(57)【要約】【課題】光導波路フィルムにおいて、光を所望の強度に減衰させる。【解決手段】下部クラッド層と、下部クラッド層上に設けられたパターン状のコア部と、コア部上に設けられた上部クラッド層とを備え、コア部は、屈折率が変化する部分を含む長尺状の光導波路フィルム減衰器。また、下部クラッド層と、下部クラッド層上に設けられており、屈折率が変化する部分を含むパターン状のコア部と、コア部上に設けられた上部クラッド層とを備える長尺状の光導波路フィルムにおける、コア部の一端から光信号を入力し、コア部の他端から光信号を出力する工程を含み、光信号を所望の強度に減衰させる光信号の強度調整方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部クラッド層と、
前記下部クラッド層上に設けられたパターン状のコア部と、
前記コア部上に設けられた上部クラッド層とを備え、
前記コア部は、屈折率が変化する部分を含む、
長尺状の光導波路フィルム減衰器。
【請求項２】
請求項１に記載の光導波路フィルム減衰器であって、
前記コア部の中に、屈折率ｎ１を有する領域１と、屈折率ｎ１とは異なる屈折率ｎ２を有する領域２とを備え、前記領域１と前記領域２の境界部が、前記屈折率が変化する部分に相当する光導波路フィルム減衰器。
【請求項３】
請求項２に記載の光導波路フィルム減衰器であって、
前記コア部は前記境界部を２以上含む光導波路フィルム減衰器。
【請求項４】
請求項３に記載の光導波路フィルム減衰器であって、
前記コア部の中心線が、２以上の前記境界部と交わっている光導波路フィルム減衰器。
【請求項５】
請求項４に記載の光導波路フィルム減衰器であって、
前記コア部の中心線の長さをＬ、前記コア部の中心線と交わっている境界部の数をＮとしたとき、
前記コア部の中心線と交わっている境界部のうちＮ／５より多くの境界部が、前記コア部の長さＬ／１０の領域内に存在している光導波路フィルム減衰器。
【請求項６】
請求項２〜５のいずれか１項に記載の光導波路フィルム減衰器であって、
前記屈折率ｎ１と、前記屈折率ｎ２との差の絶対値が、０．０１以上１以下である光導波路フィルム減衰器。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の光導波路フィルム減衰器であって、
前記コア部の一端から光信号を入力し、前記コア部の他端から前記光信号を出力したときに、光信号の減衰量が０．３ｄＢ以上である光導波路フィルム減衰器。
【請求項８】
下部クラッド層と、前記下部クラッド層上に設けられており、屈折率が変化する部分を含むパターン状のコア部と、前記コア部上に設けられた上部クラッド層とを備える長尺状の光導波路フィルムにおける、前記コア部の一端から光信号を入力し、前記コア部の他端から前記光信号を出力する工程を含み、
前記光信号を所望の強度に減衰させる、光信号の強度調整方法。
【請求項９】
請求項８に記載の光信号の強度調整方法であって、
前記光信号の強度を０．３ｄＢ以上減衰させる、光信号の強度調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路フィルム減衰器および光信号の強度調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光導波路フィルムは、古典的な光ファイバーには無い種々の長所を有することから、次世代の伝送路として様々な検討が行われている。
例えば、特許文献１には、特定の物性や構造が規定されたポリイミド製のフィルムを、光導波路として用いる技術が開示されている。
また、特許文献２には、特定のチオール系化合物等を含む光導波路のコア形成用樹脂組成物、および、その組成物を用いて作成した光導波路が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１０３７３８号公報
【特許文献２】特開２０１６−２２４１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光導波路フィルムは、基本的には光の伝送時の損失が少なければ少ないほど好ましい。よって、光導波路フィルムの開発の多くは、光の損失をより少なくすること、すなわち、光の吸収や散乱等をなるべく抑えることを意図して進められている。
【０００５】
しかし、光導波路フィルムを実用に供する際には、光の強度を適切に減衰させることが求められる場合がある。例えば、伝送された光を受光素子に入力する際、光の強度が強すぎる場合には、受光素子を破損させてしまうおそれがある。また、光の強度が強すぎると、光導波路フィルムから漏れ出る光により、意図しない受光素子が反応してしまう（誤作動してしまう）恐れもある。
つまり、長距離の光の伝送の為には、光の損失は少なければ少ないほどよいが、受光素子の近傍においては、光を適切に減衰させることが求められる場合がある。
【０００６】
しかしながら、本発明者が知る限り、光導波路フィルムの分野で、光を所望の強度に減衰させる実用的な技術は、これまで知られていなかった。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものである。つまり、光導波路フィルムにおいて、光を所望の強度に減衰させることを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、鋭意検討の結果、以下に提供される発明をなし、上記課題を達成できることを見出した。
【０００９】
本発明によれば、
下部クラッド層と、
前記下部クラッド層上に設けられたパターン状のコア部と、
前記コア部上に設けられた上部クラッド層とを備え、
前記コア部は、屈折率が変化する部分を含む、
長尺状の光導波路フィルム減衰器
が提供される。
【００１０】
また、本発明によれば、
下部クラッド層と、前記下部クラッド層上に設けられており、屈折率が変化する部分を含むパターン状のコア部と、前記コア部上に設けられた上部クラッド層とを備える長尺状の光導波路フィルムにおける、前記コア部の一端から光信号を入力し、前記コア部の他端から前記光信号を出力する工程を含み、
前記光信号を所望の強度に減衰させる、光信号の強度調整方法
が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、光導波路フィルムにおいて、光を所望の強度に減衰させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態の光導波路フィルム減衰器を説明する図である。
【図２】第１実施形態の変形例を説明する図である。
【図３】第１実施形態の別の変形例を説明する図である。
【図４】第１実施形態のさらに別の変形例を説明する図である。
【図５】本発明の第１実施形態の光導波路フィルム減衰器の製造方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
煩雑さを避けるため、（ｉ）同一図面内に同一の構成要素が複数ある場合には、その１つのみに符号を付し、全てには符号を付さない場合や、（ｉｉ）特に図２以降において、図１と同様の構成要素に改めては符号を付さない場合などがある。
すべての図面は、あくまで説明用のものである。図面中の各部材の形状や寸法比などは、必ずしも現実の物品と対応するものではない。
【００１４】
本明細書中、「略」という用語は、特に明示的な説明の無い限りは、製造上の公差や組立て上のばらつき等を考慮した範囲を含むことを表す。
本明細書中、数値範囲の説明における「ａ〜ｂ」との表記は、特に断らない限り、ａ以上ｂ以下のことを表す。
【００１５】
（第１実施形態）
図１（ａ）は、光導波路フィルム減衰器１（以下、単に「減衰器１」とも記載する）を斜め上から俯瞰した図である。減衰器１は、一態様として、図１（ａ）におけるｙ方向に延びる長尺状である。
減衰器１は、下部クラッド層１１を備えている。下部クラッド層１１の上には、コア層１３を設けることができる。コア層１３は、コア部１４と、側面クラッド部１５とを含んでいる。具体的には、コア層１３には、細長いパターン形状のコア部１４が設けられている。また、コア部１４の側面には、側面クラッド部１５を隣接させることができる。コア層１３の上面（コア部１４および側面クラッド部１５の上面）には、上部クラッド層１２が存在している。
なお、説明のため、図１（ａ）において、上部クラッド層１２は一部のみを示している。また、煩雑さを避けるため、図１（ａ）においては、後述する領域１および領域２は示していない。
【００１６】
図１（ｂ）は、図１（ａ）において、破線で囲った部分αを上面視した図である。ただし、コア部１４のみを明示し、側面クラッド部１５などの他の部位は表示を省略している。また、コア部１４の中心線を一点鎖線で示している。
【００１７】
図１（ｂ）に示されるように、コア部１４は、屈折率ｎ１を有する領域１と、屈折率ｎ１とは異なる屈折率ｎ２を有する領域２とを備えることができる。つまり、コア部１４は、屈折率が変化する部分を含むことができる（領域１と領域２の境界部が「屈折率が変化する部分」に該当する）。なお、以下の説明において、領域１と領域２の境界部を、単に「境界部」とも記載する。
【００１８】
図１（ｂ）に示されるように、領域１と領域２は、上面視において、「入れ子」状の多重構造となるようにする（屈折率の異なる領域を、入れ子状の多重構造とする）ことができる。この構造により、コア部１４は、２以上の境界部を含むことができる。また、１点鎖線で示されているコア部１４の中心線が、２以上の境界部と交わるようにすることができる。
念のために述べておくが、領域１と領域２の態様は、図１（ｂ）に示される「入れ子」状に限定されるものではない。
【００１９】
なお、第１実施形態において、領域１は、側面クラッド部１５と接していることが好ましい。また、領域１の屈折率ｎ１は、通常、下部クラッド層１１、上部クラッド層１２および側面クラッド部１５の屈折率よりも大きいことが好ましい。これにより、コア部１４と、下部クラッド層１１、上部クラッド層１２および側面クラッド部１５の界面で光が全反射し、光が適切に伝送される。
【００２０】
第１実施形態においては、コア部１４が、屈折率が変化する部分（境界部）を含むことにより、コア部１４に入射された光は減衰される。具体的には、コア部１４の一端に入射された光の一部は、境界部で、反射したり、散乱したりする。つまり、入射光の一部は、直進せずに入射方向とは異なる方向に進む。これにより、コア部１４の他端から出力される光の強度は減衰することとなる。
【００２１】
「境界部での反射」については、光学の理論に基づき、より定量的に説明することができる。
例えば、光線が屈折率ｎ１の物質から屈折率ｎ２の物質に垂直入射する場合、その表面反射率Ｒｒｅｆは、理論上、以下の式で与えられる。
Ｒｒｅｆ＝｛（ｎ１−ｎ２）／（ｎ１＋ｎ２）｝２
この式によれば、入射光のうち、Ｒｒｅｆに対応する割合は、直進せず、入射とは反対方向に反射される。つまり、伝送される光の強度は、Ｒｒｅｆに対応する割合だけ減衰することとなる。
【００２２】
上述のように、減衰器１において、コア部１４は、２以上の境界部を含むことができる。
コア部１４に含まれる境界部の数が多ければ多いほど、入射光の反射や散乱は多くなる。よって、光を大きく減衰させたい場合には、減衰器１の設計において境界部の数を増やすことが好ましい。また、別の見方としては、コア部１４に含まれる境界部の数が適当に調整された減衰器１を設計することで、比較的容易に減衰器１の減衰率を調整することが可能である。
【００２３】
また、上述のように、コア部１４の中心線は、２以上の境界部と交わることができる。
図１（ｂ）においては、コア部１４の中心線は、８の境界部と交わっている。
コア部１４の中を伝わる光の「強度分布」は、通常、コア部１４の中心線付近が極大となる。よって、コア部１４の中心線が２以上の境界部と交わることで、光の強度が大きい部分が境界部を通過することとなり、より効果的な光減衰が期待できる。
図１（ｂ）に示される「入れ子」状の態様は、コア部１４の中心線と交わる境界部の数を増やしやすい構造であることから、大きな光減衰を得やすいと考えられる。
【００２４】
より具体的には、コア部１４の中心線は、コア部１４の一端から他端までの間で、２以上の境界部と交わっていることが好ましく、１０〜１００の境界部と交わっていることがより好ましく、２０〜５０の境界部と交わっていることがさらに好ましい。これらの数値範囲とすることで、コア部１４の長さが短くとも十分な光減衰の効果を得ることができ、減衰器１のコンパクト化等の観点でも有効と考えられる。
【００２５】
本実施形態において、屈折率ｎ１と屈折率ｎ２との差の絶対値は、典型的には０．０１〜１、好ましくは０．０１〜０．５である。これら数値範囲とすることで、十分な光減衰が期待できる。また、公知の光導波路フィルムの材料、製造プロセス等を応用して比較的簡単に第１実施形態の減衰器１を製造できると期待される。
なお、屈折率ｎ１と屈折率ｎ２の大小関係は、前述のように、領域１が側面クラッド部１５と接している場合には、通常、ｎ１＞ｎ２である。
【００２６】
ここで、「屈折率」とは、本実施形態の減衰器１で入力される光の波長における屈折率のことを意味する。言い方を変えると、屈折率ｎ１と屈折率ｎ２が「異なる」とは、本実施形態の減衰器１で入力される光の波長において、領域１の屈折率と領域２の屈折率が異なることを意味する。
本実施形態の減衰器１は、典型的には、波長４００〜１７００ｎｍの光において、上記の屈折率の値を満たすように設計することができる。
【００２７】
減衰器１は、コア部１４中に、境界部が略一様に（略一定間隔で）存在するように設計されてもよい。また、境界部が「密」に存在する領域と、「疎」に存在する領域が存在するように設計されてもよい。すなわち、コア部１４中において、境界部が「偏在」するような態様であってもよい。
【００２８】
より定量的に表現すると、一態様として、減衰器１は、コア部１４の中心線の長さ（一端から他端まで）をＬ、コア部１４の中心線と交わっている境界部の数をＮとしたとき、コア部１４の中心線と交わっている境界部のうちＮ／５より多くの境界部が、コア部１４の長さＬ／１０の領域内に存在するように設計することが好ましい。
境界部が、コア部１４の長さ方向に「一様に」（一定間隔で）分布する場合には、コア部１４の長さＬ／１０の領域内にはＮ／１０個の境界部が存在することとなる。上記は、コア部１４中、境界部が、一様分布の場合よりも「２倍超の密度」（（Ｎ／１０）×２）で存在する領域が局所的にあること、そして、その表裏の関係として、境界部の存在が疎な領域もあることを意味する。
【００２９】
本実施形態の減衰器１は、このように、境界部を設ける位置を比較的自由に設計することが可能である。このことは、放熱の問題やクロストークの防止の観点などで有効と考えられる。具体的には、境界部で光が減衰することで熱が発生し、それを放熱する必要が生じる場合があるが、境界部を適切な位置に設計することで、熱がこもらず、効果的に放熱を行いやすくなることが期待できる。また、減衰器１を機器中に実装したときに、境界部が他の光導波路や光学素子等からできるだけ離れた位置となるように設計することで、境界部での光の反射により漏れ出る光の悪影響（クロストーク等）の低減が期待できる。
【００３０】
本実施形態の減衰器１は、一例として、コア部１４の一端から光信号を入力し、コア部１４の他端から光信号を出力したときに、光信号の減衰量が０．１ｄＢ以上、より好ましくは０．３ｄＢ以上であるようにすることができる。減衰量の上限については、特に無いが、実用上、例えば１ｄＢ以下、より具体的には０．５ｄＢ以下であることが好ましい。
本実施形態の減衰器１は、例えば、上述のようにコア部１４中の境界部の数を増やすことで、このように光信号を大きく減衰させることができる。また、境界部の形状を工夫することで、光の散乱を増やして減衰量を大きくすることもできる。さらに、屈折率ｎ１と屈折率ｎ２の差を大きくして、前述のＲｒｅｆの分子を大きくすることによっても、減衰量を大きくすることができると考えられる。
【００３１】
本実施形態において、コア部１４は、減衰器１が光学素子等に接続されて実用に供される際に、光信号が伝送される部分である。別の言い方をすると、コア部１４は、いわゆるダミーコアなどと呼ばれる、実際には光信号が伝送されないものには該当しない。本実施形態の減衰器１は、高強度の光信号が入射しそして通過する部分に、屈折率が異なる部分を設けていることが特徴である。
【００３２】
本実施形態の減衰器１は、図１に示した要素以外の要素を含んでいてもよいことはいうまでもない。例えば、基材層や保護層などが設けられていてもよい。これら層があることで、外力に対する機械的強度を高めることができたり、ハンドリング性を向上させたりすることができる。
【００３３】
本実施形態の減衰器１の大きさは、特に限定されず、所望の減衰量や、組み込む電子機器の仕様等から適宜決定されてよい。
一態様として、減衰器１の厚みは、下部クラッド層１１、コア層１３および上部クラッド層１２の部分が、通常５〜１００μｍ（単位）程度、基材層や保護層がある場合はそれを含めて１５〜３００μｍ（単位）程度である。
また、減衰器１の長さについては、コア部１４の中心線の長さ（コア部１４の一端から他端までの長さ）が、通常５０μｍ〜５０ｃｍ（単位）程度である。
【００３４】
（第１実施形態の変形例）
図２は、第１実施形態の変形例を説明する図である。
この変形例は、図１（ａ）のαで囲われた部分、すなわち、境界部の態様が、前述の「入れ子」状ではなく、複数の円状の領域２がひし形状に並んでいることが特徴である。
このような態様も、前述の「入れ子」状の態様と同様、コア部１４の中心線と交わる境界部の数を増やしやすい構造であることから、大きな光減衰を得やすい態様といえる。
【００３５】
（第１実施形態の別の変形例）
図３は、第１実施形態の別の変形例（２例、図３（Ａ）および図３（Ｂ））を説明する図である。
図３（Ａ）の例では、図１（ａ）のαで囲われた部分を上面視したとき、コア部１４の両側面の一部が領域２となっている。また、全てを図示してはいないが、領域２は、図３（Ａ）の右側に延在しており、コア部１４の端部まで延びている。
図３（Ｂ）の例でも、図１（ａ）のαで囲われた部分を上面視したとき、コア部１４の両側面の一部が領域２となっている。ただし、図３（Ａ）の例とは異なり、領域２は図の右側（あるいは左側）に延在はしておらず、αで囲われた部分のみに存在する。
【００３６】
図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示されるような形態は、コア部１４の中心線付近（光強度が通常一番強い）に境界部が無いため、図１や図２に示された実施形態に比べると、光減衰の大きさ自体は小さいかもしれない。しかし、このことは、裏を返せば、光強度の細かな調整がやりやすいというメリットとなる。また、図３（Ａ）や図３（Ｂ）のような形態は、図１や図２の形態に比べて構造が単純であり、より製造が容易である等のメリットも期待される。
【００３７】
（第１実施形態のさらに別の変形例）
図４は、第１実施形態のさらに別の変形例を説明する図である。
この変形例においては、コア部１４中に、第１実施形態で説明した「入れ子」状の構造が、３つ含まれていることが特徴である。
この変形例ように、複数の境界部を含んでいる、光を減衰させる特定構造（以下、単に「特定構造」ともいう。この変形例では、「入れ子」状の構造）が、コア部１４中に３つ含まれると、特定構造が１つの場合に比べて、単純計算で３倍の光減衰を得ることができる。一般化すると、特定構造１つあたりの減衰率がｘ［ｄＢ］であれば、コア部１４中に特定構造をｎ個設けることで、ｎｘ［ｄＢ］の光減衰が可能な減衰器１を容易に設計することができる。また、別の観点としては、コア部１４に含まれる特定構造の数を調整することで、減衰器１の減衰率を比較的簡便に調整することができる。
【００３８】
（減衰器１の製造方法）
本実施形態の減衰器１の製造方法について説明する。
減衰器１は、公知の光導波路フィルムの製造で知られている材料やプロセスを適宜適用または応用する等により製造することができる。
【００３９】
光導波路フィルムの製造方法としては、リアクティブイオンエッチング法、複製法、直接露光法、フォトリソグラフィ法、フォトアドレス法などが知られており、本実施形態の減衰器１を製造するにあたっては、これらのいずれかの方法を適用または応用してもよいし、また、これら以外の方法を用いてもよい。しかし、これらの方法の中でも、特に「フォトアドレス法」を適用また応用することが好ましい。
より具体的には、本実施形態の減衰器１は、例えば以下の方法で製造することができる。
【００４０】
まず、図５（ａ）に示すように、下部クラッド層１１の上面に接するように、コア層１３を形成する。
また、コア層１３は、コア層１３を形成するためのワニスを下部クラッド層１１の上面に塗布し、そのワニスを硬化（固化）することで形成することができる。
コア層１３や下部クラッド層１１を構成する材料は、典型的には、ポリマー（例えばポリノルボルネン系のポリマー）、モノマー、当該モノマーの反応（例えば、重合反応または架橋反応）を開始させる触媒前駆体、当該触媒前駆体の活性化温度（モノマーに反応を生じさせる温度）を低下させる助触媒、などを適宜含むものである。
【００４１】
次に、図５（ｂ）に示すように露光工程を行う。すなわち、フォトマスク１００を用い、コア層１３の特定の部分に選択的に光照射を行う。なお、ここでの「光照射」とは、可視光、紫外光、赤外光、Ｘ線、レーザ光等に限らず、電子線などであってもよい。
コア層１３に含まれる助触媒は、光照射により、反応（結合）または分解して、カチオン（プロトンまたは他の陽イオン）と、弱配位アニオン（ＷＣＡ）と、を遊離（発生）する。これらのカチオンまたは弱配位アニオンは、触媒前駆体の分子構造に変化（分解）を生じさせ、触媒前駆体の活性化温度を低下させる。
【００４２】
特に、本実施形態の減衰器１の製造においては、図５（ｂ）のβに示すように、フォトマスク１００に、領域１および領域２に対応するパターンを設けておく。こうすることで、比較的簡単に、最終的に領域１および領域２を含むコア部１４を備えた減衰器１を得ることができる（図５（ｃ）のγ参照）。
【００４３】
次に、コア層１３を加熱する。コア層１３の加熱によって触媒前駆体が活性化してモノマーの反応（例えば、重合反応または架橋反応）を開始させる。モノマーの反応が進行すると、光が照射された領域内のモノマー濃度が徐々に低下するとともに、モノマーとポリマーとの反応物の濃度が徐々に上昇する。この結果、光が照射された領域内の屈折率は小さくなる（当該反応物の寄与が大きくなるため）。一方、光が照射されなかった領域では、当該領域から光が照射された領域にモノマーが拡散することにより、モノマー濃度が徐々に低下する。この結果、光が照射されなかった領域の屈折率は大きくなる（ポリマーの寄与が大きくなるため）。
【００４４】
このようにして、光が照射された領域が、側面クラッド部１５およびコア部１４中の領域２となる。一方、光が照射されなかった領域は、コア部１４中の領域１となる（図５（ｃ）、領域１および領域２についてはγに示す）。
このような製造方法（フォトアドレス法の適用また応用）によれば、本実施形態の減衰器１は、製造が比較的簡便であるというメリットが期待できる。つまり、コア部１４中に屈折率が異なる部分を設ける別途のプロセスを設けずとも、コア部１４の形成と同時に、そのコア部１４の中に屈折率が異なる部分を設けることができるから、製造が簡便と言える。
【００４５】
上記の加熱、そして放冷の後、コア層１３（光照射および加熱によりコア部１４および側面クラッド部１５が形成されている）の上に上部クラッド層１２を形成する。上部クラッド層１２を構成する材料としては、下部クラッド層１１と同様のものが挙げられる。
以上のようにして減衰器１を製造することができる。
【００４６】
上記の製造方法に適用可能な材料、プロセス等については、特開２０１３−２１０５９７号公報の０１９３段落以降の記載なども参考とされたい。
【００４７】
なお、上記の方法（フォトアドレス法）で減衰器１を製造する場合、領域１と領域２の間で、屈折率は不連続には変化せず、連続的に変化すると考えられる。
この理由はいくつか考えられる。例えば、前述のように、屈折率変化は、光が照射されなかった領域から光が照射された領域へのモノマーの「拡散」が関係しているところ、拡散には「勾配」があるため、コア層１３中でのモノマー量は連続的に変化することが理由として考えられる。また、光の回折現象により、フォトマスク１００で遮光されている部分にも若干の光が照射されることも、屈折率が連続的に変化する理由の１つと考えられる。
【００４８】
領域１と領域２の間で、屈折率が連続的に変化する場合、屈折率ｎ１およびｎ２は、領域１と領域２それぞれにおいて、他の領域から十分離れており、屈折率が略一定となっている部分の屈折率と定義することができる。また、領域１と領域２の境界部は、屈折率が（ｎ１＋ｎ２）／２となる部分と定義することができる。
【００４９】
一方、フォトアドレス法以外の製造方法、例えば、リアクティブイオンエッチング法、複製法、直接露光法、フォトリソグラフィ法などで、本実施形態の減衰器１を製造した場合には、通常、領域１と領域２の間で、屈折率は不連続に変化するものと考えられる。
【００５０】
（光信号の強度調整方法）
本実施形態の光信号の強度調整方法は、下部クラッド層１１と、下部クラッド層１１上に設けられており、屈折率が変化する部分を含むパターン状のコア部１４と、コア部１４上に設けられた上部クラッド層１２とを備える長尺状の光導波路フィルムにおける、コア部１４の一端から光信号を入力し、コア部１４の他端から光信号を出力する工程を含む、光信号を所望の強度に減衰させる（例えば０．１ｄＢ以上、好ましくは０．３ｄＢ以上減衰させる）方法である。なお、ここでの「減衰」とは、屈折率が変化する部分を含まない参照光導波路に対する光の減衰のことを言う。
【００５１】
この方法における、下部クラッド層１１、上部クラッド層１２、コア部１４等の具体的態様は、第１実施形態において説明したとおりである。
第１実施形態において説明したように、コア部１４が含む境界部の数を多くしたり少なくしたり、かつ／または、コア部１４が含む特定構造の数を多くしたり少なくしたりする設計により、光信号の強度を所望の強度にすることができる。
【００５２】
以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することができる。また、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
【実施例】
【００５３】
本発明の実施態様を、実施例に基づき詳細に説明する。なお、本発明は実施例に限定されるものではない。
【００５４】
［例１］
図１に示したような「入れ子」状の構造αを有する減衰器１を、フォトアドレス法により作製した。作製においては、構造α中の領域１と領域２の屈折率の差の絶対値が０．０１以上１以下となるように、露光量などを適切に調整した。
また、構造αを有さない以外は減衰器１と同様の参照光導波路を、フォトアドレス法により作製した。
コア部１４の幅はいずれも４０μｍとした。
コア部１４の長さ（およびはコア部１４の中心線の長さＬ）はいずれも４０ｍｍとした。
構造αは、コア部１４の中心線と交わるように、３個、等間隔に形成した。これにより、コア部１４の中心線が、コア部１４の一端から他端までの間で、２４個の境界部と交わるようにした。
【００５５】
作製した減衰器１のコア部１４の一端から、波長８５０ｎｍの光を入射させた。そして、コア部１４の他端から光を出射させた。入射光の強度Ｐｉｎと出射光の強度Ｐｏｕｔから、以下の数式
１０×Ｌｏｇ１０（Ｐｉｎ／Ｐｏｕｔ）
に基づき、減衰器１の参照光導波路に対する減衰量（ｄＢ）を計算した。結果、０．４ｄＢの光減衰が確認された。
【００５６】
［例２］
例１において、３個の構造αを、コア部１４中に等間隔に形成するのではなく、３個の構造αを、コア部１４の一端から５０ｍｍ内に形成し、コア部１４の残りの５０ｍｍの領域には屈折率が異なる領域を形成しなかった以外は、例１と同様にして減衰器１を作製した。
この場合も、例１とほぼ同様の（誤差範囲程度で同じ）光減衰を得ることができた。
これにより、本実施形態の減衰器１は、境界部を設ける位置を比較的自由に設計することが可能であり、設計の自由度が高いことが示された。
【００５７】
［例３］
例１において、６個の構造αをコア部１４中に等間隔に形成した以外は、例１と同様にして減衰器１を作製した。
この場合、例１のほぼ２倍の光減衰を得ることができた。
これにより、減衰器１の減衰率を簡便に調整し、所望の光減衰を得ることが可能なことが示された。
【符号の説明】
【００５８】
１        光導波路フィルム減衰器（減衰器）
１１        下部クラッド層
１２        上部クラッド層
１３        コア層
１４        コア部
１５        側面クラッド部
１００        フォトマスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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