(57)【要約】【課題】移動機構等が設けられる第１空間から、操作対象物の位置決めや検査を行う第２空間への気体の流入を抑制するとともに、第２空間でテーブルの移動が可能なテーブル装置を提供する。【解決手段】テーブル装置は、第１面と、第１面と反対側の第２面とを有し、第１面側の第１空間と、第２面側の第２空間とを区切る板状部材と、板状部材の第１面と対向する第１基板と、第１基板の、第１面と対向する面に設けられた第１引力発生部と、第１空間に設けられ、第１基板を移動させる移動機構と、板状部材を介して第１基板と対向する第２基板と、第２基板の、第２面と対向する面に設けられ、板状部材を介して第１引力発生部と対向し、第１引力発生部との間に引力を発生させる第２引力発生部と、第２基板と第２面との間に設けられ、第２基板を移動可能に支持する支持部と、を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側の第１空間と、前記第２面側の第２空間とを区切る板状部材と、
前記板状部材の前記第１面と対向する第１基板と、
前記第１基板の、前記第１面と対向する面に設けられた第１引力発生部と、
前記第１空間に設けられ、前記第１基板を移動させる移動機構と、
前記板状部材を介して前記第１基板と対向する第２基板と、
前記第２基板の、前記第２面と対向する面に設けられ、前記板状部材を介して前記第１引力発生部と対向し、前記第１引力発生部との間に引力を発生させる第２引力発生部と、
前記第２基板と前記第２面との間に設けられ、前記第２基板を移動可能に支持する支持部と、を有する、
テーブル装置。
【請求項２】
さらに、前記第１基板の、前記第１面と対向する面に設けられた第１斥力発生部と、
前記第２基板の、前記第２面と対向する面に設けられ、前記板状部材を介して前記第１斥力発生部と対向し、前記第１斥力発生部との間に斥力を発生させる第２斥力発生部と、を有する、
請求項１に記載のテーブル装置。
【請求項３】
前記第１斥力発生部及び前記第２斥力発生部は、それぞれ磁石であり、
前記第１斥力発生部と、前記第２斥力発生部とは、同じ極が対向して配置される、
請求項２に記載のテーブル装置。
【請求項４】
前記第１引力発生部及び前記第２引力発生部は、それぞれ磁石であり、
前記第１引力発生部と前記第２引力発生部とは、異なる極が対向して配置される、
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のテーブル装置。
【請求項５】
前記板状部材は、非磁性体である、
請求項３又は請求項４に記載のテーブル装置。
【請求項６】
前記支持部は、前記第２基板に固定されたハウジングと、
前記ハウジングの内部に、回転可能に設けられたボールと、を有する、
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のテーブル装置。
【請求項７】
前記板状部材及び前記第２基板は、耐熱材料である、
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のテーブル装置。
【請求項８】
前記板状部材を含む筐体を有し、
前記筐体の内側に、前記第１基板及び前記第１引力発生部を含む第１テーブルと、前記移動機構と、が設けられ、
前記筐体の外側に、前記第２基板、前記第２引力発生部及び前記支持部を含む第２テーブルが設けられる、
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のテーブル装置。
【請求項９】
前記板状部材を含む筐体を有し、
前記筐体の外側に、前記第１基板及び前記第１引力発生部を含む第１テーブルと、前記移動機構と、が設けられ、
前記筐体の内側に、前記第２基板、前記第２引力発生部及び前記支持部を含む第２テーブルが設けられる、
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テーブル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
搬送装置、工作機械又は半導体製造装置には、真空雰囲気や特殊ガス雰囲気のプロセス室内で、テーブルをスライド移動させて位置決めするテーブル装置が用いられる。特許文献１には、ステージと、ステージの両サイドに設けられた固定子移動ユニットと、ステージと連結された移動型固定子と、を有する。
【０００３】
特許文献１では、固定子移動ユニットにコイルが配置され、移動型固定子に磁石が配置される。コイルと磁石との間に発生する引力により、固定子移動ユニットの移動に伴って移動型固定子及びステージが移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２８７８８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
テーブル装置は、真空雰囲気や、特殊ガス雰囲気のプロセス室内や、クリーン環境等で用いられる場合がある。特許文献１は、固定子移動ユニットのモータや送りねじ等の部材と、ステージとが、同じ空間に設けられる。このため、固定子移動ユニットから異物が発生し、例えばクリーン環境等での使用が困難となる可能性がある。
【０００６】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、移動機構等が設けられる第１空間から、操作対象物の位置決めや検査を行う第２空間への気体の流入を抑制するとともに、第２空間でテーブルの移動が可能なテーブル装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明の一態様に係るテーブル装置は、第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側の第１空間と、前記第２面側の第２空間とを区切る板状部材と、前記板状部材の前記第１面と対向する第１基板と、前記第１基板の、前記第１面と対向する面に設けられた第１引力発生部と、前記第１空間に設けられ、前記第１基板を移動させる移動機構と、前記板状部材を介して前記第１基板と対向する第２基板と、前記第２基板の、前記第２面と対向する面に設けられ、前記板状部材を介して前記第１引力発生部と対向し、前記第１引力発生部との間に引力を発生させる第２引力発生部と、前記第２基板と前記第２面との間に設けられ、前記第２基板を移動可能に支持する支持部と、を有する。
【０００８】
これにより、移動機構等が設けられた第１空間と、第２基板等が設けられた第２空間とは、板状部材によって区切られる。そして、第１引力発生部と第２引力発生部との間の引力により、第２基板は、第１基板に向かう方向に引力が作用する。これにより、移動機構の動作により第１基板が移動すると、第１基板に追従して、第２空間に設けられた第２基板が移動する。これにより、テーブル装置は、移動機構等が設けられる第１空間から、操作対象物の位置決めや検査を行う第２空間への気体の流入を抑制するとともに、第２空間でテーブルの移動が可能である。
【０００９】
テーブル装置の望ましい態様として、さらに、前記第１基板の、前記第１面と対向する面に設けられた第１斥力発生部と、前記第２基板の、前記第２面と対向する面に設けられ、前記板状部材を介して前記第１斥力発生部と対向し、前記第１斥力発生部との間に斥力を発生させる第２斥力発生部と、を有する。これによれば、第１引力発生部と第２引力発生部との間に発生する引力と、第１斥力発生部と第２斥力発生部との間に発生する斥力と、により、第１基板と第２基板との間に作用する力を調整することができる。
【００１０】
テーブル装置の望ましい態様として、前記第１斥力発生部及び前記第２斥力発生部は、それぞれ磁石であり、前記第１斥力発生部と、前記第２斥力発生部とは、同じ極が対向して配置される。このため、第１斥力発生部及び第２斥力発生部を動作させるための駆動回路や配線等を設ける必要がなく、第１基板及び第２基板の構成を簡便にできる。
【００１１】
テーブル装置の望ましい態様として、前記第１引力発生部及び前記第２引力発生部は、それぞれ磁石であり、前記第１引力発生部と、前記第２引力発生部とは、異なる極が対向して配置される。このため、第１引力発生部及び第２引力発生部を動作させるための駆動回路や配線等を設ける必要がなく、第１基板及び第２基板の構成を簡便にできる。
【００１２】
テーブル装置の望ましい態様として、前記板状部材は、非磁性体である。これによれば、第１引力発生部と第２引力発生部との間に生じる磁力により、板状部材を介して、第１基板及び第２基板に引力を作用させることができる。
【００１３】
テーブル装置の望ましい態様として、前記支持部は、前記第２基板に固定されたハウジングと、前記ハウジングの内部に、回転可能に設けられたボールと、を有する。これによれば、ボールの回転により、第２基板は、第１基板の移動に伴って第２空間を移動する。また、支持部の構成が簡便であり、第２基板の構成も簡便にできる。
【００１４】
テーブル装置の望ましい態様として、前記板状部材及び前記第２基板は、耐熱材料である。これによれば、板状部材及び第２基板に、高温蒸気滅菌や乾熱滅菌などにより容易に滅菌処理を施すことができる。
【００１５】
テーブル装置の望ましい態様として、前記板状部材を含む筐体を有し、前記筐体の内側に、前記第１基板及び前記第１引力発生部を含む第１テーブルと、前記移動機構と、が設けられ、前記筐体の外側に、前記第２基板、前記第２引力発生部及び前記支持部を含む第２テーブルが設けられる。これにより、板状部材含む筐体の内側に第１テーブル、移動機構等が設けられるため、操作対象物の位置決めや検査を行う第２空間の環境を維持することができる。
【００１６】
テーブル装置の望ましい態様として、前記板状部材を含む筐体を有し、前記筐体の外側に、前記第１基板及び前記第１引力発生部を含む第１テーブルと、前記移動機構と、が設けられ、前記筐体の内側に、前記第２基板、前記第２引力発生部及び前記支持部を含む第２テーブルが設けられる。これにより、板状部材含む筐体の外側に第１テーブル、移動機構等が設けられるため、筐体の内側の、操作対象物の位置決めや検査を行う第２空間の環境を維持することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、移動機構等が設けられる第１空間から、操作対象物の位置決めや検査を行う第２空間への気体の流入を抑制するとともに、第２空間でテーブルの移動が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、実施形態に係るテーブル装置の斜視図である。
【図２】図２は、図１におけるＡ−Ａ断面図である。
【図３】図３は、第１基板の平面図である。
【図４】図４は、第２基板の平面図である。
【図５】図５は、第２移動機構の一例を示す側面図である。
【図６】図６は、変形例に係るテーブル装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の発明を実施するための形態（以下、実施形態という）により本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。
【００２０】
図１は、実施形態に係るテーブル装置の斜視図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ断面図である。図３は、第１基板の平面図である。図４は、第２基板の平面図である。図５は、第２移動機構の一例を示す側面図である。
【００２１】
図１に示すように、テーブル装置１は、筐体２と、第１テーブル３と、第２テーブル４と、第１移動機構６と、第２移動機構７とを含む。第１テーブル３、第１移動機構６及び第２移動機構７は、筐体２の内側の第１空間Ｐに設けられる。第２テーブル４は、筐体２の外側の第２空間Ｒに設けられる。第２空間Ｒは、特定の環境を維持し、操作対象物の位置決めや、加工、検査等を行うための空間である。第２空間Ｒは、作業に適した特定の環境を維持できる空間であればよい。第２空間Ｒは、真空、減圧、ガス置換（減圧又は陽圧）、温度の異なる空間、クリーン環境、異物環境等の様々な環境に適用可能である。例えば、テーブル装置１は、細胞等のサンプルの採取や各種検査等を行うバイオ用途に用いられる。この場合、第２空間Ｒはクリーン環境であり、第２空間Ｒ内の第２テーブル４は、高温蒸気滅菌や乾熱滅菌などにより滅菌処理が施される。
【００２２】
筐体２は、板状部材２１を含む。板状部材２１は、筐体２の側面に対して垂直な方向に延出する板状の部材であり、筐体２と一体に設けられる。第１空間Ｐと第２空間Ｒとは板状部材２１によって区切られている。本実施形態では、板状部材２１は非磁性体であり、非磁性ステンレス等が用いられる。非磁性ステンレスとして、合金オーステナイト系ステンレス（例えばＳＵＳ３１６等）が挙げられる。
【００２３】
なお、本実施形態において、水平面内の一方向をＸ方向とし、水平面内においてＸ方向と交差する方向をＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと交差する方向（すなわち鉛直方向）をＺ方向とする。板状部材２１は、Ｘ方向とＹ方向とが成す平面と平行となっている。
【００２４】
図２に示すように、板状部材２１は、第１面２１ａと、第１面２１ａと反対側の第２面２１ｂとを有する。第１空間Ｐは、第１面２１ａ側の空間である。第２空間Ｒは、第２面２１ｂ側の空間である。板状部材２１によって、第１空間Ｐと第２空間Ｒとが分離されている。板状部材２１は、第１空間Ｐと第２空間Ｒとを連通する孔部等が設けられていない連続した板状の部材である。板状部材２１には、少なくとも第１テーブル３及び第２テーブル４の可動範囲と重なる領域で連続しており、孔部等が設けられていない。これにより、第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により発生する異物を含む気体が、第１空間Ｐから第２空間Ｒに流入することを抑制できる。したがって、第２空間Ｒの環境を維持することができる。
【００２５】
第１テーブル３は、第１基板３１と、第１引力発生部３２と、第１斥力発生部３３と、第１支持部３４と、を含む。第１基板３１は、第１主面３１ａと、第１主面３１ａと反対側の第２主面３１ｂとを有する板状の部材である。第１基板３１の第１主面３１ａは、板状部材２１の第１面２１ａと離隔して対向する。第１基板３１の第２主面３１ｂは、第２移動機構７の連結部７７と連結される。第１基板３１は、第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により、板状部材２１の第１面２１ａと平行な面内を移動する。
【００２６】
第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３及び第１支持部３４は、第１基板３１の第１主面３１ａに設けられる。言い換えると、第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３及び第１支持部３４は、第１基板３１と板状部材２１との間に設けられる。本実施形態において、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３は、磁石であり、例えば耐熱ネオジム磁石やコバルト磁石を用いることができる。耐熱ネオジム磁石の耐熱温度は、１５０℃程度である。コバルト磁石の耐熱温度は２００℃程度である。第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３は、それぞれ、Ｎ極が第１主面３１ａに接している。また、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３は、それぞれ、Ｓ極が板状部材２１と離隔して対向する。
【００２７】
第１支持部３４は、ハウジング３４１と、ボール３４２とを含む。ハウジング３４１は第１基板３１に固定される。ボール３４２は、ハウジング３４１の凹部内に回転可能に設けられている。ボール３４２は、板状部材２１の第１面２１ａと接している。第１支持部３４は、例えば、ボールローラであり、ボール３４２の回転により、第１基板３１は、板状部材２１の第１面２１ａに沿って自由に移動可能になっている。第１支持部３４が設けられているため、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３が板状部材２１に接触することを抑制でき、第１基板３１がスムーズに移動できる。
【００２８】
図３に示すように、第１基板３１は、平面視で矩形状である。なお、図３は、第１基板３１の第１主面３１ａ側から見たときの平面図である。第１基板３１は、第１側面３１ｃ、第２側面３１ｄ、第３側面３１ｅ及び第４側面３１ｆを有する。第１側面３１ｃ、第２側面３１ｄ、第３側面３１ｅ及び第４側面３１ｆは、第１主面３１ａと第２主面３１ｂとの間の面である。第１側面３１ｃは、第２側面３１ｄと対向する。第３側面３１ｅは、第１側面３１ｃと第２側面３１ｄとの間の面であり、第４側面３１ｆと対向する。
【００２９】
第１支持部３４は、第１基板３１の第１主面３１ａの４隅にそれぞれ設けられる。第１基板３１の第１主面３１ａには、４つの第１引力発生部３２−１、３２−２、３２−３、３２−４が設けられる。ここで、第３側面３１ｅのＸ方向の中点と、第４側面３１ｆのＸ方向の中点とを結ぶ仮想線を仮想線Ｂ１とする。第１側面３１ｃのＹ方向の中点と、第２側面３１ｄのＹ方向の中点とを結ぶ仮想線を仮想線Ｂ２とする。第１引力発生部３２−１、３２−２は、仮想線Ｂ１と重なる位置であって、第１主面３１ａの外縁に設けられる。また、第１引力発生部３２−３、３２−４は、仮想線Ｂ２と重なる位置であって、第１主面３１ａの外縁に設けられる。
【００３０】
第１基板３１の第１主面３１ａには、４つの第１斥力発生部３３−１、３３−２、３３−３、３３−４が設けられる。第１斥力発生部３３−１、３３−２は、それぞれ、第３側面３１ｅに沿った方向において、第１支持部３４と第１引力発生部３２−１との中間位置に設けられる。第１斥力発生部３３−１、３３−２は、仮想線Ｂ１を対称軸として線対称の位置に配置される。第１斥力発生部３３−３、３３−４は、第１斥力発生部３３−１、３３−２と同様に、第４側面３１ｆの近傍に設けられる。なお、以下の説明において第１引力発生部３２−１、３２−２、３２−３、３２−４を区別して説明する必要がない場合には、第１引力発生部３２と表す。第１斥力発生部３３−１、３３−２、３３−３、３３−４も同様に第１斥力発生部３３と表す。
【００３１】
図２に示すように、第２テーブル４は、第２基板４１と、第２引力発生部４２と、第２斥力発生部４３と、第２支持部４４と、を含む。第２基板４１は、第３主面４１ａと、第３主面４１ａと反対側の第４主面４１ｂとを有する板状の部材である。第２基板４１の第４主面４１ｂは、板状部材２１の第２面２１ｂと離隔して対向する。つまり、第２基板４１は、板状部材２１を介して第１基板３１と対向する。第２基板４１の第３主面４１ａは、操作対象物が載置される面である。
【００３２】
第２引力発生部４２、第２斥力発生部４３及び第２支持部４４は、第２基板４１の第４主面４１ｂに設けられる。言い換えると、第２引力発生部４２、第２斥力発生部４３及び第２支持部４４は、第２基板４１と板状部材２１との間に設けられる。本実施形態において、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は、磁石であり、例えば耐熱ネオジム磁石やコバルト磁石を用いることができる。耐熱ネオジム磁石の耐熱温度は、１５０℃程度である。コバルト磁石の耐熱温度は２００℃程度である。第２引力発生部４２は、Ｓ極が第４主面４１ｂに接している。また、第２引力発生部４２は、Ｎ極が板状部材２１と離隔して対向する。第２斥力発生部４３は、Ｎ極が第４主面４１ｂに接している。また、第２斥力発生部４３は、Ｓ極が板状部材２１と離隔して対向する。
【００３３】
第２引力発生部４２は、板状部材２１を介して第１引力発生部３２と対向する。すなわち、第２引力発生部４２は、Ｚ方向から見たときに、第１引力発生部３２と重なる位置に配置される。第２引力発生部４２は第１引力発生部３２と異なる極が対向するように配置される。図２に示す例では、第２引力発生部４２のＮ極と、第１引力発生部３２のＳ極が対向する。これにより、第１引力発生部３２と第２引力発生部４２との間には、引力Ｆ１が発生する。第２基板４１には、第１基板３１に向かう方向の引力Ｆ１が作用する。これにより、第２基板４１は、第１基板３１の移動に追従して、板状部材２１の第２面２１ｂに沿って移動可能となっている。
【００３４】
第２斥力発生部４３は、板状部材２１を介して第１斥力発生部３３と対向する。すなわち、第２斥力発生部４３は、Ｚ方向から見たときに、第１斥力発生部３３と重なる位置に配置される。第２斥力発生部４３は第１斥力発生部３３と同じ極が対向するように配置される。図２に示す例では、第２斥力発生部４３のＳ極と、第１斥力発生部３３のＳ極が対向する。これにより、第１斥力発生部３３と第２斥力発生部４３との間に斥力Ｆ２が発生する。第２基板４１には、第１基板３１から第２基板４１に向かう方向の斥力Ｆ２が作用する。
【００３５】
本実施形態では、引力Ｆ１の合計の力は、斥力Ｆ２の合計の力よりも大きい。引力Ｆ１と斥力Ｆ２とにより、第１基板３１と第２基板４１との間に作用する力を調整することができる。引力Ｆ１及び斥力Ｆ２は、第２基板４１の追従性能（移動速度、加速度等）に応じて適宜、設定することができる。引力Ｆ１及び斥力Ｆ２は、第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３の個数や、各磁石の磁力を変更することにより設定できる。第１引力発生部３２及び第２引力発生部４２は、異極どうしが吸着する磁石である。第１斥力発生部３３及び第２斥力発生部４３は、異極どうしが吸着する磁石に対して小さい大きさの磁石を同極どうしで適宜配置して斥力を発生させる。これにより、Ｚ方向の引力と、ＸＹ方向の追従性の微調整を行うことができる。
【００３６】
第２支持部４４は、ハウジング４４１と、ボール４４２とを含む。第２支持部４４は、第１支持部３４と同様の構成であり、例えば、ボールローラである。第２支持部４４は、第２基板４１を、板状部材２１の第１面２１ａに沿って自由に移動可能に支持する。また、第２支持部４４が設けられているため、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３が板状部材２１に接触することを抑制できる。このため、第２基板４１は、第１基板３１の移動に追従してスムーズに移動できる。
【００３７】
図４に示すように、第２基板４１は、平面視で矩形状である。なお、図４は、第２基板４１の第４主面４１ｂ側から見たときの平面図である。第２基板４１は、第５側面４１ｃ、第６側面４１ｄ、第７側面４１ｅ及び第８側面４１ｆを有する。第５側面４１ｃ、第６側面４１ｄ、第７側面４１ｅ及び第８側面４１ｆは、第３主面４１ａと第４主面４１ｂとの間の面である。第５側面４１ｃは、第６側面４１ｄと対向する。第７側面４１ｅは、第５側面４１ｃと第６側面４１ｄとの間の面であり、第８側面４１ｆと対向する。
【００３８】
第２支持部４４、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３の配置は、図３に示す第１支持部３４、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３の配置と同様である。すなわち、第２支持部４４は、第２基板４１の第４主面４１ｂの４隅にそれぞれ設けられる。４つの第２支持部４４は、第１支持部３４と重なる位置に設けられる。
【００３９】
第２基板４１の第４主面４１ｂには、４つの第２引力発生部４２−１、４２−２、４２−３、４２−４が設けられる。ここで、第７側面４１ｅのＸ方向の中点と、第８側面４１ｆのＸ方向の中点とを結ぶ仮想線を仮想線Ｂ３とする。第５側面４１ｃのＹ方向の中点と、第６側面４１ｄのＹ方向の中点とを結ぶ仮想線を仮想線Ｂ４とする。第２引力発生部４２−１、４２−２は、仮想線Ｂ３と重なる位置であって、第４主面４１ｂの外縁に設けられる。また、第２引力発生部４２−３、４２−４は、仮想線Ｂ４と重なる位置であって、第４主面４１ｂの外縁に設けられる。第２引力発生部４２−１、４２−２、４２−３、４２−４は、それぞれ、図３に示す第１引力発生部３２−１、３２−２、３２−３、３２−４と重なる位置に設けられる。
【００４０】
同様に、第２基板４１の第４主面４１ｂには、４つの第２斥力発生部４３−１、４３−２、４３−３、４３−４が設けられる。第２斥力発生部４３−１、４３−２、４３−３、４３−４は、それぞれ、図３に示す第１斥力発生部３３−１、３３−２、３３−３、３３−４と重なる位置に設けられる。
【００４１】
本実施形態では、第１引力発生部３２、第２引力発生部４２、第１斥力発生部３３及び第２斥力発生部４３は、磁石である。このため、第１引力発生部３２、第２引力発生部４２、第１斥力発生部３３及び第２斥力発生部４３を駆動させるための駆動回路や配線を設ける必要がなく、第１基板３１及び第２基板４１の構成を簡便にできる。つまり、第２空間Ｒには、第２基板４１を移動させるための移動機構、駆動回路、配線等を設ける必要がない。また、第２基板４１と、第２引力発生部４２と、第２斥力発生部４３と、第２支持部４４とに耐熱性に優れた材料が用いられる。このため、テーブル装置１を、例えば、バイオ用途などのクリーン環境で使用する場合、第２基板４１、第２引力発生部４２、第２斥力発生部４３及び第２支持部４４を含む第２テーブル４を高温蒸気滅菌や乾熱滅菌などにより容易に滅菌処理を施すことができる。
【００４２】
また、筐体２のうち、少なくとも板状部材２１は、耐熱性に優れた材料が用いられる。これにより、板状部材２１も容易に滅菌処理を施すことができる。第２テーブル４及び筐体２は、テーブル装置１から容易に取り外すことができる。このため、第２テーブル４及び筐体２を、テーブル装置１から取り外して高温蒸気滅菌装置や乾熱滅菌装置に入れることで滅菌を行うことができる。この場合、板状部材２１を含む筐体２の全体に耐熱性に優れた材料が用いられる。また、第１空間Ｐと第２空間Ｒとが筐体２によって分離されているため、例えばガスを注入して第２空間Ｒのみ滅菌することができる。
【００４３】
図１に示す第１移動機構６及び第２移動機構７は、ＸＹステージである。第１移動機構６と第２移動機構７とは、同様の構成を有する。以下の説明については、第２移動機構７を例に挙げる。第２移動機構７の説明は、第１移動機構６の説明にも適用できる。図５に示すように、第２移動機構７は、モータ７１と、ボールねじ７３と、ナット７６と、筐体７４とを含むボールねじ機構である。第２移動機構７は、モータ７１から伝達された回転駆動力を、ボールねじ７３の軸方向に沿った方向の運動に変換して第１基板３１に伝達する駆動伝達部である。
【００４４】
ボールねじ７３と、ナット７６とは、筐体７４の内部に組み込まれる。ボールねじ７３は、ナット７６を貫通する。ボールねじ７３は、筐体７４に回転可能に支持されており、ボールねじ７３の一端側は、シャフト７２を介してモータ７１と連結される。これにより、モータ７１の出力が、ボールねじ７３に伝達され、ボールねじ７３が回転可能になっている。
【００４５】
ナット７６は、ガイドレール７５に沿った方向に移動可能に設けられる。また、ナット７６は、ガイドレール７５に組み込まれることにより、回転が規制される。これにより、ナット７６は、ボールねじ７３の回転により軸方向に移動する。ナット７６は、ボールねじ７３の回転方向に応じて移動方向が切り換えられる。
【００４６】
連結部７７は、ナット７６と第１基板３１とを連結する部材であり、ナット７６の移動とともに軸方向に移動可能となっている。連結部７７の厚さや平面形状を適宜変更することで、第１基板３１の平面形状や高さ位置を変更する場合であっても、第１基板３１とナット７６とを良好に連結できる。
【００４７】
以上のような構成により、第２移動機構７は、モータ７１の回転駆動がボールねじ７３に伝達されると、ナット７６とともに第１基板３１が軸方向に移動する。図１に示すように、第１移動機構６には第２移動機構７が移動可能に固定されている。第１移動機構６の動作により、第２移動機構７及び第１テーブル３はＸ方向に移動可能となっている。第２移動機構７の動作により、第１テーブル３はＹ方向に移動可能となっている。このようにして、第１テーブル３は、板状部材２１と平行な平面を移動できる。
【００４８】
第１移動機構６及び第２移動機構７の構成はあくまで一例であり、図１及び図５に示す構成に限定されない。第１移動機構６及び第２移動機構７は、第１基板３１を含む第１テーブル３を移動させることができる構成であればよい。第１移動機構６及び第２移動機構７としては、この他、種々の移動機構を用いることができ、例えば、リニアモータを用いる移動機構等も用いることができる。
【００４９】
以上説明したように、テーブル装置１は、板状部材２１と、第１基板３１と、第１引力発生部３２と、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７）と、第２基板４１と、第２引力発生部４２と、支持部（第２支持部４４）と、を有する。板状部材２１は、第１面２１ａと、第１面２１ａと反対側の第２面２１ｂとを有し、第１面２１ａ側の第１空間Ｐと、第２面２１ｂ側の第２空間Ｒとを区切る。第１基板３１は、板状部材２１の第１面２１ａと対向する。第１引力発生部３２は、第１基板３１の、第１面２１ａと対向する面（第１主面３１ａ）に設けられる。移動機構は、第１空間Ｐに設けられ、第１基板３１を移動させる。第２基板４１は、板状部材２１を介して第１基板３１と対向する。第２引力発生部４２は、第２基板４１の、第２面２１ｂと対向する面（第４主面４１ｂ）に設けられ、板状部材２１を介して第１引力発生部３２と対向し、第１引力発生部３２との間に引力を発生させる。支持部は、第２基板４１と第２面２１ｂとの間に設けられ、第２基板４１を移動可能に支持する。
【００５０】
このような構成により、移動機構等が設けられた第１空間Ｐと、第２基板４１等が設けられた第２空間Ｒとは、板状部材２１によって区切られる。そして、第１引力発生部３２と第２引力発生部４２との間の引力により、第２基板４１は、第１基板３１に向かう方向に引力が作用する。これにより、移動機構の動作により第１基板３１が移動すると、第１基板３１に追従して、第２空間Ｒに設けられた第２基板４１が移動する。これにより、テーブル装置１は、移動機構等が設けられる第１空間Ｐから、操作対象物の位置決めや検査を行う第２空間Ｒへの気体の流入を抑制するとともに、第２空間Ｒで第２基板４１の移動が可能である。つまり、第１空間Ｐの第１移動機構６及び第２移動機構７の動作により発生する異物が第２空間Ｒに流入することを抑制できる。したがって、第２空間Ｒの環境を維持することができる。
【００５１】
また、テーブル装置１は、さらに、第１基板３１の、第１面２１ａと対向する面に設けられた第１斥力発生部３３と、第２基板４１の、第２面２１ｂと対向する面に設けられ、板状部材２１を介して第１斥力発生部３３と対向し、第１斥力発生部３３との間に斥力を発生させる第２斥力発生部４３と、を有する。これにより、第１引力発生部３２と第２引力発生部４２との間に発生する引力と、第１斥力発生部３３と第２斥力発生部４３との間に発生する斥力と、により、第１基板３１と第２基板４１との間に作用する力を調整することができる。
【００５２】
また、テーブル装置１において、第１斥力発生部３３及び第２斥力発生部４３は、それぞれ磁石であり、第１斥力発生部３３と、第２斥力発生部４３とは、同じ極が対向して配置される。このため、第１斥力発生部３３及び第２斥力発生部４３を動作させるための駆動回路や配線等を設ける必要がなく、第１基板３１及び第２基板４１の構成を簡便にできる。
【００５３】
また、テーブル装置１において、第１引力発生部３２及び第２引力発生部４２は、それぞれ磁石であり、第１引力発生部３２と第２引力発生部４２とは、異なる極が対向して配置される。このため、第１引力発生部３２及び第２引力発生部４２を動作させるための駆動回路や配線等を設ける必要がなく、第１基板３１及び第２基板４１の構成を簡便にできる。また、テーブル装置１を、例えば、バイオ用途などのクリーン環境で使用する場合、第２基板４１、第２引力発生部４２、第２斥力発生部４３及び第２支持部４４を含む第２テーブル４を、高温蒸気滅菌や乾熱滅菌などにより容易に滅菌処理を施すことができる。
【００５４】
また、テーブル装置１において、板状部材２１は、非磁性体である。これによれば、第１引力発生部３２と第２引力発生部４２との間に生じる磁力により、板状部材２１を介して、第１基板３１及び第２基板４１に引力を作用させることができる。また、板状部材２１として耐熱性に優れた材料を用いることで、板状部材２１に、高温蒸気滅菌や乾熱滅菌などにより容易に滅菌処理を施すことができる。
【００５５】
また、テーブル装置１において、支持部（第２支持部４４）は、第２基板４１に固定されたハウジング４４１と、ハウジング４４１の内部に、回転可能に設けられたボール４４２と、を有する。これにより、ボール４４２の回転により、第２基板４１は、第１基板３１の移動に伴って第２空間Ｒを移動する。また、支持部の構成が簡便であり、第２基板４１の構成も簡便にできる。また、支持部についても、高温蒸気滅菌や乾熱滅菌などにより容易に滅菌処理を施すことができる。
【００５６】
なお、第１支持部３４、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３の数や配置は、図３に示す例に限定されない。第１引力発生部３２は、２つ、３つ、又は５つ以上設けられていてもよい。第１斥力発生部３３は、２つ、３つ、又は５つ以上設けられていてもよい。第１引力発生部３２の数は、第１斥力発生部３３の数と異なっていてもよい。また、第１斥力発生部３３を設けない構成であってもよい。第１支持部３４、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３のいずれかを、仮想線Ｂ１と仮想線Ｂ２との交点Ｃ１の位置に設けてもよい。また、第２支持部４４、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３の数や配置も、第１支持部３４、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３と同様に、第２基板４１の追従性能に応じて適宜変更できる。例えば、第２支持部４４、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３のいずれかを、図４に示す交点Ｃ２の位置に設けてもよい。
【００５７】
図３及び図４に示すように、第１基板３１及び第２基板４１は、それぞれ矩形状であるが、これに限定されない。第１基板３１及び第２基板４１は、正方形状、多角形状、円形状等、他の形状であってもよい。また、第１基板３１と第２基板４１とは、異なる形状、大きさを有していてもよい。
【００５８】
なお、第１引力発生部３２、第１斥力発生部３３、第２引力発生部４２及び第２斥力発生部４３は磁石であるが、これに限定されない。例えば、第１引力発生部３２及び第１斥力発生部３３の少なくとも一方は、コイルとヨークとを含む構成であってもよい。この場合、コイルに流れる電流を変化させることで、第１引力発生部３２と第２引力発生部４２との間に引力を発生させることができる。同様に第１斥力発生部３３と第２斥力発生部４３との間に斥力を発生させることができる。
【００５９】
（変形例）
図６は、変形例に係るテーブル装置の断面図である。図６に示すように、本変形例のテーブル装置１Ａは、筐体２Ａと、第１テーブル３と、第２テーブル４と、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７（図１参照））とを有する。筐体２Ａの外側の空間が第１空間Ｐであり、筐体２Ａの内側の空間が第２空間Ｒである。第２空間Ｒは、例えば真空、減圧、クリーン環境等、様々な環境に対応可能である。筐体２Ａの底板が、板状部材２１Ａである。
【００６０】
第１テーブル３は、板状部材２１Ａの第１面２１Ａａ側、すなわち第１空間Ｐに配置される。また、第２テーブル４は、板状部材２１Ａの第２面２１Ａｂ側、すなわち第２空間Ｒに配置される。つまり、筐体２Ａの外側に、第１基板３１及び第１引力発生部３２を含む第１テーブル３と、移動機構（第１移動機構６及び第２移動機構７（図６では図示を省略する））と、が設けられる。また筐体２Ａの内側に、第２基板４１、第２引力発生部４２及び第２支持部４４を含む第２テーブル４が設けられる。第１テーブル３及び第２テーブル４の構成は、図２から図４に示したものと同様であり、詳細な説明は省略する。
【００６１】
本変形例においても、移動機構等が設けられた第１空間Ｐと、第２基板４１等が設けられた第２空間Ｒとは、板状部材２１Ａによって区切られる。そして、第１引力発生部３２と第２引力発生部４２との間の引力により、第２基板４１は、第１基板３１に向かう方向に引力Ｆ１が作用する。これにより、移動機構の動作により第１基板３１が移動すると、第１基板３１に追従して、第２空間Ｒに設けられた第２基板４１が移動する。これにより、テーブル装置１Ａは、移動機構等が設けられる第１空間Ｐから、操作対象物の位置決めや検査を行う第２空間Ｒへの気体の流入を抑制するとともに、第２空間Ｒで第２基板４１の移動が可能である。
【符号の説明】
【００６２】
１、１Ａ  テーブル装置
２、２Ａ  筐体
２１、２１Ａ  板状部材
２１ａ、２１Ａａ  第１面
２１ｂ、２１Ａｂ  第２面
３  第１テーブル
３１  第１基板
３１ａ  第１主面
３１ｂ  第２主面
３２  第１引力発生部
３３  第１斥力発生部
３４  第１支持部
４  第２テーブル
４１  第２基板
４１ａ  第３主面
４１ｂ  第４主面
４２  第２引力発生部
４３  第２斥力発生部
４４  第２支持部
６  第１移動機構
７  第２移動機構
７７  連結部
Ｐ  第１空間
Ｒ  第２空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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