(57)【要約】【課題】多様な大きさの低コントラスト欠陥を検出できる検査装置等を提供する。【解決手段】検査装置は、検査対象を撮影して得られた検査画像を背景処理して補正画像を作成し、補正画像を異なる縮小率で縮小した複数の縮小画像を作成する。そして、各縮小画像において、隣接する複数の画素によって構成される積算ブロック内の各画素の画素値を積算し、算出された積算値を積算ブロックに対応する位置の画素の画素値とする積算画像を作成する。この際、積算ブロックのサイズを変えて縮小画像のそれぞれから複数の積算画像を作成する。さらに、検査装置は、各積算画像に対し異なるサイズのフィルタを用いたフィルタ処理を行って濃淡を強調した複数の濃淡強調画像を作成し、各濃淡強調画像から欠陥を検出する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象を撮影して得られた検査画像または前記検査画像に基づいて作成された画像において、隣接する複数の画素によって構成される積算ブロック内の各画素の画素値を積算し、算出された積算値を前記積算ブロックに対応する位置の画素値とした積算画像を作成する積算画像作成部と、
前記積算画像または前記積算画像に基づいて作成された欠陥画像から前記検査対象の欠陥を検出する検査処理部と、
を有し、
前記積算画像作成部は、
前記積算ブロックのサイズを変えて複数の前記積算画像を作成し、
前記検査処理部は、
複数の前記積算画像のそれぞれから、または複数の前記積算画像に基づいて作成された複数の前記欠陥画像のそれぞれから、前記欠陥を検出することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記検査画像または前記検査画像に基づいて作成された画像を縮小した縮小画像を、縮小率を変えて複数作成する縮小画像作成部を有し、
前記積算画像作成部は、
複数の前記縮小画像のそれぞれについて、前記積算ブロックのサイズを変えて複数の前記積算画像を作成することを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記積算画像に対し複数のサイズのフィルタを適用し、前記積算画像の濃淡を強調した複数の濃淡強調画像を作成する濃淡強調部を有し、
前記検査処理部は、
複数の前記濃淡強調画像のそれぞれから、前記欠陥を検出することを特徴とする請求項１または請求項２記載の検査装置。
【請求項４】
前記検査処理部は、
複数の前記積算画像または複数の前記欠陥画像から検出された欠陥の画像内における相対位置が同じ場合、いずれか１つの欠陥についての記録を行うことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】
コンピュータが、
検査対象を撮影して得られた検査画像または前記検査画像に基づいて作成された画像において、隣接する複数の画素によって構成される積算ブロック内の各画素の画素値を積算し、算出された積算値を前記積算ブロックに対応する位置の画素値とした積算画像を作成するステップと、
前記積算画像または前記積算画像に基づいて作成された欠陥画像から前記検査対象の欠陥を検出するステップと、
を実行し、
前記積算画像を作成する際、
前記積算ブロックのサイズを変えて複数の前記積算画像を作成し、
前記欠陥を検出する際、
複数の前記積算画像のそれぞれから、または複数の前記積算画像に基づいて作成された複数の前記欠陥画像のそれぞれから、前記欠陥を検出することを特徴とする検査方法。
【請求項６】
コンピュータを、
検査対象を撮影して得られた検査画像または前記検査画像に基づいて作成された画像において、隣接する複数の画素によって構成される積算ブロック内の各画素の画素値を積算し、算出された積算値を前記積算ブロックに対応する位置の画素値とした積算画像を作成する積算画像作成部と、
前記積算画像または前記積算画像に基づいて作成された欠陥画像から前記検査対象の欠陥を検出する検査処理部と、
を有し、
前記積算画像作成部は、
前記積算ブロックのサイズを変えて複数の前記積算画像を作成し、
前記検査処理部は、
複数の前記積算画像のそれぞれから、または複数の前記積算画像に基づいて作成された複数の前記欠陥画像のそれぞれから、前記欠陥を検出する検査装置として機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学フィルムなどの欠陥を検査する検査装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学フィルムの欠陥を検査する検査装置では、照明からフィルムに照明光を照射し、フィルムから反射した照明光またはフィルムを透過した照明光をラインセンサで撮影して、得られた画像に対し画像処理を行うことで欠陥を検出している。
【０００３】
欠陥にはフィルム表面の凹凸や異物、スジやムラ等が含まれる。その中でも、ムラのような欠陥は画像上では低コントラストで現れ、正常部との輝度差が小さいため、画素毎の解析では検出が困難である。
【０００４】
一方、特許文献１では、画像内の隣接する複数の画素をまとめた積算ブロックを作成し、積算ブロック内の画素の濃度値を積算することで、正常部との濃淡差を強調して低コントラストの欠陥を検出する方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2005-265467号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来技術では積算ブロックのサイズによって検出可能な欠陥の大きさが限られるという課題があった。
【０００７】
例えば図１２（ａ）に示すように、画像１００内の欠陥１１０の大きさに対し積算ブロックＢ１、Ｂ２のサイズが小さいと、正常部にある積算ブロックＢ１と欠陥１１０内にある積算ブロックＢ２との間で積算値の差が小さくなり欠陥１１０を検出しにくくなる。
【０００８】
逆に図１２（ｂ）に示すように積算ブロックＢ１、Ｂ２のサイズが欠陥１１０に対し大きいと、演算量が増加する上、欠陥１１０を内包する積算ブロックＢ２内の正常部の割合が増え、正常部にある積算ブロックＢ１と積算ブロックＢ２との間の積算値の差が積算値に対して小さくなり欠陥１１０を検出しにくくなる。
【０００９】
そのため、従来技術では検出したい欠陥の大きさに合わせて適切な積算ブロックのサイズを設定する必要があり、大きさの違う欠陥は検出することが難しく、多様な大きさの欠陥を検出するという点で課題があった。
【００１０】
本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、多様な大きさの欠陥を検出できる検査装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述した課題を解決するための第１の発明は、検査対象を撮影して得られた検査画像または前記検査画像に基づいて作成された画像において、隣接する複数の画素によって構成される積算ブロック内の各画素の画素値を積算し、算出された積算値を前記積算ブロックに対応する位置の画素値とした積算画像を作成する積算画像作成部と、前記積算画像または前記積算画像に基づいて作成された欠陥画像から前記検査対象の欠陥を検出する検査処理部と、を有し、前記積算画像作成部は、前記積算ブロックのサイズを変えて複数の前記積算画像を作成し、前記検査処理部は、複数の前記積算画像のそれぞれから、または複数の前記積算画像に基づいて作成された複数の前記欠陥画像のそれぞれから、前記欠陥を検出することを特徴とする検査装置である。
【００１２】
このように、本発明では、複数のサイズの積算ブロックを予め用意しておき、各サイズの積算ブロックを用いて上記の積算画像作成処理を行うことで、特にムラのような低コントラストの欠陥について、多様な大きさの欠陥を検出可能とできる。
【００１３】
前記検査画像または前記検査画像に基づいて作成された画像を縮小した縮小画像を、縮小率を変えて複数作成する縮小画像作成部を有し、前記積算画像作成部は、複数の前記縮小画像のそれぞれについて、前記積算ブロックのサイズを変えて複数の前記積算画像を作成することが望ましい。
これにより、より多様な大きさの欠陥を検出できるとともに、縮小画像を使用して積算画像作成処理を行うことで積算時の演算量を抑える事ができる。
【００１４】
前記積算画像に対し複数のサイズのフィルタを適用し、前記積算画像の濃淡を強調した複数の濃淡強調画像を作成する濃淡強調部を有し、前記検査処理部は、複数の前記濃淡強調画像のそれぞれから、前記欠陥を検出することも望ましい。
このように、複数のサイズのフィルタを上記の積算画像に対して適用することで、多様な大きさの欠陥を容易に検出可能とできる。
【００１５】
前記検査処理部は、複数の前記積算画像または複数の前記欠陥画像から検出された欠陥の画像内における相対位置が同じ場合、いずれか１つの欠陥についての記録を行うことが望ましい。
複数の画像から検出された欠陥の画像内での相対位置が同じ場合、同一の欠陥を複数の画像で捉えていると考えられるので、いずれか１つの欠陥についてのみ記録を行うことで、重複記録を防ぐことができる。
【００１６】
第２の発明は、コンピュータが、検査対象を撮影して得られた検査画像または前記検査画像に基づいて作成された画像において、隣接する複数の画素によって構成される積算ブロック内の各画素の画素値を積算し、算出された積算値を前記積算ブロックに対応する位置の画素値とした積算画像を作成するステップと、前記積算画像または前記積算画像に基づいて作成された欠陥画像から前記検査対象の欠陥を検出するステップと、を実行し、前記積算画像を作成する際、前記積算ブロックのサイズを変えて複数の前記積算画像を作成し、前記欠陥を検出する際、複数の前記積算画像のそれぞれから、または複数の前記積算画像に基づいて作成された複数の前記欠陥画像のそれぞれから、前記欠陥を検出することを特徴とする検査方法である。
【００１７】
第３の発明は、コンピュータを、検査対象を撮影して得られた検査画像または前記検査画像に基づいて作成された画像において、隣接する複数の画素によって構成される積算ブロック内の各画素の画素値を積算し、算出された積算値を前記積算ブロックに対応する位置の画素値とした積算画像を作成する積算画像作成部と、前記積算画像または前記積算画像に基づいて作成された欠陥画像から前記検査対象の欠陥を検出する検査処理部と、を有し、前記積算画像作成部は、前記積算ブロックのサイズを変えて複数の前記積算画像を作成し、前記検査処理部は、複数の前記積算画像のそれぞれから、または複数の前記積算画像に基づいて作成された複数の前記欠陥画像のそれぞれから、前記欠陥を検出する検査装置として機能させるためのプログラムである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明により、多様な大きさの欠陥を検出できる検査装置等を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】検査システム１を示す図。
【図２】検査装置３のハードウェア構成を示す図。
【図３】検査装置３の機能構成を示す図。
【図４】検査方法の手順を示すフローチャート。
【図５】画像の作成順を示す図。
【図６】検査画像２００を示す図。
【図７】基準画像２０１、目標輝度画像２０２、補正画像２０３を示す図。
【図８】縮小画像２０４を示す図。
【図９】積算画像作成処理について説明する図。
【図１０】濃淡強調処理について説明する図。
【図１１】異なる濃淡強調画像２０７において、画像内の欠陥２１０の相対位置が同じ例。
【図１２】積算ブロックのサイズと積算値について説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００２１】
（１．検査システム１）
図１は本発明の実施形態に係る検査装置３を含む検査システム１を示す図である。図１に示すように、検査システム１は、検査装置３、撮影装置５等を有する。
【００２２】
検査装置３は、検査システム１での検査全体を制御し、後述する手順により検査対象１０の欠陥検査を行うものである。検査対象１０は例えばウェブ状の光学フィルムであり、その表面を撮影した検査画像に基づいて欠陥の検査が行われる。特に本実施形態では、光学フィルムのムラ等、検査画像上で低コントラストとなる欠陥の検査を好適に行うことができる。
【００２３】
図２は検査装置３のハードウェア構成を示す図である。図２に示すように、検査装置３は、例えば制御部３１、記憶部３２、入力部３３、表示部３４、通信制御部３５等をバス３６により接続して構成したコンピュータにより実現できる。但しこれに限ることなく、適宜様々な構成をとることができる。
【００２４】
制御部３１はCPU、ROM、RAMなどから構成される。CPUは、記憶部３２、ROMなどの記憶媒体に格納された検査装置３の処理に係るプログラムをRAM上のワークエリアに呼び出して実行する。ROMは不揮発性メモリであり、ブートプログラムやBIOSなどのプログラム、データなどを恒久的に保持している。RAMは揮発性メモリであり、記憶部３２、ROMなどからロードしたプログラムやデータを一時的に保持するとともに、制御部３１が各種処理を行うために使用するワークエリアを備える。
【００２５】
記憶部３２はハードディスクドライブやソリッドステートドライブ、フラッシュメモリ等であり、制御部３１が実行するプログラム、プログラム実行に必要なデータ、OSなどが格納される。これらのプログラムやデータは、制御部３１により必要に応じて読み出され実行される。
【００２６】
入力部３３は検査装置３に各種の設定入力を行うものである。
表示部３４は例えば液晶ディスプレイ等である。
通信制御部３５はネットワーク等を介した通信を媒介する通信インタフェースであり、撮影装置５等との間で通信を行う。
バス３６は、検査装置３の各部間の制御信号、データ信号等の授受を媒介する経路である。
【００２７】
撮影装置５は検査対象１０を撮影する。撮影装置５はラインセンサであり、検査対象１０を図１の矢印ａに示す方向に搬送しつつ、当該方向と平面において直交する検査対象１０の幅方向の撮影ラインｂに沿って検査対象１０の撮影を行うことで、検査画像を得ることができる。
【００２８】
ラインセンサは、検査対象１０の幅方向に沿った複数の受光素子を有し、それぞれの受光素子で受光した光を電気信号に変換する。各受光素子での受光量により、検査画像において検査対象１０の幅方向に並んだ各画素の画素値が定まる。
【００２９】
特に図示しないが、本実施形態では、検査対象１０の撮影用に、検査対象１０に照明光を照射する照明なども別途設けられる。照明は検査対象１０から見て撮影装置５と同じ側に配置し、検査対象１０から反射した照明光を撮影装置５によって受光するようにしてもよいし、照明を検査対象１０から見て撮影装置５の反対側に配置し、検査対象１０を透過した照明光を撮影装置５によって受光するようにしてもよい。
【００３０】
図３は検査装置３の機能構成を示す図である。図３に示すように、検査装置３は、背景処理部１１、縮小画像作成部１２、積算画像作成部１３、濃淡強調部１４、検査処理部１５を有する。
【００３１】
背景処理部１１は、受光素子の感度のばらつきや照明光のムラに伴って検査画像に生じる輝度の違いを補正し、補正画像を作成するものである。
【００３２】
縮小画像作成部１２は、補正画像を縮小した縮小画像を、縮小率を変えて複数枚作成するものである。ただし、補正画像を所定の縮小率で縮小することで、１枚の補正画像に対し１枚の縮小画像を作成するようにしてもよい。
【００３３】
積算画像作成部１３は、縮小画像のそれぞれに対し、複数のサイズの積算ブロックを用いて複数枚の積算画像を作成する。積算ブロックおよび積算画像の作成方法については後述する。
【００３４】
濃淡強調部１４は、積算画像のそれぞれに対し任意のサイズのフィルタを適用することで濃淡を強調し、濃淡強調画像を作成するものである。本実施形態では、サイズの異なる複数のフィルタを積算画像に適用することで、１枚の積算画像に対し複数枚の濃淡強調画像を作成する。ただし、積算画像に所定のサイズのフィルタを適用することで、１枚の積算画像に対し１枚の濃淡強調画像を作成するようにしてもよい。
【００３５】
検査処理部１５は、濃淡強調画像のそれぞれから欠陥の検出を行うものである。
【００３６】
（２．検査方法）
次に、本実施形態に係る検査方法について説明する。図４は検査方法の手順を示すフローチャートであり、図５は画像の作成順を示す図である。図４の各ステップは検査装置３の制御部３１によって実行される。
【００３７】
ここでは、検査対象１０を撮影装置５によって撮影した検査画像が検査装置３の制御部３１によって取得された状態とする。図６はこの検査画像２００の画素値を表わした例である。以下の説明では、画像の横方向（x方向）の位置を順にx=0、1、2、3…とするとともに、画像の縦方向（y方向）の位置を順にy=0、1、2、3…とする。画像の横方向は検査対象１０の幅方向すなわちラインセンサにおける受光素子の配列方向に対応する。画像の縦方向は検査対象１０の搬送方向に対応する。
【００３８】
検査画像２００の各画素の画素値は、画像の横方向の位置xと縦方向の位置yを用いてV(x,y)と表すものとする。検査画像２００の横方向の各位置の画素値は、ラインセンサの個々の受光素子での受光量に対応する。検査画像２００では、画素値が例えば0〜255までの値であり、画素値が高いほど画像上の輝度が高いものとする。
【００３９】
（Ｓ１：検査画像２００の背景処理）
本実施形態では、まずＳ１において検査画像２００の背景処理を行い、ラインセンサの個々の受光素子の感度のばらつきや、検査対象１０の幅方向における照明光のムラに伴う検査画像２００の輝度の違いを補正する。すなわち、上記のような受光素子の感度のばらつきや照明光のムラがあると、画像の横方向の位置によって輝度が低く（あるいは高く）出易くなるため、Ｓ１ではこれを補正する。
【００４０】
具体的には、まず検査画像２００の横方向の位置xにおける画素値の基準値kxを、検査画像２００の縦方向の画素数をy_sizeとして以下の式（１）によって算出する。式（１）では、基準値kxを検査画像２００の横方向の位置xにある全画素の画素値の平均によって求めている。
kx={V(x,0)+V(x,1)+V(x,2)+V(x,3)…}/y_size…式（１）
【００４１】
そして、図７（ａ）に示すように、検査画像２００と同じサイズ（縦横の画素数をいう。以下同様とする）の画像において、横方向の位置xにある全画素の画素値を基準値kxとした基準画像２０１を作成する。
【００４２】
そして、検査画像２００、基準画像２０１、および検査画像２００と同じサイズで全画素の画素値を目標輝度値vとした目標輝度画像２０２（図７（ｂ）参照）を用いて、図７（ｃ）に示す補正画像２０３の各画素の画素値V’(x,y)を以下の式（２）または式（３）で求める。vは例えば128とする。
V’(x,y)=V(x,y)−kx＋v…式（２）
V’(x,y)={V(x,y)/kx}・v…式（３）
【００４３】
このように、補正画像２０３の横方向の位置xにおける画素値は、基準値kxに対する相対値として表される。そのため、前記のように画像の横方向の位置によって輝度が低く（あるいは高く）出易くなるのを解消できる。
【００４４】
なお、Ｓ１では、地合等のノイズ成分を除去するため、処理前の検査画像２００あるいは処理後の補正画像２０３に対し必要に応じて平滑化処理を行っても良い。また、一度作成した基準画像２０１は他の所定枚数の検査画像２００の背景処理に適用することも可能である。
【００４５】
（Ｓ２：縮小画像作成）
Ｓ２では、補正画像２０３の横方向を1/n倍、縦方向を1/m倍(n,mは自然数)に縮小した縮小画像を、n,mの値（縮小率）を変えて複数枚作成する。
【００４６】
縮小方法は特に限定されず、最近傍法、バイリニア補間法、バイキュービック補間法等の既知の手法を用いることができる。例えば最近傍法による縮小を行う場合、補正画像２０３の各画素の画素値をV’(x,y)、画像の横方向の縮小率をn、縦方向の縮小率をmとすると、図８に示す縮小画像２０４の各画素の画素値R(x,y)は以下の式（４）で求めることができる。式（４）の[]は少数点以下を切り捨てることを示す。
R(x,y)=V’([(x+0.5)・n],[(y+0.5)・m])…式（４）
【００４７】
本実施形態では、n,mの値を変えて図５に示すように１枚の補正画像２０３から複数の縮小画像２０４を作成する。n,mの値は適宜定めることができ、特に限定されない。
【００４８】
（Ｓ３：積算画像作成）
本実施形態では、次に、Ｓ３において、縮小画像２０４のそれぞれに対して積算画像を作成する。
【００４９】
Ｓ３では、図９（ａ）に示すように、縮小画像２０４の隣接する複数の画素によって構成される積算ブロックＢ内の画素の画素値を積算し、その積算値を積算画像２０５の積算ブロックＢに対応する位置にある画素の画素値としてあてはめる処理を、積算ブロックＢの位置を変えながら縮小画像２０４の全体で行う。これにより積算画像２０５を作成する。
【００５０】
図９（ａ）の例では縮小画像２０４の縦横2画素分の積算ブロックＢを用いて積算画像２０５を作成しており、本実施形態では隣り合う積算ブロックＢが縮小画像２０４内で重ならないようにする。この場合、積算画像２０５の各画素の画素値I（x,y）は以下の式（５）で表すことができる。
I(x,y)=R(2x,2y)+R(2x,2y+1)+R(2x+1,2y)+R(2x+1,2y+1)…式（５）
【００５１】
一方、図９（ｂ）のように隣り合う積算ブロックＢが重なるようにしてもよく、図９（ｂ）のように上下左右に１画素分ずつ重なる場合、積算画像２０５の各画素の画素値I（x,y）は以下の式（６）で表すことができる。
I(x,y)=R(x,y)+R(x,y+1)+R(x+1,y)+R(x+1,y+1)…式（６）
【００５２】
本実施形態では、積算ブロックＢのサイズを変えて図５に示すように１枚の縮小画像２０４から複数の積算画像２０５を作成する。用いる積算ブロックＢのサイズは予め定めることができ、特に限定されない。
【００５３】
（Ｓ４：濃淡強調処理）
Ｓ４では、積算画像２０５のそれぞれに対し、任意の大きさのフィルタを適用することで濃淡を強調した濃淡強調画像を作成する。フィルタの種類は濃淡を強調するものであれば特に限定されず、例えばSobelフィルタやPrewittフィルタなどの各種の微分フィルタを用いることができる。
【００５４】
例えば積算画像２０５に図１０（ａ）に示す縦横3画素分のサイズのフィルタ２０６を適用する場合、図１０（ｂ）に示す濃淡強調画像２０７における各画素の画素値F(x,y)は以下の式（７）で表すことができる。
F(x,y)=f1・I(x-1,y-1)+f2・I(x,y-1)+f3・I(x+1,y-1)+f4・I(x-1,y)+f5・I(x,y)+f6・I(x+1,y)+f7・I(x-1,y+1)+f8・I(x,y+1)+f9・I(x+1,y+1)…式（７）
【００５５】
なお、積算画像２０５の端辺の画素にフィルタ２０６を適用するには、端辺の外側に、図１０（ｃ）、（ｄ）の点線で示す画素２０５’を追加する必要がある。図１０（ｃ）の例では、積算画像２０５の端辺の画素の外側の画素２０５’の画素値を、積算画像２０５の端辺の画素の画素値としており、図１０（ｄ）の例では、積算画像２０５の端辺の画素の外側の画素２０５’の画素値を、積算画像２０５の端辺の画素を挟んで対称となる位置にある端辺の内側の画素の画素値としている。
【００５６】
本実施形態では、図５に示すように、フィルタ２０６のサイズを変えて１枚の積算画像２０５から複数の濃淡強調画像２０７を作成する。フィルタ２０６のサイズは適宜定めることができ、特に限定されない。
【００５７】
（Ｓ５：検査処理）
Ｓ５では、濃淡強調画像２０７（欠陥画像）のそれぞれに対し欠陥の検出を行う。欠陥の検出方法は特に限定されず、既知の技術を利用可能である。
【００５８】
例えば濃淡強調画像２０７のそれぞれを任意の閾値で二値化することで、欠陥の検出を行うことができる。検出した欠陥については、任意の欠陥情報を表示部３４等で表示するなどして出力するとともに、記憶部３２への記録も行う。
【００５９】
欠陥情報は欠陥に関する情報であり、濃淡強調画像２０７を検査画像２００のサイズに変換した場合の欠陥の面積や重心座標、欠陥を含む領域を検査画像２００から所定のサイズで切り出した画像等が含まれる。この画像は、検出した欠陥が真の欠陥かどうか目視で判定する際に用いられる。ただし、上記所定のサイズより大きな低コントラスト欠陥の場合には目視での判定を行うことが困難なため、必要に応じて、検査画像２００を縮小した後の画像（縮小画像２０４など）から上記所定のサイズの領域を切り出すことも可能である。
【００６０】
また本実施形態では、図１１に示すように、複数の濃淡強調画像２０７から検出した欠陥２１０が、検査画像２００中の同じ欠陥２１０である場合がある。
【００６１】
そのため、図１１に示すように異なる濃淡強調画像２０７で欠陥２１０が検出され、各濃淡強調画像２０７内の欠陥２１０の相対位置が同じであり、各濃淡強調画像２０７を検査画像２００のサイズに拡大した時にこれらの欠陥２１０が同じ位置となるような場合、いずれか１つの濃淡強調画像２０７の欠陥２１０について欠陥情報を記録することで、同一の欠陥２１０に対して１つの欠陥情報だけを得て重複記録を防ぐようにする。例えば最もサイズが大きい濃淡強調画像２０７の欠陥２１０について欠陥情報を記録する。ただし、最もサイズが小さい濃淡強調画像２０７の欠陥２１０について欠陥情報を記録したり、最もサイズの大きなフィルタを用いた濃淡強調画像２０７の欠陥２１０について欠陥情報を記録したりすることも場合によっては可能である。
【００６２】
なお、上記の補正画像２０３、縮小画像２０４は本発明における「検査画像に基づいて作成された画像」に対応し、濃淡強調画像２０７は「積算画像に基づいて作成された欠陥画像」に対応する。
【００６３】
以上説明したように、本実施形態では、複数のサイズの積算ブロックＢを予め用意しておき、各サイズの積算ブロックＢを用いて上記の積算画像作成処理を行うことで、特にムラのような低コントラストの欠陥について、多様な大きさの欠陥を検出可能とできる。
【００６４】
また、補正画像２０３を異なる縮小率で縮小した複数の縮小画像２０４を検査に用いることで、より多様な大きさの欠陥を検出できるとともに、縮小画像２０４を使用して積算画像作成処理を行うことで積算時の演算量を抑える事ができる。
【００６５】
さらに、積算画像２０５に対し複数のサイズのフィルタを適用して複数の濃淡強調画像２０７を作成し、これらの濃淡強調画像２０７を検査に用いることで、多様な大きさの欠陥を容易に検出できる。
【００６６】
このように、本実施形態では、複数の縮小率の縮小画像２０４、複数のサイズの積算ブロックＢ、複数のサイズのフィルタを用いた濃淡強調処理という特徴によって、あらゆる大きさの低コントラスト欠陥の検査を容易にするという効果が得られる。
【００６７】
また、本実施形態では、複数の濃淡強調画像２０７から検出された欠陥２１０の当該画像内での相対位置が同じ場合、いずれか１つの欠陥のみ記録することで、異なる濃淡強調画像２０７から検出された同じ欠陥を重複して記録するのを防ぐことができる。
【００６８】
しかしながら、本発明はこれに限らない。例えば検査対象１０は特に限定されず、光学フィルム以外の各種のシート材、金属板やガラス板などの板材等でもよい。
【００６９】
また、場合によってはＳ１の背景処理やＳ２の縮小画像作成処理を省略することも可能であり、Ｓ１の背景処理を省略した場合には検査画像２００に対しＳ２の縮小画像作成処理を行うことになり、Ｓ２の縮小画像作成処理を省略した場合には補正画像２０３に対しＳ３の積算画像作成処理を行うことになる。Ｓ１の背景処理とＳ２の縮小画像作成処理を両方省略した場合には、検査画像２００に対して直接Ｓ３の積算画像作成処理を行うことになる。
【００７０】
さらに、積算画像２０５から得た濃淡強調画像２０７を既知の手法によって検査画像２００のサイズに拡大し、Ｓ５において拡大後の画像から欠陥の検出を前記と同様に行ってもよい。拡大後の画像は本発明における「積算画像に基づいて作成された欠陥画像」に対応する。また、検査装置３が欠陥の面積を所定値と比較することによりその欠陥が真の欠陥か否か判定してもよい。例えば欠陥の面積が所定値以上であればこれを真の欠陥とし、前記の欠陥情報は真の欠陥とされたものについて出力及び記録する。加えて、Ｓ４の濃淡強調処理を省略することも可能であり、この場合はＳ５において積算画像２０５のそれぞれから、あるいは各積算画像２０５を検査画像２００のサイズに拡大した後の画像のそれぞれから前記と同様に欠陥の検出を行えばよい。
【００７１】
以上、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００７２】
１：検査システム
３：検査装置
５：撮影装置
１０：検査対象
１１：背景処理部
１２：縮小画像作成部
１３：積算画像作成部
１４：濃淡強調部
１５：検査処理部
２００：検査画像
２０１：基準画像
２０２：目標輝度画像
２０３：補正画像
２０４：縮小画像
２０５：積算画像
２０６：フィルタ
２０７：濃淡強調画像
２１０：欠陥領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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