(57)【要約】【課題】天板クリーニングを行わなくても液ボテを防ぐことができる枚葉式スピンエッチャーを得る。【解決手段】ステージ１がウエハ２を固定して回転する。薬液ノズル３がステージ１の上方からウエハ２に薬液を供給する。チャンバー４がステージ１及び薬液ノズル３を内包する。チャンバー４の天板６の下面は中央から外周に向かって下がる傾斜面である。天板６には気流が通り抜ける複数の穴８が設けられている。穴８の形状は、天板６の下面の傾斜方向に長い楕円である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハを固定して回転するステージと、
前記ステージの上方から前記ウエハに薬液を供給する薬液ノズルと、
前記ステージ及び前記薬液ノズルを内包し、天板を有するチャンバーとを備え、
前記天板の下面は中央から外周に向かって下がる傾斜面であり、
前記天板には気流が通り抜ける複数の穴が設けられており、
前記穴の形状は、前記天板の前記下面の傾斜方向に長い楕円であることを特徴とする枚葉式スピンエッチャー。
【請求項２】
前記天板の上面に設けられた振動器を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の枚葉式スピンエッチャー。
【請求項３】
前記振動器は前記ウエハがステージの上に載っていない時に動作することを特徴とする請求項２に記載の枚葉式スピンエッチャー。
【請求項４】
前記天板の下面に四角錐の凹部が設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の枚葉式スピンエッチャー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転するウエハに薬液を供給してウエハをエッチングする枚葉式スピンエッチャーに関する。
【背景技術】
【０００２】
枚葉式スピンエッチャーは、回転するウエハに薬液を供給することで、所望の厚みになるまでウエハをエッチングする（例えば、特許文献１参照）。チャンバー内に飛散したミスト状の薬液が留まらないようにするため、ダウンフロー（気流）が通過する複数の穴がチャンバーの天板に設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２７３９１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
天板の穴に溜まった水滴がウエハ上に落ちる液ボテが問題となっていた。液ボテを防ぐために作業者が天板を拭いて水滴を取る天板クリーニングを定期的に実施する必要があり、効率が低下していた。
【０００５】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は天板クリーニングを行わなくても液ボテを防ぐことができる枚葉式スピンエッチャーを得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る枚葉式スピンエッチャーは、ウエハを固定して回転するステージと、前記ステージの上方から前記ウエハに薬液を供給する薬液ノズルと、前記ステージ及び前記薬液ノズルを内包し、天板を有するチャンバーとを備え、前記天板の下面は中央から外周に向かって下がる傾斜面であり、前記天板には気流が通り抜ける複数の穴が設けられており、前記穴の形状は、前記天板の前記下面の傾斜方向に長い楕円であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明では、天板に設けられた複数の穴の形状を天板の下面の傾斜方向に長い楕円とする。楕円の穴の上部と下部は角度が急であるため、水滴が流れ易くなる。これにより、天板クリーニングを行わなくても液ボテを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の形態１に係る枚葉式スピンエッチャーを示す断面図である。
【図２】実施の形態１に係る枚葉式スピンエッチャーを示す斜視図である。
【図３】チャンバーの天板を示す上面図である。
【図４】円形の穴を示す図である。
【図５】楕円の穴を示す図である。
【図６】実施の形態２に係る枚葉式スピンエッチャーを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
実施の形態に係る枚葉式スピンエッチャーについて図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
【００１０】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１に係る枚葉式スピンエッチャーを示す断面図である。図２は、実施の形態１に係る枚葉式スピンエッチャーを示す斜視図である。ステージ１はウエハ２を固定して回転する。薬液ノズル３がステージ１の上方からウエハ２に薬液を供給する。チャンバー４がステージ１及び薬液ノズル３を内包する。搬送アーム５がチャンバー４内のステージ１にウエハ２を搬送する。
【００１１】
天板６がチャンバー４の上部に設けられている。天板６の上面は水平面であるが、下面に四角錐の凹部が設けられている。このため、天板６の下面は中央から外周に向かって下がる傾斜面となる。この天板６の下面の傾斜面を水滴が流れて天板６の外周から落ちるため、ウエハ２に水滴が落ちない。なお、天板６の下面の凹部は多角錐又は円錐状であればよいが、四角錐の凹部は形成が容易である。
【００１２】
ウエハ２の厚みを測定するレーザー厚み測定器７がステージ１の上方において天板６の上面に設けられている。このレーザー厚み測定器７の測定値をもとにステージ１及び薬液ノズル３の動作が制御される。レーザー厚み測定器７は天板６の上面に設けられ、天板６の下面側から突出していないため、レーザー厚み測定器７を伝って水滴がウエハ２に落ちることはない。
【００１３】
図３は、チャンバーの天板を示す上面図である。チャンバー４内にミストの雰囲気が滞留するのを防ぐため、気流が通り抜ける複数の穴８が天板６全体に均等に設けられている。穴８は天板６を上下に貫通している。天板６の上面に対して垂直方向から見た平面視において、穴８の形状は、天板６の下面の傾斜方向に長い楕円である。天板６の下面の傾斜方向は水滴が流れる方向である。図２及び図３の矢印は水滴が流れる方向を示している。天板６の下面の凹部が四角錐の場合、四角の辺に対して垂直に水滴が流れるため、穴８は四角の辺に対して垂直方向に長い楕円となる。一方、天板６の下面の凹部が円錐の場合、水滴が放射状に流れるため、穴８は放射状に長い楕円となる。
【００１４】
図４は、円形の穴を示す図である。天板６に設けられた複数の穴８の形状が円形の場合、円形の穴８の上部と下部に水滴が溜まって液ボテが生じやすい。そこで、本実施の形態では、天板６に設けられた複数の穴８の形状を天板６の下面の傾斜方向に長い楕円とする。図５は、楕円の穴を示す図である。楕円の穴８の上部と下部は角度が急であるため、水滴が流れやすい。これにより、天板クリーニングを行わなくても液ボテを防ぐことができる。また、天板６に水滴が付着した状態であるため、酸結晶が発生しなくなる。
【００１５】
実態形態２．
図６は、実施の形態２に係る枚葉式スピンエッチャーを示す斜視図である。振動器９が天板６の上面に設けられている。この振動器９により天板６を振動させることで、天板６に付着した水滴が小さいうちに天板６を伝って強制的に落とすことができる。また、天板６に付着した水滴を落とす時間を調整することができる。振動器９は、製品処理時間以外の装置待機状態などでウエハ２がステージ１の上に載っていない時に定期的に動作することが好ましい。これにより、ウエハ２に水滴が落ちない。
【符号の説明】
【００１６】
１  ステージ、２  ウエハ、３  薬液ノズル、４  チャンバー、６  天板、７  レーザー厚み測定器、８  穴、９  振動器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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