(57)【要約】【課題】ガスケットと装着部材との間のシールの性能を向上させる。【解決手段】ガスケットの装着構造は、装着部材３とガスケット１とを備える。装着部材３は、第１ベース部１１、第１ベース部１１に突出するように設けられた外側筒部１３、第１ベース部１１に外側筒部１３と同方向へ突出するようにかつ外側筒部１３の径方向内方に設けられた内側筒部１５、および、第１ベース部１１と外側筒部１３と内側筒部１５との間に設けられた溝部１７を有する。ガスケット１は、筒形状の第２ベース部４２、溝部１７に圧入されるべく第２ベース部１２に突出するように設けられたた筒形状の外側突出部４４、および、内側筒部１５と軸心方向に圧接すべく第２ベース部４２に突出するように設けられ、内側筒部１５と圧接する際に外側突出部４２との間に内側筒部１５を径方向に挟むように外側突出部４２の径方向内方に設けられた筒形状の内側突出部４６を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の流通孔を有する第１ベース部、前記第１ベース部に突出するように設けられた外側筒部、筒孔が前記流通孔と連通した状態で前記第１ベース部に前記外側筒部と同方向へ突出するようにかつ前記外側筒部の径方向内方に設けられた内側筒部、および、前記外側筒部が突出する方向に向かって開口するように前記第１ベース部と前記外側筒部と前記内側筒部との間に設けられた溝部を有する装着部材と、
筒形状の第２ベース部、前記装着部材の溝部に圧入されるべく前記第２ベース部に突出するように設けられた筒形状の外側突出部、および、前記装着部材の内側筒部と軸心方向に圧接すべく前記第２ベース部に突出するように設けられ、前記装着部材の内側筒部と圧接する際に前記外側突出部との間に前記装着部材の内側筒部を径方向に挟むように前記外側突出部の径方向内方に設けられた筒形状の内側突出部を有するガスケットと、を備える、ガスケットの装着構造。
【請求項２】
前記装着部材の内側筒部の内周部および前記ガスケットの内側突出部の内周部は、当該内側筒部と当該内側突出部との接触によって互いに連通する流体流路の流路壁を構成し、
前記ガスケットの内側突出部の突出端部が、前記装着部材の内側筒部の最小内径以上の内径を有し、
前記内側突出部の軸心方向において前記内側突出部の突出端側から前記第２ベース部側へ向かうに従って当該内側突出部の内径を縮小させる第１内周面が、前記ガスケットの内側突出部の内周部に備えられる、請求項１に記載のガスケットの装着構造。
【請求項３】
前記第１内周面は、テーパ面である、請求項２に記載のガスケットの装着構造。
【請求項４】
前記第１内周面は、前記ガスケットの径方向内方側へ向かって凸となる凸曲面である、請求項２に記載のガスケットの装着構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスケットの装着構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造等の技術分野の製造装置において使用され得る、ガスケットの装着構造が知られている（例えば、特許文献１参照）。この種のガスケットの装着構造においては、ガスケットがH型断面に形成されて、このガスケットの凹部が装着部材の突部を嵌入するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３０７９８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のようなガスケットの装着構造によれば、装着部材へのガスケットの装着により、ガスケットの径方向にシール力を発生させて、ガスケットと装着部材との間をシールすることができる。しかしながら、ガスケットのシール性能は十分とはいえず、シール性能のさらなる向上が望まれていた。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ガスケットと装着部材との間のシール性能を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、
流体の流通孔を有する第１ベース部、前記第１ベース部に突出するように設けられた外側筒部、筒孔が前記流通孔と連通した状態で前記第１ベース部に前記外側筒部と同方向へ突出するようにかつ前記外側筒部の径方向内方に設けられた内側筒部、および、前記外側筒部が突出する方向に向かって開口するように前記第１ベース部と前記外側筒部と前記内側筒部との間に設けられた溝部を有する装着部材と、
筒形状の第２ベース部、前記装着部材の溝部に圧入されるべく前記第２ベース部に突出するように設けられた筒形状の外側突出部、および、前記装着部材の内側筒部と軸心方向に圧接すべく前記第２ベース部に突出するように設けられ、前記装着部材の内側筒部と圧接する際に前記外側突出部との間に前記装着部材の内側筒部を径方向に挟むように前記外側突出部の径方向内方に設けられた筒形状の内側突出部を有するガスケットと、を備える、ガスケットの装着構造である。
【０００７】
この構成によれば、前記ガスケットの外側突出部を前記装着部材の溝部に圧入して、前記ガスケットと前記装着部材との間に径方向にシール力を発生させることができる。しかも、前記装着部材の内側筒部と前記ガスケットの内側突出部とを軸心方向に圧接して、前記ガスケットと前記装着部材との間に軸心方向にシール力を発生させることもできる。よって、ガスケットと装着部材との間のシール性能を向上させることができる。
【０００８】
本発明の別の形態によれば、
前記装着部材の内側筒部の内周部および前記ガスケットの内側突出部の内周部は、当該内側筒部と当該内側突出部との接触によって互いに連通する流体流路の流路壁を構成し、
前記ガスケットの内側突出部の突出端部が、前記装着部材の内側筒部の最小内径以上の内径を有し、
前記内側突出部の軸心方向において前記内側突出部の突出側から第２ベース部側へ向かうに従って当該内側突出部の内径を縮小させる第１内周面が、前記ガスケットの内側突出部の内周部に備えられる。
【０００９】
この構成によれば、前記ガスケットの外側突出部が前記装着部材の溝部に圧入されたとき、前記装着部材の内側筒部が前記外側突出部により径方向内方へ押される。そのため、前記内側筒部を前記外側突出部と径方向に挟む前記ガスケットの内側突出部が、前記内側筒部により径方向内方へ押される。これにより、前記内側突出部が、前記第１内周面が径方向内方へ移動するように変形する。この際、前記第１内周面が前述の形状を有することから、前記内側突出部が前記ガスケットの流体流路内へ突出するように変形することは抑止できる。したがって、前記スケットが前記装着部材に装着された後、流体が前記ガスケットと前記装着部材との間を流れる際、前記装着部材と前記ガスケットとの連通領域において、流体の流れを妨げるものを存在させずに済み、流体の円滑な流れを確保することができる。よって、前記装着部材と前記ガスケットとの間を流れる流体の置換性の低下を防止できる。
【００１０】
本発明の更なる形態によれば、
前記第１内周面は、テーパ面である。
【００１１】
本発明のまた別の形態によれば、
前記第１内周面は、前記ガスケットの径方向内方側へ向かって凸となる凸曲面である。
【００１２】
この構成によれば、前記ガスケットの外側突出部が前記装着部材の溝部に圧入されたとき、前記内側突出部の内周面を、より滑らかな面に、すなわち前記内側突出部に設けられた流体流路の流路断面積をより正確に一定に保たせ得る面に変化させることができる。したがって、前記流体流路において、流体の円滑な流れの促進を図ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ガスケットと装着部材との間のシール性能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係るガスケットの装着構造を示す断面図である。
【図２】図１の一部拡大図である。
【図３】図１のガスケットの装着構造におけるガスケットと装着部材の一部との断面図である。
【図４】図３のガスケットの一部拡大図である。
【図５】図１のガスケットの装着構造におけるガスケットの装着前の状態を示す断面図である。
【図６】図１のガスケットの装着構造における別実施例のガスケットの一部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の一実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１６】
図１は、本発明の一実施形態に係るガスケット１の装着構造を示す断面図である。図２は、図１の一部拡大図である。図３は、ガスケット１と装着部材３の一部との断面図である。
【００１７】
なお、図１、図２においてガスケット１に対して装着部材３が設けられた方向（図中の下方）を、ガスケット１または装着部材３の軸心方向一方、または、下方という。
【００１８】
また、図１、図２においてガスケット１に対して別の装着部材５が設けられた方向（図中の上方）をガスケット１または装着部材３の軸心方向他方、または、上方という。
【００１９】
図１、図２に示すように、ガスケット１の装着構造は、ガスケット１を装着部材３または別の装着部材５に装着するために採用される。
【００２０】
なお、本発明に係る装着部材３は、一例として流体機器のブロックを記載しているが、これに限定されるものではなく、例えば、レギュレータ、圧力計、バルブ、流量計、樹脂チューブ、流体機器のフランジ等に関する部材とすることも可能である。
【００２１】
装着部材３は、流体（例えば、超純水または薬液等の液体）を流通させるために、装着部材３と別の装着部材５との間にガスケット１を介在させた状態で、別の装着部材５と接合される。
【００２２】
装着部材３は、所定の熱可塑性樹脂により形成される。熱可塑性樹脂の一例としては、フッ素樹脂等であり、例えば、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド）、ＥＴＦＥ（テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体）、ＦＥＰ（テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体）等が挙げられる。
【００２３】
なお、本発明に係る装着部材３は、フッ素樹脂に限定するものではなく、例えば、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＨＤＰＥ（高密度ポリエチレン）、ＬＤＰＥ（低密度ポリエチレン）、または、ＰＯＭ（ポリオキシメチレン）、エラストマー（ゴム）等の樹脂から構成することも可能である。
【００２４】
装着部材３は、第１ベース部１１と、外側筒部１３と、内側筒部１５と、溝部１７とを備えている。また、本実施形態における装着部材３は、第１ベース部１１に連なる本体部（図示せず）を備えている。
【００２５】
第１ベース部１１は、前記流体を流通させるための流通孔である第１流体流路２１を有している。第１流体流路２１は、円形上であり、外側筒部１３および内側筒部１５の軸心方向（上下方向）に延びている。
【００２６】
外側筒部１３は、第１ベース部１１に設けられ、第１ベース部１１の一方（装着部材３の軸心方向他方（上方））へ突出する。外側筒部１３は、円筒形状に形成されており、軸心方向一方に開口している。
【００２７】
内側筒部１５は、第１ベース部１１に設けられ、外側筒部１３と同方向（上方）へ突出する。内側筒部１５は、円筒形状に形成されており、装着部材３の軸心方向他方（上方）に開口している。
【００２８】
また、内側筒部１５は、外側筒部１３の径方向内方に、外側筒部１３と同軸に配置されている。内側筒部１５の径方向外側かつ外側筒部１３の径方向内側、換言すれば、内側筒部１５および外側筒部１３の間に後述する溝部１７が形成されている。
【００２９】
内側筒部１５は、第１ベース部１１の流通孔と連通する筒孔を有している。この筒孔は、前記流体を流通させるための第２流体流路２３を構成している。第２流体流路２３は、円形状であり、内側筒部１５の軸心方向（上下方向）に延びている。
【００３０】
第２流体流路２３は、内側筒部１５よりも軸心側に位置し、その一端部が第１ベース部１１の第１流体流路２１と連通する。第２流体流路２３と第１流体流路２１とが、装着部材３の流体流路を構成している。
【００３１】
図３に示すように、内側筒部１５は、第２流体流路２３の筒孔の最小直径である最小内径Ｄ１を有している。最小内径Ｄ１は、第１ベース部１１の流通孔の最小直径と略同一寸法であるが、異なっていてもよい。
【００３２】
内側筒部１５は、概ね一定の内径および外径を有している。そして、内側筒部１５は、外側筒部１３よりも径方向内方に、外側筒部１３と所定間隔を隔てて配置されている。内側筒部１５の外周面は、外側筒部１３の内周面と略平行である。
【００３３】
また、内側筒部１５は、環状のテーパ面である第１シール面２７を有している。第１シール面２７は、内側筒部１５の突出端部２９（軸心方向他方の端部）の内周側に略全周にわたって形成されている。
【００３４】
第１シール面２７は、突出端部２９の内径であって、装着部材３の軸心方向一方側から軸心方向他方側へ（図１の下方から上方へ）向かうに従って拡径する。
【００３５】
また、本実施形態において、内側筒部１５は、その突出端部２９が外側筒部１３の突出端部（軸心方向他方の端部）３１よりも装着部材３の軸心方向一方（下方）側に位置する。
【００３６】
溝部１７は、外側筒部１３の軸心方向他方（上方）へ向かって開口するように、第１ベース部１１と外側筒部１３と内側筒部１５との間に設けられている。
【００３７】
溝部１７は、環状に形成されており、第１ベース部１１と外側筒部１３と内側筒部１５とによって囲まれた環状の開放空間を有している。溝部１７は、外側筒部１３および内側筒部１５の径方向において、略一定の径方向幅を有している。
【００３８】
溝部１７の径方向幅は、後述するガスケット１の外側突出部４４を圧入することができるように適宜設定され得る。例えば、溝部１７の径方向幅は、ガスケット１の外側突出部４４の径方向幅よりも小さく設定されている。
【００３９】
また、ガスケット１は、前記流体を流通させ得るように、装着部材３に装着される。ガスケット１は、装着部材３の圧入部分である溝部１７に対応する円筒形状に形成されている。
【００４０】
ガスケット１は、軸心方向中央で軸心方向と直交する中央面３５に対して軸心方向に対称となる形状を有している。そして、ガスケット１は、前述のように装着部材３への装着構造と同様の構造で、別の装着部材５に装着される。
【００４１】
ガスケット１は、所定の熱可塑性樹脂、例えば、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＰＶＤＦ、ＥＴＦＥ、ＦＥＰ等のフッ素樹脂を用いて製造されている。
【００４２】
なお、本発明に係る装着部材３の素材は、フッ素樹脂に限定するものではなく、例えば、ＰＰ、ＨＤＰＥ、ＬＤＰＥ、または、ＰＯＭ、エラストマー等の樹脂から構成することも可能である。
【００４３】
詳しくは、ガスケット１は、第２ベース部４２と、外側突出部４４と、内側突出部４６とを備えている。
【００４４】
第２ベース部４２は、中央面３５付近であって、ガスケット１の軸方向中央部に配置される。第２ベース部４２は、円筒形状に形成されており、装着部材３の外側筒部１３の内側に嵌合され得るように構成されている。
【００４５】
第２ベース部４２は、筒孔からなる前記流体の流通孔を有している。この流通孔は、前記流体を流通させるための円形の第３流体流路５３を構成している。第３流体流路５３は、第２ベース部４２の軸心方向（上下方向）に延びている。
【００４６】
第３流体流路５３を構成する前記流通孔の直径、すなわち第２ベース部４２の内径Ｄ２は、内側筒部１５の最小内径Ｄ１と略同じ寸法を有している。この内径Ｄ２は、第２ベース部４２の軸心方向において略一定である。
【００４７】
外側突出部４４は、円筒形状に形成されており、装着部材３の溝部１７に圧入される。外側突出部４４は、第２ベース部４２にガスケット１の軸心方向一方（下方）へ突出するように設けられている。
【００４８】
外側突出部４４は、溝部１７の径方向幅よりも大きい径方向幅を有している。外側突出部４４は、装着部材３の外側筒部１３および内側筒部１５の各々と軸心を一致させた状態で溝部１７に圧入され得る。
【００４９】
本実施形態において、外側突出部４４は、装着部材３の外側筒部１３の内径と同一または若干大きい外径を有している。また、外側突出部４４は、装着部材３の内側筒部１５の外径よりも小さい内径を有している。
【００５０】
外側突出部４４の内径は、ガスケット１の軸心方向において、外側突出部４４の全長にわったて略一定である。外側突出部４４は、溝部１７へ圧入された時に、装着部材３の内側筒部１５により径方向外側から圧接される。
【００５１】
内側突出部４６は、円筒形状に形成されており、装着部材３の内側筒部１５と軸心方向において圧接される部分である。内側突出部４６は、第２ベース部４２に設けられ、外側突出部４４と同方向であるガスケット１の軸心方向一方（下方）側へ突出する。
【００５２】
内側突出部４６は、外側突出部４４の径方向内方に配置されており、装着部材３の内側筒部１５に圧接される際に、当該内側突出部４６と外側突出部４４との間に装着部材３の内側筒部１５が径方向に挟まれる。
【００５３】
内側突出部４６の突出端部（軸心方向他方の端部）５５は、外側突出部４４の突出端部（軸心方向他方の端部）５７よりもガスケット１の軸心方向他方（上方）側に位置する。
【００５４】
内側突出部４６は、第２ベース部４２が外側筒部１３の内側に嵌合されたとき、装着部材３の内側筒部１５と同軸に配置される。内側突出部４６は、外側突出部４４と同軸に配置されている。
【００５５】
また、内側突出部４６は、装着部材３の流通孔である第１流体流路２１と連通する筒孔を有している。この筒孔は、前記流体を流通させるための円形の第４流体流路５９を構成している。第４流体流路５９は、内側突出部４６の軸心方向（上下方向）に延びている。
【００５６】
第４流体流路５９は、その一端部で第２ベース部４２の第３流体流路５３と連通する。第４流体流路５９は、第３流体流路５３と共にガスケット１の流体流路の一部を構成している。
【００５７】
また、内側突出部４６は、環状のテーパ面である第２シール面６２を有している。第２シール面６２は、内側突出部４６の突出端部５５の外周側の全周にわたって形成されている。
【００５８】
第２シール面６２は、内側突出部４６の突出端部５５の外径がガスケット１の軸方向中央側（中央面３５付近）から軸方向端側（軸心方向他方（図１の下方））へ向かうに従って縮径する。
【００５９】
こうして、第２シール面６２は、装着部材３の内側筒部１５の第１シール面２７と当接可能とされている。第２シール面６２は、第１シール面２７の傾斜度合いに応じた傾斜度合いを有している。
【００６０】
本実施形態においては、断面視で、内側突出部４６の軸心６７に対する第２シール面６２の傾斜角度が、内側筒部１５の軸心６９に対する第１シール面２７の傾斜角度と異なるように設定されている。
【００６１】
なお、第２シール面６２は、ガスケット１および装着部材３の少なくとも一方に、装着部材３・５の接合等による軸心方向への外力が付加された場合に、第１シール面２７と圧接するようになっている。
【００６２】
装着部材３にガスケット１を装着する手順を説明する。図５に示すように、まず、ガスケット１の外側突出部４４をその突出端部５７側から装着部材３の溝部１７に軸心方向に圧入し始める。
【００６３】
次に、外側突出部４４を溝部１７の底部側（下方）へ向かって移動させて、ガスケット１の内側突出部４６の第２シール面６２を装着部材３の内側筒部１５の第１シール面２７に当接させる。
【００６４】
この第２シール面６２と第１シール面２７との当接により、溝部１７への外側突出部４４の圧入が完了する。このときには、第２ベース部４２が、装着部材３の外側筒部１３の内側に嵌合した状態となる。
【００６５】
つづいて、ガスケット１の軸心方向反対側についても、別の装着部材５に対して同様の作業を行う。その後、装着部材３と別の装着部材５とを、ボルト等の締結具（図示せず）により、ガスケット１を両装着部材３・５間に介在させた状態で締結する。
【００６６】
これにより、ガスケット１を装着部材３に装着し、更には別の装着部材５にも装着して、ガスケット１により装着部材３と別の装着部材５とを接合することができる。
【００６７】
そしてそのときに、ガスケット１および装着部材３に対して軸心方向に外力を付加することが可能となる。したがって、外側突出部４４を溝部１７に圧入した状態を保持したまま、第２シール面６２を第１シール面２７に圧接することができる。
【００６８】
よって、溝部１７への外側突出部４４の圧入により、ガスケット１の外側突出部４４と、装着部材３の外側筒部１３および内側筒部１５のうち少なくとも内側筒部１５との間に径方向に作用するシール力を発生させて、外側突出部４４と少なくとも内側筒部１５との間をシールすることができる。
【００６９】
しかも、第１シール面２７と第２シール面６２との圧接により、これら両者間、すなわち装着部材３の内側筒部１５とガスケット１の内側突出部４６との間に軸心方向に作用するシール力を発生させて、内側筒部１５と内側突出部４６との間をシールすることもできる。
【００７０】
すなわち、前記装着部材へのガスケットの装着構造においては、ガスケット１と装着部材３との間に、径方向に作用するシール力に加えて、軸心方向に作用するシール力を発生させることができる。よって、ガスケット１と装着部材３との間のシールの性能を向上させることができる。
【００７１】
なお、本発明における装着部材の内側筒部とガスケットの内側突出部との圧接方法は、特に限定するものではなく、例えば、装着部材３の溝部１７へのガスケット１の外側突出部４４の圧入時に、工具等を用いて、ガスケット１に外力を付加することより圧接を実現してもよい。
【００７２】
図４は、図３のガスケット１の一部拡大図である。図５は、装着部材３へのガスケット１の装着前の状態を示す断面図である。
【００７３】
図３、図４に示すように、装着部材３の内側筒部１５の内周部およびガスケット１の内側突出部４６の内周部は、それぞれ、当該内側筒部１５と当該内側突出部４６との接触によって互いに連通する流体流路２３・５９の流路壁７１・７３を構成する。
【００７４】
ガスケット１の内側突出部４６の突出端部５５は、装着部材３の内側筒部１５の最小内径Ｄ１以上の内径を有している。
【００７５】
そして、ガスケット１の内側突出部４６の軸心方向において突出端部５５の突出端５５ａ側から第２ベース部４２側へ（図１の下方から上方へ）向かうに従って当該内側突出部の内径を縮小させる第１内周面７５が、内側突出部４６の内周部に備えられている。
【００７６】
詳しくは、装着部材３の内側筒部１５の内周部に、第２流体流路２３の流路壁７１が構成されている。第２流体流路２３の流路壁７１は、装着部材３の内側筒部１５の最小内径Ｄ１と略同一寸法の直径を有している。
【００７７】
ガスケット１の内側突出部４６の内周部には、第４流体流路５９の流路壁７３が形成されている。第４流体流路５９の流路壁７３は、第２ベース部４２の内径Ｄ２以上の直径を有している。
【００７８】
ここで、第２ベース部４２の内径Ｄ２は、装着部材３の内側筒部１５の最小内径Ｄ１と略同一寸法である。
【００７９】
また、第１内周面７５は、第４流体流路５９の流路壁７３に含まれるものである。第１内周面７５は、第４流体流路５９に臨むように内側突出部４６の内周部の全周にわたって環状に形成されている。
【００８０】
第１内周面７５は、内側突出部４６の軸心方向他方の一部に備えられており、内側突出部４６の軸心方向において突出端部５５の突出端５５ａに向かって拡がるように突出端５５ａ寄りに配置されている。
【００８１】
第１内周面７５は、テーパ面である。第１内周面７５は、ガスケット１（内側突出部４６）の軸心６７を含む断面において、軸心６７と平行に延びる仮想線７９に対して所定の角度Θ１傾斜するように形成されている。
【００８２】
これにより、内側突出部４６は、内側突出部４６の軸心方向他方側（第２ベース部４２側）で最小内径Ｄ３を有し、内側突出部４６の軸心方向一方側（突出端部５５の突出端５５ａ側）で最大内径Ｄ４を有している。
【００８３】
本実施形態において、内側突出部４６の最小内径Ｄ３は、第２ベース部４２の内径Ｄ２と略同一寸法である。内側突出部４６の最大内径Ｄ４は、第２ベース部４２の内径Ｄ２、すなわち内側筒部１５の最小内径Ｄ１よりも大きい。
【００８４】
なお、内側突出部４６の最小内径Ｄ３と内側筒部１５の最小内径Ｄ１との関係はこれに限定するものではなく、内側突出部４６の最小内径Ｄ１は、流体の流れを妨げない程度であれば内側筒部１５の内径よりも大きくても小さくてもよい。
【００８５】
前述のように第１内周面７５が直線状テーパ面である場合、内側突出部４６において第１内周面７５とそれに連なる軸心方向他方側（第２ベース部４２側）の内周面８１との境界部は、滑らかな湾曲面（丸面取り）に形成される。
【００８６】
また、内側突出部４６は、可撓性を有しており、所定の角度Θ１が小さくなるように変形可能とされている。具体的には、内側突出部４６は、内側突出部４６と第２ベース部４２との境界付近（突出端部５５の突出基部付近）を支点として突出端部５５がガスケット１の径方向内方（図４の矢印８３方向）へ移動するすなわち。
【００８７】
内側突出部４６の変形は、本実施形態においては第１シール面２７と第２シール面６２との圧接により発生する。そしてその発生時には、第１内周面７５が概ね第２ベース部４２の内周面８５の延長線８７上の位置まで移動する（前記角度Θ１が０℃となる）ことが好ましい。
【００８８】
このような構成において、図５に示すように装着部材３に対して装着前の分離状態にあるガスケット１の外側突出部４４が、図１、図２に示すように装着部材３の溝部１７に圧入されたときには、この外側突出部４４により装着部材３の内側筒部１５が径方向内方へ押される。そしてその内側筒部１５により、ガスケット１の内側突出部４６が径方向内方（軸心６７側）へ押される。
【００８９】
これにより、ガスケット１の内側突出部４６（特に突出端部５５）は、第１内周面７５が内側突出部４６の径方向内方（ガスケット１の径方向内方）へ移動するように変形することとなる。この内側突出部４６の変形により、突出端部５５の突出端５５ａに向かって拡径するテーパ面であった第１内周面７５が、縮径する（本実施形態においては軸心６７に略平行となる）ように変形する。
【００９０】
このような変形前の時点において、第１内周面７５が内側突出部４６の軸心方向一方（下方）から軸心方向他方（上方）へ向かうに従って内側突出部４６の内径を縮小させるものであることから、内側突出部４６が径方向内方へ押された場合であっても、第１内周面７５を内周部に備える内側突出部４６が流路壁７３よりも第４流体流路５９（ガスケット１の流体流路）内へ突出するように変形することを抑止できる。
【００９１】
したがって、２つの装着部材３・５が接合され状態で、流体が装着部材３とガスケット１との間を流れる際、装着部材３とガスケット１との連通領域において、流体の流れを妨げるものを存在させずに済み、流体の円滑な流れを確保することができる。よって、装着部材３とガスケット１との間を流れる流体の置換性の低下を防止できる。
【００９２】
すなわち、内側突出部４６の一部が第４流体流路５９（ガスケット１の流体流路）側へ突出するように変形して、流体がガスケット１と装着部材３との間を流れる際に、流体の流れが妨げられることを防止できる。よって、流体がガスケット１と装着部材３との繋ぎ目箇所に滞留することをなくして、流体の置換性が低下することを防止することができ、流体の置換性の低下により流体に含まれる成分が析出してパーティクルが発生するという問題が生じることを防止可能である。
【００９３】
また、本発明におけるガスケットの内側突出部の内周部に備えられる内周面は、本実施形態においてはテーパ面である第１内周面７５としているが、これに限定するものではなく、例えば、図６に示すように、ガスケット１の軸心６７を含む断面において、ガスケット１の径方向内方側へ向かって凸となる凸曲面である別の第１内周面９１としてもよい。
【００９４】
この場合、ガスケット１の外側突出部４４が装着部材３の溝部１７に圧入されたとき、別の第１内周面９１を、第１内周面７５に比べて滑らかな面に、すなわち内側突出部４６の第４流体流路５９の流路断面積をより正確に一定に保たせ得る面に変化させることが可能となる。したがって、ガスケット１の流体流路において、流体の円滑な流れの促進を図ることができる。
【００９５】
なお、本発明におけるガスケットの第１内周面は、本実施形態においては内側突出部４６の内周部のうち軸心方向一方側（下方側）の一部（突出端部５５）に設けられた第１内周面７５としているが、これに限定されるものではなく、例えば、内側突出部４６の軸心方向において当該内側突出部４６の内周部の略全域にわたって拡がるものとしてもよい。
【００９６】
また、本発明におけるガスケットの内側突出部の第１内周面は、このガスケットの軸心を含む断面において、本実施形態においては前記所定の角度Θ１のみを有する第１内周面７５としているが、これに限定するものではなく、例えば、互いに異なる角度（軸心に対する傾斜角度）を有する形状や、複数の内周面からなる形状（テーパ面と凸曲面とを混在させた複数の内周面からなるものを含む）としてもよいし、これらの形状を組み合わせてもよい。
【００９７】
上述の教示を考慮すれば、本発明が多くの変更形態および変形形態をとり得ることは明らかである。したがって、本発明が、添付の特許請求の範囲内において、本明細書に記載された以外の方法で実施され得ることを理解されたい。
【符号の説明】
【００９８】
１    ガスケット
３    装着部材
５    別の装着部材
１１  第１ベース部
１３  外側筒部
１５  内側筒部
１７  溝部
２３  第２流体流路（装着部材の内側筒部の流体流路）
４２  第２ベース部
４４  外側突出部
４６  内側突出部
５５  内側突出部の突出端部
５９  第４流体流路（ガスケットの内側突出部の流体流路）
７１  第２流体流路の流路壁
７３  第４流体流路の流路壁
７５  第１内周面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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