(57)【要約】【課題】クリーニング効果を維持しつつ、クリーニング部材の消費量及びクリーニング部材の交換の手間を低減することができる技術を提供すること。【解決手段】接触駆動部２４０がソケット取付部２５０及びクリーニング部材取付部２２０のうちの一方を一方から他方に向けて移動させて、検査用ソケット４０のコンタクトプローブ４２とクリーニング部材３０とのうちの一方を他方に接触させる第１動作を行う。接触位置変更部２１０がソケット取付部２５０又はクリーニング部材取付部２２０を、第１動作の後に第１動作の方向に対して直交する面内で移動させて、コンタクトプローブ４２とクリーニング部材３０との相対位置を変更する第２動作を行う。第１動作と第２動作とを所定順に行う。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体パッケージを検査するためのコンタクトプローブが配列された検査用ソケットをクリーニングするクリーニング装置であって、
前記検査用ソケットを着脱可能に保持するソケット取付部と、
前記コンタクトプローブをクリーニングするクリーニング部材を交換可能に保持するクリーニング部材取付部と、
前記ソケット取付部及び前記クリーニング部材取付部の一方を一方から他方に向けた第１の方向に移動させて、前記ソケット取付部が保持する前記検査用ソケットの前記コンタクトプローブと、前記クリーニング部材取付部が保持する前記クリーニング部材とのうちの一方を他方に接触させる第１動作を行う接触駆動部と、
前記ソケット取付部又は前記クリーニング部材取付部を、前記第１動作の後に前記第１の方向に対して直交する面内で移動させて、前記コンタクトプローブと前記クリーニング部材との相対位置を変更する第２動作を行う接触位置変更部と、
前記接触駆動部に前記第１動作を作動させる第１制御と、前記接触位置変更部に前記第２動作を作動させる第２制御とを所定順に行う制御部と、
を備えたクリーニング装置。
【請求項２】
前記接触位置変更部は、前記ソケット取付部及び前記クリーニング部材取付部の前記他方を移動させる、
請求項１に記載のクリーニング装置。
【請求項３】
前記ソケット取付部は、前記コンタクトプローブを前記クリーニング部材に向けて前記検査用ソケットを着脱可能に保持し、
前記クリーニング部材取付部は、前記ソケット取付部の下方に、前記クリーニング部材のクリーニング面を前記検査用ソケットに向けて前記クリーニング部材を着脱可能に保持する、
請求項１又は２に記載のクリーニング装置。
【請求項４】
前記接触駆動部は、前記ソケット取付部を上下方向に移動させ、
前記接触位置変更部は、前記クリーニング部材取付部を前記上下方向に対する垂直方向に移動させる、
請求項３に記載のクリーニング装置。
【請求項５】
前記ソケット取付部は、複数の前記検査用ソケットが配列されたボードを着脱可能に保持し、
前記クリーニング部材は、クリーニング面が、前記ボードに配列された複数の前記検査用ソケットのうち、所定数分の前記検査用ソケットに対応する面積を有し、
前記制御部は、前記所定数の前記検査用ソケットに対して前記接触駆動部による前記第１動作と前記接触位置変更部による前記第２動作とを所定順に行うことで、当該所定数の前記検査用ソケットに係るクリーニング処理を完了とする、
請求項１〜４の何れか一項に記載のクリーニング装置。
【請求項６】
前記ボードには、行方向及び列方向に複数の前記検査用ソケットが配列され、
前記制御部は、行方向及び列方向の一方の前記検査用ソケットに対して、前記第１動作を実行するように前記接触駆動部及び前記接触位置変更部を制御した後に、前記行方向及び列方向の他方の前記検査用ソケットに対して、前記第１動作を実行するように前記接触駆動部及び前記接触位置変更部を制御する、
請求項５に記載のクリーニング装置。
【請求項７】
１回の前記第２動作による前記第１の方向に対して直交する面内での移動量は、前記コンタクトプローブの配列間隔より短い、
請求項１〜６の何れか一項に記載のクリーニング装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記第１動作に係るパラメータとして、前記第１の方向への移動量、移動速度及び接触回数のうちの少なくとも１つを設定変更可能である、
請求項１〜７の何れか一項に記載のクリーニング装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記第２動作に係るパラメータとして、前記第１の方向に対して直交する面内での移動量を設定変更可能である、
請求項１〜８の何れか一項に記載のクリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体パッケージを検査するためのコンタクトプローブが配列された検査用ソケットをクリーニングするクリーニング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体パッケージの製造工程には、半導体パッケージに組み込まれた半導体集積回路が正常に作動するかを確認するための検査工程が含まれる。検査工程では、検査対象とする半導体パッケージを、コンタクトプローブが配列された検査用ソケットに押し当てることで、半導体パッケージのパッド部とコンタクトプローブを接触させて通電検査を行う。
【０００３】
具体的には、例えば特許文献１に、コンタクトプローブの先端が突出している検査用ソケットの位置決め開口部に半導体パッケージを押し当てる構成が開示されている。
【０００４】
検査用ソケットは何度も繰り返して使用されるうちに検査用ソケットのコンタクトプローブに異物が付着する等のクリーニングが必要な状態となる。そこで、検査用ソケットは定期的にクリーニングされて使用される。
【０００５】
従来のクリーニング法は、例えば、特許文献２に記載されているように、半導体パッケージの代わりにクリーニング部材（当該文献におけるラビング部材）を装着して、検査工程と同じ動作を行わせることで、検査用ソケットをクリーニングする技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−９３５０６号公報
【特許文献２】特開２００２−１５６４０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献２のような従来のクリーニング法では、検査工程で通電検査される半導体パッケージと同じようにクリーニング部材がコンタクトプローブに接触することになるため、クリーニング部材がコンタクトプローブに接触する箇所は固定である。そのため、クリーニングを１回行うとクリーニング部材が摩耗するので、その後のクリーニング効果は劣る。高いクリーニング効果を維持するためにはクリーニング部材を検査用ソケットに１回押し当てる毎にクリーニング部材を交換する必要がある。クリーニング部材の消費量や交換する手間が問題となっていた。
【０００８】
本発明は、上述した課題に鑑みて考案されたものであり、その目的とするところは、クリーニング効果を維持しつつ、クリーニング部材の消費量及びクリーニング部材の交換の手間を低減することができる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決するための本発明の第１の態様は、半導体パッケージを検査するためのコンタクトプローブが配列された検査用ソケットをクリーニングするクリーニング装置であって、前記検査用ソケットを着脱可能に保持するソケット取付部と、前記コンタクトプローブをクリーニングするクリーニング部材を交換可能に保持するクリーニング部材取付部と、前記ソケット取付部及び前記クリーニング部材取付部の一方を一方から他方に向けた第１の方向に移動させて、前記ソケット取付部が保持する前記検査用ソケットの前記コンタクトプローブと、前記クリーニング部材取付部が保持する前記クリーニング部材とのうちの一方を他方に接触させる第１動作を行う接触駆動部と、前記ソケット取付部又は前記クリーニング部材取付部を、前記第１動作の後に前記第１の方向に対して直交する面内で移動させて、前記コンタクトプローブと前記クリーニング部材との相対位置を変更する第２動作を行う接触位置変更部と、前記接触駆動部に前記第１動作を作動させる第１制御と、前記接触位置変更部に前記第２動作を作動させる第２制御とを所定順に行う制御部と、を備えたクリーニング装置である
【００１０】
第１の態様によれば、第１動作を行うことでコンタクトプローブとクリーニング部材とのうちの一方を他方に接触させた後に、第２動作を行うことでクリーニング部材とコンタクトプローブとの相対位置を変えることができる。よって、クリーニング効果を高く維持しつつ、クリーニング部材の交換頻度を抑制し、クリーニング部材の消費量の低減を実現することができる。
【００１１】
第２の態様は、前記接触位置変更部が、前記ソケット取付部及び前記クリーニング部材取付部の前記他方を移動させる、第１の態様のクリーニング装置である。
【００１２】
第２の態様によれば、ソケット取付部を移動させる構成要素と、クリーニング部材取付部の位置を移動させる構成要素とを分けて移動機構を実現することができる。
【００１３】
第３の態様は、前記ソケット取付部が、前記コンタクトプローブを前記クリーニング部材に向けて前記検査用ソケットを着脱可能に保持し、前記クリーニング部材取付部は、前記ソケット取付部の下方に、前記クリーニング部材のクリーニング面を前記検査用ソケットに向けて前記クリーニング部材を着脱可能に保持する、第１又は第２の態様のクリーニング装置である。
【００１４】
第３の態様によれば、クリーニングの過程でコンタクトプローブから異物が自然落下することを期待できる。
【００１５】
第４の態様は、前記接触駆動部が、前記ソケット取付部を上下方向に移動させ、前記接触位置変更部は、前記クリーニング部材取付部を前記上下方向に対する垂直方向に移動させる、第３の態様のクリーニング装置である。
【００１６】
第４の態様によれば、例えば、接触駆動部を直動機構で構成し、接触位置変更部をＸＹテーブル機構で構成することができる。
【００１７】
第５の態様は、前記ソケット取付部が、複数の前記検査用ソケットが配列されたボードを着脱可能に保持し、前記クリーニング部材は、クリーニング面が、前記ボードに配列された複数の前記検査用ソケットのうち、所定数分の前記検査用ソケットに対応する面積を有し、前記制御部は、前記所定数の前記検査用ソケットに対して前記接触駆動部による前記第１動作と前記接触位置変更部による前記第２動作とを所定順に行うことで、当該所定数の前記検査用ソケットに係るクリーニング処理を完了とする、第１〜第４の何れかの態様のクリーニング装置である。
【００１８】
ここで言う「ボード」は、複数の検査用ソケットを一体的に保持することができる構造体である。ボードは、例えば、半導体検査装置においてボードに保持された複数の半導体パッケージをまとめて検査するために半導体検査装置に装着される。
第５の態様によれば、複数の検査用ソケットを保持したボードのまま、各検査用ソケットのクリーニングを実行できる。
【００１９】
第６の態様は、前記ボードには、行方向及び列方向に複数の前記検査用ソケットが配列され、前記制御部は、行方向及び列方向の一方の前記検査用ソケットに対して、前記第１動作を実行するように前記接触駆動部及び前記接触位置変更部を制御した後に、前記行方向及び列方向の他方の前記検査用ソケットに対して、前記第１動作を実行するように前記接触駆動部及び前記接触位置変更部を制御する、第５の態様のクリーニング装置である。
【００２０】
第６の態様によれば、行方向と列方向とに配列して保持されている複数の検査用ソケットを、行方向や列方向の並びに沿って順次クリーニングできる。
【００２１】
第７の態様は、１回の前記第２動作による前記第１の方向に対して直交する面内での移動量は、前記コンタクトプローブの配列間隔より短い、第１〜第６の何れかの態様のクリーニング装置である。
【００２２】
第７の態様によれば、１回の第２動作によって第１の方向に直交する方向へ移動する移動量を、コンタクトプローブの配列間隔より短くすることができる。
【００２３】
第８の態様は、前記制御部が、前記第１動作に係るパラメータとして、前記第１の方向への移動量、移動速度及び接触回数のうちの少なくとも１つを設定変更可能である、第１〜第７の何れかの態様のクリーニング装置である。
【００２４】
第８の態様によれば、第１動作を、検査用ソケットやクリーニング部材に応じて調整することが可能になる。
【００２５】
第９の形態は、前記制御部が、前記第２動作に係るパラメータとして、前記第１の方向に対して直交する面内での移動量を設定変更可能である、第１〜第８の何れかの態様のクリーニング装置である。
【００２６】
第９の態様によれば、第１動作を、検査用ソケットやクリーニング部材に応じて調整することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】クリーニング装置の構成例を示す図。
【図２】クリーニング機構部の構成例を示す正面図。
【図３】クリーニング機構部の構成例を示す正面向かって右側の側面図。
【図４】検査用ソケットと、クリーニング部材とのサイズ関係と、初期状態の相対位置関係を説明するための図。
【図５】クリーニングの基本的な考え方について説明するための図。
【図６】クリーニング部材へのコンタクトプローブの接触の痕が増えていく様子の例を示す図。
【図７】ＩＣメモリに記憶されるプログラムやデータの例を説明するための図。
【図８】設定ファイルのデータ構成例を示す図。
【図９】クリーニング装置動作の流れを説明するためのフローチャート。
【図１０】変形例その１におけるクリーニング機構部の構成例を示す正面図。
【図１１】変形例その２におけるクリーニング機構部の構成例を示す正面図。
【図１２】変形例その３におけるクリーニング機構部の構成例を示す正面図。
【図１３】変形例その４におけるクリーニング機構部の構成例を示す正面図。
【図１４】変形例その５におけるクリーニング機構部の構成例を示す正面図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明を適用した実施形態の一例を説明するが、本発明を適用可能な形態が以下の実施形態に限られないことは勿論である。なお、実施形態は、以下の実施形態に限られるものではない。また、１つの実施形態に記載した内容は、原則として他の実施形態にも同様に適用される。また、各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることができる。
【００２９】
図１は、本実施形態におけるクリーニング装置１００の構成例を示す図である。尚、以降では、装置の左右方向をＸ方向とし、前後方向をＹ方向、上下方向をＺ方向と呼称するものとする。また、左右方向において矢印先端側を右側とし、前後方向において矢印先端側を前側とし、上下方向において矢印先端側を上側とする。
【００３０】
本実施形態のクリーニング装置１００は、検査用ソケットのコンタクトプローブとクリーニング部材とを接触させて、コンタクトプローブの先端に付着した異物をクリーニング部材に吸着させてクリーニングを行う装置である。
【００３１】
本実施形態のクリーニング装置１００は、図１に示すように、クリーニング機構部２００と、制御部４００とを備える。クリーニング機構部２００は、クリーニング作業を実行する機構部である。制御部４００は、クリーニング機構部２００の動作を制御する。本実施形態では、制御部４００をクリーニング機構部２００と別体のコンピュータとして図示および説明するが、制御部４００を制御基板やタッチパネル等で構成してクリーニング機構部２００と一体に構成することとしてもよい。
【００３２】
図２と図３は、本実施形態におけるクリーニング機構部２００の構成例を示す図であって、クリーニング開始前の初期状態を示している。図２は正面図、図３は正面向かって右側からクリーニング機構部２００を見た側面図である。なお、図２においては、クリーニング対象とされる検査用ソケットの一部を断面表示しているが、本実施形態のクリーニング装置１００でクリーニング可能な検査用ソケットの構成が図示されている例に限定されるものではない。
【００３３】
図１〜図３に示すように、本実施形態のクリーニング機構部２００は、１）台座２０１の上面に固定された接触位置変更部２１０と、２）接触位置変更部２１０の上面に固定されたクリーニング部材取付部２２０と、３）台座２０１の後端部から立ち上がって接触位置変更部２１０の上方へ延設された左右の支持フレーム部２３０と、４）支持フレーム部２３０によって接触位置変更部２１０の上方で支持された接触駆動部２４０と、５）接触駆動部２４０の下端に固定されたソケット取付部２５０と、を有する。
【００３４】
台座２０１は、装置の土台であって水平又は略水平に設置される。
【００３５】
接触位置変更部２１０は、クリーニング部材取付部２２０を、クリーニング動作の押し当て方向に対して直交する面内で移動させる機構部である。本実施形態では、クリーニング動作の押し当て方向は、Ｚ方向である上下方向とされるので、接触位置変更部２１０は、スライド面がＺ方向と直交するように設置されたＸＹテーブルにより実現される。なお、クリーニング動作の押し当て方向のことを第１の方向とも言い、ＸＹテーブルの移動方向を第２の方向とも言う。
【００３６】
具体的には、接触位置変更部２１０は、Ｘ方向直動機構部２１１とＹ方向直動機構部２１２とを有する。図２や図３に示すように、Ｘ方向直動機構部２１１は、Ｘ方向スライドテーブル２１１ｔをＸ方向にスライド自在に支持するとともに、Ｘ方向ステッピングモータ２１１ｍで駆動するボールネジ機構でＸ方向スライドテーブル２１１ｔを直動させる。Ｘ方向直動機構部２１１は、Ｙ方向直動機構部２１２のＹ方向スライドテーブル２１２ｔの上に形成されている。Ｙ方向スライドテーブル２１２ｔは、Ｙ方向にスライド自在に支持され、Ｙ方向ステッピングモータ２１２ｍで駆動するボールネジ機構でＹ方向スライドテーブル２１２ｔを直動させる。なお、Ｘ方向ステッピングモータ２１１ｍとＹ方向ステッピングモータ２１２ｍは、ともに制御部４００と信号線８１，８２で接続されており、制御部４００により駆動制御される。
【００３７】
クリーニング部材取付部２２０は、クリーニング対象の検査用ソケット４０のコンタクトプローブ４２をクリーニングするクリーニング部材３０を交換可能に保持する部材であって、接触位置変更部２１０の上面であるＸ方向スライドテーブル２１１ｔの上に固定されている。クリーニング部材取付部２２０の上面中央にはクリーニング部材３０を交換可能に装着するための装着凹部２２１が凹設されている。
【００３８】
また、クリーニング部材取付部２２０の上面左右それぞれには、下部リミッタ突起部２２２が突設されている。下部リミッタ突起部２２２は、その上端部が後述する上部リミッタ突起部２５５の下端部と突き当たることで、検査用ソケット４０のコンタクトプローブ４２がクリーニング部材３０に意図しない深さにまで押し当てられることを防止する。
【００３９】
クリーニング部材３０は、検査用ソケット４０のコンタクトプローブ４２をクリーニングするためのクリーニングシート３１を、基材３２の上に貼設する等して作られている。
【００４０】
接触駆動部２４０は、ソケット取付部２５０を移動させることで、ソケット取付部２５０に設置された検査用ソケット４０のコンタクトプローブ４２を、クリーニング部材取付部２２０に設置されたクリーニング部材３０に押し当てるように接触させるクリーニング動作（第１動作）を行う機構部である。
【００４１】
本実施形態では、接触駆動部２４０は直動機構により実現される。具体的には、接触駆動部２４０は、Ｚ方向ステッピングモータ２４０ｍで駆動されてボールネジがフレームに対して進退することで直動ロッド２４１が進退する直動機構とするが、その他のタイプの直動機構でも構わない。なお、Ｚ方向ステッピングモータ２４０ｍは、制御部４００と信号線８４で接続されており、制御部４００により駆動制御される。
【００４２】
ソケット取付部２５０は、クリーニング対象とされる検査用ソケット４０を着脱可能に保持するための板状部であって、接触駆動部２４０に固定されている。本実施形態では、直動ロッド２４１の下端部に固定されている。
【００４３】
ソケット取付部２５０の下面の左右中央には、取付ガイド溝２５１が設けられている。具体的には、ソケット取付部２５０の前方側端面から奥行き方向へ、図２における手前側から奥方向（Ｙ方向マイナス側）へ、検査用ソケット４０が固定されたソケットボード５０を挿抜するための取付ガイド溝２５１が設けられている。これに対応して、ソケットボード５０の左右の側面には、取付ガイド溝２５１に適合する凹凸形状が形成されている。ソケットボード５０を、取付ガイド溝２５１へ凹凸形状を合わせるようにして挿入することで、検査用ソケット４０がクリーニングに適した所定位置に位置決めされる。
【００４４】
ソケット取付部２５０の前方側には、装着されたソケットボード５０の位置を固定するためのバネ式の抜け止め２５３が設けられている。ソケットボード５０を挿入する際には、抜け止め２５３は、ソケットボード５０に押されて引っ込み、ソケットボード５０が押しこまれるとバネで再び突出して、挿入されたソケットボード５０の前端部に当接する。そして、ソケットボード５０を挿入方向へ僅かに付勢して、装着されたソケットボード５０の位置を固定し、クリーニング動作中にソケットボード５０の位置ズレが生じるのを防止する。
【００４５】
また、ソケット取付部２５０の左右には、上部リミッタ突起部２５５がそれぞれ下方に向けて突設されている。
【００４６】
図４は、本実施形態における検査用ソケット４０と、クリーニング部材３０とのサイズに関する相対的な関係と、初期状態の相対的な位置関係を説明するための図である。
図４（１）が検査用ソケット４０の正面視一部断面図、図４（２）が下面図、図４（３）が正面向かって右側から見た側面視一部断面図、である。なお、図示されているコンタクトプローブ４２の数や位置は、説明用のための一例であって、発明の適用可能な範囲がこれに限定されるものではない。図４（４）がクリーニング部材３０の上面図、図４（５）がクリーニング部材３０の正面図、図４（６）がクリーニング部材３０の正面向かって右側の側面図である。
【００４７】
本実施形態のクリーニング装置１００では、検査用ソケット４０のコンタクトプローブ４２と、クリーニング部材３０との一方を他方に押し当てて、コンタクトプローブ４２の先端に付着した異物をクリーニング部材３０に吸着させてクリーニングを行う。
【００４８】
本実施形態で例示する検査用ソケット４０は、コンタクトプローブ４２を、開口部４４の底部から突出している。開口部４４は、検査対象の半導体パッケージを所定位置に案内しつつ所定位置に位置決めするために、開口側が拡幅した有底の凹部である。
【００４９】
クリーニング部材３０は上面がクリーニング面となる。クリーニング面の面積は、開口部４４の底部４６よりも一回り小さく設定されているが、コンタクトプローブ４２が配置されている範囲よりは広く設定されている。
【００５０】
図５は、本実施形態におけるクリーニング装置１００のクリーニングの基本的な考え方について説明するための図であって、図５（１）〜図５（４）の順に状態遷移を示している。なお、図５（１）、図５（２）及び図５（４）については、検査用ソケット４０周りやクリーニング部材３０のクリーニング面を引出線の先に拡大して示している。
【００５１】
クリーニング開始前の初期状態（図２参照）では、クリーニング部材取付部２２０には、真新しい未使用のクリーニング部材３０が取り付けられ、ソケット取付部２５０には、クリーニング前の検査用ソケット４０が取り付けられている。ユーザが、これらの取付を確認して、所定のクリーニング開始操作を行うと、クリーニングが開始される。
【００５２】
そして、クリーニングが開始されると、制御部４００により、クリーニング部材３０に検査用ソケット４０を押し当てる動作制御が実行される。この動作を「クリーニング動作」と呼び、当該動作を実現するための制御を「第１制御」と呼称する。本実施形態では、第１制御によって、Ｚ方向ステッピングモータ２４０ｍが駆動され、図５（１）に示すように、接触駆動部２４０の直動ロッド２４１が下ろされる。そして、検査用ソケット４０をクリーニング部材３０に押し当てることになる。続いて、Ｚ方向ステッピングモータ２４０ｍが反転駆動され、図５（２）に示すように、接触駆動部２４０の直動ロッド２４１が再び元の位置に戻される。つまり、本実施形態における押し当て方向は「上から下」と言うことになる。
【００５３】
第１制御にともなって、コンタクトプローブ４２の先端がクリーニングシート３１へ差し込まれる格好になる。図５（２）の右側に示すクリーニング部材３０の上面図においては、クリーニングした位置を痕３３ａ（図示の例では、縦４列×横４列の白丸）として示す。
【００５４】
過去にクリーニングを行った位置である痕３３ａと同じ位置にコンタクトプローブ４２を押し当てる場合には、初回の押し当てほどのクリーニング効果は期待できない。しかし、クリーニングシート３１には、痕３３ａ以外のクリーニングとして未使用の部分が多く残っている。例えば、コンタクトプローブ４２の周り、より具体的にはコンタクトプローブ４２のピッチ間には、コンタクトプローブ４２を押し当て可能な未使用状態の部分が残されている。
【００５５】
そこで、本実施形態のクリーニング装置１００は、図５（３）に示すように、第１制御の後に、接触位置変更部２１０を駆動制御して、検査用ソケット４０とクリーニング部材３０との相対位置をずらして、次の第１制御の際にコンタクトプローブ４２がクリーニングシート３１の未使用状態の部分に押し当てられるようにする。これを「第２制御」と呼称する。次回のコンタクトプローブ４２とクリーニング部材３０との接触位置を、隣り合う痕３３ａの中間とする場合には、第２制御によるクリーニング部材３０の移動量は、コンタクトプローブ４２の配列間隔より短くなる。なお、触位置変更部２１０によるコンタクトプローブ４２とクリーニングシート３１との相対位置を変更する動作のことを第２動作とも言う。
【００５６】
図４を参照して説明したように、クリーニング部材３０の上面視のサイズ（クリーニング面の面積）は、コンタクトプローブ４２の配置面積よりは大きいが、検査用ソケット４０の底部４６の上面視サイズよりも一回り小さい。そのため、図５（４）に示すように、第２制御を行ってもなお、その次に実行される第１制御において、クリーニング部材３０を底部４６に挿入させて、コンタクトプローブ４２とクリーニングシート３１とを接触させることができる。コンタクトプローブ４２は、クリーニングシート３１の未使用状態の部分に押し当てられるので、高いクリーニング効果を得ることができる。
【００５７】
再度の第１制御が行われた後は、図５（４）の右側に示すクリーニング部材３０の上面図のように、クリーニングシート３１の上面には新たな痕３３ｂ（図示の例では、縦４列×横４列の網掛け丸印）が生じる。しかし、まだまだクリーニングシート３１には未使用部分が残っている。図６を参照して第１制御と第２制御とを所定順で実行する様子を説明する。
【００５８】
図６は、クリーニング部材３０のクリーニング面を表す遷移図であって、１つのクリーニング部材３０の使用開始から交換タイミングまでにおいて、クリーニング部材３０へのコンタクトプローブ４２の接触の痕が増えていく様子の例を示している。なお、検査用ソケット４０の底部４６の輪郭を破線で示し、クリーニング部材３０と相対位置関係が分るように示している。
【００５９】
図６（１）に示すように、未使用のクリーニング部材３０のクリーニング面には、コンタクトプローブ４２の接触の痕はない。図６（２）に示すように、クリーニング部材３０にコンタクトプローブ４２を押し当てると、第１の痕３３ａがつく。
【００６０】
次いで、図６（３）に示すように、第２制御として、クリーニング部材３０を装置の正面向かって右方向にずらすように接触位置変更部２１０を駆動制御する。そして、２回目の第１制御を実行し、クリーニング部材３０にコンタクトプローブ４２を押し当てると、第２の痕３３ｂがつく。
【００６１】
次いで、第２制御として、クリーニング部材３０を装置の正面向かって奥方向にずらすように接触位置変更部２１０を駆動制御し、３回目の第１制御を実行する。すると、図６（４）に示すように、第３の痕３３ｃがつく。
【００６２】
次いで、第２制御として、クリーニング部材３０を装置の左方向にずらすように接触位置変更部２１０を駆動制御し、４回目の第１制御を実行すると、図６（５）に示すように、第４の痕３３ｄがつく。図６の例では、第２制御によるクリーニング部材３０の移動量は、何れもコンタクトプローブ４２の配列間隔より短い。
【００６３】
図６の例では、クリーニング部材３０を、４回のコンタクトプローブ４２との接触に使用すると、交換タイミングが到来したことになる。
【００６４】
従って、１つの検査用ソケット４０に対する１回のクリーニングを、「第１制御」１回と「第２制御」１回とをセットとする４セットと定義した場合は、１つの検査用ソケット４０をクリーニングする毎に、クリーニング部材３０を交換することになる。その代わり、１つの検査用ソケット４０のコンタクトプローブ４２を、高いクリーニング効果で徹底的にクリーニングすることができる。
【００６５】
もし、１つの検査用ソケット４０に対する１回のクリーニングを、「第１制御」１回と「第２制御」１回とをセットとする２セットと定義した場合は、１つのクリーニング部材３０で２つの検査用ソケット４０をクリーニングできることになる。
そして、１つの検査用ソケット４０に対する１回のクリーニングを、「第１制御」１回と「第２制御」１回とをセットとする１セットと定義した場合は、１つのクリーニング部材３０で４つの検査用ソケット４０をクリーニングできることになる。
【００６６】
１回のクリーニングの定義は、検査用ソケット４０が検査対象としている半導体パッケージの種類、検査用ソケット４０のクリーニング周期、クリーニング部材３０の仕様、等に応じて適宜設定することができる。また、予備的なクリーニングとするか、本格的なクリーニングとするかによっても１回のクリーニングの定義を変更することができる。例えば予備的なクリーニングを毎日実施し、本格的なクリーニングを１ヶ月に１回実施するといった場合が考えられる。このようにして、制御部４００は、接触駆動部２４０に第１動作と、接触位置変更部２１０に第２動作とを所定回数実行させる。
【００６７】
図１に戻って、制御部４００は、クリーニング装置１００の動作を統合的に制御するとともに、動作の制御に必要な各種設定を行う。
本実施形態の制御部４００は、信号線８１，信号線８２，信号線８４でクリーニング機構部２００と接続されたコンピュータにより実現できる。具体的には、制御部４００は、タッチパネル４０２と、キーボード４０４と、本体部４１０と、を有する。
【００６８】
タッチパネル４０２は、本体部４１０からの画像信号を受けて、クリーニング装置１００に各種操作を入力するための操作画面等を表示するとともに、タッチ操作による各種操作入力を受け付ける入力デバイスとして機能する。
【００６９】
キーボード４０４は、動作の制御に必要な各種設定値の入力や、設定の名称を入力するために使用される。
【００７０】
本体部４１０は、モータ駆動回路部４２０と、制御基板４５０と、を搭載する。
【００７１】
モータ駆動回路部４２０は、制御基板４５０から入力されたデジタル信号を、Ｘ方向ステッピングモータ２１１ｍや、Ｙ方向ステッピングモータ２１２ｍ、Ｚ方向ステッピングモータ２４０ｍの駆動信号に変換して、それぞれ対応する信号線へ出力する手段である。例えば、インターフェースＩＣや、ＤＣ／ＡＣ変換回路、アンプ回路などの各種電気電子素子を搭載する。
【００７２】
制御基板４５０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４５１やＧＰＵ（Graphics Processing Unit），ＤＳＰ（Digital Signal Processor）などの各種プロセッサ、ＲＡＭやＲＯＭ等の各種ＩＣメモリ４５２、インターフェース回路４５３などを搭載する。なお、制御基板４５０の一部または全部は、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）や、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）、ＳｏＣ（System on a Chip）により実現するとしてもよい。
【００７３】
インターフェース回路４５３には、タッチパネル４０２のドライバ回路、キーボード４０４からの信号を入力する回路、モータ駆動回路部４２０へ信号を出力する回路、などを含めることができる。
【００７４】
制御基板４５０に搭載されているこれらの要素は、バス回路などを介して電気的に接続され、データの読み書きや信号の送受信が可能に接続されている。そして、制御基板４５０は、ＩＣメモリ４５２に記憶された所定のプログラムや各種データに基づいてＣＰＵ４５１が演算処理を実行することにより、クリーニング装置１００の動作を統合的に制御する。
【００７５】
具体的には、制御基板４５０は、Ｘ方向ステッピングモータ２１１ｍや、Ｙ方向ステッピングモータ２１２ｍ、Ｚ方向ステッピングモータ２４０ｍを駆動制御するための信号をモータ駆動回路部４２０へ出力する。ＣＰＵ４５１の演算処理により、Ｚ方向ステッピングモータ２４０ｍを駆動制御して接触駆動部２４０にクリーニング動作を作動させる第１制御と、Ｘ方向ステッピングモータ２１１ｍ及びＹ方向ステッピングモータ２１２ｍを駆動制御して接触位置変更部２１０を作動させる第２制御と、を行うことができる。
【００７６】
図７は、ＩＣメモリ４５２に記憶されるプログラムやデータの例を説明するための図である。ＩＣメモリ４５２は、制御プログラム５０１と、設定ファイル５１０と、使用設定名５８０と、クリーニング処理管理データ６００と、クリーニング部材使用回数６２０と、を記憶する。勿論、これら以外にも、その他のデータや、カウンタ、フラグ、なども適宜記憶することができる。
【００７７】
制御プログラム５０１は、ＣＰＵ４５１が実行することでクリーニング装置１００の動作を統合的に制御する機能が実現される。
【００７８】
設定ファイル５１０は、クリーニング動作のパターン別に作成・記憶される。本実施形態では、少なくとも１つの設定ファイル５１０が記憶されているが、ユーザが新たな設定を作成することで、新たな設定ファイル５１０を加えることができる。
【００７９】
図８は、設定ファイル５１０のデータ構成例を示す図である。
１つの設定ファイル５１０は、固有の設定名５１１と、１回クリーニング処理設定データ５２０と、クリーニング処理完了時移動設定値リスト５６０と、単一クリーニング部材利用上限回数５７０と、を含む。勿論、これら以外のデータも適宜含めることができる。
【００８０】
１回クリーニング処理設定データ５２０は、「１回のクリーニング処理」とする一連の動作パターンを定義するための各種データを格納する。
具体的には、１回クリーニング処理設定データ５２０は、第１制御パラメータ設定値リスト５３０と、第２制御パラメータ設定値リスト５５０と、を含む。勿論、これら以外のデータも適宜含めることができる。
【００８１】
第１制御パラメータ設定値リスト５３０は、第１制御の実行毎に適用される第１制御に係る各種パラメータの設定値を格納する。本実施形態では、接触駆動部２４０によるクリーニング動作に係る押し当て方向への移動量の設定値である押し当て方向移動量設定値５３１と、押し当て移動速度設定値５３２と、１回の第１制御で何回押し当て動作を繰り返すかを定義する押し当て回数設定値５３３と、を含む。勿論、これら以外のデータも適宜含めることができる。
【００８２】
第２制御パラメータ設定値リスト５５０は、第２制御の実行順別に用意され、当該第２制御に係る各種パラメータの設定値を格納する。本実施形態では、１つの第２制御パラメータ設定値リスト５５０は、当該リストがどの実行順番の第２制御に適用されるかを示す第２制御実行順番５５１と、押し当て方向に対して直交する面内で押し当て方向と交差する第１の交差方向（本実施形態ではＸ方向；図１参照）への移動量を定義する第１交差方向移動量設定値５５２と、押し当て方向に対して直交する面内で押し当て方向と交差する第２の交差方向（本実施形態ではＹ方向；図１参照）への移動量を定義する第２交差方向移動量設定値５５３と、を含む。勿論、これら以外のデータも適宜含めることができる。
【００８３】
１回クリーニング処理設定データ５２０は、１回のクリーニング処理を「第１制御」１回と「第２制御」１回の１セットと定義する場合には、１つの第１制御パラメータ設定値リスト５３０と、１つの第２制御パラメータ設定値リスト５５０とを含むことになる。もし、１回のクリーニング処理を「第１制御」１回と「第２制御」１回とを１セットとする４セットと定義する場合には、１つの第１制御パラメータ設定値リスト５３０と、少なくとも３つの第２制御パラメータ設定値リスト５５０とを含むことになる。
【００８４】
クリーニング処理完了時移動設定値リスト５６０は、クリーニング処理完了時に実行される移動制御に係る各種パラメータの設定値を格納する。本実施形態では、何回目のクリーニング処理が完了したときに当該リストが適用されるかを示す完了時移動実行順番５６１と、完了時第１交差方向移動量設定値５６２と、完了時第２交差方向移動量設定値５６３と、を含む。勿論、これら以外のデータも適宜含めることができる。
【００８５】
クリーニング処理完了時移動設定値リスト５６０は、例えば、１回のクリーニング完了毎にクリーニング部材３０を交換する設定とする場合、クリーニング部材３０を交換作業に適したポジションへ移動させる制御の設定を定義する。
【００８６】
その他、詳細は後述するが、１度に複数の検査用ソケット４０をソケット取付部２５０に取り付け可能な構成とする場合には、１つの検査用ソケット４０のクリーニングが完了すると、クリーニング未完了の別の検査用ソケット４０に対する位置合わせの制御のための設定に使用することができる。
【００８７】
単一クリーニング部材利用上限回数５７０は、１個のクリーニング部材３０を何回のクリーニングに利用するかを定める数値を格納する。１回のクリーニング完了毎に交換する場合には、当該上限回数は「１」とされる。１個のクリーニング部材３０で２回のクリーニング（例えば、２個の検査用ソケット４０のクリーニング）に使用する場合には「２」とされる。
【００８８】
図７に戻って、使用設定名５８０は、設定ファイル５１０のうち、実際にクリーニング処理の制御に使用する設定を示す。
【００８９】
クリーニング処理管理データ６００は、クリーニング動作の実行制御に必要な各種データを格納する。例えば、１回クリーニング管理データ６１０と、クリーニング部材使用回数６２０と、を含む。勿論、これら以外のデータも適宜含めることができる。例えば、ステッピングモータの回転制御に必要なカウンタ等も適宜含めることができる。
【００９０】
１回クリーニング管理データ６１０は、１回のクリーニングの実行と完了を管理するためのデータを格納する。例えば、押し当て回数カウンタ６１２と、接触位置変更回数カウンタ６１４と、を含む。勿論、これら以外のデータも適宜含めることができる。
【００９１】
押し当て回数カウンタ６１２は、１回の第１制御における押し当て動作の回数をカウントする。クリーニング開始前の初期値は「０」である。
【００９２】
接触位置変更回数カウンタ６１４は、接触位置の変更を行う第２制御の実行回数をカウントする。クリーニング動作開始前の初期値は「１」である。第２制御を実行するに当たっては、設定ファイル５１０（図８参照）の第２制御パラメータ設定値リスト５５０のうち、第２制御実行順番５５１が接触位置変更回数カウンタ６１４の値と合致する第２制御パラメータ設定値リスト５５０が検索されて適用されることになる。
【００９３】
クリーニング部材使用回数６２０は、未使用のクリーニング部材３０が装着されている初期状態が「０」とされ、１回のクリーニング完了毎に「１」アップされる。クリーニング部材３０の交換作業の後に、ユーザによる交換完了操作があると「０」に戻される。
【００９４】
図９は、本実施形態のクリーニング装置１００の動作の流れを説明するためのフローチャートである。クリーニング装置１００は、先ずタッチパネル４０２にメニュー画面を表示させる（ステップＳ１０）。メニュー項目の数や内容は適宜設定可能であるが、本実施形態では「クリーニング」と「設定」とを含むこととする。
【００９５】
メニュー画面が表示された状態で、メニュー項目「設定」の選択操作入力が検出されると（ステップＳ１２の設定）、クリーニング装置１００は、設定ファイルの新規作成と編集を可能にする処理を実行する（ステップＳ２０）。
【００９６】
例えば、既存の設定ファイル５１０の設定名５１１それぞれの選択アイコンを表示させる。選択アイコンへの操作入力が検知された場合は、当該選択アイコンに対応する設定ファイル５１０の各設定値を編集可能に表示して、ユーザによる編集操作（例えば、設定値の変更、第２制御パラメータ設定値リスト５５０の追加や削除など）を受け付ける。そして、所定の上書き保存操作が入力されると、当該設定ファイル５１０を編集結果で上書き保存し、所定の新規作成が入力されると、編集結果を新たな設定ファイル５１０として記憶・保存する。
【００９７】
一方、メニュー画面が表示された状態で、メニュー項目「クリーニング」の選択操作入力が検出されると（ステップＳ１２のクリーニング）、クリーニング装置１００は、使用設定名５８０（図７参照）の表示を行うとともに、使用する設定ファイルの変更操作を受け付ける（ステップＳ３０）。ここで、所定の変更操作が入力された場合には、設定ファイル５１０の設定名の一覧を選択可能に表示して、当該一覧から選択された設定名で使用設定名５８０に設定する。
【００９８】
次に、クリーニング装置１００は、クリーニング部材３０と検査用ソケット４０の取り付けを促す表示をして、所定の取付確認操作の入力を待つ（ステップＳ３２）。
【００９９】
そして、取付確認操作の入力を検知すると（ステップＳ３４のＹＥＳ）、クリーニング装置１００は、クリーニング部材使用回数６２０を「０」に初期化し（ステップＳ３６）、１回クリーニング管理データ６１０を初期化して（ステップＳ５０）、所定のクリーニング開始操作の入力を待つ。
【０１００】
クリーニング開始操作の入力を検知したならば（ステップＳ５２のＹＥＳ）、クリーニング装置１００は、使用設定名５８０の示す設定ファイル５１０の定義に従って、クリーニング動作の制御を実行する（ステップＳ５４）。
【０１０１】
具体的には、第１制御パラメータ設定値リスト５３０（図８参照）を適用した第１制御を実行し、続いて、現在の接触位置変更回数カウンタ６１４（図７参照）に第２制御実行順番５５１が適合する第２制御パラメータ設定値リスト５５０を適用した第２制御を実行する。そして、接触位置変更回数カウンタ６１４を「１」アップする。そして、現在の接触位置変更回数カウンタ６１４に適合する第２制御パラメータ設定値リスト５５０が無くなった時点で、１回のクリーニングが完了となる。
【０１０２】
１回のクリーニング処理が完了すると、クリーニング装置１００は、クリーニング部材使用回数６２０を「１」アップし（ステップＳ５４）、１回のクリーニング完了を通知する制御を行う（ステップＳ５６）。例えば、タッチパネル４０２にその旨の表示を行うとしても良いし、本体部４１０が備えるスピーカから通知音を放音させるとしてもよい。
【０１０３】
次に、クリーニング装置１００は、クリーニング部材使用回数６２０と、使用設定名５８０の示す設定ファイル５１０の単一クリーニング部材利用上限回数５７０（図８参照）とを比較する。
【０１０４】
もし、両者が異なっていれば（ステップＳ７０のＮＯ）、１回のクリーニングは完了したが、クリーニング部材３０は継続して使用可能なので、クリーニング装置１００は、検査用ソケット４０の交換を促す表示を行って（ステップＳ７２）、ステップＳ５０に戻る。ユーザが検査用ソケット４０を交換してクリーニング開始操作を入力すれば、クリーニング動作が再び開始されることになる。
【０１０５】
一方、両者が同じであれば（ステップＳ３７のＹＥＳ）、１回のクリーニングも完了し、クリーニング部材３０の交換タイミングも到来したと判断できるので、クリーニング装置１００は、クリーニング部材３０と検査用ソケット４０それぞれの交換を促す表示を行って（ステップＳ７４）、ステップＳ５０に戻る。
【０１０６】
以上、本実施形態によれば、第１制御を実行してクリーニング部材３０をコンタクトプローブ４２に押し当てた後に、第２制御を実行してクリーニング部材３０とコンタクトプローブ４２との相対位置を変えることができる。よって、１つのクリーニング部材３０を、コンタクトプローブ４２への複数回の押し当てに使用することができる。つまり、クリーニング効果を高く維持しつつ、クリーニング部材３０の交換頻度を抑制し、クリーニング部材３０の消費量の低減を実現することができる。
【０１０７】
また、本実施形態では、検査用ソケット４０を、コンタクトプローブ４２の先端が下向きとなる姿勢でクリーニングするため、クリーニング後の異物の再付着を抑制することができる。
【０１０８】
〔変形例〕
以上、本発明を適用した実施形態の一例について説明したが、本発明を適用可能な形態は上記形態に限定されるものではなく適宜構成要素の追加・省略・変更を施すことができる。
【０１０９】
〔変形例その１〕
例えば、上記実施形態では、クリーニング部材３０を検査用ソケット４０の下方に配置するレイアウトであったが、図１０のクリーニング機構部２００Ｂのように、クリーニング部材取付部２２０を接触駆動部２４０の直動ロッド２４１の下端に設け、ソケット取付部２５０を接触位置変更部２１０の上面に設ける構成として、クリーニング部材３０と検査用ソケット４０との上下位置関係を反転させた構成も可能である。
【０１１０】
上記実施形態では、検査用ソケット４０をクリーニング部材３０に押し当てるように移動させてクリーニング動作を実現し、クリーニング部材３０を移動させることで接触位置を変更することとした。これに対して、変形例その１では、クリーニング部材３０を検査用ソケット４０に押し当てるように移動させてクリーニング動作を実現し、検査用ソケット４０を移動させることで接触位置を変更することとなる。
【０１１１】
〔変形例その２〕
また、上記実施形態では、検査用ソケット４０をクリーニング部材３０に押し当てるように移動させてクリーニング動作を実現し、クリーニング部材３０を移動させることで接触位置を変更することとした。これに対して、検査用ソケット４０及びクリーニング部材３０のうちの一方を固定として、他方を、押し当てるように移動させるクリーニング動作と接触位置を変更する移動との２種類の移動の対象とすることとしてもよい。
【０１１２】
例えば、検査用ソケット４０を固定側とする場合、図１１に示すクリーニング機構部２００Ｃのように、台座２０１と接触位置変更部２１０との間に接触駆動部２４０を設け、ソケット取付部２５０を支持フレーム部２３０に固定する。そして、接触位置変更部２１０ごとクリーニング部材３０を持ち上げて、検査用ソケット４０に押し当てる構成とすることができる。勿論、当該構成において、クリーニング部材取付部２２０とソケット取付部２５０との位置関係を逆にした構成も可能である。
【０１１３】
〔変形例その３〕
また、上記実施形態では、クリーニング機構部２００に１度に取り付けられる検査用ソケット４０を１つとして例示したが、複数の検査用ソケット４０が配置されたソケットボード５０をクリーニング装置１００に装着可能として、クリーニング装置１００を、１度に複数の検査用ソケット４０を取り付け可能な構成としてもよい。同様に、上記実施形態では、クリーニング機構部２００に１度に取り付けられるクリーニング部材３０を１つとして例示したが、複数取り付ける構成としてもよい。
【０１１４】
具体的には、図１２のクリーニング機構部２００Ｄは、複数の検査用ソケット４０が配置されたソケットボード５０Ｄをソケット取付部２５０に取り付け可能であり、またクリーニング部材取付部２２０に、複数のクリーニング部材３０を取り付けることができる構成を有している。ソケットボード５０Ｄ（ソケットボード５０や、後述するソケットボード５０Ｅ、等）は、半導体検査装置において所定数の半導体パッケージをまとめて検査するために半導体検査装置に装着されるボードそのものとすることができる。
【０１１５】
また、こうした構成とすることで、クリーニング機構部２００Ｄは、所定数であるＮ個（Ｎ≧１）の検査用ソケット４０に対するクリーニング処理を行った後、クリーニング処理が未完了のＮ個の検査用ソケット４０に対するクリーニング処理を行うために接触位置変更部２１０を作動させる第３制御を行い、Ｎ個の検査用ソケット４０に対するクリーニング処理をＭ回（Ｍは自然数）行うことでソケットボード５０Ｄに配列された全ての検査用ソケットを複数回のクリーニング処理でクリーニング完了とする構成も可能となる。
【０１１６】
より具体的には、図１２のソケットボード５０Ｄは、８個の検査用ソケット４０をＸ方向４列×Ｙ方向２列に保持する。
【０１１７】
そして、当該構成において、例えば、１回のクリーニング処理を「第１制御」１回と「第２制御」１回との１セットと定義してクリーニング処理完了時移動設定値リスト５６０を設定すると、先ず、Ｙ方向の１列目について、左から２個の検査用ソケット４０をまとめて第１回目のクリーニング処理でクリーニングした後、クリーニング部材３０を左から３番目と４番目の検査用ソケット４０の直下に移動させて、これらをまとめて第２回目のクリーニング処理でクリーニングすることができる。次いで、Ｙ方向の２列目について同様に左から２個ずつ検査用ソケット４０を検査すると、合計８個の検査用ソケット４０を１つのクリーニング部材３０でクリーニングできることになる。言い換えると、制御部４００は、行方向及び列方向の一方の検査用ソケット４０に対して、第１動作であるクリーニング動作を実行するように接触駆動部２４０及び接触位置変更部２１０を制御した後に、行方向及び列方向の他方の検査用ソケット４０に対して、再び第１動作であるクリーニング動作を実行するように接触駆動部２４０及び接触位置変更部２１０を制御する。
【０１１８】
〔変形例その４〕
また、上記実施形態では、１つのクリーニング部材３０で１つの検査用ソケット４０のクリーニングを行う構成としたが、１つのクリーニング部材３０で複数の検査用ソケット４０のクリーニングを行う構成とすることができる。
【０１１９】
例えば、図１３のクリーニング機構部２００Ｅのように、検査用ソケット４０の基体表面からコンタクトプローブ４２が突出した構成の検査用ソケット４０をクリーニング対象とする場合には、クリーニング部材３０Ｅのように、そのクリーニング面がソケットボード５０Ｅに配列された検査用ソケット４０のうち、Ｎ個（Ｎ≧１）分の検査用ソケット４０に対応する面積を有するように構成する。当該構成によれば、１度のクリーニング処理で複数の検査用ソケット４０をクリーニング可能となる。
【０１２０】
〔変形例その５〕
また、上記実施形態では、クリーニング機構部２００と制御部４００とを別体として設けた構成を例示したが、例えば図１４のクリーニング装置１００Ｇのように、クリーニング機構部２００と制御部４００Ｇとを一体の構成として実現してもよい。この場合、キーボード４０４に代えて、適宜ボタンスイッチ４０６や方向入力キー４０７を設けると好適である。
【０１２１】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【０１２２】
３０…クリーニング部材
３３…痕
４０…検査用ソケット
４２…コンタクトプローブ
４４…開口部
４６…底部
５０…ソケットボード
１００…クリーニング装置
２００…クリーニング機構部
２１０…接触位置変更部
２１１…Ｘ方向直動機構部
２１２…Ｙ方向直動機構部
２２０…クリーニング部材取付部
２４０…接触駆動部
２５０…ソケット取付部
４００…制御部
４２０…モータ駆動回路部
４５０…制御基板
４５１…ＣＰＵ
４５２…ＩＣメモリ
５０１…制御プログラム
５１０…設定ファイル
５１１…設定名
５３０…第１制御パラメータ設定値リスト
５３１…押し当て方向移動量設定値
５３２…押し当て移動速度設定値
５３３…押し当て回数設定値
５５０…第２制御パラメータ設定値リスト
５５１…第２制御実行順番
５５２…第１交差方向移動量設定値
５５３…第２交差方向移動量設定値
５６０…クリーニング処理完了時移動設定値リスト
５８０…使用設定名
６００…クリーニング処理管理データ
６１２…押し当て回数カウンタ
６１４…接触位置変更回数カウンタ
６２０…クリーニング部材使用回数
【図１】
2019130444.tif 000003
【図２】
2019130444.tif 000004
【図３】
2019130444.tif 000005
【図４】
2019130444.tif 000006
【図５】
2019130444.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2019130444.tif 000011
【図１０】
2019130444.tif 000012
【図１１】
2019130444.tif 000013
【図１２】
2019130444.tif 000014
【図１３】
2019130444.tif 000015
【図１４】
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