(57)【要約】【課題】水分を含む環境下で利用された場合であっても、電極間での短絡の発生を抑制できるエキシマランプを提供する。【解決手段】エキシマランプは、キセノンを含む放電用ガスが封入された発光空間を内部に有する発光管と、発光管の外側面上に設けられた第一電極と、第一電極に対して発光管の径方向に発光空間を隔てて離間した位置に設けられた第二電極と、発光管の管軸方向に係る端部において発光管の外側面を取り囲むように形成された有底筒形状を呈したベースと、発光管の外側面とベースの内側面とを固定的に連結する、無機材料を主成分とする接着層とを備える。【選択図】        図１Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電用ガスが封入された発光空間を内部に有する発光管と、
前記発光管の外側面上に設けられた第一電極と、
前記第一電極に対して、前記発光管の径方向に前記発光空間を隔てて離間した位置に設けられた第二電極と、
前記発光管の管軸方向に係る端部において、前記発光管の外側面を取り囲むように形成された、有底筒形状を呈したベースと、
前記発光管の外側面と前記ベースの内側面とを固定的に連結する、無機材料を主成分とする接着層とを備えたことを特徴とする、エキシマランプ。
【請求項２】
前記発光管は、前記ベースの内底面に対して前記管軸方向に間隙を有した状態で、前記ベースに固定されていることを特徴とする、請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項３】
前記ベースは、当該ベースの内側面上に凹凸加工が施されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載のエキシマランプ。
【請求項４】
前記ベースは、当該ベースの内側面上に、前記管軸方向に平行な方向に延伸する複数の溝を有することを特徴とする、請求項３に記載のエキシマランプ。
【請求項５】
前記ベースを加熱するヒータを設けたことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載のエキシマランプ。
【請求項６】
前記ヒータは、前記ベースの外側面上又は外底面上に載置されていることを特徴とする、請求項５に記載のエキシマランプ。
【請求項７】
前記ベースの温度を測定する温度測定器と、
前記温度測定器によって測定された前記ベースの温度に基づいて、自動的に前記ヒータの出力調整を行う制御部とを備えたことを特徴とする、請求項５又は６に記載のエキシマランプ。
【請求項８】
前記ベースの外側から前記ベースの底部を貫通し、前記第一電極及び前記第二電極に接続された電源線を備えたことを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載のエキシマランプ。
【請求項９】
前記発光管は、外側管と、前記外側管の内側に配置された内側管とを有し、前記外側管と前記内側管とが前記管軸方向に係る両端において封止されてなる、二重管構造を呈し、
前記第一電極は、前記外側管の外側面上に形成され、
前記第二電極は、前記内側管の内側面上に形成されていることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載のエキシマランプ。
【請求項１０】
前記発光管は、一重管構造を呈し、
前記第一電極は、前記発光管の外側面上に形成され、
前記第二電極は、前記発光管の管内に形成されていることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載のエキシマランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、低圧水銀ランプを用いて被処理気体を浄化する技術が提案されている。例えば、下記特許文献１には、波長１８５ｎｍや波長２５４ｎｍの紫外線を放射する低圧水銀ランプを使用し、被処理ガス中の不純物や細菌類を分解除去することが記載されている。より具体的には、波長１８５ｎｍの紫外線によりオゾン（Ｏ3）ガスを生成し、このオゾンガスにより不純物や悪臭物質を分解することが記載されている。
【０００３】
ところで、下記特許文献２には、上記低圧水銀ランプよりも短波長である１７２ｎｍの光を放射する、キセノンエキシマランプが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２０４６８３号公報
【特許文献２】特開２００７−３３５３５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２に開示されているようなエキシマランプは、従来、半導体や液晶パネルの製造工程において、有機物の除去目的で用いられていた。すなわち、これまでエキシマランプは、厳密に管理されたクリーンな環境下で利用されることが通常であった。
【０００６】
本発明者らは、特許文献１に記載されているような低圧水銀ランプに代えて、このエキシマランプを用いることで、より短波長の光を被処理気体に照射してＶＯＣ（Volatile Organic Compounds：揮発性有機化合物）の分解効率を高めることを検討している。特に、被処理気体に酸素及び水分が含まれる場合には、エキシマランプから放射される短波長の光が照射されることで、反応性の高いＯ（1Ｄ）やヒドロキシラジカル（・ＯＨ）が生成されるため、被処理気体に含まれるＶＯＣの高い分解性能が期待される。
【０００７】
しかし、水分が含まれるような環境下でエキシマランプが用いられると、この水分がエキシマランプの発光管に付着し、外部電極と内部電極との間で短絡が発生するおそれがある。特に、エキシマランプの発光管の端部近傍においては、外部電極と内部電極との離間距離が短いことから、上記の問題が生じやすいと考えられる。
【０００８】
この課題に対する第一の対策として、外部電極と内部電極との間の距離（電極間距離）を大きくする方法が考えられる。しかし、エキシマランプは、原理的に、発光のために誘電体バリア放電（「エキシマ放電」と称されることもある。）を生じさせる必要がある。電極間距離を大きくすると、放電開始電圧が高くなる結果、そもそも放電が難しくなってしまう。すなわち、電極間距離を大きくすることには限界がある。
【０００９】
上記の課題に対する別の対策として、エキシマランプ自体を透光性部材で覆うという方法が考えられる。しかし、１７２ｎｍという短い波長の光を透過する材料には限りがあり（例えば合成石英）、かかる材料でエキシマランプを覆う管体を構成した場合、製造コストが高騰してしまう。また、このような材料で管体を構成したとしても、発光管から放射された光の３０％〜５０％は吸収されてしまい、光の利用効率が低下する結果、高い分解効率の実現が難しい。
【００１０】
本発明は、上記の課題に鑑み、特に水分を含む環境下で利用された場合であっても、電極間での短絡の発生を抑制できるエキシマランプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係るエキシマランプは、
放電用ガスが封入された発光空間を内部に有する発光管と、
前記発光管の外側面上に設けられた第一電極と、
前記第一電極に対して、前記発光管の径方向に前記発光空間を隔てて離間した位置に設けられた第二電極と、
前記発光管の管軸方向に係る端部において、前記発光管の外側面を取り囲むように形成された、有底筒形状を呈したベースと、
前記発光管の外側面と前記ベースの内側面とを固定的に連結する、無機材料を主成分とする接着層とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
上記構成によれば、発光管の外側面とベースの内側面とが接着層によって固定されている。これにより、水分を含む環境下でエキシマランプを発光させた場合であっても、この水分がベースの内側に流入するのを抑制できる。この結果、第一電極と第二電極との短絡が防止できる。
【００１３】
また、前記接着層は、無機材料を主成分とするため、例えばキセノンを含む放電用ガスが発光空間内に封入されたエキシマランプから放射される短波長（例えば波長１７２ｎｍ）が接着層に照射されても、接着層が劣化することが抑制される。なお、このような接着剤の材料としては、例えば、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）やシリカ（ＳｉＯ2）等が利用可能である。接着層は、全体を１００質量部としたときに、８５質量部以上の成分が無機材料からなるのが好ましく、９０質量部以上の成分が無機材料からなるのがより好ましく、実質的に１００質量部の成分、すなわち全ての成分が無機材料からなるのが特により好ましい。
【００１４】
放電用ガスは、発光波長に応じて適宜材料が選択される。上述したように１７２ｎｍ近傍の波長の光を生成したい場合には、キセノン（Ｘｅ）を含むガスが用いられる。その他、得たい波長に応じて、ＫｒＢｒ、ＫｒＣｌなどが採用され得る。
【００１５】
前記発光管は、前記ベースの内底面に対して前記管軸方向に間隙を有した状態で、前記ベースに固定されているものとすることができる。
【００１６】
上述したように、エキシマランプが備えるベースは、有底筒形状を呈している。言い換えれば、一方の側が開口され、開口されている領域とは反対側の領域に底面を有する、筒形状体である。ここで、本明細書において、「ベースの内底面」とはベースの内側に係る底面を指し、「ベースの外底面」とはベースの外側に係る底面を指す。すなわち、ベースの内底面は、ベースの内側面と連絡されている面であり、ベースの外底面は、ベースの外側面と連絡されている面である。
【００１７】
接着層は、主成分が無機材料であり、且つ多孔質体で形成されているのが好ましい。この場合、接着層によって発光管の外側面とベースの内側面とを固定している場合であっても、接着層自体が多孔質体であるため、この多孔質の孔部を通じて、水を含む気体が流入する可能性がある。仮に、この気体が凝集（結露）すると、液状の水（水滴）がベースの面に付着する可能性がある。
【００１８】
しかし、上記の構成によれば、ベースの内底面と発光管との間に間隙が存在するため、内底面上において水分を留める作用が奏され、内側に係る第二電極側への流入が防止される。仮に、ベースの内底面と発光管とが接触している場合には、内底面に付着した水滴が発光管の管体側に流入するおそれがある。よって、上記のように、ベースの内底面と発光管との間には間隙を設けるのが好ましい。
【００１９】
更に、エキシマランプは、特に高出力で発光している場合には温度が上昇するため、仮に水分がベースの内側に流入した場合であっても、この水が蒸発して水蒸気となる。このとき、ベースの内底面と発光管との間に間隙が存在することで、当該空間の気圧が高まり、接着層の多孔質の孔部を通じて水蒸気をエキシマランプの外部へと排出できる。
【００２０】
前記ベースは、当該ベースの内側面上に凹凸加工が施されているものとすることができる。
【００２１】
かかる構成によれば、仮に水分がベースの内側に流入した場合であっても、ベースの内側面上において表面張力が発生し、ベースの内側面を伝って内底面へと流れやすくなる。この結果、第二電極側へと水が流れ込んで第一電極と第二電極との間で短絡が発生するのを抑制できる。
【００２２】
前記ベースは、当該ベースの内側面上に、前記管軸方向に平行な方向に延伸する複数の溝を有するものとすることができる。
【００２３】
かかる構成によれば、仮に水分がベースの内側に流入した場合であっても、溝を伝って水分が内底面へと流れやすくなる。この結果、第二電極側へと水が流れ込んで第一電極と第二電極との間で短絡が発生するのを抑制できる。
【００２４】
前記エキシマランプは、前記ベースを加熱するヒータを設けるものとしても構わない。これにより、仮に水分がベースの内側に流入した場合であっても、ヒータによってベースを加熱することで、水分を蒸発させることができる。この水蒸気は、接着層の多孔質の孔部を通じてエキシマランプの外部へと排出できる。
【００２５】
前記ヒータは、前記ベースの外側面上又は外底面上に載置されているものとしても構わない。これにより、ベースを効率よく加熱することができる。
【００２６】
前記エキシマランプは、
前記ベースの温度を測定する温度測定器と、
前記温度測定器によって測定された前記ベースの温度に基づいて、自動的に前記ヒータの出力調整を行う温度調整部とを備えるものとしても構わない。
【００２７】
例えばエキシマランプの不点灯時など、ベースの温度が低下してきた場合などであっても、自動的にベースが加熱されるため、仮にベースの内側に水分が流入していても蒸発させることができる。
【００２８】
前記エキシマランプは、前記ベースの外側から前記ベースの底部を貫通し、前記第一電極及び前記第二電極に接続された電源線を備えるものとしても構わない。
【００２９】
また、前記エキシマランプは、二重管構造でも構わないし、一重管構造でも構わない。
【００３０】
より詳細には、
前記発光管は、外側管と、前記外側管の内側に配置された内側管とを有し、前記外側管と前記内側管とが前記管軸方向に係る両端において封止されてなる、二重管構造を呈し、
前記第一電極は、前記外側管の外側面上に形成され、
前記第二電極は、前記内側管の内側面上に形成されているものとすることができる。
【００３１】
また、前記発光管は、一重管構造を呈し、
前記第一電極は、前記発光管の外側面上に形成され、
前記第二電極は、前記発光管の管内に形成されているものとすることができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明のエキシマランプによれば、水分を含む環境下で利用された場合であっても、光取り出し効率を低下させることなく、簡易な構成で、電極間での短絡の発生を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１Ａ】第一実施形態に係るエキシマランプの一例を模式的に示す断面図である。
【図１Ｂ】図１Ａに示すエキシマランプを別の方向から切断したときの模式的な断面図である。
【図１Ｃ】第一実施形態に係るエキシマランプが備えるベースの拡大図である。
【図２Ａ】第一実施形態に係るエキシマランプの別の一例を模式的に示す断面図である。
【図２Ｂ】図２Ａに示すエキシマランプを別の方向から切断したときの模式的な断面図である。
【図３Ａ】第一実施形態に係るエキシマランプの別の一例を模式的に示す断面図である。
【図３Ｂ】第一実施形態に係るエキシマランプの別の一例を模式的に示す断面図である。
【図４Ａ】第二実施形態に係るエキシマランプが備えるベースの一形状を模式的に示す図面である。
【図４Ｂ】第二実施形態に係るエキシマランプが備えるベースの別の一形状を模式的に示す図面である。
【図４Ｃ】第二実施形態に係るエキシマランプが備えるベースの別の一形状を模式的に示す図面である。
【図５】第三実施形態に係るエキシマランプの一例を模式的に示す断面図である。
【図６】第三実施形態に係るエキシマランプの別の一例を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
本発明に係るエキシマランプの各実施形態について、適宜図面を参照して説明する。なお、以下の図面において、図面上の寸法比と実際の寸法比は必ずしも一致していない。第二実施形態以後においても同様である。
【００３５】
［第一実施形態］
図１Ａ及び図１Ｂは、第一実施形態に係るエキシマランプの一例を模式的に示す構造図である。図１Ａは管軸方向に沿った断面図であり、図１Ｂは、図１ＡにおけるＡ１−Ａ１線断面図である。以下では、図１Ａ及び図１Ｂに図示された座標系を適宜参照して説明すされる。
【００３６】
エキシマランプ１は、紫外線に対して透過性を有する材料（例えば合成石英ガラス）からなる、発光管１０を備える。発光管１０は、円筒状の外側管１１と、外側管１１の内側において外側管１１と同軸上に配置され、外側管１１の内径より小さい外径を有する円筒状の内側管１２とを有する。外側管１１と内側管１２とは、それぞれ管軸方向（Ｘ方向）に係る両端が封止壁１４によって接合されている。これにより、外側管１１と内側管１２との間には、円環状の発光空間Ｓ１が形成されている。寸法の一例として、発光管１０は、管軸方向（Ｘ方向）に係る長さが１５００ｍｍ、内側管１２の内径がφ１４ｍｍ、外径がφ１６ｍｍ、外側管１１の内径がφ２４ｍｍ、外径がφ２６ｍｍである。
【００３７】
発光空間Ｓ１内には、放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されている。本実施形態において、放電用ガスはキセノン（Ｘｅ）を含んでなる。放電用ガスのより詳細な一例としては、キセノン（Ｘｅ）とネオン（Ｎｅ）を所定の比率（例えば３：７）で混在させたガスからなり、更に酸素や水素を微量に含むものとしても構わない。
【００３８】
エキシマランプ１は、外側管１１の外側面に密接し、例えばステンレス鋼などの導電性材料からなる網状の第一電極２１と、内側管１２の内側面上に密接し、例えばアルミニウムなどの導電性材料からなる膜状の第二電極２２とを有する。すなわち、第一電極２１と第二電極２２とは、互いに発光空間Ｓ１を隔てて対向している。第一電極２１は外側電極に対応し、第二電極２２は内側電極に対応する。
【００３９】
エキシマランプ１は、発光管１０の管軸方向（Ｘ方向）に係る端部（１０ａ，１０ｂ）において、発光管１０の外側面を取り囲むように形成されたベース３０を備える。図１Ｃは、図１Ａ内のベース３０近傍の拡大図である。図１Ｃに示すように、ベース３０は、内側面３１、外側面３２、内底面３３、及び外底面３４を含み、底面（３３，３４）とは反対側が開口された、有底筒形状を呈する。そして、ベース３０の内側面３１と、外側管１１の外側面１１ａとが、接着層３を介して接触することで、ベース３０と発光管１０とが固定されている。ベース３０は、例えばセラミックスからなる。なお、図示の都合上、図１Ｂでは接着層３の図示を省略している。
【００４０】
接着層３を形成する方法としては、無機材料を主成分とする接着剤が用いられる。このような無機材料としては、例えば、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）やシリカ（ＳｉＯ2）等が利用可能である。
【００４１】
エキシマランプ１は、例えばｋＨｚオーダーの交流電圧を生成可能な電源４０と、電源４０に接続された電源線（４１，４２）とを備える。電源線４１は第一電極２１に接続され、電源線４２は第二電極２２に接続されている。電源４０は、ベース３０の外側に配置され、例えばベース３０の底面（３３，３４）を貫通する孔部を通じて電源線（４１，４２）が電源４０と各電極（２１，２２）とを連絡している。この孔部は、電源線（４１，４２）が通る程度の極めて細い径で構成されているものとして構わない。また、電源線（４１，４２）の一部分（図１Ｃの例では、特に電源線４１の一部分）が、接着層３内に位置しているものとしても構わない。
【００４２】
なお、図１Ａ及び図１Ｃでは、電源線４１と第一電極２１とが連絡されていないようにも見えるが、これはあくまで接着層３の図示の都合上であり、電源線４１は第一電極２１と連絡されているものとする。例えば、上述した例のように、電源線４１の一部分が接着層３内に位置するように形成されることで、電源線４１と第一電極２１とが連絡されているものとすることができる。
【００４３】
漏電防止の観点から、外側電極に対応する第一電極２１を接地電極とし、内側電極に対応する第二電極２２を高電圧供給電極とするのが好ましい。
【００４４】
本実施形態において、発光管１０は、ベース３０の内底面３３に対して管軸方向（Ｘ方向）に間隙５０を有した状態で、ベース３０に対して固定されている。一例として、間隙５０の管軸方向（Ｘ方向）に係る長さは３〜８ｍｍ程度である。
【００４５】
このような構成を有したエキシマランプ１において、電源４０から電源線（４１，４２）を通じて、第一電極２１と第二電極２２との間に高周波の交流電圧が印加されると、発光空間Ｓ１において放電が発生し、放電用ガスの種類に応じたエキシマ光が生成される。上述したように、放電用ガスとしてキセノン（Ｘｅ）を用いる場合には、主たる波長が１７２ｎｍを示すエキシマ光が生成される。この光は、直接、又は第二電極２２によって反射された後、外側管１１の外側面１１ａから放射される。
【００４６】
上記構成によれば、発光管１０の端部（１０ａ，１０ｂ）において、発光管１０の外周、すなわち外側管１１の外側面１１ａを覆うようにベース３０が形成されると共に、このベース３０と、外側管１１の外側面１１ａとが、接着層３を介して固定的に接触している。このため、エキシマランプ１を、水分を含む気体が存在する環境下に配置した場合において、この水分が外側管１１の外側面１１ａに付着したとしても、ベース３０と外側管１１の外側面１１ａとの接触箇所において、水分の流入が抑制される。この結果、水分が内側管１２に配置された第二電極２２側へと流入するのを防ぐことができ、第一電極２１と第二電極２２との間における短絡の発生が抑制される。
【００４７】
また、上述したように、接着層３は主成分が無機材料からなるため、有機系の接着剤とは異なり、発光空間Ｓ１から放射された紫外線（例えば波長１７２ｎｍの光）が照射されても、材料の劣化がほとんど進行しない。この結果、ベース３０の内側への水分の流入を、長期にわたって防ぐことができる。
【００４８】
なお、本実施形態のエキシマランプ１の場合、発光管１０と、ベース３０の内底面３３との間において、間隙５０が形成されている。接着層３を構成する無機材料が多孔質体である場合、長時間の経過により、この孔部を通じて、水を含む気体が少しずつベース３０の内側に流入する可能性がある。仮に、このような状態の下で、エキシマランプ１が低温環境下で不点灯の状態で一定期間放置されると、ベース３０の内側に流入した気体が凝集（結露）して液状の水（水滴）がベース３０の内側の面（３１，３３）に付着する可能性がある。
【００４９】
かかる状態の下で、エキシマランプ１が高出力下で点灯されると、ベース３０近傍が加熱され、この水分が蒸発して水蒸気が生成される。このとき、間隙５０を構成する空間の気圧が高まり、接着層３を構成する多孔質体の孔部を通じて、エキシマランプ１の外側へと水蒸気を排出できる。
【００５０】
＜別構成＞
以下、本実施形態のエキシマランプ１の別構成を説明する。
【００５１】
（１）図２Ａ及び図２Ｂに示されるように、エキシマランプ１が備える発光管１０を一重管構造とすることも可能である。以下の実施形態においても同様である。
【００５２】
図２Ａ及び図２Ｂは、第一実施形態に係るエキシマランプの別の一例を模式的に示す構造図である。図２Ａは管軸方向に沿った断面図であり、図２Ｂは、図２ＡにおけるＡ２−Ａ２線断面図である。
【００５３】
図２Ａ及び図２Ｂに示すエキシマランプ１において、発光管１０は、単一の管で構成され、発光管１０の内部には、放電用ガスが封入されると共に、管軸方向（Ｘ方向）に延伸する第二電極２２が配置されている。また、図１Ａ及び図１Ｂで参照した二重管構造の場合と同様、第一電極２１が発光管１０の外側面（図２Ａ及び図２Ｂ内における外側面１７）に密接した配置されている。第一電極２１は電源線４１に接続され、第二電極２２は電源線４２に接続される。
【００５４】
かかる一重管構造を示すエキシマランプ１においても、ベース３０と発光管１０の外側面１７とが接着層３を介して固定的に接触しているため、ベース３０の内側への水分の流入が抑制される。なお、図２Ｂにおいても、図１Ｂと同様に、接着層３の図示が省略されている。
【００５５】
（２）図３Ａ及び図３Ｂに示すように、発光管１０のうちの、一方の端部１０ａ側にのみベース３０を備えるものとしても構わない。図３Ａは、図１Ａの構成において一方の端部１０ａ側にのみベース３０を備えた場合に対応し、図３Ｂは、図２Ａの構成において一方の端部１０ａ側にのみベース３０を備えた場合に対応する。
【００５６】
［第二実施形態］
エキシマランプの第二実施形態につき、第一実施形態と異なる箇所を中心に説明する。本実施形態のエキシマランプ１は、第一実施形態と比較してベース３０の内側面３１に凹凸加工が施されている点のみが異なり、他の部分は第一実施形態と共通である。図４Ａ〜図４Ｃにベース３０の構造例を模式的に示す。図４Ａ〜図４Ｃにおいて、（ａ）がベース３０の模式的な斜視図であり、（ｂ）がベース３０の内側面３１の一部拡大図である。
【００５７】
図４Ａに示される例では、ベース３０の内側面３１上に、アイランド状の突起３７ａが複数形成されることで、表面に凹凸加工されている。図４Ｂ及び図４Ｃに示される例では、ベース３０の内側面３１上に、発光管１０の管軸方向（Ｘ方向）に延伸する溝３７ｂが複数形成されることで、表面に凹凸加工が施されている。なお、図４Ｂと図４Ｃとでは、溝３７ｂの形状が異なっている。図４Ｂの例ではＸ方向に見て溝３７ｂが矩形状を示し、図４Ｃの例ではＸ方向に見て溝３７ｂが三角形状を示す。なお、突起３７ａの配置態様や形状、並びに溝３７ｂの形状については、種々の変形が可能である。
【００５８】
本実施形態の構成によれば、仮に水分がベース３０の内側に流入した場合であっても、ベース３０の内側面３１上において表面張力が発生し、ベース３０の内側面３１を伝って内底面３３（図１Ｃ参照）側へと流れやすくなる。この結果、第二電極２２側へと水が流れ込んで第一電極２１と第二電極２２との間で短絡が発生するのを抑制できる。特に、図４Ｂ及び図４Ｃに示すような溝部３７ｂを形成することで、この溝部３７ｂの延伸方向に沿って水を導きやすくなり、第二電極２２側に水が流れるのを抑制できる。なお、図４Ｂと図４Ｃとを対比した場合には、図４Ｂに示すように溝部３７ｂの形状を矩形にすることで、表面張力の効果が高まり、水を導きやすくなる。
【００５９】
［第三実施形態］
エキシマランプの第三実施形態につき、第一実施形態と異なる箇所を中心に説明する。図５に示す本実施形態のエキシマランプ１は、第一実施形態と比較してヒータ６０を備える点が異なり、他の部分は第一実施形態と共通である。なお、図５に示すエキシマランプ１は、図１Ａにならって、ベース３０が発光管１０の管軸方向（Ｘ方向）に係る両端に設けられている場合が図示されているが、図３Ａに示したように、発光管１０の一方の端部にのみベース３０が設けられている構成であっても構わない。
【００６０】
ヒータ６０は、ベース３０の外側面３２上に設置され、ベース３０を加熱する。なお、ヒータ６０は、ベース３０の外底面３４に設置されていても構わないし、内側の面（３１，３３）に設置されていても構わない。更には、ベース３０に対する加熱が可能な態様であれば、必ずしもベース３０に接触して設置されなくても構わない。
【００６１】
また、図５では、ヒータ６０がベース３０の外側面３２を周方向に取り囲むように配置されている場合について図示されているが、ベース３０の面の一部分に一箇所設けられているものとしても構わないし、離散的に複数箇所設けられていても構わない。
【００６２】
ヒータ６０は、種々の手段で構成できる。一例として、ヒータ６０は、抵抗体で構成され、通電により生じるジュール熱を用いてベース３０を加熱することができる。他の例として、ヒータ６０はエキシマランプ１とは別の光源体で構成され、当該光源体からの放射熱を用いてベース３０を加熱することができる。これにより、仮に水分がベース３０の内側に流入した場合であっても、ヒータ６０によってベース３０が加熱されるため、ベース３０の内側の温度が上昇し、水分を蒸発させることができる。
【００６３】
この場合、特に、発光管１０とベース３０の内底面３３との間に間隙５０を形成しておくことで、接着層３の主成分を構成する無機材料の多孔質の孔部を通じて水蒸気をエキシマランプ１の外部に効率的に排出できる。
【００６４】
更に、本実施形態のエキシマランプ１は、図６に示されるように、ベース３０の温度を測定する温度測定器６１、及びヒータ６０の出力調整を行う制御部６２を備えるものとしても構わない。
【００６５】
温度測定器６１は、例えばサーミスタなどで構成される。制御部６２は、温度測定器６１で測定されたベース３０の温度に関する情報に基づき、ベース３０の温度を所定の目標温度になるように、ヒータ６０の出力を自動的に調整する。これにより、例えばエキシマランプ１が低出力又は不点灯である場合においても、ベース３０が自動的に加熱されるため、仮に、水分がベース３０の内側に流入した場合であっても水分を蒸発させることができる。
【００６６】
温度測定器６１は、ベース３０の面のうち、ヒータ６０が設置されている面とは異なる面上に配置されるのが好ましい。例えば、図６に示すように、ヒータ６０がベース３０の外側面３２に設置されている場合には、温度測定器６１を外底面３４に設置することができる。
【００６７】
なお、本実施形態においても、図２Ａに示すような、いわゆる一重管構造の発光管１０を有するエキシマランプ１としても構わない。また、第二実施形態で上述したように、ベース３０の内側面３１に凹凸加工が施されているものとしても構わない。
【００６８】
［別実施形態］
上記各実施形態では、発光管１０と、ベース３０の内底面３３との間において、間隙５０が形成されているものとした。しかし、エキシマランプ１において、間隙５０が存在しない構成も採用可能である。
【符号の説明】
【００６９】
１      ：    エキシマランプ
３      ：    接着層
１０      ：    発光管
１０ａ，１０ｂ      ：    発光管の端部
１１      ：    外側管
１１ａ    ：    外側管の外側面
１２      ：    内側管
１４      ：    封止壁
１７      ：    一重管構造の発光管の外側面
２１      ：    第一電極
２２      ：    第二電極
３０      ：    ベース
３１      ：    ベースの内側面
３２      ：    ベースの外側面
３３      ：    ベースの内底面
３４      ：    ベースの外底面
３７ａ    ：    突起
３７ｂ    ：    溝
４０      ：    電源
４１      ：    電源線
４２      ：    電源線
５０      ：    間隙
６０      ：    ヒータ
６１      ：    温度測定器
６２      ：    制御部
Ｓ１      ：    発光空間
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６】
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