(57)【要約】【課題】フィードスルーの絶縁部材に生じる亀裂を低減できるイメージセンサ装置及び撮像装置を提供する。【解決手段】イメージセンサ装置は、入射光像を電気的な画像信号に変換するイメージセンサ素子と、イメージセンサ素子を気密に収容する容器と、を備える。容器は、イメージセンサ素子と対向して配置され入射光像を透過する光入射窓と、容器の一部を構成する絶縁部材、及び絶縁部材を貫通し所定方向に並ぶ板状の複数の導体を含み、容器の内部と外部とを電気的に導通させるフィードスルーと、を有する。フィードスルーは、絶縁部材の外側に位置する各導体の一部を覆うとともに絶縁部材に固着し、絶縁部材よりも変形し易い変形緩和材を更に含む。【選択図】図２
2019041172.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光像を電気的な画像信号に変換するイメージセンサ素子と、
前記イメージセンサ素子を気密に収容する容器と、を備え、
前記容器は、
前記イメージセンサ素子と対向して配置され前記入射光像を透過する光入射窓と、
前記容器の一部を構成する絶縁部材、及び前記絶縁部材を貫通し所定方向に並ぶ板状の複数の導体を含み、前記容器の内部と外部とを電気的に導通させるフィードスルーと、
を有し、
前記フィードスルーは、前記絶縁部材の外側に位置する各導体の一部を覆うとともに前記絶縁部材に固着し、前記絶縁部材よりも変形し易い変形緩和材を更に含む、イメージセンサ装置。
【請求項２】
前記絶縁部材はガラス及びセラミックの少なくとも一方を含み、
前記変形緩和材は樹脂を含む、請求項１に記載のイメージセンサ装置。
【請求項３】
前記変形緩和材は絶縁性である、請求項１または２に記載のイメージセンサ装置。
【請求項４】
前記絶縁部材は、前記容器の外側面に形成された凹部の底面を構成し、
前記変形緩和材の少なくとも一部は前記凹部を埋め込んでいる、請求項１〜３のいずれか一項に記載のイメージセンサ装置。
【請求項５】
前記複数の導体の断面形状が長方形である、請求項１〜４のいずれか一項に記載のイメージセンサ装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載のイメージセンサ装置と、
前記容器の外部に位置する前記複数の導体の端部と電気的に接続された基板と、
前記基板から得られる信号を画像信号に変換する信号処理部と、
を備える、撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イメージセンサ装置及び撮像装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、近赤外域に受光感度を持つ化合物半導体からなる受光素子が複数配列された受光素子アレイ及び当該受光素子アレイを有する検出装置が記載されている。この文献には、受光素子のノイズ電流（暗電流）を抑えるために、例えば−４０℃〜液体窒素温度（−１９６℃）で使用することが記載されている。このように赤外イメージセンサといったイメージセンサ装置においては、イメージセンサ素子（例えば受光素子）を冷却して使用するために、気密に封止された容器内にイメージセンサ素子が収容され、イメージセンサ素子と大気との接触が遮断される。容器内は、真空状態とされるか、もしくは不活性ガスが封入される。このような気密容器の内部と外部との電気的な導通を図るために、フィードスルーが設けられる。フィードスルーは、容器の一部を構成する絶縁部材と、該絶縁部材を貫通し電気信号を伝達する導体とを有する。従来のフィードスルーでは、板状の複数の導体が所定方向に並んで配置され、且つ各導体の板面が或る架空平面に沿って面一に並ぶ。これにより、容器の外部に設けられた配線基板と複数の導体との導電接着が容易となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−９６９２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、容器の外部に設けられた配線基板とフィードスルーの複数の導体とを導電性接着剤によって固着する際、導体に力が加わり、絶縁部材の導体貫通用の孔付近に応力が発生する。或いは、複数の導体と配線基板とが固着された後の配線基板への外力によっても、導体を介して絶縁部材に同様の応力が発生する。このような応力によって絶縁部材に亀裂が生じ、容器の気密状態を維持できなくなる虞がある。
【０００５】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、イメージセンサを実装する際のパッケージのフィードスルーの絶縁部材に生じる亀裂を低減できるイメージセンサ装置及び撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するために、一実施形態に係るイメージセンサ装置は、入射光像を電気的な画像信号に変換するイメージセンサ素子と、イメージセンサ素子を気密に収容する容器と、を備える。容器は、イメージセンサ素子と対向して配置され入射光像を透過する光入射窓と、容器の一部を構成する絶縁部材、及び絶縁部材を貫通し所定方向に並ぶ板状の複数の導体を含み、容器の内部と外部とを電気的に導通させるフィードスルーと、を有する。フィードスルーは、絶縁部材の外側に位置する各導体の一部を覆うとともに絶縁部材に固着した変形緩和材を更に含む。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によるイメージセンサ装置及び撮像装置によれば、フィードスルーの絶縁部材に生じる亀裂を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、一実施形態による撮像装置の構成を概略的に示すブロック図である。
【図２】図２は、一実施形態によるイメージセンサ装置の外観を示す斜視図である。
【図３】図３は、イメージセンサ装置の正面図である。
【図４】図４は、図２のIV−IV線に沿ったイメージセンサ装置の部分断面図である。
【図５】図５は、マウント及びイメージセンサ素子の周辺構造を概略的に示す断面図である。
【図６】図６（ａ）は、フィードスルー及びその周辺構造を拡大して示す斜視図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）の部分拡大図である。
【図７】図７は、フィードスルーの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。
【図８】図８は、第１変形例に係るイメージセンサ装置のフィードスルーの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。
【図９】図９は、第２変形例に係るイメージセンサ装置のフィードスルーの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。
【図１０】図１０は、第３変形例に係るイメージセンサ装置のフィードスルーの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。
【図１１】図１１は、第４変形例に係るイメージセンサ装置のフィードスルーの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。
【図１２】図１２は、第５変形例に係るイメージセンサ装置のフィードスルーの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。
【図１３】図１３は、第５変形例の別の例に係るフィードスルーの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。
【図１４】図１４（ａ）は、第６変形例に係るイメージセンサ装置のフィードスルー及びその周辺構造を拡大して示す斜視図である。図１４（ｂ）は、フィードスルーを部分的に拡大して示す側面図である。
【図１５】図１５（ａ）は、比較例に係るイメージセンサ装置のフィードスルー及びその周辺構造を拡大して示す斜視図である。図１５（ｂ）は、図１５（ａ）の部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［本発明の実施形態の説明］
最初に、本発明の実施形態の内容を列記して説明する。一実施形態に係るイメージセンサ装置は、入射光像を電気的な画像信号に変換するイメージセンサ素子と、イメージセンサ素子を気密に収容する容器と、を備える。容器は、イメージセンサ素子と対向して配置され入射光像を透過する光入射窓と、容器の一部を構成する絶縁部材、及び絶縁部材を貫通し所定方向に並ぶ板状の複数の導体を含み、容器の内部と外部とを電気的に導通させるフィードスルーと、を有する。フィードスルーは、絶縁部材の外側に位置する各導体の一部を覆うとともに絶縁部材に固着し、絶縁部材よりも変形し易い変形緩和材を更に含む。
【００１０】
このイメージセンサ装置では、絶縁部材の外側に位置する各導体の一部が、絶縁部材よりも変形し易い変形緩和材によって覆われている。そして、変形緩和材は、絶縁部材に固着している。従って、導体に力が加わった場合に、応力を変形緩和材が受け、該応力を絶縁部材に分散して伝える。従って、絶縁部材に生じる局所的な応力を抑制し、絶縁部材の亀裂を低減できる。
【００１１】
上記のイメージセンサ装置において、絶縁部材はガラス及びセラミックの少なくとも一方を含み、変形緩和材は樹脂を含んでもよい。例えばこれらのような構成材料によって、変形緩和材を絶縁部材よりも変形し易くすることができる。
【００１２】
上記のイメージセンサ装置において、変形緩和材は絶縁性であってもよい。これにより、隣り合う導体間の絶縁状態を容易に維持することができる。
【００１３】
上記のイメージセンサ装置において、絶縁部材は、容器の外側面に形成された凹部の底面を構成し、変形緩和材の少なくとも一部は凹部を埋め込んでもよい。これにより、絶縁部材と変形緩和材との固着強度が増し、導体の曲げによる絶縁部材からの変形緩和材の剥離を低減できるので、イメージセンサ装置の信頼性を向上できる。また、変形緩和材の移動を絶縁部材の凹部によって抑えることができるので、導体に力が加わった際の導体の曲げを抑制できる。
【００１４】
上記のイメージセンサ装置において、複数の導体の断面形状は長方形であってもよい。このような場合、長方形の角部に位置する絶縁部材に応力が集中しやすく亀裂が生じ易いので、上記のイメージセンサ装置が特に有効である。
【００１５】
一実施形態に係る撮像装置は、上記いずれかのイメージセンサ装置と、容器の外部に位置する複数の導体の端部と電気的に接続された基板と、基板から得られる信号を画像信号に変換する信号処理部と、を備える。この撮像装置によれば、上記いずれかのイメージセンサ装置を備えることにより、絶縁部材に生じる亀裂を低減できる。
【００１６】
［本発明の実施形態の詳細］
本発明の実施形態に係るイメージセンサ装置及び撮像装置の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。以下の説明では、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１７】
図１は、一実施形態による撮像装置１Ａの構成を概略的に示すブロック図である。図１に示されるように、本実施形態の撮像装置１Ａは、レンズ３と、制御ＩＣを内蔵するイメージセンサ装置１０と、制御基板４と、コントローラ５と、信号処理部６と、信号記憶部７と、画像表示部８とを備える。イメージセンサ装置１０は、入射光像Ｌａを電気的な画像信号Ｓａに変換するイメージセンサ素子と、イメージセンサ素子の動作を制御する制御ＩＣ（Integrated Circuit）と、イメージセンサ素子及び制御ＩＣを気密に収容する容器と、を備える。レンズ３は、集光レンズであって、イメージセンサ素子と対向して配置される。レンズ３は、イメージセンサ素子に入射光像Ｌａを結像させる。入射光像Ｌａは赤外光像であり、その波長域は例えば０．７μｍ〜１０００μｍである。
【００１８】
制御基板４は、イメージセンサ装置１０と電気的に接続され、イメージセンサ素子から出力された画像信号Ｓａを信号処理部６へ送る。制御基板４は、配線基板と、配線基板上に実装された電子部品とを有する。また、制御基板４は、コントローラ５からの制御信号Ｓｃを受けて、信号処理部６への画像信号Ｓａの送信を制御する。信号処理部６は、制御基板４から受けた画像信号Ｓａを画像データＤａに変換する。コントローラ５及び信号処理部６は、例えば、多数の論理回路が集積された大規模集積回路、或いは、ＣＰＵ及びメモリを有し所定のプログラムによって動作するコンピュータによって構成される。信号記憶部７は、制御基板４から出力された画像信号Ｓａ、及び信号処理部６において生成された画像データＤａのうち少なくとも一方を保存する。画像表示部８は、画像データＤａを信号処理部６から受け、表示画面に表示する。
【００１９】
図２は、一実施形態によるイメージセンサ装置１０の外観を示す斜視図である。図３は、イメージセンサ装置１０の正面図である。図４は、図２のIV−IV線に沿ったイメージセンサ装置１０の部分断面図である。図２〜図４に示されるように、本実施形態のイメージセンサ装置１０は、本体部１１及び小型冷却機１２を備える。本体部１１は、光入射窓１３（図２では図示を省略）、気密封止筐体１４、ヘッド１５、マウント１６、イメージセンサ素子１７、枠部１８、及びフィードスルー２０Ａを有する。光入射窓１３、気密封止筐体１４、枠部１８、及びフィードスルー２０Ａは、イメージセンサ素子１７を収容する容器１１ａを構成する。
【００２０】
光入射窓１３は、入射光像Ｌａを透過する板状の部材である。光入射窓１３は、後述するイメージセンサ素子１７と対向して配置されている。光入射窓１３の構成材料は、入射光像Ｌａの波長に応じて決定される。例えば、入射光像Ｌａの波長が１．２μｍ〜６μｍである場合、光入射窓１３の構成材料としてはシリコンが選択される。入射光像Ｌａの入射方向から見た光入射窓１３の形状は円形である。光入射窓１３の周縁部には、光入射窓１３を保持するための円環状の枠部１８が取り付けられている。枠部１８は、例えば金属製である。枠部１８と光入射窓１３とは、気密を維持するように互いに密着している。
【００２１】
気密封止筐体１４は、或る方向Ａ１に沿って延びる略円筒状の外観を有する。気密封止筐体１４の構成材料は、例えばステンレスといった金属である。気密封止筐体１４の外周面は、本体部１１の外周面を構成する。方向Ａ１における気密封止筐体１４の一端には、光入射窓１３を保持する枠部１８が気密に固定されている。これにより、方向Ａ１における気密封止筐体１４の開口が、光入射窓１３によって閉じられる。方向Ａ１は、光入射窓１３の厚さ方向と一致する。すなわち、方向Ａ１は、入射光像Ｌａの入射方向と一致する。
【００２２】
より具体的には、気密封止筐体１４は、円環状の第１部材１４ａ、円環状の第２部材１４ｂ、及び略円筒状の第３部材１４ｃを含んで構成されている。第１部材１４ａ及び第２部材１４ｂは、方向Ａ１において第３部材１４ｃと枠部１８との間に並んで配置されている。第１部材１４ａ、第２部材１４ｂ及び第３部材１４ｃは、方向Ａ１から見て互いに重なっている。すなわち、第１部材１４ａ、第２部材１４ｂ及び第３部材１４ｃの各内部空間は、方向Ａ１に沿って連通している。枠部１８は、例えばボルトといった締結部材１９ａによって第１部材１４ａの一端面に固定されている。枠部１８と第１部材１４ａとの隙間は、気密に封止されている。第３部材１４ｃの一端面は、例えばボルトといった締結部材１９ｂによって第２部材１４ｂの一端面に固定されている。第２部材１４ｂと第３部材１４ｃとの隙間は、気密に封止されている。第３部材１４ｃの他端面は、例えばボルトといった締結部材１９ｃによって小型冷却機１２に固定されている。第３部材１４ｃと小型冷却機１２との隙間は、気密に封止されている。第１部材１４ａの他端面と第２部材１４ｂの他端面との間には、フィードスルー２０Ａが挟持されている。言い換えれば、第１部材１４ａと第２部材１４ｂとは、フィードスルー２０Ａを介して互いに接合され、一体化されている。
【００２３】
第３部材１４ｃの外側面からは、真空引き用の一つのチューブ１４ｄが突出している。チューブ１４ｄは気密封止筐体の内部空間に通じている。チューブ１４ｄを介して気密封止筐体１４の内部が真空引きされたのち（若しくは不活性ガスが充填されたのち）、チューブ１４ｄの先端は気密に封じられる。
【００２４】
ヘッド１５は、気密封止筐体１４の内部に設けられた、方向Ａ１に沿って延びる略円筒状の金属製の部材である。ヘッド１５の外周面は、気密封止筐体１４の内周面と空隙を介して対向している。この空隙は、真空状態に維持されるか、不活性ガスが充填されている。方向Ａ１におけるヘッド１５の一端は閉じられており、他端は小型冷却機１２に固定されている。他端側の開口には、小型冷却機１２のピストン３１が挿入される。ヘッド１５の内部には空間３２が設けられており、方向Ａ１に沿ったピストン３１の往復動作によって、空間３２の容積が増加と減少とを繰り返す。空間３２にはヘリウムガスが封入されており、空間３２の容積の変化に伴い、ヘッド１５の温度が低下する。方向Ａ１におけるヘッド１５の一端は方向Ａ１と交差する平坦面となっており、該平坦面上にマウント１６が設けられる。
【００２５】
マウント１６は、イメージセンサ素子１７を搭載する板状の部材である。マウント１６は、方向Ａ１から見て四角形状を呈している。マウント１６の一方の板面はヘッド１５の平坦面に接合されており、他方の板面はイメージセンサ素子１７を収容するための凹部を成している。マウント１６の構成材料は、例えば窒化アルミニウムといったセラミックスである。マウント１６は、イメージセンサ素子１７をヘッド１５に固定するとともに、イメージセンサ素子１７とヘッド１５とを熱的に結合する。
【００２６】
イメージセンサ素子１７は、入射光像Ｌａを電気的な画像信号Ｓａに変換する半導体素子である。イメージセンサ素子１７は、例えばインジウムガリウム砒素（ＩｎＧａＡｓ）といった半導体材料によって主に構成され、波長が０．９μｍ〜１．７μｍに感度を有する赤外センサアレイである。イメージセンサ素子１７は、光入射窓１３、気密封止筐体１４、ヘッド１５、枠部１８、及びフィードスルー２０Ａによって構成される容器１１ａ内に気密に収容されている。方向Ａ１から見たイメージセンサ素子１７の平面形状は例えば四角形であり、マウント１６の平面形状の相似形である。
【００２７】
図５は、マウント１６及びイメージセンサ素子１７の周辺構造を概略的に示す断面図である。図５に示されるように、マウント１６は、ヘッド１５と対向する裏面１６ａと、裏面１６ａの反対側に設けられた搭載面１６ｂとを有する。搭載面１６ｂは、凹部の底面を構成している。搭載面１６ｂ上には制御ＩＣ３３が実装されており、更にその上にイメージセンサ素子１７が実装されている。制御ＩＣ３３は、例えば銀ペーストといった導電性接着剤３４を介して搭載面１６ｂに固定されている。イメージセンサ素子１７は、光入射面とは反対側の裏面に設けられた複数のバンプ電極３５を介して、制御ＩＣ３３と電気的に接続されている。制御基板４との間で信号を授受するための制御ＩＣ３３の複数の端子は、マウント１６上に設けられた複数の端子にそれぞれボンディングワイヤで接続され、更にその端子からフィードスルーへもボンディングワイヤで接続されている。マウント１６上の複数の端子は、マウント１６の凹部内からマウント１６の縁へ延びている。
【００２８】
ここで、フィードスルー２０Ａの詳細な構造について説明する。図６（ａ）は、フィードスルー２０Ａ及びその周辺構造を拡大して示す斜視図である。同図において光入射窓１３及び枠部１８の図示は省略されている。図６（ｂ）は、図６（ａ）のＢ部の拡大図である。また、図７は、フィードスルー２０Ａの外側面付近の構成を拡大して示す、方向Ａ１に沿った断面図である。
【００２９】
フィードスルー２０Ａは、容器１１ａの内部に設けられた制御ＩＣ３３と、容器１１ａの外部に設けられた制御基板４とを電気的に導通させるための構造体である。フィードスルー２０Ａは、絶縁部材２１と、複数の導体２２と、変形緩和材２３Ａとを有する。絶縁部材２１は、気密封止筐体１４の第１部材１４ａ及び第２部材１４ｂと共通の中心軸線を有する円環状の部材であって、イメージセンサ素子１７を収容する容器１１ａの一部を構成する。絶縁部材２１は、容器１１ａの内側を向く内側面２１ａと、容器１１ａの外側を向く外側面２１ｂ（図７を参照）とを有し、容器１１ａの内部と外部とを仕切る。絶縁部材２１の材料としては、電気絶縁性及び気密性の観点から、例えばガラス或いはセラミックといった絶縁材料が用いられる。これらの材料は、フィードスルー２０Ａに求められる耐圧性能や耐熱性能に応じて選択される。本実施形態の絶縁部材２１は、ガラス及びセラミックの少なくとも一方を主に含む。
【００３０】
複数の導体２２は、例えばステンレスといった金属（若しくは、高い硬度が必要な場合には合金）に例えば金メッキされた導電性の部材である。複数の導体２２は、板状であり、絶縁部材２１の内側面２１ａと外側面２１ｂとの間を貫通している。また、複数の導体２２は、絶縁部材２１の周方向（本実施形態における所定方向）に一列に並んでいる。該周方向において、複数の導体２２の間隔は均一である。また、該周方向において、複数の導体２２は全周にわたって配置されている。複数の導体２２の両端のうち、容器１１ａの内部に位置する一端は、ボンディングワイヤを介してマウント１６上の複数の端子とそれぞれ電気的に接続されている。容器１１ａの外部に位置する他端は、例えば半田等の導電性接着剤を介して制御基板４に導電接合される。なお、制御基板４は、円形の開口を有しており、本体部１１が該開口に挿入される形で複数の導体２２と接している。
【００３１】
導体２２は、外側面２１ｂと交差する方向を長手方向とする板状を呈しており、互いに対向する一対の板面を有している。一対の板面は互いに平行である。導体２２の一対の板面は、絶縁部材２１の周方向（複数の導体２２の並び方向）に沿っている。そして、複数の導体２２のうち容器１１ａの内側に位置する部分は、絶縁部材２１の周方向に沿って並んで配置されている。容器１１ａの内側において、導体２２の板面は或る仮想平面に沿って面一に並んでいる。複数の導体２２のうち容器１１ａの外側に位置する部分もまた、絶縁部材２１の周方向に沿って並んで配置されている。容器１１ａの外側において、導体２２の板面は該仮想平面に沿って面一に並んでいる。
【００３２】
図７に示されるように、絶縁部材２１の外側面２１ｂは、第１部材１４ａの外側面１４ｅ、及び第２部材１４ｂの外側面１４ｆに対して、内側面２１ａ側に位置している。従って、絶縁部材２１の外側面２１ｂは、第１部材１４ａの端面１４ｇ、第２部材１４ｂの端面１４ｈ、及び外側面２１ｂによって容器１１ａの外側面に形成される凹部の底面を構成している。端面１４ｇ及び１４ｈは方向Ａ１において互いに対向している。本実施形態では、端面１４ｇ及び１４ｈは方向Ａ１に垂直な平面に沿っており、外側面２１ｂに対して垂直であり且つ互いに平行である。
【００３３】
変形緩和材２３Ａは、絶縁部材２１の外側面２１ｂ上に設けられている。変形緩和材２３Ａは、絶縁部材２１の外側に位置する（絶縁部材２１から露出した）各導体２２の一部を覆う。但し、各導体２２の外側の端部は変形緩和材２３Ａから露出している。変形緩和材２３Ａは、第１部材１４ａの端面１４ｇ、第２部材１４ｂの端面１４ｈ、及び絶縁部材２１の外側面２１ｂによって形成される凹部を埋め込んでおり、端面１４ｇ、端面１４ｈ、及び外側面２１ｂに固着している。
【００３４】
変形緩和材２３Ａは、絶縁部材２１よりも変形し易い（すなわち、絶縁部材２１よりもヤング率が小さい）材料からなる。変形緩和材２３Ａは、例えば樹脂を主に含む。樹脂は、例えば硬度が比較的高いエポキシ樹脂であってもよく、若しくは、硬度が比較的低いシリコン樹脂であってもよい。また、変形緩和材２３Ａは絶縁性である。変形緩和材２３Ａの絶縁部材２１とは反対側の外側面２３ａは、方向Ａ１に沿っている。すなわち、導体２２の並び方向と垂直な断面において、外側面２３ａは方向Ａ１に沿って真っ直ぐに延びている。導体２２は、外側面２３ａから、外側面２３ａに対して垂直な方向に突出している。
【００３５】
以上に説明した本実施形態の撮像装置１Ａ及びイメージセンサ装置１０によって得られる効果について、従来の課題とともに説明する。図１５（ａ）は、比較例に係るイメージセンサ装置のフィードスルー１２０及びその周辺構造を拡大して示す斜視図である。同図において光入射窓１３及び枠部１８の図示は省略されている。図１５（ｂ）は、図１５（ａ）のＣ部の拡大図である。図１５に示されるように、フィードスルー１２０では、板状の複数の導体２２が所定方向に並んで配置され、且つ各導体２２の板面が或る仮想平面に沿って面一に並んでいる。これにより、制御基板４と複数の導体２２との導電接着が容易となる。
【００３６】
しかしながら、制御基板４と複数の導体２２とを導電性接着剤によって固着する際、導体２２に力が加わり、絶縁部材２１の導体貫通用の孔付近に応力が発生する。或いは、複数の導体２２と制御基板４とが固着された後の制御基板４への外力によっても、導体２２を介して絶縁部材２１に同様の応力が発生する。このような応力によって絶縁部材２１に亀裂ＣＬが生じ、容器の気密状態を維持できなくなる虞がある。本発明者の知見によれば、フィードスルー１２０の絶縁部材２１に生じる亀裂ＣＬは、板状導体２２と絶縁部材２１との界面を起点として、該界面に生じる応力に垂直な面に沿って伸展する傾向がある。従って、複数の板状導体２２の板面が一つの仮想平面に沿って面一に並ぶフィードスルー１２０では、互いに隣り合う板状導体２２間で応力に垂直な面同士が重なり、亀裂ＣＬが生じやすくなる。
【００３７】
このような課題に対し、本実施形態のイメージセンサ装置１０では、絶縁部材２１の外側に位置する各導体２２の一部が、絶縁部材２１よりも変形し易い変形緩和材２３Ａによって覆われている。そして、変形緩和材２３Ａは、絶縁部材２１に固着している。従って、導体２２に力が加わった場合に、応力を変形緩和材２３Ａが受け、該応力を絶縁部材２１に分散して伝える。従って、本実施形態の撮像装置１Ａ及びイメージセンサ装置１０によれば、絶縁部材２１に生じる局所的な応力を抑制し、絶縁部材２１の亀裂を低減できる。
【００３８】
また、本実施形態のように、絶縁部材２１はガラス及びセラミックの少なくとも一方を含み、変形緩和材２３Ａは樹脂を含んでもよい。例えばこれらのような構成材料によって、変形緩和材２３Ａを絶縁部材２１よりも変形し易くすることができる。
【００３９】
また、本実施形態のように、変形緩和材２３Ａは絶縁性であってもよい。これにより、隣り合う導体２２間の絶縁状態を容易に維持することができる。
【００４０】
また、本実施形態のように、絶縁部材２１は、容器１１ａの外側面に形成された凹部の底面を構成し、変形緩和材２３Ａは凹部を埋め込んでもよい。これにより、絶縁部材２１と変形緩和材２３Ａとの固着強度が増し、導体２２の曲げによる絶縁部材２１からの変形緩和材２３Ａの剥離を低減できるので、イメージセンサ装置１０の信頼性を向上できる。また、変形緩和材２３Ａの移動を絶縁部材２１の凹部によって抑えることができるので、導体２２に力が加わった際の導体２２の曲げを抑制できる。
【００４１】
また、本実施形態のように、複数の導体２２の断面形状は長方形であってもよい。このような場合、長方形の角部に位置する絶縁部材２１に応力が集中しやすく亀裂ＣＬが生じ易いので、本実施形態のイメージセンサ装置１０の構成が特に有効である。
【００４２】
（第１変形例）
図８は、上記実施形態の第１変形例に係るイメージセンサ装置のフィードスルー２０Ｂの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。本変形例のフィードスルー２０Ｂは、上記実施形態の変形緩和材２３Ａに代えて、変形緩和材２３Ｂを有する。変形緩和材２３Ｂの構成材料は、上記実施形態と同様である。
【００４３】
変形緩和材２３Ｂは、絶縁部材２１と接する面とは反対側に位置する外側面２３ｂを有する。外側面２３ｂは、第１部材１４ａの外側面１４ｅ及び第２部材１４ｂの外側面１４ｆによって規定される円柱面に対して外側（絶縁部材２１とは反対側）へ突出している。これにより、本変形例の変形緩和材２３Ｂは、上記実施形態の変形緩和材２３Ａと比較して、導体２２のより長い部分を覆っている。従って、本変形例によれば、上記実施形態と比較して、絶縁部材２１に生じる局所的な応力を更に抑制し、絶縁部材２１の亀裂をより効果的に低減できる。
【００４４】
（第２変形例）
図９は、上記実施形態の第２変形例に係るイメージセンサ装置のフィードスルー２０Ｃの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。本変形例のフィードスルー２０Ｃは、上記実施形態の変形緩和材２３Ａに代えて、変形緩和材２３Ｃを有する。変形緩和材２３Ｃの構成材料は、上記実施形態と同様である。また、変形緩和材２３Ｃの外側面２３ｂの形状は、第１変形例と同様である。
【００４５】
本変形例では、第１部材１４ａの端面１４ｇ、及び第２部材１４ｂの端面１４ｈに段差１４ｉ，１４ｊがそれぞれ形成されている。これにより、段差１４ｉ，１４ｊに対して内側に位置する端面１４ｇａ，１４ｈａの方向Ａ１における間隔Ｗ１よりも、段差１４ｉ，１４ｊに対して外側に位置する端面１４ｇｂ，１４ｈｂの方向Ａ１における間隔Ｗ２のほうが広くなっている。端面１４ｇａ及び端面１４ｈａには絶縁部材２１が接し、端面１４ｇｂ及び端面１４ｈｂには変形緩和材２３Ｃが接する。従って、方向Ａ１における変形緩和材２３Ｃの厚さは、同方向における絶縁部材２１の厚さよりも厚くなっている。変形緩和材は、本変形例のような形状を有してもよく、第１変形例と同様の効果を奏することができる。
【００４６】
（第３変形例）
図１０は、上記実施形態の第３変形例に係るイメージセンサ装置のフィードスルー２０Ｄの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。本変形例のフィードスルー２０Ｄは、上記実施形態の変形緩和材２３Ａに代えて、変形緩和材２３Ｄを有する。変形緩和材２３Ｄの構成材料は、上記実施形態と同様である。また、変形緩和材２３Ｄの外側面２３ｂの形状は、第１変形例と同様である。
【００４７】
本変形例では、第１部材１４ａの端面１４ｇが、端面１４ｇａと、端面１４ｇａに対して外側に位置する端面１４ｇｃとを含んでいる。同様に、第２部材１４ｂの端面１４ｈが、端面１４ｈａと、端面１４ｈａに対して外側に位置する端面１４ｈｃとを含んでいる。端面１４ｇａ及び端面１４ｈａには絶縁部材２１が接し、端面１４ｇｃ及び端面１４ｈｃには変形緩和材２３Ｄが接する。端面１４ｇａ及び１４ｈａは、方向Ａ１に対して垂直な平面に沿っている。これに対し、端面１４ｇｃ及び１４ｈｃは、互いの間隔が外側に向けて徐々に拡がるように、該平面に対して傾斜している。言い換えれば、端面１４ｇと外側面１４ｅとにより構成される角は面取りされており、端面１４ｈと外側面１４ｆとにより構成される角もまた面取りされている。従って、方向Ａ１における変形緩和材２３Ｄの厚さは、外側に向けて徐々に拡大している。変形緩和材２３Ｄの絶縁部材２１と接する部分の厚さは、絶縁部材２１の厚さと等しく、変形緩和材２３Ｄの外側面１４ｅ，１４ｆと接する部分の厚さよりも薄い。
【００４８】
変形緩和材は、本変形例のような形状を有してもよく、第１変形例と同様の効果を奏することができる。また、変形緩和材２３Ｄと接する端面１４ｇ，１４ｈの間隔が外側に向けて徐々に拡がることにより、凹部内に変形緩和材２３Ｄの材料を配置し易くなるので、変形緩和材２３Ｄの形成を容易にできる。
【００４９】
（第４変形例）
図１１は、上記実施形態の第４変形例に係るイメージセンサ装置のフィードスルー２０Ｅの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。本変形例のフィードスルー２０Ｅは、上記実施形態の変形緩和材２３Ａに代えて、変形緩和材２３Ｅを有する。変形緩和材２３Ｅの構成材料は、上記実施形態と同様である。本変形例では、絶縁部材２１の外側面２１ｂは凹部を形成しておらず、第１部材１４ａの外側面１４ｅ及び第２部材１４ｂの外側面１４ｆと面一になっている。そして、変形緩和材２３Ｅは、外側面２１ｂ、外側面１４ｅ、及び外側面１４ｆによって構成される円柱面上において、主に外側面２１ｂ上に設けられている。変形緩和材２３Ｅの方向Ａ１における一端は外側面１４ｅに接してもよく、他端は外側面１４ｆに接してもよい。また、変形緩和材２３Ｅは、絶縁部材２１と接する面とは反対側に位置する外側面２３ｅを有する。導体２２の並び方向に垂直な断面における外側面２３ｅの形状は、例えば半円状である。変形緩和材は、本変形例のような形状を有してもよい。このような場合であっても、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００５０】
（第５変形例）
図１２は、上記実施形態の第５変形例に係るイメージセンサ装置のフィードスルー２０Ｆの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。本変形例のフィードスルー２０Ｆは、上記実施形態の変形緩和材２３Ａに代えて、変形緩和材２３Ｆを有する。変形緩和材２３Ｆの構成材料は、上記実施形態と同様である。また、変形緩和材２３Ｆの外側面２３ｂの形状は、第１変形例と同様である。
【００５１】
第１部材１４ａの端面１４ｇは、端面１４ｇａと、端面１４ｇａに対して外側に位置する凹部１４ｇｄとを含んでいる。同様に、第２部材１４ｂの端面１４ｈは、端面１４ｈａと、端面１４ｈａに対して外側に位置する凹部１４ｈｄとを含んでいる。端面１４ｇａ，１４ｈａには絶縁部材２１が接し、凹部１４ｇｄ，１４ｈｄには変形緩和材２３Ｆが接する。端面１４ｇａ及び１４ｈａは、方向Ａ１に対して垂直な平面に沿っている。凹部１４ｇｄ，１４ｈｄの一対の内側面のうち内側に位置する内側面１４ｇｆ，１４ｈｆは、方向Ａ１に沿っている。凹部１４ｇｄ，１４ｈｄの一対の内側面のうち外側に位置する内側面１４ｇｅ，１４ｈｅは、互いの間隔が外側に向けて徐々に狭くなるように、該平面に対して傾斜している。従って、方向Ａ１における変形緩和材２３Ｆの厚さは、絶縁部材２１と接する部分の近傍においては絶縁部材２１の厚さよりも厚くなり、外側に向けて徐々に薄くなる。
【００５２】
図１３は、本変形例の別の例に係るフィードスルー２０Ｇの外側面付近の構成を拡大して示す断面図である。本変形例のフィードスルー２０Ｇは、上記実施形態の変形緩和材２３Ａに代えて、変形緩和材２３Ｇを有する。変形緩和材２３Ｇの構成材料は、上記実施形態と同様である。また、変形緩和材２３Ｇの外側面２３ｂの形状は、第１変形例と同様である。
【００５３】
この例においても、第１部材１４ａの端面１４ｇは、端面１４ｇａと、端面１４ｇａに対して外側に位置する凹部１４ｇｄとを含んでおり、第２部材１４ｂの端面１４ｈは、端面１４ｈａと、端面１４ｈａに対して外側に位置する凹部１４ｈｄとを含んでいる。端面１４ｇａ，１４ｈａには絶縁部材２１が接し、凹部１４ｇｄ，１４ｈｄには変形緩和材２３Ｇが接する。但し、この例では凹部１４ｇｄ，１４ｈｄの形状が上記の例とは異なっており、凹部１４ｇｄ，１４ｈｄの一対の内側面のうち外側に位置する内側面１４ｇｇ，１４ｈｇは、方向Ａ１に沿っており、内側に位置する内側面１４ｇｆ，１４ｈｆと対向している。また、凹部１４ｇｄ，１４ｈｄの更に外側には、方向Ａ１に対して垂直な平面に沿った端面１４ｇｈ及び１４ｈｈが設けられている。端面１４ｇｈ及び１４ｈｈの間隔は、端面１４ｇａ及び１４ｈａの間隔と等しい。従って、変形緩和材２３Ｇは、絶縁部材２１と接する部分を含む肉厚部２３Ｇａと、その外側に位置する肉薄部２３Ｇｂとを含む。方向Ａ１における肉厚部２３Ｇａの厚さは、同方向における肉薄部２３Ｇｂの厚さよりも厚い。
【００５４】
変形緩和材は、図１２，図１３に示されたような形状を有してもよく、第１変形例と同様の効果を奏することができる。また、絶縁部材２１と接する部分の周辺における変形緩和材２３Ｆ，２３Ｇの体積が上記実施形態及び第１変形例よりも大きくなるので、導体２２に力が加わった場合に、応力をより効果的に分散して絶縁部材２１に伝えることができる。従って、絶縁部材２１の亀裂を更に低減できる。
【００５５】
（第６変形例）
図１４（ａ）は、上記実施形態の第６変形例に係るイメージセンサ装置のフィードスルー２０Ｈ及びその周辺構造を拡大して示す斜視図である。同図において光入射窓１３及び枠部１８の図示は省略されている。図１４（ｂ）は、フィードスルー２０Ｈを部分的に拡大して示す側面図である。
【００５６】
本変形例のフィードスルー２０Ｈは、上記実施形態のフィードスルー２０Ａが有する絶縁部材２１に代えて、絶縁部材２７を有する。絶縁部材２７は、上記実施形態の絶縁部材２１とは異なり、方向Ａ１（光入射方向）から見て四角形状（正方形状、長方形状、或いは台形状）を呈している。絶縁部材２１は、マウント１６及びイメージセンサ素子１７を収容する容器の内側を向く内側面２７ａと、該容器の外側を向く外側面２７ｂとを有し、該容器の内部と外部とを仕切る。絶縁部材２７は、上記実施形態の絶縁部材２１と同様に、例えばガラス、セラミック、或いは樹脂といった絶縁体からなる。
【００５７】
内側面２７ａ及び外側面２７ｂは、方向Ａ１と直交する方向Ａ３に沿って真っ直ぐに延びている。すなわち、上記実施形態では複数の導体２２の並び方向が円周面に沿っていたが、本変形例では、複数の導体２２の並び方向Ａ３が平面に沿っている。方向Ａ３において、複数の導体２２の間隔は均一である。
【００５８】
更に、本変形例では、外側面２７ｂ上に変形緩和材２３Ｈが設けられている。並び方向Ａ３に垂直な平面に沿った断面における変形緩和材２３Ｈの形状は、上記実施形態と同様である。また、変形緩和材２３Ｈの構成材料は、上記実施形態と同様である。本変形例のような構成においても、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００５９】
本発明によるイメージセンサ装置及び撮像装置は、上述した実施形態及び各変形例に限られるものではなく、他に様々な変形が可能である。例えば、上述した実施形態及び各変形例を、必要な目的及び効果に応じて互いに組み合わせてもよい。また、変形緩和材の形状は上記実施形態及び各変形例に限られず、他の様々な形状が可能である。例えば、上記実施形態及び各変形例では、複数の導体の並び方向に延びる単一の変形緩和材によって複数の導体を覆っているが、複数の変形緩和材が各導体毎に間隔をあけて設けられてもよい。また、上記実施形態及び各変形例では、絶縁部材と気密封止筐体とによって凹部が形成されているが、絶縁部材の外側面が導体の長手方向に窪むことによって凹部が形成されてもよい。その場合、絶縁部材に形成された凹部の内面が、図１２、図１３に示された凹部１４ｇｄ，１４ｈｄのような形状を有してもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１Ａ…撮像装置、３…レンズ、４…制御基板、５…コントローラ、６…信号処理部、７…信号記憶部、８…画像表示部、１０…イメージセンサ装置、１１…本体部、１１ａ…容器、１２…小型冷却機、１３…光入射窓、１４…気密封止筐体、１４ａ…第１部材、１４ｂ…第２部材、１４ｃ…第３部材、１４ｄ…チューブ、１５…ヘッド、１６…マウント、１６ａ…裏面、１６ｂ…搭載面、１７…イメージセンサ素子、１８…枠部、１９ａ，１９ｂ，１９ｃ…締結部材、２０Ａ〜２０Ｈ…フィードスルー、２１，２７…絶縁部材、２１ａ，２７ａ…内側面、２１ｂ，２７ｂ…外側面、２２…導体、２３Ａ〜２３Ｈ…変形緩和材、３１…ピストン、３２…空間、３３…制御ＩＣ、３４…導電性接着剤、３５…バンプ電極、ＣＬ…亀裂、Ｄａ…画像データ、Ｌａ…入射光像、Ｓａ…画像信号、Ｓｃ…制御信号。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2019041172.tif 000009
【図８】
2019041172.tif 000010
【図９】
2019041172.tif 000011
【図１０】
2019041172.tif 000012
【図１１】
2019041172.tif 000013
【図１２】
2019041172.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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