(57)【要約】【課題】加工後の板状ワークを効率よく乾燥させることができるようにする。【解決手段】板状ワークＷが進入又は進出する進入出口２１０を備えたボックス２と、ボックス２内に進入又はボックス２内から進出する板状ワークＷを挟んで対向し板状ワークＷの両面にエアを噴出するエア噴出口３３０を備えるエアナイフ３と、を備えた板状ワーク乾燥機１である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを乾燥させる板状ワーク乾燥機であって、
板状ワークが進入又は進出する進入出口を備えたボックスと、
該ボックス内に進入又は該ボックス内から進出する板状ワークを挟んで対向し板状ワークの両面にエアを噴出するエア噴出口を備えるエアナイフと、を備えた板状ワーク乾燥機。
【請求項２】
前記進入出口が形成された天板を備え、
板状ワークを縦にして該進入出口から進入又は進出させて板状ワークを乾燥させる請求項１記載の板状ワーク乾燥機。
【請求項３】
前記ボックス内で前記エアナイフを板状ワークの面方向に移動させる移動手段を備え、該ボックス内に進入させた板状ワークを該エアナイフを移動させつつ乾燥させる請求項１又は請求項２記載の板状ワーク乾燥機。
【請求項４】
前記移動手段は、前記エアナイフに連結するピストンと、該ピストンを一端部から他端部の間で移動可能に収容するシリンダと、該一端部に形成された第１のエア供給部と、該他端部に形成された第２のエア供給部と、エア源から供給されるエアを該第１のエア供給部と該第２のエア供給部とに選択的に供給するエアオペレーションバルブと、を備え、
該エアオペレーションバルブは、
該エア源と該第１のエア供給部とを連通させる第１の経路と、該エア源と該第２のエア供給部とを連通させる第２の経路と、を備えた切換部と、該切換部の一端側に配設されたバネと、該切換部の他端側に配設され該バネに抗して該第２の経路にエア源が連通するように該切換部を移動させるエアアクチュエータとを備え、
該切換部と該第１のエア供給部との間には第１の圧力調整路と第２の圧力調整路とを有する経路切換部を備え、
該第１の圧力調整路を介して該第１のエア供給部にエアが供給され該ピストンが該一端部から他端部に移動して該シリンダ内の圧力が高くなった際に、該第２の圧力調整路にエアが流れて該エアアクチュエータが作動し該バネに抗して該切換部を該第２の経路がエア源と連通するように移動させて、該第２のエア供給部にエアが供給されて該ピストンを該他端部から該一端部に移動させ、該第１の圧力調整路のエアが排気され該第２の圧力調整路の圧力が低くなった際に、該バネの付勢力で該切換部を該第１の経路がエア源と連通するように移動させる請求項３記載の板状ワーク乾燥機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状のワークを乾燥させる乾燥機に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、保持テーブルが保持した板状ワークを回転する切削ブレードで切削する切削装置においては、切削水を切削ブレードと板状ワークとの接触部位及びその周囲に供給して、接触部位の冷却及び切削屑の除去を行いつつ切削加工を実施している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−２５４０３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
切削装置が切削加工後の板状ワークを洗浄機構に搬送する搬送手段を備えていない構成となっている場合には、切削加工後に、作業者が保持テーブルから板状ワークを取り外し、板状ワークについている切削水をエアガンで吹き飛ばしている。
【０００５】
切削水を吹き飛ばすときには、板状ワークの一方の面にエアを吹きかけて一方の面を乾燥させ、次に板状ワークを反転させて、板状ワークの他方の面にエアを吹きかけ他方の面を乾燥させる。しかし、他方の面にエアを吹きかけたときに一方の面に水滴が回り込み一方の面を濡らしてしまう。そのため、再度一方の面にエアを吹きかけて乾燥させる必要があり、さらに、他方の面に回り込んだ水滴を吹き飛ばす必要が生じ、何度も板状ワークを反転させてエアの吹きかけを繰り返して乾燥を行っている。
【０００６】
したがって、板状ワークに加工水（例えば、切削水）を供給しつつ切削加工等を施した後には、加工後の板状ワークを効率よく乾燥させることができるようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明は、板状ワークを乾燥させる板状ワーク乾燥機であって、板状ワークが進入又は進出する進入出口を備えたボックスと、該ボックス内に進入又は該ボックス内から進出する板状ワークを挟んで対向し板状ワークの両面にエアを噴出するエア噴出口を備えるエアナイフと、を備えた板状ワーク乾燥機である。
【０００８】
前記板状ワーク乾燥機は、前記進入出口が形成された天板を備え、板状ワークを縦にして該進入出口から進入又は進出させて板状ワークを乾燥させるものとすると好ましい。
【０００９】
前記板状ワーク乾燥機は、前記ボックス内で前記エアナイフを板状ワークの面方向に移動させる移動手段を備え、該ボックス内に進入させた板状ワークを該エアナイフを移動させつつ乾燥させるものとすると好ましい。
【００１０】
前記移動手段は、前記エアナイフに連結するピストンと、該ピストンを一端部から他端部の間で移動可能に収容するシリンダと、該一端部に形成された第１のエア供給部と、該他端部に形成された第２のエア供給部と、エア源から供給されるエアを該第１のエア供給部と該第２のエア供給部とに選択的に供給するエアオペレーションバルブと、を備え、該エアオペレーションバルブは、該エア源と該第１のエア供給部とを連通させる第１の経路と、該エア源と該第２のエア供給部とを連通させる第２の経路と、を備えた切換部と、該切換部の一端側に配設されたバネと、該切換部の他端側に配設され該バネに抗して該第２の経路にエア源が連通するように該切換部を移動させるエアアクチュエータとを備え、該切換部と該第１のエア供給部との間には第１の圧力調整路と第２の圧力調整路とを有する経路切換部を備え、該第１の圧力調整路を介して該第１のエア供給部にエアが供給され該ピストンが該一端部から他端部に移動して該シリンダ内の圧力が高くなった際に、該第２の圧力調整路にエアが流れて該エアアクチュエータが作動し該バネに抗して該切換部を該第２の経路がエア源と連通するように移動させて、該第２のエア供給部にエアが供給されて該ピストンを該他端部から該一端部に移動させ、該第１の圧力調整路のエアが排気され該第２の圧力調整路の圧力が低くなった際に、該バネの付勢力で該切換部を該第１の経路がエア源と連通するように移動させるものとすると好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る板状ワーク乾燥機は、例えば加工装置の横に設置され、加工装置から搬出された板状ワークをボックス内でエアナイフによって効率よく乾燥させることができる。
【００１２】
板状ワーク乾燥機は、進入出口が形成された天板を備え、板状ワークを縦にして進入出口から進入又は進出させて板状ワークを乾燥させるものとすることで、エアによって板状ワークの両面から吹き飛ばした加工水をボックスの底部に落下させて、ワーク乾燥時におけるワークの一方の面又は他方の面への加工水の回り込みをより抑制しつつ乾燥を行うことが可能となる。
【００１３】
板状ワーク乾燥機は、ボックス内でエアナイフを板状ワークの面方向に移動させる移動手段を備え、ボックス内に進入させた板状ワークをエアナイフを移動させつつ乾燥させるものとすることで、板状ワークの両面全面にエアを効率よく噴射して板状ワークを乾燥させることが可能となる。
【００１４】
移動手段が、エアナイフに連結するピストンと、ピストンを一端部から他端部の間で移動可能に収容するシリンダと、一端部に形成された第１のエア供給部と、他端部に形成された第２のエア供給部と、エア源から供給されるエアを第１のエア供給部と第２のエア供給部とに選択的に供給するエアオペレーションバルブと、を備え、エアオペレーションバルブは、エア源と第１のエア供給部とを連通させる第１の経路と、エア源と第２のエア供給部とを連通させる第２の経路と、を備えた切換部と、切換部の一端側に配設されたバネと、切換部の他端側に配設されバネに抗して第２の経路にエア源が連通するように切換部を移動させるエアアクチュエータとを備え、切換部と第１のエア供給部との間には第１の圧力調整路と第２の圧力調整路とを有する経路切換部を備えたものとすることで、第１の圧力調整路を介して第１のエア供給部にエアが供給されピストンが一端部から他端部に移動してシリンダ内の圧力が高くなった際には、第２の圧力調整路にエアが流れてエアアクチュエータが作動しバネに抗して切換部を第２の経路がエア源と連通するように移動させることができ、さらに、第２のエア供給部にエアが供給されてピストンを他端部から一端部に移動させ、第１の圧力調整路のエアが排気され第２の圧力調整路の圧力が低くなった際には、バネの付勢力で切換部を第１の経路がエア源と連通するように移動させることができるため、移動手段は、エア源からのエアの供給のみでエアナイフを上下に往復移動させることができ、板状ワーク乾燥機の低コスト化及び省スペース化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】板状ワーク乾燥機の一例を示す斜視図である。
【図２】エアナイフの一例を示す断面図である。
【図３】移動手段によってエアナイフを下降させつつボックス内に進入させた板状ワークを乾燥している状態を示す模式的な説明図である。
【図４】移動手段のピストンが他端部まで移動した状態を示す模式的な説明図である。
【図５】移動手段のピストンが他端部まで移動した状態を示す斜視図である。
【図６】ピストンがシリンダの他端部に移動してシリンダ内の圧力が高くなった際に、第２の圧力調整路にエアが流れてエアアクチュエータが作動し切換部の第２の経路がエア源に連通した状態を示す模式的な説明図である。
【図７】第１の圧力調整路のエアが排気され第２の圧力調整路の圧力が低くなった際に、バネの力で第１の経路がエア源と連通するように切換部が移動した状態を示す模式的な説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１に示す板状ワーク乾燥機１によって乾燥される板状ワークＷは、例えば、外形が円形状の半導体ウエーハであり、その表面Ｗａには、切削予定ラインＳによって区画された格子状の領域にＩＣやＬＳＩ等のデバイスＤが形成されている。例えば、板状ワークＷの裏面Ｗｂは粘着テープＴの貼着面に貼着され、粘着テープＴの外周部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、板状ワークＷは環状フレームＦを用いたハンドリングが可能なワークユニットの状態になっている。なお、板状ワークＷは、上記のような半導体ウエーハに限定されず、デバイスが樹脂で封止された矩形状のパッケージ基板等であってもよく、また、環状フレームＦによって支持されていない状態であってもよい。
【００１７】
板状ワークＷを乾燥させる板状ワーク乾燥機１は、例えば、板状ワークＷが進入又は進出する進入出口２１０を備えたボックス２と、ボックス２内に進入又はボックス２内から進出する板状ワークＷを挟んで対向し板状ワークＷの表面Ｗａ及び板状ワークＷの裏面Ｗｂ側の粘着テープＴにエアを噴出するエア噴出口３３０を備えるエアナイフ３と、ボックス２内でエアナイフ３を板状ワークＷの面方向（本実施形態においては、Ｚ軸方向）に移動させる移動手段４とを備えている。
【００１８】
例えば、直方体状の外形を備えるボックス２は、底板２０と、天板２１と、４枚の側板２２とを備えている。天板２１には、天板２１の長手方向（Ｘ軸方向）に延びる細幅の進入出口２１０が形成されており、環状フレームＦによって支持された状態の板状ワークＷをボックス２に対して縦にした状態で、進入出口２１０からボックス２の内部に進入させる、又は、進入出口２１０からボックス２の外部に進出させることができる。
【００１９】
底板２０には排水口２００が形成されており、エアナイフ３により板状ワークＷの両面から吹き飛ばされた水は、底板２０に落下した後に、排水口２００からボックス２の外部に排出される。
【００２０】
例えば、ボックス２内には、ボックス２内に進入させた板状ワークＷを縦の状態で支持する支持台２３が配設されている。直方体状の外形を備える支持台２３は、その上面にスリット状の固定溝２３０が形成されている。そして、環状フレームＦの外周部分の一部をこの固定溝２３０に差し込むことで、板状ワークＷが縦になった状態で支持台２３によって支持される。
【００２１】
図２に示すように、エアナイフ３は、例えば、断面が略四角環状となる管状本体部３０と、管状本体部３０の断面中央において長手方向（Ｘ軸方向）に延在するエア流路３１と、管状本体部３０の上面に形成されエア流路３１に連通する長尺口３２と、長尺口３２から上方に向かって噴出するエアを水平方向にガイドしてエアナイフ３の外部に噴出させるプレート部３３とを備えている。
【００２２】
図１に示すように、管状本体部３０は、ボックス２の長手方向に延在し先端（−Ｘ方向側端）が閉塞された筒状の外形を備えている。管状本体部３０は、例えば、板状ワークＷ等からなるワークユニットの直径（板状ワークＷが環状フレームＦで支持されていない場合には板状ワークＷの直径）以上の長さを備えており、ボックス２の内部に２本平行に配設されている。各管状本体部３０の後端（＋Ｘ方向側端）にはＴ字管３９が連通しており、このＴ字管３９によって管状本体部３０がボックス２内で支持された状態になっている。
【００２３】
図１に示すように、Ｔ字管３９の根元部分には、継手３９０を介して樹脂チューブ又は金属パイプからなるエア供給管３９１の一端が接続されている。このエア供給管３９１には、コンプレッサー及び圧縮エア貯留タンク等からなり圧縮されたエアを供給することができるエア源８（図２参照）が接続されている。エア源８から供給されたエアは、エア供給管３９１を通りＴ字管３９内で分流されて、エア流路３１内を流れていく。
【００２４】
図２に示す平板状のプレート部３３は、管状本体部３０の上面上にスリット状のエア噴出口３３０を形成するようにして、管状本体部３０の内側に向かって水平に突設されている。プレート部３３の下面は長尺口３２とＺ軸方向において対向しており、エア流路３１内に流れ込んだエアは、長尺口３２から上方に向かい、プレート部３３によって水平方向にガイドされて、エア噴出口３３０から管状本体部３０の外部に噴出する。噴出したエアは、管状本体部３０の内側のコーナー部分３００に沿って流れ、２本のエアナイフ３によって挟まれた状態の板状ワークＷの両面に吹き付けられる。なお、図２に示すように、管状本体部３０の内側のコーナー部分３００は、Ｒ状となっていると好ましい。また、図２においては、板状ワークＷを支持する環状フレームＦや粘着テープＴ等は省略し、Ｔ字管３９も簡略化して示している。
【００２５】
エアナイフ３をＺ軸方向に上下動させる図１、３に示す移動手段４は、エアナイフ３に連結するピストン４０と、ピストン４０を一端部４３０から他端部４３１の間で移動可能に収容するシリンダ４３と、一端部４３０に形成された第１のエア供給部４１と、他端部４３１に形成された第２のエア供給部４２と、エア源８から供給されるエアを第１のエア供給部４１と第２のエア供給部４２とに選択的に供給するエアオペレーションバルブ５（図１には不図示）と、を備えている。
【００２６】
図１に示すように、外形が円筒状のシリンダ４３内に上下動可能に配設されているピストン４０には、Ｔ字管３９の根元部分が接続されており、Ｔ字管３９を介してピストン４０とエアナイフ３とは連結されている。シリンダ４３にエアが供給（または、排出）されシリンダ４３内の圧力が変化することで、ピストン４０が上下動し、Ｔ字管３９に接続されたエアナイフ３も上下動する。なお、ピストン４０とＴ字管３９との接続部分はシーリングされており、シリンダ４３内の気密性は保たれている。
【００２７】
図３に示すエアオペレーションバルブ５は、エア源８と第１のエア供給部４１とを連通させる第１の経路５１１と、エア源８と第２のエア供給部４２とを連通させる第２の経路５１２と、を備えた切換部５１と、切換部５１の一端側に配設され第１の経路５１１側に切換部５１を付勢するバネ５３と、切換部５１の他端側に配設されバネ５３に抗して第２の経路５１２にエア源８が連通するように切換部５１を移動させるエアアクチュエータ５４と、サイレンサーを備えた排気弁５１６、５１７を備えている。を備えている。
【００２８】
エア源８と切換部５１とは配管８１によって接続されており、この配管８１上には、例えば、レバー型の２ポート式の手動バルブ８２が接続されている。エア源８から送り出され手動バルブ８２を通過したエアは、レギュレーター８３によって圧力の調整がなされてから切換部５１に至り、また、配管８１に接続されたエア供給管３９１にも分岐して流れていく。エア供給管３９１に流入した圧縮エアは、フィルタ３９２によってゴミ等を除去された後、上述したエアナイフ３に供給される
【００２９】
切換部５１と第１のエア供給部４１との間には第１の圧力調整路５２１と第２の圧力調整路５２２とを備えた経路切換部５２が配設されている。第１の圧力調整路５２１には、可変絞り弁と逆止弁とが並列に組み合わされ第１の圧力調整路５２１内のエアの流速を調整する第１のスピードコントローラ５２１ａが配設されている。第１のスピードコントローラ５２１ａの逆止弁は、第１の圧力調整路５２１内における第１のエア供給部４１に向かう方向のエアの流れを許容する向きに取り付けられている。
また、第２の圧力調整路５２２には、可変絞り弁と逆止弁とが並列に組み合わされた第２のスピードコントローラ５２２ａが配設されている。そして、第２の圧力調整路５２２の一端は、エアアクチュエータ５４に接続されており、他端は、第１の圧力調整路５２１と共に第１のエア供給部４１に接続されている。第２の圧力調整路５２２の逆止弁は、第２の圧力調整路５２２内におけるエアアクチュエータ５４に向かう方向のエアの流れを許容しない向きに取り付けられている。
【００３０】
第２のエア供給部４２には、配管４２０の一端が連通しており、配管４２０の他端は、図３においては切換部５１の排気弁５１７に繋がる排気ポートＰＡに接続されている。配管４２０上には、可変絞り弁と逆止弁とが並列に組み合わされた第３のスピードコントローラ４２３が配設されている。第３のスピードコントローラ４２３の逆止弁は、配管４２０内における第２のエア供給部４２に向かう方向のエアの流れを許容する向きに取り付けられている。
【００３１】
以下に、例えば切削加工が施されたことで切削液が表面Ｗａ及び裏面Ｗｂ側の粘着テープＴに付着した状態の板状ワークＷを、上述した板状ワーク乾燥機１により乾燥する場合の板状ワーク乾燥機１の動作について説明する。
まず、図１に示す環状フレームＦによって支持されている板状ワークＷが、ボックス２の進入出口２１０から縦になった状態でボックス２内に挿入されて、支持台２３上に固定され、２本のエアナイフ３によってＹ軸方向両側から挟まれた状態になる。
【００３２】
次に、図３に示すエア源８が作動して圧縮エアを配管８１に流入させ、また、作業者が手動バルブ８２を動作させ開状態とすることで、エアが配管８１に接続されたエア供給管３９１を通りエアナイフ３の管状本体部３０に供給される。そして、エアは、エアナイフ３のスリット状のエア噴出口３３０（図２参照）から板状ワークＷの表面Ｗａ及び裏面Ｗｂ側に向かって噴出する。その結果、該エアにより板状ワークＷの両面から切削液が吹き飛ばされ、板状ワークＷが乾燥する。また、吹き飛ばされた切削液は、ボックス２の底板２０に落下して、排水口２００からボックス２の外部に排水される。
【００３３】
また、エア源８からエアナイフ３にエアが供給されるのに並行して、移動手段４がエアナイフ３を下降させる。配管８１に供給されたエアがレギュレーター８３により所定の圧力に調整された後、エアオペレーションバルブ５の第１の経路５１１を通り、さらに、第１の圧力調整路５２１内を通過して第１のエア供給部４１からシリンダ４３内に流入する。
【００３４】
シリンダ４３内に流入したエアの圧力によりピストン４０が降下していくと、シリンダ４３内のピストン４０下方のエアが、第２のエア供給部４２から配管４２０に送出される。配管４２０を流れるエアは第３のスピードコントローラ４２３の可変絞り弁のみを通過するため、第２のエア供給部４２からのエアの送出量が一定量に保たれ、ピストン４０は所定の速度を保って下降していく。そして、図３に示すように、配管４２０を流れるエアは、エアオペレーションバルブ５の排気弁５１７を通り外部へ抜ける。ピストン４０が下降していくことに伴って、エアを噴出するエアナイフ３が、下降しながら板状ワークＷの両面を乾燥させていく。なお、第２のスピードコントローラ５２２ａの可変絞り弁は、第３のスピードコントローラ４２３の可変絞り弁よりも流量が絞られているため、第２の圧力調整路５２２内にエアはほとんど流入しない。
上記のように、ピストン４０の下降速度の調節は、ピストン４０の下降速度の制御性をより安定させるために、エアが排気される側の配管４２０の第３のスピードコントローラ４２３でエアの流量を絞る制御（メータアウト）によって行うと好適であるが、エアを供給する第１の圧力調整路５２１内の第１のスピードコントローラ５２１ａでエアの流量を絞る制御（メータイン）によって行われるものとしてもよい。
【００３５】
上記のように第１の圧力調整路５２１を介して第１のエア供給部４１にエアが供給され続けると、一端部４３０にあったピストン４０が、図４、５に示すように他端部４３１に移動して、第２のエア供給部４２からのエアの排出が終わり、シリンダ４３内の圧力が高くなる。この状態に至ると、図４に示すように、エア源８から供給されるエアが、第１の圧力調整路５２１から第２の圧力調整路５２２へと流れていくことによって、切換部５１の他端側に配設されたエアアクチュエータ５４が該エアによって作動して、自然長であるバネ５３に抗して、即ち、バネ５３を自然長より収縮させつつ、第２の経路５１２にエア源８が連通するように切換部５１を矢印Ｒ１方向に移動させる。そして、バネ５３には付勢力が蓄えられる。
【００３６】
図６に示すように、エアオペレーションバルブ５の第２の経路５１２にエア源８が連通すると、配管４２０の他端は第２の経路５１２に連通し、第１の圧力調整路５２１は切換部５１の排気弁５１６に繋がる排気ポートＰＢに接続される。その結果、エア源８が供給するエアは、第２の経路５１２を通り、さらに、配管４２０内を通過して第２のエア供給部４２からシリンダ４３内に流入し、ピストン４０を上昇させる。ピストン４０が上昇していくことに伴って、エアを噴出するエアナイフ３が、上昇しながら板状ワークＷの両面を乾燥させていく。
【００３７】
ピストン４０がシリンダ４３内を他端部４３１から一端部４３０に向かって上昇していくと、シリンダ４３内のピストン４０上方のエアが、第１のエア供給部４１から経路切換部５２に送出される。エアが第２の圧力調整路５２２内の可変絞り弁を通りエアアクチュエータ５４に至ることで、エアアクチュエータ５４がバネ５３の付勢力に抗して切換部５１の移動を規制する。また、第１の圧力調整路５２１内の可変絞り弁を通るエアは、切換部５１の排気弁５１６から外部へ排気される。そして、ピストン４０の上昇速度は、第１のスピードコントローラ５２１ａがエアの流量を絞ることで、所定の速度に保たれる。
【００３８】
図７に示すように、シリンダ４３の一端部４３０までピストン４０が上昇すると、第１の圧力調整路５２１からのエアの排気が終わり、また、第２の圧力調整路５２２内のエアの圧力が低くなる。その結果、バネ５３に蓄えられている付勢力によって切換部５１が矢印Ｒ２方向に移動して第１の経路５１１がエア源８と連通する。そして、再度ピストン４０が下降していくことに伴って、エアを噴出するエアナイフ３が、下降しながら板状ワークＷの両面を乾燥させていく。
【００３９】
本発明に係る板状ワーク乾燥機１は、例えば加工装置の横に設置され、加工装置から搬出された板状ワークＷをボックス２内でエアナイフ３によって上記のように効率よく乾燥させることができる。
【００４０】
さらに、板状ワーク乾燥機１は、進入出口２１０が形成された天板２１を備え、板状ワークＷを縦にして進入出口２１０から進入又は進出させて板状ワークＷを乾燥させるものとすることで、エアによって板状ワークＷの両面から吹き飛ばした加工水をボックス２の底板２０に落下させて、板状ワークＷの表面Ｗａ又は裏面Ｗｂへの加工水の回り込みをより抑制しつつ乾燥を行うことが可能となる。
【００４１】
板状ワーク乾燥機１は、ボックス２内でエアナイフ３を板状ワークＷの面方向に移動させる移動手段４を備え、ボックス２内に進入させた板状ワークＷをエアナイフ３を移動させつつ乾燥させるものとすることで、板状ワークＷの表面Ｗａ及び裏面Ｗｂ全面にエアを効率よく噴射して板状ワークＷを乾燥させることが可能となる。
【００４２】
移動手段４が、エアナイフ３に連結するピストン４０と、ピストン４０を一端部４３０から他端部４３１の間で移動可能に収容するシリンダ４３と、一端部４３０に形成された第１のエア供給部４１と、他端部４３１に形成された第２のエア供給部４２と、エア源８から供給されるエアを第１のエア供給部４１と第２のエア供給部４２とに選択的に供給するエアオペレーションバルブ５と、を備え、エアオペレーションバルブ５は、エア源８と第１のエア供給部４１とを連通させる第１の経路５１１と、エア源８と第２のエア供給部４２とを連通させる第２の経路５１２と、を備えた切換部５１と、切換部５１の一端側に配設されたバネ５３と、切換部５１の他端側に配設されバネ５３に抗して第２の経路５１２にエア源８が連通するように切換部５１を移動させるエアアクチュエータ５４とを備え、切換部５１と第１のエア供給部４１との間には第１の圧力調整路５２１と第２の圧力調整路５２２とを有する経路切換部５２を備えたものとすることで、第１の圧力調整路５２１を介して第１のエア供給部４１にエアが供給されピストン４０が一端部４３０から他端部４３１に移動してシリンダ４３内の圧力が高くなった際に、第２の圧力調整路５２２にエアが流れてエアアクチュエータ５４が作動しバネ５３に抗して切換部５１を第２の経路５１２がエア源８と連通するように移動させることができ、さらに、第２のエア供給部４２にエアが供給されてピストン４０を他端部４３１から一端部４３０に移動させ、第１の圧力調整路５２１のエアが排気され第２の圧力調整路５２２の圧力が低くなった際に、バネ５３の付勢力で切換部５１を第１の経路５１１がエア源８と連通するように移動させることができるため、移動手段４は、エア源８からのエアの供給のみでエアナイフ３を上下に往復移動させることができ、板状ワーク乾燥機１の低コスト化及び省スペース化を実現できる。
【００４３】
なお、本発明に係る板状ワーク乾燥機１は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている板状ワーク乾燥機１の各構成についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。例えば、板状ワーク乾燥機１は、移動手段４を備えず、作業者がボックス２内に進入させた板状ワークＷをエアナイフ３に対して上下動させて乾燥を実施してもよい。
【符号の説明】
【００４４】
Ｗ：板状ワーク  Ｗａ：板状ワークの表面  Ｗｂ：板状ワークの裏面  Ｓ：切削予定ライン  Ｄ：デバイス  Ｔ：テープ  Ｆ：環状フレーム
１：板状ワーク乾燥機
２：ボックス  ２０：底板  ２００：排水口  ２１：天板  ２１０：進入出口  ２２：側板  ２３：支持台  ２３０：固定溝  
３：エアナイフ  ３０：管状本体部  ３００：Ｒ状のコーナー部分  ３１：エア流路  ３２：長尺口  ３３：プレート部  ３３０：エア噴出口
３９：Ｔ字管  ３９０：継手  ３９１：エア供給管  
４：移動手段  ４０：ピストン  ４１：第１のエア供給部  ４２：第２のエア供給部  ４２０：配管  ４２３：第３のスピードコントローラ  ４３：シリンダ  
５：エアオペレーションバルブ  ５１：切換部  ５１１：第１の経路  ５１２：第２の経路  ５２：経路切換部  ５２１：第１の圧力調整路  ５２１ａ：第１のスピードコントローラ  ５２２：第２の圧力調整路  ５２２ａ：第２のスピードコントローラ  ５３：バネ  ５４：エアアクチュエータ
８：エア源  ８１：配管  ８２：手動バルブ  ８３：レギュレーター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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