(57)【要約】【課題】検査治具のモードを最適化するための方法及びシステムを提供する。【解決手段】検査治具の複数の第１の開口の各々についての第１の画像または信号を得るステップと、第１の開口とそれらの第１の画像または信号との複数の組み合わせの各々について、かかる組み合わせにおける個々の開口のそれぞれについて得られる第１の画像または信号を組み合わせることによって、合成画像または信号を得るステップと、合成画像または信号を分析して、各合成画像の欠陥検出特性に基づき第１の開口の組み合わせのうちの最適なものを決定するステップと、第１の開口の最適な組み合わせを検査治具に関して設定し、第１の開口のかかる組み合わせを使用して試料を検査するステップを含む。【選択図】図１０
2019117930.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査治具のモードを最適化するための方法であって、
前記検査治具の複数の第１の開口の各々についての第１の画像または信号であって、各々が欠陥区域に関連する、第１の画像または信号を得ることと、
前記第１の開口とそれらの第１の画像または信号との複数の組み合わせの各々について、かかる組み合わせにおける個々の開口のそれぞれについて得られる前記第１の画像または信号を組み合わせることによって、合成画像または信号を得ることと、
各合成画像または信号を分析して、各合成画像の欠陥検出特性に基づき前記第１の開口の前記組み合わせのうちの最適なものを決定することであって、前記第１の開口の前記組み合わせのうちの最適なものを決定することが、前記欠陥区域について、信号対雑音比が最も高くなる１つまたは複数の個々の開口の組を選択することを含むことと、
前記第１の開口の前記最適な組み合わせを前記検査治具に関して設定し、前記第１の開口のかかる組み合わせを使用して試料を検査することと、
を含む、方法。
【請求項２】
各第１の画像または信号が、前記検査において前記第１の開口の各々を使用して、試料からの実験データから得られる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
各第１の画像または信号が、各第１の開口を使用して前記第１の画像または信号を得る、前記検査治具のためのシミュレーションモデルから得られる、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の開口が前記検査治具の瞳またはフーリエ面にわたる複数の瞳位置に位置付けられる、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第１の開口が、前記欠陥区域に衝突する、前記検査治具によって生成された入射ビームに対する完全な角度範囲を網羅するように位置決めされ、前記第１の開口の数が１００より多い、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記第１の開口が、集合的に前記検査治具の前記瞳またはフーリエ面の実質的な部分を覆う、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記合成画像が、前記第１の開口の全ての組み合わせについて、各組合せの前記第１の画像を加算することによって得求められる、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記第１の画像が、波長範囲設定、フォーカスオフセット設定、ならびに入力及び出力偏光状態の、異なる組み合わせを有する複数のモードについてさらに得求められ、前記合成画像が前記モードの各々についてさらに得求められる、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記第１の画像が複数の欠陥等級について求められ、前記合成画像が前記欠陥等級の各々についてさらに求められる、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記第１の開口の複数の最適な組み合わせが、集合的に欠陥等級を区別することになる前記モードのうちの２つ以上の最適なモードについて決定される、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
フォトリソグラフィレチクルまたはウエーハを欠陥について検査するための検査システムであって、
入射ビームを生成するための光源と、
前記入射ビームを受光するための複数の構成可能な開口を有する、構成可能な照明瞳開口モジュールと、
前記入射ビームを、前記照明開口を通して通過させて試料上に方向付けるための照明光学系モジュールと、
前記入射ビームに応答して前記試料から放出される出力ビームを方向付けるための集光光学系モジュールと、
前記出力ビームを検出して前記出力ビームについての画像または信号を生成するためのセンサと、
コントローラであって、以下の動作：
前記構成可能な開口の各々についての第１の画像または信号であって、各々が欠陥区域に関連する、第１の画像または信号を得ることと、
前記構成可能な開口とそれらの第１の画像または信号との複数の組み合わせの各々について、かかる組み合わせにおける構成可能な開口の各々について得られた前記第１の画像または信号を組み合わせることによって、合成画像または信号を得ることと、
各合成画像または信号を分析し、各合成画像の欠陥検出特性に基づき前記構成可能な開口の前記組み合わせのうちの最適な１つを決定することであって、前記構成可能な開口の前記組み合わせのうちの最適な１つを決定することが、前記欠陥区域について、信号対雑音比が最も高くなる１つまたは複数の前記構成可能な開口の組を選択すること、を含むことと、
前記構成可能な開口の前記最適な組み合わせを前記検査システムに関して設定し、前記構成可能な開口のかかる組み合わせを使用して試料を検査することと、を実施するように構成される、コントローラと、
を備える、検査システム。
【請求項１２】
各第１の画像または信号が、前記検査において前記構成可能な開口の各々を使用して、試料からの実験データから得られる、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
各第１の画像または信号が、各構成可能な開口を使用して前記第１の画像または信号を得る、前記検査システムのためのシミュレーションモデルから得られる、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１４】
前記構成可能な開口が前記検査システムの瞳またはフーリエ面にわたる複数の位置に位置付けられ、かつ前記構成可能な開口が、前記欠陥区域に衝突する、前記検査システムによって生成された入射ビームに対する完全な角度範囲を網羅するように位置決めされ、前記構成可能な開口の数が１００より多い、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１５】
前記合成画像が、前記構成可能な開口の全ての組み合わせについて、各組合せの前記第１の画像を加算することによって求められる、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１６】
前記第１の画像が、波長範囲設定、フォーカスオフセット設定、ならびに入力及び出力偏光状態の、異なる組み合わせを有する複数のモードについてさらに求められ、前記合成画像が前記モードの各々についてさらに求められる、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１７】
前記第１の画像が複数の欠陥等級について求められ、前記合成画像が前記欠陥等級の各々についてさらに求められる、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記構成可能な開口の複数の最適な組み合わせが、集合的に欠陥等級を区別することになる前記モードのうちの２つ以上の最適なモードについて決定される、請求項１６記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、（ｉ）２０１３年６月４日出願の米国特許仮出願第６１／８３０，８５８号、（ｉｉ）２０１３年６月１１日出願の米国特許仮出願第６１／８３３，７７８号、及び（ｉｉｉ）２０１３年８月１９日出願の米国特許仮出願第６１／８６７，５１７号の優先権を主張する。これらの出願は、参照により全ての目的のためにそれらの全体が本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本発明は、概してウエーハ及びレチクル検査システムの分野に関する。より具体的には、本発明は検査治具のための照明瞳開口及びモード最適化に関する。
【背景技術】
【０００３】
次第に小さくなる半導体デバイスの要求が増加し続けるに伴い、改良された半導体ウエーハ検査システムの要求も増加し続ける。論理及びメモリデバイス等の半導体デバイスの製作は、典型的に、半導体デバイスの様々な特長及び複数のレベルを形成するために、多数の半導体製作プロセスを使用して半導体ウエーハを処理することを含む。複数の半導体デバイスは、単一半導体ウエーハ上の配置において製作され得、その後個々の半導体デバイスに分離され得る。
【０００４】
様々な検査システムが、半導体レチクルまたはウエーハ上の欠陥を検出するために、半導体産業内で使用されている。特定の用途では、検査システムは構成可能な開口及びモードを含む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１０／０１２８１３７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
欠陥検出を強化及び最適化するために、検査治具上の瞳面またはフーリエ面における光学照明及び／または集光ビームを選択または遮断するための、照明及び／または集光開口の最適な構成を、迅速にかつ包括的に決定するための、検査装置及び方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以下は、本発明の特定の実施形態の基本的な理解を提供するために、本開示の簡略化された要約を提供する。この要約は、本開示の広範囲の概要ではなく、本発明の主要／重要な素子を特定したり、本発明の範囲を詳述したりしない。この唯一の目的は、本明細書に開示されるいくつかの概念を、後に提示されるより詳細な説明への前置きとして、簡略化された形式で提供することである。
【０００８】
一実施形態では、検査治具のモードを最適化するための方法が開示される。検査治具の複数の第１の開口の各々についての第１の画像または信号が得られ、各第１の画像または信号は欠陥区域に関連する。第１の開口とそれらの第１の画像または信号との複数の組み合わせの各々について、合成画像または信号が得られる。各合成画像または信号は、各合成画像の欠陥検出特性に基づき第１の開口の組み合わせのうちの最適な１つを決定するために、分析される。
【０００９】
ある具体的な実装では、第１の開口の最適な組み合わせは試料を検査するために使用される。一態様では、各第１の画像または信号は、検査において第１の開口の各々を使用して、試料からの実験データから得られる。別の態様では、各第１の画像または信号は、各第１の開口を使用して第１の画像または信号を得る、検査治具のためのシミュレーションモデルから得られる。
【００１０】
一実施形態では、第１の開口は、検査治具の瞳にわたる複数の瞳位置に位置付けられる。別の態様では、第１の開口は、検査治具のフーリエ面にわたる複数の瞳位置に位置付けられる。別の態様では、第１の開口は、一緒に検査治具の瞳またはフーリエ面の実質的な部分を覆う個々の開口である。ある具体的な実施例では、合成画像は第１の開口の全ての組み合わせについて得られる。別の実施形態では、欠陥検出特性は、関心欠陥（ＤＯＩ）信号対雑音信号比またはＤＯＩ信号と雑音信号との差であり、第１の開口の最適な組み合わせは、最大ＤＯＩ信号対雑音信号またはＤＯＩ信号と雑音信号との最大差を有する合成画像を有する。さらなる態様では、欠陥検出特性は、各合成画像の関心領域（ＲＯＩ）内の複数の点の各々について決定される。
【００１１】
別の態様では、第１の画像は、波長範囲設定、フォーカスオフセット設定、ならびに入力及び出力偏光状態の、異なる組み合わせを有する複数のモードについてさらに得られ、合成画像はモードの各々についてさらに得られる。さらなる態様では、第１の画像は複数の欠陥等級について得られ、合成画像は欠陥等級の各々についてさらに得られる。別の態様では、第１の開口の複数の最適な組み合わせは、一緒に欠陥等級の区別をもたらすモードのうちの２つ以上の最適なものについて決定される。例えば、欠陥等級の分離は、ＤＯＩの欠陥と擬似欠陥との区別を含む。
【００１２】
別の方法実施形態では、検査治具の開口は、照明瞳区域またはフーリエ面区域にわたって広がる複数の開口位置の各々にて、１つずつ開けられる。各開口が各開口位置で開けられる一方で、かかる開口が入射ビームの一部を選択的に透過させる／反射するか、または出力ビームの一部を集光するため、検査治具の入射ビームは試料上の１つ以上の欠陥区域に向かって方向付けられ、入射ビームに応答して各１つ以上の欠陥区域から発生する出力ビームが検出される。出力ビームまたは出力ビーム部分に基づき、各開口位置及び開口位置の組み合わせについての欠陥検出特性が決定される。最適な開口構成は、各開口位置についての決定された欠陥検出特性に基づいて決定される。
【００１３】
ある具体的な実施形態では、複数の開口位置の各々で開口を開けることは、試料上の入射ビームの異なる入射角度を引き起こす。さらなる態様では、複数の開口位置で複数の開口を開けることは、出力ビームの異なる部分を集光させる。さらなる態様では、各開口位置及び開口位置の組み合わせについての欠陥検出特性を決定することは、（ｉ）検出された出力ビームまたは出力ビーム部分に基づいて、各開口位置についての欠陥区域の画像を生成することと、（ｉｉ）複数の合成画像を得るために開口位置の各組み合わせについての画像を集計することと、（ｉｉｉ）各開口位置について、かかる開口の画像に基づき信号対雑音値を決定することと、（ｉｖ）各開口組み合わせについて、かかる開口組み合わせの合成画像に基づき関心欠陥（ＤＯＩ）信号対雑音信号比またはＤＯＩ信号と雑音信号との差を決定することと、（ｖ）最大関心欠陥（ＤＯＩ）信号対雑音信号比またはＤＯＩ信号と雑音信号との最大差を有する開口組み合わせを、最適な開口構成として定義することと、を含む。
【００１４】
別の態様では、最適な開口構成は検査治具上でまだ利用可能でない。さらに別の実施形態では、最適な開口構成は検査治具上で利用可能であり、方法は、試料を欠陥について検査するために最適な開口構成を使用することをさらに含む。
【００１５】
代替の方法実施形態では、検査治具の開口を開けることは、照明瞳区域またはフーリエ面区域にわたって広がる複数の開口位置の各々にて、１つずつシミュレーションされる。検査治具の各開口位置についての１つ以上の欠陥区域の画像または信号は、シミュレーションされる。シミュレーションされた画像及び信号に基づき、各開口位置及び開口位置の組み合わせについての欠陥検出特性が決定される。最適な開口構成は、各開口位置についての決定された欠陥検出特性に基づいて決定される。
【００１６】
一態様では、複数の開口位置の各々で開口を開けることは、１つ以上の欠陥区域に方向付けられるシミュレーションされた入射ビームの異なる入射角度と関連付けられる。別の態様では、複数の開口位置で複数の開口を開けることは、１つ以上の欠陥区域から発生するシミュレーションされた出力ビームの異なる部分と関連付けられる。ある具体的な実装では、各開口位置及び開口部分の組み合わせについての欠陥検出特性を決定することは、（ｉ）複数の合成画像を得るために、開口位置の各組み合わせについての画像を集計することと、（ｉｉ）各開口位置について、かかる開口の画像に基づき信号対雑音値を決定することと、（ｉｉｉ）各開口組み合わせについて、かかる開口組み合わせの合成画像に基づき、関心欠陥（ＤＯＩ）信号対雑音信号比またはＤＯＩ信号と雑音信号との差を決定することと、（ｉｖ）最大関心欠陥（ＤＯＩ）信号対雑音信号比またはＤＯＩ信号と雑音信号との最大差を有する開口組み合わせを、最適な開口構成として定義することと、を含む。一実施形態では、最適な開口構成は検査治具上でまだ利用可能でない。別の実施例では、最適な開口構成は検査治具上で利用可能であり、方法は、試料を欠陥について検査するために最適な開口構成を使用することをさらに含む。
【００１７】
特定の実施形態では、本発明は、フォトリソグラフィレチクルまたはウエーハを欠陥について検査するための検査システムに関連する。システムは、入射ビームを生成するための光源と、入射ビームを受光するための構成可能な照明瞳開口と、入射ビームを照明開口を通して試料上に方向付けるための照明光学系モジュールと、を含む。システムは、入射ビームに応答して試料から放出される出力ビームを方向付けるための集光光学系モジュールと、出力ビームを検出して出力ビームについての画像または信号を生成するためのセンサと、上記される動作のうちの少なくともいくつかを実施するように構成されたコントローラと、もまた含む。他の実施形態では、本発明は、上記される動作のうちの少なくともいくつかを実施するための、格納される命令を有する、コンピュータ読み取り可能媒体に関連する。
【００１８】
本発明のこれら及び他の態様は、図面を参照して下記にさらに記載される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】検査装置の例の図表示である。
【図２】異なる入射角度をもたらす入射ビームの瞳に関する異なる開口構成を図示する。
【図３】本発明の一実施形態に従う、基本開口の組を使用して検査治具を用いて得られる欠陥画像に基づき最適な開口を自動的に発見するためのプロセスを図示する。
【図４Ａ】本発明のある具体的な実装に従う、特定の瞳開口位置についての欠陥検出特性を図示する。
【図４Ｂ】本発明の一実施形態に従う、個々の開口について得られた画像を組み合わせることによる、基本開口の最適な組の選択を図示する。
【図５】本発明の一実施形態に従う、照明セレクタの斜視図である。
【図６Ａ】本発明の実装のある具体的な実施例に従う、異なる開口構成を達成するために個々の開口を組み合わせることを図示する。
【図６Ｂ】ある具体的な実施例に従う、検査治具の個々の開口の基礎組を使用して得られた画像に基づき、複数の開口位置についての合成画像を生成するためのプロセスを図示する。
【図７】開口構成の第１の実施例を達成するために３つの開口構成を組み合わせることを図示する。
【図８】開口構成の第２の実施例を達成するために３つの開口構成を組み合わせることを図示する。
【図９】開口構成の第３の実施例を達成するために３つの開口構成を組み合わせることを図示する。
【図１０】本発明の一実施形態に従う、検査治具上の開口セレクタを用いて得られた画像を使用して、最適な開口構成を発見するための手順を図示する、流れ図である。
【図１１Ａ】本発明の一実施形態に従う、最良のモードを決定するためのプロセスを図示する。
【図１１Ｂ】本発明の一実施形態に従う、最良のモードを決定するためのプロセスを図示する。
【図１１Ｃ】本発明の一実施形態に従う、最良のモードを決定するためのプロセスを図示する。
【図１２Ａ】本発明のある具体的な実装に従う、開口構成をシミュレーションしてシミュレーションされた開口縁を発展させるためのプロセスを図示する。
【図１２Ｂ】本発明のある具体的な実装に従う、開口構成をシミュレーションしてシミュレーションされた開口縁を発展させるためのプロセスを図示する。
【図１３】本発明の１つ以上の実施形態に従う、２つ以上のモードを組み合わせるためのプロセスを図示する流れ図である。
【図１４】重複するＤＯＩ集合及び擬似集合を図示する。
【図１５】本発明の一実施形態に従う、結果が最適な欠陥検出のために融合され得る、２つ以上のモードを決定するための詳細な手順を図示する流れ図である。
【図１６】本発明のある具体的な実装に従う、最適な２次モードを決定するための、手順１６００を図示する流れ図である。
【図１７】本発明の一実施形態に従う、１次モードと融合するための最適な２次モードを決定するための図１６の技術の図表示である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下の説明では、本発明の完全な理解を提供するために多数の具体的な詳細が述べられる。本発明は、これらの具体的な詳細のいくつかまたは全てを伴わずに実施されてよい。他の場合では、必ずしも本発明を曖昧にするためではなく、公知の構成要素またはプロセス動作は詳細に説明されていない。本発明は、具体的な実施形態と合わせて説明され得るが、本発明を実施形態に限定することは意図されないことが理解されるであろう。
【００２１】
本明細書に記載されるのは、欠陥検出を強化及び最適化するために、検査治具上の瞳面またはフーリエ面における光学照明及び／または集光ビームを選択または遮断するための、照明及び／または集光開口の最適な構成を、迅速にかつ包括的に決定するための、検査装置及び方法の実施形態である。例えば、最も高い欠陥感度をもたらす開口の形状が、欠陥検査のために使用される。さらに、本発明の特定の実施形態は、欠陥検出を最適化及び強化するための、スペクトル帯、フォーカスオフセット、入力及び出力偏光、ならびに最良の開口構成の、最良のモードまたは組み合わせを発見するための装置技術を提供する。例えば、最適なモードは、関心欠陥（ＤＯＩ）信号対雑音比を最大にするために発見される。さらに、最適なモードは、検出される擬似事象を同時に最小にしながら、検出される関心欠陥（ＤＯＩ）を最大にするために発見され得る。
【００２２】
照明瞳開口構成及び検査モードを最適化するための具体的な実施形態を説明する前に、まず一般的な検査システムが説明される。検査治具は、入射光ビームを生成するための少なくとも１つの光源と、入射ビームを受光するための構成可能な照明瞳開口と、入射ビームを、照明開口を通して試料上に方向付けるための照明光学系と、構成可能な集光開口と、入射ビームに応答して試料から放出される出力ビームを方向付けるための集光光学系と、出力ビームを検出して出力ビームについての画像または信号を生成するためのセンサと、検査治具の構成要素を制御して、本明細書にさらに記載される１つ以上の最適な照明瞳開口構成またはモードの選択を容易にするためのコントローラと、を含み得る。
【００２３】
以下の例示的な検査システムにおいて、入射ビームは光の任意の好適な形態であり得る。異なる波長は、異なる特性を有する欠陥を検出するために最適化するように選択され得、いくつかの波長の組み合わせは、さらに光コヒーレンスを減少させて、ウエーハ膜厚さ変形の効果を平均するために、有利であり得る。
【００２４】
さらに、任意の好適なレンズ配置が、入射ビームを試料に向かって方向付け、試料から発生する出力ビームを検出器に向かって方向付けるために使用され得る。システムの照明及び集光光学素子は、反射性または透過性であり得る。出力ビームは、試料から反射もしくは散乱され得るか、または試料を通って透過し得る。同様に、任意の好適な検出器の種類または任意の数の検出素子が、出力ビームを受光して、受光された出力ビームの特性（例えば強度）に基づき画像または信号を提供するために、使用され得る。
【００２５】
本発明の検査装置は、半導体デバイスまたはウエーハ、ならびにレチクルまたはマスクを検査するのに特に好適である。本発明の検査装置を使用して検査または撮像され得る試料の他の種類には、フラットパネルディスプレイ等の任意の表面が挙げられる。
【００２６】
図１は、本発明の一実施形態に従う、検査システム１００の図表示である。示されるように、システムは、広帯域光源等の明視野入射ビームを生成するための光源１０２を含み得る。明視野光源の例には、レーザ駆動光源、高出力プラズマ光源、透過照明光源（例えばハロゲンランプ）、フィルタ付ランプ、ＬＥＤ光源等が挙げられる。検査システムは、任意の好適な数及び種類の光源を含み得る。
【００２７】
光源からの入射ビームは、その後ビームを試料１１６に向かって中継する（例えば、成形する、フォーカスするまたはフォーカスオフセットを調節する、波長を選別／選択する、偏光状態を選別／選択する、大きさを変更する、拡大する、歪曲を低減する等）役割を果たす多数のレンズを通過する。図示される実施形態では、入射ビームは、入射ビームを平行にするレンズ１０４を通過し、入射ビームを収束させるレンズ１０６を通過する。入射ビームはその後、次に対物レンズ１１４を通る入射ビームを反射するビーム分割器１１２によって受光され、１つ以上の入射角度で試料１１６上に入射ビームをフォーカスする。
【００２８】
試料１１６は、検査システム１００のステージ（標識されず）上にも配置され得、検査システム１００は、ステージ（及び試料）を入射ビームに対して動かすための位置付け機構もまた含み得る。例えば、１つ以上のモータ機構は、各々が、ネジドライブ及びステッパモータ、フィードバック位置を有するリニアドライブ、またはバンドアクチュエータ及びステッパモータから形成され得る。１つ以上の位置付け機構は、照明または集光開口セレクタ、波長フィルタ、入力または出力偏光フィルタ等の、検査システムの他の構成要素を動かすようにも構成され得る。
【００２９】
検査システム１００は、照明ビームの瞳面に位置付けられた照明セレクタ１０５もまた含み得る。一実施形態では、照明セレクタ１０５は、瞳面で複数の異なる照明ビームプロファイルを生成するように調節可能である、構成可能な瞳開口の形態であり得る。ある具体的な実装では、照明セレクタ１０５は２５を超える異なるビームプロファイルを生成し得る。さらに別の実装では、照明セレクタ１０５は、１００を超える異なるビームプロファイルを生成し得る。検査システム１００は、照明セレクタの異なる開口構成を入射ビームの経路内に選択的に動かすための１つ以上の位置付け機構も含み得る。
【００３０】
概して、異なる照明ビームプロファイルまたは開口構成は、本明細書でさらに記載されるように、試料上の異なる入射ビーム角度をもたらす。図２は、試料２１０上に衝突する入射ビームについて試料面に関する異なる入射角度をもたらす、入射ビームの瞳１０５に関する異なる開口構成を図示する。入射ビームの瞳区域の中心により近い開口は、入射ビームの瞳区域の周囲により近く位置付けられる開口と比較して、試料上のより大きい入射角度をもたらす。例えば、中心開口２０８は、正常入射角度を有する入射ビーム２１４をもたらし、一方で、外側開口（２０４）は、より大きい（または斜めの）入射角度を有する２１２等の入射ビームをもたらす。
【００３１】
入射ビーム（複数可）が試料１１６に衝突した後、光は反射され（及び／または透過し）得、試料１１６から散乱され得、これは本明細書で「出力光」または「出力ビーム」と称される。検査システムは、出力光を１つ以上の検出器に向かって方向付けるための任意の好適なレンズ配置も含む。図示される実施形態では、出力光は、ビーム分割器１１２、フーリエ面リレーレンズ１２０、撮像開口１２２、及びズームレンズ１２４を通過する。フーリエ面リレーレンズ１２０は、概して試料のフーリエ面を撮像開口１２２に中継する。撮像開口１２２は、出力ビームの部分を遮断するように構成され得る。例えば、開口１２２は、明視野検査モードにおいて、客観的な開口数内の出力光の全てを通すように構成され、暗視野検査モードの間、試料からの散乱光のみを通すように構成される。フィルタもまた、検出された信号から周期構造を選別するために、より高次の出力ビームを遮断するために、撮像開口１２２に配置され得る。
【００３２】
撮像開口１２２を通過した後、出力ビームは、試料１１６の画像を拡大する役割を果たす、ズームレンズ１２４を通過し得る。出力ビームはその後検出器１２６に衝突する。例えば、検出器は、ＣＣＤ（電荷結合素子）もしくはＴＤＩ（時間遅延積分）検出器、光電子倍増管（ＰＭＴ）、または他のセンサの形態であり得る。
【００３３】
照明側は、スペクトル帯ならびに入力偏光状態を選択するための任意の好適な機構も含み得る。例えば、システム１００は、異なる波長範囲を選択するための複数の色または波長フィルタ１３０、及び異なる入力偏光状態を選択するための入力偏光子１３２を含み得る。同様に、集光側は異なる偏光状態を選択するための出力偏光子１３４を含み得る。
【００３４】
センサ１２６によってキャプチャされた信号は、センサからのアナログ信号を処理のためのデジタル信号に変換するように構成されたアナログデジタル変換器を有する、信号処理デバイスを含み得る、コントローラまたはコンピュータシステム１１０によって処理され得る。コントローラ１１０は、感知された光ビームの強度、位相、及び／または他の特性を分析するように構成され得る。コントローラ１１０は、結果の試験画像及び本明細書にさらに記載される他の検査特性を表示するためのユーザインターフェースを（例えばコンピュータスクリーン上に）提供するように（例えばプログラミング命令で）構成され得る。コントローラ１１０は、開口構成を変更する、検出結果データまたは画像を見る、検査治具処方を設定する等の、ユーザ入力を提供するための、１つ以上の入力デバイス（例えば、キーボード、マウス、ジョイスティック）も含み得る。特定の実施形態では、コントローラ１１０は、開口またはモード最適化技術、及び検査プロセスを実行するように構成される。本発明の技術は、ハードウェア及び／またはソフトウェアの任意の好適な組み合わせで実装され得る。コントローラ１１０は、典型的に、入力／出力ポートに結合された１つ以上のプロセッサ、及び適切なバスまたは他の通信機構を介する１つ以上のメモリを有する。
【００３５】
コントローラ１１０は、ソフトウェア及びハードウェアの任意の好適な組み合わせであり得、概して、検査システム１００の様々な構成要素を制御するように構成される。例えば、コントローラは、照明源１０２の選択的活性化、照明セレクタ／開口１０５設定、撮像開口１２２設定、波長帯、フォーカスオフセット設定、極性設定等を制御し得る。コントローラ１１０は、検出器１２６によって生成された画像または信号を受信し、結果として生じる画像または信号を分析して、最適な開口構成もしくは欠陥が試料上に存在するかどうかを決定する、試料上に存在する欠陥を特徴付ける、または別途試料を特徴付けるようにも構成され得る。例えば、コントローラは、プロセッサ、メモリ、及び本発明の方法実施形態の命令を実装するようにプログラムされた他のコンピュータ周辺機器を含み得る。
【００３６】
かかる情報及びプログラム命令は、特別に構成されたコンピュータシステム上で実装され得るため、かかるシステムは、コンピュータ読み取り可能媒体上に格納され得る、本明細書に記載される様々な動作を実施するための、プログラム命令／コンピュータコードを含む。機械読み取り可能媒体の例には、ハードディスク、フロッピー（登録商標）ディスク、及び磁気テープ等の磁気媒体；ＣＤ−ＲＯＭディスク等の光媒体；光ディスク等の光磁気媒体；ならびに読み取り専用メモリデバイス（ＲＯＭ）及びランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）等の、プログラム命令を格納及び実施するように特別に構成されたハードウェアデバイスが挙げられるが、これらに限定されない。プログラム命令の例には、例えばコンパイラによって生成された機械コード及びインタープリタを使用してコンピュータによって実行され得るより高いレベルのコードを含むファイルの両方を含む。
【００３７】
上記の説明及び図面はシステムの具体的な構成要素に関する限定として解釈されるべきではなく、システムは多くの他の形態で実装され得ることに留意すべきである。例えば、検査または測定治具は、欠陥を検出する及び／またはレチクルまたはウエーハの特長の重要な態様を解像するために整えられた、任意の数の既知の撮像または計量治具からの任意の好適な特長を有し得ることが企図される。例えば、検査または測定治具は、明視野撮像顕微鏡法、暗視野撮像顕微鏡法、全天撮像顕微鏡法、位相コントラスト顕微鏡法、偏光コントラスト顕微鏡法、及びコヒーレンスプローブ顕微鏡法に適応し得る。目標の画像をキャプチャするために、単一及び複数の画像方法が使用され得ることもまた企図される。これらの方法は、例えば、単一グラブ、二重グラブ、単一グラブコヒーレンスプローブ顕微鏡法（ＣＰＭ）、及び二重グラブＣＰＭ法を含む。散乱計測等の非撮像光学方法もまた、検査または計量装置の一部を形成するとして企図され得る。
【００３８】
概して、本発明の特定の実施形態は、検査治具の異なる照明及び／または集光開口構成（及び対応する異なる入射角度）またはモードを迅速にかつ包括的にレビューするための技術を提供する。以下の実施形態の例は、瞳区域における照明開口構成に関連する。しかしながら、以下の技術はフーリエ面区域における集光開口構成に容易に適用され得る。
【００３９】
概念的に、照明瞳区域は複数の位置に分割され得、照明開口は各瞳位置について１つずつ開けられ得る。瞳位置は、瞳にわたる欠陥検出性能の差異が決定され得るように、選択され得る。瞳位置及び対応する開口は、試料に衝突する入射ビームのための完全な角度網羅を提供するように、瞳全体にわたって広がり得る。瞳位置及び対応する開口は、瞳区域に関して比較的高い密度を有し得る。ある具体的な実装では、瞳は４０格子点に分割される。別の実装では、瞳位置の数は１００格子点よりも多い。さらに別の実装では、瞳位置の数は２００格子点よりも多い。換言すると、１格子当たりの照明開口の解像は、より高い格子サンプリングを伴い、より高くなり得る。
【００４０】
異なる開口設定は、互いから独立であり得る。例えば、照明ビームはインコヒーレントである。一実施形態では、開口構成は、入射の異なる角度をもたらすように、固有で重複しない異なる瞳位置に位置付けられる。別の実施形態では、選択された開口構成のうちのいくつかは、互いに依存し得、重複する瞳位置を有し得る。
【００４１】
一実施形態では、各独立した瞳位置について得られた画像データは、最適な開口設定を決定するために使用され得る。画像データは、１つずつ異なる独立した開口を使用して、既知の欠陥区域を撮像することによって、または、特定の検査治具上で個々に開けられた各開口を用いて、特定の欠陥種類についての欠陥画像をシミュレーションすることによって、得られ得る。シミュレーション実施形態では、試料上の欠陥、及び１つずつ開けられる個々の開口を含む検査治具光学系は、例えば光学治具モデルによってシミュレーションされる。モデルは、媒体及び埋め込まれた欠陥の角度及び偏光散乱特性を表すための、Ｊｏｎｅｓ散乱マトリクスを含み得る。
【００４２】
各欠陥画像は、「基本」開口の任意の好適な形状及び数によって得られ得る。図３は、本発明の一実施形態に従う、基本開口の組を使用して、検査治具を用いて得られた欠陥画像に基づき、最適な開口を自動的に発見するためのプロセスを図示する。本実施例では、基本開口は、瞳区域にわたって広がる、正方形または長方形形状の形態である。示されるように、瞳開口素子３０２は、開口位置が瞳にわたって例えば方向３０６に動くことに伴う、照明瞳に関する現在の開口位置３０４を示す。例えば、既知の欠陥区域は、瞳の実質的な部分にわたる複数の連続的な開口位置について、検査治具を用いて撮像され得る。例えば異なる欠陥群を有する、複数の既知の欠陥区域もまた、各開口位置で撮像され得る。
【００４３】
各瞳開口が個々に開けられるため、ＧＵＩはユーザにも表示され得、検査治具から得られた特定の検出結果への各瞳位置をマッピングする、検出グラフィカル素子３１０を提供し得る。例えば、検出グラフィカル素子３１０は、対応する瞳開口位置が互いと配置されるのと同じ様式で、互いに関して配置される画像を含む。検出グラフィカル素子３１０は、検出結果が望ましくない、特定の瞳区域に対応する、未観察区域３１６もまた含み得る。例えば、未観察区域３１６は、可能性としてはシステムにおける追加のハードウェア妨害のために、開口が適用されなかった、瞳の中心部分に対応する。
【００４４】
開口が各瞳位置で開けられ得ると、対応するサムネイルのより小さい下位組が提供され得る。示されるように、ＧＵＩ３００は、ごく最近に得られたサムネイル画像（３０８ａ及び３０８ｂ）に加え、現在の瞳位置に対応するサムネイル画像（３０８ｃ）を提供するようにも構成され得る。この配置は、ユーザが各欠陥画像をレビューすることを可能にするように構成され得る。さらに、本発明の特定の実施形態は、各画像ならびに本明細書にさらに記載されるように組み合わされた画像の各組をレビューするための自動化プロセスにも関連する。
【００４５】
図４Ａは、本発明のある具体的な実装に従う、特定の瞳開口位置についての欠陥検出特性を図示する。示されるように、欠陥４１６を含む欠陥区域の画像４１４は、検査システムまたは検査システムモデルを使用して、照明瞳４１０の特定の開口位置４１２について得られ得る。例えば、グラフ４２０は、特定の開口位置についての撮像されたまたはシミュレーションされた欠陥区域内の試料位置の関数として、画像の強度値の例を示す。
【００４６】
画像が開口位置の各々について得られると、これらの検出されたまたはシミュレーションされた検出画像または信号は、最適な欠陥検出結果を提供する開口構成を決定するために、個々に及び組み合わせて分析され得る。例えば、欠陥（または複数の欠陥）についての最も高いコントラストをもたらす１つ以上の個々の開口の組が選択され得る。最適な開口構成の例３１２が図３に示される。概して、欠陥検出特性の質は、強度ピーク値と背景強度値との間のコントラストに基づき得る（グラフ４２０を参照）。
【００４７】
図４Ｂは、本発明の一実施形態に従う、個々の開口について得られた画像を組み合わせることによる、基本開口の最適な組の選択を図示する。示されるように、複数の画像４５６は、開口セレクタを有する検査治具を用いて、またはシミュレーションモデルを用いて、各開口位置について得られ得る。これらの個々の画像４５６の様々な組み合わせは、異なる開口組み合わせについての合成画像を形成するために、自動的に合わせて集計され得る。示されるように、合成画像４５４ａ、４５４ｂ、４５４ｃ、及び４５４ｄは、それぞれ開口組み合わせ４５２ａ、４５２ｂ、４５２ｃ、及び４５２ｄについて生成される。当然のことながら、合成画像は他の開口組み合わせについて得られ得る。
【００４８】
合成画像は、可能である全ての開口組み合わせについて、または開口組み合わせの所定の組について得られ得る。例えば、所定の開口組み合わせは、最適な欠陥検出結果を提供すると推定される開口構成を含み得、一方で、最適な欠陥検出結果を提供しないと思われる開口構成を排除し得る。示されるように、開口組み合わせ４５２ａは、利用可能な開口の全て（またはほとんど）が開けられる、明視野構成である。開口組み合わせ４５２ｂ〜４５２ｄは開口の一部を遮断するが、開口の下位組を開けたままにしておく。
【００４９】
各合成画像についての欠陥検出特性は、本明細書にさらに記載されるような最適な開口組み合わせを決定するために、分析され得る。欠陥検出特性の１つの例は、信号対雑音（Ｓ／Ｎ）比である。他の例には、信号と雑音信号との差等が挙げられる。図示される実施例では、組み合わされた開口４５２ｃについての合成画像４５４ｃは１．７７のＳ／Ｎ比を有し、一方で、開口組み合わせ４５２ｄについての合成画像４５４ｄは１．９２のＳ／Ｎ比を有する。開口組み合わせ４５４ｄが、開口組み合わせの全てまたは開口組み合わせの所定の組の全ての中で最も高いＳ／Ｎ比を有する場合、かかる開口組み合わせ４５４ｄは最適な開口構成として定義され得る。本明細書にさらに記載されるような最適な開口組み合わせを定義するために、他の測定基準が使用され得る。
【００５０】
各開口組み合わせについて、合成画像は、各個々の開口位置について、実験データとして得られた（またはシミュレーションされた）実際の画像から生成され得る。合成画像における欠陥位置は、例えば異なる開口構成からの異なる照明角度に基づき、光学的に移動し得る。結果的に、関心領域（ＲＯＩ）における各点が、雑音信号強度値（例えば、ＲＯＩの外部の信号の平均）と比較した、信号強度（ｓｔｒｅｎｇｔｈ）／強度（ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）について分析され得る。例えば、ＲＯＩは、各開口組み合わせについて、分析するための４００点を有し得る。最良のＳ／Ｎ比またはＳ−Ｎ差をもたらす点及び開口組み合わせは、欠陥及び最良の開口構成として定義され得る。
【００５１】
さらなる開口（及びモード）選択技術を説明する前に、まず開口セレクタの実施形態が説明され得る。複数の瞳（もしくはフーリエ面）位置の各々に開口を選択的に適用する、または最適な開口構成を構成するための、照明（または集光）開口セレクタは、任意の好適な形態を取り得る。図５は、本発明の一実施形態に従う、照明セレクタの斜視図である。本実施例では、照明セレクタは３つの開口ディスク５０２、５０４、及び５０６を備える。各開口ディスクは、複数の異なる開口構成（例えば、ディスク５０２についての開口構成５０８ａ及び５０８ｂ、ディスク５０４についての開口構成５１０ａ、ならびに、ディスク５０６についての開口構成５１２ａ、５１２ｂ、及び５１２ｃ）を含む。入射ビーム（または光線束）５１４を受光するための特定の開口構成は、各ディスクについて選択され得、３つのディスクからの３つの選択された開口構成は、その後、様々な数の開口設定及び結果として生じる照明瞳プロファイルをもたらすために、重ねられ得る。本明細書に記載される技術のいずれかを使用して最適な開口構成が発見された後、３つの開口ディスクは、照明（または集光）ビームについての最適な開口構成（利用可能であれば）を達成するために、互いに関して動かされ得る。
【００５２】
各ディスクの各開口構成は、少なくとも１つの透明部分を含み得、１つ以上の不透明領域も含み得る。例えば、透明部分はガラス、石英、溶融石英等の任意の好適な透明材料から形成され得、または、各透明領域は光が開口構成の各透明部分を通過するように、材料を欠いているだけであり得る。対照的に、各不透明部分は、瞳面で入射ビームの対応する空間部分を遮断し、各不透明部分は、概して、クロム、ケイ化モリブデン（ＭｏＳｉ）、ケイ化タンタル、ケイ化タングステン、ガラス上の不透明ＭｏＳｉ（ＯＭＯＧ）等の不透明材料から形成される。ポリシリコン膜もまた、接着を改良するために、不透明層と透明基材との間に添加され得る。酸化モリブデン（ＭｏＯ２）、酸化タングステン（ＷＯ２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、または酸化クロム（ＣｒＯ２）等の低反射膜が、不透明材料を覆って形成され得る。各開口の透明部分の形状は、長方形、円形、楕円形、ｌｈｃスクリーン（ｌｈｃｓｃｒｅｅｎ）（円及び長方形の重ね合わせ）、マーガレット（１つが９０°だけ回転された２つのｌｈｃスクリーン（ｌｈｃｓｃｒｅｅｎ））、長方楕円形（楕円形及び長方形の重ね合わせ）、レーストラック等の任意の好適な形状であり得る。概して、開口構成は、双極子、四極子、クエーサー、環帯等の、特定の入射ビームプロファイルを生成する。ある具体的な実施例では、ソースマスク最適化（ＳＭＯ）または任意のピクセル化照明技術が実装され得る。図示される実施形態では、各開口構成は、照明瞳区域全体を覆いかつ光軸上を中心とする。しかしながら、開口構成は、瞳区域の一部内に、または入射ビームの光路に沿う何らかの他の点（瞳面でない）に配置され得る。ＭＥＭＳ鏡アレイは、多ディスク開口を遮断することの代替案として、反射性のプログラム可能な開口を形成するために使用され得る。代替の実施形態では、反射性鏡基材を覆ってパターニングされた不透明マスクから形成される、反射性鏡型の開口構成は、反射された照明（または集光）ビームシステムまたは組み合わせ透過及び反射型システムにおいて使用され得る。
【００５３】
図６Ａは、本発明の実装のある具体的な実施例に従う、異なる開口構成を達成するために個々の開口を組み合わせることを図示する。示されるように、第１のディスク６０２の特定の開口構成６０２ａは、第２のディスク６０４の４つの開口構成６０４ａ、６０４ｂ、６０４ｃ、及び６０４ｄのうちの１つと組み合わされ得る。４つの異なる組み合わせは、開口構成６０６ａ〜６０６ｄをもたらし得る。例えば、ディスク６０２からの開口構成６０２ａをディスク６０４の開口構成６０４ａと組み合わせることは、開口構成６０６ｂをもたらす。同様に、ディスク６０２からの開口構成６０２ａをディスク６０４の開口構成６０４ｂと組み合わせること。照明セレクタは、開口の最適な組を達成するために、他のディスクからの他の開口構成と組み合わされ得る、各ディスク（例えば６０４ｅ及び６０４ｆ）上の他の開口構成を含み得る。
【００５４】
利用可能な異なる開口構成の下位組は、検査治具上でも利用可能な１つ以上の最適な構成を発見すること、ならびに治具上で利用可能でない１つ以上の最適な開口構成を発見及び設計すること等の、任意の好適な様式で利用され得る。ある具体的な実施形態では、個々の開口位置の下位組についての結果は、最適な開口構成が発見される組み合わされた開口位置についての結果を推定するために使用され得る、基礎組としての役割を果たす。
【００５５】
図６Ｂは、ある具体的な実施例に従う、検査治具の個々の開口の基礎組を使用して得られた画像に基づき、複数の開口位置についての合成画像を生成するためのプロセスを図示する。例えば、４つの異なる画像が、４つの異なる瞳位置に配置される開口について検出され得る。示されるように、開口構成６５２ａは画像６５４ａをもたらし、開口構成６５２ｂは画像６５４ｂをもたらし、開口構成６５２ｃは画像６５４ｃをもたらし、開口構成６５２ｄは画像６５４ｄをもたらす。各開口構成は単一位置に単一開口を有し、各開口を通過する光はインコヒーレントであるため、個々の開口は互いから独立している。
【００５６】
結果として生じる画像は、４つの位置全てで開けられている開口についての画像を生成するために組み合わされ得る。具体的には、開口構成６５２ａ〜６５２ｄから生じた画像６５４ａ〜６５４ｄは、４つの開口位置全て（例えば、６５２ａ〜６５２ｄの組み合わせ）で開口を有する開口構成についての合成画像６５８を得るために、合計される。つまり、画像６５８は、開口構成６５６を用いて生じ得る、再構築された画像または結果の推定である。開口構成６５６が最適な開口構成であると決定され、かかる開口構成が、例えば照明セレクタの異なる開口構成（例えば異なるディスクからの）を選択すること及び重ねることによって、検査治具上で利用可能である場合、この開口構成は、最適な結果を生成すると証明され得る、実際の画像６６０を形成するために使用され得る。そうでなければ、新しい開口構成が製作され得、証明され得る。
【００５７】
検査治具からの集光結果に使用される開口設定も、概して、検査治具上で現在利用可能でない追加の開口設定についての結果を推定するための、基礎組として使用され得る。存在しない開口設定についての結果の推定は、追加のデータ収集または入力を伴わずに、単に検査治具上で利用可能な開口設定の基礎組からの結果に基づき、決定され得る。
【００５８】
以下の実施例は、本発明の特定の実施形態を用いて達成され得る様々な数の開口構成の、ほんの下位部分のみを図示する。図７は、開口構成の第１の実施例を達成するために３つの開口構成を組み合わせることを図示する。示されるように、第１のディスク（図５の５０４）からの第１の開口構成５１０ａ、第２のディスク（５０２）の第２の開口構成５０８、及び第３のディスク（５０６）の第３の開口構成５１２ａは、例えば瞳面で、照明または入射ビーム（５１４）が通過する、最終開口構成７３０を達成するために、重ねられて組み合わされ得る。
【００５９】
第１の開口構成５１０ａは遮断または不透明部分を含まず、結果的に、瞳区域全体に、照明ビームからの光線束を透過させる。つまり、瞳区域内の光線束の全てが第１の開口５１０ａを通過する。第２の開口構成５０８ａは、内部透明環７０４、中心不透明部分７０６、及び外部環不透明部分７０２を有する。第３の開口構成５１２ａは、透明Ｖ字部分７２２及び瞳区域の他のＶ字のための不透明部分７２０を有する。結果として生じる開口構成７３０は、不透明部分７３２によって囲まれる透明円弧セグメント７３４を有する。
【００６０】
図８は、開口構成の第２の実施例を達成するために３つの開口構成を組み合わせることを図示する。図７のように、第１の開口構成５１０ａは、瞳区域全体を覆って完全に透明である。図８の第２の開口構成５０８ｂは、不透明部分８０４及び８０６によって囲まれる、垂直透明ストリップ８０２を有する。第３の開口構成５１２ｂは、不透明部分８２４及び８２０によって囲まれる、水平透明ストリップ８２２を有する。結果として生じる開口構成８３０は、不透明部分８３２によって囲まれる、正方形透明部分８３４を有する。
【００６１】
図９は、開口構成の第３の実施例を達成するために３つの開口構成を組み合わせることを図示する。第１の開口構成５１０ａは完全に透明であり、第２の開口構成５０８ａは図７の開口構成５０８ａと同一である。第３の開口構成５１２ｃは、透明Ｖ字部分９２４及び９２６、ならびに不透明Ｖ字部分９２０及び９２２を有する。結果として生じる開口構成９３０は、不透明部分９３２によって囲まれる透明円弧セグメント９３４及び９３６を有する。
【００６２】
代替の実施形態では、照明瞳（または集光フーリエ）プロファイルは、最適なプロファイル構成を決定するために、繊維束を使用して動的に構成され得る。かかる装置のいくつかの実施形態は、Ｖａｅｚ−Ｉｒａｖａｎｉらによる、２００８年１月１５日に発行された米国特許第７，３１９，２２９号にさらに記載され、該特許は参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。一態様では、照明プロファイル装置は、１つ以上の入射ビーム（複数可）を受光する及びかかるビーム（複数可）を出力するための複数の光ファイバと、ビーム（複数可）を受光する及びビーム（複数可）を試料に向かって方向付けるためのレンズ配置と、ファイバのうちの選択されたものに１つ以上の入射ビームを透過させるための照明セレクタと、を含み得る。換言すると、異なる数のファイバは、試料に対する異なる入射角度にて異なる数の入射ビームを透過させるために選択され得る。他の実施形態では、照明瞳（または集光フーリエ）プロファイルは、プログラム可能な開口を使用して構成され得る。
【００６３】
特定の実施形態では、開口構成の基礎組は、瞳またはフーリエ面に関する各開口位置を試験して、その後最適な開口構成を決定するために、使用され得る。任意の好適な技術が、この目的を達成するために使用され得る。図１０は、本発明の一実施形態に従う、検査治具上の開口セレクタを用いて得られた画像を使用して、最適な開口構成を発見するための手順１０００を図示する、流れ図である。このプロセスの例は、照明側開口についての実験データを得るために、瞳面にて照明開口セレクタ（例えば図５）を使用するが、例えば集光側開口についての実験データを得るために他の面が使用され得る。
【００６４】
示されるように、照明瞳の複数の位置の各々で個々に開口を提供するように構成可能である開口セレクタが、動作１００１で提供される。ある具体的な実装では、瞳位置は実質的に瞳区域全体を覆う。
【００６５】
照明開口のうちの第１のものが、動作１００２で選択される。例えば、照明セレクタは、実質的に瞳区域を覆う格子点位置のアレイへと分割された瞳区域の、第１の格子点に、開口を配置するように構成される。開口構成は、照明セレクタのディスクの各々上で選択され得、異なるディスクからの選択された開口構成は、瞳区域内でかつ入射ビームの光軸に垂直に位置付けられるように動かされる。
【００６６】
入射ビームは、その後動作１００４で、生成され、選択された照明開口を通って試料に向かって方向付けられる。例えば、選択された開口位置は、１つ以上の第１の入射角度で、試料に向かって透過している光線束をもたらす。選択された開口位置は入射ビームをもたらし、単一の入射角度でまたは狭い範囲の入射角度で、試料に向かって方向付けられ得、例えば各々の選択された開口位置は、約５度未満の入射の角度に対応し得る。試料は、任意の数及び種類の関心欠陥（ＤＯＩ）、擬似欠陥、及び雑音を含み得る。
【００６７】
ある具体的な実施例では、異なる開口構成が照明セレクタの異なるディスクから選択され得、これらの選択された開口構成は、瞳区域内に異なる不透明及び透明部分を有する。特定の格子点の単一の開口に対応する光線束を除き、入射ビームのほとんどが瞳区域を通過するのを遮断されるように、選択された開口構成は、単一の開口を照明瞳面の特定の格子点に位置付けさせるために、互いと重ねられ得る。結果として生じる入射ビームは、瞳区域の特定の格子点に対応する入射角度を有し得る。例えば、開口が瞳区域の外側縁に配置される場合、入射ビームは比較的斜めの角度を有し得る（例えば図２を参照）。
【００６８】
画像または信号は、その後動作１００６で、入射ビーム及び選択された照明開口に応答して試料から放出される出力ビームに基づき、得られて格納され得る。既知の欠陥区域の画像または信号は、可能性としては中心領域を除き、実質的に瞳区域にわたって広がるまたは実質的に瞳区域を覆う、複数の開口位置の各々で開けられている独立した開口について、得られ得格納され得る。具体的な実施例としては、各画像または信号は、関心欠陥（ＤＯＩ）信号強度、雑音信号強度、及び擬似欠陥信号強度に関連し得る。各信号強度値は、本物の欠陥、擬似欠陥、または雑音に関連する以下の値：強度値、画像テクスチャ値、極性（例えば、欠陥または背景が負の値から正の値に変わるかどうか）等のうちの１つ以上の形式を取り得る。本明細書に記載される画像または信号特性のうちの任意のものは、実際のＤＯＩ欠陥、擬似欠陥、または欠陥と参照試料区域との間の差信号／画像に関連し得る。
【００６９】
各開口位置についての画像または信号は、欠陥部分及び擬似または背景部分を有する、既知の欠陥区域に関して得られ得る。任意の好適な技術が、ウエーハ等の試料上の１つ以上の欠陥区域（例えば関心領域）を定義するために使用され得る。例えばユーザは試料上の欠陥、擬似、及び／または雑音部位を定義し得る。背景区域は、欠陥であると決定されていない区域として定義され得る。
【００７０】
現在の画像または信号は、動作１００８で、選択された照明開口の瞳位置にマッピングされ得、このマッピングは格納され得る。画像または信号は、検査治具のオペレータのために、対応する開口位置と関連付けて表示もまたされ得る（図３を参照）。現在の開口が位置付けられる瞳位置は、特定のＤＯＩまたはＤＯＩの組（または擬似もしくは雑音）についての結果として生じる画像及び／または信号値と共にマッピングされ得る。マッピングは、開口位置を、ＤＯＩ（または擬似もしくは雑音）画像または信号等の、結果として生じる欠陥検出特性と関連付けるために、任意の好適な様式で格納及び／または表示され得る。あるいは、瞳区域の開口位置の全てとそれらの対応する画像または信号との間のマッピングは、画像及び信号が、全ての開口位置について検査治具によって検出及び集光された後に表示され得るか、または全く表示され得ない。
【００７１】
マッピングが現在の開口位置について得られた後、動作１０１０で、他に開口位置があるかどうかが決定され得る。例えば、画像（または信号）を得るための動作は、照明瞳区域の各格子点について反復され得る。各開口位置について、画像または信号は、異なる照明方向の間の画像ずれがわずか（ゼロに近い）になるように、試料ステージ位置が実質的に固定され、カメラ画像振動を最小にする、各試料目標から、収集される。例えば、画像／信号データは、照明開口セレクタを使用することにより各開口位置について、及び色（波長）フィルタを交換することにより各帯について収集される。カメラ振動は、カメラピクセルに同等またはその１／２未満の設定に維持され得る（例えば５０ｎｍピクセルの１／２は、２５ｎｍの振動制限に対応する）。ステージの動きまたは振動は、記録されたステージ座標を使用して画像の位置合わせによって補償され得る。
【００７２】
図示される実施形態で、画像及び欠陥検出特性データが各瞳位置について収集された後、動作１０１２で、最適な照明開口構成がマッピング結果に基づき選択され得る。最適な開口構成は、基礎開口位置の各々ならびにかかる基礎開口位置の全ての組み合わせについて収集された画像または信号の全てを分析することによって、発見され得る。例えば、最大ＤＯＩ信号対雑音比（ＳＮＲ）値または最大ＤＯＩ信号対擬似欠陥比値をもたらす（またはもたらすと推定される）開口構成は、最適な開口構成として選択され得る。試料の検査は、動作１０１２で、選択された最適な照明開口構成を使用して実施され得る。
【００７３】
自動化された実施形態では、検出された画像もしくは信号は、１つ以上の照明開口位置及び合成画像の各組み合わせについて合計され得、または、信号はその後最適な開口構成を決定するために使用され得る。最適な組み合わせ結果を有する組み合わせはその後最適な開口構成として定義され得る。例えば、各開口組み合わせについての画像データ（異なる入射角度からの）は、合成画像を形成するために合計される。各開口組み合わせについての信号強度もまた合計され得る。画像テクスチャ、極性等の、他の種類の画像測定基準もまた合計され得る。
【００７４】
集計された画像または信号の各組は、欠陥測定基準及び擬似／雑音測定基準を決定するために分析され得る。その後、開口のどの組み合わせが最大欠陥測定基準及び最小擬似または雑音測定基準をもたらすかが、決定され得る。
【００７５】
あるいは、各開口位置についてのシミュレーションされた画像または信号（実験ウエーハから得られた本物の画像または信号とは対照的に）が、最適な開口構成を決定するために、異なる合成画像へと組み合わされ得る。
【００７６】
特定の実施形態は、検査治具についての最適な開口設定を決定するための効率的な方法を提供する。本発明の特定の実施形態は、照明角度の関数としてＤＯＩ、擬似、及び背景特性をより良好に理解するための補助も提供し得る。さらに、検出特性データは、治具整合の問題の解決策を提供するために、異なる照明角度にわたる光学性能を評価するための、工学診断用治具として使用され得る。
【００７７】
さらなる実装では、上記の技術は、検査治具動作の最良のモードを発見するために、拡張もされ得る。最良のモードは、開口構成、フォーカスオフセット、波長帯またはスペクトル、入力偏光状態、出力偏光状態等の、任意の好適な動作しているパラメータに関連し得る。図１１Ａ〜１１Ｃは、本発明の一実施形態に従う、最良のモードを決定するためのプロセスを図示する。一実施形態では、開口構成は開口テンプレートの所定の組から選択される。図１１Ａは、個々の欠陥または欠陥の個々の群／等級についての最も高いＳ／Ｎ比（または信号）を与える、最良のモードを発見することを図示する。図１１Ｂに示されるように、最良の開口構成（例えば上位１０％）の組もまた、各モード（フォーカスオフセット、帯、偏光状態）について及び欠陥の等級にわたって、決定され得る。図１１Ｃは、異なる等級の欠陥にわたる１つ以上の最適な開口を選択することを図示する。この実施例では、欠陥群／等級の間の最良のＳ／Ｎ差を与えるモードが選択される。
【００７８】
別の技術では、図１２Ａ〜Ｂに示されるように、最良のモードは、開口構成をシミュレーションし、シミュレーションされた開口縁を発展させることによって、発見される。開口セグメント化アルゴリズムが、シミュレーションされた開口縁を発展させるために使用され得る。この最適化技術では、開口構成の形状及び縁発展は、偏微分方程式（ＰＤＥ）等の方程式で表される。開口方程式は、かかる発展開口構成で生成された画像または信号についての最適化量を最大（または最小）にするために、発展プロセスを経る開口の縁もまた説明する。概して、発展方程式は、開口構成の縁上の各点（例えば開口の形状の周囲長上の各点）を定義する。方程式は、開口縁が動くように、または縁上の１つ以上の点が漸増的に動くように、調節される。方程式は、開口縁上の１つ以上の点を、開口形状がより小さくなるように開口の内部に動かす、または開口形状がより大きくなるように開口縁を外側に動かすように調節され得る。
【００７９】
Ｓ／Ｎ比等の欠陥検出特性は、その後決定され得、各々の調節された開口形状についてシミュレーションされる画像または信号について、分析され得る。最良の欠陥検出形状をもたらす開口形状は、その後最適な開口構成として定義され得る。さらに、欠陥検出特性及び対応する開口組み合わせは、異なるモード及び１つ以上の欠陥等級について最適化され得る。
【００８０】
各開口形状または縁発展増分について、画像が特定の欠陥区域についてシミュレーションされ得る。シミュレーションされた画像内のシミュレーションされた欠陥位置は、例えば、異なる開口構成からの異なる照明角度に基づき、光学的に移動し得る。結果的に、関心領域（ＲＯＩ）における各点が、雑音信号強度値（例えば、ＲＯＩの外部の信号の平均）と比較した、信号強度（ｓｔｒｅｎｇｔｈ）／強度（ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）について分析され得る。雑音信号強度は、ＲＯＩの外部の信号の標準偏差として定義されるべきである。例えば、ＲＯＩは、各開口形状について、分析するための４００点を有し得る。最良のＳ／Ｎ比またはＳ−Ｎ差をもたらす点及び開口形状は、欠陥及び最良の開口構成として定義され得る。
【００８１】
開口発展アプローチは、必ずしも所定の開口の検査治具の組の一部でない最適な開口構成が発見されることを可能にする。しかしながら、方程式が、最適な開口構成を発見する前に、より多くの数の開口形状を通して繰り返し適用され得るため、このアプローチは、所定の開口を用いて作用する他のアプローチよりも遅くあり得る。
【００８２】
ＰＤＥ方程式は、瞳（またはフーリエ区域）の一部を部分的に覆う最初の円開口を表すために使用され得る。方程式はその後、この最初の円開口の周囲長上の１つ以上の点がその後最良の開口構成を発見するために発展されるように、調節される。例えば、瞳区域全体についてのグローバルな最適化がこの発展アプローチと共に位置付けられているため、どの最初の開口が選択されるかは問題でない。
【００８３】
別の組み合わされた技術では、所定の開口リストからの最適な開口は、最良の所定の開口構成を発見するために、個々の開口位置についてのシミュレーションされたまたは測定された画像を集計することによって、まず分析され得る。最良の所定の開口はその後発展され得、結果として生じるシミュレーションされた画像または信号は、最良の所定の開口とは異なり得る、最終の最適な開口構成を発見するために分析され得る。
【００８４】
特定の実施形態は、多くの数のモードに繰り返し適用されることなく、半導体ウエーハ検査についての最適な１次モードを決定するための効率的な技術を提供する。例えば、１次モードは、１次モードが選択されるモードの全てから画像または信号を得ることなく、発見され得る。代わりに、画像または信号が、モードの下位組について生成され得、そのモードの下位組ならびに信号または画像が生成されなかった他のモードを評価するために、使用され得る。
【００８５】
１次モードは、概して、欠陥信号対雑音信号の高い比または何らかの他の最適な検査特性を提供するように選択される。しかしながら、欠陥信号のうちのいくつかは関心欠陥（ＤＯＩ）信号に対応し得、一方で他の欠陥信号は擬似信号に関連し得る。つまり、選択された１次モードを使用して生成されるＤＯＩ信号の一部は、同様に同じ選択された１次モードを使用して生成された擬似信号の一部と、強度において類似し得る。要するに、選択された１次モードは、ＤＯＩのいくつかを擬似欠陥のいくつかから区別することを可能にしないことがある。
【００８６】
代替の技術では、かかる複数のモードからの結果が、雑音信号からＤＯＩ信号をより有効に区別するために、一緒に融合され得るように、２つ以上の異なるモード（例えば、開口、スペクトル帯、入力及び出力偏光、ならびにフォーカスオフセット）が発見され得る。概して、検査の間にＤＯＩと雑音（または他の種類の欠陥）との区別を容易にするモードの組み合わせが発見される。
【００８７】
例えば、１次モードにおけるＤＯＩ及び擬似応答と比較して、ＤＯＩ及び擬似信号における異なる応答をもたらす２次モードが、選択された１次モードと組み合わせるために、発見され得る。例えば、弱いＤＯＩ強度信号及び強い擬似強度信号を有する選択された２次モードもまた、組み合わせなければ両方とも強いＤＯＩ強度信号及び擬似強度信号をもたらし得る選択された１次モードと組み合わせるために、発見され得る。別の実施例では、強いＤＯＩ強度信号及び弱い擬似強度信号を有する選択された２次モードもまた、組み合わせなければ両方とも強いＤＯＩ強度信号及び擬似強度信号をもたらし得る選択された１次モードと組み合わせるために、発見され得る。強いＤＯＩ信号を有する２次モードの前者の例は、この種類の２次モードからの結果のみを分析することよりも、良好な全体のＤＯＩキャプチャ／検出を達成するために、両方とも強いＤＯＩ信号及び信号を有する１次モードと一緒に分析され得る。
【００８８】
図１３は、本発明の１つ以上の実施形態に従う、２つ以上のモードを組み合わせるためのプロセス１３００を図示する流れ図である。最初に、動作１３０２で、各々が関心欠陥（ＤＯＩ）及び擬似の両方についての最適化された信号または画像特性を有する、１つ以上の１次モードが特定され得る。例えば、１つ以上の１次モードは、照明及び／または集光開口を組み合わせることの結果をシミュレーションすること等の、本明細書に記載されるモード決定技術のいずれかを使用して、発見され得る。
【００８９】
特定された１次モードは、関心欠陥（ＤＯＩ）についての最大の信号対雑音比（ＳＮＲ）ならびに擬似対雑音比を有し得る。図１４は、特定の１次モードを用いて得られた、欠陥結果において重複するＤＯＩ及び擬似信号または集合を図示する。示されるように、重複しているＤＯＩ及び擬似区域または「混乱区域」１４０６は、擬似集合１４０２とＤＯＩ集合１４０４との間に存在する。擬似信号とＤＯＩ信号は、この区域１４０６において互いと類似しているため、この混乱区域１４０６において擬似信号とＤＯＩ信号とを区別するのは難しくあり得る。
【００９０】
特定の実施形態では、２次モードは、擬似のＤＯＩからの区別を可能にするために、選択された１次モードと一緒に使用され得る。他の態様では、モードの組み合わせは、特定の具体的な種類または等級のＤＯＩ、擬似等の、様々な他の検出された信号を区別するために使用され得る。一実施例では、２次モードは、ＤＯＩの全てまたは選択された下位組について強いまたは最大のＳＮＲ、及び擬似について弱いまたは最小のＳＮＲ（例えば、擬似が消失する）をもたらし得る。あるいは、選択された２次モードは、ＤＯＩの全てまたは選択された下位組についての弱いＳＮＲ、及び擬似についての強いＳＮＲをもたらし得る。２次モードは、同時に検出される擬似事象を最小にしながら、検出及びキャプチャされるＤＯＩを最大にする、またはその逆のために、１次モードとの使用のために選択され得る。
【００９１】
２次モードはＤＯＩと擬似との区別を提供し得、かかる区別は、かかる２次モードの結果における様々な信号または画像特性によって表され得る。例えば、ＤＯＩ及び／または擬似の（１次及び／または２次モードの）信号または画像特性は、以下：強度値、画像テクスチャ値、極性（例えば、欠陥または背景が負の値から正の値に変わるかどうか）等のうちの１つ以上を含み得る。各信号または画像特性は、ＤＯＩもしくは擬似物体を含有する試験試料の区域、または、ＤＯＩもしくは擬似物体を含有しない対応する参照区域、または、試験及び参照区域信号／画像の、差信号／画像に関連し得る。
【００９２】
図示される実施形態では、動作１３０４で、ＤＯＩ及び擬似の信号または画像特性の間の差をもたらし得る１つ以上の２次モードが特定され得る。一実施形態では、１つ以上の１次モードを決定するために使用されるモードの下位組は、２次モードとして特定される。あるいは、またはさらに、特定された２次モードは、１次モードとは異なる他のモードを含み得る。１次モードはＤＯＩと擬似とを区別することができず、目標は、ＤＯＩと擬似とを区別する少なくとも１つの２次モードを発見することであるため、少なくとも１つ以上の２次モードは、１つ以上の１次モードとは異なり得る。
【００９３】
動作１３０６で、１つ以上の１次モードを特定する及び１つ以上の２次モードについての結果を得るための技術に関わらず、１次及び２次モードからの結果は、その後欠陥検査における後の使用のための１次及び２次モードを選択するために分析され得る。この分析は、ＤＯＩと擬似との最大の区別をもたらす１つ以上の２次モードを発見すること、または、どの組み合わせがＤＯＩの最大のキャプチャ及び擬似の最小のキャプチャをもたらすかを決定するために、１次及び２次モードの様々な下位組からの組み合わされた結果を分析することを含み得る。
【００９４】
図１５は、本発明のある具体的な実施形態に従う、最適な欠陥検出のために結果が融合され得る、２つ以上のモードを決定するための、詳細な手順１５００を図示する流れ図である。示されるように、動作１５０２で、ＤＯＩ及び擬似の両方についての最適化された信号／画像特性を有する１次モードが特定される。１次モードの特定は、どのモードが、試験ウエーハから得られるまたはシミュレーションされる既知のＤＯＩの特定の組について最適と見なされるかに基づく。特定される１次モードは、この既知のＤＯＩの特定の組のうちの少なくともいくつかもまた、擬似事象の集合の少なくとも一部と混乱されることをもたらす。ＤＯＩ及び擬似のこの「混乱した」集合は、この混乱した集合を区別することをもたらす１つ以上の２次モードを効率的に発見するために、動作１５０４において試料採取され得る。
【００９５】
信号または画像は、任意の好適な数及び種類の２次モードについて得られ得る。例えば、２次モード（及び１次モード）は、１つ以上の暗視野モードならびに明視野モードを含み得る。追加のモードは、本明細書にさらに記載されるように利用され得る。
【００９６】
示されるように、動作１５０６で、試料ＤＯＩ及び擬似の画像または信号は、暗視野２次モードを使用して得られ得る。暗視野モードは、異なる照明開口及び試料から散乱された光を集光するための集光開口、ならびに異なる偏光、スペクトル、焦点等を含み得る。各暗視野モードで、光は瞳の特定の部分（例えば縁部分）内で照射され、照明ビームが対応する入射角度で試料に当たることをもたらす。散乱された光は、選択された照明瞳部分及び入射角度と比較して、異なる部分（例えば、中心）及び集光角度で集光される。
【００９７】
照明及び集光角度の異なる組み合わせは、異なる２次（及び／または１次）モードにおいて使用され得る。しかしながら、暗視野モードについての結果として生じる画像または信号は、例えば、明視野の個々の開口モードから得られる結果に関して達成され得るのと同じ方法で他のモードについての結果を予測するために、付加的ではない。つまり、個々の暗視野モードからの画像または信号は、典型的に、検査治具の検出器またはカメラによって実際に収集されなかった、結果として生じる信号または画像を予測するために、一緒に組み合わされ得ない。
【００９８】
２次（及び／または１次）モードは、異なる個々の照明開口を有する明視野モード、ならびに、本明細書にさらに記載されるように、結果として生じる画像または信号が、個々の照明開口結果のうちの異なるものを組み合わせることに基づいて予測される、シミュレーションされたモードもまた含み得る。示されるように、動作１５０８で、試料採取されたＤＯＩ及び擬似の画像または信号は、個々の開口選択ならびに他の検査パラメータを含む、複数の２次モードについても得られる。動作１５１０で、試料採取されたＤＯＩ及び擬似（試験試料からのまたはシミュレーションされた）の画像または信号は、その後、異なる開口組み合わせを含む異なる２次モードについて計算され得る。
【００９９】
動作１５１２で、各２次及び１次モードからの結果は、ＤＯＩ及び擬似への効果を決定するために、融合され（または一緒に分析され）得る。動作１５１４で、１次モードと一緒に融合される最適な２次モードは、その後、擬似検出を最小にし、ＤＯＩキャプチャを最適化する（または最大にする）ように、選択され得る。任意の数の１次及び２次モードからの結果は一緒に融合され得、融合された結果からの任意の信号または画像特性は、最適な２次モード（複数可）を発見するために分析され得る。
【０１００】
ＤＯＩの擬似からの最大の区別をもたらす２次モードは、１次モードと２次モードとの全ての組み合わせからの結果を組み合わせた後に、選択され得る。つまり、最大の数の検出された既知のＤＯＩをもたらす一方で、最大の数の既知の擬似を試料から排除する２次モードは、その後、未知の試料上の未知のＤＯＩを検出するために１次モードと組み合わせて利用され得る。
【０１０１】
図１６は、本発明のある具体的な実装に従う、最適な２次モードを決定するための手順１６００を図示する流れ図である。図１７は、本発明の一実施形態に従う、１次モードと融合するための最適な２次モードを決定するための図１６の技術の図表示である。各２次モードについての融合されたＤＯＩ及び擬似のヒストグラム１７００（または任意の他の好適な測定基準）は、動作１６０２で最初に決定され得る。図１７のヒストグラムは、融合信号値の関数として、ＤＯＩ及び擬似の両方についての計数を含む。図１７に示されるように、ＤＯＩの集合１７０４は、「混乱区域」１７０６内で擬似集合１７０２と重複する。
【０１０２】
動作１６０４で、切れ目１７０８は、各２次モードについて所望の（または所定の）ＤＯＩキャプチャ率（例えば９０％）を達成するように設定され得る。動作１６０６で、切れ目１７０８を超える、結果として生じる擬似計数は、その後各２次モードについて計算され得る。図１７のグラフ１７０１は、選択された切れ目１７０８に関する、特定の２次モードについての擬似を図示する。例えば、擬似の第１の部分１７０２ｂは切れ目１７０８を超えたままであるが、擬似の第２の部分１７０２ａは切れ目１７０８のままである。
【０１０３】
動作１６０８で、全ての２次モードは、その後、切れ目を超えてキャプチャされる擬似に基づき順位付けされ得る。動作１６１０で、切れ目を超えてキャプチャされる最小の擬似を有する２次モードは、その後、例えば、完全なウエーハ検査中の後の使用のために１次モードと融合するために、選択され得る。２次モードを決定するための手順はその後終了し得る。
【０１０４】
１次及び２次モードからの結果は、任意の好適な様式で、ＤＯＩと擬似とを区別するために使用され得る。選択された２次モードが、ＤＯＩについての強いＳＮＲ及び擬似についての弱いＳＮＲを有する実施例では、両方のモードにおいて強いＳＮＲを有する物体はＤＯＩとして定義され得、一方で、両方のモードにおいて強いＳＮＲを有さない物体は、単なる擬似として排除され得る。擬似についての強いＳＮＲ及びＤＯＩについての弱いＳＮＲをもたらす２次モードが選択される場合、両方のモードにおいて強いＳＮＲを有する物体は排除されて擬似として定義され得、一方で、任意の残りの物体はＤＯＩとして定義される。ＤＯＩと擬似物体との信号区別を有する任意の２次モードのための別の技術では、１次及び２次モードにおける強い相関を有する物体がＤＯＩとして定義され得る。
【０１０５】
本明細書に記載される１つ以上の１次及び２次モードを選択するための技術は、検査モードを選択するための任意の好適な時に実装され得る。選択された１つ以上のモードは、その後任意の数及び種類の試料を検査するために利用され得る。いくつかの実施形態では、１つ以上の検査モードが各特定の検査治具について発見され、選択されたモード（複数可）は、全ての半導体試料をその特定の検査治具で検査するために使用される。モードは、各製作プロセスまたは各半導体設計及び／またはプロセスについてもまた選択され得る。
【０１０６】
前述の発明は、理解の明確性の目的のためにある程度詳細に記載されてきたが、添付の請求項の範囲内で特定の変更及び修正が実践され得ることが明らかとなる。本発明のプロセス、システム、及び装置を実装する、多くの代替の方法があることに留意すべきである。例えば、欠陥検出特性データは、透過された、反射された、または組み合わせ出力ビームから得られ得る。結果的に、本実施形態は、限定的でなく例示的であると考えられるべきであり、本発明は、本明細書において与えられる詳細に限定されるべきではない。
【図１】
2019117930.tif 000003
【図２】
2019117930.tif 000004
【図３】
2019117930.tif 000005
【図４Ａ】
2019117930.tif 000006
【図４Ｂ】
2019117930.tif 000007
【図５】
2019117930.tif 000008
【図６Ａ】
2019117930.tif 000009
【図６Ｂ】
2019117930.tif 000010
【図７】
2019117930.tif 000011
【図８】
2019117930.tif 000012
【図９】
2019117930.tif 000013
【図１０】
2019117930.tif 000014
【図１１Ａ】
2019117930.tif 000015
【図１１Ｂ】
2019117930.tif 000016
【図１１Ｃ】
2019117930.tif 000017
【図１２Ａ】
2019117930.tif 000018
【図１２Ｂ】
2019117930.tif 000019
【図１３】
2019117930.tif 000020
【図１４】
2019117930.tif 000021
【図１５】
2019117930.tif 000022
【図１６】
2019117930.tif 000023
【図１７】
2019117930.tif 000024