、モータの検査装置。
【請求項２】
前記振動強度解析部は、周波数帯域ごとに前記振動強度の最大値及び積分値の少なくとも一方を演算し、
前記良否判定部は、前記振動強度解析部によって得られた前記振動強度の最大値及び積分値の少なくとも１つが、前記周波数帯域ごとに設定された良否判定基準値である閾値を超えた場合に、前記モータの不良と判定する、請求項１に記載のモータの検査装置。
【請求項３】
前記閾値は、前記モータの不良の種別に応じて予め設定された値であり、
前記良否判定部は、周波数帯域ごとの前記振動強度が前記閾値を越えた周波数帯域を求めることにより、前記モータの不良の種別を判定する、請求項２に記載のモータの検査装置。
【請求項４】
前記モータの振動に関する情報は、前記モータの駆動時に生じた振動の加速度の情報であり、
前記振動強度は、前記モータの駆動時に生じた振動の振幅量である、請求項１から３のいずれか１つに記載のモータの検査装置。
【請求項５】
前記振動計測部は、前記モータの振動に関する情報を、前記モータの回転軸方向及び周方向の２方向について計測し、
前記振動強度解析部は、前記２方向の振動に関する情報に基づいて、前記２方向の振動強度を求め、
前記良否判定部は、前記２方向の振動強度を用いて、周波数帯域ごとに前記モータの不良の有無を判定する、請求項１から４のいずれか１つに記載のモータの検査装置。
【請求項６】
モータの振動に基づいて前記モータの検査を行うモータの検査方法であって、
前記モータのハウジング外表面に取り付けられた振動計測部によって、前記モータの駆動時に生じる振動に関する情報を計測する振動計測工程と、
前記振動計測工程で計測された前記モータの振動に関する情報を、周波数解析することにより、周波数に応じた振動強度を得る振動強度解析工程と、
前記振動強度解析工程で得られた前記振動強度を用いて、周波数帯域ごとに前記モータの不良の有無を判定する良否判定工程と、
を有する、モータの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータの検査装置及びモータの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、防音室内でモータを実際に駆動させて、モータ駆動時に発生した音に基づいて、モータの良否判定する方法が知られている。
【０００３】
また、特許文献１（特開２００５−１４０７８６号公報）には、回転しているモータの振動励起をレーザ振動計装置により測定し、測定された振動励起と騒音レベルとの相関関係づけを行うことにより、モータの騒音放出を判定する測定方法が開示されている。
【０００４】
特許文献１の測定方法は、駆動しているモータにレーザ振動計装置からレーザ光を照射し、モータの特定部位における振動振幅を検出し、同型のモータで予め求めていた相関パラメータを用いて騒音レベルを算出し、当該騒音レベルに基づいてモータの騒音放出の程度を判定する方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１４０７８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、モータ駆動時に発生する音に基づいて、モータの良否判定を行う場合、モータの駆動に依拠しない音の影響を排除するために防音室内で検査を行う必要がある。よって、検査の手間が大きくなるという問題があった。
【０００７】
また、特許文献１に記載の測定方法では、モータの振動振幅に基づいてモータが発生する騒音レベルを算出するため、モータの不良の有無の判定を検査できていない。
【０００８】
本発明の目的は、容易にモータの良否判定ができるモータの検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記技術的課題を解決するために、以下の構成のモータの検査装置を提供する。
【００１０】
本発明の第１の観点によるモータの検査装置は、モータの振動に基づいて前記モータの検査を行う。モータの検査装置は、前記モータのハウジング外表面に取り付けられ、前記モータの駆動時に生じる振動に関する情報を計測する振動計測部と、
前記振動計測部により計測された前記モータの振動に関する情報を、周波数解析することにより、周波数に応じた振動強度を得る振動強度解析部と、
前記振動強度解析部によって得られた前記振動強度を用いて、周波数帯域ごとに前記モータの不良の有無を判定する良否判定部と、
を有する。
【００１１】
本発明の第２の観点によるモータの検査方法は、モータの振動に基づいて前記モータの検査を行う。モータ検査方法は、前記モータのハウジング外表面に取り付けられた振動計測部によって、前記モータの駆動時に生じる振動に関する情報を計測する振動計測工程と、
前記振動計測工程で計測された前記モータの振動に関する情報を、周波数解析することにより、周波数に応じた振動強度を得る振動強度解析工程と、
前記振動強度解析工程で得られた前記振動強度を用いて、周波数帯域ごとに前記モータの不良の有無を判定する良否判定工程と、を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のモータの検査装置によれば、駆動するモータの振動に関する情報に基づいて周波数に応じて得られた振動強度を用いて、周波数帯域ごとに前記モータの不良の有無を判定することで、容易にモータの良否判定をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の実施形態にかかるモータの検査装置の概略構成を模式的に示すブロック図である。
【図２】図２は、図１の検査装置の制御演算部の機能ブロック図である。
【図３】図３は、図１の検査装置が行う処理フローの一例を示すフローチャートである。
【図４Ａ】図４Ａは、振動データ計測工程で得られた軸方向の加速度情報の波形の一例を示すグラフである。
【図４Ｂ】図４Ｂは、振動データ計測工程で得られた径方向の加速度情報の波形の一例を示すグラフである。
【図５Ａ】図５Ａは、周波数解析工程で得られた軸方向の周波数情報の波形の一例を示すグラフである。
【図５Ｂ】図５Ｂは、周波数解析工程で得られた径方向の周波数情報の波形の一例を示すグラフである。
【図６】図６は、周波数帯域ごとの抽出波形情報の最大値及び積分値について説明するグラフである。
【図７】図７は、モータの不良の種別に特徴的な周波数帯域の一例を示す図である。
【図８】図８は、本発明の実施形態にかかるモータの検査装置の検査対象であるモータの概略構成の一例を、中心軸を含む断面で模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照し、本発明の実施の形態を詳しく説明する。なお、図中の同一または相当部分については同一の符号を付してその説明は繰り返さない。また、各図中の構成部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び各構成部材の寸法比率等を忠実に表してはいない。
【００１５】
また、以下の説明において、“固定”、“接続”及び“取り付ける”等（以下、固定等）の表現は、部材同士が直接、固定等されている場合だけでなく、他の部材を介して固定等されている場合も含む。すなわち、以下の説明において、固定等の表現には、部材同士の直接的及び間接的な固定等の意味が含まれる。
【００１６】
なお、以下の説明では、モータの駆動軸の中心軸と平行な方向を「軸方向」、中心軸に直交する方向を「径方向」、中心軸を中心とする円弧に沿う方向を「周方向」、とそれぞれ称する。ただし、この方向の定義により、本発明に係るモータの使用時の向きを限定する意図はない。
【００１７】
（検査装置の構成）
図１に、本発明の実施形態にかかるモータの検査装置の概略構成を示す。本実施形態にかかるモータの検査装置１は、モータ搬送装置２、ピックアップ脱着装置３、加速度ピックアップ４（以下、単にピックアップと略記する。）、モータ接続端子５、モータ駆動用電源６、モータ固定部７、データ集録機９及び制御演算部１０を有する。
【００１８】
本実施形態における検査装置１の検査対象物は、モータ１００である。検査対象であるモータ１００は、サイズ、用途、構成などに関わらず、電力の供給によって回転駆動する全てのモータが含まれる。
【００１９】
検査対象の一例としてのモータ１００は、図８に示すように、ハウジング１０１、端子１０３、基板部支持１０４、ロータ１０５、ステータ１０６及びベアリング１０７を有する。ロータ１０５は、円筒状のステータ１０６の内側に位置する。ロータ１０５は、駆動軸１０２，ロータコア１０５ａ及びマグネット１０５ｂを有し、ステータ１０６に対し、駆動軸１０２の中心軸Ｐを中心として回転する。マグネット１０５ｂは、ロータコア１０５ａに設けられたスロット内に位置する。ステータ１０６は、ステータコア１０６ａと、ステータコイル１０６ｂとを有する。
【００２０】
ロータ１０５及びステータ１０６は、ハウジング１０１内に収容される。ハウジング１０１は、有底筒状であり、上面部１０１ａ及び側壁部１０１ｂを有する。すなわち、ハウジング１０１は、開口１０１ｃを有する。基板支持部１０４は、ハウジングに対して軸線方向の一方側に位置し、ハウジング１０１の開口１０１ｃを覆う。駆動軸１０２は、基板支持部１０４を貫通して突出する。基板支持部１０４は、基板部１０４ａを有する。基板部１０４ａには、端子１０３が電気的に接続される。ステータ１０６には、モータ駆動用電源６（図１参照）から端子１０３に供給された電力が、基板部１０４ａを介して供給される。これにより、ステータ１０６には磁界が生じて、ロータ１０５が回転する。モータ駆動用電源６、端子１０３、基板部１０４ａ及びステータコイル１０６ｂによってモータ回路が構成される。
【００２１】
ベアリング１０７は、ハウジング１０１の上面部１０１ａ及び基板支持部１０４にそれぞれ配置され、ロータ１０５の駆動軸１０２を回転可能に支持する。
【００２２】
モータ搬送装置２は、検査対象となるモータ１００を検査装置１に搬送する。モータ搬送装置２は、モータ１００を把持可能なチャック２ａと、チャック２ａを移動させるための駆動ロボット２ｂとを備える。モータ搬送装置２は、駆動ロボット２ｂによりチャック２ａを移動させることにより、例えば、検査対象となるモータ１００のストックの中から検査するモータ１００を取り出して、モータ１００を検査装置１の検査位置に配置する。
【００２３】
モータ固定部７は、モータ搬送装置２により搬送された検査対象であるモータ１００を、検査位置に固定する。モータ固定部７は、モータ１００を把持可能なチャック７ａを備える。本実施形態では、モータ固定部７がモータ１００を把持する箇所は、モータ１００のハウジング１０１に対して軸線方向の一方側に位置する基板支持部１０４である。しかしながら、モータ固定部７によるモータ１００の把持の箇所は、特に限定されなく、モータ１００の構成及び検査の精度などに応じて任意に決定すればよい。
【００２４】
また、モータ固定部７のチャック７ａは、モータ１００を把持する部分に、振動吸収パッド７ｂを有する。振動吸収パッド７ｂは、モータ１００の駆動に伴う振動を吸収して、モータ固定部７に伝達することを防止できる。振動吸収パッド７ｂは、例えばシリコンパッドなどを用いることができる。
【００２５】
ピックアップ着脱装置３は、ピックアップ４を、検査装置１の検査位置に固定されたモータ１００に対して脱着する。ピックアップ着脱装置３は、ピックアップ４を把持可能なチャック３ａと、チャック３ａを移動させるための駆動ロボット３ｂとを備える。ピックアップ着脱装置３は、駆動ロボット３ｂにより、ピックアップ４を把持したチャック３ａを移動させ、検査対象のモータ１００の取り付け位置にピックアップ４を取り付ける。また、ピックアップ着脱装置３は、モータ１００の検査終了後に、モータ１００からピックアップ４を取り外す。
【００２６】
モータ１００におけるピックアップ４の取り付け位置は、モータ１００の種類ごとに異なる。前記取り付け位置として、例えば、モータ１００の駆動軸１０１が突出するハウジング１０１の上面１０１ａの外表面などを例示することができる。しかしながら、ピックアップ４の取り付け位置は、ハウジング１０１の上面１０１ａの外表面に限定されない。
【００２７】
ピックアップ４は、本実施形態では圧電式のピックアップであり、モータ１００に生じる振動の３軸方向の加速度を測定可能である。ピックアップ４は、本発明の振動計測部の一例である。ピックアップ４は、測定部４ａと、磁石４ｂとを備える。ピックアップ４は、磁石４ｂによってモータ１００のハウジング１０１に脱着自在に取り付けられる。ピックアップ４は、モータ１００の軸方向及びモータの径方向の振動に伴う加速度を計測する。
【００２８】
モータ接続端子５は、モータ１００の端子１０３に接続可能な端子であり、矢印９０に示すように、移動装置５ａによってモータ１００の端子１０３に対して移動可能である。移動装置５ａは、モータ接続端子５をモータ１００の端子１０３まで移動可能である。移動装置５ａによってモータ１００の端子１０３まで移動したモータ接続端子５は、端子１０３と通電可能に接続される。
【００２９】
モータ接続端子５には、モータ駆動用電源６からモータ１００を駆動させるための電力が供給される。なお、モータ駆動用電源６からモータ１００には、所定の回転数でモータ１００を回転させる電力が供給される。
【００３０】
モータ駆動用電源６は、制御演算部１０の制御により、モータ１００に生じる振動を計測する際にモータ接続端子５を介してモータ１００に電力を供給する。モータ駆動用電源６は、モータ１００の振動の計測が終了すると、モータ１００への電力供給を停止する。
【００３１】
データ集録機９は、ピックアップ４から出力された振動に関するアナログ信号をデジタル変換した加速度情報を制御演算部１０に出力する。
【００３２】
制御演算部１０は、モータ搬送装置２、ピックアップ脱着装置３、ピックアップ４，モータ接続端子５、モータ駆動用電源６及びモータ固定部７の動作制御を行う。また、制御演算部１０は、ピックアップ４から得られた計測データの演算及びモータ１００の良否の判定を行う。制御演算部１０としては、汎用のコンピュータに計測用のプログラムを実行させることによって好適に実現可能である。しかしながら、制御演算部１０として、専用の装置を用いることもできる。
【００３３】
制御演算部１０は、図２に示すように、動作制御部１１、振動強度解析部１２及び良否判定部１３を有する。良否判定部１３は、良否判定用の基準データ１４を含む。
【００３４】
動作制御部１１は、モータ搬送装置２、ピックアップ脱着装置３、モータ接続端子５、モータ駆動用電源６及びモータ固定部７を動作制御する。また、動作制御部１１は、ピックアップ４から送信され、データ集録機９により変換された加速度情報を適宜のタイミングで受信する。
【００３５】
なお、本実施形態において、動作制御部１１は、モータ搬送装置２、ピックアップ脱着装置３、モータ接続端子５、モータ駆動用電源６及びモータ固定部７を動作制御するためのドライバを含んでいる。
【００３６】
振動強度解析部１２は、データ集録機９により変換された加速度情報を、周波数解析することにより、周波数に応じた振動強度である周波数情報を得る。振動強度解析部１２は、データ解析部１５、データ変換部１６、波形演算部１７を有する。
【００３７】
データ解析部１５は、データ集録機９により変換された加速度情報について、周波数解析を行う。データ変換部１６は、データ解析部１５により周波数解析された周波数情報から周波数帯域ごとの抽出波形情報を抽出する。波形演算部１７は、データ変換部１６により抽出された抽出波形情報の波形の特徴を特徴量として数値化する。
【００３８】
良否判定部１３は、振動強度解析部１２によって得られた抽出波形情報の波形の特徴量を用いて、周波数帯域ごとにモータ１００の不良の有無を判定する。
【００３９】
（モータの検査手順）
次に、上述のような構成を有する検査装置１がモータ１００の検査を行う処理フローについて説明する。図３は、本実施形態の検査装置１が行う処理フローの一例を示すフローチャートである。
【００４０】
最初に、制御演算部１０は、モータ搬送装置２及びモータ固定部７によって、検査対象となるモータ１００を検査装置１の検査位置に据え付けた後、ピックアップ着脱装置３によって、モータ１００にピックアップ４を固定する。これらの一連の処理が、図３に示すモータ搬送固定工程（ステップＳ１）である。
【００４１】
モータ搬送固定工程（ステップＳ１）では、具体的には、制御演算部１０は、モータ搬送装置２により、検査対象となるモータ１００を検査装置１の検査位置に搬入し、モータ固定部７によって把持固定する。次いで、制御演算部１０は、ピックアップ脱着装置３により、ピックアップ４をモータ１００の所定位置に取り付ける。モータ搬送固定工程（ステップＳ１）の一連の処理は、制御演算部１０の動作制御部１１によって制御される。
【００４２】
次に、制御演算部１０は、移動装置５ａにより、モータ接続端子５を、モータ固定部７に固定されているモータ１００の端子１０３に接続する位置まで移動させる。次いで、制御演算部１０は、モータ駆動用電源６により、モータ接続端子５にモータ１００の駆動電力を供給する。これらの処理が、図３に示すモータ駆動工程（ステップＳ２）である。モータ駆動工程（ステップＳ２）の一連の処理は、制御演算部１０の動作制御部１１によって制御される。
【００４３】
なお、本実施形態では、検査対象としてのモータ１００は、７７００ｒｐｍで駆動される。検査装置１は、７７００ｒｐｍで駆動するモータの振動計測を１回のみ行う。しかしながら、モータ１００の振動計測において、モータ１００の回転数を変更してもよい。また、モータ１００の振動計測の回数は、複数回であってもよい。
【００４４】
モータ１００が駆動している間に、ピックアップ４によってモータ１００の駆動に伴う振動に関する情報が計測される。この処理が、図３に示す振動データ計測工程（ステップＳ３）である。振動データ計測工程（ステップＳ３）では、ピックアップ４により、モータの軸方向及び径方向の測定値が同時に測定され、その測定結果がピックアップ４から出力信号として出力される。ピックアップ４の出力信号は、データ集録機９によりデジタル信号に変換されて、制御演算部１０に入力される。では、制御演算部１０の動作制御部１１は、データ集録機９から出力された加速度情報を適宜のタイミングで受信する。なお、振動データ計測工程（ステップＳ３）は、本発明の振動計測工程の一例に相当する。
【００４５】
なお、動作制御部１１は、ピックアップ４によるモータ１００の振動計測が終了した後、モータ駆動用電源６を制御してモータ１００への駆動電力の供給を停止してもよい。また、検査装置１は、ピックアップ４の取り付け位置及びモータ１００の駆動条件を変更して、再度、モータ１００の振動計測を行ってもよい。動作制御部１１は、再度、モータ１００の振動計測を行う場合、検査装置１に含まれる各種装置を計測条件に応じて動作制御する。
【００４６】
図４Ａは、振動データ計測工程で得られた軸方向の加速度情報の波形の一例を示すグラフである。図４Ｂは、振動データ計測工程で得られた径方向の加速度情報の波形の一例を示すグラフである。
【００４７】
軸方向及び径方向の加速度情報は、それぞれ、振動に関する加速度値の時間変化の情報を含む。図４Ａ及び図４Ｂに示す例では、振動の計測時間は１秒である。しかしながら、計測時間は特に限定されなく、任意の時間とすることができる。
【００４８】
軸方向及び径方向の加速度情報は、制御演算部１０により、それぞれ周波数解析されて軸方向及び径方向の周波数情報に変換される。この処理が、図３に示す周波数解析工程（ステップＳ４）である。周波数解析工程（ステップＳ４）は、制御演算部１０のデータ解析部１５が処理を行う。データ解析部１５は、例えば、高速フーリエ変換（ＦＦＴ解析）を用いて周波数解析を行う。高速フーリエ変換（ＦＦＴ解析）のアルゴリズムについては、信号解析で広く使用されているアルゴリズムと同様であるため、詳しい説明を省略する。
【００４９】
図５Ａは、周波数解析工程で得られた軸方向の周波数情報の波形の一例を示すグラフである。図５Ｂは、周波数解析工程で得られた径方向の周波数情報の波形の一例を示すグラフである。
【００５０】
軸方向及び径方向の周波数情報は、それぞれ、振動周波数毎の振動強度に関する値（振幅強度）の情報を含む。図５Ａ及び図５Ｂに示す例では、周波数情報は、０から５０００ｋＨｚまでの連続した周波数に対する振幅強度の情報を含む。しかしながら、周波数情報は限定されなく、任意の周波数帯域としてもよい。また、特定の周波数帯域において、離散した周波数解析を行ってもよい。なお、図５Ａ及び図５Ｂにおいて、縦軸の振幅強度は、実際の振幅値ではなく、振幅値を強度レベルに換算した値である。振幅値を強度レベルに換算した値は、本発明の振幅量の一例に相当する。
【００５１】
次に、周波数解析工程で得られた軸方向及び径方向の周波数情報から、それぞれ、特定の周波数帯域ごとの抽出波形情報Ａ１〜Ａ５、Ｒ１〜Ｒ４が抽出される。特定の周波数帯域ごとの抽出波形情報の抽出では、バンドパスフィルタを用いて、特定の周波数帯域以外の周波数情報を除去する。なお、この処理では、誤差データの修正などの周波数情報の補正を行ってもよい。この処理が、図３に示すバンドパス処理工程（ステップＳ５）である。バンドパス処理工程（ステップＳ５）は、制御演算部１０のデータ変換部１６が処理を行う。
【００５２】
本実施形態では、特定の周波数帯域ごとの抽出波形情報Ａ１〜Ａ５、Ｒ１〜Ｒ４は、図５Ａに示すように軸方向の周波数情報から５バンドの周波数帯域に分けて抽出され、図５Ｂに示すように径方向の周波数情報から４バンドの周波数帯域に分けて抽出される。抽出される周波数帯域の一例を、それぞれ下記の表１(軸方向のバンド)及び表２(周方向のバンド)に示す。しかしながら、当該周波数帯域及びバンド数は、下記表１及び表２に限定されなく、検査対象のモータ１００の種類及びモータ１００の駆動条件などによって予め決定される。
【００５３】
抽出された抽出波形情報Ａ１〜Ａ５、Ｒ１〜Ｒ４は、後述するモータの不良の種別に応じた特定の周波数を含む。
【００５４】
【表１】
2019060795.tif 000003
【００５５】
【表２】
2019060795.tif 000004
【００５６】
上記の周波数帯域ごとの抽出波形情報Ａ１〜Ａ５、Ｒ１〜Ｒ４に基づいて、制御演算部１０の波形演算部１７は、それぞれの波形の形状の特徴を特徴量として数値化する。本実施形態では、前記特徴量として、図６に示すように、周波数帯域ごとの抽出波形情報に含まれる波形の最大値Ｖｍａｘ及び波形の積分値Ｆが例示できる。しかしながら、前記特徴量は、波形の最大値Ｖｍａｘ及び波形の積分値Ｆに限定されなく、いずれか一方であってもよいし、他の値であってもよい。この処理が、図３に示す波形演算工程（ステップＳ６）である。
【００５７】
なお、周波数解析工程（ステップＳ４）、バンドパス処理工程（ステップＳ５）及び波形演算工程（ステップＳ６）が本発明の振動強度解析工程の一例に相当する。
【００５８】
上記のようにして得られた抽出波形情報Ａ１〜Ａ５、Ｒ１〜Ｒ４の波形の最大値Ｖｍａｘ及び波形の積分値Ｆは、制御演算部１０の良否判定部１３によって、モータ１００の種類に応じて記憶されている基準データ１４と対比される。良否判定部１３は、その対比結果を用いて、モータ１００の不良の有無を判定する。この処理が、図３に示す良否判定工程（ステップＳ７）である。バンドパス処理工程（ステップＳ５）は、制御演算部１０の良否判定部１３が処理を司る。
【００５９】
基準データ１４には、周波数帯域ごとの抽出波形情報Ａ１〜Ａ５及びＲ１〜Ｒ４に対応するそれぞれの周波数帯域において、波形の最大値及び積分値の閾値が良否判定基準値として記録されている。良否判定部１３は、波形演算工程（ステップＳ６）で得られた周波数帯域ごとの波形情報における最大値Ｖｍａｘ及び波形の積分値Ｆと、基準データ１４の良否判定基準値とを比較し、いずれか一方が良否判定基準値を超えている場合、そのモータ１００を不良と判定する。
【００６０】
このように、良否判定部１３が抽出波形情報Ａ１〜Ａ５、Ｒ１〜Ｒ４ごとの最大値Ｖｍａｘ及び積分値Ｆと、良否判定基準値とを比較することにより、検査装置１は、モータ１００の良否を定量的に判定することができる。
【００６１】
なお、良否判定部１３は、不良の種別を判定する周波数帯域ごとの抽出波形情報Ａ１〜Ａ５、Ｒ１〜Ｒ４のうち、閾値を超えた１つの周波数帯域に基づいて不良の種別の判定を行なってもよいし、抽出波形情報Ａ１〜Ａ５、Ｒ１〜Ｒ４のうち、複数の抽出波形情報が閾値を超え、当該閾値を超えた抽出波形情報Ａ１〜Ａ５、Ｒ１〜Ｒ４が所定のある組み合わせである場合に、当該モータ１００の不良の種別を判定してもよい。
【００６２】
不良の種別としては、例えば、モータ１００に内蔵されるベアリング１０７に起因する不良音、異物混入などによる擦れ音及び電磁音が例示される。ベアリング１０７に起因する不良音としては、例えば、内輪損傷、外輪損傷、転動体損傷、保持器損傷などが例示される。擦れ音に起因する不良音としては例えば、ロータ１０５への金属片の付着、ロータ１０５のマグネット１０５ｂの欠け、及びステータ１０６のコア１０６ａの変形などが例示される。電磁音に起因する不良音としては、例えばモータ回路通電不良などが例示される。図７に示すように、モータ１００は、不良の種別に応じて特定の周波数の範囲で振動が増大する。このような特定の周波数における振動波形の特徴により、不良の種別を特定することができる。
【００６３】
モータ１００の不良の種別に応じた特定の周波数の一例を図７に示す。ベアリング１０７に起因する不良が生じた場合、軸方向の振動強度が１０００から３５００ｋＨｚ（符号２０）で増大するとともに、周方向の振動が８００から１５００ｋＨｚ近傍（符号２１）で増大する。また、擦れ音の場合、軸方向の振動が２３００から３２００ｋＨｚ（符号２２）で増大するとともに、周方向の振動が広い周波数帯域（符号２４）で増大する。電磁音の場合、軸方向の振動が３０００から３７００ｋＨｚ（符号２５）で増大するとともに、周方向の振動が１６００から３５００ｋＨｚ近傍（符号２６）で増大する。
【００６４】
したがって、例えば、軸方向及び径方向の少なくとも一方の振動強度が良否判定基準値を超えた周波数帯域を特定することで、上記に示した特定の周波数帯域に特有の不良の種別を特定することができる。なお、上記の不良の種別に応じて振動が増大する周波数帯域は、検査対象であるモータ１００の種類及び検査条件によって異なる。したがって、基準データ１４の良否判定基準値は、検査対象であるモータ１００の種類及び検査条件に応じて決められる。
【００６５】
このように、周波数帯域ごとの良否判定基準値とモータの振動から得られた抽出波形情報とを比較して、該抽出波形情報の特徴を示す特徴量が良否判定基準値を越えた周波数帯域を特定することにより、モータ１００の不良の種別を判定することができる。
【００６６】
また、本実施形態では、検査装置１は、モータ１００の振動を軸方向及び径方向の２方向で計測するため、２方向の抽出波形情報を得ることができる。よって、検査装置１は、２方向の抽出波形の情報を組み合わせてモータ１００の不良の種別を判定することで、モータ１００の良否をより精度良く判定することができる。
【００６７】
なお、同一のモータ１００について、モータ１００の回転数を変更して再度、振動計測を行う場合、又は、モータ１００の検査条件を変更して再度、振動計測を行う場合などは、上記の処理手順を繰り返して行う。
【００６８】
動作制御部１１は、モータ１００の不良の有無についての判定が終了すると、ピックアップ脱着装置３及びモータ接続端子５の移動装置５ａを動作制御して、ピックアップ４及びモータ接続端子５をモータ１００から取り外す。次いで、動作制御部１１は、モータ搬送装置２及びモータ固定部７を動作制御してモータ１００をモータ検査装置１から取り出した後、良否の判定に応じて当該モータ１００を所定の経路で搬出する。なお、不良と判定されたモータ１００は、不良の種別ごとに異なる経路で搬出されてもよい。
【００６９】
以上説明したように、本実施形態にかかるモータの検査装置によれば、駆動するモータ１００の振動に関する情報に基づいて周波数帯域ごとに得られた振動強度を用いて、周波数帯域ごとにモータ１００の不良の有無を判定することで、モータ１００の不良の原因を把握することができる。このため、モータ１００の駆動時に生じる音を用いて行われる検査と異なり、防音室内でモータ１００の検査を行う必要がない。したがって、モータ１００の検査を特別な環境で行う必要がなく、モータ１００の検査の手間を省力化することができる。また、良否判定部１３によってモータ１００の不良の有無を自動判定することができるため、モータ１００の検査精度の向上及び検査の高速化を実現することができる。
【００７０】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、上述した実施の形態は本発明を実施するための例示に過ぎない。よって、上述した実施の形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で上述した実施の形態を適宜変形して実施することが可能である。
【００７１】
上記実施形態では、ピックアップ４により得られた振動に関する情報をデジタル変化して得られた加速度情報から、１つの連続した周波数領域の周波数情報を得て、さらに周波数情報から特定の周波数帯域を抽出した複数の抽出波形情報を求めて、抽出波形情報の特徴量に基づいて良否判定を行っている。しかし、周波数情報から特徴量を求め、所定の値を有する特徴量が示す周波数からモータの不良の有無及び不良の種別を特定してもよい。
【００７２】
また、上記実施形態では、ピックアップ４によって、軸方向及び径方向の２方向の加速度情報を同時に取得し、良否判定部１０３は、該２方向の加速度情報から得られる２方向の抽出波形情報に基づいて、モータ１００の良否判定を行っている。しかしながら、良否判定部は、軸方向又は径方向の１方向の加速度情報に基づいて、モータの良否判定を行ってもよい。また、ピックアップ４は、軸方向及び径方向の２方向の加速度情報をそれぞれ別のタイミングで取得してもよい。
【００７３】
上記実施形態では、モータ１００は、ハウジング１０１の軸線方向の一方側に基板部１０４を有する。モータ固定部７は、基板部１０４を把持する。しかし、基板部１０４を有さないモータ１００においては、ハウジング１０１を把持してもよい。また、上記実施形態では、ピックアップ４はハウジング１０１の上面１０１ａの外表面に配置されるが、この限りではなく、ピックアップ４の取り付け位置は、モータの種類に応じて適宜変更してもよい。
【００７４】
また、上記実施形態では、制御演算部１０は、検査装置１へのモータ１００の搬入及び搬出、ピックアップ４の脱着、端子１０３への電力供給などの一連の動作を動作制御する。しかしながら、制御演算部は、上述の一連の動作のうち、一部の動作のみを行ってもよい。制御演算部１０は、モータの良否の判定のみを行なう装置であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明は、モータの製造過程などにおいて、製造されたモータの不良の有無の検査に適用可能である。
【符号の説明】
【００７６】
１  検査装置
２  モータ搬送装置
２ａ  チャック
２ｂ  駆動ロボット
３  ピックアップ脱着装置
３ａ  チャック
３ｂ  駆動ロボット
４  加速度ピックアップ
４ａ  測定部
４ｂ  磁石
５  モータ接続端子
５ａ  移動装置
６  モータ駆動電源
７  モータ固定部
７ｂ  振動吸収パッド
９  データ集録機
１０  制御演算部
１１  動作制御部
１２  振動強度解析部
１３  良否判定部
１４  基準データ
１１５  データ解析部
１６  データ変換部
１７  波形演算部
１００  モータ
１０１  ハウジング
１０２  駆動軸
１０３  端子
１０４  基板支持部
１０５  ロータ
１０６  ステータ
１０７  ベアリング
Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５  軸方向抽出波形情報
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４  径方向抽出波形情報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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