(57)【要約】【課題】製造時の作業工数を少なくすることができるセラミックス複合材料（ＣＭＣ）部品の製造方法を提供する。【解決手段】ＣＭＣ部品の製造方法では、準備工程（Ｓ１）と、成形工程（Ｓ２）と、乾燥工程（Ｓ３）と、芯材除去工程（Ｓ５）と、焼成工程（Ｓ６）と、を実行する。準備工程（Ｓ１）では、水溶性の材料で形成され、ＣＭＣ部品の空間の形状に合った外形状の芯材を準備する。成形工程（Ｓ２）では、芯材の周りに、複数の無機質繊維で構成された繊維構造体を配置すると共に、繊維構造体を構成する複数の繊維の相互間にスラリーを配置して中間品を成形する。乾燥工程（Ｓ３）では、中間品を乾燥する。芯材除去工程（Ｓ５）では、水を用いて中間品から芯材を除く。焼成工程（Ｓ６）では、芯材が除かれた中間品を焼成する。【選択図】図１
2019085310.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に空間が形成されているセラミックス複合材料部品の製造方法において、
水溶性の材料で形成され、前記空間の形状に合った外形状の芯材を準備する準備工程と、
前記芯材の周りに、複数の無機質繊維で構成された繊維構造体を配置すると共に、前記繊維構造体を構成する複数の前記無機質繊維の相互間に前記セラミックス複合材料部品のセラミックスマトリックス相を形成するための材料を含むスラリーを配置して中間品を成形する成形工程と、
前記中間品を乾燥する乾燥工程と、
前記乾燥工程後に、水を用いて前記中間品から前記芯材を除く芯材除去工程と、
前記芯材除去工程後に、前記芯材が除かれた前記中間品を焼成する焼成工程と、
を実行するセラミックス複合材料部品の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のセラミックス複合材料部品の製造方法において、
前記準備工程では、前記芯材の表面に、前記セラミックスマトリックス相を構成する材料と同じ材料による無機質層を形成する、
を実行するセラミックス複合材料部品の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のセラミックス複合材料部品の製造方法において、
前記焼成工程後に、前記中間品中で不要な部分を除く加工工程を実行する、
を実行するセラミックス複合材料部品の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載のセラミックス複合材料部品の製造方法において、
前記セラミックス複合材料部品は、前記空間である第一空間の他に、前記セラミックス複合材料の外部と連通する第二空間である孔を有し、
前記加工工程は、前記中間品中で前記第二空間となる領域内の材料を機械加工で除去する工程を含む、
を実行するセラミックス複合材料部品の製造方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載のセラミックス複合材料部品の製造方法において、
前記セラミックス複合材料部品は、前記空間である第一空間の他に、前記セラミックス複合材料の外部と連通する第三空間である孔を有し、
前記準備工程では、前記第一空間の形状に合った外形状の第一芯材を準備すると共に、前記第三空間の形状に合った外形状の第三芯材を準備し、
前記成形工程では、前記第一芯材の周りに、前記繊維構造体を配置すると共に、複数の前記無機質繊維の相互間に前記スラリーを配置して中間品を成形し、
前記乾燥工程は、前記中間品を途中まで乾燥させる半乾燥工程と、前記半乾燥工程後に前記中間品を完全に乾燥させる完全乾燥工程とを含み、
前記半乾燥工程後に、前記中間品中で前記第三空間となる領域に前記第三芯材を挿入する第三芯材挿入工程を実行し、
前記第三芯材挿入工程後に前記完全乾燥工程を実行し、前記完全乾燥工程後に前記芯材除去工程を実行し、
前記第三芯材挿入工程では、前記半乾燥工程後の前記中間品よりも剛性があり且つ尖鋭部を有する針部材に、前記第三芯材を接続し、前記中間品の外面中で前記第三空間の開口になる位置に前記針部材の前記尖鋭部を突き刺し、前記針部材を前記中間品中で前記第三空間となる領域内を移動させて、前記領域内に前記第三芯材を位置させる、
を実行するセラミックス複合材料部品の製造方法。
【請求項６】
外部に連通している孔が形成されているセラミックス複合材料部品の製造方法において、
水溶性の材料で形成され、前記孔の形状に合った外形状の芯材を準備する準備工程と、
複数の無機質繊維で構成された繊維構造体を形成すると共に、前記繊維構造体を構成する複数の前記無機質繊維の相互間にセラミックスマトリックス相のスラリーを配置して中間品を成形する成形工程と、
前記中間品を途中まで乾燥させる半乾燥工程と、
前記半乾燥工程後に、前記中間品中で前記孔となる領域に前記芯材を挿入する芯材挿入工程と、
前記芯材挿入工程後の前記中間品を完全に乾燥させる完全乾燥工程と、
前記乾燥工程後に、水を用いて前記中間品から前記芯材を除く芯材除去工程と、
前記芯材除去工程後に、前記芯材が除かれた前記中間品を焼成する焼成工程と、
を実行し、
前記芯材挿入工程では、前記半乾燥工程後の前記中間品よりも剛性があり且つ尖鋭部を有する針部材に、前記芯材を接続し、前記中間品の外面中で前記孔の開口になる位置に前記針部材の前記尖鋭部を突き刺し、前記針部材を前記中間品中で前記孔となる領域内を移動させて、前記領域内に前記芯材を位置させる、
セラミックス複合材料部品の製造方法。
【請求項７】
外部に連通している孔が形成されているセラミックス複合材料部品の製造方法において、
前記孔の形状に合った外形状の芯材を準備する準備工程と、
複数の無機質繊維で構成された繊維構造体を形成すると共に、前記繊維構造体を構成する複数の前記無機質繊維の相互間にセラミックスマトリックス相のスラリーを配置して中間品を成形する成形工程と、
前記中間品を途中まで乾燥させる半乾燥工程と、
前記半乾燥工程後に、前記中間品中で前記孔となる領域に前記芯材を挿入する芯材挿入工程と、
前記芯材挿入工程後の前記中間品を完全に乾燥させる完全乾燥工程と、
前記完全乾燥工程後に、前記中間品を焼成する焼成工程と、
を実行し、
前記芯材は、前記焼成工程における前記中間品の焼成条件下で、形状を維持できない材料で形成され、
前記芯材挿入工程では、前記半乾燥工程後の前記中間品よりも剛性があり且つ尖鋭部を有する針部材に、前記芯材を接続し、前記中間品の外面中で前記孔の開口になる位置に前記針部材の前記尖鋭部を突き刺し、前記針部材を前記中間品中で前記孔となる領域内を移動させて、前記領域内に前記芯材を位置させ、
前記焼成工程では、前記芯材の少なくとも一部が除去される、
セラミックス複合材料部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部に空間が形成されているセラミックス複合材料（以下、ＣＭＣ：ceramic  matrix  composite）部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスタービン、航空機、自動車等では、これらの一部として、高温域で高強度が求められる部品が使用される。このような部品の材料として、近年、ＣＭＣが注目され、その研究開発が進められている。
【０００３】
このＣＭＣは、基本的に、耐熱性の高い強化繊維とセラミックスマトリックス相とで形成されている。このＣＭＣで形成された部品、つまりＣＭＣ部品は、各種形状が要求され、例えば、内部に空間が形成されるものも要求される場合がある。
【０００４】
内部に空間が形成されているＣＭＣ部品の製造方法としては、例えば、以下の特許文献１に開示されている製造方法がある。この特許文献１では、貫通孔（空間）が形成されているＣＭＣ部品の製造方法を開示している。この製造方法では、まず、複数の繊維で構成された繊維構造体を形成する。この繊維構造体を構成する複数の繊維は、炭化ケイ素で形成されている。次に、この繊維構造体を構成する複数の繊維のうち、一部の繊維を炭素繊維に置き換える。この炭素繊維に置き換えられる部分は、空間が形成される部分である。次に、セラミックスマトリックス相を形成するためのスラリーを、この繊維構造体に含浸させる。その後、スラリーが含浸した繊維構造体を焼成する。繊維構造体の一部を構成する炭素繊維は、この焼成過程で焼失する。この結果、炭素繊維が焼失した部分が空間になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２３４７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１に開示されている技術では、確かに、内部に空間が形成されているＣＭＣ部品を製造できる。しかしながら、業界では、製造コスト削減のため作業工数を少なくすることできる製造方法を要望している。
【０００７】
そこで、本発明は、製造時の作業工数を少なくすることができるＣＭＣ部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための発明に係る第一態様のＣＭＣ部品の製造方法は、
内部に空間が形成されているセラミックス複合材料部品の製造方法において、水溶性の材料で形成され、前記空間の形状に合った外形状の芯材を準備する準備工程と、前記芯材の周りに、複数の無機質繊維で構成された繊維構造体を配置すると共に、前記繊維構造体を構成する複数の前記無機質繊維の相互間に前記セラミックス複合材料部品のセラミックスマトリックス相を形成するための材料を含むスラリーを配置して中間品を成形する成形工程と、前記中間品を乾燥する乾燥工程と、前記乾燥工程後に、水を用いて前記中間品から前記芯材を除く芯材除去工程と、前記芯材除去工程後に、前記芯材が除かれた前記中間品を焼成する焼成工程と、を実行する。
【０００９】
本態様では、芯材除去工程後に、中間品中に芯材の一部が残っていても、単に、残留芯材に水を接触させれば、残留芯材を容易に除去できる。また、水溶性の材料の多くは、熱可塑性材料である。仮に、芯材が水溶性で且つ熱可塑性材料であれば、この材料を温めれば材料が軟化する。このため、芯材の外形状が複雑な形状でも、容易に形成することができる。よって、本態様によれば、ＣＭＣ部品の製造時の作業工数を少なくすることができる。
【００１０】
ここで、前記セラミックス複合材料部品の製造方法において、前記準備工程では、前記芯材の表面に、前記セラミックスマトリックス相を構成する材料と同じ材料による無機質層を形成してもよい。
【００１１】
本態様では、乾燥工程、芯材除去工程、焼成工程の実行過程で、スラリー中の材料が芯材又は内部空間に染み出すのを抑制することができる。
【００１２】
以上のいずれかの前記セラミックス複合材料部品の製造方法において、前記焼成工程後に、前記中間品中で不要な部分を除く加工工程を実行してもよい。
【００１３】
ここで、前記加工工程を実行する前記セラミックス複合材料部品の製造方法において、前記セラミックス複合材料部品は、前記空間である第一空間の他に、前記セラミックス複合材料の外部と連通する第二空間である孔を有し、前記加工工程は、前記中間品中で前記第二空間となる領域内の材料を機械加工で除去する工程を含んでもよい。
【００１４】
以上のいずれかの前記セラミックス複合材料部品の製造方法において、前記セラミックス複合材料部品は、前記空間である第一空間の他に、前記セラミックス複合材料の外部と連通する第三空間である孔を有する。前記準備工程では、前記第一空間の形状に合った外形状の第一芯材を準備すると共に、前記第三空間の形状に合った外形状の第三芯材を準備する。前記成形工程では、前記第一芯材の周りに、前記繊維構造体を配置すると共に、複数の前記無機質繊維の相互間に前記スラリーを配置して中間品を成形する。前記乾燥工程は、前記中間品を途中まで乾燥させる半乾燥工程と、前記半乾燥工程後に前記中間品を完全に乾燥させる完全乾燥工程とを含む。前記半乾燥工程後に、前記中間品中で前記第三空間となる領域に前記第三芯材を挿入する第三芯材挿入工程を実行する。前記第三芯材挿入工程後に前記完全乾燥工程を実行し、前記完全乾燥工程後に前記芯材除去工程を実行する。前記第三芯材挿入工程では、前記半乾燥工程後の前記中間品よりも剛性があり且つ尖鋭部を有する針部材に、前記第三芯材を接続し、前記中間品の外面中で前記第三空間の開口になる位置に前記針部材の前記尖鋭部を突き刺し、前記針部材を前記中間品中で前記第三空間となる領域内を移動させて、前記領域内に前記第三芯材を位置させる。
【００１５】
本態様では、針部材で複数の繊維構造体を貫通させて、複数の繊維構造体を跨るように、第三芯材を中間品内に配置することができる。このため、本態様では、第三芯材の周りに複数の繊維構造体を巻く手間を省くことができる。
【００１６】
上記目的を達成するための発明に係る第二態様のＣＭＣ部品の製造方法は、
外部に連通している孔が形成されているセラミックス複合材料部品の製造方法において、水溶性の材料で形成され、前記孔の形状に合った外形状の芯材を準備する準備工程と、複数の無機質繊維で構成された繊維構造体を形成すると共に、前記繊維構造体を構成する複数の前記無機質繊維の相互間にセラミックスマトリックス相のスラリーを配置して中間品を成形する成形工程と、前記中間品を途中まで乾燥させる半乾燥工程と、前記半乾燥工程後に、前記中間品中で前記孔となる領域に前記芯材を挿入する芯材挿入工程と、前記芯材挿入工程後の前記中間品を完全に乾燥させる完全乾燥工程と、前記乾燥工程後に、水を用いて前記中間品から前記芯材を除く芯材除去工程と、前記芯材除去工程後に、前記芯材が除かれた前記中間品を焼成する焼成工程と、を実行する。前記芯材挿入工程では、前記半乾燥工程後の前記中間品よりも剛性があり且つ尖鋭部を有する針部材に、前記芯材を接続し、前記中間品の外面中で前記孔の開口になる位置に前記針部材の前記尖鋭部を突き刺し、前記針部材を前記中間品中で前記孔となる領域内を移動させて、前記領域内に前記芯材を位置させる。
【００１７】
上記目的を達成するための発明に係る第三態様のＣＭＣ部品の製造方法は、
外部に連通している孔が形成されているセラミックス複合材料部品の製造方法において、前記孔の形状に合った外形状の芯材を準備する準備工程と、複数の無機質繊維で構成された繊維構造体を形成すると共に、前記繊維構造体を構成する複数の前記無機質繊維の相互間にセラミックスマトリックス相のスラリーを配置して中間品を成形する成形工程と、前記中間品を途中まで乾燥させる半乾燥工程と、前記半乾燥工程後に、前記中間品中で前記孔となる領域に前記芯材を挿入する芯材挿入工程と、前記芯材挿入工程後の前記中間品を完全に乾燥させる完全乾燥工程と、前記完全乾燥工程後に、前記中間品を焼成する焼成工程と、を実行する。前記芯材は、前記焼成工程における前記中間品の焼成条件下で、形状を維持できない材料で形成されている。前記芯材挿入工程では、前記半乾燥工程後の前記中間品よりも剛性があり且つ尖鋭部を有する針部材に、前記芯材を接続し、前記中間品の外面中で前記孔の開口になる位置に前記針部材の前記尖鋭部を突き刺し、前記針部材を前記中間品中で前記孔となる領域内を移動させて、前記領域内に前記芯材を位置させる。前記焼成工程では、前記芯材の少なくとも一部が除去される。
【００１８】
第二態様及び第三態様では、針部材で複数の繊維構造体を貫通させて、複数の繊維構造体を跨るように、芯材を中間品内に配置することができる。このため、第二態様及び第三態様では、芯材の周りに複数の繊維構造体を巻く手間を省くことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に一態様によれば、内部に空間が形成されているセラミックス複合材料部品の製造時の作業工数を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係るＣＭＣ部品の製造方法の第一実施形態における製造手順を示すフローチャートである。
【図２】本発明に係る第一実施形態における芯材準備工程での処理内容を示す説明図である。
【図３】本発明に係る第一実施形態における部品成形工程での処理内容を示す説明図である。
【図４】本発明に係る第一実施形態における部品成形工程で繊維シートをプレスしている状態を示す説明図である。
【図５】本発明に係る第一実施形態における第三中間品の断面図である。
【図６】本発明に係る第一実施形態における芯材準備工程の変形例での処理内容を示す説明図である。
【図７】本発明に係るＣＭＣ部品の製造方法の第二実施形態における製造手順を示すフローチャートである。
【図８】本発明に係る第二実施形態における部品成形工程及び第三芯材挿入工程での処理内容を示す説明図である。同図（Ａ）は、部品成形工程後であって第三芯材挿入工程前の中間品の断面図である。同図（Ｂ）は、第三芯材挿入工程後の中間品の断面図である。
【図９】本発明に係る一実施形態としてのガスタービンの模式的断面図である。
【図１０】本発明に係る一実施形態としてのガスタービンの要部断面図である。
【図１１】本発明に係る一実施形態としての動翼の斜視図である。
【図１２】本発明に係る一実施形態としての動翼の断面図である。
【図１３】本発明に係る一実施形態としての尾筒シールの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明に係るＣＭＣ部品の製造方法の各種実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】
「ガスタービンの実施形態」
ＣＭＣ部品の製造方法の実施形態を説明するまえに、ＣＭＣ部品を含む装置の実施形態について説明する。
【００２３】
ＣＭＣ部品を含む装置としては、例えば、図９に示すガスタービンがある。
【００２４】
本実施形態のガスタービンは、外気Ａを圧縮して圧縮空気Ａｃｏｍを生成する圧縮機１０と、燃料供給源からの燃料Ｆを圧縮空気Ａｃｏｍ中で燃焼させて燃焼ガスＧを生成する燃焼器２０と、燃焼ガスＧにより駆動するタービン３０と、を備えている。
【００２５】
圧縮機１０は、軸線Ａｒを中心として回転する圧縮機ロータ１１と、この圧縮機ロータ１１を覆う筒状の圧縮機車室１５とを有する。なお、以下では、ロータ軸線Ａｒが延びている方向を軸線方向Ｄａとする。また、軸線方向Ｄａの一方側を軸線方向上流側Ｄａｕ、この軸線方向Ｄａの他方側を軸線方向下流側Ｄａｄとする。ロータ軸線Ａｒに対する径方向を単に径方向Ｄｒとする。また、この径方向Ｄｒでロータ軸線Ａｒから遠ざかる側を径方向外側Ｄｒｏとし、この径方向Ｄｒでロータ軸線Ａｒに近づく側を径方向内側Ｄｒｉとする。
【００２６】
圧縮機車室１５の上流側は、開口が形成されている。この開口は、圧縮機１０が外部から外気Ａを取り込む空気取込口１５ｉを成す。圧縮機車室１５の径方向内側Ｄｒｉには、複数の静翼列１６が固定されている。複数の静翼列１６は、軸線方向Ｄａに間隔をあけて並んでいる。複数の静翼列１６は、いずれも、ロータ軸線Ａｒに対する周方向Ｄｃに並んでいる複数の静翼１７で構成されている。圧縮機ロータ１１は、ロータ軸線Ａｒを中心として軸線方向Ｄａに延びているロータ軸１２と、このロータ軸１２の外周に固定されている複数の動翼列１３と、を有する。各動翼列１３は、いずれかの静翼列１６の軸線方向上流側Ｄａｕに配置されている。複数の動翼列１３は、いずれも、周方向Ｄｃに並んでいる複数の動翼１４で構成されている。
【００２７】
タービン３０は、圧縮機１０の軸線方向下流側Ｄａｄに配置されている。このタービン３０は、ロータ軸線Ａｒを中心として回転するタービンロータ３１と、このタービンロータ３１を覆う筒状のタービン車室４１とを有する。タービン車室４１の径方向内側Ｄｒｉには、複数の静翼列４６が固定されている。複数の静翼列４６は、軸線方向Ｄａに間隔をあけて並んでいる。複数の静翼列４６は、いずれも、周方向Ｄｃに並んでいる複数の静翼４７で構成されている。タービンロータ３１は、ロータ軸線Ａｒを中心として軸線方向Ｄａに延びているロータ軸３２と、このロータ軸３２の外周に固定されている複数の動翼列３３と、を有する。各動翼列３３は、いずれかの静翼列４６の軸線方向下流側Ｄａｄに配置されている。複数の動翼列３３は、いずれも、周方向Ｄｃに並んでいる複数の動翼３４で構成されている。
【００２８】
本実施形態のガスタービンは、さらに、中間車室５と、排気室６と、を備えている。中間車室５は、軸線方向Ｄａで圧縮機車室１５とタービン車室４１との間に配置されている。排気室６は、タービン車室４１の軸線方向下流側Ｄａｄに配置されている。圧縮機車室１５、中間車室５、タービン車室４１、排気室６は、互いに連結されてガスタービン車室３を構成する。圧縮機ロータ１１とタービンロータ３１とは、同一のロータ軸線Ａｒを中心として一体回転する。圧縮機ロータ１１とタービンロータ３１とは、ガスタービンロータ２を構成する。このガスタービンロータ２は、軸線方向Ｄａの両端のそれぞれで軸受により支持されている。このガスタービンロータ２には、例えば、発電機９のロータが接続されている。
【００２９】
燃焼器２０は、中間車室５に固定されている。この燃焼器２０は、図１０に示すように、燃焼Ｆが燃焼する尾筒２２と、この尾筒２２内に燃料Ｆ及び圧縮空気Ａｃｏｍを噴出する燃料供給器２１と、音響ライナ２３と、を有する。尾筒２２は、燃焼器軸線Ａｃ周りで筒状を成している。この尾筒２２は、中間車室５内に配置されている。音響ライナ２３は、筒状の尾筒２２の外周に沿って燃焼器軸線Ａｃに対する周方向に延びている。音響ライナ２３は、筒状の尾筒２２の外周側に空間を形成する。この音響ライナ２３は、音響ライナ２３又はこの空間は、一般的に共鳴箱と呼ばれる。この中間車室５内には、圧縮機１０からの圧縮空気Ａｃｏｍが供給される。筒状の尾筒２２を構成する板材には、空気が流れる冷却空気通路（図示されていない）が形成されている。この冷却空気通路には、中間車室５内の圧縮空気Ａｃｏｍが冷却空気として流れる。さらに、筒状の尾筒２２を構成する板材には、尾筒２２の内周側から音響ライナ２３の内部空間に貫通する貫通孔が形成されている。燃料供給器２１には、燃料Ｆを供給する燃料ライン２５が接続されている。
【００３０】
タービン車室４１は、複数の分割環４２と、複数の遮熱環４３と、翼環４４と、車室本体４５と、を有する。分割環４２は、動翼列３３の径方向外側Ｄｒｏに位置して、動翼列３３と径方向Ｄｒで対向する。翼環４４は、ロータ軸線Ａｒを中心として環状を成し、複数の分割環４２の径方向外側Ｄｒｏに位置する。遮熱環４３は、径方向Ｄｒで、分割環４２及び静翼４７と遮熱環４３との間に位置し、分割環４２及び静翼４７と遮熱環４３とを接続する。よって、分割環４２及び静翼４７は、遮熱環４３を介して、翼環４４により径方向外側Ｄｒｏから支持されている。車室本体４５は、ロータ軸線Ａｒを中心として環状を成し、翼環４４の径方向外側Ｄｒｏに位置する。車室本体４５は、径方向外側Ｄｒｏから翼環４４を支持する。車室本体４５の軸線方向上流側Ｄａｕには、中間車室５が接続されている。また、車室本体４５の軸線方向下流側Ｄａｄには、排気室６が接続されている。
【００３１】
ロータ軸３２の径方向外側Ｄｒｏとタービン車室４１の径方向内側Ｄｒiとの間の環状の空間は、燃焼器２０からの燃焼ガスＧが流れる燃焼ガス流路４９を成す。ロータ軸３２には、冷却空気が通る冷却空気通路が形成されている。この冷却空気通路を通った冷却空気は、動翼３４内に導入されて、この動翼３４の冷却に利用される。タービン車室４１には、冷却空気が通る冷却空気通路が形成されている。この冷却空気通路を通った冷却空気は、静翼４７内及び分割環４２内に導入されて、静翼４７及び分割環４２の冷却に利用される。このため、静翼４７及び分割環４２には、冷却空気が流れる冷却空気通路（図示されていない）が形成されている。なお、静翼列４６によっては、中間車室５内の空気が、冷却空気として、車室の冷却空気通路を経ずにこの静翼列４６を構成する静翼４７に供給される場合もある。
【００３２】
静翼４７は、翼形を成し、径方向に延びる翼体４７ｐと、翼体４７ｐの径方向外側Ｄｒｏに設けられている外側シュラウド４７ｏと、翼体４７ｐの径方向内側Ｄｒｉに設けられている内側シュラウド４７ｉと、を有する。
【００３３】
動翼３４は、図１１及び図１２に示すように、翼形を成す翼体５１と、翼体５１の翼高さ方向の端部に設けられているプラットフォーム５７と、プラットフォーム５７から翼体５１と反対側に延びる翼根５８と、を有する。なお、この動翼３４がロータ軸３２に取り付けられた状態では、翼高さ方向が実質的に径方向Ｄｒと同じ方向になる。また、この状態では、プラットフォーム５７を基準にして、径方向外側Ｄｒｏに翼体５１が存在し、径方向内側Ｄｒｉに翼根５８が存在する。
【００３４】
翼体５１は、燃焼ガス流路４９内に配置される。この翼体５１には、凸状の面である背側面（負圧面）５４と、凹状の面である腹側面（正圧面）５５とが形成されている。背側面５４と腹側面５５とは、翼体５１の前縁５２と後縁５３とでつながっている。動翼３４がロータ軸３２に取り付けられた状態では、前縁５２は、後縁５３に対して、軸線方向上流側Ｄａｕに位置する。一方、後縁５３は、前縁５２に対して、軸線方向下流側Ｄａｄに位置する。また、この状態では、背側面５４及び腹側面５５は、いずれも周方向Ｄｃの成分を有する方向を向いている。
【００３５】
プラットフォーム５７は、翼体５１の翼高さ方向の端部から翼高さ方向に対して垂直な成分を有する方向に広がる板状の部材である。このプラットフォーム５７を翼高さ方向（径方向Ｄｒ）から見ると、平行四辺形を成している。
【００３６】
翼根５８は、翼体５１の翼弦Ｌｃｏに対して垂直な断面形状がクリスマスツリー形状を成している。この翼根５８は、ロータ軸３２（図１参照）の翼根溝（不図示）に嵌り込む。
【００３７】
動翼３４には、翼高さ方向に延びる複数の翼通路６１が形成されている。各翼通路６１は、いずれも、翼体５１、プラットフォーム５７、翼根５８にかけて連なって形成されている。複数の翼通路６１は、翼体５１のキャンバーラインＬｃａに沿って並んでいる。隣接する翼通路６１は、翼高さ方向の端の部分で互いに連通している。よって、また、複数の翼通路６１のうち、少なくとも一の翼通路６１は、翼根５８の翼高さ方向の端で開口している。この翼通路６１には、ロータ軸３２に形成されている冷却空気通路からの冷却空気Ａｃがこの開口６２ｏから流入する。
【００３８】
本実施形態の動翼３４は、例えば、三つの翼通路６１が形成されている。これら三つの翼通路６１のうち、最も軸線方向上流側Ｄｕの翼通路６１を第一翼通路６１ａ、この第一翼通路６１ａに隣接する翼通路６１を第二翼通路６１ｂ、この第二翼通路６１ｂに隣接する翼通路６１を第三翼通路６１ｃとする。第三翼通路６１ｃは、翼根５８の翼高さ方向の基端側（径方向内側Ｄｒｉ）の端で開口している。第三翼通路６１ｃと第二翼通路６１ｂとは、翼高さ方向の先端側（径方向外側Ｄｒｏ）の部分で連通している。また、第二翼通路６１ｂと第一翼通路６１ａとは、翼高さ方向の基端側の部分で連通している。よって、三つの翼通路６１は、互に連通し、一つのサーペンタイン通路６２を形成している。このサーペンタイン通路６２は、翼高さ方向で蛇行している。
【００３９】
翼通路６１には、翼体５１の外面で開口する複数の翼面噴出通路６３が接続されている。例えば、第三翼通路６１ｃには、この第三翼通路６１ｃから軸線方向下流側Ｄａｄに延びて、翼体５１の外面で開口する複数の後縁噴出通路６３ｃが接続されている。また、第一翼通路６１ａには、この第一翼通路６１ａからの軸線方向上流側Ｄａｕに延びて、翼体５１の外面で開口する複数の前縁噴出通路６３ａが接続されている。さらに、各翼通路６１には、各翼通路６１の先端側（径方向外側Ｄｒｏ）の部分からさらに先端側に延びて、翼体５１の外面で開口する複数の先端噴出通路６３ｔが接続されている。
【００４０】
また、プラットフォーム５７にも、冷却空気が流れるプラットフォーム通路（図示されていない）が形成されている。
【００４１】
ガスタービンは、さらに、図１３に示すように、燃焼器２０の尾筒２２とタービン３０の初段静翼４７ａとの間をシールする尾筒シール７０を有する。この尾筒シール７０は、燃焼器軸線Ａｃ回りに筒状のシール本体７１と、尾筒２２に接続するための尾筒側接続部７２と、初段静翼４７ａに接続するための静翼側接続部７３と、を有する。シール本体７１は、外周面７１ｏと、内周面７１ｉと、第一端面７１ａと、第二端面７１ｂと、を有する。筒状のシール本体７１の内周側には、尾筒からの燃焼ガスＧが流れる。このため、シール本体７１の内周面７１ｉは、燃焼ガスＧと接する。一方、シール本体７１の外周面７１ｏは、中間車室５内に滞留している圧縮空気Ａｃｏｍと接する。第一端面７１ａは、シール本体７１の尾筒側（軸線方向上流側Ｄａｕ）の端面である。第二端面７１ｂは、シール本体７１の初段静翼４７ａ側（軸線方向下流側Ｄａｄ）の端面である。尾筒側接続部７２は、シール本体７１の尾筒側（軸線方向上流側Ｄａｕ）であって、シール本体７１の燃焼器軸線Ａｃに対する径方向外側の部分に設けられている。静翼側接続部７３は、シール本体７１の初段静翼４７ａ側（軸線方向下流側Ｄａｄ）であって、シール本体７１の燃焼器軸線Ａｃに対する径方向外側の部分に設けられている。静翼側接続部７３は、尾筒側接続部７２に対して、初段静翼４７ａ側（軸線方向下流側Ｄａｄ）に離間している。
【００４２】
シール本体７１には、前側通路７５と、後側通路７６とが形成されている。前側通路７５は、シール本体７１の外周面７１ｏであって静翼側接続部７３と尾筒側接続部７２との間の位置から第一端面７１ａに貫通する通路である。この前側通路７５により第一端面７１ａに形成されている開口は、空気噴出口７５ｏである。後側通路７６は、燃焼器軸線Ａｃと平行な方向に延びる軸線方向通路部７６ａと、燃焼器軸線Ａｃに対して垂直な方向に延びる径方向通路部７６ｂと、を有する。軸線方向通路部７６ａの第一端は、シール本体７１の第二端面７１ｂで開口している。径方向通路部７６ｂは、シール本体７１の外周面７１ｏであって静翼側接続部７３と尾筒側接続部７２との間の位置で開口している。軸線方向通路部７６ａの第二端と径方向通路部７６ｂの第二端とは、接続されている。
【００４３】
前側通路７５及び後側通路７６には、いずれも、シール本体７１の外側に滞留する圧縮空気Ａｃｏｍが冷却空気として流入する。
【００４４】
以上で説明したガスタービンの部品のうち、尾筒２２、尾筒シール７０、動翼３４、静翼４７、分割環４２は、いずれも、高温の燃焼ガスに接する高温部品である。このため、これらの高温部品には、冷却空気等の冷却媒体が流れる通路（空間）が形成されている。これらの高温部品は、ＣＭＣで形成することができる。
【００４５】
「ＣＭＣ部品の製造方法の第一実施形態」
本実施形態のＣＭＣ部品の製造方法の第一実施形態について、図１〜図６を参照して説明する。なお、本実施形態でＣＭＣ部品は、先に説明した動翼３４である。
【００４６】
ＣＭＣ部品である動翼３４の製造手順について、図１に示すフローチャートに従って説明する。
【００４７】
まず、準備工程（Ｓ１）を実行する。この準備工程（Ｓ１）は、部品型準備工程（Ｓ１ａ）及び芯材準備工程（Ｓ１ｂ）を含む。
【００４８】
部品型準備工程（Ｓ１ａ）では、ＣＭＣ部品である動翼３４の外形状に合った内部空間が形成されている部品型を作る。図３に示すように、この部品型８０は、第一型８１と第二型８２とを有する。第一型８１と第二型８２とが共同して、動翼３４の外形状に合った内部空間を形成する。
【００４９】
芯材準備工程（Ｓ１ｂ）では、動翼３４の内部に形成される第一空間であるサーペンタイン通路６２の形状に合った芯材を作る。この芯材は、水溶性材料で形成する。水溶性材料としては、ポリビニリデンアルコール（ＰＶＡ）、ポリアクリルアミド、カルボキシメチルセルロース（ＣＭＣ）、レゾール型フェノール樹脂、メチロール化ユリア樹脂、メチロール化メラミン樹脂等がある。これらの水溶性材料は、いずれも、熱可塑性の材料である。本実施形態では、これらの水溶性材料のうち、ポリビニリデンアルコールを主成分とするソルブロン（株式会社ニチビの登録商標）を芯材の材料として用いる。なお、他の水溶性材料を芯材の材料として用いてもよい。
【００５０】
この芯材準備工程（Ｓ１ｂ）では、図２に示すように、まず、サーペンタイン通路６２の外形状、つまり芯材８５の外形状に合った内部空間が形成されている芯材型８４を準備する。次に、この芯材型８４内に、前述した水溶性材料の粉末等を充填する。芯材型８４内に粉末等を充填すると、粉末等を芯材型８４ごと加熱し、粉末等を軟化させる。粉末等が軟化し、一体化した後、この一体化物を芯材型８４ごと冷却し、この一体化物を硬化させる。一体化物が硬化すると、この一体化物を芯材型８４から取り出す。この硬化した一体化物が芯材８５である。
【００５１】
なお、芯材８５を成形する方法としては、以上で説明したように、芯材型８４を用いる方法の他、３Ｄプリンタを用いる方法もある。
【００５２】
次に、芯材８５の表面にＳｉＣ層（無機質層）を形成する。ＳｉＣ層を形成する方法としては、コールドスプレー法、化学蒸着（CVD: chemical vapor deposition）法、エアロゾルデポジション法等の各種方法がある。本実施形態では、図２に示すように、コールドスプレー法で、芯材８５の表面にＳｉＣ層８９を形成する。
【００５３】
以上で準備工程（Ｓ１）が完了する。準備工程（Ｓ１）が完了すると、部品成形工程（Ｓ２）を実行する。
【００５４】
この部品成形工程（Ｓ２）では、まず、複数の無機質繊維で構成された繊維シート（繊維構造体）に、ＣＭＣ部品のセラミックスマトリックス相を形成する材料を含むスラリーを含浸させる。本実施形態では、無機質繊維としてＳｉＣ繊維を用いる。また、本実施形態のセラミックスマトリックス相は、ＳｉＣで形成される。このため、本実施形態のスラリーは、水、アルコール、液体状の樹脂、およびそれらの混合物を分散媒として用いる。樹脂にはセラミックスマトリックス相を形成するための材料であるＣを熱分解により形成する樹脂、例えばフェノール樹脂を用いる。また、スラリーには、ＳｉＣ粉末やＣ粉末を含ませる。更に、このスラリーを繊維織物に含浸し、その後溶融Ｓｉを繊維織物に含浸することでマトリックスグリーン体を形成してもよい。
【００５５】
次に、図３及び図４に示すように、芯材８５の周りにスラリーが含浸している繊維シート９０を配する。そして、芯材８５及び繊維シート９０の塊を部品型８０内に配置する。その後、部品型８０の第二型８２を第一型８１に近づけて、芯材８５及び繊維シート９０の塊をプレスする。ここで、部品型８０内に収まった直後におけるスラリー含浸繊維シート９０を一次中間品９３とする。
【００５６】
以上で、部品成形工程（Ｓ２）が完了する。部品成形工程（Ｓ２）が完了すると、一次中間品９３を乾燥させる（Ｓ３：乾燥工程）。この乾燥工程（Ｓ３）では、部品型８０と共に、部品型８０内の一次中間品９３を加熱して、一次中間品９３に含まれる液体分を気化させる。この際、この芯材８５の融点よりも低い温度で常温よりも高い温度にまで、部品型８０及び一次中間品９３を加熱する。例えば、前述したソルブロンの融点は、２２０℃〜２３０℃程度であるため、部品型８０及び一次中間品９３が２００℃程度になるまで、これらを加熱する。
【００５７】
一次中間品９３中の液体分が予め定められた量以下になり、一次中間品９３が硬化すると、この一次中間品９３を部品型８０から取り出す。以上で、乾燥工程（Ｓ３）が完了する。ここで、乾燥工程（Ｓ３）が完了した時点の一次中間品９３を二次中間品９４とする。
【００５８】
なお、ここでは、一次中間品９３を加熱して、この一次中間品９３を乾燥させているが、一次中間品９３を自然乾燥させてもよい。但し、一次中間品９３を自然乾燥させる場合、一次中間品９３を加熱して乾燥させる場合よりも、乾燥工程の実施時間が長くなる。
【００５９】
乾燥工程（Ｓ３）が完了すると、二次中間品９４中の芯材８５を除去する（Ｓ５：芯材除去工程）を実行する。芯材除去工程（Ｓ５）では、二次中間品９４を例えば８０℃程度のお湯に入れる。二次中間品９４中に存在する芯材８５は、水溶性であるため、お湯に接すると、溶けて、二次中間品９４から除去される。この結果、二次中間品９４中で、芯材８５が存在していた部分が、サーペンタイン通路６２の形状に対応した空洞になる。この芯材除去工程（Ｓ５）では、二次中間品９４をお湯に入れて、ブラシ等を用いて、芯材８５を掻き出してもよい。また、二次中間品９４に対して高圧のお湯を吹きかけてもよい。つまり、芯材８５とお湯とを接触させるのみならず、芯材８５に対して物理的な力を加えて、芯材８５を除去してもよい。二次中間品９４中の芯材８５の除去が完了すると、この二次中間品９４を乾燥させる。
【００６０】
次に、二次中間品９４を加熱炉内に入れて、二次中間品９４を焼成する（Ｓ６：焼成工程）。この焼成工程（Ｓ６）では、二次中間品９４の温度が千数百℃になるまで、この二次中間品９４を加熱炉内で加熱する。この二次中間品９４の焼成により、繊維シート９０を構成する複数の繊維相互間の物質がセラミックスマトリックス相になる。ここで、焼成工程（Ｓ６）が完了した時点の二次中間品９４を三次中間品９５（図５参照）とする。この三次中間品９５には、既にサーペンタイン通路６２が形成されている。
【００６１】
焼成工程（Ｓ６）が完了すると、三次中間品９５に対して機械加工を施す（Ｓ７：機械加工工程）。この機械加工工程（Ｓ６）では、図５に示すように、ドリル等の工具Ｔを用いて、三次中間品９５の外部から、三次中間品９５の内部に形成されている空洞（サーペンタイン通路６２）に貫通する貫通孔を形成する。この貫通孔は、動翼３４の翼面噴出通路（第二空間）６３になる。すなわち、この機械工程（Ｓ６）では、三次中間品９５に対して機械加工を施して、動翼３４の第二空間である翼面噴出通路６３を形成する。さらに、必要に応じて、三次中間品９５の外観が目的の形状になるよう、三次中間品９５の外面を研削する。
【００６２】
この機械加工工程（Ｓ７）が完了すると、ＣＭＣ部品である動翼３４が完成する。
【００６３】
以上のように、本実施形態では、溶融金属含浸（ＭＩ：Melt Infiltration)法で、ＣＭＣ部品を製造する。本実施形態では、この方法によるＣＭＣ部品の製造過程で、水溶性材料で形成された芯材８５を用いて、ＣＭＣ部品中に空間を形成する。
【００６４】
ところで、背景技術の欄で説明したように、ＣＭＣ部品中で空間になる部分に炭素繊維を配して、焼成工程でこの炭素繊維を焼失させることで、ＣＭＣ部品中に空間を形成するとする。この場合、焼成工程で、全ての炭素繊維が焼失しない場合、焼成工程後の中間品を再度加熱炉内に入れて、この中間品を加熱する必要がある。このため、炭素繊維除去工程の作業工数が嵩む。また、背景技術の欄で説明した方法では、繊維構造体を構成する複数の繊維のうち、ＣＭＣ部品中で空間になる部分の繊維を炭素繊維に置き換えるため、本実施形態のように、蛇行している複雑な形状の空間を形成することが困難である。仮に、複雑な形状の空間を作ることができても、繊維構造体を構成する複数の繊維のうち、ＣＭＣ部品中で空間になる部分の繊維を炭素繊維に置き換える作業に長時間要とする。つまり、繊維置き換え工程の作業工数が嵩む。
【００６５】
一方、本実施形態では、芯材除去工程（Ｓ５）後に、二次中間品９４中に芯材８５の一部が残っていても、単に、残留芯材８５に水を接触させれば、残留芯材８５を容易に除去できる。つまり、本実施形態では、前述したように、焼成工程後の中間品をわざわざ加熱炉に入れて、この中間品を再度加熱する必要がない。さらに、本実施形態では、芯材８５が熱可塑性材料であるため、この材料を温めれば材料が軟化する。このため、芯材８５の外形状が複雑な形状でも、容易に形成することができる。
【００６６】
よって、本実施形態では、ＣＭＣ部品の製造時の作業工数を少なくすることができ、ＣＭＣ部品の製造コストを抑えることができる。
【００６７】
また、本実施形態では、芯材準備工程（Ｓ１ｂ）で芯材８５の表面に、本実施形態のセラミックスマトリックス相を構成する材料と同じ材料によりＳｉＣ層８９を形成する。このＳｉＣ層８９は、二次中間品９４を焼成して、繊維シート９０を構成する複数の繊維相互間の物質がセラミックスマトリックス相になる過程で、複数の繊維相互間の物質の一部と一体化し、ＣＭＣ部品のセラミックスマトリックス相の一部になる。すなわち、本実施形態では、一次中間品９３を乾燥させる前に、芯材８５と一次中間品９３との境目に、セラミックスマトリックス相を構成する材料と同じ材料による層が形成されていることになる。このため、本実施形態では、乾燥工程（Ｓ３）、芯材除去工程（Ｓ５）、焼成工程（Ｓ６）の実行過程で、スラリー中のＳｉ分等が芯材８５又は内部空間に染み出すのを抑制することができる。
【００６８】
本実施形態では、ＣＭＣ部品である動翼３４の翼面噴出通路（第二空間）６３を、焼成工程（Ｓ６）後の三次中間品９５に対する機械加工で形成する。しかしながら、翼面噴出通路（第二空間）６３を、サーペンタイン通路（第一空間）６２と同様に、水溶性の芯材を用いて形成してもよい。
【００６９】
サーペンタイン通路（第一空間）６２に比べて、翼面噴出通路（第二空間）６３のように、単純な空間形状を形成する場合には、例えば、図６に示す方法で、芯材を形成してもよい。
【００７０】
具体的には、芯材準備工程（Ｓ１ｂ）において、まず、図６に示すように、第二空間の形状にほぼ合ったソルブロン製の塊、つまり水溶性材料で形成されたブロック１００を準備する。または、ソルブロン製シートを丸めて、このシートを第二空間の形状にほぼ合った形状にする。若しくは、複数のソルブロン製繊維を束ねて、複数のソルブロン製繊維を第二空間の形状にほぼ合った形状にする。
【００７１】
次に、若しくは、以上の作業と並行して、紙などのシート１０１上に、セラミックスマトリックス相を構成する材料と同じ材料で構成された繊維、この場合は複数のＳｉＣ繊維１０２を、シート１０１上に密に配置する。そして、先に準備しておいた水溶性材料で形成されたブロック１００等の周りに、複数のＳｉＣ繊維１０２が密に配置されたシート１０１を巻き付ける。
【００７２】
次に、シート１０１が巻き付いているブロック１００等を、第二空間の形状に合った内部空間が形成されている芯材型８４内に押し込む。そして、ブロック１００等を芯材型８４と共に加熱し、ブロック１００を軟化させる。ブロック１００が軟化した後、このブロック１００を芯材型８４ごと冷却し、ブロック１００を硬化させる。この結果、第二空間の形状に合った外形状の第二芯材が形成されると共に、この第二芯材の周りにＳｉＣ層が形成される。
【００７３】
次に、サーペンタイン通路（第一空間）６２を形成するための芯材である第一芯材８５に、第二芯材を接着する。第一芯材８５に第二芯材を接着する方法としては、接着剤を用いる方法、第一芯材８５の局部のみを加熱して、この局部のみを軟化させて、ここに第二芯材を差し込む等の方法がある。
【００７４】
以上で、第一芯材８５と第二芯材とが一体化してできた芯材が完成する。すなわち、芯材準備工程（Ｓ１ｂ）が完了する。
【００７５】
次に、第一芯材８５と第二芯材とが一体化してできた芯材を用いて、前述と同様に、部品成形工程（Ｓ２）を実行する。以下、前述と同様に、乾燥工程（Ｓ３）、芯材除去工程（Ｓ５）、焼成工程（Ｓ６）を実行する。そして、必要に応じて、三次中間品９５の外観が目的の形状になるよう、三次中間品９５の外面を研削する（Ｓ７：機械加工工程）。
【００７６】
「ＣＭＣ部品の製造方法の第二実施形態」
本実施形態のＣＭＣ部品の製造方法の第二実施形態について、図７及び図８を参照して説明する。なお、本実施形態でＣＭＣ部品は、先に説明した尾筒シール７０である。
【００７７】
ＣＭＣ部品である尾筒シール７０の製造手順について、図７に示すフローチャートに従って説明する。
【００７８】
本実施形態でも、第一実施形態と同様に、まず、準備工程（Ｓ１）を実行する。この準備工程（Ｓ１）は、部品型準備工程（Ｓ１ａ）及び芯材準備工程（Ｓ１ｂ）を含む。
【００７９】
部品型準備工程（Ｓ１ａ）では、第一実施形態と同様に、ＣＭＣ部品である尾筒シール７０の外形状に合った内部空間が形成されている部品型を作る。
【００８０】
芯材準備工程（Ｓ１ｂ）でも、第一実施形態と同様に、尾筒シール７０の内部に形成される空間の形状に合った芯材を作る。ここでの尾筒シール７０の内部に形成される空間は、第一空間としての後側通路７６と、第三空間としての前側通路７５とがある。このため、ここでは、図８に示すように、第一空間としての後側通路７６の形状に合った外形状の第一芯材８６と第三空間としての前側通路７５の形状に合った外形状の第三芯材８７とを作る。なお、第一芯材８６及び第三芯材８７は、いずれも、図２を用いて説明した方法で形成されても、図６を用いて説明した方法で形成されてもよい。
【００８１】
準備工程（Ｓ１）が完了すると、部品成形工程（Ｓ２）を実行する。
【００８２】
この部品成形工程（Ｓ２）でも、まず、複数の無機質繊維で構成された繊維シート９０（繊維構造体）に、ＣＭＣ部品のセラミックスマトリックス相を形成する材料を含むスラリーを含浸させる。本実施形態では、無機質繊維としてＳｉＣ繊維を用いる。また、本実施形態のセラミックスマトリックス相は、ＳｉＣで形成される。このため、本実施形態のスラリーも、水、アルコール、液体状の樹脂、およびそれらの混合物を分散媒として用いる。樹脂にはセラミックスマトリックス相を形成するための材料であるＣを熱分解により形成する樹脂、例えばフェノール樹脂を用いる。また、スラリーには、ＳｉＣ粉末やＣ粉末を含ませる。更に、このスラリーを繊維織物に含浸し、その後溶融Ｓｉを繊維織物に含浸することでマトリックスグリーン体を形成してもよい。
【００８３】
次に、図８（Ａ）に示すように、第一芯材８６の周りにスラリーが含浸している繊維シート９０を配する。なお、本実施形態では、この段階で、繊維シート９０の周りに第三芯材８７を配さない。そして、第一芯材８６及び繊維シート９０の塊を部品型内に配置する。ここで、部品型内に収まった直後におけるスラリー含浸繊維シートを一次中間品９３ａとする。
【００８４】
部品成形工程（Ｓ２）が完了すると、一次中間品９３ａを半乾燥させる（Ｓ３ａ：半乾燥工程）。この半乾燥工程（Ｓ３ａ）では、第一実施形態における乾燥工程（Ｓ３）と同様に、部品型と共に、部品型内の一次中間品９３ａを加熱して、一次中間品９３ａに含まれる液体分を気化させる。但し、この半乾燥工程（Ｓ３ａ）では、一次中間品９３中の液体分が予め定められた完全乾燥時量よりも多い半乾燥時量になった時点で、この一次中間品９３ａを部品型から取り出す。以上で、半乾燥工程（Ｓ３ａ）が完了する。ここで、半乾燥工程（Ｓ３ａ）が完了した時点の一次中間品９３ａを半二次中間品９３ｂとする。この半二次中間品９３ｂは、部品型から取り出しても、その外形状を維持できる程度に硬くなっているものの、外部から物理的に圧力が加えられると、この圧力により変形し得る程度に柔らかい状態である。
【００８５】
半乾燥工程（Ｓ３ａ）が完了すると、図８（Ｂ）に示すように、半二次中間品９３ｂに第三芯材８７を挿入する（Ｓ４：第三芯材挿入工程）。この第三芯材挿入工程（Ｓ４）では、図８（Ａ）に示すように、金属製の針部材９９を準備する。よって、この針部材９９は、半二次中間品９３ｂよりも硬く剛性ある。針部材９９は、図８（Ａ）に示すように、第一端と第二端部とを有する。第一端部には、尖鋭部９９ａが形成されている。また、第二端部には、芯材接続孔９９ｂが形成されている。次に、この針部材９９の芯材接続孔９９ｂに、第三芯材８７の一部を通して、針部材９９と第三芯材８７とを接続する。そして、半二次中間品９３ｂの外面中で前側通路７５の空気噴出口７５ｏになる位置に針部材９９の尖鋭部９９ａを突き刺し、針部材９９を半二次中間品９３ｂ中で前側通路７５となる領域内を移動させて、図８（Ｂ）に示すように、この領域内に第三芯材８７を位置させる。以上で、第三芯材挿入工程（Ｓ４）が完了する。
【００８６】
第三芯材挿入工程（Ｓ４）が完了すると、半二次中間品９３ｂを完全乾燥させる（Ｓ３ｂ：完全乾燥工程）。この完全乾燥工程（Ｓ３ｂ）では、半二次中間品９３ｂを加熱して、半二次中間品９３ｂ中の液体分を完全乾燥時量以下にする。ここで、完全乾燥工程（Ｓ３ａ）が完了した時点の中間品を二次中間品９４ａとする。
【００８７】
なお、この完全乾燥工程（Ｓ３ｂ）では、この半二次中間品９３ｂを部品型に再度入れて、この状態で部品型と共に半二次中間品９３ｂを加熱してもよい。また、この完全乾燥工程（Ｓ３ｂ）及び半乾燥工程（Ｓ３ａ）では、半二次中間品９３ｂ又は一次中間品９３を自然乾燥させてもよい。
【００８８】
完全乾燥工程（Ｓ３ｂ）が完了すると、第一実施形態と同様に、二次中間品９４ａ中の芯材を除去する（Ｓ５：芯材除去工程）を実行する。すなわち、この芯材除去工程（Ｓ５）では、二次中間品９４ａ中の第一芯材８６及び第三芯材８７をお湯に接触させて、第一芯材８６及び第三芯材８７を溶かす。二次中間品９４ａ中の芯材８６,８７の除去が完了すると、この二次中間品９４ａを乾燥させる。
【００８９】
次に、第一実施形態と同様に、二次中間品９４ａを加熱炉内に入れて、二次中間品９４ａを焼成する（Ｓ６：焼成工程）。ここで、焼成工程（Ｓ６）が完了した時点の二次中間品９４ａを三次中間品とする。
【００９０】
焼成工程（Ｓ６）が完了すると、三次中間品に対して、必要に応じて、機械加工を施す（Ｓ７：機械加工工程）。この機械加工工程（Ｓ６）では、例えば、三次中間品の外観が目的の形状になるよう、三次中間品の外面を研削する。
【００９１】
この機械加工工程（Ｓ７）が完了すると、ＣＭＣ部品である尾筒シール７０が完成する。
【００９２】
以上のように、本実施形態でも、第一実施形態と同様に、溶融金属含浸（ＭＩ：Melt Infiltration)法で、ＣＭＣ部品を製造する。本実施形態では、この方法によるＣＭＣ部品の製造過程で、水溶性材料で形成された芯材を用いて、ＣＭＣ部品中に空間を形成する。
【００９３】
このため、本実施形態でも、第一実施形態と同様に、ＣＭＣ部品の製造時の作業工数を少なくすることができ、ＣＭＣ部品の製造コストを抑えることができる。
【００９４】
本実施形態では、針部材９９で複数の繊維シート９０を貫通させて、複数の繊維シート９０を跨るように、前側通路７５を形成するための第三芯材８７を半二次中間品９３ｂ内に配置している。このため、第三芯材８７の周りに複数の繊維シート９０を巻く手間を省くことができる。よって、本実施形態では、この観点からも、ＣＭＣ部品の製造時の作業工数を少なくすることができる。
【００９５】
なお、第一実施形態では、三次中間品９５に機械加工を施して、この三次中間品９５に第二空間である翼面噴出通路（第二空間）６３を形成する。しかしながら、この翼面噴出通路６３を以上で説明した前側通路７５と同様に形成してもよい。
【００９６】
また、以上の実施形態では、針部材９９に接続する第三芯材８７が水溶性材料で形成されている。しかしながら、第三芯材は、水溶性材料ではなく、焼成工程（Ｓ６）での焼成条件下で形状を維持できない材料で形成してもよい。このような材料としては、カーボン繊維を含む材料である。第三芯材を焼成工程（Ｓ６）での焼成条件下で形状を維持できない材料で形成した場合、焼成工程（Ｓ６）で、第三芯材の一部を構成するカーボン繊維が焼失し、第三芯材の少なくとも一部が除去される。
【００９７】
「変形例」
以上の各実施形態で説明したＣＭＣ部品は、ガスタービンの高温部品である動翼３４及び尾筒シール７０である。しかしながら、ガスタービンの他の高温部品である尾筒２２、静翼４７、分割環４２が、ＣＭＣ部品であってもよい。この場合、これらＣＭＣ部品を以上で説明した製造方法と同様の方法で製造してもよい。
【００９８】
また、以上で説明した各実施形態のＣＭＣ部品は、高温の燃焼ガスに接するガスタービンの高温部品である。しかしながら、本発明は、これに限定されるものではなく、内部に空間が形成されているＣＭＣ部品であれば、如何なる部品であっても、以上で説明したように製造してもよい。
【００９９】
また、以上で説明した各ＣＭＣ部品は、いずれも、セラミックスマトリックスも繊維もＳｉＣであるＳｉＣ／ＳｉＣのＣＭＣ部品である。しかしながら、ＣＭＣ部品は、ＳｉＣ／ＳｉＣでなくてもよい。特に、ガスタービンの高温部品のように、千数百℃以上の高温環境下に配置されない部品の場合には、ＳｉＣ／ＳｉＣでなくてもよい。例えば、セラミックスマトリックスが窒化ケイ素や酸窒化ケイ素アルミニウムで形成され、繊維が窒化ケイ素やアルミニウム合金等で形成されていてもよい。
【符号の説明】
【０１００】
２：ガスタービンロータ
３：ガスタービン車室
５：中間車室
６：排気室
１０：圧縮機
１１：圧縮機ロータ
１２：ロータ軸
１３：動翼列
１４：動翼
１５：圧縮機車室
１６：静翼列
１７：静翼
２０：燃焼器
２１：燃料供給器
２２：尾筒
２３：音響ライナ
３０：タービン
３１：タービンロータ
３２：ロータ軸
３３：動翼列
３４：動翼
４１：タービン車室
４２：分割環
４３：遮熱環
４４：翼環
４５：車室本体
４６：静翼列
４７：静翼
４７ａ：初段静翼
４７ｐ：翼体
４７ｏ：外側シュラウド
４７ｉ：内側シュラウド
４９：燃焼ガス流路
５１：翼体
５２：前縁
５３：後縁
５４：背側面（負圧面）
５５：腹側面（正圧面）
５７：プラットフォーム
５８：翼根
６１：翼通路
６１ａ：第一翼通路
６１ｂ：第二翼通路
６１ｃ：第三翼通路
６２：サーペンタイン通路（第一空間）
６２ｏ：開口
６３：翼面噴出通路（第二空間）
６３ａ：前縁噴出通路
６３ｃ：後縁噴出通路
６３ｔ：先端噴出通路
７０：尾筒シール
７１：シール本体
７１ａ：第一端面
７１ｂ：第二端面
７１ｉ：内周面
７１ｏ：外周面
７２：尾筒側接続部
７３：静翼側接続部
７５：前側通路（第三空間）
７５ｏ：空気噴出口
７６：後側通路（第一空間）
７６ａ：軸線方向通路部
７６ｂ：径方向通路部
８０：部品型
８１：第一型
８２：第二型
８４：芯材型
８５：芯材（第一芯材）
８６：第一芯材
８７：第三芯材
８９：ＳｉＣ層（無機質層）
９０：繊維シート（繊維構造体）
９３，９３ａ：一次中間品
９３ｂ：半二次中間品
９４，９４ａ：二次中間品
９５：三次中間品
９９：針部材
９９ａ：尖鋭部
９９ｂ：芯材接続孔
１００：ブロック
Ａｒ：ロータ軸線
Ａｃ：燃焼器軸線Ａｃ
Ｄａ：軸線方向
Ｄａｕ：軸線方向上流側
Ｄａｄ：軸線方向下流側
Ｄｒ：径方向
Ｄｒｉ：径方向内側
Ｄｒｏ：径方向外側
Ｄｃ：周方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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