(57)【要約】【課題】ロール状の被梱包物に凹陥を生じさせることなく運搬できる梱包体を提供する。【解決手段】梱包体１は、被梱包物１０と、包装容器２０と、保持部材３０と、を備えている。被梱包物１０は、矩形のシート１１を巻回したロール状であり、ロールの中心から最も遠い位置にある外周端１２３を有している。包装容器２０は、被梱包物１０の重量を支持する支持面２３Ａを有している。保持部材３０は、被梱包物１０の外周端１２３を包装容器２０の支持面２３Ａから離間した状態に保持する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートを巻回したロール状の被梱包物と、
前記被梱包物の重量を支える支持面を有した包装容器と、
前記被梱包物の中心軸から最も遠い位置の前記シートの端面である外周端を前記支持面から離間した状態に保持する保持部材と、
を備えた、梱包体。
【請求項２】
前記被梱包物は、研磨加工に用いられる保持パッドである、請求項１に記載の梱包体。
【請求項３】
前記シートは、第１主面と、該第１主面とは反対側の第２主面と、を有し、
前記被梱包物は、前記第２主面が外側になるように巻回されており、
前記保持部材は、折り返された状態の前記外周端を前記第１主面に固定する粘着テープである、請求項１又は２に記載の梱包体。
【請求項４】
前記保持部材は、前記支持面とは異なる部位において前記包装容器に前記外周端を固定している、請求項１又は２に記載の梱包体。
【請求項５】
前記包装容器は、該包装容器の重量を支える底板と該底板よりも上方に位置する開口部とを有した外装箱と、前記開口部の一側から他側へ掛け渡され且つ前記底板に接地しない弛み部分を有した内装フィルムと、を備え、
前記支持面は、前記内装フィルムの上面の一部である、請求項１から４のいずれか一項に記載の梱包体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートをロール状に巻回し、包装容器に梱包した梱包体に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ用基板、半導体デバイス用シリコンウエハ等の表面は、化学機械研磨（ＣＭＰ）等によって極めて平滑に加工される。化学機械研磨には、砥粒をアルカリ溶液等に分散させた研磨液（スラリー）、ワークを保持する保持パッド、ワークに押し当てられる研磨パッド等が用いられる。保持パッドとして、湿式成膜法により形成されたウレタン樹脂等からなる弾性樹脂シートが知られている。そのような弾性樹脂シートは、低硬度で柔軟性が高く変形しやすい。
【０００３】
柔軟性の高いパッド、シートの保持パッドを積み重ねて運搬する場合、それらシートの枚数が増えるにつれて、上方に積み重ねられたシートの重みが下方のシートにかかってしまう。その結果、下方のシートが押しつぶされて変形するおそれがある。さらに、重ねられたシート同士の位置関係がずれた場合には、はみ出した端部が反るように変形するおそれもある。そこで、シートをロール状に巻回して運搬する運搬用具が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実用新案登録第３１７９６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、圧縮率（ＪＩＳ  Ｌ  １０２１)が２０％以上、樹脂の１００％モジュラス(ＪＩＳ  Ｋ  ６２５１)が２０ＭＰａ以下、厚み（ＪＩＳ  Ｋ  ６５５０)が０．５ｍｍ以上のシートの保持パッドをロール状に巻回した被梱包物を包装容器に梱包すると、運搬時の揺れによって被梱包物が転動しやすい。ロールの中心とは反対側の端面である外周端には、シートの厚さによって段差が生じている。被梱包物の重量を支える支持面と被梱包物との間に外周端が挟まれると、被梱包物の重量によって外周端の段差が被梱包物の表面に転写されて凹陥（へこみ）が生じ、シートが平坦でなくなってしまう。凹陥が生じた保持パッドを用いると、被研磨面の加工精度に悪影響を及ぼすおそれがある。
【０００６】
そこで、本発明は、被梱包物に凹陥が生じないように運搬できる梱包体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る梱包体は、被梱包物と、包装容器と、保持部材と、を備えている。被梱包物は、ロール状に巻回されたシートであり、ロールの中心から最も遠い位置にある外周端を有している。包装容器は、被梱包物の重量を支持する支持面を有している。保持部材は、外周端を支持面から離間した状態に保持している。
この態様によれば、支持面に接触した外周端によって被梱包物の表面に凹陥が生じることを防止できる。
【０００８】
上記態様において、被梱包物は、研磨加工に用いられる保持パッドであってもよい。
研磨加工において保持パッドの平坦度は加工精度を左右する極めて重要な要素である。この態様によれば、保持パッドに凹陥が生じることを防止できる。
【０００９】
上記態様において、シートは、第１主面と、第１主面とは反対側の第２主面と、を有し、被梱包物は、第２主面が外側になるように巻回されており、保持部材は、折り返された状態の外周端を第１主面に固定する粘着テープであってもよい。
この態様によれば、外周端が支持面から離間したロールの第1主面に固定されるため、外周端と支持面とが接触して被梱包物に凹陥が生じることを防止できる。
【００１０】
上記態様において、保持部材は、支持面とは異なる部位において包装容器に外周端を固定していてもよい。
この態様によれば、外周端が支持面から離間した部位に固定されるため、外周端と支持面とが接触して被梱包物に凹陥が生じることを防止できる。
【００１１】
上記態様において、包装容器は、自重を支える底板と底板よりも上方に位置する開口部とを有した外装箱と、開口部の一側から他側へ掛け渡され且つ底板に接地しない弛み部分を有した内装フィルムと、を備え、支持面は、内装フィルムの上面の一部であってもよい。
この態様によれば、被梱包物の重量がハンモック状の内装フィルムの上面に支持される。内装フィルムによって被梱包物に作用する衝撃が緩和されるため、運搬中の被梱包物に凹陥が生じることをより確実に防止できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、被梱包物に凹陥が生じないように運搬できる梱包体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態の梱包体を示す断面図である。
【図２】図２は、図１に示された被梱包物を展開して示す平面図である。
【図３】図３は、図２に示されたシートの断面構造の一例を示す断面図である。
【図４】図４は、本発明の第２実施形態の梱包体を示す断面図である。
【図５】図５は、第１及び第２実施形態の変形例を示す断面図である。
【図６】図６は、第１及び第２実施形態との比較のために示す比較例の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、各図において、同一の符号を付したものは、同一又は同様の構成を有する。本発明の梱包体１は、外周端１２３を支持面２３Ａ，２５１から離間した状態に保持できる保持部材３０を備えていることが特徴の一つである。
【００１５】
保持部材３０を備えていない比較例では、図６に示すように、被梱包物１０が転動して外周端１２３と支持面２３Ａとが接触することがある。外周端１２３が支持面２３Ａに押し付けられると、外周端１２３の段差が被梱包物１０に転写されて凹陥が生じてしまう。
【００１６】
これに対し、本発明によれば、外周端１２３を支持面２３Ａ，２５１から離間した状態に保持できるため、凹陥の発生を未然に防ぐことができる。保持部材３０は、図１に示すように、外周端１２３を内側に折り返して保持部材３０で固定してもよい（第１実施形態）。図４に示すように、外周端１２３を包装容器２０に保持部材３０で固定してもよい（第２実施形態）。以下、図１から図６を参照して各構成について詳しく説明する。
【００１７】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態の梱包体１を示す断面図である。図１に示すように、第１実施形態の梱包体１は、シート１１をロール状に巻回した被梱包物１０と、その運搬に用いられる包装容器２０及び保持部材３０と、を備えている。包装容器２０の一例は、平板状の紙材から箱状に形成された外装箱２１である。なお、包装容器２０は、外装箱２１に加え、後述する内装フィルム２２等を備えていてもよい。
【００１８】
外装箱２１は、水平に広がる底板２３と、底板２３から起立した複数の隔壁２４と、を備えている。外装箱２１は、隔壁２４に四方を囲まれた空間を少なくとも一つは有している。この空間は、被梱包物１０よりも大きい直方体に区画され、被梱包物１０を収容できる。
【００１９】
図１に示す例では、隔壁２４の上端部２４１が上方に向かって開口している。開口は、図示しない蓋に覆われる。隔壁２４の上端部２４１は、開口部の一例であり、底板２３よりも上方に位置している。なお、四方を囲む隔壁２４のいずれか一方を開閉可能に構成してもよい。その場合、外装箱２１の上方からではなく側方から被梱包物１０を出し入れできる。
【００２０】
包装容器２０は、内部に収容された被梱包物１０の重量を支える支持面を有している。図１に示す例では、外装箱２１の底板２３の上面２３Ａが支持面として構成されている。保持部材３０は、後述する外周端１２３を支持面２３Ａから離間した状態に保持している。保持部材３０については後で詳しく説明する。
【００２１】
図２は、図１に示された被梱包物１０を展開して示す平面図である。図２に示すように、巻回される前の被梱包物１０は、例えば矩形のシート１１であり、第１主面１１Ａと、第１主面１１Ａとは反対側の第２主面１１Ｂと、第１及び第２主面１１Ａ，１１Ｂをつなぐ端面１２と、を有している。なお、矩形には方形も含まれる。
【００２２】
端面（破断面）１２は、平坦でなくてもよい。例えば、端面１２は、シート１１の四辺に沿って山と谷とが交互に連続するジグザグに屈曲した平面であってもよい。或いは、端面１２は、シート１１の四辺に沿って滑らかに蛇行する曲面であってもよい。端面１２は、シート１１の四辺に位置する第１乃至第４端面１２１，１２２，１２３，１２４を含んでいる。
【００２３】
第１及び第３端面１２１，１２３は、例えばシート１１の短辺に位置し、互いに対向している。第２及び第４端面１２２，１２４は、例えばシート１１の長辺に位置し、互いに対向している。なお、第１及び第３端面１２１，１２３が長辺に位置し、第２及び第４端面１２２，１２４が短辺に位置してもよい。
【００２４】
図１及び図２に示す例では、被梱包物１０は、第１主面１１Ａが内向き（求心方向）になり、第主面１１Ｂが外向き（遠心方向）になるようにシート１１が巻回されている。巻回された状態で、ロールの中心軸に最も近い被梱包物１０の内周側に第１端面１２１が位置し、中心軸から最も遠い被梱包物１０の外周側に第３端面１２３が位置する。以下の説明において、第１端面１２１を内周端１２１と呼び、第３端面１２３を外周端１２３と呼ぶことがある。
【００２５】
シート１１の一例は保持パッドである。保持パッドは、例えば、半導体デバイス用シリコンウエハ、液晶ディスプレイ用ガラス基板等の被研磨物の表面に研磨加工を施す際に、当該被研磨物を研磨装置の定盤に保持させるために使用される。研磨パッドは、前述の研磨加工において、研磨液に湿潤した状態で被研磨物の表面に押し当てられる。
【００２６】
図３は、保持パッドの断面構造の一例を示す断面図である。図３に示すように、保持パッド（シート１１）は、１００％モジュラスが２０ＭＰａ以下のポリウレタン樹脂で形成されたポリウレタンシート４２を含んでいる。ポリウレタンシート４２は、被研磨物を定盤に保持させるときに被研磨物に当接する保持面４２Ａを有している。保持面４２Ａは、前述の第１主面１１Ａの一例である。
【００２７】
ポリウレタンシート４２の保持面４２Ａと反対側の裏面４２Ｂには、ポリウレタンシート４２の厚さが一様となるようにバフ処理が施されている。保持面４２Ａの近傍には、緻密な微多孔を有するスキン層４４が形成されている。スキン層４４よりも下層には、発泡４３が並んでいる。
【００２８】
発泡４３は、保持面４２Ａに向かうに従い先細りに形成されている。隣接する発泡４３は、図示しない発泡によって立体網目状につながっている。発泡４３の一部は、裏面４２Ｂに向かって開孔している。裏面４２Ｂには、剥離紙４７を有した両面テープ４６が貼着されている。両面テープ４６は、ＰＥＴフィルム製の基材４６１と、基材４６１の両面に形成された接着剤層４６２，４６３と、を含んでいる。
【００２９】
保持パッドは、例えば、湿式成膜法によって製造できる。ポリウレタン樹脂を有機溶媒に溶解させたポリウレタン樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液に浸漬するとポリウレタン樹脂がシート状に凝固再生される。洗浄後乾燥させた後、裁断し、定盤に固定するための両面テープを貼着する。完成した保持パッドは、例えば厚さ０．５〜１．５ｍｍ程度である。シート１１の厚さは、外周端１２３における段差になる。
【００３０】
本発明に係るシート１１の一例は、これまで説明した保持パッドであり、前述のポリウレタンシート４２を含んでいる。ポリウレタンシート４２が軟らかいため、シート１１には、外圧又は自重によって凹陥が生じやすい。シート１１は、図１に示すように、シート１１を巻回したロール状の被梱包物１０として運搬される。
【００３１】
被梱包物１０は、保持面４２Ａを内側にし、剥離紙４７を外側にして、保持面４２Ａを損傷させないように巻回されている。保持面４２Ａは、前述したシート１１の第１主面１１Ａの一例である。剥離紙４７の表面は、シート１１の第２主面１１Ｂの一例である。保持面４２Ａを損傷させないためには、捲き芯を使用しないで巻回した被梱包物１０が好ましい。
【００３２】
被梱包物１０の巻き数は、シート１１の形状及びサイズによって適宜選択できる。巻き数の一例は、５〜１０回程度である。なお、内径が１００ｍｍよりも小さいとシート１１に巻き癖がつきやすい。内径が２００ｍｍよりも大きいとシート１１がかさばってしまう。図１に示す例では、被梱包物１０は、内径１２０〜１８０ｍｍになるように巻回されている。
【００３３】
以下、図１及び図２を参照して、本発明の特徴である保持部材３０について説明する。保持部材３０は、シート１１の外周端１２３を包装容器２０の支持面２３Ａから離間した状態に保持している。第１実施形態における保持部材３０は、折り返された状態の外周端１２３を第１主面１１Ａに固定する粘着テープとして構成されている。
【００３４】
第１実施形態によれば、外周端１２３が支持面２３Ａから離間したロール内層の第1主面１１Ａに固定されるため、外周端１２３と支持面２３Ａとが接触して被梱包物１０に凹陥が生じることを防止できる。保持部材３０が粘着テープであるため、廉価であり容易に入手できる。さらに、第１実施形態によれば、被梱包物１０の転動も抑制できる。
【００３５】
シート１１は、復元力が大きいＰＥＴフィルム等の基材４６１を含んでいる。折り返された外周端１２３が第１主面１１Ａに固定されてループ状になった部分（以下、ループ部分１３と呼ぶ。）は、シート１１の復元力によって涙滴型に膨らんでいる。つまり、ループ部分１３におけるロールの中心から被梱包物１０の外形までの距離は、ロールの半径よりも大きく膨らんでいる。第１実施形態では、被梱包物１０の輪郭が円形又は楕円形ではないため、被梱包物１０の転動を抑制できる。
【００３６】
［第２実施形態］
続いて、図４を参照して第２実施形態について説明する。第２実施形態では第１実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。図４は、本発明の第２実施形態の梱包体１を示す断面図である。第２実施形態は、第１主面１１Ａではなく他の部位に固定して外周端１２３を支持面２３Ａから離間した状態に保持する点が第１実施形態と異なる。
【００３７】
隔壁２４は、支持面２３Ａに固定された下端部と、下端部とは反対側の上端部２４１と、を有している。図４に示す例では、外周端１２３が、支持面２３Ａとは反対側に位置する上端部２４１に固定されている。外周端１２３を隔壁２４に固定する保持部材３０は、第１実施形態と同様の粘着テープであってもよいし、再利用可能なクリップ等でもあってもよい。
【００３８】
このとき、図４に示すように、隔壁２４を挟んで隣り合う一対の被梱包物１０Ｌ，１０Ｒの外周端１２３Ｌ，１２３Ｒを同一の保持部材３０で固定してもよい。シート１１が巻き戻された部分１４を減らすため、一対の被梱包物１０Ｌ，１０Ｒの巻回方向は、互いに逆向きが好ましい。図４に示す例では、一方の被梱包物１０Ｌが時計回りに巻回され、他方の被梱包物１０Ｒが反時計回りに巻回されている。
【００３９】
或いは、一対の被梱包物１０Ｌ，１０Ｒの外周端１２３Ｌ，１２３Ｒが連続するように梱包体１を構成してもよい。この構成では、一方の被梱包物１０Ｌの外周端１２３Ｌを支持面２３Ａから離間した状態に保持する保持部材３０は、他方の被梱包物１０Ｒである。同様に、他方の被梱包物１０Ｒの外周端１２３Ｒを支持面２３Ａから離間した状態に保持する保持部材３０は、一方の被梱包物１０Ｌである。
【００４０】
図５は、これまで説明した第１及び第２実施形態の変形例を示す断面図である。変形例に係る包装容器２０は、外装箱２１に加え、ハンモック状の内装フィルム２２を備えている。被梱包物１０の重量を支える支持面は、外装箱２１の底板２３ではなく、内装フィルム２２の一部として構成されている。
【００４１】
図５に示すように、複数の隔壁２４は、被梱包物１０の両側に配置され、被梱包物１０の軸線方向に沿って平行に延びる一対の隔壁２４Ｌ，２４Ｒを含んでいる。内装フィルム２２は、一側の隔壁２４Ｌの上端部２４１Ｌから他側の隔壁２４Ｒの上端部２４１Ｒへ掛け渡されている。
【００４２】
内装フィルム２２は、上端部２４１Ｌ,２４１Ｒよりも下側に位置した弛み部分２５を有している。弛み部分２５は、底板２３に接地しない状態で上端部２４１Ｌ,２４１Ｒから吊り下げられてハンモック状に形成されている。包装容器２０に収容された被梱包物１０は、弛み部分２５に支えられ、運搬中の衝撃から保護される。
【００４３】
弛み部分２５において、内装フィルム２２の上面２２Ａは、被梱包物１０に接触する接触領域２５１と、接触しない非接触領域２５２，２５３と、を有している。接触領域２５１は、被梱包物１０の重量を支える支持面の一例である。
【００４４】
一方、非接触領域２５２，２５３は、支持面ではない部位の一例である。例えば、第２実施形態において、非接触領域２５２，２５３に固定すれば、外周端１２３を接触領域２５１から離間した状態に保持できる。
【００４５】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。
【００４６】
例えば、保持部材３０は、外周端１２３に装着する緩衝材であってもよい。外周端１２３と支持面２３Ａ，２５１との間に緩衝材を介在させれば、外周端１２３を支持面２３Ａ，２５１から離間した状態に保持できる。一例として、緩衝材の断面がＣ字型であれば、外周端１２３に簡単に装着できる。
【符号の説明】
【００４７】
１…梱包体、１０…被梱包物、１１…シート、１１Ａ…第１主面、１１Ｂ…第２主面、１２３…外周端、２０…包装容器、２１…外装箱、２２…内装フィルム、２３…底板、２４１…上端部（開口部の一例）、２４１Ｌ…開口部の一側、２４１Ｒ…開口部の他側、２５…弛み部分、２３Ａ，２５１…支持面、３０…保持部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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