(57)【要約】【課題】  変位情報又は位置情報の検出手段（検出部、エンコーダ）を設けることによる駆動性能の阻害を低減しつつ、従来よりも小型化が可能な振動波アクチュエータを提供する。【解決手段】  振動波アクチュエータは、弾性体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動体と、前記振動体と接触する接触体と、を有し、前記接触体と前記振動体が相対移動する振動波アクチュエータであって、前記接触体と共に、前記振動体に対して相対移動する被検出部と、前記振動体と共に、前記接触体に対して相対移動し、前記被検出部に対する変位情報又は位置情報を検出する検出部と、を有し、前記振動体は、前記相対移動する方向と交差する方向に並んで設けられている２つの突起部を有し、前記接触体は、前記２つの突起部と接触し、前記検出部と前記被検出部は、前記相対移動する方向から見たときに、前記接触体と前記振動体の間にあることを特徴とする振動波アクチュエータ。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性体と電気−機械エネルギ変換素子を有する振動体と、前記振動体と接触する接触体と、を有し、前記接触体と前記振動体が相対移動する振動波アクチュエータであって、
前記接触体と共に、前記振動体に対して相対的に移動する被検出部と、
前記振動体と共に、前記接触体に対して相対移動し、前記被検出部に対する変位情報又は位置情報を検出する検出部と、を有し、
前記振動体は、前記相対移動する方向と交差する方向に並んで設けられている２つの突起部を有し、
前記接触体は、前記２つの突起部と接触し、
前記検出部と前記被検出部は、前記相対移動する方向から見たときに、前記接触体と前記振動体の間にあることを特徴とする振動波アクチュエータ。
【請求項２】
前記検出部を保持する保持部材を有し、
前記保持部材及び前記検出部は、前記振動体及び前記接触体のそれぞれに保持されないことを特徴とする請求項１に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項３】
前記検出部は、反射型の光学センサであることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項４】
前記被検出部は、前記光学センサからの光を反射するリフレクタであることを特徴とする請求項３に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項５】
前記検出部は、ホール素子又は磁気抵抗素子であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項６】
前記被検出部は、磁力線発生部であることを特徴とする請求項５に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項７】
ばね部材を有し、
前記振動体と前記接触体とは、前記ばね部材の弾性力によって加圧接触していることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項８】
前記振動体と前記接触体との間に配置されている永久磁石を更に有し、
前記振動体及び前記接触体のそれぞれは強磁性体を有し、
前記振動体と前記接触体とは、前記永久磁石、前記振動体及び前記接触体で形成される磁気回路で発生する吸引力によって加圧接触していることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項９】
前記永久磁石を保持する保持部材を有し、
前記保持部材及び前記永久磁石は、前記振動体及び前記接触体のそれぞれに保持されないことを特徴とする請求項８に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１０】
前記保持部材は、前記検出部を保持することを特徴とする請求項９に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１１】
前記永久磁石を２つ有し、
前記検出部は、２つの前記永久磁石の間に配置されていることを特徴とする請求項８から１０のいずれか一項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１２】
前記２つの永久磁石は、前記相対移動する方向において、前記振動体の重心を通り前記相対移動する方向と直交する平面を軸に対称に配置されていることを特徴とする請求項１１に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１３】
前記接触体の、前記相対移動する方向における長さをＬ１、前記永久磁石の前記相対移動する方向における長さをＬ２、前記接触体の最大移動距離をＬ３とすると、Ｌ１≧Ｌ２＋Ｌ３の関係を満たすことを特徴とする請求項９から１２のいずれか一項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１４】
前記振動体で励振される振動は、２つの曲げ振動モードから形成されることを特徴とする請求項１から１３のいずれか一項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１５】
前記検出部と前記被検出部は、前記振動体と前記接触体が接触する方向から見たときに、前記２つの突起部の間に配置されていることを特徴とする請求項１から１４のいずれか一項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１６】
前記接触体と前記被検出部は別部品であることを特徴とする請求項１に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１７】
光学系と、
前記光学系に含まれるレンズを、前記光学系の光軸方向又は前記光軸方向と直交する方向に移動させる請求項１から１４のいずれか一項に記載の振動波アクチュエータと、を備えることを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項１８】
光学系と、
前記光学系に含まれるレンズを、前記光学系の光軸方向又は前記光軸方向と直交する方向に移動させる請求項１から１４のいずれか一項に記載の振動波アクチュエータと、
前記光学系により結像された光学像を電気信号に変換する撮像素子と、を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項１９】
光学系と、
前記光学系により結像された光の光学像を電気信号に変換する撮像素子と、
前記撮像素子を、前記光学系の光軸方向と直交する方向に移動させる請求項１から１４のいずれか一項に記載の振動波アクチュエータと、を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項２０】
ステージと、
前記ステージをその面内で移動させる請求項１から１４のいずれか一項に記載の振動波アクチュエータと、を備えることを特徴とするステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動波アクチュエータそれを用いた撮像装置、ステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動波アクチュエータは、振動体の微小な振動を駆動源にして摩擦力により駆動力を取り出すアクチュエータである。振動波アクチュエータは、形状を小型化させても、電磁モータと比較して摩擦力による高い推力性能、低イナーシャによる高速応答性、さらに微小振動による高精度な位置決めを実現させることが可能である。高精度な位置決めを行うために、振動波アクチュエータに位置検出部を併せて設けることがある。
【０００３】
例えば、特許文献１には、図１３に示すように、振動体９１１に２つの振動モードを組み合わせた振動を励振することで、振動体９１１と加圧接触している被駆動体（接触体）９１２を振動体９１１に対して相対的に移動する駆動装置９１０が記載されている。特許文献１には、接触体９１２には、変位情報の検出に用いるパターンが描かれたスケール（被検出部）９１４を設け、そのスケール９１４と対向するようにエンコーダ本体（検出部）９１３を保持部材上に配置することが記載されている。これにより、筐体９１５と接触体９１２の相対位置関係を電子情報として検出することができる。そのため、振動体９１１及び接触体９１２を有する振動波アクチュエータとエンコーダ本体９１３の変位情報の分解能の範囲において、この電子情報を制御系にフィードバックさせることで、振動波アクチュエータの高精度な位置制御を実現することが可能となる。
【０００４】
特許文献２には、図１４に示すように、振動体９２１の面上に接触体９２２の移動方向に沿ってパターン（被検出部）９２４が設けられ、それと対向するように接触体９２２上に光学式のエンコーダ本体（検出部）９２３が設けられる振動波アクチュエータ９２０が記載されている。検出手段が振動型アクチュエータ９２０に内蔵されているため、筐体９２５にエンコーダ本体９２３の配置箇所を設ける必要がなくなり、小型化が可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２７８６５号公報
【特許文献２】特開２００１−６９７７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の駆動装置（振動波アクチュエータ）９１０では、接触体９１２と固定台９１５との相対位置関係の検出手段としてのエンコーダ（検出部９１３及び被検出部９１４）は、振動体９１１及び接触体９１２を含む駆動部の外側に配置している。そのため、駆動部を小型化させてもエンコーダを配置する領域が必要になり、十分に小型化できない恐れがある。
【０００７】
また、特許文献２に記載の振動波アクチュエータ９２０では、振動体９２１側にスケール（被検出部）９２４を設けるため、所望の振動状態を形成するためにスケール９２４の振動状態も加味した振動設計を行わなければならず、設計は容易ではない。また、接触体９２２側にエンコーダ本体（検出部）９２３を設けると、そこから導通部材を延出させる必要があるため、モータ駆動時に導通部材の屈曲などの負荷が発生することも考えられる。
【０００８】
上述の課題を鑑み、本発明は、変位情報又は位置情報の検出手段（検出部、エンコーダ）を設けることによる駆動性能への悪影響を低減しつつ、従来よりも小型化が可能な振動波アクチュエータを提供することを目的とする。なお、「変位情報」とは、いわゆるインクリメンタル・エンコーダにおいて検出される情報のことである。また、「位置情報」とは、いわゆるアブソリュート・エンコーダにおいて検出される情報のことである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一側面としての振動型アクチュエータは、弾性体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動体と、前記振動体と接触する接触体と、を有し、前記接触体と前記振動体が相対移動する振動波アクチュエータであって、前記接触体と共に、前記振動体に対して相対移動する被検出部と、前記振動体と共に、前記接触体に対して相対移動し、前記被検出部に対する変位情報又は位置情報を検出する検出部と、を有し、前記振動体は、前記相対移動する方向と交差する方向に並んで設けられている２つの突起部を有し、前記接触体は、前記２つの突起部と接触し、前記検出部と前記被検出部は、前記相対移動する方向から見たときに、前記接触体と前記振動体の間にあることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一側面としての振動波アクチュエータによれば、変位情報又は位置情報の検出手段（検出部、エンコーダ）を設けることによる駆動性能への悪影響を低減しつつ、従来よりも小型化が可能な振動波アクチュエータを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態に係る振動波アクチュエータの概略構成を説明する斜視図。
【図２】第１実施形態に係る振動波アクチュエータの構成部品を説明する分解斜視図。
【図３】第１実施形態に係る永久磁石を用いた加圧方法について説明する図。
【図４】第１実施形態に係る永久磁石の長さと被駆動体（接触体）周りに発生するモーメントの関係を説明する図。
【図５】図１に示す振動体に励振させる２つの曲げ振動モードを説明する斜視図。
【図６】図１に示す振動体を構成する圧電素子の電極パターンを説明する図。
【図７】第１実施形態に係る位置決め検出手段の配置例を説明するための接触体の移動方向から見た正面図。
【図８】第２実施形態に係る振動波アクチュエータの概略構成を説明する斜視図。
【図９】第２実施形態に係る接触体の移動方向から見た正面図。
【図１０】第３実施形態に係る撮像装置の概略構成図を示す上面図とブロック図。
【図１１】第４実施形態に係る顕微鏡の斜視図。
【図１２】第１実施形態に係る振動波アクチュエータの制御について説明するブロック図。
【図１３】特許文献１に記載の従来技術の振動波アクチュエータの構成を説明する図。
【図１４】特許文献２に記載の従来技術の振動波アクチュエータの構成を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
（第１実施形態）
第１実施形態に係る振動波アクチュエータ１０の構成について、図１、図２を参照して説明する。図１（ａ）は振動波アクチュエータ１０の全体の構成を説明する斜視図であり、図１（ｂ）は振動波アクチュエータ１０の被駆動体（接触体）１２とスケール（被検出部）１４を不図示にした斜視部である。図２は、振動波アクチュエータ１０の構成部品を説明する分解斜視図である。なお、以降の説明では、図１、図２に示すように、三次元の直交座標系（Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向）において、振動体１１の、接触体１２に対する相対移動方向（接触体１２の駆動方向）をＸ方向とし、振動体１１と接触体１２とを加圧接触させるための加圧方向（振動体１１と接触体１２が接触する方向）をＺ方向とする。Ｙ方向は、Ｘ方向及びＺ方向と直交する方向である。このとき、Ｘ方向は振動体１１の短手方向、Ｙ方向は振動体１１の長手方向となる。なお、振動体１１の、接触体１２に対する相対移動方向（接触体１２の駆動方向）とは、振動体１１に振動を励起して振動体１１の突起部１１ｃに発生させた楕円振動によって、振動体１１と接触体１２が相対移動する方向である。
【００１４】
振動波アクチュエータ１０は、振動体１１と、接触体１２と、エンコーダ本体（検出部）１３と、スケール（被検出部）１４と、筐体１５と、保持部材１６と、加圧部材１７と、を有する。
【００１５】
振動体１１は、弾性体１１ａと、弾性体１１ａと接合している電気−機械エネルギ変換素子１１ｂと、フレキシブルプリント基板１１ｄと、を有する。
【００１６】
弾性体１１ａは、矩形平板状に形成され、電気−機械エネルギ変換素子１１ｂが接合する側と反対側に突出する突起部１１ｃが２つ設けられる。弾性体１１ａの材料は、マルテンサイト系のステンレス鋼であるＳＵＳ４２０Ｊ２等の金属材料を用いることが好ましい。
【００１７】
電気−機械エネルギ変換素子１１ｂは、圧電素子である。電気−機械エネルギ変換素子１１ｂの弾性体１１ａとの接合面と反対側の面には、フレキシブルプリント基板１１ｄが接合される。
【００１８】
本実施形態において、フレキシブルプリント基板１１ｄは、２層のベース部材と、２層のベース部材の間に挟まれている導通部材と、を有する。フレキシブルプリント基板１１ｄの一部には裏打ち材が設けられており、裏打ち材は図２に示した筺体１５の固定部１５ａに固定されて振動体１１を支持する。このように、給電部材であるフレキシブルプリント基板１１ｄは、給電機能に加えて振動体１１の支持機能も兼ね備えている。さらに、振動体１１より延出するフレキシブルプリント基板１１ｄのシート部分は、裏打ち材の固定部１５ａに対して厚みが十分小さく剛性が低いため、実質的にはフレキシブルプリント基板の支持部分は振動絶縁する機能も有する。そのため、振動体１１を支持するための新たな支持部材が不要となり、部品点数や組立工程を減らすことが可能となる。なお、フレキシブルプリント基板１１ｄは裏打ち材を固定部１５ａに接着剤で固定しているが、固定方法はこれに限定されず、押さえ板による挟み込みやボルト締結、カシメ等による固定でもよい。
【００１９】
弾性体１１ａに設けられている２つの突起部１１ｃは、その先端で接触体１２（の接触部１２ｂ）と加圧接触する。突起部１１ｃは、振動体１１の、接触体１２に対する相対移動方向（及び加圧方向）と交差する方向に並んでいる。本実施形態では、突起部１１ｃは、振動体１１の略短手方向（略Ｙ方向）に並んでいる。突起部１１ｃの先端には、所望の摩擦係数であり耐摩耗性に優れた接触面を設けることが可能である。突起部１１ｃは、曲げ加工により弾性体１１ａの一部を曲げることにより、弾性体１１ａと一体的に形成されている。また、突起部１１ｃの接触体１２側の面は、熱処理や表面研磨により所望の接触面を形成している。なお、突起部１１ｃは、上述の構成に限定されず、エッチング加工、又は弾性体１１ａとは別に形成してから弾性体１１ａに固定する等の方法で形成してもよく、また、突起部１１ｃの接触体１２との接触面もメッキ処理等により別手段で設けてもよい。本実施形態のように、突起部１１ｃ、その接触面及び弾性体１１ａを一体的に形成する構成は、これらを別々に形成して接合する場合に比べて組立工数を減らすことができる。また、突起部１１ｃの位置合わせを行う必要がないことで、部品間のバラつきを防止することができるため、好ましい。
【００２０】
接触体１２は、振動体１１の突起部１１ｃと接触する２つの接触部１２ｂが設けられているヨーク１２ａを有する。ヨーク１２ａは、強磁性体材料であり、本実施形態では弾性体１１ａと同様に、マルテンサイト系のステンレス鋼であるＳＵＳ４２０Ｊ２等の金属材料を用いて構成されている。図７に示すように、ヨーク１２ａは、振動体１１側に突出する２つの接触部１２ｂが設けられており、接触部１２ｂのそれぞれの先端の面と対向する突起部１１ｃと加圧接触し、駆動時に摺動する。接触部１２ｂには、突起部１１ｃに対する耐摩耗性を向上させることを目的とした表面処理を施し、耐久性を向上することが好ましい。
【００２１】
筐体１５は、固定部１５ａを有し、上述したように、フレキシブルプリント基板１１ｄの一部を固定することにより、振動体１１を支持する。
【００２２】
エンコーダ本体（検出部）１３は、振動体１１と接触体１２の相対位置（変位情報）を検出する。なお、エンコーダ本体（検出部）１３は、振動体１１と接触体１２の絶対位置（位置情報）を検出するようにしてもよい。なお、「変位情報」とは、いわゆるインクリメンタル・エンコーダにおいて検出される情報のことである。また、「位置情報」とは、いわゆるアブソリュート・エンコーダにおいて検出される情報のことである。
本実施形態では、エンコーダ本体１３として、発光素子と受光素子とを有する反射型の光学式センサを用いる。エンコーダ本体１３から照射された光が、リフレクタとしてのスケール（被検出部）１４で反射され、この反射光をエンコーダ本体１３が受け取ることで変位情報（又は位置情報）が検出される。
エンコーダ本体１３とスケール１４とは、Ｘ方向（接触体と振動体が相対移動する方向）から見たときに、エンコーダ本体１３とスケール１４のパターンが対向するように、振動体１１と接触体１２の間に配置されており、また、エンコーダ本体１３はＹ方向（振動体と接触体が接触する方向）から見たときに、２つの突起部１２ｂの間に配置される。ここで、２つの突起部１２ｂの間とは、２つの突起部１２ｂで挟まれていなくてもよく、２つの突起部１２ｂのそれぞれよりも振動体１１のＹ方向における中心側であればよい。スケール１４は、２つの接触部１２ｂの間、すなわち、２つの接触部１２ｂよりも接触体のＹ方向における中心側に配置される。そのため、振動波アクチュエータ１０をＸ方向（接触体と振動体が相対移動する方向）から見た場合、図７に示すように、エンコーダ本体１３及びスケール１４は、振動体１１と接触体１２とで囲まれる空間内に配置される。
【００２３】
エンコーダ本体１３は、反射型光学式センサ１３ａと、反射型光学式センサ１３ａを実装しているセンサ用フレキ１３ｂとを有する。エンコーダ本体１３は、スケール１４に対して入力された光の反射を読み取ることで、変位情報（又は位置情報）の検出を行う。エンコーダ本体１３は、筐体１５の固定部１５ａに接続される保持部材１６に支持されており、２つの永久磁石１７と並列して設けられている。
【００２４】
スケール１４は、２つの接触部１２ｂ間にある凹部に接触体１２と一体に配置されている。そのため、スケール（被検出部）１４は、振動体１１と接触体１２が相対移動すると、接触体１２と共に、振動体１１に対して相対移動する。このとき、エンコーダ本体（検出部）１３は、振動体１１と共に、接触体１２に対して相対移動する。スケール１４には、ステンレス系の基材表面に酸化クロムで形成されるパターンが接触体１２の移動方向に沿って印刷されている。本実施形態では、スケール１４は接着剤により接触体１２に接合されているが、スケール１４のパターンを接触体１２に直接印刷して接触体１２がスケール１４を兼ねていてもよい。これにより、部品点数を削減することが可能となる。
【００２５】
保持部材１６は、加圧部材１７として用いられる２つの永久磁石と、エンコーダ本体１３と、を保持する。保持部材１６は、筐体１５の固定部１５ａに、振動体１１のフレキシブルプリント基板１１ｄに設けられている裏打ち材を挟んでボルトを用いて固定されており、保持部材１６と筐体１５との間に振動体１１が配置される。保持部材１６を固定部１５ａに固定する２つの部分は筐体１５側に凸な段差部となっており、２つの段差部の間の空間に振動体１１が配置される。そのため、保持部材１６と振動体１１とは独立して配置されており、振動体１１の振動を阻害しない。また、保持部材１６は接触体１２に対しても独立に配置されている。保持部材１６及び振動体１１の配置についての詳細は後述する。
【００２６】
加圧部材１７は、振動体１１と接触体１２とを加圧接触させるための加圧力を発生させる。本実施形態では、加圧部材１７として２つの永久磁石を用いているため、以降の説明では、加圧部材１７を永久磁石１７と呼ぶ。２つの永久磁石１７が発生する磁力線を用いて、強磁性材料である振動体１１の弾性体１１ａと、接触体１２のヨーク１２ａと、の間に磁気回路を形成する。その際に発生する吸引力を振動体１１と接触体１２の加圧接触に用いている。
【００２７】
ここで、永久磁石１７を用いた、振動体１１と接触体１２の加圧方法について、図３を参照して説明する。図３は、永久磁石１７を用いた加圧方法について説明する図である。図３には、永久磁石１７により弾性体１１ａ内とヨーク１２ａ内で形成される磁気回路での磁力線を細い矢印で示した。具体的には、振動体１１と接触体１２間で発生する吸引力を矢印Ｆ０、振動体１１と永久磁石１７間で発生する吸引力を矢印Ｆ１、接触体１２と永久磁石１７間で発生する吸引力を矢印Ｆ２で示した。説明を単純にするため、磁気回路に寄与する弾性体１１ａとヨーク１２ａ、永久磁石１７の３点以外不図示にしている。図３に示したように、永久磁石１７は、エンコーダ本体１３と同様に振動体１１と接触体１２の間である閉じた空間に配置されるため、磁気漏洩を少なくしつつ、振動体１１の突起部１１ｃと接触体１２の接触部１２ｂ界面で発生する吸引力を大きくすることができる。また、永久磁石１７は、振動体１１及び接触体１２のそれぞれと接触せずに独立して両者の間のスペースに固定されている。そのため、振動体１１及び接触体１２それぞれと永久磁石１７の間に発生する吸引力Ｆ１、Ｆ２は、振動体１１と接触体１２の間の加圧力に寄与される。
【００２８】
さらに、Ｙ方向に対して振動体１１及び接触体１２の中心から等間隔に同じ形状の永久磁石を２つ設けることが好ましい。このような構成にすることにより、発生する吸引力Ｆ０，Ｆ１，Ｆ２がＹ方向においてつり合うため、振動体１１及び接触体１２の重心を通るそれぞれのＸ軸周りにモーメントが発生することなく振動体１１及び接触体１２の姿勢が安定する。そのため、磁気吸引力で加圧力を得る際の振動波モータの性能をより安定化させることができる。
【００２９】
さらに、図４を参照して、Ｙ方向から見たときの振動体１１、接触体１２及び永久磁石１７の配置と、発生する磁気吸引力と、の関係を説明する。図４は、永久磁石１７の配置と、磁気吸引力と、の関係を説明する図である。なお、図４においては、説明を単純にするために、振動体１１や接触体１２及び永久磁石１７の図を本実施形態の形状から変形させており、永久磁石１７は不図示の保持部材１６で保持されているものとする。吸引力Ｆ１ａ及びＦ１ｂは、振動体１１の重心を通るＺＹ平面を境界としたときに、その左右で発生する振動体１１と永久磁石１７間で発生する吸引力の大きさを示している。吸引力Ｆ２ａ及びＦ２ｂは、上述のＺＹ平面を境界としたときに、その左右で発生する接触体１２と永久磁石１７間で発生する吸引力の大きさを示している。
【００３０】
永久磁石１７の位置は、振動体１１及び接触体１２に対して相対的に固定されており、振動体１１と接触体１２の相対移動に伴って移動しない。そのため、振動体１１と接触体１２とが相対移動した場合でも、図４（ｂ）で示すように、磁気吸引力Ｆ１，Ｆ２の大きさは変化しづらい。また、２つの永久磁石１７は、振動体１１に対して上述のＺＹ平面を中心として対称に配置されている。よって、図４（ａ）、図４（ｂ）に示したように、Ｘ方向において永久磁石１７の接触体１２側の面全体と接触体１２とが重なる場合は、発生する磁気吸引力の大きさは、ＺＹ平面を境界としたときの左右で等しくなる（Ｆ１ａ＝Ｆ１ｂ，Ｆ２ａ＝Ｆ２ｂ）。すなわち、一方の永久磁石１７と接触体１２とが対向している部分の面積と、他方の永久磁石１７と接触体１２とが対向している部分の面積とが等しければ、発生する磁気吸引力の大きさは、ＺＹ平面を境界としたときの左右で等しくなる。その場合、振動体１１の重心を通るＹ軸周りにおいて、振動体１１及び接触体１２にモーメントが発生しない。そのため、振動体１１及び接触体１２の姿勢が安定するため、振動波モータの性能をより安定化させることができる。
【００３１】
ただし、図４（ｃ）に示したように、接触体１２が永久磁石１７の接触体側の面の全体を覆わなくなった場合に、吸引力Ｆ２ａとＦ２ｂの間で差が生じるため（Ｆ２ａ＜Ｆ２ｂ）、Ｙ軸周りのモーメントの発生により接触体１２の姿勢が傾くことがある。そのため、接触体１２の姿勢の安定を維持するためには、Ｘ方向における接触体１２の長さをＬ１、永久磁石１７の長さをＬ２、接触体１２の最大移動距離をＬ３とした場合、Ｌ１−Ｌ２≧Ｌ３、すなわちＬ１≧Ｌ２＋Ｌ３を満たすことが好ましい。この関係が満たされていれば、Ｙ軸周りのモーメントが発生しづらくなり、振動波アクチュエータ１０の性能がより安定する。なお、このとき、接触体１２の長さＬ１は、接触体１２の最大移動距離Ｌ３より長い。接触体１２の長さＬ１及び永久磁石１７の長さＬ２は、振動波アクチュエータ１０の仕様によって設定される。接触体１２の最大移動距離Ｌ３は、振動波アクチュエータ１０の駆動の制御、若しくは位置決めピン等への接触体１２の付き当てのような機械的な構成で設定できる。
【００３２】
このように、加圧部材として永久磁石を用いる場合には、永久磁石を、Ｘ方向とＹ方向のそれぞれにおいて、振動体１１の中心を基準として対称に配置することが好ましい。使用する永久磁石の数は、本実施形態のような２つである場合に限定されず、１つであっても３つ以上であってもよい。本実施形態では、２つの永久磁石を用い、さらに２つの永久磁石１７を、Ｙ方向において振動体１１の中心を通るＺＸ平面を中心として対称に配置する。さらに、Ｙ方向に並列する２つの永久磁石１７の間に、エンコーダ本体１３を配置する。このような構成にすることにより、永久磁石１７とエンコーダ本体１３とがＹ方向に並んで配置されるため、Ｚ方向に小型化できる。
【００３３】
なお、加圧手段の構成は上述の構成に限定されず、例えば、加圧ばね等の加圧手段を用いて、接触体１２の接触部１２ｂと振動体１１の突起部１１ｃとを加圧接触させてもよい。
【００３４】
２つの突起部１１ｃは、振動体１１の重心を通る加圧方向の軸に対して略回転対称にある。また、フレキ１１ｄに設けられている２つの固定部は、２つの突起部１１ｃと同様に、振動体１１の重心を通るＺ方向の軸に対して略回転対称に配置することが好ましい。この場合、上述した手段により発生する加圧力やその反力等は振動体１１の２つの突起部１１ｃとフレキ１１ｄの２つの固定部に対して均等に分配されるため、結果的に振動体１１は重心支持されて姿勢がより安定化する。
【００３５】
本実施形態の振動体１１は、２つの曲げ振動モードを励振することができ、この２つの曲げ振動モードを組み合わせることにより、接触面で同一方向に楕円運動軌跡を描く楕円運動を生じさせることができる。
【００３６】
振動体１１の形状は、当該２つの曲げ振動モードのそれぞれの共振周波数のうち高い方の共振周波数をｆａ、２つの曲げ振動モードの共振周波数差をΔｆとした場合、所望のΔｆとなるように、２つの曲げ振動モードの共振周波数を近づけるように決められている。具体的には、振動体１１の形状の長手方向の寸法（長辺）と長手方向と直交する方向の寸法（短辺）、及び長辺と短辺と直交する方向の寸法（平板厚み）を適宜設定することにより、２つの曲げ振動モードの共振周波数を所望のΔｆに近づけることができる。
【００３７】
図５は、本実施形態における２つの曲げ振動モードの斜視図である。図５（ａ）は、２つの曲げ振動モードのうちの第１の曲げ振動モードによる振動の様子を説明する斜視図であり、線Ｙ１、Ｙ２はモードの節線を示している。図５（ｂ）は、２つの曲げ振動モードのうちの第２の曲げ振動モードによる振動の様子を説明する斜視図であり、線Ｘ１、Ｘ２、Ｙ３はモードの節線を示している。当該第１の曲げ振動モードを励振させると、２つの突起部１１ｃの先端の各接触面で主として、図５（ａ）の矢印で示すＺ方向に振幅を持つ往復運動を生じさせることができる。また、当該第２の曲げ振動モードを励振させると、２つの突起部１１ｃの先端の各接触面で主として、図５（ｂ）の矢印で示すＸ方向に振幅を持つ往復運動を生じさせることができる。なお、２つの曲げ振動モードとは振動体１１のＸＹ平面に対する面外方向（Ｚ方向）の振動であるため、実施例中に記載する節線や節とは、振動体１１でＺ方向の振動振幅が殆ど生じない極小である位置を意味する。
【００３８】
図６は、圧電素子１１ｂの裏面にある電極パターンを示す。ここでは、図５（ｂ）の第２の曲げ振動モードのＹ方向に略平行な１本の節線Ｙ３を境界に２つに分割されたＡ相電極部とＢ相電極部が設けられている。また、圧電素子１１ｂの中央に、弾性体１１ａとの接合面に設けられているグラウンド電極からスルーホールにより取り出されたグラウンド電極部（ＧＮＤ）が設けられている。図６におけるＡ相電極部及びＢ相電極部はＺ方向に対して同一の方向に分極処理がされている。これらの電極に対して、公知の駆動方法により、駆動信号として複数の交流信号を与えることで、上述の振動を励振することが可能となる。
【００３９】
振動波アクチュエータ１０の制御方法の一例を、図１２を参照して説明する。図１２は、振動波アクチュエータ１０の制御方法の一例を説明するブロック図である。振動波アクチュエータ１０は、制御装置１８と接続している。制御装置１８は、位置比較部１８ａ、相対位置取得部１８ｂ、位相差決定部１８ｃ、周波数決定部１８ｄ、駆動信号生成部１８ｅ、及び昇圧回路１８ｆを有する。相対位置取得部１８ｂが、エンコーダ本体１３の検出結果（変位情報（又は位置情報））を用いて、振動体１１と接触体１２の相対位置を取得する。相対位置取得部１８ｂが取得した相対位置は、位置比較部１８ａに入力され、位置指令と比較される。位置比較部１８ａの比較結果に基づいて、位相差決定部１８ｃ及び周波数決定部１８ｄが、駆動信号としての２つの交流信号の位相差及び周波数を決定し、それに基づき駆動信号生成部１８ｅが駆動信号を生成する。生成された駆動信号は昇圧回路１８ｆで昇圧され、振動体１１の電気−機械エネルギ変換素子１１ｂに印加され、振動波アクチュエータ１０が駆動される。なお、ここで示した制御方法は一例であり、例えば駆動信号の電圧振幅等を変更して、振動波アクチュエータ１０の駆動速度等を制御してもよい。
【００４０】
続いて図７を参照して、振動波アクチュエータ１０に内蔵される検出手段であるエンコーダ本体１３及びスケール１４の配置について説明する。図７は、検出手段の配置を説明するための、接触体１２の移動方向から見た振動波アクチュエータ１０の正面図である。
【００４１】
筐体１５の固定部１５ａに接続される保持部材１６には、２つの永久磁石１７と並列してエンコーダ本体１３がスケール１４のパターン１４ａと対向する位置に配置されている。保持部材１６は、振動体１１及び接触体１２と実質的に振動絶縁された固定部１５ａを介して筐体１５に配置されているため、振動波アクチュエータ１０の駆動を阻害することなく、振動体１１と接触体１２の間に保持されることが可能となる。
【００４２】
ここで、本実施形態の振動波アクチュエータ１０と、従来技術である図１３の振動波アクチュエータ９１０の比較を行う。振動波アクチュエータ９１０では、エンコーダ本体９１３とスケール９１４は、振動体９１１と接触体９１２に囲まれる空間の外側に配置されており、これによりアクチュエータ全体のサイズが大きくなる。また、振動波アクチュエータ９１０において、本実施形態と同様にエンコーダ本体９１３を振動体９１１の２つの突起部の間に配置した場合、エンコーダ本体９１３に対応したスケール９１４を接触体９１２上のエンコーダ本体９１３と対向する位置に設ける必要がある。しかしながら、振動体９１１の２つの突起部の間にエンコーを配置すると、エンコーダは接触体９１２の接触部９１２ｂと対向するため、接触体９１２側にスケール９１４を設けることができない。
【００４３】
一方、本実施形態では、接触体１２は、振動体１１側に凸な２つの接触部１２ｂが、Ｙ方向に並んで設けられている。これにより、検出手段に用いるスケール１４を２つの接触部１２ｂの間に配置できるため、振動体１１と接触体１２とが対向してできたスペースの内側に設けることができる。また、この接触部１２ｂの配置に対応して振動体１１側にも接触面を有する複数の突起部１１ｃが必要になる。振動体１１に設けられる２つの突起部１１ｃは間隔を持って振動体１１中央からＹ方向に対称にあるため、加圧時に振動体１１の姿勢を安定させるとともにエンコーダ本体１３を配置するスペースも確保できる。
【００４４】
本実施形態の振動波アクチュエータ１０では、検出手段に用いられるエンコーダ本体１３及びスケール１４は、２つの接触部１２ｂの間又は２つの突起部１１ｃの間で且つ振動体１１と接触体１２とが対向して囲まれた領域に配置される。そのため、振動波アクチュエータ１０によれば、検出手段としてのエンコーダ本体１３及びスケール１４を配置することによる装置のサイズの大型化を低減することが可能となる。また、エンコーダ本体１３及びスケール１４が振動体１１と振動絶縁して配置されるため、駆動性能が低減することを防ぐことができる。その結果、本実施形態の振動波アクチュエータ１０によれば、検出手段を設けることによって駆動性能が低減する等の影響を低減しつつ、従来技術と比較してアクチュエータの更なる小型化を実現することが可能となる。
【００４５】
なお、検出部としては、上述のような反射型の光学式センサに限定されず、別のセンサを用いてもよい。例えば、磁気回路ではなく加圧ばね等による弾性力を用いた場合において、エンコーダとしてホール素子や磁気抵抗素子等の磁気センサを採用し、スケールとして磁力線発生部、具体的には、パターンのある磁石を用いる手法が考えられる。
【００４６】
（第２実施形態）
第２実施形態に係る振動型アクチュエータ２０について、図８を参照して説明する。図８（ａ）は、振動型アクチュエータ２０の構成を説明する斜視図である。図８（ｂ）は、振動型アクチュエータ２０の部品構成を説明する分解斜視図である。本実施形態では、エンコーダ本体（検出部）としてのホール素子を使用する点、磁石を用いたスケールを使用する点、及び、振動体と接触体の加圧接触に板ばねの加圧力を用いる点が、第１実施形態と異なる。なお、エンコーダ本体（検出部）は、振動体と接触体の相対位置（変位情報）を検出するが、絶対位置（位置情報）を検出するようにしてもよい点は、第１の実施形態と同様である。
【００４７】
振動型アクチュエータ２０は、振動体２１、接触体２２、検出部（エンコーダ）としてのホール素子２３、スケール２４、筐体２５、保持部材２６及び加圧部材２８を有する。
【００４８】
筐体２５は、凹部が設けられており、加圧部材２８が配置されている。加圧部材２８は、土台２８ａと、土台２８ａ上に配置されている板ばね２８ｂとを有しており、板ばね２８ｂによる弾性力を土台２８ａを介して振動体２１から接触体２２に向かって与えている。接触体２２は、振動体２１と接触しない非接触部２２ａと、振動体２１と接触する接触部２２ｂと、溝部２２ｃと、を有する。接触部２２ｂは、非接触部２２ａより振動体２２ｂ側に突出している。溝部２２ｃは、接触部２２ｂの一部に形成されているＶ溝である。
【００４９】
保持部材２６は、検出部としてのホール素子２３を保持する。保持部材２６には、４つの剛球２６が設けられており、図９に示すように、剛球２６が溝部２２ｃと係合している。図９は、接触体２２の移動方向から見た正面図である。加圧部材２８の弾性力は、土台２８ａを介して振動体２１から接触体２２に向かって与えられ、４つの鋼球２６ａによってその弾性力が受けられている。保持部材２６は、第１実施形態と同様に、振動体２１とは振動絶縁して独立して設けられており、振動体２１の振動の影響を受けにくい。また、接触体２２の駆動を阻害しないように構成される。
【００５０】
ホール素子２３は、相対的な変位情報（又は位置情報）を検出する検出部（エンコーダ本体）であり、ホール効果を利用して、磁石又は電流が発生する磁界を電気信号に変換する磁気センサである。ホール素子２３は、保持部材２６よりも接触体２２側に配置されており、振動体２１と接触体２２の間且つ２つの突起部２１ｃの間に配置されている。なお、２つの突起部２１ｃの間とは、２つの突起部２１ｃのそれぞれよりも、振動体２１のＹ方向における中心線側であることを含む。
【００５１】
２つの突起２１ｃの間に、ホール素子２３と対向するように、非接触部２２ａの振動体２１側の面にはスケール２４が設けられている。スケール２４には、多極着磁によるパターン２４が設けられている。なお、本実施形態では、スケール２４と接触体２２とを別部品としているが、接触体２２の非接触部２２ａにスケール２４の機能を持たせてもよい。つまり、接触体とスケールを一部品とし、接触体がスケールの機能を兼ねてもよい。その場合、接触体２２の接触部２２ｂに耐摩耗性のあるメッキ処理等を施し、さらに振動体２１を非磁性材料で構成しておくことで、モータとしての耐久性を確保しつつ不要な磁気回路が形成されず、アクチュエータの駆動性能が阻害されないため好ましい。また、部品点数を減らすことができるため、更なる小型化の実現が期待できる。
【００５２】
本実施形態では、検出部として、ホール素子２３を使用している。そのため、発光素子を内蔵している反射型の光学センサと比較して検出部単体のサイズを小さくできるため、検出部を設置する領域を小さくすることができる。また、加圧手段として永久磁石を使用していないため、振動体２１と接触体２２の間に磁石を配置する空間が必要ない。
【００５３】
なお、第１実施形態に係る振動波アクチュエータ１０では、加圧力を発生させる永久磁石１７をＹ方向に並べることにより、Ｘ方向に対して優位に小型化を実現することができる。第２実施形態に係る振動波アクチュエータ２０では、加圧力を受ける保持部材１６の固定箇所をＸ方向に並べることで、Ｙ方向に対して優位に小型化を実現することができる。これらは、小型化したい方向に応じて適宜選択することが好ましい。
また、第１実施形態に係る振動波アクチュエータ１０では、振動体１１及び接触体１２が、永久磁石１７を囲うことで、磁気シールドとしての機能も兼ねる。これにより、磁気シールドを別途設ける必要がなくなるため、振動波アクチュエータを大型化させることなく、磁気加圧を実現することができる。
また、第２実施形態に係る磁気式エンコーダ２０では、ホール素子２３とスケール２４の間に粉塵が介在しても（変位情報、位置情報の）検出機能に殆ど支障をきたさない。これにより、防塵機能を有する部材を別途設ける必要がなくなるため、振動波アクチュエータのさらなる小型化を実現することができる。
【００５４】
（第３実施形態）
第３実施形態では、上述の各実施形態に係る振動波アクチュエータを備える装置の一例として、撮像装置７００の構成について図１０を参照して説明する。
【００５５】
図１０（ａ）は、撮像装置７００の概略構成を示す上面図である。撮像装置７００は、撮像素子７１０及び電源ボタン７２０を搭載したカメラ本体７３０を備える。また、撮像装置７００は、光学系を構成する、第１レンズ群８１０（図１０（ａ）では不図示）、第２レンズ群８２０、第３レンズ群８３０（図１０（ａ）では不図示）、第４レンズ群８４０と、振動波アクチュエータユニット６２０、６４０と、を備えるレンズ鏡筒７４０を備える。レンズ鏡筒７４０は、交換レンズとして取り換え可能であり、撮影対象に合わせて適したレンズ鏡筒７４０をカメラ本体７３０に取り付けることができる。撮像装置７００では、２つの振動波アクチュエータユニット６２０、６４０によってそれぞれ、光学系に含まれる第２レンズ群８２０、第４レンズ群３４０の駆動が行われる。
【００５６】
図１０（ｂ）は、撮像装置７００の概略構造を示すブロック図である。第１レンズ群８１０、第２レンズ群８２０、第３レンズ群８３０、第４レンズ群８４０及び光量調節ユニット８５０が、レンズ鏡筒７４０内部の光軸上の所定位置に配置される。第１レンズ群８１０、第２レンズ群８２０、第３レンズ群８３０及び第４レンズ群８４０と光量調節ユニット８５０とを通過した光は、撮像素子７１０に結像する。撮像素子７１０は、（光学系により結像された）光学像を電気信号に変換して出力し、その出力は、カメラ処理回路７５０へ送られる。
【００５７】
カメラ処理回路７５０は、撮像素子７１０からの出力信号に対して増幅やガンマ補正等を施す。カメラ処理回路７５０は、ＡＥゲート７５５を介してＣＰＵ７９０に接続されると共に、ＡＦゲート７６０とＡＦ信号処理回路７６５とを介してＣＰＵ７９０に接続されている。カメラ処理回路７５０において所定の処理が施された映像信号は、ＡＥゲート７５５と、ＡＦゲート７６０及びＡＦ信号処理回路７６５を通じてＣＰＵ７９０へ送られる。なお、ＡＦ信号処理回路７６５は、映像信号の高周波成分を抽出して、オートフォーカス（ＡＦ）のための評価値信号を生成し、生成した評価値をＣＰＵ７９０へ供給する。
【００５８】
ＣＰＵ７９０は、撮像装置７００の全体的な動作を制御する制御回路であり、取得した映像信号から、露出決定やピント合わせのための制御信号を生成する。ＣＰＵ７９０は、決定した露出と適切なフォーカス状態が得られるように、振動波アクチュエータユニット６２０、６４０及びメータ６３０の駆動を制御し、第２レンズ群８２０、第４レンズ群８４０及び光量調節ユニット８５０の光軸方向位置を調整する。ＣＰＵ７９０による制御下において、振動波アクチュエータ６２０は第２レンズ群８２０を光軸方向に移動させ、振動波アクチュエータ６４０ユニットは第４レンズ群８４０を光軸方向に移動させ、光量調節ユニット３５０はメータ６３０により駆動制御される。
【００５９】
振動波アクチュエータユニット６２０により駆動される第２レンズ群３２０の光軸方向位置は第１リニアエンコーダ７７０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に送られることで、振動波アクチュエータユニット６２０の駆動にフィードバックされる。同様に、振動波アクチュエータユニット６４０により駆動される第４レンズ群８４０の光軸方向位置は第２リニアエンコーダ７７５により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に送られることで、振動波アクチュエータユニット６４０の駆動にフィードバックされる。光量調節ユニット３５０の光軸方向位置は、絞りエンコーダ７８０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０へ通知されることで、メータ６３０の駆動にフィードバックされる。
【００６０】
本実施形態では、振動波アクチュエータユニット６２０、６４０の駆動装置として、第１実施形態の振動波アクチュエータ１０を用いて、レンズ群を移動している。そのため、第１リニアエンコーダ７７０は、振動波アクチュエータユニット６２０に内蔵され、一体に構成されている。また、第２リニアエンコーダ７７５は、振動波アクチュエータユニット６４０に内蔵され、一体に構成されている。
【００６１】
本実施形態の撮像装置７００によれば、振動波アクチュエータ１０は、従来よりも小型化が可能なため、振動波アクチュエータユニット６２０、６４０における振動波アクチュエータ１０の配置スペースを従来よりも小さくすることができる。その結果、振動波アクチュエータユニット６２０、６４０を従来よりも小型化できる。撮像装置７００における振動波アクチュエータ１０の配置スペースが小さくなるため、別の構成を追加することも可能となる。
【００６２】
撮像装置７００の所定のレンズ群を光軸方向に移動させる用途に第１実施形態で示す振動波アクチュエータ１０を用いた場合、レンズ群を停止させた状態でも大きな保持力が維持される。これにより、レンズ鏡筒や撮像装置本体に外力が作用しても、レンズ群にズレが生じることを低減することができる。
【００６３】
また、レンズ鏡筒や撮像装置の光学系に手ぶれ補正用レンズが内蔵される（含まれる）場合に、手ぶれ補正用レンズを光学系の光軸方向と直交する方向に移動させる手ぶれ補正ユニットの駆動装置に、上述の実施形態の振動波アクチュエータ１０を用いることができる。その場合、光軸方向と直交する面内において直交する２方向にレンズ保持部材を移動させることができるように、各方向にレンズ保持部材を駆動する１つ又は複数の振動波アクチュエータ１０を配置する。なお、手ぶれ補正ユニットは、手ぶれ補正用レンズを駆動する構成に代えて、撮像装置の本体に内蔵される撮像素子７１０を光学系の光軸方向と直交する方向に移動させる構成としてもよい。
【００６４】
（第４実施形態）
第４実施形態では、上述した各実施形態に係る振動波アクチュエータを少なくとも２つ以上備える装置の一例として、Ｘ−Ｙステージを備える顕微鏡５００の構成について図１１を参照して説明する。図１１は、顕微鏡５００の外観斜視図である。
【００６５】
顕微鏡５００は、撮像素子と光学系を内蔵する撮像部５１０と、自動ステージ５３０とを有する。自動ステージ５３０は、基台と、該基台上に設けられている第１の振動波アクチュエータ（不図示）及び第２の振動波アクチュエータ（不図示）と、該基台上に設けられているＸ−Ｙ面内で移動されるステージ５２０と、を有する。第１の振動波アクチュエータ及び第２の振動波アクチュエータのそれぞれは、第１実施形態の振動波アクチュエータ１０を用いる。
【００６６】
第１の振動波アクチュエータは、ステージ５２０を、ステージ５２０のＸ方向に駆動する駆動装置として用いられ、振動体１１と接触体１２の一部との相対移動方向（振動体１１の、接触体１２に対する相対移動方向、接触体１２の駆動方向）がステージ５２０のＸ方向と一致するように配置される。また、第２の振動波アクチュエータは、ステージ５２０を、ステージ５２０のＹ方向に駆動する駆動装置として用いられ、振動体１１と接触体１２の一部と、の相対移動方向（振動体１１の、接触体１２に対する相対移動方向、接触体１２の駆動方向）がステージ５２０のＹ方向と一致するように配置される。
【００６７】
被観察物をステージ５２０の上面に置いて、拡大画像を撮像部５１０で撮影する。観察範囲が広範囲にある場合には、第１の振動波アクチュエータ及び第２の振動波アクチュエータを用いて自動ステージ５３０を駆動してステージ５２０を面内方向に移動させて被観察物を移動させることにより、撮像領域を変更する。異なる撮像領域で撮影された画像を不図示のコンピュータで画像処理により結合させることで、観察範囲が広範囲で、高精細な１枚の画像を取得することができる。
【００６８】
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。更に、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
【００６９】
例えば、第３の実施形態及び第４の実施形態では、振動波アクチュエータとして第１実施形態の振動波アクチュエータ１０を用いたが、これに限定されず、例えば第２実施形態の振動波アクチュエータ２０を用いてもよい。また、加圧部材の構成や加圧方法は、適宜変更可能である。
【００７０】
上述の実施形態では、振動体と接触体とが直線方向に相対移動するリニア駆動を行っているが、これに限定されず、各実施形態の振動波アクチュエータを用いて、振動体に対して接触体が相対的に回転する駆動を行ってもよい。この場合、突起部１１ｃに発生した楕円運動によって振動体１１と接触体１２の任意の位置とが相対移動するため、この相対移動方向を、振動体１１の接触体１２に対する相対移動方向（接触体１２の駆動方向）と呼ぶ。
【００７１】
また、上述の各実施形態では、振動体の突起部及び接触体の接触部をそれぞれ２つずつ設けているが、これに限定されず、より多くの突起部及び接触部を有していてもよい。例えば、Ｙ方向に並んである２つの突起部をＸ方向に並べて２組設け、それらの４つの突起部に対応する位置に接触体に接触部を設ければよい。
【符号の説明】
【００７２】
１０  振動波アクチュエータ
１１  振動体
１１ａ  弾性体
１１ｂ  電気−機械エネルギ変換素子
１１ｃ  突起部
１２  接触体
１２ｂ  接触部
１３  検出部（エンコーダ本体）
１４  被検出部（スケール）
【図１】
2019068725.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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