(57)【要約】【課題】様々な枚数の被処理物に対応可能な収納容器を提供する。【解決手段】平板状の被処理物を複数枚収納する収納容器１００は、複数の支柱３と、該複数の支柱３を、互いに平行な姿勢で支持する支持板１，２とを備える。各支柱３は、被処理物９の周縁の一部分を掛止するための掛止部分が形成された複数の掛止パーツ３１が、互いに取り外し自在に一列に連結されたものである。【選択図】図１
2019106405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の被処理物を複数枚収納する収納容器であって、
前記被処理物の周縁の一部分を掛止するための掛止部分が形成された複数の掛止パーツが、互いに取り外し自在に一列に連結された支柱と、
複数の前記支柱を、互いに平行な姿勢で支持する支持板と、
を備える、収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載の収納容器であって、
前記支柱の端部が、前記支持板に対して取り外し自在である、
収納容器。
【請求項３】
請求項１または２に記載の収納容器であって、
前記複数の掛止パーツの各々が、
軸方向に貫通孔が形成された柱状であり、
前記支柱が、
前記複数の掛止パーツが、各々の前記貫通孔に所定の連結棒が挿通された状態とされることにより、軸方向に積み重なって連結されたものである、
収納容器。
【請求項４】
請求項１または２に記載の収納容器であって、
前記複数の掛止パーツの各々が、
軸方向の両端部の一方に凸部が、他方に前記凸部を収容する凹部が、それぞれ形成された柱状であり、
前記支柱が、
前記複数の掛止パーツが、各々の前記凸部が該掛止パーツの上にある掛止パーツの前記凹部に収容された状態とされることにより、軸方向に積み重なって連結されたものである、
収納容器。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の収納容器であって、
前記掛止パーツが円柱状であって、その軸方向の所定位置に、他の位置よりも径が小さい小径部が形成されている、
収納容器。
【請求項６】
請求項１から４のいずれかに記載の収納容器であって、
前記掛止パーツが多角柱状であって、少なくとも１個の周壁面における軸方向の所定位置に、凹条部、または、凸条部、が形成されている、
収納容器。
【請求項７】
請求項６に記載の収納容器であって、
前記掛止パーツにおける２個以上の周壁面の各々に、前記凹条部、または、前記凸条部が形成されており、
ある周壁面に形成される前記凹条部または前記凸条部と、別の周壁面に形成される前記凹条部または前記凸条部が、軸方向に異なる位置に形成される、
収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の処理（例えば、プラズマ処理）を施される平板状の被処理物を複数枚収納する収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
平板状の被処理物（例えば、フィルム、金属シート、半導体ウエハ、等）に対して処理（例えば、プラズマ処理）を施すにあたっては、被処理物を一枚ずつ処理する方式（枚葉方式）と、複数枚の被処理物を一度に処理する方式（バッチ方式）がある。
【０００３】
バッチ方式で被処理物をプラズマ処理する場合、例えば、まず、被処理物を収納容器（マガジン、カセット、等とも呼ばれる）に複数枚収納し、該収納容器を処理チャンバー内に搬入する。そして、処理チャンバー内にプラズマを生成する。このプラズマが、収納容器の開口部等から収納容器の内部に導入されることによって、該収納容器に収納されている複数枚の被処理物に一度にプラズマ処理が施される。
【０００４】
バッチ方式の処理を行う際に用いられる収納容器は、一般に、被処理物を、互いに平行な姿勢で間隔を設けつつ収納するものである。例えば特許文献１，２には、対向する一対の内側面に、複数のレールが等ピッチで多段に設けられた収納容器が開示されている。被処理物は、対向する一対のレールに沿って差し入れられて、該一対のレールの間に掛け渡された状態とされることによって、収納容器内に水平姿勢で支持される。多段に設けられた一対のレールの各々に被処理物が差し入れられることによって、複数枚の被処理物が収納容器に収納される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２７２０７２号公報
【特許文献２】特開２００６−５４１２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
バッチ方式の処理を行う際には、複数の被処理物間での処理の均一性が担保されることが重要である。このためには、収納容器内に多段に設けられている複数のレールの全てに被処理物が支持された状態となっていることが好ましい。被処理物が支持されていない空きレールが存在すると、該空きレールの付近のレールに支持されている被処理物に対する処理が他の被処理物に対する処理よりも例えば早く進行し、該処理の均一性が担保されない虞があるからである。
【０００７】
ところが、処理すべき被処理物の枚数は状況によって変化するものであり、これが収納容器に設けられているレールの数と常に一致するとは限らない。したがって、様々な状況に対応するためには、レールの数が異なる複数の収納容器を予め準備しておき、被処理物の枚数に応じた収納容器を選択して使用する必要がある。ところがこうすると、収納容器の製造コストがかかり、使用しない収納容器の保管場所等も必要となってしまう。
【０００８】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、様々な枚数の被処理物に対応可能な収納容器の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために成された本発明は、平板状の被処理物を複数枚収納する収納容器であって、
前記被処理物の周縁の一部分を掛止するための掛止部分が形成された複数の掛止パーツが、互いに取り外し自在に一列に連結された支柱と、
複数の前記支柱を、互いに平行な姿勢で支持する支持板と、
を備える。
【００１０】
この構成に係る収納容器は、支持板によって互いに平行な姿勢で支持された複数の支柱を備えており、各被処理物が、その周縁の複数箇所において、各支柱が備える掛止パーツの掛止部分に掛止されることによって、複数の被処理物が互いに平行な姿勢で収納容器内に収納される。この収納容器の各支柱は、複数の掛止パーツが互いに取り外し自在に連結されたものであるため、掛止パーツの連結数を自由に変更することができる。したがって、連結する掛止パーツの数を変更することによって、様々な枚数の被処理物に対応することができる。
【００１１】
さらに、上記の構成に係る収納容器は、一群の支柱で複数枚の被処理物を支持する構成となっているので、収納容器の外部空間の雰囲気が、支柱の間から収納容器の内部空間に十分に入り込むことができる。したがって、被処理物を収納した収納容器を処理チャンバー内に搬入して該処理チャンバー内に処理雰囲気（例えば、プラズマ雰囲気）を形成したときに、被処理物を該処理雰囲気に十分に晒すことが可能となる。これにより、被処理物に対する処理の効率を高めることができる。
【００１２】
上記の構成に係る収納容器は、縦向きに（すなわち、支持板の主面が水平面内に配置され、支柱が鉛直に延在するような姿勢とされた状態で）、使用されてもよいし、横向きに（すなわち、支持板の主面が鉛直面内に配置され、支柱が水平に延在するような姿勢とされた状態で）、使用されてもよい。また、上記の構成において、「平板状の被処理物」は、少なくとも周縁部分で平板状であればよく、それ以外の部分は平板でなくてもよい。また、該それ以外の部分に何らかの物体が付加されていてもよい。
【００１３】
好ましくは、
前記支柱の端部が、前記支持板に対して取り外し自在である。
【００１４】
この構成によると、支柱と支持板が取り外し自在であるので、例えば、サイズや形状が異なる支持板を複数個準備しておき、被処理物のサイズ等に応じた支持板を選択してこれに支柱を連結することで、被処理物のサイズに応じた収納容器を簡易に得ることができる。
【００１５】
好ましくは、
前記複数の掛止パーツの各々が、
軸方向に貫通孔が形成された柱状であり、
前記支柱が、
前記複数の掛止パーツが、各々の前記貫通孔に所定の連結棒が挿通された状態とされることにより、軸方向に積み重なって連結されたものである。
【００１６】
この構成によると、各掛止パーツの貫通孔内に連結棒を挿通していくという簡単な作業で、複数の掛止パーツを連結することが可能であり、被処理物の枚数に応じた収納容器を簡易に得ることができる。また、連結棒を介して掛止パーツを連結するので、掛止パーツの連結数が多くなっても、支柱の安定性が担保される。
【００１７】
好ましくは、
前記複数の掛止パーツの各々が、
軸方向の両端部の一方に凸部が、他方に前記凸部を収容する凹部が、それぞれ形成された柱状であり、
前記支柱が、
前記複数の掛止パーツが、各々の前記凸部が該掛止パーツの上にある掛止パーツの前記凹部に収容された状態とされることにより、軸方向に積み重なって連結されたものである。
【００１８】
この構成によると、各掛止パーツの凸部を別の掛止パーツの凹部内に収容していくという簡単な作業で、複数の掛止パーツを連結することが可能であり、被処理物の枚数に応じた収納容器を簡易に得ることができる。また、連結棒等の連結用の部材を必要としないので、部品点数を少なくすることができる。
【００１９】
好ましくは、
前記掛止パーツが円柱状であって、その軸方向の所定位置に、他の位置よりも径が小さい小径部が形成されている。
【００２０】
この構成においては、相対的に径が小さい部分と相対的に径が大きい部分の境界に、外方に張りだしたフランジ状の部分が形成され、該フランジ状の部分の一部分に、被処理物の周縁の一部分が掛止される。ここでは、掛止パーツが円柱状であるので、掛止パーツを周方向に回転させてその回転姿勢を変更することで、リング状のフランジ状の部分の周方向における被処理物が当接する位置を変更することができる。これにより、掛止パーツの特定の位置に被処理物が当接し続けることで該当特定の位置が局所的に劣化するという事態を抑制して、掛止パーツの耐用年数を長くすることができる。
【００２１】
上記の構成において、小径部は、掛止パーツの軸方向の途中（例えば、真ん中）に形成されてもよいし、軸方向の端部に形成されてもよい。複数の小径部が形成されることによりこれらに挟まれる部分に相対的に径の大きい大径部が形成されてもよい。小径部または大径部は、その断面が、矩形状、Ｕ字状、Ｖ字状、弧状、これらの組合せ形状、等であってよい。
【００２２】
好ましくは、
前記掛止パーツが多角柱状であって、少なくとも１個の周壁面における軸方向の所定位置に、凹条部、または、凸条部、が形成されている。
【００２３】
この構成においては、凹条部に被処理物の周縁が差し込まれることによって、または、凸条部の上に被処理物の周縁が載置されることによって、被処理物の周縁の一部分が掛止される。
【００２４】
上記の構成において、凹条部または凸条部は、掛止パーツの軸方向の途中（例えば、真ん中）に形成されてもよいし、軸方向の端部に形成されてもよい。また、凹条部または凸条部は、その断面が、矩形状、Ｕ字状、Ｖ字状、弧状、これらの組合せ形状、等であってよい。また、凹条部または凸条部は、１個の周壁面に２個以上形成されてもよい。また、凹条部または凸条部は、２個以上の周壁面の各々に形成されてもよい。この場合、ある周壁面に形成される凹条部または凸条部と、別の周壁面に形成される凹条部または凸条部が、軸方向に異なる位置に形成されることも好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係る収納容器によると、連結する掛止パーツの数を変更することによって、様々な枚数の被処理物に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】収納容器の斜視図。
【図２】収納容器の支柱が備える各要素を説明するための図。
【図３】プラズマ処理装置の概略図。
【図４】変形例に係る掛止パーツを示す図。
【図５】別の連結態様に係る掛止パーツおよび収納容器を示す図。
【図６】変形例に係る掛止パーツを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。以下の実施形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。また、図においては、説明の便宜上、本件発明と関連する要素のみが示されており、一部の要素については図示が省略されている。
【００２８】
＜１．収納容器の構成＞
実施形態に係る収納容器の構成について、図１、図２を参照しながら説明する。図１は、収納容器１００の斜視図である。図２は、収納容器１００の支柱３が備える各要素を説明するための図である。なお、以下の説明では、便宜上、収納容器１００における支柱３の延在方向を「上下方向」としているが、これは収納容器１００を使用する際の方向を限定するものではない。例えば、収納容器１００は、縦向きに（すなわち、支持板１，２の上面が水平面内に配置され、支柱３が鉛直に延在するような姿勢とされた状態で）使用されてもよいし、横向きに（すなわち、支持板１，２の上面が鉛直面内に配置され、支柱３が水平に延在するような姿勢とされた状態で）使用されてもよい。
【００２９】
収納容器１００は、平板状の被処理物９（例えば、フィルム、金属シート、半導体ウエハ、等）を複数枚収納するための容器であり、一対の支持板１，２と、これらの間に互いに平行な姿勢で支持された複数の支柱３と、を備える。
【００３０】
各支持板１，２は、被処理物９よりも一回り大きな形状の平板状の部材であり、その真ん中に、被処理物９と略同一形状の窓部１１，２１が設けられることにより、枠形状を呈している。一対の支持板１，２は、互いに平行な姿勢で間隔を設けて配置され、一方の支持板１の上面に複数の支柱３各々の下端が、他方の支持板２の下面に複数の支柱３各々の上端が、それぞれ連結される。
【００３１】
複数の支柱３の各々は、複数の掛止パーツ３１が互いに取り外し自在に連結されたものであり、複数の掛止パーツ３１とこれらを連結するための連結棒３２とを備える。
【００３２】
各掛止パーツ３１は、円柱状であって、軸方向に貫通孔３１１が形成されている。貫通孔３１１は、その内径が連結棒３２の外径よりも僅かに大きな寸法とされており、ここに連結棒３２を挿通できるようになっている。複数の掛止パーツ３１が、各々の貫通孔３１１内に連結棒３２が挿通された状態とされることにより、該複数の掛止パーツ３１が軸方向に積み重なって連結され、これにより支柱３が形成される。
【００３３】
各掛止パーツ３１には、その軸方向の一方の端部に、他の位置よりも径が小さい小径部（具体的には、端に近づくにつれて縮径した縮径部４１）が形成されている。また、他方の端部は、面取り加工が施されて角部分が切り取られて傾斜面４１１とされている。
【００３４】
このような構成の掛止パーツ３１が、縮径部４１が下を向くような姿勢で、軸方向に複数個連結されると、各掛止パーツ３１の上端面が、その上の掛止パーツ３１の縮径部４１の外方に張りだして、フランジ状の部分４１０を形成する。このフランジ状の部分４１０に、被処理物９の周縁の一部分が掛止される。つまり、ここでは、掛止パーツ３１の上端面が、被処理物９の周縁の一部分を掛止するための掛止部分を形成する。
【００３５】
この掛止パーツ３１においては、掛止パーツ３１を周方向に（すなわち、連結棒３２の周りで）回転させて回転姿勢を変更することで、リング状のフランジ状の部分４１０の周方向における被処理物９が当接する位置を変更することができる。これにより、掛止パーツ３１の特定の位置に被処理物９が当接し続けることで該特定の位置が局所的に劣化するという事態を抑制して、掛止パーツ３１の耐用年数を長くすることができる。また、この掛止パーツ３１においては、傾斜面４１１が形成されることによって、フランジ状の部分４１０の径方向の寸法が小さくなっており、これにより、掛止パーツ３１と被処理物９の接触面積が小さくなっている。したがって、掛止パーツ３１との接触部分において被処理物９が汚染されるという事態が生じにくい。
【００３６】
＜２．収納容器の組み立て＞
収納容器１００を組み立てる態様について、引き続き図１、図２を参照しながら説明する。
【００３７】
まず、一方の支持板１の上面に、複数の連結棒３２各々の下端を連結して、該複数の連結棒３２が、互いに平行な姿勢で、支持板１の上面の法線方向に立設された状態とする。支持板１と連結棒３２との連結は、具体的には例えば、支持板１の上面に雌ねじ状の凹部を形成するとともに、連結棒３２の下端を雄ねじ状に形成しておき、両者を螺合させることによって行うことができる。複数の連結棒３２は、支持板１の周縁に沿って満遍なく（例えば等ピッチで）配列されることが好ましい。ただし、収納容器１００の側面のうちの１つは被処理物９を出し入れするための開口面としておく必要があるので、支持板１における該開口面に対応する辺部分には、連結棒３２を配列しない。
【００３８】
次に、支持板１に立設された複数の連結棒３２の各々に、複数の掛止パーツ３１を通していく。具体的には、掛止パーツ３１を、縮径部４１を下に向けた姿勢で貫通孔３１１内に連結棒３２の上端が挿通された状態として、連結棒３２に沿って落とし込む。この作業を繰り返して行うことにより、複数の掛止パーツ３１が軸方向に積み重なって連結されていく。連結棒３２の上端付近まで掛止パーツ３１が連ねられることにより、支柱３が完成する。
【００３９】
複数の支柱３が完成すると、次に、該複数の支柱３の各上端（具体的には、連結棒３２の上端）を、もう一つの支持板２に連結する。支持板２と連結棒３２との連結は、具体的には例えば、支持板２にその上下面を貫通する貫通孔を形成しておき、連結棒３２の上端を該貫通孔に差し込むことによって行うことができる。これにより、複数の支柱３が、互いに平行な姿勢で、一対の支持板１，２によって支持された状態となり、収納容器１００が完成する。
【００４０】
例えば、長さが異なる連結棒３２を複数種類準備しておき、処理すべき被処理物９の枚数に応じた長さの連結棒３２を支持板１に連結し、これに、該枚数に応じた個数の掛止パーツ３１（ここでは、該枚数プラス１個の掛止パーツ３１）を通すことで、該枚数分の被処理物９を過不足無く収納できる収納容器１００を得ることができる。
【００４１】
このようにして得られた収納容器１００においては、複数の掛止パーツ３１が軸方向に積み重なって連結されて支柱３を形成しており、この支柱３には、各掛止パーツ３１のフランジ状の部分４１０が等ピッチで配列されている。
【００４２】
この収納容器１００に被処理物９を収納するにあたっては、収納容器１００の開口面から被処理物９を１枚差し込んで、該被処理物９が、その周縁の複数箇所において、一群の掛止パーツ３１（すなわち、支柱３内での連結順位が同じである一群の掛止パーツ３１）の各掛止部分（フランジ状の部分４１０）に掛止された状態とすればよい。これによって、被処理物９が、所定姿勢（支持板１，２と平行な姿勢）で、収納容器１００内に収納される。収納容器１００においては、複数組の一群の掛止パーツ３１が、支柱３の延在方向に等ピッチで配列されており、該複数組の一群の掛止パーツ３１の各々に被処理物９が掛止された状態とすることで、複数の被処理物９が、収納容器１００内に、互いに平行な姿勢で、等ピッチで収納される（図１に示される状態）。
【００４３】
＜３．プラズマ処理の態様＞
収納容器１００を用いて、複数枚の被処理物９をバッチ方式でプラズマ処理（例えばプラズマ洗浄）する態様について説明する。
＜３−１．プラズマ処理装置＞
はじめに、プラズマ処理に用いるプラズマ処理装置の構成について、図３を参照しながら説明する。図３は、該プラズマ処理装置８の概略図である。
【００４４】
このプラズマ処理装置８は、内部に処理空間を形成するための処理チャンバー８１を備えている。処理チャンバー８１には、排気口８１１と導入口８１２が設けられている。排気口８１１には、バルブ８１３および真空ポンプ８１４が介挿された配管８１５が接続されており、処理チャンバー８１の内部のガスを排気できるようになっている。また、導入口８１２には、一端がガス供給源８１６と接続され、途中にバルブ８１７およびマスフローコントローラ８１８が介挿された配管８１９が接続されており、処理チャンバー８１の内部に所定のガスを導入できるようになっている。なお、図は省略するが、処理チャンバー８１には、収納容器１００を搬出入するための搬出入口およびこれを封鎖するためのゲートバルブが設けられている。
【００４５】
処理チャンバー８１の床板の上面には、被処理物９を収納した収納容器１００が載置される第１電極８２が配設されている。また、処理チャンバー８１の天井板の下面および側壁の内面には第２電極８３が配設されている。これらの電極８２，８３は、絶縁部材８４により絶縁されている。第１電極８２および第２電極８３のうちの一方には、プラズマ発生用高周波電力（例えば、13.56MHz）を投入するための高周波電源８５が、コンデンサ８６を介して接続される。また、他方の電極は、接地される。図の例のように、収納容器１００が載置される第１電極８２に高周波電源８５が接続され、第２電極８３が接地される場合、RIE（Reactive Ion Etching）モードでの処理を行うことが可能となる。もっとも、第１電極８２が接地されて第２電極８３に高周波電源８５が接続されてもよく、この場合は、PE（Plasma Etching）モードでの処理を行うことが可能となる。
【００４６】
＜３−２．処理の流れ＞
複数枚の被処理物９をバッチ方式でプラズマ処理する際の処理の流れについて、図１〜図３を参照しながら説明する。
【００４７】
まず、上述した態様で、処理すべき被処理物９の枚数に応じた（すなわち、該枚数の被処理物９を過不足無く収納できる）収納容器１００を準備する。そして、該収納容器１００に、複数枚の被処理物９を収納する。
【００４８】
収納容器１００に複数枚の被処理物９が収納されると、搬送ロボット（あるいは作業者）によって、複数枚の被処理物を収納した収納容器１００がプラズマ処理装置８の処理チャンバー８１内に搬入される。
【００４９】
処理チャンバー８１に搬入された収納容器１００は、第１電極８２上に載置される。その後、ゲートバルブが閉鎖されて処理チャンバー８１の内部が気密空間とされた上で、該内部の空気が排気される。続いて、該内部に所定のガス（例えばアルゴンガス、酸素ガス、等）を導入しつつ、高周波電源８５から第１電極８２に高周波電力を投入する。これにより、処理チャンバー８１の内部に導入されたガスがプラズマ化され、処理チャンバー８１の内部にプラズマが生成される。
【００５０】
処理チャンバー８１に配置されている収納容器１００は、一群の支柱３で複数枚の被処理物９を支持する構成となっているので、処理チャンバー８１の内部に生成されているプラズマが、支柱３の間から収納容器１００の内部空間に十分に入り込む。これにより、収納容器１００に収納されている複数枚の被処理物９がプラズマ雰囲気に晒されることになり、各被処理物９に対するプラズマ処理が進行する。
【００５１】
複数枚の被処理物９に対するプラズマ処理が所定時間行われると、処理チャンバー８１の内部に対するガスの供給が停止されるとともに、第１電極８２への高周波電力の投入が停止されて、プラズマ処理が終了する。その後、収納容器１００が処理チャンバー８１から搬出される。
【００５２】
＜４．掛止パーツの構成に係る別の実施形態＞
上記の実施形態に係る掛止パーツ３１の別の構成例について、図４を参照しながら説明する。以下の説明においては、上記の実施形態において説明した要素については同じ符号を付して示すとともにその説明を省略する。
【００５３】
図４（ａ）に示される掛止パーツ３１ａは、円柱状であって、軸方向に貫通孔３１１が形成されている。また、掛止パーツ３１ａには、その軸方向の一方の端部に、他の位置よりも径が小さい小径部（具体的には、端部が断面Ｌ字状に切り欠かれることによって形成された円筒状の小径部であり、以下「小径端部４２」と呼ぶ。）が形成されている。
【００５４】
このような構成の掛止パーツ３１ａにおいては、相対的に径が小さい小径端部４２とその下に連なる相対的に径が大きい部分の境界に、外方に張りだしたフランジ状の部分４２０が形成される。この掛止パーツ３１ａを、小径端部４２が上を向くような姿勢で、軸方向に複数個連結して支柱３を形成した場合、複数のフランジ状の部分４２０が等ピッチで配列されることとなり、各フランジ状の部分４２０に、被処理物９の周縁の一部分が掛止される。つまり、ここでは、掛止パーツ３１ａに形成されるフランジ状の部分４２０が、被処理物９の周縁の一部分を掛止するための掛止部分を形成する。
【００５５】
図４（ｂ）に示される掛止パーツ３１ｂは、円柱状であって、軸方向に貫通孔３１１が形成されている。また、掛止パーツ３１ｂには、その軸方向の中央部分に、他の位置よりも径が小さい小径部（具体的には、周方向に延在する断面矩形状の溝状の部分が設けられることによって形成された円筒状の小径部であり、以下「くびれ小径部４３」と呼ぶ。）が形成されている。
【００５６】
このような構成の掛止パーツ３１ｂにおいては、相対的に径が小さいくびれ小径部４３とその下に連なる相対的に径が大きい部分の境界に、外方に張りだしたフランジ状の部分４３０が形成される。この掛止パーツ３１ｂを、軸方向に複数個連結して支柱３を形成した場合、複数のフランジ状の部分４３０が等ピッチで配列されることとなり、各フランジ状の部分４３０に、被処理物９の周縁の一部分が掛止される。つまり、ここでは、掛止パーツ３１ｂに形成されるフランジ状の部分４３０が、被処理物９の周縁の一部分を掛止するための掛止部分を形成する。
【００５７】
図４（ｃ）に示される掛止パーツ３１ｃは、円柱状であって、軸方向に貫通孔３１１が形成されている。また、掛止パーツ３１ｃには、その軸方向の一方の端部に上述した小径端部４２が形成されるとともに、その軸方向の途中部分に上述したくびれ小径部４３が形成されている。
【００５８】
このような構成の掛止パーツ３１ｃにおいては、相対的に径が小さい小径端部４２とその下に連なる相対的に径が大きい部分の境界に、外方に張りだしたフランジ状の部分４２０が形成される。また、相対的に径が小さいくびれ小径部４３とその下に連なる相対的に径が大きい部分の境界にも、外方に張りだしたフランジ状の部分４３０が形成される。この掛止パーツ３１ｃを、小径端部４２が上を向くような姿勢で、軸方向に複数個連結して支柱３を形成した場合、各フランジ状の部分４２０，４３０が交互に配列されることとなり、これら各フランジ状の部分４２０，４３０に、被処理物９の周縁の一部分が掛止される。つまり、ここでは、各掛止パーツ３１ｃに形成される２個のフランジ状の部分４２０，４３０が、被処理物９の周縁の一部分を掛止するための掛止部分を形成する。なお、この掛止パーツ３１ｃにおいては、これが複数個連結されて支柱３を形成したときに、各フランジ状の部分４２０，４３０が交互に等ピッチで配列されるように、くびれ小径部４３の形成位値等が適宜に調整されていることが好ましい。
【００５９】
図４（ｄ）に示される掛止パーツ３１ｄは、円柱状であって、軸方向に貫通孔３１１が形成されている。また、掛止パーツ３１ｄには、その軸方向の中央部分に、他の位置よりも径が大きい大径部（具体的には、周方向に延在する断面矩形状の凸状の部分が設けられることによって形成された円筒状の大径部）４４が形成されている。別の見方をすると、掛止パーツ３１ｄには、その軸方向の両端部に相対的に径が小さい円筒状の小径部が形成されることにより、これらに挟まれる部分に相対的に径の大きい大径部４４が形成されている。
【００６０】
このような構成の掛止パーツ３１ｄにおいては、相対的に径が大きい大径部４４の上面が、外方に張りだしたフランジ状の部分４４０を形成する。この掛止パーツ３１ｄを、軸方向に複数個連結して支柱３を形成した場合、複数のフランジ状の部分４４０が等ピッチで配列されることとなり、各フランジ状の部分４４０に、被処理物９の周縁の一部分が掛止される。つまり、ここでは、掛止パーツ３１ｄに形成されるフランジ状の部分４４０が、被処理物９の周縁の一部分を掛止するための掛止部分を形成する。
【００６１】
図４（ｅ）に示される掛止パーツ３１ｅは、四角柱状であって、軸方向に貫通孔３１１が形成されている。また、掛止パーツ３１ｅには、その軸方向の複数の所定位置に、凹条部（具体的には、掛止パーツ３１ｅの側面に、軸方向と直交して直線的に延在する、断面矩形状の溝状の部分が設けられることによって形成された凹条部）が形成されている。
【００６２】
図の例では、凹条部は、掛止パーツ３１ｅの４個の側面３１０Ａ〜３１０Ｄの各々に、１個または２個形成されている。すなわち、第１側面３１０Ａには１個の凹条部４５Ａが、第２側面３１０Ｂには２個の凹条部４５Ｂ，４５Ｂが、第３側面３１０Ｃには１個の凹条部４５Ｃが、第４側面３１０Ｄには１個の凹条部４５Ｄが、それぞれ形成されている。ただし、これらの凹条部４５Ａ〜４５Ｄは、掛止パーツ３１ｅの軸方向について互いに異なる位置に形成されることが好ましい。例えば、掛止パーツ３１ｅの軸方向の長さが12mmの場合、第１側面３１０Ａの下端縁から6mmの位置に凹条部４５Ａを形成し、第２側面３１０Ｂの下端縁から4mmおよび8mmの各位置に凹条部４５Ｂを形成し、第３側面３１０Ｃの下端縁から7mmの位置に凹条部４５Ｃを形成し、第４側面３１０Ｄの下端縁から9mmの位置に凹条部４５Ｄを形成する。
【００６３】
このような構成の掛止パーツ３１ｅにおいては、被処理物９の周縁の一部が、凹条部４５Ａ〜４５Ｄ内に差し込まれることによって、該周縁の一部が掛止される。つまり、各凹条部４５Ａ〜４５Ｄが被処理物９の周縁の一部分を掛止するための掛止部分を形成する。
【００６４】
この掛止パーツ３１ｅを、軸方向の向きおよび周方向の向きを同じとして、軸方向に複数個連結すると、四角柱状の支柱３が形成される。この支柱３の各側面には、複数の凹条部が配列されることとなる。例えば、掛止パーツ３１ｅの第１側面３１０Ａが配列されている面には、複数の凹条部４５Ａが、等ピッチで配列されることとなる。
【００６５】
この掛止パーツ３１ｅを用いた複数の支柱３は、同じ側面が収納容器１００の内方を向くような姿勢とされて、支持板１，２に対して固定される。例えば、掛止パーツ３１ｅの第４側面３１０Ｄが配列されている面が収納容器１００の内方を向くような姿勢とされて、支持板１，２に対して固定される場合、収納容器１００に差し込まれた被処理物９は、その周縁の複数箇所において、一群の掛止パーツ３１ｅ（すなわち、支柱３内での連結順位が同じである一群の掛止パーツ３１ｅ）の第４側面３１０Ｄに形成されている凹条部４５Ｄに掛止された状態となる。つまり、この掛止パーツ３１ｅを用いる場合、掛止パーツ３１ｅにおけるどの側面を収納容器１００の内側に向けるかによって、該収納容器１００において、被処理物９を掛止する位置、該位置の配列ピッチ、および、該位置の個数、等を変更することができる。
【００６６】
なお、図４（ｅ）の例では、掛止パーツ３１ｅの４個の側面３１０Ａ〜３１０Ｄの各々に１個または２個の凹条部４５Ａ〜４５Ｄが形成されているが、凹条部が形成されない側面が１個以上存在してもよいし、１個以上の側面に３個以上の凹条部が形成されてもよい。また、図４（ｆ）に示されるように、凹条部のレイアウトが異なる複数種類の掛止パーツ３１ｅ，３１ｆを準備しておき、これらを交互に連結してもよい。これにより、収納容器１００において、被処理物９を掛止する位置、該位置の配列ピッチ、および、該位置の個数、等を細かく調整することができる。
【００６７】
＜５．掛止パーツの連結態様に係る別の実施形態＞
上記の各実施形態においては、複数の掛止パーツ３１，３１ａ〜３１ｆが、連結棒３２に通されることによって連結されていたが、複数の掛止パーツ３１，３１ａ〜３１ｆを連結する態様はこれに限らない。掛止パーツ３１，３１ａ〜３１ｆの別の連結態様について、図５を参照しながら説明する。
【００６８】
図５に示される掛止パーツ３１ｇは、四角柱状であって、軸方向の両端部の一方に凸部（連結用凸部）３１３が、他方に該連結用凸部３１３を収容する凹部（連結用凹部）３１４が、それぞれ形成されている。また、この掛止パーツ３１ｇには、その軸方向の中央部分に、凸条部（具体的には、掛止パーツ３１ｇの側面に、軸方向と直交して直線的に延在する、断面矩形状の凸条部）４６が形成されている。
【００６９】
このような構成の掛止パーツ３１ｇにおいては、被処理物９の周縁の一部が、凸条部４６の上面に載置されることによって、該周縁の一部が掛止される。つまり、凸条部４６が被処理物９の周縁の一部分を掛止するための掛止部分を形成する。
【００７０】
この掛止パーツ３１ｇを用いる収納容器１００ｇを組み立てる態様について、引き続き図５を参照しながら説明する。
【００７１】
ここで用いられる一対の支持板１ｇ，２ｇの一方（支持板１ｇ）には、その上面における周縁部分（図の例では、角部分）に、掛止パーツ３１ｇの連結用凸部３１３と同形状の凸部が立設されている。そこで、まずは、支持板１ｇに設けられている各凸部が、掛止パーツ３１ｇの連結用凹部３１４に収容されるように配置することによって、支持板１ｇの上面の各角部分に掛止パーツ３１ｇを配設する。ただし、このとき、掛止パーツ３１ｇの凸条部４６が、収納容器１００ｇの内方を向くような姿勢とする。
【００７２】
次に、支持板１ｇの各角部分に配設された掛止パーツ３１ｇの連結用凸部３１３に、別の掛止パーツ３１ｇの連結用凹部３１４が収容されるように配置することによって、支持板１ｇに配設されている掛止パーツ３１ｇの上に別の掛止パーツ３１ｇを連結する。ただし、このときも、該別の掛止パーツ３１ｇは、下側の掛止パーツ３１ｇと同じ姿勢（凸条部４６が収納容器１００ｇの内方を向くような姿勢）として、これに連結する。この作業を繰り返して行うことにより、複数の掛止パーツ３１ｇが軸方向に積み重なって連結されていく。所定の個数の掛止パーツ３１ｇが連結されることにより、支柱３ｇが完成する。
【００７３】
複数の支柱３ｇが完成すると、次に、該複数の支柱３ｇの各上端（具体的には、端部に配置された掛止パーツ３１ｇの連結用凸部３１３）を、もう一つの支持板２ｇに連結する。支持板２ｇと該連結用凸部３１３との連結は、具体的には例えば、支持板２ｇの下面における周縁部分（図の例では、角部分）に、掛止パーツ３１ｇの連結用凹部３１４と同形状の凹部を形成しておき、該凹部に各支柱３ｇの上端にある連結用凸部３１３が収納された状態とすることによって行うことができる。これにより、複数の支柱３ｇが、互いに平行な姿勢で、一対の支持板１ｇ，２ｇによって支持された状態となり、収納容器１００ｇが完成する。
【００７４】
ここでは、支柱３ｇの形成にあたって、処理すべき被処理物９の枚数に応じた個数の掛止パーツ３１ｇ（ここでは、該枚数と同数個の掛止パーツ３１ｇ）を連結することで、該枚数分の被処理物９を過不足無く収納できる収納容器１００ｇを得ることができる。
【００７５】
＜６．他の実施形態＞
上記に説明した各掛止パーツ３１，３１ａ〜３１ｇの各部の構成は、他の掛止パーツの構成と組み合わせたり、適宜に変更したりすることができる。例えば、図２、図４（ａ）〜（ｄ）に示される掛止パーツ３１，３１ａ〜３１ｄは円柱状であるとしたが、これを多角柱状に形成してもよい。また、図４（ｅ）〜（ｆ）に示される掛止パーツ３１ｅ〜３１ｆを、四角柱以外の多角柱状に形成してもよい。また例えば、図２、図４（ａ）〜（ｆ）に示される各掛止パーツ３１，３１ａ〜３１ｆにおいて、貫通孔３１１を設ける代わりに、図５に示される掛止パーツ３１ｇが備える連結用凸部３１３および連結用凹部３１４を設けてもよい。例えば図６には、図４（ａ）に示される掛止パーツ３１ａにおいて、貫通孔３１１を設ける代わりに連結用凸部３１３および連結用凹部３１４を設けた掛止パーツ３１ｈが示されている。
【００７６】
また、掛止パーツに連結用凸部３１３および連結用凹部３１４を設けて、これらによって各掛止パーツを連結する態様においては、図６に示されるように、該連結用凸部３１３および連結用凹部３１４がネジ構造で螺合するものとしてもよい。こうすると、掛止パーツの連結数が多くなっても、支柱の安定性が担保される。
【００７７】
また、収納容器１００においては、連結棒３２の端部と支持板１が取り外し自在に連結されていた（すなわち、各支柱３の端部が支持板１に対して取り外し自在に連結されていた）が、連結棒３２の端部が支持板１に対して固定的に連結されていてもよい。すなわち、各支柱３の端部が支持板１に対して固定的に連結されていてもよい。この場合、例えば、長さが異なる連結棒３２が連結された支持板１を複数種類準備しておき、処理すべき被処理物９の枚数に応じた長さの連結棒３２が連結された支持板１を選択して用いることで、該枚数分の被処理物９を過不足無く収納できる収納容器１００を得ることができる。
【００７８】
また、収納容器１００において、連結棒３２をテレスコピック構造等によって伸縮自在な構成としてもよい。
【００７９】
また、上記の各実施形態に係る収納容器１００，１００ｇにおいては、支持板１，２，１ｇ、２ｇの形状およびサイズを適宜に選択することによって、様々な形状およびサイズの被処理物９に対応することができる。例えば、被処理物９が平面視矩形状である場合は、図１、図５に示されるような矩形状の支持板１，２，１ｇ、２ｇを用いればよいし、被処理物が円形状である場合は、これより一回り大きな円形状の支持板を用いればよい。他にも、被処理物の形状に応じて、楕円形状、三角形状、等の各種の形状の支持板を用いることができる。
【００８０】
また、上記の各実施形態に係る収納容器１００，１００ｇでは、支持板１，２，１ｇ、２ｇの周縁に支柱３，３ｇが立設されており、収納容器１００，１００ｇの内部において被処理物９が一列に並んで収納されていたが、支持板１，２，１ｇ、２ｇの周縁だけでなく中央部分にも支柱３，３ｇを立設して、収納容器１００，１００ｇの内部において被処理物９を収納が二列以上に並んで収納されるものとしてもよい。
【００８１】
また、図１に示される収納容器１００において、支持板１，２に窓部１１，１２を設けなくともよい。また、図５に示される収納容器１００ｇにおいて、支持板１ｇ，２ｇに窓部を設けてもよい。窓部を設ける構成とすると、収納容器１００，１００ｇの外部空間の雰囲気が、内部空間に入り込みやすくなる。一方、窓部を設けない構成とすると、収納容器１００，１００ｇの強度が高まる。
【００８２】
また、収納容器１００，１００ｇにおいて、一対の支持板１，２，１ｇ，２ｇのうちの一方（例えば、収納容器１００，１００ｇを縦向きに使用する場合において、上側に設けられる支持板２，２ｇ）を省略してもよい。
【００８３】
また、収納容器１００，１００ｇは、被処理物９に対してプラズマ処理以外の各種処理を施す場合に用いることもできる。
【符号の説明】
【００８４】
１００，１００ｇ…収納容器
１，２，１ｇ，２ｇ…支持板
３，３ｇ…支柱
３１，３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅ，３１ｆ，３１ｇ，３１ｈ…掛止パーツ
３２…連結棒
３１１…貫通孔
３１３…連結用凸部
３１４…連結用凹部
４１…縮径部
４２…小径端部
４３…くびれ小径部
４４…大径部
４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃ，４５Ｄ…凹条部
４６…凸条部
８…プラズマ処理装置
８１…処理チャンバー
８２…第１電極
８３…第２電極
８４…絶縁部材
８５…高周波電源
８６…コンデンサ
９…被処理物
【図１】
2019106405.tif 000003
【図２】
2019106405.tif 000004
【図３】
2019106405.tif 000005
【図４】
2019106405.tif 000006
【図５】
2019106405.tif 000007
【図６】
2019106405.tif 000008