(57)【要約】    【課題】  高いインダクタンスを備えるコイルの提供    【解決手段】  コイル１０は、樹脂基板２０の第１面Ｆに渦巻き状の第１コイルＬ１、第４コイルＬ４、第５コイルＬ５、第８コイルＬ８を、第２面Ｓに第２コイルＬ２、第３コイルＬ３、第６コイルＬ６、第７コイルＬ７を形成するため、容易に製造することができる。また、１層の樹脂基板２０を折りたたみコイルを形成するため、高い信頼性を得ることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面と第１面の反対側の第２面とを備える樹脂基板と、
前記第１面側の渦巻き状の第１コイルと、
前記第２面側であって、前記第１コイルに対応する位置に形成された渦巻き状の第２コイルと、
前記第２面側であって、前記第２コイルに隣接して設けられた渦巻き状の第３コイルと、前記第１面側であって、前記第３コイルに対応する位置に形成された渦巻き状の第４コイルと、を備えるコイルであって、
前記第２コイルと前記第３コイルとが対向するように前記樹脂基板が折り曲げられている。
【請求項２】
請求項１のコイルであって、
前記第１コイルと前記第２コイルとは、前記樹脂基板に形成されたスルーホール導体を介して接続され、
前記第３コイルと前記第４コイルとは、前記樹脂基板に形成されたスルーホール導体を介して接続され、
前記第２コイルと前記第３コイルとは、前記樹脂基板の前記第２面に形成された接続線を介して接続されている。
【請求項３】
請求項１のコイルであって、
更に、前記第１面側であって前記第４コイルに隣接して設けられた渦巻き状の第５コイルと、
前記第２面側であって、前記第５コイルに対応する位置に形成された渦巻き状の第６コイルと、を備え、
前記第４コイルと前記第５コイルとが対向するように前記樹脂基板が折り曲げられている。
【請求項４】
請求項３のコイルであって、
前記第５コイルと前記第６コイルとは、前記樹脂基板に形成されたスルーホール導体を介して接続され、
前記第４コイルと前記第５コイルとは、前記樹脂基板の前記第１面に形成された接続線を介して接続されている。
【請求項５】
請求項１のコイルであって、
前記第１コイル、前記第２コイル、前記第３コイル、前記第４コイルは、偶数個のコイル極から構成される。
【請求項６】
請求項５のコイルであって、
前記第３コイル、前記第４コイルは、６個のコイル極から構成される。
【請求項７】
請求項５又は請求項６のコイルであって、
前記コイル極は、中央寄りに設けられたスルーホール導体に接続され、
隣接する２個のコイル極が組み合わされ、一方のコイル極が中央寄りの前記スルーホールの周りに広がって行くように渦巻き状に巻かれ、外縁の線が他方のコイル極の外縁の接続線で接続され、当該他方のコイル極は中央寄りの前記スルーホールの周りに狭まって行くように渦巻き状に巻かれている。
【請求項８】
請求項５〜請求項７のいずれか１のコイルであって、
各コイル極は、前記樹脂基板が折り曲げられた状態で、同方向に巻かれている。
【請求項９】
請求項１〜請求項８のいずれか１のコイルであって、
前記コイルは、モータ用のコイルである。
【請求項１０】
請求項９のコイルであって、
前記各コイルの中央部分の前記樹脂基板に軸を通す開口が設けられている。
【請求項１１】
請求項１〜請求項４のいずれか１のコイルであって、
前記コイルは、振動モータ用のコイルである。
【請求項１２】
請求項１のコイルであって、
対向する前記第２コイルと前記第３コイルとの間に磁性シートが設けられている。
【請求項１３】
請求項１〜請求項１２のいずれか１のコイルであって、
前記樹脂基板はフレックス基板である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のコイルのパターンを表裏に形成した樹脂基板を折り畳んで成るコイルに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、導体パタンを形成した絶縁層を複数積層することで、インダクタンスとなるコイルを構成した電子部品を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１３５５４８号公報
【発明の概要】
【０００４】
[特許文献１の課題]
特許文献１では、半ターン、１ターンの導体パターンを形成した絶縁層を積層しているため、高いインダクタンスを備えるコイルを形成することが困難と考えられる。また、各層の導体パターンを全てスルーホール（導体突起）を介して接続しているため、コイルのターン数が増えると、接続信頼性を維持することが難しいと考えられる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るコイルは、第１面と第１面の反対側の第２面とを備える樹脂基板と、前記第１面側の渦巻き状の第１コイルと、前記第２面側であって、前記第１コイルに対応する位置に形成された渦巻き状の第２コイルと、前記第２面側であって、前記第２コイルに隣接して設けられた渦巻き状の第３コイルと、前記第１面側であって、前記第３コイルに対応する位置に形成された渦巻き状の第４コイルと、を備える。そして、前記第２コイルと前記第３コイルとが対向するように前記樹脂基板が折り曲げられている。
【０００６】
[実施形態の効果]
本発明の実施形態によれば、樹脂基板の第１面に渦巻き状の第１コイル、第４コイルを、第２面に第２コイル、第３コイルを形成するため、積層構造との比較で容易に製造することができる。また、１層の樹脂基板から成るため、高い信頼性を得ることができる。更に、各コイルが渦巻き状に形成されているため、コイルのターン数が多く、高いインダクタンスを持たせることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るコイルを構成する樹脂基板の平面図及び底面図である。
【図２】第１実施形態のコイルの展開図である。
【図３】第１実施形態のコイルの製造工程を示す模式図である。
【図４】第１実施形態のコイルを構成する樹脂基板の製造工程を示す平面図及び底面図である。
【図５】本発明の第１実施形態の改変例に係るコイルを構成する樹脂基板の平面図及び底面図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るコイルを構成する樹脂基板の平面図及び底面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
[第１実施形態]
図１は第１実施形態に係るコイルを構成する樹脂基板の平面図及び底面図であり、図２は第１実施形態のコイルの展開図であり、第１実施形態のコイルの製造工程を示す模式図である。
図３（Ａ）に示されるように樹脂基板２０は４枚の連なった第１円盤Ｄ１、第２円盤Ｄ２、第３円盤Ｄ３、第４円盤Ｄ４により形成され、図３（Ｂ）に示されるように第１円盤Ｄ１、第２円盤Ｄ２、第３円盤Ｄ３、第４円盤Ｄ４が折り畳まれ、図３（Ｃ）に示すコイル１０が形成される。即ち、第１円盤Ｄ１と第２円盤Ｄ２とが山折りされ、第２円盤Ｄ２と第３円盤Ｄ３とが谷折りされ、第３円盤Ｄ３と第４円盤Ｄ４とが山折りされる。コイル１０はコンピュータのファンモータのコイルとして用いられる。第１円盤Ｄ１と第２円盤Ｄ２との間、第２円盤Ｄ２と第３円盤Ｄ３との間、第３円盤Ｄ３と第４円盤Ｄ４との間には磁性シート２２が設けられる。磁性シートは磁性粒子を含んでも良い。磁性粒子として、酸化鉄（III）やコバルト酸化鉄、鉄、珪素鉄、磁性合金、フェライト等が挙げられる。磁性シート２２の代わりに、磁性体を含まない接着シートを用いることもできる。
【０００９】
図１に示すように第１円盤Ｄ１の表面（第１面）Ｆには第１コイルＬ１が形成されている。第１円盤Ｄ１の裏面（第２面）Ｓには第２コイルＬ２が形成されている。第１円盤Ｄ１の第１面Ｆには、第１コイルＬ１と共にＩＣチップの搭載部を含む配線２４が形成されている。第１円盤Ｄ１の第２面Ｓには、第２コイルＬ２と共に配線２６が形成されている。第２円盤Ｄ２の第１面Ｆには第４コイルＬ４が形成され、第２面Ｓには第３コイルＬ３が形成されている。第３円盤Ｄ３の第１面Ｆには第５コイルＬ５が形成され、第２面Ｓには第６コイルＬ６が形成されている。第４円盤Ｄ４の第１面Ｆには第８コイルＬ８が形成され、第２面Ｓには第７コイルＬ７が形成されている。第１円盤Ｄ１の中央には開口Ｏ１が、第２円盤Ｄ２の中央には開口Ｏ２が、第３円盤Ｄ３の中央には開口Ｏ３が、第４円盤Ｄ４の中央には開口Ｏ４が形成されている。開口Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４はファンモータの軸を挿通させるためのものである。第３コイルＬ３、第４コイルＬ４、第５コイルＬ５、第６コイルＬ６、第７コイルＬ７、第８コイルＬ８は、６の第１コイル極ｃ１、第２コイル極ｃ２、第３コイル極ｃ３、第４コイル極ｃ４，第５コイル極ｃ５、第６コイル極ｃ６を備える。第１コイルＬ１は、２の第１コイル極ｃ１、第２コイル極ｃ２を備える。第２コイルＬ２は、４の第１コイル極ｃ１、第２コイル極ｃ２、第３コイル極ｃ３、第６コイル極ｃ６を備える。第１面Ｆ側の第１コイルＬ１の第１コイル極ｃ１、第２コイル極ｃ２は反時計回りに巻かれている。そして、第４コイルＬ４、第５コイルＬ５、第８コイルＬ８の第１コイル極ｃ１、第２コイル極ｃ２、第３コイル極ｃ３、第４コイル極ｃ４，第５コイル極ｃ５、第６コイル極ｃ６は反時計回りに巻かれている。第２面Ｓ側の第２コイルＬ２の第１コイル極ｃ１、第２コイル極ｃ２、第３コイル極ｃ３、第６コイル極ｃ６は、図中時計回りに巻かれているが、第１面Ｆ側から見て反時計回りに巻かれている。そして、第３コイルＬ３、第６コイルＬ６、第７コイルＬ７の第１コイル極ｃ１、第２コイル極ｃ２、第３コイル極ｃ３、第４コイル極ｃ４，第５コイル極ｃ５、第６コイル極ｃ６は、第１面Ｆ側から見て反時計回りに巻かれている。第１コイル極ｃ１、第２コイル極ｃ２、第３コイル極ｃ３、第４コイル極ｃ４，第５コイル極ｃ５、第６コイル極ｃ６は、中央にスルーホールｓ１、ｓ２、ｓ３、ｓ４、ｓ５、ｓ６が設けられている。
【００１０】
第１円盤Ｄ１の第１面Ｆに設けられた入力ｉｎ１からの電流が、第１円盤Ｄ１の第２面Ｓの第３コイル極ｃ３のスルーホールｓ３を通り、渦巻き状に広がる第３コイル極ｃ３を通り、第３コイル極と第２コイル極との接続線ｉ２を介して第２コイル極ｃ２に至り、渦巻き状に狭まる第２コイル極を介して第２コイル極のスルーホールｓ２に至る。そして、電流が、スルーホールｓ２を介して第１面Ｆの第２コイル極ｃ２を通り、接続線ｉ２を介して第１コイル極ｃ１を通り、第１コイル極ｃ１のスルーホールｓ１を通り、第１円盤Ｄ１の第２面Ｓの第１コイル極ｃ１に至り、第１コイル極の外縁から接続線ｉ３を介して、第２円盤Ｄ２の第２面Ｓの第３コイル極ｃ３に至る。電流が、第３コイル極ｃ３のスルーホールｓ３を介して第２円盤Ｄ２の第１面Ｆの第３コイル極ｃ３に至り、第３コイル極を通り、接続線ｉ３を介して第２コイル極ｃ２に至り、第２コイル極のスルーホールｓ２を介して第２面Ｓの第２コイル極ｃ２に至る。電流が、第２面の第２コイル極ｃ２から接続線ｉ１を介して第１コイル極ｃ１に至り、第１コイル極のスルーホールｓ１を介して第１面Ｆの第１コイル極ｃ１に至る。電流が、第２円盤Ｄ２の第１コイル極ｃ１から接続線ｉ１を介して第３円盤Ｄ３の第３コイル極ｃ３に至る。電流が、第３コイル極ｃ３のスルーホールｓ３を介して第２面Ｓの第３コイル極ｃ３に至り、第３コイル極ｃ３から接続線ｉ２を介して第２コイル極ｃ２に至る。電流が、第２コイル極のスルーホールｓ２を介して第１面Ｆの第２コイル極ｃ２に至り、第２コイル極から接続線ｉ２を介して第１コイル極ｃ１に至る。電流が、第１コイル極のスルーホールｓ１を介して第２面Ｓの第１コイル極ｃ１に至り、第３円盤Ｄ３の第１コイル極ｃ１から接続線ｉ３を介して第４円盤Ｄ４の第３コイル極ｃ３に至る。電流が、第３コイル極のスルーホールｓ３を介して第１面Ｆの第３コイル極ｃ３に至り、第３コイル極ｃ３を通り、接続線ｉ３を介して第２コイル極ｃ２に至る。電流が、第２コイル極のスルーホールｓ２を介して第２面Ｓの第２コイル極ｃ２に至り、第２コイル極ｃ２から接続線ｉ１を介して第１コイル極ｃ１に至る。電流が、第１コイルのスルーホールｓ１を介して第１面の第１コイル極ｃ１に至り、第１コイル極ｃ１から接続線ｉ１を介して第６コイル極ｃ６に至る。電流が、第６コイルのスルーホールｓ６を介して第２面Ｓの第６コイル極ｃ６に至り、第６コイル極ｃ６から接続線ｉ５を介して第５コイル極ｃ５に至る。電流が、第５コイルのスルーホールｓ５を介して第１面Ｆの第５コイル極ｃ５に至り、第５コイル極ｃ５から接続線ｉ５を介して第４コイル極ｃ４に至る。電流が、第４コイルのスルーホールｓ４を介して第２面Ｓの第４コイル極ｃ４に至り、第６コイル極ｃ６から接続線ｉ６を介して第３円盤の第６コイル極ｃ６に至る。電流が、第６コイルのスルーホールｓ６を介して第１面Ｆの第６コイル極ｃ６に至り、第６コイル極ｃ６から接続線ｉ６を介して第５コイル極ｃ５に至る。電流が、第５コイルのスルーホールｓ５を介して第２面Ｓの第５コイル極ｃ５に至り、第５コイル極ｃ５から接続線ｉ４を介して第４コイル極ｃ４に至る。電流が、第４コイルのスルーホールｓ４を介して第１面Ｆの第４コイル極ｃ４に至り、第４コイル極ｃ４から接続線ｉ４を介して第２円盤Ｄ２の第６コイル極ｃ６に至る。電流が、第６コイルのスルーホールｓ６を介して第２面Ｓの第６コイル極ｃ６に至り、第６コイル極ｃ６から接続線ｉ５を介して第５コイル極ｃ５に至る。電流が、第５コイルのスルーホールｓ５を介して第１面Ｆの第５コイル極ｃ５に至り、第５コイル極ｃ５から接続線ｉ５を介して第４コイル極ｃ４に至る。電流が、第４コイルのスルーホールｓ４を介して第２面Ｓの第４コイル極ｃ４に至り、第４コイル極ｃ４から接続線ｉ６を介して第１円盤Ｄ１の第６コイル極ｃ６に至り、第６コイル軸のスルーホールｓ６を介して第１面の出力ｏｕｔ１に至る。
【００１１】
図４は、第１実施形態のコイルの製造工程を示している。
ポリイミド等のフレックス基板を構成する樹脂基板２０の第１面Ｆに第１円盤Ｄ１の第１コイルＬ１とスルーホールｓ２、ｓ１と配線２４が形成され、第２円盤Ｄ２の第４コイルＬ４とスルーホールｓ１、ｓ２、ｓ３、ｓ４、ｓ５、ｓ６が形成され、第３円盤Ｄ３の第５コイルＬ５とスルーホールｓ１、ｓ２、ｓ３、ｓ４、ｓ５、ｓ６が形成され、第４円盤Ｄ４の第８コイルＬ８とスルーホールｓ１、ｓ２、ｓ３、ｓ４、ｓ５、ｓ６が形成される。樹脂基板２０の第２面Ｓに第１円盤Ｄ１の第２コイルＬ２と配線２６が形成され、第２円盤Ｄ２のコイルＬ３が形成され、第３円盤Ｄ３の第６コイルＬ６が形成され、第４円盤Ｄ４の第７コイルＬ７が形成される。そして、図中鎖線で示される第１円盤Ｄ１、第２円盤Ｄ２、第３円盤Ｄ３、第４円盤Ｄ４の外縁で裁断されると共に、第１円盤Ｄ１の中央には開口Ｏ１が、第２円盤Ｄ２の中央には開口Ｏ２が、第３円盤Ｄ３の中央には開口Ｏ３が、第４円盤Ｄ４の中央には開口Ｏ４が形成され、図１、図３（Ａ）に示された４枚の連なった第１円盤Ｄ１、第２円盤Ｄ２、第３円盤Ｄ３、第４円盤Ｄ４が形成される。そして、図３（Ｂ）に示されるように折り畳まれ、図３（Ｃ）に示すコイル１０が完成する。
【００１２】
第１実施形態のコイル１０によれば、樹脂基板２０の第１面Ｆに渦巻き状の第１コイルＬ１、第４コイルＬ４、第５コイルＬ５、第８コイルＬ８を、第２面に第２コイルＬ２、第３コイルＬ３、第６コイルＬ６、第７コイルＬ７を形成するため、積層構造との比較で容易に製造することができる。また、１層の樹脂基板２０から成るため、スルーホールｓ１、ｓ２、ｓ３、ｓ４、ｓ５、ｓ６をドリル、レーザで貫通孔を設けて形成できるので、ビアを複数段設ける積層構造と比較して、高い接続信頼性を得ることができる。更に、各コイルが渦巻き状に形成されているため、コイルのターン数が多く、高いインダクタンスを持たせることができ、電気特性の調整用のインダクタンスでは無く、モータの駆動用に用いることができる。コイルをバネ状では無く渦巻き状に巻き重ねるので、コイルの厚みを薄くすることができる。
【００１３】
[第１実施形態の改変例]
図５は第１実施形態の改変例に係るコイルを構成する樹脂基板１２０を示す。
樹脂基板２０は、７枚の連なった第１円盤Ｄ１、第２円盤Ｄ２、第３円盤Ｄ３、第４円盤Ｄ４、第５円盤Ｄ５，第６円盤Ｄ６，第７円盤Ｄ７により形成され、図３（Ｂ）に示された第１実施形態と同様に、第１円盤Ｄ１、第２円盤Ｄ２、第３円盤Ｄ３、第４円盤Ｄ４、第５円盤Ｄ５，第６円盤Ｄ６，第７円盤Ｄ７が折り畳まれコイルが形成される。即ち、第１円盤Ｄ１と第２円盤Ｄ２とが山折りされ、第２円盤Ｄ２と第３円盤Ｄ３とが谷折りされ、第３円盤Ｄ３と第４円盤Ｄ４とが山折りされ、第４円盤Ｄ４と第５円盤Ｄ５とが谷折りされ、第５円盤Ｄ５と第６円盤Ｄ６とが山折りされ、第６円盤Ｄ６と第７円盤Ｄ７とが谷折りされる。第１実施形態の改変例では、インダクタンスを更に高めることができる。
【００１４】
[第２実施形態]
図６は第２実施形態に係るコイルを構成する樹脂基板２２０の平面図及び底面図である。樹脂基板２２０は９枚の連なった第１長円板Ｃ１、第２長円板Ｃ２、第３長円板Ｃ３、第４長円板Ｃ４、第５長円板Ｃ５、第６長円板Ｃ６、第７長円板Ｃ７、第８長円板Ｃ８、第９長円板Ｃ９により形成され、つづら折りされ第１実施形態と同様にコイルとされる。折り畳まれた各長円板間には磁性シートが設けられる。第２実施形態のコイルは、１対で携帯電話の振動モータ（バイブレータ）として用いられる。
【００１５】
第１長円板Ｃ１の表面（第１面）Ｆには第１コイルＬ１が形成されている。第１長円板Ｃ１の裏面（第２面）Ｓには第２コイルＬ２が形成されている。第１長円板Ｃ１の第１面Ｆには、入力ｉｎ２と出力ｏｕｔ２とが形成されている。第２長円板Ｃ２の第１面Ｆには第４コイルＬ４が形成され、第２面Ｓには第３コイルＬ３が形成されている。第３長円板Ｃ３の第１面Ｆには第５コイルＬ５が形成され、第２面Ｓには第６コイルＬ６が形成されている。第４長円板Ｃ４の第１面Ｆには第８コイルＬ８が形成され、第２面Ｓには第７コイルＬ７が形成されている。第５長円板Ｃ５の第１面Ｆには第９コイルＬ９が形成され、第２面Ｓには第１０コイルＬ１０が形成されている。第６長円板Ｃ６の第１面Ｆには第１２コイルＬ１２が形成され、第２面Ｓには第１１コイルＬ１１が形成されている。第７長円板Ｃ７の第１面Ｆには第１３コイルＬ１３が形成され、第２面Ｓには第１４コイルＬ１４が形成されている。第８長円板Ｃ８の第１面Ｆには第１６コイルＬ１６が形成され、第２面Ｓには第１５コイルＬ１５が形成されている。第９長円板Ｃ９の第１面Ｆには第１７コイルＬ１７が形成され、第２面Ｓには第１８コイルＬ１８が形成されている。第１面Ｆ側の第１コイルＬ１、第４コイルＬ４、第５コイルＬ５、第８コイルＬ８、第９コイルＬ９、第１２コイルＬ１２、第１３コイルＬ１３、第１６コイルＬ１６、第１７コイルＬ１７は時計方向に広がっていくように渦巻き状の形成されている。第２面Ｓ側の第２コイルＬ２、第３コイルＬ３、第６コイルＬ６、第７コイルＬ７、第１０コイルＬ１０、第１１コイルＬ１１、第１４コイルＬ１４、第１５コイルＬ１５、第１８コイルＬ８７は、図中反時計回りに巻かれているが、第１面Ｆ側から見て時計回りに巻かれている。
【００１６】
第１長円板Ｃ１の第１面Ｆに設けられた入力ｉｎ２からの電流が、接続線Ｉ９を介して第９長円板Ｃ９のスルーホールａを通り、第９長円板Ｃ９の第２面側の第１８コイルＬ１８を介してスルーホールｂに至る。電流が、スルーホールｂから第１面Ｆ側の第１７コイルＬ１７を通り、接続線Ｉ８を介して第８長円板Ｃ８の第１６コイルＬ１６を通り、スルーホールｃに至る。電流が、スルーホールｃから第２面Ｓ側の第１５コイルＬ１５を通り、接続線Ｉ７を介して第７長円板Ｃ７の第１４コイルＬ１４を通り、スルーホールｄに至る。電流が、スルーホールｄから第１面Ｆ側の第１３コイルＬ１３を通り、接続線Ｉ６を介して第６長円板Ｃ６の第１２コイルＬ１２を通り、スルーホールｅに至る。電流が、スルーホールｅから第２面Ｓ側の第１１コイルＬ１１を通り、接続線Ｉ５を介して第５長円板Ｃ５の第１０コイルＬ１０を通り、スルーホールｆに至る。電流が、スルーホールｆから第１面Ｆ側の第９コイルＬ９を通り、接続線Ｉ４を介して第４長円板Ｃ４の第８コイルＬ８を通り、スルーホールｇに至る。電流が、スルーホールｇから第２面Ｓ側の第７コイルＬ７を通り、接続線Ｉ３を介して第３長円板Ｃ３の第６コイルＬ６を通り、スルーホールｈに至る。電流が、スルーホールｈから第１面Ｆ側の第５コイルＬ５を通り、接続線Ｉ２を介して第２長円板Ｃ２の第４コイルＬ４を通り、スルーホールｉに至る。電流が、スルーホールｉから第２面Ｓ側の第３コイルＬ３を通り、接続線Ｉ１を介して第１長円板Ｃ１の第２コイルＬ２を通り、スルーホールｊに至る。電流が、スルーホールｊから第１面Ｆ側の第１コイルＬ１を通り、出力ｏｕｔ２に至る。
【００１７】
第２実施形態のコイルによれば、樹脂基板２２０の第１面Ｆに渦巻き状の第１コイルＬ１、第４コイルＬ４、第５コイルＬ５、第８コイルＬ８、第９コイルＬ９、第１２コイルＬ１２、第１３コイルＬ１３、第１６コイルＬ１６、第１７コイルＬ１７を、第２面に第２コイルＬ２、第３コイルＬ３、第６コイルＬ６、第７コイルＬ７、第１０コイルＬ１０、第１１コイルＬ１１、第１４コイルＬ１４、第１５コイルＬ１５、第１８コイルＬ１８を形成するため、積層構造との比較で容易に製造することができる。また、１層の樹脂基板２２０から成るため、高い信頼性を得ることができる。また、各コイルが渦巻き状に形成されているため、コイルのターン数が多く、高いインダクタンスを持たせることができ、バイブレータの駆動用に用いることができる。
【符号の説明】
【００１８】
１０  コイル
２０  樹脂基板
２２  磁性シート
２４  配線
Ｄ１  第１円盤
Ｌ１  第１コイル
ｃ１  第１コイル極
ｓ１  スルーホール
Ｏ１  開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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