(57)【要約】【課題】対両面積層フィルムの両側の物性を所望の範囲に設定することができるフィルム製造装置および両面積層フィルムの製造方法を提供すること。【解決手段】  フィルム製造装置１は、片面積層フィルム５０および両面積層フィルム２を作製するスパッタユニット９と、片面積層フィルム５０および両面積層フィルム２を搬送方向に搬送する搬送ユニット１０と、片面積層フィルム５０にマーク２３を付与するマーキングユニット５と、片面シート抵抗Ｒ１および両面合成シート抵抗Ｒ１＋２を測定する測定ユニット３１と、マーク２３を検知する検知ユニット６と、第１層シート抵抗および第２層シート抵抗を、第１測定位置４３における片面シート抵抗Ｒ１と第２測定位置５３における両面合成シート抵抗Ｒ１＋２とに基づいて求める演算ユニット３３とを備える。そして、演算ユニット３３は、マーク２３を基準として、第１測定位置４３と略同一位置を第２測定位置５３とする。【選択図】図１
2019173061.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺な両面積層フィルムを製造するフィルム製造装置であって、
長尺な基材フィルムの厚み方向一方側に第１層を積層して片面積層フィルムを作製し、前記片面積層フィルムの厚み方向他方側に第２層を積層して両面積層フィルムを作製する積層ユニットと、
前記片面積層フィルムおよび前記両面積層フィルムを搬送方向に搬送する搬送ユニットと、
前記片面積層フィルムにマークを付与するマーキングユニットと、
前記片面積層フィルムおよび前記両面積層フィルムの物性を測定する測定ユニットと、
前記測定ユニットの搬送方向上流側に配置され、前記マークを検知する検知ユニットと、
前記第１層および前記第２層の前記物性を、前記片面積層フィルムの第１位置における前記物性と前記両面積層フィルムの第２位置における前記物性とに基づいて、求める演算ユニットと
を備え、
前記演算ユニットは、前記マークを基準として、前記第１位置と厚み方向における略同一位置を前記第２位置とすることを特徴とする、フィルム製造装置。
【請求項２】
前記第１層が、第１導電層であり、
前記第２層が、第２導電層であり、
前記物性が、シート抵抗であることを特徴とする、請求項１に記載のフィルム製造装置。
【請求項３】
前記測定ユニットは、
前記片面積層フィルムおよび前記両面積層フィルムと対向配置されるプローブユニットと、
前記プローブユニットを、前記搬送方向と交差する交差方向に走査させる走査ユニットと
をさらに備えることを特徴とする、請求項１または２に記載のフィルム製造装置。
【請求項４】
長尺な両面積層フィルムを製造する方法であって、
長尺な基材フィルムの厚み方向一方側に第１層を積層して、片面積層フィルムを作製する第１積層工程と、
前記片面積層フィルムを搬送方向に搬送しながら、前記片面積層フィルムの物性を測定する第１測定工程と、
前記片面積層フィルムにマークを付与するマーキング工程と、
前記片面積層フィルムの厚み方向他方側に第２層を積層して、両面積層フィルムを作製する第２積層工程と、
前記マークを検知する検知工程と、
前記両面積層フィルムを前記搬送方向に搬送しながら、前記両面積層フィルムの前記物性を測定する第２測定工程と、
前記マークを基準として、前記片面積層フィルムの第１位置と厚み方向における略同一位置を前記両面積層フィルムの第２位置とし、かつ、
前記第１層および前記第２層の前記物性を、前記片面積層フィルムの前記第１位置における前記物性と前記両面積層フィルムの前記第２位置における前記物性とに基づいて、求める演算工程と
を備えることを特徴とする、両面積層フィルムの製造方法。
【請求項５】
前記第１層が、第１導電層であり、
前記第２層が、第２導電層であり、
前記物性が、シート抵抗であることを特徴とする、請求項４に記載の両面積層フィルムの製造方法。
【請求項６】
前記第１測定工程は、プローブユニットを、前記片面積層フィルムの前記搬送方向と交差する交差方向に走査させながら、前記片面積層フィルムの前記物性を測定する工程であり、
前記第２測定工程は、前記プローブユニットを、前記両面積層フィルムの前記交差方向に走査させながら、前記両面積層フィルムの前記物性を測定する工程であり、
第２測定工程において、前記マークに基づいて、前記第１測定工程で前記プローブユニットが走査された前記片面積層フィルムの位置と略同一位置となるように、前記プローブユニットを前記両面積層フィルムに走査させることを特徴とする、請求項４または５に記載の両面積層フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム製造装置および両面積層フィルムの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ロールトゥロール方式により、基材フィルムの両面に導電膜を積層して、両面導電性フィルムを製造している。両面導電性フィルムは、その抵抗値（シート抵抗）が所望の範囲内であることが要求されるため、両面の導電膜の抵抗値のそれぞれを測定して、品質不良を発見する必要がある。その方法として、両面導電性フィルムを巻き取る前に、渦電流コイルセンサーなどの非接触式抵抗測定装置を用いて、両面導電性フィルムの抵抗値を測定することが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１の測定方法は、フィルムの表面に導体層を蒸着した後に、渦電流式コイルセンサーによって表面側導体層の電圧Ｖ１を測定し、表面抵抗値Ｒ１を算出する工程、フィルムの裏面に導体層を蒸着した後に、渦電流コイルセンサーによって両面導体層の合成電圧Ｖ１＋２を測定し、両面合成抵抗値Ｒ１＋２を算出する工程、表面抵抗値Ｒ１および両面合成抵抗値Ｒ１＋２から特定の式を用いて裏面抵抗値Ｒ２を算出する工程を備える。
【０００４】
両面導電性フィルムに対して非接触式抵抗測定方法を用いると、検知される渦電流の電圧（ひいては抵抗値）は、表面側導体層の電圧Ｖ１と裏面側導体層の電圧Ｖ２との合成値Ｖ１＋２となるため、それぞれの電圧（ひいては抵抗値）を別々に測定することができない。そのため、特許文献１の方法では、表面電圧Ｖ１および両面合成電圧Ｖ１＋２のそれぞれを実測し、次いで、Ｖ１およびＶ１＋２のそれぞれに基づいて表面抵抗値Ｒ１および両面合成抵抗値Ｒ１＋２のそれぞれを算出し、次いで、Ｒ１およびＲ１＋２に基づいて裏面抵抗値Ｒ２を算出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３１６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１の測定方法では、表面抵抗値Ｒ１および裏面抵抗値Ｒ２のそれぞれを正確に求めるためには、それぞれの測定位置を正確に特定し、それぞれの測定位置を厚み方向に一致させる必要がある。
【０００７】
そして、特許文献１の測定方法に用いられる装置では、表面側の導体層を積層した搬送方向下流側に、第１渦電流式コイルセンサーが表面導電性フィルムに対して対向配置されており、裏面側の導体層を積層した搬送方向下流側に、第２渦電流式コイルセンサーが両面導電性フィルムに対して対向配置されている。
【０００８】
しかしながら、この装置では、第１渦電流式コイルセンサーおよび第２渦電流式コイルセンサーのそれぞれがフィルムに対向配置しているだけである。そのため、第２渦電流式コイルセンサーで両面導電性フィルムを測定する際に、第１渦電流式コイルセンサーで測定された位置（例えば、搬送方向位置）を特定することができず、第１渦電流式コイルセンサーで測定された測定値と、第２渦電流式コイルセンサーで測定された測定値とを整合させることができない。したがって、両側の導体層の抵抗値Ｒ１、Ｒ２のそれぞれを正確に求めることが困難であり、両側の導体層の抵抗値がそれぞれ所望の範囲となっていることを把握することができない不具合が生じる。
【０００９】
本発明は、両面積層フィルムの両側の物性を所望の範囲に設定することができるフィルム製造装置および両面積層フィルムの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明［１］は、長尺な両面積層フィルムを製造するフィルム製造装置であって、長尺な基材フィルムの厚み方向一方側に第１層を積層して片面積層フィルムを作製し、前記片面積層フィルムの厚み方向他方側に第２層を積層して両面積層フィルムを作製する積層ユニットと、前記片面積層フィルムおよび前記両面積層フィルムを搬送方向に搬送する搬送ユニットと、前記片面積層フィルムにマークを付与するマーキングユニットと、前記片面積層フィルムおよび前記両面積層フィルムの物性を測定する測定ユニットと、前記測定ユニットの搬送方向上流側に配置され、前記マークを検知する検知ユニットと、前記第１層および前記第２層の前記物性を、前記片面積層フィルムの第１位置における前記物性と前記両面積層フィルムの第２位置における前記物性とに基づいて、求める演算ユニットとを備え、前記演算ユニットは、前記マークを基準として、前記第１位置と厚み方向における略同一位置を前記第２位置とする、フィルム製造装置を含む。
【００１１】
このフィルム製造装置では、マーキングユニットと、検知ユニットと、演算ユニットとを備え、演算ユニットは、マークを基準として、第１位置と略同一である位置を第２位置とする。
【００１２】
このため、片面積層フィルムで測定された第１位置と、両面積層フィルムで測定された第２位置とを一致させることができる。よって、特定位置における第１層の物性と、それと略同一位置における第２層の物性とを正確に算出することができ、第１層および第２層のそれぞれの物性値の不良を精度よく検知することができる。その結果、両層のそれぞれが所望の物性を備える両面積層フィルムを確実に製造することができる。
【００１３】
本発明［２］は、前記第１層が、第１導電層であり、前記第２層が、第２導電層であり、前記物性が、シート抵抗である、［１］に記載のフィルム製造装置を含む。
【００１４】
このフィルム製造装置では、両側の導電層のそれぞれが所望のシート抵抗を備える両面積層フィルムを製造することができる。
【００１５】
本発明［３］は、前記測定ユニットは、前記片面積層フィルムおよび前記両面積層フィルムと対向配置されるプローブユニットと、前記プローブユニットを、前記搬送方向と交差する交差方向に走査させる走査ユニットとをさらに備える、［１］または［２］に記載のフィルム製造装置を含む。
【００１６】
このフィルム製造装置では、プローブユニットを交差方向に走査させる走査ユニットを備える。このため、フィルム製造装置は、両面積層フィルムの搬送方向の任意の箇所に加えて、交差方向の任意の箇所も測定できる。よって、フィルムの交差方向においても所望の物性を備える両面積層フィルムを確実に製造することができる。
【００１７】
本発明［４］は、長尺な両面積層フィルムを製造する方法であって、長尺な基材フィルムの厚み方向一方側に第１層を積層して、片面積層フィルムを作製する第１積層工程と、前記片面積層フィルムを搬送方向に搬送しながら、前記片面積層フィルムの物性を測定する第１測定工程と、前記片面積層フィルムにマークを付与するマーキング工程と、前記片面積層フィルムの厚み方向他方側に第２層を積層して、両面積層フィルムを作製する第２積層工程と、前記マークを検知する検知工程と、前記両面積層フィルムを前記搬送方向に搬送しながら、前記両面積層フィルムの前記物性を測定する第２測定工程と、前記マークを基準として、前記片面積層フィルムの第１位置と厚み方向における略同一位置を前記両面積層フィルムの第２位置とし、かつ、前記第１層および前記第２層の前記物性を、前記片面積層フィルムの前記第１位置における前記物性と前記両面積層フィルムの前記第２位置における前記物性とに基づいて、求める演算工程とを備える、両面積層フィルムの製造方法を含む。
【００１８】
この両面積層フィルムの製造方法では、片面積層フィルムにマークを付与するマーク工程と、そのマークを基準として、片面積層フィルムの第１位置と略同一である位置を両面積層フィルムの第２位置とする演算工程を備える。
【００１９】
このため、片面積層フィルムで測定された第１位置と、両面積層フィルムで測定された第２位置とを一致させることができる。よって、特定位置における第１層の物性と、略同一位置における第２層の物性とを正確に算出することができ、第１層および第２層のそれぞれの物性値の不良を精度よく検知することができる。その結果、両層のそれぞれが所望の物性を備える両面積層フィルムを確実に製造することができる。
【００２０】
本発明［５］は、前記第１層が、第１導電層であり、前記第２層が、第２導電層であり、前記物性が、シート抵抗である、［４］に記載の両面積層フィルムの製造方法を含む。
【００２１】
この製造方法では、両側の導電層のそれぞれが所望のシート抵抗を備える両面積層フィルムを製造することができる。
【００２２】
本発明［６］は、前記第１測定工程は、プローブユニットを、前記片面積層フィルムの前記搬送方向と交差する交差方向に走査させながら、前記片面積層フィルムの前記物性を測定する工程であり、前記第２測定工程は、前記プローブユニットを、前記両面積層フィルムの前記交差方向に走査させながら、前記両面積層フィルムの前記物性を測定する工程であり、第２測定工程において、前記マークに基づいて、前記第１測定工程で前記プローブユニットが走査された前記片面積層フィルムの位置と略同一位置となるように、前記プローブユニットを前記両面積層フィルムに走査させる、［４］または［５］に記載の両面積層フィルムの製造方法を含む。
【００２３】
この製造方法では、プローブユニットを交差方向に走査させながら、片面積層フィルムおよび両面積層フィルムの物性を測定する。また、マークに基づいて、第１測定工程で走査された片面積層フィルムの位置と略同一位置となるように、プローブユニットを両面積層フィルムに走査させる。
【００２４】
このため、フィルム製造装置は、両面積層フィルムの搬送方向の任意の箇所に加えて、交差方向の任意の箇所も測定できる。よって、フィルムの交差方向においても所望の物性を備える両面積層フィルムを確実に製造することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明のフィルム製造装置および両面積層フィルムの製造方法によれば、基材フィルムの両側に積層される第１層および第２層のそれぞれが所望の物性を備える両面積層フィルムを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明のフィルム製造装置の一実施形態を示す。
【図２】図２Ａおよび図２Ｂは、図１に示すフィルム製造装置に含まれる抵抗測定装置をであって、図２Ａは、正面図、図２Ｂは、平面図を示す。
【図３】図３は、本発明の両面積層フィルムの製造方法の一実施形態のフローチャートを示す。
【図４】図４は、本発明の両面積層フィルムおよびその分解斜視図を示す。
【図５】図５は、本発明のフィルム製造装置の変形例（第１スパッタユニットおよび第２スパッタユニットを備える形態）を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
図１において、紙面左右方向は、搬送方向（第１方向、長尺方向、一方向）であり、紙面右側が搬送方向下流側（第１方向一方側、長尺方向一方側）、紙面左側が搬送方向上流側（第１方向他方側、長尺方向他方側）である。紙厚方向は、幅方向（第１方向に直交する第２方向）であり、紙面手前側が幅方向一方側（第２方向一方側）、紙面奥側が幅方向他方側（第２方向他方側）である。紙面上下方向は、上下方向（第１方向および第２方向に直交する第３方向、厚み方向）であり、紙面上側が上側（第３方向一方側、厚み方向一方側）、紙面下側が下側（第３方向他方側、厚方向他方側）である。図１以外の図面についても図１の方向に準拠する。
【００２８】
＜一実施形態＞
１．フィルム製造装置
図１〜図３を参照して、本発明の一実施形態のフィルム製造装置１を説明する。図１に示すフィルム製造装置１は、搬送方向（一方向）に長尺な両面積層フィルム２を製造するための装置であり、積層搬送装置３と、抵抗測定装置４と、マーキングユニット５と、検知ユニット６と、制御ユニット７とを備える。
【００２９】
［積層搬送装置］
積層搬送装置３は、図１に示すように、送出ユニット８と、積層ユニットの一例としてのスパッタユニット９と、巻取ユニット１０とを備える。
【００３０】
送出ユニット８は、送出ロール１１と、第１ガイドロール１２と、送出チャンバー１３とを備える。
【００３１】
送出ロール１１は、後述する基材フィルム４０または片面積層フィルム５０を送出するための回転軸を有する円柱部材である。送出ロール１１は、積層搬送装置３の搬送方向最上流に配置されている。送出ロール１１は、送出ロール１１を回転させるためのモータ（図示せず）が接続されている。
【００３２】
第１ガイドロール１２は、送出ロール１１から送出される基材フィルム４０または片面積層フィルム５０をスパッタユニット９にガイドする回転部材である。第１ガイドロール１２は、送出ロール１１の搬送方向下流側かつ第２ガイドロール１４（後述）の搬送方向上流側に配置されている。
【００３３】
送出チャンバー１３は、送出ロール１１および第１ガイドロール１２を収容するケーシングである。送出チャンバー１３には、内部を真空可能とする真空ユニットが設けられている。
【００３４】
スパッタユニット９は、スパッタリング法により、基材フィルム４０に第１導電層４１（後述）を積層し、片面積層フィルム５０に第２導電層５１（後述）を積層する。スパッタユニット９は、送出ユニット８の搬送方向下流側かつ巻取ユニット１０の搬送方向上流側に、これらと隣接するように配置されている。スパッタユニット９は、第２ガイドロール１４と、成膜ロール１５と、ターゲット１６と、第３ガイドロール１７と、成膜チャンバー１８とを備える。
【００３５】
第２ガイドロール１４は、送出ユニット８から搬送される基材フィルム４０または片面積層フィルム５０を成膜ロール１５にガイドする回転部材である。第２ガイドロール１４は、第１ガイドロール１２の搬送方向下流側かつ成膜ロール１５の搬送方向上流側に配置されている。
【００３６】
成膜ロール１５は、基材フィルム４０または片面積層フィルム５０に第１導電層４１または第２導電層５１を積層するための回転軸を有する円柱部材である。成膜ロール１５は、基材フィルム４０または片面積層フィルム５０を成膜ロール１５の周面に沿ってその周方向に搬送させる。成膜ロール１５は、第２ガイドロール１４の搬送方向下流側かつ第３ガイドロール１７の搬送方向上流側に配置されている。
【００３７】
ターゲット１６は、第１導電層４１または第２導電層５１の材料から形成されている。ターゲット１６は、成膜ロール１５の付近に配置されている。具体的には、ターゲット１６は、成膜ロール１５の下側に、成膜ロール１５と間隔を隔てて対向配置されている。
【００３８】
第３ガイドロール１７は、成膜ロール１５から搬送される片面積層フィルム５０または両面積層フィルム２を、抵抗測定装置４を介して、巻取ユニット１０にガイドする回転部材である。第３ガイドロール１７は、第２ガイドロール１４の搬送方向下流側かつ第４ガイドロール１９（後述）の搬送方向上流側に配置されている。
【００３９】
成膜チャンバー１８は、第２ガイドロール１４、成膜ロール１５、ターゲット１６、第３ガイドロール１７および抵抗測定装置４（後述）を収容するケーシングである。成膜チャンバー１８には、内部を真空可能とする真空ユニットが設けられている。
【００４０】
巻取ユニット１０は、第４ガイドロール１９と、巻取ロール２０と、巻取チャンバー２１とを備える。巻取ユニット１０は、スパッタユニット９の搬送方向下流側に、スパッタユニット９と隣接するように配置されている。
【００４１】
第４ガイドロール１９は、スパッタユニット９から搬送される片面積層フィルム５０または両面積層フィルム２を巻取ロール２０にガイドする回転部材である。第４ガイドロール１９は、第３ガイドロール１７の搬送方向下流側かつ巻取ロール２０の搬送方向上流側に配置されている。
【００４２】
巻取ロール２０は、片面積層フィルム５０または両面積層フィルム２を巻き取るための回転軸を有する円柱部材である。巻取ロール２０は、基材フィルム４０の搬送方向最下流に配置されている。巻取ロール２０は、巻取ロール２０を回転させるためのモータ（図示せず）が接続されている。
【００４３】
巻取チャンバー２１は、巻取ロール２０および第４ガイドロール１９を収容するケーシングである。巻取チャンバー２１には、内部を真空可能とする真空ユニットが設けられている。
【００４４】
送出ロール１１および巻取ロール２０が、搬送ユニット１０の一例を構成する。
【００４５】
［抵抗測定装置］
抵抗測定装置４は、図１に示すように、スパッタユニット９内部に配置されている。具体的には、成膜ロール１５および第３ガイドロール１７の搬送下流側および第４ガイドロール１９および巻取ロール２０の搬送方向上流側に配置されている。
【００４６】
抵抗測定装置４は、図２Ａ〜Ｂに示すように、非接触型抵抗測定ユニット３１（以下、測定ユニット３１とも略する。）と、走査ユニット３２と、演算ユニット３３とを備える。
【００４７】
測定ユニット３１は、測定対象（片面積層フィルム５０または両面積層フィルム２）と接触しない状態で、測定対象のシート抵抗を測定するユニットであり、具体的には、渦電流式測定ユニットである。測定ユニット３１は、測定対象に磁界を印加することにより測定対象内に渦電流を発生させ、渦電流の影響によってコイル３６に流れる電流の変化を利用して、導電性フィルム２のシート抵抗を測定する。
【００４８】
測定ユニット３１は、プローブユニット３４と、測定回路ユニット３５とを備える。
【００４９】
プローブユニット３４は、測定対象からの情報（磁界など）を受け取るユニットである。具体的には、プローブユニット３４は、磁界を測定対象に印加するとともに、測定対象の渦電流による反磁界を電流に変換する。
【００５０】
プローブユニット３４は、両面プローブタイプのユニットであり、間隔を隔てて対向配置されている２つのプローブ（３４ａ、３４ｂ）を備える。すなわち、プローブユニット３４は、測定対象と間隔を隔てて測定対象の上側に配置される上側プローブ３４ａと、測定対象と間隔を隔てて測定対象の下側に配置される下側プローブ３４ｂとを備える。２つのプローブ（３４ａ、３４ｂ）の上下方向距離は、可変である。すなわち、後述する上側走査ユニット３２ａおよび下側走査ユニット３２ｂの少なくとも一方が、上下方向に移動および固定可能である。
【００５１】
上側プローブ３４ａおよび下側プローブ３４ｂは、それぞれ、コイル３６を備える。上側プローブ３４ａ内に配置されるコイル３６と、下側プローブ３４ｂ内に配置されるコイル３６とは、上下方向に投影したときに、略同一形状となるように設けられている。
【００５２】
コイル３６のそれぞれの直径は、例えば、１００ｍｍ以下、好ましくは、８０ｍｍ以下、より好ましくは、４０ｍｍ以下であり、また、例えば、１０ｍｍ以上である。コイル３６の直径が上記上限以下であれば、プローブユニット３４がシート抵抗を検知できる測定位置（４３、５３）の最小面積を小さくすることができ、幅方向の感度（分解能）を向上させることができる。
【００５３】
プローブユニット３４間の上下方向距離Ｄ（プローブギャップ）は、例えば、５ｍｍ以上、好ましくは、１０ｍｍ以上であり、また、例えば、３０ｍｍ以下、好ましくは、１５ｍｍ以下である。
【００５４】
測定回路ユニット３５は、２つのコイル３６と電気的に接続されている電気回路を備えるユニットである。測定回路ユニット３５は、例えば、高周波発振器、コンデンサ、電圧計、電流計、Ｉ／Ｖ変換回路などの測定ユニット３１を駆動するために必要な素子を備える。
【００５５】
走査ユニット３２は、プローブユニット３４を幅方向（直交方向：交差方向の一例）に移動させるユニットである。走査ユニット３２は、上側プローブ３４ａおよび下側プローブ３４ｂの相対配置（対向配置）を維持しながら、搬送領域２５（後述）の幅方向一端部から幅方向他端部までの間を往復移動させる。
【００５６】
走査ユニット３２は、上側走査ユニット３２ａと、下側走査ユニット３２ｂとを備える。
【００５７】
上側走査ユニット３２ａは、その下面（厚み方向他方面）に上側プローブ３４ａを保持するスライダ４５と、搬送領域２５の両端縁を幅方向に跨ぐ直線状のガイド軸（トラバース軸）４６とを備える。上側走査ユニット３２ａでは、スライダ４５がガイド軸４６にスライド可能に嵌合しており、図示しないモータからの駆動力により、スライダ４５がガイド軸４６に沿って搬送領域２５を幅方向に横切るように直線移動する。
【００５８】
下側走査ユニット３２ｂは、その上面（厚み方向一方面）に下側プローブ３４ｂを保持するスライダ４５と、搬送領域２５の両端縁を幅方向に跨ぐ直線状のガイド軸（トラバース軸）４６とを備える。これらは、上側走査ユニット３２ａのスライダ４５およびガイド軸４６と同様である。
【００５９】
演算ユニット３３は、メモリ３７と、ＣＰＵ３８とを備える。
【００６０】
メモリ３７は、測定位置、シート抵抗およびマーク位置のデータを記憶する。具体的には、メモリ３７は、第１測定位置４３と片面シート抵抗Ｒ１との関係を示す第１測定データ、第２測定位置５３と両面合成シート抵抗Ｒ１＋２との関係を示す第２測定データ、および、マーク２３と第１測定位置４３との関係を示すマークデータを記憶する。
【００６１】
また、メモリ３７は、照合プログラムと、算出プログラムとを記憶する。
【００６２】
照合プログラムは、マーク２３を基準として、両面積層フィルム２において、第１測定位置４３と略同一位置を第２測定位置５３と特定する。具体的には、照合プログラムは、マーク２３の位置を基準にして、片面積層フィルム５０における複数の第１測定位置４３のそれぞれと略同一位置である両面積層フィルム２における複数の第２測定位置５３のそれぞれを特定する。
【００６３】
算出プログラムは、第１導電層４１のシート抵抗（第１層シート抵抗）および第２導電層５１のシート抵抗（第２層シート抵抗）を、片面積層フィルム５０のシート抵抗（片面シート抵抗Ｒ１）と、両面積層フィルム２のシート抵抗（両面合成シート抵抗Ｒ１＋２）とに基づいて算出する。
【００６４】
ＣＰＵ３８は、上記した照合プログラムおよび算出プログラムを実行して、第１層シート抵抗および第２層シート抵抗を、第１測定位置４３における片面シート抵抗Ｒ１と、照合プログラムで特定された第２測定位置５３における両面合成シート抵抗Ｒ１＋２とに基づいて、求める。
【００６５】
［マーキングユニット］
マーキングユニット５は、片面積層フィルム５０（後述）にマーク２３を付与するユニットである。
【００６６】
マーキングユニット５は、スパッタユニット９内部に配置されている。マーキングユニット５は、測定ユニット３１の搬送方向下流側、かつ、第４ガイドロール１９および巻取ロール２０の搬送方向上流側に配置されている。
【００６７】
マーキングユニット５としては、例えば、エンボス機、パンチングマシン、レーザーマーカー、インクジェットプリンタなどが挙げられる。
【００６８】
［検知ユニット］
検知ユニット６は、マーキングユニット５で付与されたマーク２３を検知するユニットである。
【００６９】
検知ユニット６は、スパッタユニット９内部に配置されている。検知ユニット６は、成膜ロール１５および第３ガイドロール１７の搬送方向下流側、かつ、測定ユニット３１の搬送方向上流側に配置されている。
【００７０】
検知ユニット６としては、例えば、片面積層フィルム５０の凹凸や貫通孔などの形状を検知する光学センサ、インクなどの光学パターンを検知する光学センサなどが挙げられる。
［制御ユニット］  
制御ユニット７は、積層搬送装置３、抵抗測定装置４、マーキングユニット５および検知ユニット６のそれぞれに電気的に接続されている（図示せず）。制御ユニット７は、これらを連動させてまたは独立して、制御および作動させる。
【００７１】
具体的には、制御ユニット７は、マーキングユニット５を作動させて、積層搬送装置３によって搬送される片面積層フィルム５０の所定の位置にマーク２３を付与する。また、制御ユニット６は、検知ユニット６から送信された情報（マーク位置）に基づいて抵抗測定装置４の演算ユニット３３を作動させて、積層搬送装置３によって搬送される両面積層フィルム２の所定の位置（第２測定位置５３）のシート抵抗を測定する。
【００７２】
２．フィルムの製造方法
フィルム製造装置１を用いて両面積層フィルム２を製造する方法の一実施形態を説明する。両面積層フィルム２の製造方法は、図３に示すように、第１積層工程、第１測定工程、マーキング工程、第２積層測定工程、検知工程、第２測定工程、第２演算工程および選別工程を備える。
【００７３】
［第１積層工程］
第１積層工程では、図１に示すように、基材フィルム４０を搬送しながら、第１層の一例としての第１導電層４１を基材フィルム４０に積層する。具体的には、基材フィルム４０を搬送しながら、スパッタリング法により基材フィルム４０の一方面（厚み方向一方側の表面）に第１導電層４１を形成する。
【００７４】
まず、搬送方向に長尺な基材フィルム４０を送出ロール１１に配置する。すなわち、長尺な基材フィルム４０がロール状に巻回された第１ロール体４２を、送出ロール１１に装着する。
【００７５】
基材フィルム４０としては、例えば、高分子フィルムが挙げられる。高分子フィルムの材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル樹脂、例えば、ポリメタクリレートなどの（メタ）アクリル樹脂、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマーなどのオレフィン樹脂、例えば、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリアリレート樹脂、メラミン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、セルロース樹脂、ポリスチレン樹脂などが挙げられる。
【００７６】
基材フィルム４０の幅方向長さ（すなわち、搬送領域２５の幅方向長さ）は、例えば、１００ｍｍ以上、好ましくは、２００ｍｍ以上であり、また、例えば、５０００ｍｍ以下、好ましくは、２０００ｍｍ以下である。
【００７７】
次いで、送出ロール１１および巻取ロール２０をモータにより回転駆動させて、基材フィルム４０を送出ロール１１から送り出し、第１ガイドロール１２、第２ガイドロール１４、成膜ロール１５、第３ガイドロール１７および第４ガイドロール１９を順に搬送して、巻取ロール２０により巻き取る。
【００７８】
基材フィルム４０の搬送速度（片面積層フィルム５０の搬送速度）は、例えば、１０ｍｍ／秒以上、好ましくは、１００ｍｍ／秒以上であり、また、例えば、５００ｍｍ／秒以下、好ましくは、３００ｍｍ／秒以下である。
【００７９】
これにより、基材フィルム４０が、ロールトゥロール方式にて、送出ロール１１から巻取ロール２０まで搬送方向に搬送される（第１搬送工程）。
【００８０】
次いで、スパッタリングを実施する。すなわち、スパッタユニット９を作動させて、基材フィルム４０の一方面に第１導電層４１を形成する。
【００８１】
具体的には、真空下の成膜チャンバー１８の内部にガス（アルゴンなど）を供給するとともに、電圧を印加して、ガスをターゲット１６に衝突させる。その結果、成膜ロール１５の下方において、搬送方向上流側から搬送されてくる基材フィルム４０の下面に、ターゲット１６からはじき出されたターゲット材料が付着され、第１導電層４１が形成される。
【００８２】
ターゲット１６の材料、すなわち、第１導電層４１の材料は、例えば、インジウムスズ複合酸化物、アンチモンスズ複合酸化物などの金属酸化物、例えば、窒化アルミニウム、窒化チタン、窒化タンタル、窒化クロム、窒化ガリウムおよびこれらの複合窒化物などの金属窒化物、例えば、金、銀、銅、ニッケルおよびこれらの合金などの金属などが挙げられる。
【００８３】
これにより、成膜ロール１５の下側において、基材フィルム４０と、その一方面に積層された第１導電層４１とを備える片面積層フィルム５０が作製される（第１層形成工程）。
【００８４】
その後、成膜ロール１５の下側で作製された片面積層フィルム５０は、成膜ロール１５および第３ガイドロール１７により、搬送方向下流側の抵抗測定装置４に向かって搬送される。
【００８５】
［第１測定工程］
第１測定工程では、図２Ａ〜Ｂに示すように、片面積層フィルム５０を搬送方向に搬送しながら、片面積層フィルム５０のシート抵抗（片面シート抵抗Ｒ１）を測定する。
【００８６】
具体的には、測定ユニット３１を作動させる。すなわち、搬送される片面積層フィルム５０にプローブユニット３４から磁界を印加し、片面積層フィルム５０に発生する渦電流によって生じる測定回路ユニット３５の電流変化を検知し、その電圧からシート抵抗を算出する。
【００８７】
第１測定工程では、プローブユニット３４を幅方向に走査させながら、シート抵抗の測定を実施する。具体的には、プローブユニット３４を、搬送領域２５の幅方向一端部から幅方向他端部までを往復移動させながら、複数回の測定を実施する。これにより片面積層フィルム５０において、複数の第１測定位置４３（複数の第１位置）で測定がされる。
【００８８】
搬送領域２５は、上下方向（厚み方向）に投影したときに、搬送される片面積層フィルム５０または両面積層フィルム２と重なる領域であり、その幅方向長さは、これらの幅方向長さと一致する。
【００８９】
片面積層フィルム５０において、複数の第１測定位置４３の各領域は、コイル３６よりも大きい平面視略円形状を有する。すなわち、第１測定位置の各領域の直径は、コイル３６の直径よりも大きい。複数の第１測定位置４３の集合体からなるパターン（第１測定パターン）は、搬送方向に進む波形状を有する。
【００９０】
プローブユニット３４の走査速度は、例えば、１０ｍｍ／秒以上、好ましくは、１００ｍｍ／秒以上であり、また、例えば、５００ｍｍ／秒以下、好ましくは、３００ｍｍ／秒以下である。
【００９１】
これにより、片面シート抵抗Ｒ１のデータが測定され、メモリ３７に記憶される。具体的には、測定位置（複数の第１測定位置４３）と、その位置における片面シート抵抗Ｒ１との関係を示す第１測定データが得られる。
【００９２】
なお、測定ユニット３１では、測定時間（横軸）とその時間における片面シート抵抗Ｒ１（縦軸）との関係を示すグラフのデータが得られるが、測定時間に、片面積層フィルム５０の搬送速度および走査ユニット３２の走査速度を考慮することにより、測定位置が算出される。その結果、測定位置と、その位置における片面シート抵抗Ｒ１との関係を示す第１測定データを得ることができる。これは、第２測定工程の第２測定データについても同様である。
【００９３】
［マーキング工程］
マーキング工程では、片面積層フィルム５０にマーク２３を付与する。具体的には、片面積層フィルム５０の第１導電層４１にマーク２３を付与する。
【００９４】
マーク２３は、マーキングユニット５の作動によって、メモリ３７に記憶されたマークデータに基づいて、マーク２３と第１測定位置４３との位置関係を予め明確にした所定の位置（例えば、第１測定パターンの開始位置や終了位置など）に付与される。
【００９５】
マーク２３としては、例えば、凹部、貫通孔、インクなどが挙げられる。
【００９６】
マーク２３のパターンとしては、例えば、多角形状（三角形、四角形など）、円形状（ドット形状、水玉形状など）、バーコード、記号（文字、数字など）などが挙げられる。
【００９７】
マーク２３の付与方法としては、例えば、打痕、スクラッチ、パンチング、レーザーマーキング、印刷（インクジェット、塗布）などが挙げられる。
【００９８】
マーク２３の付与回数（すなわち、片面積層フィルム５０に付与されるマーク２３の数）は、１回であってもよく、複数回であってもよい。
【００９９】
マーク位置としては、具体的には、片面積層フィルム５０の搬送方向最下端部（すなわち、第１ロール体４２における最内側部）、片面積層フィルム５０の搬送方向最上端部（すなわち、第１ロール体４２における最外側部）、片面積層フィルム５０の搬送方向中間部のいずれであってもよい。
【０１００】
その後、マーク２３が付与された片面積層フィルム５０は、巻取チャンバー２１にて、巻取ロール２０により巻き取られる。これにより、長尺な片面積層フィルム５０がロール状に巻回された第２ロール体５２が得られる。
【０１０１】
［第２積層工程］
第２積層工程では、片面積層フィルム５０を搬送しながら、第２層の一例としての第２導電層５１を片面積層フィルム５０に積層する。具体的には、片面積層フィルム５０を搬送しながら、スパッタリング法により片面積層フィルム５０の他方面（厚み方向他方側の表面）に第２導電層５１を形成する。
【０１０２】
まず、第２ロール体５２を送出ロール１１に配置する。具体的には、第２ロール体５２を巻取ロール２０から取り外し、送出ロール１１に装着する。
【０１０３】
この際、片面積層フィルム５０の他方面に第２導電層５１が積層されるように、第２ロール体５２を装着する。すなわち、第２ロール体５２を別のロールを巻きなおして、片面積層フィルム５０の一方面と他方面とを反転させる。
【０１０４】
次いで、送出ロール１１および巻取ロール２０をモータにより回転駆動させて、片面積層フィルム５０を送出ロール１１から送り出し、第１ガイドロール１２、第２ガイドロール１４、成膜ロール１５、第３ガイドロール１７および第４ガイドロール１９を順に搬送して、巻取ロール２０により巻き取る。
【０１０５】
片面積層フィルム５０の搬送速度（両面積層フィルム２の搬送速度）は、第１積層工程と同様である。
【０１０６】
これにより、片面積層フィルム５０が、ロールトゥロール方式にて、送出ロール１１から巻取ロール２０まで搬送方向に搬送される（第２搬送工程）。
【０１０７】
次いで、スパッタリングを実施する。すなわち、スパッタユニット９を作動させて、片面積層フィルム５０の他方面に第２導電層５１を形成する。
【０１０８】
スパッタリングの方法および材料は、第１層積層工程と同様である。
【０１０９】
これにより、成膜ロール１５の下側において、基材フィルム４０と、その一方面に積層された第１導電層４１と、その他方面に積層された第２導電層５１とを備える両面積層フィルム２（両面導電性フィルム）が作製される（第２層形成工程）。
【０１１０】
その後、成膜ロール１５の下側で作製された両面積層フィルム２は、成膜ロール１５および第３ガイドロール１７により、搬送方向下流側に向かって搬送される。
【０１１１】
［検知工程］
検知工程では、両面積層フィルム２に付与されたマーク２３を検知する。
【０１１２】
検知ユニット６は、マーク２３を検知すると、その検知信号を制御ユニット７に送信する。
【０１１３】
［第２測定工程］
第２測定工程は、両面積層フィルム２を搬送方向に搬送しながら、両面積層フィルム２のシート抵抗（両面合成シート抵抗Ｒ１＋２）を測定する。
【０１１４】
具体的には、第１測定工程と同様に、測定ユニット３１を作動させる。これにより、搬送される両面積層フィルム２のシート抵抗を算出する。
【０１１５】
第２測定工程では、第１測定工程と同様に、プローブユニット３４を幅方向に走査させながら、シート抵抗の測定を実施する。具体的には、プローブユニット３４を、搬送領域２５の幅方向一端部から幅方向他端部までを往復移動させながら、複数の測定を実施する。これにより、両面積層フィルム２において、複数の第２測定位置５３（複数の第２位置）で測定がされる。
【０１１６】
このとき、マーク２３に基づいて、第１測定工程でプローブユニット３４が走査された片面積層フィルム５０の位置と略同一位置を走査するように、プローブユニット３４を両面積層フィルム２に走査させる。
【０１１７】
すなわち、検知ユニット６がマーク２３を検知した場合に、その検知信号を制御ユニット７に送信する。そして、制御ユニット７は、演算ユニット３３を制御して、メモリ３７に記憶された複数の第１測定位置４３およびマーク位置のデータに基づいて、複数の第１測定位置４３と一致する位置を走査するように、走査ユニット３２を作動させて、プローブユニット３４を両面積層フィルム２に走査させる。また、複数の第２測定位置５３と、複数の第１測定位置４３とが一致するように、測定ユニット３１を作動させて、測定を実施する。
【０１１８】
複数の第２測定位置５３の集合体からなるパターン（第２測定パターン）も、第１測定パターンと略同一である。第１測定工程で測定される位置と、第２測定工程で測定される位置とは、厚み方向において（すなわち、平面視において）、略同一である。
【０１１９】
片面積層フィルム５０の走査位置と、両面積層フィルム２の走査位置と略同一であるとは、２つの走査位置の距離が、例えば、２００ｍｍ以下、好ましくは、１００ｍｍ以下、より好ましくは、１０ｍｍ以下、さらに好ましくは、１ｍｍ以下であることをいう。
【０１２０】
第２測定工程におけるプローブユニット３４の走査速度は、第１測定工程と同一速度である。
【０１２１】
これにより、両面合成シート抵抗Ｒ１＋２のデータが測定され、メモリ３７に記憶される。具体的には、測定位置（複数の第２測定位置５３）と、その位置における両面合成シート抵抗Ｒ１＋２との関係を示す第２測定データが得られる。なお、両面合成シート抵抗Ｒ１＋２は、第１導電層４１のシート抵抗（第１層シート抵抗）と、第２導電層５１のシート抵抗（第２層シート抵抗）とが合成されたシート抵抗である。
【０１２２】
［演算工程］
演算工程では、マーク２３を基準として、片面積層フィルム５０の第１測定位置４３と略同一位置を両面積層フィルム２の第２測定位置５３とする（照合工程）。次いで、第１層シート抵抗および第２層シート抵抗を、第１測定位置の片面シート抵抗Ｒ１と第２測定位置５３の両面合成シート抵抗Ｒ１＋２とに基づいて、求める（算出工程）。
【０１２３】
照合工程では、マーク２３と複数の第１測定位置４３との位置関係を示すマークデータをメモリ３７から取得し、マーク２３と複数の第２測定位置５３との位置関係と照合する。これにより、複数の第１測定位置４３のそれぞれと略同一である複数の第２測定位置５３のそれぞれを、特定する。
【０１２４】
続いて、第１測定位置４３で測定された片面シート抵抗Ｒ１と、それと対応する第２測定位置５３で測定された両面合成シート抵抗Ｒ１＋２とを、特定する。
【０１２５】
具体的な一例として、図４に示すように、複数の第１測定位置４３のうち一つの第１測定位置４３ａにおいて、その一つの第１測定位置４３ａと略同一位置である一つの第２測定位置５３ａを特定する。そして、その一つの第１測定位置４３ａの片面シート抵抗Ｒ１と、その一つの第２測定位置５３ａの両面合成シート抵抗Ｒ１＋２とを特定する。
【０１２６】
なお、第１測定位置４３と第２測定位置５３とが略同一であるとは、２つの測定位置の距離が、例えば、２００ｍｍ以下、好ましくは、１００ｍｍ以下、より好ましくは、１０ｍｍ以下、さらに好ましくは、１ｍｍ以下であることをいう。
【０１２７】
算出工程では、第１層シート抵抗を、第１測定位置４３の片面シート抵抗Ｒ１に基づいて求める。すなわち、第１測定位置４３の片面シート抵抗Ｒ１を、第１測定位置４３の第１層シート抵抗とする。
【０１２８】
また、第２層シート抵抗を、第１測定位置４３の片面シート抵抗Ｒ１と第２測定位置５３の両面合成シート抵抗Ｒ１＋２とに基づいて求める。すなわち、第２測定位置５３の第２層シート抵抗を、第１測定位置４３の片面シート抵抗Ｒ１および第２測定位置５３の両面合成シート抵抗Ｒ１＋２を用いて、下記式に基づいて算出する。
【０１２９】
【数１】
2019173061.tif 000003
【０１３０】
なお、上記Ｒ２は、第２層シート抵抗を示す。
【０１３１】
このとき、第１測定位置４３における片面シート抵抗Ｒ１に対して、複数の第２測定位置５３における両面合成シートＲ１＋２の中から、照合工程で特定した第２測定位置５３における両面合成シート抵抗Ｒ１＋２を用いる。
【０１３２】
これにより、第２層シート抵抗のデータが求められる。その結果、両面積層フィルム２において、略同一位置において測定された第１層シート抵抗および第２層シート抵抗を得ることができる。
【０１３３】
［選別工程］
選別工程では、得られる第１層シート抵抗および第２層シート抵抗に基づいて、両面積層フィルム２を選別する。
【０１３４】
具合的には、第１層シート抵抗および第２層シート抵抗のそれぞれに基づいて、所定範囲から外れるシート抵抗の値（不良値）を示すプロットを検知した場合、不良値を示す測定位置を特定する。次いで、その位置における両面積層フィルム２に所望の処置（両面積層フィルム２の排除；第１導電層４１および第２導電層５２の加工；第１導電層４１および第２導電層５２におけるガスや電力などの成膜プロセスパラメータのフィードバック制御など）を実施する。
【０１３５】
これにより、両側のシート抵抗が所望の範囲内である両面積層フィルム２が製造される。
【０１３６】
その後、両面積層フィルム２は、巻取チャンバー２１にて、巻取ロール２０により巻き取られる。これにより、長尺な両面積層フィルム２がロール状に巻回された第３ロール体５４が得られる。
【０１３７】
３．作用効果
そして、フィルム製造装置１は、長尺な基材フィルム４０の一方側に第１導電層４１を積層して片面積層フィルム５０を作製し、片面積層フィルム５０の他方側に第２導電層５１を積層して両面積層フィルム２を作製するスパッタユニット９と、片面積層フィルム５０および両面積層フィルム２を搬送方向に搬送する搬送ユニット１０と、片面積層フィルム５０にマーク２３を付与するマーキングユニット５と、片面シート抵抗Ｒ１および両面合成シート抵抗Ｒ１＋２を測定する測定ユニット３１と、測定ユニット３１の搬送方向上流側に配置され、マーク２３を検知する検知ユニット６と、第１層シート抵抗および第２層シート抵抗を、第１測定位置４３における片面シート抵抗Ｒ１と第２測定位置５３における両面合成シート抵抗Ｒ１＋２とに基づいて、求める演算ユニット３３とを備える。そして、演算ユニット３３は、マーク２３を基準として、第１測定位置４３と略同一位置を第２測定位置５３とする。
【０１３８】
このため、片面積層フィルム５０で測定された第１測定位置４３と、両面積層フィルム２で測定された第２測定位置５３とを一致させることができる。よって、特定位置における片面シート抵抗Ｒ１と、それと略同一位置である両面合成シート抵抗Ｒ１＋２とを正確に特定することができる。したがって、特定位置における第１層シート抵抗と、それと略同一位置における第２層シート抵抗とを正確に算出することができ、第１層シート抵抗および第２層シート抵抗のそれぞれの不良を精度よく検知することができる。その結果、両層のそれぞれが所望のシート抵抗を備える両面積層フィルム２を確実に製造することができる。
【０１３９】
また、このフィルム製造装置１では、測定ユニット３１は、片面積層フィルム５０および両面積層フィルム２と対向配置されるプローブユニット３４と、プローブユニット３４を、幅方向に走査させる走査ユニット３２とをさらに備える。
【０１４０】
このため、フィルム製造装置１は、両面積層フィルム２の搬送方向の任意の箇所に加えて、幅方向の任意の箇所も測定できる。よって、フィルムの幅においても所望のシート抵抗を備える両面積層フィルム２を確実に製造することができる。
【０１４１】
また、このフィルム製造方法では、長尺な基材フィルム４０の一方側に第１導電層４１を積層して、片面積層フィルム５０を作製する第１積層工程と、片面積層フィルム５０を搬送方向に搬送しながら、片面シート抵抗Ｒ１を測定する第１測定工程と、片面積層フィルム５０にマーク２３を付与するマーキング工程と、片面積層フィルム５０の他方側に第２導電層５１を積層して、両面積層フィルム２を作製する第２積層工程と、マーク２３を検知する検知工程と、両面積層フィルム２を搬送方向に搬送しながら、両面合成シート抵抗Ｒ１＋２を測定する第２測定工程と、マーク２３を基準として、片面積層フィルム５０の第１測定位置４３と略同一位置を両面積層フィルム２の第２測定位置５３とし、かつ、第１層シート抵抗および第２層シート抵抗を、第１測定位置４３における片面シート抵抗Ｒ１と第２測定位置５３における両面合成シート抵抗Ｒ１＋２とに基づいて、求める演算工程とを備える。
【０１４２】
このため、片面積層フィルム５０で測定された第１測定位置４３と、両面積層フィルム２で測定された第２測定位置５３とを一致させることができる。よって、特定位置における片面シート抵抗Ｒ１と、それと略同一位置である両面合成シート抵抗Ｒ１＋２とを正確に特定することができる。したがって、特定位置における第１層シート抵抗と、それと略同一位置である第２層シート抵抗とを正確に算出することができ、第１層シート抵抗および第２層シート抵抗のそれぞれの不良を精度よく検知することができる。その結果、両層のそれぞれが所望のシート抵抗を備える両面積層フィルム２を確実に製造することができる。
【０１４３】
また、このフィルム製造方法では、第１測定工程は、プローブユニット３４を、片面積層フィルム５０の幅方向に走査させながら、片面シート抵抗を測定する工程であり、第２測定工程は、プローブユニット３４を、両面積層フィルム２の幅方向に走査させながら、両面合成シート抵抗を測定する工程である。また、第２測定工程において、マーク２３に基づいて、第１測定工程でプローブユニット３４が走査された片面積層フィルム５０の位置と略同一位置となるように、プローブユニット３４を両面積層フィルム２に走査させる。
【０１４４】
このため、フィルム製造装置１は、両面積層フィルム２の搬送方向の任意の箇所に加えて、幅方向の任意の箇所も測定できる。よって、フィルムの幅方向においても所望のシート抵抗を備える両面積層フィルム２を確実に製造することができる。
【０１４５】
４．変形例
以下の各変形例において、上記した一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例を適宜組み合わせることができる。さらに、各変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【０１４６】
（第１変形例）
図１に示すフィルム製造装置１を用いて両面積層フィルム２を製造する一実施形態では、同一のスパッタユニット９を用いて、第１導電層４１および第２導電層５１を積層しているが、例えば、図５に示すように、異なるスパッタユニットを用いて、第１導電層４１および第２導電層５１を積層することができる。
【０１４７】
図５に示すフィルム製造装置１は、積層搬送装置３と、抵抗測定装置４と、マーキングユニット５と、検知ユニット６とを備える。積層搬送装置３は、送出ユニット８と、第１スパッタユニット６１と、第２スパッタユニット６２と、巻取ユニット１０とを備える。
【０１４８】
第１スパッタユニット６１は、送出ユニット８の搬送方向下流側および第２スパッタユニット６２の搬送方向上流側に配置されており、第２ガイドロール１４と、成膜ロール１５と、ターゲット１６と、第３ガイドロール１７と、第５ガイドロール６３と、成膜チャンバー１８とを備える。
【０１４９】
第２スパッタユニット６２は、第１スパッタユニット６１の搬送方向下流側および巻取ユニット１０の搬送方向上流側に配置されており、第６ガイドロール６４と、第２ガイドロール１４と、成膜ロール１５と、ターゲット１６と、第３ガイドロール１７と、成膜チャンバー１８とを備える。
【０１５０】
抵抗測定装置４は、第１非接触型抵抗測定ユニット７１（以下、第１測定ユニットとも略する。）と、第１走査ユニット７２と、第２非接触型抵抗測定ユニット７３（以下、第２測定ユニットとも略する。）と、第２走査ユニット７４と、演算ユニット３３とを備える。
【０１５１】
第１測定ユニット７１および第１走査ユニット７２は、第１スパッタユニット６１内部に配置されている。
【０１５２】
第１測定ユニット７１は、図１に示す測定ユニット３１と同様である。第１走査ユニット７２は、図１に示す走査ユニット３２と同様であり、第１測定ユニット７１のプローブユニット３４を移動させる。
【０１５３】
第２測定ユニット７３および第２走査ユニット７４は、第２スパッタユニット６２内部に配置されている。
【０１５４】
第２測定ユニット７３は、図１に示す測定ユニット３１と同様である。第２走査ユニット７４は、図１に示す走査ユニット３２と同様であり、第２測定ユニット７３のプローブユニット３４を移動させる。
【０１５５】
演算ユニット３３は、第１測定ユニット７１および第２測定ユニット７３の両方に接続されている。
【０１５６】
マーキングユニット５は、第１スパッタユニット６１の内部に配置されており、第１測定ユニット７１の搬送方向下流側に配置されている。
【０１５７】
検知ユニット６は、第２スパッタユニット６２の内部に配置されており、成膜ロール１５の搬送方向下流側かつ第２測定ユニット７３の搬送方向上流側に配置されている。
【０１５８】
図５に示すフィルム製造装置１を用いて、両面積層フィルム２を製造する場合、まず、基材フィルム４０（第１ロール体４２）は、送出ユニット８から搬送方向下流側に送り出され、続いて、第１スパッタユニット６１で第１導電層４１が積層されて片面積層フィルム５０が形成される。続いて、片面積層フィルム５０は、第１測定ユニット７１にて第１測定位置４３の片面シート抵抗Ｒ１が測定され、マーキングユニット５にてマーク２３が付与される。続いて、第２スパッタユニット６２にて第２導電層５１が形成されて両面積層フィルム２が形成される。続いて、両面積層フィルム２は、検知ユニット６にてマーク２３が検知され、第２測定ユニット７３にて第２測定位置５３の両面合成抵抗値Ｒ１＋２が測定される。その後、巻取ユニット１０にて巻き取られ、第３ロール体５４が得られる。
【０１５９】
（第２変形例）
図１に示す実施形態では、マーキングユニット５は、測定ユニット３１の搬送方向下流側に配置されているが、例えば、図１の仮想線で示すように、マーキングユニット５は、測定ユニット３１の搬送方向上流側、例えば、成膜ロール１５の搬送方向上流側に配置してもよい。
【０１６０】
この場合、第１測定工程の前に、マーキング工程が実施される。また、基材フィルム４０にマーキングが実施されるため、片面積層フィルム５０の基材フィルム４０にマーク２３が付与される。
【０１６１】
（第３変形例）
図１に示す実施形態では、第１導電層４１および第２導電層５１の物性として、シート抵抗を測定しているが、例えば、表面粗さ、膜厚などの物性を測定することもできる。
【０１６２】
表面粗さを測定する場合では、プローブユニット３４および測定回路ユニット３５は、公知または市販の表面粗さ測定器を用いることができる。
【０１６３】
また、第１導電層４１の表面粗さは、片面積層フィルム５０の第１導電層側の第１測定位置４３における表面粗さとし、第２導電層５１の表面粗さは、両面積層フィルム２の第２導電層側の第２測定位置５３における表面粗さとして求める。
【０１６４】
（第４変形例）
図１に示す実施形態では、第１層として第１導電層４１および第２層として第２導電層５１を備える両面積層フィルム２を製造しているが、例えば、第１層および第２層として、導電層以外の層、例えば、熱伝導層、光学調整層などとすることもできる。
【０１６５】
この場合、測定する物性としては、熱伝導度、屈折率、表面粗さ、膜厚などが挙げられる。
【０１６６】
（第５変形例）
図１に示す実施形態では、積層ユニットとしてスパッタユニットが設備されているが、これに代えて、例えば、積層ユニットとして、真空蒸着ユニット、化学蒸着ユニットなどを設備することもできる。この場合、積層ユニットは、ターゲット１６の代わりに、導電層（４１、５１）の材料からなる蒸着源を備える。また、積層ユニットは、塗布ユニット、印刷ユニットなどであってもよい。
【符号の説明】
【０１６７】
１  フィルム製造装置
２  両面積層フィルム
３  積層搬送装置
４  抵抗測定装置
５  マーキングユニット
６  検知ユニット
９  スパッタユニット
２３  マーク
３０  搬送ユニット
３１  測定ユニット
３２  走査ユニット
３３  演算ユニット
３４  プローブユニット
４０  基材フィルム
４１  第１導電層
４３  第１測定位置
５０  片面積層フィルム
５１  第２導電層
５３  第２測定位置
【図１】
2019173061.tif 000004
【図２】
2019173061.tif 000005
【図３】
2019173061.tif 000006
【図４】
2019173061.tif 000007
【図５】
2019173061.tif 000008