(57)【要約】【課題】ダイアフラムによる止水時の応答性のバラつきが抑えられ、且つ、ダイアフラムの最外径を小さく抑えることが可能なダイアフラム弁を提供すること。【解決手段】ダイアフラム部と、一次側部と、二次側部と、主弁６０と、を備え、ダイアフラム板６１は、中央係止部６１１と中央係止部６１１の周囲に配置された外側係止部６１７とを備え、中央係止部６１１及び外側係止部６１７は、ダイアフラム６３の被係止部６３４に係止され、少なくとも中央係止部６１１側の外側係止部６１７の部分は、シート面６３３よりもダイアフラム６３の内方に位置する位置関係を有するダイアフラム弁である。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイアフラム部と、
前記ダイアフラム部に向って液体が流入する一次側部と、
前記ダイアフラム部からの液体が流出する二次側部と、
前記ダイアフラム部を構成し、一次側部と二次側部との遮断と連通との切替えをする主弁と、
前記主弁における前記一次側部と前記二次側部が連通する側に対する背面側に形成された背圧室と、を備え、
前記主弁は、主弁座部に当接して前記一次側部と前記二次側部とを遮断するシート面を有するダイアフラムと、前記ダイアフラムに固定され前記一次側部と前記背圧室とを連通するダイアフラム板とを備え、
前記ダイアフラム板は、中央係止部と前記中央係止部の周囲に配置された外側係止部とを備え、前記中央係止部及び前記外側係止部は、前記ダイアフラムの被係止部に係止され、
少なくとも前記中央係止部側の前記外側係止部の部分は、前記シート面よりも前記ダイアフラムの内方に位置する位置関係を有するダイアフラム弁。
【請求項２】
前記外側係止部の端面は、前記シート面と面一の位置関係を有するか、又は、前記シート面よりも前記ダイアフラムの内方に位置する位置関係を有する請求項１に記載のダイアフラム弁。
【請求項３】
前記外側係止部は、前記被係止部に当接する延出面と、前記延出面の延出端部から前記外側係止部の端面に向かって延びる傾斜面と、を有し、
前記延出面から前記傾斜面と前記外側係止部の端面との接続位置までの最短距離は、前記外側係止部から前記中央係止部へと向かう方向における前記延出面の長さよりも長い請求項１又は請求項２に記載のダイアフラム弁。
【請求項４】
前記ダイアフラムの被係止部は、前記外側係止部が係止可能な係止凹部を有する請求項１〜請求項３のいずれかに記載のダイアフラム弁。
【請求項５】
前記係止凹部の深さは、前記ダイアフラムの厚さと前記係止凹部の深さとの差よりも小さい請求項４に記載のダイアフラム弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイアフラム弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液体の流れを制御するために、液体の流路に電磁弁が設けられ、電磁弁の開閉が制御されることが知られている。電磁弁としては、いわゆるパイロット式電磁弁が知られている。パイロット式電磁弁は、例えば、ダイアフラムとダイアフラムに固定されたダイアフラム板とを有するダイアフラム部を備え、ダイアフラム部の上端に副流路の端部の開口が形成され、この開口がプランジャーによって開閉されることにより、ダイアフラムによる主流路の開閉が行われる（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−０５７９５５号公報
【特許文献２】特開２０１７−０５７８６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、前述した従来のパイロット式の電磁弁では、ダイアフラムとダイアフラム板の固定には、ダイアフラム板の中央１箇所のみにおいてダイアフラム板をダイアフラムに係止させるための係止部を有する構成のものと、ダイアフラム板の中央１箇所に加えて、ダイアフラム板の中央よりもダイアフラム板の径方向外側に１箇所、または２箇所において、比較的小さい係止部を有する構成のものが一般的である。
【０００５】
しかし前者においては、ダイアフラムがリフトした際に、ダイアフラムとダイアフラム板との間にスキマが発生し、ダイアフラムによる止水時の応答性にバラつきが生じるという課題がある。また、後者においては、前者において生ずる課題はないが、ダイアフラムに当接して主流路の開閉を行う弁座のシート部と、径方向外側に配置された係止部とが干渉することを避けるために、ダイアフラムの最外径を十分に大きくする必要があるという課題がある。
【０００６】
本発明は、ダイアフラムによる止水時の応答性のバラつきが抑えられ、且つ、ダイアフラムの最外径を小さく抑えることが可能なダイアフラム弁を提供すること目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため本発明は、ダイアフラム部（例えば、後述の主弁６０、背圧室３１）と、前記ダイアフラム部に向って液体が流入する一次側部（例えば、後述の一次側空間１０３）と、前記ダイアフラム部からの液体が流出する二次側部（例えば、後述の二次側空間１０４）と、前記ダイアフラム部を構成し、一次側部と二次側部との遮断と連通との切替えをする主弁（例えば、後述の主弁６０）と、前記主弁における前記一次側部と前記二次側部とが連通する側に対する背面側に形成された背圧室（例えば、後述の背圧室３１）と、を備え、前記主弁は、主弁座部（例えば、後述の主弁座部１０１１）に当接して前記一次側部と前記二次側部とを遮断するシート面（例えば、後述のシート面６３３）を有するダイアフラム（例えば、後述のダイアフラム６３）と、前記ダイアフラムに固定され前記一次側部と前記背圧室とを連通するダイアフラム板（例えば、後述のダイアフラム板６１）とを備え、前記ダイアフラム板は、中央係止部（例えば、後述のダイアフラム板下部６１１）と前記中央係止部の周囲に配置された外側係止部（例えば、後述の外側係止部６１７）とを備え、前記中央係止部及び前記外側係止部は、前記ダイアフラムの被係止部（例えば、後述の係止凹部６３４）に係止され、少なくとも前記中央係止部側の前記外側係止部の部分は、前記シート面よりも前記ダイアフラムの内方に位置する位置関係を有するダイアフラム弁（例えば、後述の電磁弁１）を提供する。
【０００８】
また、前記外側係止部の端面（例えば、後述の端面６１７３）は、前記シート面と面一の位置関係を有するか、又は、前記シート面よりも前記ダイアフラムの内方に位置する位置関係を有することが好ましい。
【０００９】
また、前記外側係止部は、前記被係止部に当接する延出面（例えば、後述の延出面６１７１）と、前記延出面の延出端部（例えば、後述の延出端部６１７２）から前記外側係止部の端面に向かって延びる傾斜面（例えば、後述の傾斜面６１７４）と、を有し、前記延出面から前記傾斜面と前記外側係止部の端面との接続位置（例えば、後述の接続位置６１７５）までの最短距離（例えば、後述の最短距離ｈ）は、前記外側係止部から前記中央係止部へと向かう方向における前記延出面の長さ（例えば、後述の長さｉ）よりも長いことが好ましい。
【００１０】
また、前記ダイアフラムの被係止部は、前記外側係止部が係止可能な係止凹部（例えば、後述の係止凹部６３４）を有することが好ましい。また、前記係止凹部の深さ（例えば、後述の深さｄ）は、前記ダイアフラムの厚さ（例えば、後述の厚さｔ）と前記係止凹部の深さとの差（例えば、後述の差ｓ）よりも小さいことが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ダイアフラムによる止水時の応答性のバラつきが抑えられ、且つ、ダイアフラムの最外径を小さく抑えることが可能なダイアフラム弁を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係る電磁弁１を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る電磁弁１を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る電磁弁１を示す拡大断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る電磁弁１の外側係止部を示す拡大断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る電磁弁１の変形例による外側係止部を示す拡大断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る電磁弁１の他の変形例による外側係止部を示す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明のダイアフラム弁としての電磁弁１の好ましい一実施形態である第１実施形態について、図１〜図４を参照しながら説明する。図１は、電磁弁１を示す斜視図である。図２は、電磁弁１を示す断面図である。図３は、電磁弁１を示す拡大断面図である。図４は、電磁弁１の外側係止部６１７を示す拡大断面図である。
【００１４】
本実施形態の電磁弁１は、図１に示すように、パイロット式電磁弁であり、管部材１０と、主弁６０と、カバー３０と、コイル部４０と、を備えており、これらは下から上へ向ってこの順で接続されている。
【００１５】
管部材１０はカバー３０に固定されており、管部材１０及びカバー３０は、本体部を構成する。図２に示すように、管部材１０は、一次側流路を形成する一次側部を構成する一端部（右側の端部）、及び、二次側流路を形成する二次側部を構成する他端部（左側の端部）が開口しており、これらは、それぞれ一次側接続部１１１と二次側接続部１１２とを構成する。一次側部においては、ダイアフラム部に向って液体が流入する。二次側部においては、ダイアフラム部からの液体が流出する。
【００１６】
管部材１０の中央部には、上方向へ開口する開口部により構成される主弁座部１０１１と、主弁座部１０１１よりも二次側部の開口部寄りに位置する副流路開口部１０１２とが設けられている。副流路開口部１０１２には、カバー３０の下面から下方向へ延びて、内部に後述の背圧室３１からの水が流通する二次側副流路３０２（図３参照）が形成された下方突出部３０１が挿入されている。二次側副流路３０２の上流端部は、後述の副弁用凹部３０７１に向けて開口しており、開口の周囲は、プランジャー４５の下端部４５２が当接する弁座としてのシート部３０３（図３参照）を有している。シート部３０３の上部は、截頭円錐形状を有しており、その軸心位置には、上下方向に貫通する貫通孔により二次側副流路３０２が形成されている。下方突出部３０１の外周には、Ｏリング３０５が設けられており、下方突出部３０１と副流路開口部１０１２を形成する管部材１０の部分との間がシールされる。
【００１７】
主弁６０は、ダイアフラム部を構成し、一次側部と二次側部との遮断と連通との切替えをする。具体的には、主弁６０は、ダイアフラム板６１とダイアフラム６３とを備えている。ダイアフラム板６１は、樹脂材料が成形されて構成されており、上に向って拡径するダイアフラム板下部６１１と、ダイアフラム板下部６１１の上端よりも大径のダイアフラム板上部６１２と、ダイアフラム板上部６１２とダイアフラム板下部６１１とを接続する括れたダイアフラム板中間部６１３と、を有している。ダイアフラム板下部６１１からダイアフラム板中間部６１３にかけての部分には、これらの軸心位置に円柱形状の穴６１４が形成されている。穴６１４は、ダイアフラム板下部６１１の中央から上方向に、ダイアフラム板中間部６１３の部分に至るまで延びている。ダイアフラム板下部６１１は、後述のダイアフラム６３の貫通孔６３１の周囲に係止される中央係止部を構成する。
【００１８】
ダイアフラム板上部６１２には、一次側副流路を構成する小孔６１５が形成されている。小孔６１５は、ダイアフラム板上部６１２を上下方向へ貫通するように形成されており、一次側空間１０３と後述の背圧室３１とを連通する。小孔６１５を通して水が一次側空間１０３から背圧室３１に流入することにより、背圧室３１内の圧力を上昇させる。
【００１９】
また、ダイアフラム板上部６１２の上面には、ばね係合凹部６１２１が形成されている。ばね係合凹部６１２１には、ばね６４の下端部が当接して係合している。ばね６４の上端部は、背圧室３１の天井を形成するカバー３０の内面に当接している。ばね６４は、圧縮ばねにより構成されており、主弁６０を下方へ押圧し、ダイアフラム６３を主弁座部１０１１に当接させる。ばね６４の上端部においてばね６４の先端の部分は水平方向へ延びて、更に下方向へ直線的に延びて、クリーニングピン６４１を構成する。クリーニングピン６４１は、小孔６１５を貫通しており、小孔６１５内において目詰まりが発生することを防止する。小孔６１５の内周面とクリーニングピン６４１の外周面との間には、水が流通可能な隙間が形成されており、この隙間が一次側副流路を構成する。
【００２０】
また、ダイアフラム板上部６１２は、ダイアフラム板下部６１１を中心としてダイアフラム板下部６１１の周囲に複数配置された外側係止部６１７を備えている。外側係止部６１７は、それぞれ図４等に示すように、ダイアフラム板下部６１１の下面から下方向に延びる下方向延出部６１８の先端部分に設けられている。外側係止部６１７は、載頭円錐形状に形成され、載頭円錐形の頭部を下側に位置させた位置関係とされており、図４等に示す断面視では、下方向延出部６１８の下端部において上底が下底よりも長い台形状を有している。
【００２１】
具体的には、外側係止部６１７は、それぞれダイアフラム６３の、図４において上方向に窪んだ係止凹部６３４の底の部分に当接する延出面６１７１と、延出面６１７１の延出端部６１７２から外側係止部６１７の端面６１７３（下方向延出部６１８から図４において下方向に延出する延出方向の端面であり、図４に示す台形状の外側係止部６１７の下底に相当する面）に向かって延びる傾斜面６１７４と、を有している。延出面６１７１から傾斜面６１７４と外側係止部６１７の端面６１７３との接続位置６１７５までの最短距離ｈは、外側係止部６１７からダイアフラム板下部６１１及びダイアフラム板中間部６１３へと向かう方向における延出面６１７１の長さｉよりも長く構成されている。
【００２２】
ダイアフラム６３は、ゴム材料によって形成されて円形状を有している。ダイアフラム６３の周縁部は、管部材１０の上端部の周縁部とカバー３０の下端部の周縁部とによって挟まれることにより、これらに対して固定され、これにより、主弁６０は、管部材１０及びカバー３０により構成される本体部により収容されている。ダイアフラム６３の中心寄りの部分は、図３等に示すように、下へ窪んだ円形状を有しており、ダイアフラム６３の中心には、貫通孔６３１が形成されている。貫通孔６３１には、ダイアフラム板６１のダイアフラム板中間部６１３が貫通している。
【００２３】
また、上下方向においてダイアフラム板６１の外側係止部６１７に対向するダイアフラム６３の部分には、上下方向にダイアフラム６３を貫通する外側貫通孔６３２（図４参照）が形成されている。外側貫通孔６３２には、外側係止部６１７の基部である下方向延出部６１８が貫通している。外側貫通孔６３２の下側の開口の周囲を形成しているダイアフラム６３の部分には、図４等における上方向へ窪んだ係止凹部６３４が形成されている。
【００２４】
係止凹部６３４の深さｄの値は、最短距離ｈの値よりも大きい。従って、外側係止部６１７の全体は、図４に示すように、係止凹部６３４の中に収容されており、係止凹部６３４が形成されているダイアフラム６３の部分に外側係止部６１７は係止されている。即ち、外側係止部６１７の全体は、主弁座部１０１１に当接するダイアフラム６３の図４に示す下面であるシート面６３３よりもダイアフラムの図４の上下方向の厚み方向内方（シート面６３３の上側）に位置する位置関係を有する。このため、外側係止部６１７の端面６１７３（図４における外側係止部６１７の下端面）は、シート面６３３よりもダイアフラムの図４の上下方向の厚み方向内方（シート面６３３の上側）に位置する位置関係を有する。また、係止凹部６３４の深さは、ダイアフラムの厚さｔと係止凹部６３４の深さｄとの差ｓよりも小さい。これにより、係止凹部６３４の深さｄに対して差ｓが十分に確保されている。このような構成により、図２、図３に示すように下へ窪んだダイアフラム６３の円形状の部分によって、ダイアフラム板６１は支持されている。
【００２５】
この構成により、ダイアフラム板６１は、ダイアフラム６３によって上下方向へ移動可能に支持されている。ダイアフラム板６１が、ダイアフラム板６１を支持しているダイアフラム６３の部分と共に下方向へ移動して、主弁座部１０１１に当接することにより、ダイアフラム板下部６１１が二次側空間１０４に入り込み、一次側空間１０３と二次側空間１０４とを遮断する。ダイアフラム板６１が、ダイアフラム板６１を支持しているダイアフラム６３の部分と共に上方向へ移動して、主弁座部１０１１から離れることにより、一次側空間１０３と二次側空間１０４とが連通する。
【００２６】
図３等に示すように、ダイアフラム板６１の上面とカバー３０の内面との間には、背圧室３１が形成されている。背圧室３１は、主弁６０のダイアフラム板６１においてダイアフラム板下部６１１が設けられている側に対する背面側、即ち、一次側空間１０３と二次側空間１０４とが連通するダイアフラム板上部６１２の側（ダイアフラム板上部６１２の上側）に形成されている。背圧室３１は、主弁６０と共にダイアフラム部を構成する。
【００２７】
コイル部４０は、図３に示すように、ヨーク４１と、コア４２とコイル４３と磁石４４とを有する副弁駆動部と、を備えており、また、副弁駆動部によって駆動され背圧室３１と二次側副流路３０２との遮断と連通との切替えをする副弁としてのプランジャー４５を備えている。プランジャー４５は、カバー３０に形成され上方向に開口する副弁用凹部３０７１に収納されている。副弁用凹部３０７１には、連通路３０７２を介して背圧室３１が連通している。プランジャー４５は、副弁用凹部３０７１の内部を上下方向に移動可能に、筒状部材４６に支持されている。副弁駆動部によるプランジャー４５の駆動により、副弁による背圧室３１と、二次側副流路３０２と、の遮断と連通との切替えが行われる。
【００２８】
ヨーク４１は、上端部が塞がれた円筒形状を有しており、筒状部材４６と同軸的な位置関係を有している。ヨーク４１の内部空間には、コア４２とコイル４３と磁石４４と筒状部材４６とプランジャー４５とが収容されており、ヨーク４１は、ロアプレート４７に圧入されることで筒状部材４６に固定されている。ヨーク４１は、ビス止めによりカバー３０に固定されている。筒状部材４６の下端部は、Ｏリング４６１を介してカバー３０に当接している。
【００２９】
図３に示すように、コイル４３は、筒状部材４６の外周に巻回されている。コア４２は、プランジャー４５の上側に配置されている。プランジャー４５の軸心位置には、圧縮ばねにより構成されるばね４８が設けられている。ばね４８は、プランジャー４５の軸心位置に形成され当該軸心に沿って延びる穴に配置されている。ばね４８は、コア４２に対してプランジャー４５を下方向へ付勢している。また、コア４２の上側には、磁石４４が設けられている。
【００３０】
磁石４４の磁力によってプランジャー４５は、上側の位置に保持される。また、コイル４３に電気が供給されることによるコイル４３の磁力によって、プランジャー４５は下側の位置に移動させられる。このときには、プランジャー４５に対する磁石４４の磁力はばね６４の付勢力よりも弱く、ばね６４の付勢力により、プランジャー４５は、下側の位置に保持される。即ち、副弁駆動部の駆動方式は、プランジャー４５により構成される副弁が開いている状態と、閉じている状態とを切替える際にのみコイル４３に通電するラッチ式である。プランジャー４５が上側の位置から下側の位置に移動させられる際に供給される電気とは逆向きに電気が供給されることより、プランジャー４５は下側の位置から上側の位置に移動させられる。
【００３１】
筒状部材４６の下部は、図６に示すように、板状部４６４とフランジ部４６５を有しており、コイル４３は、上側の板状部４６４よりも上側に配置されている。板状部４６４とフランジ部４６５との間には、ロアプレート４７が配置されている。
【００３２】
上記構成の実施形態によるパイロット式電磁弁１によれば、以下のような効果を得ることができる。
本実施形態における電磁弁１は、主弁６０及び背圧室３１を含むダイアフラム部と、ダイアフラム部に向って液体が流入する一次側空間１０３により構成される一次側流路と、ダイアフラム部からの液体が流出する二次側空間１０４により構成される二次側流路と、ダイアフラム部を構成し、一次側空間１０３と二次側空間１０４との遮断と連通との切替えをする主弁６０と、主弁６０における一次側部と二次側部とが連通する側に対する背面側に形成された背圧室３１と、を備える。
ダイアフラム板６１は、中央係止部としてのダイアフラム板下部６１１とダイアフラム板下部６１１の周囲に配置された外側係止部６１７とを備え、ダイアフラム板下部６１１及び外側係止部６１７は、ダイアフラム６３の被係止部としての係止凹部６３４に係止され、外側係止部６１７は、シート面６３３よりもダイアフラムの厚み方向内方に位置する位置関係を有する。
【００３３】
この構成により、円形状のダイアフラム６３の径方向において、主弁座部１０１１と外側係止部６１７とを離隔させることができ、この離間した分だけ、円形状のダイアフラム６３の径方向において、主弁座部１０１１と外側係止部６１７とを近づけることにより、ダイアフラム６３及びダイアフラム板６１を小型化することができ、この結果、ダイアフラム部を小型化できる。
【００３４】
また、外側係止部６１７の端面６１７３は、シート面６３３と面一の位置関係を有するか、又は、シート面６３３よりもダイアフラム６３の厚み方向内方に位置する位置関係を有する。この構成により、主弁座部１０１１と外側係止部６１７とを、より確実に離隔させることができ、ダイアフラム６３及びダイアフラム板６１を小型化することができ、この結果、ダイアフラム部をより小型化できる。
【００３５】
また、外側係止部６１７は、係止凹部６３４に当接する延出面６１７１と、延出面６１７１の延出端部６１７２から外側係止部６１７の端面６１７３に向かう外側係止部６１７って延びる傾斜面６１７４と、を有する。延出面６１７１から傾斜面６１７４と外側係止部６１７の端面６１７３との接続位置６１７５までの最短距離ｈは、外側係止部６１７からダイアフラム板下部６１１及びダイアフラム板中間部６１３へと向かう方向における延出面６１７１の長さｉよりも長い。この構成により、外側係止部６１７の剛性を高めることが可能となり、外側係止部６１７が変形して、ダイアフラム６３に対して係止されている状態が解除されてしまう状態となることを抑えることが可能となる。
【００３６】
また、ダイアフラム６３の被係止部は、外側係止部６１７が係止可能な係止凹部６３４を有する。係止凹部６３４の深さｄは、ダイアフラム６３の厚さｔと係止凹部６３４の深さｄとの差ｓよりも小さい。ダイアフラム６３の被係止部としての係止凹部６３４に対する外側係止部６１７の係止されている掛り量が小さいと、係止凹部６３４から外側係止部６１７が容易に外れてしまい、ダイアフラム６３とダイアフラム板６１との間に隙間が発生することを抑えることはできない。しかし、上記構成により、係止凹部６３４からの外側係止部６１７の抜け強度を高めることが可能となり、係止凹部６３４から外側係止部６１７が外れてしまうことを抑えることが可能となる。
【００３７】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
例えば、上記実施形態においては、外側係止部６１７の端面６１７３（図４における外側係止部６１７の下端面）は、シート面６３３よりもダイアフラム６３の図４の上下方向の厚み方向内方に位置する位置関係を有していたが、この構成に限定されない。
【００３８】
例えば、図５に示すように、外側係止部６１７Ａの端面６１７３は、シート面６３３と面一の位置関係を有していてもよい。また、図６に示すように、外側係止部６１７Ｂの一部が、シート面６３３よりもダイアフラム６３の内方に位置する位置関係を有していてもよい。即ち、少なくとも中央係止部の外側係止部の部分が、シート面よりもダイアフラムの内方に位置する位置関係を有していればよい。従って、中央係止部側とは反対の側の外側係止部の部分（上下方向に延びる外側係止部６１７の軸心を中心とした外側係止部６１７の周囲の全周のうちの、ダイアフラム６３の径方向外側に位置している部分）は、上述のような構成を有していなくてもよい。
図５は、電磁弁１の変形例による外側係止部６１７Ａを示す拡大断面図である。図６は、電磁弁１の他の変形例による外側係止部６１７Ｂを示す拡大断面図である。これらの図において、図４に相当する部材については、同一の符号を付すか、又は、図５においては末尾にＡを付して、図６においては末尾にＢを付して符号を記載している。
このような構成の場合であっても、最短距離ｈは長さｉよりも長く構成される。また、係止凹部６３４の深さｄは、ダイアフラムの厚さｔと係止凹部６３４の深さｄとの差ｓよりも小さく構成される。
【００３９】
また、主弁、副弁、一次側副流路、二次側副流路等の各部の構成は、本実施形態における主弁６０、プランジャー４５、小孔６１５、二次側副流路３０２等の各部の構成に限定されない。例えば、プランジャーとダイアフラムとは、同軸上に配置されてもよい。
【００４０】
また、副弁駆動部の駆動方式は、ラッチ式であったが、これに限定されない。例えば、副弁駆動部の駆動方式は、コイル４３に通電している間は一の状態（例えば、弁が開いた状態）となり、コイル４３に通電していない間は他の状態（例えば、弁が閉じた状態）となる連続通電式であってもよい。また、本実施形態では、電磁弁は、いわゆるパイロット式電磁弁であったが、これに限定されない。また、本実施形態では、ダイアフラム弁は、電磁弁１により構成されていたが、電磁弁に限定されず、電磁弁以外のダイアフラム弁に利用されてもよい。
また、液体は、水であったが、水に限定されない。
【符号の説明】
【００４１】
１…電磁弁（ダイアフラム弁）
３１…背圧室（ダイアフラム部）
６０…主弁（ダイアフラム部）
６１…ダイアフラム板
６３…ダイアフラム
１０３…一次側空間
１０４…二次側空間
６１１…ダイアフラム板下部
６１７…外側係止部
６３３…シート面
６３４…係止凹部
１０１１…主弁座部
６１７１…延出面
６１７２…延出端部
６１７３…端面
６１７４…傾斜面
６１７５…接続位置
ｄ…深さ
ｈ…最短距離
ｉ…長さ
ｓ…差
ｔ…厚さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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