(57)【要約】【課題】物品に対して処理を行う処理装置に物品を収容した容器を移載する移載設備において、処理装置のロードポートと、処理装置のロードポートの上方に設けられる荷受台との間の容器の移載を効率良く行うことが可能な移載設備及び移載方法を提供する。【解決手段】蒸着装置８０にカセット９０を移載する移載設備１０であり、荷受台３０と移載機２０とを備え、荷受台３０と移載機２０と蒸着装置８０のロードポート８３とが平面視で重なる位置に配置され、移載機２０はカセット９０を荷受台３０と蒸着装置８０のロードポート８３との間で昇降移動させるように構成され、荷受台３０は、移載機２０が荷受台３０に対してカセット９０を搬出又は搬入する際には、カセット９０の昇降経路上に位置し、移載機２０によってカセット９０が昇降する際には、カセット９０の昇降経路を避ける方向に移動可能に構成されるものである。【選択図】図３
2019106433.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品に対して処理を行う処理装置に前記物品を収容した容器を移載する移載設備であって、
前記処理装置の上方に設けられる荷受台と、
前記荷受台と前記処理装置との間で前記容器を搬送する移載機と、
を備え、
前記荷受台と前記移載機と前記処理装置のロードポートとが平面視で互いに重なる位置に配置され、
前記移載機は、前記荷受台に対して前記容器を搬出又は搬入し、搬出又は搬入する容器を前記荷受台と前記処理装置との間で昇降移動させるように構成され、
前記荷受台は、
前記移載機が前記荷受台に対して前記容器を搬出又は搬入する際には、前記容器の昇降経路上に位置し、
前記移載機によって前記容器が昇降する際には、前記容器の昇降経路を避ける方向に移動可能に構成されること
を特徴とする移載設備。
【請求項２】
前記荷受台は、前記容器の昇降経路に対して直交する方向に移動可能に構成されること
を特徴とする請求項１に記載の移載設備。
【請求項３】
前記荷受台は、前記容器を載置する複数の載置部を備え、
前記複数の載置部は、互いに離れる方向に移動可能に構成されること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の移載設備。
【請求項４】
前記荷受台における前記容器の位置決めを行う位置決め装置を備え、
前記位置決め装置は、前記移載機によって前記容器が昇降する際に、前記容器の昇降経路を避ける方向に移動可能に構成されること
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の移載設備。
【請求項５】
物品に対して処理を行う処理装置に前記物品を収容した容器を移載する容器の移載方法であって、
前記処理装置の上方に設けられる荷受台と、前記荷受台と前記処理装置との間で前記容器を昇降搬送する移載機と、前記処理装置のロードポートと、を平面視で互いに重なる位置に配置し、
前記荷受台に支持された容器を、前記移載機によって前記荷受台から搬出し、
前記荷受台を前記移載機の昇降経路を避ける方向に移動させることにより、前記荷受台から搬出した容器を前記移載機が昇降移動させること
を特徴とする移載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品に対して処理を行う処理装置に物品を収容した容器を移載する移載設備及び容器の移載方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記移載設備としては、例えば、処理装置であるチャンバに基板を収容したカセット（容器）を移載する設備がある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１の移載設備においては、搬送台車ユニットによって搬送されるカセットをカセット搬送ユニットが設備内に搬入し、カセット搬送ユニットにより搬入されたカセットをカセット移載ユニット（移載機）がチャンバに移載する。或いはチャンバに移載されたカセットをカセット移載ユニットが受け入れ、カセット移載ユニットが受け入れたカセットをカセット搬送ユニットが搬送台車ユニットに搬出する。
カセット搬送ユニットが搬送台車ユニットから搬入したカセットは、カセット移載ユニットによってチャンバに移載される前に、チャンバの上方に設けられる支持架台（荷受台）に載置される。同様に、カセット移載ユニットがチャンバから受け入れたカセットは、カセット搬送ユニットによって搬送台車ユニットに移載される前に支持架台に載置される。
カセット移載ユニットは、カセットを上方から把持して昇降移動させることにより、支持架台に載置されたカセットをチャンバに移載し、或いはチャンバから受け入れたカセットを支持架台に載置する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】韓国登録特許第１０−１５１１９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような移載設備においては、カセット移載ユニット（移載機）がカセット（容器）を把持して昇降移動させる際に、カセット（容器）が支持架台（荷受台）に干渉するため、支持架台（荷受台）との干渉を避けるために、カセット（容器）を旋回させる等の動作が必要となる。そのため、支持架台（荷受台）とチャンバ（処理装置）との間のカセット（容器）の移載に時間を要するという問題があった。また、カセット移載ユニット（移載機）が、上記動作を行うことで、カセット（容器）を位置決めされた状態で保持することができず、カセット移載ユニット（移載機）の移載精度が悪くなるという問題点があった。
【０００５】
そこで、本発明は、物品に対して処理を行う処理装置に物品を収容した容器を移載する移載設備において、処理装置のロードポートと、処理装置のロードポートの上方に設けられる荷受台との間の容器の移載を効率良く行うことが可能な移載設備及び移載方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の解決しようとする課題は以上であり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００７】
即ち、本発明の移載設備は、物品に対して処理を行う処理装置に前記物品を収容した容器を移載する移載設備であって、前記処理装置の上方に設けられる荷受台と、前記荷受台と前記処理装置との間で前記容器を搬送する移載機と、を備え、前記荷受台と前記移載機と前記処理装置のロードポートとが平面視で互いに重なる位置に配置され、前記移載機は、前記荷受台に対して前記容器を搬出又は搬入し、搬出又は搬入する容器を前記荷受台と前記処理装置との間で昇降移動させるように構成され、前記荷受台は、前記移載機が前記荷受台に対して前記容器を搬出又は搬入する際には、前記容器の昇降経路上に位置し、前記移載機によって前記容器が昇降する際には、前記容器の昇降経路を避ける方向に移動可能に構成されるものである。
上記構成では、荷受台が、移載機による容器の昇降移動に応じて、容器の昇降経路上と、容器の昇降経路を避ける位置との間を移動する。
【０００８】
本発明の移載設備は、上記移載設備において、前記荷受台は、前記容器の昇降経路に対して直交する方向に移動可能に構成されるものである。
上記構成では、荷受台が、移載機による容器の昇降移動に応じて、容器の昇降経路に対して直交する方向に移動する。
【０００９】
本発明の移載設備は、上記移載設備において、前記荷受台は、前記容器を載置する複数の載置部を備え、前記複数の載置部は、互いに離れる方向に移動可能に構成されるものである。
上記構成では、複数の載置部が、移載機による容器の昇降移動に応じて、互いに離れる方向に移動する。
【００１０】
本発明の移載設備は、上記移載設備において、前記荷受台における前記容器の位置決めを行う位置決め装置を備え、前記位置決め装置は、前記移載機によって前記容器が昇降する際に、前記容器の昇降経路を避ける方向に移動可能に構成されるものである。
上記構成では、位置決め装置は、移載機による容器の昇降移動に応じて、容器の位置決めを行う位置と、容器の昇降経路を避ける位置との間を移動する。
【００１１】
本発明の移載方法は、物品に対して処理を行う処理装置に前記物品を収容した容器を移載する容器の移載方法であって、前記処理装置の上方に設けられる荷受台と、前記荷受台と前記処理装置との間で前記容器を昇降搬送する移載機と、前記処理装置のロードポートと、を平面視で互いに重なる位置に配置し、前記荷受台に支持された容器を、前記移載機によって前記荷受台から搬出し、前記荷受台を前記移載機の昇降経路を避ける方向に移動させることにより、前記荷受台から搬出した容器を前記移載機が昇降移動させる方法である。
上記方法では、荷受台が、移載機による容器の昇降移動に応じて、容器の昇降経路上と、容器の昇降経路を避ける位置との間を移動する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の移載設備及び容器の移載方法によれば、荷受台と処理装置のロードポートとの間で容器を昇降移動させる際に、荷受台が容器の昇降経路を避ける位置に移動しているため、容器が荷受台に干渉することがない（容器が荷受台に接触することがない）。そのため、荷受台との干渉を避けるために、移載機による容器の昇降移動時に容器を旋回させる等の動作が不要となり、荷受台と処理装置のロードポートとの間の容器の移載を効率良く行うことができる。また、移載機が上記動作を行う必要がないため、移載機が容器を位置決めされた状態で保持することができ、移載機の移載精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係る移載設備の平面図である。
【図２】同移載設備の正面図である。
【図３】同移載設備の平面図であり、（ａ）は、カセットが荷受台上に載置される場合の平面図、（ｂ）は、カセットが移載機により昇降する場合の平面図である。
【図４】同移載設備におけるフローティングユニットの側面断面図である。
【図５】同移載設備におけるフォークユニットが搬送台車からカセットを搬出する際の概略を示す側面断面図である。
【図６】同移載設備におけるフォークユニットが移載設備にカセットを搬入する前の概略を示す図であり、（ａ）はその側面図、（ｂ）はその平面図である。
【図７】同移載設備におけるフォークユニットが移載設備にカセットを搬入する際の概略を示す側面断面図である。
【図８】同移載設備における移載機が荷受台からカセットを搬出する際の概略を示す図であり、（ａ）はその側面図、（ｂ）はその平面図である。
【図９】同移載設備における移載機が蒸着装置のロードポートにカセットを移載する際の概略を示す正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明に係る移載設備１０について説明する。
図１及び図２に示すように、移載設備１０は、半導体製品或いは液晶表示素子製品の仕掛かり品である基板９１（「物品」の一例）に対して蒸着処理を行う蒸着装置８０（「処理装置」の一例）に付設される設備であり、板状体の基板９１を収容したカセット９０（「容器」の一例）を蒸着装置８０のロードポート８３に移載するものである。移載設備１０においては、移載設備１０に搬入されるカセット９０が蒸着装置８０のロードポート８３に移載されるとともに、蒸着装置８０のロードポート８３から搬出されたカセット９０が移載設備１０の外部に搬出される。
移載設備１０において搬送されるカセット９０は、その一方側面或いは両側面が開口した略箱型形状の部材により形成され、その内部に複数の基板９１を収容可能に構成されている。カセット９０は、その上部に後述する移載機２０に係止されるフランジ部９２が複数形成されている。フランジ部９２はカセット９０の上面から突出して設けられる鉤状の部材により構成され、カセット９０の上面の複数箇所に設けられる。
【００１５】
移載設備１０は、蒸着装置８０の上方に付設されている。移載設備１０に付設される蒸着装置８０は、装置全体が装置筐体８１により覆われている。装置筐体８１は、その内部に蒸着装置８０を格納可能な内部空間を有する。装置筐体８１は、その上部に、カセット９０を内部に搬送するためのカセット搬入口８２が形成されている。
装置筐体８１は、その内部空間においてカセット９０を載置するためのロードポート８３が設けられている。具体的には、ロードポート８３は、カセット搬入口８２の真下（後述する移載機２０の真下であって、移載機２０によって昇降するカセット９０の昇降経路上）に設けられている。
【００１６】
移載設備１０の側方であって蒸着装置８０の上方には、カセット９０を移載設備１０に対して搬送するフォークユニット４０が設けられている。すなわち、カセット９０は、蒸着装置８０の上方であって、移載設備１０の側方から搬入又は搬出される。
図１に示すように、フォークユニット４０は、カセット９０を載置して水平方向に出退移動させるものである。フォークユニット４０は、台車走行レール８５に沿って走行する搬送台車８６からカセット９０を搬出し、搬出したカセット９０を移載設備１０に搬入する。また、フォークユニット４０は、移載設備１０からカセット９０を搬出し、搬出したカセット９０を搬送台車８６に移載する。
フォークユニット４０は、その上面にカセット９０を載置するための載置面４１ａを有するフォーク４１と、フォーク４１を水平方向に出退移動させるための屈伸式アーム４２と、屈伸式アーム４２を旋回する旋回台４３と、から主に構成されている。
フォーク４１は、カセット９０を載置して移載可能な略長方形状の板で構成され、屈伸式アーム４２を屈伸させることによって、搬送台車８６或いは移載設備１０（荷受台３０）に対して出退移動を行う。
屈伸式アーム４２は、一対のアームを伸長させることにより、搬送台車８６に対してカセット９０の搬出又は搬入を行うための搬出入位置４５、或いはフォークユニット４０及び移載機２０が荷受台３０に対してカセット９０の搬入又は搬出を行うためのカセット搬出入位置１１までフォーク４１を水平移動させる。
図１に示すように、フォークユニット４０の両側方には、カセット９０を一時的に保管するためのバッファーステーション９５が設けられている。バッファーステーション９５には、カセット９０を載置するための載置台９６が設けられている。
【００１７】
図１及び図２に示すように、移載設備１０は、その下部に、蒸着装置８０のロードポート８３に対してカセット９０を搬出するためのカセット搬出口１４が設けられている。カセット搬出口１４は、装置筐体８１のカセット搬入口８２と連通して設けられている。
【００１８】
移載設備１０は、移載設備１０におけるカセット９０の搬送部である移載機２０と、移載設備１０におけるカセット９０の受け入れ部である荷受台３０と、移載設備１０におけるカセット９０の位置決め部であるプッシャー２５（「位置決め装置」の一例）と、を備える。
移載機２０と、荷受台３０と、ロードポート８３とは、平面視において互いに重なる位置に配置される。具体的には、荷受台３０とロードポート８３とが移載機２０によるカセット９０の昇降経路上に、移載設備１０の上方（天井側）から移載機２０、荷受台３０、ロードポート８３の順で配置される。
【００１９】
図２に示すように、移載機２０は、荷受台３０に対してカセット９０を搬出又は搬入し、搬出又は搬入するカセット９０を荷受台３０とロードポート８３との間で昇降移動させるものである。移載機２０は、ロードポート８３の上方に設けられ、平面視において荷受台３０及びロードポート８３と重なる位置に配置される。移載機２０は、フォークユニット４０により荷受台３０に搬送されたカセット９０を荷受台３０から搬出し、又は、ロードポート８３から搬出したカセット９０を荷受台３０に対して搬入する。移載機２０は、蒸着装置８０の上方において、カセット９０の上部を係止して鉛直方向に昇降移動させることによりカセット９０を搬送する。移載機２０は、カセット９０を昇降移動させるための昇降機構２１と、カセット９０の上部を係止するための係止機構２４と、から主に構成されている。
【００２０】
昇降機構２１は、係止機構２４を回動軸２２Ｂにより吊り下げた状態で支持する。昇降機構２１は、係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させる第１昇降部２２と、第１昇降部２２及び係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させる第２昇降部２３と、から構成されている。すなわち、昇降機構２１は、二段階の昇降移動によりカセット９０を昇降させる。
第１昇降部２２は、係止機構２４を吊下げて支持する複数本の昇降ベルト２２Ａと、昇降ベルト２２Ａを一体的に巻き取り及び巻き出す回動軸２２Ｂと、回動軸２２Ｂを回動する第１モータ２２Ｃと、から主に構成されている。第１昇降部２２は、第１モータ２２Ｃの駆動により回動軸２２Ｂを回動させて昇降ベルト２２Ａを巻き取り及び巻き出すことで係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させる。第１昇降部２２は、昇降ベルト２２Ａを巻き取り及び巻き出すことで係止機構２４（カセット９０）を昇降移動させることから、ロードポート８３に対するカセット９０の細かな位置合わせを容易に行うことができる。
第２昇降部２３は、回動軸２２Ｂの両端を回動可能に支持する支持体２３Ａと、支持体２３Ａを昇降可能にガイドするガイド体２３Ｂと、支持体２３Ａを昇降移動させる駆動ベルト２３Ｃと、駆動ベルト２３Ｃを回動させるための第２モータ２３Ｄと、から主に構成されている。
支持体２３Ａは、一対の長尺状の部材により構成され、鉛直方向に立設される上端部において回動軸２２Ｂを回動可能に支持するとともに、その下端部がガイド体２３Ｂにより昇降可能にガイドされる。ガイド体２３Ｂは、一対の長尺状の部材により構成される。駆動ベルト２３Ｃはガイド体２３Ｂの上端部と下端部との間に回動可能に架け渡される。第２モータ２３Ｄはガイド体２３Ｂの下端部に設けられる。
第２昇降部２３は、第２モータ２３Ｄを駆動させて駆動ベルト２３Ｃを回動させることにより支持体２３Ａをガイド体２３Ｂに沿って昇降移動させる。これにより、支持体２３Ａが支持する回動軸２２Ｂが昇降し、その昇降により昇降ベルト２２Ａを介して支持される係止機構２４（カセット９０）が昇降移動する。第２昇降部２３は、鉛直方向に延設される長尺状の一対のガイド体２３Ｂの間で回動軸２２Ｂを昇降移動させることで、ロードポート８３に対するカセット９０の大まかな位置合わせを行う。
このように、昇降機構２１は、第２昇降部２３によりカセット９０をロードポート８３に対して大まかな位置まで下降させ、続いて第１昇降部２２によりカセット９０をロードポート８３に対して接近する位置まで下降させることで、ロードポート８３に対するカセット９０の位置合わせを行う。
【００２１】
図１及び図２に示すように、係止機構２４は、複数の昇降ベルト２２Ａにより支持されるとともに、カセット９０の上部のフランジ部９２を係止する。係止機構２４は、カセット９０の係止時にカセット９０と対向する側にカセット９０のフランジ部９２を係止するための係止部２４Ａを有する。係止部２４Ａは、カセット９０のフランジ部９２に対応する位置に複数（図１においては４個）設けられている。係止部２４Ａは、フランジ部９２に係止可能な鉤状の部材により形成され、当該鉤状の部材が所定方向に旋回可能に構成されている。係止機構２４は、係止部２４Ａがフランジ部９２を係止することによりカセット９０を吊下げた状態で支持する。
【００２２】
図２に示すように、荷受台３０は、フォークユニット４０により移載設備１０に搬入されるカセット９０、及び移載機２０によりロードポート８３から搬出されるカセット９０を受け入れる台である。荷受台３０は、ロードポート８３の上方において、フォークユニット４０のフォーク４１がカセット９０を搬送する経路と、移載機２０がカセット９０を昇降させる経路と、が交差する位置（カセット搬出入位置１１）に設けられる。
図３（ａ）に示すように、荷受台３０は、フォークユニット４０或いは移載機２０がカセット９０を荷受台３０上に搬入する際、及びフォークユニット４０或いは移載機２０が荷受台３０上のカセット９０を搬出する際には、移載機２０がカセット９０を昇降させる経路（カセット９０の昇降経路、カセット搬出入位置１１）上に位置する。一方で、図３（ｂ）に示すように、荷受台３０は、移載機２０がカセット９０を昇降させる際には、カセット９０の昇降経路を避ける方向に移動する。すなわち、荷受台３０は、移載機２０によるカセット９０の昇降移動に応じて移動可能に構成されている。
図１から図３に示すように、荷受台３０は、カセット９０を載置する複数（図１及び図３では４体）のフローティングテーブル３１（「載置部」の一例）と、フローティングテーブル３１を支持する基台３２と、基台３２を摺動させるためのレール３３と、から構成されている。
【００２３】
フローティングテーブル３１は、フォークユニット４０により搬送されるカセット９０を載置可能な位置で、且つ移載機２０がカセット９０の上部を係止可能な位置であって、カセット９０を偏りなく載置可能な位置に配置される。フローティングテーブル３１は、その載置面３１ａにフローティングユニット５０が設けられている。フローティングユニット５０は、載置面３１ａに載置されるカセット９０を水平方向全方位に移動自在に受け止め支持するためのものである。フローティングユニット５０は、円形状に形成され、フローティングテーブル３１を構成する枠体の内部に収納されている。
図４に示すように、フローティングユニット５０は、カセット９０を載置して支持するための支持部５１を備えた可動部５２が固定部５３に対して水平方向に移動自在に受け止め支持される構造を有する。フローティングユニット５０は、物品載置支持用の支持部５１を備えた可動部５２が、複数の転動部材５４を保持具５５にて回転自在に保持する状態で備えた転動式支持体５６により、固定部５３に対して、水平方向の全方位に移動自在に且つ平面視にて回転自在に受け止め支持されている。
転動式支持体５６は、固定部５３に上向き状態で備えさせた平坦状の固定部側接触面形成部材５７ａと、可動部５２に下向き状態で備えさせた平坦状の可動部側接触面形成部材５７ｂとの間に、複数の転動部材５４を位置させた状態で、可動部５２及び固定部５３に対して水平方向の全方位に移動自在に設けられている。
フローティングユニット５０は、可動部５２を固定部５３に対して水平方向における物品受け止め用基準位置に復帰移動させる可動部復帰手段ＫＦと、転動式支持体５６を固定部５３に対して水平方向における可動部受け止め用基準位置に復帰移動させる支持体復帰手段ＳＦと、を有する。
可動部復帰手段ＫＦは、電磁石５８ａによる磁気吸引力により可動部５２を移動付勢する磁石式の復帰手段であり、固定部５３側の電磁石５８ａと、可動部５２側の強磁性体５８ｂと、が平面視で同じ位置に重なり合う状態となるように移動付勢されることにより、可動部５２を平面視での回転方向における特定回転位相に復帰回転させる。
支持体復帰手段ＳＦは、コイルバネ５９の弾性付勢力を利用した弾性付勢式の復帰手段であり、円環状の転動式支持体５６の径方向外方側に周方向に等間隔を空けて複数個の押し操作式のコイルバネ５９を設け、コイルバネ５９の径方向外方側を固定部５３に位置固定状態で設けたバネ受け具５９ａによって受け止め、転動式支持体５６を径方向内方側に向けて押し操作することによって、転動式支持体５６を可動部受け止め用基準位置に復帰移動させる。
【００２４】
図２及び図３に示すように、基台３２は、フローティングテーブル３１を支持する複数体の基台本体３２Ａと、基台本体３２Ａを載置して支持する一対の座板３２Ｂと、から構成される。
基台本体３２Ａは、座板３２Ｂ上に立設される長尺状の部材であり、その上部においてフローティングテーブル３１を支持する。
座板３２Ｂは、複数体（図３では２体）の基台本体３２Ａを載置可能な長方形状の板状の部材により構成される。座板３２Ｂは、その下面の長手方向の両端部にレール３３に対して摺動可能に係合する係合部が形成されている。
【００２５】
レール３３は、カセット９０の昇降経路に対して直交する方向であって、カセット９０の昇降経路に対して離れる方向に水平に延設される。レール３３は、移載機２０によるカセット９０の昇降移動時にカセット９０と干渉しないようにカセット９０の昇降経路を避けた位置に敷設される。レール３３は、１枚の座板３２Ｂに対して２本平行に配置され、座板３２Ｂの下面に形成される係合部と摺動可能に係合する。
【００２６】
荷受台３０は、１枚の座板３２Ｂに対して２体の基台本体３２Ａが支持されるとともに、２体の基台本体３２Ａのそれぞれに１体のフローティングテーブル３１が支持される。荷受台３０は、２枚の座板３２Ｂが所定の間隔で平行に配置されるとともに、互いが離れる方向に水平に移動するようにレール３３に沿って摺動可能に構成される。具体的には、フォークユニット４０或いは移載機２０がカセット９０を荷受台３０上に搬入する際、及びフォークユニット４０或いは移載機２０が荷受台３０上のカセット９０を搬出する際には、対となる２枚の座板３２Ｂが互いに接近する方向にレール３３に沿って摺動し、移載機２０がカセット９０を昇降させる際には、対となる２枚の座板３２Ｂが互いに離れる方向にレール３３に沿って摺動する。このように、基台３２を構成する一対の座板３２Ｂをレール３３に沿って摺動させることで、荷受台３０の載置部であるフローティングテーブル３１が互いに離れる方向に移動可能となる。
【００２７】
図２及び図３に示すように、プッシャー２５は、荷受台３０におけるカセット９０の位置決めを行うものである。プッシャー２５は、荷受台３０に載置されるカセット９０の角部９０Ａ（下方角部の側面）に当接することで、荷受台３０上におけるカセット９０の移動を規制してカセット９０の位置決めを行う。プッシャー２５は、基台３２の２枚の座板３２Ｂのそれぞれに１体ずつ立設され、荷受台３０に載置されるカセット９０を対となるプッシャー２５とともに挟んでなるカセット９０の対角位置近傍に配置される。プッシャー２５は、座板３２Ｂに支持されるプッシャー本体部２５Ａと、プッシャー本体部２５Ａに支持されて水平方向に出退移動可能なアーム部２５Ｂと、を備える。アーム部２５Ｂは、カセット９０の角部９０Ａ（下方角部の側面）に当接可能に構成されている。プッシャー２５は、アーム部２５Ｂを、対となるプッシャー２５のアーム部２５Ｂとともに、荷受台３０上のカセット９０の対角位置から挟み込むように、カセット９０の角部９０Ａ（下方角部の側面）に当接させることで、カセット９０を所定の位置に合わせる。ここで、所定の位置とは、移載機２０が荷受台３０上のカセット９０の姿勢を保持した状態で係止して昇降可能な位置（カセット搬出入位置１１）である。アーム部２５Ｂは、移載機２０が荷受台３０からカセット９０を搬出する際には、カセット９０に向かって伸長移動を行うことによりカセット９０の角部９０Ａ（下方角部の側面）に当接する。アーム部２５Ｂは、移載機２０によってカセット９０が昇降する際には、カセット９０から離れる方向に収縮移動を行うことによりカセット９０の昇降経路を避ける方向に移動する。
【００２８】
次に、移載設備１０におけるカセット９０の移載方法について説明する。
図５に示すように、搬送台車８６によりカセット９０が所定の位置まで搬送されると、フォークユニット４０は、屈伸式アーム４２を伸長してフォーク４１を搬送台車８６に対して水平移動させることにより搬送台車８６上のカセット９０をフォーク４１上に載置して支持する。
図６及び図７に示すように、カセット９０がフォーク４１上に載置されると、フォークユニット４０は、カセット９０をフォーク４１に載置した状態で屈伸式アーム４２を屈曲させるとともにフォーク４１を旋回させる。さらに、フォークユニット４０は、屈伸式アーム４２を伸長して、フォーク４１を移載設備１０の荷受台３０（カセット搬出入位置１１）の上方まで水平移動させる。フォークユニット４０は、カセット９０を荷受台３０の上方まで搬送すると、フォーク４１を下降させてカセット９０を荷受台３０に載置させる。これにより、カセット９０がフォークユニット４０から荷受台３０に移載される。
【００２９】
図７及び図８に示すように、荷受台３０にカセット９０が載置されると、フォークユニット４０は、屈伸式アーム４２を屈曲させて、フォーク４１を荷受台３０から離れた位置まで水平移動させる。また、荷受台３０のフローティングユニット５０の作動が解除され（可動部５２が固定部５３に対して水平方向に移動可能となり）、カセット９０が荷受台３０上で移動可能な状態となる。続いて、プッシャー２５のアーム部２５Ｂがカセット９０に向かって伸長移動し、カセット９０の角部９０Ａに当接する。これにより、カセット９０が一対のアーム部２５Ｂにより対角方向から挟持された状態となる。
プッシャー２５は、一対のアーム部２５Ｂを互いに伸縮移動させることにより、カセット９０を四方に移動させる。そして、プッシャー２５は、カセット９０を、移載機２０の係止部２４Ａ（係止機構２４）がカセット９０のフランジ部９２を係止可能な位置（カセット搬出入位置１１）まで移動させる。すなわち、プッシャー２５は、カセット９０を四方に移動させることで、移載機２０の昇降位置に対するカセット９０の位置決めを行う。プッシャー２５によるカセット９０の位置決めが完了すると、フローティングユニット５０が作動し（可動部５２が固定部５３に対して水平方向に移動不能となり）、カセット９０が荷受台３０上で移動不能な状態となる。これにより、カセット９０が、プッシャー２５により位置決めされた位置、すなわち、荷受台３０上のカセット搬出入位置１１で保持される。
【００３０】
カセット９０がカセット搬出入位置１１で保持されると、移載機２０の第２昇降部２３が駆動し、移載機２０の係止機構２４がカセット９０の上方位置まで下降する。そして、係止機構２４の係止部２４Ａが所定方向に旋回することで、カセット９０のフランジ部９２が係止部２４Ａにより係止される。フランジ部９２が係止部２４Ａに係止されると、フローティングユニット５０の作動が解除される（可動部５２が固定部５３に対して水平方向に移動可能となる）。これにより、カセット９０が移載機２０により昇降移動可能な状態となる。
フローティングユニット５０の作動が解除されると、プッシャー２５は、アーム部２５Ｂをカセット９０から離れる方向（カセット９０の昇降経路を避ける方向）に収縮移動させる。
アーム部２５Ｂが収縮移動すると、荷受台３０の基台３２がレール３３に沿って摺動する。具体的には、カセット搬出入位置１１に位置する一対の座板３２Ｂが互いに離れる方向にレール３３に沿って水平に摺動する。これにより、荷受台３０のフローティングテーブル３１がカセット９０の昇降経路を避ける方向に移動し、フローティングテーブル３１がカセット９０を載置していた位置に、移載機２０によるカセット９０の昇降経路が形成される。
【００３１】
荷受台３０のフローティングテーブル３１がカセット搬出入位置１１から離れると、移載機２０の第２昇降部２３が駆動し、カセット９０を係止した係止機構２４が蒸着装置８０に向けて下降する。具体的には、第２モータ２３Ｄが駆動することで駆動ベルト２３Ｃが作動し、駆動ベルト２３Ｃが作動することで支持体２３Ａがガイド体２３Ｂに沿って下降する。そして、支持体２３Ａに支持される回動軸２２Ｂが支持体２３Ａとともに下降し、その下降により昇降ベルト２２Ａに支持される係止機構２４（カセット９０）が所定位置まで下降する。
図９に示すように、係止機構２４が所定位置まで下降すると、第２昇降部２３の駆動が停止し、第１昇降部２２が駆動する。これにより、係止機構２４に係止されるカセット９０が蒸着装置８０のロードポート８３に移載される。具体的には、第２モータ２３Ｄの駆動が停止することで、第１モータ２２Ｃが駆動して回動軸２２Ｂが回動する。これにより、係止機構２４を吊下げて支持する昇降ベルト２２Ａが回動軸２２Ｂによって下方に巻き出され、その巻き出しに合わせて係止機構２４（カセット９０）が下降する。
【００３２】
一方、蒸着装置８０において基板９１に対する処理が完了すると、係止機構２４の係止部２４Ａがカセット９０のフランジ部９２を係止する。そして、第１モータ２２Ｃが駆動して回動軸２２Ｂが回動する。これにより、係止機構２４を吊下げて支持する昇降ベルト２２Ａが回動軸２２Ｂによって上方に巻き取られ、その巻き取りに合わせて係止機構２４が上昇してカセット９０がロードポート８３から搬出される。係止機構２４が所定位置まで上昇すると、第１モータ２２Ｃの駆動が停止し、第２モータ２３Ｄが駆動する。これにより、駆動ベルト２３Ｃが作動し、駆動ベルト２３Ｃが作動することで支持体２３Ａがガイド体２３Ｂに沿って上昇する。そして、支持体２３Ａに支持される回動軸２２Ｂが支持体２３Ａとともに上昇し、その上昇により昇降ベルト２２Ａに支持される係止機構２４が上昇する。
係止機構２４に係止されるカセット９０が荷受台３０の上方まで上昇すると、荷受台３０の基台３２がレール３３に沿って摺動する。具体的には、カセット搬出入位置１１から離れていた一対の座板３２Ｂが、互いに接近する方向にレール３３に沿って水平に摺動する。これにより、フローティングテーブル３１がカセット搬出入位置１１に配置される。
【００３３】
フローティングテーブル３１がカセット搬出入位置１１に配置されると、第２モータ２３Ｄが駆動し係止機構２４が下降する。これにより、カセット９０が下降してフローティングテーブル３１に載置される。カセット９０がフローティングテーブル３１に載置されると、係止機構２４の係止部２４Ａが所定方向に旋回することで、係止部２４Ａによるフランジ部９２への係止が解除される。係止部２４Ａによるフランジ部９２への係止が解除されると、フォークユニット４０は、屈伸式アーム４２を伸長してフォーク４１をカセット搬出入位置１１まで水平移動させる。続いて、フォークユニット４０は、フォーク４１を上昇させることで、荷受台３０に載置されているカセット９０をフォーク４１に載置して支持する。さらに、フォークユニット４０は、屈伸式アーム４２を屈折させるとともに、カセット９０を載置したフォーク４１を旋回させる。そして、フォークユニット４０は、屈伸式アーム４２を伸長してフォーク４１を搬送台車８６まで水平移動させ、フォーク４１上のカセット９０を搬送台車８６に移載する。
【００３４】
以上のように、本発明に係る移載設備１０は、荷受台３０とロードポート８３との間でカセット９０を昇降移動させる際に、荷受台３０がカセット９０の昇降経路を避ける位置に移動しているため、カセット９０が荷受台３０に干渉することがない（カセット９０が荷受台３０に接触することがない）。そのため、荷受台３０との干渉を避けるために、移載機２０によるカセット９０の昇降移動時にカセット９０を旋回させる等の動作が不要となり、荷受台３０とロードポート８３との間のカセット９０の移載を効率良く行うことができる。また、移載機２０が上記動作を行う必要がないため、移載機２０がカセット９０を位置決めされた状態で保持することができ、移載機２０の移載精度を向上させることができる。
【００３５】
なお、本実施の形態においては、移載設備１０において移載される物品はカセット９０に限定されるものではなく、荷受台３０と移載機２０との間で移載を行うことが可能な物品であれば構わない。
本実施の形態においては、移載機２０の係止部２４Ａがカセット９０の上部の鉤状のフランジ部９２を係止した状態で、移載機２０がカセット９０を昇降移動させているが、これに限定されるものではなく、例えば、移載機２０がカセット９０の側面を把持した状態でカセット９０を昇降移動させても構わない。
本実施の形態においては、移載機２０が第１昇降部２２と第２昇降部２３とによる二段階の昇降移動によってカセット９０を昇降させているが、これに限定されるものではなく、第１昇降部２２又は第２昇降部２３のいずれか一方のみ、すなわち、一段階の昇降移動によってカセット９０を昇降させても構わない。また、第１昇降部２２は、係止機構２４に取り付けた昇降ベルト２２Ａを回動軸２２Ｂに対して巻き取り及び巻き出すことでカセット９０の昇降を行うが、これに限定されるものではなく、係止機構２４を吊下げ支持する支持枠をボールねじによって昇降させることによりカセット９０の昇降を行っても構わない。
本実施の形態においては、フローティングユニット５０が、フォーク４１の幅方向の両端部に、フォーク４１の長手方向に沿って複数個並べた状態で載置面４１ａ上に配置されているが、カセット９０をフォーク４１上で充分に支持することが可能であれば、フローティングユニット５０の配置位置、個数は限定されない。
本実施の形態においては、フローティングユニット５０の可動部復帰手段ＫＦを磁石式の復帰手段により構成しているが、これに限定されるものではなく、バネの弾性付勢力を利用した弾性付勢式の復帰手段により構成しても構わない。同様に、本実施の形態においては、支持体復帰手段ＳＦを弾性付勢式の復帰手段により構成しているが、磁石式の復帰手段により構成しても構わない。
本実施の形態においては、プッシャー２５は、カセット９０の角部９０Ａに当接することでカセット９０の位置を規制しているが、これに限定されるものではなく、カセット９０の側面であって、当接時にカセット９０の位置を規制可能であれば、カセット９０の側面の中央部を当接するように構成しても構わない。また、２体のプッシャー２５によりカセット９０の位置規制を行っているが、これに限定されるものではく、１体、或いは３体以上のプッシャー２５により位置規制を行っても構わない。
本実施の形態においては、荷受台３０を複数のフローティングテーブル３１と基台３２により構成しているが、これに限定されるものではなく、カセット９０を載置可能なで且つ移動可能な構成であれば、１体のフローティングテーブル３１と基台３２（基台本体３２Ａ、座板３２Ｂ）により構成しても構わない。
本実施の形態においては、複数のフローティングテーブル３１が互いに離れ方向に移動可能に構成されているが、これに限定されるものではなく、カセット９０の昇降経路を避ける位置に移動可能であれば、全てのフローティングテーブル３１を同一の方向に移動させても構わない。また、複数のフローティングテーブル３１がカセット９０の昇降経路に対して水平に直交する方向に移動可能に構成されているが、これに限定されるものではなく、カセット９０の昇降経路を避ける位置に移動可能であれば、カセット９０の昇降経路に対して水平に直交しない方向、例えば、カセット９０の載置位置（カセット搬出入位置１１）から斜め下方向に移動させても構わない。
本実施の形態においては、基台３２を介してフローティングテーブル３１を移動させているが、これに限定されるものではなく、フローティングテーブル３１自体を直接移動させても構わない。
本実施の形態においては、移載設備１０が基板９１に対して蒸着処理を行う蒸着装置８０に付設される設備であるが、これに限定されるものではなく、物品に対して処理を行う処理装置に物品を収容した容器を移載する移載設備であれば、蒸着装置８０以外の装置に付設される設備であっても構わない。
【符号の説明】
【００３６】
１０                    移載設備
２０                    移載機
３０                    荷受台
８０                    蒸着装置（処理装置）
８３                    ロードポート
９０                    カセット（容器）
９１                    基板（物品）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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