(57)【要約】【課題】簡単な構成で電流制御用スイッチング素子の発熱を低減させることができる駆動回路及び処理装置を提供する。【解決手段】駆動回路は、発光素子に電源電圧を印加するとともに、前記電源電圧の電圧値を変化可能に構成された可変電源と、前記発光素子と電気的に接続され、前記発光素子に流れる電流を制御する電流制御用スイッチング素子と、前記発光素子に流れる電流に関連する電流値及び電圧値を検出する検出部と、前記検出部の検出結果を基に、前記電源電圧の最低電圧を決定する制御部と、を備える。【選択図】図１
2019192850.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子に電源電圧を印加するとともに、前記電源電圧の電圧値を変化可能に構成された可変電源と、
前記発光素子と電気的に接続され、前記発光素子に流れる電流を制御する電流制御用スイッチング素子と、
前記発光素子に流れる電流に関連する電流値及び電圧値を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果を基に、前記電源電圧の最低電圧を決定する制御部と、
を備えた駆動回路。
【請求項２】
前記電流制御用スイッチング素子は、前記発光素子と電気的に接続される第１主端子と、第２主端子と、前記第１主端子と前記第２主端子との間に流れる電流を制御する制御端子と、を有し、
前記制御部は、前記発光素子の動作電圧に応じて前記電源電圧の電圧値を設定するとともに、前記発光素子に所望の駆動電流を流すための制御電圧を前記電流制御用スイッチング素子の前記制御端子に設定した後、前記電源電圧の電圧値を変化させ、前記発光素子に流れる電流が、前記駆動電流で飽和し始めた電圧値を前記最低電圧として決定する請求項１に記載の駆動回路。
【請求項３】
前記検出部は、前記発光素子の電圧値を検出する請求項１又は２に記載の駆動回路。
【請求項４】
前記検出部は、前記電流制御用スイッチング素子の電圧値を検出する請求項１〜３のいずれか１つに記載の駆動回路。
【請求項５】
前記電流制御用スイッチング素子と電気的に接続された抵抗素子をさらに備え、
前記検出部は、前記抵抗素子の電圧値を検出する請求項１〜４のいずれか１つに記載の駆動回路。
【請求項６】
発光素子と、
前記発光素子を駆動する請求項１〜５のいずれか１つに記載の駆動回路と、
を備えた処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動回路及び処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レーザ光によってレジストの露光を行うレーザ露光装置や、レーザ光によって対象物の切断などの加工を行うレーザ加工装置など、発光素子から照射された光によって対象物の処理を行う処理装置が知られている。
【０００３】
処理装置は、発光素子と、発光素子を駆動する駆動回路と、を備える。駆動回路は、発光素子と電気的に接続された電流制御用スイッチング素子を有し、発光素子に流れる電流を電流制御用スイッチング素子によって制御することにより、発光素子から照射される光の強度を制御する。
【０００４】
このような駆動回路及び処理装置において、電流制御用スイッチング素子の発熱は、電流制御用スイッチング素子の寿命を低下させる要因となってしまう。例えば、冷却機構などを用いて電流制御用スイッチング素子を冷却することも考えられる。しかしながら、大容量の冷却機構などを設けると、駆動回路の大型化や製造コストの増加を招いてしまう。このため、駆動回路及び処理装置においては、簡単な構成で電流制御用スイッチング素子の発熱を低減させることが望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１８５９９７号公報
【特許文献２】国際公開第２００６／１３７３０３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、簡単な構成で電流制御用スイッチング素子の発熱を低減させることができる駆動回路及び処理装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、駆動回路は、発光素子に電源電圧を印加するとともに、前記電源電圧の電圧値を変化可能に構成された可変電源と、前記発光素子と電気的に接続され、前記発光素子に流れる電流を制御する電流制御用スイッチング素子と、前記発光素子に流れる電流に関連する電流値及び電圧値を検出する検出部と、前記検出部の検出結果を基に、前記電源電圧の最低電圧を決定する制御部と、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一態様によれば、簡単な構成で電流制御用スイッチング素子の発熱を低減させることができる駆動回路及び処理装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態に係る駆動回路及び処理装置を模式的に表すブロック図である。
【図２】発光素子の電流−電圧特性の一例と可変電源の電源電圧との関係を模式的に表すグラフ図である。
【図３】実施形態に係る駆動回路及び処理装置の変形例を模式的に表すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照し、実施形態について説明する。なお、各図面中、同じ要素には同じ符号を付している。
【００１１】
図１は、実施形態に係る駆動回路及び処理装置を模式的に表すブロック図である。  
図１に表したように、処理装置２は、発光素子４と、駆動回路１０と、を備える。処理装置２は、例えば、直列に接続された複数の発光素子４を備える。図１では、直列に接続された４つの発光素子４を便宜的に図示している。発光素子４の数は、４つに限ることなく、任意の数でよい。発光素子４の数は、１つでもよい。発光素子４は、例えば、レーザダイオードである。但し、発光素子４は、レーザダイオードに限ることなく、例えば発光ダイオードなどの他の発光素子でもよい。
【００１２】
発光素子４は、駆動回路１０と電気的に接続されている。なお、「電気的に接続」は、２つの部材が配線などを介して直接的に接続された状態でもよいし、他の導電部材などを介して間接的に接続された状態でもよい。
【００１３】
駆動回路１０は、発光素子４を駆動する。駆動回路１０は、発光素子４からの光の照射、及び光の照射の停止の切り替えを行うとともに、発光素子４から照射される光の強度の調整を行う。このように、処理装置２は、発光素子４を駆動回路１０で駆動し、所定のパターンの光を発光素子４から光学系を通して照射することにより、対象物に所定の処理を施す。
【００１４】
処理装置２は、より具体的には露光装置や加工装置などである。露光装置である場合、処理装置２は、例えば、半導体ウェハなどを処理対象物とし、発光素子４から光学系を通して照射された光により、ウェハ表面に塗布されたレジストに対して所定のパターンを露光する。加工装置である場合、処理装置２は、例えば、金属板などを処理対象物とし、発光素子４から光学系を通して照射された光により、切断加工や穴あけ加工などの種々の加工を対象物に施す。
【００１５】
駆動回路１０は、回路本体１２と、制御部１４と、可変電源１６と、を備える。可変電源１６は、発光素子４と電気的に接続されている。可変電源１６は、発光素子４に直流の電源電圧Ｖｃｃを印加する。また、可変電源１６は、発光素子４に印加する電源電圧Ｖｃｃの電圧値を変化可能に構成されている。発光素子４は、可変電源１６からの電源電圧Ｖｃｃの供給に応じて光を照射する。
【００１６】
駆動回路１０は、発光素子４の駆動を行う。換言すれば、駆動回路１０は、可変電源１６から発光素子４への電源電圧Ｖｃｃの供給を駆動する。制御部１４は、回路本体１２の動作を制御する。回路本体１２は、制御部１４の制御に基づいて、発光素子４を駆動する。また、制御部１４は、可変電源１６と電気的に接続されている。制御部１４は、可変電源１６の電源電圧Ｖｃｃの電圧値を制御する。可変電源１６は、制御部１４の制御に基づいて、電源電圧Ｖｃｃの電圧値を変化させる。
【００１７】
回路本体１２は、スイッチング素子２０と、電流制御用スイッチング素子２１と、差動増幅回路２２と、を有する。電流制御用スイッチング素子２１は、発光素子４と電気的に接続され、発光素子４に流れる電流Ｉｄを制御する。
【００１８】
電流制御用スイッチング素子２１は、例えば、発光素子４と直列に接続される。発光素子４は、可変電源１６と電流制御用スイッチング素子２１との間に設けられる。例えば、発光素子４がレーザダイオードである場合、発光素子４のいずれかのアノードが可変電源１６と電気的に接続され、発光素子４のいずれかのカソードが電流制御用スイッチング素子２１と電気的に接続される。
【００１９】
スイッチング素子２０は、電流制御用スイッチング素子２１と直列に接続される。スイッチング素子２０は、例えば、電流制御用スイッチング素子２１とグランド（共通電位）との間に設けられる。これにより、各スイッチング素子２０、２１をオン状態にすることによって発光素子４に電流Ｉｄが流れ、発光素子４から光が照射される。そして、各スイッチング素子２０、２１の少なくとも一方をオフ状態にすることによって発光素子４への電流Ｉｄの供給が停止され、発光素子４からの光の照射が停止される。
【００２０】
各スイッチング素子２０、２１には、例えば、バイポーラトランジスタやＦＥＴなどが用いられるが、これらに限ることなく、発光素子４への電流Ｉｄの供給及び供給の停止を切替可能な任意のスイッチング素子でよい。
【００２１】
電流制御用スイッチング素子２１は、第１主端子２１ａと、第２主端子２１ｂと、制御端子２１ｃと、を有する。第１主端子２１ａは、発光素子４と電気的に接続される。制御端子２１ｃは、第１主端子２１ａと第２主端子２１ｂとの間に流れる電流を制御する。例えば、電流制御用スイッチング素子２１がＦＥＴである場合、第１主端子２１ａはドレインであり、第２主端子２１ｂはソースであり、制御端子２１ｃはゲートである。同様に、スイッチング素子２０は、第１主端子２０ａと、第２主端子２０ｂと、制御端子２０ｃと、を有している。
【００２２】
電流制御用スイッチング素子２１は、制御端子２１ｃに印加された電圧に応じて、第１主端子２１ａと第２主端子２１ｂとの間に流れる電流の大きさを調整する。すなわち、回路本体１２は、電流制御用スイッチング素子２１の制御端子２１ｃの電圧を調整することによって、発光素子４に流れる電流Ｉｄの大きさを調整する。換言すれば、回路本体１２は、電流制御用スイッチング素子２１の制御端子２１ｃの電圧を調整することによって、発光素子４から照射される光の強度を調整する。回路本体１２は、例えば、発光素子４に実質的に一定の電流Ｉｄが流れるように、制御端子２１ｃの電圧を調整する。回路本体１２は、例えば、定電流回路である。
【００２３】
差動増幅回路２２は、第１入力端子２２ａと、第２入力端子２２ｂと、出力端子２２ｃと、を有する。出力端子２２ｃは、電流制御用スイッチング素子２１の制御端子２１ｃと電気的に接続されている。第１入力端子２２ａには、発光素子４から所望の強度の光を照射するための基準となる基準信号が入力される。第２入力端子２２ｂには、発光素子４に流れる電流Ｉｄの検出結果に対応した検出信号が入力される。検出信号は、換言すれば、発光素子４に流れる電流Ｉｄの検出結果を差動増幅回路２２にフィードバックするフィードバック信号である。なお、出力端子２２ｃと電流制御用スイッチング素子２１の第１主端子２１ａとの間には抵抗とコンデンサを配置してもよい。
【００２４】
差動増幅回路２２は、第１入力端子２２ａの電圧と第２入力端子２２ｂの電圧とに基づいて発光素子４及び電流制御用スイッチング素子２１に流れる電流を制御する。差動増幅回路２２は、基準信号と検出信号との差に応じた電圧を電流制御用スイッチング素子２１の制御端子２１ｃに印加する。これにより、差動増幅回路２２は、基準信号に対応した実質的に一定の電流が発光素子４に流れるようにする。
【００２５】
検出信号は、例えば、基準信号に対応した所望の電流Ｉｄが発光素子４に流れた時に、基準信号と同じ値になるように設定される。差動増幅回路２２は、出力端子２２ｃから制御端子２１ｃに電圧を印加することで、実質的に一定の電流Ｉｄが発光素子４に流れるようにする。
【００２６】
発光素子４に流れる電流Ｉｄが基準信号に対応した所望の電流よりも大きくなった場合、検出信号が大きくなり、基準信号との差が所定量よりも小さくなる。従って、制御端子２１ｃに印加される電圧が小さくなり、発光素子４に流れる電流Ｉｄが小さくなるように制御される。反対に、発光素子４に流れる電流Ｉｄが基準信号に対応した所望の電流よりも小さくなった場合、検出信号が小さくなり、基準信号との差が所定量よりも大きくなる。従って、制御端子２１ｃに印加される電圧が大きくなり、発光素子４に流れる電流Ｉｄが大きくなるように制御される。これにより、発光素子４に流れる電流Ｉｄを基準信号に対応した値に近付け、実質的に一定の電流となるように制御することができる。
【００２７】
差動増幅回路２２は、例えば、オペアンプ２４を有する。第１入力端子２２ａは、例えば、オペアンプ２４の非反転入力端子である。第２入力端子２２ｂは、例えば、オペアンプ２４の反転入力端子である。差動増幅回路２２は、オペアンプ２４を有する構成に限ることなく、例えば、複数のトランジスタなどを組み合わせ同じ機能を有する構成としてもよい。
【００２８】
第１入力端子２２ａは、制御部１４と電気的に接続されている。基準信号は、制御部１４から入力される。制御部１４は、例えば、対象物の種類や対象物に施す処理の種類などに応じて適切な強度の光が発光素子４から照射されるように、第１入力端子２２ａに基準信号を入力する。また、制御部１４は、基準信号を小さくする（例えば０Ｖにする）ことで、制御端子２１ｃに印加される電圧を小さくし、電流制御用スイッチング素子２１をオフ状態とすることができる。すなわち、発光素子４を消灯させた状態で維持することができる。
【００２９】
回路本体１２は、例えば、ボルテージフォロワ３０と、ローパスフィルタ３２と、を有する。ボルテージフォロワ３０は、制御部１４と第１入力端子２２ａとの間に設けられる。ボルテージフォロワ３０は、例えば、制御部１４から出力された信号の変動を抑制するバッファとして機能する。ボルテージフォロワ３０は、例えば、出力端子と反転入力端子とを短絡させたオペアンプによって構成される。
【００３０】
ローパスフィルタ３２は、ボルテージフォロワ３０と第１入力端子２２ａとの間に設けられる。ローパスフィルタ３２は、例えば、ボルテージフォロワ３０と第１入力端子２２ａとの間に接続された抵抗素子３３と、第１入力端子２２ａと抵抗素子３３とを接続する信号ラインとグランド（共通電位）との間に接続されたコンデンサ３４と、を有する。ローパスフィルタ３２は、例えば、制御部１４（ボルテージフォロワ３０）から出力された信号に含まれる高周波成分を低減させる。
【００３１】
このように、ボルテージフォロワ３０とローパスフィルタ３２とを設けることにより、より適切な基準信号を第１入力端子２２ａに入力することができる。ボルテージフォロワ３０及びローパスフィルタ３２は、必要に応じて設けられ、省略可能である。
【００３２】
回路本体１２は、抵抗素子３６を有する。抵抗素子３６の一端は、電流制御用スイッチング素子２１の第２主端子２１ｂと電気的に接続されている。抵抗素子３６の他端は、スイッチング素子２０の第１主端子２０ａと電気的に接続されている。これにより、抵抗素子３６とスイッチング素子２０の両端には、発光素子４に流れる電流Ｉｄに対応した電圧が生じる。抵抗素子３６は、換言すれば、発光素子４に流れる電流Ｉｄを検出するための抵抗である。
【００３３】
抵抗素子３６の一端は、第２入力端子２２ｂと電流制御用スイッチング素子２１の第２主端子２１ｂと電気的に接続されている。これにより、抵抗素子３６とスイッチング素子２０の両端で発生した電圧が、検出信号として第２入力端子２２ｂに入力される。但し、第２入力端子２２ｂへの検出信号の入力方法は、上記に限ることなく、任意の方法でよい。
【００３４】
また、スイッチング素子２０の第２主端子２０ｂは、グランド（共通電位）と電気的に接続される。スイッチング素子２０の制御端子２０ｃは、制御部１４と電気的に接続される。制御部１４は、オン・オフを周期的に繰り返すパルス信号をスイッチング素子２０の制御端子２０ｃに入力する。
【００３５】
パルス信号がオン（ハイ）の場合、パルス信号の電圧値は、スイッチング素子２０の閾値の電圧値よりも十分に高くなる。従って、パルス信号がオンの場合には、前述のように、基準信号及び検出信号に基づいて発光素子４に流れる電流Ｉｄが制御される。
【００３６】
一方、パルス信号がオフ（ロー）の場合、パルス信号の電圧値は、スイッチング素子２０の閾値の電圧値よりも低くなる。すなわち、パルス信号がオフの場合には、発光素子４からの光の照射が停止される。
【００３７】
このように、制御部１４は、差動増幅回路２２の第１入力端子２２ａに基準信号を入力するとともに、スイッチング素子２０の制御端子２０ｃにパルス信号を入力することにより、発光素子４をパルス発振させる。
【００３８】
制御部１４は、例えば、対象物の種類や対象物に施す処理の種類などに応じて、スイッチング素子２０の制御端子２０ｃに入力するパルス信号のデューティ比を変化させる。これにより、例えば、対象物に加わるエネルギーなどを、より調整し易くすることができる。発光素子４の発振は、パルス発振に限ることなく、連続発振でもよい。連続発振のみを行う場合、制御部１４からスイッチング素子２０の制御端子２０ｃへのパルス信号の入力及びスイッチング素子２０は、省略可能である。
【００３９】
また、この例では、発光素子４をパルス発振させるためのパルス信号をスイッチング素子２０の制御端子２０ｃに入力する信号源として制御部１４を示している。信号源は、制御部１４に限ることなく、パルス信号をスイッチング素子２０の制御端子２０ｃに入力可能な任意の信号源でよい。例えば、専用の発振回路などを信号源として用いてもよい。
【００４０】
駆動回路１０は、発光素子４に流れる電流Ｉｄに関連する電流値及び電圧値を検出する検出部５０を、さらに備える。検出部５０は、例えば、直列に接続された複数の発光素子４の両端と、電流検出用抵抗５２と可変電源１６の間に電気的に接続されている。これにより、検出部５０は、発光素子４の直列電圧値と電流値を検出する。検出部５０は、例えば、発光素子４の直列電圧値を検出するとともに、発光素子４に流れる電流Ｉｄの電流値を検出する。
【００４１】
検出部５０は、制御部１４と電気的に接続されている。検出部５０は、検出結果を制御部１４に入力する。すなわち、この例において、検出部５０は、検出した発光素子４の直列電圧値と電流値を制御部１４に入力する。制御部１４は、検出部５０の検出結果を基に、可変電源１６から発光素子４に印加する電源電圧Ｖｃｃの最低電圧Ｖｍｉｎを決定する。
【００４２】
図２は、発光素子の電流−電圧特性の一例と可変電源１６の電源電圧Ｖｃｃとの関係を模式的に表すグラフ図である。  
図２の横軸は、可変電源１６の電源電圧Ｖｃｃであり、縦軸は、発光素子４に流れる電流Ｉｄである。  
制御部１４は、最低電圧Ｖｍｉｎを決定する場合、発光素子４の直列動作電圧に応じて電源電圧Ｖｃｃの電圧値を設定するとともに、発光素子４に所望の駆動電流Ｉｄｒｖを流すための制御電圧をボルテージフォロア３０に印加し、電流制御用スイッチング素子２１の制御端子２１ｃを制御する。また、この場合、制御部１４は、例えば、発光素子４を連続発振させる。
【００４３】
直列動作電圧は、例えば、発光素子４の順方向降下電圧Ｖｆに応じて設定される。例えば、発光素子４の順方向降下電圧Ｖｆが１６Ｖの場合、電源電圧Ｖｃｃの電圧値を１６Ｖに設定する。これにより、電源電圧Ｖｃｃの電圧値及び電流制御用スイッチング素子２１の制御端子２１ｃに設定した制御電圧に応じた電流が、発光素子４に流れ始める。
【００４４】
制御部１４は、電源電圧Ｖｃｃの電圧値及び制御電圧を設定した後、電源電圧Ｖｃｃの電圧値を変化させる。制御部１４は、例えば、電源電圧Ｖｃｃの電圧値を徐々に高くしていく。図２に表したように、発光素子４に流れる電流は、電源電圧Ｖｃｃの電圧値を徐々に高くしていくと、やがて制御電圧に応じた駆動電流Ｉｄｒｖで飽和する。すなわち、発光素子４に実質的に一定の駆動電流Ｉｄｒｖが流れるようになる。
【００４５】
制御部１４は、発光素子４に流れる電流Ｉｄが、駆動電流Ｉｄｒｖで飽和し始めた電源電圧Ｖｃｃの電圧値を最低電圧Ｖｍｉｎとして決定する。制御部１４は、例えば、発光素子４に流れる電流Ｉｄが所望の駆動電流Ｉｄｒｖに対して±１％の変動幅の範囲内にある場合に、発光素子４に流れる電流Ｉｄが駆動電流Ｉｄｒｖで飽和した状態にあると判定する。なお、発光素子４に流れる電流Ｉｄが駆動電流Ｉｄｒｖで飽和した状態は、換言すれば、発光素子４に実質的に一定の駆動電流Ｉｄｒｖが流れた状態である。
【００４６】
また、制御部１４は、上記のように電流Ｉｄが駆動電流Ｉｄｒｖで飽和したと判定した際の最も低い電源電圧Ｖｃｃの電圧値Ｖａから所定のマージンα分だけ高い電圧値を、駆動電流Ｉｄｒｖで飽和し始めた電源電圧Ｖｃｃの電圧値、すなわち最低電圧Ｖｍｉｎとして決定する。マージンαは、例えば、発光素子４の直列動作電圧の５％程度（例えば５％以上１０％以下）に設定される。例えば、直列動作電圧が１６Ｖである場合、マージンαは、１Ｖ程度に設定される。
【００４７】
例えば、製造上のバラツキなどにより、発光素子４の実際の順方向降下電圧Ｖｆが、仕様の下限付近にある場合には、上記のように直列動作電圧に応じて電源電圧Ｖｃｃの電圧値を設定した時点で、発光素子４に実質的に一定の駆動電流Ｉｄｒｖが流れてしまうことも考えられる。例えば、直列動作電圧を１６Ｖに設定した際に、発光素子４の実際の順方向降下電圧Ｖｆが、１５．２Ｖ程度であった場合、直列動作電圧に応じた電源電圧Ｖｃｃの電圧値を設定した時点で、発光素子４に実質的に一定の駆動電流Ｉｄｒｖが流れてしまう可能性がある。このような場合、制御部１４は、電源電圧Ｖｃｃの電圧値を徐々に高くして発光素子４に実質的に一定の電流が流れていることを確認した後、電源電圧Ｖｃｃの電圧値を徐々に低くしていく。これにより、発光素子４の実際の順方向降下電圧Ｖｆが、低い側にバラついていた場合にも、上記と同様に、最低電圧Ｖｍｉｎを決定することができる。
【００４８】
制御部１４は、このように電源電圧Ｖｃｃの最低電圧Ｖｍｉｎを決定する。これにより、発光素子４の順方向降下電圧Ｖｆに製造誤差がある場合などにも、適切に最低電圧Ｖｍｉｎを決定することができる。
【００４９】
制御部１４は、対象物に対する露光や加工などの処理の実行を開始する前に、最低電圧Ｖｍｉｎを決定する動作を実行する。そして、制御部１４は、決定した最低電圧Ｖｍｉｎを可変電源１６に設定し、可変電源１６から最低電圧Ｖｍｉｎの電源電圧Ｖｃｃを発光素子４に供給することにより、対象物に対する処理を実行する。
【００５０】
これにより、高い電源電圧Ｖｃｃを設定する場合と比べて、電流制御用スイッチング素子２１に供給される電力を抑え、電流制御用スイッチング素子２１の発熱を低減させることができる。そして、このように電流制御用スイッチング素子２１の発熱を低減させることにより、電流制御用スイッチング素子２１の寿命の低下を抑制することもできる。さらには、電源電圧Ｖｃｃを最低電圧Ｖｍｉｎに抑えることにより、消費電力の低下を図ることもできる。また、電流制御用スイッチング素子２１に対して大容量の冷却機構などを設ける必要もない。従って、本実施形態に係る駆動回路１０では、簡単な構成で電流制御用スイッチング素子２１の発熱を低減させることができる。
【００５１】
また、最低電圧Ｖｍｉｎは、発光素子４の温度などによって変化する可能性がある。従って、制御部１４は、対象物に対する処理の実行を開始した後、最低電圧Ｖｍｉｎを決定する動作を定期的に実行し、最低電圧Ｖｍｉｎを更新するようにしてもよい。あるいは、発光素子４や電流制御用スイッチング素子２１などの温度を検出し、いずれかの温度の変化が、所定値を超える毎に、最低電圧Ｖｍｉｎを決定する動作を定期的に実行し、最低電圧Ｖｍｉｎを更新するようにしてもよい。これにより、最低電圧Ｖｍｉｎをより正確に決定することができる。電流制御用スイッチング素子２１の発熱をより確実に抑制することができる。
【００５２】
図３は、実施形態に係る駆動回路及び処理装置の変形例を模式的に表すブロック図である。  
なお、上記実施形態と機能・構成上実質的に同じものについては、同符号を付し、詳細な説明は省略する。  
図３に表したように、この例では、検出部５０が、電流制御用スイッチング素子２１の第１主端子２１ａと第２主端子２１ｂとに電気的に接続されている。これにより、検出部５０は、電流制御用スイッチング素子２１の第１主端子２１ａと第２主端子２１ｂとの間の電圧値を検出する。また、検出部５０は、抵抗素子３６とスイッチング素子２０の第１主端子２０ａとの間の信号ラインと電気的に接続されている。
【００５３】
電流制御用スイッチング素子２１の第１主端子２１ａと第２主端子２１ｂとの間の電圧値は、発光素子４に流れる電流Ｉｄに応じて変化する。従って、電流制御用スイッチング素子２１の第１主端子２１ａと第２主端子２１ｂとの間の電圧値を検出することによっても、上記実施形態と同様に、発光素子４に流れる電流Ｉｄに関連する電圧値を検出することができる。また、図３の構成では、電流制御用スイッチング素子２１の第２主端子２１ｂとスイッチング素子２０の第１主端子２０ａとの電位差により、電流制御用スイッチング素子２１の第２主端子２１ｂと電気的に接続された抵抗素子３６の電圧値を検出することもできる。抵抗素子３６の電圧値も同様に、発光素子４に流れる電流Ｉｄに応じて変化する。従って、抵抗素子３６の電圧値を検出することによって、発光素子４に流れる電流Ｉｄに関連する電流値及び電圧値を検出することができる。上記実施形態と同様に、最低電圧Ｖｍｉｎの決定を行うことができる。
【００５４】
このように、検出部５０の検出する電圧値及び電流値は、発光素子４の電圧値そのものに限ることなく、発光素子４に流れる電流Ｉｄに関連する任意の電流値及び電圧値でよい。
【００５５】
検出部５０の構成は、発光素子４に流れる電流Ｉｄに関連する電流値及び電圧値を検出可能な任意の構成でよい。検出部５０は、例えば、発光素子４の電圧値、電流制御用スイッチング素子２１の電圧値、及び抵抗素子３６の電圧値など、電流Ｉｄに関連する複数種類の電圧値及び電流値を検出してもよい。
【００５６】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。本発明の上述した実施形態を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての形態も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものである。
【符号の説明】
【００５７】
２…処理装置、  ４…発光素子、  １０…駆動回路、  １２…回路本体、  １４…制御部、  １６…可変電源、  ２０…スイッチング素子、  ２１…電流制御用スイッチング素子、  ２２…差動増幅回路、  ２４…オペアンプ、  ３０…ボルテージフォロワ、  ３２…ローパスフィルタ、  ３３…抵抗素子、  ３４…コンデンサ、  ３６…抵抗素子、  ５０…検出部、  ５２…電流検出用抵抗
【図１】
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【図２】
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【図３】
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