(57)【要約】【課題】ＯＬＥＤの不具合を抑えつつＯＬＥＤの駆動電圧を抑える。【解決手段】発光装置１０は、基板１００、第１電極１１０、第１層１２２、第２層１２４、有機発光層１２６及び第２電極１３０を含んでいる。第１電極１１０は、基板１００上に位置している。第１層１２２は、第１電極１１０上に位置している。第１層１２２は、第１有機材料を含む塗布層である。第２層１２４は、第１層１２２上に位置している。第２層１２４は、第２有機材料及び金属酸化物を含んでいる。金属酸化物は、第２有機材料にドープされている。有機発光層１２６は、第２層１２４上に位置している。第２電極１３０は、有機発光層１２６上に位置している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に位置する第１電極と、
前記第１電極上に位置し、第１有機材料を含む塗布層である第１層と、
前記第１層上に位置し、第２有機材料と、前記第２有機材料にドープされた金属酸化物と、を含む第２層と、
前記第２層上に位置する有機発光層と、
前記有機発光層上に位置する第２電極と、
を含む発光装置。
【請求項２】
請求項１に記載の発光装置において、
前記第１有機材料のガラス転移点は、前記第２有機材料のガラス転移点より高い、発光装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の発光装置において、
前記第１電極上に存在し、前記第２層に埋め込まれた異物をさらに含む発光装置。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか一項に記載の発光装置において、
前記第１電極上に存在し、前記第１層に埋め込まれた異物をさらに含む発光装置。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか一項に記載の発光装置において、
前記第２層は、前記第２層を前記第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の第１温度に加熱することを経ている、発光装置。
【請求項６】
請求項５に記載の発光装置において、
前記第１温度は、前記第１有機材料のガラス転移点未満である、発光装置。
【請求項７】
基板上に第１電極を形成する工程と、
第１有機材料を前記第１電極上に塗布して、前記第１有機材料を含む第１層を前記第１電極上に形成する工程と、
第２有機材料と、前記第２有機材料にドープされた金属酸化物と、を含む第２層を前記第１層上に形成する工程と、
前記第２層を前記第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の第１温度に加熱する工程と、
前記第２層上に有機発光層を形成する工程と、
前記有機発光層上に第２電極を形成する工程と、
を含む、発光装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の発光装置の製造方法において、
前記第１有機材料のガラス転移点は、前記第２有機材料のガラス転移点より高い、発光装置の製造方法。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の発光装置の製造方法において、
前記第１温度は、前記第１有機材料のガラス転移点未満である、発光装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項７から９までのいずれか一項に記載の発光装置の製造方法において、
前記第２層を形成する前に前記第１層を大気に曝す工程をさらに含む、発光装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光装置及び発光装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、発光装置として、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）が開発されている。ＯＬＥＤは、基板、第１電極、有機層及び第２電極を含んでいる。有機層は、第１電極と第２電極の間の電圧によって有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）により発光可能な発光層（ＥＭＬ）を含んでいる。有機層は、正孔注入層（ＨＩＬ）、正孔輸送層（ＨＴＬ）、電子輸送層（ＥＴＬ）及び電子注入層（ＥＩＬ）を適宜含んでいてもよい。ＯＬＥＤの製造プロセスにおいては、有機層の各層が順次積層される。
【０００３】
特許文献１に記載されているように、ＯＬＥＤの製造プロセスにおいては、第１電極上に異物が存在すると、第１電極上に堆積された層が異物の周辺において分断され、様々な不具合（例えば、異物の近傍における電界集中又は異物の近傍における短絡）が引き起こされ得る。特許文献１では、基板をこの層のガラス転移点以上融点以下に加熱して、この層が異物を埋め込むようにしている。
【０００４】
特許文献２には、第１電極、正孔輸送性を有する第１層及び正孔輸送性を有する第２層を順に含むＯＬＥＤが記載されている。第１層は、酸化物半導体及び金属酸化物の中から選ばれた１つの化合物を含んでいる。第２層は、芳香族アミン系の化合物を含んでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−９１０６７号公報
【特許文献２】特開２００６−１１４５２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載されているように、第１電極上の異物によるＯＬＥＤの不具合を抑えるべく、第１電極上の特定の層の加熱を実施することがある。本発明者は、この加熱によってＯＬＥＤの駆動電圧が高くなり得ることを新規に見出した。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題としては、ＯＬＥＤの不具合を抑えつつＯＬＥＤの駆動電圧を抑えることが一例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、
基板と、
前記基板上に位置する第１電極と、
前記第１電極上に位置し、第１有機材料を含む塗布層である第１層と、
前記第１層上に位置し、第２有機材料と、前記第２有機材料にドープされた金属酸化物と、を含む第２層と、
前記第２層上に位置する有機発光層と、
前記有機発光層上に位置する第２電極と、
を含む発光装置である。
【０００９】
請求項７に記載の発明は、
基板上に第１電極を形成する工程と、
第１有機材料を前記第１電極上に塗布して、前記第１有機材料を含む第１層を前記第１電極上に形成する工程と、
第２有機材料と、前記第２有機材料にドープされた金属酸化物と、を含む第２層を前記第１層上に形成する工程と、
前記第２層を前記第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の第１温度に加熱する工程と、
前記第２層上に有機発光層を形成する工程と、
前記有機発光層上に第２電極を形成する工程と、
を含む、発光装置の製造方法である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施形態に係る発光装置の断面図である。
【図２】図１に示した発光装置の製造方法の一例を説明するための図である。
【図３】図１に示した発光装置の製造方法の一例を説明するための図である。
【図４】図１に示した発光装置の製造方法の一例を説明するための図である。
【図５】図２の変形例を示す図である。
【図６】比較例に係る発光装置の断面図である。
【図７】第２層の加熱による発光装置の駆動電圧の変化を示すグラフである。
【図８】第２層を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の温度に加熱する前後の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）像の第１例を示す図である。
【図９】第２層を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の温度に加熱する前後の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）像の第２例を示す図である。
【図１０】第２層を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の温度に加熱する前後の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）像の第３例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１２】
図１は、実施形態に係る発光装置１０の断面図である。
【００１３】
図１を用いて、発光装置１０の概要を説明する。発光装置１０は、基板１００、第１電極１１０、第１層１２２、第２層１２４、有機発光層１２６及び第２電極１３０を含んでいる。第１電極１１０は、基板１００上に位置している。第１層１２２は、第１電極１１０上に位置している。第１層１２２は、第１有機材料を含む塗布層である。第２層１２４は、第１層１２２上に位置している。第２層１２４は、第２有機材料及び金属酸化物を含んでいる。金属酸化物は、第２有機材料にドープされている。有機発光層１２６は、第２層１２４上に位置している。第２電極１３０は、有機発光層１２６上に位置している。
【００１４】
上述した構成によれば、発光装置１０の不具合を抑えつつ発光装置１０の駆動電圧を抑えることができる。特に上述した構成によれば、異物による発光装置１０の不具合を抑えることができる。具体的には、上述した構成においては、発光装置１０は、第２層１２４を含んでいる。したがって、第２層１２４を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の温度で加熱することで第１層１２２上の異物を第２層１２４によって埋め込むことができる。したがって、異物による発光装置１０の不具合を抑えることができる。一方、第１電極１１０と第２層１２４の間に第１層１２２を設けないで第２層１２４を加熱すると、発光装置１０の駆動電圧が高くなり得ることを見出した。本発明者は、発光装置１０の駆動電圧を抑える方法を検討し、その結果、第１電極１１０と第２層１２４の間に第１層１２２を設けることで、発光装置１０の駆動電圧が抑えられ得ることを見出した。
【００１５】
本発明者は、第１層１２２を設けないで第２層１２４を加熱すると、発光装置１０の駆動電圧が高くなり得る理由を次のように仮説立てた。第２層１２４を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の温度に加熱することで、第２有機材料の線膨張係数が増加する。第２有機材料の線膨張係数と下地（第１電極１１０）の線膨張係数の差に起因して第２層１２４と第１電極１１０の間で層間剥離が生じ得る。層間剥離に起因して発光装置１０の駆動電圧が高くなり得る。
【００１６】
本発明者は、第１層１２２を設けることで発光装置１０の駆動電圧が抑えられ得る理由を次のように仮説立てた。一般に、塗布プロセスによって形成された層（塗布層）は、層間密着に優れており、特に、蒸着プロセスによって形成された層（蒸着層）よりも、高い層間密着を有している。したがって、第１層１２２（塗布層）によって、第２層１２４と下地（第１電極１１０）の間の層間密着を向上させ得る。層間密着の向上に起因して発光装置１０の駆動電圧が抑えられ得る。
【００１７】
さらに、本発明者は、第１有機材料のガラス転移点が第２有機材料のガラス転移点より高い場合、発光装置１０の駆動電圧を良好に抑えられ得ることを見出した。第１有機材料のガラス転移点が第２有機材料のガラス転移点より高い場合、第２層１２４の加熱時の温度（第２有機材料のガラス転移点以上融点未満）が第１有機材料のガラス転移点よりも高くならない。したがって、第２層１２４を加熱しても、第１層１２２の変質（例えば、ガラス転移）がほとんど生じない。したがって、発光装置１０の駆動電圧を良好に抑えられ得る。
【００１８】
図１を用いて、発光装置１０の詳細を説明する。
【００１９】
発光装置１０は、基板１００、第１電極１１０、有機層１２０及び第２電極１３０を含んでいる。有機層１２０は、第１層１２２、第２層１２４及び有機発光層１２６を含んでいる。
【００２０】
基板１００は、第１面１０２及び第２面１０４を有している。第１電極１１０、有機層１２０及び第２電極１３０は、基板１００の第１面１０２側に位置している。第２面１０４は、第１面１０２の反対側にある。
【００２１】
基板１００は、例えば、ガラス又は樹脂からなっている。基板１００は、可撓性を有していてもよいし、又は有していなくてもよい。基板１００は、透光性を有していてもよいし、又は有していなくてもよい。
【００２２】
第１電極１１０は、陽極として機能している。第１電極１１０は、透光性を有していてもよいし、又は透光性を有していなくてもよい。
【００２３】
第１層１２２は、正孔注入層（ＨＩＬ）として機能している。第１層１２２は、第１有機材料を含んでいる。第１有機材料は、塗布プロセスが適用可能な有機材料である。一例において、第１有機材料は、ポリ３，４−エチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）である。
【００２４】
第２層１２４は、正孔輸送層（ＨＴＬ）として機能している。第２層１２４は、第２有機材料及び金属酸化物を含んでいる。第２有機材料は、正孔輸送材料である。一例において、正孔輸送材料は、４，４’−ビス［Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フェニル−アミノ］−ビフェニル（α−ＮＰＤ）、４，４’−ビス［Ｎ−（３−メチルフェニル）−Ｎ−フェニル−アミノ］−ビフェニル（ＴＰＤ）及び１，３，５−トリス（４−ピリジル）−２，４，６−トリアジン（ＴＰＴ１）からなる群から選択される少なくとも１つである。金属酸化物は、第２有機材料にドープされている。一例において、金属酸化物は、モリブデン酸化物（ＭｏＯｘ）、タングステン酸化物（ＷＯｘ）、バナジウム酸化物（ＶＯｘ）及びルテニウム酸化物（ＲｕＯｘ）からなる群から選択される少なくとも１つである。
【００２５】
第２層１２４は、第１層１２２に接触している。言い換えると、第１層１２２と第２層１２４の間には、第１層１２２及び第２層１２４以外の層が設けられていない。
【００２６】
第２層１２４には、三酸化モリブデン（ＭｏＯ３）がドープされていてもよい。一例において、第２層１２４における三酸化モリブデンのドープ濃度（三酸化モリブデン及び他の材料の合計に対する三酸化モリブデンの割合）は、１％以上２０％以下にすることができる。当該ドープ濃度が１％以上であることで、発光装置１０の駆動電圧を抑えることができ、当該ドープ濃度が２０％以下であることで、逆方向のリーク電流を抑えることができる。
【００２７】
有機発光層１２６は、発光層（ＥＭＬ）として機能している。有機発光層１２６は、発光材料を含んでいる。一例において、発光材料は、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（Ａｌｑ３）、クマリン６、Ｉｒ（ｐｐｙ）３、ＦＩｒＰｉｃ、ＤＣＪＴＢ、Ｉｒ（ｂｔｐ）２（ａｃａｃ）である。
【００２８】
一例において、有機層１２０は、有機発光層１２６と第２電極１３０の間に、電子輸送層（ＨＴＬ）及び電子注入層（ＥＩＬ）の少なくとも一方を適宜含んでいてもよい。他の例において、有機層１２０は、有機発光層１２６と第２電極１３０の間に電荷発生層（ＣＧＬ）をさらに含んでいてもよく、ＣＧＬと第２電極１３０の間に、有機発光層１２６とは異なる発光層をさらに含んでいてもよい。
【００２９】
第２電極１３０は、陰極として機能している。第２電極１３０は、透光性を有していてもよいし、又は透光性を有していなくてもよい。
【００３０】
一例において、第１電極１１０が透光性を有し、第２電極１３０が遮光性、特に光反射性を有していてもよい。この例において、有機層１２０から発せられた光は、第１電極１１０及び基板１００を透過して基板１００の第２面１０４から出射される。
【００３１】
他の例において、第１電極１１０が遮光性を有し、第２電極１３０が透光性、特に光反射性を有していてもよい。この例において、有機層１２０から発せられた光は、第２電極１３０を透過して基板１００の第２面１０４の反対側から出射される。
【００３２】
さらに他の例において、第１電極１１０及び第２電極１３０の双方が透光性を有していてもよい。この例において、有機層１２０から発せられた光の一部は、第１電極１１０及び基板１００を透過して基板１００の第２面１０４から出射され、有機層１２０から発せられた光の他の一部は、第２電極１３０を透過して基板１００の第２面１０４の反対側から出射される。
【００３３】
一例において、第１電極１１０が透光性導電材料を含む場合、第１電極１１０は、透光性を有することができる。透明導電材料は、例えば、金属酸化物（例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＷＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｕｎｇｓｔｅｎ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、ＺｎＯ（Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ））又はＩＧＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｇａｌｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、カーボンナノチューブ又は導電性高分子である。他の例において、第１電極１１０が金属薄膜（例えば、Ａｇ）又は合金薄膜（例えば、ＡｇＭｇ）からなる場合、第１電極１１０は、透光性を有することができる。第２電極１３０についても同様である。
【００３４】
一例において、第１電極１１０が遮光性導電材料、特に光反射性導電材料を含む場合、第１電極１１０は、遮光性、特に光反射性を有することができる。一例において、遮光性導電材料は、金属又は合金であり、より具体的には、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｍｇ、Ｓｎ、Ｚｎ及びＩｎからなる群の中から選択される少なくとも１つの金属又はこの群から選択される金属の合金である。第２電極１３０についても同様である。
【００３５】
図２から図４は、図１に示した発光装置１０の製造方法の一例を説明するための図である。この例において、発光装置１０は、以下のようにして製造される。
【００３６】
まず、図２に示すように、基板１００の第１面１０２上に第１電極１１０を形成する。次いで、第１電極１１０上に第１層１２２を形成する。第１層１２２は、塗布プロセスにより形成される。塗布プロセスは、第１有機材料を第１電極１１０上に塗布することを含んでいる。一例において、溶媒及び第１有機材料を含む溶液を第１電極１１０上に塗布し、この溶媒を乾燥させることで、第１層１２２を形成することができる。塗布プロセスは、例えば窒素環境下や大気下で行われる。したがって、後述する図３に示すように、第１層１２２には、例えば大気内に存在する異物が付着することがある。
【００３７】
次いで、図３に示すように、第１層１２２上に第２層１２４を形成する。図３に示す例では、第２層１２４を形成する前に第１層１２２を大気に曝しており、大気内に存在した異物Ｐが第１層１２２に付着している。第２層１２４は、蒸着プロセスによって形成される。一例において、第２有機材料及び金属酸化物は、真空内において共蒸着させることができる。この例において、第２有機材料及び金属酸化物は、抵抗加熱によって加熱させることができる。
【００３８】
第２有機材料及び金属酸化物を用いて第２層１２４を形成する方法は、共蒸着に限定されない。例えば、第２有機材料及び金属酸化物の混合物を真空蒸着させてもよい。さらに、第２層１２４は、蒸着プロセスとは異なる方法によって形成されてもよく、例えば、第２有機材料及び金属酸化物の混合物を含む膜を転写してもよい。
【００３９】
一般に、蒸着プロセスによって形成された層は、段差被覆性にあまり優れていない。したがって、図３に示すように、第２層１２４は、異物Ｐから異物Ｐの周囲にかけて連続的に形成されず、異物Ｐの周辺において分断されることがある。第２層１２４が分断されたまま第２層１２４上に層（例えば、有機発光層１２６及び第２電極１３０）を形成すると、発光装置１０に様々な不具合（例えば、異物Ｐの近傍における電界集中又は異物Ｐの近傍における短絡）が引き起こされ得る。したがって、後述する図４に示すように、第２層１２４を加熱する必要がある。
【００４０】
次いで、図４に示すように、第２層１２４を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の第１温度に加熱する。加熱によって第２層１２４が流動状態に遷移し、異物Ｐを第２層１２４に埋め込むことができる。第１層１２２の変質を抑える観点から、第１温度は、第１有機材料のガラス転移点未満であることが好ましい。
【００４１】
次いで、第２層１２４上に有機発光層１２６を形成する。有機発光層１２６は、蒸着プロセスにより形成されてもよいし、又は塗布プロセスにより形成されてもよい。次いで、有機発光層１２６上に第２電極１３０を形成する。
【００４２】
このようにして、発光装置１０が製造される。
【００４３】
図２から図４に示す例では、発光装置１０は、第２層１２４に埋め込まれた異物（異物Ｐ）を含むことになる。言い換えると、異物Ｐの全周に亘って、第２層１２４が異物Ｐに接触している。当然のことながら、発光装置１０は、異物を含まなくてもよく、第１層１２２を形成した後に異物が第１層１２２に付着しない場合、発光装置１０は、第２層１２４に埋め込まれた異物を含まない。
【００４４】
図５は、図２の変形例を示す図である。
【００４５】
図５に示す例では、第１電極１１０を形成した後第１層１２２を形成する前に第１電極１１０を大気に曝しており、大気内に存在した異物Ｐが第１電極１１０に付着している。一般に、塗布プロセスにより形成された層は、蒸着プロセスにより形成された層よりも、高い段差被覆性を有している。したがって、第１層１２２を第１有機材料のガラス転移点以上に加熱することなく、異物Ｐを第１層１２２（塗布層）に埋め込むことができる。
【００４６】
図５に示す例では、発光装置１０は、第１層１２２に埋め込まれた異物（異物Ｐ）を含むことになる。言い換えると、異物Ｐの全周に亘って、第１層１２２が異物Ｐに接触している。当然のことながら、発光装置１０は、異物を含まなくてもよく、第１電極１１０を形成した後に異物が第１電極１１０に付着しない場合、発光装置１０は、第１層１２２に埋め込まれた異物を含まない。
【００４７】
以上、本実施形態によれば、異物による発光装置１０の不具合を抑えつつ発光装置１０の駆動電圧を抑えることができる。
【実施例】
【００４８】
図１に示した発光装置１０を以下のように製造した。
【００４９】
第１層１２２を塗布プロセスにより形成した。第１有機材料は、ＰＥＤＯＴとした。
【００５０】
第２層１２４を蒸着プロセスにより形成した。金属酸化物は、三酸化モリブデン（ＭｏＯ３）とした。
【００５１】
図６は、比較例に係る発光装置１０の断面図である。比較例に係る発光装置１０は、第１層１２２が設けられていない点を除いて、実施例に係る発光装置１０と同様である。
【００５２】
図７は、第２層１２４の加熱による発光装置１０の駆動電圧の変化を示すグラフである。図７の上段のグラフは、比較例に係る発光装置１０の結果を示し、図７の下段のグラフは、実施例に係る発光装置１０の結果を示す。図７において、駆動電圧とは、５ｍＡ／ｃｍ２の電流密度を得るために必要な電圧（グラフの縦軸）を意味する。
【００５３】
図７では、第２層１２４を加熱しなかった場合の駆動電圧及び第２層１２４を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の温度に加熱した場合の駆動電圧を測定した。
【００５４】
図７の上段のグラフに示すように、比較例に係る発光装置１０では、第２層１２４を加熱して駆動電圧が増加している。この結果は、第２有機材料の線膨張係数と下地（第１電極１１０）の線膨張係数の差に起因して第２層１２４と第１電極１１０の間で層間剥離が生じ得ることを示唆する。
【００５５】
図７の下段のグラフに示すように、実施例に係る発光装置１０では、第２層１２４を加熱しても駆動電圧が増加していない。この結果は、第１層１２２（塗布層）によって、第２層１２４と下地（第１電極１１０）の間の層間密着を向上させ得ることを示唆する。
【００５６】
図７に示す結果より、実施例に係る発光装置１０では、異物による発光装置１０の不具合を抑えつつ発光装置１０の駆動電圧を抑えることができる。
【００５７】
図８は、第２層１２４を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の温度に加熱する前後の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）像の第１例を示す図である。図８の左側は、加熱前のＳＥＭ像を示しており、図８の右側は、加熱後のＳＥＭ像を示している。図８の左側のＳＥＭ像と図８の右側のＳＥＭ像の比較より、図８に示す例では、第２層１２４を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の温度に加熱することで、第１電極１１０の側面に沿った傾斜部分の表面の凹凸が平滑化されているといえる。
【００５８】
図９は、第２層１２４を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の温度に加熱する前後の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）像の第２例を示す図である。図９の左側は、加熱前のＳＥＭ像を示しており、図９の右側は、加熱後のＳＥＭ像を示している。図９の左側のＳＥＭ像と図９の右側のＳＥＭ像の比較より、図９に示す例では、第２層１２４を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の温度に加熱することで、第１電極１１０の側面に沿った傾斜部分の表面の凹凸が平滑化されているといえる。
【００５９】
図１０は、第２層１２４を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の温度に加熱する前後の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）像の第３例を示す図である。図１０の左側は、加熱前のＳＥＭ像を示しており、図１０の右側は、加熱後のＳＥＭ像を示している。図１０の左側のＳＥＭ像と図１０の右側のＳＥＭ像の比較より、図１０に示す例では、第２層１２４を第２有機材料のガラス転移点以上融点未満の温度に加熱することで、第１電極１１０の側面に沿った傾斜部分の表面の凹凸が平滑化されているといえる。
【００６０】
図８から図１０を用いて説明したように第１電極１１０の側面に沿った傾斜部分の表面の凹凸が平滑化されている場合、この傾斜部分に沿った有機膜（第１層１２２及び第２層１２４）の厚さが局所的に薄くならないようにすることができる。したがって、この傾斜部分における第１電極１１０と第２電極１３０の短絡を防止することができる。
【００６１】
以上、図面を参照して実施形態及び実施例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００６２】
１０  発光装置
１００  基板
１０２  第１面
１０４  第２面
１１０  第１電極
１２０  有機層
１２２  第１層
１２４  第２層
１２６  有機発光層
１３０  第２電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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