(57)【要約】【課題】被加工物を研削する場合に、研削砥石を冷却して被研削面にむしれ等の研削不良を生じさせないようにする。【解決手段】被加工物Ｗを保持する保持面３０ａを有する保持手段３と、環状に研削砥石７４０を配設した研削ホイール７４の中心を軸に研削ホイール７４を回転させ研削砥石７４０の研削面で被加工物Ｗを研削する研削手段７と、保持手段３と研削手段７とを保持面３０ａ方向に相対的に移動させる移動手段３５と、を備える研削装置１であって、移動手段３５で保持手段３を研削砥石７４０が保持面３０ａ中心を通過する研削位置に位置づけて研削を行う際に、保持手段３が保持する被加工物Ｗからはみ出した研削加工中の研削砥石７４０の研削面に対応する円弧状の冷却ノズル６０を備え、研削加工中に研削砥石７４０の研削面を冷却ノズル６で冷却することを特徴とする研削装置１である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持面を有する保持手段と、環状に研削砥石を配設した研削ホイールの中心を軸に該研削ホイールを回転させ該研削砥石の研削面で被加工物を研削する研削手段と、該保持手段と該研削手段とを該保持面方向に相対的に移動させる移動手段と、を備える研削装置であって、
該移動手段で該保持手段を該研削砥石が該保持面中心を通過する研削位置に位置づけて研削を行う際に、該保持手段が保持する被加工物からはみ出した研削加工中の該研削砥石の研削面に対応する円弧状の冷却ノズルを備え、
研削加工中に該研削面を該冷却ノズルで冷却することを特徴とする研削装置。
【請求項２】
前記冷却ノズルを前記保持手段に配設する請求項１記載の研削装置。
【請求項３】
前記冷却ノズルは、前記研削面に対向させて複数の水供給口が円弧状に配設された請求項１または請求項２記載の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を研削する研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
保持テーブルが保持したウェーハを研削砥石で研削する研削装置（例えば、特許文献１参照）では、研削中の研削砥石に加工熱を蓄熱させないようにするため、研削砥石とウェーハとの接触箇所に研削水を供給して、除熱と、研削屑の除去とを行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許５０３７２５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、研削対象が例えばモールドされた樹脂面を備えるウェーハである場合、樹脂面を研削する際の加工熱の発生が大きく、その加工熱が研削砥石に蓄熱され、被研削面である樹脂面にむしれ（ささくれ）が生じて、被研削面が粗くなってしまうという問題がある。
よって、研削装置で被加工物を研削する場合には、研削砥石を冷却して被研削面にむしれ等の研削不良を生じさせないようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するための本発明は、被加工物を保持する保持面を有する保持手段と、環状に研削砥石を配設した研削ホイールの中心を軸に該研削ホイールを回転させ該研削砥石の研削面で被加工物を研削する研削手段と、該保持手段と該研削手段とを該保持面方向に相対的に移動させる移動手段と、を備える研削装置であって、該移動手段で該保持手段を該研削砥石が該保持面中心を通過する研削位置に位置づけて研削を行う際に、該保持手段が保持する被加工物からはみ出した研削加工中の該研削砥石の研削面に対応する円弧状の冷却ノズルを備え、研削加工中に該研削面を該冷却ノズルで冷却することを特徴とする研削装置である。
【０００６】
前記冷却ノズルを前記保持手段に配設すると好ましい。
【０００７】
前記冷却ノズルは、前記研削面に対向させて複数の水供給口が円弧状に配設されていると好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る研削装置は、移動手段で保持手段を研削砥石が保持面中心を通過する研削位置に位置づけて研削を行う際に、保持手段が保持する被加工物からはみ出した研削加工中の研削砥石の研削面に対応する円弧状の冷却ノズルを備えることで、研削加工中に研削砥石と被加工物との接触箇所以外でも研削砥石の研削面を冷却ノズルで効率よく十分に冷却することが可能となるため、被加工物の被研削面に研削砥石の蓄熱を原因としたむしれ等の研削不良が生じてしまうことを防ぐことができる。
【０００９】
冷却ノズルを保持手段に配設するものとすることで、研削中に保持手段が保持する被加工物からはみ出した研削砥石の研削面の凡そ全てに冷却水を供給し冷却することができ、従来よりも冷却効率を向上させることができる。
【００１０】
冷却ノズルが、研削砥石の研削面に対向させて複数の水供給口が円弧状に配設されていることで、研削中に保持手段が保持する被加工物からはみ出した研削砥石の研削面の凡そ全てに水供給口から冷却水を供給して冷却することができ、従来よりも冷却効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】研削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】保持手段及び円弧状の冷却ノズルの一例を示す平面図である。
【図３】研削加工中の研削砥石の研削面に円弧状の冷却ノズルから冷却水を供給している状態を示す側面図である。
【図４】移動手段としてターンテーブルを備える研削装置において、研削加工中の研削砥石の研削面に円弧状の冷却ノズルから冷却水を供給している状態を示す側面図である。
【図５】移動手段が新たな被加工物を保持する保持手段を公転させて研削手段の下方に位置づけている状態を示す側面図である。
【図６】移動手段が新たな被加工物を保持する保持手段を研削手段の下方の所定の位置に位置づけ、さらに、冷却ノズルが下降して所定の高さ位置に位置づけられた状態を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す研削装置１は、保持手段３上に保持された被加工物Ｗを研削手段７によって研削する装置である。研削装置１のベース１０上の前方（−Ｙ方向側）は、保持手段３に対して被加工物Ｗの着脱が行われる領域であり、ベース１０上の後方（＋Ｙ方向側）は、研削手段７によって保持手段３上に保持された被加工物Ｗの研削が行われる領域である。
【００１３】
保持手段３は、円形板状のポーラス部材等からなり被加工物Ｗを吸着する吸着部３０と、吸着部３０を支持する枠体３１と、枠体３１を側方から囲むカバー３９とを備える。吸着部３０は、真空発生装置等の図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部３０の露出面である保持面３０ａに伝達されることで、保持手段３は保持面３０ａ上で被加工物Ｗを吸引保持できる。また、保持手段３は、Ｚ軸方向の軸心周りに回転可能となっている。
【００１４】
保持面３０ａは、保持手段３の回転中心を頂点とする極めて緩やか傾斜を備える円錐面に形成されている。
また、保持手段３の下方には、カップリング等を介して傾き調節機構３７が配設されている。傾き調節機構３７は、保持手段３の保持面３０ａの水平面に対する傾き（研削手段７の研削砥石７４０の研削面に対する傾き）を調節することができる。
【００１５】
保持手段３及びカバー３９に連結された蛇腹カバー３９ａの下方（ベース１０内部）には、保持手段３を保持面方向（Ｙ軸方向）に移動させる移動手段３５が配設されている。移動手段３５は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ３５０と、ボールネジ３５０と平行に配設された一対のガイドレール３５１と、ボールネジ３５０に連結しボールネジ３５０を回動させるモータ３５２と、内部に備えるナットがボールネジ３５０に螺合しガイドレール３５１上を摺動する図示しない可動板とを備えており、モータ３５２がボールネジ３５０を回動させると、これに伴い図示しない可動板がガイドレール３５１にガイドされてＹ軸方向に往復移動し、可動板上に固定された保持手段３がＹ軸方向に移動する。蛇腹カバー３９ａは保持手段３の移動に伴ってＹ軸方向に伸縮する。
【００１６】
研削領域には、コラム１１が立設されており、コラム１１の前面には研削手段７を保持手段３に対して離間又は接近するＺ軸方向（鉛直方向）に研削送りする研削送り手段５が配設されている。研削送り手段５は、鉛直方向の軸心を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０の上端に連結しボールネジ５０を回動させるモータ５２と、内部のナットがボールネジ５０に螺合し側部がガイドレール５１に摺接する昇降板５３とを備えており、モータ５２がボールネジ５０を回動させると、これに伴い昇降板５３がガイドレール５１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、昇降板５３に固定された研削手段７がＺ軸方向に研削送りされる。
【００１７】
保持手段３に保持された被加工物Ｗを研削加工する研削手段７は、軸方向がＺ軸方向である回転軸７０と、回転軸７０を回転可能に支持するハウジング７１と、回転軸７０を回転駆動するモータ７２と、回転軸７０の下端に接続された円環状のマウント７３と、マウント７３の下面に着脱可能に装着された研削ホイール７４と、ハウジング７１を支持し研削送り手段５の昇降板５３にその側面が固定されたホルダ７５とを備える。
【００１８】
研削ホイール７４は、ホイール基台７４１と、ホイール基台７４１の底面に環状に配置された略直方体形状の複数の研削砥石７４０とを備える。研削砥石７４０は、例えば、レジンボンドやメタルボンド等でダイヤモンド砥粒等が固着されて成形されている。
回転軸７０の軸心線上には研削ホイール７４の回転中心（研削砥石７４０の回転中心）が位置しており、回転軸７０が回転することで、研削ホイール７４は研削ホイール７４の中心を軸にしてＺ軸方向の軸心周りに回転する。
【００１９】
回転軸７０の内部には、図示しない研削水供給源に連通し研削水の通り道となる流路７０ａが、回転軸７０の軸方向（Ｚ軸方向）に貫通して設けられており、流路７０ａは、さらにマウント７３を通り、ホイール基台７４１の底面において研削砥石７４０に向かって研削水を噴出できるように開口している。
【００２０】
以下に、図１に示す研削装置１により保持手段３に保持された被加工物Ｗを研削する場合の、研削装置１の動作について説明する。図１に示す被加工物Ｗは、例えば、外形が円形板状の半導体ウェーハであり、被加工物Ｗの上面Ｗｂが、研削加工が施される被研削面となる。該上面Ｗｂは例えばＰＣＢ等の樹脂でモールドされているが、樹脂でモールドされていないシリコン面等であってもよい。
【００２１】
まず、研削装置１の着脱領域内において、被加工物Ｗが保持手段３の保持面３０ａ上に載置され、図示しない吸引源が作動して生み出された吸引力が保持面３０ａに伝達されることにより、保持手段３が保持面３０ａ上で被加工物Ｗの下面Ｗａを吸引保持する。被加工物Ｗの中心と保持面３０ａの中心とは略合致した状態になる。
【００２２】
移動手段３５が、被加工物Ｗを保持した保持手段３を研削手段７の下まで移動して、研削砥石７４０と被加工物Ｗとの位置合わせがなされる。位置合わせは、例えば、図２に示すように、研削砥石７４０の回転中心が保持面３０ａの回転中心（被加工物Ｗの回転中心）に対して所定の距離だけ−Ｙ方向にずれ、研削砥石７４０の回転軌道７４０ａが保持面３０ａの回転中心を通るように行われる。また、緩やかな円錐面である保持面３０ａが研削砥石７４０の研削面（下面）に対して平行になるように、傾き調節機構３７によって保持手段３の傾きが調整されることで、円錐面である保持面３０ａにならって吸引保持されている被加工物Ｗの上面Ｗｂが、研削砥石７４０の研削面に対して平行になる（図３参照）。
【００２３】
図２、３に示すように、研削砥石７４０と被加工物Ｗとの位置合わせが行われた後、図１に示すモータ７２により回転軸７０が回転駆動されるのに伴って、例えば、研削砥石７４０が＋Ｚ方向側からみて反時計周り方向に回転する。また、図３に示す研削送り手段５が研削手段７を−Ｚ方向へと降下させていき、研削砥石７４０が被加工物Ｗの上面Ｗｂに当接することで研削加工が行われる。研削加工中は、保持手段３が＋Ｚ方向側からみて反時計周り方向に回転するのに伴って被加工物Ｗも回転するので、研削砥石７４０が被加工物Ｗの上面Ｗｂの全面の研削加工を行う。例えば、研削加工中は、研削水を回転軸７０中の流路７０ａ（図１参照）を通して研削砥石７４０と被加工物Ｗとの接触部位に対して供給して、接触部位を冷却・洗浄する。
なお、被加工物Ｗは保持手段３の緩やかな円錐面である保持面３０ａにならって吸引保持されているため、図２に示す研削砥石７４０の回転軌道７４０ａ中の矢印Ｒで示す範囲内において、研削砥石７４０は回転する被加工物Ｗの上面Ｗｂに当接し研削を行う。
【００２４】
研削装置１は、研削加工中の研削砥石７４０の研削面を冷却する円弧状の冷却ノズル６０を備えている。上記のように、移動手段３５で保持手段３を研削砥石７４０が保持手段３の保持面３０ａ中心を通過する研削位置に位置づけて研削を行う際に、冷却ノズル６０は、保持手段３が保持する被加工物Ｗから＋Ｙ方向側にはみ出した研削加工中の研削砥石７４０の研削面を冷却する。
【００２５】
図１〜３に示すように、本実施形態においては、冷却ノズル６０は、例えば、研削砥石７４０のはみ出した部分に対応する半円弧状の外形を有する基部６００と、基部６００の上面に開口する複数の水供給口６０１と、を備えており、保持手段３のカバー３９上に後述するノズル昇降手段６３（図１には不図示）を介して配設されている。基部６００の曲率は、研削砥石７４０の回転軌道７４０ａの径に合わせて設定されている。
【００２６】
各水供給口６０１は、図２に示すように、例えば丸穴状に形成され、基部６００の上面に周方向に等間隔を空けて複数円弧状に配設されていると好ましいが、これに限定されるものではない。例えば、各水供給口は、細幅のスリット状に形成されており、基部６００の上面に周方向に等間隔を空けて複数円弧状に配設されていてもよい。または、基部６００の上面に一本連続的に円弧状に延びる細幅のスリットに水供給口は形成されていてもよい。
【００２７】
図３に示すように、各水供給口６０１は、例えば、基部６００の内部に形成された流路６００ｂに各下端が合流している。基部６００の内部に延びる流路６００ｂは、例えば、その一端が基部６００の外側面に開口しており、冷却ノズル６０に冷却水を供給する冷却水源６９に連通している。
【００２８】
図２、３に示すノズル昇降手段６３は、例えば、カバー３９の上面に立設されその側面に図示しないガイドレールを備えるガイド柱６３０と、ガイド柱６３０と平行にＺ軸方向に延在するボールネジ６３１と、ボールネジ６３１に連結されボールネジ６３１を回動させるモータ６３４と、内部のナットがボールネジ６３１に螺合し側部がガイド柱６３０のガイドレールに摺接する昇降部材６３２と、昇降部材６３２から両側方に延在し冷却ノズル６０の基部６００の内周面に一端が固定された支持ブリッジ６３３とを備えており、モータ６３４がボールネジ６３１を回動させると、これに伴い昇降部材６３２がガイド柱６３０のガイドレールにガイドされてＺ軸方向に移動し、昇降部材６３２に支持ブリッジ６３３を介して支持される冷却ノズル６０を所定の高さ位置に位置づけることができる。
ノズル昇降手段６３は、電動シリンダー又はエアシリンダー等であってもよい。
【００２９】
なお、研削装置１はノズル昇降手段６３を備えていなくてもよく、冷却ノズル６０は、作業者によって手動で上下動可能となっていてもよい。この場合には、例えば、冷却ノズル６０は、保持手段３の枠体３１の側面にその両端が摺動可能に取り付けられていてもよい。即ち、例えば、枠体３１の側面にガイドレールが形成されており、冷却ノズル６０の両端はガイドレール上を摺動でき、作業者が所定の高さ位置に冷却ノズルを手作業で位置づけてから、固定ボルト、クランプ、ピン等で該高さ位置で冷却ノズル６０が固定される。
【００３０】
図３に示すように、研削加工中において、冷却ノズル６０は、保持手段３が保持する被加工物Ｗから＋Ｙ方向側にはみ出した研削加工中の研削砥石７４０の研削面に対向しており、さらに、ノズル昇降手段６３が冷却ノズル６０をＺ軸方向に移動させて、各水供給口６０１と研削砥石７４０との間に隙間（例えば、幅２ｍｍの隙間）を設けた状態で、冷却ノズル６０が所定の高さ位置に位置づけられる。冷却ノズル６０の高さ位置は、例えば、被加工物Ｗを所望の厚さまで研削した際に下降する研削砥石７４０が水供給口６０１に接触してしまうことが無く、かつ、水供給口６０１と回転する研削砥石７４０の研削面との間の隙間に後述する負圧が生じる高さ位置とすると好ましい。
【００３１】
冷却水源６９が、冷却水を例えば１．０Ｌ／分の供給量で冷却ノズル６０に供給する。該冷却水は、基部６００の内部に延びる流路６００ｂを通り各水供給口６０１から流れ出る。ここで、冷却ノズル６０の上方では、研削砥石７４０が高速で回転しているため、水供給口６０１と研削砥石７４０との間の隙間の空気は放射方向に高速で流れて行き該隙間から放出される。その結果、水供給口６０１から流出した冷却水を研削砥石７４０の研削面に引きつける負圧が該隙間に生成され、この負圧によって冷却水が研削砥石７４０の研削面に引き寄せられて接触し研削面が冷却される。研削砥石７４０の研削面に付着し冷却を行った冷却水は、回転する研削砥石７４０から受ける遠心力によって径方向外側に排出され、その後、ベース１０上に形成される図示しない排水口等に流れ込む。
なお、冷却水の供給量は、冷却水が上記のように負圧で研削砥石７４０の研削面に引き寄せられて接触するような供給量とすると少ない冷却水量で効率的に研削面を冷却する事ができる。
このように、冷却ノズル６０による研削砥石７４０の冷却を行いつつ、被加工物Ｗの上面Ｗｂを所定量研削した後、研削送り手段５が研削手段７を上方に移動させて、研削砥石７４０を被加工物Ｗの上面Ｗｂから離間させる。
【００３２】
本発明に係る研削装置１は、移動手段３５で保持手段３を研削砥石７４０が保持手段３の保持面３０ａ中心を通過する研削位置に位置づけて研削を行う際に、保持手段３が保持する被加工物Ｗからはみ出した研削加工中の研削砥石７４０の研削面に対応する円弧状の冷却ノズル６０を備えることで、研削加工中に研削砥石７４０と被加工物Ｗとの接触箇所以外でも研削砥石７４０の研削面を冷却ノズル６０で効率よく十分に冷却することが可能となる。即ち、従来よりも、研削砥石７４０の研削面に対してより広範囲で冷却水を接触させることができ、また、冷却水が研削砥石７４０の研削面に接触している時間も長くなるので、冷却効果をより高めることができる。さらに、例えば、高圧の冷却水が水供給口６１０から噴射され研削砥石７４０の研削面に勢い良く接触することで、研削屑等のコンタミが研削面に埋め込まれることもあるが、上記のような冷却水の供給量の制御がされ、研削砥石７４０の回転により生じる負圧で研削砥石７４０の研削面に冷却水が引き寄せられて接触する場合には、研削屑等のコンタミが研削面に埋め込まれないことにより目詰まりが防がれる。よって、被加工物Ｗの被研削面に研削砥石７４０の蓄熱を原因とするむしれ等の研削不良が生じてしまうことを防ぐことができる。
【００３３】
また、冷却ノズル６０を保持手段３に配設するものとすることで、研削中に保持手段３が保持する被加工物Ｗからはみ出した研削砥石７４０の研削面の凡そ全てに冷却水を供給し冷却することができ、従来よりも冷却効率を向上させることができる。
【００３４】
冷却ノズル６０が、研削砥石７４０の研削面に対向させて複数の水供給口６０１が円弧状に基部６００に配設されていることで、研削中に保持手段３が保持する被加工物Ｗからはみ出した研削砥石７４０の研削面の凡そ全てに水供給口６０１から冷却水を供給して冷却することができ、従来よりも冷却効率を向上させることができる。
【００３５】
本発明に係る研削装置は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
例えば、本発明に係る研削装置は、上記実施形態のように保持手段３がＹ軸方向に直動して研削手段７の直下に位置づけられる研削装置１ではなく、図４〜図６に示すような、ベース１０上に設置された移動手段１８（ターンテーブル１８）が回転することで、研削手段７の直下に保持手段３が位置づけられる構成の研削装置１Ａであってもよい。
【００３６】
移動手段１８の上面には、複数（例えば３つ）の保持手段３が周方向に等間隔を空けて配設されている。移動手段１８は、Ｚ軸方向の軸心周りに回転可能となっており、移動手段１８が回転することで、各保持手段３をＸ軸Ｙ軸平面上で公転させ、各保持手段３を研削手段７の直下に順次移動させることができる。
【００３７】
研削装置１Ａにおいて、冷却ノズル６０は図４に示すノズル昇降手段６３Ａによって上下動可能となっている。ノズル昇降手段６３Ａは、ベース１０上に立設されその側面にガイドレール６３０ａを備えるガイド柱６３０と、ガイド柱６３０と平行にＺ軸方向に延在するボールネジ６３１と、ボールネジ６３１に連結されボールネジ６３１を回動させるモータ６３４と、ナット６３２ａがボールネジ６３１に螺合し側部がガイドレール６３０ａに摺接する昇降部材６３２と、昇降部材６３２と一体的に形成され冷却ノズル６０に連結されたアーム６３５とを備えており、モータ６３４がボールネジ６３１を回動させると、これに伴い昇降部材６３２がガイドレール６３０ａにガイドされてＺ軸方向に移動し、アーム６３５で支持される冷却ノズル６０を所定の高さ位置に位置づけることができる。
【００３８】
図４に示す研削装置１Ａにより保持手段３に保持された被加工物Ｗを研削する場合には、移動手段１８が例えば＋Ｚ方向から見て反時計回り方向に自転することで、被加工物Ｗを吸引保持した状態の保持手段３が公転し、研削手段７の研削砥石７４０が被加工物Ｗの回転中心を通るように保持手段３が位置づけられる。また、傾き調節機構３７によって保持手段３の傾きが調整されることで、円錐面である保持面３０ａにならって吸引保持されている被加工物Ｗの上面Ｗｂが、研削砥石７４０の研削面に対して平行になる。
【００３９】
上記移動手段１８による保持手段３の位置づけに際しては、例えば、冷却ノズル６０がノズル昇降手段６３Ａによって予め保持手段３よりも上側に位置づけられており、保持手段３が冷却ノズル６０に衝突しないようになっている。そして、保持手段３が研削手段７の下方の位置に位置づけられると、ノズル昇降手段６３Ａが冷却ノズル６０を下降させて、各水供給口６０１と研削砥石７４０との間に隙間（例えば、幅２ｍｍの隙間）を設けるように、冷却ノズル６０が所定の高さ位置に位置づけられる。
【００４０】
研削送り手段５が研削手段７を下降させ、研削砥石７４０が＋Ｚ方向側からみて反時計周り方向に回転しつつ被加工物Ｗの上面Ｗｂに当接することで研削加工が行われる。研削加工中は、保持手段３が＋Ｚ方向側からみて反時計周り方向に移動手段１８上で回転するのに伴って被加工物Ｗも回転するので、研削砥石７４０が被加工物Ｗの上面Ｗｂの全面の研削加工を行う。さらに、冷却水源６９が、冷却水を例えば１．０Ｌ／分の供給量で冷却ノズル６０に供給し、水供給口６０１から流出した冷却水が研削砥石７４０の研削面に負圧によって引き寄せられて接触し研削面が冷却される。
【００４１】
冷却ノズル６０による研削砥石７４０の冷却を行いつつ、被加工物Ｗの上面Ｗｂを所定量研削した後、研削送り手段５が回転する研削手段７を上方に移動させて、研削砥石７４０を被加工物Ｗの上面Ｗｂから離間させる。これと同時に、冷却ノズル６０がノズル昇降手段６３Ａによって上昇して保持手段３よりも上側に位置づけられる。
【００４２】
移動手段１８が例えば＋Ｚ方向から見て反時計回り方向に自転することで、研削加工前の新たな被加工物Ｗを吸引保持した状態の別の保持手段３が公転し、研削手段７の研削砥石７４０が被加工物Ｗの回転中心を通るように保持手段３が位置づけられる。冷却ノズル６０は保持手段３よりも上方に位置づけられているため、保持手段３に冷却ノズル６０が衝突してしまうことはない。
なお、新たな被加工物Ｗを保持する保持手段３が移動手段１８により研削手段７の下方に位置づけされている最中に、回転している状態の研削手段７及び冷却ノズル６０が上昇した高さ位置で、冷却水源６９から冷却ノズル６０に冷却水を供給させ、水供給口６０１から流出した冷却水が研削砥石７４０の研削面に負圧によって引き寄せられて接触し研削面が冷却されていてもよい。
【００４３】
移動手段１８の回転が停止して、新たな被加工物Ｗを保持する保持手段３が所定位置に位置づけられて研削手段７による研削が可能な状態になる。そして、例えば、研削送り手段５が研削手段７を下降させる前に、ノズル昇降手段６３Ａが冷却ノズル６０を下降させて、各水供給口６０１と研削砥石７４０との間に隙間（例えば、幅２ｍｍの隙間）を設けるように、冷却ノズル６０が所定の高さ位置に位置づけられる。その後、先ほどと同様に新たな被加工物Ｗが研削されていく。
【符号の説明】
【００４４】
１：研削装置  １０：ベース  １１：コラム
３：保持手段  ３０：吸着部  ３０ａ：保持面  ３１：枠体  ３７：傾き調節機構  ３９：カバー  ３５：移動手段  
５：研削送り手段  ５０：ボールネジ  ５１：ガイドレール  ５２：モータ  ５３：昇降板  
７：研削手段  ７０：回転軸  ７０ａ：流路  ７１：ハウジング  ７２：モータ  ７３：マウント  ７４：研削ホイール  ７４０：研削砥石  ７４１：ホイール基台  ７５：ホルダ
６０：冷却ノズル  ６００：基部  ６０１：水供給口  ６９：冷却水源
６３：ノズル昇降手段  
Ｗ：ウェーハ
１Ａ：研削装置  ６３Ａ：ノズル昇降手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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