(57)【要約】【課題】広い動作範囲を確保しながら全高を抑えて狭い空間にも設置する。【解決手段】パラレルリンクロボット１００は、複数の駆動ユニット２０と、駆動ユニット２０によりそれぞれ駆動されるリンク３０とを備え、各駆動ユニット２０が、モータと、モータの回転をリンク３０に伝達する伝達機構と、モータを固定するハウジングとを備え、ハウジングが、第１連結部と、第２連結部と、リンクを貫通させる開口部とを備え、一の駆動ユニット２０の第１連結部と他の駆動ユニット２０の第２連結部とが連結され、一の駆動ユニット２０の第２連結部と他の駆動ユニット２０の第１連結部とが連結されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の駆動ユニットと、
該駆動ユニットによりそれぞれ駆動されるリンクとを備え、
各前記駆動ユニットが、モータと、該モータの回転を前記リンクに伝達する伝達機構と、前記モータを固定するハウジングとを備え、
該ハウジングが、第１連結部と、第２連結部と、前記リンクを貫通させる開口部とを備え、一の前記駆動ユニットの前記第１連結部と他の前記駆動ユニットの前記第２連結部とが連結され、一の前記駆動ユニットの前記第２連結部と他の前記駆動ユニットの前記第１連結部とが連結されているパラレルリンクロボット。
【請求項２】
前記伝達機構が、前記モータの回転速度を減速して前記リンクに伝達し、前記ハウジングに固定される減速機構を含む請求項１に記載のパラレルリンクロボット。
【請求項３】
前記ハウジングが、前記モータおよび前記伝達機構を収納する真っ直ぐな筒状の本体部と、該本体部の長手方向の途中位置から分岐している筒状の枝部とを有し、前記第１連結部が、前記本体部の長手方向の端面に設けられたフランジ面を備え、前記第２連結部が、前記枝部の長手方向の端面に設けられたフランジ面を備える請求項１または請求項２に記載のパラレルリンクロボット。
【請求項４】
一の前記駆動ユニットの前記第１連結部および前記第２連結部に、別個の他の前記駆動ユニットが連結されている請求項３に記載のパラレルリンクロボット。
【請求項５】
前記開口部が、前記本体部の側面に設けられている請求項３または請求項４に記載のパラレルリンクロボット。
【請求項６】
前記駆動ユニットが、前記本体部の中心軸と、前記枝部の中心軸とにより形成される平面を挟む位置に配置される側面の少なくとも一方に、該駆動ユニットを外部に固定するための取付部を備える請求項３から請求項５のいずれかに記載のパラレルリンクロボット。
【請求項７】
前記取付部が、前記平面に直交する基準軸を中心として前記側面に接続する円柱部と、該円柱部の他端に接続し、前記基準軸を中心として前記円柱部の断面よりも大きい断面を有する大径部とを備える請求項６に記載のパラレルリンクロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パラレルリンクロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数組の並列なリンク（パラレルリンク）の先端を可動プレートによって連結し、各リンクの駆動によって可動プレートの位置および姿勢の少なくとも一方を変化させるパラレルリンクロボットが知られている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１に記載されたパラレルリンクロボットは、３個のアクチュエータユニットを基礎部に固定することにより構成されている。各アクチュエータユニットには１組のリンクがそれぞれ取り付けられ、各アクチュエータが各組のリンクを駆動することによって、可動プレートが移動させられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−４６４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたパラレルリンクロボットにおいては、３個のアクチュエータユニットが基礎部に個別に固定されることによって、相互に位置決めされている。すなわち、各アクチュエータユニットを基礎部に位置決めした状態に固定することにより、複数のアクチュエータユニット間の位置決めが間接的に行われている。
【０００５】
しかしながら、基礎部を用いて複数のアクチュエータユニット間の位置決めを行う従来のパラレルリンクロボットは、基礎部の分だけ寸法が大きくなって全高が高くなっている。その結果、狭い空間に設置する場合には、リンク長を短くして動作範囲を狭くしなければならない。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、広い動作範囲を確保しながら全高を抑えて狭い空間にも設置することができるパラレルリンクロボットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明は以下の手段を提供する。
本発明の一態様は、複数の駆動ユニットと、該駆動ユニットによりそれぞれ駆動されるリンクとを備え、各前記駆動ユニットが、モータと、該モータの回転を前記リンクに伝達する伝達機構と、前記モータを固定するハウジングとを備え、該ハウジングが、第１連結部と、第２連結部と、前記リンクを貫通させる開口部とを備え、一の前記駆動ユニットの前記第１連結部と他の前記駆動ユニットの前記第２連結部とが連結され、一の前記駆動ユニットの前記第２連結部と他の前記駆動ユニットの前記第１連結部とが連結されているパラレルリンクロボットを提供する。
【０００７】
本態様によれば、ハウジングに設けられた第１連結部および第２連結部によって、複数の駆動ユニットを相互に連結することができる。すなわち、基礎部を介在させることなく、複数の駆動ユニット同士を直接的に相互に位置決めした状態に連結することができ、これにより、基礎部を除去することができる。その結果、部品点数を削減し、パラレルリンクロボットの全高を抑えることができる。そして、パラレルリンクロボットの全高を抑えることによって、広い動作範囲を確保しながら狭い空間にも設置することができる。
【０００８】
上記態様においては、前記伝達機構が、前記モータの回転速度を減速して前記リンクに伝達し、前記ハウジングに固定される減速機構を含んでいてもよい。
この構成により、モータの回転を、リンクを駆動させるために必要なトルクおよび回転速度に変換してリンクに伝達することができる。
【０００９】
上記態様においては、前記ハウジングが、前記モータおよび前記伝達機構を収納する真っ直ぐな筒状の本体部と、該本体部の長手方向の途中位置から分岐している筒状の枝部とを有し、前記第１連結部が、前記本体部の長手方向の端面に設けられたフランジ面を備え、前記第２連結部が、前記枝部の長手方向の端面に設けられたフランジ面を備えてもよい。
【００１０】
この構成により、一の駆動ユニットのハウジングの本体部の端部に設けられたフランジ面と、他の駆動ユニットのハウジングの枝部の端部に設けられたフランジ面とを相互に連結することにより、複数の駆動ユニットを直接的に位置決めした状態で固定することができる。
【００１１】
上記態様においては、一の前記駆動ユニットの前記第１連結部および前記第２連結部に、別個の他の前記駆動ユニットが連結されていてもよい。
この構成により、複数の駆動ユニットを環状に連結することができる。本体部に対する枝部の角度と、本体部および枝部の長さとを適宜設定することによって、任意の数の駆動ユニットを環状に組み合わせたパラレルリンクロボットを構成することができる。
【００１２】
上記態様においては、前記開口部が、前記本体部の側面に設けられていてもよい。
この構成により、開口部を貫通したリンクを伝達機構に固定した状態の駆動ユニットを複数用意しておき、これらの駆動ユニットを相互に連結するだけで、簡易に組み立てることができる。また、開口部を本体部の側面に設けることにより、第１連結部を切れ目のない円環状のフランジ面により構成することができ、剛性の高いパラレルリンクロボットを構成することができる。
【００１３】
上記態様においては、前記駆動ユニットが、前記本体部の中心軸と、前記枝部の中心軸とにより形成される平面を挟む位置に配置される側面の少なくとも一方に、該駆動ユニットを外部に固定するための取付部を備えていてもよい。
この構成により、パラレルリンクロボットの一方の側面を、上向きにして、その側面に備えられている取付部により上方の架台あるいは天井などに容易に取り付けることができる。
【００１４】
上記態様においては、前記取付部が、前記平面に直交する基準軸を中心として前記側面に接続する円柱部と、該円柱部の他端に接続し、前記基準軸を中心として前記円柱部の断面よりも大きい断面を有する大径部とを備えていてもよい。
この構成により、パラレルリンクロボットの取付部よりも上方の架台あるいは天井などに、円柱部の断面よりも大きいと共に大径部の断面よりも小さい溝が設けられていれば、当該溝に大径部を引っかけることで、パラレルリンクロボットを架台あるいは天井などに取り付けることができる。すなわち、簡単な構造により、パラレルリンクロボットを架台あるいは天井などに容易に取り付けることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、パラレルリンクロボットの広い動作範囲を確保しながら、パラレルリンクロボットの全高を抑えて狭い空間にも設置できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態に係るパラレルリンクロボットの概略斜視図である。
【図２】パラレルリンクロボットの概略斜視図である。
【図３】パラレルリンクロボットの上面図である。
【図４】駆動ユニットおよびアームの分解斜視図である。
【図５】第１連結面のフランジ形状を示す説明図である。
【図６】比較例としてのパラレルリンクロボットの一例の概略斜視図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係るパラレルリンクロボットの上面図である。
【図８】図７のパラレルリンクロボットの駆動ユニットおよびアームの分解斜視図である。
【図９】図８の駆動ユニットの第２連結面のフランジ形状を示す説明図である。
【図１０】図１のパラレルリンクロボットの変形例を示す上面図である。
【図１１】図１０のパラレルリンクロボットの駆動ユニットおよびアームの分解斜視図である。
【図１２】変形例のモータ、アームおよび減速機構を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の第１実施形態に係るパラレルリンクロボット（以下、単にロボットという。）１００について、図面を参照しながら以下に説明する。
図１および図２には、本発明の第１実施形態に係るロボット１００の概略斜視図が示されている。ロボット１００は、図１および図２において図示されていないモータおよび減速機を収納している３つの駆動ユニット２０と、駆動ユニット２０に収納されているモータにより駆動されるリンク部（リンク）３０と、リンク部３０の先端に取り付けられている可動プレート４０と、可動プレート４０に取り付けられている手首軸６０と、手首軸６０を駆動させるためのアクチュエータ５０と、アクチュエータ５０の駆動力を手首軸６０に伝達するドライブシャフト７０とを備えている。ロボット１００は、３つの駆動ユニット２０により駆動する３組の並列なリンク部３０により可動プレート４０の位置および姿勢の少なくとも一方を変化させることができる。
【００１８】
各リンク部３０は、駆動ユニット２０に接続されているアーム３１と、アーム３１と可動プレート４０とを接続している２本のリンクにより構成されている受動リンク３２とを備えている。アクチュエータ５０は、図１に示されるように、３組の受動リンク３２の内の１組のリンクの間に固定されている。なお、アクチュエータ５０が配置される位置は、リンク間に限定されず、例えば、いずれかの駆動ユニット２０の外側に固定されてもよいし、可動プレート４０に固定されてもよい。
【００１９】
図３には、ロボット１００の上面図が示されている。図３は、駆動ユニット２０内のモータ２８の外形および減速機（伝達機構、減速機構）２９の外形の概略を、破線によって示している。図３に示されるように、減速機２９は、モータ２８とは反対側においてアーム３１に接続している。減速機２９は、モータ２８の回転軸の回転速度を減速した状態で、モータ２８の回転駆動力をアーム３１に伝達する。
【００２０】
３つの駆動ユニット２０は、第１連結面（第１連結部）１６および第２連結面（第２連結部）１７によって相互に連結されている。一の駆動ユニット２０の第１連結面１６と、他の駆動ユニット２０の第２連結面１７とは、第１連結面１６および第２連結面１７に直交する方向に締結される複数のボルトＢＴにより固定されている。一の駆動ユニット２０の第１連結面１６に連結される他の駆動ユニット２０と、一の駆動ユニット２０の第２連結面１７に連結される他の駆動ユニット２０とは、別個の駆動ユニット２０である。
【００２１】
図４には、１つの駆動ユニット２０およびアーム３１の分解斜視図が示されている。図４に示されるように、駆動ユニット２０は、モータ２８と、減速機２９と、モータ２８および減速機２９を固定するハウジング１０と、ハウジング１０の上面に形成されている取付部１４とを備えている。ハウジング１０は、第１軸ＯＬ１を中心軸とする真っ直ぐな筒状の本体部１１と、第１軸ＯＬ１の長手方向の途中位置から、第１軸ＯＬ１に対して６０°の角度をなして分岐している第２軸ＯＬ２を中心軸とする筒状の枝部１２とを備えている。モータ２８および減速機２９は、ハウジング１０における本体部１１に収納され、ハウジング１０の内部においてハウジング１０に固定されている。なお、本実施形態において、「筒状」とは、中心軸が直線ではなく曲がっている軸を中心とする形状も含み、断面が円のみではなく円に近い形状も含む。
【００２２】
第１連結面１６は、第１軸ＯＬ１の長手方向に沿って本体部１１における減速機２９側の端面に、第１軸ＯＬ１に直交しかつ第１軸ＯＬ１を中心とする円環状のフランジ面として形成されている。図５には、図３における矢視Ａ−Ａが示されている。図５に示されるように、第１連結面１６には、第１軸ＯＬ１に平行な軸を有する８個のネジ穴Ｈ１が、隣接するネジ穴Ｈ１との距離が略等間隔をあけて形成されている。なお、本実施形態の本体部１１は、第１軸ＯＬ１を中心とする半径Ｒ１の仮想円ＣＲ１における上側の一部を切り取った断面形状を有している。
【００２３】
図４に示されるように、第２連結面１７は、枝部１２の端面に形成されている。第２連結面１７は、第２軸ＯＬ２に直交しかつ第２軸ＯＬ２を中心として、第１連結面１６と同様のフランジ面として形成されている。第２連結面１７には、第１連結面１６におけるネジ穴Ｈ１の代わりに、ネジ穴Ｈ１に締結されるボルトＢＴが挿入される複数の挿入孔Ｈ２が形成されている。挿入孔Ｈ２は、第２連結面１７が他の駆動ユニット２０の第１連結面１６に位置合わせされた状態で、ネジ穴Ｈ１の位置に対応する位置に形成されている。
【００２４】
一の駆動ユニット２０における第１連結面１６と、他の駆動ユニット２０における第２連結面１７とを位置合わせした状態で、挿入孔Ｈ２に挿入されたボルトＢＴがネジ穴Ｈ１に締結されることにより、２つの駆動ユニット２０を相互に連結することができる。この連結された２つの駆動ユニット２０の連結されていない第１連結面１６および第２連結面１７にさらに他の駆動ユニット２０の第２連結面１７および第１連結面１６を位置合わせして連結することにより、３つの駆動ユニット２０を相互に連結することができる。
【００２５】
図４に示されるように、本体部１１には、第１連結面１６に近接する位置の側面の一部を径方向に貫通して、アーム３１を貫通させるする開口部１５が形成されている。アーム３１は、直棒状の長手部３１ｂの一端に減速機２９に接続される接続部３１ａを備えている。接続部３１ａと長手部３１ｂとは、例えば、取り外し可能に構成されている。これにより接続部３１ａを減速機２９に接続した後に、開口部１５を貫通した長手部３１ｂを接続部３１ａに接続することにより、アーム３１を減速機２９に取り付けることができる。
【００２６】
図４に示されるように、本体部１１は、第１連結面１６および開口部１５を有する基部１１ａと、本体部１１における第１連結面１６の反対側の端面に取り外し可能に形成されたエンドキャップ１１ｂと、基部１１ａの側面に取り外し可能に形成された側面カバー１１ｃとを備えている。エンドキャップ１１ｂを基部１１ａから取り外すことにより、本体部１１内のモータ２８を露出させてモータ２８の交換および保守を行うことができる。側面カバー１１ｃを基部１１ａから取り外すことで、モータ２８への配線作業等を行うことができる。
【００２７】
取付部１４は、駆動ユニット２０を天井などに取り付けるための部材である。図４に示されるように、取付部１４は、第１軸ＯＬ１および第２軸ＯＬ２を含む平面に平行な基部１１ａの側面１８に設けられている。本実施形態の取付部１４は、本体部１１の側面１８に接続して円柱部１４ａと、円柱部１４ａの先端に円柱部１４ａの断面よりも大きい断面を有する円板状の大径部１４ｂとを備えている。円柱部１４ａおよび大径部１４ｂは、側面１８に直交する基準軸ＲＡを中心として側面１８から突出している。取付部１４の形状により、鉛直上方に向けた取付部１４を、大径部１４ｂにおける断面の直径よりも小さく円柱部１４ａにおける断面の直径のよりも大きい幅寸法の溝に引っかけることによって、上方の架台あるいは天井などにロボット１００を取り付けることができる。
【００２８】
図６には、比較例としての従来のパラレルリンクロボット（ロボット）１００Ｚの一例の概略斜視図が示されている。図６において、本実施形態の受動リンク３２と、可動プレート４０と、手首軸６０と、アクチュエータ５０と、ドライブシャフト７０とに相当する部材の図示を省略している。図６に示されるように、アーム３１Ｚが接続されている駆動ユニット２０Ｚは、基礎部８０Ｚに取り付けられている。換言すると、各駆動ユニット２０Ｚは、基礎部８０Ｚを介在させて間接的に連結されており、相互に直接的には連結されていない。
【００２９】
このように第１実施形態のロボット１００は、一の駆動ユニット２０の第１連結面１６と他の駆動ユニット２０の第２連結面１７との連結によって、３つの駆動ユニット２０が相互に連結する構成を有している。そのため、ロボット１００は、従来のロボット１００Ｚと異なり、駆動ユニット２０Ｚの位置決めを行う基礎部８０Ｚを備えていなくても、３つの駆動ユニット２０は、相互に位置決めされた状態で連結される。これにより、ロボット１００を構成する部品点数を削減し、基礎部８０Ｚをなくした分だけロボット１００の全高を抑えることができる。ロボット１００の全高を抑えることによって、リンク部３０の長さを長くしてロボット１００の広い動作範囲を確保しながら、狭い空間にもロボット１００を設置することができる。
【００３０】
図７には、本発明の第２実施形態に係るロボット１００Ａの上面図が示されている。第２実施形態のロボット１００Ａは、第１実施形態のロボット１００と比較して、第１連結面１６Ａおよび第２連結面１７Ａが異なり、他の構成については、第１実施形態のロボット１００と同じである。そのため、第２実施形態の説明において、第２実施形態のロボット１００Ａにおける第１連結面１６Ａおよび第２連結面１７Ａを説明し、第１実施形態のロボット１００と同じ構成についての説明を省略する。
【００３１】
図７に示されるように、本実施形態に係るロボット１００Ａにおいては、第２連結面１７Ａを第１軸ＯＬ１に平行に配置し、第１連結面１６Ａを第１軸ＯＬ１に対して、６０°の角度をなして配置している。
【００３２】
図８には、第２実施形態の駆動ユニット２０Ａおよびアーム３１の分解斜視図が示されている。第２実施形態の本体部１１Ａは、第１実施形態の本体部１１と比較して、第１軸ＯＬ１に沿って減速機２９側にさらに延びた筒状の形状を有している。第２連結面１７Ａは、第１軸ＯＬ１を基準として、側面カバー１１ｃの反対側の位置近傍の本体部１１Ａに、略楕円状の平面のフランジ面として形成されている。
【００３３】
図９には、図７における第１軸ＯＬ１に対して６０°傾いている方向から見た矢視Ｂ−Ｂが示されている。すなわち、図９には、本実施形態における第２連結面１７Ａの正面図が示されている。図９に示されるように、第２連結面１７Ａには、第２連結面１７Ａに直交する軸に平行な軸を有する８個のネジ穴Ｈ１Ａが、略等間隔に形成されている。すなわち、ネジ穴Ｈ１Ａの中心軸は、第１軸ＯＬ１に対して６０°の角度を成している。なお、第２実施形態の第２連結面１７Ａは、仮想楕円ＣＲ１Ａの上側の一部を切り取った形状を有している。
【００３４】
上記の第１実施形態および第２実施形態において、ロボット１００，１００Ａを構成する複数の駆動ユニット２０，２０Ａの一例について説明したが、ロボット１００，１００Ａおよび駆動ユニット２０，２０Ａの構成および形状については、種々変形可能である。複数の駆動ユニット２０，２０Ａが、第１連結面１６，１６Ａおよび第２連結面１７，１７Ａにより相互に連結される態様の範囲で、ロボット１００，１００Ａの構成部品の形状等が変更されてもよい。
【００３５】
例えば、駆動ユニット２０，２０Ａの数は、３つではなく、２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。駆動ユニットの数が４つ以上の場合には、例えば、第１実施形態における本体部１１および枝部１２の形状、位置および向きが適宜設定されることで、複数の駆動ユニットが環状に直列的に連結される。一方で、駆動ユニットの数が２つの場合には、一方の駆動ユニットの第１連結面に、他方の駆動ユニットの第２連結面が連結され、一方の第２連結面に、他方の第１連結面が連結される。この場合に、例えば、第１実施形態の枝部１２が、第２軸ＯＬ２を中心とする直線的な筒状の形状ではなく、第２軸ＯＬ２が曲がっていてもよい。
【００３６】
第１連結面１６，１６Ａおよび第２連結面１７，１７Ａは、フランジ面以外の形状であってもよい。一の駆動ユニットの第１連結面と、他の駆動ユニットの第２連結面とを連結する手段として、他部品が用いられてもよいし、周知技術が適用されてもよい。また、第１連結面１６および第２連結面１７Ａに形成されたネジ穴Ｈ１，Ｈ１Ａの数や配置についても、種々変形可能である。
【００３７】
ロボット１００は、天井などにロボット１００を取り付けるための取付部１４を備えたが、取付部を備えていなくてもよい。また、取付部１４の形状については、ロボット１００が設置される環境に応じて種々変形可能である。例えば、取付部１４はネジ穴であってもよい。また、本体部１１は、基部１１ａに対してエンドキャップ１１ｂおよび側面カバー１１ｃが取り外し可能な構成ではなくてもよい。
【００３８】
また、図１０および図１１に示されるように、アーム３１が貫通する開口部１５Ｂが、本体部１１Ｂの側面ではなく、枝部１２Ｂの側面に形成されていてもよい。このロボット１００Ｂの場合、一の駆動ユニット２０Ｂの開口部１５Ｂには、一の駆動ユニット２０Ｂの第２連結面１７Ｂに連結される第１連結面１６Ｂを有する他の駆動ユニット２０Ｂにより駆動されるアーム３１が貫通する。簡単に言うと、駆動ユニット２０Ｂの開口部１５Ｂには、他の駆動ユニット２０Ｂが駆動するアーム３１が貫通するようになっている。このように、開口部１５Ｂには、必ずしも開口部１５Ｂを有する駆動ユニット２０Ｂが駆動するアーム３１が貫通されていなくてもよい。
【００３９】
上記実施形態のロボット１００の駆動ユニット２０は、モータ２８の回転速度を減速する減速機構として減速機２９を備えていたが、減速機２９以外の減速機構を備えていてもよい。例えば、図１２に示されるように、変形例の駆動ユニットは、モータ２８の回転軸に固定されたモータ側ギヤ２８Ｇと、アーム３１の駆動軸に固定されたアーム側ギヤ３１Ｇとを備える二段歯車機構の減速機構（伝達機構）２９ａを備えていてもよい。この変形例において、モータ側ギヤ２８Ｇの歯数がアーム側ギヤ３１Ｇの歯数よりも少ないため、モータ２８の回転速度は、減速されてアーム３１に伝達される。また、駆動ユニットは、減速機２９などの減速機構を備えていなくてもよい。例えば、モータ２８の回転軸がアーム３１の駆動軸に直結しており、モータ２８の回転が、アーム３１にそのまま伝達されてもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１０，１０Ａ  ハウジング
１１，１１Ａ，１１Ｂ  本体部
１２，１２Ｂ  枝部
１４  取付部
１４ａ  円柱部
１４ｂ  大径部
１５，１５Ｂ  開口部
１６，１６Ａ，１６Ｂ  第１連結面（第１連結部）
１７，１７Ａ，１７Ｂ  第２連結面（第２連結部）
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｚ  駆動ユニット
２８  モータ
２９  減速機（伝達機構、減速機構）
２９ａ  減速機構（伝達機構）
３０  リンク部（リンク）
１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｚ  パラレルリンクロボット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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