(57)【要約】【課題】操作性の良い電子顕微鏡を提供する。【解決手段】電子顕微鏡１００は、収差補正装置３０を含む光学系と、収差補正装置３０を制御する制御部と、を含み、制御部４０は、収差の状態を表す収差図形上に、収差の方向を指定するための画像を重ねて表示部５２に表示させる処理と、回転操作された後の画像から、収差の方向を特定する処理と、特定された方向に収差が導入されるように収差補正装置３０を制御する処理と、を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
収差補正装置を含む光学系と、
前記収差補正装置を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
収差の状態を表す収差図形上に、収差の方向を指定するための画像を重ねて表示部に表示させる処理と、
回転操作された後の前記画像から、収差の方向を特定する処理と、
特定された方向に収差が導入されるように前記収差補正装置を制御する処理と、
を行う、電子顕微鏡。
【請求項２】
請求項１において、
前記制御部は、導入される収差の種類の情報を受け付ける処理を行い、
前記画像を前記表示部に表示させる処理では、前記収差の種類の情報に基づいて、前記収差の種類に応じた形状を有する前記画像を前記表示部に表示させる、電子顕微鏡。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記収差図形は、ロンチグラムである、電子顕微鏡。
【請求項４】
請求項１または２において、
前記収差図形は、ディフラクトグラムタブローである、電子顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
透過電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope、ＴＥＭ）や走査透過電子顕微鏡（Scanning Transmission Electron Microscope、ＳＴＥＭ）等の透過電子顕微鏡において、収差補正は、高分解能像を取得するうえで重要な技術である。
【０００３】
透過電子顕微鏡における収差補正の手順は、複雑である。そのため、近年、収差補正の自動化が進められている。このような収差補正の自動化の技術については、例えば、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−２１５９７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
収差補正を行う上では、収差計測の精度が重要となる。従来、様々な収差計測方法が提案されているが、収差が小さい場合などには、収差を正しく計測できない場合があった。このため、ユーザーが収差を認識できたとしても、収差補正が自動化されている場合、この収差を補正することができなかった。また、任意の収差を打ち消すために、別の収差を意図的に導入したい場合がある。このように、収差補正の際には、ユーザーが任意の収差を導入したい場合がある。
【０００６】
ユーザーが収差を導入するためには、収差の方向を指定しなければならないが、従来の電子顕微鏡では、収差の方向を指定するための操作の操作性が悪かった。
【０００７】
本発明の目的は、操作性の良い電子顕微鏡を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る電子顕微鏡の一態様は、
収差補正装置を含む光学系と、
前記収差補正装置を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
収差の状態を表す収差図形上に、収差の方向を指定するための画像を重ねて表示部に表示させる処理と、
回転操作された後の前記画像から、収差の方向を特定する処理と、
特定された方向に収差が導入されるように前記収差補正装置を制御する処理と、
を行う。
【０００９】
このような電子顕微鏡では、回転操作した後の画像から収差の方向を特定し、特定された方向に収差が導入されるように収差補正装置を制御するため、ユーザーは画像を回転操作することで収差の方向を指定できる。したがって、このような電子顕微鏡によれば、直感的に収差の方向を指定でき、操作性がよい。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態に係る電子顕微鏡の構成を示す図。
【図２】収差補正装置を模式的に示す図。
【図３】収差補正装置を操作するためのＧＵＩを示す図。
【図４】収差補正装置を操作するためのＧＵＩを示す図。
【図５】インジケーターの変形例を示す図。
【図６】インジケーターの変形例を示す図。
【図７】インジケーターの操作を説明するための図。
【図８】制御部の処理の一例を示すフローチャート。
【図９】第２実施形態に係る電子顕微鏡の構成を示す図。
【図１０】収差補正装置を操作するためのＧＵＩを示す図。
【図１１】収差補正装置を操作するためのＧＵＩを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００１２】
１．  第１実施形態
１．１．  電子顕微鏡の構成
まず、第１実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係る電子顕微鏡１００の構成を示す図である。
【００１３】
電子顕微鏡１００は、収差補正装置３０を含む光学系を備えた走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）である。走査透過電子顕微鏡は、電子プローブ（集束した電子線）で試料Ｓ上を走査し、試料Ｓを透過した電子を検出して走査透過電子顕微鏡像（ＳＴＥＭ像）を得ることができる。
【００１４】
電子顕微鏡１００は、図１に示すように、電子源１０と、光学系（集束レンズ１２、走査コイル１３、対物レンズ１４、中間レンズ１８、投影レンズ２０、収差補正装置３０）と、試料ステージ１６と、試料ホルダー１７と、ＳＴＥＭ検出器２２ａ，２２ｂと、撮像装置２４と、制御部４０と、操作部５０と、表示部５２と、記憶部５４と、を含む。
【００１５】
電子源１０は、電子を発生させる。電子源１０は、例えば、陰極から放出された電子を陽極で加速し電子線を放出する電子銃である。
【００１６】
集束レンズ１２は、電子源１０から放出された電子線を集束する。集束レンズ１２は、図示はしないが、複数の電子レンズで構成されていてもよい。集束レンズ１２および対物レンズ１４は、電子顕微鏡１００の照射系を構成している。
【００１７】
走査コイル１３は、電子線を偏向させて、集束レンズ１２および対物レンズ１４で集束された電子線（電子プローブ）で試料Ｓ上を走査するためのコイルである。走査コイル１３は、電子顕微鏡１００の制御装置（図示せず）で生成された走査信号に基づき、電子プローブを偏向させる。これにより、電子プローブで試料Ｓ上を走査することができる。
【００１８】
対物レンズ１４は、電子線を試料Ｓ上に集束させて、電子プローブを形成するためのレンズである。また、対物レンズ１４は、試料Ｓを透過した電子で結像する。
【００１９】
試料ステージ１６は、試料ホルダー１７に保持された試料Ｓを支持している。試料ステージ１６によって、試料Ｓを位置決めすることができる。
【００２０】
中間レンズ１８および投影レンズ２０は、試料Ｓを透過した電子をＳＴＥＭ検出器２２ａ，２２ｂに導く。また、中間レンズ１８および投影レンズ２０は、対物レンズ１４によって結像された像をさらに拡大し、撮像装置２４上に結像する。対物レンズ１４、中間レンズ１８、および投影レンズ２０は、電子顕微鏡１００の結像系を構成している。
【００２１】
明視野ＳＴＥＭ検出器２２ａは、試料Ｓを透過した電子のうち、散乱されずに透過した電子、および所定の角度以下で散乱した電子を検出する。明視野ＳＴＥＭ検出器２２ａは光軸上に配置されているが、撮像装置２４を使用する場合には光軸上から退避させることができる。
【００２２】
暗視野ＳＴＥＭ検出器２２ｂ、試料Ｓで特定の角度で散乱された電子を検出する。暗視野ＳＴＥＭ検出器２２ｂは、円環状の検出器である。
【００２３】
撮像装置２４は、結像系によって結像された像を撮影する。撮像装置２４は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等のデジタルカメラである。
【００２４】
収差補正装置３０は、電子顕微鏡１００の照射系に組み込まれている。図示の例では、収差補正装置３０は、集束レンズ１２の後段に配置されている。収差補正装置３０は、電子顕微鏡１００の照射系の収差を補正する。具体的には、収差補正装置３０は、負の球面収差を生成し、照射系の正の球面収差を打ち消すことで照射系の球面収差を補正する球面収差補正装置である。
【００２５】
電子顕微鏡１００では、電子源１０から放出された電子線は、集束レンズ１２および対物レンズ１４で集束されて電子プローブを形成し試料Ｓに照射される。このとき、試料Ｓに照射される電子線は、収差補正装置３０によって収差が補正される。試料Ｓに照射された電子線は、走査コイル１３によって試料Ｓ上で走査される。試料Ｓを透過した電子線は、対物レンズ１４、中間レンズ１８および投影レンズ２０によってＳＴＥＭ検出器２２ａ，２２ｂに導かれ、ＳＴＥＭ検出器２２ａ，２２ｂで検出される。ＳＴＥＭ検出器２２ａ，２２ｂは、それぞれ検出された電子の強度信号（検出信号）を、信号処理部（図示せず）に送る。信号処理部は、ＳＴＥＭ検出器２２ａ，２２ｂで検出された電子の強度信号（検出信号）を走査信号に同期させて画像化し、明視野ＳＴＥＭ像および暗視野ＳＴＥＭ像を生成する。
【００２６】
また、電子顕微鏡１００では、照射系によって電子線を試料Ｓ付近に集束させて、回折面上にできる試料の投影像（ロンチグラム（Ronchigram））を、撮像装置２４で取得することができる。撮像装置２４で取得された投影像（ロンチグラム）の情報は、制御部４０に送られる。
【００２７】
図２は、収差補正装置３０を模式的に示す図である。収差補正装置３０は、三段の多極子３２ａ，３２ｂ，３２ｃを有している。すなわち、収差補正装置３０は、三段三回場型球面収差補正装置である。
【００２８】
収差補正装置３０は、三段の多極子（第１多極子３２ａ、第２多極子３２ｂ、第３多極子３２ｃ）と、第１転送レンズ系３４と、第２転送レンズ系３５と、を含んで構成されている。
【００２９】
第１多極子３２ａは、三回対称場を発生させる。三回対称場とは、場の強度が三回の対称性を持つ場である。第１多極子３２ａが発生させる三回対称場は、三回対称の電場、三回対称の磁場、または三回対称の電磁場である。第１多極子３２ａは、例えば、１２極子
である。なお、第１多極子３２ａは、三回対称場を発生させることができれば、１２極子に限定されない。
【００３０】
第１多極子３２ａは、光軸ＯＰに沿った厚みを有する。ここで、厚みを持った多極子では、薄い多極子で発生する収差とは異なる収差がコンビネーション収差として現れる。三回対称場を発生させる多極子では、コンビネーション収差として負の球面収差が生じる。収差補正装置３０では、この負の球面収差を利用して照射系の正の球面収差を補正する。
【００３１】
第２多極子３２ｂおよび第３多極子３２ｃの構成は、第１多極子３２ａの構成と同じである。すなわち、第２多極子３２ｂおよび第３多極子３２ｃは、それぞれ三回対称場を発生させる。また、第２多極子３２ｂおよび第３多極子３２ｃは、それぞれ光軸ＯＰに沿った厚みを有している。
【００３２】
第１多極子３２ａと第２多極子３２ｂとの間には、第１転送レンズ系３４が配置されている。第１転送レンズ系３４は、一対の転送レンズ（第１転送レンズ３４ａおよび第２転送レンズ３４ｂ）で構成されている。また、第２多極子３２ｂと第３多極子３２ｃとの間には、第２転送レンズ系３５が配置されている。第２転送レンズ系３５は、一対の転送レンズ（第１転送レンズ３５ａおよび第２転送レンズ３５ｂ）で構成されている。
【００３３】
集束レンズ１２と第１多極子３２ａとの間には転送レンズ系３６が配置されている。転送レンズ系３６は、一対の転送レンズ（第１転送レンズ３６ａおよび第２転送レンズ３６ｂ）で構成されている。
【００３４】
なお、上記では、収差補正装置３０が、三段三回場型球面収差補正装置である場合について説明したが、収差補正装置３０では、三段三回場型球面収差補正装置に限定されず、様々なタイプの収差補正装置を用いることができる。
【００３５】
操作部５０は、ユーザーによる操作に応じた操作信号を取得し、制御部４０に送る処理を行う。操作部５０の機能は、例えば、ボタン、キー、タッチパネル型ディスプレイ、マイクなどにより実現できる。操作部５０を用いて、後述するインジケーター４の回転操作を行うことができる。
【００３６】
表示部５２は、制御部４０によって生成された画像を表示するものであり、その機能は、ＬＣＤ（liquid crystal display）などのディスプレイにより実現できる。表示部５２には、後述する収差補正装置３０を制御するためのＧＵＩ（Graphical User Interface）が表示される。
【００３７】
記憶部５４は、制御部４０が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。また、記憶部５４は、制御部４０の作業領域として用いられ、制御部４０が各種プログラムに従って実行した算出結果等を一時的に記憶するためにも使用される。記憶部５４の機能は、ハードディスクや、ＲＡＭ（random access memory）などにより実現できる。
【００３８】
制御部４０は、収差補正装置を制御する処理を行う。制御部４０の処理については後述する。制御部４０の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ（Central Processing Unit）等）でプログラムを実行することにより実現できる。
【００３９】
１．２．  操作
次に、電子顕微鏡１００において、ユーザーが所望の収差を導入する際の操作について説明する。
【００４０】
図３および図４は、収差補正装置３０を制御するためのＧＵＩを示す図である。
【００４１】
表示部５２には、収差の状態を示す収差図形２上に、収差の方向を指定するためのインジケーター４が重ねて表示される。
【００４２】
収差図形２は、図示の例では、照射系の収差の状態を表すロンチグラムである。収差図形２は、あらかじめ取得されたロンチグラムであってもよい。また、撮像装置２４で常時ロンチグラムを撮影し、表示部５２にリアルタイムにロンチグラムを表示させてもよい。
【００４３】
なお、収差図形２は、収差の状態を表す画像であれば、ロンチグラムに限定されない。
【００４４】
例えば、ＳＴＥＭの収差の計測方法として、プローブタブロー（probe tableau）法が知られている。プローブタブロー法は、試料面への電子線照射角度を変えて複数のＳＴＥＭ像を撮影し、それらをデコンボリューションすることで得られるプローブ像を基にして収差を測定する手法である。収差図形２として、このプローブ像を用いてもよい。
【００４５】
また、例えば、収差の状態を示す位相マップを収差図形２として用いてもよい。
【００４６】
インジケーター４は、収差の方向を指定するための画像である。インジケーター４は、導入する収差の種類に応じた形状を有する。例えば、インジケーター４は、収差の対称性に応じた対称性を持つ画像として表示されてもよい。導入する収差の種類が変更されると、インジケーター４の形状も変更される。
【００４７】
例えば、導入する収差が三回対称性を持つ場合、図３に示すように、インジケーター４は３つのマーカー６を有し、マーカー６が円上に１２０°間隔で配置された画像となる。これにより、三回対称性を持つ収差の方向を容易に把握することができ、直感的に、収差の方向を指定できる。
【００４８】
また、例えば、導入する収差が五回対称性を持つ場合、図４に示すように、インジケーター４は５つのマーカー６を有し、マーカー６が円上に７２°間隔で配置された画像となる。これにより、五回対称性を持つ収差の方向を容易に把握することができ、直感的に、収差の方向を指定できる。
【００４９】
なお、インジケーター４の形状は、収差の種類に応じた形状を有していれば特に限定されない。
【００５０】
図５および図６は、インジケーター４の変形例を示す図である。
【００５１】
例えば、導入する収差が三回対称性を持つ場合、図５に示すように、インジケーター４は正三角形であってもよい。これにより、三回対称性を持つ収差の方向を容易に把握することができ、直感的に、収差の方向を指定できる。
【００５２】
また、例えば、導入する収差が五回対称性を持つ場合、図６に示すように、インジケーター４は正五角形であってもよい。これにより、五回対称性を持つ収差の方向を容易に把握することができ、直感的に、収差の方向を指定できる。
【００５３】
次に、インジケーター４を用いた収差の方向の指定方法について説明する。図７は、インジケーター４の操作を説明するための図である。
【００５４】
インジケーター４は、マウスなどのポインティングデバイス（操作部５０の一例）を使用して、回転させることができる。また、表示部５２がタッチパネル型ディスプレイの場合、表示部５２に表示されたインジケーター４に手やペンなどを触れたままスライドさせることで、インジケーター４を回転させることができる。このようなインジケーター４の回転操作により、収差の方向を指定することができる。インジケーター４の回転操作後のインジケーター４が示す方向が導入される収差の方向となる。
【００５５】
次に、収差の大きさの設定方法について説明する。
【００５６】
収差の大きさは収差の方向とは異なり、数値で表したほうがわかりやすい。このため、収差の大きさは数値で指定する。なお、数値の入力に代えてマウスのホイール操作などで収差の大きさを指定してもよい。また、収差の大きさは、正の方向と負の方向の両方が設定可能である。そのため、意図的に収差を導入することもできるし、収差を補正することもできる。
【００５７】
１．３．  制御部の処理
次に、制御部４０の処理について説明する。
【００５８】
図８は、制御部４０の処理の一例を示すフローチャートである。
【００５９】
電子顕微鏡１００では、あらかじめ照射系の収差の状態を示す収差図形２としてのロンチグラムが撮影されて記憶部５４に記憶され、表示部５２に表示されている。
【００６０】
まず、制御部４０は、導入する収差の種類の情報を受け付ける（Ｓ１０）。
【００６１】
例えば、ユーザーが操作部５０を操作して導入する収差の種類の情報を入力すると、制御部４０は、操作信号を受け付けて、導入する収差の種類の情報を取得する。
【００６２】
制御部４０は、収差の種類の情報を受け付けると、収差図形２（ロンチグラム）上に、インジケーター４を重ねて表示部５２に表示させる（Ｓ２０）。このとき、制御部４０は、導入する収差の種類の情報に基づいて、導入する収差の種類に応じた形状のインジケーター４を表示部５２に表示させる。
【００６３】
次に、制御部４０は、収差の方向が指定されたか否かを判定する処理を行う（Ｓ３０）。
【００６４】
ユーザーが表示部５２に表示されたインジケーター４を回転操作してインジケーター４の方向が指定された場合に、収差の方向が指定されたと判定される。
【００６５】
制御部４０は、収差の方向が指定されたと判定した場合（Ｓ３０のＹｅｓ）、回転操作された後のインジケーター４から収差の方向を特定し、導入する収差の方向の情報を取得する（Ｓ４０）。
【００６６】
制御部４０は、収差の大きさが指定されたか否かを判定する処理を行う（Ｓ５０）。
【００６７】
ユーザーが操作部５０を介して収差の大きさを入力した場合に、収差の大きさが指定されたと判定する。
【００６８】
制御部４０は、収差の大きさが指定されたと判定した場合（Ｓ５０のＹｅｓ）、入力された収差の大きさの情報を取得する（Ｓ６０）。
【００６９】
制御部４０は、取得した収差の方向の情報および収差の大きさの情報に基づいて、指定された種類の収差が、指定された方向および大きさで導入されるように収差補正装置３０を制御する（Ｓ７０）。
【００７０】
制御部４０は、取得した収差の種類の情報、収差の方向の情報、および収差の大きさの情報に基づいて制御信号を生成し、収差補正電源コントローラー３１に送る。これにより、収差補正装置３０が動作し、指定された種類の収差が、指定された方向および大きさで導入される。
【００７１】
以上の処理により、所望の収差を導入することができる。
【００７２】
１．４．  特徴
電子顕微鏡１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００７３】
電子顕微鏡１００では、収差補正装置３０を含む光学系と、収差補正装置３０を制御する制御部４０と、を含み、制御部４０は、収差の状態を表す収差図形２上に、収差の方向を指定するためのインジケーター４を重ねて表示部５２に表示させる処理と、回転操作された後のインジケーター４から、収差の方向を特定する処理と、特定された方向に収差が導入されるように収差補正装置３０を制御する処理と、を行う。そのため、電子顕微鏡１００では、導入する収差の方向を指定する操作を直感的に行うことができ、操作性が良い。
【００７４】
電子顕微鏡１００では、制御部４０は、導入される収差の種類の情報を受け付ける処理を行い、インジケーター４を表示部５２に表示させる処理では、収差の種類の情報に基づいて、収差の種類に応じた形状を有するインジケーター４を表示部５２に表示させる。そのため、電子顕微鏡１００では、導入する収差の方向を指定する操作を、直感的に行うことができ、操作性がよい。
【００７５】
２．  第２実施形態
次に、第２実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図９は、第２実施形態に係る電子顕微鏡２００の構成を示す図である。以下、第２実施形態に係る電子顕微鏡２００において、第１実施形態に係る電子顕微鏡１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００７６】
上述した電子顕微鏡１００では、図１に示すように、収差補正装置３０が照射系に組み込まれていた。
【００７７】
これに対して、電子顕微鏡２００では、図９に示すように、収差補正装置３０が結像系に組み込まれている。収差補正装置３０は結像系の収差を補正する。
【００７８】
電子顕微鏡２００では、電子源１０から放出された電子線は、集束レンズ１２で集束されて試料Ｓに照射される。試料Ｓを透過した電子線は、対物レンズ１４、中間レンズ１８および投影レンズ２０によって結像される。結像された透過電子顕微鏡像（ＴＥＭ像）は、撮像装置２４で撮影される。電子顕微鏡２００では、収差補正装置３０によって結像系の収差を補正できるため、高分解能のＴＥＭ像を得ることができる。
【００７９】
収差補正装置３０が結像系に組み込まれる場合、収差図形２として、例えば、ディフラクトグラムタブローを用いることができる。
【００８０】
図１０は、収差補正装置３０を操作するためのＧＵＩを示す図である。
【００８１】
表示部５２には、収差の状態を示す収差図形２としてのディフラクトグラムタブロー上に、収差の方向を指定するためのインジケーター４が表示される。なお、収差図形２は、結像系の収差の状態を表す画像であれば、ディフラクトグラムタブローに限定されない。
【００８２】
電子顕微鏡２００では、電子顕微鏡１００と同様に、導入する収差の方向を指定する操作を、直感的に行うことができ、操作性がよい。
【００８３】
３．  その他
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
【００８４】
例えば、上述した実施形態では、インジケーター４は収差の種類に応じた形状を有していたが、インジケーター４は収差の方向を指定することができればその形状は限定されない。例えば、図１１に示すように、インジケーター４は矢印であってもよい。インジケーター４としての矢印によって、収差の方向を指定することができる。このようなインジケーター４によっても、導入する収差の方向を指定する操作を、直感的に行うことができる。
【００８５】
なお、上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。
【００８６】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【００８７】
２…収差図形、４…インジケーター、６…マーカー、１０…電子源、１２…集束レンズ、１３…走査コイル、１４…対物レンズ、１６…試料ステージ、１７…試料ホルダー、１８…中間レンズ、２０…投影レンズ、２２ａ…明視野ＳＴＥＭ検出器、２２ｂ…暗視野ＳＴＥＭ検出器、２４…撮像装置、３０…収差補正装置、３１…収差補正電源コントローラー、３２ａ…第１多極子、３２ｂ…第２多極子、３２ｃ…第３多極子、３４…第１転送レンズ系、３４ａ…第１転送レンズ、３４ｂ…第２転送レンズ、３５…第２転送レンズ系、３５ａ…第１転送レンズ、３５ｂ…第２転送レンズ、３６…転送レンズ系、３６ａ…第１転送レンズ、３６ｂ…第２転送レンズ、４０…制御部、５０…操作部、５２…表示部、５４…記憶部、１００…電子顕微鏡、２００…電子顕微鏡
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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