(57)【要約】【課題】フレームの傷を抑制することができるテープ貼着方法及びテープ貼着装置を提供すること。【解決手段】テープ貼着方法は、被加工物にフレームより大きい粘着テープを貼着する粘着テープ貼着ステップＳＴ１と、フレームの開口と粘着テープに貼着された被加工物とが対面し、粘着テープと離れた位置にフレームを位置付けるフレーム位置付けステップＳＴ３と、フレームと離れて対面する粘着テープを、フレームの開口に沿って回転するローラーでフレームに向かって押圧して貼着しつつ、ローラーよりフレームの径方向外側にローラーと並んで設置されるカッターで、ローラーの外側でフレームに接触していない粘着テープをカッターの刃先をフレームに接触させずに切断するテープ貼着切断ステップＳＴ４と、を備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状のフレームに粘着テープを装着して該フレームの開口に板状の被加工物を支持するテープ貼着方法であって、
被加工物に該フレームより大きい粘着テープを貼着する粘着テープ貼着ステップと、
該フレームの該開口と該粘着テープに貼着された該被加工物とが対面し、該粘着テープと離れた位置に該フレームを位置付けるフレーム位置付けステップと、
該フレームと離れて対面する該粘着テープを、該フレームの該開口に沿って回転するローラーで該フレームに向かって押圧して貼着しつつ、該ローラーより該フレームの径方向外側に該ローラーと並んで設置されるカッターで、該ローラーの外側で該フレームに接触していない該粘着テープを、該カッターの刃先を該フレームに接触させずに切断するテープ貼着切断ステップと、を備えるテープ貼着方法。
【請求項２】
該ローラーは、該フレームの径方向内側の硬質領域と、径方向外側で該硬質領域より柔軟に形成された柔軟領域とを備える請求項１に記載のテープ貼着方法。
【請求項３】
環状のフレームに粘着テープを装着して該フレームの開口に板状の被加工物を支持するテープ貼着装置であって、
被加工物を貼着し、該フレームより大きい粘着テープを保持する粘着テープ固定ユニットと、
該フレームの該開口と貼着した該被加工物とが対面し、該粘着テープから間隔を空けた位置に該フレームを固定するフレーム固定ユニットと、
保持された該フレームに、該粘着テープを貼着しつつ該粘着テープを該フレームに沿って切断するテープ貼着切断ユニットと、を備え、
該テープ貼着切断ユニットは、
該フレームの該開口に沿って回転し、該フレームと離れて対面する該粘着テープを該フレームに向かって押圧するローラーと、
該フレームの径方向で該ローラーより外側に該ローラーと並んで設置され、該粘着テープを該フレームへ押しつける該ローラーの外側で該フレームに接触していない該粘着テープをカッターの刃先を該フレームに接触させずに切断するカッターと、を備えるテープ貼着装置。
【請求項４】
該ローラーは、該フレームの径方向内側の硬質領域と、径方向外側で該硬質領域より柔軟に形成された柔軟領域とを備える請求項３に記載のテープ貼着装置。
【請求項５】
該粘着テープ固定ユニットは、該フレーム固定ユニットに対して該粘着テープを引き離す方向に移動するテープ移動ユニットを備える請求項３または請求項４に記載のテープ貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープ貼着方法及びテープ貼着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハやパッケージ基板、ガラスやセラミックス基板等の各種板状の被加工物は、切削ブレードやレーザーなどで加工したり、破断したりする際に、被加工物のハンドリング性を高めるため、粘着テープ（ダイシングテープ、又はエキスパンドテープともいう）によって環状のフレームに固定される。被加工物をフレームに粘着テープで固定する際は、環状テープの片面全面にローラー等で粘着テープを押しつけた後、円形にカッターで粘着テープを切断し、不要となった外周部分の粘着テープをフレームから剥離する（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−９５６２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された方法は、剥離された粘着テープの糊がフレームの外周部分に残ったり、カッターによる傷がフレームに残り、繰り返し使用されるフレームの損傷を早めたり、フレームの外周部分に糊が残ると円形に切断され使用された後に粘着テープが剥がれにくくなるなどの弊害がある。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、フレームの傷を抑制することができるテープ貼着方法及びテープ貼着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のテープ貼着方法は、環状のフレームに粘着テープを装着して該フレームの開口に板状の被加工物を支持するテープ貼着方法であって、被加工物に該フレームより大きい粘着テープを貼着する粘着テープ貼着ステップと、該フレームの該開口と該粘着テープに貼着された該被加工物とが対面し、該粘着テープと離れた位置に該フレームを位置付けるフレーム位置付けステップと、該フレームと離れて対面する該粘着テープを、該フレームの該開口に沿って回転するローラーで該フレームに向かって押圧して貼着しつつ、該ローラーより該フレームの径方向外側に該ローラーと並んで設置されるカッターで、該ローラーの外側で該フレームに接触していない該粘着テープを、該カッターの刃先を該フレームに接触させずに切断するテープ貼着切断ステップと、を備えることを特徴とする。
【０００７】
前記テープ貼着方法において、該ローラーは、該フレームの径方向内側の硬質領域と、径方向外側で該硬質領域より柔軟に形成された柔軟領域とを備えても良い。
【０００８】
本発明のテープ貼着装置は、環状のフレームに粘着テープを装着して該フレームの開口に板状の被加工物を支持するテープ貼着装置であって、被加工物を貼着し、該フレームより大きい粘着テープを保持する粘着テープ固定ユニットと、該フレームの該開口と貼着した該被加工物とが対面し、該粘着テープから間隔を空けた位置に該フレームを固定するフレーム固定ユニットと、保持された該フレームに、該粘着テープを貼着しつつ該粘着テープを該フレームに沿って切断するテープ貼着切断ユニットと、を備え、該テープ貼着切断ユニットは、該フレームの該開口に沿って回転し、該フレームと離れて対面する該粘着テープを該フレームに向かって押圧するローラーと、該フレームの径方向で該ローラーより外側に該ローラーと並んで設置され、該粘着テープを該フレームへ押しつける該ローラーの外側で該フレームに接触していない該粘着テープをカッターの刃先を該フレームに接触させずに切断するカッターと、を備えることを特徴とする。
【０００９】
前記テープ貼着装置において、該ローラーは、該フレームの径方向内側の硬質領域と、径方向外側で該硬質領域より柔軟に形成された柔軟領域とを備えても良い。
【００１０】
前記テープ貼着装置において、該粘着テープ固定ユニットは、該フレーム固定ユニットに対して該粘着テープを引き離す方向に移動するテープ移動ユニットを備えても良い。
【発明の効果】
【００１１】
本願発明は、フレームの傷を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、実施形態１に係るテープ貼着方法の加工対象の被加工物等を示す斜視図である。
【図２】図２は、実施形態１に係るテープ貼着装置の構成例を示す斜視図である。
【図３】図３は、図２に示されたテープ貼着装置のテープ貼着切断ユニットの要部の断面図である。
【図４】図４は、実施形態１に係るテープ貼着方法の流れを示すフローチャートである。
【図５】図５は、図４に示されたテープ貼着方法の保持分割ステップを示すテープ貼着装置の要部の側面図である。
【図６】図６は、図４に示されたテープ貼着方法のフレーム位置付けステップを示すテープ貼着装置の要部の側面図である。
【図７】図７は、図４に示されたテープ貼着方法のテープ貼着切断ステップを示すテープ貼着装置の要部の側面図である。
【図８】図８は、図７中のＶＩＩＩ部の断面図である。
【図９】図９は、実施形態１の変形例に係るテープ貼着方法のテープ貼着切断ステップ中のテープ貼着切断ユニット等の要部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１４】
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るテープ貼着方法及びテープ貼着装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るテープ貼着方法の加工対象の被加工物等を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係るテープ貼着装置の構成例を示す斜視図である。図３は、図２に示されたテープ貼着装置のテープ貼着切断ユニットの要部の断面図である。図４は、実施形態１に係るテープ貼着方法の流れを示すフローチャートである。
【００１５】
実施形態１に係るテープ貼着方法は、図１に示す環状のフレーム１０に粘着テープ１１を装着して、フレーム１０の開口１２に板状の被加工物１を支持する方法である。実施形態１に係るテープ貼着方法によりフレーム１０の開口１２に支持される被加工物１は、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素又はＳｉＣ（炭化ケイ素）などを基板とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハである。被加工物１は、図１に示すように、互いに交差する複数の直線状の分割予定ライン２で区画された各領域にそれぞれデバイス３が形成された表面４を有する。
【００１６】
実施形態１において、被加工物１は、表面４の裏側の裏面６側から透過性を有する波長のレーザー光線が分割予定ライン２に沿って照射されて、内部に分割予定ライン２に沿った破断起点となる改質層５（図１中に点線で示す）が形成されている。被加工物１は、表面４の裏側の裏面６に粘着テープ１１が貼着された後、粘着テープ１１が外周方向に拡張されることにより、改質層５を起点に個々のデバイス３に分割される。被加工物１は、個々のデバイス３に分割され、デバイス３間に間隔が設けられた状態で粘着テープ１１がフレーム１０に貼着されて、フレーム１０の開口１２に支持される。
【００１７】
なお、改質層５とは、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。また、実施形態１において、被加工物１は、内部に破断起点となる改質層５が形成されるが、本発明では、表面４側から切削加工を施されて破断起点となる切削溝が形成されても良く、表面４側からレーザーアブレーション加工が施されて破断起点となるレーザー加工溝が形成されても良い。なお、フレーム１０の開口１２の平面形状は、円形である。粘着テープ１１は、合成樹脂で構成された基材層と、基材層に積層されかつ被加工物１及びフレーム１０に貼着される糊層とを備える。
【００１８】
図２に示された実施形態１に係るテープ貼着装置２０は、分割予定ライン２に沿って改質層５が形成された被加工物１の裏面６に貼着された粘着テープ１１を第一の方向２１と、第一の方向２１に直交する第二の方向２２とに拡張して、被加工物１を個々のデバイス３に分割する装置である。テープ貼着装置２０は、フレーム１０に個々のデバイス３に分割された被加工物１の裏面６が貼着した粘着テープ１１を装着して、フレーム１０の開口１２に被加工物１を支持する装置でもある。
【００１９】
テープ貼着装置２０は、図２に示すように、平板状の固定基台３０と、固定基台３０の中央に設けられた保持テーブル４０と、粘着テープ固定ユニット５０と、図１に示すフレーム固定ユニット６０と、テープ貼着切断ユニット７０と、制御ユニット１００とを備える。
【００２０】
保持テーブル４０は、円板状に形成されているとともに、上面４１が水平方向に沿って平坦に形成されている。保持テーブル４０は、上面４１に粘着テープ１１を介して被加工物１が載置される。実施形態１において、保持テーブル４０の上面４１に載置される粘着テープ１１は、被加工物１の裏面６を貼着しているとともに、被加工物１を中央に配置している。粘着テープ１１は、平面形状が矩形状でかつフレーム１０よりも大きい形状に形成されている。
【００２１】
粘着テープ固定ユニット５０は、被加工物１を貼着しかつフレーム１０よりも平面形状が大きい粘着テープ１１を保持するものである。粘着テープ固定ユニット５０は、第一保持ユニット５１−１と、第二保持ユニット５１−２と、第三保持ユニット５１−３と、第四保持ユニット５１−４とを備える。第一保持ユニット５１−１と第二保持ユニット５１−２とは、第一の方向２１に沿って互いに対向し、互いの間に保持テーブル４０を位置付けている。第三保持ユニット５１−３と第四保持ユニット５１−４は、第二の方向２２に沿って互いに対向し、互いの間に保持テーブル４０を位置付けている。
【００２２】
第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４は、それぞれ粘着テープ１１の図１に一点鎖線で示す被加工物１よりも外周側の位置を挟んで保持する。第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。
【００２３】
第一保持ユニット５１−１、第二保持ユニット５１−２、第三保持ユニット５１−３及び第四保持ユニット５１−４は、固定基台３０上に設けられた柱状の移動基台５２に鉛直方向に移動自在に設けられた一対の挟持部材５３と、一対の挟持部材５３を互いに近づく方向及び互いに離れる方向に移動するテープ移動ユニット５４とを備える。一対の挟持部材５３は、互いに鉛直方向に間隔をあけて配置され、テープ移動ユニット５４により互いに近づけられて互いの間に粘着テープ１１を挟んで保持する。テープ移動ユニット５４は、移動基台５２に設けられている。
【００２４】
テープ移動ユニット５４は、一対の挟持部材５３を鉛直方向に移動自在とするモータ５５と、モータ５５により軸心回りに回転されるボールねじ５６と、ボールねじ５６に螺合しかつ挟持部材５３とアーム部材５７を介して連結したナット５８とを備える。テープ移動ユニット５４は、モータ５５がボールねじ５６を軸心回りに回転させることで、ナット５８、アーム部材５７及び挟持部材５３を鉛直方向に移動させる。
【００２５】
また、テープ移動ユニット５４は、モータ５５によりボールねじ５６を軸心回りに回転することで、一対の挟持部材５３を鉛直方向に同方向に移動させることもできる。このために、テープ移動ユニット５４は、粘着テープ１１を挟んだ一対の挟持部材５３を下降させることにより、フレーム固定ユニット６０に対して粘着テープ１１を鉛直方向に沿って引き離す方向に移動することができる。
【００２６】
また、第一保持ユニット５１−１の一対の挟持部材５３及びテープ移動ユニット５４を設けた移動基台５２は、第一移動ユニット５８−１により固定基台３０に第一の方向２１に移動自在に設けられている。第二保持ユニット５１−２の一対の挟持部材５３及びテープ移動ユニット５４を設けた移動基台５２は、第二移動ユニット５８−２により固定基台３０に第一の方向２１に移動自在に設けられている。第三保持ユニット５１−３の一対の挟持部材５３及びテープ移動ユニット５４を設けた移動基台５２は、第三移動ユニット５８−３により固定基台３０に第二の方向２２に移動自在に設けられている。第四保持ユニット５１−４の一対の挟持部材５３及びテープ移動ユニット５４を設けた移動基台５２は、第四移動ユニット５８−４により固定基台３０に第二の方向２２に移動自在に設けられている。
【００２７】
第一移動ユニット５８−１、第二移動ユニット５８−２、第三移動ユニット５８−３及び第四移動ユニット５８−４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。
【００２８】
第一移動ユニット５８−１、第二移動ユニット５８−２、第三移動ユニット５８−３及び第四移動ユニット５８−４は、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４を第一の方向２１又は第二の方向２２に移動可能とするモータ５９−１と、モータ５９−１により軸心回りに回転されて移動基台５２を第一の方向２１又は第二の方向２２に移動させるボールねじ５９−２とを有する。
【００２９】
実施形態１では、フレーム固定ユニット６０は、厚手の平板状に形成され、下面６１にフレーム１０を固定するとともに、昇降ユニット６２により鉛直方向に移動自在に設けられている。フレーム固定ユニット６０は、下面６１に固定したフレーム１０の内縁１３が保持テーブル４０と同軸となる位置に配置されて、フレーム１０の開口１２と保持テーブル４０に保持された粘着テープ１１に貼着した被加工物１とが鉛直方向に対面する位置にフレーム１０を固定する。また、フレーム固定ユニット６０は、昇降ユニット６２により下降されることで、粘着テープ１１に近接するとともに粘着テープ１１から間隔を空けた位置にフレーム１０を固定する。
【００３０】
テープ貼着切断ユニット７０は、フレーム固定ユニット６０に固定されて保持されたフレーム１０に、粘着テープ１１を貼着しつつ粘着テープ１１をフレーム１０に沿って切断するものである。テープ貼着切断ユニット７０は、図３に示すように、アーム部材７１と、アーム部材７１に固定されたホルダ部材７２と、ホルダ部材７２に回転自在に設けられたローラー７３と、ホルダ部材７２に固定されたカッター７４とを備える。
【００３１】
アーム部材７１は、保持テーブル４０よりも下方で、かつ保持テーブル４０の径方向と平行に配置されている。アーム部材７１は、図示しない駆動ユニットにより保持テーブル４０の中心寄りの長手方向の一端部を中心に回転自在に設けられ、駆動ユニットにより回転される際の他端部の移動軌跡が保持テーブル４０と同軸となる位置に配置されている。また、アーム部材７１は、駆動ユニットにより昇降自在に設けられている。また、アーム部材７１の他端部は、保持テーブル４０よりも外周側に配置されている。ホルダ部材７２は、アーム部材７１の他端部上に固定されて、アーム部材７１が駆動ユニットにより上昇されると、フレーム１０の外周縁と開口１２の内縁１３との間に配置される。
【００３２】
ローラー７３は、円筒状に形成され、軸心がアーム部材７１の長手方向と平行に配置されている。ローラー７３は、軸心回りに回転自在にホルダ部材７２に支持されている。ローラー７３は、ホルダ部材７２に支持されることにより、駆動ユニットによりアーム部材７１が一端部を中心として回転されると、フレーム１０の開口１２の内縁１３に沿って回転する。
【００３３】
ローラー７３は、アーム部材７１が駆動ユニットにより下降されることで、フレーム固定ユニット６０が下降した状態であっても、フレーム固定ユニット６０に保持されたフレーム１０と鉛直方向に離れて対面する。ローラー７３は、フレーム１０の内縁１３と外縁１５との間と鉛直方向に対面する。また、ローラー７３は、フレーム固定ユニット６０が下降した状態で、アーム部材７１が駆動ユニットにより上昇されることで、フレーム１０と離れて対面しかつ粘着テープ固定ユニット５０に保持された粘着テープ１１をフレーム１０に向かって押圧する。ローラー７３は、フレーム固定ユニット６０が下降した状態で、アーム部材７１が駆動ユニットにより上昇された状態で一端部を中心に回転されることで、フレーム１０の全周に亘って粘着テープ１１を押圧し、粘着テープ１１をフレーム１０の全周に亘って貼着する。
【００３４】
実施形態１において、ローラー７３は、図３に示すように、アーム部材７１の回転軌跡の中心側から順に硬質領域である硬質樹脂ローラー７３１と、硬質ローラー７３２と、軟質領域である軟質樹脂ローラー７３３とを備えている。硬質樹脂ローラー７３１と硬質ローラー７３２と軟質樹脂ローラー７３３とは、互いに変形していない状態の外径が等しく形成され、互いに同軸に配置されている。硬質樹脂ローラー７３１は、フレーム固定ユニット６０が保持したフレーム１０の径方向内側に配置されている。硬質樹脂ローラー７３１は、硬質ローラー７３２と軟質樹脂ローラー７３３との双方よりも軸心方向の厚みが厚く形成されている。軟質樹脂ローラー７３３は、硬質樹脂ローラー７３１よりもフレーム固定ユニット６０が保持したフレーム１０の径方向外側に配置されている。硬質樹脂ローラー７３１と軟質樹脂ローラー７３３とは、発泡された樹脂により構成されて、所謂スポンジ状に形成されている。軟質樹脂ローラー７３３の硬度は、硬質樹脂ローラー７３１の硬度よりも低く形成されて、軟質樹脂ローラー７３３は、硬質樹脂ローラー７３１よりも柔軟に形成されている。硬質ローラー７３２は、ステンレス鋼等の金属により構成され、硬質樹脂ローラー７３１と軟質樹脂ローラー７３３との双方よりも固い。
【００３５】
カッター７４は、粘着テープ１１を切断可能な刃先７４１を有するものであって、刃先７４１を上方に向けた状態でホルダ部材７２に固定されている。カッター７４は、フレーム１０の径方向でローラー７３よりも外側にローラー７３と径方向に並んで設置されている。カッター７４は、刃先７４１の鉛直方向の位置が、ローラー７３の上端の位置よりも下方に配置されている。カッター７４の刃先７４１は、フレーム１０の内縁１３と外縁１５との間と鉛直方向に対面する。カッター７４は、ローラー７３よりも外側に設置されかつ刃先７４１がローラー７３の上端よりも下方に配置されることで、フレーム固定ユニット６０が下降しかつアーム部材７１が上昇されて、粘着テープ１１をフレーム１０へ押しつけるローラー７３の外側でフレーム１０に接触していない粘着テープ１１に刃先７４１を切り込ませる。カッター７４は、カッター７４の刃先７４１をフレーム１０に接触させずに粘着テープ１１を切断する。また、カッター７４は、刃先７４１がフレーム１０の内縁１３と外縁１５との間と鉛直方向に対面するので、粘着テープ１１をフレーム１０の内縁１３と外縁１５との間で切断して、粘着テープ１１がフレーム１０の外縁１５よりも外側に突出することを抑制する。
【００３６】
制御ユニット１００は、テープ貼着装置２０の各構成要素を制御して、テープ貼着装置２０に粘着テープ１１の拡張動作及びフレーム１０に対する粘着テープ１１の貼着動作を実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central  processing  unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read  only  memory）又はＲＡＭ（random  access  memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、テープ貼着装置２０を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介してテープ貼着装置２０の各構成要素に出力する。また、制御ユニット１００は、各種の情報や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる図示しない入力ユニットとが接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。
【００３７】
テープ貼着方法は、図４に示すように、粘着テープ貼着ステップＳＴ１と、保持分割ステップＳＴ２と、フレーム位置付けステップＳＴ３と、テープ貼着切断ステップＳＴ４とを備える。
【００３８】
（粘着テープ貼着ステップ）
粘着テープ貼着ステップＳＴ１は、被加工物１にフレーム１０よりも大きい粘着テープ１１を貼着するステップである。粘着テープ貼着ステップＳＴ１では、周知のマウンタ装置等が分割予定ライン２に沿った改質層５が形成された被加工物１の裏面６を矩形状の粘着テープ１１の中央に貼着する。テープ貼着方法は、被加工物１に粘着テープ１１を貼着すると、保持分割ステップＳＴ２に進む。
【００３９】
（保持分割ステップ）
図５は、図４に示されたテープ貼着方法の保持分割ステップを示すテープ貼着装置の要部の側面図である。保持分割ステップＳＴ２は、テープ貼着装置２０の保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４が被加工物１の裏面６に貼着された粘着テープ１１を保持するとともに粘着テープ１１を拡張して、被加工物１を個々のデバイス３に分割するステップである。
【００４０】
保持分割ステップＳＴ２では、テープ貼着装置２０の保持テーブル４０の上面４１に改質層５が形成された被加工物１の裏面６に貼着された粘着テープ１１が載置され、フレーム固定ユニット６０の下面６１にフレーム１０が固定される。なお、保持分割ステップＳＴ２では、テープ貼着装置２０は、フレーム固定ユニット６０を上昇させておくとともに、テープ貼着切断ユニット７０を下降させておく。
【００４１】
保持分割ステップＳＴ２では、テープ貼着装置２０の制御ユニット１００は、オペレータが入力ユニットから入力した加工内容情報を受け付け、オペレータからの加工動作開始指示を受け付けると、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４のテープ移動ユニット５４を制御して一対の挟持部材５３間に粘着テープ１１を挟んで保持する。このとき、制御ユニット１００は、図５に示すように、粘着テープ１１が水平方向と平行になる位置に一対の挟持部材５３を位置付けておく。
【００４２】
テープ貼着装置２０の制御ユニット１００は、モータ５９−１を駆動させて移動ユニット５８−１，５８−２，５８−３，５８−４に保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４を第一の方向２１又は第二の方向２２に離反する方向に移動させる。すると、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の移動とともに粘着テープ１１が第一の方向２１と第二の方向２２との双方に拡張される。粘着テープ１１の拡張の結果、粘着テープ１１に第一の方向２１と第二の方向２２の引張力が作用する。このように被加工物１が貼着された粘着テープ１１に第一の方向２１と第二の方向２２の引張力が作用すると、被加工物１は、分割予定ライン２に沿って改質層５が形成されているので、図５に示すように、改質層５を基点として分割予定ライン２に沿って個々のデバイス３に分割される。テープ貼着方法は、被加工物１を個々のデバイス３に分割すると、フレーム位置付けステップＳＴ３に進む。
【００４３】
（フレーム位置付けステップ）
図６は、図４に示されたテープ貼着方法のフレーム位置付けステップを示すテープ貼着装置の要部の側面図である。フレーム位置付けステップＳＴ３は、フレーム１０の開口１２と粘着テープ１１に貼着された被加工物１とが対面し、粘着テープ１１と離れた位置にフレーム１０を位置付けるステップである。
【００４４】
フレーム位置付けステップＳＴ３では、テープ貼着装置２０の制御ユニット１００は、フレーム固定ユニット６０を下降させて、フレーム固定ユニット６０が保持したフレーム１０が粘着テープ１１に近接して開口１２が被加工物１の表面４と対面するとともに、粘着テープ１１と間隔をあけた位置にフレーム１０を位置付ける。なお、実施形態１では、図６に示すように、フレーム１０の下面１４を粘着テープ１１から間隔をあけた位置に位置付ける。テープ貼着方法は、フレーム固定ユニット６０を下降させると、テープ貼着切断ステップＳＴ４に進む。
【００４５】
（テープ貼着切断ステップ）
図７は、図４に示されたテープ貼着方法のテープ貼着切断ステップを示すテープ貼着装置の要部の側面図である。図８は、図７中のＶＩＩＩ部の断面図である。テープ貼着切断ステップＳＴ４は、フレーム１０と離れて対面する粘着テープ１１を、フレーム１０の開口１２に沿って回転するローラー７３でフレーム１０に向かって押圧して貼着しつつカッター７４で、ローラー７３の外側でフレーム１０に接触していない粘着テープ１１を、カッター７４の刃先７４１をフレーム１０に接触させずに切断するステップである。
【００４６】
テープ貼着切断ステップＳＴ４では、テープ貼着装置２０の制御ユニット１００は、図７に示すように、テープ移動ユニット５４に各保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の粘着テープ１１を挟んだ一対の挟持部材５３を下降させ、かつテープ貼着切断ユニット７０を上昇させる。すると、図７及び図８に示すように、ローラー７３は、粘着テープ１１をフレーム１０に押し付けて、粘着テープ１１をフレーム１０に貼着するとともに、粘着テープ１１が保持テーブル４０の上面４１から上昇する。
【００４７】
また、ローラー７３によりフレーム１０に押し付けられた粘着テープ１１のローラー７３と挟持部材５３との間に位置する部分１１０は、挟持部材５３側即ち下方に引っ張られて、粘着テープ１１に当接する軟質樹脂ローラー７３３の上端の外縁部を挟持部材５３に近付くのにしたがって徐々に下方に向かうように凹ませる。ローラー７３によりフレーム１０に押し付けられた粘着テープ１１のローラー７３と挟持部材５３との間に位置する部分１１０は、軟質樹脂ローラー７３３の上端の外縁部が凹むので、挟持部材５３に近付くのにしたがって徐々に下方に向かうように傾斜する。そして、カッターの刃先７４１は、フレーム１０に押し付けられた粘着テープ１１のローラー７３と挟持部材５３との間に位置するとともにフレーム１０と鉛直方向に離れた部分１１０に切り込む。
【００４８】
テープ貼着切断ステップＳＴ４では、テープ貼着装置２０の制御ユニット１００は、ローラー７３が粘着テープ１１をフレーム１０に向かって押圧して貼着しかつ粘着テープ１１にカッター７４の刃先７４１を切り込ませた状態で、アーム部材７１の一端部を中心に回転させる。すると、アーム部材７１の一端部を中心とした回転により、ローラー７３がフレーム１０に押圧する粘着テープ１１上を転動して軸心回りに回転する。ローラー７３は、アーム部材７１の一端部を中心とした回転により、粘着テープ１１をフレーム１０に貼着しながらアーム部材７１の一端部を中心とした周方向に回転する。また、アーム部材７１の一端部を中心とした回転により、カッター７４が粘着テープ１１をフレーム１０の内縁１３と外縁１５との間で切断しながらアーム部材７１の一端部を中心とした周方向に回転する。テープ貼着切断ステップＳＴ４では、アーム部材７１が一端部を中心として少なくとも一回転以上回転すると、フレーム１０に全周に亘って粘着テープ１１の外縁部が貼着されるとともに、フレーム１０に貼着された粘着テープ１１が挟持部材５３に挟持された部分から全周に亘って分離される。テープ貼着方法は、フレーム１０の全周に亘って粘着テープ１１を貼着し、切断すると終了する。
【００４９】
なお、実施形態１において、テープ貼着切断ステップＳＴ４では、テープ貼着装置２０の制御ユニット１００は、全てのテープ移動ユニット５４に各保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の粘着テープ１１を挟んだ一対の挟持部材５３を同時に下降させる。しかしながら、本発明は、テープ貼着切断ステップＳＴ４では、制御ユニット１００が、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４のうちテープ貼着切断ユニット７０に最も近いものから順に一対の挟持部材５３を下降させても良い。要するに、本発明は、テープ貼着切断ステップＳＴ４では、制御ユニット１００が、テープ貼着切断ユニット７０のアーム部材７１の回転に伴って、ローラー７３及びカッター７４に最も近い順に保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の挟持部材５３を下降させても良い。
【００５０】
なお、粘着テープ１１が貼着され、開口１２に被加工物１を支持したフレーム１０は、フレーム固定ユニット６０から取り外されて次工程に搬送される。また、テープ貼着装置２０の制御ユニット１００は、モータ５９−１に保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４を粘着テープ１１の拡張前の位置に移動させて、保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４の粘着テープ１１の残材の保持を解除させる。保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４に保持されていた粘着テープ１１の残材は、廃棄される。
【００５１】
実施形態１に係るテープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、フレーム１０にローラー７３で粘着テープ１１を押し付けつつ、ローラー７３の外側で鉛直方向に粘着テープ１１のフレーム１０から離れている部分をカッター７４で切断する。また、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、カッター７４の刃先７４１をローラー７３の上端よりも下方に配置しているとともに、粘着テープ１１をフレーム１０に貼着する際に挟持部材５３を下降させて、粘着テープ１１のローラー７３と挟持部材５３との間に位置する部分１１０を挟持部材５３に近付くのにしたがって徐々に下方に向かうように傾斜させる。
【００５２】
このために、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、カッター７４の刃先７４１をフレーム１０に接触させることなく刃先７４１を粘着テープ１１のフレーム１０の内縁１３と外縁１５との間に切り込ませて、粘着テープ１１をフレーム１０の内縁１３と外縁１５との間で切断することができる。その結果、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、粘着テープ１１をフレーム１０に貼着する際に、カッター７４でフレーム１０を傷付けることを抑制でき、フレーム１０の傷を抑制して、フレーム１０の使用可能回数を伸ばすことができる。
【００５３】
また、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、カッター７４で粘着テープ１１のフレーム１０の内縁１３と外縁１５との間を切断するので、粘着テープ１１のフレーム１０に貼着される領域を抑制することができる。その結果、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、粘着テープ１１を剥離した後のフレーム１０に残存する粘着テープ１１の糊層を抑制することができるとともに、粘着テープ１１のフレーム１０に貼着される領域を抑制できるので、剥離機構を用いることなくフレーム１０から粘着テープ１１を剥離することができる。
【００５４】
また、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、ローラー７３が硬質樹脂ローラー７３１と硬質樹脂ローラーより柔軟に形成されかつフレーム１０の径方向外側に配置された軟質樹脂ローラー７３３とを備える。このために、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、粘着テープ１１をフレーム１０に貼着する際に挟持部材５３を下降させて、粘着テープ１１のローラー７３と挟持部材５３との間に位置する部分１１０により軟質樹脂ローラー７３３の上端の外縁部を凹ませることができる。その結果、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、粘着テープ１１をフレーム１０に貼着する際に挟持部材５３を下降させて、粘着テープ１１のローラー７３と挟持部材５３との間に位置する部分１１０を挟持部材５３に近付くのにしたがって徐々に下方に向かうように傾斜させることができるとともに、フレーム１０と鉛直方向に離すことができるので、刃先７４１をフレーム１０に接触させることなくカッター７４で粘着テープ１１を切断することができる。
【００５５】
また、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、粘着テープ１１のローラー７３と挟持部材５３との間に位置する部分１１０を挟持部材５３に近付くのにしたがって徐々に下方に向かうように傾斜させることができるので、部分１１０の糊層がフレーム１０に貼着されることを抑制することができる。その結果、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、フレーム１０の外周部分に残存する糊層を抑制することができ、使用された後に粘着テープ１１がフレーム１０から剥がれにくくなることを抑制することができる。
【００５６】
また、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、ローラー７３が硬質樹脂ローラー７３１と軟質樹脂ローラー７３３との間に設けられた硬質ローラー７３２を備えるので、粘着テープ１１をフレーム１０に押圧でき、貼着することができる。
【００５７】
また、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、粘着テープ固定ユニット５０の各保持ユニット５１−１，５１−２，５１−３，５１−４が粘着テープ１１を保持した挟持部材５３を鉛直方向にフレーム１０から離す方向に移動させるテープ移動ユニット５４を備えている。その結果、テープ貼着方法及びテープ貼着装置２０は、粘着テープ１１をローラー７３でフレーム１０に貼着しカッター７４で切断する際に、挟持部材５３を下降させることにより、粘着テープ１１のローラー７３と挟持部材５３との間に位置する部分１１０を挟持部材５３に近付くのにしたがって徐々に下方に向かうように傾斜させることができる。
【００５８】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、実施形態１では、ローラー７３が硬質樹脂ローラー７３１、硬質ローラー７３２及び軟質樹脂ローラー７３３を備えるが、本発明では、図９に示すように、ローラー７３が硬質樹脂ローラー７３１及び硬質ローラー７３２を備えて、軟質樹脂ローラー７３３を備えなくても良い。図９は、実施形態１の変形例に係るテープ貼着方法のテープ貼着切断ステップ中のテープ貼着切断ユニット等の要部の断面図である。図９は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００５９】
また、本発明のテープ貼着装置２０は、保持テーブル４０の代わりに被加工物１を粘着テープ１１に押圧するローラーを備えても良い。この場合、テープ貼着装置２０は、表面４に保護テープが貼られ、分割予定ライン２に沿って改質層５が形成された被加工物１を粘着テープ１１の上面に保護テープ側を吸着するバキュームパッドで搬送し、バキュームパッドで吸着保持したまま、粘着テープ１１の下側のローラーで被加工物１の裏面６に粘着テープ１１を押圧する。その後、テープ貼着装置２０は、４方向に粘着テープ１１を拡張し、その後、フレーム１０を粘着テープ１１に装着する。
【符号の説明】
【００６０】
１  被加工物
１０  フレーム
１１  粘着テープ
１２  開口
２０  テープ貼着装置
５０  粘着テープ固定ユニット
５４  テープ移動ユニット
６０  フレーム固定ユニット
７０  テープ貼着切断ユニット
７３  ローラー
７４  カッター
７３１  硬質樹脂ローラー（硬質領域）
７３３  軟質樹脂ローラー（軟質領域）
７４１  刃先
ＳＴ１  粘着テープ貼着ステップ
ＳＴ３  フレーム位置付けステップ
ＳＴ４  テープ貼着切断ステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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