(57)【要約】【課題】ウェハの傾きに関し、傾きの有無より詳細な情報を特定する。【解決手段】センサシステム（１）は、光電センサ（６）が、検出対象のウェハ（１０）を検出している期間の光量の変化に基づき、ウェハ（１０）の傾きの方向を特定するＰＬＣ（２）を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出するセンサシステムであって、
検出光を投光する投光部、および、前記投光部によって投光された前記検出光を受光する受光部を有する光電センサと、
前記検出光の進行方向が、正常に収納されている前記ウェハの平面に平行となる状態で、前記光電センサを、前記検出光の進行方向に垂直な方向に移動させる移動制御装置と、
前記光電センサの移動中に、前記受光部が受光した光量を取得する取得装置と、
前記光電センサが、検出対象のウェハを検出している期間の前記光量の変化に基づき、前記ウェハの傾きの方向を特定する特定装置と、
を備える、
センサシステム。
【請求項２】
前記特定装置は、さらに、前記光量の変化に基づき、前記ウェハの傾きの角度を特定する、
請求項１に記載のセンサシステム。
【請求項３】
前記センサシステムは、前記ウェハを搬送する搬送装置であって、前記ウェハを前記ウェハカセットから取り出すためのチャックを備えた搬送装置をさらに備え、
前記特定装置は、特定した前記ウェハの傾きおよび角度に応じて、前記チャックの傾きを制御する、
請求項２に記載のセンサシステム。
【請求項４】
前記移動制御装置は、前記搬送装置であり、
前記光電センサは、前記チャックの先端に設けられている、
請求項３に記載のセンサシステム。
【請求項５】
前記検出光に対して垂直であり、かつ、前記移動制御装置による前記光電センサの移動方向に対して垂直である軸方向に、複数の前記光電センサを有する、
請求項１から４のいずれか１項に記載のセンサシステム。
【請求項６】
ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出するセンサシステムを用いた傾き検出方法であって、
前記センサシステムは、検出光を投光する投光部、および、前記投光部によって投光された前記検出光を受光する受光部を有する光電センサを備え、
前記検出光の進行方向が、正常に収納されている前記ウェハの平面に平行となる状態で、前記光電センサを、前記検出光の進行方向に垂直な方向に移動させる移動ステップと、
前記移動ステップ中に、前記受光部が受光した光量を取得する取得ステップと、
前記光電センサが、検出対象のウェハを検出している期間の前記光量の変化に基づき、前記ウェハの傾きの方向を特定する特定ステップと、を含む、傾き検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光電センサを用いて、ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出するセンサシステムなどに関する。
【背景技術】
【０００２】
光電センサを移動させながらウェハに検出光を投光し、受光した検出光の光量に基づいて、ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出する技術が従来技術として知られている。下記特許文献１には、ウェハカセットにおけるウェハ収納部の近傍の範囲外に、所定の閾値を超える受光量のピークがあるか否かを判断し、該ピークがあると判断した場合、ウェハの斜め挿入などの異常が生じていると判断する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１５０６２４号公報（２０００年５月３０日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示された技術では、ウェハが傾いているか否かを判断することしかできない。換言すれば、該技術では、傾きの詳細な情報をユーザが知ることができない。
【０００５】
上記の課題を鑑み、本発明の一態様は、ウェハの傾きに関し、傾きの有無より詳細な情報を特定するセンサシステムなどを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るセンサシステムは、ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出するセンサシステムであって、検出光を投光する投光部、および、前記投光部によって投光された前記検出光を受光する受光部を有する光電センサと、前記検出光の進行方向が、正常に収納されている前記ウェハの平面に平行となる状態で、前記光電センサを、前記検出光の進行方向に垂直な方向に移動させる移動制御装置と、前記光電センサの移動中に、前記受光部が受光した光量を取得する取得装置と、前記光電センサが、検出対象のウェハを検出している期間の前記光量の変化に基づき、前記ウェハの傾きの方向を特定する特定装置と、を備える。
【０００７】
上記の構成によれば、光電センサが検出対象のウェハを検出している期間に、受光部が受光した光量の変化に基づき、ウェハの傾きの方向を特定する。これにより、上記センサシステムは、傾きの有無より詳細な情報を特定することができる。
【０００８】
なお、「傾きの方向」としては、ウェハの外周を形成する各点のうち、水平面を基準として最も上にある点から最も下にある点への方向を規定すればよい。
【０００９】
上記一態様に係るセンサシステムにおいて、前記特定装置は、さらに、前記光量の変化に基づき、前記ウェハの傾きの角度を特定してもよい。
【００１０】
上記の構成によれば、ウェハの傾きの方向に加え、傾きの角度を特定する。これにより、上記センサシステムは、ウェハの傾きに関し、さらに詳細な情報を特定することができる。
【００１１】
上記一態様に係るセンサシステムにおいて、前記ウェハを搬送する搬送装置であって、前記ウェハを前記ウェハカセットから取り出すためのチャックを備えた搬送装置をさらに備え、前記特定装置は、特定した前記ウェハの傾きおよび角度に応じて、前記チャックの傾きを制御してもよい。
【００１２】
上記の構成によれば、特定装置が特定したウェハの傾きおよび角度に応じて、チャックの傾きを制御するので、ウェハが傾いていたとしても、ウェハを傷つけることなくウェハカセットから取り出すことができる。よって、ウェハが傾いていた場合であっても、搬送を継続することができる。
【００１３】
上記一態様に係るセンサシステムにおいて、前記移動制御装置は、前記搬送装置であり、前記光電センサは、前記チャックの先端に設けられていてもよい。
【００１４】
上記の構成によれば、光電センサがチャックの先端に設けられるので、光電センサを移動させながらウェハへ検出光を投光させる処理を、搬送装置が行うこととなる。よって、ウェハが傾いていない場合は、該ウェハのウェハカセットからの取り出し、およびウェハの搬送を、傾き検出の後にスムーズに行うことができる。
【００１５】
上記一態様に係るセンサシステムにおいて、前記検出光に対して垂直であり、かつ、前記移動制御装置による前記光電センサの移動方向に対して垂直である軸方向に、複数の前記光電センサを有してもよい。
【００１６】
上述のように規定される傾きの方向が、検出光および光電センサの移動方向に対して垂直である方向である場合、光電センサが１つのみでは特定することができない。これに対して上記の構成によれば、検出光および光電センサの移動方向に対して垂直な軸方向に、複数の光電センサを有するので、このような傾きの方向を特定することができる。
【００１７】
また、上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る傾き検出方法は、ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出するセンサシステムを用いた傾き検出方法であって、前記センサシステムは、検出光を投光する投光部、および、前記投光部によって投光された前記検出光を受光する受光部を有する光電センサを備え、前記検出光の進行方向が、正常に収納されている前記ウェハの平面に平行となる状態で、前記光電センサを、前記検出光の進行方向に垂直な方向に移動させる移動ステップと、前記移動ステップ中に、前記受光部が受光した光量を取得する取得ステップと、前記光電センサが、検出対象のウェハを検出している期間の前記光量の変化に基づき、前記ウェハの傾きの方向を特定する特定ステップと、を含む。
【００１８】
上記の構成によれば、本発明の一態様に係るセンサシステムと同様の作用効果を奏する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の一態様によれば、ウェハの傾きに関し、傾きの有無より詳細な情報を特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係るセンサシステムに含まれる各装置のハードウェア構成の一例を模式的に例示する図である。
【図２】（ａ）は、ウェハの一例を示す図であり、（ｂ）は、ウェハの傾きの検出のための、ウェハへの検出光の照射の一例を示す図であり、（ｃ）は、検出光の光量の経時変化の一例を示す図である。
【図３】図１に示す搬送ロボットによる、ウェハカセットからウェハを取り出す動作の一例を示す図である。
【図４】ウェハの傾き検出における、ウェハと、図１および図３に示すチャックとの位置関係の一例を示す図である。
【図５】図１に示すＰＬＣの機能構成の一例を模式的に例示する図である。
【図６】図１に示すＰＬＣが実行する処理の手順の一例を示すフローチャートである。
【図７】（ａ）は、ウェハへの検出光の照射の一例を示す図であり、ウェハが投光部に近い側を下にして傾いている場合を示す図である。（ｂ）は、ウェハが（ａ）に示すように傾いている場合の検出光の光量の経時変化の一例を示す図である。
【図８】（ａ）は、ウェハへの検出光の照射の一例を示す図であり、ウェハが、受光部に近い側を下にして傾いている場合を示す図である。（ｂ）は、ウェハが（ａ）に示すように傾いている場合の検出光の光量の経時変化の一例を示す図である。
【図９】（ａ）および（ｂ）は、ウェハへの検出光の照射の一例を示す図であり、ウェハが、光電センサに近い側を下にして傾いている場合を示す図である。（ｃ）は、ウェハが（ａ）および（ｂ）に示すように傾いている場合の検出光の光量の経時変化の一例を示す図である。
【図１０】（ａ）および（ｂ）は、ウェハへの検出光の照射の一例を示す図であり、ウェハが、光電センサに遠い側を下にして傾いている場合を示す図である。（ｃ）は、ウェハが（ａ）および（ｂ）に示すように傾いている場合の検出光の光量の経時変化の一例を示す図である。
【図１１】本発明の一変形例に係るセンサシステムに含まれる各装置のハードウェア構成の一例を模式的に例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の一側面に係る実施の形態（以下、「本実施形態」とも表記する）を、図面に基づいて説明する。
【００２２】
§１  適用例
まず、図１および図２を用いて、本発明が適用される場面の一例について説明する。図１は、本実施形態に係るセンサシステム１に含まれる各装置のハードウェア構成の一例を模式的に例示する図である。センサシステム１は、ウェハカセットに収納されたウェハの傾きを検出するセンサシステムである。
【００２３】
図１に示されるとおり、センサシステム１は、ＰＬＣ（programmable logic controller）２、センサユニット３、搬送ロボット４、チャック５、および光電センサ６を含んでいる。ＰＬＣ２、センサユニット３、搬送ロボット４、およびチャック５の詳細は後述する。光電センサ６は、図１に示されるとおり、投光部６１および受光部６２を備え、一例としてファイバセンサで実現される。投光部６１は検出光を投光する。受光部６２は該検出光を受光する。
【００２４】
図２の（ａ）は、ウェハの一例を示す図であり、（ｂ）は、ウェハの傾きの検出のための、ウェハへの検出光の照射の一例を示す図であり、（ｃ）は、検出光の光量の経時変化の一例を示す図である。図２の（ａ）に示されるウェハ１０は、円柱形状を有している。具体的には、ウェハ１０は、図２の（ａ）に示すとおり、ウェハ面１０１（ウェハの平面）および外周面１０２を有している。
【００２５】
図２の（ｂ）に示されるとおり、投光部６１および受光部６２は、ウェハ１０を挟むように配置される。すなわち、本実施形態に係る光電センサ６は、透過光検出タイプの光電センサで実現される。
【００２６】
センサシステム１は、図２の（ｂ）に示されるとおり、検出光６０の進行方向が、正常に収納されているウェハ１０のウェハ面１０１に平行となる状態で、光電センサ６、すなわち、投光部６１および受光部６２を、検出光６０の進行方向に垂直な方向に移動させる。なお、図示の例では、図２の上から下へ向かって光電センサ６を移動させているが、移動方向は図２の（ｂ）に示される例と逆方向であってもよい。また、センサシステム１は、図２の（ｂ）に示されるとおり、光電センサ６を制御して、光電センサ６の移動中に、投光部６１に検出光６０を継続して投光させ、受光部６２に該検出光６０を受光させる。なお、以降、光電センサ６を移動させながら検出光６０の投光および受光を行うことを、「スキャン」とも表記する。
【００２７】
受光部６２が受光した検出光６０の光量の経時変化は、例えば図２の（ｃ）に示される軌跡となる。ポイントＰ１以前において、検出光はウェハ面１０１に到達していないため、受光部６２が受光した検出光６０の光量は最大となっている。ポイントＰ１〜Ｐ２間において、検出光６０が図２における上側のウェハ面１０１に到達することにより、検出光６０はウェハ１０によって遮光される。このため、上記光量は減少し、ポイントＰ２で最小値となる。ポイントＰ２〜Ｐ３間において、図２における下側のウェハ面１０１に到達することにより、該光量は増加し、ポイントＰ３で最大値に戻る。
【００２８】
図２の（ｂ）に示すように、水平面（換言すれば、検出光６０）に対してウェハ面１０１が平行、すなわち、ウェハ１０が傾いていない場合、検出光６０の光量の経時変化を示す軌跡は、図２の（ｃ）に示す軌跡となる。一方、水平面に対してウェハ面１０１が平行でない、すなわち、ウェハ１０が傾いている場合、上記軌跡は、図２の（ｃ）に示す軌跡と異なる。該異なる軌跡の詳細については後述する。
【００２９】
センサシステム１は、光量の経時変化に基づき、ウェハ１０が傾いているか否か、および、傾いている場合は傾きの方向および角度を特定する。これにより、センサシステム１は、ウェハ１０の傾きについて、傾きの有無より詳細な情報を特定することができる。
【００３０】
なお、傾きの方向としては、例えば、ウェハ面１０１の外周を形成する各点のうち、水平面を基準として最も上にある点から最も下にある点への方向を規定すればよい。また、傾きの角度としては、例えば、水平面に対するウェハ面１０１の角度を規定すればよい。
【００３１】
§２  構成例
［ハードウェア構成］
＜ＰＬＣ＞
次に、図１を用いて、本実施形態に係るＰＬＣ２のハードウェア構成の一例について説明する。ＰＬＣ２は、センサシステム１に含まれるセンサユニット３および搬送ロボット４を制御する制御装置である。
【００３２】
図１の例では、ＰＬＣ２は、制御部２１、記憶部２２、および通信インタフェース２３を備える。ＰＬＣ２が備えるこれらの構成は、通信バスによって互いに電気的に接続される。本実施形態に係るＰＬＣ２は、本発明の「特定装置」に相当する。
【００３３】
制御部２１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）などを含み、情報処理に応じて各構成要素の制御を行う。記憶部２２は、例えば、ハードディスクドライブ、ソリッドステートドライブなどの補助記憶装置である。
【００３４】
通信インタフェース２３は、例えば、有線ＬＡＮ（Local Area Network）モジュール、無線ＬＡＮモジュール等であり、ネットワークを介した有線又は無線通信を行うためのインタフェースである。
【００３５】
なお、ＰＬＣ２の具体的なハードウェア構成に関して、実施形態に応じて、構成要素の省略、置換および追加が可能である。例えば、制御部２１は、複数のプロセッサを含んでいてもよい。
【００３６】
＜搬送ロボット＞
次に、図１、図３および図４を用いて、本実施形態に係る搬送ロボット４のハードウェア構成の一例について説明する。図３は、搬送ロボット４によるウェハカセットからウェハ１０を取り出す動作の一例を示す図である。図４は、ウェハ１０の傾き検出における、ウェハ１０とチャック５との位置関係の一例を示す図である。
【００３７】
図１の例では、搬送ロボット４は、チャック５を備えている。チャック５は、一例として、図３に示されるとおりＵ字型（あるいは、Ｙ字型）の部材である。図３では図示していないが、チャック５の根元側は、搬送ロボット４と接続されている。ＰＬＣ２により搬送ロボット４が制御されることにより、チャック５は、図３に示されるとおり、ウェハカセット２０に収納されたウェハ１０の下側に挿入され、ウェハ１０を持ち上げる。これにより、ウェハ１０は、ウェハカセット２０に載置された状態から、チャック５に載置された状態となり、ウェハカセット２０から取り出される。搬送ロボット４は、ＰＬＣ２により制御され、チャック５に載置したウェハ１０を搬送する。本実施形態に係る搬送ロボット４は、本発明の「搬送装置」に相当する。
【００３８】
また、図１の例では、チャック５は、光電センサ６、すなわち、投光部６１および受光部６２を備えている。一例として、投光部６１および受光部６２は、図４に示されるとおり、チャック５の先端に設けられている。このため、本実施形態では、搬送ロボット４によるチャック５の移動により、光電センサ６の移動が行われる。つまり、本実施形態に係る搬送ロボット４は、本発明の「移動制御装置」にも相当する。
【００３９】
なお、以降、チャック５において、投光部６１および受光部６２が設けられた部分を、「手」とも表記する。図４の例では、チャック５の一方の手に２つの投光部６１が設けられ、他方の手に２つの受光部６２が設けられている。換言すれば、チャック５には光電センサ６が複数（２つ）設けられている。２つの光電センサ６は、検出光６０に対して垂直であり（図４参照）、かつ、光電センサ６の移動方向に対して垂直な（図２の（ｂ）参照）軸方向、すなわち、図４の上下方向に並んでいる。
【００４０】
なお、以降、チャック５の先端側に設けられた光電センサ６を、第１光電センサ６ａとも表記する。第１光電センサ６ａの投光部６１および受光部６２は、図４に示されるとおり、投光部６１ａおよび受光部６２ａとも表記する。一方、チャック５の搬送ロボット４側に設けられた光電センサ６を、第２光電センサ６ｂとも表記する。第２光電センサ６ｂの投光部６１および受光部６２は、投光部６１ｂおよび受光部６２ｂとも表記する。
【００４１】
図４に示される例のように、ウェハ１０の直径が２００ｍｍの場合、一例として、投光部６１ａおよび受光部６２ａは、図４に示されるとおり、ウェハ面１０１の中心から７０ｍｍの位置に検出光６０ａが照射される、チャック５の位置に設けられる。また、一例として、投光部６１ｂおよび受光部６２ｂは、図４に示されるとおり、ウェハ面１０１の中心から７０ｍｍの位置から、１００ｍｍの位置（すなわち、ウェハ面１０１の外周）までの所定の位置に検出光６０ｂが照射される、チャック５の位置に設けられる。
【００４２】
なお、投光部６１ａおよび受光部６２ａ、並びに、投光部６１ｂおよび受光部６２ｂは、ウェハ１０に検出光が照射される、チャック５の位置に設けられていればよく、該位置は、図４に示す位置に限定されない。
【００４３】
また、本実施形態では、図４におけるチャック５の左側の手の先端に投光部６１を設け、右側の手の先端に受光部６２を設ける例を説明する。ただし、左側の手の先端に受光部６２、右側の手の先端に投光部６１を設けてもよい。また、第１光電センサ６ａの投光部６１ａと、第２光電センサ６ｂの投光部６１ｂとのうち、一方を左側の手の先端に設け、他方を右側の手の先端に設けてもよい。このように構成することにより、検出光６０ａと検出光６０ｂとの進行方向が互いに逆方向となる。これにより、第１光電センサ６ａの投光部６１ａが投光した検出光６０ａを、第２光電センサ６ｂの受光部６２ｂが受光してしまうといった状況を防ぐことができる。よって、受光におけるノイズの発生を防ぐことができる。
【００４４】
＜センサユニット３＞
センサユニット３は、ＰＬＣ２により制御され、光電センサ６を制御する。具体的には、センサユニット３は、投光部６１からの検出光６０の投光の開始および停止を制御する。より具体的には、センサユニット３は、光電センサ６の移動中に、投光部６１に検出光６０を継続して投光させる。また、センサユニット３は、受光部６２が受光した検出光６０の光量を取得し、Ａ／Ｄ変換により光量データに変換した後にＰＬＣ２へ送信する。本実施形態に係るセンサユニット３は、本発明の「取得装置」に相当する。
【００４５】
［ＰＬＣの機能構成］
次に、図５を用いて、本実施形態に係るＰＬＣ２の機能構成の一例を説明する。図５は、本実施形態に係るＰＬＣ２の機能構成の一例を模式的に例示する図である。
【００４６】
本実施形態に係るＰＬＣ２の制御部２１は、機能構成として、傾き検出部２１１およびロボット制御部２１２を備える。また、記憶部２２は、一例として、基準データ２２１を少なくとも記憶している。
【００４７】
傾き検出部２１１は、センサユニット３から検出光６０の光量データを取得し、光電センサ６が検出対象のウェハ１０を検出している期間の光量の変化（経時変化）に基づき、ウェハ１０の傾きを特定する。なお、「検出対象のウェハ１０を検出している期間」とは、検出光６０がウェハ１０に照射されている期間（光電センサ６が外周面１０２を横切っている期間）である。ロボット制御部２１２は、搬送ロボット４を制御する。具体的には、ロボット制御部２１２は、傾き検出部２１１が特定したウェハの傾きに応じて、チャック５の傾きを制御する。
【００４８】
基準データ２２１は、傾き検出部２１１がウェハ１０の傾きを特定するときに使用する、ウェハ１０の傾きの基準となるデータである。基準データ２２１は、一例として、ウェハ１０が傾いていない場合の光量の経時変化であってもよい。この例の場合、基準データ２２１は、図２の（ｃ）に示す光量の経時変化であってもよい。
【００４９】
一例として、制御部２１が、適切なプログラムを実行することにより、傾き検出部２１１およびロボット制御部２１２として、上記の処理を実行してもよい。該プログラムは、一例として、ＲＯＭに記憶されていてもよい。この例の場合、制御部２１は、ＲＯＭに記憶されたプログラムをＲＡＭに展開する。そして、制御部２１は、ＲＡＭに展開されたプログラムをＣＰＵにより解釈および実行して、ＰＬＣ２の各構成要素を制御する。
【００５０】
なお、上記プログラムを記憶している記録媒体は、一時的でない有形の媒体であればよく、ＲＯＭの他、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介してＰＬＣ２に供給されてもよい。なお、本発明の一態様は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。
【００５１】
なお、傾き検出部２１１およびロボット制御部２１２が実行する処理の詳細については、後述する動作例で説明する。また、本実施形態では、傾き検出部２１１およびロボット制御部２１２が、いずれも汎用のＣＰＵによって実現されるものとして説明している。しかしながら、これらが１または複数の専用のプロセッサにより実現されてもよい。また、ＰＬＣ２の機能構成に関して、実施形態に応じて、適宜構成の省略、置換および追加が行われてもよい。
【００５２】
§３  動作例
次に、図６を用いて、ＰＬＣ２の動作例を説明する。図６は、ＰＬＣ２の処理手順の一例を示すフローチャートである。なお、以下で説明する処理手順は一例であり、本実施形態に係るＰＬＣ２の処理手順をこの例に限定する意図はない。また、以下で説明する処理手順について、実施の形態に応じて、適宜、ステップの省略、置換および追加が可能である。
【００５３】
ロボット制御部２１２は、搬送ロボット４に、検出光６０の進行方向に対して垂直な方向へのチャック５の移動を開始させる（ステップＳ１、移動ステップ）。ステップＳ１の処理は、ロボット制御部２１２が、通信インタフェース２３を介して搬送ロボット４へ制御命令を送信することにより実現される。また、ロボット制御部２１２は、チャック５の移動を開始させると、その旨を傾き検出部２１１へ通知する。
【００５４】
続いて、傾き検出部２１１は、ロボット制御部２１２からの通知を受けると、センサユニット３を制御して、各投光部６１から検出光６０のウェハ１０への投光を開始させる（ステップＳ２、取得ステップ）。本実施形態の例の場合、センサユニット３は、投光部６１ａに検出光６０ａを投光させ、投光部６１ｂに検出光６０ｂを投光させる。ステップＳ２の処理は、傾き検出部２１１が、通信インタフェース２３を介してセンサユニット３へ制御命令を送信することにより実現される。
【００５５】
続いて、センサユニット３は、各受光部６２が受光した検出光の光量を取得する（ステップＳ３、取得ステップ）。本実施形態の例の場合、センサユニット３は、受光部６２ａが受光した検出光６０ａの光量と、受光部６２ｂが受光した検出光６０ｂの光量とを取得する。センサユニット３は、取得した光量を光量データに変換し、受光部６２を識別する受光部識別情報と対応付けて一時的に保存する。そして、センサユニット３は、ＰＬＣ２から、光量データの送信指示を受領したとき、その時点で取得していたすべての光量データを、受光部識別情報が対応付けられた状態でＰＬＣ２へ送信する。
【００５６】
続いて、ＰＬＣ２の傾き検出部２１１は、受信した光量データを用いて生成される、光量の経時変化と基準データ２２１とを比較する（ステップＳ４）。そして、傾き検出部２１１は、比較結果に基づいてウェハ１０が傾いているか否かを判定する（ステップＳ５）。
【００５７】
（傾きの有無の特定）
ここで、図２、図７、および図９を用いて、ウェハ１０が傾いているか否かの判定の詳細について、一例を説明する。この例における基準データ２２１は、上述したように、図２の（ｃ）に示す光量の経時変化である。図７の（ａ）は、ウェハ１０への検出光の照射の一例を示す図であり、ウェハ１０が投光部６１に近い側を下にして傾いている場合を示す図である。なお、以降、図７の（ａ）に示すウェハ１０の傾きを、「左下がり」とも表記する。図７の（ｂ）は、左下がりの場合の検出光の光量の経時変化の一例を示す図である。
【００５８】
図９の（ａ）および（ｂ）は、ウェハ１０への検出光の照射の一例を示す図であり、ウェハ１０が、光電センサ６に近い側を下にして傾いている場合を示す図である。図９の（ｃ）は、ウェハ１０が光電センサ６に近い側を下にして傾いている場合の検出光の光量の経時変化の一例を示す図である。
【００５９】
なお、以降、ウェハ１０が、投光部６１側または受光部６２側を下にして傾くことを、「左右方向に傾く」とも表記する。また、ウェハ１０が、光電センサ６に近い側、または、光電センサ６に遠い側を下にして傾くことを、「前後方向に傾く」とも表記する。
【００６０】
まず、ウェハ１０が左右方向に傾いているか否かの判定について説明する。なお、以下に記載する方法は一例であり、左右方向に傾いているか否かの判定方法を、以下に記載する方法に限定する意図はない。ウェハ１０が左右方向に傾いていない場合、ＰＬＣ２が受信した光量の経時変化は、光電センサ６が検出対象のウェハ１０を検出している期間において、図２の（ｃ）に示す経時変化とほぼ一致する。換言すれば、生成した光量の経時変化と、基準データ２２１とのずれは小さい。
【００６１】
一方、図７の（ａ）に示すように、ウェハ１０が左右方向に傾いている場合、ＰＬＣ２が生成した光量の経時変化は、上記期間において、図７の（ｂ）に示すように、図２の（ｃ）に示す経時変化と異なる。換言すれば、生成した光量の経時変化と、基準データ２２１とのずれが大きい。
【００６２】
このため、傾き検出部２１１は、上記期間において、生成した光量の経時変化と、基準データ２２１とのずれが所定値以上であるか否かを判定する。所定値以上であると判定した場合、傾き検出部２１１は、ウェハ１０が左右方向に傾いていると判定する。一方、所定値未満であると判定した場合、傾き検出部２１１は、ウェハ１０が左右方向に傾いていないと判定する。
【００６３】
具体的には、傾き検出部２１１は、生成した光量の経時変化と、基準データ２２１とを重畳させたときの一致率を算出し、該一致率が所定値以上であるか否かを判定してもよい。この所定値としては、ウェハ１０をウェハカセット２０から取り出すときにチャック５がウェハ１０に接触するおそれがある程度にウェハ１０が傾いている場合の一致率を予め算出しておき、該一致率を用いればよい。
【００６４】
なお、上述したように、ウェハ１０が左右方向に傾いているか否かの判定方法は、この例に限定されない。例えば、傾き検出部２１１は、上記期間における経時変化が、時間軸に垂直、かつ、光量の最小値の点を通る直線において線対称であるか否かを判定してもよい。図２の（ｃ）に示すように、ウェハ１０が左右方向に傾いていない場合、上記期間における経時変化は上記直線において線対称となる。一方、図７の（ｂ）に示すように、ウェハ１０が左右方向に傾いている場合、上記直線において線対称とはならない。このため、傾き検出部２１１は、線対称とならない場合にウェハ１０が左右方向に傾いていると判定する。一方、線対称となる場合にウェハ１０が左右方向に傾いていないと判定する。
【００６５】
このような判定方法を用いることにより、基準データ２２１を予め記憶しておく必要が無くなる。なお、傾き検出部２１１は、完全に線対称であるか否かを判定する構成でなくてもよい。すなわち、傾き検出部２１１は、上記直線で経時変化を折り曲げたとき、光量の最大値から最小値までの減少部分と、最小値から最大値までの増加部分との一致率が所定値以上である場合に、線対称であると判定してもよい。該所定値は、ウェハ１０が傾いていない場合の一致率の最小値を用いればよい。
【００６６】
次に、ウェハ１０が前後方向に傾いているか否かの判定について説明する。なお、以下に記載する方法は一例であり、前後方向に傾いているか否かの判定方法を、以下に記載する方法に限定する意図はない。また、ウェハ１０が前後方向に傾いている場合、図９の（ａ）および（ｂ）に示すように、検出光６０ａおよび検出光６０ｂのいずれか一方が、ウェハ１０のウェハ面１０１に先に到達する。このため、図９の（ｃ）に示すように、第１光電センサ６ａにおける光量の経時変化と、第２光電センサ６ｂにおける光量の経時変化とのうち、一方が先に減少し始める。
【００６７】
一方、図示してはいないが、ウェハ１０が前後方向に傾いていない場合、検出光６０ａおよび検出光６０ｂは同時にウェハ面１０１に到達する。このため、第１光電センサ６ａにおける光量の経時変化と、第２光電センサ６ｂにおける光量の経時変化とは、同じタイミングで減少し始める。
【００６８】
このため、傾き検出部２１１は、第１光電センサ６ａにおける光量の経時変化と、第２光電センサ６ｂにおける光量の経時変化とが同時に減少し始めているか否かを判定する。同時に減少し始めていないと判定した場合、傾き検出部２１１は、ウェハ１０が前後方向に傾いていると判定する。一方、同時に減少し始めていると判定した場合、傾き検出部２１１は、ウェハ１０が前後方向に傾いていないと判定する。
【００６９】
傾き検出部２１１は、ウェハ１０が左右方向および前後方向のいずれか一方に傾いていると判定した場合、ウェハ１０が傾いていると判定する。
【００７０】
再び図６を参照し、動作例の説明に戻る。傾き検出部２１１は、ウェハ１０が傾いていると判定した場合（ステップＳ５でＹＥＳ）、ウェハ１０の傾きの方向、および、角度を特定する（ステップＳ６、Ｓ７、特定ステップ）。
【００７１】
（傾きの方向の特定）
ここで、図７〜図１０を用いて、ウェハ１０の傾きの方向特定の詳細について、一例を説明する。図８の（ａ）は、ウェハ１０への検出光の照射の一例を示す図であり、ウェハ１０が、図７の（ａ）とは逆方向に傾いている場合を示す図である。なお、以降、図８の（ａ）に示すウェハ１０の傾きを、「右下がり」とも表記する。図８の（ｂ）は、右下がりの場合の検出光の光量の経時変化の一例を示す図である。
【００７２】
なお、図７の（ａ）に示すウェハ１０は、左方向に傾いていると表現することもでき、図８の（ａ）に示すウェハ１０は、右方向に傾いていると表現することもできる。
【００７３】
図１０の（ａ）および（ｂ）は、ウェハ１０への検出光の照射の一例を示す図であり、ウェハ１０が、光電センサ６に遠い側を下にして傾いている場合を示す図である。図１０の（ｃ）は、ウェハ１０が光電センサ６に遠い側を下にして傾いている場合の検出光の光量の経時変化の一例を示す図である。
【００７４】
なお、図９の（ａ）および（ｂ）に示すウェハ１０は、前方向に傾いていると表現することもでき、図１０の（ａ）および（ｂ）に示すウェハ１０は、後方向に傾いていると表現することもできる。
【００７５】
まず、左右いずれの方向に傾いているかを特定する方法について説明する。なお、以下に記載する方法は一例であり、左右いずれの方向に傾いているかを特定する方法を、以下に記載する方法に限定する意図はない。図７の（ｂ）および図８の（ｂ）に示すように、ウェハ１０の傾きの方向が左方向であるか、または右方向であるかによって、光量の経時変化の形状が異なる。傾き検出部２１１は、この形状の差異を特定することで、ウェハ１０が左右いずれの方向に傾いているかを特定する。
【００７６】
具体的には、図７の（ｂ）に示すように、ウェハ１０の傾きの方向が左方向である場合、光量の最大値から最小値までの減少部分、すなわち、ポイントＰ４〜Ｐ５間では、光量が急激に減少した後に緩やかに減少する。換言すれば、ポイントＰ４〜Ｐ５間の軌跡は、図７の下方向に凸の曲線となる。一方、光量の最小値から最大値までの増加部分、すなわち、ポイントＰ５〜Ｐ６間では、光量が急激に増加した後に緩やかに増加する。換言すれば、ポイントＰ５〜Ｐ６間の軌跡は、図７の上方向に凸の曲線となる。
【００７７】
これは、ウェハ１０の傾きの方向が左方向である場合、受光部６２に近い位置で検出光６０の遮光が開始されるためである。遮光の開始により光の拡散が発生するが、受光部６２に近い位置での拡散であるため、拡散した光が受光部６２にて受光されにくい。よって、光量は最大値から急激に減少する。一方、光電センサ６の移動が進むにつれて、投光部６１に近い位置で光の拡散が発生する。これは、受光部６２に遠い位置での拡散であるため、拡散した光が受光部６２にて受光されやすい。よって、光量は最小値から急激に増加する。
【００７８】
これに対して、図８の（ｂ）に示すように、ウェハ１０の傾きの方向が右方向である場合、上記減少部分、すなわち、ポイントＰ７〜Ｐ８間では、光量がゆるやかに減少した後に急激に減少する。換言すれば、ポイントＰ７〜Ｐ８間の軌跡は、図８の上方向に凸の曲線となる。一方、上記増加部分、すなわち、ポイントＰ８〜Ｐ９間では、光量がゆるやかに増加した後に急激に増加する。換言すれば、ポイントＰ８〜Ｐ９間の軌跡は、図８の下方向に凸の曲線となる。
【００７９】
これは、ウェハ１０の傾きの方向が右方向である場合、投光部６１に近い位置で検出光６０の遮光が開始されるためである。受光部６２に遠い位置での拡散が発生するため、拡散した光が受光部６２にて受光されやすい。よって、光量は最大値からゆるやかに減少する。一方、光電センサ６の移動が進むにつれて、受光部６２に近い位置で光の拡散が発生する。この光は受光部６２にて受光されにくいため、光量は最小値からゆるやかに増加する。
【００８０】
なお、本実施形態の例と異なり、投光部６１がチャック５の右側の手に、受光部６２がチャック５の左側の手にある場合、ウェハ１０の傾きの方向と、変化の大きさとの関係は逆になる。すなわち、ウェハ１０の傾きが左方向である場合、減少部分の軌跡は、図７の上方向に凸の曲線となり、増加部分の軌跡は、図７の下方向に凸の曲線となる。一方、ウェハ１０の傾きが右方向である場合、減少部分の軌跡は、図８の下方向に凸の曲線となり、増加部分の軌跡は、図８の上方向に凸の曲線となる。
【００８１】
傾き検出部２１１は、一例として、光量の経時変化の減少部分が下方向に凸であると特定した場合、ウェハ１０が左方向に傾いていると特定し、減少部分が上方向に凸であると特定した場合、ウェハ１０が右方向に傾いていると特定してもよい。あるいは、傾き検出部２１１は、光量の経時変化の増加部分が上方向に凸であると特定した場合、ウェハ１０が左方向に傾いていると特定し、増加部分が下方向に凸であると特定した場合、ウェハ１０が右方向に傾いていると特定してもよい。
【００８２】
あるいは、傾き検出部２１１は、減少部分が下方向に凸であり、かつ、増加部分が上方向に凸である場合、ウェハ１０が左方向に傾いていると特定し、減少部分が上方向に凸であり、かつ、増加部分が下方向に凸である場合、ウェハ１０が右方向に傾いていると特定してもよい。この例の方法で特定することで、上述した２例の特定方法と比べ、特定の制度が向上する。
【００８３】
次に、前後いずれの方向に傾いているかを特定する方法について説明する。なお、以下に記載する方法は一例であり、前後いずれの方向に傾いているかを特定する方法を、以下に記載する方法に限定する意図はない。図９の（ｂ）に示すように、ウェハ１０の傾きが前方向である場合、投光部６１ａから投光された検出光６０ａが、投光部６１ｂから投光された検出光６０ｂより先にウェハ１０のウェハ面１０１に到達する。そのため、図９の（ｃ）に示すように、第１光電センサ６ａにおける光量の経時変化が、第２光電センサ６ｂにおける光量の経時変化より先に減少し始める。
【００８４】
一方、図１０の（ｂ）に示すように、ウェハ１０の傾きが後方向である場合、検出光６０ｂが、検出光６０ａより先にウェハ面１０１に到達する。そのため、図１０の（ｃ）に示すように、第２光電センサ６ｂにおける光量の経時変化が、第１光電センサ６ａにおける光量の経時変化より先に減少し始める。
【００８５】
傾き検出部２１１は、第１光電センサ６ａにおける光量の経時変化、および、第２光電センサ６ｂにおける光量の経時変化のいずれが先に減少し始めるかを特定することで、ウェハ１０の傾きが前方向であるか、あるいは後方向であるかを特定する。傾き検出部２１１は、第１光電センサ６ａにおける光量の経時変化が、第２光電センサ６ｂにおける光量の経時変化より先に減少し始めると特定した場合、ウェハ１０の傾きが前方向であると特定する。一方、傾き検出部２１１は、第２光電センサ６ｂにおける光量の経時変化が、第１光電センサ６ａにおける光量の経時変化より先に減少し始めると特定した場合、ウェハ１０の傾きが後方向であると特定する。
【００８６】
（傾きの角度の特定）
続いて、図７〜図１０を用いて、ウェハ１０の傾きの角度特定の詳細について、一例を説明する。
【００８７】
まず、左右方向の傾きにおける、角度特定の一例について説明する。まず、傾き検出部２１１は、光量の経時変化における減少部分（図７の（ｂ）および図８の（ｂ）参照）において、最大値の点および最小値の点を通る直線を特定する。そして、減少部分の各点のうち、該直線から最も遠い点を特定し、該直線から特定した点までの距離を特定する。なお、この距離は、特定した直線の垂線であって、かつ、特定した点と、直線上の点とを結ぶ線分の長さと表現することもできる。
【００８８】
そして、傾き検出部２１１は、記憶部２２に記憶されている、上記距離とウェハ１０の傾きの角度とを対応付けた第１データベース（不図示）を参照し、特定した距離に対応付けられたウェハ１０の傾きの角度を特定する。
【００８９】
なお、左右方向の傾きの角度特定の方法は、この例に限定されない。例えば、傾き検出部２１１は、上記の距離の特定を、減少部分に代えて、あるいは、減少部分とともに増加部分で行い、上記第１データベースを参照することでウェハ１０の傾きの角度を特定してもよい。減少部分および増加部分の両方で上記の距離を特定する例において、減少部分における上記の距離から特定された角度と、増加部分における上記の距離から特定された角度とが異なる場合、傾き検出部２１１は、一例として、２つの角度の平均値を傾きの角度としてもよい。
【００９０】
また、左右方向の傾きの角度特定の別の方法として、傾き検出部２１１は、減少部分の開始点である、光量の最大値の点から、増加部分の終了点である、光量の最大値の点までの幅を特定してもよい。該幅は、光電センサ６が検出対象のウェハ１０を検出している期間である。この例の場合、傾き検出部２１１は、記憶部２２に記憶されている、上記幅とウェハ１０の傾きの角度とを対応付けた第２データベース（不図示）を参照し、特定した幅に対応付けられたウェハ１０の傾きの角度を特定する。
【００９１】
この別の方法は、上述した、第１データベースを参照してウェハ１０の傾きの角度を特定する方法に代えて行ってもよいし、該方法とともに行ってもよい。該方法とともに行う例において、第１データベースを参照して特定された角度と、第２データベースを参照して特定された角度とが異なる場合、傾き検出部２１１は、一例として、２つの角度の平均値を傾きの角度としてもよい。
【００９２】
次に、前後方向の傾きにおける、角度特定の一例について説明する。まず、傾き検出部２１１は、２つの光量の経時変化（図９の（ｃ）および図１０の（ｃ）参照）において、特定の点のずれ幅を特定する。特定の点は、例えば、光量の最小値を示す点であってもよい。なお、ずれ幅とは、特定の点を結ぶ線分の長さである。
【００９３】
そして、傾き検出部２１１は、記憶部２２に記憶されている、上記ずれ幅とウェハ１０の傾きの角度とを対応付けた第３データベース（不図示）を参照し、特定したずれ幅に対応付けられたウェハ１０の傾きの角度を特定する。
【００９４】
再び図６を参照し、動作例の説明に戻る。傾き検出部２１１は、特定したウェハ１０の傾きの方向および角度を、ロボット制御部２１２へ出力する。ロボット制御部２１２は、取得したウェハ１０の傾きの方向および角度に応じて、チャック５の傾きを制御する（ステップＳ８）。具体的には、ロボット制御部２１２は、取得したウェハ１０の傾きの方向および角度に応じて、チャック５の傾きの方向および角度を決定する。そして、ロボット制御部２１２は、決定したチャック５の傾きの方向および角度を含む制御命令を、通信インタフェース２３を介して搬送ロボット４へ送信する。これにより、搬送ロボット４は、チャック５の傾きの方向および角度を、ウェハ１０の傾きの方向および角度に応じて調整することができる。
【００９５】
最後に、搬送ロボット４は、ウェハカセット２０からウェハ１０を取り出し（ステップＳ９）、搬送する。ステップＳ９の処理は、ロボット制御部２１２が、通信インタフェース２３を介して搬送ロボット４へ制御命令を送信することにより実現される。該制御命令は、ステップＳ８で送信される制御命令とともに搬送ロボット４へ送信されてもよいし、ステップＳ８で送信される制御命令の後に送信されてもよい。
【００９６】
なお、傾き検出部２１１が、ウェハ１０が傾いていないと判定した場合（ステップＳ５でＮＯ）、ステップＳ６〜Ｓ８は省略される。すなわち、ＰＬＣ２は、ウェハ１０が傾いていないため、チャック５の傾きの方向および角度を調整することなく、搬送ロボット４にウェハ１０の取り出しを行わせる（ステップＳ９）。
【００９７】
［作用・効果］
以上のように、本実施形態では、上記ステップＳ６およびステップＳ７において、ＰＬＣ２がウェハ１０の傾きの方向および角度を特定する。つまり、ＰＬＣ２は、ウェハ１０の傾きについて、傾きの有無より詳細な情報を特定することができる。
【００９８】
一例として、ＰＬＣ２は、上記ステップＳ８において、特定したウェハ１０の傾きの方向および角度に基づいて、チャック５の傾きの方向および角度を調整することができる。これにより、ウェハ１０が傾いている場合であっても、ウェハ１０を傷付けることなくウェハカセット２０から取り出すことができる。よって、ウェハ１０が傾いている場合であっても、搬送ロボット４によるウェハ１０の搬送を継続することができる。なお、ウェハ１０が傾いている場合とは、ウェハ１０が傾いてウェハカセット２０に収納されている場合や、ウェハカセット２０自体が傾いている場合を含む。
【００９９】
§４  変形例
（変形例１）
上記実施形態では、図５に示されるとおり、ＰＬＣ２の制御部２１が、機能構成として傾き検出部２１１を備える例を説明した。この構成に代えて、センサユニット３の制御部（不図示）が、機能構成として傾き検出部２１１を備えてもよい。
【０１００】
（変形例２）
上記実施形態では、図１に示されるとおり、センサシステム１が、センサユニット３、搬送ロボット４、チャック５、および光電センサ６の組み合わせを１つのみ有する例を説明した。しかしながら、センサシステム１は、該組み合わせを複数有していてもよい。
【０１０１】
（変形例３）
上記実施形態では、図７から図１０などに示されるとおり、センサシステム１が、１枚のウェハ１０をスキャンし、該ウェハ１０の傾きの方向および角度を特定する例を説明した。この構成に代えて、センサシステム１は、複数枚のウェハ１０（例えば、ウェハカセット２０に格納されているすべてのウェハ１０）をまとめてスキャンし、ウェハ１０それぞれの傾きの方向および角度を特定してもよい。
【０１０２】
（変形例４）
上記実施形態では、図４などに示されるとおり、センサシステム１が２つの光電センサ６を備え、ウェハ１０の前後方向の傾きの方向および角度を特定する例を説明した。しかしながら、センサシステム１が複数の光電センサ６を備える構成は必須ではない。換言すれば、センサシステム１が備える光電センサは１つのみであってもよい。
【０１０３】
（変形例５）
上記実施形態では、図６などに示されるとおり、センサシステム１が、ウェハ１０の傾きの方向および角度を特定する例を説明した。しかしながら、センサシステム１がウェハ１０の傾きの角度を特定する構成は必須ではない。換言すれば、センサシステム１は、ウェハ１０の傾きの方向のみを特定してもよい。
【０１０４】
（変形例６）
上記実施形態では、図１、図３などに示されるとおり、光電センサ６がチャック５に設けられ、搬送ロボット４の制御によるチャック５の移動に伴い、光電センサ６が移動する例を説明した。しかしながら、光電センサ６は、チャック５の移動とは異なる方法で移動してもよい。換言すれば、光電センサ６を移動させる移動制御装置は、搬送ロボット４とは別の装置であってもよい。
【０１０５】
（変形例７）
上記実施形態では、センサシステム１が、特定したウェハ１０の傾きの方向および角度に応じて、チャック５の傾きの方向および角度を制御する例を説明した。この構成に代えて、あるいは、この構成に加え、センサシステム１は、特定したウェハ１０の傾きの角度が一定以上である場合、その旨をセンサシステム１のユーザに報知する構成を備えていてもよい。
【０１０６】
図１１は、変形例７に係るセンサシステム１ａに含まれる各装置のハードウェア構成の一例を模式的に例示する図である。センサシステム１ａがセンサシステム１と異なる点は、図１１に示されるとおり、ＰＬＣ２に代えてＰＬＣ２ａを含んでいる点、および、報知装置７を新たに含んでいる点である。
【０１０７】
報知装置７は、センサシステム１のユーザに対する報知を行う装置であり、一例として、表示装置（ディスプレイ）であってもよい。この例の場合、報知装置７は、ウェハ１０の傾きの角度が一定以上であることをユーザに報知、換言すれば、ウェハ１０をウェハカセット２０から取り出す際に、ウェハ１０が傷つく可能性があることを警告する画面を表示する。
【０１０８】
ＰＬＣ２ａがＰＬＣ２と異なる点は、新たに出力インタフェース２４を備えている点である。出力インタフェース２４は、ＰＬＣ２ａがデータを出力するためのインタフェースである。本変形例では、ＰＬＣ２ａは、出力インタフェース２４を介して、報知装置７に、ユーザに対する報知を行うための情報（例えば、上記画面を表示させるための表示情報）を出力する。
【０１０９】
また、本変形例に係る制御部２１は、機能構成として、表示制御部（不図示）を備える。本変形例に係る傾き検出部２１１は、特定した、ウェハ１０の傾きの角度が一定以上であるか否かを判定し、一定以上であった場合、上記表示情報の生成指示を表示制御部に出力する。表示制御部は、上記生成指示を受け、表示情報を生成し、出力インタフェース２４を介して報知装置７へ出力する。
【０１１０】
これにより、センサシステム１ａは、ウェハ１０が傷つく可能性があることを、センサシステム１ａのユーザ（例えば、オペレータ）に報知することができる。
【０１１１】
本発明は上述した実施形態および変形例に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【０１１２】
１、１ａ  センサシステム
２、２ａ  ＰＬＣ（特定装置）
３  センサユニット（取得装置、特定装置）
４  搬送ロボット（移動制御装置、搬送装置）
５  チャック
６  光電センサ
１０  ウェハ
２０  ウェハカセット
６０  検出光
６１  投光部     
６２  受光部
１０１  ウェハ面（ウェハの平面）
Ｓ１  移動ステップ
Ｓ２、Ｓ３  取得ステップ
Ｓ６  特定ステップ
【図１】
2019149478.tif 000003
【図２】
2019149478.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2019149478.tif 000010
【図９】
2019149478.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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