(57)【要約】【課題】流路内に気体を適切に流し、排気孔から気体を排出させる際には気体の逆流を抑えることが可能な距離計測装置を提供する。【解決手段】本発明の距離計測装置は、照射部と撮影部とを収容する筐体の外壁面に、照射部から照射される光が透過する第一透過部と、撮影部によって撮影される光が透過する第二透過部と、を有する。また、筐体の外壁面の周りには、第一透過部及び第二透過部が形成された筐体の下面との間に気体を流すための流路を形成する流路形成部材が設けられている。流路形成部材において第一透過部に面する位置には第一排気孔が形成されており、第二透過部に面する位置には、第一排気孔よりも開口面積が広い第二排気孔が形成されている。流路は、第一排気孔と隣接する第一流路部分と、第一排気孔を逸れて第一流路部分を通過した気体を第二排気孔に向かって流すための第二流路部分と、を備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
照射部から被計測体に光を照射し、前記被計測体にて反射した光を撮影部によって撮影して、前記被計測体までの距離を計測する距離計測装置であって、
前記照射部と前記撮影部とを収容する筐体と、
前記筐体の外壁面に形成され、前記照射部から照射される光が透過する第一透過部と、
前記筐体の外壁面に形成され、前記撮影部によって撮影される光が透過する第二透過部と、
前記筐体の外壁面の周りに設けられ、前記筐体の外壁面のうち、前記第一透過部及び前記第二透過部が形成された面に沿って気体を流すための流路を形成する流路形成部材と、
前記流路形成部材において前記第一透過部に面する位置に形成された第一排気孔と、
前記流路形成部材において前記第二透過部に面する位置に形成され、前記第一排気孔よりも開口面積が広い第二排気孔と、を有し、
前記流路は、前記第一排気孔と隣接する第一流路部分と、前記第一排気孔を逸れて前記第一流路部分を通過した気体を前記第二排気孔に向かって流すための第二流路部分と、を備えることを特徴とする距離計測装置。
【請求項２】
前記流路において、前記第二流路部分は、前記第一流路部分よりも下流側に位置している請求項１に記載の距離計測装置。
【請求項３】
前記筐体の外壁面は、前記第一透過部及び前記第二透過部が形成された第一面と、前記第一面とは異なる第二面と、を備え、
前記流路形成部材に、前記流路内に気体を吹き込むための吹込み孔が設けられており、
前記流路は、
前記吹込み孔と連続しており前記第二面と隣接する第三流路部分と、
前記第三流路部分を通過した気体を流すための第四流路部分と、を備える、請求項１又は請求項２に記載の距離計測装置。
【請求項４】
前記吹込み孔は、前記流路形成部材のうち、前記第二面と対向する部分に設けられている、請求項３に記載の距離計測装置。
【請求項５】
前記流路形成部材は、前記第一排気孔及び前記第二排気孔が形成された底壁と、前記第一面と前記底壁との間の空間内において前記第一面に沿って配置された区画壁と、を備え、
前記区画壁により区画された前記流路のうち、前記第一面により近い部分が前記第四流路部分を構成し、前記底壁により近い部分が前記第一流路部分及び前記第二流路部分を構成し、
前記区画壁には、前記第一透過部及び前記第一排気孔と対向する位置に形成された第一貫通孔と、前記第二透過部及び前記第二排気孔と対向する位置に形成された第二貫通孔と、が設けられている、請求項３又は請求項４に記載の距離計測装置。
【請求項６】
前記第一面は、一方向に沿って長く延びた面であり、
前記第一排気孔及び前記第二排気孔は、前記第一面の長手方向において互いに異なる位置に設けられており、
前記第一排気孔は、前記長手方向において前記第二排気孔よりも前記吹込み孔から離れた位置に設けられている、請求項５に記載の距離計測装置。
【請求項７】
前記第四流路部分には、前記第四流路部分中の前記第二透過部及び前記第二貫通孔と隣接する隣接領域を取り囲み、前記隣接領域を前記第四流路部分中の前記隣接部分以外の領域から隔てる隔て部材が設けられている、請求項５又は請求項６に記載の距離計測装置。
【請求項８】
前記区画壁には、前記第一貫通孔と前記第二貫通孔との間の位置に、前記第四流路部分と前記第二流路部分とを連通させるために形成された連通部が設けられている、請求項５乃至請求項７のいずれか一項に記載の距離計測装置。
【請求項９】
前記連通部は、前記区画壁において前記第一貫通孔及び前記第二貫通孔の間に形成された貫通孔である、請求項８に記載の距離計測装置。
【請求項１０】
前記連通部の開口面積が前記第一貫通孔の開口面積よりも小さい、請求項９に記載の距離計測装置。
【請求項１１】
前記照射部が前記被計測体に向けてスリット状の光を照射し、
前記第一透過部及び前記第一排気孔は、前記スリット状の光が延びる方向に沿って長く形成されている、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の距離計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、距離計測装置に係り、照射部から被計測体に光を照射し、被計測体にて反射した光を撮影部によって撮影して、被計測体までの距離を計測する距離計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光切断法を用いて被計測体までの距離を計測する距離計測装置は、既に周知であり、例えば、被計測体の三次元形状を計測したり、あるいは被計測体の表面における疵の有無を検出したりする等の用途に用いられる。距離計測装置は、例えば、粉塵、埃及び水蒸気等の浮遊物が存在する環境下で用いられる場合がある。このような環境下で距離計測装置を利用すると、装置壁面に設けられた光透過部（照射光や反射光が透過する部分）に浮遊物が付着してしまう可能性がある。光透過部での浮遊物の付着は、距離計測の精度に影響を及ぼすため、光透過部での浮遊物付着を極力抑える必要がある。
【０００３】
光透過部での浮遊物付着を抑制する方法の一例としては、特許文献１に記載の技術が挙げられる。特許文献１に記載の技術（例えば、特許文献１の段落００４６及び図２参照）では、光透過部（厳密には、光線の発光面及びカメラの受光面）に向かってノズルからエアーを噴出することで、光透過部周辺の浮遊物をパージし、光透過部での粉塵付着を抑制する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２４４１６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載の技術では、光透過部の近傍にノズルの先端が配置されているため、ノズルから噴出されたエアーに粉塵が巻き込まれ、粉塵入りのエアーが光透過部に直接噴き付けられてしまい、これに起因して粉塵が光透過部に付着してしまう虞がある。このような事態を回避する方法としては、図１３に示すように、距離測定装置１００の筐体１０１の周りに流路形成部材１１０を配置し、筐体１０１の下面１０２に沿って気体を流す流路１１１を形成することが考えられる。図１３は、比較例に係る距離測定装置１００の構成を示す模式的な断面図である。
【０００６】
図１３に図示の距離測定装置１００では、筐体１０１の下面１０２に、筐体１０１内の照射部１０５が照射した光が透過する第一透過部１０３と、筐体１０１内の撮影部１０６が撮影する光（換言すると、被計測体にて反射された反射光）が透過する第二透過部１０４と、が設けられている。また、流路形成部材１１０において第一透過部１０３及び第二透過部１０４の夫々と面する箇所には、排気孔１１２、１１３が設けられている。ここで、第二透過部１０４と面する位置に設けられた排気孔１１３は、反射光を撮影部１０６まで導く等の理由から、第一透過部１０３と面する位置に設けられた排気孔１１２よりも開口面積が広くなるように形成されている。
【０００７】
このような構成の下で流路１１１に気体を流し、排気孔１１２、１１３から気体を排出する際には、流路１１１内に気体を層流状態で流し、それぞれの排気孔１１２、１１３から気体を緩やかに排出する必要がある。一方で、開口面積がより大きい排気孔１１３（すなわち、第二透過部１０４と面する排気孔１１３）では、気体が排出する際に、気体の逆流Ｔがより生じ易い。気体の逆流Ｔは、粉塵等の浮遊物を巻き込みながら第二透過部１０４に衝突する可能性があり、その場合には、流路１１１に気体を流す効果（浮遊物パージ効果）が適切に得られず、第二透過部１０４に浮遊物を付着させてしまう虞がある。
【０００８】
そこで、本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、流路内に気体を適切に流し、排気孔から気体を排出させる際には気体の逆流を抑えることが可能な距離計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明の距離計測装置は、照射部から被計測体に光を照射し、前記被計測体にて反射した光を撮影部によって撮影して、前記被計測体までの距離を計測する距離計測装置であって、前記照射部と前記撮影部とを収容する筐体と、前記筐体の外壁面に形成され、前記照射部から照射される光が透過する第一透過部と、前記筐体の外壁面に形成され、前記撮影部によって撮影される光が透過する第二透過部と、前記筐体の外壁面の周りに設けられ、前記筐体の外壁面のうち、前記第一透過部及び前記第二透過部が形成された面に沿って気体を流すための流路を形成する流路形成部材と、前記流路形成部材において前記第一透過部に面する位置に形成された第一排気孔と、前記流路形成部材において前記第二透過部に面する位置に形成され、前記第一排気孔よりも開口面積が広い第二排気孔と、を有し、前記流路は、前記第一排気孔と隣接する第一流路部分と、前記第一排気孔を逸れて前記第一流路部分を通過した気体を前記第二排気孔に向かって流すための第二流路部分と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
上記のように構成された本発明の距離計測装置では、流路形成部材において第一透過部に面する位置に第一排気孔が形成され、第二透過部に面する位置に第二排気孔が形成されている。また、第二排気孔の開口面積は、第一排気孔の開口面積よりも大きい。また、気体の流路には、第一排気孔と隣接する第一流路部分と、第一排気孔を逸れて第一流路部分を通過した気体を第二排気孔に向かって流すための第二流路部分と、が設けられている。つまり、第一流路部分を流れる気体は、第一排気孔から排出される分と、第二流路部分を流れる分と、に分かれ、第二流路部分を流れた気体が第二排気孔から排出される。このように、開口面積がより大きい第二排気孔から排出される気体が流路内を流れる距離（行程）を、より長くすることにより、気体の流れを整え（整流し）、第二排気孔から気体が勢いよく排出するのを抑えることができる。この結果、気流の逆流が生じ易い第二排気孔にて、気体の逆流を抑制することが可能となる。
以上までに説明してきた理由により、本発明の距離計測装置では、流路内での気体の流れを整えて（整流して）、第二透過部での浮遊物の付着を効果的に抑制することが可能となる。
【００１１】
また、上記の距離計測装置において、前記流路において、前記第二流路部分は、前記第一流路部分よりも下流側に位置していると、好適である。
上記の構成によれば、第二流路部分が第一流路部分よりも下流側に位置しているため、第二排気孔での気流の逆流を適切に抑えることが可能となる。
【００１２】
また、上記の距離計測装置において、前記筐体の外壁面は、前記第一透過部及び前記第二透過部が形成された第一面と、前記第一面とは異なる第二面と、を備え、前記流路形成部材に、前記流路内に気体を吹き込むための吹込み孔が設けられており、前記流路は、前記吹込み孔と連続しており前記第二面と隣接する第三流路部分と、前記第三流路部分を通過した気体を流すための第四流路部分と、を備えると、好適である。
かかる構成において、吹込み孔は、流路形成部材のうち、第二面と対向する部分に設けられていると、尚一層好適である。
上記の構成によれば、吹込み孔を通じて流路内に吹き込まれた気体は、先ず、筐体の外壁面のうち、第一透過部及び第二透過部が形成された面（第一面）とは異なる面（第二面）に衝突する。その後、気体は、流路中、第四流路部分を流れる。これにより、吹込み孔を通じて吹き込まれた気体が第一透過部及び第二透過部に直に吹き付けられるのを回避することが可能となる。この結果、微細な浮遊物を含んだ気体との衝突によって第一透過部及び第二透過部が傷付いてしまうのを抑えることが可能となる。
【００１３】
また、上記の距離計測装置において、前記流路形成部材は、前記第一排気孔及び前記第二排気孔が形成された底壁と、前記第一面と前記底壁との間の空間内において前記第一面に沿って配置された区画壁と、を備え、前記区画壁により区画された前記流路のうち、前記第一面により近い部分が前記第四流路部分を構成し、前記底壁により近い部分が前記第一流路部分及び前記第二流路部分を構成し、前記区画壁には、前記第一透過部及び前記第一排気孔と対向する位置に形成された第一貫通孔と、前記第二透過部及び前記第二排気孔と対向する位置に形成された第二貫通孔と、が設けられていると、好適である。
上記の構成によれば、流路が二層構造となるため、装置サイズの大型化を抑えつつ、気体の流れを整える（整流する）のに十分な長さの流路を確保することが可能となる。
【００１４】
また、上記の距離計測装置において、前記第一面は、一方向に沿って長く延びた面であり、前記第一排気孔及び前記第二排気孔は、前記第一面の長手方向において互いに異なる位置に設けられており、前記第一排気孔は、前記長手方向において前記第二排気孔よりも前記吹込み孔から離れた位置に設けられていると、好適である。
上記の構成によれば、第一排気孔が第二排気孔よりも吹込み孔から離れた位置に設けられている。このような位置関係であれば、吹込み孔から第二排気孔までの流路の長さをより長く確保することができる。この結果、第二排気孔での気体の流れを整える（整流する）ことが、より容易になる。
【００１５】
また、上記の距離計測装置において、前記第四流路部分には、前記第四流路部分中の前記第二透過部及び前記第二貫通孔と隣接する隣接領域を取り囲み、前記隣接領域を前記第四流路部分中の前記隣接部分以外の領域から隔てる隔て部材が設けられていると、好適である。
上記の構成によれば、第四流路部分のうち、第二透過部及び第二貫通孔と隣接する隣接領域が、その周囲の領域と隔てられている。このため、気体が第四流路部分を流れている間に、気体が第二貫通孔を通って第四流路部分から第二排気孔から直接排出されるのを回避することが可能となる。
【００１６】
また、上記の距離計測装置において、前記区画壁には、前記第一貫通孔と前記第二貫通孔との間の位置に、前記第四流路部分と前記第二流路部分とを連通させるために形成された連通部が設けられていると、好適である。
上記の構成によれば、第四流路部分を流れている気体の一部が、連通部を通じて第二流路部分に進入する。連通部を通じて第二流路部分を流れた気体は、第二排気孔に向かって流れたり、あるいは、第一排気孔に向かって流れたりする。これにより、第一排気孔から気体が勢いよく排出された場合であっても、第一排気孔での気体の逆流を抑えることが可能となる。
【００１７】
また、上記の距離計測装置において、前記連通部は、前記区画壁において前記第一貫通孔及び前記第二貫通孔の間に形成された貫通孔であると、好適である。
上記の構成によれば、連通部として貫通孔を第一貫通孔及び第二貫通孔の間のスペースを利用して形成することができ、連通部を容易に設けることが可能となる。
【００１８】
また、上記の距離計測装置において、前記連通部の開口面積が前記第一貫通孔の開口面積よりも小さいと、好適である。
上記の構成によれば、第一貫通孔を通過する気体の量が、連通部を通過する気体の量よりも少なくなる。すなわち、第四流路部分を流れている気体の大部分を第一貫通孔から第一流路部分に流し、一部の気体のみを連通部から第二流路部分に流す。これにより、第一排気孔での気体の逆流を抑えつつ、第一流路部分及び第二流路部分のそれぞれを流れる気体の量を確保することが可能となる。
【００１９】
また、上記の距離計測装置において、前記照射部が前記被計測体に向けてスリット状の光を照射し、前記第一透過部及び前記第一排気孔は、前記スリット状の光が延びる方向に沿って長く形成されていてもよい。
上記の構成では、照射部がスリット状の光を照射することに合わせて、第一透過部及び第一排気孔を適切な形状とすることが可能となる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、流路内での気体の流れを整えて（整流して）、第二透過部での浮遊物の付着を効果的に抑制することが可能となる。これにより、浮遊物が存在する環境下であっても、被計測体までの距離を精度よく計測することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係る距離計測装置の外観を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る距離計測装置による距離計測方法についての説明図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る距離計測装置が有する筐体、及び筐体に収容された照射部及び撮影部を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る距離計測装置が有する筐体の下面を示す図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る距離計測装置の構成を示す模式的な断面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ断面を矢視方向から見た図である。
【図７】図５のＢ−Ｂ断面を矢視方向から見た図である。
【図８】図５のＣ−Ｃ断面を矢視方向から見た図である。
【図９】流路内における気体の流れを示す図である。
【図１０】参考例に係る距離計測装置の構成を示す模式的な断面図である。
【図１１】本発明の変形例に係る距離計測装置が有する筐体の下面を示す図である。
【図１２】本発明の変形例に係る距離計測装置の構成を示す模式的な断面図である。
【図１３】比較例に係る距離測定装置の構成を示す模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の一実施形態（本実施形態）に係る距離計測装置の構成について、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明の好適な一実施形態ではあるものの、あくまでも一例に過ぎず、本発明を限定するものではない。すなわち、本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。
【００２３】
なお、以下では、特に断る場合を除き、距離計測装置を水平面上に載置した状態を想定し、かかる状態にあるときの装置各部の位置及び姿勢を説明することとする。
また、以下では、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸とし、それぞれの軸が延びる方向を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向と呼ぶこととする。また、説明の便宜上、Ｙ軸方向における一端側を「前側」と呼ぶこととし、Ｙ軸方向における他端側を「後側」と呼ぶこととする。
【００２４】
＜＜本実施形態に係る距離計測装置の概要＞＞
先ず、本実施形態に係る距離計測装置（以下、距離計測装置１）の概要について、図１〜図４を参照しながら説明する。図１は、距離計測装置１の外観を示す斜視図である。図２は、距離計測装置１による距離計測方法についての説明図である。図３は、距離計測装置１が有する筐体２、及び筐体２に収容された照射部３及び撮影部４を示す図である。図４は、筐体２の下面を示す図である。なお、図１、図３及び図４の各々には、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のうち、各図に図示可能な方向を矢印にて図示している。
【００２５】
距離計測装置１は、光切断法を用いて被計測体Ｗまでの距離を計測する装置であり、図１に図示の外観を有する。距離計測装置１は、図２及び図３に図示の照射部３及び撮影部４を有し、照射部３から被計測体Ｗに光を照射し、被計測体Ｗにて反射した光を撮影部４によって撮影して、被計測体Ｗまでの距離を計測する。
【００２６】
そして、距離計測装置１を用いて被計測体Ｗまでの距離を計測することにより、被計測体Ｗの表面の疵を検出することが可能となる。具体的に説明すると、照射部３は、公知のレーザー光照射デバイスからなり、図２に示すように、被計測体Ｗの表面に向けてスリット状の光を照射する。スリット状の光は、Ｘ軸方向に延びた光である。
【００２７】
撮影部４は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサ又はＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサからなり、被計測体Ｗの表面で反射した光を撮影する。撮影部４の撮影画像によれば、被計測体Ｗの表面に形成された凹凸Ｗｋ（例えば、疵等）に対応した光の入射角度（反射角度）の違いが検出され、三角測量の原理を適用することで入射角度の差を距離に換算することが可能である。そして、算出した距離に基づき、被計測体Ｗの表面における疵を検出する。
【００２８】
距離計測装置１は、粉塵や埃等の浮遊物が存在する環境下で利用可能な構造を採用している。具体的に説明すると、上述の照射部３及び撮影部４は、図３に示すように、箱状の筐体２内に収容されている。筐体２は、図４に図示の矩形状の下面５と、下面５の縁から略垂直に立ち上がった側面８と、を有する。ここで、筐体２の下面５は、筐体２の外壁面のうちの第一面に相当し、Ｙ軸方向（一方向に相当）に沿って長く延びた面である。また、筐体２の下面５の長手方向は、Ｙ軸方向と一致している。筐体２の側面８は、筐体２の外壁面のうちの第二面に相当し、第一面である下面５とは異なった面である。
【００２９】
また、筐体２の下面５には、図４に示すように、光が透過可能な光透過部が二つ形成されている。そのうちの一つは、照射部３から照射されるスリット状の光が透過する第一透過部６である。第一透過部６は、スリット状の光が延びる方向（すなわち、Ｘ軸方向）に沿って長く形成された横長矩形状の領域である。もう一つの光透過部は、撮影部４によって撮影される光（反射光）が透過する第二透過部７である。第二透過部７は、Ｙ軸方向において第一透過部６よりも長い矩形状の領域である。また、第二透過部７の面積は、第一透過部６の面積よりも広くなっている。また、第一透過部６及び第二透過部７は、Ｙ軸方向において間隔を空けて並んでおり、第一透過部６がより前側に形成され、第二透過部７がより後側に形成されている。
【００３０】
以上のように、本実施形態では、筐体２の下面５に第一透過部６及び第二透過部７を設けることで、筐体２の内と外との間での光の往来を許容しつつ、筐体２内への浮遊物の進入を阻止している。なお、第一透過部６及び第二透過部７は、筐体２の下面５に形成された開口と、この開口を塞ぐ透明ガラスの面（厳密には、ガラスの表面のうち、下方を向いた面）からなる。
【００３１】
しかし、筐体２の下面５に第一透過部６及び第二透過部７を設けたとしても、粉塵及び埃等の浮遊物が存在している環境に第一透過部６及び第二透過部７を晒したままの状態で距離計測装置１を使用すると、第一透過部６及び第二透過部７に浮遊物が付着してしまう。このような浮遊物の付着は、距離計測装置１による距離計測の精度に影響を及ぼす。
【００３２】
第一透過部６及び第二透過部７での浮遊物の付着を抑制する方策としては、第一透過部６及び第二透過部７の各々の周辺に除塵用の気体を流してパージすることが考えられる。ただし、第一透過部６及び第二透過部７の各々の周辺に除塵用の気体を流す際に、気体を第一透過部６及び第二透過部７に直に吹き付けると、その気体の流速が比較的に大きくなる場合がある。かかる場合、気体がその周囲にある粉塵及び埃等の浮遊物を巻き込んでしまい、浮遊物を含んだ気体が第一透過部６及び第二透過部７に衝突すると、第一透過部６及び第二透過部７を傷付けてしまう可能性がある。また、第一透過部６及び第二透過部７に傷が生じることで、浮遊物がその傷の内部に入り込んで第一透過部６及び第二透過部７に付着してしまうため、浮遊物の付着を助長することになる。
【００３３】
そこで、距離計測装置１では、図１に示すように、筐体２の周りに流路形成部材１０を設け、この流路形成部材１０が形成する流路内に気体を流し、その気体の流れを利用して第一透過部６及び第二透過部７の周辺を清澄化している。さらに、本実施形態では、第一透過部６及び第二透過部７の周辺での気体の流れを整える（整流する）ことにより、浮遊物を巻き込んだ気体と第一透過部６及び第二透過部７との衝突、及びこれに起因する不具合を解消している。
以下では、流路形成部材１０、及び流路形成部材１０が形成する気体の流路について詳細に説明することとする。
【００３４】
＜＜気体の流路について＞＞
次に、距離計測装置１に設けられた流路形成部材１０と、流路形成部材１０が形成する気体の流路について既出の図１、及び図５〜図８を参照しながら説明する。図５は、流路形成部材１０の構成を示す模式的な断面図であり、図１のＩ−Ｉ断面を示す図である。図６は、図５のＡ−Ａ断面を矢視方向から見た図である。図７は、図５のＢ−Ｂ断面を矢視方向から見た図である。図８は、図５のＣ−Ｃ断面を矢視方向から見た図である。なお、図５〜図８の各図には、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のうち、図示可能な方向を矢印にて図示している。また、図５及び図６では、筐体２内部の構造を簡略化して図示しており、照射部３及び撮影部４等の筐体２内に収容された機器の図示を省略している。
【００３５】
流路形成部材１０は、筐体２の下面５（第一透過部６及び第二透過部７が形成された面）に沿って気体を流すための流路Ｒを形成するものであり、アルミ板及び鋼板等の金属板を加工して形成された箱状体によって構成されている。本実施形態において、流路形成部材１０は、筐体２の外壁面の周りに設けられており、具体的には、図１に示すように筐体２の下側半分を包囲するように設けられている。
【００３６】
流路形成部材１０は、図１及び図５に示すように、底壁１１、側壁１２及び天井壁１３を有する。底壁１１は、流路形成部材１０が筐体２の外壁面の周りに取り付けられた状態では、図５に示すように筐体２の下面５に沿っている。底壁１１は、筐体２の下面５よりも一回りサイズが大きい矩形状の外形を有する。
【００３７】
また、図５に示すように、底壁１１には排気孔が二つ設けられている。一方の排気孔は、流路形成部材１０において第一透過部６に面する位置に形成された第一排気孔１６である。ここで、「第一透過部６に面する」とは、Ｚ軸方向において第一透過部６と重なる位置にあり、第一透過部６が第一排気孔１６に臨んでいる状態を意味する。第一排気孔１６は、その開口が第一透過部６と同一の面積及び形状となった矩形状の孔である。また、第一排気孔１６は、流路Ｒ内を流れた気体の排気孔であるとともに、照射部３が照射するスリット状の光を通過させるための孔でもある。このため、第一排気孔１６は、図８に示すように、スリット状の光が延びる方向（すなわち、Ｘ軸方向）に沿って長く形成されている。
【００３８】
もう一方の排気孔は、流路形成部材１０において第二透過部７に面する位置に形成された第二排気孔１７である。ここで、「第二透過部７に面する」とは、Ｚ軸方向において第二透過部７と重なる位置にあり、第二透過部７が第二排気孔１７に臨んでいる状態を意味する。第二排気孔１７は、矩形状の孔であり、その開口が第二透過部７と同じ形状であり、そのサイズ（開口面積）が第二透過部７と同一又は一回り以上大きくなっている。また、第二排気孔１７は、流路Ｒ内を流れた気体の排気孔であるとともに、撮影部４が撮影する光（反射光）を通過させるための孔でもある。このため、図８に示すように、第二排気孔１７の開口面積は、第一排気孔１６の開口面積よりも広くなっており、且つ、Ｙ軸方向における長さについても、第二排気孔１７の方が第一排気孔１６よりも長くなっている。
【００３９】
また、第一排気孔１６及び第二排気孔１７は、Ｙ軸方向（換言すると、筐体２の下面５の長手方向）において互いに異なる位置に設けられている。具体的に説明すると、第一排気孔１６及び第二排気孔１７は、図８に示すようにＹ軸方向において間隔を空けて並んでおり、第一排気孔１６がより前側に形成され、第二排気孔１７がより後側に形成されている。なお、第一排気孔１６と第二排気孔１７との間隔は、第一透過部６と第二透過部７との間隔と対応（厳密には、略一致）している。
【００４０】
側壁１２は、底壁１１の外縁から略垂直に立ち上がっており、流路形成部材１０が筐体２の外壁面の周りに取り付けられた状態では、筐体２の前後及び左右に配置されている。すなわち、４つの側壁１２の各々が筐体２の側面８のうち、対応する面と対向する位置に配置されている。また、図１及び図５から分かるように、流路形成部材１０が筐体２の外壁面の周りに取り付けられた状態では、各側壁１２の上端が筐体２の下面５よりも上方に位置している。
【００４１】
また、４つの側壁１２のうち、Ｙ軸方向において後側に位置する側壁１２（図５中、紙面において右側に図示された側壁１２）には、流路Ｒ内に気体を吹き込むための吹込み孔１５が設けられている。この吹込み孔１５は、丸穴であり、上記の側壁１２のうち、Ｙ軸方向において後側に位置する筐体２の側面８（図５中、紙面において右側に図示された側壁１２）と対向する部分に形成されている。また、吹込み孔１５は、図５に示すように、筐体２の下面５よりも上方位置に形成されている。さらに、吹込み孔１５は、Ｙ軸方向において第二排気孔１７よりも第一排気孔１６から離れている。換言すると、第一排気孔１６は、Ｙ軸方向において第二排気孔１７よりも吹込み孔１５から離れた位置に設けられている。
【００４２】
また、図１及び図５に示すように、上記の側壁１２には、内部が吹込み孔１５と連通しているノズル部１４が側壁１２の外側に突出した状態で設けられている。このノズル部１４には、ボンベ若しくはコンプレッサからなる不図示の気体供給源がチューブ等を介して接続されている。そして、気体供給源から気体が供給されると、ノズル部１４及び吹込み孔１５を通じて気体が流路Ｒ内に導入される。なお、供給する気体としては、空気、窒素及びその他の不活性ガスを圧縮させたものを利用することが可能である。
【００４３】
天井壁１３は、４つの側壁１２の各々の上端に載っており、その中央部分には矩形上の嵌合穴が形成されている。この嵌合穴には筐体２が嵌合する。そして、嵌合穴の縁面には筐体２の外壁面（具体的には側面８）が接合している。このような状態で流路形成部材１０が筐体２の外壁面の周りに取り付けられている。
【００４４】
また、流路形成部材１０は、筐体２の下面５と流路形成部材１０の底壁１１の間に、図５〜図７に図示の区画壁１８を有する。区画壁１８は、流路Ｒを区画するために筐体２の下面５に沿って配置された平面視で矩形状の壁材であり、その四辺は、それぞれ、対応する側壁１２の内壁面に接している。上記の区画壁１８が配置されることで、流路Ｒは、Ｚ軸方向において二層に分かれている。つまり、本実施形態に係る流路Ｒは、二層構造の流路となっている。
【００４５】
また、区画壁１８には、図７に示すように、３つの貫通孔が形成されている。一つ目の貫通孔は、図５に示すように、Ｚ軸方向において第一透過部６及び第一排気孔１６の双方と対向する位置に形成された第一貫通孔１９である。第一貫通孔１９は、その開口が第一透過部６と同一の面積及び形状となった矩形状の孔である。また、第一貫通孔１９は、第一透過部６を第一排気孔１６に臨ませると共に、照射部３が照射するスリット状の光を通過させるために形成された孔である。このため、第一貫通孔１９は、図７に示すように、スリット状の光が延びる方向（すなわち、Ｘ軸方向）に沿って長く形成されている。
【００４６】
二つ目の貫通孔は、図５に示すように、Ｚ軸方向において第二透過部７及び第二排気孔１７の双方と対向する位置に形成された第二貫通孔２０である。第二貫通孔２０は、矩形状の孔であり、その開口が第二透過部７及び第二排気孔１７と同じ形状である。第二貫通孔２０のサイズ（開口面積）は、第二透過部７のサイズ以上であり、且つ第二排気孔１７のサイズ以下である。また、第二貫通孔２０は、第二透過部７を第二排気孔１７に臨ませると共に、撮影部４が撮影する光（反射光）を通過させるために形成された孔である。このため、図７に示すように、第二貫通孔２０の開口面積は、第一貫通孔１９の開口面積よりも広くなっており、且つ、Ｙ軸方向における長さについても、第二貫通孔２０の方が第一貫通孔１９よりも長くなっている。
【００４７】
また、第一貫通孔１９及び第二貫通孔２０は、Ｙ軸方向（換言すると、筐体２の下面５の長手方向）において互いに異なる位置に設けられている。具体的に説明すると、第一貫通孔１９及び第二貫通孔２０は、図７に示すようにＹ軸方向において間隔を空けて並んでおり、第一貫通孔１９がより前側に形成され、第二貫通孔２０がより後側に形成されている。なお、第一貫通孔１９と第二貫通孔２０との間隔は、第一透過部６と第二透過部７との間隔と対応（厳密には、略一致）している。
【００４８】
なお、本実施形態では、第一透過部６と、第一排気孔１６及び第一貫通孔１９のそれぞれの開口と、が互いに同一形状及び同一サイズであり、且つ、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において互いに同一位置に設けられている。また、第二透過部７と、第二排気孔１７及び第二貫通孔２０のそれぞれの開口と、が互いに同一形状となっており、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において互いにほぼ同一位置に設けられている。ちなみに、第二貫通孔２０のサイズ（開口面積）については、第二透過部７のサイズ以上となっており、第二排気孔１７のサイズについては、第二貫通孔２０のサイズ以上となっている。
【００４９】
三つ目の貫通孔は、Ｙ軸方向において第一貫通孔１９と第二貫通孔２０との間の位置に形成された連通部２２である。連通部２２は、図７に示すように、二層構造である流路Ｒの上層と下層とを連通させるために形成された矩形状の貫通孔である。また、連通部２２は、第一貫通孔１９と同様にＸ軸方向に長く形成されているが、連通部２２の開口面積は、第一貫通孔１９の開口面積よりも小さくなっている。なお、本実施形態において、連通部２２は、図７に示すように、Ｘ軸方向における第一貫通孔１９の両端よりも内側に形成されている。
【００５０】
また、流路Ｒの上層において、第二貫通孔２０の縁周りには、図５及び図７に示すように、角筒状のシール材２１が配置されている。このシール材２１は、隔て部材に相当し、流路Ｒの上層（換言すると、後述の第四流路部分Ｒ４）中、第二透過部７及び第二貫通孔２０と隣接する隣接領域Ｒｘを隣接領域Ｒｘ以外の部分から隔てるものである。シール材２１は、ゴム等のシール用部材を角筒形状に成型することで構成されている。シール材２１は、隣接領域Ｒｘを取り囲む位置に配置されており、シール材２１の上端面が筐体２の下面５に接しており、シール材２１の下端面が区画壁１８の上面に接している。これにより、流路Ｒの上層において、隣接領域Ｒｘが、その周辺部分と完全に隔てられている。
なお、シール材２１の内側には、撮影部４が撮影する光（反射光）を通過させるために空洞が形成されており、この空洞は、図５に示すようにＺ軸方向に沿ってストレートに形成されており、その開口は、第二貫通孔２０の開口と同一形状且つ同一面積である。
【００５１】
以上までに流路形成部材１０の構成について説明してきたが、以下では、この流路形成部材１０によって形成される気体の流路Ｒについて説明する。
流路Ｒは、流路形成部材１０及び筐体２の外壁面によって囲まれている。流路Ｒは、図５に示すように、区画壁１８によって上層（筐体２の下面５に近い部分）と下層（流路形成部材１０の底壁１１に近い部分）に分かれている。流路Ｒの上層は、筐体２の下面５と側面８と、流路形成部材１０の側壁１２と天井壁１３、及び区画壁１８によって囲まれた空間によって構成されている。流路Ｒの下層は、流路形成部材１０の底壁１１、側壁１２及び区画壁１８によって囲まれた空間によって構成されている。
【００５２】
流路Ｒの下層は、図５に図示の第一流路部分Ｒ１及び第二流路部分Ｒ２を構成している。ここで、第一流路部分Ｒ１は、第一排気孔１６と隣接する部分であり、第一貫通孔１９を通過した気体がその直後に流れる流路部分である。第二流路部分Ｒ２は、第一排気孔１６を逸れて第一流路部分Ｒ１を通過した気体を第二排気孔１７に向かって流すための流路部分であり、第一流路部分Ｒ１よりも下流側に位置している。第一流路部分Ｒ１を流れる気体は、第一排気孔１６から流路Ｒの外に排出される分と、第二流路部分Ｒ２を流れて最終的に第二排気孔１７から流路Ｒの外に排出される分と、に分かれる。
【００５３】
流路Ｒの上層のうちの気体導入空間は、図５に図示の第三流路部分Ｒ３を構成している。ここで、気体導入空間とは、流路形成部材１０の側壁１２のうち、吹込み孔１５が設けられた側壁１２と、この側壁１２と対向する筐体２の側面８との間に設けられた空間である。第三流路部分Ｒ３は、吹込み孔１５と連続した流路部分である。吹込み孔１５から流路Ｒ内に導入された気体は、先ず、第三流路部分Ｒ３を流れる。
【００５４】
流路Ｒの上層のうちの気体導入空間以外の空間、より具体的には、流路形成部材１０の側壁１２と筐体２の側面８との間の空間（気体導入空間を除く）と、筐体２の下面５と区画壁１８との間の空間は、図５に図示の第四流路部分Ｒ４を構成している。第四流路部分Ｒ４は、流路Ｒ中、第三流路部分Ｒ３を通過した気体が流れる部分である。第四流路部分Ｒ４内を流れる気体は、第一貫通孔１９に向かって流れ、やがて第一貫通孔１９を通過して第一流路部分Ｒ１に進入する。一方、第四流路部分Ｒ４内には上述のシール材２１が配置されて隣接領域Ｒｘを囲っている。このため、図７に示すように、第四流路部分Ｒ４中、隣接領域Ｒｘ以外の領域内にある気体は、第二貫通孔２０を通過して第二排気孔１７から直接排気されることはない。
【００５５】
また、第一貫通孔１９の上流側（手前）には連通部２２が設けられており、第四流路部分Ｒ４内を流れる気体の一部は、連通部２２を通過して第二流路部分Ｒ２に進入するようになる。つまり、連通部２２は、第四流路部分Ｒ４と第二流路部分Ｒ２とを連通させるものである。
【００５６】
＜＜流路における気体の流れについて＞＞
次に、以上までに説明してきた流路Ｒにおける気体の流れについて、既出の図６〜図８及び図９を参照しながら詳しく説明する。図９は、流路内における気体の流れを示す図である。なお、図９では、同図に図示可能なＹ軸方向及びＺ軸方向を矢印にて示している。また、図６〜図９では、気体の流れを太線矢印にて図示している。
【００５７】
気体供給源から供給された気体は、ノズル部１４及び吹込み孔１５を通じて流路Ｒ内に吹き込まれる。流路Ｒ内に吹き込まれた気体は、図６に示すように、筐体２の外壁面のうち、吹込み孔１５と対向する位置にある側面８に衝突する。このように本実施形態では、第一透過部６及び第二透過部７が形成された筐体２の下面５に気体を直に当てることはなく、これにより、気体の衝突に起因して第一透過部６及び第二透過部７が傷付くのを抑制している。また、気体を筐体２の側面８に衝突させることで、気体の流れを緩やかにすることができる。
【００５８】
筐体２の側面８に衝突した気体は、その衝突により流速が抑えられた状態で第三流路部分Ｒ３を流れる。第三流路部分Ｒ３内の気体は、Ｘ軸方向外側に向かって第三流路部分Ｒ３内を流れ、第三流路部分Ｒ３のＸ軸方向端部に到達すると、第四流路部分Ｒ４に進入する。第四流路部分Ｒ４に進入した気体は、図６に示すように、Ｘ軸方向において筐体２の両端に位置する側面８に沿ってＹ軸方向前側に向かって第四流路部分Ｒ４を流れる。すなわち、第三流路部分Ｒ３内を流れた気体は、その後、筐体２の側方を筐体２の側面８に沿って第四流路部分Ｒ４内を流れる。第四流路部分Ｒ４を流れる気体は、やがて第四流路部分Ｒ４のＹ軸方向前端部にて、筐体２の下面５と区画壁１８との間の空間に入り込み、第一貫通孔１９に向かって（すなわち、図７で矢印Ｑ１にて示す向きに）第四流路部分Ｒ４内を流れる。
なお、第三流路部分Ｒ３を流れた気体の一部は、筐体２の側面８に沿って下降し、筐体２の下面５と区画壁１８との間の空間に入り込み、Ｙ軸方向前側に第一貫通孔１９に向かって（すなわち、図７で矢印Ｑ２にて示す向きに）第四流路部分Ｒ４内を流れる。
【００５９】
そして、第一貫通孔１９の手前位置に到達した気体は、その直後に、第一透過部６の直下位置を通過し、流れの向きを略９０度変えて第一貫通孔１９に向かって下降する。このとき、気体は、第一透過部６の周辺（特に、第一透過部６の直下位置）をパージし、第一透過部６の周辺への粉塵及び埃等の浮遊物の侵入を防止する。
【００６０】
第一貫通孔１９を通過した気体は、図９に示すように、流路Ｒ中の第一流路部分Ｒ１内を流れ、その後に一部の気体が第一排気孔１６から流路Ｒの外に排出される。このとき、気体は、それまでの間に十分な距離（行程）を流れており、流れが整えられた（整流された）状態で第一排気孔１６から排気される。第一排気孔１６から排出されなかった気体は、図９に示すように、再び流れの向きを略９０度変えて第二排気孔１７に向かって第二流路部分Ｒ２内を流れるようになる。ここで、第二流路部分Ｒ２は、Ｙ軸方向に沿っており、気体は、Ｙ軸方向後側に向かって第二流路部分Ｒ２内を流れる。すなわち、第一流路部分Ｒ１にて第一排気孔１６を逸れた気体は、Ｙ軸方向に折り返すように第二流路部分Ｒ２を流れる。
【００６１】
第二流路部分Ｒ２を流れる気体は、図８及び図９に示すように、第二流路部分Ｒ２の終端に位置する第二排気孔１７にて再度流れの向きを略９０度変えて第二排気孔１７から流路Ｒの外に排出される。このとき、気体は、第二透過部７周辺の空気（厳密には、隣接領域Ｒｘ内の空気）を巻き込みながら、第二排気孔１７から排出される。これにより、第二透過部７の周辺（特に、第二透過部７の直下位置）がパージされ、第二透過部７の周辺への粉塵及び埃等の浮遊物の侵入が防止される。
【００６２】
以上のように、本実施形態では、吹込み孔１５から流路Ｒ内に吹き込まれて最終的に第二排気孔１７から流路Ｒの外に排出される気体は、それまでの間に十分な距離（行程）を流れたうえで、第二排気孔１７から排出される。このため、第二流路部分Ｒ２を流れている時点での気体の流れは、十分に整えられる（整流される）ことになる。これにより、流路Ｒ内での気体の流れを整え（整流し）、開口面積がより広い第二排気孔１７から気体が勢いよく排出するのを抑えることができる。この結果、開口面積がより大きいために気流が逆流し易い第二排気孔１７にて、気体の逆流を抑制することが可能となる。
【００６３】
第二排気孔１７で気体の逆流が生じた場合には、『発明が解決しようとする課題』の項で説明したように、粉塵等の浮遊物を巻き込んだ空気が第二透過部７に接触して第二透過部７に浮遊物を付着させてしまう虞がある。本実施形態では、このような不具合を回避しつつ、流路Ｒ内に気体を適切に流すことが可能である。
【００６４】
また、上記の効果は、吹込み孔１５を第一排気孔１６及び第二排気孔１７との関係で好適な位置に設けることにより、より顕著に発揮される。具体的に説明すると、本実施形態では、前述したように、第一排気孔１６がＹ軸方向において第二排気孔１７よりも吹込み孔１５から離れた位置に設けられている。このような位置関係であれば、第一排気孔１６がＹ軸方向において第二排気孔１７よりも吹込み孔１５に近い位置に設けられた場合（例えば、図５中、左側の側壁１２に吹込み孔１５が形成された場合）に比べて、吹込み孔１５から第一排気孔１６まで気体が流れる行程がより長くなる。このため、吹込み孔１５から第二排気孔１７まで気体が流れる行程についても、より長くなる。この結果、第二排気孔１７での気体の流れを整える（整流する）ことがより容易になり、第二排気孔１７での気体の逆流、及びこれに伴う不具合を回避し易くなる。
【００６５】
流路Ｒ内における気体の流れについての説明に戻ると、図７及び図９に示すように、第四流路部分Ｒ４（厳密には、筐体２の下面５と区画壁１８との間の空間内）にある気体の一部は、第一貫通孔１９よりも上流側（Ｙ軸方向後側）に設けられた連通部２２を通過する。連通部２２を通過した気体は、第四流路部分Ｒ４から第二流路部分Ｒ２内に進入する。これにより、第一排気孔１６から気体が勢いよく排出された場合であっても、第一排気孔１６での気体の逆流を抑えることが可能となる。
【００６６】
具体的に説明すると、第一排気孔１６から気体が勢いよく排出された場合、第一排気孔１６周辺の空気が吸い込まれる。このとき、距離計測装置１の外側にある空気が吸い込まれると、第一排気孔１６にて気体（空気）の逆流が生じ、上述した不具合と同様の不具合、すなわち、粉塵等の浮遊物を巻き込んだ気体が第一透過部６に接触して第一透過部６に浮遊物を付着させてしまう不具合が生じる虞がある。
これに対して、本実施形態では、第一排気孔１６から気体が勢いよく排出されたとき、図５に示すように、連通部２２を通過して第二流路部分Ｒ２に進入した気体（図５中の迂回気流Ｖ）が吸い込まれるようになる。これにより、距離計測装置１の外側にある空気を吸い込むことがなく、第一排気孔１６での気体（空気）の逆流の発生、及び、これに起因した上述の不具合を回避することが可能である。
【００６７】
また、連通部２２によって気体を第四流路部分Ｒ４から第二流路部分Ｒ２に進入させることで、第一流路部分Ｒ１を経由して第二流路部分Ｒ２を流れる気体の流量が少ない場合であっても、第二流路部分Ｒ２を第二排気孔１７に向かって流れる気体の量（総量）を確保することが可能となる。
【００６８】
また、本実施形態では、区画壁１８によって流路Ｒを上下層に区画し、それぞれの層が流路Ｒを構成していることとした。すなわち、本実施形態に係る流路Ｒは、折り返しを有する二層構造の流路であり、よりコンパクトな流路を構成している。
より具体的に説明すると、気体の流れを整流することが可能な構成としては、図１０に図示のように、折り返しがない単層構造の流路Ｒも考えられる。図１０は、参考例に係る距離計測装置１Ｘの構成を示す模式的な断面図である。
なお、図１０に図示の距離計測装置１Ｘは、流路Ｒが二層構造でない点を除き、本実施形態に係る距離計測装置１（すなわち、図５に図示の距離計測装置１）と共通しており、同一の機能を有する部品については、図５に図示の符号と同一の符号を付している。
【００６９】
図１０に図示の距離計測装置１Ｘを用いる場合、第一排気孔１６及び第二排気孔１７での気体の流れを整える（整流する）には、吹込み孔１５から第一排気孔１６までの距離（図１０において記号Ｌが付された距離）を十分に確保する必要がある。すなわち、折り返しがない分、流路形成部材１０の長さをＹ軸方向においてより長くすることになる。
これに対して、図５に図示した本実施形態の距離計測装置１であれば、流路Ｒが折り返されているので、図１０に図示の距離計測装置１Ｘと同じ長さの流路Ｒを確保しつつも、Ｙ軸方向において流路形成部材１０のサイズを短くすることができる。つまり、図５に図示の距離計測装置１であれば、装置サイズの大型化を抑えつつ、気体の流れを整える（整流する）のに十分な長さの流路Ｒを確保することが可能である。
【００７０】
＜＜その他の実施形態＞＞
以上までに説明してきた実施形態は、本発明の距離計測装置の構成についての一例に過ぎず、他の例も考えられる。例えば、上述の実施形態では、筐体２の下面５が図４に示すように矩形形状であることとしたが、これに限定されるものではない。筐体２の下面５の外形形状は、筐体２内に収容される照射部３及び撮影部４等の台数、サイズ並びに配置位置等に応じて変わり得るものであり、例えば、照射部３がＸ軸方向に複数台配置される場合には、下面５の外形形状を図１１に示すようにＴ字形状としてもよい。図１１は、本発明の変形例に係る距離計測装置が有する筐体２の下面５を示す図である。
【００７１】
また、上述の実施形態では、第四流路部分Ｒ４を流れる気体を第二流路部分Ｒ２に迂回させるために、区画壁１８に、連通部２２としての貫通孔を設けることとした。ただし、連通部２２は、貫通孔に限定されるものではなく、例えば、区画壁１８の外縁部の一部分を半円状又はＶ字状に切り欠くことで形成された切り欠きであってもよい。
【００７２】
また、上述の実施形態では、流路形成部材１０のうち、筐体２の側面８に対向する部分（具体的には、側壁１２）に吹込み孔１５が設けられており、吹込み孔１５を通じて気体が側方から吹き込まれることとした。ただし、これに限定されるものではなく、図１２に示すように、流路形成部材１０の天井壁１３において筐体２の側面８と隣り合う部分に吹込み孔１５が形成され、この吹込み孔１５を通じて気体が垂直に吹き込まれてもよい。なお、図１２は、本発明の変形例に係る距離計測装置の構成を示す模式的な断面図であり、図５に対応する図である。
また、特に図示はしないが、図５及び図１２の紙面において手前側に位置する側壁１２に吹込み孔１５が設けられており、その吹込み孔１５を通じて、図５及び図１２の紙面を貫く方向に気体が吹き込まれてもよい。
【００７３】
また、上述の実施形態では、粉塵等の浮遊物が存在している環境下で距離を計測する目的で距離計測装置１を用いることとしたが、これに限定されるものではなく、当然ながら、粉塵等が存在していないクリーンな環境下で距離を計測する場合にも、本発明の距離計測装置は利用可能である。ただし、粉塵等の浮遊物が存在している環境下で距離を計測する場合には、距離計測装置１の効果がより有意義に発揮されることになる。
【００７４】
また、上記の実施形態では、光切断法を用いて被計測体Ｗまでの距離を計測する方式の距離計測装置を例に挙げて説明したが、光の照射及び撮影により被計測体Ｗまでの距離を計測するものであればよく、光切断法以外の計測方式を採用した装置（光波測距儀）にも本発明は適用可能である。
【符号の説明】
【００７５】
１  距離計測装置
１Ｘ  距離計測装置
２  筐体
３  照射部
４  撮影部
５  下面（第一面）
６  第一透過部
７  第二透過部
８  側面（第二面）
１０  流路形成部材
１１  底壁
１２  側壁
１３  天井壁
１４  ノズル部
１５  吹込み孔
１６  第一排気孔
１７  第二排気孔
１８  区画壁
１９  第一貫通孔
２０  第二貫通孔
２１  シール材（隔て部材）
２２  連通部
１００  距離測定装置
１０１  筐体
１０２  下面
１０３  第一透過部
１０４  第二透過部
１０５  照射部
１０６  撮影部
１１１  流路
１１２，１１３  排気孔
Ｒ  流路
Ｒ１  第一流路部分
Ｒ２  第二流路部分
Ｒ３  第三流路部分
Ｒ４  第四流路部分
Ｒｘ  隣接領域
Ｔ  気流の逆流
Ｖ  迂回気流
Ｗ  被計測体
Ｗｋ  凹凸
【図１】
2019163974.tif 000003
【図２】
2019163974.tif 000004
【図３】
2019163974.tif 000005
【図４】
2019163974.tif 000006
【図５】
2019163974.tif 000007
【図６】
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【図７】
2019163974.tif 000009
【図８】
2019163974.tif 000010
【図９】
2019163974.tif 000011
【図１０】
2019163974.tif 000012
【図１１】
2019163974.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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