(57)【要約】      （修正有）【課題】クリーニング動作における液体の消費量を抑制できる液体噴射装置、及び、液体噴射装置の制御方法を提供する。【解決手段】複数のノズルを備えた液体噴射ヘッド（記録ヘッド）と、液体供給源（インクカートリッジ）からの液体を各ノズルに供給する複数の液体供給路と、ノズルから液体を噴射させる制御を行う制御部と、を備え、制御部は、ノズルから液体を排出させるクリーニング動作において、ノズルから噴射される液体の噴射量を当該ノズルに対応する液体供給路に応じて制御することを特徴とする液体噴射装置。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを備えた液体噴射ヘッドと、
液体供給源からの液体を各ノズルに供給する複数の液体供給路と、
前記ノズルから前記液体を噴射させる制御を行う制御部と、を備え、
前記制御部は、前記ノズルから前記液体を排出させるクリーニング動作において、前記ノズルから噴射される前記液体の噴射量を当該ノズルに対応する前記液体供給路に応じて制御することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
複数の前記液体供給路のうち一部の前記液体供給路は、長さが異なり、
前記制御部は、前記クリーニング動作において、前記噴射量を前記液体供給路の長さに応じて制御することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
複数の前記液体供給路のうち一部の前記液体供給路は、体積が異なり、
前記制御部は、前記クリーニング動作において、前記ノズルから噴射させる前記液体の量を前記液体供給路の体積に応じて制御することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記液体噴射ヘッドは、複数の部材が第１の方向に積層されて成り、
前記液体供給路は、前記液体が前記第１の方向に沿う方向に流れる第１流路と、前記液体が前記第１の方向と交差する第２の方向に沿う方向に流れる第２流路と、を備え、
複数の前記液体供給路のうち一部の前記液体供給路は、前記第２流路の長さが異なることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射装置。
【請求項５】
前記液体噴射ヘッドは、複数の部材が第１の方向に積層されて成り、
前記液体供給路は、前記液体が前記第１の方向に沿う方向に流れる第１流路と、前記液体が前記第１の方向と交差する第２の方向に沿う方向に流れる第２流路と、を備え、
複数の前記液体供給路のうち一部の前記液体供給路は、前記第２流路の体積が異なることを特徴とする請求項３に記載の液体噴射装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記ノズルから液滴が噴射される噴射動作の回数により前記噴射量を制御することを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項７】
複数の前記液体供給路にある前記液体を前記ノズルから吸引する吸引機構を備え、
前記制御部は、前記クリーニング動作において、前記液体供給路に応じて前記ノズルから前記液体を噴射させた後、前記吸引機構により前記ノズルから前記液体を吸引させる制御を行うことを特徴とする請求項１から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項８】
複数の前記液体供給路にある前記液体を前記ノズルから吸引する吸引機構を備え、
前記制御部は、前記クリーニング動作において、前記吸引機構により前記ノズルから前記液体を吸引させた後、前記液体供給路に応じて前記ノズルから前記液体を噴射させる制御を行うことを特徴とする請求項１から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項９】
複数のノズルを備えた液体噴射ヘッドと、
液体供給源からの液体を各ノズルに供給する複数の液体供給路と、
前記ノズルから前記液体を噴射させる制御を行う制御部と、を備えた液体噴射装置の制御方法であって、
前記ノズルから前記液体を噴射させるクリーニング動作において、前記ノズルから噴射される前記液体の噴射量を当該ノズルに対応する前記液体供給路に応じて制御することを特徴とする液体噴射装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を排出するクリーニング動作を実行可能な液体噴射装置、及び、液体噴射装置の制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は、液体噴射ヘッドを備え、液体噴射ヘッドのノズル面に開設されたノズルから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置、バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
このような液体噴射装置において、ノズルに液体を供給する液体供給路への気泡や異物等の混入により、ノズルから正常に液体を噴射できない場合がある。このような噴射不良を抑制するため、定期的にあるいは所定のタイミングで噴射不良を解消するためのクリーニング動作を行っている。クリーニング動作としては、例えば、ノズルから液滴を噴射（いわゆる空吐出）させるフラッシング動作と、ノズルが形成されたノズル形成面をキャップ等で封止した状態でノズルから液体を吸引排出させる吸引動作との両方を行う方法が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１０５６２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、複数の液体供給路を備える液体噴射ヘッドにおいては、各液体供給路の形状（例えば、長さ等）が異なる場合が多い。このような場合、クリーニング動作においてノズルから排出するべき液体の量（以下、排出量という）の最適値が液体供給路毎に異なる。このため、クリーニング動作においては、各液体供給路から気泡や異物等をより確実に除去できるように、排出量の最適値が最も多い液体供給路に合わせてフラッシング動作及び吸引動作が行われていた。その結果、クリーニング動作において過剰に液体が消費される虞があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的はクリーニング動作における液体の消費量を抑制できる液体噴射装置、及び、液体噴射装置の制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体噴射装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数のノズルを備えた液体噴射ヘッドと、
液体供給源からの液体を各ノズルに供給する複数の液体供給路と、
前記ノズルから前記液体を噴射させる制御を行う制御部と、を備え、
前記制御部は、前記ノズルから前記液体を排出させるクリーニング動作において、前記ノズルから噴射される前記液体の噴射量を当該ノズルに対応する前記液体供給路に応じて制御することを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、クリーニング動作におけるノズルからの噴射量を液体供給路に応じて制御するため、液体供給路毎に、クリーニングに最適な液体の排出を行うことができる。その結果、クリーニング動作における液体の消費を抑制できる。
【０００９】
上記構成において、複数の前記液体供給路のうち一部の前記液体供給路は、長さが異なり、
前記制御部は、前記クリーニング動作において、前記噴射量を前記液体供給路の長さに応じて制御することが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、液体供給路の長さがそれぞれ異なる場合でも、液体供給路毎に、クリーニングに最適な液体の排出を行うことができる。その結果、クリーニング動作における液体の消費を抑制できる。
【００１１】
又は、上記構成において、複数の前記液体供給路のうち一部の前記液体供給路は、体積が異なり、
前記制御部は、前記クリーニング動作において、前記ノズルから噴射させる前記液体の量を前記液体供給路の体積に応じて制御することが望ましい。
【００１２】
この構成によれば、液体供給路の体積がそれぞれ異なる場合でも、液体供給路毎に、クリーニングに最適な液体の排出を行うことができる。その結果、クリーニング動作における液体の消費を抑制できる。
【００１３】
また、上記構成において、前記液体噴射ヘッドは、複数の部材が第１の方向に積層されて成り、
前記液体供給路は、前記液体が前記第１の方向に沿う方向に流れる第１流路と、前記液体が前記第１の方向と交差する第２の方向に沿う方向に流れる第２流路と、を備え、
複数の前記液体供給路のうち一部の前記液体供給路は、前記第２流路の長さが異なる構成を採用することができる。
【００１４】
さらに、上記構成において、前記液体噴射ヘッドは、前記液体噴射ヘッドは、複数の部材が第１の方向に積層されて成り、
前記液体供給路は、前記液体が前記第１の方向に沿う方向に流れる第１流路と、前記液体が前記第１の方向と交差する第２の方向に沿う方向に流れる第２流路と、を備え、
複数の前記液体供給路のうち一部の前記液体供給路は、前記第２流路の体積が異なる構成を採用することができる。
【００１５】
また、上記各構成の何れかにおいて、前記ノズルから液滴が噴射される噴射動作の回数により前記噴射量を制御することが望ましい。
【００１６】
この構成によれば、クリーニング動作における噴射量の制御が容易になる。
【００１７】
さらに、上記各構成の何れかにおいて、複数の前記液体供給路にある前記液体を前記ノズルから吸引する吸引機構を備え、
前記制御部は、前記クリーニング動作において、前記液体供給路に応じて前記ノズルから前記液体を噴射させた後、前記吸引機構により前記ノズルから前記液体を吸引させる制御を行うことが望ましい。
【００１８】
この構成によれば、予めノズルから液体を噴射させることで、液体供給路内の気泡を下流側（すなわち、ノズル側）に移動させることができ、吸引機構によりノズルから液体を吸引させる際に気泡を液体供給路から排出させ易くなる。
【００１９】
又は、上記各構成の何れかにおいて、複数の前記液体供給路にある前記液体を前記ノズルから吸引する吸引機構を備え、
前記制御部は、前記クリーニング動作において、前記吸引機構により前記ノズルから前記液体を吸引させた後、前記液体供給路に応じて前記ノズルから前記液体を噴射させる制御を行うことが望ましい。
【００２０】
この構成によれば、吸引機構によりノズルから液体を吸引させた後に、液体供給路内に気泡が残っていたとしても、ノズルから液体を噴射させることで気泡を液体供給路から排出させ易くなる。
【００２１】
そして、本発明の液体噴射装置の制御方法は、複数のノズルを備えた液体噴射ヘッドと、
液体供給源からの液体を各ノズルに供給する複数の液体供給路と、
前記ノズルから前記液体を噴射させる制御を行う制御部と、を備えた液体噴射装置の制御方法であって、
前記ノズルから前記液体を噴射させるクリーニング動作において、前記ノズルから噴射される前記液体の噴射量を当該ノズルに対応する前記液体供給路に応じて制御することを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、クリーニング動作におけるノズルからの噴射量を液体供給路に応じて制御するため、液体供給路毎に、クリーニングに最適な液体の排出を行うことができる。その結果、クリーニング動作における液体の消費を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】プリンターの構成を説明する斜視図である。
【図２】プリンターの構成を説明するブロック図である。
【図３】記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。
【図４】記録ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図５】単位ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図６】吸引動作を説明する記録ヘッドの模式図である。
【図７】クリーニング動作の流れを説明するフローチャートである。
【図８】予備フラッシング動作における液体噴射回数を説明する表である。
【図９】第２の実施形態におけるクリーニング動作の流れを説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、液体噴射装置の一種として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）３が搭載されたインクジェット式プリンター（以下、プリンター）１を例に挙げて説明する。
【００２５】
図１は、プリンター１の斜視図、図２は、プリンター１の電気的な構成を説明するブロック図である。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対してインク（液体の一種）を噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、複数のノズル４９（図４及び図５参照）を備えた記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送する搬送機構６等を備えている。ここで、上記のインクは、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジ７がプリンターの本体側に配置され、当該インクカートリッジからインク供給チューブを通じて記録ヘッドに供給される構成を採用することもできる。
【００２６】
上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。したがってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー２１（図２参照）によって検出される。リニアエンコーダー２１は、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部１７に送信する。
【００２７】
記録媒体２が搬送される領域（又は、印刷領域）に対して主走査方向の一端側（図１中、右側）に外れた位置には、記録ヘッド３の待機位置であるホームポジションが設定されている。このホームポジションには、キャップ１１や当該キャップ１１内の空間を減圧する吸引ポンプ（図示せず）等を備えたキャッピング機構１２（本発明における吸引機構に相当）、及び、ワイパー１３や当該ワイパー１３を上下方向に移動させる駆動源（図示せず）等を備えたワイピング機構１４が設けられている。キャップ１１は、ホームポジションに待機する記録ヘッド３の下面（ノズル面４０）を封止する、例えば、弾性体からなる部材である。キャッピング機構１２は、記録ヘッド３の下面をキャップ１１で封止した状態で、ポンプによりキャップ１１内の空間を減圧し、ノズル４９から記録ヘッド３内のインクを吸引する吸引動作を実行する。また、ワイパー１３は、ホームポジションに待機する記録ヘッド３の下面を払拭する部材である。本実施形態におけるワイパー１３は、エラストマー等の弾性体からなり、ブレード状に形成されている。ワイピング機構１４は、記録ヘッド３の下面にワイパー１３を当接させて、当該記録ヘッド３の下面（すなわち、ノズル面４０）を払拭するワイピング動作を実行する。なお、ワイパー１３としては、綿、絹等の布からなるシート状の部材を用いることもできる。
【００２８】
次に、プリンター１の電気的な構成について説明する。本実施形態におけるプリンター１は、図２に示すように、プリンターコントローラー１５により各部の制御が行われる。本実施形態におけるプリンターコントローラー１５は、インターフェース（Ｉ／Ｆ）部１６と、制御部１７と、記憶部１８と、駆動信号生成部１９と、を有する。インターフェース部１６は、コンピューターや携帯情報端末機等の外部装置７０から印刷データや印刷命令を受け取ったり、プリンター１の状態情報を外部装置７０側に出力したりする。記憶部１８は、制御部１７のプログラムや各種制御に用いられるデータを記憶する素子であり、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＮＶＲＡＭ（不揮発性記憶素子）を含む。駆動信号生成部１９は、記録媒体２に対してインク滴を噴射して画像等を記録するための駆動パルスを含む駆動信号を発生する。
【００２９】
制御部１７は、記憶部１８に記憶されているプログラムに従って、プリンター１の各部を制御する。例えば、制御部１７は、外部装置７０からの印刷データに基づき、記録動作時に記録ヘッド３のどのノズル４９からどのタイミングでインクを噴射させるかを示す噴射データ等を生成し、これらを記録ヘッド３のヘッド制御部２０に送信する。そして、ヘッド制御部２０は、この制御部１７からの信号に基づき駆動信号中の駆動パルスを選択的に圧電素子５９（図４参照）に印加する。これにより圧電素子５９が駆動されてノズル４９からインク滴が噴射（吐出）されたり、或いは、インク滴が噴射されない程度に微振動動作が行われたりする。また、制御部１７は、記録ヘッド３、キャッピング機構１２、ワイピング機構１４等を制御し、記録ヘッド３のクリーニング動作を制御する。具体的には、制御部１７は、記録領域（換言すると、印刷領域）から外れた位置において、ノズル４９からインク滴を噴射するフラッシング動作及び予備フラッシング動作を制御する。また、制御部１７は、キャッピング機構１２を制御し、記録ヘッド３の吸引動作を実行したり、ワイピング機構１４を制御し、ワイピング動作を実行したりする。なお、本実施形態におけるクリーニング動作に関しては、後述する。
【００３０】
また、本実施形態におけるプリンター１は、図２に示すように、キャリッジ移動機構５、搬送機構６、リニアエンコーダー２１、キャッピング機構１２、ワイピング機構１４及び記録ヘッド３等を備えている。上記したように、キャリッジ移動機構５は、タイミングベルト８及びパルスモーター９等からなり、キャリッジ４に搭載された記録ヘッド３を主走査方向に移動させる。また、搬送機構６は、紙送りモーター及び紙送りローラー等（いずれも図示せず）からなり、記録媒体２を副走査方向に移動させる。リニアエンコーダー２１は、キャリッジ４（記録ヘッド３）の走査位置に応じたエンコーダーパルスを、主走査方向における位置情報として制御部１７に出力する。キャッピング機構１２は、キャップ１１によりノズル４９を封止した状態で、ノズル４９からインクを強制的に排出させる吸引動作を実行する。ワイピング機構１４は、ワイパー１３により記録ヘッド３のノズル面４０を払拭する払拭動作を実行する。
【００３１】
次に記録ヘッド３の構成について説明する。図３は、記録ヘッド３の構成を説明する分解斜視図である。図４は、記録ヘッド３の構成を説明する断面における模式図である。図５は、単位ヘッド２３の構成を説明する断面における模式図である。なお、以下の説明では、便宜上、カートリッジ装着部２７側を上方（又は上側）、ノズル面４０側を下方（又は下側）として説明する。また、単位ヘッド２３の構成はノズル列方向に直交する方向において概ね左右対称であるため、図５では一方の構成のみを表している。
【００３２】
本実施形態における記録ヘッド３は、図３及び図４に示すように、複数の部材が上下方向（本発明における第１の方向に相当）に積層されて成る。具体的には、記録ヘッド３は、上面にインク導入針２８が複数形成され、下面側に単位ヘッド２３が取り付けられるホルダー部材２２、ホルダー部材２２に取り付けられる複数（本実施形態では、３つ）の単位ヘッド２３、及び、単位ヘッド２３の下面（すなわち、ノズル面４０）を保護する固定板３８等を備えている。ホルダー部材２２は、図４に示すように、上部部材２４、中間部材２５、及び、下部部材２６が上下方向に積層されて成る。上部部材２４は、上面側にインクカートリッジ７が着脱可能に取り付けられるカートリッジ装着部２７を有している。カートリッジ装着部２７には、インク導入針２８が複数立設されている。本実施形態においては、図３に示すように、６つのインク導入針２８がノズル列方向に直交する方向に並設されている。インク導入針２８は、インクカートリッジ７内に挿入される中空針状の部材であり、インクカートリッジ７内に貯留されたインクを上部部材２４の内部に形成された上部導入路２９に導入する。なお、インクカートリッジと記録ヘッドとを接続する構成としては、インク導入針２８のような針状の部材に限られず、インクの供給側と受側にそれぞれインクを吸収可能な多孔質部材を設け、この多孔質部材同士を接触させることで、インクを授受する構成を採用することも可能である。
【００３３】
上部導入路２９の下端は、ゴミや気泡等の通過を抑制するフィルター室３２と連通されている。フィルター室３２は、上部導入路２９及び後述する上部流路３０よりも断面積が広く形成され、途中にフィルター３１が配置された流路である。フィルター３１は、例えば繊維や金属等からなる細い線を網目状に織ったものや、金属平板に複数の穴を設けたもの等が用いられる。フィルター室３２の下方には、フィルター室３２と中間部材２５側の流路（具体的には、中間流路３４）とを連通させる上部流路３０が形成されている。本実施形態における上部流路３０は、上下方向（すなわち、各部材の積層方向）に沿う方向にインクが流れるように、上下方向に沿って延在されている。
【００３４】
中間部材２５は、上部部材２４と下部部材２６との間に挟まれた合成樹脂等からなる部材である。この中間部材２５と上部部材２４との間には、回路基板３３が収容されている。回路基板３３は、ヘッド制御部２０等を有する基板であり、単位ヘッド２３の上面から延出したフレキシブル基板３７の一端側が接続されている。また、中間部材２５（具体的には、中間部材２５の内部及び下面）には、上部流路３０と下部部材２６側の流路（後述する下部流路３５）とを連通させる中間流路３４が形成されている。この中間流路３４は、上下方向（すなわち、各部材の積層方向）に沿って延在され、上端が上部流路３０と接続された第１中間流路３４ａと、中間部材２５の下面と下部部材２６の上面との間に形成された第２中間流路３４ｂと、を備えている。第２中間流路３４ｂは、上下方向と交差する交差方向（本実施形態では、ノズル面４０に平行な方向、図４における左右方向）に沿う方向にインクが流れるように、交差方向（本発明における第２の方向に相当）に沿って延在されている。この第２中間流路３４ｂの下流側は、下部流路３５と接続されている。また、本実施形態における６つのインク導入針２８に対応する６つの第２中間流路３４ｂは、それぞれ異なる長さ、体積に構成されている。なお、この点については、後で詳しく説明する。
【００３５】
下部部材２６は、中間部材２５の下方に配置される部材である。この下部部材２６には、下面側から上面側の途中まで凹んだヘッド収容空間３６が設けられている。このヘッド収容空間３６内に、単位ヘッド２３が収容されている。また、下部部材２６には、第２中間流路３４ｂとヘッド収容空間３６内に収容された単位ヘッド２３の液体導入路４５とを接続する下部流路３５が形成されている。本実施形態における下部流路３５は、上下方向（すなわち、各部材の積層方向）に沿う方向にインクが流れるように、上下方向に沿って延在されている。
【００３６】
固定板３８は、ヘッド収容空間３６内に収容された単位ヘッド２３の下面（具体的には、ノズルプレート４８の下面）、及び、下部部材２６の下面に接合されている。この固定板３８は、ノズル４９を露出させる開口３９を有している。本実施形態では、３つの単位ヘッド２３に対応して、３つの開口３９が形成されている。なお、本実施形態におけるノズル面４０は、ノズルプレート４８の下面、及び、固定板３８の下面から成る面、すなわち、ノズル４９が形成されるノズルプレート４８の下面のみならず固定板３８の下面も含む概念である。
【００３７】
本実施形態における単位ヘッド２３は、図５に示すように、アクチュエーターユニット４１及び流路ユニット４２が積層された状態でヘッドケース４３に取り付けられている。ヘッドケース４３は、合成樹脂製の箱体状部材であり、その内部には下部部材２６の中間流路３４と連通する液体導入路４５、及び、液体導入路４５と連通するケース流路４６が形成されている。液体導入路４５は、上下方向（すなわち、各部材の積層方向）に沿って延在され、上端が下部流路３５と接続されている。ケース流路４６は、共通液室５２と連通し、共通液室５２と共に各圧力室５７に共通なインクが貯留される流路である。本実施形態においては、１つの単位ヘッド２３において、２列に並設された圧力室５７の列に対応して液体導入路４５及びケース流路４６が２つ形成されている。なお、フィルター室３２の下端からケース流路４６の上端までの流路、すなわち、上部流路３０、第１中間流路３４ａ、第２中間流路３４ｂ、下部流路３５、及び、液体導入路４５が本発明における液体供給路に相当する（図４参照）。また、これらの流路のうち上下方向に沿って延在された部分、すなわち、上部流路３０、第１中間流路３４ａ、下部流路３５、及び、液体導入路４５が本発明における第１流路に相当する。さらに、これらの流路のうち上下方向と交差する交差方向に沿って延在された部分、すなわち、第２中間流路３４ｂが本発明における第２流路に相当する。
【００３８】
また、図５に示すように、ヘッドケース４３の下側（流路ユニット４２側）の部分には、当該ヘッドケース４３の下面（流路ユニット４２側の面）からヘッドケース４３の高さ方向の途中まで直方体状に窪んだ収容空間４４が形成されている。アクチュエーターユニット４１は、この収容空間４４内に収容されている。さらに、収容空間４４の天井面の一部には、ヘッドケース４３の外側の空間と収容空間４４とを連通する挿通開口４７が開設されている。この挿通開口４７を通じてフレキシブル基板３７の他端部が収容空間４４内に挿通され、当該収容空間４４内のアクチュエーターユニット４１に接続される。
【００３９】
流路ユニット４２は、連通基板５１及びノズルプレート４８を有している。ノズルプレート４８は、連通基板５１の下面（圧力室形成基板５６とは反対側の面）に接合されたシリコン製の基板（例えば、シリコン単結晶基板）である。本実施形態では、このノズルプレート４８により、後述する共通液室５２となる空間の下面側の開口が封止されている。また、ノズルプレート４８には、複数のノズル４９が直線状（列状）に開設されている。この複数のノズル４９からなるノズル４９の列（すなわち、ノズル列５０）は、ノズルプレート４８に２列形成されている。換言すると、各単位ヘッド２３には、ノズル列５０が２列形成されている。このため、記録ヘッド３に形成されたノズル列５０は、合計で６列となる。各ノズル列５０を構成するノズル４９は、一端側のノズル４９から他端側のノズル４９までドット形成密度に対応したピッチで、例えば主走査方向に沿って等間隔に設けられている。なお、ノズルプレートを連通基板における共通液室から内側に外れた領域に接合し、共通液室となる空間の下面側の開口を、例えば可撓性を有するコンプライアンスシート等の部材で封止することもできる。
【００４０】
連通基板５１は、図５に示すように、流路ユニット４２の上部（ヘッドケース４３側の部分）を構成するシリコン製の基板である。この連通基板５１には、ケース流路４６と連通し、ノズル列５０を構成する各ノズル４９に連通する各圧力室５７に共通なインクが貯留される共通液室５２と、この共通液室５２を介してケース流路４６からのインクを各圧力室５７に個別に供給する個別連通路５３と、圧力室５７とノズル４９とを連通するノズル連通路５４とが、異方性エッチング等により形成されている。共通液室５２は、ノズル列方向に沿った長尺な空部であり、２列に並設された圧力室５７の列に対応して２列に形成されている。また、個別連通路５３及びノズル連通路５４は、ノズル列方向に沿って複数形成されている。
【００４１】
アクチュエーターユニット４１は、図５に示すように、圧力室形成基板５６、振動板５８、アクチュエーターの一種である圧電素子５９、及び、保護基板６０が積層されてユニット化された状態で、連通基板５１に接合されている。圧力室形成基板５６は、アクチュエーターユニット４１の下部（流路ユニット４２側の部分）を構成するシリコン製の基板（例えば、シリコン単結晶基板）である。この圧力室形成基板５６には、異方性エッチングにより一部が板厚方向に除去されて、圧力室５７となるべき空間がノズル列方向に沿って複数並設されている。この空間は、下方が連通基板５１により区画され、上方が振動板５８により区画されて圧力室５７を構成する。また、圧力室５７は、２列に形成されたノズル列５０に対応して２列に形成されている。各圧力室５７は、ノズル列方向に直交する方向に長尺な空部であり、長手方向の一側の端部に個別連通路５３が連通すると共に、他側の端部にノズル連通路５４が連通する。
【００４２】
振動板５８は、例えば、圧力室形成基板５６の上面に形成された弾性膜と、この弾性膜上に形成された絶縁体膜と、からなる。この振動板５８における各圧力室５７に対応する領域は、撓み変形が許容される駆動領域６２であり、圧電素子５９が積層されている。本実施形態における圧電素子５９は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子５９は、例えば、振動板５８上に、下電極層、圧電体層及び上電極層が順次積層されてなる。この上電極膜又は下電極膜のうち何れか一方が各圧電素子５９に共通に形成された共通電極となり、他方が各圧電素子５９に個別に形成された個別電極となっている。そして、下電極層と上電極層との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると、圧電素子５９はノズル４９から遠ざかる方向あるいは近接する方向に撓み変形する。これにより、圧力室５７の容積が変化し、当該圧力室５７内のインクに圧力変動が生じることになる。そして、この圧力変動を利用することで、記録ヘッド３はノズル４９からインクを噴射する。
【００４３】
保護基板６０は、図５に示すように、圧力室形成基板５６の上面（詳しくは、振動板５８の上面）に接合されたシリコン単結晶、金属、又は、合成樹脂等からなる基板である。この保護基板６０の下面には、当該保護基板６０の下面から保護基板６０の板厚方向の途中まで窪んだ圧電素子収容空間６３が形成されている。そして、この圧電素子収容空間６３内に、圧電素子５９の列が収容されている。本実施形態では、２列に形成された圧電素子５９の列に対応して、圧電素子収容空間６３が２列に形成されている。なお、２つの圧電素子収容空間６３の間の部分には、保護基板６０が板厚方向に貫通された開口が形成されている。この開口内において、挿通開口４７を通じて挿通されたフレキシブル基板３７の他端の端子と、圧電素子５９から延在された配線の端子とが接続される。
【００４４】
次に、本実施形態におけるプリンター１のクリーニング動作について説明する。クリーニング動作は、定期的にあるいは所定のタイミング（例えば、インク充填後や印刷開始時から所定の期間が経過した後等）で、フラッシング動作や吸引動作等を行って、記録ヘッド３内の気泡や異物等を排出する動作である。図６は、吸引動作を説明する記録ヘッド３の模式図である。図７は、クリーニング動作の流れを説明するフローチャートである。図８は、予備フラッシング動作における液体噴射回数（ｓｈｏｔ数）を説明する表である。なお、図６においては、記録ヘッド３の各部の構成を簡略化し、フィルター室３２の下端からケース流路４６の上端までの流路、すなわち、上部流路３０、第１中間流路３４ａ、第２中間流路３４ｂ、下部流路３５、及び、液体導入路４５から成る一連の流路を液体供給路６５（本発明における液体供給路に相当）として表わしている。また、以下の説明においては、適宜、図６における各液体供給路６５を、左側から順番に６５ａ〜６５ｆと称する。なお、図６における各液体供給路６５の長さは、実際の長さと異なる場合がある。
【００４５】
本実施形態における記録ヘッド３は、図６に示すように、６つのインク導入針２８と６つのノズル列５０（ノズル４９の列）とを１対１に接続する６つの液体供給路６５ａ〜６５ｆを備えている。各液体供給路６５ａ〜６５ｆは、第２中間流路３４ｂ（上下方向と交差する交差方向（図６における左右方向）に沿って延在する部分）の長さが互いに異なっている。具体的には、液体供給路６５ａの第２中間流路３４ｂが最も長く、液体供給路６５ｂの第２中間流路３４ｂが２番目に長く、液体供給路６５ｆの第２中間流路３４ｂが３番目に長く、液体供給路６５ｅの第２中間流路３４ｂが４番目に長く、液体供給路６５ｃの第２中間流路３４ｂが５番目に長く、液体供給路６５ｄの第２中間流路３４ｂが最も短くなっている。すなわち、第２中間流路３４ｂの長さが長い方から順に並べると、液体供給路６５ａ、液体供給路６５ｂ、液体供給路６５ｆ、液体供給路６５ｅ、液体供給路６５ｃ、液体供給路６５ｄとなる。なお、各液体供給路６５ａ〜６５ｆの第２中間流路３４ｂは、断面積（換言すると流路面積）がほぼ同じに揃えられているため、各第２中間流路３４ｂの体積は、上記と同じ順番となる。すなわち、第２中間流路３４ｂの体積が大きい方から順に並べると、液体供給路６５ａ、液体供給路６５ｂ、液体供給路６５ｆ、液体供給路６５ｅ、液体供給路６５ｃ、液体供給路６５ｄとなる。要するに、各液体供給路６５ａ〜６５ｆは、第２中間流路３４ｂの体積も互いに異なっている。
【００４６】
一方、各液体供給路６５ａ〜６５ｆの第２中間流路３４ｂ以外の部分（上下方向に延在する部分）は、ほぼ同じ長さに揃えられ、その断面積もほぼ同じ大きさに揃えられている。このため、各液体供給路６５ａ〜６５ｆの全体の長さ及び体積については、それぞれの第２中間流路３４ｂの長さ及び体積に応じて互いに異なっている。すなわち、各液体供給路６５ａ〜６５ｆは、長さ及び体積が互いに異なり、その関係は、上記した各第２中間流路３４ｂの関系と同じになる。具体的には、液体供給路６５ａの流路長が最も長く且つ体積が最も大きく、液体供給路６５ｂの流路長が２番目に長く且つ体積が２番目に大きく、液体供給路６５ｆの流路長が３番目に長く且つ体積が３番目に大きく、液体供給路６５ｅの流路長が４番目に長く且つ体積が４番目に大きく、液体供給路６５ｃの流路長が５番目に長く且つ体積が５番目に大きく、液体供給路６５ｄの流路長が最も短く且つ体積が最も小さくなっている。本実施形態においては、図８に示す表のように、液体供給路６５ａが基準体積に対して１２％大きい体積、液体供給路６５ｂが基準体積に対して５％大きい体積、液体供給路６５ｆが基準体積に対して２％大きい体積、液体供給路６５ｅが基準体積に対して３％小さい体積、液体供給路６５ｃが基準体積に対して６％小さい体積、液体供給路６５ｄが基準体積に対して９％小さい体積となっている。なお、本実施形態における基準体積とは、各液体供給路６５ａ〜６５ｆの長さを平均した基準流路における体積である。
【００４７】
このように構成された各液体供給路６５ａ〜６５ｆから吸引動作により気泡等を除去する場合、図６に示すように、記録ヘッド３のノズル面４０をキャップ１１で封止し、図示しないポンプによりキャップ１１内の空間を減圧することで、ノズル４９から記録ヘッド３内のインクを吸引する（図６における矢印参照）。これにより、フィルター室３２内の気泡等がインクと共に吸引され、インクの噴射不良等を解消し得る。ところで、従来における吸引動作においては、流路長が最も長い液体供給路６５ａに対応するフィルター室３２内の気泡等を除去できるように、流路長が最も長い液体供給路６５ａに合わせて吸引強度或いは吸引時間が設定されていた。しかしながら、この場合、流路長が液体供給路６５ａよりも短い他の液体供給路６５ｂ〜６５ｆについては、過剰な吸引動作となり、ノズル４９から排出されるインクの消費量が多くなっていた。このような、課題を解決するために、本発明におけるクリーニング動作においては、吸引動作を従来よりも弱くする（すなわち、インクの消費量を少なくする）と共に、ノズル４９（ノズル列５０）から噴射されるインクの噴射量を各ノズル４９（ノズル列５０）に対応する液体供給路６５ａ〜６５ｆに応じて制御する予備フラッシング動作を実行する。
【００４８】
具体的には、図７に示すクリーニング動作の流れを示したフローチャートに従って説明する。本実施形態においては、クリーニング動作を開始すると、まず予備フラッシング動作を実行する（ステップＳ１）。予備フラッシング動作は、記録領域（換言すると、印刷領域）から外れた位置、例えば、図示し無いフラッシングボックス上に記録ヘッド３を移動させ、液体供給路６５ａ〜６５ｆに応じて各ノズル４９からインク滴を噴射させる動作である。この予備フラッシング動作において、ノズル４９から噴射させるインクの噴射量は、液体供給路６５ａ〜６５ｆの体積に応じて、これに対応するノズル列５０毎に制御されている。すなわち、各ノズル列５０に含まれるノズル４９は、対応する液体供給路６５ａ〜６５ｆの体積に応じて、予備フラッシング動作においてインク滴を噴射する噴射動作の回数（ｓｈｏｔ数ともいう）が設定されている。例えば、図８に示す表のように、液体供給路６５ｄに対応するノズル４９のｓｈｏｔ数は０回、液体供給路６５ｃに対応するノズル４９のｓｈｏｔ数は５０００回、液体供給路６５ｅに対応するノズル４９のｓｈｏｔ数は８０００回、液体供給路６５ｆに対応するノズル４９のｓｈｏｔ数は１５０００回、液体供給路６５ｂに対応するノズル４９のｓｈｏｔ数は１９０００回、液体供給路６５ａに対応するノズル４９のｓｈｏｔ数は３００００回に設定されている。なお、これらのｓｈｏｔ数は、例えば、体積が最も小さい液体供給路６５ｄと各液体供給路６５ａ〜６５ｆとの体積差を、１回の噴射動作（１ｓｈｏｔ）においてノズル列５０から噴射されるインクの量（噴射量）に基づいてｓｈｏｔ数に換算することで求められる。
【００４９】
このように予め予備フラッシング動作を行うことで、液体供給路６５ａ〜６５ｃ、６５ｅ、６５ｆの気泡等を下流側（すなわち、ノズル４９側）に移動させることができる。特に、それぞれの液体供給路６５ａ〜６５ｃ、６５ｅ、６５ｆの体積に応じて、これらに対応するノズル４９からインクを噴射させたので、体積が大きく気泡等を排出し難い液体供給路６５ほど、気泡等を下流側に移動させることができる。なお、体積が最も小さく、吸引動作において十分に気泡等を排出できる液体供給路６５ｄについては、これに対応するノズル４９からインクを噴射させない。
【００５０】
次に、吸引動作を実行する（ステップＳ２）。この吸引動作は、従来の吸引動作よりも吸引力が弱くなるように設定されている。本実施形態における吸引動作は、流路長が最も短い液体供給路６５ｄに対応するフィルター室３２内の気泡等を除去できるように、流路長が最も短い液体供給路６５ｄに合わせて吸引強度或いは吸引時間が設定されている。これにより、予備フラッシング動作においてインクが噴射されていない液体供給路６５ｄにおいて、気泡等を排出することができる。一方、液体供給路６５ｄよりも流路長が長い液体供給路６５ａ〜６５ｃ、６５ｅ、６５ｆにおいては、この吸引動作により内部のインクを全て排出できないものの、予備フラッシング動作においてそれぞれの体積に応じてインクが噴射され、気泡等が下流側に移動されているため、これらの液体供給路６５ａ〜６５ｃ、６５ｅ、６５ｆにおいても気泡等を排出することができる。
【００５１】
その後、記録ヘッド３の下面にワイパー１３を当接させて、当該記録ヘッド３の下面（すなわち、ノズル面４０）を払拭するワイピング動作を実行する（ステップＳ３）。これにより、ノズル面４０に付着したインクを払拭することができる。ワイピング動作を行ったならば、所定の期間プリンター１を待機させる（ステップＳ４）。このプリンター１が待機している間は、ノズル４９からインク滴が噴射されない程度に各ノズル４９内のインクを微振動させる微振動動作を実行する。次に、フラッシング動作を実行する（ステップＳ５）。このフラッシング動作は、予備フラッシング動作とは異なり、各液体供給路６５ａ〜６５ｆに共通のｓｈｏｔ数（例えば、数千回〜数万回）に設定されている。すなわち、各ノズル４９からインク滴を同じ回数噴射する。なお、１回の噴射動作においてノズル４９から噴射されるインク滴の重量は、フラッシング動作と予備フラッシング動作とで同じにすることもできるし、異ならせることもできる。その後、キャッピング機構１２を制御し、記録ヘッド３のノズル面４０をキャップ１１で封止した状態（ステップＳ６）でクリーニング動作を終了する。
【００５２】
このように、クリーニング動作、より具体的にはフラッシング動作におけるノズル４９からの噴射量を液体供給路６５に応じて制御したので、液体供給路６５毎に、クリーニングに最適なインクの排出を行うことができる。具体的には、体積が小さく、気泡等を排出し易い液体供給路６５ほど、インクの排出量を少なくし、体積が大きく、気泡等を排出し難い液体供給路６５ほど、インクの排出量を多くしたので、無駄なくクリーニング動作を行うことができる。その結果、クリーニング動作におけるインクの消費を抑制できる。また、本実施形態においては、ノズル４９からインク滴が噴射される噴射動作の回数（ｓｈｏｔ数）によりインクの噴射量を制御したので、クリーニング動作におけるインクの噴射量の制御（調整）が容易になる。そして、本実施形態では、吸引動作よりも先に予備フラッシング動作を行うことで予めノズル４９からインクを噴射させたので、液体供給路６５内の気泡等を下流側（すなわち、ノズル４９側）に移動させることができ、キャッピング機構１２によりノズル４９からインクを吸引させる際に気泡等を液体供給路６５から排出させ易くなる。
【００５３】
ところで、上記した第１の実施形態におけるクリーニング動作においては、吸引動作よりも先に予備フラッシング動作を行ったが、これには限られない。例えば、図９に示す第２の実施形態におけるクリーニング動作のように、予備フラッシング動作よりも先に吸引動作を行っても良い。具体的には、図９に示すように、クリーニング動作を開始すると、まず吸引動作を実行する（ステップＳ１′）。この吸引動作は、上記した第１の実施形態と同様に、従来の吸引動作よりも吸引力が弱くなるように設定されている。すなわち、本実施形態の吸引動作においても、流路長が最も短い液体供給路６５ｄに対応するフィルター室３２内の気泡等を除去できるように、流路長が最も短い液体供給路６５ｄに合わせて吸引強度或いは吸引時間が設定されている。これにより、少なくとも液体供給路６５ｄにおいて、気泡等を排出することができる。
【００５４】
次に、上記した第１の実施形態と同様に、ワイピング動作（ステップＳ２′）を経て、所定時間待機（ステップＳ３′）した後、予備フラッシング動作を実行する（ステップＳ４′）。本実施形態における予備フラッシング動作においても、上記した第１の実施形態の予備フラッシング動作と同様に、ノズル４９から噴射させるインクの噴射量は、液体供給路６５ａ〜６５ｆの体積に応じて、これに対応するノズル列５０毎に制御されている。すなわち、体積が小さく、気泡等を排出し易い液体供給路６５ほど、インクの噴射量を少なくなるように制御され、体積が大きく、気泡等を排出し難い液体供給路６５ほど、インクの噴射量が多くなるように制御される。より具体的には、本実施形態においても、図８に示す表のように、液体供給路６５ｄに対応するノズル４９のｓｈｏｔ数は０回、液体供給路６５ｃに対応するノズル４９のｓｈｏｔ数は５０００回、液体供給路６５ｅに対応するノズル４９のｓｈｏｔ数は８０００回、液体供給路６５ｆに対応するノズル４９のｓｈｏｔ数は１５０００回、液体供給路６５ｂに対応するノズル４９のｓｈｏｔ数は１９０００回、液体供給路６５ａに対応するノズル４９のｓｈｏｔ数は３００００回に設定されている。これにより、液体供給路６５ｄよりも流路長が長く、吸引動作において気泡等が完全に除去されていない可能性のある液体供給路６５ａ〜６５ｃ、６５ｅ、６５ｆにおいても、より確実に気泡等を除去することができる。また、これらの液体供給路６５ａ〜６５ｃ、６５ｅ、６５ｆにおいて、吸引動作によりノズル４９近傍まで流下していた気泡等が浮力等により上流側に戻っていたとしても、当該気泡を少なくともノズル４９側に移動させることができる。これにより、後述するフラッシング動作により気泡等を除去し易くなる。すなわち、吸引動作後に液体供給路６５ａ〜６５ｃ、６５ｅ、６５ｆ内に気泡等が残っていたとしても、その後、予備フラッシング動作を行うことで気泡等を液体供給路６５ａ〜６５ｃ、６５ｅ、６５ｆから排出させ易くなる。
【００５５】
最後に、上記した第１の実施形態と同様に、フラッシング動作を実行し（ステップＳ５′）、次いでキャッピング機構１２を制御して記録ヘッド３のノズル面４０をキャップ１１で封止する（ステップＳ６′）。そして、この状態でクリーニング動作を終了する。
【００５６】
このように、本実施形態においても、クリーニング動作、より具体的にはフラッシング動作におけるノズル４９からの噴射量を液体供給路６５に応じて制御したので、液体供給路６５毎に、クリーニングに最適なインクの排出を行うことができる。具体的には、体積が小さく、気泡等を排出し易い液体供給路６５ほど、インクの排出量を少なくし、体積が大きく、気泡等を排出し難い液体供給路６５ほど、インクの排出量を多くしたので、無駄なくクリーニング動作を行うことができる。その結果、クリーニング動作におけるインクの消費を抑制できる。また、本実施形態においても、ノズル４９からインク滴が噴射される噴射動作の回数（ｓｈｏｔ数）によりインクの噴射量を制御したので、クリーニング動作におけるインクの噴射量の制御（調整）が容易になる。
【００５７】
ところで、上記した各実施形態では、予備フラッシング動作において、ノズル４９から噴射させるインクの量を液体供給路６５の体積に応じて制御したが、これには限られない。予備フラッシング動作において、ノズル４９から噴射させるインクの量を液体供給路６５の長さに応じて制御することもできる。例えば、流路長が最も短い液体供給路６５ｄと各液体供給路６５ａ〜６５ｆとの流路長の差に基づいて、ｓｈｏｔ数を算出しても良い。また、液体供給路６５の形状・構造の他、気泡等の排出し易さ、或いは排出し難さ等に基づいて、予備フラッシング動作におけるノズル４９から噴射させるインクの量（具体的には、ｓｈｏｔ数）を設定することもできる。なお、これらのｓｈｏｔ数は、予め記憶部１８に記憶されていても良いし、実際の印刷動作においてノズル列５０毎に噴射不良の回数を集計し、これに基づいて、設定しても良い。そして、これらの場合でも、液体供給路６５毎に、クリーニングに最適なインクの排出を行うことができ、クリーニング動作におけるインクの消費を抑制できる。なお、インクの噴射量を制御する方法としては、ｓｈｏｔ数を制御する方法に限られない。ノズル列５０毎に使用する駆動波形を異ならせることで、１ｓｈｏｔ当りのインクの噴射量を変えて、インクの噴射量を制御することもできる。
【００５８】
また、上記した各実施形態では、各液体供給路６５ａ〜６５ｆの長さ及び体積が異なるように構成されたが、これには限られない。各液体供給路のうち少なくとも２つ以上の液体供給路の長さ又は体積が異なる構成において、本発明を適用できる。すなわち、一部の液体供給路の長さ又は体積が同じであっても良い。さらに、上記した各実施形態では、各液体供給路６５において、第２中間流路３４ｂの長さ及び体積が異なるように構成され、その他の部分は略同じ長さ及び体積に揃えられたが、これには限られない。各液体供給路のその他の部分における長さ又は体積が異なる構成を有する場合でも、本発明を適用できる。また、上記した各実施形態では、６つのノズル列５０に対応して、６つの液体供給路６５を備えたが、これには限られない。少なくとも長さ又は体積が異なる２つ以上の液体供給路を備えた構成において、本発明を適用できる。
【００５９】
さらに、本発明における液体供給路は、フィルター室３２の下端からケース流路４６の上端までの流路としたが、これには限られない。例えば、第２中間流路３４ｂのみを本発明における液体供給路とすることもできる。また、フィルター室よりも上方の流路（例えば、上部導入路等）において、それぞれ異なる構成を有している場合には、当該流路も含めて、本発明における液体供給路とすることもできる。要するに、各ノズル列に対応する各流路のうち、他の流路と異なる体積、形状等を含む部分を少なくとも含んでいれば、本発明における液体供給路とすることができる。
【００６０】
そして、以上においては、液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド３を備えたインクジェット式プリンター１を例に挙げて説明したが、本発明は、他の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッドを備えた液体噴射装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッドを備えた液体噴射装置、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドを備えた液体噴射装置等にも本発明を適用することができる。ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドでは液体の一種としてＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液体の一種として液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは液体の一種として生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００６１】
１…プリンター，２…記録媒体，３…記録ヘッド，４…キャリッジ，５…キャリッジ移動機構，６…搬送機構，７…インクカートリッジ，８…タイミングベルト，９…パルスモーター，１０…ガイドロッド，１１…キャップ，１２…キャッピング機構，１３…ワイパー，１４…ワイピング機構，１５…プリンターコントローラー，１６…インターフェース部，１７…制御部，１８…記憶部，１９…駆動信号生成部，２１…リニアエンコーダー，２２…ホルダー部材，２３…単位ヘッド，２４…上部部材，２５…中間部材，２６…下部部材，２７…カートリッジ装着部，２８…インク導入針，２９…上部導入路，３０…上部流路，３１…フィルター，３２…フィルター室，３３…回路基板，３４…中間流路，３４ａ…第１中間流路，３４ｂ…第２中間流路，３５…下部流路，３６…ヘッド収容空間，３７…フレキシブル基板，３８…固定板，３９…開口，４０…ノズル面，４１…アクチュエーターユニット，４２…流路ユニット，４３…ヘッドケース，４４…収容空間，４５…液体導入路，４６…ケース流路，４７…挿通開口，４８…ノズルプレート，４９…ノズル，５０…ノズル列，５１…連通基板，５２…共通液室，５３…個別連通路，５４…ノズル連通路，５６…圧力室形成基板，５７…圧力室，５８…振動板，５９…圧電素子，６０…保護基板，６２…駆動領域，６３…圧電素子収容空間，６５，６５ａ〜６５ｆ…液体供給路，７０…外部装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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