(57)【要約】【課題】ランプの金属箔を効率的に冷却するために有利な技術を提供する。【解決手段】ランプは、放電部および封止部を有する発光管と、第１端が前記放電部の内側の放電空間に配置され第２端が前記封止部の中に配置された電極と、前記封止部に接続された口金と、前記第２端と前記口金とを電気的に接続する金属箔とを有する。前記放電空間と前記口金の内側の内側空間とは、前記封止部の中に配置された封止材によって分離されている。前記口金は、前記口金の外側の外側空間と前記内側空間とを連通させる連通孔を有し、前記連通孔を通して前記外側空間から前記内側空間に供給される気体が前記金属箔に触れることによって前記金属箔が冷却される。【選択図】図３
2019204748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電部および封止部を有する発光管と、第１端が前記放電部の内側の放電空間に配置され第２端が前記封止部の中に配置された電極と、前記封止部に接続された口金と、前記第２端と前記口金とを電気的に接続する金属箔とを有し、前記放電空間と前記口金の内側の内側空間とが前記封止部の中に配置された封止材によって分離されたランプであって、
前記口金は、前記口金の外側の外側空間と前記内側空間とを連通させる連通孔を有し、前記連通孔を通して前記外側空間から前記内側空間に供給される気体が前記金属箔に触れることによって前記金属箔が冷却される、
ことを特徴とするランプ。
【請求項２】
前記内側空間において、前記金属箔は、板状部材を湾曲させた形状を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載のランプ。
【請求項３】
前記金属箔は、板状の断面形状を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載のランプ。
【請求項４】
前記内側空間に配置された整流部材を更に備え、
前記整流部材は、整流面を有し、前記連通孔を通して前記外側空間から前記内側空間に供給された気体の流れが前記整流面によって制御される、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のランプ。
【請求項５】
前記整流面は、錐面の少なくとも一部を構成する、
ことを特徴とする請求項４に記載のランプ。
【請求項６】
前記ランプは、前記第２端と前記口金とを電気的に接続するために前記金属箔を含む複数の金属箔を有し、
前記外側空間と前記内側空間とを連通させるために前記連通孔を含む複数の連通孔を有し、
前記整流部材は、前記口金の内側面、前記封止部および前記整流面によって少なくとも一部が画定される空間を複数の部分に分割する複数の分割部を有する、
ことを特徴とする請求項４又は５に記載のランプ。
【請求項７】
前記複数の連通孔は、前記複数の部分の各々に対して２つの連通孔が割り当てられるように設けられている、
ことを特徴とする請求項６に記載のランプ。
【請求項８】
前記複数の部分の各々に対して割り当てられた２つの連通孔の一方は、前記外側空間から前記内側空間に気体を供給するための供給孔であり、前記２つの連通孔の他方は、前記内側空間から前記外側空間に気体を排出するための排出孔である、
ことを特徴とする請求項７に記載のランプ。
【請求項９】
前記複数の連通孔の個数は、前記複数の部分の個数と同じである、
ことを特徴とする請求項６に記載のランプ。
【請求項１０】
前記複数の連通孔の各々は、前記複数の分割部のうちの１つの分割部に対応するように配置され、前記複数の連通孔のうちの１つの連通孔を通して前記外側空間から前記内側空間に供給される気体は、前記複数の分割部のうちの前記１つの分割部によって分割された２つの部分に供給され、
前記２つの部分に供給された気体は、前記複数の連通孔のうち他の連通孔を通して前記外側空間に排出される、
ことを特徴とする請求項９に記載のランプ。
【請求項１１】
前記金属箔と前記外側空間との間に、前記連通孔を介した直線経路が存在する、
ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のランプ。
【請求項１２】
前記連通孔の軸方向は、前記口金の軸方向と直交している、
ことを特徴とする請求項１１に記載のランプ。
【請求項１３】
前記連通孔の軸方向は、前記口金の軸方向に対して傾斜している、
ことを特徴とする請求項１１に記載のランプ。
【請求項１４】
前記連通孔は、前記口金から前記内側空間に延びた筒状部材に設けられ、前記筒状部材は、前記金属箔に対向する開口を有する、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のランプ。
【請求項１５】
前記外側空間と前記内側空間とを連通させるために前記連通孔を含む複数の連通孔を有し、
前記複数の連通孔は、前記封止部の端面からの距離が互いに異なる複数の連通孔を含む、
ことを特徴とする請求項１乃至１４のいずれか１項に記載のランプ。
【請求項１６】
前記複数の連通孔は、前記外側空間から前記内側空間に気体を供給するための供給孔と、前記内側空間から前記外側空間に気体を排出するための排出孔とを含み、前記端面と前記供給孔との距離は、前記端面と前記排出孔との距離より大きい、
ことを特徴とする請求項１５に記載のランプ。
【請求項１７】
前記発光管は、第２封止部を有し、前記ランプは、一端が前記放電空間に配置され他端が前記第２封止部の中に配置された第２電極と、前記第２封止部に接続された第２口金と、前記他端と前記第２口金とを電気的に接続する第２金属箔とを有し、前記放電空間と前記第２口金の内側の第２内側空間とが前記第２封止部の中に配置された封止材によって分離され、
前記第２口金は、前記第２口金の外側の第２外側空間と前記第２内側空間とを連通させる第２連通孔を有し、前記第２連通孔を通して前記第２外側空間から前記第２内側空間に供給される気体が前記第２金属箔に触れることによって前記第２金属箔が冷却される、
ことを特徴とする請求項１乃至１６のいずれか１項に記載のランプ。
【請求項１８】
請求項１乃至１７のいずれか１項に記載のランプと、
前記ランプの口金が挿入され前記口金と電気的に接続される保持部と、を備え、
前記保持部は、前記連通孔に気体を供給する供給路を有する、
ことを特徴とする光源装置。
【請求項１９】
請求項１８に記載の光源装置が発生する光によって原版を照明する照明光学系と、
前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系と、
を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の露光装置によって基板を露光する露光工程と、
前記基板を現像する現像工程と、
前記現像工程を経た前記基板を加工する工程と、を含み、
前記基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ランプ、光源装置、露光装置および物品製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
物体等を照明する照明用途などにおいてランプが使用される。例えば、半導体デバイス等の物品を製造するための露光装置においては、原版のパターンを基板に投影するために照明光学系によって原版が照明される。ランプの中には、冷却が不可欠なものがある。特許文献１には、キセノンランプが記載されている。特許文献１に記載されたキセノンランプは、キセノンガスが封入された発光容器の両端に封止管が連設され、各封止管に口金が接着された構造を有する。発光容器内に配置された各電極（陽極、陰極）には、電極芯棒が接続され、電極芯棒と外部リード棒とが封止管の中に埋設された金属箔によって接続されている。口金の中では、外部リード棒と端子とが撚り線からなるリード線で接続されている。口金には、通風用の２つの開口が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４４０１４０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ランプにおいては、金属箔および金属棒等のような電流経路を構成する部品が高温になりうる。特許文献１に記載されたキセノンランプでは、金属箔が封止管の中に埋設されているので、金属箔には冷却風が当たらない、したがって、金属箔を十分に冷却することが難しい。金属箔が高温になると、封止管に亀裂が生じうる。
【０００５】
本発明は、上記の課題認識を契機としてなされたものであり、ランプの金属箔を効率的に冷却するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の１つの側面は、放電部および封止部を有する発光管と、第１端が前記放電部の内側の放電空間に配置され第２端が前記封止部の中に配置された電極と、前記封止部に接続された口金と、前記第２端と前記口金とを電気的に接続する金属箔とを有し、前記放電空間と前記口金の内側の内側空間とが前記封止部の中に配置された封止材によって分離されたランプに係り、前記口金は、前記口金の外側の外側空間と前記内側空間とを連通させる連通孔を有し、前記連通孔を通して前記外側空間から前記内側空間に供給される気体が前記金属箔に触れることによって前記金属箔が冷却される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ランプの金属箔を効率的に冷却するために有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態の露光装置の構成を示す図。
【図２】本発明の第１実施形態の光源装置の構成を示す図。
【図３】本発明の第１実施形態の光源装置の構成を示す図。
【図４】本発明の第２実施形態の光源装置の構成を示す図。
【図５】本発明の第２実施形態の光源装置の構成を示す図。
【図６】本発明の第２実施形態の光源装置の複数の連通孔の構成例を示す図。
【図７】本発明の第３実施形態の光源装置の構成を示す図。
【図８】本発明の第３実施形態の光源装置の変形例の構成を示す図。
【図９】本発明の第４実施形態の光源装置の構成を示す図。
【図１０】本発明の第５実施形態の光源装置の構成を示す図。
【図１１】本発明の第６実施形態の光源装置の構成を示す図。
【図１２】本発明の第７実施形態の光源装置の構成を示す図。
【図１３】本発明の第７実施形態の光源装置の構成を示す図。
【図１４】本発明の第７実施形態の光源装置の変形例の構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照しながら本発明をその例示的な実施形態を通して説明する。
【００１０】
図１には、本発明の第１実施形態の露光装置１００の構成が示されている。露光装置１００は、ランプ１０を備える装置の一例である。露光装置１００は、投影装置として理解されてもよい。露光装置１００は、例えば、原版Ｍ（レチクル）を保持する原版ステージＭＳと、原版Ｍを照明する照明光学系ＩＬと、原版Ｍのパターンを基板Ｗに投影する投影光学系ＰＬと、基板Ｗを保持する基板ステージＷＳと、制御部ＣＮＴとを含みうる。露光装置１００は、照明光学系ＩＬによって照明された原版Ｍのパターンを投影光学系ＰＬによって基板Ｗに投影することによって基板Ｗを露光する。基板Ｗは、感光材を有し、露光によって感光材に潜像が形成される。潜像は、現像工程を経て物理的なパターンに変換される。制御部ＣＮＴは、例えば、ＣＰＵ（プロセッサ）およびメモリなどを有するコンピュータによって構成され、露光装置１００の各部を制御する。
【００１１】
照明光学系ＩＬは、光源装置ＬＳと、複数の光学素子とを含みうる。光源装置ＬＳは、ランプ１０と、ランプ１０を保持しランプ１０に電力を供給する保持部１とを含みうる。ランプ１０は、例えば、ｉ線などの光を発生する水銀ランプでありうるが、他の種類のランプであってもよい。光源装置ＬＳは、凹面ミラー２を含んでもよい。照明光学系ＩＬは、複数の光学素子として、例えば、ＮＤフィルタ３と、コンデンサレンズ４と、波長フィルタ５と、ハエの目レンズ（オプティカルインテグレータ）６と、マスキングブレード７と、レンズ８とを含みうる。
【００１２】
保持部１によって保持されたランプ１０から放射された光は、凹面ミラー２によって集光され、ＮＤフィルタ３によって光強度が調整された後、コンデンサレンズ４で集光されて波長フィルタ５に入射する。波長フィルタ５は、所望の範囲内の波長の光を透過させる。波長フィルタ５を透過した光は、ハエの目レンズ６によって光強度分布が均一化され、マスキングブレード７およびレンズ８を介して、原版Ｍに照射される。
【００１３】
ランプ１０の口金（より詳しくは、口金の中で電流経路を構成する部品）は、ランプ１０の発光の際にかなりの熱を発生しうる。したがって、ランプ１０の性能の低下やランプ１０の破損を防ぐためにランプ１０の口金が冷却されうる。図２には、光源装置ＬＳの構成例が示されている。図３には、図２のＡ−Ａ断面が例示されている。ランプ１０は、例えば、放電部１１、第１封止部１３ａおよび第２封止部１３ｂを有する発光管ＬＥＴと、第１電極１２ａと、第２電極１２ｂと、第１口金１４と、第２口金１５と、１又は複数の第１金属箔１６ａと、１又は複数の第２金属箔１６ｂとを含みうる。また、ランプ１０は、結合部１７と、リード線１８とを含みうる。この例では、４個の第１金属箔１６ａが設けられているが、第１金属箔の個数は、４個に限定されるものではない。第２金属箔１６ｂの個数は、第１金属箔１６ａの個数と同数でありうるが、第１金属箔１６ａの個数と異なっていてもよい。
【００１４】
発光管ＬＥＴは、例えば、ガラスで構成されうる。放電部１１は、例えば、ほぼ球形状を有し、第１封止部１３ａおよび第２封止部１３ｂは、円筒形状を有しうる。発光管ＬＥＴには、水銀が封入されうる。放電部１１の内側の放電空間ＤＳには、第１電極１２ａと第２電極１２ｂとが対向して配置されている。第１電極１２ａと第２電極１２ｂとの間に電圧が印加されることによって第１電極１２ａと第２電極１２ｂとの間で放電が起こり、これによって光が放射される。第１電極１２ａの第１端Ｅ１は、放電空間ＤＳに配置され、第１電極１２ａの第２端Ｅ２は、第１封止部１３ａの中に配置されている。第１封止部１３ａの中には、封止材１９ａが配置されている。第２電極１２ｂの一端（第３端）Ｅ３は、放電空間ＤＳに配置され、第２電極１２ｂの他端（第４端)Ｅ４は、第２封止部１３ｂの中に配置されている。第２封止部１３ｂの中には、封止材１９ｂが配置されている。発光管ＬＥＴは、封止材１９ａ、１９ｂによって封止されている。封止材１９ａ、１９ｂの材料は、発光管ＬＥＴの材料と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００１５】
第１口金１４は、第１封止部１３ａに接続されている。１又は複数の第１金属箔１６ａは、第１電極１２ａの第２端Ｅ２と第１口金１４とを電気的に接続している。第２口金１５は、第２封止部１３ｂに接続されている。１又は複数の第２金属箔１６ｂは、第２電極１２ｂの他端Ｅ３と第２口金１５とを電気的に接続している。放電空間ＤＳと第１口金１４の内側の内側空間ＩＳ１とは、第１封止部１３ａの中に配置された封止材１９ａによって分離されている。放電空間ＤＳと第２口金１５の内側の内側空間ＩＳ２とは、第２封止部１３ｂの中に配置された封止材１９ｂによって分離されている。第１口金１４と第２口金１５とは、発光管ＬＥＴを挟んで互いに対向するように配置されうる。
【００１６】
１又は複数の第１金属箔１６ａおよび１又は複数の第２金属箔１６ｂは、例えば、モリブデンで構成されうる。内側空間ＩＳ１において、１又は複数の金属箔１６ａは、板状部材を湾曲させた形状を有しうる。他の観点において、１又は複数の金属箔１６ａは、板状の断面形状を有しうる。内側空間ＩＳ２において、１又は複数の金属箔１６ｂは、板状部材を湾曲させた形状を有しうる。他の観点において、１又は複数の金属箔１６ｂは、板状の断面形状を有しうる。
【００１７】
内側空間ＩＳ１において、１又は複数の金属箔１６ａは、第１口金１４に電気的に接続されうる。換言すると、１又は複数の金属箔１６ａは、内側空間ＩＳ１に露出した部分を有し、当該部分が第１口金１４に対して電気的に接続されうる。同様に、内側空間ＩＳ２において、１又は複数の金属箔１６ｂは、第２口金１５に電気的に接続されうる。換言すると、１又は複数の金属箔１６ｂは、内側空間ＩＳ２に露出した部分を有し、当該部分が第２口金１５に対して電気的に接続されうる。
【００１８】
第１口金１４には、結合部１７が電気的に接続されている。第１口金１４には、結合部１７を介して電位が与えられうる。第２口金１５には、リード線１８が電気的に接続されている。第２口金１５には、リード線１８を介して電位が与えられうる。不図示の駆動回路は、結合部１７とリード線１８との間に電圧を供給することによってランプ１０を発光させる。
【００１９】
ランプ１０が水銀ランプとして構成される場合、放電部１１の温度は、例えば、水銀が適切に蒸発されることを考慮すれば、４５０〜７５０°Ｃの範囲内であることが好ましい。第１口金１４および第２口金１５を冷却するための気体が放電部１１の外側表面にも供給されると、放電部１１の温度が４５０〜７５０°Ｃの範囲から外れうる。したがって、第１口金１４および第２口金１５を冷却するための気体を第１口金１４および第２口金１５の外側表面に吹き付けることは好ましくない。また、第１口金１４および第２口金１５を冷却するための気体を第１口金１４および第２口金１５の外側表面に吹き付ける構成では、第１金属箔１６ａ、第２金属箔１６ｂを直接に冷却することはできない。
【００２０】
そこで、第１実施形態では、第１口金１４は、第１口金１４の外側の外側空間ＯＳ１と第１口金１４の内側の内側空間ＩＳ１とを連通させる１又は複数の第１連通孔２０ａを有しうる。１又は複数の第１連通孔２０ａを通して外側空間ＯＳ１から内側空間ＩＳ１に供給される気体が１又は複数の第１金属箔１６ａに触れることによって１又は複数の第１金属箔１６ａが冷却されうる。同様に、第２口金１５は、第２口金１５の外側の外側空間ＯＳ２と第２口金１５の内側の内側空間ＩＳ２とを連通させる１又は複数の第２連通孔２０ｂを有しうる。１又は複数の第２連通孔２０ｂを通して外側空間ＯＳ２から内側空間ＩＳ２に供給される気体が１又は複数の第２金属箔１６ｂに触れることによって１又は複数の第２金属箔１６ｂが冷却されうる。
【００２１】
第１金属箔１６ａと外側空間ＯＳ１との間には、第１連通孔２０ａを介した直線経路が存在しうる。換言すると、第１金属箔１６ａは、第１連通孔２０ａを通して外部空間ＯＳ１から視認可能である。同様に、第２金属箔１６ｂと外側空間ＯＳ２との間には、第２連通孔２０ｂを介した直線経路が存在しうる。換言すると、第２金属箔１６ｂは、第２連通孔２０ｂを通して外部空間ＯＳ２から視認可能である。第１連通孔２０ａは、その軸方向が第１口金１４の軸方向と直交するように配置されうる。同様に、第２連通孔２０ｂは、その軸方向が第２口金１５の軸方向と直交するように配置されうる。
【００２２】
図４、図５を参照しながら本発明の第２実施形態の露光装置１００、光源装置ＬＳおよびランプ１０について説明する。なお、第２実施形態として言及しない事項は、第１実施形態に従いうる。第２実施形態では、ランプ１０は、第１口金１４の内側空間ＩＳ１に配置された第１整流部材２１ａを備えうる。第１整流部材２１ａは、第１整流面２１１ａを有し、第１連通孔２０ａを通して外側空間ＯＳ１から内側空間ＩＳ１に供給された気体の流れは、第１整流面２１１ａによって制御される。第１整流面２１１ａは、例えば、錐面（例えば、円錐面）の少なくとも一部を構成する。第１整流部材２１ａは、第１封止材１９ａと第１口金１４の内側底面との間に配置されうる。
【００２３】
第１整流部材２１ａは、第１口金１４の内側面、第１封止部１３ａおよび第１整流面２１１ａによって少なくとも一部が画定される空間を複数の部分に分割する複数の分割部２３を有しうる。図５に示された例では、第１整流部材２１ａは、第１口金１４の内側面、第１封止部１３ａおよび第１整流面２１１ａによって少なくとも一部が画定される空間を４つの部分に分割するように、４つの分割部２３を有する。
【００２４】
同様に、ランプ１０は、第２口金１５の内側空間ＩＳ２に配置された第２整流部材２１ｂを備えうる。第２整流部材２１ｂは、第２整流面２１１ｂを有し、第２連通孔２０ｂを通して外側空間ＯＳ２から内側空間ＩＳ２に供給された気体の流れは、第２整流面２１１ｂによって制御される。第２整流面２１１ｂは、例えば、錐面（例えば、円錐面）の少なくとも一部を構成する。第２整流部材２１ｂは、第２封止材１９ｂと第２口金１５の内側底面との間に配置されうる。
【００２５】
第１整流部材２１ａ、第２整流部材２１ｂは、第１金属箔１６ａ、第２金属箔１６ｂから熱を奪って外部空間に排出される気体の流れを制御し、第１金属箔１６ａ、第２金属箔１６ｂの冷却効率を向上させるために有利である。
【００２６】
図６（ａ）には、複数の連通孔２０ａの１つの構成例が示されている。図６（ａ）は、図４のＢ−Ｂ断面に相当する。図６（ａ）において、点線の矢印は、気体の流れを模式的に示している。なお、以下では言及しないが、他の図面においても、点線の矢印は、気体の流れを模式的に示している。図６（ａ）の例では、複数の連通孔２０ａは、複数の分割部２３によって分割された複数の部分の各々に対して２つの連通孔２０ａが割り当てられるように設けられている。複数の分割部２３によって分割された１つの部分に対して２つの連通孔２０ａが割り当てられる。ここで、複数の部分の各々に対して割り当てられた２つの連通孔の一方は、外側空間ＯＳ１から内側空間ＩＳ１に気体を供給するための供給孔２０１であり、該２つの連通孔の他方は、内側空間ＩＳ１から外側空間ＯＳ１に気体を排出するための排出孔２０２である。
【００２７】
図６（ｂ）には、複数の連通孔２０ａの他の構成例が示されている。図６（ｂ）は、図４のＢ−Ｂ断面に相当する。図６（ｂ）の例では、複数の連通孔２０ａの個数は、複数の分割部２３によって分割された複数の部分の個数と同じである。複数の連通孔２０ａの各々は、複数の分割部２３のうちの１つに対応するように配置されている。複数の連通孔２０ａのうちの１つである供給孔２０１を通して外側空間ＯＳ１から内側空間ＩＳ１に供給される気体は、複数の分割部２３のうちの１つによって分割された２つの部分に供給される。該２つの部分に供給された気体は、複数の連通孔２０ａのうち他の１つである排出孔２０２を通して外側空間ＯＳ１に排出される。
【００２８】
図７を参照しながら本発明の第３実施形態の露光装置１００、光源装置ＬＳおよびランプ１０について説明する。なお、第３実施形態として言及しない事項は、第１又は第２実施形態に従いうる。第３実施形態では、第１口金１４は、１又は複数の第１連通孔２０ａを有し、１又は複数の第１連通孔２０ａは、その軸方向が第１口金１４の軸方向に対して傾斜するように配置されうる。そのような第１連通孔２０ａは、外側空間ＯＳ１から内側空間ＩＳ１に気体を供給するための供給孔２０３ａでありうる。同様に、第２口金１５は、１又は複数の第２連通孔２０ａを有し、１又は複数の第２連通孔２０ｂは、その軸方向が第２口金１５の軸方向に対して傾斜するように配置されうる。そのような第２連通孔２０ｂは、外側空間ＯＳ２から内側空間ＩＳ２に気体を供給するための供給孔２０３ｂでありうる。
【００２９】
第１金属箔１６ａと外側空間ＯＳ１との間には、第１連通孔２０ａを介した直線経路が存在しうる。換言すると、第１金属箔１６ａは、第１連通孔２０ａを通して外部空間ＯＳ１から視認可能である。同様に、第２金属箔１６ｂと外側空間ＯＳ２との間には、第２連通孔２０ｂを介した直線経路が存在しうる。換言すると、第２金属箔１６ｂは、第２連通孔２０ｂを通して外部空間ＯＳ２から視認可能である。
【００３０】
第３実施形態では、第１口金１４の複数の第１連通孔２０ａは、内側空間ＩＳ１から外側空間ＯＳ１に気体を排出する排出口２０４ａを含みうる。また、第２口金１５の複数の第２連通孔２０ｂは、内側空間ＩＳ２から外側空間ＯＳ２に気体を排出する排出口２０４ｂを含みうる。排出口２０４ａは、その軸方向が第１口金１４の軸方向と直交するように配置されうる。同様に、排出口２０４ｂは、その軸方向が第２口金１５の軸方向と直交するように配置されうる。
【００３１】
図８には、第３実施形態の変形例が記載されている。図８に記載された変形例においても、図７に例示されるように、第１口金１４は、軸方向が第１口金１４の軸方向に対して傾斜するように配置された複数の第１連通孔２０ａを有する。しかしながら、変形例では、複数の第１連通孔２０ａの一部が供給孔として使用され、複数の第１連通孔２０ａの他の一部が排出孔として使用される。同様に、第２口金１５は、軸方向が第２口金１５の軸方向に対して傾斜するように配置された複数の第２連通孔２０ｂを有する。複数の第２連通孔２０ｂの一部が供給孔として使用され、複数の第２連通孔２０ｂの他の一部が排出孔として使用される。
【００３２】
図９を参照しながら本発明の第４実施形態の露光装置１００、光源装置ＬＳおよびランプ１０について説明する。なお、第４実施形態として言及しない事項は、第１乃至第３実施形態に従いうる。第１口金１４は、１又は複数の第１連通孔２０ａを有し、１又は複数の第１連通孔２０ａは、第１口金１４から内側空間ＩＳ１に延びた筒状部材２０５ａに設けられ、筒状部材２０５ａは、第１金属箔１６ａに対向する開口２１０ａを有する。第２口金１５も、第１口金１４の第１連通孔２０ａと同様の構成を有する第２連通孔２０ｂを有しうる。
【００３３】
第１口金１４の複数の第１連通孔２０ａは、内側空間ＩＳ１から外側空間ＯＳ１に気体を排出する排出口２０６ａを含みうる。排出口２０４ａは、その軸方向が第１口金１４の軸方向と直交するように配置されうる。また、第２口金１５の複数の第２連通孔２０ｂは、内側空間ＩＳ２から外側空間ＯＳ２に気体を排出する排出口を含みうる。
【００３４】
図１０を参照しながら本発明の第５実施形態の露光装置１００、光源装置ＬＳおよびランプ１０について説明する。なお、第５実施形態として言及しない事項は、第１乃至第５実施形態に従いうる。第５実施形態では、第１口金１４は、外側空間ＯＳ１と内側空間ＩＳ１とを連通させる複数の連通孔２０ａを有し、複数の連通孔２０ａは、第１封止部１３ａの端面からの距離が互いに異なる複数の連通孔２０７ａ、２０８ａを含む。例えば、複数の連通孔２０ａは、外側空間ＯＳ１から内側空間ＩＳ１に気体を供給するための１又は複数の供給孔としての１又は複数の連通孔２０８ａを含みうる。また、複数の連通孔２０ａは、内側空間ＩＳ１から外側空間ＯＳ１に気体を排出するための１又は複数の排出孔としての１又は複数の連通孔２０７ａとを含みうる。一例において、第１口金１４の軸方向における１又は複数の連通孔２０８ａと金属箔１６ａとの距離は、第１口金１４の軸方向における１又は複数の連通孔２０７ａと金属箔１６ａとの距離より大きい。第２口金１５も、第１口金１４の第１連通孔２０ａと同様の構成を有する第２連通孔２０ｂを有しうる。
【００３５】
図１１を参照しながら本発明の第６実施形態の露光装置１００、光源装置ＬＳおよびランプ１０について説明する。なお、第６実施形態として言及しない事項は、第１乃至第５実施形態に従いうる。第６実施形態では、第１口金１４は、外側空間ＯＳ１と内側空間ＩＳ１とを連通させる複数の連通孔２０ａを有し、複数の連通孔２０ａは、第１封止部１３ａの端面からの距離が互いに異なる複数の連通孔２０７ａ、２０８ａを含む。例えば、複数の連通孔２０ａは、外側空間ＯＳ１から内側空間ＩＳ１に気体を供給するための１又は複数の供給孔としての１又は複数の連通孔２０８ａを含みうる。また、複数の連通孔２０ａは、内側空間ＩＳ１から外側空間ＯＳ１に気体を排出するための１又は複数の排出孔としての１又は複数の連通孔２０７ａとを含みうる。一例において、第１口金１４の軸方向における１又は複数の連通孔２０８ａと金属箔１６ａとの距離は、第１口金１４の軸方向における１又は複数の連通孔２０７ａと金属箔１６ａとの距離より大きい。１又は複数の連通孔２０８ａは、その軸方向が第１口金１４の軸方向と平行になるように配置されうる。第２口金１５も、第１口金１４の第１連通孔２０ａと同様の構成を有する第２連通孔２０ｂを有しうる。
【００３６】
図１２、図１３を参照しながら本発明の第７実施形態の露光装置１００および光源装置ＬＳについて説明する。ランプ１０は、第１乃至第６実施形態に従いうる。光源装置ＬＳは、ランプ１０と、ランプ１０の第１口金１４が挿入され第１口金１４と電気的に接続される保持部１とを備えうる。保持部１は、第１部材２５と、第１部材２５に連結された第２部材２６とを有する。第２部材２６は、例えば、円筒形状部を含みうる。第１部材２５、又は、第１部材２５および第２部材２６には、第１口金１４に気体を供給する１又は複数の供給路２７が形成されている。１又は複数の供給路２７の出口には接続孔２８が設けられている。接続孔２８は、第１口金１４の複数の連通孔２０ａのうち供給孔として機能する連通孔２０ａに流体的に接続される。第１部材２５、又は、第１部材２５および第２部材２６には、第１口部１０から排出される気体を回収し排出する１又は複数の排出路が形成されている。１又は複数の排出路の入口には接続孔３３が設けられている。接続孔３３は、第１口金１４の複数の連通孔２０ａのうち排出孔として機能する連通孔２０ａに流体的に接続される。
【００３７】
第１口金１４および保持部１（第２部材２６）は、接続孔２８と供給孔としての連通孔２０ａとを位置決めし、接続孔３３と排出孔としての連通孔２０ａとを位置決めしするための位置決め部２９、３０が設けられうる。例えば、第１口金１４には、位置決め部３０として溝が設けられ、保持部１（第２部材２６）には、位置決め部２９として位置決めピンが設けられうる。
【００３８】
位置決め部２９、３０を使って第１口金１４を保持部１（第２部材２６）に位置決めし、第１部材２５に設けられた嵌合穴３２に結合部１７が挿入されうる。結合部１７は、雄ねじを有しうる。第１部材２５には、回転可能に保持された締結部材３１が設けられうる。締結部材３１の雌ねじを結合部１７の雄ねじに締めつけることによってランプ１０の第１口金１４が保持部１に固定されうる。図１３には、ランプ１０の第１口金１４が保持部１に固定された状態が示されている。この状態で、第１口金１４に気体を供給する１又は複数の供給路２７の接続孔２８が、第１口金１４の複数の連通孔２０ａのうち供給孔として機能する連通孔２０ａに流体的に接続される。第１口金１４から排出される気体を回収し排出する１又は複数の排出路の接続孔３３が、第１口金１４の複数の連通孔２０ａのうち排出孔として機能する連通孔２０ａに流体的に接続される。不図示の駆動回路は、結合部１７とリード線１８との間に電圧を供給することによってランプ１０を発光させることができる。
【００３９】
第１口金１４に気体を供給する１又は複数の供給路２７および接続孔２８、および、第１口金１４から排出される気体を回収し排出する１又は複数の排出路および接続孔３３は、連通孔２０ａの構成に応じて構成されうる。例えば、図１４に例示されるように、供給孔として構成された連通孔２０ａの軸方向が第１口金１４の軸方向に対して傾斜している場合には、保持部１の側の供給路２７および接続孔２８も、それに応じて傾斜して配置されうる。
【００４０】
以下、本発明の物品製造方法に関して例示的に説明する。物品製造方法は、例えば、図１に示された露光装置１００によって基板Ｗを露光する露光工程と、基板Ｗを現像する現像工程と、該現像工程を経た基板Ｗを加工する工程と、を含み、基板Ｗから物品を製造する。露光工程では、露光装置１００に対して、感光材が塗布された基板Ｗが提供され、原版Ｍのパターンが投影光学系ＰＬによって基板Ｗの感光材に投影され、感光材に潜像が形成される。潜像は、現像工程を経て物理的なパターンに変換される。その後、物理的なパターンを利用して基板Ｗが加工（例えば、エッチング、イオン注入）される。
【符号の説明】
【００４１】
１１：放電部、１２ａ、１２ｂ：電極、１３ａ：第１封止部、１３ｂ：第２封止部、１４：第１口金、１５：第２口金、１６ａ：第１金属箔、１６ｂ：第２金属箔、１９ａ：第１封止材、１９ｂ：第２封止材、２０ａ：第１連通孔、２０ｂ：第２連通孔、２１：整流部材、２３：分割部、ＬＥＴ：発光管
【図１】
2019204748.tif 000003
【図２】
2019204748.tif 000004
【図３】
2019204748.tif 000005
【図４】
2019204748.tif 000006
【図５】
2019204748.tif 000007
【図６】
2019204748.tif 000008
【図７】
2019204748.tif 000009
【図８】
2019204748.tif 000010
【図９】
2019204748.tif 000011
【図１０】
2019204748.tif 000012
【図１１】
2019204748.tif 000013
【図１２】
2019204748.tif 000014
【図１３】
2019204748.tif 000015
【図１４】
2019204748.tif 000016