(57)【要約】【課題】ノズルに繋がる処理液供給配管に設けられた開閉弁の閉鎖速度の区分の判定精度を改善する。【解決手段】処理液吐出装置は、ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁の閉鎖速度を判定する判定部と、開閉弁が処理液供給流路を閉鎖してノズルからの処理液の吐出が停止したときに、ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する処理液の吐出経路とを吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像部と、を備え、判定部は、撮像部がノズルの先端部の流路と吐出経路とを撮像した原画像のうちノズルの先端部の流路および吐出経路の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから処理液を吐出する処理液吐出装置であって、
前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁の閉鎖速度を判定する判定部と、
前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したときに、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを前記吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像部と、
を備え、
前記判定部は、
前記撮像部が前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する、処理液吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の処理液吐出装置であって、
前記判定部は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像について、前記第１画像と前記第２画像とのそれぞれにおける前記処理液の像の面積に応じた所定の特徴量を算出する特徴量算出部と、
前記第１画像の前記特徴量と前記第２画像の前記特徴量に所定の判定規則を適用することによって前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定するルールベース判定部と、
を備える、処理液吐出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の処理液吐出装置であって、
前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている、処理液吐出装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の処理液吐出装置であって、
前記判定規則は、
前記ノズルの先端部の流路が液密状態で無ければ前記開閉弁の閉鎖速度が速すぎると判定し、前記ノズルの先端部の流路が液密状態であって、かつ、前記吐出経路に前記処理液が存在していれば、前記開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると判定する規則である、処理液吐出装置。
【請求項５】
請求項１に記載の処理液吐出装置であって、
前記判定部は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する分類器を備えるとともに、前記分類器によって前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定し、
前記分類器は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像のサンプル画像を用いて予め機械学習によって生成されている、処理液吐出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の処理液吐出装置であって、
前記分類器は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定し、
前記分類器は、
前記第１画像と、前記第２画像とのそれぞれのサンプル画像を用いて、予め機械学習によって生成されている、処理液吐出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の処理液吐出装置であって、
前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている、処理液吐出装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れか１つの請求項に記載の処理液吐出装置であって、
前記撮像部は、
前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したとき以後に、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを時間的に順次に撮像し、
前記処理液吐出装置は、
前記撮像部が前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した時系列画像に基づいて、前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の派生画像を生成する画像生成部をさらに備え、
前記判定部は、前記画像生成部が生成した前記派生画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する、処理液吐出装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８の何れか１つの請求項に記載の処理液吐出装置であって、
処理液供給源と前記ノズルとを接続し、前記処理液供給源が供給する処理液を前記ノズルに導く配管と、
前記開閉弁に開閉動作を行わせる駆動機構と、
をさらに備え、
前記開閉弁は前記配管の経路途中に設けられ、
当該処理液吐出装置は、
前記判定部が判定した前記開閉弁の閉鎖速度の区分に基づいて、当該閉鎖速度が適切な速度になるように前記駆動機構の動作を調整する閉鎖速度調整部、
をさらに備える、処理液吐出装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の処理液吐出装置であって、
前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、
前記駆動機構は、
前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、
前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、
前記気体供給配管に設けられ、前記気体供給配管内の前記気体の流路を開閉する電磁弁と、
前記気体供給配管に設けられ、開度に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流量を制御するモーター駆動式のニードルバルブとを備え、
前記閉鎖速度調整部は、
前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーター駆動式のニードルバルブの開度を調整する、処理液吐出装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の処理液吐出装置であって、
前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、
前記駆動機構は、
前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、
前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、
前記気体供給配管に設けられ、電圧に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流路の開閉及び流量を制御する電空レギュレータと、
を備え、
前記閉鎖速度調整部は、
前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記電空レギュレータの開度を調整する、処理液吐出装置。
【請求項１２】
請求項９に記載の処理液吐出装置であって、
前記開閉弁は、前記配管の経路途中に設けられた弁本体と、前記弁本体を開閉するモーターとを含み、当該モーターの回転数に応じた速度で開閉動作を行うモーター弁であり、
前記駆動機構は、前記モーターを備え、
前記閉鎖速度調整部は、
前記モーター弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーターの動作を調整する、処理液吐出装置。
【請求項１３】
請求項１０に記載の処理液吐出装置であって、
前記エア弁の開閉を検出する開閉センサーと、
前記エア弁を閉状態とする動作を前記電磁弁が行ってから、前記エア弁が実際に閉じるまでの遅れ時間を前記開閉センサーの出力に基づいて測定し、前記エア弁が所定のタイミングで閉じるように、当該測定の結果に基づいて前記電磁弁が前記エア弁を閉状態とする動作を行うタイミングを調整するタイミング調整部と、
をさらに備える、処理液吐出装置。
【請求項１４】
ノズルから吐出する処理液の停止状態を判定する判定装置であって、
前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したときに、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを前記吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像部と、
前記撮像部が前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する判定部と、
を備える、判定装置。
【請求項１５】
ノズルから処理液を吐出する処理液吐出方法であって、
前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁の閉鎖速度を判定する判定工程と、
前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したときに、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを撮像する撮像工程と、
を備え、
前記判定工程は、
前記撮像工程において前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とが撮像された原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する、処理液吐出方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の処理液吐出方法であって、
前記判定工程は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像について、前記第１画像と前記第２画像とのそれぞれにおける前記処理液の像の面積に応じた所定の特徴量を算出する特徴量算出工程と、
前記第１画像の前記特徴量と前記第２画像の前記特徴量に所定の判定規則を適用することによって前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定するルールベース判定工程と、
を備える、処理液吐出方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の処理液吐出方法であって、
前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている、処理液吐出方法。
【請求項１８】
請求項１６または請求項１７に記載の処理液吐出方法であって、
前記判定規則は、
前記ノズル先端部の流路が液密状態で無ければ前記開閉弁の閉鎖速度が速すぎると判定し、前記ノズル先端部の流路が液密状態であって、かつ、前記吐出経路に前記処理液が存在していれば、前記開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると判定する規則である、処理液吐出方法。
【請求項１９】
請求項１５に記載の処理液吐出方法であって、
前記判定工程は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する分類器によって前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する工程であり、
前記分類器は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像のサンプル画像を用いて予め機械学習によって生成されている、処理液吐出方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の処理液吐出方法であって、
前記分類器は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定し、
前記分類器は、
前記第１画像と、前記第２画像とのそれぞれのサンプル画像を用いて、予め機械学習によって生成されている、処理液吐出方法。
【請求項２１】
請求項２０に記載の処理液吐出方法であって、
前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている、処理液吐出方法。
【請求項２２】
請求項１５から請求項２１の何れか１つの請求項に記載の処理液吐出方法であって、
前記撮像工程は、
前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したとき以後に、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを時間的に順次に撮像する工程であり、
前記処理液吐出方法は、
前記撮像工程において前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した時系列画像に基づいて、前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の派生画像を生成する画像生成工程をさらに備え、
前記判定工程は、前記画像生成工程において生成した前記派生画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する工程である、処理液吐出方法。
【請求項２３】
処理液吐出装置における処理液吐出方法であって、
請求項１５から請求項２２の何れか１つの請求項に記載の処理液吐出方法、
を備え、
前記処理液吐出装置は、
処理液供給源と前記ノズルとを接続し、前記処理液供給源が供給する処理液を前記ノズルに導く配管と、
前記開閉弁に開閉動作を行わせる駆動機構と、
を備え、
前記開閉弁は前記配管の経路途中に設けられ、
当該処理液吐出方法は、
前記判定工程において判定された前記開閉弁の閉鎖速度の区分に基づいて、当該閉鎖速度が適切な速度になるように前記駆動機構の動作を調整する閉鎖速度調整工程、
をさらに備える、処理液吐出方法。
【請求項２４】
請求項２３に記載の処理液吐出方法であって、
前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、
前記駆動機構は、
前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、
前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、
前記気体供給配管に設けられ、前記気体供給配管内の前記気体の流路を開閉する電磁弁と、
前記気体供給配管に設けられ、開度に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流量を制御するモーター駆動式のニードルバルブとを備え、
前記閉鎖速度調整工程は、
前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーター駆動式のニードルバルブの開度を調整する工程である、処理液吐出方法。
【請求項２５】
請求項２３に記載の処理液吐出方法であって、
前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、
前記駆動機構は、
前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、
前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、
前記気体供給配管に設けられ、電圧に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流路の開閉及び流量を制御する電空レギュレータと、
を備え、
前記閉鎖速度調整工程は、
前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記電空レギュレータの開度を調整する工程である、処理液吐出方法。
【請求項２６】
請求項２３に記載の処理液吐出方法であって、
前記開閉弁は、前記配管の経路途中に設けられた弁本体と、前記弁本体を開閉するモーターとを含み、当該モーターの回転数に応じた速度で開閉動作を行うモーター弁であり、
前記駆動機構は、前記モーターを備え、
前記閉鎖速度調整工程は、
前記モーター弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーターの動作を調整する工程である、処理液吐出方法。
【請求項２７】
請求項２４に記載の処理液吐出方法であって、
前記エア弁の開閉を検出する開閉検出工程と、
前記エア弁を閉状態とする動作を前記電磁弁が行ってから、前記エア弁が実際に閉じるまでの遅れ時間を前記開閉検出工程において検出された前記エア弁の開度に基づいて測定し、前記エア弁が所定のタイミングで閉じるように、当該測定の結果に基づいて前記電磁弁が前記エア弁を閉状態とする動作を行うタイミングを調整するタイミング調整工程と、
をさらに備える、処理液吐出方法。
【請求項２８】
ノズルから吐出する処理液の停止状態を判定する判定方法であって、
前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したときに、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを前記吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像工程と、
前記撮像工程において前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する判定工程と、
を備える、判定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理液の供給流路を開閉する開閉弁の閉鎖速度を判定する技術、および処理液の吐出技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ノズルからフォトレジスト液などの塗布液を基板に供給して塗布被膜を基板上に形成する塗布液供給装置が開示されている。当該装置は、ノズルに接続する塗布液供給配管に設けられたエア弁の開放と閉鎖とを行うことによって、ノズルからの塗布液の供給と停止とを行う。塗布液の塗布処理において、基板上における塗布液の塗布ムラが生じると膜厚が不均一となって後の工程に悪影響を与える。
【０００３】
当該装置では、ノズルが塗布液の供給を行っている状態から、ある閉鎖速度でエア弁を閉鎖すると、エア弁の閉鎖速度に応じて徐々に塗布液の吐出幅が細くなってゆき、遂には塗布液がノズル先端と基板との間のある位置で途切れる。この液切れ位置は、エア弁の閉鎖速度に応じて変位する。
【０００４】
当該装置は、サックバックを行って、液切れ位置よりも上方の塗布液をノズルに引き戻す。液切れ位置よりも下方の塗布液は、基板の表面に向かって細糸状となって落下する。また、塗布液の途切れた部分には数滴の液滴が生じて、当該細糸状の塗布液よりも遅れて基板に落下する。
【０００５】
当該装置においては、塗布ムラの発生は当該液滴の発生に関わらず液切れ位置の高さに依存している。そこで、当該装置は、ノズル先端と基板との間における液切れ位置をカメラで撮像して検出し、塗布ムラの生じない範囲に液切れ位置が存在するようにエア弁の閉鎖速度を調節することによって、塗布ムラを防止することを図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−８２６４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の塗布液供給装置では、液切れ位置に基づいてエア弁の閉鎖速度を調整するため、エア弁の閉鎖速度が遅すぎることとなってエア弁の閉鎖後、暫く間、断続的に液滴が落下し続けることによって塗布ムラが生じるといった問題がある。また、当該装置では、当該調整の結果、逆にエア弁の閉鎖速度が速すぎることとなって、ノズルの先端部分の内壁面に付着した液滴を除いて液が存在しない領域が、いわゆるウォーターハンマーによってノズルの先端部分に生じ、内壁面に付着した液滴が基板上に落下して塗布ムラを生ずるといった問題もある。すなわち、当該装置では、開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、速いか遅いかという開閉弁の閉鎖速度の区分を精度良く判定できないといった問題がある。
【０００８】
本発明は、こうした問題を解決するためになされたもので、ノズルに繋がる処理液供給配管に設けられた開閉弁の閉鎖速度の区分の判定精度を改善できる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、第１の態様に係る処理液吐出装置は、ノズルから処理液を吐出する処理液吐出装置であって、前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁の閉鎖速度を判定する判定部と、前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したときに、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを前記吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像部と、を備え、前記判定部は、前記撮像部が前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。
【００１０】
第２の態様に係る処理液吐出装置は、第１の態様に係る処理液吐出装置であって、前記判定部は、前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像について、前記第１画像と前記第２画像とのそれぞれにおける前記処理液の像の面積に応じた所定の特徴量を算出する特徴量算出部と、前記第１画像の前記特徴量と前記第２画像の前記特徴量に所定の判定規則を適用することによって前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定するルールベース判定部と、を備える。
【００１１】
第３の態様に係る処理液吐出装置は、第２の態様に係る処理液吐出装置であって、前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている。
【００１２】
第４の態様に係る処理液吐出装置は、第２または第３の態様に係る処理液吐出装置であって、前記判定規則は、前記ノズルの先端部の流路が液密状態で無ければ前記開閉弁の閉鎖速度が速すぎると判定し、前記ノズルの先端部の流路が液密状態であって、かつ、前記吐出経路に前記処理液が存在していれば、前記開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると判定する規則である。
【００１３】
第５の態様に係る処理液吐出装置は、第１の態様に係る処理液吐出装置であって、前記判定部は、前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する分類器を備えるとともに、前記分類器によって前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定し、前記分類器は、前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像のサンプル画像を用いて予め機械学習によって生成されている。
【００１４】
第６の態様に係る処理液吐出装置は、第５の態様に係る処理液吐出装置であって、前記分類器は、前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定し、前記分類器は、前記第１画像と、前記第２画像とのそれぞれのサンプル画像を用いて、予め機械学習によって生成されている。
【００１５】
第７の態様に係る処理液吐出装置は、第６の態様に係る処理液吐出装置であって、前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている。
【００１６】
第８の態様に係る処理液吐出装置は、第１から第７の何れか１つの態様に係る処理液吐出装置であって、前記撮像部は、前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したとき以後に、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを時間的に順次に撮像し、前記処理液吐出装置は、前記撮像部が前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した時系列画像に基づいて、前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の派生画像を生成する画像生成部をさらに備え、前記判定部は、前記画像生成部が生成した前記派生画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。
【００１７】
第９の態様に係る処理液吐出装置は、第１から第８の何れか１つの態様に係る処理液吐出装置であって、処理液供給源と前記ノズルとを接続し、前記処理液供給源が供給する処理液を前記ノズルに導く配管と、前記開閉弁に開閉動作を行わせる駆動機構と、をさらに備え、前記開閉弁は前記配管の経路途中に設けられ、当該処理液吐出装置は、前記判定部が判定した前記開閉弁の閉鎖速度の区分に基づいて、当該閉鎖速度が適切な速度になるように前記駆動機構の動作を調整する閉鎖速度調整部、をさらに備える。
【００１８】
第１０の態様に係る処理液吐出装置は、第９の態様に係る処理液吐出装置であって、前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、前記駆動機構は、前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、前記気体供給配管に設けられ、前記気体供給配管内の前記気体の流路を開閉する電磁弁と、前記気体供給配管に設けられ、開度に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流量を制御するモーター駆動式のニードルバルブとを備え、前記閉鎖速度調整部は、前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーター駆動式のニードルバルブの開度を調整する。
【００１９】
第１１の態様に係る処理液吐出装置は、第９の態様に係る処理液吐出装置であって、前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、前記駆動機構は、前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、前記気体供給配管に設けられ、電圧に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流路の開閉及び流量を制御する電空レギュレータと、を備え、前記閉鎖速度調整部は、前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記電空レギュレータの開度を調整する。
【００２０】
第１２の態様に係る処理液吐出装置は、第９の態様に係る処理液吐出装置であって、前記開閉弁は、前記配管の経路途中に設けられた弁本体と、前記弁本体を開閉するモーターとを含み、当該モーターの回転数に応じた速度で開閉動作を行うモーター弁であり、前記駆動機構は、前記モーターを備え、前記閉鎖速度調整部は、前記モーター弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーターの動作を調整する。
【００２１】
第１３の態様に係る処理液吐出装置は、第１０の態様に係る処理液吐出装置であって、前記エア弁の開閉を検出する開閉センサーと、前記エア弁を閉状態とする動作を前記電磁弁が行ってから、前記エア弁が実際に閉じるまでの遅れ時間を前記開閉センサーの出力に基づいて測定し、前記エア弁が所定のタイミングで閉じるように、当該測定の結果に基づいて前記電磁弁が前記エア弁を閉状態とする動作を行うタイミングを調整するタイミング調整部と、をさらに備える。
【００２２】
第１４の態様に係る判定装置は、ノズルから吐出する処理液の停止状態を判定する判定装置であって、前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したときに、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを前記吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像部と、前記撮像部が前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する判定部と、を備える。
【００２３】
第１５の態様に係る処理液吐出方法は、ノズルから処理液を吐出する処理液吐出方法であって、前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁の閉鎖速度を判定する判定工程と、前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したときに、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを撮像する撮像工程と、を備え、前記判定工程は、前記撮像工程において前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とが撮像された原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。
【００２４】
第１６の態様に係る処理液吐出方法は、第１５の態様に係る処理液吐出方法であって、前記判定工程は、前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像について、前記第１画像と前記第２画像とのそれぞれにおける前記処理液の像の面積に応じた所定の特徴量を算出する特徴量算出工程と、前記第１画像の前記特徴量と前記第２画像の前記特徴量に所定の判定規則を適用することによって前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定するルールベース判定工程と、を備える。
【００２５】
第１７の態様に係る処理液吐出方法は、第１６の態様に係る処理液吐出方法であって、前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている。
【００２６】
第１８の態様に係る処理液吐出方法は、第１６または第１７の態様に係る処理液吐出方法であって、前記判定規則は、前記ノズル先端部の流路が液密状態で無ければ前記開閉弁の閉鎖速度が速すぎると判定し、前記ノズル先端部の流路が液密状態であって、かつ、前記吐出経路に前記処理液が存在していれば、前記開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると判定する規則である。
【００２７】
第１９の態様に係る処理液吐出方法は、第１５の態様に係る処理液吐出方法であって、前記判定工程は、前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する分類器によって前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する工程であり、前記分類器は、前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像のサンプル画像を用いて予め機械学習によって生成されている。
【００２８】
第２０の態様に係る処理液吐出方法は、第１９の態様に係る処理液吐出方法であって、前記分類器は、前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定し、前記分類器は、前記第１画像と、前記第２画像とのそれぞれのサンプル画像を用いて、予め機械学習によって生成されている。
【００２９】
第２１の態様に係る処理液吐出方法は、第２０の態様に係る処理液吐出方法であって、前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている。
【００３０】
第２２の態様に係る処理液吐出方法は、第１５から第２１の何れか１つの態様に係る処理液吐出方法であって、前記撮像工程は、前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したとき以後に、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを時間的に順次に撮像する工程であり、前記処理液吐出方法は、前記撮像工程において前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した時系列画像に基づいて、前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の派生画像を生成する画像生成工程をさらに備え、前記判定工程は、前記画像生成工程において生成した前記派生画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する工程である。
【００３１】
第２３の態様に係る処理液吐出方法は、処理液吐出装置における処理液吐出方法であって、第１５から第２２の何れか１つの態様に係る処理液吐出方法、を備え、前記処理液吐出装置は、処理液供給源と前記ノズルとを接続し、前記処理液供給源が供給する処理液を前記ノズルに導く配管と、前記開閉弁に開閉動作を行わせる駆動機構と、を備え、前記開閉弁は前記配管の経路途中に設けられ、当該処理液吐出方法は、前記判定工程において判定された前記開閉弁の閉鎖速度の区分に基づいて、当該閉鎖速度が適切な速度になるように前記駆動機構の動作を調整する閉鎖速度調整工程、をさらに備える。
【００３２】
第２４の態様に係る処理液吐出方法は、第２３の態様に係る処理液吐出方法であって、前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、前記駆動機構は、前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、前記気体供給配管に設けられ、前記気体供給配管内の前記気体の流路を開閉する電磁弁と、前記気体供給配管に設けられ、開度に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流量を制御するモーター駆動式のニードルバルブとを備え、前記閉鎖速度調整工程は、前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーター駆動式のニードルバルブの開度を調整する工程である。
【００３３】
第２５の態様に係る処理液吐出方法は、第２３の態様に係る処理液吐出方法であって、前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、前記駆動機構は、前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、前記気体供給配管に設けられ、電圧に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流路の開閉及び流量を制御する電空レギュレータと、を備え、前記閉鎖速度調整工程は、前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記電空レギュレータの開度を調整する工程である。
【００３４】
第２６の態様に係る処理液吐出方法は、第２３の態様に係る処理液吐出方法であって、前記開閉弁は、前記配管の経路途中に設けられた弁本体と、前記弁本体を開閉するモーターとを含み、当該モーターの回転数に応じた速度で開閉動作を行うモーター弁であり、前記駆動機構は、前記モーターを備え、前記閉鎖速度調整工程は、前記モーター弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーターの動作を調整する工程である。
【００３５】
第２７の態様に係る処理液吐出方法は、第２４の態様に係る処理液吐出方法であって、前記エア弁の開閉を検出する開閉検出工程と、前記エア弁を閉状態とする動作を前記電磁弁が行ってから、前記エア弁が実際に閉じるまでの遅れ時間を前記開閉検出工程において検出された前記エア弁の開度に基づいて測定し、前記エア弁が所定のタイミングで閉じるように、当該測定の結果に基づいて前記電磁弁が前記エア弁を閉状態とする動作を行うタイミングを調整するタイミング調整工程と、をさらに備える。
【００３６】
第２８の態様に係る判定方法は、ノズルから吐出する処理液の停止状態を判定する判定方法であって、前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したときに、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを前記吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像工程と、前記撮像工程において前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する判定工程と、を備える。
【発明の効果】
【００３７】
第１の態様に係る発明によれば、処理液吐出装置の判定部は、撮像部がノズルの先端部の流路と処理液の吐出経路とを撮像した画像のうち、ノズルの先端部の内部および処理液の吐出経路の原画像に基づいて、開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。当該流路は、開閉弁の閉鎖速度が速すぎると処理液が殆ど存在しなくなり、当該吐出経路は、開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると、処理液の液滴が存在する。従って、判定部は、開閉弁の閉鎖速度と、検出される処理液の存在態様との関係が異なる２つの領域に対応する画像に基づいて開閉弁の閉鎖速度が属する区分を判定し得る。従って、開閉弁の閉鎖速度の区分の判定精度を改善できる。
【００３８】
第２の態様に係る発明によれば、判定部の特徴量算出部は、ノズルの先端部の流路に対応する第１画像と、ノズル先端の処理液の吐出経路に対応する第２画像とのそれぞれにおいて、処理液の像の面積に応じた所定の特徴量を算出する。判定部のルールベース判定部は、第１画像の特徴量と第２画像の特徴量に所定の判定規則を適用することによって開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。従って、判定部は、第１画像と第２画像とについて個別に処理液の像の存在を検出して開閉弁の閉鎖速度の区分を判定するので、判定の精度を向上できる。
【００３９】
第３の態様に係る発明によれば、処理液の吐出方向の下流側における第１画像領域の端部は、ノズルの先端、すなわち当該吐出方向の上流側における第２画像領域の端部から当該吐出方向の上流側に離れている。従って、判定部は、吐出方向の下流側における第１画像領域の端部からノズルの先端にわたる画像領域の画像を開閉弁の閉鎖速度の区分の判定に使用しない。当該画像領域は、処理液の存在と、開閉弁の閉鎖速度との関係を特定しにくい領域である。このため、当該領域が判定に使用されない場合には、判定の精度をさらに向上でき得る。
【００４０】
第４の態様に係る発明によれば、判定規則は、ノズル先端部の流路が液密状態で無ければ開閉弁の閉鎖速度が速すぎると判定し、当該流路が液密状態であって、かつ、ノズル先端から延在する処理液の吐出経路に処理液が存在していれば、開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると判定する規則である。従って、開閉弁の閉鎖速度の区分の判定精度を向上できる。
【００４１】
第５の態様に係る発明によれば、分類器は、ノズルの先端部の流路および処理液の吐出経路のサンプル画像を用いて予め機械学習によって生成されており、判定部は、分類器によって開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。従って、サンプル画像と異なる画像が与えられる場合でも閉鎖速度の区分の判定精度を向上でき得る。
【００４２】
第６の態様に係る発明によれば、分類器は、撮像部がノズルの先端部の流路と処理液の吐出経路とを撮像した画像のうち流路に対応する第１画像領域の第１画像と、吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像に基づいて開閉弁の閉鎖速度の区分を判定するように機械学習によって生成されている。分類器は、第１画像と第２画像との各画像毎に、画像と開閉弁の閉鎖速度の区分との関係を学習できるので、分類器による判定精度を向上できる。
【００４３】
第７の態様に係る発明によれば、処理液の吐出方向の下流側における第１画像領域の端部は、ノズルの先端、すなわち当該吐出方向の上流側における第２画像領域の端部から当該吐出方向の上流側に離れている。従って、判定部の分類器は、吐出方向の下流側における第１画像領域の端部からノズルの先端にわたる画像領域の画像を開閉弁の閉鎖速度の区分の判定に使用しない。当該画像領域は、処理液の存在と、開閉弁の閉鎖速度との関係を特定しにくい領域である。このため、当該領域が判定に使用されない場合には、判定の精度をさらに向上でき得る。
【００４４】
第８の態様に係る発明によれば、ノズルの先端部の流路と、ノズルの先端から前方に延在する処理液の吐出経路とを含む撮影対象領域の時系列画像に基づいて、画像生成部が、ノズルの先端部の流路および処理液の吐出経路の派生画像を生成し、判定部は、当該派生画像に基づいて開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。処理液の存在態様の時間的な変化も判定結果に反映できるので、判定精度を向上できる。
【００４５】
第９の態様に係る発明によれば、判定部が判定した開閉弁の閉鎖速度が適切でない場合でも、判定された開閉弁の閉鎖速度の区分に応じて、閉鎖速度調整部が開閉弁の駆動機構を調整するので、開閉弁の閉鎖速度を適切な速度に調整することが容易となる。
【００４６】
第１０の態様に係る発明によれば、開閉弁がエア弁であり、開閉弁の駆動機構が電磁弁と、モーター駆動式のニードルバルブとを備える場合において、エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるようにモーター駆動式のニードルバルブの開度を調整できる。
【００４７】
第１１の態様に係る発明によれば、エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように電空レギュレータの開度を調整できる。
【００４８】
第１２の態様に係る発明によれば、モーター弁の閉鎖速度が適切な速度になるようにモーターの動作を調整できる。
【００４９】
第１３の態様に係る発明によれば、電磁弁が気体供給配管内の流路を開いてから、エア弁が実際に閉じるまでの遅れ時間が、開閉センサーの出力に基づいて測定され、エア弁が所定のタイミングで閉じるよう、タイミング調整部が、当該測定の結果に基づいて電磁弁が気体供給配管内の流路を開放するタイミングを調整する。従って、処理液の供給配管の径や、長さ等が、処理液吐出装置毎にばらつくことに起因して当該遅れ時間が処理液吐出装置毎にばらつく場合でも、エア弁が所定のタイミングで閉鎖するように調整し得る。
【００５０】
第１４の態様に係る発明によれば、判定装置の判定部は、撮像部がノズルの先端部の流路と処理液の吐出経路とを撮像した画像のうち、ノズルの先端部の内部および処理液の吐出経路の原画像に基づいて、開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。当該流路は、開閉弁の閉鎖速度が速すぎると処理液が殆ど存在しなくなり、当該吐出経路は、開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると、処理液の液滴が存在する。従って、判定部は、開閉弁の閉鎖速度と、検出される処理液の存在態様との関係が異なる２つの領域に対応する画像に基づいて開閉弁の閉鎖速度が属する区分を判定し得る。従って、開閉弁の閉鎖速度の区分の判定精度を改善できる。
【００５１】
第１５の態様に係る発明によれば、処理液吐出方法の判定工程は、ノズルの先端部の流路と処理液の吐出経路とが撮像された原画像のうち、ノズルの先端部の流路および処理液の吐出経路の画像に基づいて、開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。当該流路は、開閉弁の閉鎖速度が速すぎると処理液が殆ど存在しなくなり、当該吐出経路は、開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると、処理液の液滴が存在する。従って、判定工程において、開閉弁の閉鎖速度と、検出される処理液の存在態様との関係が異なる２つの領域に対応する画像に基づいて開閉弁の閉鎖速度が属する区分を判定し得る。従って、開閉弁の閉鎖速度の区分の判定精度を改善できる。
【００５２】
第２８の態様に係る発明によれば、判定方法の判定工程は、ノズルの先端部の流路と処理液の吐出経路とが撮像された原画像のうち、ノズルの先端部の流路および処理液の吐出経路の画像に基づいて、開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。当該流路は、開閉弁の閉鎖速度が速すぎると処理液が殆ど存在しなくなり、当該吐出経路は、開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると、処理液の液滴が存在する。従って、判定工程において、開閉弁の閉鎖速度と、検出される処理液の存在態様との関係が異なる２つの領域に対応する画像に基づいて開閉弁の閉鎖速度が属する区分を判定し得る。従って、開閉弁の閉鎖速度の区分の判定精度を改善できる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】実施形態１（２）に係る基板処理ユニットを備える基板処理装置の一例を模式的に示す概略平面図である。
【図２】実施形態１に係る基板処理ユニットの一構成例を模式的に示す図である。
【図３】吐出停止時のノズル先端部の処理液の状態と、その良否等との関係の一例を表形式で示す図である。
【図４】実施形態１に係る基板処理ユニットの動作の一例を示すフローチャートである。
【図５】実施形態１に係る基板処理ユニットの動作の一例を示すフローチャートである。
【図６】吐出停止時のノズル先端部の処理液の状態と、開閉弁の閉鎖速度の区分との関係の一例を表形式で示す図である。
【図７】吐出停止時のノズル先端部の処理液の状態と、開閉弁の閉鎖速度の区分との関係の一例を表形式で示す図である。
【図８】入力画像とクラスタリングされた分類とのマッチングを示す模式図である。
【図９】実施形態２に係る基板処理ユニットの一構成例を模式的に示す図である。
【図１０】制御部の他の実施形態の構成例を模式的に示す図である。
【図１１】制御部のさらに他の実施形態の構成例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００５４】
以下、図面を参照しながら、実施の形態について説明する。以下の実施の形態は、本発明を具体化した一例であり、本発明の技術的範囲を限定する事例ではない。また、以下に参照する各図では、理解容易のため、各部の寸法や数が誇張または簡略化して図示されている場合がある。また、各図では、同様な構成および機能を有する部分に同じ符号が付され、下記説明では重複説明が省略される。上下方向は鉛直方向であり、スピンチャックに対して基板側が上である。
【００５５】
＜１．基板処理装置１００の構成＞
基板処理装置１００の構成について、図１を参照しながら説明する。図１は、基板処理装置１００を模式的に示す概略平面図である。基板処理装置１００は実施形態１に係る基板処理ユニット１を備える。
【００５６】
基板処理装置１００は、半導体ウェハ等の複数枚の基板Ｗを処理するシステムである。基板Ｗの表面形状は略円形である。基板処理装置１００は、複数の基板処理ユニット１を備えている。基板処理装置１００は、各基板処理ユニット１において、基板Ｗを、一枚ずつ、連続して処理することができるとともに、複数の基板処理ユニット１によって、複数の基板Ｗを並行して処理することもできる。
【００５７】
基板処理装置１００は、並設された複数のセル（処理ブロック）、具体的には、インデクサセル１１０および処理セル１２０と、当該複数のセル１１０，１２０が備える各動作機構等を制御する制御部１３０と、を備える。
【００５８】
＜インデクサセル１１０＞
インデクサセル１１０は、装置外から受け取った未処理の基板Ｗを処理セル１２０に渡すとともに、処理セル１２０から受け取った処理済みの基板Ｗを装置外に搬出するためのセルである。インデクサセル１１０は、複数のキャリアＣ１を載置するキャリアステージ１１１と、各キャリアＣ１に対する基板Ｗの搬出入を行う基板搬送装置（移載ロボット）ＩＲと、を備える。
【００５９】
キャリアステージ１１１に対しては、複数の未処理の基板Ｗを収納したキャリアＣ１が、装置外部から、ＯＨＴ(Overhead Hoist Transfer)等によって搬入されて載置される。未処理の基板Ｗは、キャリアＣ１から１枚ずつ取り出されて装置内で処理され、装置内での処理が終了した処理済みの基板Ｗは、再びキャリアＣ１に収納される。処理済みの基板Ｗを収納したキャリアＣ１は、ＯＨＴ等によって装置外部に搬出される。このように、キャリアステージ１１１は、未処理の基板Ｗおよび処理済みの基板Ｗを集積する基板集積部として機能する。なお、キャリアＣ１の形態としては、基板Ｗを密閉空間に収納するＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)であってもよいし、ＳＭＩＦ(Standard Mechanical Inter Face)ポッドや、収納された基板Ｗが外気と接するＯＣ(Open Cassette)であってもよい。
【００６０】
移載ロボットＩＲは、基板Ｗを下方から支持することによって、基板Ｗを水平姿勢（基板Ｗの主面が水平な姿勢）で保持可能な複数のハンド（例えば、４つ）と、複数のハンドをそれぞれ移動する複数アームを備える。移載ロボットＩＲは、キャリアステージ１１１に載置されたキャリアＣ１から未処理の基板Ｗを取り出して、当該取り出した基板Ｗを、基板受渡位置Ｐにおいて搬送ロボットＣＲ（後述する）に渡す。また、移載ロボットＩＲは、基板受渡位置Ｐにおいて搬送ロボットＣＲから処理済みの基板Ｗを受け取って、当該受け取った基板Ｗを、キャリアステージ１１１上に載置されたキャリアＣ１に収納する。移載ロボットＩＲは、複数のハンドを同時に使用して基板Ｗの受渡しを行うことができる。
【００６１】
＜処理セル１２０＞
処理セル１２０は、基板Ｗに処理を行うためのセルである。処理セル１２０は、複数の基板処理ユニット１と、当該複数の基板処理ユニット１に対する基板Ｗの搬出入を行う搬送ロボットＣＲと、を備える。搬送ロボットＣＲと制御部１３０とは、基板搬送装置である。ここでは、複数個（例えば、３個）の基板処理ユニット１が鉛直方向に積層されて、１個の基板処理装置群１０を構成している。そして、複数個（図示の例では、４個）の基板処理装置群１０が、搬送ロボットＣＲを取り囲むようにクラスタ状（房状）に設置される。従って、複数の基板処理ユニット１は、搬送ロボットＣＲの周囲にそれぞれ配置される。基板処理ユニット１は、不図示のスピンチャックの上側（鉛直方向の上側）に配置された基板をスピンチャックよって着脱可能に保持し、所定の回転軸を中心にスピンチャックを回転させながら、基板に対して所定の処理（例えば、薬液処理、リンス処理、若しくは乾燥処理など）を行う。
【００６２】
搬送ロボットＣＲは、基板Ｗを片持ち支持しながら搬送するロボットである。搬送ロボットＣＲは、指定された基板処理ユニット１から処理済みの基板Ｗを取り出して、当該取り出した基板Ｗを、基板受渡位置Ｐにおいて移載ロボットＩＲに渡す。また、搬送ロボットＣＲは、基板受渡位置Ｐにおいて移載ロボットＩＲから未処理の基板Ｗを受け取って、当該受け取った基板Ｗを、指定された基板処理ユニット１に搬送する。搬送ロボットＣＲも移載ロボットＩＲと同様に複数（例えば、４つ）のハンドと、複数のハンドをそれぞれ移動する複数のアームを備えている。搬送ロボットＣＲは、複数のハンドを同時に使用して基板Ｗの搬送を行うことができる。
【００６３】
各基板処理ユニット１は、内部に処理空間を形成するチャンバー（「筐体」）１２１を備える。筐体１２１には、搬送ロボットが筐体１２１の内部にそのハンドを挿入するための搬出入口１２２が形成されている。搬出入口１２２には、制御部１３０の制御に基づいて開閉可能なシャッター（図示省略）が設けられている。シャッターは、基板Ｗの筐体１２１内への搬出入時に開かれ、基板Ｗの処理中は閉じられる。基板処理ユニット１は、搬送ロボットが配置されている空間に、この搬出入口を対向させるようにして配置される。基板処理ユニット１の具体的な構成については、後に説明する。
【００６４】
＜制御部１３０＞
制御部１３０は、移載ロボットＩＲ、搬送ロボットＣＲ、および、一群の基板処理ユニット１の各々の動作を制御する。制御部１３０のハードウエアとしての構成は、一般的なコンピュータと同様のものを採用できる。すなわち、制御部１３０は、例えば、各種演算処理を行うＣＰＵ１１、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１６２、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１６３およびプログラムＰＧやデータなどを記憶しておく磁気ディスク１６１をバスライン２９に電気的に接続して構成されている。バスライン２９には、液晶パネルなどの表示部１４１およびキーボードなどの入力部１４２も電気的に接続されている。磁気ディスク１６１には、基板Ｗの処理内容および処理手順を規定するレシピ（不図示）、および判定規則Ｋ１、分類器Ｋ２なども記憶されている。
【００６５】
制御部１３０において、プログラムＰＧに記述された手順に従って主制御部としてのＣＰＵ１１が演算処理を行うことにより、基板処理装置１００の各部を制御する各種の機能部が実現される。具体的には、ＣＰＵ１１は、例えば、判定部１２、特徴量算出部１３、ルールベース判定部１４、画像生成部１６、閉鎖速度調整部１７、タイミング調整部１８、機械学習部１９などの各機能部として動作する。判定部１２は、特徴量算出部１３とルールベース判定部１４とを備えている。もっとも、制御部１３０において実現される一部あるいは全部の機能部は、専用の論理回路などでハードウエア的に実現されてもよい。
【００６６】
＜２．基板処理ユニット１の構成＞
図２は、実施形態１に係る基板処理ユニット１の一構成例を模式的に示す図である。
【００６７】
基板処理ユニット（「処理液吐出装置」とも称する）１は、例えば、平面内で回転している基板Ｗの一主面上（上面ともいう）に処理液を供給することで、基板Ｗの上面に対して各種処理を施すことができる。処理液Ｌ１としては、例えば、純水が用いられる。処理液Ｌ１は、純水に限らず、炭酸水、イオン水、オゾン水、または還元水（水素水）などの機能水であってもよいし、アンモニア水、アンモニア水と過酸化水素水との混合液、塩酸と過酸化水素水との混合液、フッ酸、硫酸と過酸化水素水との混合液、またはイソプロピルアルコールなどの薬液であってもよい。
【００６８】
図２で示されるように、基板処理ユニット１は、例えば、保持した基板Ｗを回転させつつ処理液Ｌ１によって処理する処理部２００と、処理部２００に処理液Ｌ１を供給する処理液供給系７と、制御部１３０と、を備えている。
【００６９】
＜２−１．処理部２００＞
処理部２００は、スピンチャック２２１と、ノズル２５１とを筐体１２１内に備えている。処理部２００は、基板Ｗをスピンチャック（「回転保持機構」）２２１によって下方から保持しつつ、所定の回転軸を中心に回転させる。処理部２００は、当該基板Ｗにノズル２５１から処理液Ｌ１を供給して基板Ｗの処理を行う。
【００７０】
スピンチャック２２１は、略水平な主面を有する円板状のスピンベースと、スピンベースの中心を通って上下方向に延在する回転軸を中心にスピンベースを回転させる回転機構とを備えている。スピンベースの周縁部には、基板Ｗの周縁を着脱可能に保持する複数の保持ピンが立設されている。スピンチャック２２１は、複数の保持ピンで基板Ｗの周縁部を保持することにより、スピンベースの上面と基板Ｗの下面とが対向するように基板Ｗを略水平姿勢で保持する。保持された基板Ｗの中心は、スピンベースの回転軸上に位置する。スピンチャック２２１は、この状態でスピンベースを回転軸を中心に回転させることにより、基板Ｗを当該回転軸を中心に回転させる。
【００７１】
ノズル２５１は、スピンチャック２２１に保持された基板Ｗの上方に配置されており、処理液供給系７の処理液供給源７１から配管７４を介して処理液Ｌ１を供給される。ノズル２５１は、供給された処理液Ｌ１をスピンチャック２２１により回転されている基板Ｗの主面に吐出する。基板Ｗの主面は、当該薬液によって処理される。ノズル２５１のうち少なくとも先端側部分（基板Ｗに近い側の部分）は、例えば、透明の材質を有している。当該透明の材質を有する材料として、例えば、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂）、若しくは石英などが採用され得る。従って、ノズル２５１の先端部分の流路に存在する処理液Ｌ１は、後述するカメラ６５によって撮像される。また、ノズル２５１に供給される処理液Ｌ１は、ノズル２５１の先端部の流路ＴＧ１を通って、ノズル２５１の先端２５２から吐出方向ＡＲ１の下流側に延在する吐出経路ＴＧ２を通って基板Ｗ側に吐出される。
【００７２】
基板Ｗの処理部２００への搬入搬出は、ノズル２５１が所定の移動機構によって待避位置に配置された状態で、ロボット等により行われる。処理部２００に搬入された基板Ｗは、スピンチャック２２１により着脱自在に保持される。
【００７３】
＜２−２．処理液供給系７＞
処理液供給系７は、処理液Ｌ１を供給する処理液供給源７１と、配管（「処理液供給配管」）７４と、配管７４の経路途中に設けられ、配管７４内の流路を開閉する開閉弁７２と、を備える。配管７４は、処理液供給源７１とノズル２５１とを接続し、処理液供給源７１が供給する処理液Ｌ１をノズル２５１に導く。開閉弁７２は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた速度で閉鎖動作を行うエア弁である。
【００７４】
処理液供給系７は、さらに、開閉弁７２に開閉動作を行わせる駆動機構１３２を備える。駆動機構１３２は、開閉弁７２の開閉動作を制御するための気体Ｈ１を供給する。
【００７５】
駆動機構１３２は、開閉弁７２に気体Ｈ１を供給する気体供給源３１と、気体供給源３１と開閉弁７２とを接続する配管（「気体供給配管」）３４と、配管３４に設けられ、配管３４内の気体Ｈ１の流路を開閉する電磁弁３２と、配管３４に設けられ、その開度に応じて配管３４内を流れる気体Ｈ１の流量を制御するモーター駆動式のニードルバルブ３３とを備える。駆動機構１３２が、ニードルバルブ３３に代えて、電空レギュレータを備えてもよい。当該電空レギュレータは、配管３４に設けられ、供給される電圧に応じて配管３４内を流れる気体Ｈ１の流路の開閉及び流量を制御する。
【００７６】
気体供給源３１は、例えば、高圧の気体Ｈ１を格納するボンベと、該ボンベから導出される高圧の気体Ｈ１の圧力を一定値まで下げるバルブ（圧力レギュレーターともいう）と、を有する。気体供給源３１は、基板処理装置１００の外部に設けられてもよい。
【００７７】
＜２−３．閉鎖速度判定装置３００＞
基板処理ユニット１は、閉鎖速度判定装置（「判定装置」とも称する）３００をさらに備える。閉鎖速度判定装置３００は、ノズル２５１に処理液Ｌ１を供給する流路（「処理液供給流路」）を開閉する開閉弁７２の閉鎖速度が属する区分を判定する。
【００７８】
閉鎖速度判定装置３００は、筐体１２１内に設けられたカメラ６５と、制御部１３０（より詳細には、判定部１２）とを備えている。カメラ６５は、制御部１３０と電気的に接続されている。
【００７９】
＜２−３−１．カメラ６５＞
カメラ６５は、例えば、レンズと、撮像素子と、制御処理回路（それぞれ不図示）とを備えている。レンズは、被写体の光学像を撮像素子に結像する。撮像素子は、被写体の光学像を電気信号に変換し、制御処理回路に供給する。制御処理回路は、制御部１３０と電気的に接続されており、制御部１３０が供給する制御信号に従って撮像素子に撮像動作を行わせるとともに、撮像素子から供給される各電気信号を処理して多値のデジタル画像に変換することにより、撮像素子の有効画素数に応じた画像を表わす画像信号を生成し、制御部１３０に供給する。
【００８０】
すなわち、カメラ６５は、撮像素子から供給される各電気信号を処理してデジタル画像に変換することにより、撮像素子の有効画素数に応じた画像を表わす画像信号を生成し、制御部１３０に出力する。制御部１３０は、当該画像信号（画像）を、例えば、磁気ディスク１６１に記憶する。
【００８１】
具体的には、カメラ６５は、開閉弁７２が流路を閉鎖してノズル２５１からの処理液Ｌ１の吐出が停止したときに、制御部１３０の制御に従って、筐体１２１内に規定される撮影対象領域５０を撮像して画像Ｇ０を得る。撮影対象領域５０は、ノズル２５１の先端部の流路と、当該ノズル２５１の先端（吐出口２５２）から処理液Ｌ１の吐出方向ＡＲ１に沿って前方に延在する処理液Ｌ１の吐出経路とを含む。カメラ６５は、吐出方向ＡＲ１とは異なる方向から撮像を行う。図２では、ノズル２５１の先端部の流路に内部領域５１が含まれ、ノズル２５１の先端２５２から吐出方向ＡＲ１の前方に延在する処理液Ｌ１の吐出経路に前方領域５２が含まれている。そして、撮影対象領域５０は、内部領域５１と前方領域５２とを含んでいる。
【００８２】
＜２−３−２．判定部１２＞
閉鎖速度判定装置３００の判定部１２は、カメラ６５が撮影対象領域５０を撮像した画像Ｇ０のうちノズル２５１の先端部の内部領域５１およびノズル２５１の前方領域５２の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、開閉弁７２の閉鎖速度が適切であるか、予め定められた適切な速度（「目標速度」、「目標閉鎖速度」）よりも遅いか速いかという開閉弁７２の閉鎖速度の区分を判定する。すなわち、閉鎖速度判定装置３００の判定部１２は、ノズル２５１から吐出する処理液Ｌ１の停止状態を判定する。
【００８３】
判定部１２は、特徴量算出部１３とルールベース判定部１４とを備える。
【００８４】
特徴量算出部１３は、カメラ６５が撮影対象領域５０を撮像した画像Ｇ０のうち内部領域５１に対応するエリアＡ（「第１画像領域」）の第１画像Ｇ１と、前方領域５２に対応するエリアＢ（「第２画像領域」）の第２画像Ｇ２とのそれぞれの画像について、第１画像Ｇ１と第２画像Ｇ２とのそれぞれにおける処理液Ｌ１の像の面積に応じた所定の特徴量を算出する。特徴量としては、例えば、第１画像Ｇ１、第２画像Ｇ２のそれぞれの領域内の各画素のグレースケールでの画素値の総和、輝度の総和、または画素値若しくは輝度の標準偏差などが採用される。
【００８５】
ルールベース判定部１４は、第１画像Ｇ１の特徴量と第２画像Ｇ２の特徴量に所定の判定規則Ｋ１を適用することによって開閉弁７２の閉鎖速度の区分を判定する。
【００８６】
判定規則Ｋ１として、例えば、内部領域５１が液密状態で無ければ開閉弁７２の閉鎖速度が速すぎると判定し、内部領域５１が液密状態であって、かつ、前方領域５２に処理液Ｌ１が存在していれば、開閉弁７２の閉鎖速度が遅すぎると判定する規則が採用される。
【００８７】
また、閉鎖速度判定装置３００の判定部１２は、分類器Ｋ２を備えている。分類器Ｋ２は、カメラ６５が撮影対象領域５０を撮像した画像Ｇ０のうちノズル２５１の先端部の内部領域５１およびノズル２５１の前方領域５２の画像に基づいて、開閉弁７２の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという開閉弁７２の閉鎖速度の区分を判定する。すなわち、判定部１２は、分類器Ｋ２によって開閉弁７２の閉鎖速度の区分を判定する。
【００８８】
分類器Ｋ２は、カメラ６５が撮影対象領域５０を撮像した画像Ｇ０のうちノズル２５１の先端部の内部領域５１およびノズル２５１の前方領域５２のサンプル画像を用いて予め機械学習部１９が行う機械学習によって生成されている。
【００８９】
機械学習部１９は、生成された分類器Ｋ２を、磁気ディスク１６１に記憶する。分類器Ｋ２は、例えば、分類器Ｋ２としての機能を実現するプログラム、若しくは、パラメータなどして記憶される。機械学習部１９は、機械学習のアルゴリズムとして、例えば、近傍法、サポートベクターマシン、ランダムフォレスト、ニューラルネットーワークなどを用いる。
【００９０】
なお、機械学習部１９をオフラインで定期的または不定期に更新してもよい。また、予め機械学習された機械学習部１９に対し、さらにサンプル画像（教師データ）を追加してオンライン学習を行い更新させてもよい。
【００９１】
また、基板処理装置１００は、複数の基板処理ユニット１を備えているが、１つの基板処理ユニット１に対して機械学習により生成した分類器Ｋ２を他の基板処理ユニット１における開閉弁７２の制御に使用してもよい。
【００９２】
＜２−３−３．閉鎖速度判定装置３００による時系列画像の処理について＞
カメラ６５は、制御部１３０の制御に従って、開閉弁７２が流路を閉鎖してノズル２５１からの処理液Ｌ１の吐出が停止したとき以後に、ノズル２５１の先端部の内部領域５１と、当該ノズル２５１の先端から処理液Ｌ１の吐出方向ＡＲ１に沿って前方に延在する前方領域５２とを含む撮影対象領域５０を時間的に順次に撮像することができる。
【００９３】
＜画像生成部１６＞
閉鎖速度判定装置３００は、画像生成部１６をさらに備えている。
【００９４】
画像生成部１６は、カメラ６５が撮影対象領域５０を撮像した時系列画像に基づいて、ノズル２５１の先端部の内部領域５１およびノズル２５１の前方領域５２の画像（「派生画像」）を生成する。より詳細には、画像生成部１６は、例えば、ノズル２５１が処理液Ｌ１の吐出を停止した直後から一定時間経過後までの間に撮像された当該時系列画像に基づいて、派生画像を生成する。当該一定時間は、例えば３秒間である。そして、判定部１２は、画像生成部１６が生成した派生画像に基づいて開閉弁７２の閉鎖速度の区分を判定する。判定部１２は、画像Ｇ０に適用する判定処理（判定規則Ｋ１、若しくは分類器Ｋ２等を用いる判定処理）と同じ判定処理を派生画像に適用することによって、当該判定を行う。
【００９５】
画像生成部１６は、各時系列画像のうち、同じ座標の各画素の画素値に所定の選択規則を適用し、派生画像の当該座標の画素の画素値を取得する。選択規則としては、例えば、同じ座標の各画素の画素値の平均値、若しくは積算値を求める処理が採用される。
【００９６】
また、選択規則として、ノズル２５１の先端部の内部領域５１については、同じ座標の各画素の画素値のうち、処理液Ｌ１が存在しない空間領域の画素値に最も近い画素値を採用するとともに、ノズル２５１の前方領域５２の第２画像Ｇ２については、同じ座標の各画素の画素値のうち、処理液Ｌ１が存在する領域の画素値に最も近い画素値を採用する規則が採用されてもよい。
【００９７】
＜２−４．閉鎖速度調整部１７＞
基板処理ユニット１は、さらに、開閉弁７２の閉鎖速度判定装置３００が判定した開閉弁７２の閉鎖速度の区分に基づいて、当該閉鎖速度が適切な速度になるように駆動機構１３２の動作を調整する閉鎖速度調整部１７を備える。閉鎖速度調整部１７は、開閉弁７２の閉鎖速度が適切な速度になるようにニードルバルブ３３の開度を調整する。より詳細には、閉鎖速度調整部１７は、ニードルバルブ３３の開度を調整するための制御信号を、制御ボード１３１に供給する。制御ボード１３１は、供給された制御信号に応じた駆動電流をニードルバルブ３３のモーターに供給してモーターを作動させる。これにより、ニードルバルブ３３の開度が調整される。
【００９８】
＜２−５．タイミング調整部１８＞
基板処理ユニット１は、タイミング調整部１８をさらに備える。また、処理液供給系７は、開閉弁７２の開閉を検出する開閉センサー７３をさらに備える。開閉センサー７３は、出力信号を、制御部１３０に供給する。開閉弁７２は、気体によって開閉動作を制御されるため、電磁弁３２が配管３４内の流路を開いてから、すなわち、開閉弁７２を閉状態とするための動作を行ってから、開閉弁７２が実際に閉じるまでに遅れ時間（「吐出停止ディレイ時間」）が生ずる。
【００９９】
タイミング調整部１８は、当該遅れ時間を開閉センサー７３の出力に基づいて測定し、当該測定の結果に基づいて、開閉弁７２が所定のタイミングで閉じるように、電磁弁３２が配管３４内の流路を開放するタイミングを調整する。
【０１００】
＜３．吐出停止時の処理液Ｌ１の状態について＞
図３は、吐出停止時のノズル２５１の先端部の処理液Ｌ１の状態と、その良否等との関係の一例を表形式で示す図である。
【０１０１】
図３の表の最上段には、吐出停止時のノズル２５１の先端部における処理液Ｌ１の３通りの状態が示されている。上から２段目には、最上段に示される処理液Ｌ１の３つの状態の良否が記載されている。下から２段目には、最上段に示される処理液Ｌ１の３つの状態と、開閉弁７２の閉鎖速度との対応関係が示されている。開閉弁７２の閉鎖速度は、モーター駆動式のニードルバルブ３３（スピードコントローラー）によって調節される。最下段には、最上段に示される処理液Ｌ１の３つの状態と、吐出停止ディレイ時間との対応関係が示されている。吐出停止ディレイ時間は、電磁弁３２がＯＮ動作又はＯＦＦ動作によって、開閉弁７２を閉鎖する動作を行ってから、開閉弁７２が実際に閉じるまでの遅れ時間である。吐出停止ディレイ時間は、開閉弁７２の閉鎖速度、配管７４の長さ、径、および処理液Ｌ１の水頭などによって変動する。
【０１０２】
図３に示されるように、ノズル２５１が処理液Ｌ１を吐出している状態から吐出を停止した時のノズル２５１の先端における処理液Ｌ１の状態は、開閉弁７２の閉鎖速度によって変動する。
【０１０３】
開閉弁７２の閉鎖速度が遅すぎると、ノズル２５１が処理液Ｌ１の吐出を停止した後に、処理液Ｌ１の液滴Ｌ２が暫く落下し続ける。すなわち、ノズル２５１の先端部における処理液Ｌ１の状態は、好ましくない状態となる。また、開閉弁７２の閉鎖速度が遅いため、吐出停止ディレイ時間は長い。
【０１０４】
開閉弁７２の閉鎖速度が速すぎると、いわゆるウォーターハンマーによって、ノズルの先端部分には、内壁面に付着したり、ノズル２５１の先端２５２に溜まる液滴Ｌ２を除いて、処理液Ｌ１が存在しない領域が生じる。これらの液滴Ｌ２は、後に、基板Ｗ上に落下してしまう。すなわち、ノズル２５１の先端部における処理液Ｌ１の状態は、好ましくない状態となる。また、開閉弁７２の閉鎖速度が速いため、吐出停止ディレイ時間は短い。
【０１０５】
開閉弁７２の閉鎖速度が適切であれば、ノズル２５１の先端部分は、ほぼ処理液Ｌ１による液密状態になるとともに、停止後に液滴Ｌ２が暫く落ち続けることもない。すなわち、ノズル２５１の先端部における処理液Ｌ１の状態は、好ましい状態となる。また、吐出停止ディレイ時間は、開閉弁７２の閉鎖速度が速すぎる場合と、遅すぎる場合とのそれぞれの時間の間の時間となる。
【０１０６】
図３に示されるように、吐出停止時に処理液Ｌ１の良好な状態を得るためには、開閉弁７２の閉鎖速度を基板処理ユニット１の配管系に応じた適度な速度に設定する必要が有る。
【０１０７】
＜４．基板処理ユニット１の動作＞
図４、図５は、基板処理ユニット１の動作の一例を示すフローチャートである。図４は、制御部１３０の判定部１２が、所定の判定規則Ｋ１を適用して開閉弁７２の閉鎖速度を判定する場合のフローチャートである。図５は、判定部１２が、分類器Ｋ２を用いて開閉弁７２の閉鎖速度を判定する場合のフローチャートである。
【０１０８】
図６、図７は、ノズル２５１が処理液Ｌ１の吐出を停止した時のノズル２５１先端部の処理液Ｌ１の状態と、開閉弁７２の閉鎖速度の区分との関係の一例を表形式で示す図である。
【０１０９】
図６、図７では、開閉弁７２の閉鎖速度が「適切」、「遅すぎる」、「速すぎる」の３つ状態のそれぞれに対して、処理液Ｌ１の停止後における処理液Ｌ１の状態として、「停止後状態１」と「停止後状態２」の２つの状態が例示されている。当該２つの状態は、カメラ６５が撮影対象領域５０を撮像した画像Ｇ０によって、それぞれ模式的に示されている。
【０１１０】
図６の各画像Ｇ０には、エリアＡ、Ｂが表示され、図７の各画像Ｇ０には、エリアＣが表示されている。この違いを除いて、図６と図７とで互いに表の同じ位置に表示されている２つの画像Ｇ０は、同じ画像である。
【０１１１】
開閉弁７２の閉鎖速度が適切である場合には、停止直後に処理液Ｌ１の下端は、ノズル２５１の先端２５２に一致または先端２５２よりも若干上方で停止する。吐出停止後に液滴Ｌ２がノズル２５１の先端２５２から落下することはない。
【０１１２】
開閉弁７２の閉鎖速度が遅すぎる場合には、停止後状態1において、液滴Ｌ２は落下しておらず、処理液Ｌ１の下端面は、ノズル２５１の先端２５２から下方に向かって凸形状を有している。そして、停止後状態２においては、液滴Ｌ２が落下しており、処理液Ｌ１の下端は、ノズル２５１の先端２５２に一致している。なお、処理液Ｌ１の下端は、ノズル２５１の先端２５２に一致するとは限らず、また、凸形状を保つ場合もある。この場合、液滴Ｌ２の落下と、処理液Ｌ１の下端面が停止後状態１と同様に凸形状を有することとは、同時に起こる。
【０１１３】
開閉弁７２の閉鎖速度が速すぎる場合には、停止後状態１において、ウォーターハンマーによって、ノズルの先端部分には、その内壁面に付着した液滴Ｌ２と、ノズル２５１の先端２５２に溜まった液滴Ｌ２を除いて、処理液Ｌ１が存在しない領域が生じている。処理液Ｌ１の下端面は、ノズル２５１の先端２５２よりもかなり上方に位置する。そして、停止後状態２においては、ノズル２５１の先端２５２を閉鎖する大きさの液溜まり状の液滴Ｌ２が生じている。また、停止後状態1と同様に、ノズルの先端部分には、処理液Ｌ１が存在しない領域が生じており、処理液Ｌ１の下端面は、ノズル２５１の先端２５２よりもかなり上方に位置する。停止後状態１、２において、ノズル２５１の先端部分に残存している液滴Ｌ２は、乾燥するとパーティクルとなるおそれがある。
【０１１４】
以下に、図６、図７等を適宜参照しつつ、図４、図５のフローチャートに基づいて基板処理ユニット１（閉鎖速度判定装置３００）の動作について説明する。
【０１１５】
＜４−１．判定部１２がルールベース判定部１４を用いる場合の動作＞
以下に、図６を適宜参照しつつ、図４のフローチャートに基づいて、判定部１２のルールベース判定部１４が判定規則Ｋ１を用いて開閉弁７２の閉鎖速度を判定する場合における基板処理ユニット１の動作を説明する。
【０１１６】
図４のステップＳ１０では、カメラ６５は、開閉弁７２が流路を閉鎖してノズル２５１からの処理液Ｌ１の吐出が停止したときに、ノズル２５１の先端部の内部領域５１（図６）と、当該先端部の前方領域５２とを含む撮影対象領域５０を撮像する。撮像された画像（「原画像」）Ｇ０は、制御部１３０に供給される。
【０１１７】
ステップＳ２０では、特徴量算出部１３が、ノズル２５１の先端部の流路における内部領域５１に対応するエリアＡ（図６）と、ノズル２５１の先端部における処理液Ｌ１の吐出経路上の前方領域５２に対応するエリアＢ（図６）との各エリアの第１画像Ｇ１、第２画像Ｇ２について所定の特徴量を算出する。
【０１１８】
なお、エリアＡ、Ｂは、ノズル２５１の先端（吐出口）２５２の幅を有して、処理液Ｌ１の吐出方向ＡＲ１に細長いように設定されている。
【０１１９】
ステップＳ３０では、ルールベース判定部１４は、第１画像Ｇ１の特徴量に基づいてエリアＡが処理液Ｌ１による液密状態が否かを判定する。
【０１２０】
当該判定の結果、エリアＡが液密状態で無ければ、ステップＳ４０において、ルールベース判定部１４は、開閉弁７２の閉鎖速度が速すぎると判定する。
【０１２１】
ステップＳ５０では、基板処理ユニット１の閉鎖速度調整部１７は、開閉弁７２の閉鎖速度が遅くなるようにモーター駆動式のニードルバルブ３３が配管３４に流す気体Ｈ１の流量を調整し、処理は、ステップＳ９０に移される。
【０１２２】
ステップＳ３０の判定の結果、エリアＡが液密状態であれば、処理はステップＳ６０に移される。
【０１２３】
ステップＳ６０では、ルールベース判定部１４は、第２画像Ｇ２の特徴量に基づいてエリアＢが処理液Ｌ１の殆ど存在しない空間であるか否かを判定する。
【０１２４】
当該判定の結果、エリアＢに処理液Ｌ１が存在すれば、処理は、ステップＳ７０に移される。
【０１２５】
ステップＳ７０では、ルールベース判定部１４は、開閉弁７２の閉鎖速度が遅すぎると判定する。
【０１２６】
ステップＳ８０では、閉鎖速度調整部１７は、開閉弁７２の閉鎖速度が速くなるようにモーター駆動式のニードルバルブ３３が配管３４に流す気体Ｈ１の流量を調整する。
【０１２７】
ステップＳ９０では、気体Ｈ１の流量が調整された結果を反映させるために、基板処理ユニット１は、ノズル２５１から一旦処理液Ｌ１を吐出した後、再度、吐出を停止する。その後、処理は、ステップＳ１０に戻されて、基板処理ユニット１は、ステップＳ１０以下の各処理を行う。
【０１２８】
ステップＳ６０での判定の結果、エリアＢが、処理液Ｌ１の殆ど存在しない空間であれば、基板処理ユニット１は、図４の動作を終了する。
【０１２９】
図４の動作において、ルールベース判定部１４は、内部領域５１が液密状態で無ければ開閉弁７２の閉鎖速度が速すぎると判定し、内部領域５１が液密状態であって、かつ、前方領域５２に処理液Ｌ１が存在していれば、開閉弁７２の閉鎖速度が遅すぎると判定する規則を判定規則Ｋ１として用いている。そして、ルールベース判定部１４は、第１画像Ｇ１の特徴量と第２画像Ｇ２の特徴量に判定規則Ｋ１を適用することによって開閉弁７２の閉鎖速度の区分を判定している。
【０１３０】
図６に示されるように、処理液Ｌ１の吐出方向ＡＲ１の下流側におけるエリアＡの端部は、ノズル２５１の先端から処理液Ｌ１の吐出方向ＡＲ１の上流側に離れている。このため、判定部１２は、吐出方向ＡＲ１の下流側における第１画像Ｇ１領域の端部からノズル２５１の先端にわたる画像領域の画像を開閉弁７２の閉鎖速度の区分の判定に使用しない。当該画像領域は、処理液Ｌ１の存在と、開閉弁７２の閉鎖速度との関係を特定しにくい領域である。このため、当該領域が判定に使用されない場合には、判定の精度が向上し得る。
【０１３１】
＜４−２．判定部１２が分類器Ｋ２を用いる場合の動作＞
以下に、図７を適宜参照しつつ、図５のフローチャートに基づいて、判定部１２が分類器Ｋ２を用いて開閉弁７２の閉鎖速度を判定する場合における基板処理ユニット１の動作を説明する。
【０１３２】
図５のステップＳ１１０では、機械学習部１９は、ノズル２５１の先端部の内部（流路）と当該先端部の前方の処理液Ｌ１の吐出経路とを含むエリアＣ（図７）の画像を、開閉弁の閉鎖速度が「適切」、「遅すぎる」、「速すぎる」の各クラスに分類するように機械学習する。機械学習部１９は、当該機械学習によって生成された分類器Ｋ２を磁気ディスク１６１に記憶する。
【０１３３】
なお、図６の例に対して、判定部１２が分類器Ｋ２を適用する場合には、分類器Ｋ２は、カメラ６５が撮影対象領域５０を撮像した画像Ｇ０のうち内部領域５１に対応するエリアＡの第１画像Ｇ１と、前方領域５２（図６）に対応するエリアＢの第２画像Ｇ２とのそれぞれの画像に基づいて開閉弁７２の閉鎖速度の区分を判定する。分類器Ｋ２は、第１画像Ｇ１と、第２画像Ｇ２とのそれぞれのサンプル画像を用いて、予め機械学習によって生成される。
【０１３４】
ステップＳ１２０では、カメラ６５は、開閉弁７２が流路を閉鎖してノズル２５１からの処理液Ｌ１の吐出が停止したときに、ノズル２５１の先端部の内部（流路）と当該先端部の前方の処理液Ｌ１の吐出経路とを含む撮影対象領域５０を撮像する。
【０１３５】
ステップＳ１３０では、判定部１２は、撮像された画像（原画像）Ｇ０のうちエリアＣの画像を分類器Ｋ２によって分類し、開閉弁７２の閉鎖速度の属する区分を判定する。
【０１３６】
なお、エリアＣは、ノズル２５１の先端（吐出口）２５２の幅を有して、処理液Ｌ１の吐出方向ＡＲ１に細長いように設定されている。図７のエリアＣは、図６のエリアＡ、Ｂを合せた範囲よりも、僅かに長い領域となっている。これは、エリアＡ、Ｂが互いに離れて設けられているためである。
【０１３７】
ステップＳ１４０では、判定部１２は、当該閉鎖速度が「速すぎる」に分類（判定）されたか否を判定する。
【０１３８】
当該判定の結果、当該閉鎖速度が「速すぎる」に分類されれば、処理は、ステップＳ１５０に移される。
【０１３９】
ステップＳ１５０では、基板処理ユニット１の閉鎖速度調整部１７は、開閉弁７２の閉鎖速度が遅くなるようにモーター駆動式のニードルバルブ３３が配管３４に流す気体Ｈ１の流量を調整し、処理は、ステップＳ１８０に移される。
【０１４０】
ステップＳ１４０の判定の結果、開閉弁７２の閉鎖速度が「速すぎる」に分類されなければ、処理は、ステップＳ１６０に移される。
【０１４１】
ステップＳ１６０では、判定部１２は、開閉弁７２の閉鎖速度が「遅すぎる」に分類されたか否かを判定する。
【０１４２】
当該判定の結果、閉鎖速度が「遅すぎる」に分類されれば、処理はステップＳ１７０に移される。
【０１４３】
ステップＳ１７０では、閉鎖速度調整部１７は、開閉弁７２の閉鎖速度が速くなるようにモーター駆動式のニードルバルブ３３が配管３４に流す気体Ｈ１の流量を調整する。
【０１４４】
ステップＳ１８０では、気体Ｈ１の流量が調整された結果を反映させるために、基板処理ユニット１は、ノズル２５１から一旦処理液Ｌ１を吐出した後、再度、吐出を停止する。その後、処理は、ステップＳ１２０に戻されて、基板処理ユニット１は、ステップＳ１２０以下の各処理を行う。
【０１４５】
ステップＳ１６０での判定の結果、開閉弁７２の閉鎖速度が「遅すぎる」に分類されない場合には、基板処理ユニット１は、図５の動作を終了する。
【０１４６】
図８は、ノズル２５１の先端２５２の近傍を撮影した画像ＧＩと、予め複数のクラスに分類された開閉弁の閉鎖速度とのマッチングを示す模式図である。マッチングは、例えば、公知のニューラルネットワークＮＮ１によって行われる。閉鎖速度は、「速すぎる」、「適切」、および「遅すぎる」などの複数のクラスに予めクラスタリングされている。当該各クラスは、予め生成された各特徴ベクトルに対応する。当該各特徴ベクトルは、先端２５２の近傍部分における停止直後の処理液Ｌ１の各状態に対応する各画像Ｇｋ（より詳細には、各画像Ｇｋの画素値もしくは輝度の総和、または画素値または輝度の標準偏差）から予め生成される。図８の例では、閉鎖速度の各クラスは、対応する各画像Ｇｋによって模式的に示されている。ニューラルネットワークＮＮ１は入力層、中間層（隠れ層）、および出力層を備えている。ニューラルネットワークＮＮ１が複数の中間層を備えていてもよい。
【０１４７】
ニューラルネットワークＮＮ１は、処理液Ｌ１の吐出停止直後における先端２５２の近傍をカメラ６５で撮影した各画像ＧＩと、上述した各特徴ベクトルのうち当該画像ＧＩに対応する特徴ベクトルとの各対応関係を予め学習している。撮影された画像ＧＩは、ニューラルネットワークＮＮ１による画像認識によって、最も対応する特徴ベクトルにマッチングされる。これにより、吐出停止状態を判定することができる。図８により示されるマッチングは、上述したステップＳ１４０、ステップＳ１６０の処理に対応する。
【０１４８】
なお、図８の画像ＧＩ及びＧｋは、ノズル２５１の先端２５２の近傍を撮影した画像を示しているが、必ずしもノズル２５１の先端２５２の近傍のみを抽出した画像でなく、撮像素子が撮像した全体画像を特徴ベクトルとして学習させてもよい。この場合、機械学習部１９は結果的に複数の全体画像において生じるノズル先端状態の差分に着目し学習が行われると考えられるからである。
【０１４９】
＜５．基板処理装置１００Ａの構成＞
図１は、基板処理装置１００Ａを模式的に示す概略平面図でもある。基板処理装置１００Ａは実施形態２に係る基板処理ユニット１Ａを備える。図１に示されるように、基板処理装置１００Ａは、複数の基板処理ユニット１に代えて、複数の基板処理ユニット１Ａを備えることを除いて基板処理装置１００と同様に構成されている。
【０１５０】
図９は、実施形態２に係る基板処理ユニット１Ａの一構成例を模式的に示す図である。
【０１５１】
基板処理ユニット（「処理液吐出装置」）１Ａは、基板処理ユニット１の処理液供給系７に代えて処理液供給系７Ａを備えることを除いて、基板処理ユニット１と同様に構成されている。基板処理ユニット１Ａは、基板処理ユニット１と同様に、基板Ｗに処理液Ｌ１を吐出して基板Ｗを一枚ずつ処理することができる。基板処理装置１００Ａは、複数の基板処理ユニット１Ａによって、複数の基板Ｗを並行して処理することができる。
【０１５２】
基板処理ユニット１Ａの処理液供給系７Ａは、処理液供給系７の開閉弁７２と駆動機構１３２とに代えて開閉弁（「モーター弁」）７２Ａと駆動機構１３２Ａとを備えることを除いて、処理液供給系７と同様に構成されている。
【０１５３】
開閉弁７２Ａは、弁本体７２０と、モーター（「電動モーター」）７２１を備え、モーター７２１が、弁本体７２０の開閉機構を駆動することによって開閉弁７２Ａを開閉する。弁本体７２０は、配管７４の経路途中に設けられている。弁本体７２０内には、例えば、配管７４を横切る方向に進退することで、弁本体７２０を開閉可能な、すなわち配管７４の流路を開閉可能な不図示の棒状体が設けられている。当該棒状体は、例えば、モーター７２１の回転軸に連結された不図示のボールネジ機構に連結されており、モーター７２１が回転すると、その回転速度に応じた速度で、回転方向に応じた方向に進退する。これにより、弁本体７２０の開度と開閉速度は、任意に調整される。制御部１３０は、制御ボード１３１に目標とする開閉速度に応じた制御信号を供給し、制御ボード１３１が制御信号に応じた駆動電流をモーター７２１に供給する。開閉弁７２Ａは、モーター７２１の回転数（回転速度）に応じた速度で開閉動作を行う。換言すれば、開閉弁７２Ａは、制御ボード１３１が供給する駆動電流（モーター７２１が、例えば、ＤＣモーターであれば駆動電流の電流値、ステッピングモーターであれば、駆動電流のパルスの周波数）に応じた速度で開閉を行う。すなわち、駆動機構１３２Ａは、制御ボード１３１と、開閉弁７２Ａのモーター７２１とを備えており、開閉弁７２Ａの閉鎖速度を調節する。閉鎖速度調整部１７は、開閉弁７２Ａ（弁本体７２０）の閉鎖速度が適切な速度（目標閉鎖速度）になるように、制御ボード１３１に制御信号を供給して、モーター７２１の動作を調整する。
【０１５４】
モーター駆動式の開閉弁７２Ａは、エア駆動式のエア弁である開閉弁７２に比べて、応答性が良く、モーター７２１が開閉弁７２Ａを閉じる動作を行うと、直ちに、開閉弁７２Ａが閉じられる。開閉弁７２は、気体Ｈ１によって開閉動作を制御されるため、上述した吐出停止ディレイ時間が生じていたが、開閉弁７２Ａは、モーター７２１によって開閉動作を制御されるため、開閉弁７２Ａには、開閉弁７２における吐出停止ディレイ時間に相当する遅れは生じない。このため、基板処理ユニット１Ａにおいては、制御部１３０がタイミング調整部１８を備えなくてもよい。
【０１５５】
図１０は、基板処理装置１００、１００Ａの制御部１３０の他の実施形態の構成例として制御部１３０Ｂを模式的に示す図である。
【０１５６】
図１０に示すように、機械学習部１９は、基板処理装置１００の外部に設けられたサーバ２３に設けられている。機械学習部１９による機械学習は、オフラインで行われる。また、判定部１２および分類器Ｋ２もサーバ２３に設けられている。制御部１３０Ｂは、通信部２１を介してネットワーク２２と接続され、外部のサーバ２３は、ネットワーク２２と接続されている。
【０１５７】
制御部１３０ＢのＣＰＵ１１は、通信部２１とネットワーク２２とを介してサーバ２３に設けられた判定部１２、機械学習部１９、および分類器Ｋ２と情報の伝達を行う。制御部１３０Ｂは、制御部１３０の機械学習部１９、判定部１２、分類器Ｋ２を備えていないことを除いて、制御部１３０と同様に構成されている。
【０１５８】
図１０の制御部１３０Ｂに例示されるように、制御部１３０のＣＰＵ１１により実現される判定部１２、特徴量算出部１３、ルールベース判定部１４、画像生成部１６、閉鎖速度調整部１７、タイミング調整部１８、機械学習部１９などの各機能部の一部を外部のサーバ２３に設けてもよい。当該機能部をサーバ２３に備えれば、複数の基板処理ユニットに対して共通のマッチング（判定）を行うことができる。
【０１５９】
なお、機械学習部１９をオフラインで定期的または不定期に更新してもよい。また、予め機械学習された機械学習部１９に対し、さらにサンプル画像（教師データ）を追加してオンライン学習を行い更新させてもよい。さらに、ネットワーク２２を介して他のＣＰＵを用い、サンプル画像（教師データ）にてオンライン学習を行ってもよい。
【０１６０】
図１１は、基板処理装置１００、１００Ａの制御部１３０の他の実施形態の構成例として制御部１３０Ｃを模式的に示す図である。図１１に示すように、制御部１３０Ｃは、分類器Ｋ２を磁気ディスク１６１ではなく、ＲＯＭ１６２に記憶していることを除いて、制御部１３０と同様に構成されており、同様に動作する。このように、分類器Ｋ２をＲＯＭ１６２に格納してもよい。
【０１６１】
以上のように構成された本実施形態１、２に係る開閉弁の閉鎖速度判定装置によれば、判定部１２は、カメラ６５がノズル２５１の先端部の流路と、ノズル２５１の先端２５２から吐出方向ＡＲ１にそって延在する処理液Ｌ１の吐出経路とを含む撮影対象領域５０を撮像した原画像Ｇ０のうち、ノズル２５１の先端部の流路（内部領域５１）および処理液Ｌ１の吐出経路（前方領域５２）の画像に基づいて、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分を判定する。当該内部領域５１は、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度が速すぎると処理液Ｌ１が殆ど存在しなくなり、当該前方領域５２は、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度が遅すぎると、処理液Ｌ１の液滴が存在する。従って、判定部１２は、開閉弁７２の閉鎖速度と、検出される処理液Ｌ１の存在態様との関係が異なる２つの領域に対応する画像に基づいて開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度が属する区分を判定し得る。従って、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分の判定精度を改善できる。
【０１６２】
また、本実施形態１、２に係る開閉弁の閉鎖速度判定装置によれば、判定部１２の特徴量算出部１３は、ノズル２５１の先端部の内部領域５１に対応する第１画像Ｇ１と、ノズル２５１先端の前方領域５２に対応する第２画像Ｇ２とのそれぞれにおいて、処理液Ｌ１の像の面積に応じた所定の特徴量を算出する。判定部１２のルールベース判定部１４は、第１画像Ｇ１の特徴量と第２画像Ｇ２の特徴量に所定の判定規則Ｋ１を適用することによって開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分を判定する。従って、判定部１２は、第１画像Ｇ１と第２画像Ｇ２とについて個別に処理液Ｌ１の像の存在を検出して開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分を判定するので、判定の精度を向上できる。
【０１６３】
また、本実施形態１、２に係る開閉弁の閉鎖速度判定装置によれば、処理液Ｌ１の吐出方向ＡＲ１の下流側における第１画像Ｇ１領域の端部は、ノズル２５１の先端、すなわち当該吐出方向ＡＲ１の上流側におけるエリアＢの端部から当該吐出方向ＡＲ１の上流側に離れている。従って、判定部１２は、吐出方向ＡＲ１の下流側における第１画像Ｇ１領域の端部からノズル２５１の先端にわたる画像領域の画像を開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分の判定に使用しない。当該画像領域は、処理液Ｌ１の存在と、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度との関係を特定しにくい領域である。このため、当該領域が判定に使用されない場合には、判定の精度をさらに向上でき得る。
【０１６４】
また、本実施形態１、２に係る開閉弁の閉鎖速度判定装置によれば、判定規則Ｋ１は、ノズル２５１先端部の内部領域５１が液密状態で無ければ開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度が速すぎると判定し、当該内部領域５１が液密状態であって、かつ、ノズル２５１先端から延在する前方領域５２に処理液Ｌ１が存在していれば、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度が遅すぎると判定する規則である。従って、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分の判定精度を向上できる。
【０１６５】
また、本実施形態１、２に係る開閉弁の閉鎖速度判定装置によれば、分類器は、ノズル２５１の先端部の内部領域５１およびノズル２５１の前方領域５２の双方の領域を含む領域に対応するエリアＣのサンプル画像を用いて予め機械学習によって生成されており、判定部１２は、分類器によって開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分を判定する。従って、サンプル画像と異なる画像が与えられる場合でも閉鎖速度の区分の判定精度を向上でき得る。
【０１６６】
また、本実施形態１、２に係る開閉弁の閉鎖速度判定装置によれば、分類器は、カメラ６５が撮影対象領域５０を撮像した画像Ｇ０のうち内部領域５１に対応するエリアＡの第１画像Ｇ１と、前方領域５２に対応するエリアＢの第２画像Ｇ２とのそれぞれの画像に基づいて開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分を判定するように機械学習によって生成されている。分類器は、第１画像Ｇ１と第２画像Ｇ２との各画像毎に、画像と開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分との関係を学習できるので、分類器による判定精度を向上できる。
【０１６７】
また、本実施形態１、２に係る開閉弁の閉鎖速度判定装置によれば、処理液Ｌ１の吐出方向ＡＲ１の下流側における第１画像Ｇ１領域の端部は、ノズル２５１の先端、すなわち当該吐出方向ＡＲ１の上流側におけるエリアＢの端部から当該吐出方向ＡＲ１の上流側に離れている。従って、判定部１２の分類器は、吐出方向ＡＲ１の下流側における第１画像Ｇ１領域の端部からノズル２５１の先端にわたる画像領域の画像を開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分の判定に使用しない。当該画像領域は、処理液Ｌ１の存在と、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度との関係を特定しにくい領域である。このため、当該領域が判定に使用されない場合には、判定の精度をさらに向上でき得る。
【０１６８】
また、本実施形態１、２に係る開閉弁の閉鎖速度判定装置によれば、ノズル２５１の先端部の内部領域５１と、ノズル２５１の先端から前方に延在する前方領域５２とを含む撮影対象領域５０の時系列画像に基づいて、画像生成部１６が、ノズル２５１の先端部の内部領域５１およびノズル２５１の前方領域５２の画像を生成し、判定部１２は、当該画像に基づいて開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分を判定する。処理液Ｌ１の存在態様の時間的な変化も判定結果に反映できるので、判定精度を向上できる。
【０１６９】
また、以上のように構成された本実施形態１、２に係る処理液吐出装置によれば、開閉弁の閉鎖速度判定装置が判定した開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度が適切でない場合でも、判定された開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分に応じて、閉鎖速度調整部１７が開閉弁７２、７２Ａの駆動機構を調整するので、閉鎖速度を適切な速度に調整することが容易となる。従って、処理液吐出装置の立ち上げ時間を短縮できる。
【０１７０】
また、本実施形態１に係る処理液吐出装置によれば、開閉弁７２がエア弁であり、開閉弁７２の駆動機構１３２が電磁弁３２と、モーター駆動式のニードルバルブ３３とを備える場合において、エア弁（開閉弁７２）の閉鎖速度が適切な速度になるようにモーター駆動式のニードルバルブ３３の開度を調整できる。
【０１７１】
また、本実施形態１に係る処理液吐出装置によれば、電磁弁３２が配管３４の流路を開いてから、エア弁が実際に閉じるまでの遅れ時間が、開閉センサー７３の出力に基づいて測定され、エア弁が所定のタイミングで閉じるように、タイミング調整部１８が、当該測定の結果に基づいて電磁弁３２が配管３４内の流路を開放するタイミングを調整する。従って、処理液Ｌ１の供給配管である配管７４の径や、長さ等が、基板処理ユニット１毎にばらつくことに起因して当該遅れ時間が基板処理ユニット１毎にばらつく場合でも、エア弁が所定のタイミングで閉鎖するように調整し得る。
【０１７２】
また、以上のような本実施形態１、２に係る開閉弁の閉鎖速度判定方法によれば、判定工程は、撮影対象領域５０が撮像された原画像Ｇ０のうち、ノズル２５１の先端部の内部領域５１およびノズル２５１の前方領域５２の画像に基づいて、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分を判定する。当該内部領域５１は、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度が速すぎると処理液Ｌ１が殆ど存在しなくなり、当該前方領域５２は、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度が遅すぎると、処理液Ｌ１の液滴が存在する。従って、判定工程において、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度と、検出される処理液Ｌ１の存在態様との関係が異なる２つの領域に対応する画像に基づいて開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度が属する区分を判定し得る。従って、開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分の判定精度を改善できる。
【０１７３】
また、以上のような本実施形態１、２に係る処理液Ｌ１吐出方法によれば開閉弁の閉鎖速度判定方法において判定された開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度が適切でない場合でも、判定された開閉弁７２、７２Ａの閉鎖速度の区分に応じて、閉鎖速度調整工程において開閉弁７２、７２Ａの駆動機構が調整されるので、閉鎖速度を適切な速度に調整することが容易となる。
【０１７４】
本発明は詳細に示され記述されたが、上記の記述は全ての態様において例示であって限定的ではない。したがって、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【０１７５】
１００  基板処理装置
２００  処理部
３００  閉鎖速度判定装置
１  基板処理ユニット（液滴吐出装置）
２５１  ノズル
１２  判定部
７２  開閉弁
６５  カメラ（撮像部）
Ｇ０  画像（原画像）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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