(57)【要約】【課題】Ｘ線の強度と均一化を維持しつつ、照射範囲を拡大することができる透過型Ｘ線発生装置の提供。【解決手段】密封可能な容器１２と、容器１２内に設けられ、電子を放出する棒状の電子源である冷陰極２７及びエミッタ２８と、容器１２内に設けられ、エミッタ２８から放出された電子の衝突によりX線を発生するターゲット２２と、ターゲット２２が張り付けられたX線透過窓２１と、を有する透過型X線発生装置１１であって、電子源である冷陰極２７及びエミッタ２８は、長手方向途中の折り曲げ部で折り曲げられ、前記折り曲げ部がターゲット２２側に向けて突き出した形状に形成され、ターゲット２２は、電子源である冷陰極２７及びエミッタ２８と一定距離を保つように、X線透過窓２１と共に電子源である冷陰極２７及びエミッタ２８と反対の方向に向けて突き出すように折り曲げた形状に形成される構成である。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
密封可能な容器と、
該容器内に設けられ、電子を放出する棒状の電子源と、
前記容器内に設けられ、前記電子源から放出された電子の衝突によりX線を発生するターゲットと、
該ターゲットが張り付けられたX線透過窓と、
を有する透過型X線発生装置であって、
前記電子源は、長手方向途中の折り曲げ部で折り曲げられ、前記折り曲げ部が前記ターゲット側に向けて突き出した形状に形成され、
前記ターゲットは、前記電子源と一定距離を保つように、前記X線透過窓と共に前記電子源と反対の方向に向けて突き出すように折り曲げた形状に形成される透過型X線発生装置。
【請求項２】
前記電子源は、Ｖ字形状に形成される請求項１に記載の透過型Ｘ線発生装置。
【請求項３】
前記電子源は、前記V字形状に折り曲げ形成されるときの、前記長手方向の先端からの折り曲げ角度Aが０度＜A≦３０度、好ましくは５度≦A≦１５度である請求項２に記載の透過型X線発生装置。
【請求項４】
前記電子源は、棒状に形成された電極と、該電極の長手方向に形成された溝部に取り付けられた、電子放出機能をもつエミッタと、を含む請求項１乃至３のいずれかに記載の透過型Ｘ線発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、密封可能な容器内に設けられ、電子を放出する棒状の電子源と、この電子源から放出された電子の衝突によりＸ線を発生するターゲットを有する透過型Ｘ線発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
帯電したシリコンウエハやガラス基板に向けてＸ線を照射することで、これらの除電を行うＸ線発生装置が知られている。Ｘ線発生装置のＸ線源が点光源的な場合には、１２０度程度の広角でＸ線が出射されるため、除電対象物に接近させるとＸ線の照射円形状範囲が狭いことから一定時間での除電範囲を広くとるには複数台のＸ線発生装置が必要になる。また除電対象物との間に比較的距離を設けるとＸ線照射円形状範囲が拡大するもののＸ線照射強度は距離の二乗に逆比例して低下し、立体放射角により、一定距離における放射平面で不均一化を招き除電効果が低減してしまう。
【０００３】
そのため、Ｘ線強度の低下、立体放射角による不均一化を抑え、Ｘ線照射範囲を広くとることが可能となる面状光源的な電子源を持つ軟Ｘ線発生装置が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２１２０１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されたＸ線発生装置は、湾曲した形状のターゲットを円筒形状の真空ハウジングの内壁面に長手方向に沿って配置し、このターゲットに対向するように線状の冷陰極を湾曲ターゲット（真空ハウジング）の中心あるいは近傍に配置したものである。このＸ線発生装置では、線状の冷陰極から発生した電子がターゲットに衝突することで、ターゲットからＸ線が反射するように発生し、ハウジングに形成されたＸ線透過窓から外部に面状照射される。この反射型Ｘ線装置は窓の形状とほぼ同形状の面状Ｘ線が出射できる。この場合、Ｘ線強度は面内では均一が保たれ、距離の二乗法則とはならずかなりの距離まで強度の低下は少ない。
しかしながら、強力なＸ線の強度と均一化をもつ面光源を、対象物に近接して照射すると、除電対象物への照射範囲が狭くなり、効率的な除電を行うことが困難となる。また長手方向を長くすれば、対象物を移動回転するなどにより全ての課題か解決できるが、価格的に困難である。
【０００６】
本発明は、Ｘ線の強度と放射面均一化を維持しつつ、照射範囲を拡大することができるＸ線発生装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る透過型X線発生装置は、密封可能な容器と、該容器内に設けられ、電子を放出する棒状の電子源と、前記容器内に設けられ、前記電子源から放出された電子の衝突によりX線を発生するターゲットと、該ターゲットが張り付けられたX線透過窓と、を有する透過型X線発生装置であって、前記電子源は、長手方向途中の折り曲げ部で折り曲げられ、前記折り曲げ部が前記ターゲット側に向けて突き出した形状に形成され、前記ターゲットは、前記電子源と一定距離を保つように、前記X線透過窓と共に前記電子源と反対の方向に向けて突き出すように折り曲げた形状に形成される構成である。
【０００８】
このような構成によれば、棒状の電子源がその長手方向途中の折り曲げによりターゲット側も電子源との距離を一定に保った形状となるので、電子源から放出された電子はターゲットに対して同一電界強度で衝突し、長手方向で同一強度のＸ線を線光源的発生し窓を通して大気に放出される。また、ターゲットへは線状の電子源が衝突するため、大気中へは線状Ｘ線源（光源）となり、点光源とは異なる立体放射角となる。従って放射平面は長手方向を長径とする楕円形状となる。そのため、点光源及び面光源とは全くことなるＸ線放射形態となる。また折り曲げ形状の冷陰極は直線形状のものに対して、長手方向へのＸ線放射範囲は折り曲げ角度に伴い、広くなる。また、Ｘ線源の巾方向（短手方向）は立体放射角の影響を受けるが、この場合点光源の照射面積相当となり面光源より広い範囲を確保できる。
【０００９】
本発明に係る透過型Ｘ線発生装置において、前記電子源は、Ｖ字形状に形成される構成とすることができる。
【００１０】
このような構成によれば、電子源をＶ字形状にすることで、Ｖ字の頂点をターゲット側に向けると、電子は同一電界強度でターゲットに衝突するので、ターゲットからＸ線も長手方向に均一拡散して発生する。
【００１１】
本発明に係る透過型Ｘ線発生装置において、前記電子源は、前記V字形状に折り曲げ形成されるときの、前記長手方向の先端からの折り曲げ角度Aが０度＜A≦３０度、好ましくは５度≦A≦１５度である構成とすることができる。
【００１２】
角度Ａが３０度のときには、線光源（線光源の終端）からの照射距離は中心点（折り曲げ頂点）からの距離に比べて略１．１６倍となり、Ｘ線強度的には殆ど変わらない。同じく線光源からの照射距離は中心点からの距離に比べて、角度Ａが３０度以下では略１倍であるのに対し、角度Ａが３０度以上では１／ｃｏｓＡ倍となるためＸ線強度が低下する。次に、照射面の広がりは３０度で照射距離の０．５８倍であり、それ以上の角度になるとｔａｎＡ倍となり、４５度で照射距離と同じとなり、それ以上で急激に広くなる。このようなトレードオフの関係から適切な範囲として、折り曲げ角度Aが０度＜A≦３０度、好ましくは５度≦A≦１５度としたものである。
【００１３】
本発明に係る透過型Ｘ線発生装置において、前記電子源は、棒状に形成された電極と、該電極の長手方向に形成された溝部に取り付けられた、電子放出機能をもつエミッタと、を含む構成とすることができる。
【００１４】
このような構成によれば、エミッタから電子の方向性を制御し線状に近い帯状に放出できるので、Ｘ線を効率よく発生させ、照射範囲を広くすることができる。この透過型Ｘ線発生装置は、電子源のエミッタより放出された電子がターゲットに当たることによりＸ線を発生する冷陰極型の透過型Ｘ線発生装置である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、棒状の電子源がその長手方向途中の折り曲げにより、ターゲット側も電子源との距離を一定に保った形状となるので、電子源から放出された電子はターゲットに対して同一電界強度で衝突し、長手方向で同一強度のＸ線を線光源的発生し窓を通して大気に放出される。また、ターゲットへは線状の電子源が衝突するため、大気中へは線状Ｘ線源（光源）となり、点光源とは異なる立体放射角となる。従って放射平面は長手方向を長径とする楕円形状となる。そのため、点光源及び面光源とは全くことなるＸ線放射形態となる。また折り曲げ形状の電子源（冷陰極及びエミッタ）は直線形状のものに対して、長手方向へのＸ線放射範囲は折り曲げ角度（長手方向の先端からの折り曲げ角度）に伴い、広くなる。また、Ｘ線源の巾方向（短手方向）は立体放射角の影響を受けるが、この場合点光源の照射面積相当となり面光源より広い範囲を確保できる。これにより、帯電対象物に近接させてＸ線を照射できるので、Ｘ線強度及び均一性を維持しつつ楕円形状の広範囲の除電が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る透過型Ｘ線発生装置の平面図である。
【図２】図２は、上記透過型Ｘ線発生装置の正面図（図１のＡ−Ａ矢視）である。
【図３】図３は、上記透過型Ｘ線発生装置の底面図（図２のＥ−Ｅ矢視）である。
【図４】図４は、上記透過型Ｘ線発生装置の側面図（図１のＢ−Ｂ矢視）である。
【図５】図５は、上記透過型Ｘ線発生装置の断面図（図１のＣ−Ｃ断面）である。
【図６】図６は、上記透過型Ｘ線発生装置の断面図（図１のＤ−Ｄ線面）である。
【図７】図７は、本実施形態に係る透過型Ｘ線発生装置のＸ線透過窓から放出されるＸ線照射範囲の概要図である。
【図８】図８は、折り曲げの無い直線形状の棒状電子源を備えた透過型Ｘ線発生装置のＸ線透過窓から放出されるＸ線照射範囲の概要図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１８】
本発明の実施の一形態に係る透過型Ｘ線発生装置は、図１乃至図６に示す構造となっている。図１は本発明の実施の形態に係る透過型Ｘ線発生装置の平面図、図２は上記透過型Ｘ線発生装置の正面図（図１のＡ−Ａ矢視）、図３は上記透過型Ｘ線発生装置の底面図（図２のＥ−Ｅ矢視）、図４は上記透過型Ｘ線発生装置の側面図（図１のＢ−Ｂ矢視）、図５は上記透過型Ｘ線発生装置の断面図（図１のＣ−Ｃ断面）、図６は上記透過型Ｘ線発生装置の断面図（図１のＤ−Ｄ線面）である。以下、図１乃至図６を参照して説明する。
【００１９】
本実施形態に係る透過型Ｘ線発生装置１１は、直方体形状の密閉可能な容器である真空容器１２と、円筒形状の絶縁体１３と、真空容器１２から真空排気するための円筒部材である排気パイプ１５と、絶縁体１３と排気パイプ１５とを接続する中間部材１６を有する。排気パイプ１５は、上記した容器１２内を真空排気するための筒状部材としての他、冷陰極構造の電子源を構成する冷陰極２７及びエミッタ２８へのマイナス高電圧の印加口としての役割をも有するものである。なお、排気パイプ１５は真空容器１２の内部を真空排気後に先端を封止される。
【００２０】
真空容器１２は、天部が開口となっている容器本体１２ａと、容器本体１２ａの天部を塞ぐ方形状の板部材である蓋部１２ｂとを有する。真空容器１２は、容器本体１２ａ及び蓋部１２ｂともステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０４）から成る金属容器である。ステンレス鋼以外では、例えば、融点が１０００°Ｃ以上で脱ガスの少ない金属が好ましく、例えば銅、チタン、鉄、ニッケル及び耐熱合金等が該当する。真空容器１２は、内部を真空状態として使用するものであり、高温度（１０００℃程度）でも脱ガスの少ない金属が使用され、さらに電子の放出に高電圧を印加すること、溶接で組み立てることから融点が高いものが好ましい。容器本体１２ａと蓋部１２ｂとは溶接等による組み立てで一体化されている。
【００２１】
容器本体１２ａの底部１２ａ１は長方形状で、その中心部には底部の１２ａ１の長手方向を長辺とする、長方形状の開口部１２ａ２が形成されている。開口部１２ａ２には、ベリリウムから成るベリリウム窓と称されるＸ線透過窓２１が、容器本体１２ａの内部側からろう接されている。これにより開口部１２ａ２はＸ線透過窓２１により封止されている。さらに、Ｘ線透過窓２１の容器本体１２ａ内側には、電子の衝突によりＸ線を発生するタングステンから成るターゲット２２がコーティングされている。ターゲット２２は、Ｘ線透過窓２１の長手方向を長辺とする長方形状に形成されている。Ｘ線透過窓２１は、その内側面にコーティングされたターゲット２２と共に長手方向の中心付近を頂点とし、当該頂点が外側（下側）に向けて突き出すように山形状に折り曲げられている（図５参照）。後述するように、本発明の実施形態に係る冷陰極構造に含まれるエミッタ２８から放出された電子がターゲット２２に衝突してＸ線が発生し、当該Ｘ線はＸ線透過窓２１を透過して外部へ放出される。発生したＸ線は、例えば、除電気等による除電に使用される。このように、Ｘ線透過窓２１は、Ｘ線の透過性が良好かつ高融点であることが求められ、ベリリウムが好適な材質として使用される。また、ターゲット２２については、電子の衝突によりＸ線を発生し、かつ高融点であることが求められることから、タングステンを好適な材質とする。
【００２２】
真空容器１２の蓋部１２ｂには、円形状の開口部１２ｂ１が形成されている。この開口部１２ｂ１の容器１２内側周囲に、周壁を有する円板状の部材で、中心部に開口（排気パイプ１５貫通用の開口）を有する中間部材２５がその周壁の先端をろう接されている。そして、絶縁体１３が一端を中間部材２５の底部に載置するようにして開口部１２ｂ１に挿着され、絶縁体１３と蓋部１２ｂ及び中間部材２５とがろう接されている。中間部材２５は、コバール合金を材質としている。
【００２３】
円筒形状の絶縁体１３は、排気パイプ１５が先端を容器１２の内部に突出させて貫通した状態となるように、絶縁体１３と排気パイプ１５とが中間部材１６を介してろう接されている。例えば、絶縁体１３はアルミナ、排気パイプ１５は無酸素銅、中間部材１６はコバール合金をそれぞれ材質としている。排気パイプ１５の容器１２内部側の先端には、冷陰極構造の電子源を構成する冷陰極２７及びエミッタ２８が設けられている。
【００２４】
冷陰極２７は、棒状のステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０４）で、その後述するように長手方向を水平状態にして中央部を折り目として両端側をそれぞれ所定角度A（例えば、０度＜A≦３０度、好ましくは５度≦A≦１５度）上昇させ、中央部の頂点を下向きにした山形状となっている（図５参照）。上記中央部は、絶縁体１３を貫通した排気パイプ１５の先端とろう接されている。このとき、絶縁体１３の容器１２内側に挿入した部分は、中間部材２５により覆われているので、容器１２の内部への絶縁体の露出が抑えられている。冷陰極２７にはその長手方向に沿ってターゲット２２側に溝部が形成されており、当該溝部には、電界電子放出に適したナノ構造をもつ炭素系材料から成る棒状のエミッタ２８がＸ線透過窓２１と対向する位置となるように、溶接により挿着されている。また、冷陰極２７の両端には、ステンレス製の蓋部（ＳＵＳキャップ）３１ａ、３１ｂがそれぞれ溶接により装着されている。蓋部３１ａ、３１ｂは、冷陰極２７及びエミッタ２８の両端面における電界集中緩和のためのキャップである。エミッタ２８は、後述する電圧の印加により生じる電界の作用によって、電子を発生する電界放出型のもので、炭素系材料である、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、カーボンナノ構造体、ＣＣＮＳ等で形成されている。冷陰極２７は、冷陰極２７の長手方向に形成された溝部に挿着されたエミッタ２８と共に、その長手方向を水平状態にして中央部を折り目として両端をそれぞれ所定角度A（例えば、０度＜A≦３０度、好ましくは５度≦A≦１５度）上昇させ、中央部の頂点を下向きにした山形状となっている（図５参照）。これにより、棒状の電子源がその長手方向途中の折り曲げにより、同様の折り曲げ形状となる角度で折り曲げられたターゲット側も電子源との距離を一定に保った形状となるので、電子源から放出された電子はターゲットに対して同一電界強度で衝突し、長手方向で同一強度のＸ線を線光源的発生し窓を通して大気に放出されるようになる。さらに、後述するように、頂点を下向き（容器外側向き）とする山形形状としたエミッタ２８及びターゲット２２によりＸ線が広く拡散して放射される。
【００２５】
上記した所定角度Ａについて、角度Ａが３０度のときには、線光源（線光源の終端）からの照射距離は中心点（折り曲げ頂点）からの距離に比べて略１．１６倍となり、Ｘ線強度的には殆ど変わらない。同じく線光源からの照射距離は中心点からの距離に比べて、角度Ａが３０度以下では略１倍であるのに対し、角度Ａが３０度以上では１／ｃｏｓＡ倍となるためＸ線強度が低下する。次に、照射面の広がりは３０度で照射距離の０．５８倍であり、それ以上の角度になるとｔａｎＡ倍となり、４５度で照射距離と同じとなり、それ以上で急激に広くなる。このようなトレードオフの関係から適切な範囲として、折り曲げ角度Aが０度＜A≦３０度、好ましくは５度≦A≦１５度としたものである。
【００２６】
次に、本実施形態に係る透過型Ｘ線発生装置１１の動作について説明する。排気パイプ１５に対して負の高電圧を印加すると、排気パイプ１５の先端に取り付けた冷陰極２７に設けたエミッタ２８から、対向する位置にある接地電位となるターゲット２２に向けて電子が放出される。なお、排気パイプ１５とは、絶縁体１５を間に介しているので、真空容器１２、Ｘ線透過窓２１、及び中間部材２５は接地電位となる。
【００２７】
エミッタ２８から放出された電子は、真空容器１２内が高真空状態となっているのでターゲット２２まで支障なく到達することができる。特に本実施形態によれば、棒状の電子源である冷陰極及びエミッタ２８と、ターゲット２２とが距離を一定に保った形状となるので、電子源から放出された電子はターゲット２２に対して同一電界強度で衝突することになる。そのため、ターゲット２２に衝突した電子により、長手方向で同一強度のＸ線が線光源的に発生し窓を通して大気に放出される。また、ターゲット２２へは線状の電子源が衝突するため、大気中へは線状Ｘ線源（光源）となり、点光源とは異なる立体放射角となる。従って放射平面は長手方向を長径とする楕円形状となる。そのため、点光源及び面光源とは全くことなるＸ線放射形態となる。また折り曲げ形状の冷陰極２７及びエミッタ２８は直線形状のものに対して、長手方向へのＸ線放射範囲は折り曲げ角度A（長手方向の先端からの折り曲げ角度）に伴い、広くなる（図７参照）。また、Ｘ線源の巾方向（短手方向）は立体放射角の影響を受けるが、この場合点光源の照射面積相当となり面光源より広い範囲を確保できる。これにより、帯電対象物に近接させてＸ線を照射できるので、Ｘ線強度及び均一性を維持しつつ楕円形状の広範囲の除電が可能となる。
【００２８】
次に、本実施形態に係る透過型Ｘ線発生装置１１によるＸ線照射範囲について、棒状の直線形状であるエミッタを使用する透過型Ｘ線発生装置と対比して説明する。図７は本実施形態に係る透過型Ｘ線発生装置のＸ線透過窓から放出されるＸ線照射範囲の概要図、図８は棒状の直線形状であるエミッタを使用する透過型Ｘ線発生装置のＸ線透過窓から放出されるＸ線照射範囲の概要図である。
【００２９】
図８に示すように、透過型Ｘ線発生装置１００では、冷陰極１０１及びエミッタ１０２は直線形状の棒状部材であり、Ｘ線透過窓１０５及びターゲット１０６も平面形状となっている。そのため、エミッタ１０２から放出された電子のターゲット１０６への衝突によりＸ線が発生するが、Ｘ線透過窓１０５から外部に照射されるＸ線の照射角度Ｘｂは約１３０度〜１４０度である。そのため、除電対象物に広くＸ線を照射する場合には、除電対象物との距離を所定以上設ける必要があり、Ｘ線強度及び均一性の低下を招き、除電が十分に行われない場合がある。
【００３０】
図７に示すように、本実施形態に係る透過型Ｘ線発生装置１１では、冷陰極２７及びエミッタ２８は棒状でその中央部を折り目として両端が約１０度上になるように下向きの山形状に折り曲げられ（角度A）、更にＸ線透過窓２１及びターゲット２２も同様にその中央部を折り目として両端が約１０度上になるように下向きの山形状に折り曲げられている（角度A）。そのため、エミッタ２８から発生した電子は等電圧でターゲット２８に衝突する。そして、電子が衝突したターゲット２８からは、透過型Ｘ線発生装置１００よりも照射角度が広がりＸ線が長手方向を長径とする楕円形状に拡散して照射範囲となる。照射角度Ｘａ１は、約１５０度〜１６０度となることから、透過型Ｘ線発生装置１１を除電対象物に近接させても除電範囲を広くとることができる、Ｘ線強度と均一性を維持した照射が可能となる。なお、冷陰極２７及びエミッタ２８、並びにＸ線透過窓２１及びターゲット２８の両端を更に折り曲げ角度約２０度にしたときのＸ線の照射範囲を鎖線で示す。このときの照射角度Ｘａ２は約１７０度〜１８０度となり、よりＸ線の照射範囲は広範囲となる。
【００３１】
具体的な照射範囲は、本実施形態の透過型Ｘ線発生装置１１では、エミッタ２８の両端を約１０度上昇させる傾斜のときには、透過型Ｘ線発生装置１００より長手方向において約１．５倍程度拡張になり、エミッタ２８の両端を約２０度上昇させる傾斜のときには、透過型Ｘ線発生装置１００より長手方向において約２．２５倍程度拡張することになる。約１０度上昇させる傾斜ごとにＸ線照射範囲はその長手方向において約１．５倍程度上昇することになる。なお、２０度を超えた傾斜とすることもできるが、効果及び製造等の面から特段の用途の場合を除き、上記した約１０度〜約２０度、又は約５度〜約１５度の範囲の傾斜とすることが好ましい。角度Aが３０度を超える折り曲げとなると、エミッタ２８の破損のおそれがあるので、３０度以下好ましくは２０度以下とすることが望まれる。なお、エミッタ２８を上記角度の傾斜とするときは、同様の角度となるようにターゲット２２も傾斜させる。エミッタ２８及びターゲット２２を同じ角度に傾斜させることで、Ｘ線照射範囲が効果的に拡張するからである。このように、本実施形態によれば、棒状の電子源である冷陰極２７及びエミッタ２８、並びにＸ線透過窓２１及びターゲット２２がその長手方向途中の折り曲げにより突出した形状となるので、エミッタ２８から放出された電子は拡散するようにターゲット２２に向かい、ターゲット２２から発生するＸ線も拡散して放出される。よって、帯電対象物に近接させてＸ線を照射できるので、Ｘ線強度及び均一性を維持しつつ広範囲の除電が可能となる。
【００３２】
以上、本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
以上、説明したように、本発明によれば、棒状の電子源がその長手方向途中の折り曲げにより、ターゲット側も電子源との距離を一定に保った形状となるので、電子源から放出された電子はターゲットに対して同一電界強度で衝突し、長手方向で同一強度のＸ線を線光源的発生し窓を通して大気に放出されるので、帯電対象物に近接させてＸ線を照射でき、Ｘ線強度及び均一性を維持しつつ広範囲の除電が可能となる効果を奏するので、放出された電子の衝突によりＸ線を発生する透過型Ｘ線発生装置として有用である。
【符号の説明】
【００３４】
１１      透過型Ｘ線発生装置
１２      真空容器
１２ａ    容器本体
１２ａ１  底部
１２ａ２  開口部
１２ｂ    蓋部
１２ｂ１  開口部
１３      絶縁体
１５      排気パイプ
１６      中間部材
２１      Ｘ線透過窓
２２      ターゲット
２５      中間部材
２７、２７ａ〜２７ｃ    冷陰極
２８、２８ａ〜２８ｃ    エミッタ
３１ａ、３１ｂ  蓋部（ＳＵＳキャップ）
【図１】
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【図２】
2019192450.tif 000004
【図３】
2019192450.tif 000005
【図４】
2019192450.tif 000006
【図５】
2019192450.tif 000007
【図６】
2019192450.tif 000008
【図７】
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【図８】
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