(57)【要約】【課題】ワイヤ列から切断後のワークを引き抜く場合に、ワークにワイヤが引っ掛かってソーマークが生じたり、ワイヤの断線が発生したりすることがないワークの切断方法及びワイヤソーを提供する。【解決手段】固定砥粒ワイヤを、複数の溝付ローラに巻きかけることによってワイヤ列を形成し、前記固定砥粒ワイヤを軸方向に往復走行させながら、ワークに貼り付けられた接合部材を介してワーク保持手段で保持したワークを、前記ワイヤ列に対して切り込み送りすることによって、前記ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断するワイヤソーによるワークの切断方法であって、  前記ワークの切断終了後、かつ、前記ワイヤ列から前記ワークを引き抜く前に、前記ワークと前記ワーク保持手段の間に別途設けられた金属製のワイヤ摩耗部材を前記ワイヤ列に対して切り込み送りし、前記固定砥粒ワイヤを摩耗させることを特徴とするワークの切断方法。【選択図】図１
2019126883.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤを、複数の溝付ローラに巻きかけることによってワイヤ列を形成し、前記固定砥粒ワイヤを軸方向に往復走行させながら、ワークに貼り付けられた接合部材を介してワーク保持手段で保持したワークを、前記ワイヤ列に対して切り込み送りすることによって、前記ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断するワイヤソーによるワークの切断方法であって、
前記ワークの切断終了後、かつ、前記ワイヤ列から前記ワークを引き抜く前に、前記ワークと前記ワーク保持手段の間に別途設けられた金属製のワイヤ摩耗部材を前記ワイヤ列に対して切り込み送りし、前記固定砥粒ワイヤを摩耗させることを特徴とするワークの切断方法。
【請求項２】
前記ワイヤ摩耗部材として、ビッカース硬さ（ＨＶ）が１５０以下のものを使用することを特徴とする請求項１に記載のワークの切断方法。
【請求項３】
前記ワイヤ摩耗部材として、炭素含有量が０．２５質量％以下の鋼を原料としてなるものを使用することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のワークの切断方法。
【請求項４】
前記ワイヤ摩耗部材として、前記接合部材の側面に取付けられたものを使用することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のワークの切断方法。
【請求項５】
前記ワイヤ摩耗部材として、前記ワーク保持手段に取付けられたものを使用することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のワークの切断方法。
【請求項６】
表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤが、複数の溝付ローラに巻きかけられることによって形成されたワイヤ列と、ワーク保持手段により接合部材を介してワークを保持しながら、前記ワークを前記ワイヤ列に押し当てるワーク送り機構とを具備し、前記固定砥粒ワイヤを軸方向に往復走行させながら、前記ワイヤ列に対して前記ワーク送り機構により前記ワークを切り込み送りすることにより、前記ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断するワイヤソーであって、
前記固定砥粒ワイヤを摩耗させる金属製のワイヤ摩耗部材を更に具備し、該ワイヤ摩耗部材が、前記ワークと前記ワーク保持手段の間に設けられ、前記ワークの切断終了後、かつ、前記ワイヤ列から前記ワークを引き抜く前に前記ワイヤ列に対して切り込み送りされるものであることを特徴とするワイヤソー。
【請求項７】
前記ワイヤ摩耗部材が、ビッカース硬さ（ＨＶ）で１５０以下のものであることを特徴とする請求項６に記載のワイヤソー。
【請求項８】
前記ワイヤ摩耗部材が、炭素含有量が０．２５質量％以下の鋼を原料としてなるものであることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載のワイヤソー。
【請求項９】
前記ワイヤ摩耗部材が、前記接合部材の側面に取付けられたものであることを特徴とする請求項６から請求項８のいずれか一項に記載のワイヤソー。
【請求項１０】
前記ワイヤ摩耗部材が、前記ワーク保持手段に取付けられたものであることを特徴とする請求項６から請求項８のいずれか一項に記載のワイヤソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの切断方法及びワイヤソーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えばシリコンインゴットや化合物半導体インゴットなどからウェーハを切り出す手段として、ワイヤソーが知られている。このワイヤソーでは、複数のローラの周囲に切断用ワイヤが多数巻き掛けられることによりワイヤ列が形成されており、その切断用ワイヤが軸方向に高速駆動され、かつ、スラリが適宜供給されながら前記ワイヤ列に対してワークが切り込み送りされることにより、このワークが各ワイヤの位置で同時に切断されるようにしたものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、図５に、従来の一般的なワイヤソーの一例の概要を示す。図５に示すように、このワイヤソー１０１は、主に、ワークＷを切断するためのワイヤ１０２（高張力鋼線）、ワイヤ１０２を巻掛けた溝付きローラ１０３、１０３’、ワイヤ１０２を複数の溝付ローラ１０３、１０３’に巻掛けることで形成したワイヤ列１１２、ワイヤ１０２の張力を付与する機構１０４、１０４’、切断されるワークＷを下方へ送り出すワーク送り機構１０５、切断時にスラリ供給する機構１０６で構成されている。
【０００４】
ワイヤ１０２は、一方のワイヤリール１０７から繰り出され、トラバーサ１０８、プーリー１０９、張力付与機構１０４を経て、溝付きローラ１０３、１０３’に３００〜５００回程度巻掛けられた後、もう一方の張力付与機構１０４’、プーリー１０９’、トラバーサ１０８’を経てワイヤリール１０７’に巻きとられている。
【０００５】
また、溝付きローラ１０３、１０３’は鉄鋼製円筒の周囲にポリウレタン樹脂を圧入し、その表面に略一定のピッチで溝を切ったローラであり、巻きかけられたワイヤ１０２が溝付きローラ駆動モータ１１０によって、予め定められた周期で往復方向に駆動できるようになっている。
【０００６】
また、ワイヤリール１０７、１０７’はワイヤリール駆動モータ１１１、１１１’によって回転駆動され、溝付ローラ駆動モータ１１０とワイヤリール駆動モータ１１１、１１１’の速度をそれぞれ制御することにより、ワイヤ１０２にかかる張力を調整することができる。
【０００７】
また、図５のワークＷを下方へ送り出すワーク送り機構１０５は、図６のように、ワーク保持部１１３、ワークプレート１１４から構成されるワーク保持手段１１５を有しており、ワークプレート１１４には、ワークＷに貼り付けられた接合部材（ビーム）１２０を介してワークＷが接着される。
【０００８】
ワークＷ切断時には、ワーク送り機構１０５によってワークＷは保持されつつ相対的に押し下げられ、溝付ローラ１０３、１０３’に巻きかけられたワイヤ１０２からなるワイヤ列１１２に対して送り出される。
【０００９】
このようなワイヤソー１０１を用い、ワイヤ１０２に張力付与機構１０４、１０４’を用いて適当な張力をかけて、溝付ローラ駆動モータ１１０によりワイヤ１０２を往復方向に走行させながら、スラリ供給機構１０６から供給されたスラリを供給し、ワーク送り機構１０５でワークを切り込み送りすることでワークを切断する。
【００１０】
一方、砥粒を含むスラリを使用せず、代わりにダイヤモンド砥粒等をワイヤの表面に固着した固定砥粒ワイヤを使用して、ワークを切断する方法も知られており、直径１５０ｍｍ程度以下の小直径インゴットの切断には一部で実用化している。
【００１１】
この固定砥粒ワイヤによる切断では、図５に示したワイヤソーの鋼線ワイヤの代わりに固定砥粒ワイヤを装着し、スラリを砥粒が含まれない冷却水などのクーラントに変えることで、一般的なワイヤソーをそのまま使用することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平９−２６２８２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
固定砥粒ワイヤによる切断では、遊離砥粒を使用していないため、環境面からも産業廃棄物が少なくという利点がある。また、加工速度が速いという利点もあり、遊離砥粒を利用したワイヤソーによる加工と比べて有利な点が多い。しかしながら、ワイヤソーでは、図５に示すように、溝付ローラ１０３、１０３’に巻掛けられた１本のワイヤ１０２に対しワークＷを押しつけて移動させて切断するため、切断終了時にワークＷはワークＷを押し付けたワイヤ１０２の下側へ位置している。そのため、ワークＷを取り出すためには、ワークＷを上方へ移動させることにより、ワイヤ１０２を切断されてウェーハ状となったワークＷの間隙を通過させて相対的に下側へ引き抜く必要がある。
【００１４】
ワイヤを引き抜く際、遊離砥粒を用いたワイヤソーの場合は、図７（ａ）に示すように、遊離砥粒Ｇの幅の分だけワイヤ１０２とワークＷとの間に隙間（クリアランス）ができるため、ワイヤ１０２の抜き取りは比較的容易であった。しかし、図７（ｂ）に示すように、固定砥粒を用いたワイヤソーの場合、固定砥粒ワイヤ４０２とワークＷとの間には隙間が生じないため、固定砥粒ワイヤ４０２が抜け難い。よって、ワークＷに引っ掛かって固定砥粒ワイヤ４０２が浮き上がり、この状態で固定砥粒ワイヤ４０２を抜こうとすると、ワーク切断面がダメージを受けて当該切断面に、所謂、ソーマークが生じ、これによってＷａｒｐが悪化して品質を損なう。さらには、固定砥粒ワイヤ４０２の浮き上がりがさらに大きくなった場合には、ワイヤ断線に至ることがある。ワイヤ断線が発生した場合には、固定砥粒ワイヤを溝付ローラに巻掛け直す手間が必要となり、また巻掛け直す分の固定砥粒ワイヤが余分に必要になるなど損失が大きい。
【００１５】
本発明は前述のような問題に鑑みてなされたもので、固定砥粒ワイヤからなるワイヤ列から切断後のワークを引き抜く場合に、ワークにワイヤが引っ掛かってソーマークが生じたり、ワイヤの断線が発生したりすることがないワークの切断方法及びワイヤソーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を達成するために、本発明では、表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤを、複数の溝付ローラに巻きかけることによってワイヤ列を形成し、前記固定砥粒ワイヤを軸方向に往復走行させながら、ワークに貼り付けられた接合部材を介してワーク保持手段で保持したワークを、前記ワイヤ列に対して切り込み送りすることによって、前記ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断するワイヤソーによるワークの切断方法であって、前記ワークの切断終了後、かつ、前記ワイヤ列から前記ワークを引き抜く前に、前記ワークと前記ワーク保持手段の間に別途設けられた金属製のワイヤ摩耗部材を前記ワイヤ列に対して切り込み送りし、前記固定砥粒ワイヤを摩耗させるワークの切断方法を提供する。
【００１７】
このようなワーク切断方法であれば、固定砥粒ワイヤからなるワイヤ列からワークを引き抜く前に、ワークとワーク保持手段の間に別途設けられた金属製のワイヤ摩耗部材によって固定砥粒ワイヤを摩耗させることができるため、ワーク引き抜き時の固定砥粒ワイヤの引っ掛かりの発生を防ぐことができる。そのため、本発明のワークの切断方法であれば、ワークに固定砥粒ワイヤが引っかかることに起因するソーマークの発生、及びワイヤの断線の発生を防止することができる。
【００１８】
このとき、前記ワイヤ摩耗部材として、ビッカース硬さ（ＨＶ）が１５０以下のものを使用することが好ましい。
【００１９】
このようなものを使用すれば、効率良く固定砥粒ワイヤを摩耗させることができる。
【００２０】
また、前記ワイヤ摩耗部材として、炭素含有量が０．２５質量％以下の鋼を原料としてなるものを使用することが好ましい。
【００２１】
このようなものを使用すれば、固定砥粒ワイヤをより一層効率よく摩耗させることができる。
【００２２】
また、前記ワイヤ摩耗部材として、前記接合部材の側面に取付けられたものを使用することができる。
【００２３】
また、前記ワイヤ摩耗部材として、前記ワーク保持手段に取付けられたものを使用することもできる。
【００２４】
このように、本発明のワークの切断方法では、好適な位置に取付けられたワイヤ摩耗部材を使用することができる。
【００２５】
また、上記目的を達成するために、本発明は、表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤが、複数の溝付ローラに巻きかけられることによって形成されたワイヤ列と、ワーク保持手段により接合部材を介してワークを保持しながら、前記ワークを前記ワイヤ列に押し当てるワーク送り機構とを具備し、前記固定砥粒ワイヤを軸方向に往復走行させながら、前記ワイヤ列に対して前記ワーク送り機構により前記ワークを切り込み送りすることにより、前記ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断するワイヤソーであって、前記固定砥粒ワイヤを摩耗させる金属製のワイヤ摩耗部材を更に具備し、該ワイヤ摩耗部材が、前記ワークと前記ワーク保持手段の間に設けられ、前記ワークの切断終了後、かつ、前記ワイヤ列から前記ワークを引き抜く前に前記ワイヤ列に対して切り込み送りされるものであるワイヤソーを提供する。
【００２６】
本発明のワイヤソーは、固定砥粒ワイヤからなるワイヤ列からワークを引き抜く前に、ワークとワーク保持手段の間に設けられた金属製のワイヤ摩耗部材によって固定砥粒ワイヤを摩耗させるものである。そのため、ワーク引き抜き時の固定砥粒ワイヤの引っ掛かりの発生を防ぐことができ、ワークに固定砥粒ワイヤが引っかかることに起因するソーマークの発生、及びワイヤの断線の発生を防止することができる。
【００２７】
また、前記ワイヤ摩耗部材が、ビッカース硬さ（ＨＶ）で１５０以下のものであることが好ましい。
【００２８】
このようなものであれば、効率良く固定砥粒ワイヤを摩耗させることができるものとなる。
【００２９】
また、前記ワイヤ摩耗部材が、炭素含有量が０．２５質量％以下の鋼を原料としてなるものであることが好ましい。
【００３０】
このようなものであれば、より一層効率良く固定砥粒ワイヤを摩耗させることができるものとなる。
【００３１】
また、前記ワイヤ摩耗部材が、前記接合部材の側面に取付けられたものとすることができる。
【００３２】
また、前記ワイヤ摩耗部材が、前記ワーク保持手段に取付けられたものとすることもできる。
【００３３】
このように、本発明のワイヤソーにおけるワイヤ摩耗部材は、好適な位置に取付けられたものとすることができる。
【発明の効果】
【００３４】
以上のように、本発明のワークの切断方法及びワイヤソーであれば、固定砥粒ワイヤからなるワイヤ列から切断後のワークを引き抜く場合に、ワークにワイヤが引っ掛かってソーマークが生じたり、ワイヤの断線が発生したりすることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明のワイヤソーの一例を示した概略図である。
【図２】（ａ）ワークの切断終了時のワークと固定砥粒ワイヤの位置関係を示す図である。（ｂ）ワイヤの引っ掛かり発生時のワークと固定砥粒ワイヤの状態を示す図である。（ｃ）ワークの引き抜き終了時のワークと固定砥粒ワイヤの位置関係を示す図である。
【図３】（ａ）本発明のワイヤソーにおけるワイヤ摩耗部材の一例を示した概略図である。（ｂ）ワークの切断終了後、固定砥粒ワイヤをワイヤ摩耗部材に切り込み送りされている図である。
【図４】実施例及び比較例を説明するための概略図である。
【図５】一般的なワイヤソーの一例を示した概略図である。
【図６】一般的なワイヤソーのワーク保持手段の一例を示した概略図である。
【図７】（ａ）遊離砥粒方式におけるワークの間隙におけるワイヤの状態を示す図である。（ｂ）固定砥粒方式におけるワークの間隙における固定砥粒ワイヤの状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３７】
上記のように、固定砥粒ワイヤを用いてワークの切断を行う場合、固定砥粒ワイヤからなるワイヤ列から切断後のワークを引き抜く場合に、ワイヤがワークに引っ掛かり、切断面にソーマークが生じたり、ワイヤが断線したりするという問題があった。
【００３８】
そこで、本発明者はこのような問題を解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、固定砥粒ワイヤには、例えばダイヤモンドのような非常に硬く、摩耗しにくい砥粒が使われているが、切断後の砥粒（固定砥粒ワイヤ）が十分に摩耗した場合には、ワイヤがワークに引っ掛かることなくワークを引く抜きができることを発見した。この発見から、ワーク切断後の固定砥粒ワイヤで金属製の部材を切り込むことで、砥粒を強制的に摩耗させる方法の発想に至り本発明を完成させた。
【００３９】
すなわち、本発明は、表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤを、複数の溝付ローラに巻きかけることによってワイヤ列を形成し、前記固定砥粒ワイヤを軸方向に往復走行させながら、ワークに貼り付けられた接合部材を介してワーク保持手段で保持したワークを、前記ワイヤ列に対して切り込み送りすることによって、前記ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断するワイヤソーによるワークの切断方法であって、
前記ワークの切断終了後、かつ、前記ワイヤ列から前記ワークを引き抜く前に、前記ワークと前記ワーク保持手段の間に別途設けられた金属製のワイヤ摩耗部材を前記ワイヤ列に対して切り込み送りし、前記固定砥粒ワイヤを摩耗させるワークの切断方法である。
【００４０】
また、本発明は、表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤが、複数の溝付ローラに巻きかけられることによって形成されたワイヤ列と、ワーク保持手段により接合部材を介してワークを保持しながら、前記ワークを前記ワイヤ列に押し当てるワーク送り機構とを具備し、前記固定砥粒ワイヤを軸方向に往復走行させながら、前記ワイヤ列に対して前記ワーク送り機構により前記ワークを切り込み送りすることにより、前記ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断するワイヤソーであって、
前記固定砥粒ワイヤを摩耗させる金属製のワイヤ摩耗部材を更に具備し、該ワイヤ摩耗部材が、前記ワークと前記ワーク保持手段の間に設けられ、前記ワークの切断終了後、かつ、前記ワイヤ列から前記ワークを引き抜く前に前記ワイヤ列に対して切り込み送りされるものであるワイヤソーである。
【００４１】
まず、本発明のワークの切断方法に用いることができるワイヤソーについて、図１〜図３を参照して説明する。図１に示すように、ワイヤソー１は、ワークＷを切断するための固定砥粒ワイヤ２、固定砥粒ワイヤ２を巻き掛けた複数の溝付ローラ３、３’、溝付ローラ３、３’間に形成されたワイヤ列１２、固定砥粒ワイヤ２に張力を与えるための張力付与機構４、４’、切断するワークＷを下方へ送り出すワーク送り機構５、切断時にクーラントを供給するクーラント供給機構６で構成されている。
【００４２】
固定砥粒ワイヤ２は、一方のワイヤリール７から送り出され、トラバーサ８、プーリー９を介して、パウダクラッチ（低トルクモータ１１）やダンサローラ（デッドウェイト）（不図示）等からなる張力付与機構４を経て、溝付ローラ３に入っている。また、固定砥粒ワイヤ２が溝付ローラ３、３’に４００〜５００回程度巻掛けられることによってワイヤ列１２を形成する。さらに、固定砥粒ワイヤ２は、トラバーサ８’、プーリー９’を介して、パウダクラッチ（低トルクモータ１１’）やダンサローラ（デッドウェイト）（不図示）から成るもう一方の張力付与機構４’を経てワイヤリール７’に巻き取られている。
【００４３】
このようなワイヤソー１は、固定砥粒ワイヤ２をその軸方向に往復走行させながら、ワイヤ列１２に対してワークＷを切り込み送りすることにより、ワークＷを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断する。固定砥粒ワイヤ２の往復走行は、複数の溝付ローラ３、３’間に巻回された固定砥粒ワイヤ２を一方向へ所定の長さ前進させた後に、他方向へ前述の前進量よりも少ない長さ後退させ、これを一送りサイクルとして、このサイクルを繰り返すことにより、ワイヤを一方向へ送り出す。溝付ローラ３’は、巻掛けられた固定砥粒ワイヤ２が、溝付ローラ駆動モータ１０によって予め定められた周期で往復方向に駆動できるようになっている。
【００４４】
また、図２の（ａ）、（ｃ）は、それぞれワークの切断終了時とワーク引き抜き終了時のワークＷと溝付ローラ２０３、２０３’に巻掛けられた固定砥粒ワイヤ２０２の位置関係を示した図である。図２（ａ）に示したように、切断終了時には、ワークＷがワイヤ列よりも下側へ位置している。そのため、ワークＷを取り出すには、ワークＷを上方へ移動させることにより、切断されてウェーハ状となったワークのウェーハ間の隙間を通過させて、ワイヤ２０２を相対的に下側へ引き抜く必要がある。
【００４５】
しかし、従来の固定砥粒ワイヤを用いたワイヤソーの場合、固定砥粒ワイヤ２０２とワークＷとの間にはクリアランスが生じないため（図７の（ｂ）参照）、固定砥粒ワイヤ２０２がワークＷに引っ掛かって、図２（ｂ）に示すように浮き上がり、ワークＷの切断面にソーマークが生じたり、ワイヤ断線が発生したりする。
【００４６】
これを防ぐために、本発明のワイヤソー１は、図３に示すように、ワークＷとワーク保持手段１５の間に設けられ、ワークＷの切断終了後、かつ、ワイヤ列１２からワークＷを引き抜く前にワイヤ列１２に対して切り込み送りされる金属製のワイヤ摩耗部材２１を更に具備している。なお、ワーク保持手段１５はワーク保持部１３及びワークプレート１４から構成されたものとすることができる。これにより、ワークを引き抜く前にワイヤ列１２をワイヤ摩耗部材２１に切り込み送りし、固定砥粒ワイヤ２を摩耗させることができる。ワーク引き抜き時にワークにワイヤが引っ掛かってソーマークが生じたり、ワイヤ断線が発生したりすることを避けることができる。なお、ワイヤ摩耗部材２１を切り込み送りするには、ワーク送り機構５を用いればよい。
【００４７】
ここで、本発明のワイヤソー１におけるワイヤ摩耗部材２１は金属製である。金属としては、特に限定されないが、鉄、アルミ、銅、チタンなどが適している。また、黄銅などの合金類を用いてもよい。
【００４８】
また、ワイヤ摩耗部材２１は、ビッカース硬さ（ＨＶ）で１５０以下のものが好ましい。さらに、ワイヤ摩耗部材２１の原料としては、焼き入れ等を行う高張力鋼より炭素含有量が０．２５質量％以下の鋼（軟鋼）が最も好適な例の１つとして挙げられる。
【００４９】
ワイヤ摩耗部材が上記のようなものであれば、より効率良く固定砥粒ワイヤを摩耗させることができる。
【００５０】
なお、ワイヤ摩耗部材２１の厚さ及び切り込み送り量は、固定砥粒ワイヤ２を摩耗させることができれば特に限定されず、適宜設定することができる。
【００５１】
また、ワイヤ摩耗部材２１は、図３に示したように、接合部材２０の側面に簡易的に接着して取付けて使用することができる。もしくは、ワイヤ摩耗部材２１をワーク保持手段１５に接着させて取付けてもよい。
【００５２】
このように、本発明のワイヤソー１では、ワークＷの切断終了後、かつ、ワイヤ列１２からワークＷを引き抜く前にワイヤ列１２に対して金属製のワイヤ摩耗部材２１を切り込み送りするので、固定砥粒ワイヤを摩耗させてからワーク引き抜くことができる。これにより、ワークにワイヤが引っかかってソーマークが生じたり、ワイヤ断線が発生したりすることを防止できる。
【００５３】
続いて、本発明のワークの切断方法を、上記本発明のワイヤソーを用いる場合を例に説明する。まず、図１に示すように、表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤ２を複数の溝付ローラ３、３’に巻掛けることによってワイヤ列１２を形成する。続いて、固定砥粒ワイヤ２を溝付ローラ駆動モータ１０によって、固定砥粒ワイヤ２の軸方向に往復走行させる。そして、ワーク送り機構５によって、ワイヤ列に対して円柱状のワークＷを切り込み送りすることにより、ワークＷを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断する。
【００５４】
本発明のワークの切断方法では、ワークＷの切断終了後、かつ、ワイヤ列１２からワークＷを引き抜く前に、ワークＷとワーク保持手段１５の間に別途設けられた金属製のワイヤ摩耗部材２１をワイヤ列１２に対して切り込み送りし、固定砥粒ワイヤ２を摩耗させる（図３（ｂ）参照）。
【００５５】
これにより、ワイヤが十分に摩耗しているので、ワークＷの引き抜き時にワイヤが切断後のワークに引っ掛かり、切断面にソーマークが生じたり、ワイヤが断線したりすることを防止できる。
【実施例】
【００５６】
以下、実施例及び比較例を用いて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００５７】
（実施例）
図１に示すような本発明のワイヤソーを用いて、本発明のワークの切断方法に従い、円柱状のワークの切断を行い、固定砥粒ワイヤからなるワイヤ列からのワークの引き抜きを行った。固定砥粒ワイヤは下記の表１に示すものを用いた。
【００５８】
【表１】
2019126883.tif 000003
【００５９】
また、ワイヤ摩耗部材の構成及びワークの切断条件を下記の表２に示した。なお、ワイヤ摩耗部材をワイヤ列に対して切り込み送りする際のワイヤ走行条件及びワイヤ摩耗部材の送り速度は、ワーク切断時のワイヤ走行条件及びワーク送り条件と同様とし、ワイヤ摩耗部材を５ｍｍ切り込むことで固定砥粒ワイヤを摩耗させた。
【表２】
2019126883.tif 000004
【００６０】
また、図４のように、実施例では、ワイヤ摩耗部材としてＳ２５Ｃ（鋼）を接合部材の両側面に接着させたものを使用した。
【００６１】
（比較例）
ワイヤ摩耗部材を用いなかったこと以外、実施例と同様な条件（表１及び表２）で円柱状のワークの切断を行い、ワイヤ列からのワークの引き抜きを行った（図４）。結果を下記の表３に示した
【００６２】
【表３】
2019126883.tif 000005
【００６３】
表３に示すように、ワイヤ摩耗部材により固定砥粒ワイヤを摩耗させた実施例では、引き抜き時の断線発生及びワーク切断面にソーマーク発生は無かった。これに対して、ワイヤ摩耗部材を用いなかった比較例では、固定砥粒ワイヤが摩耗していなかったため、引き抜き時の断線及びソーマーク発生が確認された。
【００６４】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００６５】
１…ワイヤソー、  ２…固定砥粒ワイヤ、  ３、３’…溝付ローラ、
４、４’…張力付与機構、  ５…ワーク送り機構、  ６…クーラント供給機構、
７、７’…ワイヤリール、  ８、８’…トラバーサ、  ９、９’…プーリー、
１０…溝付ローラ駆動モータ、  １１、１１’…低トルクモータ、
１２…ワイヤ列、  １３…ワーク保持部、１４…ワークプレート、
１５…ワーク保持手段、  ２０…接合部材、  ２１…ワイヤ摩耗部材
Ｗ…ワーク。
【図１】
2019126883.tif 000006
【図２】
2019126883.tif 000007
【図３】
2019126883.tif 000008
【図４】
2019126883.tif 000009
【図５】
2019126883.tif 000010
【図６】
2019126883.tif 000011
【図７】
2019126883.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成30年12月11日(2018.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
固定砥粒ワイヤによる切断では、遊離砥粒を使用していないため、環境面からも産業廃棄物が少ないという利点がある。また、加工速度が速いという利点もあり、遊離砥粒を利用したワイヤソーによる加工と比べて有利な点が多い。しかしながら、ワイヤソーでは、図５に示すように、溝付ローラ１０３、１０３’に巻掛けられた１本のワイヤ１０２に対しワークＷを押しつけて移動させて切断するため、切断終了時にワークＷはワークＷを押し付けたワイヤ１０２の下側へ位置している。そのため、ワークＷを取り出すためには、ワークＷを上方へ移動させることにより、ワイヤ１０２を切断されてウェーハ状となったワークＷの間隙を通過させて相対的に下側へ引き抜く必要がある。