(57)【要約】      （修正有）【課題】色収差と軸外性能とを良好に補正した高ＮＡを有する対物レンズを提供する。【解決手段】対物レンズ１は、乾燥系対物レンズであって、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、第１レンズ群Ｇ１よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２からなる。対物レンズ１は、光軸に沿って移動する移動レンズ成分（接合レンズＣＬ１）を含む。対物レンズ１は、ＮＡｏｂを対物レンズ１の開口数とし、Δｚ１をｈ線に対するＲＭＳ波面収差が最小となる軸上位置とｅ線に対するＲＭＳ波面収差が最小となる軸上位置の差とし、ＤＯＦｅをｅ線に対する焦点深度とするとき、以下の条件式を満たす。0.85≦ＮＡｏｂ＜1.0（１）、-2≦Δｚ１／ＤＯＦｅ≦2（２）【選択図】図３
2019191266.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥系対物レンズであって、
物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群と、
前記第１レンズ群よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群からなり、
前記乾燥系対物レンズは、
光軸に沿って移動する移動レンズ成分を含み、
ＮＡｏｂを前記乾燥系対物レンズの開口数とし、Δｚ１をｈ線に対するＲＭＳ波面収差が最小となる軸上位置とｅ線に対するＲＭＳ波面収差が最小となる軸上位置の差とし、ＤＯＦｅを前記ｅ線に対する焦点深度とするとき、以下の条件式
0.85 ≦ ＮＡｏｂ ＜ 1.0         （１）
-2 ≦ Δｚ１ ／ＤＯＦｅ≦ 2   （２）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項２】
請求項１に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
Ｙｒｅｓｏを前記ｅ線に対するＲＭＳ波面収差が最小となる軸上位置と交わる前記光軸と直交する平面上の領域であって前記ｅ線に対するＲＭＳ波面収差を前記ｅ線の波長で割った値が0.2以下となる領域の最大物体高とし、βを前記乾燥系対物レンズの倍率とするとき、以下の条件式
9mm ≦ Ｙｒｅｓｏ ×｜β｜≦20mm   （３）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
第１負レンズを含み、
νｄ１を前記第１負レンズのアッベ数とし、θｇＦ１を前記第１負レンズの部分分散比とするとき、以下の条件式
30 ≦ νｄ１≦ 43         （４）
0.55 ≦ θｇＦ１≦0.57   （５）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項４】
請求項３に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
前記第１負レンズとは異なる第２負レンズを含み、
νｄ２を前記第２負レンズのアッベ数とし、θｇＦ２を前記第２負レンズの部分分散比とするとき、以下の条件式
30 ≦ νｄ２≦ 43         （６）
0.55 ≦ θｇＦ２≦0.57   （７）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記第２レンズ群は、
前記像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である第１ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分よりも前記像側に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である第２ガウスレンズ成分と、を含み、
又は、
前記第１ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分よりも前記像側に配置された、前記像側に凸面を向けたレンズ成分である第３ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分と前記第３ガウスレンズ成分の間に配置された、前記物体側に凹面を向けたレンズ成分である第４ガウスレンズ成分と、を含み、
前記乾燥系対物レンズは、さらに、３枚接合レンズと、を含む
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項６】
乾燥系対物レンズであって、
物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群と、
前記第１レンズ群よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群からなり、
前記乾燥系対物レンズは、
光軸に沿って移動する移動レンズ成分を含み、
ＮＡｏｂを前記乾燥系対物レンズの開口数とし、Ｙｒｅｓｏを前記ｅ線に対するＲＭＳ波面収差が最小となる軸上位置と交わる前記光軸と直交する平面上の領域であって前記ｅ線に対するＲＭＳ波面収差を前記ｅ線の波長で割った値が0.2以下となる領域の最大物体高とし、βを前記乾燥系対物レンズの倍率とするとき、以下の条件式
0.85 ≦ ＮＡｏｂ ＜ 1.0         （１）
9mm ≦ Ｙｒｅｓｏ ×｜β｜≦20mm   （３）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項７】
請求項６に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
第１負レンズを含み、
νｄ１を前記第１負レンズのアッベ数とし、θｇＦ１を前記第１負レンズの部分分散比とするとき、以下の条件式
30 ≦ νｄ１≦ 43         （４）
0.55 ≦ θｇＦ１≦0.57   （５）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項８】
請求項７に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
前記第１負レンズとは異なる第２負レンズを含み、
νｄ２を前記第２負レンズのアッベ数とし、θｇＦ２を前記第２負レンズの部分分散比とするとき、以下の条件式
30 ≦ νｄ２≦ 43         （６）
0.55 ≦ θｇＦ２≦0.57   （７）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項９】
請求項６乃至請求項８のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記第２レンズ群は、
前記像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である第１ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分よりも前記像側に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である第２ガウスレンズ成分と、を含み、
又は、
前記第１ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分よりも前記像側に配置された、前記像側に凸面を向けたレンズ成分である第３ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分と前記第３ガウスレンズ成分の間に配置された、前記物体側に凹面を向けたレンズ成分である第４ガウスレンズ成分と、を含み、
前記乾燥系対物レンズは、さらに、３枚接合レンズと、を含む
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項１０】
乾燥系対物レンズであって、
物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群と、
前記第１レンズ群よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群からなり、
前記乾燥系対物レンズは、
光軸に沿って移動する移動レンズ成分と、
第１負レンズを含み、
ＮＡｏｂを前記乾燥系対物レンズの開口数とし、νｄ１を前記第１負レンズのアッベ数とし、θｇＦ１を前記第１負レンズの部分分散比とするとき、以下の条件式
0.85 ≦ ＮＡｏｂ ＜ 1.0      （１）
30 ≦ νｄ１≦ 43         （４）
0.55 ≦ θｇＦ１≦0.57   （５）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項１１】
請求項１０に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
前記第１負レンズとは異なる第２負レンズを含み、
νｄ２を前記第２負レンズのアッベ数とし、θｇＦ２を前記第２負レンズの部分分散比とするとき、以下の条件式
30 ≦ νｄ２≦ 43         （６）
0.55 ≦ θｇＦ２≦0.57   （７）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項１２】
請求項１０又は請求項１１に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記第２レンズ群は、
前記像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である第１ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分よりも前記像側に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である第２ガウスレンズ成分と、を含み、
又は、
前記第１ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分よりも前記像側に配置された、前記像側に凸面を向けたレンズ成分である第３ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分と前記第３ガウスレンズ成分の間に配置された、前記物体側に凹面を向けたレンズ成分である第４ガウスレンズ成分と、を含み、
前記乾燥系対物レンズは、さらに、３枚接合レンズと、を含む
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項１３】
乾燥系対物レンズであって、
物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群と、
前記第１レンズ群よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群からなり、
前記第２レンズ群は、
前記像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である第１ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分よりも前記像側に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である第２ガウスレンズ成分と、を含み、
又は、
前記第１ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分よりも前記像側に配置された、前記像側に凸面を向けたレンズ成分である第３ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分と前記第３ガウスレンズ成分の間に配置された、前記物体側に凹面を向けたレンズ成分である第４ガウスレンズ成分と、を含み、
前記乾燥系対物レンズは、
光軸に沿って移動する移動レンズ成分と、
３枚接合レンズと、を含み、
ＮＡｏｂを前記乾燥系対物レンズの開口数とするとき、以下の条件式
0.85 ≦ ＮＡｏｂ ＜ 1.0      （１）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項１４】
請求項５、９、１２又は１３に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記３枚接合レンズは、
負レンズと、
前記負レンズの両側に配置された２枚の正レンズと、を含む
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項１５】
請求項１４に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、ｎｅｏを前記３枚接合レンズに含まれる前記負レンズの前記ｅ線に対する屈折率とするとき、以下の条件式
1.4 ≦ｎｅｏ ≦ 1.55      （８）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項１６】
請求項１４又は請求項１５に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、νｄｏを前記３枚接合レンズに含まれる前記負レンズのアッベ数とするとき、以下の条件式
60 ≦νｄｏ≦ 80      （９）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項１７】
請求項５、９、１２、又は、１３乃至１６のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記第３ガウスレンズ成分と前記第４ガウスレンズ成分は、空気を隔てて隣り合って配置される
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項１８】
請求項１７記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
ＤＧＭ１を前記第３ガウスレンズ成分の前記物体側のレンズ面と前記第４ガウスレンズ成分の前記像側のレンズ面との間の前記光軸上の距離とし、ＤＧＭ２を前記第３ガウスレンズ成分の前記像側のレンズ面と前記第４ガウスレンズ成分の前記物体側のレンズ面との間の前記光軸上の距離とするとき、以下の条件式
0.005 ≦ＤＧＭ１／ＤＧＭ２≦ 0.5     （１０）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項１９】
請求項５、９、１２、又は、１３乃至１８のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記第１ガウスレンズ成分は、２枚接合レンズであり、
前記乾燥系対物レンズは、Ｒｃｅｍを前記２枚接合レンズの接合面の曲率半径とし、ＤＧｏを前記２枚接合レンズの前記光軸上の厚さとするとき、以下の条件式
-3 ≦Ｒｃｅｍ／ＤＧｏ≦ -0.5     （１１）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項２０】
請求項１乃至請求項１９のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
最も物体側に配置された、前記物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有する第１レンズ成分を含み、
Ｄ１を前記第１レンズ成分の前記光軸上の厚さとし、Ｒ１２を前記第１レンズ成分の最も像側のレンズ面の曲率半径とするとき、以下の条件式
-3 ≦Ｄ１／Ｒ１２≦ -0.75     （１２）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項２１】
請求項２０に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
前記第１レンズ成分の前記像側に、正の屈折力を有し、前記物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する第２レンズ成分を含む
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項２２】
請求項１乃至請求項２１のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、ＭＵＣを前記移動レンズ成分の倍率とするとき、以下の条件式
0.5 ≦ ＭＵＣ≦ 2      （１３）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項２３】
請求項１乃至請求項２２のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記移動レンズ成分は、前記物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有する
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【請求項２４】
請求項１乃至請求項２３のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記移動レンズ成分は、ｆを前記乾燥系対物レンズの焦点距離とし、ｆＵＣを前記移動レンズ成分の焦点距離とするとき、以下の条件式
-0.3 ≦ ｆ／ｆＵＣ ≦ 0.3      （１４）
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書の開示は、乾燥系対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、撮像素子の高画素化が著しく、顕微鏡分野において広視野と高分解能とを両立した観察及び画像取得が可能な顕微鏡装置への期待が高まっている。そして、そのような顕微鏡装置には、高い開口数（以降、ＮＡと記す）を有し、かつ広視野に渡って高い収差性能を実現した対物レンズが求められる。また、生物顕微鏡で使用される場合であれば、対物レンズは４００ｎｍ程度の短波長から近赤外波長までの広帯域での励起による蛍光観察にも対応していることが望ましい。さらに、観察時における作業性を考慮すると、対物レンズは乾燥系対物レンズであることが望ましい。
【０００３】
従来技術における高ＮＡを有する乾燥系対物レンズは、例えば、特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１３４２１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１に記載された対物レンズは、軸上色収差の補正と、像面湾曲やコマ収差などの軸外収差の補正が十分ではない。このため、広い視野に対して広い波長域で高い性能を発揮することは困難である。
【０００６】
以上のような実情を踏まえ、本発明の一側面に係る目的は、色収差と軸外性能とを良好に補正した高ＮＡを有する乾燥系対物レンズを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る対物レンズは、乾燥系対物レンズであって、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群と、前記第１レンズ群よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群からなる。前記乾燥系対物レンズは、光軸に沿って移動する移動レンズ成分を含み、ＮＡｏｂを前記乾燥系対物レンズの開口数とし、Δｚ１をｈ線に対するＲＭＳ波面収差が最小となる軸上位置とｅ線に対するＲＭＳ波面収差が最小となる軸上位置の差とし、ＤＯＦｅを前記ｅ線に対する焦点深度とするとき、以下の条件式を満たす。
0.85 ≦ ＮＡｏｂ ＜ 1.0         （１）
-2 ≦ Δｚ１ ／ＤＯＦｅ≦ 2   （２）
【０００８】
本発明の別の態様に係る対物レンズは、乾燥系対物レンズであって、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群と、前記第１レンズ群よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群からなる。前記乾燥系対物レンズは、光軸に沿って移動する移動レンズ成分を含み、ＮＡｏｂを前記乾燥系対物レンズの開口数とし、Ｙｒｅｓｏを前記ｅ線に対するＲＭＳ波面収差が最小となる軸上位置と交わる前記光軸と直交する平面上の領域であって前記ｅ線に対するＲＭＳ波面収差を前記ｅ線の波長で割った値が0.2以下となる領域の最大物体高とし、βを前記乾燥系対物レンズの倍率とするとき、以下の条件式を満たす。
0.85 ≦ ＮＡｏｂ ＜ 1.0         （１）
9mm ≦ Ｙｒｅｓｏ ×｜β｜≦20mm   （３）
【０００９】
本発明の更に別の態様に係る対物レンズは、乾燥系対物レンズであって、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群と、前記第１レンズ群よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群からなる。前記乾燥系対物レンズは、光軸に沿って移動する移動レンズ成分と、第１負レンズを含み、ＮＡｏｂを前記乾燥系対物レンズの開口数とし、νｄ１を前記第１負レンズのアッベ数とし、θｇＦ１を前記第１負レンズの部分分散比とするとき、以下の条件式を満たす。
0.85 ≦ ＮＡｏｂ ＜ 1.0      （１）
30 ≦ νｄ１≦ 43         （４）
0.55 ≦ θｇＦ１≦0.57   （５）
【００１０】
本発明の更に別の態様に係る対物レンズは、乾燥系対物レンズであって、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群と、前記第１レンズ群よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群からなる。前記第２レンズ群は、前記像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である第１ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分よりも前記像側に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である第２ガウスレンズ成分と、を含み、又は、前記第１ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分よりも前記像側に配置された、前記像側に凸面を向けたレンズ成分である第３ガウスレンズ成分と、前記第１ガウスレンズ成分と前記第３ガウスレンズ成分の間に配置された、前記物体側に凹面を向けたレンズ成分である第４ガウスレンズ成分と、を含む。前記乾燥系対物レンズは、光軸に沿って移動する移動レンズ成分と、３枚接合レンズと、を含み、ＮＡｏｂを前記乾燥系対物レンズの開口数とするとき、以下の条件式を満たす。
0.85 ≦ ＮＡｏｂ ＜ 1.0      （１）
【発明の効果】
【００１１】
上記の態様によれば、色収差と軸外性能とを良好に補正した高ＮＡを有する乾燥系対物レンズを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】最大物体高Ｙｒｅｓｏを説明するための図である。
【図２】移動レンズ成分の倍率について説明するための図である。
【図３】本発明の実施例１に係る対物レンズ１の断面図である。
【図４】図３に示す対物レンズ１の収差図である。
【図５】本発明の実施例２に係る対物レンズ２の断面図である。
【図６】図５に示す対物レンズ２の収差図である。
【図７】本発明の実施例３に係る対物レンズ３の断面図である。
【図８】図７に示す対物レンズ３の収差図である。
【図９】本発明の実施例４に係る対物レンズ４の断面図である。
【図１０】図９に示す対物レンズ４の収差図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本願の一実施形態に係る対物レンズについて説明する。本実施形態に係る対物レンズ（以降、単に対物レンズと記す）は、結像レンズと組み合わせて使用される無限遠補正型の顕微鏡対物レンズである。この対物レンズは、標本と対物レンズの間に空気を介在させた状態で標本を観察するときに用いられる、いわゆる乾燥系対物レンズである。
【００１４】
この対物レンズは、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する正の屈折力を有する第１レンズ群と、第１レンズ群よりも像側に配置された負の屈折力を有する第２レンズ群からなる。第１レンズ群の最も像側のレンズ成分は、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換し、その収斂光線束を出射するように作用する最も物体側のレンズ成分である。即ち、対物レンズ内に収斂光線束を出射するレンズ面が複数存在する場合には、それらのレンズ面のうちの最も物体側のレンズ面が第１レンズ群の最も像側のレンズ面である。第１レンズ群と第２レンズ群の境界は、上記の特徴によって特定することができる。
【００１５】
なお、本明細書において、光線束(pencil of light)とは、物体の一点（物点）から出射した光線の束のことである。また、レンズ成分とは、単レンズ、接合レンズを問わず、物点からの光線が通るレンズ面のうち物体側の面と像側の面の２つの面のみが空気（又は浸液）と接する一塊のレンズブロックのことである。
【００１６】
第１レンズ群は、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換して、第２レンズ群に入射させる。第２レンズ群は、第１レンズ群からの収斂光線束を平行光線束に変換する。第１レンズ群が物点からの発散光線束を収斂光線束に変換してから第２レンズ群に入射させることにより、第２レンズ群内部でのマージナル光線高さを第１レンズ群内部でのマージナル光線高さよりも低くすることができる。これにより、負の屈折力を有する第２レンズ群でペッツバール和を効果的に補正することが可能となり、その結果、広視野に渡り像面湾曲を良好に補正することが可能となっている。
【００１７】
また、この対物レンズは、光軸に沿って移動する少なくとも１つのレンズ成分（以降、移動レンズ成分と記す）を含む、高いＮＡを有する対物レンズであり、以下の条件式（１）を満たすように構成されている。
0.85 ≦ ＮＡｏｂ ＜ 1.0         （１）
【００１８】
但し、ＮＡｏｂは対物レンズの開口数であり、より詳細には、対物レンズの物体側の開口数である。
【００１９】
高いＮＡを有する対物レンズでは、カバーガラスの厚さや屈折率のわずかな変化に対して球面収差が大きく変動する傾向がある。対物レンズが少なくとも１つの移動レンズ成分を含むことで、そのような球面収差の変動を移動レンズ成分の移動によって補償することが可能となる。
【００２０】
条件式（１）は、対物レンズを用いた観察で十分な分解能を得るための条件式である。ＮＡｏｂが下限値を下回らないことで、エアリーディスク径を十分に小さくすることが可能であり、焦点深度も小さくすることができる。このため、十分な分解能が得ることができる。また、ＮＡｏｂが上限値を上回らないことで、対物レンズに入射するマージナル光線の広がり角が大きくなりすぎることがない。このため、主にコマ収差を十分に補正することが可能となり、その結果として、十分な分解能を得ることが可能となる。
【００２１】
さらに、対物レンズは、以下の条件式（２）を満たすように構成されている。
-2 ≦ Δｚ１ ／ＤＯＦｅ≦ 2   （２）
【００２２】
但し、Δｚ１は、h線（404.66nm）に対するＲＭＳ波面収差が最小となる軸上位置（h線最小位置と記す。）とｅ線（546.07nm）に対するＲＭＳ波面収差が最小となる軸上位置（e線最小位置と記す。）の差である。ＤＯＦｅは、e線に対する焦点深度である。
【００２３】
ここで、軸上位置とは、対物レンズの物体側の領域における軸上位置のことである。また、上記した位置の差は、標本から離れる方向をプラス方向と定義した場合における、e線最小位置を基準としたh線最小位置を示している。つまり、h線最小位置がe線最小位置よりも像側にあるときに、上記した位置の差はプラスの値となる。また、焦点深度ＤＯＦｅの算出式は、ｅ線の波長をλｅとすると、ＤＯＦe＝λｅ／（２×ＮＡｏｂ２）である。
【００２４】
条件式（２）は、主に、軸上色収差を良好に補正するための条件式である。生物系の顕微鏡光学系ではh線付近の短波長の励起光を用いた蛍光観察が頻繁に行われるため、h線とe線の軸上色収差特性は重要である。Δｚ１ ／ＤＯＦｅが上限値を上回る又は下限値を下回ると、対物レンズで生じる軸上色収差が大きくなりすぎる。従って、結像レンズで軸上色収差を大幅に補償しなければ、像面で大きな軸上色収差が生じてしまう。しかしながら、結像レンズで大きな軸上色収差の補償を行うことは実際には困難である。また、結像レンズで収差を補償するということは、結像レンズ自体に収差を持たせることを意味する。そのため、結像レンズと組み合わせる対物レンズがそれぞれ異なる収差特性を有する複数の対物レンズの間で切り替えて使用されることを考慮すると、軸上色収差を結像レンズに補償させることは好ましくない。条件式（２）を満たすことで、対物レンズ単体で軸上色収差を良好に補正することができる可能であり、特に、励起光としてh線のような短波長の光が用いられた場合であっても軸上色収差を良好に補正することができる。
【００２５】
以上のように構成された対物レンズによれば、高ＮＡを有し、且つ、色収差と軸外性能とを良好に補正することができる。
【００２６】
対物レンズは、条件式（２）の代わりに、以下の条件式（３）を満たすように構成されてもよい。
9mm ≦ Ｙｒｅｓｏ ×｜β｜≦ 20mm   （３）
【００２７】
但し、Ｙｒｅｓｏは、e線に対するＲＭＳ波面収差が最小となる軸上位置（e線最小位置）と交わる光軸と直交する平面上の領域であってｅ線に対するＲＭＳ波面収差をe線の波長で割った値が0.2以下となる領域の最大物体高である。βは、対物レンズの倍率である。
【００２８】
対物レンズの倍率βは、対物レンズを対物レンズ毎に予め決められた焦点距離を有する結像レンズと組み合わせたときの倍率であり、結像レンズの焦点距離／対物レンズの焦点距離で算出される。結像レンズの予め決められた焦点距離は、例えば、180mmである。
【００２９】
最大物体高Ｙｒｅｓｏは、図１に示すように、所定の条件を満たす領域１００の最大物体高のことである。なお、図１には、e線最小位置と交わる対物レンズの光軸と直交した断面（以降、e線最小断面と記す。) が示されている。最大物体高Ｙｒｅｓｏは次のようにして求められる。まず、e線最小断面の各点において、（ｅ線に対するＲＭＳ波面収差）／λｅを算出する。次に、e線最小断面のうちの、（ｅ線に対するＲＭＳ波面収差）／λｅ≦0.2を満たす領域１００を特定する。さらに、領域１００のうち光軸ＡＸから最も離れた点Ｐ１を特定する。最後に、その点Ｐ１と光軸ＡＸの間の距離を最大物体高Ｙｒｅｓｏとして算出する。
【００３０】
対物レンズが回転対称である場合、領域１００も回転対称（つまり、円形）となる。このため、領域１００の物体高は方位によらず一定であり、最大物体高Ｙｒｅｓｏはその一定の物体高である。一方、対物レンズに製造誤差が生じた場合には、領域１００は回転非対称となる。その結果、例えば図１に示すように、領域１００の物体高は方位に依存することになる。この場合、最大物体高Ｙｒｅｓｏは、光軸から領域１００の境界までの距離が最も長くなる方位における物体高である。
【００３１】
条件式（３）は、対物レンズを用いた観察で良好な周辺分解能を得るための条件式である。なお、周辺分解能とは、視野の周辺部分における分解能のことをいい、軸外収差が大きく生じると劣化する傾向がある。Ｙｒｅｓｏ ×｜β｜が下限値を下回ると、対物レンズの軸外収差が過度に大きくなるため、結像レンズでの大幅な収差の補償が求められる。しかしながら、結像レンズで大きな軸外収差の補償を行うことは実際には困難である。また、結像レンズで収差を補償するということは、結像レンズ自体に収差を持たせることを意味するため、条件式（２）において上述した理由から好ましくない。一方、Ｙｒｅｓｏ ×｜β｜が上限値を上回ると、一次結像位置において軸外収差が良好な範囲が広くなるが、そこまでの範囲の画像を取得しようとすると、撮像素子やそれを保持するユニットが大型になるため好ましくない。条件式（１）とともに条件式（３）を満たすことで、良好な周辺分解能を達成することができる。
【００３２】
従って、条件式（２）の代わりに以下の条件式（３）を満たすように構成された対物レンズによっても、高ＮＡを有し、且つ、色収差と軸外性能とを良好に補正することができる。
【００３３】
対物レンズは、負の屈折力を有する第１負レンズを含み、条件式（２）の代わりに、以下の条件式（４）及び条件式（５）を満たすように構成されてもよい。
30 ≦ νｄ１ ≦43         （４）
0.55 ≦ θｇＦ１ ≦0.57   （５）
【００３４】
但し、νｄ１は、第１負レンズのアッベ数である。θｇＦ１は、第１負レンズの部分分散比である。部分分散比θｇＦ１は、ｎＣをC線に対する屈折率とし、ｎＦをF線に対する屈折率とし、ｎｇをg線に対する屈折率とすると、具体的には、（ｎｇ−ｎＦ）／（ｎＦ−ｎＣ）で算出される。なお、条件式（４）及び条件式（５）を満たす第１負レンズの材料としては、例えば、OHARA社のS-LAH55Vや、SCHOTT社N-KZFS11などが挙げられる。
【００３５】
条件式（４）及び条件式（５）は、良好な色収差補正を達成するための条件式である。条件値（４）の上限値以下のアッベ数を有する負レンズが対物レンズ内にひとつも存在しないとすると、C線からF線までの色収差を効果的に補正することができず、対物レンズ全体で可視域での色収差補正が困難になる。また、条件式（４）を満たす負レンズの中に、条件式（５）の上限値以下の部分分散比を有する負レンズがひとつも存在しないとすると、その負レンズでg線からh線の色収差を過剰に補正してしまう。その結果、対物レンズ全体でg線やh線の色収差が過剰に補正された状態となってしまい、良好な色収差補正を困難となる。条件式（４）及び条件式（５）を満たすことで、広い波長範囲で色収差を良好に補正することができる。
【００３６】
なお、条件式（４）を満たし、且つ、部分分散比が条件式（５）の下限値を下回る光学材料は、一般的には用いられていない。また、条件式（５）を満たし、且つ、部分分散比が条件式（４）の下限値を下回る光学材料も、一般に用いられていない。
【００３７】
従って、条件式（２）の代わりに条件式（４）及び条件式（５）を満たすように構成された、第１負レンズを含む対物レンズによっても、高ＮＡを有し、且つ、色収差と軸外性能とを良好に補正することができる。
【００３８】
対物レンズは、条件式（２）を満たす代わりに、３枚接合レンズを含み、且つ、第２レンズ群が第１ガウスレンズ成分と第２ガウスレンズ成分を含むように、構成されてもよい。また、対物レンズは、条件式（２）を満たす代わりに、３枚接合レンズを含み、且つ、第２レンズ群が第１ガウスレンズ成分と第３ガウスレンズ成分と第４ガウスレンズ成分を含むように、構成されてもよい。
【００３９】
但し、第１ガウスレンズ成分は、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である。第２ガウスレンズ成分は、第１ガウスレンズ成分よりも像側に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である。第３ガウスレンズ成分は、第１ガウスレンズ成分よりも像側に配置された、像側に凸面を向けたレンズ成分である。第４ガウスレンズ成分は、第１ガウスレンズ成分と第３ガウスレンズ成分の間に配置された、物体側に凹面を向けたレンズ成分である。
【００４０】
対物レンズが３枚接合レンズを含むことで、３枚接合レンズを色消しレンズ成分として作用させることができる。これにより、対物レンズ内のスペースを有効に活用しながら、効果的に色収差を補正することができる。また、色消しレンズ成分はマージナル光線高さが高い領域に配置することで効果的に作用するが、マージナル光線高さが高い領域に配置されるレンズ成分は必然的にレンズ径が大きくなる。色消しレンズ成分が３枚接合レンズであれば、大きなレンズ径を有するレンズ成分に要求される十分な剛性を確保することができる。
【００４１】
また、第２レンズ群が上記のように構成されることで、第２レンズ群は、外に向けた一組の凸面であって互いに反対方向を向いた一組の凸面と、その一組の凸面の間に配置された互いに向かい合った一組の凹面と、を含む。このような構成を有する光学系は、一般にガウス群と呼ばれるものである。ガウス群では、互いに向かい合った一組の凹面におけるマージナル光線高さを小さくすることができるため、ペッツバール和を効果的に補正することが可能となり、像面湾曲を十分に小さくすることができる。
【００４２】
従って、条件式（２）を満たす代わりに、３枚接合レンズを含み、且つ、第２レンズ群が上記の構成を有する対物レンズによっても、高ＮＡを有し、且つ、色収差と軸外性能とを良好に補正することができる。
【００４３】
なお、対物レンズは、条件式（１）に加えて、条件式（２）から条件式（５）の任意の組み合わせを満たしても良い。また、対物レンズは、条件式（１）に加えて条件式（２）から条件式（５）の任意の組み合わせを満たし、且つ、３枚接合レンズを含み、さらに、第２レンズ群がガウス群として構成されてもよい。
【００４４】
また、対物レンズは、条件式（２）の代わりに下記の条件式（２−１）又は条件式（２−２）を満たすように構成されてもよい。また、条件式（３）の代わりに下記の条件式（３−１）又は条件式（３−２）を満たすように構成されてもよい。また、条件式（４）の代わりに下記の条件式（４−１）を満たし、条件式（５）の代わりに下記の条件式（５−１）を満たすように構成されてもよい。
-1.5 ≦ Δｚ１ ／ＤＯＦｅ≦ 1.5   （２−１）
-1 ≦ Δｚ１ ／ＤＯＦｅ≦ 1     （２−２）
9.5mm ≦ Ｙｒｅｓｏ ×｜β｜≦ 17mm   （３−１）
10mm ≦ Ｙｒｅｓｏ ×｜β｜≦ 15mm   （３−２）
35 ≦ νｄ１≦43         （４−１）
0.555 ≦ θｇＦ１≦0.565   （５−１）
【００４５】
以下、対物レンズの更に望ましい構成について説明する。
対物レンズは、第１負レンズを含む場合、さらに、第２負レンズを含み、以下の条件式（６）及び条件式（７）を満たすことが望ましい。なお、第２負レンズは、第１負レンズとは異なる負の屈折力を有するレンズである。
30 ≦ νｄ２ ≦43         （６）
0.55 ≦ θｇＦ２ ≦0.57   （７）
【００４６】
但し、νｄ２は、第２負レンズのアッベ数である。θｇＦ２は、第２負レンズの部分分散比である。部分分散比θｇＦ２は、ｎＣをC線に対する屈折率とし、ｎＦをF線に対する屈折率とし、ｎｇをg線に対する屈折率とすると、具体的には、（ｎｇ−ｎＦ）／（ｎＦ−ｎＣ）で算出される。なお、条件式（６）及び条件式（７）を満たす第２負レンズの材料としては、例えば、OHARA社のS-LAH55Vや、SCHOTT社N-KZFS11などが挙げられる。
【００４７】
条件式（６）及び条件式（７）は、良好な色収差補正を達成するための条件式であり、その意味するところは条件式（４）及び条件式（５）と同様である。対物レンズが第１負レンズに加えて第２負レンズを含むことで、つまり、所定の条件を満たす負レンズを２枚以上含むことで、さらに良好な色収差補正が可能となる。
【００４８】
なお、対物レンズは、条件式（６）の代わりに下記の条件式（６−１）を満たし、条件式（７）の代わりに下記の条件式（７−１）を満たすように構成されてもよい。
35 ≦ νｄ２≦43         （６−１）
0.555 ≦ θｇＦ２≦0.565   （７−１）
【００４９】
対物レンズが３枚接合レンズを含む場合、その３枚接合レンズは、負レンズと、その負レンズの両側に配置された２枚の正レンズと、を含むことが望ましい。即ち、正負正の３枚接合レンズであることが望ましい。
【００５０】
３枚接合レンズを正負正の３枚接合レンズとすることで、負レンズの両側のレンズ面に色収差を補正する作用を持たせることが可能となる。このため、３枚接合レンズでより効果的に色収差を補正することができる。
【００５１】
対物レンズは、正負正の３枚接合レンズを含む場合、以下の条件式（８）又は条件式（９）の少なくとも一方を満たすことが望ましい。
1.4 ≦ｎｅｏ ≦ 1.55      （８）
60 ≦νｄｏ≦ 80      （９）
【００５２】
但し、ｎｅｏは、３枚接合レンズに含まれる負レンズのｅ線に対する屈折率である。νｄｏは、３枚接合レンズに含まれる負レンズのアッベ数である。
【００５３】
条件式（８）は、主に、３枚接合レンズでの球面収差やコマ収差の発生を抑制するための条件式である。３枚接合レンズに含まれる正レンズとしては、通常、低分散の材料が選択される。このため、正レンズの材料は、低い屈折率を有している。３枚接合レンズに含まれる負レンズの屈折率ｎｅｏが条件式（８）の上限値を上回らないことで、正レンズと負レンズの間の接合面での屈折率差が大きくなりすぎず、その接合面での球面収差やコマ収差の発生を小さく抑えることが可能となる。また、屈折率ｎｅｏが条件式（８）の下限値を下回る光学材料は稀であり、コスト等の面からその利用は好ましくない。
【００５４】
条件式（９）は、主に、色収差を良好に補正するための条件式である。接合レンズに含まれる負レンズには通常、色収差補正作用が求められる。このため、低分散の材料が用いられることが多いが、低分散の材料は一般的に、短波長での大きな部分分散を有する傾向がある。この点を踏まえると、負レンズのアッベ数νｄｏが条件式（９）の下限値を下回らないことにより、g線から紫外の波長域で色収差の過剰補正を避けることができる。また、負レンズのアッベ数νｄｏが条件式（９）の上限値を上回らないことにより、可視域での色収差を良好に補正することができる。条件式（９）を満たすことで、広い波長域で良好に色収差を補正することが可能となる。
【００５５】
なお、対物レンズは、条件式（８）の代わりに下記の条件式（８−１）を満たすように構成されてもよい。また、対物レンズは、条件式（９）の代わりに下記の条件式（９−１）を満たすように構成されてもよい。
1.46 ≦ｎｅｏ ≦ 1.51      （８−１）
65 ≦νｄｏ≦ 75          （９−１）
【００５６】
対物レンズが第１ガウスレンズ成分と第３ガウスレンズ成分と第４ガウスレンズ成分を含む場合、第３ガウスレンズ成分と第４ガウスレンズ成分は、空気を隔てて隣り合って配置されることが望ましい。これにより、第３ガウスレンズ成分の物体側のレンズ面と、第４ガウスレンズ成分の像側のレンズ面とで、独立に収差補正を行うことができる。このため、軸外の非点収差とコマ収差をバランスよく補正することが可能となる。
【００５７】
また、対物レンズは、第３ガウスレンズ成分と第４ガウスレンズ成分は、空気を隔てて隣り合って配置される場合、以下の条件式（１０）を満たすことが望ましい。
0.005 ≦ＤＧＭ１／ＤＧＭ２≦ 0.5     （１０）
【００５８】
但し、ＤＧＭ１は、第３ガウスレンズ成分と第４ガウスレンズ成分の光軸上における間隔である。換言すると、第３ガウスレンズ成分の物体側のレンズ面と第４ガウスレンズ成分の像側のレンズ面との間の光軸上の距離である。ＤＧＭ２は、第３ガウスレンズ成分の像側のレンズ面と第４ガウスレンズ成分の物体側のレンズ面との間の光軸上の距離である。
【００５９】
条件式（１０）は、主に、コマ収差を良好に補正するための条件式である。第３ガウスレンズ成分と第４ガウスレンズ成分の間隔が大きくなりすぎると、両者におけるマージナル光線高さの差が大きくなり過ぎてしまい、特にコマ収差の効果的な補正が困難になる。ＤＧＭ１／ＤＧＭ２が条件式（１０）の上限値を上回らないことにより、第３ガウスレンズ成分と第４ガウスレンズ成分の間隔が大きくなりすぎず、良好なコマ収差補正が可能となる。また、ＤＧＭ１／ＤＧＭ２が条件式（１０）の下限値を下回らないことにより、第３ガウスレンズ成分と第４ガウスレンズ成分の干渉及び衝突を回避することができる。
【００６０】
なお、対物レンズは、条件式（１０）の代わりに下記の条件式（１０−１）を満たすように構成されてもよい。
0.005 ≦ＤＧＭ１／ＤＧＭ２≦ 0.45     （１０−１）
【００６１】
対物レンズは、第１ガウスレンズ成分を含む場合、その第１ガウスレンズ成分は、２枚接合レンズであることが望ましく、さらに、対物レンズは、以下の条件式（１１）を満たすことが望ましい。
-3 ≦Ｒｃｅｍ／ＤＧｏ≦ -0.5     （１１）
【００６２】
但し、Ｒｃｅｍは２枚接合レンズの接合面の曲率半径である。ＤＧｏは２枚接合レンズの光軸上の厚さである。
【００６３】
第１ガウスレンズ成分が２枚接合レンズであることで、第１ガウスレンズ成分に色収差及びコマ収差を補正する作用を持たせることができる。特に、色収差補正作用を持つ接合面にコマ収差の補正作用を持たせることで、波長毎に異なるコマ収差の補正が可能となり、各波長における良好なコマ収差補正が実現可能となる。
【００６４】
条件式（１１）は、主に、コマ収差を良好に補正するための条件式である。Ｒｃｅｍ／ＤＧｏが条件式（１１）の上限値を上回らないことにより、接合面の曲率半径の絶対値が小さくなりすぎず、十分な加工性を確保することができる。また、Ｒｃｅｍ／ＤＧｏが条件式（１１）の下限値を下回らないことにより、接合面が十分な屈折力を有するため、コマ収差の十分な補正が可能となる。
【００６５】
なお、対物レンズは、条件式（１１）の代わりに下記の条件式（１１−１）を満たすように構成されてもよい。
-2.5 ≦Ｒｃｅｍ／ＤＧｏ≦ -0.7     （１１−１）
【００６６】
対物レンズは、最も物体側に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有する第１レンズ成分を含み、さらに、条件式（１２）を満たすことが望ましい。
-3 ≦Ｄ１／Ｒ１２≦ -0.75     （１２）
【００６７】
但し、Ｄ１は、第１レンズ成分の光軸上の厚さである。Ｒ１２は、第１レンズ成分の最も像側のレンズ面の曲率半径である。
【００６８】
最も物体側に配置された第１レンズ成分が物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有することで、第１レンズ成分において、球面収差やコマ収差の発生を小さく抑え、且つ、ペッツバール和を良好に補正して像面湾曲を補正することができる。
【００６９】
条件式（１２）は、像面湾曲と球面収差とコマ収差の良好な補正を両立するための条件式である。ペッツバール和を良好に補正するためには、第１レンズ成分にはある程度の厚さが必要となる。Ｄ１／Ｒ１２が条件式（１２）の上限値を上回らないことにより、第１レンズ成分の厚さに対して、第１レンズ成分の最も像側のレンズ面の曲率半径の絶対値が大きくなりすぎない。このため、第１レンズ成分内でマージナル光線高さが高くなった発散光束に対して最も像側のレンズ面の正の屈折力が作用することで、射出光の発散を小さく抑えることができる。これにより、第１レンズ成分以降の光学系に入射したときのマージナル光線の光線高さと発散角を小さくすることができる。その結果、第１レンズ成分以降の光学系での球面収差やコマ収差の発生を小さく抑えることができる。また、Ｄ１／Ｒ１２が条件式（１２）の下限値を下回らないことにより、第１レンズ成分の厚さに対して、第１レンズ成分の最も像側のレンズ面の曲率半径の絶対値が小さくなりすぎない。このため、第１レンズ成分の像側のレンズ面における球面収差やコマ収差の発生を小さく抑えることができる。
【００７０】
なお、対物レンズは、条件式（１２）の代わりに下記の条件式（１２−１）又は条件式（１２−２）を満たすように構成されてもよい。
-2.5 ≦Ｄ１／Ｒ１２≦ -0.8     （１２−１）
-2 ≦Ｄ１／Ｒ１２≦ -0.95    （１２−２）
【００７１】
対物レンズが上記した第１レンズ成分を含む場合、その第１レンズ成分の像側に、正の屈折力を有し、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する第２レンズ成分をさらに含むことが望ましい。
【００７２】
第１レンズ成分の像側に配置された第２レンズ成分が物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有することで、球面収差とコマ収差の発生をさらに小さく抑えることができる。
【００７３】
対物レンズは、移動レンズ成分について以下の条件式（１３）から条件式（１４）の少なくとも１つを満たすことが望ましい。
0.5 ≦ ＭＵＣ ≦ 2        （１３）
-0.3 ≦ ｆ／ｆＵＣ≦ 0.3  （１４）
【００７４】
但し、ＭＵＣは、移動レンズ成分の倍率、より詳細には、単一の移動レンズ成分の倍率である。対物レンズが独立して移動する複数の移動レンズ成分を含む場合には、複数の移動レンズ成分のうちの１つの倍率である。なお、ＭＵＣは対物レンズが光軸に沿って連動して移動する複数の移動レンズ成分を含む場合は、複数の移動レンズ成分の合成倍率としてもよい。ｆは対物レンズの焦点距離である。ｆＵＣは移動レンズ成分の焦点距離である。
【００７５】
倍率ＭＵＣは、図２に示すように、移動レンズ成分ＭＣの主平面から移動レンズ成分ＭＣへの入射光束に対して定義される物点ＯＰまでの距離ａと、移動レンズ成分ＭＣの主平面から移動レンズ成分ＭＣが形成する像点ＩＰ（この例では虚像の像点）までの距離ｂと、の比（＝ｂ／ａ）で定義される。図２（ａ）は、移動レンズ成分が負の屈折力を有する場合を示し、この場合、移動レンズ成分の倍率ＭＵＣは0<ＭＵＣ<1の関係を満たしている。図２（ｂ）は、移動レンズ成分が屈折力を有しない場合を示し、この場合、移動レンズ成分の倍率ＭＵＣはＭＵＣ=1の関係を満たしている。図２（ｃ）は、移動レンズ成分が正の屈折力を有する場合を示し、この場合、移動レンズ成分の倍率ＭＵＣは1<ＭＵＣの関係を満たしている。
【００７６】
なお、移動レンズ成分の倍率は、厳密には、対物レンズ内における移動レンズ成分の位置に応じて変化する。条件式（１３）を満たすとは、移動レンズ成分が稼動範囲内の少なくとも１箇所において条件式（１３）を満たすことをいう。
【００７７】
条件式（１３）は、合焦位置の変動を抑えるための条件式である。移動レンズ成分は、球面収差を補正するためのものであり、その移動により合焦位置が変動することは好ましくない。移動レンズ成分の倍率ＭＵＣが条件式（１３）の上限値を上回らず、且つ、下限値を下回らないことにより、移動レンズ成分の移動による合焦位置の変動を小さくすることができる。
【００７８】
条件式（１４）は、合焦位置の変動を抑えるための条件式である。移動レンズ成分の移動による合焦位置の変動を小さくするためには、移動レンズ成分の倍率を１に近づけることが望ましい。そのためには、移動レンズ成分の焦点距離の絶対値が大きいことが望ましい。ｆ／ｆＵＣが条件式（１４）の上限値を上回らず且つ下限値を下回らないことで、移動レンズ成分の焦点距離の絶対値が十分に大きくなる。このため、移動レンズ成分の移動による合焦位置の変動を小さくすることができる。
【００７９】
なお、対物レンズは、条件式（１３）の代わりに下記の条件式（１３−１）を満たすように構成されてもよい。また、対物レンズは、条件式（１４）の代わりに下記の条件式（１４−１）、（１４−２）を満たすように構成されてもよい。
0.7 ≦ ＭＵＣ ≦ 1.3        （１３−１）
-0.2 ≦ ｆ／ｆＵＣ ≦ 0.2    （１４−１）
-0.1 ≦ ｆ／ｆＵＣ ≦ 0.1    （１４−２）
【００８０】
移動レンズ成分は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有することが望ましい。移動レンズ成分が物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有することで、移動レンズ成分でのコマ収差の発生を小さく抑えることができる。このため、移動レンズ成分の移動によるコマ収差の変動を小さく抑えることができる。
【００８１】
以下、上述した対物レンズの実施例について具体的に説明する。
【００８２】
［実施例１］
図３は、本実施例に係る対物レンズ１の断面図である。対物レンズ１は、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、第１レンズ群Ｇ１よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２からなる。なお、対物レンズ１は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。
【００８３】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ１（第１レンズ成分）と、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ２（第２レンズ成分）と、接合レンズＣＬ１と、接合レンズＣＬ２を含んでいる。
【００８４】
レンズＬ２は、正の屈折力を有している。接合レンズＣＬ１は、光軸方向に沿って移動する移動レンズ成分である。接合レンズＣＬ１は、両凹レンズＬ３（第１負レンズ）と両凸レンズＬ４からなる２枚接合レンズであり、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有している。接合レンズＣＬ２は、像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ５と両凸レンズＬ６からなる２枚接合レンズであり、両凸レンズ形状を有している。
【００８５】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、接合レンズＣＬ３と、接合レンズＣＬ４と、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ１２と、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ１３と、を含んでいる。
【００８６】
接合レンズＣＬ３は、両凸レンズＬ７と両凹レンズＬ８と両凸レンズＬ９からなる３枚接合レンズである。即ち、負レンズ（両凹レンズＬ８）と、負レンズの両側に配置された正レンズ（両凸レンズＬ７、両凸レンズＬ９）と、を含む正負正の３枚接合レンズである。接合レンズＣＬ４は、両凸レンズＬ１０と両凹レンズＬ１１からなる２枚接合レンズであり、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（第１ガウスレンズ成分）である。レンズＬ１３は、接合レンズＣＬ４よりも像側に配置された、像側に凸面を向けたレンズ成分（第３ガウスレンズ成分）である。レンズＬ１２は、接合レンズＣＬ４とレンズＬ１３の間に配置された、物体側に凹面を向けたレンズ成分（第４ガウスレンズ成分）である。レンズＬ１２とレンズＬ１３は空気を隔てて隣り合って配置されている。
【００８７】
対物レンズ１の各種データは、以下のとおりである。なお、ｆＧ１、ｆＧ２は、それぞれ第１レンズ群の焦点距離、第２レンズ群の焦点距離である。また、｜β｜は対物レンズ１を180mmの焦点距離を有する結像レンズと組み合わせたときの倍率である。
ＮＡｏｂ＝0.95、Δｚ１＝-0.04μm、 ＤＯＦｅ＝0.30μm、Ｙｒｅｓｏ＝0.29mm、｜β｜＝40、νｄ１＝42.41、θｇＦ１＝0.561、νｄ２＝（該当なし）、θｇＦ２＝（該当なし）、ｎｅｏ＝1.48915、νｄｏ＝70.23、ＤＧＭ１＝0.873mm、ＤＧＭ２＝4.633mm、Ｒｃｅｍｏ＝-6.1667mm、ＤＧｏ＝5.787mm、Ｄ１＝3.681mm、Ｒ１２＝-3.3487mm、ＭＵＣ＝1.18、ｆ＝4.500mm、ｆＵＣ＝259.55mm、ｆＧ１＝7.131mm、ｆＧ２＝-125.177mm
【００８８】
対物レンズ１のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のINFは無限大（∞）を示している。
対物レンズ１
s       r           d       ne        nh        νd 
0      INF                                      
1      INF          t      1.52626   1.54042   54.41
2      INF          D2                            
3     -3.0339      3.681   1.77621   1.79917   49.6
4     -3.3487      0.200                          
5     -7.2937      2.241   1.57098   1.58258   71.3
6     -5.5255       D6                            
7    -45.764       1.200   1.64132   1.66385   42.41
8     12.7782      3.875   1.43986   1.44647   94.66
9    -14.198        D9                            
10     71.1197      1.500   1.61664   1.63723   44.49
11     15.0477      6.788   1.43986   1.44647   94.66
12    -10.4578      0.300                          
13     11.6236      6.847   1.43986   1.44647   94.66
14    -10.3782      1.550   1.48915   1.49898   70.23
15      6.6859      4.219   1.43986   1.44647   94.66
16    -32.513       0.300                          
17     13.9497      4.787   1.49846   1.5072    81.54
18     -6.1667      1.000   1.88815   1.92092   40.76
19      7.744       3.857                          
20     -4.5391      1.541   1.51825   1.52977   64.14
21     -9.3597      0.873                        
22    -12.8369      2.219   1.7434    1.77943   32.33
23     -7.2219                                   
【００８９】
ここで、sは面番号を、rは曲率半径(mm)を、dは面間隔(mm)を、neはe線に対する屈折率を、nhはh線に対する屈折率を、νdはアッベ数を示す。これらの記号は、以降の実施例でも同様である。なお、面番号s0,s1,s2が示す面は、それぞれ物体面、カバーガラスＣＧの物体側の面、カバーガラスＣＧの像側の面である。面番号s3,s23が示す面は、それぞれ対物レンズ１の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。また、例えば、面間隔d1は、面番号s1が示す面から面番号s2が示す面までの光軸上の距離を示している。
【００９０】
面番号s1と面番号s2の間の面間隔tは、カバーガラスＣＧの厚さであり、カバーガラスＣＧに応じて変化する可変量である。面番号s2と面番号s3の間の面間隔D2は、カバーガラスＣＧと対物レンズ１の間の空気間隔であり、カバーガラスＣＧに応じて変化する可変量である。面番号s6と面番号s7の間の面間隔D6と面番号s9と面番号s10の間の面間隔D9は、それぞれ移動レンズ成分と移動レンズ成分に隣接するレンズ成分との間の空気間隔であり、移動レンズ成分の位置に応じて変化する可変量である。移動レンズ成分の位置は、例えばカバーガラスＣＧの厚さに応じて調整される。
【００９１】
これらの可変量の関係は以下のとおりである。
t(カバーガラス厚)  0.17    0.11    0.23
D2                 0.411   0.441   0.382 
D6                 0.766   1.178   0.330 
D9                 0.742   0.330   1.178
【００９２】
対物レンズ１は、以下で示されるように、条件式（６）、（７）を除き、条件式（１）から（１４）を満たしている。
（１）ＮＡｏｂ＝0.95
（２）Δｚ１ ／ＤＯＦｅ＝-0.13
（３）Ｙｒｅｓｏ ×｜β｜＝11.6mm
（４）νｄ１＝42.41
（５）θｇＦ１＝0.561
（６）νｄ２＝（該当なし）
（７）θｇＦ２＝（該当なし）
（８）ｎｅｏ＝1.48915
（９）νｄｏ＝70.23
（１０）ＤＧＭ１／ＤＧＭ２＝0.19
（１１）Ｒｃｅｍ／ＤＧｏ＝-1.07
（１２）Ｄ１／Ｒ１２＝-1.10
（１３）ＭＵＣ＝1.18
（１４）ｆ／ｆＵＣ＝0.017
【００９３】
図４は、図３に示す対物レンズ１のカバーガラス厚tが0.17mmのときの収差図であり、像側から無限遠光束が入射したときの物体面における収差を示している。図４（ａ）は球面収差図であり、図４（ｂ）は正弦条件違反量を示す図であり、図４（ｃ）は非点収差図であり、図４（ｄ）は物体高比0.6（物体高0.2mm）の位置におけるコマ収差図である。なお、図中の“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。図４に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
【００９４】
［実施例２］
図５は、本実施例に係る対物レンズ２の断面図である。対物レンズ２は、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、第１レンズ群Ｇ１よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２からなる。なお、対物レンズ２は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。
【００９５】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ１（第１レンズ成分）と、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ２（第２レンズ成分）と、接合レンズＣＬ１と、接合レンズＣＬ２を含んでいる。
【００９６】
レンズＬ２は、正の屈折力を有している。接合レンズＣＬ１は、光軸方向に沿って移動する移動レンズ成分である。接合レンズＣＬ１は、両凹レンズＬ３（第１負レンズ）と両凸レンズＬ４からなる２枚接合レンズであり、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有している。接合レンズＣＬ２は、像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ５と両凸レンズＬ６からなる２枚接合レンズであり、両凸レンズ形状を有している。
【００９７】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、接合レンズＣＬ３と、接合レンズＣＬ４と、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ１２と、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ１３と、を含んでいる。
【００９８】
接合レンズＣＬ３は、両凸レンズＬ７と両凹レンズＬ８と両凸レンズＬ９からなる３枚接合レンズである。即ち、負レンズ（両凹レンズＬ８）と、負レンズの両側に配置された正レンズ（両凸レンズＬ７、両凸レンズＬ９）と、を含む正負正の３枚接合レンズである。接合レンズＣＬ４は、両凸レンズＬ１０と両凹レンズＬ１１からなる２枚接合レンズであり、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（第１ガウスレンズ成分）である。レンズＬ１３は、接合レンズＣＬ４よりも像側に配置された、像側に凸面を向けたレンズ成分（第３ガウスレンズ成分）である。レンズＬ１２は、接合レンズＣＬ４とレンズＬ１３の間に配置された、物体側に凹面を向けたレンズ成分（第４ガウスレンズ成分）である。レンズＬ１２とレンズＬ１３は空気を隔てて隣り合って配置されている。
【００９９】
対物レンズ２の各種データは、以下のとおりである。なお、ｆＧ１、ｆＧ２は、それぞれ第１レンズ群の焦点距離、第２レンズ群の焦点距離である。また、｜β｜は対物レンズ２を180mmの焦点距離を有する結像レンズと組み合わせたときの倍率である。
ＮＡｏｂ＝0.93、Δｚ１＝0.03μm、 ＤＯＦｅ＝0.32μm、Ｙｒｅｓｏ＝0.29mm、｜β｜＝40、νｄ１＝42.41、θｇＦ１＝0.561、νｄ２＝（該当なし）、θｇＦ２＝（該当なし）、ｎｅｏ＝1.48915、νｄｏ＝70.23、ＤＧＭ１＝0.893mm、ＤＧＭ２＝4.184mm、Ｒｃｅｍｏ＝-6.494mm、ＤＧｏ＝5.859mm、Ｄ１＝3.470mm、Ｒ１２＝-3.173mm、ＭＵＣ＝1.17、ｆ＝4.500mm、ｆＵＣ＝278.085mm、ｆＧ１＝7.184mm、ｆＧ２＝-168.383mm
【０１００】
対物レンズ２のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のINFは無限大（∞）を示している。
対物レンズ２
s       r           d       ne        nh        νd 
0      INF                                     
1      INF          t      1.52626   1.54042   54.41
2      INF          D2                         
3     -2.9851      3.470   1.77621   1.79917   49.6
4     -3.173       0.200                       
5     -6.7497      2.453   1.57098   1.58258   71.3
6     -5.4784       D6                         
7    -45.6337      1.200   1.64132   1.66385   42.41
8     12.9024      3.819   1.43986   1.44647   94.66
9    -14.336        D9                         
10     85.7763      1.500   1.61664   1.63723   44.49
11     15.5448      6.717   1.43986   1.44647   94.66
12    -10.4133      0.300                       
13     11.828       6.821   1.43986   1.44647   94.66
14    -10.5608      1.550   1.48915   1.49898   70.23
15      7.3633      4.019   1.43986   1.44647   94.66
16    -29.839       0.300                       
17     12.5725      4.859   1.43986   1.44647   94.66
18     -6.494       1.000   1.83945   1.86892   42.74
19      7.4458      4.570                       
20     -4.6923      1.139   1.48915   1.49898   70.23
21     -8.5         0.893                       
22    -11.0502      2.152   1.7434    1.77943   32.33
23     -7.0354                                  
【０１０１】
なお、面番号s0,s1,s2が示す面は、それぞれ物体面、カバーガラスＣＧの物体側の面、カバーガラスＣＧの像側の面である。面番号s3,s23が示す面は、それぞれ対物レンズ２の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。
【０１０２】
面番号s1と面番号s2の間の面間隔tは、カバーガラスＣＧの厚さであり、カバーガラスＣＧに応じて変化する可変量である。面番号s2と面番号s3の間の面間隔D2は、カバーガラスＣＧと対物レンズ２の間の空気間隔であり、カバーガラスＣＧに応じて変化する可変量である。面番号s6と面番号s7の間の面間隔D6と面番号s9と面番号s10の間の面間隔D9は、それぞれ移動レンズ成分と移動レンズ成分に隣接するレンズ成分との間の空気間隔であり、移動レンズ成分の位置に応じて変化する可変量である。移動レンズ成分の位置は、例えばカバーガラスＣＧの厚さに応じて調整される。
【０１０３】
これらの可変量の関係は以下のとおりである。
t(カバーガラス厚)  0.17    0.11    0.23
D2                 0.412   0.441   0.383 
D6                 0.771   1.190   0.330 
D9                 0.749   0.330   1.190
【０１０４】
対物レンズ２は、以下で示されるように、条件式（６）、（７）を除き、条件式（１）から（１４）を満たしている。
（１）ＮＡｏｂ＝0.93
（２）Δｚ１ ／ＤＯＦｅ＝0.10
（３）Ｙｒｅｓｏ ×｜β｜＝11.6mm
（４）νｄ１＝42.41
（５）θｇＦ１＝0.561
（６）νｄ２＝（該当なし）
（７）θｇＦ２＝（該当なし）
（８）ｎｅｏ＝1.48915
（９）νｄｏ＝70.23
（１０）ＤＧＭ１／ＤＧＭ２＝0.21
（１１）Ｒｃｅｍ／ＤＧｏ＝-1.11
（１２）Ｄ１／Ｒ１２＝-1.09
（１３）ＭＵＣ＝1.17
（１４）ｆ／ｆＵＣ＝0.016
【０１０５】
図６は、図５に示す対物レンズ２のカバーガラス厚tが0.17mmのときの収差図であり、像側から無限遠光束が入射したときの物体面における収差を示している。図６（ａ）は球面収差図であり、図６（ｂ）は正弦条件違反量を示す図であり、図６（ｃ）は非点収差図であり、図６（ｄ）は物体高比0.6（物体高0.2mm）の位置におけるコマ収差図である。なお、図中の“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。図６に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
【０１０６】
［実施例３］
図７は、本実施例に係る対物レンズ３の断面図である。対物レンズ３は、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、第１レンズ群Ｇ１よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２からなる。なお、対物レンズ３は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。
【０１０７】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ１（第１レンズ成分）と、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ２（第２レンズ成分）と、接合レンズＣＬ１と、接合レンズＣＬ２と、両凸レンズＬ７を含んでいる。
【０１０８】
レンズＬ２は、正の屈折力を有している。接合レンズＣＬ１は、光軸方向に沿って移動する移動レンズ成分である。接合レンズＣＬ１は、両凹レンズＬ３（第１負レンズ）と両凸レンズＬ４からなる２枚接合レンズであり、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有している。接合レンズＣＬ２は、両凹レンズＬ５（第２負レンズ）と両凸レンズＬ６からなる２枚接合レンズであり、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有している。
【０１０９】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、接合レンズＣＬ３と、接合レンズＣＬ４と、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ１２と、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ１３と、を含んでいる。
【０１１０】
接合レンズＣＬ３は、像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ８と両凸レンズＬ９からなる２枚接合レンズであり、両凸レンズ形状を有している。接合レンズＣＬ４は、両凸レンズＬ１０と両凹レンズＬ１１からなる２枚接合レンズであり、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（第１ガウスレンズ成分）である。レンズＬ１３は、接合レンズＣＬ４よりも像側に配置された、像側に凸面を向けたレンズ成分（第３ガウスレンズ成分）である。レンズＬ１２は、接合レンズＣＬ４とレンズＬ１３の間に配置された、物体側に凹面を向けたレンズ成分（第４ガウスレンズ成分）である。レンズＬ１２とレンズＬ１３は空気を隔てて隣り合って配置されている。
【０１１１】
対物レンズ３の各種データは、以下のとおりである。なお、ｆＧ１、ｆＧ２は、それぞれ第１レンズ群の焦点距離、第２レンズ群の焦点距離である。また、｜β｜は対物レンズ３を180mmの焦点距離を有する結像レンズと組み合わせたときの倍率である。
ＮＡｏｂ＝0.93、Δｚ１＝0.03μm、 ＤＯＦｅ＝0.32μm、Ｙｒｅｓｏ＝0.29mm、｜β｜＝40、νｄ１＝42.41、θｇＦ１＝0.561、νｄ２＝42.41、θｇＦ２＝0.561、ｎｅｏ＝（該当なし）、νｄｏ＝（該当なし）、ＤＧＭ１＝1.985mm、ＤＧＭ２＝5.465mm、Ｒｃｅｍｏ＝-9.8031mm、ＤＧｏ＝6.380mm、Ｄ１＝3.049mm、Ｒ１２＝-2.5241mm、ＭＵＣ＝1.13、ｆ＝4.500mm、ｆＵＣ＝172.704mm、ｆＧ１＝7.173mm、ｆＧ２＝-39.987mm
【０１１２】
対物レンズ３のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のINFは無限大（∞）を示している。
対物レンズ３
s       r           d       ne        nh        νd 
0      INF                                   
1      INF          t      1.52626   1.54042   54.41  
2      INF          D2                        
3     -2.5241      3.049   1.77621   1.79917   49.6 
4     -2.7056      0.200                      
5    -23.066       1.991   1.43985   1.44645   94.93 
6    -10.6072       D6                        
7   -698.7307      1.200   1.64132   1.66385   42.41
8     12.9772      3.010   1.43985   1.44645   94.93 
9    -20.4682       D9                        
10  -1734.7605      1.500   1.64132   1.66385   42.41
11     17.2319      6.133   1.43985   1.44645   94.93 
12     -9.6242      0.196                      
13     34.1927      2.402   1.43985   1.44645   94.93 
14    -39.0636      0.196                      
15     27.0695      1.550   1.74435   1.76491   52.64
16      8.4461      5.301   1.43985   1.44645   94.93 
17    -18.1577      3.648                      
18     10.0874      5.380   1.57098   1.58258   71.3
19     -9.8031      1.000   1.64132   1.66385   42.41 
20      5.6909      2.985                      
21     -4.8862      1.129   1.75844   1.77954   52.32 
22    -28.3272      1.985                      
23    -12.2198      2.351   1.74341   1.77951   32.26 
24     -6.6782                        
【０１１３】
なお、面番号s0,s1,s2が示す面は、それぞれ物体面、カバーガラスＣＧの物体側の面、カバーガラスＣＧの像側の面である。面番号s3,s24が示す面は、それぞれ対物レンズ３の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。
【０１１４】
面番号s1と面番号s2の間の面間隔tは、カバーガラスＣＧの厚さであり、カバーガラスＣＧに応じて変化する可変量である。面番号s2と面番号s3の間の面間隔D2は、カバーガラスＣＧと対物レンズ３の間の空気間隔であり、カバーガラスＣＧに応じて変化する可変量である。面番号s6と面番号s7の間の面間隔D6と面番号s9と面番号s10の間の面間隔D9は、それぞれ移動レンズ成分と移動レンズ成分に隣接するレンズ成分との間の空気間隔であり、移動レンズ成分の位置に応じて変化する可変量である。移動レンズ成分の位置は、例えばカバーガラスＣＧの厚さに応じて調整される。
【０１１５】
これらの可変量の関係は以下のとおりである。
t(カバーガラス厚)  0.17    0.11    0.23
D2                 0.470   0.496   0.445 
D6                 0.940   1.466   0.341 
D9                 0.867   0.341   1.466
【０１１６】
対物レンズ３は、以下で示されるように、条件式（８）、（９）を除き、条件式（１）から（１４）を満たしている。
（１）ＮＡｏｂ＝0.93
（２）Δｚ１ ／ＤＯＦｅ＝0.10
（３）Ｙｒｅｓｏ ×｜β｜＝11.6mm
（４）νｄ１＝42.41
（５）θｇＦ１＝0.561
（６）νｄ２＝42.41
（７）θｇＦ２＝0.561
（８）ｎｅｏ＝（該当なし）
（９）νｄｏ＝（該当なし）
（１０）ＤＧＭ１／ＤＧＭ２＝0.36
（１１）Ｒｃｅｍ／ＤＧｏ＝-1.54
（１２）Ｄ１／Ｒ１２＝-1.21
（１３）ＭＵＣ＝1.13
（１４）ｆ／ｆＵＣ＝0.026
【０１１７】
図８は、図７に示す対物レンズ３のカバーガラス厚tが0.17mmのときの収差図であり、像側から無限遠光束が入射したときの物体面における収差を示している。図８（ａ）は球面収差図であり、図８（ｂ）は正弦条件違反量を示す図であり、図８（ｃ）は非点収差図であり、図８（ｄ）は物体高比0.6（物体高0.2mm）の位置におけるコマ収差図である。なお、図中の“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。図８に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
【０１１８】
［実施例４］
図９は、本実施例に係る対物レンズ４の断面図である。対物レンズ４は、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、第１レンズ群Ｇ１よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２からなる。なお、対物レンズ４は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。
【０１１９】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ１（第１レンズ成分）と、物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有するレンズＬ２（第２レンズ成分）と、接合レンズＣＬ１と、接合レンズＣＬ２と、接合レンズＣＬ３を含んでいる。
【０１２０】
レンズＬ２は、正の屈折力を有している。接合レンズＣＬ１は、光軸方向に沿って移動する移動レンズ成分である。接合レンズＣＬ１は、両凹レンズＬ３（第１負レンズ）と両凸レンズＬ４からなる２枚接合レンズであり、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有している。接合レンズＣＬ２は、両凹レンズＬ５と両凸レンズＬ６からなる２枚接合レンズであり、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有している。接合レンズＣＬ３は、両凸レンズＬ７と両凹レンズＬ８と両凸レンズＬ９からなる３枚接合レンズである。即ち、負レンズ（両凹レンズＬ８）と、負レンズの両側に配置された正レンズ（両凸レンズＬ７、両凸レンズＬ９）と、を含む正負正の３枚接合レンズである。
【０１２１】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、接合レンズＣＬ４と、接合レンズＣＬ５と、を含んでいる。
【０１２２】
接合レンズＣＬ４は、両凸レンズＬ１０と両凹レンズＬ１１（第２負レンズ）からなる２枚接合レンズであり、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（第１ガウスレンズ成分）である。接合レンズＣＬ５は、両凹レンズＬ１２と両凸レンズＬ１３からなる２枚接合レンズであり、接合レンズＣＬ４よりも像側に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（第２ガウスレンズ成分）である。
【０１２３】
対物レンズ４の各種データは、以下のとおりである。なお、ｆＧ１、ｆＧ２は、それぞれ第１レンズ群の焦点距離、第２レンズ群の焦点距離である。また、｜β｜は対物レンズ４を180mmの焦点距離を有する結像レンズと組み合わせたときの倍率である。
ＮＡｏｂ＝0.93、Δｚ１＝0.04μm、 ＤＯＦｅ＝0.32μm、Ｙｒｅｓｏ＝0.32mm、｜β｜＝40、νｄ１＝42.41、θｇＦ１＝0.561、νｄ２＝42.41、θｇＦ２＝0.561、ｎｅｏ＝1.48915、νｄｏ＝70.23、ＤＧＭ１＝（該当なし）、ＤＧＭ２＝（該当なし）、Ｒｃｅｍｏ＝-11.5mm、ＤＧｏ＝6.551mm、Ｄ１＝3.421mm、Ｒ１２＝-3.2763mm、ＭＵＣ＝1.01、ｆ＝4.500mm、ｆＵＣ＝-236.500mm、ｆＧ１＝7.7mm、ｆＧ２＝-17.4mm
【０１２４】
対物レンズ４のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のINFは無限大（∞）を示している。
対物レンズ４
s       r           d       ne        nh        νd 
0      INF                                     
1      INF          t      1.52626   1.54042   54.41
2      INF          D2                         
3     -2.9988      3.421   1.77621   1.79917   49.6
4     -3.2763      0.200                       
5     -8.1942      2.347   1.57098   1.58258   71.3
6     -5.4671       D6                         
7    -40.3151      1.200   1.64132   1.66385   42.41
8     13.572       3.454   1.43986   1.44647   94.66
9    -17.8903       D9                         
10   -140.6354      1.500   1.61664   1.63723   44.49
11     19.8789      6.023   1.43986   1.44647   94.66
12     -9.9326      0.300                       
13     12.6709      6.101   1.43986   1.44647   94.66
14    -12.0308      1.550   1.48915   1.49898   70.23
15      8.5096      4.568   1.43986   1.44647   94.66
16    -25.4706      0.406                       
17     12.674       4.515   1.49846   1.5072    81.54
18    -11.5061      2.037   1.64132   1.66385   42.41
19      8.1177      2.818                       
20     -4.5196      2.201   1.72407   1.75033   41.98
21     14.1964      3.264   1.7434    1.77943   32.33
22     -8.7132                                  
【０１２５】
なお、面番号s0,s1,s2が示す面は、それぞれ物体面、カバーガラスＣＧの物体側の面、カバーガラスＣＧの像側の面である。面番号s3,s22が示す面は、それぞれ対物レンズ４の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。
【０１２６】
面番号s1と面番号s2の間の面間隔tは、カバーガラスＣＧの厚さであり、カバーガラスＣＧに応じて変化する可変量である。面番号s2と面番号s3の間の面間隔D2は、カバーガラスＣＧと対物レンズ４の間の空気間隔であり、カバーガラスＣＧに応じて変化する可変量である。面番号s6と面番号s7の間の面間隔D6と面番号s9と面番号s10の間の面間隔D9は、それぞれ移動レンズ成分と移動レンズ成分に隣接するレンズ成分との間の空気間隔であり、移動レンズ成分の位置に応じて変化する可変量である。移動レンズ成分の位置は、例えばカバーガラスＣＧの厚さに応じて調整される。
【０１２７】
これらの可変量の関係は以下のとおりである。
t(カバーガラス厚)  0.17    0.11    0.23
D2                 0.414   0.453   0.375 
D6                 0.843   1.318   0.330 
D9                 0.805   0.330   1.318
【０１２８】
対物レンズ４は、以下で示されるように、条件式（１０）を除き、条件式（１）から（１４）を満たしている。
（１）ＮＡｏｂ＝0.93
（２）Δｚ１ ／ＤＯＦｅ＝0.13
（３）Ｙｒｅｓｏ ×｜β｜＝12.8mm
（４）νｄ１＝42.41
（５）θｇＦ１＝0.561
（６）νｄ２＝42.41
（７）θｇＦ２＝0.561
（８）ｎｅｏ＝1.48915
（９）νｄｏ＝70.23
（１０）ＤＧＭ１／ＤＧＭ２＝（該当なし）
（１１）Ｒｃｅｍ／ＤＧｏ＝-1.76
（１２）Ｄ１／Ｒ１２＝-1.04
（１３）ＭＵＣ＝1.01
（１４）ｆ／ｆＵＣ＝-0.019
【０１２９】
図１０は、図９に示す対物レンズ４のカバーガラス厚tが0.17mmのときの収差図であり、像側から無限遠光束が入射したときの物体面における収差を示している。図１０（ａ）は球面収差図であり、図１０（ｂ）は正弦条件違反量を示す図であり、図１０（ｃ）は非点収差図であり、図１０（ｄ）は物体高比0.6（物体高0.2mm）の位置におけるコマ収差図である。なお、図中の“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。図１０に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
【符号の説明】
【０１３０】
１、２、３、４        対物レンズ
１００                領域
ＡＸ                  光軸
ＣＧ                  カバーガラス
Ｇ１                  第１レンズ群
Ｇ２                  第２レンズ群
ＩＰ                  像点
ＭＣ                  移動レンズ成分
ＯＰ                  物点
【図１】
2019191266.tif 000003
【図２】
2019191266.tif 000004
【図３】
2019191266.tif 000005
【図４】
2019191266.tif 000006
【図５】
2019191266.tif 000007
【図６】
2019191266.tif 000008
【図７】
2019191266.tif 000009
【図８】
2019191266.tif 000010
【図９】
2019191266.tif 000011
【図１０】
2019191266.tif 000012