(57)【要約】【課題】駆動効率を高めることができる圧電アクチュエーターを提供すること、また、この圧電アクチュエーターを備える圧電駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを提供すること。【解決手段】第１振動板と、第２振動板と、前記第１振動板と前記第２振動板との間に配置されている圧電素子と、前記第１振動板に配置され、前記圧電素子に電気的に接続されている第１電極と、前記第２振動板に配置され、前記圧電素子に電気的に接続されている第２電極と、を備え、前記第１電極は、前記圧電素子の駆動時に応力が集中する部分に重なって配置されている部分を有することを特徴とする圧電アクチュエーター。【選択図】図７
2019068546.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１振動板と、
第２振動板と、
前記第１振動板と前記第２振動板との間に配置されている圧電素子と、
前記第１振動板に配置され、前記圧電素子に電気的に接続されている第１電極と、
前記第２振動板に配置され、前記圧電素子に電気的に接続されている第２電極と、を備え、
前記第１電極は、前記圧電素子の駆動時に応力が集中する部分に重なって配置されている部分を有することを特徴とする圧電アクチュエーター。
【請求項２】
前記第２電極は、前記圧電素子の駆動時に応力が集中する部分に重なって配置されている部分を有する請求項１に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項３】
前記第１電極および前記第２電極のうちの少なくとも一方は、
平面視で分散して配置され、第１材料で構成されている複数の第１部分と、
平面視で複数の前記第１部分間を埋めるように配置され、前記第１材料とは異なる第２材料で構成されている第２部分と、を有する請求項１または２の圧電アクチュエーター。
【請求項４】
前記第１材料および前記第２材料は、一方が金を含み、他方がニッケルを含んでいる請求項３に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項５】
前記第２電極は、複数の開口部を有する請求項１ないし４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項６】
前記圧電素子は、
圧電体と、
前記圧電体に配置され、前記第１電極に電気的に接続されている第３電極と、
前記圧電体に配置され、前記第２電極に電気的に接続されている第４電極と、を有し、
前記第３電極および前記第４電極のうちの少なくとも一方は、
平面視で分散して配置され、第１材料で構成されている複数の第１部分と、
平面視で複数の前記第１部分間を埋めるように配置され、前記第１材料とは異なる第２材料で構成されている第２部分と、を有する請求項１ないし５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項７】
前記第１振動板に配置され、前記第１電極と電気的に絶縁されている金属層を備える請求項１ないし６のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターと、
前記圧電アクチュエーターにより駆動される被駆動部材と、を備えることを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項９】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とするロボット。
【請求項１０】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１１】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とするプリンター。
【請求項１２】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とするプロジェクター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電アクチュエーター、圧電駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電素子を備える圧電アクチュエーターが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の圧電アクチュエーターは、２枚の補強板と、２枚の補強板の間に配置された圧電素子と、を有する振動体を有している。ここで、圧電素子の側面には、圧電素子が有する電極と連続して形成された側面電極が設けられており、この側面電極には、圧電素子を励振させるための励振電圧が供給される端子が接続されている。また、圧電素子と各補強板とは絶縁性接着剤を介して密着固定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３４０５０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の圧電アクチュエーターでは、側面電極が圧電素子の電極に連続して形成されているため、側面電極の配置の自由度が低い。そこで、補強板上に、圧電素子に接続される配線を設けることが考えられる。しかし、単に補強板上に配線を設けても、補強板の配線が配置されていない部分と圧電素子との間に介在する接着剤の弾性に起因して、圧電素子から補強板への駆動力の伝達ロスが大きくなるという課題がある。
【０００５】
本発明の目的は、駆動効率を高めることができる圧電アクチュエーターを提供すること、また、この圧電アクチュエーターを備える圧電駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例または形態として実現することが可能である。
【０００７】
本適用例の圧電アクチュエーターは、第１振動板と、
第２振動板と、
前記第１振動板と前記第２振動板との間に配置されている圧電素子と、
前記第１振動板に配置され、前記圧電素子に電気的に接続されている第１電極と、
前記第２振動板に配置され、前記圧電素子に電気的に接続されている第２電極と、を備え、
前記第１電極は、前記圧電素子の駆動時に応力が集中する部分に重なって配置されている部分を有することを特徴とする。
【０００８】
このような圧電アクチュエーターによれば、圧電素子の駆動時に応力が集中する部分に重なって第１電極が配置されているため、第１振動板と圧電素子とを接着剤で接合する場合、圧電素子の当該部分と第１振動板との間に介在する接着剤を少なくすることができる。そのため、圧電素子から第１振動板への駆動力の伝達ロスを低減し、その結果、圧電アクチュエーターの駆動効率を高めることができる。
【０００９】
本適用例の圧電アクチュエーターでは、前記第２電極は、前記圧電素子の駆動時に応力が集中する部分に重なって配置されている部分を有することが好ましい。
これにより、圧電素子から第２振動板への駆動力の伝達ロスを低減することができる。
【００１０】
本適用例の圧電アクチュエーターでは、前記第１電極および前記第２電極のうちの少なくとも一方は、
平面視で分散して配置され、第１材料で構成されている複数の第１部分と、
平面視で複数の前記第１部分間を埋めるように配置され、前記第１材料とは異なる第２材料で構成されている第２部分と、を有することが好ましい。
【００１１】
これにより、第１材料および第２材料のうちの一方を化学的に安定な導電性材料とし、他方を接着剤に対する濡れ性に優れた導電性材料とすることで、第１電極および第２電極のうちの少なくとも一方と圧電素子との間の接着性および導通信頼性の双方を優れたものとすることができる。
【００１２】
本適用例の圧電アクチュエーターでは、前記第１材料および前記第２材料は、一方が金を含み、他方がニッケルを含んでいることが好ましい。
【００１３】
金は、化学的に極めて安定な導電性材料であり、一方、ニッケルは、接着剤に対する濡れ性に優れる導電性材料である。したがって、第１材料および第２材料として、これらの金属を用いることで、第１電極および第２電極のうちの少なくとも一方と圧電素子との間の接着性および導通信頼性の双方を特に優れたものとすることができる。
【００１４】
本適用例の圧電アクチュエーターでは、前記第２電極は、複数の開口部を有することが好ましい。
【００１５】
これにより、第２振動板と圧電素子とを接着剤で接合する場合、第２電極の開口部を接着剤の逃げ部として機能させることができる。そのため、接着剤が局所的に厚くなったり第２振動板の端部に漏れ出したりするのを低減することができる。その結果、圧電アクチュエーターの振動漏れや余計な振動モードの発生を低減することができる。
【００１６】
本適用例の圧電アクチュエーターでは、前記圧電素子は、
圧電体と、
前記圧電体に配置され、前記第１電極に電気的に接続されている第３電極と、
前記圧電体に配置され、前記第２電極に電気的に接続されている第４電極と、を有し、
前記第３電極および前記第４電極のうちの少なくとも一方は、
平面視で分散して配置され、第１材料で構成されている複数の第１部分と、
平面視で複数の前記第１部分間を埋めるように配置され、前記第１材料とは異なる第２材料で構成されている第２部分と、を有することが好ましい。
【００１７】
これにより、第１材料および第２材料のうちの一方を化学的に安定な導電性材料とし、他方を接着剤に対する濡れ性に優れた導電性材料とすることで、第１電極および第２電極のうちの少なくとも一方と圧電素子との間の接着性および導通信頼性の双方を優れたものとすることができる。
【００１８】
本適用例の圧電アクチュエーターでは、前記第１振動板に配置され、前記第１電極と電気的に絶縁されている金属層を備えることが好ましい。
【００１９】
これにより、第１振動板と圧電素子以外の他の部材とを接着剤で接合する場合、第１電極と当該他の部材との間においても、介在する接着剤を少なくすることができる。そのため、第１振動板および当該他の部材の互いの固定状態の安定性を高めることができる。その結果、圧電アクチュエーターの振動特性を高めることができる。
【００２０】
本適用例の圧電駆動装置は、本適用例の圧電アクチュエーターと、
前記圧電アクチュエーターにより駆動される被駆動部材と、を備えることを特徴とする。
【００２１】
このような圧電駆動装置によれば、圧電アクチュエーターの優れた特性を利用して、圧電駆動装置の特性を高めることができる。
【００２２】
本適用例のロボットは、本適用例の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする。
このようなロボットによれば、圧電アクチュエーターの優れた特性を利用して、ロボットの特性を高めることができる。
【００２３】
本適用例の電子部品搬送装置は、本適用例の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする。
【００２４】
このような電子部品搬送装置によれば、圧電アクチュエーターの優れた特性を利用して、電子部品搬送装置の特性を高めることができる。
【００２５】
本適用例のプリンターは、本適用例の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする。
【００２６】
このようなプリンターによれば、圧電アクチュエーターの優れた特性を利用して、プリンターの特性を高めることができる。
【００２７】
本適用例のプロジェクターは、本適用例の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする。
【００２８】
このようなプロジェクターによれば、圧電アクチュエーターの優れた特性を利用して、プロジェクターの特性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧電駆動装置（圧電モーター）の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１に示す圧電駆動装置の動作を説明するための図である。
【図３】図１に示す圧電アクチュエーターが備える振動部、支持部および接続部の斜視図である。
【図４】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図１に示す圧電アクチュエーターが備える圧電素子の平面図（第１振動板側から見た図）である。
【図６】図５に示す圧電素子が備える電極の断面図である。
【図７】図１に示す圧電アクチュエーターが備える第１振動板および第１電極を示す平面図（圧電素子側から見た図）である。
【図８】圧電素子の駆動時における第１振動板の応力分布を示す図である。
【図９】図１に示す圧電アクチュエーターが備える第２振動板および第２電極を示す平面図（圧電素子側から見た図）である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエーターが備える第１振動板および第１電極を示す平面図（圧電素子側から見た図）である。
【図１１】本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエーターが備える第１振動板および第１電極を示す平面図（圧電素子側から見た図）である。
【図１２】本発明の第４実施形態に係る圧電アクチュエーターが備える第２振動板および第２電極を示す平面図（圧電素子側から見た図）である。
【図１３】本発明のロボットの実施形態を示す斜視図である。
【図１４】本発明の電子部品搬送装置の実施形態を示す斜視図である。
【図１５】図１４に示す電子部品搬送装置が備える電子部品保持部の斜視図である。
【図１６】本発明のプリンターの実施形態を示す斜視図である。
【図１７】本発明のプロジェクターの実施形態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の圧電アクチュエーター、圧電駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３１】
１．圧電駆動装置および圧電アクチュエーター
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電駆動装置（圧電モーター）の概略構成を示す平面図である。図２は、図１に示す圧電駆動装置の動作を説明するための図である。図３は、図１に示す圧電アクチュエーターが備える振動部、支持部および接続部の斜視図である。図４は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。図５は、図１に示す圧電アクチュエーターが備える圧電素子の平面図（第１振動板側から見た図）である。図６は、図５に示す圧電素子が備える電極の断面図である。図７は、図１に示す圧電アクチュエーターが備える第１振動板および第１電極を示す平面図（圧電素子側から見た図）である。図８は、圧電素子の駆動時における第１振動板の応力分布を示す図である。図９は、図１に示す圧電アクチュエーターが備える第２振動板および第２電極を示す平面図（圧電素子側から見た図）である。
【００３２】
図１に示す圧電駆動装置１００は、逆圧電効果を利用して回転力を出力する圧電モーターである。この圧電駆動装置１００は回動軸Ｏまわりに回動可能な被駆動部材（従動部）であるローター１１０と、ローター１１０の外周面１１１に当接する圧電アクチュエーター１と、を有する。この圧電駆動装置１００では、圧電アクチュエーター１がその駆動力をローター１１０に伝達することで、ローター１１０が回動軸Ｏまわりに回動（回転）する。
【００３３】
なお、圧電アクチュエーター１の配置は、圧電アクチュエーター１から被駆動部材へ所望の駆動力を伝達することができればよく、図示の位置に限定されず、例えば、ローター１１０の板面（底面）に圧電アクチュエーター１を当接させてもよい。また、圧電駆動装置１００は、１つの被駆動部材に対して複数の圧電アクチュエーター１を当接させる構成であってもよい。また、複数の圧電アクチュエーター１を積層して用いてもよい。また、圧電駆動装置１００は、図示のような被駆動部材を回転運動させる構成に限定されず、例えば、被駆動部材を直線運動させる構成であってもよい。
【００３４】
圧電アクチュエーター１は、図１に示すように、長手形状をなす振動部１１と、支持部１２と、これらを接続している１対の接続部１３と、振動部１１の長手方向での一端部（先端部）から突出している凸部１４と、を有する。ここで、振動部１１は、圧電素子４を有する。また、支持部１２は、振動部１１と厚さを揃えるように中間部材５を有する。
【００３５】
圧電素子４は、駆動用の圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅと、検出用の圧電素子４ｆ、４ｇと、を有する。図２に示すように、駆動用の圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅは、凸部１４の先端を楕円運動させるように逆圧電効果により伸縮させる。これにより、凸部１４は、外周面１１１にその周方向での一方向の駆動力を与えて、ローター１１０を回動軸Ｏまわりに回動させる。このとき、振動部１１の振動は、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの伸縮によるＳ字状（または逆Ｓ字状）の屈曲振動（横振動）と、圧電素子４ｅの伸縮による縦振動とを複合した振動である。検出用の圧電素子３ｆ、４ｇは、振動部１１の振動に伴って、圧電効果により、振動部１１の駆動状態（振動状態）に応じた信号を出力する。
【００３６】
凸部１４は、例えば、セラミックス等の耐摩耗性に優れた材料で構成され、振動部１１に対して接着剤等により接合されている。なお、凸部１４の形状は、圧電アクチュエーター１の駆動力をローター１１０（被駆動部材）に伝達可能であればよく、図示の形状に限定されない。
【００３７】
このような圧電アクチュエーター１は、図３に示すような積層構造を有して構成されている。すなわち、図３に示すように、振動部１１、支持部１２および接続部１３は、第１振動板２と、第２振動板３と、これらの間に配置されている圧電素子４および中間部材５と、を有する。そして、第１振動板２は、接着剤６１を介して圧電素子４および中間部材５に接合されている。同様に、第２振動板３は、接着剤６２を介して圧電素子４および中間部材５に接合されている。
【００３８】
ここで、第１振動板２は、振動部２１と、支持部２２と、これらを接続している１対の接続部２３と、を有する（図７参照）。同様に、第２振動板３は、振動部３１と、支持部３２と、これらを接続している１対の接続部３３と、を有する（図９参照）。そして、振動部２１、３１は、圧電素子４を挟んでおり、圧電素子４および振動部２１、３１を含む積層体が振動部１１を構成している。また、支持部２２、３２は、中間部材５を挟んでおり、中間部材５および支持部２２、３２を含む積層体が支持部１２を構成している。また、接続部２３、３３間には、圧電素子４および中間部材５がいずれも配置されておらず、圧電素子４または中間部材５の厚さに応じた隙間が形成されており、接続部２３、３３が接続部１３を構成している。
【００３９】
また、図４に示すように、第１振動板２の一方の面（図４中の上面）には、絶縁層２４が設けられており、この絶縁層２４上には、圧電素子４（より具体的には後述する第１電極４２）に電気的に接続される配線層７（第１配線）が配置されている。ここで、接着剤６１は、配線層７と圧電素子４との電気的接続を許容するように、第１振動板２と圧電素子４とを接合している。また、第２振動板３の一方の面（図２中の下面）には、絶縁層３４が設けられており、この絶縁層３４上には、圧電素子４（より具体的には後述する第２電極４３）に電気的に接続される配線層８（第２配線）が配置されている。ここで、接着剤６２は、配線層８と圧電素子４との電気的接続を許容するように、第２振動板３と圧電素子４とを接合している。
【００４０】
このように、第１振動板２と圧電素子４との間には、接着剤６１が介在し、また、第２振動板３と圧電素子４との間には、接着剤６２が介在している。接着剤６１、６２としては、それぞれ、前述したような電気的接続を許容した接合を行うことができれば、特に限定されず、例えば、エポキシ系、アクリル系、シリコン系等の各種接着剤を用いてもよいし、異方導電性接着剤を用いてもよい。このような接着剤６１、６２は、圧電素子４から振動部２１、３１への駆動力の伝達ロスの原因となる。そこで、圧電アクチュエーター１は、このような伝達ロスを低減する構成を有する。以下、圧電アクチュエーター１の各部について詳述する。
【００４１】
（圧電素子）
圧電素子４は、図５に示すように、板状の圧電体４１と、圧電体４１の一方（第１振動板２側）の面上に配置されている第１電極４２と、圧電体４１の他方（第２振動板３側）の面上に配置されている第２電極４３と、を有する。
【００４２】
圧電体４１は、平面視で長方形をなしている。この圧電体４１の構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスが挙げられる。なお、圧電体４１の構成材料としては、上述した圧電セラミックスの他にも、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。
【００４３】
また、圧電体４１は、例えば、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて形成してもよいが、バルク材料から形成することが好ましい。すなわち、圧電体４１は、バルク状であることが好ましい。これにより、圧電体４１の厚さを厚くし、圧電素子４の変位量を大きくすることができる。そのため、圧電アクチュエーター１の電流効率をさらに向上させることができる。また、バルク材料から圧電体４１を形成する場合、ゾル−ゲル法等の製膜法を用いる場合に比べて、圧電体４１の厚さを厚くすることが容易となる。
【００４４】
第１電極４２は、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ、４ｇごとに個別に設けられた個別電極である複数（７つ）の第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅ、４２ｆ、４２ｇで構成されている。第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅには、それぞれ、駆動信号（駆動電圧）が入力される。また、第１電極４２ｆ、４２ｇは、それぞれ、圧電素子４の駆動状態に応じた検出信号を出力する。一方、第２電極４３は、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ、４ｇに共通して設けられた共通電極であり、定電位（例えばグランド電位）に電気的に接続される。
【００４５】
すなわち、圧電素子４ａは、圧電体４１、第１電極４２ａおよび第２電極４３を含んで構成されている。同様に、圧電素子４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ、４ｇは、圧電体４１、第１電極４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅ、４２ｆ、４２ｇおよび第２電極４３を含んで構成されている。このように、圧電素子４は、７つの圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ、４ｇを有している。
【００４６】
ここで、第１電極４２ｅは、圧電体４１の幅方向の中央部に圧電体４１の長手方向に沿って配置されている。第１電極４２ａ、４２ｂは、第１電極４２ｅに対して圧電体４１の幅方向の一方側に圧電体４１の長手方向に沿って配置されている。第１電極４２ｃ、４２ｄは、第１電極４２ｅに対して圧電体４１の幅方向の他方側に圧電体４１の長手方向に沿って配置されている。第１電極４２ｆ、４２ｇは、第１電極４２ｅに対して圧電体４１の長手方向の両側に圧電体４１の長手方向に沿って配置されている。
【００４７】
なお、圧電体４１は、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ、４ｇに共通して一体的に構成されているが、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ、４ｇごとに個別に分割して設けられていてもよい。
【００４８】
第１、第２電極４２、４３の構成材料としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等の金属材料が挙げられる。
【００４９】
図５に示すように、第１電極４２は、平面視（第１電極４２の厚さ方向から見たとき）で分散して配置されている複数の第１部分４２１と、平面視で第１部分４２１同士の間を埋めるように配置されている第２部分４２２と、を有する。そして、第１部分４２１および第２部分４２２の構成材料は、互いに異なる。これにより、第１部分４２１の構成材料の特性と、第２部分４２２の構成材料の特性との双方の特性を第１電極４２が享受することができる。
【００５０】
より具体的に説明すると、第１部分４２１は、第１材料で構成され、一方、第２部分４２２は、第１材料とは異なる第２材料で構成されている。第１材料および第２材料は、それぞれ、例えば、前述した金属材料（導電性材料）であるが、一方が他方に比べて接着剤６１に対する濡れ性に優れ、他方が一方に比べて化学的安定性および導電性に優れることが好ましい。これにより、第１電極４２に対する接着剤６１の接着性と、第１電極４２の導通信頼性との双方を優れたものとすることができる。
【００５１】
本実施形態では、図６に示すように、圧電体４１上に、第１電極４２の平面視形状に対応した平面視形状で第２部分４２２が設けられ、その第２部分４２２の圧電体４１とは反対側の面上に、複数の第１部分４２１が設けられている。ここで、第２部分４２２の圧電体４１とは反対側の面には、複数の凹部が形成されており、この各凹部を埋めるように第１部分４２１が設けられている。これにより、第１電極４２の圧電体４１とは反対側の面が平坦となっている。そのため、第１電極４２と配線層７との間に介在する接着剤６１を低減することができる。このような第１部分４２１および第２部分４２２は、置換メッキ法を用いて容易に形成することが可能である。具体的には、例えば、圧電体４１上にニッケル等の卑金属を成膜することで第２部分４２２を形成した後、第２部分４２２の表面の一部を金等の貴金属で置換メッキすることで、第１部分４２１を形成することができる。
【００５２】
なお、図示では、第１部分４２１と圧電体４１との間に第２部分４２２の一部が介在しているが、これに限定されず、第１部分４２１が第２部分４２２を貫通して圧電体４１に接触していてもよい。また、第２部分４２２と圧電体４１との間に他の金属層（例えば密着性を高めるための層）が設けられていてもよい。また、各第１部分４２１の平面視形状は、図示では円形であるが、これに限定されず、例えば、三角形、四角形、五角形、六角形等の多角形、ストライプ形状、異形状等であってもよい。また、複数の第１部分４２１の大きさまたは形状は、互いに異なっていてもよい。また、複数の第１部分４２１の配置は、規則的であっても不規則であってもよい。
【００５３】
（中間部材）
中間部材５は、第１振動板２の支持部２２と第２振動板３の支持部３２との間に設けられ、平面視で、前述した支持部２２、３２と実質的に同じ形状および大きさを有している。この中間部材５は、支持部２２、３２を補強するとともに、支持部２２、３２間の距離を振動部２１、３１間の距離と等しくするように規制する機能を有する。
【００５４】
図４に示すように、中間部材５は、本体５１と、本体５１上に設けられている絶縁層５２と、を有する。また、中間部材５の第１振動板２側の面上には、配線層７（より具体的には後述する第１配線７２）に電気的に接続される配線５３が設けられている。この配線５３上には、図示しない基板に電気的に接続される端子９１が設けられている。配線５３および端子９１の構成材料としては、それぞれ、特に限定されず、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等の金属材料が挙げられる。また、配線５３および端子９１は、それぞれ、公知の成膜法を用いて形成することができる。なお、配線５３を省略し、配線層７に端子９１を設けてもよい。
【００５５】
このような中間部材５は、例えば、本体５１がシリコンで構成され、絶縁層５２がシリコン酸化膜で構成されている。なお、中間部材５の構成材料としては、これに限定されず、例えば、ジルコニア、アルミナ、チタニア等の各種セラミックス、各種樹脂材料等を用いてもよい。
【００５６】
（第１、第２振動板）
前述したように、第１振動板２は、振動部２１と、支持部２２と、これらを接続している１対の接続部２３と、を有する（図７参照）。同様に、第２振動板３は、振動部３１と、支持部３２と、これらを接続している１対の接続部３３と、を有する（図９参照）。ここで、第１振動板２および第２振動板３は、互いに実質的に同じ平面視形状をなしている。振動部２１、３１は、それぞれ、平面視で圧電素子４と実質的に同じ形状および大きさを有している。支持部２２、３２は、それぞれ、平面視で振動部２１、３１の凸部１４とは反対側の部分の外周を囲う形状をなしている。また、１対の接続部２３、３３は、振動部２１、３１の長手方向での中央部と支持部２２、３２とを接続している。
【００５７】
なお、振動部２１、３１、支持部２２、３２および接続部２３、３３の形状や配置等は、図示のものに限定されない。例えば、支持部２２、３２が接続部２３または３３ごとに分離して設けられていてもよい。また、接続部２３、３３の数、形状および配置等も任意である。また、第１振動板２および第２振動板３の平面視形状が互いに異なっていてもよい。
【００５８】
このような第１振動板２および第２振動板３としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、シリコン基板、シリコンカーバイト基板等の半導体基板を用いることができる。第１振動板２または第２振動板３として半導体基板（特にシリコン基板）を用いることで、第１振動板２または第２振動板３をシリコンウエハプロセス（ＭＥＭＳプロセス）により生産性よく高精度に製造することができる。
【００５９】
前述したように、第１振動板２の圧電素子４側（図４中上側）の面には、絶縁層２４が設けられている。これにより、第１振動板２を介した配線層７の短絡を低減することができる。同様に、第２振動板３の圧電素子４側（図４中下側）の面には、絶縁層３４が設けられている。これにより、第２振動板３を介した配線層８の短絡を低減することができる。絶縁層２４、３４は、それぞれ、例えば、第１振動板２および第２振動板３にそれぞれシリコン基板を用いた場合、シリコン基板の表面を熱酸化することにより形成されたシリコン酸化膜である。
【００６０】
第１振動板２の絶縁層２４上には、配線層７が配置されている。配線層７は、図７に示すように、振動部２１上に配置されている第１電極７１と、第１電極７１から支持部２２上にわたって配置されている第１配線７２と、金属層７３（ダミー電極）と、を有する。これらは、例えば、公知の成膜工程により一括して形成される。
【００６１】
第１電極７１は、前述した圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ、４ｇに対応して設けられた第１電極７１ａ、７１ｂ、７１ｃ、７１ｄ、７１ｅ、７１ｆ、７１ｇを有する。第１電極７１ａ、７１ｂ、７１ｃ、７１ｄ、７１ｅ、７１ｆ、７１ｇは、それぞれ、平面視で、対応する第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅ、４２ｆ、４２ｇに重なって配置されている。
【００６２】
特に、第１電極７１ａ、７１ｂ、７１ｃ、７１ｄは、平面視で、圧電素子４の駆動時に応力が集中する部分を包含するように配置されている。ここで、圧電素子４の駆動時に生じる応力は、圧電素子４の屈曲振動（振動部１１の屈曲振動）の腹となる点ＰＳａ、ＰＳｂ、ＰＳｃ、ＰＳｄにおいて最も高く、点ＰＳａ、ＰＳｂ、ＰＳｃ、ＰＳｄから離れるに従い小さくなる。そして、第１電極７１ａ、７１ｂ、７１ｃ、７１ｄは、平面視で、圧電素子４の点ＰＳａ、ＰＳｂ、ＰＳｃ、ＰＳｄに生じる応力の２０％以上となる範囲を平面視で包含していることが好ましい（図８参照）。
【００６３】
ここで、第１振動板２と圧電素子４との間には、前述したように、接着剤６１が介在している。その接着剤６１の厚さは、第１電極７１が設けられている箇所において、第１電極７１が設けられていない箇所に比べて、第１電極７１の厚さ分薄くすることができる。また、接着剤６１の厚さは、第１電極７１および圧電素子４の第１電極４２が重なる箇所において、第１電極７１および第１電極４２が重なっていない箇所に比べて、第１電極７１および第１電極４２の厚さの合計分薄くすることができる。このように、第１電極７１が設けられている箇所では、第１振動板２と圧電素子４との間に介在する接着剤６１を少なくすることができる。そのため、圧電素子４から第１振動板２へ駆動力を効率的に伝達することができる。特に、圧電素子４の駆動時に応力が集中する部分は、圧電素子４の駆動力が最も大きい部分であると言える。したがって、圧電素子４の駆動時に応力が集中する部分（点ＰＳａ、ＰＳｂ、ＰＳｃ、ＰＳｄを中心とする所定範囲）に重ねて第１電極７１を配置することで、圧電素子４から第１振動板２へ駆動力を特に効率的に伝達することができる。
【００６４】
これに対し、第１振動板２と圧電素子４との間に介在する接着剤６１が多い（厚い）箇所では、圧電素子４からの駆動力が接着剤６１の弾性により吸収されることで、圧電素子４から第１振動板２への駆動力の伝達効率が低下してしまう。特に、圧電素子４の駆動時に応力が集中する部分と第１振動板２との間に介在する接着剤６１が厚いと、圧電素子４から第１振動板２への駆動力の伝達効率が低下しやすい。
【００６５】
第１配線７２は、第１電極７１ａ、７１ｂ、７１ｃ、７１ｄ、７１ｅに対応して設けられた第１配線７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄ、７２ｅと、第１電極７１ｆ、７１ｇに対応して設けられた第１配線７２ｆと、を有する。第１配線７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄ、７２ｅ、７２ｆは、それぞれ、第１電極７１から支持部２２の端部まで引き回されている。
【００６６】
なお、第１配線７２は、多層配線構造となっていてもよく、この場合、例えば、絶縁層２４上にレジスト材料を用いた絶縁層を設け、当該絶縁層上に第１電極７１を設けるとともに、当該絶縁層と絶縁層２４との間に第１配線７２の少なくとも一部を配置すればよい。
【００６７】
金属層７３は、平面視で、前述した第１電極７１および第１配線７２が設けられていない箇所を埋めるように、第１振動板２の支持部２２上に設けられている。これにより、支持部１２の厚さを振動部１１の厚さに揃えることが容易となる。また、支持部１２において、第１振動板２と圧電素子４との間に介在する接着剤６１の量を少なくすることができる。そのため、支持部１２の機械的特性（例えば剛性）を高めることができる。
【００６８】
一方、第２振動板３の絶縁層３４上には、配線層８が配置されている。配線層８は、図９に示すように、振動部３１上に配置されている第２電極８１と、第２電極８１から支持部３２上にわたって配置されている第２配線８２と、を有する。これらは、例えば、公知の成膜工程により一括して形成される。
【００６９】
第２電極８１は、平面視で、前述した圧電素子４の第２電極４３に重なって配置されている。第２電極８１は、平面視で、振動部３１の幅方向および長手方向のほぼ全域にわたって配置されている。ここで、第２電極８１は、図９に示すように、第２電極８１の厚さ方向に貫通する複数の開口部８０を有する。この開口部８０は、接着剤６２の逃げ部として機能する。そのため、第２電極８１を振動部３１の広範囲にわたって設けても、振動部３１と圧電素子４との間に介在する接着剤６１が当該間から外部へ漏れ出すのを低減することができる。そのため、優れた振動特性の圧電アクチュエーター１（振動部１１）を実現することができる。
【００７０】
本実施形態では、各開口部８０は、四角形をなしている。また、複数の開口部８０は、行列状に規則的に配置されている。なお、各開口部８０の平面視形状は、図示の形状に限定されず、例えば、円形、楕円形、三角形、五角形、六角形等の他の多角形、ストライプ形状、異形状等であってもよい。また、複数の開口部８０の大きさまたは形状は、互いに異なっていてもよい。また、複数の開口部８０の配置は、不規則であってもよい。
【００７１】
また、平面視における振動部３１の面積に対する第２電極８１の面積の割合は、用いる接着剤６２の種類等によっても異なり、特に限定されないが、５％以上６０％以下であることが好ましく、１０％以上５０％以下であることがより好ましい。言い換えると、平面視で振動部３１の面積に対する開口部８０の面積の割合（第２電極８１における開口率）は、４０％以上９５％以下であることが好ましく、５０％以上９０％以下であることがより好ましい。これにより、第２電極８１を平面視で振動部３１の幅方向および長手方向のほぼ全域にわたって配置しつつ、前述したような接着剤６２の逃げ部としての機能を好適に発揮する開口部８０を実現することができる。
【００７２】
また、このように平面視で振動部３１の幅方向および長手方向のほぼ全域にわたって配置されている第２電極８１は、平面視で、圧電素子４の駆動時に応力が集中する部分を包含する。したがって、前述した第１振動板２と圧電素子４との間の駆動力の伝達と同様、圧電素子４から第２振動板３へ駆動力を効率的に伝達することができる。
【００７３】
第２配線８２は、平面視で支持部３２のほぼ全域にわたって配置されている。また、第２配線８２は、各接続部３３上を経由して、第２電極８１に接続されている。また、第２配線８２の端部には、図示しない基板に電気的に接続される端子９２が設けられている（図４参照）。
【００７４】
なお、第２配線８２は、多層配線構造となっていてもよく、この場合、例えば、絶縁層３４上にレジスト材料を用いた絶縁層を設け、当該絶縁層上に第２電極８１を設けるとともに、当該絶縁層と絶縁層２４との間に第２配線８２の少なくとも一部を配置すればよい。
【００７５】
このような配線層７、８および端子９２の構成材料としては、それぞれ、特に限定されず、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等の金属材料が挙げられる。また、配線層７、８および端子９２は、それぞれ、公知の成膜法を用いて形成することができる。
【００７６】
以上のように、圧電アクチュエーター１は、第１振動板２と、第２振動板３と、第１振動板２と第２振動板３との間に配置されている圧電素子４と、第１振動板２に配置され、圧電素子４に電気的に接続されている第１電極７１と、第２振動板３に配置され、圧電素子４に電気的に接続されている第２電極８１と、を備える。そして、第１電極７１は、圧電素子４の駆動時に応力が集中する部分（点ＰＳａ、ＰＳｂ、ＰＳｃ、ＰＳｄを中心とする所定範囲）に重なって配置されている部分を有する（図７参照）。
【００７７】
このような圧電アクチュエーター１によれば、圧電素子４の駆動時に応力が集中する部分（点ＰＳａ、ＰＳｂ、ＰＳｃ、ＰＳｄを中心とする所定範囲）に重なって第１電極７１が配置されているため、第１振動板２と圧電素子４とを接着剤６１で接合する場合、圧電素子４の当該部分と第１振動板２との間に介在する接着剤６１を少なくすることができる。そのため、圧電素子４から第１振動板２への駆動力の伝達ロスを低減し、その結果、圧電アクチュエーター１の駆動効率を高めることができる。
【００７８】
本実施形態では、同様の観点から、第２電極８１は、圧電素子４の駆動時に応力が集中する部分（点ＰＳａ、ＰＳｂ、ＰＳｃ、ＰＳｄを中心とする所定範囲）に重なって配置されている部分を有する（図８参照）。これにより、圧電素子４から第２振動板３への駆動力の伝達ロスを低減することができる。
【００７９】
なお、第２電極８１は、前述したように、グランド側の電極であって、圧電素子４の一方の面に広範囲にわたって設けられている第２電極４３に接続される電極である。そのため、第２電極８１が第２電極４３に接続されていれば、圧電素子４の駆動時に第２振動板３の応力が集中する部分に第２電極８１自体が配置されていなくても、第２電極８１とは離間した他の金属層を当該部分に設けることで、同様の効果を得ることもできる。
【００８０】
また、第２電極８１は、複数の開口部８０を有する（図９参照）。これにより、第２振動板３と圧電素子４とを接着剤６２で接合する場合、第２電極８１の開口部８０を接着剤６２の逃げ部として機能させることができる。そのため、第２電極４３、８１の双方が広範囲にわたって設けられていても、接着剤６２が局所的に厚くなったり第２振動板３の端部に漏れ出したりするのを低減することができる。その結果、圧電アクチュエーター１の振動漏れや余計な振動モードの発生を低減することができる。
【００８１】
さらに、圧電素子４は、圧電体４１と、圧電体４１に配置され、第１電極７１に電気的に接続されている第３電極である第１電極４２と、圧電体４１に配置され、第２電極８１に電気的に接続されている第４電極である第２電極４３と、を有する。そして、第１電極４２（第３電極）は、平面視で分散して配置され、第１材料で構成されている複数の第１部分４２１と、平面視で複数の第１部分４２１間を埋めるように配置され、第１材料とは異なる第２材料で構成されている第２部分４２２と、を有する（図５参照）。これにより、第１材料および第２材料のうちの一方を化学的に安定な導電性材料とし、他方を接着剤に対する濡れ性に優れた導電性材料とすることで、第１電極７１と圧電素子４（より具体的には第１電極４２）との間の接着性および導通信頼性の双方を優れたものとすることができる。
【００８２】
なお、圧電素子４の第２電極４３（第４電極）も第１電極４２と同様に第１材料および第２材料を用いて構成してもよい。これにより、第２電極８１と圧電素子４（より具体的には第２電極４３）との間の接着性および導通信頼性の双方を優れたものとすることができる。
【００８３】
ここで、第１部分４２１および第２部分４２２の構成材料（第１材料および第２材料）は、一方が金を含み、他方がニッケルを含んでいることが好ましい。金は、化学的に極めて安定な導電性材料であり、一方、ニッケルは、接着剤６１、６２に対する濡れ性に優れる導電性材料である。したがって、第１材料および第２材料として、これらの金属を用いることで、第１電極７１および第２電極８１のうちの少なくとも一方と圧電素子４との間の接着性および導通信頼性の双方を特に優れたものとすることができる。
【００８４】
また、圧電アクチュエーター１は、第１振動板２に配置され、第１電極７１と電気的に絶縁されている金属層７３を備える（図７参照）。これにより、第１振動板２と中間部材５（圧電素子４以外の他の部材）とを接着剤６１で接合する場合、第１電極７１と中間部材５との間においても、介在する接着剤６１を少なくすることができる。そのため、第１振動板２および中間部材５の互いの固定状態の安定性を高めることができる。その結果、圧電アクチュエーター１の振動特性を高めることができる。
【００８５】
また、圧電駆動装置１００は、前述したような圧電アクチュエーター１と、圧電アクチュエーター１により駆動される被駆動部材であるローター１１０と、を備える。このような圧電駆動装置１００によれば、圧電アクチュエーター１の優れた特性を利用して、圧電駆動装置１００の特性を高めることができる。
【００８６】
＜第２実施形態＞
図１０は、本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエーターが備える第１振動板および第１電極を示す平面図（圧電素子側から見た図）である。なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１０において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【００８７】
図１０に示す圧電アクチュエーター１Ａでは、第１振動板２の振動部２１上に第１電極７１Ａが配置されている。この第１電極７１Ａは、第１電極７１ｈ、７１ｉ、７１ｊ、７１ｋ、７１ｌ、７１ｆ、７１ｇを有する。第１電極７１ｈ、７１ｉ、７１ｊ、７１ｋ、７１ｌ、７１ｆ、７１ｇは、それぞれ、平面視で、対応する第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅ、４２ｆ、４２ｇに重なって配置されている。
【００８８】
ここで、第１電極７１ｈ、７１ｉ、７１ｊ、７１ｋは、平面視で、前述したような圧電素子４の駆動時の応力分布に応じた形状（点ＰＳａ、ＰＳｂ、ＰＳｃ、ＰＳｄを中心とする円を２分割した半円形）をなしている。また、第１電極７１ｌは、平面視で、略菱形をなしている。このように、第１電極７１Ａは、圧電素子４の駆動時の応力分布に応じた形状をなす部分を有する。これにより、圧電素子４から第１振動板２へ駆動力を特に効率的に伝達することができる。
【００８９】
以上のような第２実施形態の圧電アクチュエーター１Ａによっても、駆動効率を高めることができる。
【００９０】
＜第３実施形態＞
図１１は、本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエーターが備える第１振動板および第１電極を示す平面図（圧電素子側から見た図）である。なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１１において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【００９１】
図１１に示す圧電アクチュエーター１Ｂでは、第１電極７１が、前述した第１実施形態の圧電素子４の第１電極４２と同様、互いに異なる材料を組み合わせて構成されている。
【００９２】
すなわち、第１電極７１は、平面視で分散して配置され、第１材料で構成されている複数の第１部分７１１と、平面視で複数の第１部分７１１間を埋めるように配置され、第１材料とは異なる第２材料で構成されている第２部分７１２と、を有する。これにより、第１材料および第２材料のうちの一方を化学的に安定な導電性材料とし、他方を接着剤に対する濡れ性に優れた導電性材料とすることで、第１電極７１と圧電素子との間の接着性および導通信頼性の双方を優れたものとすることができる。
【００９３】
ここで、第１材料および第２材料は、一方が金を含み、他方がニッケルを含んでいることが好ましい。金は、化学的に極めて安定な導電性材料であり、一方、ニッケルは、接着剤に対する濡れ性に優れる導電性材料である。したがって、第１材料および第２材料として、これらの金属を用いることで、第１電極７１と圧電素子との間の接着性および導通信頼性の双方を特に優れたものとすることができる。
【００９４】
以上のような第３実施形態の圧電アクチュエーター１Ｂによっても、駆動効率を高めることができる。
【００９５】
＜第４実施形態＞
図１２は、本発明の第４実施形態に係る圧電アクチュエーターが備える第２振動板および第２電極を示す平面図（圧電素子側から見た図）である。なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１２において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【００９６】
図１２に示す圧電アクチュエーター１Ｃでは、第２電極８１が、前述した第１実施形態の圧電素子４の第１電極４２と同様、互いに異なる材料を組み合わせて構成されている。
【００９７】
すなわち、第２電極８１は、平面視で分散して配置され、第１材料で構成されている複数の第１部分８１１と、平面視で複数の第１部分８１１間を埋めるように配置され、第１材料とは異なる第２材料で構成されている第２部分８１２と、を有する。第１材料および第２材料のうちの一方を化学的に安定な導電性材料とし、他方を接着剤に対する濡れ性に優れた導電性材料とすることで、第２電極８１と圧電素子との間の接着性および導通信頼性の双方を優れたものとすることができる。
【００９８】
ここで、第１材料および第２材料は、一方が金を含み、他方がニッケルを含んでいることが好ましい。金は、化学的に極めて安定な導電性材料であり、一方、ニッケルは、接着剤に対する濡れ性に優れる導電性材料である。したがって、第１材料および第２材料として、これらの金属を用いることで、第２電極８１と圧電素子との間の接着性および導通信頼性の双方を特に優れたものとすることができる。
【００９９】
以上のような第４実施形態の圧電アクチュエーター１Ｃによっても、駆動効率を高めることができる。
【０１００】
２．ロボット
次に、本発明のロボットの実施形態について説明する。
【０１０１】
図１３は、本発明のロボットの実施形態を示す斜視図である。
図１３に示すロボット１０００は、精密機器やこれを構成する部品（対象物）の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット１０００は、６軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース１０１０と、ベース１０１０に回動自在に連結されたアーム１０２０と、アーム１０２０に回動自在に連結されたアーム１０３０と、アーム１０３０に回動自在に連結されたアーム１０４０と、アーム１０４０に回動自在に連結されたアーム１０５０と、アーム１０５０に回動自在に連結されたアーム１０６０と、アーム１０６０に回動自在に連結されたアーム１０７０と、これらアーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０の駆動を制御する制御部１０８０と、を有している。また、アーム１０７０にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット１０００に実行させる作業に応じたエンドエフェクター１０９０が装着される。また、各関節部のうちの全部または一部には、圧電アクチュエーター１、１Ａ、１Ｂまたは１Ｃを備える圧電駆動装置１００が搭載されており、この圧電駆動装置１００の駆動によって各アーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０が回動する。なお、各圧電駆動装置１００の駆動は、制御部１０８０によって制御される。
【０１０２】
以上のようなロボット１０００は、圧電アクチュエーター１、１Ａ、１Ｂまたは１Ｃを備える。このようなロボット１０００によれば、圧電アクチュエーター１、１Ａ、１Ｂまたは１Ｃの優れた特性を利用して、ロボット１０００の特性を高めることができる。
【０１０３】
３．電子部品搬送装置
次に、本発明の電子部品搬送装置の実施形態について説明する。
【０１０４】
図１４は、本発明の電子部品搬送装置の実施形態を示す斜視図である。図１５は、図１４に示す電子部品搬送装置が備える電子部品保持部の斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。
【０１０５】
図１４に示す電子部品搬送装置２０００は、電子部品検査装置に適用されており、基台２１００と、基台２１００の側方に配置された支持台２２００と、を有している。また、基台２１００には、検査対象の電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される上流側ステージ２１１０と、検査済みの電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される下流側ステージ２１２０と、上流側ステージ２１１０と下流側ステージ２１２０との間に位置し、電子部品Ｑの電気的特性を検査する検査台２１３０と、が設けられている。なお、電子部品Ｑの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、ＣＬＤやＯＬＥＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種ＭＥＭＳデバイス等などが挙げられる。
【０１０６】
また、支持台２２００には、支持台２２００に対してＹ軸方向に移動可能なＹステージ２２１０が設けられており、Ｙステージ２２１０には、Ｙステージ２２１０に対してＸ軸方向に移動可能なＸステージ２２２０が設けられており、Ｘステージ２２２０には、Ｘステージ２２２０に対してＺ軸方向に移動可能な電子部品保持部２２３０が設けられている。
【０１０７】
また、図１５に示すように、電子部品保持部２２３０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な微調整プレート２２３１と、微調整プレート２２３１に対してＺ軸まわりに回動可能な回動部２２３２と、回動部２２３２に設けられ、電子部品Ｑを保持する保持部２２３３と、を有している。また、電子部品保持部２２３０には、微調整プレート２２３１をＸ軸方向に移動させるための圧電アクチュエーター１（１ｘ）と、微調整プレート２２３１をＹ軸方向に移動させるための圧電アクチュエーター１（１ｙ）と、回動部２２３２をＺ軸まわりに回動させるための圧電アクチュエーター１（１θ）と、が内蔵されている。なお、圧電アクチュエーター１は、圧電アクチュエーター１Ａ、１Ｂまたは１Ｃに代えることができる。
【０１０８】
以上のような電子部品搬送装置２０００は、圧電アクチュエーター１、１Ａ、１Ｂまたは１Ｃを備える。このような電子部品搬送装置２０００によれば、圧電アクチュエーター１、１Ａ、１Ｂまたは１Ｃの優れた特性を利用して、電子部品搬送装置２０００の特性を高めることができる。
【０１０９】
４．プリンター
図１６は、本発明のプリンターの実施形態を示す斜視図である。
【０１１０】
図１６に示すプリンター３０００は、インクジェット記録方式のプリンターである。このプリンター３０００は、装置本体３０１０と、装置本体３０１０の内部に設けられている印刷機構３０２０、給紙機構３０３０および制御部３０４０と、を備えている。
【０１１１】
装置本体３０１０には、記録用紙Ｐを設置するトレイ３０１１と、記録用紙Ｐを排出する排紙口３０１２と、液晶ディスプレイ等の操作パネル３０１３とが設けられている。
【０１１２】
印刷機構３０２０は、ヘッドユニット３０２１と、キャリッジモーター３０２２と、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりヘッドユニット３０２１を往復動させる往復動機構３０２３と、を備えている。ヘッドユニット３０２１は、インクジェット式記録ヘッドであるヘッド３０２１ａと、ヘッド３０２１ａにインクを供給するインクカートリッジ３０２１ｂと、ヘッド３０２１ａおよびインクカートリッジ３０２１ｂを搭載したキャリッジ３０２１ｃと、を有している。往復動機構３０２３は、キャリッジ３０２１ｃを往復移動可能に支持しているキャリッジガイド軸３０２３ａと、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりキャリッジ３０２１ｃをキャリッジガイド軸３０２３ａ上で移動させるタイミングベルト３０２３ｂと、を有している。
【０１１３】
給紙機構３０３０は、互いに圧接している従動ローラー３０３１および駆動ローラー３０３２と、駆動ローラー３０３２を駆動する給紙モーターである圧電駆動装置１００（圧電アクチュエーター１、１Ａ、１Ｂまたは１Ｃ）と、を有している。
【０１１４】
制御部３０４０は、例えばパーソナルコンピュータ等のホストコンピュータから入力された印刷データに基づいて、印刷機構３０２０や給紙機構３０３０等を制御する。
【０１１５】
このようなプリンター３０００では、給紙機構３０３０が記録用紙Ｐを一枚ずつヘッドユニット３０２１の下部近傍へ間欠送りする。このとき、ヘッドユニット３０２１が記録用紙Ｐの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Ｐへの印刷が行なわれる。
【０１１６】
以上のようなプリンター３０００は、圧電アクチュエーター１、１Ａ、１Ｂまたは１Ｃを備える。このようなプリンター３０００によれば、圧電アクチュエーター１、１Ａ、１Ｂまたは１Ｃの優れた特性を利用して、プリンター３０００の特性を高めることができる。
【０１１７】
５．プロジェクター
図１７は、本発明のプロジェクターの実施形態を示す模式図である。
【０１１８】
図１７に示すプロジェクター４０００は、赤色光を出射する光源４１００Ｒと、緑色光を出射する光源４１００Ｇと、青色光を出射する光源４１００Ｂと、レンズアレイ４２００Ｒ、４２００Ｇ、４２００Ｂと、透過型の液晶ライトバルブ（光変調部）４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂと、クロスダイクロイックプリズム４４００と、投射レンズ（投射部）４５００と、前述した圧電駆動装置１０と、を有している。
【０１１９】
光源４１００Ｒ、４１００Ｇ、４１００Ｂから出射された光は、各レンズアレイ４２００Ｒ、４２００Ｇ、４２００Ｂを介して、液晶ライトバルブ４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂに入射する。各液晶ライトバルブ４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂは、入射した光をそれぞれ画像情報に応じて変調する。
【０１２０】
各液晶ライトバルブ４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂによって変調された３つの色光は、クロスダイクロイックプリズム４４００に入射して合成される。クロスダイクロイックプリズム４４００によって合成された光は、投射光学系である投射レンズ４５００に入射する。投射レンズ４５００は、液晶ライトバルブ４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂによって形成された像を拡大して、スクリーン（表示面）４６００に投射する。これにより、スクリーン４６００上に所望の映像が映し出される。ここで、投射レンズ４５００は、圧電アクチュエーター１、１Ａ、１Ｂまたは１Ｃを有する圧電駆動装置４７００に支持されており、圧電駆動装置４７００の駆動により位置および姿勢の変更（位置決め）が可能となっている。これにより、スクリーン４６００に投射される映像の形状や大きさ等を調整することができる。
【０１２１】
なお、上述の例では、光変調部として透過型の液晶ライトバルブを用いたが、液晶以外のライトバルブを用いてもよいし、反射型のライトバルブを用いてもよい。このようなライトバルブとしては、例えば、反射型の液晶ライトバルブや、デジタルマイクロミラーデバイス（Digital Micromirror Device）が挙げられる。また、投射光学系の構成は、使用されるライトバルブの種類によって適宜変更される。また、プロジェクターとしては、光をスクリーン上で走査させることにより、表示面に所望の大きさの画像を表示させる走査型のプロジェクターであってもよい。
【０１２２】
以上のように、プロジェクター４０００は、圧電アクチュエーター１、１Ａ、１Ｂまたは１Ｃを備える。このようなプロジェクター４０００によれば、圧電アクチュエーター１、１Ａ、１Ｂまたは１Ｃの優れた特性を利用して、プロジェクター４０００の特性を高めることができる。
【０１２３】
以上、本発明の圧電アクチュエーター、圧電駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【０１２４】
また、前述した実施形態では圧電アクチュエーターを圧電駆動装置（圧電モーター）、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターに適用した構成について説明したが、圧電アクチュエーターは、これら以外の各種電子デバイスにも適用することができる。
【符号の説明】
【０１２５】
１…圧電アクチュエーター、１Ａ…圧電アクチュエーター、１Ｂ…圧電アクチュエーター、１Ｃ…圧電アクチュエーター、１ｘ…圧電アクチュエーター、１ｙ…圧電アクチュエーター、１θ…圧電アクチュエーター、２…第１振動板、３…第２振動板、３ｆ…圧電素子、４…圧電素子、４ａ…圧電素子、４ｂ…圧電素子、４ｃ…圧電素子、４ｄ…圧電素子、４ｅ…圧電素子、４ｆ…圧電素子、４ｇ…圧電素子、５…中間部材、７…配線層、８…配線層、１０…圧電駆動装置、１１…振動部、１２…支持部、１３…接続部、１４…凸部、２１…振動部、２２…支持部、２３…接続部、２４…絶縁層、３１…振動部、３２…支持部、３３…接続部、３４…絶縁層、４１…圧電体、４２…第１電極、４２ａ…第１電極、４２ｂ…第１電極、４２ｃ…第１電極、４２ｄ…第１電極、４２ｅ…第１電極、４２ｆ…第１電極、４２ｇ…第１電極、４３…第２電極、５１…本体、５２…絶縁層、５３…配線、６１…接着剤、６２…接着剤、７１…第１電極、７１Ａ…第１電極、７１ａ…第１電極、７１ｂ…第１電極、７１ｃ…第１電極、７１ｄ…第１電極、７１ｅ…第１電極、７１ｆ…第１電極、７１ｇ…第１電極、７１ｈ…第１電極、７１ｉ…第１電極、７１ｊ…第１電極、７１ｋ…第１電極、７１ｌ…第１電極、７２…第１配線、７２ａ…第１配線、７２ｂ…第１配線、７２ｃ…第１配線、７２ｄ…第１配線、７２ｅ…第１配線、７２ｆ…第１配線、７３…金属層、８０…開口部、８１…第２電極、８２…第２配線、９１…端子、９２…端子、１００…圧電駆動装置、１１０…ローター、１１１…外周面、４２１…第１部分、４２２…第２部分、７１１…第１部分、７１２…第２部分、８１１…第１部分、８１２…第２部分、１０００…ロボット、１０１０…ベース、１０２０…アーム、１０３０…アーム、１０４０…アーム、１０５０…アーム、１０６０…アーム、１０７０…アーム、１０８０…制御部、１０９０…エンドエフェクター、２０００…電子部品搬送装置、２１００…基台、２１１０…上流側ステージ、２１２０…下流側ステージ、２１３０…検査台、２２００…支持台、２２１０…Ｙステージ、２２２０…Ｘステージ、２２３０…電子部品保持部、２２３１…微調整プレート、２２３２…回動部、２２３３…保持部、３０００…プリンター、３０１０…装置本体、３０１１…トレイ、３０１２…排紙口、３０１３…操作パネル、３０２０…印刷機構、３０２１…ヘッドユニット、３０２１ａ…ヘッド、３０２１ｂ…インクカートリッジ、３０２１ｃ…キャリッジ、３０２２…キャリッジモーター、３０２３…往復動機構、３０２３ａ…キャリッジガイド軸、３０２３ｂ…タイミングベルト、３０３０…給紙機構、３０３１…従動ローラー、３０３２…駆動ローラー、３０４０…制御部、４０００…プロジェクター、４１００Ｂ…光源、４１００Ｇ…光源、４１００Ｒ…光源、４２００Ｂ…レンズアレイ、４２００Ｇ…レンズアレイ、４２００Ｒ…レンズアレイ、４３００Ｂ…液晶ライトバルブ、４３００Ｇ…液晶ライトバルブ、４３００Ｒ…液晶ライトバルブ、４４００…クロスダイクロイックプリズム、４５００…投射レンズ、４６００…スクリーン、４７００…圧電駆動装置、Ｏ…回動軸、Ｐ…記録用紙、Ｑ…電子部品、Ｐ���ａ…点、ＰＳｂ…点、ＰＳｃ…点、ＰＳｄ…点
【図１】
2019068546.tif 000003
【図２】
2019068546.tif 000004
【図３】
2019068546.tif 000005
【図４】
2019068546.tif 000006
【図５】
2019068546.tif 000007
【図６】
2019068546.tif 000008
【図７】
2019068546.tif 000009
【図８】
2019068546.tif 000010
【図９】
2019068546.tif 000011
【図１０】
2019068546.tif 000012
【図１１】
2019068546.tif 000013
【図１２】
2019068546.tif 000014
【図１３】
2019068546.tif 000015
【図１４】
2019068546.tif 000016
【図１５】
2019068546.tif 000017
【図１６】
2019068546.tif 000018
【図１７】
2019068546.tif 000019