(57)【要約】【課題】レーザ光の照射位置の精度を向上させることを目的としている。【解決手段】レーザ光を照射する光照射部と、前記レーザ光を反射して光走査することにより、描画領域に画像を投影する光走査部と、前記描画領域外に配置され、前記光走査の垂直走査方向において異なる位置に配置された第一の受光領域と、第二の受光領域と、を含む光検出部と、前記第一の受光領域による前記レーザ光の検出回数と、前記第二の受光領域による前記レーザ光の検出回数とに基づき、前記光走査部の垂直走査方向の振れ角を補正する振れ角補正部と、を有する画像投影装置である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を照射する光照射部と、
前記レーザ光を反射して光走査することにより、描画領域に画像を投影する光走査部と、
前記描画領域外に配置され、前記光走査の垂直走査方向において異なる位置に配置された第一の受光領域と、第二の受光領域と、を含む光検出部と、
前記第一の受光領域による前記レーザ光の検出回数と、前記第二の受光領域による前記レーザ光の検出回数とに基づき、前記光走査部の垂直走査方向の振れ角を補正する振れ角補正部と、を有する画像投影装置。
【請求項２】
前記第一の受光領域と、前記第二の受光領域とは、前記垂直走査方向において連続するように配置される、請求項１記載の画像投影装置。
【請求項３】
前記第一の受光領域と、前記第二の受光領域とは、前記垂直走査方向において一部が重なるように配置される、請求項２記載の画像投影装置。
【請求項４】
前記第一の受光領域による前記レーザ光の検出回数と、前記第一の受光領域と対応する期待値との関係と、前記第二の受光領域による前記レーザ光の検出回数と、前記第二の受光領域と対応する期待値との関係と、の組み合わせと、前記組み合わせ毎の補正方法とが対応付けられた情報が格納された記憶部を有し、
前記振れ角補正部は、
前記記憶部に格納された情報を参照し、
前記第一の受光領域による前記レーザ光の検出回数と、前記第一の受光領域と対応する期待値とを比較した結果と、
前記第二の受光領域による前記レーザ光の検出回数と、前記第二の受光領域と対応する期待値とを比較した結果と、の組み合わせと対応する補正方法により、前記垂直走査方向の振れ角を補正する、請求項１乃至３の何れか一項に記載の画像投影装置。
【請求項５】
前記レーザ光が第一の方向に水平走査されているときに前記第二の受光領域によって検出された第一のピクセルの所定値からのずれと、前記レーザ光が第二の方向に水平走査されているときに前記第二の受光領域によって検出された第二のピクセルの所定値からのずれと、に応じて、前記レーザ光の水平走査方向の位相ずれと、前記光走査部の水平走査方向の振れ角の変動とを検出する検出部と、
前記検出部によって検出された、前記位相ずれと、前記振れ角の変動とをそれぞれ補正する補正部と、を有する請求項１乃至４の何れか一項に記載の画像投影装置。
【請求項６】
前記補正部のよる水平走査方向の前記位相ずれと前記振れ角の変動の補正は、前記振れ角補正部による前記垂直走査方向の振れ角の補正が行われた後に行われる、請求項５記載の画像投影装置。
【請求項７】
前記第二の受光領域は、
前記水平走査方向に並べて配列された第三の受光領域と第四の受光領域とからなり、前記レーザ光が前記第三の受光領域と前記第四の受光領域との境界を走査したとき、前記第一のピクセル及び前記第二のピクセルを検出したことを示す信号を出力する、請求項５又は６記載の画像投影装置。
【請求項８】
前記第一の受光領域から出力された、前記第一の受光領域が前記レーザ光を検出したことを示す検出信号の結果を保持する検出信号保持部を有し、
前記振れ角補正部は、
前記検出信号保持部で保持される前記結果に基づき、前記第一の受光領域の検出回数を取得する、請求項１乃至７の何れか一項に記載の画像投影装置。
【請求項９】
前記検出信号保持部は、ラッチ回路部からなり、
前記ラッチ回路部は、
前記レーザ光の照射が停止するまで前記結果を保持し、
前記第一の受光領域の検出回数は、前記ラッチ回路部から出力される信号に基づく、請求項８に記載の画像投影装置。
【請求項１０】
レーザ光を照射する光照射部と、
前記レーザ光を反射して光走査することにより、描画領域に画像を投影する光走査部と、
前記描画領域外に配置され、前記光走査の垂直走査方向において異なる位置に配置された第一の受光領域と、第二の受光領域と、を含む光検出部と、を有する画像投影装置による画像投影方法であって、前記画像投影装置が、
前記第一の受光領域による前記レーザ光の検出回数と、前記第二の受光領域による前記レーザ光の検出回数とに基づき、前記光走査部の垂直走査方向の振れ角を補正する、画像投影方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像投影装置及び画像投影方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、レーザ光を二次元走査することにより、画像をスクリーンに投影する画像投影装置（いわゆる、レーザプロジェクタ）が知られている。このような画像投影装置では、レーザ光を反射するＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）ミラーを駆動して、その反射方向を順次変化させることにより、レーザ光を二次元走査する。
【０００３】
このような画像投影装置では、ＭＥＭＳミラーの水平駆動に、比較的高速な共振駆動を用いることが一般的である。しかし、共振駆動を用いた場合、駆動信号とＭＥＭＳミラーの変位との間には位相差が生じる。この位相差が生じた場合、スクリーンに映し出される投影画像にも水平走査方向の位相ずれが生じることになる。そこで、従来、このような水平走査方向の位相ずれを解消する技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３６５５６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、ＭＥＭＳミラーを用いた画像投影装置においては、水平走査方向の位相ずれのみならず、温度や気圧等の影響により、ＭＥＭＳミラーの振れ角変動が生じる場合がある。ＭＥＭＳミラーの振れ角変動が生じてしまうと、スクリーンに映し出される投影画像には、サイズ変動が生じることとなる。
【０００６】
しかしながら、従来の技術では、水平走査方向の位相ずれを検出及び補正することができても、水平走査方向の振れ角変動や、垂直走査方向の振れ角変動を補正できず、レーザ光の照射位置の精度を高めることが困難であった。
【０００７】
開示の技術は、上記事情に鑑みてなされたものであり、レーザ光の照射位置の精度を向上させることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、レーザ光を照射する光照射部（１２０）と、
前記レーザ光を反射して光走査することにより、描画領域（５１０）に画像を投影する光走査部（３１０）と、
前記描画領域（５１０）外に配置され、前記光走査の垂直走査方向において異なる位置に配置された第一の受光領域（６１０）と、第二の受光領域（６２０）と、を含む光検出部（６００）と、
前記第一の受光領域（６１０）による前記レーザ光の検出回数と、前記第二の受光領域（６２０）による前記レーザ光の検出回数とに基づき、前記光走査部（３１０）の垂直走査方向の振れ角を補正する振れ角補正部（２７４）と、を有する画像投影装置である。
【０００９】
尚、上記括弧内の参照符号は、理解を容易にするために付したものであり、一例にすぎず、図示の態様に限定されるものではない。
【発明の効果】
【００１０】
レーザ光の照射位置の精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第一の実施形態の画像投影装置の構成の概略を説明する図である。
【図２】第一の実施形態の画像投影装置の構成を示す図である。
【図３】第一の実施形態の光走査部を説明する図である。
【図４】スクリーンにおける光センサの配置を説明する図である。
【図５】第一の実施形態の光センサの構成を説明する図である。
【図６】第一の実施形態のシステムコントローラの機能を説明する図である。
【図７】第一の実施形態の補正テーブルの一例を示す図である。
【図８】第一の実施形態の水平補正回路の機能を説明する図である。
【図９】第一の実施形態の判定テーブルの一例を示す図である。
【図１０】第一の実施形態の画像投影装置による補正の処理を説明するフローチャートである。
【図１１】第一の実施形態の垂直振れ角補正部の処理を説明するフローチャートである。
【図１２】第一の実施形態の水平補正回路の処理を説明するフローチャートである。
【図１３】水平補正回路による補正方法の具体例を示す第一の図である。
【図１４】水平補正回路による補正方法の具体例を示す第二の図である。
【図１５】水平補正回路による補正方法の具体例を示す第三の図である。
【図１６】水平補正回路による補正方法の具体例を示す第四の図である。
【図１７】第二の実施形態の画像投影装置の構成を示す図である。
【図１８】第二の実施形態の基準検出回路を説明する図である。
【図１９】基準検出回路の動作を示すタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第一の実施形態）
以下に図面を参照して、第一の実施形態について説明する。図１は、第一の実施形態の画像投影装置の構成の概略を説明する図である。図１（ａ）は、画像投影装置の外観（前面）を示す図であり、図１（ｂ）は、画像投影装置の内部構成を示すＡ−Ａ断面図である。
【００１３】
図１（ａ）に示すように、本実施形態の画像投影装置１００は、その筐体１１０の前面（図中Ｘ軸正方向の面）にスクリーン５００が設けられている。スクリーン５００は、「投影面」の一例である。また、図１（ｂ）に示すように、画像投影装置１００は、筐体１１０の内部に、ＬＤモジュール１２０、光走査部１３０、及び光学系１４０が設けられている。図１（ｂ）に示す例では、光学系１４０は、反射ミラー１４１、反射ミラー１４２、反射ミラー１４３、及び凹面ミラー１４４を有して構成されている。
【００１４】
このように構成された画像投影装置１００は、ＬＤモジュール１２０から出射されたレーザ光を、光走査部１３０及び光学系１４０で反射させつつ、スクリーン５００に照射して光走査することにより、スクリーン５００に画像を投影させる。この光走査は、光走査部１３０のＭＥＭＳミラー３１０（図２及び図３参照）を駆動して、レーザ光の反射方向を順次変化させることにより実現される。
【００１５】
画像投影装置１としては、例えば、車載用のヘッドアップディスプレイが挙げられる。この場合、例えば、画像投影装置１００は、車両の運転席前方のダッシュボード内に埋設される。そして、画像投影装置１は、スクリーン５００に投影された各種情報（例えば、速度計、経路案内等）の表示画像を、車両のフロントウインドウに表示させることにより、この表示画像をドライバに視認させることが可能である。
【００１６】
次に、図２を参照して、本実施形態の画像投影装置１００について、さらに説明する。図２は、第一の実施形態の画像投影装置の構成を示す図である。
【００１７】
本実施形態の画像投影装置１００は、回路部２００、光源部１２１、光走査部１３０、光学系１４０、スクリーン５００、光センサ６００、温度センサ７００を備えている。
【００１８】
回路部２００は、光源部１２１、光走査部１３０を制御する。光源部１２１は、レーザ光を照射する。光走査部１３０は、ＭＥＭＳミラー３１０を備え、光源部１２１から照射されたレーザ光を走査する。光走査部１３０の具体的な構成については、図３を用いて後述する。
【００１９】
光学系１４０は、光走査部１３０によって走査されたレーザ光をスクリーン５００に投影させる。光センサ６００は、スクリーン５００に投影されたレーザ光を検出する。
【００２０】
温度センサ７００は、画像投影装置１の周囲の気温を検出するセンサである。本実施形態では、温度センサ７００は、後述する水平補正回路２５０による処理結果の変動要因に気温を含める場合に使用される。また、光センサ６００に例えばフォトダイオードを用いた場合、レーザ光がフォトダイオードを通過してから信号を出力するまでの時間（反応時間）に遅延が発生する。
【００２１】
反応時間の遅延は、フォトダイオード周辺の温度によって変化するため、温度センサ７００によってフォトダイオード周辺の温度を検出して、反応時間の遅延を補正するようにしてもよい。この場合、温度センサ７００はフォトダイオードの近傍に設置するのが好ましい。
【００２２】
以下に、上述した構成について、さらに説明する。
【００２３】
本実施形態の回路部２００は、システムコントローラ２１０、バッファ回路２２０、ミラー駆動回路２３０、レーザ駆動回路２４０、水平補正回路２５０を備える。
【００２４】
システムコントローラ２１０は、ミラー駆動回路２３０に角度制御信号を供給する。また、システムコントローラ２１０は、ディジタルの映像信号をレーザ駆動回路２４０に供給する。また、本実施形態のシステムコントローラ２１０は、ＭＥＭＳミラー３１０による垂直走査方向の振れ角の補正を行う。システムコントローラ２１０の詳細は後述する。
【００２５】
バッファ回路２２０は、光走査部１３０から出力されるセンサ信号等が入力されると、システムコントローラ２１０へ出力する。
【００２６】
ミラー駆動回路２３０は、システムコントローラ２１０からの角度制御信号に基づいて、圧電アクチュエータ３３１，３３２，３４１，３４２（図３参照）に駆動信号を供給することにより、ＭＥＭＳミラー３１０を水平駆動及び垂直駆動させる。
【００２７】
レーザ駆動回路２４０は、システムコントローラ２１０からの映像信号に基づいて、光源部１２１に駆動電流を供給することにより、レーザ光を出射させる。
【００２８】
水平補正回路２５０は、ＭＥＭＳミラー３１０の水平走査方向の振れ角と、位相ずれと、を補正する。尚、位相ずれとは、ＭＥＭＳミラー３１０に供給される駆動信号とＭＥＭＳミラー３１０の変位との間の位相差によって生じる、スクリーン５００に投影される画像の水平走査方向のずれを示す。水平補正回路２５０の詳細は後述する。
【００２９】
本実施形態の光源部１２１は、ＬＤモジュール１２０と、減光フィルタ１２２とを備える。ＬＤモジュール１２０は、「光照射部」の一例であり、レーザ１２０Ｒ、レーザ１２０Ｇ、レーザ１２０Ｂを有する。
【００３０】
レーザ１２０Ｒ，１２０Ｇ，１２０Ｂは、システムコントローラ２１０から供給された駆動電流に基づいて、レーザ光を出射する。レーザ１２０Ｒは、例えば、赤色半導体レーザであり、波長λＲ（例えば、６４０ｎｍ）の光を出射する。
【００３１】
レーザ１２０Ｇは、例えば、緑色半導体レーザであり、波長λＧ（例えば、５３０ｎｍ）の光を出射する。レーザ１２０Ｇは、例えば、青色半導体レーザであり、波長λＢ（例えば、４４５ｎｍ）の光を出射する。レーザ１２０Ｒ，１２０Ｇ，１２０Ｂから出射された各波長の光は、ダイクロイックミラー等により合成され、減光フィルタ１２２により所定の光量に減光されて、光走査部１３０のＭＥＭＳミラー３１０に入射される。
【００３２】
本実施形態の光走査部１３０は、ＭＥＭＳミラー３１０を水平駆動及び垂直駆動させることで、レーザ光を水平走査方向及び垂直走査方向に走査する。
【００３３】
ＭＥＭＳミラー３１０に入射されたレーザ光は、ＭＥＭＳミラー３１０が水平駆動及び垂直駆動することによって、その反射方向が変更されつつ、さらに光学系１４０によって繰り返し反射された後、スクリーン５００に照射される。これにより、スクリーン５００においてレーザ光の光走査がなされ、スクリーン５００に画像が投影されるようになる。
【００３４】
本実施形態の光学系１４０とスクリーン５００は、図１で説明した通りである。
【００３５】
本実施形態の光センサ６００は、スクリーン５００上に設けられており、レーザ光の水平走査の往路（第一の方向）及び復路（第二の方向）のそれぞれにおいて、光センサ６００に照射されたレーザ光を検出する。
【００３６】
また、本実施形態の光センサ６００は、例えば、複数のフォトダイオード（ＰＤ；Photodiode）６１０、６２０を有している。本実施形態では、複数のフォトダイオードによるレーザ光の検出結果に基づき、ＭＥＭＳミラー３１０の水平走査方向の振れ角と位相ずれの補正と、垂直走査方向の振れ角の補正を行う。光センサ６００の詳細は後述する。
【００３７】
次に、図３を参照して、本実施形態の光走査部１３０について説明する。図３は、第一の実施形態の光走査部を説明する図である。
【００３８】
本実施形態の光走査部１３０は、ＭＥＭＳミラー３１０、トーションバー３２１、トーションバー３２２、圧電アクチュエータ３３１、圧電アクチュエータ３３２、圧電アクチュエータ３４１、圧電アクチュエータ３４２、変位センサ３５１、変位センサ３５２、及び変位センサ３５３を備える。
【００３９】
ＭＥＭＳミラー３１０は、本発明の「光走査部」の一例である。ＭＥＭＳミラー３１０は、両側が一対のトーションバー３２１，３２２によって、回動可能に軸支されている。トーションバー３２１，３２２が配置されている方向（図中Ｚ軸方向）と直交する方向（図中Ｙ軸方向）には、ＭＥＭＳミラー３１０を間に挟むように一対の圧電アクチュエータ３３１，３３２が配置されている。圧電アクチュエータ３３１，３３２は、板状の弾性体と圧電素子とが積層構造をなしており、圧電素子が駆動電圧を受けて屈曲変形することにより、ＭＥＭＳミラー３１０を水平方向（図中Ｙ軸方向）に回動（水平駆動）させることができる。光走査部１３０は、共振駆動を用いてＭＥＭＳミラー３１０を水平駆動させることにより、レーザ光の高速な水平走査を可能とする。
【００４０】
圧電アクチュエータ３３１，３３２の外側には、圧電アクチュエータ３４１，３４２が配置されている。圧電アクチュエータ３４１，３４２は、板状の弾性体と圧電素子とが積層構造をなしており、圧電素子が駆動電圧を受けて屈曲変形することにより、ＭＥＭＳミラー３１０を垂直方向（図中Ｚ軸方向）に回動（垂直駆動）させることができる。なお、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直駆動には、非共振駆動（例えば、のこぎり波駆動）が用いられる。
【００４１】
変位センサ３５１は、ＭＥＭＳミラー３１０の水平方向の傾きを検出するセンサである。変位センサ３５２及び３５３は、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直方向の傾きを検出するセンサである。これら複数の変位センサ３５１，３５２，３５３の検出信号は、例えば、バッファ回路２２０を介してシステムコントローラ２１０にフィードバックされる。
【００４２】
変位センサ３５１の検出信号は、例えば、レーザ光の打ち出しタイミングを決定する際に使用されてもよい。また、変位センサ３５２、３５３の検出信号は、例えば、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直方向の振れ角が所望の範囲となるように制御する際や、その他の投影画像を補正する際に使用されても良い。
【００４３】
より具体的には、変位センサ３５２，３５３の検出信号は、後述する垂直走査方向のＭＥＭＳミラー３１０の振れ角の粗調整に用いられ、変位センサ３５１の検出信号は、後述する水平走査方向のＭＥＭＳミラー３１０の振れ角の粗調整に用いられる。
【００４４】
次に、図４を参照して、本実施形態の光センサ６００の設置位置について説明する。図４は、スクリーンにおける光センサの配置を説明する図である。
【００４５】
本実施形態の光センサ６００は、スクリーン５００における画像の描画領域５１０の外側（ブランキングエリア）のうち、描画領域５１０の左下側に配置される。尚、スクリーン５００は、レーザ光による走査領域であり、描画領域５１０は、画像投影装置１００に入力された画像が投影される領域である。
【００４６】
また、図４の例では、光センサ６００は、描画領域５１０の下側に配置されるものとしているが、これに限定されない。光センサ６００は、描画領域５１０の下側のブランキングエリアにおいて、描画領域５１０の水平走査方向の中心部分に配置されても良い。また、光センサ６００は、描画領域５１０の上側のブランキングエリアに配置されても良い。また、光センサ６００は、描画領域５１０の左側又は右側のブランキングエリアに配置されても良い。
【００４７】
本実施形態の光センサ６００は、ブランキングエリアを走査するレーザ光Ｌを基準光線として、水平走査方向の振れ角及び位相ずれの補正と、垂直走査方向の振れ角の補正と、を行う。また、本実施形態の光センサ６００は、垂直走査方向においてそれぞれが異なる位置に照射される複数の基準光線Ｌを検出するものとした。
【００４８】
尚、本実施形態では、例えば、１フレーム毎に１本の基準光線Ｌが照射され、スクリーン５００を水平方向に走査する。本実施形態では、例えば、ブランキングエリアに照射される基準光線Ｌの本数は、２０フレーム程度を使用して約２０本程度としても良い。
【００４９】
次に、図５を参照して、本実施形態の光センサ６００について説明する。図５は、第一の実施形態の光センサの構成を説明する図である。
【００５０】
本実施形態の光センサ６００は、第一の受光領域を形成するＰＤ（Photodiode）６１０と、第二の受光領域を形成するＰＤ６２０と、を有する。
【００５１】
本実施形態の光センサ６００では、ＰＤ６１０とＰＤ６２０とが、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向において、重なるように配置されている。つまり、本実施形態の光センサ６００は、垂直走査方向に異なる位置に配置された第一の受光領域と第二の受光領域とを含む光検出部である。
【００５２】
尚、図５では、矢印Ｖが示す方向がＭＥＭＳミラー３１０による垂直走査方向であり、矢印Ｈが示す方向が、ＭＥＭＳミラー３１０による水平走査方向である。
【００５３】
本実施形態のＰＤ６１０とＰＤ６２０は、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角の補正に用いられ、ＰＤ６２０は、ＭＥＭＳミラー３１０の水平走査方向の振れ角の補正及び位相ずれの補正に用いられる。
【００５４】
本実施形態の光センサ６００では、ＰＤ６１０とＰＤ６２０は、垂直走査方向において、幅Ｏｖが重なり合うように配置されている。以下の説明では、ＰＤ６１０における幅Ｏｖと対応する領域を重なり領域６１１と呼び、ＰＤ６２０における幅Ｏｖと対応する領域を重なり領域６２１と呼ぶ。
【００５５】
本実施形態の重なり領域６１１と重なり領域６２１は、垂直走査方向において異なる位置に照射される複数の基準光線により走査される受光領域である。重なり領域６１１、６２１は、ある基準光線が重なり領域６１１、６２１を走査した場合、重なり領域６１１、６２１のそれぞれが、この基準光線を検出する。
【００５６】
また、ＰＤ６１０において、重なり領域６１１以外の領域６１２を基準光線が走査した場合には、ＰＤ６２０は、この基準光線を検出しない。同様に、ＰＤ６２０において、重なり領域６２１以外の領域６２２を基準光線が走査した場合には、ＰＤ６１０は、この基準光線を検出しない。
【００５７】
したがって、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角が変動すると、ＰＤ６１０の領域６１２による基準光線の検出回数、重なり領域６１１、６２１による基準光線の検出回数、領域６２２による基準光線の検出回数のうち、何れかが変化する。そこで、本実施形態では、これらの検出回数の変化に応じて、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角を補正する。
【００５８】
尚、本実施形態では、重なり領域６１１と重なり領域６２１は、複数の基準光線により走査されるものとしたが、これに限定されない。重なり領域６１１と重なり領域６２１を走査する基準光線は、複数でなくても良く、単数であっても良い。
【００５９】
また、本実施形態のＰＤ６１０とＰＤ６２０は、それぞれが形成する受光領域が、垂直走査方向において連続していることが好ましいが、連続していなくても良い。つまり、本実施形態のＰＤ６１０とＰＤ６２０とは、垂直走査方向において異なる位置に配置されていれば良く、ＰＤ６１０とＰＤ６２０のそれぞれにおいて、重なり領域６１１と重なり領域６２１が存在していなくても良い。
【００６０】
ＰＤ６１０とＰＤ６２０とが形成する受光領域が、垂直走査方向において連続していない場合には、ＰＤ６１０が形成する第一の受光領域における基準光線の検出回数と、ＰＤ６２０が形成する第二の受光領域における基準光線の検出回数と、の変化によって、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角を補正しても良い。
【００６１】
また、本実施形態のＰＤ６２０は、例えば、水平走査方向に並べられた複数のＰＤ６２３、２６４を有していても良い。
【００６２】
本実施形態では、水平走査方向に複数のＰＤ６２３（第三の受光領域）、６２４（第四の受光領域）を配置することで、水平走査方向における基準光線の照射位置の検出精度を向上させることができる。例えば、本実施形態では、基準光線がＰＤ６２３を走査している間は、ＰＤ６２３から基準光線の光量に応じた信号が出力され、基準光線がＰＤ６２４を走査している間は、ＰＤ６２４から基準光線の光量に応じた信号が出力される。
【００６３】
したがって、本実施形態のＰＤ６２０は、ＰＤ６２３からの信号が出力されなくなり、ＰＤ６２４から信号が出力された始めたときに、この基準光線を検出したこととして、ＰＤ６２０から、基準光線を検出したことを示す信号を出力しても良い。
【００６４】
このように、ＰＤ６２０を構成すれば、基準光線が、ＰＤ６２０における、ＰＤ６２３とＰＤ６２４の境界を照射したことを検出でき、基準光線の水平走査方向の照射位置の検出精度を向上させることができる。
【００６５】
次に、図６を参照して、本実施形態のシステムコントローラ２１０の機能について説明する。図６は、第一の実施形態のシステムコントローラの機能を説明する図である。
【００６６】
本実施形態のシステムコントローラ２１０は、光量調整部２１１、垂直粗調整部２１２、水平粗調整部２１３、垂直振れ角補正部２１４、画像出力部２１５を有する。
【００６７】
光量調整部２１１は、光源部１２１のレーザ１２０Ｒ，１２０Ｇ，１２０Ｂから出射される光量を調整する。
【００６８】
垂直粗調整部２１２は、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角の粗調整を行う。具体的には、垂直粗調整部２１２は、光走査部１３０の変位センサ３５２、３５３から出力される検出信号を、バッファ回路２２０を介し取得する。そして、垂直粗調整部２１２は、検出信号が示す値を、予め設定された目標値に近づけるように、ミラー駆動回路２３０を制御する。
【００６９】
水平粗調整部２１３は、ＭＥＭＳミラー３１０の水平走査方向の振れ角の粗調整を行う。具体的には、水平粗調整部２１３は、光走査部１３０の変位センサ３５１から出力される検出信号を、バッファ回路２２０を介し取得する。そして、水平粗調整部２１３は、検出信号が示す値を、予め設定された目標値に近づけるように、ミラー駆動回路２３０を制御する。
【００７０】
垂直振れ角補正部２１４は、光センサ６００において、ＰＤ６１０が基準光線を検出する回数と、ＰＤ６２０が基準光線を検出する回数とに基づき、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角を補正する。垂直振れ角補正部２１４の詳細は後述する。
【００７１】
画像出力部２１５は、システムコントローラ２１０に入力される画像データをレーザ駆動回路２４０へ出力し、画像データをスクリーン５００に投影させる。
【００７２】
以下に、垂直振れ角補正部２１４について説明する。本実施形態の垂直振れ角補正部２１４は、検出判定部２７１、検出回数保持部２７２、補正テーブル記憶部２７３、振れ角制御部２７４を有する。
【００７３】
検出判定部２７１は、光センサ６００のＰＤ６１０とＰＤ６２０のそれぞれが、基準光線を検出したか否かを判定する。
【００７４】
本実施形態では、ＰＤ６１０から出力される信号は、ＰＤ６１０が基準光線を検出すると、ハイレベル（以下、Ｈレベル）からローレベル（以下、Ｌレベル）となる。また、本実施形態では、ＰＤ６２０から出力される信号は、ＰＤ６２０が基準光線を検出すると、ＨレベルからＬレベルとなる。
【００７５】
したがって、本実施形態の検出判定部２７１は、ＰＤ６１０から出力される信号がＨレベルからＬレベルとなったとき、ＰＤ６１０が基準光線を検出したと判定する。また、検出判定部２７１は、ＰＤ６２０から出力される信号がＨレベルからＬレベルとなったとき、ＰＤ６２０が基準光線を検出したと判定する。
【００７６】
検出回数保持部２７２は、検出判定部２７１が、ＰＤ６１０、ＰＤ６２０のそれぞれについて、基準光線を検出したと判定した回数を保持する。
【００７７】
補正テーブル記憶部２７３は、補正テーブル２７５を格納している。本実施形態の補正テーブル２７５は、ＰＤ６１０による基準光線の検出回数及びＰＤ６２０による基準光線の検出回数の組み合わせと、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角の補正の仕方とを対応付けた情報である。補正テーブル２７５の詳細は、後述する。
【００７８】
振れ角制御部２７４は、検出回数保持部２７２により保持されたＰＤ６１０、ＰＤ６２０のそれぞれの基準光線の検出回数と、補正テーブル２７５とに基づき、振れ角の補正方法を決定する。そして、振れ角制御部２７４は、決定された補正方法に基づき、ミラー駆動回路２３０によって、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角を補正させる。
【００７９】
次に、図７を参照して、本実施形態の補正テーブル２７５について説明する。図７は、第一の実施形態の補正テーブルの一例を示す図である。
【００８０】
本実施形態の補正テーブル２７５は、予め、システムコントローラ２１０に与えられている。本実施形態の補正テーブル２７５は、情報の項目として、状態、ＰＤ６２０の検出回数、ＰＤ６１０の検出回数、補正方法、を有する。補正テーブル２７５において、項目「状態」と、項目「ＰＤ６２０の検出回数」及び項目「ＰＤ６１０の検出回数」と、項目「補正方法」とは対応付けられている。
【００８１】
項目「状態」の値は、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角の状態を特定するための値である。
【００８２】
項目「ＰＤ６２０の検出回数」の値は、検出回数保持部２７２に保持されたＰＤ６２０の基準光線の検出回数と、予め設定されたＰＤ６２０の検出回数の期待値と、を比較した結果を示す。項目「ＰＤ６１０の検出回数」の値は、検出回数保持部２７２に保持されたＰＤ６１０の基準光線の検出回数と、予め設定されたＰＤ６１０の検出回数の期待値と、を比較した結果を示す。
【００８３】
項目「補正方法」の値は、項目「ＰＤ６２０の検出回数」の値及び項目「ＰＤ６１０の検出回数」の値の組み合わせと対応する、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角の補正方法を示す。
【００８４】
図７に示す補正テーブル２７５において、状態１は、ＰＤ６１０による基準光線の検出回数とＰＤ６２０の基準光線の検出回数のそれぞれが、期待値と同じである状態を示している。状態１の場合には、振れ角の補正は行わない。
【００８５】
補正テーブル２７５において、状態２は、ＰＤ６２０の基準光線の検出回数が期待値と同じであり、ＰＤ６１０による基準光線の検出回数が期待値よりも多い状態を示している。
【００８６】
この状態２は、垂直走査方向の振れ角が小さくなり、重なり領域６１１、６２１に入射されていた基準光線が、ＰＤ６２０（重なり領域６２１）に入射されず、ＰＤ６１０のみに入射されたが、ＰＤ６２０が、この基準光線から漏れた光を検出した状態を示す。
【００８７】
また、状態２は、垂直走査方向の振れ角が小さくなり、重なり領域６１１、６２１に入射されておらず、ＰＤ６２０のみに入射されていた基準光線がＰＤ６１０に入射され、この基準光線をＰＤ６１０が検出し、且つ、ＰＤ６２０に入射される基準光線の本数は変わらない状態を示す。したがって、この状態２には、補正方法として「振れ角を拡大」が対応付けられている。
【００８８】
補正テーブル２７５において、状態３は、ＰＤ６２０の基準光線の検出回数が期待値と同じであり、ＰＤ６１０による基準光線の検出回数が期待値より少ない状態を示している。この状態３は、垂直走査方向の振れ角が大きくなり、ＰＤ６２０に入射される基準光線の数は変わらなかったが、ＰＤ６１０に入射される基準光線の本数が減った状態を示す。したがって、この状態３には、補正方法として「振れ角を縮小」が対応付けられている。
【００８９】
補正テーブル２７５において、状態４は、ＰＤ６２０の基準光線の検出回数が期待値より多く、ＰＤ６１０による基準光線の検出回数が期待値と同じ状態を示している。
【００９０】
この状態４は、垂直走査方向の振れ角が大きくなったため、ＰＤ６１０に入射されていた基準光線が、ＰＤ６１０の外へ入射されたが、ＰＤ６１０がこの基準光線の光を検出したため、ＰＤ６１０の検出回数が変わらなかった場合を含む。また、状態４は、垂直走査方向の振れ角が大きくなったため、ＰＤ６２０に入射されなかった基準光線が、ＰＤ６２０に入射され、かつ、ＰＤ６１０に入射される基準光線の本数が変わらない場合を含む。
【００９１】
したがって、この状態４には、補正方法として「振れ角を縮小」が対応付けられている。
【００９２】
補正テーブル２７５において、状態５は、ＰＤ６１０、ＰＤ６２０の両方が、検出した基準光線の検出回数が期待値よりも多い状態を示している。
【００９３】
この状態５は、振れ角が小さくなり、且つ、描画領域５１０にオフセットが生じた状態と考えられる。したがって、状態５には、補正方法として、「エラーを通知」が対応付けられている。
【００９４】
補正テーブル２７５において、状態６は、ＰＤ６２０の基準光線の検出回数が期待値より多く、ＰＤ６１０の基準光線の検出回数が期待値より少ない状態を示している。この状態６は、振れ角が拡大し、一方の受光領域に入射する基準光線の本数が増え、他方の受光領域に入射する基準光線の本数が減るという、単純な振れ角変動の状態を示す。
【００９５】
したがって、状態６には、補正方法として、「振れ角を縮小」が対応付けられている。
【００９６】
補正テーブル２７５において、状態７は、ＰＤ６２０の基準光線の検出回数が期待値より少なく、ＰＤ６１０の基準光線の検出回数が期待値と同じ状態を示している。この状態７は、振れ角が縮小し、ＰＤ６２０に入射される基準光線の本数が減った状態を示す。
【００９７】
したがって、状態７には、補正方法として、「振れ角を拡大」が対応付けられている。
【００９８】
補正テーブル２７５において、状態８は、ＰＤ６２０の基準光線の検出回数が期待値より少なく、ＰＤ６１０の基準光線の検出回数が期待値より大きい状態を示している。この状態８は、振れ角が拡大し、一方の受光領域に入射する基準光線の本数が増え、他方の受光領域に入射する基準光線の本数が減るという、単純な振れ角変動の状態を示す。
【００９９】
したがって、状態８には、補正方法として、「振れ角を拡大」が対応付けられている。
【０１００】
補正テーブル２７５において、状態９は、ＰＤ６１０、ＰＤ６２０共に、基準光線の検出回数が期待値より少ない状態を示している。この状態９は、ＰＤ６１０、ＰＤ６２０の両方に基準光線が入射されなくなった場合や、ＰＤ６１０、ＰＤ６２０の何れか一方に期待値より少ない本数の基準光線が入射された場合が含まれる。
【０１０１】
つまり、状態９では、振れ角が大幅に拡大したか、又は大幅に縮小したことが考えられる。したがって、状態９には、補正方法として、「粗調整に戻る」が対応付けられている。
【０１０２】
次に、図８を参照して、本実施形態の水平補正回路２５０について説明する。図８は、第一の実施形態の水平補正回路の機能を説明する図である。
【０１０３】
本実施形態の水平補正回路２５０は、基準光線の水平走査の往路において光センサ６００によって検出されたピクセルと、復路において光センサ６０によって検出されたピクセルとを特定する。以下の説明では、往路において検出されたピクセルを第一のピクセルと呼び、復路において検出されたピクセルを第二のピクセルと呼ぶ。
【０１０４】
また、本実施形態の水平補正回路２５０は、第一のピクセルの所定値からのずれと、第二のピクセルの所定値からのずれと、に基づいて、レーザ光の水平走査方向の位相ずれと、ＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動とをそれぞれ検出し、補正する。
【０１０５】
本実施形態の水平補正回路２５０は、取得部２５１、平均化部２５２、算出部２５３、検出部２５４、補正部２５５、所定値記憶部２５６、判定テーブル記憶部２５７を備えている。
【０１０６】
取得部２５１は、光センサ６００の検出結果を取得する。具体的には、取得部２５１は、光センサ６００の検出結果として、システムコントローラ２１０から、第一のピクセルのピクセルカウント値（第一のピクセルカウント値）と、第二のピクセルのピクセルカウント値（第二のピクセルカウント値）とを取得する。
【０１０７】
つまり、システムコントローラ２１０は、光センサ６００により検出されたレーザ光が、スクリーン５００に照射されたピクセルのうち、何番目に照射されたピクセルであるかを特定する特定部として機能する。
【０１０８】
尚、この機能は、水平補正回路２５０が有していてもよい。また、光センサ６００が水平方向に連続する複数のピクセルを検出し得る場合、システムコントローラ２１０は、例えば、光センサ６００が最初に検出したピクセルを、第一のピクセル又は第二のピクセルとして特定するようにしてもよい。
【０１０９】
本実施形態では、取得部２５１は、第一のピクセルカウント値と、第二のピクセルカウント値とを繰り返し（所定数）取得する。例えば、光センサ６００が設けられている描画領域外の領域においては、１フレーム毎に、基準光線による水平走査が行われる。このため、光センサ６００は、１フレーム毎に、第一のピクセル及び第二のピクセルを検出し、１フレーム毎に第一のピクセルカウント値と、第二のピクセルカウント値とを取得する。
【０１１０】
平均化部２５２は、取得部２５１によって取得された所定数の第一のピクセルカウント値の平均値と、取得部２５１によって複数回取得された所定数の第二のピクセルカウント値の平均値とを、それぞれ算出する。
【０１１１】
算出部２５３は、第一のピクセルカウント値と第二のピクセルカウント値との和及び差をそれぞれ算出する。特に、本実施形態では、算出部２５３は、平均化部２５２によって平均化処理が行われることに伴い、第一のピクセルカウント値の平均値と第二のピクセルカウント値の平均値との和及び差をそれぞれ算出する。
【０１１２】
検出部２５４は、第一のピクセルの所定値からのずれと、第二のピクセルの所定値からのずれとに応じて、レーザ光の水平走査方向の位相ずれと、ＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動とをそれぞれ検出する。より具体的には、検出部２５４は、平均化部２５２によって平均化処理が行われることに伴い、算出部２５３によって算出された和の所定値からのずれと、算出部２５３によって算出された差の所定値からのずれとに応じて、レーザ光の水平走査方向の位相ずれが生じているか否か、及び、ＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動が生じているか否かを、それぞれ検出する。
【０１１３】
補正部２５５は、検出部２５４によってレーザ光の水平走査方向の位相ずれが生じていることが検出された場合、この位相ずれの量（すなわち、所定値からのピクセルのずれ量）に応じて、この位相ずれを補正する。
【０１１４】
例えば、補正部２５５は、システムコントローラ２１０からレーザ光の照射開始タイミングを受け取り、この照射開始タイミングに対し、位相ずれ量に応じた変更を加えて、この照射開始タイミングをシステムコントローラ２１０へ返す。または、補正部２５５は、位相ずれ量に応じて、レーザ光の照射開始タイミングを変更するように、システムコントローラ２１０へ指示するようにしてもよい。これにより、ＬＤモジュール１２０から出射されるレーザ光の出射開始タイミングが変更され、レーザ光の水平走査方向の位相ずれが補正されることとなる。
【０１１５】
また、補正部２５５は、検出部２５４によってＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動が生じていることが検出された場合、この振れ角変動の量（すなわち、所定値からのピクセルのずれ量）に応じて、この振れ角変動を補正する。例えば、補正部２５５は、システムコントローラ２１０からＭＥＭＳミラー３１０の水平振れ角ゲインを受け取り、この水平振れ角ゲインに対し、振れ角変動量に応じた変更を加えて、この水平振れ角ゲインをシステムコントローラ２１０へ返す。または、補正部２５５は、振れ角変動量に応じて、ＭＥＭＳミラー３１０の水平振れ角ゲインを変更するように、システムコントローラ２１０へ指示するようにしてもよい。これにより、ＭＥＭＳミラー３１０の振れ角が変更され、ＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動が補正されることとなる。
【０１１６】
所定値記憶部２５６は、水平走査の往路において光センサ６００により検出されるべき第一のピクセルのピクセルカウント値の所定値と、水平走査の復路において光センサ６００により検出されるべき第二のピクセルのピクセルカウント値の所定値とを記憶する。
【０１１７】
具体的には、所定値記憶部２５６は、第一のピクセルカウント値と第二のピクセルカウント値との和の所定値と、第一のピクセルカウント値と第二のピクセルカウント値との差の所定値とを記憶する。これらの所定値には、レーザ光の水平走査方向の位相ずれ、及び、ＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動のいずれも生じていないときに、光センサ６００によって検出されるべきピクセルカウント値に基づく値が設定される。
【０１１８】
尚、所定値記憶部２５６は、温度センサ７００によって検出される気温毎に、所定値（又は所定値の補正値）を記憶するようにしてもよい。この場合、検出部２５４は、温度センサ７００によって検出された気温に対応する所定値を用いて、レーザ光の水平走査方向の位相ずれが生じているか否か、及び、ＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動が生じているか否かを、それぞれ検出してもよい。これにより、気温の影響による、光センサ６００からのパルスの出力タイミングの変化を、所定値により相殺することが可能となる。
【０１１９】
判定テーブル記憶部２５７は、判定テーブル２５８を格納する。判定テーブル２５８は、第一のピクセルカウント値及び第二のピクセルカウント値に基づいて、レーザ光の水平走査方向の位相ずれが生じているか否か、及び、ＭＥＭＳミラー３１０の水平走査方向の振れ角変動が生じているか否かを、それぞれ判定するためのテーブルである。判定テーブル２５８の詳細は、後述する。
【０１２０】
尚、本実施形態では、水平走査の往路及び復路のそれぞれについて、レーザ光の照射開始タイミングを設定可能に構成されている場合、補正部２５５は、レーザ光の水平走査方向の位相ずれ量に応じて、水平走査の往路及び復路のそれぞれのレーザ光の照射開始タイミングを補正するようにしてもよい。
【０１２１】
本実施形態の水平補正回路２５０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の構成部を備えて構成されている。すなわち、水平補正回路２５０の各機能は、水平補正回路２５０が備える各構成部によって実現される。例えば、所定値記憶部２５６及び判定テーブル記憶部２５７は、水平補正回路２５０が備えるＲＯＭ等によって実現される。また、取得部２５１、平均化部２５２、算出部２５３、検出部２５４、及び補正部２５５は、水平補正回路２５０において、ＲＯＭ等に記録されたプログラムをＣＰＵが実行することにより実現される。このプログラムは、予め水平補正回路２５０に導入された状態で水平補正回路２５０と共に提供されてもよく、水平補正回路２５０とは別に外部から提供されて水平補正回路２５０に導入されるようにしてもよい。後者の場合、このプログラムは、外部記憶媒体（例えば、ＵＳＢメモリ、メモリカード、ＣＤ−ＲＯＭ等）によって提供されてもよく、ネットワーク（例えば、インターネット等）上のサーバからダウンロードすることによって提供されるようにしてもよい。なお、水平補正回路２５０の一部又は全部は、ハードウェアによって実現されてもよい。また、水平補正回路２５０は、物理的に複数の回路によって構成されてもよい。
【０１２２】
次に、図９を参照して、本実施形態の判定テーブル２５８について説明する。図９は、第一の実施形態の判定テーブルの一例を示す図である。
【０１２３】
本実施形態の判定テーブル２５８は、情報の項目として、条件と判定値とを含み、これらの項目は対応付けられている。また、判定テーブル２５８において、項目「条件」は、項目「和」と項目「差」が対応付けられている。項目「判定値」は、項目「振れ角変動」と項目「位相ずれ」が対応付けられている。
【０１２４】
項目「和」の値は、第一のピクセルカウント値と、第二のピクセルカウント値との和が、所定値からずれているか否かを示す。例えば、項目「和」の値が「○」の場合は、所定値からずれていないことを示し、「×」の場合は所定値からずれていることを示す。
【０１２５】
項目「差」の値は、第一のピクセルカウント値と、第二のピクセルカウント値との差が、所定値からずれているか否かを示す。項目「差」の値が「○」の場合は、所定値からずれていないことを示し、「×」の場合は所定値からずれていることを示す。
【０１２６】
項目「振れ角変動」の値は、ＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動が生じているか否かを示す。例えば、項目「振れ角変動」の値が「あり」の場合は、振れ角変動が生じていることを示し、項目「振れ角変動」の値が「なし」の場合は、振れ角変動が生じていないことを示す。
【０１２７】
項目「位相ずれ」の値は、レーザ光の水平走査方向の位相ずれが生じているか否か示す。例えば、項目「位相ずれ」の値が「あり」の場合、位相ずれが生じていることを示し、項目「位相ずれ」の値が「なし」の場合、位相ずれが生じていないことを示す。
【０１２８】
例えば、図９の例において、項目「和」及び「差」が両方とも「○」の場合には、項目「振れ角変動」及び「位相ずれ」の各々に「なし」が設定される。また、図９の例において、項目「和」の値が「○」であり、項目「差」の値が「×」の場合には、項目「振れ角変動」の値に「なし」が設定され、項目「位相ずれ」の値に「あり」が設定される。また、図９の例において、項目「和」の値が「×」であり、項目「差」の値が「○」の場合には、項目「振れ角変動」の値に「あり」が設定され、項目「位相ずれ」の値に「なし」が設定される。また、図９の例において、項目「和」の値及び項目「差」の値が両方とも「×」の場合に、項目「振れ角変動」及び項目「位相ずれ」の各々の値に「あり」が設定される。
【０１２９】
本実施形態の判定テーブル２５８は、検出部２５４による、振れ角変動及び位相ずれが生じているか否かの判定の際に参照される。検出部２５４は、判定テーブル２５８を参照することで、往路のピクセルカウント値と復路のピクセルカウント値との和と、往路のピクセルカウント値と復路のピクセルカウント値との差とから、ＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動、及び、レーザ光の水平走査方向の位相ずれが生じているか否かを容易に判定することができる。
【０１３０】
次に、本実施形態の画像投影装置１００における垂直走査方向の振れ角の補正と、水平走査方向の振れ角及び位相ずれの補正と、について説明する。
【０１３１】
図１０は、第一の実施形態の画像投影装置による補正の処理を説明するフローチャートである。
【０１３２】
本実施形態の画像投影装置１００は、起動すると、システムコントローラ２１０の光量調整部２１１により、レーザ１２０Ｂから所定の光量の基準光線を照射させる（ステップＳ１００１）。具体的には、システムコントローラ２１０は、レーザ駆動回路２４０に対して、レーザ１２０Ｂから所定の光量の基準光線を照射させるように、指示する。
【０１３３】
続いて、画像投影装置１００は、システムコントローラ２１０の垂直粗調整部２１２により、垂直走査方向の振れ角の粗調整を行う（ステップＳ１００２）。続いて、システムコントローラ２１０は、垂直走査方向の粗調整が完了したか否かを判定する（ステップＳ１００３）。
【０１３４】
具体的には、システムコントローラ２１０は、変位センサ３５２、３５３からの検出信号が示す値を、予め設定された目標値に近づける制御を行い、所定期間の間に、光センサ６００が基準光線を検出した場合に、粗調整が完了したものと判定する。
【０１３５】
ステップＳ１００３において、粗調整が完了していない場合、システムコントローラ２１０は、画像投影装置１００の状態をエラーとして通知し（ステップＳ１００４）、処理を終了する。
【０１３６】
ステップＳ１００３において、粗調整が完了した場合、画像投影装置１００は、システムコントローラ２１０の水平粗調整部２１３により、水平走査方向の粗調整を行う（ステップＳ１００５）。続いて、システムコントローラ２１０は、水平走査方向の粗調整が完了したか否かを判定する（ステップＳ１００６）。
【０１３７】
ステップＳ１００６における判定の仕方は、ステップＳ１００３と同様である。ステップＳ１００６において、粗調整が完了しない場合、画像投影装置１００は、ステップＳ１００４へ進む。
【０１３８】
ステップＳ１００６において、粗調整が完了した場合、画像投影装置１００は、システムコントローラ２１０の垂直振れ角補正部２１４により、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角の補正を行う（ステップＳ１００７）。ステップＳ１００７の詳細は後述する。
【０１３９】
続いて、画像投影装置１００は、水平補正回路２５０により、ＭＥＭＳミラー３１０の水平走査方向の振れ角及び位相ずれの補正を行う（ステップＳ１００８）。ステップＳ１００８の詳細は後述する。
【０１４０】
続いて、画像投影装置１００は、光量調整部２１１により、レーザ１２０Ｒ，１２０Ｇから所定の光量の基準光線を照射させる（ステップＳ１００９）。
【０１４１】
続いて、画像投影装置１００は、システムコントローラ２１０の画像出力部２１５により、入力された画像データに基づき画像をスクリーン５００に投影させる（ステップＳ１０１０）。
【０１４２】
続いて、画像投影装置１００は、電源がオフされたか否かを判定する（ステップＳ１０１１）。ステップＳ１０１１において、電源がオフされた場合、画像投影装置１００は、処理を終了する。
【０１４３】
ステップＳ１０１１において、電源がオフされていない場合、システムコントローラ２１０は、所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１０１２）。ステップＳ１０１２において、所定時間が経過していない場合、画像投影装置１００は、ステップＳ１０１１に戻る。
【０１４４】
ステップＳ１０１２において、所定時間が経過した場合、画像投影装置１００は、ステップＳ１００７に戻る。
【０１４５】
このように、本実施形態では、垂直走査方向の振れ角の補正を行った後に、水平走査方向の振れ角及び位相ずれの補正を行う。
【０１４６】
しかだって、本実施形態では、基準光線がＰＤ６２０によって検出される状態において、水平補正回路２５０による水平走査方向の補正を行うことができる。
【０１４７】
また、本実施形態では、垂直走査方向と水平走査方向のそれぞれについて、粗調整を行った後に、垂直走査方向の振れ角の補正を行う。したがって、本実施形態によれば、ＭＥＭＳミラー３１０に基準光線が照射されている状態において、垂直振れ角補正部２１４による垂直走査方向の振れ角の補正を行うことができる。
【０１４８】
以下に、図１１を参照して、本実施形態の垂直振れ角補正部２１４の処理について説明する。図１１は、第一の実施形態の垂直振れ角補正部の処理を説明するフローチャートである。図１１に示す処理は、図１０のステップＳ１００７の詳細を示す。
【０１４９】
本実施形態の垂直振れ角補正部２１４は、検出判定部２７１により、ＰＤ６１０からの信号の出力が検出されたか否かを判定する（ステップＳ１１０１）。言い換えれば、検出判定部２７１は、基準光線がＰＤ６１０を走査したか否かを判定する。
【０１５０】
ステップＳ１１０１において、ＰＤ６１０からの信号の出力が検出された場合、垂直振れ角補正部２１４は、検出回数保持部２７２により、ＰＤ６１０が基準光線を検出したことを保持し（ステップＳ１１０２）、後述するステップＳ１１０４へ進む。言い換えれば、検出回数保持部２７２は、ＰＤ６１０による基準光線の検出回数を１回分増やす。
【０１５１】
ステップＳ１１０１において、ＰＤ６１０からの信号の出力が検出されない場合、垂直振れ角補正部２１４は、基準光線が照射されてから所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１１０３）。ステップＳ１１０３において、所定時間が経過していない場合、垂直振れ角補正部２１４は、ステップＳ１１０１へ戻る。
【０１５２】
ステップＳ１１０３において、所定時間が経過した場合、垂直振れ角補正部２１４は、検出判定部２７１により、ＰＤ６２０からの信号の出力を検出したか否かを判定する（ステップＳ１１０４）。言い換えれば、検出判定部２７１は、基準光線がＰＤ６２０を走査したか否かを判定する。
【０１５３】
ステップＳ１１０４において、ＰＤ６２０からの信号の出力が検出された場合、垂直振れ角補正部２１４は、検出回数保持部２７２により、ＰＤ６２０が基準光線を検出したことを保持し（ステップＳ１１０５）、後述するステップＳ１１０６へ進む。言い換えれば、検出回数保持部２７２は、ＰＤ６２０による基準光線の検出回数を１回分増やす。
【０１５４】
ステップＳ１１０４において、ＰＤ６１０からの信号の出力が検出されない場合、垂直振れ角補正部２１４は、基準光線が照射されてから所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１１０６）。ステップＳ１１０６において、所定時間が経過していない場合、垂直振れ角補正部２１４は、ステップＳ１１０４へ戻る。
【０１５５】
ステップＳ１１０６において、所定時間が経過した場合、垂直振れ角補正部２１４は、検出判定部２７１により、ＰＤ６１０とＰＤ６２０の少なくとも何れか一方が、基準光線を検出したか否かを判定する（ステップＳ１１０７）。言い換えれば、検出判定部２７１は、検出回数保持部２７２が保持しているＰＤ６１０とＰＤ６２０の検出回数のうち、少なくとも何れ一方が増加したか否かを判定する。
【０１５６】
ステップＳ１１０７において、ＰＤ６１０、ＰＤ６２０共に、基準光線を検出していない場合、図１０のステップＳ１１０４へ進む。
【０１５７】
ステップＳ１１０７において、ＰＤ６１０、ＰＤ６２０の少なくとも何れか一方が基準光線を検出した場合、垂直振れ角補正部２１４は、所定の本数の基準光線のステップＳ１１０１からステップＳ１１０６までの処理が完了したか否かを判定する（ステップＳ１１０８）。ステップＳ１１０８において、所定の本数の基準光線の照射が完了していない場合、垂直振れ角補正部２１４は、基準光線の照射位置を変更し（ステップＳ１１０９）、ステップＳ１１０１へ戻る。
【０１５８】
尚、本実施形態では、垂直振れ角補正部２１４による垂直走査方向の振れ角の補正に用いられる基準光線の本数は、予め設定されていても良い。
【０１５９】
ステップＳ１１０８において、所定の本数の基準光線について該当する処理が完了した場合、振れ角制御部２７４は、検出回数保持部２７２が保持しているＰＤ６１０の基準光線の検出回数と、ＰＤ６２０の基準光線の検出回数を、それぞれの期待値と比較する（ステップＳ１１１０）。
【０１６０】
尚、本実施形態では、ＰＤ６１０による基準光線の検出回数の期待値と、ＰＤ６２０による基準光線の検出回数の期待値とは、予め、振れ角制御部２７４に設定されていても良い。
【０１６１】
続いて、垂直振れ角補正部２１４は、振れ角制御部２７４により、補正テーブル２７５を参照して、ＰＤ６１０の検出回数とＰＤ６２０の検出回数と、それぞれとの期待値との関係と対応付く補正方法を参照する（ステップＳ１１１１）。
【０１６２】
具体的には、振れ角制御部２７４は、例えば、ＰＤ６１０の検出回数とＰＤ６１０の期待値との比較結果と、ＰＤ６２０の検出回数とＰＤ６２０の期待値との比較結果に基づき、補正テーブル２７５における状態を特定する。そして、振れ角制御部２７４は、補正テーブル２７５において、特定された状態と対応する補正方法を参照する。
【０１６３】
続いて、垂直振れ角補正部２１４は、参照された補正方法が、エラーの通知であるか否かを判定する（ステップＳ１１１２）。ステップＳ１１１２において、エラーの通知である場合、画像投影装置１００は、図１０のステップＳ１００４へ進む。
【０１６４】
ステップＳ１１１２において、エラーの通知でない場合、垂直振れ角補正部２１４は、補正方法が「粗調整に戻る」であるかいか否かを判定する（ステップＳ１１１３）。ステップＳ１１１３において、補正方法が「粗調整に戻る」である場合、画像投影装置１００は、図１０のステップＳ１００２へ進む。
【０１６５】
ステップＳ１１１３において、補正方法が「粗調整に戻る」でない場合、振れ角制御部２７４は、参照した補正方法に基づき、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角を補正し（ステップＳ１１１４）、図１０のステップＳ１００８へ進む。
【０１６６】
具体的には、振れ角制御部２７４は、ミラー駆動回路２３０に対して、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角を拡大させる指示や、縮小させる指示等を行う。
【０１６７】
次に、図１２を参照して、本実施形態の水平補正回路２５０による補正について説明する。図１２は、第一の実施形態の水平補正回路の処理を説明するフローチャートである。図１２は、図１０のステップＳ１００８の詳細を示している。
【０１６８】
本実施形態の画像投影装置１００の水平補正回路２５０は、取得部２５１により、光センサ６００の検出結果を、システムコントローラ２１０から取得する（ステップＳ１２０１）。
【０１６９】
尚、光センサ６００の検出結果とは、垂直振れ角補正部２１４による垂直走査方向の振れ角の補正が行われた後に、照射された基準光線による水平走査の往路において取得された第一のピクセルカウント値と、復路において取得された第二のピクセルカウント値とである。したがって、本実施形態の画像投影装置１００により照射される基準光線は、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角の補正を行うための所定数の基準光線と、ＭＥＭＳミラー３１０の水平走査方向の振れ角及び位相ずれの補正を行うための所定数の基準光線とを含む。
【０１７０】
続いて、水平補正回路２５０は、平均化部２５２が、取得部２５１によって光センサ６００の検出結果が所定数取得されたか否かを判断する（ステップＳ１２０２）。ステップＳ１２０２において、光センサ６００の検出結果が所定数取得されていない場合、水平補正回路２５０は、ステップＳ５０１へ戻る。
【０１７１】
ステップＳ１２０２において、光センサ６００の検出結果が所定数取得された場合、平均化部２５２が、平均化処理を行う（ステップＳ１２０３）。具体的には、平均化部２５２は、所定数の第一のピクセルカウント値の平均値と、所定数の第二のピクセルカウント値の平均値とを、それぞれ算出する。そして、算出部２５３が、第一のピクセルカウント値の平均値と、第二のピクセルカウント値の平均値との、和及び差をそれぞれ算出する（ステップＳ１２０４）。
【０１７２】
続いて、水平補正回路２５０は、検出部２５４により、ステップＳ１２０４で算出された和及び差と、所定値記憶部２５６に記憶されている所定値と、判定テーブル２５８とに基づいて、レーザ光の水平走査方向の位相ずれ及びＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動が生じているか否かを、それぞれ検出する（ステップＳ１２０５）。
【０１７３】
続いて、水平補正回路２５０は、補正部２５５により、ＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動が検出されたか否かを判定する（ステップＳ１２０６）。
【０１７４】
ステップＳ１２０６において、振れ角変動が検出されない場合、水平補正回路２５０は、後述するステップＳ１２０８へ進む。
【０１７５】
ステップＳ１２０６において、ＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動が検出された場合、補正部２５５は、ＭＥＭＳミラー３１０の振れ角変動を補正して（ステップＳ１２０７）、後述するステップＳ１２０８へ進む。
【０１７６】
水平補正回路２５０は、補正部２５５により、レーザ光の水平走査方向の位相ずれが検出されたか否かを判定する（ステップＳ１２０８）。
【０１７７】
ステップＳ１２０８において、位相ずれが検出されない場合、水平補正回路２５０は、図１０のステップＳ１００９へ進む。
【０１７８】
ステップＳ１２０８において、位相ずれが検出された場合、水平補正回路２５０は、補正部２５５により、レーザ光の水平走査方向の位相ずれを補正し（ステップＳ１２０９）、図１０のステップＳ１００９へ進む。 
以下に、図１３及び図１６を参照して、水平補正回路２５０による補正について、具体的に説明する。
【０１７９】
図１３は、水平補正回路による補正方法の具体例を示す第一の図である。
【０１８０】
図１３に示す例は、振れ角変動及び位相ずれの何れも生じていないケースである。この例では、第一のピクセルカウント値は「５０４」であり、第二のピクセルカウント値は「５０４」である。この場合、算出部２５３は、両者の和として「１００８」を算出する。また、算出部２５３は、両者の差として「０」を算出する。すなわち、算出部２５３によって算出された和及び差は、いずれも所定値記憶部２５６に記憶されている所定値と同じである。この場合、検出部２５４は、判定テーブル２５８に基づいて、「振れ角変動及び位相ずれのいずれも生じていない」と判定する。よって、補正部２５５による補正は行われない。
【０１８１】
図１４は、水平補正回路による補正方法の具体例を示す第二の図である。図１４に示す例は、１ピクセル分の位相ずれのみが生じているケースである。
【０１８２】
この例では、第一のピクセルカウント値は「５０３」であり、第二のピクセルカウント値は「５０５」である。この場合、算出部２５３は、両者の和として「１００８」を算出する。また、算出部２５３は、両者の差として「−２」を算出する。すなわち、算出部２５３によって算出された和は、所定値記憶部２５６に記憶されている所定値と同じであるが、算出部２５３によって算出された差は、所定値記憶部２５６に記憶されている所定値と異なる。この場合、検出部２５４は、判定テーブル２５８に基づいて、「振れ角変動は生じていないが、位相ずれが生じている」と判定する。よって、補正部２５５による、１ピクセル分の位相ずれの補正のみが行われる。
【０１８３】
図１５は、水平補正回路による補正方法の具体例を示す第三の図である。図１５に示す例は、１ピクセル分の振れ角変動のみが生じているケースである。
【０１８４】
この例では、第一のピクセルカウント値は「５０３」であり、第二のピクセルカウント値は「５０３」である。この場合、算出部２５３は、両者の和として「１００６」を算出する。また、算出部２５３は、両者の差として「０」を算出する。すなわち、算出部２５３によって算出された和は、所定値記憶部２５６に記憶されている所定値と異なるが、算出部２５３によって算出された差は、所定値記憶部２５６に記憶されている所定値と同じである。この場合、検出部２５４は、判定テーブル２５８に基づいて、「振れ角変動は生じているが、位相ずれは生じていない」と判定する。よって、補正部２５５による、１ピクセル分の振れ角変動の補正のみが行われる。
【０１８５】
図１６は、水平補正回路による補正方法の具体例を示す第四の図である。図１６に示す例は、１ピクセル分の位相ずれと、１ピクセル分の振れ角変動とが生じているケースである。
【０１８６】
この例では、第一のピクセルカウント値は「５０２」であり、第二のピクセルカウント値は「５０４」である。この場合、算出部２５３は、両者の和として「１００６」を算出する。また、算出部２５３は、両者の差として「−２」を算出する。すなわち、算出部２５３によって算出された和及び差は、いずれも所定値記憶部２５６に記憶されている所定値と異なる。この場合、検出部２５４は、判定テーブル２５８に基づいて、「振れ角変動及び位相ずれの双方が生じている」と判定する。よって、補正部２５５による、１ピクセル分の位相ずれの補正、及び１ピクセル分の振れ角変動の補正の双方が行われる。
【０１８７】
このように、本実施形態によれば、第一のピクセルカウント値と第二のピクセルカウント値との和及び差を算出し、和及び差のそれぞれについて、所定値からのずれの有無により、位相ずれ及び振れ角変動のそれぞれを検出する。したがって、本実施形態の画像投影装置１００によれば、少なくとも和及び差のそれぞれの所定値を予め設定しておけばよく、比較的簡単な構成で、ＭＥＭＳミラー３１０の水平走査方向の振れ角の変動及び位相ずれを検出し、補正することができる。
【０１８８】
また、本実施形態では、光センサ６００に、垂直走査方向において、一部が重畳した２つの受光領域を設けた。本実施形態では、この構成により、ＰＤ６１０による基準光線の検出回数と期待値との関係及びＰＤ６２０による基準光線の検出回数と期待値との関係に基づき、垂直走査方向の振れ角の変動の有無を判定し、補正することができる。したがって、本実施形態によれば、簡易な構成で、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向及び水平走査方向における振れ角の変動を検出し、補正することができる。
【０１８９】
よって、本実施形態によれば、レーザ光の照射位置の精度を向上させることができる。
【０１９０】
（第二の実施形態）
以下に図面を参照して、第二の実施形態について説明する。第二の実施形態では、システムコントローラ２１０の機能を、ＭＥＭＳコントローラとＣＰＵによって実現する点のみ、第一の実施形態と相違する。よって、以下の第二の実施形態の説明では、第一の実施形態との相違点についてのみ説明し、第一の実施形態と同様の機能構成を有するものには、第一の実施形態の説明で用いた符号と同様の符号を付与し、その説明を省略する。
【０１９１】
図１７は、第二の実施形態の画像投影装置の構成を示す図である。
【０１９２】
本実施形態の画像投影装置１００Ａは、回路部２００Ａ、光源部１２１、光走査部１３０、光学系１４０、スクリーン５００、光センサ６００、温度センサ７００、基準検出回路８００を備えている。
【０１９３】
回路部２００Ａは、ＣＰＵ２１０Ａ、バッファ回路２２０、ミラー駆動回路２３０、レーザ駆動回路２４０、水平補正回路２５０、ＭＥＭＳコントローラ２６０を備える。
【０１９４】
ＣＰＵ２１０Ａは、ＭＥＭＳコントローラ２６０を制御する。具体的には、ＣＰＵ２１０Ａは、基準検出回路８００から出力される信号に基づき、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角を補正する処理を実行する。ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角を補正する処理は、第一の実施形態のシステムコントローラ２１０により実行される処理と同様である。
【０１９５】
また、本実施形態では、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角の補正の結果と、水平補正回路２５０によるＭＥＭＳミラー３１０の水平走査方向の振れ角及び位相ずれの補正の結果を、ＭＥＭＳコントローラ２６０に通知する。
【０１９６】
ＭＥＭＳコントローラ２６０は、ミラー駆動回路２３０、レーザ駆動回路２４０を制御する。また、ＭＥＭＳコントローラ２６０は、ＣＰＵ２１０Ａから通知される、各種の補正の結果に基づき、ＭＥＭＳミラー３１０の駆動を制御する。さらに、ＭＥＭＳコントローラ２６０は、ミラー駆動回路２３０とレーザ駆動回路２４０に対して、基準光線を照射させる指示を行うと共に、基準光線の照射を指示したことを示す信号を基準検出回路８００へ出力する。
【０１９７】
基準検出回路８００は、ＭＥＭＳコントローラ２６０から出力される信号と、ＰＤ６１０から出力される信号と、に基づき、ＰＤ６１０から出力される信号を、ＣＰＵ２１０Ａが検出可能なタイミングの信号として、ＣＰＵ２１０Ａに出力する。基準検出回路８００の詳細は後述する。
【０１９８】
本実施形態の画像投影装置１００Ａでは、ＰＤ６１０から出力される信号が、基準検出回路８００に入力され、基準検出回路８００の出力が、ＣＰＵ２１０Ａに供給される。また、本実施形態の画像投影装置１００Ａでは、ＰＤ６２０から出力される信号は、ＭＥＭＳコントローラ２６０に入力される。
【０１９９】
以下に、図１８を参照して、本実施形態の基準検出回路８００について説明する。図１８は、第二の実施形態の基準検出回路を説明する図である。
【０２００】
本実施形態の基準検出回路８００は、インバータ８１０と、ラッチ回路８２０とを有する。
【０２０１】
本実施形態の基準検出回路８００において、インバータ８１０には、ＭＥＭＳコントローラ２６０から出力される信号であるＡＰＣ＿ＥＮＢ信号が入力される。ＡＰＣ＿ＥＮＢ信号は、基準光線が照射されたことを通知する信号である。
【０２０２】
ラッチ回路８２０には、インバータ８１０の出力信号と、ＰＤ６１０から出力される信号であるＳ１信号とが入力される。ラッチ回路８２０から出力されるＳ２信号は、ＣＰＵ２１０Ａに供給される。
【０２０３】
以下に、図１９を参照して、本実施形態の基準検出回路８００の動作について説明する。図１９は、基準検出回路の動作を示すタイミングチャートである。
【０２０４】
図１９の例では、タイミングＴ１において、ＡＰＣ＿ＥＮＢ信号がＬレベルからＨレベルに反転し、タイミングＴ３において、ＨレベルからＬレベルへ反転する。つまり、図１９では、タイミングＴ１からタイミングＴ３までの間、基準光線が照射されたことを示す。
【０２０５】
タイミングＴ１において、信号Ｓ１はＨレベルのままであり、ＰＤ６１０はタイミングＴ１では基準光線を検出していない。したがって、Ｓ２信号もＨレベルのままである。
【０２０６】
タイミングＴ２において、ＰＤ６１０が基準光線を検出すると、ＰＤ６１０から出力されるＳ１信号は、ＨレベルからＬレベルに反転する。そして、Ｓ１信号は、基準光線によるＰＤ６１０の走査が終了すると、ＬレベルからＨレベルに反転し、Ｈレベルを維持する。
【０２０７】
ラッチ回路８２０の出力信号であるＳ２信号は、タイミングＴ２において、Ｓ１信号がＬレベルになると、ＨレベルからＬレベルに反転する。そして、Ｓ２信号は、ＡＰＣ＿ＥＮＢ信号がタイミングＴ３でＨレベルからＬレベルに反転すると、ＬレベルからＨレベルに反転する。
【０２０８】
このように、基準検出回路８００では、基準光線が照射されている間は、基準検出回路８００の出力信号であるＳ２信号は、Ｌレベルに維持される。つまり、本実施形態の基準検出回路８００は、基準光線がＰＤ６１０に検出されてから、この基準光線が照射されている間、Ｓ２信号を、ＰＤ６１０の出力信号であるＳ１信号と同じレベルに維持させるラッチ部である。
【０２０９】
ＣＰＵ２１０Ａは、基準検出回路８００から出力されるＳ２信号がＬレベルとなった回数を、ＰＤ６１０による基準光線の検出回数としてカウントする。したがって、本実施形態では、ＣＰＵ２１０Ａの分解能がＭＥＭＳコントローラ２６０より低い場合でも、基準光線がＰＤ６１０を走査したことをＣＰＵ２１０Ａに検出させることができる。
【０２１０】
したがって、本実施形態では、ＣＰＵ２１０Ａにより、ＭＥＭＳミラー３１０の垂直走査方向の振れ角を補正する処理を実行させることができる。
【０２１１】
尚、本実施形態では、ＰＤ６１０から出力されるＳ１信号をラッチ回路８２０によって保持するものとしたが、これに限定されない。例えば、ＰＤ６１０から出力されるＳ１信号は、ＭＥＭＳコントローラ２６０のレジスタに保持されても良い。
【０２１２】
この場合、ＭＥＭＳコントローラ２６０は、ＰＤ６１０が次に基準光線を検出したことを示す出力信号であるＳ１信号が入力されるまでの間、レジスタにＳ１信号を保持しても良い。また、ＭＥＭＳコントローラ２６０は、レジスタの情報を読み込むまで間、Ｓ１信号を保持しても良い。レジスタの情報を読み込むまでの間とは、基準光線がＰＤ６１０に検出されてから、この基準光線が照射されている間である。
【０２１３】
また、本実施形態では、Ｓ１信号をＭＥＭＳコントローラ２６０で保持する場合には、基準検出回路８００は不要となるため、より簡易な構成とすることができる。
【０２１４】
以上、各実施形態に基づき本発明の説明を行ってきたが、上記実施形態に示した要件に本発明が限定されるものではない。これらの点に関しては、本発明の主旨をそこなわない範囲で変更することができ、その応用形態に応じて適切に定めることができる。
【符号の説明】
【０２１５】
１００、１００Ａ  画像投影装置
１２０  ＬＤモジュール
１３０  光走査部
１４０  光学系
２００、２００Ａ  回路部
２１０  システムコントローラ
２１１  光量調整部
２１２  垂直粗調整部
２１３  水平粗調整部
２１４  垂直振れ角補正部
２１５  画像出力部
２２０  バッファ回路
２３０  ミラー駆動回路
２４０  レーザ駆動回路
３１０  ＭＥＭＳミラー
５００  スクリーン
６００  光センサ
６１０、６２０  ＰＤ
７００  温度センサ
８００  基準検出回路
【図１】
2019086528.tif 000003
【図２】
2019086528.tif 000004
【図３】
2019086528.tif 000005
【図４】
2019086528.tif 000006
【図５】
2019086528.tif 000007
【図６】
2019086528.tif 000008
【図７】
2019086528.tif 000009
【図８】
2019086528.tif 000010
【図９】
2019086528.tif 000011
【図１０】
2019086528.tif 000012
【図１１】
2019086528.tif 000013
【図１２】
2019086528.tif 000014
【図１３】
2019086528.tif 000015
【図１４】
2019086528.tif 000016
【図１５】
2019086528.tif 000017
【図１６】
2019086528.tif 000018
【図１７】
2019086528.tif 000019
【図１８】
2019086528.tif 000020
【図１９】
2019086528.tif 000021