(57)【要約】【課題】本発明では、赤外光反射防止膜にゲルマニウムなどの高価な材料を用いず、波長８〜１４μｍの範囲で高い透過率を有し、かつ赤外光を透過する基板との密着性及び耐久性に優れた赤外光反射防止膜を用いた赤外光用光学部材を提供することを課題とする。さらに、前記赤外光用光学部材を有する光学機器並びに赤外光用光学部材の製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】赤外光反射防止膜にゲルマニウムなどの高価な材料を用いず、透過率、密着性及び耐久性に優れた赤外光用光学部材が得られる。具体的には、環状オレフィン系樹脂を含有する赤外光反射防止膜を赤外光を透過する基板上に形成することで、８〜１４μｍの範囲の波長における高い透過率と優れた密着性及び耐久性を有する赤外光用光学部材が得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤外光用光学部材において、
赤外光を透過する基板の少なくとも一方の面に、
少なくとも環状オレフィン系樹脂を含む赤外光反射防止膜を一層又は複数層有することを特徴とする、赤外光用光学部材。
【請求項２】
前記環状オレフィン系樹脂が、
ノルボルネン系の環状オレフィン系樹脂であることを特徴とする、請求項１に記載の赤外光用光学部材。
【請求項３】
前記赤外光反射防止膜の厚さが０．１〜５．０μｍであって、
波長１０μｍにおける屈折率が１．０〜２．０であることを特徴とする、
請求項１又は２に記載の赤外光用光学部材。
【請求項４】
前記赤外光を透過する基板が、
波長１０μｍにおける屈折率が２．０〜４．５の無機材料であることを特徴とする、
請求項１〜３のいずれか一項に記載の赤外光用光学部材。
【請求項５】
前記無機材料が、
シリコン、ゲルマニウム、カルコゲナイドガラス、セレン化亜鉛及び硫化亜鉛から選ばれる少なくとも１つであることを特徴とする、請求項４に記載の赤外光用光学部材。
【請求項６】
赤外線の光路に設置された請求項１〜５のいずれか一項に記載の赤外光用光学部材を有する光学機器。
【請求項７】
赤外光を透過する基板上に、環状オレフィン系樹脂からなる赤外光反射防止膜を湿式法にて形成する工程を少なくとも有する、赤外光用光学部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、赤外光を透過する基板の少なくとも一方の面に、少なくとも環状オレフィン系樹脂を含む赤外光反射防止膜を一層又は複数層有する赤外光用光学部材及び赤外光用光学部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、赤外線を利用した機器の開発が進められている。遠赤外線と呼ばれる４〜１５μｍの波長域の光を利用した赤外線センサー等の光学機器の市場は、車載ナイトビジョンやセキュリティーなどの需要拡大に伴って今後著しく成長すると予想され、開発が盛んになってきている。遠赤外線を透過する部材には、ゲルマニウム、カルコゲナイドガラス、シリコン等の材料が用いられる。これらの材料を用いる場合、部材表面での遠赤外線の反射を抑えるため、材料表面に薄い反射防止膜を形成し赤外光用光学部材として用いる。
【０００３】
特許文献１には、シリコン基板の表面に、ゲルマニウム、硫化亜鉛、ゲルマニウム、硫化亜鉛、フッ化イットリウムを基板側から順に、真空蒸着などの真空薄膜堆積方法によって積層し、これら五層を赤外光反射防止膜とする技術が開示されている。これにより、波長６〜１２μｍの範囲における赤外光用光学部材の透過率を高くすることができる。
【０００４】
しかしながら、赤外光反射防止膜にゲルマニウムなどの高価な材料を用い、かつ真空プロセスによって赤外光反射防止膜を形成するため、赤外光用光学部材のコストを高くし、遠赤外線光学機器の市場の成長を妨げる要因のひとつとなっている。また、赤外線カメラや赤外線サーモグラフィーの発達により、高い解像度を有する赤外光用光学部材が求められており、その要望を達成するためには、赤外光用光学部材として波長８〜１４μｍにおける透過率を高くさせる必要がある。
【０００５】
特許文献２には、ゲルマニウムなどの無機材料からなるレンズコアの表面に、ポリエチレンなどの有機材料を被覆し、安価で加工がしやすく、遠赤外線の透過率に優れたレンズが提案されている。
【０００６】
しかしながら、無機材料とその表面に形成された樹脂層との密着性や耐久性については言及されておらず、実際に赤外光用光学部材として使用するには、これらの性能が不十分である場合がある。このため、無機材料と樹脂層との接合に接着剤を用いたり、無機材料の表面を加工する必要があるが、一方で、赤外光用光学部材としての遠赤外線の透過率低下を招く。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２９８６６１
【特許文献２】国際公開ＷＯ２０１５／０２９６４５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明では、赤外光反射防止膜にゲルマニウムなどの高価な材料を用いず、波長８〜１４μｍの範囲で高い透過率を有し、かつ赤外光を透過する基板との密着性及び耐久性に優れた赤外光反射防止膜を用いた赤外光用光学部材を提供することを課題とする。さらに、前記赤外光用光学部材を有する光学機器並びに赤外光用光学部材の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らが鋭意検討した結果、以下の内容の本発明を完成した。
［１］赤外光用光学部材において、赤外光を透過する基板の少なくとも一方の面に、少なくとも環状オレフィン系樹脂を含む赤外光反射防止膜を一層又は複数層有することを特徴とする、赤外光用光学部材。
［２］前記環状オレフィン系樹脂が、ノルボルネン系の環状オレフィン系樹脂であることを特徴とする、［１］に記載の赤外光用光学部材。
［３］前記赤外光反射防止膜の厚さが０．１〜５．０μｍであって、波長１０μｍにおける屈折率が１．０〜２．０であることを特徴とする、［１］又は［２］に記載の赤外光用光学部材。
［４］前記赤外光を透過する基板が、波長１０μｍにおける屈折率が２．０〜４．５の無機材料であることを特徴とする、［１］〜［３］のいずれか一項に記載の赤外光用光学部材。
［５］前記無機材料が、シリコン、ゲルマニウム、カルコゲナイドガラス、セレン化亜鉛及び硫化亜鉛から選ばれる少なくとも１つであることを特徴とする、［４］に記載の赤外光用光学部材。
［６］赤外線の光路に設置された［１］〜［５］のいずれか一項に記載の赤外光用光学部材を有する光学機器。
［７］赤外光を透過する基板上に、環状オレフィン系樹脂からなる赤外光反射防止膜を湿式法にて形成する工程を少なくとも有する、赤外光用光学部材の製造方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、赤外光反射防止膜にゲルマニウムなどの高価な材料を用いず、透過率、密着性及び耐久性に優れた赤外光用光学部材が得られる。具体的には、環状オレフィン系樹脂を含有する赤外光反射防止膜を赤外光を透過する基板上に形成することで、８〜１４μｍの範囲の波長における高い透過率と優れた密着性及び耐久性を有する赤外光用光学部材が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の赤外光用光学部材の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながら本発明を詳しく説明する。図面の説明は便宜のためのものにすぎず、本発明は図示された態様に限定されるわけではない。また、図面においては発明の特徴的な部分を強調して表現することがあるので、図面各部における縮尺の正確性は必ずしも担保されていない。
【００１３】
（赤外光用光学部材）
図１は、本発明の赤外光用光学部材の模式図である。図１に示すように、本発明の赤外光用光学部材１は、赤外光を透過する基板１１の少なくとも一方の面に、赤外光反射防止膜１２を有する。
【００１４】
（赤外光を透過する基板）
本発明に使用可能な赤外光を透過する基板は、光学装置等における赤外線の光路に設置されるよう構成された未設置の部材、あるいは、前述のように構成されてすでに設置された部材である。また、形状は特に限定はなく、例えば、各種のレンズ状を呈していてもよいし、板状であってもよい。
【００１５】
本発明に使用可能な赤外光を透過する基板は特に限定はなく、例えば、シリコン、ゲルマニウム、硫化亜鉛、セレン化亜鉛、カルコゲナイドガラス、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、フッ化マグネシウム、フッ化リチウム、フッ化ランタン、塩化ナトリウム、臭化カリウム、塩化カリウム等が挙げられる。これらの中でも、加工性及びレンズ設計上の収差補正の観点から、波長１０μｍにおける屈折率が２．０〜４．５の無機材料であることが好ましく、その中でも吸湿性を持たないシリコン、ゲルマニウム、カルコゲナイドガラス、セレン化亜鉛、硫化亜鉛がより好ましい。
【００１６】
（赤外光反射防止膜）
本発明に使用可能な赤外光反射防止膜は、少なくとも環状オレフィン系樹脂を含有する。環状オレフィン系樹脂は、環状オレフィン単量体を重合して得られる構造を有する樹脂である。環状オレフィン単量体は、炭素原子で形成される環構造を有する化合物であり、重合性の炭素―炭素二重結合としては、例えば、開環重合等の重合可能な炭素―炭素二重結合が挙げられる。また、環状オレフィン単量体の環構造としては、例えば単環、多環、縮合多環、橋かけ環及びこれらを組み合わせた多環等が挙げられる。
【００１７】
本発明に使用可能な環状オレフィン系樹脂は特に限定はなく、例えば、ノルボルネン系樹脂、単環の環状オレフィン系樹脂、環状共役ジエン系樹脂、及び、これらの水素添加物等が挙げられる。これらの中でも、赤外光反射防止膜と赤外光を透過する基板との密着性の観点からノルボルネン系樹脂及びその水素添加物が好適に挙げられる。
【００１８】
ノルボルネン系樹脂の例としては、ノルボルネン構造を有する単量体の開環重合体及びその水素添加物；ノルボルネン構造を有する単量体の付加重合体及びその水素添加物が挙げられる。また、ノルボルネン構造を有する単量体の開環重合体の例としては、ノルボルネン構造を有する１種類の単量体の開環重合体、ノルボルネン構造を有する２種類以上の単量体の開環重合体、並びに、ノルボルネン構造を有する単量体及びこれと共重合しうる任意の単量体との開環重合体が挙げられる。さらに、ノルボルネン構造を有する単量体の付加重合体の例としては、ノルボルネン構造を有する１種類の単量体の付加単独重合体、ノルボルネン構造を有する２種類以上の単量体の付加重合体、並びに、ノルボルネン構造を有する単量体及びこれと共重合しうる任意の単量体との付加重合体が挙げられる。これらの中でも、赤外光反射防止膜と赤外光を透過する基板との密着性の観点から、下記一般式（１）〜（３）から選ばれる少なくとも１つで表される、ノルボルネン構造を有する単量体の開環重合体の水素添加物及びノルボルネン構造を有する単量体の付加重合体が好適に挙げられる。
【００１９】
【化１】
2019060994.tif 000003
【００２０】
但し、一般式（１）〜（３）において、Ｒ１〜Ｒ７は、同一又は相異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、置換又は非置換の炭化水素基を示す。Ｒ１とＲ２及びＲ６とＲ７は互いに結合して環を形成しても良い。ａ〜ｄは共重合比を示し、０／１００≦ｂ／ａ≦９９／１又は０／１００≦ｄ／ｃ≦９９／１を満たす実数である。ｅは正の整数を表す。
【００２１】
上述の付加重合体を得るための共重合において、その重合パターンは特に限定はなく、ランダム共重合、交互共重合、ブロック共重合又はグラフト共重合のいずれであってもよい。
【００２２】
上述のハロゲン原子とは、フッ素原子、塩素原子、臭素原子又はよう素原子を示す。
【００２３】
上述の炭化水素基としては、特に限定はないが、直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基、シクロアルキル基、芳香族炭化水素基、芳香族複素環基等が例として挙げられる。また、炭素原子数にも特に限定はないが、炭素原子数１〜４０であることが好ましい。また、ハロゲン原子、酸素原子、硫黄原子、窒素原子又はケイ素原子等を含む連結基を有していても良く、カルボニル基、カルボキシ基、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アミノ基、アミド基、イミノ基、エーテル結合、シリルエーテル結合、チオエーテル結合等の極性基や連結基を有していても良い。
【００２４】
上述の「互いに結合して環を形成しても良い」とは、Ｒ１とＲ２及びＲ６とＲ７が連結して環を形成することである。Ｒ１とＲ２及びＲ６とＲ７の連結は、酸素原子、硫黄原子、窒素原子、又はケイ素原子等で形成されても良いし、置換又は非置換の炭化水素基で形成されても良い。また、形成される環は単環であっても良いし、多環であっても良い。
【００２５】
本発明に使用可能な赤外光反射防止膜の厚さは、波長８〜１４μｍの範囲における透過率向上の観点から、０．１μｍ〜５．０μｍであることが好ましく、０．５μｍ〜２．５μｍであることがより好ましい。赤外光反射防止膜の厚さが０．１μｍよりも薄い場合には、赤外光反射防止膜としての効果が不十分となるため、また、５．０μｍよりも厚い場合には、赤外光反射防止膜が赤外光を吸収してしまうため、赤外光用光学部材としての透過率が低下する。
【００２６】
本発明の赤外光用光学部材の透過率を向上させるため、本発明に使用可能な赤外光反射防止膜の屈折率は、前記赤外光を透過する基板の屈折率により、波長１０μｍにおいて１．０〜２．０であることが好ましく、１．４〜２．０であることがより好ましい。赤外光反射防止膜の屈折率が１．０より小さい場合、又は２．０より大きい場合は、赤外光反射防止膜としての効果が不十分となり、赤外光用光学部材としての透過率向上の効果が小さい。
【００２７】
（光学機器）
上述した本発明の赤外光用光学部材が赤外線の光路に設置されている光学機器もまた本発明の実施の一態様である。そのような光学機器として、遠赤外線カメラ、赤外線サーモグラフィーなどが非限定的に挙げられる。
【００２８】
（赤外光用光学部材の製造方法）
本発明の赤外光用光学部材の製造方法は、前記環状オレフィン系樹脂を含有した溶液（以下、樹脂溶液）及び／又は分散液（以下、樹脂分散液）を用いて、前記赤外光を透過する基板上に、湿式法にて前記赤外光反射防止膜を形成する工程を有する。
【００２９】
前記樹脂溶液及び前記樹脂分散液は、環状オレフィン系樹脂を少なくとも含有しており、その含有量は各種塗布方法に適した粘度を示す含有量であれば特に限定されないが、１重量％〜３０重量％であることが好ましく、５重量％〜１５重量％であることが特に好ましい。また、粘度においても各塗布方法に適したものであれば特に限定されないが、２５℃において、０．１〜２００ｍＰａ・ｓであることが好ましく、１〜１００ｍＰａ・ｓであることが特に好ましい。
【００３０】
前記樹脂溶液及び前記樹脂分散液に用いる溶媒は特に限定はなく、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、シクロヘキサノール等のアルコール類；アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン等のケトン類；ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル類；ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素；ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素等が挙げられる。これらの中でも、溶解性の観点から、トルエン、キシレン、シクロヘキサン及びメチルシクロヘキサンが好適に挙げられる。
これらの溶媒は１種で使用されてもよく、２種以上の混合溶媒として使用されてもよい。
【００３１】
また、前記樹脂溶液及び前記樹脂分散液は、必要に応じて添加剤（屈折率調整剤、耐久性向上剤、相溶化剤、分散剤、界面活性剤等）を加えることができる。
【００３２】
屈折率調整剤及び耐久性向上材としては、例えば、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化アンチモン、酸化セリウム、酸化亜鉛、酸化錫、酸化イットリウム等の無機酸化物；フッ化マグネシウム、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、フッ化アルミニウム、フッ化ランタン等の無機フッ化物；炭化ケイ素、炭化チタン、炭化タングステン等の無機炭化物；これらを主成分とする複合物及びこれらの混合物が挙げられる。
【００３３】
相溶化剤及び分散剤としては、その機能を有するものであれば特に限定されるものではないが、メチルペンタンジオール、ノナンジオール、ペンタエリトリトール、ソルビトール等のポリオール類；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のエーテル類；ポリヒドロキシスチレン、ポリスチレンスルホン酸、ビニルフェノール−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン−ビニルフェノール−（メタ）アクリル酸エステル共重合体等のポリスチレン誘導体；ポリ（メタ）アクリル酸、ポリ（メタ）アクリルアミド、ポリアクリロニトリル、ポリエチル（メタ）アクリレート、ポリブチル（メタ）アクリレート等のポリ（メタ）アクリル酸誘導体；ポリメチルビニルエーテル、ポリエチルビニルエーテル、ポリブチルビニルエーテル、ポリイソブチルビニルエーテル等のポリビニルアルキルエーテル誘導体；セルロース、メチルセルロース、酢酸セルロース、硝酸セルロース、ヒドロキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、カルボキシメチルセルロース等のセルロース誘導体；ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリ酢酸ビニル等のポリ酢酸ビニル誘導体；ポリビニルピリジン、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンイミン、ポリ−２−メチル−２−オキサゾリン等の含窒素ポリマー誘導体；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン等のポリハロゲン化ビニル誘導体；ポリジメチルシロキサン、ポリヘキサメチルシクロトリシロキサンのポリシロキサン誘導体等の各種疎水性又は親水性の分散剤、安定剤が挙げられる。
【００３４】
界面活性剤としては、その機能を有するものであれば、特に限定されるものではないが、ラウリル硫酸ナトリウムなどのアルキル硫酸エステル塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムなどのアルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンスルホン酸塩、脂肪酸塩、アルキルリン酸塩、アルキルスルホコハク酸塩等のアニオン系乳化剤；アルキルアミン塩、第四級アンモニウム塩、アルキルベタイン、アミンオキサイド等のカチオン系乳化剤；ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ソルビタン脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル等のノニオン系乳化剤等が挙げられる。
【００３５】
上述した樹脂溶液又は樹脂分散液を、赤外光を透過する基板に塗布させた後、乾燥させることで、赤外光反射防止膜を形成することができる。塗布方法は、任意の方法でよいが、均質な膜が得られるため、スピンコート法、スプレーコート法、ディップコート法が好適に挙げられる。また、乾燥は室温での自然乾燥から加熱乾燥まで、任意の方法でよいが、環状オレフィン系樹脂及び得られる赤外光反射防止膜の耐熱性の観点から、２０℃〜２５０℃での乾燥が好適に挙げられ、６０℃〜１３０℃が特に好適に挙げられる。
【実施例】
【００３６】
以下に実施例を挙げることによって本発明をさらに詳しく説明する。本発明はこれら実施例に限定されるわけではない。
【００３７】
各実施例及び比較例において、シリコン基板（酸素濃度１．０×１０１７ａｔｏｍ／ｃｍ３以下、炭素濃度１．０×１０１６〜８．０×１０１８ａｔｏｍ／ｃｍ３、直径３５ｍｍΦ×厚さ１．０ｍｍ）に樹脂溶液又は樹脂分散液を滴下し、スピンコート法にて製膜した。その後、加熱乾燥し、赤外光用光学部材を得た。各実施例及び比較例の樹脂溶液又は樹脂分散液の組成を表１に、製膜及び加熱乾燥の条件を表２に示す。
【００３８】
【表１】
2019060994.tif 000004
【００３９】
実施例１に記載の樹脂は、一般式（３）で示されるノルボルネン構造を有する単量体の開環重合体の水素添加物であり、実施例２に記載の樹脂は、一般式（１）で示されるノルボルネン構造を有する単量体とエチレンの共重合体である。
【００４０】
【表２】
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【００４１】
比較例４においては、別途ＩＲＧＡＣＵＲＥ１８４等の光重合開始剤を３重量％添加して調製後、コーティングを行った。加熱乾燥後、ＵＶを２００ｍｌ／ｃｍ２照射した。
【００４２】
各実施例及び比較例で得られた赤外光用光学部材において、製膜性、屈折率、透過率、密着性及び耐久性を測定又は評価した。
【００４３】
（製膜性の評価）
各種の有機溶剤にて、樹脂などの組成物を溶解させた後、表２に記載の条件にて製膜した。その後、表面段差計にて膜厚及び表面粗さを測定し、０．１〜５．０μｍ厚の薄膜が作製可能であった場合を○、作製不可であった場合を×と判断した。
【００４４】
（屈折率の測定）
赤外域―多入射角分光エリプソメータを用いて、赤外光用光学部材の中心を１０μｍの範囲にて測定した。
波長１０μｍの範囲における最低の屈折率が１．０〜２．０の範囲のものを○、１．０よりも小さい値又は２．０よりも大きい値を示すものを×と判断した。ここで、○であれば実用上問題ない。
【００４５】
（透過率の測定）
ＦＴ−ＩＲ装置を用いて、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換型赤外吸収）法により、赤外光用光学部材の中心を波長８〜１４μｍの範囲にて測定した。
波長８〜１４μｍの範囲における最低の透過率が５０％以上のものを◎、４０％以上５０％未満のものを○、４０％未満のものを×と判断した。ここで、○であれば実用上問題なく、◎であればより好ましい。
【００４６】
（密着性の評価）
赤外光用光学部材上で１００マス碁盤目試験法（旧ＪＩＳ  Ｋ  ５４００）により、評価をした。密着性が１００／１００とは、以下密着性試験において、１００個の碁盤目部分のうち、剥がれが１箇所もない状態、密着性が７０／１００とは剥がれていない部分が７０箇所の状態である。
密着性が１００／１００〜７０／１００のものを○、密着性が６９／１００〜０／１００のものを×と判断した。ここで、○であれば実用上問題ない。
【００４７】
（耐久性の評価）
下記（Ａ）及び（Ｂ）の試験を実施し、各試験前後での透過率及び密着性の変化率を求めた。全ての項目において変化率が１０％以下のものを○、それ以外を×と判断した。ここで、○であれば実用上問題ない。
（Ａ）赤外光用光学部材を９５℃に加熱した純水中に１０分間浸漬した。その後、外観確認、透過率の測定及び密着性の評価をした。
（Ｂ）赤外光用光学部材を温度８０℃、湿度８５％の条件下で２４時間静置した。その後、外観確認、透過率の測定及び密着性の評価をした。
【００４８】
各実施例及び比較例における各測定又は評価結果を表３に示す。
【００４９】
【表３】
2019060994.tif 000006
【００５０】
環状オレフィン系樹脂を用いた実施例１、２では、各測定及び評価において良好な結果を示した。
一方、ポリプロピレンを用いた比較例１では、各種溶媒へ不溶・不分散であり、シリコン基板上に赤外光反射防止膜を形成することができず、赤外光用光学部材を得ることができなかった。ポリピロールを用いた比較例２及びポリエチレンジオキシチオフェンを用いた比較例３では、製膜性は良好であったが、屈折率が悪く、反射防止効果が得られなかったため、透過率は悪い結果となった。アクリル樹脂を用いた比較例４及びポリスチレンを用いた比較例５では、製膜性及び屈折率は良好であったが、エステル由来の吸収により透過率と密着性が悪い結果となった。エチレン―プロピレン―スチレン共重合体を用いた比較例６では、製膜性、屈折率及び透過率は良好であったが、密着性と耐久性が悪い結果となった。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
従来技術のようなゲルマニウムなどの高価な材料を用いず、波長８〜１４μｍの範囲で高い透過率を有し、赤外光を透過する基板との密着性及び耐久性に優れた赤外光反射防止膜を提供する。
【符号の説明】
【００５２】
１赤外光用光学部材    １１赤外光を透過する基板    １２赤外光反射防止膜
【図１】
2019060994.tif 000007