(57)【要約】【課題】研磨屑が研磨対象物付近から除去されやすい方法を提供する。【解決手段】研磨装置１を用いてなされる研磨方法では、研磨材８０を流路１０内で流動させながら、研磨材８０中で研磨対象物９０を回転させて、研磨対象物９０の表面を研磨する。この研磨方法では、流路１０の少なくとも一部をなす収容部１２内に研磨対象物９０を配置し、研磨材８０を収容部１２内において所定の流動方向に沿って流しつつ、研磨対象物９０を流動方向に対して交差した方向の回転軸Ｙ１周りに回転させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨材を流路内で流動させながら、前記研磨材中で研磨対象物を回転軸周りに回転させて、前記研磨対象物の表面を研磨する研磨方法であって、
前記研磨対象物は、自身の軸方向の周りに位置する前記研磨対象物の外表面に凹凸部を有し、
前記流路の少なくとも一部をなす収容部内に、前記研磨対象物の前記軸方向が前記回転軸と平行になるように前記研磨対象物を配置する配置工程と、
前記研磨材を前記収容部内において所定の流動方向に沿って流しつつ、前記研磨対象物を前記流動方向に対して交差した方向の前記回転軸周りに回転させて、前記研磨対象物の表面を研磨する研磨工程と、を含む
研磨方法。
【請求項２】
前記収容部は、直線状に延びる管路であり、
前記管路の延びる方向に前記研磨材を流動させる
請求項１に記載の研磨方法。
【請求項３】
前記流路は、前記流路の下流側に排出口を有すると共に、前記流路の上流側に押出部材を有し、
前記配置工程では、前記押出部材から前記排出口までの間の領域に前記研磨対象物を配置し、
前記研磨工程では、前記押出部材によって前記研磨材を下流側に押し出す
請求項１又は請求項２に記載の研磨方法。
【請求項４】
前記管路は、前記管路の下流側に排出口を有すると共に、前記管路の上流側に押出部材を有し、
前記配置工程では、前記管路における前記排出口寄りの位置に前記研磨対象物を配置し、
前記研磨工程では、前記押出部材によって前記研磨材を下流側に押し出す
請求項２に記載の研磨方法。
【請求項５】
前記研磨対象物の前記回転軸の方向を、前記流動方向に対して直交する方向とする
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の研磨方法。
【請求項６】
前記研磨対象物の前記回転軸の方向を、前記流動方向に対して傾斜した方向とする
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の研磨方法。
【請求項７】
前記研磨対象物はセラミック製の被加工物であって、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の研磨方法で前記被加工物を研磨する工程を備えるセラミック製品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨方法及びセラミック製品の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、研磨装置の一例が開示されている。特許文献１で開示される研磨装置は、研磨砥粒を含む研磨液を略円筒状の研磨部内に充満させつつ、研磨部の軸方向に流れる研磨液流を発生させる。そして、このように研磨液流を発生させつつ、研磨対象物（シャフト）を研磨液中で回転させ、研磨砥粒と研磨対象物との間で生じる摩擦力によって研磨対象物の表面を研磨する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３４２５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１で開示される研磨装置は、研磨部内において研磨液が流れる方向と研磨対象物（シャフト）の回転軸の方向とが同一方向となっているため、研磨対象物の外周面の形状によっては、研磨対象物の外周面の磨きが不足する事態が生じうる。例えば、研磨対象物の外周面に溝などの凹部が存在する場合に、研磨液の流れが凹部内に入り込みにくくなるため、研磨屑が凹部内に入り込んでしまうと排出されにくいという問題がある。研磨屑が凹部内から排出されずに凹部付近で残留し続けると、凹部付近の研磨が効果的に行われなくなり、磨き不足が生じやすくなる。研磨対象物の外周面に凸部が存在する場合にも、凸部の近辺で同様の問題がある。
【０００５】
本発明は、上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされ、研磨屑を研磨対象物付近から除去しながら研磨対象物を研磨しやすい方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一つである研磨方法は、
研磨材を流路内で流動させながら、前記研磨材中で研磨対象物を回転軸周りに回転させて、前記研磨対象物の表面を研磨する研磨方法であって、
前記研磨対象物は、自身の軸方向の周りに位置する前記研磨対象物の外表面に凹凸部を有し、
前記流路の少なくとも一部をなす収容部内に、前記研磨対象物の前記軸方向が前記回転軸と平行になるように前記研磨対象物を配置する配置工程と、
前記研磨材を前記収容部内において所定の流動方向に沿って流しつつ、前記研磨対象物を前記流動方向に対して交差した方向の前記回転軸周りに回転させて、前記研磨対象物の表面を研磨する研磨工程と、を含む。
【０００７】
上記研磨方法では、研磨材を収容部内において所定の流動方向に沿って流しつつ、研磨対象物を流動方向に対して交差した方向の回転軸周りに回転させるように研磨を行う。この方法を用いれば、研磨対象物の外周面（回転軸の周りにおいて周方向に配置される外表面）に対して、研磨材をある程度大きな流体圧で側方から当てながら研磨を行うことができる。よって、研磨対象物の外周面付近に研磨屑が滞留しにくくなり、研磨屑を外周面付近から良好に除去しながら研磨を行うことができる。
【０００８】
また、凹部を有する外表面が回転軸周りに配置されるような研磨対象物では、研磨対象物の外表面における凹部は、研磨対象物が回転する過程で、研磨材の流れが入り込みやすくなる方向へ向く。従って、研磨屑が一時的に凹部内に入り込んだとしても、凹部内への研磨材の流れ込みによって研磨屑が凹部内から排出されやすくなる。ゆえに、研磨屑が凹部内に滞留しにくくなり、研磨屑の残留に起因する磨き不足等をより確実に防ぐことができる。なお、このような効果は、外周面に凹部が存在する場合だけでなく、段差や凸部が存在する場合にも同様に生じ、この場合、段差や凸部付近に存在する窪みから研磨屑が排出されやすくなる。
【０００９】
本発明の研磨方法において、収容部は、直線状に延びる管路であってもよい。この場合、管路の延びる方向に研磨材を流動させることができる。
このようにすれば、直線状に延びる管路内において研磨材の流れを整える整流作用が生じ、その管路の延びる向きに円滑に研磨材を流すことができる。よって、その管路内（収容部内）に配置される研磨対象物の外周面に対し、研磨材を円滑な流れで当てながら研磨を行うことができる。
【００１０】
本発明の研磨方法において、流路は、流路の下流側に排出口を有していてもよく、流路の上流側に押出部材を有していてもよい。そして、配置工程では、押出部材から排出口までの間の領域に研磨対象物を配置し、研磨工程では、押出部材によって研磨材を下流側に押し出すようにしてもよい。
このようにすれば、研磨対象物が配置された領域に研磨材を充満させながら研磨材を所定の流動方向に沿って確実に流し得る構成を、より簡易に実現することができる。しかも、このように押出部材によって研磨材を下流側に押し出すように流せば、研磨対象物に対してより強い流体圧を加えながら研磨材を流すことができ、研磨屑の除去効果が一層高まる。また、押圧部材によって流体圧を調整するので、研磨対象物が曲がったり折れたりするような、過度な流体圧が加わることを抑制できる。
【００１１】
本発明の研磨方法において、収容部を直線状に延びる管路とし、管路の延びる方向に研磨材を流動させる構成とする場合、管路は、管路の下流側に排出口を有していてもよく、管路の上流側に押出部材を有していてもよい。そして、配置工程では、管路における排出口寄りの位置に研磨対象物を配置し、研磨工程では、押出部材によって研磨材を下流側に押し出すようにしてもよい。
このようにすれば、直線状に延びる管路内において整流作用を生じさせ、研磨対象物の外周面に対し、研磨材を円滑な流れで当てながら研磨を行うことができる。更に、押出部材によって研磨材を下流側に押し出すように流すことができるため、研磨対象物に対してより強い流体圧を加えながら研磨材を流すことができる。しかも、管路内における排出口寄りの位置に研磨対象物を配置した状態で押出部材を移動させる構成であるため、押出部材のストロークをより大きく確保することができ、押出部材の１回の移動動作でより多くの研磨材を流すことが可能となる。また、押圧部材によって流体圧を調整するので、研磨対象物が曲がったり折れたりするような、過度な流体圧が加わることを抑制できる。
【００１２】
本発明の研磨方法において、研磨対象物の回転軸の方向を、流動方向に対して直交する方向としてもよい。
このようにすれば、研磨対象物の外周面に対して、上流側から回転軸と直交する方向により大きな力が加わりやすくなり、研磨対象物の外周面における研磨効果及び研磨屑除去効果がより一層高められる。
【００１３】
本発明の研磨方法において、研磨対象物の回転軸の方向を、流動方向に対して傾斜した方向としてもよい。
このようにすれば、研磨対象物の外周面において研磨効果及び研磨屑除去効果が確実に得られ、更に、研磨対象物の軸方向両端面のうちの上流側に配置される端面においても、上流側から流れ込む研磨材がある程度の勢いで当たりやすくなるため、良好に研磨されやすくなる。
【００１４】
本発明の他の例であるセラミック製品の製造方法は、研磨対象物がセラミック製の被加工物であり、上記いずれかの研磨方法で被加工物を研磨する工程を備える。
この製造方法によれば、上述の研磨方法の効果を享受しつつセラミック製品を製造することができ、セラミック製の被加工物を研磨するにあたり、被加工物の外周面（回転軸の周りにおいて周方向に配置される外表面）に対して、研磨材をある程度大きな流体圧で側方から当てながら研磨を行うことができる。よって、被加工物の外周面付近に研磨屑が滞留しにくくなり、研磨屑を外周面付近から良好に除去しながら研磨を行うことができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、研磨屑を研磨対象物付近から除去しながら研磨対象物を研磨しやすい。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の研磨方法を実施し得る研磨装置の一例を概念的に説明する説明図である。
【図２】図１の研磨装置の一部を拡大して概念的に説明する説明図である。
【図３】図２の構成の一部を変更した変更例１を概念的に説明する説明図である。
【図４】図２の構成の一部を変更した変更例２を概念的に説明する説明図である。
【図５】図１の構成の一部を変更した変更例３を概念的に説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
１．第１実施形態
１−１．研磨装置
図１等を参照し、研磨方法の実施に採用し得る研磨装置の一例を説明する。
図１で示す研磨装置１は、流動性を有する研磨材８０を流路１０内で流動させながら研磨材８０中で研磨対象物９０を回転させて研磨対象物９０の表面を研磨する装置である。
研磨装置１は、主に、流路構成部２、押出部材駆動部６、回転駆動部８、などを備える。この研磨装置１は、研磨対象物９０が流路１０内において研磨材８０に浸漬した状態で回転駆動部８によって回転駆動され、回転駆動中には、研磨対象物９０の表面と研磨材８０との間で生じる摩擦によって、研磨対象物９０の表面が研磨される。
【００１８】
流路構成部２は、研磨材８０を流すための流路１０を構成する部分であり、主に、流路本体２Ａ、蓋部２Ｂ、シール部２Ｃ、弁体２Ｄ、などを備える。流路本体２Ａは、例えば金属材料によって円管状に形成されており、全体が所定方向（具体的には、軸線Ｘ１の方向）に直線状に延びた管路となっている。
【００１９】
図１の例では、流路本体２Ａは、円筒部３１と縮径部３２とを備えている。円筒部３１は、円筒状且つ軸状に構成された流路本体２Ａのうち、軸方向一端（具体的には、押出部材４０側の端部）から軸方向他端側の所定位置（具体的には、縮径部との境界位置）までの間で直線状に延びる円筒部分である。円筒部３１は、軸方向全体にわたって内壁面の内径が同一となっており、内壁面が円筒面となっている。図１では、円筒部３１の内壁面（円筒面）の中心をなす軸線（円筒軸）を符号Ｘ１で示している。円筒部３１の軸方向一端には開口部３４が形成されており、この開口部３４を介して後述する押出部材４０が円筒部３１内に挿入され、円筒部３１と押出部材４０とが摺動可能に嵌合している。また、円筒部３１には、研磨材８０を内部に流入させるための導入口３５と、軸部材８Ｂ及び研磨対象物９０を内部に進入させるための孔部３６とが、いずれも貫通孔として形成されている。導入口３５は、開閉可能な蓋部２Ｂによって閉塞されている。孔部３６と軸部材８Ｂの間は、シール部２Ｃによってシールされている。
【００２０】
縮径部３２は、円筒部３１の下流側の端部に連結されて流路１０の一部をなす部分である。縮径部３２の内壁面の径は下流側となるにつれて次第に小さくなっており、縮径部３２の下流側の端部には、排出口３０が形成されている。排出口３０は、流路１０を流れた研磨材８０を排出するための開口部であり、流路１０を流れた研磨材８０は、排出口３０を通って流路本体２Ａの外部に排出されるようになっている。なお、本構成では、流路１０において、押出部材４０が配置される側が上流側であり、排出口３０が配置される側が下流側である。本構成では、排出口３０の開口領域内を軸線Ｘ１が通るように排出口３０が位置しており、縮径部３２は、円筒部３１を通り過ぎた研磨材８０が流路１０の中心側（軸線Ｘ１側）に集まるように流動する構成となっている。
【００２１】
排出口３０には、弁体２Ｄが配置されている。弁体２Ｄは、研磨材８０が排出口３０を通って流路１０の内部側から外部側へ流動することを許容する弁体であり、例えば、開度が調節可能とされた公知の弁体を好適に用いることができる。なお、弁体２Ｄとしては、逆止弁を用いてもよい。或いは、排出口３０の径を大きくしすぎることなくある程度調整すれば弁体２Ｄは省略してもよく、この場合、流路１０の内部と外部が排出口３０を介して連通し続ける構成となる。
【００２２】
流路本体２Ａのうち、軸方向の一部領域ＡＲ内の部分が収容部１２となっている。収容部１２は、内部に研磨対象物９０を収容する部分であり、研磨対象物９０を浸漬させるための研磨材８０を収容する部分でもある。図１の例では、管状に構成された流路１０の一部が収容部１２となっており、具体的には、円筒部３１のうちの導入口３５よりも下流側の部分及び縮径部３２が収容部１２として機能する。この収容部１２は、軸線Ｘ１の方向に直線状に延びる管路となっており、収容部１２（管路）の延びる方向が収容部１２内での研磨材８０の流動方向となっている。
【００２３】
流路１０内には、研磨材８０が充満されている。研磨材８０は、研磨液中に研磨砥粒を混入させたものとなっている。研磨液としては、例えば、ステアリン酸グリセリンエステル、ポリエチレングリコール等の混合液体を好適に用いることができ、研磨液として使用し得る公知の液体であればこの液体以外であってもよい。また、研磨液中に混入される研磨砥粒としては、例えば、油溶性ダイヤモンドスラリを好適に用いることができ、研磨砥粒として使用し得る公知の砥粒であればこれ以外であってもよい。
【００２４】
回転駆動部８は、モータ８Ａと、モータ８Ａの駆動によって回転する軸部材８Ｂとを備える。軸部材８Ｂの先端部は研磨対象物９０（ワーク）を着脱し得る構成となっている。モータ８Ａは、研磨工程中に流路構成部２との位置関係が変化しないように位置保持され、軸部材８Ｂ及びこれに連結される研磨対象物９０を、所定の回転軸Ｙ１周りに回転させるように回転駆動力を与え得る。なお、回転軸Ｙ１は、軸部材８Ｂの軸線と一致する。このモータ８Ａは、制御装置２０によって駆動指令が与えられたときに回転を開始し、制御装置２０によって停止指令が与えられたときに回転を停止する。
【００２５】
図１の例では、軸線Ｘ１の方向に収容部１２（管路）が延びており、軸線Ｘ１の方向が研磨材８０の流動方向となっている。一方、回転軸Ｙ１の方向は、この流動方向に対して交差する方向となっており、具体的には、回転軸Ｙ１の方向と流動方向（軸線Ｘ１の方向）とが直交する位置関係となっている。研磨装置１は、このような構成をなすため、研磨材８０を所定の流動方向（軸線Ｘ１の方向）に沿うように収容部１２内で流すことができ、研磨対象物９０を、この流動方向と直交する方向の回転軸Ｙ１周りに回転させ得る。
【００２６】
押出部材駆動部６は、アクチュエータ６Ａと軸部材６Ｂとを備える。アクチュエータ６Ａは、公知のリニアアクチュエータとして構成され、軸部材６Ｂを軸線Ｘ１の方向に往復動させ得る駆動装置となっている。軸部材６Ｂは、アクチュエータ６Ａによって駆動される部材であり、先端側に押出部材４０が連結される部材である。アクチュエータ６Ａは、制御装置２０から第１指令が与えられたときに軸部材６Ｂを第１方向（下流側に向かう方向）に直線的に変位させ、制御装置２０から第２指令が与えられたときに軸部材６Ｂを第２方向（第１方向とは反対方向）に直線的に変位させる。
【００２７】
１−２．研磨方法
次に、上述した研磨装置１を用いて行われる研磨方法について説明する。
以下で説明する研磨方法は、流動性を有する研磨材８０を流路１０内で流動させながら研磨材８０中で研磨対象物９０を回転させて研磨対象物９０の表面を研磨する方法である。
【００２８】
なお、この研磨方法によって研磨される研磨対象物９０の材質は、セラミックス等の非金属材料であってもよく、金属材料であってもよい。例えば、セラミック製の被加工物を研磨対象物９０とし、以下の研磨方法を用いて被加工物（研磨対象物９０）を研磨する工程を備えるようにすれば、特徴的な「セラミック製品の製造方法」となる。なお、このように、セラミック製品の製造方法の一工程として以下の研磨方法を用いる場合、被加工物（研磨対象物９０）は、少なくとも外周面９０Ａ及びその近傍がセラミック材によって構成されていればよく、必ずしも研磨対象物９０の全部がセラミック材でなくてもよい。また、このような製造方法によってセラミック製品を製造する場合、以下の研磨方法を経て研磨された部品が含まれていれば、最終的にセラミック製品の種類は限定されない。
【００２９】
また、図１等では、軸状且つ円柱状に構成され且つ外周面９０Ａに凹部（具体的には周方向に沿った溝）が形成された研磨対象物９０を研磨する例を示すが、研磨対象物９０の形状や凹部自体の形状はこの形状に限定されない。なお、外周面９０Ａに形成された凹部が、特許請求の範囲に記載の凹凸部に対応する。また、凹凸部とは、凹部と凸部との少なくともいずれか一方を有していればよいものとする。
【００３０】
研磨装置１を用いて研磨を行う場合、例えば、以下のような配置工程を行う。
まず、蓋部２Ｂ及びシール部２Ｃが取り付けられていない状態（導入口３５及び孔部３６が開放した状態）且つ流路１０内に研磨材８０が充満していない状態の流路構成部２を用意し、収容部１２内に所定の位置関係で研磨対象物９０を配置する。具体的には、研磨対象物９０を軸部材８Ｂに連結し、その連結状態で研磨対象物９０及び軸部材８Ｂの一部を孔部３６から入り込ませ、収容部１２内における排出口３０寄りの位置に配置する。このとき、円筒部３１の中心をなす軸線Ｘ１上に位置するように研磨対象物９０を配置し、更には、軸線Ｘ１と研磨対象物９０の回転軸Ｙ１とのなす角度が９０°となるように研磨対象物９０を配置する。ただし、軸線Ｘ１と研磨対象物９０の回転軸Ｙ１とのなす角度は厳密に９０°である必要はなく、数度程度のずれは許容される。なお、図２の例では、軸状且つ円柱状の研磨対象物９０が研磨の対象とされ、研磨対象物９０の軸方向が回転軸Ｙ１に沿った方向となるように研磨対象物９０を配置している。このように研磨対象物９０及び軸部材８Ｂの一部を収容部１２内に収容した後、シール部２Ｃによって孔部３６の内壁と軸部材８Ｂとの間をシールする。シール部２Ｃは、軸部材８Ｂが回転可能な状態を維持しつつ、軸部材８Ｂと孔部３６の内壁との間を密封又はクリアランスを極めて小さくするように配置することが望ましい。
【００３１】
更に、押出部材４０を円筒部３１の一端側に形成された開口部３４から挿入し、押出部材４０と円筒部３１とを摺動可能に嵌合させた状態とする。その後、導入口３５から研磨材８０を流入させ、押出部材４０から排出口３０までの間を研磨材８０で充満させる。なお、導入口３５から研磨材８０を流入させるときには、押出部材４０の位置は、図１において二点鎖線Ｍｓで示すように、導入口３５から退避させた位置（導入口３５を塞がない位置）にしておけばよい。そして、このように押出部材４０から排出口３０までの間を研磨材８０で充満させた後、導入口３５を蓋部２Ｂによって閉塞する。以上のような配置工程によって、研磨対象物９０、軸部材８Ｂ、押出部材４０、蓋部２Ｂ、シール部２Ｃなどが流路本体２Ａに配置される。
【００３２】
上述した配置工程の後には、図２のように研磨工程を行う。図２は、研磨工程の様子を概念的に説明する説明図であり、具体的には、配置工程後、押出部材４０がある程度下流側に変位した状態を示している。
【００３３】
上述したように、配置工程では、円筒部３１の中心をなす軸線Ｘ１上に位置するように研磨対象物９０が配置され、且つ軸線Ｘ１と研磨対象物９０の回転軸Ｙ１とのなす角度が９０°となるように研磨対象物９０が配置される。そして、研磨対象物９０は、この位置において、回転軸Ｙ１の方向への移動が規制され、回転軸Ｙ１と直交する平面方向への移動も規制され、回転軸Ｙ１を中心とする回転のみが許容された状態で位置保持される。研磨工程では、このような配置状態を維持しながら押出部材４０の移動及び研磨対象物９０の回転を行う。
【００３４】
具体的には、配置工程の終了後、所定の開始条件が成立した場合（例えば、図示しない操作部に対して所定の開始操作が行われた場合）に、図２で示す制御装置２０が回転駆動部８のモータ８Ａに駆動指示を与え、モータ８Ａは、この駆動指示に応じて回転駆動を行い、軸部材８Ｂ及び研磨対象物９０を回転軸Ｙ１周りに一体的に回転させる。更に、制御装置２０は、アクチュエータ６Ａにも駆動指示を与え、アクチュエータ６Ａは、この駆動指示に応じて直線駆動を行い、押出部材４０を軸線Ｘ１の方向に沿うように下流側に向けて直線的に移動させる。なお、図２には、アクチュエータ６Ａの直線駆動によって押出部材４０が図２で示す位置から更に下流側に移動したときの位置を二点鎖線Ｍｐにて仮想的に示している。
【００３５】
このような配置工程が行われると、図２のように、押出部材４０から排出口３０までの間の領域に研磨材８０が充満した状態且つその領域に研磨対象物９０が配置された状態を維持しながら、押出部材４０によって研磨材８０が下流側に押し出され、このような押し出しによって、研磨材８０が収容部１２内にて軸線Ｘ１の方向に流れる。そして、押し出された研磨材８０は、排出口３０から徐々に排出され、箱状に構成された受け部７０によって受けられる。研磨対象物９０は、このような流動が生じている最中に、流動する研磨材８０に浸漬された状態で回転軸Ｙ１周りに回転する。
【００３６】
このように研磨対象物９０が研磨材８０中に浸漬された状態で研磨対象物９０が回転すると、研磨対象物９０の表面と研磨材８０との間に生じる摩擦力によって、研磨対象物９０の表面が研磨される。具体的には、研磨材８０に含まれる研磨砥粒と研磨対象物９０の表面との間に生じる摩擦力によって研磨対象物９０の表面が研磨される。研磨中には、研磨対象物９０の表面から研磨屑が発生するが、この研磨屑は、軸線Ｘ１の方向に流動する研磨材８０とともに下流側に流され、研磨材８０とともに排出口３０から排出されることになる。なお、研磨対象物９０の回転速度や研磨材８０の流速は、研磨に適した速度や流速を適宜採用することができる。研磨材８０の流速は、押出部材４０が研磨材８０を押出す力を調整することによって調整できる。
【００３７】
１−３．効果
上述した研磨方法では、研磨材８０を収容部１２内において所定の流動方向に沿って流しつつ、研磨対象物９０を流動方向に対して交差した方向の回転軸Ｙ１周りに回転させるように研磨を行う。この方法を用いれば、研磨対象物９０の外周面９０Ａ（回転軸Ｙ１の周りにおいて周方向に配置される外表面）に対して、研磨材８０をある程度大きな流体圧で側方から当てながら研磨を行うことができる。よって、研磨対象物９０の外周面９０Ａ付近に研磨屑が滞留しにくくなり、研磨屑を外周面９０Ａ付近から良好に除去しながら研磨を行うことができる。
【００３８】
例えば、図２のように、凹部（例えば、ねじ溝やその他の凹部）を有する外周面９０Ａが回転軸Ｙ１周りに配置される場合、外周面９０Ａの凹部は、研磨対象物９０が回転する過程で、研磨材８０の流れが入り込みやすくなる方向へ向く。従って、研磨屑が一時的に凹部内に入り込んだとしても、凹部内への研磨材８０の流れ込みによって研磨屑が凹部内から排出されやすくなる。ゆえに、研磨屑が凹部内に滞留しにくくなり、研磨屑の残留に起因する磨き不足等をより確実に防ぐことができる。
【００３９】
また、上述した研磨方法では、収容部１２は、直線状に延びる管路として構成されている。そして、収容部１２（管路）の延びる方向に研磨材８０を流動させている。このようにすれば、管状且つ直線状に延びる収容部１２内（管路内）において研磨材８０の流れを整える整流作用が生じ、その管路の延びる向きに円滑に研磨材８０を流すことができる。よって、その管路内（収容部１２内）に配置される研磨対象物９０の外周面９０Ａに対し、研磨材８０を円滑な流れで当てながら研磨を行うことができる。
【００４０】
また、上述した研磨方法では、流路１０は、流路１０の下流側に排出口３０を有しており、流路１０の上流側に押出部材４０を有している。そして、配置工程では、押出部材４０から排出口３０までの間の領域に研磨対象物９０を配置し、研磨工程では、押出部材４０によって研磨材８０を下流側に押し出す。このようにすれば、研磨対象物９０が配置された領域に研磨材８０を充満させながら研磨材８０を所定の流動方向に沿って確実に流し得る構成を、より簡易に実現することができる。しかも、このように押出部材４０によって研磨材８０を下流側に押し出すように流せば、研磨対象物９０に対してより強い流体圧を加えながら研磨材８０を流すことができ、研磨屑の除去効果が一層高まる。また、押圧部材４０によって流体圧を調整するので、研磨対象物９０が曲がったり折れたりするような、過度な流体圧が加わることを抑制できる。
【００４１】
また、上述した研磨方法は、配置工程では、収容部１２（管路）における排出口３０寄りの位置に研磨対象物９０を配置し、研磨工程では、押出部材４０によって研磨材８０を下流側に押し出すようにしている。このように、管路内（収容部１２内）における排出口３０寄りの位置に研磨対象物９０を配置した状態で押出部材４０を移動させる構成であれば、押出部材４０のストロークをより大きく確保することができ、押出部材４０の１回の移動動作でより多くの研磨材８０を流すことが可能となる。また、押圧部材４０によって流体圧を調整するので、研磨対象物９０が曲がったり折れたりするような、過度な流体圧が加わることを抑制できる。
【００４２】
更に、上述した研磨方法では、研磨対象物９０の回転軸Ｙ１の方向が、流動方向に対して直交する方向とされている。このようにすれば、研磨対象物９０の外周面９０Ａに対し、上流側から回転軸Ｙ１と直交する方向に、より大きな力が加わりやすくなり、研磨対象物９０の外周面９０Ａにおける研磨効果及び研磨屑除去効果がより一層高められる。
【００４３】
２．第２実施形態
次に、図３を参照して第２実施形態について説明する。
図３で示す研磨装置１は、回転駆動部８及び研磨対象物９０の配置を変更した点のみが第１実施形態と異なり、それ以外の点は第１実施形態と同様である。よって、図３で示す研磨装置１のうち、回転駆動部８及び研磨対象物９０の配置以外の点は、図１、図２で示す研磨装置１と同一であるとして詳細な説明は省略する。なお、図３では、図１で示す研磨装置１のうち、一部を省略して示しているが、省略された部分の構成及び機能は図１で示す研磨装置１の各部分と同様である。また、図３で示す研磨装置１の回転駆動部８及び研磨対象物９０については、配置のみが図１、図２で示す研磨装置１と異なっており、それぞれの構成や動作は図１、図２で示す研磨装置１と同様である。
【００４４】
図３で示す研磨装置１は、回転駆動部８及び研磨対象物９０を傾けて配置した点のみが図１、図２で示す第１実施形態の研磨装置１と異なっており、以下で説明する研磨方法もこの点のみが異なっている。
【００４５】
図３の例でも、研磨装置１を用い、流動性を有する研磨材８０を流路１０内で流動させながら研磨材８０中で研磨対象物９０を回転させて研磨対象物９０の表面を研磨する。この例でも、流路１０の一部をなす収容部１２内に研磨対象物９０を配置し、研磨材８０を収容部１２内において所定の流動方向（軸線Ｘ１の方向）に沿って流しつつ、図１で示す回転駆動部８と同様の回転駆動部により、研磨対象物９０を流動方向に対して交差した方向の回転軸Ｙ１周りに回転させる。
【００４６】
また、図３の例でも、収容部１２が管路として構成され、収容部１２（管路）の下流側に排出口３０が設けられている。そして、収容部１２（管路）内において排出口３０よりも上流側に押出部材４０を配置するとともに押出部材４０から排出口３０までの間の領域に研磨材８０を充満させた状態、且つ収容部１２（管路）における排出口３０寄りの位置に研磨対象物９０を配置した状態で、押出部材４０によって研磨材８０を下流側に押し出しつつ研磨対象物９０を回転させる。
【００４７】
一方、図３の例では、研磨対象物９０の回転軸Ｙ１の方向を、流動方向（軸線Ｘ１の方向）に対して傾斜した方向としており、このような回転軸Ｙ１の向きで研磨対象物９０を回転させている。言い換えると、研磨対象物９０の回転軸Ｙ１の方向と、流動方向（軸線Ｘ１の方向）とが、非平行であり、且つ、非垂直であるようにして、回転軸Ｙ１の向きで研磨対象物９０を回転させている。このようにすれば、研磨対象物９０のうち、回転軸Ｙ１の周りに環状に配置される外周面９０Ａについては研磨効果及び研磨屑除去効果を確実に得ることができ、研磨対象物９０の軸方向両端面のうちの上流側に配置される端面９０Ｂについても、上流側から流れ込む研磨材８０がある程度の勢いで当たりやすくなり、良好に研磨されやすくなる。
【００４８】
また、このような研磨方法を採用する場合、回転軸Ｙ１と軸線Ｘ１とのなす角度（鋭角側の角度）が４５°以上且つ９０°未満となるように研磨対象物９０を配置することが望ましい。このようにすれば、外周面９０Ａ付近での研磨屑除去効果を確実に得ながら、端面９０Ｂの研磨も良好に行うことができる。
【００４９】
３．他の実施形態
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上述した実施形態や後述する実施形態の様々な特徴は、矛盾しない組み合わせであればどのように組み合わせてもよい。
【００５０】
上述した実施形態では、収容部１２が直線状に延びる管路として構成され、この管路の端部に排出口が形成された構成を例示したが、図４のように、収容部１２が直線状に延びる管路として構成され、この収容部１２よりも下流側に更に流路が続いていてもよい。図４の構成では、流路１０のうち、軸線Ｘ１に沿って延びる領域ＡＲの部分が収容部１２となっており、この収容部１２の下流側には、軸線Ｘ１の方向とは異なる方向に延びる流路が続いており、その流路の端部に排出口３０が形成されている。なお、図４で示す研磨装置１は、流路本体２Ａ以外は図１、図２で示す研磨装置１と同様であり、このような研磨装置１を用いて第１実施形態と同様の研磨方法を実施してもよい。或いは、図４で示す研磨装置１において回転軸Ｙ１を傾けるように構成を変更し、第２実施形態と同様の研磨方法を実施してもよい。
【００５１】
上述した実施形態では、収容部１２が管状に構成された例を示したが、研磨材が予め定められた流動方向に流れる流路構成であれば管状でなくてもよい。例えば、孔部が所定方向に延びる形態で形成された金属部材を用い、その孔部を収容部としてもよい。この場合、孔部内を通すように研磨材を流すことができ、孔部が延びる方向が流動方向となる。
【００５２】
上述した実施形態では、円柱状の研磨対象物９０を例示したが、研磨対象物は、円柱状以外の軸状形態をなしていてもよく、軸状でない形態（例えば、円板状の形態など）であってもよい。なお、例えば研磨対象物が円板状の形態をなしているときは、円板の厚み方向を研磨対象物の軸方向とみなすことができる。
【００５３】
上述した実施形態では、上述した配置工程を経て図２のように研磨工程を行い、押出部材４０が研磨対象物９０に近づくまでの間に研磨対象物９０を回転させて研磨を行う方法を例示したが、このような配置工程及び研磨工程を複数回繰り返してもよい。配置工程及び研磨工程を複数回繰り返す場合、図２で示す二点鎖線Ｍｐのように押出部材４０が研磨対象物９０に近づくまで研磨材８０を押し流した後、再び、図１で示す二点鎖線Ｍｓのように押出部材４０をアクチュエータ６Ａによって初期位置に戻し、研磨材８０を導入口３５から新たに流入させればよい。この場合、導入口３５から新たに流入させる研磨材８０は、新規の研磨材であってもよく、図５のように受け部７０に排出された研磨材を循環させて再流入させたものであってもよい。図５の例では、受け部７０に排出された研磨材を、ポンプ４Ａ及び循環路４Ｂ，４Ｃによって導入口３５まで移送し、導入口３５から再流入させ得る例を示している。
【符号の説明】
【００５４】
１…研磨装置
１０…流路
１２…収容部
３０…排出口
４０…押出部材
８０…研磨材
９０…研磨対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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