(57)【要約】【課題】  フォイル軸受において、低コストに軸受の負荷容量を増大させること。【解決手段】  筒状のフォイルホルダ１１と、フォイルホルダ１１の内周面１１ａに沿って並べて配された複数のフォイル１３とを備え、各フォイル１３が、支持すべき軸６の外周面６ａに対向する軸受面Ｓが備わったトップフォイル部Ｔｆと、隣接するフォイル１３のトップフォイル部Ｔｆを軸受面Ｓの裏側から弾性支持するバックフォイル部Ｂｆとを有し、トップフォイル部Ｔｆの軸受面Ｓと軸６の外周面６ａとの間の軸受隙間ｈに形成された流体膜で軸６を回転自在に支持するフォイル軸受１０について、フォイルホルダ１１の内周面１１ａが、樹脂層１１ｙの表面で構成されるようにした。【選択図】図３
2019138374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状のフォイルホルダと、該フォイルホルダの内周面に沿って並べて配された複数のフォイルとを備え、各フォイルが、支持すべき軸の外周面に対向する軸受面が備わったトップフォイル部と、隣接するフォイルの前記トップフォイル部を前記軸受面の裏側から弾性支持するバックフォイル部とを有し、
前記トップフォイル部の軸受面と前記軸の外周面との間の軸受隙間に形成された流体膜で前記軸を回転自在に支持するフォイル軸受であって、
前記フォイルホルダの内周面が、該フォイルホルダに含まれた弾性材の表面で構成されていることを特徴とするフォイル軸受。
【請求項２】
前記フォイルホルダが焼結金属でなる筒状体を母材としてなり、前記筒状体の内周面に沿って前記弾性材が固定されていることを特徴とする請求項１に記載のフォイル軸受。
【請求項３】
前記フォイルホルダの外周面と、前記フォイルホルダの軸方向端面との少なくとも一方が、前記焼結金属の表面で構成されていることを特徴とする請求項２に記載のフォイル軸受。
【請求項４】
前記弾性材の軸径方向に沿った厚みが、０．０１ｍｍ〜５ｍｍの範囲内であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のフォイル軸受。
【請求項５】
前記フォイルと前記弾性材とが一体に形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のフォイル軸受。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のフォイル軸受と、前記軸とを備えたフォイル軸受ユニット。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれかに記載のフォイル軸受と、前記軸とを備えたターボ機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸を回転自在に支持するフォイル軸受、フォイル軸受を備えたフォイル軸受ユニット及びターボ機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスタービンやターボチャージャ等のターボ機械の主軸を支持する軸受には、高温・高速回転といった過酷な環境に耐え得ることが要求される。このような条件下での使用に適する軸受として、特許文献１に開示されるようなフォイル軸受が着目されている。
【０００３】
同文献に開示されたフォイル軸受は、筒状のフォイルホルダと、このフォイルホルダの内周面に沿って配され、軸受面を有するフォイルとを備えている。フォイルは、曲げに対する剛性の低い可撓性を有する薄膜である。フォイル軸受は、フォイルの軸受面の撓みを許容しながら荷重を支持するものであり、軸の回転時には、軸の外周面とフォイルの軸受面との間の軸受隙間に流体膜（例えば、空気膜）が形成され、軸が非接触で支持される。
【０００４】
ところで、フォイル軸受は、潤滑剤が気体であるため、オイルを潤滑剤とする動圧軸受に比べて低トルクで軸を回転させ得るという長所がある。一方で、軸受の負荷容量は潤滑剤の粘度に依存することから、フォイル軸受は、オイルを潤滑剤とする動圧軸受に比べて負荷容量が小さいという短所がある。従って、フォイル軸受の適用範囲を拡大するためには、更なる負荷容量の増大が必要となる。
【０００５】
ここで、図８に概念的に示すように、動圧軸受の負荷容量の大小は、潤滑剤の粘度だけでなく、軸１００の外周面１００ａと、この外周面１００ａに対向する軸受２００の内周面２００ａとの間に形成される軸受隙間ｈの大小にも依存する。そして、軸受隙間ｈが小さくなるほど負荷容量が大きくなる。このため、フォイル軸受の負荷容量を増大させるには、軸の外周面とフォイルの軸受面との間の軸受隙間を可及的に小さくすることが有効となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１５−１１３９２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、下記の理由により、上記の軸受隙間を単純に小さくしようとしても、負荷容量を増大させることが困難なのが現状であった。
【０００８】
すなわち、図９に誇張して示すように、軸１００の外周面１００ａや軸受２００の内周面２００ａには、これらの部材の加工精度に起因して、うねりや突起（以下、まとめて凹凸と言う）が不可避的に存在する。そのため、上記の軸受隙間が小さくなっていくと、やがて軸１００の外周面１００ａの凹凸と軸受２００の内周面２００ａの凹凸とが接触してしまい、それ以上は負荷容量を大きくすることが不可能となる。これはフォイル軸受においても同様であり、フォイルホルダの内周面に存在する凹凸に起因して、内周面に沿って配されたフォイルが凹凸に倣って変形し、結果として軸受面に凹凸が現れる。これにより、軸受隙間が小さくなっていくと、やがて軸の外周面の凹凸とフォイルの軸受面の凹凸とが接触してしまう。
【０００９】
なお、軸受の負荷容量を増大させることを目的として、軸や軸受の加工精度を向上させることにより、凹凸を抑制する対策をとることも考えられるが、その場合には、製造コストが大幅に高騰してしまう難点がある。このような事情から、フォイル軸受において、低コストに軸受の負荷容量を増大させ得る技術が必要となっていた。
【００１０】
本発明は、フォイル軸受において、低コストに軸受の負荷容量を増大させることを技術的な課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するためになされた本発明は、筒状のフォイルホルダと、フォイルホルダの内周面に沿って並べて配された複数のフォイルとを備え、各フォイルが、支持すべき軸の外周面に対向する軸受面が備わったトップフォイル部と、隣接するフォイルのトップフォイル部を軸受面の裏側から弾性支持するバックフォイル部とを有し、トップフォイル部の軸受面と軸の外周面との間の軸受隙間に形成された流体膜で軸を回転自在に支持するフォイル軸受であって、フォイルホルダの内周面が、フォイルホルダに含まれた弾性材の表面で構成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明のフォイル軸受では、フォイルホルダの内周面が、フォイルホルダに含まれた弾性材の表面で構成されている。これにより、軸が偏心して軸受隙間が小さくなっていく際、流体膜の圧力分布の変動に付随し、フォイルホルダの内周面および内周面に沿って配されたフォイル（トップフォイル部）の軸受面を、共に軸の外周面の凹凸に倣うように弾性変形させることができる。その結果、フォイルの軸受面が変形した分だけ、軸の外周面とフォイルの軸受面との間の軸受隙間を小さくすることが可能となり、軸受の負荷容量を増大させることができる。また、本発明のフォイル軸受では、負荷容量を増大させるに際して、フォイルホルダの内周面をフォイルホルダに含まれた弾性材の表面で構成するだけでよい。このため、負荷容量の増大を目的として、例えば、フォイルホルダの内周面の加工精度を向上させる等の大幅なコストの高騰を回避できる。以上のことから、本発明のフォイル軸受によれば、低コストに軸受の負荷容量を増大させることが可能となる。
【００１３】
上記のフォイル軸受では、フォイルホルダが焼結金属でなる筒状体を母材としてなり、筒状体の内周面に沿って弾性材が固定されていてもよい。
【００１４】
このようにすれば、焼結金属でなる筒状体をフォイルホルダの母材としたことで、弾性材の表面で構成されるフォイルホルダの内周面の寸法精度を向上させることができる。また、焼結金属に含まれる空孔を利用したアンカー効果により、弾性材を筒状体の内周面に対して強固に固定できる。
【００１５】
上記のフォイル軸受では、フォイルホルダの外周面と、フォイルホルダの軸方向端面との少なくとも一方が、焼結金属の表面で構成されていてもよい。
【００１６】
このようにすれば、フォイル軸受をターボ機械等に組み込むにあたり、組み込み上の利点が得られる。すなわち、組み込みに圧入を利用する際にクリープによる不具合の発生を回避できる、フォイル軸受とターボ機械等との締結強度が向上する等の利点が得られる。
【００１７】
上記のフォイル軸受では、弾性材の軸径方向に沿った厚みが、０．０１ｍｍ〜５ｍｍの範囲内であってもよい。
【００１８】
弾性材の軸径方向に沿った厚みが０．０１ｍｍ以上であれば、軸が偏心した際に、フォイルホルダの内周面を軸の外周面の凹凸に倣うように弾性変形させる上で好適となる。さらに、弾性材の軸径方向に沿った厚みが５ｍｍ以下であれば、弾性材の表面で構成されるフォイルホルダの内周面の形状精度を高める上で好適となる。以上のことから、弾性材の軸径方向に沿った厚みが０．０１ｍｍ〜５ｍｍの範囲内であれば、フォイルホルダの内周面を好適に弾性変形させつつ、内周面の形状精度についても高めることが可能となる。
【００１９】
上記のフォイル軸受では、フォイルと弾性材とが一体に形成されていてもよい。
【００２０】
このようにすれば、フォイルホルダにフォイルを保持するための部位を設ける必要がなくなる。このため、当該部位を設けるためのコストが不要となり、更に低コスト化を図ることが可能となる。
【００２１】
上記のフォイル軸受と軸とを、フォイル軸受ユニットとしてユニット化すれば、これらを一体的に取り扱うことができ、ターボ機械等への組み付けが容易となる。
【００２２】
上記のフォイル軸受は、ターボ機械に好適に適用することが可能である。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、フォイル軸受において、低コストに軸受の負荷容量を増大させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】ガスタービンの構成を概念的に示す図である。
【図２】ガスタービンに備わったロータの支持構造を示す断面図である。
【図３】支持構造に組み込まれたフォイル軸受ユニットを示す断面図である。
【図４】（ａ）はラジアルフォイル軸受のフォイルの斜視図であり、（ｂ）は三枚のフォイルを仮組みした状態の斜視図である。
【図５】フォイル軸受の作用を概念的に説明するための断面図である。
【図６】フォイル軸受の作用を概念的に説明するための断面図である。
【図７】フォイル軸受ユニットの変形例を示す断面図である。
【図８】従来における課題を概念的に説明するための断面図である。
【図９】従来における課題を概念的に説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１に、ターボ機械の一例であるガスタービンの構成を概念的に示す。このガスタービンは、翼列を形成したタービン１および圧縮機２と、発電機３と、燃焼器４と、再生器５とを主たる構成要素として備えている。タービン１、圧縮機２、および発電機３には、水平方向に延びる共通の軸６が設けられ、この軸６と、タービン１および圧縮機２とで一体に回転が可能なロータが構成される。吸気口７から吸入された空気は、圧縮機２で圧縮され、再生器５で加熱された上で燃焼器４に送り込まれる。この圧縮空気に燃料を混合して燃焼させ、高温、高圧のガスでタービン１を回転させる。タービン１の回転が軸６を介して発電機３に伝達され、発電機３が回転することにより発電し、この電力がインバータ８を介して出力される。タービン１を回転させた後のガスは比較的高温であるため、このガスを再生器５に送り込んで燃焼前の圧縮空気との間で熱交換を行うことで、燃焼後のガスの熱を再利用する。再生器５で熱交換を終えたガスは、排熱回収装置９を通ってから排ガスとして排出される。
【００２６】
図２に、上記のガスタービンに備わったロータの支持構造の一例を示す。この支持構造では、軸方向に間隔を空けて二箇所にラジアル軸受１０が配置され、軸６のフランジ部６ｂを挟んで軸方向の両側にそれぞれスラスト軸受２０が配置される。このラジアル軸受１０およびスラスト軸受２０により、軸６が回転自在に支持されている。
【００２７】
この支持構造において、タービン１と圧縮機２との相互間に位置した領域は、高温、高圧のガスにより回転するタービン１に隣接していることから、高温雰囲気となる。この高温雰囲気下では、潤滑油やグリース等からなる潤滑剤が変質したり、蒸発したりしてしまうため、これらの潤滑剤を使用する通常の軸受（転がり軸受等）を適用することが難しい。そのため、この種の支持構造にて使用される軸受１０、２０としては、空気動圧軸受、特にフォイル軸受が適している。
【００２８】
以下、上記のガスタービン用に適したフォイル軸受１０、および、フォイル軸受１０を備えたフォイル軸受ユニット３０の構成を図面に基づいて説明する。
【００２９】
フォイル軸受１０は、図３に示すように、筒状（図示例では円筒状）のフォイルホルダ１１と、フォイルホルダ１１に保持された複数（図示例では三枚）のフォイル１３とを備えている。複数のフォイル１３は、フォイルホルダ１１の内周面１１ａに沿って周方向に並べて配置されている。このフォイル軸受１０と、フォイル軸受１０が支持する軸６とにより、フォイル軸受ユニット３０が構成される。
【００３０】
フォイルホルダ１１は、母材である焼結金属でなる筒状体１１ｘと、筒状体１１ｘの内周面１１ｘａに沿って固定された弾性材としての樹脂層１１ｙとを備えている。筒状体１１ｘをなす焼結金属には、空孔が含まれている。この空孔を利用したアンカー効果により、樹脂層１１ｙが筒状体１１ｘの内周面１１ｘａに対して強固に固定されている。
【００３１】
フォイルホルダ１１の内周面１１ａは、樹脂層１１ｙの表面で構成される。一方、フォイルホルダ１１の外周面１１ｃは、筒状体１１ｘをなす焼結金属の表面で構成される。このように外周面１１ｃが焼結金属の表面で構成されることで、圧入を利用して上記のガスタービンにフォイル軸受１０を組み込む際に、クリープによる不具合の発生を回避できる、ガスタービンとの締結強度が向上する等の利点が得られる。
【００３２】
樹脂層１１ｙは、筒状に丸めた状態の樹脂でなるシートを筒状体１１ｘの内周面１１ｘａに対して接着することで形成してもよいし、筒状体１１ｘに対してインサート成形することで形成してもよい。この樹脂層１１ｙは、軸受隙間に形成される流体膜の圧力分布の変動に伴い、軸径方向に沿って弾性変形できる程度の弾性係数を有する。なお、樹脂層１１ｙの弾性係数は、焼結金属の弾性係数よりも小さくなっている。樹脂層１１ｙの軸径方向に沿った厚みは、０．０１ｍｍ〜５ｍｍの範囲内とすることが好ましい。この範囲内とすれば、後に詳述するように、軸６が偏心した際に、フォイルホルダ１１の内周面１１ａを好適に弾性変形させ得ると共に、内周面１１ａの形状精度についても高めることが可能である。樹脂層１１ｙをなす樹脂としては、例えば、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）やＰＡＩ（ポリアミドイミド）等を採用することができる。しかしながら、この限りではなく、耐熱性・耐摩耗性を考慮して使用条件に応じて別の樹脂を採用してもよい。
【００３３】
筒状体１１ｘの内周面１１ｘａには、溝１１ｂが形成されている。本実施形態では、内周面１１ｘａの周方向に沿って、等間隔で複数箇所（図示例では三箇所）に溝１１ｂが配置されている。各溝１１ｂは軸方向に沿って延びている。上述のとおり筒状体１１ｘは焼結金属でなり、例えば、溝１１ｂを含めて一体に型成形されている。なお、フォイル軸受１０が比較的低温の環境で使用される場合には、筒状体１１ｘを樹脂で型成形してもよい。つまり、フォイルホルダ１１全体を樹脂で構成してもよい。
【００３４】
図４（ａ）に示すように、各フォイル１３は、周方向一端に設けられた凸部１３ｃと、周方向他端に設けられた凹部１３ｄとを備えている。各フォイル１３の凸部１３ｃと凹部１３ｄとは、軸方向において同一位置に設けられている。図４（ｂ）に示すように、各フォイル１３の凸部１３ｃを、隣接するフォイル１３の凹部１３ｄに嵌め込むことで、三枚のフォイル１３を筒状に仮組みすることができる。この場合、図３に示すように、軸方向から視て、各フォイル１３の周方向一端（凸部１３ｃ）と、隣接するフォイル１３の周方向他端（凹部１３ｄを挟んで軸方向の両側に形成された凸部１３ｅ）とが交差した状態となる。この状態で、各フォイル１３がフォイルホルダ１１に保持されている。具体的には、各フォイル１３の周方向他端の凸部１３ｅがフォイルホルダ１１の溝１１ｂに差し込まれ、各フォイル１３の周方向一端の凸部１３ｃが、隣接するフォイル１３の外径面１３ｂとフォイルホルダ１１の内周面１１ａとの間に配される。この場合、複数のフォイル１３の回転方向の前方側への移動は、各フォイル１３の凸部１３ｅが溝１１ｂの角部に突き当たることで規制される。一方、複数のフォイル１３の回転方向の後方側への移動は規制されない。これにより、複数のフォイル１３が、フォイルホルダ１１に対して周方向に移動可能とされている。
【００３５】
各フォイル１３において、内径面１３ａが隣接するフォイル１３から内周側に露出した部位は、軸６の外周面６ａに対向するラジアル軸受面Ｓ（以下、単に軸受面Ｓと言う）が備わったトップフォイル部Ｔｆとして機能する（図３を参照）。なお、図示例では、三枚のフォイル１３で多円弧型の軸受面Ｓを形成している。フォイルホルダ１１の内周面１１ａと各フォイル１３の外径面１３ｂとの間には、各フォイル１３を外径面１３ｂ側から弾性支持するための部材（バンプフォイル等）は設けられていない。そして、フォイル１３の外径面１３ｂとフォイルホルダ１１の内周面１１ａとが摺動可能とされている。各フォイル１３の凸部１３ｃは、上記の弾性支持するための部材に代わって、隣接するフォイル１３のトップフォイル部Ｔｆを軸受面Ｓの裏側（外径面１３ｂ側）から弾性支持するバックフォイル部Ｂｆとして機能する。
【００３６】
フォイル１３は、バネ性に富み、且つ、加工性のよい金属（例えば、鋼材料や銅合金）でなる厚さが２０μｍ〜２００μｍ程度の帯状フォイルとして形成されている。本実施形態のフォイル軸受１０のように、流体膜として空気を用いる空気動圧軸受では、雰囲気に潤滑油が存在しないため、油による防錆効果は期待できない。鋼材料や銅合金の代表例として、炭素鋼や黄銅を挙げることができるが、一般的な炭素鋼では錆による腐食が発生し易く、黄銅では加工ひずみによる置き割れを生じることがある（黄銅中のＺｎの含有量が多いほどこの傾向が強まる）。そのため、帯状フォイルとしては、ステンレス鋼もしくは青銅製のものを使用することが好ましい。
【００３７】
以上の構成において、軸６が円周方向の一方側（図３の矢印方向）に回転すると、トップフォイル部Ｔｆの軸受面Ｓと軸６の外周面６ａとの間に軸受隙間ｈ（図６を参照）が形成されると共に、軸受隙間ｈに形成される空気膜の圧力により軸６がラジアル方向（軸径方向）に支持される。
【００３８】
このとき、フォイル１３が有する可撓性により、トップフォイル部Ｔｆの軸受面Ｓが、荷重や軸６の回転速度、周囲の温度等の運転条件に応じて任意に変形するため、軸受隙間ｈは運転条件に応じた適切な大きさに自動調整される。そのため、高温・高速回転といった過酷な条件下でも、軸受隙間を最適な大きさに管理することができ、軸６を安定して支持することが可能となる。
【００３９】
また、本実施形態のフォイル軸受１０では、フォイルホルダ１１の内周面１１ａが、弾性材である樹脂層１１ｙの表面で構成されることで、下記のような作用までもが得られる。以下、当該作用について、図５及び図６を参照して説明する。なお、両図では、軸６とフォイル軸受１０とのうち、軸６側の凹凸（軸６の外周面６ａに存在するうねりや突起等の凹凸）の図示は省略し、フォイル軸受１０側の凹凸のみを図示している。また、両図のいずれにおいても、凹凸は実際よりも誇張して表している。
【００４０】
まず、本実施形態のフォイル軸受１０との対比のため、図５に示すように、仮想的にフォイルホルダ１１の内周面１１ａが、筒状体１１ｘの内周面１１ｘａで構成される場合について説明する。
【００４１】
この場合、筒状体１１ｘの内周面１１ｘａに不可避的に存在する凹凸に起因して、内周面１１ｘａ上に位置したフォイル１３が凹凸に倣って変形し、結果として軸受面Ｓに凹凸が現れる。そして、軸６が偏心して軸受隙間ｈが小さくなっていく際、軸６の外周面６ａの凹凸（図示省略）と軸受面Ｓの凹凸とが接触した時の軸受隙間ｈの大きさが、軸受隙間ｈの最小値となる。なお、筒状体１１ｘをなす焼結金属の弾性係数の大きさから、流体膜の圧力分布が変動したとしても内周面１１ｘａが略変形しないため、内周面１１ｘａの凹凸に起因して軸受面Ｓに凹凸が現れることは回避できない。
【００４２】
次に、図６に示すように、本実施形態のとおり、フォイルホルダ１１の内周面１１ａが、樹脂層１１ｙの表面で構成される場合について説明する。
【００４３】
この場合、軸６が偏心して軸受隙間ｈが小さくなっていく際、流体膜の圧力分布の変動に付随し、フォイルホルダ１１の内周面１１ａおよび内周面１１ａ上に位置したフォイル１３（トップフォイル部Ｔｆ）の軸受面Ｓを、共に軸６の外周面６ａの凹凸（図示省略）に倣うように弾性変形させることができる。このため、フォイル１３の軸受面Ｓが変形した分だけ、軸６の外周面６ａとフォイル１３の軸受面Ｓとの間の軸受隙間ｈを小さくすることが可能となり、負荷容量を増大させることができる。
【００４４】
また、本実施形態のフォイル軸受１０では、負荷容量を増大させるに際して、フォイルホルダ１１の内周面１１ａを樹脂層１１ｙの表面で構成するだけでよい。このため、負荷容量の増大を目的として、例えば、筒状体１１ｘの内周面１１ｘａの加工精度を向上させて凹凸を抑制する等の大幅なコストの高騰を招く加工を回避できる。
【００４５】
以下、フォイル軸受ユニット３０の変形例について説明する。なお、変形例の説明において、上記の実施形態で説明済みの要素と実質的に同一の要素については、同一の符号を付すことで重複する説明を省略し、上記の実施形態との相違点についてのみ説明する。
【００４６】
図７に示すように、変形例のフォイル軸受ユニット３０が、上記の実施形態のフォイル軸受ユニット３０と相違している点は、これに備わったフォイル軸受１０において、フォイル１３と樹脂層１１ｙとが一体に形成されている点と、筒状体１１ｘから溝１１ｂが排除されている点である。本変形例では、フォイル１３が樹脂層１１ｙと同一の樹脂で構成されている。また、本変形例では、上記の実施形態における凸部１３ｅに相当する部位が樹脂層１１ｙと連続していることで、フォイル１３と樹脂層１１ｙとが一体とされている。本変形例によれば、フォイルホルダ１１にフォイル１３を保持するための溝１１ｂを設ける必要がなくなる。このため、溝１１ｂを設けるためのコストが不要となり、更に低コスト化を図ることが可能となる。
【００４７】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加え得る。上記フォイル軸受の形状は一例であり、上記の形状に限定されない事は勿論である。
【００４８】
上記の実施形態では、フォイルホルダ１１の外周面１１ｃが、焼結金属の表面で構成されているが、これに代えて又はこれに加えて、フォイルホルダ１１の軸方向端面Ｅｓ（図２を参照）を焼結金属の表面で構成してもよい。また、上記の実施形態では、弾性材として樹脂を採用しているが、これ以外であっても、フォイルホルダ１１の内周面１１ａを弾性変形させ得る材質を弾性材として採用してもよい。
【００４９】
本発明に係るフォイル軸受ユニット３０の適用対象は、上記のガスタービンには限らず、例えば、過給機のロータを支持する軸受としても使用できる。さらに、本発明に係るフォイル軸受は、ガスタービンや過給機等のターボ機械に限らず、（１）潤滑油等の液体による潤滑が困難である、（２）エネルギー効率の観点から潤滑油循環系の補機を別途設けることが困難である、（３）液体のせん断による抵抗が問題になる、等の制限下で使用される自動車等の車両用軸受、更には、産業機器用の軸受として広く使用できる。
【００５０】
また、以上に説明したフォイル軸受は、流体膜として空気膜を形成する空気動圧軸受であるが、これに限らず、流体膜として他のガスや液体でなる膜を形成するものであってもよい。このため、潤滑剤として、他のガス、或いは、水や油等の液体を使用できる。
【符号の説明】
【００５１】
６          軸
６ａ        軸の外周面
１０        フォイル軸受
１１        フォイルホルダ
１１ａ      フォイルホルダの内周面
１１ｃ      フォイルホルダの外周面
１１ｘ      筒状体
１１ｘａ    筒状体の内周面
１１ｙ      樹脂層
１３        フォイル
３０        フォイル軸受ユニット
Ｅｓ        フォイルホルダの軸方向端面
ｈ          軸受隙間
Ｓ          軸受面
Ｔｆ        トップフォイル部
Ｂｆ        バックフォイル部
【図１】
2019138374.tif 000003
【図２】
2019138374.tif 000004
【図３】
2019138374.tif 000005
【図４】
2019138374.tif 000006
【図５】
2019138374.tif 000007
【図６】
2019138374.tif 000008
【図７】
2019138374.tif 000009
【図８】
2019138374.tif 000010
【図９】
2019138374.tif 000011