(57)【要約】【課題】排気側の処理ガス中に内在する（包含する）粉体量が多い場合であったとしても、相当程度の粉体を捕集でき、かつ、保守期間を長くできる粉体トラップ装置を提供すること。【解決手段】粉体トラップ装置１は、上流側に配設する１次室１０と、下流側に配設する２次室２０と、１次室１０と２次室２０との間に連通介在する気体案内路３０と、を少なくとも備える。気体案内路３０は、垂直方向に積層配設するとともに、上下方向連通部３１２を設けている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上流側に配設する１次室と下流側に配設する２次室とで構成し処理後気体中に内在する粉体を除去する粉体トラップ装置であって、
前記１次室と連通する処理後気体の取込み口と、
前記２次室と連通する処理後気体の排出口と、
前記１次室と前記２次室との間に連通介在する気体案内路と、
を備え、
前記気体案内路を、垂直方向に２段以上積層配設するとともに、前記積層配設された第１段目の気体案内路と第２段目の気体案内路との間を連通する上下方向連通部（３１２）を設けた粉体トラップ装置。
【請求項２】
前記上下方向連通部を前記処理後気体の取込み口側に設けた請求項１の粉体トラップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、真空ポンプの排気側配管に結合する粉体トラップ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造現場で利用される真空ポンプの内部又はその排気側で、処理ガス中に包含されていた副生成物が粉体となってあらわれる現象が生じることが知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
当該粉体が堆積又は固体化すると、当該真空ポンプあるいは当該真空ポンプと連通するその他の設備の故障を引き起こす要因となることから、例えば、当該真空ポンプの排気側配管に粉体トラップ装置を結合して粉体をできるだけ取り除くなどの対策がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許６１２０４６９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した様に、真空ポンプの排気側配管に粉体トラップ装置を結合して粉体をできるだけ取り除くことは有効であるが、処理ガス中に内在する粉体の量が多い場合（液晶パネルや太陽電池分野等）には、当該粉体トラップ装置内では粉体を捕集しきれなくなったり、清掃や消耗品交換といった保守間隔が短くなったりしてしまっていた。
【０００６】
そこで、排気側の処理ガス中に内在する粉体量が多い場合であったとしても、相当程度の粉体を捕集でき、かつ、保守期間を長く（２ケ月程度）できる粉体トラップ装置を提供することを課題とした。
【０００７】
上述の課題を解決するために、上流側に配設する１次室と下流側に配設する２次室とで構成し処理後気体中に内在する粉体を除去する粉体トラップ装置であって、前記１次室と連通する処理後気体の取込み口と、前記２次室と連通する処理後気体の排出口と、前記１次室と前記２次室との間に連通介在する気体案内路と、を備え、前記気体案内路を、垂直方向に２段以上積層配設するとともに、前記積層配設した第１段目気体案内路と第２段目気体案内路との間を連通する上下方向連通部を設けた粉体トラップ装置を提供する。
【０００８】
また、上述の課題を解決するために、上流側に配設する１次室と下流側に配設する２次室とで構成し処理後気体中に内在する粉体を除去する粉体トラップ装置であって、前記１次室と連通する処理後気体の取込み口と、前記２次室と連通する処理後気体の排出口と、前記１次室と前記２次室との間に連通介在する気体案内路と、を備え、前記気体案内路を、垂直方向に２段以上積層配設するとともに、前記積層配設した第１段目気体案内路と第２段目気体案内路との間を連通する上下方向連通部を設け、かつ、前記上下方向連通部を前記処理後気体の取込み口側に設けた粉体トラップ装置を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本願発明の粉体トラップ装置は、垂直方向に２段以上積層配設するとともに、前記積層配設した第１段目気体案内路と第２段目気体案内路との間を連通する上下方向連通部を設け前記１次室と前記２次室との間に連通介在する気体案内路を設けているため、当該気体案内路中で相当の粉体が除去される。これにより処理ガス中に内在する粉体量が多くても相当程度の粉体を捕集でき、かつ、保守期間を長くすることができる。
【００１０】
本願発明の粉体トラップ装置は、さらに、上下方向連通部を前記処理後気体の取込み口側に設けたため、粉体が内在する処理後気体が移動する距離をより長くすることができ、より多くの粉体の捕集が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は粉体トラップ装置の外観斜視図である。
【図２】図２は粉体トラップ装置の垂直方向の切断断面図である。
【図３】図３は気体案内路の拡大図である。
【図４】図４は気体案内路の拡大斜視図である。
【図５】図５は気体案内路のＡ−Ａ断面図（上層スペースの断面図）である。
【図６】図６は気体案内路のＢ−Ｂ断面図（下層スペースの断面図）である。
【図７】図７は気体案内路の上層スペースの作動イメージ図である。
【図８】図８は気体案内路の下層スペースの作動イメージ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
真空ポンプの排気側配管に結合して利用する。
【実施例１】
【００１３】
粉体トラップ装置の構成について、図１から図６に従い説明する。
【００１４】
粉体トラップ装置（１）は、ほぼ直方体形状の外観をしている（図１）。
【００１５】
前記粉体トラップ装置（１）の筐体内部の上流側（図２で示す右側）には１次室（１０）を配設し、下流側（図２で示す左側）には２次室（２０）を配設している（図２）。
【００１６】
前記粉体トラップ装置（１）の上流側に、前記１次室（１０）と連通する処理後気体の取込み口（１１）を設けている（図２）。
【００１７】
前記２次室（２０）の内部には、円筒形状の粉体フィルタユニット（２１）を設けている（図２）。
【００１８】
前記粉体トラップ装置（１）の下流側に、前記２次室（２０）と連通する処理後気体の排出口（２２）を設けている（図２）。
【００１９】
前記１次室（１０）と前記２次室（２０）との間に、連通介在する所定の気体案内路（３０）を設けている（図２）。
【００２０】
前記気体案内路（３０）は、垂直方向に１段目の上層スペース（３１）と２段目の下層スペース（３２）の様に積層配設されている（図３及び図４）。
【００２１】
前記気体案内路の上層スペース（３１）には、処理後気体の直進を妨げる金属製の板状の遮へい体（３１１）と、前記上層スペースから前記下層スペース（３２）へ連通する上下方向連通部（３１２）を設けている（図５）。
【００２２】
前記上下方向連通部（３１２）を設ける位置及び個数について、前記処理後気体の取込み口（１１）側に１個設けているが、これは粉体が内在する処理後気体が移動する距離をより長くする様に配設することが好ましいことによるものである（図２及び図５）。
【００２３】
なお、気体案内路が垂直方向に４段積層配設の場合には、１段目のスペースの処理後気体の取込み口側に１個、２段目スペースの２次室側に１個、３段目のスペースの処理後気体の取込み口側に１個の合計３個が好ましい。
【００２４】
前記気体案内路の下層スペース（３２）にも、処理後気体の直進を妨げる金属製の板状の遮へい体（３２１）を設けている（図６）。
【００２５】
次に、粉体トラップ装置を真空ポンプの排気側配管に結合して稼働させたときの作動について図２、図４、図７及び図８に従い説明する。
【００２６】
処理後気体の取込み口（１１）を介して粉体が内在する処理後気体（４０）が流入してくると、当該処理後気体は、１次室（１０）の上方スペースに沿って気体案内路（３０）の上層スペース（３１）の開放部に案内されて当該気体案内路内に流入する（図２、図４及び図７）。
【００２７】
前記気体案内路（３０）の上層スペース（３１）の開放部に流入した処理後気体（４０）は、当該上層スペースに配設された各遮へい体（３１１）に接触及び衝突しながら上下方向連通部（３１２）へ向かって流れる（図７）。
【００２８】
前記上下方向連通部（３１２）へ到達した処理後気体（４０）は、下層スペース（３２）へ流入し、当該下層スペースに配設された各遮へい体（３２１）に接触及び衝突しながら２次室（２０）へ向かって流れる（図２及び図８）。
【００２９】
なお、前記各々の遮へい体（３１１、３１２）と接触及び衝突することにより、当該処理後気体（４０）に内在する粉体の一部は重量落下し除去される。また、前記１次室（１０）で除去しきれなかった粉体は粉体フィルタユニット（２１）で除去される。
【００３０】
前記気体案内路（３０）を積層配設した前記１次室（１０）で相当程度の粉体が除去できるため、前記粉体フィルタユニット（２１）の寿命が延び当該粉体トラップ装置の保守期間も長くなる。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本願発明の粉体トラップ装置は、処理後気体中に内在する粉体量が多い場合であったとしても、相当程度の粉体を捕集でき、かつ、保守期間を長くできる優れた粉体トラップ装置であるから産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【００３２】
１        粉体トラップ装置
１０      １次室
１１      処理後気体の取込み口
２０      ２次室
２１      粉体フィルタユニット
２２      処理後気体の排出口
３０      気体案内路
３１      １段目の気体案内路の上層スペース
３１１    上層スペースに配設された遮へい体
３１２    上下方向連通部
３２      ２段目の気体案内路の下層スペース
３２１    下層スペースに配設された遮へい体
４０      処理後気体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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