(57)【要約】【課題】ミラー等の被駆動部を支持する枠等のベース部の変形に関する問題を回避しつつ、装置の小型化、軽量化や省電力化を向上させた被駆動部の２軸駆動を行うことができるアクチュエータを提供すること。【解決手段】コイル部１０とベース部３０とを、第１軸ＡＸ１上にそれぞれ回転中心が配置されるように第１接続部ＣＮ１により接続して配置し、さらに、第１軸ＡＸ１に対して非対称な構造を第１接続部ＣＮ１において設けることで、コイル部１０において発生させる駆動について、第１軸ＡＸ１の軸方向に関して若干のアンバランスな状態を作り出す。これにより、コイル部１０の第１軸ＡＸ１の周りの回転力によって、第２接続部ＣＮ２により被駆動部４０の回転について、第１軸ＡＸ１の周りのみならず第１軸ＡＸ１に垂直な第２軸ＡＸ２の周りについても駆動させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部に接続され、第１軸上にそれぞれの回転中心が配置されるように第１接続部により接続された駆動部とベース部とを備え、
前記ベース部の内側に、被駆動部を、前記第１軸に垂直な第２軸の方向に延びる第２接続部により接続し、
前記第１軸に対して非対称な構造を設けた、アクチェータ。
【請求項２】
前記駆動部から前記第１接続部までの間に、前記第１軸に対して非対称な構造を設けた、請求項１に記載のアクチェータ。
【請求項３】
前記第１接続部は、前記第１軸の位置からオフセットして配置されている、請求項１及２のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記ベース部の中心は、前記第１軸の軸上にあり、
前記第１接続部は、前記ベース部に対してオフセットして配置されている、請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記駆動部は、重心位置を前記第１軸からシフトさせて配置した重りを有する、請求項１〜４のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記駆動部において、前記第１軸周りの回転力に対応する駆動周波数の振動よりも高い駆動周波数の振動を発生させることにより、前記第２軸周りに前記被駆動部を駆動させる、請求項１〜５のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記駆動部及び前記第１接続部は、前記ベース部の一方側に配置されるものと、前記ベース部の他方側に配置されるものとの一対構成である、請求項１〜６のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項８】
一対構成の前記駆動部及び前記第１接続部について、前記ベース部の中心を基準にして一方側と他方側とが点対称に配置され、かつ、同期して駆動する、請求項７に記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記駆動部は、コイル部であり、
前記コイル部に磁界を付与する磁界付与部をさらに備え、
前記磁界付与部は、前記コイル部において発生させる前記第１軸周りの回転力に対応する一方向に磁界を発生させる、請求項１〜８のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＭＥＭＳデバイスを駆動させる際に適用可能なアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＭＥＭＳデバイスを駆動させるためのアクチュエータとして、例えば、ミラー等の被駆動部を支持するベース部（枠）上にコイル部を配置し、当該コイル部を変形振動させることで、被駆動部をコイル部の回転軸とは異なる軸で回転させるものが知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、上記の場合、コイル部の回転に伴い、ベース部（枠）が力を受けて変形することで、被駆動部について所望とする回転動作を得ようとするものとなるため、ベース部において不必要な変形を生じてしまうと、被駆動部について、所望の動作をさせられなくなってしまう可能性がある。
【０００４】
また、被駆動部について２軸駆動を行おうとすると、上記問題に加え、装置の大型化、電力消費の増大等の問題も生じ得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第６０１４２３４号公報
【発明の概要】
【０００６】
本発明は上記した点に鑑みてなされたものであり、ミラー等の被駆動部を支持する枠等のベース部の変形に関する問題を回避しつつ、装置の小型化、軽量化や省電力化を向上させた被駆動部の２軸駆動を行うことができるアクチュエータを提供することを目的とする。
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に係るアクチュエータは、固定部に接続され、第１軸上にそれぞれ回転中心が配置されるように第１接続部により接続された駆動部とベース部とを備え、ベース部の内側に、被駆動部を、第１軸に垂直な第２軸の方向に延びる第２接続部により接続し、第１軸に対して非対称な構造を設けている。
【０００８】
上記アクチュエータでは、駆動部とベース部とを、第１軸上にそれぞれ回転中心が配置されるように第１接続部により接続して配置することで、駆動部の回転に伴うベース部の変形の問題を回避できる。この上で、さらに、第１軸に対して非対称な構造を設けることで、駆動部において発生させる駆動について、第１軸の軸方向に関して若干のアンバランスな状態を作り出す、といったことができる。これにより、駆動部の第１軸周りの回転力によって、第２接続部によりベース部の内側に接続されている被駆動部の回転について、第１軸周りのみならず第１軸に垂直な第２軸周りについても駆動させることが可能となる。すなわち、コイル側の１軸周りの回転動作のみで、被駆動部について２軸駆動を行うことができる。したがって、駆動部を駆動させるための構造を簡易化でき、装置の小型化、軽量化や省電力化を図ることができる。
【０００９】
本発明の具体的な側面では、駆動部から第１接続部までの間に、第１軸に対して非対称な構造を設けている。この場合、被駆動部から離れた駆動部から第１接続部までの間において、被駆動部について２軸駆動を行わせるための構造を設けることができる。
【００１０】
本発明の別の側面では、第１接続部は、第１軸の位置からオフセットして配置されている。この場合、第１接続部を第１軸に対して非対称な構造とすることで、被駆動部について２軸駆動を行わせることができる。
【００１１】
本発明のさらに別の側面では、ベース部の中心は、第１軸の軸上にあり、第１接続部は、ベース部に対してオフセットして配置されている。この場合、第１軸の軸上に中心のあるベース部に対して、第１接続部によってオフセットした位置からトルクを与えることができるので、第１軸周りのみならず第２軸周りについても駆動させることが可能となる。
【００１２】
本発明のさらに別の側面では、駆動部は、重心位置を第１軸からシフトさせて配置した重りを有する。この場合、重りを有することで、駆動部を第１軸に対して非対称な構造とすることができる。
【００１３】
本発明のさらに別の側面では、駆動部において、第１軸周りの回転力に対応する駆動周波数の振動よりも高い駆動周波数の振動を発生させることにより、第２軸周りに被駆動部を駆動させる。この場合、相対的に低い駆動周波数の振動により被駆動部を第１軸周りに駆動させ、相対的に高い駆動周波数の振動により被駆動部を第２軸周りに駆動させることができる。
【００１４】
本発明のさらに別の側面では、駆動部及び第１接続部は、ベース部の一方側に配置されるものと、ベース部の他方側に配置されるものとの一対構成である。この場合、一対構成とすることで、被駆動部の動作をより安定させることができる。
【００１５】
本発明のさらに別の側面では、一対構成の駆動部及び第１接続部について、ベース部の中心を基準にして一方側と他方側とが点対称に配置され、かつ、同期して駆動する。この場合、第１軸に対して非対称な構造を設けつつ、装置全体としては対称性を高めて、動作の安定性の向上や装置に掛かる負荷の偏りの抑制を図ることができる。
【００１６】
本発明のさらに別の側面では、駆動部は、コイル部であり、コイル部に磁界を付与する磁界付与部をさらに備え、磁界付与部は、コイル部において発生させる第１軸周りの回転力に対応する一方向に磁界を発生させる。この場合、磁界付与部を簡易な構造にできる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（Ａ）は、第１実施形態に係るアクチュエータについて説明するためのブロック図であり、（Ｂ）は、駆動時にはたらく力について説明するための概念的な図である。
【図２】一変形例のアクチュエータについて説明するための図である。
【図３】（Ａ）は、第２実施形態に係るアクチュエータについて説明するためのブロック図であり、（Ｂ）は、重心について説明するための概念的な図である。
【図４】一変形例のアクチュエータについて説明するための図である。
【図５】（Ａ）は、第３実施形態に係るアクチュエータについて説明するためのブロック図であり、（Ｂ）は、コイルへの駆動信号の送信について概念的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
〔第１実施形態〕
以下、図１を参照して、第１実施形態に係るアクチュエータについて一例を説明する。図１（Ａ）は、本実施形態に係るアクチュエータの一例について説明するためのブロック図である。なお、本実施形態の一態様としてのアクチュエータ１００は、例えばレーザパルス等によるパルス光を対象物に対して走査させることで対象物についての距離画像データを取得可能とする距離画像装置において、光走査を行うための装置として適用可能である。また、光走査に合わせタイミング良くパルス光を照射することでスクリーン上に画像を映し出す表示装置としても適用可能である。
【００１９】
図１（Ａ）に示すように、アクチュエータ１００は、回転動作をする駆動部であるコイル部１０と、コイル部１０に対して磁界を付与する磁界付与部２０と、コイル部１０に接続される枠体状のベース部（可動枠）３０と、コイル部１０とベース部３０とを接続する第１接続部ＣＮ１と、枠体状のベース部３０の内側に配置されてベース部３０に接続される被駆動部４０と、ベース部３０と被駆動部４０とを接続する第２接続部ＣＮ２と、コイル部１０とベース部３０とにそれぞれ接続し、装置全体を固定する枠体状の固定部５０とを備える。
【００２０】
ここで、図１（Ａ）において、平面状に示される装置全体のうち外枠である固定部５０が形成する面を基準面（水平面）とし、基準面のうち、図１（Ａ）での横方向をＸ方向とし、Ｘ方向に垂直な方向をＹ方向とする。なお、枠体状の固定部５０は、Ｘ方向に延びる２つの辺とＹ方向に延びる２つの辺とによって矩形状となっている。さらに、Ｘ方向及びＹ方向の双方に垂直な方向すなわち基準面に垂直な方向をＺ方向とする。
【００２１】
以上の構成を有することで、アクチュエータ１００は、コイル部１０側で発生させた加振力を被駆動部４０側へ伝達させ、被駆動部４０を、Ｘ方向に沿って延びる第１軸ＡＸ１とＸ方向に垂直なＹ方向に沿って延びる第２軸ＡＸ２との２軸に関して回転可能にしている。
【００２２】
また、図示の例では、コイル部１０とベース部３０とは、第１軸ＡＸ１の軸上に沿って延びる一対の棒状の接続部材ＣＰ，ＣＰを介して、固定部５０にそれぞれ接続されている。また、コイル部１０、ベース部３０及び被駆動部４０は、いずれも第１軸ＡＸ１を中心軸として対称な形状を有している。したがって、コイル部１０およびベース部３０は、第１軸ＡＸ１を軸として矢印Ｒ１に示す方向にそれぞれ軸回転可能（第１軸ＡＸ１の軸周りに回転可能）となっている。さらに、第１軸ＡＸ１の軸周りに回転可能なベース部３０に接続されている被駆動部４０も、併せて第１軸ＡＸ１の軸周りに回転可能となっている。さらに、被駆動部４０は、枠体状のベース部３０の内側に配置され、第２軸ＡＸ２上に沿って延びる一対の棒状の接続部材である第２接続部ＣＮ２，ＣＮ２を介して、ベース部３０に接続されている。これにより、被駆動部４０は、第２軸ＡＸ２を軸として矢印Ｒ２に示す方向にそれぞれ軸回転可能となっている。すなわち、第２軸ＡＸ２の軸周りに軸回転可能となっている。
【００２３】
なお、コイル部１０には、電源（図示略）から被駆動部４０を回転させるための制御電流が供給される。制御電流については、被駆動部４０の駆動周波数に対応した周波数の信号成分を含む交流電流となっている。
【００２４】
以下、アクチュエータ１００を構成する各部についてより具体的に説明する。
【００２５】
まず、コイル部１０は、例えば金や銅等の比較的導電率の高い材料を用いた巻き線を矩形の形状の枠体に沿って設けたループ状の構成となっている。特に、矩形状の部分を構成する４つの辺のうち２つの辺が、Ｘ方向に沿って延びてこの方向について電流（交流電流）Ｉが流れることで、磁界付与部２０において発生する磁界の向きを横切るようになっている。これにより、コイル部１０は、磁界付与部２０からローレンツ力を受け、被駆動部４０において必要な走査範囲や速さ等に応じて適度に調整された振れ角や速度で軸回転する。特に、ここでは、コイル部１０は、既述の通り、第１軸ＡＸ１を中心軸として対称な形状を有しており、固定部５０と接続する接続部材ＣＰを回転中心軸として安定的に回転動作をする。また、コイル部１０は、既述のように、第１接続部ＣＮ１によってベース部３０に接続されている。これにより、コイル部１０は、発生した加振力に相当する回転駆動の力あるいは回転トルクを、第１接続部ＣＮ１を介してベース部３０に伝達する。
【００２６】
磁界付与部２０は、例えば複数の永久磁石ＭＧ，ＭＧ，…を組み合わせることで構成されており、コイル部１０に対して磁界を付与する。また、永久磁石ＭＧ，ＭＧ，…の一部をヨークに代替することでも磁界を付与することが可能である。図示の例では、適宜永久磁石ＭＧ，ＭＧ，…を組み合わせて設置して磁界付与部２０が形成され、−Ｙ方向の向きに磁界Ｂを発生させている。コイル部１０は、既述のように、Ｙ方向に直交するＸ方向について電流Ｉが流れることで、Ｚ方向についての力Ｆ（図１（Ｂ）参照）を受ける（フレミング左手の法則）。以上について、見方を変えると、磁界付与部２０は、コイル部１０を第１軸ＡＸ１の軸周りについて回転させる回転力に対応する一方向（−Ｙ方向）に磁界Ｂを発生させている。
【００２７】
第１接続部ＣＮ１は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属等を材料とするあるいは樹脂を材料として構成され、弾性を有する部材である。第１接続部ＣＮ１は、既述のように、また、図示のように、Ｘ方向に沿って延び、Ｘ方向に並んで配置されるコイル部１０とベース部３０とを接続している。ここでは特に、第１接続部ＣＮ１は、第１軸ＡＸ１の位置から＋Ｙ側にオフセットして配置されている。すなわち、第１接続部ＣＮ１は、第１軸ＡＸ１に対して非対称な構造を有している。本実施形態では、第１接続部ＣＮ１が非対称な構造を有することで、第１軸ＡＸ１の軸方向（Ｘ方向）の回転駆動に関して若干のアンバランスな状態を作り出すことができるようになっている。これにより、被駆動部４０の回転について、第１軸ＡＸ１の周りのみならず第１軸ＡＸ１に垂直な第２軸ＡＸ２の周りについても駆動させることを可能にしている。
【００２８】
ベース部３０は、既述のように、内側に被駆動部４０を有する枠体状の部材であり、図示の例では、Ｘ方向についてコイル部１０と並列に並べられ相対的にコイル部１０よりも−Ｘ側に配置され、＋Ｘ側において、第１接続部ＣＮ１を介してコイル部１０と接続されている。また、ベース部３０は、既述のように第１軸ＡＸ１を中心軸として対称な形状を有しており、−Ｘ側において、第１軸ＡＸ１に沿って延びる接続部材ＣＰを介して固定部５０に接続されている。これにより、ベース部３０は、コイル部１０において発生した加振力に相当する回転駆動の力あるいは回転トルクを、第１接続部ＣＮ１を介して受け（伝達され）、第１軸ＡＸ１を回転中心軸として回転動作をする可動枠となっている。さらに、ベース部３０は、第２接続部ＣＮ２，ＣＮ２を介して、被駆動部４０に、回転駆動の力あるいは回転トルクを伝達可能としている。また、ベース部３０は、第２軸ＡＸ２を中心軸として見た場合においてもこれに対称な形状を有している。
【００２９】
なお、上記したベース部３０及び第１接続部ＣＮ１について、見方を変えると、ベース部３０の中心は、第１軸ＡＸ１の軸上にあるのに対して、第１接続部ＣＮ１は、ベース部３０からオフセットして配置されている、と捉えることもできる。
【００３０】
第２接続部ＣＮ２は、弾性を有する部材であり、特に、第１接続部ＣＮ１に比べて相対的に高い周波数についての振動にも応答し得るように構成されている。第２接続部ＣＮ２は、既述のように、第２軸ＡＸ２上に沿って延びる一対の棒状の部材であり、被駆動部４０のＹ方向の端部にそれぞれ接続している。
【００３１】
被駆動部４０は、平面部分（図示の場合、楕円形状の面部分）を有する部材であり、例えば平面部分あるいはその一部を可動するミラー面（光反射面）として形成し、これを回転駆動させることで、光を入反射させつつ光走査を行うことが可能となる。被駆動部４０は、既述のように、枠体状のベース部３０の内側に配置されるとともに、一対の第２接続部ＣＮ２，ＣＮ２を介して、ベース部３０に接続されている。
【００３２】
被駆動部４０は、ベース部３０に接続していることで、ベース部３０とともにコイル部１０側からの回転駆動の力あるいは回転トルクを受けて第１軸ＡＸ１を回転中心軸とする回転動作をする。さらに、本実施形態では、第１接続部ＣＮ１が第１軸ＡＸ１に対して非対称な構造を有する（あるいはベース部３０の中心に対して第１接続部ＣＮ１がオフセットしている）ことで、第１軸ＡＸ１の軸方向（Ｘ方向）の回転駆動に関して若干のアンバランスな状態を作り出している。このため、コイル部１０側で発生する回転駆動の力あるいは回転トルクについて、第１軸ＡＸ１の周りの成分のみならず第１軸ＡＸ１に垂直な第２軸ＡＸ２の周りの成分についても含まれた状態となっており、この状態でコイル部１０側から被駆動部４０側に伝達されている。本実施形態では、発生した第２軸ＡＸ２の周りの成分を利用して、被駆動部４０が共振駆動するようにしている。これにより、被駆動部４０は、第２接続部ＣＮ２に支持されつつ、第２軸ＡＸ２を回転中心軸とする回転動作を可能にしている。
【００３３】
以上のような構成において、アクチュエータ１００のうち、コイル部１０から第１接続部ＣＮ１まで、すなわち、コイル部１０、磁界付与部２０及び第１接続部ＣＮ１は、回転駆動の駆動源となる力を生み出す回転駆動源部ＤＳであり、ベース部３０から被駆動部４０まで、すなわち、ベース部３０、第２接続部ＣＮ２及び被駆動部４０は、回転駆動源部ＤＳからの力を受けて所望の回転動作をする動作部ＲＥであると捉えることもできる。すなわち、駆動源となるコイル部１０を含む側を、回転駆動させる対象であるベース部３０（可動枠）や被駆動部４０側から分離して（離間して）配置する構造となっている。これにより、コイル部１０の回転に伴うベース部３０の変形の問題を回避可能としている。
【００３４】
以下、回転駆動源部ＤＳ側から動作部ＲＥへの作用の観点から、被駆動部４０の回転駆動について説明する。図１（Ａ）に例示しているように、回転駆動源部ＤＳにおいて、−Ｘ方向に流れる電流Ｉと−Ｙ方向に発生する磁界Ｂとの関係から、図１（Ｂ）において概念的に示すように、接続部材ＣＰを中心ＣＴとしてこれから等距離にある偶力となる反対向きの力Ｆが±Ｚ方向に発生する。従って、回転駆動源部ＤＳのコイル部１０は、中心ＣＴについて回転する。この際、動作部ＲＥを構成するベース部３０に対しては、第１接続部ＣＮ１の位置すなわち中心ＣＴから＋Ｙ側へシフトした位置から力Ｆａが作用することになる。本実施形態では、このように、回転駆動源部ＤＳがわから作用する力Ｆａの位置がずれて（シフトして）アンバランスな状態となっている。このため、第１軸ＡＸ１周りの振動作用だけでなく第２軸ＡＸ２周りの振動作用（微振動）が生じ、コイル部１０側すなわち回転駆動源部ＤＳ側においては、１軸周り（Ｘ方向に沿って延びる第１軸ＡＸ１周り）の回転動作のみを生じさせているにもかかわらず、力を受ける被駆動部４０側において２軸周り（Ｘ方向に沿って延びる第１軸ＡＸ１周り及びＹ方向に沿って延びる第２軸ＡＸ２周り）の回転動作すなわち２軸駆動を行うことができるようになっている。
【００３５】
以下、アクチュエータ１００における被駆動部４０の回転駆動の動作の一例について説明する。ここでは、コイル部１０へ供給する制御電流において、被駆動部４０の駆動周波数に対応した２つの周波数の信号成分（低速駆動側の駆動信号と高速駆動側の駆動信号）を含むものとする。Ｘ方向に沿って延びる第１軸ＡＸ１周りについては、低速駆動（例えば周波数６０Ｈｚ）となっており、Ｙ方向に沿って延びる第２軸ＡＸ２周りについて、高速駆動（例えば周波数３０ｋＨｚ）となっている。つまり、ここでは、第１軸ＡＸ１の周りの回転力に対応する駆動周波数の振動よりも高い駆動周波数の振動を発生させることにより、第２軸ＡＸ２の周りに被駆動部４０を駆動させるものとなっている。
【００３６】
被駆動部４０に固有の固有周波数（共振周波数）に対して、低速駆動用の信号の周波数については、非共振駆動（強制駆動）あるいは共振駆動であるものになっており、高速駆動用の信号の周波数については、共振駆動であるものになっている。これらの駆動用の信号すなわち低速駆動側の駆動信号及び高速駆動側の駆動信号によって振動の印加を行うことで、アクチュエータ１００は、被駆動部４０の回転駆動をさせる。
【００３７】
まず、Ｘ方向に沿って延びる第１軸ＡＸ１周りの動作について説明する。低速駆動（６０Ｈｚ）での回転の動きに対して、第１接続部ＣＮ１は、追従可能である、すなわち剛体を保ちつつ、コイル部１０から受けた回転力による動作をベース部３０延いては被駆動部４０に伝達してこれらを回転させる。つまり、第１接続部ＣＮ１をトーションバー（回転用のばね）としつつ、ミラーとしての被駆動部４０がＸ方向に沿って延びる第１軸ＡＸ１周りに回転する。なお、第１軸ＡＸ１周りについては、コイル部１０とベース部３０とについて、回転力の中心と回転中心が一致していることにより安定動作となっている。
【００３８】
次に、Ｙ方向に沿って延びる第２軸ＡＸ２周りの動作について説明する。既述のように、本実施形態では、コイル部１０とベース部３０とを接続する第１接続部ＣＮ１が第１軸ＡＸ１に関してオフセットして配置されている。このため、第１軸ＡＸ１を中心軸として対称な枠体状のベース部３０のうち図１（Ａ）の場合で右上（＋Ｘ側かつ＋Ｙ側）の箇所からコイル部１０での回転に起因する力Ｆａを加振力として受けることになる。この加振力に伴い、ベース部３０にはＸ方向とＹ方向との成分を含む斜めの回転トルクが発生する。この回転トルクの周期が被駆動部４０に固有の共振周波数に対応していることで、被駆動部４０を共振回転させる。特に、この回転トルクのうちのＹ方向の成分が第２軸ＡＸ２周りの回転動作を生じさせる。言い換えると、被駆動部４０を共振駆動させるのに適した周波数を高速駆動（例えば周波数３０ｋＨｚ）として採用することで、被駆動部４０を第２軸ＡＸ２周りについて回転させることが可能となる。なお、この際の高速駆動側の駆動信号については、低速駆動側の駆動信号と比べて大きく異なった数値となっており、高速駆動側の駆動信号の低速駆動側における動作への影響は無視できる。例えば、第１接続部ＣＮ１の弾性を第２接続部ＣＮ２の弾性とは異なる態様としておくことで、第１接続部ＣＮ１は、低速駆動（例えば周波数６０Ｈｚ）での動きに対しては、追従可能であるものとしつつ、高速駆動（例えば周波数３０ｋＨｚ）での動き（微振動）に対しては、追従不可能であるようになっており、第２接続部ＣＮ２が、高速駆動側の駆動信号に基づく回転動作に追従してトーションバー（回転用のばね）として機能させるようになっている、といった場合が考えられる。
【００３９】
以上のように、本実施形態では、アクチュエータ１００において、コイル部１０とベース部３０とを、第１軸ＡＸ１上にそれぞれ回転中心が配置されるように第１接続部ＣＮ１により接続して配置することで、コイル部１０の回転に伴うベース部３０の変形の問題を回避できる。この上で、さらに、第１軸ＡＸ１に対して非対称な構造を第１接続部ＣＮ１において設けることで、コイル部１０において発生させる駆動について、第１軸ＡＸ１の軸方向に関して若干のアンバランスな状態を作り出すことができる。これにより、コイル部１０の第１軸ＡＸ１の周りの回転力によって、第２接続部ＣＮ２により被駆動部４０の回転について、第１軸ＡＸ１の周りのみならず第１軸ＡＸ１に垂直な第２軸ＡＸ２の周りについても駆動させることが可能となる。すなわち、コイル部１０側の１軸周りの回転動作のみで、被駆動部４０について２軸駆動を行うことができる。したがって、コイル部１０を駆動させるための構造を簡易化でき、従来の構成例の１つである２軸駆動を個別に行うものと比べて、装置の小型化、軽量化や省電力化を図ることができる。さらに、磁界付与部２０についても、付与する磁界は、Ｙ軸方向のみの単純なもので良いため、磁気回路がシンプルになり、磁界付与部２０及びその周辺機構の小型化が可能となる、延いては装置全体の小型化が可能となる。また、磁界付与部２０における磁束密度も高くしやすくなるため、低消費電力な構成にできる。
【００４０】
以下、図２を参照して、本実施形態の一変形例について説明する。本変形例のアクチュエータ２００では、回転駆動源部が一対構成である、すなわち回転駆動源部ＤＳとして、１つの動作部ＲＥの左右に配置される一対構成の第１及び第２回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂを有している。この点が、図１に例示したアクチュエータ１００とは異なっている。なお、各回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂは、図１の場合の回転駆動源部ＤＳと同様、駆動部であるコイル部１０（１０ａ，１０ｂ）、磁界付与部２０（２０ａ，２０ｂ）及び第１接続部ＣＮ１（ＣＮ１ａ，ＣＮ１０ｂ）でそれぞれ構成されている。
【００４１】
図示の場合、中央に位置する動作部ＲＥは、動作部ＲＥを構成するベース部３０の右側（＋Ｘ側、一方側）に配置される第１回転駆動源部ＤＳａの第１接続部ＣＮ１ａと、ベース部３０の左側（−Ｘ側、他方側）に配置される第２回転駆動源部ＤＳｂの第１接続部ＣＮ１ｂとにそれぞれ接続されている。さらに、各回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂは、第１軸ＡＸ１の軸上に沿って延びる一対の棒状の接続部材ＣＰ，ＣＰを介して、固定部５０にそれぞれ接続されている。
【００４２】
また、図示のように、第１及び第２回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂを構成する各部材は、ベース部３０（あるいは被駆動部４０）の中心（第１軸ＡＸ１と第２軸ＡＸ２との交点ＸＸ）を基準にして、一方側と他方側とが点対称に配置され、かつ、第１及び第２回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂは、同期して駆動すべく、電流Ｉの制御や磁界Ｂの向きが適宜調整されている。これにより、第１軸ＡＸ１に対して非対称な構造を有する第１接続部ＣＮ１（ＣＮ１ａ，ＣＮ１ｂ）を設けつつ、アクチュエータ２００の装置全体としては対称性を高めて、動作の安定性の向上や装置に掛かる負荷の偏りの抑制を図ることができる。
【００４３】
〔第２実施形態〕
以下、図３を参照して、第２実施形態に係るアクチュエータについて一例を説明する。図３（Ａ）は、本実施形態に係るアクチュエータの一例について説明するためのブロック図である。なお、本実施形態に係るアクチュエータは、第１実施形態のアクチュエータ１００の変形例であり、非対称な構造の設け方の違いを除き、共通する構成要素を有するため、共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００４４】
図３（Ａ）に示すように、本実施形態に係るアクチュエータ３００は、回転駆動源部ＤＳのうち、駆動部であるコイル部３１０において非対称な構造を有している点で、第１実施形態の場合と異なっている。具体的に説明すると、コイル部３１０は、重心位置を第１軸ＡＸ１の位置からシフトさせて配置した重りＷＧを有している。また、重りＷＧは、駆動部であるコイル部３１０の下面に貼付する補強材などの重量バランスを非対称とすることで構成しても良い。すなわち、コイル部３１０あるいは回転駆動源部ＤＳにおいて、Ｘ方向に沿った第１軸ＡＸ１の周りに質量の非対称をもたせ、重心位置を中心からシフトさせている。
【００４５】
図示の例では、コイル部３１０のうち第１軸ＡＸ１の位置から＋Ｙ側に偏った位置に一対の重りＷＧ，ＷＧを設けている。この場合、図３（Ｂ）に示すように、回転の中心ＣＴ（接続部材ＣＰ）の位置に対して、コイル部３１０の重心ＣＴａの位置が＋Ｙ側にずれる（シフトする）ことになる。
【００４６】
一方、第１接続部ＣＮ１については、シフトすることなく第１軸ＡＸ１の軸上に沿ってＸ方向に延びるように配置されている。この場合、第１軸ＡＸ１周りの動作について接続部材ＣＰのみならず、第１接続部ＣＮ１も回転中心軸となり、安定的に回転動作をする。
【００４７】
以下、アクチュエータ３００における被駆動部４０の回転駆動の動作の一例について説明する。
【００４８】
まず、Ｘ方向に沿って延びる第１軸ＡＸ１周りの動作について説明する。低速駆動（６０Ｈｚ）での回転の動きに対して、第１接続部ＣＮ１は、追従可能である、すなわち剛体を保ちつつ、コイル部１０から受けた回転力による動作をベース部３０延いては被駆動部４０に伝達してこれらを回転させる。つまり、第１接続部ＣＮ１や接続部材ＣＰをトーションバー（回転用のばね）としつつ、ミラーとしての被駆動部４０がＸ方向に沿って延びる第１軸ＡＸ１周りに回転する。なお、第１軸ＡＸ１周りについては、回転力の中心と第１接続部ＣＮ１や接続部材ＣＰをトーションバーとする回転中心が一致していることにより安定動作となっている。
【００４９】
次に、Ｙ方向に沿って延びる第２軸ＡＸ２周りの動作について説明する。既述のように、本実施形態では、コイル部３１０に重りＷＧを設けることで、図３（Ｂ）に示すように、コイル部３１０の重心ＣＴａが回転の位置である中心ＣＴからシフトしている。このように、コイル部３１０の重心と回転の中心ＣＴとが一致していないため、コイル部３１０にはＹ方向に沿って延びる第２軸ＡＸ２周りについて微振動（回転トルク）が被駆動部４０において発生する。具体的には、この微振動（回転トルク）の周期が被駆動部４０に固有の共振周波数に対応していることで、被駆動部４０を、第２軸ＡＸ２周りについて共振回転させる。言い換えると、被駆動部４０を共振駆動させるのに適した周波数を高速駆動（例えば周波数３０ｋＨｚ）として採用することで、被駆動部４０を第２軸ＡＸ２周りについて回転させることが可能となる。なお、この際の高速駆動側の駆動信号については、低速駆動側の駆動信号と比べて大きく異なった数値となっており、高速駆動側の駆動信号の低速駆動側における動作への影響は無視できる。例えば、第１接続部ＣＮ１の弾性を第２接続部ＣＮ２の弾性とは異なる態様としておくことで、第１接続部ＣＮ１は、低速駆動（例えば周波数６０Ｈｚ）での動きに対しては、追従可能であるものとしつつ、高速駆動（例えば周波数３０ｋＨｚ）での動き（微振動）に対しては、追従不可能であるようになっている一方、第２接続部ＣＮ２については、高速駆動側の駆動信号に基づく回転動作に追従してトーションバー（回転用のばね）として機能させるようになっている、といった場合が考えられる。
【００５０】
以下、図４を参照して、本実施形態の一変形例について説明する。本変形例のアクチュエータ４００では、回転駆動源部が一対構成である、すなわち、１つの動作部ＲＥの左右に配置される一対構成の第１及び第２回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂを有している。この点が、図３に例示したアクチュエータ２００とは異なっている。なお、各回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂは、図３に示す回転駆動源部ＤＳと同様、駆動部であるコイル部３１０（３１０ａ，３１０ｂ）、磁界付与部２０（２０ａ，２０ｂ）及び第１接続部ＣＮ１（ＣＮ１ａ，ＣＮ１ｂ）でそれぞれ構成されている。
【００５１】
また、図示のように、第１及び第２回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂを構成する各部材は、ベース部３０（あるいは被駆動部４０）の中心（第１軸ＡＸ１と第２軸ＡＸ２との交点ＸＸ）を基準にして、一方側と他方側とが点対称に配置され、かつ、第１及び第２回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂは、同期して駆動すべく、電流Ｉの制御や磁界Ｂの向きが適宜調整されている。
【００５２】
以上のように、本実施形態においても、アクチュエータにおいて、コイル部とベース部とを、第１軸上にそれぞれ回転中心が配置されるように第１接続部により接続して配置することで、コイル部の回転に伴うベース部の変形の問題を回避できる。この上で、さらに、第１軸に対する非対称な構造としてコイル部において重りを設けることで、コイル部において発生させる駆動について、第１軸の軸方向に関して若干のアンバランスな状態を作り出すことができる。これにより、被駆動部の回転について、コイル部の第１軸の周りの回転力によって、第１軸周りのみならず第１軸に垂直な第２軸周りについても駆動させる２軸駆動を行うことができる。
【００５３】
この発明は、上記の第１及び第２実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
【００５４】
まず、上記第１及び第２実施形態では、コイル部から第１接続部までの間に、第１軸に対して非対称な構造を設ける構成の例として、第１接続部をオフセットするものやコイル部に重りを設けるものを示したが、２軸駆動を行う上で必要に足る非対称な構造を設けることができれば、上記以外の方法を採用してもよい。また、シフトの度合いや重りの位置（配置）、質量、大きさ、形状、個数等についても適宜調整可能である。さらに、コイル部から第１接続部までの間に限らず、例えばベース部において、第１軸に対して非対称な構造を設けることも考えられる。
【００５５】
また、第１実施形態では、第１接続部をオフセットするものとし、第２実施形態では、コイル部に重りを設けるものとしているが、例えばこれらを組み合わせた構成とすることも考えられる。
【００５６】
また、第１及び第２実施形態では、ベース部や固定部の形状について、枠体状としているが、部材の支持等の必要な機能が維持できれば、これに限らず、種々の形状とすることができる。
【００５７】
また、第１及び第２実施形態に示した電流Ｉの制御や磁界Ｂの向きについては、例示であり、各部の形状や配置を含め、適宜変更可能である。
【００５８】
〔第３実施形態〕
以下、図５を参照して、第３実施形態に係るアクチュエータについて一例を説明する。
【００５９】
アクチュエータの被駆動部において２軸駆動を行うために、例えば従来のように、低速駆動用と、高速駆動用との２つの駆動源を備えた場合、磁気回路が大型化することになる可能性がある。一例をあげれば、仮に、高速駆動側について十な駆動力を得ようとすると、２つの駆動源のうち高速駆動側の磁気回路の大型化が必要となる、といったことが考えられる。本実施形態では、上記のようなことを踏まえたものであり、先の各実施形態と同様、ミラー等の被駆動部を支持する枠等のベース部の変形に関する問題を回避しつつ、さらに、装置の小型化、軽量化や省電力化を向上させた被駆動部の２軸駆動を行うことができるアクチュエータを提供するに際して、低速駆動用と高速駆動用との２つの駆動源を備えた場合における磁気回路等の駆動源側の大型化を抑制する、延いては装置全体の大型化を抑制することを可能にするものとなっている。
【００６０】
図５（Ａ）は、本実施形態に係るアクチュエータの一例について説明するためのブロック図である。なお、本実施形態の一態様としてのアクチュエータ５００は、例えばレーザパルス等によるパルス光を対象物に対して走査させることで対象物についての距離画像データを取得可能とする距離画像装置において、光走査を行うための装置として適用可能である。
【００６１】
まず、図５（Ａ）に示すように、本実施形態に係るアクチュエータ５００は、回転駆動の駆動源となる力を生み出す一対構成の第１及び第２回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂと、回転駆動源部ＤＳからの力を受けて所望の回転動作をする動作部ＲＥと、装置全体を固定する枠体状の固定部５５０とを備える。ここでは一例として、第１回転駆動源部ＤＳａは、主としてＸ方向に沿って延びる第１軸ＡＸ１の周りについての回転動作に寄与するものであり、第１軸ＡＸ１の周りについて回転動作は、低速駆動（例えば周波数６０Ｈｚ）となっているものとする。一方、第２回転駆動源部ＤＳｂは、専らＹ方向に沿って延びる第２軸ＡＸ２の周りについての回転動作に寄与するものであり、第２軸ＡＸ２の周りについて回転動作は、高速駆動（例えば周波数３０ｋＨｚ）となっているものとする。
【００６２】
第１及び第２回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂのうち、動作部ＲＥの−Ｘ側に位置する第１回転駆動源部ＤＳａは、回転動作をする駆動部であるコイル部５１０ａと、コイル部５１０ａに対して磁界を付与する磁界付与部５２０ａと、コイル部５１０ａを動作部ＲＥ側に接続する第１接続部ＣＮ１ａとを備える。
【００６３】
第１及び第２回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂのうち、動作部ＲＥの＋Ｘ側に位置する第２回転駆動源部ＤＳｂは、第１回転駆動源部ＤＳａと同様に、駆動部であるコイル部５１０ｂと、磁界付与部５２０ｂと、第１接続部ＣＮ１ｂとを備える。ただし、磁界の向きや流す電流の制御等が異なっていることに伴い、各部の配置等については異なっている。
【００６４】
動作部ＲＥは、第１接続部ＣＮ１ａ，ＣＮ１ｂを介してコイル部５１０ａ，５１０ｂにそれぞれ接続される枠体状のベース部（可動枠）３０と、枠体状のベース部３０の内側に配置されてベース部３０に接続される被駆動部４０と、ベース部３０と被駆動部４０とを接続する一対構成の第２接続部ＣＮ２，ＣＮ２とを備える。
【００６５】
ここで、図５（Ａ）において、平面状に示される装置全体のうち外枠である固定部５５０が形成する面を基準面（水平面）とし、基準面のうち、図５（Ａ）での横方向をＸ方向とし、Ｘ方向に垂直な方向をＹ方向とする。なお、枠体状の固定部５５０は、Ｘ方向に延びる２つの辺とＹ方向に延びる２つの辺とによって矩形状となっている。さらに、Ｘ方向及びＹ方向の双方に垂直な方向すなわち基準面に垂直な方向をＺ方向とする。
【００６６】
以上の構成を有することで、アクチュエータ５００は、第１及び第２回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂ側で発生させた加振力を被駆動部４０を有する動作部ＲＥ側へ伝達させ、被駆動部４０を、Ｘ方向に沿って延びる第１軸ＡＸ１とＸ方向に垂直なＹ方向に沿って延びる第２軸ＡＸ２との２軸に関して回転可能にしている。
【００６７】
また、図示の例では、第１及び第２回転駆動源部ＤＳａ，ＤＳｂは、第１軸ＡＸ１の軸上に沿って延びる一対の棒状の接続部材ＣＰ，ＣＰを介して、固定部５５０にそれぞれ接続されている。また、第１軸ＡＸ１を中心軸として対称な形状を有しており、第１軸ＡＸ１を軸として矢印Ｒ１に示す方向にそれぞれ軸回転可能（第１軸ＡＸ１の軸周りに回転可能）となっている。さらに、被駆動部４０は、枠体状のベース部３０の内側に配置され、第２軸ＡＸ２上に沿って延びる一対の棒状の接続部材である第２接続部ＣＮ２，ＣＮ２を介して、ベース部３０に接続されている。これにより、被駆動部４０は、第２軸ＡＸ２を軸として矢印Ｒ２に示す方向にそれぞれ軸回転可能となっている。すなわち、第２軸ＡＸ２の軸周りに軸回転可能となっている。
【００６８】
なお、コイル部１０には、電源（図示略）から被駆動部４０を回転させるための制御電流が供給される。制御電流については、被駆動部４０の駆動周波数に対応した周波数の信号成分を含む交流電流となっており、ここでは、既述のように、また、図５（Ｂ）に概念的に示すように、低速駆動（例えば周波数６０Ｈｚ）用の第１駆動信号ＳＧ１と、高速駆動（例えば周波数３０ｋＨｚ）用の第２駆動信号ＳＧ２とが供給される。特に、本実施形態では、低速駆動用の第１駆動信号ＳＧ１は、第１回転駆動源部ＤＳａのコイル部５１０ａに対してのみ送信（印加）されるが、高速駆動用の第２駆動信号ＳＧ２は、第２回転駆動源部ＤＳｂのコイル部５１０ｂに対してのみならず、第１回転駆動源部ＤＳａのコイル部５１０ａに対しても送信（印加）されるものとなっている。
【００６９】
ここで、被駆動部４０に固有の固有周波数（共振周波数）に対して、第１駆動信号ＳＧ１の周波数については、非共振駆動（強制駆動）あるいは共振駆動であるものになっており、第２駆動信号ＳＧ２の周波数については、共振駆動であるものになっている。これらの駆動信号によって振動の印加を行うことで、アクチュエータ５００は、被駆動部４０の回転駆動をさせる。
【００７０】
以下、本実施形態に係るアクチュエータ５００を構成する各部についてより具体的に説明する。
【００７１】
まず、第１回転駆動源部ＤＳａの構成について説明する。第１回転駆動源部ＤＳａのうち、コイル部５１０ａは、例えば金や銅等の比較的導電率の高い材料を用いた巻き線を矩形の形状の枠体に沿って設けたループ状の構成となっている。特に、矩形状の部分を構成する４つの辺のうち２つの辺が、Ｘ方向に沿って延びてこの方向について電流（交流電流）Ｉが流れることで、磁界付与部５２０ａにおいて発生する磁界の向きを横切るようになっている。これにより、コイル部５１０ａは、磁界付与部５２０ａからローレンツ力を受け、被駆動部４０において必要な走査範囲や速さ等に応じて適度に調整された振れ角や速度で軸回転する。特に、ここでは、コイル部５１０ａは、第１軸ＡＸ１を中心軸として対称な形状を有しており、固定部５５０と接続する接続部材ＣＰ及びベース部３０と接続する第１接続部ＣＮ１ａをトーションバー（回転用のばね）として安定的に回転動作をする。
【００７２】
磁界付与部５２０ａは、例えば複数の永久磁石ＭＧ，ＭＧ，…を組み合わせることで構成されており、コイル部５１０ａに対して磁界を付与する。図示の例では、適宜永久磁石ＭＧ，ＭＧ，…を組み合わせて設置して磁界付与部５２０ａが形成され、−Ｙ方向の向きに磁界Ｂを発生させている。コイル部５１０ａは、既述のように、Ｙ方向に直交するＸ方向について電流Ｉが流れることで、Ｚ方向についての力を受ける（フレミング左手の法則）。すなわち、コイル部５１０ａのうち、Ｘ方向に沿って延び２つの辺において等距離にある偶力となる反対向きの力が±Ｚ方向に発生する。従って、コイル部５１０ａは、Ｘ方向に沿って延びる第１軸ＡＸ１を回転中心軸として回転する。
【００７３】
第１接続部ＣＮ１ａは、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属等を材料とするあるいは樹脂を材料として構成され、弾性を有する部材である。第１接続部ＣＮ１ａは、図示のように、第１軸ＡＸ１上をＸ方向に沿って延び、Ｘ方向に並んで配置されるコイル部５１０ａとベース部３０とを接続している。第１接続部ＣＮ１ａは、既述のように、第１軸ＡＸ１の軸上に沿って配置されており、第１軸ＡＸ１周りの動作について、同じく第１軸ＡＸ１の軸上に沿って配置されている接続部材ＣＰとともに、回転中心軸となり、安定的に回転動作をする。
【００７４】
以上のような構成により、第１回転駆動源部ＤＳａは、コイル部５１０ａにおいて発生する加振力に相当する回転駆動の力あるいは回転トルクを、第１接続部ＣＮ１ａを介してベース部３０に伝達する。この場合、第１接続部ＣＮ１ａは、第１軸ＡＸ１周りの振動作用をベース部３０に対して生じることになる。ただし、コイル部５１０ａに対しては、上記のような駆動（低速駆動）を行うための第１駆動信号ＳＧ１のみならず、高速駆動用の第２駆動信号ＳＧ２についても供給されるものとなっている（図５（Ｂ）参照）。
【００７５】
次に、第２回転駆動源部ＤＳｂの構成について説明する。第２回転駆動源部ＤＳｂのうち、コイル部５１０ｂは、例えば金や銅等の比較的導電率の高い材料を用いた巻き線を矩形の形状の枠体に沿って設けたループ状の構成となっている。特に、矩形状の部分を構成する４つの辺のうち２つの辺が、Ｙ方向に沿って延びてこの方向について電流（交流電流）Ｉが流れることで、磁界付与部５２０ｂにおいて発生する磁界の向きを横切るようになっている。これにより、コイル部５１０ｂは、磁界付与部５２０ｂからローレンツ力を受け、被駆動部４０において必要な走査範囲や速さ等に応じて適度に調整された振れ角や速度で軸回転する。
【００７６】
磁界付与部５２０ｂは、例えば複数の永久磁石ＭＧ，ＭＧ，…を組み合わせることで構成されており、コイル部５１０ｂに対して磁界を付与する。図示の例では、適宜永久磁石ＭＧ，ＭＧ，…を組み合わせて設置して磁界付与部５２０ｂが形成され、−Ｘ方向の向きに磁界Ｂを発生させている。コイル部５１０ｂは、既述のように、Ｙ方向に直交するＸ方向について電流Ｉが流れることで、Ｚ方向についての力を受ける（フレミング左手の法則）。すなわち、コイル部５１０ｂのうち、Ｙ方向に沿って延び２つの辺において等距離にある偶力となる反対向きの力が±Ｚ方向に発生する。従って、コイル部５１０ｂは、Ｙ方向に沿って延びる自身の中心軸である第３軸ＡＸ３を回転中心軸として矢印Ｒ３の方向について回転（微振動）する。
【００７７】
第１接続部ＣＮ１ｂは、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属等を材料とするあるいは樹脂を材料として構成され、弾性を有する部材である。第１接続部ＣＮ１ｂは、図示のように、第１軸ＡＸ１上をＸ方向に沿って延び、Ｘ方向に並んで配置されるコイル部５１０ｂとベース部３０とを接続している。第１接続部ＣＮ１ｂは、第１軸ＡＸ１の軸上に沿って配置されている。なお、コイル部５１０ｂは、第１接続部ＣＮ１ｂと同じく第１軸ＡＸ１の軸上に沿って配置されている接続部材ＣＰにより固定部５５０に接続されている。
【００７８】
以上のような構成により、第２回転駆動源部ＤＳｂは、コイル部５１０ｂにおいて発生する加振力に相当する回転駆動の力あるいは回転トルクを、第１接続部ＣＮ１ｂを介してベース部３０に伝達する。この場合、第１接続部ＣＮ１ｂは、第２軸ＡＸ２周りの振動作用をベース部３０に対して生じることになる。ただし、コイル部５１０ｂに対しては、上記のような駆動（高速駆動）を行うための第２駆動信号ＳＧ２のみ供給され、低速駆動用の第１駆動信号ＳＧ１については供給されない（図５（Ｂ）参照）。
【００７９】
最後に、動作部ＲＥの構成について説明する。動作部ＲＥのうち、ベース部３０は、第１軸ＡＸ１を中心軸として対称な形状を有しており、内側に被駆動部４０を有する枠体状の部材である。さらに、図示の例では、ベース部３０は、Ｘ方向について−Ｘ側において第１回転駆動源部ＤＳａの第１接続部ＣＮ１ａに接続され、＋Ｘ側において第２回転駆動源部ＤＳｂの第１接続部ＣＮ１ｂに接続されている。これにより、ベース部３０は、各コイル部５１０ａ，５１０ｂにおいて発生した加振力に相当する回転駆動の力あるいは回転トルクを、第１接続部ＣＮ１ａ，ＣＮ１ｂを介して受け（伝達され）る。ただし、ベース部３０は、自身の回転作用の影響については、コイル部５１０ａ側からの影響のみ受け、第１軸ＡＸ１を回転中心軸として回転動作をする可動枠となっている。一方、ベース部３０は、第２接続部ＣＮ２，ＣＮ２を介した被駆動部４０への回転駆動の力あるいは回転トルクを伝達については、コイル部５１０ａ側からのもののみならず、コイル部５１０ｂ側からのものについても伝達する。例えば、第１接続部ＣＮ１ａ，ＣＮ１ｂの弾性を適宜調整しておくことで、第１接続部ＣＮ１ａは、低速駆動（例えば周波数６０Ｈｚ）での動きに対しては、追従可能であるものとしつつ、第１接続部ＣＮ１ａ，ＣＮ１ｂは、高速駆動（例えば周波数３０ｋＨｚ）での動き（微振動）に対しては、追従不可能であるようになっており、高速駆動用の第２駆動信号ＳＧ２の伝達のみに寄与し、これに伴う回転動作は行わないようになっており、その一方で、第２接続部ＣＮ２については、高速駆動側の駆動信号に基づく回転動作に追従してトーションバー（回転用のばね）として機能させるようになっている、といった場合が考えられる。
【００８０】
第２接続部ＣＮ２は、弾性を有する部材であり、既述のように、例えば第１接続部ＣＮ１ａ，ＣＮ１ｂに比べて相対的に高い周波数についての振動にも応答し得るように構成されている。第２接続部ＣＮ２は、第２軸ＡＸ２上に沿って延びる一対の棒状の部材であり、被駆動部４０のＹ方向の端部にそれぞれ接続している。
【００８１】
被駆動部４０は、平面部分（図示の場合、楕円形状の面部分）を有する部材であり、例えば平面部分あるいはその一部を可動するミラー面（光反射面）として形成し、これを回転駆動させることで、光を入反射させつつ光走査を行うことが可能となる。被駆動部４０は、既述のように、枠体状のベース部３０の内側に配置されるとともに、一対の第２接続部ＣＮ２，ＣＮ２を介して、ベース部３０に接続されている。
【００８２】
被駆動部４０は、ベース部３０に接続していることで、ベース部３０とともに、低速駆動用の第１駆動信号ＳＧ１に基づくコイル部５１０ａ側からの回転駆動の力あるいは回転トルクを受けて第１軸ＡＸ１を回転中心軸とする回転動作をする。さらに、被駆動部４０は、高速駆動用の第２駆動信号ＳＧ２に基づくコイル部５１０ｂ側からの回転駆動の力あるいは回転トルクを受けて第２軸ＡＸ２を回転中心軸とする回転動作をする。本実施形態では、さらに、高速駆動用の第２駆動信号ＳＧ２が、低速駆動用の第１回転駆動源部ＤＳａを構成するコイル部５１０ａ側にも送信されている。これにより、被駆動部４０は、第１回転駆動源部ＤＳａからの影響を受けて、高速駆動用の第２回転駆動源部ＤＳｂの構成を大型化することなく、高速側の振り角を増大させることができる。
【００８３】
以下、アクチュエータ５００における被駆動部４０の回転駆動の動作の一例について説明する。ここでは、既述のように、Ｘ方向に沿って延びる第１軸ＡＸ１周りについては、低速駆動（例えば周波数６０Ｈｚ）となっており、Ｙ方向に沿って延びる第２軸ＡＸ２周りについて、高速駆動（例えば周波数３０ｋＨｚ）となっている。つまり、ここでは、第１軸ＡＸ１の周りの回転力に対応する駆動周波数の振動よりも高い駆動周波数の振動を発生させることにより、第２軸ＡＸ２の周りに被駆動部４０を駆動させるものとなっている。すなわち、この場合、被駆動部４０の回転について、第１軸ＡＸ１周りのみならず第１軸ＡＸ１に垂直な第２軸ＡＸ２周りについても駆動させる２軸駆動を行うものになっている。
【００８４】
低速駆動用のコイル部５１０ａへ供給する（印加する）制御電流については、被駆動部４０の駆動周波数に対応した２つの周波数の信号成分（低速駆動側の駆動信号と高速駆動側の駆動信号）の双方を含みうるものとする。一方、高速駆動用のコイル部５１０ｂへ供給する制御電流については、被駆動部４０の駆動周波数に対応した２つの周波数のうち、高速駆動側の駆動信号のみを含むものとする。図５（Ｂ）で見ると、低速駆動側の駆動信号である第１駆動信号ＳＧ１は、コイル部５１０ａに対してのみ送信され、高速駆動側の駆動信号である第２駆動信号ＳＧ２は、コイル部５１０ａと、コイル部５１０ｂとの双方に対して送信されるものとなっている。
【００８５】
なお、図５（Ｂ）に示す各駆動信号の送信のための３つの引出し線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３に対して、印加する信号を適宜調整することにより、上記のように第２駆動信号ＳＧ２をコイル部５１０ａとコイル部５１０ｂとの双方に送信する態様のほか、例えば第２駆動信号ＳＧ２をコイル部５１０ｂに対してのみ送信する態様としたり、第２駆動信号ＳＧ２を送信せず第１駆動信号ＳＧ１をコイル部５１０ａに対してのみ送信する態様としたりすることも可能である。
【００８６】
以上のように、本実施形態では、被駆動部４０を第１軸ＡＸ１上の周りに駆動させるための低速駆動用信号（第１駆動信号ＳＧ１）が印加される低速用コイル部であるコイル部５１０ａと、被駆動部４０を第２軸ＡＸ２上の周りに駆動させるための高速駆動用信号（第２駆動信号ＳＧ２）が印加される高速用コイル部であるコイル部５１０ｂとを備え、低速用コイル部であるコイル部５１０ａが、低速駆動用信号（第１駆動信号ＳＧ１）に加え高速駆動用信号（第２駆動信号ＳＧ２）についても印加可能となっている。すなわち、高速駆動に際して、高速用コイルに加え、低速用コイルにも速駆動用信号を印可することで、高速用コイルに印可された速駆動用信号のみならず低速用コイルに印可された速駆動用信号までもが微振動となり被駆動部４０に伝達され、高速側（第２軸ＡＸ２周り）についての被駆動部４０の振り角を高速用の駆動源を増設することなく増大させることができる。見方を変えると、駆動源の増設を回避することで装置の小型化を図ることができる。
【００８７】
また、本実施形態においても、アクチュエータにおいて、コイル部とベース部とを、第１軸上にそれぞれ回転中心が配置されるように第１接続部により接続して配置することで、コイル部の回転に伴うベース部の変形の問題を回避できる。
【００８８】
この発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
【００８９】
まず、上記実施形態では、ベース部や固定部の形状について、枠体状としているが、部材の支持等の必要な機能が維持できれば、これに限らず、種々の形状とすることができる。
【００９０】
また、上記実施形態に示した電流Ｉの制御や磁界Ｂの向きについては、例示であり、適宜変更可能である。
【００９１】
さらに、上記実施形態では、駆動部をコイル部として記載したが、圧電素子等の駆動力が与えられる機構であれば駆動部として良い。
【符号の説明】
【００９２】
１０，１０ａ，１０ｂ…コイル部、２０，２０ａ，２０ｂ…磁界付与部、３０…ベース部、４０…被駆動部、５０…固定部、１００，２００，３００，４００，５００…アクチュエータ、３１０，３１０ａ，３１０ｂ…コイル部、５１０ａ，５１０ｂ…コイル部、５２０ａ，５２０ｂ…磁界付与部、５５０…固定部、ＡＸ１…第１軸、ＡＸ２…第２軸、ＡＸ３…第３軸、Ｂ…磁界、ＣＮ１，ＣＮ１ａ，ＣＮ１ｂ…第１接続部、ＣＮ２…接続部、ＣＰ…接続部材、ＣＴ…中心、ＣＴａ…重心、ＤＳ…回転駆動源部、ＤＳａ…第１回転駆動源部、ＤＳｂ…第２回転駆動源部、Ｆ，Ｆａ…力、Ｉ…電流、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３…引出し線、ＭＧ…永久磁石、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３…矢印、ＲＥ…動作部、ＳＧ１…第１駆動信号、ＳＧ２…第２駆動信号、ＸＸ…交点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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