(57)【要約】      （修正有）【課題】測定精度を向上させることができる動電型検出器を提供する。【解決手段】動電型検出器は、磁場を生成する磁場生成部３０と、磁場生成部３０が固定され、磁場生成部３０と導通する構造体と、構造体と導通し、構造体の動きに沿って変位するように構造体に弾性支持され、コイルが固定された可動部５０と、可動部５０と導通し、コイルを絶縁された状態で固定し、可動部５０が変位する際に磁場内をコイルが変位するように可動部５０に固定されたコイルボビンと、一端が構造体に固定され、他端がコイルの第１端子と電気的に接続され、構造体およびコイルボビンと電気的に絶縁され、弾性を有する第１リード線と、一端がコイルの第２端子と電気的に接続され、構造体およびコイルボビンと電気的に絶縁され、他端が構造体に固定され、弾性を有する第２リード線と、を備えることを特徴とする。【選択図】図１
2019105490.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁場を生成する磁場生成部と、
前記磁場生成部が固定され、前記磁場生成部と導通する構造体と、
前記構造体と導通し、前記構造体の動きに沿って変位するように前記構造体に弾性支持され、コイルが固定された可動部と、
前記可動部と導通し、コイルを絶縁された状態で固定し、前記可動部が変位する際に前記磁場内を前記コイルが変位するように前記可動部に固定されたコイルボビンと、
一端が前記構造体に固定され、他端が前記コイルの第１端子と電気的に接続され、前記構造体および前記コイルボビンと電気的に絶縁され、弾性を有する第１リード線と、
一端が前記コイルの第２端子と電気的に接続され、前記構造体および前記コイルボビンと電気的に絶縁され、他端が前記構造体に固定され、弾性を有する第２リード線と、を備えることを特徴とする動電型検出器。
【請求項２】
前記構造体は、前記磁場生成部、前記可動部、および前記コイルボビンを収容する筐体に固定された支柱であり、
前記コイルは、前記支柱に対して巻回されていることを特徴とする請求項１記載の動電型検出器。
【請求項３】
前記第１リード線および前記第２リード線は、互いに離間しつつ、同一直線上に延びていることを特徴とする請求項１または２に記載の動電型検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本件は、動電型検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
動電型検出器は、磁場中を運動する導体に発生する誘導起電力を利用することで、被測定体の速度、加速度などの動きを測定する装置である。このような動電型検出器は、被測定体の動きに伴って変位する可動部と、可動部に取り付けられた導体と、導体に磁場を与える磁場生成部と、導体に発生する誘導起電力を出力するための電気回路とを備えている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−４２８３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の動電型検出器は、鉛直上下方向における可動部の変位を想定した構造を有している。そのため、可動部が水平方向に変位した場合には、電気回路にショートが発生するおそれがある。この場合、測定精度が低下するおそれがある。
【０００５】
１つの側面では、本発明は、測定精度を向上させることができる動電型検出器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
１つの態様では、本発明に係る動電型検出器は、磁場を生成する磁場生成部と、前記磁場生成部が固定され、前記磁場生成部と導通する構造体と、前記構造体と導通し、前記構造体の動きに沿って変位するように前記構造体に弾性支持され、コイルが固定された可動部と、前記可動部と導通し、コイルを絶縁された状態で固定し、前記可動部が変位する際に前記磁場内を前記コイルが変位するように前記可動部に固定されたコイルボビンと、一端が前記構造体に固定され、他端が前記コイルの第１端子と電気的に接続され、前記構造体および前記コイルボビンと電気的に絶縁され、弾性を有する第１リード線と、一端が前記コイルの第２端子と電気的に接続され、前記構造体および前記コイルボビンと電気的に絶縁され、他端が前記構造体に固定され、弾性を有する第２リード線と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
上記動電型検出器において、前記構造体は、前記磁場生成部、前記可動部、および前記コイルボビンを収容する筐体に固定された支柱であり、前記コイルは、前記支柱に対して巻回されていてもよい。
【０００８】
上記動電型検出器において、前記第１リード線および前記第２リード線は、互いに離間しつつ、同一直線上に延びていてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
測定精度を向上させる動電型検出器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】（ａ）は実施例１に係る動電型検出器の模式的断面図であり、（ｂ）は磁場生成部の詳細図である。
【図２】ダイヤフラムバネの平面図である。
【図３】動電型検出器の電気回路を例示する図である。
【図４】リード線を例示する図である。
【図５】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】比較形態に係る動電型検出器の構成を例示する模式的断面図である。
【図７】磁場生成部の他の例である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照しつつ、実施形態について説明する。
【００１２】
図１（ａ）は、実施例１に係る動電型検出器１００の模式的断面図である。図１（ｂ）は、後述する磁場生成部３０の詳細図である。図１（ｂ）では、断面を示すハッチを省略している。動電型検出器１００の感度軸は、略鉛直方向に設定されている。本実施形態では、鉛直上方を上側と称し、鉛直下方を下側と称する。
【００１３】
図１（ａ）で例示するように、動電型検出器１００の主要部は、有蓋かつ有底の円筒状の筐体１０に収容されている。筐体１０は、金属などの導体によって構成されている。筐体１０がなす円筒の軸は、感度軸に沿っている。筐体１０内において、感度軸に沿って円柱状の支柱２０が備わっている。支柱２０は、金属などの導体によって構成されている。支柱２０は、筐体１０の蓋に相当する上面の内壁と、筐体１０の底に相当する下面の内壁とによって固定されている。筐体１０がなす円筒と支柱２０がなす円柱とは、同心をなしている。また、支柱２０は、筐体１０と導通している。
【００１４】
支柱２０の感度軸方向の中央部には、磁場生成部３０が固定されている。図１（ｂ）で例示するように、磁場生成部３０は、永久磁石３１、第１円筒部３２ａ、第２円筒部３２ｂ、第３円筒部３３および接続部３４によって構成されている。永久磁石３１は、円筒形状を有し、支柱２０の外周面に固定されかつ支柱２０と同心をなしている。永久磁石３１は、上側と下側とで異なる磁極を有している。第１円筒部３２ａおよび第２円筒部３２ｂは、支柱２０の外周面に固定されかつ支柱２０と同心をなし、永久磁石３１を上下から挟んでいる。第１円筒部３２ａは永久磁石３１の上側に位置し、第２円筒部３２ｂは永久磁石３１の下側に位置している。第３円筒部３３は、永久磁石３１、第１円筒部３２ａおよび第２円筒部３２ｂと、筐体１０との間に配置され、支柱２０と同心をなし、永久磁石３１、第１円筒部３２ａ、第２円筒部３２ｂおよび筐体１０と離間している。永久磁石３１、第１円筒部３２ａおよび第２円筒部３２ｂと、第３円筒部３３とは、互いに対向するように配置されている。永久磁石３１と第３円筒部３３とは、リング状の接続部３４によって接続されている。以上の構成により、磁場生成部３０は、図１（ａ）の断面図において、２つのＨを水平方向に並べた構造を有する。
【００１５】
第１円筒部３２ａ、第２円筒部３２ｂおよび第３円筒部３３は、磁性体によって構成されている。接続部３４は、非磁性体によって構成されている。図１（ｂ）において、各矢印が磁束の向きの一例を表している。図１（ｂ）の例では、磁束が、永久磁石３１から第１円筒部３２ａに向かい、第１円筒部３２ａから第３円筒部３３に向かい、第３円筒部３３を下方に向かい、第３円筒部３３から第２円筒部３２ｂに向かい、第２円筒部３２ｂから永久磁石３１に向かっている。このように、磁場生成部３０は、内磁型磁気回路として機能する。また、接続部３４の上下の空隙部が１つの磁気回路として機能する。磁場生成部３０を構成する永久磁石３１、第１円筒部３２ａ、第２円筒部３２ｂ、第３円筒部３３および接続部３４は、互いに導通している。また、磁場生成部３０は、支柱２０と導通している。
【００１６】
本実施形態に係る磁場生成部３０は、１つの磁石、１つの磁気回路で構成されており、かつ各部の寸法が接続部３４の上下で略同じとなっているため、接続部３４よりも上側において第１円筒部３２ａと第３円筒部３３との間における磁束密度と、接続部３４よりも下側において第２円筒部３２ｂと第３円筒部３３との間における磁束密度とは、略同じになっている。
【００１７】
再度図１を参照し、支柱２０の上側の外周面に、弾性支持部材としてダイヤフラムバネ４０ａが設けられている。支柱２０の下側の外周面に、弾性支持部材としてダイヤフラムバネ４０ｂが設けられている。ダイヤフラムバネ４０ａ，４０ｂは、金属などの導体によって構成されている。図２は、ダイヤフラムバネ４０ａ，４０ｂの平面図である。ダイヤフラムバネ４０ａ，４０ｂは、内輪４１と、外輪４２と、内輪４１および外輪４２を接続するバネ部４３とを備えている。内輪４１および外輪４２は、支柱２０と同心をなしている。内輪４１は、支柱２０の外周面に固定されている。それにより、ダイヤフラムバネ４０ａ，４０ｂは、支柱２０と導通している。
【００１８】
可動部（振子）５０は、円筒形状を有し、第３円筒部３３と筐体１０との間に配置されている。可動部５０は、金属などの導体によって構成されている。可動部５０は、第３円筒部３３の上端よりも上側に延在するとともに、第３円筒部３３の下端よりも下側に延在する。ダイヤフラムバネ４０ａの外輪４２は、可動部５０の内周面の上端部に接続されている。ダイヤフラムバネ４０ｂの外輪４２は、可動部５０の内柱面の下端部に接続されている。バネ部４３が弾性を有することから、可動部５０は、支柱２０によって弾性支持されている。それにより、可動部５０は、支柱２０の動きに沿って変位する。また、可動部５０は、ダイヤフラムバネ４０ａ，４０ｂと導通している。
【００１９】
可動部５０の上側の内周面には、上側コイルボビンが設けられている。上側コイルボビンは、可動部５０の内周面に固定されかつ支柱２０と同心をなすリング状部６１ａと、リング状部６１ａの支柱２０側端の下面に固定されかつ支柱２０と同心をなす円筒部６２ａとを備える。リング状部６１ａおよび円筒部６２ａは、金属など導体によって構成されている。それにより、上側コイルボビンは、可動部５０と導通している。円筒部６２ａの外周面には、支柱２０と同心を成すコイル７０ａが設けられている。すなわち、コイル７０ａは、支柱２０に対して巻回されている。円筒部６２ａは、コイル７０ａを絶縁された状態で固定している。リング状部６１ａは、第３円筒部３３の上端よりも上方かつダイヤフラムバネ４０ａよりも下方に位置している。円筒部６２ａの下端は、接続部３４よりも上方において、第１円筒部３２ａと第３円筒部３３とが対向する領域に位置している。また、リング状部６１ａおよび円筒部６２ａは、第１円筒部３２ａ、第３円筒部３３および接続部３４から離間している。コイル７０ａは、可動部が鉛直方向に変位する際に、接続部３４よりも上方において第１円筒部３２ａと第３円筒部３３とが生成する磁場内を変位する。
【００２０】
可動部５０の下側の内柱面には、下側コイルボビンが設けられている。下側コイルボビンは、可動部５０の内周面に固定されかつ支柱２０と同心をなすリング状部６１ｂと、リング状部６１ｂの支柱２０側端の上面に固定されかつ支柱２０と同心をなす円筒部６２ｂとを備える。リング状部６１ｂおよび円筒部６２ｂは、金属などの導体によって構成されている。それにより、下側コイルボビンは、可動部５０と導通している。円筒部６２ｂの外周面には、支柱２０と同心を成すコイル７０ｂが設けられている。すなわち、コイル７０ｂは、支柱２０に対して巻回されている。円筒部６２ｂは、コイル７０ｂを絶縁された状態で固定している。リング状部６１ｂは、第３円筒部３３の下端よりも下方かつダイヤフラムバネ４０ｂよりも上方に位置している。円筒部６２ｂの上端は、接続部３４よりも下方において、第２円筒部３２ｂと第３円筒部３３とが対向する領域に位置している。また、リング状部６１ｂおよび円筒部６２ｂは、第２円筒部３２ｂ、第３円筒部３３および接続部３４から離間している。コイル７０ｂは、可動部が鉛直方向に変位する際に、接続部３４よりも下方において第２円筒部３２ｂと第３円筒部３３とが生成する磁場内を変位する。
【００２１】
コイル７０ａのコイル長と、コイル７０ｂのコイル長とは、略同じに設定されている。上述したように、第１円筒部３２ａおよび第２円筒部３２ｂと第３円筒部３３との間で発生する磁束の向きは、水平方向である。可動部５０の変位方向は略鉛直方向の感度軸方向である。コイル７０ａおよびコイル７０ｂは、可動部５０と一体的に運動する。したがって、コイル７０ａおよびコイル７０ｂは、磁束が貫く方向と、コイル７０ａ，７０ｂの巻回方向すなわち起電力が発生する方向と、に対して略垂直な方向に、略等しい速度で相対的に変位する。
【００２２】
続いて、動電型検出器１００の測定用の電気回路について説明する。図３は、動電型検出器１００の電気回路（測定回路）を例示する図である。図３においては、筐体１０以外の部材のハッチを省略している。図３で例示するように、筐体１０の上面には、出力コネクタ８０が固定されている。出力コネクタ８０には、第１端子８１および第２端子８２が設けられている。
【００２３】
第１端子８１は、筐体１０の上面を貫通し支柱２０に沿って感度軸下方に延びるように設けられた配線８３の一端に接続されている。配線８３は、例えば絶縁性の被覆材を有することで、筐体１０および支柱２０から絶縁されている。配線８３の他端は、弾性を有するリード線８４ａの一端に接続されている。例えば、リード線８４ａは、図４で例示するように、コイルばね状に形成することで、弾性を有している。
【００２４】
リード線８４ａの他端は、コイル７０ａの第１端子に接続されている。コイル７０ａの第２端子は、配線８５の一端に接続されている。配線８５は、リング状部６１ａに沿って可動部５０側に延び、可動部５０に沿って下方に延び、リング状部６１ｂに沿ってコイル７０ｂの第１端子に接続されている。配線８５は、例えば絶縁性の被覆部材などを有することで、リング状部６１ａ，可動部５０およびリング状部６１ｂから絶縁されている。
【００２５】
コイル７０ｂの第２端子は、配線８６の一端に接続されている。配線８６は、リング状部６１ｂに沿って可動部５０側に延び、可動部５０に沿って上方に延び、リング状部６１ａに沿って延び、他のリード線８４ｂの一端に接続されている。配線８６は、例えば絶縁性の被覆部材などを有することで、リング状部６１ｂ、可動部５０、リング状部６１ａから絶縁されている。リード線８４ｂは、リード線８４ａと同様の構成を有する。リード線８４ｂの他端は、配線８７の一端に接続されている。配線８７は、支柱２０に沿って上方に延びるように設けられている。配線８７の他端は、出力コネクタ８０の第２端子８２に接続されている。配線８７は、例えば絶縁性の被覆部材などを有することで、筐体１０および支柱２０から絶縁されている。
【００２６】
この構成により、第１端子８１と第２端子８２とから、コイル７０ａ，７０ｂに誘起される誘導起電力が出力される。したがって、第１端子８１と第２端子８２との間の電位を測定することにより、コイル７０ａ，７０ｂに誘起される誘導起電力を測定することができる。
【００２７】
図５は、図１のＡ−Ａ線断面図である。図５で例示するように、リード線８４ａおよびリード線８４ｂは、互いに離間しつつ同一直線上に延びている。それにより、リード線８４ａ，８４ｂから支柱２０に対する負荷を相殺することができる。リード線８４ａ，８４ｂ以外に、動電型検出器１００の試験用のリード線８４ｃ，８４ｄが設けられてもよい。この場合、図５のように、平面視で９０°の等配で放射状に配置されることで、リード線８４ａ〜８４ｄから支柱２０に対する負荷を相殺することができる。
【００２８】
動電型検出器１００に対して図示しない被測定体から振動が与えられると、可動部５０がダイヤフラムバネ４０ａ，４０ｂによって支持されながら感度軸方向に沿って弾性的に変位する。なお、被測定体とは、地殻活動状況を観測する際には、大地等がこれに相当する。
【００２９】
可動部５０に固定されたコイル７０ａ，７０ｂが、それぞれ磁場生成部３０が生成する磁束に対して略垂直な方向に変位する。それにより、コイル７０ａ，７０ｂを構成する導線中の電荷には、被測定体の速度に応じたローレンツ力が作用する。したがって、コイル７０ａ，７０ｂには、被測定体の動きに応じた誘導起電力が発生する。コイル７０ａ，７０ｂのそれぞれに誘起される誘導起電力は次の式（１）で表される。
Ｅ＝Ｂ×Ｌ×Ｖ×ｓｉｎθ      （１）
【００３０】
上記式（１）において、Ｅはコイル７０ａ，７０ｂに誘起される誘導起電力を表し、Ｂは磁場生成部３０によって発生される磁場の磁束密度を表し、Ｌはコイル７０ａ，７０ｂを構成する導線の長さ即ちコイル長を表し、Ｖはコイル７０ａ，７０ｂと磁場生成部３０との相対速度を表し、θはコイル７０ａ，７０ｂが相対変位する方向と当該コイル７０ａ，７０ｂに磁束が着磁する方向との間の角度を示す。なお、本実施形態においては、磁場生成部３０が被測定体に固定されていて被測定体が振動すると、可動部５０の質量とダイヤフラムバネ４０ａ，４０ｂのばね定数によって決定される固有振動数よりも上の振動数帯域では、相対速度Ｖは磁場生成部３０の速度と略等価である。なお、θは、略９０°であるため、上記式（１）は、Ｅ＝Ｂ×Ｌ×Ｖで表すことができる。
【００３１】
ここで、本実施形態に係る動電型検出器１００の効果について説明するため、比較形態に係る動電型検出器２００について説明する。図６は、動電型検出器２００の構成を例示する模式的断面図である。図６においては、筐体１０以外の部材のハッチを省略している。図６で例示するように、第１端子８１は、配線９１の一端に接続されている。配線９１は、筐体１０および支柱２０から絶縁されている。配線９１の他端は、ダイヤフラムバネ４０ａの一端に接続されている。
【００３２】
ダイヤフラムバネ４０ａの他端は、配線９２を介してリング状部６１ａに接続されている。リング状部６１ａの支柱２０側端は、コイル７０ａの第１端子に接続されている。コイル７０ａの第２端子は、配線９３の一端に接続されている。配線９３は、リング状部６１ａに沿って可動部５０側に延び、可動部５０に沿って下方に延び、リング状部６１ｂに沿ってコイル７０ｂ側に延びている。配線９３の他端は、コイル７０ｂの第１端子に接続されている。コイル７０ｂの第２端子は、配線９４の一端に接続されている。配線９４は、リング状部６１ｂに沿って可動部５０側に延び、可動部５０に沿って下方に延び、ダイヤフラムバネ４０ｂに接続されている。ダイヤフラムバネ４０ｂの支柱２０側端は、配線９５の一端に接続されている。配線９５は、支柱２０に沿って上方に延び、第２端子８２に接続されている。
【００３３】
動電型速度計の測定帯域は、可動部の質量とダイヤフラムバネのばね定数とによって決定される固有振動数よりも上の帯域である。広い測定帯域を実現するためには、固有振動数を下げる必要がある。固有振動数の算出式（２）において、可動部質量を大きくすることで固有振動数を下げることが可能である。可動部質量を大きくする為には、一般的に比重の大きい金属を採用することが有利である。したがって、動電型検出器２００のような構造では、筐体１０、支柱２０、および可動部５０は金属などの導体によって構成される。また、支柱２０が可動部５０を弾性支持するためのダイヤフラムバネ４０ａ，４０ｂも金属などの導体によって構成される。
ｆ０＝（１／２π）×√（ｋ／ｍ）  （２）
ｆ０：固有振動数
ｋ：バネ定数
ｍ：質量
【００３４】
比較形態に係る動電型検出器２００においては、ダイヤフラムバネ４０ａ、リング状部６１ａおよびリング状部６１ｂを電気回路の一部として用いている。それにより、配線を簡略することができる。しかしながら、被測定体に対して水平方向に大きい衝撃が加わると、可動部５０が水平方向に変位することがある。この場合、コイルボビンの円筒部６２ａ，６２ｂが磁場生成部３０と接触してショートが発生する。その結果、動電型検出器２００の測定精度が低下してしまう。
【００３５】
これに対して、本実施形態に係る動電型検出器１００においては、ダイヤフラムバネ４０ａ，４０ｂ、可動部５０およびコイルボビンの円筒部６２ａ，６２ｂが、電気回路として用いられていない。それにより、コイルボビンの円筒部６２ａ，６２ｂが磁場生成部３０の第１円筒部３２ａ、第２円筒部３２および第３円筒部３３と接触しても、動電型検出器１００の測定精度には大きく影響しない。その結果、動電型検出器１００の測定精度を向上させることができる。なお、ダイヤフラムバネ４０ａ，４０ｂを電気回路として用いないため、出力コネクタ８０とコイル７０ａ，７０ｂとを接続するための配線が必要となるが、直線的に配線されたリード線は、振動の際に断線するおそれがある。これに対して、弾性を有するリード線８４ａ，８４ｂを用いることで、リード線８４ａ，８４ｂに加わる応力が低減されるため、断線が抑制される。
【００３６】
永久磁石３１の配置箇所や数は、特に限定されるものではない。例えば、図７は、磁場生成部３０の他の例である。図７の例では、第３円筒部３３は、円筒形状を有し、支柱２０の外周面に固定されかつ支柱２０と同心をなしている。永久磁石３１、第１円筒部３２ａおよび第２円筒部３２ｂは、第３円筒部３３と筐体１０との間に配置され、略同一半径を有し、支柱２０と同心をなし、第３円筒部３３および筐体１０と離間している。永久磁石３１は、上側と下側とで異なる磁極を有している。第１円筒部３２ａおよび第２円筒部３２ｂは、永久磁石３１を上下から挟んでいる。第１円筒部３２ａは永久磁石３１の上側に位置し、第２円筒部３２ｂは永久磁石３１の下側に位置している。永久磁石３１、第１円筒部３２ａおよび第２円筒部３２ｂと、第３円筒部３３とは、互いに対向するように配置されている。永久磁石３１と第３円筒部３３とは、リング状の接続部３４によって接続されている。
【００３７】
図７において、各矢印が磁束の向きの一例を表している。図７の例では、磁束が、永久磁石３１から第２円筒部３２ｂに向かい、第２円筒部３２ｂから第３円筒部３３に向かい、第３円筒部３３を上方に向かい、第３円筒部３３から第１円筒部３２ａに向かい、第１円筒部３２ａから永久磁石３１に向かっている。このように、図７の磁場生成部３０は、外磁型磁気回路として機能する。また、接続部３４の上下の空隙部が１つの磁気回路として機能する。磁場生成部３０を構成する永久磁石３１、第１円筒部３２ａ、第２円筒部３２ｂ、第３円筒部３３および接続部３４は、互いに導通している。また、磁場生成部３０は、支柱２０と導通している。
【００３８】
なお、上記実施形態において、磁場生成部３０が、磁場を生成する磁場生成部の一例として機能する。支柱２０または筐体１０が、前記磁場生成部が固定され前記磁場生成部と導通する構造体の一例として機能する。可動部５０が、前記構造体と導通し、前記構造体の動きに沿って変位するように前記構造体に弾性支持され、コイルが固定された可動部の一例として機能する。上側コイルボビンおよび下側コイルボビンが、前記可動部と導通し、コイルを絶縁された状態で固定し、前記可動部が変位する際に前記磁場内を前記コイルが変位するように前記可動部に固定されたコイルボビンの一例として機能する。リード線８４ａが、一端が前記構造体に固定され、他端が前記コイルの第１端子と電気的に接続され、前記構造体および前記コイルボビンと電気的に絶縁され、弾性を有する第１リード線の一例として機能する。リード線８４ｂが、一端が前記コイルの第２端子と電気的に接続され、前記構造体および前記コイルボビンと電気的に絶縁され、他端が前記構造体に固定され、弾性を有する第２リード線の一例として機能する。
【００３９】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１０  筐体
２０  支柱
３０  磁場生成部
３１  永久磁石
３２ａ  第１円筒部
３２ｂ  第２円筒部
３３  第３円筒部
３４  接続部
４０ａ，４０ｂ  ダイヤフラムバネ
５０  可動部
６１ａ，６１ｂ  リング状部
６２ａ，６２ｂ  円筒部
７０ａ，７０ｂ  コイル
８０  出力コネクタ
８４ａ〜８４ｄ  リード線
１００  動電型検出器
【図１】
2019105490.tif 000003
【図２】
2019105490.tif 000004
【図３】
2019105490.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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