(57)【要約】【課題】センサ感度の調節が可能な光学式の電流センサ及びそれを用いた計測装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、測定対象の電流線に磁性体コア４４を作用させ、磁場分布に基づいて電流を検知する電流センサ４０において、前記磁性体コア４４による磁路に沿って磁束密度を変更する磁束密度変更手段と、前記磁性体コアに磁気光学素子４１を挿入し、前記磁気光学素子に作用した光の偏光角に基づき電流を検出する光学式電流検出手段と、を具備したことを特徴とする。【選択図】  図１
2019060605.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象の電流線に磁性体コアを作用させ、磁場分布に基づいて電流を検知する電流センサにおいて、
前記磁性体コアによる磁路に沿って磁束密度を変更する磁束密度変更手段と、
前記磁性体コアに磁気光学素子を挿入し、前記磁気光学素子に作用した光の偏光角に基づき電流を検出する光学式電流検出手段と、
を具備したことを特徴とする電流センサ。
【請求項２】
請求項１記載の電流センサにおいて、
磁束密度変更手段は、環状の磁性体コアで、外径と内径の中心位置が異なる構造と、磁場分布に応じた前記磁性体コアの位置に、前記磁気光学素子を挿入可能とする構造であることを特徴とする電流センサ。
【請求項３】
請求項１記載の電流センサにおいて、
磁束密度変更手段は、磁性体コアの内部に空隙を有した構造と、磁場分布に応じた前記磁性体コアの位置に、前記磁気光学素子挿入可能とする構造であることを特徴とする電流センサ。
【請求項４】
請求項１記載の電流センサにおいて、
磁束密度変更手段は、環状の磁性体コアで、厚み方向に異なる径となる構造と、磁場分布に応じた前記磁性体コアの位置に、前記磁気光学素子を挿入可能とする構造であることを特徴とする電流センサ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電流センサにおいて、
前記光学式電流検出手段は、前記磁気光学素子に光ファイバを接続し、前記磁性体コアに挿入し、前記磁気光学素子に作用した照射光の偏光角に基づき電流を検出することを特徴とする電流センサ。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電流センサにおいて、
前記光学式電流検出手段は、前記磁気光学素子を前記磁性体コアに挿入し、前記磁性体コアの外面から前記磁気光学素子に対して、外部から照射した照射光が到達する光路を有し、前記磁気光学素子に作用した照射光の偏光角に基づき電流を検出することを特徴とする電流センサ。
【請求項７】
測定対象の電流線に磁性体コアを作用させ、磁場分布に基づいて電流を検知する計測方法であって、
前記磁性体コアを非対称とした構造と、磁場分布に応じた前記磁性体コアの位置に、前記磁気光学素子挿入可能とする構造と、で前記磁性体コアによる磁路に沿って磁束密度を変更させ、
磁気光学素子を接続した光ファイバを前記磁性体コアに挿入し、
前記磁気光学素子に作用した照射光の偏光角に基づき電流を検出することを特徴とする計測方法。
【請求項８】
モータ又はインバータの電流線に磁性体コアを作用させ、磁場分布に基づいて電流を検知する計測装置であって、
前記磁性体コアを非対称とした構造と、磁場分布に応じた前記磁性体コアの位置に、磁気光学素子を挿入可能とする構造と、で前記磁性体コアによる磁路に沿って磁束密度を変更させる手段と、
磁気光学素子を接続した光ファイバを前記磁性体コアに挿入可能とする構造と、
前記磁気光学素子に作用した照射光の偏光角に基づき電流を検出し、モータ又はインバータの運転状態を評価する計算部からなることを特徴とする計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気機器や電子機器に係る電流の評価に用いる電流センサ及びそれを用いた計測装置、計測方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気機器や電子機器の動作の把握には、各機能を構成する素子に関する電圧や電流などの電気的な状態を観測する必要がある。例えば、電気エネルギーを機械運動に変換する電気機器の一つである電気モータでは、発生トルクと電流とが密接に関係しており、このような電気機器の動作確認や制御を行うためには、電流計測が必要不可欠である。このような電気機器や電子機器の電気的な状態の評価方法としては、動作中の電圧・電流波形の類似度、振幅の差異、位相の差異、動作状態に対応する周波数成分パターンを利用するものがある。
【０００３】
例えば、電流計測では、電気抵抗を利用する方式と、磁場を利用する方式が一般に広く知られている。電気抵抗を利用する方式では、抵抗値が既知の抵抗に電流を流した場合に両端に生じる電圧値を測定し、その電圧値からオームの法則に基づいて電流値を算出する。しかしながら、大電流を測定する場合には、電流の通電によって抵抗素子に生じるジュール熱が大きくなり、温度上昇による抵抗値の上昇も大きくなる。したがって、電流値が数アンペアになるような電気機器や、長時間動作している電子機器では、電圧値を電流値に換算する際の誤差が大きくなることが懸念される。一方で、磁場を利用する方式は、電流が生じたときに生成される磁場を測定し、アンペールの法則に基づいて電流に換算するものであり、電気抵抗を利用する方式のようなジュール熱による懸念は生じないという特徴がある。磁場の測定には、コイル、ホール素子などの磁気センサが一般的に用いられており、コイルは交流（高周波）磁場成分、ホール素子は直流（低周波）磁場成分が主な適用範囲となっている。また、磁気光学効果と呼ばれる光と磁気の相互作用を利用した磁場の測定は、直流磁場成分と交流磁場成分の両方に適用することができる。
【０００４】
磁気光学効果は、磁性材料に光を照射した場合に、その磁性材料の磁化状態によって照射した光の偏光角が回転する現象であり、対象の磁化材料における反射光に関するものがカー効果、透過光に関するものがファラデー効果としてよく知られている。このうち、ファラデー効果を利用して磁場の強さを測定する方法としては、測定対象の電流ラインにより生じる磁場を光ファイバに作用させ、光ファイバを通る光の偏向角の回転量を計測することによって磁場の強さを測定するものがある。
【０００５】
実際の電流計測では、センサの応答を電気信号に変換し、この電気信号をデジタル信号化して通信し、設備の監視や制御に利用される。このデジタル信号化では、数値範囲や分解能がアナログ−デジタル信号変換素子によって制限される。そのことから、用途に適した電流センサの感度を設定することが行われる。
【０００６】
このような実際の電流計測について、例えば、特許文献１では、光ファイバ式センサを解線し、巻数の異なるセンサに差し替えて感度を変更することが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−１１１５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記特許文献１に記載の従来技術では、巻数の異なるセンサを多数用意する必要があり、センサの感度を調整することが困難である問題点がある。
【０００９】
そこで、本発明は上記に鑑みてなされたものであり、センサ感度の調節が可能な光学式の電流センサ及びそれを用いた計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、測定対象の電流線に磁性体コアを作用させ、磁場分布に基づいて電流を検知する電流センサにおいて、前記磁性体コアによる磁路に沿って磁束密度を変更する磁束密度変更手段と、前記磁性体コアに磁気光学素子を挿入し、前記磁気光学素子に作用した光の偏光角に基づき電流を検出する光学式電流検出手段と、を具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、絶縁性の高い光学式の電流センサにおいて、電流計測範囲を容易に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】計測装置の全体構成を模式的に示す機能ブロック図である。
【図２】電流センサの光軸を通る平面における断面図（ａ）と磁束密度分布の図（ｂ）である。
【図３】電流センサの光軸を通る平面における断面図（ａ）と磁束密度分布の図（ｂ）である。
【図４】電流センサの磁気光学素子に磁場が作用して透過する光の偏向角が変化する様子を模式的に示す図である。
【図５】電流が作る磁場が磁気光学素子に作用する様子を模式的に示す図である。
【図６】磁性体（磁気光学素子）の磁場強度と偏光角の関係を示す図である。
【図７】磁性体（磁気光学素子）の光軸方向の厚みと偏光角の関係を示す図である。
【図８】電流センサにおける光の偏光角の回転量と、検知部に作用する磁場強度の関係を示す図である。
【図９】電流の時間変化に対して，本実施例に示す電流センサにおける光の偏光角の時間変化を示す図である。
【図１０】発光部と受光部の構成を模式的に示す機能ブロック図の一例である。
【図１１】他の発光部と受光部の構造を模式的に示す機能ブロック図の一例である。
【図１２】三相電動機と計測装置の配置を概略的に示す図である。
【図１３】三相電動機の電流波形を３箇所の電流センサで測定した電流波形の一例を示す図である。
【図１４】三相電動機のＶ相電源ラインの電流に異常が生じたときの出力例を示す図である。
【図１５】他の電流センサの光軸を通る平面における断面図。
【図１６】他の実施例である電流センサの光軸を通る平面における断面図。
【図１７】他の実施例である電流センサの光軸を通る平面における断面図。
【図１８】他の実施例である電流センサの光軸を通る平面における断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を用いて、本発明を実施する上で好適となる実施例を説明する。尚、下記はあくまでも実施の例に過ぎず、発明の内容が下記具体的態様に限定されるものではない。本発明は、下記態様を含めて種々の態様に変形することが無論可能である。
【実施例１】
【００１４】
実施例１を図１〜図１０を参照しつつ説明する。
【００１５】
図１は、実施例１に係る計測装置の全体構成を模式的に示す機能ブロック図である。
【００１６】
図１において、計測装置１００は、測定に用いる光の送受信及び測定値の計算処理を行う測定部１と、測定部１への各種設定値や指令信号の入力を行う入力部２と、測定部１での計算処理の結果である測定値を表示する表示部３と、測定部１からの送信光１ａを透過して受信光１ｂとして測定部１に送る電流センサ４０とから概略構成されている。
【００１７】
測定部１は、測定に用いる光（送信光１ａ）を生成し、コネクタ１９を介して電流センサ４０に送信する光源部１０と、電流センサ４０からの光（受信光１ｂ）をコネクタ２９を介して受信する受光部２０と、受光部２０で受信した受信光１ｂに基づいて計算処理を行う計算部３０とを備えている。
【００１８】
光源部１０は、入力部２からの指令信号に基づいて測定に用いる光を生成する発光部１１と、発光部１１で生成された光の波長の調整や直線偏波への変換を行い、コネクタ１９を介して電流センサ４０に送信する送信光調整部１２とを備えている。発光部１１は、可視光を発する白色光源を備えている。また、送信光調整部１２は、発光部１１で生成された光から一定の波長を抽出する分光器や干渉フィルタなどの波長選択部や、直線偏波への変換部などを有しており、少なくとも１種類の波長の光を生成することができる。なお、発光部１１には、生成する光の仕様によって、発光ダイオードやレーザダイオードを用いることができる。
【００１９】
受光部２０は、電流センサ４０からの受信光１ｂをコネクタ２９を介して受信し、受信光１ｂを波長や偏光角に応じて選択や調整する受信光調整部２３と、受信光調整部２３からの光を受光して電気信号に変換する受光素子２２と、受光素子２２で得られた電気信号を受信データに変換するデータ変換部２１とを備えている。
【００２０】
受信光調整部２３は、受信光１ｂから一定の波長を抽出する分光器や干渉フィルタなどの波長選択部を有している。受光素子２２には、例えば、フォトダイオードやアバランシェダイオードなどが用いられる。データ変換部２１は、受光素子２２からの電気信号を受信データに変換して計算部３０に送信する。
【００２１】
なお、図１０には上述した発光部と受光部の構成を模式的に示す機能ブロック図の一例を示した。送信光調整部１２として偏光子１２Ａを採用した光源部１０Ａと、受信光調整部２３として検光子２３Ａを採用した受光部２０Ａより構成されている。更に、図１１には他の発光部と受光部の構造を模式的に示す機能ブロック図の一例を示した。送信光調整部１２として送信光調整部１２Ｂを採用した光源部１０Ｂと、受信光調整部２３として受信光調整部２３Ｂを採用した受光部２０Ｂより構成されている。送信光調整部１２Ｂは位相調整部１２ａと１／４波長板１２ｂより構成され波長の調整や直線偏波への変換を行う。受信光調整部２３Ｂはカプラ２３ａ、カプラ２３ｃと偏光子２３ｂと１／４波長板２３ｄから構成され受信光１ｂを波長や偏光角に応じて選択や調整する。
【００２２】
計算部３０は、受光部２０からの受信データを電流値や磁場の強さに換算する換算部３１と、換算部３１で用いる換算値を格納するメモリ３２とを備えている。換算部３１には、受信データと電流、受信データと磁場の関係などが実験やシミュレーション等の結果から予め経験的に求められ換算値として格納されている。換算部３１は、メモリ３２に格納された換算値に基づいて受信データを電流値や磁場の強さなどに換算し、測定値として表示部３に送る。
【００２３】
電流を検知する部分は、磁気光学素子に光を照射する光学式電流検出手段と、磁性体コアによって、計測対象電流より発生する磁束の密度を空隙で調整し、磁気光学素子に磁場を作用させる磁束密度変更手段で構成される。
【００２４】
図２及び図３は、電流センサの光軸を通る平面における断面図であり、電流センサを構成する磁性体コアの中に分布する磁束線を表示した図である。図２のように環状の磁性体コアで、外径と内径の中心位置が同じ位置となる構造をとると、内径領域に挿入された測定対象の電流線によって生じる磁場分布には傾斜が生じず均一の磁場分布をとる。図３のように環状の磁性体コアで、外径と内径の中心位置が異なる構造をとると、内径領域に挿入された測定対象の電流線によって生じる磁場分布は、磁性体コアの断面積に応じて、磁束密度の傾斜が生じる。そこで、前記磁気光学素子を挿入可能とする構造をとり、所望のセンサ感度に応じた前記磁性体コアの位置に磁気光学素子を設置することで、電流計測範囲の変更を可能とする。これが本実施例にて提供するセンサである。
【００２５】
図１及び図２において、電流センサ４０は、光ファイバに磁気光学素子を接続したものである。光ファイバ４１，４６は、石英ガラス、鉛入りの石英ガラスなどで形成されている。磁性体コア４４は、透明性を有するガーネットと呼ばれる金属を用いることができ、Ｂｉを添加したイットリウム・鉄・ガーネットや、後述するガドリウム・鉄・ガーネットなどで形成されている。
【００２６】
ここで、電流センサ４０における磁場検知の原理について図４〜図９を参照しつつ説明する。
【００２７】
図４は磁性体に作用する磁場と磁性体を透過する光の偏向角の関係を模式的に示す図であり、図５は電流センサに電流に起因する磁場が作用して透過する光の偏向角が変化する様子を模式的に示す図である。
【００２８】
図４に示すように、磁性体２０２を直線偏光された光が通過するとき、磁気光学効果により、磁性体２０２の磁化状態に依存して偏光角が回転し変化する。これをファラデー効果という。すなわち、磁性体２０２に磁場（磁束）が作用することによって磁化状態が変化する場合、光源２００ａで生成されて磁性体２０２に入射する入射光２００に対する透過光２０１の偏向角の回転量を検出することにより、磁性体２０２の磁化状態を検知することができ、磁性体２０２に作用する磁場の強さを検知することが可能である。
【００２９】
図５に示すように、本実施例においては、電流センサ４０を測定対象の電流が流れる電流ライン１１０の近傍に配置した状態で、光源部１０で生成した直線偏波を送信光１ａとして電流センサ４０に入射し、電流ライン１１０を流れる電流に起因する磁場（アンペールの法則に従って生じる磁場）の作用によって検知部４２で生じる偏光角の回転を受信光１ｂから検出することにより、検知部４２の磁性体コア４４の磁化状態、すなわち、磁性体コア４４に作用する磁場の強さを検知することができる。
【００３０】
図６は、磁性体コアを透過する光の偏光角の回転量と磁性体２０２に作用する磁場強度の関係を示す図であり、縦軸に偏光角（度）を、横軸に磁場強度（Ａ／ｍ）をそれぞれ示している。
【００３１】
図６に示すように、ファラデー効果を呈する磁性体（磁性薄膜など）２０２においては、磁場強度に比例して偏光角が変わる。また、磁場強度と電流量の間にも比例関係があるため、図６のように磁場強度と偏光角との関係を予め取得しておくことによって、偏光角の情報から電流を計測することができる。
【００３２】
図７は、磁性体２０２の光軸方向の厚みと偏光角の関係を示す図であり、縦軸に偏光角（度）を、横軸に磁性体コアの厚さ（ｍｍ）をそれぞれ示している。図７に示すように、ファラデー効果を呈する磁性体２０２においては、その光軸方向の厚み（すなわち磁性体コア中の光路庁光路長）に比例して大きくなる。
【００３３】
図８に示すように、透過光の偏光角の回転量と検知部に作用する磁場強度の関係を予め取得し、メモリ３２に格納しておくことにより、磁場と電流の間に比例関係があることを利用して、換算部３１において偏光角の情報から電流を計測することができる。表示部３では、図９に示すように、換算部で算出した電流の波形が表示される。
【００３４】
以上のように構成した本実施例の動作を説明する。
【００３５】
本実施例の計測装置１００では、まず、電流センサ４０の検知部４２を、測定対象の電流が流れる電流ライン１１０の近傍に配置する。続いて、入力部２から計測の指示がなされると、光源部１０から直線偏波の光が送信光１ａとして生成され、コネクタ１９を介して電流センサの光ファイバ４１に入射され、光ファイバ４１を介して検知部４２に入射される。このとき、電流ライン１１０を流れる電流によって生じる磁場による磁性体コア４４の磁化状態により、光の偏光角が回転される。
【００３６】
受光部２０では、送信光１ａと受信光１ｂから得られる偏光角の変化量などのデータが取得されて計算部３０に送られる。計算部３０においては、送信光１ａと受信光１ｂから得られる偏光角の変化量と、予めメモリ３２に格納した換算値とに基づいて電流ライン１１０を流れる電流値が算出され、算出結果が表示部３に表示される。
【００３７】
以上のように構成した本実施例における効果を説明する。
【００３８】
測定対象の電流ラインにより生じる磁場を光ファイバに作用させ、光ファイバを通る光の偏向角の回転量を計測することによって磁場の強さ及び電流量を測定する場合、磁場に対する偏向角の回転量、すなわち、磁場に対する感度は、光の磁化材料に対する通過距離やベルデ定数などによって定まる。しかしながら、従来技術のように、ベルデ定数の高い磁性体コアを光ファイバに拡散させて、磁場の強さに対する偏光角、すなわち磁場に対する感度を変更しようとする場合には、感度の異なるセンサに変更するため、感度に応じたセンサを用意する必要があった。このため、複数センサの設置でセンサ設置領域が大きくなったり、適切な感度で計測できず、計測が精度よく実施できないという問題点がある。
【００３９】
これに対して、本実施例においては、磁性体コア４４の形状と、磁性体コア４４に感度に応じた空隙を設けることで、磁気光検出素子を挿入する場所によって、感度を変更できる。
本実施例を三相電動機に適用した例を図１２〜図１４を参照しつつ説明する。
【００４０】
本実施の形態は、電流センサの数を３つとし、三相電動機３００に供給される各相の電流を同時に測定する場合を示すものである。図中、同様の部材には同じ符号を付し、説明を省略する。
【００４１】
図１２において、三相電動機３００には、電源端子ボックス３０１から引き出されているＵ相電源ライン３０２、Ｖ相電源ライン３０３、Ｗ相電源ライン３０４により図示しない三相電源からの電力が供給されているＵ相電源ライン３０２、Ｖ相電源ライン３０３、Ｗ相電源ライン３０４にはそれぞれ電流センサ４０、５０、６０が設置されており、計測装置１００に接続されている。なお、電流センサ５０、６０は、電流センサ４０と同様の構成を有している。
【００４２】
図１３は、図１２で示した三相電動機の電流波形を３箇所の電流センサ４０，５０，６０で、測定した電流波形の一例を示す図である。  三相電動機３００の場合、相間の位相差は１２０度あり、動作状態を監視することができる。
【００４３】
図１４は、三相電動機のＶ相電源ラインの電流に異常が生じたときの出力例を示す図である。このような異常が生じた場合には、振幅のバランスの異常を測定結果から感知するよう設定して異常アラーム等を発信するよう構成することができ、設備の異常を知らせたり、停止させたりするのに利用できる。
【００４４】
以上、本実施例によれば、絶縁性の高い光学式の電流センサにおいて、電流計測範囲を容易に変更することができる。
【実施例２】
【００４５】
図１５及び図１６を用いて実施例２について説明する。
【００４６】
図１５及び図１６は、電流センサの光軸を通る平面における断面図であり、電流センサを構成する磁性体コアの中に分布する磁束線を表示した図である。実施例１との違いは形状が丸ではなく、四角とした点である。
【００４７】
図１５のように四角形状の磁性体コア４４ａで、外径と内径の中心位置が同じ位置となる構造をとると、内径領域に挿入された測定対象の電流線によって生じる磁場分布には傾斜が生じず均一の磁場分布をとる。図１６のように四角形状の磁性体コア４４ｂで、外径と内径の中心位置が異なる構造をとると、内径領域に挿入された測定対象の電流線によって生じる磁場分布は、磁性体コアの断面積に応じて、磁束密度の傾斜が生じる。そこで、前記磁気光学素子を挿入可能とする構造をとり、所望のセンサ感度に応じた前記磁性体コア４４ｂの位置に磁気光学素子を設置することで、電流計測範囲の変更を可能とする。
【００４８】
以上、本実施例によれば、絶縁性の高い光学式の電流センサにおいて、電流計測範囲を容易に変更することができ、また四角形状のため配置の効率的化が図れる。
【実施例３】
【００４９】
図１７を用いて実施例３について説明する。
【００５０】
図１７は、電流センサの光軸を通る平面における断面図であり、電流センサを構成する磁性体コアの中に分布する磁束線を表示した図である。実施例１との違いは空隙もしくは異なる透磁率の材料で磁性体コア４４ｃを構成した点である。
【００５１】
図１７のように環状の磁性体コア４４ｃで、外径と内径の中心位置が異なる構造をとり、さらに磁性体コア４４ｃの一部に空隙もしくは異なる透磁率の材料を設けている。内径領域に挿入された測定対象の電流線によって生じる磁場分布は、磁性体コアの断面積に応じて、磁束密度の傾斜が生じるが、空隙もしくは異なる透磁率の材料４５により磁束勾配をさらに変更できる。その上で、磁性体コア４４ｃに磁気光学素子を挿入可能とする構造をとり、所望のセンサ感度に応じた前記磁性体コアの位置に磁気光学素子を設置することで、電流計測範囲の変更を可能とする。
【００５２】
以上、本実施例によれば、絶縁性の高い光学式の電流センサにおいて、電流計測範囲をより任意に容易に変更することができる。
【実施例４】
【００５３】
図１８を用いて実施例４について説明する。
【００５４】
図１４は、電流センサの光軸を通る平面における断面図である。実施例１との磁性体コアの厚み方向（画面に垂直方向）に異なる径の磁性体コアで構成する点である。
【００５５】
図１８のように環状の磁性体コア４４ｄで、厚み方向（画面に垂直方向）に異なる径の磁性体コア４４ｄで構成し、厚み方向で、異なる位置にファイバセンサを挿入する空隙を設けることで、感度範囲のバリエーションを増やすことができる。所望のセンサ感度に応じた前記磁性体コアの位置に磁気光学素子を設置することで、電流計測範囲の変更を可能とする。
【００５６】
以上、本実施例によれば、絶縁性の高い光学式の電流センサにおいて、電流計測範囲をより任意に容易に変更することができる。
【００５７】
また、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かり易く説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成を置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【符号の説明】
【００５８】
１：測定部
１ａ：送信光
１ｂ：受信光
２：入力部
３：表示部
１０：光源部
１０Ａ：光源部
１０Ｂ：光源部
１１：発光部
１２：送信光調整部
１２Ａ：偏光子
１２Ｂ：送信光調整部
１２ａ：位相調整部
１２ｂ：１／４波長板
１９：コネクタ
２０：受光部
２０Ａ：受光部
２０Ｂ：受光部
２１：データ変換部
２２：受光素子
２３：受信光調整部
２３Ａ：検光子
２３Ｂ：受信光調整部
２３ａ：カプラ
２３ｂ：偏光子
２３ｃ：カプラ
２３ｄ：１／４波長板
２９：コネクタ
３０：計算部
３１：換算部
３２：メモリ
４０：電流センサ
４１：光ファイバ
４２：検知部
４４：磁性体コア
４４ａ：磁性体コア
４４ｂ：磁性体コア
４４ｃ：磁性体コア
４４ｄ：磁性体コア
５０：電流センサ
１００：計測装置
１１０：電流ライン
２００：入射光
２００ａ：光源
２０１：透過光
２０２：磁性体
３００：三相電動機
３０１：電源端子ボックス
３０２：相電源ライン
３０３：相電源ライン
３０４：相電源ライン
【図１】
2019060605.tif 000003
【図２】
2019060605.tif 000004
【図３】
2019060605.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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