(57)【要約】    【課題】本発明は、被研磨物の平坦性を高めつつ、被研磨物の研磨面における傷の発生を低減させることができる研磨パッドを提供する。    【解決手段】本発明は、ポリウレタン樹脂発泡体を含む研磨パッドであって、研磨面を有し、該研磨面が、前記ポリウレタン樹脂発泡体の表面で構成され、  前記ポリウレタン樹脂発泡体は、見掛け密度が０．３７〜０．４７ｇ／ｃｍ３であり、５％モジュラスが４．００ＭＰａ以上であり、且つ気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数Ａが以下の関係式（１）を満たす、研磨パッドである。  Ａ≧３０００      ・・・（１）  （ただし、Ａは、前記研磨パッドにおける任意の２箇所で設定される１．６ｍｍ×１．６ｍｍ×０．７ｍｍの直方体において測定される、気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数である。）【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリウレタン樹脂発泡体を含む研磨パッドであって、
研磨面を有し、
該研磨面が、前記ポリウレタン樹脂発泡体の表面で構成され、
前記ポリウレタン樹脂発泡体は、見掛け密度が０．３７〜０．４７ｇ／ｃｍ３であり、５％モジュラスが４．００ＭＰａ以上であり、且つ気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数Ａが以下の関係式（１）を満たす、
研磨パッド。
Ａ≧３０００      ・・・（１）
（ただし、Ａは、前記研磨パッドにおける任意の２箇所で設定される１．６ｍｍ×１．６ｍｍ×０．７ｍｍの直方体において測定される、気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数である。）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨パッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
被研磨物（ガラス板等）を研磨する研磨パッドとしては、ポリウレタン樹脂発泡体によって形成された研磨パッドが知られている（例えば、特許文献１等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２５０１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、被研磨物の平坦性を高めることがこれまで以上に求められている。
【０００５】
上記要望を満たすために、高硬度の研磨パッド（例えば、見掛け密度が０．５０ｇ／ｃｍ３以下であり、５％モジュラスが４．００ＭＰａ以上の研磨パッド）を用いて、被研磨物を研磨することが有効である。
【０００６】
しかしながら、上記のような高硬度の研磨パッドは被研磨物の研磨中に変形し難いことから、被研磨物の研磨面と該研磨面と当接する研磨パッドの表面との間に存在する異物（研磨スラリーに含まれる砥粒や被研磨物の研磨中に生じる研磨屑など）によって、被研磨物の研磨面に傷が発生し易くなるという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、被研磨物の平坦性を高めつつ、被研磨物の研磨面における傷の発生を低減させることができる研磨パッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る研磨パッドは、ポリウレタン樹脂発泡体を含む研磨パッドであって、
研磨面を有し、
該研磨面が、前記ポリウレタン樹脂発泡体の表面で構成され、
前記ポリウレタン樹脂発泡体は、見掛け密度が０．３７〜０．４７ｇ／ｃｍ３であり、５％モジュラスが４．００ＭＰａ以上であり、且つ気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数Ａが以下の関係式（１）を満たす、
研磨パッド。
Ａ≧３０００      ・・・（１）
（ただし、Ａは、前記研磨パッドにおける任意の２箇所で設定される１．６ｍｍ×１．６ｍｍ×０．７ｍｍの直方体において測定される、気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数である。）
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、被研磨物の平坦性を高めつつ、被研磨物の研磨面における傷の発生を低減させることができる研磨パッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】気泡間距離及び該気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数を測定するのに用いられる試験体を示す図。
【図２】気泡間距離及び該気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数を測定する手順を示すフロー図。
【図３】気泡間距離及び該気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数を測定する具体例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施形態について説明する。
【００１２】
本実施形態に係る研磨パッドは、ポリウレタン樹脂を有するポリウレタン樹脂発泡体を含む研磨パッドである。
また、本実施形態に係る研磨パッドは、研磨面を有し、該研磨面が、前記ポリウレタン樹脂発泡体の表面で構成されている。
【００１３】
前記ポリウレタン樹脂発泡体は、見掛け密度が０．３７ｇ／ｃｍ３〜０．４７ｇ／ｃｍ３であり、５％モジュラスが４．００ＭＰａ以上であり、且つ気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数Ａが以下の関係式（１）を満たす。
Ａ≧３０００      ・・・（１）
（ただし、Ａは、前記研磨パッドにおける任意の２箇所で設定される１．６ｍｍ×１．６ｍｍ×０．７ｍｍの直方体において測定される、気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数である。）
【００１４】
前記ポリウレタン樹脂発泡体の見掛け密度は、ＪＩＳ  Ｋ７２２２：２００５に基づいて測定することができる。
【００１５】
前記ポリウレタン樹脂発泡体の５％モジュラスは、ＪＩＳ  Ｋ  ６２５１：２０１０に準じて、前記ポリウレタン樹脂発泡体を用いてダンベル状試験片（ダンベル状１号形試験片）を作製し、該ダンベル状試験片を引張速度１００ｍｍ／ｍｉｎで引っ張ったときの値を測定することにより求めることができる。
【００１６】
前記ポリウレタン樹脂発泡体において、気泡間距離及び該気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数Ａは、測定装置としてＸ線ＣＴスキャン装置（例えば、ヤマト科学株式会社製のＴＤＭ１０００Ｈ−Ｉ）及び解析ソフト（例えば、株式会社システムクリエイト製のＶＧ  Ｓｔｕｄｉｏ  ＭＡＸ２．２の肉厚解析モジュール）を用いることによって測定することができる。
Ｘ線ＣＴスキャン装置として、ヤマト科学株式会社製のＴＤＭ１０００Ｈ−Ｉを用い、解析ソフトとして、株式会社システムクリエイト製のＶＧ  Ｓｔｕｄｉｏ  ＭＡＸ２．２の肉厚解析モジュールを用いて、気泡間距離及び該気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数Ａを測定する場合には、以下のような測定条件を採用することができる。
（測定条件）
・測定範囲：１．６ｍｍ×１．６ｍｍ×０．７ｍｍの直方体状のポリウレタン樹脂発泡体（２個）
・ボクセル体積：３．８μｍ×３．８μｍ×３．８μｍ
・測定最小距離（測定可能な最小距離）：０ｍｍ
・測定最大距離（測定可能な最大距離）：０．５ｍｍ
・探索角度：１０°
・検出限界：１ボクセル（３．８μｍ）
・しきい値：ピーク間の中央値
前記測定条件は、測定開始前に、Ｘ線ＣＴスキャン装置に入力される。
前記測定条件のうち、ボクセルとは、前記測定範囲に係る樹脂発泡体（以下、測定発泡体ともいう）を仮想的に区画する際の単位格子を意味し、探索角度とは、前記測定発泡体内の気泡を模擬的に表すのに用いられるボクセルであって、気泡の外表面との共有点を有するボクセルの、気泡外に露出された面積が最も大きい面に対する法線を中心軸とする円錐領域の頂角を意味する。
Ｘ線ＣＴスキャン装置として、ヤマト科学株式会社製のＴＤＭ１０００Ｈ−Ｉを用い、解析ソフトとして、株式会社システムクリエイト製のＶＧ  Ｓｔｕｄｉｏ  ＭＡＸ２．２の肉厚解析モジュールを用い、前記測定条件を採用して、気泡間距離及び該気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数Ａを測定する例について、図１〜図３を参照しながら、以下により詳しく説明する。
【００１７】
気泡間距離及び該気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数Ａは、図２に示すように、測定発泡体区画工程（ステップ１）、基準サーチコーン設定工程（ステップ２）、最短サーチコーン設定工程（ステップ３）、気泡間距離検出工程（ステップ４）、及び樹脂部分個数算出工程（ステップ５）を経て求められる。以下、上記各ステップについて説明する。
【００１８】
（ステップ１：測定発泡体区画工程）
まず、図１に示すように、Ｘ線ＣＴスキャン装置で撮像された画像上において、測定発泡体１を３．８μｍ×３．８μｍ×３．８μｍの大きさのボクセル１０に仮想的に区画する（ステップ１）。図１においては、試験体１の一部だけをボクセル１０に区画する例が示されているが、実際には、測定発泡体１の全部を３．８μｍ×３．８μｍ×３．８μｍの大きさのボクセル１０に区画する。測定発泡体１において、気泡部分と樹脂部分とを区別するために、必要に応じて、撮像された画像を二値化する。
【００１９】
（ステップ２：基準サーチコーン設定工程）
次に、一の気泡１００Ａを模擬的に表すのに用いられるボクセルであって、一の気泡１００Ａの外表面との共有点を有するボクセルを基準ボクセル１０Ａとして選んで、基準ボクセル１０Ａの面であって、気泡外に露出した面積が最も大きい面に対する第１法線ｎＡを中心軸として、半頂角が５°の第１円錐領域（以下、基準サーチコーン２００Ａという）を設定する（図３（ａ）参照）。この基準サーチコーン２００Ａの頂角θＡ（１０°）が、基準サーチコーン２００Ａにおける探索角度となる。
【００２０】
（ステップ３：最短サーチコーン設定工程）
次に、基準サーチコーン２００Ａ内に含まれるボクセルであって、他の気泡１００Ｂを模擬的に表すのに用いられ、かつ他の気泡１００Ｂの外表面との共有点を有するボクセルの内、基準ボクセル１０Ａとの距離が最も短くなるボクセルを最短ボクセル１０Ｂとして選んで、最短ボクセル１０Ｂの面であって、気泡外に露出した面積が最も大きい面に対する第２法線ｎＢを中心軸として、半頂角が５°の第２円錐領域（以下、最短サーチコーン２００Ｂという）を設定する（図３（ａ）参照）。この最短サーチコーン２００Ｂの頂角θＢ（１０°）が、最短サーチコーン２００Ｂにおける探索角度となる。
図３（ａ）に示すように、最短サーチコーン２００Ｂ内に基準サーチコーン２００Ａの頂点２００Ａａが含まれていて、かつ基準サーチコーン２００Ａの頂点２００Ａａと最短サーチコーン２００Ｂの頂点２００Ｂａとの距離Ｌが測定最大距離である０．５ｍｍ以下である場合には、ステップ４に進む。
一方で、図３（ｂ）に示すように、最短サーチコーン２００Ｂ内に基準サーチコーン２００Ａの頂点２００Ａａが含まれていない場合や、図３（ｃ）に示すように、基準サーチコーン２００Ａの頂点２００Ａａと最短サーチコーン２００Ｂの頂点２００Ｂａとの距離Ｌが測定最大距離である０．５ｍｍよりも大きい場合には、処理を終了する。
【００２１】
（ステップ４：気泡間距離検出工程）
最短サーチコーン２００Ｂ内に基準サーチコーン２００Ａの頂点２００Ａａが含まれていて、かつ基準サーチコーン２００Ａの頂点２００Ａａと最短サーチコーン２００Ｂの頂点２００Ｂａとの距離が測定最大距離である０．５ｍｍ以下である場合には、基準サーチコーン２００Ａの頂点２００Ａａと最短サーチコーン２００Ｂの頂点２００Ｂａとの距離を、気泡間距離として検出する。
【００２２】
（ステップ５：樹脂部分個数算出工程）
ステップ４で検出した気泡間距離の値を参照して、気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数Ａを算出し、処理を終了する。
なお、ステップ１〜５は、２個の測定発泡体１（ポリウレタン樹脂発泡体において任意の２箇所で設定される１．６ｍｍ×１．６ｍｍ×０．７ｍｍの直方体）内の全ての基準ボクセル１０Ａについて行われ、気泡間距離及び該気泡間距離が１００μｍ以下である樹脂部分の個数Ａは、２個の測定発泡体１の測定結果を合算することにより求められる。
【００２３】
前記ポリウレタン樹脂発泡体では、気泡が、前記研磨面に垂直な断面において円形状となっている。
なお、前記ポリウレタン樹脂発泡体では、気泡が、前記研磨面に垂直な断面において円形状となっている」とは、「前記ポリウレタン樹脂発泡体は、下記式（２）に示す気泡の長さのアスペクト比の平均値が、３／５〜５／３である。」ことを意味する。
気泡の長さのアスペクト比の平均値  ＝  研磨面に垂直な方向の気泡の長さ／研磨面に平行した方向の気泡の長さ      ・・・（２）
なお、気泡の長さのアスペクト比の平均値は、Ｘ線ＣＴスキャン装置（例えば、ヤマト科学株式会社製のＴＤＭ１０００Ｈ−Ｉ）を用いて、以下のようにして求めることができる。
すなわち、まず、研磨面に垂直な方向のポリウレタン樹脂発泡体の断面画像を撮影し、この画像において観察される気泡を無作為に１００個選んで、個々の気泡について、「研磨面に垂直な方向の気泡の長さ」、及び、「研磨面に平行した方向の気泡の長さ」を求め、気泡の長さのアスペクト比を求める。
そして、これらの気泡の長さのアスペクト比を算術平均し、この算術平均値を「気泡の長さのアスペクト比の平均値」とする。
なお、断面画像の気泡の外側輪郭線上において、研磨面に垂直な方向で相互の距離が最大となる２点を選び、この２点間の距離を「研磨面に垂直な方向の気泡の長さ」とする。また、断面画像の気泡の外側輪郭線上において、研磨面に平行な方向で相互の距離が最大となる２点を選び、この２点間の距離を「研磨面に平行した方向の気泡の長さ」とする。
【００２４】
前記ポリウレタン樹脂は、活性水素を含む化合物（以下、「活性水素化合物」ともいう。）の第１の構成単位と、イソシアネート基を含む化合物（以下、「イソシアネート化合物」ともいう。）の第２の構成単位とを備える。
また、前記ポリウレタン樹脂は、活性水素化合物とイソシアネート化合物とが結合して、活性水素化合物の第１の構成単位とイソシアネート化合物の第２の構成単位とが交互に繰り返した構造となっている。前記活性水素化合物と前記イソシアネート化合物とは、ウレタン結合やウレア結合によって結合される。
【００２５】
前記活性水素化合物は、イソシアネート基と反応し得る活性水素基を分子内に有する有機化合物である。該活性水素基としては、具体的には、ヒドロキシ基、第１級アミノ基、第２級アミノ基、チオール基などの官能基が挙げられ、前記活性水素化合物は、分子中に該官能基を１種のみ有していてもよく、分子中に該官能基を複数種有していてもよい。
【００２６】
前記活性水素化合物としては、例えば、分子中に複数のヒドロキシ基を有するポリオール化合物、分子内に複数の第１級アミノ基又は第２級アミノ基を有するポリアミン化合物などを用いることができる。
【００２７】
前記ポリオール化合物としては、ポリオールモノマー、ポリオールポリマーが挙げられる。
【００２８】
前記ポリオールモノマーとしては、例えば、１，４−ベンゼンジメタノール、１，４−ビス（２−ヒドロキシエトキシ）ベンゼン、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，３−プロパンジオール、１，３−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、１，８−オクタンジオール、１，９−ノナンジオール等の直鎖脂肪族グリコールが挙げられ、ネオペンチルグリコール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、２−メチル−１，３−プロパンジオール、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオール、２−メチル−１，８−オクタンジオール等の分岐脂肪族グリコールが挙げられ、１，４−シクロヘキサンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、水添加ビスフェノールＡ等の脂環族ジオールが挙げられ、グリセリン、トリメチロールプロパン、トリブチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ソルビトール等の多官能ポリオールなどが挙げられる。
【００２９】
前記ポリオールモノマーとしては、反応時の強度がより高くなりやすく、製造された発泡ポリウレタンを含む研磨パッドの剛性がより高くなりやすく、比較的安価であるという点で、エチレングリコール、ジエチレングリコールが好ましい。
【００３０】
前記ポリオールポリマーとしては、ポリエステルポリオール、ポリエステルポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール、ポリカーボネートポリオールなどが挙げられる。
なお、ポリオールポリマーとしては、ヒドロキシ基を分子中に３以上有する多官能ポリオールポリマーも挙げられる。
【００３１】
前記ポリエステルポリオールとしては、ポリエチレンアジペートグリコール、ポリブチレンアジペートグリコール、ポリカプロラクトンポリオール、ポリヘキサメチレンアジペートグリコールなどが挙げられる。
【００３２】
前記ポリエステルポリカーボネートポリオールとしては、例えば、ポリカプロラクトンポリオールなどのポリエステルグリコールとアルキレンカーボネートとの反応生成物が挙げられ、また、エチレンカーボネートを多価アルコールと反応させて得られた反応混合物をさらに有機ジカルボン酸と反応させた反応生成物も挙げられる。
【００３３】
前記ポリエーテルポリオールとしては、ポリテトラメチレンエーテルグリコール（ＰＴＭＧ）、ポリプロピレングリコール（ＰＰＧ）、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、エチレンオキサイド付加ポリプロピレンポリオールなどが挙げられる。
【００３４】
前記ポリカーボネートポリオールとしては、１，３−プロパンジオール、１，４−ブタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、又はポリテトラメチレンエーテルグリコールなどのジオールと、ホスゲン、ジアリルカーボネート（例えばジフェニルカーボネート）又は環式カーボネート（例えばプロピレンカーボネート）との反応生成物などが挙げられる。
【００３５】
前記ポリオール化合物としては、その他に、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、分子量４００以下のポリエチレングリコール等も挙げられる。
【００３６】
前記ポリアミン化合物としては、４，４’−メチレンビス（２−クロロアニリン）（ＭＯＣＡ）、４，４’−メチレンジアニリン、トリメチレン  ビス（４−アミノベンゾアート）、２−メチル４，６−ビス（メチルチオ）ベンゼン−１，３−ジアミン、２−メチル４，６−ビス（メチルチオ）−１，５−ベンゼンジアミン、２，６−ジクロロ−ｐ−フェニレンジアミン、４，４’−メチレンビス（２，３−ジクロロアニリン）、３，５−ビス（メチルチオ）−２，４−トルエンジアミン、３，５−ビス（メチルチオ）−２，６−トルエンジアミン、３，５−ジエチルトルエン−２，４−ジアミン、３，５−ジエチルトルエン−２，６−ジアミン、トリメチレングリコール−ジ−ｐ−アミノベンゾエート、１，２−ビス（２−アミノフェニルチオ）エタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジエチル−５，５’−ジメチルジフェニルメタンなどが挙げられる。
【００３７】
前記ポリイソシアネートとしては、ポリイソシアネート、ポリイソシアネートポリマーが挙げられる。
【００３８】
前記ポリイソシアネートとしては、芳香族ジイソシアネート、脂肪族ジイソシアネート、脂環族ジイソシアネートなどが挙げられる。
【００３９】
前記芳香族ジイソシアネートとしては、トリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）、１，５−ナフタレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、１，３−フェニレンジイソシアネート、１，４−フェニレンジイソシアネートが挙げられる。また、前記芳香族ジイソシアネートとしては、ジフェニルメタンジイソシアネート（ＭＤＩ）、ジフェニルメタンジイソシアネート（ＭＤＩ）の変性物なども挙げられる。
【００４０】
ジフェニルメタンジイソシアネート（ＭＤＩ）の変性物としては、例えば、カルボジイミド変性物、ウレタン変性物、アロファネート変性物、ウレア変性物、ビューレット変性物、イソシアヌレート変性物、オキサゾリドン変性物等が挙げられる。斯かる変性物としては、具体的には、例えば、カルボジイミド変性ジフェニルメタンジイソシアネート（カルボジイミド変性ＭＤＩ）が挙げられる。
【００４１】
前記脂肪族ジイソシアネートとしては、例えば、エチレンジイソシアネート、２，２，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）などが挙げられる。
【００４２】
前記脂環族ジイソシアネートとしては、例えば、１，４−シクロヘキサンジイソシアネート、４，４’−ジシクロへキシルメタンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネート、メチレンビス（４，１−シクロヘキシレン）＝ジイソシアネートなどが挙げられる。
【００４３】
前記ポリイソシアネートポリマーとしては、ポリオールと、芳香族ジイソシアネート、脂肪族ジイソシアネート、脂環族ジイソシアネートの少なくとも何れかのジイソシアネートが結合されてなるポリマー等が挙げられる。
【００４４】
本実施形態に係る研磨パッドは、上記の如く構成されているが、次に、本実施形態に係る研磨パッドの製造方法について説明する。
【００４５】
本実施形態に係る研磨パッドの製造方法では、ポリウレタン樹脂発泡体を有する研磨パッドを製造する。
また、本実施形態に係る研磨パッドの製造方法では、末端基としてイソシアネート基を有するウレタンプレポリマーと、整泡剤とを混合することにより、空気が気泡として分散した分散液を得る。
そして、前記分散液と、活性水素を分子内に複数含む活性水素有機化合物たる硬化剤とを混合して、前記ウレタンプレポリマーを重合させることにより、ポリウレタン樹脂発泡体を有する研磨パッドを得ることができる。
前記整泡剤としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、イオン性界面活性剤などが挙げられる。
本実施形態に係る研磨パッドの製造方法において、前記ウレタンプレポリマーと前記整泡剤との混合、及び前記分散液と前記硬化剤との混合は、ミキシングヘッドなどを用いて行うことができる。
また、本実施形態に係る研磨パッドの製造方法において、前記ウレタンプレポリマーと前記整泡剤との混合性を高めるためや、前記ウレタンプレポリマーの重合性を高めるために、加熱しながら混合を行ってもよい。
【００４６】
本実施形態に係る研磨パッドで研磨する被研磨物としては、光学材料、半導体デバイス、ハードディスク、ガラス板、シリコンウエハなどが挙げられる。
【００４７】
本実施形態に係る研磨パッドは、上記のように構成されているので、以下の利点を有するものである。
即ち、本実施形態に係る研磨パッドは、ポリウレタン樹脂発泡体を含む研磨パッドであって、研磨面を有し、該研磨面が、前記ポリウレタン樹脂発泡体の表面で構成され、前記ポリウレタン樹脂発泡体は、見掛け密度が０．３７〜０．４７ｇ／ｃｍ３であり、５％モジュラスが４．００ＭＰａ以上であり、且つ気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数Ａが以下の関係式（１）を満たす研磨パッドである。
Ａ≧３０００・・・・（１）
（ただし、Ａは、前記研磨パッドにおける任意の２箇所で設定される１．６ｍｍ×１．６ｍｍ×０．７ｍｍの直方体において測定される、気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分の個数である。）
斯かる研磨パッドでは、研磨面がポリウレタン樹脂発泡体の表面で構成され、該ポリウレタン樹脂発泡体は、見掛け密度が０．３７〜０．４７ｇ／ｃｍ３であり、５％モジュラスが４．００ＭＰａ以上であるので、被研磨物の研磨中に変形し難い。そのため、被研磨物の平坦性を高めることができる。
また、斯かる研磨パッドでは、気泡間距離が１００μｍ以下となる樹脂部分、即ち、比較的厚さの薄い樹脂部分の個数Ａが関係式Ａ≧３０００を満たすので、被研磨物の研磨面と当接する樹脂部分の面上に残留する異物（研磨スラリーに含まれる砥粒や被研磨物の研磨中に生じる研磨屑など）が比較的少なくなって、前記樹脂部分の面上での異物の凝集が抑制される。これにより、被研磨物の研磨面と異物とが物理的に接触する頻度が低くなるので、被研磨物の研磨面における傷の発生を低減させることができる。
よって、斯かる研磨パッドは、被研磨物の平坦性を高めつつ、被研磨物の研磨面における傷の発生を低減させることができる。
【００４８】
なお、本発明に係る研磨パッドは、上記実施形態に限定されるものではない。また、本発明に係る研磨パッドは、上記した作用効果によって限定されるものでもない。さらに、本発明に係る研磨パッドは、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【実施例】
【００４９】
次に、実施例および比較例を挙げて本発明についてさらに具体的に説明する。
【００５０】
（実施例１）
表１に示すプレポリマーと整泡剤とを、表１の配合割合で、混合タンク内で撹拌羽根にて７０℃下で混合することにより、空気が気泡として分散した分散液を得た。
次に、前記混合タンク内で撹拌羽根にて前記分散液と硬化剤とを混合して、プレポリマーを重合させることにより、ポリウレタン樹脂発泡体たる研磨パッドを得た。
【００５１】
なお、下記表１の材料は、具体的には以下のものである。
・プレポリマー１：ポリプロピレングリコール（ＰＰＧ）と、トリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）とを反応させることで得られるウレタンプレポリマー（末端基としてイソシアネート基を有するウレタンプレポリマー）（ＮＣＯｗｔ％：８．００）
・プレポリマー２：ポリテトラメチレンエーテルグリコール（ＰＴＭＧ）と、トリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）とを反応させることで得られるウレタンプレポリマー（末端基としてイソシアネート基を有するウレタンプレポリマー）（ＮＣＯｗｔ％：８．３０）
・硬化剤：ＭＯＣＡ（４，４’−メチレンビス（２−クロロアニリン））
・整泡剤：シリコーン系界面活性剤
・触媒：３級アミン系触媒
【００５２】
（実施例２）
プレポリマー１の配合量を１０質量部とし、プレポリマー２の配合量を９０質量部とした以外は、実施例１と同様にして、ポリウレタン樹脂発泡体たる研磨パッドを得た。
【００５３】
（実施例３）
整泡剤の配合量を０．５質量部とし、水の配合量を０．２２質量部とし、触媒の配合量を０．０１質量部とした以外は、実施例１と同様にして、ポリウレタン樹脂発泡体たる研磨パッドを得た。
【００５４】
（比較例１）
整泡剤を配合せず、水の配合量を０．２２質量部とし、触媒の配合量を０．０１質量部とした以外は、実施例１と同様にして、ポリウレタン樹脂発泡体たる研磨パッドを得た。
【００５５】
【表１】
2019126900.tif 000002
【００５６】
（研磨試験）
各実施例及び比較例に係る研磨パッドを用い、下記表２に示す研磨条件で１３個の被研磨物を研磨し、被研磨物の研磨面における傷の発生頻度を評価した。なお、１〜３個目までの被研磨物においては、データのバラツキが大きかったことから、これらについては、傷の発生頻度を評価する対象から除外し、４〜１３個目までの計１０個の研磨後の被研磨物を、被研磨物の研磨面における傷の発生頻度を評価する対象とした。
【００５７】
【表２】
2019126900.tif 000003
【００５８】
被研磨物の研磨面における傷、及び該傷の発生頻度は、以下の方法で求めた。
【００５９】
（研磨面における傷及び該傷の発生頻度）
研磨面における傷は、光学顕微鏡を用いて上記研磨条件で研磨した後の各被研磨物の研磨面を観察し、長さが１４０ｎｍよりも大きい傷の数をカウントすることにより求めた。
また、研磨面における傷の発生頻度は、研磨後の１０個の被研磨物のうち、研磨面においてカウントされる傷が２１１個を上回るものの個数の割合を算出することにより求めた（例えば、１０個の被研磨物のうち、研磨面にカウントされる傷が２１１個を上回るものの個数が３回であれば、研磨面における傷の発生頻度を３０％と算出した）。
【００６０】
各実施例及び比較例に係る研磨パッドについて、気泡間距離が０〜１００μｍ以下となる樹脂部分の個数（以下、単に樹脂部分の個数という）、研磨面における傷の発生頻度、平均気泡径、見掛け密度、及び５％モジュラスを測定した結果を表３に示した。
樹脂部分の個数、研磨面における傷の発生頻度、見掛け密度、及び５％モジュラスは、上述した方法にて測定した。
また、平均気泡径は、Ｘ線ＣＴスキャン装置（ヤマト科学株式会社製のＴＤＭ１０００Ｈ−Ｉ）を用いて、以下のようにして求めた。
すなわち、上述した測定範囲（１．６ｍｍ×１．６ｍｍ×０．７ｍｍ）に含まれている、各気泡の体積を測定し、この体積と同じ体積の真球の直径を各気泡の直径として算出した後、各気泡の直径を算術平均することにより算出した。
【００６１】
【表３】
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【００６２】
表３に示したように、実施例１〜３に係る研磨パッド、すなわち、樹脂部分の個数が３０００個以上であり、見掛け密度が０．３７〜０．４７ｇ／ｃｍ３の範囲にあり、かつ５％モジュラスが４．００ＭＰａ以上である研磨パッドを用いて研磨された被研磨物の研磨面は、比較例１に係る研磨パッドを用いて研磨された被研磨物の研磨面に比べて、傷の発生頻度が低下していることが確認された。
【符号の説明】
【００６３】
１：測定発泡体、１０：ボクセル、１０Ａ：基準ボクセル、１０Ｂ：最短ボクセル、１００Ａ：一の気泡、１００Ｂ：他の気泡、２００Ａ：基準サーチコーン、２００Ｂ：最短サーチコーン、２００Ａａ：頂点、２００Ｂａ：頂点、Ｌ：距離、ｎＡ：第１法線、ｎＢ：第２法線、θＡ：頂角、θＢ：頂角。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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