(57)【要約】【課題】板状の被検査体に生じたクラックがマイクロオーダーの微小なものであっても高精度に、且つ簡便にクラックの有無を検出すること。【解決手段】板状の被検査体Ｐを境にして第１ガス導入空間Ｅ１と第２ガス導入空間Ｅ２とが形成されるように一対の挟持部材１１との間にシール部材１２を介して被検査体Ｐを挟持保持し、第１ガス導入空間Ｅ１の背圧よりも第２ガス導入空間Ｅ２の背圧の方が高くなるように差圧を持たせた状態で、第１ガス給排気部２０から第１ガス導入空間Ｅ１に第１のガスを導入するとともに、第２ガス給排気部３０から第２ガス導入空間Ｅ２に第２のガスを導入する。そして、制御部５０は、第１ガス給排気部２０から排気された気体から第２のガスが検出されたことを示す信号をガス検出部４０から入力すると、被検査体Ｐにクラックが発生していると判断する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を境として第１の空間と第２の空間がそれぞれ形成されるように、シール部材を介して前記被検査体を一対の挟持部材の間で挟持保持する保持部と、
前記第２の空間にガスを導入するとともに、前記第２の空間内のガスを排気する給排気部と、
前記第１の空間内の前記ガスの有無に応じた信号を出力するガス検出部と、
前記ガス検出部からの前記信号に基づいて前記被検査体に生じたクラックの有無を判断する制御部と、
を備えたことを特徴とするクラック検出システム。
【請求項２】
被検査体を境として第１の空間と第２の空間がそれぞれ形成されるように、シール部材を介して前記被検査体を一対の挟持部材の間で挟持保持するステップと、
前記第２の空間にガスを導入するとともに、前記第２の空間内のガスを排気するステップと、
前記第１の空間内の前記ガスの有無に応じた信号を出力するステップと、
前記ガス検出部からの前記信号に基づいて前記被検査体に生じたクラックの有無を判断するステップと、
を含むことを特徴とするクラック検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被検査体に発生したクラックの有無を検出するクラック検出システム及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、板状の被検査体に生じた亀裂（クラック）の有無を検出する手法として、アコースティックエミッション法（ＡＥ法）が知られている。ＡＥ法は、被検査体が変形或いはクラックが生じた際に、物体に蓄えられた歪みが弾性エネルギーとして解放され発生した弾性波（アコースティックエミッション波：ＡＥ波）を検出する受動的な手法であり、板状部材の変形により生じたクラックの有無を判断することができる。
【０００３】
下記被特許文献１には、被検査体として固体酸化物燃料電池（Solid Oxide Fuel Cell ：ＳＯＦＣ）で使用する単セルの損傷の有無についてＡＥ法で検出することについて記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】「固体酸化物燃料電池における損傷過程の可視化」  日本機械学会論文集（Ａ編）  ７６巻７６２号（２０１０- ２）  ９７頁〜１０６頁
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
非特許文献１では、被検査体となる板状の単セルをガラス製のシール部材で挟持し、これら部材を同心円状のセラミック管によって挟み込んだ状態でセルを加熱し、このときに生じるクラックを検出している。そして、クラックによるＡＥ波を測定するため、セラミック管の外面に広帯域圧電型トランスディーサ（ＡＥセンサ）を取り付けている。
【０００６】
しかしながら、単セルとセラミック管とのサイズ関係や、検査環境などに応じてＡＥセンサの最適な設置位置が異なるため、ＡＥセンサの適切な設置位置を判断するにはある程度の熟練度が必要となる。
【０００７】
また、ＡＥセンサは、被検査体で発生したアコースティックエミッションを検出するため超音波帯域（数１０ｋＨｚ〜数ＭＨｚ）の信号取得に有効な感度を備えているため、周囲のバックグラウンドノイズ（雑音成分）の影響を受けやすいという問題がある。
【０００８】
このため、単セルに生じたクラックを起因とするＡＥ波と、これ以外の信号（例えばシール部材の熱膨張による破損を起因とするＡＥ波）とを分類しなければならないが、単セルに生じたクラックがマイクロオーダーの微小なサイズの場合、クラック発生時のＡＥ波が非常に微弱なため正確にクラックを検出することができないという問題もある。
【０００９】
また、被検査体の表面や内部の傷の有無を検査する非破壊検査の手法としては、上述した受動的な手法であるＡＥ法に限らず、例えば超音波深傷試験、浸透深傷試験などの能動的な手法も知られているが、これらの試験では被検査体の表面粗さが荒いと精度良くクラックを検出することができないという問題がある。
【００１０】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、板状の被検査体に生じたクラックがマイクロオーダーの微小なものであっても高精度に、且つ簡便にクラックの有無を検出することができるクラック検出システム及び方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明に係る第１の態様は、被検査体を境として第１の空間と第２の空間がそれぞれ形成されるように、シール部材を介して前記被検査体を一対の挟持部材の間で挟持保持する保持部と、
前記第２の空間にガスを導入するとともに、前記第２の空間内のガスを排気する給排気部と、
前記第１の空間内の前記ガスの有無に応じた信号を出力するガス検出部と、
前記ガス検出部からの前記信号に基づいて前記被検査体に生じたクラックの有無を判断する制御部と、
を備えたことを特徴とする、クラック検出システムである。
【００１２】
本発明の第２の態様は、被検査体を境として第１の空間と第２の空間がそれぞれ形成されるように、シール部材を介して前記被検査体を一対の挟持部材の間で挟持保持するステップと、
前記第２の空間にガスを導入するとともに、前記第２の空間内のガスを排気するステップと、
前記第１の空間内の前記ガスの有無に応じた信号を出力するステップと、
前記ガス検出部からの前記信号に基づいて前記被検査体に生じたクラックの有無を判断するステップと、
を含むことを特徴とする、クラック検出方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、板状の被検査体を境に形成された２つのガス導入空間に異なる種類のガスを導入し、一方のガス中に含まれる他方のガスの濃度に基づいて被検査体のクラックの有無を検出することができるため、被検査体の表面粗さに左右されず、また検査の熟練度に関係なく高精度にクラックを検出することができる。また、クラックの有無を異種ガスのガス濃度の検出によって行っているため、ＡＥ法などでは検出が困難なマイクロオーダーの微小なクラックも容易に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係るクラック検出システムの構成を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】
なお、本明細書に添付する図面は、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺、縦横の寸法比、形状などについて、実物から変更し模式的に表現される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。従って、添付した図面を用いて説明する実施の形態により、本発明が限定されず、この形態に基づいて当業者などにより考え得る実施可能な他の形態、実施例及び運用技術などは全て本発明の範疇に含まれるものとする。
【００１７】
また、本明細書において、添付する各図を参照した以下の説明において、方向乃至位置を示すために上、下、左、右の語を使用した場合、これはユーザが各図を図示の通りに見た場合の上、下、左、右に一致する。
【００１８】
［システム構成］
まず、本発明に係るクラック検出システムの構成について説明する。
本実施形態のクラック検出システム１は、板状の被検査体Ｐに生じたクラック（亀裂）の有無について、２種類のガスを用いてクラックから漏洩した一方のガスが他方のガス中に含まれているか否かの検出結果に基づいて判断するシステムである。
よって、本発明におけるクラックとは、被検査体Ｐの一方の面から他方の面（例えば表面から裏面）にかけて連続するものであり、被検査体Ｐの表面にのみ形成された損傷や、被検査体Ｐの表面から裏面まで到達せずに内部で留まっているような損傷は検出対象外となる。
【００１９】
図１に示すように、本実施形態のクラック検出システム１は、被検査体Ｐを挟持保持する保持部１０と、第１のガスを保持部１０に供給／排気する空気ガス給排気部２０と、第２のガスを保持部１０に供給／排気する燃料ガス給排気部３０と、第２のガスを第１ガス給排気部２０側で検出するガス検出部４０と、被検査体Ｐにクラックが発生しているか否かの判断や各部の駆動制御を行う制御部５０とで構成されている。
【００２０】
本実施形態のクラック検出システム１の被検査体Ｐとしては、例えばセラミック板、ガラス板、金属板、シリコン基板などの板状部材が挙げられる。被検査体Ｐの外形は特に限定されず、例えば平面視したときの形状が正方形状、矩形状、楕円形状、円形状、多角形状などであってもよい。なお、被検査体Ｐの形状は板状部材に限定されず、例えば直方体、多面体、円筒体など、少なくともシール部材１２を介在させた状態で挟持部材１１によって２つの気密空間が形成可能な物体であればよい。
【００２１】
また、本システムと同様に燃料ガス（Ｈ2 、炭化水素、ＣＯ）と空気ガス（酸素含有ガス）の２種類のガスを用いて発電するＳＯＦＣ用単セルを被検査体Ｐとして使用することもできる。
【００２２】
＜保持部＞
保持部１０は、一対の挟持部材１１の間にシール部材１２を介して被検査体Ｐを挟持保持する。
【００２３】
挟持部材１１は、第１ガス給排気部２０側に配置される第１挟持部材１１ａと、第２ガス給排気部３０側に配置される第２挟持部材１１ｂとで構成される。挟持部材１１は、シール部材１２を介在させた状態で被検査体Ｐを挟持保持する。これにより、図１に示すように、保持部１０によって保持された被検査体Ｐを境として２つの気密された空間となるガス導入空間（第１ガス導入空間Ｅ１、第２ガス導入空間Ｅ２）が形成される。
【００２４】
この第１ガス導入空間Ｅ１、第２ガス導入空間Ｅ２は、被検査体Ｐを隔壁としてシール部材１２により各空間の気密性が確保されている。そのため、外部へのガス漏洩や外気の進入はなく、また被検査体Ｐにクラックが発生していない状態において一方の空間（例えば第１ガス導入空間Ｅ１）側から他方の空間（例えば第２ガス導入空間Ｅ２）側にガス漏洩することもない。
【００２５】
第１挟持部材１１ａの所定箇所（本実施形態では図１に示す側面）には、第１のガスを第１ガス導入空間Ｅ１に導入するための第１ガス導入口１１ｃと、第１ガス導入空間Ｅ１に導入された第１のガスを外部に排気するための第１ガス排気口１１ｄが形成されている。
【００２６】
第１ガス導入口１１ｃから導入された第１のガスは、第１挟持部材１１ａの被検査体Ｐ側の面に形成されたガス流入口（不図示）を通って第１ガス導入空間Ｅ１内に導入される。また、第１挟持部材１１ａにおけるガス流入口近傍には、第１ガス排気口１１ｄと連通するガス流出口（不図示）が形成され、第１ガス導入空間Ｅ１内の第１のガスがガス流出口を通って第１ガス排気口１１ｄから排気される。
【００２７】
第２挟持部材１１ｂの所定箇所（本実施形態では図１に示す側面）には、第２のガスを第２ガス導入空間Ｅ２に導入するための第２ガス導入口１１ｅと、第２ガス導入空間Ｅ２に導入された第２のガスを外部に排気するための第２ガス排気口１１ｆが形成されている。
【００２８】
第２ガス導入口１１ｅから導入された第２のガスは、第２挟持部材１１ｂの被検査体Ｐ側の面に形成されたガス流入口（不図示）を通って第２ガス導入空間Ｅ２内に導入される。また、第２挟持部材１１ｂにおけるガス流入口近傍には、第２ガス排気口１１ｆと連通するガス流出口（不図示）が形成され、第２ガス導入空間Ｅ２内の第２のガスがガス流出口を通って第２ガス排気口１１ｆから排気される。
【００２９】
第１挟持部材１１ａと第２挟持部材１１ｂは、ボルトやナットなどの固定部材１０ａによって挟持状態が保持されるように固定される。
【００３０】
シール部材１２は、被検査体Ｐの外周縁部を挟んで対向配置されるガス漏洩防止用の部材である。シール部材１２は、第１ガス導入空間Ｅ１、Ｅ２に導入される第１のガス及び第２のガスが外部に漏洩しないように、挟持部材１１と被検査体Ｐとの間に介在される。シール部材１２の材質としては、例えばゴム材、ガラス材料、セラミック材料など、クラック検査が実施される検査環境に対応し、且つ第１のガスや第２のガスの漏洩や第１ガス導入空間Ｅ１や第２ガス導入空間Ｅ２への外気の進入が阻止可能な気密性が確保できる材質であれば特に限定されない。
【００３１】
また、保持部１０は、必要に応じて温度調節可能な加熱手段で温度制御した状態で使用することもできる。この場合、耐熱性などを考慮して挟持部材１１や固定部材１０ａなどをアルミナなどのセラミック製にし、シール部材１２も高温時に気密性が確保できる材質のものを適宜選択して使用するのが好ましい。
【００３２】
＜第１ガス給排気部＞
第１ガス給排気部２０は、保持部１０に保持された被検査体Ｐを境に形成される第１ガス導入空間Ｅ１に第１ガス供給源Ｇ１から第１のガスを導入する第１ガス導入手段２１と、第１ガス導入空間Ｅ１内に充満する第１のガスを外部に排気する第１ガス排気手段２２とで構成される。第１ガス導入手段２１は、第１ガス導入口１１ｃと接続され、第１ガス排気手段２２は、第１ガス排気口１１ｄと接続される。第１ガス給排気部２０は、制御部５０の制御により、図示しない給排気ポンプや開閉弁などを制御しながら第１のガスの流量制御（単位時間あたりの供給量及び排気量の制御）が行われる。
【００３３】
なお、第１ガス給排気部２０で供給する第１のガスの種類は特に限定されないが、好ましくは第２のガスよりも分子量が大きいガスを使用するのがよい。例えば第２のガスを水素（Ｈ2 ）、ヘリウム（Ｈｅ）などとした場合、第１のガスを窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）とすればよい。
【００３４】
＜第２ガス給排気部＞
第２ガス給排気部３０は、保持部１０に保持された被検査体Ｐを境に形成される第２ガス導入空間Ｅ２に第２ガス供給源Ｇ２から第２のガスを導入する第２ガス導入手段３１と、第２ガス導入空間Ｅ２内に充満する第２のガスを外部に排気する第２ガス排気手段３２とで構成される。第２ガス導入手段３１は、第２ガス導入口１１ｅと接続され、第２ガス排気手段３２は、第２ガス排気口１１ｆと接続される。第２ガス給排気部３０は、制御部５０の制御により、図示しない給排気ポンプや開閉弁などを制御しながら第２のガスの流量制御（単位時間あたりの供給量及び排気量の制御）が行われる。
【００３５】
また、第２ガス給排気部３０は、第２ガス排気手段３２の背圧が第１ガス排気手段２２の背圧よりも所定圧（例えば１〜２ｋＰａ）だけ高くなるように設定されている。つまり、第１ガス導入空間Ｅ１内の圧力と第２ガス導入空間Ｅ２内の圧力に差圧が生じるように、第２ガス導入空間Ｅ２内の圧力を第１ガス導入空間Ｅ１内の圧力よりも高くしている。
【００３６】
これにより、被検査体Ｐにクラックが生じている場合に、第２ガス導入空間Ｅ２に充満している第２のガスを第１ガス導入空間Ｅ１に漏洩させることができる。
【００３７】
なお、第２ガス給排気部３０で供給する第２のガスの種類は特に限定されないが、好ましくは第１のガスよりも分子量が小さいガスを使用するのがよい。例えば、第１のガスを窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）とした場合は、第２のガスを水素（Ｈ2 ）、ヘリウム（Ｈｅ）などすればよい。これは、被検査体Ｐに生じた微小なクラックから漏洩しやすくしてガス検出部４０による第２のガスの検出精度を高めるためである。
【００３８】
＜ガス検出部＞
ガス検出部４０は、被検査体Ｐに生じたクラックから第１ガス導入空間Ｅ１に漏洩した第２のガスを検出するためのガス検出装置で構成される。よって、ガス検出部４０は、第２ガス給排気部３０から導入される第２のガスの種類に応じて適宜選定される。ガス検出部４０は、第１ガス導入空間Ｅ１中の第１のガス中に含まれる第２のガスの有無や第２のガスのガス濃度を検出する。そして、検出した結果を示す検出信号を制御部５０に出力する。本実施形態において、ガス検出部４０は、第１ガス給排気部２０における第１ガス排気手段２０の排気流路中に配置される。
【００３９】
＜制御部＞
制御部５０は、例えばＣＰＵやＲＯＭ，ＲＡＭなどの各種ハードウェアで構成され、クラック検出システム１を構成する各部の駆動制御や演算処理を行う。
【００４０】
また、制御部５０は、ガス検出部４０から出力された検出信号に基づいて被検査体Ｐにクラックが生じているか否かの判断をしている。制御部５０によるクラック有無の判断処理としては、例えばガス検出部４０から濃度に関係なく第２のガスを検出したことを示す検出信号が出力されたときにクラック有りと判断する処理、第１のガス中に含まれる第２のガスの単位時間あたりにおけるガス濃度が所定の閾値以上の濃度で検出されたときにクラック有りと判断する処理などがある。この判断処理は、被検査体Ｐの製品基準によって適宜設定されるため、被検査体Ｐの用途によっては、ある程度のクラックが許容されるように判断基準となる閾値を設定することも可能である。
【００４１】
また、制御部５０は、クラックの有無を判断した結果を作業員が操作する外部の端末装置（ＰＣ、スマートフォン、タブレット端末など）に、周知の通信ネットワーク（ＬＡＮなどのローカル通信網、携帯キャリアの移動体通信網、インターネット網など）を介して送信する。なお、制御部５０で判断した判断結果を、図示しない外部記憶装置（ＨＤＤ、ＳＤカード、フラッシュＵＳＢメモリなど）に記憶させる構成とし、作業員が外部記憶装置から記録したデータを取り出すようにしてもよい。
【００４２】
［処理動作］
次に、上述したクラック検出システム１の処理動作について説明する。
ここでは、ガス検出部４０が第１ガス導入空間Ｅ１中に第２のガスが含まれているか否かによって被検査体Ｐにクラックの有無を判断する処理である。
【００４３】
まず、被検査体Ｐが挟持されるようにシール部材１２を配置し、この状態で挟持部材１１の間に配置してシール部材１２及び被検査体Ｐを挟み込んで固定する。
【００４４】
次に、第１ガス給排気部２０から第１のガスを導入するとともに、第２ガス給排気部３０から第２のガスを導入する。これにより、第１ガス導入空間Ｅ１には第１のガスが、第２ガス導入空間Ｅ２には第２のガスがそれぞれ導入される。この状態でガス検出部４０による第２のガスの検出を行う。
【００４５】
次に、この２種類のガスの導入状態において、ガス検出部４０による第２のガスの検出結果を取得し、制御部５０に出力する。
【００４６】
このとき、被検査体Ｐにクラックが生じていない場合は、クラックから第２のガスが漏洩しないため、第２のガスが検出されない。よって、ガス検出部４０は、第２のガス不検出を示す検出信号を制御部５０に出力する。
一方、被検査体Ｐにクラックが発生している場合は、このクラックから第２のガスが第１ガス導入空間Ｅ１側へと漏洩するため、第２のガスが検出される。よって、ガス検出部４０は、第２のガスが検出されたことを示す検出信号を制御部５０に出力する。
【００４７】
制御部５０は、ガス検出部４０から出力された検出信号に基づいて被検査体Ｐにクラックが発生しているか否かの判断を行う。本処理では、第２のガスが検出された場合にクラックが発生していると判断する。そして、判断結果を外部端末装置などに送信して処理が終了する。
【００４８】
［作用・効果］
以上説明したように、上述したクラック検出システム１は、板状の被検査体Ｐを境にして第１ガス導入空間Ｅ１と第２ガス導入空間Ｅ２とが形成されるように、一対の挟持部材１１との間にシール部材１２を介して挟持保持する。また、第１ガス導入空間Ｅ１の背圧よりも第２ガス導入空間Ｅ２の背圧の方が高くなるように差圧を持たせて第１ガス給排気部２０から第１ガス導入空間Ｅ１に第１のガスを導入するとともに、第２ガス給排気部３０から第２ガス導入空間Ｅ２に第２のガスを導入する。そして、第２のガスがガス検出部４０で検出されると、被検査体Ｐにクラックが発生していると判断する。
【００４９】
これにより、被検査体Ｐにクラックが生じた場合に、第１のガス中に含まれる第２のガスを検出するだけでＡＥ法などの一般的なクラック検出手法では正確に把握しにくいマイクロオーダーのクラックも高精度に検出することができる。また、被検査体Ｐに生じたクラックから第２のガスの漏洩を検出するだけでクラックの有無が判断できるため、特別な技術を必要とせずに不慣れな作業員でも簡便に検査を行うことができる。
【００５０】
また、被検査体ＰとしてＳＯＦＣ用単セルを採用した場合、検査環境として実際の発電状態と同様に第１のガスとして酸素を使用し、第２のガスとして水素を使用し、保持部１０をヒータや電気炉などで高温（７００℃〜１０００℃）に加熱した状態でクラックの検出を行うことも可能である。このように、発電状態におけるＳＯＦＣ用単セルのクラック発生過程を観察することで、発電時の温度変化を起因とする単セルのクラック発生メカニズムを温度とクラックの相関性から定量的に知得することが可能となる。また、加熱時のヒータの温度制御を単セルの領域毎に行って温度とクラックの相関性を定量的に把握することで、発電時における最適な単セルの加熱方法を単セルの種類（厚さ、材質、サイズ）毎に知得することができる。
【００５１】
さらに、検出した第２のガスを単位時間あたりのガス濃度から判断するような構成とした場合は、クラックのサイズと単位時間あたりのガス濃度の相関関係を定量的に知得しておけば、検出した第２のガスのガス濃度からクラックの大凡のサイズを推測することも可能である。
【００５２】
［その他の実施形態］
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば以下に示すように使用環境等に応じて適宜変更して実施することもできる。また、以下の変更例を本発明の要旨を逸脱しない範囲の中で任意に組み合わせて実施することもできる。
【００５３】
上述した実施形態では、図１に示すように被検査体Ｐを境に第１のガスを導入する第１の空間である第１ガス導入空間Ｅ１と、第２のガスを導入する第２の空間である第２ガス導入空間を形成し、第１ガス導入空間Ｅ１には第１ガス給排気部２０により第１のガスを給排気するとともに、第２ガス導入空間Ｅ２には第２ガス給排気部３０により第２のガスを給排気する構成とした。
しかし、本発明のクラック検出システム１は、第１の空間内に本来存在しないガスを検出したときに被検査体Ｐにクラックが生じていることを判断するシステムであるため、この実施形態には限定されない。
【００５４】
その他の実施形態１として、第１ガス給排気部２０による第１のガスの供給を行わず、第１ガス導入空間Ｅ１内に漏洩した第２のガスを排気する排気機能のみとしてもよい。
このような構成の場合、ガス検出部４０は、第１ガス導入空間Ｅ１から第２のガスを排気する排気流路中に配置したり、第１挟持部材１１ａからシール性を確保した状態で第１ガス導入空間Ｅ１内にセンサ部分を挿入したりすればよい。
【００５５】
また、その他の実施形態２として、被検査体Ｐを境にシール部材１２を介在させた状態で気密性を有する第１の空間と、同じく気密性を有する第２の空間を形成し、第１の空間にはガス給排気部を設けず、第２の空間に所定のガスを給排気する給排気部（第２ガス給排気部３０）のみを設けた構成とすることもできる。
このような構成とした場合、第１の空間内には空間形成時に存在する気体のみとなり、被検査体Ｐにクラックが生じたときは、給排気部の背圧により第２の空間に導入したガスが第１の空間に漏洩するため、ガス検出部４０で第１の空間内のガスの有無を検出すれば被検査体Ｐのクラックの有無を判断することができる。
【００５６】
さらに、その他の実施形態３として、被検査体Ｐにクラックが生じているか否かの検査に限らず、被検査体Ｐをヒータなどの加熱手段で所定温度まで加熱し、耐熱試験として加熱又は冷却中における被検査体Ｐのクラック発生メカニズムが観察可能な構成としてもよい。
【００５７】
また、その他の実施形態４として、第１ガス給排気部２０から供給される第１のガスを、第１ガス導入空間Ｅ１内に残留する第２のガスと反応させて第２のガスを無害化させるための成分を有する無害化ガスとすることもできる。このようにすれば、第２のガスを起因とする爆発事故や人体への影響を回避することができる。なお、第１のガスの導入タイミングとしては、例えばガス検出部４０で第２のガスが検出された後に導入させれば、第２のガスの検出と無害化処理や残留気体の置換処理などを適宜行うことが可能となる。
【符号の説明】
【００５８】
１…クラック検出システム
１０…保持部（１０ａ…固定部材）
１１…挟持部材（１１ａ…第１挟持部材、１１ｂ…第２挟持部材、１１ｃ…第１ガス導入口、１１ｄ…第１ガス排気口、１１ｅ…第２ガス導入口、１１ｆ…第２ガス排気口）
１２…シール部材
２０…第１ガス給排気部
２１…第１ガス導入手段
２２…第１ガス排気手段
３０…第２ガス給排気部
３１…第２ガス導入手段
３２…第２ガス排気手段
４０…ガス検出部
５０…制御部
Ｅ１…第１ガス導入空間
Ｅ２…第２ガス導入空間
Ｇ１…第１のガス供給源
Ｇ２…第２のガス供給源
Ｐ…板状の被検査体
【図１】
2019191094.tif 000003