(57)【要約】【課題】バイト切削装置のサイズの縮小を実現できるバイト切削方法を提供する。【解決手段】バイト切削方法は、バイトホイール２６の直径よりも大きい幅Ｌ１を有するパッケージ基板１を保持手段１３で保持する保持ステップと、回転するバイトホイール２６に対しパッケージ基板１をＹ方向に相対移動させパッケージ基板１の第１の領域Ｓ１を切削する第一切削ステップと、バイトホイール２６に対しパッケージ基板１をＸ方向に相対移動させ未切削領域である第２の領域Ｓ２をバイトホイール２６に対面させる移動ステップと、回転するバイトホイール２６に対しパッケージ基板１をＹ方向に相対移動させ第２の領域Ｓ２を切削する第二切削ステップとを備えているため、パッケージ基板の大きさに対応させてバイトホイールを大口径化させる必要がなくなり、バイト切削装置のサイズの縮小を実現できる。【選択図】図４
2019136861.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸を有するホイール基台と該ホイール基台に装着され該ホイール基台の回転軸から所定距離離れた位置にある切削バイトとを有するバイトホイールを備えるバイト切削手段と、Ｘ方向及び該Ｘ方向と直交するＹ方向に伸長する保持面を有し被加工物を保持する保持手段と、を備え、該保持手段と該バイト切削手段とが相対的に該Ｘ方向に移動可能なバイト切削装置を用いて被加工物を切削するバイト切削方法であって、
該ホイール基台の該回転軸から該切削バイトまでの距離の２倍を超える大きさの幅を少なくとも該Ｘ方向に有する被加工物を該保持手段で保持する保持ステップと、
該切削バイトを所定の高さに位置づけるとともに該バイトホイールを回転させ、該切削バイトを該所定の高さに維持しつつ、該保持手段で保持された被加工物を該バイトホイールに対して該Ｙ方向の一方向に相対移動させることにより被加工物の一部を切削する第一切削ステップと、
該第一切削ステップを実施した後、該保持手段で保持された被加工物を該バイトホイールに対して該Ｙ方向の該一方向と逆の方向に相対移動させて該Ｙ方向の元の位置に戻し、該バイト切削手段を該保持手段に対して相対的に該Ｘ方向に移動させることにより該バイトホイールに対して被加工物を該Ｘ方向に相対移動させて被加工物の未切削領域を該バイトホイールに対面させる移動ステップと、
該移動ステップを実施した後、該切削バイトを該所定の高さに位置づけるとともに該バイトホイールを回転させ、該切削バイトを該所定の高さに維持しつつ、該保持手段で保持された被加工物を該バイトホイールに対して該Ｙ方向の該一方向に相対移動させることにより該未切削領域を切削する第二切削ステップと、を備えたバイト切削方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バイトによる被加工物の切削方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
加工物の一方の面を切削する装置として、バイト切削装置が用いられることがある。例えば、表面にバンプと称される突起状の電極が複数形成された被加工物は、バイト切削装置を用いて被加工物の表面側を削ることによりバンプの高さが揃えられる。バイト切削装置は、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物の表面と平行な方向に回転する切り刃を装着したバイトホイールを有する切削ユニットとを少なくとも備えており、チャックテーブルを水平方向に移動させながら、回転するバイトを被加工物の表面に作用させることにより、被加工物の表面側全面を切り刃で切削することができる（例えば、下記の特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１２１０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記バイト切削装置では、被加工物の表面側全面を切削するためには、被加工物がバイトホイールの直径よりも小さくなっていることが必要である。しかし、大きい被加工物に合わせてバイトホイールも大口径化させると、バイトホイールを回転駆動するために、より大きいエネルギーが必要となる上、バイト切削装置が大型化してしまうという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、バイト切削装置のサイズの縮小を実現しうるバイト切削方法に発明の解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、回転軸を有するホイール基台と該ホイール基台に装着され該ホイール基台の回転軸から所定距離離れた位置にある切削バイトとを有するバイトホイールを備えるバイト切削手段と、Ｘ方向及び該Ｘ方向と直交するＹ方向に伸長する保持面を有し被加工物を保持する保持手段と、を備え、該保持手段と該バイト切削手段とが相対的に該Ｘ方向に移動可能なバイト切削装置を用いて被加工物を切削するバイト切削方法であって、該ホイール基台の該回転軸から該切削バイトまでの距離の２倍を超える大きさの幅を少なくとも該Ｘ方向に有する被加工物を該保持手段で保持する保持ステップと、該切削バイトを所定の高さに位置づけるとともに該バイトホイールを回転させ、該切削バイトを該所定の高さに維持しつつ、該保持手段で保持された被加工物を該バイトホイールに対して該Ｙ方向の一方向に相対移動させることにより被加工物の一部を切削する第一切削ステップと、該第一切削ステップを実施した後、該保持手段で保持された被加工物を該バイトホイールに対して該Ｙ方向の該一方向と逆の方向に相対移動させて該Ｙ方向の元の位置に戻し、該バイト切削手段を該保持手段に対して相対的に該Ｘ方向に移動させることにより該バイトホイールに対して被加工物を該Ｘ方向に相対移動させて被加工物の未切削領域を該バイトホイールに対面させる移動ステップと、該移動ステップを実施した後、該切削バイトを該所定の高さに位置づけるとともに該バイトホイールを回転させ、該切削バイトを該所定の高さに維持しつつ、該保持手段で保持された被加工物を該バイトホイールに対して該Ｙ方向の該一方向に相対移動させることにより該未切削領域を切削する第二切削ステップと、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のバイト切削方法は、第一切削ステップを実施することにより、切削バイトの回転軌道の直径よりも大きい幅を有する被加工物に対してその幅の一部の領域を切削し、切削していない残りの領域を未切削領域として残す。その後、移動ステップを実施して被加工物をバイトホイールに対してＸ方向に相対移動させて未切削領域をバイトホイールに対面させた上、第二切削ステップを実施することにより、当該未切削領域を切削することができる。そのため、被加工物の大きさよりも小さい直径を有するバイトホイールであっても、被加工物の全面を切削することができる。
したがって、被加工物の大きさに対応させてバイトホイールを大口径化させる必要がなくなり、バイト切削装置のサイズを縮小することが実現可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】パッケージ基板の一例を示す平面図である。
【図２】バイト切削装置の一例を示す斜視図である。
【図３】バイト切削方法の第一例の保持ステップを示す断面図である。
【図４】バイト切削方法の第一例の第一切削ステップを示す平面図である。
【図５】バイト切削方法の第一例の第一切削ステップを示す断面図である。
【図６】第一切削ステップの実施後のパッケージ基板の状態を説明する平面図である。
【図７】バイト切削方法の第一例の移動ステップ及び第二切削ステップを示す平面図である。
【図８】バイト切削方法の第二例の第一切削ステップを示す平面図である。
【図９】バイト切削方法の第二例の第一移動ステップ及び第二切削ステップを示す平面図である。
【図１０】バイト切削方法の第二例の第二移動ステップ及び第三切削ステップを示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１に示すパッケージ基板１は、被加工物の一例であり、例えば図２に示すバイト切削装置１０を用いてバイトによる切削（以下では「バイト切削」とする）が施される。バイト切削装置１０は、Ｙ軸方向にのびる装置ベース１１を備えており、装置ベース１１のＹ軸方向後部には、Ｚ軸方向にのびるコラム１２が立設されている。装置ベース１１の上面には、矩形の搬送加工部１１０が形成されており、搬送加工部１１０には、Ｘ軸方向及びこれと直交するＹ軸方向に伸長しパッケージ基板１を保持する保持面１３ａを有する保持手段１３が配設されている。保持手段１３にはカバー１４が取り付けられており、蛇腹１５の伸縮をともなってカバー１４とともに保持手段１３がＹ軸方向に往復移動可能となっている。
【００１０】
装置ベース１１のＹ軸方向前部には、加工前のパッケージ基板１を収容するカセット１６ａと、加工後のパッケージ基板１を収容するカセット１６ｂとが対面して配設されている。対面して配設されたカセット１６ａとカセット１６ｂとの間には、カセット１６ａからのパッケージ基板１の搬出及びカセット１６ｂへのパッケージ基板１の搬入を行う搬出入手段１７が配設されている。また、搬出入手段１７の可動範囲には、加工前のパッケージ基板１を仮置きして一定の位置に位置決めする仮置き手段１８と、加工後のパッケージ基板１を洗浄する洗浄手段１９とが配設されている。仮置き手段１８の近傍には、仮置き手段１８から保持手段１３に加工前のパッケージ基板１を搬送する第１の搬送手段２０ａが配設されている。また、洗浄手段１９の近傍には、保持手段１３から洗浄手段１９に加工後のパッケージ基板１を搬送する第２の搬送手段２０ｂが配設されている。
【００１１】
コラム１２の前方には、パッケージ基板１に対してバイト切削を施すバイト切削手段２１と、バイト切削手段２１をＺ軸方向に昇降させる昇降手段３０とを備えている。バイト切削手段２１は、Ｚ軸方向の軸心を有するスピンドル２２と、スピンドル２２を回転可能に囲繞するスピンドルハウジング２３と、スピンドル２２の一端に接続されたモータ２４と、スピンドルハウジング２３を支持するホルダ２５と、スピンドル２２の下端に着脱可能に装着されたバイトホイール２６とを備えている。
【００１２】
バイトホイール２６は、中心に回転軸を有する円盤状のホイール基台２７と、ホイール基台２７に装着された切削バイト２８とにより構成されている。切削バイト２８は、角柱形状に形成されたシャンク２８０と、シャンク２８０に固定された切り刃２８１とを備えている。モータ２４がスピンドル２２を回転させると、バイトホイール２６が所定の回転速度で回転する。
【００１３】
昇降手段３０は、Ｚ軸方向にのびるボールネジ３１と、ボールネジ３１の一端に接続されたモータ３２と、ボールネジ３１と平行にのびる一対のガイドレール３３と、一方の面がホルダ２５に接続された昇降部３４とを備えている。昇降部３４は、その内部に形成されたナットがボールネジ３１に螺合するとともに、側部が一対のガイドレール３３に摺接しており、モータ３２によってボールネジ３１を回動させることにより昇降部３４とともにバイト切削手段２１をＺ軸方向に昇降させることができる。
【００１４】
１  バイト切削方法の第一例
次に、図１に示したパッケージ基板１を被加工物とするバイト切削方法の例について説明する。パッケージ基板１の表面側には、複数のパッケージ２が整列して形成されており、各パッケージ２の表面には、突起状の電極であるバンプ３が複数形成されている。なお、被加工物は、矩形状のものに限定されるものでなく、円形状のものであってもよい。
【００１５】
（１）保持ステップ
図２で示したバイト切削装置１０において、搬出入手段１７は、カセット１６ａから加工前のパッケージ基板１を１枚取り出して仮置き手段１８に搬送する。その後、仮置き手段１８においてパッケージ基板１の中心位置を位置決めした後、第１の搬送手段２０ａによって、図３に示すように、パッケージ基板１を保持手段１３の保持面１３ａに載置する。そして、図示しない吸引源によりパッケージ基板１を保持手段１３で吸引保持する。
【００１６】
ここで、図４に示すように、保持手段１３で吸引保持されるパッケージ基板１のＸ軸方向の幅Ｌ１は、少なくともホイール基台２７の回転軸Ｏから切削バイト２８までの距離Ｒ１の２倍の距離を超える大きさを有しており、パッケージ基板１は切削バイト２８の回転軌道の直径よりも大きい幅を有している。また、ホイール基台２７の回転軸Ｏから切削バイト２８までの距離の２倍の距離は、パッケージ基板１のＸ方向の幅の１／２以上となっている。なお、被加工物が円形である場合は、円形の被加工物の幅、すなわち直径が、ホイール基台２７の回転軸Ｏから切削バイト２８までの距離Ｒ１の２倍を超える大きさを有している場合に、本発明のバイト切削方法を適用することができる。
【００１７】
パッケージ基板１は、Ｘ軸方向の幅Ｌ１の中央を境にしてパッケージ基板１のＸ方向の一端を含む第１の領域Ｓ１と、パッケージ基板１のＸ方向の他端を含む第２の領域Ｓ２とに区画されており、それぞれの領域が順次バイト切削されるべき領域となっている。なお、図４，６及び７においては、パッケージ基板１の加工状態を分かりやすくするために、網掛けが付された部分はバイト切削される前の状態を示し、網掛けが付されていない部分はバイト切削された後の状態を示すものとする。
【００１８】
（２）第一切削ステップ
保持ステップを実施したら、バイト切削手段２１によって、パッケージ基板１の第１の領域Ｓ１に対してバイト切削を実施する。まず、図１で示した昇降手段３０が、図５に示すバイト切削手段２１の切削バイト２８を所定の高さ位置に位置づけるとともに、スピンドル２２が回転し、バイトホイール２６を例えば矢印Ａ方向に回転させる。次いで、図４に示す保持手段１３で保持したパッケージ基板１をバイトホイール２６に対してＹ軸方向に相対移動させ、回転するバイトホイール２６の下方に向けてパッケージ基板１を移動させる。なお、ホイール基台２７の回転軸ＯのＸ方向の位置が、第１の領域Ｓ１のＸ方向の中央に位置することが望ましい。
【００１９】
バイトホイール２６の回転にともなって円運動する切り刃２８１は、Ｙ軸方向に移動するパッケージ基板１の第１の領域Ｓ１における複数のバンプ３の上部を削っていき、その高さを揃える。このようにして、バイト切削手段２１によって、パッケージ基板１の半分の領域である第１の領域Ｓ１をバイト切削することにより、図６に示すように、バイト切削していない残り半分の第２の領域Ｓ２を未切削領域として形成する。
【００２０】
（３）移動ステップ
第一切削ステップを実施した後、図７に示すように、パッケージ基板１の第２の領域Ｓ２をバイトホイール２６と対面する位置に移動させる。具体的には、作業者によって保持手段１３からパッケージ基板１を持ち上げるとともに、保持手段１３上においてパッケージ基板１を保持面１３ａに平行な方向に１８０度回転させてから置き直すことにより、バイトホイール２６にパッケージ基板１の第２の領域Ｓ２を対面させる。
【００２１】
移動ステップの他の方法としては、例えば、保持手段１３をＸ方向に移動可能に構成し、バイトホイール２６に対して保持手段１３をＸ軸方向に相対移動させることにより、バイトホイール２６にパッケージ基板１の第２の領域Ｓ２を対面させることもできる。また、バイト切削手段２１をＸ軸方向に移動可能に構成し、保持手段１３に対してバイト切削手段２１をＸ軸方向に移動させて、バイトホイール２６に第２の領域Ｓ２を対面させてもよい。さらには、保持手段１３を回転可能に構成し、保持手段１３自体が１８０度回転し、バイトホイール２６にパッケージ基板１の第２の領域Ｓ２を対面させるようにしてもよい。これにより、作業者によることなく、パッケージ基板１の移動ステップを容易に実施できる。
【００２２】
（４）第二切削ステップ
移動ステップを実施した後、バイト切削手段２１によって、パッケージ基板１の第２の領域Ｓ２に対してバイト切削を実施する。第一切削ステップと同様、図５で示したバイト切削手段２１の切削バイト２８を所定の高さ位置に位置づけるとともに、スピンドル２２が回転し、バイトホイール２６を、例えば矢印Ａ方向に回転させる。第二切削ステップで切削バイト２８を位置付ける所定の高さ位置は、第一切削ステップ中に切削バイト２８が位置付けられた所定の高さと同じ高さ位置である。そして、図７で示す保持手段１３で保持されたパッケージ基板１をバイトホイール２６に対してＹ軸方向に相対移動させながら、バイトホイール２６の回転にともない円運動する切り刃２８１が、第２の領域Ｓ２における複数のバンプ３の上部を削ってその高さを揃える。このとき、ホイール基台２７の回転軸ＯのＸ方向の位置が、第２の領域Ｓ２のＸ方向の中央に位置することが望ましい。ホイール基台２７の回転軸Ｏから切削バイト２８までの距離の２倍が、パッケージ基板１のＸ方向の幅の１／２以上となっているため、パッケージ基板１の第２の領域Ｓ２に対してバイト切削を施すことにより、パッケージ基板１の表面全域をバイト切削することができる。
【００２３】
こうしてパッケージ基板１のバイト切削が完了した後、図１で示した第２の搬送手段２０ｂによってパッケージ基板１を保持手段１３から洗浄手段１９に搬送する。そして、洗浄手段１９で洗浄及び乾燥が行われた後、搬出入手段１７によって洗浄済みのパッケージ基板１をカセット１６ｂに収容する。
【００２４】
以上のとおり、バイトホイール２６の直径よりも大きい幅Ｌ１を有するパッケージ基板１であっても、第一切削ステップを実施してパッケージ基板１の第１の領域Ｓ１を切削した後、移動ステップを実施することにより、未切削領域である第２の領域Ｓ２をバイトホイール２６に対面させてから第二切削ステップを実施して第２領域Ｓ２を切削することができるため、パッケージ基板１の表面全域にバイト切削を施すことができる。
したがって、パッケージ基板１の大きさに対応させてバイトホイール２６を大口径化させる必要がなくなり、小さいエネルギーでバイトホイール４１を回転駆動することができる上、バイト切削装置が大型化することを防止できる。
【００２５】
２  バイト切削方法の第二例
次に、図８〜図１０を参照しながら、パッケージ基板１ａを被加工物とするバイト切削方法の例について説明する。図８に示すバイト切削手段４０は、上記バイト切削手段２１の変形例であり、バイト切削手段２１のバイトホイール２６よりも小径のバイトホイール４１を備えている。バイトホイール４１は、回転軸を有する円盤状のホイール基台４２と、ホイール基台４２に装着された切削バイト４３とにより構成されている。切削バイト４３は、角柱形状に形成されたシャンク４３０と、シャンク４３０に固定された切り刃４３１とを備えている。ホイール基台４２の回転軸Ｏから切削バイト２８までの距離Ｒ２は、図４、６及び７に示したホイール基台２７の回転軸Ｏから切削バイト２８までの距離Ｒ１よりも短い。
【００２６】
（１）保持ステップ
バイト切削方法の第一例と同様、パッケージ基板１ａを図３で示した保持手段１３の保持面１３ａに載置する。その後、図示しない吸引源によりパッケージ基板１ａを保持手段１３で吸引保持する。
【００２７】
ここで、図８に示すように、パッケージ基板１ａのＸ軸方向の幅Ｌ２は、少なくともホイール基台４２の回転軸Ｏから切削バイト２８までの距離Ｒ２の２倍の２倍を超える大きさを有している。
【００２８】
パッケージ基板１ａは、第１の領域Ｓ３と、第２の領域Ｓ４と、第３の領域Ｓ５との３つの領域に区画されており、それぞれの領域が順次バイト切削されるべき領域となっている。なお、図８〜１０においては、パッケージ基板１ａの加工状態を分かりやすくするために、網掛けが付された部分はバイト切削される前の状態を示し、網掛けが付されていない部分はバイト切削された後の状態を示すものとする。
【００２９】
（２）第一切削ステップ
保持ステップを実施したら、バイト切削手段４０によって、パッケージ基板１ａの第１の領域Ｓ３に対してバイト切削を実施する。図８に示すバイト切削手段４０の切削バイト４３を所定の高さ位置に位置づけ、バイトホイール４１を例えば矢印Ａ方向に回転させつつ、保持手段１３で保持したパッケージ基板１ａをバイトホイール４１に対してＹ軸方向に相対移動させる。そうすると、バイトホイール４１の回転にともなって円運動する切り刃４３１が、パッケージ基板１ａの第１の領域Ｓ３におけるバンプ３の上部を削ってその高さを揃える。このようにしてパッケージ基板１ａの第１の領域Ｓ３を切削することにより、バイト切削していない第２の領域Ｓ４及び第３の切削領域Ｓ５を未切削領域として形成する。
【００３０】
（３）第一移動ステップ
第一切削ステップを実施した後、図９に示すように、パッケージ基板１ａの第２の領域Ｓ４をバイトホイール４１と対面する位置に移動させる。具体的には、作業者によって、パッケージ基板１ａを保持手段１３上においてＸ軸方向にずらして置き直すことにより、パッケージ基板１ａの第２の領域Ｓ４をバイトホイール４１に対面させる。また、保持手段１３またはバイト切削手段２１をＸ方向に移動可能な構成とし、バイトホイール４１に対して保持手段１３をＸ軸方向に相対移動させることにより、バイトホイール４１にパッケージ基板１ａの第２の領域Ｓ４を対面させてもよい。
【００３１】
（４）第二切削ステップ
第一移動ステップを実施した後、第一切削ステップと同様、バイト切削手段４０によって、パッケージ基板１ａの第２の領域Ｓ４に対してバイト切削を実施する。すなわち、バイトホイール４１の回転にともなって円運動する切り刃４３１が、バイトホイール４１に対してＹ軸方向に相対移動してくるパッケージ基板１ａの第２の領域Ｓ４におけるバンプ３の上部を削ってその高さを揃える。このようにしてパッケージ基板１ａの第２の領域Ｓ４を切削することにより、バイト切削していない第３の切削領域Ｓ５を未切削領域として形成する。
【００３２】
（５）第二移動ステップ
第二切削ステップを実施した後、図１０に示すように、第一移動ステップと同様の動作によりパッケージ基板１ａの第３の領域Ｓ５をバイトホイール４１に対面させる。
【００３３】
（６）第三切削ステップ  第二移動ステップを実施した後、第一切削ステップ及び第二切削ステップと同様、バイト切削手段４０によって、パッケージ基板１の第３の領域Ｓ５に対してバイト切削を実施する。すなわち、バイトホイール４１の回転にともなって円運動する切り刃４３１が、バイトホイール４１に対してＹ軸方向に相対移動してくるパッケージ基板１ａの第３の領域Ｓ５におけるバンプ３の上部を削ってその高さを揃える。このようにして、パッケージ基板１ａの表面全域をバイト切削する。
【００３４】
なお、ホイール基台４２の回転軸Ｏから切削バイト２８までの距離Ｒ２の２倍の距離と、パッケージ基板１のＸ軸方向の幅Ｌ２との関係に応じて、切削領域を４つ以上に分割し、切削ステップを４回以上実行するようにしてもよい。
【００３５】
以上のとおり、バイトホイール４１の直径よりも大きい幅Ｌ２を有するパッケージ基板１ａであっても、第一切削ステップ，第一移動ステップ，第二切削ステップ，第二移動ステップ及び第三切削ステップを順次実施するため、バイトホイール４１によってパッケージ基板１ａのＸ軸方向における一端から他端にかけて順次切削することが可能となり、パッケージ基板１ａの表面全域にバイト切削を施すことができる。
したがって、パッケージ基板１ａの大きさに対応させてバイトホイール４１を大口径化させる必要がなくなり、より小さいエネルギー量でバイトホイール４１を回転駆動させることができる上、バイト切削装置が大型化することを防止できる。
【符号の説明】
【００３６】
１，１ａ：パッケージ基板  ２：パッケージ  ３：バンプ
１０：バイト切削装置  １１：装置ベース  １１０：搬送加工部  １２：コラム
１３：保持手段  １３ａ：保持面  １４：カバー  １５：蛇腹
１６ａ：カセット  １６ｂ：カセット  １７：搬出入手段  １８：仮置き手段
１９：洗浄手段  ２０ａ：第１の搬送手段  ２０ｂ：第２の搬送手段
２１：バイト切削手段  ２２：スピンドル  ２３：スピンドルハウジング  ２４：モータ
２５：ホルダ  ２６：バイトホイール  ２７：ホイール基台
２８：切削バイト  ２８０：シャンク  ２８１：切り刃
３０：昇降手段  ３１：ボールネジ  ３２：モータ  ３３：ガイドレール  ３４：昇降部
４０：バイト切削手段  ４１：バイトホイール  ４２：ホイール基台
４３：切削バイト  ４３０：シャンク  ４３１：切り刃
【図１】
2019136861.tif 000003
【図２】
2019136861.tif 000004
【図３】
2019136861.tif 000005
【図４】
2019136861.tif 000006
【図５】
2019136861.tif 000007
【図６】
2019136861.tif 000008
【図７】
2019136861.tif 000009
【図８】
2019136861.tif 000010
【図９】
2019136861.tif 000011
【図１０】
2019136861.tif 000012