(57)【要約】【課題】基材に応じて対象物の膜厚を適切に管理可能な膜厚管理装置を提供する。【解決手段】本発明による膜厚管理装置（１００）は、第１測定部（１１０）と、第２測定部（１２０）とを備える。第１測定部（１１０）は、第１光源（１１２）と、第１受光センサ（１１４）とを有する。第１受光センサ（１１４）は、第１光源（１１０）から出射された光を検出する。第２測定部（１２０）は、第２光源（１２２）と、第２受光センサ（１２４）とを有する。第２受光センサ（１１４）は、第２光源から出射された光を検出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１測定部と、
第２測定部と
を備え、
前記第１測定部は、
第１光源と、
前記第１光源から出射された光を検出する第１受光センサと
を有し、
前記第２測定部は、
第２光源と、
前記第２光源から出射された光を検出する第２受光センサと
を有し、膜厚管理装置。
【請求項２】
前記第１光源は、発光ダイオードを含み、
前記第２光源は、レーザ装置を含む、請求項１に記載の膜厚管理装置。
【請求項３】
前記第１測定部および前記第２測定部を制御し、前記第１測定部および前記第２測定部の実装された制御基板をさらに備える、請求項１または２に記載の膜厚管理装置。
【請求項４】
前記第１測定部および前記第２測定部のいずれを駆動するかを選択する選択部をさらに備える、請求項３に記載の膜厚管理装置。
【請求項５】
前記制御基板は増幅器を有し、
前記選択部は、選択結果に応じて前記増幅器のゲインを切り替える、請求項４に記載の膜厚管理装置。
【請求項６】
前記第１測定部および前記第２測定部を収容する筐体をさらに備える、請求項１から５のいずれかに記載の膜厚管理装置。
【請求項７】
前記筐体は、
前記第１測定部のための第１開口部と、
前記第２測定部のための第２開口部と
を有する、請求項６に記載の膜厚管理装置。
【請求項８】
前記第１測定部の測定結果および前記第２測定部の測定結果を送信する通信部をさらに備える、請求項１から７のいずれかに記載の膜厚管理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、膜厚管理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、印刷物の再現性は人間の目視によってチェックされてきた。しかしながら、印刷物のチェックを目視で行う場合、作業者に負担がかかるとともにチェックを均一に行うことができない。
【０００３】
そこで、濃度計を用いて印刷物の品質を管理することが知られている（特許文献１参照）。特許文献１には、濃度計を用いてインキ膜の膜厚を決定するように印刷機を制御することが記載されている。特許文献１の制御装置は、異なる印刷条件で試し印刷された複数の印刷物のインキ濃度を計測し、計測結果に基づいて目標濃度を実現するためのパラメータを算出し、インキを予備供給する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３２０８３８公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本願発明者は、対象物を支持する基材が異なると、計測結果が大きく変動し、対象物の膜厚を適切に管理できないことがあることを見出した。例えば、仮に対象物が同じであっても、対象物を支持する基材の種類が異なると、計測結果が大きく変動するため、対象物の膜厚を適切に管理できない。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、基材に応じて対象物の膜厚を適切に管理可能な膜厚管理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による膜厚管理装置は、第１測定部と、第２測定部とを備える。前記第１測定部は、第１光源と、前記第１光源から出射された光を検出する第１受光センサとを有する。前記第２測定部は、第２光源と、前記第２光源から出射された光を検出する第２受光センサとを有する。
【０００８】
ある実施形態では、前記第１光源は、発光ダイオードを含み、前記第２光源は、レーザ装置を含む。
【０００９】
ある実施形態では、前記膜厚管理装置は制御基板をさらに備える。前記制御基板は、前記第１測定部および前記第２測定部を制御する。前記制御基板には、前記第１測定部および前記第２測定部が実装される。
【００１０】
ある実施形態では、前記膜厚管理装置は選択部をさらに備える。前記選択部は、前記第１測定部および前記第２測定部のいずれを駆動するかを選択する。
【００１１】
ある実施形態では、前記制御基板は増幅器を有し、前記選択部は、選択結果に応じて前記増幅器のゲインを切り替える。
【００１２】
ある実施形態では、前記膜厚管理装置は筐体をさらに備える。前記筐体は、前記第１測定部および前記第２測定部を収容する。
【００１３】
ある実施形態では、前記筐体は、前記第１測定部のための第１開口部と、前記第２測定部のための第２開口部とを有する。
【００１４】
ある実施形態では、前記膜厚管理装置は通信部をさらに備える。前記通信部は、前記第１測定部の測定結果および前記第２測定部の測定結果を送信する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基材に応じて対象物の膜厚を適切に管理できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明による膜厚管理装置の実施形態の模式図である。
【図２】（ａ）は本実施形態の膜厚管理装置における第１測定部が対象物を測定する模式図であり、（ｂ）は本実施形態の膜厚管理装置における第２測定部が対象物を測定する模式図である。
【図３】本発明による膜厚管理装置の実施形態の模式図である。
【図４】本実施形態の膜厚管理装置における第１測定部の模式的な斜視図である。
【図５】本発明による膜厚管理装置の実施形態のブロック図である。
【図６】（ａ）は本実施形態の膜厚管理装置の模式的な正面図であり、（ｂ）は（ａ）の膜厚管理装置の模式的な背面図であり、（ｃ）は（ａ）の膜厚管理装置の模式的な斜視図である。
【図７】（ａ）は筐体の第１部材を取り外した本実施形態の膜厚管理装置の模式的な斜視図であり、（ｂ）は筐体を取り外した本実施形態の膜厚管理装置の模式的な斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図中、同一または相当部分には同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。
【００１８】
以下、図１を参照して、本発明による膜厚管理装置１００の実施形態を説明する。図１は、本実施形態の膜厚管理装置１００を示す模式図である。膜厚管理装置１００は、対象物Ｏの膜厚を管理する。対象物Ｏは膜状である。例えば、膜厚管理装置１００は、対象物Ｏの膜厚を測定する。
【００１９】
対象物Ｏは、例えば基材Ｓの表面に設けられる。例えば、基材Ｓは紙であり、対象物Ｏは印刷物である。対象物Ｏは、透明であってもよく、色が付されていてもよい。一例では、対象物Ｏはインクである。あるいは、対象物Ｏは、ニスであってもよく、機能性塗布剤であってもよい。
【００２０】
また、基材Ｓは、通常紙であってもよい。あるいは、基材Ｓは、アルミニウムなどの蒸着によって形成された蒸着紙であってもよい。
【００２１】
本実施形態の膜厚管理装置１００は、第１測定部１１０と、第２測定部１２０とを備える。第１測定部１１０により、対象物Ｏの膜厚を管理できる。典型的には、第１測定部１１０は、基材Ｓ上の対象物Ｏを測定する。第１測定部１１０の測定結果から対象物Ｏの膜厚を取得できる。
【００２２】
第１測定部１１０は、対象物Ｏの膜厚の具体的な数値を取得しなくてもよい。一例として、第１測定部１１０は対象物Ｏの反射率または濃度を測定し、対象物Ｏの膜厚は対象物Ｏの反射率または濃度から取得される。例えば、対象物Ｏを大量生産する場合、第１測定部１１０が対象物Ｏの反射率または濃度を測定することにより、対象物Ｏの反射率または濃度の変化から、対象物Ｏの膜厚に変化が生じたか否かを管理できる。
【００２３】
あるいは、第１測定部１１０は対象物Ｏの膜厚を直接測定してもよい。例えば、第１測定部１１０によって測定される対象物Ｏの膜厚は０．１μｍ以上１００μｍ以下である。
【００２４】
第１測定部１１０は、第１光源１１２と、第１受光センサ１１４とを有する。第１光源１１２は出射光を出射する。第１光源１１２から出射された光の少なくとも一部は対象物Ｏに向かう。対象物Ｏは、第１光源１１２からの出射光を反射する。第１受光センサ１１４は、第１光源１１２から出射された光を反射光として検出する。第１受光センサ１１４は、反射光の光量に応じた電圧又は電流を出力する。
【００２５】
例えば、第１測定部１１０は、基材Ｓのうち対象物Ｏの存在しない領域、および、基材Ｓのうち対象物Ｏの存在する領域を測定する。２つの領域の測定結果の差が対象物Ｏの膜厚に相当する。予め用意した測定結果の差と対象物Ｏの膜厚との関係を示すテーブルから、測定結果の差に対応する対象物Ｏの膜厚を取得できる。
【００２６】
また、第２測定部１２０により、対象物Ｏの膜厚を管理できる。典型的には、第２測定部１２０は、基材Ｓ上の対象物Ｏを測定する。第２測定部１２０の測定結果から対象物Ｏの膜厚を取得できる。
【００２７】
第２測定部１２０は、対象物Ｏの膜厚の具体的な数値を取得しなくてもよい。一例として、第２測定部１２０は対象物Ｏの反射率または濃度を測定し、対象物Ｏの膜厚は対象物Ｏの反射率または濃度から取得される。例えば、対象物Ｏを大量生産する場合、第２測定部１２０が対象物Ｏの反射率または濃度を測定することにより、対象物Ｏの反射率または濃度の変化から、対象物Ｏの膜厚に変化が生じたか否かを管理できる。
【００２８】
あるいは、第２測定部１２０は対象物Ｏの膜厚を直接測定してもよい。例えば、第２測定部１２０によって測定される対象物Ｏの膜厚は０．１μｍ以上１００μｍ以下である。
【００２９】
第２測定部１２０は、第２光源１２２と、第２受光センサ１２４とを有する。第２光源１２２は出射光を出射する。第２光源１２２から出射された光の少なくとも一部は対象物Ｏに向かう。対象物Ｏは、第２光源１２２からの出射光を反射する。第２受光センサ１２４は、第２光源１２２から出射された光を反射光として検出する。第２受光センサ１２４は、反射光の光量に応じた電圧又は電流を出力する。
【００３０】
例えば、第２測定部１２０は、基材Ｓのうち対象物Ｏの存在しない領域、および、基材Ｓのうち対象物Ｏの存在する領域を測定する。２つの領域の測定結果の差が対象物Ｏの膜厚に相当する。予め用意した測定結果の差と対象物Ｏの膜厚との関係を示すテーブルから、測定結果の差に対応する対象物Ｏの膜厚を取得できる。
【００３１】
なお、第２測定部１２０は第１測定部１１０とは異なる。典型的には、第２光源１２２は第１光源１１２とは異なる。例えば、第１光源１１２および第２光源１２２の発光原理は異なる。また、第２光源１２２から出射される光の波長は、第１光源１１２から出射される光の波長とは異なる。一例として、第１光源１１２は発光ダイオード（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ：ＬＥＤ）を含み、第２光源１２２はレーザ装置を含む。
【００３２】
第１光源１１２がＬＥＤを含む場合、第１測定部１１０は、基材Ｓが通常紙であるときの対象物Ｏを好適に測定できる。また、第２光源１２２がレーザ装置を含む場合、第２測定部１２０は、基材Ｓが蒸着紙であるときの対象物Ｏを好適に測定できる。
【００３３】
なお、第１光源１１２および第２光源１２２の発光原理は同じであってもよい。例えば、第１光源１１２は赤色ＬＥＤを含み、第２光源１２２は青色ＬＥＤを含んでもよい。
【００３４】
あるいは、第２光源１２２から出射される光の出力は、第１光源１１２から出射される光の出力とは異なってもよい。あるいは、第２受光センサ１２４は第１受光センサ１１４と異なってもよい。例えば、第２受光センサ１２４に含まれるフォトトランジスタ又はフォトダイオードは、第１受光センサ１１４に含まれるフォトトランジスタ又はフォトダイオードとは異なってもよい。
【００３５】
なお、膜厚管理装置１００は、対象物Ｏの測定結果を外部機器に送信してもよい。例えば、膜厚管理装置１００は、外部機器と無線または有線で接続されており、膜厚管理装置１００は、対象物Ｏを測定した後、対象物Ｏの測定結果を外部機器に送信してもよい。
【００３６】
ここでは、第１測定部１１０および第２測定部１２０は、同一の支持部材に支持される。第１測定部１１０および第２測定部１２０は、支持部材の下面に配置される。例えば、第１測定部１１０および第２測定部１２０の少なくとも一部が支持部材から露出されるように、第１測定部１１０および第２測定部１２０は支持部材に支持される。
【００３７】
本実施形態の膜厚管理装置１００は、第１測定部１１０および第２測定部１２０を備えるため、例えば、第１測定部１１０が基材Ｓ上の対象物Ｏを適切に測定できなくても、第２測定部１２０が基材Ｓ上の対象物Ｏを適切に測定できる。このように、基材Ｓ上の対象物Ｏに応じて第１測定部１１０および第２測定部１２０のいずれかを用いて対象物Ｏの膜厚を管理できる。
【００３８】
例えば、基材Ｓが通常紙である場合、光源として発光ダイオードを用いると、基材Ｓ上の対象物Ｏを適切に測定できる。一方で、基材Ｓがアルミホイル箔またはアルミ蒸着紙等である場合、光源としてＬＥＤを用いると基材Ｓ上の対象物Ｏを適切に測定できないことがある。しかしながら、光源としてレーザ装置を用いると、基材Ｓがアルミホイル箔またはアルミ蒸着紙等であっても基材Ｓ上の対象物Ｏを適切に測定できる。したがって、第１測定部１１０の第１光源１１２が発光ダイオードを含み、第２測定部１２０の第２光源１２２がレーザ装置を含む場合、基材Ｓが通常紙および蒸着紙のいずれであっても、基材Ｓ上の対象物Ｏを適切に測定できる。
【００３９】
ここで、図２を参照して本実施形態の膜厚管理装置１００を説明する。図２（ａ）は、膜厚管理装置１００の第１測定部１１０が基材Ｓａ上の対象物Ｏａを測定する模式図であり、図２（ｂ）は膜厚管理装置１００の第２測定部１２０が基材Ｓｂ上の対象物Ｏｂを測定する模式図である。
【００４０】
図２（ａ）に示すように、第１測定部１１０が基材Ｓａ上の対象物Ｏａを測定する場合、膜厚管理装置１００の第１測定部１１０が対象物Ｏａの上方に配置される。第１測定部１１０の第１光源１１２は対象物Ｏａに光を出射し、第１受光センサ１１４は対象物Ｏａによって反射された光を検出する。
【００４１】
図２（ｂ）に示すように、第２測定部１２０が基材Ｓｂ上の対象物Ｏｂを測定する場合、膜厚管理装置１００の第２測定部１２０が対象物Ｏｂの上方に配置される。第２測定部１２０の第２光源１２２は対象物Ｏｂに光を出射し、第２受光センサ１２４は対象物Ｏｂによって反射された光を検出する。
【００４２】
例えば、基材Ｓａが通常紙である場合、発光ダイオードを含む第１光源１１２を用いると、基材Ｓａ上の対象物Ｏａを適切に測定できる。また、レーザ装置を含む第２光源１２２を用いると、基材Ｓｂがアルミホイル箔またはアルミ蒸着紙等であっても基材Ｓ上の対象物Ｏｂを適切に測定できる。このため、本実施形態の膜厚管理装置１００は、基材Ｓが通常紙および蒸着紙のいずれであっても、基材Ｓ上の対象物Ｏを適切に測定できる。
【００４３】
次に、図３を参照して本実施形態の膜厚管理装置１００を説明する。図３は、膜厚管理装置１００の模式図である。図３に示した膜厚管理装置１００は、第１測定部１１０および第２測定部１２０に加えて制御基板１３０および筐体１４０を備える点で図１に示した膜厚管理装置１００とは異なる。以下の説明では、冗長を避けるために、重複する説明を省略することがある。
【００４４】
図３に示した膜厚管理装置１００は、第１測定部１１０および第２測定部１２０に加えて制御基板１３０および筐体１４０をさらに備える。制御基板１３０は、第１測定部１１０および第２測定部１２０を制御する。例えば、制御基板１３０は、配線のプリントされた回路基板である。制御基板１３０は、第１測定部１１０および第２測定部１２０を支持する。第１測定部１１０および第２測定部１２０は制御基板１３０に実装される。制御基板１３０が、第１測定部１１０および第２測定部１２０を制御するとともに第１測定部１１０および第２測定部１２０が制御基板１３０に実装されることにより、第１測定部１１０および第２測定部１２０を一体的に構成できる。
【００４５】
制御基板１３０は、平面１３０ａと、平面１３０ｂとを有する。第１測定部１１０および第２測定部１２０は、制御基板１３０の平面１３０ａに実装される。膜厚管理装置１００が水平方向に延びた対象物Ｏを測定する場合、制御基板１３０の平面１３０ａは鉛直下方に向き、制御基板１３０の平面１３０ｂは鉛直上方に向く。また、第１測定部１１０は、制御基板１３０の平面１３０ａのうちの一方の端部に配置され、第２測定部１２０は、制御基板１３０の平面１３０ａのうちの他方の端部に配置される。
【００４６】
筐体１４０は、第１測定部１１０および第２測定部１２０を収容する。ここでは、筐体１４０は、第１測定部１１０および第２測定部１２０とともに制御基板１３０を収容する。筐体１４０が第１測定部１１０および第２測定部１２０を収容するため、膜厚管理装置１００全体を小型化でき、第１測定部１１０および第２測定部１２０を容易に持ち運びできる。
【００４７】
なお、筐体１４０には開口部が設けられることが好ましい。ここでは、筐体１４０には第１開口部１４０ａおよび第２開口部１４０ｂが設けられる。第１開口部１４０ａは、第１測定部１１０の測定に用いられる。第１開口部１４０ａの口径は、例えば、１ｍｍ以上１００ｍｍ以下であり、３ｍｍ以上５０ｍｍ以下であることがさらに好ましく、５ｍｍ以上１６ｍｍ以下であることがさらに好ましい。あるいは、第１開口部１４０ａの口径は、第１光源１１２の出射径と略同じであることが好ましい。
【００４８】
第１開口部１４０ａは、第１測定部１１０の第１光源１１２から出射された光を通過するとともに、対象物Ｏから反射された光を通過する。対象物Ｏから反射された光は、第１開口部１４０ａを通過して第１受光センサ１１４に到達する。これにより、第１測定部１１０は、対象物Ｏを測定できる。
【００４９】
また、第２開口部１４０ｂは、第２測定部１２０の測定に用いられる。第２開口部１４０ｂの口径は、例えば、１ｍｍ以上１００ｍｍ以下であり、３ｍｍ以上５０ｍｍ以下であることがさらに好ましく、５ｍｍ以上１５ｍｍ以下であることがさらに好ましい。あるいは、第２開口部１４０ｂの口径は、第２光源１２２の出射径と略同じであることが好ましい。
【００５０】
第２開口部１４０ｂは、第２測定部１２０の第２光源１２２から出射された光を通過するとともに、対象物Ｏから反射された光を通過する。対象物Ｏから反射された光は、第２開口部１４０ｂを通過して第２受光センサ１２４に到達する。これにより、第２測定部１２０は、対象物Ｏを測定できる。以上のように、筐体１４０の第１開口部１４０ａおよび第２開口部１４０ｂにより、第１測定部１１０および第２測定部１２０は、筐体１４０に収容されたまま対象物Ｏを測定できる。
【００５１】
筐体１４０は、第１部材１４２と、第２部材１４４とを有する。膜厚管理装置１００が水平方向に延びた対象物Ｏを測定する場合、第１部材１４２は鉛直下方に位置し、第２部材１４４は鉛直上方に位置する。筐体１４０は、第１部材１４２と第２部材１４４とを組み合わせることで形成される。第１開口部１４０ａおよび第２開口部１４０ｂは、第１部材１４２に設けられる。
【００５２】
なお、上述したように、第１光源１１２および第２光源１２２の少なくとも一方としてＬＥＤを用いてもよい。なお、典型的には、レーザ装置から出射される出射光の指向性は比較的高いのに対して、ＬＥＤから出射される出射光の指向性は比較的低い。このため、第１光源１１２および第２光源１２２の少なくとも一方としてＬＥＤを用いる場合、ＬＥＤの周囲を包囲する包囲部材を配置することが好ましい。
【００５３】
ここで、図４を参照して本実施形態の膜厚管理装置１００を説明する。図４は、膜厚管理装置１００における第１測定部１１０の模式的な斜視図である。ここでは、ＬＥＤが第１測定部１１０の第１光源１１２として用いられる。第１測定部１１０は、第１光源１１２と、第１受光センサ１１４と、包囲部材１１６とを備える。第１受光センサ１１４は第１光源１１２の周囲を包囲する。
【００５４】
包囲部材１１６は、第１光源１１２の周囲を包囲するように配置される。包囲部材１１６は筒状形状である。例えば、包囲部材１１６は樹脂から形成される。包囲部材１１６の内周側に第１光源１１２が配置されており、包囲部材１１６の外周側に第１受光センサ１１４が配置される。包囲部材１１６が、ＬＥＤを含む第１光源１１２の周囲を包囲することにより、第１光源１１２から出射された光が対象物Ｏを介することなく第１受光センサ１１４に直接入射することを抑制できる。
【００５５】
包囲部材１１６は、内周遮光側面１１６ａと、光通過端面１１６ｂとを有する。内周遮光側面１１６ａは、包囲部材１１６の内周側面に位置する。内周遮光側面１１６ａは、出射光ＬＯが包囲部材１１６の内周側から外周側に通過することを遮る。光通過端面１１６ｂは対象物Ｏと対向する。光通過端面１１６ｂは出射光を通過させる。
【００５６】
なお、包囲部材１１６の内周には、第１光源１１２と空気以外は、何も配置されなくてもよい。あるいは、包囲部材１１６の内周に、導光部材が配置されてもよい。また、包囲部材１１６の内周に、光を集光するレンズが配置されてもよい。ただし、包囲部材１１６の内周にはレンズを配置した場合、第１光源１１２と対象物Ｏとの距離が比較的長くなる。このため、包囲部材１１６の内周にはレンズを配置しないことが好ましい。
【００５７】
次に、図５を参照して本実施形態の膜厚管理装置１００を説明する。図５は、膜厚管理装置１００のブロック図である。図５に示した膜厚管理装置１００は、第１測定部１１０、第２測定部１２０および制御基板１３０に加えて、制御部１３２、通信部１５０、表示部１６０、選択部１７０、増幅器１７２および電源１８０をさらに備える。
【００５８】
制御部１３２は、第１光源１１２、第１受光センサ１１４、第２光源１２２、第２受光センサ１２４、表示部１６０および選択部１７０を制御する。例えば、制御部１３２は、制御基板１３０に実装される。
【００５９】
制御部１３２は、プロセッサーを含む。プロセッサーは、例えば、マイクロコンピュータを含む。あるいは、プロセッサーは、中央処理演算機（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ：ＣＰＵ）を含んでもよい。または、プロセッサーは汎用演算機を含んでもよい。また、制御部１３２は、コンピュータープログラムを記憶する記憶部を含む。記憶部は、主記憶装置と、補助記憶装置とを含む。主記憶装置は、例えば、半導体メモリーである。補助記憶装置は、例えば、半導体メモリーおよび／またはハードディスクドライブである。記憶部はリムーバブルメディアを含んでいてもよい。制御部１３２は、記憶部の記憶しているコンピュータープログラムを実行して対象物Ｏを測定する。
【００６０】
通信部１５０は、第１測定部１１０の測定結果および第２測定部１２０の測定結果を送信する。通信部１５０は、無線または有線で測定結果を送信する。なお、通信部１５０は、パーソナルコンピュータに送信することが好ましい。例えば、通信部１５０は、第１測定部１１０の第１受光センサ１１４の受光結果および第２測定部１２０の第２受光センサ１２４の受光結果を送信する。
【００６１】
通信部１５０は、制御基板１３０に実装される。例えば、通信部１５０は、近距離通信可能である。通信部１５０は、電波または赤外線を出力する。通信部１５０は、ブルートゥース（登録商標）またはＩｒＤＡの規格に準拠する。
【００６２】
表示部１６０は、第１測定部１１０の測定結果および第２測定部１２０の測定結果を表示する。例えば、表示部１６０は、基材Ｓ上の対象物Ｏを測定した結果として、電圧又は電流を表示する。あるいは、表示部１６０は、基材Ｓ上の対象物Ｏを測定した結果として、対象物Ｏの濃度、反射率または膜厚を表示してもよい。表示部１６０は、図３に示した筐体１４０の表面に配置される。表示部１６０は、制御基板１３０に支持される。
【００６３】
選択部１７０は、第１測定部１１０および第２測定部１２０のいずれを駆動するかを選択する。選択部１７０は、ユーザからの指示に基づいて、第１測定部１１０および第２測定部１２０のいずれを駆動するかを選択する。選択部１７０は、ボタンによってユーザからの指示を受け付けてもよい。あるいは、選択部１７０は、電気信号を介してユーザからの指示を受け付けてもよい。
【００６４】
選択部１７０により、膜厚管理装置１００が対象物Ｏを測定する場合、第１測定部１１０および第２測定部１２０の両方が同時に駆動することなく第１測定部１１０および第２測定部１２０のいずれか一方のみを駆動させることができる。このため、第１測定部１１０および第２測定部１２０のうちの駆動する測定部を選択でき、不要な電力の消費を回避できる。選択部１７０は、図３に示した筐体１４０の表面に配置される。
【００６５】
例えば、対象物Ｏの測定に適した測定部が予め知られている場合、第１測定部１１０および第２測定部１２０のうちの適した一方の測定部で対象物Ｏを測定すればよい。あるいは、対象物Ｏの測定に適した測定部が予め知られていない場合でも、始めに第１測定部１１０で対象物Ｏを測定し、充分に測定できなかった場合には、第２測定部１２０で対象物Ｏを測定してもよい。
【００６６】
また、増幅器１７２は、第１受光センサ１１４から出力される電圧又は電流、および、第２受光センサ１２４から出力される電圧又は電流を増幅する。増幅器１７２は電流を電圧に変換し増幅する機能も有する。増幅器１７２は、制御基板１３０に実装される。なお、増幅器１７２は、選択部１７０の選択結果に応じて増幅するゲインを切り替えることが好ましい。これにより、駆動する測定部に応じて電圧を適切な強度にまで増幅できる。
【００６７】
電源１８０は、第１光源１１２、第１受光センサ１１４、第２光源１２２、第２受光センサ１２４、制御部１３２、通信部１５０、表示部１６０および選択部１７０に電力を供給する。例えば、電源１８０は制御基板１３０と接続する。ここでは、電源１８０として電池が制御基板１３０に搭載される。
【００６８】
ここで、図６および図７を参照して、本実施形態の膜厚管理装置１００を説明する。図６（ａ）は膜厚管理装置１００の模式的な正面図であり、図６（ｂ）は膜厚管理装置１００の模式的な背面図であり、図６（ｃ）は膜厚管理装置１００の模式的な斜視図である。ここでは、膜厚管理装置１００はほぼ直方体形状である。
【００６９】
なお、図６および図７では、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を示す。図６および図７において、膜厚管理装置１００の長手方向に延びる方向をＸ方向とし、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向およびＺ方向とする。
【００７０】
膜厚管理装置１００において、第１測定部１１０および第２測定部１２０はＹ方向に離れて配置される。図６および図７では、膜厚管理装置１００の第１測定部１１０の設けられる方向を＋Ｙ方向とし、膜厚管理装置１００の第２測定部１２０の設けられる方向を−Ｙ方向とする。
【００７１】
図６（ａ）に示すように、第１測定部１１０は筐体１４０の＋Ｙ方向端部に位置し、第２測定部１２０は筐体１４０の−Ｙ方向端部に位置する。なお、第１測定部１１０および第２測定部１２０は筐体１４０の第２部材１４４に覆われる。
【００７２】
筐体１４０の第２部材１４４の中央よりもやや＋Ｘ方向側に表示部１６０が設けられる。また、筐体１４０の第２部材１４４のほぼ中央部に選択部１７０が設けられる。
【００７３】
図６（ｂ）に示すように、第１測定部１１０は筐体１４０の第１部材１４２の＋Ｙ方向端部に位置し、第２測定部１２０は筐体１４０の第１部材１４２の−Ｙ方向端部に位置する。また、第１部材１４２の＋Ｙ方向端部に第１開口部１４０ａが設けられ、第１部材１４２の−Ｙ方向端部に第２開口部１４０ｂが設けられる。第１開口部１４０ａの＋Ｚ方向側には第１光源１１２が配置される。また、第２開口部１４０ｂの＋Ｚ方向側には第２光源１２２が配置される。第１部材１４２のほぼ中央には窪みが設けられており、電源１８０として２本の単２電池が搭載される。
【００７４】
図７（ａ）は、図６（ａ）の膜厚管理装置１００から筐体１４０の第１部材１４２を取り外した後の模式的な背面図であり、図７（ｂ）は、膜厚管理装置１００から筐体１４０を取り外した後の模式的な斜視図である。
【００７５】
図７（ａ）および図７（ｂ）に示すように、膜厚管理装置１００において、第１測定部１１０および第２測定部１２０は制御基板１３０に実装される。制御基板１３０は長辺と短辺とを有する。制御基板１３０の長辺はＸ方向に延びており、制御基板１３０の短辺はＹ方向に延びる。
【００７６】
制御基板１３０の＋Ｙ方向側の長辺の近傍に第１光源１１２および第１受光センサ１１４が実装される。第１光源１１２はＬＥＤを含む。第１光源１１２の周囲は包囲部材１１６によって包囲される。また、ここでは、第１受光センサ１１４として、受光素子１１４ａ、１１４ｂ、１１４ｃが実装される。第１光源１１２は、受光素子１１４ａ、１１４ｂ、１１４ｃの中心に配置される。
【００７７】
また、制御基板１３０の−Ｙ方向側の長辺の近傍に第２光源１２２および第２受光センサ１２４が実装される。第２光源１２２はレーザ装置を含む。ここでは、第２受光センサ１２４として、受光素子１２４ａ、１２４ｂ、１２４ｃが実装される。第２光源１２２は、受光素子１２４ａ、１２４ｂ、１２４ｃの中心に配置される。
【００７８】
以上、図面（図１〜図７）を参照して本発明の実施形態について説明した。ただし、本発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施できる。また、上記の実施形態に開示されている複数の構成要素は適宜改変可能である。例えば、ある実施形態に示される全構成要素のうちのある構成要素を別の実施形態の構成要素に追加してもよく、または、ある実施形態に示される全構成要素いくつかの構成要素を実施形態から削除してもよい。
【００７９】
また、図面は、発明の理解を容易にするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の厚さ、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の構成は一例であって、特に限定されるものではなく、本発明の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明によれば、基材に応じて対象物の膜厚を適切に管理できる。
【符号の説明】
【００８１】
１００    膜厚管理装置
１１０    第１測定部
１１２    第１光源
１１４    第１受光センサ
１２０    第２測定部
１２２    第２光源
１２４    第２受光センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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