(57)【要約】【課題】下側工具と上側工具とで挟み込んで被加工物の両面に研磨又は研削等の加工を施す途中で、下側工具と上側工具の磨耗量を精度良く測定することが可能な磨耗量測定装置を提供する。【解決手段】磨耗量測定装置１は、第１接触式変位センサ１１、第２接触式変位センサ１２、及び揺動部材を備える。第１接触式変位センサ１１は、被加工物の下側に配置される下側工具２１の上面の鉛直方向位置を検知する。第２接触式変位センサ１２は、上記被加工物の上側に配置される上側工具２２の下面の鉛直方向位置を検知する。上記揺動部材は、第１接触式変位センサ１１と第２接触式変位センサ１２とを反対方向に揺動可能な状態で固定する。磨耗量測定装置１は、第１接触式変位センサ１１及び第２接触式変位センサ１２を揺動させてそれぞれを下側工具２１の上面、上側工具２２の下面に接触させ、上記上面の磨耗量及び上記下面の磨耗量を測定する。【選択図】図１
2019136782.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の下側に配置される下側工具の上面の鉛直方向位置を検知する第１接触式変位センサと、
前記被加工物の上側に配置される上側工具の下面の鉛直方向位置を検知する第２接触式変位センサと、
前記第１接触式変位センサと前記第２接触式変位センサとを反対方向に揺動可能な状態で固定する揺動部材と、
を備え、
前記第１接触式変位センサ及び前記第２接触式変位センサを揺動させてそれぞれを前記下側工具の上面、前記上側工具の下面に接触させ、前記下側工具の上面の磨耗量及び前記上側工具の下面の磨耗量を測定する、
磨耗量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磨耗量測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、片面研削装置において、ドレッシング（砥石の目立て）前後における砥石の鉛直方向位置の差を検知して、砥石の磨耗量を算出する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−１５４２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、両面研削装置において、上砥石の磨耗量と下砥石の磨耗量を接触式変位センサから算出しようとする場合、上砥石専用の接触式変位センサと下砥石専用の接触式変位センサとによって、それぞれ上砥石の位置と下砥石の位置を検知することになる。
【０００５】
しかしながら、研削を中断して上砥石及び下砥石の位置を検知しようとすると、両面研削装置内に研削加工によって生じた熱が双方の接触式変位センサを保持する保持具に伝わり、その保持具が熱膨張してしまう。その結果、各接触式変位センサが初期の位置から変位（熱変位）するため、上砥石及び下砥石の位置を精度良く検知することができない虞がある。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、下側工具と上側工具とで挟み込んで被加工物の両面に研磨又は研削等の加工を施す途中で、下側工具と上側工具の磨耗量を精度良く測定することが可能な磨耗量測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための本発明の一態様は、
被加工物の下側に配置される下側工具の上面の鉛直方向位置を検知する第１接触式変位センサと、
前記被加工物の上側に配置される上側工具の下面の鉛直方向位置を検知する第２接触式変位センサと、
前記第１接触式変位センサと前記第２接触式変位センサとを反対方向に揺動可能な状態で固定する揺動部材と、
を備え、
前記第１接触式変位センサ及び前記第２接触式変位センサを揺動させてそれぞれを前記下側工具の上面、前記上側工具の下面に接触させ、前記下側工具の上面の磨耗量及び前記上側工具の下面の磨耗量を測定する、
磨耗量測定装置である。
【０００８】
この一態様に係る磨耗量測定装置では、下側工具上面の位置を検知するための第１接触式変位センサと上側工具下面の位置を検知するための第２接触式変位センサとが、揺動部材により下側工具及び上側工具から取り外しできるような状態で固定されている。よって、この一態様によれば、下側工具と上側工具とで挟み込んで被加工物の両面に研磨又は研削等の加工を施す途中で、下側工具と上側工具の磨耗量を精度良く測定することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、下側工具と上側工具とで挟み込んで被加工物の両面に研磨又は研削等の加工を施す途中で、下側工具と上側工具の磨耗量を精度良く測定することが可能な磨耗量測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る磨耗量測定装置の一構成例を示す概略側面図である。
【図２】図１の磨耗量測定装置の外観を示す斜視図である。
【図３】図２の磨耗量測定装置が設置される様子を示す一部断面図である。
【図４】図１の磨耗量測定装置での測定の様子を示す模式図である。
【図５】比較例に係る磨耗量測定装置での測定の様子を示す模式図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る磨耗量測定装置の他の構成例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施形態に係る磨耗量測定装置について、図面を参照しながら説明する。
【００１２】
図１は、本実施形態に係る磨耗量測定装置の一構成例を示す概略側面図である。図２は、図１の磨耗量測定装置の外観を示す斜視図で、図３は、図２の磨耗量測定装置が設置される様子を示す一部断面図である。図２（ａ）及び図３（ａ）は非測定時の状態を示しており、図２（ｂ）及び図３（ｂ）は測定時の状態を示している。
【００１３】
図１に示すように、本実施形態に係る磨耗量測定装置１は、下側工具２１の磨耗量と上側工具２２の磨耗量を測定する装置である。下側工具２１及び上側工具２２は、被加工物（被加工品）を加工する際にその被加工物を挟み込む工具であり、下側工具２１は被加工物の下側に配置され、上側工具２２は被加工物の上側に配置される。
【００１４】
下側工具２１及び上側工具２２は、両面研磨機又は両面研削機において被加工物の両面を研磨又は研削する際に用いられる工具とすることができる。この場合、下側工具２１及び上側工具２２はいずれも、研磨定盤又は研削砥石等のプラテンとすることができ、被加工物は、被研磨物又は被研削物と称することができる。なお、両面研磨機では定盤と遊動砥粒によって被研磨物を加工することができ、両面研削機では砥石によって被研削物を加工（固定砥粒加工）することができる。
【００１５】
被加工物としては、ウェハー等の両面に平坦度が要求されるような物体を適用することができる。このような両面に平坦度が要求される被加工物を加工する際、工具となるプラテンの両面の磨耗量を精度良く測定する必要があるためである。
【００１６】
磨耗量測定装置１は、第１接触式変位センサ１１、第２接触式変位センサ１２、及び揺動部材を備える。この揺動部材は、例えば、後述する揺動板１３、軸部材１４、及び支持部材１５などで構成することができる。
【００１７】
第１接触式変位センサ１１は、下側工具（以下、下プラテン）２１の上面の鉛直方向位置（以下、鉛直位置）を検知する。第１接触式変位センサ１１は、その本体１１ａと対象物に接する測定子（第１測定子）１１ｂとを有することができる。本体１１ａは、第１測定子１１ｂの先端を、下プラテン２１の上面に接触させた状態で、当該上面の鉛直位置を検知する。なお、下プラテン２１の上面は、被加工物の載置面とすることができる。
【００１８】
第２接触式変位センサ１２は、上側工具（以下、上プラテン）２２の下面の鉛直位置を検知する。第２接触式変位センサ１２は、その本体１２ａと対象物に接する測定子（第２測定子）１２ｂとを有することができる。本体１２ａは、第２測定子１２ｂの先端を、上プラテン２２の下面に接触させた状態で、当該下面の鉛直位置を検知する。
【００１９】
第１接触式変位センサ１１は、接触させた測定対象面の位置を、非測定時（非接触時）における位置からの変位量として検知するように構成することができる。非測定時における位置は、非測定時における、本体１１ａに対する第１測定子１１ｂの位置を指す。第１接触式変位センサ１１は、例えば、内部にコイルを有するトランス式のセンサ、内部に固定スケールを有するスケール式のセンサなどとすることができる。なお、固定スケールとしてガラススケールを有するセンサは光学式のセンサ、固定スケールとして磁気スケールを有するセンサは磁気検出方式のセンサに、それぞれ分類されることもある。また、第２接触式変位センサ１２は、第１接触式変位センサ１１と同様の構成を有することができる。
【００２０】
上記揺動部材は、第１接触式変位センサ１１と第２接触式変位センサ１２とを反対方向に揺動可能な状態で固定する。具体的に図１で例示する上記揺動部材について説明する。この揺動部材は、上述したように、例えば揺動板１３、軸部材１４、及び支持部材１５などで構成することができる。支持部材１５は、両面研磨機又は両面研削機、或いは作業場の天井又は床などの高さが変わらない位置（以下、固定位置）に固定されている。なお、支持部材１５は水平方向に移動可能な状態で固定位置に固定されることもできる。
【００２１】
揺動板１３は、第１接触式変位センサ１１と第２接触式変位センサ１２とを互いに固定する。ここで、第１接触式変位センサ１１は揺動板１３の一端に固定し、第２接触式変位センサ１２は揺動板の他端に固定しておくことができる。また、揺動板１３は、第１接触式変位センサ１１と第２接触式変位センサ１２とを、支持部材１５に対して軸部材１４を中心に揺動可能に取り付けることができる。図１の軸部材１４は、図２において一点鎖線で示す軸を中心に揺動可能（回動可能）なヒンジとすることができる。揺動板１３を揺動させる機構の例については後述する。
【００２２】
上述のような構成の磨耗量測定装置１は、磨耗量の測定時、第１接触式変位センサ１１及び第２接触式変位センサ１２を揺動させてそれぞれを下プラテン２１の上面、上プラテン２２の下面に接触させる。
【００２３】
このような接触状態で、磨耗量測定装置１は、下プラテン２１の上面の磨耗量及び上プラテン２２の下面の磨耗量を測定する。磨耗量測定装置１は、第１接触式変位センサ１１の検知結果に基づき下プラテン２１の上面の磨耗量を算出し、第２接触式変位センサ１２の検知結果に基づき上プラテン２２の下面の磨耗量を算出する。第１接触式変位センサ１１の検知結果に基づく下プラテン２１の上面の磨耗量は、以前第１接触式変位センサ１１で検知した当該上面の位置との差（変位）として求めることができる。第２接触式変位センサ１２の検知結果に基づく上プラテン２２の下面の磨耗量についても同様である。
【００２４】
なお、磨耗量測定装置１は、このように第１接触式変位センサ１１、第２接触式変位センサ１２、及び揺動部材を一体化して上面と下面を測定できるようにしたため、上下一体型両面測定装置と称することができる。
【００２５】
また、上プラテン２２は、図３に示すように、その上部に設けられ、上プラテン２２を回転させる回転保持部材により上下に移動させることが可能になっている。例えば、下プラテン２１及び上プラテン２２が磨耗した後は、その回転保持部材を下側に移動させて磨耗分を詰めることができる。
【００２６】
ここで、揺動板１３を揺動させる機構の一例について説明する。図２に示すように、支持部材１５はエアシリンダ等のアクチュエータ１６及び突起部（凸部）１８を有し、揺動板１３は凹部１７を有することができる。凹部１７及び突起部１８はストッパを構成している。凹部１７及び突起部１８は、接触時に互いに係合する形状を有することが望ましい。
【００２７】
被加工物の加工時、即ち下プラテン２１及び上プラテン２２が回転しているときは、第１測定子１１ｂ及び第２測定子１２ｂは、それぞれ下プラテン２１及び上プラテン２２と非接触の状態（退避状態）とする。
【００２８】
図２（ａ）及び図３（ａ）に示すような非接触状態から図２（ｂ）及び図３（ｂ）に示すような接触状態にする場合には、磨耗量測定装置１は、次のような動作を行う。即ち、磨耗量測定装置１は、アクチュエータ１６を稼働させてそのロッド部（ピストン部）により、揺動板１３の第２接触式変位センサ１２側を押し上げることで、第１接触式変位センサ１１の高さを下げて第２接触式変位センサ１２の高さを上げる。このとき、アクチュエータ１６は、凹部１７が突起部１８に接する位置まで揺動板１３を押し上げてその位置を維持する。このように、接触状態は、アクチュエータ１６にて測定側に揺動された揺動板１３が、その凹部１７において突起部１８に当接し、保持されている状態である。アクチュエータ１６がエアシリンダである場合には、この保持は空気圧によりなされることになる。
【００２９】
このような接触状態において測定がなされる。測定時には、第１接触式変位センサ１１及び第２接触式変位センサ１２は、アクチュエータ１６による揺動板１３の駆動、並びに凹部１７及び突起部１８でなるストッパによる停止により、再現良く位置決めされている。
【００３０】
接触状態から非接触状態にする場合、アクチュエータ１６の稼働を停止する（或いはアクチュエータ１６を、そのロッド部を下げるように稼働させる）ことで、図２（ａ）及び図３（ａ）に示すような元の非接触状態に戻すことができる。また、このように非接触状態にした後、更に第１接触式変位センサ１１及び第２接触式変位センサ１２を揺動板１３とともに水平方向に退避させ、両面研磨機又は両面研削機の本体と離した後に、加工を行うこともできる。
【００３１】
また、上述のように、第１接触式変位センサ１１及び第２接触式変位センサ１２は、非測定時に加工の邪魔にならない位置に退避させる。そのため、揺動板１３は、第１接触式変位センサ１１及び第２接触式変位センサ１２を、それぞれ下プラテン２１、上プラテン２２と非接触にできる程度（退避できる程度）の角度だけ揺動可能であればよい。このような角度に基づき、凹部１７と突起部１８との間の距離などを決めておけばよい。
【００３２】
次に、図４及び図５を参照しながら、本実施形態に係る磨耗量測定装置１における測定精度について説明する。図４は、磨耗量測定装置１での測定の様子を示す模式図である。図４（ａ）では初期状態を、図４（ｂ）では磨耗状態を、図４（ｃ）では磨耗し且つ熱膨張等による変位がある状態を、図４（ｄ）では磨耗量を補正した状態を、それぞれ示している。また、図５は、比較例に係る磨耗量測定装置での測定の様子を示す模式図である。図５（ａ）では初期状態を、図５（ｂ）では磨耗状態を、図５（ｃ）では磨耗し且つ熱膨張等による変位がある状態を、図５（ｄ）では磨耗量を補正した状態を、それぞれ示している。
【００３３】
図４に示すように、磨耗量測定装置１では、上下の接触式変位センサである第１接触式変位センサ１１及び第２接触式変位センサ１２を、図１等で説明した揺動板１３で一体化している。なお、図４では、便宜上、揺動板１３を揺動板上部１３ａと揺動板下部１３ｂとで分けて図示しているが、これらは一体に構成されている。また、図４では、便宜上、揺動板に重なるように支持部材１５を図示している。また、図４では、支持部材１５を固定位置に固定するための部材として、支持部材１５の上方に延伸された支持部材１０を例示している。支持部材１０は、固定位置に固定されて磨耗量測定装置１を支持する。
【００３４】
例えば、図４（ｂ）に示すように下プラテン２１が磨耗量Δ１だけ磨耗し、上プラテン２２が磨耗量Δ２だけ磨耗していた場合を想定する。この場合、研磨又は研削の熱により、主に支持部材１０が膨張することがある。
【００３５】
支持部材１０が熱膨張した状態では、図４（ｃ）に示すように、第１接触式変位センサ１１が変位量εだけ下方に変位したとすると、第２接触式変位センサ１２も同じ変位量εだけ下方に変位することになる。なお、このとき、厳密には、揺動板上部１３ａ及び揺動板下部１３ｂや第１接触式変位センサ１１自体及び第２接触式変位センサ１２自体も熱膨張することが想定されるが、元の長さが短く熱膨張による変位量は小さいため、無視できる程度である。
【００３６】
このような構成により、熱膨張が生じた場合でも、下プラテン２１側の熱膨張による変位量（誤差）と上プラテン２２側の誤差が相殺されるため、被加工物の厚みの変化を小さくすることができる。実際、被加工物の厚みの変化量Ｙは、次式で表されるように誤差が相殺されているのがわかる。
Ｙ＝Δ１−ε＋Δ２＋ε＝Δ１＋Δ２
【００３７】
また、揺動板上部１３ａ及び揺動板下部１３ｂ等の変位量を無視したが、これらの変位量を考慮に入れた場合であっても、熱膨張による変位量は上下について同じ量となる。具体的に説明すると、揺動板上部１３ａ及び揺動板下部１３ｂは、それらの固定箇所である軸部材１４及び支持部材１５から上下対称に、第１接触式変位センサ１１及び第２接触式変位センサ１２を配置できるように構成されている。これにより、揺動板上部１３ａの線膨張率と揺動板下部１３ｂの線膨張率は同じになる。従って、熱膨張が生じた場合でも、揺動板上部１３ａと揺動板下部１３ｂが同一量だけ対称にシフトすること、つまり揺動板上部１３ａの熱膨張量と揺動板下部１３ｂの熱膨張量が平衡になる位置に第１測定子１１ｂ及び第２測定子１２ｂが移動することになる。その結果、熱による揺動板上部１３ａ及び揺動板下部１３ｂの反りを無視できるようになる。
【００３８】
一方で、図５に示す比較例に係る磨耗量測定装置は、第１接触式変位センサ１１１が下プラテン２１の上面の鉛直位置を測定するために設けられ、第２接触式変位センサ１１２が上プラテン２２の下面の鉛直位置を測定するために設けられている。第１接触式変位センサ１１１は本体１１１ａ及び第１測定子１１１ｂを有し、第２接触式変位センサ１１２は本体１１２ａ及び第２測定子１１２ｂを有する。第１接触式変位センサ１１１の本体１１１ａは、固定位置に支持部材１２１を介して固定されており、第２接触式変位センサ１１２の本体１１２ａは、固定位置に支持部材１２２を介して固定されている。
【００３９】
この比較例では、図５（ｃ）に示すように、第１接触式変位センサ１１１、第２接触式変位センサ１１２がそれぞれ変位量ε１，ε２だけ熱変位し、変位量ε１，ε２は、支持部材１２１，１２２の長さの差が主な要因となって異なることになる。実際、比較例における被加工物の厚みの変化量Ｙは、次式で表される。そして、この変位量ε１，ε２の差が結果的に被加工物の厚みの増分となってしまう。
Ｙ＝Δ１−ε１＋Δ２＋ε２＝Δ１＋Δ２−（ε１−ε２）    （ε１≠ε２）
【００４０】
なお、図５の比較例では、固定位置として上側からの部材で固定された場合について説明したが、下側（床側）からの部材で固定された場合にも同様の考え方が成り立つ。この場合、変位量ε１，ε２の方向が図５（ｃ）に示す方向と逆になる。また、第１接触式変位センサ１１１及び第２接触式変位センサ１１２のいずれか一方を、上側から固定し、他方を下側から固定した場合には、誤差が（ε１＋ε２）となり、更に大きくなる。また、図４の例でも、固定位置として上側からの部材で固定された場合について説明したが、下側（床側）からの部材で固定された場合にも同様の考え方が成り立ち、揺動板上部１３ａの変位量と揺動板下部１３ｂの変位量の方向が図４（ｃ）に示す方向と逆になる。
【００４１】
また、単純な線膨張だけを考慮して説明したが、支持部材１２１，１２２等の部材には反りも発生するため、この比較例では、実際には更に誤差は拡大することになる。
【００４２】
このように、第１接触式変位センサ１１１と第２接触式変位センサ１１２とが独立に位置決めされると、加工熱などによる伸縮が原因でそれぞれの鉛直位置が変化し、測定に誤差が生じる。しかし、本実施形態のように、第１接触式変位センサ１１及び第２接触式変位センサ１２を、揺動板１３等を有する１つの揺動部材により揺動可能に固定することで、熱的な伸縮変化があっても上下の加工面の相対位置を再現良く正確に把握することができる。これにより、被加工物の厚みの精度バラツキを低減できる。
【００４３】
実際、両面研磨機又は両面研削機において、下プラテン２１の加工面（上面）と上プラテン２２の加工面（下面）は、常時磨耗して位置（高さ）が変化し、そのまま加工を続けると被加工物の厚みが安定しないため、製品品質を大きく阻害する要因となる。しかし、本実施形態に係る磨耗量測定装置１を用い、加工時の熱を考慮しつつ磨耗量を測定することで、加工品質に関与する上下プラテンの加工面の相対位置を正確に管理することができる。
【００４４】
＜代替例＞
次に、本実施形態における代替例について説明する。
図１〜図４では、下プラテン２１及び上プラテン２２が互い違いに設けられた（オフセット配置された）両面研磨機又は両面研削機に対し、磨耗量測定装置１が下プラテン２１及び上プラテン２２の位置を測定することを前提として説明した。一方で、本実施形態に係る磨耗量測定装置は、上下のプラテンが同軸である場合にも適用することができる。つまり、本実施形態に係る磨耗量測定装置は、下プラテンの回転軸と上プラテンの回転軸が同軸に設けられた両面研磨機又は両面研削機に対し、下プラテン及び上プラテンの位置を測定する装置として構成することもできる。
【００４５】
このような適用について、図６を参照しながら簡単に説明する。図６は、本実施形態に係る磨耗量測定装置の他の構成例を示す側面図である。なお、ここでは、図１〜図４で説明した構成例との相違点を中心に説明し、同名の構成要素をはじめとする同様の点についての説明は省略する。
【００４６】
図６に示す磨耗量測定装置６は、同軸で回転する下プラテン２１ａ及び上プラテン２２ａについて加工面の磨耗量を測定する装置である。磨耗量測定装置６は、下プラテン２１ａの加工面である上面の鉛直位置を検知する第１接触式変位センサ６１と、上プラテン２２ａの加工面である下面の鉛直位置を検知する第２接触式変位センサ６２と、揺動部材と、を有する。この揺動部材として、磨耗量測定装置６は、揺動板６３、軸部材６４、及び支持部材６５などを有することができる。
【００４７】
第１接触式変位センサ６１は、第１接触式変位センサ１１と同様に、本体６１ａ及び第１測定子６１ｂを有することができ、第２接触式変位センサ６２は、第２接触式変位センサ１２と同様に、本体６２ａ及び第２測定子６２ｂを有することができる。そして、揺動板１３は、第１接触式変位センサ６１と第２接触式変位センサ６２とを、支持部材１５に対して軸部材１４を中心に揺動可能に取り付けている。つまり、本体６１ａが軸部材６４を中心に揺動可能な揺動板６３の一端に取り付けられ、本体６２ａが揺動板６３の他端に取り付けられている。
【００４８】
測定時、図６に示すように下プラテン２１ａと上プラテン２２ａとの間を離間させるようにいずれか一方を鉛直方向に移動させ、その間に磨耗量測定装置６が挿入され、測定が実行される。測定後は、揺動板６３を揺動させて第１測定子６１ｂ及び第２測定子６２ｂをそれぞれ下プラテン２１ａの上面及び上プラテン２２ａの下面から離間させた後、図６の直線矢印で示す方向に磨耗量測定装置６を退避させる。その後、下プラテン２１ａと上プラテン２２ａとの間を詰めて加工を再開することができる。
【００４９】
以上において、本実施形態に係る磨耗量測定装置の様々な例について説明したが、各構成部品の形状は例示したものに限らず、それぞれの機能が果たせればよい。例えば、第１接触式変位センサ１１，６１、第２接触式変位センサ１２，６２、揺動板１３，６３、支持部材１５，６５などの形状は図示したものに限ったものではない。また、凹部１７及び突起部１８は、両者でストッパの機能を果たせる形状であればよく、両者が逆の形状であってもよいし、他の形状であってもよい。また、被加工物は、ウェハーで例示したように板状の物体とすることができるが、これに限ったものではない。
【００５０】
以上に、本実施形態について説明したが、上記実施形態は、以下の特徴を有する。
即ち、上記実施形態に係る磨耗量測定装置１は、第１接触式変位センサ１１、第２接触式変位センサ１２、及び揺動部材を備える。第１接触式変位センサ１１は、被加工物の下側に配置される下側工具２１の上面の鉛直位置を検知する。第２接触式変位センサ１２は、上記被加工物の上側に配置される上側工具２２の下面の鉛直位置を検知する。揺動部材は、第１接触式変位センサ１１と第２接触式変位センサ１２とを反対方向に揺動可能な状態で固定する。磨耗量測定装置１は、第１接触式変位センサ１１及び第２接触式変位センサ１２を揺動させてそれぞれを下側工具２１の上面、上側工具２２の下面に接触させ、下側工具２１の上面の磨耗量及び上側工具２２の下面の磨耗量を測定する。
【００５１】
以上の磨耗量測定装置１では、下側工具２１の上面の位置を検知するための第１接触式変位センサ１１と、上側工具２２の下面の位置を検知するための第２接触式変位センサ１２とが、揺動部材により固定されている。また、磨耗量測定装置１では、第１接触式変位センサ１１と第２接触式変位センサ１２が、揺動部材により下側工具２１及び上側工具２２から取り外しできるような状態で固定されている。よって、この磨耗量測定装置１によれば、下側工具２１と上側工具２２とで挟み込んで被加工物の両面に研磨又は研削等の加工を施す途中（加工を中断した状態）で、下側工具２１と上側工具２２の磨耗量を精度良く測定することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１，６  磨耗量測定装置
１０  支持部材
１１，６１  第１接触式変位センサ
１１ａ，６１ａ  第１接触式変位センサの本体
１１ｂ，６１ｂ  第１測定子
１２，６２  第２接触式変位センサ
１２ａ，６２ａ  第２接触式変位センサの本体
１２ｂ，６２ｂ  第２測定子
１３，６３  揺動板
１３ａ  揺動板上部
１３ｂ  揺動板下部
１４，６４  軸部材
１５，６５  支持部材
１６  アクチュエータ
１７  凹部
１８  突起部
２１，２１ａ  下側工具（下プラテン）
２２，２２ａ  上側工具（上プラテン）
【図１】
2019136782.tif 000003
【図２】
2019136782.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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