(57)【要約】【課題】  冷却された電気回路の温度を、特別な加熱手段等を必要とすることなく、短時間で常温まで戻すことができる受信器を提供すること。【解決手段】  実施形態によれば、受信器は、受信器用電気回路を封入するための断熱用真空容器と、断熱用真空容器内の気体を脱気する脱気手段と、断熱用真空容器内部の真空度を検出する真空度検出手段と、真空度検出手段によって検出された真空度に基づいて、脱気手段を制御する制御手段とを備える。【選択図】図１
2019153636.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受信器用電気回路を封入するための断熱用真空容器と、
前記断熱用真空容器内の気体を脱気する脱気手段と、
前記断熱用真空容器内部の真空度を検出する真空度検出手段と、
前記真空度検出手段によって検出された真空度に基づいて、前記脱気手段を制御する制御手段と、を備えた受信器。
【請求項２】
前記制御手段は、結露を起こさずに前記断熱用真空容器内部に熱を流入することが可能な平均熱伝導率に対応する真空度を目標真空度として決定し、前記真空度検出手段によって検出された真空度が、前記目標真空度になるように、前記脱気手段の脱気量を決定する、請求項１に記載の受信器。
【請求項３】
前記断熱用真空容器内部の温度を測定する第１の温度測定手段と、
前記断熱用真空容器外部の温度を測定する第２の温度測定手段と、
前記断熱用真空容器外部の湿度を測定する湿度測定手段とをさらに備え、
前記制御手段は、前記第２の温度測定手段によって測定された温度と、前記湿度測定手段によって測定された湿度とに基づいて、前記断熱用真空容器外部の露点温度を決定し、前記第１の温度測定手段によって測定された温度と、前記第２の温度測定手段によって測定された温度との温度差を決定し、前記露点温度と前記温度差とに基づいて、前記平均熱伝導率を決定する、請求項２に記載の受信器。
【請求項４】
前記制御手段は、前記脱気手段を作動させるＯＮ信号と、前記脱気手段の作動を停止させるＯＦＦ信号とを含む制御信号を前記脱気手段へ出力することによって、前記脱気手段を制御する、請求項１乃至３のうち何れか１項に記載の受信器。
【請求項５】
前記制御手段は、前記制御信号におけるＯＮ信号の割合であるデューティ比を変化させることによって、前記脱気手段の脱気量を変化させる、請求項４に記載の受信器。
【請求項６】
前記脱気手段は、真空ポンプである、請求項１乃至５のうち何れか１項に記載の受信器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、無線機やレーダ等に適用される受信器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、無線機やレーダ等に適用される受信器では、高感度化（低雑音化）を実現するために、受信器の電気回路を低温に維持することがなされている。
【０００３】
電気回路を低温に維持するために、例えば、特許文献１および特許文献２では、外部空間と断熱する断熱用真空容器内に電気回路が封止される。そして、受信器を動作させる場合、真空ポンプによって、該容器内の気体が脱気され、該容器内部の真空度が高められる（減圧される）ことで、該容器内への熱流入が阻止された状態で、例えばコールドプレートのような冷却手段によって、該容器内で電気回路が冷却されている。
【０００４】
この種の受信器では、動作を完全に停止する場合、該容器内のコールドプレートと電気回路とを常温に戻す必要がある。この場合、もしも該容器内が冷却されたまま真空ポンプを停止すると、該容器外部が冷やされ、結露を起こし、受信器が故障する恐れがある。
【０００５】
したがって、該容器外部での結露の発生を防止しつつ、該容器内部の温度を上昇させるために、真空ポンプを動作させたまま、コールドプレートによる冷却を停止し、例えば真空封止コネクタのような接続部等を介して該容器の外部から内部へ流入する熱によって温度を上昇させる方法が採用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２３６２０６号公報
【特許文献２】特開２０１２−２２２７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような従来の方法では、該容器の外部から内部への熱流入が少なく、該容器内部の温度は、緩やかにしか上昇しない。このため、冷却された電気回路およびコールドプレートの温度を、短時間で常温まで戻すことは困難である。
【０００８】
発明が解決しようとする課題は、冷却された電気回路およびコールドプレートの温度を、特別な加熱手段等を必要とすることなく、短時間で常温まで戻すことができる受信器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
実施形態の受信器は、受信器用電気回路を封入するための断熱用真空容器と、断熱用真空容器内の気体を脱気する脱気手段と、断熱用真空容器内部の真空度を検出する真空度検出手段と、真空度検出手段によって検出された真空度に基づいて、脱気手段を制御する制御手段とを備える。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の実施形態の受信器の構成例を示す概念図である。
【図２】真空度と平均熱伝導率との関係の一例を示す特性図である。
【図３】第１の実施形態の受信器によって、電気回路およびコールドプレートを常温に戻す場合における動作を示すフローチャートである。
【図４】第２の実施形態の受信器の構成例を示す概念図である。
【図５】露点温度を決定する際に使用される一般的な湿り空気線図である。
【図６】第２の実施形態の受信器によって、電気回路およびコールドプレートを常温に戻す場合における動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明の各実施形態の受信器を、図面を参照して説明する。
【００１２】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態の受信器１０の構成例を示す概念図である。
【００１３】
受信器１０は、高感度化（低雑音化）を実現するために、動作時において、受信器用電気回路１２（以下、単に「電気回路１２」と称する）を低温に維持する必要がある。このため、図１に例示するように、電気回路１２を封入するための断熱用真空容器（以下、単に「容器」と称する）１４と、容器１４内の空気を脱気する脱気手段である真空ポンプ１６と、容器１４に封入された電気回路１２を冷却するコールドプレート１７と、例えば液体窒素を用いて、容器１４の外部からコールドプレート１７を冷却する冷却手段１８とを備えている。
【００１４】
容器１４の外壁の一部は、一対の真空封止コネクタ２４ａ、２４ｂが外壁を貫通するように埋め込まれており、容器１４外に配置された入力端子２６ａからのケーブル２８ａが、真空封止コネクタ２４ａを介して、容器１４内に配置された電気回路１２に接続されることによって、入力端子２６ａからの入力信号が、電気回路１２へ伝送される。また、電気回路１２からの出力信号を伝送するケーブル２８ｂが、真空封止コネクタ２４ｂを介して、容器１４外に配置された出力端子２６ｂに接続されることによって、電気回路１２からの出力信号が、出力端子２６ｂへ伝送される。
【００１５】
このような構成によって、電気回路１２は、動作時には、真空ポンプ１６によって脱気された真空断熱環境の下、コールドプレート１７によって冷却され、低温に維持された状態で機能するので、高感度（低雑音）で出力信号を出力端子２６ｂへ伝送することができる。
【００１６】
一方、受信器１０は、動作を完全に停止する場合、容器１４内に配置された電気回路１２とコールドプレート１７とを常温に戻す必要がある。このため、受信器１０は、動作を完全に停止する場合、先ず、例えば、液体窒素の供給を停止することによって、冷却手段１８による冷却動作を停止させる。これによって、コールドプレート１７の冷却を停止させる。
【００１７】
受信器１０はさらに、容器１４内部の真空度を検出する真空度検出手段である真空度センサ２０と、真空度センサ２０によって検出された真空度に基づいて、真空ポンプ１６の脱気量を制御する真空ポンプ制御部２２とを備えている。なお、真空度の単位は、圧力と同様に、例えば、［Ｔｏｒｒ］（１Ｔｏｒｒ＝１３３．３２２Ｐａ）で表され、真空度が高いことは、圧力が低いことに相当し、真空度が低いことは、圧力が高いことに相当する。
【００１８】
真空度センサ２０は、容器１４内部の真空度（圧力）を検出し、検出結果を、真空ポンプ制御部２２へ出力する。
【００１９】
真空ポンプ制御部２２は、真空度センサ２０からの検出結果に基づいて、真空ポンプ１６による脱気量を算出し、算出結果に応じて、真空ポンプ１６を作動させるための制御信号のデューティ比を決定する。制御信号は、真空ポンプ１６を作動させるＯＮ信号と、真空ポンプ１６の作動を停止させるＯＦＦ信号とからなる。
【００２０】
すなわち、（制御信号の時間長さ）＝（ＯＮ信号の時間長さ）＋（ＯＦＦ信号の時間長さ）であり、デューティ比は、制御信号におけるＯＮ信号の時間長さの割合であり、（ＯＮ信号の時間長さ）／（制御信号の時間長さ）によって表される。真空ポンプ制御部２２は、このようなデューティ比を変化させることによって、真空ポンプ１６の脱気量を調節する。
【００２１】
例えば、真空ポンプ制御部２２は、脱気量を、真空ポンプ１６の最大能力の１／２になるように制御する場合、制御信号に含まれるＯＮ信号の時間長さの割合が１／２であるデューティ比＝１／２の制御信号を、真空ポンプ１６へ出力する。
【００２２】
図２は、真空度と平均熱伝導率との関係の一例を示す特性図である。この特性図は、高温側（すなわち、容器１４の外壁面）が３００（Ｋ）、低温側（すなわち、容器１４の内壁面）が７７（Ｋ）であり、高温面と低温面との面間距離（すなわち、容器１４の壁厚）が１２．７（ｍｍ）である場合におけるものである。
【００２３】
図２において、横軸の真空度の単位は［Ｔｏｒｒ］であり、縦軸の平均熱伝導率の単位は、[ｍＷ／ｍ・Ｋ]である。
【００２４】
真空ポンプ１６による脱気量が低下すると、容器１４内部の真空度が低下（圧力が上昇）する。真空度が低下（圧力が上昇）すると、図２に示すように、容器１４の外部から内部への熱伝導率が増加する。
【００２５】
図２に示す特性は、同図におけるＡに示すように、真空度が１０−５（Ｔｏｒｒ）よりも高い（すなわち、圧力が１０−５（Ｔｏｒｒ）よりも低い）のであれば、容器１４内の電気回路１２に伝わる平均熱伝導率を、非常に小さな値にすることができることを示している。
【００２６】
また、図２に示す特性は、同図におけるＢに示すように、容器１４を介した熱流入量が１（ｍＷ／ｍ・Ｋ）よりも低い場合に、結露を起こさずに容器１４内部に熱を流入することが可能であれば、容器１４内部の真空度が、１０−４（Ｔｏｒｒ）よりも高く（すなわち、圧力が１０−４（Ｔｏｒｒ）よりも低く）なるように、真空ポンプ１６を制御すればよいことを示している。
【００２７】
また、図２に示す特性は、容器１４を介した熱流入量が、最大１０（ｍＷ／ｍ・Ｋ）まで許容されるのであれば、真空度を、同図におけるＢに示す１０−４（Ｔｏｒｒ）から、同図におけるＣに示す１０−２（Ｔｏｒｒ）まで下げる（すなわち、圧力を１０−４（Ｔｏｒｒ）から１０−２（Ｔｏｒｒ）まで上げる）ことによって、容器１４の外部から内部へ流入する熱流入量（≒平均熱伝導率）が約１０倍になることを示している。
【００２８】
このような特性を利用して、受信器１０では、真空ポンプ制御部２２において、許容される範囲内で熱流入量を調整するために、真空ポンプ１６を制御して、真空度を、目標真空度まで低下させる。
【００２９】
例えば、前述したように、容器１４を介した熱流入量が、最大１０（ｍＷ／ｍ・Ｋ）まで許容されるのであれば、真空度を１０−２（Ｔｏｒｒ）まで下げても良いことになる。この場合、真空ポンプ制御部２２は、目標真空度を１０−２（Ｔｏｒｒ）と決定し、真空度センサ２０から出力された真空度の検出結果から、現在の容器１４内部の真空度が１０−２（Ｔｏｒｒ）よりも高い（すなわち、容器１４内部の圧力が１０−２（Ｔｏｒｒ）よりも低い）のであれば、制御信号のデューティ比を下げることによって、真空ポンプ１６の脱気量を低下させる。
【００３０】
真空ポンプ１６による脱気量が低下すると、容器１４内部の真空度は低下し（圧力が高くなり）、目標真空度に近づく。
【００３１】
真空度センサ２０は、容器１４内部の真空度を常時検出し、検出結果を、真空ポンプ制御部２２へ出力する。これに応じて、真空ポンプ制御部２２は、容器１４内部の真空度の低下（圧力の増加）具合に応じて、制御信号におけるデューティ比を調整する。
【００３２】
このように、真空ポンプ制御部２２は、真空ポンプ１６の脱気量を制御することによって、容器１４内部の真空度が、目標真空度になるように調整する。容器１４内部の真空度を、目標真空度にすることによって、所望の熱流入量を実現する。
【００３３】
なお、実際の容器１４では、例えば図１に示すように、真空封止コネクタ２４ａ、２４ｂのような接続部を介した熱流入もあり、熱の流入経路は、容器１４の外壁を介した熱伝導に限らず、多岐に渡る。しかしながら、仮に、熱流入経路が、容器１４の外壁を介するもののみと仮定すると、例えば、１０−４（Ｔｏｒｒ）から１０−２（Ｔｏｒｒ）まで真空度を下げる（圧力を上げる）ことによって、容器１４の外部から内部へ流入する熱流入量は約１０倍大きくなり、電気回路１２およびコールドプレート１７を常温まで昇温させるために要する時間は、１／１０となる。
【００３４】
このように、真空ポンプ１６の脱気量を制御することによって、電気回路１２およびコールドプレート１７を常温まで昇温させるために要する時間を大幅に短縮する。
【００３５】
次に、以上のように構成した本発明の第１の実施形態の受信器１０によって、電気回路１２およびコールドプレート１７を常温に戻す場合における動作を図３に示すフローチャートとともに説明する。
【００３６】
受信器１０は、高感度化（低雑音化）を実現するために、動作時に、電気回路１２が低温に維持される。このために、図１に例示するように、電気回路１２が、容器１４に封入され、容器１４内の空気が真空ポンプ１６により脱気される。これによって真空断熱環境が実現され、電気回路１２はさらに、真空断熱環境において、例えば液体窒素を用いた冷却手段１８によって、容器１４の外側から冷却されたコールドプレート１７によって冷却されることによって低温に維持される。
【００３７】
この状態から、受信器１０の動作を完全に停止させるためには、容器１４内の電気回路１２とコールドプレート１７とを常温に戻す必要がある。
【００３８】
このため、先ず、液体窒素の供給を停止することによって、冷却手段１８によるコールドプレート１７の冷却が停止される（Ｓ１）。
【００３９】
次に、容器１４内部の真空度（圧力）が、真空度センサ２０によって検出され、検出結果が、真空ポンプ制御部２２へ出力され、真空ポンプ制御部２２によって、容器１４内部の真空度（圧力）が把握される（Ｓ２）。ここでは、例えば、把握された真空度（圧力）が、図２のＢに示すように、１０−４（Ｔｏｒｒ）であるとする。
【００４０】
次に、真空ポンプ制御部２２では、ステップＳ２で把握された真空度（圧力）と、結露を起こさずに容器１４内部に熱を流入することが可能な熱流入量とに基づいて、目標真空度が決定される（Ｓ３）。
【００４１】
例えば、真空度（圧力）が、図２のＢに示すように、１０−４（Ｔｏｒｒ）である場合、図２のＣに示すように、結露を起こさずに容器１４内部に熱を流入することが可能な熱流入量が１０（ｍＷ／ｍ・Ｋ）であると仮定する。この場合、１０（ｍＷ／ｍ・Ｋ）の平均熱伝導率に対応する真空度である１０−２（Ｔｏｒｒ）が、目標真空度として決定される。
【００４２】
次に、真空ポンプ制御部２２では、現在の真空度を、目標真空度まで下げるために、デューティ比を下げた制御信号が生成され、真空ポンプ１６へ出力される（Ｓ４）。これによって、真空ポンプ１６による脱気量が低下し、容器１４内部の真空度が低下（圧力が上昇）して行く。
【００４３】
容器１４内部の真空度は常時、真空度センサ２０によって検出され、検出結果が、真空ポンプ制御部２２へ出力され、真空ポンプ制御部２２によって、容器１４内部の真空度（圧力）が把握される（Ｓ５）。
【００４４】
把握された真空度が、目標真空度に到達している（Ｓ６：Ｙｅｓ）のであれば、以降は、例えば、真空度センサ２０によって検出された真空度に応じて、真空ポンプ制御部２２によって、制御信号のデューティ比が微調整される等によって、真空度が、目標真空度に維持される（Ｓ７）。
【００４５】
一方、ステップＳ６において、把握された真空度が、目標真空度に到達していない（Ｓ６：Ｎｏ）のであれば、ステップＳ４に戻り、ステップＳ４からステップＳ５の処理が繰り返される。
【００４６】
このようにして、真空ポンプ１６による脱気量が制御され、容器１４内部の真空度が、目標真空度まで低下され、維持される。これによって、容器１４の外部から内部への所望の熱量（例えば、真空度の目標値が１０−２（Ｔｏｒｒ）であれば、１０（ｍＷ／ｍ・Ｋ））の流入が実現される。
【００４７】
なお、前述したように、実際の容器１４では、例えば図１に示すように、真空封止コネクタ２４ａ、２４ｂのような接続部を介した熱流入もあり、熱の流入経路は、容器１４の外壁を介した熱伝導に限らず、多岐に渡る。しかしながら、仮に、熱流入経路が、容器１４の外壁を介するもののみと仮定すると、上記例のように、真空度を１０−４（Ｔｏｒｒ）から１０−２（Ｔｏｒｒ）まで低下させた場合、容器１４の外部から内部へ流入する熱流入量は約１０倍となり、電気回路１２およびコールドプレート１７を常温まで昇温させるために要する時間は、１／１０となる。
【００４８】
このように、真空ポンプ１６の脱気量を制御することによって、電気回路１２およびコールドプレート１７を常温まで昇温させるために要する時間が、大幅に短縮される。
【００４９】
上述したように、本実施形態の受信器１０によれば、真空ポンプ１６の脱気量を制御し、容器１４内部の真空度を目標真空度まで低下させることによって、容器１４内部への適度な熱流入を実現し、もって、結露を伴うことなく、しかも、特別な加熱手段等を必要とすることもなく、容器１４内の電気回路１２とコールドプレート１７との温度を、短時間で常温へ戻すことが可能となる。
【００５０】
（第２の実施形態）
図４は、第２の実施形態の受信器１１の構成例を示す概念図である。
【００５１】
第２の実施形態の受信器１１は、第１の実施形態の受信器１０の変形例であるので、以下の説明に用いる図中の符号は、図１と同一部分については同一符号を付し、重複説明を避ける。
【００５２】
すなわち、受信器１１は、受信器１０に対して、容器１４内部の温度を測定する温度センサ３０と、容器１４外部の温度を測定する温度センサ３１と、容器１４外部の湿度を測定する湿度センサ３２とをさらに備える。
【００５３】
温度センサ３０は、容器１４内部の温度を常時検出し、検出結果を、真空ポンプ制御部２３へ出力する。真空度センサ２０は、容器１４内部の真空度を常時検出し、検出結果を、真空ポンプ制御部２３へ出力する。温度センサ３１は、容器１４外部の温度を常時検出し、検出結果を、真空ポンプ制御部２３へ出力する。湿度センサ３２は、容器１４外部の湿度を常時検出し、検出結果を、真空ポンプ制御部２３へ出力する。
【００５４】
真空ポンプ制御部２３は、温度センサ３１によって測定された温度と、湿度センサ３２によって測定された湿度とに基づいて、容器１４外部の露点温度を決定する。これを、図５に示す一般的な湿り空気線図を用いて説明する。
【００５５】
例えば、温度センサ３１によって測定された容器１４外部の温度が２０（℃）であり、湿度センサ３２によって測定された容器１４外部の湿度が６０（％）であった場合、この状態は、図５におけるＤ点に相当する。この時、絶対湿度が一定のまま、相対湿度が１００（％）になるときの温度は、図５におけるＥ点に示すように１２（℃）となる。従って、容器１４外部の露点温度は１２（℃）となる。
【００５６】
真空ポンプ制御部２３はさらに、温度センサ３０によって測定された容器１４内部の温度と、温度センサ３１によって測定された容器１４外部の温度との温度差を求め、この温度差と、露点温度とに基づいて、結露を起こさずに容器１４内部に熱を流入することが可能な平均熱伝導率（以下、「許容平均熱伝導率」と称する）を求める。さらには、許容平均熱伝導率から、図２に示す特性図を用いて、容器１４内部の目標真空度を決定する。
【００５７】
なお、図５から、容器１４外部の湿度が低いほど、容器１４外部の温度と、露点温度までの温度差は大きくなるので、結露しにくくなることが分かる。つまり、容器１４外部の湿度が低いほど、許容平均熱伝導率をより大きくすることができるので、容器１４外部の湿度が低い程、容器１４内の電気回路１２とコールドプレート１７との温度を、より短時間で常温へ戻すことが可能である。
【００５８】
真空ポンプ制御部２３によって、目標真空度が決定されると、例えば、液体窒素の供給を停止することによって、冷却手段１８による冷却動作を停止し、コールドプレート１７の冷却を停止する。
【００５９】
次に、真空ポンプ制御部２３は、容器１４内部の真空度を目標真空度へ低下させるために、第１の実施形態で説明したように、デューティ比を下げた制御信号を生成し、真空ポンプ１６へ出力することによって、真空ポンプ１６の脱気量を下げるように制御する。
【００６０】
真空ポンプ１６による脱気量が低下すると、容器１４内部の真空度が低下（圧力が上昇）する。真空度が低下（圧力が上昇）すると、図２に示すように、容器１４の外部から内部への熱伝導率が増加する。それに応じて、容器１４内部の温度も上昇する。
【００６１】
前述したように、温度センサ３０は、容器１４内部の温度を常時検出し、真空度センサ２０は、容器１４内部の真空度を常時検出し、温度センサ３１は、容器１４外部の温度を常時検出し、湿度センサ３２は、容器１４外部の湿度を常時検出し、それぞれ検出結果を、真空ポンプ制御部２３へ出力する。
【００６２】
従って、真空ポンプ制御部２３は、容器１４の外部から内部への熱伝導率が増加し、それに応じて、容器１４内部の温度が上昇している間も、容器１４外部の露点温度を再決定し、容器１４内部の温度と、温度センサ３１によって測定された容器１４外部の温度との温度差を求め、この温度差と、露点温度とに基づいて、新たな許容平均熱伝導率を求め、容器１４内部の目標真空度を修正する。そして、容器１４内部の真空度を目標真空度へ到達させるために、制御信号のデューティ比を調整することによって、真空ポンプ１６の脱気量を制御する。
【００６３】
このような処理を連続的に行うことによって、真空ポンプ制御部２３は、容器１４内部の温度が変化している場合であっても、その時点における許容平均熱伝導率を正確に把握し、それに応じて目標真空度を修正し、修正した目標真空度へ到達するように、真空ポンプ１６の脱気量をリアルタイムで制御する。このようなきめ細かな制御により、その時点における正確な許容平均熱伝導率で、熱を容器１４内部へ導入できるので、容器１４内の電気回路１２とコールドプレート１７との温度を、第１の実施形態よりも、より短時間で常温へ戻すことを可能としている。
【００６４】
次に、以上のように構成した本発明の第２の実施形態の受信器１１によって、電気回路１２およびコールドプレート１７を常温に戻す場合における動作を図６に示すフローチャートとともに説明する。
【００６５】
受信器１１の動作を完全に停止させるために、先ず、液体窒素の供給を停止することによって、冷却手段１８による冷却動作が停止され、コールドプレート１７による冷却が停止される（Ｓ１１）。
【００６６】
次に、容器１４内部の真空度（圧力）が、真空度センサ２０によって検出され、容器１４内部の温度が、温度センサ３０によって検出され、容器１４外部の温度が、温度センサ３１によって検出され、容器１４外部の湿度が、湿度センサ３２によって検出され、それぞれの検出結果が、真空ポンプ制御部２３へ出力される。これによって、真空ポンプ制御部２３によって、容器１４内部の真空度（圧力）、容器１４内部の温度、容器１４外部の温度、および容器１４外部の湿度が把握される（Ｓ１２）。
【００６７】
次に、真空ポンプ制御部２３によって、温度センサ３１によって測定された温度と、湿度センサ３２によって測定された湿度とに基づいて、例えば図５に示すような湿り空気線図から、容器１４外部の露点温度が決定される。次に、真空ポンプ制御部２３によって、温度センサ３０によって測定された容器１４内部の温度と、温度センサ３１によって測定された容器１４外部の温度との温度差を求められ、この温度差と、露点温度とに基づいて、結露を起こさずに容器１４内部へ熱を流入することが可能な許容平均熱伝導率が求められる（Ｓ１３）。
【００６８】
真空ポンプ制御部２３ではさらに、ステップＳ１３で求められた許容平均熱伝導率から、図２に示す特性図を用いて、容器１４内部の目標真空度が決定される（Ｓ１４）。
【００６９】
次に、真空ポンプ制御部２３では、現在の真空度を、目標真空度まで下げるために、デューティ比を下げた制御信号が生成され、真空ポンプ１６へ出力される（Ｓ１５）。これによって、真空ポンプ１６による脱気量が低下し、容器１４内部の真空度が低下（圧力が上昇）して行く。容器１４内部の真空度が低下（圧力が上昇）すると、容器１４の外部から内部への熱伝導率が増加し、それに応じて、容器１４内部の温度も上昇する。
【００７０】
容器１４内部の温度は、温度センサ３０によって、容器１４内部の真空度は、真空度センサ２０によって、容器１４外部の温度は、温度センサ３１によって、容器１４外部の湿度は、湿度センサ３２によって常時検出され、真空ポンプ制御部２３によって、容器１４内部の真空度（圧力）、容器１４内部の温度、容器１４外部の温度、および容器１４外部の湿度が把握される。把握された真空度が、目標真空度に到達している（Ｓ１７：Ｙｅｓ）のであれば、以降は、例えば、真空度センサ２０によって検出された真空度に応じて、真空ポンプ制御部２３によって、制御信号のデューティ比が微調整される等によって、真空度が、目標真空度に維持される（Ｓ１８）。
【００７１】
一方、ステップＳ１７において、把握された真空度が、目標真空度に到達していない（Ｓ１７：Ｎｏ）のであれば、ステップＳ１２に戻り、ステップＳ１２からステップＳ１６の処理が繰り返される。
【００７２】
これによって、容器１４の外部から内部への熱伝導率が増加し、容器１４内部の温度が上昇している間も、真空ポンプ制御部２３によって、容器１４内部の真空度、容器１４内部の温度、容器１４外部の温度、および容器１４外部の湿度が把握され（Ｓ１２）、露点温度が再決定され、再決定された露点温度と、容器１４内外の新たな温度差とに基づいて、新たな許容平均熱伝導率が求められ（Ｓ１３）、容器１４内部の目標真空度が修正され（Ｓ１４）、修正された目標真空度と、現在の容器１４内部の真空度とに基づいて、制御信号のデューティ比が再調整され（Ｓ１５）、真空度が低下し、最終的には、目標真空度に到達する。
【００７３】
このような処理によって、真空ポンプ制御部２３は、容器１４内部の温度が変化している場合であっても、その時点における許容平均熱伝導率を正確に把握し、それに応じて目標真空度を修正し、修正した目標真空度へ到達するように、真空ポンプ１６の脱気量をリアルタイムで制御することができる。このようなきめ細かな制御により、その時点における正確な許容平均熱伝導率で、熱を容器１４内部へ導入できるので、容器１４内の電気回路１２とコールドプレート１７との温度を、第１の実施形態よりも、より短時間で常温へ戻すことが可能となる。
【００７４】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００７５】
１０、１１・・受信器、１２・・受信器用電気回路、１４・・断熱用真空容器、１６・・真空ポンプ、１７・・コールドプレート、１８・・冷却手段、２０・・真空度センサ、２２、２３・・真空ポンプ制御部、２４ａ、２４ｂ・・真空封止コネクタ、２６ａ・・入力端子、２６ｂ・・出力端子、２８ａ・・ケーブル、２８ｂ・・ケーブル、３０、３１・・温度センサ、３２・・湿度センサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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