(57)【要約】【課題】  定期点検におけるオーバーホールが不要であり、同一時点における計測値に基づいて算出される演算値を同一グラフ平面上に巧みに合成することによって、装置の状態変化を多方向的にプロット表示することができ、視覚的かつ直感的に、異常部位を高精度に検出することができる制御弁システムの異常部位検出装置を提供すること。【解決手段】  制御弁システムの異常部位検出装置であって、弁駆動部には、ポジショナ出力流量センサと、入力圧力センサと、ポジショナ供給流量センサと、弁圧センサと、弁開度センサのうち少なくとも複数のセンサを配設して、所定時点における前記各センサの計測値をそれぞれ取得可能にするとともに、同一時点における単数または複数の前記計測値に基づいて、第一演算値と第二演算値とを算出して、所定周期内における各計測時点の前記第一演算値および第二演算値を、それぞれをグラフ軸とするＸ−Ｙ軸グラフ平面上にプロット表示可能にした。【選択図】  図１
2019192166.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体圧式ポジショナによって制御弁の流量または圧力を制御する制御弁システムの異常部位検出装置であって、
弁駆動部には、ポジショナから配管を通じて制御弁に出力される流体流量を計測可能なポジショナ出力流量センサと、
周期的に与えられる所定波形の入力信号に応じてポジショナに入力される圧力を計測可能な入力圧力センサと、
ポジショナに供給される流体流量を計測可能なポジショナ供給流量センサと、
制御弁の弁圧を計測可能な弁圧センサと、
制御弁の弁開度を計測可能な弁開度センサのうち少なくとも複数のセンサが配設されており、
所定時点における前記各センサの計測値をそれぞれ取得可能であるとともに、
同一時点における単数または複数の前記計測値に基づいて、第一演算値と第二演算値とが算出され、
所定周期内における各計測時点の前記第一演算値および第二演算値が、それぞれをグラフ軸とするＸ−Ｙ軸グラフ平面上にプロット表示可能であり、
このプロット表示と、予め得た正常時プロット表示との分布特徴の差異パターンに応じて、制御弁システムの異常部位が検出可能であることを特徴とする制御弁システムの異常部位検出装置。
【請求項２】
ポジショナ出力流量センサが、配管内に配設された流量計であり、
流量を直接的に計測可能であることを特徴とする請求項１記載の制御弁システムの異常部位検出装置。
【請求項３】
ポジショナ出力流量センサが、配管外に配設された圧力計であり、
弁開度センサからダイヤフラム室体積が計測され、かつ、前記圧力計による弁圧の計測値を使用して、状態方程式による換算によってポジショナ出力流量の計測値とすることを特徴とする請求項１記載の制御弁システムの異常部位検出装置。
【請求項４】
第一演算値が、ポジショナ出力流量センサの計測値および弁圧センサの計測値から算出されるとともに、
第二演算値が、弁開度センサの計測値から変化速度が算出されることによって、
弁本体の異常を検出可能であることを特徴とする請求項１記載の制御弁システムの異常部位検出装置。
【請求項５】
第一演算値が、入力圧力センサの計測値および弁開度センサの計測値の間の偏差としての変化率であるとともに、
第二演算値が、ポジショナ出力流量センサの計測値および弁圧センサの計測値とから算出されることによって、
ポジショナ自身の異常を検出可能であることを特徴とする請求項１記載の制御弁システムの異常部位検出装置。
【請求項６】
複数のＹ軸を設けて、それぞれのＸ−Ｙ軸プロット表示を重ね合わせて表示可能であることを特徴とする請求項１記載の制御弁システムの異常部位検出装置。
【請求項７】
第一演算値が、ポジショナ出力流量センサの計測値から算出されるとともに、
第二演算値が、ポジショナ供給流量センサの計測値から算出され、かつ、弁圧センサの計測値から算出されて、
それぞれのＸ−Ｙ軸プロット表示を重ね合わせて表示されることによって、
ポジショナ自身の異常を検出可能であることを特徴とする請求項６記載の制御弁システムの異常部位検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、制御弁システムの改良、更に詳しくは、定期点検におけるオーバーホールが不要であり、同一時点における計測値に基づいて算出される演算値を同一グラフ平面上に巧みに合成することによって、装置の状態変化を多方向的にプロット表示することができ、視覚的かつ直感的に、異常部位を高精度に検出することができる制御弁システムの異常部位検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種プラントにおける機器の制御弁システムにあっては、安全性の確保のために定期点検を行う必要があり、装置の異常を発見するためには、装置をオーバーホール（分解）して検査を実施することが多い。
【０００３】
ところが、オーバーホールは作業負担が非常に大きいだけでなく、正常な制御弁をオーバーホールすることになった場合は、組み立て時に人的ミスが発生してしまい、却って異常の原因を作ってしまうおそれがあったり、大きなコストがかかってしまうという問題もあった。
【０００４】
従来、かかるプラントの定期点検の負担軽減を目的として、弁の動特性に着目して弁の異常診断を行うものが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかしながら、この診断装置では、解析結果と試験結果を比較するにあたり、Ｘ軸を時間軸とする表示が例示されているが、この場合、Ｘ軸方向の推移は単なる時間経過であるために一方向的であるから、視認できる変化はＹ軸方向の数値変動（振幅の上下動）のみとなって、単純な波形でしか現れない。したがって、このような微小な変位差で異常状態を評価するためには、不可避的に経験と熟練が必要となり、異常の有無を検出することはできても、異常部位を検出する精度としては十分とはいえない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１５９２８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、従来の制御弁システムに上記のような問題があったことに鑑みて為されたものであり、その目的とするところは、定期点検におけるオーバーホールが不要であり、同一時点における計測値に基づいて算出される演算値を同一グラフ平面上に巧みに合成することによって、装置の状態変化を多方向的にプロット表示することができ、視覚的かつ直感的に、異常部位を高精度に検出することができる制御弁システムの異常部位検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者が上記技術的課題を解決するために採用した手段を、添付図面を参照して説明すれば、次のとおりである。
【０００９】
即ち、本発明は、流体圧式のポジショナによって流量または圧力を制御可能な制御弁システムの異常部位検出装置であって、
弁駆動部には、ポジショナから配管を通じて制御弁に出力される流体流量を計測可能なポジショナ出力流量センサと、
周期的に与えられる所定波形の入力信号に応じてポジショナに入力される圧力を計測可能な入力圧力センサと、
ポジショナに供給される流体流量を計測可能なポジショナ供給流量センサと、
制御弁の弁圧を計測可能な弁圧センサと、
制御弁の弁開度を計測可能な弁開度センサのうち少なくとも複数のセンサを配設して、
所定時点における前記各センサの計測値をそれぞれ取得可能にするとともに、
同一時点における単数または複数の前記計測値に基づいて、第一演算値と第二演算値とを算出して、
所定周期内における各計測時点の前記第一演算値および第二演算値を、それぞれをグラフ軸とするＸ−Ｙ軸グラフ平面上にプロット表示可能にして、
このプロット表示と、予め得た正常時プロット表示との分布特徴の差異パターンに応じて、制御弁システムの異常部位を検出可能にするという技術的手段を採用したことによって、制御弁システムの異常部位検出装置を完成させた。
【００１０】
また、本発明は、上記課題を解決するために、必要に応じて上記手段に加え、ポジショナ出力流量センサを、配管内に配設された流量計にして、
流量を直接的に計測可能にするという技術的手段を採用することができる。
【００１１】
更にまた、本発明は、上記課題を解決するために、必要に応じて上記手段に加え、ポジショナ出力流量センサを、配管外に配設された圧力計にして、
弁開度センサからダイヤフラム室体積を計測して、かつ、前記圧力計による弁圧の計測値を使用して、状態方程式による換算によってポジショナ出力流量の計測値とするという技術的手段を採用することができる。
【００１２】
更にまた、本発明は、上記課題を解決するために、必要に応じて上記手段に加え、第一演算値を、ポジショナ出力流量センサの計測値および弁圧センサの計測値から算出するとともに、
第二演算値を、弁開度センサの計測値から変化速度を算出することによって、
弁本体の異常を検出可能にするという技術的手段を採用することができる。
【００１３】
更にまた、本発明は、上記課題を解決するために、必要に応じて上記手段に加え、第一演算値を、入力圧力センサの計測値および弁開度センサの計測値の間の偏差としての変化率にするとともに、
第二演算値を、ポジショナ出力流量センサの計測値および弁圧センサの計測値とから算出することによって、
ポジショナ自身の異常を検出可能にするという技術的手段を採用することができる。
【００１４】
更にまた、本発明は、上記課題を解決するために、必要に応じて上記手段に加え、複数のＹ軸を設けて、それぞれのＸ−Ｙ軸プロット表示を重ね合わせて表示可能にするという技術的手段を採用することができる。
【００１５】
更にまた、本発明は、上記課題を解決するために、必要に応じて上記手段に加え、第一演算値を、ポジショナ出力流量センサの計測値から算出するとともに、
第二演算値を、ポジショナ供給流量センサの計測値から算出して、かつ、弁圧センサの計測値から算出して、
それぞれのＸ−Ｙ軸プロット表示を重ね合わせて表示することによって、
ポジショナ自身の異常を検出可能にするという技術的手段を採用することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の制御弁システムの異常部位検出装置によれば、同一時点における計測値に基づいて算出される演算値を同一グラフ平面上に巧みに合成することによって、装置の状態変化を多方向的にプロット表示することができるため、視覚的かつ直感的に、異常部位を高精度に検出することができる。
【００１７】
また、センサの計測のみで異常状態を検出することができるため、定期点検におけるオーバーホールが不要となることから、作業負担を軽減することができ、かつ、コストを軽減することもできる。
【００１８】
更にまた、機器のメンテナンスについては、従来、時間基準保全（ＴＢＭ：Ｔｉｍｅ  Ｂａｓｅｄ  Ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ)が行われてきたが、本発明の技術を適用することにより、状態基準保全（ＣＢＭ：Ｃｏｎｄｉｔｉｏｎ  Ｂａｓｅｄ  Ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ）に移行することができ、産業の発展に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態の制御弁システムの異常部位検出装置の構成を表わす概略図である。
【図２】本発明の実施例１の異常部位検出装置を表わす説明図である。
【図３】本発明の実施例１の正常時プロット表示である。
【図４】本発明の実施例１の正常時プロット表示である。
【図５】本発明の実施例１の異常時プロット表示である。
【図６】本発明の実施例１の異常時プロット表示である。
【図７】本発明の実施例１の異常時プロット表示の比較例である。
【図８】本発明の実施例１の異常時プロット表示の比較例である。
【図９】本発明の実施例２の異常部位検出装置を表わす説明図である。
【図１０】本発明の実施例２の正常時プロット表示である。
【図１１】本発明の実施例２の異常時プロット表示である。
【図１２】本発明の実施例２の異常時プロット表示である。
【図１３】本発明の実施例２の異常時プロット表示の比較例である。
【図１４】本発明の実施例２の異常時プロット表示の比較例である。
【図１５】本発明の実施例２の異常時プロット表示の比較例である。
【図１６】本発明の実施例３の異常部位検出装置を表わす説明図である。
【図１７】本発明の実施例３の正常時プロット表示である。
【図１８】本発明の実施例３の異常時プロット表示である。
【図１９】本発明の実施例３の異常時プロット表示である。
【図２０】本発明の実施例３の異常時プロット表示の比較例である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の実施形態を図１から図２０に基づいて説明する。図中、符号１で指示するものはポジショナ出力流量センサであり、このポジショナ出力流量センサ１は、ポジショナＰから配管を通じて制御弁Ｂに出力される流体流量を計測可能である。
【００２１】
更にまた、符号２で指示するものは入力圧力センサであり、この入力圧力センサ２は、周期的に与えられる所定波形の入力信号に応じてポジショナＰに入力される圧力を計測可能である。具体的には、入力信号によってパイロット内弁を作動するための流体圧力に変換されたものを計測する。
【００２２】
更にまた、符号３で指示するものはポジショナ供給流量センサであり、このポジショナ供給流量センサ３は、ポジショナＰに供給される流体流量を計測可能である。
【００２３】
更にまた、符号４で指示するものは弁圧センサであり、この弁圧センサ４は、制御弁Ｂの弁圧を計測可能である。
【００２４】
更にまた、符号５で指示するものは弁開度センサであり、この弁開度センサ５は、制御弁Ｂの弁開度を計測可能である。
【００２５】
まず、本実施形態の制御弁システムの構成について説明する（図１参照）。本実施形態の制御弁システムは、流体圧式のポジショナＰ（図中の破線範囲内）によって制御対象となる流体または圧力の流量を制御するものである。
【００２６】
また、本実施形態では、流体圧式のポジショナＰに使用する流体として空気圧式のものを採用することができる。油圧式等の液体よりも気体の方が液漏れのおそれ等が無くて取り扱いが容易である。
【００２７】
そして、ポジショナＰの構造は一般的なもので公知であるが、入力信号により圧力を入力すると、流体が本体内部に供給されることによってパイロット内弁が移動し、このパイロット内弁の動作により配管を通じて出力される流体によって制御弁Ｂを駆動させて、開閉を制御することができる。なお、制御弁の弁開度が変位センサーを通じて制御機構に適宜フィードバックされる。
【００２８】
次に、この制御弁システムの異常部位検出装置の構成について説明する。まず、ポジショナＰから配管を通じて制御弁Ｂに出力される流体流量を計測可能なポジショナ出力流量センサ１が配設可能である。具体的には、パイロット内弁の動作により出力される流体が流れ、制御弁Ｂに連通する配管に配設される。
【００２９】
本実施形態では、ポジショナ出力流量センサ１として、配管内に配設された流量を直接的に計測可能な流量計を採用することができる。流量計を採用することによって、ポジショナ出力流量の波形は、同圧力変化を微分した形で応答するため、微小な変化でも確実に捉えることができ、圧力計に比較して極めて高い検出能力を得ることができる。
【００３０】
なお、特にダイヤフラム式制御弁にあっては、ポジショナ出力流量センサ１を、配管外に配設された圧力計にして、弁開度センサ５からダイヤフラム室体積を計測して、かつ、弁圧の計測値を使用して、状態方程式による換算によってポジショナ出力流量の計測値とすることもできる。こうすることによって、配管の途中に流量センサを挿入する必要がなくなるため、計器自体が流体の抵抗になることを防止することができる。
【００３１】
この制御弁システムには、ポジショナ出力流量センサ１と、入力圧力センサ２と、ポジショナ供給流量センサ３と、弁圧センサ４と、弁開度センサ５のうち少なくとも複数のセンサが配設されている。
【００３２】
具体的には、入力圧力センサ２は、ポジショナＰの制御機構の流体が流れる配管に配設する。また、ポジショナ供給流量センサ３は、ポジショナＰに連通し、パイロットに供給される流体が流れる配管に配設される。
【００３３】
そして、弁圧センサ４は、ポジショナ出力流量センサ１と同様に、パイロット内弁の動作により出力される流体が流れ、制御弁Ｂに連通する配管に配設される。また、弁開度センサ５は、制御弁の可動部分に配設される。
【００３４】
そして、所定時点における前記各センサの計測値がそれぞれ取得可能であるとともに、同一時点における単数または複数の前記計測値に基づいて、第一演算値と第二演算値とが算出される。この際、計測値が単数である場合の演算値は、計測値と演算値とを同値とする。
【００３５】
次いで、所定周期内における各計測時点の前記第一演算値および第二演算値が、それぞれをグラフ軸とするＸ−Ｙ軸グラフ平面上にプロット表示可能である。本実施形態では、Ｘ−Ｙ軸を直交方向とする。
【００３６】
然る後、このプロット表示と、予め得た正常時プロット表示との分布特徴の差異パターンに応じて、制御弁システムの異常部位が検出可能である。この正常時プロット表示は、データベース化して記録媒体等に予め記録しておくことができ、容易に比較して分布特徴の差異による異常を判断することができる。
【実施例】
【００３７】
本発明の実施例を以下に示す。実施例において得られたデータは、故意に特定箇所に異常を与えた状態での制御弁の挙動を示すものである。実施例１〜３のポジショナＰは、メーソンネーラン７４００型（駆動部：メーソンネーラン８２−２１９１４）を使用する。また、ポジショナＰの入力信号の信号パターンは、実施例１、２においては、１分周期のランプ波（振幅４０〜６０％で周期１分のランプ波を２周期）とし、応答をプロットする。実施例３においては、ＵＰＤＮ（アップダウン）波（４０→４５％、４５→４０％のランプ状変化で一定インターバルで２周期）とし、応答をプロットする。
【００３８】
＜実施例１＞
本実施例では、図２に示す異常部位検出装置を使用し、第一演算値が、ポジショナ出力流量センサ１の計測値および弁圧センサ４の計測値の少なくとも一つから算出されるとともに、第二演算値が、弁開度センサ５の計測値から変化速度が算出されるものである。即ち、ポジショナ出力流量と弁開度との関係は、弁本体の異常モードに影響を受けるので、弁本体の異常を検出することができる。なお、以下のセンサを使用して、ポジショナ出力流量および弁開度が測定できる。
・ポジショナ出力流量：ポジショナ出力流量センサ１、弁圧センサ４
・弁開度：弁開度センサ５
【００３９】
本実施例では、第一演算値（ポジショナ出力流量）がＸ軸、第二演算値（弁開度の変化速度）がＹ軸をグラフ軸とするＸ−Ｙ軸グラフ平面上にプロット表示する。この際、ポジショナ出力流量の単位は［ＮＬ（ノルマルリットル：標準状態(温度２０℃、大気圧１０１３ｈＰａ、相対湿度６５％））／ｍｉｎ］であり、弁開度の変化速度の単位は［％／ｓｅｃ］である。このように、互いに異なる単位（ディメンション）の演算値（変数）を同一平面上に表示したことが本発明の最大の特徴である。
【００４０】
また、本実施例では、制御弁Ｂの作動状態によりプロットの分布に以下の特徴がある。（１）〜（３）は、図中の丸囲い数字１番（以下、単に「１番」という）から３番である。なお、正作動弁ではプロットが左右逆になる。
（１）弁が動き出すまでポジショナ出力流量が増える。
（２）弁が動き出すとき少し速めに動く。するとポジショナ出力流量が遅れて減少し、弁の速度が遅くなる。
（３）速度を維持して弁が動く。
【００４１】
本実施例における異常検出のプロセスについて説明する。本実施例では、正常時に対するプロットの特徴の変化により、異常モードを判断する。まず、図３および図４に正常時のプロット表示を示す。時間経過とともに丸囲い数字１番から３番にかけて矢印方向に沿ってプロットされていく。正常時のプロット形状では、１番の大きさ（ａ，ｂの長さ）に着目すると、ほぼａ＝ｂになっている（図４参照）。
【００４２】
次に、ポジショナＰに起因する異常モードとして、パイロット内弁への異物付着時のプロット表示を図５に示す。この場合、１番の大きさ（図４および図５のａ，ｂの長さ）に着目すると、ほぼａ＝ｂになっていることから、プロットはあまり変化しておらず、異常は検出され難いといえる。
【００４３】
一方、駆動部・内弁に起因する異常モードとして、グランドパッキンの増し締め時のプロット表示を図６に示す。この場合、１番の大きさ（図４および図６のａ，ｂの長さ）、２番の大きさに着目すると、ほぼａ＝ｂの形ではあるが、プロットが大きくなる。したがって、このような分布特徴の差異パターンから、異常部位を検出することができる。
【００４４】
また、駆動部・内弁に起因する異常モードとして、内弁ステムの偏芯時のプロット表示を図７に示す。この場合、３番（および図中の丸囲み部分）に着目すると、プロットが左右に広がっており、また、１番も大きくなる。したがって、このような分布特徴の差異パターンから、異常部位を検出することができる。
【００４５】
更に、駆動部・内弁に起因する異常モードとして、プラグのガイド部に傷がある時のプロット表示を図８に示す。この場合、１番の大きさ（図８のａ，ｂの長さ）に着目すると、ａ≠ｂとなり、開方向（右側）、閉方向（左側）のプロットが非対称になっている。したがって、このような分布特徴の差異パターンから、異常部位を検出することができる。
【００４６】
＜実施例２＞
本実施例では、図９に示す異常部位検出装置を使用し、第一演算値が、入力圧力センサ２の計測値および弁開度センサ５の計測値の間の偏差の変化率が算出されるとともに、第二演算値が、ポジショナ出力流量センサ１の計測値および弁圧センサ４の計測値の少なくとも一つから算出されるものである。即ち、入力信号と弁開度との間の偏差を打ち消すようにポジショナ出力流量を制御することから、ポジショナＰ自身の異常を検出することができる。なお、以下のセンサを使用して、入力信号と弁開度間の偏差、ポジショナ出力流量が測定できる。
・入力信号と弁開度間の偏差（変化率）：入力圧力センサ２、弁開度センサ５
・ポジショナ出力流量（変化率）：ポジショナ出力流量センサ１、弁圧センサ４
【００４７】
本実施例では、第一演算値（偏差変化率）がＸ軸、第二演算値（ポジショナ出力流量変化率）がＹ軸をグラフ軸とするＸ−Ｙ軸グラフ平面上にプロット表示する。この際、偏差変化率の単位は［％／ｓｅｃ］であり、ポジショナ出力流量変化率の単位は［ＮＬ／ｓｅｃ２］である。
【００４８】
また、本実施例では、ポジショナＰの作動状態によりプロットの分布に以下の特徴がある。（１）〜（５）は、図中の丸囲い数字１番から５番である。なお、正作動弁ではプロットが左右逆になる。
（１）偏差が増大するがポジショナ出力流量は変化しない（偏差→流量増加の遅れ）。
（２）偏差が蓄積するとポジショナ出力流量が増加する。
（３）ポジショナ出力流量が増加すると偏差が減少していく（マイナス方向にプロットが動く）。
（４）偏差が０に戻るようにポジショナ出力流量が減少する。
（５）制御状態がバランスする。
【００４９】
本実施例における異常検出のプロセスについて説明する。本実施例では、正常時に対するプロットの特徴の変化により、異常モードを判断する。まず、図１０に正常時のプロット表示を示す。時間経過とともに１番から５番にかけて矢印方向に沿ってプロットされていく。
【００５０】
次に、ポジショナＰに起因する異常モードとして、パイロット内弁への異物付着時のプロット表示を図１１に示す。この場合、上下につぶれたプロットになる。したがって、このような分布特徴の差異パターンから、異常部位を検出することができる。
【００５１】
また、ポジショナＰに起因する異常モードとして、出力（空気）配管の詰まり時、または供給（空気）配管の詰まり時のプロット表示を図１２に示す。この場合、５番（図中の丸囲み部分）が縦に大きくなる。したがって、このような分布特徴の差異パターンから、異常部位を検出することができる。
【００５２】
一方、駆動部・内弁に起因する異常モードについては、ポジショナ入力信号が変化するが弁がなかなか動かない分、偏差が大きくなるので、プロットは大きくなる。このために駆動部・内弁に起因する異常モードでもプロットが変化し、異常モード別の特徴は捉えづらい。
【００５３】
例えば、駆動部・内弁に起因する異常モードとして、内弁ステムの偏芯時のプロット表示を図１３から図１５に示す。この場合、プロットが大きくなり、ポジショナＰに起因する異常モードで見られるようなプロットとは違ってくる（５番は斜め破線上に分布するようになる）。
【００５４】
＜実施例３＞
本実施例では、図１６に示す異常部位検出装置を使用し、第一演算値が、ポジショナ出力流量センサ１の計測値から算出されるとともに、第二演算値が、ポジショナ供給流量センサ３の計測値から算出され、かつ、弁圧センサ４の計測値から算出されるものである。即ち、ポジショナ供給流量に対するポジショナ出力流量の関係はポジショナからのブリード量に影響されるので、ポジショナの空気配管系の異常を検出することができる。なお、以下のセンサを使用して、ポジショナ供給流量、ポジショナ出力流量が測定できる。
・ポジショナ供給流量：ポジショナ供給流量センサ３
・ポジショナ出力流量：ポジショナ出力流量センサ１、弁圧センサ４
【００５５】
本実施例では、第一演算値（ポジショナ出力流量）をＸ軸、複数の第二演算値（ポジショナ供給流量）（弁圧）のＹ軸（Ｙ１，Ｙ２）を平行に設けて、それぞれのＸ−Ｙ軸プロット表示を重ね合わせて表示する。この際、ポジショナ出力流量の単位は［ＮＬ／ｍｉｎ］であり、ポジショナ供給流量の単位は［ＮＬ／ｍｉｎ］、弁圧の単位は［ｋＰａ］である。
【００５６】
本実施例のポジショナでは、以下のような特徴がある。
（１）ポジショナ出力流量の増減によりポジショナ供給流量も増減する。
（２）ポジショナ供給流量、弁圧のプロットを見ると同様の形状をしていることから、ポジショナ供給流量は弁圧の影響を受けることが分かる。
【００５７】
本実施例における異常検出のプロセスについて説明する。本実施例では、ポジショナ出力流量の振れによる影響を少なくするために、指標に着眼して判定を行った。まず、図１７に正常時のプロット表示を示す。ここでは、弁圧１５０ｋＰａ時のポジショナ供給流量予想線（図中の斜線）を指標とする。
【００５８】
次に、ポジショナＰに起因する異常モードとして、パイロットシート部に傷がある時のプロット表示を図１８に示す。この場合、ポジショナ供給流量予想線は上方に移動する。したがって、このような分布特徴の差異パターンから、異常部位を検出することができる。
【００５９】
また、ポジショナＰに起因する異常モードとして、パイロット内弁への異物付着時のプロット表示を図１９に示す。この場合、ポジショナ供給流量予想線は下方に移動する。したがって、このような分布特徴の差異パターンから、異常部位を検出することができる。
【００６０】
一方、駆動部・内弁に起因する異常モードとして、内弁ステムの偏芯時のプロット表示を図２０に示す。この場合、プロットされる範囲は増えるが、ポジショナ供給流量予想線は変化しなかったため、異常モード別の特徴は捉えづらい。
【００６１】
本発明は、概ね上記のように構成されるが、図示の実施形態に限定されるものでは決してなく、「特許請求の範囲」の記載内において種々の変更が可能であって、例えば、ポジショナの流体は、種々の気体や液体を使用することができる。
【００６２】
また、第一演算値および第二演算値の算出に使用するセンサの組み合わせも変更することができ、これら何れのものも本発明の技術的範囲に属する。
【符号の説明】
【００６３】
１    ポジショナ出力流量センサ
２    入力圧力センサ
３    ポジショナ供給流量センサ
４    弁圧センサ
５    弁開度センサ
Ｐ    ポジショナ
Ｂ    制御弁
【図１】
2019192166.tif 000003
【図２】
2019192166.tif 000004
【図３】
2019192166.tif 000005
【図４】
2019192166.tif 000006
【図５】
2019192166.tif 000007
【図６】
2019192166.tif 000008
【図７】
2019192166.tif 000009
【図８】
2019192166.tif 000010
【図９】
2019192166.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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