(57)【要約】【課題】改善された構造体及び触感呈示装置を提供する。【解決手段】構造体は、触感を呈示する。構造体は、圧電素子の伸縮変位に応じて構造体を振動させるアクチュエータに当接可能な当接部を有する。当接部は、アクチュエータに対して非接着である。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
触感を呈示する構造体であって、
圧電素子の伸縮変位に応じて前記構造体を振動させるアクチュエータに当接可能な当接部を有し、
前記当接部は、前記アクチュエータに対して非接着である、構造体。
【請求項２】
前記当接部は、前記アクチュエータに対して着脱可能である、請求項１に記載の構造体。
【請求項３】
前記アクチュエータを前記当接部に誘導するガイド部をさらに有する、請求項１又は２に記載の構造体。
【請求項４】
触感を呈示する構造体と、
圧電素子の伸縮変位に応じて前記構造体を振動させるアクチュエータと、を備え、
前記構造体は、前記アクチュエータに当接可能な当接部を有し、
前記当接部は、前記アクチュエータに対して非接着である、触感呈示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、構造体及び触感呈示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、タッチセンサ等の振動対象を圧電素子により振動させることで、当該振動対象にタッチするユーザに対して触感を呈示する装置が知られている。このような装置において、圧電素子の破損を防ぐ装置が知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−１７５８７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の装置には、圧電素子の破損を防ぐことに関し、改善の余地がある。
【０００５】
本開示は、改善された構造体及び触感呈示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一態様の構造体は、触感を呈示する構造体である。前記構造体は、圧電素子の伸縮変位に応じて前記構造体を振動させるアクチュエータに当接可能な当接部を有する。前記当接部は、前記アクチュエータに対して非接着である。
【０００７】
一態様の触感呈示装置は、触感を呈示する構造体と、圧電素子の伸縮変位に応じて前記構造体を振動させるアクチュエータとを備える。前記構造体は、前記アクチュエータに当接可能な当接部を有する。前記当接部は、前記アクチュエータに対して非接着である。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、改善された構造体及び触感呈示装置が提供され得る。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本開示の一実施形態に係る触感呈示装置の外観図である。
【図２】図１に示すＬ−Ｌ線に沿った触感呈示装置のＸＹ平面断面図である。
【図３】図２に示す構造の分解斜視図である。
【図４】図２に示す構造において、振動対象にＸ軸の負方向の外力が働くときの状態を示す図である。
【図５】比較例に係る触感呈示装置を示す図である。
【図６】本開示の他の実施形態に係る触感呈示装置を示す図である。
【図７】本開示のさらに他の実施形態に係る触感呈示装置を示す図である。
【図８】図７に示す構造において、振動対象にＸ軸の正方向の外力が過度に働くときの状態を示す図である。
【図９】本開示のさらに他の実施形態に係る触感呈示装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本開示の一実施形態に係る触感呈示装置１の外観図である。図２は、図１に示すＬ−Ｌ線に沿った触感呈示装置１のＸＹ平面断面図である。図３は、図２に示す構造の分解斜視図である。図１に示すように、触感呈示装置１は、外観視において直方体形状である。以下、図１乃至図３において、触感呈示装置１の厚さ方向はＸ軸方向とする。触感呈示装置１の長手方向はＹ軸方向とする。触感呈示装置１の短手方向はＺ軸方向とする。
【００１１】
触感呈示装置１は、図２に示すように、筐体１０と、振動対象２０（構造体）と、アクチュエータ３０とを備える。触感呈示装置１は、振動対象２０を振動させることにより、振動対象２０の主面２１にタッチするユーザに対して触感を呈示する。触感呈示装置１の例として、カーナビゲーションシステム、又は、ステアリング若しくはパワーウィンドウのスイッチ等の車載機器が挙げられる。また、触感呈示装置１の例として、携帯電話、スマートフォン、タブレット型ＰＣ（Personal Computer）及びノートＰＣが挙げられる。ただし、触感呈示装置１は、これらに限定されない。触感呈示装置１は、デスクトップＰＣ、家電製品、産業用機器（ＦＡ（Factory Automation）機器）、専用端末又は種々の電子機器等であってよい。
【００１２】
筐体１０は、金属又は合成樹脂等で形成されてよい。筐体１０は、触感呈示装置１の内部構造物を保護する。筐体１０には、アクチュエータ３０、コントローラ及びメモリ等が収容されてよい。コントローラは、アプリケーションソフトウェアを実行可能なプロセッサ又はマイクロコンピュータ等により構成されてよい。コントローラは、アクチュエータ３０に接続される。コントローラは、アクチュエータ３０に、アクチュエータ３０を振動させるための駆動信号を出力する。駆動信号は、電圧信号であってよいし、電流信号であってよい。メモリは、半導体メモリ又は磁気メモリ等で構成されてよい。メモリは、各種情報及びコントローラを動作させるためのプログラム等を記憶する。なお、コントローラ及びメモリは、筐体１０の外部に設けられてもよい。
【００１３】
振動対象２０は、アクチュエータ３０の振動が伝達されることにより、振動する。振動対象２０は、表示パネル内に配置されたタッチセンサであってよい。ただし、振動対象２０は、タッチセンサに限定されない。例えば、振動対象２０は、スイッチであってよい。
【００１４】
振動対象２０の振動方向として、例えば、面内方向及び面外方向がある。面内方向とは、振動対象２０の主面２１と略平行な方向である。例えば、図１では、面内方向は、ＺＹ平面に平行な方向となる。そのため、図１では、面内方向の振動は、例えばＺ軸方向の振動となる。また、面外方向とは、振動対象２０の主面２１に対して直交する方向である。そのため、図１では、面外方向の振動は、Ｘ軸方向の振動となる。以下、面内方向の振動は、「横振動」ともいう。また、面外方向の振動は、「縦振動」ともいう。
【００１５】
振動対象２０の振動方向は、触感呈示装置１の用途等に応じて、適宜設定されてよい。例えば触感呈示装置１が車載機器である場合、振動対象２０は、カーナビゲーションシステムの表示部となり得る。また、触感呈示装置１を搭載する車両の進行方向は、ほぼＸ軸方向となり得る。この場合、振動対象２０の振動方向は、面外方向に決定されてよい。振動対象２０の振動方向を面外方向に設定する場合、図２に示すように、アクチュエータ３０が、触感呈示装置１に組込まれ得る。
【００１６】
振動対象２０は、主面２１と、主面２２と、当接部２３とを有する。振動対象２０は、ガイド部２４をさらに有してよい。ガイド部２４は、振動対象２０と一体として形成されてよい。又は、ガイド部２４は、振動対象２０とは別体として形成されてよい。ガイド部２４は、振動対象２０とは別体として形成される場合、接着剤等により、主面２２に設けられてよい。
【００１７】
主面２１は、図１に示すように、触感呈示装置１の外側を向く。主面２１は、ユーザにタッチされる。主面２２は、図２に示すように、触感呈示装置１の内側を向く。主面２２は、筐体３の底部に対向する。
【００１８】
当接部２３は、図２に示すように、アクチュエータの保持部３５に当接可能である。当接部２３は、図３に示すように、主面２２の一部の領域であってよい。当接部２３の形状は、アクチュエータ３０の保持部３５の、振動対象２０に対向する面の形状と同様であってよい。当接部２３がアクチュエータ３０の保持部３５に当接されることで、アクチュエータ３０の振動を振動対象２０に伝達させることができる。
【００１９】
当接部２３は、アクチュエータ３０の保持部３５に非接着である。当接部２３は、アクチュエータ３０の保持部３５に対して、着脱可能であってよい。このような構成によって、詳細は図４を参照して後述するが、振動対象２０にＸ軸の負方向の外力が働くとき、当接部２３から保持部３５が脱することができ、圧電素子１１が破損してしまうことを防ぐことができる。
【００２０】
ガイド部２４は、アクチュエータ３０の保持部３５を、振動対象２０の当接部２３に誘導する。ガイド部２４は、図２及び図３に示すように、主面２２に設けられてよい。ガイド部２４は、図３に示すように、アクチュエータ３０の保持部３５の外周全体に沿って形成されてよい。又は、ガイド部２４は、アクチュエータ３０の保持部３５の外周の一部に沿って形成されてもよい。ガイド部２４は、金属、樹脂、又は、金属及び樹脂等の複合材料で形成されてよい。
【００２１】
ガイド部２４の内壁は、アクチュエータ３０の保持部３５と接し得る。ガイド部２４の内壁は、ガイド部２４の内壁と保持部３５との間に摩擦が生じるよう、加工されてよい。ガイド部２４の内壁とアクチュエータ３０の保持部３５との間に摩擦が生じることで、アクチュエータ３０の振動を振動対象２０に効率良く伝達させることができる。
【００２２】
アクチュエータ３０は、触感呈示装置１のコントローラが出力する電圧信号を、振動に変換する。アクチュエータ３０は、図１に示す直方体形状の触感呈示装置１の四隅に、配置されてよい。アクチュエータ３０は、図２に示すように、筐体１０の底面と振動対象２０との間に、配置されてよい。
【００２３】
アクチュエータ３０は、図２に示すように、圧電素子３１と、振動板３２と、支持部３３Ａ，３３Ｂと、固定部３４Ａ，３４Ｂとを有する。振動板３２と支持部３３Ａ，３３Ｂと固定部３４Ａ，３４Ｂとは、例えば一枚の薄板を折り曲げることにより、一体として形成されてよい。又は、振動板３２と支持部３３Ａ，３３Ｂと固定部３４Ａ，３４Ｂとは、別体として形成されてよい。振動板３２と支持部３３Ａ，３３Ｂと固定部３４Ａ，３４Ｂとが別体として形成される場合、振動板３２と支持部３３Ａ，３３Ｂと固定部３４Ａ，３４Ｂとは、溶接等により、一体化されてよい。
【００２４】
圧電素子３１は、図３に示すように、例えば長方形状である。圧電素子３１には、図１に示す触感呈示装置１のコントローラが出力する電圧信号が、印加される。圧電素子３１は、印加される電圧信号に応じて長手方向に伸縮変位する。圧電素子３１は、圧電フィルムであってよいし、圧電セラミックであってよい。圧電セラミックは、圧電フィルムよりも、大きい振動エネルギーを有する振動を発生し得る。
【００２５】
圧電素子１１は、磁歪素子に置換されてよい。磁歪素子は、印加される磁界に応じて伸縮する。圧電素子１１が磁歪素子に置換される場合、アクチュエータ３０は、上述のコントローラが出力する駆動信号を磁界に変換するコイル等をさらに有してよい。
【００２６】
振動板３２は、図３に示すように、例えばシム板のような、弾性を有する薄板である。振動板３２は、所定厚さの板状部材であってよい。振動板３２は、金属、樹脂、又は、金属及び樹脂等の複合材料で形成されてよい。以下、図２に示すように、振動板３２に含まれる２つの面のうち、筐体１０に対向する面を、「主面３２ａ」という。また、振動板３２に含まれる２つの面のうち、振動対象２０に対向する面を、「主面３２ｂ」という。
【００２７】
主面３２ａには、図２に示すように、圧電素子３１が設けられる。圧電素子１１は、圧電素子１１の長手方向が振動板３２の長手方向と一致するように、主面３２ａに設けられる。圧電素子３１は、接着剤等により、主面３２ａに接合されてよい。
【００２８】
主面３２ａに圧電素子３１が設けられた構造、すなわち、振動板３２の片面に圧電素子３１が設けられた構造は、いわゆるユニモルフである。ユニモルフにおいては、圧電素子３１の伸縮変位が、振動板３２の屈曲振動を引き起こす。図２に示すように、振動板３２の両方の端部は、それぞれ、支持部３３Ａ，３３Ｂによって支持される。このように振動板３２の両方の端部が支持される場合、振動板３２は、振動板３２の中央付近における主面３２ａの法線方向の振幅が最大になるように振動する。振動板３２が主面３２ａの法線方向、すなわちＸ軸方向の振幅が最大になるように振動することで、振動対象２０は、面外方向に振動し得る。
【００２９】
支持部３３Ａは、図２に示すように、振動板３２の長手方向の一方の端部に設けられる。支持部３３Ａの一方の端部は、振動板３２に接続される。支持部３３Ａの他方の端部は、固定部３４Ａに接続される。支持部３３Ｂは、図２に示すように、振動板３２の長手方向の他方の端部に設けられる。支持部３３Ｂの一方の端部は、振動板３２に接続される。支持部３３Ｂの他方の端部は、固定部３４Ｂに接続される。
【００３０】
支持部３３Ａ，３３Ｂは、圧電素子３１と筐体１０との間に隙間が生じるように、振動板３２を支持する。圧電素子３１と筐体１０との間に隙間が生じることで、圧電素子３１の変位に応じて振動板３２が振動するときに、圧電素子３１が筐体１０に衝突することを防ぐことができる。支持部３３Ａ，３３Ｂは、振動板３２と同一材料で形成されてよいし、振動板３２とは異なる材料で形成されてよい。
【００３１】
固定部３４Ａ，３４Ｂは、図２に示すように、筐体１０に固定される。固定部３４Ａ，３４Ｂは、例えばネジ等の締結部材又は接着剤等により、筐体１０に固定されてよい。固定部３４Ａ，３４Ｂは、振動板３２と同一材料で形成されてよいし、振動板３２と異なる材料で形成されてよい。
【００３２】
保持部３５は、振動対象２０の当接部２３に当接することにより、振動対象２０を保持する。保持部３５は、金属、樹脂、又は、金属及び樹脂等の複合素材で形成されてよい。保持部３５は、振動板３２の主面３２ｂの中央付近に設けられる。保持部３５は、接着剤等により、振動板３２に接続されてよい。
【００３３】
保持部３５は、例えば図２に示すようにユーザの指等によって振動対象２０の主面２１がＸ軸の正方向に押されるとき、振動対象２０の当接部２３に当接する。保持部３５が振動対象２０の当接部２３に当接することで、振動板３２の振動が保持部３５を介して振動対象２０に伝達される。このような構成によって、触感呈示装置１は、振動対象２０の主面２１にタッチするユーザに、振動対象２０を振動させることにより、触感を呈示することができる。
【００３４】
ここで、保持部３５は、振動対象２０の当接部２３に対して、非接着である。保持部３５は、振動対象２０の当接部２３に対して、着脱可能であってよい。保持部３５は、振動対象２０に対してＸ軸の負方向の外力が働くとき、振動対象２０の当接部２３から脱する。図４に、図２に示す構造において、振動対象２０にＸ軸の負方向の外力が働くときの状態を示す。例えば、図１に示す触感呈示装置１が車両に搭載される車載機器である場合、触感呈示装置１が搭載される車両の進行方向は、ほぼＸ軸の正方向となり得る。この場合、当該車両が急発進すると、振動対象２０に対してＸ軸の負方向の外力が働き得る。本実施形態では、振動対象２０に対してＸ軸の負方向の外力が働くとき、保持部３５が振動対象２０の当接部２３から脱することで、振動対象２０とともにアクチュエータ３０の振動板３２がＸ軸の負方向に引っ張られることを防ぐことができる。アクチュエータ３０の振動板３２がＸ軸の負方向に引っ張られることを防ぐことで、圧電素子１１が破損することを防ぐことができる。
【００３５】
＜比較例＞
図５は、比較例に係る触感呈示装置１Ｘを示す図である。図５は、上述の図４に相当する。比較例に係る触感呈示装置１Ｘは、筐体１０と、振動対象２０Ｘと、アクチュエータ３０とを備える。
【００３６】
比較例では、振動対象２０Ｘは、主面２２Ｘを有する。主面２２Ｘは、アクチュエータ３０の保持部３５に、接着剤等により、接着される。
【００３７】
比較例に係る触感呈示装置１Ｘでは、振動対象２０ＸにＸ軸の負方向の外力が働くと、主面２２Ｘが保持部３５に接着されているため、アクチュエータ３０の振動板３２がＸ軸の負方向に引っ張られ場合がある。比較例に係る触感呈示装置１Ｘでは、アクチュエータ３０の振動板３２がＸ軸の負方向に引っ張られるために、振動板３２に接合される圧電素子３１が破損する場合がある。
【００３８】
これに対し、本実施形態に係る触感呈示装置１では、振動対象２０に対してＸ軸の負方向の外力が働くとき、保持部３５が振動対象２０の当接部２３から脱する。このような構成により、本実施形態では、アクチュエータ３０の振動板３２がＸ軸の負方向に引っ張られることを防ぐことができる。アクチュエータ３０の振動板３２がＸ軸の負方向に引っ張られることを防ぐことで、圧電素子１１が破損することを防ぐことができる。
【００３９】
［他の触感呈示装置の構成例］
図６は、本開示の他の実施形態に係る触感呈示装置１０１を示す図である。触感呈示装置１０１は、筐体１０と、振動対象１２０と、アクチュエータ３０とを備える。振動対象１２０は、主面２１及び主面２２と、当接部２３と、ガイド部１２４とを有する。
【００４０】
ガイド部１２４は、アクチュエータ３０の保持部３５を、振動対象１２０の当接部２３に誘導する。ガイド部１２４は、アクチュエータ３０の保持部３５の外周全体に沿って形成されてよい。又は、ガイド部１２４は、アクチュエータ３０の保持部３５の外周の一部に沿って形成されてもよい。ガイド部１２４は、金属、樹脂、又は、金属及び樹脂等の複合材料で形成されてよい。
【００４１】
ガイド部１２４は、断面視において、Ｌ型である。ガイド部１２４は、部分１２４ａと、部分１２４ｂとを含む。
【００４２】
部分１２４ａは、アクチュエータ３０の保持部３５の外面に沿って延在する。部分１２４ｂは、振動対象１２０の主面２２に沿って延在する。部分１２４ｂが主面２２に沿って延在することで、ガイド部１２４が振動対象１２０により安定して固定され得る。
【００４３】
触感呈示装置１０１のその他の構成及び効果は、図２に示す触感呈示装置１と同様である。
【００４４】
［さらに他の触感呈示装置の構成例］
図７は、本開示のさらに他の実施形態に係る触感呈示装置２０１を示す図である。触感呈示装置２０１は、筐体１０と、振動対象２２０と、アクチュエータ３０とを備える。振動対象２２０は、主面２１及び主面２２と、当接部２３と、ガイド部２２４とを有する。
【００４５】
ガイド部２２４は、アクチュエータ３０の保持部３５を、振動対象２２０の当接部２３に誘導する。ガイド部２２４は、アクチュエータ３０の保持部３５の外周全体に沿って形成されてよい。又は、ガイド部２２４は、アクチュエータ３０の保持部３５の外周の一部に沿って形成されてもよい。ガイド部２２４は、金属、樹脂、又は、金属及び樹脂等の複合材料で形成されてよい。
【００４６】
ガイド部２２４のＹ軸の負方向側の部分は、アクチュエータ３０の保持部３５から、アクチュエータ３０の支持部３３Ａまで延在する。ガイド部２２４のＹ軸の正方向側の部分は、アクチュエータ３０の保持部３５から、アクチュエータ３０の支持部３３Ｂまで延在する。
【００４７】
ガイド部２２４のＸ軸に沿った長さは、アクチュエータ３０の保持部３５のＸ軸に沿った長さよりも、短い。このような構成とすることで、図７に示すように保持部３５が振動対象２２０の当接部２３に当接するとき、ガイド部２２４とアクチュエータ３０の振動板３２の主面３２ｂとの間に隙間が生じ得る。ガイド部２２４と振動板３２の主面３２ｂとの間に隙間が生じることで、圧電素子３１の伸縮変位に応じて振動板３２は効率良く振動することができる。
【００４８】
触感呈示装置２０１は、振動対象２２０にＸ軸の正方向の力が過度に働いても、圧電素子１１が破損することを防ぐことができる。図８に、図７に示す構造において、振動対象２２０にＸ軸の正方向の外力が過度に働くときの状態を示す。振動対象２２０にＸ軸の正方向の外力が過度に働くときは、例えば、ユーザが振動対象２２０を過度に押すとき、及び、図１に示す触感呈示装置１が車両に搭載される車載機器である場合に、触感呈示装置１が搭載される車両が急停止するときである。振動対象２２０にＸ軸の正方向の外力が働くことにより、振動対象２２０がＸ軸の正方向側に変位すると、支持部３３Ａがガイド部２２４の一方の端部と当接し、支持部３３Ｂがガイド部２２４の他方の端部と当接する。このような構成によって、振動対象２２０にＸ軸の正方向の力が過度に働いても、振動板３２がＸ軸の正方向へ過度に変位することを防ぐことができる。振動板３２がＸ軸の正方向へ過度に変位することを防ぐことで、圧電素子１１が破損してしまうことを防ぐことができる。
【００４９】
触感呈示装置２０１のその他の構成及び効果は、図２に示す触感呈示装置１と同様である。
【００５０】
［さらに他の触感呈示装置の構成例］
図９は、本開示のさらに他の実施形態に係る触感呈示装置３０１を示す図である。触感呈示装置３０１は、筐体１０と、振動対象３２０と、アクチュエータ３０とを備える。振動対象３２０は、主面２１及び主面２２と、当接部２３と、ガイド部３２４とを有する。
【００５１】
ガイド部３２４は、アクチュエータ３０の保持部３５を、振動対象３２０の当接部２３に誘導する。ガイド部３２４は、アクチュエータ３０の保持部３５の外周全体に沿って形成されてよい。又は、ガイド部３２４は、アクチュエータ３０の保持部３５の外周の一部に沿って形成されてもよい。ガイド部２２４は、金属、樹脂、又は、金属及び樹脂等の複合材料で形成されてよい。
【００５２】
ガイド部３２４は、断面視において、クサビ型である。ガイド部３２４の中央部分に、保持部３５が位置する。ガイド部３２４の中央部分は、筐体１０に向けて徐々に拡径する。このような構成によって、振動対象３２０にＸ軸の負方向の外力が働いて保持部３５がガイド部３２４の中央部分から外れた場合に、振動対象３２０への外力が解除されたとき、保持部３５は、ガイド部３２４の中央部分に誘導され易くなる。保持部３５がガイド部３２４の中央部分に誘導され易くなることで、保持部３５は、振動対象３２０の当接部２３に誘導され易くなる。さらに、ガイド部３２４は、可撓性を有してよい。ガイド部３２４が可撓性を有することで、保持部３５は、ガイド部３２４の中央部分にさらに誘導され易くなる。
【００５３】
触感呈示装置３０１のその他の構成及び効果は、図２に示す触感呈示装置１と同様である。
【００５４】
本開示を諸図面及び実施例に基づき説明してきたが、当業者であれば本開示に基づき種々の変形又は修正を行うことが容易であることに注意されたい。従って、これらの変形又は修正は本開示の範囲に含まれることに留意されたい。例えば、各機能部に含まれる機能などは論理的に矛盾しないように再配置可能である。複数の機能部等は、１つに組み合わせられたり、分割されたりしてよい。上述した本開示に係る各実施形態は、それぞれ説明した各実施形態に忠実に実施することに限定されるものではなく、適宜、各特徴を組み合わせたり、一部を省略したりして実施され得る。
【００５５】
例えば、上述の実施形態では、アクチュエータ３０の固定部３４Ａ，３４Ｂが触感呈示装置１の筐体１０に固定されるものとして説明した。ただし、アクチュエータ３０の固定部３４Ａ，３４Ｂは、筐体１０以外に固定されてよい。例えば、車両に触感呈示装置１を実現する場合、アクチュエータ３０の固定部３４Ａ，３４Ｂは、車両のフレームに固定されてよい。
【００５６】
例えば、上述の実施形態では、アクチュエータ３０によって振動対象２０を縦振動させるものとして説明した。ただし、アクチュエータ３０によって振動対象２０を横振動させてもよい。この場合、アクチュエータ３０は、図２に示す振動板３２の主面３２ａが振動対象２０の主面２１に対して垂直になるように、筐体１０と振動対象２０との間に配置されてよい。振動対象１２０，２２０，３２０についても同様である。
【符号の説明】
【００５７】
１，１Ｘ，１０１，２０１，３０１  触感呈示装置
２０，１２０，２２０，３２０  振動対象（構造体）
２０Ｘ  振動対象
２１，２２，２２Ｘ  主面
２３  当接部
２４，１２４，２２４，３２４  ガイド部
３２４ａ，３２４ｂ  部分
３０  アクチュエータ
３１  圧電素子
３２  振動板
３２ａ，３２ｂ  主面
３３Ａ，３３Ｂ  支持部
３４Ａ，３４Ｂ  固定部
３５  保持部
【図１】
2019204257.tif 000003
【図２】
2019204257.tif 000004
【図３】
2019204257.tif 000005
【図４】
2019204257.tif 000006
【図５】
2019204257.tif 000007
【図６】
2019204257.tif 000008
【図７】
2019204257.tif 000009
【図８】
2019204257.tif 000010
【図９】
2019204257.tif 000011