(57)【要約】【課題】反りを解消した状態でシート部材を被搭載物に搭載する。【解決手段】シート部材搭載装置（１）は、シートレンズ（７）を吸着するエアを吸引するための吸引孔（５）が形成されたチャック部材（２）と、吸引孔（５）を覆うように配置されたプレート（３）とを備え、プレート（３）が、シート部材（２）の反りを矯正するために形成された多数の通気口（４）を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート部材を被搭載部材に搭載するために前記シート部材を吸着するエアを吸引するための吸引孔が形成されたチャック部材と、
前記シート部材を吸着するために前記吸引孔を覆うように配置されたプレートとを備え、
前記プレートが、前記シート部材の反りを矯正するために形成された多数の通気口を有することを特徴とするシート部材搭載装置。
【請求項２】
前記プレートが前記シート部材を吸着する吸着面を有し、
前記吸着面が平面状に形成される請求項１に記載のシート部材搭載装置。
【請求項３】
前記プレートが前記シート部材を吸着する吸着面を有し、
前記吸着面が凸形状又は凹形状に形成される請求項１に記載のシート部材搭載装置。
【請求項４】
前記多数の通気口が貫通孔により形成される請求項１に記載のシート部材搭載装置。
【請求項５】
前記多数の通気口がメッシュ状に形成されるか、又は、前記プレートが多孔性材料により形成される請求項１に記載のシート部材搭載装置。
【請求項６】
前記プレートにより前記被搭載部材に押圧された前記シート部材に紫外線を照射する照射部をさらに備える請求項１に記載のシート部材搭載装置。
【請求項７】
前記紫外線が透過する前記プレートの箇所が、透明な材料により形成される請求項６に記載のシート部材搭載装置。
【請求項８】
前記シート部材の形状を維持するために前記シート部材を加熱する加熱部をさらに備える請求項１に記載のシート部材搭載装置。
【請求項９】
前記エアの吸引の停止に応じて前記シート部材を前記被搭載部材に自重により押圧するために前記プレートに取り付けられた押圧部材をさらに備え、
前記チャック部材が、前記エアの吸引の停止に応じて前記押圧部材を回動可能に支持する支持部を有する請求項１に記載のシート部材搭載装置。
【請求項１０】
前記シート部材が光学部品を含む請求項１に記載のシート部材搭載装置。
【請求項１１】
前記光学部品がレンズを含む請求項１０に記載のシート部材搭載装置。
【請求項１２】
前記シート部材が可撓性を有する基板を含む請求項１に記載のシート部材搭載装置。
【請求項１３】
シート部材を被搭載部材に搭載するために前記シート部材を吸着するエアを吸引するための吸引孔が形成されたチャック部材の前記吸引孔を覆うように配置されたプレートに前記シート部材を吸着する吸着工程と、
前記エアの吸引を停止して前記シート部材を前記被搭載部材に搭載する搭載工程とを包含し、
前記プレートが、前記シート部材の反りを矯正するために形成された多数の通気口を有することを特徴とするシート部材搭載方法。
【請求項１４】
前記プレートにより前記被搭載部材に押圧された前記シート部材に紫外線を照射する照射工程をさらに包含する請求項１３に記載のシート部材搭載方法。
【請求項１５】
前記シート部材の形状を維持するために前記シート部材を加熱する加熱工程をさらに包含する請求項１３に記載のシート部材搭載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート部材を被搭載部材に搭載するシート部材搭載装置及びシート部材搭載方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に固体撮像装置に用いられる固体撮像素子は、幾つもの半導体製造工程を経た半導体ウェハからダイシング法などによりチップ状に切断して分離される。このようにして得られた固体撮像素子は、厚さが３００μｍ程度の平板状に形成されるとともに、堅くて変形しないリジッドな形状特性を有している。このような固体撮像素子をパッケージの取付面に取り付ける構成が従来技術として知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2007-329812号公報（2007年12月20日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、ライトフィールドカメラに代表されるマイクロレンズアレイ（以下、シートレンズという）を用いたカメラが、次世代カメラの技術として注目を浴びている。このシートレンズには、多数のマイクロレンズが搭載されている。このシートレンズはフィルム状の薄い部材である。このため、このシートレンズを撮像素子に組み付けるときに、シートレンズに反りが生じやすいという問題が生じる。この問題は、フィルム状の薄いシート部材であるＩＲカットフィルター（ＩＲＣＦ（InfraRed Cut Filter）、赤外カットフィルター）を被搭載部材に搭載する際にも同様に生じる。
【０００５】
本発明の一態様は、反りを解消した状態でシート部材を被搭載物に搭載することができるシート部材搭載装置及びシート部材搭載方法を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るシート部材搭載装置は、シート部材を被搭載部材に搭載するために前記シート部材を吸着するエアを吸引するための吸引孔が形成されたチャック部材と、前記シート部材を吸着するために前記吸引孔を覆うように配置されたプレートとを備え、前記プレートが、前記シート部材の反りを矯正するために形成された多数の通気口を有することを特徴とする。
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るシート部材搭載方法は、シート部材を被搭載部材に搭載するために前記シート部材を吸着するエアを吸引するための吸引孔が形成されたチャック部材の前記吸引孔を覆うように配置されたプレートに前記シート部材を吸着する吸着工程と、前記エアの吸引を停止して前記シート部材を前記被搭載部材に搭載する搭載工程とを包含し、前記プレートが、前記シート部材の反りを矯正するために形成された多数の通気口を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一態様によれば、反りを解消した状態でシート部材を被搭載物に搭載することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態１に係るシート部材搭載装置を模式的に示す断面斜視図である。
【図２】上記シート部材搭載装置の断面図である。
【図３】上記シート部材搭載装置の動作を示す断面図である。
【図４】（ａ）は上記シート部材搭載装置の変形例を示す断面図であり、（ｂ）は上記シート部材搭載装置の他の変形例を示す断面図である。
【図５】（ａ）は実施形態２に係るシート部材搭載装置の断面図であり、（ｂ）は上記シート部材搭載装置の変形例を示す断面図である。
【図６】（ａ）は実施形態３に係るシート部材搭載装置の断面図であり、（ｂ）（ｃ）は上記シート部材搭載装置の動作を示す断面図である。
【図７】（ａ）は実施形態４に係るシート部材搭載装置の断面図であり、（ｂ）は上記シート部材搭載装置の動作を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
【００１１】
〔実施形態１〕
（シート部材搭載装置１の構成）
図１は実施形態１に係るシート部材搭載装置１を模式的に示す断面斜視図である。図２はシート部材搭載装置１の断面図である。図３はシート部材搭載装置１の動作を示す断面図である。
【００１２】
シート部材搭載装置１は、シートレンズ７（シート部材、光学部材、レンズ）を撮像素子８（被搭載部材）（図３）に搭載するためにシートレンズ７を吸着するエアを吸引するための吸引孔５が形成されたチャック部材２を備える。チャック部材２は略円筒形状をしており、その内周面に吸引孔５が形成される。
【００１３】
シートレンズ７には多数のマイクロレンズが搭載されている。シートレンズ７はフィルム状の薄い部材である。
【００１４】
シート部材搭載装置１には、シートレンズ７を吸着するために吸引孔５を覆うように配置されたプレート３が設けられる。吸引孔５は重力の作用する方向に沿って形成され、プレート３はチャック部材２の下側に配置される。
【００１５】
プレート３には、シートレンズ７の反りを矯正するために形成された多数の通気口４が配置される。通気口４は、シートレンズ７の全面に対応する領域に密集して形成される。多数の通気口４は貫通孔により形成される。この貫通孔は、丸孔であってもよいし、角孔その他の形状の孔であってもよい。
【００１６】
プレート３はシートレンズ７を吸着する吸着面１５を有し、この吸着面１５は平面状に形成される。プレート３は、金属材料で構成してもよいし、プラスチック材料で構成してもよい。
【００１７】
シート部材搭載装置１は、シートレンズ７を吸着するエアの吸引の停止に応じてシートレンズ７を撮像素子８に自重により押圧するためにプレート３に取り付けられた押圧部材６をさらに備える。押圧部材６は、略円筒形状をしており、プレート３の吸着面１５と反対側の面に取り付けられている。押圧部材６は、プレート３に対向して側壁に形成された凹部１６を有する。
【００１８】
チャック部材２は、シートレンズ７を吸着するエアの吸引の停止に応じて押圧部材６を回動可能に支持する支持部９を有する。支持部９は、細長い板状の部材であり、凹部１６を通ってプレート３に平行に配置される。なお、図１では、理解を容易にするために、支持部９を省略して示している。
【００１９】
シート部材搭載装置１は吸引器１０を備える。吸引器１０は、シートレンズ７をプレート３の吸着面１５に吸着するためのエアを通気口４及び吸引孔５を通して吸引する。
【００２０】
（シート部材搭載装置１の動作）
このように構成されたシート部材搭載装置１は以下のように動作する。
【００２１】
まず、シートレンズ７の上にプレート３の吸着面１５が位置するようにチャック部材２が図示しない移動機構により移動する。そして、シートレンズ７をプレート３の吸着面１５に吸着するためのエアを吸引器１０が吸引孔５及び多数の通気口４を通して吸引する。このため、シートレンズ７がプレート３の吸着面１５に吸着される。プレート３の吸着面１５には、多数の通気口４が、シートレンズ７の全面を含む領域に密集して形成される。従って、シートレンズ７が多数の通気口４を通して吸着面１５に吸着される。この結果、シートレンズ７が吸着面１５に押圧され、シートレンズ７の反りが矯正される。そして、シートレンズ７をプレート３に沿った平坦な形状に保持することができる。
【００２２】
次に、チャック部材２が撮像素子８の上に移動する。その後、吸引器１０がエアの吸引を停止する。すると、図３に示すように、押圧部材６がプレート３とともに自重により落下し、支持部９の左上の支持点１７により押圧部材６の凹部１６の壁面が支持される。このため、押圧部材６及びプレート３は支持部９の支持点１７の周りに回動可能となる。この結果、撮像素子８が傾いていても、シートレンズ７を撮像素子８に対して平行に押圧することができる。
【００２３】
このシートレンズ７が組み付けられた撮像素子８は携帯電話に適用することができる。
【００２４】
多数の通気口４が丸孔により形成される例を示したが、本発明はこれに限定されない。多数の通気口４は通気性が良好であれば、その材質、機能を問わない。多数の通気口４はメッシュ状に形成されてもよい。また、プレート３が多孔性材料により形成されることにより材料自体の通気性が良好な材料で構成してもよい。
【００２５】
また、反りを矯正する対象がシートレンズ７である例を示したが、本発明はこれに限定されない。反りを矯正する対象はシート部材であればよい。例えば、フィルム状の薄いシート部材であるＩＲカットフィルターのような光学部品にも本実施形態を適用することができる。また、光学部品以外であってもシート部材であれば、実施形態４で後述するようにフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits））等の基板部品にも本実施形態を適用することができる。
【００２６】
後述する実施形態も同様である。
【００２７】
図４（ａ）はシート部材搭載装置の変形例を示す断面図であり、（ｂ）はシート部材搭載装置の他の変形例を示す断面図である。
【００２８】
変形例に係るシート部材搭載装置１Ａに設けられたプレート３Ａは、図４（ａ）に示すように、凹状の吸着面１５Ａを有する。吸着面１５Ａはシートレンズ７対して上側に凸の反り形状を与える。他の変形例に係るシート部材搭載装置１Ｂに設けられたプレート３Ｂは、図４（ｂ）に示すように、凸状の吸着面１５Ｂを有する。吸着面１５Ｂはシートレンズ７に対して下側に凸の反り形状を与える。
【００２９】
図１〜図３で前述したプレート３からプレート３Ａ又はプレート３Ｂに変更するだけで、同じ平面形状のシートレンズ７を使用しながらも、吸引器１０に基づくピックアップ吸着によってシートレンズ７の形状を種々に変更することが可能である。
【００３０】
このように本実施形態では、通気性を有するプレート３・３Ａ・３Ｂを備えたチャック部材２を用いてシートレンズ７を吸引ピックアップすることで、シートレンズ７の反り等の形状エラーを矯正しつつ、矯正した形状を保持しながらシートレンズ７を撮像素子８に搭載する。このため、シートレンズ７の形状を一定に管理しながら、シートレンズ７を撮像素子８に組み付けることができる。この結果、シートレンズ７を高精度に組み立てて、品質が安定したカメラモジュールを製造することができる。
【００３１】
〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について、図５に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００３２】
図５（ａ）は実施形態２に係るシート部材搭載装置１Ｃの断面図であり、（ｂ）は上記シート部材搭載装置の変形例を示す断面図である。
【００３３】
図５（ａ）を参照すると、シート部材搭載装置１Ｃは、プレート３Ｃにより撮像素子８に押圧されたシートレンズ７に紫外線を照射するＵＶ（ultraviolet）照射部１１（照射部）をさらに備える。ＵＶ硬化樹脂１４を予め撮像素子８の表面に滴下しておき、シートレンズ７を撮像素子８に押圧しながら紫外線を照射してＵＶ硬化樹脂１４を硬化させることで、シートレンズ７の形状を保ったまま撮像素子８にシートレンズ７を固定することができる。紫外線が透過するプレート３Ｃの箇所は、アクリル等の透明な樹脂材料により形成されることが好ましい。
【００３４】
図５（ｂ）に示すように、紫外線は、シート部材搭載装置１の外部に設けられたＵＶ照射装置１３から照射してもよい。
【００３５】
〔実施形態３〕
本発明の他の実施形態について、図６に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００３６】
図６（ａ）は実施形態３に係るシート部材搭載装置１Ｄの断面図であり、（ｂ）（ｃ）はその動作を示す断面図である。
【００３７】
シート部材搭載装置１Ｄは、シートレンズ７の形状を維持するためにシートレンズ７を加熱する加熱部１２を備える。
【００３８】
まず、吸引器１０が吸引孔５及び通気口４を通してエアを吸引することにより、プレート３の吸着面１５にシートレンズ７が吸着される。そして、プレート３の吸着面１５に吸着されたシートレンズ７を加熱部１２が６０℃以上まで加熱する。その後、加熱部１２による加熱が停止され、プレート３に吸着されたシートレンズ７が常温に冷却される。そして、シートレンズ７の熱が放熱される。次に、吸引器１０が吸引を停止し、シートレンズ７が撮像素子８に搭載される。
【００３９】
これにより、シートレンズ７の形状を任意の形状に保ったままシートレンズ７を撮像素子８に組み付けることが可能である。
【００４０】
シートレンズ７は、マイクロレンズアレイのような複雑な形状が成型されているため、残留応力が発生しやすい。シートレンズ７がプレート３に吸着された状態で加熱されるとシートレンズ７の残留応力が解放された状態で吸着された状態が維持される。そして、そのまま冷却されると、吸着された形状を維持するように残留応力が再びシートレンズ７の内部に蓄積される。そして、吸引を停止してもシートレンズ７の形状が維持された状態になる。
【００４１】
このように、シートレンズ７の形状がプレート３に沿った形状に適応するようにシートレンズ７の残留応力の状態に変化が生じる。この結果、シートレンズ７の形状がより強固に維持される。
【００４２】
加熱部１２がシート部材搭載装置１Ｄに設けられる例を示したが、本発明はこれに限定されない。シート部材搭載装置１Ｄの外部に設けられた熱源を用いて、プレート３に吸着されたシートレンズ７を加熱してもよい。
【００４３】
〔実施形態４〕
本発明の他の実施形態について、図７に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００４４】
図７（ａ）は実施形態４に係るシート部材搭載装置の断面図であり、（ｂ）は上記シート部材搭載装置の動作を示す断面図である。実施形態４に係るシート部材搭載装置は、実施形態１のシート部材搭載装置と同様の構成を有する。実施形態１〜３ではシートレンズ７をシート部材搭載装置が吸着する例を示したが、本発明はこれに限定されない。
【００４５】
シート部材搭載装置１はフレキシブルプリント基板１８（ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits））（シート部材、可撓性を有する基板）を吸着してもよい。これにより、フレキシブルプリント基板１８が吸着面１５に押圧され、フレキシブルプリント基板１８の反りが矯正される。そして、フレキシブルプリント基板１８をプレート３に沿った平坦な形状に保持することができる。
【００４６】
次に、剛性を有するリジッド基板１９（被搭載部材）の上にチャック部材２が移動する。その後、吸引器１０がエアの吸引を停止する。この結果、平坦な形状に保持されたフレキシブルプリント基板１８がリジッド基板１９の上に搭載される。
【００４７】
なお、フレキシブルプリント基板１８はセンサーカバーの上に搭載されてもよい。
【００４８】
〔まとめ〕
本発明の態様１に係るシート部材搭載装置１・１Ａ・１Ｂ・１Ｃ・１Ｄは、シート部材（シートレンズ７）を被搭載部材（撮像素子８）に搭載するために前記シート部材（シートレンズ７）を吸着するエアを吸引するための吸引孔５が形成されたチャック部材２と、前記シート部材（シートレンズ７）を吸着するために前記吸引孔５を覆うように配置されたプレート３・３Ａ・３Ｂとを備え、前記プレート３・３Ａ・３Ｂが、前記シート部材（シートレンズ７）の反りを矯正するために形成された多数の通気口４を有する。
【００４９】
上記の構成によれば、多数の通気口が形成されたプレートに吸引されたシート部材の反りが矯正される。このため、反りを解消した状態でシート部材を被搭載物に搭載することができる。
【００５０】
本発明の態様２に係るシート部材搭載装置１・１Ｃ・１Ｄは、上記態様１において、前記プレート３が前記シート部材（シートレンズ７）を吸着する吸着面１５を有し、前記吸着面１５が平面状に形成されてもよい。
【００５１】
上記の構成によれば、シート部材の反りが平面状に矯正される。
【００５２】
本発明の態様３に係るシート部材搭載装置１Ａ・１Ｂは、上記態様１において、前記プレート３Ａ・３Ｂが前記シート部材（シートレンズ７）を吸着する吸着面１５Ａ・１５Ｂを有し、前記吸着面１５Ａ・１５Ｂが凸形状又は凹形状に形成されてもよい。
【００５３】
上記の構成によれば、シート部材の反りが凸形状又は凹形状に矯正される。
【００５４】
本発明の態様４に係るシート部材搭載装置１・１Ａ・１Ｂ・１Ｃ・１Ｄは、上記態様１において、前記多数の通気口４が貫通孔により形成されてもよい。
【００５５】
上記の構成によれば、丸孔を通ってエアが吸引されることにより、多数の丸孔が形成されたプレートに吸引されたシート部材の反りが矯正される。
【００５６】
本発明の態様５に係るシート部材搭載装置１・１Ａ・１Ｂ・１Ｃ・１Ｄは、上記態様４において、前記多数の通気口４がメッシュ状に形成されるか、又は、前記プレートが多孔性材料により形成されてもよい。
【００５７】
上記の構成によれば、メッシュ状に形成された多数の通気口が形成されたプレート、又は、多孔性材料により形成されたプレートに吸引されたシート部材の反りが矯正される。
【００５８】
本発明の態様６に係るシート部材搭載装置１Ｃは、上記態様１において、前記プレート３Ｃにより前記被搭載部材（撮像素子８）に押圧された前記シート部材（シートレンズ７）に紫外線を照射する照射部（ＵＶ照射部１１）をさらに備えてもよい。
【００５９】
上記の構成によれば、シート部材を被搭載部材に固定することができる。
【００６０】
本発明の態様７に係るシート部材搭載装置１Ｃは、上記態様６において、前記紫外線が透過する前記プレート３Ｃの箇所が、透明な材料により形成されてもよい。
【００６１】
上記の構成によれば、プレートの下の撮像素子に滴下されたＵＶ硬化樹脂を、プレートを透過した紫外線により硬化させることができる。
【００６２】
本発明の態様８に係るシート部材搭載装置１Ｃは、上記態様１において、前記シート部材（シートレンズ７）の形状を維持するために前記シート部材（シートレンズ７）を加熱する加熱部１２をさらに備えてもよい。
【００６３】
上記の構成によれば、シート部材の形状がプレートに沿った形状に適応するようにシート部材の残留応力の状態に変化が生じる。この結果、シート部材の形状がより強固に維持される。
【００６４】
本発明の態様９に係るシート部材搭載装置１・１Ａ・１Ｂ・１Ｃ・１Ｄは、上記態様１において、前記エアの吸引の停止に応じて前記シート部材（シートレンズ７）を前記被搭載部材（撮像素子８）に自重により押圧するために前記プレート３・３Ａ・３Ｂに取り付けられた押圧部材６をさらに備え、前記チャック部材２が、前記エアの吸引の停止に応じて前記押圧部材６を回動可能に支持する支持部９を有してもよい。
【００６５】
上記の構成によれば、押圧部材の自重によってシート部材を被搭載部材に対して平行に押圧することができる。
【００６６】
本発明の態様１０に係るシート部材搭載装置１・１Ａ・１Ｂ・１Ｃ・１Ｄは、上記態様１において、前記シート部材が光学部品を含んでもよい。
【００６７】
本発明の態様１１に係るシート部材搭載装置１・１Ａ・１Ｂ・１Ｃ・１Ｄは、上記態様１において、前記光学部品がレンズを含んでもよい。
【００６８】
本発明の態様１２に係るシート部材搭載装置１・１Ａ・１Ｂ・１Ｃ・１Ｄは、上記態様１において、前記シート部材が可撓性を有する基板を含んでもよい。
【００６９】
本発明の態様１３に係るシート部材搭載方法は、シート部材を被搭載部材に搭載するために前記シート部材を吸着するエアを吸引するための吸引孔が形成されたチャック部材の前記吸引孔を覆うように配置されたプレートに前記シート部材を吸着する吸着工程と、前記エアの吸引を停止して前記シート部材を前記被搭載部材に搭載する搭載工程とを包含し、前記プレートが、前記シート部材の反りを矯正するために形成された多数の通気口を有する。
【００７０】
本発明の態様１４に係るシート部材搭載方法は、上記態様１２において、前記プレートにより前記被搭載部材に押圧された前記シート部材に紫外線を照射する照射工程をさらに包含してもよい。
【００７１】
本発明の態様１５に係るシート部材搭載方法は、上記態様１２において、前記シート部材の形状を維持するために前記シート部材を加熱する加熱工程をさらに包含してもよい。
【００７２】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
【符号の説明】
【００７３】
１  シート部材搭載装置
２  チャック部材
３  プレート
４  通気口
５  吸引孔
６  押圧部材
７  シートレンズ（シート部材、光学部材、レンズ）
８  撮像素子（被搭載部材）
９  支持部
１０  吸引器
１１  ＵＶ照射部（照射部）
１２  加熱部
１３  ＵＶ照射装置
１４  ＵＶ硬化樹脂
１８  フレキシブルプリント基板（シート部材、可撓性を有する基板）
１９  リジッド基板（被搭載部材）
【図１】
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【図２】
2019009397.tif 000004
【図３】
2019009397.tif 000005
【図４】
2019009397.tif 000006
【図５】
2019009397.tif 000007
【図６】
2019009397.tif 000008
【図７】
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