(57)【要約】      （修正有）【課題】スラッジの発生を抑制し、すべり軸受の機能低下を防ぐことで、耐久性を向上させた電動機を提供する。【解決手段】すべり軸受８と回転子１端面との間には複数のスペーサ９ａ，９ｂ，９ｃが軸方向に重ねて設けられており、ブラケット５の軸孔５ｃに組み付けられたすべり軸受８の端面と対向するスペーサ９ｃとの間には常時空間部１０が形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転子軸に一体に組み付けられた回転子と、
前記回転子と対向配置される固定子と、
前記回転子軸が軸受保持部に挿入されたすべり軸受に回転可能に軸支された電動機であって、
前記すべり軸受と前記回転子端面との間には複数のスペーサが軸方向に重ねて設けられており、前記軸受保持部の軸孔に組み付けられた前記すべり軸受の端面と対向するスペーサとの間には常時空間部が形成されていることを特徴とする電動機。
【請求項２】
前記軸受保持部の軸孔に組み付けられたすべり軸受と、スラスト荷重が作用して前記軸受保持部に当接するスペーサの外径は前記軸孔径より大きく形成されている請求項１記載の電動機。
【請求項３】
前記すべり軸受は、前記軸受保持部の軸孔内に前記スペーサと対向する内壁面より軸方向外側に退避して嵌め込まれている請求項１又は請求項２記載の電動機。
【請求項４】
前記複数のスペーサは、前記回転子に当接して配置された第一スペーサと、前記第一スペーサに重ねて組み付けられる第二スペーサと、前記第二スペーサに重ねて組み付けられ前記軸受保持部の内壁面に対向配置された第三スペーサと、を備え、前記第三スペーサの外径が前記軸孔径より大きい請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の電動機。
【請求項５】
前記第一スペーサ乃至前記第三スペーサは、樹脂板材若しくは金属板材或いはこれらを組み合わせた複合板材が用いられる請求項４記載の電動機。
【請求項６】
前記スペーサの板厚をｔとすると、スラスト荷重Ｐの変化に対してｔ≧０．２Ｐ−０．１を満たす請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の電動機。
【請求項７】
前記軸孔の孔径ｑ、前記スペーサの外径Ｄ、前記スペーサの前記軸受保持部の内壁面と接触する接触径Ｄ−ｑ、前記スペーサの板厚をｔとすると、スラスト荷重Ｐが１ｋｇ以下の場合には、Ｄ≧ｑであり、スラスト荷重Ｐが１ｋｇ以上２ｋｇ以下の場合には、Ｄ≧１５ｔ2＋３．５ｔ＋２．４＋ｑ（Ｄ＞ｑ）を満たす請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の電動機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、例えばＯＡ機器、産業機械、医療機械、車両、航空機、船舶、宇宙衛星などの駆動源に用いられる電動機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回転子軸を回転可能に軸支するすべり軸受（含油軸受、焼結軸受等）を使用するモータは、回転子軸と磁性体或いは非磁性体が一体となったロータとすべり軸受端面との間に樹脂、金属、或いはゴム等のスペーサを介してスラスト方向の力の調整を行っている。
【０００３】
例えば、図３Ａはインナーロータ型のハイブリッドステッピングモータの軸方向断面図を例示している。図３Ｂ，Ｃは、図３ＡのＰ部、Ｑ部の拡大図である。回転子５１は、回転子軸５２に回転子コア５３が一体に組み付けられている。回転子コア５３は、永久磁石板５３ａの軸方向両側に磁性板５３ｂを重ね合わせて形成されている。回転子軸５２は、固定子５４が組み付けられた一対のブラケット５５に回転可能に軸支されている。具体的には、ブラケット５５に設けられた軸孔５５ａに圧入されたすべり軸受５６（含油軸受、焼結軸受等）に回転可能に軸支されている。固定子５４は、固定子コア５４ａが一対のブラケット５５に挟み込まれて支持されている。固定子コア５４ａには、複数の極歯が径方向内側に向かって突設されており、回転子コア５３と対向配置されている。固定子コア５４ａはインシュレータ５４ｂに覆われており、極歯の周囲には巻線５４ｃが巻かれている。尚、すべり軸受５６は、一対のブラケット５５に限らず、モータケース若しくはモータベース等に設けられた軸受保持部（軸受ハウジング等）に組み付けられていてもよい。
【０００４】
回転子コア５３とすべり軸受５６との間にはスペーサ５７が設けられている。図３Ｂ，Ｃの拡大図に示すように、回転子軸５２には、回転子コア５３に重ねて第一スペーサ５７ａ，第二スペーサ５７ｂ，第三スペーサ５７ｃが重ねて設けられている。第三スペーサ５７ｃと軸方向に対向配置されたすべり軸受５６の端面との間には、隙間ｓが各々設けられている。
【０００５】
また、モータの出力軸に負荷が作用した場合に回転子軸が軸方向に移動する際に、すべり軸受と回転子コアとの接触を避けるためスペーサとして樹脂製ワッシャーよりなるエンドプレートが設けられている（特許文献１：特開２００１−１１２２１２号公報明細書段落［００２３］図１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１１２２１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図４Ａの矢印に示すように、回転子５１にスラスト荷重が作用すると、回転子軸５２は出力側（図４Ａ左側）に移動する。このとき、図４Ｂに示すように、出力側の第三スペーサ５７ｃはすべり軸受５６の端面５６ａに押し当てられ、図４Ｃに示すように反出力側（図４Ａ右側）の第三スペーサ５７ｃとすべり軸受５６の端面５６ａとの隙間ｓは広がる。このように、図４Ｂに示すように第三スペーサ５７ｃがすべり軸受５６に押し当てられたまま回転し、特許文献１においてはエンドプレートがすべり軸受に押し当てられたたまま回転する。これにより、すべり軸受端面とスペーサとの間で摩擦が発生する。この摩擦により焼結金属からなるすべり軸受はすり減って粉体（金属粉、樹脂粉、これらの混合物）が発生し、軸受内部に含侵させてオイルとの混合物（スラッジ）が発生する。
【０００８】
このスラッジがすべり軸受内部の空間を埋めてオイルが軸受の内外を循環しなくなり、軸受と回転子軸との間のオイルが枯渇してすべり軸受と回転子軸とが直接金属接触したまま回転することで焼き付き現象を引き起こし、すべり軸受の寿命が著しく低下する。また、回転子の回転が阻害されることから、モータの耐久性も著しく低下する。特に特許文献１に示すスペーサとしてのエンドプレートが１枚のみであると、回転子がすべり軸受に押し当てられたまま回転すると共回りし易く、摩擦によりスラッジの発生を助長する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以下に述べるいくつかの実施形態は、これらの課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、スラッジの発生を抑制し、すべり軸受の機能低下を防ぐことで、耐久性を向上させた電動機を提供することにある。
【００１０】
以下に述べるいくつかの実施形態に関する開示は、少なくとも次の構成を備える。
回転子軸に一体に組み付けられた回転子と、前記回転子と対向配置される固定子と、前記回転子軸が軸受保持部に挿入されたすべり軸受に回転可能に軸支された電動機であって、前記すべり軸受と前記回転子端面との間には複数のスペーサが軸方向に重ねて設けられており、前記軸受保持部の軸孔に組み付けられた前記すべり軸受の端面と対向するスペーサとの間には常時空間部が形成されていることを特徴とする。
上記構成によれば、回転子軸にスラスト荷重が作用しても、軸受保持部の軸孔に組み付けられたすべり軸受の端面と対向するスペーサとの間には常時空間部が形成されているため、すべり軸受端面にスペーサが接触することはなくなる。よって、スラッジの発生を抑制して、すべり軸受の機能低下を防ぐことで、電動機の耐久性を向上させることができる。
【００１１】
前記軸受保持部の軸孔に組み付けられたすべり軸受と、スラスト荷重が作用して前記軸受保持部に当接するスペーサの外径は前記軸孔径より大きく形成されていることが好ましい。これにより、回転子軸にスラスト荷重が作用したとしても、スペーサは軸受保持部の対向する壁面に当接するが軸孔内に設けられたすべり軸受とは接触しないので、スラッジの発生を抑制することができる。
【００１２】
前記すべり軸受は、前記軸受保持部の軸孔内に前記スペーサと対向する内壁面より軸方向外側に退避して嵌め込まれていることが好ましい。
これにより、仮に回転子軸にスラスト荷重が作用して、スペーサが軸受保持部の対向する内壁面に当接したりスペーサが変形したりしても、すべり軸受は軸受保持部の内壁面より軸方向外側に退避して軸孔内に設けられているので、必ず空間部が介在し接触することがない。よって、スラッジの発生を確実に抑制しすべり軸受の機能低下を防ぐことができる。
【００１３】
前記複数のスペーサは、前記回転子に当接して配置された第一スペーサと、前記第一スペーサに重ねて組み付けられる第二スペーサと、前記第二スペーサ重ねて組み付けられ前記軸受保持部の内壁面に対向配置された第三スペーサと、を備え、前記第三スペーサの外径が前記軸孔径より大きいことが好ましい。
回転子を保護する第一スペーサと緩衝材としての第二スペーサに重ねて第三スペーサを設けることで、第一スペーサの回転子に対する連れ回りが減少すると共に第三スペーサは軸受保持部に設けられた軸孔径より大きいことにより、スラスト荷重により第三スペーサが軸受保持部の対向する壁面に押し当てられても、すべり軸受には接触せず、しかも第三スペーサの連れ回りも減少するのでスラッジの発生を抑えることができる。
【００１４】
前記第一スペーサ乃至前記第三スペーサは、樹脂板材若しくは金属板材或いはこれらを組み合わせた複合板材が用いられる場合には、仮に回転子軸にスラスト荷重が作用して、樹脂板材若しくは金属板材或いはこれらを組み合わせた複合板材のいずれかである第三スペーサが金属製の軸受保持部の対向する内壁面に押し当てられたとしても摩擦によるスラッジの発生を抑えることができる。
【００１５】
前記スペーサの板厚をｔとすると、スラスト荷重Ｐの変化に対してｔ≧０．２Ｐ−０．１を満たすことが好ましい。これにより、スラスト荷重Ｐの大きさに対して必要な最小板厚ｔｍのスペーサを使用しても耐久性を維持することができる。
【００１６】
前記軸孔の孔径ｑ、前記スペーサの外径Ｄ、前記スペーサの前記軸受保持部の内壁面と接触する接触径Ｄ−ｑ、前記スペーサの板厚をｔとすると、スラスト荷重Ｐが１ｋｇ以下の場合には、Ｄ≧ｑであり、スラスト荷重Ｐが１ｋｇ以上２ｋｇ以下の場合には、Ｄ≧１５ｔ2＋３．５ｔ＋２．４＋ｑ（Ｄ＞ｑ）を満たすが好ましい。これにより、スラスト荷重Ｐの大きさに対して所定の板厚ｔのスペーサについて必要な最小外径サイズのスペーサを使用しても耐久性を維持することができる。
【発明の効果】
【００１７】
上述した電動機を用いれば、スラッジの発生を抑制し、すべり軸受の機能低下を防ぐことで、耐久性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】電動機にスラスト荷重が作用していない状態の軸方向断面図及びスペーサ部の拡大断面図である。
【図２】電動機にスラスト荷重が作用した状態の軸方向断面図及びスペーサ部の拡大断面図である。
【図３】従来の電動機にスラスト荷重が作用していない状態の軸方向断面図及びスペーサ部の拡大断面図である。
【図４】従来の電動機にスラスト荷重が作用した状態の軸方向断面図及びスペーサ部の拡大断面図である。
【図５】樹脂製の第三スペーサの出力側ブラケットの内壁面と接触する接触径Ｄ−ｑと、スラスト荷重Ｐが作用した場合に耐え得る最大応力との関係を調べるためのシミュレーションモデルの説明図である。
【図６】板厚ｔ＝０．３（ｍｍ）の第三スペーサの接触径Ｄ−ｑとスラスト荷重Ｐ（ｋｇ）ごとの最大応力との関係を示すグラフ図である。
【図７】板厚ｔ＝０．４（ｍｍ）の第三スペーサの接触径Ｄ−ｑとスラスト荷重Ｐ（ｋｇ）ごとの最大応力との関係を示すグラフ図である。
【図８】板厚ｔ＝０．５（ｍｍ）の第三スペーサの接触径Ｄ−ｑとスラスト荷重Ｐ（ｋｇ）ごとの最大応力との関係を示すグラフ図である。
【図９】スラスト荷重Ｐ（ｋｇ）に対する第三スペーサの最小板厚ｔｍ（ｍｍ）との関係を示すグラフ図である。
【図１０】１ｋｇ以上２kｇ以下のスラスト荷重Ｐ（ｋｇ）における第三スペーサの出力側ブラケットとの接触径Ｄ−ｑ（ｍｍ）と第三スペーサの板厚ｔ（ｍｍ）との関係を示すグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明に係る電動機の一実施形態について、添付図面を参照しながら説明する。先ず、電動機の概略構成について図１及び図２を参照して説明する。
電動機は、例えばインナーロータ型のモータが用いられ、以下ではハイブリッドステッピングモータを例示して説明する。図１Ａにおいて、回転子１は回転子軸２に回転子コア３が一体に組み付けられている。回転子コア３は永久磁石板３ａの軸方向両側に磁性板３ｂを各々重ね合わせた構造をしている。固定子４は回転子コア３に周囲に対向配置されている。固定子４は、軸方向に配置された一対のブラケット５（例えばアルミニウム製金属ブラケット；軸受保持部）に軸方向に支持固定されている。回転子軸２の出力側端部（図１Ａ左端部）は出力側ブラケット５ａより軸方向に突設されている。
【００２０】
固定子４は、径方向内側に向かって極歯が形成された固定子コア４ａと、インシュレータ４ｂとその周囲に巻き付けられた巻線４ｃを有する。また一対のブラケット５のうち反出力側（図１Ａ右側）ブラケット５ｂには基板６が固定されており、巻線４ｃより引き出されたコイルリードが接続されている。
【００２１】
また、回転子１は、一対のブラケット５に設けられた軸孔５ｃに各挿入されたすべり軸受（含油軸受、焼結軸受等）８に回転子軸２が回転可能に軸支されている。すべり軸受８は、焼結金属よりなる多孔質材が用いられ、潤滑油が軸受内の空隙と軸受外を循環することで回転子軸２との摩擦を低減して回転可能に軸支するようになっている。各すべり軸受８はブラケット５の軸孔５ｃ内に各々圧入固定されている。
【００２２】
一対のすべり軸受８と回転子１の軸方向端面との間には複数のスペーサ９が軸方向に重ねて設けられている。これらのうち、図１Ｂに示すように、ブラケット５の軸孔５ｃに組み付けられたすべり軸受８の端面と対向するスペーサ９（第三スペーサ９ｃ）との間には常時空間部１０が形成される。回転子軸２にスラスト荷重が作用しても、すべり軸受８の端面に対向するスペーサ９が接触することはなくなる。よって、スラッジの発生を抑制して、すべり軸受８の機能低下を防ぐことで、電動機の耐久性を向上させることができる。尚、すべり軸受８は必ずしも一対である必要はなく、１か所であってもこれと軸方向に対向するスペーサ９との間に適用することができる。
【００２３】
ブラケット５の軸孔５ｃに組み付けられたすべり軸受８と、ブラケット５に当接するスペーサ９（第三スペーサ９ｃ）の外径は軸孔５ｃ径より大きく形成されていることが好ましい。これにより、回転子軸２にスラスト荷重が作用し、スペーサ９がブラケット５の対向する内壁面５ｄに当接したとしても軸孔５ｃ内に設けられたすべり軸受８とは接触しないので、スラッジの発生を抑制することができる。
【００２４】
また、すべり軸受８は、出力側ブラケット５ａの軸孔５ｃ内にスペーサ９と対向する内壁面５ｄより軸方向外側に退避して嵌め込まれていることが好ましい。これにより、仮に回転子軸２にスラスト荷重が作用して、スペーサ９（第三スペーサ９ｃ）が出力側ブラケット５ａの対向する内壁面５ｄに当接したりスペーサ９（第三スペーサ９ｃ）が変形したりしても、すべり軸受８は出力側ブラケット５ａの内壁面５ｄより軸方向外側に退避して軸孔５ｃ内に設けられているので、必ず空間部１０が介在し接触することがない。よって、スラッジの発生を確実に抑制しすべり軸受８の機能低下を防ぐことができる。
【００２５】
複数のスペーサ９としては、回転子１（磁性板３ｂ）に当接して配置された第一スペーサ９ａ、第一スペーサ９ａに重ねて組み付けられる第二スペーサ９ｂ及び第二スペーサ９ｂに重ねて組み付けられ出力側ブラケット５の内壁面５ｄに対向配置された第三スペーサ９ｃを備えている。また、第三スペーサ９ｃの外径が軸孔５ｃ径より大きいことが望ましい。尚、第三スペーサ９ｃと第一，第二スペーサ９ａ，９ｂとの大きさ関係は、特に特定されない。
【００２６】
回転子１を保護する第一スペーサ９ａと緩衝材としての第二スペーサ９ｂに重ねて第三スペーサ９ｃを設けることで、第一スペーサ９ａの回転子１に対する連れ回りが減少すると共に第三スペーサ９ｃの外径は出力側ブラケット５ａに設けられた軸孔５ｃ径より大きいことにより、回転子１にスラスト荷重が作用して第三スペーサ９ｃが出力側ブラケット５ａの対向する内壁面５ｄに押し当てられても、すべり軸受８には接触せず、しかも第三スペーサ９ｃの連れ回りも抑えられるのでスラッジの発生を抑えることができる。
【００２７】
上記第一スペーサ９ａ乃至第三スペーサ９ｃは、樹脂板材若しくは金属板材或いはこれらを組み合わせた複合板材が用いられる。樹脂板材としてはナイロン６等が用いられ、金属板材としてはＳＵＳ、ＳＥＣＣ等が用いられる。また、複合板材としては、上述した樹脂材と金属材が混合した金属混合ワッシャー等が用いられる。
これにより、仮に回転子１にスラスト荷重が作用して、第三スペーサ８ａが出力側ブラケット５ａに対向する内壁面５ｄに押し当てられたとしても摩擦によるスラッジの発生を抑えることができる。
【００２８】
図１Ｂ，Ｃの拡大図に示すように、回転子１にスラスト方向に荷重が作用していない場合には、回転子軸２に回転子１の軸方向両端側に同心状に組み付けられた第三スペーサ９ｃと一対のブラケット５の対向する内壁面５ｄとの間には隙間ｓが各々形成されている。
【００２９】
図２Ｂの拡大図に示すように、回転子１に矢印方向にスラスト荷重が作用した場合には、回転子軸２が矢印に示すように出力側（図２Ａ左側）に移動するため、出力側ブラケット５ａの内壁面５ｄに第三スペーサ９ｃが押し当てられる。また、図２Ｃの拡大図に示すように、図２Ａに示す反出力側（図２Ａ右側）ブラケット５ｂの内壁面５ｄと第三スペーサ９ｃとの隙間ｓは拡大する。このとき、すべり軸受８は、出力側ブラケット５ａの軸孔５ｃの内部に嵌め込まれているので第三スペーサ９ｃとの間に必ず空間部１０が形成される（図２Ｂ参照）。
【００３０】
図５は樹脂製の第三スペーサの出力側ブラケットの内壁面と接触する接触径Ｄ−ｑと、スラスト荷重Ｐが作用した場合に耐え得る最大応力との関係を調べるためのシミュレーションモデルの説明図である。図５において、出力側ブラケット５ａの内壁面５ｄ上に軸孔５ｃと位置合わせして載置固定された第三スペーサ９ｃにスラスト荷重Ｐを加えて耐久性をシミュレーションした。第三スペーサ９ｃは、材料特性（ＰＡ６（ナイロン６））を使用した。上述した第三スペーサ９ｃは、周方向に回り止めされた状態でスラスト荷重Ｐを加えるものとする。
【００３１】
図５に示すように、第三スペーサ９ｃの孔径ｑｍｍ、外径Ｄとしてφｑ〜φ２０ｍｍ、出力側ブラケット５ａの内壁面５ｄとの接触径Ｄ−ｑｍｍとし、板厚ｔｍｍを所定値に変えて、スラスト荷重Ｐを０．１〜０．５ｋｇ，０．５〜１ｋｇ，１ｋｇ〜２ｋｇと漸進変化させた場合に耐え得る最大応力との関係を測定した。シミュレーションでは、スラスト荷重Ｐと同じ方向で所定板厚の第三スペーサ９ｃが変位若しくは変形する場合に作用する応力について検証した。シミュレーション結果を図６乃至図８のグラフ図に示す。各グラフ図でグラフ線●はスラスト荷重Ｐ＝０．１〜０．５ｋｇ、グラフ線▲はスラスト荷重Ｐ＝０．５〜１ｋｇ、グラフ線■はスラスト荷重Ｐ＝１〜２ｋｇの場合を示す。尚、板厚ｔが０．３ｍｍの試料を用いた場合、スラスト荷重Ｐ＝２ｋｇのとき、材料の曲げ強さが９０Ｍｐａを超えると材料が変形することから、これを境界応力として破線にて表示した。
【００３２】
上記シミュレーション結果から第三スペーサ９ｃの最小板厚ｔｍ（ｍｍ）とスラスト荷重Ｐ（ｋｇ）との関係を図９に示すグラフ図で示す。この結果、グラフ図から、スラスト荷重Ｐを変化させた場合の第三スペーサ９ｃに必要な最小板厚ｔｍは、ｔｍ＝０．２Ｐ−０．１の直線を描くことが判明した。
よって、第三スペーサ９ｃは、スラスト荷重Ｐの変化に対してｔｍ≧０．２Ｐ−０．１を満たす板厚ｔを有していることが好ましいことが分かった。これにより、スラスト荷重Ｐの大きさに対して必要な最小板厚ｔｍの第三スペーサ９ｃを使用しても耐久性を維持することができる。
【００３３】
また、前記シミュレーション結果から外径Ｄの第三スペーサ９ｃの出力側ブラケット５ａとの接触径Ｄ−ｑ（ｍｍ）と第三スペーサ９ｃの板厚ｔ（ｍｍ）との関係を図１０に示すグラフ図で示す。この結果、板厚ｔを変化させた場合の第三スペーサ９ｃに必要な接触径Ｄ−ｑ（ｍｍ）は、スラスト荷重Ｐが１ｋｇ以下の場合には、Ｄ≧ｑであれば足りることが判明した。また、グラフ図よりスラスト荷重Ｐが１ｋｇを超え、２ｋｇ以下の場合には、板厚ｔを変化させた場合の第三スペーサ９ｃに必要な接触径Ｄ−ｑ（ｍｍ）は、Ｄ−ｑ＝１５ｔ2＋３．５ｔ＋２．４の二次曲線を描くことが判明した。
よって、第三スペーサ９ｃの外径Ｄと板厚ｔとの関係は、１ｋｇを超え２ｋｇ以下のスラスト荷重Ｐの変化に対してＤ≧１５ｔ2＋３．５ｔ＋２．４＋ｑ（Ｄ＞ｑ）を満たしていることが好ましいことが分かった。これにより、スラスト荷重Ｐの大きさに対して所定の板厚ｔの第三スペーサ９ｃについて必要な最小外径サイズの第三スペーサ９ｃを使用しても耐久性を維持することができる。
【００３４】
上述した実施例は、電動機としてインナーロータ型のハイブリッドステッピングモータを用いて説明したが、通常のＰＭ型若しくはＶＲ型のステッピングモータであってもよく、その他にはブラシレスモータ、ブラシ付きモータ等であってもよい。
尚、すべり軸受８は、一対のブラケット５に限らず、モータケース若しくはモータベース等に形成される軸受保持部（軸受ハウジング等）に組み付けられていてもよい。
【符号の説明】
【００３５】
１  回転子  ２  回転子軸  ３  回転子コア  ３ａ  永久磁石板  ３ｂ  磁性板  ４  固定子  ４ａ  固定子コア  ４ｂ  インシュレータ  ４ｃ  巻線  ５  ブラケット  ５ａ  出力側ブラケット  ５ｂ  反出力側ブラケット  ５ｃ  軸孔５ｄ  内壁面  ６  基板  ８  すべり軸受  ９  スペーサ  ９ａ  第一スペーサ  ９ｂ  第二スペーサ  ９ｃ  第三スペーサ  １０  空間部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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