(57)【要約】【課題】蓋部を開ける際に汚染物質が容器本体内に侵入する可能性を低減する。【解決手段】第１方向に開口する開口部を有し、基板を収納可能な内部スペースを形成する容器本体と、開口部を覆う蓋部と、蓋部に設けられ、容器本体に解除可能に係合するラッチ機構と、を含み、容器本体は、第１方向に交差する第２方向で蓋部に対向する領域において、第２方向に開口する第１の穴を有し、蓋部は、第２方向に視て、第１の穴に少なくとも部分的に重なる領域において、第２方向に開口する第２の穴を有する、基板収納容器が開示される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に開口する開口部を有し、基板を収納可能な内部スペースを形成する容器本体と、
前記開口部を覆う蓋部と、
前記蓋部に設けられ、前記容器本体に解除可能に係合するラッチ機構と、を含み、
前記容器本体は、前記第１方向に交差する第２方向で前記蓋部に対向する領域において、前記第２方向に開口する第１の穴を有し、
前記蓋部は、前記第２方向に視て、前記第１の穴に少なくとも部分的に重なる領域において、前記第２方向に開口する第２の穴を有する、基板収納容器。
【請求項２】
前記ラッチ機構は、ラッチバーを含み、
前記ラッチバーは、前記第２方向の端部が前記第２の穴を通る態様で、前記容器本体に係合する係合位置と、前記容器本体との係合が解除する解除位置との間で変位可能である、請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記容器本体は、前記第２方向の両側に、前記係合位置にある前記ラッチバーの前記端部が収まる凹部を有し、
前記第１の穴は、前記第２方向の両側の前記凹部のうちの少なくともいずれか一方に設けられる、請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記第１の穴には、フィルタ、及び、開閉可能な遮蔽板、のうちの少なくともいずれか一方が設けられる、請求項１〜３のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記フィルタ及び前記遮蔽板のうちの少なくともいずれか一方は、一体構造又は組み立て構造で前記容器本体に設けられる、請求項４に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記第１の穴には、開閉可能な遮蔽板が設けられ、
前記遮蔽板は、閉位置に向けて弾性体により付勢され、前記容器本体の外部からの力で開位置に変位可能である、請求項１〜３のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項７】
請求項１〜６のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器に対して、前記ラッチ機構が前記容器本体に係合した状態で、前記第１の穴を前記第２方向に空気が通りかつ前記第２の穴を前記第２方向に空気が通る態様で、空気を流し、
前記空気を流している間、又は、前記空気を流した後に、前記ラッチ機構による係合を解除して前記蓋部を前記容器本体から外すことを含む、基板収納容器の清浄化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板収納容器及び基板収納容器の清浄化方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を収納可能な内部スペースを形成する容器本体と、容器本体の開口部を覆う蓋部と、蓋部に設けられ容器本体に解除可能に係合するラッチ機構と、を備える基板収納容器が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−２２４６５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような従来技術では、蓋部を開ける際に、蓋本体の外部側（内部スペースに向う側とは逆側）に付着した汚染物質が容器本体内に侵入する可能性を、低減することが難しい。蓋本体の外部側は、外部の汚染環境に晒されており、また、ラッチ機構で発生する僅かな摩耗粉が付着されている場合がある。汚染物質が容器本体内に侵入すると、容器本体内の基板に汚染物質が付着して品質低下を招くおそれがある。
【０００５】
そこで、１つの側面では、本発明は、蓋部を開ける際に汚染物質が容器本体内に侵入する可能性を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
１つの側面では、以下のような解決手段を提供する。
【０００７】
（１）第１方向に開口する開口部を有し、基板を収納可能な内部スペースを形成する容器本体と、前記開口部を覆う蓋部と、前記蓋部に設けられ、前記容器本体に解除可能に係合するラッチ機構と、を含み、前記容器本体は、前記第１方向に交差する第２方向で前記蓋部に対向する領域において、前記第２方向に開口する第１の穴を有し、前記蓋部は、前記第２方向に視て、前記第１の穴に少なくとも部分的に重なる領域において、前記第２方向に開口する第２の穴を有する、基板収納容器を特徴とする。
【０００８】
（２）上記（１）の構成において、前記ラッチ機構は、ラッチバーを含み、前記ラッチバーは、前記第２方向の端部が前記第２の穴を通る態様で、前記容器本体に係合する係合位置と、前記容器本体との係合が解除する解除位置との間で変位可能であってよい。
【０００９】
（３）上記（２）の構成において、前記容器本体は、前記第２方向の両側に、前記係合位置にある前記ラッチバーの前記端部が収まる凹部を有し、前記第１の穴は、前記第２方向の両側の前記凹部のうちの少なくともいずれか一方に設けられてよい。
【００１０】
（４）上記（１）から（３）のいずれかの構成において、前記第１の穴には、フィルタ、及び、開閉可能な遮蔽板、のうちの少なくともいずれか一方が設けられてよい。
【００１１】
（５）上記（４）の構成において、前記フィルタ及び前記遮蔽板のうちの少なくともいずれか一方は、一体構造又は組み立て構造で前記容器本体に設けられてよい。
【００１２】
（６）上記（１）から（３）のいずれかの構成において、前記第１の穴には、開閉可能な遮蔽板が設けられ、前記遮蔽板は、閉位置に向けて弾性体により付勢され、前記容器本体の外部からの力で開位置に変位可能であってよい。
【００１３】
（７）上記（１）から（６）のいずれかの基板収納容器に対して、前記ラッチ機構が前記容器本体に係合した状態で、前記第１の穴を前記第２方向に空気が通りかつ前記第２の穴を前記第２方向に空気が通る態様で、空気を流し、前記空気を流している間、又は、前記空気を流した後に、前記ラッチ機構による係合を解除して前記蓋部を前記容器本体から外すことを含む、基板収納容器の清浄化方法を特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
１つの側面では、本発明によれば、蓋部を開ける際に汚染物質が容器本体内に侵入する可能性を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１Ａ】実施例１による基板収納容器を示す正面図である。
【図１Ｂ】基板収納容器の側面図である。
【図２】図１ＡのラインＡ−Ａに沿った断面図である。
【図３】図２のラインＣ−Ｃに沿った断面図である。
【図４】図２のＢ部の拡大図である。
【図５】図３のＤ部の拡大図である。
【図６】清浄されている基板収納容器を概略的に示す側面図である。
【図７】図１ＡのラインＡ−Ａに沿った断面視において、蓋部における清浄用空気の流れを示す図である。
【図８】図２のラインＣ−Ｃに沿った断面視において、蓋部における清浄用空気の流れを示す図である。
【図９Ａ】ＥＦＥＭ内のダウンフローを利用した清浄方法の説明図である。
【図９Ｂ】ＥＦＥＭ内のダウンフローを利用した清浄方法の説明図である。
【図１０Ａ】ＥＦＥＭ内のダウンフローを利用した清浄方法の各工程の説明図である。
【図１０Ｂ】ＥＦＥＭ内のダウンフローを利用した清浄方法の各工程の説明図である。
【図１０Ｃ】ＥＦＥＭ内のダウンフローを利用した清浄方法の各工程の説明図である。
【図１０Ｄ】ＥＦＥＭ内のダウンフローを利用した清浄方法の各工程の説明図である。
【図１０Ｅ】ＥＦＥＭ内のダウンフローを利用した清浄方法の各工程の説明図である。
【図１０Ｆ】ＥＦＥＭ内のダウンフローを利用した清浄方法の各工程の説明図である。
【図１１Ａ】ロードポートの説明図である。
【図１１Ｂ】ロードポートの動作の説明図である。
【図１１Ｃ】ロードポートの動作の説明図である。
【図１１Ｄ】ロードポートの動作の説明図である。
【図１２】実施例２によるフィルタの説明図である。
【図１３】実施例３による遮蔽板の説明図である。
【図１４】遮蔽板を用いた構造の具体例の斜視図である。
【図１５】図１４のラインＥ−Ｅに沿った断面図である。
【図１６Ａ】遮蔽板の閉状態であるときの図１４のラインＦ−Ｆに沿った断面図である。
【図１６Ｂ】遮蔽板の開状態であるときの図１４のラインＦ−Ｆに沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照しながら各実施例について詳細に説明する。
【００１７】
［実施例１］
図１Ａは、実施例１による基板収納容器１を示す正面図（前側からの正面図）である。図１Ｂは、基板収納容器１の側面図である。図２は、図１ＡのラインＡ−Ａに沿った断面図である。図３は、図２のラインＣ−Ｃに沿った断面図である。図４は、図２のＢ部の拡大図である。図５は、図３のＤ部の拡大図である。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同様の部材には同様の符号を付している。図１Ａや図１Ｂには、直交する３方向Ｘ、Ｙ、及びＺが示される。Ｘ方向は、前後方向（容器本体の開口側と背面側とを結ぶ方向）に対応し、前側は、容器本体の開口部に近い側を指す。Ｚ方向は、上下方向に対応し、図の下側が重力方向で下側に対応する。また、特に言及しない限り、内側は、基板収納容器１の中心に近い側を指し、外側は、基板収納容器１の中心から遠い側を指すものとする。
【００１８】
基板収納容器１は、図示されない複数の基板、例えば、直径３００ｍｍや直径４５０ｍｍの半導体ウェーハ等を収納可能である。基板収納容器１は、基板を直接収納するものであってもよいし、基板を収納したキャリアを収納するものであってもよい。
【００１９】
基板収納容器１は、容器本体２と、蓋部３と、ラッチ機構４とを含む。
【００２０】
容器本体２は、半導体ウェーハ（基板の一例）を収納可能な内部スペース２ａを形成する。以下、特に言及しない限り、容器本体２内とは、内部スペース２ａを指す。容器本体２は、任意の材料により形成されてよいが、例えば、樹脂を含有する成形材料により形成される。樹脂は、例えばポリカーボネートや、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等であってよい。なお、樹脂には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等からなる導電物質やアニオン、カチオン、非イオン系等の各種帯電防止剤が添加されてもよいし、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ヒンダードアミン系の紫外線吸収剤が添加されてもよいし、剛性を向上させるガラス繊維や炭素繊維等が添加されてもよい。
【００２１】
容器本体２は、前後方向（第１方向の一例）に開口する開口部２０を有する。すなわち、容器本体２は、フロントオープンボックスである。容器本体２は、開口部２０以外が実質的に閉塞された略立方体の形態であり、開口部２０は蓋部３により覆われる。
【００２２】
容器本体２は、開口部２０を囲むように設けられたリブ２２を有する。リブ２２は、図２及び図４に示されるように、施錠に利用される凹部２４を有する。凹部２４は、上下方向で外側に凹む形態である。凹部２４は、一のラッチ機構４に対して、容器本体２の上下方向の両側にそれぞれ設けられる。実施例１では、一例として、Ｙ方向に離れた２組のラッチ機構４に対応して、４つの凹部２４が設けられる。凹部２４の構成は、同様であってよいので、以下では、特に言及しない限り、任意の１つの凹部２４について説明する。
【００２３】
凹部２４は、上下方向（前後方向に交差する第２方向の一例）に開口する穴２４２（以下、「容器側部穴２４２」と称する）（第１の穴の一例）を有する。なお、本明細書において“穴”とは、貫通した形態を意味する。従って、容器側部穴２４２は、容器本体２を上下方向に貫通する形態である。なお、実施例１では、一例として、容器側部穴２４２は、すべての凹部２４にそれぞれ設けられるが、変形例では、容器側部穴２４２は、一部の凹部２４に対してのみ設けられてもよい。
【００２４】
容器側部穴２４２には、後述のように、外部からの清浄用空気（清浄な空気）が強制的に通過される。清浄用空気は、例えば、フィルタ等を介して汚染物質を除去した空気や、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア等である。これにより、蓋部３の蓋本体３ａの前側表面等（後述）に付着した汚染物質が吹き飛ばされることで除去され、蓋部３を開けた際に汚染物質が容器本体２内に侵入する可能性を低減できる。また、容器本体２のリブ２２の内側の空気（汚染物質を含みうる空気）がパージされ、蓋部３を開けた際に汚染物質が容器本体２内に侵入する可能性を低減できる。これらの原理については、後に詳説する。
【００２５】
容器側部穴２４２は、凹部２４の底部の全体にわたり形成されてもよい。あるいは、容器側部穴２４２は、凹部２４の底部の一部のみに形成されてもよい。また、容器側部穴２４２は、１つの凹部２４に対して複数個形成されてもよい。また、容器側部穴２４２は、凹部２４の底部の全体又は一部と、他の部位とにわたって形成されてもよい。また、容器側部穴２４２は、全周が閉じた形態であってもよいし、全周のうちの一部が開いた切り欠きの形態であってもよい。
【００２６】
蓋部３は、容器本体２の前側に開閉可能に取り付けられる。なお、開いた状態では、蓋部３は、容器本体２から完全に離れた状態であってよい。閉じた状態では、蓋部３は、内部スペース２ａを閉塞する。蓋部３は、後述するラッチ機構４（図３参照）により、容器本体２に対して、例えば二段階の施錠操作で施錠可能であってよい。
【００２７】
蓋部３は、任意の材料により形成されてよいが、例えば、樹脂を含有する成形材料により形成される。蓋部３を形成するための成形材料は、例えば容器本体２の形成に関して上述した成形材料と同様であってよい。
【００２８】
蓋部３は、図２に示すように、蓋本体３ａと、ドアカバー３ｂと、ガスケット３ｃとを含む。なお、蓋部３は、その他、半導体ウェーハの円周縁を保護するリテーナ（図示せず）等を更に含んでよい。
【００２９】
蓋本体３ａは、図２に示すように、例えば後側が凹む略トレイ状の形態であり、容器本体２のリブ２２の内側に離脱可能に嵌合される。蓋部３が閉じた状態では、蓋本体３ａは、前後方向の後側が容器本体２の内部スペース２ａに向く態様で容器本体２の開口部２０を覆う。
【００３０】
蓋本体３ａは、図４に示すように、上下方向に視て、容器側部穴２４２に少なくとも部分的に重なる領域において、上下方向に開口する出没穴３２（第２の穴の一例）を有する。従って、出没穴３２が形成される領域と、容器側部穴２４２が形成される領域とは、上下方向に視て、少なくとも一部が重なっていればよく、一方が他方を包含する態様で重なってもよい。実施例１では、蓋本体３ａは、凹部２４ごとに、凹部２４の出没穴３２に少なくとも部分的に対向する出没穴３２を有する。出没穴３２は、蓋本体３ａにおけるリブ２２に対向する側壁に形成される。
【００３１】
出没穴３２は、ラッチ機構４のラッチバー４ｂが通ることが可能である。従って、出没穴３２は、ラッチバー４ｂにおける通過する部分よりも大きな外形の開口形状を有する。出没穴３２は、後述のように、容器側部穴２４２と同様、外部からの清浄用空気が強制的に通過される。すなわち、出没穴３２は、容器側部穴２４２と協動して、外部からの清浄用空気を、前後方向でドアカバー３ｂと蓋本体３ａの間を、蓋本体３ａの前側表面に沿って流す機能を有する。これにより、蓋本体３ａの前側表面等に付着した汚染物質が吹き飛ばされることで除去され、蓋部３を開けた際に汚染物質が容器本体２内に侵入する可能性を低減できる。
【００３２】
ドアカバー３ｂは、図２に示すように、略トレイ状の形態の蓋本体３ａの開口を覆う。ドアカバー３ｂは、ネジ等で蓋本体３ａに固定される。ドアカバー３ｂには、キースロット３ｄ（図１Ａ参照）が形成される。前後方向で蓋本体３ａとドアカバー３ｂとの間には、ラッチ機構４が配置されるスペースが形成される。ラッチ機構４へはドアカバー３ｂのキースロット３ｄを介して前側からアクセスが可能である。
【００３３】
ガスケット３ｃ（図４参照）は、蓋本体３ａにおける後側の外周部に沿って配置される。ガスケット３ｃは、例えばシリコーンゴムやフッ素ゴム、ポリオレフィン系、ポリエステル系、スチレン系エラストマー等により形成される。ガスケット３ｃは、施錠時に蓋本体３ａと容器本体２とに挟持されて圧縮変形する（図４参照）。ガスケット３ｃが圧縮変形すると、シール機能が発現され外気との接触に伴う半導体ウェーハの汚染が抑制される。
【００３４】
ラッチ機構４は、ドアカバー３ｂのキースロット３ｄから差し込まれる施錠キー（図示せず）を介して駆動される。ラッチ機構４は、図２及び図３に示すように、蓋本体３ａにおける前後方向の前側に設けられる。ラッチ機構４は、蓋本体３ａとドアカバー３ｂとの間に設けられる。ラッチ機構４は、蓋本体３ａに支持される。実施例１では、一例として、ラッチ機構４は、図３に示すように、Ｙ方向の両側に２組設けられる。
【００３５】
ラッチ機構４は、容器本体２に解除可能に係合する。ラッチ機構４が容器本体２に係合すると、蓋本体３ａは容器本体２から離脱不能となる（すなわち蓋部３は、容器本体２に対して、閉じた状態で施錠される）。ラッチ機構４による容器本体２との係合が解除されると、蓋本体３ａは容器本体２から離脱可能となる（すなわち開錠されて蓋部３を開くことが可能となる）。
【００３６】
ラッチ機構４の構造の詳細は、任意である。ラッチ機構４は、例えば、特開２０１７−１３０５４８号に記載されるような構造を有してよい。例えば、ラッチ機構４は、図３に示すように、カムリール４ａと、ラッチバー４ｂとを含む。
【００３７】
カムリール４ａは、蓋本体３ａに回転可能に支持される。カムリール４ａは、施錠キー（図示せず）によって回転操作される。なお、ドアカバー３ｂの逃がし穴からカムリール４ａを手動によって回転操作することも可能である。
【００３８】
ラッチバー４ｂは、一のカムリール４ａに対して対で設けられる。実施例１では、２つのラッチバー４ｂは、上下方向の中心付近に設けられる一のカムリール４ａから、上方向及び下方向にそれぞれ延在する。ラッチバー４ｂは、蓋本体３ａに対して上下方向に変位可能である。より具体的には、ラッチバー４ｂは、上下方向の端部が出没穴３２を通る態様で、容器本体２に係合する係合位置と、容器本体２との係合が解除する解除位置との間で変位可能である。ラッチバー４ｂは、カムリール４ａが回転されるのに伴い、上下方向に変位する。なお、この際、対となる２つのラッチバー４ｂの動き（変位）は、上下対称となる。係合位置では、ラッチバー４ｂは端部が凹部２４の内壁のうちの前側表面に前方向に押圧されることで、ラッチバー４ｂと容器本体２とが係合される。
【００３９】
次に、図６から図８を参照して、蓋部３を開ける際に汚染物質が容器本体内に侵入する可能性を低減するための、清浄用空気による清浄方法について説明する。以下で説明する清浄用空気による清浄方法は、容器本体２内に半導体ウェーハが収納されかつラッチ機構４が容器本体２に係合した状態（すなわち容器本体２に対して蓋部３がロックされた状態）で実行される。すなわち、以下で説明する清浄用空気による清浄方法は、半導体ウェーハを容器本体２内に収納しかつラッチ機構４が容器本体２に係合した状態である基板収納容器１に対して、実行される。
【００４０】
図６から図８は、清浄方法の説明図であり、図６は、清浄されている基板収納容器１を概略的に示す側面図である。図７は、図１ＡのラインＡ−Ａに沿った断面視において、蓋部３における清浄用空気の流れを示す図であり、図８は、図２のラインＣ−Ｃに沿った断面視において、蓋部３における清浄用空気の流れを示す図である。なお、図６から図８に示す清浄方法は、後述するロードポート１００に基板収納容器１が載置された状態で実行されてもよいし、他の状態で実行されてもよい。
【００４１】
図６から図８に示す例では、清浄用空気は、上側の入口管６００から容器側部穴２４２（図６では図示されず）を介して基板収納容器１の前部内に導入され、容器側部穴２４２を介して下側の出口管６０２から基板収納容器１外へと排出される。なお、基板収納容器１の前部とは、容器本体２の内部スペース２ａを含まず、蓋本体３ａの前側表面よりも前側の部位を指す。
【００４２】
この清浄方法で用いられる清浄用空気の流れは、強制的な流れである。例えば、清浄用空気は、ポンプやコンプレッサ（図示せず）等を利用して入口管６００から圧送されてよいし、バキューム装置（図示せず）等を利用して出口管６０２を介して吸引されてもよい。
【００４３】
なお、入口管６００及び出口管６０２は、２組のラッチ機構４（上下各２か所の凹部２４及び容器側部穴２４２）に対応して、２組設けられてよい。
【００４４】
入口管６００の出口穴（図示せず）は、上側の容器側部穴２４２に上下方向で対向する。入口管６００は、容器側部穴２４２内に挿入されてもよい。出口管６０２も同様に、入口穴（図示せず）が下側の容器側部穴２４２に上下方向で対向する。なお、実施例１では、容器側部穴２４２には遮蔽板（後述の実施例３参照）が設けられないので、出口管６０２は省略されてもよい。
【００４５】
清浄用空気は、入口管６００から容器側部穴２４２を介して基板収納容器１の前部内に導入されると（図６の矢印７１参照）、基板収納容器１の内部を流れ（図６の矢印７２参照）、基板収納容器１外へと排出される（図６の矢印７３参照）。このとき、清浄用空気は、図８の矢印７００から７０６で模式的に示すような流れで、蓋部３の内部（前後方向で蓋本体３ａの前側表面とドアカバー３ｂとの間）を流れる。
【００４６】
具体的には、容器側部穴２４２を介して基板収納容器１の前部内に導入された清浄用空気は、図７及び図８にて矢印７００及び７０１で示すように、上側の出没穴３２を通って、蓋部３の内部をラッチバー４ｂに沿って上側から下側へと流れる。この際、清浄用空気は、カムリール４ａやラッチバー４ｂのようなラッチ機構４の機構部品に付着した汚染物質を吹き飛ばすことで、汚染物質を下側の出没穴３２及び下側の容器側部穴２４２を介して基板収納容器１の外部に排出できる。カムリール４ａやラッチバー４ｂのようなラッチ機構４の機構部品及びその周辺には、ラッチ機構４の動き（例えばカム部分の摺動等）に伴って発生する僅かな摩耗粉が付着されている場合がある。矢印７００及び７０１で示す流れの清浄用空気は、かかる摩耗粉を伴って、下側の出没穴３２及び下側の容器側部穴２４２を通って基板収納容器１の外部に出る。このようにして、矢印７００及び７０１で示す流れの清浄用空気は、かかる摩耗粉を効率的に除去できる。
【００４７】
また、矢印７００及び７０１で示す流れの清浄用空気は、図７に示すように、前後方向でラッチバー４ｂの内側を、蓋本体３ａの前側表面に沿って流れる。これにより、前後方向でラッチバー４ｂと蓋本体３ａの前側表面との間を清浄できる。
【００４８】
なお、図７及び図８では、図示していないが、矢印７００及び７０１で示す流れの清浄用空気は、前後方向でラッチバー４ｂの外側を流れる成分を含んでもよい。前後方向でラッチバー４ｂの外側を流れる空気の成分は、ラッチバー４ｂに前後方向の開口が存在する場合等に生じる。
【００４９】
また、容器側部穴２４２を介して基板収納容器１の前部内に導入された清浄用空気は、矢印７０３から７０６で示すように、上側の出没穴３２を通って、蓋部３の内部をラッチバー４ｂのＹ方向の両側で上側から下側へと流れる。この際、清浄用空気は、同様に、ラッチバー４ｂのＹ方向の両側に付着した汚染物質を吹き飛ばすことで、汚染物質を下側の出没穴３２及び下側の容器側部穴２４２を介して基板収納容器１の外部に排出できる。
【００５０】
また、容器側部穴２４２を介して基板収納容器１の前部内に導入された清浄用空気は、矢印７０７及び７０８で示すように、容器本体２のリブ２２の内側を通って、容器本体２と蓋本体３ａとの間を流れる。この際、清浄用空気は、容器本体２のリブ２２の内側の空気をパージすることで、リブ２２の内側の空気に含まれる汚染物質を下側の容器側部穴２４２を介して基板収納容器１の外部に排出できる。リブ２２の内側（前後方向でガスケット３ｃよりも外側）は、基板収納容器１の外部と連通しているので、リブ２２の内側の空気には、汚染物質が含まれうる。矢印７０７及び７０８で示す流れの清浄用空気は、かかる汚染物質を伴って、下側の容器側部穴２４２を通って基板収納容器１の外部に出る。このようにして、矢印７０７及び７０８で示す流れの清浄用空気は、容器本体２のリブ２２の内側の汚染物質を効率的に除去できる。
【００５１】
なお、図８では、容器側部穴２４２を介して基板収納容器１の前部内に導入された清浄用空気は、矢印７０２で示すように、上側の出没穴３２以外の穴３４（蓋本体３ａに形成された上下方向の穴）を通って、蓋部３の内部を流れる成分を含む。このようにして、出没穴３２以外の穴を利用して蓋部３の内部を清浄することも可能である。
【００５２】
上述のようにして清浄用空気を流した後、蓋部３が開けられてよい。この際、上述した清浄用空気による汚染物質の除去に起因して、蓋部３を開けた際に汚染物質が容器本体２内に侵入する可能性を低減できる。
【００５３】
次に、図９Ａ及び図９Ｂを参照して、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｆｒｏｎｔ  Ｅｎｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）を利用した清浄方法について説明する。
【００５４】
図９Ａ及び図９Ｂは、ＥＦＥＭ２００内のダウンフローを利用した清浄方法の説明図であり、図９Ａは、ＥＦＥＭ２００にロードポート１００を介して基板収納容器１が結合（ドッキング）された状態を示し、図９Ｂは、ＥＦＥＭ２００内に基板収納容器１の前端部を進入させた状態（基板収納容器１が更に前進した状態）を示す。なお、図９Ａ及び図９Ｂは、説明図のため、ＥＦＥＭ２００内の状態が概略的に示されており、下向きの矢印９００は、下向きの空気の流れ（ダウンフロー）を表す。なお、ダウンフローは、ＥＦＥＭ２００内の例えば天井等に設けられるフィルタ付きの送風機により生成されてよい。ダウンフローは、稼働中は、基本的に常時発生されている。
【００５５】
図９Ｂに示すように、ＥＦＥＭ２００内に基板収納容器１の前端部を進入させた状態では、基板収納容器１の容器側部穴２４２（図９Ｂには図示されず）がＥＦＥＭ２００内の空間に連通する。従って、ＥＦＥＭ２００内のダウンフローに起因して、ＥＦＥＭ２００内の空気（清浄用空気として機能、以下、同様に「清浄用空気」と称する）を容器側部穴２４２を介して基板収納容器１の前部内に導入できる。これにより、図６から図８を参照して上述した原理と同様に、基板収納容器１の前部内に清浄用空気を流すことができる。なお、図９Ｂでは、基板収納容器１の前部内の清浄に寄与する清浄用空気の流れが矢印７１０〜７１４で模式的に示され、基板収納容器１の前部内を通る流れが点線の矢印７１２で模式的に示される。これにより、ＥＦＥＭ２００内でその後に蓋部３を開けた際に、汚染物質が容器本体２内に侵入する可能性を低減できる。
【００５６】
実施例１では、好ましい例として、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、ＥＦＥＭ２００には、開閉可能に可動なシャッタ２２０が設けられる。シャッタ２２０は、図９Ａに示すように、ＥＦＥＭ２００にロードポート１００を介して基板収納容器１が結合された状態では、開状態とされ、ＥＦＥＭ２００内に基板収納容器１の前端部を進入させた状態で閉じられる。シャッタ２２０は、閉じられた状態では、ＥＦＥＭ２００の開口のうちの基板収納容器１まわりの隙間２０４を封止する。これにより、ＥＦＥＭ２００の外部かつ基板収納容器１の外部の空気が隙間２０４を通ってＥＦＥＭ２００内に侵入することを抑制できる。なお、図９Ｂでは、ＥＦＥＭ２００の外部かつ基板収納容器１の外部の空気が隙間２０４を通ってＥＦＥＭ２００内に侵入する場合の当該空気の流れが矢印７３０で模式的に示される。このような空気の流れ（隙間２０４を介してＥＦＥＭ２００内に引き込まれる流れ）は、ＥＦＥＭ２００内のダウンフローに起因して隙間２０４に生じる負圧によって、発生する。なお、シャッタ２２０は、ＥＦＥＭ２００の開口まわりの全周にわたり設けられてもよいし、一部に設けられてもよい。
【００５７】
次に、図１０Ａから図１０Ｆ、及び、図１１Ａから図１１Ｄを参照して、ＥＦＥＭ２００内のダウンフローを利用した清浄方法の工程を、より詳細に説明する。
【００５８】
図１０Ａから図１０Ｆは、ＥＦＥＭ２００内のダウンフローを利用した清浄方法の各工程の説明図であり、図９ＢのＰ部付近の関連個所の拡大図に相当する。図１０Ａから図１０Ｆは、説明図であるので、シャッタ２２０の図示が省略されており、また、図９Ａ及び図９Ｂとは異なり、基板収納容器１の各部の形状等が非常に概略的な断面で示され、蓋部３については存在だけが非常に概略的な断面で示されている。また、ＥＦＥＭ２００内の空間が２００Ａで指示されている。また、符合２０２は、ロードポート１００の固定フレーム部を模式的に示し、当該固定フレーム部２０２は固定である（可動でない）。ロードポート１００の固定フレーム部２０２とドア側フレーム部１０２２とは、図示しないロック機構を介して解錠可能にロックされることができる。
【００５９】
ここでは、先ず、図１１Ａから図１１Ｄを参照して、ロードポート１００の動作について概説する。なお、ロードポート１００は、基板収納容器１と半導体製造装置（図示せず）のインタフェースであり、半導体製造装置に対して容器本体２内の半導体ウェーハを搬入出する機械である。
【００６０】
図１１Ａは、ロードポート１００の単独状態を示す概略的な側面図であり、図１１Ｂから図１１Ｄは、ロードポート１００の動きを説明する概略的な側面図である。図１１Ａから図１１Ｄでは、ドア開閉機構１０２は概略的な断面で示されている。
【００６１】
ロードポート１００は、図１１Ａに示すように、ステージ１０１と、ドア開閉機構１０２とを含む。ステージ１０１の作動方向は、図１１Ａにて矢印Ｑ１で示すように、前後方向である。ドア開閉機構１０２は、ドア本体部１０２１と、ドア側フレーム部１０２２とを含む。ドア側フレーム部１０２２は、ドア本体部１０２１を囲繞する態様で設けられる。ドア開閉機構１０２の作動方向は、図１１Ａにて矢印Ｑ２、Ｑ３で示すように、前後方向及び上下方向である。
【００６２】
図１１Ｂは、ロードポート１００上に基板収納容器１が載置された状態を示す。図１１Ｃは、ロードポート１００上に載置された基板収納容器１がロードポート１００に結合した状態を示す。なお、図１１Ｂに示す状態から図１１Ｃに示す状態へは、ステージ１０１が前側に動くことで実現される。基板収納容器１がロードポート１００に結合すると、蓋部３とドア本体部１０２１とが結合状態となり、ラッチ機構４による容器本体２との係合が、解除可能となる。図１１Ｄは、蓋部３が開かれた状態を示す。図１１Ｃに示す状態から、ドア本体部１０２１が前側に移動すると、図１１Ｄに示すように、蓋部３とドア本体部１０２１とが結合した状態で前側に変位する。これにより、図１１Ｄに示すように、蓋部３（実線で模式的に図示）が開かれる。なお、その後、ドア本体部１０２１が下側に移動すると、蓋部３が下側に移動し、基板収納容器１の内部スペース２ａ内の半導体ウェーハに対して搬入出が可能となる。
【００６３】
続いて図１０Ａから図１０Ｆを参照するに、図１０Ａは、基板収納容器１がロードポート１００に結合する前の状態を示し、ロードポート１００に関しては図１１Ｂに示す状態に対応する。図１０Ｂは、基板収納容器１がロードポート１００に結合した状態を示し、図９Ａに示す状態に対応し、ロードポート１００に関しては図１１Ｃに示す状態に対応する。図１０Ｃ及び図１０Ｄは、ＥＦＥＭ２００内に基板収納容器１の前端部を進入させた状態を示し、図９Ｂに示す状態に対応する。図１０Ｃは、ＥＦＥＭ２００内のダウンフローにより清浄される直前の状態を示し、図１０Ｄは、ＥＦＥＭ２００内のダウンフローにより清浄された後の状態を示す。図１０Ｅは、清浄された後における基板収納容器１がロードポート１００に結合した状態を示し、ロードポート１００に関しては図１１Ｃに示す状態に対応する。図１０Ｆは、蓋部３が開かれた状態を示し、ロードポート１００に関しては図１１Ｄに示す状態に対応する。
【００６４】
図１０Ａから図１０Ｆでは、清浄用空気で満たされる空間領域が符合５０１で示され、汚染物質を含みうる外部の空気で満たされる空間領域が符合５００で示されている。
【００６５】
図１０Ａに示すように、基板収納容器１がロードポート１００に結合する前では、基板収納容器１においてガスケット３ｃよりも前側が、外部の空気で満たされる空間領域となる。
【００６６】
図１０Ｂに示すように、基板収納容器１がロードポート１００を介してＥＦＥＭ２００に結合すると、容器本体２のリブ２２の上端面２２１とドア側フレーム部１０２２とが前後方向に当接する。これにより、容器本体２のリブ２２の上端面２２１とドア側フレーム部１０２２との間から空気がＥＦＥＭ２００内に侵入することを抑制できる。なお、図１０Ｂに示す状態においても、基板収納容器１においてガスケット３ｃよりも前側が、外部の空気で満たされる空間領域となる。
【００６７】
図１０Ｂに示す状態から図１０Ｃに示す状態への変化は、ロードポート１００のステージ１０１（図１１Ａ参照）が更に前進することで実現される。なお、図１０Ｂに示す状態では、固定フレーム部２０２とロードポート１００のドア側フレーム部１０２２とは互いに拘束されず、ロードポート１００のドア側フレーム部１０２２は、固定フレーム部２０２との結合位置（図１０Ｂ）から更に前側に（図１０Ｃに示す状態へと）移動できる。
【００６８】
図１０Ｃに示す状態では、図１０Ｃにて矢印７１０で示すように、ＥＦＥＭ２００内のダウンフローにより清浄用空気は、上述のように、基板収納容器１におけるガスケット３ｃよりも前側の空間領域（図１０Ｂでは、外部の空気で満たされていた空間領域）に侵入する。この結果、図１０Ｄに示すように、基板収納容器１においてガスケット３ｃよりも前側が、清浄用空気で満たされる空間領域となる。また、この際、清浄用空気がラッチ機構４に係る空間領域を強制的に通過される。すなわち、図９Ａ及び図９Ｂを参照して上述した清浄が実現される。なお、図１０Ｃ及び図１０Ｄに示す状態では、図１０Ｂに示す状態とは異なり、基板収納容器１がロードポート１００を介してＥＦＥＭ２００に結合しておらず、ＥＦＥＭ２００の開口のうちの基板収納容器１まわりに隙間２０４が形成される。しかしながら、この隙間２０４は、上述のようにシャッタ２２０（図示せず）により封止される。
【００６９】
図１０Ｅに示すように、清浄の後、基板収納容器１がロードポート１００を介してＥＦＥＭ２００に結合する位置まで戻される（後退される）。そして、図１０Ｅに示す状態では、固定フレーム部２０２とロードポート１００のドア側フレーム部１０２２とが、図示しないロック機構を介してロックされる。その後、図１０Ｆに示すように、ドア本体部１０２１が前側に変位することで蓋部３が開かれる。
【００７０】
実施例１による基板収納容器１によれば、上述のように、容器本体２において、上下方向で出没穴３２に少なくとも部分的に重なる領域に容器側部穴２４２が形成される。これにより、容器側部穴２４２に向かう上下方向の清浄用空気の流れを形成することで、蓋本体３ａの前側表面等に付着した汚染物質や、容器本体２のリブ２２の内側の空気（汚染物質を含みうる空気）を除去できる。この結果、ＥＦＥＭ２００内で蓋部３を開けた際に汚染物質が容器本体２内に侵入する可能性を低減できる。
【００７１】
また、実施例１によれば、容器側部穴２４２は上下方向で出没穴３２に少なくとも部分的に対向するので、容器側部穴２４２に向かう上下方向の清浄用空気の流れを利用して、ラッチ機構４の機構部品及びその周辺に付着しうる汚染物質（例えば摩耗粉）を効率的に除去できる。ただし、変形例では、容器本体２において、容器側部穴２４２に代えて又は加えて、出没穴３２とは異なる他の穴（蓋本体３ａ側の穴）に対して上下方向で少なくとも部分的に重なる領域に、同様の容器側部穴２４２が形成されてもよい。この場合、新たな容器側部穴は、蓋本体３ａ側の穴の位置や数に対応して、容器本体２のリブ２２において任意の位置かつ任意の数だけ設定されてもよい。また、この場合、新たな容器側部穴に清浄用空気を強制的に通過させるための清浄用空気の導入方向についても調整されてよい。
【００７２】
また、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、ＥＦＥＭ２００内のダウンフローを利用して、容器側部穴２４２に向かう上下方向の清浄用空気の流れを形成することも可能である。この場合は、清浄用空気の流れを形成する新たな設備が不要となる。
【００７３】
また、容器側部穴２４２が上下の凹部２４のうちの下側に設けられる場合、基板収納容器１を水で洗浄する際に、下側の凹部２４に水が溜まらずに済む。これにより、水で洗浄した後の乾燥時間を短縮できる。
【００７４】
また、容器側部穴２４２がすべての凹部２４に設けられる場合、容器本体２の内側にアンダーカット形状が無くなるので、金型の構成の簡略化を図ることができ、製造性の観点から有利となる。
【００７５】
なお、図６から図８を参照して上述した入口管６００を利用した清浄方法と、図９Ａ及び図９Ｂを参照して上述したＥＦＥＭ２００内のダウンフローを利用した清浄方法とは、組み合わせて実現することも可能である。例えば、基板収納容器１がロードポート１００に結合する前に、事前の清浄として、図６から図８を参照して上述した入口管６００を利用した清浄方法による清浄が実行され、次いで、図９Ａ及び図９Ｂを参照して上述したＥＦＥＭ２００内のダウンフローを利用した清浄方法が実現されてもよい。
【００７６】
［実施例２］
実施例２は、上述した実施例１に対して、容器側部穴２４２がフィルタにより塞がれている点が異なる。実施例２に関する説明は、主にフィルタに関してのみ行い、他の構成は上述した実施例１と同様であってよい。
【００７７】
図１２は、実施例２によるフィルタ６の説明図であり、図２のＢ部の拡大図に対応する図である。
【００７８】
フィルタ６は、容器側部穴２４２の全体を塞ぐように容器本体２に設けられる。フィルタ６は、例えば図１２に示すように、容器本体２の外側から設けられてよい。フィルタ６は、容器本体２に一体構造又は組み立て構造で設けられる。例えば、一体構造の一例として、フィルタ６は、インサート成形により形成されてもよい。また、一体構造の他の一例として、フィルタ６は、容器本体２に溶着等により固定されてもよい。また、組み立て構造の例として、フィルタ６は、ホルダ部材（図示せず）に保持されてよく、ホルダ部材が容器本体２に固定されてもよい。この場合、固定方法は、例えばスナップ嵌合や、ねじによる結合等であってよい。
【００７９】
フィルタ６は、複数の容器側部穴２４２のうちのすべてに設けられてもよいし、一部の容器側部穴２４２に対してのみ設けられてもよい。例えば、フィルタ６は、上下の容器側部穴２４２のうちの上側又は下側の容器側部穴２４２に対してのみ設けられてもよい。
【００８０】
フィルタ６は、通過する空気内の汚染物質を除去できるものであれば任意である。フィルタ６は、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、多孔質フッ素膜又はガラス繊維などからなる分子ろ過フィルタないしメンブレンフィルタ、あるいは活性炭素繊維などのろ材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタであってよい。また、フィルタ６の表面又は裏面は、ポリプロピレンやポリエチレンなどで形成される格子状の保護部材が設けられてもよい。
【００８１】
実施例２によれば、容器側部穴２４２にフィルタ６が設けられるので、清浄が完了した後におけるＥＦＥＭ２００に基板収納容器１がロードポート１００を介して結合された状態（図１０Ｅ等参照）において、容器側部穴２４２を介して、清浄用空気で満たされた空間領域が、再び外部の空気で満たされてしまう可能性を低減できる。
【００８２】
［実施例３］
実施例３は、上述した実施例１に対して、容器側部穴２４２に、開閉可能な遮蔽板が設けられる点が異なる。実施例３に関する説明は、主に遮蔽板に関してのみ行い、他の構成は上述した実施例１と同様であってよい。
【００８３】
図１３は、実施例３による遮蔽板８の説明図であり、図２のＢ部の拡大図に対応する図である。
【００８４】
遮蔽板８は、容器側部穴２４２の全体を塞ぐ範囲にわたり容器本体２に設けられる。遮蔽板８は、例えば図１３に示すように、容器本体２の外側から設けられてよい。あるいは、遮蔽板８は、容器本体２の内側に設けられてもよい。遮蔽板８は、容器本体２に一体構造又は組み立て構造で設けられる。例えば、一体構造の一例として、遮蔽板８は、インサート成形により形成されてもよい。また、一体構造の他の一例として、遮蔽板８は、容器本体２に溶着等により固定されてもよい。また、組み立て構造の例として、遮蔽板８は、ホルダ部材（図示せず）に保持されてよく、ホルダ部材が容器本体２に固定されてもよい。この場合、固定方法は、例えばスナップ嵌合や、ねじやボルトによる結合等であってよい。
【００８５】
遮蔽板８は、開閉可能である（図１３の矢印Ｒ１参照）。遮蔽板８は、例えばヒンジなどを用いて開閉可能とされてもよいし、後述のような上下動する蓋の形態であってもよい。例えば、遮蔽板８は、閉位置に向けて弾性体により付勢される。閉位置では、遮蔽板８は、容器側部穴２４２の全体を塞ぐ。これにより、遮蔽板８が閉位置にあるときは、容器側部穴２４２が閉塞されるので、容器側部穴２４２を介して外部の空気の侵入が抑制される。遮蔽板８は、任意の方法で、閉位置から開位置へと変位されてよい。例えば、遮蔽板８は、機械的な部材（例えば図６から図８を参照して上述した入口管６００や出口管６０２）で押圧されることで開かれてもよい。この場合、機械的な部材を駆動することで、遮蔽板８が開閉可能となる。あるいは、遮蔽板８は、流体による圧力で開かれてもよい。具体的には、遮蔽板８は、容器本体２の外部からの気流による力で開位置に変位されかつ保持されてよい。この場合、遮蔽板８に作用する気流による力の大きさや、弾性体による付勢力の大きさを調整することで、気流による力で遮蔽板８が開閉可能となる。
【００８６】
遮蔽板８は、複数の容器側部穴２４２のうちのすべてに設けられてもよいし、一部の容器側部穴２４２に対してのみ設けられてもよい。例えば、遮蔽板８は、上下の容器側部穴２４２のうちの上側又は下側の容器側部穴２４２に対してのみ設けられてもよい。また、ダウンフローを利用して遮蔽板８を開閉する場合は、遮蔽板８は、上下の容器側部穴２４２のうちの上側の容器側部穴２４２に対してのみ設けられてよい。
【００８７】
遮蔽板８と容器本体２（容器側部穴２４２まわりの領域）との間にはシール部材（例えばパッキン）（図示せず）が設けられてもよい。この場合、遮蔽板８が閉位置にあるときの、容器側部穴２４２に係るシール性を高めることができる。
【００８８】
実施例３によれば、容器側部穴２４２に遮蔽板８が設けられるので、清浄が完了した後におけるＥＦＥＭ２００に基板収納容器１がロードポート１００を介して結合された状態（図１０Ｅ等参照）において、容器側部穴２４２を介して、清浄用空気で満たされた空間領域が、再び外部の空気で満たされてしまう可能性を低減できる。
【００８９】
次に、図１４から図１６Ｂを参照して、遮蔽板８を用いた構造の具体例について説明する。
【００９０】
図１４は、実施例３による遮蔽板８の説明図であり、実施例３による基板収納容器１Ｃにおける容器側部穴２４２周辺部分を示す斜視図である。図１５は、図１４のラインＥ−Ｅに沿った断面図である。図１６Ａ及び図１６Ｂは、図１４のラインＦ−Ｆに沿った断面図であり、図１６Ａは、遮蔽板８の閉状態を示し、図１６Ｂは、遮蔽板８の開状態を示す。
【００９１】
図１４から図１６Ｂに示す例では、遮蔽板８は、本体部８０と、被支持部８１と、スプリング８２（弾性体の一例）と、固定ピン８３と、ガイドピン８４とを含む。
【００９２】
本体部８０は、上下方向に視て、容器側部穴２４２の全体に重なる範囲に延在する。本体部８０は、例えば被支持部８１及びガイドピン８４と一体であり、例えば一体に形成されてよいし、接合等により一体化されてもよい。被支持部８１は、容器側部穴２４２からオフセットした位置で容器本体２に対して支持される。具体的には、被支持部８１（及びそれに伴い本体部８０）は、スプリング８２及び固定ピン８３を介して、容器本体２に対して上下方向に変位可能に支持される。固定ピン８３は、バネ内径より小さい径であり、例えば直径２．５ｍｍ程度であってよい。固定ピン８３は、容器本体２のリブ２２に固定される。例えば、固定ピン８３には、軸方向の両端付近の周溝内に止め輪８３１が設けられる。止め輪８３１は、被支持部８１やリブ２２からの固定ピン８３の抜けを防止する。スプリング８２は、固定ピン８３に挿通される。スプリング８２は、一端（リブ２２に近い側の端部）がリブ２２に上下方向に当接され、他端が被支持部８１に上下方向に当接される。スプリング８２は、被支持部８１を上下方向でリブ２２から離れる側（すなわち上下方向で外側）に付勢する。スプリング８２の弾性率は、遮蔽板８を閉位置から開位置まで変位させて保持するための力（例えば気流による力）の大きさに応じて決定されてよい。スプリング８２は、内径が好ましくは１〜５ｍｍ（例えば３ｍｍ程度）であり、線径が好ましくは０．０５〜０．５ｍｍ（例えば約０．５ｍｍ程度）である。ガイドピン８４は、容器本体２のリブ２２における容器側部穴２４２まわりの凸状部（凹部２４の裏側の部位）に形成される溝２４４に、上下方向に変位可能に嵌る。ガイドピン８４は、溝２４４と協動して、遮蔽板８の上下方向の変位をガイドする機能を有する。ガイドピン８４は、前後方向で本体部８０の両側から延在し、一方側では被支持部８１まで延在する。
【００９３】
遮蔽板８が閉位置にあるときは、図１６Ａに示すように、容器側部穴２４２の内周壁に遮蔽板８の本体部８０の外周部が当接する。これにより、容器側部穴２４２が閉じられ、遮蔽板８と容器本体２との間のシール性が確保される。
【００９４】
スプリング８２からの付勢力に抗して遮蔽板８が開位置にあるときは、図１６Ｂに示すように、遮蔽板８の本体部８０が上下方向で内側に変位した状態となる。これにより、容器側部穴２４２が開けられ、遮蔽板８と容器本体２との間の隙間Ｓを通る清浄用空気の流通が確保される。なお、この内側への変位は、気流の力を利用して実現されてもよい。この内側への変位は、例えばＥＦＥＭ２００内のダウンフローを利用して実現されてもよい。この場合、遮蔽板８は、上下の容器側部穴２４２のうちの、上側の容器側部穴２４２に対してのみ設けられてよい。
【００９５】
また、隙間Ｓを介してリブ２２の内側に入る清浄用空気の流量は、容器本体２における蓋本体３ａの上下方向の端部付近の表面２Ｃについて、形状等を調整することで最適化できる。
【００９６】
以上、各実施例について詳述したが、特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。また、前述した実施例の構成要素を全部又は複数を組み合わせることも可能である。
【００９７】
例えば、上述した実施例３は、上述した実施例２と組み合わせることが可能である。すなわち、容器側部穴２４２に対してフィルタ６及び遮蔽板８の双方が設けられてもよい。この場合、例えば、フィルタ６は、上下方向で遮蔽板８よりも内側に設けられてよい。すなわち、遮蔽板８は、フィルタ６が設けられる容器側部穴２４２に対して開閉可能に設けられてよい。
【００９８】
また、上述した実施例１から実施例３は、多様な態様で組み合わせることも可能である。例えば、複数の容器側部穴２４２のうちの一部に対してフィルタ６が設けられ、他の一部に対して遮蔽板８が設けられ、残りはフィルタ６及び遮蔽板８が設けられない構成であってもよい。
【００９９】
また、上述した実施例１から実施例３では、清浄用空気は、汚染物質の重力を汚染物質の除去に利用できるように、上側から下側へと流されるが、これに限られない。清浄用空気は、他の方向に流されてもよい。
【符号の説明】
【０１００】
１  基板収納容器
２  容器本体
３  蓋部
３ａ  蓋本体
３ｂ  ドアカバー
３ｃ  ガスケット
４  ラッチ機構
４ａ  カムリール
４ｂ  ラッチバー
６  フィルタ
８  遮蔽板
２０  開口部
２２  リブ
２４  凹部
３２  出没穴
８０  本体部
８１  被支持部
８２  スプリング
８３  固定ピン
８４  ガイドピン
【図１Ａ】
2019149397.tif 000003
【図１Ｂ】
2019149397.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2019149397.tif 000010
【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
2019149397.tif 000016
【図１０Ｄ】
2019149397.tif 000017
【図１０Ｅ】
2019149397.tif 000018
【図１０Ｆ】
2019149397.tif 000019
【図１１Ａ】
2019149397.tif 000020
【図１１Ｂ】
2019149397.tif 000021
【図１１Ｃ】
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【図１１Ｄ】
2019149397.tif 000023
【図１２】
2019149397.tif 000024
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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