(57)【要約】【課題】  ＲＦタグを安全かつ簡単に取り外すことのできる基板収納容器及びそのＲＦタグ取付方法を提供する。【解決手段】  半導体ウェーハを収納する容器本体２の底板のタグホルダー４に、ＲＦＩＤシステムのＲＦタグ２０を着脱自在に取り付ける基板収納容器であり、タグホルダー４の後端部１３に形成されて左右横方向からスライドして来たＲＦタグ２０を露出させて収容する収容空間と、タグホルダー４の後端部１３に設けられて収容空間のＲＦタグ２０を上下方向から挟持する複数の保持爪３１と、タグホルダー４の後端部１３に形成されて複数の保持爪３１に挟持されたＲＦタグ２０の左右横方向へのスライドを規制する上下方向に揺動可能な規制蓋片４０とを備える。ＲＦタグ２０を取り外す場合に、ＲＦタグ２０を強く突き上げる必要がないので、ＲＦタグ２０のケース２１やその周壁２２が損傷したり、破損して使用不能になるのを防止できる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体のホルダー部材に、ＲＦＩＤシステムのＲＦタグを収容する基板収納容器であって、
ホルダー部材に形成されて縦横いずれかの方向からスライドして来たＲＦタグを収容する収容空間と、この収容空間に収容されたＲＦタグを挟み持つ複数の保持爪とを含んでなることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
複数の保持爪に挟み持たれたＲＦタグの縦横いずれかの方向へのスライドを規制する規制蓋片を含んでなる請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
容器本体が正面の開口した箱形に構成され、この容器本体底部の少なくとも後方にホルダー部材が取り付けられており、
ＲＦタグが略棒形に形成され、このＲＦタグの少なくとも周壁がガラス製である請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
収容空間が、ホルダー部材に区画形成されて横方向からスライドして来たＲＦタグを略露出状態に収容可能であり、
複数の保持爪が、ホルダー部材に設けられて収容空間のＲＦタグを上下方向から挟み持ち可能であり、
規制蓋片が、ホルダー部材の収容空間に隣接する切り欠きに形成されて上下方向に揺動可能であるとともに、複数の保持爪に挟み持たれたＲＦタグに対向可能であり、ＲＦタグに対向してその横方向へのスライドを規制する請求項１、２、又は３記載の基板収納容器。
【請求項５】
ホルダー部材に、ＲＦタグに対向する規制蓋片に接触してその揺動を規制するストッパが形成される請求項４記載の基板収納容器。
【請求項６】
複数の保持爪は、ホルダー部材に設けられて収容空間のＲＦタグに上方から接触する下向きの上部保持爪と、ホルダー部材に設けられて収容空間のＲＦタグに下方から接触する上向きの下部保持爪とを含み、これら上部保持爪と下部保持爪とが区画する開口の幅をＲＦタグの幅よりも狭くした請求項１ないし５のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載した基板収納容器に、ＲＦＩＤシステムのＲＦタグを取り付ける基板収納容器のＲＦタグ取付方法であって、
ＲＦタグを縦横いずれかの方向からホルダー部材の収容空間にスライドさせて挿入するとともに、ホルダー部材の収容空間に挿入されたＲＦタグを複数の保持爪に挟み持たせることを特徴とする基板収納容器のＲＦタグ取付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納、保管、搬送、輸送する基板収納容器及びそのＲＦタグ取付方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来における基板収納容器は、例えばＦＯＳＢタイプの場合には、図７や図８に部分的に示すように、複数枚の半導体ウェーハ１を上下方向に並べて整列収納する容器本体２と、この容器本体２の開口した正面を着脱自在に開閉する施錠機構内蔵の蓋体とを備え、複数枚の半導体ウェーハ１を整列収納した後、半導体工場からデバイスメーカに出荷・輸送される（特許文献１、２、３参照）。
【０００３】
容器本体２は、所定の樹脂含有の成形材料によりフロントオープンボックスに成形され、内部の両側、換言すれば、左右両側壁の内面に、シリコンウェーハ等からなる半導体ウェーハ１を水平に支持する左右一対の支持片３が対設されるとともに、この左右一対の支持片３が上下方向に所定の間隔で複数配列されており、各支持片３が前後方向に細長い板に湾曲形成されている。
【０００４】
容器本体２の底板には、ここでは図示しない複数の位置決め具（Ｖグループともいう）が配設され、容器本体２の底板後部には、識別機能を発揮するタグホルダー４が選択的に装着される。また、容器本体２の天板中央には、天井搬送用のフランジ５が着脱自在に装着され、容器本体２の左右両側壁の中央付近には、握持操作用のハンドル６がそれぞれ着脱自在に装着されている。
【０００５】
ところで、基板収納容器は、生産プログラムやシステムの簡素化を図る観点から、高柔軟性・高信頼性システムの構築が可能なＲＦＩＤシステムが採用されることがある。このＲＦＩＤシステムは、基板収納容器に取り付けられるＲＦタグ（データキャリアともいう）２０と、上位機器のコントローラに接続されるリーダライタとを備え、これらＲＦタグ２０とリーダライタとの間でデータを非接触で送受信するシステムである。ＲＦタグ２０は、図８に示すように、例えば細長い小さな丸棒形に形成され、ケース２１がガラスにより形成されており、基板収納容器にＲＦＩＤシステムが採用される場合には、タグホルダー４に装着される。
【０００６】
タグホルダー４は、基板収納容器にＲＦＩＤシステムが採用される場合、図８に示すように、容器本体２の背面壁側に位置する後部７にＲＦタグ２０用のポケット溝孔８が断面Ｕ字形に穿孔され、このポケット溝孔８の壁面中央に、収容されたＲＦタグ２０に圧接してその脱落を防止する脱落防止爪９が突出形成される。ポケット溝孔８は、ＲＦタグ２０の位置ずれや脱落を防止する観点から、ＲＦタグ２０にきつく密嵌する大きさに形成され、溝孔の底に貫通孔が穿孔されており、この貫通孔を貫通した指等がＲＦタグ２０の下部に圧接することにより、ＲＦタグ２０が取り外される。
【０００７】
このようなタグホルダー４のポケット溝孔８にＲＦタグ２０を取り付ける場合には、ポケット溝孔８内にＲＦタグ２０を上方から圧下して隙間なく嵌入すれば、ＲＦタグ２０を適切に収容することができる。これに対し、ポケット溝孔８からＲＦタグ２０を取り外す場合には、ポケット溝孔８の貫通孔に指等を下方から挿入してＲＦタグ２０を突き上げれば、ＲＦタグ２０を押し上げて取り外すことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第４５５３８４０号公報
【特許文献２】特開２０００‐２１９６６号公報
【特許文献３】特開２００８‐０６８８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、ポケット溝孔８にきつく密嵌したＲＦタグ２０を取り外す場合には、ポケット溝孔８の貫通孔に指等を下方から挿入して密嵌状態のＲＦタグ２０を強く突き上げる必要がある。しかしながら、ＲＦタグ２０を強く突き上げると、ＲＦタグ２０のガラス製のケース２１やその周壁２２が脱落防止爪９との接触で損傷したり、破損し、使用不能になるという問題がある。
【００１０】
本発明は上記に鑑みなされたもので、ＲＦタグを安全かつ簡単に取り外すことのできる基板収納容器及びそのＲＦタグ取付方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体のホルダー部材に、ＲＦＩＤシステムのＲＦタグを収容するものであって、
ホルダー部材に形成されて縦横いずれかの方向からスライドして来たＲＦタグを収容する収容空間と、この収容空間に収容されたＲＦタグを挟み持つ複数の保持爪とを含んでなることを特徴としている。
【００１２】
なお、複数の保持爪に挟み持たれたＲＦタグの縦横いずれかの方向へのスライドを規制する規制蓋片を含むことができる。
また、容器本体が正面の開口した箱形に構成され、この容器本体底部の少なくとも後方にホルダー部材が取り付けられており、
ＲＦタグが略棒形に形成され、このＲＦタグの少なくとも周壁がガラス製であると良い。
【００１３】
また、収容空間が、ホルダー部材に区画形成されて横方向からスライドして来たＲＦタグを略露出状態に収容可能であり、
複数の保持爪が、ホルダー部材に設けられて収容空間のＲＦタグを上下方向から挟み持ち可能であり、
規制蓋片が、ホルダー部材の収容空間に隣接する切り欠きに形成されて上下方向に揺動（揺れ動く）可能であるとともに、複数の保持爪に挟み持たれたＲＦタグに対向可能であり、ＲＦタグに対向してその横方向へのスライドを規制すると良い。
【００１４】
また、ホルダー部材に、ＲＦタグに対向する規制蓋片に接触してその揺動を規制するストッパが形成されると良い。
また、複数の保持爪は、ホルダー部材に設けられて収容空間のＲＦタグに上方から接触する下向きの上部保持爪と、ホルダー部材に設けられて収容空間のＲＦタグに下方から接触する上向きの下部保持爪とを含み、これら上部保持爪と下部保持爪とが区画する開口の幅をＲＦタグの幅よりも狭くすることができる。
【００１５】
また、本発明においては上記課題を解決するため、請求項１ないし６のいずれかに記載した基板収納容器に、ＲＦＩＤシステムのＲＦタグを取り付けるＲＦタグ取付方法であって、
ＲＦタグを縦横いずれかの方向からホルダー部材の収容空間にスライドさせて挿入するとともに、ホルダー部材の収容空間に挿入されたＲＦタグを複数の保持爪に挟み持たせることを特徴としている。
【００１６】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも口径３００ｍｍや４５０ｍｍの半導体ウェーハ（シリコンウェーハ等）、液晶基板、ガラス板等が含まれる。また、容器本体は、正面の開口したタイプ、上面の開口したタイプ、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。ホルダー部材には、少なくともタグホルダー（インフォパッドプレートともいう）やボトムプレート等が含まれる。このホルダー部材は、略平坦な板材でも良いし、平面略Ｙ字形や断面略Ｌ字形等の板材でも良い。
【００１７】
ホルダー部材が断面略Ｌ字形の板材の場合には、起立した壁に、縦方向からスライドして来たＲＦタグを収容する収容空間を形成するとともに、収容空間に収容されたＲＦタグを挟み持つ複数の保持爪を設けることができる。また、複数の保持爪の上部保持爪と下部保持爪とは、ＲＦタグの形や性能等に応じ、適宜増減変更することができる。これら上部保持爪と下部保持爪とは、同じ形でも良いし、異なる形でも良い。規制蓋片は、ホルダー部材の一部でも良いが、別体でも良い。さらに、本発明に係る基板収納容器は、工程内搬送用のＦＯＵＰタイプでも良いし、出荷・輸送用のＦＯＳＢタイプでも良い。
【００１８】
本発明によれば、基板収納容器にＲＦＩＤシステムのＲＦタグを取り付ける場合には、ホルダー部材の収容空間の開口した一端部側にＲＦタグを位置させ、このＲＦタグを複数の保持爪間に挿入して収容空間の他端部側にスライドさせ、ＲＦタグを収容空間に収容して複数の持爪に挟み持たせれば、基板収納容器にＲＦタグを取り付けることができる。これに対し、基板収納容器からＲＦタグを取り外す場合には、ＲＦタグを摘まんでホルダー部材の収容空間の他端部側から一端部側にスライドさせ、ＲＦタグを複数の保持爪間から抜き取れば、基板収納容器からＲＦタグを取り外すことができる
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、ホルダー部材に形成されて縦横いずれかの方向からスライドして来たＲＦタグを収容する収容空間と、この収容空間に収容されたＲＦタグを挟み持つ複数の保持爪とを含むので、ＲＦタグを安全かつ簡単に取り外すことができるという効果がある。
【００２０】
請求項２記載の発明によれば、規制蓋片により、複数の保持爪に保持されたＲＦタグの収容空間からの位置ずれやホルダー部材からの脱落を防止することができる。
請求項３記載の発明によれば、基板収納容器が工程内搬送用のＦＯＵＰタイプでも、出荷・輸送用のＦＯＳＢタイプでも、タイプを問わず、ＲＦタグを安全かつ簡単に取り外すことができる。また、ＲＦタグの少なくとも周壁が光透過性のガラス製なので、ＲＦＩＤシステムによる読取性能の向上やセキュリティ強化が期待できる。
【００２１】
請求項４記載の発明によれば、ＲＦタグを寝かせて複数の保持爪の間に挿入し、ＲＦタグを収容空間内にスライドさせて複数の保持爪に挟み持たせ、その後、規制蓋片を操作して揺動させ、規制蓋片を隣接する収容空間のＲＦタグに対向させれば、ＲＦタグを収容空間に略露出状態に収容してその横方向への位置ずれや脱落を有効に防止することが可能となる。
【００２２】
請求項５記載の発明によれば、ホルダー部材のストッパと規制蓋片との接触により、ＲＦタグに対向する規制蓋片が揺動するのを規制することができるので、基板収納容器の振動時や搬送時等にＲＦタグが収容空間から抜け落ちるのを簡易な構成で防止することが可能となる。
請求項６記載の発明によれば、複数の上部保持爪と下部保持爪との間の開口幅がＲＦタグの幅よりも狭いので、上部保持爪と下部保持爪の間からＲＦタグが外れて脱落するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る基板収納容器及びそのＲＦタグ取付方法の実施形態における容器本体の背面壁側を模式的に示す斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器及びそのＲＦタグ取付方法の実施形態における容器本体の底板側を模式的に示す斜視説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器及びそのＲＦタグ取付方法の実施形態におけるＲＦタグの挿入開始状態を模式的に示す斜視説明図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器及びそのＲＦタグ取付方法の実施形態におけるＲＦタグの挿入終了状態を模式的に示す斜視説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器及びそのＲＦタグ取付方法の実施形態における規制蓋片の揺動終了状態を模式的に示す斜視説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器及びそのＲＦタグ取付方法の実施形態におけるＲＦタグの径と上部保持爪及び下部保持爪間の開口幅との関係を模式的に示す説明図である。
【図７】基板収納容器の半導体ウェーハを整列収納した容器本体を模式的に示す斜視図である。
【図８】従来の基板収納容器のＲＦタグの取付構造を部分的に示す斜視説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図６に示すように、複数枚の半導体ウェーハ１を収納する容器本体２のタグホルダー４に、ＲＦＩＤシステムのＲＦタグ２０を収容する容器であり、タグホルダー４の後部７に形成されてＲＦタグ２０を収容する収容空間３０と、この収容空間３０のＲＦタグ２０を挟持する複数の保持爪３１と、この複数の保持爪３１に挟持されたＲＦタグ２０の横方向へのスライドを規制する揺動可能な規制蓋片４０とを備えるようにしている。
【００２５】
半導体ウェーハ１は、例えば口径３００ｍｍの高品質のシリコンウェーハからなり、容器本体２内の上下方向に複数枚、具体的には２５枚が並べて収納される（この点については、図７参照）。
【００２６】
容器本体２は、図１や図２に示すように、基板収納容器が半導体工場からデバイスメーカに出荷・輸送されるＦＯＳＢタイプの場合には、複数枚の半導体ウェーハ１を上下方向に並べて整列収納する正面の開口したフロントオープンボックスタイプに射出成形され、開口した正面に施錠機構内蔵の蓋体が弾性変形可能な枠形のシールガスケットを介し着脱自在に圧入して嵌合される。この容器本体２は、基本的な構成が従来例と同様ではあるが、底板の前部両側と後部中央とに、平面略Ｙ字を描くよう複数の位置決め具１０が配設され、底板の後部には、識別機能を発揮するタグホルダー４が着脱自在に装着される（図２参照）。
【００２７】
タグホルダー４は、所定の樹脂含有の成形材料により、平面略多角形の板に成形され、容器本体２の底板後部に後方からスライドして着脱自在に装着される。このタグホルダー４の所定の樹脂としては、特に限定されるものではないが、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。
【００２８】
タグホルダー４の前部の中央から中央部にかけては、図２に示すように、タグホルダー４の前後方向に伸びる平面略Ｕ字形の切り欠き部１１が形成され、この切り欠き部１１がタグホルダー４の装着時に容器本体２後部の位置決め具１０を後方から嵌合挟持する。切り欠き部１１の両側部には、識別用や取付用の複数の貫通孔１２がそれぞれ一列に並べて穿孔される。
【００２９】
タグホルダー４の後部７は、図１ないし図５に示すように、平面横長の略台形に形成されて後端部１３が容器本体２の背面壁側に視認可能に位置し、後端部１３の中央と一側との間には、規制蓋片４０用の平面略Ｕ字形の切り欠き１４がタグホルダー４の前後方向に形成されており、タグホルダー４の後端部１３の一側には、切り欠き１４の開口側に隣接する規制蓋片４０用のストッパ１５が突出形成されるとともに、このストッパ１５が後端部１３の中央方向に短く伸びる板片に形成される。また、タグホルダー４の両側部には、識別用や取付用の複数の貫通孔１２がそれぞれ穿孔される。
【００３０】
ＲＦＩＤシステムのＲＦタグ２０は、図１ないし図６に示すように、ケース２１の内部にメモリや電池等を収納する細長い小さな丸棒形（円筒型ともいう）に形成され、容器本体２のタグホルダー４に着脱自在に取り付けて収容される。このＲＦタグ２０のケース２１やその周壁２２は、メモリ等を強い化学薬品から保護したり、ＲＦタグ２０の読み取りを確実にする観点から、透明のガラスにより形成される。ＲＦタグ２０は、細長い小さな角棒形等でも良く、ケース２１の少なくとも一部の周壁２２が透明のガラスにより形成されれば良い。
【００３１】
収容空間３０は、図２ないし図５に示すように、タグホルダー４の後端部１３の中央に切り欠き形成され、容器本体２の左右横方向から水平にスライドして来たＲＦタグ２０に嵌合して露出状態に収容するよう機能する。この収容空間３０は、タグホルダー４の左右横方向に伸びる細長い平面略矩形に区画形成されて切り欠き１４に隣接し、この切り欠き１４に隣接した一端部が開口する。
【００３２】
複数の保持爪３１は、図３ないし図５に示すように、収容空間３０に収容されたＲＦタグ２０の周面に上方から接触する複数の上部保持爪３２と、収容空間３０に収容されたＲＦタグ２０の周面に下方から接触する複数の下部保持爪３３とを備え、収容空間３０に収容されたＲＦタグ２０を上下方向から挟持して保持するよう機能する。
【００３３】
複数の上部保持爪３２は、タグホルダー４の後端部１３の中央長手方向に所定の間隔で配列形成されて収容空間３０の長辺上縁部に沿い、各上部保持爪３２が下向きに湾曲形成される。これに対し、複数の下部保持爪３３は、タグホルダー４の後端部１３の中央長手方向に所定の間隔で配列形成されて収容空間３０の長辺下縁部に沿い、各下部保持爪３３が上向きに屈曲形成される。
【００３４】
これら複数の上部保持爪３２と下部保持爪３３は、異なる配列ピッチで配列され、平面視で上部保持爪３２と上部保持爪３２との間から下部保持爪３３が略露出するとともに、上部保持爪３２と下部保持爪３３とが隣接する。上部保持爪３２と下部保持爪３３との間には、図６に示す開口３４が区画されるが、この開口３４の幅Ｗは、同図に示すように、ＲＦタグ２０の脱落を防止する観点から、ＲＦタグ２０の径Ｄよりも狭く設定される。
【００３５】
規制蓋片４０は、図１ないし図５に示すように、例えば略Ｚ字形に屈曲した可撓性の板片からなり、タグホルダー４の後端部１３の切り欠き１４内に一体形成されており、上下方向に揺動して収容空間３０の一端部の開口を開閉するよう機能する。この規制蓋片４０は、切り欠き１４内に僅かな隙間を介して遊嵌する大きさに形成され、屈曲部一側付近には、タグホルダー４のストッパ１５に隣接する被係合ブロック４１が突出形成されており、この被係合ブロック４１がストッパ１５に係合することにより、規制蓋片４０の上方への揺動が規制される。
【００３６】
このような規制蓋片４０は、タグホルダー４の収容空間３０にＲＦタグ２０が左右横方向から水平にスライドして挿入される場合には、上方の基準位置に位置して隣接する収容空間３０の一端部の開口を開放することにより、ＲＦタグ２０の挿入を可能とする。これに対し、収容空間３０にＲＦタグ２０が挿入して収容された場合には、上方の基準位置から下方に板バネとして揺動して被係合ブロック４１をストッパ１５に係合させるとともに、隣接する収容空間３０の一端部の開口を閉塞することにより、ＲＦタグ２０の端部に対向接触し、ＲＦタグ２０の横方向への抜き取りを規制する。
【００３７】
また、規制蓋片４０は、収容空間３０からＲＦタグ２０が左右横方向に水平にスライドして抜き取られる場合には、下方から上方の基準位置に揺動して隣接する収容空間３０の一端部の開口を開放し、ＲＦタグ２０の抜き取りを可能とする。
【００３８】
上記構成において、基板収納容器にＲＦＩＤシステムのＲＦタグ２０を取り付ける場合には、先ず、規制蓋片４０を上方の基準位置に位置させ、収容空間３０の開口した一端部側（図３の右下）に用意したＲＦタグ２０を水平に寝かせて位置させるとともに、このＲＦタグ２０を複数の上部保持爪３２と下部保持爪３３との間に徐々に挿入（図３参照）して収容空間３０の他端部（図３の左上）方向に水平にスライドさせ、ＲＦタグ２０を収容空間３０に露出させて収容して複数の上部保持爪３２と下部保持爪３３とに挟持させる（図４参照）。
【００３９】
こうして収容空間３０にＲＦタグ２０を水平に収容したら、規制蓋片４０を指で押圧操作して上方の基準位置から下方に撓ませながら揺動させるとともに、規制蓋片４０の被係合ブロック４１をタグホルダー４のストッパ１５に係合させ、規制蓋片４０により収容空間３０の一端部の開口を閉塞すれば、規制蓋片４０がＲＦタグ２０の端部に対向接触するので、ＲＦタグ２０の横方向への位置ずれや脱落を有効に防止することができる（図５参照）。この規制蓋片４０による収容空間３０の閉塞により、基板収納容器に対するＲＦタグ２０の取り付け作業が完全に終了する。
【００４０】
次に、基板収納容器からＲＦタグ２０を取り外す場合には、規制蓋片４０を指で操作してタグホルダー４のストッパ１５と規制蓋片４０の被係合ブロック４１との係合を解除し、規制蓋片４０を上方の基準位置に揺動復帰させた後、ＲＦタグ２０を摘まんで収容空間３０の他端部から一端部方向に水平にスライドさせ、ＲＦタグ２０を複数の上部保持爪３２と下部保持爪３３との間から抜き取れば、基板収納容器からＲＦタグ２０を簡単に取り外すことができる。
【００４１】
上記構成によれば、ＲＦタグ２０を取り外す場合に、ＲＦタグ２０を強く突き上げる必要が全くないので、強い突き上げに伴い、ＲＦタグ２０のケース２１やその周壁２２が負荷の作用で損傷したり、破損して使用不能になるのを有効に防止することができる。また、収容空間３０にＲＦタグ２０を上方から圧下して嵌入するのではなく、左右横方向からスライドさせて挿入するので、ＲＦタグ２０が上部保持爪３２との接触で損傷したり、破損するのを防止することができる。
【００４２】
また、タグホルダー４のストッパ１５と規制蓋片４０の被係合ブロック４１との係合により、規制蓋片４０が上方の基準位置に復帰するのを防止することができるので、基板収納容器の振動時や搬送時にＲＦタグ２０が収容空間３０から落下するのを簡易な構成で防止することが可能となる。さらに、収容空間３０にＲＦタグ２０を露出させて収容するので、ＲＦタグ２０の読み取りが実に円滑となる。
【００４３】
なお、上記実施形態では出荷・輸送用のＦＯＳＢタイプの基板収納容器に、ホルダー部材としてタグホルダー４を装着したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、基板収納容器がデバイスメーカの製造工程で使用されるＦＯＵＰタイプの場合には、容器本体２の底板に、ホルダー部材として平面略Ｙ字形のボトムプレートを着脱自在に装着しても良い。このボトムプレートの後部には、収容空間３０、複数の保持爪３１、規制蓋片４０、及びストッパ１５を配設することができる。
【００４４】
ボトムプレートの後部が断面略Ｌ字形の場合、ボトムプレート後部の起立した壁に、上方向からスライドして来たＲＦタグ２０を略露出状態に収容する収容空間３０を区画形成するとともに、この収容空間３０に収容されたＲＦタグ２０を左右から挟持する複数の保持爪３１を配設することができる。
【００４５】
また、タグホルダー４の後端部１３に壁を立設し、この壁には、上方向からスライドして来たＲＦタグ２０を略露出状態に収容する収容空間３０を区画形成するとともに、この収容空間３０に収容されたＲＦタグ２０を左右横方向から挟持する複数の保持爪３１を配設することができる。このタグホルダー４の壁には、水平横方向に揺動可能な規制蓋片４０、及びこの規制蓋片４０の水平横方向への揺動を規制するストッパ１５を配設することもできる。さらに、規制蓋片４０を所定のバネ定数を有する板バネとし、この板バネを切り欠き１４に後から揺動可能に取り付けても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明に係る基板収納容器及びそのＲＦタグ取付方法は、基板収納容器や半導体の製造分野で使用される。
【符号の説明】
【００４７】
１        半導体ウェーハ（基板）
２        容器本体
４        タグホルダー（ホルダー部材）
７        後部
１０      位置決め具
１１      切り欠き部
１３      後端部
１４      切り欠き
１５      ストッパ
２０      ＲＦタグ
２１      ケース
２２      周壁
３０      収容空間
３１      保持爪
３２      上部保持爪
３３      下部保持爪
３４      開口
４０      規制蓋片
４１      被係合ブロック
Ｄ        径（幅）
Ｗ        幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
2019009310.tif 000005
【図４】
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【図５】
2019009310.tif 000007
【図６】
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【図７】
2019009310.tif 000009
【図８】
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