(57)【要約】【課題】２箇所の間の距離と高さの差とを２本のスケールを用いて簡単に測定する。【解決手段】スケール治具１は、第１のスケール１１０と第２のスケール１２０を互いに交差させた状態でそれぞれをスライド可能に保持する治具本体１０を備える。治具本体１０は、第１のスケール１１０を収容する第１の孔１１と、第２のスケール１２０を収容する第２の孔１２と、第１のスケール１１０の目盛１１１と第２のスケール１２０の目盛１２１とを読み取るための窓１３と、を備える。治具本体１０には、第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とを固定する固定部１４が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
目盛を備えた長尺体の２本のスケールを互いに交差させた状態で、それぞれのスケールをスライド可能にするスケール治具であって、
第１のスケールを収容する第１の孔と、該第１のスケールに交差させる第２のスケールを収容する第２の孔と、該第１のスケールの目盛と該第２のスケールの目盛とを読み取るための窓と、
を備えるスケール治具。
【請求項２】
前記第１の孔に収容された前記第１のスケールと前記第２の孔に収容された前記第２のスケールとを固定する固定部を設けた、
請求項１に記載のスケール治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２本のスケールを互いに交差させて保持するスケール治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
２箇所の間で距離や高さの差を測定する際には、例えば下記特許文献１に記載されたスケールが使用される。また、２箇所の間における距離と高さの差とを同時に測定することもあり、その場合は、２本のスケールを互いに交差させて使用する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−３２３８６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、距離と高さの差とを同時に測定する際は、２本のスケールを互いに交差させ、その角度及び位置がずれないように手で保持することが必要となるところ、そのような作業を正確に行うことは、困難であるとともに面倒である。
【０００５】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、その目的は、２箇所の距離と高さの差とを２本のスケールを用いて簡単かつ正確に測定することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、目盛を備えた長尺体の２本のスケールを互いに交差させた状態で、それぞれのスケールをスライド可能にするスケール治具であって、第１のスケールを収容する第１の孔と、該第１のスケールに交差させる第２のスケールを収容する第２の孔と、該第１のスケールの目盛と該第２のスケールの目盛とを読み取るための窓とを備える。
このスケール治具では、前記第１の孔に収容された前記第１のスケールと前記第２の孔に収容された前記第２のスケールとを固定する固定部を設けたることが好ましい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係るスケール治具によれば、第１のスケールと第２のスケールとを互いに交差させた状態でスライド可能に支持できるため、２箇所の間の距離と高さの差とを、２本のスケールを用いて同時に簡単かつ正確に測定することができ、操作性が向上する。
また、第1のスケールと第２のスケールとを固定する固定部を備えることで、第1のスケールと第２のスケールとが固定された状態の維持に作業者が関与せずに済むため、操作性がより向上するとともに、より正確な測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第1実施形態のスケール治具を使用して２点間の距離及び高低差を測定する状態を示す正面図である。
【図２】第1実施形態のスケール治具を示す斜視図である。
【図３】第1実施形態のスケール治具と位置合わせ治具とを使用して２点間の距離及び高低差を測定する状態を示す正面図である。
【図４】第２実施形態のスケール治具を示す分解斜視図である。
【図５】第３実施形態のスケール治具を示す分解斜視図である。
【図６】第４実施形態のスケール治具の固定部を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
１  第１実施形態
図１及び図２に示すスケール治具１は、直尺体の第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とを互いに直交状態で交差させてそれぞれをスライド可能に保持する治具本体１０と、第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とを固定する固定部１４とを備えている。
【００１０】
治具本体１０は、正面視矩形の板状体である。図２に示すように、治具本体１０は、第１のスケール１１０を収容する第１の孔１１と、第１のスケール１１０に交差させる第２のスケール１２０を収容する第２の孔１２とを備えている。図１に示すように、第１のスケール１１０の表面１１０ｃには、第１のスケール１１０の長手方向に目盛１１１が表示されており、第２のスケール１２０の表面１２０ｃには、第２の方向の長手方向に目盛１２１が表示されている。また、治具本体１０には、第１のスケール１１０の目盛１１１と第２のスケール１２０の目盛１２１とを読み取るための窓１３とを備えている。
【００１１】
第１の孔１１は、治具本体１０の正面視縦方向（Ｚ方向）の中央部を正面視左右方向（Ｘ方向）に貫通している。第１の孔１１は、第１のスケール１１０をその長さ方向（Ｘ方向）にスライド可能に支持している。
【００１２】
第２の孔１２は、治具本体１０のＸ方向の中央部をＺ方向に貫通している。第２の孔１２は、治具本体１０に対し第２のスケール１２０をその長さ方向（Ｚ方向）にスライド可能に支持している。
【００１３】
図２に示すように、第１の孔１１は、治具本体１０の正面視厚さ方向（Ｙ方向）の中央よりも背面１０ｂ寄りに設けられている。また、第２の孔１２は、治具本体１０のＹ方向の中央よりも前面１０ａ寄りに設けられている。そして、第１の孔１１に第１のスケール１１０が収容され、第２の孔１２に第２のスケール１２０が収容されることにより、第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とが、治具本体１０内の中央部でＹ方向に重なり合った状態で直交し、第１のスケール１１０はＸ方向に、第２のスケール１２０はＺ方向に、それぞれスライド可能に保持される。なお、第１の孔１１が治具本体１０の正面視厚さ方向（Ｙ方向）の中央よりも前面１０ａ寄りに設けられ、第２の孔１２が治具本体１０のＹ方向の中央よりも背面１０ｂ寄りに設けられていてもよい。
【００１４】
窓１３は、治具本体１０の前面１０ａに開口している。窓１３は、第１の孔１１及び第２の孔１２に連通している。窓１３は、治具本体１０の前面１０ａの中心部を避けてＸ方向左寄りの位置に設けられている。すなわち、窓１３は、第１のスケール１１０の目盛１１１と第２のスケール１２０の目盛１２１との交差部分を視認できる位置に形成されている。
【００１５】
図２に示すように、固定部１４は、治具本体１０の前面１０ａの中心部に設けられた雌ねじ孔１４１と、雌ねじ孔１４１に螺着される締着部材１４２とを有している。雌ねじ孔１４１は、治具本体１０の前面１０ａから第２の孔１２に連通している。締着部材１４２は、雌ねじ孔１４１に螺合する雄ねじ部１４２ａと、締着部材１４２を回すためのつまみ部１４２ｂとを有している。
【００１６】
固定部１４は、つまみ部１４２ｂを指でつまんで締着部材１４２を正逆回転させることにより、締着部材１４２を治具本体１０に対して進退させて、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を固定したり固定を解除したりすることができる。すなわち、締着部材１４２を正回転（右回りに回転）させていくと、雄ねじ部１４２ａの先端１４２ｃが第２のスケール１２０の表面１２０ｃを押圧し、その押圧力によって第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０の互いの交差部分が固定される。このとき、締着部材１４２を強く締め付けると、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０は、スライド不能となる。一方、その状態から、締着部材１４２を逆回転（左回りに回転）させると、雄ねじ部１４２ａの先端１４２ｃが第２のスケール１２０の表面１２０ｃから離れ、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０の固定状態が解除されるため、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０は、それぞれスライド可能となる。
【００１７】
このように、スケール治具１は、治具本体１０に設けられた第１の孔１１及び第２の孔１２により、第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とを互いに交差させた状態でスライド可能に支持するとともに、固定部１４により第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を固定することができる。
【００１８】
次に、図１を参照して、基台１３０上に互いに離間して配置された第１のテーブル１３１と第２のテーブル１３２との間の高さの差を測定する方法について説明する。なお、例えばウェーハに対して切削、研削等の加工を施す加工装置では、第１のテーブル１３１は、例えば加工時のウェーハを保持するチャックテーブルであり、第２のテーブル１３２は、例えば加工後の洗浄時にウェーハを保持して高速回転するスピンナテーブルである。
【００１９】
この場合、まず、締着部材１４２をゆるめて第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０の固定を解除した状態で、第１のテーブル１３１の上面１３１ａに第１のスケール１１０の下側長辺１１０ａを接触させるとともに、第２のテーブル１３２の上面１３２ａに第２のスケール１２０のゼロ目盛側短辺１２０ａを接触させて、第２のスケール１２０を上面１３２ａに対して垂直に（Ｚ方向に）立て、その状態で、締着部材１４２を締めて固定部１４により第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を固定する。
【００２０】
その後、窓１３から、第２のスケール１２０の目盛１２１のうち第１のスケール１１０の下側長辺１１０ａが指す値を読み取ることにより、第１のテーブル１３１と第２のテーブル１３２との間の高さの差を簡単に測定することができる。その際、第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とが固定部１４により固定されているので、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を、第１のテーブル１３１及び第２のテーブル１３２から取り外した状態で、窓１３から第２のスケール１２０の目盛１２１を読むこともできる。したがって、目盛１２１の値を誤読するおそれを低減することができる。
【００２１】
次に、図３を参照して、スケール治具１を用いて第１のテーブル１３１と第２のテーブル１３２との中心間のＸ方向の距離及び当該中心間の高さの差を測定する方法について説明する。なお、第１のテーブル１３１の上面１３１ａ及び第２のテーブル１３２の上面１３２ａは、いずれも平坦であり、互いに平行である。
【００２２】
図３の例では、第１のテーブル１３１の中心に第１のスケール１１０のゼロ目盛側短辺１１０ｂの位置を合わせるための第１の位置合わせ治具２０と、第２のテーブル１３２の中心に第２のスケール１２０の左側長辺１２０ｂの位置を合わせるための第２の位置合わせ治具３０とを使用する。第１の位置合わせ治具２０及び第２の位置合わせ治具３０は、それぞれ第１のテーブル１３１及び第２のテーブル１３２の形状及び直径に合わせて形成された略円板状の治具である。
【００２３】
第１の位置合わせ治具２０の下部には、第１のテーブル１３１の上部に嵌合する円形の凹部２０ａが設けられている。また、第１の位置合わせ治具２０の上部には、第１のスケール１１０が挿入される第１のスリット２０ｂが設けられている。第１のスリット２０ｂは、第１の位置合わせ治具２０の周縁２０ｃから中心２０ｄまで延びている。
【００２４】
第２の位置合わせ治具３０の下部には、第２のテーブル１３２の上部に嵌合する円形の凹部３０ａが設けられている。また、第２の位置合わせ治具３０の上部には、第２のスケール１２０が挿入される第２のスリット３０ｂが設けられている。第２のスリット３０ｂは、第２の位置合わせ治具３０の周縁３０ｃから中心３０ｄまで延びている。
【００２５】
第１のスリット２０ｂの底面は第１の位置合わせ治具２０の表面と平行であり、第２のスリット３０ｂの底面は第２の位置合わせ治具３０の表面と平行である。また、第１のスリット２０ｂの底面から第１の位置合わせ治具２０の下面までの厚さ２０Ｔと、第２のスリット３０ｂの底面から第２の位置合わせ治具３０の下面までの厚さ３０Ｔとは等しい。したがって、第１のスリット２０ｂの底面と第２のスリット３０ｂの底面との高さの差は、第１のテーブル１３１の中心と第２のテーブル１３２の中心との高さの差を表す。
【００２６】
第１のテーブル１３１に第１の位置合わせ治具２０が取り付けられるとともに、第２のテーブル１３２に第２の位置合わせ治具３０が取り付けられた状態で、締着部材１４２をゆるめて第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０の固定を解除し、第１の位置合わせ治具２０の第１のスリット２０ｂの底面に第１のスケール１１０の下側長辺１１０ａを載せるとともに、第２の位置合わせ治具３０の第２のスリット３０ｂの底面に第２のスケール１２０のゼロ目盛側短辺１２０ａを載せて、第２のスケール１２０を垂直に立てる。このとき、第１のスケール１１０の短辺１１０ｂを、第１のスリット２０ｂの正面視左端、すなわち、第１の位置合わせ治具２０の中心に当接させるとともに、第１のスケール１１０の下側長辺１１０ａを第１のスリット２０ｂの底面に平行に載せる。また、第２のスケール１２０の左側長辺１２０ｂを第２のスリット３０ｂの正面視左端、すなわち、第２の位置合わせ治具３０の中心３０ｄに当接させるとともに、第２のスケール１２０のゼロ目盛側短辺１２０ａを第２のスリット３０ｂの底面に平行に載せる。そして、その状態で、固定部１４により第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を固定する。
【００２７】
その後、窓１３から、第１のスケール１１０の目盛１１１のうち第２のスケール１２０の左側長辺１２０ｂが指す値を読み取ることにより、第１のテーブル１３１と第２のテーブル１３２との中心間距離を簡単に測定することができる。この場合も、第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とが固定部１４により固定されているので、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を、第１のテーブル１３１及び第２のテーブル１３２から取り外した状態で、窓１３から第１のスケール１１０の目盛１１１を読むことができる。
【００２８】
また、上記のように、第１のスケール１１０の短辺１１０ｂを第１の位置合わせ治具２０の中心に当接させるとともに第１のスケール１１０の下側長辺１１０ａを第１のスリット２０ｂの底面に平行に載せ、第２のスケール１２０の左側長辺１２０ｂを第２の位置合わせ治具３０の中心３０ｄに当接させるとともに、第２のスケール１２０のゼロ目盛側短辺１２０ａを第２のスリット３０ｂの底面に平行に載せ、固定部１４により第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を固定した状態においては、上記中心間距離と同時に、上面１３１ａの中心と上面１３２ａの中心との高さの差を窓１３から読み取ることができる。すなわち、具体的には、第２のスケール１２０の目盛１２１中、第１のスケール１１０の下側長辺１１０ａが指す位置が、上面１３１ａの中心と上面１３２ａの中心との高さの差となる。
【００２９】
２  第２実施形態
図４に示すスケール治具４の治具本体４０は、第１のプレート４１と第２のプレート４２とを貼り合せて構成される。第１のプレート４１は、治具本体４０の背面側部分をなし、第２のプレート４２は、治具本体４０の前面側部分をなしている。
【００３０】
第１のプレート４１には、第１のスケール１１０を収容する第１の溝４３が設けられている。この第１の溝４３は、第１のプレート４１の前面４１ａのＺ方向の中央部に設けられ、左端４３１から右端４３２にかけて延びている。
【００３１】
第２のプレート４２には、第２のスケール１２０を収容する第２の溝４４と、窓４５と、雌ねじ孔４６とが設けられている。第２の溝４４は、第２のプレート４２の背面４２ｂの横方向（Ｘ方向）の中央部に設けられ、上端４４１から下端４４２にかけて延びている。
【００３２】
窓４５は、第２のプレート４２の中心部を避けてＸ方向左寄りの位置に設けられており、第２のプレート４２の前面４２ａから背面４２ｂにかけて厚さ方向（Ｙ方向）に貫通している。一方、雌ねじ孔４６は、第２のプレート４２の中心部に設けられている。
【００３３】
上記のように構成された第２実施形態の治具本体４０は、第１のプレート４１の前面４１ａと第２のプレート４２の背面４２ｂとを互いに接合することにより、第１の溝４３が、図２に示した第１の孔１１に相当するものとなり、第２の溝４４が、図２に示した第２の孔１２に相当するものとなる。また、第２のプレート４２の雌ねじ孔４６には前面４２ａ側から図２に示した締着部材１４２が挿入され螺着される。
【００３４】
このように構成されるスケール治具４では、図１に示した第１のスケール１１０を第１の溝４３に挿通するとともに、図１に示した第２のスケール１２０を第２の溝４４に挿通する。これにより、第１実施形態と同様に、２点間の水平方向の距離及び高さの差を同時にかつ簡単に測定することができる。
【００３５】
３  第３実施形態
図５に示すスケール治具５の治具本体５０は、第１のプレート５１と第２のプレート５２とを貼り合せて構成される。第１のプレート５１は、治具本体５０の背面側部分をなし、第２のプレート５２は、治具本体５０の前面側部分をなしている。
【００３６】
第１のプレート５１には、第１のスケール１１０を収容する第１の溝５３が設けられている。この第１の溝５３は、第１のプレート５１の前面５１ａのＺ方向中央部に設けられ、左端５３１から右端５３２にかけて延びている。
【００３７】
また、第１のプレート５１には、第２のスケール１２０を収容する第２の溝５４も設けられている。第２の溝５４は、第１のプレート５１の前面５１ａのＸ方向の中央部に設けられ、上端５４１から下端５４２にかけて延びている。
【００３８】
第１のプレート５１の前面５１ａの中央部では、第１の溝５３と第２の溝５４とが交差している。第１の溝５３の深さ５３ｄと第２の溝５４の深さ５４ｄとは深さが異なっている。図５の例では、第１の溝５３の深さ５３ｄが第２の溝５４の深さ５４ｄよりも深く形成されている。この場合は、第１のスケール１１０より第２のスケール１２０の方が前面側に位置するため、２つの溝の深さの差、すなわち深さ５３ｄから深さ５４ｄを引いた値が、第１のスケール１１０の厚さより大きいことが好ましい。また、深さ５４ｄの値は、第２のスケール１２０の厚さよりも若干大きい。
【００３９】
一方、第２の溝５４の深さ５４ｄが第１の溝５３の深さ５３ｄよりも深く形成されていてもよい。その場合は、第２のスケール１２０より第１のスケール１１０の方が前面側に位置するため、２つの溝の深さの差、すなわち深さ５４ｄから深さ５３ｄを引いた値が、第２のスケール１２０の厚さより大きいことが好ましい。
【００４０】
第２のプレート５２には、表裏を貫通する窓５５と、表裏を貫通する雌ねじ孔５６とが設けられている。
【００４１】
上記のように構成された第３実施形態の治具本体５０は、第１のプレート５１の前面５１ａと第２のプレート５２の背面５２ｂとを互いに接合することにより、第１の溝５３が、図２に示した第１の孔１１に相当するものとなり、第２の溝５４が、図２に示した第２の孔１２に相当するものとなる。また、第２のプレート５２の雌ねじ孔５６には前面５２ａ側から図２に示した締着部材１４２が挿入され螺着される。
【００４２】
このように構成されるスケール治具５では、図１に示した第１のスケール１１０を第１の溝５３に挿通するとともに、図１に示した第２のスケール１２０を第２の溝５４に挿通する。これにより、第１実施形態と同様に、２点間の水平方向の距離及び高さの差を同時にかつ簡単に測定することができる。
【００４３】
４  第４実施形態
図６に示すスケール治具６は、治具本体６０の内部に、第１のスケール１１０を側面側から固定する第１の固定部材６１１と第２のスケール１２０を側面側から固定する第２の固定部材６１２とからなる固定部６１を備えている。その他の構成は、第１〜３のいずれの実施形態と同一でもよい。
【００４４】
第１の固定部材６１１及び第２の固定部材６１２としては、例えばコイルばねを用いることができる。第１の固定部材６１１は第１の凹部６１３に収容され、第２の固定部材６１２は第２の凹部６１４に収容されている。
【００４５】
第１の固定部材６１１は、第１のスケール１１０に対して常時摩擦力を作用させ、第２の固定部材６１２は、第２のスケール１２０に対して常時摩擦力を作用させる。したがって、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０は、任意の位置にスライド可能であるとともに、スライドさせた位置において固定することができる。したがって、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を固定するための操作が不要となり、操作性が向上する。
【符号の説明】
【００４６】
１：スケール治具
１０：治具本体  １０ａ：前面  １０ｂ：背面
１１：第１の孔  １２：第２の孔
１３：窓
１４：固定部
１４１：雌ねじ孔
１４２：締着部材  １４２ａ：雄ねじ部  １４２ｂ：つまみ部  １４２ｃ：先端
１１０：第１のスケール
１１０ａ：下側長辺  １１０ｂ：ゼロ目盛側短辺  １１０ｃ：表面  １１１：目盛
１２０：第２のスケール
１２０ａ：ゼロ目盛側短辺  １２０ｂ：左側長辺  １２０ｃ：表面  １２１：目盛
１３０：基台
１３１：第１のテーブル  １３１ａ：上面
１３２：第２のテーブル  １３２ａ：上面
２０：第１の位置合わせ治具
２０ａ：凹部  ２０ｂ：第１のスリット  ２０ｃ：周縁  ２０ｄ：中心
３０：第２の位置合わせ治具
３０ａ：凹部  ３０ｂ：第２のスリット  ３０ｃ：周縁  ３０ｄ：中心
４：スケール治具
４０：治具本体
４１：第１のプレート  ４１ａ：前面
４２：第２のプレート  ４２ｂ：背面
４３：第１の溝  ４３１：左端  ４３２：右端
４４：第２の溝  ４４１：上端  ４４２：下端４５：窓  ４６：雌ねじ孔
５：スケール治具
５０：治具本体
５１：第１のプレート  ５１ａ：前面
５２：第２のプレート  ５２ｂ：背面
５３：第１の溝  ５３１：左端  ５３２：右端
５４：第２の溝  ５４１：上端  ５４２：下端
５５：窓  ５６：雌ねじ孔
６：スケール治具
６０：治具本体
６１：固定部  
６１１：第１の固定部材  ６１２：第２の固定部材
６１３：第１の凹部  ６１４：第２の凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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