(57)【要約】【課題】  エアシャワー装置において、エアジェットが当たりにくい箇所に確実にエアジェットを浴びせることにより、効率良く多くの塵埃を落とす。【解決手段】  エアシャワー室内の空気を吸い込むプレフィルタと、吸い込んだ空気を加圧するエアジェットファンと、塵埃を除去するメインフィルタと、塵埃を除去した空気をエアシャワー室内に吹き出すエアジェットノズルと、制御部を備えるエアシャワー装置であって、エアシャワー室内に、作業者が両手で操作する２つの両手かざし用スイッチを備え、前記制御部は、前記２つの両手かざし用スイッチが操作された場合に、前記エアジェットファンを動作させることを特徴とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアシャワー室内の空気を吸い込むプレフィルタと、吸い込んだ空気を加圧するエアジェットファンと、塵埃を除去するメインフィルタと、塵埃を除去した空気をエアシャワー室内に吹き出すエアジェットノズルと、制御部を備えるエアシャワー装置であって、
エアシャワー室内に、作業者が両手で操作する２つの両手かざし用スイッチを備え、
前記制御部は、前記２つの両手かざし用スイッチが操作された場合に、前記エアジェットファンを動作させることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項２】
請求項１に記載のエアシャワー装置において、
前記２つの両手かざし用スイッチは、作業者の頭よりも高い位置で、かつ両手を広げた位置に設けられていることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項３】
請求項１に記載のエアシャワー装置において、
前記両手かざし用スイッチは、非接触型スイッチであることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項４】
請求項１に記載のエアシャワー装置において、
前記両手かざし用スイッチは、接触型スイッチであることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項５】
請求項４に記載のエアシャワー装置において、
前記両手かざし用スイッチは、表示ランプ付き押釦スイッチであることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項６】
請求項１に記載のエアシャワー装置において、更に、
両手をかざす位置を表示する両手かざし位置ランプを備えることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項７】
請求項１に記載のエアシャワー装置において、更に、
作業者を誘導する音声ガイドを備えることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項８】
請求項１に記載のエアシャワー装置において、
前記制御部は、音声ガイドにより両手かざし用スイッチを操作するよう指示し、両手による前記両手かざし用スイッチの操作を検知すると、前記エアジェットファンを動作させるように制御することを特徴とするエアフィルター装置。
【請求項９】
請求項１に記載のエアシャワー装置において、
作業者の入室を検知するエアジェット作動用スイッチを備え、
前記制御部は、前記エアジェット作動用スイッチが作業者の入室を検知すると、設定時間前記エアジェットファンを動作させ、その後に、音声ガイドにより両手かざし用スイッチを操作するよう指示し、両手により前記両手かざし用スイッチの操作を検知すると、引き続き、前記エアジェットファンを動作させるように制御することを特徴とするエアフィルター装置。
【請求項１０】
エアシャワー室を有するエアシャワー装置であって、
前記エアシャワー室の壁面は、空気が吹き出すノズルを有する第１の面と、前記第１の面と対向し前記ノズルを有する第２の面と、前記第１の面および前記第２の面に接続される１次側のドアを有する面と、前記１次側のドアを有する面と対向する２次側のドアを有する面と、前記第１の面および前記第２の面に接続され前記ノズルを有する上面を有しており、
前記第１の面、前記第２の面、前記１次側のドアを有する面、前記２次側のドアを有する面または前記上面に第１の入力手段および第２の入力手段を有し、
前記エアシャワー室の壁面に作業者が触れている状態では、前記第１の入力手段および前記第２の入力手段へ操作ができない位置に配置され、
前記第１の入力手段および前記第２の入力手段に前記作業者の入力信号が入力された場合に前記ノズルが空気を吹き出すことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項１１】
エアシャワー室内の空気を吸い込むプレフィルタと、吸い込んだ空気を加圧するエアジェットファンと、塵埃を除去するメインフィルタと、塵埃を除去した空気をエアシャワー室内に吹き出すエアジェットノズルと、作業者が両手で操作する２つの両手かざし用スイッチと、制御部を備えるエアシャワー装置の作動方法であって、
音声ガイドにより、前記両手かざし用スイッチの操作を指示するステップと、
前記両手かざし用スイッチが両手で操作されたことを検知するステップと、
前記エアジェットファンを動作させるステップと
を備えることを特徴とするエアシャワー装置の作動方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載のエアシャワー装置の作動方法において、
前記２つの両手かざし用スイッチは、作業者の頭よりも高い位置で、かつ両手を広げた位置に設けられていることを特徴とするエアシャワー装置の作動方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載のエアシャワー装置の作動方法において、更に、
両手かざし位置ランプにより、前記両手かざし用スイッチの位置を表示するステップを備えることを特徴とするエアシャワー装置の作動方法。
【請求項１４】
請求項１１に記載のエアシャワー装置の作動方法において、
音声ガイドにより、前記両手かざし用スイッチの操作を指示するステップの前に、エアジェット作動用スイッチによる作業者の入室の検知に基づいて、前記エアジェットファンを設定時間動作させるステップを備えることを特徴とするエアシャワー装置の作動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作業者にエアジェットを当てて塵埃を除去するエアシャワー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エアシャワー装置は、半導体および精密機械等の製造、あるいは食品製造・加工、あるいは医薬品等の製造を行うクリーンルームまたは作業室の出入り口または物品搬入口に設置され、クリーンルームまたは作業室の通路もしくは前室、または物品用の搬入口として使用される。そして、エアシャワー装置によりクリーンルームまたは作業室への塵埃の流入・持ち込みが抑制される。
【０００３】
一般的なエアシャワー装置の機能として、エアシャワー装置室内の人や物品に対して、天井および側面に取り付けているエアジェットノズルからエアジェットを吹出し、人や物品に付着している塵埃を吹き飛ばす。そして、この吹き飛ばされた塵埃は、エアシャワー装置内に設けたプレフィルタ(空気の吸込み口に相当)より吸引され、ファンで加圧され、ＨＥＰＡフィルタ等のメインフィルタを通して除去される。その後、塵埃が除去された循環エアは、再度エアジェットノズルよりエアシャワー室内へ吹き出される。
【０００４】
特許文献１に、エアシャワー装置の一例を示す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２１３７８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のエアシャワー装置では、作業者の脇の下などエアジェットが当たりにくい箇所があった。また、作業者がエアジェットを浴びるのを避ける場合があり、エアシャワー室内の隅に逃げて、エアジェットがしっかりと当たらないなど、エアシャワー装置が想定しない使用方法によって塵埃を適切に除去できないことがあった。
【０００７】
本発明は、エアシャワー装置において、エアジェットが当たりにくい箇所に確実にエアジェットを浴びせることにより、効率良く多くの塵埃を落とすことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明では、エアシャワー装置室内の両手をかざした位置にスイッチを搭載し、作業者がスイッチを動作させることでエアジェットが作動するように制御にする。
【０００９】
上記課題を解決するための、本発明の「エアシャワー装置」の一例を挙げるならば、
エアシャワー室内の空気を吸い込むプレフィルタと、吸い込んだ空気を加圧するエアジェットファンと、塵埃を除去するメインフィルタと、塵埃を除去した空気をエアシャワー室内に吹き出すエアジェットノズルと、制御部を備えるエアシャワー装置であって、エアシャワー室内に、作業者が両手で操作する２つの両手かざし用スイッチを備え、前記制御部は、前記２つの両手かざし用スイッチが操作された場合に、前記エアジェットファンを動作させることを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の「エアシャワー装置の作動方法」の一例を挙げるならば、
エアシャワー室内の空気を吸い込むプレフィルタと、吸い込んだ空気を加圧するエアジェットファンと、塵埃を除去するメインフィルタと、塵埃を除去した空気をエアシャワー室内に吹き出すエアジェットノズルと、作業者が両手で操作する２つの両手かざし用スイッチと、制御部を備えるエアシャワー装置の作動方法であって、音声ガイドにより、前記両手かざし用スイッチの操作を指示するステップと、前記両手かざし用スイッチが両手で操作されたことを検知するステップと、前記エアジェットファンを動作させるステップとを備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、エアジェットが当たりにくい箇所に確実にエアジェットを浴びせることによって、従来のエアシャワー装置よりも効率よく多くの塵埃を落とすことができる。そして、クリーンルームへの塵埃持ち込みを大きく抑制することが可能となり、除塵効果を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施例１のエアシャワー装置の構成図である。
【図２】実施例１のエアシャワー装置の断面図である。
【図３】実施例１のエアシャワー装置の平面図である。
【図４】実施例１のエアシャワー装置の制御フローチャートである。
【図５】実施例２のエアシャワー装置の断面図である。
【図６】実施例３のエアシャワー装置の制御フローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に本発明の実施の形態を、図面を用いて説明する。なお、実施の形態を説明するための各図において、同一の構成要素にはなるべく同一の名称、符号を付して、その繰り返しの説明を省略する。
【実施例１】
【００１４】
図１〜４に、本発明の実施例１のエアシャワー装置を示す。図１は、エアシャワー装置の出口側から見た構成図を示す。エアシャワー装置１は、空気を循環させるエアジェットファン２、エアシャワー室内の空気を吸い込むプレフィルタ４、塵埃を除去するメインフィルタ３、エアジェット気流７を吹き出すエアジェットノズル５、および制御部６で構成されている。これらの配置は、図１に従わなくても良い。図１の構成は、従来のエアシャワー装置と同様である。
【００１５】
図２に、本実施例のエアシャワー装置の断面図を示す。１１は両手をかざす位置を表示する両手かざし位置ランプ、８はかざした両手を検知する光電管スイッチ等の両手かざし用非接触型スイッチである。両手かざし位置ランプ１１および両手かざし用非接触型スイッチ８は、図１の制御部６に接続されている。作業者１０がエアシャワー装置室内に入室した時、両手かざし位置ランプ１１が点灯する。そして、作業者１０が２つの両手かざし用非接触型スイッチ８を両手で操作することでエアジェットが作動する。エアジェットは、作業者１０が２つの両手かざし用非接触型スイッチ８を両手で操作している期間、作動する。設定時間が経過してエアジェット終了後、両手かざし位置ランプ１１が消灯し、退室が可能となる。両手かざし用非接触型スイッチ８は、作業者１０がエアシャワー装置室内の略中央に立ち、両手を上げて広げた状態で、２つの両手かざし用非接触型スイッチを両手で操作できる位置に配置するのが好ましい。また、エアシャワー室の隅に使用者が逃げた場合には、使用者が両手で両手かざし用非接触型スイッチを操作できない位置に、両手かざし用非接触型スイッチ８を配置するのが好ましい。なお、図において、ドアロック解除スイッチ９は、非常時にドアを開けるものである。
【００１６】
図２において、両手かざし用非接触型スイッチ８を作業者１０の頭より高い位置に取り付けることで、作業者１０はエアシャワー室内の隅からは２つの両手かざし用非接触型スイッチ８を同時に両手で操作することができない。すなわち、作業者１０はエアシャワー室内の中央において、両手を上げた状態でエアジェットが当たる位置に立つこととなるため、エアジェット気流７を確実に浴びることとなる。さらに、両手を上げている状態になるため、従来のエアジェットが当たりにくかった脇の下にもエアジェットを当てることができ、効率よく多くの塵埃を落とすことができる。また、作業者１０の上半身を中心に塵埃を除去することにより、上半身からの塵埃落下を防ぎ物品に付着しなくなるため、髪の毛やフケ等の異物混入を防ぐことができる。
【００１７】
図３に、エアシャワー装置の平面図を示す。エアシャワー装置１は、ダーティ側ドア１５、ダーティ側ドアをロックするダーティ側インターロック装置１６、クリーン側ドア１７、クリーン側ドアをロックするクリーン側インターロック装置１８で構成される。ここで、ダーティ側とは、クリーンルームの室外などの清浄化されていない場所をいい、クリーン側とは、クリーンルームなどの清浄化されている場所をいう。なお、ダーティ側およびクリーン側のドアは、自動ドアやシートシャッタなどでも良い。
【００１８】
図４に、本実施例のエアシャワー装置の制御フローチャートを示す。エアシャワー装置は、以下の制御フローにて動作する。
ステップ１０１は、エアシャワー装置に入室前の待機状態である。この時、ダーティ側インターロックＯＦＦ、クリーン側インターロックＯＦＦである。
ステップ１０２で、入室者はエアシャワー室内に入室するためにダーティ側ドア１５を開く。この時、ダーティ側インターロックＯＦＦ、クリーン側インターロックＯＮである。
ステップ１０３で、入室者はエアシャワー室内に入室する。
ステップ１０４で、ダーティ側ドア１５を閉める。この時、ダーティ側インターロックＯＦＦ、クリーン側インターロックＯＦＦである。
ステップ１０５で、両手かざし位置ランプ１１が点灯する。両手かざし位置ランプ１１を点灯することにより、両手かざし用非接触型スイッチ８の取り付け位置が分かりやすくなる。
ステップ１０６で、音声ガイドにより両手かざし用非接触型スイッチ８を手で操作するように指示する。
ステップ１０７で、作業者は両手かざし用非接触型スイッチ８を手で操作する。非接触型スイッチであり、作業者はエアシャワー室内の壁面に触れないため、雑菌防止になる。この時、ダーティ側インターロックＯＮ、クリーン側インターロックＯＮである。
ステップ１０８で、エアジェットが作動する。エアジェットが作動することにより人や物品の塵埃を高速気流により吹き飛ばし、除去を行う。
ステップ１０９で、エアジェット作動中に手を下げてしまった場合、ステップ１１０でエアジェットが終了し、音声ガイドがＯＮとなり、ステップ１０７からやり直しとなる。
ステップ１０９で、エアジェットが設定時間作動を続けると、ステップ１１１で、エアジェットが終了する。
ステップ１１２で、両手かざし位置ランプ１１が消灯する。
ステップ１１３で、入室者はクリーン側に退室するためにクリーン側ドア１７を開く。この時、ダーティ側インターロックＯＮ、クリーン側インターロックＯＦＦである。
ステップ１１４で、入室者はクリーン側へ退出する。
【００１９】
本実施例によれば、作業者はエアシャワー室内の略中央において、両手を上げ広げた状態でエアジェットが当たる位置に立つこととなるため、エアジェット気流を確実に浴びることとなる。そして、エアジェットが当たりにくい脇の下などに確実にエアジェットを浴びせることによって、従来のエアシャワー装置よりも効率よく多くの塵埃を落とすことができる。また、作業者の上半身を中心に塵埃を除去することにより、上半身からの塵埃落下を防ぎ物品に付着しなくなるため、髪の毛やフケ等の異物混入を防ぐことができる。
【実施例２】
【００２０】
図５に、本発明の実施例２のエアシャワー装置の断面図を示す。実施例２は、図２に示される実施例１の構成で、非接触型スイッチ８に代えて押釦等の両手かざし用の接触型スイッチ１３を用いたものである。接触型スイッチ１３は、作業者の手がスイッチに触っているときに、ＯＮとなるものである。両手かざし用の接触型スイッチ８は、表示ランプ付き押釦スイッチとして、スイッチ自体でスイッチ位置を表示するようにしてもよいし、図２に示されるように、両手かざし用の接触型スイッチ１３とは別に両手かざし位置ランプ１１を取り付けてもよい。両手かざし用接触型スイッチ１３は、作業者１０がエアシャワー装置室内の略中央に立ち、両手を上げて広げた状態で、２つの両手かざし用非接触型スイッチを両手で操作できる位置に配置するのが好ましい。
【００２１】
本実施例によれば、実施例１の非接触型スイッチを押釦等の接触型スイッチに変えることにより、作業者が触った感触を確かめられるため、より作業したとの実感を得ることができる。
【実施例３】
【００２２】
図２に基づいて、本発明の実施例３のエアシャワー装置の動作を説明する。本実施例のエアシャワー装置は、作業者の入室を検知する、制御部６に接続されたエアジェット作動用光電管スイッチ１２を備えている。その他の装置構成は、実施例1と同様である。なお、エアジェット作動用光電管スイッチ１２は、光電管スイッチに限らず、作業者の入室を検知できるものであればよい。
【００２３】
作業者１０が両手を下げた状態で入室し、エアエジェット作動用光電管スイッチ１２を遮り、エアジェットを作動させる。設定時間経過後、音声ガイドによる指示および両手かざし位置ランプ１１の点灯により、両手を上げて広げる動作を行い両手かざし用非接触型スイッチ８を両手で遮ることでエアジェットが継続する。エアジェット終了後、両手かざし位置ランプ１１が消灯し、退室が可能となる。
【００２４】
両手下げて入室し、途中で両手を上げることにより、作業者の肩と脇の下の塵埃を効率よく除去することができ、上半身からの塵埃落下を防ぐことができる。そして、クリーンルームへの塵埃持ち込みを大きく抑制することが可能となり、除塵効果が高まる。
【００２５】
図６に、実施例３のエアシャワー装置の制御フローチャートを示す。エアシャワー装置は、以下の制御フローにて動作する。
ステップ２０１は、エアシャワー装置に入室前の待機状態である。この時、ダーティ側インターロックＯＦＦ、クリーン側インターロックＯＦＦである。
ステップ２０２で、入室者はエアシャワー内に入室するためにダーティ側ドア１５を開く。この時、ダーティ側インターロックＯＦＦ、クリーン側インターロックＯＮである。
ステップ２０３で、入室者はエアシャワー室内に入室する。
ステップ２０４で、ダーティ側ドア１５を閉める。この時、ダーティ側インターロックＯＦＦ、クリーン側インターロックＯＦＦである。
ステップ２０５で、エアジェット作動用光電管スイッチ１２を遮る。
ステップ２０６で、エアジェットが作動する。エアジェットの作動により人や物品の塵埃を高速気流により吹き飛ばし、除去を行う。
ステップ２０７で、手を下げた状態でエアジェットを浴びる。作業者の肩、頭部の塵埃を集中的に除去する。
ステップ２０８で、予め定めた設定時間が経過する。
ステップ２０９で、両手かざし位置ランプ１１が点灯する。両手かざし位置ランプを点けることにより、両手かざし用非接触型スイッチ８の取り付け位置が分かりやすくなる。
ステップ２１０で、音声ガイドにより両手かざし用非接触型スイッチ８を手で操作する指示をする。
ステップ２１１で、作業者は両手かざし用非接触型スイッチ８を手で操作する。非接触型スイッチであり、作業者１０はエアシャワー室内の壁面に触れないため、雑菌防止になる。この時、ダーティ側インターロックＯＮ、クリーン側インターロックＯＮ、エアジェットは継続して作動する。この時、両手上げ動作により作業者の脇の下の塵埃を集中的に除去する。
ステップ２１２で、設定時間が経過する。
ステップ２１３で、エアジェットを終了する。
ステップ２１４で、両手かざし位置ランプを消灯する。
ステップ２１５で、入室者はクリーン側に退室するためにクリーン側ドア１７を開く。この時、ダーティ側インターロックＯＮ、クリーン側インターロックＯＦＦである。
ステップ２１６で、入室者はクリーン側へ退出する。
ステップ２１７で、クリーン側ドア１７を閉める。
ステップ２１８で、入室を完了する。
【００２６】
本実施例によれば、両手下げて入室しエアジェット動作を行い、途中で両手を上げてエアジェット動作を行うことにより、作業者の肩と脇の下の塵埃を効率よく除去することができ、上半身からの塵埃落下を防ぐことができる。
【符号の説明】
【００２７】
１  エアシャワー装置
２  エアジェットファン
３  メインフィルタ
４  プレフィルタ
５  エアジェットノズル
６  制御部
７  エアジェット気流
８  両手かざし用非接触型スイッチ
９  ドアロック解除スイッチ
１０  作業者
１１  両手かざし位置ランプ
１２  エアジェット作動用光電管スイッチ
１３  両手かざし用接触型スイッチ
１５  ダーティ側ドア
１６  ダーティ側インターロック装置
１７  クリーン側ドア
１８  クリーン側インターロック装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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