(57)【要約】【課題】より大きな被検査物を検査できるようにする。【解決手段】検査装置Ｓは、拡散光を被検査物Ｕに向けて照射する投光部１と、投光部１から照射された拡散光が被検査物Ｕを透過することにより生じる像が投影される被投影部２と、被投影部２に投影された像を撮像して撮像画像を生成する撮像部３と、撮像画像に基づいて被検査物Ｕが良品又は不良品であるかを判定する判定部４４２と、を有する。また、投光部１は、発光ダイオード１１と、発光ダイオード１１から出射された光を拡散させることで拡散光を生成する拡散光発生部１２と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
拡散光を被検査物に向けて照射する投光部と、
前記投光部から照射された前記拡散光が前記被検査物を透過することにより生じる像が投影される被投影部と、
前記被投影部に投影された前記像を撮像して撮像画像を生成する撮像部と、
前記撮像画像に基づいて前記被検査物が良品又は不良品であるかを判定する判定部と、
を有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記投光部は、
発光ダイオードと、
前記発光ダイオードから出射された光を拡散させることで前記拡散光を生成する拡散光発生部と、
を有することを特徴とする、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記撮像部は、撮像画角に前記被検査物が含まれない位置に設けられており、前記被投影部における前記像が投影された領域内で合焦する光学系を有することを特徴とする、
請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記被検査物が良品であることを示す複数の良品画像パターンを取得する取得部をさらに有し、
前記判定部は、前記撮像画像と、前記取得部が取得した前記複数の良品画像パターンとを比較し、前記撮像画像と前記複数の良品画像パターンそれぞれとの差が所定の第１閾値未満である場合に、前記被検査物を良品であると判定することを特徴とする、
請求項１から３のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記判定部は、前記撮像画像と前記複数の良品画像パターンのいずれかとの差が前記所定の第１閾値以上である場合に前記撮像画像を出力し、出力した前記撮像画像が示す前記被検査物が良品であることを示す指示を受けた場合に、出力した前記撮像画像を前記複数の良品画像パターンに追加することを特徴とする、
請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記取得部は、前記被検査物が不良品であることを示す複数の不良品画像パターンを取得し、
前記判定部は、前記撮像画像と前記複数の良品画像パターンのいずれかとの差が前記所定の第１閾値以上である場合、前記撮像画像と前記複数の不良品画像パターンそれぞれとの差が所定の第２閾値以上であることを条件として、前記被検査物を良品であると判定すると共に、前記撮像画像を前記複数の良品画像パターンに追加し、前記撮像画像と前記複数の不良品画像パターンとの差が前記所定の第２閾値未満であることを条件として、前記被検査物を不良品であると判定することを特徴とする、
請求項４又は５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記判定部は、良品の前記被検査物に対応する複数の学習用撮像画像と、不良品の前記被検査物に対応する複数の学習用撮像画像とを教師データとして学習させた機械学習モデルに前記撮像部が生成した前記撮像画像を入力して得られる結果に基づいて、前記被検査物が良品又は不良品であるかを判定することを特徴とする、
請求項１から６のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項８】
投光部から拡散光を被検査物に向けて照射するステップと、
前記投光部から照射された前記拡散光が前記被検査物を透過することにより生じる像が投影される被投影部に投影された前記像を撮像して撮像画像を生成するステップと、
前記撮像画像に基づいて前記被検査物が良品又は不良品であるかを判定するステップと、
を有することを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズが良品であるか不良品であるかを検査するための装置が知られている。特許文献１には、レーザを用いてレンズを検査するための装置が開示されている。従来のレンズ検査装置は、コヒーレントなレーザ光を被検査物としてのレンズに照射することにより生じる像をスクリーンに投影する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−３８２１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、レーザ光は指向性や収束性に優れたコヒーレント光であるため、レーザ光の照射範囲に比べて大きい面積の被検査物を検査することが困難であった。
【０００５】
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、より大きな被検査物を検査することができる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様においては、拡散光を被検査物に向けて照射する投光部と、前記投光部から照射された前記拡散光が前記被検査物を透過することにより生じる像が投影される被投影部と、前記被投影部に投影された前記像を撮像して撮像画像を生成する撮像部と、前記撮像画像に基づいて前記被検査物が良品又は不良品であるかを判定する判定部と、を有することを特徴とする検査装置を提供する。
【０００７】
また、前記投光部は、発光ダイオードと、前記発光ダイオードから出射された光を拡散させることで前記拡散光を生成する拡散光発生部と、を有していてもよい。また、前記撮像部は、撮像画角に前記被検査物が含まれない位置に設けられており、前記被投影部における前記像が投影された領域内で合焦する光学系を有していてもよい。
【０００８】
また、前記被検査物が良品であることを示す複数の良品画像パターンを取得する取得部をさらに有し、前記判定部は、前記撮像画像と、前記取得部が取得した前記複数の良品画像パターンとを比較し、前記撮像画像と前記複数の良品画像パターンそれぞれとの差が所定の第１閾値未満である場合に、前記被検査物を良品であると判定してもよい。
【０００９】
また、前記判定部は、前記撮像画像と前記複数の良品画像パターンのいずれかとの差が前記所定の第１閾値以上である場合に前記撮像画像を出力し、出力した前記撮像画像が示す前記被検査物が良品であることを示す指示を受けた場合に、出力した前記撮像画像を前記複数の良品画像パターンに追加してもよい。
【００１０】
また、前記取得部は、前記被検査物が不良品であることを示す複数の不良品画像パターンを取得し、前記判定部は、前記撮像画像と前記複数の良品画像パターンのいずれかとの差が前記所定の第１閾値以上である場合、前記撮像画像と前記複数の不良品画像パターンそれぞれとの差が所定の第２閾値以上であることを条件として、前記被検査物を良品であると判定すると共に、前記撮像画像を前記複数の良品画像パターンに追加し、前記撮像画像と前記複数の不良品画像パターンとの差が前記所定の第２閾値未満であることを条件として、前記被検査物を不良品であると判定してもよい。
【００１１】
また、前記判定部は、良品の前記被検査物に対応する複数の学習用撮像画像と、不良品の前記被検査物に対応する複数の学習用撮像画像とを教師データとして学習させた機械学習モデルに前記撮像部が生成した前記撮像画像を入力して得られる結果に基づいて、前記被検査物が良品又は不良品であるかを判定してもよい。
【００１２】
本発明の第２の態様においては、投光部から拡散光を被検査物に向けて照射するステップと、前記投光部から照射された前記拡散光が前記被検査物を透過することにより生じる像が投影される被投影部に投影された前記像を撮像して撮像画像を生成するステップと、前記撮像画像に基づいて前記被検査物が良品又は不良品であるかを判定するステップと、を有することを特徴とする検査方法を提供する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、より大きな被検査物を検査することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態に係る検査装置の構成を示す。
【図２】投光部の構成を示す。
【図３】撮像部の構成を示す。
【図４】制御装置の構成を示す。
【図５】検査装置における検査の流れを示す。
【図６】判定部が良品画像パターンに基づいて判定する方法を模式的に示す。
【図７】時間の経過と共に良品画像パターンとの差分が大きくなる様子を示す。
【図８】判定部が不良品画像パターンに基づいて判定する方法を模式的に示す。
【図９】検査装置Ｓにおける検査の流れの変形例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
［検査装置Ｓの構成］
図１は、本実施形態に係る検査装置Ｓの構成を示す図である。
検査装置Ｓは、被検査物Ｕを検査する装置である。被検査物Ｕは、例えばガラス、又は透明な樹脂（例えばアクリル樹脂等の透明プラスチック）の成形品である。被検査物Ｕは立体形状をしており、例えば容器、照明器具のカバー、工芸品、水槽、ディスプレイ用カバー、内装材、又はプリンカップである。
【００１６】
検査装置Ｓは、投光部１、被投影部２、撮像部３、及び制御装置４を有する。
図２は、投光部１の構成を示す図である。投光部１は、投光部１と被投影部２との間に載置された被検査物Ｕに向けて拡散光を照射する。被検査物Ｕは、照射された拡散光を透過して、被投影部２に像を形成する。被投影部２は、投光部１から照射された拡散光が被検査物Ｕを透過することにより生じる像が投影される均一な色の面を有する部材であり、例えばスクリーンである。
【００１７】
投光部１は、発光ダイオード（ＬＥＤ：Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）１１、及び拡散光発生部１２を有する。拡散光発生部１２は、発光ダイオード１１から出射された光の一部を反射する反射面と、発光ダイオード１１から出射された光の他の一部を透過させる開口とを有する。発光ダイオード１１の発光面には、拡散光発生部１２の反射面で反射された光を拡散する拡散面が形成されている。このような構成により、拡散光発生部１２の反射面で反射された光が開口を介して被投影部２に向けて照射されず、発光面に対して限られた範囲内の角度の光のみが被投影部２に向けて照射される。
【００１８】
投光部１が拡散光を照射する範囲（以下、照射範囲という）は、照射範囲に被検査物Ｕが含まれ、かつ投光部１と被検査物Ｕとの間における照射範囲に拡散光を反射する物体が含まれないように設定されている。例えば、拡散光は、検査装置Ｓの筐体に内側面に反射することなく被検査物Ｕを透過して被投影部２に達する。拡散光の照射範囲がこのように設定されていることで、拡散光が筐体の内側面等で反射して生じる散乱光が被検査物Ｕに当たらないので、検査装置Ｓは、被投影部２に被検査物Ｕの像を鮮明に投影することができる。
【００１９】
被投影部２には、被検査物Ｕの状態に応じて異なる濃度を有する領域を含む像が投影される。具体的には、被検査物Ｕの表面にヒケ又はポッティングが形成されている不良領域における光の屈折率は、他の領域における光の屈折率と異なるため、不良領域に対応する像は、他の領域に対応する像よりも濃く表示される。検査装置Ｓは、このようにして生じる像の濃淡に基づいて、被検査物Ｕが良品であるか不良品であるかを判定することができる。
【００２０】
発光ダイオード１１は、一点から光が発散する点光源としての光源である。したがって、被検査物Ｕにおける一つの位置を、発光ダイオード１１の一点から発せられた一本の光線が通過する。よって、投光部１が点光源の発光ダイオード１１から光を発する場合、多数の点光源を含む面光源から被検査物Ｕに光が発せられた場合のように被検査物Ｕにおける一つの位置を複数の異なる方向の光線が通過する場合に比べて、被検査物Ｕの影が明確に被投影部２に投影される。
【００２１】
撮像部３は、被投影部２に投影された像を撮像して撮像画像を生成する。図３は、撮像部３の構成を示す図である。撮像部３は、撮像光学系３１及び撮像素子３２を有する。撮像光学系３１は、例えば複数のレンズを含む。撮像光学系３１は、被投影部２において被検査物Ｕの像が投影された全ての領域内で合焦するように構成されている。
【００２２】
また、撮像部３は、撮像画角に被検査物Ｕが含まれない位置に設けられており、被検査物Ｕの像の全ての領域を含む撮像画像を生成することができる。撮像画角は、撮像部３が撮像する範囲の角度である。撮像部３の撮像画角は、例えば被検査物Ｕの被投影部２における像の大きさに基づいて定められている。具体的には、撮像部３の撮像画角は、被検査物Ｕの像が被投影部２に投影される全ての領域が撮像素子３２において撮像されるように設定されていることが望ましい。
【００２３】
撮像部３は、被検査物Ｕの像が投影される全ての領域において焦点が合った撮像画像を生成するために、シャインプルーフの原理を用いて撮像画像を生成する。シャインプルーフの原理は、撮像素子３２の撮像面、レンズの主面、及び被投影部２の表面が同一直線上で交わるときに、撮像部３が撮像可能な被投影部２の表面の全領域（図３における撮像可能領域）において合焦するという原理である。撮像部３は、シャインプルーフの原理に基づいて、撮像素子３２から異なる距離にある像に同時に焦点を合わせることができる。その結果、撮像部３は、被検査物Ｕの像の全体に焦点が合った撮像画像を生成することができる。
【００２４】
［制御装置４の構成］
図４は、制御装置４の構成を示す図である。制御装置４は、通信部４１と、表示部４２と、記憶部４３と、制御部４４と、を有する。制御装置４は、例えば投光部１に電圧を印加するタイミングを制御する。また、制御装置４は、撮像部３に撮像部３を作動させる制御信号を送信したり、撮像部３で撮像された撮像画像を受信したりする。
【００２５】
通信部４１は、外部のサーバＴと通信するためのインターフェースである。サーバＴは、コンピュータであり、被検査物Ｕが良品であるか否かを判定するために用いられる画像データを制御装置４に提供する。
【００２６】
表示部４２は、例えば、情報を表示するディスプレイである。表示部４２は、例えば被検査物Ｕが良品であるか否かの判定結果を表示する。
【００２７】
記憶部４３は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）及びＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）を含んでいる。記憶部４３は、制御装置４が実行するプログラムを記憶している。記憶部４３は、制御装置４が検査装置Ｓを制御するために用いる各種データを記憶している。
【００２８】
制御部４４は、例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）であり、記憶部４３に記憶されたプログラムを実行することにより、取得部４４１及び判定部４４２として機能する。
【００２９】
取得部４４１は、通信部４１を介して撮像部３から撮像画像を取得する。また、取得部４４１は、通信部４１を介して外部のサーバＴから画像データを取得する。具体的には、取得部４４１は、被検査物Ｕが良品であることを示す複数の良品画像パターン、及び被検査物Ｕが不良品であることを示す複数の不良品画像パターンをサーバＴから取得する。
【００３０】
判定部４４２は、撮像部３で撮像された撮像画像に基づいて被検査物Ｕが良品又は不良品であるかを判定する。判定部４４２は、判定結果を表示部４２に表示させる。判定部４４２の動作の詳細については後述する。
【００３１】
［検査装置Ｓにおける検査の流れ］
図５は、本実施形態に係る検査装置Ｓにおける検査の流れを示す図である。
まず、撮像部３は、被投影部２に投影された被検査物Ｕの像を撮像する（Ｓ１１）。判定部４４２は、取得部４４１が撮像部３から取得した撮像画像と、取得部４４１がサーバＴから取得した複数の良品画像パターンとを比較する（Ｓ１２）。
【００３２】
判定部４４２は、撮像画像と、取得部４４１が取得した複数の良品画像パターンとを比較した結果、撮像画像と複数の良品画像パターンそれぞれとの差が、所定の第１閾値未満であると判定した場合に（Ｓ１３におけるＹＥＳ）、被検査物Ｕを良品であると判定する（Ｓ１４）。撮像画像と良品画像パターンとの差は、例えば、撮像画像における画素間の輝度差の最大値と良品画像パターンにおける画素間の輝度差の最大値との差、最小の輝度値（すなわち最も暗い画素の輝度値）の差、周辺よりも輝度値が小さい領域（以下、濃い領域という場合がある）の数の差、又は濃い領域の大きさの差である。
【００３３】
図６は、判定部４４２が良品画像パターンに基づいて判定する方法を模式的に示す図である。図６（ａ）は、被検査物Ｕの撮像画像と複数の良品画像パターンそれぞれとの差が小さく、被検査物Ｕが良品と判定される場合を示している。図６（ｂ）は、被検査物Ｕの撮像画像が複数の良品画像パターンのいずれかよりも悪く、被検査物Ｕが不良品と判定される場合を示している。
【００３４】
図６（ａ）の破線で示すように、被検査物Ｕの表面に形成されたヒケ又はポッティング等の影響により、被検査物Ｕの撮像画像には周辺領域よりも濃い領域が含まれている場合がある。判定部４４２は、被検査物Ｕの撮像画像を複数の良品画像パターンと比較し、ヒケ又はポッティングにより生じた濃い領域が許容範囲であるか否かに基づいて、被検査物Ｕが良品であるか否かを判定する。図６（ａ）に示す例においては、撮像画像に含まれる濃い領域の大きさ及び数が、複数の良品画像パターンのうちの少なくとも一つと同等レベル以下であることから、判定部４４２は被検査物Ｕが良品であると判定する。
【００３５】
図６（ｂ）に示す例においては、撮像画像に含まれる濃い領域の数が、全ての良品画像パターンに含まれる濃い領域の数よりも多いので、判定部４４２は被検査物Ｕが不良品であると判定する。判定部４４２は、撮像画像に含まれる濃い領域の面積が、全ての良品画像パターンに含まれる濃い領域の面積よりも大きい場合に被検査物Ｕが不良品であると判定してもよい。
【００３６】
図５に示すように、判定部４４２は、撮像画像と複数の良品画像パターンのいずれかとの差が所定の第１閾値以上であると判定した場合に（Ｓ１３におけるＮＯ）、過去の所定の期間内の不良率を算出する。過去の所定の期間は、金型の状態が変化する期間に基づいて定められた期間であり、例えば１日である。判定部４４２は、算出した不良率が所定の閾値よりも大きい場合（Ｓ１５においてＹＥＳ）、被検査物Ｕの成形に用いられている金型が変化したことにより、良品であるにもかかわらず撮像画像と複数の良品画像パターンとの差が大きくなっているのか否かを判別するために、撮像画像と複数の不良品画像パターンとを比較する（Ｓ１６）。
【００３７】
図７は、時間の経過と共に良品画像パターンとの差分が大きくなる様子を示す図である。
図７で示すように、被検査物Ｕを製造する際に用いられる金型の状態は時間の経過と共に変化する。その結果、時間の経過と共に、当該金型を用いて製造された被検査物Ｕの撮像画像と取得部４４１で取得された良品画像パターンとの差は徐々に大きくなり、所定の第１閾値よりも大きくなる場合がある。この場合、被検査物Ｕが要求される品質を満たしているにもかかわらず、判定部４４２が撮像画像と複数の良品画像パターンのいずれかとの差が第１閾値以上であると判定してしまう場合がある。
【００３８】
そこで、図５に示すように、判定部４４２は、撮像画像と複数の不良品画像パターンとを比較した結果、撮像画像と複数の不良品画像パターンそれぞれとの差が所定の第２閾値以上であると判定した場合に（Ｓ１７におけるＹＥＳ）、撮像画像を複数の良品画像パターンに追加するとともに（Ｓ１８）、被検査物Ｕを良品であると判定する（Ｓ１４）。撮像画像と不良品画像パターンとの差は、例えば、撮像画像における画素間の輝度差の最大値と不良品画像パターンにおける画素間の輝度差の最大値との差、最小の輝度値の差、濃い領域の数の差、又は濃い領域の大きさの差である。判定部４４２は、Ｓ１５において不良率が閾値以下であると判定した場合（Ｓ１５におけるＮＯ）、金型の状態が変化していないと判定し、被検査物Ｕを不良品であると判定する（Ｓ１９）。
【００３９】
図８は、判定部４４２が不良品画像パターンに基づいて判定する方法を模式的に示す図である。図８に示すように、判定部４４２は、被検査物Ｕの撮像画像を不良品画像パターンと比較し、例えば撮像画像における濃い領域の数及び大きさが、複数の不良品画像パターンそれぞれと同等の範囲に含まれていない場合に、被検査物Ｕを良品と判定する。
【００４０】
図５に示すように、判定部４４２は、撮像画像と複数の不良品画像パターンのいずれかとの差が、所定の第２閾値未満であると判定した場合に（Ｓ１７におけるＮＯ）、被検査物Ｕを不良品であると判定する（Ｓ１９）。このように、判定部４４２が撮像画像を複数の良品画像パターンと比較した結果、不良率が閾値よりも大きいことを条件として撮像画像を複数の不良品画像パターンと比較することにより、判定部４４２は通常状態において撮像画像と複数の不良品画像パターンとを比較する必要がない。その結果、検査装置Ｓは検査時間を短縮することができる。
【００４１】
［検査の流れの変形例］
図９は、検査装置Ｓにおける検査の流れの変形例を示す図である。図５に示した検査の流れにおいては、撮像画像と複数の良品画像パターンそれぞれとの差が第１閾値以上であると判定部４４２が判定した場合に、撮像画像と不良品画像パターンとを比較した。これに対して、図９に示す検査の流れにおいては、撮像画像と複数の良品画像パターンそれぞれとの差が第１閾値以上であると判定部４４２が判定した場合に、取得部４４１が、被検査物Ｕが良品であるか否かを示す指示を外部から取得する。
【００４２】
図９におけるＳ２１からＳ２４は、図５におけるＳ１１からＳ１４と同じなので説明を省略する。判定部４４２は、撮像画像と複数の良品画像パターンとを比較した結果、撮像画像と複数の良品画像パターンのいずれかとの差が所定の第１閾値以上であると判定した場合に（Ｓ２３におけるＮＯ）、撮像画像を出力する（Ｓ２５）。判定部４４２は、例えば撮像画像を表示部４２に表示させる。
【００４３】
判定部４４２は、取得部４４１が、被検査物Ｕの検査者から被検査物Ｕが良品であることを示す指示を取得したか否かを判定する（Ｓ２６）。判定部４４２は、例えば検査者が検査装置Ｓに設けられている操作部を操作して入力した情報に基づいて、検査者が、被検査物Ｕが良品であることを示す指示を取得したか否かを判定する。この場合、検査者が目視で撮像画像を確認したり、被検査物Ｕを確認したりすることにより、検査者自身の経験及び知識等に基づいて、被検査物Ｕが良品であるか否かを判定する。そして、検査者が、被検査物Ｕが良品であると判定した場合、検査装置Ｓの操作部において被検査物Ｕが良品であることを示す指示を入力する。
【００４４】
判定部４４２は、出力した撮像画像が示す被検査物Ｕが良品であることを示す指示が取得されたと判定した場合（Ｓ２６においてＹＥＳ）、撮像画像を複数の良品画像パターンに追加する（Ｓ２７）。判定部４４２は、出力した撮像画像が示す被検査物Ｕが良品であることを示す指示が取得されていないと判定した場合（Ｓ２６においてＮＯ）、被検査物Ｕが不良品であると判定する（Ｓ２８）。なお、判定部４４２は、Ｓ２５において不良率が閾値より大きいことを条件として撮像画像を出力してもよい。
【００４５】
［変形例１］
本実施形態に係る検査装置Ｓにおいては、複数の良品画像パターンと複数の不良品画像パターンとは、サーバＴに記憶されており、制御装置４の取得部４４１は、サーバＴに記憶されている複数の良品画像パターンと複数の不良品画像パターンとを取得する例を示したが、これに限定されない。複数の良品画像パターンと複数の不良品画像パターンとが、制御装置４の記憶部４３に記憶されており、取得部４４１は、制御装置４の記憶部４３に記憶されている複数の良品画像パターンと複数の不良品画像パターンを取得してもよい。
【００４６】
［変形例２］
上記実施形態では、判定部４４２は、撮像画像を複数の良品画像パターンと比較することにより被検査物Ｕが良品又は不良品であるかを判定したが、判定部４４２が判定する方法はこれに限定されない。判定部４４２は、良品の被検査物Ｕに対応する複数の学習用撮像画像と、不良品の被検査物Ｕに対応する複数の学習用撮像画像とを教師データとして学習させた機械学習モデルに撮像部３が生成した撮像画像を入力して得られる結果に基づいて、被検査物Ｕが良品又は不良品であるかを判定するようにしてもよい。この場合、検査装置Ｓが機械学習モデルを記憶部４３に記憶していてもよく、サーバＴが機械学習モデルを記憶していてもよい。
【００４７】
［変形例３］
上記実施形態では、検査装置Ｓが一つの撮像部３を用いて被検査物Ｕの投影画像を撮像する例を示したが、検査装置Ｓが複数の撮像部３を有しており、判定部４４２が、複数の撮像部３が生成した複数の撮像画像に基づいて被検査物Ｕが良品であるか否かを判定してもよい。
【００４８】
［本実施形態に係る検査装置Ｓによる効果］
本実施形態に係る検査装置Ｓは、拡散光を被検査物Ｕに向けて照射する投光部１と、投光部１から照射された拡散光が被検査物Ｕを透過することにより生じる像が投影される被投影部２と、被投影部２に投影された像を撮像して撮像画像を生成する撮像部３と、撮像画像に基づいて被検査物Ｕが良品又は不良品であるかを判定する判定部４４２と、を有する。このように、投光部１が拡散光を被検査物Ｕに向けて照射するので、検査装置Ｓは、コヒーレントなレーザ光を被検査物Ｕに照射する場合に比べて大きな被検査物Ｕを効率よく検査することができる。
【００４９】
また、撮像部３は、撮像画角に被検査物Ｕが含まれない位置に設けられており、被投影部２において被検査物Ｕの像が投影された領域内で合焦する光学系を有する。検査装置Ｓがこのような構成を有することで、検査装置Ｓは、撮像部３が多数の撮像画像を生成する必要がないので、検査に要する時間を短縮することができる。
【００５０】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の分散・統合の具体的な実施の形態は、以上の実施の形態に限られず、その全部又は一部について、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を合わせ持つ。
【符号の説明】
【００５１】
Ｓ・・・検査装置
１・・・投光部
１１・・・発光ダイオード
１２・・・拡散光発生部
２・・・被投影部
３・・・撮像部
３１・・・撮像光学系
４・・・制御装置
４１・・・通信部
４２・・・表示部
４３・・・記憶部
４４・・・制御部
４４１・・・取得部
４４２・・・判定部
Ｔ・・・サーバ
Ｕ・・・被検査物
【図１】
2019197011.tif 000003
【図２】
2019197011.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2019197011.tif 000009
【図８】
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【図９】
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