(57)【要約】      （修正有）【課題】透明エレクトレットコーティング層が正常に機能することができるエレクトレットフィルムを提供する。【解決手段】エレクトレットフィルム１は、基材層２と、基材層２にエレクトレット材料を塗布した塗布物である透明エレクトレットコーティング層３と、透明絶縁層４と、透明導電層５とを上側に順に備える。透明絶縁層は感圧接着層であり、さらに第２の透明導電層を備える。第２の透明導電層と、基材層と、透明エレクトレットコーティング層と、透明絶縁層と、透明導電層とは、前記厚み方向一方側に向かって順に配置されている。【選択図】図１
2019106440.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材層と、
前記基材層にエレクトレット材料を塗布した塗布物である透明エレクトレットコーティング層と、
透明絶縁層と、
透明導電層と
を厚み方向一方側に向かって順に備えることを特徴とする、エレクトレットフィルム。
【請求項２】
前記透明絶縁層が、感圧接着層であることを特徴とする、請求項１に記載のエレクトレットフィルム。
【請求項３】
第２の透明導電層をさらに備え、
前記第２の透明導電層と、前記基材層と、前記透明エレクトレットコーティング層と、前記透明絶縁層と、前記透明導電層とが前記厚み方向一方側に向かって順に配置されていることを特徴とする、請求項１または２に記載のエレクトレットフィルム。
【請求項４】
前記基材層が、基材フィルムおよび光学調整層を備え、
前記第２の透明導電層と、前記光学調整層と、前記基材フィルムと、透明エレクトレットコーティング層と、前記透明絶縁層と、前記透明導電層とが順に配置されていることを特徴とする、請求項３に記載のエレクトレットフィルム。
【請求項５】
前記透明エレクトレットコーティング層が、２０Ｖ以上、２０００Ｖ以下の表面帯電圧の絶対値を有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルム。
【請求項６】
前記透明エレクトレットコーティング層が、１０μｍ以下の厚みを有することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルム。
【請求項７】
前記エレクトレット材料が、主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーを含有することを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エレクトレットフィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトレット膜は、帯電された電荷を半永久的に保持できる膜であって、押圧センサなどの各種装置に備えられることが知られている。
【０００３】
例えば、基板と、その上面に配置されたエレクトレット膜と、基板の上面において、エレクトレット膜の周囲に、間隔を隔てて取り囲むＳｉＯ２からなる保護膜とを備えるエレクトレット素子が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２７７４７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載のエレクトレット素子では、エレクトレット膜の上面が外部に露出しているので、エレクトレット膜と空気との界面（つまり、エレクトレット膜の上面）における反射などに起因して光学特性、とくに、透明性が低下するという不具合がある。
【０００６】
そこで、例えば、特許文献１に記載のエレクトレット素子において、エレクトレット素子の上面に、保護膜を直接設けることが試案される。
【０００７】
しかし、そのような試案では、導電性を有するＳｉＯ２からなる保護膜が、エレクトレット膜の上面に接触して導通するので、エレクトレット膜が正常に機能しないという不具合がある。
【０００８】
本発明は、透明エレクトレットコーティング層が正常に機能することができるエレクトレットフィルムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明（１）は、基材層と、前記基材層にエレクトレット材料を塗布した塗布物である透明エレクトレットコーティング層と、透明絶縁層と、透明導電層とを厚み方向一方側に向かって順に備える、エレクトレットフィルムを含む。
【００１０】
このエレクトレットフィルムでは、透明エレクトレットコーティング層と、透明絶縁層と、透明導電層とを厚み方向一方側に向かって順に配置される。つまり、透明エレクトレットコーティング層と、透明導電層との間に、透明絶縁層が厚み方向において介在する。そのため、透明エレクトレットコーティング層が、透明導電層に直接接触せず、正常に機能することができる。
【００１１】
また、透明エレクトレットコーティング層は、基材層にエレクトレット材料を塗布した塗布物であるので、基材層に対する密着性に優れる。そのため、透明エレクトレットコーティング層は、確実に支持される。
【００１２】
本発明（２）は、前記透明絶縁層が、感圧接着層である、（１）に記載のエレクトレットフィルムを含む。
【００１３】
このエレクトレットフィルムでは、透明絶縁層が、感圧接着層であるので、透明絶縁層によって、透明導電層の透明エレクトレットコーティング層に対する密着性を向上させることができる。そのため、透明導電層と透明エレクトレットコーティング層との間に空気が流入することに起因する光学特性の低下を有効に防止することができる。
【００１４】
本発明（３）は、第２の透明導電層をさらに備え、前記第２の透明導電層と、前記基材層と、前記透明エレクトレットコーティング層と、前記透明絶縁層と、前記透明導電層とが前記厚み方向一方側に向かって順に配置されている、（１）または（２）に記載のエレクトレットフィルムを含む。
【００１５】
また、このエレクトレットフィルムは、第２の透明導電層をさらに備えるので、透明導電層および第２の透明導電層を電極として作用させれば、エレクトレットフィルムを押圧センサの部品として好適に用いることができる。
【００１６】
本発明（４）は、前記基材層が、基材フィルムおよび光学調整層を備え、前記第２の透明導電層と、前記光学調整層と、前記基材フィルムと、透明エレクトレットコーティング層と、前記透明絶縁層と、前記透明導電層とが順に配置されている、（３）に記載のエレクトレットフィルムを含む。
【００１７】
このエレクトレットフィルムでは、基材層が、さらに光学調整層を備えるので、第２の透明導電層の視認抑制性を向上させることができる。
【００１８】
本発明（５）は、前記透明エレクトレットコーティング層が、２０Ｖ以上、２０００Ｖ以下の表面帯電圧の絶対値を有する、（１）〜（４）のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルムを含む。
【００１９】
また、このエレクトレットフィルムでは、透明エレクトレットコーティング層が、２０Ｖ以上、２０００Ｖ以下の表面帯電圧の絶対値を有するので、取扱性に優れるとともに、エレクトレットフィルムを押圧センサに備えれば、押圧センサが優れた感圧特性を得ることができる。
【００２０】
本発明（６）は、前記透明エレクトレットコーティング層が、１０μｍ以下の厚みを有する、（１）〜（５）のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルムを含む。
また、このエレクトレットフィルムでは、透明エレクトレットコーティング層が、１０μｍ以下の厚みを有するので、優れた透明性を確保することができる。
【００２１】
本発明（７）は、前記エレクトレット材料が、主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーを含有する、（１）〜（６）のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルムを含む。
【００２２】
また、このエレクトレットフィルムでは、エレクトレット材料が、主鎖に環構造を有するフッ素系重合体であるので、優れた帯電特性を得ることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のエレクトレットフィルムでは、透明エレクトレットコーティング層が、正常に機能することができるとともに、基材層に確実に密着される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１Ａおよび図１Ｂは、本発明のエレクトレットフィルムの一実施形態を示し、図１Ａが、エレクトレットフィルムの断面図、図１Ｂが、図１Ａに示すエレクトレットフィルムの分解図である。
【図２】図２Ａおよび図２Ｂは、図１Ａおよび図１Ｂに示すエレクトレットフィルムの変形例（第２の透明導電層をさらに備える変形例）を示し、図１Ａが、エレクトレットフィルムの断面図、図２Ｂが、図２Ａに示すエレクトレットフィルムの分解図である。
【図３】図３は、図１Ａに示すエレクトレットフィルムの変形例（第２の透明導電層および光学調整層をさらに備える変形例）の断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
＜一実施形態＞
本発明のエレクトレットフィルムの一実施形態であるエレクトレットフィルム１を、図１Ａおよび図１Ｂを参照して説明する。
【００２６】
図１Ａおよび図１Ｂにおいて、紙面上下方向は、エレクトレットフィルム１の厚み方向の一例である。紙面上側が、上側（厚み方向一方側）であり、紙面下側が、（厚み方向他方側）である。具体的には、方向は、各図の方向矢印に準拠する。この方向の定義により、エレクトレットフィルム１の製造時および使用時の向きを限定する意図はない。
【００２７】
図１に示すように、このエレクトレットフィルム１は、所定の厚みを有するフィルム形状（シート形状を含む）をなし、厚み方向と直交する所定方向（面方向）に延び、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。
【００２８】
エレクトレットフィルム１は、基材層２と、透明エレクトレットコーティング層３と、透明絶縁層４と、透明導電層５とを上側に向かって順に備える。具体的には、エレクトレットフィルム１は、基材層２と、基材層２の上面に配置される透明エレクトレットコーティング層３と、透明エレクトレットコーティング層３の上面に配置される透明絶縁層４と、透明絶縁層４の上面に配置される透明導電層５とを備える。好ましくは、エレクトレットフィルム１は、基材層２と、透明エレクトレットコーティング層３と、透明絶縁層４と、透明導電層５とのみからなる。
【００２９】
なお、エレクトレットフィルム１は、透明導電層５を備えるので、透明導電層付エレクトレットフィルムである。
【００３０】
基材層２は、エレクトレットフィルム１の下面を形成する。具体的には、基材層２は、面方向に延びる略平板（フィルム）形状を有する基材フィルム７を含む。好ましくは、基材層２は、基材フィルム７のみからなる。
【００３１】
基材フィルム７の材料は、例えば、透明材料が挙げられる。
【００３２】
透明材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル樹脂、例えば、ポリメタクリレートなどの（メタ）アクリル樹脂（アクリル樹脂および／またはメタクリル樹脂）、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマーなどのオレフィン樹脂、例えば、ポリカーボネート樹脂、例えば、ポリエーテルスルフォン樹脂、例えば、ポリアリレート樹脂、例えば、メラミン樹脂、例えば、ポリアミド樹脂、例えば、ポリイミド樹脂、例えば、セルロース樹脂、例えば、ポリスチレン樹脂、例えば、ノルボルネン樹脂などが挙げられる。これらは、単独使用または２種以上併用することができる。透明性の観点から、好ましくは、ポリエステル樹脂が挙げられ、より好ましくは、ＰＥＴが挙げられる。
【００３３】
基材層２の全光線透過率は、例えば、９０％以上、好ましくは、９５％以上、より好ましくは、９９％以上である。
【００３４】
また、基材フィルム７の材料は、好ましくは、絶縁性を有する。材料の体積抵抗率は、例えば、１０×６Ω・ｃｍ以上、好ましくは、１０×８Ω・ｃｍ以上、より好ましくは、１０×１０Ω・ｃｍである。
【００３５】
基材層２の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。
【００３６】
透明エレクトレットコーティング層３は、基材層２の上面全面に配置されている。透明エレクトレットコーティング層３は、帯電可能な誘電層である。透明エレクトレットコーティング層３は、基材層２の上面にエレクトレット材料を塗布した塗布物である。
【００３７】
エレクトレット材料としては、例えば、誘電性有機成分、誘電性無機成分などの透明誘電性成分が挙げられる。透明誘電性成分は、単独使用または併用することができる。好ましくは、誘電性有機成分の単独使用が挙げられる。
【００３８】
誘電性有機成分としては、例えば、ポリマーが挙げられる。ポリマーとしては、例えば、ポリフッ化エチレン（ＰＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリフッ化ポリプロピレン（ＦＥＰ−テフロン）、主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーなどのフッ素系ポリマー、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリプロピレン（ＰＰ）等の非フッ素系ポリマーが挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。好ましくは、フッ素系ポリマー、より好ましくは、帯電特性の観点から、主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーが挙げられる。
【００３９】
主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーは、例えば、式（１）で示される。
【００４０】
式（１）：
【００４１】
【化１】
2019106440.tif 000003
【００４２】
式中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３およびＹは、互いに同一または相異なっていてもよく、例えば、パーフルオロメチレン、パーフルオロエチレン、パーフルオロプロピレンなどのパーフルオロアルキレンが挙げられる。好ましくは、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３が、パーフルオロメチレン（−ＣＦ３−）であり、Ｙが、パーフルオロエチレン（−Ｃ２Ｆ６−）である。
【００４３】
ｍは、例えば、２以下の整数、好ましくは、１以下の整数、より好ましくは、０である。
【００４４】
ｎは、環状構造の重合度を示し、用途および目的に応じて、適宜設定される。
【００４５】
また、上記した説明では、すべての炭素原子に、フッ素原子のみが結合しているが、フッ素原子の一部が水素原子と置換することができる。好ましくは、すべての炭素原子に、フッ素原子のみが結合している。
【００４６】
また、フッ素系ポリマーは、主鎖の末端に、カルボキシル基などの反応性基を有することができる。
【００４７】
誘電性無機成分としては、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素などが挙げられる。
【００４８】
エレクトレット材料は、市販品を用いることができ、例えば、誘電性有機成分として、サイトップシリーズ（型番「ＣＴＬ−８０９Ａ」（式（２）参照、旭硝子社製）などが挙げられる。
【００４９】
式（２）：
【００５０】
【化２】
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【００５１】
透明エレクトレットコーティング層３の全光線透過率は、例えば、９０％以上、好ましくは、９２％以上、より好ましくは、９５％以上であり、また、例えば、１００％以下である。
【００５２】
透明エレクトレットコーティング層３のヘイズは、例えば、２．０％以下、好ましくは、１．０％以下、より好ましくは、０．５％以下、さらに好ましくは、０．３％以下であり、また、例えば、０．０％以上である。
【００５３】
透明エレクトレットコーティング層３の表面帯電圧の絶対値は、例えば、２０Ｖ以上、好ましくは、５０Ｖ以上であり、また、例えば、２０００Ｖ以下、好ましくは、１０００Ｖ以下である。透明エレクトレットコーティング層３の表面帯電圧の絶対値が上記した下限以上であれば、優れた感圧特性を得ることができる。透明エレクトレットコーティング層３の表面帯電圧の絶対値が上記した上限以下であれば、ハンドリング時に放電が発生しないので、取扱性に優れる。表面帯電圧の測定方法は、後の実施例で記載する。
【００５４】
透明エレクトレットコーティング層３の厚みは、例えば、例えば、１μｍ以上、好ましくは、２μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下である。透明エレクトレットコーティング層３の厚みが上記した下限以上であれば、所望の表面帯電圧を確保することができる。透明エレクトレットコーティング層３の厚みが上記した上限以下であれば、優れた透明性を確保することができる。
【００５５】
透明絶縁層４は、透明エレクトレットコーティング層３の上面全面に配置されている。また、透明絶縁層４は、透明エレクトレットコーティング層３の上面全面を被覆しており、次に説明する透明導電層５との間を絶縁している。透明絶縁層４は、面方向に延びる略平板形状を有する。なお、透明絶縁層４は、上下方向に貫通する孔などを有しておらず、これにより、透明エレクトレットコーティング層３の上面全面を上側から遮蔽している。また、透明絶縁層４は、透明エレクトレットコーティング層３に対して密着状に接触している。これによって、透明エレクトレットコーティング層３と透明絶縁層４との間に空気が流入することを有効に防止している。
【００５６】
また、透明絶縁層４は、例えば、感圧接着層１０である。
【００５７】
感圧接着層１０の材料は、例えば、透明性および絶縁性を有する感圧接着組成物である。
【００５８】
そのような感圧接着組成物は、アクリル系ポリマー、シリコーン系ポリマー、ポリエステル系ポリマー、ポリウレタン系ポリマー、ポリアミド系ポリマー、ポリビニルエーテル系ポリマー、酢酸ビニル／塩化ビニルコポリマー、変性ポリオレフィン、エポキシ系ポリマー、フッ素系ポリマーなどのポリマーを含有する。ポリマーとして、透明および感圧接着性の観点からアクリル系ポリマーが挙げられる。
【００５９】
感圧接着組成物は、市販品を用いることができ、例えば、ＬＵＣＩＡＣＳ（登録商標）（日東電工社製）などが用いられる。
【００６０】
感圧接着層１０の材料（感圧接着組成物）の体積抵抗率は、例えば、１０×６Ω・ｃｍ以上、好ましくは、１０×８Ω・ｃｍ以上、より好ましくは、１０×１０Ω・ｃｍである。
【００６１】
このような感圧接着層１０は、例えば、特開２０１４−０５３３１３号公報などに記載される。
【００６２】
透明絶縁層４（感圧接着層１０）の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、２μｍ以上であり、また、例えば、２００μｍ以下、好ましくは、１００μｍ以下である。
【００６３】
透明導電層５は、エレクトレットフィルム１の上面を形成する。透明導電層５は、透明絶縁層４の上面全面に配置されている。また、透明導電層５は、透明絶縁層４の上面に接触しているが、透明エレクトレットコーティング層３に接触しない。そのため、透明導電層５と、透明エレクトレットコーティング層３との間は、透明絶縁層４によって、絶縁されている。また、透明導電層５は、透明絶縁層４に対して密着状に接触している。これによって、透明絶縁層４と透明導電層５との間に空気が流入することを有効に防止している。ひいては、透明エレクトレットコーティング層３および透明導電層５の間に空気が流入することを有効に防止している。
【００６４】
透明導電層５の材料としては、例えば、透明導電材料である。透明導電材料としては、例えば、インジウムスズ複合酸化物（ＩＴＯ）などのインジウム含有酸化物、例えば、アンチモンスズ複合酸化物（ＡＴＯ）などのアンチモン含有酸化物などが挙げられ、好ましくは、インジウム含有酸化物、より好ましくは、ＩＴＯが挙げられる。
【００６５】
透明導電層５の表面抵抗は、例えば、１Ω／□以上、好ましくは、１０Ω／□以上であり、また、例えば、３００Ω／□以下、好ましくは２００Ω／□以下である。
【００６６】
透明導電層５の厚みは、特に限定されず、例えば、１０ｎｍ以上であり、また、例えば、３０ｎｍ以下である。
【００６７】
次に、エレクトレットフィルム１を製造する方法を説明する。
【００６８】
図１Ｂに示すように、エレクトレットフィルム１を製造するには、まず、基材層２を準備し、次いで、エレクトレット材料を基材層２の上面に塗布する。
【００６９】
エレクトレット材料を基材層２の上面に塗布するには、例えば、まず、エレクトレット材料を溶媒に配合して、エレクトレット材料のワニスを調製する。
【００７０】
溶媒としては、例えば、パーフルオロカーボン（ＰＦＣ）、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）、ハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）などのフッ素系溶媒が挙げられる。好ましくは、ＰＦＣが挙げられる。ワニスにおける溶媒の割合は、用途および目的に応じて、適宜設定される。
【００７１】
次いで、ワニスを、基材層２の上面に、例えば、アプリケータ、コータ、ディスペンサなどによって、塗布する。
【００７２】
続いて、溶媒を、例えば、加熱によって除去する（ワニスを乾燥する）。加熱温度は、例えば、１００℃以上、好ましくは、１２０℃以上であり、また、例えば、１７０℃以下、好ましくは、１６０℃以下である。加熱時間は、例えば、１０分以上、好ましくは、３０分以上であり、また、例えば、３００分以下、好ましくは、１００分以下である。
【００７３】
これによって、基材層２に、エレクトレット材料の塗布物を透明エレクトレットコーティング層３として形成する。
【００７４】
その後、透明エレクトレットコーティング層３を、帯電装置などによって、所望の電圧（直流電圧）を印加して、帯電させる。さらには、必要により、透明エレクトレットコーティング層３における過剰の表面帯電を、例えば、アルミホイルなどの金属箔と接触させて、除去する。
【００７５】
これによって、透明エレクトレットコーティング層３および基材層２を備える第１の積層体２１を準備する。
【００７６】
別途、透明導電層５を準備し、次いで、透明絶縁層４を透明導電層５の下面に設ける。例えば、感圧接着組成物を透明導電層５に貼り合わせ、透明導電層５および透明絶縁層４を備える第２の積層体２２を準備する。
【００７７】
その後、第１の積層体２１と、第２の積層体２２とを貼り合わせる。具体的には、第１の積層体２１の透明エレクトレットコーティング層３と、第２の積層体２２の透明絶縁層４とを貼り合わせる。これによって、透明エレクトレットコーティング層３と透明導電層５とを、透明絶縁層４（感圧接着層１０）を介して貼り合わせる（第１の製造方法）。
【００７８】
あるいは、第１の製造方法に代えて、透明絶縁層４および透明導電層５を、第１の積層体２１の透明エレクトレットコーティング層３に対して順に積層する製造方法（第２の製造方法）で、エレクトレットフィルム１を製造することもできる。
【００７９】
具体的には、感圧接着組成物を透明エレクトレットコーティング層３の上面に塗布し、その後、乾燥させて、透明絶縁層４を形成する。その後、透明導電層５を透明絶縁層４の上面に形成する。
【００８０】
これによって、基材層２、透明エレクトレットコーティング層３、透明絶縁層４および透明導電層５を上側に向かって順に備えるエレクトレットフィルム１を製造する。
【００８１】
このエレクトレットフィルム１の全光線透過率は、例えば、８０％以上、好ましくは、９０％超過、より好ましくは、９１％以上であり、また、例えば、１００％以下である。
【００８２】
エレクトレットフィルム１のヘイズは、例えば、３．０％以下、好ましくは、２．０％以下、より好ましくは、１．０％以下、さらに好ましくは、０．８％以下であり、また、例えば、０．０％以上である。
【００８３】
エレクトレットフィルム１の厚みは、基材層２、透明エレクトレットコーティング層３、透明絶縁層４および透明導電層５の厚みの総和であって、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、２０μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、８０μｍ以下である。
【００８４】
エレクトレットフィルム１は、次に説明する押圧センサ１１（後述、図２Ａ参照）ではなく、押圧センサ１１の一部品、すなわち、押圧センサ１１を作製するための部品である。具体的には、エレクトレットフィルム１は、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。
【００８５】
このエレクトレットフィルム１は、種々の装置に備えられ、好ましくは、押圧センサ１１などに備えられる。
【００８６】
そして、このエレクトレットフィルム１では、透明エレクトレットコーティング層３と、透明絶縁層４と、透明導電層５とを上側に向かって順に配置される。つまり、透明エレクトレットコーティング層３と、透明導電層５との間に、透明絶縁層４が上下方向（厚み方向）において介在する。そのため、透明エレクトレットコーティング層３が透明導電層５に直接接触せず、透明エレクトレットコーティング層３および透明導電層５の接触に起因する短絡を防止して、正常に機能することができる。
【００８７】
また、透明エレクトレットコーティング層３は、基材層２にエレクトレット材料を塗布した塗布物であるので、基材層２に対する密着性に優れる。そのため、透明エレクトレットコーティング層３は、確実に支持される。
【００８８】
また、このエレクトレットフィルム１では、透明絶縁層４が、感圧接着層１０であるので、透明絶縁層４によって、透明導電層５の透明エレクトレットコーティング層３に対する密着性を向上させることができる。そのため、透明導電層５と透明エレクトレットコーティング層３との間に空気が流入することに起因する光学特性の低下（具体的には、透明性の低下など）を有効に防止することができる。
【００８９】
また、このエレクトレットフィルム１では、基材層２が、２０Ｖ以上、２０００Ｖ以下の表面帯電圧の絶対値を有すれば、取扱性に優れるとともに、エレクトレットフィルム１を押圧センサ１１（後述、図２Ａ参照）に備えれば、押圧センサ１１が優れた感圧特性を得ることができる。
【００９０】
また、このエレクトレットフィルム１では、透明エレクトレットコーティング層３が、１０μｍ以下の厚みを有すれば、上記した所望の表面帯電圧を確保することができる。
【００９１】
また、このエレクトレットフィルム１では、エレクトレット材料が、主鎖に環構造を有するフッ素系重合体であれば、優れた帯電特性を得ることができる。
【００９２】
（変形例）
以下の変形例において、上記した一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００９３】
一実施形態では、透明絶縁層４を感圧接着層１０として説明している。しかし、この変形例では、透明絶縁層４は、感圧接着性を有しなくてもよい。
【００９４】
好ましくは、透明絶縁層４は、一実施形態で例示した感圧接着性を有する感圧接着層１０である。透明絶縁層４が感圧接着層１０であれば、感圧接着層１０によって、透明導電層５の透明エレクトレットコーティング層３に対する密着性を向上させることができる。
【００９５】
また、図１Ａおよび図１Ｂの実線で示す一実施形態では、エレクトレットフィルム１は、好ましくは、基材層２と、透明エレクトレットコーティング層３と、透明絶縁層４と、透明導電層５とのみからなる。
【００９６】
一方、図１Ａの仮想線で示すように、この変形例では、エレクトレットフィルム１は、さらに、第２の基材層６（仮想線）を備えることもできる。
【００９７】
つまり、エレクトレットフィルム１は、基材層２と、透明エレクトレットコーティング層３と、透明絶縁層４と、透明導電層５と、第２の基材層６とを上側に向かって順に備える。この変形例では、エレクトレットフィルム１は、好ましくは、基材層２と、透明エレクトレットコーティング層３と、透明絶縁層４と、透明導電層５と、第２の基材層６とのみからなる。
【００９８】
第２の基材層６は、透明導電層５の上面全面に配置されている。第２の基材層６は、エレクトレットフィルム１の上面を形成する。第２の基材層６は、面方向に延びる略平板（フィルム）形状を有する基材フィルム７である。第２の基材層６における基材フィルム７は、基材層２で例示した基材フィルム７と同一である。
【００９９】
図１Ａの仮想線で示す変形例のエレクトレットフィルム１を製造する方法としては、例えば、第１の製造方法、第２の製造方法が挙げられる。
【０１００】
図２Ｂに示すように、第１の製造方法および第２の製造方法のいずれにおいても、透明導電層５を、第２の基材層６に支持された状態で、準備および使用する。
【０１０１】
具体的には、第１の製造方法では、第２の積層体２２を準備するときに、透明導電層５が下面に配置された第２の基材層６を準備する。具体的には、透明導電層５を、例えば、スパッタリング法などで、第２の基材層６の下面に形成する。
【０１０２】
他方、一実施形態では、透明導電層５を、第２の基材層６に支持されることなく、準備および使用する。
【０１０３】
このエレクトレットフィルム１は、第２の基材層６をさらに備えるので、その製造方法において透明導電層５を第２の基材層６によって確実に支持しながら、エレクトレットフィルム１を確実に製造することができる。
【０１０４】
また、図１Ａに示すように、一実施形態では、エレクトレットフィルム１は、１つの透明導電層５のみを備える。しかし、この変形例では、図２Ａに示すように、エレクトレットフィルム１は、さらに、第２の透明導電層８を備える。つまり、エレクトレットフィルム１は、透明導電層５と第２の透明導電層８とを備える。要するに、エレクトレットフィルム１は、透明エレクトレットコーティング層３の上下両側に配置される２つの透明導電層（透明導電層５および第２の透明導電層８）を備える。
【０１０５】
このエレクトレットフィルム１では、第２の透明導電層８と、基材層２と、透明エレクトレットコーティング層３と、透明絶縁層４と、透明導電層５とが、上側に向かって順に配置されている。
【０１０６】
第２の透明導電層８は、エレクトレットフィルム１の下面を形成する。また、第２の透明導電層８は、透明導電層５とともに、透明エレクトレットコーティング層３を上下方向で挟み込む。第２の透明導電層８は、基材層２の下面全面に配置されている。また、第２の透明導電層８は、基材層２の下面全面に接触している。
【０１０７】
一方、第２の透明導電層８は、透明エレクトレットコーティング層３に接触しない。そのため、第２の透明導電層８と、透明エレクトレットコーティング層３との間は、好ましくは、絶縁性を有する材料からなる基材層２によって、絶縁されている。
【０１０８】
エレクトレットフィルム１の製造方法では、第１の積層体２１を準備するときに、まず、第２の透明導電層８を基材層２の下面に配置し、次いで、透明エレクトレットコーティング層３を基材層２の上面に配置する。あるいは、まず、透明エレクトレットコーティング層３を基材層２の上面に配置し、次いで、第２の透明導電層８を基材層２の下面に配置する。好ましくは、まず、第２の透明導電層８を基材層２に配置し、その後、透明エレクトレットコーティング層３を基材層２に配置する。
【０１０９】
これによって、第２の透明導電層８、基材層２および透明エレクトレットコーティング層３を順に備える第１の積層体２１を準備する。つまり、第１の積層体２１では、基材層２の上下両面に、第２の透明導電層８および透明エレクトレットコーティング層３が配置されている。なお、第１の積層体２１も、エレクトレットフィルム１の製造に使用される部品であって、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。
【０１１０】
その後、第２の積層体２２を第１の積層体２１に対して貼り合わせる（第１の製造方法）か、あるいは、透明絶縁層４および透明導電層５を順に第１の積層体２１に対して積層する（第２の製造方法）。
【０１１１】
そして、図２Ａに示すエレクトレットフィルム１は、第２の透明導電層８をさらに備えるので、透明導電層５および第２の透明導電層８を電極として作用させて、エレクトレットフィルム１を押圧センサ１１の部品として好適に用いることができる。
【０１１２】
次に、押圧センサ１１についてより具体的に説明する。
【０１１３】
この押圧センサ１１は、上記したエレクトレットフィルム１と、オシロスコープ（図示せず）とを備える。
【０１１４】
押圧センサ１１では、透明導電層５および第２の透明導電層８のそれぞれは、所定の電極パターンにパターニングされており、第１の透明電極１５および第２の透明電極１８のそれぞれとされる。例えば、透明導電層５は、シグナル電極とされ、第２の透明導電層８は、基準電極とされる。あるいは、その逆、つまり、透明導電層５は、基準電極とされ、第２の透明導電層８は、シグナル電極とされる。
【０１１５】
第１の透明電極１５および第２の透明電極１８は、配線（図示せず）を介して、オシロスコープ（図示せず）と電気的に接続される。
【０１１６】
押圧センサ１１が厚み方向（上下方向）に押圧されると、透明エレクトレットコーティング層３において電荷が発生し、これが、第１の透明電極１５および第２の透明電極１８を介してオシロスコープ（図示せず）によって検知される。
【０１１７】
また、図１Ａに示すように、一実施形態では、基材層２は、基材フィルム７のみを備えるが、この変形例では、図３に示すように、基材層２は、光学調整層９をさらに備える。具体的には、基材層２は、基材フィルム７および光学調整層９を下側に向かって順に備える。基材層２は、好ましくは、基材フィルム７および光学調整層９のみからなる。
【０１１８】
エレクトレットフィルム１は、第２の透明導電層８、光学調整層９、基材フィルム７、透明エレクトレットコーティング層３、透明絶縁層４および透明導電層５を上側に向かって順に備える。
【０１１９】
光学調整層９は、基材フィルム７および第２の透明導電層８の間に介在する。光学調整層９は、第２の透明電極１８（第２の透明導電層８をパターニングしたパターン電極）の視認抑制性を向上させる層である。つまり、光学調整層９は、エレクトレットフィルム１における光学物性（例えば、屈折率）などを調製する層である。光学調整層９の材料としては、特に限定されず、例えば、特開２０１７−０６８５０９号公報に記載される光学調整組成物などが挙げられる。光学調整層９の厚みは、例えば、０．１μｍ以上であり、また、例えば、１μｍ以下である。
【０１２０】
図３に示すエレクトレットフィルム１（押圧センサ１１）は、光学調整層９を備えるので、第２の透明導電層８の視認抑制性、とりわけ、第２の透明導電層８がパターニングされた第２の透明電極１８の視認抑制性を向上させることができる。
【０１２１】
また、上記した各変形例は、適宜組み合わせることができる。例えば、図２Ａの仮想線で示すように、エレクトレットフィルム１（押圧センサ１１）は、第２の透明導電層８と、第２の基材層６との両方を備えることができ、さらに、図３の仮想線で示すように、第２の透明導電層８と、光学調整層９と、第２の基材層６とを備えることができる。
【実施例】
【０１２２】
以下に実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。なお、本発明は、何ら実施例および比較例に限定されない。また、以下の記載において用いられる配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなど該当記載の上限（「以下」、「未満」として定義されている数値）または下限（「以上」、「超過」として定義されている数値）に代替することができる。
【０１２３】
［実施例１］
図２Ｂに示すように、下面に第２の透明導電層８が第２の透明電極１８に予めパターニングされた基材層２（基材フィルム７）を準備した。第２の透明電極１８の材料は、ＩＴＯであり、厚みが２３ｎｍであり、表面抵抗が１５０Ω／□である。基材層２の材料は、ＰＥＴであり、厚みが２３μｍである。
【０１２４】
次いで、エレクトレット材料を含有するワニス（旭硝子社製、製品名「ＣＴＬ−８０９Ａ」、溶媒：ＰＦＣ）を、基材層２の上面にアプリケータで塗布し、続いて、８０℃で５分間、乾燥をした後、１５０℃で６０分間、加熱した。これによって、厚み５μｍの透明エレクトレットコーティング層３（塗布物）を形成した。その後、透明エレクトレットコーティング層３に対して、帯電装置（春日社製、製品名「ＫＴＫ−２００２Ｎ」）で−１０ｋＶの直流電圧を５分間印加した。その後、透明エレクトレットコーティング層３にアルミホイルを被せて、透明エレクトレットコーティング層３における過剰の表面帯電を除去（除電）し、常温で１日放置した。
【０１２５】
これによって、第２の透明導電層８、基材層２および透明エレクトレットコーティング層３が順に配置された第１の積層体２１を準備した。
【０１２６】
別途、上面が第２の基材層６で支持された透明導電層５を準備し、続いて、透明導電層５を第１の透明電極１５にパターニングした積層体を準備した。第１の透明電極１５の材料および厚みと、第２の基材層６の材料および厚みとは、第２の透明電極１８と基材層２のそれらと同一である。
【０１２７】
次いで、透明絶縁層４を準備した。まず、感圧接着組成物（アクリル系、商品名「ＬＵＣＩＡＣＳ  ＣＳ９８６４ＵＡ  」、日東電工社製）を準備し、その後、感圧接着組成物を第１の透明電極１５の下面と貼り合わせることで、第２の基材層６、第１の透明電極１５および感圧接着層１０が順に配置された第２の積層体２２を準備した。
【０１２８】
図２Ａに示すように、その後、第１の積層体２１と第２の積層体２２とを貼り合わせた。具体的には、透明エレクトレットコーティング層３と感圧接着層１０とを貼り合わせた。
【０１２９】
これによって、第２の透明電極１８、基材層２、透明エレクトレットコーティング層３、感圧接着層１０、第１の透明電極１５および第２の基材層６を順に備えるエレクトレットフィルム１を得た。その後、第１の透明電極１５および第２の透明電極１８を、配線（図示せず）を介してオシロスコープと接続して、押圧センサ１１を作製した。
【０１３０】
［実施例２］
アルミホイルによる除電を実施しなかった以外は、実施例１と同様に処理して、エレクトレットフィルム１を得、続いて、押圧センサ１１を作製した。
【０１３１】
［実施例３］
直流電圧の印加を施さなかった以外は、実施例１と同様に処理して、エレクトレットフィルム１を得、続いて、押圧センサ１１を作製した。
【０１３２】
［実施例４］
表１に従って、透明エレクトレットコーティング層３の厚みを変更した以外は、実施例１と同様に処理して、エレクトレットフィルム１を得、続いて、押圧センサ１１を作製した。
【０１３３】
［比較例１］
透明絶縁層４（感圧接着層１０）を設けなかった以外は、実施例１と同様に処理して、エレクトレットフィルム１を得、続いて、押圧センサ１１を作製した。
【０１３４】
［評価］
各実施例および比較例の押圧センサ１１について、以下の項目を評価した。それらの結果を表１に示す。
【０１３５】
（厚み）
透明エレクトレットコーティング層３の厚みを、膜厚計（Ｐｅａｃｏｃｋ社製  デジタルダイアルゲージＤＧ−２０５）を用いて測定した。
【０１３６】
（表面帯電圧）
静電気測定器（キーエンス社製、装置名「ＳＫ−Ｈ０５０」）を用いて、透明エレクトレットコーティング層３の表面帯電圧の絶対値を測定した。
【０１３７】
（押圧検知）
押圧センサ１１を押圧し、以下の基準で押圧検知を評価した。
○：オシロスコープが信号を検出した。
△：オシロスコープが信号を検出したが、信号が微弱であった。
×：オシロスコープが信号を検出しなかった。
（取扱性）
取扱性を以下の基準で評価した。
○：取扱時、帯電した透明エレクトレットコーティング層３の放電に基づく音が確認されなかった。
△：取扱時、帯電した透明エレクトレットコーティング層３の放電に基づく音がわずかに確認された。
×：取扱時、帯電した透明エレクトレットコーティング層３の放電に基づく音を確認した。
【０１３８】
【表１】
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【符号の説明】
【０１３９】
１     エレクトレットフィルム
２     基材層
３     透明エレクトレットコーティング層
４     透明絶縁層
５     透明導電層
７     基材フィルム
８     第２の透明導電層
９     光学調整層
１０   感圧接着層
【図１】
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【図２】
2019106440.tif 000007
【図３】
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