(57)【要約】【課題】低コストイメージセンサ用CZ Si基板の実現【解決手段】CZ Siウエハにおいて、デバイス形成層に近接した深部領域に水素をイオン注入し、400℃-430℃の温度の熱処理によって水素による酸素析出物の優先的な核形成を生じせしめ、引き続いた酸素析出物形成熱処理により、該領域に優先的に酸素析出物および二次欠陥を形成し、ゲッタリング層を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チョクラルスキー法で成長した酸素を含有したシリコン結晶（CZ Si）において、デバイス形成層に近接した深部領域に水素をイオン注入し、400-430℃の温度における熱処理によって水素による酸素析出核の優先的形成を生じせしめ、引き続いて酸素析出物を形成するための熱処理により該領域に優先的に酸素析出物および二次欠陥を形成し、これをゲッタリング層とすることを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】
酸素析出物の形成は600-1000℃の間の熱処理で行われることを特徴とした請求項１項。
【請求項３】
低酸素濃度を含有するCZ Siを利用することにより、水素をイオン注入していない領域では、酸素析出物および二次欠陥の発生を抑制することを特徴とした請求項1項および２項。
【請求項４】
低酸素濃度を含有するCZ Siを利用するとともに、デバイス形成領域の酸素を1000℃以上の熱処理により外方拡散させ、 デバイス形成層において酸素析出物および二次欠陥の発生を抑制することを特徴とした請求項1項から３項。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
シリコン（Si）イメージセンサの需要が高まっている。特に、安全・安心な自動運転を目指し、カーエレクトロニクス分野での成長が期待されている。
【０００２】
Siイメージセンサの高性能化に向けて技術開発が進んでいるが、白傷などのノイズを低減することが必要である。ノイズの原因は、デバイス形成領域内の結晶欠陥や重金属不純物に起因することが知られている。
【０００３】
従って、このような格子欠陥を発生させないプロセス、また重金属不純物などをデバイス活性層から除去する技術が重要になっている。
【背景技術】
【０００４】
デバイス性能に対して電気的に悪影響を及ぼす重金属不純物をデバイス層から取り除く処理は“ゲッタリング”と呼ばれている。通常、Siでは酸素の析出物を形成し、酸素析出物や酸素析出物の形成によって発生する二次欠陥である転位などの格子欠陥に重金属を捕獲（ゲッタリング）させている。
【０００５】
近時では、白傷などのノイズ対策として、エピタキシャル成長とゲッタリング技術の両方を併用して使用し、高い結晶完全性と強いゲッタリング能力を両立している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】原明人  特許3341378（図２、図３）
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】Akito Hara et al,, Jpn.J.Appl.Phys 33 (1994) 5577.  （図１，３，４，６，７)
【発明の概要】
【０００８】
チョクラルスキー法で成長した酸素を含有したシリコン結晶（CZ Si）ウエハにおいて、デバイス形成層に近接した深部領域に水素をイオン注入し、400-430℃の温度の熱処理によって水素による酸素析出物の優先的な核形成を生じせしめ、引き続いた酸素析出物の形成のための熱処理により、該領域に優先的に酸素析出物および二次欠陥を形成し、ゲッタリング層を形成する。
【０００９】
該CZ Siウエハは、水素が存在しない領域では、酸素析出物や2次欠陥を発生しない程度に低濃度の酸素を含有することを特徴とする。
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
Siイメージセンサの需要が高まっている。イメージセンサの高性能化に向けて技術開発が進んでいるが、白傷などのノイズを低減することが必要である。ノイズの原因は、デバイス形成領域内の結晶欠陥や重金属不純物に起因することが知られている。
【００１１】
従って、このような格子欠陥を発生させないプロセス、また重金属不純物などをデバイス活性層から除去する技術が重要になっている。
【００１２】
電気的に悪影響を及ぼす重金属不純物をデバイス層から取り除く処理は“ゲッタリング”と呼ばれている。通常、CZ  Siでは酸素の析出物を形成し、その際に発生する二次欠陥である転位などの格子欠陥に重金属を捕獲させている。
【００１３】
現状のイメージセンサでは、白傷などのノイズ対策として、エピタキシャル成長とゲッタリング技術の両方を併用して利用して解決しているが、エピタキシャル成長プロセスはコストが高い。これをCZ Siのみに代替することができれば、大幅なコスト削減が期待できる。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明者は、鋭意検討の結果、以下に示す発明の諸態様に想到した。
【００１５】
CZ Siは酸素を含んでいる。Si中の水素は酸素の拡散を促進させ、また酸素析出核の発生を加速させる効果がある。
【００１６】
水素が関与した上記のような効果は、400℃-430℃付近で最も顕著になることが発明者の先行技術文献から明らかになっている。      
【００１７】
水素が存在しない場合であっても、450℃以上では酸素クラスターや酸素析出核の形成は生じるが、430℃より低温では、水素が存在しなければ酸素クラスターや酸素析出核の形成はほとんど生じない。
【００１８】
しかし、水素が導入されると400℃-430℃の温度領域であっても酸素クラスターや酸素析出核の形成が強く生じる。
【００１９】
このことは、400℃-430℃においては、水素の有無で酸素クラスターや酸素析出核の形成が制御されることを意味している。
【００２０】
イオン注入の水素を利用すれば、水素の空間分布や水素の濃度を精密制御することが可能であるため、酸素クラスターや酸素析出核の形成の位置と濃度の精密制御が可能である。
【００２１】
本発明では、低酸素濃度のCZ Siウエハを利用し、デバイス形成領域に対しては、水素を導入しないことにより、結晶の完全性を維持する。
【００２２】
一方、デバイス形成領域に近接したウエハ深部には水素をイオン注入し、酸素クラスターや酸素析出核の形成を増強する。
【００２３】
結果として、図１に示すように、結晶の完全性が高いデバイス形成領域、それに近接したウエハ深部には、位置と欠陥密度を精密制御された強いゲッタリング層を有するCZ Siウエハの実現が可能である。
【発明の効果】
【００２４】
デバイス形成領域は完全結晶を維持し、それに近接したウエハ深部では、イオン注入した水素を利用して酸素析出核の形成を増強せしめ、結果として結晶完全性が高いデバイス形成領域と内部には位置と欠陥密度を精密制御された強いゲッタリング層を有する低コストCZ Si基板が実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、第１の実施例について詳説する。本実施例では、水素が存在しない場合には酸素析出物が形成されないような低酸素濃度を含有するCZ Siを利用している。酸素濃度は29 ppma（Old ASTM）である。
【００２６】
第１の工程として、水素をSiウエハ裏面から深さ20μmの位置にピーク濃度が1x1018 cm-3になるように注入する。
【００２７】
引きついて、425℃60分の熱処理により酸素析出核を形成する。
【００２８】
酸素の濃度の低いCZ Siを利用しているため、水素が存在しない領域では酸素析出核が形成されない。一方、水素が存在する領域は、酸素析出核が形成される。
【００２９】
引き続いて、酸素析出物を形成するために700℃20h+1000℃10hの熱処理を加える。形成された酸素析出物の分布は斜め研磨とエッチピット法で観測する。
【００３０】
形成された酸素析出物の分布を図2に示す。酸素析出物の分布は水素の注入ピーク位置と良く一致している。
【００３１】
以下、第２の実施例について詳説する。本実施例では、水素が存在しない場合には酸素析出物が形成されないような低酸素濃度を含むCZ Siを利用している。酸素濃度は29 ppma (Old ASTM)である。
【００３２】
第１の工程として、該CZ Si ウエハを1000℃120 分の窒素中熱処理により、デバイスを形成する表層の酸素を10μm程度の幅にわたって外方拡散させ、酸素濃度を低下させる。
【００３３】
引き続いて、水素をSiウエハ裏面から深さ20 μmの位置にピーク濃度が1x1018 cm-3になるように注入する。
【００３４】
更に、425℃60分の熱処理により酸素析出核を形成する。
【００３５】
デバイス形成領域は、酸素の濃度の低いCZ Siを利用し、更に表層領域は酸素を外方拡散させ、酸素濃度を低下させている。加えて、水素が存在しないため、表層のデバイス形成領域は酸素析出核が形成されない。
【００３６】
一方、デバイス形成層に近接したウエハ深部領域は、水素をイオン注入しているため酸素析出核が形成される。
【００３７】
引き続いて、酸素析出物を形成するために700℃20h+1000℃10hの熱処理を加える。酸素析出物の分布は斜め研磨とエッチピット法で観測する。
【００３８】
形成された酸素析出物の分布を図３に示す。酸素析出物の分布は水素の注入ピーク位置と良く一致している。また、表面付近の酸素析出物の分布が急峻に低下している。これは、酸素の外方拡散処理を行った結果、表面付近の酸素濃度が低下していることに起因している。
【００３９】
以下、第３の実施例について詳説する。
【００４０】
第２の実施例で作成したCZ Siを利用する。該ウエハの表面にFeを吸着させる。本方法では、ボイルされたH2O2+NH4OH+H2O溶液にシリコンウエハを浸すことにより、薄い酸化膜を形成した後、Feを含む溶液に浸すことによりFeを吸着させている。
【００４１】
引き続いて、1000℃60分の熱処理を窒素雰囲気中で加える。これによりFeをウエハ内部に拡散させる。引き続いて、冷却し、ウエハを取り出した後、シリコン表面を原子吸光分析で解析し、Fe濃度の測定を行う。
【００４２】
表面のFe濃度は原子吸光分析の検出下限である5×109 atom/cm2以下となっている。この結果は、表層のFeが内部の酸素析出物や二次欠陥である転位にゲッタリングされたことを意味している。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明が実現しようとするCZ Siウエハの欠陥分布
【図２】エッチピット法で観察した酸素析出物のウエハ深さ方向分布（第１の実施例）
【図３】第２の実施例で実現したウエハの深さ方向の酸素析出分布
【符号の説明】
【００４４】
１． 水素イオン注入領域  
２．酸素析出物および二次欠陥形成領域  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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