(57)【要約】【課題】静電容量Ｃ０を低減することができる振動片を提供することにある。【解決手段】振動片１００は、基部１０と、振動腕２０ａ，２０ｂと、支持腕３０と、励振電極４０ａ，４０ｂと、第１電極パッド６０ａと、第２電極パッド６０ｂと、第１電極パッド６０ａと第１励振電極４０ａとを電気的に接続している第１引出電極５０ａと、第２電極パッド６０ｂと第２励振電極４０ｂとを電気的に接続し、第１主面１０１ａと表裏の関係にある支持腕３０の第２主面側に設けられている第２引出電極５０ｂと、を含み、平面視で、第１電極パッド６０ａの第１方向側の第１端部を通り第１方向と直交する第２方向に延びる第１仮想直線と、第１電極パッド６０ａの第１端部とは反対側の第２端部を通り第２方向に延びる第２仮想直線と、の間の支持腕３０の領域において、第２引出電極の少なくとも一部は、第１電極パッド６０ａと重なっていない。【選択図】図１
2019115080.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から延出している一対の振動腕と、
前記基部から第１方向に延出している支持腕と、
前記振動腕に設けられている第１励振電極および第２励振電極と、
前記支持腕の第１主面に設けられている第１電極パッドと、
前記支持腕の第１主面に設けられ、前記第１電極パッドよりも前記支持腕の先端側に位置している第２電極パッドと、
前記第１電極パッドと前記第１励振電極とを電気的に接続している第１引出電極と、
前記第２電極パッドと前記第２励振電極とを電気的に接続している第２引出電極と、
を含み、
平面視で、前記第１電極パッドの前記第１方向側の第１端部を通り前記第１方向と直交する第２方向に延びる第１仮想直線と、前記第１電極パッドの前記第１端部とは反対側の第２端部を通り前記第２方向に延びる第２仮想直線と、の間の前記支持腕の領域において、前記第２引出電極は、前記第１主面と表裏の関係にある前記支持腕の第２主面側に設けられ、
前記支持腕の前記領域において、前記第２引出電極の少なくとも一部は、平面視で、前記第１電極パッドと重なっていない、振動片。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１電極パッドには、切欠き部が設けられ、
前記支持腕の前記領域において、前記第２引出電極の少なくとも一部は、平面視で、前記切欠き部と重なっている、振動片。
【請求項３】
請求項１において、
前記第１電極パッドの中心は、平面視で、前記支持腕の前記第１方向に延びる仮想中心線の一方側に位置し、
前記支持腕の前記領域において、前記第２引出電極は、平面視で、前記仮想中心線の他方側に位置している、振動片。
【請求項４】
請求項３において、
前記支持腕は、前記基部に接続されている括れ部と、前記括れ部に接続されている幅広部と、を有し、
前記括れ部において、前記第２引出電極の少なくとも一部は、平面視で、前記第１引出電極と重なっていない、振動片。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記振動腕は、前記基部に接続された腕部と、前記腕部に接続された錘部と、を有する、振動片。
【請求項６】
請求項５において、
前記錘部の幅は、前記腕部の幅よりも大きい、振動片。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項において、
前記振動腕には、溝部が設けられている、振動片。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片が収容されているパッケージと、
を備えている、振動子。
【請求項９】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片と電気的に接続されている発振回路と、
を備えている、発振器。
【請求項１０】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片と電気的に接続されている発振回路と、
前記発振回路から出力される信号に基づいて、日時データを生成する計時回路と、
を備えている、リアルタイムクロック。
【請求項１１】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片を備えている、電子機器。
【請求項１２】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片を備えている、移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピューター、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器等において、振動子や発振器等の電子デバイスが広く使用されている。近年、電子機器の小型化・薄型化に伴い、振動子のより一層の小型化・薄型化が図られている。このような振動子の小型化・薄型化に伴い、耐衝撃性が問題となっている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、振動子を小型化するために、一対の振動腕の間に支持部（支持腕）を設けた振動片が開示されている。支持部の表面には、２つの端子（電極パッド）が設けられており、一方の端子は支持部の根元側に設けられ、他方の端子は支持部の先端側に設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１４１７７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の振動子では、支持部（支持腕）の先端側の端子（電極パッド）は、支持部の裏面に設けられた配線を介して、振動部に設けられた励振電極と電気的に接続されている。しかしながら、電気抵抗が顕著に増大しないように、電極の配線を細くしないで振動子を小型化した場合、この支持部の裏面に設けられた配線と、支持部の根元側に設けられた端子（電極パッド）とが、平面視で重なっているため、振動片の静電容量（等価並列静電容量）Ｃ０が大きくなってしまうという問題があった。静電容量Ｃ０が大きくなると、実効抵抗Ｒｅ（Ｒｅ＝Ｒ１×（１＋Ｃ０／ＣＬ）、Ｒ１：等価直列抵抗、ＣＬ：負荷容量）が増大し、振動片が発振器として動作する際の消費電力が増大してしまうという問題があった。
【０００６】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、静電容量Ｃ０を低減することができる振動片を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記振動片を含む振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。
【０００８】
［適用例１］
本適用例に係る振動片は、
基部と、
前記基部から延出している一対の振動腕と、
前記基部から第１方向に延出している支持腕と、
前記振動腕に設けられている第１励振電極および第２励振電極と、
前記支持腕の第１主面に設けられている第１電極パッドと、
前記支持腕の第１主面に設けられ、前記第１電極パッドよりも前記支持腕の先端側に位置している第２電極パッドと、
前記第１電極パッドと前記第１励振電極とを電気的に接続している第１引出電極と、
前記第２電極パッドと前記第２励振電極とを電気的に接続している第２引出電極と、を含み、
平面視で、前記第１電極パッドの前記第１方向側の第１端部を通り前記第１方向と直交する第２方向に延びる第１仮想直線と、前記第１電極パッドの前記第１端部とは反対側の第２端部を通り前記第２方向に延びる第２仮想直線と、の間の前記支持腕の領域において、前記第２引出電極は、前記第１主面と表裏の関係にある前記支持腕の第２主面側に設けられ、
前記支持腕の前記領域において、前記第２引出電極の少なくとも一部は、平面視で、前記第１電極パッドと重なっていない。
【０００９】
このような振動片では、支持腕の前記領域において、第２引出電極の少なくとも一部は、平面視で、第１電極パッドと重ならないため、例えば支持腕の前記領域において第２引出電極の全部が第１電極パッドと重なる場合と比べて、第２引出電極と第１電極パッドとの間の静電容量を低減することができ、振動片の静電容量Ｃ０を低減することができる。したがって、このような振動片では、実効抵抗Ｒｅを低減することができ、振動片が発振器として動作する際の消費電力を低減することができる。
【００１０】
［適用例２］
本適用例に係る振動片において、
前記第１電極パッドには、切欠き部が設けられ、
前記支持腕の前記領域において、前記第２引出電極の少なくとも一部は、平面視で、前記切欠き部と重なっていてもよい。
【００１１】
このような振動片では、第２引出電極の少なくとも一部が切欠き部と重なっているため、第２引出電極の少なくとも一部が第１電極パッドと重ならない。そのため、第２引出電極と第１電極パッドとの間の静電容量を低減することができ、振動片の静電容量Ｃ０を低減することができる。
【００１２】
［適用例３］
本適用例に係る振動片において、
前記第１電極パッドの中心は、平面視で、前記支持腕の前記第１方向に延びる仮想中心線の一方側に位置し、
前記支持腕の前記領域において、前記第２引出電極は、平面視で、前記仮想中心線の他方側に位置していてもよい。
【００１３】
このような振動片では、第１電極パッドの中心が支持腕の第１方向に延びる第１仮想中心線の一方側に位置し、支持腕の前記領域において、第２引出電極が支持腕の第１仮想中心線の他方側に位置していることにより、第２引出電極の少なくとも一部が第１電極パッドと重ならない。そのため、第２引出電極と第１電極パッドとの間の静電容量を低減することができ、振動片の静電容量Ｃ０を低減することができる。
【００１４】
［適用例４］
本適用例に係る振動片において、
前記支持腕は、前記基部に接続されている括れ部と、前記括れ部に接続されている幅広部と、を有し、
前記括れ部において、前記第２引出電極の少なくとも一部は、平面視で、前記第１引出電極と重なっていなくてもよい。
【００１５】
このような振動片では、支持腕の括れ部において、第２引出電極の少なくとも一部が平面視で第１引出電極と重なっていないため、第２引出電極と第１引出電極との間の静電容量を低減することができ、振動片の静電容量Ｃ０をより低減することができる。
【００１６】
［適用例５］
本適用例に係る振動片において、
前記振動腕は、前記基部に接続された腕部と、前記腕部に接続された錘部と、を有してもよい。
【００１７】
このような振動片では、熱弾性損失を低減することができる。
【００１８】
［適用例６］
本適用例に係る振動片において、
前記錘部の幅は、前記腕部の幅よりも大きくてもよい。
【００１９】
このような振動片では、熱弾性損失を低減することができる。
【００２０】
［適用例７］
本適用例に係る振動片において、
前記振動腕には、溝部が設けられていてもよい。
【００２１】
このような振動片では、屈曲振動によって発生する熱が拡散（熱伝導）することを抑制することができ、熱弾性損失を低減することができる。
【００２２】
［適用例８］
本適用例に係る振動子は、
上記のいずれかの振動片と、
前記振動片が収容されているパッケージと、
を備えている。
【００２３】
このような振動子では、上記のいずれかの振動片を備えているため、低消費電力化を図ることができる。
【００２４】
［適用例９］
本適用例に係る発振器は、
上記のいずれかに記載の振動片と、
前記振動片と電気的に接続されている発振回路と、
を備えている。
【００２５】
このような発振器では、上記のいずれかの振動片を備えているため、低消費電力化を図ることができる。
【００２６】
［適用例１０］
本適用例に係るリアルタイムクロックは、
上記のいずれかの振動片と、
前記振動片と電気的に接続されている発振回路と、
前記発振回路から出力される信号に基づいて、日時データを生成する計時回路と、
を備えている。
【００２７】
このようなリアルタイムクロックでは、上記のいずれかの振動片を備えているため、低消費電力化を図ることができる。
【００２８】
［適用例１１］
本適用例に係る電子機器は、
上記のいずれかの振動片を備えている。
【００２９】
このような電子機器では、上記のいずれかの振動片を備えているため、低消費電力化を図ることができる。
【００３０】
［適用例１２］
本適用例に係る移動体は、
上記のいずれかの振動片を備えている。
【００３１】
このような移動体では、上記のいずれかの振動片を備えているため、低消費電力化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本実施形態に係る振動片を模式的に示す平面図。
【図２】本実施形態に係る振動片を模式的に示す平面図。
【図３】本実施形態に係る振動片を模式的に示す断面図。
【図４】本実施形態に係る振動片の支持腕の一部を模式的に示す平面図。
【図５】第１変形例に係る振動片を模式的に示す平面図。
【図６】第１変形例に係る振動片を模式的に示す平面図。
【図７】第１変形例に係る振動片の支持腕の一部を模式的に示す平面図。
【図８】第２変形例に係る振動片を模式的に示す平面図。
【図９】第２変形例に係る振動片を模式的に示す平面図。
【図１０】第２変形例に係る振動片の支持腕の一部を模式的に示す平面図。
【図１１】第３変形例に係る振動片を模式的に示す平面図。
【図１２】第３変形例に係る振動片を模式的に示す平面図。
【図１３】第４変形例に係る振動片を模式的に示す断面図。
【図１４】本実施形態に係る振動子を模式的に示す平面図。
【図１５】本実施形態に係る振動子を模式的に示す断面図。
【図１６】本施形態に係る発振器を模式的に示す断面図。
【図１７】本実施形態に係るリアルタイムクロックの機能ブロック図。
【図１８】本実施形態に係る電子機器を模式的に示す平面図。
【図１９】本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図２０】本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図２１】本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図２２】本施形態に係る移動体を模式的に示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００３４】
１．  振動片
まず、本実施形態に係る振動片について、図面を参照しながら説明する。図１および図２は、本実施形態に係る振動片１００を模式的に示す平面図である。図３は、本実施形態に係る振動片１００を模式的に示す図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【００３５】
なお、図１〜図３および以下に示す図４〜図１３では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ´軸、およびＺ´軸を図示している。ここで、水晶の結晶軸である、電気軸をＸ軸、機械軸をＹ軸、光学軸をＺ軸とし、Ｘ軸を回転軸としたとき、Ｙ´軸は、Ｙ軸を、＋Ｙ側をＺ軸の＋側に傾けるように回転させてなる軸であり、Ｚ´軸は、Ｚ軸を、＋Ｚ側をＹ軸の−側に傾けるように回転させてなる軸である。なお、温度変化による共振周波数変化を小さくする観点から、前記回転させる傾きは−５度以上１５度以下の範囲で行われる。
【００３６】
振動片１００は、図１〜図３に示すように、Ｚ´軸と直交する主面（互いに表裏の関係にある主面）１０１ａ，１０１ｂを有する水晶基板（圧電基板）１０１を含む。なお、図１は、振動片１００を主面１０１ａ側から見た図であって、振動片１００の主面１０１ａ側の構成を説明するための図である。図２は、振動片１００を主面１０１ａ側から透かして見た図であって、振動片１００の主面１０１ｂ側の構成を説明するための図である。
【００３７】
振動片１００は、図１〜図３に示すように、基部１０と、一対の振動腕２０ａ，２０ｂと、支持腕３０と、励振電極４０ａ，４０ｂと、引出電極５０ａ，５０ｂと、電極パッド６０ａ，６０ｂと、を含む。基部１０、振動腕２０ａ，２０ｂ、および支持腕３０は、水晶基板１０１を構成している。
【００３８】
基部１０は、略平板状の形状を有している。基部１０のＹ´軸方向に沿う長さは、例えば、５０μｍ以上３００μｍ以下である。
【００３９】
振動腕２０ａ，２０ｂは、互いに並んで、基部１０から−Ｙ´軸方向に延出している。図示の例では、支持腕３０の＋Ｘ軸方向側に第１振動腕２０ａが設けられ、支持腕３０の−Ｘ軸方向側に第２振動腕２０ｂが設けられている。振動腕２０ａ，２０ｂは、基部１０に接続された腕部２２と、腕部２２に接続された錘部２４と、を有している。
【００４０】
振動腕２０ａ，２０ｂの腕部２２の主面１０１ａ，１０１ｂには、有底の溝部２３が設けられている。溝部２３は、平面視で（Ｚ´軸方向からみて）、Ｙ´軸に沿って延出している。図示の例では、溝部２３の先端は、腕部２２と錘部２４との境に位置し、溝部２３の基端は、基部１０と腕部２２との境界に位置している。腕部２２は、図３に示すように、略Ｈ字状の断面形状を有している。溝部２３と、振動腕２０ａ，２０ｂの側面２２ａ，２２ｂ（内側面２２ａ，外側面２２ｂ）と、の間の距離Ｗは、６μｍ以下であることが好ましい。さらに、溝部２３の最大の深さをｔ、振動腕２０ａ，２０ｂの厚さ（Ｚ´軸方向に沿う長さ）をＴとしたとき、２ｔ／Ｔで表されるηが０．６以上であることが好ましい。これにより、振動片１００の等価直列抵抗、ＣＩ（Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ）値を小さくすることができ、低消費電力化を図ることができる。図３に示す例では、側面２２ａ，２２ｂは、主面１０１ａ，１０１ｂに対して傾斜しているが、垂直であってもよい。
【００４１】
なお、溝部２３のＹ´軸に沿った長さは特に限定されない。例えば、溝部２３は、錘部２４にも設けられていてもよいし、基部１０にも設けられていてもよい。
【００４２】
振動腕２０ａ，２０ｂの錘部２４は、図１および図２に示すように、略平板状の形状を有している。図示の例では、錘部２４のＸ軸方向に沿う幅Ｗ１は、腕部２２のＸ軸方向に沿う幅Ｗ２よりも大きい。幅Ｗ１に対する幅Ｗ２の比（Ｗ１／Ｗ２）は、２以上１０以下であり、好ましくは５以上７以下である。これにより、熱弾性損失（屈曲振動する振動片の圧縮部と伸張部との間で発生する熱伝導により生じる振動エネルギーの損失）を低減させつつ、錘部２４が捻じれることによる振動漏れを抑制することができる。
【００４３】
振動腕２０ａ，２０ｂの錘部２４の幅Ｗ１は、例えば、１００μｍ以上４００μｍ以下である。錘部２４のＹ´軸に沿う長さは、例えば、５０μｍ以上６００μｍ以下である。第１振動腕２０ａの錘部２４と第２振動腕２０ｂの錘部２４との間の距離は、例えば、２０μｍ以上２００μｍ以下である。腕部２２の幅Ｗ２は、例えば、２０μｍ以上１５０μｍ以下である。錘部２４のＹ´軸に沿う長さは、例えば、３００μｍ以上１０００μｍ以下である。
【００４４】
なお、本発明に係る錘部は、腕部よりも単位長さ当たりの質量が大きければ、その形状は特に限定されない。例えば、錘部は、腕部の幅と同じ大きさの幅を有しており、腕部よりも厚い形状であってもよい。また、錘部は、錘部に該当する振動腕の表面や、凹部を形成してそこに金などの金属を設けることによって構成されていてもよい。さらに、錘部は、腕部よりも質量密度の高い物質から構成されていてもよい。すなわち、腕部と錘部における単位長さ（Ｙ´軸方向長さ）当たりの質量を夫々Ｍａ、Ｍｂとした場合、総ての腕部、あるいは総ての錘部においてＭａ＜Ｍｂの関係を満たしていればよい。
【００４５】
支持腕３０は、一対の振動腕２０ａ，２０ｂの間に設けられている。支持腕３０は、基部１０の−Ｙ´軸方向側の（平面視で−Ｙ´軸方向を向く）側面１０ａから−Ｙ´軸方向（第１方向）に延出している。すなわち、支持腕３０は、基部１０から振動腕２０ａ，２０ｂと同じ方向に延出している。支持腕３０のＹ´軸に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ´軸に沿った長さよりも小さい。支持腕３０の先端は、平面視で、振動腕２０ａ，２０ｂの先端よりも基部１０側に位置している。図示の例では、第１振動腕２０ａの錘部２４と、第２振動腕２０ｂの錘部２４と、の間には、支持腕３０は設けられていない。
【００４６】
支持腕３０と錘部２４との間の距離Ｌｇは、例えば、振動腕２０ａ，２０ｂの厚さをＴ（μｍ）としたとき、例えば、Ｔ×５０／１３０≦Ｌｇ≦２００μｍの関係を満たし、好ましくは、Ｔ×７０／１３０≦Ｌｇ≦１００μｍの関係を満たす。距離ＬｇがＴ×５０／１３０より小さいと、第２電極パッド６０ｂに設けられた導電性接合部材（図示せず）と錘部２４に設けられている励振電極４０ａ，４０ｂが接触してしまう場合がある。さらに、平面視でＹ´軸と直交する面は主面１０１ａ，１０１ｂに対して傾斜しているため、距離ＬｇがＴ×５０／１３０より小さいと、ウェットエッチングによって振動腕２０ａ，２０ｂおよび支持腕３０の外形を形成する際に、錘部２４と支持腕３０とがつながってしまう場合がある。距離Ｌｇが２００μｍより大きいと、振動片の小型化を図ることが困難な場合がある。
【００４７】
支持腕３０と腕部２２との間の距離は、例えば、１０μｍ以上２００μｍ以下であり、好ましくは、５０μｍ以上１００μｍ以下である。支持腕３０と腕部２２との間の距離が１０μｍより小さいと、電極パッド６０ａ，６０ｂに設けられた導電性接合部材（図示せず）が腕部２２に接触し腕部２２の振動が阻害される場合がある。特に、導電性接合部材として樹脂バンプを用いる場合は、支持腕３０と腕部２２との間の距離は、５０μｍ以上であることが好ましい。支持腕３０と腕部２２との間の距離が２００μｍより大きいと、振動片の小型化を図ることが困難な場合がある。
【００４８】
支持腕３０は、例えば、基部１０に接続されている括れ部３２と、括れ部３２に接続されている幅広部３４と、を有している。括れ部３２は、基部１０と幅広部３４との間に設けられ、幅広部３４のＸ軸に沿う幅より小さい幅を有する部分である。括れ部３２によって、振動片１００では、Ｘ軸方向における同相の屈曲振動モード（一対の振動腕が同時に＋Ｘ軸方向に変位し、次に−Ｘ軸方向に変位することを順次繰り返す屈曲振動モード）の共振周波数と、Ｘ軸方向における逆相の屈曲振動モード（一対の振動腕の一方が＋Ｘ軸方向に変位し、他方が−Ｘ軸方向に変位し、次に一方が−Ｘ軸方向に変位し、他方が＋Ｘ軸方向に変位することを順次繰り返す屈曲振動モード）の共振周波数と、を離すことができる。これにより、同相の屈曲振動モードと逆相の屈曲振動モードとの結合を抑制して、逆相の屈曲振動モードの振動姿態に同相の屈曲振動モードの振動姿態が混在することを低減することができ、振動漏れを低減することができる。
【００４９】
なお、電極パッド６０ａ，６０ｂに設けられる導電性接合部材のヤング率が小さい場合等には支持腕３０に括れ部３２を設けないことも可能であるが、導電性接合部材のヤング率が１ＧＰａ以上である場合、すなわち例えば導電性接合部材が金からなる金属バンプ（金のヤング率は８０ＧＰａ）である場合等には、支持腕３０に括れ部３２が設けられていることが好ましい。導電性接合部材のヤング率が１ＧＰａ以上である場合、上述した同相の屈曲振動モードと逆相の屈曲振動モードとの結合が強いためである。また、導電性接合部材のヤング率は３００ＧＰａ以下であることが好ましい。導電性接合部材のヤング率が３００ＧＰａより大きい場合、落下等により振動片に衝撃が加わった際に振動片に大きな応力が加わってしまうためである。
【００５０】
支持腕３０の幅広部３４は、例えば、平面視において、矩形形である。幅広部３４は、−Ｘ軸方向側の側面（平面視で−Ｘ軸方向を向く面）３４ａと、＋Ｘ軸方向側の側面（平面視で＋Ｘ軸方向を向く面）３４ｂと、を有している。図３に示す例では、側面３４ａ，３４ｂは、主面１０１ａ，１０１ｂに対して傾斜しているが、垂直であってもよい。支持腕３０の幅広部３４のＹ´軸に沿う長さは、例えば、１００μｍ以上９００μｍ以下である。幅広部３４の幅（Ｘ軸に沿う幅）は、例えば、３０μｍ以上３００μｍ以下である。
【００５１】
振動片１００の基部１０、振動腕２０ａ，２０ｂ、および支持腕３０（以下、「振動腕２０ａ，２０ｂ等ともいう」）は、一体的に設けられている。具体的には、振動腕２０ａ，２０ｂ等は、水晶の原石（ランバード）から所定の角度で切り出された（例えば、水晶のＺ軸（光軸）を厚さ方向とするＺ板を、Ｘ軸（電気軸）に関して０度から１５度の範囲で回転させたものなど）１枚の水晶ウェハーに、フォトリソグラフィーやエッチングなどの技術を用いて形成される。
【００５２】
なお、振動腕２０ａ，２０ｂ等は、水晶ウェハーに限定されず、例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ランガサイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電体基板、あるいは圧電セラミックス基板から形成されてもよい。また、シリコン半導体材料などを用いて、振動腕２０ａ，２０ｂ等を形成してもよい。
【００５３】
第１励振電極４０ａおよび第２励振電極４０ｂは、図１および図２に示すように、振動腕２０ａ，２０ｂに設けられている。具体的には、第１励振電極４０ａは、第１振動腕２０ａの側面２２ａ，２２ｂ、第１振動腕２０ａの錘部２４、および第２振動腕２０ｂの主面１０１ａ，１０１ｂに設けられた溝部２３内に設けられている。第２励振電極４０ｂは、第１振動腕２０ａの主面１０１ａ，１０１ｂに設けられた溝部２３、第２振動腕２０ｂの側面２２ａ，２２ｂ、および第２振動腕２０ｂの錘部２４に設けられている。
【００５４】
なお、図１および図２では、第１励振電極４０ａ、第１引出電極５０ａ、および第１電極パッド６０ａを斜線で示し、第２励振電極４０ｂ、第２引出電極５０ｂ、および第２電極パッド６０ｂを横線で示している。また、図１および図２では、基部１０、振動腕２０ａ，２０ｂ、および支持腕３０の側面に設けられている励振電極４０ａ，４０ｂ、引出電極５０ａ，５０ｂ、第２電極パッド６０ｂを、太線で示している。
【００５５】
第１引出電極５０ａおよび第２引出電極５０ｂは、基部１０および支持腕３０に設けられている。第１引出電極５０ａは、第１振動腕２０ａに設けられた第１励振電極４０ａと、第２振動腕２０ｂに設けられた第１励振電極４０ａと、を接続している。さらに、第１引出電極５０ａは、第１励振電極４０ａと第１電極パッド６０ａとを接続している。第２引出電極５０ｂは、第１振動腕２０ａに設けられた第２励振電極４０ｂと、第２振動腕２０ｂに設けられた第２励振電極４０ｂと、を接続している。さらに、第２引出電極５０ｂは、第２励振電極４０ｂと第２電極パッド６０ｂとを接続している。
【００５６】
支持腕３０において、第１引出電極５０ａは第１主面１０１ａ側に設けられ、第２引出電極５０ｂは第２主面１０１ｂ側に設けられている。支持腕３０において、第１引出電極５０ａおよび第２引出電極５０ｂは、支持腕３０の延出方向に（Ｙ´軸に沿って）直線状に設けられている。
【００５７】
第１電極パッド６０ａおよび第２電極パッド６０ｂは、図１に示すように、支持腕３０の第１主面１０１ａに設けられている。図示はしないが電極パッド６０ａ，６０ｂが設けられている第１主面１０１ａの表面には少なくとも１つの非貫通孔（凹部）が形成されていてもよい。これにより、導電性接合部材との接着面積を大きくすることができ、接合強度を向上させることができる。また、導電性接合部材が導電性フィラーを有している場合、環境温度の上昇に伴う導電性接合部材の熱膨張によって電極パッド６０ａ，６０ｂに電気的に接続されている導電性フィラーの数を所定の数以上に維持することができるため、環境温度が上昇しても振動片の電気抵抗が増大するおそれを低減することができる。
【００５８】
第１電極パッド６０ａおよび第２電極パッド６０ｂは、Ｙ´軸に沿って並んでいる。第１電極パッド６０ａは、第２電極パッド６０ｂよりも支持腕３０の基端部（基部１０側）に位置し、第２電極パッド６０ｂは、第１電極パッド６０ａよりも支持腕３０の先端側に位置している。第１電極パッド６０ａは、第１引出電極５０ａを介して、第１励振電極４０ａと電気的に接続されている。第２電極パッド６０ｂは、第２引出電極５０ｂを介して、第２励振電極４０ｂと電気的に接続されている。第１電極パッド６０ａと第２電極パッド６０ｂには、印加電位が互いに異なる駆動信号が外部から印加される。
【００５９】
第１電極パッド６０ａと第２電極パッド６０ｂとの間の距離は、例えば、５μｍ以上４００μｍ以下である。第１電極パッド６０ａと第２電極パッド６０ｂとの間の距離が５μｍより小さい場合、各電極パッド６０ａ，６０ｂに設けられる導電性接合部材（図示せず）が電極パッド６０ａ，６０ｂ間に跨り、第１電極パッド６０ａと第２電極パッド６０ｂとが電気的に短絡してしまうおそれが大きい。また、第１電極パッド６０ａと第２電極パッド６０ｂとの間の距離が４００μｍより大きい場合、振動片の小型化を図ることが困難な場合がある。なお、ここでは、電極パッド６０ａ，６０ｂ間の距離について説明したが、例えば支持腕の同一主面に電極パッドと引出電極とが設けられている場合には、電極パッドと引出電極との間の距離についても同様である。
【００６０】
図４は、本実施形態に係る振動片１００の支持腕３０の一部を模式的に示す平面図である。
【００６１】
第１電極パッド６０ａには、切欠き部６２が設けられている。第１電極パッド６０ａは、平面視で、矩形が切欠き部６２によって切り取られた形状を有している。切欠き部６２は、平面視で、第１電極パッド６０ａの外縁を構成している−Ｙ´軸方向側の辺に設けられている。切欠き部６２の平面形状は、例えば、Ｙ´軸に沿った長辺を有する長方形である。
【００６２】
なお、切欠き部６２は平面視で第２引出電極５０ｂと重なっていればその位置や形状は限定されない。例えば、図示はしないが、切欠き部６２は、平面視で第１電極パッド６０ａの外縁を構成しているその他の辺に設けられていてもよい。また、切欠き部６２の平面形状は、例えば、半円状、三角形状等であってもよい。
【００６３】
第１電極パッド６０ａは、平面視で、Ｘ軸に沿って延びる第１延出部６４ａと、第１延出部６４ａの＋Ｘ軸方向側の端部から−Ｙ´軸に沿って延びる第２延出部６４ｂと、第１延出部６４ａの−Ｘ軸方向側の端部から−Ｙ´軸に沿って延びる第３延出部６４ｃと、を有している。第１延出部６４ａは、第１引出電極５０ａに接続されている。第２延出部６４ｂと第３延出部６４ｃとの間に切欠き部６２が位置している。すなわち，切欠き部６２は、第２延出部６４ｂと第３延出部６４ｃとに挟まれている。第１電極パッド６０ａは、例えば、平面視で、支持腕３０（幅広部３４）の、−Ｙ´軸方向（支持腕３０の延出方向）に延びる仮想中心線Ｃ３０に関して対称な形状を有している。支持腕３０の仮想中心線Ｃ３０は、平面視で支持腕３０の中心を通る仮想直線であって、支持腕３０の延出方向に延びる仮想直線である。
【００６４】
延出部６４ｂ，６４ｃのＸ軸に沿う幅Ｗ３は、例えば、５μｍ以上５０μｍ以下である。切欠き部６２のＸ軸に沿う幅Ｗ４は、例えば、３μｍ以上４０μｍ以下である。第１延出部６４ａのＹ´軸に沿う幅Ｗ５は、例えば、５μｍ以上５０μｍ以下である。第１電極パッド６０ａのＹ´軸に沿う長さ（切欠き部６２が設けられていない部分）Ｌは、例えば、７０μｍ以上２００μｍ以下である。
【００６５】
支持腕３０は、平面視で、第１電極パッド６０ａの−Ｙ´軸方向の第１端部６５ａを通り支持腕３０の延出方向と直交する方向に延びる仮想直線Ｄ１と、第１電極パッド６０ａの第１端部６５ａとは反対側の第２端部６５ｂを通り支持腕３０の延出方向と直交する方向に延びる仮想直線Ｄ２と、の間に領域Ｐを有している。仮想直線Ｄ１および仮想直線Ｄ２は、図示の例ではＸ軸に沿って延びる仮想直線である。
【００６６】
支持腕３０の領域Ｐでは、第１引出電極５０ａは主面１０１ａ側に設けられており、第２引出電極５０ｂは主面１０１ｂ側に設けられている。また、支持腕３０の領域Ｐにおいて、第２引出電極５０ｂの少なくとも一部は第１電極パッド６０ａと重なっていない。図示の例では、支持腕３０の領域Ｐにおいて、第２引出電極５０ｂの一部が平面視で切欠き部６２と重なっていることにより、第２引出電極５０ｂの一部が平面視で第１電極パッド６０ａと重なっていない。
【００６７】
支持腕３０の領域Ｐにおいて、第２引出電極５０ｂは、平面視で支持腕３０の仮想中心線Ｃ３０上に設けられている。また、同様に、支持腕３０の領域Ｐにおいて、切欠き部６２は、平面視で支持腕３０の仮想中心線Ｃ３０上に設けられている。そのため、支持腕３０の領域Ｐにおいて、第２引出電極５０ｂは、平面視で切欠き部６２と重なっている。
【００６８】
第２電極パッド６０ｂの平面形状は、例えば、矩形である。なお、第２電極パッド６０ｂの平面形状は特に限定されない。第２電極パッド６０ｂのＸ軸方向に沿う幅は、例えば、３０μｍ以上３００μｍ以下である。
【００６９】
励振電極４０ａ，４０ｂ、引出電極５０ａ，５０ｂ、および電極パッド６０ａ，６０ｂとしては、例えば、クロムやニッケルを下地層とし、該下地層の上に金や銀などの金属層を積層したものを用いる。
【００７０】
次に、振動片１００の動作について説明する。
【００７１】
振動片１００には、外部から電極パッド６０ａ，６０ｂを介して励振電極４０ａ，４０ｂに印加される駆動信号（交番電圧）により電界が生じる。そして、水晶の逆圧電効果によって、振動腕２０ａ，２０ｂの根元部を支点として図１および図２に示す矢印Ａ方向（振動腕２０ａ，２０ｂが互いに離れる方向）と矢印Ｂ方向（振動腕２０ａ，２０ｂが互いに近づく方向）とに交互に撓むように変位する屈曲振動が発生する（Ｘ軸方向において逆相の屈曲振動モードで振動腕２０ａ，２０ｂが振動する）。
【００７２】
なお、本発明に係る振動片の振動（駆動）方式は、圧電駆動に限定されない。例えば、本発明に係る振動片は、圧電基板を用いた圧電駆動型のもの以外に、静電気力を用いた静電駆動型や、磁力を利用したローレンツ駆動型などの振動片であってもよい。
【００７３】
振動片１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００７４】
振動片１００では、支持腕３０の領域Ｐにおいて、第２引出電極５０ｂの少なくとも一部は、平面視で、第１電極パッド６０ａと重ならない。そのため、振動片１００では、例えば支持腕の領域Ｐにおいて第２引出電極の全部が第１電極パッドと重なる場合と比べて、水晶基板１０１を挟んで第２引出電極５０ｂと第１電極パッド６０ａとが重なる領域を小さくすることができる。これにより、第２引出電極５０ｂと第１電極パッド６０ａとの間が誘電体であることに起因して発生する分の静電容量を低減することができ、振動片の静電容量Ｃ０を低減することができる。したがって、振動片１００では、実効抵抗Ｒｅを低減することができ、振動片が発振器として動作する際の消費電力を低減することができる。また、発振余裕度が低下することを抑制することができる。
【００７５】
振動片１００では、第２引出電極５０ｂと第１電極パッド６０ａとが平面視で重なる面積をＡ１、第１電極パッド６０ａの面積をＡ２とした場合、Ａ１とＡ２との比（Ａ１／Ａ２）は、０％≦Ａ１／Ａ２≦５０％の関係を満たし、好ましくは０％≦Ａ１／Ａ２≦１０％の関係を満たす。これにより、振動片の静電容量Ｃ０の増大を抑制することができる。特に、振動子の薄型化が求められ、振動片１００の厚さ（Ｚ´軸方向の長さ）が７０μｍ以下となる場合に、振動片の静電容量Ｃ０の増大を抑制する効果は大きく、振動片１００の厚さが５０μｍ以下となる場合に、振動片の静電容量Ｃ０の増大を抑制する効果はさらに大きい。
【００７６】
振動片１００では、第１電極パッド６０ａには切欠き部６２が設けられ、支持腕３０の領域Ｐにおいて、平面視で、第２引出電極５０ｂの少なくとも一部は、切欠き部６２と重なっている。そのため、振動片１００では、第２引出電極５０ｂは第１電極パッド６０ａと少なくとも一部が重ならない。したがって、上述のように振動片の静電容量Ｃ０を低減することができる。
【００７７】
このように振動片１００では、切欠き部６２を設けることによって第２引出電極５０ｂが第１電極パッド６０ａと重ならないようにしているため、例えば、図２に示すように、支持腕３０において第２引出電極５０ｂをＹ´軸に沿った直線状に設けることができる。これにより、例えば支持腕３０において第２引出電極が屈曲している部分を有する場合と比べて、支持腕３０における第２引出電極５０ｂの全長を短くすることができ、電気抵抗を低減することができる。
【００７８】
振動片１００では、腕部２２に接続された錘部２４を有している。そのため、逆相の屈曲振動モードの共振周波数を高くすることなく、腕部２２の幅（Ｘ軸方向の長さ）を広くすることができるので、屈曲振動時の屈曲変形に起因して発生する、腕部２２における幅方向の熱伝導の経路を長くすることができる。したがって、振動片１００では、断熱的領域において熱弾性損失を低減することができる。
【００７９】
振動片１００では、振動腕２０ａ，２０ｂには、溝部２３が設けられている。そのため、振動片１００では、屈曲振動によって発生する熱の経路が狭められるため、熱が拡散（熱伝導）することを抑制することができる。これにより、振動片１００では、断熱的領域において熱弾性損失を低減することができる。
【００８０】
２．  振動片の変形例
次に、本実施形態に係る振動片の変形例について説明する。以下、本実施形態の各変形例に係る振動片において、本実施形態に係る振動片１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を伏し、その詳細な説明を省略する。
【００８１】
（１）第１変形例
まず、本実施形態の第１変形例に係る振動片について、図面を参照しながら説明する。図５および図６は、本実施形態の第１変形例に係る振動片２００を模式的に示す平面図である。図７は、本実施形態の第１変形例に係る振動片２００の支持腕３０の一部を模式的に示す平面図である。なお、図５は、振動片２００を主面１０１ａ側から見た図であり、図６は、振動片２００を主面１０１ａ側から透かして見た図である。
【００８２】
上述した振動片１００では、図１〜図４に示すように、平面視で第２引出電極５０ｂの一部が切欠き部６２と重なることにより、支持腕３０の領域Ｐにおいて第２引出電極５０ｂの一部が第１電極パッド６０ａと重なっていなかった。
【００８３】
これに対して、振動片２００では、図５〜図７に示すように、平面視で、第１電極パッド６０ａの中心Ｏは、支持腕３０の仮想中心線Ｃ３０の一方側（＋Ｘ軸方向側）に位置し、領域Ｐにおいて、第２引出電極５０ｂは、支持腕３０の仮想中心線Ｃ３０の他方側（−Ｘ軸方向側）に位置している。これにより、第２引出電極５０ｂの少なくとも一部は、第１電極パッド６０ａと重なっていない。言い換えると、支持腕３０の領域Ｐにおいて、第１電極パッド６０ａの−Ｘ軸方向側に非電極領域（第１電極パッド６０ａが設けられていない領域）Ｑが設けられており、第２引出電極５０ｂは、平面視で非電極領域Ｑに重なっている。
【００８４】
第２引出電極５０ｂは、括れ部３２から非電極領域Ｑと重なる領域を通って支持腕３０の先端側の第２電極パッド６０ｂに接続される。第２引出電極５０ｂは、括れ部３２と非電極領域Ｑとの間において、平面視で第１電極パッド６０ａと重なる領域を避けるように屈曲している。
【００８５】
振動片２００では、上述したように第２引出電極５０ｂの少なくとも一部が第１電極パッド６０ａと重なっていない。したがって、振動片２００では、上述した振動片１００と同様に、第２引出電極５０ｂと第１電極パッド６０ａとの間の静電容量を低減することができ、振動片の静電容量Ｃ０を低減することができる。
【００８６】
（２）第２変形例
次に、本実施形態の第２変形例に係る振動片について、図面を参照しながら説明する。図８および図９は、本実施形態の第２変形例に係る振動片３００を模式的に示す平面図である。図１０は、本実施形態の第２変形例に係る振動片３００の支持腕３０の一部を模式的に示す平面図である。なお、図８は、振動片３００を主面１０１ａ側から見た図であり、図９は、振動片３００を主面１０１ａ側から透かして見た図である。
【００８７】
上述した振動片１００では、支持腕３０の括れ部３２において、第２引出電極５０ｂは、平面視で、第１引出電極５０ａと重なっていた。
【００８８】
これに対して、振動片３００では、図８〜図１０に示すように、支持腕３０の括れ部３２において、第２引出電極５０ｂの少なくとも一部は、平面視で、第１引出電極５０ａと重なっていない。図示の例では、括れ部３２において、第２引出電極５０ｂの全部が、平面視で、第１引出電極５０ａと重なっていない。
【００８９】
振動片３００では、例えば、括れ部３２のＸ軸方向の幅を大きくすることにより、第２引出電極５０ｂが平面視で第１引出電極５０ａと重ならないようにしている。第２引出電極５０ｂが平面視で第１引出電極５０ａと重ならないことにより、第２引出電極５０ｂと第１引出電極５０ａとの間の静電容量を低減することができる。
【００９０】
括れ部３２には、平面視で、＋Ｘ軸方向側の辺にのみ切り込み部３３が設けられ、−Ｘ軸方向側の辺には切り込み部が設けられていない。そのため、括れ部３２はＹ´軸に平行な軸に関して非対称な形状を有している。また、括れ部３２のＹ´軸方向に延びる仮想中心線Ｃ３２は、平面視で、支持腕３０の仮想中心線Ｃ３０の−Ｘ軸方向側、すなわち、第１電極パッド６０ａの中心Ｏとは反対側に位置している。すなわち、括れ部３２は非電極領域Ｑ側に設けられている。したがって、例えば、支持腕３０の根元と第２電極パッド６０ｂとの間において、第２引出電極５０ｂを直線状に設けることができる。これにより、第２引出電極５０ｂが屈曲している場合と比べて、振動片の電気抵抗を低減することができる。なお、括れ部３２の仮想中心線Ｃ３２は、平面視で括れ部３２の中心を通る仮想直線であって、支持腕３０の延出方向に延びる仮想直線である。
【００９１】
振動片３００では、括れ部３２は非対称であるが上述した括れ部３２としての効果（振動漏れの低減）を有している。
【００９２】
なお、図示はしないが、電極パッド６０ａ，６０ｂに設けられた導電性接合部材が導電性樹脂であり、そのヤング率が０．０５ＧＰａ以上１ＧＰａ以下、特に０．０５ＧＰａ以上０．５ＧＰａ以下の場合には、支持腕３０は括れ部３２を有していなくてもよい。導電性接合部材のヤング率が上記の範囲である場合には、同相の屈曲振動モードと逆相の屈曲振動モードとの結合が弱く、括れ部がない場合でも振動漏れが小さいためである。なお、導電性接合部材のヤング率が０．０５ＧＰａよりも小さい場合、落下等により振動片に衝撃が加わった際に振動片がパッケージに接触してしまうおそれがある。このように支持腕３０に括れ部３２を設けないことにより、引出電極５０ａ，５０ｂのＸ軸に沿った幅を大きくすることができ、振動片の電気抵抗をより低減することができると共に、括れ部３２の形状に起因した応力集中がなくなるので耐衝撃性も向上する。
【００９３】
（３）第３変形例
次に、本実施形態の第３変形例に係る振動片について、図面を参照しながら説明する。図１１および図１２は、本実施形態の第３変形例に係る振動片４００を模式的に示す平面図である。なお、図１１は、振動片４００を主面１０１ａ側から見た図であり、図１２は、振動片４００を主面１０１ａ側から透かして見た図である。
【００９４】
振動片４００では、図１１および図１２に示すように、平面視で、第１電極パッド６０ａの外縁および第２電極パッド６０ｂの外縁は、角部を含まない曲線である。角部とは、２つの辺（線分）が交わるところをいう。図１１に示す例では、電極パッド６０ａ，６０ｂは、平面視で、図１に示す振動片１００の電極パッド６０ａ，６０ｂの角部を面取りした形状を有している。なお、図示はしないが、図５に示す振動片２００の電極パッド６０ａ，６０ｂの角部を面取りした形状を有していてもよい。
【００９５】
振動片４００では、さらに、図１２に示すように、支持腕３０の先端側に位置している第２引出電極５０ｂの外縁も、角部を含まない曲線で構成されている。
【００９６】
振動片４００では、平面視で電極パッド６０ａ，６０ｂの外縁は角部を含まない曲線で構成されているため、静電気が角部を起点に放電するおそれを低減することができ、振動片の静電耐性を向上させることができる。
【００９７】
（４）第４変形例
次に、本実施形態の第４変形例に係る振動片について、図面を参照しながら説明する。図１３は、本実施形態の第４変形例に係る振動片５００を模式的に示す断面図であって、振動片１００を模式的に示す図３と同じ断面を示している。なお、便宜上、図１３では、振動腕２０ａ，２０ｂ以外の部材の図示を省略している。
【００９８】
上述した振動片１００では、図３に示すように、振動腕２０ａ，２０ｂの主面１０１ａ，１０１ｂには、各々１つの溝部２３が設けられていた。これに対し、振動片５００では、図１３に示すように、主面１０１ａ，１０１ｂには、各々２つの溝部２３が設けられている。主面１０１ａ，１０１ｂの各々に設けられた２つの溝部２３は、Ｘ軸に沿って並んで設けられている。なお、図示はしないが、主面１０１ａ，１０１ｂの各々には、３つ以上の溝部２３が設けられていてもよい。
【００９９】
３．  振動子
次に、本実施形態に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図１４は、本実施形態に係る振動子８００を模式的に示す平面図である。図１５は、本実施形態に係る振動子８００を模式的に示す図１４のＸＶ−ＸＶ線断面図である。なお、便宜上、図１４では、リッド８１４を省略して図示している。また、図１４および図１５では、振動片１００を簡略化して図示している。
【０１００】
振動子８００は、本発明に係る振動片を備えている。以下では、本発明に係る振動片として、振動片１００を備えている振動子８００について説明する。振動子８００は、図１４および図１５に示すように、振動片１００と、パッケージ（容器）８１０と、を備えている。
【０１０１】
パッケージ８１０は、上面に開放する凹部８１１を有する箱状のベース８１２と、凹部８１１の開口を塞ぐようにベース８１２に接合されている板状のリッド８１４と、を有している。このようなパッケージ８１０は、凹部８１１がリッド８１４にて塞がれることにより形成された収納空間を有しており、該収納空間に、振動片１００が気密的に収納、設置されている。すなわち、パッケージ８１０には、振動片１００が収容されている。
【０１０２】
なお、振動片１００が収容される収納空間（凹部８１１）内は、例えば、減圧（真空）状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。これにより、振動片１００の振動特性が向上する。
【０１０３】
ベース８１２の材質は、例えば、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、ガラスセラミックス焼結体などのセラミックス系の絶縁性材料、水晶、ガラス、シリコン（高抵抗シリコン）などである。リッド８１４の材質は、ベース８１２と同じ材料、または、コバール、４２アロイなどの金属である。
【０１０４】
ベース８１２とリッド８１４の接合は、ベース８１２上にシールリング８１３を設け、シールリング８１３上にリッド８１４を載置して、例えば抵抗溶接機を用いて、ベース８１２にシールリング８１３を溶接することによって行われる。なお、ベース８１２とリッド８１４の接合は、特に限定されず、接着剤を用いて行われてもよいし、シーム溶接によって行われてもよい。
【０１０５】
ベース８１２の凹部８１１の内底面（内側の底面）８１５には、振動片１００の電極パッド６０ａ，６０ｂに対向する位置に、内部端子８１６ａ，８１６ｂが設けられている。第１電極パッド６０ａは、第１導電性接合部材９０ａを介して内部端子８１６ａに接合され、第２電極パッド６０ｂは、第２導電性接合部材９０ｂを介して内部端子８１６ｂに接合されている。
【０１０６】
なお、導電性接合部材９０ａ，９０ｂは、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系、アクリル系、ビスマレイミド系などの導電性接着剤や、金、アルミニウム、半田バンプなどの金属バンプや、金属層や樹脂製のコア上に金属配線を形成した樹脂バンプである。
【０１０７】
ベース８１２の内底面８１５と反対側の外底面（外側の底面）８１７には、電極端子８１８ａ，８１８ｂが設けられている。電極端子８１８ａ，８１８ｂは、図示しない内部配線により内部端子８１６ａ，８１６ｂと電気的に接続されている。具体的には、電極端子８１８ａは内部端子８１６ａと電気的に接続され、電極端子８１８ｂは内部端子８１６ｂと電気的に接続されている。内部端子８１６ａ，８１６ｂおよび電極端子８１８ａ，８１８ｂは、例えば、タングステン、モリブデンなどのメタライズ層に、ニッケル、金などの被膜がめっきなどにより積層された金属被膜である。
【０１０８】
なお、図示はしないが、パッケージ８１０は、平板状のベース８１２と、凹部を有するリッド８１４と、を有していてもよい。また、パッケージ８１０は、ベース８１２およびリッド８１４の両方に凹部が設けられていてもよい。
【０１０９】
振動子８００では、例えば、電子機器のＩＣチップ内に集積化された発振回路から、電極端子８１８ａ，８１８ｂを介して印加される駆動信号によって、振動片１００が屈曲振動を励振されて所定の周波数で共振（発振）し、電極端子８１８ａ，８１８ｂから共振信号（発振信号）を出力する。
【０１１０】
振動子８００では、振動片１００を備えているため、低消費電力化を図ることができる。
【０１１１】
４．  発振器
次に、本実施形態に係る発振器について、図面を参照しながら説明する。図１６は、本実施形態に係る発振器９００を模式的に示す断面図である。
【０１１２】
以下、本実施形態に係る発振器９００において、本実施形態に係る振動子８００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１１３】
発振器９００は、本発明に係る振動片を備えている。以下では、本発明に係る振動片として、振動片１００を備えている発振器９００について説明する。発振器９００は、図１６に示すように、振動片１００と、パッケージ８１０と、ＩＣチップ９１０と、を備えている。
【０１１４】
ベース８１２の内底面８１５には、凹状に形成された収容部９１２が設けられている。ＩＣチップ９１０は、収容部９１２に収容されている。ＩＣチップ９１０は、発振回路を内蔵している。ＩＣチップ９１０は、収容部９１２の底面に、図示しない接着剤などによって固定されている。
【０１１５】
ＩＣチップ９１０は、金やアルミニウムなどのワイヤー９１４によって、収容部９１２の底面に設けられた内部接続端子９１６ａ，９１６ｂと接続されている。内部接続端子９１６ａ，９１６ｂは、例えば、タングステン、モリブデンなどのメタライズ層に、ニッケル、金などの被膜がめっきなどにより積層された金属被膜である。内部接続端子９１６ａ，９１６ｂは、図示しない内部配線を介して、電極端子８１８ａ，８１８ｂや内部端子８１６ａ，８１６ｂに接続されている。すなわち、ＩＣチップ（発振回路）９１０は、振動片１００と電気的に接続されている。
【０１１６】
なお、図示はしないが、ＩＣチップ９１０と内部接続端子９１６ａ，９１６ｂとの接続には、ワイヤー９１４を用いたワイヤーボンディングによる接続方向以外に、ＩＣチップ９１０を反転させてフリップチップ実装による接続方法などを用いてもよい。また、ＩＣチップ９１０は、ベース８１２の外底面８１７に設けられた凹部内に実装され、モールド材により封止されていてもよい。
【０１１７】
発振器９００では、ＩＣチップ９１０から内部接続端子９１６ａ，９１６ｂ、内部端子８１６ａ，８１６ｂなどを介して印加される駆動信号によって、振動片１００が屈曲振動を励振されて所定の周波数で共振（発振）する。そして、発振器９００は、この発振に伴って生じる発振信号をＩＣチップ９１０、電極端子８１８ａ，８１８ｂなどを介して外部に出力する。
【０１１８】
発振器９００では、振動片１００を備えているため、低消費電力化を図ることができる。
【０１１９】
５．  リアルタイムクロック
次に、本実施形態に係るリアルタイムクロックについて、図面を参照しながら説明する。図１７は、本実施形態に係るリアルタイムクロック１０００の機能ブロック図である。
【０１２０】
リアルタイムクロック１０００は、本発明に係る発振器を備えている。以下では、本発明に係る発振器として、発振器９００を備えているリアルタイムクロック１０００について説明する。リアルタイムクロック１０００は、図１７に示すように、発振器９００と、計時回路１０１０と、イベント検出回路１０２０と、メモリー１０３０と、制御回路１０４０と、を備えている。
【０１２１】
発振器９００は、振動片１００と、振動片１００と電気的に接続されている発振回路（ＩＣチップ）９１０と、を有しており、振動片１００は、発振回路９１０を介して電気信号が入力されることにより所定の周波数で振動する。そして、発振回路９１０は、振動片１００から出力された信号を増幅して出力する。
【０１２２】
計時回路１０１０には、発振器９００が接続されており、発振器９００から出力された信号を分周して１[Ｈｚ]の周波数を得ると、この１[Ｈｚ]の信号を利用して年、月、日、時、分、および秒の計時を各計時レジスタ（不図示）で行っている。すなわち、計時回路１０１０は、発振器９００の発振回路９１０から出力される信号に基づいて、日時データを生成する。このような計時回路１０１０を持つことにより、時刻データを得ることができ、イベントが生じた際（イベント検出周期毎）の日時等をメモリー１０３０に記録することが可能となる。なお計時回路１０１０は設定により、上記年、月、日、時、分、および秒の他に、曜日についてのデータも記憶させるようにすることができる。
【０１２３】
イベント検出回路１０２０は、リアルタイムクロック１０００の外部端子であるイベント入力端子１０２２に接続されている。イベント検出回路１０２０は、イベント入力端子１０２２に対してイベントが発生した旨の電気信号が入力されると、イベント発生フラグを立てるように構成されている。このように、イベントの発生をフラグにより示すことで、当該フラグに基づいてイベントの有無を判断することができる。
【０１２４】
メモリー１０３０は、上述した時刻データやイベント発生に関するデータを記録する記憶手段である。
【０１２５】
制御回路１０４０には、上述した計時回路１０１０、イベント検出回路１０２０、メモリー１０３０、および外部端子としての割り込み出力端子１０４２が接続されている。制御回路１０４０は、イベント検出回路１０２０から入力されたフラグ情報に基づいて、フラグが立てられている事を検出した時刻データを計時回路１０１０から読み出すことが可能に構成されている。
【０１２６】
なお、割り込み出力端子１０４２は、任意のイベント入力の発生時に、時刻データやイベント発生に関するデータの記録と同時に、ＣＰＵに対して信号を割り込み出力させる役割を担う。
【０１２７】
リアルタイムクロック１０００では、振動片１００を備えているため、低消費電力化を図ることができる。
【０１２８】
６．  電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係る振動片を備える。以下では、本発明に係る振動片として、振動片１００を備える電子機器について、説明する。
【０１２９】
図１８は、本実施形態に係る電子機器として、スマートフォン１３００を模式的に示す平面図である。スマートフォン１３００は、図１８に示すように、振動片１００を有する発振器９００を備えている。
【０１３０】
スマートフォン１３００は、発振器９００を、例えば、基準クロック発振源などのタイミングデバイスとして用いる。スマートフォン１３００は、さらに、表示部（液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等）１３１０、操作部１３２０、および音出力部１３３０（マイクロフォン等）を有することができる。スマートフォン１３００は、表示部１３１０に対する接触検出機構を設けることで表示部１３１０を操作部として兼用してもよい。
【０１３１】
なお、スマートフォン１３００に代表される電子機器は、振動片１００を駆動する発振回路と、振動片１００の温度変化に伴う周波数変動を補正する温度補償回路と、を備えていることが好ましい。
【０１３２】
これによれば、スマートフォン１３００に代表される電子機器は、振動片１００を駆動する発振回路と共に、振動片１００の温度変化に伴う周波数変動を補正する温度補償回路を備えていることから、発振回路が発振する共振周波数を温度補償することができ、温度特性に優れた電子機器を提供することができる。
【０１３３】
図１９は、本実施形態に係る電子機器として、モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１４００を模式的に示す斜視図である。パーソナルコンピューター１４００は、図１９に示すように、キーボード１４０２を備えた本体部１４０４と、表示部１４０５を備えた表示ユニット１４０６と、により構成され、表示ユニット１４０６は、本体部１４０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１４００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動片１００が内蔵されている。
【０１３４】
図２０は、本実施形態に係る電子機器として、携帯電話機（ＰＨＳも含む）１５００を模式的に示す斜視図である。携帯電話機１５００は、複数の操作ボタン１５０２、受話口１５０４および送話口１５０６を備え、操作ボタン１５０２と受話口１５０４との間には、表示部１５０８が配置されている。このような携帯電話機１５００には、フィルター、共振器等として機能する振動片１００が内蔵されている。
【０１３５】
図２１は、本実施形態に係る電子機器として、デジタルスチルカメラ１６００を模式的に示す斜視図である。なお、図２１には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ１６００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１３６】
デジタルスチルカメラ１６００におけるケース（ボディー）１６０２の背面には、表示部１６０３が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１６０３は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１６０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１６０４が設けられている。
【０１３７】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１６０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１６０８に転送・格納される。また、デジタルスチルカメラ１６００においては、ケース１６０２の側面に、ビデオ信号出力端子１６１２と、データ通信用の入出力端子１６１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１６１２にはテレビモニター１６３０が、データ通信用の入出力端子１６１４にはパーソナルコンピューター１６４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１６０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１６３０や、パーソナルコンピューター１６４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチルカメラ１６００には、フィルター、共振器等として機能する振動片１００が内蔵されている。
【０１３８】
電子機器１３００，１４００，１５００，１６００は、振動片１００を備えているため、低消費電力化を図ることができる。
【０１３９】
なお、本発明の振動片を備えている電子機器は、上記の例に限定されず、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター等に適用することができる。
【０１４０】
７．  移動体
次に、本実施形態に係る移動体について、図面を参照しながら説明する。図２２は、本実施形態に係る移動体１７００として、自動車を模式的に示す平面図である。
【０１４１】
本実施形態に係る移動体は、本発明に係る振動片を備えている。以下では、本発明に係る振動片として、振動片１００を備えている移動体について、説明する。
【０１４２】
本実施形態に係る移動体１７００は、さらに、エンジンシステム、ブレーキシステム、キーレスエントリーシステム等の各種の制御を行うコントローラー１７２０、コントローラー１７３０、コントローラー１７４０、バッテリー１７５０、およびバックアップ用バッテリー１７６０を含んで構成されている。なお、本実施形態に係る移動体１７００は、図２２に示される構成要素（各部）の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
【０１４３】
このような移動体１７００としては種々の移動体が考えられ、例えば、自動車（電気自動車も含む）、ジェット機やヘリコプター等の航空機、船舶、ロケット、人工衛星等が挙げられる。
【０１４４】
移動体１７００は、振動片１００を備えているため、低消費電力化を図ることができる。
【０１４５】
上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。
【０１４６】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１４７】
１０…基部、１０ａ…側面、２０ａ…第１振動腕、２０ｂ…第２振動腕、２２…腕部、２２ａ…内側面、２２ｂ…外側面、２３…溝部、２４…錘部、３０…支持腕、３２…括れ部、３３…切り込み部、３４…幅広部、３４ａ…側面、３４ｂ…側面、４０ａ…第１励振電極、４０ｂ…第２励振電極、５０ａ…第１引出電極、５０ｂ…第２引出電極、６０ａ…第１電極パッド、６０ｂ…第２電極パッド、６２…切欠き部、６４ａ…第１延出部、６４ｂ…第２延出部、６４ｃ…第３延出部、６５ａ…第１端部、６５ｂ…第２端部、９０ａ…第１導電性接合部材、９０ｂ…第２導電性接合部材、１００…振動片、１０１…水晶基板、１０１ａ…第１主面、１０１ｂ…第２主面、２００…振動片、３００…振動片、４００…振動片、５００…振動片、８００…振動子、８１０…パッケージ、８１１…凹部、８１２…ベース、８１３…シールリング、８１４…リッド、８１５…内底面、８１６ａ，８１６ｂ…内部端子、８１７…外底面、８１８ａ，８１８ｂ…電極端子、９００…発振器、９１０…ＩＣチップ、９１２…収容部、９１４…ワイヤー、９１６ａ，９１６ｂ…内部接続端子、１０００…リアルタイムクロック、１０１０…計時回路、１０２０…イベント検出回路、１０２２…イベント入力端子、１０３０…メモリー、１０４０…制御回路、１０４２…割り込み出力端子、１３００…スマートフォン、１３１０…表示部、１３２０…操作部、１３３０…音出力部、１４００…パーソナルコンピューター、１４０２…キーボード、１４０４…本体部、１４０５…表示部、１４０６…表示ユニット、１５００…携帯電話機、１５０２…操作ボタン、１５０４…受話口、１５０６…送話口、１５０８…表示部、１６００…デジタルスチルカメラ、１６０２…ケース、１６０３…表示部、１６０４…受光ユニット、１６０６…シャッターボタン、１６０８…メモリー、１６１２…ビデオ信号出力端子、１６１４…入出力端子、１６３０…テレビモニター、１６４０…パーソナルコンピューター、１７００…移動体、１７２０…コントローラー、１７３０…コントローラー、１７４０…コントローラー、１７５０…バッテリー、１７６０…バックアップ用バッテリー
【図１】
2019115080.tif 000003
【図２】
2019115080.tif 000004
【図３】
2019115080.tif 000005
【図４】
2019115080.tif 000006
【図５】
2019115080.tif 000007
【図６】
2019115080.tif 000008
【図７】
2019115080.tif 000009
【図８】
2019115080.tif 000010
【図９】
2019115080.tif 000011
【図１０】
2019115080.tif 000012
【図１１】
2019115080.tif 000013
【図１２】
2019115080.tif 000014
【図１３】
2019115080.tif 000015
【図１４】
2019115080.tif 000016
【図１５】
2019115080.tif 000017
【図１６】
2019115080.tif 000018
【図１７】
2019115080.tif 000019
【図１８】
2019115080.tif 000020
【図１９】
2019115080.tif 000021
【図２０】
2019115080.tif 000022
【図２１】
2019115080.tif 000023
【図２２】
2019115080.tif 000024
【手続補正書】
【提出日】令和1年5月16日(2019.5.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から第１方向に沿って延出しており、前記第１方向に対して直交する第２方向に沿って並ぶ方向に配置されている一対の振動腕と、
前記第１方向および前記第２方向に沿った第１面、前記第１面と表裏の関係にある第２面、および前記第１面と前記第２面とを繋いでいる第３面を備え、前記基部から前記第１方向に沿って延出しており、前記一対の振動腕の間に配置されている支持腕と、
前記振動腕に設けられている第１励振電極および第２励振電極と、
前記支持腕の前記第１面に設けられ、前記第１励振電極と電気的に接続している第１電極パッドと、
前記第１電極パッドよりも前記支持腕の前記基部側とは反対の先端側に位置し、前記支持腕の前記第１面、前記先端側の第３面、および前記第２面に亘って設けられており、前記第２励振電極と電気的に接続している第２電極パッドと、
前記支持腕に設けられ、前記第１電極パッドと接続している第１引出電極と、
前記支持腕に設けられ、前記第２電極パッドと接続している第２引出電極と、
を含み、
前記支持腕は、幅広部、および、前記幅広部よりも前記基部側に配置されており、前記第２方向に沿った幅が前記幅広部の幅よりも小さい括れ部を有し、
前記第１引出電極は、平面視で、前記括れ部の前記幅の中心よりも前記第２方向における一方側に配置されており、
前記第２引出電極は、前記幅広部の前記第２面において前記第２電極パッドの前記基部側の端部から前記第１方向に沿って延出し、前記括れ部まで至っており、
前記括れ部において、前記第１引出電極と前記第２引出電極とが平面視で重なっていない、振動片。
【請求項２】
請求項１において、
前記第２引出電極は、前記括れ部の前記幅の中心よりも前記第２方向における他方側に配置されている、振動片。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記括れ部は、平面視で、前記支持腕の前記幅広部の前記幅の中心を通り前記第１方向に沿っている仮想直線に対して非対称な形状を有する、振動片。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記第１電極パッドの前記第２方向における中心は、平面視で、前記支持腕の前記幅広部の前記幅の中心よりも前記第２方向における一方側に位置している、振動片。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記振動腕は、前記基部に接続された腕部と、前記腕部に接続された錘部と、を有する、振動片。
【請求項６】
請求項５において、
前記錘部の幅は、前記腕部の幅よりも大きい、振動片。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項において、
前記振動腕には、溝部が設けられている、振動片。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片が収容されているパッケージと、
を備えている、振動子。
【請求項９】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片と電気的に接続されている発振回路と、
を備えている、発振器。
【請求項１０】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片と電気的に接続されている発振回路と、
前記発振回路から出力される信号に基づいて、日時データを生成する計時回路と、
を備えている、リアルタイムクロック。
【請求項１１】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片を備えている、電子機器。
【請求項１２】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片を備えている、移動体。