(57)【要約】【課題】空気の通過を阻害せずに、かつ、搬送物との間で作用する引力を確保することができる電極、多孔質パッド、非接触搬送装置及び静電チャックを提供する。【解決手段】電極２２は、電圧が印加されることにより、表面の一例である搬送面２０ａに対向する搬送物との間に引力を作用させる。電極２２は、多孔質パッド２０の搬送面２０ａに沿うＹ方向に並び、搬送面２０ａに直交するＺ方向に対して傾斜する一対の傾斜壁部２３ａを備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧が印加されることにより、表面に対向する対象物との間に引力を作用させる電極であって、
前記表面に沿う方向に並び、前記表面に直交する方向に対して傾斜する複数の傾斜壁部を備える、
電極。
【請求項２】
前記複数の傾斜壁部は、前記表面に直交する方向から見て、一部が互いに重なるように傾斜する、
請求項１に記載の電極。
【請求項３】
前記電極は、前記複数の傾斜壁部を有する筒部を備え、
前記筒部は、前記表面に沿って並べられ、前記表面に直交する方向に対して傾斜するように延びる、
請求項１又は２に記載の電極。
【請求項４】
正六角形筒状の前記筒部が並べられたハニカム状に形成される、
請求項３に記載の電極。
【請求項５】
前記電極は、
陽極の電荷が帯電される陽極電極部と、
陰極の電荷が帯電される陰極電極部と、
前記陽極電極部と前記陰極電極部の間に形成される絶縁部と、を備え、
前記絶縁部は、前記表面に沿う第１方向に沿って延び、前記表面に沿い、かつ前記第１方向に直交する第２方向に沿って並ぶ、
請求項３又は４に記載の電極。
【請求項６】
前記絶縁部は、前記第１方向に沿って連続する複数の前記筒部の前記傾斜壁部として形成される、
請求項５に記載の電極。
【請求項７】
前記陽極電極部の前記複数の傾斜壁部は、前記表面に直交する方向から見て、一部が互いに重なるように傾斜し、
また、前記陰極電極部の前記複数の傾斜壁部は、前記表面に直交する方向から見て、一部が互いに重なるように傾斜する、
請求項５又は６に記載の電極。
【請求項８】
前記各傾斜壁部は板状をなし、
前記複数の傾斜壁部のうち第１の傾斜壁部は陽極の電荷が帯電される陽極電極として構成され、
前記複数の傾斜壁部のうち前記第１の傾斜壁部と別体の第２の傾斜壁部は陰極の電荷が帯電される陰極電極として構成される、
請求項１又は２に記載の電極。
【請求項９】
空気を通す多孔質基板と、
前記多孔質基板に設けられる請求項１から８のいずれか一項に記載の電極と、を備え、
前記電極は前記複数の傾斜壁部の間に空気が通過する流路を形成する、
多孔質パッド。
【請求項１０】
請求項９に記載の多孔質パッドと、
前記多孔質パッドにより閉じられた調圧室を有するケース部と、
前記調圧室を加圧することにより、前記多孔質パッドを介して前記対象物である搬送物に正の空気圧を供給する圧力調整部と、
前記圧力調整部を通じて前記搬送物を前記多孔質パッドに対して浮上させた状態で、前記電極に電圧を印加することにより、前記搬送物と前記電極との間に引力を保持力として作用させる保持力発生部と、を備える、
非接触搬送装置。
【請求項１１】
請求項１から８のいずれか一項に記載の電極を備える静電チャック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電極、多孔質パッド、非接触搬送装置及び静電チャックに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、搬送物を浮上させたうえで搬送する非接触搬送装置が知られている。例えば、特許文献１に記載の非接触搬送装置は、搬送物が設置される搬送用パッドと、搬送用パッドの背面側に調圧室を有する搬送装置本体と、調圧室を加圧するコンプレッサーと、を備える。この非接触搬送装置は、調圧室を加圧することにより、搬送物の下面に正の空気圧を供給する。これにより、搬送物は搬送用パッドに対して浮上する。
また、従来から、静電気的な引力によりチャック対象物を固定する静電チャックが知られている。例えば、特許文献２に開示されるように、静電チャックは、チャック対象物が設置される設置面を有する電極パッドを備える。この電極パッドは、電圧が印加されることによりチャック対象物との間に引力を発生させる電極と、この電極を保持する絶縁プレートと、を備える。この電極は、チャック対象物が設置される設置面に沿う方向に形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１０３６２６号公報
【特許文献２】特開２０１０−１７０９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献２に記載の静電チャックによりチャック対象物が固定された状態で、そのチャック対象物には加工等の処理が行われる。この処理が終了した後には、チャック対象物を移動させるために、静電チャックの電極への電圧印加が停止される。しかしながら、このとき、チャック対象物には帯電した電荷が残るため、チャック対象物は設置面から解放されない。よって、チャック対象物に残留する電荷を消去するために残留する電荷とは反対極の電荷を有するイオン等をチャック対象物に吹き付ける必要があり手間であった。
この課題を解消するべく、例えば、特許文献１に記載の非接触搬送装置に特許文献２に記載の静電チャックを適用することにより、加工等が行われる搬送物を気体で浮上させつつその位置に静電チャックで保持することが考えられる。これにより、静電チャックの電極への電圧印加が停止された場合に、搬送物と設置面が離間しているため、搬送物を円滑に移動させることができる。
しかしながら、この構成では、電極は設置面に沿う方向に形成されているため、電極が搬送物を浮上させるための空気の流れを阻害するおそれがある。これにより、搬送物に供給される空気圧のバラツキが大きくなり、搬送物（ワーク）の平坦性が確保されずに加工等の精度が下がる。特に、ワークが薄くなればその影響は大きくなる。一方で、空気の流れを阻害しないように電極のサイズを小さくすることも考えられるが、この場合、搬送物との間で作用する引力を確保することが困難となる。
【０００５】
本発明は、上記実状を鑑みてなされたものであり、空気の通過を阻害せずに、かつ、搬送物との間で作用する引力を確保することができる電極、多孔質パッド、非接触搬送装置及び静電チャックを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る電極は、電圧が印加されることにより、表面に対向する対象物との間に引力を作用させる電極であって、前記表面に沿う方向に並び、前記表面に直交する方向に対して傾斜する複数の傾斜壁部を備える。
【０００７】
また、上記電極において、前記複数の傾斜壁部は、前記表面に直交する方向から見て、一部が互いに重なるように傾斜する、ようにしてもよい。
【０００８】
また、上記電極において、前記電極は、前記複数の傾斜壁部を有する筒部を備え、前記筒部は、前記表面に沿って並べられ、前記表面に直交する方向に対して傾斜するように延びる、ようにしてもよい。
【０００９】
また、上記電極において、前記電極は、正六角形筒状の前記筒部が並べられたハニカム状に形成される、ようにしてもよい。
【００１０】
また、上記ハニカム状構造において、前記電極構造は、陽極の電荷が帯電される陽極電極部と、陰極の電荷が帯電される陰極電極部と、前記陽極電極部と前記陰極電極部の間に形成される絶縁部からなり、前記絶縁部は、前記表面に沿う１方向に沿って連続して延び、前記表面に沿い、かつ前記１方向に直交する２方向に沿って並ぶ、ようにしてもよい。
【００１１】
また、上記電極において、前記絶縁部は、前記１方向に沿って連続する複数の前記筒部の前記傾斜壁部として形成される、ようにしてもよい。
【００１２】
また、上記電極において、前記陽極電極部の前記複数の傾斜壁部は、前記表面に直交する方向から見て、一部が互いに重なるように傾斜し、また、前記陰極電極部の前記複数の傾斜壁部は、前記表面に直交する方向から見て、一部が互いに重なるように傾斜する、ようにしてもよい。
【００１３】
また、上記電極において、前記各傾斜壁部は板状をなし、前記複数の傾斜壁部のうち第１の傾斜壁部は陽極の電荷が帯電される陽極電極として構成され、前記複数の傾斜壁部のうち前記第１の傾斜壁部と別体の第２の傾斜壁部は陰極の電荷が帯電される陰極電極として構成される、ようにしてもよい。
【００１４】
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係る多孔質パッドは、空気を通す多孔質基板と、前記多孔質基板に設けられる前記電極と、を備え、前記電極は前記複数の傾斜壁部の間に空気が通過する流路を形成する。
【００１５】
上記目的を達成するため、本発明の第３の観点に係る非接触搬送装置は、前記多孔質パッドと、前記多孔質パッドにより閉じられた調圧室を有するケース部と、前記調圧室を加圧することにより、前記多孔質パッドを介して前記対象物である搬送物に正の空気圧を供給する圧力調整部と、前記圧力調整部を通じて前記搬送物を前記多孔質パッドに対して浮上させた状態で、前記電極に電圧を印加することにより、前記搬送物と前記電極との間に引力を保持力として作用させる保持力発生部と、を備える。
【００１６】
上記目的を達成するため、本発明の第４の観点に係る静電チャックは前記電極を備える。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、電極、多孔質パッド、非接触搬送装置及び静電チャックにおいて、空気の通過を阻害せずに、かつ、搬送物との間で作用する引力を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る非接触搬送装置の模式的な正面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る多孔質パッドの一部の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線の模式的な断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る電極の筒部の模式的な斜視図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る多孔質パッドの一部の平面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る（ａ）は図５のＢ−Ｂ線断面図であり、（ｂ）は図５のＣ−Ｃ線断面図である。
【図７】本発明の変形例に係る多孔質パッドの一部の平面図である。
【図８】本発明の変形例に係る多孔質パッドの一部の平面図である。
【図９】図８のＤ−Ｄ線の模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（第１の実施形態）
本発明に係る電極及び多孔質パッドを備えた非接触搬送装置の第１の実施形態について図１〜図４を参照して説明する。
【００２０】
図１に示すように、非接触搬送装置１は、対象物の一例である板状の搬送物Ｗを浮上させる浮力発生部１０と、非接触搬送装置１を制御する制御部３０と、浮上する搬送物Ｗを搬送方向Ｃに沿って搬送する搬送部４０と、搬送物Ｗを非接触にて保持する保持力を発生させる保持力発生部５０と、を備える。
【００２１】
浮力発生部１０は、多孔質パッド２０と、ケース部１４と、圧力調整部１５と、流量計１６と、連結管１７と、を備える。
ケース部１４は、多孔質パッド２０に向けて開口した箱状をなし、圧力調整部１５により加圧される調圧室１４ａを備える。
【００２２】
圧力調整部１５は、制御部３０による制御のもと、調圧室１４ａ内を加圧するコンプレッサーにより構成されている。圧力調整部１５は、ケース部１４から延びる連結管１７を介して調圧室１４ａ内に接続されている。
流量計１６は、連結管１７内の単位時間あたりの流量を検出する。
【００２３】
搬送物Ｗは、例えば、アルミニウム等の金属、樹脂、紙、セラミックス、木等の材質により板状に形成される。具体的には、搬送物Ｗは、太陽電池パネル、半導体パネル、液晶パネル、プリント基板、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）パネル、ガラス板又はポリマー等のフィルム等である。本実施形態では、電極２２は後述するように単極電極であり、搬送物Ｗは導体である。
【００２４】
圧力調整部１５により調圧室１４ａ内が加圧されることにより、多孔質パッド２０の搬送面２０ａから搬送物Ｗの下面Ｗ１に向けて正の空気圧Ｐ１が供給される。これにより、搬送物Ｗは搬送面２０ａに対して浮上する。本例では、浮力発生部１０は、正の空気圧Ｐ１が重力方向に対向するように設けられる。
【００２５】
図１に示すように、搬送部４０は搬送面２０ａに対して浮上した搬送物Ｗを搬送する。搬送部４０は、搬送物Ｗに対向する複数の搬送棒４１と、制御部３０の制御のもと複数の搬送棒４１を搬送方向Ｃに沿って移動させる駆動部４２と、を備える。搬送棒４１は、例えば搬送物Ｗに超音波を送ることにより非接触にて搬送物Ｗを駆動部４２とともに搬送方向Ｃに搬送させてもよいし、搬送物Ｗに吸着した状態で搬送物Ｗを駆動部４２とともに搬送方向Ｃに搬送させてもよい。
【００２６】
多孔質パッド２０は、ケース部１４の開口を覆うように板状をなす。多孔質パッド２０は、その表面に搬送物Ｗに対向する搬送面２０ａを備える。
【００２７】
詳しくは、図２及び図３に示すように、多孔質パッド２０は、多孔質基板２１と、電極２２と、を備える。多孔質基板２１は、空気を通す材質、例えば、多数の気孔を有するセラミックにより形成される。
【００２８】
電極２２は、導電性材料、例えば、アルミニウム又は銅等から構成される。電極２２は、制御部３０による制御のもと直流電圧が印加されることにより、陽極電荷又は陰極電荷が帯電する。すなわち、本実施形態では、電極２２は、陽極電荷が帯電される単極電極である。
【００２９】
図２、図３に示すように、電極２２は、多孔質基板２１における搬送面２０ａ側の部位に設けられる。電極２２は、搬送面２０ａに直交するＺ方向に斜めに貫通した複数の筒部２３を備える。複数の筒部２３は、本例では、正六角形筒状の筒部２３が隙間なく並べられたハニカム状をなす。各筒部２３の内部空間には多孔質基板２１が充填されている。各筒部２３は、Ｚ方向に対して傾斜する方向に延びている。各筒部２３内には、調圧室１４ａ内の圧力変化により空気が通過する流路Ｆｐが形成される。
【００３０】
図２、図３及び図４に示すように、各筒部２３は複数の傾斜壁部２３ａを備える。複数の筒部２３は隙間なく並べられているため、隣り合う２つの筒部２３間で傾斜壁部２３ａが共有される。
複数の傾斜壁部２３ａは、搬送面２０ａに沿うＹ方向に並び、Ｚ方向に対して傾斜する。一対の傾斜壁部２３ａの傾斜角度αを小さくすることにより、Ｚ方向における傾斜壁部２３ａの投影面積を増やすことができる。これにより、電極２２と搬送物Ｗとの間で作用する静電気的な引力である保持力Ｐｈを大きくすることができる。一方で、一対の傾斜壁部２３ａの傾斜角度αを小さくすることにより、多孔質パッド２０における空気の透過率が小さくなることが想定される。よって、傾斜角度αは、保持力Ｐｈと空気の透過率とを両立させる観点から設定されることが望ましい。傾斜角度αは、０°よりも大きく、かつ９０°よりも小さい角度範囲に設定される。一例として、傾斜角度αは４５°に設定される。一対の傾斜壁部２３ａの間には空気が通過する。図３に示すように、一対の傾斜壁部２３ａは、Ｚ方向から見て、一部Ｌが互いに重なるように傾斜するが、重ならないようにしても良い。本実施例では、傾斜壁部２３ａの上部と２３ｂの下部とがＺ方向から見て重なる。
【００３１】
多孔質パッド２０の搬送面２０ａには、搬送物Ｗと電極２２の間を絶縁する図示しない絶縁層が形成されている。この絶縁層を形成するために、例えば、多孔質パッド２０に空気が通過することを阻害しないように搬送面２０ａにおける電極２２に対応する部位のみに形成させても良いし、電極を多孔質パッドに埋設させても良い。
【００３２】
図１に示すように、保持力発生部５０は、電源Ｖｂと、スイッチＳｗと、を備える。電源Ｖｂの陽極端子は電極２２に電気的に接続される。電源Ｖｂの陰極端子はスイッチＳｗを介して搬送物Ｗに電気的に接続される。
スイッチＳｗは、制御部３０による制御のもと、閉状態と開状態との間で切り替わる。
スイッチＳｗが閉状態にあるとき、電源Ｖｂからの直流電圧が電極２２及び搬送物Ｗに印加される。これにより、図３に示すように、電極２２には陽極電荷が帯電し、搬送物Ｗには陰極電荷が帯電する。このとき、電極２２と搬送物Ｗとの間で静電的な引力（静電力）が保持力Ｐｈとして発生する。スイッチＳｗが開状態にあるときには電極２２及び搬送物Ｗには電荷が帯電せずに保持力Ｐｈが発生しない。
【００３３】
制御部３０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等から構成される。制御部３０は、搬送部４０、圧力調整部１５及び保持力発生部５０を制御する。
【００３４】
例えば、制御部３０は、圧力調整部１５を駆動することにより搬送物Ｗの下面Ｗ１に向けて正の空気圧Ｐ１を供給する。これにより、搬送物Ｗは多孔質パッド２０の搬送面２０ａに対して浮上する。そして、制御部３０は、保持力発生部５０のスイッチＳｗを開状態に維持した状態で、すなわち、保持力Ｐｈが発生しない状態で、駆動部４２を駆動することにより、搬送物Ｗを特定位置に向けて搬送させる。制御部３０は、搬送物Ｗが特定位置に到達したとき、保持力発生部５０のスイッチＳｗを開状態から閉状態に切り替える。これにより、搬送物Ｗは、電極２２との間で作用する保持力Ｐｈにより非接触にて保持される。このため、搬送物Ｗは、浮いた状態で特定位置からずれることが抑制される。即ち、保持力発生装置は本搬送装置の搬送物Ｗの停止装置にもなる。
【００３５】
（効果）
以上、説明した第１の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
【００３６】
（１）電極２２は、電圧が印加されることにより、表面の一例である搬送面２０ａに対向する搬送物Ｗとの間に引力を作用させる。電極２２は、多孔質パッド２０の搬送面２０ａに沿うＹ方向に並び、搬送面２０ａに直交するＺ方向に対して傾斜し、空気が通過する流路Ｆｐを形成する一対の傾斜壁部２３ａを備える。
この構成によれば、電極２２が傾斜壁部２３ａを有することにより、従来のように搬送面に沿って延びる電極に比べて、搬送面２０ａの単位面積あたりの電極２２の表面積を増やすことができる。また、電極２２における一対の傾斜壁部２３ａの間の流路Ｆｐを空気が通過する。また、一対の傾斜壁部２３ａは、搬送面２０ａに直交するＺ方向に対して傾斜する。よって、傾斜壁部がＺ方向に沿って延びる構成に比べて、電極２２と搬送物Ｗとの間で作用する引力（クーロン力）を増加させることができ、これにより、搬送物Ｗの位置を保持する保持力Ｐｈを増加させることができる。
また、電極２２に流路Ｆｐが形成されることで、電極２２により空気の通過が阻害されることを抑制できる。これにより、搬送物Ｗの下面に供給される空気圧のバラツキが小さくなり、たとえ搬送物Ｗが薄い場合であっても、搬送物Ｗの平坦性を確保することができ、搬送物Ｗの搬送後に行われる加工等の精度を向上させることができる。
【００３７】
（２）一対の傾斜壁部２３ａは、搬送面２０ａに直交するＺ方向から見て、一部Ｌが互いに重なるように傾斜する。
この構成によれば、一対の傾斜壁部２３ａの一部Ｌが重なるため、電極２２と搬送物Ｗとの間で作用する引力（クーロン力）を増加させることができ、これにより、搬送物Ｗの位置を保持する保持力Ｐｈを増加させることができる。
【００３８】
（３）電極２２は、一対の傾斜壁部２３ａを有する筒部２３を備え、筒部２３は、搬送面２０ａに沿って並べられ、搬送面２０ａに直交するＺ方向に対して傾斜する。
この構成によれば、電極２２を安定的に形成することができる。
【００３９】
（４）電極２２は、正六角形筒状の筒部２３が並べられたハニカム状に形成される。
この構成によれば、電極２２を安定的に形成することができる。
【００４０】
（５）多孔質パッド２０は、空気を通す多孔質基板２１と、多孔質基板２１に設けられる電極２２と、を備え、電極２２は一対の傾斜壁部２３ａの間に空気が通過する流路Ｆｐを形成する。
この構成によれば、多孔質パッド２０は、空気の通過を阻害せずに、かつ、搬送物Ｗの位置を保持する保持力Ｐｈを確保することができる。
【００４１】
（６）非接触搬送装置１は、多孔質パッド２０と、多孔質パッド２０により閉じられた空間である調圧室１４ａを有するケース部１４と、調圧室１４ａを加圧することより、多孔質パッド２０を介して搬送物Ｗに正の空気圧Ｐ１を供給する圧力調整部１５と、圧力調整部１５を通じて搬送物Ｗを多孔質パッド２０に対して浮上させた状態で、制御部５０による制御のもと電極２２に電圧を印加することにより、搬送物Ｗと電極２２との間に引力を保持力Ｐｈとして作用させる保持力発生部５０と、を備える。
この構成によれば、搬送物Ｗは、浮上した状態で、電極２２との間で作用する保持力Ｐｈにより非接触にてその位置に保持される。
【００４２】
（第２の実施形態）
本発明に係る電極及び多孔質パッドを備えた非接触搬送装置の第２の実施形態について図５及び図６（ａ），（ｂ）を参照して説明する。本実施形態では、電極は双極電極である点が上記第１の実施形態と異なる。また、本実施形態では、電極は双極電極であり、搬送物Ｗは絶縁体である。以下、上記第１の実施形態との相違点を中心に説明する。
【００４３】
図５に示すように、電極１２２は、第１の実施形態の電極２２と同様のハニカム状をなす。電極１２２は、陽極電極部１２５と、陰極電極部１２６と、絶縁部１２４と、を備える。
【００４４】
絶縁部１２４は、ゴムを含む樹脂等の絶縁材料により形成され、陽極電極部１２５と陰極電極部１２６の間に位置する。絶縁部１２４は、搬送面２０ａに沿うＹ方向に沿って延びる台形波状をなす。絶縁部１２４は、絶縁部１２４が延びる方向に直交するＸ方向において並ぶように配列される。詳しくは、絶縁部１２４は、複数の筒部２３のＹ方向に沿って連続する傾斜壁部１２４ａとして構成される。
【００４５】
陽極電極部１２５及び陰極電極部１２６は、Ｘ方向に沿って、絶縁部１２４を挟んで交互に繰り返されるように形成される。
陽極電極部１２５は、２つの絶縁部１２４の間に位置する複数の筒部２３の傾斜壁部１２５ａとして構成される。陰極電極部１２６は、２つの絶縁部１２４の間に位置する複数の筒部２３の傾斜壁部１２６ａとして構成される。
【００４６】
図６（ｂ）に示すように、陰極電極部１２６の傾斜壁部１２６ａは、隣り合う傾斜壁部１２６ａと一部が重なるようにＺ方向に対して傾斜し、Ｙ方向に沿って並べられている。陽極電極部１２５の傾斜壁部１２５ａ及び絶縁部１２４の傾斜壁部１２４ａも、陰極電極部１２６の傾斜壁部１２６ａと同様に傾斜して並べられている。
【００４７】
図６（ａ）に示すように、本実施形態の保持力発生部１５０においては、電源Ｖｂの陽極端子が各陽極電極部１２５に接続され、電源Ｖｂの陰極端子が各陰極電極部１２６に接続されている。スイッチＳｗが閉状態に切り替えられたとき、多孔質パッド２０はＸ方向に沿って陽極及び陰極が周期的に帯電する。このとき、浮上する搬送物Ｗにおいては、多孔質パッド２０の陽極に対向する部位に陰極が帯電し、多孔質パッド２０の陰極に対向する部位に陽極が帯電する。よって、搬送面２０ａに不均一電界が発生することにより、絶縁体の搬送物Ｗに反対の不均一電荷が発生し静電力が発生し、電極１２２の間に引力が作用する。これにより、浮上中の搬送物Ｗは保持力Ｐｈにより非接触にて保持される。本実施形態では、上記第１の実施形態と異なり、搬送物Ｗは電源Ｖｂの陰極端子に接続されていない。よって、搬送物Ｗを完全に非接触にて固定することができる。
【００４８】
（効果）
以上、説明した第２の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
【００４９】
（１）電極２２は、陽極の電荷が帯電される陽極電極部１２５と、陰極の電荷が帯電される陰極電極部１２６と、陽極電極部１２５と陰極電極部１２６の間に形成される絶縁部１２４と、を備える。絶縁部１２４は、搬送面２０ａに沿う第１方向であるＹ方向に沿って延び、搬送面２０ａに沿い、かつＹ方向に直交する第２方向であるＸ方向に沿って並ぶ。
この構成によれば、電極２２は陽極及び陰極の電荷が帯電される双極電極であるため、絶縁体である搬送物Ｗを完全に非接触にて固定することができる。
【００５０】
（２）絶縁部１２４は、Ｙ方向に沿って連続する複数の筒部２３の傾斜壁部１２４ａとして形成される。
この構成によれば、絶縁部１２４は、筒部２３の傾斜壁部１２４ａとして構成される。よって、絶縁部１２４は、陽極電極部１２５と陰極電極部１２６の間をより確実に絶縁することができる。
【００５１】
（３）陽極電極部１２５の複数の傾斜壁部１２５ａは、表面に直交するＺ方向から見て、一部が互いに重なるように傾斜し、陰極電極部１２６の複数の傾斜壁部１２６ａは、Ｚ方向から見て、一部が互いに重なるように傾斜する。
この構成によれば、異なる極の電荷が帯びる傾斜壁部同士が重なることを抑制できる。これにより、静電気的な引力を高めることができる。
【００５２】
（変形例）
なお、上記各実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することができる。
【００５３】
上記各実施形態においては、筒部２３は正六角形の筒状をなしていたが、筒部２３の形状はこれに限らず、筒部２３は正六角形以外の多角形の筒状をなしていてもよい。筒部２３は、例えば、三角形、四角形又は五角形の筒状であってもよいし、楕円も含む円筒状の筒状であってもよい。電極２２は、搬送面２０ａの位置により異なる形状及びサイズの筒部を有していてもよい。
【００５４】
さらに、図８及び図９に示すように、電極２２２は、それぞれ別体の複数の傾斜壁部２２３により構成されていてもよい。傾斜壁部２２３は、Ｘ方向に沿って延び、Ｙ方向に沿って並べられている。傾斜壁部２２３は、Ｘ方向に長い長方形板状をなし、Ｚ方向に対して傾斜する。複数の傾斜壁部２２３は、互いに平行をなしてもよいし、互いに異なる角度に設けられていてもよい。複数の傾斜壁部２２３は、上記第１の実施形態と同様に全て陽極電極であってもよいし、それぞれ異なる極の電極であってもよい。例えば、複数の傾斜壁部２２３のうち第１の傾斜壁部は陽極の電荷が帯電される陽極電極として構成され、複数の傾斜壁部２２３のうち第２の傾斜壁部は陰極の電荷が帯電される陰極電極として構成されてもよい。複数の陽極電極及び複数の陰極電極がＹ方向に沿って交互に配置されてもよい。
【００５５】
また、上記第２の実施形態において、陽極電極部１２５と陰極電極部１２６を別体でかつ離れた位置に設けることにより、絶縁部１２４を省略してもよい。
【００５６】
上記各実施形態においては、一対の傾斜壁部２３ａは、図３に示すように、Ｚ方向から見て、一部Ｌが互いに重なるように傾斜していたが、一部Ｌが互いに重ならないように傾斜していてもよい。
【００５７】
上記第２の実施形態においては、絶縁部１２４は、図５に示すように、Ｙ’方向に沿って連続する複数の筒部２３の傾斜壁部１２４ａとして形成されていたが、絶縁部１２４の形成態様はこれに限らない。例えば、図７に示すように、絶縁部１３４は、複数の筒部２３において、Ｙ方向に沿って延びる複数の傾斜壁部１３４ａとして形成される。複数の傾斜壁部１３４ａは、Ｙ方向に沿って１つの筒部２３を挟んで破線状に配列されている。この構成によっても、絶縁部１３４は、陽極電極部１２５と陰極電極部１２６の間を絶縁することができる。また、この構成によれば、絶縁部１３４を構成する筒部２３の傾斜壁部１３４ａの数を少なくすることができる。これにより、陽極電極部１２５及び陰極電極部１２６を構成する筒部２３の傾斜壁部１２５ａ，１２６ａの数を増やすことができる。従って、電極２２と搬送物Ｗとの間で作用する保持力Ｐｈを大きくすることができる。
【００５８】
上記各実施形態においては、電極２２は、多孔質パッド２０の搬送面２０ａの全域にわたって形成されていたが、搬送面２０ａの一部に形成されていてもよい。
【００５９】
上記各実施形態においては、一対の傾斜壁部２３ａは、互いに平行をなしていたが、互いに平行をなさずにそれぞれ異なる傾斜角度αに設けられていてもよい。
【００６０】
上記各実施形態及び上記各変形例では、搬送物Ｗは、電極２２との間で作用する引力により非接触にてその位置に保持されていた。しかし、非接触搬送装置１は、電極２２と搬送物Ｗとの間で作用する引力により搬送物Ｗを搬送してもよい。この場合、上記図８及び図９の変形例においては、非接触搬送装置１は、第１の傾斜壁部２２３ａ及び第２の傾斜壁部２２３ｂに帯電させる極を切り替えることにより発生する引力を利用して搬送物Ｗを搬送してもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１  非接触搬送装置
１０  浮力発生部
１４  ケース部
１４ａ  調圧室
１５  圧力調整部
２０  多孔質パッド
２０ａ  搬送面
２１  多孔質基板
２２，１２２，２２２  電極
２３  筒部
２３ａ，１２４ａ，１２５ａ，１２６ａ，２２３  傾斜壁部
３０  制御部
４０  搬送部
５０，１５０  保持力発生部
１２４，１３４  絶縁部
１２５  陽極電極部
１２６  陰極電極部
Ｗ  搬送物
Ｐｈ  保持力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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