(57)【要約】【課題】作動流体の液溜まりを抑制すること。【解決手段】ループ型ヒートパイプ１は、作動流体Ｃを気化させる蒸発器１１と、蒸気Ｃｖを液化する凝縮器１３と、気化した作動流体（蒸気Ｃｖ）を凝縮器１３に流入させる蒸気管１２と、液化した作動流体Ｃを蒸発器１１に流入させる液管１４とを有している。液管１４は、多孔質体１４ｓと、流路１４ｒとを有している。流路１４ｒは、多孔質体１４ｓと壁部１４ｗとにより囲まれている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動流体を気化させる蒸発器と、
作動流体を液化する凝縮器と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する蒸気管と、
を有し、
前記液管は、厚さ方向に貫通する第１の貫通孔を有する第１の金属層を含み、前記第１の貫通孔により形成された流路と、前記流路の少なくとも２辺と接する多孔質体とを有する
ことを特徴とするループ型ヒートパイプ。
【請求項２】
前記多孔質体は、一方の面側から窪む第１の有底孔と、他方の面側から窪む第２の有底孔と、前記第１の有底孔と前記第２の有底孔とが部分的に連通して形成された細孔と、を有することを特徴とする請求項１に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項３】
前記液管は、前記第１の金属層と、前記第１の貫通孔を覆う第２の金属層とを含み、
前記第１の金属層は、前記第１の貫通孔に隣接して前記多孔質体を有し、
前記第２の金属層は、少なくとも前記第１の貫通孔を覆う部分に前記多孔質体を有している、
ことを特徴とする請求項２に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項４】
前記液管は、前記第１の金属層と、前記第２の金属層とは反対側に前記第１の貫通孔を覆う第３の金属層と、前記第２の金属層と前記第３の金属層とに積層され最外層となる金属層とを含み、前記第３の金属層は、少なくとも前記第１の貫通孔を覆う部分に前記多孔質体を有している、
ことを特徴とする請求項３に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項５】
前記液管は、前記第１の金属層と前記第２の金属層の間に、前記第１の貫通孔と重なる位置に厚さ方向に貫通する第２の貫通孔を有する第４の金属層を含み、前記第４の金属層は、前記第２の貫通孔に隣接して前記多孔質体を有することを特徴とする請求項４に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項６】
前記液管は、前記第３の金属層と前記第３の金属層に積層され最外層の金属層の間に、前記第１の貫通孔と重なる位置に厚さ方向に貫通する第３の貫通孔を有する第５の金属層を含み、
前記第５の金属層は、前記第３の貫通孔に隣接して前記多孔質体を有し、
前記第３の金属層は、少なくとも前記第１の貫通孔及び前記第３の貫通孔を覆う部分に前記多孔質体を有している、
ことを特徴とする請求項４に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項７】
前記液管は、前記第１の金属層と前記第２の金属層の間に、前記第１の貫通孔と重ならない位置に厚さ方向に貫通する第４の貫通孔を有する第６の金属層を含み、前記第６の金属層は、前記第４の貫通孔に隣接して前記多孔質体を有することを特徴とする請求項４に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項８】
前記最外層となる金属層は、隣接する金属層の側の面に第３の有底孔を有することを特徴とする請求項４〜７の何れか１項に記載のループ型ヒートパイプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
ループ型ヒートパイプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子機器に搭載される半導体デバイス（例えば、ＣＰＵ等）の発熱部品を冷却するデバイスとして、作動流体の相変化を利用したヒートパイプが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ループ型ヒートパイプは、発熱体から受熱して液相の作動流体を蒸発させる蒸発部と、気相の作動流体を放熱により凝縮させる凝縮部とを備えている。また、ループ型ヒートパイプは、蒸発部で気相に変化した作動流体を凝縮部へ流通させる蒸気管と、凝縮部で液相に変化した作動流体を蒸発部へ流通させる液管とを備えている。そして、ループ型ヒートパイプは、蒸発部と、蒸気管と、凝縮部と、液管とが直列に接続されたループ構造を有しており、内部に作動流体が封入されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第６１４６４８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、例えば液管において、作動流体の液溜まりが生じる虞がある。液溜まりは、例えば、ループ型ヒートパイプの熱サイクル試験において、凝固と膨張を短時間で繰り返し、ループ型ヒートパイプの変形（膨らみ）を招く。このように変形したループ型ヒートパイプは、不良品となる。このため、作動流体の液溜まりの抑制が求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一観点によれば、ループ型ヒートパイプは、作動流体を気化させる蒸発器と、作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する蒸気管と、を有し、前記液管は、厚さ方向に貫通する第１の貫通孔を有する第１の金属層を含み、前記第１の貫通孔により形成された流路と、前記流路の少なくとも２辺に接する多孔質体とを有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の一観点によれば、作動流体の液溜まりを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】ループ型ヒートパイプの概略平面図。
【図２】液管を示す概略断面図。
【図３】多孔質部を説明する金属層の一部概略平面図。
【図４】１層目の金属層の概略平面図。
【図５】２層目の金属層の概略平面図。
【図６】３層目の金属層の概略平面図。
【図７】（ａ）〜（ｅ）は、２層目の金属層の製造工程を説明する概略断面図。
【図８】（ａ）〜（ｅ）は、３層目の金属層の製造工程を説明する概略断面図。
【図９】（ａ）は変形例の液管を示す概略断面図、（ｂ）は多孔質部を説明する金属層の一部概略平面図。
【図１０】（ａ）（ｂ）は変形例の液管を示す概略断面図。
【図１１】（ａ）（ｂ）は変形例の液管を示す概略断面図。
【図１２】（ａ）（ｂ）は変形例の液管を示す概略断面図。
【図１３】変形例の液管を示す概略平面図。
【図１４】（ａ）（ｂ）は変形例の多孔質部を示す金属層の一部概略平面図。
【図１５】（ａ）は変形例の多孔質部を示す金属層の一部概略平面図、（ｂ）はｂ−ｂ線断面図。
【図１６】（ａ）（ｂ）は変形例の有底孔を示す金属層の概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、各形態を説明する。
なお、添付図面は、理解を容易にするために構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、または別の図面中のものと異なる場合がある。また、理解を容易にするために、平面図においてハッチング（梨地模様）を付し、断面図において一部の部材のハッチングを省略している場合がある。なお、本明細書において、「平面視」とは、対象物を図２等の断面図における鉛直方向（図中上下方向）から視ることを言い、「平面形状」とは、対象物を図２等の鉛直方向から視た形状のことを言う。
【００１０】
図１に示すように、ループ型ヒートパイプ１は、例えば、スマートフォンやタブレット端末等のモバイル型の電子機器２に収容される。
ループ型ヒートパイプ１は、蒸発器１１と、蒸気管１２と、凝縮器１３と、液管１４とを有している。蒸発器１１と凝縮器１３は、蒸気管１２と液管１４とにより接続されている。蒸発器１１は、作動流体Ｃを気化させて蒸気Ｃｖを生成する機能を有している。凝縮器１３は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖを液化する機能を有している。液化した作動流体Ｃは、液管１４を介して蒸発器１１に送られる。蒸気管１２及び液管１４は、作動流体Ｃ又は蒸気Ｃｖを流すループ状の流路を形成する。本実施形態において、液管１４の長さと蒸気管１２の長さは、例えば互いに同じである。なお、液管１４の長さと蒸気管１２の長さは、異なっていてもよい。例えば、液管１４の長さに比べて蒸気管１２の長さが短くてもよい。
【００１１】
蒸発器１１は、図示しない発熱部品に密着して固定される。蒸発器１１内の作動流体Ｃは、発熱部品にて発生した熱により気化し、蒸気Ｃｖが生成される。なお、蒸発器１１と発熱部品との間に、熱伝導部材（ＴＩＭ：Thermal Interface Material）が介在されてもよい。熱伝導部材は、発熱部品と蒸発器１１の間の接触熱抵抗を低減し、発熱部品から蒸発器１１への熱伝導をスムーズにする。蒸発器１１にて発生した蒸気Ｃｖは、蒸気管１２を介して凝縮器１３へと導かれる。
【００１２】
凝縮器１３は、放熱用に面積を大きくした放熱プレート１３ｐと、放熱プレート１３ｐの内部において蛇行した流路１３ｒとを有している。流路１３ｒは、上述のループ状の流路の一部である。蒸気管１２を介して導かれた蒸気Ｃｖは、凝縮器１３において液化する。
【００１３】
液管１４は、幅方向（図１の上下方向）両側の壁部１４ｗと、多孔質体１４ｓと、多孔質体１４ｓと壁部１４ｗとの間の流路１４ｒとを有している。多孔質体１４ｓは、液管１４に沿って凝縮器１３から蒸発器１１まで延びている。多孔質体１４ｓは、その多孔質体１４ｓに生じる毛細管力によって、凝縮器１３で液化した作動流体Ｃを蒸発器１１へと導く。流路１４ｒは上述のループ状の流路の一部である。流路１４ｒは、液管１４内において、作動流体Ｃを流れやすくする。蒸発器１１には多孔質体１１ｓが設けられている。
【００１４】
このループ型ヒートパイプ１は、発熱部品で発生した熱を凝縮器１３に移動し、その凝縮器１３において放熱する。これにより、ループ型ヒートパイプ１は、発熱部品を冷却する。
【００１５】
作動流体Ｃとしては、蒸気圧が高く、蒸発潜熱が大きい流体を使用するのが好ましい。このような作動流体Ｃを用いることで、蒸発潜熱によって発熱部品を効率的に冷却できる。作動流体Ｃとしては、例えば、アンモニア、水、フロン、アルコール、アセトン、等を用いることができる。
【００１６】
図２は、図１の２−２線に沿う液管１４の断面を示す。
図２に示すように、液管１４は、６層の金属層４１〜４６を積層した構造とすることができる。各金属層４１〜４６は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。なお、図２では、各金属層４１〜４６を判り易くするため、実線にて区別している。例えば金属層４１〜４６を拡散接合により一体化した場合、各金属層４１〜４６の界面は消失していることがあり、境界は明確ではないことがある。
【００１７】
なお、金属層４１〜４６は、銅層に限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。なお、積層した金属層４１〜４６のうちの一部の金属層について、他の金属層と異なる材料が用いられてもよい。金属層４１〜４６の各々の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。なお、金属層４１〜４６のうちの一部金属層を他の金属層と異なる厚さとしてもよく、また全ての金属層を互いに異なる厚さとしてもよい。
【００１８】
図１に示す蒸発器１１、蒸気管１２及び凝縮器１３は、図２に示す液管１４と同様に、６層の金属層４１〜４６を積層して形成される。つまり、図１に示すループ型ヒートパイプ１は、６層の金属層４１〜４６を積層して構成される。なお、金属層の積層数は、６層に限定されず、５層以下や７層以上とすることができる。
【００１９】
図１及び図２に示すように，液管１４は、積層された金属層４１〜４６からなり、壁部１４ｗと多孔質体１４ｓと流路１４ｒとを有している。
図２に示すように、多孔質体１４ｓは、積層された金属層４１〜４６のうちの中間の金属層４３，４４の多孔質体４３ｓ，４４ｓにより構成されている。流路１４ｒは、積層された金属層４１〜４６のうちの中間の金属層４３，４４を厚さ方向に貫通する貫通孔４３Ｘ，４４Ｘにより構成されている。なお、本実施形態において、最外層となる金属層４１，４６には、孔や溝は形成されていない。
【００２０】
金属層４３は、厚さ方向に貫通する２つの貫通孔４３Ｘと、貫通孔４３Ｘより外側の壁部４３ｗと、２つの貫通孔４３Ｘの間の多孔質体４３ｓとを有している。
同様に、金属層４４は、厚さ方向に貫通する２つの貫通孔４４Ｘと、貫通孔４４Ｘより外側の壁部４４ｗと、２つの貫通孔４４Ｘの間の多孔質体４４ｓとを有している。
【００２１】
金属層４３と金属層４４は、それぞれの貫通孔４３Ｘ，４４Ｘが重なるように積層されている。
金属層４３の上面に金属層４２が積層され、金属層４４の下面に金属層４５が積層されている。これら金属層４２〜４５と、金属層４３，４４の貫通孔４３Ｘ，４４Ｘにより、流路１４ｒが区画されている。流路１４ｒは、壁部４３ｗ，４４ｗと多孔質体４３ｓ，４４ｓと金属層４２，４５により囲まれている。多孔質体４３ｓ，４４ｓは、流路１４ｒを形成する壁部として機能する。また、金属層４２，４５は、流路１４ｒを形成する壁部（天井部）、壁部（底部）として機能する。
【００２２】
図２に示すように、多孔質体４３ｓには、金属層４３の上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４３ｕと、金属層４３の下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４３ｄとが形成されている。図３に示すように、有底孔４３ｕと有底孔４３ｄはそれぞれ平面視円形状であり、直径は１００μｍ〜４００μｍとすることができる。なお、有底孔４３ｕ，４３ｄの平面視形状を、楕円形や多角形等の任意の形状とすることができる。また、有底孔４３ｕ，４３ｄの内壁は、底面側（金属層４３の中央部側）から開口側（金属層４３の上下面側）に向かって拡がるテーパ形状とすることができる。
【００２３】
そして、有底孔４３ｕと有底孔４３ｄは、平面視で部分的に重複している。図２及び図３に示すように、重複する部分において、有底孔４３ｕと有底孔４３ｄは部分的に連通して細孔４３ｚを形成している。なお、図３は、有底孔４３ｕ，４３ｄの配列状態と、有底孔４３ｕ，４３ｄの部分的な重なりと細孔４３ｚを示す説明図である。このような有底孔４３ｕ，４３ｄと細孔４３ｚを有する多孔質体４３ｓは、多孔質体１４ｓの一部を構成する。なお、図２では示されていないが、有底孔４３ｕと有底孔４３ｄの少なくとも一方は貫通孔４３Ｘに連通している。例えば、多孔質体４３ｓは、貫通孔４３Ｘに隣接して設けられ、貫通孔４３Ｘの側面の一部は、有底孔４３ｕと有底孔４３ｄの少なくとも一方と連通している。金属層４３の壁部４３ｗには、孔や溝は形成されていない。
【００２４】
同様に、図２に示すように、多孔質体４４ｓには、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４４ｕと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４４ｄとが形成されている。これらの有底孔４４ｕ，４４ｄは、金属層４３の有底孔４３ｕ，４３ｄと同様の形状とすることができる。有底孔４４ｕ，４４ｄは、平面視で部分的に重複している。重複する部分において、有底孔４４ｕと有底孔４４ｄは部分的に連通して細孔４４ｚを形成している。このような有底孔４４ｕ，４４ｄと細孔４４ｚを有する多孔質体４４ｓは、多孔質体１４ｓの一部を構成する。なお、図２では示されていないが、有底孔４４ｕと有底孔４４ｄの少なくとも一方は貫通孔４４Ｘに連通している。例えば、多孔質体４４ｓは、貫通孔４４Ｘに隣接して設けられ、貫通孔４４Ｘの側面の一部は、有底孔４４ｕと有底孔４４ｄの少なくとも一方と連通している。金属層４４の壁部４４ｗには、孔や溝は形成されていない。
【００２５】
金属層４２は、流路１４ｒの直上に多孔質体４２ｔを有している。多孔質体４２ｔは、流路１４ｒに沿って延びている。多孔質体４２ｔは、金属層４２の上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４２ｕと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４２ｄとが形成されている。有底孔４２ｕ，４２ｄは、金属層４３の有底孔４３ｕ，４３ｄと同様に、それぞれ平面視円形状であり、平面視で部分的に重複している。重複する部分において、有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは部分的に連通して細孔４２ｚを形成している。これらの有底孔４２ｕ，４２ｄ及び細孔４２ｚは、金属層４３の有底孔４３ｕ，４３ｄ及び細孔４３ｚと同様の形状とすることができる。多孔質体４２ｔの外側の部分は壁部４２ｗであり、この壁部４２ｗには孔や溝は形成されていない。また、多孔質体４２ｔの間の部分４２ａには、孔や溝は形成されていない。
【００２６】
金属層４５は、流路１４ｒの直下に多孔質体４５ｔを有している。多孔質体４５ｔは、流路１４ｒに沿って延びている。多孔質体４５ｔは、金属層４５の上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４５ｕと、金属層４５の下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４５ｄとが形成されている。有底孔４５ｕ，４５ｄは、金属層４３の有底孔４３ｕ，４３ｄと同様に、それぞれ平面視円形状であり、平面視で部分的に重複している。重複する部分において、有底孔４５ｕと有底孔４５ｄは部分的に連通して細孔４５ｚを形成している。これらの有底孔４５ｕ，４５ｄ及び細孔４５ｚは、金属層４３の有底孔４３ｕ，４３ｄ及び細孔４３ｚと同様の形状とすることができる。多孔質体４５ｔの外側の部分は壁部４５ｗであり、この壁部４５ｗには孔や溝は形成されていない。また、多孔質体４５ｔの間の部分４５ａには、孔や溝は形成されていない。
【００２７】
上述したように、液管１４は多孔質体１４ｓと流路１４ｒとを有している。流路１４ｒは、３つの多孔質体１４ｓ（４３ｓ，４４ｓ），４２ｔ，４５ｔと、壁部１４ｗ（壁部４３ｗ，４４ｗ）により囲まれている。
【００２８】
金属層４２の多孔質体４２ｔは、流路１４ｒに接しており、金属層４２の有底孔４２ｄは、金属層４３の貫通孔４３Ｘと連通している。また、金属層４５の多孔質体４５ｔは、流路１４ｒに接しており、金属層４５の有底孔４５ｕは、金属層４４の貫通孔４４Ｘと連通している。また、金属層４３の多孔質体４３ｓは、流路１４ｒに接しており、金属層４３の有底孔４３ｕと有底孔４３ｄの少なくとも一方は貫通孔４３Ｘに連通している。また、金属層４４の多孔質体４４ｓは、流路１４ｒに接しており、金属層４４の有底孔４４ｕと有底孔４４ｄの少なくとも一方は貫通孔４４Ｘに連通している。
【００２９】
（作用）
図１に示すように、ループ型ヒートパイプ１は、作動流体Ｃを気化させる蒸発器１１と、蒸気Ｃｖを液化する凝縮器１３と、気化した作動流体（蒸気Ｃｖ）を凝縮器１３に流入させる蒸気管１２と、液化した作動流体Ｃを蒸発器１１に流入させる液管１４とを有している。
【００３０】
液管１４は、多孔質体１４ｓと、多孔質体１４ｓの両側の流路１４ｒとを有している。図２に示すように、流路１４ｒは、多孔質体１４ｓ，４２ｔ，４５ｔと壁部１４ｗとにより囲まれている。多孔質体１４ｓ，４２ｔ，４５ｔは、液管１４に沿って凝縮器１３から蒸発器１１まで延びている。多孔質体１４ｓ，４２ｔ，４５ｔは、その多孔質体１４ｓ，４２ｔ，４５ｔに生じる毛細管力によって、凝縮器１３で液化した作動流体Ｃを蒸発器１１へと導く。流路１４ｒは、液管１４内において、作動流体Ｃを流れやすくする。
【００３１】
図２に示すように、流路１４ｒは、多孔質体１４ｓ，４２ｔ，４５ｔと壁部１４ｗとにより囲まれている。流路１４ｒの作動流体Ｃは、流路１４ｒを囲む多孔質体１４ｓ，４２ｔ，４５ｔによる毛細管力により、多孔質体１４ｓ，４２ｔ，４５ｔに分散し易い。従って、流路１４ｒにおける作動流体Ｃが液溜まりし難くなる。つまり、流路１４ｒにおける液溜まりが抑制される。このため、ループ型ヒートパイプ１に対する熱サイクル試験において、液溜まりによる低い温度における作動流体Ｃの凍結による体積増加や、高い温度により生じる蒸気Ｃｖの体積増加等が抑制される。このため、液管１４の変形や破損が抑制される。
【００３２】
次に、本実施形態のループ型ヒートパイプ１の製造方法について説明する。
図４，図５，図６は、ループ型ヒートパイプ１に使用する金属層の平面図である。
図４は、ループ型ヒートパイプ１の最外層（最上層と最下層）に用いる金属層、つまり、図２に示す金属層４１，４６に使用する金属層６１の平面図である。
【００３３】
図５は、最上層と最下層のそれぞれ内側に積層される金属層、つまり、図２に示す金属層４２，４５に使用する金属層６２の平面図である。
図６は、多孔質体１４ｓと流路１４ｒを形成する金属層、つまり図２に示す金属層４３，４４に使用する金属層６３の平面図である。
【００３４】
図４〜図６に示す金属層６１〜６３は、例えば厚さが１００μｍの銅層を、例えばウエットエッチングにより所定の形状にパターニングすることで作成される。
図４に示す金属層６１は、孔や溝が形成されていないベタ状の金属層である。
【００３５】
図５に示す金属層６２には、図１に示す蒸発器１１、蒸気管１２、凝縮器１３、液管１４の流路に対応する開口部６２Ｙが形成されている。図２に示す多孔質体４２ｔ，４５ｔに対応する部分６２ｔには、多孔質体４２ｔ，４５ｔを構成する有底孔４２ｕ，４２ｄ，４５ｕ，４５ｄ（図２参照）が形成されている。
【００３６】
図６に示す金属層６３には、図１に示す蒸発器１１、蒸気管１２、凝縮器１３、液管１４の流路に対応する開口部６３Ｙが形成されている。また、液管１４に対応する部分の金属層６３には、図２に示す貫通孔４３Ｘ，４４Ｘに対応する貫通孔６３Ｘが形成されている。また、図２に示す多孔質体４３ｓ，４４ｓに対応する部分６３ｓには、多孔質体４３ｓ，４４ｓを構成する有底孔４３ｕ，４３ｄ，４４ｕ，４４ｄ（図２参照）が設けられる。
【００３７】
ここで、多孔質体を構成する有底孔の形成について説明する。
図７（ａ）〜図７（ｅ）は、図５に示す金属層６２（金属層４２）の液管１４に対応する部分を形成する工程の断面図を示している。
【００３８】
先ず、図７（ａ）に示す工程では、平板状の金属シート８０を準備する。金属シート８０は、最終的に金属層４２となる部材であり、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から形成することができる。金属シート８０の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。
【００３９】
次に、図７（ｂ）に示す工程では、金属シート８０の上面にレジスト層８１を形成し、金属シート８０の下面にレジスト層８２を形成する。レジスト層８１，８２としては、例えば、感光性のドライフィルムレジスト等を用いることができる。
【００４０】
次に、図７（ｃ）に示す工程では、レジスト層８１を露光及び現像して、金属シート８０の上面を選択的に露出する開口部８１Ｘを形成する。この開口部８１Ｘは、図２に示す有底孔４２ｕに対応する形状及び位置に対応するように形成される。同様に、レジスト層８２を露光及び現像して、金属シート８０の下面を選択的に露出する開口部８２Ｘを形成する。この開口部８２Ｘは、図２に示す有底孔４２ｄに対応する形状及び位置に対応するように形成される。
【００４１】
次に、図７（ｄ）に示す工程では、開口部８１Ｘ内に露出する金属シート８０を、金属シート８０の上面側からエッチングするとともに、開口部８２Ｘ内に露出する金属シート８０を、金属シート８０の下面側からエッチングする。これにより、金属シート８０の上面側に有底孔４２ｕが形成され、金属シート８０の下面側に有底孔４２ｄが形成される。有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは、平面視において部分的に重なるように形成され、その重なる部分において有底孔４２ｕと有底孔４２ｄとが互いに連通して細孔４２ｚが形成される。金属シート８０のエッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。
【００４２】
次に、図７（ｅ）に示す工程では、レジスト層８１，８２を剥離液により剥離する。このような工程により、図５に示す金属層６２（金属層４２）を形成する。
図７（ａ）〜（ｅ）に示す工程と同様の工程により、図２に示す金属層４５に用いる金属層６２を形成する。
【００４３】
次に、多孔質体を構成する有底孔及び流路を構成する貫通孔の形成について説明する。
図８（ａ）〜〜図８（ｅ）は、図６に示す金属層６３（金属層４３）の液管１４に対応する部分を形成する工程の断面図を示している。
【００４４】
先ず、図８（ａ）に示す工程では、平板状の金属シート９０を準備する。金属シート９０は、最終的に金属層４３となる部材であり、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から形成することができる。金属シート９０の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。
【００４５】
次に、図８（ｂ）に示す工程では、金属シート９０の上面にレジスト層９１を形成し、金属シート９０の下面にレジスト層９２を形成する。レジスト層９１，９２としては、例えば、感光性のドライフィルムレジスト等を用いることができる。
【００４６】
次に、図８（ｃ）に示す工程では、レジスト層９１を露光及び現像して、金属シート９０の上面を選択的に露出する開口部９１Ｘ，９１Ｙを形成する。同様に、レジスト層９２を露光及び現像して、金属シート９０の下面を選択的に露出する開口部９２Ｘ，９２Ｙを形成する。レジスト層９１の開口部９１Ｘ及びレジスト層９２の開口部９２Ｘは、図２に示す有底孔４３ｕ，４３ｄに対応する形状及び位置に対応するように形成される。レジスト層９１の開口部９１Ｙ及びレジスト層９２の開口部９２Ｙは、図２に示す貫通孔４３Ｘに対応する形状及び位置に対応するように形成される。
【００４７】
次に、図８（ｄ）に示す工程では、開口部９１Ｘ，９１Ｙ内に露出する金属シート９０を、金属シート９０の上面側からエッチングするとともに、開口部９２Ｘ，９２Ｙ内に露出する金属シート９０を、金属シート９０の下面側からエッチングする。開口部９１Ｘにより、金属シート９０の上面側に有底孔４３ｕが形成され、開口部９２Ｘにより、金属シート９０の下面側に有底孔４３ｄが形成される。有底孔４３ｕと有底孔４３ｄは、平面視において部分的に重なるように形成され、その重なる部分において有底孔４３ｕと有底孔４３ｄとが互いに連通して細孔４３ｚが形成される。また、開口部９１Ｙ及び開口部９２Ｙが重なる部分において、貫通孔４３Ｘが形成される。金属シート９０のエッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。
【００４８】
次に、図８（ｅ）に示す工程では、レジスト層９１，９２を剥離液により剥離する。このような工程により、図６に示す金属層６３（金属層４３）を形成する。
図８（ａ）〜図８（ｅ）に示す工程と同様の工程により、図２に示す金属層４４に用いる金属層６３（図６参照）を形成する。
【００４９】
次に、図４に示す孔や溝が形成されていないベタ状の金属層６１を準備する。
次いで、図４に示す金属層６１を最上層と最下層に配置し、図５に示す金属層６２を金属層６１の内側に配置し、図６に示す金属層６３を金属層６２のさらに内側に配置する。
【００５０】
そして、金属層６１，６２，６３を所定温度（例えば、約９００℃）に加熱しながら積層した金属層６１，６２，６３をプレスすることにより、拡散接合にて金属層６１，６２，６３を接合する。その後、図示しない真空ポンプを用いて液管１４等を排気し、図示しない注入口から作動流体Ｃ（例えば水）を液管１４に注入し、注入口を封止する。
【００５１】
以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）ループ型ヒートパイプ１は、作動流体Ｃを気化させる蒸発器１１と、蒸気Ｃｖを液化する凝縮器１３と、気化した作動流体（蒸気Ｃｖ）を凝縮器１３に流入させる蒸気管１２と、液化した作動流体Ｃを蒸発器１１に流入させる液管１４とを有している。液管１４は、多孔質体１４ｓと、流路１４ｒとを有している。流路１４ｒは、多孔質体１４ｓ，４２ｔ，４５ｔと壁部１４ｗとにより囲まれている。流路１４ｒの作動流体Ｃは、流路１４ｒを囲む多孔質体１４ｓ，４２ｔ，４５ｔによる毛細管力により、多孔質体１４ｓ，４２ｔ，４５ｔに分散するため、流路１４ｒにおける作動流体Ｃの液溜まりを抑制できる。
【００５２】
（変形例）
以下、液管の各変形例を説明する。
なお、各変形例において上記実施形態と同じ構成部材、各変形例の間において同じ構成部材については同じ符号を付してその説明の一部又は全てを省略する場合がある。なお、液管以外の部分については上記の実施形態（図１）と同じであるため、図１等を参照し、図面及び説明を省略する。
【００５３】
図９（ａ）に示すように、液管１４Ａは、積層された金属層４１〜４６からなり、多孔質体１４ｓと流路１４ｒとを有している。流路１４ｒは、３つの多孔質体１４ｓ（４３ｓ，４４ｓ），４２ｔ，４５ｔと、壁部１４ｗ（壁部４３ｗ，４４ｗ）により囲まれている。
【００５４】
多孔質体１４ｓは、積層された金属層４１〜４６のうちの中間の金属層４３，４４の多孔質体４３ｓ，４４ｓにより構成されている。多孔質体４３ｓには、金属層４３の上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４３ｕと、金属層４３の下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４３ｄとが形成されている。多孔質体４４ｓには、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４４ｕと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４４ｄとが形成されている。
【００５５】
流路１４ｒは、積層された金属層４１〜４６のうちの中間の金属層４３，４４を厚さ方向に貫通する貫通孔４３Ｘ，４４Ｘにより構成されている。
金属層４２は、流路１４ｒの直上に多孔質体４２ｔを有している。多孔質体４２ｔは、金属層４２の上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４２ｕと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４２ｄとが形成されている。
【００５６】
図９（ｂ）は、金属層４２の有底孔４２ｕ，４２ｄ、及び細孔４２ｚを示す。有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは、複数の列状に配列され、各列において有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは交互に配置されている。また、列方向（図９（ｂ）の上下方向、又は作動流体Ｃが凝縮器１３から蒸発器１１へ向う方向）と直交する方向（図９（ｂ）の左右方向）において、隣接する有底孔４２ｕは、離間して配置されている。同様に、列方向と直交する方向に隣接する有底孔４２ｄは、離間して配置されている。有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは、列方向において、有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは平面視において部分的に重なるように形成され、その重なる部分において有底孔４２ｕと有底孔４２ｄとを互いに連通する細孔４２ｚを形成する。各列は、作動流体Ｃの流れる方向に沿って形成されることが好ましい。このように形成された多孔質体４２ｔにおいて、列方向に並ぶ有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは、それぞれが連通する細孔４２ｚを介して作動流体Ｃが流れる。従って、多孔質体４２ｔにおいて、作動流体Ｃは、一部分が重なるように交互に配列された有底孔４２ｕと有底孔４２ｄの列方向に流れる。
【００５７】
図１０（ａ）に示す液管１４Ｂは、積層された金属層４１〜４６からなり、多孔質体１４ｓと流路１４ｒとを有している。
多孔質体１４ｓは、積層された金属層４１〜４６のうちの最上層の金属層４１と最下層の金属層４６とを除く金属層４２〜４５により形成されている。流路１４ｒは、金属層４３，４４の２つの貫通孔４３Ｘ，４４Ｘにより形成されている。流路１４ｒは、３つの多孔質体１４ｓ（４３ｓ，４４ｓ），４２ｔ，４５ｔと、壁部１４ｗ（壁部４３ｗ，４４ｗ）により囲まれている。
【００５８】
金属層４２は、２つの貫通孔４３Ｘの直上の多孔質体４２ｔと、２つの多孔質体４２ｔの間の多孔質体４２ｓとを有している。多孔質体４２ｓは、多孔質体４２ｔと連通すると共に、金属層４３の多孔質体４３ｓと連通している。多孔質体４２ｓは、多孔質体４２ｔと同様に、金属層４２の上面側の有底孔４２ｕと、金属層４２の下面側の有底孔４２ｄと、有底孔４２ｕと有底孔４２ｄとを連通する細孔４２ｚとを有している。つまり、金属層４２は、端部の壁部４２ｗを除く全体が多孔質体である。なお、多孔質体４２ｔと多孔質体４２ｓとは、互いに区別されていても、互いに区別されていなくてもよい。
【００５９】
金属層４５は、２つの貫通孔４４Ｘの直下の多孔質体４５ｔと、２つの多孔質体４５ｔの間の多孔質体４５ｓとを有している。多孔質体４５ｓは、多孔質体４５ｔと連通すると共に、金属層４４の多孔質体４４ｓと連通している。多孔質体４５ｓは、多孔質体４５ｔと同様に、金属層４５の上面側の有底孔４５ｕと、金属層４５の下面側の有底孔４５ｄと、有底孔４５ｕと有底孔４５ｄとを連通する細孔４５ｚとを有している。つまり、金属層４５は、端部の壁部４５ｗを除く全体が多孔質体である。なお、多孔質体４５ｔと多孔質体４５ｓとは、互いに区別されていても、互いに区別されていなくてもよい。
【００６０】
このように形成された液管１４Ｂは、流路１４ｒと接する多孔質体（多孔質体１４ｓ（４２ｓ〜４５ｓ），４２ｔ，４５ｔ）が大きくなり、多くの作動流体Ｃを移動させることができる。そして、流路１４ｒと接する多孔質体（多孔質体１４ｓ（４２ｓ〜４５ｓ），４２ｔ，４５ｔ）の大きさによって作動流体Ｃをより分散させることができ、液溜まりをより低減して熱サイクル試験等における液管１４Ｂの変形や破損を抑制できる。
【００６１】
図１０（ｂ）に示す液管１４Ｃは、積層された金属層４１〜４６からなり、多孔質体１４ｓと流路１４ｒとを有している。
多孔質体１４ｓは、積層された金属層４１〜４６のうちの最上層の金属層４１と最下層の金属層４６とを除く金属層４２〜４５により形成されている。流路１４ｒは、金属層４３，４５の２つの貫通孔４３Ｘ，４５Ｘにより形成されている。金属層４３の流路１４ｒ（貫通孔４３Ｘ）は、３つの多孔質体１４ｓ（４３ｓ），４２ｔ，４４ｔと、壁部１４ｗ（壁部４３ｗ）により囲まれている。また、金属層４５の流路１４ｒ（貫通孔４５Ｘ）は、２つの多孔質体１４ｓ（４５ｓ），４４ｔと、壁部１４ｗ（壁部４５ｗ）、金属層４６の上面により囲まれている。
【００６２】
金属層４２は、２つの貫通孔４３Ｘの直上の多孔質体４２ｔと、２つの多孔質体４２ｔの間の多孔質体４２ｓとを有している。多孔質体４２ｓは、多孔質体４２ｔと連通すると共に、金属層４３の多孔質体４３ｓと連通している。また、多孔質体４２ｔは、金属層４３の貫通孔４３Ｘ（流路１４ｒ）と接している（連通している）。
【００６３】
金属層４３は、厚さ方向に貫通する２つの貫通孔４３Ｘと、貫通孔４３Ｘより外側の壁部４３ｗと、２つの貫通孔４３Ｘの間の多孔質体４３ｓとを有している。
金属層４４は、２つの貫通孔４５Ｘの直上の多孔質体４４ｔと、２つの多孔質体４４ｔの間の多孔質体４４ｓとを有している。多孔質体４４ｓは、多孔質体４４ｔと同様に、金属層４４の上面側の有底孔４４ｕと、金属層４４の下面側の有底孔４４ｄと、有底孔４４ｕと有底孔４４ｄとを連通する細孔４４ｚとを有している。つまり、金属層４４は、端部の壁部４４ｗを除く全体が多孔質体である。
【００６４】
多孔質体４４ｓは、多孔質体４４ｔと連通すると共に、金属層４３，４５の多孔質体４３ｓ，４５ｓと連通している。また、多孔質体４４ｔは、金属層４３の貫通孔４３Ｘ（流路１４ｒ）及び金属層４５の貫通孔４５Ｘと接している（連通している）。例えば、金属層４４の有底孔４４ｕは、金属層４３の貫通孔４３Ｘ（流路１４ｒ）と連通しており、金属層４４の有底孔４４ｄは、金属層４５の貫通孔４５Ｘ（流路１４ｒ）と連通している。
【００６５】
金属層４５は、厚さ方向に貫通する２つの貫通孔４５Ｘと、貫通孔４５Ｘより外側の壁部４５ｗと、２つの貫通孔４５Ｘの間の多孔質体４５ｓとを有している。多孔質体４５ｓは、貫通孔４５Ｘに隣接して設けられ、貫通孔４５Ｘの側面の一部は、有底孔４５ｕと有底孔４５ｄの少なくとも一方と連通している。
【００６６】
このように形成された液管１４Ｃは、流路１４ｒと接する多孔質体（多孔質体１４ｓ（４２ｓ〜４５ｓ），４２ｔ，４４ｔ）が大きくなり、多くの作動流体Ｃを移動させることができる。そして、流路１４ｒと接する多孔質体（多孔質体１４ｓ（４２ｓ〜４５ｓ），４２ｔ，４４ｔ）の大きさによって作動流体Ｃをより分散させることができ、液溜まりを低減して熱サイクル試験等における液管１４Ｃの変形や破損を抑制できる。
【００６７】
図１１（ａ）に示す液管１４Ｄは、積層された金属層４１〜４６からなり、多孔質体１４ｓと流路１４ｒとを有している。
多孔質体１４ｓは、積層された金属層４１〜４６のうちの最上層の金属層４１と最下層の金属層４６とを除く金属層４２〜４５により形成されている。流路１４ｒは、金属層４２，４３を厚さ方向に貫通する貫通孔４２Ｘ，４３Ｘと、金属層４４，４５を厚さ方向に貫通する貫通孔４４Ｘ，４５Ｘから構成されている。貫通孔４２Ｘ，４３Ｘと貫通孔４４Ｘ，４５Ｘは、平面視において重ならない位置に形成されている。
【００６８】
金属層４２，４３は、金属層４４，４５の貫通孔４４Ｘ，４５Ｘと重なる位置に多孔質体４２ｔ，４３ｔを有している。金属層４４，４５は、金属層４２，４３の貫通孔４２Ｘ，４３Ｘと重なる位置に多孔質体４４ｔ，４５ｔを有している。金属層４２〜４５は、互いに重なる位置に多孔質体４２ｓ，４３ｓ，４４ｓ，４５ｓを有している。つまり、多孔質体１４ｓは、金属層４２，４３，４４，４５の多孔質体４２ｓ，４３ｓ，４４ｓ，４５ｓにより構成されている。
【００６９】
金属層４３の多孔質体４３ｓは、多孔質体４３ｔと同様に、金属層４３の上面側の有底孔４３ｕと、金属層４３の下面側の有底孔４３ｄと、有底孔４３ｕと有底孔４３ｄとを連通する細孔４３ｚとを有している。
【００７０】
貫通孔４２Ｘ，４３Ｘからなる流路１４ｒは、２つの多孔質体１４ｓ（４２ｓ，４３ｓ），４４ｔと、壁部１４ｗ（壁部４２ｗ，４３ｗ）、金属層４１の下面により囲まれている。また、貫通孔４４Ｘ，４５Ｘからなる流路１４ｒは、２つの多孔質体１４ｓ（４４ｓ，４５ｓ），４３ｔと、壁部１４ｗ（壁部４４ｗ，４５ｗ）、金属層４６の上面により囲まれている。
【００７１】
このように形成された液管１４Ｄは、流路１４ｒと接する多孔質体（多孔質体１４ｓ（４２ｓ〜４５ｓ），４２ｔ〜４５ｔ）が大きくなり、多くの作動流体Ｃを移動させることができる。そして、流路１４ｒと接する多孔質体（多孔質体１４ｓ（４２ｓ〜４５ｓ），４２ｔ〜４５ｔ）の大きさによって作動流体Ｃをより分散させることができ、液溜まりをより低減して熱サイクル試験等における液管１４Ｄの変形や破損を抑制できる。
【００７２】
図１１（ｂ）に示す液管１４Ｅは、積層された金属層４１〜４６からなり、多孔質体１４ｓと流路１４ｒとを有している。液管１４Ｅは、図９（ａ）に示す液管１４Ａに対して金属層４２，４５に多孔質体４２ｓ，４５ｓが形成されている点で異なる。
【００７３】
多孔質体１４ｓは、積層された金属層４１〜４６のうちの最上層の金属層４１と最下層の金属層４６とを除く金属層４２〜４５により形成されている。つまり、多孔質体１４ｓは、金属層４２，４３，４４，４５の多孔質体４２ｓ，４３ｓ，４４ｓ，４５ｓにより構成されている。
【００７４】
流路１４ｒは、金属層４３，４４の２つの貫通孔４３Ｘ，４４Ｘにより形成されている。流路１４ｒは、３つの多孔質体１４ｓ（４３ｓ，４４ｓ），４２ｔ，４５ｔと、壁部１４ｗ（壁部４３ｗ，４４ｗ）により囲まれている。
【００７５】
金属層４２は、２つの貫通孔４３Ｘの直上の多孔質体４２ｔと、２つの多孔質体４２ｔの間の多孔質体４２ｓとを有している。多孔質体４２ｔにおいて、有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは、図９（ｂ）と同様に複数の列状に配列され、各列において有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは交互に配置されている。各列は、作動流体Ｃの流れる方向に沿って形成されることが好ましい。
【００７６】
金属層４３は、２つの貫通孔４３Ｘと、２つの貫通孔４３Ｘの間の多孔質体４３ｓとを有している。金属層４４は、２つの貫通孔４４Ｘと、２つの貫通孔４４Ｘの間の多孔質体４４ｓとを有している。
【００７７】
金属層４５は、２つの貫通孔４４Ｘの直下の多孔質体４５ｔと、２つの多孔質体４５ｔの間の多孔質体４５ｓとを有している。図９（ｂ）と同様に、多孔質体４２ｔにおいて、有底孔４５ｕと有底孔４５ｄは、複数の列状に配列され、各列において有底孔４５ｕと有底孔４５ｄは交互に配置されている。各列は、作動流体Ｃの流れる方向に沿って形成されることが好ましい。
【００７８】
このように形成された液管１４Ｅは、流路１４ｒを囲む多孔質体（多孔質体１４ｓ（４２ｓ〜４４ｓ），４２ｔ，４５ｔ）が大きくなり、多くの作動流体Ｃを移動させることができる。そして、流路１４ｒを囲む多孔質体（多孔質体１４ｓ（４２ｓ〜４４ｓ），４２ｔ，４５ｔ）の大きさによって作動流体Ｃをより分散させることができ、液溜まりを低減して熱サイクル試験等における液管１４Ｅの変形や破損を抑制できる。また、流路１４ｒの直上の多孔質体４２ｔと、流路１４ｒの直下の多孔質体４５ｔは、有底孔が列状に配置され、作動流体Ｃを流路１４ｒに沿って移動させることができる。
【００７９】
図１２（ａ）に示す液管１４Ｆは、積層された金属層４１〜４６からなり、多孔質体１４ｓと流路１４ｒとを有している。
多孔質体１４ｓは、積層された金属層４１〜４６のうちの最上層の金属層４１と最下層の金属層４６とを除く金属層４２〜４５により形成されている。流路１４ｒは、金属層４３，４４の２つの貫通孔４３Ｘ，４４Ｘにより形成されている。流路１４ｒは、３つの多孔質体１４ｓ（４３ｓ，４４ｓ），４２ｔ，４５ｔと、壁部１４ｗにより囲まれている。
【００８０】
金属層４２は、２つの貫通孔４３Ｘの直上の多孔質体４２ｔと、２つの多孔質体４２ｔの間の多孔質体４２ｓとを有している。金属層４３は、２つの貫通孔４３Ｘと、２つの貫通孔４３Ｘの間の多孔質体４３ｓとを有している。金属層４４は、２つの貫通孔４４Ｘと、２つの貫通孔４４Ｘの間の多孔質体４４ｓとを有している。金属層４５は、２つの貫通孔４４Ｘの直下の多孔質体４５ｔと、２つの多孔質体４５ｔの間の多孔質体４５ｓとを有している。
【００８１】
金属層４２の多孔質体４２ｓと金属層４３の多孔質体４３ｓとにおいて、金属層４２の有底孔４２ｄと、金属層４３の有底孔４３ｕは、平面視で重複する位置に形成されている。この場合、積層される金属層４２と金属層４３とが互いに接する面積を大きくできるため、強固な接合が可能となる。
【００８２】
金属層４３の多孔質体４３ｓと金属層４４の多孔質体４４ｓとにおいて、金属層４３の有底孔４３ｄと、金属層４４の有底孔４４ｕは、平面視で部分的に重なる位置に形成されている。このため、重なる部分は、有底孔４３ｄと有底孔４４ｕとを連通する細孔４７ｚを形成する。このように、各金属層４２〜４５のそれぞれにおいて細孔を有するとともに、積層された２つの金属層、例えば金属層４３と金属層４４との界面において細孔を形成することで、細孔の数を増加させることができ、細孔により生じる毛細管力を向上できる。
【００８３】
このように形成された液管１４Ｆは、流路１４ｒと接する多孔質体（多孔質体１４ｓ（４２ｓ〜４５ｓ），４２ｔ，４５ｔ）が大きくなり、多くの作動流体Ｃを移動させることができる。そして、流路１４ｒと接する多孔質体（多孔質体１４ｓ（４２ｓ〜４５ｓ），４２ｔ，４５ｔ）の大きさによって作動流体Ｃをより分散させることができ、液溜まりを低減して熱サイクル試験等における液管１４Ｆの変形や破損を抑制できる。
【００８４】
なお、最上層の金属層４１と最下層の金属層４６とを除く各金属層４２〜４５において、それぞれの界面において有底孔が重なるように金属層４２〜４５のうちの一部又は全てが積層されてもよい。また、各金属層４２〜４５において、界面において細孔を形成するように金属層４２〜４５のうちの一部又は全てが積層されてもよい。
【００８５】
図１２（ｂ）に示す液管１４Ｇは、積層された金属層４１〜４６からなる。この液管１４Ｇを構成する金属層４２〜４５は、図１２（ａ）に示す液管１４Ｆを構成する金属層４２〜４５と同様に形成されている。
【００８６】
最上層の金属層４１には、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４１ｄが形成されている。有底孔４１ｄは、平面視において、金属層４１と隣接する金属層４２の上面側の有底孔４２ｕと部分的に重なる位置に形成されている。従って、金属層４１と金属層４２の界面において、有底孔４１ｄと有底孔４２ｕとを連通する細孔４８ｚが形成される。
【００８７】
最下層の金属層４６には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔４６ｕが形成されている。有底孔４６ｕは、平面視において、金属層４６と隣接する金属層４５の下面側の有底孔４５ｄと部分的に重なる位置に形成されている。従って、金属層４６と金属層４５の界面において、有底孔４６ｕと有底孔４５ｄとを連通する細孔４９ｚが形成される。
【００８８】
このように、液管１４Ｇでは、最上層の金属層４１と最下層の金属層４６とにそれぞれ有底孔４１ｄ，４６ｕを形成することにより、多孔質体を大きくして多くの作動流体Ｃを移動させることができる。また、多孔質体の大きさによって作動流体Ｃをより分散させることができ、液溜まりをより低減して熱サイクル試験等における液管１４Ｇの変形や破損を抑制できる。
【００８９】
図１３に示す液管１４Ｈは、屈曲して形成されている。そして、液管１４Ｈを構成する金属層４２には、有底孔４２ｕと有底孔４２ｄとが形成されている。有底孔４２ｕと有底孔４２ｄは、屈曲する液管１４Ｈに沿って交互に形成されている。このように、液管１４Ｈに沿って有底孔４２ｕと有底孔４２ｄとを交互に形成することにより、屈曲した液管１４Ｈに沿って作動流体Ｃを移動させることができる。例えば、液管１４Ｈが直角に屈曲している箇所（例えば、図１に示すループ型ヒートパイプ１において右上の屈曲した部分）では、その屈曲した液管１４Ｈに沿って作動流体Ｃを移動させることで、作動流体Ｃを流れ易くすることができる。金属層４３〜４５に形成される多孔質体及び流路も同様に、屈曲する液管に沿って形成することができる。
【００９０】
次に、上述した本実施形態及び変形例に対して適用できる他の変形例を示す。
図１４（ａ）に示すように、金属層１００において、有底孔１００ｕ，１００ｄを配列してもよい。有底孔１００ｕは金属層１００の上面側に形成され、有底孔１００ｄは金属層１００の下面側に形成されている。有底孔１００ｕと有底孔１００ｄは、列状に配置されている。各列において、有底孔１００ｕと有底孔１００ｄは、交互に配置されている。また、各列と直交する方向（図１４（ａ）の左右方向）において、有底孔１００ｕと有底孔１００ｄとが交互に配置されている。
【００９１】
図１４（ｂ）に示すように、金属層１１０は、大きさの異なる有底孔１１０ｕ，１１０ｄを形成してもよい。図１４（ｂ）において、有底孔１１０ｕの大きさは有底孔１１０ｄの大きさよりも大きい。なお、有底孔１１０ｄの大きさを有底孔１１０ｕの大きさよりも大きくしてもよい。また、隣接する２つの金属層において、互いに大きさの異なる有底孔を形成してもよい。なお、有底孔１１０ｕ，１１０ｄの配列を適宜変更してもよい。
【００９２】
図１５（ａ）及び図１５（ｂ）は、１つの金属層に、有底孔と溝とを形成した例を示す。図１５（ｂ）は、図１５（ａ）のｂ−ｂ線断面図を示す。
金属層１２０には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔１２０ｕと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔１２０ｄとが形成されている。有底孔１２０ｕと有底孔１２０ｄは、それぞれ列状であって交互に形成されている。列方向（図１５（ａ）の上下方向）において交互に形成された有底孔１２０ｕと有底孔１２０ｄは、互いに部分的に重なるように形成され、その重なる部分において有底孔１２０ｕと有底孔１２０ｄとを互いに連通する細孔１２０ｚを形成している。また、各列と直交する方向（図１５（ａ）の左右方向）において、有底孔１２０ｕと有底孔１２０ｄとが交互に形成されている。
【００９３】
金属層１２０の上面には、近接する有底孔１２０ｕを連通する溝１２１ｕが形成されている。金属層１２０の下面には、近接する有底孔１２０ｄを連通する溝１２１ｄが形成されている。
【００９４】
列方向（図１５（ｂ）の上下方向）に交互に形成された有底孔１２０ｕと有底孔１２０ｄは、その列方向に作動流体を移動させる。そして、金属層１２０の上面に形成された溝１２１ｕは、その溝１２１ｕにより連通される２つの有底孔１２０ｕの間で作動流体Ｃを移動させる。同様に、金属層１２０の下面に形成された溝１２１ｄは、その溝１２１ｄにより連通される２つの有底孔１２０ｄの間で作動流体Ｃを移動させる。このように、溝１２１ｕ（１２１ｄ）により有底孔１２０ｕ（１２０ｄ）と有底孔１２０ｕ（１２０ｄ）とが交互に配列された方向以外の方向に作動流体Ｃの移動させることができる。
【００９５】
なお、このように有底孔を連通する溝は、上記の実施形態及び変形例において、金属層４２〜４５に形成することができる。また、図１２（ｂ）に示す変形例において、最上層の金属層４１と最下層の金属層４６の少なくとも一方に形成することができる。
【００９６】
上記実施形態及び各変形例に示す有底孔の形状を適宜変更してもよい。例えば、有底孔の内壁を、底面に対して垂直としてもよい。また、図２等に示す有底孔４３ｕ，４３ｄを、湾曲面からなる凹形状としてもよい。内壁面が湾曲面からなる凹形状としては、例えば、図１６（ａ）に示すように、有底孔１３１ｕ，１３１ｄを、断面視形状が略半円形や略半楕円形状となる凹形状としてもよく、このような形状の有底孔１３１ｕ，１３１ｄにより細孔１３１ｚが形成される。また、図１６（ｂ）に示すように、有底孔１３２ｕ，１３２ｄを、内壁が底面にかけて円弧状に連続する形状としてもよく、このような形状の有底孔１３２ｕ，１３２ｄにより細孔１３２ｚが形成される。
【００９７】
上記実施形態及び各変形例において、上面側の有底孔の深さと、下面側の有底孔の深さとが異なっていてもよい。また、図１６（ａ）及び図１６（ｂ）に示す上面側の有底孔１３１ｕ，１３２ｕの深さと、下面側の有底孔１３１ｄ，１３２ｄの深さとが異なっていてもよい。
【００９８】
上述の実施形態及び各変形例の一部又は全てを適宜組み合わせて実施することもできる。
【符号の説明】
【００９９】
１０  ループ型ヒートパイプ
１１  蒸発器
１２  蒸気管
１３  凝縮器
１４，１４Ａ〜１４Ｈ  液管
１４ｓ  多孔質体
１４ｒ  流路
１４ｗ  壁部
４１〜４６  金属層
４２Ｘ〜４５Ｘ  貫通孔
４２ｓ〜４５ｓ  多孔質体
４２ｔ〜４５ｔ  多孔質体
４２ｕ〜４６ｕ  有底孔
４１ｄ〜４５ｄ  有底孔
４２ｚ〜４５ｚ  細孔
４７ｚ〜４９ｚ  細孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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