(57)【要約】【課題】機械強度に優れる押圧センサを備え、かつ、構成が簡単であるタッチセンサを提供すること。【解決手段】タッチセンサ１０は、面方向におけるタッチされた位置Ｌを静電容量方式で検知する静電容量センサ１２と、タッチに基づく上下方向における押圧Ｐを検知する押圧センサ１１とを上下方向において順に備える。押圧センサ１１は、第１透明基材２と、第１透明基材２の下面にエレクトレット材料を塗布した塗布物である透明エレクトレットコーティング層３とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み方向に直交する方向におけるタッチされた位置を静電容量方式で検知する静電容量センサと、
前記タッチに基づく前記厚み方向における押圧を検知する押圧センサとを厚み方向において順に備え、
前記押圧センサは、
第１透明基材と、
前記第１透明基材の前記厚み方向一方面にエレクトレット材料を塗布した塗布物である透明エレクトレットコーティング層と
を備えることを特徴とする、タッチセンサ。
【請求項２】
前記押圧センサは、前記第１透明基材の前記厚み方向他方面に配置される第１透明電極をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載のタッチセンサ。
【請求項３】
前記静電容量センサは、
第２透明基材と、
前記第２透明基材の前記厚み方向一方面または他方面に配置される第２透明電極と
を備えることを特徴とする、請求項２に記載のタッチセンサ。
【請求項４】
前記透明エレクトレットコーティング層が、前記第１透明電極および前記第２透明電極の間に配置されていることを特徴とする、請求項３に記載のタッチセンサ。
【請求項５】
前記第２透明基材と、前記第２透明電極と、前記押圧センサとが、前記厚み方向において順に配置されていることを特徴とする、請求項３または４に記載のタッチセンサ。
【請求項６】
前記第１透明電極および前記第２透明電極のうち、一方が基準電極であり、他方がシグナル電極であることを特徴とする、請求項３〜５のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
【請求項７】
前記押圧センサは、前記第２透明電極および前記透明エレクトレットコーティング層の間に配置される第３透明電極をさらに備えることを特徴とする、請求項３〜５のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
【請求項８】
前記透明エレクトレットコーティング層が、前記第１透明電極および前記第２透明電極の間の外側に配置されていることを特徴とする、請求項３に記載のタッチセンサ。
【請求項９】
前記押圧センサは、第３透明電極をさらに備え、
前記透明エレクトレットコーティング層が、前記１透明電極および前記第３透明電極の間に配置されていることを特徴とする、請求項８に記載のタッチセンサ。
【請求項１０】
前記押圧センサは、第３透明基材をさらに備え、
前記第３透明電極が、前記第３透明基材の厚み方向一方面または他方面に配置されていることを特徴とする、請求項７または９に記載のタッチセンサ。
【請求項１１】
前記第１透明電極および前記第３透明電極のうち、一方が基準電極であり、他方がシグナル電極であることを特徴とする、請求項７、９および１０のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
【請求項１２】
第１感圧接着層をさらに備え、
前記第１感圧接着層によって、前記静電容量センサおよび前記押圧センサが感圧接着されていることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
【請求項１３】
前記押圧センサは、前記透明エレクトレットコーティング層の前記厚み方向一方面に配置される第２感圧接着層をさらに備えることを特徴とする、請求項７および９〜１１のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
【請求項１４】
前記第３透明電極は、前記第２感圧接着層の前記厚み方向一方面に配置されていることを特徴とする、請求項１３に記載のタッチセンサ。
【請求項１５】
前記透明エレクトレットコーティング層が、９２％以上の透過率、および、０．５％以下のヘイズを有することを特徴とする、請求項１〜１４のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
【請求項１６】
前記透明エレクトレットコーティング層が、２０Ｖ以上、２０００Ｖ以下の表面帯電圧の絶対値を有することを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
【請求項１７】
前記透明エレクトレットコーティング層が、１０μｍ以下の厚みを有することを特徴とする、請求項１〜１６のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
【請求項１８】
コーティング材料が、主鎖に環構造を有する含フッ素重合体であることを特徴とする、請求項１〜１７のいずれか一項に記載のタッチセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチセンサ、詳しくは、面方向のタッチ位置および厚み方向の押圧の両方を検知するタッチセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、物体が載置される位置（例えば、ＸＹ方向の位置など）と、物体の載置に基づく圧力（例えば、Ｚ方向の圧力）との両方を検出する物体検出シートが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１に記載の物体検出シートは、静電容量センサ部と、圧電センサ部とを備えており、静電容量センサ部によって、物体の載置位置を検出し、圧電センサ部によって、圧力を検出している。
【０００４】
特許文献１に記載の物体検出シートでは、複数の圧電センサ部と、複数の静電容量センサ部とが、ＸＹ方向（縦方向および横方向）において交互に間隔を隔てて配置されている。
【０００５】
また、特許文献１に記載の物体検出シートでは、圧電センサ部は、合成樹脂発泡シートからなる圧電シートを有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１５−１３２５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかるに、物体検出シートには、より簡単な構成が要求される。
【０００８】
また、物体検出シートには、圧電センサ部の優れた機械強度が要求される。
【０００９】
しかし、特許文献１に記載の物体検出シートでは、複数の圧電センサ部と複数の静電容量センサ部とが、ＸＹ方向に交互に配置されているので、構成を簡単にすることができないという不具合がある。
【００１０】
また、上記の圧電センサ部では、圧電シートが合成樹脂発泡シートであるので、機械強度が低いという不具合がある。
【００１１】
本発明は、機械強度に優れる押圧センサを備え、かつ、構成が簡単であるタッチセンサを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明（１）は、厚み方向に直交する方向におけるタッチされた位置を静電容量方式で検知する静電容量センサと、前記タッチに基づく前記厚み方向における押圧を検知する押圧センサとを厚み方向において順に備え、前記押圧センサは、第１透明基材と、前記第１透明基材の前記厚み方向一方面にエレクトレット材料を塗布した塗布物である透明エレクトレットコーティング層とを備える、タッチセンサを含む。
【００１３】
このタッチセンサは、静電容量センサと、押圧センサとを厚み方向において順に備えるので、構成が簡単である。
【００１４】
また、このタッチセンサでは、押圧センサは、第１透明基材の厚み方向一方面にエレクトレット材料を塗布した塗布物である透明エレクトレットコーティング層を備える。そのため、透明エレクトレットコーティング層が、第１透明基材に十分に密着されながら、第１透明基材に確実に支持される。その結果、押圧センサは、機械強度に優れる。
【００１５】
本発明（２）は、前記押圧センサは、前記第１透明基材の前記厚み方向他方面に配置される第１透明電極をさらに備える、（１）に記載のタッチセンサを含む。
【００１６】
このタッチセンサでは、押圧センサに備えられる第１透明電極によって、透明エレクトレットコーティング層において発生した電荷量の変化を検知することができる。そのため、タッチに基づく押圧を検知することができる。
【００１７】
本発明（３）は、前記静電容量センサは、第２透明基材と、前記第２透明基材の前記厚み方向一方面または他方面に配置される第２透明電極とを備える、（２）に記載のタッチセンサを含む。
【００１８】
このタッチセンサの静電容量センサでは、第２透明電極によって、タッチされた位置を検知することができる。
【００１９】
また、第２透明電極は、第２透明基材の厚み方向一方面または他方面に配置されるので、第２透明基材によって、確実に支持される。そのため、静電容量センサは、機械強度に優れる。
【００２０】
本発明（４）は、前記透明エレクトレットコーティング層が、前記第１透明電極および前記第２透明電極の間に配置されている、（３）に記載のタッチセンサを含む。
【００２１】
このタッチセンサでは、透明エレクトレットコーティング層において発生した電荷量の変化を、透明エレクトレットコーティング層の厚み方向両側に位置する２つの透明電極である第１透明電極および第２透明電極によって、より正確に検知することができる。
【００２２】
本発明（５）は、前記第２透明基材と、前記第２透明電極と、前記押圧センサとが、前記厚み方向において順に配置されている、（３）または（４）に記載のタッチセンサを含む。
【００２３】
このタッチセンサでは、第２透明基材と、第２透明電極と、押圧センサとが、厚み方向において順に配置されているので、第２透明電極は、第２透明基材に比べて、押圧センサに対してより近くに隣接する。そのため、第２透明電極によって、タッチに基づく押圧の検知を正確に実施することができる。
【００２４】
本発明（６）は、前記第１透明電極および前記第２透明電極のうち、一方が基準電極であり、他方がシグナル電極である、（３）〜（５）のいずれか一項に記載のタッチセンサを含む。
【００２５】
このタッチセンサでは、第１透明電極および第２透明電極のうち、一方が基準電極であり、他方がシグナル電極であるので、透明エレクトレットコーティング層において発生した電荷量の変化を正確に検知して、押圧を正確に検知することができる。
【００２６】
本発明（７）は、前記押圧センサは、前記第２透明電極および前記透明エレクトレットコーティング層の間に配置される第３透明電極をさらに備える、（３）〜（５）のいずれか一項に記載のタッチセンサを含む。
【００２７】
このタッチセンサの静電容量センサでは、第２透明電極によって、タッチされた位置を正確に検知しながら、押圧センサでは、第３透明電極および第１透明電極によって、透明エレクトレットコーティング層において発生した電荷量の変化を正確に検知することができる。そのため、タッチされた位置の検知と、押圧の検知とを両立することができる。
【００２８】
本発明（８）は、前記透明エレクトレットコーティング層が、前記第１透明電極および前記第２透明電極の間の外側に配置されている、（３）に記載のタッチセンサを含む。
【００２９】
本発明（９）は、前記押圧センサは、第３透明電極をさらに備え、前記透明エレクトレットコーティング層が、前記１透明電極および前記第３透明電極の間に配置されている、（８）に記載のタッチセンサを含む。
【００３０】
このタッチセンサでは、透明エレクトレットコーティング層が、第１透明電極および第２透明電極の間の外側に配置されていても、タッチセンサが第３透明電極をさらに備え、透明エレクトレットコーティング層が、第１透明電極および第３透明電極の間に配置されているので、第１透明電極および第３透明電極によって、透明エレクトレットコーティング層において発生した電荷量の変化を正確に検知することができる。
【００３１】
本発明（１０）は、前記押圧センサは、第３透明基材をさらに備え、前記第３透明電極が、前記第３透明基材の厚み方向一方面または他方面に配置されている、（７）または（９）に記載のタッチセンサを含む。
【００３２】
このタッチセンサは、第３透明基材をさらに備え、第３透明電極が、第３透明基材の厚み方向一方面または他方面に配置されているので、第３透明基材によって第３透明電極を支持することができる。そのため、タッチセンサは、機械強度に優れ、信頼性に優れる。
【００３３】
本発明（１１）は、前記第１透明電極および前記第３透明電極のうち、一方が基準電極であり、他方がシグナル電極である、（７）、（９）および（１０）のいずれか一項に記載のタッチセンサを含む。
【００３４】
このタッチセンサでは、第１透明電極および第３透明電極のうち、一方が基準電極であり、他方がシグナル電極であるので、透明エレクトレットコーティング層において発生した電荷量の変化を正確に検知して、押圧を正確に検知することができる。
【００３５】
本発明（１２）は、第１感圧接着層をさらに備え、前記第１感圧接着層によって、前記静電容量センサおよび前記押圧センサが感圧接着されている、（１）〜（１１）のいずれか一項に記載のタッチセンサを含む。
【００３６】
このタッチセンサでは、第１感圧接着層によって、静電容量センサおよび押圧センサが互いに感圧接着するので、静電容量センサおよび押圧センサを厚み方向に順に簡単に配置することができるとともに、タッチセンサは、機械強度に優れる。
【００３７】
本発明（１３）は、前記押圧センサは、前記透明エレクトレットコーティング層の前記厚み方向一方面に配置される第２感圧接着層をさらに備える、（７）および（９）〜（１１）のいずれか一項に記載のタッチセンサを含む。
【００３８】
本発明（１４）は、前記第３透明電極は、前記第２感圧接着層の前記厚み方向一方面に配置されている、（１３）に記載のタッチセンサを含む。
【００３９】
このタッチセンサでは、透明エレクトレットコーティング層の厚み方向一方面に配置される第２感圧接着層をさらに備え、第３透明電極は、第２感圧接着層の厚み方向一方面に配置されているので、第３透明電極の透明エレクトレットコーティング層に対する密着性を向上させることができる。
【００４０】
本発明（１５）は、前記透明エレクトレットコーティング層が、９２％以上の透過率、および、０．５％以下のヘイズを有する、（１）〜（１４）のいずれか一項に記載のタッチセンサを含む。
【００４１】
このタッチセンサでは、透明エレクトレットコーティング層が、９２％以上の透過率、および、０．５％以下のヘイズを有するので、優れた透明性を確保することができる。
【００４２】
本発明（１６）は、前記透明エレクトレットコーティング層が、２０Ｖ以上、２０００Ｖ以下の表面帯電圧の絶対値を有する、（１）〜（１５）のいずれか一項に記載のタッチセンサを含む。
【００４３】
このタッチセンサでは、透明エレクトレットコーティング層が、２０Ｖ以上、２０００Ｖ以下の表面帯電圧の絶対値を有するので、優れた感圧特性を得ることができとともに、取扱性に優れる。
【００４４】
本発明（１７）は、前記透明エレクトレットコーティング層が、１０μｍ以下の厚みを有する、（１）〜（１６）のいずれか一項に記載のタッチセンサを含む。
【００４５】
このタッチセンサでは、透明エレクトレットコーティング層が、１０μｍ以下の厚みを有するので、所望の表面帯電圧を確保することができる。
【００４６】
本発明（１８）は、コーティング材料が、主鎖に環構造を有する含フッ素重合体である、（１）〜（１７）のいずれか一項に記載のタッチセンサを含む。
【００４７】
このタッチセンサでは、コーティング材料が、主鎖に環構造を有する含フッ素重合体であるので、優れた帯電特性を得ることができる。
【発明の効果】
【００４８】
本発明のタッチセンサは、機械強度に優れる押圧センサを備え、かつ、構成が簡単である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】図１は、本発明のタッチセンサの第１実施形態の断面図を示す。
【図２】図２は、図１に示すタッチセンサの製造を説明する工程図であり、図２Ａが、押圧センサおよび静電容量センサのそれぞれを準備する工程、図２Ｂが、第１感圧接着層を第２透明電極に設ける工程、図２Ｃが、第１感圧接着層を透明エレクトレットコーティング層に設ける工程を示す。
【図３】図３は、本発明のタッチセンサの第２実施形態の断面図を示す。
【図４】図４は、本発明のタッチセンサの第３実施形態の断面図を示す。
【図５】図５は、本発明のタッチセンサの第４実施形態の断面図を示す。
【図６】図６は、本発明のタッチセンサの第５実施形態の断面図を示す。
【図７】図７は、本発明のタッチセンサの第６実施形態の断面図を示す。
【図８】図８は、本発明のタッチセンサの第７実施形態の断面図を示す。
【図９】図９は、本発明のタッチセンサの第８実施形態の断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００５０】
＜第１実施形態＞
本発明のエレクトレットフィルムの一実施形態であるタッチセンサ１０を、図１〜図２Ｃを参照して説明する。
【００５１】
図１〜図２Ｃにおいて、紙面上下方向は、タッチセンサ１０の厚み方向（あるいは押圧方向）の一例である。紙面上側が、上側（厚み方向一方側）であり、紙面下側が、（厚み方向他方側）である。具体的には、方向は、各図の方向矢印に準拠する。この方向の定義により、タッチセンサ１０の製造時および使用時の向きを限定する意図はない。
【００５２】
タッチセンサ１０は、ユーザの指やペンなどのタッチに基づく厚み方向（上下方向）における押圧Ｐと、厚み方向と直交する面方向におけるタッチされた位置Ｌとの両方を検知するセンサである。また、タッチセンサ１０は、いわゆる、ＸＹＺセンサ（３次元センサ）であって、ＸＹ方向（２次元方向）のタッチ位置Ｌと、Ｚ方向（奥行き方向）の押圧Ｐとを併せて検知する。
【００５３】
図１に示すように、このタッチセンサ１０は、所定の厚みを有するフィルム形状（シート形状を含む）をなし、面方向に延び、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。
【００５４】
タッチセンサ１０は、押圧センサ１１と、第１感圧接着層４と、静電容量センサ１２とを上側に向かって順に備える。具体的には、タッチセンサ１０は、押圧センサ１１と、押圧センサ１１の上面に配置される第１感圧接着層４と、第１感圧接着層４の上面に配置される静電容量センサ１２とを備える。好ましくは、タッチセンサ１０は、押圧センサ１１と、第１感圧接着層４と、静電容量センサ１２とのみからなる。
【００５５】
押圧センサ１１は、ユーザの指やペンなどのタッチに基づく厚み方向における押圧Ｐを検知するセンサである。また、押圧センサ１１は、タッチによるＺ方向（奥行き方向）の押圧Ｐを検知するＺ方向センサでもある。押圧センサ１１は、面方向に延び、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。押圧センサ１１は、タッチセンサ１０における下面を形成する。つまり、押圧センサ１１は、タッチセンサ１０における最下層である。
【００５６】
押圧センサ１１は、第１透明電極１と、第１透明基材２と、透明エレクトレットコーティング層３とを上側に向かって順に備える。具体的には、押圧センサ１１は、第１透明電極１と、第１透明電極１の上面に配置される第１透明基材２と、第１透明基材２の厚み方向一方面の一例としての上面に配置される透明エレクトレットコーティング層３とを備える。好ましくは、押圧センサ１１は、第１透明電極１と、第１透明基材２と、透明エレクトレットコーティング層３とのみからなる。
【００５７】
第１透明電極１は、面方向に延び、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。第１透明電極１は、タッチセンサ１０における下面を形成する。つまり、第１透明電極１は、押圧センサ１１における最下層である。また、第１透明電極１は、所定の電極パターン（図示せず）を有する。具体的には、第１透明電極１は、シグナル電極および基準電極のいずれかである。なお、第１透明電極１は、配線１４を介してオシロスコープ１３と電気的に接続される。
【００５８】
第１透明電極１の材料としては、例えば、透明導電材料が挙げられる。透明導電材料としては、例えば、インジウムスズ複合酸化物（ＩＴＯ）などのインジウム含有酸化物、例えば、アンチモンスズ複合酸化物（ＡＴＯ）などのアンチモン含有酸化物などが挙げられ、好ましくは、インジウム含有酸化物、より好ましくは、ＩＴＯが挙げられる。
【００５９】
第１透明電極１の表面抵抗は、例えば、１Ω／□以上、好ましくは、１０Ω／□以上であり、また、例えば、３００Ω／□以下、好ましくは２００Ω／□以下である。
【００６０】
第１透明電極１の厚みは、特に限定されず、例えば、１０ｎｍ以上であり、また、例えば、３０ｎｍ以下である。
【００６１】
第１透明基材２は、第１透明電極１の上面に配置されている。換言すれば、第１透明電極１は、第１透明基材２の厚み方向他方面の一例としての下面に配置されている。これにより、第１透明基材２は、第１透明電極１を上側から支持している。第１透明基材２は、面方向に延びるフィルム形状を有し、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。
【００６２】
第１透明基材２の材料としては、例えば、透明材料が挙げられる。
【００６３】
透明材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル樹脂、例えば、ポリメタクリレートなどの（メタ）アクリル樹脂（アクリル樹脂および／またはメタクリル樹脂）、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマーなどのオレフィン樹脂、例えば、ポリカーボネート樹脂、例えば、ポリエーテルスルフォン樹脂、例えば、ポリアリレート樹脂、例えば、メラミン樹脂、例えば、ポリアミド樹脂、例えば、ポリイミド樹脂、例えば、セルロース樹脂、例えば、ポリスチレン樹脂、例えば、ノルボルネン樹脂などが挙げられる。これらは、単独使用または２種以上併用することができる。透明性の観点から、好ましくは、ポリエステル樹脂が挙げられ、より好ましくは、ＰＥＴが挙げられる。
【００６４】
第１透明基材２は、例えば、上記した材料から中実のシート形状に形成されており、好ましくは、発泡体に含まれるような泡を有しておらず、緻密質を有する。
【００６５】
第１透明基材２の全光線透過率は、例えば、９０％以上、好ましくは、９５％以上、より好ましくは、９９％以上である。全光線透過率は、ＪＩＳ  Ｋ  ６７１７−２に基づいて測定される。以下の全光線透過率は、上記した方法に基づいて測定される。
【００６６】
また、第１透明基材２の材料は、好ましくは、絶縁性を有する。材料の体積抵抗率は、例えば、１０×６Ω・ｃｍ以上、好ましくは、１０×８Ω・ｃｍ以上、より好ましくは、１０×１０Ω・ｃｍであり、また、例えば、１０×１５Ω・ｃｍ以下である。体積抵抗率は、ＪＩＳ  Ｃ  ２１３９に基づいて測定される。以下の体積抵抗率は、上記した方法に基づいて測定される。
【００６７】
第１透明基材２の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下、より好ましくは、４０μｍ以下、さらに好ましくは、３０μｍ以下である。
【００６８】
第１透明基材２の引張強度は、厚みが２０μｍのときに、例えば、５０ＭＰａ以上、好ましくは、１００ＭＰａ以上、より好ましくは、１５０ＭＰａ以上、さらに好ましくは、２００ＭＰａ以上であり、また、例えば、１０００ＭＰａ以下である。引張強度は、ＪＩＳ  Ｃ２１５１（２００７年）に準拠して求められる。
【００６９】
透明エレクトレットコーティング層３は、押圧センサ１１の上面を形成する。つまり、透明エレクトレットコーティング層３は、押圧センサ１１における最上層である。透明エレクトレットコーティング層３は、基材層２の上面全面に配置されている。これにより、透明エレクトレットコーティング層３は、第１透明基材２によって下側から支持されている。なお、透明エレクトレットコーティング層３と、第１透明電極１との間は、第１透明基材２によって、絶縁されている。
【００７０】
透明エレクトレットコーティング層３は、帯電可能な誘電層である。そのため、透明エレクトレットコーティング層３では、タッチに基づく厚み方向における押圧Ｐによって電荷量が変化する。透明エレクトレットコーティング層３は、基材層２の上面にエレクトレット材料を塗布した塗布物である。そのため、透明エレクトレットコーティング層３は、第１透明基材２の上面に密着状に接触している。
【００７１】
エレクトレット材料としては、例えば、誘電性有機成分、誘電性無機成分などの透明誘電性成分が挙げられる。透明誘電性成分は、単独使用または併用することができる。好ましくは、誘電性有機成分の単独使用が挙げられる。
【００７２】
誘電性有機成分としては、例えば、ポリマーが挙げられる。ポリマーとしては、例えば、ポリフッ化エチレン（ＰＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリフッ化ポリプロピレン（ＦＥＰ−テフロン）、主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーなどのフッ素系ポリマー、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリプロピレン（ＰＰ）等の非フッ素系ポリマーが挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。好ましくは、フッ素系ポリマー、より好ましくは、帯電特性の観点から、主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーが挙げられる。
【００７３】
主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーは、例えば、式（１）で示される。
【００７４】
式（１）：
【００７５】
【化１】
2019105976.tif 000003
【００７６】
式中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３およびＹは、互いに同一または相異なっていてもよく、例えば、パーフルオロメチレン、パーフルオロエチレン、パーフルオロプロピレンなどのパーフルオロアルキレンが挙げられる。好ましくは、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３が、パーフルオロメチレン（−ＣＦ３−）であり、Ｙが、パーフルオロエチレン（−Ｃ２Ｆ６−）である。
【００７７】
ｍは、例えば、２以下の整数、好ましくは、１以下の整数、より好ましくは、０である。
【００７８】
ｎは、環状構造の重合度を示し、用途および目的に応じて、適宜設定される。
【００７９】
また、上記した説明では、すべての炭素原子に、フッ素原子のみが結合しているが、フッ素原子の一部が水素原子と置換することができる。好ましくは、すべての炭素原子に、フッ素原子のみが結合している。
【００８０】
また、フッ素系ポリマーは、主鎖の末端に、カルボキシル基などの反応性基を有することができる。
【００８１】
誘電性無機成分としては、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素などが挙げられる。
【００８２】
エレクトレット材料は、市販品を用いることができ、例えば、誘電性有機成分として、サイトップシリーズ（型番「ＣＴＬ−８０９Ａ」（式（２）参照、旭硝子社製）などが挙げられる。
【００８３】
式（２）：
【００８４】
【化２】
2019105976.tif 000004
【００８５】
透明エレクトレットコーティング層３の全光線透過率は、例えば、９０％以上、好ましくは、９２％以上、より好ましくは、９５％以上であり、また、例えば、１００％以下である。透明エレクトレットコーティング層３の全光線透過率が上記した下限以上であれば、優れた光透過性を確保することができる。
【００８６】
透明エレクトレットコーティング層３のヘイズは、例えば、２．０％以下、好ましくは、１．０％以下、より好ましくは、０．５％以下、さらに好ましくは、０．３％以下であり、また、例えば、０．０％以上である。透明エレクトレットコーティング層３のヘイズが上記した上限以下であれば、優れた光透過性を確保することができる。ヘイズは、ＪＩＳ  Ｃ  ６７６０に基づいて測定される。以下のヘイズは、上記した方法に基づいて測定される。
【００８７】
透明エレクトレットコーティング層３の表面帯電圧の絶対値は、例えば、２０Ｖ以上、好ましくは、５０Ｖ以上であり、また、例えば、２０００Ｖ以下、好ましくは、１０００Ｖ以下である。透明エレクトレットコーティング層３の表面帯電圧の絶対値が上記した下限以上であれば、優れた感圧特性を得ることができる。透明エレクトレットコーティング層３の表面帯電圧の絶対値が上記した上限以下であれば、ハンドリング時に放電が発生しないので、取扱性に優れる。表面帯電圧は、静電気測定器によって測定される。以下の表面帯電圧は、上記した方法に基づいて測定される。
【００８８】
透明エレクトレットコーティング層３の厚みは、例えば、例えば、１μｍ以上、好ましくは、２μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下である。透明エレクトレットコーティング層３の厚みが上記した下限以上であれば、所望の表面帯電圧を確保することができる。透明エレクトレットコーティング層３の厚みが上記した上限以下であれば、優れた透明性を確保することができる。
【００８９】
押圧センサ１１の厚みは、第１透明電極１、第１透明基材２および透明エレクトレットコーティング層３の総厚みであって、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、２０μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、８０μｍ以下である。
【００９０】
第１感圧接着層４は、押圧センサ１１および静電容量センサ１２の間に介在する。第１感圧接着層４は、押圧センサ１１の上面全面に密着状に接触している。第１感圧接着層４は、面方向に延びるフィルム形状を有する。第１感圧接着層４の材料は、例えば、透明性、さらには、絶縁性を有する感圧接着組成物である。
【００９１】
そのような感圧接着組成物は、例えば、アクリル系ポリマー、シリコーン系ポリマー、ポリエステル系ポリマー、ポリウレタン系ポリマー、ポリアミド系ポリマー、ポリビニルエーテル系ポリマー、酢酸ビニル／塩化ビニルコポリマー、変性ポリオレフィン、エポキシ系ポリマー、フッ素系ポリマーなどのポリマーを含有する。ポリマーとして、透明および感圧接着性の観点からアクリル系ポリマーが挙げられる。
【００９２】
感圧接着組成物は、市販品を用いることができ、例えば、ＬＵＣＩＡＣＳ（登録商標）（日東電工社製）などが用いられる。
【００９３】
第１感圧接着層４の材料（感圧接着組成物）の体積抵抗率は、例えば、１０×６Ω・ｃｍ以上、好ましくは、１０×８Ω・ｃｍ以上、より好ましくは、１０×１０Ω・ｃｍであり、また、例えば、１０×１５Ω・ｃｍ以下である。
【００９４】
このような第１感圧接着層４は、例えば、特開２０１４−０５３３１３号公報などに記載される。
【００９５】
第１感圧接着層４の厚みは、１０ｎｍ以上、好ましくは、２０ｎｍ以上、より好ましくは、２５ｎｍ以上であり、また、例えば、１００ｎｍ以下、好ましくは、８０ｎｍ以下、より好ましくは、７０ｎｍ以下である。
【００９６】
静電容量センサ１２は、面方向におけるタッチされた位置Ｌを検知する位置センサである。また、静電容量センサ１２は、ＸＹ方向（２次元方向）のタッチ位置Ｌを検知するいわゆるＸＹ方向センサである。
【００９７】
静電容量センサ１２は、面方向に延び、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。静電容量センサ１２は、タッチセンサ１０における上面を形成する。つまり、静電容量センサ１２は、タッチセンサ１０における最上層である。静電容量センサ１２は、タッチセンサ１０の上側に押圧センサ１１を介して感圧接着されている。
【００９８】
静電容量センサ１２は、第２透明電極５と、第２透明基材６とを上側に向かって順に備える。具体的には、静電容量センサ１２は、第２透明電極５と、第２透明電極５の上面に配置される第２透明基材６とを備える。静電容量センサ１２は、好ましくは、第２透明電極５と、第２透明基材６とのみからなる。
【００９９】
第２透明電極５は、静電容量センサ１２の下面を形成する。つまり、第２透明電極５は、静電容量センサ１２における最下層である。また、第２透明電極５は、第１透明電極１とによって、透明エレクトレットコーティング層３を上下方向に挟んでいる。つまり、透明エレクトレットコーティング層３が、第１透明電極１および第２透明電極５の間に配置されるように、第２透明電極５が位置している。さらに、第２透明電極５は、第１感圧接着層４の上面に密着状に接触している。具体的には、第２透明電極５は、第１感圧接着層４を介して透明エレクトレットコーティング層３に感圧接着されている。一方、第２透明電極５と、透明エレクトレットコーティング層３との間は、第１感圧接着層４によって、絶縁されている。
【０１００】
第２透明電極５は、押圧センサ１１および静電容量センサ１２の両方に対応する電極パターン（図示せず）を有する。つまり、第２透明電極５は、押圧センサ１１および静電容量センサ１２の両方の電極パターンを兼ねる。
【０１０１】
第２透明電極５において押圧センサ１１に対応する電極パターンは、シグナル電極および基準電極のいずれかである。具体的には、第２透明電極５において押圧センサ１１に対応する電極パターンは、第１透明電極１がシグナル電極であれば、基準電極である一方、第１透明電極１が基準電極であれば、シグナル電極である。第２透明電極５において押圧センサ１１に対応する電極パターンは、配線１４を介してオシロスコープ１３と電気的に接続される。
【０１０２】
一方、第２透明電極５において静電容量センサ１２に対応する電極パターンは、図示しない外部装置と電気的に接続される。
【０１０３】
第２透明電極５の材料、表面抵抗および厚みは、第１透明電極１で例示したそれらと同様である。
【０１０４】
第２透明基材６は、静電容量センサ１２の上面を形成する。つまり、第２透明基材６は、静電容量センサ１２における最上層である。また、第２透明基材６は、第２透明電極５の上面に配置されている。換言すれば、第２透明電極５は、第２透明基材６の厚み方向他方面の一例としての下面に配置されている。これにより、第２透明基材６は、第２透明電極５を上側から支持している。また、第２透明基材６と、第２透明電極５と、押圧センサ１１とは、下側に向かって順に配置される。第２透明基材６は、面方向に延びるフィルム形状を有し、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。
【０１０５】
第２透明基材６の材料、全光線透過率、引張強度および厚みは、第１透明基材２で例示したそれらと同一である。
【０１０６】
静電容量センサ１２の厚みは、第２透明電極５および第２透明基材６の総厚みであって、例えば、２μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。
【０１０７】
タッチセンサ１０の厚みは、押圧センサ１１、第１感圧接着層４および静電容量センサ１２の総厚みであって、例えば、３μｍ以上、好ましくは、２０μｍ以上であり、また、例えば、２００μｍ以下、好ましくは、１５０μｍ以下である。
【０１０８】
次に、このタッチセンサ１０を製造する方法を説明する。
【０１０９】
図２Ａに示すように、まず、押圧センサ１１および静電容量センサ１２のそれぞれを準備する。
【０１１０】
押圧センサ１１を準備するには、まず、第１透明基材２を準備し、次いで、第１透明電極１を第１透明基材２の下面に設ける。具体的には、スパッタリングなどの成膜法などにより、透明導電材料を第１透明基材２の下面全面に形成し、続いて、エッチングなどにより、透明導電材料をパターニングして、電極パターンを有する第１透明電極１を第１透明基材２の下面に形成する。
【０１１１】
その後、透明エレクトレットコーティング層３を第１透明基材２の上面に設ける。具体的には、エレクトレット材料を第１透明基材２の上面に塗布する。
【０１１２】
エレクトレット材料を第１透明基材２の上面に塗布するには、例えば、まず、エレクトレット材料を溶媒に配合して、エレクトレット材料のワニスを調製する。溶媒としては、例えば、パーフルオロカーボン（ＰＦＣ）、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）、ハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）などのフッ素系溶媒が挙げられる。好ましくは、ＰＦＣが挙げられる。ワニスにおける溶媒の割合は、用途および目的に応じて、適宜設定される。
【０１１３】
次いで、ワニスを、第１透明基材２の上面に、例えば、アプリケータ、コータ、ディスペンサなどによって、塗布する。続いて、溶媒を、例えば、加熱によって除去する（ワニスを乾燥する）。加熱温度は、例えば、１００℃以上、好ましくは、１２０℃以上であり、また、例えば、１７０℃以下、好ましくは、１６０℃以下である。加熱時間は、例えば、１０分以上、好ましくは、３０分以上であり、また、例えば、３００分以下、好ましくは、１００分以下である。
【０１１４】
これによって、第１透明基材２の上面に、エレクトレット材料の塗布物を透明エレクトレットコーティング層３として形成する。
【０１１５】
その後、透明エレクトレットコーティング層３を、帯電装置などによって、所望の電圧（直流電圧）を印加して、帯電させる。さらには、必要により、透明エレクトレットコーティング層３における過剰の表面帯電を、例えば、アルミホイルなどの金属箔と接触させて、除去する。
【０１１６】
あるいは、まず、透明エレクトレットコーティング層３を第１透明基材２の上面に設け、その後、第１透明電極１を第１透明基材２の下面に形成することもできる。
【０１１７】
好ましくは、まず、第１透明電極１を第１透明基材２の下面に形成し、その後、透明エレクトレットコーティング層３を第１透明基材２の上面に設ける。
【０１１８】
これによって、第１透明電極１、第１透明基材２および透明エレクトレットコーティング層３を上側に向かって順に備える押圧センサ１１を準備する。
【０１１９】
別途、静電容量センサ１２を準備する。
【０１２０】
静電容量センサ１２を準備するには、まず、第２透明基材６を準備し、続いて、スパッタリングなどにより、透明導電材料を第２透明基材６の下面全面に形成し、続いて、エッチングなどにより、透明導電材料をパターニングして、電極パターンを有する第２透明電極５を第２透明基材６の下面に形成する。
【０１２１】
あるいは、まず、第２透明電極５を準備し、その後、第２透明基材６を第２透明電極５の上面に設ける。
【０１２２】
好ましくは、まず、第２透明基材６を準備し、その後、第２透明電極５を第２透明基材６の下面に形成する。
【０１２３】
これによって、第２透明電極５および第２透明基材６を上側に向かって順に備える静電容量センサ１２を準備する。
【０１２４】
その後、図２Ｂや図２Ｃに示すように、押圧センサ１１および静電容量センサ１２を、第１感圧接着層４を介して貼り付ける。
【０１２５】
図２Ｂに示すように、具体的には、まず、感圧接着組成物（必要により、感圧接着組成物および溶媒を含有するワニス）を調製し、続いて、これを静電容量センサ１２の第２透明電極５の下面に塗布し、その後、乾燥させて、第１感圧接着層４を第２透明電極５の下面に形成する。その後、押圧センサ１１の透明エレクトレットコーティング層３を第１感圧接着層４に接触させる。
【０１２６】
また、図２Ｃに示すように、まず、感圧接着組成物を、押圧センサ１１の透明エレクトレットコーティング層３の上面に塗布し、その後、乾燥させる。これにより、第１感圧接着層４を透明エレクトレットコーティング層３の上面に形成する。その後、静電容量センサ１２の第２透明電極５を第１感圧接着層４に接触させる。
【０１２７】
あるいは、図示しないが、まず、第１感圧接着層４をシート形状に予め単独で形成する。具体的には、まず、感圧接着組成物を図示しない剥離シートの表面に塗布し、その後、乾燥して、第１感圧接着層４をシート形状に形成する。その後、剥離シートを第１感圧接着層４から剥離する。次いで、第１感圧接着層４の上下両面に、押圧センサ１１の透明エレクトレットコーティング層３と、静電容量センサ１２の第２透明電極５とを貼り合わせる。
【０１２８】
図１に示すように、これによって、第１感圧接着層４によって感圧接着された押圧センサ１１および静電容量センサ１２を備えるタッチセンサ１０を製造する。
【０１２９】
このタッチセンサ１０にオシロスコープ１３を設けて、タッチセンサ装置１５を構成することができる。
【０１３０】
タッチセンサ装置１５は、タッチセンサ１０と、オシロスコープ１３と、外部装置（図示せず）とを備える。
【０１３１】
オシロスコープ１３は、配線１４を介して、第１透明電極１および第２透明電極５と電気的に接続される。
【０１３２】
外部装置（図示せず）は、静電容量センサ１２に対応する第２透明電極５と電気的に接続される。
【０１３３】
そして、タッチセンサ１０が、ユーザの指やペンなどでタッチされると、静電容量センサ１２における第２透明電極５の静電容量が変化し、タッチされた位置Ｌ（、さらには、面方向にスライドした位置Ｌ’）が図示しない外部装置によって検知される。
【０１３４】
さらに、タッチセンサ１０は、タッチに基づく厚み方向に押圧Ｐを受けると、透明エレクトレットコーティング層３における電荷量が変化し、これが、シグナル電極および基準電極である第１透明電極１および第２透明電極５を介して、オシロスコープ１３によって検知される。
【０１３５】
これによって、タッチセンサ装置１５は、タッチに基づく厚み方向における押圧Ｐと、面方向におけるタッチされた位置Ｌとの両方を検知する。
【０１３６】
そして、このタッチセンサ１０は、押圧センサ１１と、静電容量センサ１２とを上側に向かって順に備えるので、構成が簡単である。
【０１３７】
また、このタッチセンサ１０では、押圧センサ１１は、第１透明基材２の上面にエレクトレット材料を塗布した塗布物である透明エレクトレットコーティング層３を備える。そのため、透明エレクトレットコーティング層３が第１透明基材２に十分に密着されながら、第１透明基材２によって確実に支持される。その結果、押圧センサ１１は、機械強度に優れる。
【０１３８】
さらに、このタッチセンサ１０では、押圧センサ１１に備えられる第１透明電極１によって、透明エレクトレットコーティング層３において発生した電荷量の変化を検知することができる。そのため、タッチに基づく押圧Ｐを検知することができる。
【０１３９】
また、タッチセンサ１０の静電容量センサ１２では、第２透明電極５によって、タッチされた位置Ｌを検知することができる。
【０１４０】
また、第２透明電極５は、第２透明基材６の上面に配置されるので、第２透明基材６によって、確実に支持される。そのため、静電容量センサ１２は、機械強度に優れる。
【０１４１】
さらに、このタッチセンサ１０では、透明エレクトレットコーティング層３において発生した電荷量の変化を、透明エレクトレットコーティング層３の上下両側に位置する２つの透明電極、具体的には、第１透明電極１および第２透明電極５によって、より正確に検知することができる。
【０１４２】
また、このタッチセンサ１０では、第２透明基材６と、第２透明電極５と、押圧センサ１１とが、下側に向かって順に配置されているので、第２透明電極５は、第２透明基材６に比べて、押圧センサ１１に近い位置に隣接する。そのため、第２透明電極５によって、タッチに基づく押圧の検知を正確に実施することができる。
【０１４３】
また、このタッチセンサ１０では、第１透明電極１および第２透明電極５のうち、一方が基準電極であり、他方がシグナル電極であるので、透明エレクトレットコーティング層３において発生した電荷量の変化を正確に検知して、押圧Ｐを正確に検知することができる。
【０１４４】
第１感圧接着層４によって、静電容量センサ１２および押圧センサ１１が互いに感圧接着するので、静電容量センサ１２および押圧センサ１１を上下に順に簡単に配置することができるとともに、タッチセンサ１０は、機械強度に優れる。
【０１４５】
＜第１実施形態の変形例＞
第１実施形態では、第１感圧接着層４が感圧接着性を有する。しかし、この変形例では、第１感圧接着層４に代えて、感圧接着性を有しない透明絶縁層１６（図１における括弧書き）を用いることもできる。
【０１４６】
好ましくは、第１実施形態で示すように、第１感圧接着層４を用いる。第１感圧接着層４によって、第２透明電極５の透明エレクトレットコーティング層３に対する密着性を向上させることができる。これによって、タッチセンサ１０は、機械強度に優れる。
【０１４７】
＜第２実施形態＞
第２実施形態において、上記した第１実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、第２実施形態は、特記する以外、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【０１４８】
第１実施形態では、図１に示すように、第２透明基材６と、第２透明電極５と、押圧センサ１１とが、下側に向かって順に配置される。
【０１４９】
一方、第２実施形態では、図３に示すように、第２透明電極５と、第２透明基材６と、押圧センサ１１とが、下側に向かって順に配置される。つまり、第２実施形態では、第２透明電極５および第２透明基材６の厚み方向位置が、第１実施形態の厚み方向位置に対して上下反転している。
【０１５０】
第２実施形態では、第２透明電極５は、静電容量センサ１２の上面を形成する。第２透明電極５は、第２透明基材６の厚み方向一方面の一例としての上面に配置されている。
【０１５１】
一方、第２透明基材６は、静電容量センサ１２の下面を形成する。第２透明基材６は、第１感圧接着層４の上面に配置されている。
【０１５２】
＜第１実施形態および第２実施形態の対比＞
第１実施形態および第２実施形態のうち、第１実施形態は、第２透明電極５の位置が、第２実施形態における第２透明電極５の位置に比べて、透明エレクトレットコーティング層３に対して近いため、好適である。
【０１５３】
第１実施形態のタッチセンサ１０であれば、透明エレクトレットコーティング層３において発生した電荷量の変化を、第１透明電極１および第２透明電極５によって、より正確に検知して、押圧センサ１１によって押圧Ｐを正確に検知することができる。
【０１５４】
一方、第２実施形態も、第２透明電極５が、指やペンに近い位置にあり、そのため、感度を向上させることができるので、静電容量センサ１２による位置Ｌの検知精度を向上させるので、好適である。
【０１５５】
＜第２実施形態の変形例＞
図３において図示しないが、第１感圧接着層４を設けずに、タッチセンサ１０を構成することもできる。つまり、タッチセンサ１０は、第１感圧接着層４を備えず、押圧センサ１１と静電容量センサ１２とを備える。好ましくは、タッチセンサ１０は、押圧センサ１１と静電容量センサ１２とのみからなる。
【０１５６】
この変形例におけるタッチセンサ１０では、透明エレクトレットコーティング層３および第２透明基材６は、互いに接触している。なお、透明エレクトレットコーティング層３と第２透明電極５との間は、第２透明基材６によって絶縁されている。
【０１５７】
好ましくは、図３Ａに示す第２実施形態のように、第１感圧接着層４をタッチセンサ１０に備える。第１感圧接着層４によって、静電容量センサ１２および押圧センサ１１を、厚み方向に順に簡単に配置、具体的には、感圧接着することができるとともに、タッチセンサ１０は、機械強度に優れ、信頼性に優れる。
【０１５８】
＜第３実施形態＞
第３実施形態において、上記した第１および第２実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、第３実施形態は、特記する以外、第１および第２実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【０１５９】
図４に示すように、第３実施形態では、押圧センサ１１は、第２感圧接着層７、第３透明基材８および第３透明電極９をさらに備える。押圧センサ１１は、第１透明電極１、第１透明基材２、透明エレクトレットコーティング層３、第２感圧接着層７、第３透明基材８および第３透明電極９を上側に向かって順に備える。具体的には、押圧センサ１１は、透明エレクトレットコーティング層３の厚み方向一方面の一例としての上面に配置される第２感圧接着層７と、第２感圧接着層７の上面に配置される第３透明基材８と、第３透明基材８の厚み方向一方面の一例としての上面に配置される第３透明電極９とを備える。好ましくは、押圧センサ１１は、第１透明電極１、第１透明基材２、透明エレクトレットコーティング層３、第２感圧接着層７、第３透明基材８および第３透明電極９のみからなる。
【０１６０】
第２感圧接着層７は、透明エレクトレットコーティング層３の上面全面に配置されている。第２感圧接着層７は、透明エレクトレットコーティング層３の上面に密着状に接触している。第２感圧接着層７の材料、体積抵抗率および厚みは、第１感圧接着層４で例示したそれらと同一である。
【０１６１】
第３透明基材８は、面方向に延びるフィルム形状を有し、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。第３透明基材８は、第２感圧接着層７の上面全面に配置されている。第３透明基材８は、第２感圧接着層７の上面に密着状に接触している。具体的には、第３透明基材８は、第２感圧接着層７を介して透明エレクトレットコーティング層３に感圧接着されている。第３透明基材８の材料、全光線透過率、機械強度および厚みは、第１透明基材２で例示したそれらと同一である。
【０１６２】
第３透明電極９は、押圧センサ１１の上面を形成する。つまり、第３透明電極９は、押圧センサ１１における最上層である。第３透明電極９は、第３透明基材８の上面全面に配置されている。これによって、第３透明電極９は、第３透明基材８によって下側から支持されている。なお、第３透明電極９と、透明エレクトレットコーティング層３との間は、第２感圧接着層７および第３透明基材８によって、絶縁されている。
【０１６３】
また、第３透明電極９の上面には、第１感圧接着層４が配置される。第３透明電極９は、第１感圧接着層４を介して第２透明電極５に感圧接着されている。なお、第３透明電極９と第２透明電極５との間は、第１感圧接着層４によって絶縁されている。
【０１６４】
さらに、第３透明電極９は、静電容量センサ１２に対応する電極パターン（図示せず）を有さず、押圧センサ１１のみに対応する電極パターン（図示せず）を有する。具体的には、第３透明電極９は、第１実施形態のような、押圧センサ１１および静電容量センサ１２の兼用の電極パターンではなく、押圧センサ１１の専用の電極パターン（押圧センサ専用電極）である。第３透明電極９は、シグナル電極および基準電極のいずれかである。具体的には、第３透明電極９は、第１透明電極１がシグナル電極であれば、基準電極である一方、第１透明電極１が基準電極であれば、シグナル電極である。
【０１６５】
他方、第２透明電極５は、静電容量センサ１２の専用の電極パターン（静電容量センサ専用電極）である。第２透明電極５は、図示しない外部装置と電気的に接続される。
【０１６６】
そして、このタッチセンサ１０の静電容量センサ１２では、第２透明電極５によって、タッチされた位置を正確に検知することができながら、押圧センサ１１では、第３透明電極９および第１透明電極１によって、透明エレクトレットコーティング層３において発生した電荷量の変化を正確に検知することができる。そのため、タッチされた位置Ｌの検知と、押圧Ｐの検知とを両立することができる。
【０１６７】
このタッチセンサ１０は、第３透明基材８をさらに備え、第３透明電極９が、第３透明基材８の上面に配置されているので、第３透明基材８によって第３透明電極９を支持することができる。そのため、このタッチセンサ１０は、信頼性に優れる。
【０１６８】
さらに、第３透明電極９は、押圧センサ１１の専用の電極パターンである一方、第２透明電極５は、静電容量センサ１２の専用の電極パターンである。そのため、異なる２つの作用を奏する電極パターンの役割を、２つの透明電極（第３透明電極９および第２透明電極５）がそれぞれ担うことができる。その結果、タッチセンサ１０は、押圧センサ１１による押圧Ｐの検知精度の向上と、静電容量センサ１２の位置Ｌの検知精度の向上とを両立することができる。
【０１６９】
＜第３実施形態の変形例＞
図４において図示しないが、第２感圧接着層７を設けずに、タッチセンサ１０（押圧センサ１１）を構成することもできる。つまり、押圧センサ１１では、透明エレクトレットコーティング層３および第３透明基材８は、互いに接触している。一方、第３透明電極９と透明エレクトレットコーティング層３との間は、第３透明基材８によって絶縁されている。
【０１７０】
好ましくは、図４に示す第３実施形態のように、第２感圧接着層７をタッチセンサ１０に設ける。これにより、第３透明基材８の透明エレクトレットコーティング層３に対する密着性を向上することができる。これにより、タッチセンサ１０は、機械強度に優れ、信頼性に優れる。
【０１７１】
＜第４実施形態＞
第４実施形態において、上記した第１実施形態〜第３実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、第４実施形態は、特記する以外、第１実施形態〜第３実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【０１７２】
図４に示すように、第３実施形態では、第３透明基材８および第３透明電極９が上側に向かって順に配置されている。つまり、第３透明電極９が第３透明基材８の上面に配置されている。
【０１７３】
図５に示すように、一方、第４実施形態では、第３透明基材８および第３透明電極９が下側に向かって順に配置されている。つまり、第３透明電極９が、第３透明基材８の厚み方向他方面の一例としての下面に配置されている。
【０１７４】
要するに、図５に示すように、押圧センサ１１では、第１透明電極１、第１透明基材２、透明エレクトレットコーティング層３、第２感圧接着層７、第３透明電極９および第３透明基材８が上側に向かって順に配置される。
【０１７５】
第３透明電極９は、第２感圧接着層７に密着状に接触している。第３透明電極９は、第２感圧接着層７を介して透明エレクトレットコーティング層３に感圧接着されている。なお、第３透明電極９と、透明エレクトレットコーティング層３との間は、第２感圧接着層７によって絶縁されている。なお、第３透明電極９は、透明エレクトレットコーティング層３および第２透明電極５の間に配置されている。
【０１７６】
第３透明基材８は、押圧センサ１１の上面を形成する。つまり、第３透明基材８は、押圧センサ１１における最上層である。第３透明基材８は、第３透明電極９の上面に配置されている。第３透明基材８は、第３透明電極９を上側から支持する。
【０１７７】
このタッチセンサ１０の静電容量センサ１２では、第２透明電極５によって、タッチされた位置Ｌを正確に検知しながら、押圧センサ１１では、第３透明電極９および第１透明電極１によって、透明エレクトレットコーティング層３において発生した電荷量の変化を正確に検知することができる。そのため、タッチされた位置Ｌの検知と、押圧Ｐの検知とを両立することができる。
【０１７８】
＜第４実施形態の変形例＞
図５において図示しないが、第１感圧接着層４を設けずに、タッチセンサ１０を構成することもできる。第２透明電極５および第３透明基材８は、互いに接触している。一方、第２透明電極５と第３透明電極９との間は、第３透明基材８によって絶縁されている。
【０１７９】
好ましくは、図５の第４実施形態のように、第１感圧接着層４をタッチセンサ１０に備える。第１感圧接着層４によって、静電容量センサ１２および押圧センサ１１を上下方向（厚み方向）に順に簡単に配置、具体的には、感圧接着することができるとともに、タッチセンサ１０は、機械強度に優れ、信頼性に優れる。
【０１８０】
＜第５実施形態＞
第１実施形態〜第４実施形態では、図１および図３〜図５に示すように、透明エレクトレットコーティング層３が、第１透明電極１および第２透明電極５の間に配置されている。
【０１８１】
図６に示すように、一方、第５実施形態では、透明エレクトレットコーティング層３は、第１透明電極１および第２透明電極５の外側に配置されている。つまり、透明エレクトレットコーティング層３と、第１透明電極１と、第２透明電極５とは、上側に向かって順に配置されている。
【０１８２】
一方、透明エレクトレットコーティング層３は、第１透明電極１と、第３透明電極９との間に配置されている。そのため、この押圧センサ１１では、第３透明電極９、透明エレクトレットコーティング層３、第１透明電極１および第２透明電極５が、上側に向かって順に配置されている。
【０１８３】
要するに、第４実施形態の押圧センサ１１では、図５に示すように、第１透明電極１、第１透明基材２、透明エレクトレットコーティング層３、第２感圧接着層７、第３透明電極９および第３透明基材８が上側に向かって順に配置されるのに対し、第５実施形態の押圧センサ１１では、図６に示すように、それらが、下側に向かって順に配置される。
【０１８４】
第１透明電極１は、押圧センサ１１における上面を形成する。第１透明電極１は、第１透明基材２の厚み方向他方面の一例としての上面に配置されている。第１透明電極１は、第１感圧接着層４に対して密着状に接触する。第１透明電極１は、第１感圧接着層４を介して第２透明電極５に感圧接着されている。なお、第１透明電極１と、第２透明電極５との間は、第１感圧接着層４によって絶縁されている。
【０１８５】
第３透明基材８は、押圧センサ１１における下面を形成する。
【０１８６】
第５実施形態の押圧センサ１１では、透明エレクトレットコーティング層３が、第１透明電極１および第２透明電極５の間の外側に配置されていても、押圧センサ１１が第３透明電極９をさらに備え、透明エレクトレットコーティング層３が、第１透明電極１および第３透明電極９の間に配置されているので、第１透明電極１および第３透明電極９によって、透明エレクトレットコーティング層３において発生した電荷量の変化を正確に検知することができる。
【０１８７】
さらに、このタッチセンサ１０は、第３透明基材８をさらに備え、第３透明電極９が、第３透明基材８の上面に配置されているので、第３透明基材８によって第３透明電極９を支持することができる。そのため、タッチセンサ１０は、機械強度に優れ、信頼性に優れる。
【０１８８】
＜第６実施形態〜第８実施形態＞
第６実施形態〜第８実施形態において、上記した第１実施形態〜第５実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、第６実施形態〜第８実施形態は、特記する以外、第１実施形態〜第５実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【０１８９】
図４〜図６に示すように、第３実施形態〜第５実施形態のタッチセンサ１０において、静電容量センサ１２は、第２透明電極５と、第２透明基材６とを上側に向かって順に備える。
【０１９０】
一方、図７〜図９のそれぞれに示すように、第６実施形態〜第８実施形態のそれぞれのタッチセンサ１０において、静電容量センサ１２は、第２透明電極５と、第２透明基材６とを下側に向かって順に備える。
【０１９１】
要するに、図７に示す第６実施形態のタッチセンサ１０では、第２透明電極５および第２透明基材６の厚み方向位置が、第３実施形態の厚み方向位置に対して上下反転している。
【０１９２】
図８に示す第７実施形態のタッチセンサ１０では、第２透明電極５および第２透明基材６の厚み方向位置が、第４実施形態の厚み方向位置に対して上下反転している。
【０１９３】
図９に示す第８実施形態のタッチセンサ１０では、第２透明電極５および第２透明基材６の厚み方向位置が、第５実施形態の厚み方向位置に対して上下反転している。
【０１９４】
＜第６実施形態＞
図７に示すように、第６実施形態のタッチセンサ１０は、第１透明電極１、第１透明基材２、透明エレクトレットコーティング層３、第２感圧接着層７、第３透明基材８、第３透明電極９、第１感圧接着層４、第２透明基材６および第２透明電極５を、上側に向かって順に備える。
【０１９５】
＜第７実施形態＞
図８に示すように、第７実施形態のタッチセンサ１０は、第１透明電極１、第１透明基材２、透明エレクトレットコーティング層３、第２感圧接着層７、第３透明電極９、第３透明基材８、第１感圧接着層４、第２透明基材６および第２透明電極５を、上側に向かって順に備える。
【０１９６】
＜第８実施形態＞
図９に示すように、第８実施形態のタッチセンサ１０は、第３透明基材８、第３透明電極９、第２感圧接着層７、透明エレクトレットコーティング層３、第１透明基材２、第１透明電極１、第１感圧接着層４、第２透明基材６および第２透明電極５を、上側に向かって順に備える。
【０１９７】
＜第３実施形態〜第５実施形態と、第６実施形態〜第８実施形態との対比＞
第３実施形態〜第８実施形態のうち、第２透明電極５の上面が第２透明基材６によって被覆されて保護される第３実施形態〜第５実施形態が、第６実施形態〜第８実施形態に比べて、好適である。第３実施形態〜第５実施形態のタッチセンサ１０であれば、第２透明電極５が、第２透明基材６によって保護（被覆）されるので、信頼性に優れる。
【０１９８】
一方、第６実施形態〜第８実施形態も、静電容量センサ１２による位置Ｌの検知精度の向上の観点から、好適である。第６実施形態〜第８実施形態では、第２透明電極５がユーザに近い位置にあり、そのため、感度を向上させることができる。そのため、静電容量センサ１２による位置Ｌの検知精度を向上させることができる。
【０１９９】
＜組合せ＞
図示しないが、上記した第１実施形態〜第８実施形態、さらには、変形例を適宜組合せることができる。
【符号の説明】
【０２００】
１     第１透明電極
２     第１透明基材
３     透明エレクトレットコーティング層
４     第１感圧接着層
５     第２透明電極
６     第２透明基材
７     第２感圧接着層
８     第３透明基材
９     第３透明電極
１０   タッチセンサ
１１   押圧センサ
１２   静電容量センサ
Ｐ     押圧
Ｌ     面方向においてタッチされた位置
【図１】
2019105976.tif 000005
【図２】
2019105976.tif 000006
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2019105976.tif 000011
【図８】
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【図９】
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