(57)【要約】      （修正有）【課題】フィルムとウェハを分離する場合に吸着機構の真空を破壊するという問題を解決する。【解決手段】台座、第１の吸着板９、第２の吸着板１１、駆動機構、揺動レバー７及びクランプ機構を含み、第１の吸着板が台座に水平に取り付けられ、第１の吸着板にウェハ２２が吸着され、揺動レバー７の一端が駆動機構に接続され、他端がクランプ機構に接続され、駆動機構が揺動レバー及びクランプ機構を鉛直平面内に揺動させ、クランプ機構がフィルムのエッジでフィルム２１をクランプする。第１の吸着板はウェハを吸着し、駆動機構は、揺動レバーを駆動して揺動レバー及びクランプ機構をフィルムの上方に回転させ、クランプ機構でフィルムをクランプし固定し、駆動機構は、揺動レバーを揺動するように逆方向に駆動し、揺動レバー及びクランプ機構の作用で、フィルムとウェハの分離を実現する。【選択図】図２
2019106526.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
台座、第１の吸着板、駆動機構、揺動レバー及びクランプ機構を含み、
前記第１の吸着板は、前記台座に水平に取り付けられ、分離されるフィルムとウェハは、前記第１の吸着板に配置され、前記第１の吸着板と前記ウェハの下面が貼り付けられて吸着され、前記揺動レバーの一端が前記駆動機構に接続され、他端が前記クランプ機構に接続され、前記駆動機構が前記揺動レバー及び前記クランプ機構を鉛直平面内に揺動するように駆動して前記第１の吸着板に近接するか又は前記第１の吸着板から離れ、前記クランプ機構が前記フィルムのエッジで前記フィルムをクランプすることを特徴とするフィルムとウェハの分離装置。
【請求項２】
前記クランプ機構は、第１のシリンダ及び第２のシリンダを含み、前記第１のシリンダは、前記揺動レバーに接続され、前記第１のシリンダの伸縮ロッドが前記揺動レバーから離れた方向に沿って設けられ、前記第２のシリンダは、前記第１のシリンダの伸縮ロッドに接続され、前記第２のシリンダの伸縮ロッドが前記第１のシリンダの伸縮ロッドと垂直であり、前記第２のシリンダの伸縮ロッドの端部が押付板に接続され、前記押付板が前記フィルムの下面に押し付けられることを特徴とする請求項１に記載のフィルムとウェハの分離装置。
【請求項３】
前記押付板の上面に弾性ストリップが設けられ、前記弾性ストリップは、前記押付板と前記フィルムの下面との弾性接触を実現することを特徴とする請求項２に記載のフィルムとウェハの分離装置。
【請求項４】
前記駆動機構は、前記台座に取り付けられ、前記駆動機構は、駆動モータ及び回転軸を含み、前記駆動モータがモータホルダにより前記台座に取り付けられ、前記駆動モータの出力軸は、水平に設けられ、軸継手を介して前記回転軸に接続され、前記揺動レバーは、前記回転軸と垂直であり、前記回転軸に固定的に接続され、前記回転軸の両端にそれぞれ軸受固定ベースが設けられ、前記軸受固定ベースは、前記台座に固定され、前記軸受固定ベース内に軸受が設けられ、前記回転軸は、前記軸受を貫通して前記軸受の内輪と嵌合されることを特徴とする請求項２又は３に記載のフィルムとウェハの分離装置。
【請求項５】
第１の接続ブロックをさらに含み、前記第１の接続ブロックは、前記台座に設けられ、前記第１の吸着板と共に前記回転軸の同じ側に設けられ、前記第１の接続ブロック内に第１の真空発生器が設けられ、前記第１の吸着板内に第１の真空通路が設けられ、前記第１の真空発生器は、前記第１の真空通路と連通することを特徴とする請求項４に記載のフィルムとウェハの分離装置。
【請求項６】
第２の吸着板と第２の接続ブロックをさらに含み、前記第２の吸着板は、前記第２の接続ブロックにより前記揺動レバーに接続され、前記クランプ機構は、前記第２の吸着板に設けられ、前記第２の吸着板内に第２の真空通路が設けられ、前記第２の接続ブロック内に第２の真空発生器が設けられ、前記第２の真空発生器は、前記第２の真空通路と連通し、前記第２の吸着板は、前記第１の吸着板に近接する場合に前記フィルムと貼り付けられて吸着されることを特徴とする請求項５に記載のフィルムとウェハの分離装置。
【請求項７】
前記揺動レバーにクッションプランジャーが設けられ、前記第２の吸着板が前記第１の吸着板に近接し、前記フィルムに貼り付けられて吸着される場合、前記クッションプランジャーの下端は、前記第１の接続ブロックに接触することを特徴とする請求項６に記載のフィルムとウェハの分離装置。
【請求項８】
請求項６〜７のいずれか一項に記載の分離装置を用いてフィルムとウェハを分離し、
分離されるフィルムとウェハを第１の吸着板に配置し、第１の吸着板を用いてウェハを貼り付けて吸着するステップＳ１と、
駆動モータを回転するように制御して揺動レバーをフィルムまで揺動するように駆動し、クランプ機構を用いてフィルムのエッジでフィルムをクランプするステップＳ２と、
駆動モータを逆回転するように制御して揺動レバーをウェハから離れた方向に沿って揺動するように駆動し、フィルムをウェハから分離するステップＳ３とを含むことを特徴とするフィルムとウェハの分離方法。
【請求項９】
前記ステップＳ２は、
駆動モータが回転し、揺動レバー及び第２の吸着板をフィルムの上方に回転するように駆動し、第２の吸着板を制御してフィルムの上面を吸着するステップＳ２１と、
第１のシリンダの伸縮ロッドを短縮して、押付板を第２の吸着板の下方に位置させ、第２のシリンダの伸縮ロッドを短縮して、押付板をフィルムの下面に押し付けるステップＳ２２とをさらに含むことを特徴とする請求項８に記載のフィルムとウェハの分離方法。
【請求項１０】
ステップＳ１の前に、駆動モータを回転するように制御して揺動レバーを揺動するように駆動して、第２の吸着板と第１の吸着板をそれぞれ回転軸の両側に位置させ、第１のシリンダの伸縮ロッド及び第２のシリンダの伸縮ロッドを伸びるように制御して、前記押付板を前記第２の吸着板から離れさせるステップＳ０をさらに含むことを特徴とする請求項８又は９に記載のフィルムとウェハの分離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池の技術分野に関し、特にフィルムとウェハの分離装置及びに分離方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
新エネルギーは、２１世紀の世界経済発展における最も重要な５つの技術分野の１つである。太陽エネルギーは、クリーンで、効率的で、使い切れない新エネルギーである。新世紀では、各国の政府は、いずれも太陽エネルギーリソースの利用を国の持続可能な開発戦略の重要な内容とする。太陽光発電は、安全で確実であり、騒音がなく、汚染がなく、制限が少なく、故障率が低く、メンテナンスしやすいなどの利点を有する。
【０００３】
太陽電池のウェハ及びフィルムは、表面張力により一体に貼り付けられ、ウェハとフィルムを分離する必要があると、従来の分離装置は、通常、ウェハとフィルムとの結合面に水をスプレーしてウェハとフィルムを分離する必要があるが、この過程において、水がフィルムの吸着機構に飛び散ることにより、フィルムを吸着する吸着機構の真空を破壊して、分離の失敗を起こす。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
（一）発明が解決しようとする課題
本発明が解決しようとする課題は、従来の分離装置がフィルムとウェハを分離する場合に水をスプレーする必要があるが、吸着機構の真空を破壊するという問題を解決することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（二）課題を解決するための手段
上記課題を解決するために、本発明は、台座、第１の吸着板、第２の吸着板、駆動機構、揺動レバー及びクランプ機構を含み、前記第１の吸着板は、前記台座に水平に取り付けられ、分離されるフィルムとウェハは、前記第１の吸着板に配置され、前記第１の吸着板と前記ウェハの下面が貼り付けられて吸着され、前記揺動レバーの一端が前記駆動機構に接続され、他端が前記クランプ機構に接続され、前記駆動機構が前記揺動レバー及び前記クランプ機構を鉛直平面内に揺動するように駆動して前記第１の吸着板に近接するか又は前記第１の吸着板から離れ、前記クランプ機構が前記フィルムのエッジで前記フィルムをクランプするフィルムとウェハの分離装置を提供する。
【０００６】
前記クランプ機構は、第１のシリンダ及び第２のシリンダを含み、前記第１のシリンダは、前記揺動レバーに接続され、前記第１のシリンダの伸縮ロッドが前記揺動レバーから離れた方向に沿って設けられ、前記第２のシリンダは、前記第１のシリンダの伸縮ロッドに接続され、前記第２のシリンダの伸縮ロッドが前記第１のシリンダの伸縮ロッドと垂直であり、前記第２のシリンダの伸縮ロッドの端部が押付板に接続され、前記押付板が前記フィルムの下面に押し付けられる。
【０００７】
前記押付板の上面に弾性ストリップが設けられ、前記弾性ストリップは、前記押付板と前記フィルムの下面との弾性接触を実現する。
【０００８】
前記駆動機構は、前記台座に取り付けられ、前記駆動機構は、駆動モータ及び回転軸を含み、前記駆動モータがモータホルダにより前記台座に取り付けられ、前記駆動モータの出力軸は、水平に設けられ、軸継手を介して前記回転軸に接続され、前記揺動レバーは、前記回転軸と垂直であり、前記回転軸に固定的に接続され、前記回転軸の両端にそれぞれ軸受固定ベースが設けられ、前記軸受固定ベースは、前記台座に固定され、前記軸受固定ベース内に軸受が設けられ、前記回転軸は、前記軸受を貫通して前記軸受の内輪と嵌合される。
【０００９】
第１の接続ブロックをさらに含み、前記第１の接続ブロックは、前記台座に設けられ、前記第１の吸着板と共に前記回転軸の同じ側に設けられ、前記第１の接続ブロック内に第１の真空発生器が設けられ、前記第１の吸着板内に第１の真空通路が設けられ、前記第１の真空発生器は、前記第１の真空通路と連通する。
【００１０】
第２の吸着板と第２の接続ブロックをさらに含み、前記第２の吸着板は、前記第２の接続ブロックにより前記揺動レバーに接続され、前記クランプ機構は、前記第２の吸着板に設けられ、前記第２の吸着板内に第２の真空通路が設けられ、前記第２の接続ブロック内に第２の真空発生器が設けられ、前記第２の真空発生器は、前記第２の真空通路と連通し、前記第２の吸着板は、前記第１の吸着板に近接する場合に前記フィルムと貼り付けられて吸着される。
【００１１】
前記揺動レバーにクッションプランジャーが設けられ、前記第２の吸着板は、前記第１の吸着板に近接し、前記フィルムに貼り付けられて吸着される場合、前記クッションプランジャーの下端は、前記第１の接続ブロックに接触する。
【００１２】
本発明は、
上記分離装置を用いてフィルムとウェハを分離し、
分離されるフィルムとウェハを第１の吸着板に配置し、第１の吸着板を用いてウェハを貼り付けて吸着するステップＳ１と、
駆動モータを回転するように制御して揺動レバーをフィルムまで揺動するように駆動し、クランプ機構を用いてフィルムのエッジでフィルムをクランプするステップＳ２と、
駆動モータを逆回転するように制御して揺動レバーをウェハから離れた方向に沿って揺動するように駆動し、フィルムをウェハから分離するステップＳ３とを含むフィルムとウェハの分離方法をさらに提供する。
【００１３】
前記ステップＳ２は、
駆動モータが回転し、揺動レバー及び第２の吸着板をフィルムの上方に回転するように駆動し、第２の吸着板を制御してフィルムの上面を吸着するステップＳ２１と、
第１のシリンダの伸縮ロッドを短縮して、押付板を第２の吸着板の下方に位置させ、第２のシリンダの伸縮ロッドを短縮して、押付板をフィルムの下面に押し付けるステップＳ２２とをさらに含む。
【００１４】
ステップＳ１の前に、駆動モータを回転するように制御して揺動レバーを揺動するように駆動して、第２の吸着板と第１の吸着板をそれぞれ回転軸の両側に位置させ、第１のシリンダの伸縮ロッド及び第２のシリンダの伸縮ロッドを伸びるように制御して、前記押付板を前記第２の吸着板から離れさせるステップＳ０をさらに含む。
【発明の効果】
【００１５】
（三）有益な効果
本発明の上記技術手段は、以下の利点を有する。本発明に係るフィルムとウェハの分離装置及び方法は、台座、第１の吸着板、第２の吸着板、駆動機構、揺動レバー及びクランプ機構を含み、前記第１の吸着板は、台座に水平に取り付けられ、分離されるフィルムとウェハは、第１の吸着板に配置され、第１の吸着板とウェハの下面が貼り付けられて吸着され、揺動レバーの一端が駆動機構に接続され、他端がクランプ機構に接続され、駆動機構が揺動レバー及びクランプ機構を鉛直平面内に揺動するように駆動して第１の吸着板に近接するか又は第１の吸着板から離れ、クランプ機構がフィルムのエッジでフィルムをクランプする。使用時に、まず、駆動機構を制御して揺動レバーとクランプ機構を第１の吸着板とは異なる側に回転するように駆動し、フィルムとウェハを第１の吸着板に配置し、第１の吸着板は、真空でウェハを吸着し、駆動機構は、揺動レバーを揺動するように駆動して揺動レバー及びクランプ機構をフィルムの上方に回転させ、次に、クランプ機構を制御してフィルムのエッジでフィルムをクランプし固定して、駆動機構は、揺動レバーをウェハから離れた方向に沿って揺動するように駆動し、クランプ機構がフィルムをクランプし、第１の吸着板がウェハを吸着し固定するため、揺動レバーがウェハから離れた方向に沿って揺動する場合、フィルムとウェハを分離する。該分離装置は、構造が簡単であり、分離過程において、フィルム及びウェハを損傷せず、分離効率が高い。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例に係るフィルムとウェハの分離装置の構造概略図である。
【図２】本発明の実施例に係るフィルムとウェハの分離装置の側面図である。
【図３】本発明の実施例の第２の吸着板と第１の吸着板が回転軸の両側に位置する場合の状態図である。
【図４】本発明の実施例のクランプ機構がフィルムをクランプする場合の第２の吸着板の状態図である。
【図５】図４の部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
上述した本発明が解決しようとする課題、技術手段を構成した技術的特徴、及びこれらの技術手段の技術的特徴の利点以外、本発明の他の技術的特徴及びこれらの技術的特徴の利点については、図面を参照しながらさらに説明する。
【００１８】
本発明の実施例の目的、技術手段及び利点をより明確にするために、以下、本発明の実施例の図面を参照しながら、本発明の実施例の技術手段を明確かつ完全に説明し、明らかに、説明される実施例は、本発明の一部の実施例に過ぎず、全ての実施例ではない。本発明の実施例に基づいて、当業者が創造的な労働をしない前提で取得した全ての他の実施例は、いずれも本発明の保護範囲に属する。
【００１９】
本発明の説明において、別に明確な規定及び限定を有しない限り、用語「取付」、「連結」、「接続」を広義に理解すべきであり、例えば、固定接続であっても、着脱可能な接続であっても、一体的な接続であってもよく、機械的接続であっても、電気的接続であってもよく、直接接続であって、中間媒体による間接的接続であっても、２つの素子内部の連通であってもよいと説明すべきである。当業者にとっては、具体的な状況に基づいて上記用語の具体的な意味を理解することができる。
【００２０】
また、本発明の説明において、別に記載されない限り、「複数」、「複数本」、「複数グループ」の意味は２つ又は２つ以上であり、「いくつか」、「いくつの本」「いくつのグループ」の意味は１つ又は１つ以上である。
【００２１】
図１〜図５に示すように、本発明の実施例に係るフィルムとウェハの分離装置は、台座１、第１の吸着板９、駆動機構、揺動レバー７及びクランプ機構を含み、前記第１の吸着板９は、台座１に水平に取り付けられ、分離されるフィルム２１とウェハ２２は、第１の吸着板９に配置され、ウェハ２２及びフィルム２１は、第１の吸着板９から突出し、第１の吸着板９とウェハ２２の下面が貼り付けられて吸着され、揺動レバー７の一端が駆動機構に接続され、他端がクランプ機構に接続され、駆動機構が揺動レバー７及びクランプ機構を鉛直平面内に揺動するように駆動して第１の吸着板９に近接するか又は第１の吸着板から離れ、クランプ機構がフィルム２１のエッジでフィルム２１をクランプする。使用時に、まず、駆動機構を制御して揺動レバー７とクランプ機構を第１の吸着板９とは異なる側に回転するように駆動し、フィルム２２とウェハ２１を第１の吸着板９に配置し、第１の吸着板９は、真空でウェハ２２を吸着し、駆動機構は、揺動レバー７を揺動するように駆動して揺動レバー及びクランプ機構をフィルム２１の上方に回転させ、次に、クランプ機構を制御してフィルム２１のエッジでフィルム２１をクランプし固定して、駆動機構は、揺動レバー７をウェハ２２から離れた方向に沿って揺動するように駆動し、クランプ機構がウェハ２１をクランプし、第１の吸着板９がウェハ２２を吸着し固定するため、揺動レバー７がウェハ２２から離れた方向に沿って揺動する場合、フィルム２１とウェハ２２を分離する。該分離装置は、構造が簡単であり、分離過程において、フィルム２１及びウェハ２２を損傷せず、分離効率が高い。
【００２２】
さらに、クランプ機構は、第１のシリンダ１２及び第２のシリンダ１４を含み、第１のシリンダ１２は、揺動レバー７に接続され、第１のシリンダ１２の伸縮ロッドが揺動レバー７から離れた方向に沿って設けられ、第２のシリンダ１４は、接続板１３により第１のシリンダ１２の伸縮ロッドに接続され、第２のシリンダ１４の伸縮ロッドが第１のシリンダ１２と垂直な方向に沿って設けられ、第２のシリンダ１４の伸縮ロッドの端部が押付板１５に接続され、押付板１５がフィルム２１の下面に押し付けられる。
【００２３】
さらに、押付板１５の上面に弾性ストリップ１６が設けられ、弾性ストリップ１６は、押付板１５とフィルム２１の下面との弾性接触を実現する。本実施例では、弾性ストリップ１６の材質は、ゴムである。
【００２４】
さらに、駆動機構は、台座１に取り付けられる。駆動機構は、駆動モータ２及び回転軸６を含み、駆動モータ２の出力軸は、水平に設けられ、駆動モータ２の出力軸は、軸継手４を介して回転軸６に接続され、揺動レバー７は、回転軸６と垂直であり、揺動レバー７は、回転軸６に固定的に接続される。具体的には、揺動レバー７の一端に心残し孔が設けられ、心残し孔は、回転軸６に嵌着され、回転軸６が回転すると揺動レバー７を鉛直平面内に揺動するように駆動する。
【００２５】
さらに、回転軸６の両端にそれぞれ軸受固定ベース５が設けられ、軸受固定ベース５は、台座１に固定され、軸受固定ベース５内に軸受が設けられ、軸受の外輪が軸受固定ベース５の孔内に固定され、回転軸６は、軸受を貫通して軸受の内輪と嵌合される。軸受固定ベース５は、回転軸６を支持する。
【００２６】
さらに、台座１にモータホルダ３がさらに設けられ、モータホルダ３は、駆動モータ２を取り付けるために用いられる。モータホルダ３の形状は、Ｌ字形であり、モータホルダ３の底板が台座１に固定され、モータホルダ３の縦板はモータを取り付けるために用いられる。
【００２７】
さらに、該分離装置は、第１の接続ブロック８をさらに含み、第１の接続ブロック８は、台座１に設けられ、第１の吸着板９と共に回転軸６の同じ側に設けられ、第１の接続ブロック８内に第１の真空発生器が設けられ、第１の吸着板９内に第１の真空通路が設けられ、第１の真空発生器は、第１の真空通路と連通する。第１の真空発生器により第１の吸着板９内に真空が発生して、第１の吸着板９のウェハ２２への吸着効果を達成する。
【００２８】
さらに、該分離装置は、第２の吸着板１１と第２の接続ブロック１０をさらに含み、第２の接続ブロック１０は、揺動レバー７と第２の吸着板１１との間に接続され、クランプ機構は、第２の吸着板１１に設けられ、第２の吸着板１１が第１の吸着板９に近接する場合にフィルム２１と貼り付けられて吸着され、第２の接続ブロック１０内に第２の真空発生器が設けられ、第２の吸着板１１内に第２の真空通路が設けられ、第２の真空発生器は、第２の真空通路と連通する。本実施例では、第２の接続ブロック１０の片側は、揺動レバー７の両端と接続され、第２の接続ブロック１０の他側は、第２の吸着板１１の回転軸６に近接する一端に接続され、第２の真空発生器により第２の吸着板１１内に真空が発生して、第２の吸着板１１のフィルム２１への吸着効果を達成する。具体的には、第１のシリンダ１２は、第２の吸着板１１に設けられ、第２の吸着板１１の回転軸６から離れた一端に位置し、第１のシリンダの伸縮ロッドは、回転軸から離れた方向に沿って設けられ、第２のシリンダ１４の伸縮ロッドは、第２の吸着板１１と垂直であり、第１の吸着板９がフィルム２１に吸着した後、第１のシリンダ１２及び第２のシリンダ１４の伸縮ロッドを調整して、押付板をフィルム２１の下面に押し付け、下からフィルム２１に作用力を印加し、フィルム２１の寸法がウェハ２２の寸法より大きいため、押付板１５は、フィルム２１のエッジでフィルム２１の下面に押し付けられて、フィルム２１を第２の吸着板１１に密着させて、フィルム２１を第２の吸着板１１と共に移動させる。
【００２９】
さらに、揺動レバー７にクッションプランジャー１７が設けられ、第２の吸着板１１が第１の吸着板９に近接して、フィルム２１に貼り付けられて吸着される場合、クッションプランジャー１７の下端は、前記第１の接続ブロック８に接触する。本実施例では、クッションプランジャー１７の形式は、スプリングプランジャーであり、クッションプランジャー１７を設けることは、揺動レバー７が第２の吸着板１１を第１の吸着板９に近接するように駆動する場合にバッファの作用を果たし、第２の吸着板１１がフィルム２１に押し付けられる場合にリミットの作用を果たす。
【００３０】
上記フィルム２１とウェハ２２の分離装置は、使用時に、主に下記Ｓ０〜Ｓ３を含む。
Ｓ０では、駆動機構を制御して揺動レバー７を揺動するように駆動して、すなわち駆動モータ２が回転して回転軸６を回転するように駆動すると共に、揺動レバー７を揺動させ、第２の吸着板１１と第１の吸着板９をそれぞれ回転軸６の両側に位置させ、第１のシリンダ１２の伸縮ロッド及び第２のシリンダ１４の伸縮ロッドを伸びるように制御して、押付板１５を前記第２の吸着板１１から離れさせ、この場合、第２の吸着板１１が開始位置にある。
【００３１】
Ｓ１では、フィルム２１とウェハ２２を第１の吸着板９に配置し、第１の吸着板９を制御してウェハ２２の下面を吸着し、フィルム２１及びウェハ２２を第１の吸着板９に配置する場合、フィルム２１の寸法がウェハ２２の寸法より大きいため、押付板１５の押し付けのために空間を予め用意し、第１の吸着板９の吸着板のウェハ２２に対する吸着は、第１の真空発生器により第１の真空通路内に真空が発生することにより実現される。
【００３２】
Ｓ２では、駆動モータ２を回転するように制御し、揺動レバー７及び第２の吸着板１１をフィルム２１の上方に回転するように駆動し、クランプ機構を用いてフィルム２１のエッジでフィルム２１をクランプする。
【００３３】
具体的には、ステップＳ２は、Ｓ２１〜Ｓ２２をさらに含み、Ｓ２１では、駆動モータ２が回転し、揺動レバー７及び第２の吸着板１１をフィルム２１の上方に回転するように駆動し、第２の吸着板１１を制御してフィルム２１の上面を吸着し、この過程において、第２の吸着板１１がフィルム２１と接触する直前、駆動モータ２が遅く回転して、第２の吸着板１１がフィルム２１と遅く接触し、フィルム２１を押し付けた後に真空吸着を行い、第２の吸着板１１がフィルム２１と迅速に接触する場合に生じる損傷を回避する。
【００３４】
Ｓ２２では、第１のシリンダ１２の伸縮ロッドを短縮して、押付板１５を第２の吸着板１１に近接させ、第２の吸着板１１の下方に位置させ、第２のシリンダ１４の伸縮ロッドを短縮して、下方の押付板が上向きの変位を生じて、押付板１５をフィルム２１の下面に押し付け、押付板１５がフィルム２１の下面に近接し接触する場合、押付板１５に位置する弾性ストリップ１６は、最初にフィルム２１と接触する。
【００３５】
Ｓ３では、駆動モータ２は、ステップＳ２の方向と逆の方向に沿って回転し、揺動レバー７、第２の吸着板１１及び第１のシリンダ１２、第２のシリンダ１４及び押付板１５をウェハ２２から離れた方向に沿って揺動するように駆動して、フィルム２１をウェハ２２から分離させる。フィルム２１とウェハ２２を分離した後、駆動モータ２は、第２の吸着板１１を開始位置に回復するように迅速に駆動する。次に、第１のシリンダ１２及び第２のシリンダ１４の伸縮ロッドを伸びるように制御して、押付板１５のフィルム２１への制約力が消え、第２の吸着板１１内の真空を解除して、第２の吸着板１１のフィルム２１への吸着力が消え、マニピュレータを用いてフィルム２１を取り出すことができ、第１の吸着板９内の真空を解除して、第１の吸着板９のウェハ２２への吸着力が消え、マニピュレータを用いてウェハ２２を取り出すことができる。
【００３６】
使用時に、上記動作を連続的に繰り返し、ウェハとフィルムの分離を複数回行うことができる。
【００３７】
上記のように、本発明の実施例に係るフィルムとウェハの分離装置及び方法は、水平に設けられた第１の吸着板を用いてウェハを吸着し、鉛直平面内に揺動可能な第２の吸着板を用いてフィルムを吸着し、さらに、移動可能な押付板を用いてフィルムの一端を押し付け、これにより駆動モータが回転する場合に、揺動レバー、第２の吸着板及び押付板を回転するように駆動してフィルムとウェハの分離を実現する。該分離過程は、フィルムとウェハに水をスプレーする必要がなく、分離装置に弾性ストリップ及びクッションプランジャーなどの保護機構が設けられて、分離過程において、分離機構、フィルム及びウェハに与える損傷を回避し、分離の安全性、信頼性及び分離の成功率を高める。
【００３８】
最後に、説明すべきこととして、以上の実施例は、本発明の技術手段を限定するものではなく、それを説明するものに過ぎず、上記実施例を参照して本発明について詳細に説明したが、当業者にとっては、依然として前述の各実施例に記載の技術手段を修正し、又はその中の一部の技術的特徴に同等置換を行うと共に、これらの修正又は置換は、対応する技術手段の本質を本発明の各実施例の技術手段の主旨及び範囲から逸脱させることができないことを理解すべきである。
【符号の説明】
【００３９】
１  台座、２  駆動モータ、３  モータホルダ、４  軸継手、５  軸受固定ベース、６  回転軸、７  揺動レバー、８  第１の接続ブロック、９  第１の吸着板、１０  第２の接続ブロック、１１  第２の吸着板、１２  第１のシリンダ、１３  接続板、１４  第２のシリンダ、１５  押付板、１６  弾性ストリップ、１７  クッションプランジャー、２１  フィルム、２２  ウェハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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