(57)【要約】【課題】  ステータコアを誘導加熱する際に、ステータコアの温度差が大きくなることを抑制する。【解決手段】  ステータコアＳの外周面の測温位置の温度が上限温度ＴＨ１を上回ると、ソレノイドコイル１１０に流れている交流電流を非通電にし、ステータコアＳの外周面の測温位置の温度が下限温度ＴＨ２を下回ると、ソレノイドコイル１１０に交流電流を通電することを、ステータコアＳの内周面の測温位置の温度が目標焼鈍温度ＴＴ以上になるまで繰り返す。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステータコアを誘導加熱用コイルの内側に配置して誘導加熱することにより焼鈍するコアの焼鈍方法であって、
前記ステータコアの外周面の測温位置での温度を測定する第１の測定工程と、
前記ステータコアの内周面の測温位置での温度を測定する第２の測定工程と、
前記誘導加熱用コイルに交流電流を流すことを開始した後、前記ステータコアの内周面の測温位置での温度が目標温度以上になるまで、前記ステータコアの外周面の測温位置での温度に基づいて、前記誘導加熱用コイルに流す交流電流を制御する制御工程と、を有し、
前記ステータコアは、ヨークと、複数のティースとを有し、
前記ヨークは、前記ステータコアの周方向に延在する領域であり、
前記複数のティースは、前記ステータコアの周方向において間隔を有して配置される領域であって、それぞれが前記ヨークの内周端から前記ステータコアの軸の方向に向かって前記ステータコアの径方向に延在する領域であることを特徴とするコアの焼鈍方法。
【請求項２】
前記制御工程では、少なくとも、前記誘導加熱用コイルに対する交流電流の通電、非通電を制御することを特徴とする請求項１に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項３】
前記制御工程では、前記ステータコアの外周面の測温位置での温度が第１の閾値を上回ると、前記誘導加熱用コイルに流れている交流電流を非通電にすることと、その後に所定の条件が成立した場合に、前記誘導加熱用コイルに対する交流電流の通電を再開することと、前記ステータコアの内周面の測温位置での温度が目標温度以上になった場合に、前記誘導加熱用コイルに流れている交流電流を非通電にすることと、を少なくとも実行することを特徴とする請求項２に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項４】
前記制御工程では、少なくとも、前記誘導加熱用コイルに流す交流電流の実効値および周波数の少なくとも何れか一方を制御することを特徴とする請求項１または２に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項５】
前記制御工程では、前記ステータコアの外周面の測温位置での温度が第１の閾値を上回ると、前記誘導加熱用コイルに流す交流電流の実効値および周波数の少なくとも何れか一方を低減させることと、その後に所定の条件が成立した場合に、前記誘導加熱用コイルに流す交流電流の実効値および周波数の少なくとも何れか一方を増加させることと、前記ステータコアの内周面の測温位置での温度が目標温度以上になった場合に、前記誘導加熱用コイルに流れている交流電流を非通電にすることと、を少なくとも実行することを特徴とする請求項４に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項６】
前記所定の条件は、前記ステータコアの外周面の測温位置での温度が前記第１の閾値よりも小さい第２の閾値を下回ること、または、所定の時間が経過することであることを特徴とする請求項３または５に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項７】
前記所定の条件は、前記ステータコアの外周面の測温位置での温度が前記第１の閾値よりも小さい第２の閾値を下回ることであり、
前記第２の閾値と、前記目標温度は同じ温度であることを特徴とする請求項６に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項８】
前記ステータコアの内周面の測温位置での温度は、前記ティースの先端面の測温位置での温度を含むことを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項９】
前記ティースを加熱する加熱工程を更に有することを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項１０】
前記加熱工程では、誘導加熱以外の方法で前記ティースを加熱することを特徴とする請求項９に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項１１】
前記加熱工程では、インピーダコアまたはヒータを用いて前記ティースを加熱することを特徴とする請求項１０に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項１２】
前記第１の測定工程では、前記ステータコアの外周面の複数の測温位置における温度を測定し、
前記制御工程では、前記誘導加熱用コイルに交流電流を流すことを開始した後、前記ステータコアの内周面の測温位置での温度が目標温度以上になるまで、前記ステータコアの外周面の複数の測温位置での温度の代表値に基づいて、前記誘導加熱用コイルに流す交流電流を制御することを特徴とする請求項１〜１１の何れか１項に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項１３】
前記第２の測定工程では、前記ステータコアの内周面の複数の測温位置における温度を測定し、
前記制御工程では、前記誘導加熱用コイルに交流電流を流すことを開始した後、前記ステータコアの内周面の複数の測温位置での温度の代表値が目標温度以上になるまで、前記ステータコアの外周面の測温位置での温度に基づいて、前記誘導加熱用コイルに流す交流電流を制御することを特徴とする請求項１〜１２の何れか１項に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項１４】
前記第１の測定工程では、前記ステータコアが、その軸を回転軸として回転されているときの複数のタイミングで、前記ステータコアの外周面の温度を測定し、
前記第２の測定工程では、前記ステータコアが、その軸を回転軸として回転されているときの複数のタイミングで、前記ステータコアの内周面の温度を測定し、
前記制御工程では、前記誘導加熱用コイルに交流電流を流すことを開始した後、前記ステータコアの内周面の複数のタイミングにおける温度の代表値が目標温度以上になるまで、前記ステータコアの外周面の複数のタイミングにおける温度の代表値に基づいて、前記誘導加熱用コイルに流す交流電流を制御することを特徴とする請求項１〜１３の何れか１項に記載のコアの焼鈍方法。
【請求項１５】
ステータコアを誘導加熱用コイルの内側に配置して誘導加熱することにより焼鈍するコア焼鈍システムであって、
前記ステータコアの外周面の測温位置での温度を測定する第１の測定手段と、
前記ステータコアの内周面の測温位置での温度を測定する第２の測定手段と、
前記誘導加熱用コイルに交流電流を流すことを開始した後、前記ステータコアの内周面の測温位置での温度が目標温度以上になるまで、前記ステータコアの外周面の測温位置での温度に基づいて、前記誘導加熱用コイルに流す交流電流を制御する制御手段と、を有し、
前記ステータコアは、ヨークと、複数のティースとを有し、
前記ヨークは、前記ステータコアの周方向に延在する領域であり、
前記複数のティースは、前記ステータコアの周方向において間隔を有して配置される領域であって、それぞれが前記ヨークの内周端から前記ステータコアの軸の方向に向かって前記ステータコアの径方向に延在する領域であることを特徴とするコア焼鈍システム。
【請求項１６】
請求項１〜１４の何れか１項に記載のコアの焼鈍方法により焼鈍されたことを特徴とするステータコア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コアの焼鈍方法、コア焼鈍システム、およびステータコアに関し、特に、ステータコアを焼鈍するために用いて好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
電動機や発電機等の回転電機に使用されるコアとして、積層コアがある。積層コアを製造する際には、電磁鋼板等の軟磁性体板（板状の軟磁性体）を、積層コアの平面形状に合わせて打ち抜く。そして、このようにして打ち抜かれた複数の軟磁性体板を、相互に隣り合う軟磁性体板の板面が相互に重なり合うように積み重ね、積み重ねた複数の軟磁性体板を、溶接やカシメ等によって接合する。このように積層コアを製造する際には、軟磁性体板を打ち抜いたり接合したりするため、軟磁性体板内に歪みが付与され、鉄損が増加する。そこで、この歪みを低減するために積層コアを焼鈍することが行われる。そして、このような焼鈍を行うために焼鈍炉を用いると、加熱時間が長時間になることから、特許文献１には、ソレノイドコイルの内側に積層コアを配置し、ソレノイドコイルに交流電流を流して積層コアを所定の温度に誘導加熱し、その後、積層コアを徐冷することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１５３６１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、積層コアの最低温度が焼鈍目標温度（積層コアの焼鈍時の温度の目標値）を超えるように加熱を行う。従って、積層コアの温度差が大きくなる虞がある。本発明者らは、特許文献１に記載の技術を用いてステータコアを誘導加熱すると、ステータコアの最高温度が焼鈍目標温度よりも３００℃以上高くなることがあるという知見を得た。そうすると、ステータコアに所期の温度を大幅に上回る領域が生じる。このため、例えば、ステータコアを構成する軟磁性体板の組織や、軟磁性体板の板面に塗布されている絶縁被膜に悪影響を及ぼす虞がある。
【０００５】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、ステータコアを誘導加熱する際に、ステータコアの温度差が大きくなることを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のコアの焼鈍方法は、ステータコアを誘導加熱用コイルの内側に配置して誘導加熱することにより焼鈍するコアの焼鈍方法であって、前記ステータコアの外周面の測温位置での温度を測定する第１の測定工程と、前記ステータコアの内周面の測温位置での温度を測定する第２の測定工程と、前記誘導加熱用コイルに交流電流を流すことを開始した後、前記ステータコアの内周面の測温位置での温度が目標温度以上になるまで、前記ステータコアの外周面の測温位置での温度に基づいて、前記誘導加熱用コイルに流す交流電流を制御する制御工程と、を有し、前記ステータコアは、ヨークと、複数のティースとを有し、前記ヨークは、前記ステータコアの周方向に延在する領域であり、前記複数のティースは、前記ステータコアの周方向において間隔を有して配置される領域であって、それぞれが前記ヨークの内周端から前記ステータコアの軸の方向に向かって前記ステータコアの径方向に延在する領域であることを特徴とする。
【０００７】
本発明のコア焼鈍システムは、ステータコアを誘導加熱用コイルの内側に配置して誘導加熱することにより焼鈍するコア焼鈍システムであって、前記ステータコアの外周面の測温位置での温度を測定する第１の測定手段と、前記ステータコアの内周面の測温位置での温度を測定する第２の測定手段と、前記誘導加熱用コイルに交流電流を流すことを開始した後、前記ステータコアの内周面の測温位置での温度が目標温度以上になるまで、前記ステータコアの外周面の測温位置での温度に基づいて、前記誘導加熱用コイルに流す交流電流を制御する制御手段と、を有し、前記ステータコアは、ヨークと、複数のティースとを有し、前記ヨークは、前記ステータコアの周方向に延在する領域であり、前記複数のティースは、前記ステータコアの周方向において間隔を有して配置される領域であって、それぞれが前記ヨークの内周端から前記ステータコアの軸の方向に向かって前記ステータコアの径方向に延在する領域であることを特徴とする。
【０００８】
本発明のステータコアは、前記コアの焼鈍方法により焼鈍されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ステータコアを誘導加熱する際に、ステータコアの温度差が大きくなることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、コア焼鈍システムの構成の一例を示す図である。
【図２】図２は、ステータコアおよび放射温度計の配置の一例を示す図である。
【図３】図３は、制御装置の動作の一例を説明するフローチャートである。
【図４】図４は、ステータコアの解析対象領域の一例を示す図である。
【図５】図５は、ステータコアの外周面および内周面の温度と時間との関係の第１の例を示す図である。
【図６】図６は、ソレノイドコイルに流す電流と時間との関係の第１の例を示す図である。
【図７】図７は、解析結果の一例として、ステータコアの解析対象領域の温度分布の一例を示す図である。
【図８】図８は、ステータコア、放射温度計、およびインピーダコアの配置の一例を示す図である。
【図９】図９は、ステータコアの外周面および内周面の温度と時間との関係の第２の例を示す図である。
【図１０】図１０は、ソレノイドコイルに流す電流と時間との関係の第２の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
（第１の実施形態）
まず、第１の実施形態を説明する。
図１は、コア焼鈍システムの構成の一例を示す図である。尚、各図において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、各図の向きの関係を示すものであり、○の中に●が付されているものは、紙面の奥側から手前側に向かう方向を示し、○の中に×が付されているものは、紙面の手前側から奥側に向かう方向を示す。
【００１２】
図１において、コア焼鈍システムは、ソレノイドコイル１１０と、交流電源１２０と、放射温度計１３０、１４０と、制御装置１５０と、を有する。
本実施形態では、加熱対象の積層コアとして、図１に示すステータコアＳを用いる場合を例に挙げて説明する。
【００１３】
ステータコアＳは、回転電機（電動機、発電機）のステータに使用されるコアである。ステータコアＳは、ヨークＳ１と、複数のティースＳ２とを有する（図１では、表記の都合上、１つのティースにのみ符号Ｓ２を付している）。ヨークＳ１は、ステータコアＳの周方向（図１のステータコアＳの傍らに付した両矢印線の方向）に延在する環状の領域である。ティースＳ２は、ヨークＳ１の内周端からステータコアＳの軸の方向に向かって、ステータコアＳの径方向に延在する領域である。複数のティースＳ２の形状および大きさは同じである。複数のティースＳ２は、ステータコアＳの周方向において等間隔に配置される。尚、以下の説明では、ステータコアＳの周方向、軸方向、径方向を、必要に応じて、それぞれ、周方向、軸方向、径方向と略称する。
【００１４】
ステータコアＳは、その平面形状に合わせて打ち抜かれた複数の軟磁性体板を、相互に隣接する軟磁性体板の板面が相互に重なり合うように積み重ね、積み重ねた複数の軟磁性体板を、溶接やカシメ等によって接合することにより構成される。軟磁性体板として、例えば、方向性電磁鋼板や無方向性電磁鋼板等、回転電機のステータコアとして使用される軟磁性体板を使用することができる。
【００１５】
ステータコアＳは、ステータコアＳの中空部分の領域に、ソレノイドコイル１１０の軸が通るように、ソレノイドコイル１１０の内側に配置される。このとき、ステータコアＳおよびソレノイドコイル１１０の軸の方向を略平行にするのが好ましく、ステータコアＳおよびソレノイドコイル１１０の軸の方向を平行にするのがより好ましい。更に、ソレノイドコイル１１０の軸とステータコアＳの軸とを略一致させるのが更に好ましく、一致させるのが最も好ましい。ステータコアＳの磁束の分布を対称にすることができるからである。図１では、ソレノイドコイル１１０の軸とステータコアＳの軸とが軸Ａで一致している場合を例に挙げて示す。尚、軸Ａの方向は、Ｚ軸方向である。
【００１６】
また、ステータコアＳの軸方向（Ｚ軸方向）の端部が、ソレノイドコイル１１０の軸方向（Ｚ軸方向）の端部よりもソレノイドコイル１１０の軸方向の中央側に位置するように、ステータコアＳをソレノイドコイル１１０の内側に配置するのが好ましく、ステータコアＳの軸方向の中央の位置とソレノイドコイル１１０の軸方向の中央の位置とを一致させるのがより好ましい。磁束密度が高い領域にソレノイドコイル１１０を置くことができるからである。
【００１７】
交流電源１２０は、ソレノイドコイル１１０に交流電流を流す。表皮効果により、ソレノイドコイル１１０に供給する交流電流の周波数が高いほど、ソレノイドコイル１１０から発生した磁束によりステータコアＳを流れる渦電流の表皮深さは小さくなる。従って、ソレノイドコイル１１０の表面付近のみに渦電流が流れる。一方、ソレノイドコイル１１０に供給する交流電流の周波数を低くすれば、ソレノイドコイル１１０から発生した磁束によりステータコアＳに流れる渦電流は、ステータコアＳの内部まで流れる。しかしながら、渦電流が流れる領域が広くなるため、所望の電流密度の渦電流を流すためには、交流電源１２０から発生する交流電力の電力量を大きくする必要がある。そうすると、定格容量の大きな交流電源１２０が必要になり、交流電源１２０として特別な交流電源が必要になる。ソレノイドコイル１１０に供給する交流電流の周波数は、以上の観点から定めることができ、例えば、１［ｋＨｚ］とすることができる。
【００１８】
放射温度計１３０は、ステータコアＳの外周面（ステータコアＳの軸Ａを取り巻く２つの面のうち外周側に位置する面）の温度を測定する。放射温度計１４０は、ステータコアＳの内周面（ステータコアＳの軸Ａを取り巻く２つの面のうち内周側に位置する面）の温度を測定する。
図２は、ステータコアＳおよび放射温度計１３０、１４０の配置の一例を示す図である。図２（ａ）は、ステータコアＳを、Ｚ軸の正の方向から負の方向に向かって見た様子の一例を示す図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＩ−Ｉ断面図である。尚、図２では、表記の都合上、ソレノイドコイル１１０の図示を省略する。
【００１９】
図１に示す構成で、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に交流電流を流すと、ステータコアＳにおける磁束密度は、ソレノイドコイル１１０からの距離が近い領域（即ち、ステータコアＳの外周面に近い領域）である程高くなり、ソレノイドコイル１１０からの距離が遠い領域（即ち、ステータコアＳの軸Ａに近い領域）である程低くなる。また、ステータコアＳの軸方向（Ｚ軸方向）の端部において露出している軟磁性体の板面に近い領域であるほど、放熱され易くなる。
【００２０】
このため、理論的には、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に交流電流を流しているとき、および、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に交流電流を流すことを止めた直後においては、以下のような温度分布になる。即ち、ステータＳの径方向の温度は、ステータコアＳの外周面の温度が最も高く、ティースＳ２の先端面の温度が最も低くなる。また、ステータコアＳの軸方向（Ｚ軸方向）の温度は、ステータコアＳの軸方向の中央の温度が最も高く、ステータコアＳの軸方向の端部の温度が最も低くなる。
【００２１】
そこで、ステータコアＳの温度が過剰に高くならないようにするために、ステータコアＳの外周面の領域であって、ステータコアＳの軸方向（Ｚ軸方向）の中央の領域の温度を放射温度計１３０が測定することができるように放射温度計１３０を配置し、放射温度計１３０で測定される温度が上限温度ＴＨ１を可及的に上回らないようにするのが好ましい。この領域の温度が、最も高いからである。ただし、ステータコアＳおよびソレノイドコイル１１０の形状・大きさ・位置や放射温度計１３０の大きさ・形状・性能等の要因から、このようにして放射温度計１３０を配置することができない場合がある。以上のことから、図２（ｂ）において、ステータコアＳの軸方向（Ｚ軸方向）の一方の端面と、放射温度計１３０の測温位置との軸方向（Ｚ軸方向）の距離Ｌ１の範囲は、ステータコアＳの軸方向の長さＬの０．３５倍以上、０．６５倍以下の範囲にするのが好ましく、この距離Ｌ１をステータコアＳの軸方向の長さＬの０．５倍とするのがより好ましい。尚、放射温度計１３０の測温位置の適用範囲については、＜変形例１＞の欄で後述する。
【００２２】
また、本実施形態では、ステータコアＳの温度が可及的に焼鈍目標温度以上になるようにするために、ステータコアＳのティースＳ２の先端面の領域であって、ステータコアＳの軸方向（Ｚ軸方向）の端部に可及的に近い領域の温度を放射温度計１４０が測定することができるように放射温度計１４０を配置し、放射温度計１４０で測定される温度が焼鈍目標温度ＴＴ（＜Ｔ１）以上になった時点で焼鈍を終了するのが好ましい。この領域の温度が、最も低いからである。ただし、放射温度計１３０と同様に、ステータコアＳおよびソレノイドコイル１１０の形状・大きさ・位置や放射温度計１４０の大きさ・形状・性能等の要因から、このようにして放射温度計１４０を配置することができない場合がある。以上のことから図２（ｂ）において、ステータコアＳの軸方向の一方の端面と、放射温度計１４０の測温位置との、ステータコアＳの軸方向（Ｚ軸方向）の距離Ｌ２の範囲は、ステータコアＳの軸方向の長さＬの０倍以上０．２倍以下の範囲とするのが好ましく、０倍以上０．１倍以下の範囲とするのがより好ましい。尚、放射温度計１４０の測温位置の適用範囲については、＜変形例１＞の欄で後述する。
【００２３】
制御装置１５０は、放射温度計１３０、１４０で測定された温度を取得し、交流電源１２０の動作（ソレノイドコイル１１０に流れる交流電流）を制御する。制御装置１５０のハードウェアは、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ、および各種のインターフェースを備える情報処理装置、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）、または専用のハードウェアを用いることにより実現される。以下に、本実施形態の制御装置１５０が有する機能の一例を説明する。
【００２４】
制御装置１５０は、外周面温度取得部１５１と、内周面温度取得部１５２と、外周面温度判定部１５３と、内周面温度判定部１５４と、電源制御部１５５と、を有する。
外周面温度取得部１５１は、放射温度計１３０により測定されたステータコアＳの外周面の温度を取得する。尚、以下の説明では、放射温度計１３０により測定されるステータコアＳの外周面の温度を必要に応じて、ステータコアＳの外周面の温度の測定値と称する。
【００２５】
内周面温度取得部１５２は、放射温度計１４０により測定されたステータコアＳの内周面（本実施形態では、ティースＳ２の先端面）の温度を取得する。尚、以下の説明では、放射温度計１４０により測定されるステータコアＳの内周面の温度を必要に応じて、ステータコアＳの内周面の温度の測定値と称する。
外周面温度取得部１５１と内周面温度取得部１５２は、例えば、同じサンプリング周期で温度を繰り返し取得する。
【００２６】
外周面温度判定部１５３は、外周面温度取得部１５１で取得されたステータコアＳの外周面の温度が、上限温度ＴＨ１を上回るか否かと、下限温度ＴＨ２を下回るか否かとを判定する。本実施形態では、下限温度ＴＨ２は、目標焼鈍温度ＴＴであるものとする。ただし、下限温度ＴＨ２は、上限温度ＴＨ１を下回る温度（ＴＨ１＞ＴＨ２）であれば、必ずしも目標焼鈍温度ＴＴである必要はない。
内周面温度判定部１５４は、内周面温度取得部１５２により取得されたステータコアＳの内周面の温度が目標焼鈍温度ＴＴ以上であるか否かを判定する。
【００２７】
電源制御部１５５は、外周面温度判定部１５３による判定の結果と、内周面温度判定部１５４による判定の結果とに基づいて、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に流す交流電流を制御する。本実施形態では、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に流す交流電流の実効値および周波数は一定であるものとする。電源制御部１５５は、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に対する交流電流の通電・非通電（即ち、ソレノイドコイル１１０に交流電流を流すか流さないか（ゼロを上回る値にするかゼロにするか））を制御する。
【００２８】
次に、本実施形態によるステータコアＳの焼鈍方法の概要の一例を説明する。
まず、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に交流電流を流すことを開始する。これにより、ステータコアＳが誘導加熱される。ステータコアＳが誘導加熱されているときは、ステータコアＳの外周面の温度が最も高くなる。その後、時間の経過と共に、ステータコアＳの外周側から内周側に向けて熱伝導が起こり、この熱伝導とステータコアＳを貫く磁束とによってステータコアＳの内周側の温度が上昇する。尚、ステータコアＳの内部の領域には、ステータコアＳの外周面に比べて外気に触れる領域（露出している領域）がない。従って、ステータコアＳの外周面よりも、その内側の領域の方が、温度が高くなることがあり得る。
【００２９】
その後、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が上限温度ＴＨ１を上回ると、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に交流電流を流すことを止める。そうすると、ステータコアＳの外周面の温度が低下する。そして、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が下限温度ＴＨ２を下回ると、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に交流電流を流すことを再開する。
【００３０】
以上のようなソレノイドコイル１１０に対する交流電流の通電・非通電を、ステータコアＳの内周面の温度の測定値が、目標焼鈍温度ＴＴ以上になるまで繰り返す。このようにすることによって、ステータコアＳが過剰に加熱されることを抑制しつつ、ステータコアＳの可及的に多くの領域（好ましくは全ての領域）を目標焼鈍温度ＴＴ以上に焼鈍することができる。
【００３１】
図３は、本実施形態の制御装置１５０の動作の一例を説明するフローチャートである。尚、ステータコアＳは、図３のフローチャートの開始の前に、ソレノイドコイル１１０の内側に配置され、固定されているものとする。
ステップＳ３０１において、電源制御部１５５は、交流電源１２０に対し、ソレノイドコイル１１０への交流電流の通電を指示する。これにより交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に交流電流が流れ、ステータコアＳが誘導加熱される。
【００３２】
次に、ステップＳ３０２において、外周面温度判定部１５３は、外周面温度取得部１５１により、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が取得されたか否かを判定する。この判定の結果、外周面温度取得部１５１により、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が取得されていない場合、処理は、ステップＳ３０３〜Ｓ３０５を省略し、後述するステップＳ３０６に進む。一方、ステップＳ３０２の判定の結果、外周面温度取得部１５１により、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が取得された場合、処理は、ステップＳ３０３に進み、外周面温度判定部１５３は、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が上限温度ＴＨ１を上回るか否かを判定する。
【００３３】
この判定の結果、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が上限温度ＴＨ１を上回る場合、処理は、ステップＳ３０４に進み、電源制御部１５５は、交流電源１２０に対し、ソレノイドコイル１１０に流れている交流電流の非通電を指示する。これにより交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に交流電流が流れなくなり、ステータＳが誘導加熱されなくなる。そして、処理は、後述するステップＳ３０６に進む。
【００３４】
一方、ステップＳ３０３の判定の結果、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が上限温度ＴＨ１を上回らない場合、処理は、ステップＳ３０５に進み、外周面温度判定部１５３は、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が下限温度ＴＨ２を下回るか否かを判定する。前述したように本実施形態では、下限温度ＴＨ２は、目標焼鈍温度ＴＴである。
この判定の結果、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が下限温度ＴＨ２を下回る場合、処理は、ステップＳ３０１に戻る。これにより交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に交流電流が再び流れ出し、ステータコアＳの誘導加熱が再開される。
【００３５】
一方、ステップＳ３０５の判定の結果、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が下限温度ＴＨ２を下回らない場合、処理は、ステップＳ３０６に進み、内周面温度判定部１５４は、ステータコアＳの内周面の温度の測定値が取得されたか否かを判定する。この判定の結果、ステータコアＳの内周面の温度の測定値が取得されていない場合、処理は、ステップＳ３０２に戻る。
一方、ステータコアＳの内周面の温度の測定値が取得された場合、処理は、ステップＳ３０７に進み、内周面温度判定部１５４は、ステータコアＳの内周面の温度の測定値が目標焼鈍温度ＴＴ以上であるか否かを判定する。この判定の結果、ステータコアＳの内周面の温度の測定値が目標焼鈍温度ＴＴ以上でない場合には、ステータコアＳの全体が目標焼鈍温度ＴＴになっていないものと判定され、処理は、ステップＳ３０２に戻る。一方、ステータコアＳの内周面の温度の測定値が目標焼鈍温度ＴＴ以上である場合には、ステータコアＳの全体が目標焼鈍温度ＴＴになったと判定され、図３のフローチャートによる処理が終了する。
【００３６】
次に、ステータコアＳの温度の解析結果の一例について説明する。
図４は、ステータコアＳの解析対象領域の一例を示す図である。ステータコアＳの解析対象領域は、第１の領域と第２の領域とが一体となった領域である。図４において、第１の領域は、ステータコアＳの（或る１つの）スロットＳＬを挟む位置にある２つのティースＳ２の領域のそれぞれを周方向において２つに等分割して得られる領域のうち、当該スロットＳＬ側に位置する領域である。第２の領域は、ヨークＳ１の領域のうち、径方向において第１の領域およびスロットＳＬに繋がる領域である。尚、図４では、２つのティースＳ２の残りの半分の領域と、当該領域に繋がるヨークＳ１の領域とを破線で示す。
【００３７】
ここでは、以下のステータコアＳを、以下のソレノイドコイル１１０の内側に、それらの軸と、軸方向の中央の位置とが一致するように配置して、以下の条件の交流電流をソレノイドコイル１１０に流した場合のステータコアＳの解析対象領域の各部の温度を有限要素法により解析した。尚、ステータコアＳの解析対象領域の、ステータコアＳの周方向（図４（ａ）の両矢印線の方向）における端面は、断熱面であるとして解析を行った。
【００３８】
ステータコアＳの外径：１３０ｍｍ
ステータコアＳの高さ：３０ｍｍ
ステータコアＳのティースの数：２４
ステータコアＳの材質：３５Ａ３００（厚み０．３５ｍｍ）
ソレノイドコイル１１０の巻数：７
ソレノイドコイル１１０のループの径：内径：８０ｍｍ、外径：９０ｍｍ
ソレノイドコイル１１０の（軸方向）の長さ：４０ｍｍ
電流：正弦波（実効値：２５００Ａ、周波数：１０００Ｈｚ）
上限温度ＴＨ１：８００℃
下限温度ＴＨ２：７３０℃
目標焼鈍温度ＴＴ：７３０℃
【００３９】
上限温度ＴＨ１および下限温度ＴＨ２と比較する温度は、図４に示したステータコアＳの解析対象領域の外周面の位置のうち、周方向および軸方向の中央の位置４０１の温度とした。以下の説明では、この位置４０１を、必要に応じて、外周面側温度比較位置４０１と称する。目標焼鈍温度ＴＴと比較する温度は、ステータコアＳのティースＳ２の先端面に対応する位置のうち、周方向および軸方向の中央の位置４０２の温度とした。以下の説明では、この位置４０２を、必要に応じて、内周面側温度比較位置４０２と称する。
【００４０】
図５は、ステータコアＳの外周面および内周面の温度と時間との関係を示す図である。図５において、実線のグラフＡは、外周面側温度比較位置４０１の温度と時間との関係を示すグラフであり、破線のグラフＢは、内周面側温度比較位置４０２の温度と時間との関係を示すグラフであることを示す。図６は、ソレノイドコイル１１０に流れる交流電流と時間との関係を示す図である。図７は、解析結果の一例として、ステータコアＳの解析対象領域の温度分布の一例を示す図である。ここでは、図５および図６に示すように、外周面側温度比較位置４０１の温度が８００［℃］を上回ると、ソレノイドコイル１１０に交流電流を流すことを中止し、外周面側温度比較位置４０１の温度が７３０［℃］を下回ると、ソレノイドコイル１１０に交流電流を流すことを、内周面側温度比較位置４０２の温度が７３０［℃］になるまで繰り返した。図７は、この結果、内周面側温度比較位置４０２の温度が初めて７３０［℃］以上になった時点でのステータコアＳの解析対象領域の温度分布を示す。
【００４１】
尚、前述したように、ステータコアＳの解析対象領域の周方向（図７（ａ）および図７（ｂ）に示す両矢印線の方向）の端面は断熱面としている。従って、図７（ａ）および図７（ｂ）において、当該端面の領域の温度の分布は、境界条件に依存するものであり、実際の温度を反映するものではない。
図７（ａ）および図７（ｂ）において、温度が最も高い位置は、ステータコアＳの解析対象領域の外周面の領域のうち、周方向および軸方向の中央の位置（即ち、外周面側温度比較位置４０１）であり、その温度は、約７３８℃であった、一方、温度が最も低い位置は、（内周面側温度比較位置４０２ではなく）ステータコアＳの解析対象領域のティースＳ２の先端面に対応する位置のうち、軸方向の端の位置であり、その温度は、約７２５℃であった。このように、ステータコアＳの温度差は約１３℃になり、ステータコアＳに温度分布が生じることを抑制しつつ、ステータコアＳの可及的に多くの領域を目標焼鈍温度ＴＴ以上で昇温することができることが分かる。
【００４２】
以上のように本実施形態では、ステータコアＳの外周面の測温位置の温度が上限温度ＴＨ１を上回ると、ソレノイドコイル１１０に流れている交流電流を非通電にし、ステータコアＳの外周面の測温位置の温度が下限温度ＴＨ２を下回ると、ソレノイドコイル１１０に交流電流を通電することを、ステータコアＳの内周面の測温位置の温度が目標焼鈍温度ＴＴ以上になるまで繰り返す。従って、ソレノイドコイル１１０によりステータコアＳを誘導加熱する際に、ステータコアの温度差が大きくなることを抑制することができる。
【００４３】
次に、変形例について説明する。
＜変形例１＞
本実施形態では、ステータコアＳの軸方向（Ｚ軸方向）の一方の端面と、放射温度計１３０の測温位置との、ステータコアＳの軸方向の距離Ｌ１が、ステータコアＳの軸方向の長さＬの０．３５倍以上、０．６５倍以下になる範囲が好ましいとした。しかしながら、発明が解決しようとする課題の欄で説明した悪影響は、ステータコアＳの焼鈍時の温度が過剰に高くなることによるものである。
【００４４】
図７（ａ）および図７（ｂ）に示す例では、ステータコアＳの温度差は約１３℃である。この温度差は、本実施形態で説明したようにしてステータコアＳの外周面の温度を測定し、その測定の結果に基づいてソレノイドコイル１１０に流す交流電流の通電・非通電を行っていれば、測温位置によって大きく変わることはない。従って、ステータコアＳの最も温度が高くなる領域以外の領域を放射温度計１３０の測温位置としても、ステータコアＳの最も温度が高くなる領域の温度が、過剰に高くなることはない。
【００４５】
また、ステータコアＳの最も温度が高くなる領域以外の領域の温度を放射温度計１３０の測温位置としても、ステータコアＳの外周面の領域のうち温度が最も高くなる領域の温度が所望の温度を上回らないように、放射温度計１３０で測定された温度と比較する上限温度ＴＨ１を調整することができる。
以上のように、ステータコアＳの外周面の領域であれば、上限温度ＴＨ１未満とする領域を厳密に定める必要はないから、放射温度計１３０の測温位置は、ステータコアＳの外周面の領域であれば、どの位置であってもよい。
【００４６】
また、以上のことは、放射温度計１４０についても同じである。即ち、本実施形態では、ステータコアＳの軸方向（Ｚ軸方向）の一方の端面と、放射温度計１４０の測温位置との、ステータコアＳの軸方向の距離Ｌ１が、ステータコアＳの軸方向の長さＬの０倍以上、０．２倍以下になる範囲が好ましいとした。しかしながら、ステータコアＳの温度差は、ステータコアＳの内周面の測温位置によって大きく変わることはない。従って、ステータコアＳの最も温度が低くなる領域以外の領域を放射温度計１４０の測温位置としても、ステータコアＳの最も温度が低くなる領域の温度が、所望の温度よりも過剰に低くなることはない。
【００４７】
例えば、図７（ａ）および図７（ｂ）に示した例では、放射温度計１４０の測温位置は、内周面側温度比較位置４０２であり、ステータコアＳの最も温度が低くなる領域ではない。そして、図７（ａ）および図７（ｂ）に示した例では、最低温度が７２５℃であり、７３０℃に近い温度になった。このように、ステータコアＳの内周面の領域のうち、ステータコアＳの最も温度が低くなる領域以外の領域の温度を放射温度計１４０の測温領域としても、ステータコアＳの最も温度が低くなる領域の温度が、所望の温度よりも過剰に低くなることはない。
【００４８】
また、ステータコアＳの最も温度が低くなる領域以外の領域の温度を放射温度計１４０の測温位置としても、ステータコアＳの内周面の領域のうち温度が最も低くなる領域の温度が所望の温度以上になるように、放射温度計１４０で測定された温度と比較する目標焼鈍温度ＴＴを調整することもできる。
以上のように、ステータコアＳの内周面の領域であれば、目標焼鈍温度ＴＴ以上とする領域を厳密に定める必要はないから、放射温度計１４０の測温位置は、ステータコアＳの内周面の領域であれば、どの領域であってもよい。
【００４９】
また、本実施形態では、放射温度計１３０、１４０が１つである場合を例に挙げて説明した。しかしながら、放射温度計１３０、１４０の数は、１つに限定されない。例えば、ステータコアＳの周方向において、複数の放射温度計１３０を配置し、当該複数の放射温度計１３０で測定された温度の代表値（平均値や中央値等）を、ステータコアＳの外周面の温度としてもよい。また、ステータコアＳの軸方向において、複数の放射温度計１３０を配置し、当該複数の放射温度計１３０で測定された温度の代表値（平均値や中央値等）を、ステータコアＳの外周面の温度としてもよい。更に、ステータコアＳの軸方向と周方向とのそれぞれの方向において、複数の放射温度計１３０を配置し、当該複数の放射温度計１３０で測定された温度の代表値（平均値や中央値等）を、ステータコアＳの外周面の温度としてもよい。このようにして複数の放射温度計を配置してもよいことは、放射温度計１４０についても同じである。
【００５０】
また、ステータコアＳの周方向において、放射温度計１３０、１４０を１つずつ配置して、ステータコアＳの外周面、内周面の周方向における複数の位置での温度を測定してもよい。例えば、ソレノイドコイル１１０に交流電流を流しているときに、ステータコアＳを、その軸Ａを回転軸として回転させる。このようにしてステータコアＳが一回転する間の複数のタイミングで放射温度計１３０、１４０により、ステータコアＳの外周面、内周面の温度を測定する。そして、放射温度計１３０、１４０で測定された温度の代表値（平均値や中央値等）を、ステータコアＳの外周面、内周面の温度とする。このようにすれば、ステータコアＳの周方向において、複数の放射温度計１３０、１４０を配置する必要はなくなる。一方、ステータコアＳの軸方向においては、複数の放射温度計１３０、１４０を配置してもよい。
【００５１】
また、放射温度計１３０、１４０を用いれば、ステータコアＳの外周面、内周面の温度を非接触で測定することができる。しかしながら、ステータコアＳの外周面、内周面の温度を測定することができれば、必ずしも放射温度計を用いる必要はない。例えば、熱電対を用いてもよい。
【００５２】
＜変形例２＞
本実施形態では、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が下限温度ＴＨ２を下回ると、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に電流を流すことを再開する場合を例に挙げて説明した。しかしながら、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に電流を流すことを再開するタイミングは、このような条件が成立した場合に限定されない。例えば、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に電流を流すことを中止してから、所定の時間が経過すると、交流電源１２０からソレノイドコイル１１０に電流を流すことを再開してもよい。この場合、ステップＳ３０５の処理を、所定の時間が経過したか否かを判定する処理に変更すればよい。
【００５３】
＜変形例３＞
本実施形態では、ソレノイドコイル１１０に流す交流電流の通電、非通電を行う場合を例に挙げて説明した。しかしながら、ソレノイドコイル１１０に流す交流電流を制御していれば、必ずしもこのようにする必要はない。例えば、ソレノイドコイル１１０に対し交流電流を非通電とすることに替えて、ソレノイドコイル１１０に流す交流電流の実効値を（ゼロを上回る範囲で）小さくすることと、ソレノイドコイル１１０に流す交流電流の周波数を低くすることとの少なくとも何れか一方を行うことができる。また、ソレノイドコイル１１０に対し交流電流を通電することに替えて、ソレノイドコイル１１０に流す交流電流の実効値を大きくすることと、ソレノイドコイル１１０に流す交流電流の周波数を高くすることとの少なくとも何れか一方を行うことができる。
【００５４】
また、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が上限温度ＴＨ１を上回るときの当該温度の昇温速度（単位時間当たりの温度の増加量）に応じて、ソレノイドコイル１１０に流れている交流電流を非通電にすることと、ソレノイドコイル１１０に流す交流電流を（ゼロを上回る範囲で）調整する（前述した実効値、周波数の変更を行う）こととの何れか一方を選択してもよい。例えば、ステータコアＳの外周面の温度の測定値が上限温度ＴＨ１を上回るときの当該温度の昇温速度が閾値を上回る場合には、ソレノイドコイル１１０に流れている交流電流を非通電にし、そうでない場合には、ソレノイドコイル１１０に流す交流電流を、ゼロを上回る範囲で調整することを行う。
【００５５】
＜変形例４＞
第１、第２の実施形態では、ステータコアＳを誘導加熱するための誘導加熱用コイルとしてソレノイドコイル１１０を例に挙げて説明した。しかしながら、誘導加熱用コイルは、ステータコアＳを誘導加熱することができる構成のコイルであれば、ソレノイドコイルに限定されない。例えば、ステータコアＳの高さが低い場合には、ステータコアＳの軸（Ｚ軸方向）に垂直な平面（Ｘ−Ｙ平面）において複数回巻き回されるコイルを誘導加熱用コイルとして用いてもよい。また、ステータコアＳの軸に垂直な平面において複数回巻き回した上で、ステータコアＳの軸の方向に螺旋状に巻き回したコイルを誘導加熱用コイルとしてもよい。
【００５６】
＜変形例５＞
その他、特許文献１と同様に、チャンバー内でステータコアＳの誘導加熱を行ってもよい。
【００５７】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態を説明する。第１の実施形態で説明したようにしてソレノイドコイル１１０の内側にステータコアＳを配置すると、ステータコアＳの内周側の領域の磁束密度は、ステータコアＳの外周側の領域の磁束密度よりも低くなる。このため、ステータコアＳの内周側の領域の温度が高くなるまでに時間を要する場合がある。そこで、本実施形態では、第１の実施形態に対し、ステータコアＳのティースＳ２を加熱する構成を付加する。このように本実施形態は、第１の実施形態に対し、ステータコアＳのティースＳ２を加熱する構成を付加したものである。従って、本実施形態の説明において、第１の実施形態と同一の部分については、図１〜図７に付した符号と同一の符号を付す等して詳細な説明を省略する。
【００５８】
図８は、ステータコアＳ、放射温度計１３０、１４０、およびインピーダコア８１０ａ〜８１０ｘの配置の一例を示す図である。図８（ａ）は、ステータコアＳを、Ｚ軸の正の方向から負の方向に向かって見た様子の一例を示す図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）のＩ−Ｉ断面図である。尚、図８は、図２に対応する図であり、図８では、表記の都合上、ソレノイドコイル１１０の図示を省略している。尚、ソレノイドコイル１１０の内側におけるステータコアＳの配置は、第１の実施形態と同じである。また、図８（ｂ）において、Ｘ軸、Ｙ軸は、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の原点から、それぞれ（紙面に向かって見た場合に）右斜め４５°の方向、左斜め４５°の方向に延びる軸であり、紙面の奥側から手前側に向かう方向が正の方向の軸である。
【００５９】
図８（ａ）および図８（ｂ）に示すように、本実施形態では、ステータコアＳのスロット（ティースＳ２の間）のそれぞれに、軸方向（Ｚ軸方向）に延設されるインピーダコア８１０ａ〜８１０ｘが配置される。
インピーダコア８１０ａ〜８１０ｘは同じものであり、例えば、棒状の複数のフェライトコアを有する。インピーダコア８１０ａ〜８１０ｘにより、ソレノイドコイル１１０に電流が流れることによりステータコアＳの中空部分に発生する磁束を、ティースＳ２に集中させ、ティースＳ２に発生するうず電流の電流密度を増加させることができる。従って、第１の実施形態に比べ、ティースＳにおける昇温速度を速めることができる。よって、ステータコアＳの内周面の温度が目標焼鈍温度ＴＴ以上になるまでに要する時間を短縮することができる。
【００６０】
尚、ティースＳ２のより多くの領域に磁束を集中させるために、図８（ａ）および図８（ｂ）に示すように、インピーダコア８１０ａ〜８１０ｘの軸方向（Ｚ軸方向）の端部が、ステータコアＳの外側になるように、インピーダコア８１０ａ〜８１０ｘを配置するのが好ましい。また、インピーダコア８１０ａ〜８１０ｘの軸方向（Ｚ軸方向）の端部の位置と、ステータコアＳの軸方向の端部と軸方向の位置とを同じにしてもよい。
【００６１】
次に、第１の実施形態および本実施形態の手法でステータコアＳの誘導加熱を行った場合のステータコアＳの温度の解析結果の一例について説明する。
第１の実施形態の解析結果で説明したのと同じ条件で、図４に示したステータコアＳの解析対象領域の各部の温度を有限要素法により解析した。ただし、本実施形態の手法においては、以下のインピーダコアが、スロットＳＬの周方向および径方向の中央の位置に、インピーダコアの軸方向の中央とステータコアＳの軸方向の中央とが一致するように配置されるものとした。
コアの材質：フェライトコア
コアの大きさ：φ４
コアの数：２４（各スロットに１つずつコアを配置）
コアの長さ：４０ｍｍ
【００６２】
第１の実施形態の解析結果で説明したのと同様に、上限温度ＴＨ１および下限温度ＴＨ２と比較する温度は、図４に示した外周面側温度比較位置４０１とした。また、目標焼鈍温度ＴＴと比較する温度は、図４に示した内周面側温度比較位置４０２とした。
【００６３】
図９は、ステータコアＳの外周面および内周面の温度と時間との関係を示す図である。図９において、太線のグラフＡは、第１の実施形態の手法（インピーダコアを配置していない場合）における外周面側温度比較位置４０１の温度と時間との関係を示すグラフを示し、図５に示す実線のグラフＡと同じである。破線のグラフＢは、第１の実施形態の手法（インピーダコアを配置していない場合）における内周面側温度比較位置４０２の温度と時間との関係の一例を示す図であり、図５に示す破線のグラフＢと同じである。一点鎖線のグラフＣは、本実施形態の手法（インピーダコアを配置した場合）における外周面側温度比較位置４０１の温度と時間との関係を示すグラフを示す。細線のグラフＤは、本実施形態の手法（インピーダコアを配置した場合）における内周面側温度比較位置４０２の温度と時間との関係の一例を示す図である。
【００６４】
インピーダコアの有無以外については、第１の実施形態の手法と、第２の実施形態の手法とで異なるところはない。図１０は、ソレノイドコイル１１０に流れる交流電流と時間との関係を示す図である。図９および図１０に示すように、ステータコアＳの外周面の温度が８００℃を上回ると、ソレノイドコイル１１０に交流電流を流すことを中止し、ステータコアＳの外周面の温度が７３０℃を下回ると、ソレノイドコイル１１０に交流電流を流すことを、内周面側温度比較位置４０２の温度が７３０［℃］になるまで繰り返した（図１０を参照）。
【００６５】
図９（ａ）に示すグラフのスケールでは、外周面側温度比較位置４０１の温度と時間との関係を示すグラフＡ、Ｃも、内周面側温度比較位置４０２の温度と時間との関係を示すグラフＢ、Ｄも殆ど重なる（このことは図１０でも同様である）。しかしながら、図９（ｂ）に示すように、図９（ａ）の１５５秒〜１６０秒付近を拡大すると、インピーダコア８１０ａ〜８１０ｘを用いることにより、第１の実施形態のようにスロットＳＬに何も配置しない場合に比べ、内周面側温度比較位置４０２における温度が目標焼鈍温度ＴＴ（＝７３０［℃］）になるまでの時間を３秒程度短縮することができることが分かる（図９（ｂ）のΔｔで示す部分を参照）。
【００６６】
以上のように本実施形態では、ステータコアＳのスロット（ティースＳ２の間）のそれぞれに、軸方向（Ｚ軸方向）に延設されるインピーダコア８１０ａ〜８１０ｘを配置する。従って、第１の実施形態で説明した効果に加え、ステータコアＳの内周面の温度が目標焼鈍温度ＴＴ以上になるまでに要する時間を短縮することができる。また、ソレノイドコイル１１０とインピーダコア８１０ａ〜８１０ｘとの間にステータコアＳが配置される。従って、ソレノイドコイル１１０により、主にステータコアＳの外周側を加熱し、インピーダコア８１０ａ〜８１０ｘにより、主にステータコアＳの内周側を加熱することになる。よって、ステータコアＳの加熱中の径方向の温度分布を対称に近づけることができる。これにより、ステータコアＳの温度差をより低減することができる。
【００６７】
次に、変形例について説明する。
＜変形例６＞
本実施形態では、ステータコアＳのスロット（ティースＳ２の間）のそれぞれに、インピーダコア８１０ａ〜８１０ｘを配置する場合を例に挙げて説明した。しかしながら、ステータコアＳのスロット（ティースＳ２の間）の全てにインピーダコアを配置する必要はない。また、インピーダコアが配置される位置は、ステータコアＳのスロット（ティースＳ２の間）に限定されない。例えば、ステータコアＳのスロット（ティースＳ２の間）に加えてまたは代えて、ティースＳ２の先端面と間隔を有して対向する位置にインピーダコアを配置してもよい。このように、インピーダコアの位置および数は、ステータコアＳの大きさ・形状・材質等に応じて定めることができる。
【００６８】
＜変形例７＞
本実施形態では、ステータコアＳのティースＳ２を加熱する構成として、インピーダコアを用いる場合を例に挙げて説明した。しかしながら、ステータコアＳのティースＳ２を加熱する構成は、インピーダコアに限定されない。例えば、インピーダコアに代えてヒータ（輻射熱を発生する加熱装置）を用いてもよい。ただし、誘導加熱以外の方法でステータコアＳのティースＳ２を加熱するのが好ましい。ソレノイドコイル１１０から発生する磁束と、ステータコアＳのティースＳ２を加熱するためのコイルから発生する磁束が相互作用を起こすことによりソレノイドコイル１１０の内側の磁束密度が低下すること等を抑制する必要が生じる虞がある。
＜変形例８＞
その他、本実施形態においても、第１の実施形態で説明した変形例を適用することができる。
【００６９】
（その他の実施形態）
以上説明した本発明の実施形態のうち、制御装置１５０で実行される処理は、コンピュータがプログラムを実行することによって実現することができる。また、前記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び前記プログラム等のコンピュータプログラムプロダクトも本発明の実施形態として適用することができる。記録媒体としては、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭ等を用いることができる。
また、以上説明した本発明の実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、またはその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
【符号の説明】
【００７０】
１１０：ソレノイドコイル、１２０：交流電源、１３０、１４０：放射温度計、１５０：制御装置、１５１：外周面温度取得部、１５２：内周面温度取得部、１５３：外周面温度判定部、１５４：内周面温度判定部、１５５：電源制御部、８１０ａ〜８１０ｘ：インピーダコア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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