(57)【要約】【課題】可動子への推力が向上された平面モータを提供する。【解決手段】平面モータ１０は、環状の永久磁石２１を有する可動子２０と、可動子２０と対向する主面３１ａ、及び、主面３１ａに沿って配置される複数のパターンコイル３３を有する固定子３０とを備える。永久磁石２１は、内側面２１ｅ及び外側面２１ｆの間にＳ極及びＮ極が径方向に沿って並ぶ構造を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状の永久磁石を有する可動子と、
前記可動子と対向する主面、及び、前記主面に沿って配置される複数のコイルを有する固定子とを備え、
前記永久磁石は、内側面及び外側面の間にＳ極及びＮ極が径方向に沿って並ぶ構造を有する
平面モータ。
【請求項２】
前記永久磁石は、内側にＳ極が位置し、かつ、外側にＮ極が位置する第一部分と、内側にＮ極が位置し、かつ、外側にＳ極が位置する第二部分とを含む
請求項１に記載の平面モータ。
【請求項３】
前記永久磁石は、内側環状部、及び、前記内側環状部に隣接し前記内側環状部を囲む外側環状部を含み、
前記内側環状部は、Ｓ極及びＮ極の一方であり、
前記外側環状部は、Ｓ極及びＮ極の他方である
請求項１に記載の平面モータ。
【請求項４】
前記永久磁石は、円環状である
請求項１〜３のいずれか１項に記載の平面モータ。
【請求項５】
前記永久磁石は、矩形環状である
請求項１〜３のいずれか１項に記載の平面モータ。
【請求項６】
前記永久磁石は、環状に配置された複数の永久磁石片を含み、
複数の永久磁石片のそれぞれは、径方向にＳ極及びＮ極が並ぶ構造を有する
請求項１に記載の平面モータ。
【請求項７】
複数の永久磁石片のそれぞれは、直方体状である
請求項６に記載の平面モータ。
【請求項８】
複数の永久磁石片のそれぞれは、円柱状である
請求項６に記載の平面モータ。
【請求項９】
平面視において、複数の永久磁石片のそれぞれは、扇形である
請求項６に記載の平面モータ。
【請求項１０】
前記複数の永久磁石片には、内側にＳ極が位置し、かつ、外側にＮ極が位置する第一永久磁石片と、内側にＮ極が位置し、かつ、外側にＳ極が位置する第二永久磁石片とが含まれる
請求項６〜９のいずれか１項に記載の平面モータ。
【請求項１１】
さらに、前記複数のコイルに供給される電流を制御することにより、前記可動子を前記主面に沿って移動させる制御回路を備える
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の平面モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動子を平面に沿って二次元的に移動させる平面モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
可動子を平面に沿って二次元的に移動させる平面モータが知られている。このような平面モータとして、特許文献１には、数ｍｍ程度のマイクロマシン部品を二次元的に搬送するリニア電磁型マイクロアクチュエータが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２９９２１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
平面モータにおいては、可動子への推力の向上が課題となる。
【０００５】
本発明は、可動子への推力が向上された平面モータを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る平面モータは、環状の永久磁石を有する可動子と、前記可動子と対向する主面、及び、前記主面に沿って配置される複数のコイルを有する固定子とを備え、前記永久磁石は、内側面及び外側面の間にＳ極及びＮ極が径方向に沿って並ぶ構造を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、可動子への推力が向上された平面モータが実現される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、実施の形態に係る平面モータの概略構成を示す図である。
【図２】図２は、実施の形態に係る平面モータの断面構造を示す図である。
【図３】図３は、回路基板の表面を示す平面図である。
【図４】図４は、回路基板の裏面を示す平面図である。
【図５】図５は、永久磁石の外観斜視図である。
【図６】図６は、比較例に係る平面モータの断面構造を示す図である。
【図７】図７は、他の構造を有する永久磁石の第一の外観斜視図である。
【図８】図８は、他の構造を有する永久磁石の第二の外観斜視図である。
【図９】図９は、他の構造を有する永久磁石の第三の外観斜視図である。
【図１０】図１０は、複数の永久磁石片によって構成される永久磁石の第一の平面図である。
【図１１】図１１は、複数の永久磁石片によって構成される永久磁石の第二の平面図である。
【図１２】図１２は、複数の永久磁石片によって構成される永久磁石の第三の平面図である。
【図１３】図１３は、永久磁石片の形状の第一例を示す図である。
【図１４】図１４は、永久磁石片の形状の第二例を示す図である。
【図１５】図１５は、永久磁石片の形状の第三例を示す図である。
【図１６】図１６は、永久磁石片の形状の第四例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、実施の形態にについて、図面を参照しながら説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００１０】
なお、各図は模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化される場合がある。
【００１１】
また、以下の実施の形態で説明に用いられる図面においては座標軸が示される場合がある。座標軸におけるＺ軸方向は、例えば、鉛直方向であり、Ｚ軸＋側は、上側（上方）と表現され、Ｚ軸−側は、下側（下方）と表現される。Ｚ軸方向は、言い換えれば、固定子が有する主面に垂直な方向である。また、Ｘ軸方向及びＹ軸方向は、Ｚ軸方向に垂直な平面（水平面）上において、互いに直交する方向である。Ｘ−Ｙ平面は、固定子が有する主面に平行な平面である。例えば、以下の実施の形態において、「平面視」とは、Ｚ軸方向から見ることを意味する。また、図面において、磁石のＮ極は、「Ｎ」と記載され、磁石のＳ極は、「Ｓ」と記載される。
【００１２】
（実施の形態）
［構成］
以下、実施の形態に係る平面モータの構成について図面を用いて説明する。図１は、実施の形態に係る平面モータの概略構成を示す図である。
【００１３】
図１に示されるように、実施の形態に係る平面モータ１０は、可動子２０と、固定子３０と、制御回路４０とを備える。平面モータ１０は、固定子３０が有する主面３１ａに沿って可動子２０を２次元的に移動させるリニアモータ（電磁アクチュエータ）である。平面モータ１０は、例えば、物流倉庫における荷物の搬送などに用いられる。
【００１４】
まず、可動子２０について説明する。可動子２０は、平面モータ１０における移動対象物である。可動子２０は、永久磁石２１を有する。図１では、可動子２０は模式的に図示されているが、可動子２０は、具体的には、永久磁石２１が取り付けられた構造体である。永久磁石２１は、例えば、フェライト磁石であるが、アルニコ磁石、または、ネオジム磁石などであってもよく、永久磁石２１を形成する磁性材料は特に限定されない。
【００１５】
図１の例では、永久磁石２１は、環状である。永久磁石２１の詳細な構造については後述される。
【００１６】
可動子２０は、例えば、複数の永久磁石２１を有するが、少なくとも１つの永久磁石２１を有していればよく、可動子２０が有する永久磁石２１の個数は特に限定されない。
【００１７】
次に、固定子３０について説明する。固定子３０は、可動子２０を移動させるための構造体であり、建築物などに固定される。図２は、平面モータ１０の断面構造を示す図である。図２に示されるように、固定子３０は、カバー部材３１と、回路基板３２とを有する。なお、上記図１では、複数のパターンコイル３３の配置を明示するためにカバー部材３１の正確な図示が省略されている。
【００１８】
カバー部材３１は、回路基板３２を覆う板状またはシート状の部材である。カバー部材３１の平面視形状は、矩形であるが、円形等その他の形状であってもよい。カバー部材３１の上面は、固定子３０が有する主面３１ａとなる。主面３１ａは、可動子２０と対向する。主面３１ａは、可動子２０（永久磁石２１）が固定子３０に吸着してしまうことを抑制するために、透磁率が低い材料によって形成される。カバー部材３１は、具体的には、樹脂材料などの非金属材料（絶縁性を有する材料）によって形成される。
【００１９】
回路基板３２は、表面に薄膜状のパターンコイル３３が複数形成される薄膜状（シート状）の基板である。回路基板３２の平面視形状は、矩形であるが、円形等その他の形状であってもよい。回路基板３２の基材は、例えば、ガラエポなどの樹脂材料によって形成される。回路基板３２の厚みは、例えば、１７０μｍ〜２００μｍ程度である。
【００２０】
回路基板３２の表面には、複数のパターンコイル３３が形成される。図３は、回路基板３２の表面を示す平面図である。
【００２１】
図１及び図３に示されるように、回路基板３２の表面には、複数のパターンコイル３３がマトリクス状に配置される。複数のパターンコイル３３のそれぞれは、巻回軸が主面３１ａに垂直な方向に沿う矩形巻回状の配線であるが、円形巻回状等、他の巻回状であってもよい。複数のパターンコイル３３の巻回方向は、同一であるが、異なってもよい。
【００２２】
パターンコイル３３の巻回中心付近に位置する一方の端部（内周側に位置する一方の端部）は、導電ビア構造３５によって回路基板３２の裏面に形成された配線３６に電気的に接続される。図４は、回路基板３２の裏面を示す平面図である。パターンコイル３３の外周側に位置する他方の端部は、制御回路４０に電気的に接続される。
【００２３】
パターンコイル３３、導電ビア構造３５、及び、配線３６は、例えば、銅などの金属材料によって形成される。パターンコイル３３及び配線３６は、例えば、エッチングによってパターン形成される。
【００２４】
次に、制御回路４０について説明する。制御回路４０は、複数のパターンコイル３３の駆動を制御する回路である。制御回路４０は、具体的には、複数のパターンコイル３３に供給される電流を制御することにより、可動子２０を主面３１ａに沿って移動させる。図３に模式的に示されるように、制御回路４０は、制御部４１を有する。
【００２５】
制御部４１は、例えば、複数のパターンコイル３３のそれぞれに対して、（ａ）電力を供給しない、（ｂ）第一極性（例えば、正極性）の直流電圧を供給する、及び、（ｃ）第一極性の逆の第二極性（例えば、負極性）の直流電圧を供給する、のいずれかを行う。第一極性の直流電圧が供給されたパターンコイル３３は、例えば、主面３１ａ側がＳ極の電磁石として機能し、第二極性の直流電圧が供給されたパターンコイル３３は、例えば、主面３１ａ側がＮ極の電磁石として機能する。
【００２６】
このように、制御回路４０（より具体的には、制御部４１）は、複数のパターンコイル３３のそれぞれに直流電圧を供給し、当該直流電圧の極性を切り替えることができる。言い換えれば、制御回路４０は、複数のパターンコイル３３のそれぞれに電流を供給し、当該電流の極性を切り替えることができる。制御回路４０は、複数のパターンコイル３３の極性を切り替えることで、パターンコイル３３と永久磁石２１との間に吸引力または反発力を生じさせる。これにより、可動子２０が主面３１ａに沿って移動する。
【００２７】
制御部４１は、具体的には、プロセッサ、マイクロコンピュータ、及び、回路の少なくとも１つ以上によって実現される。なお、制御回路４０の一部または全部は、回路基板３２に含まれてもよい。
【００２８】
以上説明したような平面モータ１０は、可動子２０の移動に磁力が用いられるため、低騒音、低振動、発塵しにくい、隔壁伝達が可能である、などの利点を有している。また、平面モータ１０に複数のパターンコイル３３が用いられることにより、固定子３０の薄型化、軽量化、及び、低コスト化が可能である。
【００２９】
［永久磁石の構造］
次に、永久磁石２１の構造について説明する。図５は、永久磁石２１の外観斜視図である。図５に示されるように、永久磁石２１は、円環状である。永久磁石２１の外形は、平たい円柱状であり、永久磁石２１の中心部には空洞２１ｃが設けられている。
【００３０】
中心部に空洞２１ｃが設けられた永久磁石２１の表面磁束密度は、空洞が設けられていない永久磁石の表面磁束密度と変わらない。したがって、このような空洞２１ｃによれば、表面磁束密度の低下を抑制しつつ、永久磁石２１の軽量化を図ることができる。永久磁石２１の軽量化により可動子２０が軽量化されれば、可動子２０の推力が向上される。なお、空洞２１ｃには、磁性体などが埋め込まれていてもよい。
【００３１】
また、一般的に、空洞が設けられていない永久磁石は、中心部と比べて周辺部の方が磁束密度が高い。永久磁石２１のように中心部に空洞２１ｃが設けられれば、内側及外側の両方に高磁束密度のポイントを形成することができる。そうすると、内側及び外側の両方の高磁束密度のポイントにおいて、固定子３０との間に吸引力及び反発力を生じさせることができる。したがって、このような永久磁石２１は、可動子２０への推力を高めることができる。 
【００３２】
永久磁石２１は、具体的には、内側面２１ｅ及び外側面２１ｆの間にＳ極及びＮ極が径方向に沿って並ぶ構造を有する。内側面２１ｅは、言い換えれば、内周面であり、外側面２１ｆは、言い換えれば、外周面である。径方向は、言い換えれば、内側面２１ｅから外側面２１ｆに向かう方向、または、外側面２１ｆから内側面２１ｅに向かう方向である。
【００３３】
永久磁石２１は、さらに具体的には、内側にＳ極が位置し、かつ、外側にＮ極が位置する第一部分２１ａと、内側にＮ極が位置し、かつ、外側にＳ極が位置する第二部分２１ｂとを含む。第一部分２１ａは、円環状の永久磁石２１を均等に２つに分割した場合に得られる一方の半円に相当する部分であり、第二部分２１ｂは、他方の半円に相当する部分である。
【００３４】
図２に示されるように、可動子２０の本体に取り付けられた永久磁石２１の径方向は、主面３１ａに沿う。つまり、永久磁石２１のＳ極及びＮ極の並び方向は、主面３１ａに沿う。このような永久磁石２１が可動子２０に用いられた平面モータ１０によって得られる効果について、比較例に係る平面モータを参照しながら説明する。図６は、比較例に係る平面モータの断面構造を示す図である。
【００３５】
図６に示されるように、比較例に係る平面モータ１０ｄは、可動子２０ｄ及び固定子３０を備える。可動子２０ｄは、円環状の永久磁石２１ｄを有する。永久磁石２１ｄは、磁極の並び方向が永久磁石２１と異なり、永久磁石２１ｄのＳ極及びＮ極の並び方向は、主面３１ａに直交する。図６では、断面視で２つに分離されたＳ極が主面３１ａに対向している。そうすると、固定子３０は、２つのＳ極のそれぞれとの間に吸引力（図６の白矢印）及び反発力（図６の黒矢印）を発生させて可動子２０を移動させることとなる。
【００３６】
一方、図２に示されるように、平面モータ１０では、断面視でＳ極及びＮ極の組が空洞２１ｃを挟んで２組に設けられ、主面３１ａに対向している。そうすると、固定子３０は、２つのＳ極及び２つのＮ極の合計４つの磁極のそれぞれとの間に吸引力（図２の白矢印）及び反発力（図２の黒矢印）を発生させて可動子２０を移動させることができる。つまり、平面モータ１０は、平面モータ１０ｄに比べて可動子２０への推力を向上することができる。
【００３７】
［変形例１］
このように可動子２０への推力を向上することができる永久磁石の構造は、永久磁石２１のような構造に限定されない。図７〜図９は、他の構造を有する永久磁石の外観斜視図である。
【００３８】
図７に示される永久磁石１２１は、円環状である。永久磁石１２１は、内側環状部１２１ａ、及び、内側環状部１２１ａに隣接し内側環状部１２１ａを囲む外側環状部１２１ｂを含む。永久磁石１２１においては、内側環状部１２１ａがＳ極であり、外側環状部１２１ｂがＮ極である。なお、内側環状部１２１ａがＮ極であり、外側環状部１２１ｂがＳ極であってもよい。つまり、永久磁石１２１においては、内側環状部１２１ａがＳ極及びＮ極の一方であり、外側環状部１２１ｂは、Ｓ極及びＮ極の他方であればよい。
【００３９】
このような永久磁石１２１も、永久磁石２１と同様に、内側面及び外側面の間にＳ極及びＮ極が径方向に沿って並ぶ構造を有する。したがって、永久磁石１２１が可動子２０の本体に取り付けられれば、可動子２０への推力が向上される。
【００４０】
また、可動子２０の本体に取り付けられる永久磁石は、環状であればよく、円環状に限定されない。例えば、図８に示される永久磁石２２１、及び、図９に示される永久磁石３２１が可動子２０の本体に取り付けられてもよい。なお、永久磁石２２１の磁極の配置は、永久磁石２１と同様であり、永久磁石３２１の磁極の配置は、永久磁石１２１と同様である。
【００４１】
［変形例２］
また、可動子２０の本体に取り付けられる永久磁石は、複数の永久磁石片によって構成されてもよい。図１０は、複数の永久磁石片によって構成される永久磁石の第一の平面図である。
【００４２】
図１０に示される永久磁石４２１は、円環状に配置された複数の永久磁石片４２１ａを含む。複数の永久磁石片４２１ａのそれぞれは、環状の配置において径方向にＳ極及びＮ極が並ぶ構造を有する。永久磁石４２１においては、全ての永久磁石片４２１ａのそれぞれは、環状の配置における内側にＳ極が位置し、環状の配置における外側にＮ極が位置する。
【００４３】
永久磁石４２１における磁極の配置は、永久磁石１２１と同様の配置となる。なお、複数の永久磁石片を用いて永久磁石２１と同様の磁極の配置を実現することもできる。図１１は、複数の永久磁石片によって構成される永久磁石の第二の平面図である。
【００４４】
図１０に示される永久磁石５２１は、円環状に配置された複数の永久磁石片を含む。複数の永久磁石片には、内側にＳ極が位置し、かつ、外側にＮ極が位置する第一永久磁石片５２１ａと、内側にＮ極が位置し、かつ、外側にＳ極が位置する第二永久磁石片５２１ｂとが含まれる。
【００４５】
複数の第一永久磁石片５２１ａは半円環状に配置され、複数の第二永久磁石片５２１ｂは半円環状に配置される。これにより、永久磁石５２１における磁極の配置は、永久磁石２１と同様の配置となる。
【００４６】
また、複数の永久磁石片は、環状に配置されればよく、円環状に配置されることは必須ではない。図１２は、複数の永久磁石片によって構成される永久磁石の第三の平面図である。
【００４７】
例えば、図１２に示される永久磁石６２１のように、複数の永久磁石片６２１ａは、矩形環状に配置されてもよい。なお、図視されないが、複数の永久磁石片６２１ａは、磁極の配置が永久磁石２２１と同様になるように矩形環状に配置されてもよい。
【００４８】
なお、永久磁石片の形状は、特に限定されない。図１３〜図１６は、永久磁石片の形状を示す図である。図１３に示される永久磁石片２２は、平たい直方体状であって、厚み方向に並んだＳ極及びＮ極が並ぶ構造を有する。図１４に示される永久磁石片２３は、角柱状（つまり、直方体状）であって、角柱の高さ方向にＳ極及びＮ極が並ぶ構造を有する。図１５に示される永久磁石片２４は、平たい円柱状であって、円柱の高さ方向にＳ極及びＮ極が並ぶ構造を有する。図１６に示される永久磁石片２５は、平面視形状が扇形であり、扇形の径方向にＳ極及びＮ極が並ぶ構造を有する。可動子２０の本体に取り付けられる永久磁石は、このようないずれの永久磁石片が環状に配置されることで構成されてもよい。
【００４９】
［効果等］
以上説明したように、平面モータ１０は、環状の永久磁石２１を有する可動子２０と、可動子２０と対向する主面３１ａ、及び、主面３１ａに沿って配置される複数のパターンコイル３３を有する固定子３０とを備える。永久磁石２１は、内側面２１ｅ及び外側面２１ｆの間にＳ極及びＮ極が径方向に沿って並ぶ構造を有する。
【００５０】
このような永久磁石２１が、永久磁石２１の径方向が主面３１ａに沿うように可動子２０の本体に取り付けられれば、４つの磁極が主面３１ａと対向する。このため、平面モータ１０は、例えば、固定子３０と４つの磁極のそれぞれとの間に吸引力及び反発力を発生させて可動子２０を移動させることができる。これにより、平面モータ１０は、可動子２０への推力を向上することができる。
【００５１】
また、永久磁石２１は、内側にＳ極が位置し、かつ、外側にＮ極が位置する第一部分２１ａと、内側にＮ極が位置し、かつ、外側にＳ極が位置する第二部分２１ｂとを含む。
【００５２】
このように内側にＳ極及びＮ極の一方、外側にＳ極及びＮ極の他方を有する永久磁石２１によれば、平面モータ１０は、可動子２０への推力を向上することができる。
【００５３】
また、永久磁石１２１は、内側環状部１２１ａ、及び、内側環状部１２１ａに隣接し内側環状部１２１ａを囲む外側環状部１２１ｂを含み、内側環状部１２１ａは、Ｓ極及びＮ極の一方であり、外側環状部１２１ｂは、Ｓ極及びＮ極の他方である。
【００５４】
このように、内側及び外側のそれぞれにＳ極及びＮ極を含む永久磁石１２１によれば、平面モータ１０は、可動子２０への推力を向上することができる。
【００５５】
また、永久磁石２１及び永久磁石１２１は、円環状である。
【００５６】
このような円環状の永久磁石２１または永久磁石１２１によれば、平面モータ１０は、可動子２０への推力を向上することができる。
【００５７】
また、永久磁石２２１及び永久磁石３２１は、矩形環状である。
【００５８】
このような矩形環状の永久磁石２２１または永久磁石３２１によれば、平面モータ１０は、可動子２０への推力を向上することができる。
【００５９】
また、永久磁石４２１は、環状に配置された複数の永久磁石片４２１ａを含み、複数の永久磁石片４２１ａのそれぞれは、径方向にＳ極及びＮ極が並ぶ構造を有する。
【００６０】
このような永久磁石４２１によれば、平面モータ１０は、可動子２０への推力を向上することができる。
【００６１】
また、永久磁石片２２または永久磁石片２３のように、複数の永久磁石片４２１ａのそれぞれは、例えば、直方体状である。
【００６２】
このように、直方体状の永久磁石片２２または永久磁石片２３によって構成される永久磁石４２１によれば、平面モータ１０は、可動子２０への推力を向上することができる。
【００６３】
また、永久磁石片２４のように、複数の永久磁石片４２１ａのそれぞれは、例えば、円柱状である。
【００６４】
このように、円柱状の永久磁石片２４によって構成される永久磁石４２１によれば、平面モータ１０は、可動子２０への推力を向上することができる。
【００６５】
また、永久磁石片２５のように、平面視において、複数の永久磁石片４２１ａのそれぞれは、例えば、扇形である。
【００６６】
このように、平面視形状が扇形の永久磁石片２５によって構成される永久磁石４２１によれば、平面モータ１０は、可動子２０への推力を向上することができる。
【００６７】
また、永久磁石５２１に含まれる複数の永久磁石片には、内側にＳ極が位置し、かつ、外側にＮ極が位置する第一永久磁石片５２１ａと、内側にＮ極が位置し、かつ、外側にＳ極が位置する第二永久磁石片５２１ｂとが含まれる。
【００６８】
このように、内側及び外側のそれぞれにＳ極及びＮ極を含む永久磁石５２１によれば、平面モータ１０は、可動子２０への推力を向上することができる。
【００６９】
また、平面モータ１０は、さらに、複数のパターンコイル３３に供給される電流を制御することにより、可動子２０を主面３１ａに沿って移動させる制御回路４０を備える。
【００７０】
このような制御回路４０は、可動子２０を主面３１ａに沿って移動させるときの可動子２０の推力を向上することができる。
【００７１】
（他の実施の形態）
以上、実施の形態に係る平面モータについて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
【００７２】
例えば、上記実施の形態では、固定子は薄膜状のパターンコイルを有していたが、固定子が備えるコイルは、パターンコイルに限定されない。固定子は、パターンコイルに代えて複数の巻線コイルを備えてもよい。また、上記実施の形態では、複数のパターンコイルは、マトリクス状に配置されたが、マトリクス状以外のレイアウトで配置されてもよい。例えば、パターンコイルが六角形に沿う巻回形状を有する場合には、複数のパターンコイルは、ハニカム状に配置されてもよい。
【００７３】
また、上記実施の形態の固定子の模式断面図に示される積層構造は一例である。平面モータは、本発明の特徴的な機能を実現できる他の積層構造を有する固定子を備えてもよい。平面モータは、例えば、上記実施の形態で説明された積層構造と同様の機能を実現できる範囲で、上記実施の形態の積層構造の層間に別の層が設けられた固定子を備えてもよい。
【００７４】
また、上記実施の形態では、固定子が有する積層構造の各層を構成する主たる材料について例示しているが、固定子が有する積層構造の各層には、上記実施の形態の積層構造と同様の機能を実現できる範囲で他の材料が含まれてもよい。例えば、カバー部材及び回路基板の間には磁性体層が設けられてもよい。磁性体層は、例えば、酸化鉄、酸化クロム、コバルト、または、フェライトなどの材料によって形成される。このような磁性体層によれば、可動子の移動に寄与する磁束の量を向上させることができる。つまり、パターンコイルが発する磁束を効率的に利用できる。
【００７５】
また、上記実施の形態において、制御部等の構成要素は、専用のハードウェアで構成されるか、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵまたはプロセッサなどのプログラム実行部が、ハードディスクまたは半導体メモリなどの記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。
【００７６】
その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態、または、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
【符号の説明】
【００７７】
１０、１０ｄ  平面モータ
２０、２０ｄ  可動子
２１、２１ｄ、１２１、２２１、３２１、４２１、５２１、６２１  永久磁石
２１ａ  第一部分
２１ｂ  第二部分
２１ｅ  内側面
２１ｆ  外側面
２２、２３、２４、２５、４２１ａ、６２１ａ  永久磁石片
３０  固定子
３１ａ  主面
３３  パターンコイル
４０  制御回路
１２１ａ  内側環状部
１２１ｂ  外側環状部
５２１ａ  第一永久磁石片
５２１ｂ  第二永久磁石片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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