(57)【要約】【課題】半導体チップと配線基板との隙間への樹脂の充填性を向上した半導体装置を提供する。【解決手段】本半導体装置は、一方の面に複数のパッドが形成された配線基板と、回路形成面に複数の電極が形成され、前記回路形成面が前記一方の面と対向するように前記配線基板に実装された半導体チップと、互いに対向する位置にある前記パッドと前記電極とを電気的に接続する、同一材料からなる複数の接合材と、前記一方の面に形成され、前記半導体チップを封止すると共に前記回路形成面と前記一方の面との隙間を充填する樹脂と、を有し、前記半導体チップは、前記回路形成面と前記一方の面との間隔が第１側から第２側に向かって漸次大きくなるように前記配線基板に実装されている。【選択図】図１
2019192667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に複数のパッドが形成された配線基板と、
回路形成面に複数の電極が形成され、前記回路形成面が前記一方の面と対向するように前記配線基板に実装された半導体チップと、
互いに対向する位置にある前記パッドと前記電極とを電気的に接続する、同一材料からなる複数の接合材と、
前記一方の面に形成され、前記半導体チップを封止すると共に前記回路形成面と前記一方の面との隙間を充填する樹脂と、を有し、
前記半導体チップは、前記回路形成面と前記一方の面との間隔が第１側から第２側に向かって漸次大きくなるように前記配線基板に実装されている半導体装置。
【請求項２】
複数の前記パッドは、前記接合材と接合される接合面の面積が異なるパッドを含み、
前記第２側に配置されたパッドの接合面の面積が前記第１側に配置されたパッドの接合面の面積よりも小さい請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記第１側から前記第２側に向かって接合面の面積が異なる３種以上のパッドが配置され、
前記３種以上のパッドは、前記第１側から前記第２側に向かって前記接合面の面積が漸次小さくなるように配置されている請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第２側において、前記回路形成面と前記一方の面との間に１つ以上の突起部が設けられている請求項１に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記半導体チップの平面形状は矩形状であり、
前記回路形成面は、平面視において前記第１側を向く第１辺、前記第１辺と平行で前記第２側を向く第２辺、前記第１辺の一端と前記第２辺の一端とを接続する第３辺、及び前記第１辺の他端と前記第２辺の他端とを接続する第４辺を備え、
前記１つ以上の突起部は、前記第２辺と前記第３辺とが形成する角部、及び前記第２辺と前記第４辺とが形成する角部と接するように設けられた２つの突起部を含む請求項４に記載の半導体装置。
【請求項６】
一方の面に複数のパッドが形成された配線基板と、回路形成面に複数の電極が形成され各々の前記電極に接合材が形成された半導体チップと、を準備し、各々の前記接合材が各々の前記パッドと接するように前記一方の面側に前記半導体チップを配置し、前記接合材を溶融後凝固させて前記回路形成面と前記一方の面との間隔が第１側から第２側に向かって漸次大きくなるように前記配線基板に前記半導体チップを実装する工程と、
前記一方の面に、前記半導体チップを封止すると共に前記回路形成面と前記一方の面との隙間を充填する樹脂を形成する工程と、を有し、
前記半導体チップを実装する工程では、互いに対向する位置にある前記パッドと前記電極とを同一材料からなる複数の接合材で電気的に接続し、
前記樹脂を形成する工程では、前記第２側から前記樹脂を注入する半導体装置の製造方法。
【請求項７】
複数の前記パッドは、前記接合材と接合される接合面の面積が異なるパッドを含み、
前記第２側に配置されたパッドの接合面の面積が前記第１側に配置されたパッドの接合面の面積よりも小さく、
前記半導体チップを実装する工程では、前記第１側に配置されたパッドの接合面上の前記接合材の厚さが、前記第２側に配置されたパッドの接合面上の前記接合材の厚さよりも薄くなるように前記半導体チップが実装される請求項６に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記第１側から前記第２側に向かって接合面の面積が異なる３種以上のパッドが配置され、
前記３種以上のパッドは、前記第１側から前記第２側に向かって前記接合面の面積が漸次小さくなるように配置されている請求項７に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項９】
前記配線基板の前記第２側に１つ以上の突起部が設けられ、
前記半導体チップを実装する工程では、前記１つ以上の突起部が前記回路形成面の前記第２側と接するように前記半導体チップが実装される請求項６に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
前記半導体チップの平面形状は矩形状であり、
前記回路形成面は、平面視において前記第１側を向く第１辺、前記第１辺と平行で前記第２側を向く第２辺、前記第１辺の一端と前記第２辺の一端とを接続する第３辺、及び前記第１辺の他端と前記第２辺の他端とを接続する第４辺を備え、
前記１つ以上の突起部は、前記第２辺と前記第３辺とが形成する角部、及び前記第２辺と前記第４辺とが形成する角部と接するように設けられた２つの突起部を含む請求項９に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
配線基板上に半導体チップをフリップチップ実装し、半導体チップと配線基板との間にアンダーフィル樹脂を充填し、更に半導体チップをモールド樹脂等の樹脂で封止する技術が知られている。
【０００３】
又、配線基板上に半導体チップをフリップチップ実装し、その後モールド樹脂等の樹脂で封止する場合に、アンダーフィル樹脂を用いることなく、半導体チップと配線基板との間にもモールド樹脂等を一括で充填する技術があり、この技術はモールドアンダーフィルと称されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−７１６７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、配線基板上に半導体チップをフリップチップ実装すると、半導体チップが規則性なく傾いて実装される場合がある。
【０００６】
この場合、半導体チップの傾きにより半導体チップと配線基板との隙間にばらつきが発生するが、半導体チップをモールド樹脂等の樹脂で封止する際に、樹脂が流れてくる側の隙間が小さくなる傾き方向の場合、樹脂の注入性に対して不利となる。その結果、半導体チップと配線基板との隙間への樹脂の充填性が低下し、半導体チップと配線基板との隙間に樹脂が十分に充填されない場合があった。
【０００７】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、半導体チップと配線基板との隙間への樹脂の充填性を向上した半導体装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本半導体装置は、一方の面に複数のパッドが形成された配線基板と、回路形成面に複数の電極が形成され、前記回路形成面が前記一方の面と対向するように前記配線基板に実装された半導体チップと、互いに対向する位置にある前記パッドと前記電極とを電気的に接続する、同一材料からなる複数の接合材と、前記一方の面に形成され、前記半導体チップを封止すると共に前記回路形成面と前記一方の面との隙間を充填する樹脂と、を有し、前記半導体チップは、前記回路形成面と前記一方の面との間隔が第１側から第２側に向かって漸次大きくなるように前記配線基板に実装されていることを要件とする。
【発明の効果】
【０００９】
開示の技術によれば、半導体チップと配線基板との隙間への樹脂の充填性を向上した半導体装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の実施の形態に係る半導体装置を例示する図である。
【図２】第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を例示する図（その１）である。
【図３】第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を例示する図（その２）である。
【図４】第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を例示する図（その３）である。
【図５】第１の実施の形態の変形例１に係る半導体装置を例示する図である。
【図６】第２の実施の形態に係る半導体装置を例示する図である。
【図７】第２の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を例示する図（その１）である。
【図８】第２の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を例示する図（その２）である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１２】
〈第１の実施の形態〉
［第１の実施の形態に係る半導体装置の構造］
まず、第１の実施の形態に係る半導体装置の構造について説明する。図１は、第１の実施の形態に係る半導体装置を例示する図であり、図１（ａ）は断面図、図１（ｂ）は図１（ａ）の配線基板１０とパッド１１及び１２のみを示した平面図である。
【００１３】
図１を参照するに、第１の実施の形態に係る半導体装置１は、配線基板１０と、半導体チップ２０と、はんだバンプ３０と、封止樹脂４０とを有している。
【００１４】
なお、本実施の形態では、便宜上、半導体装置１の封止樹脂４０側を上側又は一方の側、配線基板１０側を下側又は他方の側とする。又、各部位の封止樹脂４０側の面を一方の面又は上面、配線基板１０側の面を他方の面又は下面とする。但し、半導体装置１は天地逆の状態で用いることができ、又は任意の角度で配置することができる。又、平面視とは対象物を配線基板１０の一方の面１０ａの法線方向から視ることを指し、平面形状とは対象物を配線基板１０の一方の面１０ａの法線方向から視た形状を指すものとする。
【００１５】
配線基板１０は、半導体チップ２０を実装可能な基板であれば特に限定されないが、例えば、コアレスのビルドアップ基板やコア有のビルドアップ基板等を用いることができる。配線基板１０は、必要に応じて任意の数の配線層及び絶縁層を有して構わない。配線基板１０の平面形状は、例えば、矩形状とすることができる。
【００１６】
配線基板１０の一方の面１０ａの半導体チップ搭載領域Ａには、複数のパッドが形成されている。具体的には、配線基板１０の辺１０１側に複数のパッド１１が辺１０１と略平行に配置され、配線基板１０の辺１０１の対向辺である辺１０２側に複数のパッド１２が辺１０２と略平行に配置されている。但し、パッド１１及び１２が３個ずつ配置されているのは一例であり、パッド１１及び１２の個数は搭載する半導体チップ２０の仕様に合わせて決定することができる。
【００１７】
配線基板１０の一方の面１０ａに形成された複数のパッドは、はんだバンプと接合される接合面（上面）の面積が異なるパッドを含んでいる。具体的には、辺１０２側に配置されたパッド１２の接合面の面積は、辺１０１側に配置されたパッド１１の接合面の面積よりも小さい。パッド１１とパッド１２の平面形状は、例えば、円形とすることができる。この場合、パッド１２はパッド１１よりも小径となる。配線基板１０の一方の面１０ａに接合面の面積が異なる複数のパッドを配置することの技術的意義については後述する。
【００１８】
なお、パッドがソルダーレジスト層等で被覆されている場合には、ソルダーレジスト層等の開口部から露出するパッド上面の面積が、パッドの接合面の面積となる。
【００１９】
半導体チップ２０は、回路形成面２０ａと一方の面１０ａとの間隔が辺１０１側から辺１０２側に向かって漸次大きくなるように、配線基板１０の一方の面１０ａ側にフリップチップ実装されている。
【００２０】
具体的には、半導体チップ２０の回路形成面２０ａには複数の電極２１が形成されている。各々の電極２１は、はんだバンプと接合される接合面（下面）の面積が一定であり、各々の電極２１の平面形状は例えば円形である。そして、パッド１１と対向する位置にある電極２１は、はんだバンプ３０を介してパッド１１と電気的に接続され、パッド１２と対向する位置にある電極２１は、はんだバンプ３０を介してパッド１２と電気的に接続されている。
【００２１】
はんだバンプ３０は、パッド１１又は１２と電極２１とを電気的に接合する接合材であり、各々のはんだバンプ３０は同一材料から形成されている。パッド１１上のはんだバンプ３０の厚さは、パッド１２上のはんだバンプ３０の厚さよりも薄い。はんだバンプ３０の材料としては、例えばＰｂを含む合金、ＳｎとＣｕの合金、ＳｎとＡｇの合金、ＳｎとＡｇとＣｕの合金等を用いることができる。
【００２２】
封止樹脂４０は、配線基板１０の一方の面１０ａに形成され、半導体チップ２０を封止すると共に回路形成面２０ａと一方の面１０ａとの隙間を充填している。すなわち、封止樹脂４０は、回路形成面２０ａと一方の面１０ａとの隙間を充填するアンダーフィル樹脂を兼ねている。封止樹脂４０の材料としては、例えば、剛性に優れたエポキシ系樹脂（所謂モールド樹脂）等を用いることができる。エポキシ系樹脂等の流動性や剛性は、例えば、樹脂自体の組成や含有するフィラーの種類や量等により調整することができる。
【００２３】
［第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法］
次に、第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。図２〜図４は、第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を例示する図である。
【００２４】
まず、図２（ａ）に示す工程では、個片化されて配線基板１０となる複数の領域（図２では、一例として３つの領域）を備えたシート状の配線基板１０Ｓを準備する。配線基板１０Ｓの一方の面１０Ｓａの各々の半導体チップ搭載領域Ａには、パッド１１及び１２が形成されている。なお、配線基板１０Ｓの平面形状は例えば矩形状であり、１０１Ｓ及び１０２Ｓは平面視における配線基板１０Ｓの互いに対向する短辺を示している。
【００２５】
次に、図２（ｂ）に示す工程では、回路形成面２０ａに複数の電極２１が形成され、各々の電極２１にはんだバンプ３０が形成された半導体チップ２０を複数個準備する。そして、各々の半導体チップ２０を、各々のはんだバンプ３０の先端側がパッド１１又は１２の接合面と接するように、配線基板１０Ｓの一方の面１０Ｓａ側に配置する。なお、各々のはんだバンプ３０は同一材料から形成され、各々のはんだバンプ３０の電極２１からの突起量は略一定である。すなわち、各々のはんだバンプ３０の体積は略一定である。
【００２６】
次に、図３（ａ）に示す工程では、リフロー等によりはんだバンプ３０を溶融後凝固させ、対向する位置にある電極２１とパッド１１又は１２とをはんだバンプ３０により接合する。この際、パッド１１の接合面の面積がパッド１２の接合面の面積よりも大きいため、パッド１１上では溶融したはんだバンプ３０がパッド１２に比べて横方向（パッド１１の外周方向）に広がる。そのため、パッド１１の接合面上のはんだバンプ３０の厚さは、パッド１２の接合面上のはんだバンプ３０の厚さよりも薄くなる。その結果、各々の半導体チップ２０は、回路形成面２０ａと一方の面１０Ｓａとの間隔が辺１０１Ｓ側から辺１０２Ｓ側に向かって漸次大きくなるように配線基板１０Ｓに実装される。
【００２７】
次に、図３（ｂ）に示す工程では、トランスファーモールド法により、配線基板１０Ｓの一方の面１０Ｓａに、半導体チップ２０を封止すると共に回路形成面２０ａと一方の面１０Ｓａとの隙間を充填する封止樹脂４０を形成する。具体的には、図３（ａ）に示す構造体を下型５０１と上型５０２とで形成される空間内に収容し、空間内に圧力を印加し、注入口５０３から流動化した樹脂Ｍを注入する。なお、図３（ａ）に示す構造体は、辺１０２Ｓ側が注入口５０３側にくるように、下型５０１と上型５０２とで形成される空間内に収容する。つまり、辺１０２Ｓ側から樹脂Ｍを注入する。
【００２８】
次に、図４（ａ）に示す工程では、樹脂Ｍを所定温度で加熱して硬化させ、封止樹脂４０を形成する。次に、図４（ｂ）に示す工程では、封止樹脂４０が形成された配線基板１０Ｓを下型５０１及び上型５０２から取出し、ダイシングブレード等を用いて切断位置Ｃで切断する。これにより、図１に示す半導体装置１が複数個作製できる。
【００２９】
このように、第１の実施の形態に係る半導体装置では、はんだバンプと接合されるパッドの接合面の面積を場所により変えることで、半導体チップの回路形成面と配線基板の一方の面との間隔を第１側から第２側に向かって漸次大きくしている。すなわち、配線基板に実装する半導体チップの傾きを意図的に制御している。これにより、封止樹脂を形成する工程において、半導体チップの回路形成面と配線基板の一方の面との間隔が広い側から樹脂を注入することで、半導体チップの回路形成面と配線基板の一方の面との隙間に安定的に樹脂を注入することが可能となる。その結果、半導体チップと配線基板との隙間への樹脂の充填性を向上した半導体装置を実現することができる。
【００３０】
〈第１の実施の形態の変形例１〉
第１の実施の形態の変形例１では、辺１０１側から辺１０２側に向かって接合面の面積が漸次小さくなるように、接合面の面積が異なる３種以上のパッドを配置する例を示す。なお、第１の実施の形態の変形例１において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００３１】
図５は、第１の実施の形態の変形例１に係る半導体装置を例示する図であり、図５（ａ）は断面図、図５（ｂ）は図５（ａ）の配線基板１０Ａとパッド１１〜１３のみを示した平面図である。
【００３２】
図５を参照するに、第１の実施の形態の変形例１に係る半導体装置１Ａは、配線基板１０が配線基板１０Ａに置換され、半導体チップ２０が半導体チップ２０Ａに置換された点が、半導体装置１（図１参照）と相違する。
【００３３】
配線基板１０Ａの一方の面１０ａの半導体チップ搭載領域Ａには、複数のパッドが形成されている。具体的には、配線基板１０Ａの辺１０１側に複数のパッド１１が辺１０１と略平行に配置され、配線基板１０Ａの辺１０１の対向辺である辺１０２側に複数のパッド１２が辺１０２と略平行に配置されている。そして、各々のパッド１１と各々のパッド１２との間に、パッド１３が配置されている。但し、パッド１１〜１３が３個ずつ配置されているのは一例であり、パッド１１〜１３の個数は搭載する半導体チップ２０Ａの仕様に合わせて決定することができる。
【００３４】
配線基板１０Ａの一方の面１０ａに形成された複数のパッドは、はんだバンプと接合される接合面（上面）の面積が異なるパッドを含んでいる。具体的には、辺１０２側に配置されたパッド１２の接合面の面積は、中央に配置されたパッド１３の接合面の面積よりも小さい。又、中央に配置されたパッド１３の接合面の面積は、辺１０１側に配置されたパッド１１の接合面の面積よりも小さい。パッド１１〜パッド１３の平面形状は、例えば、円形とすることができる。この場合、パッド１３はパッド１１よりも小径となり、パッド１２はパッド１３よりも更に小径となる。
【００３５】
半導体チップ２０Ａは、配線基板１０Ａの一方の面１０ａ側にフリップチップ実装されている。具体的には、半導体チップ２０Ａの回路形成面２０ａには複数の電極２１が形成されている。各々の電極２１は、はんだバンプと接合される接合面（下面）の面積が一定であり、各々の電極２１の平面形状は例えば円形である。そして、パッド１１と対向する位置にある電極２１は、はんだバンプ３０を介してパッド１１と電気的に接続され、パッド１２と対向する位置にある電極２１は、はんだバンプ３０を介してパッド１２と電気的に接続され、パッド１３と対向する位置にある電極２１は、はんだバンプ３０を介してパッド１３と電気的に接続されている。
【００３６】
半導体チップ２０Ａは、回路形成面２０ａと一方の面１０ａとの間隔が辺１０１側から辺１０２側に向かって漸次大きくなるように配線基板１０Ａに実装されている。より詳しくは、パッド１１の接合面の面積がパッド１３の接合面の面積よりも大きく、パッド１３の接合面の面積がパッド１２の接合面の面積よりも大きい。そのため、半導体チップ２０Ａを配線基板１０Ａに実装する際に、パッド１３上では溶融したはんだバンプがパッド１２に比べて横方向（パッド１３の外周方向）に広がり、パッド１１上では溶融したはんだバンプがパッド１３に比べて更に横方向（パッド１１の外周方向）に広がる。そのため、パッド１３上のはんだバンプ３０の厚さはパッド１２上のはんだバンプ３０の厚さよりも薄くなり、パッド１１上のはんだバンプ３０の厚さはパッド１３上のはんだバンプ３０の厚さよりも更に薄くなる。その結果、半導体チップ２０Ａは、回路形成面２０ａと一方の面１０ａとの間隔が辺１０１側から辺１０２側に向かって漸次大きくなるように配線基板１０Ａに実装される。
【００３７】
なお、半導体装置１Ａは、半導体装置１と同一の製造工程により作製することができる。
【００３８】
このように、辺１０１側から辺１０２側に向かって接合面の面積が漸次小さくなるように３種のパッドを配置してもよい。この場合にも、半導体チップ２０Ａは、回路形成面２０ａと一方の面１０ａとの間隔が辺１０１側から辺１０２側に向かって漸次大きくなるように配線基板１０Ａに実装されるため、封止樹脂４０を形成する際に第１の実施の形態と同様の効果を奏する。
【００３９】
なお、辺１０１側から辺１０２側に向かって接合面の面積が漸次小さくなるように３種のパッドを配置したのは一例であり、これには限定されず、辺１０１側から辺１０２側に向かって接合面の面積が漸次小さくなるように４種以上のパッドを配置してもよい。
【００４０】
又、面積が同一のパッドを複数列に配置してもよい。例えば、図５（ｂ）において、パッド１２を縦方向（辺１０１及び１０２に平行な方向）に２列以上、パッド１３を縦方向に２列以上、パッド１１を縦方向に２列以上に配置してもよい。パッドピッチが狭い場合には、このようなパッド配置としても、半導体チップ２０Ａは、回路形成面２０ａと一方の面１０ａとの間隔が辺１０１側から辺１０２側に向かって漸次大きくなるように配線基板１０Ａに実装される。そのため、封止樹脂４０を形成する際に第１の実施の形態と同様の効果を奏する。
【００４１】
〈第２の実施の形態〉
第２の実施の形態では、第１の実施の形態とは異なる方法で半導体チップを傾けて配線基板に実装する例を示す。なお、第２の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００４２】
図６は、第２の実施の形態に係る半導体装置を例示する図であり、図６（ａ）は断面図、図６（ｂ）は図６（ａ）の配線基板１０Ｂとパッド１４と突起部１６のみを示した平面図である。
【００４３】
図６を参照するに、第２の実施の形態に係る半導体装置２は、配線基板１０が配線基板１０Ｂに置換された点が、半導体装置１（図１参照）と相違する。
【００４４】
配線基板１０Ｂの一方の面１０ａの半導体チップ搭載領域Ａには、複数のパッドが形成されている。具体的には、配線基板１０Ｂの辺１０１側に複数のパッド１４が辺１０１と略平行に配置され、配線基板１０Ｂの辺１０１の対向辺である辺１０２側に複数のパッド１４が辺１０２と略平行に配置されている。但し、パッド１４が３個ずつ２列に配置されているのは一例であり、パッド１４の個数は搭載する半導体チップ２０の仕様に合わせて決定することができる。
【００４５】
配線基板１０Ｂの一方の面１０ａに形成された複数のパッド１４は、はんだバンプと接合される接合面（上面）の面積が略同一である。パッド１４の平面形状は、例えば、円形とすることができる。この場合、各々のパッド１４は略同一径となる。
【００４６】
配線基板１０Ｂの一方の面１０ａの半導体チップ搭載領域Ａの辺１０２側には、突起部１６が設けられている。突起部１６は、例えば、樹脂からなり、スクリーン印刷等により形成することができる。突起部１６は、回路形成面２０ａと一方の面１０ａとの間隔を決めるために設けるものであり、最低１つあればよいが、回路形成面２０ａと一方の面１０ａとの間隔を安定させるためには２つ以上設けることが好ましい。
【００４７】
半導体チップ２０は、回路形成面２０ａと一方の面１０ａとの間隔が辺１０１側から辺１０２側に向かって漸次大きくなるように、配線基板１０Ｂの一方の面１０ａ側にフリップチップ実装されている。
【００４８】
図６の例では、半導体チップ２０の平面形状は矩形状であり、半導体チップ２０の回路形成面２０ａは、平面視において辺１０１側を向く第１辺、第１辺と平行で辺１０２側を向く第２辺、第１辺の一端と第２辺の一端とを接続する第３辺、及び第１辺の他端と第２辺の他端とを接続する第４辺を備えている。
【００４９】
半導体チップ２０の平面形状は半導体チップ搭載領域Ａの平面形状と略同一であり、半導体チップ２０の回路形成面２０ａの第１辺は半導体チップ搭載領域Ａの第１辺Ａ１と対向する辺である。又、半導体チップ２０の回路形成面２０ａの第２辺、第３辺、及び第４辺は、半導体チップ搭載領域Ａの第２辺Ａ２、第３辺Ａ３、及び第４辺Ａ４と各々対向する辺である。
【００５０】
図６の例では、半導体チップ搭載領域Ａの第２辺Ａ２と第３辺Ａ３とが形成する角部、及び第２辺Ａ２と第４辺Ａ４とが形成する角部に、突起部１６が１つずつ設けられている。すなわち、一方の突起部１６の上面は半導体チップ２０の回路形成面２０ａの第２辺と第３辺とが形成する角部と接し、他方の突起部１６の上面は半導体チップ２０の回路形成面２０ａの第２辺と第４辺とが形成する角部と接している。
【００５１】
図７及び図８は、第２の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を例示する図である。
【００５２】
まず、図７（ａ）に示す工程では、個片化されて配線基板１０Ｂとなる複数の領域（図７では、一例として３つの領域）を備えたシート状の配線基板１０Ｔを準備する。配線基板１０Ｔの一方の面１０Ｔａの各々の半導体チップ搭載領域Ａには、パッド１４及び突起部１６が形成されている。なお、配線基板１０Ｔの平面形状は例えば矩形状であり、１０１Ｔ及び１０２Ｔは平面視における配線基板１０Ｔの互いに対向する短辺を示している。
【００５３】
次に、図７（ｂ）に示す工程では、回路形成面２０ａに複数の電極２１が形成され、各々の電極２１にはんだバンプ３０が形成された半導体チップ２０を複数個準備する。そして、各々の半導体チップ２０を、各々のはんだバンプ３０の先端側がパッド１４の接合面と接するように、配線基板１０Ｔの一方の面１０Ｔａ側に配置する。但し、図７（ｂ）では、回路形成面２０ａと突起部１６の上面とが接するように描かれているが、はんだバンプ３０が溶融したときに回路形成面２０ａと突起部１６の上面とが接すればよいため、この工程では回路形成面２０ａと突起部１６の上面とが接していなくてもよい。なお、各々のはんだバンプ３０は同一材料から形成され、各々のはんだバンプ３０の電極２１からの突起量は略一定である。すなわち、各々のはんだバンプ３０の体積は略一定である。
【００５４】
次に、図８に示す工程では、リフロー等によりはんだバンプ３０を溶融後凝固させ、対向する位置にある電極２１とパッド１４とをはんだバンプ３０により接合する。この際、配線基板１０Ｔの一方の面１０Ｔａの半導体チップ搭載領域Ａの辺１０２Ｔ側に突起部１６が設けられているため、回路形成面２０ａと一方の面１０Ｔａとの間隔は辺１０２Ｔ側では突起部１６の高さで決定される。一方、辺１０１Ｔ側には突起部１６が設けられていないため、辺１０１Ｔ側は辺１０２Ｔ側よりも回路形成面２０ａと一方の面１０Ｔａとの間隔が狭くなる。その結果、各々の半導体チップ２０は、回路形成面２０ａと一方の面１０Ｔａとの間隔が辺１０１Ｔ側から辺１０２Ｔ側に向かって漸次大きくなるように配線基板１０Ｔに実装される。
【００５５】
以降、第１の実施の形態の図３（ｂ）〜図４（ｂ）と同様の工程を実行することにより、図６に示す半導体装置２が複数個作製できる。
【００５６】
このように、配線基板１０Ｂにおいて、各々のパッド１４の面積は略一定とし、一方の面１０ａの半導体チップ搭載領域Ａの辺１０２側に突起部１６を設けてもよい。この場合にも、半導体チップ２０は、回路形成面２０ａと一方の面１０ａとの間隔が辺１０１側から辺１０２側に向かって漸次大きくなるように配線基板１０Ｂに実装されるため、封止樹脂４０を形成する際に第１の実施の形態と同様の効果を奏する。
【００５７】
なお、第２の実施の形態を第１の実施の形態又は第１の実施の形態の変形例１と組み合わせることも可能である。
【００５８】
以上、好ましい実施の形態等について詳説したが、上述した実施の形態等に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態等に種々の変形及び置換を加えることができる。
【符号の説明】
【００５９】
１、１Ａ、２  半導体装置
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｓ、１０Ｔ  配線基板
１０ａ、１０Ｓａ、１０Ｔａ  配線基板の一方の面
１１、１２、１３、１４  パッド
１６  突起部
２０、２０Ａ  半導体チップ
２０ａ  回路形成面
３０  はんだバンプ
４０  封止樹脂
１０１、１０１Ｓ、１０１Ｔ、１０２、１０２Ｓ、１０２Ｔ  辺
５０１  下型
５０２  上型
５０３  注入口
Ａ  半導体チップ搭載領域
Ａ１  第１辺
Ａ２  第２辺
Ａ３  第３辺
Ａ４  第４辺
Ｃ  切断位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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