(57)【要約】【課題】エッチングレートの変動を抑制することができる基板処理方法および基板処理装置を提供すること。【解決手段】実施形態に係る基板処理方法は、エッチング工程と、雰囲気調整工程とを含む。エッチング工程は、基板に薬液を供給することによって基板をエッチングする。雰囲気調整工程は、エッチング工程において、基板に供給された薬液がさらされる雰囲気を調整することによってかかる薬液に含有されるエッチング種または酸化剤の濃度を制御する。【選択図】図５
2019009190.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に薬液を供給することによって前記基板をエッチングするエッチング工程と、
前記エッチング工程において、前記基板に供給された薬液がさらされる雰囲気を調整することによって当該薬液に含有されるエッチング種または酸化剤の濃度を制御する雰囲気調整工程と
を含むことを特徴とする基板処理方法。
【請求項２】
前記エッチング工程において、エッチングが行われる処理空間に空気を供給する空気供給工程
を含み、
前記雰囲気調整工程は、
前記空気供給工程において前記処理空間に供給される空気に対し、前記薬液にエッチング種または酸化剤として含有される成分を含んだガスを追加することによって、前記基板に供給された薬液に含有される前記エッチング種または酸化剤の濃度を制御すること
を特徴とする請求項１に記載の基板処理方法。
【請求項３】
前記エッチング工程は、
前記薬液としてＨＦ水溶液を前記基板に供給し、
前記雰囲気調整工程は、
前記エッチング工程において、前記処理空間に供給される空気に対してＨＦを含んだＨＦ含有ガスを追加することによって、前記基板に供給された薬液に含有されるＨＦの濃度を制御すること
を特徴とする請求項２に記載の基板処理方法。
【請求項４】
前記エッチング工程は、
前記薬液としてＢＨＦ水溶液を前記基板に供給し、
前記雰囲気調整工程は、
前記エッチング工程において、前記処理空間に供給される空気に対してＮＨ３を含んだＮＨ３含有ガスを追加することによって、前記基板に供給された薬液に含有されるＮＨ３の濃度を制御すること
を特徴とする請求項２に記載の基板処理方法。
【請求項５】
前記エッチング工程は、
前記薬液としてＳＣ１を前記基板に供給し、
前記雰囲気調整工程は、
前記エッチング工程において、前記処理空間に供給される空気に対してＨ２Ｏ２を含んだＨ２Ｏ２含有ガスを追加することによって、前記基板に供給された薬液に含有されるＨ２Ｏ２の濃度を制御すること
を特徴とする請求項２に記載の基板処理方法。
【請求項６】
前記エッチング工程において、エッチングが行われる処理空間に空気を供給する空気供給工程
を含み、
前記エッチング工程は、
Ｏ２を溶存させたＴＭＡＨ水溶液を前記薬液として前記基板に供給し、
前記雰囲気調整工程は、
前記エッチング工程において、前記処理空間に供給される空気に対して不活性ガスを追加して当該空気中のＯ２濃度を調整することによって、前記基板に供給された薬液に含有されるＯ２濃度を制御すること
を特徴とする請求項１に記載の基板処理方法。
【請求項７】
前記エッチング工程において、前記処理空間における前記エッチング種または酸化剤の濃度を測定する濃度測定工程
を含み、
前記雰囲気調整工程は、
前記濃度測定工程における測定結果に基づき、前記処理空間に供給される空気に対して追加するガスの流量を調整すること
を特徴とする請求項２〜６のいずれか一つに記載の基板処理方法。
【請求項８】
前記エッチング工程は、
前記基板を保持する保持部を用いて前記基板を保持し、前記保持部を回転させる回転機構を用いて前記保持部に保持された前記基板を回転させた後、回転する前記基板の中心部に前記薬液を供給することによって前記基板をエッチングし、
前記雰囲気調整工程は、
前記保持部を収容するチャンバ内の雰囲気を調整すること
を特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載の基板処理方法。
【請求項９】
前記エッチング工程は、
複数枚の前記基板を保持する保持部を用いて複数枚の前記基板を保持し、前記保持部によって保持された複数枚の前記基板を前記薬液が貯留された処理槽に浸漬させることによって、複数枚の前記基板をエッチングし、
前記雰囲気調整工程は、
前記処理槽が収容されるチャンバ内の雰囲気または前記処理槽と該処理槽の開口部に設けられた蓋体とによって形成される空間内の雰囲気を調整すること
を特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載の基板処理方法。
【請求項１０】
基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された基板に対して薬液を供給する薬液供給部と、
ガスを供給するガス供給部と、
前記薬液供給部および前記ガス供給部を制御して、前記保持部に保持された基板に前記薬液供給部から前記薬液を供給することによって前記基板をエッチングするエッチング処理と、前記エッチング処理において、前記基板に供給された薬液がさらされる雰囲気を前記ガス供給部から供給されるガスによって調整することによって当該薬液に含有されるエッチング種または酸化剤の濃度を制御する雰囲気調整処理とを実行させる制御部と
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、基板処理方法および基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体の製造工程では、シリコンウェハや化合物半導体ウェハ等の基板に薬液を供給することによって基板をエッチングするエッチング工程が行われる（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０９−０２２８９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、エッチング工程においては、薬液中のエッチング種や酸化剤の濃度が変化することによってエッチングレートが変動する場合がある。
【０００５】
たとえば、基板を枚葉処理する場合、基板の中心部と外周部とで薬液中のエッチング種や酸化剤の濃度が変化することがあり、基板の中心部と外周部とでエッチングレートにバラツキが生じるおそれがある。また、使用済みの薬液を回収して再利用する場合、薬液中のエッチング種や酸化剤の濃度が使用回数等によって変化することがあり、新鮮な薬液を使用して処理されたウェハと複数回使用された薬液を使用して処理されたウェハとでエッチングレートにバラツキが生じるおそれがある。
【０００６】
このように、上述した従来技術には、エッチングレートの変動を抑制するという点で更なる改善の余地がある。
【０００７】
実施形態の一態様は、エッチングレートの変動を抑制することができる基板処理方法および基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
実施形態の一態様に係る基板処理方法は、エッチング工程と、雰囲気調整工程とを含む。エッチング工程は、基板に薬液を供給することによって基板をエッチングする。雰囲気調整工程は、エッチング工程において、基板に供給された薬液がさらされる雰囲気を調整することによってかかる薬液に含有されるエッチング種または酸化剤の濃度を制御する。
【発明の効果】
【０００９】
実施形態の一態様によれば、エッチングレートの変動を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本実施形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。
【図２】図２は、処理ユニットの概略構成を示す図である。
【図３】図３は、基板処理システムが備える薬液供給系の構成の一例を示す図である。
【図４】図４は、第１の実施形態に係る処理ユニットにより実行される一連の基板処理の手順を示すフローチャートである。
【図５】図５は、雰囲気供給系の構成の一例を示す図である。
【図６】図６は、第２の実施形態に係る処理ユニットの概略構成を示す図である。
【図７】図７は、使用する薬液と空気雰囲気に追加する成分との組合せの例を示す図である。
【図８】図８は、ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２濃度とポリシリコン膜のエッチングレートとの関係を示す図である。
【図９】図９は、ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２濃度とポリシリコン膜のエッチングレートのウェハ面内分布との関係を示す図である。
【図１０】図１０は、処理雰囲気中のＯ２濃度とポリシリコン膜のエッチングレートのウェハ面内分布との関係を示す図である。
【図１１】図１１は、変形例に係る雰囲気供給系の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して、本願の開示する基板処理方法および基板処理装置の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１２】
（第１の実施形態）
まず、図１〜図５を参照して第１の実施形態に係る基板処理装置について説明する。
【００１３】
図１は、本実施形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。以下では、位置関係を明確にするために、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を規定し、Ｚ軸正方向を鉛直上向き方向とする。
【００１４】
図１に示すように、基板処理システム１は、搬入出ステーション２と、処理ステーション３とを備える。搬入出ステーション２と処理ステーション３とは隣接して設けられる。
【００１５】
搬入出ステーション２は、キャリア載置部１１と、搬送部１２とを備える。キャリア載置部１１には、複数枚の基板、本実施形態では半導体ウェハ（以下ウェハＷ）を水平状態で収容する複数のキャリアＣが載置される。
【００１６】
搬送部１２は、キャリア載置部１１に隣接して設けられ、内部に基板搬送装置１３と、受渡部１４とを備える。基板搬送装置１３は、ウェハＷを保持するウェハ保持機構を備える。また、基板搬送装置１３は、水平方向および鉛直方向への移動ならびに鉛直軸を中心とする旋回が可能であり、ウェハ保持機構を用いてキャリアＣと受渡部１４との間でウェハＷの搬送を行う。
【００１７】
処理ステーション３は、搬送部１２に隣接して設けられる。処理ステーション３は、搬送部１５と、複数の処理ユニット１６とを備える。複数の処理ユニット１６は、搬送部１５の両側に並べて設けられる。
【００１８】
搬送部１５は、内部に基板搬送装置１７を備える。基板搬送装置１７は、ウェハＷを保持するウェハ保持機構を備える。また、基板搬送装置１７は、水平方向および鉛直方向への移動ならびに鉛直軸を中心とする旋回が可能であり、ウェハ保持機構を用いて受渡部１４と処理ユニット１６との間でウェハＷの搬送を行う。
【００１９】
処理ユニット１６は、基板搬送装置１７によって搬送されるウェハＷに対して所定の基板処理を行う。
【００２０】
また、基板処理システム１は、制御装置４を備える。制御装置４は、たとえばコンピュータであり、制御部１８と記憶部１９とを備える。記憶部１９には、基板処理システム１において実行される各種の処理を制御するプログラムが格納される。制御部１８は、記憶部１９に記憶されたプログラムを読み出して実行することによって基板処理システム１の動作を制御する。
【００２１】
なお、かかるプログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御装置４の記憶部１９にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体としては、たとえばハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルディスク（ＭＯ）、メモリカードなどがある。
【００２２】
上記のように構成された基板処理システム１では、まず、搬入出ステーション２の基板搬送装置１３が、キャリア載置部１１に載置されたキャリアＣからウェハＷを取り出し、取り出したウェハＷを受渡部１４に載置する。受渡部１４に載置されたウェハＷは、処理ステーション３の基板搬送装置１７によって受渡部１４から取り出されて、処理ユニット１６へ搬入される。
【００２３】
処理ユニット１６へ搬入されたウェハＷは、処理ユニット１６によって処理された後、基板搬送装置１７によって処理ユニット１６から搬出されて、受渡部１４に載置される。そして、受渡部１４に載置された処理済のウェハＷは、基板搬送装置１３によってキャリア載置部１１のキャリアＣへ戻される。
【００２４】
次に、処理ユニット１６の構成について図２を参照して説明する。図２は、処理ユニット１６の概略構成を示す図である。
【００２５】
図２に示すように、処理ユニット１６は、チャンバ２０と、基板保持機構３０と、処理流体供給部４０と、回収カップ５０とを備える。
【００２６】
チャンバ２０は、基板保持機構３０と処理流体供給部４０と回収カップ５０とを収容する。チャンバ２０の天井部には、ＦＦＵ（Fan  Filter  Unit）２１が設けられる。ＦＦＵ２１は、チャンバ２０内にダウンフローを形成する。
【００２７】
基板保持機構３０は、保持部３１と、支柱部３２と、駆動部３３とを備える。保持部３１は、ウェハＷを水平に保持する。支柱部３２は、鉛直方向に延在する部材であり、基端部が駆動部３３によって回転可能に支持され、先端部において保持部３１を水平に支持する。駆動部３３は、支柱部３２を鉛直軸まわりに回転させる。かかる基板保持機構３０は、駆動部３３を用いて支柱部３２を回転させることによって支柱部３２に支持された保持部３１を回転させ、これにより、保持部３１に保持されたウェハＷを回転させる。
【００２８】
処理流体供給部４０は、ウェハＷに対して処理流体を供給する。処理流体供給部４０は、処理流体供給源７０に接続される。
【００２９】
回収カップ５０は、保持部３１を取り囲むように配置され、保持部３１の回転によってウェハＷから飛散する処理液を捕集する。回収カップ５０の底部には、排液口５１が形成されており、回収カップ５０によって捕集された処理液は、かかる排液口５１から処理ユニット１６の外部へ排出される。また、回収カップ５０の底部には、ＦＦＵ２１から供給される気体を処理ユニット１６の外部へ排出する排気口５２が形成される。
【００３０】
第１の実施形態に係る処理ユニット１６は、処理流体として、ＢＨＦ水溶液（薬液の一例）およびＤＩＷ（リンス液の一例）を処理流体供給部４０からウェハＷに対して順次供給する。なお、ＢＨＦ（バッファードフッ酸）は、ＨＦ（フッ酸）とＮＨ４Ｆ（フッ化アンモニウム）の混合物である。また、ＤＩＷは、室温（２５度程度）の純水である。
【００３１】
ここで、ＢＨＦ水溶液を供給する薬液供給系の構成の一例について図３を参照して説明する。図３は、基板処理システム１が備える薬液供給系の構成の一例を示す図である。
【００３２】
図３に示すように、基板処理システム１が備える薬液供給系は、複数の処理ユニット１６にＢＨＦ水溶液を供給する処理流体供給源７０を有している。
【００３３】
処理流体供給源７０は、ＢＨＦ水溶液を貯留するタンク１０２と、タンク１０２から出てタンク１０２に戻る循環ライン１０４とを有している。循環ライン１０４にはポンプ１０６が設けられている。ポンプ１０６は、タンク１０２から出て循環ライン１０４を通りタンク１０２に戻る循環流を形成する。ポンプ１０６の下流側において循環ライン１０４には、ＢＨＦ水溶液に含まれるパーティクル等の汚染物質を除去するフィルタ１０８が設けられている。必要に応じて、循環ライン１０４に補機類（例えばヒータ等）をさらに設けてもよい。
【００３４】
循環ライン１０４に設定された接続領域１１０には、１つまたは複数の分岐ライン１１２が接続されている。各分岐ライン１１２は、循環ライン１０４を流れるＢＨＦ水溶液を対応する処理ユニット１６に供給する。各分岐ライン１１２には、必要に応じて、流量制御弁等の流量調整機構、フィルタ等を設けることができる。
【００３５】
また、処理流体供給源７０は、回収ライン１１３を備える。回収ライン１１３は、各処理ユニット１６に一端が接続されるとともに、他端がタンク１０２へ接続される。各処理ユニット１６において使用されたＢＨＦ水溶液は、かかる回収ライン１１３を通ってタンク１０２に回収される。
【００３６】
薬液供給系は、新たなＢＨＦ水溶液をタンク１０２に補充するタンク液補充部１１６を有している。タンク１０２には、タンク１０２内の処理液を廃棄するためのドレン部１１８が設けられている。
【００３７】
次に、第１の実施形態に係る処理ユニット１６により実行される一連の基板処理の手順について図４を参照して説明する。図４は、第１の実施形態に係る処理ユニット１６により実行される一連の基板処理の手順を示すフローチャートである。なお、図４に示す一連の基板処理は、制御部１８が処理ユニット１６等を制御することによって実行される。制御部１８は、たとえばＣＰＵ（Central  Processing  Unit）であり、記憶部１９に記憶された図示しないプログラムに従って処理ユニット１６等を制御する。
【００３８】
図４に示すように、処理ユニット１６では、まず、ウェハＷの搬入処理が行われる（ステップＳ１０１）。かかる搬入処理では、基板搬送装置１７（図１参照）が保持部３１（図２参照）の支持ピン（図示略）上にウェハＷを載置した後、基板保持機構３０（図２参照）に設けられ、ウェハＷを側面から保持するチャック（図示略）がウェハＷを保持する。
【００３９】
つづいて、処理ユニット１６では、エッチング処理が行われる（ステップＳ１０２）。エッチング処理では、まず、駆動部３３が保持部３１を回転させることにより、保持部３１に保持されたウェハＷを所定の回転数で回転させる。つづいて、処理流体供給部４０のノズルがウェハＷの中央上方に位置する。
【００４０】
その後、タンク１０２から循環ライン１０４および分岐ライン１１２を介して供給されるＢＨＦ水溶液が、ノズルからウェハＷの表面へ供給される。ウェハＷへ供給されたＢＨＦ水溶液は、ウェハＷの回転に伴う遠心力によってウェハＷの表面の全面に広げられる。これにより、ウェハＷの表面に形成された膜（たとえば熱酸化膜等）がＢＨＦ水溶液によってエッチングされる。
【００４１】
つづいて、処理ユニット１６では、ウェハＷの表面をＤＩＷですすぐリンス処理が行われる（ステップＳ１０３）。かかるリンス処理では、図示略のＤＩＷ供給源から供給されるＤＩＷが処理流体供給部４０のノズルからウェハＷの表面へ供給され、ウェハＷに残存するＢＨＦ水溶液を洗い流す。
【００４２】
つづいて、処理ユニット１６では、乾燥処理が行われる（ステップＳ１０４）。かかる乾燥処理では、ウェハＷの回転速度を増速させることによってウェハＷ上のＤＩＷを振り切ってウェハＷを乾燥させる。
【００４３】
つづいて、処理ユニット１６では、搬出処理が行われる（ステップＳ１０５）。かかる搬出処理では、駆動部３３によるウェハＷの回転が停止した後、ウェハＷが基板搬送装置１７（図１参照）によって処理ユニット１６から搬出される。かかる搬出処理が完了すると、１枚のウェハＷについての一連の基板処理が完了する。
【００４４】
エッチングレートは薬液中のエッチング種や酸化剤の濃度に依存する。しかしながら、薬液中のエッチング種や酸化剤の濃度は、エッチング処理中にエッチング種や酸化剤の失活や揮発によって変化する。このため、エッチング処理においては、エッチング種や酸化剤の濃度変化によってエッチングレートが変動するおそれがある。
【００４５】
たとえば、第１の実施形態に係る処理ユニット１６のように使用済みの薬液を回収して再利用する場合、ウェハＷの処理枚数が増えていくと、薬液中のエッチング種の濃度が蒸発等によって変化してエッチングレートが変動することがある。これにより、処理単位間におけるエッチングレートの均一性が悪化するおそれがある。
【００４６】
また、第１の実施形態に係る処理ユニット１６のようにウェハＷを枚葉処理する場合には、薬液中のエッチング種または酸化剤の濃度がウェハＷ面内で変化することによって、エッチングレートの面内均一性が悪化するおそれもある。
【００４７】
また、薬液中のエッチング種や酸化剤が蒸発することにより、薬液中の液面に近い部分と液面から遠い部分とでエッチング種や酸化剤の濃度に差が生じることもある。このため、たとえば、ウェハＷに凹凸状のパターン（いわゆるトレンチ構造）が形成されている場合に、パターンの上部と下部でのエッチングレートの均一性が悪化するおそれがある。
【００４８】
そこで、第１の実施形態に係る基板処理システム１では、ウェハＷに供給された薬液がさらされる雰囲気を調整することによってウェハＷに供給された薬液に含有されるエッチング種または酸化剤の濃度を制御することで、薬液中におけるエッチング種や酸化剤の濃度変化を抑えることとした。
【００４９】
かかる点について図５を参照して説明する。図５は、雰囲気供給系の構成の一例を示す図である。
【００５０】
図５に示すように、第１の実施形態に係る基板処理システム１は、処理ユニット１６のチャンバ２０（処理空間の一例）内に雰囲気を供給する雰囲気供給系として、空気を供給する空気供給系と、水分を供給する水分供給系と、ＮＨ３含有ガスを供給するＮＨ３含有ガス供給系と、ＨＦ含有ガスを供給するＨＦ含有ガス供給系とを備える。
【００５１】
空気供給系は、ＦＦＵ２１に一端が接続される空気供給路２１１と、空気供給路２１１の他端に接続される空気供給源２１２とを備える。
【００５２】
かかる空気供給系は、空気供給源２１２から供給される空気を空気供給路２１１経由でＦＦＵ２１からチャンバ２０の内部に供給する。なお、空気供給源２１２から供給される空気は、たとえば基板処理システム１が設置されるクリーンルーム内の空気（清浄空気、湿度３０〜５０％）であるものとするが、これに限らず、たとえばクリーンルーム内の空気よりも低湿度のドライエア等であってもよい。
【００５３】
水分供給系は、たとえば空気供給路２１１の中途部に一端が接続される水分供給路３０１ａと、水分供給路３０１ａの他端に接続されるＨ２Ｏ供給源３０２ａと、水分供給路３０１ａの中途部に設けられる水蒸気生成部３０３ａとを備える。水蒸気生成部３０３ａは、たとえば加湿器等である。
【００５４】
かかる水分供給系は、Ｈ２Ｏ供給源３０２ａから供給される水（たとえばＤＩＷ）を水蒸気生成部３０３ａに供給し、水蒸気生成部３０３ａによって生成される水蒸気を水分供給路３０１ａ経由で空気供給路２１１に供給する。これにより、空気供給路２１１を流れる空気に水蒸気が追加される。
【００５５】
ＮＨ３含有ガス供給系は、たとえば空気供給路２１１の中途部に一端が接続されるＮＨ３含有ガス供給路３０１ｂと、ＮＨ３含有ガス供給路３０１ｂの他端に接続されるＮＨ３含有ガス供給源３０２ｂとを備える。また、ＮＨ３含有ガス供給系は、ＮＨ３含有ガス供給路３０１ｂの中途部に、ＮＨ３含有ガス供給路３０１ｂを開閉するバルブ３０３ｂと、ＮＨ３含有ガス供給路３０１ｂを流通するＮＨ３含有ガスの流量を調整する流量調整部３０４ｂとを備える。
【００５６】
かかるＮＨ３含有ガス供給系は、ＮＨ３含有ガス供給源３０２ｂから供給されるＮＨ３ガスをＮＨ３含有ガス供給路３０１ｂ経由で空気供給路２１１に供給する。これにより、空気供給路２１１を流れる空気にＮＨ３ガスが追加される。
【００５７】
なお、ＮＨ３含有ガス供給系によって供給されるＮＨ３含有ガスは、少なくともＮＨ３を含んでいればよく、必ずしもＮＨ３ガスであることを要しない。たとえば、ＮＨ３含有ガス供給系は、ＮＨ３ガスに代えてＮＨ４ＯＨガスをチャンバ２０内に供給してもよい。
【００５８】
ＨＦ含有ガス供給系は、たとえば空気供給路２１１の中途部に一端が接続されるＨＦ含有ガス供給路３０１ｃと、ＨＦ含有ガス供給路３０１ｃの他端に接続されるＨＦ含有ガス供給源３０２ｃとを備える。また、ＨＦ含有ガス供給系は、ＨＦ含有ガス供給路３０１ｃの中途部に、ＨＦ含有ガス供給路３０１ｃを開閉するバルブ３０３ｃと、ＨＦ含有ガス供給路３０１ｃを流通するＨＦ含有ガスの流量を調整する流量調整部３０４ｃとを備える。
【００５９】
かかるＨＦ含有ガス供給系は、ＨＦ含有ガス供給源３０２ｃから供給されるＨＦガスをＨＦ含有ガス供給路３０１ｃ経由で空気供給路２１１に供給する。これにより、空気供給路２１１を流れる空気にＨＦガスが追加される。なお、ＨＦ含有ガス供給系により供給されるＨＦ含有ガスは、少なくともＨＦを含んでいればよく、必ずしもＨＦガスであることを要しない。
【００６０】
このように、第１の実施形態に係る基板処理システム１では、空気供給系に対し、水分供給系とＮＨ３含有ガス供給系とＨＦ含有ガス供給系とが接続される。これにより、ＦＦＵ２１からは、空気に対して水分とＮＨ３ガスとＨＦガスとが追加された雰囲気がチャンバ２０内に供給されることとなる。
【００６１】
制御部１８は、図４に示すステップＳ１０１の搬入処理後、ステップＳ１０２のエッチング処理前に、空気供給系からチャンバ２０内に供給される空気に対して水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスを追加する。たとえば、制御部１８は、ステップＳ１０１において基板搬送装置１７（図１参照）をチャンバ２０から退出させてチャンバ２０の図示しないシャッターを閉じた後、水蒸気生成部３０３ａによる水蒸気の生成を開始させるとともに、バルブ３０３ｂ，３０３ｃを開いてチャンバ２０内へのＮＨ３ガスおよびＨＦガスの供給を開始させる。
【００６２】
この結果、ステップＳ１０２のエッチング処理において、処理流体供給部４０のノズル４１からウェハＷに供給されたＢＨＦ水溶液は、ＢＨＦ水溶液にエッチング種として含有されるＮＨ３およびＨＦを含んだ雰囲気にさらされることとなる。
【００６３】
上述したように、枚葉処理を行う場合には、薬液中のエッチング種の濃度がウェハＷ面内で変化することによってエッチングレートの面内均一性が悪化するおそれがある。たとえば、薬液としてＢＨＦ水溶液を使用する場合、エッチング種であるＮＨ３やＨＦが蒸発するが、特にＮＨ３が蒸発しやすい傾向があり、相対的にＨＦの濃度が高くなるため、ウェハＷの外周部におけるエッチングレートが、ウェハＷの中心部におけるエッチングレートと比較して高くなるおそれがある。
【００６４】
これに対し、第１の実施形態に係る基板処理システム１では、ウェハＷに供給されたＢＨＦ水溶液に対し、ＮＨ３およびＨＦを含んだ雰囲気を接触させることにより、雰囲気中のＮＨ３およびＨＦをＢＨＦ水溶液中に取り込ませることができる。つまり、ＢＨＦ水溶液に対し、ＮＨ３およびＨＦを補填することができる。これにより、ウェハＷに供給されたＢＨＦ水溶液のウェハＷ面内におけるＮＨ３およびＨＦの濃度変化を抑えることができる。したがって、第１の実施形態に係る基板処理システム１によれば、ウェハＷの中心部におけるエッチングレートと外周部におけるエッチングレートとのバラツキを抑えることができる。すなわち、エッチングレートのウェハＷ面内における変動を抑制することができる。
【００６５】
また、ＮＨ３およびＨＦが補填されたＢＨＦ水溶液が回収されることで、循環によるＮＨ３およびＨＦの濃度変化も抑えられるため、第１の実施形態に係る基板処理システム１によれば、処理単位間におけるエッチングレートの変動も抑えることができる。
【００６６】
また、第１の実施形態に係る基板処理システム１では、空気供給系から供給される空気に対し、エッチング種であるＮＨ３およびＨＦだけでなく水分も追加することとしている。したがって、水分の蒸発に伴うＮＨ３およびＨＦの濃度変化も抑えることができる。なお、水分供給系から供給される水分により、チャンバ２０内の雰囲気は５０％以上の湿度に調整される。
【００６７】
図５に示すように、第１の実施形態に係る基板処理システム１は、チャンバ２０内の雰囲気の湿度を測定する湿度計４０１ａと、チャンバ２０内の雰囲気におけるＮＨ３濃度を測定するＮＨ３濃度計４０１ｂと、チャンバ２０内の雰囲気におけるＨＦ濃度を測定するＨＦ濃度計４０１ｃとを備える。
【００６８】
湿度計４０１ａ、ＮＨ３濃度計４０１ｂおよびＨＦ濃度計４０１ｃは、それぞれエッチング処理中におけるチャンバ２０内の雰囲気の湿度（水分濃度）、ＮＨ３濃度、ＨＦ濃度を測定する。
【００６９】
制御部１８は、これら湿度計４０１ａ、ＮＨ３濃度計４０１ｂおよびＨＦ濃度計４０１ｃによる測定結果に応じて水蒸気生成部３０３ａおよび流量調整部３０４ｂ，３０４ｃを制御することにより、空気供給系からチャンバ２０内に供給される空気に対して追加する水分、ＮＨ３ガス、ＨＦガスの流量を調整する。
【００７０】
たとえば、制御部１８は、湿度計４０１ａ、ＮＨ３濃度計４０１ｂおよびＨＦ濃度計４０１ｃによる測定結果が一定となるように、つまり、チャンバ２０内の雰囲気の湿度、ＮＨ３の濃度、ＨＦの濃度が一定となるように、水蒸気生成部３０３ａおよび流量調整部３０４ｂ，３０４ｃを制御する。これにより、エッチングレートの変動をより高精度に抑えることができる。
【００７１】
ステップＳ１０２のエッチング処理を終えると、制御部１８は、水蒸気生成部３０３ａによる水蒸気の生成を停止させるとともに、バルブ３０３ｂ，３０３ｃを閉じてチャンバ２０内へのＮＨ３ガスおよびＨＦガスの供給を停止させる。
【００７２】
ここでは、チャンバ２０内に水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスを供給することとしたが、基板処理システム１は、必ずしも水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスの全てをチャンバ２０内に供給することを要しない。たとえば、基板処理システム１は、水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスのうちの何れか１つまたは何れか２つをチャンバ２０内に供給することとしてもよい。
【００７３】
上述してきたように、第１の実施形態に係る基板処理システム１（基板処理装置の一例）は、保持部３１と、処理流体供給部４０（薬液供給部の一例）と、ＦＦＵ２１を含む雰囲気供給系（ガス供給部の一例）と、制御部１８とを備える。保持部３１は、ウェハＷ（基板の一例）を保持する。処理流体供給部４０は、保持部３１に保持されたウェハＷに対してＢＨＦ水溶液（薬液の一例）を供給する。雰囲気供給系は、空気、水分、ＮＨ３含有ガスおよびＨＦ含有ガスを供給する。制御部１８は、処理流体供給部４０および雰囲気供給系を制御して、保持部３１に保持されたウェハＷに処理流体供給部４０からＢＨＦ水溶液を供給することによってウェハＷをエッチングするエッチング処理と、エッチング処理において、ウェハＷに供給されたＢＨＦ水溶液がさらされる雰囲気を雰囲気供給系から供給される水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスによって調整することによってＢＨＦ水溶液に含有されるＮＨ３およびＨＦ（エッチング種または酸化剤の一例）の濃度を制御する雰囲気調整処理と実行させる。
【００７４】
したがって、第１の実施形態に係る基板処理システム１によれば、エッチングレートの変動を抑制することができる。
【００７５】
なお、ここでは、水分供給系、ＮＨ３含有ガス供給系およびＨＦ含有ガス供給系を空気供給系に接続して水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスをＦＦＵ２１からチャンバ２０内に供給することとしたが、水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスは、必ずしもＦＦＵ２１から供給されることを要しない。すなわち、ＦＦＵ２１以外の場所に水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスの供給口を設け、かかる供給口からチャンバ２０内に水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスを供給してもよい。
【００７６】
（第２の実施形態）
上述した第１の実施形態では、ウェハＷを枚葉処理する場合の例について説明したが、本願の開示する基板処理方法は、複数枚のウェハＷを１つの処理単位としてまとめて処理するバッチ処理を行う場合にも適用可能である。そこで、以下では、バッチ処理の例について説明する。
【００７７】
図６は、第２の実施形態に係る処理ユニットの概略構成を示す図である。なお、以下の説明では、既に説明した部分と同様の部分については、既に説明した部分と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００７８】
図６に示すように、第２の実施形態に係る処理ユニット１６Ａは、チャンバ２０Ａと、チャンバ２０Ａの内部に設けられた処理槽６０および外槽８０とを有しており、処理槽６０内に薬液としてのＢＨＦ水溶液が貯留される。そして、後述するＢＨＦ水溶液供給源６１から処理槽６０内に設けられたノズル６２を介して処理槽６０内にＢＨＦ水溶液を供給することにより、処理槽６０の内部にＢＨＦ水溶液が貯留される。そして、処理槽６０に貯留されたＢＨＦ水溶液中に、後述する保持部３１Ａによって保持された複数枚のウェハＷを浸漬させ、処理槽６０からＢＨＦ水溶液をオーバーフローさせながらエッチング処理が行われる。処理槽６０からオーバーフローしたＢＨＦ水溶液は、外槽８０によって受け止められた後、ノズル６２から再び処理槽６０へ供給される。
【００７９】
チャンバ２０Ａには、ＦＦＵ２１が設けられている。ＦＦＵ２１には、空気供給路２１１を介して空気供給源２１２が接続されており、空気供給源２１２から供給される空気が空気供給路２１１を介してＦＦＵ２１からチャンバ２０Ａ内に供給される。
【００８０】
保持部３１Ａは、たとえば５０枚のウェハＷを垂直に且つ互いに間隔をあけて保持する。保持部３１Ａは、図示しない駆動機構により上下動することによって複数枚のウェハＷを処理槽６０に対して出し入れすることができる。
【００８１】
処理槽６０には、処理槽６０上部の開口部を覆う蓋体６３が開閉自在に設けられている。蓋体６３は分割片６３ａ，６３ｂに２分割されている。蓋体６３によって処理槽６０が閉じられることにより、処理槽６０の内部には略密閉された閉空間が形成される。
【００８２】
処理槽６０と蓋体６３とによって形成される閉空間内には、ノズル４２が配置される。ノズル４２には、第１の実施形態において説明したものと同様の水分供給系、ＮＨ３含有ガス供給系およびＨＦ含有ガス供給系が接続される。
【００８３】
また、処理ユニット１６Ａには、第１の実施形態において説明したものと同様の湿度計４０１ａ、ＮＨ３濃度計４０１ｂおよびＨＦ濃度計４０１ｃが設けられる。湿度計４０１ａ、ＮＨ３濃度計４０１ｂおよびＨＦ濃度計４０１ｃは、それぞれ、処理槽６０と蓋体６３とによって形成される閉空間内の雰囲気の湿度、ＮＨ３濃度およびＨＦ濃度を測定する。
【００８４】
ノズル６２には供給配管６４の一端部が接続され、供給配管６４の他端側には、ＢＨＦ水溶液供給源６１が配置されている。供給配管６４には、ＢＨＦ水溶液供給源６１から延びる配管６５が接続される。配管６５の中途部には、バルブ６６が設けられる。
【００８５】
供給配管６４は、外槽８０へオーバーフローしたＢＨＦ水溶液を処理槽６０内へ戻す循環経路を形成する。かかる供給配管６４には、上流側から順にポンプ６７、フィルタ６８およびバルブ６９が設けられている。
【００８６】
処理槽６０の底部には、排出配管８１が接続されており、排出配管８１にはバルブ８２が設けられている。ＢＨＦ水溶液を入れ替える際には、バルブ８２を開にして処理槽６０に貯留されているＢＨＦ水溶液を排出配管８１から排出し、その後バルブ８２を閉じて次のＢＨＦ水溶液を処理槽６０内に供給する。
【００８７】
処理ユニット１６Ａの蓋体６３ならびにバルブ６６，６９，８２やポンプ６７等は、制御部１８Ａによって制御される。
【００８８】
上記のように構成された処理ユニット１６Ａにおいて、エッチング処理は以下のように実施される。まず、処理ユニット１６Ａでは、図示しない基板搬送装置を用いて複数枚のウェハＷを処理ユニット１６Ａのチャンバ２０Ａ内に搬入して保持部３１Ａに受け渡す。
【００８９】
つづいて、処理槽６０の蓋体６３を開き、図示しない駆動機構により保持部３１Ａを降下させて、複数枚のウェハＷを処理槽６０に貯留されたＢＨＦ水溶液に浸漬させる。その後、蓋体６３を閉じて、処理槽６０と蓋体６３との間に閉空間を形成する。
【００９０】
つづいて、ノズル６２から処理槽６０内にＢＨＦ水溶液を供給し、ＢＨＦ水溶液を処理槽６０からオーバーフローさせながら、複数枚のウェハＷをＢＨＦ水溶液に浸漬させた状態を所定時間維持することにより、複数枚のウェハＷをエッチングする。
【００９１】
上記エッチング処理において、制御部１８Ａは、たとえば処理槽６０の蓋体６３を閉じた後、すなわち、処理槽６０と蓋体６３とによって閉空間が形成された後、かかる閉空間に対し、水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスの混合ガスをノズル４２から供給する。
【００９２】
これにより、処理槽６０に貯留されたＢＨＦ水溶液がＮＨ３およびＨＦを含んだ雰囲気にさらされることとなり、かかる雰囲気中のＮＨ３およびＨＦがＢＨＦ水溶液中に取り込まれることで、蒸発等によってＢＨＦ水溶液から失われたＮＨ３およびＨＦが補填される。そして、ＮＨ３およびＨＦが補填されたＢＨＦ水溶液が回収されることで、循環回収に伴うＮＨ３およびＨＦの濃度変化が抑えられる。これにより、処理単位間におけるエッチングレートの変動を抑制することができる。
【００９３】
また、エッチング種であるＮＨ３およびＨＦだけでなく水分も追加することで、水分の蒸発によるＮＨ３およびＨＦの濃度変化も抑えることができる。
【００９４】
このように、本願の開示する基板処理方法は、枚葉処理に限らずバッチ処理にも適用可能である。
【００９５】
なお、処理ユニット１６Ａにおいては、処理槽６０に貯留されたＢＨＦ水溶液から水分、ＮＨ３およびＨＦが絶えず蒸発していく可能性がある。このため、水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスをエッチング処理中に限らず常時供給することとしてもよい。
【００９６】
また、ここでは、水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスを処理槽６０と蓋体６３とによって形成される閉空間に供給することとしたが、水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスは、たとえばＦＦＵ２１からチャンバ２０Ａ内に供給することとしてもよい。
【００９７】
（第３の実施形態）
上述した第１および第２の実施形態では、ＢＨＦ水溶液を用いてウェハＷをエッチングする場合に、ＢＨＦ水溶液に含有される水分、ＮＨ３およびＨＦのガスを空気雰囲気に追加することにより、ＢＨＦ水溶液中のＮＨ３およびＨＦの濃度変化を抑えることとした。しかし、本願の開示する基板処理方法は、ＢＨＦ水溶液以外の薬液を使用する場合にも適用可能である。そこで、以下では、ＢＨＦ水溶液以外の薬液を使用する場合の例について説明する。
【００９８】
図７は、使用する薬液と空気雰囲気に追加する成分との組合せの例を示す図である。図７に示すように、エッチング処理に使用される薬液としては、上述したＢＨＦ水溶液以外に、たとえば、ＨＦ水溶液、混酸水溶液、ＳＣ１およびＴＭＡＨ水溶液がある。
【００９９】
ＨＦ水溶液のうち、ＨＦ濃度が１ｗｔ％未満のＨＦ水溶液（以下、「低ＨＦ水溶液」と記載する）は、水分が蒸発しやすい。そこで、薬液として低ＨＦ水溶液を使用する場合には、空気供給系から供給される空気に対して水分を追加することが好ましい。これにより、低ＨＦ水溶液にエッチング種として含有されるＨＦの濃度が水分の蒸発によって変化することを抑制することができる。
【０１００】
薬液として低ＨＦ水溶液を使用する場合の処理ユニットの構成は、たとえば、処理ユニット１６，１６ＡからＮＨ３含有ガス供給系、ＨＦ含有ガス供給系、ＮＨ３濃度計４０１ｂおよびＨＦ濃度計４０１ｃを除去した構成とすることができる。
【０１０１】
一方、ＨＦ水溶液のうち、ＨＦ濃度が１０ｗｔ％超のＨＦ水溶液（以下、「高ＨＦ水溶液」と記載する）は、水分に加えてＨＦも蒸発しやすい。そこで、薬液として高ＨＦ水溶液を使用する場合には、空気供給系から供給される空気に対し、水分およびＨＦ含有ガスを追加することが好ましい。これにより、高ＨＦ水溶液にエッチング種として含有されるＨＦの濃度が水分およびＨＦの蒸発によって変化することを抑制することができる。
【０１０２】
薬液として高ＨＦ水溶液を使用する場合の処理ユニットの構成は、たとえば、処理ユニット１６，１６ＡからＮＨ３含有ガス供給系およびＮＨ３濃度計４０１ｂを除去した構成とすることができる。
【０１０３】
混酸水溶液は、水分の他、酢酸（ＣＨ３ＣＯＯＨ）および硝酸（ＨＮＯ３）も蒸発しやすい。そこで、薬液として混酸水溶液を使用する場合には、空気供給系から供給される空気に対し、水分、酢酸および硝酸を追加することが好ましい。これにより、混酸水溶液にエッチング種として含有される酢酸および硝酸の濃度が、水分、酢酸および硝酸の蒸発によって変化することを抑制することができる。
【０１０４】
混酸水溶液を使用する場合の処理ユニットの構成は、たとえば、処理ユニット１６，１６ＡからＮＨ３含有ガス供給系、ＨＦ含有ガス供給系、ＮＨ３濃度計４０１ｂおよびＨＦ濃度計４０１ｃを除外し、酢酸を含有する酢酸含有ガス（たとえば酢酸ガス）を供給する酢酸含有ガス供給系、硝酸を含有する硝酸含有ガス（たとえば硝酸ガス）を供給する硝酸含有ガス供給系、処理雰囲気中の酢酸濃度を測定する酢酸濃度計および処理雰囲気中の硝酸濃度を測定する硝酸濃度計を追加した構成とすることができる。なお、混酸水溶液は、たとえば、タングステンやチタン等の金属膜をエッチングする場合に用いられる。
【０１０５】
ＳＣ１およびＴＭＡＨ水溶液は、たとえば、ポリシリコン膜をエッチングする場合に用いられる薬液であり、ＳＣ１に含まれるＮＨ３やＴＭＡＨ水溶液に含まれるＴＭＡＨは、シリコンを溶解するエッチング種である。しかし、エッチング種だけではエッチングレートのシリコン結晶面方位の依存性が大きく、ポリシリコン膜の表面荒れやシリコン残渣が生じるおそれがある。そこで、ＳＣ１およびＴＭＡＨには、酸化剤としてＨ２Ｏ２およびＯ２がそれぞれ含有される。これらの酸化剤により、ポリシリコン膜の表面が酸化されて、シリコン結晶面方位のエッチング量のバラツキが緩和されることで、ポリシリコン膜の表面荒れやシリコン残渣の発生を防止することができる。
【０１０６】
ＳＣ１は、エッチング種がＮＨ３であり、酸化剤がＨ２Ｏ２である。ＮＨ３は揮発し易く、Ｈ２Ｏ２は分解し易いため、これらＮＨ３およびＨ２Ｏ２の濃度変化によってエッチングレートがウェハＷの面内で変化する。そこで、薬液としてＳＣ１を使用する場合、空気供給系から供給される空気に対し、水分、ＮＨ３ガスおよびＨ２Ｏ２ガスを追加することが好ましい。これにより、ウェハＷに供給されたＳＣ１中のＮＨ３およびＨ２Ｏ２の濃度変化が抑えられるため、ウェハＷ面内におけるエッチングレートの変動を抑制することができる。
【０１０７】
薬液としてＳＣ１を使用する場合の処理ユニットの構成は、たとえば、処理ユニット１６，１６ＡからＨＦ含有ガス供給系およびＨＦ濃度計４０１ｃを除外し、Ｈ２Ｏ２を含有するＨ２Ｏ２含有ガス（たとえばＨ２Ｏ２ガス）を供給するＨ２Ｏ２含有ガス供給系、および、処理雰囲気中のＨ２Ｏ２濃度を測定するＨ２Ｏ２濃度計を追加した構成とすることができる。
【０１０８】
ＴＭＡＨ水溶液は、エッチング種がＴＭＡＨであり、酸化剤がＯ２である。かかるＴＭＡＨ水溶液によるポリシリコン膜のエッチングレートは、ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２濃度に依存する。
【０１０９】
この点について図８〜図１０を参照して説明する。図８は、ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２濃度とポリシリコン膜のエッチングレートとの関係を示す図である。図９は、ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２濃度とポリシリコン膜のエッチングレートのウェハ面内分布とを示す図である。図１０は、処理雰囲気中のＯ２濃度とポリシリコン膜のエッチングレートのウェハ面内分布との関係を示す図である。
【０１１０】
なお、図８および図９は、ＴＭＡＨ水溶液を用いた枚葉処理によるポリシリコン膜のエッチングを空気雰囲気中で行った場合の結果を示している。
【０１１１】
図８および図９に示すように、ポリシリコン膜のエッチングレートは、ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２濃度が高いほど低くなる傾向がある。これは、ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２濃度が高いと、ポリシリコン膜の表面に酸化膜が形成されてポリシリコン膜が保護されることにより、ＴＭＡＨによるポリシリコン膜のエッチングが抑制されるためと考えられる。
【０１１２】
また、ＴＭＡＨ水溶液を用いたポリシリコン膜のエッチングを空気雰囲気下およびＮ２雰囲気下でそれぞれ行ったところ、空気雰囲気下とＮ２雰囲気下とでポリシリコン膜のエッチングレートのウェハＷ面内分布が変化することがわかった。
【０１１３】
具体的には、図１０に示すように、空気雰囲気下でエッチングを行った場合、ポリシリコン膜のエッチングレートは、ウェハＷの中心部と比較して外周部が低くなることがわかった。これは、空気雰囲気のように処理雰囲気中のＯ２濃度が比較的高い場合には、ＴＭＡＨ水溶液がウェハＷの中心部から外周部に流れるにつれて、処理雰囲気中のＯ２がＴＭＡＨ水溶液中に取り込まれることにより、ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２濃度が高くなるためと考えられる。ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２濃度が高くなるほどエッチングレートは低くなるのは図８に示す通りである。
【０１１４】
これに対し、Ｎ２雰囲気下でエッチングを行った場合、ポリシリコン膜のエッチングレートは、ウェハＷの中心部と比較して外周部が高くなることがわかった。これは、Ｎ２雰囲気のように処理雰囲気中のＯ２濃度が低い場合には、ＴＭＡＨ水溶液がウェハＷの中心部から外周部に流れるにつれて、ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２が揮発によりＴＭＡＨ水溶液から処理雰囲気中に抜け出ていくことにより、ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２濃度が低下するためと考えられる。
【０１１５】
このように、ウェハＷに供給されたＴＭＡＨ水溶液の溶存Ｏ２濃度はウェハＷ面内で変化するが、その変化の態様は処理雰囲気中のＯ２濃度によって変化する。したがって、処理雰囲気中のＯ２濃度を調整することにより、ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２のウェハＷ面内における濃度変化を抑制することが可能である（図１０の実線参照）。
【０１１６】
処理雰囲気中のＯ２濃度は、たとえば空気雰囲気に対してＮ２ガス等の不活性ガスを追加することによって調整することができる。空気中のＯ２濃度は約２１％であることから、不活性ガスの追加により、処理雰囲気中のＯ２濃度を０％超２１％未満の範囲で調整することが可能である。ＴＭＡＨ水溶液中の最適な溶存Ｏ２濃度は１〜１０ｐｐｍであり、処理雰囲気中のＯ２濃度を上記の範囲（０〜２１％）で調整することにより、ＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２濃度をウェハＷ面内で一定にすることができる。
【０１１７】
このように、処理雰囲気中のＯ２濃度を調整してＴＭＡＨ水溶液中の溶存Ｏ２の濃度変化を抑制することで、ウェハＷ面内におけるエッチングレートの変動を抑制することが可能である。
【０１１８】
薬液としてＴＭＡＨ水溶液を使用する場合の処理ユニットの構成は、たとえば、処理ユニット１６，１６ＡからＮＨ３含有ガス供給系、ＨＦ含有ガス供給系、ＮＨ３濃度計４０１ｂおよびＨＦ濃度計４０１ｃを除去し、Ｎ２ガスやアルゴンガス等の不活性ガスを供給する不活性ガス供給系と、処理雰囲気中のＯ２濃度を測定するＯ２濃度計を追加した構成とすることができる。なお、Ｏ２ガスを供給するＯ２ガス供給系を設けることで、処理雰囲気中のＯ２濃度を２１％以上に上昇させることも可能である。
【０１１９】
（その他の実施形態）
ウェハＷを枚葉処理する場合、空気供給系から供給される空気に対して追加するガスを、ウェハＷに供給された薬液に対して直接供給するようにしてもよい。かかる点について図１１を参照して説明する。図１１は、変形例に係る雰囲気供給系の構成を示す図である。
【０１２０】
図１１に示すように、変形例に係る処理ユニット１６Ｂにおいて、水分供給系、ＮＨ３含有ガス供給系およびＨＦ含有ガス供給系は、チャンバ２０内に配置されるノズル４２に接続される。また、湿度計４０１ａ、ＮＨ３濃度計４０１ｂおよびＨＦ濃度計４０１ｃは、回収カップ５０内における雰囲気の湿度、ＮＨ３濃度およびＨＦ濃度をそれぞれ測定する。
【０１２１】
変形例に係る処理ユニット１６Ｂでは、エッチング処理において、ノズル４２をウェハＷの上方に配置させ、水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスの混合ガスをノズル４２からウェハＷに供給されたＢＨＦ水溶液に対して直接供給する。これにより、第１の実施形態に係る処理ユニット１６のようにＦＦＵ２１から供給する場合と同じように、ウェハＷに供給されたＢＨＦ水溶液中のＮＨ３およびＨＦの濃度変化を抑えることができる。
【０１２２】
また、変形例に係る処理ユニット１６Ｂでは、ウェハＷ面内におけるノズル４２の位置（ガスの吐出位置）を調整することで、処理雰囲気中に含まれる水分、ＮＨ３およびＨＦの濃度をウェハＷの面内で変化させることができる。これにより、たとえば、エッチングレートをウェハＷ面内において局所的に高くしたり低くしたりすることも可能である。
【０１２３】
ここでは、薬液がＢＨＦ水溶液である場合を例に挙げて説明したが、ＢＨＦ水溶液以外の薬液を用いる場合についても同様である。たとえば、薬液としてＴＭＡＨ水溶液を使用する場合には、不活性ガス供給系をノズル４２に接続して、ウェハＷに供給されたＴＭＡＨ水溶液に対してノズル４２から不活性ガスを直接供給してもよい。
【０１２４】
また、たとえば薬液としてＢＨＦ水溶液を使用する場合に、水分、ＮＨ３ガスおよびＨＦガスを空気とともにＦＦＵ２１からチャンバ２０内に供給しつつ、ウェハＷに供給されたＢＨＦ水溶液に対してノズル４２から不活性ガスを直接供給してもよい。この場合、たとえばノズル４２からウェハＷの中心部に向けて不活性ガスを供給することで、水分、ＮＨ３およびＨＦの濃度をウェハＷの中心部において低くし、ウェハＷの外周部において高くすることが可能である。
【０１２５】
さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。
【符号の説明】
【０１２６】
Ｗ  ウェハ
１  基板処理システム
１６  処理ユニット
１８  制御部
２０  チャンバ
２１  ＦＦＵ
４０  処理流体供給部
２１２  空気供給源
３０２ａ  Ｈ２Ｏ供給源
３０２ｂ  ＮＨ３含有ガス供給源
３０２ｃ  ＨＦ含有ガス供給源
４０１ａ  湿度計
４０１ｂ  ＮＨ３濃度計
４０１ｃ  ＨＦ濃度計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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