(57)【要約】【課題】外部からの空気の流入に対する逆止弁としてのバルブ体の機能を確保しつつ、バルブ体の耐腐食性を高める。【解決手段】基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体への気体の流れ又は容器本体からの気体の流れを制御するバルブ体とを含み、バルブ体は、第１方向に延在しかつ外部と容器本体の内部とを連通させる連通路に、弾性を有する非金属性のシールリップを含み、シールリップは、第１方向の一方側で閉じ他方側が開く傘状の形態であり、他方側で連通路の内周壁に当接する、基板収納容器が開示される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体と、
容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体への気体の流れ又は前記容器本体からの気体の流れを制御するバルブ体とを含み、
前記バルブ体は、第１方向に延在しかつ前記容器本体の外部と前記容器本体の内部とを連通させる連通路に、弾性を有する非金属性のシールリップを含み、
前記シールリップは、前記第１方向の一方側で閉じ他方側が開く傘状の形態であり、前記他方側で前記連通路の内周壁に当接する、基板収納容器。
【請求項２】
前記バルブ体は、前記第１方向に沿って延在する軸部を更に含み、
前記シールリップは、前記第１方向に視て前記軸部まわりに延在し、前記軸部に前記一方側の端部が結合される、請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記第１方向で当接し合いかつ前記連通路を形成する第１円筒状部位及び第２円筒状部位を更に含み、
前記第１円筒状部位及び前記第２円筒状部位のうちの少なくともいずれか一方は、前記第１方向の前記軸部の端部を支持する、請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記第１円筒状部位は、前記第１方向の前記軸部の一端側を支持し、前記第２円筒状部位は、前記第１方向の前記軸部の他端側を支持する、請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記第１方向で前記第１円筒状部位及び前記第２円筒状部位の間の当接位置は、前記シールリップが前記内周壁に当接する位置よりも、前記第１方向で前記他方側に位置する、請求項３又は４に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記連通路は、前記容器本体の外部に連通する第１通路と、前記容器本体の内部に連通する第２通路とに、前記シールリップにより仕切られ、
前記シールリップは、前記第１通路内の圧力と前記第２通路内の圧力との差に応じて、前記連通路の前記内周壁から離れる態様で弾性変形する、請求項１〜５のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記シールリップは、前記第１方向に視て中心まわりの周方向の第１領域と第２領域とで、肉厚が異なる、請求項１〜６のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記第１領域は、前記一方側から前記他方側へと延在する帯状の形態であり、前記第２領域よりも肉厚が大きい、請求項７に記載の基板収納容器。
【請求項９】
前記第１領域は、前記第１方向に視て、中心まわりの周方向で互いに離れる態様で複数個所設けられる、請求項８に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を収納する基板収納容器は、容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えている。このバルブ体は、逆止弁の機能を有するもので、弁体と弁体を開閉させる金属製の弾性部材とを有している（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−０６６３３０号公報
【特許文献２】特開２００４−１７９４４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような従来技術では、外部からの空気の流入に対する逆止弁としてのバルブ体の機能を確保しつつ、バルブ体の耐腐食性を高めることが難しい。基板収納容器は、ガスパージなどのために、バルブ体を介して気体が供給され、また、バルブ体を介して気体が排出される。この際、基板収納容器内の基板上の残留物質（基板の加工時に付着）が、供給した気体とともにバルブ体を介して排出される。これにより、バルブ体の金属製の弾性部材などが、残留物質によって腐食されるおそれがある。
【０００５】
そこで、１つの側面では、本発明は、外部からの空気の流入に対する逆止弁としてのバルブ体の機能を確保しつつ、バルブ体の耐腐食性を高めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
１つの側面では、以下のような解決手段を提供する。
【０００７】
（１）基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体への気体の流れ又は前記容器本体からの気体の流れを制御するバルブ体とを含み、前記バルブ体は、第１方向に延在しかつ前記容器本体の外部と前記容器本体の内部とを連通させる連通路に、弾性を有する非金属性のシールリップを含み、前記シールリップは、前記第１方向の一方側で閉じ他方側が開く傘状の形態であり、前記他方側で前記連通路の内周壁に当接する、基板収納容器を特徴とする。
【０００８】
（２）上記（１）の構成において、前記バルブ体は、前記第１方向に沿って延在する軸部を更に含み、前記シールリップは、前記第１方向に視て前記軸部まわりに延在し、前記軸部に前記一方側の端部が結合されることを特徴とする。
【０００９】
（３）上記（２）の構成において、前記第１方向で当接し合いかつ前記連通路を形成する第１円筒状部位及び第２円筒状部位を更に含み、前記第１円筒状部位及び前記第２円筒状部位のうちの少なくともいずれか一方は、前記第１方向の前記軸部の端部を支持することを特徴とする。
【００１０】
（４）上記（３）の構成において、前記第１円筒状部位は、前記第１方向の前記軸部の一端側を支持し、前記第２円筒状部位は、前記第１方向の前記軸部の他端側を支持することを特徴とする。
【００１１】
（５）上記（３）又は（４）の構成において、前記第１方向で前記第１円筒状部位及び前記第２円筒状部位の間の当接位置は、前記シールリップが前記内周壁に当接する位置よりも、前記第１方向で前記他方側に位置することを特徴とする。
【００１２】
（６）上記（１）から（５）のいずれかの構成において、前記連通路は、前記容器本体の外部に連通する第１通路と、前記容器本体の内部に連通する第２通路とに、前記シールリップにより仕切られ、前記シールリップは、前記第１通路内の圧力と前記第２通路内の圧力との差に応じて、前記連通路の前記内周壁から離れる態様で弾性変形することを特徴とする。
【００１３】
（７）上記（１）から（６）のいずれかの構成において、前記シールリップは、前記第１方向に視て中心まわりの周方向の第１領域と第２領域とで、肉厚が異なることを特徴とする。
【００１４】
（８）上記（７）の構成において、前記第１領域は、前記一方側から前記他方側へと延在する帯状の形態であり、前記第２領域よりも肉厚が大きいことを特徴とする。
【００１５】
（９）上記（８）の構成において、前記第１領域は、前記第１方向に視て、中心まわりの周方向で互いに離れる態様で複数個所設けられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
１つの側面では、本発明によれば、外部からの空気の流入に対する逆止弁としてのバルブ体の機能を確保しつつ、バルブ体の耐腐食性を高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例１による基板収納容器を示す概略分解斜視図である。
【図２】給気部に設けられるバルブ体を示す、（ａ）斜視断面図（切り口を断面図で示す斜視図、以下同じ）、（ｂ）断面図である。
【図３】基板収納容器に取り付けられたバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
【図４】排気部に設けられるバルブ体を示す断面図である。
【図５Ａ】実施例２によるバルブ体が設けられた連通路の斜視断面図である。
【図５Ｂ】実施例２によるバルブ体が設けられた連通路の断面図である。
【図６】実施例３による容器本体におけるバルブ体を示す概略断面図である。
【図７Ａ】実施例４による弾性体を示す平面図である。
【図７Ｂ】図７ＡのラインＡ−Ａに沿った断面図である。
【図８Ａ】他のバリエーションによる弾性体を示す平面図である。
【図８Ｂ】他のバリエーションによる弾性体を示す平面図である。
【図８Ｃ】他のバリエーションによる弾性体を示す平面図である。
【図９】変形例によるバルブ体を示す概略断面図である。
【図１０】変形例によるバルブ体を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照しながら各実施例について詳細に説明する。
【００１９】
［実施例１］図１は、実施例１による基板収納容器１を示す概略分解斜視図である。
【００２０】
基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のパッキン３０と、バルブ体４０、５０とを備えている。
【００２１】
容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、パッキン３０が接触するシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口１１が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。
【００２２】
容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。
【００２３】
また、容器本体１０の内部の後方（奥側）には、リアリテーナ（図示せず）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合に、後述するフロントリテーナと対となって、基板Ｗを保持する。ただし、リアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状の基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板Ｗを保持するようなものであってもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられている。
【００２４】
基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。
【００２５】
容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Ｗを気密収納した基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４を把持されて、基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。
【００２６】
また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。
【００２７】
そして、容器本体１０の内部の底面には、給気部１６と排気部１７とが設けられており、容器本体１０の外部の底面には、後述するバルブ体４０、５０が取り付けられている。これらは、蓋体２０によって閉止された基板収納容器１の内部に、給気部１６から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアを供給し、必要に応じて排気部１７から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、低湿度の気密状態を維持したり、基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたりして、基板収納容器１の内部の清浄性を保つようになっている。なお、気体を給気部１６から給気するだけでなく、排気部１７を負圧（真空）発生装置に接続し、強制的に排気部１７から気体を排出することもある。
【００２８】
また、排気部１７から排気された気体を検知することで、基板収納容器１の内部が導入された気体で置換されたか確認することができる。なお、給気部１６及び排気部１７は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気部１６及び排気部１７の数量や位置は、図示したものに限らず、容器本体１０の底面の四隅部に位置してもよい。また、給気部１６及び排気部１７は、蓋体２０の側に取り付けられてもよい。
【００２９】
一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示せず）に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示せず）が着脱自在に装着又は一体形成されている。
【００３０】
このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。フロントリテーナも、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けることができる。
【００３１】
そして、蓋体２０には、パッキン３０を取り付ける取付溝２１が形成されている。より詳しくは、蓋体２０の容器本体１０側の面には、開口１１の段差部より小さい凸部２２が環状に形成されることで、断面略Ｕ字状の取付溝２１が環状に形成されている。この凸部２２は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた時、開口１１の段差部より奥に入り込む。
【００３２】
これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。
【００３３】
パッキン３０は、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口１１の形状）に対応した環状のものであり、実施例１では、矩形枠状のものである。ただし、環状のパッキン３０は、蓋体２０への取り付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。
【００３４】
パッキン３０は、容器本体１０のシール面１２と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた際に、シール面１２と蓋体２０とに密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。
【００３５】
パッキン３０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材料を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。
【００３６】
ここで、バルブ体４０について説明する。図２は、バルブ体４０を示す、（ａ）斜視断面図、（ｂ）断面図である。図２には、上下方向（第１方向の一例）が示されている。なお、バルブ体４０の取り付け向きは、図２に示した向きに限られない。
【００３７】
バルブ体４０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流通路を介して給気部１６と連通している。
【００３８】
バルブ体４０は、図２に示すように、容器本体１０のリブ１８０によって形成された貫通孔１８（図３参照）に下方から嵌められる固定筒４１と、貫通孔１８にシール部材４５を介して上方から嵌入されて、固定筒４１に上方から螺合により着脱自在に組み合わされる保持筒４２と、を有している。
【００３９】
固定筒４１は、容器本体１０の内部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、固定筒４１の内周面には、保持筒４２を取り付けるための取り付け用の螺子溝４１２が螺刻形成されている。また、固定筒４１の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４１３が周設されており、リブ１８０の開口周縁部に接触するようになっている。
【００４０】
また、固定筒４１は、底部中心に、一端が容器本体１０の外部に連通する第１筒部４１０（第１円筒状部位の一例）が、気体流通用の通気口４１１とともに形成されている。第１筒部４１０は、通気口４１１と連通しながら、通気口４１１の周縁から立ち上がって、保持筒４２に向かって延びている。また、第１筒部４１０と通気口４１１とで、第１通路４１００が形成されている。
【００４１】
また、保持筒４２は、容器本体１０の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、保持筒４２の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４２３が周設されており、貫通孔１８の開口周縁に接触している。また、保持筒４２の外周面には、固定筒４１へ取り付けるための螺子溝４２２が螺刻形成され、この螺子溝４２２が固定筒４１の螺子溝４１２と螺合する。ただし、固定筒４１及び保持筒４２は、螺合でなく、圧入や係止などの他の方法で互いに取り付けられてもよい。
【００４２】
また、保持筒４２は、容器本体１０（底面）の内部側に、気体流通用の複数の通気口４２１を区画する区画リブ４２４が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブ４２４の裏面には、後述するフィルタ４６を収納する収納空間が形成されている。
【００４３】
なお、保持筒４２は、外周面にシール部材４５が装着されており、保持筒４２と貫通孔１８の内周面との間から、容器本体１０の内部に侵入する外気や洗浄液を遮断し、また、容器本体１０の内部から漏れる気体を遮断することができる。
【００４４】
バルブ体４０は、保持筒４２の内周壁にシール部材４７を介して取り付けられ、保持筒４２との間にフィルタ４６を保持する中蓋筒４３も有している。
【００４５】
中蓋筒４３は、容器本体１０の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、容器本体１０の内部側に、フィルタ４６が載置されるようになっている。また、中蓋筒４３の外周面には突起が形成されており、保持筒４２の内周面側に形成された係止溝と係止することで、中蓋筒４３は、保持筒４２に連結され取り付けられている。
【００４６】
中蓋筒４３は、一端が容器本体１０の内部に連通するとともに、第２筒部４３０（第２円筒状部位の一例）が形成されている。第２筒部４３０は、第１筒部４１０に軸方向で当接し合う。第２筒部４３０が第１筒部４１０に当接する位置は符合７００で示されている。図２では、第２筒部４３０が第１筒部４１０に当接する位置は、後述のシールリップ４４０の上端よりも下側であるが、後述のシールリップ４４０の上端よりも上側であってもよい。いずれの場合でも、第２筒部４３０が第１筒部４１０に当接する位置を介して気体が漏れたとしても、シール部材４５、４７により容器本体１０の内部に気体が侵入することは防止される。ただし、第２筒部４３０が第１筒部４１０に当接する位置がシールリップ４４０の上端よりも上側に位置するとき、図３（ａ）の気体の流れでは、気体が外部へ漏れて容器本体１０の内部の圧力が低下するおそれがある。従って、かかる構成では、第２筒部４３０が第１筒部４１０に当接する位置７００に別途弾性体によるシール部材を配置したり、密閉性を向上させるような手段を設けたりする等の対策が施されてもよい。
【００４７】
第２筒部４３０は、通気口４２１と連通しながら、中央開口の周縁から立ち上がって、固定筒４１に形成された第１筒部４１０に向かって延びている。また、第２筒部４３０と通気口４２１とで、第２通路４３００が形成されている。第２通路４３００は、上述した第１通路４１００と協動して、容器本体１０の外部と容器本体１０の内部とを連通させる連通路を形成する。
【００４８】
なお、実施例１では、第１筒部４１０及び第２筒部４３０により形成される連通路の内径は、連通路の延在範囲の全体にわたり一定であるが、変化してもよい。
【００４９】
上述した固定筒４１、保持筒４２及び中蓋筒４３は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂を材料として成形されている。また、シール部材４５、４７には、例えば、フッ素ゴム、ＮＢＲゴム、ウレタンゴム、ＥＰＤＭゴム、シリコーンゴムなどの材料から形成された、Ｏリングなどが用いられている。
【００５０】
また、バルブ体４０は、実施例１では、第１筒部４１０及び第２筒部４３０により形成される連通路に弾性体４４を有しており、給気部１６に対応して用いられる。このバルブ体４０は、弾性体４４が変形することで、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０の内部への気体の給気は可能にするが、容器本体１０から外部への気体の排気は不能にする、一方向逆止弁の機能を有する。そのため、弾性体４４は、容器本体１０の外部に連通する第１通路４１００と、容器本体１０の内部に連通する第２通路４３００とを仕切る状態となる。
【００５１】
弾性体４４は、シールリップ４４０と、軸部４４２とを含む。
【００５２】
シールリップ４４０は、連通路における設置場所前後の差圧に応じて弾性変形することで、連通路を開閉する機能を有する。シールリップ４４０は、図２に示すように、上下方向の下側で閉じ上側が開く傘状の形態である。シールリップ４４０は、上側で第２筒部４３０の内周壁（連通路の内周壁の一例）に当接する。シールリップ４４０は、軸部４４２の中心線を通る断面視で、軸部４４２から上側かつ外側（軸部４４２から離れる側）に向って斜めに延在する。シールリップ４４０は、軸部４４２の中心線を通る断面視で、一定の肉厚であってもよいが、図２に示すように、軸部４４２から離れるにつれて肉薄になるように形成されてもよい。シールリップ４４０は、弾性体４４の単品状態では、第２筒部４３０の内径よりもわずかに大きい外径を有する。このため、弾性体４４が組付けられた状態では、シールリップ４４０は、弾性変形した状態で第２筒部４３０の内周壁に当接する。
【００５３】
実施例１では、シールリップ４４０は、軸部４４２を通る断面で等断面形状を有する。ただし、後述の別の実施例では、異なる断面形状を有する。
【００５４】
軸部４４２は、シールリップ４４０の下側の端部から連続する。すなわち、軸部４４２は、シールリップ４４０の下側の端部に結合される。軸部４４２は、上下方向に沿って延在する。軸部４４２は、軸部４４２の延在方向に対して垂直な平面による断面で、例えば円形の断面形状であってよい。軸部４４２は、上下の支持部４９０、４９２に支持される。すなわち、軸部４４２は上端が支持部４９０に固定され、下端が支持部４９２に固定される。支持部４９０は、第２筒部４３０の内周壁から突出する態様で、第２筒部４３０に形成されてよい。同様に、支持部４９２は、第１筒部４１０の内周壁から突出する態様で、第１筒部４１０に形成されてよい。
【００５５】
弾性体４４の材料としては、各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂などを用いることができる。例えば、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーンなどのゴムなどを用いることができる。
【００５６】
フィルタ４６は、供給又は排出される気体を濾過するものであり、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素系樹脂などからなる多孔質膜、ガラス繊維などからなる分子濾過フィルタ、活性炭繊維などの濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタなどから選択される。
【００５７】
フィルタ４６は、上下方向で保持筒４２と中蓋筒４３との間に、１枚又は複数枚保持されている。なお、複数枚のフィルタ４６を用いる場合は、同種類のものであってもよいが、性質の異なるものを組み合わせた方が、パーティクル以外に、有機物の汚染なども防止することができるため、より好ましい。例えば、フィルタ４６は、容器本体１０を洗浄する際に、水や洗浄液などの液体が滞留しないように、液体の通過を抑制する機能も奏するため、フィルタ４６の一方に疎水性又は親水性の材料を用いて、液体の透過を更に抑制してもよい。
【００５８】
ここで、バルブ体４０が、気体の流通を制御する状態を説明する。図３は、基板収納容器１に取り付けられたバルブ体４０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
【００５９】
図２（ｂ）において、第１筒部４１０の第１通路４１００及び第２筒部４３０の第２通路４３００との間に差圧が発生していない状況下では、弾性体４４は、シールリップ４４０が第２筒部４３０の内周壁に当接することで、第１通路４１００と第２通路４３００との間の連通を遮断し、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。
【００６０】
例えば、図３（ｂ）に矢印で示したように、第１筒部４１０の第１通路４１００に所定値以上の陽圧が加わると（すなわち第１通路４１００内の圧力が第２通路４３００内の圧力よりも所定値以上高くなると）、弾性体４４は、陽圧の大きさに応じてシールリップ４４０が上方に撓む態様で変形することで、第２筒部４３０の内周壁との間に隙間Ｃを形成する。そして、第１筒部４１０側からの気体は、この隙間Ｃを通過して、第２筒部４３０側へ流通し、容器本体１０の内部に供給される。
【００６１】
また、第２筒部４３０の第２通路４３００に所定値以上の陰圧が加わった場合は、第１筒部４１０の第１通路４１００に所定値以上の陽圧が加わった場合と同様に作用し、第２筒部４３０の内周壁との間に隙間Ｃを形成する。
【００６２】
逆に、第２筒部４３０の第２通路４３００に陽圧が加わると（すなわち第２通路４３００内の圧力が第１通路４１００内の圧力よりも高くなると）、図３（ａ）に示すように、弾性体４４は、シールリップ４４０が逆方向の下方に撓み、第２筒部４３０の内周壁に更に押し付けられるように変形する。これにより、第２筒部４３０の内周壁と弾性体４４との間に隙間が生じず、第２筒部４３０側からの気体は、流通が遮断され、第１筒部４１０側へ流通することができない。
【００６３】
また、第１筒部４１０の第１通路４１００に所定値以上の陰圧が加わった場合も、第２筒部４３０の第２通路４３００に所定値以上の陽圧が加わった場合と同様に作用する。
【００６４】
シールリップ４４０が隙間Ｃを形成する態様で撓むことで第１通路４１００と第２通路４３００との間で気体の流通が可能となる圧力（シールリップ４４０の開放圧力）は、弾性体４４の材料、硬度、形状・寸法、厚み、シールリップ４４０の厚みを変更することで調節可能である。シールリップ４４０の厚みの好ましい例については後述する。
【００６５】
バルブ体５０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流通路を介して排気部１７と連通している。そして、バルブ体５０では、バルブ体４０とは逆に、図４に示すように、弾性体４４に対して上下逆向きに装着された弾性体４４Ａを備え、容器本体１０から外部への気体の排気は可能にするが、容器本体１０の内部への気体の供給は不能にする、排気部１７用のバルブ体５０として用いられる。
【００６６】
バルブ体５０の弾性体４４Ａは、図２及び図４に示すように、バルブ体４０の弾性体４４と向きが異なるだけである。従って、弾性体４４Ａのシールリップ４４０は、図４に示すように、下側で第１筒部４１０の内周壁（連通路の内周壁の一例）に当接する。
【００６７】
バルブ体５０が気体の流通を制御する状態は、図３を参照して上述したバルブ体４０が気体の流通を制御する状態と実質的に同様である。すなわち、排気部１７用のバルブ体５０については、バルブ体４０に対して逆方向に、気体の流通を遮断又は可能とすることになる。つまり、第２筒部４３０の第２通路４３００に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体４４は、陽圧の大きさに応じてシールリップ４４０が下方に撓む態様で変形することで、第１筒部４１０の内周壁との間に隙間Ｃを形成する（図示せず）。そして、第２筒部４３０側からの気体は、この隙間Ｃを通過して、第１筒部４１０側へ流通し、容器本体１０の外部に排出される。
【００６８】
以上説明したとおり、実施例１の基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０に対する気体の流通を制御するバルブ体４０、５０と、を備える。そして、バルブ体４０、５０は、容器本体１０の外部に連通する第１通路４１００と、容器本体１０の内部に連通する第２通路４３００とを仕切る弾性体４４を有する。弾性体４４は、第１通路４１００内の圧力が第２通路４３００内の圧力よりも高くなると（すなわち差圧が生じると）変形することで、容器本体１０に対する気体の流通を可能にする。
【００６９】
従って、バルブ体４０の一方側から気体が導入され（陽圧になり）、差圧が開放圧力に達すると、弾性体４４の、隙間Ｃが形成されるため、導入された気体はバルブ体４０の他方側へ供給されることになる。これは、バルブ体５０についても同様である。
【００７０】
また、基板収納容器１は、金属性の部材を用いないバルブ体４０、５０を備えているため、収納する基板Ｗに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体４０、５０が作動しないようなことが起こり難い。
【００７１】
また、弾性体４４の取り付け向きを上下反転させるだけで（弾性体４４Ａ参照）、給気方向又は排気方向に気体を流通させることができるから、給気部１６や排気部１７の位置や個数にかかわらず、多様な気体の給気及び排気ルートに対応することができる。
【００７２】
次に、他の実施例について説明する。以下では、上述した実施例１と同一であってよい構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略又は簡略化する場合がある。
【００７３】
［実施例２］実施例２は、上述した実施例１に対して、バルブ体４０がバルブ体４０Ｂで置換された点が異なる。バルブ体４０Ｂは、上述した実施例１によるバルブ体４０に対して、第１筒部４１０及び第２筒部４３０が、別体である第１筒部４１０Ｂ（第１円筒状部位の一例）及び第２筒部４３０Ｂ（第２円筒状部位の一例）で置換された点が異なる。
【００７４】
図５Ａは、給気部１６に連通するバルブ体４０Ｂを含む部位の斜視断面図である。
【００７５】
バルブ体４０Ｂは、上下方向に貫通穴８０１を有するゴム部材８００に嵌合される。ゴム部材８００は、容器本体１０に設けられる。貫通穴８０１の内径は、バルブ体４０Ｂの外径よりも有意に小さい。これにより、ゴム部材８００の貫通穴８０１内にバルブ体４０Ｂが挿入されることで、バルブ体４０Ｂがゴム部材８００に対して確実に保持される。
【００７６】
第１筒部４１０Ｂ及び第２筒部４３０Ｂは、上下方向で当接し合う。すなわち、第１筒部４１０Ｂ及び第２筒部４３０Ｂは、第１筒部４１０Ｂの上側端面が第２筒部４３０Ｂの下側端面と当接し合う態様で、結合される。第１筒部４１０Ｂの上側端面と第２筒部４３０Ｂの下側端面とは、上下方向に視て軸部４４２まわりで全周にわたり当接する。なお、第１筒部４１０Ｂの上側端面と第２筒部４３０Ｂの下側端面とは、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、互いに相補関係となる上下方向の段差４５０を有してよい。これにより、第１筒部４１０Ｂの上側端面と第２筒部４３０Ｂの下側端面との間の気密性を高めることができる。
【００７７】
第１筒部４１０Ｂ及び第２筒部４３０Ｂは、協動して、容器本体１０の外部と容器本体１０の内部とを連通させる連通路９００を形成する。第１筒部４１０Ｂは、下側の支持部４９２を形成し、第２筒部４３０Ｂは、上側の支持部４９０を形成する。
【００７８】
なお、第１筒部４１０Ｂ及び第２筒部４３０Ｂの当接位置（図５Ａでは７００で指示）は、弾性体４４のシールリップ４４０よりも、シールリップ４４０の傘形状の開き側に位置する（すなわち上側に位置する）。ただし、変形例では、第１筒部４１０Ｂ及び第２筒部４３０Ｂの当接位置は、逆側に位置してもよい。いずれの場合も、実施例２では、ゴム部材８００が容器本体１０とバルブ体５０Ｂとの間に密接することから、実施例１に比べて、第１筒部４１０Ｂ及び第２筒部４３０Ｂの当接位置を介した気体の漏れの可能性は低い。
【００７９】
図５Ｂは、排気部１７に連通するバルブ体５０Ｂを含む部位の断面図である。バルブ体５０Ｂは、バルブ体４０Ｂに対して、弾性体４４が弾性体４４Ａで置換された点が異なる。弾性体４４Ａは、弾性体４４に対して上下反転した向きで取り付けられる。同様に、第１筒部４１０Ｂ及び第２筒部４３０Ｂの当接位置（図５Ｂでは７００で指示）は、弾性体４４のシールリップ４４０よりも、シールリップ４４０の傘形状の開き側に位置する（すなわち下側に位置する）。ただし、変形例では、第１筒部４１０Ｂ及び第２筒部４３０Ｂの当接位置は、逆側に位置してもよい。いずれの場合も、実施例２では、ゴム部材８００が容器本体１０とバルブ体５０Ｂとの間に密接することから、実施例１に比べて、第１筒部４１０Ｂ及び第２筒部４３０Ｂの当接位置を介した気体の漏れの可能性は低い。
【００８０】
実施例２によっても、上述した実施例１と同様の効果が得られる。また、実施例２によれば、第１筒部４１０Ｂ及び第２筒部４３０Ｂが別体であるので、第１筒部４１０Ｂ及び第２筒部４３０Ｂに対して弾性体４４を装着する作業性が良好である。
【００８１】
［実施例３］図６は、実施例３による容器本体１０におけるバルブ体４０Ｂを示す概略断面図である。図６には、バルブ体４０Ｂが非常に概略的に示されている。
【００８２】
図６に示すように、気体導入部６０は、容器本体１０の開口１１側に位置し、外部の気体供給源からの気体供給配管に連結される。連通路４２０は、気体導入部６０に連通する。連通路４２０にはバルブ体４０Ｂが設けられる。なお、連通路４２０は、可撓性を有するチューブであり、バルブ体４０Ｂが嵌入される。なお、排気部１７に対して設けられるバルブ体（図示せず）の場合は、弾性体の向きが図６に示す向きとは逆になるように、排気部１７に連通する連通路に装着されることになる。
【００８３】
実施例３の基板収納容器１であっても、金属性の部材を用いないバルブ体４０Ｂを備えているため、収納する基板Ｗに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体４０Ｂが作動しないようなことが起こり難い。
【００８４】
また、気体導入部６０からバルブ体４０Ｂまでの距離が長く、また、気体導入部６０の内部通路６０００と、第１筒部４１０の第１通路４１００とが略直角方向に屈曲しているため、容器本体１０を液体で洗浄した場合でも、バルブ体４０Ｂまで液体が届き難くなり、容器本体１０の乾燥後の水残りを防止することができる。そして、バルブ体４０Ｂ（弾性体４４）よりも奥側の給気部１６及び排気部１７には、液体が届くことがない。
【００８５】
［実施例４］次に、実施例４として、開放圧力を低減できるシールリップの構造のいくつかのバリエーションについて説明する。
【００８６】
実施例４では、シールリップ（シールリップ４４０Ｃなど）は、上面視で（上下方向に視て）、中心まわりの周方向の第１領域と第２領域とで肉厚が異なる。すなわち、上述した実施例１では、シールリップ４４０は、中心まわりの周方向で一定の肉厚であるが、実施例４では、以下で説明するように、シールリップ（シールリップ４４０Ｃなど）は、中心まわりの周方向の第１領域と第２領域とで肉厚が異なる。
【００８７】
図７Ａは、弾性体４４Ｃを示す平面図であり、図７Ｂは、図７ＡのラインＡ−Ａに沿った断面図である。図７Ａには、シールリップ４４０Ｃの中心が符合“Ｏ”で示されている。シールリップ４４０Ｃの中心Ｏは、軸部４４２の中心にも対応する。以下では、説明上、径方向とは、中心Ｏを基準としたシールリップ（シールリップ４４０Ｃなど）の径方向を指す。また、周方向とは、中心Ｏを基準としたシールリップ（シールリップ４４０Ｃなど）の周方向を指す。
【００８８】
なお、図７Ｂでは、軸部４４２は、支持部４９０、４９２により支持される部位以外の部分について、外径が上下方向に沿って一定でない。これは、製造性の観点（型抜きの観点）からの形態である。
【００８９】
弾性体４４Ｃは、図７Ａに示すように、中心Ｏまわりの周方向の第１領域４４０１と第２領域４４０２とで肉厚が異なる。
【００９０】
より具体的には、弾性体４４Ｃは、第１領域４４０１の方が第２領域４４０２よりも肉厚が大きい。第１領域４４０１の肉厚は、好ましくは、第２領域４４０２の肉厚の１．２倍から１．５倍である。
【００９１】
第１領域４４０１は、図７Ａに示すように、径方向内側（軸部４４２側）から径方向外側に延在する帯状の形態である。図７Ａに示す例では、第１領域４４０１の帯状の形態の幅（延在方向に対して垂直方向の幅）は、略一定であるが、変化してもよい。また、図７Ａに示す例では、第１領域４４０１は、軸部４４２側から先端部まで全体にわたり延在するが、一部だけに延在してもよい。
【００９２】
図７Ａ及び図７Ｂに示す弾性体４４Ｃによれば、周方向の一部に肉厚が増加された第１領域４４０１が設けられるので、周方向の全体が第２領域４４０２と同じ肉厚となる場合に比べて、開放圧力を低減できる。なお、開放圧力は、上述のように、気体の流通が可能となる圧力、すなわちシールリップ４４０Ｃと連通路の内周壁との間に隙間（図３（ｂ）の隙間Ｃ参照）ができる際の圧力である。
【００９３】
具体的には、例えばシールリップ４４０のような周方向の全体が一定の肉厚の構造である場合は、差圧に対して全体として変形するため、変形態様が周方向で一定であり、シールリップ４４０全体としての弾性変形量が小さくなる傾向がある。
【００９４】
これに対して、シールリップ４４０Ｃによれば、差圧に対して肉薄部（すなわち第２領域４４０２）だけが有意に変形するため、肉薄部での変形量を増加できる。特に、第２領域４４０２のうちの、第１領域４４０１に周方向で隣接する部位では、変形量が大きくなる傾向がある。従って、図７Ａ及び図７Ｂに示す弾性体４４Ｃによれば、同一の差圧に対して、弾性体４４のシールリップ４４０の全体としての変形量よりも、第２領域４４０２での変形量が大きくなるので、開放圧力を低減できる。
【００９５】
なお、図７Ａ及び図７Ｂでは、弾性体４４Ｃにおいて、第１領域４４０１における厚肉化される側（肉厚が増加される側）は、上側である。すなわち、弾性体４４Ｃは、第１領域４４０１において、傘状の形態の内側の表面が厚肉化される。ただし、変形例では、傘状の形態の外側が厚肉化されてもよいし、両側で厚肉化されてもよい。
【００９６】
図８Ａから図８Ｃは、他のバリエーションを示す平面図である。
【００９７】
図８Ａから図８Ｃに示す例では、第１領域４４０１は、上面視で（上下方向に視て）、中心Ｏまわりの周方向で互いに離れる態様で複数個所設けられる。
【００９８】
具体的には、図８Ａに示す例では、第１領域４４０１は、上面視で、中心Ｏまわりの周方向で互いに離れる態様で２か所設けられる。図８Ａに示す例では、２つの第１領域４４０１は、対角の位置関係であるが、対角の位置関係でなくてもよい。
【００９９】
図８Ｂに示す例では、第１領域４４０１は、上面視で、中心Ｏまわりの周方向で互いに離れる態様で３か所設けられる。図８Ｂに示す例では、３つの第１領域４４０１は、周方向で１２０度ごとに設けられるが、他の態様であってもよい。
【０１００】
図８Ｃに示す例では、第１領域４４０１は、上面視で、中心Ｏまわりの周方向で互いに離れる態様で４か所設けられる。図８Ｃに示す例では、４つの第１領域４４０１は、周方向で９０度ごとに設けられるが、他の態様であってもよい。
【０１０１】
図８Ａから図８Ｃに示す例によっても、周方向の一部に肉厚が増加された第１領域４４０１が設けられるので、周方向の全体が第２領域４４０２と同じ肉厚となる場合に比べて、開放圧力を低減できる。また、第１領域４４０１が複数個所設けられるので、第２領域４４０２のうちの、第１領域４４０１に周方向で隣接する部位が増える。第２領域４４０２のうちの、第１領域４４０１に周方向で隣接する部位は、上述のように変形し易い傾向がある。従って、第１領域４４０１が複数個所設けられることで、開放圧力を更に低減することが期待できる。
【０１０２】
以上、各実施例について詳述したが、特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。また、前述した実施例の構成要素を全部又は複数を組み合わせることも可能である。
【０１０３】
例えば、上述した実施例１（実施例２及び実施例３も同様）では、バルブ体４０（バルブ体５０も同様）は、シールリップ４４０から連続して上方向及び下方向に延在する軸部４４２を備えるが、これに限られない。例えば、図９に示すバルブ体４０Ｃの弾性体４４Ｃのように、シールリップ４４０から連続して上方向のみに延在する軸部４４２Ｃを備えてもよい。また、図示しないが、逆に、シールリップ４４０から連続して上方向のみに延在する軸部を備えてもよい。
【０１０４】
また、上述した実施例１（実施例２及び実施例３も同様）では、軸部４４２は、弾性体４４の一部であるが、これに限られない。例えば、軸部４４２は、弾性体４４とは別に形成されてもよい。例えば、軸部４４２は、上下の支持部４９０、４９２にわたり上下方向に延在する樹脂製の部材であってもよい。あるいは、図９に示すバルブ体４０Ｄの弾性体４４Ｄのように、上下の支持部４９０Ｄ、４９２Ｄが弾性体４４Ｄのシールリップ４４０を上下から挟持する態様で指示してもよい。この場合、支持部４９０Ｄ、４９２Ｄのいずれか一方が省略されて、シールリップ４４０が支持部４９０Ｄ、４９２Ｄの他方に接着されてもよい。
【符号の説明】
【０１０５】
１  基板収納容器
１０  容器本体
１１  開口
１２  シール面
１３  支持体
１４  ロボティックフランジ
１５  マニュアルハンドル
１６  給気部
１７  排気部
１８  貫通孔
２０  蓋体
２１  取付溝
２２  凸部
３０  パッキン
４０  バルブ体
４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄ  バルブ体
４１  固定筒
４２  保持筒
４３  中蓋筒
４４  弾性体
４４Ａ  弾性体
４４Ｃ  弾性体
４５  シール部材
４６  フィルタ
４７  シール部材
５０  バルブ体
６０  気体導入部
１８０  リブ
４１０  第１筒部
４１０Ｂ  第１筒部
４１１  通気口
４１２  螺子溝
４１３  フランジ
４２０  連通路
４２１  通気口
４２２  螺子溝
４２３  フランジ
４２４  区画リブ
４３０  第２筒部
４３０Ｂ  第２筒部
４４０、４４０Ｃ  シールリップ
４４２  軸部
４９０  支持部
４９２  支持部
９００  連通路
４１００  第１通路
４３００  第２通路
４４０１  第１領域
４４０２  第２領域
６０００  内部通路
Ｃ  隙間
Ｏ  中心
Ｗ  基板
【図１】
2019175973.tif 000003
【図２】
2019175973.tif 000004
【図３】
2019175973.tif 000005
【図４】
2019175973.tif 000006
【図５Ａ】
2019175973.tif 000007
【図５Ｂ】
2019175973.tif 000008
【図６】
2019175973.tif 000009
【図７Ａ】
2019175973.tif 000010
【図７Ｂ】
2019175973.tif 000011
【図８Ａ】
2019175973.tif 000012
【図８Ｂ】
2019175973.tif 000013
【図８Ｃ】
2019175973.tif 000014
【図９】
2019175973.tif 000015
【図１０】
2019175973.tif 000016