(57)【要約】【課題】  ウィックの毛細管力のコントロールが容易となるウィックの製造方法を提供する。【解決手段】  本発明に係るウィックの製造方法は、金属粉末を含んでなる原料粉末を基台上に供給する工程と、基台上の原料粉末を加熱して焼結体を得る工程と、焼結体を圧延する工程と、を含んでなる。この際、基台上に供給された原料粉末を加熱して焼結体が形成されることで、シート状の焼結体を形成することが可能となる。また、焼結体が圧延されることで、焼結体を形成した後に、焼結体の空隙率をコントロールすることができ、その結果、ウィック１の毛細管力をコントロールすることが可能となる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属粉末を含んでなる原料粉末を基台上に供給する工程と、
基台上の原料粉末を加熱して焼結体を得る工程と、
焼結体を圧延する工程と、を含むことを特徴とするウィックの製造方法。
【請求項２】
基台上に供給された原料粉末を平滑化する工程を含むことを特徴とする請求項１に記載のウィックの製造方法。
【請求項３】
圧延された焼結体の表面に蒸気流路を形成する工程を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のウィックの製造方法。
【請求項４】
圧延された焼結体の表面に沸騰振動を抑制するための突起を形成する工程を含むことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項に記載のウィックの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヒートパイプ、ベイパーチャンバー等の熱伝導部材（放熱部材）に使用されるウィックの製造方法に関し、特に、毛細管力のコントロールが容易となるウィックの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パソコン、携帯端末等の電子機器では、電子素子の高集積化、機器の小型化等に伴い、電子素子等の発熱体の発熱量及び発熱密度が増加しており、発熱体の熱を放出するための熱伝導部材の設置が不可欠となっている。
例えば、上記の電子機器では、作動流体の循環により発熱体の熱を移動させるヒートパイプ、ベイパーチャンバー等の熱伝導部材が設置されている。これらの熱伝導部材では、毛細管構造を有するウィックの毛細管力によって、作動流体の循環が発生する。
ここで、ウィックの内部では、毛管の孔径が小さいほど、毛細管力が大きくなり、作動流体の移動が促進される。そこで、従来、毛細管力を大きくするために、焼結体によりウィックを構成する技術が提案されている（特許文献１，２参照）。
この技術では、コンテナ内に金属粉末を充填した後、コンテナを外部から加熱することによって、コンテナ内において、焼結体からなるウィックが設けられる。または、コンテナ内に配置されるウィックの最終形状に近似する型を用意し、この型内に金属粉末を充填した後、型を外部から加熱することによって、焼結体からなるウィックが形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−７０８６３号公報
【特許文献２】特開２０１４−１３１１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のウィックの製造方法では、ウィックの毛細管力のコントロールが困難となる恐れがある。
すなわち、従来のウィックの製造方法では、焼結体が、コンテナ内に配置される最終形状で形成される。したがって、焼結体を形成した後に、焼結体の空隙率をコントロールすることができず、その結果、ウィックの毛細管力をコントロールすることが困難となる。
本発明の課題は、ウィックの毛細管力のコントロールが容易となるウィックの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、第一の発明に係るウィックの製造方法は、金属粉末を含んでなる原料粉末を供給する工程と、基台上の原料粉末を加熱して焼結体を得る工程と、焼結体を圧延する工程と、を含むことを特徴とする。
第一の発明に係るウィックの製造方法では、基台上に供給された原料粉末を加熱することにより、焼結体が形成される。これによって、シート状の焼結体を形成することが可能となる。
また、第一の発明に係るウィックの製造方法では、焼結体が圧延される。これによって、焼結体を形成した後に、焼結体の空隙率をコントロールすることができ、その結果、ウィックの毛細管力をコントロールすることが可能となる。特に、焼結体を形成した後に、シート状の焼結体の厚みをコントロールすることができ、その結果、ウィックの厚みを低減することが可能となる。
ここで、基台としては、後述する枠体、トレイＴ、金属ベルト１１ａ等が該当する。
【０００６】
第二の発明に係るウィックの製造方法は、第一の発明に係るウィックの製造方法において、基台上に供給された原料粉末を平滑化する工程を含むことを特徴とする。
第二の発明に係るウィックの製造方法によれば、圧延された焼結体において、密度が不均一となることが防止され、その結果、ウィックの毛細管力が不均一となることを防止することが可能となる。
【０００７】
第三の発明に係るウィックの製造方法は、第一又は第二の発明に係るウィックの製造方法において、圧延された焼結体の表面に蒸気流路を形成する工程を含むことを特徴とする。
第三の発明に係るウィックの製造方法によれば、多孔質構造の焼結体において、蒸気流路が形成されるため、コンテナにおいて蒸気流路を形成する場合と比較して、蒸気流路を容易に形成することが可能となる。
ここで、蒸気流路としては、後述する蒸気流路ｓが該当する。
【０００８】
第四の発明に係るウィックの製造方法は、第一乃至第三のうちいずれか一の発明に係るウィックの製造方法において、圧延された焼結体の表面に沸騰振動を抑制するための突起を形成する工程を含むことを特徴とする。
第四の発明に係るウィックの製造方法によれば、多孔質構造の焼結体において、沸騰振動を抑制するための突起が形成されるため、コンテナにおいて蒸気流路を形成する場合と比較して、沸騰振動を抑制するための突起を容易に形成することが可能となる。
ここで、沸騰振動を抑制するための突起としては、後述する突起ｐが該当する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るウィックの製造方法によれば、ウィックの毛細管力のコントロールが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】ウィック１の構成を示す断面図である。
【図２】基台の一例を示す断面図である。
【図３】ウィック１の製造ラインの第１例を示す図である。
【図４】ウィック１の製造ラインの第２例を示す図である。
【図５】ウィック１の製造ラインの第３例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
（ウィック１の構成）
まず、本発明に係る製造方法により製造されるウィック１の構成を説明する。
図１は、ウィック１の構成を示す断面図である。なお、図１（ａ）は、ウィック１の長手向に沿う断面を示し、図１（ｂ）は、ウィック１の幅方向に沿う断面を示している。
図１に示すように、ウィック１は、シート状（平板状）に形成されている。本実施形態では、ウィック１は、長方形のシート状に形成されている。そして、ウィック１は、その長手方向の両端部のうち、一方側の端部が、熱伝導部材の受熱部に配置され、他方側の端部が、熱伝導部材の放熱部に配置される。熱伝導部材については、後述する。
ウィック１の上面及び下面のうち、少なくとも一方の面には、気化された作動流体（蒸気）を流すための蒸気流路ｓが設けられている。図１（ｂ）に示すように、本実施形態では、ウィック１の上面において、蒸気流路ｓが設けられている。そして、蒸気流路ｓは、格子状（マトリクス状・行列状）に形成された溝となっている。なお、ウィック１において、蒸気流路ｓが設けられていない構成としても構わない。かかる構成とする場合には、後述するコンテナ側において、蒸気流路が設けられる。
また、ウィック１の上面及び下面のうち、少なくとも一方の面には、沸騰振動を抑制するための突起ｐが設けられている。図１（ａ）に示すように、本実施形態では、ウィック１の上面において、格子状（マトリクス状・行列状）に並ぶ、複数の突起ｐが設けられている。すなわち、ウィック１の上面において、長手方向に沿って並ぶ複数の突起ｐからなる突起列が、幅方向に沿って複数列形成されている。各突起ｐは、上方に向かって突出する角柱状に形成されている。そして、本実施形態では、互いに隣り合う２つの突起の間が、蒸気流路ｓを構成している。これによって、本実施形態では、ウィック１の上面において格子状（マトリクス状・行列状）の蒸気流路ｓを形成することによって、ウィック１の上面において格子状（マトリクス状・行列状）に並ぶ複数の突起ｐを形成することが可能となる。なお、ウィック１において、突起ｐが設けられていない構成としても構わない。
ここで、蒸気流路ｓ及び突起ｐの形状・構成は、適宜、変更することが可能となっている。すなわち、蒸気流路ｓは、ウィック１における受熱部に配置される部分から放熱部に配置される部分まで、気化（蒸発）した作動流体を到達させることが可能であれば、どのような形状・構成としても構わない。例えば、ウィック１の上面において、長手方向に沿って延びる溝を、幅方向に沿って、一本又は複数本設けることによって、蒸気流路ｓを構成しても構わない。または、ウィック１の上面において、複数の突起を不規則に配置し、互いに隣り合う２つの突起の間により、蒸気流路ｓを構成しても構わない。また、各突起ｐの形状は、円柱状等、他の形状であっても構わない。
【００１２】
ウィック１は、焼結体からなり、多孔質構造を有している。
ウィック１は、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ａｌ、Ａｇ、及び、Ｓｎ、又は、これらの合金から形成されている。特に、ウィック１は、Ｃｕ又はＡｌにより形成されていることが好ましい。
ウィック１（全体）の平均空隙率は、５〜９０％の範囲内であることが好ましい。すなわち、ウィック１の平均空隙率が５％を下回ると、空隙が連通孔とならない恐れがある。一方、ウィック１の平均空隙率が９０％を超えると、強度が不足する恐れがある。したがって、ウィック１の平均空隙率は、５〜９０％の範囲内、特に、１０〜７０％の範囲内であることが好ましい。
ウィック１の厚みは、０．０５〜１．０ｍｍの範囲内であることが好ましい。すなわち、ウィック１の厚みを０．０５ｍｍより小さくするためには、原料粉末を微粉にする必要が生じ、原料費が高くなる。また、ウィック１の厚みが０．０５ｍｍを下回ると、強度が不足し、取り扱いが困難となる。また、近年の熱伝導部材の薄型化に伴い、ウィック１の厚みが１．０ｍｍを超えると、熱伝導部材における配置が困難となる。したがって、ウィック１の厚みは、０．０５〜１．０ｍｍの範囲内、特に、０．１〜０．６ｍｍの範囲内であることが好ましい。ここで、ウィック１の厚みとは、ウィック１のうち、厚みが最大となる部分の寸法（最大寸法）をいう。
【００１３】
（ウィック１の製造方法）
次に、ウィック１の製造方法を説明する。
図２は、基台の一例を示す断面図である。
ウィック１を製造するには、まず、原料粉末を生成する。
原料粉末としては、Ｃｕ粉末、Ｆｅ粉末、Ｎｉ粉末、Ｃｒ粉末、Ｔｉ粉末、Ａｌ粉末、Ａｇ粉末、Ｓｎ粉末、及び、合金粉末のうち、一又は複数の金属粉末（合金粉末）を組み合わせて用いることができる。
合金粉末としては、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ａｌ、Ａｇ、及び、Ｓｎのうち、一又は複数の金属からなる合金粉末を用いることができる。
また、原料粉末には、熱可塑性樹脂、ワックス等のバインダーが添加されていても構わない。
さらに、複数の成分を混合して原料粉末を生成すると、偏析・粒度偏析を起こしやすくなる場合がある。そこで、この場合には、０．５ｍｌ／ｋｇ以下の液体（例えば、粘度２０ｍｍ２／ｓ以下の油）を原料粉末に添加しても良い。これによって、偏析・粒度偏析を抑制することが可能となる。
【００１４】
次に、原料粉末を、基台上に供給する。
基台としては、原料粉末を載せることが可能なものであれば、いかなる形状のものであっても構わない。ただし、基台は、耐熱金属、セラミック、カーボン等の耐熱性が高い材料により形成されていることを要する。また、基台における原料粉末が供給される面は、平坦であることが好ましい。
例えば、基台としては、枠体（図示せず）、トレイＴ（図２、図４及び図５参照）、金属ベルト１１ａ（図３参照）等を用いることができる。
図２に示すように、トレイＴは、トレイ本体ｔ１と、蓋体ｔ２と、を含んで構成されている。トレイ本体ｔ１は、原料粉末を充填することが可能となるように、天面が開放された略方形の箱状（枠状）に形成されている。蓋体ｔ２は、トレイ本体ｔ１の天面を塞ぐことが可能となるように、略方形の板状に形成されている。トレイＴが蓋体ｔ２を備えることにより、トレイ本体ｔ１に充填された原料粉末の飛散を防止することが可能となる。
ここで、図２（ａ）に示すように、蓋体ｔ２の底面を平坦に形成することにより、原料粉末を、圧縮されていない状態で、トレイ本体ｔ１内に収容することができる。一方、図２（ｂ）に示すように、蓋体ｔ２の底面において、トレイ本体ｔ１の上端部に挿入される凸部を形成することにより、原料粉末を、僅かに圧縮した状態で、トレイ本体ｔ１内に収容することができる。
【００１５】
次に、基台上に供給された原料粉末を平滑化する。
すなわち、基台上に供給された原料粉末の厚み（高さ）を均一化する。
この際、板材、ローラ等の平滑化手段を用いて、基台上に供給された原料粉末を平滑化することができる。
例えば、基台としてトレイＴを用いる場合には、原料粉末をトレイ本体ｔ１に充填した後、板材を用いて、トレイ本体ｔ１の上端部を基準として、余分な原料粉末を擦切ることにより、原料粉末を平滑化することができる。その後、原料粉末の移動や飛散を防ぐために、蓋体ｔ２により蓋をする。
一方、後述するように、基台として金属ベルト１１ａを用いる場合には、ローラ１３を用いて、原料粉末を平滑化することができる。または、金属ベルト１１ａを、凹状（枠状）に形成しても構わない。かかる構成とした場合には、原料粉末を金属ベルト１１ａに充填した後、板材を用いて、金属ベルト１１ａの上限部を基準として、余分な原料粉末を擦切ることにより、原料粉末を平滑化する。
ここで、焼結前の原料粉末のかさ密度を、真密度（空隙が無い材料密度）に対して、１０〜５０％の範囲内、特に、真密度に対して、１５〜３５％の範囲内とすることが好ましい。また、焼結前の原料粉末の厚みは、０．１〜２．０ｍｍの範囲内、特に、０．１５〜１．５ｍｍの範囲内であることが好ましい。
【００１６】
次に、基台上に供給された原料粉末を焼結（加熱）する。
すなわち、基台上の原料粉末を、所定焼結雰囲気・所定焼結温度で焼結し、焼結体を形成する。原料粉末を焼結することにより、隣接する金属粒子が拡散接合され、金属粒子が結合して、多孔質の焼結体が形成される。
この際、焼結雰囲気は、真空中、中性ガス中（窒素ガス中、アルゴンガス中等）、還元性ガス中（アンモニア分解ガス中、水素ガス中、エンドサーミックガス中等）等、原料粉末の組成に応じて、適宜、選択する。
また、焼結温度は、４００〜１０５０℃の範囲内において、原料粉末の組成に応じて、適宜、選択する。
例えば、原料粉末として、純銅粉末を用いる場合には、焼結雰囲気として、アンモニア分解ガス中を選択し、焼結温度として、８００〜１０５０℃の範囲内の温度を選択することが好ましい。
【００１７】
次に、基台から取り出した焼結体を圧延する。
すなわち、圧延装置を用いて焼結体を圧延する。
焼結体を圧延することによって、焼結体の厚みを小さくすることができ、また、焼結体の厚みを均一にすることができ、また、焼結体の表面粗さを改善することができ、さらに、焼結密度を高めることができる。
特に、焼結体を圧延することによって、焼結体の厚み・密度・空隙率をコントロールすることができ、ひいては、ウィック１の厚み・密度・空隙率・毛細管力をコントロールすることが可能となる。
圧延装置は、所定間隔で配置された一対の圧延ローラを含んで構成されている。圧延時には、各圧延ローラが回転される。そして、焼結体は、一対の圧延ローラの間を通過することによって、所望の厚み、所望の密度に圧延される。
ここで、焼結体を圧延する際には、一の圧延装置のみを用いて、焼結体を圧延する構成としても、複数の圧延装置を用いて、焼結体を段階的に圧延する構成としても、どちらでも構わない。
また、焼結体を圧延する際には、焼結体を、所定加熱温度で加熱しつつ、圧延装置により圧延する構成としても構わない。この際、加熱温度は、原料粉末の組成に応じて、適宜、選択する。
ここで、圧延後の焼結体（全体）の平均空隙率は、５〜９０％の範囲内、特に、１０〜７０％の範囲内であることが好ましい。また、圧延後の焼結体の厚みは、０．０５〜１．０ｍｍの範囲内、特に、０．１〜０．６ｍｍの範囲内であることが好ましい。ここで、圧延後の焼結体の厚みとは、焼結体ののうち、厚みが最大となる部分の寸法（最大寸法）をいう。
【００１８】
次に、圧延後の焼結体に各種の加工を施す。
例えば、焼結体において、蒸気流路ｓ、突起ｐ等を形成する。これらは、プレス加工、切削加工、エッチング加工等により形成することができる。
以上により、ウィック１が形成される。
【００１９】
（ウィック１の製造ライン）
次に、ウィック１の製造ライン（製造設備）の第１例を説明する。
図３は、ウィック１の製造ラインの第１例を示す図である。
ウィック１は、例えば、図３に示す製造ライン１０により製造することができる。
製造ライン１０は、ベルトコンベア１１と、ホッパー１２と、ローラ１３と、焼結炉１４と、圧延装置１５，１６と、切断装置１７と、を含んで構成されている。
ベルトコンベア１１は、台車の回転により循環する金属ベルト１１ａを含んで構成されている。金属ベルト１１ａは、耐熱金属により形成されている。
ホッパー１２は、原料粉末を貯留する貯留タンク１２ａを含んで構成されている。そして、ホッパー１２は、貯留タンク１２ａ内に貯留されている原料粉末を、金属ベルト１１ａの上面に供給する。この際、ホッパー１２は、単位時間あたりに供給される原料粉末の量が一定となるように動作する。
ローラ１３は、その回転軸が、金属ベルト１１ａの進行方法に対して直交する方向に沿って延びるように、金属ベルト１１ａの上方に配置されている。特に、ローラ１３は、金属ベルト１１ａとの間隔が所定の間隔となるように、配置されている。
焼結炉１４は、箱状に形成され、その内部を金属ベルト１１ａが通過するように構成されている。焼結炉１４の内部には、ヒータが配設されており、金属ベルト１１ａ上に配置されている原料粉末を所定雰囲気中で加熱することが可能となっている。
各圧延装置１５，１６は、一対の圧延ローラを含んで構成されている。製造ライン１０では、２つの圧延装置１５，１６により、焼結体が段階的に圧延される。
切断装置１７は、一対の切断刃を含んで構成されている。一対の切断刃は、所定周期で開閉される。これによって、焼結体は、一対の切断刃の間を通過することによって、所望の長さに切断される。
【００２０】
製造ライン１０では、まず、ホッパー（充填装置）１２により、原料粉末が、金属ベルト１１ａの上面に供給される。
金属ベルト１１ａの上面に供給された原料粉末は、金属ベルト１１ａの循環によって、上流側から下流側に向かって搬送される。
すなわち、金属ベルト１１ａの上面に供給された原料粉末は、まず、ローラ１２の下方を通過する。この際、ローラ１２の外周面によって、金属ベルト１１ａの上面に供給された原料粉末が平滑化され、原料粉末の厚み（高さ）が均一化される。
金属ベルト１１ａの上面に配置された原料粉末は、次に、焼結炉１４の内部を通過する。この際、ヒータによって、金属ベルト１１ａの上面に供給された原料粉末が加熱され、焼結体が形成される。
金属ベルト１１ａの上面に配置された焼結体は、次に、各圧延装置１５，１６を通過する。この際、各圧延装置１５，１６によって、焼結体が圧延される。
金属ベルト１１ａの上面に配置された焼結体は、次に、切断装置１７を通過する。この際、一対の切断刃によって、焼結体が所望の長さに切断される。
その後、必要に応じて、焼結体に対して、蒸気流路ｓ、突起ｐ等を形成する加工が施される。なお、切断装置１７を通過する前に、焼結体に対して、蒸気流路ｓ、突起ｐ等を形成する加工が施される構成としても構わない。
以上により、ウィック１が製造される。
【００２１】
次に、ウィック１の製造ライン（製造設備）の第２例を説明する。
図４は、ウィック１の製造ラインの第２例を示す図である。
ウィック１は、図４に示す製造ライン２０によっても製造することができる。
製造ライン２０は、ベルトコンベア２１と、充填装置２２と、充填台２３と、焼結炉２４と、圧延装置２５，２６と、プレス装置２７と、を含んで構成されている。
充填台２３は、トレイＴを設置（載置）することが可能なトレイ設置部を含んで構成されている。
充填装置２２は、原料粉末を貯留する貯留タンク２２ａと、充填台２３の上面を往復移動する粉箱２２ｂと、を含んで構成されている。
粉箱２２ｂは、原料粉末を収容することが可能となるように箱状に形成されている。また、粉箱２２ｂの底面には、一又は複数の開口部（貫通孔）が設けられている。本実施形態では、各開口部は、粉箱２２ｂの移動方向に対して直交する方向に沿って延びるスリット状に形成されている。そして、粉箱２２ｂの底面において、互いに並行する複数本の開口部が設けられている。なお、開口部の数・形状・大きさについては、適宜、設定することが可能となっている。
充填装置２２では、貯留タンク２２ａ内に貯留されている原料粉末が、ホース２２ｃを介して、粉箱２２ｂ内に供給される。また、図示しない駆動機構により、粉箱２２ｂが、充填台２３の上面を、所定方向に沿って、往復移動される。この際、粉箱２２ｂが、トレイ設置部に設置されているトレイＴの上方を通過するときに、粉箱２２ｂ内に収容されている原料粉末が、自重により、開口部を介して、トレイＴ内に充填される。
ベルトコンベア２１は、台車の回転により循環する金属ベルト２１ａを含んで構成されている。そして、ベルトコンベア２１は、金属ベルト２１ａの循環により、金属ベルト２１ａ上に配置されたトレイＴを搬送することが可能となっている。
焼結炉２４は、箱状に形成され、その内部を金属ベルト２１ａ上に設置されているトレイＴが通過するように構成されている。焼結炉２４の内部には、ヒータが配設されており、トレイＴ内に充填されている原料粉末を、所定雰囲気中で加熱することが可能となっている。
各圧延装置２５，２６は、一対の圧延ローラを含んで構成されている。各圧延装置２５，２６は、一対の圧延ローラによって、焼結体を圧延することが可能となっている。
プレス装置２７は、一対のプレス金型を含んで構成されている。そして、プレス装置２７は、一対のプレス金型の開閉（圧縮）によって、焼結体に対して、蒸気流路ｓ、突起ｐ等を形成することが可能となっている。
【００２２】
製造ライン２０では、まず、空のトレイＴが、充填台２３のトレイ設置部に設置される。
次に、充填装置２２により、原料粉末が、トレイ設置部に設置されているトレイＴに充填される。すなわち、充填台２３の上面において、粉箱２２ｂを往復移動させる。これによって、粉箱２２ｂ内の原料粉末が、トレイ設置部に設置されているトレイＴに充填される。
次に、板材を用いて、トレイ本体ｔ１の上端部を基準として、余分な原料粉末を擦切り、その後、蓋体ｔ２により蓋をする。ここで、粉箱２２ｂの往復移動によって、トレイ本体ｔ１の上端部を基準として、余分な原料粉末が擦切られる構成としても構わない。
次に、トレイＴを、金属ベルト２１ａの上面に設置する。これによって、金属ベルト２１ａの循環により、トレイＴが、上流側から下流側に向かって搬送される。
金属ベルト２１ａによって搬送されるトレイＴは、焼結炉２４の内部を通過する。この際、ヒータ２４によって、トレイＴ内に充填された原料粉末が加熱され、焼結体が形成される。
次に、トレイＴから焼結体を取り出し、取り出した焼結体を、各圧延装置２５，２６により、段階的に圧延する。これによって、焼結体が、所望の厚み・平均空隙率とされる。
次に、圧延された焼結体を、プレス装置２７により圧縮する。これによって、焼結体に対して、蒸気流路ｓ、突起ｐ等が形成される。
以上により、ウィック１が製造される。
【００２３】
次に、ウィック１の製造ライン（製造設備）の第３例を説明する。
図５は、ウィック１の製造ラインの第３例を示す図である。
ウィック１は、図５に示す製造ライン３０によっても製造することができる。
製造ライン３０の基本構成は、製造ラインと同様となっている。そこで、製造ライン３０の構成のうち、製造ライン２０と同一の構成については、同一の符号を付して、説明を省略する。
製造ライン３０では、横型の焼結炉２４に替えて、縦型の焼結炉３４が配設されている点が、製造ライン２０に対して異なっている。これに伴い、製造ライン３０では、ベルトコンベア２１に替えて、搬送装置３１が配設されている。
搬送装置３１は、循環手段３１ａと、循環手段３１ａの回転により循環される複数のトレイ載置部３１ｂと、を含んで構成されている。そして、搬送装置３１は、各トレイ載置部３１ｂ上に載置されたトレイＴを、上方に向かって（上下方向に沿って）搬送することが可能となっている。
焼結炉３４は、箱状に形成され、その内部を各トレイ載置部３１ｂ上に載置されているトレイＴが通過するように構成されている。焼結炉３４の内部には、ヒータが配設されており、トレイＴ内に充填されている原料粉末を、所定雰囲気中で加熱することが可能となっている。
【００２４】
製造ライン３０では、まず、空のトレイＴが、充填台２３のトレイ設置部に設置される。
次に、充填装置２２により、原料粉末が、トレイ設置部に設置されているトレイＴに充填される。
次に、板材を用いて、トレイ本体ｔ１の上端部を基準として、余分な原料粉末を擦切り、その後、蓋体ｔ２により蓋をする。
次に、トレイＴを、トレイ載置部３１ａの上面に設置する。これによって、循環手段３１ａの回転（循環）により、トレイＴが、上方に向かって搬送される。
上方に向かって搬送されるトレイＴは、焼結炉２４の内部を通過する。この際、ヒータ３４によって、トレイＴ内に充填された原料粉末が加熱され、焼結体が形成される。
次に、トレイＴから焼結体を取り出し、取り出した焼結体を、各圧延装置２５，２６により、段階的に圧延する。これによって、焼結体が、所望の厚み・平均空隙率とされる。
次に、圧延された焼結体を、プレス装置２７により圧縮する。これによって、焼結体に対して、蒸気流路ｓ、突起ｐ等が形成される。
以上により、ウィック１が製造される。
製造ライン３０では、縦型の焼結炉３４が適用され、搬送装置３１によって、トレイＴが上下方向に沿って（エレベータ方式により）搬送される。これによって、製造ライン２０と比較して、設備の省スペース化を図ることが可能となる。
【００２５】
ここで、焼結前の原料粉末の見かけ密度は、原料粉末の組成（ロット）、原料粉末を取り扱う作業環境等、原料粉末の状態に応じて変化する。したがって、ウィック１の製造時には、焼結前の原料粉末の自然充填密度を、原料粉末の状態に応じて調整（変更）する必要がある。
この際、枠体の厚みを変更する、トレイＴの深さを変更する等、焼結治具の構成を変更することにより、焼結前の原料粉末の自然充填密度を調整することができる。しかしながら、原料粉末の状態ごとに、構成が異なる焼結治具を用意することは、現実的ではない。
そこで、上記の製造ライン１０では、ホッパー１２の貯留タンク１２ａ内に貯留されている原料粉末の粉末高さ（貯留量）を調整（変更）する機構を設けても構わない。かかる構成とすることにより、貯留タンク１２ａ内に貯留されている原料粉末の自重を調整ことで、基台（金属ベルト１１ａ）上に供給（充填）される原料粉末のかさ密度（充填かさ密度）を調整することが可能となる。
または、上記の製造ライン２０，３０では、充填装置２２の粉箱２２ｂ内に収容（貯留）されている原料粉末の粉末高さ（貯留量）を調整（変更）する機構を設けても構わない。かかる構成とすることにより、粉箱２２ｂ内に収容されている原料粉末の自重を調整ことで、基台（トレイＴ）上に供給（充填）される原料粉末のかさ密度（充填かさ密度）を調整することが可能となる。
【００２６】
（熱伝導部材の構成）
ウィック１は、ヒートパイプ、ベイパーチャンバー等の熱伝導部材（放熱部材）に適用（使用）することが可能となっている。
熱伝導部材（図示せず）は、コンテナと、作動流体と、ウィック１と、を含んで構成されている。
コンテナは、その内部に作動流体及びウィック１を封止（密封）することが可能となるように構成されている。コンテナの形状は、円筒形状、偏平形状等、用途に応じて、適宜、選択される。コンテナは、Ｃｕ、Ａｌ等の熱伝導率が高い材料により形成されている。
本実施形態に係るコンテナは、純銅により形成された、長方形のシート状の筐体となっている。そして、コンテナでは、その長手方向の両端部のうち、一方側の端部が、受熱部とされ、他方側の端部が、放熱部とされる。
作動流体としては、水（Ｈ２Ｏ）、ヘリウム（Ｈｅ）、窒素（Ｎ２）、フレオン２２（ＣＨＣＩＦ２）、ＨＦＣ−１３４ａ（ＣＨ２Ｆ−ＣＦ３）、アンモニア（ＮＨ３）、フレオン１１３（ＣＣＩ２Ｆ−ＣＣＩＦ２）、ＨＣＦＣ−１２３（１，１−ジクロロ−２，２，２−トリフルオロエタン）、アセトン（Ｃ３Ｈ６Ｏ）、メタノール（ＣＨ４Ｏ）、ダウサムＡ（（Ｃ６Ｈ５）２＋（Ｃ６Ｈ５）２Ｏ）、ナフタリン（Ｃ１０Ｈ８）、セシウム（Ｃｓ）、ナトリウム（Ｎａ）、リチウム（Ｌｉ）、銀（Ａｇ）等を使用することができる。
【００２７】
本実施形態に係る熱伝導部材では、スパッタリング、溶接等により、純銅の板材、シート材等を袋状に接合することで、コンテナが形成されている。
そして、コンテナの内部において、ウィック１及び作動流体が封止されている。ウィック１及び作動流体は、コンテナの内部が真空脱気された状態で、コンテナの内部に封入される。これによって、多孔質構造のウィックの内部に、作動流体が含浸される。
熱伝導部材では、ウィック１が、コンテナに沿って配置される。すなわち、コンテナの内部では、ウィック１の長手方向の両端部のうち、一方側の端部が、受熱部に配置され、他方側の端部が、放熱部に配置されている。
【００２８】
熱伝導部材の受熱部は、熱伝導グリースを介して、ＣＰＵ等の発熱体に密着した状態で配置される。これによって、発熱体の熱が、受熱部に伝達される。
熱伝導部材では、受熱部に伝達された熱により、作動流体が加熱され、加熱された作動流体が気化（蒸発）する。そして、受熱部において気化した作動流体は、蒸気流路ｓを通過して、放熱部に流入する。ここで、放熱部は、受熱部に対して、相対的に温度が低くなっている。これによって、放熱部に流入した作動流体は、放熱部において冷却され、冷却された作動流体が液化（凝縮）する。この際、発熱体から伝達された熱が、潜熱として放出される。そして、放熱部において液化した作動流体は、ウィック１の毛細管力によって、ウィック１の内部に吸収され、ウィックの内部を通過して、放熱部から受熱部へ還流される。以上によって、作動流体の循環が繰り返されることで、受熱部から放熱部への熱移動が継続し、発熱体の熱を継続して放出することが可能となる。
ここで、熱伝導部材は、各種電子機器（パソコン、携帯端末等）の冷却、自動車に使用されるニッケル水素電池やリチウム電池の冷却等に適用することが可能となっている。
【００２９】
（ウィック１の製造方法の作用・効果）
ウィック１の製造方法では、基台上に供給された原料粉末を加熱することにより、焼結体が形成される。これによって、シート状の焼結体を形成することが可能となる。
また、ウィック１の製造方法では、焼結体が圧延される。これによって、焼結体を形成した後に、焼結体の空隙率をコントロールすることができ、その結果、ウィック１の毛細管力をコントロールすることが可能となる。特に、焼結体を形成した後に、シート状の焼結体の厚みをコントロールすることができ、その結果、ウィック１の厚みを低減することが可能となる。
また、ウィック１の製造方法では、基台上に供給された原料粉末が平滑化される。これによって、圧延された焼結体において、密度が不均一となることが防止され、その結果、ウィック１の毛細管力が不均一となることを防止することが可能となる。
また、ウィック１の製造方法では、圧延された焼結体の表面に蒸気流路ｓ、突起ｐ等が形成される。これによって、多孔質構造の焼結体において、蒸気流路ｓ、突起ｐ等が形成されるため、コンテナ側において蒸気流路を形成する場合と比較して、蒸気流路ｓ、突起ｐ等を容易に形成することが可能となる。
さらに、ウィック１の製造方法では、熱伝導部材のコンテナと、ウィック１と、を個別に形成することができる。これによって、コンテナ内に金属粉末を充填した後、コンテナを外部から加熱することによって、コンテナ内においてウィックを形成する方法を取る必要がなくなり、加熱によるコンテナの劣化を防止することが可能となる。
【符号の説明】
【００３０】
１      ウィック
１１ａ  金属ベルト
ｓ      蒸気流路
ｐ      突起
Ｔ      トレイ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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