(57)【要約】【課題】液滴検査におけるオペレータの作業を軽減できる液滴検査装置を提供する。各吐出口から吐出される液滴の状態を短時間で検査できる液滴検査方法を提供する。【解決手段】液滴検査装置１は、液滴ヘッド２０１の各吐出口から吐出される液滴ＤＬの状態を、撮像ユニット７を用いて撮像する。液滴検査装置１は、吐出口から吐出される液滴ＤＬを焦点位置（計測位置）において撮像する。液滴検査装置１は、計測位置を各吐出口に対応付けて登録している。液滴検査装置１は、液滴ヘッド２０１に液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴ＤＬを、吐出口に対応する計測位置において撮像ユニット７によって計測する。また、液滴検査装置１は、複数の吐出口のうち、少なくとも２つの吐出口に対応する計測位置が登録されると、その内容と、液滴ヘッド２０１における複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、各吐出口に対応する計測位置を算出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出口を有する液滴ヘッドから吐出される液体の液滴の状態を、計測ユニットを有する液滴検査装置を用いて検査する方法であって、
前記複数の吐出口から吐出される液滴を前記計測ユニットによって計測可能な計測位置であって、各吐出口から吐出される液滴が前記計測位置または当該計測位置の近傍位置を通過するような計測位置を、各吐出口に対応付けて登録する計測位置登録工程と、
前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を、当該吐出口に対応する前記計測位置において前記計測ユニットによって計測する液滴状態計測工程と、
前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程と、
前記複数の吐出口のうち、少なくとも２つの前記吐出口に対応する前記計測位置の登録を受け付ける受付工程とを含み、
前記計測位置登録工程が、前記受付工程において受け付けられた内容と前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、各吐出口に対応する前記計測位置を算出する計測位置算出工程をさらに含む、液滴検査方法。
【請求項２】
前記計測位置登録工程が、
前記計測位置算出工程によって算出された前記計測位置を、前記吐出口に液体を供給して当該吐出口から液滴を吐出させたときの、当該吐出口から吐出される液滴の液滴通過位置と対比させることにより個別に調整する計測位置調整工程をさらに含む、請求項１に記載の液滴検査方法。
【請求項３】
前記計測位置登録工程が、
前記計測位置と前記液滴通過位置との距離に関する情報を報知する距離報知工程をさらに含む、請求項２に記載の液滴検査方法。
【請求項４】
前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の前記位置関係を、事前に登録する事前登録工程をさらに含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴検査方法。
【請求項５】
前記液滴状態計測工程が、
互いに異なる複数の流量の液体が前記液滴ヘッドに供給された場合における、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴検査方法。
【請求項６】
前記液滴状態計測工程に先立って、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴の状態を計測することにより、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する流量取得工程をさらに含み、
前記液滴状態計測工程が、前記流量取得工程によって取得された供給流量の液体を前記液滴ヘッドに供給しながら、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴検査方法。
【請求項７】
前記流量取得工程が、前記液滴ヘッドへの液体の供給流量と、各吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係を算出し、算出した前記対応関係に基づいて、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する工程を含む、請求項６に記載の液滴検査方法。
【請求項８】
前記液滴状態計測工程による計測結果が、所定の良品条件を満たしている場合に前記液滴ヘッドを良品であると判定する良品判定工程をさらに含む、請求項１〜７のいずれか一項に記載の液滴検査方法。
【請求項９】
前記良品条件の入力を受け付ける良品条件入力工程をさらに含み、
前記良品判定工程が、入力された前記良品条件に基づいて前記液滴の状態を判定する工程を含む、請求項８に記載の液滴検査方法。
【請求項１０】
前記液滴状態計測工程の計測結果、前記液滴状態判定工程の判定結果および前記良品判定工程の判定結果の少なくとも一つを作成する検査結果作成工程をさらに含む、請求項８または９に記載の液滴検査方法。
【請求項１１】
前記液滴状態判定工程が所定の判定条件を満たしていないと判定した前記吐出口について、前記液滴状態計測工程と同等の工程を再度実行する再計測工程とをさらに含む、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液滴検査方法。
【請求項１２】
複数の吐出口を有する液滴ヘッドから吐出される液体の液滴の状態を検査する装置であって、
前記複数の吐出口から吐出され、所定の計測位置またはその近傍位置を通過する前記液滴を計測するための計測ユニットと、
前記計測ユニットを制御する制御装置とを含み、
前記制御装置が、前記計測位置を、各吐出口に対応付けて登録する計測位置登録工程と、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を、当該吐出口に対応する前記計測位置において前記計測ユニットによって計測する液滴状態計測工程と、前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程とを実行する、液滴検査装置。
【請求項１３】
前記制御装置が、前記複数の吐出口のうち、少なくとも２つの吐出口に対応する前記計測位置の登録を受け付ける受付工程をさらに実行し、
前記制御装置が、前記計測位置登録工程において、前記受付工程において受け付けられた内容と前記液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、前記複数の吐出口に対応する前記計測位置を算出する計測位置算出工程をさらに実行する、請求項１２に記載の液滴検査装置。
【請求項１４】
前記制御装置が、前記計測位置登録工程において、前記計測位置算出工程によって算出された前記計測位置の調整を受け付ける計測位置調整工程をさらに実行する、請求項１３に記載の液滴検査装置。
【請求項１５】
前記制御装置が、前記計測位置登録工程において、前記計測位置と前記吐出口に液体を供給させて前記吐出口から液滴を吐出させたときに当該吐出口から吐出される液滴の液滴通過位置との距離に関する情報を報知する距離報知工程をさらに実行する、請求項１４に記載の液滴検査装置。
【請求項１６】
前記制御装置が、前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の前記位置関係を、事前に登録する事前登録工程をさらに実行する、請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の液滴検査装置。
【請求項１７】
前記制御装置が、前記液滴状態計測工程において、互いに異なる複数の流量の液体が前記液滴ヘッドに供給された場合における、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を実行する、請求項１２〜１６のいずれか一項に記載の液滴検査装置。
【請求項１８】
前記制御装置が、前記液滴状態計測工程に先立って、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴の状態を計測することにより、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する流量取得工程をさらに実行し、
前記制御装置が、前記液滴状態計測工程において、前記流量取得工程によって取得された供給流量の液体を前記液滴ヘッドに供給しながら、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を実行する、請求項１２〜１７のいずれか一項に記載の液滴検査装置。
【請求項１９】
前記制御装置が、前記流量取得工程において、前記液滴ヘッドへの液体の供給流量と、各吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係を算出し、算出した前記対応関係に基づいて、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する工程を実行する、請求項１８に記載の液滴検査装置。
【請求項２０】
前記制御装置が、前記液滴状態計測工程による計測結果が、所定の良品条件を満たしている場合に前記液滴ヘッドを良品であると判定する良品判定工程をさらに実行する、請求項１２〜１９のいずれか一項に記載の液滴検査装置。
【請求項２１】
前記制御装置が、前記良品条件の入力を受け付ける良品条件入力工程をさらに実行し、
前記制御装置が、前記良品判定工程において、入力された前記良品条件に基づいて前記液滴の状態を判定する工程を実行する、請求項２０に記載の液滴検査装置。
【請求項２２】
前記制御装置が、前記液滴状態計測工程の計測結果、前記液滴状態判定工程の判定結果および前記良品判定工程の判定結果の少なくとも一つを作成する検査結果作成工程をさらに実行する、請求項２０または２１に記載の液滴検査装置。
【請求項２３】
前記制御装置が、前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程と、前記液滴状態判定工程が所定の判定条件を満たしていないと判定した前記吐出口について、前記液滴状態計測工程と同等の工程を再度実行する再計測工程とをさらに実行する、請求項１２〜２２のいずれか一項に記載の液滴検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液滴ヘッドの吐出口から吐出される液滴の状態を検査するための液滴検査方法および液滴検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板などの基板の上面に噴射ノズルからの処理液の液滴を衝突させて、上面を処理することがある（下記特許文献１参照）。このような噴射ノズル（液滴ヘッド）は、多数の吐出口を有している。
下記特許文献２には、液滴ヘッドの複数の吐出口から吐出される微小な液滴の吐出状 態を検査する液滴検査装置が開示されている。この液滴検査装置では、吐出口から吐出される液滴を撮像し、その撮像画像を、予め記憶している参照画像と比較することにより、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測し、液滴ヘッドの良否を判定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２１６７７７号公報
【特許文献２】特開２０１５−６２８７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような液滴検査は、通常、オペレータの手作業によって行われる。具体的には、液滴検査の際には、オペレータは、検査対象の液滴ヘッドを液滴検査装置に取り付ける。そして、オペレータは、液滴ヘッドに関連して設けられたジョグダイヤル等の操作により液滴ヘッドを少しずつ移動させ、計測対象の吐出口から吐出される液滴が所定の計測位置を通るように位置合わせを行う。そして、その計測対象の吐出口から液滴を吐出させながら、計測位置を通過する液滴を撮像装置によって撮像する。この撮像結果に基づいて、オペレータが液滴の流速と液滴の径とを記録する。
【０００５】
１つの吐出口に対する計測が終了すると、オペレータは、ジョグダイヤル等の操作により液滴ヘッドを少しずつ移動させ、次の計測対象の吐出口の計測位置への位置合わせを行う。そして、その吐出口から吐出される液滴の状態を計測する。１つの液滴ヘッドの検査に関し、吐出口の個数（数十〜百数十）分だけ、この一連の作業が必要になる。すなわち、手作業による液滴検査は、非常に手間のかかる作業である。
【０００６】
また、計測位置を、各吐出口に対応した位置に調整する作業には、非常に長時間を要する。そのため、液滴の検査には、非常に長い時間を要していた。
そこで、この発明の目的の一つは、液滴検査におけるオペレータの作業を軽減できる液滴検査装置を提供することである。
また、この発明の他の目的は、各吐出口から吐出される液滴の状態を短時間で検査できる液滴検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記の目的を達成するための請求項１に記載の発明は、複数の吐出口を有する液滴ヘッドから吐出される液体の液滴の状態を、計測ユニットを有する液滴検査装置を用いて検査する方法であって、前記複数の吐出口から吐出される液滴を前記計測ユニットによって計測可能な計測位置であって、各吐出口から吐出される液滴が前記計測位置または当該計測位置の近傍位置を通過するような計測位置を、各吐出口に対応付けて登録する計測位置登録工程と、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を、当該吐出口に対応する前記計測位置において前記計測ユニットによって計測する液滴状態計測工程と、前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程と、前記複数の吐出口のうち、少なくとも２つの前記吐出口に対応する前記計測位置の登録を受け付ける受付工程とを含み、前記計測位置登録工程が、前記受付工程において受け付けられた内容と前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、各吐出口に対応する前記計測位置を算出する計測位置算出工程をさらに含む、液滴検査方法を提供する。
【０００８】
この方法によれば、少なくとも２つの吐出口に対応してそれぞれ登録された計測位置と、液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、各吐出口に対応する計測位置が算出される。そのため、少なくとも２つの吐出口に対応する計測位置を登録するだけで、他の全ての吐出口に対応する計測位置を求めることが可能である。すなわち、少なくとも２つの吐出口に対応する計測位置を登録するだけで、全ての吐出口に関し、当該吐出口に対応する計測位置で液滴の状態を計測し、かつその液滴の状態を判定できる。これにより、各吐出口に対応する計測位置の登録に要する時間が不要であるから、ゆえに、各吐出口から吐出される液滴の状態を短時間で検査できる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、前記計測位置登録工程が、前記計測位置算出工程によって算出された前記計測位置を、前記吐出口に液体を供給して当該吐出口から液滴を吐出させたときの、当該吐出口から吐出される液滴の液滴通過位置と対比させることにより個別に調整する計測位置調整工程をさらに含む、請求項１に記載の液滴検査方法である。
この方法によれば、算出された吐出口に対応する計測位置を、吐出口から実際に吐出される液滴の液滴通過位置と対比させながら個別に調整できる。液滴ヘッドには個体差があるので、液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係のみに基づいて計測位置を登録すると、計測位置と液滴通過位置とが大きくずれることも考えられる。このような調整を行うことにより、液滴ヘッドの個体差によらずに、各吐出口に対応する計測位置を、より高精度に登録できる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、前記計測位置登録工程が、前記計測位置と前記液滴通過位置との距離に関する情報を報知する距離報知工程をさらに含む、請求項２に記載の液滴検査方法である。
この方法によれば、現在の計測位置と液滴通過位置との距離に関する情報が報知される。そのため、現在の計測位置と液滴通過位置との距離を確認しながら、計測位置の調整（計測位置調整工程）を行うことができる。これにより、正確な計測位置を、比較的容易に登録できる。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の前記位置関係を、事前に登録する事前登録工程をさらに含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴検査方法である。
この方法によれば、事前に登録された位置関係に基づいて、他の吐出口に対応する計測位置が求められる。すなわち、検査対象の液滴ヘッドに固有の正確な位置関係に基づいて、他の吐出口に対応する計測位置を算出できる。そのため、他の吐出口の計測位置の算出を、より正確に行うことができる。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、前記液滴状態計測工程が、互いに異なる複数の流量の液体が前記液滴ヘッドに供給された場合における、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴検査方法である。
この方法によれば、互いに異なる流量の液体が液滴ヘッドに供給された場合の各々において、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測できる。液滴ヘッドの使用状態では、液滴ヘッドに種々の流量の液体が供給されることがあるが、その個々の流量に対応する液滴の状態を計測および判定できる。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、前記液滴状態計測工程に先立って、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴の状態を計測することにより、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する流量取得工程をさらに含み、前記液滴状態計測工程が、前記流量取得工程によって取得された供給流量の液体を前記液滴ヘッドに供給しながら、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴検査方法である。
【００１４】
液滴ノズルには個体差があり、液滴ノズルへの液体の供給流量と、吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係が液滴ノズル毎にばらついている。
この方法によれば、所望の液滴の状態が得られるような流量を事前に把握できる。そして、液滴状態計測工程においてその流量の液体を供給することにより、所望する液滴の状態が見込める条件で計測を行うことができる。これにより、所望する状態における、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測できる。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、前記流量取得工程が、前記液滴ヘッドへの液体の供給流量と、各吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係を算出し、算出した前記対応関係に基づいて、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する工程を含む、請求項６に記載の液滴検査方法である。
この方法によれば、液滴ヘッドへの液体の供給流量と、吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係を算出し、算出された対応関係に基づいて、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する。計測を所望する液滴の状態が複数ある場合に、各条件に対応する液体の供給流量を一括して把握できる。
【００１６】
請求項８に記載の発明は、前記液滴状態計測工程による計測結果が、所定の良品条件を満たしている場合に前記液滴ヘッドを良品であると判定する良品判定工程をさらに含む、請求項１〜７のいずれか一項に記載の液滴検査方法である。
この方法によれば、液滴ヘッドが良品条件を満たしている場合に、良品であると判定される。これにより、良品の判定を正確に行うことができる。
【００１７】
請求項９に記載の発明は、前記良品条件の入力を受け付ける良品条件入力工程をさらに含み、前記良品判定工程が、入力された前記良品条件に基づいて前記液滴の状態を判定する工程を含む、請求項８に記載の液滴検査方法である。
この方法によれば、入力された良品条件に基づいて、液滴ヘッドの良品判定が行われる。これにより、良品の判定を柔軟かつ正確に行うことができる。
【００１８】
請求項１０に記載の発明は、前記液滴状態計測工程の計測結果、前記液滴状態判定工程の判定結果および前記良品判定工程の判定結果の少なくとも一つを作成する検査結果作成工程をさらに含む、請求項８または９に記載の液滴検査方法である。
この方法によれば、液液滴状態計測工程の計測結果、液滴状態判定工程の判定結果および良品判定工程の判定結果の少なくとも一つが作成される。このような計測結果および／または良品判定結果を自動的に形成することができれば、オペレータが手作業でこれらの結果についての報告を作成する必要がなく、報告作成に要する労力および時間をなくすことができる。
【００１９】
請求項１１に記載の発明は、前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程と、前記液滴状態判定工程が所定の判定条件を満たしていないと判定した前記吐出口について、前記液滴状態計測工程と同等の工程を再度実行する再計測工程とをさらに含む、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液滴検査方法である。
【００２０】
この方法によれば、判定条件を満たしていない吐出口がある場合に、その吐出口について液滴状態計測工程と同等の工程（再計測）が再度実行される。直ちに再計測を行うことが可能であるため、判定条件を満たさない原因が計測手法の不備がある場合にとくに有用である。
請求項１２に記載の発明は、複数の吐出口を有する液滴ヘッドから吐出される液体の液滴の状態を検査する装置であって、前記複数の吐出口から吐出され、所定の計測位置またはその近傍位置を通過する前記液滴を計測するための計測ユニットと、前記計測ユニットを制御する制御装置とを含み、前記制御装置が、前記計測位置を、各吐出口に対応付けて登録する計測位置登録工程と、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を、当該吐出口に対応する前記計測位置において前記計測ユニットによって計測する液滴状態計測工程と、前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程とを実行する、液滴検査装置を提供する。
【００２１】
この構成によれば、計測ユニットによる計測位置を各吐出口に対応付けて登録する工程と、液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を計測位置において計測ユニットによって計測する工程と、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する工程とを、自動的に行うことが可能である。これらの各工程が自動的に行われるから、液滴検査におけるオペレータの作業を軽減できる。
【００２２】
請求項１３に記載の発明は、前記制御装置が、前記複数の吐出口のうち、少なくとも２つの吐出口に対応する前記計測位置の登録を受け付ける受付工程をさらに実行し、前記制御装置が、前記計測位置登録工程において、前記受付工程において受け付けられた内容と前記液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、前記複数の吐出口に対応する前記計測位置を算出する計測位置算出工程をさらに実行する、請求項１２に記載の液滴検査装置である。
【００２３】
この構成によれば、少なくとも２つの吐出口に対応してそれぞれ登録された計測位置と、液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、各吐出口に対応する計測位置が算出される。そのため、少なくとも２つの吐出口に対応する計測位置を登録するだけで、他の全ての吐出口に対応する計測位置を求めることが可能である。これにより、各吐出口に対応する計測位置の登録に要する時間が不要であるから、ゆえに、各吐出口から吐出される液滴の状態を短時間で検査できる。
【００２４】
請求項１４に記載の発明は、前記制御装置が、前記計測位置登録工程において、前記計測位置算出工程によって算出された前記計測位置の調整を受け付ける計測位置調整工程をさらに実行する、請求項１３に記載の液滴検査装置である。
この構成によれば、自動算出された吐出口に対応する計測位置を、吐出口から実際に吐出される液滴の液滴通過位置と対比させながら個別に調整できる。液滴ヘッドには個体差があるので、液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係のみに基づいて計測位置を登録すると、計測位置と液滴通過位置とが大きくずれることも考えられる。このような調整を行うことにより、液滴ヘッドの個体差によらずに、各吐出口に対応する計測位置を、より高精度に登録できる。
【００２５】
請求項１５に記載の発明は、前記制御装置が、前記計測位置登録工程において、前記計測位置と前記吐出口に液体を供給させて前記吐出口から液滴を吐出させたときに当該吐出口から吐出される液滴の液滴通過位置との距離に関する情報を報知する距離報知工程をさらに実行する、請求項１４に記載の液滴検査装置である。
この構成によれば、現在の計測位置と液滴通過位置との距離に関する情報が報知される。そのため、現在の計測位置と液滴通過位置との距離を確認しながら、計測位置の調整（計測位置調整工程）を行うことができる。これにより、正確な計測位置を、比較的容易に登録できる。
【００２６】
請求項１６に記載の発明は、前記制御装置が、前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の前記位置関係を、事前に登録する事前登録工程をさらに実行する、請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の液滴検査装置である。
この構成によれば、事前に登録された位置関係に基づいて、他の吐出口に対応する計測位置が求められる。すなわち、検査対象の液滴ヘッドに固有の正確な位置関係に基づいて、他の吐出口に対応する計測位置を算出できる。そのため、他の吐出口の計測位置の算出を、より正確に行うことができる。
【００２７】
請求項１７に記載の発明は、前記制御装置が、前記液滴状態計測工程において、互いに異なる複数の流量の液体が前記液滴ヘッドに供給された場合における、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を実行する、請求項１２〜１６のいずれか一項に記載の液滴検査装置である。
この構成によれば、互いに異なる流量の液体が液滴ヘッドに供給された場合の各々において、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測できる。液滴ヘッドの使用状態では、液滴ヘッドに種々の流量の液体が供給されることがあるが、その個々の流量に対応する液滴の状態を計測および判定できる。
【００２８】
請求項１８に記載の発明は、前記制御装置が、前記液滴状態計測工程に先立って、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴の状態を計測することにより、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する流量取得工程をさらに実行し、前記制御装置が、前記液滴状態計測工程において、前記流量取得工程によって取得された供給流量の液体を前記液滴ヘッドに供給しながら、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を実行する、請求項１２〜１７のいずれか一項に記載の液滴検査装置である。
【００２９】
この構成によれば、所望の液滴の状態が得られるような流量を事前に把握できる。そして、液滴状態計測工程においてその流量の液体を供給することにより、所望する状態が見込める条件で計測を行うことができる。これにより、所望する状態における、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測できる。
請求項１９に記載の発明は、前記制御装置が、前記流量取得工程において、前記液滴ヘッドへの液体の供給流量と、各吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係を算出し、算出した前記対応関係に基づいて、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する工程を実行する、請求項１８に記載の液滴検査装置である。
【００３０】
この構成によれば、液滴ヘッドへの液体の供給流量と、吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係を算出し、算出された対応関係に基づいて、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する。計測を所望する液滴の状態が複数ある場合に、各条件に対応する液体の供給流量を一括して把握できる。
請求項２０に記載の発明は、前記制御装置が、前記液滴状態計測工程による計測結果が、所定の良品条件を満たしている場合に前記液滴ヘッドを良品であると判定する良品判定工程をさらに実行する、請求項１２〜１９のいずれか一項に記載の液滴検査装置である。
【００３１】
この構成によれば、液滴ヘッドが良品条件を満たしている場合に、良品であると判定される。これにより、良品の判定を正確に行うことができる。
請求項２１に記載の発明は、前記制御装置が、前記良品条件の入力を受け付ける良品条件入力工程をさらに実行し、前記制御装置が、前記良品判定工程において、入力された前記良品条件に基づいて前記液滴の状態を判定する工程を実行する、請求項２０に記載の液滴検査装置である。
【００３２】
この構成によれば、入力された良品条件に基づいて、液滴ヘッドの良品判定が行われる。これにより、良品の判定を柔軟かつ正確に行うことができる。
請求項２２に記載の発明は、前記制御装置が、前記液滴状態計測工程の計測結果、前記液滴状態判定工程の判定結果および前記良品判定工程の判定結果の少なくとも一つを作成する検査結果出力工程をさらに実行する、請求項２０または２１に記載の液滴検査装置である。
【００３３】
この構成によれば、液液滴状態計測工程の計測結果、液滴状態判定工程の判定結果および良品判定工程の判定結果の少なくとも一つが作成される。このような計測結果および／または良品判定結果を自動的に形成することができれば、オペレータが手作業でこれらの結果についての報告を作成する必要がなく、報告作成に要する労力および時間をなくすことができる。
【００３４】
請求項２３に記載の発明は、前記制御装置が、前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程と、前記液滴状態判定工程が所定の判定条件を満たしていないと判定した前記吐出口について、前記液滴状態計測工程と同等の工程を再度実行する再計測工程とをさらに実行する、請求項１２〜２２のいずれか一項に記載の液滴検査装置である。
【００３５】
この構成によれば、判定条件を満たしていない吐出口がある場合に、その吐出口について液滴状態計測工程と同等の工程（再計測）が再度実行される。直ちに再計測を行うことが可能であるため、判定条件を満たさない原因が計測手法の不備がある場合にとくに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る液滴検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】図２は、前記液滴検査装置による計測対象の液滴ヘッドが用いられる基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図３Ａ】図３Ａは、前記液滴ヘッドの模式的な側面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、前記液滴ヘッドの拡大平面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、前記液滴検査装置に含まれる撮像ユニットの側面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、前記撮像ユニットの斜視図である。
【図５Ａ】図５Ａは、前記撮像ユニットによる撮像範囲を示す平面図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、前記撮像ユニットによる撮像範囲を示す側面図である。
【図５Ｃ】図５Ｃは、前記液滴ヘッドから吐出される液滴を、前記撮像ユニットによって撮像した撮像図である。
【図６】図６は、前記液滴検査装置による液滴検査処理の例を説明するための流れ図である。
【図７】図７は、図１に示す主制御装置の表示部における表示内容の一例を示す図である。
【図８】図８は、前記主制御装置の表示部における表示内容の一例を示す図である。
【図９】図９は、前記主制御装置表示部における表示内容の一例を示す図である。
【図１０】図１０は、前記主制御装置の表示部における表示内容の一例を示す図である。
【図１１】図１１は、流量計測における流量の算出方法を説明するための図である
【図１２】図１２は、前記主制御装置の表示部における表示内容の一例を示す図である。
【図１３】図１３は、検査成績書の一例を示す図である。
【図１４】図１４は、流速テーブルについて説明するための図である。
【図１５】図１５は、液滴ヘッドを登録するためのヘッド事前登録画面を示す図である。
【図１６】図１６は、良品条件および判定条件を設定するための条件設定画面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下では、この発明の実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る液滴検査装置１の概略構成を示す図である。
図１に示すように、液滴検査装置１は、検査対象の液滴ヘッド２０１から吐出される液体の液滴ＤＬ（以下、単に「液滴ＤＬ」という）の状態を検査する本体部２と、本体部２による、液滴状態の検査を実行する主制御装置（制御装置）３とを含む。この実施形態では、液滴検査装置１は、液滴ヘッド２０１から吐出される液滴ＤＬの状態（以下、単に「液滴状態」という場合がある）として、液滴ＤＬの流速（以下、単に「液滴流速」という場合がある）と液滴ＤＬの粒径（以下、単に「液滴粒径」という場合がある）との良否を検査している。
【００３８】
本体部２は、検査対象の液滴ヘッド２０１を保持するヘッドホルダ４と、ヘッドホルダ４に保持されている（取り付けられている）液滴ヘッド２０１に対して、液体供給源からの計測用の液体を供給する液体供給配管５と、ヘッドホルダ４に保持されている（取り付けられている）液滴ヘッド２０１からの排液が導かれる液体排液配管６と、液滴ヘッド２０１の圧電素子２１６に電圧を印加する、インバータ等の電圧印加ユニット１０Ｂと、液滴ヘッド２０１から吐出される液滴ＤＬを撮像する撮像ユニット７（計測ユニット）と、液滴ヘッド２０１から吐出される液滴ＤＬを受け止めるポット８とを含む。
【００３９】
ヘッドホルダ４には、ヘッドホルダ４を、Ｘ方向（水平方向の一方向）、Ｙ方向（前記一方向に直交する水平方向）およびＺ方向（鉛直方向）の３軸方向にそれぞれ移動させるためのＸＹＺ駆動ユニット９が結合されている。ＸＹＺ駆動ユニット９の駆動により、液滴ヘッド２０１を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向にそれぞれ移動させることができる。ヘッドホルダ４は、撮像ユニット７よりも上方に配置されている。
【００４０】
液体供給配管５には、ポンプ１０Ａにより圧送された液体が供給されている。この液体は、たとえば水である。水は、たとえば、純水（脱イオン水：Deionized water）であるが、水は、純水に限らず、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、および希釈濃度（たとえば、１０〜１００ｐｐｍ程度）の塩酸水のいずれかであってもよい。
撮像ユニット７は、ストロボ光源１１と、カメラ１２とを含む。ストロボ光源１１と、カメラ１２とは、液滴ヘッド２０１から吐出される液滴ＤＬ（の液滴通過位置）を水平方向に挟んで互いに対向している。ストロボ光源１１は、水平方向（Ｘ方向および／またはＹ方向）に移動可能に設けられた第１の支持台１３上に配置されている。カメラ１２は、水平方向（Ｘ方向および／またはＹ方向）に移動可能に設けられた第２の支持台１４上に配置されている。これら第１および第２の支持台１３，１４の水平移動は、オペレータの作業により手作業によってのみ実現可能である。
【００４１】
ポット８は、有底箱状をなしている。ポット８は、ストロボ光源１１およびカメラ１２に対し、下方側に配置されている。ポット８の上面には、ポット８の内部に連通する上開口１５が形成されている。また、ポット８の底面には、排出口１６が形成されている。排出口１６には、排液配管１７が接続されている。液滴ヘッド２０１から吐出された液滴は、ストロボ光源１１とカメラ１２との間を通った後、上開口１５を介してポット８の内部に入って、ポット８の内壁に受け止められる。その後、排液配管１７を介して機外に排出される。
【００４２】
主制御装置３は、パーソナルコンピュータ（personal computer）の形態を有していてもよく、ＣＰＵ等の演算ユニット２０と、出入力部と、記憶装置２１と、表示部５１を備えている。出入力部は、表示ユニット等の出力機器と、キーボード、ポインティングデバイス、タッチパネル等の入力機器とを含む。記憶装置２１は、固体メモリデバイス、ハードディスクドライブ等の記憶装置を含む。主制御装置３は、本体部２に電気的に接続されている。
【００４３】
主制御装置３には、プリンタが接続されている。
主制御装置３は、コンピュータを用いて構成されている。主制御装置３はＣＰＵ等の演算ユニット２０、固定メモリデバイス（図示しない）、ハードディスクドライブ等の記憶装置２１、および入出力ユニット（図示しない）を有している。
記憶装置２１は、プログラム記憶部２２と、液滴ヘッド情報記憶部２３と、良品条件記憶部３１と、判定条件記憶部３２と、流速テーブル記憶部２４とを含む。プログラム記憶部２２は、演算ユニット２０が実行するプログラムを記憶する記憶部である。
【００４４】
プログラム記憶部２２には、ＧＵＩ（Graphical User Interface）２６と、液滴検査プログラム２７と、データ解析プログラム２８と、検査結果出力プログラム２９と、ＸＹＺ駆動プログラム３０とが記憶されている。液滴検査プログラム２７は、後述する液滴検査処理を実行するためのプログラムである。データ解析プログラム２８は、撮像ユニット７により撮像された画像データをデータ解析するためのプログラムである。検査結果出力プログラム２９は、検査結果を作成するためのプログラムである。ＸＹＺ駆動プログラム３０は、ＸＹＺ駆動ユニット９を駆動するためのプログラムである。
【００４５】
液滴ヘッド情報記憶部２３には、登録されている液滴ヘッド２０１についての種々の情報（液滴ヘッド２０１の名称、吐出口２２７の数、各吐出口２２７の位置情報（複数の吐出口２２７同士の位置関係）等）が記憶される。流速テーブル記憶部２４には、基準となる基準流速テーブル３３と、補正後の補正後流速テーブル３４とが記憶されている。
良品条件記憶部３１は良品条件を記憶する。判定条件記憶部３２は判定条件を記憶する。流速テーブル記憶部２４は、液滴ヘッド２０１への供給流量と液滴ＤＬの流速等との対応関係を規定するテーブルを記憶する。
【００４６】
図２は、液滴検査装置１による検査対象の液滴ヘッド２０１が用いられる基板処理装置３０１の概略構成を示す図である。図３Ａは、液滴ヘッド２０１の模式的な側面図である。図３Ｂは、液滴ヘッド２０１の拡大平面図である。
基板処理装置３０１は、処理液（薬液やリンス液等）を用いて半導体ウエハなどの円板状の基板Ｗを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。基板処理装置３０１は、スピンチャック３０２と、液滴ヘッド２０１と、ノズルアーム３０３と、アーム移動ユニット３０４とを含む。スピンチャック３０２は、基板Ｗを水平に保持しながら基板Ｗの中央部を通る鉛直な回転軸線Ａ１まわりに基板Ｗを回転させる。液滴ヘッド（液滴ノズル）２０１は、スピンチャック３０２に保持されている基板Ｗに処理液の液滴を衝突させる。液滴ヘッド２０１は、インクジェット方式によって多数の液滴を噴射するインクジェットノズルである。ノズルアーム３０３には、液滴ヘッド２０１が取り付けられている。アーム移動ユニット３０４は、ノズルアーム３０３を鉛直な揺動軸線Ａ２まわりに揺動させる。
【００４７】
液滴ヘッド２０１には、処理液供給源からの処理液を液滴ヘッド２０１に供給する処理液配管２１０が接続されている。液滴ヘッド２０１には、ポンプ１０Ａによる圧送により、常時、所処理液が供給される。液滴ヘッド２０１は、排出バルブ２１５が介装された排液配管２１４に接続されている。液滴ヘッド２０１は、液滴ヘッド２０１の内部に配置された圧電素子（piezo element）２１６を含む。圧電素子２１６は、配線２１７を介してインバータ等の電圧印加ユニット２１８に接続されている。電圧印加ユニット２１８は、たとえば、を含む。電圧印加ユニット２１８よって、交流電圧が圧電素子２１６に印加されると、印加された交流電圧の周波数に対応する周波数で圧電素子２１６が振動する。圧電素子２１６に印加される交流電圧の周波数を任意の周波数（たとえば、数百KHz〜数ＭＨｚ）に変更することにより、圧電素子２１６の振動の周波数を変更できる。
【００４８】
液滴ヘッド２０１は、本体２２１を備えている。図３Ａに示すように、本体２２１は、処理液が供給される供給口２２４と、供給口２２４に供給された処理液を排出する排出口２２５と、供給口２２４と排出口２２５とを接続する処理液流通路２２６と、処理液流通路２２６に接続された複数の吐出口２２７とを含む。処理液流通路２２６は、本体２２１の内部に設けられている。供給口２２４、排出口２２５、および吐出口２２７は、本体２２１の表面で開口している。供給口２２４および排出口２２５は、吐出口２２７よりも上方に位置している。本体２２１の下面２０１ａは、たとえば、水平な平坦面であり、吐出口２２７は、本体２２１の下面２０１ａで開口している。吐出口２２７は、たとえば数μm〜数十μmの直径を有する微細孔である。処理液配管２１０および排液配管２１４は、それぞれ、供給口２２４および排出口２２５に接続されている。
【００４９】
図３Ｂに示すように、複数の吐出口２２７は、複数（図３Ｂでは、たとえば４つ）の列Ｌを構成している。各列Ｌは、等間隔で配列された多数（１０個以上。たとえば２０個）の吐出口２２７によって構成されている。各列Ｌは、水平な長手方向に沿って直線状に延びている。各列Ｌは、直線状に限らず、曲線状であってもよい。
処理液配管２１０を介して供給口２２４に供給された処理液は、処理液流通路２２６に供給される。排出バルブ２１５が閉じられている状態では、処理液流通路２２６での処理液の圧力（液圧）が高い。そのため、排出バルブ２１５が閉じられている状態では、液圧によって各吐出口２２７から処理液が噴射される。さらに、排出バルブ２１５が閉じられている状態で、交流電圧が圧電素子２１６に印加されると、処理液流通路２２６を流れる処理液に圧電素子２１６の振動が付与され、各吐出口２２７から噴射される処理液が、この振動によって分断される。そのため、排出バルブ２１５が閉じられている状態で、交流電圧が圧電素子２１６に印加されると、処理液の液滴が各吐出口２２７から噴射される。これにより、粒径が均一な多数の処理液の液滴が均一な速度で同時に噴射され、基板Ｗの上面に吹き付けられる。
【００５０】
一方、排出バルブ２１５が開かれている状態では、処理液流通路２２６に供給された処理液が、排出口２２５から排液配管２１４に排出される。すなわち、排出バルブ２１５が開かれている状態では、処理液流通路２２６での液圧が十分に上昇していないため、処理液流通路２２６に供給された処理液は、微細孔である吐出口２２７から噴射されずに、排出口２２５から排液配管２１４に排出される。したがって、吐出口２２７からの処理液の吐出は、排出バルブ２１５の開閉により制御される。液滴ヘッド２０１を基板Ｗの処理に使用しない間（液滴ヘッド２０１の待機中）は、排出バルブ２１５が開かれている。そのため、液滴ヘッド２０１の待機中であっても、液滴ヘッド２０１の内部で処理液が流通している状態が維持される。
【００５１】
液滴ヘッド２０１に供給される処理液は、薬液および水を含む。薬液は、たとえば、硫酸、酢酸、硝酸、塩酸、フッ酸、アンモニア水、過酸化水素水、有機酸（たとえばクエン酸、蓚酸など）、有機アルカリ（たとえば、ＴＭＡＨ：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなど）、および界面活性剤、腐食防止剤の少なくとも１つを含む液であってもよい。
【００５２】
図４Ａは、液滴検査装置１に含まれる撮像ユニット７の側面図である。図４Ｂは、撮像ユニット７の斜視図である。図５Ａは、撮像ユニット７による撮像範囲を示す平面図である。図５Ｂは、撮像ユニット７による撮像範囲を示す側面図である。図５Ｃは、液滴ヘッド２０１から吐出されている液滴ＤＬを、撮像ユニット７によって撮像した撮像図である。
【００５３】
図４Ａおよび図４Ｂに示すように、ストロボ光源１１は、ストロボと、主制御装置３に電気的に接続された発光回路とを含む。発光回路は、主制御装置３から供給される制御信号に応じたタイミングで駆動電流をストロボに供給してストロボを発光させる。
カメラ１２は、被写体（液滴ＤＬおよびその周囲）の光学像を結像させるレンズと、このレンズによって結像された光学像を電気信号に変換する撮像素子と、変換の電気信号に基づいて画像信号を生成して、主制御装置３に送信する撮像回路とを含む。撮像素子は、ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサ等を含む。カメラ１２は、１秒間に数千〜数万枚の速度で撮像可能な高速度カメラであってもよいし、１秒間に１０枚〜１００枚程度の速度で撮像可能な一般的なカメラであってもよい。
【００５４】
Ｘ方向は、ヘッドホルダ４に取り付けられている液滴ヘッド２０１の各列Ｌにおける複数の吐出口２２７の配列方向である。Ｙ方向は、ヘッドホルダ４に取り付けられている液滴ヘッド２０１の複数の列Ｌの配列方向であり、水平面内でＸ方向と直交する方向である。
ＸＹＺ駆動ユニット９は、ヘッドホルダ４をＸ方向に移動させるＸ方向駆動モータと、ヘッドホルダ４をＹ方向に移動させるＹ方向駆動モータと、ヘッドホルダ４をＺ方向に移動させるＺ方向駆動モータとを含む。Ｘ方向駆動モータ、Ｙ方向駆動モータおよびＺ方向駆動モータは、それぞれステッピングモータである。各ステッピングモータには、このステッピングモータを駆動するためのドライバ回路が接続されている。ドライバ回路は、主制御装置３に接続されている。また、ドライバ回路は、手動操作用の操作ユニット（ジョグダイヤル）にも接続されている。
【００５５】
主制御装置３の演算ユニット２０は、ＸＹＺ駆動プログラム３０に基づいて、各ドライバ回路に対して、液滴ヘッド２０１の移動量（すなわち、ヘッドホルダ４）の移動量に応じたパルス信号を出力する。各ドライバ回路は、演算ユニット２０からのパルス数に応じた励磁信号を、対応するステッピングモータに付与する。
また、手動操作用の操作ユニットからの駆動信号がドライバ回路に与えられると、各ドライバ回路は、当該駆動信号に応じた励磁信号を、対応するステッピングモータに付与する。また、各ドライバ回路は、操作ユニットからの駆動信号にパルス数を、主制御装置３に通知する。
【００５６】
主制御装置３は、各ステッピングモータの回転量（メカ原点（図５Ａおよび図５Ｂ参照）を基準とした値）を管理している。主制御装置３は、液滴ヘッド２０１がメカ原点（図５Ａおよび図５Ｂ参照）にある状態から、この回転量（ステップ数）に応じた数のパルスを各ドライバ回路に出力することにより、液滴ヘッド２０１を所望の位置に正確に配置できる。
【００５７】
カメラ１２には、測定精度や再現性を向上する観点から、焦点距離が固定されたレンズが採用される。この実施形態では、液滴検査処理中にカメラ１２は動かさず、その焦点位置ＦＰも変化させない。カメラ１２は、所定の焦点位置ＦＰ（計測位置）およびその近傍位置を通過する液滴ＤＬを撮像する。
図５Ｃに示すように、計測対象の１つの吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬが、カメラ１２の視野ＦＶに同時に複数個（たとえば、４〜６個程度）入るように、カメラ１２と焦点位置ＦＰとの間の距離が決定される。また、ストロボ光源１１は、光路内にカメラ１２の視野ＦＶを含むように光を照射する。
【００５８】
図４Ａおよび図４Ｂの例では、吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの軌跡（液滴通過位置ＰＰ）を挟んで互いに対向するように、カメラ１２とストロボ光源１１とが配置されている。この状態で、カメラ１２のレンズの光軸と、ストロボ光源１１の照射方向とが互いにほぼ一致している。そして、カメラ１２は、ストロボ光源１１によって照射した光が液滴ＤＬを透過した透過光を撮像する。光源として、ストロボ光源１１を例に挙げて説明したが、ＬＥＤ光源等の他の光源を採用することもできる。
【００５９】
演算ユニット２０は、液滴検査プログラム２７に基づいて、カメラ１２およびストロボ光源１１を制御する。具体的には、演算ユニット２０は、カメラ１２の撮像タイミング、シャッター速度、感度等の制御を行う。また、演算ユニット２０は、ストロボ光源１１の発光タイミング等を制御する。
演算ユニット２０は、ＸＹＺ駆動プログラム３０に基づいてＸＹＺ駆動ユニット９を駆動し、ヘッドホルダ４および液滴ヘッド２０１を、計測対象の吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬが焦点位置ＦＰまたはその近傍を通過するように配置する。
【００６０】
演算ユニット２０は、撮像ユニット７から付与された液滴の画像データを、データ解析プログラム２８に基づいて画像解析する。具体的には、演算ユニット２０は、記憶装置２１に記憶されている参照用の画像等と比較して、画像データに含まれる液滴の状態（液滴速度および液滴粒径等）を演算によって算出する。
この実施形態では、吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬを撮像するときの、各吐出口２２７に対応する焦点位置ＦＰの、メカ原点からの位置ずれを、各焦点位置の位置情報（Ｘ座標、Ｙ座標およびＺ座標）として扱う。以下、焦点位置ＦＰを計測位置ＭＰとして呼ぶことがある。
【００６１】
図６は、液滴検査装置１による液滴検査処理の例を説明するための流れ図である。図７は、表示部５１における液滴ヘッド選択画面６１を示す図である。図８および図９は、表示部５１における各位置登録画面７１を示す図である。図１０は、表示部５１における流量計測画面９１を示す図である。図１１は、流量計測における流量の算出方法を説明するための図である。図１２は、表示部５１における液滴状態計測画面１１１の一例を示す図である。図１３は、検査成績書１４１の一例を示す図である。図１４は、流速テーブル１４２について説明するための図である。図１、図６〜図１４を参照しながら液滴検査処理について説明する。
【００６２】
液滴検査装置１を用いた液滴検査処理に先立って、オペレータは、検査対象の液滴ヘッド２０１をヘッドホルダ４に取り付ける。具体的には、オペレータは、液体供給配管５および液体排液配管６をヘッドホルダ４に接続すると共に、液滴ヘッド２０１の圧電素子２１６に電圧印加ユニット１０Ｂを接続する。また、オペレータは、カメラ１２を手動で操作して、焦点位置ＦＰ（計測位置ＭＰ）の調整を行う。
【００６３】
液滴検査処理では、検査対象の液滴ヘッド２０１の全ての吐出口２２７について、吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態（すなわち、液滴流速および液滴粒径）の良否を判定している。検査対象の液滴流速の上昇に伴って、液滴ヘッド２０１に供給すべき液体の流量（以下、単に「供給流量」という。）、および圧電素子２１６に印加すべき交流電圧の周波数（以下、単に「周波数」という。）を、それぞれ上昇させる必要がある。そのため、液滴流速と、供給流量および周波数との対応関係を、基準流速テーブル３３として記憶している。この実施形態では、液滴流速が互いに異なる複数段階（たとえは６段階）の検査条件が用意されている。各検査条件における液滴流速として、たとえば、１０（m/s）、２０（m/s）、３０（m/s）、４０（m/s）、５０（m/s）、６０（m/s）の６通りの速度が採用されている。
【００６４】
また、液滴検査装置１において液滴検査処理を行う場合、オペレータは、液滴検査装置１に電源を投入し、かつ主制御装置３にログインしなければならない。液滴検査装置１への電源投入後、主制御装置３の表示部５１には、初期画面が表示される。初期画面は、オペレータに対し、オペレータＩＤおよびパスワードの入力を要求する画面である。オペレータの名前およびパスワードが権限内容と紐付け（対応付け）られて記憶装置２１に記憶されている。オペレータがオペレータＩＤおよびパスワードを入力すると、主制御装置３は、入力されたオペレータＩＤおよびパスワードと、記憶されているオペレータＩＤおよびパスワードとを照合して、本人認証を行う。本人認証が済めば、ログインが成功したことになる。なお、本人認証の際に、パスワードを省略してもよい。また、オペレータＩＤは、カードを読み取ることにより行ってもよい。ログインが成功すると、主制御装置３は、表示部５１に、メニュー画面を表示させる。メニュー画面において「検査（inspection）」のボタンが操作されると、表示部５１に、サブメニューバー５２が表示される。サブメニューバー５２には、ヘッド選択ボタン５３、位置登録（position register）ボタン５４、流量計測ボタン５５および流速計測ボタン５６が表示される。サブメニューバー５２は、以降の各画面（図７〜１０および図１２に示す画面）において表示され続ける。
【００６５】
サブメニューバー５２において、ヘッド選択ボタン５３が操作されると、主制御装置３は、図７に示す液滴ヘッド選択画面６１を表示部５１に表示させる。液滴ヘッド選択画面６１を用いて、オペレータによって液滴ヘッド２０１の選択が行われる（図６のＳ１；液滴ヘッド選択）。
液滴ヘッド選択画面６１は、登録ヘッド種類表示部６２と、各吐出口位置操作表示部６４とを含む。
【００６６】
登録ヘッド種類表示部６２は、登録済みの液滴ヘッド２０１の種類の一覧を表示する。オペレータは、操作部を操作して、登録ヘッド種類表示部６２に表示されている液滴ヘッド２０１のうち今回の検査対象を選択する。液滴ヘッド２０１の選択後、選択（Select）ボタン６３が操作されると、各吐出口位置操作表示部６４に、現在選択されている液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の計測位置ＭＰの位置情報（基準位置からのＸ方向およびＹ方向の位置ずれ）が表示される。サブメニューバー５２において位置登録ボタン５４が操作されると、主制御装置３は、次いで、図８に示す位置登録画面７１を表示部５１に表示させる。位置登録画面７１において、液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の位置登録（以下、「各吐出口位置登録」）が行われる（図６のＳ２：各吐出口位置登録（計測位置登録工程、計測対象位置計測位置調整工程））。
【００６７】
位置登録画面７１は、複数の個別位置表示部７２と、基準流速テーブル表示部７３と、ヘッド移動操作表示部７４と、基準ノズル表示部７５とを含む。
各個別位置表示部７２は、液滴ヘッド２０１の全ての吐出口２２７の数だけ設けられており、液滴ヘッド２０１の吐出口２２７に一対一対応で設けられている。各個別位置表示部７２は、対応する吐出口２２７（nozulle）の番号と、対応する吐出口２２７の計測位置ＭＰの位置情報（Ｘ座標、Ｙ座標、Ｚ座標）を表示する吐出口位置操作表示部８２と、登録（Register）ボタン８３と、移動（move）ボタン８４と、登録状態表示８５とを含む。
【００６８】
基準流速テーブル表示部７３は、基準流速テーブル３３に記憶されている、液滴流速（Speed（m/s））と、供給流量（Rate（L/min））および周波数（Frequency（kHz））とが、液滴流速が互いに異なる複数段階（たとえは６段階）の検査条件に分けて表示される。
ヘッド移動操作表示部７４は、原点位置移動ボタン７６と、現在位置操作表示部７７と、位置操作ボタン７８とを含む。
【００６９】
各吐出口位置登録に際し、オペレータは、まず、位置登録画面７１において原点位置移動ボタン７６を操作する。これにより、主制御装置３は、ＸＹＺ駆動ユニット９を制御して、ヘッドホルダ４に保持されている液滴ヘッド２０１を、原点位置「（Ｘ：０（μm），Ｙ：０（μm），Ｚ：５０００（μm））」に移動させる。
次いで、また、オペレータは、基準流速テーブル表示部７３の表示内容に基づいて、各吐出口位置登録において用いる液滴速度を、操作部を用いて選択する。その後、リフレクト（Reflect）ボタン８１が操作されることにより、各吐出口位置登録において用いる液滴速度が決定される。この液滴速度として、たとえば３０（m/s）が決定される。
【００７０】
その後、主制御装置３は、ポンプ１０Ａを制御して、ヘッドホルダ４に保持されている液滴ヘッド２０１に液体を供給する共に、電圧印加ユニット１０Ｂを制御して、圧電素子２１６に交流電圧を印加する。また、オペレータは、カメラ１２を手動で操作して、焦点位置ＦＰ（計測位置ＭＰ）の調整を行う。これにより、液滴ヘッド２０１に含まれる多数の吐出口２２７のそれぞれから液滴ＤＬが吐出される。
【００７１】
液滴ＤＬの吐出開始後には、主制御装置３は、撮像ユニット７を制御して計測位置ＭＰ（焦点位置ＦＰ。図５Ｃ参照）を撮像し、その撮像結果を分析することにより、液滴ヘッド２０１から吐出される液滴ＤＬの軌跡ＰＰ（以下、「液滴通過位置ＰＰ」という）（図４Ｂ参照）が、計測位置ＭＰに接近または一致しているか否かを調べる。主制御装置３は、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離を算出している。この実施形態では、オペレータに対し、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離を段階的に報知している。また、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離を、現在の調整対象の吐出口２２７に対応する個別位置表示部７２において報知する。具体的には、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離が所定値（たとえば２００（μm））以下になると、個別位置表示部７２の背景色が、通常のグレー（通常色）から白色（第１の特別色）に変化する。そして、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離が所定値（たとえば１００（μm））以下になると、個別位置表示部７２の背景色が、白色から薄緑色（第２の特別色）に変化する。
【００７２】
次に、液滴ヘッド２０１からの液滴ＤＬの吐出開始後、オペレータは、基準となる２つの吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰの登録を行う。基準となる２つの吐出口２２７は、通例、行列状に並んでいる多数の吐出口２２７のうち、対角に位置する２つの吐出口２２７（図３Ａに示す吐出口２２７Ａと吐出口２２７Ｂ）である。
まず、オペレータは、吐出口２２７Ａ（Nozzle 1）に対応する計測位置ＭＰの登録を行う。具体的には、オペレータは、位置操作ボタン７８を操作することにより、液滴ヘッド２０１の配置位置（Ｘ座標および／またはＹ座標）を調整させる。液滴ヘッド２０１の配置位置（Ｘ座標および／またはＹ座標）の変化に伴って、主制御装置３がＸＹＺ駆動ユニット９を制御して、液滴ヘッド２０１をＸ方向および／またはＹ方向に移動させる。個別位置表示部７２の背景色が、通常のグレーから白色に変化し、さらには薄緑色に変化することにより、オペレータは、計測位置ＭＰが計測位置ＭＰに極めて接近したことを把握できる。オペレータは、個別位置表示部７２の背景色の変化を観察しながら、吐出口２２７Ａ（Nozzle 1）に対応する計測位置ＭＰを登録する。吐出口２２７Ａ（Nozzle 1）に対応するレジスター（Register）ボタン８３が操作されると、その吐出口２２７Ａの現在の位置が、吐出口２２７Ａ（Nozzle 1）に対応する計測位置ＭＰとして記憶装置２１に登録される。登録終了後には、吐出口２２７Ａに対応する登録状態表示８５が、第１の状態表示色（赤）から第２の状態表示色（緑）に変化する。吐出口２２７Ａに対応する計測位置ＭＰの登録が終了すると、登録された計測位置ＭＰの位置情報（Ｘ座標、Ｙ座標およびＺ座標）が、基準ノズル表示部７５に含まれる第１の基準ノズル表示部８８に反映される。また、オペレータは、位置操作ボタン７８の操作に代えて、手動操作用の操作ユニットにより手動で、液滴ヘッド２０１およびヘッドホルダ４を移動させるようにしてもよい。
【００７３】
次いで、オペレータは、吐出口２２７Ｂ（Nozzle 80）に対応する計測位置ＭＰの登録を行う。具体的には、オペレータは、位置操作ボタン７８を操作することにより、液滴ヘッド２０１の現在位置のＸ座標および／またはＹ座標を変化させる。現在位置のＸ座標および／またはＹ座標の変化に伴って、主制御装置３がＸＹＺ駆動ユニット９を制御して、液滴ヘッド２０１をＸ方向および／またはＹ方向に移動させる。個別位置表示部７２の背景色が、通常のグレーから白色に変化し、さらには薄緑色に変化することにより、オペレータは、計測位置ＭＰが計測位置ＭＰに極めて接近したことを把握できる。オペレータは、個別位置表示部７２の背景色の変化を観察しながら、吐出口２２７Ｂに対応する計測位置ＭＰを登録する。吐出口２２７Ｂに対応する登録ボタン８３が操作されると、その吐出口２２７Ｂの現在の位置が、吐出口２２７Ｂに対応する計測位置ＭＰとして記憶装置２１に登録される。登録終了後には、吐出口２２７Ｂに対応する登録状態表示８５が、第１の状態表示色（赤）から第２の状態表示色（緑）に変化する。吐出口２２７Ｂに対応する計測位置ＭＰの登録が終了すると、登録された計測位置ＭＰの位置情報（Ｘ座標、Ｙ座標およびＺ座標）が、基準ノズル表示部７５に含まれる第２の基準ノズル表示部８９に反映される。また、オペレータは、位置操作ボタン７８の操作に代えて、手動操作用の操作ユニットにより手動で、液滴ヘッド２０１およびヘッドホルダ４を移動させるようにしてもよい。
【００７４】
基準となる２つの吐出口２２７Ａ，２２７Ｂに対応する計測位置ＭＰの登録が終了すると、主制御装置３は、吐出口２２７Ａ（Nozzle 1）および吐出口２２７Ｂ（Nozzle 80）にそれぞれ対応する計測位置ＭＰと、液滴ヘッド情報記憶部２３に記憶されている液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の位置情報（複数の吐出口２２７同士の位置関係）とに基づいて、他の全ての吐出口２２７（すなわち、７８個の吐出口２２７）に対応する計測位置ＭＰを算出する。主制御装置３は、算出された、他の全ての吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰを、対応する個別位置表示部７２に表示させる。
【００７５】
次いで、オペレータは、算出された計測位置ＭＰについて、１つずつ、計測位置ＭＰの調整（微調整）を行う。具体的には、オペレータは、調整の対象の吐出口２２７（たとえば、Nozzle 2）の個別位置表示部７２の登録ボタン８３を操作する。すると、調整の対象の吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰの位置情報（Ｘ座標、Ｙ座標およびＺ座標）が、現在位置操作表示部７７に表示される。そして、オペレータは、位置操作ボタン７８を操作することにより、計測位置ＭＰの位置情報のＸ座標および／またはＹ座標を変化させる。計測位置ＭＰの位置情報のＸ座標および／またはＹ座標の変化に伴って、主制御装置３がＸＹＺ駆動ユニット９を制御して、液滴ヘッド２０１をＸ方向および／またはＹ方向に移動させる。オペレータは、個別位置表示部７２の背景色の変化を観察しながら、吐出口２２７（Nozzle 2）に対応する計測位置ＭＰを登録する。吐出口２２７（Nozzle 2）に対応する登録ボタン８３が操作されると、その吐出口２２７（Nozzle 2）の現在の位置が、吐出口２２７（Nozzle 2）に対応する計測位置ＭＰとして記憶装置２１に登録される。登録終了後には、吐出口２２７（Nozzle 2）に対応する登録状態表示８５が、第１の状態表示色（赤）から第２の状態表示色（緑）に変化する。また、オペレータは、位置操作ボタン７８の操作に代えて、手動操作用の操作ユニットにより手動で、液滴ヘッド２０１およびヘッドホルダ４を移動させるようにしてもよい。
【００７６】
このようにして、オペレータは、残りの全ての吐出口２２７について、１つずつ、計測位置ＭＰの調整を行う。図８には、計測位置ＭＰの調整の前の段階の位置登録画面７１を示し、図９には、吐出口２２７（Nozzle 2）に対する調整が終了し、次に吐出口２２７（Nozzle 3）に対する調整を行っている段階の位置登録画面７１を示す。
そして、全ての吐出口２２７に対する計測位置ＭＰが完了すると、オペレータは、サブメニューバー５２において、流量計測ボタン５５を操作する。
【００７７】
このように、自動算出された計測位置ＭＰを、吐出口２２７から実際に吐出される液滴の液滴通過位置ＰＰと対比させながら個別に調整できる。液滴ヘッド２０１には個体差があるので、液滴ヘッド情報記憶部２３に記憶されている液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の位置情報のみに基づいて計測位置を登録すると、計測位置ＭＰと液滴通過位置ＰＰとが大きくずれることも考えられる。このような調整を行うことにより、液滴ヘッド２０１の個体差によらずに、各吐出口２２７に対応する計測位置を、より高精度に登録できる。
【００７８】
また、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離を、現在の調整対象の吐出口２２７に対応する個別位置表示部７２において報知するので、現在の計測位置ＭＰと液滴通過位置ＰＰとの距離を確認しながら、計測位置ＭＰの調整を行うことができる。これにより、正確な計測位置ＭＰを、比較的容易に登録できる。さらには、現在の調整対象の吐出口２２７がいずれの吐出口２２７であるのかを、オペレータが一目で認識できる。また、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離の報知が段階的に行われるので、計測位置ＭＰの細かな調整が可能である。
【００７９】
サブメニューバー５２において、流量計測ボタン５５が操作されると、主制御装置３は、図１０に示す流量計測画面９１を表示部５１に表示させる。流量計測画面９１を用いて、液滴ヘッド２０１の液滴流速が所望の速さであるときの、液滴ヘッド２０１への供給流量の計測（以下、「流量計測」という）が行われる（図６のＳ３：流量計測（流量取得工程））。この実施形態では、流量計測によって、液滴流速と供給流量等との対応関係を規定する流速テーブルが得られる。この実施形態では、基準流速テーブル３３が予め流速テーブル記憶部２４に記憶されており、流量計測によって基準流速テーブル３３を補正した後の補正後流速テーブル３４を算出している。
【００８０】
流量計測画面９１は、複数の個別流速／粒径表示部９２と、ヘッド移動操作表示部９３と、基準流速テーブル表示部９４と、補正後流速テーブル表示部９５と、流量計測に用いられる、差分流量を設定／表示する差分設定表示部９６と、全計測（Measure all）ボタン９７と、部分計測（Measure part）ボタン９８とを含む。
この実施形態では、幾つかの吐出口２２７のみを対象として流量計測が行われる。主制御装置３は、所定の個数の吐出口２２７を選択する。
【００８１】
全計測ボタン９７が操作されると、演算ユニット２０は、選択された吐出口２２７について、液滴流速が互いに異なる６段階の検査条件（１０（m/s）、２０（m/s）、３０（m/s）、４０（m/s）、５０（m/s）、６０（m/s））に対応する供給流量および周波数を算出する。
具体的には、演算ユニット２０は、図１１に示すように、流速テーブル記憶部２４に記憶されている基準流速テーブル３３の供給流量から差分設定表示部９６にて設定された差分流量ΔＶを減算した供給流量（以下、「減算供給流量」という）の液体を液滴ヘッド２０１に供給しながら吐出口２２７から吐出される液滴流速を算出する。この算出を、選択された複数の吐出口２２７全てについて行う。そして、演算ユニット２０は、算出された流速値について、中央値を中心とした所定範囲にある流速値の平均値Ｖ１を算出する。
【００８２】
同様に、演算ユニット２０は、図１１に示すように、流速テーブル記憶部２４に記憶されている基準流速テーブル３３の供給流量から設定表示部９６にて設定された差分流量ΔＶを加算した供給流量（以下、「加算供給流量」という）の液体を液滴ヘッド２０１に供給しながら吐出口２２７の液滴流速を算出する。この算出を、選択された複数の吐出口２２７全てについて行う。そして、演算ユニット２０は、算出された流速値について、中央値を中心とした所定範囲にある流速値の平均値Ｖ２を算出する。
【００８３】
そして、演算ユニット２０は、平均値Ｖ１と平均値Ｖ２とに基づいて計測グラフＧＲＰを算出する。そして、算出された計測グラフＧＲＰに基づいて、液滴流速が互いに異なる各検査条件に対応する供給流量を求める。基準となる液滴流速の全てについて供給流量が算出され、これに基づいて、補正後流速テーブル３４が作成される。また、供給流量と周波数とは正比例の関係にあるから、補正後流速テーブル３４では、供給流量の補正に合わせて、周波数にも補正が施される。
【００８４】
また、全計測ボタン９７（図１０参照）に代えて部分計測ボタン９８（図１０参照）が操作された場合には、全ての検査条件（１０（m/s）、２０（m/s）、３０（m/s）、４０（m/s）、５０（m/s）、６０（m/s））ではなく、選択された検査条件のみに対応する供給流量および周波数が算出される。
図１０に示すように、選択された吐出口２２７の数だけ設けられており、液滴ヘッド２０１の吐出口２２７に一対一対応で設けられている。各個別流速／粒径表示部９２には、対応する吐出口２２７の番号が表示されている。各個別流速／粒径表示部９２は、減算液滴流速表示部１０６と、減算液滴粒径表示部１０７と、加算液滴流速表示部１０８と、加算液滴粒径表示部１０９と、計測状態表示部１１０と、登録（Register）ボタン１０３と、移動（move）ボタン１０４と、個別計測（measure）ボタン９９とを含む。
【００８５】
減算液滴流速表示部１０６は、液滴ヘッド２０１への供給流量を減算供給流量とした場合における、対応する吐出口２２７から吐出される液滴流速を表示する。減算液滴粒径表示部１０７は、液滴ヘッド２０１への供給流量を減算供給流量とした場合における、対応する吐出口２２７から吐出される液滴粒径を表示する。加算液滴流速表示部１０８は、液滴ヘッド２０１への供給流量を加算供給流量とした場合における、対応する吐出口２２７から吐出される液滴流速を表示する。加算液滴粒径表示部１０９は、液滴ヘッド２０１への供給流量を加算供給流量とした場合における、対応する吐出口２２７から吐出される液滴粒径を表示する。
【００８６】
計測状態表示部１１０は、対応する吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬに対する計測の正否を表示する。対応する吐出口２２７における液滴ＤＬの流量計測に成功した場合には、計測状態表示部１１０に「Success」が表示される。対応する吐出口２２７における液滴ＤＬの流量計測に失敗した場合には、計測状態表示部１１０に「Failure」が表示される。
【００８７】
登録ボタン１０３および移動ボタン１０４は、それぞれ、登録ボタン８３（図８参照）および移動ボタン８４（図８参照）と同等の機能を有する。
また、各個別流速／粒径表示部９２は、個別位置表示部７２（図８参照）と同様に、対応する吐出口２２７の液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離に応じて個別流速／粒径表示部９２の背景色が変化する。
【００８８】
ヘッド移動操作表示部９３は、最も直近に検査を行った計測位置ＭＰの位置情報を表示する現在位置操作表示部１０１と、位置操作ボタン１０２とを含む。
基準流速テーブル表示部９４には、基準流速テーブル３３に記憶されている、液滴流速（Speed（m/s））と、供給流量（Rate（L/min））および周波数（Frequency（kHz））とが、液滴流速が互いに異なる６段階の検査条件ごとに分けて表示される。
【００８９】
補正後流速テーブル表示部９５には、補正後流速テーブル３４に記憶されている、液滴流速（Speed（m/s））と、供給流量（Rate（L/min））および周波数（Frequency（kHz））とが、液滴流速が互いに異なる６段階の検査条件ごとに分けて表示される。
流量計測の結果は、補正後流速テーブル表示部９５において色表示される。流量計測に成功した場合には、補正後流速テーブル表示部９５において、対応する検査条件の行の背景色が緑になる。また、流量計測に失敗した吐出口２２７がある場合には、補正後流速テーブル表示部９５において、対応する検査条件の行の背景色が黄になる。対応する検査条件について計測が完了していない行の背景には、色は付されない。
【００９０】
オペレータは、流量計測に失敗した（Failure）吐出口２２７において、必要に応じて再計測を行うことができる。オペレータが、部分計測ボタン９８、または、再計測を希望する吐出口２２７に対応する個別計測ボタン９９を操作することにより、これらの吐出口２２７に対して再度流量計測が実施される。
計測対象の全ての液滴流速に対する流量計測が完了すると、オペレータは、サブメニューバー５２において、流速計測ボタン５６を操作する。
【００９１】
サブメニューバー５２において、流速計測ボタン５６が操作されると、主制御装置３は、図１２の液滴状態計測画面１１１を表示部５１に表示させる。
液滴状態計測画面１１１を用いて、液滴ヘッド２０１から吐出される液滴ＤＬの状態（液滴流速および液滴粒径）の計測（以下、「液滴状態計測」という）が行われる（図６のＳ４：液滴状態計測（液滴状態計測工程））。
【００９２】
液滴状態計測では、主制御装置３は、流量計測によって得られた補正後流速テーブル３４に基づいて基準になる流速を得るための液体流量を液滴ヘッド２０１に供給しながら、全ての吐出口２２７を対象として流量計測が行われる。
液滴状態計測画面１１１は、複数の個別流速／粒径表示部１１２と、ヘッド移動操作表示部１１３と、実流速テーブル表示部１１４と、最終計測吐出口情報表示部１１５と、良品条件（Good product condition）ボタン１１７と、総合判定（overall judgment）表示部１１８と、全計測（Measure all）ボタン１１９と、再計測（Measure part）ボタン１２０と、結果保存（Save result）ボタン１２１とを含む。
【００９３】
良品条件（Good product condition）ボタン１１７は、良品条件および／または次に述べる判定条件を設定（・変更）するための条件設定画面１７１に移行するための画面である。
図１２に示すように、個別流速／粒径表示部１１２は、液滴ヘッド２０１の全ての吐出口２２７の数だけ設けられている。各個別流速／粒径表示部１１２は、液滴ヘッド２０１の吐出口２２７に一対一対応で設けられている。各個別流速／粒径表示部１１２には、対応する吐出口２２７の番号が表示されている。各個別流速／粒径表示部１１２は、液滴流速表示部１２３と、液滴粒径表示部１２４と、計測結果表示部１２５と、登録（Register）ボタン１２８と、移動（move）ボタン１２９と、個別計測（measure）ボタン１３１とを含む。
【００９４】
全計測ボタン１１９が操作されると、演算ユニット２０は、選択された吐出口２２７について、流量計測において算出した、各検査条件に対応する供給流量および周波数を使用して、全ての吐出口２２７に対し、各検査条件において液滴速度および液滴粒径を計測する。
主制御装置３の演算ユニット２０は、記憶装置２１に登録されている判定条件に基づいて、各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態を判定する（図６のＳ５：液滴状態判定）。判定条件については、図１６を用いて後述するように、各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態（液滴流速および液滴粒径）について閾値が規定されている。演算ユニット２０は、各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態（液滴流速および液滴粒径）が、判定条件を満たしている場合には、当該液滴状態について、安定状態と判定する。一方、演算ユニット２０は、各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態（液滴流速および液滴粒径）が、判定条件を満たしていない場合には、当該液滴の状態について、不安定状態と判定する。
【００９５】
液滴流速表示部１２３は、対応する吐出口２２７の液滴流速を表示する。液滴粒径表示部１２４は、対応する吐出口２２７の液滴粒径を表示する。計測結果表示部１２５は、対応する吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの吐出状態の判定結果を表示する。対応する吐出口２２７における液滴ＤＬの吐出が安定している場合には、計測結果表示部１２５に「Success」が表示される。対応する吐出口２２７における液滴の吐出が不安定である場合には、「Bad」が表示される。対応する吐出口２２７において、液滴状態の計測に失敗した場合には「Failure」が表示される。
【００９６】
登録ボタン１２８および移動ボタン１２９は、それぞれ、登録ボタン８３（図８参照）および移動ボタン８４（図８参照）と同等の機能を有する。
また、個別流速／粒径表示部１１２は、個別位置表示部７２（図８参照）および個別流速／粒径表示部９２（図１０参照）と同様に、対応する吐出口２２７の液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離に応じて個別流速／粒径表示部９２の背景色が変化する。
【００９７】
実流速テーブル表示部１１４には、液滴流速、液体流量、液圧（噴射のための液圧）、周波数、液滴粒径、液滴状態が不安定な計測の数（Bad count）および失敗した計測の数（Failure count）がそれぞれ、液滴流速が互いに異なる６段階の検査条件ごとに分けて表示される。
液滴状態の計測の結果は、実流速テーブル表示部１１４において色表示される。液滴ＤＬの吐出が安定している場合には、実流速テーブル表示部１１４において、対応する検査条件の行の背景色が緑になる。液滴ＤＬが不安定に吐出している吐出口２２７がある場合には、対応する検査条件の行の背景色が黄になる。液滴状態の計測に失敗した吐出口２２７がある場合には、対応する検査条件の行の背景色が赤になる。対応する検査条件について液滴状態の計測が完了していない行の背景には、色は付されない。
【００９８】
最終計測吐出口情報表示部１１５は、最後に計測した吐出口２２７の番号と、そのときの基準流速を示す。
オペレータは、液滴ＤＬの吐出が不安定である（Bad）吐出口２２７、および／または液滴状態の計測に失敗した（Failure）吐出口２２７において、必要に応じて再計測を行う（図６のＳ７）。これらの吐出口２２７がある（NGの吐出口がある）場合（図６のＳ６でＹＥＳ）、オペレータが、部分計測ボタン１２０、または、再計測を希望する吐出口２２７に対応する個別計測ボタン１３１を操作することにより、これらの吐出口２２７に対して再計測が実施される。
【００９９】
主制御装置３の演算ユニット２０は、良品条件記憶部３１に記憶されている良品条件に基づいて、液滴ヘッド２０１の検査結果の判定を行う（図６のＳ８：良品判定）。良品条件の具体的な内容は、図１６を用いて後述する。
主制御装置３の演算ユニット２０は、液滴ヘッド２０１に対する液滴状態計測（図６のＳ４）の結果が良品条件を満たしている場合には、検査に合格したとして総合判定表示部１１８に「Pass」を表示する。一方、演算ユニット２０は、液滴ヘッド２０１に対する液滴状態計測（図６のＳ４）の結果が良品条件を満たしていない場合には、検査に不合格であるとして総合判定表示部１１８に「Failure」を表示する。
【０１００】
オペレータによって結果保存ボタン１２１が操作されると、演算ユニット２０は、検査結果出力プログラム２９に基づいて、図１３に示す検査成績書１４１（検査結果）、および図１４に示す流速テーブル１４２（検査結果）を作成する。
検査成績書１４１には、液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の状態が記載される。不安定な液滴の吐出が見られた吐出口２２７の番号には、チェックが付されている。検査成績書１４１には、液滴ヘッド２０１に対する良品判定の結果が、総合判定として表示される。検査成績書１４１は、表計算ソフトの形態で作成される。
【０１０１】
流速テーブル１４２には、液滴状態計測（図６のＳ４）において用いた流速テーブル（すなわち、補正後の補正後流速テーブル３４）の一部または全部が記載される。検査成績書１４１は、表計算ソフトの形態で作成される。オペレータは、液滴検査装置１に接続されたプリンタ等を用いて、検査成績書１４１および流速テーブル１４２を出力できる。
検査成績書１４１および流速テーブル１４２の作成後には、表示部５１のサブメニューバー５２に、シャットダウンボタンが表示される。オペレータがシャットダウンボタンを操作することにより、液滴検査装置１を用いた液滴検査処理が終了する。
【０１０２】
図１５は、液滴ヘッド２０１を登録するためのヘッド事前登録画面１６１を示す図である。メニュー画面において「登録」のボタンが操作され、ヘッド登録ボタンが選択されると、表示部５１に、ヘッド事前登録画面１６１が表示される。
ヘッド事前登録画面１６１には、液滴ヘッド入力部１６２と、吐出口数入力部１６３と、吐出口位置入力部１６４と、設定ボタン１６５と、ヘッド情報表示部１６６、保存（Save）ボタン１６７とを含む。液滴ヘッド入力部１６２は、登録対象の液滴ヘッド２０１の名称を入力するための入力部である。吐出口数入力部１６３は、登録対象の液滴ヘッド２０１に含まれる吐出口２２７の数を入力するための入力部である。吐出口位置入力部１６４は、登録対象の液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の計測位置ＭＰの位置情報（Ｘ座標およびＹ座標）を入力するための入力部である。設定ボタン１６５は、液滴ヘッド入力部１６２と、吐出口数入力部１６３と、吐出口位置入力部１６４との入力情報を決定するためのボタンである。設定ボタン１６５が操作されると、ヘッド情報表示部１６６に、登録対象の液滴ヘッド２０１についての項目が追加される。保存ボタン１６７が操作されると、液滴ヘッド２０１についての情報（名称、吐出口数、各吐出口２２７の計測位置ＭＰの位置情報）が、液滴ヘッド情報記憶部２３に記憶される。
【０１０３】
この場合、事前に登録された、各吐出口２２７の計測位置ＭＰの位置情報に基づいて、他の吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰが求められる。すなわち、検査対象の液滴ヘッド２０１に固有の正確な位置関係に基づいて、他の吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰを算出できる。そのため、計測位置ＭＰの算出を、より正確に行うことができる。
図１６は、良品条件および判定条件を設定（・変更）するための条件設定画面１７１を示す図である。図１２の良品条件ボタン１１７が操作されると、表示部５１に、条件設定画面１７１が表示される。オペレータは、この条件設定画面１７１を用いて、良品条件記憶部３１に記憶されている良品条件を設定または変更することができ、判定条件記憶部３２に記憶されている判定良品条件を設定または変更できる。
【０１０４】
この条件設定画面１７１は、良品条件を設定するための良品条件設定部１７２と、判定条件を設定するための判定条件設定部１７３とを含む。良品条件設定部１７２には、液滴状態の計測に失敗した吐出口２２７の数の上限を設定するための失敗数（Failure nozzle count）設定部１７４と、液滴状態が不安定な吐出口２２７の数（Bad nozzle count）と失敗数（Failure nozzle count）との合計数の上限を設定するための不良数（Bad and failure nozzle count）設定部１７５と、圧力（噴射のための液圧）の上限を設定するための圧力上限設定部１７６と、全吐出口２２７からの液滴ＤＬの平均流速の上下限を設定するための平均流速（Upper and lower limits of average flow speed）上下限設定部１７７と、全吐出口２２７からの液滴ＤＬの平均粒径の上下限を設定するための平均粒径上下限（Upper and lower limits of average flow diameter）設定部１７８とを含む。判定条件設定部１７３は、対応する吐出口２２７からの液滴ＤＬの流速の上下限を設定するための流速上下限（Upper and lower limits of flow speed）設定部１７９と、対応する吐出口２２７からの液滴ＤＬの粒径の上下限を設定するための粒径上下限（Upper and lower limits of flow diameter）設定部１８０とを含む。
【０１０５】
Ｒｅｓｅｔボタン１８１が操作されると、良品条件設定部１７２および判定条件設定部１７３において設定されている良品条件および判定条件がそれぞれ、保存されずに消去される。
ＯＫボタン１８２が操作されると、良品条件設定部１７２において設定されている良品条件が、良品条件記憶部３１に記憶される。また、判定条件設定部１７３において設定されている判定条件が、判定条件記憶部３２に記憶される。
【０１０６】
Ｃａｎｃｅｌボタン１８３が操作されると、表示部５１の表示が、図１２の液滴状態計測画面１１１に戻る。
以上によりこの実施形態によれば、液滴検査装置１において、計測位置ＭＰを各吐出口２２７に対応付けて登録する工程と、液滴ヘッド２０１に液体を供給しながら各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬを計測位置ＭＰにおいて撮像ユニット７によって計測する工程と、各吐出口２２７から吐出されている液滴状態を判定する工程とが自動的に行われる。これらの各工程が自動的に行われるから、液滴検査におけるオペレータの作業を軽減できる。
【０１０７】
また、液滴検査装置１において、２つの吐出口２２７Ａ，２２７Ｂに対応して登録された計測位置ＭＰと、液滴ヘッド情報記憶部２３に記憶されている液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の位置情報とに基づいて、各吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰが算出される。そのため、２つの吐出口２２７Ａ，２２７Ｂに対応する計測位置ＭＰを登録するだけで、他の全ての吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰを求めることが可能である。これにより、オペレータが各吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰを登録するのに要する時間が不要であるから、ゆえに、各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態を短時間で検査できる。
【０１０８】
また、液滴検査装置１を用いて液滴検査処理において、液滴状態計測（図６のＳ４）に先立って流量計測（図６のＳ３）が実行される。この場合、流量計測（図６のＳ４）において、所望の液滴状態が得られるような流量を事前に把握できる。そして、液滴状態計測（図６のＳ４）においてその流量の液体を供給することにより、所望する状態（たとえば液滴ＤＬの流速および液滴ＤＬの粒径の少なくとも一方）が見込める条件で計測を行うことができる。これにより、所望する状態における、各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態（たとえば液滴ＤＬの流速および液滴ＤＬの粒径の少なくとも一方）を計測できる。
【０１０９】
また、液滴ヘッド２０１に供給される液体の流量と、吐出口２２７から吐出される液滴流速との対応関係を規定する補正後流速テーブル３４を算出し、算出された補正後流速テーブル３４に基づいて、所望の液滴状態（液滴流速）が得られるような供給流量を取得する。計測を所望する液滴状態が複数ある場合（液滴流速が互いに異なる複数段階の検査条件）に、各検査条件に対応する液体の供給流量を一括して把握できる。
【０１１０】
また、液滴検査装置１において、検査成績書１４１および流速テーブル１４２が自動的に作成される。そのため、検査成績書１４１および流速テーブル１４２を作成するための手間および時間を削減できる。
また、液滴検査装置１において、液滴状態判定（図６のＳ５）の結果、判定条件を満たしていない吐出口２２７がある場合に、その吐出口２２７について液滴状態計測（図６のＳ４）等と同等の工程（再計測（図６のＳ７））が再度実行される。直ちに再計測を行うことが可能であるため、判定条件を満たさない原因が計測手法の不備がある場合にとくに有用である。
【０１１１】
また、液滴検査装置１が、液滴流速が互いに異なる６段階の検査条件で、液滴状態を計測し、これらの検査条件の各々における液滴状態を判定できる。液滴ヘッド２０１の使用状態では、液滴ヘッド２０１に種々の流量の液体が供給される（各吐出口の液滴速度が種々異なる）ことがあるが、その個々の検査条件に対応する液滴状態を計測および判定できる。
【０１１２】
また、液滴検査装置１が、液滴状態の判定（図６のＳ５）だけでなく、良品判定（図６のＳ８）も自動的に行う。これにより、良品の判定を正確に行うことができる。
また、液滴状態の判定（図６のＳ５）の判定条件および良品判定（図６のＳ８）の良品条件を、オペレータが入力することが可能である。そのため、液滴状態の判定（図６のＳ５）および良品判定（図６のＳ８）の各々を柔軟に行うことができる。
【０１１３】
以上、この発明の一実施形態について説明したが、本発明は他の形態で実施することもできる。
たとえば、各吐出口位置登録（図６のＳ２）において、基準として登録される吐出口が、２つの吐出口２２７Ａ，２２７Ｂでなく、３つ以上の吐出口２２７であってもよい。
また、各吐出口位置登録（図６のＳ２）において、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離の報知を色に表示するとして説明したが、所定色による点灯だけでなく、点滅であってもよい。また、報知（表示）の態様は色に限られず、直接距離が表示されていてもよい。なお、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離の報知を、対応する個別位置表示部７２の表示を用いて行うとしたが、他の場所に表示させるようにしてもよい。さらには、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離の報知を、音声を含む音によって報知するようにしてもよい。さらには、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離の報知は段階的に行うものに限られない。
【０１１４】
また、各吐出口位置登録（図６のＳ２）において、自動算出された他の吐出口２２７の計測位置ＭＰを実測値と比べながら調整可能な構成とせずに、自動算出された他の吐出口２２７の計測位置ＭＰを、そのまま登録するようにしてもよい。
また、この実施形態では、良品条件の設定と、判定条件の設定とを１つの画面（条件設定画面１７１（図１６参照））を用いて行うとして説明従い、これらの設定を個別の画面で行うようにしてもよい。
【０１１５】
また、検査成績書１４１および流速テーブル１４２の双方を作成する（図６のＳ９およびＳ１０）として説明したが、このうちの一方のみを作成するようにしてもよい。
また、流量計測（図６のＳ３）において、予め登録されている基準流速テーブル３３を補正して実際の流速テーブル（補正後流速テーブル３４）を求めるのではなく、実際の流量計測のみに基づいて実際の流速テーブルを求めるようにしてもよい。
【０１１６】
また、液滴ヘッド２０１への供給流量と液滴流速等との対応関係は、テーブルの態様でなく、グラフや式の形で記憶装置２１に記憶されていてもよい。
また、液滴状態計測（図６のＳ４）における検査条件が、液滴流速でなく、液滴粒径に対応付けられていてもよい。この場合、流量計測（図６のＳ３）において、所望の液滴流速が得られるときの供給流量を計測するのではなく、所望の液滴粒径が得られるときの供給流量が計測される。
【０１１７】
また、液滴状態計測（図６のＳ４）において、液滴流速の互いに異なる（すなわち、供給流量の互いに異なる）複数の検査条件で液滴状態が計測されるとして説明したが、１つの検査条件で液滴状態が計測されてもよい。
また、前述の実施形態では、撮像ユニット７側の計測位置ＭＰと、液滴ヘッド２０１側の吐出口２２７との相対位置の変更のために、液滴ヘッド２０１を移動させるとして説明した。しかし、撮像ユニット７をカメラ１２およびストロボ光源１１を移動させることにより、計測位置ＭＰと吐出口２２７との相対位置を変更させてもよい。
【０１１８】
また、計測ユニットが撮像ユニット７を含み、計測位置ＭＰが焦点位置ＦＰである場合を例に挙げて説明したが、計測ユニットがその他のユニットであってもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【０１１９】
１        ：液滴検査装置
３        ：主制御装置（制御装置）
４        ：ヘッドホルダ
７        ：撮像ユニット（計測ユニット）
１１      ：ストロボ光源
１２      ：カメラ
５１      ：表示部
１４１    ：検査成績書（検査結果）
１４２    ：流速テーブル（検査結果）
２０１    ：液滴ヘッド
２２７    ：吐出口
２２７Ａ  ：吐出口
２２７Ｂ  ：吐出口
ＤＬ      ：液滴
ＦＰ      ：焦点位置
ＦＶ      ：視野
ＭＰ      ：計測位置
ＰＰ      ：液滴通過位置
Ｗ        ：基板
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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