(57)【要約】【課題】製造コストが低く、変換効率の高い太陽電池素子を提供する。【解決手段】太陽電池素子は半導体基板とトンネルオキサイド層と半導体層と第１電極とパッシベーション層と第２電極とを備える。半導体基板は、ｐ型の多結晶シリコン基板である。トンネルオキサイド層は半導体基板の第１主面の上に位置する。半導体層はｎ型の多結晶シリコン層であって、トンネルオキサイド層の上に位置する。第１電極は半導体層の上に位置する。パッシベーション層は半導体基板の第２主面の上に位置する。第２電極はパッシベーション層を通って前記第２主面に接続する。【選択図】図２
2019204870.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池素子であって、
ｐ型の多結晶シリコン基板である半導体基板と、
前記半導体基板の第１主面の上に位置するトンネルオキサイド層と、
前記トンネルオキサイド層の上に位置し、ｎ型の多結晶シリコン層である半導体層と、
前記半導体層の上に位置する第１電極と、
前記半導体基板の第２主面の上に位置するパッシベーション層と、
前記パッシベーション層を通って前記第２主面に接続する第２電極と
を備える、太陽電池素子。
【請求項２】
請求項１に記載の太陽電池素子であって、
前記トンネルオキサイド層は、酸化シリコンを含む、太陽電池素子。
【請求項３】
ｐ型の多結晶シリコンの半導体基板の第１主面の上にトンネルオキサイド層を形成し、
前記トンネルオキサイド層の上、および、前記半導体基板の側面に、ｎ型の多結晶シリコンの半導体層を形成し、
エッチングにより、前記半導体基板の側面に形成される前記半導体層を除去し、
前記半導体基板の第２主面の上に、パッシベーション層を形成し、
前記半導体層の上に第１電極を、前記パッシベーション層の上に第２電極を、それぞれ形成する、太陽電池素子の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の太陽電池素子の製造方法であって、
前記トンネルオキサイド層および前記半導体層が形成された前記半導体基板を、貯留槽に貯留されたエッチング液を含浸した複数のローラの上で搬送することにより、前記エッチングを行う、太陽電池素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、太陽電池素子および太陽電池素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン基板を用いた太陽電池素子が知られている（例えば、特許文献１，２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−１４３２７９号公報
【特許文献２】特表２０１７−５２６１６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
製造コストが低く、変換効率が高い太陽電池素子が望まれている。
【０００５】
そこで本開示は、製造コストが低く、変換効率が高い太陽電池素子およびその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
太陽電池素子および太陽電池素子の製造方法が開示される。一実施の形態において、太陽電池素子は半導体基板とトンネルオキサイド層と半導体層と第１電極とパッシベーション層と第２電極とを備える。半導体基板は、ｐ型の多結晶シリコン基板である。トンネルオキサイド層は半導体基板の第１主面の上に位置する。半導体層はｎ型の多結晶シリコン層であって、トンネルオキサイド層の上に位置する。第１電極は半導体層の上に位置する。パッシベーション層は半導体基板の第２主面の上に位置する。第２電極はパッシベーション層を通って前記第２主面に接続する。
【０００７】
一実施の形態において、太陽電池素子の製造方法は、ｐ型の多結晶シリコンの半導体基板の第１主面の上にトンネルオキサイド層を形成し、トンネルオキサイド層の上、および、半導体基板の側面に、ｎ型の多結晶シリコンの半導体層を形成し、エッチングにより、半導体基板の側面に形成される半導体層を除去し、半導体基板の第２主面の上に、パッシベーション層を形成し、半導体層の上に第１電極を、パッシベーション層の上に第２電極を、それぞれ形成する。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の太陽電池素子によれば、製造コストが低く、変換効率が高い。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】太陽電池モジュールの構成の一例を概略的に示す断面図である。
【図２】太陽電池素子の構成の一例を概略的に示す断面図である。
【図３】太陽電池素子の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図４】太陽電池素子の製造途中の様子の一例を概略的に示す断面図である。
【図５】太陽電池素子の製造途中の様子の一例を概略的に示す断面図である。
【図６】太陽電池素子の製造途中の様子の一例を概略的に示す断面図である。
【図７】太陽電池素子の製造途中の様子の一例を概略的に示す断面図である。
【図８】太陽電池素子の一例を概略的に示す断面図である。
【図９】エッチング装置の構成の一例を概略的に示す図である。
【図１０】比較例にかかる太陽電池素子の構成の一例を概略的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
実施の形態．
以下、実施形態の各例ならびに各種変形例を図面に基づいて説明する。なお、図面においては同様な構成および機能を有する部分については同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。また、図面は模式的に示されたものであり、各図における各種構造のサイズおよび位置関係などは適宜変更され得る。また、各図において、各構成の位置関係を示すべく、適宜にＸＹＺ座標が付記されている。以下では、Ｚ軸方向の一方側を＋Ｚ側とも呼び、Ｚ軸方向の他方側を−Ｚ側とも呼ぶ。Ｘ軸およびＹ軸についても同様である。
【００１１】
＜太陽電池モジュール＞
図１は、太陽電池モジュール１００の構成の一例を概略的に示す断面図である。太陽電池モジュール１００は一対の基材１１０，１２０と複数の太陽電池素子１０と充填材１３０と配線材１４０とを備えている。
【００１２】
基材１１０，１２０は、例えば板状の形状を有しており、その厚み方向がＺ軸方向に沿う姿勢で配置されている。基材１１０，１２０は、Ｚ軸方向において間隔を空けて互いに対向している。基材１１０，１２０の間の間隔（基材１１０の−Ｚ側の主面１１０ａと基材１２０の＋Ｚ側の主面１２０ａとの間の距離）は、例えば１．２［ｍｍ］程度以下に設定され得る。基材１１０，１２０は、平面視において（つまりＺ軸方向に沿って見て）、例えば長方形形状を有しており、その一辺がＸ軸方向に沿う姿勢で配置される。
【００１３】
基材１１０は、基材１２０に対して＋Ｚ側に位置している。ここでは、光源（例えば太陽）は、太陽電池モジュール１００に対して＋Ｚ側に位置するものとする。言い換えれば、太陽電池モジュール１００は、基材１１０が光源側に位置するように設置される。この場合、基材１１０は、高い透光性を有する基板である。ここでいう高い透光性とは、太陽電池素子１０の光電変換の対象となる光（例えば太陽光）に対する透過率が高いことをいう。その透過率は、例えば６０％以上である。基材１１０は、例えばガラス、あるいは、アクリルまたはポリカーボネートなどの樹脂などによって形成され得る。基材１１０の厚みは、例えば３．２［ｍｍ］程度以下に設定され得る。
【００１４】
基材１２０は、高い透光性を有していてもよく、あるいは、高い透光性を有していなくてもよい。基材１２０が高い透光性を有している場合には、基材１２０は基材１１０と同様に、例えばガラス、あるいは、アクリルまたはポリカーボネートなどの樹脂などによって形成され得る。基材１２０の厚みも、例えば３．２［ｍｍ］程度以下である。
【００１５】
基材１２０が高い透光性を有していない場合、基材１２０は、ポリビニルフルオライド（ＰＶＦ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）およびポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）のうちの１種の樹脂、あるいはこれらの樹脂の少なくとも１種の樹脂等によって形成され得る。基材１２０の厚みは、例えば０．３［ｍｍ］から０．５［ｍｍ］程度である。
【００１６】
基材１１０，１２０は、その高い剛性、および／または、その低い透湿度等により、これらの間に位置する後述の構成（太陽電池素子１０等）を保護することができる。
【００１７】
＜太陽電池素子＞
複数の太陽電池素子１０は、一対の基材１１０，１２０の間に配置されている。複数の太陽電池素子１０は、例えば略板状の形状を有しており、その厚み方向がＺ軸方向に沿う姿勢で配置される。複数の太陽電池素子１０は、平面視において間隔を空けて互いに隣り合って配置されている。つまり、複数の太陽電池素子１０は、ＸＹ平面において２次元的に配置されている。より具体的な一例として、複数の太陽電池素子１０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向をそれぞれ行方向および列方向としたマトリックス状に配置される。
【００１８】
複数の太陽電池素子１０には、＋Ｚ側から基材１１０を透過した光が入射する。太陽電池素子１０は自身に入射した光を電力に変換する。つまり、太陽電池素子１０は入射した光を電力に変換する光起電力効果に基づいて発電する。太陽電池素子１０の内部構成については後に詳述する。
【００１９】
＜配線材＞
図１を参照して、複数の太陽電池素子１０は、配線材１４０を介して相互に電気的に接続されている。配線材１４０は、例えば金属によって形成され得る。図１の例では、Ｘ軸方向において互いに隣り合う一対の太陽電池素子１０として太陽電池素子１０Ａ，１０Ｂが示されており、太陽電池素子１０Ａ，１０Ｂを接続する配線材１４０として、配線材１４０Ａが示されている。太陽電池素子１０Ａは太陽電池素子１０Ｂに対して−Ｘ側に位置している。
【００２０】
配線材１４０Ａのうち−Ｘ側の部分は、太陽電池素子１０Ａの＋Ｚ側の第１面１０ａに接続されている。例えば配線材１４０Ａは半田または導電性樹脂等により、太陽電池素子１０Ａに接続される。この配線材１４０Ａは太陽電池素子１０Ａの第１面１００ａから太陽電池素子１０Ａ，１０Ｂの間を延在して、太陽電池素子１０Ｂの−Ｚ側の第２面１０ｂへと延在する。配線材１４０Ａの＋Ｘ側の部分は太陽電池素子１０Ｂの第２面１０ｂに接続される。例えば、配線材１４０Ａは半田または導電性樹脂等により、太陽電池素子１０Ｂに接続される。これにより、配線材１４０Ａは太陽電池素子１０Ａ，１０Ｂを直列に接続することができる。他の配線材１４０も同様に、互いに隣り合う太陽電池素子１０を接続する。これにより、Ｘ軸方向に沿って並ぶ複数の太陽電池素子１０が相互に直列に接続される。
【００２１】
なお複数の太陽電池素子１０の全てが直列に接続されている必要はない。例えば、いくつかの太陽電池素子１０が相互に直列接続され、その直列接続体の複数が互いに並列に接続されていてもよい。
【００２２】
太陽電池モジュール１００には、複数の太陽電池素子１０が発電した電力を外部に出力するための一対の配線材（不図示）が設けられる。この一対の配線材は、例えば直列接続体の両端に位置する太陽電池素子１０にそれぞれ接続され、例えば基材１２０を貫通して外部へと延在する。
【００２３】
＜充填材＞
一対の基材１１０，１２０の間には、充填材１３０が充填されている。この充填材１３０は、基材１１０，１２０の互いに向かい合う主面１１０ａ，１２０ａと、太陽電池素子１０と、配線材１４０とに密着している。充填材１３０は透光性を有する絶縁樹脂であり、このような充填材１３０は有機材料で形成され得る。より具体的な一例として、充填材１３０の素材には、例えば、高い透光性を有するエチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）またはポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）などのポリエステル樹脂などが適用される。充填材１３０は例えば２種類以上の素材によって構成されていてもよい。
【００２４】
充填材１３０は、例えばラミネート処理を行うことで形成され得る。具体的には、溶融することで充填材１３０となるシートを、太陽電池素子１０および配線材１４０とともに、基材１１０，１２０の間に載置し、その構造体に対してラミネート処理を行うことで、充填材１３０が形成される。充填材１３０は基材１１０，１２０、太陽電池素子１０および配線材１４０の位置関係を固定することができるとともに、外部から太陽電池モジュール１００の内部へ進入する水分等の量を低減することができる。
【００２５】
＜太陽電池素子の詳細＞
図２は、太陽電池素子１０の構成の一例を概略的に示す断面図である。この太陽電池素子１０はｐ型の半導体基板１を備えている。この半導体基板１は多結晶シリコン基板であり、ｐ型用のドーパント（例えばホウ素またはアルミニウムなどの３価元素）を含んでいる。ｐ型の多結晶シリコン基板はｎ型に比して安価であり、また、単結晶シリコンに比して異物が混入しても問題を生じにくい。よって、このようなｐ型の多結晶シリコン基板を採用することで、容易に太陽電池素子１０を製造できる。つまり、太陽電池素子１０の製造コストを低減することができる。
【００２６】
半導体基板１の厚みは、例えば１００〜２５０［μｍ］程度に設定され得る。半導体基板１の平面視における形状は、特に限定されるものではないものの、例えば１辺の長さが１５０〜１８０ｍｍ程度の長方形形状（正方形状を含む）である。
【００２７】
図２に例示するように、半導体基板１の＋Ｚ側（表面側）の主面（第１主面）には、微細な凹凸構造（テクスチャ）が形成されてもよい。テクスチャの凸部は図示のようにピラミッド形状であってもよいし、あるいは、例えばテクスチャの凹部が球面形状に沿う形状であってもよい。このテクスチャの凸部の高さは、例えば０．１〜１０［μｍ］程度に設定され得る。また隣接する凸部同士の間隔は、例えば０．１〜２０［μｍ］程度に設定され得る。半導体基板１の＋Ｚ側の主面よりも上方に位置する各層（後述）も、その下地の凹凸構造を反映した形状を有する。つまり各層の＋Ｚ側の主面も凹凸構造を有する。このような凹凸構造によって、太陽電池素子１０の＋Ｚ側の主面における光の反射率を低減することができ、光をより効率よく太陽電池素子１０の内部に取り込むことができる。
【００２８】
太陽電池素子１０は半導体基板１に対して＋Ｚ側（受光側）の主面（第１主面）において、トンネルオキサイド層２とｎ型の半導体層３と透明電極４とキャップ層５と電力取り出し用の電極６とを備えている。トンネルオキサイド層２は、半導体基板１の＋Ｚ側の主面の上に位置しており、例えばその全面に形成される。トンネルオキサイド層２は例えば酸化シリコン層（シリコン酸化膜ともいう）である。トンネルオキサイド層２はトンネル現象が生じる程度に薄く形成され、例えばその厚みは０．５〜４［ｎｍ］程度に設定され得る。トンネルオキサイド層２の成膜方法は特に限定されないが、例えば熱酸化法を採用することができる。
【００２９】
ｎ型の半導体層３はトンネルオキサイド層２の＋Ｚ側の主面の上に位置しており、例えばその全面に形成される。半導体層３は多結晶シリコン層であり、ｎ型用のドーパント（例えばリンまたはヒ素などの５価元素）を高濃度に含む。例えば半導体層３のドーパントの濃度は半導体基板１のドーパントの濃度よりも高く設定され得る。半導体層３の厚みは例えば５〜３０［ｎｍ］程度に設定され得る。半導体層３の成膜方法は特に限定されないが、例えばプラズマ化学気相成長（Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition：ＰＥＣＶＤ）法を採用することができる。より具体的な一例として、ＰＥＣＶＤ法によってトンネルオキサイド層２の上に非晶質シリコン層を成膜し、その後、数百℃でアニール処理を行うことで非晶質シリコンを多結晶シリコンに変質させる。
【００３０】
透明電極４は半導体層３の＋Ｚ側の主面の上に位置しており、例えばその全面に形成される。透明電極４は、太陽電池素子１０の光電変換の対象となる光についての透光性を有する電極であり、例えばスズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）、フッ素ドープ酸化スズ（ＦＴＯ）または酸化亜鉛（ＺｎＯ）などによって形成される。透明電極４の厚みは、例えば数十［ｎｍ］〜数百［ｎｍ］程度に設定され得る。透明電極４の成膜方法は特に限定されないが、例えばスパッタリング法を採用できる。
【００３１】
キャップ層５は透明電極４の＋Ｚ側の主面の上に位置しており、後述の電極６と透明電極４との接続箇所を除いて全面に形成されている。キャップ層５は例えば透明電極４を保護する層であり、例えば窒化シリコン層（シリコン窒化膜ともいう）である。キャップ層５の厚みは、例えば数［ｎｍ］〜２０［ｎｍ］程度に設定され得る。キャップ層５の成膜方法は特に限定されないが、例えばプラズマＣＶＤ法またはスパッタリング法を採用できる。
【００３２】
電極６は透明電極４の＋Ｚ側の主面の上に位置しており、キャップ層５とＸＹ平面において隣接する。つまり、キャップ層５には自身をＺ軸方向に沿って貫通する貫通孔が形成されており、電極６はその貫通孔の内部において透明電極４と接触する。このような貫通孔は、例えば、レーザービーム照射またはフォトリソグラフィ法を用いたエッチングなどの方法で形成できる。特に、ＹＡＧ（イットリウム、アルミニウム、ガーネット）レーザーなどを用いたレーザービーム照射方法は簡便でよい。あるいは、電極６の形成時にキャップ層５がファイヤスルーされることで、当該貫通孔が形成されてもよい。そして、透明電極４と電極６とで、半導体層３の第１主面の上に位置する第１電極が構成される。
【００３３】
図２の例では、２つの電極６が形成されており、この２つの電極６は一方向（例えばＸ軸方向）に沿って延在する。この電極６が配線材１４０（図１）と接続されることで、配線材１４０が太陽電池素子１０の第１面１０ａに電気的に接続される。電極６は、例えばその主成分に金属（具体的には例えば銀）を含んでいる。ここでいう主成分とは、含有割合が５０％以上であることを意味する。電極６の厚みは、例えば１０〜３０［μｍ］程度に設定され得る。電極６の形成方法は特に限定されないが、例えば塗布法を採用することができる。なおキャップ層５は必要に応じて省略してもよい。
【００３４】
太陽電池素子１０は半導体基板１に対して−Ｚ側（裏面側）の主面（第２主面）において、パッシベーション層７と保護層８と電極９とを備えている。パッシベーション層７は半導体基板１の−Ｚ側の主面の上に位置しており、後述する電極９と半導体基板１との接続箇所を除いて全面に形成されている。パッシベーション層７は、半導体基板１において生じる少数キャリアの表面再結合を低減させる層である。パッシベーション層７は例えば酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化シリコン、窒化シリコンおよび酸窒化シリコンなどから選択される１種類以上の素材が採用される。パッシベーション層７は、例えば、１種類の素材の１層の膜であってもよいし、異なる素材の２層以上の膜が積層された状態のものであってもよい。具体的には、パッシベーション層７として、例えば、酸化アルミニウムの１層の膜などが採用されてもよいし、酸化シリコンの膜と酸化アルミニウムの膜とがこの記載順に積層された状態のものなどが採用されてもよい。パッシベーション層７は、例えば、原子層堆積（Atomic Layer Deposition：ＡＬＤ）法で形成され得る。
【００３５】
ここで、パッシベーション層７は、例えば、半導体基板１の−Ｚ側の主面におけるダングリングボンドの終端化および電界効果などによって、少数キャリアの再結合を低減することができる。例えば、パッシベーション層７の素材として酸化アルミニウムが採用される場合には、酸化アルミニウムは負の固定電荷を有する。このため、電界効果によって、半導体基板１の−Ｚ側の主面で生じる少数キャリア（この場合は電子）が、ｐ型の半導体基板１とパッシベーション層７との界面から遠ざけられる。これにより、半導体基板１のうちの−Ｚ側の主面の近傍における少数キャリアの再結合が低減され得る。その結果、太陽電池素子１０の変換効率が向上し得る。パッシベーション層７の厚さは、例えば、１０〜６０［ｎｍ］程度に設定され得る。
【００３６】
保護層８はパッシベーション層７の−Ｚ側の主面の上に位置しており、パッシベーション層７と同様に、電極９と半導体基板１との接続箇所を除いて全面に形成される。保護層８は、パッシベーション層７を保護するための層であり、例えば、湿度などの影響によるパッシベーション層７の変質を低減し、あるいは、電極９の形成時における電極９の金属成分のパッシベーション層７への拡散を低減する。保護層８はパッシベーション層７とは異なる材質で形成され、例えば酸化シリコン層または窒化シリコン層である。保護層８の厚みは、例えば０．０５〜１０［μｍ］程度に設定される。保護層８の成膜方法は特に限定されないが、例えばＰＥＣＶＤ法またはＡＬＤ法を採用することができる。なお保護層８は必要に応じて省略してもよい。
【００３７】
図２の例では、電極９は保護層８の−Ｚ側の主面の上に位置しており、例えば全面に形成される。電極９はＸＹ平面において複数の位置で保護層８およびパッシベーション層７を貫通して、半導体基板１の−Ｚ側の主面に接触している。つまり、パッシベーション層７および保護層８には、自身をＺ軸方向に沿って連続して貫通する複数の貫通孔が形成されており、電極９はこれらの貫通孔を貫通して半導体基板１の主面に接触する。当該貫通孔の形状は、孔状（またはドット状）であってもよいし、溝状（またはライン状）であってもよい。貫通孔の径（幅）は、例えば１０〜１５０［μｍ］程度に設定され、ピッチは、例えば０．０５〜２［ｍｍ］程度に設定され得る。また、これらの貫通孔は、例えば、レーザービーム照射またはフォトリソグラフィ法を用いたエッチングなどの方法で形成できる。特に、ＹＡＧ（イットリウム、アルミニウム、ガーネット）レーザーなどを用いたレーザービーム照射方法は簡便でよい。
【００３８】
電極９はその主成分として金属（例えばアルミニウムまたは銀）を有している。電極９が配線材１４０（図１）と接続されることにより、配線材１４０は太陽電池素子１０の第２面１０ｂと電気的に接続される。電極９の厚みは例えば１５〜５０［μｍ］に設定され得る。また半導体基板１において電極９との接触部分にはＢＳＦ（Back Surface Field）層が形成されていてもよい。ＢＳＦ層は半導体基板１と同じｐ型の半導体であって、そのドーパントの濃度は、半導体基板１のうちＢＳＦ層以外の部分が含有するドーパントの濃度よりも高い。このＢＳＦ層は、例えばボロンまたはアルミニウムなどのドーパントを拡散させることによって形成され得る。例えば電極９の主成分としてアルミニウムを採用する場合には、金属ペーストの焼成によって、金属ペースト中のアルミニウムが拡散してＢＳＦ層が形成され得る。このＢＳＦ層により、電極９付近の再結合を抑制することができる。また、ＢＳＦ層の抵抗値は低い。そして、電極９が、半導体基板１の第２主面の上にパッシベーション層７を介して位置する第２電極が構成される。
【００３９】
このような太陽電池素子１０に対して＋Ｚ側から光（例えば太陽光）が入射されると、その太陽電池素子１０の内部において光起電力効果が生じて、電力が発生する。太陽電池素子１０は、発生した電力を電極６，９から出力することができる。
【００４０】
太陽電池素子１０において、半導体基板１よりも＋Ｚ側の構造はＴＯＰＣｏｎ（Tunnel Oxide Passivated Contact）構造とも呼ばれる。この構造では、トンネルオキサイド層２が界面準位を低下させるので、太陽電池素子１０は高い変換効率で電力を出力できる。また半導体基板１よりも−Ｚ側の構造はＰＥＲＣ（Passivated Emitter and Rear Cell）構造とも呼ばれる。この構造では、パッシベーション層７が少数キャリアの表面再結合を低減できるので、太陽電池素子１０は高い変換効率で電力を出力できる。つまり、太陽電池素子１０において、受光面側の構造としてＴＯＰＣｏｎ構造を採用し、裏面側の構造としてＰＥＲＣ構造を採用するので、太陽電池素子１０はより高い変換効率で電力を出力できる。
【００４１】
＜太陽電池素子の製造方法＞
図３は、太陽電池素子１０の製造方法の一例を示すフローチャートであり、図４〜図８は製造方法における途中の構成の一例を概略的に示す図である。まずステップＳ１にて、半導体基板１のスライス面に対してエッチング処理を行う。ここでいうスライス面とは、半導体のインゴットから半導体基板１を切り出した際の切断面である。例えばエッチング液としてＮａＯＨ、ＫＯＨ、またはフッ硝酸などの水溶液を用いて、半導体基板１のスライス面を微量にエッチングする。これにより、半導体基板１のスライス面の機械的ダメージ層および汚染層を除去することができる。
【００４２】
次にステップＳ２にて、半導体基板１の＋Ｚ側の主面に凹凸構造（テクスチャ）を形成する。具体的には、例えばウエットエッチング法、またはＲＩＥ（Reactive Ion Etching）法などのドライエッチング法を用いて、当該主面に凹凸構造を形成する。
【００４３】
次にステップＳ３にて、半導体基板１の＋Ｚ側の主面の上にトンネルオキサイド層２を形成する（図４も参照）。例えば、酸化用の処理液（例えば高温（１００℃前後）の硝酸）に半導体基板１を浸漬することで、半導体基板１の表面を熱酸化させる。これにより、半導体基板１の表面に酸化シリコン層が形成される。この酸化シリコン層のうち半導体基板１の＋Ｚ側の主面の上に位置する部分が、トンネルオキサイド層２として機能する。
【００４４】
次にステップＳ４にて、トンネルオキサイド層２の＋Ｚ側の主面の上にｎ型の半導体層３を形成する。例えば、ＰＥＣＶＤ法により、ｎ型の非晶質シリコンをトンネルオキサイド層２の＋Ｚ側の主面の上に形成する。このＰＥＣＶＤ法では、半導体基板１の側面にも非晶質シリコンが形成される（図５も参照）。次に、例えば８５０℃程度以下でアニール処理を行って、非晶質シリコンを結晶化させて多結晶シリコンに変質させる。この多結晶シリコンのうち半導体基板１の主面とＺ軸方向において対向する部分が、半導体層３として機能する。
【００４５】
次にステップＳ５にて、半導体層３の＋Ｚ側の主面の上に透明電極４を形成する（図６も参照）。例えば直流スパッタリング法により、ＩＴＯ膜を透明電極４として半導体層３の上に形成する。
【００４６】
次にステップＳ６にて、透明電極４の＋Ｚ側の主面の上にキャップ層５を形成する。例えばＣＶＤ法により、窒化シリコン層をキャップ層５として形成する（図６も参照）。以下では、ステップＳ１〜Ｓ６によって作製される構造体を構造体３０と呼ぶ。
【００４７】
次にステップＳ７にて、構造体３０の−Ｚ側の主面および側面をエッチングする。具体的には、ステップＳ３で形成された半導体基板１の−Ｚ側の主面上および側面上の酸化シリコンと、ステップＳ４で形成された半導体基板１の側面上のｎ型の多結晶シリコンとを除去すべく、エッチング処理を行う。なお、このとき同時に半導体基板１の−Ｚ側の主面もエッチングされ、半導体基板１の当該主面に洗浄および化学研磨を用いた平坦化も行われることになる。このような半導体基板１への作用によって、後に行う当該主面におけるパッシベーションの効果の向上も期待できる。
【００４８】
このエッチング処理としては、構造体３０の搬送中にエッチングを行う方法を採用し得る。図９は、このエッチング方法を説明するための図である。エッチング装置２０は貯留槽２１と複数のローラ２２とを備えている。貯留槽２１には、エッチング液２３が貯留されている。このエッチング液２３は、トンネルオキサイド層２および半導体層３の両材料に対するエッチング性に優れた液である。ここでは、トンネルオキサイド層２は酸化シリコン層であり、半導体層３は多結晶シリコンであるので、シリコンに対するエッチング性に優れたエッチング液２３が採用され得る。例えばエッチング液２３は硝酸およびフッ酸を含んでいてもよい。
【００４９】
各ローラ２２は円柱形状を有しており、貯留槽２１の内部に配置されている。各ローラ２２はその回転軸が水平方向に沿う姿勢で配置されている。複数のローラ２２は構造体３０の搬送方向に沿って並んで配置される。複数のローラ２２は不図示の駆動部によって駆動される。複数のローラ２２は互いに同期して同じ方向に回転することにより、このローラ２２の上に載置された構造体３０を搬送方向に搬送する。このエッチング装置２０においては、複数のローラ２２の鉛直下方の一部がエッチング液２３に浸ることによって、ローラ２２がエッチング液２３を含浸している。より具体的には、ローラ２２のうち鉛直下方の一部はエッチング液２３の液面の水平部分よりも下側に位置しており、ローラ２２のうち残りの一部（鉛直上方の部分）は当該水平部分より上側に位置している。各ローラ２２が回転することにより、ローラ２２の鉛直上方の表面には、エッチング液２３による膜が形成される。
【００５０】
構造体３０は、半導体基板１の−Ｚ側の主面が鉛直下方を向く姿勢で、ローラ２２に載置される。構造体３０はローラ２２の回転に伴ってローラ２２の上を移動するので、その移動によって、ローラ２２の表面に付着したエッチング液２３が構造体３０の−Ｚ側の主面の全体にも付着する。また、このとき構造体３０の側面にもエッチング液２３が付着する。つまり、エッチング液２３は構造体３０の−Ｚ側の主面および側面に作用する。よって、半導体基板１の−Ｚ側の主面およびその側面に形成された酸化シリコン、ならびにその側面に形成された多結晶シリコンがエッチングされて除去される。
【００５１】
なおステップＳ７は必ずしもステップＳ６の後に実行される必要はなく、ステップＳ４とステップＳ５との間、または、ステップＳ５とステップＳ６との間において実行されてもよい。
【００５２】
次にステップＳ８にて、半導体基板１の−Ｚ側の主面の上にパッシベーション層７を形成する（図７も参照）。例えばＡＬＤ法により、酸化アルミニウム層を半導体基板１の−Ｚ側の主面および側面ならびにキャップ層５の＋Ｚ側の主面の上に形成する。この酸化アルミニウム層のうち半導体基板１の−Ｚ側の主面上に位置する部分がパッシベーション層７として機能する。酸化アルミニウム層のうち残りの部分はエッチング等により除去してもよいし、除去しなくてもよい。酸化アルミニウム層のうち残りの部分は太陽電池素子１０の性能にあまり悪影響を与えないからである。ここでは一例として、残りの部分を除去しない場合を示している。
【００５３】
次にステップＳ９にて、パッシベーション層７の−Ｚ側の主面の上に保護層８を形成する（図７も参照）。例えばＣＶＤ法またはスパッタリング法により、酸化シリコン層を保護層８としてパッシベーション層７の上に形成する。そして、フォトリソグラフィまたはレーザービーム照射により、保護層８に対して電極９用の複数の貫通孔を形成する。
【００５４】
次にステップＳ１０にて、電極６，９をそれぞれ形成する（図８も参照）。例えば、金属ペーストをスクリーン印刷法によりキャップ層５の上（パッシベーション層７の成膜時の窒化シリコン層がキャップ層５の上に形成される場合には、その窒化シリコン層の上）に塗布する。そして当該金属ペーストを焼成することにより、電極６を形成する。なお金属ペーストにはガラスフリットが含まれており、このガラスフリットが溶融してキャップ層５（あるいは更にその上の窒化シリコン層）をファイヤスルー（浸食あるいは焼成貫通）する。これにより、電極６はキャップ層５（あるいは更にその上の窒化シリコン層）を貫通して透明電極４と接続される。
【００５５】
なお、必ずしもファイヤスルーによって電極６が透明電極４に接続される必要はない。例えば電極６の形成前に、電極６が形成されるべき領域において、フォトリソグラフィまたはレーザービーム照射等により、キャップ層５（あるいは更にその上の窒化シリコン層）を除去してもよい。
【００５６】
次に電極９を半導体基板１に接続するための貫通孔をパッシベーション層７および保護層８に形成する。次に電極９用の金属ペーストを例えばスクリーン印刷法により塗布し、当該金属ペーストを焼成することにより、電極９を形成する。この金属ペーストにはガラスフリットが含まれており、パッシベーション層７をファイヤスルーし、電極９と半導体基板１の−Ｚ側の主面とが互いに接続される。なお、電極９の形成前に、電極９が形成されるべき領域において、フォトリソグラフィまたはレーザービーム照射等により、貫通孔部分のパッシベーション層７を除去してもよい。
【００５７】
＜太陽電池素子＞
上述のように、太陽電池素子１０においては、半導体基板１にｐ型の多結晶シリコンを採用しつつ、ＴＯＰＣｏｎ構造およびＰＥＲＣ構造を併用している。これによれば、低い製造コストで高い変換効率を実現できる。
【００５８】
ここで比較のために、受光側および裏面側の両方にＴＯＰＣｏｎ構造を採用した太陽電池素子１０’を説明する。図１０は、太陽電池素子１０’の構成の一例を概略的に示す断面図である。図１０の例では、太陽電池素子１０’は半導体基板１とトンネルオキサイド層２，２’と半導体層３，３’と透明電極４とキャップ層５と電極６，６’とを備えている。半導体基板１、トンネルオキサイド層２、半導体層３、透明電極４、キャップ層５および電極６は上述と同様である。ただし、図１０の例では、ｎ型の半導体層３が半導体基板１の側面にも形成されている。
【００５９】
図１０の例では、半導体層３を分離するスリット１１が形成されている。スリット１１は、半導体基板１の＋Ｚ側の主面上の半導体層３と、半導体基板１の側面上の半導体層３とを分離する。トンネルオキサイド層２は薄く設定されるので、図１０の例では、スリット１１はトンネルオキサイド層２および半導体基板１の＋Ｚ側の部分にも延在している。スリット１１は例えばレーザービーム照射等により形成され得る。
【００６０】
トンネルオキサイド層２’は半導体基板１の−Ｚ側の主面の上に位置している。トンネルオキサイド層２’は酸化シリコン層であり、その厚みはトンネル現象が生じる程度に薄く形成される。例えば、トンネルオキサイド層２’の厚みは０．５〜４［ｎｍ］程度に設定され得る。トンネルオキサイド層２’はトンネルオキサイド層２と同様に熱酸化によって形成され得る。図１０の例では、トンネルオキサイド層２，２’は分離しているものの、熱酸化によって酸化シリコン層を形成する場合には、半導体基板１の側面にも酸化シリコン層が形成されて連続する。
【００６１】
半導体層３’は、ｐ型の半導体層であり、多結晶シリコンによって形成される。半導体層３’はトンネルオキサイド層２の−Ｚ側の主面の上に位置しており、また、半導体基板１の側面において、ｎ型の半導体層３の上にも位置している。半導体層３は半導体層３’と同様にＰＥＣＶＤ法およびアニール処理により形成される。
【００６２】
電極６’は半導体層３’の−Ｚ側の主面の上に位置しており、例えばその全面に形成される。電極６’は例えば主成分に金属（より具体的には例えばアルミニウム）を含んでいる。
【００６３】
このような太陽電池素子１０’においては、太陽電池素子１０とは異なって、半導体層３，３’が半導体基板１の側面に存在している。なぜなら、半導体基板１の両主面側の半導体層３，３’を残しつつ、その側面の半導体層３，３’のみを除去することは困難だからである。例えば半導体層３，３’を形成した後にエッチング装置２０によってエッチングを行えば、その側面の半導体層３，３’を除去できるものの、主面側の半導体層３，３’のどちらかにもエッチング液２３が付着するので、その半導体層も除去される。つまり、半導体基板１の側面側の半導体層３，３’を削除しようとすると、半導体基板１の主面側の半導体層３，３’の一方も除去されてしまう。
【００６４】
太陽電池素子１０’において、スリット１１が形成されていなければ、半導体基板１の側面側において半導体層３，３’が互いに短絡し、太陽電池素子１０’が発電した電力を効果的に外部に取り出すことができない。よって、太陽電池素子１０’の変換効率が低下する。
【００６５】
そこで図１０の例では、半導体層３，３’の短絡を防止するためのスリット１１が形成されている。しかしながら、スリット１１を形成すると、そのスリット１１の周辺には、発電に寄与しない部分が生じる。よって、効果的に発電する有効エリアが狭くなる。したがって、太陽電池素子１０’の変換効率には改善の余地がある。
【００６６】
これに対して、太陽電池素子１０においては、ＴＯＰＣｏｎ構造およびＰＥＲＣ構造を併用している。よって、スリットを形成することなく、太陽電池素子１０’のような半導体層３，３’の短絡を回避することができる。したがって、半導体基板１における有効エリアは広く、太陽電池素子１０はより高い変換効率で電力を出力することができる。
【００６７】
以上のように、太陽電池モジュールおよびその製造方法は詳細に説明されたが、上記した説明は、全ての局面において例示であって、この開示がそれに限定されるものではない。また、上述した各種変形例は、相互に矛盾しない限り組み合わせて適用可能である。そして、例示されていない多数の変形例が、この開示の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。
【符号の説明】
【００６８】
１  半導体基板
２  トンネルオキサイド層
３  半導体層
４  第１電極（透明電極）
６  第１電極（電極）
７  パッシベーション層
９  第２電極（電極）
１０  太陽電池素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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