(57)【要約】【課題】簡単な構成で省スペースに設置可能なフレーム位置決め装置を提供する。【解決手段】ウェーハ（１１）を保持するフレーム（１２）をカセット（２０）に対して搬出入するフレーム搬出入手段（２５）と、フレームを仮置きする一対のガイドレール（３０）と、一対のガイドレールのカセット側の先端部に配設されたフレーム位置決め手段（４０）を備え、フレーム位置決め手段は、ガイドレールに設けられ、フレームが搬出入される第１の方向（Ａ）に直交する第２の方向（Ｂ）のフレーム両端に当接する一対の回転ローラー（４１）と、狭持位置に各回転ローラーを付勢し且つ挟持位置から待避位置への回転ローラーの移動を許す一対の付勢部材（４２）を備える。位置決め領域でフレーム搬出入手段によるフレームの把持を解除すると、一対の回転ローラーが付勢部材により挟持位置に位置付けられてフレームを第２の方向で位置決めする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハを加工する加工装置に配設され、半導体ウェーハを保持するフレームの位置決めを行うフレーム位置決め装置であって、
該加工装置のカセット載置領域に載置されたカセットからフレームを搬出すると共に該カセットにフレームを搬入するフレーム搬出入手段と、該フレーム搬出入手段によって搬出入されるフレームが一時的に上部に仮置きされる一対のガイドレールと、該一対のガイドレールの該カセット側の先端部にそれぞれ配設されたフレーム位置決め手段と、を含み、
該フレーム位置決め手段は、フレームの搬出入方向である第１の方向に直交する第２の方向のフレーム両端に当接し且つ該一対のガイドレールそれぞれに配設される一対の回転ローラーと、位置決め領域において一対の該回転ローラーが該フレームの両端を挟持して該第２の方向の位置決めを行う狭持位置に同じ付勢力で各回転ローラーを位置付けると共にフレームがカセットから位置決め領域に移動する間に該一対の回転ローラーを該狭持位置から該第１の方向に沿って待避させてフレームの移動を許容する待避位置に位置づける一対の付勢部材と、を含み、
フレームを該カセットから該ガイドレールに搬出する際は、該フレーム搬出入手段がカセットに収容されたフレームの第１の方向の一端を把持して該位置決め領域に移動し、該フレーム搬出入手段が該フレーム一端の把持を解除すると、該回転ローラーが該付勢部材により該狭持位置に位置づけられると共にフレームを摺動させて該第２の方向の位置決めを行うことを特徴とする、フレーム位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハを加工する加工装置に配設されて、半導体ウェーハを保持するフレームの位置決めを行うフレーム位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハ等の薄板状の被加工物に対して加工を行う加工装置の多くは、被加工物を吸着保持して加工面を露出させるチャックテーブルと、チャックテーブルに吸着保持された被加工物の加工面を加工する加工手段と、を備えている。加工手段は加工の種類によって様々である。一例として、切削を行う切削装置は切削ブレードを備え、レーザー加工を行うレーザー加工装置はレーザー光照射手段を備える。この種の加工装置では、被加工物が加工領域に搬送される際に、加工手段により適切に加工を行えるように被加工物の位置決めを行う。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載された切削装置では、カセットから搬出されたダイシング前の半導体ウェーハを保持するフレームと、ダイシング後の半導体ウェーハを保持するフレームとが仮置きされるフレーム仮置き領域に、開状態と挟持状態とに位置付けられる一対のフレームガイドレールを配設している。フレームを載置してから一対のフレームガイドレールを挟持状態とし、その挟持状態を維持したままフレームを押し込むことによりフレームの位置決めを行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２０４４６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の切削装置では、一対のガイドレールを開状態及び挟持状態に位置付けるためのモータ及びベルト等の駆動機構が必要であり、位置決め用の機構が複雑化して部品コストが増大してしまう。また、長尺部材であるガイドレールに開閉動作を行わせるので、広い設置スペースを要する。
【０００６】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであって、複雑な駆動機構を用いず省スペースに設置可能なフレーム位置決め装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、半導体ウェーハを加工する加工装置に配設され、半導体ウェーハを保持するフレームの位置決めを行うフレーム位置決め装置に関するものである。フレーム位置決め装置は、加工装置のカセット載置領域に載置されたカセットからフレームを搬出すると共にカセットにフレームを搬入するフレーム搬出入手段と、フレーム搬出入手段によって搬出入されるフレームが一時的に上部に仮置きされる一対のガイドレールと、一対のガイドレールのカセット側の先端部にそれぞれ配設されたフレーム位置決め手段と、を備えている。フレーム位置決め手段は、フレームの搬出入方向である第１の方向に直交する第２の方向のフレーム両端に当接し且つ一対のガイドレールそれぞれに配設される一対の回転ローラーと、位置決め領域において一対の回転ローラーがフレームの両端を挟持して第２の方向の位置決めを行う狭持位置に同じ付勢力で各回転ローラーを位置付けると共にフレームがカセットから位置決め領域に移動する間に一対の回転ローラーを狭持位置から第１の方向に沿って待避させてフレームの移動を許容する待避位置に位置づける一対の付勢部材と、を備えている。フレームをカセットからガイドレールに搬出する際は、フレーム搬出入手段がカセットに収容されたフレームの第１の方向の一端を把持して位置決め領域に移動し、フレーム搬出入手段がフレーム一端の把持を解除すると、回転ローラーが付勢部材により狭持位置に位置づけられると共にフレームを摺動させて第２の方向の位置決めを行う。
【０００８】
本発明のフレーム位置決め装置によれば、一対の回転ローラーをガイドレール先端に付ける簡易な構成でフレームの位置決めを行うことが可能であり、既存のフレーム位置決め装置に比して設置スペースを大幅に減少させることができ、且つ複雑な駆動機構を使用しないので経済的である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、複雑な駆動機構を用いず省スペースに設置可能なフレーム位置決め装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施の形態に係るフレーム位置決め装置で、カセットからフレームを搬出している状態を示す上面図である。
【図２】フレーム位置決め装置の位置決め領域でフレームの位置決めを行った状態を示す上面図である。
【図３】図２のIII−III線に沿う断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態のフレーム位置決め装置を説明する。図１と図２に示すフレーム位置決め装置１０は、被加工物であるウェーハ１１に対して切削やレーザー加工等の所定の加工を行う加工装置に配設される。加工装置において、フレーム位置決め装置１０と直接に関係しない部分については、図示及び具体的な説明を省略する。
【００１２】
ウェーハ１１は、環状のフレーム１２の開口部内に、テープ１３を介して貼着保持されている。ウェーハ１１の表面には、格子状の分割予定ラインによって区画された複数の矩形状の領域にそれぞれ半導体デバイス１４が形成されている。
【００１３】
フレーム１２はアルミニウム製である。テープ１３を介してウェーハ１１を保持した状態のフレーム１２が、カセット２０（図１）に収容される。カセット２０内には、複数のフレーム１２を上下方向に並べて収容可能な複数の収容段部（図示略）が設けられている。加工装置はカセット載置領域を有しており、図１はカセット載置領域にカセット２０を載置した状態を示している。
【００１４】
カセット２０の側面にはフレーム１２を挿脱可能な開口が設けられている。カセット２０は、図１の紙面上方に開口を向けてカセット載置領域に載置されている。そして、図１及び図２に両矢線で示す第１の方向Ａが、カセット２０に対するフレーム１２の搬出入が行われる方向となる。第１の方向Ａの一方は、カセット２０内に収容されているフレーム１２を引き出して搬出する搬出方向Ａ１であり、第１の方向Ａの他方は、カセット２０内にフレーム１２を搬入する搬入方向Ａ２である。また、フレーム位置決め装置１０を上面視した状態で第１の方向Ａに直交する第２の方向Ｂを各図中に両矢線で示した。第１の方向Ａ及び第２の方向Ｂはそれぞれ水平を向き、第１の方向Ａ及び第２の方向Ｂに対して直交する方向（図１及び図２の紙面直交方向）が、上下方向（鉛直方向）となる。
【００１５】
フレーム１２は、第２の方向Ｂにおける両側に一対の被挟持部１２ａを有する。被挟持部１２ａは互いに平行な直線状の縁部である。カセット２０内の各収納段部に対して、各フレーム１２は、被挟持部１２ａの延設方向が第１の方向Ａと略平行になる向きで収容されている。フレーム１２の外周部分には、一対の被挟持部１２ａの間に円弧状の湾曲部１２ｂが形成されている。
【００１６】
フレーム位置決め装置１０は、フレーム搬出入手段２５を備える。フレーム搬出入手段２５は、フレーム１２のうち搬出方向Ａ１側の一端を把持する把持部２５ａを有する。駆動機構２５ｂ（図１及び図２に概念的に示す）によって、把持部２５ａを第１の方向Ａ及び上下方向に移動させることが可能である。第１の方向Ａへの把持部２５ａの移動により、カセット２０に対するフレーム１２の搬出及び搬入を行う。上下方向への移動によって、カセット２０内の複数の収容段部に対して把持部２５ａを選択的に位置付けて、複数のフレーム１２の中から任意のフレーム１２に対して搬出及び搬入を実行可能となる。
【００１７】
フレーム位置決め装置１０は、カセット載置領域から第１の方向Ａに沿って延びる一対のガイドレール３０を有する。各ガイドレール３０は、樹脂、又はアルミニウム等の金属により形成されており、図３に示すように階段状の断面形状を有している。より詳しくは、各ガイドレール３０は、上方に向く載置面を有する載置部３０ａと、載置部３０ａから上方に突出する側壁部３０ｂと、側壁部３０ｂの上端から第２の方向Ｂに突出する側方突出部３０ｃと、を有する。ガイドレール３０は、図示を省略するレール駆動機構によって、上下方向に位置調整可能である。
【００１８】
一対のガイドレール３０は、第２の方向Ｂに離間して配置されており、互いの載置部３０ａの縁部が向き合う関係で、第２の方向Ｂで対称となるように配置されている。一対のガイドレール３０は第２の方向Ｂに相対移動を行わず、互いの間隔が一定である。一対のガイドレール３０の互いの側壁部３０ｂの間隔Ｃ１は、フレーム１２の一対の被挟持部１２ａの間隔Ｃ２よりも僅かに大きい。
【００１９】
各ガイドレール３０には、第１の方向Ａにおけるカセット２０側（搬入方向Ａ２側）の先端部に、フレーム位置決め手段４０が設けられている。フレーム位置決め手段４０は、側方突出部３０ｃに固定した支持ブラケット３０ｄ上に支持される、回転ローラー４１と付勢部材４２を備えている。回転ローラー４１は、円筒形状の当接部４１ａを外周部分に備えている。回転ローラー４１は鉄やステンレス鋼等の材質で形成されており、アルミニウム製のフレーム１２が当接しても摩耗しにくい。
【００２０】
より詳しくは、支持ブラケット３０ｄには、第１の方向Ａ及び第２の方向Ｂに対して直交する方向（鉛直方向）に延びる軸４３を中心として揺動するアーム４４が支持されている。アーム４４の先端部に、軸４３と平行な軸４５を中心として回転可能に回転ローラー４１が支持されている。一対のフレーム位置決め手段４０は、互いの回転ローラー４１が第２の方向Ｂに向き合うように対称に配置されている。そして、軸４３を中心とするアーム４４の揺動に応じて、第２の方向Ｂにおける一対の回転ローラー４１の間隔が変化する。
【００２１】
一対のフレーム位置決め手段４０におけるアーム４４がいずれも第２の方向Ｂに向けて延びる状態（軸４３の中心と軸４５の中心を結ぶ直線が第２の方向Ｂと平行になる状態）で、一対の回転ローラー４１の間隔が最も小さくなる。この回転ローラー４１の最小間隔は、フレーム１２における一対の被挟持部１２ａの間隔Ｃ２と同じである。この最小間隔となる位置を回転ローラー４１の挟持位置とする。
【００２２】
一対のフレーム位置決め手段４０のいずれかが、回転ローラー４１を挟持位置に保持する状態からアーム４４が軸４３を中心に回転すると、回転ローラー４１が第１の方向Ａに沿って待避しながら、第２の方向Ｂで他方の回転ローラー４１に対する間隔を広げる。挟持位置よりも他方の回転ローラー４１に対する間隔を拡大した回転ローラー４１の位置を、待避位置とする。
【００２３】
付勢部材４２は引張バネであり、一端部が支持ブラケット３０ｄ上のバネ掛け部４６に掛けられ、他端部がアーム４４に接続している。各アーム４４は、付勢部材４２によって、回転ローラー４１の挟持位置に付勢されている。各フレーム位置決め手段４０に対してフレーム１２等から力を加えない状態では、各付勢部材４２の付勢力によって各回転ローラー４１は挟持位置に保持される。一対のフレーム位置決め手段４０における付勢部材４２は、互いに同じ大きさの付勢力を有する。各アーム４４は、挟持位置から正逆の方向に回転することが可能であり、いずれの方向に回転した場合も、付勢部材４２は挟持位置に向けてアーム４４を付勢する。
【００２４】
続いて、フレーム位置決め装置１０の動作を説明する。フレーム位置決め装置１０は制御部（図示略）を備えており、以下の動作は制御部の制御の下で行われる。
【００２５】
加工装置によってウェーハ１１の加工を行う場合、フレーム位置決め装置１０のカセット載置領域に載置されたカセット２０の内部に収容されたフレーム１２を、フレーム搬出入手段２５によって引き出してから加工装置に搬送する。フレーム搬出入手段２５は、カセット２０内の複数のフレーム１２のうち、搬出対象となる特定のフレーム１２に把持部２５ａの位置を合わせて、把持部２５ａによって当該フレーム１２を把持する。把持部２５ａは、フレーム１２の搬出方向Ａ１側の端部を把持する。把持対象のフレーム１２に対する把持部２５ａの上下方向位置が異なる場合は、把持部２５ａを上下方向に移動させて位置調整する。このとき、把持部２５ａと合わせて、一対のガイドレール３０の上下方向位置も調整される。
【００２６】
把持部２５ａによりフレーム１２を把持したら、駆動機構２５ｂによって把持部２５ａを搬出方向Ａ１へ移動させる。図１の例では、カセット２０から引き出される段階で、フレーム１２の被挟持部１２ａの延設方向は、第１の方向Ａと略平行になっている。但し、後述する位置決めの際にフレーム１２の向きが補正されるので、被挟持部１２ａの延設方向が第１の方向Ａに対して多少傾いていてもよい。
【００２７】
フレーム１２をカセット２０から引き出す前は、各フレーム位置決め手段４０は付勢部材４２の付勢力によって回転ローラー４１を挟持位置に保持している。すなわち、第２の方向Ｂにおける一対の回転ローラー４１の間隔は、フレーム１２の一対の被挟持部１２ａの間隔Ｃ２と同じである。
【００２８】
フレーム搬出入手段２５によってフレーム１２が搬出方向Ａ１に所定量移動されると、一対のフレーム位置決め手段４０の回転ローラー４１の間をフレーム１２が通過する。このとき、フレーム搬出入手段２５により搬出方向Ａ１に引き出されているフレーム１２が、ガイドレール３０に対して第２の方向Ｂに位置ずれしていると、一対の回転ローラー４１のうち一方に対してフレーム１２の湾曲部１２ｂが接触する。このとき回転ローラー４１における円筒状の当接部４１ａに対してフレーム１２が当接するので、衝撃や異音が抑えられて、滑らかに動作させることができる。
【００２９】
この状態でフレーム搬出入手段２５により搬出方向Ａ１へのフレーム１２の移動を継続すると、湾曲部１２ｂが当接した側の回転ローラー４１が押圧され、付勢部材４２の付勢力に抗してアーム４４が軸４３を中心として回転する。その結果、回転ローラー４１が第１の方向Ａ（搬出方向Ａ１）に沿って待避しながら第２の方向Ｂに移動し、挟持位置から待避位置になる。図１に示す例では、搬出方向Ａ１に向かって右方向にフレーム１２がずれており、右側の回転ローラー４１が押圧されて待避位置に移動（アーム４４が時計方向に回転）している。このように回転ローラー４１が待避位置に移動することで、第２の方向Ｂでの位置がずれているフレーム１２であっても、搬出方向Ａ１への移動が許容される。
【００３０】
フレーム搬出入手段２５によるフレーム１２の搬出方向Ａ１への移動をさらに継続すると、一対の被挟持部１２ａが一対の回転ローラー４１に挟まれる位置決め領域（図２）に達する。位置決め領域に達したら、把持部２５ａによるフレーム１２の把持を一旦解除する。把持解除により、第２の方向Ｂへのフレーム１２の移動が許容される。すると、フレーム１２の通過に伴って待避位置に押圧移動されていた回転ローラー４１（図１及び図２の右側の回転ローラー４１）は、付勢部材４２の付勢力によって待避位置から挟持位置に移動しながら、フレーム１２を図１及び図２の左側へ押圧する。押圧されたフレーム１２は、右側の回転ローラー４１に対して摺動しながら第２の方向Ｂで左側に移動する。
【００３１】
図２に示すように、押圧移動されたフレーム１２の左側の被挟持部１２ａが左側の回転ローラー４１（付勢部材４２によって挟持位置に保持されている）に当接すると、第２の方向Ｂにおけるフレーム１２の位置が定まる。そして、右側の回転ローラー４１が挟持位置に達して右側の被挟持部１２ａに当接し、それぞれが挟持位置にある一対の回転ローラー４１によってフレーム１２の両端（一対の被挟持部１２ａ）が挟持された状態になる。一対の付勢部材４２の付勢力が同じであるため、一対の回転ローラー４１は挟持位置に安定して保持され、フレーム１２を第２の方向Ｂで正確に位置づける。また、第１の方向Ａに対してフレーム１２が傾いた状態で位置決め領域まで搬送された場合には、一対の被挟持部１２ａを両側から均等な付勢力で押圧することにより、フレーム１２の傾きが補正される。このフレーム１２の位置決めは、把持部２５ａの把持を解除すると、付勢部材４２の付勢力によって瞬時に行われるので、余分な駆動力を要さずにレスポンスに優れた位置決めを実現できる。
【００３２】
位置決め領域でフレーム１２が位置決めされると、フレーム搬出入手段２５の把持部２５ａによってフレーム１２を再び把持し、把持部２５ａを搬出方向Ａ１にさらに移動させる。すると、カセット２０からフレーム１２が完全に引き出される。
【００３３】
フレーム位置決め装置１０は、搬出方向Ａ１へのフレーム１２の移動量（カセット２０からの引き出し量）を決める搬出規制部（図示略）を備えている。フレーム１２が搬出規制部に当接して搬出方向Ａ１への移動が制限された段階で、把持部２５ａによるフレーム１２の把持を解除すると、一対のガイドレール３０の載置部３０ａ上にフレーム１２が載置（仮置き）される。ガイドレール３０上に仮置きされたフレーム１２は、第２の方向Ｂでの位置決めが完了している。一対のガイドレール３０の側壁部３０ｂの間隔Ｃ１が、フレーム１２の一対の被挟持部１２ａの間隔Ｃ２よりも大きいため、位置決め後のフレーム１２に対して側壁部３０ｂが干渉しない。続いて、図示を省略する搬送機構によって、加工装置の加工領域にフレーム１２が搬送され、ウェーハ１１が所定の加工を受ける。
【００３４】
加工装置で行う加工は、ウェーハ１１をフレーム１２で保持した状態で行うものであれば、どのようなものでも良い。一例として、切削加工やレーザー加工等が挙げられる。
【００３５】
ウェーハ１１に対する加工が完了したら、カセット２０内にフレーム１２を戻す。まず、加工装置から取り出されたフレーム１２を、一対のガイドレール３０の載置部３０ａ上に載置する。このとき、一対の被挟持部１２ａがそれぞれのガイドレール３０の側壁部３０ｂに対向するように、フレーム１２の向きが定められる。
【００３６】
続いて、フレーム搬出入手段２５の把持部２５ａによって、フレーム１２の搬出方向Ａ１側の一端を把持し、把持部２５ａをカセット２０への搬入方向Ａ２に移動させる。先に説明した搬出方向Ａ１への引き出し動作と同様に、フレーム１２が第２の方向Ｂで位置ずれしている場合は、湾曲部１２ｂが一方の回転ローラー４１を押圧して、付勢部材４２の付勢力に抗して挟持位置から待避位置へ移動させる。
【００３７】
そして、フレーム１２が図２に示す位置決め領域まで達すると、把持部２５ａによる把持を一旦解除する。これにより、各回転ローラー４１が付勢部材４２の付勢力で挟持位置に保持され、一対の回転ローラー４１で両側の被挟持部１２ａを挟持されたフレーム１２が、第２の方向Ｂで位置決めされる。
【００３８】
位置決め後に把持部２５ａによりフレーム１２を再度把持し、把持部２５ａをさらに搬入方向Ａ２に移動させると、位置決め済みのフレーム１２がカセット２０内に収容される。
【００３９】
なお、カセット２０からの搬出時とカセット２０への搬入時のいずれにおいても、フレーム１２が第２の方向で位置ずれしていない場合は、フレーム１２が各回転ローラー４１を待避位置に押圧することなく、位置決め領域に達する。
【００４０】
以上のように、本実施の形態のフレーム位置決め装置１０では、各ガイドレール３０のうちカセット２０側の端部に一対のフレーム位置決め手段４０を設け、各フレーム位置決め手段４０における回転ローラー４１を挟持位置と待避位置とに移動可能としている。そして、第１の方向Ａに移動するフレーム１２がフレーム位置決め手段４０の設置位置に達した際に、挟持位置にある一対の回転ローラー４１によって、第２の方向Ｂにおけるフレーム１２の両端（一対の被挟持部１２ａ）を挟持することで、フレーム１２の位置決めを行っている。
【００４１】
フレーム位置決め手段４０は、ガイドレール３０の全体を第２の方向Ｂに移動させるのではなく、付勢部材４２の付勢力で挟持位置と待避位置に移動する回転ローラー４１を用いるので、大型で複雑な駆動機構を要さず、省スペース且つ低コストにフレーム１２の位置決めを行うことができる。
【００４２】
フレーム位置決め手段４０の細部構造は、上記実施の形態と異なるものでもよい。例えば、回転ローラー４１を付勢する付勢部材４２として、引張バネに代えてトーションバネ等を用いることも可能である。
【００４３】
上記実施の形態では、回転ローラー４１が、アーム４４の揺動によって挟持位置と待避位置に移動している。これと異なり、溝（第１の方向Ａ及び第２の方向Ｂに対する傾き成分を含む溝や、第２の方向Ｂに延びる溝）を支持ブラケット３０ｄに形成し、該溝に回転ローラー４１の軸４５を挿入した構成にすることも可能である。この場合、付勢部材４２に代えて、溝の一端（互いの回転ローラー４１が第２の方向Ｂで接近する方向）に向けて回転ローラー４１を付勢する付勢部材を設ける。この構成では、溝に沿って回転ローラー４１が移動することによって、挟持位置と待避位置に達する。
【００４４】
上記実施の形態の回転ローラー４１は、鉄やステンレス鋼等で形成されており耐摩耗性に優れるが、フレーム１２が当接したときの衝撃吸収性を重視して、回転ローラー４１のうち当接部４１ａを異なる材質（樹脂、弾性体等）で形成することも可能である。
【００４５】
本発明は、加工装置における加工対象のウェーハの種類を問うものではなく、加工の種類に応じて様々なウェーハをフレームに保持させることができる。
【００４６】
また、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
【００４７】
また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
以上説明したように、本発明は、ウェーハを保持するフレームの位置決めを簡単且つ省スペースな構成で行うことができるという効果を有し、フレームの位置決めを要する様々な加工装置に有用である。
【符号の説明】
【００４９】
１０    ：フレーム位置決め装置
１１    ：ウェーハ
１２    ：フレーム
１２ａ  ：被挟持部
１２ｂ  ：湾曲部
１３    ：テープ
１４    ：半導体デバイス
２０    ：カセット
２５    ：フレーム搬出入手段
２５ａ  ：把持部
２５ｂ  ：駆動機構
３０    ：ガイドレール
３０ａ  ：載置部
３０ｂ  ：側壁部
３０ｃ  ：側方突出部
３０ｄ  ：支持ブラケット
４０    ：フレーム位置決め手段
４１    ：回転ローラー
４１ａ  ：当接部
４２    ：付勢部材
４３    ：軸
４４    ：アーム
４５    ：軸
４６    ：バネ掛け部
Ａ      ：第１の方向
Ａ１    ：搬出方向
Ａ２    ：搬入方向
Ｂ      ：第２の方向
【図１】
2019192682.tif 000003
【図２】
2019192682.tif 000004
【図３】
2019192682.tif 000005