(57)【要約】【課題】電機子と磁石板との隙間を適正な間隔に保つことができるリニアモータ用磁石板を提供すること。【解決手段】リニアモータ用磁石板１０は、第１面Ｆ１及び第１面Ｆ１とは反対側の第２面Ｆ２を有し、第２面Ｆ２から第１面Ｆ１側に向けて拡張するように窪んだ断面形状を少なくとも一部に有する第１嵌合部１１０が設けられる板材１１と、板材１１の第１面Ｆ１に配置される永久磁石１２と、機械の取付部に固定され、板材１１の第１嵌合部１１０と嵌合可能な断面形状を有する第２嵌合部１４と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電機子と協働して直線運動のための駆動力を発生するリニアモータ用磁石板であって、
第１面及び前記第１面とは反対側の第２面を有し、前記第２面から前記第１面側に向けて拡張するように窪んだ断面形状を少なくとも一部に有する第１嵌合部が設けられる板材と、
前記板材の前記第１面に配置される永久磁石と、
機械の取付部に固定され、前記板材の前記第１嵌合部と嵌合可能な断面形状を有する第２嵌合部と、
を備えるリニアモータ用磁石板。
【請求項２】
前記第１嵌合部及び前記第２嵌合部は、前記電機子の移動方向に沿って延在する、
請求項１に記載のリニアモータ用磁石板。
【請求項３】
前記第１嵌合部は、延在する方向と直交する断面において、前記第２面側の幅よりも前記第１面側の幅が広いアリ溝であり、
前記第２嵌合部は、延在する方向と直交する断面において、前記アリ溝と略相似形となるアリ型のガイドレールである、
請求項２に記載のリニアモータ用磁石板。
【請求項４】
電機子と、
請求項１〜請求項３までのいずれか１項に記載のリニアモータ用磁石板と、
を備えるリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータ用磁石板及びこれを備えたリニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＯＡ機械の磁気ヘッド駆動機構、工作機械の主軸／テーブル送り機構等、各種の産業機械の駆動装置としてリニアモータの使用が提案されている。この種のリニアモータにおいては、界磁磁極として、板状の永久磁石を複数面状に配置した磁石板が多く用いられている。
上述した用途のリニアモータにおいて、磁石板に配置された永久磁石の面方向への位置ずれを防止するために、ピン形状の規制部材により永久磁石を固定する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１９８２７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したリニアモータにおいて、磁石板の幅（電機子の移動方向と直交する方向の幅）を広くすると、磁石板の幅方向の曲げ剛性が低くなる。その場合、永久磁石の面方向の位置ずれが規制されていても、電機子との間に発生する磁界の吸引力により磁石板が電機子側に変形し、電機子と磁石板との隙間を適正な間隔に保つことが難しくなる。
【０００５】
本発明の目的は、電機子と磁石板との隙間を適正な間隔に保つことができるリニアモータ用磁石板及びリニアモータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）  本発明は、電機子（例えば、後述する電機子２０）と協働して直線運動のための駆動力を発生するリニアモータ用磁石板（例えば、後述する磁石板１０）であって、第１面（例えば、後述する第１面Ｆ１）及び前記第１面とは反対側の第２面（例えば、後述する第２面Ｆ２）を有し、前記第２面から前記第１面側に向けて拡張するように窪んだ断面形状を少なくとも一部に有する第１嵌合部（例えば、後述する溝部１１０）が設けられる板材（例えば、後述する板材１１）と、前記板材の前記第１面に配置される永久磁石（例えば、後述する永久磁石１２）と、機械の取付部（例えば、後述する機械の取付部３０）に固定され、前記板材の前記第１嵌合部と嵌合可能な断面形状を有する第２嵌合部（例えば、後述するガイドレール１４）と、を備えるリニアモータ用磁石板に関する。
【０００７】
（２）  （１）のリニアモータ用磁石板において、前記第１嵌合部及び前記第２嵌合部は、前記電機子の移動方向（Ｘ方向）に沿って延在する構成としてもよい。
【０００８】
（３）  （２）のリニアモータ用磁石板において、前記第１嵌合部は、延在する方向（Ｘ方向）と直交する断面において、前記第２面側の幅（Ｗ２）よりも前記第１面側の幅（Ｗ１）が広いアリ溝であり、前記第２嵌合部は、延在する方向と直交する断面において、前記アリ溝と略相似形となるアリ型のガイドレールであってもよい。
【０００９】
（４）  本発明は、電機子と、（１）〜（３）までのいずれかのリニアモータ用磁石板と、を備えるリニアモータ（例えば、後述するリニアモータ１）に関する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、電機子と磁石板との隙間を適正な間隔に保つことができるリニアモータ用磁石板及びリニアモータを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態のリニアモータ１の概略を示す斜視図である。
【図２】リニアモータ１の断面図である。
【図３Ａ】板材１１の配列を示す平面図である。
【図３Ｂ】ガイドレール１４の配置を示す平面図である。
【図４Ａ】磁石板１０の組み付け手順を示す図である。
【図４Ｂ】磁石板１０の組み付け手順を示す図である。
【図５Ａ】第２実施形態におけるガイドレール１４Ａの構成を示す平面図である。
【図５Ｂ】第３実施形態におけるガイドレール１４Ｂの構成を示す平面図である。
【図５Ｃ】第４実施形態におけるガイドレール１４Ｃの構成を示す平面図である。
【図６】第５実施形態における溝部１１０Ａ及びガイドレール１４Ｄの構成を示す断面図である。
【図７Ａ】第６実施形態における溝部１１０Ｂ及びガイドレール１４Ｅの構成を示す断面図である。
【図７Ｂ】第７実施形態における溝部１１０Ｃ及びガイドレール１４Ｆの構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について説明する。なお、本明細書に添付した図面は、いずれも模式図であり、理解のしやすさ等を考慮して、各部の形状、縮尺、縦横の寸法比等を、実物から変更又は誇張している。また、図面においては、部材等の断面を示すハッチングを適宜に省略する。
【００１３】
本明細書等において、形状、幾何学的条件、これらの程度を特定する用語、例えば「平行」、「方向」等の用語については、その用語の厳密な意味に加えて、ほぼ平行とみなせる程度の範囲、概ねその方向とみなせる範囲を含む。
本明細書等においては、リニアモータ１の長手方向に相当する方向をＸ（Ｘ１−Ｘ２）方向、幅（短手）方向に相当する方向をＹ（Ｙ１−Ｙ２）方向、厚み方向に相当する方向をＺ（Ｚ１−Ｚ２）方向とする。また、リニアモータ１が取り付けられる機械の取付部３０についても同様とする。
【００１４】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態のリニアモータ１の概略を示す斜視図である。図１に示すリニアモータ１の基本的な構成は、後述する第２〜第７実施形態に共通する。
図２は、リニアモータ１の断面図である。図２は、リニアモータ１のＸ−Ｚ面と平行な面における断面を示している。なお、図２においては、ボルトを断面でなく外観で示している。
図３Ａは、板材１１の配列を示す平面図である。図３Ａは、５枚の板材１１をＸ方向に沿って配列させた状態を示している。
図３Ｂは、ガイドレール１４の配置を示す平面図である。図３Ｂは、ガイドレール１４を機械の取付部３０上に配置した状態を示している。
【００１５】
図１に示すように、リニアモータ１は、複数の磁石板（リニアモータ用磁石板）１０と、電機子２０と、を備える。
磁石板１０は、電機子２０の駆動方向（Ｘ方向）に沿って、異なる磁性の永久磁石１２（後述）が交互に配置された界磁磁極である。磁石板１０は、電機子２０と協働して、電機子２０を直線的に移動させるための駆動力、言い換えると直線運動のための駆動力を発生する。磁石板１０は、図２に示すように、板材１１、溝部１１０、永久磁石１２、接合層１３及びガイドレール１４を備える。
【００１６】
板材１１は、板状の金属部材である。板材１１は、図２に示すように、Ｚ１側の面となる第１面Ｆ１と、Ｚ２側の面となる第２面Ｆ２と、を有する。第１面Ｆ１は、複数の永久磁石１２が配置される面である。第２面Ｆ２は、機械の取付部３０（後述）に固定される面である。
【００１７】
本実施形態のリニアモータ１においては、図１に示すように、長手方向（Ｘ方向）に沿って、５枚の板材１１（磁石板１０）が配列されている。各板材１１の第１面Ｆ１には、それぞれ８個の永久磁石１２が配置されている。
なお、板材１１は、磁石板１０の長手方向（Ｘ方向）に対して、若干スキュー（傾斜）した状態で配列されていてもよい。また、板材１１の数、形状等は、本実施形態の例に限らず、リニアモータ１の仕様等に応じて適宜に設定される。
【００１８】
板材１１は、図２に示すように、第２面Ｆ２側に溝部（第１嵌合部）１１０を備えている。本実施形態の溝部１１０は、Ｙ−Ｚ面と平行な断面において、第２面Ｆ２側の幅Ｗ２よりも第１面Ｆ１側の幅Ｗ１が広い台形のアリ溝として構成されている。
【００１９】
溝部１１０は、図３Ａに示すように、板材１１のＹ方向の中央部に設けられ、Ｘ方向に沿って延在している。すなわち、溝部１１０は、板材１１を図３Ａのように配列させたときに、電機子２０の移動方向（Ｘ方向）に沿って延在するように形成されている。図３Ａに示すように、５枚の板材１１を配列させると、各板材１１に設けられた溝部１１０は、Ｘ方向に連通する。後述するガイドレール１４は、配列された板材１１の連通した溝部１１０と嵌合する。
【００２０】
板材１１は、図３Ａに示すように、Ｙ１方向の端部及びＹ２方向の端部に、それぞれ段付き穴１１１を備えている。段付き穴１１１は、板材１１を機械の取付部３０に固定する際に、ボルト１１２（後述）が挿入される穴である。板材１１は、例えば、ケイ素鋼板の積層体、炭素鋼、一般構造用圧延鋼材等により形成される。
【００２１】
永久磁石１２は、磁界を発生する部材であり、図２に示すように、板材１１の第１面Ｆ１に接合層１３を介して配置される。永久磁石１２は、板材１１の第１面Ｆ１上において、電機子２０の駆動方向（Ｘ方向）に沿って、Ｎ極の永久磁石１２とＳ極用の永久磁石１２とが交互に配置されている。接合層１３は、板材１１と永久磁石１２とを接合する層であり、例えば、接着剤により形成される。
【００２２】
本実施形態では、図１に示すように、一つの板材１１上に、８個の永久磁石１２が４（Ｙ方向）×２（Ｘ方向）のパターンで配置されている。なお、板材１１上に配置される永久磁石１２の個数、配置形態等は、本実施形態の例に限らず、リニアモータ１の仕様等に応じて適宜に設定される。
【００２３】
ガイドレール（第２嵌合部）１４は、板材１１に設けられた溝部１１０と嵌合することにより、板材１１の変形を抑制する部材である。板材１１の変形としては、例えば、リニアモータ１の駆動時において、磁石板１０と電機子２０との間に発生する磁界の吸引力により、永久磁石１２を含む板材１１が電機子２０側（Ｚ１側）に撓むことが挙げられる。
【００２４】
ガイドレール１４は、図３Ｂに示すように、全体が細長い棒状に形成されている。ガイドレール１４は、機械の取付部３０において、長手方向がＸ方向に沿うように配置されている。すなわち、ガイドレール１４は、機械の取付部３０において、電機子２０の移動方向（Ｘ方向）に沿って延在している。
ガイドレール１４は、図２に示すように、Ｙ−Ｚ面と平行な断面において、溝部１１０（アリ溝）と略相似形となるアリ型に構成されている。
【００２５】
本実施形態においては、溝部１１０の断面形状をアリ溝とし、ガイドレール１４の断面形状を溝部１１０のアリ溝と略相似形のアリ型としたので、溝部１１０をガイドレール１４に嵌合させることにより、板材１１が電機子２０側（Ｚ１側）に撓むことを抑制できる。また、本実施形態の構成によれば、板材１１を機械の取付部３０により確実に密着させることができると共に、ガイドレール１４上において、板材１１をＸ方向によりスムーズに相対移動させることができる。
【００２６】
ガイドレール１４には、図３Ｂに示すように、長手方向（Ｘ方向）の５カ所に段付き穴１４１が設けられている。段付き穴１４１は、ガイドレール１４を機械の取付部３０に固定する際に、ボルト１４２（不図示）が挿入される穴である。図２に示すように、機械の取付部３０には、ガイドレール１４の段付き穴１４１と対向する位置にボルト穴３０１（後述）が設けられている。後述するように、機械の取付部３０にガイドレール１４を配置した後、ガイドレール１４の段付き穴１４１にボルト１４２を挿入し、ボルト穴３０１に螺合させて締結することにより、ガイドレール１４を機械の取付部３０に固定できる。ガイドレール１４は、例えば、炭素鋼、一般構造用圧延鋼材等により形成される。
【００２７】
機械の取付部３０は、例えば、ＯＡ機械の磁気ヘッド駆動機構、工作機械の主軸／テーブル送り機構等の駆動装置として、リニアモータ１が取り付けられる箇所である。本実施形態では、機械の取付部３０を板状の部材として図示しているが、実際には、取り付けられる機械に応じた形状を有する。図２に示すように、機械の取付部３０は、ガイドレール１４の段付き穴１４１と対向する位置にボルト穴３０１を備えている。ボルト穴３０１は、内周面に、ガイドレール１４の段付き穴１４１に挿入されたボルト１４２の雄ネジに螺合可能な雌ネジを有する。
【００２８】
また、機械の取付部３０には、図３Ｂに示すように、各板材１１の段付き穴１１１と対向する位置にボルト穴３０２が設けられている。ボルト穴３０２は、内周面に、板材１１（磁石板１０）の段付き穴１１１に挿入されるボルト１１２の雄ネジに螺合可能な雌ネジを有する。
【００２９】
電機子２０は、磁石板１０と協働して、電機子２０を直線的に移動させるための駆動力を発生する。電機子２０は、鉄心コア、巻線等（不図示）を備える。鉄心コアは、電機子２０の本体となる部材であり、例えば、磁性材料からなる板材を複数重ね合わせた構造体として構成されている。巻線は、鉄心コアのスロットに巻き付けられるワイヤである。巻線には、外部の電源装置から交流の電力が供給される。図１では、電機子２０の巻線に電力を供給するケーブル等の図示を省略する。
【００３０】
電機子２０の巻線に、電力として単相交流又は三相交流を印加すると、巻線に生じた移動磁界と磁石板１０の磁界との間に吸引力及び反発力が作用して、その駆動方向（Ｘ方向）の成分により電機子２０に推力が与えられる。電機子２０は、この推力により、図１に示すように、磁石板１０において永久磁石１２が配列されたＸ方向に沿って直線的に移動する。
【００３１】
次に、磁石板１０の組み付け手順について、各図を参照しながら説明する。
図４Ａ及び図４Ｂは、磁石板１０の組み付け手順を示す図である。図４Ａは、機械の取付部３０をＸ２側からＸ１側へ見たときの側面図である。図４Ｂは、機械の取付部３０及び磁石板１０をＺ１側からＺ２側へ見たときの平面図である。なお、図４Ａ及び図４Ｂにおいては、段付き穴、ボルト等の図示を適宜に省略する。
【００３２】
まず、図４Ａに示すように、機械の取付部３０に、ガイドレール１４を配置する。より詳細には、ガイドレール１４の段付き穴１４１と、機械の取付部３０に設けられたボルト穴３０１とが一致するようにガイドレール１４を配置する。そして、ガイドレール１４の段付き穴１４１にボルト１４２を挿入し、ボルト穴３０１に螺合させて締結する。これにより、ガイドレール１４は、機械の取付部３０に固定される。
【００３３】
次に、磁石板１０の溝部１１０とガイドレール１４とを嵌合させ、その状態（図２参照）で、図４Ｂに示すように、磁石板１０をＸ１方向の所定位置まで移動させる。すなわち、磁石板１０の板材１１に形成された段付き穴１１１（図３Ａ参照）と、機械の取付部３０に設けられたボルト穴３０２（図３Ｂ参照）とが一致する位置まで、それぞれの磁石板１０を移動させる。
【００３４】
本実施形態では、５枚の磁石板１０のそれぞれを、ガイドレール１４と嵌合させた状態で所定位置まで移動させ、磁石板１０の段付き穴１１１にボルト１１２を挿入し、ボルト穴３０２に螺合させて締結する。これにより、図１に示すように、５枚の磁石板１０は、ガイドレール１４を介して機械の取付部３０に固定される。
【００３５】
上述した本実施形態のリニアモータ１によれば、板材１１の溝部１１０とガイドレール１４とを嵌合させることにより、板材１１の変形を抑制した状態で磁石板１０を機械の取付部３０に固定できる。そのため、リニアモータ１の駆動時において、磁石板１０と電機子２０との間に生じる磁界の吸引力により、板材１１が電機子２０側に撓むことを抑制できる。したがって、本実施形態のリニアモータ１によれば、駆動時において、電機子２０と磁石板１０との隙間を適正な間隔に保つことができる。
【００３６】
なお、磁石板１０において、板材１１の厚みを増やすことにより、磁石板１０の幅方向（Ｙ方向）の曲げ剛性を高めることもできる。しかし、板材１１の厚みを増すと、コストが高くなるだけでなく、磁石板１０の質量が増加してリニアモータの性能が低下したり、製造時の作業性が悪くなったりする等の不具合が生じる。
【００３７】
また、板材１１の長手方向に沿って、板材１１を機械の取付部３０に固定するボルトを増やすことも考えられる。しかし、ボルトを設けたところには、永久磁石１２を配置できなくなるため、ボルトを増やすと単位面積当たりの推力が低下する。
これに対して、本実施形態のリニアモータ１においては、板材１１を機械の取付部３０に固定するボルトを増やす必要がないため、単位面積当たりの推力の低下を抑制できる。
【００３８】
また、後述するように、磁石板１０を駆動側として構成した場合、板材１１の厚みを増したり、ボルトを増やしたりすることで磁石板１０の質量が増加して、リニアモータの性能（最大加速度等）が低下することが考えられる。しかし、本実施形態のリニアモータ１では、磁石板１０を駆動側として構成した場合でも、磁石板１０の質量の増加を抑制できるため、リニアモータとしての性能をより向上させることができる。
【００３９】
本実施形態のリニアモータ１において、磁石板１０（板材１１）の溝部１１０とガイドレール１４は、電機子２０の移動方向（Ｘ方向）に沿って延在している。そのため、磁石板１０の溝部１１０とガイドレール１４とを嵌合させた状態で、磁石板１０をＸ方向の所定位置まで移動させることにより、磁石板１０を所望の位置により正確に且つ簡単に配列させることができる。
【００４０】
本実施形態のリニアモータ１において、溝部１１０は、アリ溝として構成されている。また、ガイドレール１４は、溝部１１０（アリ溝）と略相似形となるアリ型に構成されている。そのため、溝部１１０をガイドレール１４に嵌合させることにより、板材１１と機械の取付部３０とをより確実に密着させることができる。また、ガイドレール１４上において、板材１１をＸ方向によりスムーズに相対移動させることができる。
【００４１】
（第２〜第４実施形態）
図５Ａ〜図５Ｃは、ガイドレール１４の第２〜第４実施形態をそれぞれ示す図である。
図５Ａは、第２実施形態におけるガイドレール１４Ａの構成を示す平面図である。図５Ｂは、第３実施形態におけるガイドレール１４Ｂの構成を示す平面図である。図５Ｃは、第４実施形態におけるガイドレール１４Ｃの構成を示す平面図である。図５Ａ〜図５Ｃは、図３Ｂ（第１実施形態）に対応する。図５Ａ〜図５Ｃでは、ガイドレール１４Ａ〜１４Ｃと嵌合する板材１１（磁石板１０）の輪郭を、想像線（二点鎖線）で示している。また、図５Ａ〜図５Ｃでは、段付き穴、ボルト等の図示を適宜に省略する。第２〜第４実施形態の説明及び図面において、第１実施形態と同等の部材等には、第１実施形態と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００４２】
図５Ａに示す第２実施形態のガイドレール１４Ａは、第１実施形態のガイドレール１４よりも短く形成され、機械の取付部３０のＸ方向において、板材１１と対向する位置にのみ配置されている。第２実施形態に示す各ガイドレール１４Ａは、Ｘ方向に沿って間欠的に配置されているが、全体としてＸ方向に延在している。
【００４３】
図５Ｂに示す第３実施形態のガイドレール１４Ｂは、第１実施形態のガイドレール１４よりも短く形成され、機械の取付部３０のＸ方向において、隣接する板材１１の間を跨ぐように配置されている。第３実施形態のガイドレール１４Ｂは、隣接する２つの板材１１とそれぞれ嵌合する長さに形成されている。なお、Ｘ１側及びＸ２側の端に配置されるガイドレール１４Ｂは、それぞれ１つの板材１１と嵌合する長さに形成されている。第３実施形態に示す各ガイドレール１４Ｂは、Ｘ方向に沿って間欠的に配置されているが、全体としてＸ方向に延在している。
【００４４】
図５Ｃに示す第４実施形態のガイドレール１４Ｃは、第１実施形態のガイドレール１４よりも更に短く形成され、機械の取付部３０のＸ方向において、板材１１と対向する２箇所に配置されている。第４実施形態のガイドレール１４Ｃは、Ｘ方向に沿って間欠的に配置されているが、全体としてＸ方向に延在している。なお、第４実施形態において、ガイドレール１４ＣのＸ−Ｙ平面における形状は、図５Ｃに示すような四角形に限らず、例えば円形であってもよい。
【００４５】
（第５実施形態）
図６は、第５実施形態における溝部１１０Ａ及びガイドレール１４Ｄの構成を示す断面図である。なお、図６では、段付き穴、ボルト等の図示を省略する。第５実施形態の説明及び図面において、第１実施形態と同等の部材等には、第１実施形態と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００４６】
図６に示すように、第５実施形態の溝部１１０Ａは、Ｙ−Ｚ面と平行な断面において、逆凸形に構成されている。また、ガイドレール１４Ｄは、Ｙ−Ｚ面と平行な断面において、溝部１１０Ａと略相似形となる逆凸形に構成されている。このように、溝部１１０は、板材１１の第２面Ｆ２から第１面Ｆ１に向けて拡張するように窪んだ断面形状を少なくとも一部に有するものであれば、図２に示すようなアリ溝、アリ型の組み合わせに限定されない。例えば、図６に示す溝部１１０Ａにおいて、四角形の部分を、半円形、円形、三角形等の断面形状としてもよい。
【００４７】
（第６、第７実施形態）
図７Ａ、図７Ｂは、第６、第７実施形態における溝部１１０及びガイドレール１４の構成をそれぞれ示す断面図である。図７Ａは、第６実施形態における溝部１１０及びガイドレール１４Ｅの構成を示す断面図である。図７Ｂは、第７実施形態における溝部１１０及びガイドレール１４Ｆの構成を示す断面図である。第６及び第７実施形態の説明及び図面において、第１実施形態と同等の部材等には、第１実施形態と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００４８】
図７Ａに示すように、第６実施形態において、機械の取付部３０は、取付溝３０３を備えている。取付溝３０３は、アリ溝として構成されており、図７Ａにおいて、Ｙ−Ｚ面と直交する方向（Ｘ方向）に延在している。一方、ガイドレール１４Ｅは、機械の取付部３０側の面に嵌合部１４３を備えている。嵌合部１４３は、Ｙ−Ｚ面と平行な断面において、取付溝３０３（機械の取付部３０）と略相似形となるアリ型として構成されている。ガイドレール１４Ｅのその他の形状は、第１実施形態と同じである。
本形態の構成によれば、ガイドレール１４Ｅの嵌合部１４３を、機械の取付部３０の取付溝３０３に嵌合させることにより、ボルト等を用いることなしに、ガイドレール１４Ｅを機械の取付部３０に固定することができる。
【００４９】
また、機械の取付部３０において、取付溝３０３の代わりに、円形の取付穴を直線的に複数形成し、ガイドレール１４Ｅの嵌合部１４３の形状を、取付穴と嵌合可能な円柱形状として複数設けてもよい。この場合、ガイドレール１４Ｅの円柱形状の嵌合部を取付穴に圧入し、冷やし嵌めで嵌合させることにより、ボルト等を用いることなしに、ガイドレール１４Ｅを機械の取付部３０に固定することができる。
【００５０】
図７Ｂに示すように、第７実施形態のガイドレール１４Ｆは、機械の取付部３０側の面に、取付溝１４４を備えている。取付溝１４４は、アリ溝として構成されており、図７Ｂにおいて、Ｙ−Ｚ面と直交する方向（Ｘ方向）に延在している。ガイドレール１４Ｆのその他の形状は、第１実施形態と同じである。一方、機械の取付部３０は、嵌合部３０４を備えている。嵌合部３０４は、Ｙ−Ｚ面と平行な断面において、取付溝１４４（ガイドレール１４）と略相似形となるアリ型として構成されている。
本形態の構成によれば、ガイドレール１４Ｆの取付溝１４４を、機械の取付部３０の嵌合部３０４に嵌合させることにより、ボルト等を用いることなしに、ガイドレール１４を機械の取付部３０に固定することができる。
【００５１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内に含まれる。また、実施例に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、実施形態に記載したものに限定されない。なお、上述の実施形態及び後述する変形形態は、適宜に組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。
【００５２】
（変形形態）
実施形態では、溝部１１０が板材１１と一体に形成される例について説明したが、これに限定されない。溝部１１０をレール状の部材として構成し、この部材を板材１１にボルト等で固定する構成としてもよい。
実施形態では、リニアモータ１において、溝部１１０とガイドレール１４とを１組備えた構成について説明したが、これに限定されない。溝部１１０とガイドレール１４とを、Ｙ方向に複数組配列した構成としてもよい。
【００５３】
実施形態では、ガイドレール１４を、機械の取付部３０とは別体の部品とし、ボルト１４２により固定する例について説明したが、これに限定されない。ガイド部は、機械の取付部３０と一体に形成されていてもよい。
実施形態では、板材１１をＸ方向から嵌合させる例について説明したが、これに限定されない。ガイドレール１４をＹ方向に沿って延在させ、板材１１をＹ方向から嵌合させるように構成してもよい。
【００５４】
溝部１１０とガイドレール１４を長手方向に沿ってテーパー状に形成してもよい。このような構成とすることにより、ガイドレール１４に対する板材１１のガタつき、位置ずれ等を抑制できる。また、溝部１１０とガイドレール１４とを、冷やし嵌め等の手法を用いて嵌合させてもよい。このような手法で嵌合させることにより、溝部１１０とガイドレール１４とを、より強固に嵌合させることができるため、ガイドレール１４に対する板材１１のガタつき、位置ずれ等をより効果的に抑制できる。
実施形態では、磁石板１０を固定側とし、電機子２０を駆動側とする例について説明したが、これに限定されない。リニアモータ１において、磁石板１０を駆動側とし、電機子２０を固定側としてもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１：リニアモータ、１０：磁石板、１１：板材、１２：永久磁石、１４：ガイドレール、２０：電機子、３０：機械の取付部、１１０：溝部
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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