(57)【要約】【課題】コイルモジュールの固有振動数の低下を抑制することが可能なリニアモータを提供することを目的とする。【解決手段】空隙を挟んで互いに対向する一対の界磁磁石５２ｍ、５２ｎを有する可動子５０と、空隙を通って可動子５０の可動方向に延在するコイルモジュール２０を有する固定子と、を備えるリニアモータである。一対の界磁磁石５２ｍ、５２ｎの互いに対向する面は、可動方向および可動方向と直交する幅方向に延在し、一対の界磁磁石５２ｍ、５２ｎの一方は、可動方向に延びる隙間５２ｑを挟んで幅方向に離間して配置される第１、第２磁石を含み、固定子１０は、コイルモジュール２０から隙間５２ｑを通って延出し、コイルモジュール２０を支持するコイル支持部２８を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
空隙を挟んで互いに対向する一対の界磁磁石を有する可動子と、
前記空隙を通って前記可動子の可動方向に延在するコイルモジュールを有する固定子と、
を備えるリニアモータであって、
前記一対の界磁磁石の互いに対向する面は、前記可動方向および前記可動方向と直交する幅方向に延在し、
前記一対の界磁磁石の一方は、前記可動方向に延びる隙間を挟んで前記幅方向に離間して配置される第１、第２磁石を含み、
前記固定子は、前記コイルモジュールから前記隙間を通って延出し、前記コイルモジュールを支持するコイル支持部を有することを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
前記コイルモジュールは、前記可動方向に配列された複数のコイルを含み、
前記複数のコイルは、前記第１および前記第２磁石と対向することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記コイルモジュールは、それぞれ前記可動方向に配列された複数のコイルを含む第１、第２コイル群を有し、
前記第１コイル群は、前記第１磁石と対向し、前記第２コイル群は、前記第２磁石と対向することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記一対の界磁磁石の他方は、前記幅方向に離間して配置される２つの磁石を含むことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記コイル支持部は、前記コイルモジュールの前記幅方向の中心の近傍から延出していることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のリニアモータ。
【請求項６】
前記コイル支持部は、前記コイルモジュールの前記幅方向の中心を避けた位置から延出していることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のリニアモータ。
【請求項７】
空隙を挟んで対向する一対の界磁磁石を有する可動子と、
前記空隙を通って前記可動子の可動方向に延在するコイルモジュールを有する固定子と、を備えるリニアモータであって、
前記一対の界磁磁石の互いに対向する面は、前記可動方向および前記可動方向に直交する幅方向に延在し、
前記一対の界磁磁石のそれぞれは、前記幅方向に離間して配置される第１、第２磁石を含み、
前記コイルモジュールは、前記幅方向に離間して配置される第１、第２コイルモジュールを含むことを特徴とするリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
電気エネルギーを直線運動に変換するためにリニアモータが利用される。リニアモータの一種として、マグネットがコイルに沿って走行するムービングマグネット型のリニアモータがある。例えば、特許文献１には、固定子に電機子コイルを有し、可動子に界磁マグネットを有するムービングマグネット型のリニアスライダが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００５／１２２３６９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明者らは、界磁マグネットを含む可動子と、可動子の可動方向に延在するコイルモジュールを含む固定子と、を備えるムービングマグネット型のリニアモータ（以下、単にリニアモータという）について検討し、以下の認識を得た。
特許文献１に記載のリニアスライダでは、界磁マグネットを含む可動子は、横向きの略Ｕ字状の断面形状を有しており、その開口部は水平方向を向いている。電機子コイルは固定子の磁気的空隙に進入すると共に、開口部から外向きに張出した部分が電機子ホルダにより固定用のベースに取付けられている。つまり、電機子コイルは片持ち構造であり、電機子ホルダから遠い先端部分は振動し易い。この構成で、推力を高めるため、電機子コイルの横幅を大きくすると、その剛性が低下して固有振動数が低下する問題がある。
【０００５】
また、可動子が電機子コイルを囲む構成では、電機子コイルは可動方向の両端が支持手段によってベースに固定される。この構成では、ストロークを長くするために、電機子コイルを長くすると中間領域が撓みやすくなり、固有振動数が低下する問題がある。
これらから、本発明者らは、リニアモータには電機子コイルの撓みを抑えて固有振動数の低下を抑制する観点から、改善する余地があることを認識した。
【０００６】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、その目的は、コイルモジュールの固有振動数の低下を抑制することが可能なリニアモータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のある態様のリニアモータは、空隙を挟んで互いに対向する一対の界磁磁石を有する可動子と、空隙を通って可動子の可動方向に延在するコイルモジュールを有する固定子と、を備えるリニアモータであって、一対の界磁磁石の互いに対向する面は、可動方向および可動方向と直交する幅方向に延在し、一対の界磁磁石の一方は、可動方向に延びる隙間を挟んで幅方向に離間して配置される第１、第２界磁磁石を含む。固定子は、コイルモジュールから隙間を通って延出し、コイルモジュールを支持するコイル支持部を有する。
【０００８】
この態様によると、コイルモジュールを第１、第２磁石の間の隙間を通って延出コイル支持部によって支持することができる。
【０００９】
本発明の別の態様もまた、リニアモータである。このリニアモータは、空隙を挟んで対向する一対の界磁磁石を有する可動子と、空隙を通って可動子の可動方向に延在するコイルモジュールを有する固定子と、を備えるリニアモータであって、一対の界磁磁石の互いに対向する面は、可動方向および可動方向に直交する幅方向に延在し、一対の界磁磁石のそれぞれは、幅方向に離間して配置される第１、第２界磁磁石を含む。コイルモジュールは、幅方向に離間して配置される第１、第２コイルモジュールを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、コイルモジュールの固有振動数の低下を抑制することが可能なリニアモータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るリニアモータを示す平面図である。
【図２】図１のリニアモータのＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１のコイルモジュールのコイル配置の第１の例を示す平面図である。
【図４】図１のコイルモジュールのコイル配置の第２の例を示す平面図である。
【図５】図１のリニアモータに別構成のヨークを適用した例を示す側断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係るリニアモータを示す平面図である。
【図７】図６のリニアモータのＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】図６のコイルモジュールのコイル配置を示す平面図である。
【図９】図６のリニアモータに別構成のヨークを適用した例を示す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を好適な実施形態をもとに各図面を参照しながら説明する。実施形態および変形例では、同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において実施形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。
【００１３】
なお、以下の説明において、「平行」、「垂直」は、完全な平行、垂直だけではなく、誤差の範囲で平行、垂直からずれている場合も含むものとする。また、「略」は、おおよそその意味であることを示す。
また、第１、第２などの序数を含む用語は多様な構成要素を説明するために用いられるが、この用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的でのみ用いられ、この用語によって構成要素が限定されるものではない。
また、リニアモータは、可動子が円弧状など湾曲した軌道を移動するものを含み、可動子が直線状の軌道を移動するものに限定されない。
【００１４】
［第１実施形態］
図１〜図４を参照して、本発明の第１実施形態に係るリニアモータ１００の構成について説明する。図１は、第１実施形態に係るリニアモータ１００を示す平面図である。図２はリニアモータ１００のＡ−Ａ線に沿った側断面図である。
【００１５】
以下、主にＸＹＺ直交座標系をもとに説明する。Ｙ軸方向およびＺ軸方向はそれぞれＸ軸方向に直交する。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のそれぞれの正の方向は、各図における矢印の方向に規定され、負の方向は、矢印と逆向きの方向に規定される。また、Ｘ軸の正方向側を「右側」、Ｘ軸の負方向側を「左側」ということもある。また、Ｙ軸の正方向側を「前側」、Ｙ軸の負方向側を「後側」、Ｚ軸の正方向側を「上側」、Ｚ軸の負方向側を「下側」ということもある。このような方向の表記はリニアモータ１００の使用姿勢を制限するものではなく、リニアモータ１００は、用途に応じて任意の姿勢で使用されうる。
【００１６】
（リニアモータ）
リニアモータ１００は、固定子１０と、可動子５０と、を備える。可動子５０は磁気的空隙６０に界磁磁束を供給する。固定子１０は、磁気的空隙６０において可動子５０に可動方向の推力を生じさせる。
【００１７】
（可動子）
先に可動子５０を説明する。可動子５０は、界磁磁石５２と、ヨーク５４と、スペーサ５６と、を含む。
【００１８】
（界磁磁石）
界磁磁石５２は、磁気的空隙６０を挟んで互いに対向方向に対向して配置される一対の界磁磁石５２ｍ、５２ｎを含む。一対の界磁磁石５２ｍ、５２ｎの互いに対向する面は、可動方向および可動方向と直交する幅方向に延在する。本実施形態では、可動方向はＸ軸方向に一致し、幅方向はＹ軸方向に一致し、対向方向はＺ軸方向に一致する。第１実施形態では、界磁磁石５２ｍは、２つの磁石５２ａ、５２ｂを含む。また、界磁磁石５２ｎは、２つの磁石５２ｃ、５２ｄを含む。磁石５２ａ〜５２ｄは、平面視略矩形状であり、Ｚ軸方向に薄い板状の永久磁石である。磁石５２ａ〜５２ｄは、それぞれ１ピースであってもよいし、それぞれ複数のピースから構成されてもよい。また、磁石５２ａと５２ｂとは、一体的に形成された同一の磁石であってもよい。
【００１９】
２つの磁石５２ａ、５２ｂは、Ｘ軸方向に延びる隙間５２ｐを挟んでＹ軸方向に離間して配置される。２つの磁石５２ｃ、５２ｄは、Ｘ軸方向に延びる隙間５２ｑを挟んでＹ軸方向に離間して配置される。隙間５２ｑは、Ｙ軸方向に対向する隙間である。隙間５２ｑは、後述する固定子１０のコイル支持部２８が貫通するための隙間である。
【００２０】
磁石５２ａ、５２ｃは、コイルモジュール２０を挟んで互いにＺ軸方向に対向する。磁石５２ｂ、５２ｄは、コイルモジュール２０を挟んで互いにＺ軸方向に対向する。つまり、磁石５２ａ、５２ｃは、その対向隙間を第１磁気的空隙６０ａとして、後述するヨーク５４と共に第１の磁気回路５０ａを構成する。また、磁石５２ｂ、５２ｄは、その対向隙間を第２磁気的空隙６０ｂとして、後述するヨーク５４と共に第２の磁気回路５０ｂを構成する。
【００２１】
磁石５２ａ〜５２ｄの磁気的空隙６０に対面する表面には、Ｘ軸方向に所定の間隔で配列された複数（例えば、６極）の磁極が設けられる。磁石５２ａ〜５２ｄは、公知の様々な磁石材料で形成されてもよく、この例では、磁石５２ａ〜５２ｄは、ＮｄＦｅＢなどの希土類磁石材料で形成されている。磁石５２ａ〜５２ｄは、接着など公知の手段によってヨーク５４に固定される。
【００２２】
（ヨーク）
第１実施形態のヨーク５４は、第１ヨーク５４ａと、第２ヨーク５４ｂと、第３ヨーク５４ｃと、を含む。ヨーク５４は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に延在してＺ軸方向に薄い板状の軟磁性部材である。第１ヨーク５４ａは、２つの磁石５２ａ、５２ｂの磁気的空隙６０とは反対側に配置される。第２ヨーク５４ｂは、磁石５２ｃの第１磁気的空隙６０ａとは反対側に配置される。第３ヨーク５４ｃは、磁石５２ｄの第２磁気的空隙６０ｂとは反対側に配置される。つまり、第２ヨーク５４ｂおよび第３ヨーク５４ｃは、磁石５２〜５２ｄおよび磁気的空隙６０ａ、６０ｂを挟んで、第１ヨーク５４ａと平行に配置される。
【００２３】
第２ヨーク５４ｂおよび第３ヨーク５４ｃは、互いにＹ軸方向に離間して配置され、その間には、隙間５４ｑが形成される。隙間５４ｑは、Ｙ軸方向に対向する隙間であり、Ｘ軸方向に延びている。隙間５４ｑは、後述する固定子１０のコイル支持部２８が貫通するための隙間であり、隙間５２ｑとつながっている。
【００２４】
スペーサ５６は、第１ヨーク５４ａと第２ヨーク５４ｂのＺ軸方向の間隔を保持する第１スペーサ５６ａと、第１ヨーク５４ａと第３ヨーク５４ｃのＺ軸方向の間隔を保持する第２スペーサ５６ｂと、を含む。第１スペーサ５６ａは、第２ヨーク５４ｂの第３ヨーク５４ｃから遠い側のＹ軸方向端部に設けられ、Ｘ軸方向に延びる角柱状の部材である。第２スペーサ５６ｂは、第３ヨーク５４ｃの第２ヨーク５４ｂから遠い側のＹ軸方向端部に設けられ、Ｘ軸方向に延びる角柱状の部材である。この例では、第２ヨーク５４ｂは、第１スペーサ５６ａを挟んで、第１ヨーク５４ａにボルト５６ｅとナット５６ｆとによって固定される。また、第３ヨーク５４ｃは、第２スペーサ５６ｂを挟んで、第１ヨーク５４ａにボルト５６ｅとナット５６ｆとによって固定される。
【００２５】
（固定子）
次に、固定子１０について説明する。図２に示すように固定子１０は、コイルモジュール２０と、コイル支持部２８と、固定部３０と、を含む。コイルモジュール２０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に延在し、Ｚ軸方向に薄い板状のモジュールである。コイルモジュール２０は、磁気的空隙６０をＸ軸方向に貫通する。
【００２６】
コイル支持部２８は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に延在してＹ軸方向に薄い板状の部材で、コイルモジュール２０を支持する。コイル支持部２８は、コイルモジュール２０を設置対称のベース（不図示）に取付けるための支持部材である。ベースは、例えば、被駆動装置におけるリニアモータ１００の設置部分である。コイル支持部２８には、各コイル２６に駆動電流を供給するための配線（不図示）が埋め込まれている。コイル支持部２８は、コイルモジュール２０から隙間５２ｑおよび隙間５４ｑを貫通してＺ軸方向に延出し、固定部３０に至る。固定部３０はベースに固定される部分である。本実施形態では、コイル支持部２８および固定部３０は、コイルモジュール２０の樹脂２０ｍと一体的に形成されている。
【００２７】
コイル支持部２８は、コイルモジュール２０のＹ軸方向中心の近傍から延出してもよい。なお、Ｙ軸方向中心からコイルモジュール２０のＹ軸方向幅の±２０％の範囲をＹ軸方向中心の近傍という。この場合、コイル支持部２８からコイルモジュール２０のＹ軸方向の両端までの距離を略等しくすることができるので、樹脂成形時の収縮が両側で均等になり、不等収縮による傾斜等を生じ難い。コイル支持部２８は、コイルモジュール２０のＹ軸方向中心を避けた位置から延出してもよい。この場合、リニアモータ１００の形状設計の自由度が増し、リニアモータ１００の形状を設置空間の形状に適合させることが容易になる。
【００２８】
本実施形態のコイルモジュール２０は、複数のコイル２６を含む。コイル２６は、Ｚ軸の周りを周回するように巻かれたワイヤから構成される空芯コイルである。コイル２６は、平面視において、四隅にＲ形状を有する略矩形または略長円の輪郭を有する。コイル２６に駆動電流が供給されると、コイル２６は磁気的空隙６０にＺ軸方向の磁束を発生させる。
【００２９】
図３は、コイルモジュール２０のコイル２６の配置の第１の例を示す平面図である。この図では、２つの磁石５２ａ、５２ｂの位置を破線で示している。第１の例のコイルモジュール２０では、複数のコイル２６はＸ軸方向に１列に配列されている。コイル２６は、磁石５２ａおよび磁石５２ｂと対向するように、Ｙ軸方向において、コイルモジュール２０のコイル配置領域の略全幅に亘って延在している。
【００３０】
図４は、コイルモジュール２０のコイル２６の配置の第２の例を示す平面図である。この図では、２つの磁石５２ａ、５２ｂの位置を破線で示している。第２の例のコイルモジュール２０では、複数のコイル２６はＸ軸方向に２列に配列されている。つまり、第２の例のコイルモジュール２０は、Ｙ軸方向に離間して設けられる第１コイル群２６ａと、第２コイル群２６ｂと、を有し、各コイル群２６ａ、２６ｂは、それぞれＸ軸方向に配列された複数のコイル２６を含む。第１コイル群２６ａは、一方の磁石５２ａと対向するように、Ｙ軸方向において、コイルモジュール２０のコイル配置領域の略半幅に亘って延在している。第２コイル群２６ｂは、他方の磁石５２ｂと対向するように、Ｙ軸方向において、コイルモジュール２０のコイル配置領域の略半幅に亘って延在している。
【００３１】
コイルモジュール２０の製造方法を説明する。一例として、コイルモジュール２０は、複数のコイル２６が配置された金型内に樹脂２０ｍを注入して成形するインサート成形によって製造することができる。この場合、コイル支持部２８および固定部３０を一体に製造することができる。別の一例として、コイルモジュール２０は、複数のコイル２６が配置されたケース（不図示）内に樹脂２０ｍを注入して製造することができる。この場合、樹脂成型用の金型を用いないので、コイルモジュール２０の形状を容易に変更することができる。これらの製造方法はあくまでも一例であって、コイルモジュール２０は、その他の製造方法によって形成されてもよい。
【００３２】
このように構成されたリニアモータ１００の動作を説明する。図示しない駆動回路からコイルモジュール２０に駆動電流が供給されると、コイルモジュール２０は磁気的空隙６０に磁束を供給し、可動子５０の界磁磁石５２にＸ軸方向の推力を発生させる。リニアモータ１００は、この推力により可動子５０に連結された駆動対象を駆動する。
【００３３】
このように構成されたリニアモータ１００では、コイルモジュール２０が幅方向（Ｙ軸方向）の端部を避けた中間領域で支持されているので、端部で支持される場合より撓みを生じ難い。このため、推力を高めるためにコイルモジュールのＹ軸方向の幅を大きくした場合に、固有振動数の低下を抑制することができる。
【００３４】
次に、図５を参照して、ヨーク５４の別の構成を適用した本実施形態のリニアモータ１００Ｂについて説明する。図５は、別構成のヨーク５４を適用したリニアモータ１００Ｂを示す側断面図である。リニアモータ１００Ｂは、第１ヨーク５４ａに代えて第４ヨーク５４ｈおよび第５ヨーク５４ｊを含む点でリニアモータ１００と相違し、他の構成は同様である。第１ヨーク５４ａが可動子５０のＹ軸方向の略全幅に亘って延在しているのに対して、第４ヨーク５４ｈおよび第５ヨーク５４ｊは、略半分の幅に分割されている。
【００３５】
第４ヨーク５４ｈおよび第５ヨーク５４ｊは、互いにＹ軸方向に離間して配置され、その間には、隙間５４ｐが形成される。隙間５４ｐは、Ｙ軸方向に対向する隙間であり、Ｘ軸方向に延びている。隙間５４ｐは、隙間５２ｐとつながっている。
【００３６】
このように構成することによって、第４ヨーク５４ｈ、磁石５２ａ、５２ｃおよび第２ヨーク５４ｂは、第１の磁気回路５０ａを構成し、第５ヨーク５４ｊ、磁石５２ｂ、５２ｄおよび第３ヨーク５４ｃは、第２の磁気回路５０ｂを構成する。つまり、可動子５０は磁気回路５０ａ、５０ｂに対応して分割された別個のユニットとして製造することができる。例えば、固定子１０を駆動対象機器に強固に固定し、その後に、互いの位置を調整しながら２分割された可動子５０を取付けることができる。この場合、駆動対象機器の状況に応じた柔軟な手順により可動子５０を取付けることができる。
【００３７】
リニアモータ１００Ｂには、図３に示した第１の例のコイル配置を適用してもよいし、図４に示した第２の例のコイル配置を適用してもよい。
【００３８】
リニアモータ１００Ｂは、リニアモータ１００と同様に動作し、リニアモータ１００と同様の作用効果を奏する。
【００３９】
［第２実施形態］
図６〜図８を参照して、本発明の第２実施形態に係るリニアモータ２００の構成について説明する。本実施形態の図面および説明では、第１実施形態と同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付する。第１実施形態と重複する説明を適宜省略し、第１実施形態と相違する構成について重点的に説明する。図６は、第２実施形態に係るリニアモータ２００を示す平面図である。図７は、リニアモータ２００のＢ−Ｂ線に沿った側断面図である。図８は、コイルモジュール２０のコイル２６の配置を示す平面図である。
【００４０】
本実施形態の可動子５０は、図５に示した第１の磁気回路５０ａと第２の磁気回路５０ｂとをＹ軸方向に反転させて、スペーサ５６ａ、５６ｂ側を背中合わせに並べた構成を有する。
【００４１】
本実施形態の固定子１０は、Ｙ軸方向に離間して配置された２つのコイルモジュール２０（１）、２０（２）を含む。コイルモジュール２０（１）、２０（２）の間には、Ｘ軸方向に延びる隙間２０ｓが介在する。隙間２０ｓには、スペーサ５６ａ、５６ｂがＺ軸方向に貫通する。可動子５０が移動する際に、スペーサ５６ａ、５６ｂは隙間２０ｓ内をＸ軸方向に移動することができる。
【００４２】
各コイルモジュール２０（１）、２０（２）には、Ｙ軸方向で外側の端部からＺ軸方向に延出するコイル支持部２８が設けられる。コイル支持部２８には、コイル支持部２８の延出端からＹ軸方向で外向きに延びる固定部３０が設けられる。この例では、コイル支持部２８および固定部３０は、各コイルモジュール２０（１）、２０（２）の樹脂２０ｍと一体的に形成されている。
【００４３】
また、コイルモジュール２０（１）は、第１の磁気回路５０ａの第１磁気的空隙６０ａに配置され、コイルモジュール２０（２）は、第２の磁気回路５０ｂの第２磁気的空隙６０ｂに配置される。図示しない駆動回路からコイルモジュール２０（１）に駆動電流が供給されると、コイルモジュール２０（１）は、第１磁気的空隙６０ａに磁束を供給し、磁石５２ａ、５２ｃにＸ軸方向の推力を発生させる。同様にコイルモジュール２０（２）に駆動電流が供給されると、コイルモジュール２０（２）は、第２磁気的空隙６０ｂに磁束を供給し、磁石５２ｂ、５２ｄにＸ軸方向の推力を発生させる。リニアモータ２００は、これらの推力により可動子５０に連結された駆動対象を駆動する。
【００４４】
このように構成されたリニアモータ２００では、コイルモジュール２０が幅方向（Ｙ軸方向）に分割されているため、非分割の場合より撓みを生じ難い。このため、推力を高めるためにリニアモータ２００のＹ軸方向の幅を大きくした場合にも、コイルモジュール２０の固有振動数の低下を抑制することができる。
【００４５】
また、ヨーク５４ｈ、磁石５２ａ、コイルモジュール２０（１）、磁石５２ｃおよびヨーク５４ｂは、第１のリニアモータ２００（１）を構成し、ヨーク５４ｊ、磁石５２ｂ、コイルモジュール２０（２）、磁石５２ｄおよびヨーク５４ｃは、第２のリニアモータ２００（２）を構成することができる。つまり、リニアモータ２００（１）、２００（２）は、Ｙ軸方向に分割された別個のユニットとして製造することができる。
【００４６】
次に、図９を参照して、ヨーク５４の別の構成を適用した本実施形態のリニアモータ２００Ｂについて説明する。図９は、別構成のヨーク５４を適用したリニアモータ２００Ｂを示す側断面図である。リニアモータ２００Ｂは、第４ヨーク５４ｈおよび第５ヨーク５４ｊに代えて第６ヨーク５４ｍを含み、第２ヨーク５４ｂおよび第３ヨーク５４ｃに代えて第７ヨーク５４ｎを含み、第２スペーサ５６ｂを含まない点でリニアモータ２００と相違し、他の構成は同様である。第６ヨーク５４ｍは、ヨーク５４ｈ、５４ｊを連結して一体化した形状を有する。第７ヨーク５４ｎは、ヨーク５４ｂ、５４ｃを連結して一体化した形状を有する。したがって、第６ヨーク５４ｍおよび第７ヨーク５４ｎは、可動子５０のＹ軸方向の略全幅に亘って延在している。
【００４７】
このように構成することによって、リニアモータ２００Ｂは、リニアモータ２００と比べて、可動子５０を一体的に形成することができ、また部品点数を削減することができる。
【００４８】
リニアモータ２００Ｂは、リニアモータ２００と同様に動作し、リニアモータ２００と同様の作用効果を奏する。
【００４９】
以上、本発明の各実施形態について詳細に説明した。この各実施形態は、いずれも本発明を実施するにあたっての具体例を示したものにすぎない。この各実施形態の内容は、本発明の技術的範囲を限定するものではなく、請求の範囲に規定された発明の思想を逸脱しない範囲において、構成要素の変更、追加、削除等の多くの設計変更が可能である。また、図面の断面に付したハッチングは、ハッチングを付した対象の材質を限定するものではない。
【００５０】
以下、変形例について説明する。変形例の図面および説明では、実施形態と同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付する。実施形態と重複する説明を適宜省略し、実施形態と相違する構成について重点的に説明する。
【００５１】
［変形例］
第２実施形態の説明では、リニアモータ２００（１）とリニアモータ２００（２）のＹ軸方向の幅が同じである例を示したが、本発明はこれに限定されない。リニアモータ２００（１）とリニアモータ２００（２）のＹ軸方向の幅は異なっていてもよい。
【００５２】
第２実施形態の説明では、２つのコイル支持部２８がコイルモジュールに対して直角に屈曲し、互いに同方向に延伸する例を示したが、本発明はこれに限定されない。２つのコイル支持部２８は互いに異なる方向に延伸してもよい。また、コイル支持部２８はコイルモジュールに対して直角以外の角度で屈曲してもよいし、屈曲せずにコイルモジュールと同じ方向に延伸してもよい。
【００５３】
実施形態の説明では、一対のヨーク５４とスペーサ５６とは別々に形成される例を示したが、本発明はこれに限定されない。一対のヨーク５４とスペーサ５６とは、シームレスに一体に形成されてもよい。ヨーク５４とスペーサ５６とは溶接によって固定されてもよい。
【００５４】
実施形態の説明では、複数のコイル２６が樹脂２０ｍに包まれる例を示したが、本発明はこれに限定されない。複数のコイル２６は、別の連結手段によって連結されてもよい。
【００５５】
実施形態の説明では、コイル２６が空芯コイルである例を示したが、本発明はこれに限定されない。コイル２６は、有鉄芯コイルであってもよい。
【００５６】
実施形態の説明では、コイル支持部２８および固定部３０が、コイルモジュール２０の樹脂２０ｍと一体的に形成される例を示したが、本発明はこれに限定されない。コイル支持部２８および固定部３０は、コイルモジュール２０とは別に形成されて、結合されてもよい。
【００５７】
上述の各変形例は、実施形態と同様の作用・効果を奏する。
【００５８】
上述した各実施形態と変形例の任意の組み合わせもまた本発明の実施形態として有用である。組み合わせによって生じる新たな実施形態は、組み合わされる各実施形態および変形例それぞれの効果をあわせもつ。
【符号の説明】
【００５９】
１０・・固定子、  ２０・・コイルモジュール、  ２０ｓ・・隙間、  ２６・・コイル、  ２８・・コイル支持部、  ３０・・固定部、  ５０・・可動子、  ５２・・界磁磁石、  ５２ａ〜５２ｄ・・磁石、  ５２ｍ、５２ｎ・・界磁磁石、  ５２ｐ、５２ｑ・・隙間、  ５４・・ヨーク、  ６０・・磁気的空隙、  １００、１００Ｂ、２００、２００Ｂ・・リニアモータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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