(57)【要約】      （修正有）【課題】検査用の追加回路を必要とせず、光検出器単独の光感度、ＯＥ特性のような光入力、電気出力の特性評価検査が波長および温度依存特性においても出来るような光検出器を提供する。【解決手段】半導体基板の上に光吸収層が形成され、半導体基板の基板面内の方向から光吸収層に入射する信号光を検出する光検出器において、光吸収層は、半導体基板の基板面を基板面外の方向から見たときに光吸収層に接続された光電流検出用の電極によって覆われていない部分を有することを特徴とする光検出器とした。【選択図】図４
2019204820.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の上に光吸収層が形成され、前記半導体基板の基板面内の方向から前記光吸収層に入射する信号光を検出する光検出器において、
前記光吸収層は、前記半導体基板の基板面を基板面外の方向から見たときに前記光吸収層に接続された光電流検出用の電極によって覆われていない領域を有する
ことを特徴とする光検出器。
【請求項２】
前記半導体基板は、
シリコン基板と、
前記シリコン基板の上に形成された下部クラッド層と、
前記下部クラッド層の上に形成され、第１の半導体領域を含むシリコンコア層と、
前記シリコンコア層に接続され、検出対象の前記信号光を前記シリコンコア層へ基板面内の方向より導波する入力導波路とを備え、
前記光吸収層は、前記シリコンコア層の上に形成され、第２の半導体領域を含むゲルマニウム層を備え、
前記光電流検出用の電極は、前記第２の半導体領域の一部に接続される
ことを特徴とする請求項１に記載の光検出器。
【請求項３】
前記光電流検出用の電極が、前記第２の半導体領域の上面における全てまたは１部の辺を覆い、上面における中心部周辺の面を覆わない平面形状で配置されている
ことを特徴とする請求項２に記載の光検出器。
【請求項４】
前記光電流検出用の電極が、梯子型または複数の開口を有する平面形状をしている
ことを特徴とする請求項２に記載の光検出器。
【請求項５】
前記光電流検出用の電極は、前記ゲルマニウム層に入射した光が前記ゲルマニウム層を伝搬するときに、前記光電流検出用の電極の近傍で反射が生じない位置に設けられている、ことを特徴とする請求項２から４のいずれか１項に記載の光検出器。
【請求項６】
偏波分離／合流回路と、ＴＭ偏光とＴＥ偏光の間で偏波回転する偏波回転回路を有する偏波ダイバーシティ構成の光回路であって、
主信号経路から一部の光パワーを分岐して受光し、信号光のパワーを監視する光モニタ回路を備え、
前記光モニタ回路は、
ＴＥ偏波成分の信号が通過する経路上に設けられた第１のモニタ光分岐回路と、
ＴＭ偏波成分の信号が通過する経路上に設けられた第２のモニタ光分岐回路とを有し、
前記第１および第２のモニタ光分岐回路のそれぞれのモニタ光出力に接続された前記請求項１から５のいずれか１項に記載の光検出器を有する
ことを特徴とする光回路。
【請求項７】
前記偏波ダイバーシティ構成の光回路は、
光源からの送信キャリア光を分岐する光パワースプリッタと、
前記分岐された送信キャリア光をそれぞれの偏波用の電気信号で光変調するＴＥ偏波成分用とＴＭ偏波成分用の光変調回路と、
前記ＴＭ偏波成分用の光変調回路の出力を偏波回転する前記偏波回転回路と、
前記ＴＥ偏波成分用の光変調回路の出力と前記偏波回転回路の出力を偏波合流する前記偏波分離／合流回路と
から構成される光送信回路である
ことを特徴とする請求項６に記載の光回路。
【請求項８】
前記偏波ダイバーシティ構成の光回路は、
受信信号光の入力ポートに接続され、前記受信信号光を偏波分離する前記偏波分離／合流回路と、
前記偏波分離／合流回路の一方の出力に接続する前記偏波回転回路と、
局発光源からの参照光を分岐する光パワースプリッタと、
前記偏波／合流分離回路の他方の出力と、前記光パワースプリッタの一方の出力に接続されてＴＥ偏波成分用の光復調を行う光コヒーレントミキサと、
前記偏波回転回路の出力と、前記光パワースプリッタの他方の出力に接続されてＴＭ偏波成分用の光復調を行う光コヒーレントミキサと、
前記ＴＥ偏波成分用およびＴＭ偏波成分用の光コヒーレントミキサそれぞれの復調光出力に接続された光検出器と
から構成される光受信回路であって、
前記復調光出力に接続された光検出器は前記請求項１から５のいずれか１項に記載の光検出器である
ことを特徴とする請求項６に記載の光回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信システムや光情報処理システムにおいて用いられる光検出器に関し、特に製造時の初期検査を容易にする、光検出器を提供するための構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年の光通信の普及に伴い、光通信装置の低コスト化が求められている。その解決策の１つとして、光通信装置を構成する光回路を、シリコンウエハなどの大口径ウエハ上に、シリコンフォトニクスのような微小光回路技術を用いて形成する方法がある。これにより、多数の光回路のチップを一括で形成でき、１チップあたりの材料費を劇的に下げ、光通信装置の低コスト化を図ることが出来る。このような技術を用いたシリコン（Ｓｉ）基板上に形成する代表的な光検出器としては、例えばモノリシック集積が可能な半導体型のゲルマニウム光検出器（ＧｅＰＤ）がある。
【０００３】
図１は、従来の半導体型の光検出器の一例である導波路結合型の縦型ＧｅＰＤ１００のチップ構造を模式的に示す平面図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ面（光進行方向に垂直な面）の断面図である。構造を分かり易くするために、図１の平面図では、図２の断面図に示すクラッド層１０１〜１０３などの表示を省き、電極１１６〜１１８については、チップ内部の半導体領域１１２、１１３、１１５に接する部分の平面領域のみを示している。
【０００４】
ＧｅＰＤ１００は、Ｓｉ基板、Ｓｉ酸化膜、表面Ｓｉ層からなるＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板にリソグラフィ技術等を用いて形成される。図２の断面図に示すように、ＧｅＰＤ１００は、下からＳｉ基板１０１と、Ｓｉ基板１０１の上のＳｉ酸化膜からなる下部クラッド層１０２と、信号光を導くコア層１１０とを備えた半導体基板に形成される。
【０００５】
半導体基板のシリコンコア層１１０のシリコンスラブ１１０２の領域の上には、光を吸収するＧｅ層１１４が設けられ、その上部にｎ型Ｇｅ領域１１５が設けられ、Ｓｉ酸化膜からなる上部クラッド層１０３で埋め込まれている。
【０００６】
図１の平面図を見るとわかるように図２のコア層１１０は、検出される信号光が基板面内の方向から入射する入力導波路１１０１と、中央に光を吸収するＧｅ層１１４などが載置されたシリコンスラブ１１０２の２つの部分に分けられる。
【０００７】
図１で、シリコンスラブ１１０２には、ｐ型不純物イオンがドーピングされたｐ型Ｓｉ領域１１１、ｐ型不純物がより高濃度にドーピングされ電極として作用するｐ＋＋シリコン電極部１１２、１１３が形成されており、電極部それぞれに光電流検出用の電極１１６、１１８が接続されている。
【０００８】
ｐ型Ｓｉ領域１１１上には、光吸収層としてエピタキシャル成長によってＧｅ層１１４が積層され、その上部にはｎ型不純物がドーピングされたｎ型Ｇｅ領域１１５が形成されており、ｎ型Ｇｅ領域１１５には、光電流検出用の電極１１７が接続されている。Ｇｅ層１１４とｎ型Ｇｅ領域１１５を併せて、全体として光吸収層ということができる。
【０００９】
ＧｅＰＤ１００は半導体基板上に形成された光吸収層により、全体としてフォトダイオードを構成している。入力導波路１１０１からシリコンスラブ１１０２に向かって、基板面内の方向より検出対象の信号光が入射する。検出対象の信号光は、主にＧｅ層１１４で吸収されてキャリアが発生する。発生したキャリアによって、光電流検出用の電極１１７と電極１１６、１１８との間に光電流が流れ、これを検出することで光を検出する。
【００１０】
なお、以下同様であるが一般にシリコンやゲルマニウムなどの半導体材料は、添加されるドーピング材料に応じて半導体キャリアが異なるｐ型とｎ型があり、一方の型の半導体領域を第１の半導体領域、他方の型の半導体領域を第２の半導体領域としたとき、電流の方向、電圧の極性を逆とすれば、両者を入れ替えて構成することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特許５３７０８５７号公報
【非特許文献】
【００１２】
【非特許文献１】C. T. DeRose, D. C. Trotter, W. A. Zortman, A. L. Starbuck, M. Fisher, M. R. Watts, and P. S. Davids1, “Ultra compact 45 GHz CMOS compatible Germanium waveguide photodiode with low dark current”, OPTICS EXPRESS, Vol. 19, No. 25, pp. 24897-24904, 5 December 2011.
【非特許文献２】D. P. Mathur, R. J. McIntyre, and P. P. Webb, “A New Germanium Photodiode with Extended Long-Wavelength Response”, APPLIED OPTICS, Vol. 9, No. 8, pp. 1842-1847, August 1970.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
図１、図２に示す従来のＧｅＰＤ１００は、半導体素子の常として製造時の誤差や汚染などにより受光性能がばらつき、場合によっては性能が著しく落ちる、いわゆる故障品が発生するという課題がある。シリコンフォトニクスにおける光集積回路には大量のＧｅＰＤが集積されており、大量のＧｅＰＤの中に一つでも製造時点で性能が悪い故障品が紛れてしまうと光集積回路が正常動作しなくなる。このため、一般的に全てのＧｅＰＤは製造時に性能を評価され、正常品か故障品かを判別される。
【００１４】
一般的に製造時に評価されるＧｅＰＤの性能は、暗電流、光感度、光電気周波数応答（ＯＥ）特性などが有る。この内、暗電流は光入力が無いときの電気特性であるため、図１の電極１１６，１１７，１１８に電気プローブを当てる事で比較的容易に性能検査が出来る。
【００１５】
一方で光感度やＯＥ特性は光入力に対する電気応答であるため、図１の入力導波路１１０１から光を入れて、電極１１６，１１７，１１８から信号を取り出す必要がある。しかしながら、ＧｅＰＤの入力導波路１１０１は製造時点で光集積回路として他の光回路と接続されてしまっているため、ＧｅＰＤ単独での性能の検査はできず、他の集積された光回路と合算した性能しか測定することができない。
【００１６】
ＧｅＰＤ単独での性能を検査しようとした場合には、従来では図３に示すように検査用の光回路を新たに個別のＧｅＰＤに接続する必要がある。図３において、ＧｅＰＤ３００は図１、図２と同様なＧｅＰＤであり、検査用の光回路として方向性結合器３０１、グレーティングカプラ３０２が、ＧｅＰＤ３００の入力導波路３０３側に追加されている。基板面上方から検査用の光（検査光）をグレーティングカプラ３０２に照射して、方向性結合器３０１を経由して、ＧｅＰＤ３００の入力導波路３０３に検査光を供給することで、ＧｅＰＤ３００を検査することができる。
【００１７】
このような検査用の光回路を追加すると、光集積回路全体の回路規模が増大する、検査時以外の実動作時でもカプラによる光損失が発生する、などの影響が出てしまう。これらの影響はＧｅＰＤ一つあたりでは微々たるものであるが、光集積回路全体では大量のＧｅＰＤを配置するため、全てのＧｅＰＤに検査用カプラなどを追加してゆくと、影響が積み重なり無視できなくなる。
【００１８】
また、上記グレーティングカプラ３０２や方向性結合器３０１などの検査用の光回路は、それら自身の波長特性や温度依存性を持つ。従って図３の構成で検査用の光回路を通した光でＧｅＰＤ３００の光感度またはＯＥ特性の波長特性や温度依存性を測定すると、ＧｅＰＤ３００単独の性能では無く、検査用の光回路の影響を受けた性能を測定してしまうという問題がある。
【００１９】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、検査用の追加回路を必要とせず、ＧｅＰＤ単独の光感度、ＯＥ特性のような光入力、電気出力の特性評価検査が波長特性および温度依存性においても出来るような光検出器を実現する事にある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、このような目的を達成するために、以下のような構成を備えることを特徴とする。
【００２１】
（発明の構成１）
半導体基板の上に光吸収層が形成され、前記半導体基板の基板面内の方向から前記光吸収層に入射する信号光を検出する光検出器において、
前記光吸収層は、前記半導体基板の基板面を基板面外の方向から見たときに前記光吸収層に接続された光電流検出用の電極によって覆われていない領域を有する
ことを特徴とする光検出器。
【００２２】
（発明の構成２）
前記半導体基板は、
シリコン基板と、
前記シリコン基板の上に形成された下部クラッド層と、
前記下部クラッド層の上に形成され、第１の半導体領域を含むシリコンコア層と、
前記シリコンコア層に接続され、検出対象の前記信号光を前記シリコンコア層へ基板面内の方向より導波する入力導波路とを備え、
前記光吸収層は、前記シリコンコア層の上に形成され、第２の半導体領域を含むゲルマニウム層を備え、
前記光電流検出用の電極は、前記第２の半導体領域の一部に接続される
ことを特徴とする発明の構成１に記載の光検出器。
【００２３】
（発明の構成３）
前記光電流検出用の電極が、前記第２の半導体領域の上面における全てまたは１部の辺を覆い、上面における中心部周辺の面を覆わない平面形状で配置されている
ことを特徴とする発明の構成２に記載の光検出器。
【００２４】
（発明の構成４）
前記光電流検出用の電極が、梯子型または複数の開口を有する平面形状をしている
ことを特徴とする発明の構成２に記載の光検出器。
【００２５】
（発明の構成５）
前記光電流検出用の電極は、前記ゲルマニウム層に入射した光が前記ゲルマニウム層を伝搬するときに、前記光電流検出用の電極の近傍で反射が生じない位置に設けられている、ことを特徴とする発明の構成２から４のいずれか１項に記載の光検出器。
【００２６】
（発明の構成６）
偏波分離／合流回路と、ＴＭ偏光とＴＥ偏光の間で偏波回転する偏波回転回路を有する偏波ダイバーシティ構成の光回路であって、
主信号経路から一部の光パワーを分岐して受光し、信号光のパワーを監視する光モニタ回路を備え、
前記光モニタ回路は、
ＴＥ偏波成分の信号が通過する経路上に設けられた第１のモニタ光分岐回路と、
ＴＭ偏波成分の信号が通過する経路上に設けられた第２のモニタ光分岐回路とを有し、
前記第１および第２のモニタ光分岐回路のそれぞれのモニタ光出力に接続された前記発明の構成１から５のいずれか１項に記載の光検出器を有する
ことを特徴とする光回路。
【００２７】
（発明の構成７）
前記偏波ダイバーシティ構成の光回路は、
光源からの送信キャリア光を分岐する光パワースプリッタと、
前記分岐された送信キャリア光をそれぞれの偏波用の電気信号で光変調するＴＥ偏波成分用とＴＭ偏波成分用の光変調回路と、
前記ＴＭ偏波成分用の光変調回路の出力を偏波回転する前記偏波回転回路と、
前記ＴＥ偏波成分用の光変調回路の出力と前記偏波回転回路の出力を偏波合流する前記偏波分離／合流回路と
から構成される光送信回路である
ことを特徴とする発明の構成６に記載の光回路。
【００２８】
（発明の構成８）
前記偏波ダイバーシティ構成の光回路は、
受信信号光の入力ポートに接続され、前記受信信号光を偏波分離する前記偏波分離／合流回路と、
前記偏波分離／合流回路の一方の出力に接続する前記偏波回転回路と、
局発光源からの参照光を分岐する光パワースプリッタと、
前記偏波／合流分離回路の他方の出力と、前記光パワースプリッタの一方の出力に接続されてＴＥ偏波成分用の光復調を行う光コヒーレントミキサと、
前記偏波回転回路の出力と、前記光パワースプリッタの他方の出力に接続されてＴＭ偏波成分用の光復調を行う光コヒーレントミキサと、
前記ＴＥ偏波成分用およびＴＭ偏波成分用の光コヒーレントミキサそれぞれの復調光出力に接続された光検出器と
から構成される光受信回路であって、
前記復調光出力に接続された光検出器は前記発明の構成１から５のいずれか１項に記載の光検出器である
ことを特徴とする発明の構成６に記載の光回路。
【発明の効果】
【００２９】
以上記載したように、本発明によれば、検査用の追加の光回路を必要とせず、ＧｅＰＤ単独の光感度、ＯＥ特性のような光入力、電気出力の特性評価や検査を、波長特性および温度依存性においても実施出来るような光検出器を実現する事が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】従来の導波路結合型の縦型ＧｅＰＤの構造を示す平面図である。
【図２】従来の導波路結合型の縦型のＧｅＰＤの光進行方向に垂直な断面図である。
【図３】検査用の光回路を接続した従来のＧｅＰＤの回路構成を示す平面図である。
【図４】本発明の光検出器の実施例１の構造例１の平面図である。
【図５】本発明の光検出器の実施例１の構造例１の、光進行方向に垂直な断面図である。
【図６】本発明の光検出器の実施例１の構造例２の平面図である。
【図７】本発明の光検出器の実施例１の構造例３の平面図である。
【図８】本発明の光検出器の実施例１の構造例４の平面図である。
【図９】本発明の光検出器の実施例１の構造例１の、光感度の波長特性を示す図である。
【図１０】ゲルマニウム結晶単独の光吸収係数の波長特性を示す図である。
【図１１】本発明の光検出器の実施例１の構造例１の、光進行方向の断面図である。
【図１２】本発明の光検出器の実施例１の構造例１の、光進行方向の断面図である。
【図１３】本発明の光検出器の実施例１の構造例１の、光感度の波長特性の温度依存性を示す図である。
【図１４】ゲルマニウム結晶単独の光吸収係数の波長特性の温度依存性を示す図である。
【図１５】本発明の光検出器を用いた実施例２の回路構成を示す平面図である。
【図１６】本発明の光検出器を用いた実施例３の回路構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００３２】
（実施例１）
図4は、本発明の光検出器の実施例１の構造例１であるＧｅＰＤ４００のチップ構造を模式的に示す平面図である。図５は、図４のＶ−Ｖ面（光進行方向に垂直な面）の断面図である。
【００３３】
図４および図５に示す構造例１のＧｅＰＤ４００は、例えば従来と同様なＳＯＩ構造で、Ｓｉ基板４０１と、Ｓｉ酸化膜からなる下部クラッド層４０２と、検出対象の信号光を導くシリコンコア層４１０と、信号光をシリコンコア層へ基板面内の方向より導波する入力導波路４１０１とを備えて半導体基板に形成されている。
【００３４】
半導体基板のシリコンコア層４１０のシリコンスラブ４１０２の領域の上には、光吸収層を構成するＧｅ層４１４が設けられ、その上部にｎ型Ｇｅ領域４１５が設けられ、Ｓｉ酸化膜からなる上部クラッド層４０３で埋め込まれている。
【００３５】
シリコンコア層４１０のシリコンスラブ４１０２には、図５に示すようにｐ型不純物イオンがドーピングされたｐ型Ｓｉ領域４１１（第１の半導体領域）、ｐ型不純物がより高濃度にドーピングされ電極として作用するｐ＋＋シリコン電極部４１２、４１３が形成されており、電極部それぞれに光電流検出用の電極４１６、４１８が接続されている。ｐ型Ｓｉ領域４１１上には、エピタキシャル成長によってＧｅ層４１４が積層され、その上面にはｎ型不純物がドーピングされたｎ型Ｇｅ領域４１５（第２の半導体領域）が形成されて光吸収層を構成している。
【００３６】
図４に示すように、本発明の光検出器実施例１の構造例１では、光吸収層のｎ型Ｇｅ領域４１５には、基板面を上から見た場合に横長の口の字型（長方形の枠型）で中央に開口を持つ平面形状の光電流検出用の電極４１７が接続されている。図１、図２の従来のＧｅＰＤ１００とは異なり、本発明の光検出器では、光吸収層であるn型Ｇｅ領域４１５が、基板面を基板面外の方向から見たときに、光吸収層に接続された光電流検出用の電極４１７によって覆われていない領域を有するのが特徴である。
【００３７】
本発明のＧｅＰＤ４００も、入力導波路４１０１からシリコンスラブ４１０２に信号光が入射してＧｅ層４１４で吸収されたときに、電極４１７と電極４１６、４１８との間に流れる光電流を検出することで信号光を検出する動作は従来のＧｅＰＤと変わらない。
【００３８】
本発明のＧｅＰＤの構造では、光吸収層であるｎ型Ｇｅ領域４１５が、基板面の上方から基板面を見たときに光電流検出用の電極４１７によって覆われていない開口領域を有するので、基板面外の方向から検査光を入射して検査光を検出することが可能となる。例えば図５において、ｎ型Ｇｅ領域４１５に、基板面の斜め上方から検査光４４０が入射してＧｅ層４１４で吸収されると、電極４１７と４１６，１４８の間で光電流が流れる。
【００３９】
本発明の光検出器の構造では従来と異なり、入力導波路４１０１を通らなくてもＧｅ層４１４への光入射が可能となるため、図３の方向性結合器３０１やグレーティングカプラ３０２のような追加の光回路を必要とせずに、光検出器としてのＧｅＰＤ単独の光入力、電気出力の特性評価や検査が出来るのが本願発明の大きな利点である。
【００４０】
また、ゲルマニウム層４１４に直接検査光を導入することができるため、ＧｅＰＤ４００の単独の波長特性および温度依存性を測定することも可能となる。
【００４１】
（実施例１の構造例２、３）
以上のように本発明のＧｅＰＤでは、光吸収層であるn型Ｇｅ領域４１５が基板上で全面的に光電流検出用の電極４１７に覆われていなければ、基板面外の方向から検査光の入射が可能である。光電流検出用の電極の平面形状は、図４構造例１の電極４１７の様な口の字型の平面形状に限定されることは無い。例えば、図６の構造例２のような光入射側に開口したコの字型の平面形状の電極５１７、または図７の構造例３のような光終端側の短辺のみにIの字型の平面形状の電極６１７が設けられ、n型Ｇｅ領域６１５の一部と接している形であっても良い。
【００４２】
図４、６、７のどの構造例においても、n型Ｇｅ領域４１５,５１５,６１５の上面から入射された検査光により発生したキャリアは、n型Ｇｅ領域４１５,５１５,６１５を通って電極４１７,５１７,６１７に流れるため、フォトダイオードとして機能する。
【００４３】
以上のように実施例１の構造例１〜３の光検出器では、光電流検出用の電極（４１７,５１７,６１７）が、第２の半導体領域（４１５,５１５,６１５）の上面における全てまたは１部の辺を覆い、上面における中心部周辺の面を覆わない形で配置されている。光電流検出用の電極は、第２の半導体領域以外の前記ゲルマニウム層の一部とも接続していてもよい。
【００４４】
（実施例１の構造例４）
更には図８の構造例４のように、図４（構造例１）の口型（長方形の枠型）の電極４１７に対向する長辺を結ぶブリッジを付けて、梯子状または複数の開口（穴）を有する平面形状の電極７１７としてもよい。
【００４５】
この電極形状は、図４、６、７の構造例１〜３のような電極形状では、発生したキャリアがn型Ｇｅ領域を長距離にわたり走行してから電極４１７、５１７、６１７に到達してキャリアが走行する時間が増える場合があり、高域での周波数特性が落ちることに対する対策である。図８の構造例４のようにして、複数の開口（穴）を電極７１７に設けてブリッジを付けた梯子型の形状の電極７１７とすることによって、キャリアの最大走行時間を減らし、高周波数特性を改善することができる。
【００４６】
図８の梯子型の電極構造例４では、n型Ｇｅ領域７１５の露出面積が構造例１〜３に比べて減ってしまうため、検査時の光入射パワーが小さくなるが、n型Ｇｅ領域７１５をキャリアが走る時間が実施例１の他の構造例１〜３よりも短くなるため、周波数特性を落としにくいという特徴を持つ。
【００４７】
（実施例１の特性）
図９は、図４の本発明実施例１の構造例１のＧｅＰＤの、光感度の波長特性を測定した結果を示す図である。波長が長くなるにつれて感度が減少してゆく形を表しており、図１０（非特許文献１から引用）に示すゲルマニウム結晶単独の光吸収係数の波長特性と比較した場合に、ほぼ同じ傾向の特性が実現できていることがわかる。
【００４８】
図９からは、本発明の別の効果として、本発明では1530〜1565nmの光通信波帯のC帯で感度が大きく落ちない（1割程度の下落にとどまる）という効果も見える。図１０のゲルマニウム結晶単独の光感度の波長特性がC帯で3〜5割程度の下落を示しているのに対比すれば、本発明のＧｅＰＤはC帯で比較的フラットな光感度の波長特性を持つと言える。これはn型Ｇｅ領域４１５の上を電極４１７が覆っていない事による効果である。
【００４９】
以下に、図１１、１２を参照して、この効果の理由について検査光と信号光の場合に分けて説明する。図１１は、図４の実施例１構造例１のＧｅＰＤ４００を、光進行方向（素子の長手手方向）のＸＩ−ＸＩ基板断面で切った断面図である。
【００５０】
（検査光の場合）
図１１に示すように、n型Ｇｅ領域４１５に基板斜め上方より入射した検査光４５０は、Ｇｅ層４１４を通過してＧｅ層４１４とｐ型Ｓｉ領域４１１の界面で反射し、再びn型Ｇｅ領域４１５に光４５１として戻ってくる。この時n型Ｇｅ領域４１５の上面の反射点の近傍には、通常金属で構成され光通信の波長では吸収体としても作用する電極４１７が接していないため、光４５１は電極４１７に吸収されず、光４５２として再びＧｅ層４１４へ反射し戻ってくる。
【００５１】
ゲルマニウムの光吸収係数が落ちる長波長側である程、このn型Ｇｅ領域４１５での反射回数が多くなるため充分にキャリアを生成でき、電極４１７で光が吸収されない本発明のＧｅＰＤでは長波長側での感度が落ちず、比較的フラットな感度スペクトルを示すのである。
【００５２】
（信号光の場合）
この効果は、光検出器で検出される信号光についても同様に働く。図１２は図１１と同様に、図４のＧｅＰＤ４００を光進行方向（素子の長手手方向）のＸＩ−ＸＩ基板断面で切った断面図である。
【００５３】
図１２で、入力導波路４１０１から基板面内方向に入射した信号光４６０は、ゲルマニウム層４１４に伝搬し、光４６１のようにn型Ｇｅ領域４１５の上面で反射する。この時、反射点の近傍には通常金属で構成され光通信の波長では吸収体としても作用する電極４１７は接していないため、反射時に電極４１７による光吸収が起きない。従って信号光のn型Ｇｅ領域４１５での反射の際の損失が抑えられ、信号光は光吸収層内を十分な距離に渡って伝搬してキャリアを生成するので、本発明のＧｅＰＤでは長波長側での感度が落ちず、比較的フラットな感度スペクトルを示すのである。
【００５４】
図１３は、図４の本発明のＧｅＰＤ４００の光感度の波長特性の温度依存性を測定した結果を示す図である。本発明のＧｅＰＤの光感度の波長特性が、温度に依存して変化して長波長側にシフトする傾向を示しており、これも非特許文献２から引用した図１４に示すようなゲルマニウム結晶単独の光吸収係数の波長特性の温度依存性と同じ傾向が実現できていることがわかる。
【００５５】
以上のように本発明の実施例１の光検出器では、光検出器の波長特性や温度異存性に関して、検査光を光吸収層に直接入射してＧｅＰＤ単独の性能を測定することが可能である。また本発明の光検出器では、光電流検出用の電極は、光吸収層（ゲルマニウム層）に入射した光が伝搬するときに、光電流検出用の電極の近傍で反射が生じない位置に設けられているので、C帯においては比較的フラットな感度スペクトルを持つという優れた利点も有する。
【００５６】
（実施例２）
図１５は、実施例１にある光検出器を偏波ダイバーシティ構成のコヒーレント光送信機に搭載した実施例２の光回路の構成を示す図である。図１５には、光源からの送信キャリア光を分岐する光パワースプリッタ８０１、分岐された送信キャリア光をそれぞれの偏波用の電気信号で光変調するＹ偏波光変調回路８０２とＸ偏波光変調回路８０３、一方の偏波光を他方の偏波に偏波回転する偏波回転器８０８、それぞれの偏波の変調光を結合して偏波合流する偏波分離／合流回路である偏波ビームコンバイナ８０９が示される。
【００５７】
図１５のコヒーレント送信機のパワーモニタ用の構成として、モニタ光分岐回路８０６、８０７からはXY偏波それぞれの変調光信号の光出力の一部がモニタ光出力として分岐され、本発明実施例１の光検出器（ＰＤ）８１０と８１１で受光される。それぞれの光検出器の出力が、光パワーモニタ出力として光可変アッテネータ（ＶＯＡ）８０４、８０５に加えられて、送信光パワーを制御している。
【００５８】
（実施例３）
図１６は、実施例１にある光検出器を偏波ダイバーシティ構成のコヒーレント光受信機に搭載した実施例３の光回路の構成を示す図である。
【００５９】
図１６には、局発光源からの参照光の光入力経路９０１、受信信号光の入力ポートからの入力経路９０２、受信信号光を偏波分離する偏波分離／合流回路である偏波ビームスプリッタ９０３、偏波回転器９０４が示される。さらに図１６には、参照光分岐用の光パワースプリッタ９０９、Y偏波復調用の光コヒーレントミキサ９１０、X偏波復調用の光コヒーレントミキサ９１１、復調された光信号を電気信号に変換するPD９１２、９１３が示されている。
【００６０】
また図１６には受信光のパワーモニタ用の構成として、モニタ光分岐回路９０５，９０６、パワーモニタ用の光検出器（ＰＤ）９１４，９１５、光可変アッテネータ（ＶＯＡ）９０７，９０８が示される。ＰＤ９１４，９１５の光検出出力を、ＶＯＡ９０７，９０８に加えて、受信レベルを制御している。ＰＤ９１２，９１３および９１４，９１５には、本実施例１の光検出器を用いている。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
以上のように、本発明により、検査用の追加回路を必要とせず、光検出器単独の光感度、ＯＥ特性のような光入力、電気出力の特性評価検査を、波長および温度依存特性においても測定出来るような光検出器を実現する事ができる。
【符号の説明】
【００６２】
１００、３００、４００  ＧｅＰＤ
１０１  Ｓｉ基板
１０２  下部クラッド層
１０３  上部クラッド層
１１０  コア層
１１１、４１１  ｐ型Ｓｉ領域
１１４、４１４  Ｇｅ層
１１５、４１５、５１５、６１５、７１５  ｎ型Ｇｅ領域
１１０１、３０３、４１０１  入力導波路
１１０２、４１０２  シリコンスラブ
１１２、１１３、４１２、４１３  ｐ＋＋シリコン電極部
１１６、１１７、１１８、４１６、４１７、４１８、５１７、６１７、７１７  電極
３０１  方向性結合器
３０２  グレーティングカプラ
４４０、４５０、４５１、４５２、４６０、４６１  光（検査光、信号光、反射光）
８０１、９０９  光パワースプリッタ
８０２、８０３  Ｙ（Ｘ）偏波光変調回路
８０８、９０４  偏波回転器
８０９  偏波ビームコンバイナ
８０６、８０７、９０５，９０６  光分岐回路
８１０、８１１、９１２、９１３、９１４，９１５  PD（光検出器）
８０４、８０５、９０７，９０８  光可変アッテネータ（VOA）
９０１、９０２  光入力経路
９０３  偏波ビームスプリッタ
９１０，９１１  Y（Ｘ）光コヒーレントミキサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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