(57)【要約】【課題】活物質層の表面における電気特性を表す物理量の分布を評価する評価方法を提供すること。【解決手段】評価方法（Ｓ１）は、顕微鏡像を取得する第１工程（工程Ｓ１３）と、前記顕微鏡像内に位置するＮ個の点Ｐｉ（ｉは、１≦ｉ≦Ｎ）を定める第２工程（工程Ｓ１４）と、各点Ｐｉ近傍の電気特性を表す物理量（抵抗Ｒｉ）を測定する第３工程（工程Ｓ１５）と、を含み、第３工程（工程Ｓ１５）は、各点Ｐｉを挟み込む第１の点Ｐｉ１及び第２の点Ｐｉ２の各々に、それぞれ第１のプローブ及び第２のプローブを接触させることによって、前記物理量を測定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
集電体と、活物質及び該活物質を取り囲む周辺材料を含み、前記集電体の上に形成された活物質層と、により構成された電極の評価方法であって、
前記活物質層の表面のうち少なくとも何れか一部の領域である観察領域における顕微鏡像を取得する第１工程と、
前記観察領域内に位置するＮ個の点Ｐｉ（ｉは、１≦ｉ≦Ｎ）を定める第２工程と、
各点Ｐｉ近傍の電気特性を表す物理量を測定する第３工程と、
各点Ｐｉと、各点Ｐｉ近傍における前記物理量とを対応付ける第４工程と、を含み、
前記第３工程は、各点Ｐｉを挟み込む第１の点Ｐｉ１及び第２の点Ｐｉ２の各々に、それぞれ第１のプローブ及び第２のプローブを接触させることによって、前記物理量を測定する、ことを特徴とする評価方法。
【請求項２】
前記活物質層は、固体電解質を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の評価方法。
【請求項３】
前記第１の点Ｐｉ１は、前記観察領域に露出した活物質のうち何れか１つの活物質である第１の活物質の領域内に位置し、
前記第２の点Ｐｉ２は、前記観察領域に露出した領域のうち前記第１の活物質の領域外に位置する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の評価方法。
【請求項４】
前記第２の点Ｐｉ２は、前記観察領域に露出した領域のうち、（１）前記第１の活物質とは異なる第２の活物質の領域内、又は、（２）前記周辺材料の領域内に位置する、
ことを特徴とする請求項３に記載の評価方法。
【請求項５】
前記第１の点Ｐｉ１は、前記観察領域に露出した固体電解質のうち何れか１つの固体電解質である第１の固体電解質の領域内に位置し、
前記第２の点Ｐｉ２は、前記観察領域に露出した領域のうち前記第１の固体電解質の領域外に位置する、
ことを特徴とする請求項２に記載の評価方法。
【請求項６】
前記第２の点Ｐｉ２は、前記観察領域に露出した領域のうち、（１）前記第１の固体電解質とは異なる第２の固体電解質の領域内、又は、（２）前記周辺材料の領域内に位置する、
ことを特徴とする請求項５に記載の評価方法。
【請求項７】
前記第３工程において、前記第１の点Ｐｉ１と前記第２の点Ｐｉ２との間に導通がなかった場合に、前記第１の点Ｐｉ１と前記第２の点Ｐｉ２とを結ぶ線分上に位置するｎ個の点ｐｉｊ（ｊは、１≦ｊ≦ｎ）からなる中間点群ｐｇｉを定める第５工程と、
前記第１の点Ｐｉ１と、各点ｐｉｊとの間における電気特性を評価する第６工程と、を更に含む、
ことを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の評価方法。
【請求項８】
前記第１の点Ｐｉ１及び前記第２の点Ｐｉ２の各々は、何れも、前記観察領域に露出した活物質のうち何れか１つの活物質である第１の活物質の領域内に位置する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の評価方法。
【請求項９】
前記第１の点Ｐｉ１及び前記第２の点Ｐｉ２の各々は、何れも、前記観察領域に露出した固体電解質のうち何れか１つの活物質である第１の固体電解質の領域内に位置する、
ことを特徴とする請求項２に記載の評価方法。
【請求項１０】
前記第１のプローブ及び前記第２のプローブは、何れも、マイクロマニピュレータを用いて制御されている、
ことを特徴とする請求項１〜９の何れか１項に記載の評価方法。
【請求項１１】
前記活物質層を分割することによって該活物質層の断面を新たな表面として露出させる第７工程を更に含み、
前記第１工程は、前記断面のうち少なくとも何れか一部の領域を前記観察領域とする、
ことを特徴とする請求項１０に記載の評価方法。
【請求項１２】
前記第７工程は、前記活物質層の表面にナイフを押し当てることによって該活物質層を分割する、
ことを特徴とする請求項１１に記載の評価方法。
【請求項１３】
ミクロトーム、機械研磨、及びイオンミリングのうち何れか１つの手法を用いて、前記観察領域の表面を平滑化する第８工程を更に含む、
ことを特徴とする請求項１〜１２の何れか１項に記載の評価方法。
【請求項１４】
前記第２工程は、前記第１の点Ｐｉ１及び前記第２の点Ｐｉ２の何れとも異なり、前記第１の点Ｐｉ１及び前記第２の点Ｐｉ２を互いに挟み込む第３の点Ｐｉ３及び第４の点Ｐｉ４の各々に、それぞれ、第３のプローブ及び第４のプローブを接触させる工程を更に含み、
前記第３工程は、前記第３のプローブと前記第４のプローブとの間に電流を流し、前記第１のプローブと前記第２のプローブとの電位差を測定することによって前記物理量を測定する、
ことを特徴とする請求項１〜１３の何れか１項に記載の評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集電体と活物質層とにより構成された電極の評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
リチウムイオン電池（ＬＩＢ，Lithium Ion Battery）に代表される二次電池は、集電体と、該集電体の上に形成され、該集電体と導通している活物質層とにより構成された電極を備えている。活物質層は、混合工程と、塗工工程と、乾燥工程と、成形工程とを含む製造方法によって製造される。混合工程は、活物質及び周辺材料をともに混合する工程である。塗工工程は、混合した活物質及び周辺材料を集電体に塗工する工程である。乾燥工程は、塗工された活物質及び周辺材料を乾燥する工程である。成形工程は、乾燥された活物質及び周辺材料をプレスすることによって成形する工程である。なお、本願明細書において、周辺材料は、活物質層を構成する材料のうち活物質を取り囲む材料の総称である。周辺材料の例としては、導電助剤や、バインダや、分散剤などが挙げられる。また、ＬＩＢが全固体型のＬＩＢである場合には、周辺材料のなかに更に固体電解質が含まれる。
【０００３】
ＬＩＢの性能（例えば容量）を左右する活物質層の性能は、活物質層中に存在する活物質の電気特性に大きく依存している。活物質層中に存在する活物質の電気特性は、活物質を取り巻く環境、すなわち、活物質を取り囲むバインダ及び導電助剤の影響を大きく受けるためである。
【０００４】
そのため、活物質層を形成するために同じ原料（活物質、導電助剤、及びバインダ）を用いた場合であっても、完成した活物質層の性能は、上述した混合工程及び成形工程の適否に応じて大きく異なる。特に、混合工程の適否は、活物質層の性能を大きく左右する。混合工程が適正な場合には、活物質、導電助剤、及びバインダの混合具合が均一な活物質層を得ることができる一方で、混合工程が適正でない場合には、混合具合が不均一な活物質層を得ることになるためである。
【０００５】
そのため、活物質層の性能を向上させるためには、その前段階として、活物質層中に存在する活物質の電気特性を把握するだけでなく、その電気特性の活物質層中における分布を得ることが大きな助けとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−１８００２５号公報（２０１３年８月３０日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
活物質層中に存在する活物質の電気特性を評価する方法としては、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ，Scanning Probe Microscopy）のプローブ（カンチレバー）を活物質層の表面に露出した活物質のうち何れか１つと接触させ、表面に露出した活物質と集電体との間における電気特性を評価する評価方法が知られている（特許文献１参照）。
【０００８】
この評価方法を用いることによって、活物質層の表面に露出し、任意に選択された１つの活物質と、集電体との間に有効な伝導経路が存在するか否かを評価することができる。
【０００９】
しかし、この評価方法は、任意に選択された活物質から集電体に向かう複数の伝導経路の全てをまとめた状態で評価することになるので、活物質単体、あるいは、活物質を取り囲む活物質近傍の領域の電気特性を評価しているとは言えない。
【００１０】
また、ＳＰＭは、そのプローブを平面内において走査することによって、活物質層の表面を特定の情報に基づいてマッピングすることができる。しかし、ＳＰＭは、微視的な測定手段であるため、マッピング可能な領域がとても狭く、活物質層における活物質、導電助剤、及びバインダの混合具合に関する情報（具体的にはムラの大小など）を得るという目的には適していない。
【００１１】
サブミクロンオーダーの巨視的な領域について混合具合に関する情報を得るための手段としては、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ，Scanning Electron Microscopy）が一般的である。しかし、ＳＥＭを用いることで得られる顕微鏡像と、ＳＰＭを用いることで得られる電気特性とをまとめて取得することは容易ではない。ＳＰＭを用いて電気特性を測定した地点と、顕微鏡像とを対応付けることが容易ではないためである。
【００１２】
本発明は、前記の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、活物質層の表面における電気特性を表す物理量の分布を評価する評価方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る評価方法は、集電体と、活物質及び該活物質を取り囲む周辺材料を含み、前記集電体の上に形成された活物質層と、により構成された電極の評価方法であって、前記活物質層の表面のうち少なくとも何れか一部の領域である観察領域における顕微鏡像を取得する第１工程と、前記観察領域内に位置するＮ個の点Ｐｉ（ｉは、１≦ｉ≦Ｎ）を定める第２工程と、各点Ｐｉ近傍の電気特性を表す物理量を測定する第３工程と、各点Ｐｉと、各点Ｐｉ近傍における前記物理量とを対応付ける第４工程と、を含み、前記第３工程は、各点Ｐｉを挟み込む第１の点Ｐｉ１及び第２の点Ｐｉ２の各々に、それぞれ第１のプローブ及び第２のプローブを接触させることによって、前記物理量を測定する、ことを特徴とする。
【００１４】
前記の構成によれば、（１）前記顕微鏡像と、（２）該顕微鏡像が表す観察領域内に位置するＮ個の点Ｐｉ近傍における電気特性を表す物理量とを取得することができる。すなわち、本評価方法は、前記観察領域内における電気特性を表す物理量の分布を評価することができる。
【００１５】
また、本発明の一態様に係る評価方法において、前記活物質層は、固体電解質を更に含んでいてもよい。
【００１６】
本評価方法は、液体の電解質を用いた二次電池のみならず、固体の電解質を用いた二次電池にも好適に適用可能である。
【００１７】
また、本発明の一態様に係る評価方法において、前記第１の点Ｐｉ１は、前記観察領域に露出した活物質のうち何れか１つの活物質である第１の活物質の領域内に位置し、
前記第２の点Ｐｉ２は、前記観察領域に露出した領域のうち前記第１の活物質の領域外に位置する、ように定められることが好ましい。
【００１８】
前記の構成によれば、各点Ｐｉ近傍の領域として、前記第１の活物質と、該第１の活物質を取り囲む前記第１の活物質以外の物質との境界を含む領域を選択することができる。すなわち、本評価方法は、前記境界を含む領域の電気特性を表す物理量を得ることができる。前記境界を含む領域の電気特性は、電池の性能を大きく左右する。したがって、前記境界を含む領域の電気特性を得ることによって、活物質層の性能を向上させるための有力な指針を得ることができる。
【００１９】
また、本発明の一態様に係る評価方法において、前記第２の点Ｐｉ２は、前記観察領域に露出した領域のうち、（１）前記第１の活物質とは異なる第２の活物質の領域内、又は、（２）前記周辺材料の領域内に位置する、ことが好ましい。
【００２０】
前記の構成によれば、前記第１の活物質と前記第２の活物質との間における電気特性、又は、前記第１の活物質と前記周辺材料との間における電気特性を得ることができる。なお、前記周辺材料の例としては、導電助剤や、バインダや、分散剤などが挙げられる。また、前記活物質層が固体電解質を含んでいる場合、固体電解質は、周辺材料の一例である。
【００２１】
また、本発明の一態様に係る評価方法において、前記第１の点Ｐｉ１は、前記観察領域に露出した固体電解質のうち何れか１つの固体電解質である第１の固体電解質の領域内に位置し、
前記第２の点Ｐｉ２は、前記観察領域に露出した領域のうち前記第１の固体電解質の領域外に位置する、ことが好ましい。
【００２２】
前記の構成によれば、各点Ｐｉ近傍の領域として、前記第１の固体電解質と、該第１の固体電解質を取り囲む前記第１の固体電解質以外の物質との境界を含む領域を選択することができる。すなわち、本評価方法は、前記境界を含む領域の電気特性を表す物理量を得ることができる。前記境界を含む領域の電気特性は、電池の性能を大きく左右する。したがって、前記境界を含む領域の電気特性を得ることによって、活物質層の性能を向上させるための有力な指針を得ることができる。
【００２３】
また、本発明の一態様に係る評価方法において、前記第２の点Ｐｉ２は、前記観察領域に露出した領域のうち、（１）前記第１の固体電解質とは異なる第２の固体電解質の領域内、又は、（２）前記周辺材料の領域内に位置する、ことが好ましい。
【００２４】
前記の構成によれば、前記第１の固体電解質と前記第２の固体電解質との間における電気特性、又は、前記第１の固体電解質と前記周辺材料との間における電気特性を得ることができる。なお、前記周辺材料の例としては、導電助剤や、バインダや、分散剤などが挙げられる。また、前記活物質層が固体電解質を含んでいる場合、固体電解質は、周辺材料の一例である。
【００２５】
また、本発明の一態様に係る評価方法は、前記第３工程において、前記第１の点Ｐｉ１と前記第２の点Ｐｉ２との間に導通がなかった場合に、前記第１の点と前記第２の点とを結ぶ線分上に位置するｎ個の点ｐｉｊ（ｊは、１≦ｊ≦ｎ）からなる中間点群ｐｇｉを定める第５工程と、前記第１の点Ｐｉ１と、各点ｐｉｊとの間における電気特性を評価する第６工程と、を更に含む、ことが好ましい。
【００２６】
前記の構成によれば、前記第１の点Ｐｉ１と前記第２の点Ｐｉ２との間に導通がなかった場合に、前記第１の点と前記第２の点との間に位置する中間点群ｐｇｉのうち、前記第１の点との間に導通がなくなる点を特定することができる。
【００２７】
また、本発明の一態様に係る評価方法において、前記第１の点Ｐｉ１及び前記第２の点Ｐｉ２の各々は、何れも、前記観察領域に露出した活物質のうち何れか１つの活物質である第１の活物質の領域内に位置する、ように定められてもよい。
【００２８】
前記の構成によれば、実際に周辺材料に取り囲まれた状態の活物質の電気特性を表す物理量を得ることができる。活物質の電気特性は、その活物質を取り囲む環境に依存して変化する可能性がある。具体的には、単独で粉体として存在する場合の活物質の電気特性と、活物質層として成形され、その周囲を周辺材料により取り囲まれている状態の活物質の電気特性とは、異なる可能性がある。したがって、実際に周辺材料に取り囲まれた状態の活物質の電気特性を表す物理量を得ることによって、電池の性能を向上させるための有力な指針を得ることができる。
【００２９】
また、本発明の一態様に係る評価方法において、前記第１の点Ｐｉ１及び前記第２の点Ｐｉ２の各々は、何れも、前記観察領域に露出した固体電解質のうち何れか１つの活物質である第１の固体電解質の領域内に位置する、ように定められていてもよい。
【００３０】
前記の構成によれば、実際に周辺材料に取り囲まれた状態の固体電解質の電気特性を表す物理量を得ることができる。固体電解質の電気特性は、その固体電解質を取り囲む環境に依存して変化する可能性がある。具体的には、単独で粉体として存在する場合の固体電解質の電気特性と、活物質層として成形され、その周囲を周辺材料により取り囲まれている状態の固体電解質の電気特性とは、異なる可能性がある。したがって、実際に周辺材料に取り囲まれた状態の固体電解質の電気特性を表す物理量を得ることによって、電池の性能を向上させるための有力な指針を得ることができる。
【００３１】
また、本発明の一態様に係る評価方法において、前記第１のプローブ及び前記第２のプローブは、何れも、マイクロマニピュレータを用いて制御されている、ことが好ましい。
【００３２】
前記の構成によれば、前記第１のプローブ及び前記第２のプローブは、何れも、マイクロマニピュレータを用いて制御されている。したがって、前記第１の点Ｐｉ１及び前記第２の点Ｐｉ２の各々に対して、高い位置精度で前記第１のプローブ及び前記第２のプローブの各々を接触させることができる。
【００３３】
また、本発明の一態様に係る評価方法は、前記活物質層を分割することによって該活物質層の断面を新たな表面として露出させる第７工程を更に含み、前記第１工程は、前記断面のうち少なくとも何れか一部の領域を前記観察領域とする、ことが好ましい。
【００３４】
前記の構成によれば、第１のプローブ及び第２のプローブが何れもマイクロマニピュレータを用いて制御されているため、例えば、ＳＰＭのようにカンチレバーを制御する評価方法と比較して、観察領域の表面の表面粗さが粗い場合であっても観察領域の表面における電気特性を表す物理量を評価することができる。したがって、本評価方法は、カンチレバーを制御する評価方法のように観察領域の表面を研磨する工程が必須ではないため、活物質層の断面内における電気特性を表す物理量の分布を容易に評価することができる。
【００３５】
また、本発明の一態様に係る評価方法において、前記第７工程は、前記活物質層の表面にナイフを押し当てることによって該活物質層を分割する、ことが好ましい。
【００３６】
前記の構成によれば、容易に活物質層の断面を新たな表面として露出させることができるため、電極の電気特性を表す物理量を評価する場合の効率を高めることができる。
【００３７】
また、本発明の一態様に係る評価方法は、ミクロトーム、機械研磨、及びイオンミリングのうち何れか１つの手法を用いて、前記観察領域の表面を平滑化する第８工程を更に含む、ことが好ましい。
【００３８】
前記の構成によれば、観察領域の表面における表面粗さを低減することができる。すなわち、本評価方法は、観察領域の表面をより平滑にした状態で電気特性を表す物理量を評価することができるため、該物理量を評価する場合の安定性をより高めることができる。
【００３９】
また、後述する第１のプローブ及び第２のプローブを観察領域の表面の法線方向に対して大きく移動させることなく抵抗Ｒｉを測定することができるため、測定に要する時間を短縮することができる。
【００４０】
また、前記第２工程は、前記第１の点Ｐｉ１及び前記第２の点Ｐｉ２の何れとも異なり、前記第１の点Ｐｉ１及び前記第２の点Ｐｉ２を互いに挟み込む第３の点Ｐｉ３及び第４の点Ｐｉ４の各々に、それぞれ、第３のプローブ及び第４のプローブを接触させる工程を更に含み、前記第３工程は、前記第３のプローブと前記第４のプローブとの間に電流を流し、前記第１のプローブと前記第２のプローブとの電位差を測定することによって前記物理量を測定する、ことが好ましい。
【００４１】
前記の構成によれば、前記第１の点Ｐｉ１と前記第２の点Ｐｉ２との間における電気特性を評価する場合に、四端子法を採用することができる。したがって、前記第１のプローブと前記第１の点Ｐｉ１との間に生じる接触抵抗、及び、前記第２のプローブと前記第２の点Ｐｉ２との間に生じる接触抵抗を除いた、前記第１の点Ｐｉ１と前記第２の点Ｐｉ２との間における正味の抵抗を評価することができる。
【発明の効果】
【００４２】
本発明の一態様に係る評価方法によれば、活物質層の表面における電気特性を表す物理量の分布を評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施形態に係る評価方法のフローチャートである。
【図２】本発明の一実施形態に係る評価システムの概略図である。
【図３】（ａ）は、図１に示した評価方法に含まれる顕微鏡を取得する工程において取得した顕微鏡像の模式図である。（ｂ）は、図１に示した評価方法に含まれるＮ個の点Ｐｉを定める工程において定められた点Ｐ１〜Ｐ５を示す図である。
【図４】（ａ）は、図１に示した評価方法に含まれる抵抗Ｒｉを測定する工程において定めた、点Ｐ１と、点Ｐ１に対応する第１の点Ｐ１１及び第２の点Ｐ１２とを示す図である。（ｂ）は、同工程において定めた、点Ｐ２と、点Ｐ２に対応する第１の点Ｐ２１及び第２の点Ｐ２２とを示す図である。（ｃ）は、同工程において定めた、点Ｐ３と、点Ｐ３に対応する第１の点Ｐ３１及び第２の点Ｐ３２とを示す図である。
【図５】本発明の第１の変形例に係る評価方法において定めた第１の点Ｐ４１、第２の点Ｐ４２、第３の点Ｐ４３、及び第４の点Ｐ４４を示す図である。
【図６】本発明の第２の変形例に係る評価方法が含むサブルーチンのフローチャートである。
【図７】図６に示したサブルーチンにおいて定めた中間点群ｐｇｉを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４４】
本発明の一実施形態に係る評価方法及び評価システムについて、図１〜図４を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る評価方法Ｓ１のフローチャートである。図２は、本実施形態に係る評価システム１である。図３の（ａ）は、評価方法Ｓ１に含まれ工程Ｓ１３において取得した顕微鏡像Ｉ１の模式図である。図３の（ｂ）は、評価方法Ｓ１に含まれる工程Ｓ１４において定められた点Ｐ１〜Ｐ５を示す図である。図４の（ａ）は、点Ｐ１と、第１の点Ｐ１１と、第２の点Ｐ１２とを示す図である。第１の点Ｐ１１及び第２の点Ｐ１２の各々は、評価方法Ｓ１に含まれる工程Ｓ１５において、点Ｐ１に対応して定められた点である。図４の（ｂ）は、点Ｐ２と、第１の点Ｐ２１と、第２の点Ｐ２２とを示す図である。第１の点Ｐ２１及び第２の点Ｐ２２の各々は、工程Ｓ１５において、点Ｐ２に対応して定められた点である。図４の（ｃ）は、点Ｐ３と、第１の点Ｐ３１と、第２の点Ｐ３２とを示す図である。第１の点Ｐ３１及び第２の点Ｐ３２の各々は、工程Ｓ１５において、点Ｐ３に対応して定められた点である。
【００４５】
（概要）
評価方法Ｓ１は、リチウムイオン電池（ＬＩＢ，Lithium Ion Battery）に代表される二次電池が備えている電極を評価する評価方法である。本実施形態では、二次電池の例として、ＬＩＢを用いて評価方法Ｓ１について説明する。ＬＩＢが備えている電極は、集電体と、該集電体の上に形成され、該集電体と導通している活物質層とにより構成されている。典型的な活物質層は、何れも粉状である活物質及び導電助剤をバインダとともに混合する混合工程と、混合した活物質及び周辺材料を集電体に塗工する塗工工程と、塗工された活物質及び周辺材料を乾燥する乾燥工程と、乾燥した活物質層を板状（薄い直方体状）に成形する成形工程とによって製造される。
【００４６】
なお、近年は、全固体型のＬＩＢが注目を集めている。全固体型のＬＩＢは、従来のＬＩＢが電解質として用いていた有機系電解液の代わりに、固体電解質を用いたＬＩＢである。全固体型のＬＩＢの活物質層は、活物質、導電助剤、及びバインダに加えて固体電解質を含んでいる。評価方法Ｓ１は、従来のＬＩＢであっても、全固体型のＬＩＢであっても同様に電気特性を表す物理量の分布を評価することができる。なお、固体電解質は、無機系の材料によって構成されていてもよいし、有機系の材料によって構成されていてもよい。
【００４７】
（電極６１）
評価対象である電極６１は、集電体６２と、活物質層６３とにより構成されている。集電体６２は、金属製の板状部材である。集電体６２を構成する金属の例としては、アルミニウム、銅、及びステンレス（ＳＵＳ）が挙げられる。活物質層６３は、上述したように混合工程と、塗工工程と、乾燥工程と、成形工程とにより製造されている。本実施形態では、集電体６２の一対の主面（集電体６２を構成する面のうち面積が最も大きな一対の面）のうちｘ軸負方向側の主面を主面６２１として、主面６２１と、活物質層６３の主面（活物質層６３を構成する面のうち面積が最も大きな一対の面のうち、ｘ軸正方向側の面）とを活物質層中のバインダを用いて固定している。
【００４８】
このように構成された電極６１を、本実施形態では、主面６２１に対して垂直に切り落とす。これにより、活物質層６３の表面のうち主面６２１に対して垂直な断面６３１が露出する。本実施形態では、断面６３１を用いて活物質層６３の電気特性を評価する。
【００４９】
なお、本実施形態において、断面６３１は、ナイフを用いて活物質層６３を分割することによって形成されている（図１に記載の工程Ｓ１１）。しかし、活物質層６３の新たな表面として断面６３１を露出させるために用いる手法は、ナイフに限定されない。
【００５０】
断面６３１は、その表面が平滑化されていることが好ましい（図１に記載の工程Ｓ１２）。断面６３１の表面が平滑化されていることによって、抵抗Ｒｉを測定する場合の安定性をより高めることができる。また、断面６３１の表面が平滑化されていることによって、後述する工程Ｓ１５において各点Ｐｉ近傍の領域における抵抗Ｒｉを測定するときに、後述するプローブ２１，３１をスムースに移動させ、すばやく抵抗Ｒｉを測定することができる。これは、観察領域の表面に対して垂直な方向（図２に示した座標系におけるｚ軸方向）に対して、プローブ２１，３１を大きく移動させる必要が生じにくいためである。断面６３１の表面を平滑化する方法としては、機械研磨や、ミクロトームや、イオンミリングなどが挙げられる。
ただし、断面６３１の表面が平滑化されていない場合であっても、評価方法Ｓ１は、実施可能である。
【００５１】
なお、本実施形態において測定する物理量は、活物質層６３の電気特性を表す物理量のうち抵抗である。ただし、評価方法Ｓ１が測定する電気特性を表す物理量は、抵抗でなくてもよく、例えば、インピーダンスであっても、電流−電圧特性であってもよい。
【００５２】
（評価システム１）
本実施形態では、評価方法Ｓ１を実施するために用いる評価システムの一例として、図２に示す評価システム１を用いる。図２に示すように、評価システム１は、顕微鏡１１と、カメラ１２と、プローブ２１，３１と、マニピュレータ２２，３２と、試料台４１と、コンピュータ５１とを備えている。
【００５３】
試料台４１は、評価対象である電極６１をその上底面４１１上にセットするための円柱状の台である。なお、集電体６２の主面６２１が上底面４１１に対して垂直になるように、電極６１を試料台４１にセットした状態において、図２に示した座標軸は、上底面４１１と平行な方向のうち主面６２１の法線方向をｘ軸方向と定め、上底面４１１及び主面６２１の何れにも平行な方向をｙ軸方向と定め、上底面４１１の法線方向をｚ方向と定めている。また、活物質層６３から集電体６２へ向かう方向をｘ軸正方向と定め、試料台４１から顕微鏡１１へ向かう方向をｚ軸正方向と定め、ｘ軸正方向及びｚ軸正方向とともに右手系の直交座標系を構成するようにｙ軸正方向を定めている。
【００５４】
試料台４１は、図２に図示しない保持手段を備えている。保持手段を用いて集電体６２を保持することによって、試料台４１は、主面６２１が上底面４１１に対して垂直になるように、電極６１を保持する。
【００５５】
なお、本実施形態においては、試料台４１として円柱状の台を採用している。しかし、試料台４１の形状は、円柱状に限られるものではなく、如何なる形状であってもよい。また、試料台４１に電極６１を固定する固定部材も特に限定されるものではなく、評価システム１の仕様に応じて適宜定めることができる。
【００５６】
顕微鏡１１は、評価対象の表面を所定の倍率で拡大した顕微鏡像を後述するカメラ１２の受光素子に対して結像する。
【００５７】
カメラ１２は、受光素子を備えたデジタルカメラである。カメラ１２は、顕微鏡１１により受光素子に結像された顕微鏡像を光電変換し、顕微鏡像を表す電気信号を生成する。
【００５８】
コンピュータ５１は、カメラ１２が生成した顕微鏡像を表す電気信号を取得する。
【００５９】
プローブ２１，３１は、それぞれ、請求の範囲に記載の第１のプローブ及び第２のプローブに対応する。
【００６０】
プローブ２１は、マニピュレータ２２により保持されており、その先端位置をｘ軸方向、ｙ軸方向、及びｚ軸方向の何れの方向にも任意に移動することができる。マニピュレータ２２は、プローブ２１の先端をｘ軸方向、ｙ軸方向、及びｚ軸方向の各々において精密に制御可能なマイクロマニピュレータであることが好ましい。マイクロマニピュレータは、プローブ２１の先端をｘ軸方向、ｙ軸方向、及びｚ軸方向の何れの方向に対してもサブミクロンのオーダーで制御することができる。したがって、後述する第１の点Ｐｉ１（図４に示した点Ｐ１１参照）に対して、高い位置精度でプローブ２１の先端を接触させることができる。
【００６１】
プローブ３１は、マニピュレータ３２により保持されている。マニピュレータ３２は、マニピュレータ２２と同一に構成されている。したがって、後述する第２の点Ｐｉ２（図４に示した点Ｐ１２参照）に対して、高い位置精度でプローブ３１の先端を接触させることができる。
【００６２】
以上のように、マニピュレータ２２，３２としてマイクロマニピュレータを採用することによって、高い位置精度で第１の点Ｐｉ１と第２の点Ｐｉ２との間における電気特性を測定することができる。
【００６３】
また、マニピュレータ２２，３２は、コンピュータ５１により制御されている。この構成によれば、プローブ２１の先端が位置する座標と、プローブ３１の先端が位置する座標とを記録しておくことができる。したがって、後述する工程Ｓ１６において各点Ｐｉの位置を容易に特定することができる。
【００６４】
また、マイクロマニピュレータを採用したマニピュレータ２２，３２は、例えば、ＳＰＭが備えているカンチレバーと比較して、観察領域の表面に対して垂直な方向（図２に示した座標系におけるｚ軸方向）に対して、測定可能なレンジが広い。したがって、評価システム１は、ＳＰＭのようにカンチレバーを制御する評価装置と比較して、観察領域の表面の表面粗さが粗い場合であっても、観察領域の表面を研磨することなく、そのまま観察領域の表面における電気特性を表す物理量を評価することができる。このように、評価システム１及び後述する評価方法Ｓ１は、カンチレバーを制御する評価方法のように観察領域の表面を研磨する工程が必須ではないため、断面６３１内における抵抗Ｒｉの分布を容易に評価することができる。
【００６５】
（評価方法Ｓ１）
図２に示すように、試料台４１に電極６１をセットした状態において、評価方法Ｓ１は、断面６３１における電気特性を評価する。ただし、評価方法Ｓ１が電気特性を評価するために用いる表面は、断面６３１に限定されるものではなく、活物質層６３のｘ軸負方向側の主面（面積が最も大きな面）であってもよい。
【００６６】
図１に示すように、評価方法Ｓ１は、工程Ｓ１１と、工程Ｓ１２と、工程Ｓ１３と、工程Ｓ１４と、工程Ｓ１５と、工程Ｓ１６とを含んでいる。工程Ｓ１３，Ｓ１４，Ｓ１５，Ｓ１６の各々は、それぞれ、請求の範囲に記載の第１工程、第２工程、第３工程、及び第４工程に対応する。また、工程Ｓ１１，Ｓ１２の各々は、それぞれ、請求の範囲に記載の第７工程及び第８工程に対応する。
【００６７】
工程Ｓ１１は、活物質層６３を分割することによって活物質層６３の断面６３１を新たな表面として露出させる工程である。工程Ｓ１１は、上述したように、活物質層６３の一方の主面にナイフを押し当てることによって活物質層６３を分割することによって実施することができる。なお、この方法は、工程Ｓ１１を実施する方法の一例である。
【００６８】
工程Ｓ１２は、工程Ｓ１１によって露出させられた断面６３１の表面を研磨する工程である。断面６３１の表面を平滑化する方法としては、機械研磨や、ミクロトームや、イオンミリングなどが挙げられる。
【００６９】
工程Ｓ１３は、活物質層６３の何れか一部の表面における顕微鏡像Ｉ１（図３の（ａ）参照）を取得する工程である。コンピュータ５１からの指示に応じて、顕微鏡１１は、断面６３１の一部の表面を拡大した顕微鏡像Ｉ１をカメラ１２の受光素子に対して結像させる。カメラ１２は、前記受光素子に結像された顕微鏡像Ｉ１を光電変換することによって顕微鏡像Ｉ１を表す電気信号を生成する。以上の工程により、コンピュータ５１は、顕微鏡像Ｉ１を表す電気信号を取得することができる。コンピュータ５１は、取得した前記電気信号に基づいて、顕微鏡像Ｉ１をモニターに表示する。
【００７０】
活物質層６３は、活物質及び周辺材料を含んでいる。図３に示した顕微鏡像Ｉ１においては、活物質層６３に含まれる活物質及び周辺材料のうち一部の物質についてのみ符号を付している。すなわち、顕微鏡像Ｉ１には、活物質ＡＭ１〜ＡＭ５と、周辺材料ＰＭとを符号を付して示している。
【００７１】
工程Ｓ１４は、前記顕微鏡像が表す領域内に位置するＮ個の点Ｐｉ（ｉは、１≦ｉ≦Ｎ）を定める工程である。図３の（ｂ）に示すように、本実施形態において、工程Ｓ１４は、５個の点Ｐ１〜Ｐ５を定める。工程Ｓ１４は、例えば、コンピュータ５１が顕微鏡像Ｉ１を画像解析することにより特定の領域（例えば活物質層が存在する領域）を抽出し、その特定の領域に含まれる任意の点を各点Ｐｉとして定める構成であってもよいし、ユーザがコンピュータ５１のモニターに表示された顕微鏡像Ｉ１を参照することによって、任意の点を各点Ｐｉとして定める構成であってもよい。
【００７２】
工程Ｓ１５は、各点Ｐｉ近傍の電気特性を表す物理量を測定する工程である。本実施形態において、工程Ｓ１５は、電気特性を表す物理量の一態様である抵抗を測定する。より詳しくは、工程Ｓ１５において、コンピュータ５１は、各点Ｐｉを挟み込む第１の点Ｐｉ１及び第２の点Ｐｉ２を設定する。図４の（ａ）には、点Ｐ１〜Ｐ５のうち点Ｐ１の場合を例として用い、第１の点である点Ｐ１１と、第２の点である点Ｐ１２とを図示している。コンピュータ５１は、点Ｐ１１に対して第１のプローブであるプローブ２１を接触させるようにマニピュレータ２２を制御し、且つ、点Ｐ１２に対して第２のプローブであるプローブ３１を接触させるようにマニピュレータ３２を制御する。そのうえで、コンピュータ５１は、点Ｐ１近傍である領域Ａ１の抵抗Ｒ１として、点Ｐ１１と点Ｐ１２との間における抵抗を測定する。なお、点Ｐ１近傍の領域Ａ１とは、点Ｐ１、点Ｐ１１、及び点Ｐ１２を含む領域である。また、図４の（ａ）に図示した領域Ａ１を表す二点鎖線は、領域Ａ１を模式的に表しているに過ぎない。
【００７３】
抵抗Ｒ１を測定する構成としては、如何なる抵抗測定用の構成を採用してもよい。例えば、市販されている抵抗測定用の装置（例えばデジタルマルチメータ）を採用してもよいし、電流源、参照用抵抗、及び電圧計を備えた抵抗測定用の回路を作成してもよい。
【００７４】
コンピュータ５１は、点Ｐ２〜Ｐ５についても点Ｐ１と同様に、各点Ｐｉ近傍の抵抗Ｒｉを測定する。
【００７５】
工程Ｓ１６は、各点Ｐｉと、各点Ｐｉ近傍における抵抗Ｒｉとを対応付ける工程である。工程Ｓ１６を実施することにより、顕微鏡像Ｉ１における抵抗の分布を可視化することができる。
【００７６】
以上のように、評価方法Ｓ１によれば、（１）顕微鏡像Ｉ１と、（２）顕微鏡像Ｉ１が表す領域内に位置するＮ個（本実施形態では５個）の点Ｐｉ近傍における抵抗Ｒｉとを取得することができる。すなわち、評価方法Ｓ１は、顕微鏡像Ｉ１が表す領域内における抵抗の分布を評価することができる。なお、コンピュータ５１は、顕微鏡像Ｉ１が表す領域内に位置するＮ個の点Ｐｉの数及び位置を制限されることなく定めることができる。Ｎを増やせば増やすほど、顕微鏡像Ｉ１が表す領域内における抵抗の分布を精密に評価することができる。
【００７７】
本実施形態では、図３の（ｂ）及び図４の（ａ）に示すように、点Ｐ１を活物質ＡＭ１と、活物質ＡＭ１を取り囲む周辺材料ＰＭとの境界に定めている。そのうえで、コンピュータ５１は、点Ｐ１１を活物質ＡＭ１の領域内に位置し、点Ｐ１２を活物質ＡＭ１の領域外であり、周辺材料ＰＭの領域内に位置するように定める。
【００７８】
コンピュータ５１は、各点Ｐ２〜Ｐ５に対応する点Ｐｉ１（ｉは、２≦ｉ≦５の整数）及び点Ｐｉ２を、点Ｐ１に対応するＰ１１及びＰ１２と同様に定める。
【００７９】
このように、各点Ｐｉ１及び各点Ｐｉ２を定めることによって、活物質ＡＭｉと、活物質ＡＭｉを取り囲む活物質ＡＭｉ以外の物質である周辺材料ＰＭとの境界を含む領域を、各点Ｐｉ近傍の領域として選択することができる。すなわち、評価方法Ｓ１は、前記境界を含む領域の抵抗を抵抗Ｒｉとして得ることができる。前記境界を含む領域の抵抗は、電池の性能を大きく左右する。したがって、前記境界を含む領域の抵抗を得ることによって、活物質層の性能を向上させるための有力な指針を得ることができる。なお、本願明細書において、周辺材料ＰＭは、活物質層６３を構成する材料のうち活物質を取り囲む材料の総称であり、活物質以外であれば如何なる材料により構成されていてもよい。周辺材料ＰＭを構成する材料の例としては、導電助剤や、バインダや、分散剤などが挙げられる。また、電極６１が全固体型のＬＩＢ用の電極である場合には、周辺材料ＰＭのなかに更に固体電解質が含まれ得る。また、周辺材料ＰＭは、これらの材料のうち何れか１つの材料によって構成されていてもよいし、これらの材料のうち複数の材料を混合した材料によって構成されていてもよい。
【００８０】
〔点Ｐ２及び点Ｐ３の場合〕
次に図４の（ｂ），（ｃ）を参照して、点Ｐｉの一例である点Ｐ２及び点Ｐ３について説明する。なお、ここでは、点Ｐ２及び点Ｐ３を用いて説明するが、各点Ｐｉ（ｉは、１，４，５の整数）についても同様に変形することができる。
【００８１】
点Ｐ２では、図４の（ｂ）に示すように、点Ｐ２、点Ｐ２１、及び点Ｐ２２の各々を何れも活物質ＡＭ２の領域内に位置するように定めている。
【００８２】
この構成によれば、領域Ａ２近傍における抵抗、すなわち、実際に活物質層６３に取り囲まれた状態の活物質ＡＭ２の抵抗を抵抗Ｒ２として得ることができる。活物質ＡＭ２の抵抗は、それを取り囲む環境（図４の（ｂ）に示した例の場合は周辺材料ＰＭ）に依存して変化する可能性がある。具体的には、単独で粉体として存在する場合の活物質の抵抗と、活物質層６３として成形され、その周囲が周辺材料ＰＭにより取り囲まれている状態の活物質ＡＭ２の抵抗とは、異なる可能性がある。したがって、実際に周辺材料ＰＭに取り囲まれた状態の活物質ＡＭ２の抵抗を抵抗Ｒ２として得ることによって、電池の性能を向上させるための有力な指針を得ることができる。
【００８３】
点Ｐ３では、図４の（ｃ）に示すように、点Ｐ３を周辺材料ＰＭの領域内であって、活物質ＡＭ３と活物質ＡＭ４との間に位置するように定め、点Ｐ３１を活物質ＡＭ３の領域内に位置するように定め、Ｐ３２を活物質ＡＭ１とは別の活物質である活物質ＡＭ４の領域内に位置するように定めている。
【００８４】
この構成によれば、領域Ａ３近傍における抵抗、すなわち、互いに周辺材料ＰＭに取り囲まれた活物質ＡＭ３と活物質ＡＭ４との間における抵抗を抵抗Ｒ３として得ることができる。すなわち、活物質ＡＭ３と周辺材料ＰＭとの粒界における抵抗、活物質ＡＭ４と周辺材料ＰＭとの粒界における抵抗、及び周辺材料ＰＭの内部における抵抗を含む抵抗Ｒｉを得ることができる。
【００８５】
〔固体電解質を含む電極への適用〕
ここまでは、活物質層６３が固体電解質を含まない電極６１の観察領域における抵抗Ｒｉを評価する評価方法Ｓ１について説明した。しかし、評価方法Ｓ１は、活物質層６３が固体電解質を含む電極６１に対しても適用することができる。
【００８６】
例えば、工程Ｓ１４は、観察領域に露出した固体電解質のうち何れか１つの固体電解質である第１の固体電解質と、該第１の固体電解質を取り囲む周辺材料ＰＭとの境界近傍に位置するように点Ｐｉを定め、且つ、工程Ｓ１５は、該第１の固体電解質の領域内に位置する第１の点ｉ１と、該第１の固体電解質の領域外に位置する第２の点Ｐｉ２とを用いて抵抗Ｒｉを測定するように構成されていてもよい。なお、第２の点Ｐｉ２は、後述するように第１の固体電解質とは異なる固体電解質である第２の固体電解質の領域内に位置するように定められていてもよいし、周辺材料ＰＭの領域内に位置するように定められていても良いし、活物質の領域内に位置するように定められていてもよい。なお、第１の固体電解質と第２の固体電解質との間には、周辺材料ＰＭが介在していてもよいし、していなくてもよい。第１の固体電解質と活物質との間についても同様である。
【００８７】
この構成によれば、点Ｐｉ近傍の領域として、前記第１の固体電解質と、該第１の固体電解質を取り囲む前記第１の固体電解質以外の物質との境界を含む領域を選択することができる。すなわち、評価方法Ｓ１は、前記境界を含む領域の電気特性を表す物理量である抵抗Ｒｉを得ることができる。前記境界を含む領域の電気特性は、電池の性能を大きく左右する。したがって、前記境界を含む領域の電気特性を得ることによって、活物質層の性能を向上させるための有力な指針を得ることができる。
【００８８】
また、例えば、工程Ｓ１４は、観察領域に露出した固体電解質のうち何れか１つの固体電解質である第１の固体電解質と、該第１の固体電解質を取り囲む周辺材料ＰＭとの境界近傍に位置するように点Ｐｉを定め、且つ、工程Ｓ１５は、該第１の固体電解質の領域内に位置する第１の点ｉ１と、該第１の固体電解質とは異なる第２の固体電解質の領域内に位置する第２の点Ｐｉ２とを用いて抵抗Ｒｉを測定するように構成されていてもよい。
【００８９】
この構成によれば、互いに周辺材料ＰＭに取り囲まれた第１の固体電解質と第２の固体電解質との間における抵抗を抵抗Ｒｉとして得ることができる。すなわち、第１の固体電解質と周辺材料ＰＭとの粒界における抵抗、第２の固体電解質と周辺材料ＰＭとの粒界における抵抗、及び周辺材料ＰＭの内部における抵抗を含む抵抗Ｒｉを得ることができる。
【００９０】
また、例えば、工程Ｓ１４は、観察領域に露出した固体電解質のうち何れか１つの固体電解質である第１の固体電解質と、該第１の固体電解質を取り囲む周辺材料ＰＭとの境界近傍に位置するように点Ｐｉを定め、且つ、工程Ｓ１５は、該第１の固体電解質の領域内に位置する第１の点ｉ１と、周辺材料ＰＭの領域内に位置する第２の点Ｐｉ２とを用いて抵抗Ｒｉを測定するように構成されていてもよい。
【００９１】
この構成によれば、第１の固体電解質と周辺材料ＰＭとの粒界における抵抗を含む抵抗Ｒｉを得ることができる。
【００９２】
また、例えば、工程Ｓ１４は、上記第１の固体電解質の領域内に位置するように点Ｐｉを定め、且つ、工程Ｓ１５は、何れも該第１の固体電解質の領域内に位置する第１の点Ｐｉ１及び第２の点Ｐｉ２の各々を用いて抵抗Ｒｉを測定するように構成されていてもよい。
【００９３】
この構成によれば、実際に活物質層６３に取り囲まれた状態の固体電解質の抵抗を抵抗Ｒｉとして得ることができる。固体電解質の抵抗は、それを取り周辺材料ＰＭに依存して変化する可能性がある。具体的には、単独で粉体として存在する場合の固体電解質の抵抗と、活物質層６３として成形され、その周囲が周辺材料ＰＭにより取り囲まれている状態の固体電解質の抵抗とは、異なる可能性がある。したがって、実際に周辺材料ＰＭに取り囲まれた状態の固体電解質の抵抗を抵抗Ｒｉとして得ることによって、電池の性能を向上させるための有力な指針を得ることができる。
【００９４】
〔第１の変形例〕
評価方法Ｓ１の第１の変形例について、図５を参照して説明する。図５は、本変形例に係る評価方法Ｓ１において、点Ｐｉの一例である点Ｐ４に対応するように定めた第１の点Ｐ４１、第２の点Ｐ４２、第３の点Ｐ４３、及び第４の点Ｐ４４を示す図である。なお、ここでは、点Ｐ４を用いて説明するが、各点Ｐｉ（ｉは、１≦ｉ≦３，５の整数）についても同様に変形することができる。
【００９５】
図４を参照して説明した評価方法Ｓ１では、何れの場合でも抵抗Ｒｉを測定するための測定法として２端子法を採用していた。本変形例では、抵抗Ｒｉを測定するための測定法として４端子法を採用している。
【００９６】
本変形例の評価方法Ｓ１を実施するための評価システム１は、第３のプローブ及び第４のプローブと、第３のマニピュレータ及び第４のマニピュレータとを備えている。第３のプローブ及び第４のプローブの各々は、図２に示したプローブ２１及びプローブ３１とは異なるプローブである。また、第３のマニピュレータ及び第４のマニピュレータの各々は、それぞれ、第３のプローブ及び第４のプローブの各々を保持したうえで、それぞれの先端位置を任意に制御することができる。なお、第３のマニピュレータ及び第４のマニピュレータの各々は、マニピュレータ２２，３２と同様にマイクロマニピュレータであることが好ましい。
【００９７】
本変形例の評価方法Ｓ１において、工程Ｓ１４は、第１の点Ｐ４１及び第２の点Ｐ４２の何れとも異なり、第１の点Ｐ４１及び第２の点Ｐ４２を互いに挟み込む第３の点Ｐ４３及び第４の点Ｐ４４の各々に、それぞれ、第３のプローブ及び第４のプローブを接触させる工程を更に含み、工程Ｓ１５は、前記第３のプローブと前記第４のプローブとの間に電流を流し、プローブ２１とプローブ３１との電位差を測定することによって抵抗Ｒ４を測定する。
【００９８】
図５に示した活物質ＡＭ４の領域内に位置する点Ｐ４を例にして説明すれば、点Ｐ４１及び点Ｐ４２の各々は、活物質ＡＭ４の領域内であって点Ｐ４を挟み込む位置に定められている。そのうえで、本変形例の評価方法Ｓ１では、点Ｐ４１及び点Ｐ４２を互いに挟み込む位置に点Ｐ４３及び点Ｐ４４の各々を定めている。
【００９９】
評価方法Ｓ１が４端子法を採用することによって、プローブ２１と点Ｐ４１との間に生じる接触抵抗、及び、プローブ３１と点Ｐ４２との間に生じる接触抵抗が領域Ａ４の抵抗に加算されることを防止できる。すなわち、本変形例の評価方法Ｓ１は、点Ｐ４１と点Ｐ４２との間における正味の抵抗を抵抗Ｒ４として評価することができる。
【０１００】
〔第２の変形例〕
評価方法Ｓ１の第２の変形例について、図６，図７を参照して説明する。図６は、本変形例に係る評価方法Ｓ１が含むサブルーチンＳ２のフローチャートである。図７は、サブルーチンＳ２において定めた中間点群ｐｇ１を示す図である。なお、本変形例では、点Ｐｉの一例である点Ｐ５を用いて本変形例の評価方法Ｓ１について説明する。図７に示した点ｐ５１，ｐ５２は、請求の範囲に記載の点ｐｉｊ（ｊは、１≦ｊ≦ｎ）の一例である。なお、本変形例において、ｎ＝２である。点ｐ５１，ｐ５２は、中間点群ｐｇ５を構成する。中間点群ｐｇ５は、請求の範囲に記載の中間点群ｐｇｉ（ｉは、１≦ｉ≦５の整数）の一例である。
【０１０１】
本変形例の評価方法Ｓ１は、図１に示した工程Ｓ１５のあとに実施するサブルーチンＳ２を更に含んでいる。サブルーチンＳ２は、図６に示すように、工程Ｓ２１と、工程Ｓ２２と、工程Ｓ２３とを含んでいる。工程Ｓ２２，Ｓ２３の各々は、それぞれ、請求の範囲に記載の第５工程と第６工程とに対応する。
【０１０２】
工程Ｓ２１は、点Ｐｉ１と点Ｐｉ２との間に導通があるかないかを判定する工程である。具体的には、工程Ｓ２１は、導通があるかないかを判定する閾値抵抗Ｒｔｈと抵抗Ｒｉとの大小関係を比較することによって、導通の有無を判定する。コンピュータ５１は、Ｒｉ≦Ｒｔｈである場合に、点Ｐｉ１と点Ｐｉ２とは導通ありと判定し、Ｒｉ＞Ｒｔｈである場合、点Ｐｉ１と点Ｐｉ２とは導通なしと判定する。Ｒｉ＞Ｒｔｈを満たす場合（図６のＹＥＳの場合）、コンピュータ５１は、工程Ｓ２２へ進む。Ｒｉ≦Ｒｔｈである場合、コンピュータ５１は、サブルーチンＳ２を終了し、評価方法Ｓ１へ戻る。
【０１０３】
工程Ｓ２２は、点Ｐｉ１と点Ｐｉ２との間に導通がなかった場合に、点Ｐｉ１と点Ｐｉ２とを結ぶ線分上に位置するｎ個の点ｐｉｊ（ｊは、１≦ｊ≦ｎ）からなる中間点群ｐｇｉを定める工程である。本実施形態において、工程Ｓ２２は、図７に示すように、点Ｐ５１と点Ｐ５２とを結ぶ線分上に位置する２個の点ｐ５１，ｐ５２からなる中間点群ｐｇ５を定める。
【０１０４】
工程Ｓ２３は、点Ｐｉ１と、各点ｐｉｊとの間における抵抗を測定する工程である。本実施形態において、工程Ｓ２３は、点Ｐ５１と点ｐ５１との間における抵抗と、点Ｐ５１と点ｐ５２との間における抵抗とを測定する。
【０１０５】
評価方法Ｓ１がサブルーチンＳ２を含むことによって、点Ｐｉ１と点Ｐｉ２との間に導通がなかった場合に、点Ｐｉ１と点Ｐｉ２との間に位置する中間点群ｐｇｉのうち、点Ｐｉ１との間に導通がなくなる点を特定することができる。
【０１０６】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【０１０７】
１  評価システム
１１  顕微鏡
１２  カメラ
２１，３１  プローブ（第１のプローブ，第２のプローブ）
２２，３２  マニピュレータ
４１  試料台
５１  コンピュータ
６１  電極
６２  集電体
６３  活物質層
【図１】
2019153469.tif 000003
【図２】
2019153469.tif 000004
【図３】
2019153469.tif 000005
【図４】
2019153469.tif 000006
【図５】
2019153469.tif 000007
【図６】
2019153469.tif 000008
【図７】
2019153469.tif 000009