(57)【要約】【課題】  横置き型の気化器において、気化効率の低下を防止し、製品寿命を延ばす。【解決手段】キャリアガスを噴出するノズルと、前記ノズルから噴出されるキャリアガスと共に内部空間に導入される液体材料を気化して材料ガスを生成する気化室と、を具備し、前記ノズルが、前記気化室の内部空間における底面側の領域に向かって前記キャリアガスを噴出するような構成にする。【選択図】図１
2019009210.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアガスを噴出するノズルと、
前記ノズルから噴出されるキャリアガスが流通する内部空間を有し、その内部空間の上流側から前記キャリアガスと共に導入される液体材料を気化して材料ガスを生成し、その材料ガスを下流側から導出する気化室と、を具備し、
前記ノズルが、前記内部空間へ向かって開口する噴出口を備えており、
前記噴出口が、前記気化室に対し、前記内部空間を前記キャリアガスの流通方向に沿って上下に二分する中央面よりも底面側に配置されていることを特徴とする気化器。
【請求項２】
前記噴出口が、前記底面と平行方向に向かって開口している請求項１記載の気化器。
【請求項３】
前記気化室が、筒状であり、
前記噴出口が、前記気化室に対し、前記内部空間の中心軸よりも底面側に偏心して配置されている請求項１又は２のいずれかに記載の気化器。
【請求項４】
前記ノズルが、前記液体材料と混合した状態の前記キャリアガスを噴出するものである請求項１乃至３のいずれかに記載の気化器。
【請求項５】
前記ノズルが、
前記噴出口から伸びるメイン流路と、
前記メイン流路に対して合流する分岐流路と、を備え、
前記メイン流路へ流れ込んだキャリアガスと前記分岐流路へ流れ込んだ液体材料とが合流して混合されるように構成されている請求項４記載の気化器。
【請求項６】
前記分岐流路の少なくとも一部が、前記メイン流路の内径よりも小径になっている請求項５記載の気化器。
【請求項７】
前記メイン流路の前記分岐流路との合流点よりも上流側の少なくとも一部が、前記分岐流路の内径よりも小径になっている請求項５又は６のいずれかに記載の気化器。
【請求項８】
前記ノズルが、前記キャリアガス及び前記液体材料を別々に噴出するものである請求項１乃至３のいずれかに記載の気化器。
【請求項９】
キャリアガス及び液体材料を別々に噴出し、前記キャリアガスによって前記液体材料を飛散させるノズルと、
前記ノズルから噴出されるキャリアガスと共に内部空間に導入される前記液体材料を気化して材料ガスを生成する気化室と、を具備し、
前記ノズルが、前記液体材料を噴出する液体噴出口と、前記液体噴出口から伸びる液体流路と、前記液体噴出口の周囲から前記キャリアガスを噴出するガス噴出口と、前記ガス噴出口から伸びる環状のガス流路と、を有し、
前記ガス流路が、複数の支流路に分岐していることを特徴とする気化器。
【請求項１０】
前記各支流路が、前記液体材料の噴出方向に対して螺旋状に伸びる請求項９記載の気化器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気化器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスに使用される気化器として、特許文献１には、液体材料及びキャリアガスを別々に噴出し、液体材料を前記キャリアガスによって飛散させて噴霧するノズルと、ノズルから内部空間に噴霧された液体材料を気化して材料ガスを生成する気化室と、を具備する気化器が開示されている。
【０００３】
前記特許文献１に開示される気化器は、気化室の上方に設けられたノズルから液体材料及びキャリアガスを導入し、ノズルから噴霧された液体材料を気化室内に設けられた熱交換体（例えば、ステンレス鋼球やＴｉボール等の小球状のもの）によって気化して材料ガスを生成した後、その材料ガスを気化室の下方側に設けられた導出口から導出して供給先へ供給するものである。
【０００４】
ところが、前記特許文献１に開示された気化器においては、気化室の下方側に導出口が設けられているため、気化室内で気化しなかった液体材料や気化室内で再液化した液体材料が導出口から導出され、例えば、供給先となる成膜装置における成膜に悪影響を及ぼすことがあった。
【０００５】
この問題を解決するため、前記特許文献１に開示された気化器における気化室を横置きし、気化室に対して上方側から液体材料を滴下し、気化室内に滴下された液体材料をキャリアガスによって飛散させて噴霧する横置き型の気化器が従来から知られている。このようなものであれば、気化室内で気化しなかった液体材料等が、気化室内における底面側に滞留し、供給先へ導出されることがない。
【０００６】
ところが、前記横置き型の気化器においては、気化室内における底面側に滞留した液体材料の残渣によって熱交換体の隙間が早期に目詰まりし、これに伴って気化効率が低下して製品寿命が短くなるという問題があった。特に、気化室内における液体材料の噴出口が設けられた上流側には、噴出口から噴出される液体材料の進路を遮蔽しないように熱交換体が取り除かれているため、液体材料が冷却し易くなっており、これにより、その底面側に液体材料が滞留し易く、残渣も発生し易かった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−３４７２８９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明は、前記横置き型の気化器において、気化効率の低下を防止し、製品寿命を延ばすことを主な課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本発明に係る気化器は、キャリアガスを噴出するノズルと、前記ノズルから噴出されるキャリアガスが流通する内部空間を有し、その内部空間の上流側から前記キャリアガスと共に導入される液体材料を気化して材料ガスを生成し、その材料ガスを下流側へ導出する気化室と、を具備し、前記ノズルが、前記内部空間へ向かって開口する噴出口を備えており、前記噴出口が、前記気化室に対し、前記内部空間を前記キャリアガスの流通方向に沿って上下に二分する中央面よりも底面側に配置されていることを特徴とするものである。
【００１０】
このようなものであれば、気化室の内部空間における液体材料が滞留する底面側の領域に向かってキャリアガスが噴出されるため、底面側の領域に滞留する液体材料から生じる残渣をノズルから噴出されるキャリアガスの風圧によって除去することが可能となる。これにより、気化室の内部空間に生じる熱交換体等の目詰まりを抑制でき、気化効率が高い状態を長期間維持することができる。また、その底面側に滞留した液体材料が気化して生成される材料ガスが、効率よく気化室外へ運び出される。これにより、気化室内に液体材料が長期間滞留し難くなって残渣の発生が抑止され、これに伴って気化効率の低下が遅延し、製品寿命が延びる。なお、気化室に対し、噴出口を内部空間の中央面よりも底面側に配置することで、噴出口から放射状に噴出されたキャリアガスの風圧が内部空間の特に液体材料が滞留し易いノズル側（上流側）の底面に届くようになる。これにより、気化室の内部空間の底面側全体にキャリアガスの風圧が届くようになり、残渣の発生を抑制できる。なお、キャリアガスの流通方向とは、気化室の内部空間へキャリアガスが導入される上流側から、気化室の内部空間からキャリアガスが導出される下流側へ向かう方向を示している。
【００１１】
また、前記気化器において、前記噴出口が、前記底面と平行方向に向かって開口しているものであってもよい。
【００１２】
このようなものであれば、気化室の内部空間における底面に対して平行にキャリアガスが噴出され、これにより、気化室の導出口に対してキャリアガスが直接的に到達させることができ、気化室内を通過するキャリアガスの風量を導出口まで強く維持し易くなる。これにより、気化室の導出口側で発生する残渣も効率良く除去できる。また、気化室の導出口側に滞留した液体材料が気化して生成される材料ガスも効率良く導出される。
【００１３】
また、前記いずれかの気化器において、前記気化室が、筒状であり、前記噴出口が、前記気化室に対し、前記内部空間の中心軸よりも底面側に偏心して配置されているものであってもよい。
【００１４】
このようなものであれば、気化室内の液体材料が滞留し易い底面側に対してより近くに噴出口を配置することができる。これにより、前記領域に対し、強い風圧のキャリアガスを吹き付けることができ、残渣の除去力が増す。
【００１５】
また、前記いずれの気化器において、前記ノズルが、前記液体材料と混合された状態の前記キャリアガスを噴出するものであってもよく、この場合、前記ノズルが、前記噴出口から伸びるメイン流路と、前記メイン流路に対して合流する分岐流路と、を備え、前記メイン流路へ流れ込んだキャリアガスと前記分岐流路へ流れ込んだ液体材料とが合流して混合されるように構成されているものであってもよい。
【００１６】
このようなものであれば、ノズルから噴出されるキャリアガスによって液体材料がより微細な霧状に飛散することができる。なお、キャリアガスによって飛散される液体材料は、微細であるほど再液化され難くなり、気化室内に滞留し難くなる。
【００１７】
また、前記液体材料と混合された状態の前記キャリアガスを噴出するノズルが、前記分岐流路の少なくとも一部が、前記メイン流路の内径よりも小径になっているものであってもよい。さらに、前記メイン流路の前記分岐流路との合流点よりも上流側の少なくとも一部が、前記分岐流路の内径よりも小径になっているものであってもよい。
【００１８】
前者の構成によれば、液体材料が流れる分岐流路に対してキャリアガスが逆流することを防止できる。これにより、分岐流路に対してキャリアガスが逆流し、ノズルから噴出される液体材料の流量が減少して気化室内で生成される材料ガスの濃度が低下することを防止できる。後者の構成によれば、キャリアガスが流れるメイン流路に対して液体材料が逆流することを防止できる。これにより、メイン流路に対して液体材料が逆流し、ノズルから噴出される液体材料の流量が増加して気化室内へ液体材料が噴霧されないまま流れ出たり、気化室内で生成される材料ガスの濃度が上昇することを防止できる。
【００１９】
また、本発明に係る気化器は、キャリアガス及び液体材料を別々に噴出し、前記キャリアガスによって前記液体材料を飛散させるノズルと、前記ノズルから噴出されるキャリアガスと共に内部空間に導入される前記液体材料を気化して材料ガスを生成する気化室と、を具備し、前記ノズルが、前記液体材料を噴出する液体噴出口と、前記液体噴出口から伸びる液体流路と、前記液体噴出口の周囲から前記キャリアガスを噴出するガス噴出口と、前記ガス噴出口から伸びる環状のガス流路と、を有し、前記ガス流路が、複数の支流路に分岐していることを特徴とするものである。
【００２０】
このようなものであれば、ガス噴出口から伸びるガス流路に対して各支流路から略均一にキャリアガスが導入されるようになり、これに伴って液体噴出口から噴出される液体材料の周囲からキャリアガスが略均一に噴出されるようになり、液体材料が特定の方向に偏って飛散されることがなくなる。これにより、キャリアガスによって飛散された液体材料の飛沫の大きさが略均一になり、気化室内に液体材料が滞留し難くなって気化効率の低下を抑制できる。
【００２１】
また、前記気化器において、前記各支流路が、前記液体材料の噴出方向に対して螺旋状に伸びるものであってもよい。
【００２２】
このようなものであれば、ガス噴出口から伸びる環状のガス流路に対して各支流路から流れ込むキャリアガスが、そのガス流路内で旋回し、これに伴って液体噴出口から噴出される液体材料の周囲からキャリアガスがより略均一に噴出されるようになる。
【００２３】
このように構成した本発明によれば、横置き型の気化器において、気化効率の低下を防止し、製品寿命を延ばすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施形態１に係る気化器を模式的に示す断面図である。
【図２】実施形態２に係る気化器を模式的に示す断面図である。
【図３】実施形態２に係る気化器のノズルを示す分解斜視図である。
【図４】実施形態２に係る気化器のノズルを示すＡ−Ａ断面図及び分解断面図である。
【図５】実施形態３に係る気化器のノズルを示す分解斜視図である。
【図６】実施形態３に係る気化器のノズルを示すＢ−Ｂ断面図及び分解断面図である。
【図７】実施形態３に係るノズルの第２本体を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下に、本発明に係る気化器を図面に基づいて説明する。
【００２６】
本発明に係る気化器は、半導体製造プロセスに使用されるチャンバ―（成膜装置）等の供給先へ供給する材料ガスを、液体材料を気化して生成するものである。なお、本発明に係る気化器は、半導体製造プロセスに使用される供給先だけでなく、その他の供給先へ材料ガスを供給するものとしても使用できる。
【００２７】
＜実施形態１＞
本実施形態に係る気化器１００は、図１に示すように、液体材料と混合した状態のキャリアガスを噴出するノズルＮと、ノズルＮから噴出されるキャリアガスが流通する内部空間Ｓを有し、その内部空間Ｓにキャリアガスと共に導入される液体材料を気化して材料ガスを生成する気化室Ｃと、を具備している。
【００２８】
前記ノズルＮは、ブロック状のノズル本体１０と、ノズル本体１０の一側面に接続され、ノズル本体１０内へキャリアガスを導入する第１導入ポート１１と、ノズル本体１０の上面（重力方向と反対方向側の面）に接続され、ノズル本体１０内へ液体材料を導入する第２導入ポート１２と、を備えている。なお、図示しないが、第１導入ポート１１の一端は、キャリアガスを供給する供給装置に開閉弁を介して接続されており、第２導入ポート１３の一端は、液体材料を供給する供給装置に開閉弁を介して接続されている。そして、これらの開閉弁の開度を制御し、ノズルＮから噴出されるキャリアガス及び液体材料の量を調整できるようになっている。
【００２９】
前記ノズル本体１０には、第１導入ポート１１が接続される一側面と対向する他側面に、液体材料と混合した状態のキャリアガスを噴出する噴出口１０ａが設けられている。そして、ノズル本体１０内には、第１導入ポート１１から噴出口１０ａへ伸びるメイン流路１０ｂと、第２導入ポート１２からメイン流路１０ｂへ伸びる分岐流路１０ｃと、が設けられている。
【００３０】
前記メイン流路１０ｂは、上流側が噴霧口１０ａへ向かうに従って底面側へ傾斜しており、下流側が水平方向に伸びている。また、前記分岐流路１０ｃは、第２導入ポート１２から下方（重力方向）へ伸びてメイン流路１０ｂに接続されている。よって、メイン流路１０ｂ及び分岐流路１０ｃは、互いに交差するように合流している。これにより、分岐流路１０ｃを流れる液体材料が、メイン流路１０ｂへ合流するようになっている。なお、メイン流路１０ｂは、分岐流路１０ｃとの合流点よりも上流側の少なくとも一部が分岐流路１０ｃの内径（分岐流路１０ｃの小径になっていない部分の内径）よりも小径になっている。また、分岐流路１０ｃは、少なくとも一部がメイン流路１０ｂの内径（メイン流路１０ｂの小径になっていない部分の内径）よりも小径になっている。この場合、分岐流路１０ｃは、メイン流路１０ｂと近い部分を小径にすることが好ましく、メイン流路１０ｂとの接続端を小径にすることがより好ましい。
【００３１】
前記気化室Ｃは、ヒータを備える筒状のものである。具体的には、気化室Ｃは、内部空間Ｓを有する筒体２０と、筒体２０の一端側の開口と連通する導出ポート２１と、筒体２０の内部空間Ｓに収容される複数の熱交換体２２と、を備えている。そして、気化室Ｃには、筒体２０の他端側の開口を塞ぐようにノズルＮが接続されている。よって、ノズルＮにおける気化室Ｃの開口を塞ぐ他側面が、封止面１０ｄとなる。そして、ノズルＮの噴出口１０ａは、気化室Ｃの内部空間Ｓを向く封止面１０ｄに対し、その内部空間Ｓにおける底面２０ａ側に配置されている。また、ノズルＮの噴出口１０ａは、気化室Ｃの内部空間Ｓにおける底面２０ａと平行方向に向かって開口している。
【００３２】
気化室Ｃに対するノズルＮの噴出口１０ａの配置を具体的に説明すると、ノズルＮの噴出口１０ａは、封止面１０ｄに対し、内部空間Ｓをキャリアガスの流通方向に沿って上下に二分する中央面（図１中、一点鎖線にて示す）よりも底面２０ａ側に配置されている。なお、中央面は、図１に示すように気化室Ｃの内部空間Ｓにおける内周の上下方向の高さｈ、言い換えれば、重力方向の高さｈの１／２の高さ位置をキャリアガスの流通方向に向かって伸びている。ここで、キャリアガスの流通方向とは、図１において矢印Ｘで示すように、気化室Ｃの内部空間Ｓへキャリアガスが導入される上流側、言い換えれば、ノズルＮ側から、気化室Ｃの内部空間Ｓからキャリアガスが導出される下流側、言い換えれば、導出ポート２１側へ向かう方向である。因みに、本実施形態に係る気化室Ｃは、長尺筒状であるため、キャリアガスの流通方向は、気化室Ｃの長手方向と言い換えることもでき、さらに、ノズルＮの噴出口１０ａは、封止面１０ｄに対し、内部空間Ｓの中心線に対して底面２０ａ側へ偏心して配置されているともいえる。
【００３３】
前記気化室Ｃには、その内部空間ＳのノズルＮ側を除く空間に複数の熱交換体２２が設置されている。熱交換体２２は、熱伝導率が高い材料からなる板材を捻って成形したスクリュー状の部材である。なお、熱交換体２２は、板材を中央で捻った熱交換体２２ａと、板材を両端で捻った熱交換体２２ｂと、が交互に配置されている。なお、本実施形態に係る気化室Ｃは、前記特許文献１に開示される気化器に使用されているようなＴｉボール等の小球状の熱交換体が取り除いてある。
【００３４】
本実施形態に係る気化器１００によれば、ノズルＮの噴出口１０ａを、ノズルＮの気化室Ｃの内部空間Ｓを向く封止面１０ｄに対し、内部空間Ｓの前記中央面（中心線）よりも底面２０ａ側に配置したので、その底面２０ａ側に滞留する液体材料から生じる残渣をノズルＮから噴出されるキャリアガスの風圧によって除去することが可能となる。これにより、気化室Ｃの内部空間Ｓに生じる目詰まりを抑制でき、気化効率が高い状態を長期間維持することができる。
【００３５】
また、メイン流路１０ｂの分岐流路１０ｃとの合流点よりも上流側の少なくとも一部を、他の部分よりも小径にし、かつ、分岐流路１０ｃの内径よりも小径にしたので、これによって、分岐流路１０ｃからメイン流路１０ｂへ合流する液体材料の上流側への流れ込みを抑制できる。さらに、分岐流路１０ｃの少なくとも一部を、他の部分よりも小径にし、かつ、メイン流路１０ｂの内径よりも小径にしたので、これによって、メイン流路１０ｂを流れるキャリアガスの分岐流路１０ｃへ流れ込みを抑制できる。
【００３６】
また、メイン流路１０ｂを流れるキャリアガスに対して分岐流路１０ｃを流れる液体材料を合流させ、その液体材料が混合された状態のキャリアガスをノズルＮの噴出口１０ａから噴出するようにしたので、気化室Ｃの内部空間Ｓへ噴出される液体材料がキャリアガスによって微細な霧状に飛散され、その内部空間Ｓで再液化し難くなる。これにより、気化室Ｃの内部空間Ｓにおける残渣の発生が減少し、気化効率が高い状態を長期間維持できるようになる。
【００３７】
＜実施形態２＞
本実施形態は、図２に示すように、前記実施形態１に係る気化器１００におけるノズルＮの変形例である。従って、本実施形態に係る気化室Ｃは、前記実施形態１に係る気化室Ｃと同様のものである。また、本実施形態に係るノズルＮは、前記実施形態１に係るノズルＮと同様にノズル本体３０と、ノズル本体３０に接続される第１導入ポート１１及び第２導入ポート１２を有している。そして、ノズル本体３０は、図３及び図４（ｂ）に示すように、三つの本体３１，３２，３３を備えている。なお、三つの本体３１，３２，３３は、噴出方向に向かって第１本体３１、第２本体３２、第３本体３３の順番で並んで接続される。
【００３８】
前記第１本体３１は、円柱状のブロック体であり、一側面に第１導入ポート１１が接続されており、上面（重力方向と反対方向側の面）に第２導入ポート１２が接続されている。また、第１本体３１には、第１導入ポート１１が接続された一側面と対向する他側面に円柱状の凹溝３１ａが設けられている。そして、第１本体３１内には、第１導入ポート１１から噴出方向に向かって三つに分岐する第１ガス流路４０ａが伸びている。なお、各第１ガス流路４０ａの噴出方向の一端側は、凹溝３１ａの内周面を跨ぐように伸びている。これにより、凹溝３１ａには、その内周面に各第１ガス流路４０ａを延長する三つの内溝３１ｂが設けられる。また、第１本体３１内には、第２導入ポート１２から底面側へ伸びた後、中心軸（図３中、一点鎖線にて示す）に沿って凹溝３１ａの中央へ貫通する第１液体流路５０ａが伸びている。
【００３９】
前記第２本体３２は、ブロック体であり、第１本体３１の凹溝３１ａに嵌まり込む円柱部３２ａと、円柱部３２ａから噴出方向に向かって伸びる円錐部３２ｂと、を備えている。なお、円柱部３２ａは、その一部を第１本体３１の凹溝３１ａに嵌め込んだ状態で、その凹溝３１ａの内周面と密着する外周面を有している。また、円柱部３２ａには、その外周面に四つの外溝３２ｃが周方向に対して等間隔に設けられている。なお、各外溝３２ｃは、円柱部３２ａの外周面における中間位置から噴出方向に向かって円錐部３２ｂへ達するように伸びている。そして、第２本体３２内には、中心軸（図３中、一点鎖線にて示す）に沿って第２液体流路５０ｂが伸びている。
【００４０】
前記第３本体３３は、円柱状のブロック体であり、中心軸（図３中、一点鎖線にて示す）に沿って貫通する貫通孔３３ａが設けられている。なお、貫通孔３３ａは、その内周面が第２本体３２の円柱部３２ａの一部及び円錐部３２ｂが嵌り込む形状になっている。詳述すると、貫通孔３３ａは、第２本体３１の円柱部３２ａの一部及び円錐部３２ｂを嵌め込んだ状態で、その円柱部３２ａの一部の外周面と密着する内周面を有する円柱孔３３ｂと、その円錐部３２ｂと隙間を空けて対向する内周面を有する円錐孔３３ｃと、を連通した形状のものである。また、第３本体３３には、その噴出方向と反対方向側の面に貫通孔３３を取り囲むように環状溝３３ｄが設けられている。
【００４１】
次に、本実施形態に係るノズル本体３０の組立手順を説明しながら組立後に形成される流路を図４に基づいて説明する。なお、組立手順は、この手順に限定されない。
【００４２】
先ず、第２本体３２の円柱部３２ａを、第１本体３１の凹溝３１ａに対して嵌め込むと、凹溝３１ａの内周面に円柱部３２ａの外周面が密着する。この状態において、各第１ガス流路４０ａが、凹溝３１ａに設けられた内溝３１ｂによって延長される。また、第１液体流路５０ａ及び第２液体流路５０ｂが連通して一つの液体流路５０となる。
【００４３】
次に、第２本体３２の円錐部３２ｂ及び円柱部３２ａの一部を、第３本体３３の貫通孔３３ａに対して嵌め込むと、第１本体３１が第３本体３３に密着する。この状態において、各内溝３１ｂが、環状溝３３ｄに連通し、この環状溝３３ｂが、第２ガス流路４０ｂとなる。また、円柱部３２ａの一部の外周面に貫通孔３３ａの円柱孔３３ｂの内周面が密着する。この状態において、環状溝３３ｄが、各外溝３２ｃに連通し、この各外溝３２ｃが、第３ガス流路４０ｃとなる。さらに、円錐部３２ｂの外周面と貫通孔３３ａの円錐孔３３ｃの内周面との間に隙間ができ、この隙間が環状の第４ガス流路４０ｄとなる。そして、第１ガス流路４０ａ〜第４ガス流路４０ｄが連通して一つのガス流路４０となる。
【００４４】
その結果、ノズルＮの噴出方向の先端側が、外側のガス流路４０と内側の液体流路５０とからなる二重管構造となり、液体流路５０の液体噴出口５０ｘの周囲をガス流路４０のガス噴出口４０ｘが取り囲むように開口する。そして、液体噴出口５０ｘから噴出される液体材料が、ガス噴出口４０ｘから噴出されるキャリアガスによって霧状に飛散されるようになる。また、ガス流路３５における環状の第４ガス流路４０ｄに対し、その上流側に伸びる各第３ガス流路４０ｃから略均一にキャリアガスが導入されるようになる。なお、各第３ガス流路４０ｃが、請求項における支流路に該当する。
【００４５】
このような構成によれば、各第３ガス流路４０ｃを介して第４ガス流路４０ｄに対し、略均一にキャリアガスが導入される。これにより、ガス噴出口４０ｘから噴出するキャリアガスに偏りなくなり、液体噴出口５０ｘから噴出される液体材料を各方向から偏りなく略均一な風圧で霧状に飛散させることができる。これにより、液体噴出口５０ｘから噴出され、ガス噴出口４０ｘから噴出されるキャリアガスによって飛散された液体材料の飛沫の大きさが略均一になり、気化室Ｃの内部空間Ｓに滞留し難くなる。
【００４６】
＜実施形態３＞
本実施形態は、図５乃至図７に示すように、前記実施形態２に係るノズル本体３０の変形例である。具体的には、本実施形態に係るノズル本体３０は、前記実施形態２に係るノズルＮにおける第１本体３１及び第２本体３２が異なる構成になっている。より具体的には、第１本体３１の各第１ガス流路４０ａ及び第２本体３２の各外溝３２ｃが異なる構成になっている。
【００４７】
本実施形態に係る第１本体３１は、図５に示すように、各第１ガス流路４０ａの噴出方向の一端側が、凹溝３１ａを避けるように、その凹溝３１ａが設けられた他側面へ通じている。また、本実施形態に係る第２本体３２は、図５及び図７に示すように、各外溝３２ｃが、円柱部３２ａの外周面を噴出方向に向かって螺旋状に伸びている。
【００４８】
次に、本実施形態に係るノズル本体３０の組立手順を説明しながら組立後に形成される流路を図６に基づいて説明する。なお、組立手順は、この手順に限定されない。
【００４９】
先ず、第２本体３２の円柱部３２ａを、第１本体３１の凹溝３１ａに対して嵌め込むと、凹溝３１ａの内周面に円柱部３２ａの外周面が密着する。この状態において、第１液体流路５０ａ及び第２液体流路５０ｂが連通して一つの液体流路５０となる。
【００５０】
次に、第２本体３２の円錐部３２ｂ及び円柱部３２ａの一部を、第３本体３３の貫通孔３３ａに対して嵌め込むと、第１本体３１が第３本体３３に密着する。この状態において、各第１ガス流路４０ａが、環状溝３３ｄに連通し、この環状溝３３ｂが、第２ガス流路４０ｂとなる。また、円柱部３２ａの一部の外周面に貫通孔３３ａの円柱孔３３ｂの内周面が密着する。この状態において、環状溝３３ｄが、各外溝３２ｃに連通し、この各外溝３２ｃが、第３ガス流路４０ｃとなる。さらに、円錐部３２ｂの外周面と貫通孔３３ａの円錐孔３３ｃの内周面との間に隙間ができ、この隙間が環状の第４ガス流路４０ｄとなる。そして、第１ガス流路４０ａ〜第４ガス流路４０ｄが連通して一つのガス流路４０となる。
【００５１】
このような構成によれば、各第３ガス流路４０ｃが噴出方向に対して螺旋状に伸びているため、各第３ガス流路４０ｃから環状の第４ガス流路４０ｄに導入される空気が第４ガス流路４０ｄ内で旋回する。これにより、ガス噴出口５０ｘからその周方向に対して風量分布に偏りが少ないキャリアガスを噴出させることができる。
【００５２】
＜その他の実施形態＞
前記実施形態２においては、液体材料を噴出する液体噴出口５０ｘを一つとしたが、ノズルＮの先端側に複数の微細な液体噴出口５０ｘを設けるようにしてもよい。このようなものであれば、各液体噴出口５０ｘから液体材料が少量ずつ噴出され、ガス噴出口４０ｘから噴出されるキャリアガスによって更に微細な霧状に飛散させることができる。
【００５３】
また、前記実施形態においては、ノズルＮの噴出方向の先端側を二重管構造としてが、これに限定されることなく、二重管以上の多重管構造にしてもよい。
【００５４】
また、本発明に係る気化室Ｃは、前記各実施形態に係る気化室Ｃのように筒状のものが好ましいが、これに限定されない。なお、気化室Ｃが、筒所のものである場合には、円筒状、角筒状等のようにどのような断面形状のものであってもよい。
【００５５】
その他、本発明は前記各実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５６】
１００  気化器
Ｎ  ノズル
Ｃ  気化室
１０  ノズル本体
１０ａ  噴出口
１０ｂ  メイン流路
１０ｃ  分岐流路
１１  第１導入ポート
１２  第２導入ポート
２０  筒体
２１  導出ポート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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