(57)【要約】      （修正有）【課題】三次元測定機において、ケーブルの断線によって停止しづらくする。【解決手段】測定装置１は、移動可能なプロービングシステム１１６により被測定物の形状を測定する測定部１１と、測定部１１との間で送受信する電気信号に関連する特性を特定する特性特定部１２と、測定部１１と特性特定部との間で電気信号を伝送する複数のケーブル１３と、複数のケーブル１３のうち少なくともいずれかのケーブル１３を伝送される電気信号に関連する特性の基準値を記憶する記憶部と、特性特定部が特定した特性と基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する出力部と、を有する。【選択図】図１
2019105575.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能なプローブにより被測定物の形状を測定する測定部と、
前記測定部との間で送受信する電気信号に関連する特性を特定する特性特定部と、
前記測定部と前記特性特定部との間で前記電気信号を伝送する複数のケーブルと、
前記複数のケーブルのうち少なくともいずれかのケーブルを伝送される前記電気信号に関連する特性の基準値を記憶する記憶部と、
前記特性特定部が特定した特性と前記基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する出力部と、
を有する測定装置。
【請求項２】
前記特性特定部は、前記電気信号の電圧に基づいて、前記電気信号に関連する特性として、前記電気信号が伝送されるケーブルの抵抗値を特定し、
前記出力部は、前記特性特定部が特定した抵抗値と、当該抵抗値に対応する前記ケーブルの抵抗値の基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する、
請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記特性特定部は、前記電気信号に関連する特性として、前記ケーブルを流れる電流値を特定し、
前記出力部は、前記特性特定部が特定した電流値と、当該電流値に対応する前記ケーブルの電流値の基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する、
請求項１又は２に記載の測定装置。
【請求項４】
前記特性特定部は、前記電気信号に関連する特性として、前記電気信号の波形を特定し、
前記出力部は、前記特性特定部が特定した波形と、当該波形に対応する前記電気信号の波形の基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する、
請求項１から３のいずれか一項に記載の測定装置。
【請求項５】
前記特性特定部は、前記測定部が測定中に発生した異常の内容に基づいて、前記複数のケーブルのうち、前記電気信号に関連する特性の実測値を特定する対象とする一以上のケーブルを選択する、
請求項１から４のいずれか一項に記載の測定装置。
【請求項６】
前記測定部は、測定中に発生した異常の内容を示す異常識別情報を、異常が発生した日時に関連付けて前記記憶部に記憶させ、
前記特性特定部は、所定の期間内に発生した頻度が閾値以上の異常に対応する前記異常識別情報が示す異常の内容に関連付けられた前記一以上のケーブルを選択する、
請求項５に記載の測定装置。
【請求項７】
前記測定部は、前記プローブの移動方向に関連付けて前記異常の内容を前記記憶部に記憶させ、
前記特性特定部は、測定中に発生した異常の内容に対応する前記プローブの移動方向に関連付けられた前記一以上のケーブルを選択する、
請求項５又は６に記載の測定装置。
【請求項８】
周辺温度を測定する温度測定部をさらに有し、
前記記憶部は、前記周辺温度に関連付けて前記基準値を記憶し、
前記出力部は、前記特性特定部が特定した特性と、前記温度測定部が測定した前記周辺温度に関連付けて前記記憶部に記憶された前記基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する、
請求項１から７のいずれか一項に記載の測定装置。
【請求項９】
前記プローブの移動速度の統計値を算出する速度算出部をさらに有し、
前記記憶部は、前記統計値に関連付けて前記基準値を記憶し、
前記出力部は、前記特性特定部が特定した特性と、前記速度算出部が算出した前記統計値に関連付けて前記記憶部に記憶された前記基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する、
請求項１から８のいずれか一項に記載の測定装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載の複数の測定装置と、
前記測定装置とネットワークを介して接続された基準値作成装置と、
を備え、
前記複数の測定装置のそれぞれは、異常が発生した時点より前の所定の期間の前記電気信号に関する特性を、前記警告情報に関連付けて前記基準値作成装置に送信する通信部をさらに有し、
前記基準値作成装置は、
複数の前記測定装置から受信した前記電気信号に関する特性及び前記警告情報に基づいて前記基準値を作成する基準値作成部と、
前記基準値作成部が作成した前記基準値を前記複数の測定装置に送信する基準値送信部と、
を有し、
前記記憶部は、前記基準値送信部が送信した前記基準値を記憶する、
測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置及び測定システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、測定装置として三次元測定機が用いられている。特許文献１には、被測定対象物の形状を測定可能な三次元測定機が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−９５５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
三次元測定機においては、被測定対象物の形状の測定に用いるプローブを移動させるために、制御装置とプローブとの間に多数のケーブルが配線されている。これらのケーブルが劣化して断線してしまうと、三次元測定機が停止してしまう。三次元測定機のケーブルの交換には長時間を要するので、ケーブルの断線により三次元測定機が停止してしまうと、測定作業を計画通りに進められなくなってしまうという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、ケーブルの断線によって停止することを予防可能な測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様においては、移動可能なプローブにより被測定物の形状を測定する測定部と、前記測定部との間で送受信する電気信号に関連する特性を特定する特性特定部と、前記測定部と前記特性特定部との間で前記電気信号を伝送する複数のケーブルと、前記複数のケーブルのうち少なくともいずれかのケーブルを伝送される前記電気信号に関連する特性の基準値を記憶する記憶部と、前記特性特定部が特定した特性と前記基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する出力部と、を有する測定装置を提供する。
【０００７】
また、前記特性特定部は、前記電気信号の電圧に基づいて、前記電気信号に関連する特性として、前記電気信号が伝送されるケーブルの抵抗値を特定し、前記出力部は、前記特性特定部が特定した抵抗値と、当該抵抗値に対応する前記ケーブルの抵抗値の基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力してもよい。
【０００８】
また、前記特性特定部は、前記電気信号に関連する特性として、前記ケーブルを流れる電流値を特定し、前記出力部は、前記特性特定部が特定した電流値と、当該電流値に対応する前記ケーブルの電流値の基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力してもよい。
【０００９】
また、前記特性特定部は、前記電気信号に関連する特性として、前記電気信号の波形を特定し、前記出力部は、前記特性特定部が特定した波形と、当該波形に対応する前記電気信号の波形の基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力してもよい。
【００１０】
また、前記特性特定部は、前記測定部が測定中に発生した異常の内容に基づいて、前記複数のケーブルのうち、前記電気信号に関連する特性の実測値を特定する対象とする一以上のケーブルを選択するようにしてもよい。
【００１１】
また、前記測定部は、測定中に発生した異常の内容を示す異常識別情報を、異常が発生した日時に関連付けて前記記憶部に記憶させ、前記特性特定部は、所定の期間内に発生した頻度が閾値以上の異常に対応する前記異常識別情報が示す異常の内容に関連付けられた前記一以上のケーブルを選択するようにしてもよい。
【００１２】
また、前記測定部は、前記プローブの移動方向に関連付けて前記異常の内容を前記記憶部に記憶させ、前記特性特定部は、測定中に発生した異常の内容に対応する前記プローブの移動方向に関連付けられた前記一以上のケーブルを選択するようにしてもよい。
【００１３】
また、周辺温度を測定する温度測定部をさらに有し、前記記憶部は、前記周辺温度に関連付けて前記基準値を記憶し、前記出力部は、前記特性特定部が特定した特性と、前記温度測定部が測定した前記周辺温度に関連付けて前記記憶部に記憶された前記基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力するようにしてもよい。
【００１４】
また、前記プローブの移動速度の統計値を算出する速度算出部をさらに有し、前記記憶部は、前記統計値に関連付けて前記基準値を記憶し、前記出力部は、前記特性特定部が特定した特性と、前記速度算出部が算出した前記統計値に関連付けて前記記憶部に記憶された前記基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力するようにしてもよい。
【００１５】
本発明の第２の態様においては、複数の測定装置と、前記測定装置とネットワークを介して接続された基準値作成装置と、を備え、前記複数の測定装置のそれぞれは、異常が発生した時点より前の所定の期間の前記電気信号に関する特性を、前記警告情報に関連付けて前記基準値作成装置に送信する通信部をさらに有し、前記基準値作成装置は、複数の前記測定装置から受信した前記電気信号に関する特性及び前記警告情報に基づいて前記基準値を作成する基準値作成部と、前記基準値作成部が作成した前記基準値を前記複数の測定装置に送信する基準値送信部と、を有し、前記記憶部は、前記基準値送信部が送信した前記基準値を記憶する、測定システムを提供する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、測定装置において、ケーブルの断線によって停止しづらくなるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１の実施形態に係る測定装置の構成を示す。
【図２】第１の実施形態に係る測定装置のブロック図を示す。
【図３】正常時と劣化時のケーブルの一例を示す。
【図４】第１の実施形態に係る制御部によるケーブルの劣化度を測定する方法を示す。
【図５】電流値を特定することによりケーブルの劣化度合いを測定する方法を示す。
【図６】電気信号の波形に基づいてケーブルの劣化度合いを測定する方法を示す。
【図７】記憶部に記憶された、異常の内容を示すエラーコードと異常に関連するケーブルとの関係を示すテーブルの一例を示す。
【図８】変形例２における測定装置のブロック図を示す。
【図９】変形例３における測定装置のブロック図を示す。
【図１０】第２の実施形態に係る測定システムの構成を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
＜第１の実施形態＞
［測定装置１の概要］
図１は、第１の実施形態に係る測定装置１の構成を示す図である。図２は、第１の実施形態に係る測定装置１のブロック図である。
【００１９】
測定装置１は、三次元測定機である。図１に示すように、測定装置１は、三次元方向（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向）における任意の位置を測定することができる。測定装置１は、測定部１１、制御部１２、及びケーブル１３を有する。
【００２０】
測定部１１は、移動可能なプロービングシステム１１６により被測定物の形状を測定する機能を有する。測定部１１は、ベース１１１、カバー１１２、門部１１３、スライダ部１１４、Ｚ軸スピンドル１１５、プロービングシステム１１６、Ｘ軸方向駆動アクチュエータ１１７、Ｙ軸方向駆動アクチュエータ１１８、及びＺ軸方向駆動アクチュエータ１１９を有する。ベース１１１は、平坦な面を有し、被測定物を載置する部分である。カバー１１２は、ベース１１１に隣接して設けられている。門部１１３は、門型の部材である。門部１１３は、ベース１１１の上方においてＹ軸方向に移動可能である。
【００２１】
門部１１３は、サポータ部１１３１、コラム部１１３２、及びビーム部１１３３を有する。サポータ部１１３１及びコラム部１１３２は、測定装置１の高さ方向（Ｚ軸方向）において延伸している。ビーム部１１３３は、Ｘ軸方向において延伸している。サポータ部１１３１の上端及びコラム部１１３２の上端は、それぞれビーム部１１３３の長手方向における両端に固定されている。サポータ部１１３１の下端は、ベース１１１の上面を移動することができる。コラム部１１３２の下端は、カバー１１２の上面に移動可能に接続されている。
【００２２】
スライダ部１１４は、Ｘ軸方向に移動することができる。Ｚ軸スピンドル１１５は、スライダ部１１４の内部に設けられており、Ｚ軸方向に移動することができる。プロービングシステム１１６は、Ｚ軸スピンドル１１５の下端に設けられている。
【００２３】
Ｘ軸方向駆動アクチュエータ１１７は、スライダ部１１４をＸ軸方向において移動させる機能を有する。Ｘ軸方向駆動アクチュエータ１１７は、例えばスライダ部１１４の内側に設けられている。Ｙ軸方向駆動アクチュエータ１１８は、門部１１３をＹ軸方向において移動させる機能を有する。Ｙ軸方向駆動アクチュエータ１１８は、例えば門部１１３のコラム部１１３２の内側に設けられている。Ｚ軸方向駆動アクチュエータ１１９は、Ｚ軸スピンドル１１５をＺ軸方向において移動させる機能を有する。Ｚ軸方向駆動アクチュエータ１１９は、例えばスライダ部１１４の内側に設けられている。
【００２４】
制御部１２は、例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）及びＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）を有する。制御部１２は、測定部１１を作動させる機能を有する。制御部１２は、測定部１１における各部と複数のケーブル１３で接続されている。また、制御部１２は、複数のケーブル１３の劣化を検出する機能を有する。制御部１２は、測定部１１に接続されたコンピュータに設けられているが、測定部１１、例えばカバー１１２の内側に設けられていてもよい。
【００２５】
複数のケーブル１３は、測定部１１と特性特定部１２２との間で電気信号を伝送する。複数のケーブル１３は、制御部１２と測定部１１における各部との間に接続されている。複数のケーブル１３は、例えば可撓性を有する銅線を含んでいる。具体的には、複数のケーブル１３の一部のケーブル１３ａは、制御部１２とＸ軸方向駆動アクチュエータ１１７とを接続している。また、複数のケーブル１３の一部のケーブル１３ｂは、制御部１２とＹ軸方向駆動アクチュエータ１１８とを接続している。さらに、複数のケーブル１３の一部のケーブル１３ｃは、制御部１２とＺ軸方向駆動アクチュエータ１１９とを接続している。
【００２６】
複数のケーブル１３のうち、Ｘ軸方向駆動アクチュエータ１１７と接続されているケーブル１３ａ及びＺ軸方向駆動アクチュエータ１１９と接続されているケーブル１３ｃは、例えばケーブル保護管によって保護されている。ケーブル保護管は、例えば、カバー１１２の内側及び門部１１３の内側に設けられており、プロービングシステム１１６がＸ軸方向及びＺ軸方向に移動する際のケーブル１３の位置を規制するように設けられている。
【００２７】
測定装置１は、制御部１２がＸ軸方向駆動アクチュエータ１１７、Ｙ軸方向駆動アクチュエータ１１８、及びＺ軸方向駆動アクチュエータ１１９を作動させることで、プロービングシステム１１６の先端を任意の位置に移動させることができる。この結果、測定装置１は、測定部１１におけるベース１１１に載置された被測定物の外側面にプロービングシステム１１６の先端を接触させて移動させることで、例えば被測定物の形状を測定することができる。測定装置１においてプロービングシステム１１６を移動させることで被測定物の形状を測定する場合、ケーブル１３は曲げられることが繰り返されるためケーブル１３が劣化して断線が生じ易くなる。
【００２８】
図３は、正常時と劣化時のケーブル１３の一例を示す図である。図３（ａ）は、正常時のケーブル１３の一例を示す図である。図３（ｂ）は、劣化時のケーブル１３の一例を示す図である。ケーブル１３が曲げられることが繰り返されることで、正常時のケーブル１３（図３（ａ））と比べて、劣化時のケーブル１３には断面積が小さくなる領域が生じる（図３（ｂ））。ケーブル１３が劣化して断面積が小さくなると、断線しやすくなる。そこで、制御部１２は、ケーブル１３の劣化度合いを推定し、ケーブル１３に断線が生じる可能性が高くなった場合に警告を出力する。以下、制御部１２の詳細について説明する。
【００２９】
［制御部１２の詳細］
制御部１２は、駆動制御部１２１、特性特定部１２２、記憶部１２３、出力部１２４、及びディスプレイ１２５を有する。駆動制御部１２１は、Ｘ軸方向駆動アクチュエータ１１７、Ｙ軸方向駆動アクチュエータ１１８、及びＺ軸方向駆動アクチュエータ１１９を作動させる機能を有する。駆動制御部１２１は、複数のケーブル１３で、それぞれ、Ｘ軸方向駆動アクチュエータ１１７、Ｙ軸方向駆動アクチュエータ１１８、及びＺ軸方向駆動アクチュエータ１１９と接続されている。
【００３０】
特性特定部１２２は、測定部１１との間で送受信する電気信号に関連する特性を特定する機能を有する。具体的には、特性特定部１２２は、電気信号の電圧に基づいて、電気信号に関連する特性を特定する。特性特定部１２２は、例えば、電気信号の電圧に基づいて、電気信号が伝送されるケーブル１３の抵抗値を特定する。電気信号は、Ｘ軸方向駆動アクチュエータ１１７、Ｙ軸方向駆動アクチュエータ１１８及びＺ軸方向駆動アクチュエータ１１９を動作させるために制御部１２が出力する信号である。
【００３１】
記憶部１２３は、複数のケーブル１３のうち少なくともいずれかのケーブル１３を伝送される電気信号に関連する特性の基準値を記憶する。基準値は、複数のケーブル１３の正常時に測定された抵抗値であり、例えば工場出荷時に測定された抵抗値である。
【００３２】
出力部１２４は、特性特定部１２２が特定した特性と基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する。出力部１２４は、測定装置１に設けられているディスプレイ１２５に警告情報を表示したり、不図示のスピーカから警告音を出力させたりする。
【００３３】
図４は、第１の実施形態に係る制御部１２によるケーブル１３の劣化度を測定する方法を示す図である。図４に示すように、特性特定部１２２は、所定の電流の電気信号を流した状態におけるケーブル１３の電圧に基づいて、電気信号が伝送されるケーブル１３の抵抗値を特定する。電圧は、例えば電圧計１２６によって測定される。出力部１２４は、特性特定部１２２が特定した抵抗値と、当該抵抗値に対応するケーブル１３の抵抗値の基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する。ユーザは、当該警告情報によって、ケーブル１３が劣化していることを認識することができる。
【００３４】
ケーブル１３は、例えば複数のケーブル１からケーブルｎが接続されることで形成されていてもよい。この場合、図４に示すように、ケーブル１からケーブルｎのうちの任意のケーブルの両端の電圧を測定するようにしてもよい。このようにすることで、ケーブル１からケーブルｎのうちで、どのケーブルが劣化しているのかを特定することができる。
【００３５】
特性特定部１２２は、電気信号に関連する特性として、ケーブル１３を流れる電流値を特定してもよい。図５は、電流値を特定することによりケーブル１３の劣化度合いを測定する方法について説明するための図である。図５に示すように、電流値は、例えばケーブル１３に取り付けられた電流計で測定される。出力部１２４は、特性特定部１２２が特定した電流値と、当該電流値に対応するケーブル１３の電流値の基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する。
【００３６】
また、電圧計がケーブル１３上の電圧波形を測定する機能を有しており、特性特定部１２２は、電気信号に関連する特性として、電気信号の波形を特定してもよい。図６は、電気信号の波形に基づいてケーブル１３の劣化度合いを測定する方法について説明するための図である。図６（ａ）は、ケーブル１３が正常な場合に検出される電気信号の波形の一例を示す図である。図６（ｂ）は、ケーブル１３が異常な場合に検出される電気信号の波形の一例を示す図である。
【００３７】
ケーブル１３が劣化している場合は、送信したデジタル信号の波形が、ロウレベル又はハイレベルの信号であるにもかかわらず、検出される波形に変動が生じたり、立ち上がり時間及び立ち下り時間が長くなったりする。図６（ａ）に示すように、ケーブル１３が正常な場合は、検出部では、送信部から送信した信号と同様の形状の信号が得られる。一方、ケーブル１３が異常な場合は、検出部では、送信部から送信した信号と異なる形状の信号が得られる。具体的には、図６（ｂ）に示すように、ケーブル１３が異常な場合は、ケーブル１３が正常な場合と比べて、検出部で得られる信号の波形は、例えば（１）立ち上がり時間が増加していたり、（２）信号の変動幅が増加していたりする。
【００３８】
出力部１２４は、特性特定部１２２が特定した波形と、当該波形に対応する電気信号の波形の基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する機能を有する。
【００３９】
［変形例１］
特性特定部１２２は、測定部１１が測定中に発生した異常の内容に基づいて、複数のケーブル１３のうち、電気的特性の実測値を特定する対象とする一以上のケーブル１３を選択してもよい。特性特定部１２２は、例えば、記憶部１２３に記憶された、異常の内容とケーブル１３の種別との関係に基づいて、電気的特性を特定する対象とするケーブル１３を選択する。
【００４０】
図７は、記憶部１２３に記憶された、異常の内容を示すエラーコード（異常識別情報）と異常に関連するケーブルとの関係を示すテーブルの一例を示す図である。図７に示すテーブルにおいては、エラーコードとケーブル識別情報とが関連付けられている。ケーブル識別情報は、ケーブルを特定するために用いられる情報である。エラーコードは、異常の種別ごとに割り当てられており、例えば、温度が所定の閾値以上であることを示すエラーコードや、変位量が異常であることを示すエラーコード等が存在する。
【００４１】
測定部１１は、測定中に発生した異常の内容に対応するエラーコードを特性特定部１２２に通知する。特性特定部１２２は、エラーコードの通知を受けると、記憶部１２３に記憶されたテーブルを参照することにより、複数のケーブル１３のうち、どのケーブル１３を測定対象とするケーブル１３とするのかを選択する。特性特定部１２２は、エラーコードが示すエラー内容に基づいて、当該エラーがどのケーブル１３に起因する確率が高いかを推定し、推定した結果に基づいて、測定対象とするケーブル１３を選択する。この結果、測定装置１は、測定するケーブル１３の数を少なくすることができるので、測定に要する処理が少なくなり、測定に要する時間を短くすることができる。
【００４２】
測定部１１は、測定中に発生した異常に対応するエラーコードを、異常が発生した日時に関連付けて記憶部１２３に記憶させてもよい。この場合、特性特定部１２２は、所定の期間内に発生した頻度が閾値以上の異常に対応するエラーコードが示す異常の内容に関連付けられた一以上のケーブルを選択する。
【００４３】
測定装置１は、このような構成を有することで、例えば複数のケーブル１３のうちでエラーが頻発するケーブル１３の交換を促すメッセージをユーザに対して表示することができる。この結果、測定装置１は、発生したエラーから劣化しているケーブル１３を推測し、ユーザに対して、ケーブル１３が完全に断線する前に交換を促すことができる。
【００４４】
測定部１１は、プロービングシステム１１６の移動方向に関連付けて異常の内容を記憶部１２３に記憶させてもよい。特性特定部１２２は、測定中に発生した異常の内容に対応するプロービングシステム１１６の移動方向に関連付けられた一以上のケーブル１３を選択する。
【００４５】
制御部１２は、例えばＹ軸方向におけるプロービングシステム１１６の移動が、ケーブル１３を劣化させ易いと推定する。また、プロービングシステム１１６をＸ軸方向において移動させる場合のケーブル１３の屈曲半径が、他の方向においてケーブル１３を移動させる場合のケーブル１３の屈曲半径よりも小さいため、制御部１２は、Ｘ軸方向におけるプロービングシステム１１６の移動が、ケーブル１３を劣化させ易いとも推定する。制御部１２は、プロービングシステム１１６の移動方向に関連付けて異常の内容を記憶部１２３に記憶させることで、劣化し易いケーブル１３を選択して当該選択されたケーブル１３が劣化しているかどうかを判定することができる。
【００４６】
［変形例２］
測定装置１は、周辺温度に基づいてケーブル１３の劣化度合いを推定してもよい。図８は、変形例２における測定装置１のブロック図を示す。図８に示すように、制御部１２ａは、温度測定部１２７をさらに有する。温度測定部１２７は、測定装置１の周辺温度を測定する機能を有する。記憶部１２３は、周辺温度に関連付けて基準値を記憶している。出力部１２４は、特性特定部１２２が特定した特性と、温度測定部１２７が測定した周辺温度に関連付けて記憶部１２３に記憶された基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する。
【００４７】
例えば、測定装置１は、周辺温度が低い場合（例えば（１０℃〜４０℃））、ケーブル１３は劣化が進み易くなると想定される。測定装置１が、このように温度測定部１２７を有することで、周辺温度も考慮してケーブル１３が劣化状態にあるのかどうかを判定することができるので、判定精度を向上させることができる。
【００４８】
［変形例３］
測定装置１は、プロービングシステム１１６の移動速度に基づいてケーブル１３の劣化度合いを推定してもよい。図９は、変形例３における測定装置のブロック図を示す。図９に示すように、制御部１２ｂは、速度算出部１２８をさらに有する。速度算出部１２８は、プロービングシステム１１６の移動速度の統計値を算出する機能を有する。当該統計値は、例えばプロービングシステム１１６の最大速度とプロービングシステム１１６の移動頻度との積の累積値である。記憶部１２３は、当該統計値に関連付けて基準値を記憶する。出力部１２４は、特性特定部１２２が特定した特性と、速度算出部１２８が算出した統計値に関連付けて記憶部１２３に記憶された基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する。
【００４９】
例えば、測定装置１は、プロービングシステム１１６が高速で移動された場合、ケーブル１３は劣化が進み易くなると想定される。測定装置１が、このように速度算出部１２８を有することで、プロービングシステム１１６の移動速度も考慮してケーブル１３が劣化状態にあるのかどうかを判定することができるので、判定精度を向上させることができる。
【００５０】
＜第２の実施形態＞
図１０は、第２の実施形態に係る測定システム２の構成を示す図である。
第２の実施形態に係る測定装置１ａは、第１の実施形態に係る測定装置１と比べて、図示しない通信部をさらに有する点で相違する。通信部は、異常が発生した時点以前の所定の期間の電気信号に関する特性を、警告情報に関連付けて基準値作成装置２１に送信する機能を有する。例えば、第１の実施形態に係る測定装置１における出力部１２４が通信部としてさらに機能する。
【００５１】
測定システム２は、複数の測定装置１ａと、基準値作成装置２１とを有する。図１０に示すように、基準値作成装置２１は、複数の測定装置１ａとネットワークを介して接続されている。ネットワークは、例えばＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）である。基準値作成装置２１は、基準値作成部２１１と、基準値送信部２１２とを有する。基準値作成部２１１は、複数の測定装置１ａから受信した電気信号に関する特性及び警告情報に基づいて基準値を作成する。
【００５２】
具体的には、基準値作成部２１１は、複数の測定装置１ａにおいて異常が発生した時点における電気信号に関する特性Ａを特定する。また、基準値作成部２１１は、異常が発生した時点から、所定の期間だけ前の時点における電気信号に関する特性Ｂを特定する。所定の期間は、ケーブル１３が劣化していることを警告してから故障が発生するまでの許容日数である（例えば３０日）。
【００５３】
基準値作成部２１１は、複数の測定装置１ａに対して特定した複数の特性Ｂの値のうち、特性Ａから最も離れた値を選択し、選択した値を基準値とする。基準値作成部２１１は、大量の測定装置１ａにおける測定データに基づいて機械学習を行うことにより、基準値を生成してもよい。このようにすることで、基準値作成部２１１は、測定装置１ａのばらつきによらず、ほぼ全ての測定装置１ａに適した基準値を作成することができる。
【００５４】
基準値送信部２１２は、基準値作成部２１１が作成した基準値を複数の測定装置１ａに送信する。記憶部１２３は、基準値送信部２１２が送信した基準値を記憶する。測定システム２は、このような構成を有することで、異常が発生した複数の測定装置１ａの過去のデータを考慮して、複数の測定装置１ａの基準値を生成することができる。この結果、ケーブル１３の劣化度合いを判定するための基準値の精度が向上し、ケーブル１３が劣化しているかどうかの判定の精度が向上する。
【００５５】
［本実施形態に係る測定装置１による効果］
本実施形態に係る測定装置１は、移動可能なプロービングシステム１１６により被測定物の形状を測定する測定部１１と、測定部１１との間で送受信する電気信号に関連する特性を特定する特性特定部１２２と、測定部１１と特性特定部１２２との間で電気信号を伝送する複数のケーブル１３と、を有する。また、測定装置１は、複数のケーブル１３のうち少なくともいずれかのケーブル１３を伝送される電気信号に関連する特性の基準値を記憶する記憶部１２３と、特性特定部１２２が特定した特性と基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する出力部１２４と、を有する。
【００５６】
本実施形態に係る測定装置１は、このように複数のケーブル１３のうち少なくともいずれかのケーブル１３を伝送される電気信号に関連する特性の基準値を記憶する記憶部１２３と、特性特定部１２２が特定した特性と基準値との差が閾値以上である場合に警告情報を出力する出力部１２４と、を有する。よって、測定装置１は、複数のケーブル１３のうち少なくともいずれかのケーブル１３が劣化している場合、ユーザに警告情報を出力することができる。この結果、ユーザはケーブル１３が劣化していることを認識することができるので、ケーブル１３が断線する前に、計画的にケーブル１３を交換することができる。その結果、ユーザが想定外の時期に突然、測定装置１が使えない状態になることを予防できる。
【００５７】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の分散・統合の具体的な実施の形態は、以上の実施の形態に限られず、その全部又は一部について、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を合わせ持つ。
【符号の説明】
【００５８】
１、１ａ・・・測定装置
１１・・・測定部
１１１・・・ベース
１１２・・・カバー
１１３・・・門部
１１３１・・・サポータ部
１１３２・・・コラム部
１１３３・・・ビーム部
１１４・・・スライダ部
１１５・・・Ｚ軸スピンドル
１１６・・・プロービングシステム
１１７・・・Ｘ軸方向駆動アクチュエータ
１１８・・・Ｙ軸方向駆動アクチュエータ
１１９・・・Ｚ軸方向駆動アクチュエータ
１２、１２ａ、１２ｂ・・・制御部
１２１・・・駆動制御部
１２２・・・特性特定部
１２３・・・記憶部
１２４・・・出力部
１２５・・・ディスプレイ
１２６・・・電圧計
１２７・・・温度測定部
１２８・・・速度算出部
１３・・・ケーブル
１３ａ・・・ケーブル
１３ｂ・・・ケーブル
１３ｃ・・・ケーブル
２・・・測定システム
２１・・・基準値作成装置
２１１・・・基準値作成部
２１２・・・基準値送信部
【図１】
2019105575.tif 000003
【図２】
2019105575.tif 000004
【図３】
2019105575.tif 000005
【図４】
2019105575.tif 000006
【図５】
2019105575.tif 000007
【図６】
2019105575.tif 000008
【図７】
2019105575.tif 000009
【図８】
2019105575.tif 000010
【図９】
2019105575.tif 000011
【図１０】
2019105575.tif 000012