(57)【要約】【課題】マニホールドにおける気泡の滞留を低減し、気泡の排出性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】インクを噴射するための複数のノズル開口に連通するマニホールド１００と、マニホールド１００の一部を形成する封止膜４６で形成されたコンプライアンス部４９と、マニホールド１００のコンプライアンス部４９に交差する内壁であってマニホールド１００の下流側の第１内壁１１１へ向けて、マニホールド１００のコンプライアンス部４９に交差する内壁であってマニホールド１００の上流側の第２内壁１１２から突出した突起部１１０と、を備え、コンプライアンス部４９に対してマニホールド１００とは反対側には、コンプライアンス部４９のうち第１内壁１１１と突起部１１０との間の領域に固定された規制部１４０が設けられている。【選択図】  図５
2019130764.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するための複数のノズル開口に連通するマニホールドと、
前記マニホールドの一部を形成する可撓性を有するフィルムで形成されたコンプライアンス部と、
前記マニホールドの前記コンプライアンス部に交差する内壁であって前記マニホールドの下流側の第１内壁へ向けて、前記マニホールドの前記コンプライアンス部に交差する内壁であって前記マニホールドの上流側の第２内壁から突出した突起部と、を備え、
前記コンプライアンス部に対して前記マニホールドとは反対側には、前記コンプライアンス部のうち前記第１内壁と前記突起部との間の領域に固定された規制部が設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記フィルムに対して前記マニホールドとは反対側に前記フィルムと固定され、前記コンプライアンス部となる領域に開口を有するコンプライアンス支持板を備え、
前記規制部は、前記コンプライアンス支持板の前記開口の縁部から前記第１内壁へ向けて突出しており、
前記規制部の先端部は、前記突起部よりも前記第１内壁へ向けて突出し、前記コンプライアンス部に固定されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記先端部は、平面視において前記第１内壁に沿う直線部分を有する
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記先端部と前記第１内壁との間隔は、前記先端部の前記直線部分の幅よりも短い
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項２から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記規制部は、平面視で、前記突起部よりも大きい
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記コンプライアンス支持板のうち前記規制部が前記突起部よりも突出する幅は、前記コンプライアンス支持板のうち前記規制部以外の部分が前記突起部よりも突出する幅よりも広い
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記規制部には、平面視で段差が形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口と、ノズル開口に連通する圧力発生室等の流路と、を具備し、圧力発生手段によって圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズル開口からインク滴を吐出させるものがある。
【０００３】
具体的には、可撓性を有するフィルムによって複数の圧力発生室が連通するマニホールドの一部を画成し、フィルムを変形させることによりマニホールド内の液体の圧力変動を吸収する、所謂コンプライアンス部を設けたインクジェット式記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、マニホールド内における気泡の排出性を向上させるために、マニホールドに絞り部を形成したインクジェット式記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献２参照）。絞り部をマニホールドに設けることで、マニホールド中の液体の淀みを低減し、淀みに起因して滞留する気泡を良好に排出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−４００８９号公報
【特許文献２】特開２０１６−１２８２７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
絞り部を有するマニホールドの一部をコンプライアンス部で画成したインクジェット式記録ヘッドは、絞り部の近傍においてコンプライアンス部の変形に起因して気泡が滞留する可能性がある。上記引用文献ではこのような気泡の滞留を考慮したものではなく、気泡の滞留を改善する余地がある。
【０００７】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置においても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、マニホールドにおける気泡の滞留を低減し、気泡の排出性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の態様は、液体を噴射するための複数のノズル開口に連通するマニホールドと、前記マニホールドの一部を形成する可撓性を有するフィルムで形成されたコンプライアンス部と、前記マニホールドの前記コンプライアンス部に交差する内壁であって前記マニホールドの下流側の第１内壁へ向けて、前記マニホールドの前記コンプライアンス部に交差する内壁であって前記マニホールドの上流側の第２内壁から突出した突起部と、を備え、前記コンプライアンス部に対して前記マニホールドとは反対側には、前記コンプライアンス部のうち前記第１内壁と前記突起部との間の領域に固定された規制部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【００１０】
かかる態様では、コンプライアンス部のうち、第１内壁と突起部との間の一部に規制部を固定することで、コンプライアンス部の一部のマニホールド側への変形を抑制することができる。このため、マニホールド内でコンプライアンス部によって気泡が滞留することを抑制することができ、気泡の排出性を向上させることができる。
【００１１】
また、前記フィルムに対して前記マニホールドとは反対側に前記フィルムと固定され、前記コンプライアンス部となる領域に開口を有するコンプライアンス支持板を備え、前記規制部は、前記コンプライアンス支持板の前記開口の縁部から前記第１内壁へ向けて突出しており、前記規制部の先端部は、前記突起部よりも前記第１内壁へ向けて突出し、前記コンプライアンス部に固定されていることが好ましい。コンプライアンス部のうち前記下流に対向する部分は、ノズル開口等に連通するため、比較的圧力変動が大きい。当該部分は規制部により変形が規制されないので、上記圧力変動を十分に吸収することができる。また、規制部をコンプライアンス支持板と同部材で形成するので、部品点数を減らしてコストを低減することができる。
【００１２】
また、前記先端部は、平面視において前記第１内壁に沿う直線部分を有することが好ましい。これによれば、コンプライアンス部のうち、直線部分と、第１内壁との間の領域における撓み量をより一層低減することができる。このため、マニホールド内でコンプライアンス部によって気泡が滞留することを抑制することができ、気泡の排出性をより一層向上させることができる。
【００１３】
また、前記先端部と前記第１内壁との間隔は、前記先端部の前記直線部分の幅よりも短いことが好ましい。これによれば、気泡の排出性をより一層向上させることができる。
【００１４】
また、前記規制部は、平面視で、前記突起部よりも大きいことが好ましい。これによれば、突起部と封止膜との間に隙間が生じ、気泡が入り込んで滞留することを抑制することができる。
【００１５】
また、前記コンプライアンス支持板のうち前記規制部が前記突起部よりも突出する幅は、前記コンプライアンス支持板のうち前記規制部以外の部分が前記突起部よりも突出する幅よりも広いことが好ましい。これによれば、コンプライアンス部のうち規制部が固定される領域をより大きく確保して撓み量をより小さくすることができる。
【００１６】
また、前記規制部には、平面視で段差が形成されていることが好ましい。これによれば、コンプライアンス部のうち規制部により固定された部分における撓み量を小さくするとともに、規制部により固定されていない部分における撓み量をより大きく確保することができる。
【００１７】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、マニホールドにおける気泡の滞留を低減し、気泡の排出性が向上した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】連通板の平面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図である。
【図５】連通板の一部を拡大した斜視図である。
【図６】図２のＡ−Ａ′線断面図である。
【図７】気泡の流れを示すための記録ヘッドの要部断面図である。
【図８】気泡の流れを示すための従来の記録ヘッドの要部断面図である。
【図９】実施形態２に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図である。
【図１０】実施形態２に係るコンプライアンス部の撓み量を示す図である。
【図１１】実施形態３に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図である。
【図１２】実施形態４に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図である。
【図１３】実施形態５に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図である。
【図１４】実施形態６に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図である。
【図１５】実施形態６に係る記録ヘッドの一部を拡大した断面図である。
【図１６】実施形態７に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図である。
【図１７】インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
〈実施形態１〉
本発明の一実施形態について詳細に説明する。本実施形態では、液体噴射ヘッドの一例として、インクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドともいう）について説明する。図１は本実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は記録ヘッドの平面図であり、図３は連通板の平面図であり、図４は記録ヘッドの一部を拡大した平面図であり、図５は連通板の一部を拡大した斜視図であり、図６は図２のＡ−Ａ′線断面図である。
図２及び図３は、第３の方向Ｚにおいて、インクを吐出する液体噴射面側から見た平面図である。図４は、コンプライアンス基板４５が設けられた連通板１５をノズルプレート２０側からみた平面図であるが、封止膜４６の図示は省略している。図５には、連通板１５及びコンプライアンス基板４５の断面（ＹＺ平面に平行な断面）を示してあり、さらに、封止膜４６及びコンプライアンス支持板４７の一部を切り欠いて示している。
【００２０】
本実施形態の記録ヘッドＩＩは、ヘッド本体１１、ヘッド本体１１の一方面側に固定されたケース部材４０、ヘッド本体１１の他方面側に固定された固定板１３０等の複数の部材を備える。また、ヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズルプレート２０と、流路形成基板１０の連通板１５とは反対側に設けられた保護基板３０と、連通板１５のノズルプレート２０が設けられた面側に設けられたコンプライアンス基板４５と、を具備する。
【００２１】
ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ２あるいはＡｌ２Ｏ３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は、第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。第１の方向Ｘに沿って並設された圧力発生室１２の列の列設方向を第２の方向Ｙと称する。
【００２２】
また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。
【００２３】
また、流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。すなわち、流路形成基板１０の一方面に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズル開口２１を有するノズルプレート２０と、を具備する。
【００２４】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル開口２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル開口２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、また、流路形成基板１０の面積を連通板１５より小さくできるので、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。
【００２５】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。
【００２６】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、本実施形態では、ノズル開口２１と第２マニホールド部１８と連通する個別流路として、供給連通路１９と、圧力発生室１２と、ノズル連通路１６と、が設けられている。
【００２７】
このような連通板１５としては、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００２８】
ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。
【００２９】
このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００３０】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。
【００３１】
また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて圧電アクチュエーター３００を構成している。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。ただし、流路形成基板１０上に直接第１電極６０を設ける場合には、第１電極６０とインクとが導通しないように第１電極６０を絶縁性の保護膜等で保護するのが好ましい。つまり、本実施形態では、基板（流路形成基板１０）上に振動板５０を介して第１電極６０を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、振動板５０を設けずに第１電極６０を直接基板上に設けるようにしてもよい。すなわち、第１電極６０が振動板として作用するようにしてもよい。つまり、基板上とは、基板の直上も、間に他の部材が介在した状態（上方）も含むものである。
【００３２】
さらに、このような圧電アクチュエーター３００の個別電極である各第２電極８０には、供給連通路１９とは反対側の端部近傍から引き出され、振動板５０上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。リード電極９０の一端部は第２電極８０に接続されており、他端部は貫通孔３２内に露出するように延設されている。
【００３３】
流路形成基板１０の圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。
【００３４】
このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。すなわち、マニホールド１００は、第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２を具備する。また、本実施形態のマニホールド１００は、第２の方向Ｙにおいて、２列の圧力発生室１２の両外側に配置されており、２列の圧力発生室１２の両外側に設けられた２つのマニホールド１００は、記録ヘッドＩＩ内では連通しないようにそれぞれ独立して設けられている。すなわち、本実施形態の圧力発生室１２の列（第１の方向Ｘに並設された列）毎に１つのマニホールド１００が連通して設けられている。
【００３５】
また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている。駆動ＩＣ等の駆動回路１２０を実装した配線基板１２１は、接続口４３及び貫通孔３２内において、リード電極９０に電気的に接続している。
【００３６】
なお、２つのマニホールド１００は、記録ヘッドＩＩの上流側、すなわち、詳しくは後述するマニホールド１００に連通する導入路４４に接続される上流流路で連通していてもよい。
【００３７】
このようなケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。
【００３８】
また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５は、平面視において上述した連通板１５と略同じ大きさを有し、ノズルプレート２０を露出する第１露出開口部４５ａが設けられている。コンプライアンス基板４５が第１露出開口部４５ａによってノズルプレート２０を露出した状態で、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。
【００３９】
すなわち、コンプライアンス基板４５がマニホールド１００の一部を画成している。このようなコンプライアンス基板４５は、フィルムに相当する封止膜４６と、コンプライアンス支持板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有するフィルム状の薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、芳香族ポリアミド（アラミド）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、コンプライアンス支持板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。このコンプライアンス支持板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。本実施形態では、１つのマニホールド１００に対応して１つのコンプライアンス部４９が設けられている。すなわち、本実施形態では、マニホールド１００が２つ設けられているため、ノズルプレート２０を挟んで第２の方向Ｙの両側に２つのコンプライアンス部４９が設けられている。
【００４０】
また、ヘッド本体１１の液体噴射面２０ａ側には、固定板１３０が設けられている。
【００４１】
固定板１３０には、ノズル開口２１を露出する第２露出開口部１３２が設けられている。本実施形態では、第２露出開口部１３２は、ノズルプレート２０を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５の第１露出開口部４５ａと略同じ開口を有する。
【００４２】
また、固定板１３０は、本実施形態では、ヘッド本体１１の側面（液体噴射面２０ａとは交差する面）を覆うように、液体噴射面２０ａ側から端部が屈曲して設けられている。
【００４３】
このような固定板１３０は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接合されており、コンプライアンス部４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止する。すなわち、固定板１３０は、コンプライアンス部４９との間に空間１３１を配した状態でコンプライアンス部４９を覆うように設けられている。このようにコンプライアンス部４９を固定板１３０で覆うことにより、コンプライアンス部４９が紙等の被記録媒体が接触しても破壊されるのを抑制することができる。また、コンプライアンス部４９にインク（液体）が付着するのを抑制して、固定板１３０の表面に付着したインク（液体）を例えばワイパーブレード等で払拭することができ、被記録媒体を固定板１３０に付着したインク等で汚すのを抑制することができる。
【００４４】
ここで、図３〜図６を用いて、マニホールド１００の構成について詳細に説明する。本実施形態ではマニホールド１００は、第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２とから構成されている。このようなマニホールド１００には、突起部１１０が形成されている。
【００４５】
具体的には、連通板１５のコンプライアンス基板４５が接合される面には、第３の方向Ｚに貫通した第１マニホールド部１７と、第３の方向Ｚに貫通していない第２マニホールド部１８とが設けられている。
【００４６】
本実施形態では、第２マニホールド部１８は、第１の方向Ｘに長尺な開口を有している。このような第２マニホールド部１８内には、第１マニホールド部１７、及び第１の方向Ｘに並設された複数の供給連通路１９が開口している。第１マニホールド部１７は、第１の方向Ｘに長尺な矩形状の開口を有しており、突起部１１０を挟んで、第１の方向Ｘに沿って２つ設けられている。
【００４７】
このようなマニホールド１００は、マニホールド１００を構成する内壁として、第１内壁１１１及び第２内壁１１２を備えている。第１内壁１１１は、マニホールド１００のコンプライアンス部４９に交差する内壁のうち、インクの流れの下流側、本実施形態では供給連通路１９側の内壁である。第２内壁１１２は、マニホールド１００のコンプライアンス部４９に交差する内壁のうち、インクの流れの上流側、本実施形態では第１マニホールド部１７側の内壁である。
【００４８】
突起部１１０は、第２内壁１１２から第１内壁１１１へ向けて突出して形成されている。本実施形態では、第１の方向Ｘにおいて、第２内壁１１２のほぼ中央部分に突起部１１０が設けられており、平面視において三角形状に形成されている。
【００４９】
このように、マニホールド１００の第２内壁１１２には、長手方向である第１の方向Ｘにおけるほぼ中央部分に突起部１１０が形成され、その両側に第１マニホールド部１７が形成されている。一方、第２マニホールド部１８には、第２の方向Ｙにおいて、第１マニホールド部１７とは反対側に、複数の供給連通路１９が形成されている。
【００５０】
このようなマニホールド１００においては、図３〜図５の矢印で示すように、インクの流れの上流側である第１マニホールド部１７から、第２マニホールド部１８を経由して、インクの流れの下流側である各供給連通路１９にインクが流通する。
【００５１】
また、各第１マニホールド部１７から流入したインクは、突起部１１０に沿って流れ、突起部１１０の先端と、第１内壁１１１との間の領域で合流する。このように、第２マニホールド部１８のうち、第２の方向Ｙにおける突起部１１０と第１内壁１１１との間隔が徐々に狭くなっている領域を合流領域１８ａと称する。合流領域１８ａでは、合流領域１８ａ以外の領域よりもインクの流速が速くなっている。すなわち、第２マニホールド部１８では、第１マニホールド部１７から突起部１１０に向けてインクの流れが速くなっている。このような突起部１１０を設けることにより、合流領域１８ａにおけるインクの淀みが抑制されており、この結果、淀みに滞留する気泡を有効に排除して気泡の排出性を向上させることができる。
【００５２】
マニホールド１００の一部は、上述したように、封止膜４６のみで封止されたコンプライアンス部４９となっている。このコンプライアンス部４９は、全体としては可撓性を有しており、変形することで、マニホールド１００内の圧力変動を吸収することが可能となっている。一方、コンプライアンス部４９の一部には、規制部１４０が固定されており、コンプライアンス部４９の一部の変形を規制している。この規制部１４０について詳細に説明する。
【００５３】
本実施形態では、規制部１４０は、コンプライアンス支持板４７の一部として形成されている。具体的には、規制部１４０は、コンプライアンス支持板４７に形成された開口部４８の縁部から、供給連通路１９側へ向けて突出するように形成され、平面視で三角形状となっている。さらに、規制部１４０の先端部１４１は、図４に示す平面視において、マニホールド１００に形成された突起部１１０よりも第１内壁１１１へ向けて突出している。
【００５４】
規制部１４０の先端部１４１は、突起部１１０と第１内壁１１１との間に位置しており、コンプライアンス部４９のマニホールド１００とは第３の方向において反対側に固定されている。さらに、先端部１４１は、平面視において、コンプライアンス部４９のうち第１内壁１１１と突起部１１０との間の領域に固定されている。本実施形態では、規制部１４０のうち、突起部１１０よりも第１内壁１１１へ突出した部分（図４のハッチ部分）がコンプライアンス部４９に接着剤等で固定されている。以後、コンプライアンス部４９のうち、規制部１４０に固定された部分を被固定部４９ａと称する。
【００５５】
なお、規制部１４０がコンプライアンス部４９に固定される箇所は図４に示した例に限定されない。コンプライアンス部４９のうち第１内壁１１１と突起部１１０との間の領域にコンプライアンス部４９が固定されていればよい。例えば、規制部１４０のうち、マニホールド１００の合流領域１８ａに対向する部分（先端部１４１近傍）のみがコンプライアンス部４９に固定されていてもよい。
【００５６】
図７は、マニホールドにおける気泡の流れを示すための記録ヘッドの要部断面図である。同図に示すように、被固定部４９ａは、コンプライアンス部４９のうち規制部１４０に固定された部分である。コンプライアンス部４９のうち、被固定部４９ａ以外を可撓部４９ｂと称する。
【００５７】
突起部１１０が突出する方向（本実施形態では第２の方向Ｙ）において、規制部１４０を突起部１１０よりも突出させ、その先端部１４１でコンプライアンス部４９が固定されている。このような構成とすることで、可撓部４９ｂの長さＬを短縮することができる。可撓部４９ｂの長さＬとは、第２の方向Ｙにおいて、規制部１４０（先端部１４１）から第１内壁１１１までの長さである。このように可撓部４９ｂの長さＬを短縮できるため、可撓部４９ｂがマニホールド１００側へ撓む量（圧力変動の吸収量）を小さくすることができる。したがって、合流領域１８ａに流入した気泡１５０が撓んだ可撓部４９ｂに引っかかって滞留することを抑制することができ、気泡の排出性を向上することができる。
【００５８】
図８は、従来のマニホールドにおける気泡の流れを示すための記録ヘッドの要部断面図である。図７に示したマニホールドとは、コンプライアンス支持板４７に規制部１４０が形成されていない点で相違する。このような従来の記録ヘッドでは、コンプライアンス部４９の合流領域１８ａに対向する可撓部４９ｂ’は、突起部１１０から第１内壁１１１までの間の長さＬ’を有し、図７に示した本実施形態の可撓部４９ｂの長さＬよりも長くなる。このため、可撓部４９ｂ’がマニホールド１００側へ撓む量は大きくなり、合流領域１８ａに流入した気泡１５０が撓んだ可撓部４９ｂ’に引っかかって滞留する虞がある。
【００５９】
また、本実施形態の規制部１４０は、図４の平面視において突起部１１０よりも大きい形状となっている。換言すれば、規制部１４０は、突起部１１０よりも第１内壁１１１へ向けて庇状に突出している。このような構成とすることで、突起部１１０の表面（コンプライアンス部４９側の面）に接着剤等で接着される封止膜４６を、突起部１１０と規制部１４０とでより確実に挟持することができる。これにより、突起部１１０と封止膜４６との間に隙間が生じ、気泡が入り込んで滞留することを抑制することができる。なお、実施形態５（図１３参照）に示すように、規制部１４０Ｄが平面視において突起部１１０よりも小さい形状であってもよい。
【００６０】
このような構成の記録ヘッドＩＩでは、インクを噴射する際に、インクカートリッジ等から導入路４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。
【００６１】
このとき、マニホールド１００内へのインクの供給や圧力発生室１２内の圧力変動などによってマニホールド１００内に圧力変動が生じるが、この圧力変動はコンプライアンス部４９が撓み変形することによって吸収される。
【００６２】
そして、コンプライアンス部４９のうち、第１内壁１１１と突起部１１０との間の一部（被固定部４９ａ）に規制部１４０（先端部１４１）を固定することで、コンプライアンス部４９の一部（可撓部４９ｂ）のマニホールド側への変形を抑制することができる。このため、マニホールド１００内でコンプライアンス部４９によって気泡が滞留することを抑制することができ、気泡の排出性を向上させることができる。上述したように、突起部１１０を設けて流速を速めることによって気泡の排出性を向上させているが、コンプライアンス部４９に気泡が引っかかって滞留することが抑制されているので、気泡の排出性をより一層向上させることができる。
【００６３】
また、本実施形態では、規制部１４０は、コンプライアンス支持板４７の一部として形成されおり、マニホールド１００の上流側（第２内壁１１２側）から下流側（第１内壁１１１側）へ向けて突出するように形成されている。換言すれば、図７に示すように、規制部１４０は、第３の方向Ｚにおいて、マニホールド１００の下流側である供給連通路１９に対向するように位置していない。
【００６４】
したがって、コンプライアンス部４９のうち供給連通路１９に対向する部分は、規制部１４０に変形が規制されない構成となっている。コンプライアンス部４９のうち供給連通路１９に対向する部分は、ノズル開口２１や圧力発生室１２に連通するため、比較的圧力変動が大きい。本実施形態では、コンプライアンス部４９の当該部分の変形が規制部１４０により規制されないので、上記圧力変動を十分に吸収することができる。また、規制部１４０をコンプライアンス支持板４７と同部材で形成することで、部品点数を減らしてコストを低減することができる。
【００６５】
〈実施形態２〉
図９は、本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００６６】
図示するように、本実施形態の規制部１４０の先端部１４１Ａは、平面視において第１内壁１１１に沿う直線部分１４５を有する。直線部分１４５が第１内壁１１１に沿うとは、図９に示す平面視において、第１内壁１１１とは間をあけて平行である、又は、実質的に平行であることをいう。実質的に平行とは、厳密な平行でなくても後述する同様の作用効果が得られる範囲を意味する。また、先端部１４１Ａと第１内壁１１１との間隔Ｄは、直線部分１４５の幅Ｗよりも狭い。さらに、規制部１４０は、突起部１１０よりも第１内壁１１１側へ突出した部分の全体がコンプライアンス部４９に固定されている。
【００６７】
コンプライアンス部４９のうち、先端部１４１Ａの直線部分１４５と、第１内壁１１１との間の領域を領域Ａとする。一方、コンプライアンス部４９のうち、先端部１４１Ａの直線部分１４５以外の部分と、第１内壁１１１との間の領域を領域Ｂとする。また、Ｃ１は、領域Ａの中心の一点である。Ｃ２は、第１の方向Ｘから所定距離だけ離れた領域Ｂの一点である。
【００６８】
領域Ａの第２の方向Ｙの長さは、領域Ｂの第２の方向Ｙの長さよりも短くなっている。したがって、領域Ａにおけるマニホールド１００側への撓み量は、領域Ｂの撓み量よりも小さい。このため、領域Ａは、相対的に大きく撓む領域Ｂに引っ張られ、撓み量が大きくなる傾向にある。しかしながら、領域Ａの幅Ｗを広くすることで、領域Ｂによる影響が低減され、この結果、領域Ａの撓み量を小さくすることができる。
【００６９】
図１０に領域Ａ及び領域Ｂの撓み量を示す。横軸は幅Ｗであり、縦軸は領域Ａ又は領域Ｂにおけるコンプライアンス部４９の撓み量である。図中の菱形は、Ｃ１における撓み量を実測したものであり、四角はＣ２における撓み量を実測したものである。図中の曲線は、実測値に基づいて幅Ｗと撓み量との関係を多項式近似したものである。撓み量は、幅Ｗがゼロ（実施形態１のような先端部１４１を有する規制部１４０）であるときのＣ１における撓み量を「１」として、相対値で示してある。幅Ｗについても相対値で示してある。
【００７０】
幅Ｗがゼロである場合、領域ＡのＣ１の撓み量は１であるのに対し、領域ＢのＣ２における撓み量は１．３である。幅Ｗを２としたとき、領域ＡのＣ１の撓み量は約０．８５であり、領域ＢのＣ２における撓み量は約１．２である。つまり、領域Ａの幅Ｗを広くすることによって領域Ａの撓み量が低減していることが分かる。また、領域Ｂについても撓み量は低減しているものの、その程度は、領域Ａよりも小さい。このように幅Ｗを適宜広く取ることで、領域Ａにおける撓み量を低減するとともに、領域Ｂでの撓み量の低減を抑えて十分なコンプライアンスを維持することができる。
【００７１】
上述したように、本実施形態に係る記録ヘッドにおいては、規制部１４０の先端部１４１Ａに直線部分１４５を設けた。これにより、コンプライアンス部４９のうち、先端部１４１の直線部分１４５と、第１内壁１１１との間の領域Ａにおける撓み量をより一層低減することができる。このため、マニホールド１００内でコンプライアンス部４９によって気泡が滞留することを抑制することができ、気泡の排出性をより一層向上させることができる。
【００７２】
また、本実施形態に係る記録ヘッドにおいては、先端部１４１Ａと第１内壁１１１との間隔Ｄは直線部分１４５の幅Ｗよりも狭い。すなわち、コンプライアンス部４９のうち領域Ａの間隔Ｄを狭く形成できるので、撓み量をより一層小さくすることができる。このため、マニホールド１００内でコンプライアンス部４９によって気泡が滞留することを抑制することができ、気泡の排出性をより一層向上させることができる。
【００７３】
〈実施形態３〉
図１１は、本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００７４】
図示するように、本実施形態の規制部１４０Ｂは、平面視において段差が形成されている。規制部１４０Ｂに段差が形成されているとは、規制部１４０Ｂの外形に段差があることをいう。本実施形態では、規制部１４０Ｂは、平面視において、台形状のベース部１４３の短辺部に、三角形状の先端部１４１Ｂを設けた形状を有している。
【００７５】
実施形態２と同様に、コンプライアンス部４９のうち、先端部１４１Ｂと、第１内壁１１１との間の領域を領域Ａとする。一方、コンプライアンス部４９のうち、ベース部１４３と、第１内壁１１１との間の領域を領域Ｂとする。
【００７６】
規制部１４０Ｂに段差を設けたことにより、段差を設けない場合と比較して、領域Ｂの大きさを広くすることができる。これにより、コンプライアンス部４９の領域Ｂにおける撓み量を、段差を設けない場合と比較して大きくすることができる。したがって、領域Ａにおいては撓み量を小さくして、領域Ａにおいて気泡の滞留を抑制するとともに、領域Ｂにおいては撓み量を大きくして圧力変動を吸収できる量をより大きく確保することができる。
【００７７】
〈実施形態４〉
図１２は、本発明の実施形態４に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００７８】
図示するように、本実施形態の規制部１４０Ｃは、平面視において段差が形成されている。具体的には、規制部１４０Ｃは、平面視において、台形状のベース部１４３の短辺部に、直線部分１４５を有する台形状の先端部１４１Ｃを設けた外形を有している。
【００７９】
実施形態３と同様に、コンプライアンス部４９のうち、先端部１４１Ｃと、第１内壁１１１との間の領域を領域Ａとする。一方、コンプライアンス部４９のうち、ベース部１４３と、第１内壁１１１との間の領域を領域Ｂとする。
【００８０】
規制部１４０Ｃに段差を設けたことにより、実施形態３と同様の作用効果を奏する。さらに、本実施形態では、規制部１４０Ｃの先端部１４１Ｃは直線部分１４５を有している。これにより、実施形態２と同様に、領域Ｂの撓み変形が領域Ａの撓み変形に影響することを低減することができ、この結果、領域Ａにおける撓み量をより小さくすることができる。これにより、コンプライアンス部４９の領域Ｂにおける撓み量を、段差を設けない場合と比較して大きくすることができ、さらに、領域Ａの撓み量をより小さくすることができる。この結果、領域Ａにおいて気泡の滞留を抑制するとともに、領域Ｂにおいては撓み量を大きくして圧力変動を吸収できる量をより大きく確保することができる。
【００８１】
なお、規制部１４０Ｃは、一つの段差を有しているが、もちろん、これに限定されず、複数の段差を有していてもよい。
【００８２】
〈実施形態５〉
図１３は、本発明の実施形態５に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００８３】
図示するように、本実施形態の規制部１４０Ｄは、コンプライアンス支持板４７の開口部４８の縁部のうち、第１内壁１１１側の縁部から第２内壁１１２側の縁部を接続するように形成されている。この規制部１４０Ｄは、コンプライアンス部４９のうち突起部１１０と第１内壁１１１との間の被固定部４９ａ（図１３のハッチ部分）に固定されている。
【００８４】
このような構成の規制部１４０Ｄは、被固定部４９ａに固定されているので、実施形態１と同様に、コンプライアンス部４９の一部である被固定部４９ａの変形を抑制することができる。このため、マニホールド１００内でコンプライアンス部４９によって気泡が滞留することを抑制することができ、気泡の排出性を向上させることができる。
【００８５】
また、規制部１４０Ｄは、平面視において突起部１１０よりも小さい。すなわち、突起部１１０のうち、規制部１４０Ｄが重なっていない部分は、封止膜４６（不図示）のみが重なっており、突起部１１０と規制部１４０Ｄとで挟持されていない。このような規制部１４０Ｄであっても、上述したように実施形態１と同様の作用効果を奏する。
【００８６】
〈実施形態６〉
図１４は本発明の実施形態６に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図であり、図１５は本発明の実施形態６に係る記録ヘッドの一部を拡大した断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００８７】
図示するように、本実施形態の規制部１４０Ｅは、コンプライアンス支持板４７とは独立してコンプライアンス部４９に固定されている。具体的には、規制部１４０Ｅは、図１４の平面視において、突起部１１０と第１内壁１１１との間に領域に配置されている。そして、図１５に示すように、規制部１４０Ｅは、コンプライアンス部４９に対して第２マニホールド部１８（マニホールド１００）とは反対側、すなわちコンプライアンス部４９と固定板１３０との間に設けられている。規制部１４０Ｅは、コンプライアンス部４９に対して接着剤等で固定され、さらに、固定板１３０にも接着剤等で固定されている。
【００８８】
このような構成の規制部１４０Ｅは、被固定部４９ａに固定されているので、実施形態１と同様に、コンプライアンス部４９の一部である被固定部４９ａの変形を抑制することができる。このため、マニホールド１００内でコンプライアンス部４９によって気泡が滞留することを抑制することができ、気泡の排出性を向上させることができる。
【００８９】
〈実施形態７〉
図１６は本発明の実施形態７に係る記録ヘッドの一部を拡大した平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００９０】
本実施形態に係る規制部１４０Ｆの突起部１１０よりも突出する幅Ｗ１は、コンプライアンス支持板４７のうち規制部１４０Ｆ以外の部分が突起部１１０よりも突出する幅Ｗ２よりも広い。すなわち、コンプライアンス支持板４７の開口部４８は、第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８の開口（コンプライアンス部４９側の開口）よりも内側に突出している。そして、その突出する幅については、規制部１４０Ｆが突出する幅Ｗ１の方が、コンプライアンス支持板４７の規制部１４０Ｆ以外の部分が突出する幅Ｗ２よりも広くなっている。
【００９１】
このような構成とすることで、連通板１５における第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８の開口（コンプライアンス部４９側の開口）を封止した封止膜４６を、連通板１５とコンプライアンス支持板４７とでより確実に挟持することができる。これにより、連通板１５と封止膜４６との間に隙間が生じ、気泡が入り込んで滞留することを抑制することができる。
【００９２】
そして、規制部１４０Ｆが突出する幅Ｗ１の方が、コンプライアンス支持板４７の規制部１４０Ｆ以外の部分が突出する幅Ｗ２よりも広くなっているので、規制部１４０Ｆがコンプライアンス部４９を固定する領域を多く確保することができる。
【００９３】
このように、コンプライアンス支持板４７全体としては、連通板１５と封止膜４６との間に隙間が生じることを抑制するとともに、コンプライアンス部４９のうち規制部１４０Ｆが固定される領域をより大きく確保して撓み量をより小さくすることができる。
【００９４】
〈実施形態８〉
各実施形態の記録ヘッドＩＩは、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置に搭載される。図１７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００９５】
インクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数の記録ヘッドＩＩを有するインクジェット式記録ヘッドユニット１（以下、記録ヘッドユニット１とも言う）は、インク供給手段を構成するカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１は、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００９６】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラー８に限定されずベルトやドラム等であってもよい。
【００９７】
なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッドＩＩ（記録ヘッドユニット１）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッドＩＩが固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００９８】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体貯留手段であるカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、貯留手段と記録ヘッドＩＩとをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。
【００９９】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【０１００】
上記実施形態では、マニホールド１００に形成された突起部１１０は、平面視で三角形状であったが、このような形状に限定されない。例えば、平面視で半球状であってもよい。また、突起部は、平面視において直線又は曲線状の外形である必要はなく、段差が設けられていてもよい。いずれにせよ、突起部は、平面視で、第２内壁１１２から第１内壁１１１へ向けて突出する形状を有していればよい。
【０１０１】
上記実施形態では、突起部１１０は、マニホールド１００に一つ設けられていたが、複数個設けられていてもよい。複数の突起部１１０を有する場合、各突起部１１０ごとに、規制部１４０を設ければよい。
【０１０２】
実施形態１から実施形態４においては、各規制部は、第２内壁１１２側から第１内壁１１１側へ向けてコンプライアンス支持板４７の開口部４８から突出していたが、このような態様に限定されない。例えば、コンプライアンス支持板４７の開口部４８のうち、第１内壁１１１側から第２内壁１１２側へ向けて突出するように規制部を設けてもよい。このような規制部であっても、コンプライアンス部４９のうち突起部１１０と第１内壁１１１との間の領域を固定するので、当該領域の撓み変形を小さくすることができる。
【０１０３】
上述した各実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【０１０４】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【符号の説明】
【０１０５】
Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  ＩＩ…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、１０…流路形成基板、  １１…ヘッド本体、  １５…連通板、  １７…第１マニホールド部、  １８…第２マニホールド部、  １８ａ…合流領域、  ２０…ノズルプレート、  ２０ａ…液体噴射面、  ２１…ノズル開口、  ３０…保護基板、  ４０…ケース部材、  ４２…第３マニホールド部、  ４５…コンプライアンス基板、  ４６…封止膜（フィルム）、  ４７…コンプライアンス支持板、  ４８…開口部、  ４９…コンプライアンス部、  ４９ａ…被固定部、  ４９ｂ…可撓部、  ５０…振動板、  ６０…第１電極、  ７０…圧電体層、  ８０…第２電極、  １００…マニホールド、  １１０…突起部、  １１１…第１内壁、  １１２…第２内壁、  １４０、１４０Ｂ、１４０Ｃ、１４０Ｄ、１４０Ｅ、１４０Ｆ…規制部、  １４１、１４１Ａ、１４１Ｂ、１４１Ｂ、１４１Ｃ…先端部、１４３…ベース部、  １４５…直線部分、３００…圧電アクチュエーター
【図１】
2019130764.tif 000003
【図２】
2019130764.tif 000004
【図３】
2019130764.tif 000005
【図４】
2019130764.tif 000006
【図５】
2019130764.tif 000007
【図６】
2019130764.tif 000008
【図７】
2019130764.tif 000009
【図８】
2019130764.tif 000010
【図９】
2019130764.tif 000011
【図１０】
2019130764.tif 000012
【図１１】
2019130764.tif 000013
【図１２】
2019130764.tif 000014
【図１３】
2019130764.tif 000015
【図１４】
2019130764.tif 000016
【図１５】
2019130764.tif 000017
【図１６】
2019130764.tif 000018
【図１７】
2019130764.tif 000019