(57)【要約】【課題】種類や大きさが異なる検知対象のイメージセンシングを低コストで可能とする。【解決手段】搬送部１２によりＺ軸方向に搬送される基台１１１の上には、テラヘルツ波の送受信を行い検知対象の三次元形状を計測する送受信ユニット１１２と、送受信ユニット１１２から送信されるテラヘルツ波を時間の経過に伴い変化する角度で反射するスキャンミラー９４と、スキャンミラー９４において反射したテラヘルツ波を検知対象に向けて収束させる対物レンズ９５が配置される。スキャンミラー９４は位置及び角度が調整可能なスキャンミラー保持部１１３に着脱可能に保持される。対物レンズ９５は位置が調整可能な対物レンズ保持部１１４に着脱可能に保持される。ユーザは、検知対象の種類や大きさに応じてスキャンミラー９４と対物レンズ９５を交換することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁波の送受信を行うラインスキャナであって、スキャンミラーと対物レンズとを着脱可能に保持する構成としたラインスキャナ。
【請求項２】
電磁波の送信方向に対するスキャンミラーの基準角度を調整する角度調整機構を有する請求項１に記載のラインスキャナ。
【請求項３】
電磁波の送信方向と垂直な方向におけるスキャンミラーの位置を調整する位置調整機構を有する
請求項１又は２に記載のラインスキャナ。
【請求項４】
直径の異なる対物レンズを着脱可能に保持する構成とした
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のラインスキャナ。
【請求項５】
スキャンミラーの回転中心が電磁波の送信方向上にある場合に送信された電磁波を最大の透過率で透過する透過板を備える
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のラインスキャナ。
【請求項６】
電磁波の送信方向に対するスキャンミラーの角度を測定する角度測定部を備える
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のラインスキャナ。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載のラインスキャナと、
前記ラインスキャナを搬送する搬送部と
を備えるスキャナシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電磁波によりイメージセンシングを行う技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
テラヘルツ波（以下、ＴＨｚ波）等の電磁波を用いて検知対象のイメージセンシングを行う装置として、例えば、図９にラインスキャナ９として示される構成の装置が知られている。
【０００３】
ラインスキャナ９は、ＴＨｚ波を送信する送信部９１と、送信部９１から送信されたＴＨｚ波を平行状態に調整するレンズ９２と、レンズ９２を透過したＴＨｚ波の一部（例えば５０％）を透過し、残りを基準ミラー９８に向かい反射させるハーフミラー９３と、ハーフミラー９３を透過したＴＨｚ波を検知対象８に向かい周期的に変化する角度で反射するスキャンミラー９４と、スキャンミラー９４により反射したＴＨｚ波を平行状態に調整する対物レンズ９５を備える。
【０００４】
ラインスキャナ９は、さらに、検知対象８の表面で反射し、対物レンズ９５を透過した後、ハーフミラー９３で反射したＴＨｚ波を収束させるレンズ９６と、レンズ９６を透過したＴＨｚ波を受信する受信部９７と、受信部９７により受信されたＴＨｚ波の強度に基づき、検知対象８の表面の当該ＴＨｚ波を反射した位置の相対的な位置関係を演算する演算部９９を備える。
【０００５】
ラインスキャナ９から送信されるＴＨｚ波は、スキャンミラー９４により検知対象８に向かう角度が周期的に変化する。そのため、ＴＨｚ波が検知対象８の表面に送信される位置は、図９のＹ軸方向に移動する。また、ラインスキャナ９がＴＨｚ波の送信を行う間、図示せぬ搬送装置によりラインスキャナ９は図９のＺ軸方向に移動する。その結果、検知対象８の対物レンズ９５に対向する面がＹ軸方向とＺ軸方向の二次元において走査されることになる。ＴＨｚ波により走査された検知対象８の表面上の各点に関し演算部９９により演算される相対距離の集合は、検知対象８の表面の三次元形状を表す。
【０００６】
なお、送信部９１から送信されたＴＨｚ波の一部は、ハーフミラー９３において反射した後、基準ミラー９８において反射し、ハーフミラー９３とレンズ９６を透過して受信部９７に至る。演算部９９は、送信部９１から同時に送信されたＴＨｚ波のうち、検知対象８で反射して受信部９７に到達したＴＨｚ波と、基準ミラー９８で反射して受信部９７に到達したＴＨｚ波の到達時間の差に基づき、基準位置から検知対象８までの絶対距離を演算する。
【０００７】
ＴＨｚ波を用いて検知対象のイメージングを行う技術を開示している特許文献として、例えば、特許文献１がある。特許文献１には、ＴＨｚ波の発生素子又は検出素子、発生素子又は検出素子に接する第１レンズ、及び第１レンズと光軸方向において発生素子又は検出素子と反対側に配置された第２レンズを、一体的に光軸方向に可動する位置調整手段を有することにより、干渉による悪影響を低減すべく光学系の調整を可能としたテラヘルツ波計測装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１５−８７１６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来、検知対象８の種類や大きさに応じて、ハーフミラー９３や対物レンズ９５の種類やパラメータ（周期、振幅等）、対物レンズ９５の大きさ等を調整したラインスキャナ９を個別に設計し、製造する必要があり、コスト高であった。
【００１０】
本発明は、上記の事情に鑑み、種類や大きさが異なる検知対象のイメージセンシングを低コストで可能とする手段を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決するために、本発明は、電磁波の送受信を行うラインスキャナであって、スキャンミラーと対物レンズとを着脱可能に保持する構成としたラインスキャナを第１の態様として提供する。
【００１２】
上記の第１の態様に係るラインスキャナによれば、スキャンミラーと対物レンズを交換することで、新たなラインスキャナの設計及び製造を要することなく異なる種類や大きさの検知対象のイメージセンシングを低コストで行うことができる。
【００１３】
上記の第１の態様に係るラインスキャナにおいて、電磁波の送信方向に対するスキャンミラーの基準角度を調整する角度調整機構を有する、という構成が第２の態様として採用されてもよい。
【００１４】
上記の第１又は２の態様に係るラインスキャナにおいて、電磁波の送信方向と垂直な方向におけるスキャンミラーの位置を調整する位置調整機構を有する、という構成が第３の態様として採用されてもよい。
【００１５】
上記の第２又は第３の態様に係るラインスキャナによれば、スキャンミラーの交換時に光軸のずれが生じても、容易に調整することができる。
【００１６】
上記の第１乃至３のいずれかの態様に係るラインスキャナにおいて、直径の異なる対物レンズを着脱可能に保持する、という構成が第４の態様として採用されてもよい。
【００１７】
上記の第４の態様に係るラインスキャナによれば、直径の異なる対物レンズの交換が容易である。
【００１８】
上記の第１乃至４のいずれかの態様に係るラインスキャナにおいて、スキャンミラーの回転中心が電磁波の送信方向上にある場合に送信された電磁波を最大の透過率で透過する透過板を備える、という構成が第５の態様として採用されてもよい。
【００１９】
上記の第５の態様に係るラインスキャナによれば、スキャンミラーの交換時に光軸のずれの有無が確認でき、光軸のずれの調整が容易に行える。
【００２０】
上記の第１乃至５のいずれかの態様に係るラインスキャナにおいて、電磁波の送信方向に対するスキャンミラーの角度を測定する角度測定部を備える、という構成が第６の態様として採用されてもよい。
【００２１】
上記の第６の態様に係るラインスキャナによれば、スキャンミラーの角度が確認でき、スキャンミラーの設置角度等の調整が容易に行える。
【００２２】
また、本発明は、上記の第１乃至第６のいずれかの態様に係るラインスキャナと、前記ラインスキャナを搬送する搬送部とを備えるスキャナシステムを第７の態様として採用されてもよい。
【００２３】
上記の第７の態様に係るスキャナシステムによれば、検知対象を二次元方向にスキャンすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】一実施形態に係るスキャナシステムの構成図。
【図２】一実施形態に係るスキャナシステムの外観図。
【図３】一実施形態に係るスキャンミラー保持部の平面図。
【図４】一実施形態に係る対物レンズ保持部の外観図。
【図５】一実施形態に係る透過板ホルダ及び透過板の外観図。
【図６】一実施形態に係る透過板の役割を説明するための図。
【図７】一実施形態に係る光センサの役割を説明するための図。
【図８】一変形例に係る透過板の位置及び形状を例示した図。
【図９】従来技術に係るラインスキャナの構成図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
［実施形態］
以下、本発明の実施形態に係るスキャナシステム１を説明する。図１は、スキャナシステム１の構成を模式的に示した図である。スキャナシステム１は、検知対象８をＹ軸方向に走査するラインスキャナ１１と、ラインスキャナ１１をＺ軸方向に搬送する搬送部１２を備える。
【００２６】
図１において、ラインスキャナ１１が備える構成部のうち、図９に示したラインスキャナ９が備える構成部と共通するものには図９で用いた符号が付されている。ラインスキャナ１１は、ラインスキャナ１１の他の構成部がその上に載せ置かれる基台１１１と、送受信ユニット１１２と、スキャンミラー保持部１１３と、スキャンミラー保持部１１３に着脱可能に取り付けられるスキャンミラー９４と、対物レンズ保持部１１４と、対物レンズ保持部１１４に着脱可能に取り付けられる対物レンズ９５と、スキャンミラー保持部１１３と対物レンズ保持部１１４の間に配置される透過板ホルダ１１５と、透過板ホルダ１１５に着脱可能に取り付けられる透過板１１６を備える。
【００２７】
送受信ユニット１１２は、筐体１１２１と、筐体１１２１内に収容された送信部９１、レンズ９２、ハーフミラー９３、レンズ９６、受信部９７、基準ミラー９８、演算部９９、光センサ１１２２、光センサ１１２３を備える。なお、光センサ１１２２と光センサ１１２３の役割は後述する。
【００２８】
図２は、スキャナシステム１の外観図である。図２（ａ）はスキャナシステム１を斜め上方から見た場合の外観を示し、図２（ｂ）はスキャナシステム１を図２（ａ）に示す矢印Ａの方向に見た場合の外観を示す。
【００２９】
ラインスキャナ１１が備える基台１１１は板状の部材で、その上に送受信ユニット１１２、スキャンミラー保持部１１３、対物レンズ保持部１１４、透過板ホルダ１１５が配置されている。スキャンミラー保持部１１３はスキャンミラー９４を着脱可能に保持する。対物レンズ保持部１１４は対物レンズ９５を着脱可能に保持する。透過板ホルダ１１５には透過板１１６が取り付けられている。なお、透過板１１６の取り付けられた透過板ホルダ１１５は、スキャンミラー９４の位置及び角度を調整する際に基台１１１に取り付けられ、スキャナシステム１により検知対象８が走査される時には基台１１１から取り外される。
【００３０】
搬送部１２は、長手方向がＺ軸方向に沿うように配置された支柱１２１と、支柱１２１とラインスキャナ１１を連結する連結部１２２と、連結部１２２を支柱１２１に沿ってＺ軸方向に移動させる役割を果たす軸ネジ１２３と、軸ネジ１２３を回転させるモータ１２４を備える。
【００３１】
支柱１２１のラインスキャナ１１と対向する面には、Ｚ軸方向に沿って延伸する水平断面が台形状の溝Ｆが設けられている。また、連結部１２２の支柱１２１に対向する面には、溝Ｆと嵌まり合う突起部が設けられている。また、連結部１２２にはＺ軸方向に貫通するネジ孔が設けられ、このネジ孔に軸ネジ１２３がねじ込まれる。そのため、モータ１２４により軸ネジ１２３が回転すると、溝下に嵌まった突起部により回り止めされた連結部１２２が支柱１２１に沿ってスライドし、連結部１２２に取り付けられたラインスキャナ１１がＺ軸方向に搬送される。
【００３２】
図３は、スキャンミラー保持部１１３の平面図である。スキャンミラー保持部１１３は、基台１１１の上に配置される矩形のプレート１１３１と、プレート１１３１の上に配置される矩形のプレート１１３２と、プレート１１３２の上に配置される円形のプレート１１３３を備える。
【００３３】
プレート１１３１のＸ軸方向における両端部付近には、Ｙ軸方向に細長い長孔が設けられており、それらの長孔を軸が貫通するように鍋ネジが配置されている。これらの鍋ネジのネジ部は、基台１１１に設けられたネジ孔（図示略）にねじ込まれている。
【００３４】
プレート１１３２のＹ軸方向における両端部付近には、Ｘ軸方向に細長い長孔が設けられており、それらの長孔を軸が貫通するように鍋ネジが配置されている。これらの鍋ネジのネジ部は、プレート１１３１に設けられたネジ孔（図示略）にねじ込まれている。
【００３５】
プレート１１３３のＹ軸方向における両端部付近には、プレート１１３３の外縁に沿って弧を描く形状の長孔が設けられており、それらの長孔を軸が貫通するように鍋ネジが配置されている。これらの鍋ネジのネジ部は、プレート１１３２に設けられたネジ孔（図示略）にねじ込まれている。
【００３６】
プレート１１３３の上面には、矩形の溝Ｇが設けられている。ユーザは、溝Ｇにスキャンミラー９４を填め込むことにより、スキャンミラー９４をスキャンミラー保持部１１３に取り付けることができる。また、ユーザは溝Ｇに填め込まれたスキャンミラー９４を抜き取ることにより、スキャンミラー９４をスキャンミラー保持部１１３から取り外すことができる。ユーザは仕様が異なるスキャンミラー９４をスキャンミラー保持部１１３に取り付けることで、様々な仕様のスキャンミラー９４を備えるラインスキャナ１１を容易に構築することができる。
【００３７】
ユーザは、プレート１１３１の長孔に取り付けられている鍋ネジを緩め、プレート１１３１をＹ軸方向に移動した後、それらの鍋ネジを締めることで、スキャンミラー９４のＹ軸方向における位置を調整することができる。すなわち、スキャンミラー保持部１１３は、スキャンミラー９４のＹ軸方向（ラインスキャナ１１から送信されるＴＨｚ波の送信方向）における位置を調整する位置調整機構としての役割を果たす。
【００３８】
ユーザは、プレート１１３２の長孔に取り付けられている鍋ネジを緩め、プレート１１３２をＸ軸方向に移動した後、それらの鍋ネジを締めることで、スキャンミラー９４のＸ軸方向における位置を調整することができる。すなわち、スキャンミラー保持部１１３は、スキャンミラー９４のＸ軸方向（ラインスキャナ１１から送信されるＴＨｚ波の送信方向と垂直な方向）における位置を調整する位置調整機構としての役割を果たす。
【００３９】
ユーザは、プレート１１３３の長孔に取り付けられている鍋ネジを緩め、プレート１１３３をプレート１１３３の中心点周りに回転した後、それらの鍋ネジを締めることで、スキャンミラー９４の基準角度を調整することができる。すなわち、スキャンミラー保持部１１３は、Ｙ軸方向（ラインスキャナ１１から送信されるＴＨｚ波の送信方向）に対するスキャンミラー９４の基準角度を調整する角度調整機構の役割を果たす。なお、スキャンミラー９４の基準角度とは、スキャンミラー９４の回転角度の基準となる角度を意味し、例えば、回転角度が０度のときのスキャンミラー９４のＹ軸方向（又はＸ軸方向）に対する角度である。
【００４０】
図４は、対物レンズ保持部１１４の外観図である。図４（ａ）は対物レンズ保持部１１４を上から見た場合の外観を示し、図４（ｂ）は対物レンズ保持部１１４を図４（ａ）に示す矢印Ｂの方向に見た場合の外観を示し、図４（ｃ）は対物レンズ保持部１１４を図４（ｂ）に示す矢印Ｃの方向に見た場合の外観を示す。
【００４１】
対物レンズ保持部１１４は、基台１１１の上に配置される矩形のプレート１１４１と、プレート１１４１の上に配置されるレンズホルダ１１４２を備える。
【００４２】
プレート１１４１のＹ軸方向における両端部付近には、Ｘ軸方向に細長い長孔が設けられており、それらの長孔を軸が貫通するように鍋ネジが配置されている。これらの鍋ネジのネジ部は、基台１１１に設けられたネジ孔（図示略）にねじ込まれている。
【００４３】
レンズホルダ１１４２は、支柱１１４２１と、支柱１１４２１の上に連結された環状の枠１１４２２と、枠１１４２２に取り付けられた３本の支持羽１１４２３を備える。支柱１１４２１の水平断面は矩形であり、ユーザはプレート１１４１の上面に設けられた矩形の溝（図示略）に支柱１１４２１の下端部を填め込むことにより、レンズホルダ１１４２をプレート１１４１に取り付けることができる。また、ユーザは、プレート１１４１の溝に填め込まれた支柱１１４２１を抜き取ることにより、レンズホルダ１１４２をプレート１１４１から取り外すことができる。
【００４４】
支持羽１１４２３は、枠１１４２２に対し水平軸周りに回動可能に取り付けられており、バネ（図示略）により枠１１４２２の中心に向かって付勢されている。支持羽１１４２３の側面には溝が設けられており、ユーザは、対物レンズ９５の外周に設けられた鍔部を複数の支持羽１１４２３の溝の各々に填め込むことで、対物レンズ９５をレンズホルダ１１４２に取り付けることができる。レンズホルダ１１４２に取り付けられた対物レンズ９５は支持羽１１４２３により中心に向かい押さえつけられた状態で、枠１１４２２の中央位置に安定保持される。
【００４５】
また、ユーザは、レンズホルダ１１４２に保持されている対物レンズ９５の鍔が溝に填め込まれている状態の支持羽１１４２３の各々を枠１１４２２の外側に向かい押し、対物レンズ９５の鍔を支持羽１１４２３の溝から取り外すことで、対物レンズ９５をレンズホルダ１１４２から取り外すことができる。
【００４６】
レンズホルダ１１４２は、回動する支持羽１１４２３が保持可能な範囲内で異なる直径の対物レンズ９５を保持することができる。すなわち、対物レンズ保持部１１４は、直径の異なる対物レンズ９５を着脱可能に保持する機構を備える。
【００４７】
ただし、１つのレンズホルダ１１４２が保持可能な対物レンズ９５の直径は所定の範囲内に限られるので、例えば、直径が１０ｃｍ〜１５ｃｍの対物レンズ９５を保持可能なレンズホルダ１１４２、直径が１５ｃｍ〜２０ｃｍの対物レンズ９５を保持可能なレンズホルダ１１４２、直径が２０ｃｍ〜２５ｃｍの対物レンズ９５を保持可能なレンズホルダ１１４２、という具合に、保持可能な対物レンズ９５の直径の範囲が互いに異なる複数のレンズホルダ１１４２が準備されている。ユーザは、プレート１１４１に適するサイズのレンズホルダ１１４２を取り付け、レンズホルダ１１４２に対物レンズ９５を取り付けることで、様々な直径の対物レンズ９５を備えるラインスキャナ１１を容易に構築することができる。
【００４８】
ユーザは、プレート１１４１の長孔に取り付けられている鍋ネジを緩め、プレート１１４１をＸ軸方向に移動した後、それらの鍋ネジを締めることで、対物レンズ９５のＸ軸方向における位置を調整することができる。すなわち、対物レンズ保持部１１４は、対物レンズ９５のＸ軸方向（ラインスキャナ１１から送信されるＴＨｚ波の送信方向と垂直な方向）における位置を調整する位置調整機構としての役割を果たす。
【００４９】
図５は、透過板ホルダ１１５及び透過板１１６をＸ軸方向に見た場合の外観を示した図である。透過板ホルダ１１５は支柱１１５１と、支柱１１５１の上に連結された環状の枠１１５２を備える。支柱１１５１の水平断面は矩形であり、ユーザは基台１１１の上面に設けられた矩形の溝（図示略）に支柱１１５１の下端部を填め込むことにより、透過板ホルダ１１５を基台１１１に取り付けることができる。また、ユーザは、基台１１１の溝に填め込まれた支柱１１５１を抜き取ることにより、透過板ホルダ１１５を基台１１１から取り外すことができる。
【００５０】
透過板１１６は、例えば浅いドーム形状をしており、その曲面に垂直に入射されるＴＨｚ波を最も高い透過率で透過する。透過板１１６は、スキャンミラー９４の回転中心がＴＨｚ波の送信方向上にあり、かつ、対物レンズ９５に垂直で対物レンズ９５の中心を通る直線上にある場合に、最大の透過率でＴＨｚ波を透過するように、その位置が調整されている。
【００５１】
図６は、透過板１１６の役割を説明するための図である。図６（ａ）はスキャンミラー９４の回転中心が送信部９１から送信されるＴＨｚ波の送信方向上であり、かつ、対物レンズ９５に垂直で対物レンズ９５の中心を通る直線上となるように、スキャンミラー９４の位置が正しく調整されている状態を示している。図６（ａ）の状態では、スキャンミラー９４において反射するＴＨｚ波はスキャンミラー９４の回転角度に関わらず透過板１１６の湾曲した表面に概ね垂直に入射する。従って、この場合、透過板１１６を透過するＴＨｚ波の強度はスキャンミラー９４の回転角度によって変化しない。
【００５２】
図６（ｂ）はスキャンミラー９４の回転中心の位置が正しく調整されていない状態を示している。図６（ｂ）の状態では、スキャンミラー９４において反射するＴＨｚ波が透過板１１６の湾曲した表面に入射する角度は、スキャンミラー９４の回転角度によって異なる。従って、この場合、透過板１１６を透過するＴＨｚ波の強度はスキャンミラー９４の回転角度によって変化する。
【００５３】
ユーザは、スキャンミラー９４の回転角度を変化させながら受信部９７が受信するＴＨｚ波の強度を観察し、プレート１１３１及びプレート１１３２の位置を調整することで、スキャンミラー９４の回転中心を適正な位置に合わせることができる。
【００５４】
図７は、光センサ１１２２と光センサ１１２３の役割を説明するための図である。光センサ１１２２と光センサ１１２３の各々は、スキャンミラー９４に向けて発光するとともに、検知対象８で反射しスキャンミラー９４から戻ってくる光を受光し、受光した光の強度を測定するセンサである。光センサ１１２２と光センサ１１２３は演算部９９に接続されており、光センサ１１２２と光センサ１１２３による発光のタイミングは演算部９９により制御される。また、光センサ１１２２と光センサ１１２３により測定された反射光の強度は演算部９９に出力される。
【００５５】
演算部９９は、光センサ１１２２による発光のタイミングから、発光された光の反射光の受光のタイミングまでの時間（以下、「時間ＲＴＴ１」という）を計測する。また、演算部９９は、光センサ１１２３についても、発光のタイミングから、発光された光の反射光の受光のタイミングまでの時間（以下、「時間ＲＴＴ２」という）を計測する。
【００５６】
時間ＲＴＴ１と時間ＲＴＴ２はスキャンミラー９４の回転角度によって変化するとともに、スキャンミラー９４と検知対象８の距離によって大きく変化する。ただし、時間ＲＴＴ１と時間ＲＴＴ２の時間差（以下、「時間差ＤＴ」という）は、スキャンミラー９４と検知対象８の距離により影響を受けず、スキャンミラー９４の回転角度のみの影響を受ける。
【００５７】
演算部９９には、スキャンミラー９４の回転角度と、時間差ＤＴとの対応関係を示すテーブル（以下、「回転角度テーブル」という）が記憶されている。演算部９９は、スキャンミラー９４の動作中、継続的に時間差ＤＴを算出し、回転角度テーブルを参照して、算出した時間差ＤＴに対応する回転角度を特定する。その結果、演算部９９はリアルタイムにスキャンミラー９４の回転角度を認識することができる。このように、光センサ１１２２、光センサ１１２３、及び演算部９９は、ＴＨｚ波の送信方向に対するスキャンミラー９４の角度を測定する角度測定部として機能する。
【００５８】
演算部９９により特定されたスキャンミラー９４の回転角度は、例えば、ユーザへの通知に利用されてもよいし、演算部９９によるスキャンミラー９４の動作の制御に用いられてもよい。
【００５９】
上述したラインスキャナ１１によれば、検知対象８の種類や大きさに応じてスキャンミラー９４と対物レンズ９５を交換することにより、様々な種類と大きさの検知対象８の三次元形状を測定することができる。そのため、検知対象８の種類や大きさに応じて個別にラインスキャナを設計し製造する場合と比較し、手間とコストが低減される。
【００６０】
上述したスキャナシステム１は本発明の一実施形態であって、本発明の技術的思想の範囲内で様々に変形されてよい。以下にそれらの変形の例を示す。なお、以下の変形例の２以上が適宜組み合わされてもよい。
【００６１】
（１）上述した実施形態において、透過板１１６はスキャンミラー９４と対物レンズ９５の間に配置される。これに代えて、透過板１１６が対物レンズ９５と検知対象８の間に配置されてもよい。図８は、この変形例における透過板１１６の位置及び形状を例示した図である。
【００６２】
（２）上述した実施形態において、搬送部１２はラインスキャナ１１を搬送する。これに代えて、搬送部１２が検知対象８を搬送してもよい。
【００６３】
（３）上述した実施形態において説明した送受信ユニット１１２の構成は例示であって、他の構成を備える送受信ユニットが採用されてもよい。例えば、基準位置から検知対象８までの絶対距離を計測する必要がなければ、送受信ユニット１１２は基準ミラー９８に代えて光吸収板を備えてもよい。
【００６４】
（４）上述した実施形態において説明したスキャナシステム１の各構成部の具体的な形状、配置、大きさ、保持機構の仕組み、調整機構の仕組み等は例示であって、他の形状、配置、大きさ、保持機構の仕組み、調整機構の仕組み等が採用されてもよい。
【００６５】
（５）上述した実施形態において説明したスキャナシステム１においては、検知対象の三次元形状を計測するためにテラヘルツ波が用いられるが、ミラーで反射し、レンズで収束が可能な電磁波である限り、いずれの周波数帯の電磁波が用いられてもよい。
【００６６】
（６）上述した実施形態の図において、スキャンミラーはミラーが回転中心周りに振動（往復運動）するタイプのものを例示したが、スキャンミラーの方式はこれに限られない。例えば、一方向に回転しながら電磁波を反射する方向を変化させるポリゴンミラーを用いるタイプのスキャンミラーが採用されてもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１…スキャナシステム、８…検知対象、９…ラインスキャナ、１１…ラインスキャナ、１２…搬送部、９１…送信部、９２…レンズ、９３…ハーフミラー、９４…スキャンミラー、９５…対物レンズ、９６…レンズ、９７…受信部、９８…基準ミラー、９９…演算部、１１１…基台、１１２…送受信ユニット、１１３…スキャンミラー保持部、１１４…対物レンズ保持部、１１５…透過板ホルダ、１１６…透過板、１２１…支柱、１２２…連結部、１２３…軸ネジ、１２４…モータ、１１２１…筐体、１１２２…光センサ、１１２３…光センサ、１１３１…プレート、１１３２…プレート、１１３３…プレート、１１４１…プレート、１１４２…レンズホルダ、１１５１…支柱、１１５２…枠、１１４２１…支柱、１１４２２…枠、１１４２３…支持羽
【図１】
2019117107.tif 000003
【図２】
2019117107.tif 000004
【図３】
2019117107.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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