(57)【要約】【課題】透明スピーカー用途において、透明スピーカー基板の導電層面とスピーカーの振動板の導電層との絶縁に加えて、振動板を支持するために透明な柱状構造物を形成する必要がある。絶縁性と柱状構造物が欠損無く成形できる形成性を両立させるための柱状構造物の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の柱状パターンの製造方法では、透明スピーカー用基板上に、バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物の層を設け、この感光性樹脂組成物層を活性光線の照射により、光重合性化合物の反応率を調整して硬化させて感光性樹脂組成物の硬化物からなる絶縁膜を形成する。その後、絶縁膜上に、感光性樹脂組成物の層を設け、この感光性樹脂組成物層の所定部分を活性光線の照射により硬化させた後に感光層の所定部分以外を除去し、上記感光性樹脂組成物の硬化物からなる柱状構造物を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ｉ）透明基材上に透明導電層を有する透明基板の透明導電層面上に、バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する第一の感光性樹脂組成物層を形成する工程と、
（ＩＩ）第一の感光性樹脂組成物層を露光し、次いでアルカリ現像処理を施すことにより、第一の感光性樹脂組成物層の未露光部分を除去する工程と、
（ＩＩＩ）前記のアルカリ現像処理後、除去されずに残った第一の感光性樹脂組成物層の硬化膜を露光又は加熱により再硬化させることにより透明絶縁膜を形成する工程と、
（ＩＶ）前記の透明絶縁膜面上に、バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する第二の感光性樹脂組成物層を形成する工程と、
（Ｖ）第二の感光性樹脂組成物層に柱状構造物形成用のパターン露光を行い、次いでアルカリ現像を施すことにより、第二の感光性樹脂組成物層の未露光部分を除去する工程と、
（ＶＩ）前記のアルカリ現像処理後、除去されずに残った第二の感光性樹脂組成物層の柱状硬化物を露光又は加熱により再硬化させることにより、前記の透明絶縁膜上に透明絶縁柱状構造物を形成する工程と
を備え、
前記（ＩＩＩ）の工程における再硬化のための露光における活性光線の照射量が５０〜３０００ｍＪ／ｃｍ２の範囲で、再硬化によって得られた透明絶縁膜中の光重合性化合物の反応率が６５〜７５％の範囲である、透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法。
【請求項２】
前記（ＩＶ）の工程において、透明絶縁膜面上への第二の感光性樹脂組成物層の形成を、第二の感光性樹脂組成物層のラミネータを用いる積層によって行い、積層時の透明基板の予熱温度が２０〜１２０℃の範囲で、ラミネータの圧着ロール温度が８０〜１４０℃である、請求項１に記載の透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法。
【請求項３】
前記（Ｖ）の工程での露光における活性光線の照射量が２０〜２００ｍＪ／ｃｍ２、アルカリ現像時間が１０〜１８０秒の範囲、
前記（ＶＩ）の工程での、アルカリ現像処理後の露光における活性光線の照射量が５０〜３０００ｍＪ／ｃｍ２である、請求項１又は２に記載の透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法。
【請求項４】
第一の感光性樹脂組成物層及び第二の感光性樹脂組成物層の厚みが２〜３０μｍである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法により得られる透明スピーカーモジュールであって、
前記透明基板、前記透明基板の前記透明導電層上の前記透明絶縁膜、及び前記透明絶縁膜面上に形成された前記透明絶縁柱状構造物を含む、透明スピーカーモジュール。
【請求項６】
請求項５に記載の前記透明スピーカーモジュール及び透明振動板を含み、前記透明振動板が、前記透明スピーカーモジュールの前記透明絶縁膜上方に前記透明絶縁柱状構造物に支持されて配置されている、透明スピーカー。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法に使用される感光性樹脂組成物であって、バインダーポリマーと、トリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物及びジグリセリン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物からなる群より選択される少なくとも１種の化合物を含む光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有する、感光性樹脂組成物。
【請求項８】
トリアゾール化合物、チアジアゾール化合物、テトラゾール化合物及びリン酸化合物からなる群より選択される少なくとも１種の化合物を更に含有する、請求項７に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
前記光重合開始剤がオキシムエステル化合物、ホスフィンオキサイド化合物及びアルキルフェノン化合物からなる群から選択される少なくとも１種の化合物を含有する、請求項７又は８に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた請求項７〜９のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光層と、を備える感光性エレメント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法、この製造方法に用いられる感光性樹脂組成物及び感光性エレメント、この製造方法によって得られる透明スピーカーモジュール、並びに、透明スピーカーに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年において広告、アート、コンサート等の情報表示において、デジタルサイネージ化が主流となっている。大型ディスプレイ装置を用いたものだけでなく、スーパーの店頭での価格表示やホテルでの案内相談などの屋内用途において広がりを見せているが、ほとんどの場合において、スピーカーモジュールは別配置となっている。そのため、透明なスピーカーが実現できれば、ディスプレイ装置との一体化により表示部の拡大、自由度の高い設計が期待できる。
【０００３】
また、フラットパネルディスプレイの更なる大面積化および薄型化に対応し、スピーカーモジュールについても省スペース化が求められている。このような問題に関しても透明なスピーカーの実現により、ディスプレイ装置と一体化するなど省スペース化の課題解決の１つとなる。更にはスマートフォンやタブレット端末においても、限られたサイズの中で効率の良い部品配置が可能となる。表示機器以外にも、建物や自動車の窓、ショーウインド等の透明な建材に張り合わせることで音響機能を持たせることが出来、自由なデザインの発想が期待できる。
【０００４】
例えば、特許文献１においては、携帯端末に設置される圧電フィルムスピーカーが提案されている。圧電フィルムスピーカーを構成する圧電フィルム振動板は、透明でかつ弾性を有する可撓性圧電フィルムの表裏両面に透明電極を形成したものである。可撓性圧電フィルムとしては、ＰＶＤＦが用いられている。
【０００５】
ただし、特許文献１の圧電可撓性フィルムスピーカーは可撓性を有するが乳白色を呈するＰＶＤＦをフィルムとして用いているので透明性に劣るという問題がある。このため、ディスプレイ装置の上に貼り付けた場合に表示性能を劣化させる可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２４４７９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、ディスプレイや透明建材などと一体化可能な透明スピーカーの製造に好適に用いられる方法であって、感光性樹脂組成物を用い、基板の導電層面と透明振動板の導電層部分の絶縁に加えて、振動板を支持するために高い透明性を有した絶縁膜と柱状構造物を欠損率低く形成する方法を提供することにある。また、本発明の他の目的は、上記方法によって得られる透明スピーカーモジュール及びそれを用いた透明スピーカーを提供することにある。更に、本発明は、上記の方法に好適に用いられる感光性樹脂組成物であって、絶縁膜及び柱状構造物の絶縁性の確保と、透明振動板を支持するための柱状構造物の形成性との両立を可能とする感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明者らは鋭意検討した結果、透明スピーカーを得るためには、光硬化によって形成した膜が高透明性、絶縁性を備えた感光性樹脂組成物を用いた構成で、まず、基板の導電層面と透明振動板の導電層部分の絶縁性を確保するため絶縁硬化膜を形成し、その硬化膜上に透明振動板を支持するための柱状構造物を欠損率低く形成することが有効であることを見出した。また、絶縁硬化膜と柱状構造物の密着力を高めて欠損率を減少させるためには、絶縁硬化膜の反応率を制御することが有効であることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
本発明の透明スピーカー用透明柱状構造物の製造方法は、導電層を有する透明スピーカー用基板上を、バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物又は透明感光性エレメントで一部又は全部を被覆し、形成された感光層の所定部分を活性光線の照射により硬化させた後に感光層の未露光部分を除去し、感光性樹脂組成物の硬化膜である絶縁膜を形成すること、続けて絶縁膜面を感光性樹脂組成物又は透明感光性エレメントで一部又は全部を被覆し、形成された感光層の所定部分を活性光線の照射により硬化させた後に感光層の未露光部分を除去し、振動板を支持する柱状構造物を形成することを特徴とする。
【００１０】
すなわち、本発明は、下記の透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法、この製法によって得られる透明スピーカーモジュール、それを用いた透明スピーカー及び上記製法に好適に用いられる感光性樹脂組成物、感光性エレメントに関する。
【００１１】
［１］  （Ｉ）透明基材上に透明導電層を有する透明基板の透明導電層面上に、バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する第一の感光性樹脂組成物層を形成する工程と、（ＩＩ）第一の感光性樹脂組成物層を露光し、次いでアルカリ現像処理を施すことにより、第一の感光性樹脂組成物層の未露光部分を除去する工程と、（ＩＩＩ）前記のアルカリ現像処理後、除去されずに残った第一の感光性樹脂組成物層の硬化膜を露光又は加熱により再硬化させることにより透明絶縁膜を形成する工程と、（ＩＶ）前記の透明絶縁膜面上に、バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する第二の感光性樹脂組成物層を形成する工程と、（Ｖ）第二の感光性樹脂組成物層に柱状構造物形成用のパターン露光を行い、次いでアルカリ現像を施すことにより、第二の感光性樹脂組成物層の未露光部分を除去する工程と、（ＶＩ）前記のアルカリ現像処理後、除去されずに残った第二の感光性樹脂組成物層の柱状硬化物を露光又は加熱により再硬化させることにより、前記の透明絶縁膜上に透明絶縁柱状構造物を形成する工程とを備え、前記（ＩＩＩ）の工程における再硬化のための露光における活性光線の照射量が５０〜３０００ｍＪ／ｃｍ２の範囲で、再硬化によって得られた透明絶縁膜中の光重合性化合物の反応率が６５〜７５％の範囲である、透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法。
【００１２】
上記［１］に記載の透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物（以下、単に柱状構造物と称することがある。）の製造方法によれば、透明スピーカー用の透明基板と透明振動板の絶縁性を確保しつつ、透明振動板の振動を阻害しない柱状構造物を欠損率低く形成することができ、それにより透明性が高い、透明スピーカーを製造することができる可能となる。また、この製造方法によれば、1層目の透明絶縁膜の反応率を制御することで、柱状構造物の欠損率を著しく減少させることが可能となる。
【００１３】
［２］  前記（ＩＶ）の工程において、透明絶縁膜面上への第二の感光性樹脂組成物層の形成を、第二の感光性樹脂組成物層のラミネータを用いる積層によって行い、積層時の透明基板の予熱温度が２０〜１２０℃の範囲で、ラミネータの圧着ロール温度が８０〜１４０℃である、［１］に記載の透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法。
【００１４】
［３］  前記（Ｖ）の工程における露光における活性光線の照射量が２０〜２００ｍＪ／ｃｍ２、前記（ＶＩ）の工程での、アルカリ現像時間が１０〜１８０秒の範囲、アルカリ現像処理後の露光における活性光線の照射量が５０〜３０００ｍＪ／ｃｍ２である、［１］又は［２］に記載の透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法。
【００１５】
［４］  第一の感光性樹脂組成物層及び第二の感光性樹脂組成物層の厚みが２〜３０μｍである、［１］〜［３］のいずれか１項に記載の透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法。
【００１６】
［５］  ［１］〜［４］のいずれか１項に記載の透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法により得られる透明スピーカーモジュールであって、前記透明基板、前記透明基板の前記透明導電層上の前記透明絶縁膜、及び前記透明絶縁膜面上に形成された前記透明絶縁柱状構造物を含む、透明スピーカーモジュール。
【００１７】
［６］  ［５］に記載の前記透明スピーカーモジュール及び透明振動板を含み、前記透明振動板が、前記透明スピーカーモジュールの前記透明絶縁膜上方に前記透明絶縁柱状構造物に支持されて配置されている、透明スピーカー。
【００１８】
［７］  ［１］〜［４］のいずれか１項に記載の方法に使用される感光性樹脂組成物であって、バインダーポリマーと、トリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物及びジグリセリン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物からなる群より選択される少なくとも１種の化合物を含む光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有する、感光性樹脂組成物。
【００１９】
［８］  トリアゾール化合物、チアジアゾール化合物、テトラゾール化合物及びリン酸化合物からなる群より選択される少なくとも１種の化合物を更に含有する、［７］に記載の感光性樹脂組成物。
これらの化合物を更に含有させることにより、良好な柱状構造物を形成することができる。
【００２０】
［９］  前記光重合開始剤がオキシムエステル化合物、ホスフィンオキサイド化合物及びアルキルフェノン化合物からなる群から選択される少なくとも１種の化合物を含有する、［７］又は［８］に記載の感光性樹脂組成物。
【００２１】
［１０］  支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた上記［７］〜［９］のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光層と、を備える感光性エレメント。
【００２２】
本発明の感光性樹脂組成物によれば、フィルム性に優れ、特定の導電層付き透明スピーカー基板上に、薄膜であっても充分な絶縁性を有する硬化膜を形成することができる。
【００２３】
また、本発明の感光性樹脂組成物において、上記光重合開始剤がオキシムエステル化合物及び／又はホスフィンオキサイド化合物を含有することが好ましい。この場合、絶縁性が高い硬化膜ならびに透明性が高い柱状パターンを形成することが可能となる。
【００２４】
上記感光層の厚さは、特に制限はないが、３０μｍ以下とすることが好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、所定の導電層を有する透明スピーカー用基板上に、薄膜であっても充分な絶縁性を有する感光性樹脂組成物の硬化膜および透明性に優れた柱状パターンを有する透明スピーカーモジュールの製造方法、そのような硬化膜および柱状パターンを形成できる感光性樹脂組成物及び感光性エレメント、並びに透明スピーカーを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の透明スピーカーモジュール及び透明スピーカーの一態様を示す断面図。
【図２】実施例で用いたフォトマスクの部分拡大平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００２８】
本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味し、「（メタ）アクリレート」とは、アクリレート又はメタクリレートを意味する。
【００２９】
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。また、本明細書において「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。
【００３０】
本明細書において組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。
【００３１】
本明細書において、透明基板、透明基材、透明導電層、透明絶縁膜、透明絶縁柱状構造物、透明振動板等における「透明」とは、可視光線を透過することを意味する。ただし、それらの可視光線透過率については特に制限はなく、例えば、本発明によって得られる透明スピーカーモジュール及び透明スピーカーが、測定波長域４００〜７００ｎｍで可視光線透過率８０．０〜９８．０％となるようなものであることが好ましく、８５．０〜９４．０％となるようなものであることがより好ましい。
【００３２】
以下、本発明の実施形態について説明するが、まず、本発明の透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法に用いられる感光性樹脂組成物について説明する。
【００３３】
工程（Ｉ）及び工程（ＩＶ）において第一の感光性樹脂組成物層及び第二の感光性樹脂組成物層を形成する感光性樹脂組成物としては、硬化物が透明スピーカー用途に必要とされる透明度を有するものであれば特に制限なく用いることができる。通常、バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物が用いられる。例えば、バインダーポリマー（以下、（Ａ）成分ともいう）と、（メタ）アクリレート化合物を含む光重合性化合物（以下、（Ｂ）成分ともいう）と、光重合開始剤（以下、（Ｃ）成分ともいう）と、を含有する感光性樹脂組成物が好適に用いられる。
【００３４】
上記実施形態の（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分を含有する感光性樹脂組成物によれば、フィルム性及び基材への密着性を確保しつつ、３０μｍ以下の厚みで絶縁性と柱状構造物の形成性を両立させて硬化膜を形成することができる。
【００３５】
本実施形態において（Ａ）成分は、（ａ１）（メタ）アクリル酸に由来する構成単位、及び（ａ２）（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を含有する共重合体が好適である。
【００３６】
（ａ１）（メタ）アクリル酸としては、アクリル酸及びメタクリル酸が挙げられる。
【００３７】
（ａ２）（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、及び（メタ）アクリル酸ヒドロキシルエチルエステル等が挙げられる。
【００３８】
上記共重合体は、更に、上記の（ａ１）成分及び／又は（ａ２）成分と共重合しうるその他のモノマー（ａ３）を構成単位に含有していてもよい。
【００３９】
上記の（ａ１）成分及び／又は（ａ２）成分と共重合し得るその他のモノマー（ａ３）としては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、（メタ）アクリル酸ベンジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、アクリルアミド、アクリロニトリル、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、及びビニルトルエン等が挙げられる。（Ａ）成分であるバインダーポリマーを合成する際、上記のモノマーは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００４０】
（Ａ）成分であるバインダーポリマーの分子量は、特に制限はないが、塗工性及び塗膜強度、現像性の見地から、通常、重量平均分子量（ＧＰＣを用いて、標準ポリスチレン換算で測定した値）が１０，０００〜２００，０００であることが好ましく、３０，０００〜１５０，０００であることがより好ましく、５０，０００〜１００，０００であることが更に好ましい。
【００４１】
（Ａ）成分であるバインダーポリマーの酸価は、３０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、４０〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましく、５０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが更に好ましい。（Ａ）成分の酸価が３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることによって、現像工程により感光性樹脂組成物層を選択的に除去してパターンを形成する工程において、公知の各種現像液により容易に現像することが可能である。また、（Ａ）成分の酸価が１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることによって、基材、電極等の導電層の保護膜として機能させる際の水分、塩分等の腐食成分への耐性を充分向上させることができる。
【００４２】
また、バインダーポリマーの酸価を、３０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇとすることにより、水と、アルカリ金属塩と、界面活性剤とを含むアルカリ水溶液を用いて現像することができる。この酸価が、３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上とすることにより、現像性を向上させることができ、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下とすることにより、硬化膜としての機能を充分に発揮することができる。
【００４３】
また、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリエタノールアミン等のアルカリ水溶液を用いて現像する場合には、バインダーポリマーの酸価を５０〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇとすることがより好ましい。現像性に優れる点では、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることがより好ましく、タッチパネル用基材を保護する際、水分、塩分等の腐食成分から電極等の導電層を保護する観点からは、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることがより好ましい。
【００４４】
（Ｂ）成分である光重合性化合物として好適に用いられる（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、トリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物及びジグリセリン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物からなる群より選択される少なくとも１種の（メタ）アクリレート化合物が、好ましく用いられる。
【００４５】
トリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、実施例で用いている、ＴＭＰＴＡ（日本化薬株式会社製、商品名）として商業的に入手可能である。
【００４６】
本実施形態の感光性樹脂組成物における（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、（Ａ）成分が４０〜８０質量部、（Ｂ）成分が２０〜６０であることが好ましく、（Ａ）成分が５０〜７０質量部、（Ｂ）成分が３０〜５０質量部であることがより好ましい。
【００４７】
（Ａ）成分の含有量を上記範囲内とすることにより、塗布性あるいは感光性エレメントでのフィルム性を充分に確保しつつ、充分な感度が得られ、光硬化性を充分に確保することができる。
【００４８】
本実施形態の感光性樹脂組成物は、上記（Ｂ）成分として、上記の（メタ）アクリレート化合物に加えて、他の光重合性化合物を含有することができる。上記の（メタ）アクリレート化合物と組み合わせて用いることのできる他の光重合性化合物としては、例えば、他の単官能モノマー及び多官能モノマーのうちの一種以上を用いることができる。単官能モノマーとしては、例えば、上記（Ａ）成分のバインダーポリマーの合成に用いられる好適なモノマーとして例示した（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸アルキルエステル及びそれらと共重合可能なモノマーが挙げられる。
【００４９】
多官能モノマーとしては、例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート（エトキシ基の数が２〜１４のもの）、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜１４のもの）；ビスフェノールＡポリオキシエチレンジアクリレート（即ち、２，２−ビス（４−アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン）、ビスフェノールＡポリオキシエチレンジメタクリレート（即ち、２，２−ビス（４−メタクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン）、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジメタクリレート等；多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエチルアクリレート、β−ヒドロキシエチルメタクリレート等）とのエステル化物が挙げられる。
【００５０】
多官能モノマーとしては、上記化合物の他、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレートを用いることができる。このような（メタ）アクリレートとしては、例えば、ジペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、及びこれらのアルキレンオキサイド変性化合物が挙げられる。これらのうち、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート及びアルキレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートが好ましい。
【００５１】
（Ｂ）成分の光重合性化合物として、上記の（メタ）アクリレート化合物に単官能モノマー又は上記の多官能（メタ）アクリレート化合物以外のモノマーを組み合わせて用いる場合、これらのモノマーの配合割合に特に制限はないが、光硬化性及び電極腐食の抑制力を得る観点から、上記の（メタ）アクリレート化合物の割合が、感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物の合計量１００質量部に対して、２０質量部以上であることが好ましく、３０質量部以上であることがより好ましく、４０質量部以上であることが更にましい。
【００５２】
（Ｃ）成分である光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン（アルキルフェノン化合物）；２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナントラキノン、２−メチル１，４−ナフトキノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物；１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）等のオキシムエステル化合物；ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体；Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物、オキサゾール系化合物が挙げられる。
【００５３】
これらの中でも、形成する絶縁層および柱状パターンの透明性、及び膜厚を１５μｍ以下としたときのパターン形成能から、オキシムエステル化合物及び／又はホスフィンオキサイド化合物が好ましい。オキシムエステル化合物としては、下記一般式（Ｃ−１）及び下記一般式（Ｃ−２）で表される化合物が挙げられるが、速硬化性、透明性の観点から、下記一般式（Ｃ−１）で表される化合物が好ましい。
【００５４】
【化１】
2019041260.tif 000003
【００５５】
上記一般式（Ｃ−１）中、Ｒ１は、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数３〜２０のシクロアルキル基を含む有機基、炭素数２〜１２のアルカノイル基、二重結合がカルボニル基と共役していない炭素数４〜６のアルケノイル基、ベンゾイル基、炭素数２〜６のアルコキシカルボニル基又はフェノキシカルボニル基を示す。なお、本発明の効果を阻害しない限り、上記一般式（Ｃ−１）中の芳香環上に置換基を有していてもよい。
【００５６】
【化２】
2019041260.tif 000004
【００５７】
上記一般式（Ｃ−２）中、Ｒ２は、ハロゲン原子、炭素数１〜１２のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、フェニル基、ベンジル基、ベンゾイル基、炭素数２〜１２のアルカノイル基、炭素数２〜１２のアルコキシカルボニル基又はフェノキシカルボニル基を示し、Ｒ３は、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数３〜２０のシクロアルキル基を含む有機基を示し、Ｒ４はそれぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１〜１２のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、フェニル基、ベンジル基、ベンゾイル基、炭素数２〜１２のアルカノイル基、炭素数２〜１２のアルコキシカルボニル基、又はフェノキシカルボニル基を示し、Ｒ５は、炭素数２〜２０のアルキル基又はアリール基を示す。ｐ１は０〜３の整数を示す。なお、ｐ１が２以上である場合、複数存在するＲ４はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。なお、カルバゾール上には本発明の効果を阻害しない範囲で置換基を有していてもよい。
【００５８】
上記一般式（Ｃ−１）で表される化合物及び一般式（Ｃ−２）で表される化合物としては、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）等が挙げられる。１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］は、ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ  ０１（ＢＡＳＦ社製、商品名）として、商業的に入手可能である。
【００５９】
上記一般式（Ｃ−１）の中でも、特に１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］が好ましい。
【００６０】
前記ホスフィンオキサイド化合物としては、下記一般式（Ｃ−３）及び一般式（Ｃ−４）で表される化合物が挙げられる。速硬化性、透明性の観点から、下記一般式（Ｃ−３）で表される化合物が好ましい。
【００６１】
【化３】
2019041260.tif 000005
【００６２】
前記一般式（Ｃ−３）中、Ｒ６、Ｒ７及びＲ８はそれぞれ独立に、炭素数１〜２０のアルキル基又はアリール基を示す。前記一般式（Ｃ−４）中、Ｒ９、Ｒ１０及びＲ１１はそれぞれ独立に、炭素数１〜２０のアルキル基又はアリール基を示す。
【００６３】
前記一般式（Ｃ−３）におけるＲ６、Ｒ７又はＲ８が、炭素数１〜２０のアルキル基の場合、前記アルキル基は直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、また前記アルキル基の炭素数は５〜１０であることがより好ましい。前記一般式（Ｃ−４）におけるＲ９、Ｒ１０又はＲ１１が炭素数１〜２０のアルキル基の場合、前記アルキル基は直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、また前記アルキル基の炭素数は５〜１０であることがより好ましい。
【００６４】
前記一般式（Ｃ−３）におけるＲ６、Ｒ７又はＲ８がアリール基の場合、前記アリール基は置換基を有していてもよい。前記置換基としては、例えば、炭素数１〜６のアルキル基及び炭素数１〜４のアルコキシ基を挙げることができる。前記一般式（Ｃ−４）におけるＲ９、Ｒ１０又はＲ１１がアリール基の場合、前記アリール基は置換基を有していてもよい。前記置換基としては例えば、炭素数１〜６のアルキル基及び炭素数１〜４のアルコキシ基を挙げることができる。
【００６５】
これらの中でも、前記一般式（Ｃ−３）は、Ｒ６、Ｒ７、及びＲ８がアリール基であることが好ましく、一般式（Ｃ−４）で表わされる化合物は、Ｒ９、Ｒ１０及びＲ１１がアリール基であることが好ましい。
【００６６】
前記一般式（Ｃ−３）で表わされる化合物としては、形成する保護膜の透明性、及び膜厚を１０μｍ以下としたときのパターン形成能から、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイドが好ましい。２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイドは、ＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（ＢＡＳＦ社製、商品名）として商業的に入手可能である。
【００６７】
（Ｃ）成分である光重合開始剤の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、０．１〜２０質量部であることが好ましく、０．５〜１０質量部であることがより好ましく、１．０〜３質量部であることが更に好ましい。
【００６８】
（Ｃ）成分の含有量を上記範囲内とすることにより、光感度が充分となるとともに、露光の際に組成物の表面での吸収が増大して内部の光硬化が不充分となること、可視光線透過率が低下する等の不具合を抑制することができる。
【００６９】
本実施形態の感光性樹脂組成物は、絶縁性と現像性を両立する点から、トリアゾール化合物、チアジアゾール化合物、テトラゾール化合物及びリン酸化合物、からなる群より選択される少なくとも１種の化合物（以下、（Ｄ）成分ともいう）を更に含有することが好ましい。
【００７０】
上記トリアゾール化合物としては、ベンゾトリアゾール、１Ｈ−ベンゾトリアゾール−１−アセトニトリル、ベンゾトリアゾール−５−カルボン酸、１Ｈ−ベンゾトリアゾール−１−メタノール、カルボキシベンゾトリアゾール、３−メルカプトトリアゾール等のメルカプト基を含むトリアゾール化合物、３−アミノ−５−メルカプトトリアゾール等のアミノ基を含むトリアゾール化合物が挙げられる。
【００７１】
上記チアジアゾール化合物としては、２−アミノ−５−メルカプト−１，３，４−チアジアゾール、２，１，３−ベンゾチアジアゾール、等が挙げられる。
【００７２】
上記テトラゾール化合物としては、下記一般式（Ｅ−１）で表わされる化合物が挙げられる。
【００７３】
【化４】
2019041260.tif 000006
【００７４】
上記一般式（Ｅ−１）中のＲ１１及びＲ１２は、各々独立に、水素、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、フェニル基、アミノフェニル基、炭素数７〜２０のアルキルフェニル基、アミノ基、メルカプト基、炭素数１〜１０のアルキルメルカプト基又は炭素数２〜１０のカルボキシアルキル基を示す。
【００７５】
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ｉｓｏ−プロピル基、ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシルキ、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基、オクタデシル基、ノナデシル基、イコシル基等が挙げられる。
【００７６】
シクロアルキル基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロオクチル基等が挙げられ、アルキルフェニル基としては、例えば、メチルフェニル基、エチルフェニル基等が挙げられる。
【００７７】
アルキルメルカプト基としては、例えば、メチルメルカプト基、エチルメルカプト基等が挙げられ、カルボキシアルキル基としては、例えば、カルボキシメチル基、カルボキシエチル基等が挙げられる。
【００７８】
上記一般式（Ｅ−１）で表されるテトラゾール化合物の具体例としては、例えば、１Ｈ−テトラゾール、５−アミノ−１Ｈ−テトラゾール、５−メチル−１Ｈ−テトラゾール、１−メチル−５−エチル−テトラゾール、１−メチル−５−メルカプト−テトラゾール、５−（２−アミノフェニル）−１Ｈ−テトラゾール、１−シクロヘキシル−５−メルカプト−テトラゾール、１−フェニル−５−メルカプト−テトラゾール、１−カルボキシメチル−５−メルカプト−テトラゾール、５−フェニル−１Ｈ−テトラゾール、１−フェニル−テトラゾールが挙げられる。
【００７９】
上記一般式（Ｅ−１）で表されるテトラゾール化合物は、その水溶性塩であっても好適である。具体例としては、１−カルボキシメチル−５−メルカプト−テトラゾールのナトリウム、カリウム、リチウム等のアルカリ金属塩等が挙げられる。
【００８０】
上記リン酸化合物としては、分子中に二重結合を有するリン酸化合物であれば、特に限定せずに使用でき、具体例としては、例えば、２−メタクリロイロキシエチルアシッドホスフェート（商品名ライトエステルＰ−１Ｍ、ライトエステルＰ−２Ｍ、共栄社化学株式会社製）、エチレンオキサイド変性リン酸ジメタクリレート（商品名ＰＭ−２１日本化薬株式会社製）、アシッドホスホオキシエチルメタクリレート（商品名ホスマーＭ、ユニケミカル株式会社製）、燐酸含有エポキシメタクリレート（商品名ニューフロンティアＳ−２３Ａ、第一工業製薬株式会社製）等のリン酸（メタ）アクリレート化合物；ビニルホスホン酸（商品名ＶＰＡ−９０、ＶＰＡ−１００、ＢＡＳＦ社製）等のリン酸ビニル化合物等の分子中に炭素−炭素二重結合を有するリン酸化合物が挙げられる。
【００８１】
これらの中でも、電極腐食の抑制力、金属電極との密着性、現像容易性、透明性の観点から、１Ｈ−テトラゾール、５−アミノ−１Ｈ−テトラゾール、１−メチル−５−メルカプト−１Ｈ−テトラゾール、エチレンオキサイド変性リン酸ジメタクリレート、アシッドホスホオキシエチルメタクリレートが特に好ましい。
【００８２】
これらのテトラゾール化合物及びその水溶性塩、及びリン酸化合物は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００８３】
また、透明絶縁膜を設ける導電層表面が銅、銀、ニッケルなどの金属を有している場合の現像性を更に向上させる観点から、感光性樹脂組成物はアミノ基を有するテトラゾール化合物、及び分子中に二重結合を有するリン酸化合物、を更に含有することが好ましい。この場合、現像残渣を低減することができ、良好な柱状パターンを形成することが容易となる。
【００８４】
アミノ基を有するテトラゾール化合物、及び分子中に二重結合を有するリン酸化合物、を含有する場合、上記の効果が得られることから、本実施形態に係る感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、銅、銀などの金属層を形成した透明スピーカー用の透明基板の導電層面への透明絶縁膜形成に有効である。
【００８５】
本実施形態の感光性樹脂組成物における（Ｄ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、０．０５〜１０．０質量部とすることが好ましく、０．１〜８．０質量部とすることがより好ましい。
【００８６】
（Ｄ）成分の含有量を上記範囲内とすることにより、現像性又は解像度が低下するなどの不具合を抑制しつつ、透明スピーカーの導電層との密着性を向上させる効果を充分に得ることができる。
【００８７】
本実施形態の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、シランカップリング剤などの密着性付与剤、レベリング剤、可塑剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、酸化防止剤、香料、熱架橋剤、重合禁止剤等を（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、各々０．０１〜２０質量部程度含有させることができる。これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用できる。
【００８８】
形成する透明絶縁膜及び透明絶縁柱状構造物の絶縁性を向上させる観点から、本実施形態の感光性樹脂組成物は、固形分全体の水酸基価が４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましい。
【００８９】
本発明に用いられる感光性樹脂組成物は、硬化して透明絶縁膜及び柱状構造物を形成したときの可視光線透過率が、８０.０〜９８.０％であることが好ましく、８５．０〜９４．０％であることがより好ましく、８８．０〜９４．０％であることが更に好ましい。
ここで、感光性樹脂組成物の可視光線透過率は以下のようにして求められる。まず、支持フィルム上に感光性樹脂組成物を乾燥後の厚みが３０μｍ以下となるように塗布し、これを乾燥することにより、感光性樹脂組成物層（感光層）を形成する。次に、ガラス板上に、感光性樹脂組成物層が接するようにラミネータを用いてラミネートする。こうして、ガラス板上に、感光性樹脂組成物層及び支持フィルムが積層された測定用試料を得る。次に、得られた測定用試料に紫外線を照射して感光性樹脂組成物層を光硬化した後、紫外可視分光光度計を用いて、測定波長域４００〜７００ｎｍにおける透過率を測定する。
【００９０】
一般的な可視光波長域の光線である４００〜７００ｎｍの波長域における透過率の最小値が８８％以上であれば、例えば、タッチパネル（タッチセンサー）の表示部分の透明電極も保護する場合、タッチパネル（タッチセンサー）の額縁領域の金属層（例えば、ＩＴＯもしくは銀ナノワイヤー電極上に銅層を形成した層など）を保護したときに表示部分の端部から保護層が見える場合等において、表示部分での表示品質、色合い、又は、輝度が低下することを充分抑制することができる。
【００９１】
本実施形態の感光性樹脂組成物は、本実施形態の感光性エレメントのように、感光性フィルムに製膜して用いることが好ましい。感光性フィルムを、透明スピーカー用の透明基板上に積層することにより、ロールツーロールプロセスが容易に実現できる、溶剤乾燥工程が短縮できるなど、製造工程の短縮及びコスト低減に大きく貢献することができる。
【００９２】
感光性エレメントは、支持フィルムと、支持フィルム上に設けられた本発明に係る感光性樹脂組成物からなる感光層と、感光層の支持フィルムとは反対側に必要に応じて設けられる保護フィルムとからなる。
【００９３】
本実施形態の感光性エレメントは、導電層を有する透明スピーカー用の透明基板上への透明絶縁膜および透明振動板を支持する透明絶縁柱状構造物形成に好適に用いることができる。
【００９４】
支持フィルムとしては、重合体フィルムを用いることができる。重合体フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン等からなるフィルムが挙げられる。
【００９５】
支持フィルムの厚さは、被覆性の確保と、支持フィルムを介して露光する際の解像度の低下を抑制する観点から、５〜１００μｍであることが好ましく、１０〜７０μｍであることがより好ましく、１５〜６０μｍであることが更に好ましい。
【００９６】
感光層は、本実施形態の感光性樹脂組成物を塗布液とし、これを支持フィルム上に塗布、乾燥することにより形成できる。塗布液は、上述した本実施形態の感光性樹脂組成物を構成する各成分を溶剤に均一に溶解又は分散することにより得ることができる。
【００９７】
溶剤としては、特に制限はなく、公知のものが使用でき、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、メチレングリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、クロロホルム、塩化メチレン等が挙げられる。これら溶剤は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上の溶剤からなる混合溶剤として用いてもよい。
【００９８】
塗布方法としては、例えば、ドクターブレードコーティング法、マイヤーバーコーティング法、ロールコーティング法、スクリーンコーティング法、スピナーコーティング法、インクジェットコーティング法、スプレーコーティング法、ディップコーティング法、グラビアコーティング法、カーテンコーティング法、ダイコーティング法等が挙げられる。
【００９９】
乾燥条件に特に制限はないが、乾燥温度は、６０〜１３０℃とすることが好ましく、乾燥時間は、０．５〜３０分とすることが好ましい。
【０１００】
感光性樹脂組成物層（以下、感光層ということがある。）の厚さは、第１の感光性樹脂組成物層及び第２の感光性樹脂組成物層の何れにおいても、充分な絶縁性を発揮し、かつ振動板を支持する柱状構造物を形成できるよう、乾燥後の厚さで３０μｍ以下であることが好ましく、２〜１５μｍであることがより好ましく、５〜１０μｍであることが更に好ましい。
【０１０１】
本実施形態においては、感光性樹脂組成物層（感光層）が、可視光線透過率が８０％以上であることが好ましく、８５％以上であることがより好ましく、８８％以上であることが更に好ましい。
【０１０２】
保護フィルム（カバーフィルム）としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体、及びポリエチレン−酢酸ビニル共重合体とポリエチレンの積層フィルム等からなる厚さ５〜１００μｍ程度のフィルムが挙げられる。
【０１０３】
感光性エレメントは、ロール状に巻いて保管し、あるいは使用できる。
【０１０４】
次に、本発明に係る透明スピーカー用透明絶縁柱状構造物の製造方法について、この製造方法で作製される透明スピーカーモジュール及び透明スピーカーの一態様を示す図１を参照して説明する。
【０１０５】
本発明の製造方法では、工程（Ｉ）で、透明基材１ａ上に透明導電層１ｂを有する透明基板１の透明導電層１ｂの面上に、バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する第一の感光性樹脂組成物層を形成する。
次いで、工程（ＩＩ）で、第一の感光性樹脂組成物層を活性光線の照射により露光し、次いでアルカリ現像処理を施すことにより、第一の感光性樹脂組成物層の未露光部分を除去する。必要に応じ、未露光部分を残さず、透明基板１及び透明導電層１ｂの全面を露光してもよい。
工程（ＩＩＩ）では、前記のアルカリ現像処理後、除去されずに残った第一の感光性樹脂組成物層の硬化膜を露光又は加熱により再硬化させることにより、透明絶縁膜２を形成する。
次いで、工程（ＩＶ）で、前記の透明絶縁膜２の表面上に、バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する第二の感光性樹脂組成物層を形成する。第一および第二の感光性樹脂組成物層の形成に用いられる感光性樹脂組成物は、同一であってもよく、異なっていてもよいが、透明絶縁膜と透明絶縁柱状構造物との良好な接着力を安定して得るためには、通常、同一の感光性樹脂組成物を用いることが好ましい。
次いで工程（Ｖ）で、第二の感光性樹脂組成物層を柱状構造物形成用のマスクを用いて、又は、パターン露光用の直描露光機を用い、活性光線の照射によってパターン露光し、次いでアルカリ現像を施すことにより、第二の感光性樹脂組成物層の未露光部分を除去する。
工程（ＶＩ）において、前記のアルカリ現像処理後、除去されずに残った第二の感光性樹脂組成物層の柱状硬化物を露光又は加熱により再硬化させる。これにより、前記の透明絶縁膜２上に、絶縁性があり、透明振動板４を支持する透明絶縁柱状構造物３が形成される。
【０１０６】
柱状構造物の数、形状、分散度等、特に制限はなく、透明振動板４の振動と、透明絶縁膜２との間の空間確保が可能なように、適宜選択することができる。
【０１０７】
本発明の透明スピーカーモジュールＡは、上記の透明絶縁柱状構造物の製造方法によって得られるものであり、透明基材１ａ及び透明基材１ａ上の透明導電層１ｂを有する透明基板１、透明基板１の透明導電層１ｂ上に形成された透明絶縁膜２、並びに、透明絶縁膜面２上に形成された透明絶縁柱状構造物３を有する。
【０１０８】
また、本発明の透明スピーカーＢは、本発明の透明スピーカーモジュールＡ及び透明振動板４を含む。透明振動板４は、透明スピーカーモジュールＡの透明絶縁膜２の上方に、透明絶縁柱状構造物３に支持されて配置されている。なお、透明振動板４は、透明絶縁柱状構造物３に接触して支持されてはいるが、接着されてはいない。透明振動板の材質としては、特に制限はなく、例えば、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＥＴ、ＰＰ(ポリプロピレン)、ＰＥ／ＰＰ共重合体、薄膜ガラス等が挙げられる。透明絶縁膜２と透明振動板４との間は、空間７である。また、図２に示す態様では、透明振動板４の上方に、透明振動板４の保護のための透明基材６が配置されている。透明振動板４と透明基材６との間にも、空間７が設けられている。透明基材６としては、例えば、ガラス板、薄膜ガラス、透明プラスチックの板又はフィルム等が好適に用いられる。図１に示す態様では、透明スピーカーモジュールＡと透明振動板４との配置、及び、透明振動板４と透明基材６との配置は、それぞれ、支柱（フレーム）５で固定されている。なお、透明基材６がフィルム状物である場合には、透明振動板４との間に隙間を設けずに接触させて配置してもよい。
【０１０９】
本実施形態で透明基板に使用される透明基材には特に制限はなく、一般に透明スピーカー用として用いられる、ガラス板、プラスチック板、セラミック板等の基板が挙げられる。この透明基材上には、透明導電層が設けられる。導電層としては、導電層を形成した際に透明性を有するものであれば特に制限はなく、ＩＴＯ、Ｃｕ、Ａｇ等の、メッシュメタル層やスパッタ薄膜等の電極が挙げられる。
【０１１０】
＜工程（Ｉ）＞
第一の感光性樹脂組成物層の形成に感光性エレメントを使用する場合、本実施形態の工程（Ｉ）では、本実施形態の感光性エレメントの保護フィルムを除去した後、感光性エレメントを加熱しながら、透明基板１の透明導電層１ｂ面上に、感光性エレメントの感光層を圧着することにより積層し、第一の感光性樹脂組成物層とする。
【０１１１】
圧着手段としては、例えば、圧着ロールを備えたラミネータ等が挙げられる。圧着ロールは、加熱圧着できるように加熱手段を備えたものであってもよい。
【０１１２】
加熱圧着する場合におけるラミネータの圧着ロールの加熱温度は、感光層と透明基板１の透明導電層１ｂ面との密着性を充分確保しながら、感光層の構成成分が熱硬化あるいは熱分解されにくいよう、１０〜１８０℃とすることが好ましく、３０〜１６０℃とすることがより好ましく、８０〜１４０℃とすることが更に好ましい。
【０１１３】
また、加熱圧着時の圧着圧力は、感光層と透明基板１の透明導電層１ｂとの密着性を充分確保しながら、基材の変形を抑制する観点から、圧着ロールの線圧で５０〜１０００００Ｎ／ｍとすることが好ましく、２５０〜５００００Ｎ／ｍとすることがより好ましく、５００〜４００００Ｎ／ｍとすることが更に好ましい。
【０１１４】
感光性エレメントを上記のように加熱すれば、透明基板１を予熱処理することは必要ではないが、感光層と透明基板１の透明導電層１ｂとの密着性を更に向上させる点から、透明基板１を予熱処理することが好ましい。このときの予熱温度は、２０〜１８０℃とすることが好ましく、２０〜１２０℃とするのがより好ましい。
【０１１５】
本実施形態においては、感光性エレメントを用いる代わりに、本実施形態の感光性樹脂組成物を塗布液として透明基板１の透明導電層１ｂ面上に塗布し、乾燥して第一の感光性樹脂組成物層を形成することができる。
【０１１６】
第一の感光性樹脂組成物層は、上述した膜厚、可視光線透過率、条件を満たすことが好ましい。
【０１１７】
＜工程（ＩＩ）＞
第一の感光性樹脂組成物層を活性光線を照射して露光する。露光の際、第一の感光性樹脂組成物層（感光性エレメントの感光層）上の支持フィルムが透明の場合には、そのまま露光することができ、不透明の場合には支持フィルムを除去してから露光する。感光層の保護という点からは、支持フィルムとして透明な重合体フィルムを用い、この重合体フィルムを残存させたまま、それを通して露光することが好ましい。
【０１１８】
露光に用いられる活性光線の光源としては、公知の活性光源が使用でき、例えば、カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等が挙げられ、紫外線を有効に放射するものであれば特に制限されない。
【０１１９】
このときの、活性光線の照射量は、通常、２０〜２００ｍＪ／ｃｍ２であり、好ましくは３０〜８０ｍＪ／ｃｍ２である。。
【０１２０】
この工程（ＩＩ）では、露光後の第一の感光性樹脂組成物層を現像液で現像して未露光部分を除去し、透明基板１の一部又は全部を被覆する厚みが好ましくは３０μｍ以下、より好ましくは５〜１５μｍの感光性樹脂組成物の硬化物からなる硬化膜を形成する。形成される硬化膜は所定のパターンを有することができる。
【０１２１】
なお、露光後、硬化膜に支持フィルムが積層されている場合にはそれを除去した後、現像液による未露光部分を除去する現像が行われる。
【０１２２】
現像方法としては、アルカリ水溶液、水系現像液、有機溶剤等の公知の現像液を用いて、スプレー、シャワー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像を行い、不要部を除去する方法等が挙げられ、中でも、環境、安全性の観点からアルカリ水溶液を用いることが好ましいものとして挙げられる。
【０１２３】
アルカリ水溶液の塩基としては、水酸化アルカリ（リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等）、炭酸アルカリ（リチウム、ナトリウム又はカリウムの炭酸塩若しくは重炭酸塩等）、アルカリ金属リン酸塩（リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等）、アルカリ金属ピロリン酸塩（ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等）、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリエタノールアミンなどが挙げられ、中でも、水酸化テトラメチルアンモニウム等が好ましいものとして挙げられる。
【０１２４】
また、炭酸ナトリウムの水溶液も好ましく用いられ、例えば、２０〜５０℃の炭酸ナトリウムの希薄溶液（０．５〜５質量％水溶液）が好適に用いられる。
【０１２５】
現像温度及び時間は、本実施形態の感光性樹脂組成物の現像性に合わせて調整することができる。一般的には、１０〜１８０秒の範囲である。
【０１２６】
また、アルカリ水溶液中には、界面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させることができる。
【０１２７】
また、現像後、光硬化後の感光層に残存したアルカリ水溶液の塩基を、有機酸、無機酸又はこれらの酸水溶液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知方法により酸処理（中和処理）することができる。
【０１２８】
更に、酸処理（中和処理）の後、水洗する工程を行うこともできる。
【０１２９】
＜工程（ＩＩＩ）＞
現像後、露光により、硬化膜を更に硬化させ、透明絶縁膜２とする。このときの、活性光線の照射量は、５０〜３０００ｍＪ／ｃｍ２であり、好ましくは１００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２であり、より好ましくは１００〜１０００ｍＪ／ｃｍ２であり、更に好ましくは２５０〜１０００ｍＪ／ｃｍ２であり、光重合性化合物の反応率は６５〜７５％であることが好ましく、６６〜７４％であることがより好ましい。
【０１３０】
なお、本実施形態の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、現像後の露光の代わりに、又は露光と合わせて、加熱処理（８０〜２５０℃）を施してもよい。
【０１３１】
＜工程（ＩＶ）＞
本実施形態の工程（ＩＶ）では、感光性エレメントを用いる場合、感光性エレメントの保護フィルムを除去した後、感光性エレメントを加熱しながら、第工程（Ｉ）〜工程（ＩＩＩ）を通して形成された透明絶縁膜２の表面に感光層を圧着することにより積層し、第二の感光性樹脂組成物層を形成する。
【０１３２】
圧着手段としては、圧着ロールを備えたラミネータ等が挙げられる。圧着ロールは、加熱圧着できるように加熱手段を備えたものであってもよい。
【０１３３】
加熱圧着する場合の加熱温度は、感光層と透明絶縁膜２との密着性を充分確保しながら、感光層の構成成分が熱硬化あるいは熱分解されにくいよう、１０〜１８０℃とすることが好ましく、３０〜１６０℃とすることがより好ましく、８０〜１４０℃とすることが更に好ましい。
【０１３４】
また、加熱圧着時におけるラミネータの圧着ロールの圧着圧力は、感光層と透明絶縁膜２との密着性を充分確保しながら、透明絶縁膜２の変形を抑制する観点から、線圧で５０〜１０００００Ｎ／ｍとすることが好ましく、２５０〜５００００Ｎ／ｍとすることがより好ましく、５００〜４００００Ｎ／ｍとすることが更に好ましい。
【０１３５】
感光性エレメントを上記のように加熱すれば、透明絶縁膜２を予熱処理することは必要ではないが、感光層と透明絶縁膜２との密着性を更に向上させる点から、透明基板１を予熱処理することが好ましい。このときの予熱温度は、２０〜１８０℃とすることが好ましく、２０〜１２０℃とするのがより好ましい。
【０１３６】
本実施形態においては、感光性エレメントを用いる代わりに、本実施形態の感光性樹脂組成物を塗布液として絶縁層表面に塗布し、乾燥して感光層を形成することができる。
【０１３７】
感光層は、上述した膜厚、可視光線透過率、条件を満たすことが好ましい。
【０１３８】
＜工程（Ｖ）＞
第二の感光性樹脂組成物層の形成後、柱状構造物用フォトマスクを介して活性光線にて露光する。露光の際、第二の感光性樹脂組成物層（感光性エレメントの感光層）上の支持フィルムが透明の場合には、そのまま露光することができ、不透明の場合には除去してから露光する。第二の感光性樹脂組成物層の保護という点からは、支持フィルムとして透明な重合体フィルムを用い、この重合体フィルムを残存させたまま、それを通して露光することが好ましい。
【０１３９】
露光に用いられる活性光線の光源としては、公知の活性光源が使用でき、例えば、カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等が挙げられ、紫外線を有効に放射するものであれば特に制限されない。
【０１４０】
このときの、活性光線の照射量は、通常、２０〜２００ｍＪ／ｃｍ２であ、好ましくは４０〜１００ｍＪ／ｃｍ２である。
【０１４１】
この工程（Ｖ）では、次いで、露光後の第二の感光性樹脂組成物層を現像液で現像して未露光部分を除去し、基材の一部又は全部を被覆する厚みが好ましくは３０μｍ以下、より好ましくは５〜１５μｍの感光性樹脂組成物の柱状硬化物を形成する。
【０１４２】
なお、露光後、第二の感光性樹脂組成物層に支持フィルムが積層されている場合にはそれを除去した後、現像液による未露光部分を除去する現像が行われる。
【０１４３】
現像方法としては、アルカリ水溶液、水系現像液、有機溶剤等の公知の現像液を用いて、スプレー、シャワー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像を行い、不要部を除去する方法等が挙げられ、中でも、環境、安全性の観点からアルカリ水溶液を用いることが好ましいものとして挙げられる。
【０１４４】
アルカリ水溶液の塩基としては、水酸化アルカリ（リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等）、炭酸アルカリ（リチウム、ナトリウム又はカリウムの炭酸塩若しくは重炭酸塩等）、アルカリ金属リン酸塩（リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等）、アルカリ金属ピロリン酸塩（ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等）、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリエタノールアミンなどが挙げられ、中でも、水酸化テトラメチルアンモニウム等が好ましいものとして挙げられる。
【０１４５】
また、炭酸ナトリウムの水溶液が好ましく用いられ、例えば、２０〜５０℃の炭酸ナトリウムの希薄溶液（０．５〜５質量％水溶液）が好適に用いられる。
【０１４６】
現像温度及び時間は、本実施形態の感光性樹脂組成物の現像性に合わせて調整することができる。一般的には、１０〜１８０秒の範囲である。
【０１４７】
＜工程（ＶＩ）＞
工程（Ｖ）での現像後、工程（ＶＩ）において、露光により、柱状硬化物を更に硬化させ、透明絶縁柱状構造物３とする。このときの、活性光線の照射量は、５０〜３０００ｍＪ／ｃｍ２であることが好ましく、５００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２であることがより好ましい。。
【０１４８】
なお、本実施形態の感光性樹脂組成物は、現像後の加熱工程なしでも優れた密着性を示すが、必要に応じて、現像後の露光の代わりに、又は露光と合わせて、加熱処理（８０〜２５０℃）を施してもよい。
【０１４９】
上述のように、本実施形態の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、透明スピーカー用透明基板上への透明絶縁膜および透明絶縁柱状構造物を形成するための使用に好適である。
【実施例】
【０１５０】
以下、実施例を挙げて本発明についてより具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【０１５１】
（実施例１）
［透明絶縁膜及び透明絶縁柱状構造物を形成するための感光性樹脂組成物溶液（Ｖ−１）の調製］
表１に示す材料を、攪拌機を用いて１５分間混合し、透明絶縁膜及び透明絶縁柱状構造物を形成するための感光性樹脂組成物溶液（Ｖ−１）を調製した。
【０１５２】
【表１】
2019041260.tif 000007
【０１５３】
［透明絶縁膜及び透明絶縁鋳造構造物を形成するための感光性エレメント（Ｅ−１）の作製］
支持フィルムとして厚さ１６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを使用し、感光性樹脂組成物溶液（Ｖ−１）を支持フィルム上にダイコーターを用いて均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して溶剤を除去し、感光性樹脂組成物からなる感光層（感光性樹脂組成物層）を形成した。得られた感光層の厚さは８μｍであった。
【０１５４】
次いで、得られた感光層の上に、更に、３０μｍの厚さのポリプロピレンフィルムを、カバーフィルムとして張り合わせて、感光性エレメント（Ｅ−１）を作製した。
【０１５５】
［透明絶縁膜の作製］
得られた感光性エレメント（Ｅ−１）のカバーフィルムであるポリプロピレンフィルムをはがしながら、ＩＴＯ導電層を有するガラス板（厚さ２．５ｍｍ）上に、ＩＴＯ導電層表面に感光層が接するようにラミネータ（日立化成株式会社製、商品名ＨＬＭ−３０００型）を用いて、圧着ロール温度１１０℃、基板送り速度０．６ｍ／分、圧着圧力（シリンダ圧力）０．６ＭＰａ(線圧１２００Ｎ／ｍ）の条件でラミネートして、ガラス板上に、第一の感光性樹脂組成物層（感光性エレメントの感光層）及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。
【０１５６】
次いで、得られた積層体の第一の感光性樹脂組成物層（感光性エレメントの感光層）に、平行光線露光機（オーク製作所株式会社製、ＥＸＭ１２０１）を使用して、第一の感光性樹脂組成物層（感光層）側上方より露光量４０ｍＪ／ｍ２で（ｉ線（波長３６５ｎｍ）における測定値）、紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、アルカリ型自動現像機(株式会社ムラタ機工製)を使用し、感光層上方より１％炭酸ナトリウム水溶液を噴射し、現像時間４０秒にて現像を行い、第一の感光性樹脂組成物の硬化膜を得た。
【０１５７】
次いで、コンベア式紫外線照射機(オーク製作所株式会社製、ＱＲＭ−２２８８−ＷＣ０−０４)を使用して、上記の硬化膜側上方より露光量２５０ｍＪ／ｍ２で（ｉ線（波長３６５ｎｍ）における測定値）紫外線を照射し、透明ぜ絶縁膜(Ｆ−１)を得た。
【０１５８】
［透明絶縁膜の絶縁抵抗の測定］
得られた透明絶縁膜を８３４０Ａ  ＵＬＴＲＡ  ＨＩＧＨ  ＲＥＳＩＳＴＡＮＣＥ  ＭＥＴＥＲ(ＡＤＣＭＴ製)を使用して、ＡＳＴＭ  Ｄ２５７準拠にて絶縁抵抗を測定した。絶縁抵抗の値は１．６×１０12Ωであり、絶縁が計れていた。実施例２および比較例においても１．０×１０8Ω以上であり、絶縁性は確保できていた。
【０１５９】
［透明絶縁膜における光重合性化合物の反応率の測定］
得られた透明絶縁膜をフーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴ-ＩＲ）ＩＲＴｒａｃｅｒ−１００Ｒ(島津製作所株式会社製)を使用して、光重合性化合物の反応率を測定した。反応率の値は７０％であり、６５−７５％の範囲内であった。実施例２についても７２％と良好な値を示した。
上記反応率の測定及び計算方法は、下記のとおりである。
（１）積層及び露光前の感光性エレメントの感光層のサンプル（ａ）及び露光及び現像後の再露光後に得られた透明絶縁膜のサンプル（ｂ）を、ＦＴ−ＩＲにて測定する。
（２）サンプル（ａ）及びサンプル（ｂ）のチャートから、それぞれの８１０ｃｍ−１の反応ピーク面積（Ａ）及び（Ｂ）（炭素−炭素二重結合量の目安）を算出する。
それぞれのチャートから、基準値となる１７５０ｃｍ−１の反応ピーク面積（Ｃ）及び（Ｃ′）を算出する。
（３）下記の計算式から、反応率を算出する。
【数１】
2019041260.tif 000008
【０１６０】
［透明絶縁柱状構造物の作製］
得られた感光性エレメント（Ｅ−１）のカバーフィルムであるポリプロピレンフィルムをはがしながら、透明絶縁膜（Ｆ−１）上に、感光層が接するようにラミネータ（日立化成株式会社製、商品名ＨＬＭ−３０００型）を用いて、圧着ロール温度１１０℃、基板送り速度０．６ｍ／分、圧着圧力（シリンダ圧力）０．６ＭＰａ（線圧１２００Ｎ／ｍ）の条件でラミネートして、ガラス板上に、透明絶縁膜、前記感光層からなる第二の感光性樹脂組成物層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。実施例２では、ラミネート前に透明絶縁膜（Ｆ−１）を８０℃で１０分加熱した。
【０１６１】
次いで、得られた積層体の第二の感光性樹脂組成物層（感光性エレメントの感光層）に、平行光線露光機（オーク製作所株式会社製、ＥＸＭ１２０１）を使用して、柱状構造物作製用フォトマスクを支持フィルムの上に密着させ、感光層側上方より露光量８０ｍＪ／ｃｍ２で（ｉ線（波長３６５ｎｍ）における測定値）、紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、アルカリ型自動現像機(株式会社ムラタ機工製)を使用し、露光された第二の感光性樹脂組成物層（感光層）上方より１％炭酸ナトリウム水溶液を噴射し、現像時間４０秒にて現像を行い、不要部分（未露光部分）を取り除き、柱状硬化物を形成した。
図２に、上記のフォトマスクの部分拡大平面図を示す。フォトマスク８における柱状構造物形成用の円形開口９は、各々、直径５０μｍであり、隣接する円形開口９間の図面上横方向の間隔及び縦方向の間隔は５００μｍである。
【０１６２】
次いで、コンベア式紫外線照射機（オーク製作所株式会社製、ＱＲＭ−２２８８−ＷＣ０−０４）を使用して、柱状硬化物側上方より、フォトマスクを使用せずに露光量１０００ｍＪ／ｃｍ２で（ｉ線（波長３６５ｎｍ）における測定値）紫外線を照射し、透明絶縁膜（Ｆ−１）上に透明絶縁柱状構造物（Ｇ−１）を形成し、透明スピーカーモジュール試料を得た。
【０１６３】
［透明絶縁柱状構造物を有する透明スピーカーモジュールの可視光線透過率の測定］
次いで、得られた試料（ガラス板、透明絶縁膜及び透明絶縁柱状構造物を含む試料全体）をヘーズメーターＮＤＨ  ７０００を使用して、測定波長域４００〜７００ｎｍで可視光線透過率を測定した。透過率の最小値は９１．４％であり、良好な透過率を確保できていた。なお、実施例２についても測定波長域４００〜７００ｎｍで可視光線透過率９０％以上を示した。
【０１６４】
［透明絶縁柱状構造物の欠損率の測定］
次いで得られた試料を形状測定レーザーマイクロスコープ  ＶＫ−Ｘ２００を使用して、柱状構造物が欠けて消失している数を数え、欠損率を計算した。
欠損率は、１％であり、良好な欠損率を確保できた。実施例２においても欠損率は１％以内であった。
【０１６５】
実施例２及び比較例１〜３においては、露光量、基材温度等を表２に示すように変更した以外は、実施例１と同様にして透明絶縁柱状構造物を作製、絶縁抵抗、反応率、可視光線透過率、柱状構造物欠損率の測定を行い、その結果を表２に示した。
【０１６６】
【表２】
2019041260.tif 000009
【０１６７】
表２中、透明絶縁柱状構造物の測定項目中、可視光線透過率は、柱状構造物のみの可視光線透過率ではなく、ガラス板、透明絶縁膜及び透明絶縁柱状構造物からなる透明スピーカーモジュール全体の厚み方向８の可視光線透過率である。
【０１６８】
＜表１に記載の各成分の詳細＞
（Ａ）成分：バインダーポリマー（Ａ１）：メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル＝１２／５８／３０（質量比）、酸価７８（ｍｇＫＯＨ／ｇ）、重量平均分子量：６５０００±１００００
（Ｂ）ＴＭＰＴＡ（Ｔ）：トリメチロールプロパントリアクリレート（日本化薬株式会社製）
（Ｃ）成分：光重合開始剤ＯＸＥ０１：１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）］（ＢＡＳＦ社製、商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ  ０１）
（Ｄ）成分：Ｂ６０３０：５−アミノ−１Ｈ−テトラゾール（千代田ケミカル株式会社製、商品名：チオエールＢ−６０３０）  ＰＭ−２１：２−ヒドロキシエチルメタクリレートの６−ヘキサノリド付加重合物と無水リン酸との反応生成物
その他：重合禁止剤：ＡＷ−５００：２，２′−メチレン−ビス（４−エチル−６−Ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）（商品名：アンテージＷ−５００、川口化学株式会社製）レベリング剤ＡＤＤＩＴＩＶＥ８０３２（商品名）：有機変性シリコーンオイル（東レ・ダウコーニング株式会社製）、希釈溶媒メチルエチルケトン：東燃化学株式会社製  
【符号の説明】
【０１６９】
Ａ    透明スピーカーモジュール
Ｂ    透明スピーカー
１    透明基板
１ａ  透明基材
１ｂ  透明導電層
２    透明絶縁膜
３    透明絶縁柱状構造物
４    透明振動板
５    支柱（フレーム）
６    透明基材（ガラス又はフィルム）
７    空間
８    フォトマスク
９    円形開口
【図１】
2019041260.tif 000010
【図２】
2019041260.tif 000011