(57)【要約】【課題】従来、プローブカード収納ケースは、金属製であったため、通電して、プローブカード基板を破損してしまうおそれがあった。【解決手段】本発明のプローブカード収納ケースは、帯電防止部材より形成されることを特徴とする。また、本発明のプローブカード収納ケースは、プローブカードを収納する、一方のケース部と、該一方のケース部の開口部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、上記一方のケース部と他方のケース部とは、帯電防止部材から形成されることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯電防止部材より形成されることを特徴とするプローブカード収納ケース。
【請求項２】
プローブカードを収納する、一方のケース部と、該一方のケース部の開口部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、
上記一方のケース部と他方のケース部とは、帯電防止部材から形成されることを特徴とするプローブカード収納ケース。
【請求項３】
上記帯電防止部材は、電気抵抗値が、１０+5〜１０+14Ωの範囲内である部材であることを特徴とする請求項１または２に記載のプローブカード収納ケース。
【請求項４】
上記帯電防止部材は、電気抵抗値は、１０+10〜１０+13Ωの範囲内である部材であることを特徴とする請求項１または２に記載のプローブカード収納ケース。
【請求項５】
上記帯電防止部材は、帯電防止樹脂からなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１に記載のプローブカード収納ケース。
【請求項６】
上記帯電防止部樹脂は、カーボン粒子又はカーボン繊維が混ぜ合わされて形成された樹脂よりなることを特徴とする請求項５に記載のプローブカード収納ケース。
【請求項７】
上記帯電防止部樹脂は、金属粒子が混ぜ合わされた形成された樹脂よりなることを特徴とする請求項５に記載のプローブカード収納ケース。
【請求項８】
上記一方のケース部及び上記他方のケースの全部又は一部に透明部又は半透明部を設けたことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１に記載したプローブカード収納ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ検査用のプローブカードを収納するケースに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
（１．従来の説明）
【０００３】
半導体製造分野において、後工程の最終検査では、製造された半導体チップ（ウエハ）に、プローバ検査機に取り付けたプローブカードを接触させて交信し、該半導体チップの良否を測定する。該半導体チップは、非常に精度の高い品質が求められており、プローブカードのプローブ（探針）も、精度の高いものとなる。
【０００４】
近年シリコンウエハは、次第に大口径となり、このためプローブカードも大型化が進み、プローブカード自体の重量も２０ｋｇ以上となり、プローブカードの移動には、プローブカード収納ケースでの移動が必要となる。
【０００５】
また、極端に軽い１．５ｋｇ以下のプローブカードが、今後主流になるとしても、精密機器を移動、搬送し、ホコリなどから保護するためのプローブカード収納ケースの必要性は高い。
【０００６】
図３及び図４は、従来の、例えば、アルミ製などの金属製部材からなるプローブカード収納ケース１及び該収納ケース１に収納されるプローブカード２を示す。
【０００７】
上記収納ケース１は、上記プローブカード２を収納する、例えば、プローブカード挿入用の開口部を有するアルミ製部材からなる一方のケース部と、該一方のケース部の開口部を開閉自在に塞ぐアルミ製部材からなる他方のケース部とよりなり、例えば、上記一方のケース部は、床に載置され上記プローブカード２が収納される上面が開口した下側ケース部３よりなり、上記他方のケース部は、上記下側ケース部３の上面開口を開閉自在に塞ぐ上側ケース部４よりなる。
【０００８】
そして、上記一方のケース部と他方のケース部とは、上記一方のケース部の開口部を上記他方のケース部により塞ぐことにより、プローブカード２を上記収納ケース１内に、収納できるように形成される。
【０００９】
上記下側ケース部３は、例えば、矩形状の底板３ａとなる板体と、該底板３ａの外周縁部から立設した側壁部３ｂとよりなり、矩形箱状に形成される。そして、上記底板３ａ上面の周辺部の、例えば、４か所には、上記プローブカード２を、その縁部において、上記底面３ａから所望の高さで載置して、位置決めして支持する載置台５が設けられる。
【００１０】
上記プローブカード２は、例えば、図４に示すように、円板状のプローブカード基板６と、該プローブカード基板６の下面の中央部に設けられた多数のプローブ（探針）７と、上記プローブカード基板６の上面に固定された基板補強用の、例えばリング状に形成されたスティフナー（補強材）８とよりなる。
【００１１】
なお、上記スティフナー８は、例えば、上記プローブカード基板６の外周よりも、大きく形成され、上記プローブカード基板６よりも、外方に突出した縁部で、上記収納ケース１の載置台５に支持されるようになる。
【００１２】
なお、上記載置台５の上面を、ゴムなどの弾性部材などの保護部材により形成してもよい。
【００１３】
また、上記上側ケース部４は、例えば、矩形状の天井板４ａとなる板体と、該天井板４ａの外周縁部から垂下した側壁部４ｂとよりなる。そして、上記下側ケース部３の側壁部３ｂの上端と、上記上側ケース部４の側壁部４ｂの下端とが当接することにより、上記下側ケース部３の上面が、上記上側ケース部４により塞がれるようになる。
【００１４】
また、上記天井板４ａの下面には、下方に突出した押え部材９が形成され、上記下側ケース部３に上記上側ケース部４を塞いだ時に、上記押え部材９が、上記下側ケース部３の載置台５上に載置されたプローブカード２のスティフナー８を上から下に押圧して、上記プローブカード２を上記収納ケース１に固定できるように形成される。なお、上記押え部材９の下端を、ゴムなどの弾性部材などの保護部材１０により形成してもよい。
【００１５】
なお、上記プローブカード２を上記収納ケース１に固定する手段は、上記押え部材９を用いずに、上記載置台５や上記下側ケース部３に設けた固定手段（図示せず）により、例えば、挟持して固定するようにしてもよい。
【００１６】
なお、１１は、上記収納ケース１の一側面に設けられたヒンジ部を示し、該ヒンジ部１１により、上記下側ケース部３の一側面と上記上側ケース部４の一側面が連結した状態で、上記上側ケース部４を開閉自在にできるようになる。
【００１７】
なお、上記下側ケース部３と、上記上側ケース部４とを、他の手段により、連結するようにしてもよく、分離可能となるように連結するようにしてもよい。
【００１８】
また、上記下側ケース部３が、上記上側ケース部４により閉じられた後は、図示しない固定手段により、上記下側ケース部３と上記上側ケース部４が固定されるようになる。
【００１９】
また、必要に応じて、上記収納ケース１の一側面又は他側面等に、取っ手（図示せず）を設けても良い。
【００２０】
例えば、従来のプローブカード収納ケースとしては、特許文献１がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２１】
【特許文献１】実用新案登録第３１７１６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
上記従来のプローブカード収納ケース１は、アルミ製など金属製部材からなるため、上記収納ケース内に収納したプローブカード基板に通電し、基板を破損したり、誤作動の原因となるおそれがあった。
【００２３】
また、収納ケースを金属製部材により形成するのではなく、樹脂製部材から形成した場合には、収納ケースに静電気がたまり、プローブカードを破損してしまう場合があった。
【００２４】
特に、多数のプローブ（探針）のうち、一つでも、破損したり、使用できなくなったりしただけでも、全体として、使用できなくなる可能性があるため、収納ケースの重要性は高い。
【００２５】
本発明は、上記の欠点を除くことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
本発明のプローブカード収納ケースは、帯電防止部材より形成されることを特徴とする。
【００２７】
また、本発明のプローブカード収納ケースは、プローブカードを収納する、一方のケース部と、該一方のケース部の開口部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、上記一方のケース部と他方のケース部とは、帯電防止部材から形成されることを特徴とする。
【００２８】
また、上記帯電防止部材は、電気抵抗値が、１０+5〜１０+14Ωの範囲内である部材であることを特徴とする。
【００２９】
また、上記帯電防止部材は、電気抵抗値は、１０+10〜１０+13Ωの範囲内である部材であることを特徴とする。
【００３０】
また、上記帯電防止部材は、帯電防止樹脂からなることを特徴とする。
【００３１】
また、上記帯電防止部樹脂は、カーボン粒子又はカーボン繊維が混ぜ合わされて形成された樹脂よりなることを特徴とする。
【００３２】
また、上記帯電防止部樹脂は、金属粒子が混ぜ合わされた形成された樹脂よりなることを特徴とする。
【００３３】
また、上記一方のケース部及び上記他方のケースの全部又は一部に透明部又は半透明部を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば、プローブカードに通電せず、また、静電気による破損を防止することができるようになる。
【００３５】
また、収納ケースにホコリがつかず、プローブカードを取り出す時に、プローブカードにホコリがつく心配をすることがない。
【００３６】
また、収納ケースにプローブカードを収納したまま、プローブカードを識別できるようなる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明のプローブカード収納ケースのプローブカードを収納した状態の縦断側面図である。
【図２】本発明のプローブカード収納ケースの他の実施例の縦断側面図である。
【図３】従来のプローブカード収納ケースの縦断側面図である。
【図４】プローブカードの縦断側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
【００３９】
なお、上記従来例と同じ部分には、同じ符号を付け、説明を省略する。
【実施例１】
【００４０】
（２．本発明の説明）
【００４１】
図１は本発明のプローブカード収納ケース１２を示す。該プローブカード収納ケース１２においては、上記従来のプローブカード収納ケース１を、金属製部材により形成するのではなく、所望の電気抵抗を有する帯電防止部材から形成する。
【００４２】
上記所望の電気抵抗値（表面抵抗率、表面抵抗値）は、プローブカード収納ケースから収納された基板に通電せず、また、該基板に静電気の影響のない範囲であり、例えば、１０+5〜１０+14Ωの範囲、特に、１０+10〜１０+13Ωの範囲が好ましい。
【００４３】
上記帯電防止部材は、例えば、帯電防止樹脂よりなり、該帯電防止樹脂は、例えば、カーボン粒子またはカーボン繊維などのカーボンや金属粒子などの通電性材料が所望量、混ぜ合わされた合成樹脂（プラスチック）よりなる。
【００４４】
そして、上記帯電防止樹脂は、電気抵抗値が上記所望の値の範囲内となるように、上記合成樹脂に通電性材料が混合されて形成される。
【００４５】
（３．透明部の説明）
【００４６】
なお、図２に示すように、プローブカード収納ケース１２の一方のケース部及び他方のケース部のうち、例えば、収納されたプローブカード２のプローブ７が対向する側のケース部の板体、例えば、下側ケース部３の底板３ａに、少なくとも、上記収納ケース１外から、該収納ケース１内に収納された全てのプローブ７を観察できる大きさに形成された透明部１３を設けてもよい。
【００４７】
該透明部１３は、例えば、一体成型された上記下側ケース部３の上記底板３ａの中央部に設けた開口部１４と、該開口部１４を塞ぐ透明部材１５とよりなり、上記開口部１４は、上記プローブ７に対向する位置に設けられると共に、上記プローブが設置されたエリアの全てを観察できる大きさに形成され、例えば、該プローブ設置エリアと同じ大きさ、あるいは、それ以上の大きさに形成され、上記透明部材１５を通じて、上記プローブカード収納ケース１２の外部から、内部のプローブカード２のプローブ７の全てが観察できるように形成される。
【００４８】
なお、上記下側ケース部３の全体を透明としてもよい。また、下側ケース部３の一体成形において、透明部１３の透明度が落ちたり、ゆがんだりしてしまう場合があるため、透明部１３を、上記底板３ａとは別部材、別素材とするのが好ましい。
【００４９】
また、上記透明部１３（又は透明部材１５）などの透明の部分は、例えば、強化ガラスなどのガラスや、透明樹脂などからなり、該透明樹脂としては、例えば、透明度の高く、変形度の低いポリカーボネイト樹脂や、アクリル樹脂や、ポリプロピレン樹脂が好ましい。
【００５０】
なお、上記一方のケース部と、他方のケース部の全部、又は一部において、透明、または半透明としてもよい。
【００５１】
なお、上記透明部１３の外表面１３ａは、上記プローブカード収納ケース１２の床面載置面３ｃに対して、上方に位置するように設け、該透明部１３が傷つくのを防ぐのが好ましい。
【００５２】
そして、上記透明部１３も、上記導電性部材より形成するようにしてもよい。
【００５３】
本発明のプローブカード収納ケースにおいては、金属製ではないので、収納ケースに収納されたプローブカード基板に直接電気を流すことがない。従って、プローブカード基板を破損したり、誤作動の原因となるおそれがない。
【００５４】
また、静電気が溜まらないので、プローブカードの破損を防ぐことができる。
【００５５】
また、静電気が溜まらないので、収納ケースの外周にホコリがつかず、従って、収納ケースからプローブカードを取り出す時に、プローブカードにホコリが付かないようになる。
【符号の説明】
【００５６】
１      プローブカード収納ケース
２      プローブカード
３      下側ケース部
３ａ    底板
３ｂ    側壁部
３ｃ    床面載置面
４      上側ケース部
４ａ    天井板
４ｂ    側壁部
５      載置台
６      プローブカード基板
７      プローブ
８      スティフナー
９      押え部材
１０    保護部材
１１    ヒンジ部
１２    プローブカード収納ケース
１３    透明部
１３ａ  外表面
１４    開口部
１５    透明部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2019197010.tif 000006