(57)【要約】【課題】  ディープ領域によって電界集中を抑制するとともに、ディープ領域におけるリカバリ電流の集中を抑制することができる半導体装置を提案する。【解決手段】  半導体装置であって、素子範囲と周辺範囲を有する半導体基板を有する。半導体基板が、素子範囲内に配置されたボディ領域と、素子範囲と周辺範囲に跨って配置されており、半導体基板の上面から各ゲートトレンチの下端よりも深い位置まで分布しており、端部ゲートトレンチを包含しているｐ型のディープ領域と、周辺範囲内に配置されており、上面からディープ領域の下端よりも浅い位置まで分布しているｐ型の耐圧領域を有している。ディープ領域内のｐ型不純物濃度が、前記ボディ領域側から前記耐圧領域側に向かうにしたがって上昇している。【選択図】図２
2019153646.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置であって、
上面に複数のゲートトレンチが設けられた素子範囲と、前記素子範囲の外側に設けられた周辺範囲を有する半導体基板と、
前記半導体基板の上面に設けられた上部電極と、
前記半導体基板の下面に設けられた下部電極と、
前記各ゲートトレンチ内に配置されており、ゲート絶縁膜によって前記半導体基板から絶縁されたゲート電極、
を有し、
前記半導体基板が、
前記素子範囲内に配置されており、前記上部電極に接続されており、前記ゲート絶縁膜に接するｎ型のエミッタ領域と、
前記素子範囲内に配置されており、前記エミッタ領域の下側で前記ゲート絶縁膜に接するｐ型のボディ領域と、
前記素子範囲と前記周辺範囲に跨って配置されており、前記上面から前記各ゲートトレンチの下端よりも深い位置まで分布しており、前記複数のゲートトレンチのうちの最も前記周辺範囲側に位置する端部ゲートトレンチを包含しているｐ型のディープ領域と、
前記周辺範囲内に配置されており、前記上面から前記ディープ領域の下端よりも浅い位置まで分布しているｐ型の耐圧領域と、
前記素子範囲と前記周辺範囲に跨って配置されており、前記ボディ領域の下側で前記ゲート絶縁膜に接しており、前記ボディ領域によって前記エミッタ領域から分離されており、前記ディープ領域に対して下側から接しており、前記耐圧領域に対して下側から接しているｎ型のドリフト領域と、
前記ドリフト領域の下側に配置されており、前記下部電極に接するｐ型のコレクタ領域と、
前記ドリフト領域の下側に配置されており、前記下部電極に接するｎ型のカソード領域、
を有しており、
前記ディープ領域内のｐ型不純物濃度が、前記ボディ領域側から前記耐圧領域側に向かうにしたがって上昇している、
半導体装置。
【請求項２】
前記ディープ領域が、
前記上面を含む範囲に配置されている高濃度領域と、
前記高濃度領域の下側に配置されており、前記高濃度領域よりもｐ型不純物濃度が低い低濃度領域、
を有しており、
前記低濃度領域内のｐ型不純物濃度が、前記ボディ領域側から前記耐圧領域側に向かうにしたがって上昇している、
請求項１の半導体装置。
【請求項３】
前記低濃度領域内のｐ型不純物濃度のピーク値が、前記耐圧領域内のｐ型不純物濃度のピーク値よりも高い、請求項２の半導体装置。
【請求項４】
前記耐圧領域が、前記ディープ領域に隣接するリサーフ領域である請求項１〜３のいずれか一項の半導体装置。
【請求項５】
前記耐圧領域が、前記ドリフト領域によって前記ディープ領域から分離されており、前記素子範囲の周囲を囲む環状のガードリングである請求項１〜３のいずれか一項の半導体装置。
【請求項６】
前記ディープ領域内のｐ型不純物濃度が、前記ボディ領域側から前記耐圧領域側に向かうにしたがって連続的に上昇している請求項１〜５のいずれか一項の半導体装置。
【請求項７】
前記ディープ領域内のｐ型不純物濃度が、前記ボディ領域側から前記耐圧領域側に向かうにしたがって段差状に上昇している請求項１〜５のいずれか一項の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書に開示の技術は、半導体装置に関する。
【０００２】
特許文献１には、素子範囲と周辺範囲を備える半導体装置が開示されている。素子範囲には、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ：insulated gate bipolar transistor）が設けられている。素子範囲と周辺範囲の境界には、ｐ型のディープ領域が設けられている。ディープ領域は、半導体基板の上面から各ゲートトレンチの下端よりも下側の位置まで分布している。ディープ領域は、素子範囲の端部に位置するゲートトレンチを包含している。ディープ領域を設けることで、素子範囲の端部においてゲートトレンチ近傍に電界が集中することを抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−０１８８４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
素子範囲にＩＧＢＴとダイオードが設けられた半導体装置が知られている。このような半導体装置に対して、上述したディープ領域を設けると、ディープ領域にダイオードのリカバリ電流が集中するという問題が生じる。本明細書では、ディープ領域によって電界集中を抑制するとともに、ディープ領域におけるリカバリ電流の集中を抑制することができる半導体装置を提案する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本明細書が開示する半導体装置は、半導体基板、上部電極、下部電極、及び、ゲート電極を有する。前記半導体基板は、上面に複数のゲートトレンチが設けられた素子範囲と、前記素子範囲の外側に設けられた周辺範囲を有する。前記上部電極は、前記半導体基板の上面に設けられている。前記下部電極は、前記半導体基板の下面に設けられている。前記ゲート電極は、前記各ゲートトレンチ内に配置されており、ゲート絶縁膜によって前記半導体基板から絶縁されている。前記半導体基板が、エミッタ領域、ボディ領域、ディープ領域、耐圧領域、ドリフト領域、コレクタ領域、及び、カソード領域を有する。前記エミッタ領域は、前記素子範囲内に配置されており、前記上部電極に接続されており、前記ゲート絶縁膜に接するｎ型領域である。前記ボディ領域は、前記素子範囲内に配置されており、前記エミッタ領域の下側で前記ゲート絶縁膜に接するｐ型領域である。前記ディープ領域は、前記素子範囲と前記周辺範囲に跨って配置されており、前記上面から前記各ゲートトレンチの下端よりも深い位置まで分布しており、前記複数のゲートトレンチのうちの最も前記周辺範囲側に位置する端部ゲートトレンチを包含しているｐ型領域である。前記耐圧領域は、前記周辺範囲内に配置されており、前記上面から前記ディープ領域の下端よりも浅い位置まで分布しているｐ型領域である。前記ドリフト領域は、前記素子範囲と前記周辺範囲に跨って配置されており、前記ボディ領域の下側で前記ゲート絶縁膜に接しており、前記ボディ領域によって前記エミッタ領域から分離されており、前記ディープ領域に対して下側から接しており、前記耐圧領域に対して下側から接しているｎ型領域である。前記コレクタ領域は、前記ドリフト領域の下側に配置されており、前記下部電極に接するｐ型領域である。前記カソード領域は、前記ドリフト領域の下側に配置されており、前記下部電極に接するｎ型領域である。前記ディープ領域内のｐ型不純物濃度が、前記ボディ領域側から前記耐圧領域側に向かうにしたがって上昇している。
【０００６】
ディープ領域内のｐ型不純物濃度は、深さ方向において変化していてもよい。この場合、ディープ領域内の特定の深さにおけるｐ型不純物濃度が、ボディ領域側から耐圧領域側に向かうにしたがって上昇していればよい。
【０００７】
この半導体装置では、ディープ領域内のｐ型不純物濃度が耐圧領域側で高いので、半導体装置がオフしているときに、素子領域から耐圧領域に向かって横方向に等電位線が伸び易い。したがって、素子領域の端部に位置するゲートトレンチ近傍への電界集中が抑制される。また、ダイオードのリカバリ電流は、ボディ領域近傍のディープ領域に集中し易い。この半導体装置では、ディープ領域内のｐ型不純物濃度がボディ領域側で低いので、ボディ領域近傍のディープ領域の抵抗が高い。このため、ボディ領域近傍のディープ領域に電流が流れ難い。その結果、ディープ領域へのリカバリ電流の集中が抑制される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】半導体装置１０の平面図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線における断面図。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図。
【図４】図２の直線ＩＶにおけるｐ型不純物濃度の分布を示すグラフ。
【図５】図２と同じ断面において、電位分布とリカバリ電流の経路を示す図。
【図６】変形例の半導体装置の図２に対応する断面図。
【図７】変形例の半導体装置の図２に対応する断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１に示す実施形態の半導体装置１０は、半導体基板１２を有している。半導体基板１２の上面１２ａには、２つの上部電極１４と、複数の信号電極１７が設けられている。半導体基板１２は、各上部電極１４の下側に、ＩＧＢＴ範囲２０とダイオード範囲２２を有している。なお、図１では、図の見易さのため、ダイオード範囲２２を斜線ハッチングにより示している。ＩＧＢＴ範囲２０内にＩＧＢＴが設けられており、ダイオード範囲２２内にダイオードが設けられている。以下では、ＩＧＢＴ範囲２０とダイオード範囲２２の全体を、素子範囲２４という。各素子範囲２４において、ＩＧＢＴ範囲２０とダイオード範囲２２が交互に配置されている。各素子範囲２４の周囲に、周辺範囲２６が配置されている。周辺範囲２６は、素子範囲２４と半導体基板１２の外周端面１２ｃの間に配置されている。周辺範囲２６は、半導体装置１０の耐圧を向上させるために設けられている。なお、以下の説明においては、外周端面１２ｃに近い側を外周側といい、その反対側（外周端面１２ｃから遠い側）を内周側という。
【００１０】
図２、３に示すように、半導体基板１２の下面１２ｂには、下部電極１６が設けられている。下部電極１６は、半導体基板１２の下面１２ｂの全域を覆っている。
【００１１】
図２、３に示すように、素子範囲２４（すなわち、ＩＧＢＴ範囲２０とダイオード範囲２２）内の半導体基板１２の上面１２ａに、複数のゲートトレンチ３０が一定の間隔で設けられている。複数のゲートトレンチ３０は、互いに平行に伸びている。各ゲートトレンチ３０の内面は、ゲート絶縁膜３２によって覆われている。各ゲートトレンチ３０内に、ゲート電極３４が配置されている。ゲート電極３４は、ゲート絶縁膜３２によって半導体基板１２から絶縁されている。ゲート電極３４の上面は、層間絶縁膜３６に覆われている。ゲート電極３４は、層間絶縁膜３６によって上部電極１４から絶縁されている。
【００１２】
図２に示すように、ＩＧＢＴ範囲２０内においては、ゲートトレンチ３０によって挟まれた範囲内に、エミッタ領域４０、上部ボディ領域４２、バリア領域４４、及び、下部ボディ領域４６が設けられている。
【００１３】
エミッタ領域４０は、ｎ型不純物濃度が高いｎ型領域である。エミッタ領域４０は、上面１２ａを含む範囲に配置されており、上部電極１４に対してオーミック接触している。エミッタ領域４０は、ゲートトレンチ３０の上端部においてゲート絶縁膜３２に接している。
【００１４】
上部ボディ領域４２は、ｐ型領域である。上部ボディ領域４２は、コンタクト領域４２ａと低濃度領域４２ｂを有している。コンタクト領域４２ａは、低濃度領域４２ｂよりも高いｐ型不純物濃度を有している。コンタクト領域４２ａは、上面１２ａを含む範囲に配置されており、上部電極１４に対してオーミック接触している。低濃度領域４２ｂは、コンタクト領域４２ａとエミッタ領域４０の下側に配置されている。低濃度領域４２ｂは、エミッタ領域４０の下側でゲート絶縁膜３２に接している。
【００１５】
バリア領域４４は、ｎ型不純物濃度が低いｎ型領域であり、低濃度領域４２ｂの下側に配置されている。バリア領域４４は、上部ボディ領域４２によってエミッタ領域４０から分離されている。バリア領域４４は、低濃度領域４２ｂの下側でゲート絶縁膜３２に接している。
【００１６】
下部ボディ領域４６は、ｐ型領域であり、バリア領域４４の下側に配置されている。下部ボディ領域４６は、バリア領域４４によって上部ボディ領域４２から分離されている。下部ボディ領域４６は、バリア領域４４の下側でゲート絶縁膜３２に接している。
【００１７】
ＩＧＢＴ範囲２０（すなわち、素子範囲２４）と周辺範囲２６の境界に、ディープ領域５０が設けられている。ディープ領域５０は、ｐ型領域である。ディープ領域５０は、半導体基板１２の上面１２ａから、各ゲートトレンチ３０の下端部よりも下側の位置まで分布している。ディープ領域５０は、最も外周側（周辺範囲２６側）に位置する端部ゲートトレンチ３０ａを含む複数のゲートトレンチ３０を包含している。すなわち、ディープ領域５０は、複数のゲートトレンチ３０のうちの外周側に位置する複数個を包含している。ディープ領域５０は、外周側に位置する複数のゲートトレンチ３０の側面全体と底面全体において、ゲート絶縁膜３２に接している。ディープ領域５０は、上部ボディ領域４２、バリア領域４４及び下部ボディ領域４６に隣接している。ディープ領域５０は、コンタクト領域５０ａ、５０ｂと低濃度領域５０ｃを有している。コンタクト領域５０ａ、５０ｂは、上面１２ａ近傍の表層部に設けられている。コンタクト領域５０ａは、ディープ領域５０の内周側（上部ボディ領域４２側）の部分に設けられている。コンタクト領域５０ａは、上部電極１４にオーミック接触している。コンタクト領域５０ｂは、ディープ領域５０の外周側の部分に設けられている。コンタクト領域５０ｂは、電極１８に接している。低濃度領域５０ｃは、コンタクト領域５０ａ、５０ｂの下側に配置されている。低濃度領域５０ｃは、各ゲートトレンチ３０の下端よりも下側まで分布している。低濃度領域５０ｃのｐ型不純物濃度は、コンタクト領域５０ａ、５０ｂのｐ型不純物濃度よりも低い。
【００１８】
周辺範囲２６内には、リサーフ領域６０が設けられている。リサーフ領域６０は、ｐ型領域である。リサーフ領域６０は、半導体基板１２の上面１２ａを含む範囲に配置されている。リサーフ領域６０は、上面１２ａから、ディープ領域５０の下端よりも浅い位置まで分布している。リサーフ領域６０は、ディープ領域５０に対して、外周側で隣接している。リサーフ領域６０は、半導体基板１２を上側から平面視したときに、素子範囲２４の周囲を囲んでいる。
【００１９】
図４は、図２の直線ＩＶの位置における低濃度領域５０ｃ及びリサーフ領域６０内のｐ型不純物濃度を示している。図４に示すように、低濃度領域５０ｃ内のｐ型不純物濃度は、内周側（すなわち、上部ボディ領域４２側）から外周側（すなわち、リサーフ領域６０側）に向かうにしたがって連続的に上昇している。なお、図２に示すように、低濃度領域５０ｃは、内周側から外周側に向かうにしたがって深くなっている。これは、半導体装置１０の製造工程において、ｐ型不純物濃度が低い内周側よりもｐ型不純物濃度が高い外周側の方がｐ型不純物の拡散距離が長くなるためである。図４に示すように、リサーフ領域６０内のｐ型不純物濃度は、内周側（低濃度領域５０ｃ側）から外周側に向かうにしたがって低下している。低濃度領域５０ｃ内のｐ型不純物濃度のピーク値は、リサーフ領域６０内のｐ型不純物濃度のピーク値よりも高い。また、低濃度領域５０ｃ内のｐ型不純物濃度のピーク値は、コンタクト領域４２ａ、５０ａ、５０ｂ内のｐ型不純物濃度よりも低い。
【００２０】
図２に示すように、下部ボディ領域４６、ディープ領域５０、及び、リサーフ領域６０の下側に、ドリフト領域７０が配置されている。ドリフト領域７０は、素子範囲２４から周辺範囲２６に跨って分布している。ドリフト領域７０は、下部ボディ領域４６、ディープ領域５０、及び、リサーフ領域６０に対して下側から接している。ドリフト領域７０は、下部ボディ領域４６の下側でゲート絶縁膜３２に接している。ドリフト領域７０は、リサーフ領域６０よりも外周側で、半導体基板１２の上面１２ａに面している。また、周辺範囲２６内には、リサーフ領域６０から離れた位置に高濃度ｎ型領域７２が配置されている。高濃度ｎ型領域７２は、ドリフト領域７０よりも高いｎ型不純物濃度を有している。高濃度ｎ型領域７２は、上面１２ａを含む範囲に配置されている。高濃度ｎ型領域７２は、ドリフト領域７０によってリサーフ領域６０から分離されている。
【００２１】
ドリフト領域７０の下側に、バッファ領域７４が配置されている。バッファ領域７４は、ドリフト領域７０よりもｎ型不純物濃度が高いｎ型領域である。バッファ領域７４は、素子範囲２４から周辺範囲２６に跨って分布している。バッファ領域７４は、ドリフト領域７０に対して下側から接している。
【００２２】
半導体基板１２の下面１２ｂを含む範囲に、コレクタ領域７６が配置されている。コレクタ領域７６は、ｐ型不純物濃度が高いｐ型領域である。コレクタ領域７６は、下部電極１６にオーミック接触している。コレクタ領域７６は、ＩＧＢＴ範囲２０から周辺範囲２６に跨って分布している。コレクタ領域７６は、バッファ領域７４に対して下側から接している。
【００２３】
ＩＧＢＴ範囲２０内には、エミッタ領域４０、上部ボディ領域４２、バリア領域４４、下部ボディ領域４６、ドリフト領域７０、バッファ領域７４、コレクタ領域７６、及び、ゲート電極３４等によって、ＩＧＢＴが形成されている。ＩＧＢＴが動作するときには、上部電極１４がエミッタ電極として機能し、下部電極１６がコレクタ電極として機能する。ゲート電極３４の電位をゲート閾値以上の値まで上昇させると、上部ボディ領域４２と下部ボディ領域４６にチャネルが形成される。この状態で、下部電極１６の電位が上部電極１４の電位よりも高くなると、エミッタ領域４０から、上部ボディ領域４２のチャネル、バリア領域４４、下部ボディ領域４６のチャネル、ドリフト領域７０、及び、バッファ領域７４を介してコレクタ領域７６へ電子が流れる。ゲート電極３４の電位をゲート閾値未満の値まで低下させると、チャネルが消失し、電子の流れが停止する。このように、ゲート電極３４の電位に応じてＩＧＢＴがスイッチングする。
【００２４】
図３に示すように、ダイオード範囲２２内では、下面１２ｂを含む範囲に、カソード領域７８が設けられている。カソード領域７８は、バッファ領域７４よりもｎ型不純物濃度が高いｎ型領域である。カソード領域７８は、下部電極１６に対してオーミック接触している。カソード領域７８は、バッファ領域７４に対して下側から接している。コレクタ領域７６の代わりにカソード領域７８が設けられている点を除いて、ダイオード範囲２２の構造は、ＩＧＢＴ範囲２０の構造と等しい。
【００２５】
ダイオード範囲２２内には、上部ボディ領域４２、バリア領域４４、下部ボディ領域４６、ドリフト領域７０、バッファ領域７４、及び、カソード領域７８等によって、ダイオードが形成されている。ダイオードが動作するときには、上部電極１４がアノード電極として機能し、下部電極１６がカソード電極として機能する。上部電極１４の電位を下部電極１６の電位よりも高くすると、上部ボディ領域４２から、バリア領域４４、下部ボディ領域４６、ドリフト領域７０、及び、バッファ領域７４を介してカソード領域７８へ電流が流れる。なお、バリア領域４４のｎ型不純物濃度が低いので、電流はバリア領域４４を貫通して流れる。上部電極１４の電位を下部電極１６の電位よりも低くすると、電流が停止する。
【００２６】
次に、ＩＧＢＴがオフしたときの電位分布について説明する。下部電極１６の電位が上部電極１４の電位よりも高い状態でＩＧＢＴがオフすると、下部ボディ領域４６とドリフト領域７０の界面のｐｎ接合に逆電圧が印加される。このため、下部ボディ領域４６からドリフト領域７０に空乏層が広がる。また、この状態では、ディープ領域５０からドリフト領域７０へ空乏層が広がる。さらに、リサーフ領域６０からドリフト領域７０へ空乏層が広がる。リサーフ領域６０によって、リサーフ領域６０よりも外周側のドリフト領域７０への空乏層の伸びが促進される。このため、ドリフト領域７０が広い範囲で空乏化される。
【００２７】
ＩＧＢＴがオフした状態において、図５の破線１００に示すように、等電位線がドリフト領域７０からディープ領域５０に進入すると、端部ゲートトレンチ３０ａの下端近傍で電界が集中する。しかしながら、本実施形態では、等電位線がディープ領域５０に進入し難い。すなわち、本実施形態では、ディープ領域５０の外周側の部分のｐ型不純物濃度が高い。このため、破線１０２に示すように、等電位線が外周側に向かって伸び易い。したがって、ディープ領域５０の内周側の部分のｐ型不純物濃度が低くても、破線１００のようなディープ領域５０への等電位線の進入が生じ難い。このため、半導体装置１０では、端部ゲートトレンチ３０ａの下端近傍における電界集中が抑制される。
【００２８】
次に、ダイオードのリカバリ動作について説明する。上述したように、上部電極１４の電位を下部電極１６の電位よりも高くすると、ダイオードがオンする。すると、下部ボディ領域４６からドリフト領域７０にホールが流入する。その結果、伝導度変調現象によってドリフト領域７０の電気抵抗が低下し、電子がドリフト領域７０を低損失で通過することができる。このとき、ホールは、ドリフト領域７０の略全体に分布している。その後、上部電極１４の電位を下部電極１６の電位よりも低くすると、ダイオードがオフする。ダイオードがオフするときに、ドリフト領域７０内に存在しているホールが、上部電極１４へ排出される。このため、ダイオードがオフする瞬間に、ダイオードに逆電流（リカバリ電流）が流れる。上述したように、ダイオードがオンしている状態では、ドリフト領域７０の略全体にホールが分布しているため、周辺範囲２６内のドリフト領域７０にもホールが存在している。ダイオードのリカバリ動作においては、周辺範囲２６内のドリフト領域７０に存在するホールの一部が、ディープ領域５０を通って上部電極１４へ排出される。このとき、図２の矢印１１０に示すように、ディープ領域５０の中でも上部電極１４に近い内周側の部分にホールの流れ（すなわち、リカバリ電流）が集中し易い。しかしながら、半導体装置１０では、ディープ領域５０の内周側の部分のｐ型不純物濃度が低いので、ディープ領域５０の内周側の部分の電気抵抗が高い。このため、矢印１１０に示すディープ領域５０の内周側の部分を経由して流れるリカバリ電流が抑制される。これによって、ディープ領域５０へのリカバリ電流の集中が抑制される。
【００２９】
以上に説明したように、実施形態の半導体装置１０によれば、ＩＧＢＴのオフ時に端部ゲートトレンチ３０ａ近傍への電界の集中を抑制することができると共に、ダイオードのリカバリ動作時にディープ領域５０へのリカバリ電流の集中を抑制することができる。
【００３０】
なお、内周側から外周側に向かうにしたがってｐ型不純物濃度が低下しているディープ領域５０は、例えば、以下のようにして形成することができる。まず、ディープ領域５０を形成すべき範囲の上部にメッシュ状のマスクを形成する。メッシュ状のマスクは、多数の微小な開口を有するマスクである。ここでは、開口の比率が内周側で低く、外周側で高くなるようにマスクを形成する。次に、マスクを介して半導体基板にｐ型不純物を注入する。外周側では内周側よりも開口の比率が高いので、外周側では内周側よりも高濃度にｐ型不純物が注入される。その後、半導体基板をアニールして、注入したｐ型不純物を拡散・活性化させる。これによって、内周側から外周側に向かうにしたがってｐ型不純物濃度が低下しているディープ領域５０を形成することができる。
【００３１】
なお、上述した実施形態では、ディープ領域５０内のｐ型不純物濃度が内周側から外周側に向かうにしたがって連続的に上昇していた。しかしながら、ディープ領域５０内のｐ型不純物濃度が内周側から外周側に向かうにしたがって段差状に上昇していてもよい。この場合、図６に示すように、ディープ領域５０が、内周側から外周側に向かうにしたがって段差状に深くなる。
【００３２】
また、上述した実施形態では、ディープ領域５０の外周側にリサーフ領域６０が設けられていた。しかしながら、図７に示すように、ディープ領域５０の外周側に、リサーフ領域６０に代えて、ガードリング６２（いわゆる、ＦＬＲ：field limiting ring）が設けられていてもよい。ガードリング６２は、ｐ型領域である。ガードリング６２は、上面１２ａを含む範囲に配置されており、ディープ領域５０から分離されている。図７では、複数のガードリング６２が示されており、各ガードリング６２は互いから分離されている。半導体基板１２を上側から平面視したときに、各ガードリング６２は、素子範囲２４を囲むように環状に伸びている。このように、リサーフ領域６０に代えてガードリング６２を設けても、半導体装置１０の耐圧を確保することができる。
【００３３】
また、上述した実施形態では、ダイオード範囲２２内における上面１２ａ側の半導体構造（すなわち、エミッタ領域４０、上部ボディ領域４２、バリア領域４４、及び、下部ボディ領域４６）が、ＩＧＢＴ範囲２０内における上面１２ａ側の半導体構造と等しかった。しかしながら、ダイオード範囲２２とＩＧＢＴ範囲２０とで、上面１２ａ側の半導体構造が異なっていてもよい。例えば、ダイオード範囲２２内では、エミッタ領域４０とバリア領域４４が存在しなくてもよい。
【００３４】
また、上述した実施形態では、ＩＧＢＴ範囲２０と周辺範囲２６の境界にディープ領域５０が設けられていた。しかしながら、ダイオード範囲２２と周辺範囲２６がゲートトレンチ３０を介して隣接する場合には、ダイオード範囲２２と周辺範囲２６の境界にディープ領域５０を設けてもよい。
【００３５】
また、上述した実施形態では、バリア領域４４によってボディ領域が上部ボディ領域４２と下部ボディ領域４６に分離されていた。しかしながら、バリア領域４４が存在しなくてもよい。
【００３６】
本明細書が開示する技術要素について、以下に列記する。なお、以下の各技術要素は、それぞれ独立して有用なものである。
【００３７】
本明細書が開示する一例の半導体装置においては、ディープ領域が、半導体基板の上面を含む範囲に配置されている高濃度領域と、高濃度領域の下側に配置されているとともに高濃度領域よりもｐ型不純物濃度が低い低濃度領域を有していてもよい。低濃度領域内のｐ型不純物濃度が、ボディ領域側から耐圧領域側に向かうにしたがって上昇していてもよい。
【００３８】
本明細書が開示する一例の半導体装置においては、低濃度領域内のｐ型不純物濃度のピーク値が、耐圧領域内のｐ型不純物濃度のピーク値よりも高くてもよい。
【００３９】
このように、低濃度領域のｐ型不純物濃度をある程度高くすることで、素子範囲の外周端に位置するトレンチ近傍における電界集中を好適に抑制することができる。
【００４０】
本明細書が開示する一例の半導体装置においては、耐圧領域が、ディープ領域に隣接するリサーフ領域であってもよい。
【００４１】
本明細書が開示する一例の半導体装置においては、耐圧領域が、ドリフト領域によってディープ領域から分離されており、素子範囲の周囲を囲む環状のガードリングであってもよい。
【００４２】
本明細書が開示する一例の半導体装置においては、ディープ領域内のｐ型不純物濃度が、ボディ領域側から耐圧領域側に向かうにしたがって連続的に上昇していてもよい。
【００４３】
本明細書が開示する一例の半導体装置においては、ディープ領域内のｐ型不純物濃度が、ボディ領域側から耐圧領域側に向かうにしたがって段差状に上昇していてもよい。
【００４４】
以上、実施形態について詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例をさまざまに変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独あるいは各種の組み合わせによって技術有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの１つの目的を達成すること自体で技術有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００４５】
１０    ：半導体装置
１２    ：半導体基板
１４    ：上部電極
１６    ：下部電極
２０    ：ＩＧＢＴ範囲
２２    ：ダイオード範囲
２４    ：素子範囲
２６    ：周辺範囲
３０    ：トレンチ
３０ａ  ：端部トレンチ
３２    ：ゲート絶縁膜
３４    ：ゲート電極
３６    ：層間絶縁膜
４０    ：エミッタ領域
４２    ：上部ボディ領域
４４    ：バリア領域
４６    ：下部ボディ領域
５０    ：ディープ領域
６０    ：リサーフ領域
７０    ：ドリフト領域
７４    ：バッファ領域
７６    ：コレクタ領域
７８    ：カソード領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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