(57)【要約】【課題】検査対象物の透光部に存在する損傷部を安定的に検知可能な外観検査装置を提供する。【解決手段】可視光が透過する透光部Ｔを有する検査対象物Ｗの透光部Ｔに到達する紫外光を照射する照明手段１１と、紫外光をとらえることが可能な撮像手段１２と、撮像手段１２によって撮像された透光部Ｔの画像を基に透光部Ｔの外観を検査する情報処理手段１３とを備える。これによって、紫外光が透光部Ｔに当てられた状態の検査対象物Ｗを撮像した画像を基に外観検査が行われる。その結果、透光部Ｔに存在するチッピングやクラック等の損傷部を安定的に検知することができる。【選択図】図２
2019138696.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視光が透過する透光部を有する検査対象物の前記透光部に到達する紫外光を照射する照明手段と、
前記紫外光をとらえることが可能な撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された前記透光部の画像を基に前記透光部の外観を検査する情報処理手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の外観検査装置において、前記検査対象物は、可視光を反射する反射部を更に有することを特徴とする外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の外観を検査する外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイオード、トランジスタ、コンデンサ、インダクタ、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）等の各種電子部品やセンサやレンズは、出荷前に、チッピングやクラック等の有無が検査される。当該検査を行う装置の具体例が、例えば特許文献１に記載されている。
特許文献１に記載の装置では、素体供給テーブルから回転テーブルに供給された電子部品（素体）が、回転テーブルに搬送されながら、カメラによって撮像される。各カメラは異なる角度から電子部品を撮像することから、カメラが撮像した画像の解析によって、直方体形状の電子部品の６面全てについてチッピング等の有無を検査することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２４１３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、可視光が透過する透光部を有する対象物を、従来の方法で外観検査すると、透光部に存在するチッピングやクラック等の損傷部を安定的に検知できないという課題が生じることが判明した。そして、この課題は、電子部品、センサ及びレンズに限定されず、透光部を有する物に共通している。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、検査対象物の透光部に存在する損傷部を安定的に検知可能な外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的に沿う本発明に係る外観検査装置は、可視光が透過する透光部を有する検査対象物の前記透光部に到達する紫外光を照射する照明手段と、前記紫外光をとらえることが可能な撮像手段と、前記撮像手段によって撮像された前記透光部の画像を基に前記透光部の外観を検査する情報処理手段とを備える。
【発明の効果】
【０００６】
本発明に係る外観検査装置は、可視光が透過する透光部を有する検査対象物の透光部に到達する紫外光を照射する照明手段を備え、撮像手段が、照明手段が照射する紫外光をとらえることが可能であるので、検査対象物の透光部に存在するチッピングやクラック等の損傷部を安定的に検知可能である。これは、実験的検証によって確認している。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】（Ａ）は本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の検査対象物の正面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＨ−Ｈ’断面図である。
【図２】同外観検査装置の説明図である。
【図３】撮像手段側から検査対象物を見た様子を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１（Ａ）、（Ｂ）、図２に示すように、本発明の一実施の形態に係る外観検査装置１０は、可視光が透過する透光部Ｔを有する検査対象物Ｗの透光部Ｔに到達する紫外光を照射する照明手段１１と、当該紫外光をとらえることが可能な撮像手段１２と、撮像手段１２によって撮像された透光部Ｔの画像を基に透光部Ｔの外観を検査する情報処理手段１３とを備える装置である。以下、詳細に説明する。
【０００９】
外観検査装置１０によって検査される検査対象物Ｗは、図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、矩形の板状であり、可視光を反射する反射部Ｒを内側に有している。反射部Ｒは矩形の板状であり、検査対象物Ｗの反射部Ｒを除く領域は可視光が透過する透光部Ｔで形成されている。なお、可視光が透光部Ｔを透過するとは、外部から透光部Ｔに入射した可視光の全部又は一部が透光部Ｔを透過することを意味する。検査対象物Ｗは平行配置された表面Ｐ及び裏面Ｑと４つの側面Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇとを有し、表面Ｐの角部近傍には検査対象物Ｗの向きを示すマークＭが設けられている。本実施の形態では、表面Ｐをレーザで削ることによって円形のマークＭを形成している。よって、マークＭは表面Ｐに設けられた溝である。
【００１０】
外観検査装置１０は、図２、図３に示すように、検査対象物Ｗを支持する支持部材１４と、検査対象物Ｗに紫外光を照射する照明手段１１と、検査対象物Ｗを表面Ｐ側から撮像する撮像手段１２と、撮像手段１２に接続された情報処理手段１３を備えている。
支持部材１４は、図２に示すように、真空圧によって検査対象物Ｗの裏面Ｑを吸着して検査対象物Ｗを保持するノズルであり、図示しない駆動源の作動によって移動する。支持部材１４に吸着保持された検査対象物Ｗは、支持部材１４と共に移動し、撮像位置Ｓに配置される。以下、特に記載しない限り、検査対象物Ｗは撮像位置Ｓに配置されているものとする。
【００１１】
検査対象物Ｗの表面Ｐ側に検査対象物Ｗから距離を有して配置された照明手段１１は、図２、図３に示すように、一側（検査対象物Ｗに近い側）に拡散部材１５が取り付けられた円環状のベース部材１６と、ベース部材１６に固定された複数の発光部１７を備えている。複数の発光部１７は、それぞれ検査対象物Ｗに向かって紫外光を発する発光ダイオードであり、周方向に間隔を空けて（本実施の形態では等ピッチで）円環状に配列されている。
【００１２】
本実施の形態では各発光部１７から検査対象物Ｗまでの距離が等しく、各発光部１７は直進性（指向性）が高い紫外光（波長が１０〜４００ｎｍの光）を照射する。
拡散部材１５は、円環状の板状物であり、撮像手段１２と検査対象物Ｗの間に位置している。拡散部材１５は、発光部１７から発せられる紫外光の吸収を抑制する素材（例えば、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、紫外光透過型のアクリル）によって形成され、各発光部１７から検査対象物Ｗに向かって進行する紫外光を散乱させる。
【００１３】
各発光部１７から発せられた紫外光は拡散部材１５を透過して散乱し、散乱した紫外光の一部又は大半が検査対象物Ｗ（即ち、透光部Ｔ）の表面Ｐ及び側面Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇに到達する。検査対象物Ｗの表面Ｐ及び側面Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇに到達した紫外光はそれぞれ、全部又は一部が表面Ｐ及び側面Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇで反射される。本実施の形態では、拡散部材１５で紫外光が散乱することから、拡散部材が無い場合と比較して、検査対象物Ｗ（透光部Ｔ）に到達する紫外光の検査対象物Ｗ（透光部Ｔ）に対する進行方向は多様となる。
【００１４】
撮像手段１２は、発光部１７が照射する紫外光をとらえること（発光部１７が照射する波長域の紫外光を画像中に表すこと）が可能なカメラであり、ベース部材１６の内側空間越しに検査対象物Ｗを撮像するように配置されている（撮像手段１２は検査対象物Ｗを撮像可能な方向に向けられている）。撮像手段１２によって撮像された画像には、図１（Ａ）に示すように、検査対象物Ｗの表面Ｐ全体（マークＭを含む）及び透光部Ｔ越しの反射部Ｒが撮像される。よって、撮像手段１２は撮像により透光部Ｔの表面Ｐ全体がとらえられた画像を得ることとなる。
【００１５】
撮像手段１２には、図２に示すように、情報処理手段１３が接続されており、情報処理手段１３は、撮像手段１２が撮像した画像を取得し、取得した画像（透光部Ｔをとらえた画像）を基に検査対象物Ｗ（透光部Ｔ）の表面Ｐにチッピングやクラック等の異常（以下、「損傷部」とも言う）が存在しないか否か、マークＭが所定の位置（例えば、表面Ｐの右上）に配置されているか否かを判定する（即ち、透光部Ｔの外観を検査する）。更に、情報処理手段１３は、画像中でマークＭが所定の位置に配されていることから、検査対象物Ｗが裏面Ｑを支持手段１４によって吸着保持された状態であること、及び、画像内でマークＭが右上に配される向きで検査対象物Ｗが支持手段１４に支持されていることを検知する。なお、本実施の形態では、情報処理手段１３が主としてＣＰＵ及びメモリによって構成されている。
【００１６】
撮像手段１２によって撮像された画像中の検査対象物Ｗは、図１（Ａ）に示すように、透光部Ｔの大半及びマークＭの大半が反射部Ｒと重なっている。そのため、検査対象物Ｗの画像を基にして、反射部Ｒに重なった状態のマークＭを検出する必要があり、仮に、検査対象物Ｗの表面Ｐの透光部Ｔと反射部Ｒが重なっている領域に損傷部が存在する場合、情報処理手段１３は該当の損傷部を反射部Ｒと判別して検出する必要がある。
【００１７】
この点、撮像手段１２によって撮像された画像では、マークＭ及び反射部Ｒに重なった損傷部が明瞭に表れており、情報処理手段１３によって安定的に検出可能であることが確認されている。照明手段１１の代わりに可視光を照射する照明を採用した際には、撮像された画像中で、マークＭ及び反射部Ｒに重なった損傷部が視覚的に不明瞭となり安定的に検出できなかったことから、紫外光を検査対象物Ｗに照射することで、撮像された画像においてマークＭや反射部Ｒに重なった損傷部が明瞭に視認可能な状態となったと言える。なお、反射部を有さない、透光部のみの検査対象物においても、検査対象物（即ち、透光部）に紫外光を照射することで、検査対象物に可視光を照射するよりも、マークや損傷部を安定的に検出できることを確認している。
【００１８】
また、検査対象物の中には、透光部の表面に、損傷部に該当しない、形成パターンが不規則な凹凸が存在するものがある。
本願の発明者が行った実験的検証において、表面に凹凸が存在する検査対象物では、表面に一定方向のみから紫外光を到達させた場合や、表面に様々な方向から到達する紫外光のうち一定方向から表面に到達する紫外光の光量を他方向から表面に到達する紫外光の光量より多くした場合に、１）画像中の透光部の表面の輝度が透光部の表面に存在する凹凸の形成パターンの影響を受けること、２）個々の検査対象物によって画像中の透光部の表面の輝度にばらつきが生じて、表面の損傷部を安定的に検出できないことが確認された。
【００１９】
そして、透光部の表面に対し様々な方向から紫外光が到達し、かつ、透光部の表面に到達する紫外光の光量が透光部の表面に対する紫外光の到達方向によって偏りがないようにすること（以下、「紫外光の均一化」とも言う）で、画像中の透光部の表面の輝度の検査対象物の個体差が抑制され、透光部の凹凸が設けられた表面の損傷部を安定的に検出できることを確認した。本実施の形態では、発光部１７が等ピッチで円環状に配置された照明手段１１と各発光部１７が発した紫外光を散乱させる拡散部材１５とを採用することによって、紫外光の均一化を図り、形成パターンが不明な凹凸が表面に存在する検査対象物（透光部）の検査精度を向上させている。
【００２０】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、検査対象物は、矩形の板状以外の形状（例えば、円形の板状、直方体状）であってもよく、マークが無くてもよい。マークが無い場合、損傷部の有無のみが検査される。マークが有る場合、マークの配置のみを検査するようにしてもよい。そして、マークは円形に限定されず、例えば、アルファベット等の文字であってもよい。
【００２１】
検査対象物の側面や裏面に照明手段から照射された紫外光が到達するように設計してもよい。
また、支持部材はノズルである必要は無く、例えば、電子部品を左右から挟んで支持する部材であってもよい。
【００２２】
更に、拡散部材は必ずしも必要ではない。
拡散部材を設ける場合、拡散部材は照明手段から検査対象物までの光学経路上に位置して、発光部から照射された紫外光を散乱できればよく、前記実施の形態のように、照明手段及び検査対象物を両端とする仮想線分上に配置されている必要はない。例えば、照明手段から照射された紫外光をミラーで反射して検査対象物に向かわせる光学経路においては、拡散部材をミラーと検査対象物の間に配置してもよい。
【符号の説明】
【００２３】
１０：外観検査装置、１１：照明手段、１２：撮像手段、１３：情報処理手段、１４：支持部材、１５：拡散部材、１６：ベース部材、１７：発光部、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ：側面、Ｍ：マーク、Ｐ：表面、Ｑ：裏面、Ｒ：反射部、Ｓ：撮像位置、Ｔ：透光部、Ｗ：検査対象物
【図１】
2019138696.tif 000003
【図２】
2019138696.tif 000004
【図３】
2019138696.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月10日(2018.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視光が透過する透光部及び可視光を反射する反射部を有する検査対象物の前記透光部に紫外光を照射して到達させ、前記紫外光をとらえることが可能な撮像手段で、前記透光部の前記紫外光が到達している面を撮像する第１工程と、
前記撮像手段によって撮像された前記透光部の前記面の画像を基に、前記透光部の前記面について、マークの検出及び損傷部の有無の検査の一方又は双方を行う第２工程とを有し、
前記検査対象物には、前記透光部の前記面に、前記マーク及び前記損傷部に該当しない形成パターンが不規則な凹凸が存在し、前記第１工程で、前記反射部は、前記撮像手段の光軸に沿って前記検査対象物を見て、前記透光部の前記面の奥側に配されることを特徴とする外観検査方法。
【請求項２】
可視光が透過する透光部及び可視光を反射する反射部を有する検査対象物の前記透光部に到達する紫外光を照射する照明手段と、
前記紫外光をとらえることが可能で、前記透光部の前記紫外光が到達し、かつ、形成パターンが不規則な凹凸が存在する面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された前記透光部の前記面の画像を基に、前記透光部の前記面について、前記凹凸に該当しないマークの検出及び該凹凸に該当しない損傷部の有無の検査の一方又は双方を行う情報処理手段と、
前記電子部品を支持して、前記反射部を、前記撮像手段の光軸に沿って前記検査対象物を見て、前記透光部の前記面の奥側に配させる支持部材とを備えることを特徴とする外観検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の外観を検査する外観検査方法及び外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイオード、トランジスタ、コンデンサ、インダクタ、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）等の各種電子部品やセンサやレンズは、出荷前に、チッピングやクラック等の有無が検査される。当該検査を行う装置の具体例が、例えば特許文献１に記載されている。
特許文献１に記載の装置では、素体供給テーブルから回転テーブルに供給された電子部品（素体）が、回転テーブルに搬送されながら、カメラによって撮像される。各カメラは異なる角度から電子部品を撮像することから、カメラが撮像した画像の解析によって、直方体形状の電子部品の６面全てについてチッピング等の有無を検査することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２４１３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、可視光が透過する透光部を有する対象物を、従来の方法で外観検査すると、透光部に存在するチッピングやクラック等の損傷部を安定的に検知できないという課題が生じることが判明した。そして、この課題は、電子部品、センサ及びレンズに限定されず、透光部を有する物に共通している。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、検査対象物の透光部に存在する損傷部を安定的に検知可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的に沿う第１の発明に係る外観検査方法は、可視光が透過する透光部及び可視光を反射する反射部を有する検査対象物の前記透光部に紫外光を照射して到達させ、前記紫外光をとらえることが可能な撮像手段で、前記透光部の前記紫外光が到達している面を撮像する第１工程と、前記撮像手段によって撮像された前記透光部の前記面の画像を基に、前記透光部の前記面について、マークの検出及び損傷部の有無の検査の一方又は双方を行う第２工程とを有し、前記検査対象物には、前記透光部の前記面に、前記マーク及び前記損傷部に該当しない形成パターンが不規則な凹凸が存在し、前記第１工程で、前記反射部は、前記撮像手段の光軸に沿って前記検査対象物を見て、前記透光部の前記面の奥側に配される。
前記目的に沿う第２の発明に係る外観検査装置は、可視光が透過する透光部及び可視光を反射する反射部を有する検査対象物の前記透光部に到達する紫外光を照射する照明手段と、前記紫外光をとらえることが可能で、前記透光部の前記紫外光が到達し、かつ、形成パターンが不規則な凹凸が存在する面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって撮像された前記透光部の前記面の画像を基に、前記透光部の前記面について、前記凹凸に該当しないマークの検出及び該凹凸に該当しない損傷部の有無の検査の一方又は双方を行う情報処理手段と、前記電子部品を支持して、前記反射部を、前記撮像手段の光軸に沿って前記検査対象物を見て、前記透光部の前記面の奥側に配させる支持部材とを備える。
【発明の効果】
【０００６】
本発明に係る外観検査装置は、可視光が透過する透光部を有する検査対象物の透光部に到達する紫外光を照射する照明手段を備え、撮像手段が、照明手段が照射する紫外光をとらえることが可能であるので、検査対象物の透光部に存在するチッピングやクラック等の損傷部を安定的に検知可能である。これは、実験的検証によって確認している。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】（Ａ）は本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の検査対象物の正面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＨ−Ｈ’断面図である。
【図２】同外観検査装置の説明図である。
【図３】撮像手段側から検査対象物を見た様子を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１（Ａ）、（Ｂ）、図２に示すように、本発明の一実施の形態に係る外観検査装置１０は、可視光が透過する透光部Ｔを有する検査対象物Ｗの透光部Ｔに到達する紫外光を照射する照明手段１１と、当該紫外光をとらえることが可能な撮像手段１２と、撮像手段１２によって撮像された透光部Ｔの画像を基に透光部Ｔの外観を検査する情報処理手段１３とを備える装置である。以下、詳細に説明する。
【０００９】
外観検査装置１０によって検査される検査対象物Ｗは、図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、矩形の板状であり、可視光を反射する反射部Ｒを内側に有している。反射部Ｒは矩形の板状であり、検査対象物Ｗの反射部Ｒを除く領域は可視光が透過する透光部Ｔで形成されている。なお、可視光が透光部Ｔを透過するとは、外部から透光部Ｔに入射した可視光の全部又は一部が透光部Ｔを透過することを意味する。検査対象物Ｗは平行配置された表面Ｐ及び裏面Ｑと４つの側面Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇとを有し、表面Ｐの角部近傍には検査対象物Ｗの向きを示すマークＭが設けられている。本実施の形態では、表面Ｐをレーザで削ることによって円形のマークＭを形成している。よって、マークＭは表面Ｐに設けられた溝である。
【００１０】
外観検査装置１０は、図２、図３に示すように、検査対象物Ｗを支持する支持部材１４と、検査対象物Ｗに紫外光を照射する照明手段１１と、検査対象物Ｗを表面Ｐ側から撮像する撮像手段１２と、撮像手段１２に接続された情報処理手段１３を備えている。
支持部材１４は、図２に示すように、真空圧によって検査対象物Ｗの裏面Ｑを吸着して検査対象物Ｗを保持するノズルであり、図示しない駆動源の作動によって移動する。支持部材１４に吸着保持された検査対象物Ｗは、支持部材１４と共に移動し、撮像位置Ｓに配置される。以下、特に記載しない限り、検査対象物Ｗは撮像位置Ｓに配置されているものとする。
【００１１】
検査対象物Ｗの表面Ｐ側に検査対象物Ｗから距離を有して配置された照明手段１１は、図２、図３に示すように、一側（検査対象物Ｗに近い側）に拡散部材１５が取り付けられた円環状のベース部材１６と、ベース部材１６に固定された複数の発光部１７を備えている。複数の発光部１７は、それぞれ検査対象物Ｗに向かって紫外光を発する発光ダイオードであり、周方向に間隔を空けて（本実施の形態では等ピッチで）円環状に配列されている。
【００１２】
本実施の形態では各発光部１７から検査対象物Ｗまでの距離が等しく、各発光部１７は直進性（指向性）が高い紫外光（波長が１０〜４００ｎｍの光）を照射する。
拡散部材１５は、円環状の板状物であり、撮像手段１２と検査対象物Ｗの間に位置している。拡散部材１５は、発光部１７から発せられる紫外光の吸収を抑制する素材（例えば、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、紫外光透過型のアクリル）によって形成され、各発光部１７から検査対象物Ｗに向かって進行する紫外光を散乱させる。
【００１３】
各発光部１７から発せられた紫外光は拡散部材１５を透過して散乱し、散乱した紫外光の一部又は大半が検査対象物Ｗ（即ち、透光部Ｔ）の表面Ｐ及び側面Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇに到達する。検査対象物Ｗの表面Ｐ及び側面Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇに到達した紫外光はそれぞれ、全部又は一部が表面Ｐ及び側面Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇで反射される。本実施の形態では、拡散部材１５で紫外光が散乱することから、拡散部材が無い場合と比較して、検査対象物Ｗ（透光部Ｔ）に到達する紫外光の検査対象物Ｗ（透光部Ｔ）に対する進行方向は多様となる。
【００１４】
撮像手段１２は、発光部１７が照射する紫外光をとらえること（発光部１７が照射する波長域の紫外光を画像中に表すこと）が可能なカメラであり、ベース部材１６の内側空間越しに検査対象物Ｗを撮像するように配置されている（撮像手段１２は検査対象物Ｗを撮像可能な方向に向けられている）。撮像手段１２によって撮像された画像には、図１（Ａ）に示すように、検査対象物Ｗの表面Ｐ全体（マークＭを含む）及び透光部Ｔ越しの反射部Ｒが撮像される。よって、撮像手段１２は撮像により透光部Ｔの表面Ｐ全体がとらえられた画像を得ることとなる。
【００１５】
撮像手段１２には、図２に示すように、情報処理手段１３が接続されており、情報処理手段１３は、撮像手段１２が撮像した画像を取得し、取得した画像（透光部Ｔをとらえた画像）を基に検査対象物Ｗ（透光部Ｔ）の表面Ｐにチッピングやクラック等の異常（以下、「損傷部」とも言う）が存在しないか否か、マークＭが所定の位置（例えば、表面Ｐの右上）に配置されているか否かを判定する（即ち、透光部Ｔの外観を検査する）。更に、情報処理手段１３は、画像中でマークＭが所定の位置に配されていることから、検査対象物Ｗが裏面Ｑを支持手段１４によって吸着保持された状態であること、及び、画像内でマークＭが右上に配される向きで検査対象物Ｗが支持手段１４に支持されていることを検知する。なお、本実施の形態では、情報処理手段１３が主としてＣＰＵ及びメモリによって構成されている。
【００１６】
撮像手段１２によって撮像された画像中の検査対象物Ｗは、図１（Ａ）に示すように、透光部Ｔの大半及びマークＭの大半が反射部Ｒと重なっている。そのため、検査対象物Ｗの画像を基にして、反射部Ｒに重なった状態のマークＭを検出する必要があり、仮に、検査対象物Ｗの表面Ｐの透光部Ｔと反射部Ｒが重なっている領域に損傷部が存在する場合、情報処理手段１３は該当の損傷部を反射部Ｒと判別して検出する必要がある。
【００１７】
この点、撮像手段１２によって撮像された画像では、マークＭ及び反射部Ｒに重なった損傷部が明瞭に表れており、情報処理手段１３によって安定的に検出可能であることが確認されている。照明手段１１の代わりに可視光を照射する照明を採用した際には、撮像された画像中で、マークＭ及び反射部Ｒに重なった損傷部が視覚的に不明瞭となり安定的に検出できなかったことから、紫外光を検査対象物Ｗに照射することで、撮像された画像においてマークＭや反射部Ｒに重なった損傷部が明瞭に視認可能な状態となったと言える。なお、反射部を有さない、透光部のみの検査対象物においても、検査対象物（即ち、透光部）に紫外光を照射することで、検査対象物に可視光を照射するよりも、マークや損傷部を安定的に検出できることを確認している。
【００１８】
また、検査対象物の中には、透光部の表面に、損傷部に該当しない、形成パターンが不規則な凹凸が存在するものがある。
本願の発明者が行った実験的検証において、表面に凹凸が存在する検査対象物では、表面に一定方向のみから紫外光を到達させた場合や、表面に様々な方向から到達する紫外光のうち一定方向から表面に到達する紫外光の光量を他方向から表面に到達する紫外光の光量より多くした場合に、１）画像中の透光部の表面の輝度が透光部の表面に存在する凹凸の形成パターンの影響を受けること、２）個々の検査対象物によって画像中の透光部の表面の輝度にばらつきが生じて、表面の損傷部を安定的に検出できないことが確認された。
【００１９】
そして、透光部の表面に対し様々な方向から紫外光が到達し、かつ、透光部の表面に到達する紫外光の光量が透光部の表面に対する紫外光の到達方向によって偏りがないようにすること（以下、「紫外光の均一化」とも言う）で、画像中の透光部の表面の輝度の検査対象物の個体差が抑制され、透光部の凹凸が設けられた表面の損傷部を安定的に検出できることを確認した。本実施の形態では、発光部１７が等ピッチで円環状に配置された照明手段１１と各発光部１７が発した紫外光を散乱させる拡散部材１５とを採用することによって、紫外光の均一化を図り、形成パターンが不明な凹凸が表面に存在する検査対象物（透光部）の検査精度を向上させている。
【００２０】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、検査対象物は、矩形の板状以外の形状（例えば、円形の板状、直方体状）であってもよく、マークが無くてもよい。マークが無い場合、損傷部の有無のみが検査される。マークが有る場合、マークの配置のみを検査するようにしてもよい。そして、マークは円形に限定されず、例えば、アルファベット等の文字であってもよい。
【００２１】
検査対象物の側面や裏面に照明手段から照射された紫外光が到達するように設計してもよい。
また、支持部材はノズルである必要は無く、例えば、電子部品を左右から挟んで支持する部材であってもよい。
【００２２】
更に、拡散部材は必ずしも必要ではない。
拡散部材を設ける場合、拡散部材は照明手段から検査対象物までの光学経路上に位置して、発光部から照射された紫外光を散乱できればよく、前記実施の形態のように、照明手段及び検査対象物を両端とする仮想線分上に配置されている必要はない。例えば、照明手段から照射された紫外光をミラーで反射して検査対象物に向かわせる光学経路においては、拡散部材をミラーと検査対象物の間に配置してもよい。
【符号の説明】
【００２３】
１０：外観検査装置、１１：照明手段、１２：撮像手段、１３：情報処理手段、１４：支持部材、１５：拡散部材、１６：ベース部材、１７：発光部、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ：側面、Ｍ：マーク、Ｐ：表面、Ｑ：裏面、Ｒ：反射部、Ｓ：撮像位置、Ｔ：透光部、Ｗ：検査対象物