(57)【要約】      （修正有）【課題】紫外線照射源として水銀ランプを用いた場合と同等に粘着力を低下させ、かつ、被着体のピックアップ性も向上させることができる、粘着剤の硬化方法、及び粘着剤の硬化装置を提供する。【解決手段】紫外線硬化性の粘着剤１２を加熱手段１にて加熱して、前記粘着剤１２の貯蔵弾性率Ｇ’を２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下に調整する加熱工程と、加熱した前記粘着剤１２に、紫外線発光ダイオード２１を光源とする紫外線を照射して、前記粘着剤１２を硬化する硬化工程と、を備える、粘着剤の硬化方法。【選択図】図１
2019163412.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線硬化性の粘着剤を加熱して、前記粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’を２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下に調整する加熱工程と、
加熱した前記粘着剤に、紫外線発光ダイオードを光源とする紫外線を照射して、前記粘着剤を硬化する硬化工程と、を備える、
ことを特徴とする粘着剤の硬化方法。
【請求項２】
請求項１に記載の粘着剤の硬化方法において、
前記粘着剤は、基材に設けられている、
ことを特徴とする粘着剤の硬化方法。
【請求項３】
請求項２に記載の粘着剤の硬化方法において、
前記基材は、紫外線透過性である、
ことを特徴とする粘着剤の硬化方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の粘着剤の硬化方法において、
前記粘着剤は、（メタ）アクリル系重合体を含む、
ことを特徴とする粘着剤の硬化方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の粘着剤の硬化方法において、
前記加熱工程において、前記粘着剤を、３０℃以上に加熱する、
ことを特徴とする粘着剤の硬化方法。
【請求項６】
紫外線硬化性の粘着剤を加熱する加熱手段と、
前記粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’が２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下の範囲内になるように、前記加熱手段における加熱条件を制御する制御手段と、
加熱した前記粘着剤に、紫外線発光ダイオードを光源とする紫外線を照射して、前記粘着剤を硬化する硬化手段と、を備える、
ことを特徴とする粘着剤の硬化装置。
【請求項７】
請求項６に記載の粘着剤の硬化装置において、
前記制御手段は、温度測定部を有し、
前記温度測定部は、前記粘着剤の表面温度を測定する、
ことを特徴とする粘着剤の硬化装置。
【請求項８】
請求項６又は請求項７に記載の粘着剤の硬化装置において、
前記制御手段は、記憶部を有し、
前記記憶部は、前記粘着剤の温度と、当該温度における前記粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’との対応関係を示す情報を予め記憶している、
ことを特徴とする粘着剤の硬化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着剤の硬化方法、及び粘着剤の硬化装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に、ウエハという場合がある。）の処理装置において、例えば、ウエハの回路面に保護テープを貼付して裏面研削を行ったり、ダイシングテープを貼付して複数のチップに個片化したりする処理が行われる。このような処理に使用される保護テープには、光硬化性の粘着剤が採用されている。上記のようなウエハの処理の後、粘着剤に光照射、及び他のエネルギーを付与し、粘着剤を硬化させることによって、粘着力を適切に弱め、ウエハが破損しないように保護テープを容易に剥離できる。
【０００３】
特許文献１には、エネルギー付与装置が記載されている。特許文献１には、接着剤層に所定の波長の光エネルギーを与える前、又は、与えた後、あるいは、与えている最中に、光エネルギー以外のエネルギー、又は、所定の波長以外の光エネルギーを第２のエネルギーとして与えることで、エネルギー障壁を乗り越えて接着剤層を適切に硬化させることができる、と記載されている。
【０００４】
特許文献２には、エネルギー線照射装置が記載されている。特許文献２には、紫外線ＬＥＤランプによるエネルギー線を接着シートに照射するときに、当該接着シートを所定温度に加熱すれば、エネルギー線の光量が少なくても当該接着シートの粘着力を低下させることができる、と記載されている。
【０００５】
特許文献３には、粘着テープ剥離装置が記載されている。特許文献３には、紫外線照射工程において、紫外線発光ダイオードによって半導体ウエハに貼付けられた紫外線硬化型の粘着テープに紫外線が照射され、加熱工程において紫外線のみでは硬化しきれない粘着剤に含まれる重合開始剤が加熱によって反応させられ、粘着剤の硬化が促進されて接着力が十分に弱まり、さらに、剥離工程において、半導体ウエハの表面から粘着テープの剥離を精度よく行うことができる、と記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−４０４７６号公報
【特許文献２】特開２０１３−１４１６５１号公報
【特許文献３】特開２０１１−１２４４８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
紫外線発光ダイオードを光源とする紫外線を照射して粘着剤を硬化させる場合、水銀ランプを光源とする場合と同等に粘着力を低下させるには、粘着剤を加熱することが好ましい。ところが、粘着剤を加熱後、紫外線を照射して粘着剤を硬化させた際に、粘着剤に貼着された被着体（例えば、半導体チップ等）をピックアップ（垂直面剥離）し難くなる場合がある。特許文献１〜３においては、粘着剤を加熱することで粘着力を低下させる点は記載されているものの、被着体のピックアップ性に関しては検討されていない。
【０００８】
本発明の目的は、紫外線照射源として水銀ランプを用いた場合と同等に粘着力を低下させ、かつ、被着体のピックアップ性も向上させることができる、粘着剤の硬化方法、及び粘着剤の硬化装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、紫外線硬化性の粘着剤を加熱して、前記粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’を２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下に調整する加熱工程と、加熱した前記粘着剤に、紫外線発光ダイオードを光源とする紫外線を照射して、前記粘着剤を硬化する硬化工程と、を備える、粘着剤の硬化方法が提供される。
【００１０】
本発明の一態様に係る粘着剤の硬化方法において、前記粘着剤は、基材に設けられていることが好ましい。
【００１１】
本発明の一態様に係る粘着剤の硬化方法において、前記基材は、紫外線透過性であることが好ましい。
【００１２】
本発明の一態様に係る粘着剤の硬化方法において、前記粘着剤は、（メタ）アクリル系重合体を含むことが好ましい。
【００１３】
本発明の一態様に係る粘着剤の硬化方法において、前記加熱工程において、前記粘着剤を、３０℃以上に加熱することが好ましい。
【００１４】
本発明の一態様によれば、紫外線硬化性の粘着剤を加熱する加熱手段と、前記粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’が２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下の範囲内になるように、前記加熱手段における加熱条件を制御する制御手段と、加熱した前記粘着剤に、紫外線発光ダイオードを光源とする紫外線を照射して、前記粘着剤を硬化する硬化手段と、を備える、粘着剤の硬化装置が提供される。
【００１５】
本発明の一態様に係る粘着剤の硬化装置において、前記制御手段は、温度測定部を有し、前記温度測定部は、前記粘着剤の表面温度を測定することが好ましい。
【００１６】
本発明の一態様に係る粘着剤の硬化装置において、前記制御手段は、記憶部を有し、前記記憶部は、前記粘着剤の温度と、当該温度における前記粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’との対応関係を示す情報を予め記憶していることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、紫外線照射源として水銀ランプを用いた場合と同等に粘着力を低下させ、かつ、被着体のピックアップ性も向上させることができる粘着剤の硬化方法、及び粘着剤の硬化装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】一実施形態に係る粘着剤の硬化装置の概略図である。
【図２】本発明の実施例に係る粘着剤の温度と貯蔵弾性率Ｇ’との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
［粘着剤の硬化方法］
本実施形態に係る粘着剤の硬化方法は、紫外線硬化性の粘着剤を加熱して、粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’を２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下に調整する加熱工程と、加熱した粘着剤に、紫外線発光ダイオードを光源とする紫外線を照射して、粘着剤を硬化する硬化工程と、を備えることを特徴とする。
【００２０】
本発明者らは、貯蔵弾性率を上記の範囲内に維持した状態で、紫外線発光ダイオードを光源とする紫外線を照射することで、水銀ランプを光源とする場合と同等に粘着力を低下させつつ、ピックアップ性を向上できることを見出した。
粘着剤を加熱して高温になり、貯蔵弾性率が小さくなり過ぎると、粘着剤に貼着された被着体表面の凹凸に粘着剤が入り込むと推測される。凹凸に粘着剤が入り込んだ状態で粘着剤を硬化させると、いわゆるアンカー効果が発現し、被着体と粘着剤との密着性が高くなり過ぎて、被着体をピックアップし難くなると考えられる。
本実施形態に係る粘着剤の硬化方法によれば、貯蔵弾性率を所定の範囲に維持した状態で粘着剤を硬化させるので、アンカー効果の発現を抑制でき、ピックアップ性が向上すると考えられる。
【００２１】
本実施形態に係る粘着剤の硬化方法は、前述の加熱工程と硬化工程とを実施できれば、使用する装置は特に限定されない。
【００２２】
図１には、本実施形態に係る粘着剤の硬化方法を実施するための一例としての粘着剤の硬化装置１００を説明する概略図が示されている。
【００２３】
粘着剤の硬化装置１００は、加熱手段１、硬化手段２、及び制御手段３を有する。
【００２４】
・加熱手段
加熱手段１は、紫外線硬化性の粘着剤を含む被照射体（例えば、粘着シート等）を支持するとともに、被照射体を加熱する。加熱手段１は、制御手段３に接続されている。
加熱手段１は、テーブル状に形成された加熱テーブルであり、被照射体（例えば、粘着シート等）を加熱するためのヒータを有する。加熱手段１は、さらにヒータの温度を測定するための温度センサを有することが好ましい。加熱手段１の温度センサで測定した温度に関する情報は、制御手段３に送られる。
【００２５】
図１には、被照射体としての粘着シート１０が示されている。粘着シート１０は、基材１１と粘着剤層１２とを有する。この粘着シート１０は、ウエハＷに貼着された状態で、硬化装置１００に供給されている。本実施形態では、ウエハＷの一方の面に粘着シート１０が貼着され、ウエハＷの他方の面が加熱手段１に接するように設置されている。
【００２６】
・硬化手段
硬化手段２は、紫外線発光ダイオード２１と、保持基板２２とを有する。硬化手段２は、制御手段３に接続されている。
保持基板２２は、複数の紫外線発光ダイオード２１を保持する。紫外線発光ダイオード２１は、保持基板２２に面状に複数配置されていることが好ましい。紫外線発光ダイオード２１が面状に配置されていることで、硬化手段２と対向して配置された粘着剤層１２の面に対して、均一に紫外線を照射できる。紫外線発光ダイオード２１の数は、図示した数に限定されない。紫外線発光ダイオード２１からの紫外線が被照射体（例えば、粘着シート等）に照射され、被照射体中の紫外線硬化性の化合物が硬化する。
【００２７】
・制御手段
制御手段３は、温度測定部４、及び記憶部５を有する。
制御手段３は、加熱手段１、及び硬化手段２に接続されている。制御手段３は、加熱手段１による加熱条件を制御できる。また、制御手段３は、硬化手段２による紫外線照射を制御できる。
【００２８】
温度測定部４は、温度センサであり、被照射体の温度を測定できる。被照射体が粘着シート１０である場合、温度測定部４は、粘着剤の温度として粘着剤層１２の温度を測定する。粘着剤の温度を測定する場合、温度測定部４は、接触型または非接触型の温度センサであることが好ましい。接触型の温度センサとしては、例えば、デジタル式のプローブ型温度センサ等が挙げられる。非接触型の温度センサとしては、例えば、赤外線温度センサ等が挙げられる。
【００２９】
記憶部５は、粘着剤の温度と、当該温度における粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’との対応関係を示す情報を予め記憶している。より具体的には、記憶部５は、粘着剤の種類と、各粘着剤の各温度における貯蔵弾性率Ｇ’とを対応させて記憶している。本実施形態では、記憶部５は、少なくとも、粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’が２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下の範囲を満たす温度を記憶している。記憶部５は、当該範囲外の貯蔵弾性率Ｇ’となる場合の温度を記憶していてもよい。
【００３０】
制御手段３は、温度測定部４にて測定された粘着剤の温度に関する情報を受信し、記憶部５に記憶された温度と貯蔵弾性率Ｇ’との対応関係から、粘着剤が２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下の範囲内であるか判定する。
制御手段３は、粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’が２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下の範囲内であると判定した場合、硬化手段２の紫外線発光ダイオード２１から紫外線を照射させる。このようにして、所定の貯蔵弾性率Ｇ’の範囲内に維持された状態で、粘着剤を硬化することができる。
一方、制御手段３は、粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’が２５ｋＰａ未満であると判定した場合、加熱手段１のヒータにてウエハＷに貼着された粘着シート１０を加熱させる。その後、再び、温度測定部４にて測定された粘着剤の温度に基づいて、紫外線を照射するか否かの判定を行う。粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’が２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下の範囲内であると判定した場合、紫外線を照射させる。
また、制御手段３は、粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’が１２０ｋＰａを超えていると判定した場合、加熱手段１のヒータによる加熱を停止させる。その後、再び、温度測定部４にて測定された粘着剤の温度に基づいて、紫外線を照射するか否かの判定を行う。粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’が２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下の範囲内であると判定した場合、紫外線を照射させる。
【００３１】
次に、本実施形態に係る硬化方法の各工程についてより具体的に説明する。
【００３２】
（加熱工程）
加熱工程においては、紫外線硬化性の粘着剤を加熱して、粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’を２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下に調整する。貯蔵弾性率の測定方法については、後述する実施例にて説明する。
粘着剤を加熱する方法は、貯蔵弾性率Ｇ’を２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下に維持できれば特に限定されない。例えば、粘着剤の硬化装置１００の加熱手段１を用いて粘着剤を加熱する態様でもよい。また、ウエハＷ側から粘着シート１０を加熱するのではなく、粘着シート１０の粘着剤層１２にヒータを対向させて配置して、粘着剤層１２中の粘着剤を加熱する態様でもよい。また、粘着シート１０を加熱雰囲気下に置くことによって、粘着剤を加熱する態様でもよい。
【００３３】
加熱工程において、粘着剤を３０℃以上に加熱することが好ましく、３５℃以上に加熱することがより好ましい。４０℃以上に加熱することがさらに好ましい。また、加熱工程において、粘着剤を１００℃以下に加熱することが好ましく、９５℃以下に加熱することがより好ましく、９０℃以下に加熱することがさらに好ましい。粘着剤の種類にもよるが、粘着剤を上記範囲内に加熱することで、粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’を２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下に調整し易くなる。
本実施形態の加熱工程においては、粘着剤を３０℃以上１００℃以下に加熱して、粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’を２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下に調整することがより好ましい。
【００３４】
加熱工程は、不活性ガス雰囲気下で実施することが好ましく、窒素ガス雰囲気下で実施することがより好ましい。加熱工程を不活性ガス雰囲気下で実施することで、粘着剤成分が酸素原子、及び水分子等と結合することを防止し、粘着剤の硬化不良を防止できる。
【００３５】
加熱工程を、硬化装置１００を用いて実施する場合、制御手段３による制御下で粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’を制御できる。
【００３６】
（硬化工程）
硬化工程は、加熱した前記粘着剤に、紫外線発光ダイオード（ＵＶ−ＬＥＤ）を光源とする紫外線を照射して、粘着剤を硬化する。
粘着剤を硬化する方法は、紫外線発光ダイオードを用いる方法であれば特に限定されない。例えば、粘着剤の硬化装置１００の硬化手段２を用いて粘着剤を硬化する態様でもよい。
硬化工程を、硬化装置１００を用いて実施する場合、制御手段３による制御下で粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’を制御した状態で、硬化手段２から紫外線を照射させることができる。
【００３７】
ＵＶ−ＬＥＤ光源から照射する紫外線の波長は、２００ｎｍ以上４００ｎｍ以下であることが好ましい。
ＵＶ−ＬＥＤ光源から照射する紫外線の積算光量は、例えば、粘着剤の種類、及び粘着シートの厚さに応じて適宜選択すればよく、通常、５０ｍＪ／ｃｍ２以上であり、１００ｍＪ／ｃｍ２以上であることが好ましく、２００ｍＪ／ｃｍ２以上であることがより好ましい。紫外線の積算光量は、通常、２０００ｍＪ／ｃｍ２以下であり、１５００ｍＪ／ｃｍ２以下であることが好ましく、１０００ｍＪ／ｃｍ２以下であることがより好ましい。
ＵＶ−ＬＥＤ光源から照射する紫外線の照度は、通常、５０ｍＷ／ｃｍ２以上であり、１００ｍＷ／ｃｍ２以上であることが好ましく、２００ｍＷ／ｃｍ２以上であることがより好ましい。紫外線の照度は、通常、２０００ｍＷ／ｃｍ２以下であり、１５００ｍＷ／ｃｍ２以下であることが好ましく、１０００ｍＷ／ｃｍ２以下であることがより好ましい。
【００３８】
硬化工程は、不活性ガス雰囲気下で実施することが好ましく、窒素ガス雰囲気下で実施することがより好ましい。硬化工程を不活性ガス雰囲気下で実施することで、粘着剤成分が酸素原子、及び水分子等と結合することを防止し、粘着剤の硬化不良を防止できる。
【００３９】
粘着剤を加熱して貯蔵弾性率Ｇ’を２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下の状態でＵＶ−ＬＥＤ光源から紫外線を照射して、粘着剤層を硬化させたとき、紫外線照射前の粘着力をＸ１とし、紫外線照射後の粘着力Ｘ２とした場合に、｛（Ｘ１−Ｘ２）／Ｘ１｝×１００で表される粘着力の低下率が、８０％以上となるように硬化させることが好ましく、８５％以上となるように硬化させることがより好ましい。紫外線照射前、及び紫外線照射後の粘着力の測定は、後述する実施例にて説明する。このような粘着力の低下率であれば、水銀ランプに比べて省エネルギー性に優れる紫外線発光ダイオード（ＵＶ−ＬＥＤ）を光源として用いる硬化方法であっても、粘着力を充分に低下させ、かつ、被着体のピックアップ性も向上させることができる。
【００４０】
［粘着シート］
本実施形態に係る粘着シートは、紫外線硬化性の粘着剤を含有する。
粘着シートは、図１に示すように、基材１１と、紫外線硬化性の粘着剤を含有する粘着剤層１２と、を有する粘着シート１０のような態様であることが好ましい。
【００４１】
粘着剤層１２の厚さは、例えば、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましい。また、粘着剤層１２の厚さは、１００μｍ以下であることが好ましく、８０μｍ以下であることがより好ましく、５０μｍ以下であることがさらに好ましい。
【００４２】
（粘着剤）
本実施形態に係る紫外線硬化性の粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ゴム系粘着剤、及びエポキシ系粘着剤等が挙げられる。これらの中でも、紫外線硬化性のアクリル系粘着剤が好ましい。
【００４３】
本実施形態に係る紫外線硬化性の粘着剤は、複数の成分を含有する粘着剤組成物であることが好ましい。紫外線硬化性のアクリル系粘着剤の場合、粘着剤組成物は、紫外線重合性化合物（Ｂ）を含有することが好ましく、（メタ）アクリル系重合体（Ａ）、紫外線重合性化合物（Ｂ）、架橋剤（Ｃ）及び光重合開始剤（Ｄ）を含有することがより好ましい。
なお、本明細書において、「（メタ）アクリル」は、「アクリル」、及び「メタクリル」の双方を表す場合に用いる表記であり、他の類似用語についても同様である。
【００４４】
・（メタ）アクリル系重合体（Ａ）
本実施形態に係る粘着剤組成物が含有する（メタ）アクリル系重合体（Ａ）は、公知のアクリル系の重合体を用いることができる。（メタ）アクリル系重合体（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１万以上であることが好ましく、１０万以上であることがより好ましい。（メタ）アクリル系重合体（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２００万以下であることが好ましく、１５０万以下であることがより好ましい。
本明細書において、重量平均分子量は、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）法により測定される標準ポリスチレン換算の値である。
【００４５】
（メタ）アクリル系重合体（Ａ）としては、一種類の（メタ）アクリル系モノマーから形成された単独重合体、複数種類の（メタ）アクリル系モノマーから形成された共重合体、もしくは、一種類又は複数種類の（メタ）アクリル系モノマーと、一種類又は複数種類の（メタ）アクリル系モノマー以外のモノマーとから形成された共重合体であることが好ましい。
【００４６】
（メタ）アクリル系モノマーとしては、（メタ）アクリル酸エステルモノマー又はその誘導体が挙げられる。例えば、アルキル基の炭素数が１〜１８であるアルキル（メタ）アクリレート、具体的には、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、及び２−エチルヘキシル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。また、環状骨格を有する（メタ）アクリレート、具体的には、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、及びイミド（メタ）アクリレートなどが挙げられる。さらに官能基を有するモノマーとして、水酸基を有する４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシメチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、及び２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。その他、エポキシ基を有するグリシジル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。上記（メタ）アクリル系重合体は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、酢酸ビニル、アクリロニトリル、及びスチレンからなる群から選択される少なくともいずれかのモノマーが共重合されていてもよい。
【００４７】
・紫外線重合性化合物（Ｂ）
紫外線重合性化合物（Ｂ）は、紫外線重合性基を有する。紫外線重合性化合物（Ｂ）は、紫外線が照射されて重合反応可能であれば、特に限定されない。
紫外線重合性化合物（Ｂ）としては、例えば、紫外線重合性オリゴマー、及び紫外線重合性モノマーが挙げられる。
【００４８】
紫外線重合性オリゴマーとしては、例えば、ポリエステルアクリレート系オリゴマー、エポキシアクリレート系オリゴマー、ウレタンアクリレート系オリゴマー、ポリエーテルアクリレート系オリゴマー、ポリブタジエンアクリレート系オリゴマー、及びシリコーンアクリレート系オリゴマーなどが挙げられる。
ここで、ポリエステルアクリレート系オリゴマーは、例えば、多価カルボン酸と多価アルコールの縮合によって得られる両末端に水酸基を有するポリエステルオリゴマーの水酸基を（メタ）アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。あるいは、ポリエステルアクリレート系オリゴマーは、多価カルボン酸にアルキレンオキシドを付加して得られるオリゴマーの末端の水酸基を（メタ）アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。
エポキシアクリレート系オリゴマーは、例えば、比較的低分子量のビスフェノール型エポキシ樹脂やノボラック型エポキシ樹脂のオキシラン環に、（メタ）アクリル酸を反応させてエステル化することにより得ることができる。また、このエポキシアクリレート系オリゴマーを部分的に二塩基性カルボン酸無水物で変性したカルボキシル変性型のエポキシアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。
ウレタンアクリレート系オリゴマーは、例えば、ポリエーテルポリオールやポリエステルポリオールと、ポリイソシアネートとの反応によって得られるポリウレタンオリゴマーを、（メタ）アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。
ポリオールアクリレート系オリゴマーは、例えば、ポリエーテルポリオールの水酸基を（メタ）アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。
前記紫外線重合性オリゴマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は、５００以上であることが好ましく、１，０００以上であることがより好ましく、３，０００以上であることがさらに好ましい。前記紫外線重合性オリゴマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は、１００，０００以下であることが好ましく、７０，０００以下であることがより好ましく、４０，０００以下であることがさらに好ましい。
前記紫外線重合性オリゴマーは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００４９】
紫外線重合性モノマーとしては、例えば、多官能性アクリレート類が挙げられる。
多官能性アクリレート類としては、例えば、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルジ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジシクロペンテニルジ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド変性リン酸ジ（メタ）アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ（メタ）アクリレート、イソシアヌレートジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、及びカプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
その他の紫外線重合性モノマーとしては、例えば、単官能性アクリレート類が挙げられる。単官能性アクリレート類としては、例えば、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、及びイソボニル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
これらの紫外線重合性モノマーは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
これらの紫外線重合性オリゴマーや紫外線重合性モノマーの使用量は、紫外線の照射により、前述の性状を有する粘着剤層が得られるように選定される。
【００５０】
・架橋剤（Ｃ）
架橋剤（Ｃ）は、特に限定されず、従来、アクリル系粘着剤において架橋剤として慣用されている架橋剤の中から、任意の架橋剤を適宜選択して用いることができる。
架橋剤（Ｃ）としては、例えば、ポリイソシアネート化合物、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、ジアルデヒド類、メチロールポリマー、アジリジン系化合物、金属キレート化合物、金属アルコキシド、及び金属塩などが挙げられる。
【００５１】
架橋剤（Ｃ）としては、ポリイソシアネート化合物が好ましい。
ここで、ポリイソシアネート化合物としては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート、及び脂環式ポリイソシアネートなどが挙げられる。
芳香族ポリイソシアネートとしては、例えば、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、及びキシリレンジイソシアネートなどが挙げられる。
脂肪族ポリイソシアネートとしては、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネートなどが挙げられる。
脂環式ポリイソシアネートとしては、例えば、イソホロンジイソシアネート、及び水素添加ジフェニルメタンジイソシアネートなどが挙げられる。
また、ポリイソシアネート化合物としては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート、及び脂環式ポリイソシアネートなどのビウレット体、イソシアヌレート体、又は低分子活性水素含有化合物との反応物であるアダクト体などが挙げられる。低分子活性水素含有化合物としては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパン、及びヒマシ油などが挙げられる。
【００５２】
架橋剤（Ｃ）は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
架橋剤（Ｃ）の使用量は、架橋剤の種類にもよるが、（メタ）アクリル系重合体（Ａ）１００質量部に対し、通常、０.０１質量部以上であることが好ましい。また、架橋剤（Ｃ）の使用量は、（メタ）アクリル系重合体（Ａ）１００質量部に対し、通常、２０質量部以下であることが好ましい。
【００５３】
・光重合開始剤（Ｄ）
光重合開始剤（Ｄ）は、特に限定されない。光重合開始剤（Ｄ）としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−ｎ−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−プロパン−１−オン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル−２（ヒドロキシ−２−プロプル）ケトン、ベンゾフェノン、ｐ−フェニルベンゾフェノン、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン、ジクロロベンゾフェノン、２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ターシャリーブチルアントラキノン、２−アミノアントラキノン、２−メチルチオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、及びｐ−ジメチルアミン安息香酸エステルなどが挙げられる。これら光重合開始剤（Ｄ）は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。光重合開始剤（Ｄ）の配合量は、（メタ）アクリル系重合体（Ａ）及び紫外線重合性化合物（Ｂ）の合計質量部を１００質量部とした場合に、この１００質量部に対して、通常、０.２質量部以上２０質量部以下の範囲である。
【００５４】
・その他の成分
本実施形態に係る粘着剤組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で、その他の成分が含まれていてもよい。粘着剤組成物に含まれ得るその他の成分としては、例えば、帯電防止剤、難燃剤、粘着付与剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、防腐剤、防黴剤、可塑剤、消泡剤、及び濡れ性調整剤などが挙げられる。
【００５５】
（基材）
基材１１は、図１に示すように基材１１側から照射した紫外線ＵＶが、粘着剤層１２に到達するように紫外線透過性を有していることが好ましい。
【００５６】
基材１１としては、例えば、合成樹脂フィルムなどのシート材料などを用いることができる。合成樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、及びポリイミドフィルム等が挙げられる。その他、基材１１としては、これらの架橋フィルムや積層フィルム等が挙げられる。
【００５７】
基材１１と粘着剤層１２との密着性を高めるために、粘着剤層１２を設ける基材１１の表面には、プライマー処理、コロナ処理、及びプラズマ処理等の少なくともいずれかの表面処理が施されてもよい。粘着剤層１２を設ける基材１１の表面には、粘着剤が塗布されて粘着処理が施されていてもよい。基材１１の粘着処理に用いられる粘着剤としては、例えば、アクリル系、ゴム系、シリコーン系、及びウレタン系等の粘着剤が挙げられる。
【００５８】
基材１１の厚さは、１０μｍ以上であることが好ましく、１５μｍ以上であることがより好ましく、２０μｍ以上であることがさらに好ましい。基材１１の厚さは、５００μｍ以下であることが好ましく、３００μｍ以下であることがより好ましく、２５０μｍ以下であることがさらに好ましい。
【００５９】
（剥離フィルム）
本実施形態に係る粘着シート１０は、粘着剤層１２を保護するために、剥離フィルムを有していてもよい。剥離フィルムは、粘着剤層１２を保護できれば、特に限定されない。例えば、取り扱い易さの観点から、剥離フィルムは、剥離基材と、剥離基材の上に剥離剤が塗布されて形成された剥離剤層とを備えることが好ましい。また、剥離フィルムは、剥離基材の片面のみに剥離剤層を備えていてもよいし、剥離基材の両面に剥離剤層を備えていてもよい。
剥離基材としては、例えば、プラスチックフィルム等が挙げられる。プラスチックフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、並びにポリプロピレンやポリエチレン等のポリオレフィンフィルム等が挙げられる。剥離基材としてプラスチックフィルムを用いる場合、当該プラスチックフィルムの厚さは、３μｍ以上であることが好ましく、５μｍ以上であることがより好ましい。当該プラスチックフィルムの厚さは、５０μｍ以下であることが好ましく、４０μｍ以下であることがより好ましい。
剥離剤としては、例えば、オレフィン系樹脂、ゴム系エラストマー（例えば、ブタジエン系樹脂、イソプレン系樹脂等）、長鎖アルキル系樹脂、アルキド系樹脂、フッ素系樹脂、及びシリコーン系樹脂が挙げられる。
【００６０】
剥離フィルムの厚さは、特に限定されない。剥離フィルムの厚さは、通常、２０μｍ以上であり、２５μｍ以上であることが好ましい。剥離フィルムの厚さは、通常、２００μｍ以下であり、１５０μｍ以下であることが好ましい。
剥離剤層の厚さは、特に限定されない。剥離剤を含む溶液を塗布して剥離剤層を形成する場合、剥離剤層の厚さは、０．０１μｍ以上であることが好ましく、０．０３μｍ以上であることがより好ましい。剥離剤層の厚さは、２．０μｍ以下であることが好ましく、１．０μｍ以下であることがより好ましい。
【００６１】
［粘着シートの製造方法］
本実施形態に係る粘着シート１０の製造方法は、特に限定されない。粘着シート１０の製造方法としては、例えば、前述の粘着剤を含有する塗工用組成物を調製する工程と、塗工用組成物を前述の基材又は剥離フィルムに塗布する工程と、基材又は剥離フィルム上の塗工用組成物を加熱して乾燥する工程とを有する。
【００６２】
塗工用組成物は、粘着剤組成物を有機溶媒で希釈することにより調製できる。
有機溶媒としては、例えば、トルエン、酢酸エチル、及びメチルエチルケトン等が挙げられる。塗工用組成物を塗布する方法は、特に限定されない。塗布方法としては、例えば、スプレーコート法、バーコート法、ナイフコート法、ロールナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、及びグラビアコート法等が挙げられる。
有機溶媒、及び低沸点成分が粘着剤に残留することを防ぐため、塗工用組成物を基材又は剥離フィルムに塗布した後、塗膜を加熱して乾燥させる。
【００６３】
［実施形態の変形］
本発明は、前記実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形や改良等は、本発明に含まれる。
【００６４】
前記実施形態では、硬化装置１００として、制御手段３を有する態様を例に挙げて説明したが、本発明の粘着剤の硬化方法は、制御手段３を有する硬化装置でなくとも実施できる。例えば、加熱手段１、及び硬化手段２を有する硬化装置を用いて、それぞれを手動で操作して、貯蔵弾性率Ｇ’が所望の範囲に含まれるように粘着剤を加熱した後に、紫外線を照射して粘着剤を硬化させてもよい。
【００６５】
前記実施形態では、加熱手段１が加熱テーブルである態様を例に挙げて説明したが、本発明の粘着剤の硬化方法は、このような態様の加熱手段１でなくとも実施できる。加熱手段は、粘着剤を加熱可能な構成であれば、特に限定されない。例えば、被照射体が載置される支持部材は、加熱機能を有していなくてもよい。また、例えば、加熱手段として、硬化手段及び粘着シートを収容可能な加熱チャンバーを用いる態様であってもよい。この態様の場合、加熱チャンバー内の雰囲気を加熱雰囲気にすることで、粘着シートを加熱することができる。また、この態様の場合、加熱チャンバー内に、加熱された不活性ガスを充填させることで、粘着シートを加熱することもできる。
【００６６】
前記実施形態では、基材と、紫外線硬化性の粘着剤を含有する粘着剤層と、を有する粘着シートを用いて、粘着剤を硬化する態様を例に挙げて説明したが、本発明は、このような態様に限定されない。例えば、基材を有さず、紫外線硬化性の粘着剤をシート化した態様の粘着シートを硬化させる態様でもよい。
【００６７】
前記実施形態では、シート片状の粘着シートに紫外線を照射して、粘着剤を硬化させる態様を例に挙げて説明したが、本発明は、このような態様に限定されない。例えば、帯状の基材と当該基材に帯状に形成された粘着剤層とを有するロール体から繰り出された粘着シートに紫外線を照射して、粘着剤を硬化させる態様であってもよい。
【００６８】
前記実施形態では、粘着剤又は粘着剤層１２の温度を温度測定部にて実測する態様を例に挙げて説明したが、本発明は、このような態様に限定されない。例えば、貯蔵弾性率を制御する際、粘着剤又は粘着剤層１２の温度は、実測値でなくてもよい。例えば、基材１１もしくはウエハＷの温度、又は加熱テーブルの温度と、粘着剤又は粘着剤層１２の温度との相関関係を予め調べておいて、基材１１もしくはウエハＷの測定温度、又は加熱テーブルの測定温度から、粘着剤又は粘着剤層１２の温度及び貯蔵弾性率を推定する態様でもよい。
【実施例】
【００６９】
以下、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。本発明はこれら実施例に何ら限定されない。
【００７０】
［塗工用組成物の調製］
【００７１】
（１）塗工用組成物Ｐ１の調製
９０質量部のブチルアクリレート、及び１０質量部のアクリル酸を共重合して、（メタ）アクリル系重合体としての共重合体Ａ１（重量平均分子量：８０万、ガラス転移温度Ｔｇ：−４５℃）を得た。
共重合体Ａ１を固形分として１００質量部、紫外線重合性化合物Ｂ１を固形分として１２７質量部、架橋剤Ｃ１を固形分として１１質量部、光重合開始剤Ｄ１を固形分として３．８質量部、及び溶媒としてのトルエンを固形分濃度が３０質量％となるように混合し、塗工用組成物Ｐ１を調製した。
紫外線重合性化合物Ｂ１として、３〜４官能ウレタンアクリレート（重量平均分子量：５０００）を用いた。
架橋剤Ｃ１として、トリメチロールプロパントリレンジイソシアネート（ＴＤＩ−ＴＭＰ）を含有する日本ポリウレタン社製のコロネートＬを用いた。
光重合開始剤Ｄ１として、ＢＡＳＦ社製のＩＲＧＡＣＵＲＥ  １８４を用いた。ＩＲＧＡＣＵＲＥは登録商標である。
【００７２】
（２）塗工用組成物Ｐ２の調製
８２質量部のブチルアクリレート、１０質量部のメタクリル酸メチル、３質量部のアクリル酸、及び５質量部の２−ヒドロキシエチルアクリレートを共重合して、（メタ）アクリル系重合体としての共重合体Ａ２（重量平均分子量：３０万、ガラス転移温度Ｔｇ：−３３℃）を得た。
共重合体Ａ２を固形分として１００質量部、紫外線硬化性成分を固形分として１２５質量部、架橋剤Ｃ１を固形分として５質量部、光重合開始剤Ｄ１を固形分として３．８質量部、及び溶媒としてのトルエンを固形分濃度が３０質量％となるように混合し、塗工用組成物Ｐ２を調製した。
紫外線重合性化合物Ｂ２として、２〜３官能ウレタンアクリレート（重量平均分子量：８４０００）を用いた。
架橋剤Ｃ１として、トリメチロールプロパントリレンジイソシアネート（ＴＤＩ−ＴＭＰ）を含有する日本ポリウレタン社製のコロネートＬを用いた。
光重合開始剤Ｄ１として、ＢＡＳＦ社製のＩＲＧＡＣＵＲＥ  １８４を用いた。
【００７３】
［硬化前の粘着剤の貯蔵弾性率Ｇ’の測定］
剥離フィルム（リンテック社製：ＳＰ−ＰＥＴ３８２１２０）を用意した。この剥離フィルムは、厚さ３８μｍのポリエチレンテレフタレート製基材フィルムと、当該基材フィルムの一方の面に形成された厚さ０．１μｍのシリコーン系の剥離剤層と、を有する。
前述の方法により調製した塗工用組成物Ｐ１、及びＰ２を、それぞれ、上記の剥離フィルムの剥離剤層の面上に、ナイフコーターにて塗布し、塗膜を形成した。
塗膜が形成された剥離フィルムごと１００℃の環境下、１分間経過させることにより、塗膜を乾燥させて、塗工用組成物Ｐ１、又はＰ２から形成された粘着剤層（厚さ：４０μｍ）と剥離フィルムとからなる積層体を作製した。塗工用組成物Ｐ１、及びＰ２について、それぞれ、複数の積層体を作製した。
複数の積層体の粘着剤層同士を、複数回、貼り合わせ、厚さ８００μｍの粘着剤層を形成した。
厚さ８００μｍの粘着剤層を有する積層体を、直径１０ｍｍの円形に打ち抜いて、粘着剤層の粘弾性を測定するための試料を得た。塗工用組成物Ｐ１から形成された粘着剤層を有する試料を試料Ｇ１とし、塗工用組成物Ｐ２から形成された粘着剤層を有する試料を試料Ｇ２とした。
粘弾性測定装置（ティー・エイ・インスツルメント社製：ＡＲＥＳ）により、試料Ｇ１、及び試料Ｇ２にそれぞれ、周波数１Ｈｚのひずみを与え、表１に示された各温度で貯蔵弾性率Ｇ’を測定し、紫外線照射前の貯蔵弾性率Ｇ’の値を得た。
図２は、温度と、試料Ｇ１、及び試料Ｇ２の紫外線照射前の貯蔵弾性率Ｇ’と、の関係を示すグラフである。
【００７４】
【表１】
2019163412.tif 000003
【００７５】
［粘着シートＳ１の作製と粘着力の評価］
（１−１）粘着シートＳ１の作製
剥離フィルム（リンテック社製：ＳＰ−ＰＥＴ３８１０３１）を用意した。この剥離フィルムは、厚さ３８μｍのポリエチレンテレフタレート製基材フィルムと、当該基材フィルムの一方の面に形成されたシリコーン系の剥離剤層と、を有する。この剥離フィルムの剥離剤層の面上に、前述の塗工用組成物Ｐ１を、ダイコーターにて、塗布し、塗膜を形成した。塗膜が形成された剥離フィルムごと１００℃の環境下、１分間経過させることにより、塗膜を乾燥させて、剥離フィルムと粘着剤層（厚さ：３０μｍ）とからなる積層体を得た。粘着剤層の厚さは、定圧厚さ測定器（テクロック社製：ＰＧ−０２）を用いて測定した。厚さ１４０μｍのエチレン−メタクリル酸共重合体（ＥＭＡＡ）フィルムからなる基材の一方の面に、上記の積層体の粘着剤層側の面を貼付して、剥離フィルム、粘着剤層、及び基材がこの順番に積層された積層体を得た。この積層体中、基材、及び粘着剤層からなる部分を粘着シートＳ１とした。
【００７６】
（１−２）紫外線照射前の粘着力測定
粘着シートＳ１を、２３℃、相対湿度５０％の環境下、７日間静置して、養生した。養生後の粘着シートＳ１を切断して、長さ２００ｍｍ、幅２５ｍｍの粘着力測定用シートを得た。
粘着力測定用シートの粘着剤層側の面をシリコンミラーウエハに貼付して、シリコンミラーウエハと粘着力測定用シートとからなる試験片を得た。得られた試験片を２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下、２０分間放置した。放置後の試験片について、万能型引張試験機（株式会社オリエンテック製、ＴＥＮＳＩＬＯＮ／ＵＴＭ−４−１００）を用いて、ＪＩＳ  Ｚ０２３７：２００９に準拠して、１８０°引き剥がし試験を行い、紫外線照射前粘着力（単位：ｍＮ／２５ｍｍ）を測定した。この１８０°引き剥がし試験において、粘着力測定用シートを、引き剥がされる側の部材とした。
この１８０°引き剥がし試験で測定した紫外線照射前粘着力は、１８６００ｍＮ／２５ｍｍであった。
【００７７】
（１−３）紫外線照射後の粘着力測定
上記（１−２）と同様の試験片を作製し、２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下、２０分間放置した。放置後の試験片について、窒素雰囲気下、加熱、及び紫外線発光ダイオードにより紫外線を照射し、粘着剤層に含有される紫外線重合性化合物を重合させた。紫外線は、試験片の粘着シート側から照射した。加熱、及び紫外線照射の条件を表２に示す。紫外線照射後の試験片について、上記（１−２）と同一の条件で１８０°引き剥がし試験を行い、紫外線照射後粘着力（単位：ｍＮ／２５ｍｍ）を測定した（実施例１−１〜１−８、並びに比較例１−１〜１−６）。
なお、加熱後の粘着剤層の温度は、接触式表面温度計（足立計器社製、ＨＦＴ−６０）のプローブを粘着剤層の表面に接触させることによって測定した。
また、室温下、水銀（Ｈｇ）ランプにより紫外線を照射した試験片についても、同様の１８０°引き剥がし試験を行い、紫外線照射後の粘着力を測定した（比較例１−７）。
紫外線照射後の粘着力の測定結果を表２に示す。
【００７８】
（１−４）シリコンチップのピックアップ性の評価
粘着シートＳ１に、シリコンウエハ（＃２０００）、及びリングフレームをマウント装置（リンテック社製、ＲＡＤ−２７００）にてマウントし、ダイシング装置でシリコンウエハをシリコンチップへと個片化した。なお、ダイシング条件は下記のとおりであった。
【００７９】
ダイシング装置        ：ディスコ社製「ＤＦＤ−６５１」
シリコンウエハのサイズ：６インチ径、厚さ１５０μｍ
ダイシングブレード    ：ディスコ社製「ＮＢＣ−ＺＨ２０５Ｏ２７ＨＥＣＣ」
ブレード回転数        ：３００００ｒｐｍ
ダイシングスピード    ：８０ｍｍ／秒
基材への切れ込みの深さ：基材の粘着剤層との接触面から２０μｍの深さ
ダイシングサイズ      ：８ｍｍ×８ｍｍ
【００８０】
得られたシリコンチップに対し、表２に示す条件で加熱、及び紫外線照射を行った後、ピックアップ装置（キャノンマシナリー社製「ＢＥＳＴＥＭ  Ｄ０２」）を用いて、突上げ高さ７００μｍ、突上げ速度０．３ｍｍ／秒の条件で、１０個のシリコンチップについてピックアップを試みた。そして、１０個すべてのシリコンチップがピックアップできた場合を「Ａ」とし、１個以上のシリコンチップがピックアップできなかった場合を「Ｂ」とし、評価した。実施例１−１〜１−８、並びに比較例１−１〜１−７について評価を行った。ピックアップ性の評価結果を表２に示す。
【００８１】
【表２】
2019163412.tif 000004
【００８２】
表２から、紫外線照射前の貯蔵弾性率Ｇ’が２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下となるように加熱した実施例１−１〜１−８によれば、紫外線照射源として水銀ランプを用いた場合と同等に粘着力を低下させることができ、かつ、シリコンチップのピックアップ性も向上した。
【００８３】
［粘着シートＳ２の作製と粘着力の評価］
（２−１）粘着シートＳ２の作製
剥離フィルム（リンテック社製：ＳＰ−ＰＥＴ３８１０３１）を用意した。この剥離フィルムの剥離剤層の面上に、前述の塗工用組成物Ｐ２を、ダイコーターにて塗布し、塗膜を形成した。塗膜が形成された剥離フィルムごと１００℃の環境下、１分間経過させることにより塗膜を乾燥させて、剥離フィルムと粘着剤層（厚さ：１０μｍ）とからなる積層体を得た。粘着剤層の厚さは、定圧厚さ測定器（テクロック社製：ＰＧ−０２）を用いて測定した。
厚さ８０μｍのエチレン−メタクリル酸共重合体（ＥＭＡＡ）フィルムからなる基材の一方の面に、上記の積層体の粘着剤層側の面を貼付して、剥離フィルム、粘着剤層、及び基材がこの順番に積層された積層体を得た。この積層体中、基材、及び粘着剤層からなる部分を粘着シートＳ２とした。
【００８４】
（２−２）紫外線照射前の粘着力測定
上記（１−２）と同様の方法で、粘着シートＳ２について試験片を作製し、紫外線照射前の粘着剤の粘着力（単位：ｍＮ／２５ｍｍ）を測定した。粘着シートＳ２に係る試験片について、紫外線照射前の粘着力は、４４００ｍＮ／２５ｍｍであった。
また、上記（１−３）と同様の方法で、表３に示す条件下、粘着シートＳ２に係る試験片について加熱、及び紫外線を照射した。紫外線照射後の試験片について、上記（１−２）と同一の条件で１８０°引き剥がし試験を行い、紫外線照射後粘着力（単位：ｍＮ／２５ｍｍ）を測定した（実施例２−１〜２−６、並びに比較例２−１）。
また、室温下、水銀（Ｈｇ）ランプにより紫外線を照射した試験片についても、同様の１８０°引き剥がし試験を行い、紫外線照射後の粘着力を測定した（比較例２−２）。
紫外線照射後の粘着力の測定結果を表３に示す。
【００８５】
（２−３）粘着シートＳ２を用いたチップのピックアップ性の評価
上記（１−４）と同様の方法で、粘着シートＳ２を用いて、シリコンチップのピックアップ性を評価した（実施例２−１〜２−６、並びに比較例２−１〜２−２）。ピックアップ性の評価結果を表３に示す。
【００８６】
【表３】
2019163412.tif 000005
【００８７】
表３から、紫外線照射前の貯蔵弾性率Ｇ’が２５ｋＰａ以上１２０ｋＰａ以下となるように加熱した実施例２−１〜２−６によれば、紫外線照射源として水銀ランプを用いた場合と同等に粘着力を低下させることができ、かつ、シリコンチップのピックアップ性も向上した。
【符号の説明】
【００８８】
１…加熱手段、２…硬化手段、２１…紫外線発光ダイオード、３…制御手段、４…温度測定部、５…記憶部、１０…粘着シート、１１…基材、１２…粘着剤層、１００…硬化装置、ＵＶ…紫外線、Ｗ…ウエハ。
【図１】
2019163412.tif 000006
【図２】
2019163412.tif 000007