(57)【要約】【課題】熱輸送性能の劣化を抑制したヒートパイプを提供する。【解決手段】本ループ型ヒートパイプは、作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、を有し、前記液管は、最外層となる２層の金属層と、前記最外層の間に２層以上の金属層が積層されてなる内層と、を備え、前記内層には、前記作動流体が流れる１つ以上の流路と、前記流路と連通する多孔質体と、が設けられ、前記内層を構成する一の金属層には、前記一の金属層に隣接する他の金属層側に開口する第１の有底溝が形成され、前記内層を構成する前記他の金属層には、前記一の金属層側に開口する第２の有底溝が形成され、前記流路は、前記第１の有底溝と前記第２の有底溝とが厚さ方向に連通するように対向配置されて形成された流路を含む。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、を有し、
前記液管は、最外層となる２層の金属層と、前記最外層の間に２層以上の金属層が積層されてなる内層と、を備え、
前記内層には、前記作動流体が流れる１つ以上の流路と、前記流路と連通する多孔質体と、が設けられ、
前記内層を構成する一の金属層には、前記一の金属層に隣接する他の金属層側に開口する第１の有底溝が形成され、
前記内層を構成する前記他の金属層には、前記一の金属層側に開口する第２の有底溝が形成され、
前記流路は、前記第１の有底溝と前記第２の有底溝とが厚さ方向に連通するように対向配置されて形成された流路を含むループ型ヒートパイプ。
【請求項２】
前記第１の有底溝は、前記一の金属層内に配列され、前記他の金属層側に開口して平面方向に連通する複数の有底溝を含み、
前記第２の有底溝は、前記他の金属層内に配列され、前記一の金属層側に開口して平面方向に連通する複数の有底溝を含み、
前記流路は、前記一の金属層内に配列された複数の有底溝と、前記他の金属層内に配列された複数の有底溝とが厚さ方向に連通するように対向配置されて形成された流路を含む請求項１に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項３】
前記流路は、前記一の金属層及び前記他の金属層内において前記多孔質体の両側に配置された２つの流路を含む請求項１又は２に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項４】
前記内層は、前記他の金属層に隣接する第３の金属層を含み、
前記他の金属層には、前記第３の金属層側に開口する第３の有底溝が形成され、
前記第３の金属層には、前記他の金属層側に開口する第４の有底溝が形成され、
前記流路は、前記第３の有底溝と前記第４の有底溝とが厚さ方向に連通するように対向配置されて形成された流路を含む請求項１乃至３の何れか一項にループ型ヒートパイプ。
【請求項５】
前記多孔質体は、前記一の金属層、前記他の金属層、及び前記第３の金属層に設けられている請求項４に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項６】
前記内層は、前記第３の金属層に隣接する第４の金属層を含み、
前記第３の金属層には、前記第４の金属層側に開口する第５の有底溝が形成され、
前記第４の金属層には、前記第３の金属層側に開口する第６の有底溝が形成され、
前記流路は、前記第５の有底溝と前記第６の有底溝とが厚さ方向に連通するように対向配置されて形成された流路を含む請求項４又は５に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項７】
前記多孔質体は、前記一の金属層、前記他の金属層、前記第３の金属層、及び前記第４の金属層に設けられている請求項６に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項８】
前記流路を構成する有底溝は、内壁面が湾曲面からなる凹形状である請求項１乃至７の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項９】
前記多孔質体は、前記内層を構成する少なくとも１層の金属層に形成され、
前記少なくとも１層の金属層の一方の面側から窪む第１の有底孔と、他方の面側から窪む第２の有底孔と、前記第１の有底孔と前記第２の有底孔とが部分的に連通して形成された細孔と、を備えている請求項１乃至８の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項１０】
前記最外層の金属層はべた状であることを特徴とする請求項１乃至９の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項１１】
作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、を有し、前記液管は、最外層となる２層の金属層と、前記最外層の間に２層以上の金属層が積層されてなる内層と、を備え、前記内層に、前記作動流体が流れる１つ以上の流路と、前記流路と連通する多孔質体と、が設けられたループ型ヒートパイプの製造方法であって、
前記内層に前記流路を形成する工程を有し、
前記流路を形成する工程は、
前記内層となる一の金属シートをハーフエッチングして第１の有底溝を形成する工程と、
前記内層となる他の金属シートをハーフエッチングして、第２の有底溝を形成する工程と、
前記一の金属シートと前記他の金属シートとを、前記第１の有底溝の開口側と前記第２の有底溝の開口側とが対向するように積層し、前記第１の有底溝と前記第２の有底溝とが厚さ方向に連通する流路を形成する工程と、を含むループ型ヒートパイプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ループ型ヒートパイプ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器に搭載されるＣＰＵ（Central Processing Unit）等の発熱部品を冷却するデバイスとして、ヒートパイプが知られている。ヒートパイプは、作動流体の相変化を利用して熱を輸送するデバイスである。
【０００３】
例えば、複数の金属層を積層して流路を形成したヒートパイプが提案されている。このヒートパイプでは、製造工程で実施する複数の金属層に対するプレス処理等による流路の変形防止のため、流路内に複数の金属層が積層された支柱を設けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第６１４６４８４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、流路内に複数の金属層が積層された支柱を設ける場合、必ず所定箇所で管壁との接点をもたせるための釣り手を設ける必要がある。釣り手を設けることは、各金属層の設計自由度を阻害するばかりでなく、流路となる空間を減少させる。流路が狭くなると、流路内に作動流体が流れる際のエネルギー損失である圧力損失が大きくなり、この圧力損失が作動流体の流れを阻害し、ヒートパイプの熱輸送性能を大幅に劣化させてしまう。
【０００６】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、熱輸送性能の劣化を抑制したヒートパイプを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本ループ型ヒートパイプは、作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、を有し、前記液管は、最外層となる２層の金属層と、前記最外層の間に２層以上の金属層が積層されてなる内層と、を備え、前記内層には、前記作動流体が流れる１つ以上の流路と、前記流路と連通する多孔質体と、が設けられ、前記内層を構成する一の金属層には、前記一の金属層に隣接する他の金属層側に開口する第１の有底溝が形成され、前記内層を構成する前記他の金属層には、前記一の金属層側に開口する第２の有底溝が形成され、前記流路は、前記第１の有底溝と前記第２の有底溝とが厚さ方向に連通するように対向配置されて形成された流路を含むことを要件とする。
【発明の効果】
【０００８】
開示の技術によれば、熱輸送性能の劣化を抑制したヒートパイプを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。
【図２】第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の断面図である。
【図３】第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの液管を例示する図である。
【図４】第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その１）である。
【図５】第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その２）である。
【図６】比較例に係るループ型ヒートパイプの液管の構造を例示する図である。
【図７】第２の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの液管を例示する図である。
【図８】第３の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの液管を例示する図である。
【図９】第４の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの液管を例示する図である。
【図１０】第５の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの液管を例示する図である。
【図１１】第６の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの液管を例示する図である。
【図１２】１つの有底孔に対して複数の細孔を設ける例を示す図である。
【図１３】１つの金属層に有底孔と溝を設ける例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１１】
〈第１の実施の形態〉
［第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの構造］
まず、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの構造について説明する。図１は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。
【００１２】
図１を参照するに、ループ型ヒートパイプ１は、蒸発器１０と、凝縮器２０と、蒸気管３０と、液管４０とを有する。ループ型ヒートパイプ１は、例えば、スマートフォンやタブレット端末等のモバイル型の電子機器２に収容することができる。
【００１３】
なお、図１に示すＸ方向は凝縮器２０の長手方向、Ｙ方向は図１の平面内でＸ方向に直交する方向、Ｚ方向は図１の平面の法線方向（ループ型ヒートパイプ１の厚さ方向）を示す。
【００１４】
ループ型ヒートパイプ１において、蒸発器１０は、作動流体Ｃを気化させて蒸気Ｃｖを生成する機能を有する。凝縮器２０は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖを液化させる機能を有する。蒸発器１０と凝縮器２０は、蒸気管３０及び液管４０により接続されており、蒸気管３０及び液管４０によって作動流体Ｃ又は蒸気Ｃｖが流れるループである流路５０が形成されている。なお、図１では、流路５０として図示するが、流路５０は流路の総称であり、実際には後述する様々な流路（例えば、流路５１及び５２等）が形成される。
【００１５】
図２は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の断面図である。図１及び図２に示すように、蒸発器１０には、例えば４つの貫通孔１０ｘが形成されている。蒸発器１０に形成された各貫通孔１０ｘと回路基板１００に形成された各貫通孔１００ｘにボルト１５０を挿入し、回路基板１００の下面側からナット１６０で止めることにより、蒸発器１０と回路基板１００とが固定される。
【００１６】
回路基板１００には、例えば、ＣＰＵ等の発熱部品１２０がバンプ１１０により実装され、発熱部品１２０の上面が蒸発器１０の下面と密着する。蒸発器１０内の作動流体Ｃは、発熱部品１２０で発生した熱により気化し、蒸気Ｃｖが生成される。
【００１７】
図１に示すように、蒸発器１０に生成された蒸気Ｃｖは、蒸気管３０を通って凝縮器２０に導かれ、凝縮器２０において液化する。これにより、発熱部品１２０で発生した熱が凝縮器２０に移動し、発熱部品１２０の温度上昇が抑制される。凝縮器２０で液化した作動流体Ｃは、液管４０を通って蒸発器１０に導かれる。蒸気管３０の幅Ｗ１は、例えば、８ｍｍ程度とすることができる。又、液管４０の幅Ｗ２は、例えば、６ｍｍ程度とすることができる。
【００１８】
作動流体Ｃの種類は特に限定されないが、蒸発潜熱によって発熱部品１２０を効率的に冷却するために、蒸気圧が高く、かつ蒸発潜熱が大きい流体を使用することが好ましい。そのような流体としては、例えば、アンモニア、水、フロン、アルコール、及びアセトンを挙げることができる。
【００１９】
蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、及び液管４０は、例えば、金属層が複数積層された構造とすることができる。金属層は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。金属層の各々の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。
【００２０】
なお、金属層は銅層には限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。又、金属層の積層数は特に限定されない。
【００２１】
図３は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの液管を例示する図であり、図３（ａ）は図１のＡ部の部分拡大平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。但し、図３（ａ）では、液管４０内の多孔質体６０の平面形状を示すため、一方の最外層となる金属層（図３（ｂ）に示す金属層６１）の図示が省略されている。
【００２２】
図３に示すように、液管４０は、金属層６１〜６４の４層が積層された構造である。液管４０において、金属層６１及び６４が最外層であり、金属層６２及び６３が内層である。但し、液管は、最外層となる２層の金属層と、最外層の間に２層以上の金属層が積層されてなる内層とを備えていればよい。すなわち、内層は３層以上としても構わない。
【００２３】
金属層６１〜６４は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。金属層６１〜６４の各々の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。なお、金属層６１〜６４は銅層には限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。又、金属層の積層数は限定されず、５層以上の金属層を積層してもよい。
【００２４】
液管４０の内層（金属層６２及び６３）には、流路５１及び５２と、流路５１及び５２と連通する多孔質体６０とが設けられている。流路５１は多孔質体６０のＸ方向の一端側に設けられ、流路５２は多孔質体６０のＸ方向の他端側に設けられている。言い換えれば、流路５１及び５２は、両側から多孔質体６０を挟持するように設けられている。
【００２５】
多孔質体６０を構成する有底孔の少なくとも一部は、流路５１及び５２と連通している。これにより、作動流体Ｃが多孔質体６０内に浸透することができる。又、多孔質体６０は、液管４０の略中央部に設けられているため、支柱としても機能する。これにより、例えば固相接合時の加圧により液管４０が潰れることを防止できる。
【００２６】
流路５１は、有底溝５１ｘと有底溝５１ｙとが連通して形成されている。又、流路５２は、有底溝５２ｘと有底溝５２ｙとが連通して形成されている。より詳しくは、金属層６２には、金属層６３側に開口する有底溝５１ｘ及び５２ｘが形成されている。又、金属層６３には、金属層６２側に開口する有底溝５１ｙ及び５２ｙが形成されている。有底溝５１ｘ及び５２ｘ、並びに有底溝５１ｙ及び５２ｙは、例えば、内壁面が湾曲面からなるかまぼこ型の凹形状とすることができる。
【００２７】
有底溝５１ｘ及び５２ｘ、並びに有底溝５１ｙ及び５２ｙのＸＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略半円形や略半楕円形とすることができる。ここで、略半円形とは、真円を二等分した半円のみでなく、例えば、半円よりも円弧が長いものや短いものも含む。又、略半楕円形とは、楕円を二等分した半楕円のみでなく、例えば、半楕円よりも円弧が長いものや短いものも含む。
【００２８】
有底溝５１ｘと有底溝５１ｙとは最大開口部の幅が略同一であり、開口側同士を内側に向けて平面視で重複する位置に配置されている。そのため、有底溝５１ｘと有底溝５１ｙとは開口側同士が連通して流路５１を形成している。同様に、有底溝５２ｘと有底溝５２ｙとは最大開口部の幅が略同一であり、開口側同士を内側に向けて平面視で重複する位置に配置されている。そのため、有底溝５２ｘと有底溝５２ｙとは開口側同士が連通して流路５２を形成している。
【００２９】
すなわち、有底溝５１ｘと有底溝５１ｙとが厚さ方向（Ｚ方向）に連通するように対向配置されて流路５１が形成され、有底溝５２ｘと有底溝５２ｙとが厚さ方向に連通するように対向配置されて流路５２が形成されている。流路５１及び５２のＸＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略円形や略楕円形とすることができる。
【００３０】
多孔質体６０において、１層目（一方の最外層）の金属層６１及び４層目（他方の最外層）の金属層６４には、孔や溝は形成されていない（つまり、最外層の金属層はべた状である）。これに対して、金属層６２には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６２ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６２ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
【００３１】
有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６２ｚを形成している。又、Ｙ方向に交互に配置された有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６２ｚを形成している。
【００３２】
有底孔６２ｘ及び６２ｙの平面形状は、例えば、直径が１００〜３００μｍ程度の円形とすることができるが、楕円形や多角形等の任意の形状として構わない。有底孔６２ｘ及び６２ｙの深さは、例えば、金属層６２の厚さの半分程度とすることができる。Ｘ方向に隣接する有底孔６２ｘの間隔Ｌ１は、例えば、１００〜４００μｍ程度とすることができる。Ｙ方向に隣接する有底孔６２ｘの間隔についても同様である。Ｘ方向隣接する有底孔６２ｙの間隔Ｌ２は、例えば、１００〜４００μｍ程度とすることができる。Ｙ方向に隣接する有底孔６２ｙの間隔についても同様である。
【００３３】
有底孔６２ｘ及び６２ｙのＸＺ平面に平行な断面形状及びＹＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略半円形や略半楕円形とすることができる。但し、有底孔６２ｘ及び６２ｙのＸＺ平面に平行な断面形状及びＹＺ平面に平行な断面形状は、底面側から開口側に向かって拡幅するテーパ形状や、底面に対して垂直な形状であっても構わない。
【００３４】
細孔６２ｚの短手方向の幅Ｗ３は、例えば、１０〜５０μｍ程度とすることができる。又、細孔６２ｚの長手方向の幅Ｗ４は、例えば、５０〜１５０μｍ程度とすることができる。
【００３５】
金属層６３には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６３ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６３ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
【００３６】
有底孔６３ｘと有底孔６３ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔６３ｘと有底孔６３ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔６３ｘと有底孔６３ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６３ｚを形成している。又、Ｙ方向に交互に配置された有底孔６３ｘと有底孔６３ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６３ｚを形成している。有底孔６３ｘ及び６３ｙ、細孔６３ｚの形状等は、例えば、有底孔６２ｘ及び６２ｙ、細孔６２ｚの形状等と同様とすることができる。
【００３７】
又、金属層６２の有底孔６２ｙと金属層６３の有底孔６３ｘとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６７ｚを形成している。
【００３８】
各金属層に形成された細孔同士は互いに連通しており、互いに連通する細孔は多孔質体６０内に三次元的に広がっている。そのため、作動流体Ｃは、毛細管力により、互いに連通する細孔内を三次元的に広がる。
【００３９】
但し、図３では、有底孔６２ｘと有底孔６３ｘ、及び有底孔６２ｙと有底孔６３ｙが平面視で重複する形態を例示しているが、これには限定されない。すなわち、互いに連通する細孔が多孔質体６０内に三次元的に広がる形態であれば、有底孔６２ｘと有底孔６３ｘとは必ずしも平面視で重複しなくてもよく、有底孔６２ｙと有底孔６３ｙとは必ずしも平面視で重複しなくてもよい。
【００４０】
このように、液管４０には多孔質体６０が設けられており、多孔質体６０は液管４０に沿って蒸発器１０の近傍まで延びている。これにより、多孔質体６０に生じる毛細管力によって、液管４０内の液相の作動流体Ｃが蒸発器１０まで誘導される。
【００４１】
その結果、蒸発器１０からのヒートリーク等によって液管４０内を蒸気Ｃｖが逆流しようとしても、多孔質体６０から液相の作動流体Ｃに作用する毛細管力で蒸気Ｃｖを押し戻すことができ、蒸気Ｃｖの逆流を防止することが可能となる。
【００４２】
更に、多孔質体６０は蒸発器１０内にも設けられている。蒸発器１０内の多孔質体６０のうち、液管４０寄りの部分には液相の作動流体Ｃが浸透する。この際、多孔質体６０から作動流体Ｃに作用する毛細管力が、ループ型ヒートパイプ１内で作動流体Ｃを循環させるポンピング力となる。
【００４３】
しかも、この毛細管力は蒸発器１０内の蒸気Ｃｖに対抗するため、蒸気Ｃｖが液管４０に逆流するのを抑制することが可能となる。
【００４４】
なお、液管４０には作動流体Ｃを注入するための注入口（図示せず）が形成されているが、注入口は封止部材により塞がれており、ループ型ヒートパイプ１内は気密に保たれる。
【００４５】
［第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法］
次に、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法について、流路及び多孔質体の製造工程を中心に説明する。図４及び図５は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図であり、図３（ｂ）に対応する断面を示している。
【００４６】
まず、図４（ａ）に示す工程では、図１の平面形状に形成された金属シート６２０を準備する。そして、金属シート６２０の上面にレジスト層３１０を形成し、金属シート６２０の下面にレジスト層３２０を形成する。金属シート６２０は、最終的に金属層６２となる部材であり、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から形成することができる。金属シート６２０の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。レジスト層３１０及び３２０としては、例えば、感光性のドライフィルムレジスト等を用いることができる。
【００４７】
次に、図４（ｂ）に示す工程では、金属シート６２０の流路５１、流路５２、及び多孔質体６０を形成する領域において、レジスト層３１０を露光及び現像して、金属シート６２０の上面を選択的に露出する開口部３１０ｘを形成する。又、レジスト層３２０を露光及び現像して、金属シート６２０の下面を選択的に露出する開口部３２０ｘを形成する。開口部３１０ｘの形状及び配置は、図３に示した有底孔６２ｘの形状及び配置に対応するように形成する。又、開口部３２０ｘの形状及び配置は、図３に示した有底溝５１ｘ及び５２ｘ並びに有底孔６２ｙの形状及び配置に対応するように形成する。
【００４８】
次に、図４（ｃ）に示す工程では、開口部３１０ｘ内に露出する金属シート６２０を金属シート６２０の上面側からハーフエッチングすると共に、開口部３２０ｘ内に露出する金属シート６２０を金属シート６２０の下面側からハーフエッチングする。これにより、金属シート６２０の上面側に有底孔６２ｘが形成され、下面側に有底溝５１ｘ及び５２ｘ並びに有底孔６２ｙが形成される。又、表裏でＸ方向に交互に配置された開口部３１０ｘと開口部３２０ｘとは、平面視で部分的に重複しているため、重複する部分が連通して細孔６２ｚが形成される。金属シート６２０のハーフエッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。
【００４９】
次に、図４（ｄ）に示す工程では、レジスト層３１０及び３２０を剥離液により剥離する。これにより、金属層６２が完成する。
【００５０】
次に、図５（ａ）に示す工程では、孔や溝が形成されていないベタ状の金属層６１及び６４を準備する。又、金属層６２と同様の方法により、金属層６３を形成する。金属層６３に形成される有底溝、有底孔、及び細孔の位置は、例えば、図３に示した通りである。
【００５１】
次に、図５（ｂ）に示す工程では、図５（ａ）に示す順番で各金属層を積層し、加圧及び加熱により固相接合を行う。これにより、隣接する金属層同士が直接接合され、蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、及び液管４０を有するループ型ヒートパイプ１が完成し、液管４０に流路５１及び５２並びに多孔質体６０が形成される。その後、真空ポンプ等を用いて液管４０内を排気した後、図示しない注入口から液管４０内に作動流体Ｃを注入し、その後注入口を封止する。
【００５２】
ここで、固相接合とは、接合対象物同士を溶融させることなく固相（固体）状態のまま加熱して軟化させ、更に加圧して塑性変形を与えて接合する方法である。なお、固相接合によって隣接する金属層同士を良好に接合できるように、金属層６１〜６４の全ての材料を同一にすることが好ましい。
【００５３】
このように、各金属層の両面側から形成した有底孔を部分的に連通させて各金属層内に細孔を設ける構造とすることで、貫通孔が形成された金属層同士を貫通孔が部分的に重複するように積層する従来の細孔の形成方法の問題点を解消できる。すなわち、金属層同士を積層する際の位置ずれや、金属層を複数積層する際の加熱処理の際の金属層の膨張及び収縮による位置ずれが生じることがなく、一定の大きさの細孔を金属層内に形成できる。
【００５４】
これにより、細孔の大きさがばらついて細孔により発現する毛細管力が低下することを防止可能となり、蒸発器１０から液管４０に蒸気Ｃｖが逆流することを抑制する効果を安定的に得ることができる。
【００５５】
又、金属層同士を積層する部分では、隣接する有底孔全体を重複させる構造とすることで、金属層同士が接する面積を大きくできるため、強固な接合が可能となる。
【００５６】
又、最外層の金属層はべた状であり孔や溝を形成しないので、最外層の金属層により液管４０の剛性を確保できる（液管４０の変形を抑制できる）。
【００５７】
ここで、比較例を交えながら、液管４０に形成された流路５１及び５２の有する効果について説明する。
【００５８】
図６は、比較例に係るループ型ヒートパイプの液管の構造を例示する図であり、図６（ａ）は比較例に係る液管の部分平面図である。又、図６（ｂ）は図６（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図であり、図６（ｃ）は図６（ａ）のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。なお、図６（ａ）では、金属層９１の図示を省略している。又、図６（ａ）では、作動流体Ｃの流れを矢印で模式的に示している。
【００５９】
図６に示すように、液管９０は、例えば、金属層９１〜９４の４層が順次積層された構造とされている。
【００６０】
金属層９１及び９４は、液管９０を構成する金属層の積層構造の厚さ方向の両外側に位置し、金属層９２及び９３は金属層９１と金属層９４との間に積層されている。金属層９１及び９４は、孔や溝が形成されていないベタ状とされており、液管９０の外壁の一部を構成している。
【００６１】
金属層９２は、Ｘ方向に離間して配置された対向する壁部９２１及び９２２、支柱構成部９２３、並びに釣り手９２４を備えている。金属層９３は、Ｘ方向に離間して配置された対向する壁部９３１及び９３２、支柱構成部９３３、並びに釣り手９３４を備えている。なお、釣り手は、支柱構成部を壁部に対して位置決め及び保持する部材であり、最外層以外の各金属層において、必要な位置に必要な個数設けられるものである。
【００６２】
壁部９２１及び９３１の積層部は、液管９０の一方の管壁９７（側壁）を構成している。又、壁部９２２及び９３２の積層部は、液管９０の他方の管壁９８（側壁）を構成している。又、支柱構成部９２３及び９３３の積層部は、液管９０の管壁９７と管壁９８との間の隔壁となる支柱９９を構成している。
【００６３】
そして、Ｘ方向に対向する管壁９７及び支柱９９と、Ｚ方向に対向する金属層９１及び９４により、流路８１が画定されている。又、Ｘ方向に対向する管壁９８及び支柱９９と、Ｚ方向に対向する金属層９１及び９４により、流路８２が画定されている。
【００６４】
このように、比較例に係る液管９０では、図６に示すように、支柱構成部を壁部に対して位置決め及び保持するために最外層以外の金属層に釣り手が必要となる。
【００６５】
釣り手を設けることは、最外層以外の各金属層の設計自由度を阻害するばかりでなく、流路となる空間を減少させる。流路が狭くなると、流路内に作動流体Ｃが流れる際のエネルギー損失である圧力損失が大きくなり、この圧力損失が作動流体Ｃの流れを阻害し、ループ型ヒートパイプの熱輸送性能を大幅に劣化させてしまう。
【００６６】
一方、本実施の形態では、隣接する金属層にハーフエッチングにより形成された有底溝同士を厚さ方向に連通させて流路を形成するため、釣り手を設ける必要がない。その結果、釣り手がない分流路が広くなり、流路内の圧力損失が抑制されるため、作動流体Ｃの流れが阻害されず、ループ型ヒートパイプ１の熱輸送性能の劣化を抑制することができる。
【００６７】
〈第２の実施の形態〉
第２の実施の形態では、第１の実施の形態とは断面形状の異なる流路を有する液管の例を示す。なお、第２の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００６８】
図７は、第２の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの液管を例示する図であり、図７（ａ）は図３（ａ）に対応する部分拡大平面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。但し、図７（ａ）では、液管４０Ａ内の多孔質体６０Ａの平面形状を示すため、一方の最外層となる金属層（図７（ｂ）に示す金属層６１）の図示が省略されている。
【００６９】
図７に示すように、液管４０Ａ内には流路５１Ａ及び５２Ａ並びに多孔質体６０Ａが設けられている。流路５１Ａは多孔質体６０ＡのＸ方向の一端側に設けられ、流路５２Ａは多孔質体６０ＡのＸ方向の他端側に設けられている。言い換えれば、流路５１Ａ及び５２Ａは、両側から多孔質体６０Ａを挟持するように設けられている。なお、多孔質体６０Ａは、便宜上別符号としているが、多孔質体６０と同一構造であるため、説明は省略する。
【００７０】
多孔質体６０Ａを構成する有底孔の少なくとも一部は、流路５１Ａ及び５２Ａと連通している。これにより、作動流体Ｃが多孔質体６０Ａ内に浸透することができる。又、多孔質体６０Ａは、液管４０Ａの略中央部に設けられているため、支柱としても機能する。これにより、例えば固相接合時の加圧により液管４０Ａが潰れることを防止できる。
【００７１】
流路５１Ａは、有底溝５１ｘ１、５１ｘ２、及び５１ｘ３と、有底溝５１ｙ１、５１ｙ２、及び５１ｙ３とが連通して形成されている。又、流路５２Ａは、有底溝５２ｘ１、５２ｘ２、及び５２ｘ３と、有底溝５２ｙ１、５２ｙ２、及び５２ｙ３とが連通して形成されている。
【００７２】
より詳しくは、金属層６２内において、有底溝５１ｘ１、５１ｘ２、及び５１ｘ３は、長手方向をＹ方向に向けてＸ方向に配列され、金属層６３側に開口して平面方向（Ｘ方向）に連通している。又、金属層６２内において、有底溝５２ｘ１、５２ｘ２、及び５２ｘ３は、長手方向をＹ方向に向けてＸ方向に配列され、金属層６３側に開口して平面方向（Ｘ方向）に連通している。
【００７３】
金属層６３内において、有底溝５１ｙ１、５１ｙ２、及び５１ｙ３は、長手方向をＹ方向に向けてＸ方向に配列され、金属層６２側に開口して平面方向（Ｘ方向）に連通している。又、金属層６３内において、有底溝５２ｙ１、５２ｙ２、及び５２ｙ３は、長手方向をＹ方向に向けてＸ方向に配列され、金属層６２側に開口して平面方向（Ｘ方向）に連通している。
【００７４】
有底溝５１ｘ１、５１ｘ２、５１ｘ３、５２ｘ１、５２ｘ２、及び５２ｘ３、並びに有底溝５１ｙ１、５１ｙ２、５１ｙ３、５２ｙ１、５２ｙ２、及び５２ｙ３は、例えば、内壁面が湾曲面からなるかまぼこ型の凹形状とすることができる。
【００７５】
有底溝５１ｘ１、５１ｘ２、５１ｘ３、５２ｘ１、５２ｘ２、及び５２ｘ３、並びに有底溝５１ｙ１、５１ｙ２、５１ｙ３、５２ｙ１、５２ｙ２、及び５２ｙ３のＸＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略半円形や略半楕円形とすることができる。
【００７６】
Ｘ方向に連通する有底溝５１ｘ１、５１ｘ２、及び５１ｘ３とＸ方向に連通する有底溝５１ｙ１、５１ｙ２、及び５１ｙ３とは、最大開口部の幅が略同一であり、開口側同士を内側に向けて平面視で重複する位置に配置されている。そのため、Ｘ方向に連通する有底溝５１ｘ１、５１ｘ２、及び５１ｘ３とＸ方向に連通する有底溝５１ｙ１、５１ｙ２、及び５１ｙ３とは、開口側同士が連通して流路５１Ａを形成している。
【００７７】
同様に、Ｘ方向に連通する有底溝５２ｘ１、５２ｘ２、及び５２ｘ３とＸ方向に連通する有底溝５２ｙ１、５２ｙ２、及び５２ｙ３とは、最大開口部の幅が略同一であり、開口側同士を内側に向けて平面視で重複する位置に配置されている。そのため、Ｘ方向に連通する有底溝５２ｘ１、５２ｘ２、及び５２ｘ３とＸ方向に連通する有底溝５２ｙ１、５２ｙ２、及び５２ｙ３とは、開口側同士が連通して流路５２Ａを形成している。
【００７８】
すなわち、５１ｘ１、５１ｘ２、及び５１ｘ３と有底溝５１ｙ１、５１ｙ２、及び５１ｙ３とが厚さ方向に連通するように対向配置されて流路５１Ａが形成されている。同様に、有底溝５２ｘ１、５２ｘ２、及び５２ｘ３と有底溝５２ｙ１、５２ｙ２、及び５２ｙ３とが厚さ方向に連通するように対向配置されて流路５２Ａが形成されている。流路５１Ａ及び５２ＡのＸＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略円形や略楕円形が互いに連通しながらＸ方向に配列された形状とすることができる。
【００７９】
このように、流路のＸＺ平面に平行な断面形状は、１つの略円形や略楕円形としてもよいし、略円形や略楕円形が互いに連通しながらＸ方向に複数個配列された形状としてもよい。
【００８０】
但し、１つの略円形や略楕円形の流路を形成する場合には、隣接する金属層に各々１つの略半円形や略半楕円形の有底溝をハーフエッチングにより形成する必要がある。１つの略半円形や略半楕円形の有底溝をハーフエッチングにより形成する場合、深さ方向と幅方向とが同時にエッチングされるため、金属層の厚さに対して有底溝の幅が制限される。そのため、Ｘ方向に幅広の流路を形成することは困難である。
【００８１】
これに対して、略円形や略楕円形が互いに連通しながらＸ方向に複数個配列された形状の流路を形成する場合には、ハーフエッチングにより形成する略半円形や略半楕円形の１つの有底溝の幅が制限されたとしても問題とはならない。ハーフエッチングにより１つの有底溝の幅が制限されたとしても、複数の有底溝を互いに連通しながらＸ方向に配列することで、Ｘ方向に幅広の流路を容易に形成できるからである。すなわち、１つの有底溝の幅が制限されたとしても、連通させる有底溝の数を変えることで、流路のＸ方向の幅を容易に調整することができる。
【００８２】
なお、図７の例では、流路のＸＺ平面に平行な断面形状を略円形や略楕円形が互いに連通しながらＸ方向に３個配列された形状としたが、これには限定されず、流路のＸＺ平面に平行な断面形状を略円形や略楕円形が互いに連通しながらＸ方向に２個配列された形状としてもよいし、４個以上配列された形状としてもよい。
【００８３】
〈第３の実施の形態〉
第３の実施の形態では、第２の実施の形態とは流路を形成する位置が異なる液管の例を示す。なお、第３の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００８４】
図８は、第３の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの液管を例示する図であり、図８（ａ）は図３（ａ）に対応する部分拡大平面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＦ−Ｆ線に沿う断面図である。但し、図８（ａ）では、液管４０Ｂ内の多孔質体６０Ｂ１及びＢ２の平面形状を示すため、一方の最外層となる金属層（図８（ｂ）に示す金属層６１）の図示が省略されている。
【００８５】
図８に示すように、液管４０Ｂ内には流路５１Ａ並びに多孔質体６０Ｂ１及びＢ２が設けられている。多孔質体６０Ｂ１は、流路５１ＡのＸ方向の一端側に設けられ、多孔質体６０Ｂ２は流路５１ＡのＸ方向の他端側に設けられている。言い換えれば、多孔質体６０Ｂ１及びＢ２は、両側から流路５１Ａを挟持するように設けられている。
【００８６】
なお、流路５１Ａの構造については図７で説明した通りである。又、多孔質体６０Ｂ１及びＢ２は、便宜上別符号としているが、多孔質体６０と同一構造であるため、説明は省略する。
【００８７】
多孔質体６０Ｂ１及びＢ２を構成する有底孔の少なくとも一部は、流路５１Ａと連通している。これにより、作動流体Ｃが多孔質体６０Ｂ１及びＢ２内に浸透することができる。
【００８８】
このように、流路と多孔質体とは、互いに連通していれば、任意の配置とすることができる。なお、第１の実施の形態を第３の実施の形態のように変形することも可能である。
【００８９】
〈第４の実施の形態〉
第４の実施の形態では、５層の金属層が積層されてなる液管の例を示す。なお、第４の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００９０】
図９は、第４の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの液管を例示する図であり、図９（ａ）は図３（ａ）に対応する部分拡大平面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のＧ−Ｇ線に沿う断面図である。但し、図９（ａ）では、液管４０Ｃ内の多孔質体６０Ｃ１の平面形状を示すため、一方の最外層となる金属層（図９（ｂ）に示す金属層６１）の図示が省略されている。
【００９１】
図９に示すように、液管４０Ｃは５層の金属層６１〜６５が積層された構造であり、液管４０Ｃ内には流路５１、５２、及び５３、並びに多孔質体６０Ｃ１、Ｃ２、及びＣ３が設けられている。
【００９２】
液管４０Ｃの金属層６２及び６３には、流路５１及び５２並びに多孔質体６０Ｃ１が設けられている。流路５１は多孔質体６０Ｃ１のＸ方向の一端側に設けられ、流路５２は多孔質体６０Ｃ１のＸ方向の他端側に設けられている。言い換えれば、流路５１及び５２は、両側から多孔質体６０Ｃ１を挟持するように設けられている。
【００９３】
なお、流路５１及び５２の構造については図３で説明した通りである。但し、有底溝５１ｙ及び５２ｙは、各々別々の有底孔６３ｙと連通している。又、多孔質体６０Ｃ１は、有底孔の個数を変更し便宜上別符号としているが、基本的に多孔質体６０と同一構造であるため、説明は省略する。
【００９４】
液管４０Ｃの金属層６３及び６４には、流路５３並びに多孔質体６０Ｃ２及び６０Ｃ３が設けられている。多孔質体６０Ｃ２は、流路５３のＸ方向の一端側に設けられ、多孔質体６０Ｃ３は流路５３のＸ方向の他端側に設けられている。言い換えれば、多孔質体６０Ｃ２及びＣ３は、両側から流路５３を挟持するように設けられている。
【００９５】
流路５３は、有底溝５３ｘと有底溝５３ｙとが連通して形成されている。より詳しくは、金属層６３には、金属層６４側に開口する有底溝５３ｘが形成されている。有底溝５３ｘは、有底孔６３ｘと連通している。又、金属層６４には、金属層６３側に開口する有底溝５３ｙが形成されている。有底溝５３ｘ及び有底溝５３ｙは、例えば、内壁面が湾曲面からなるかまぼこ型の凹形状とすることができる。
【００９６】
有底溝５３ｘ及び５３ｙのＸＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略半円形や略半楕円形とすることができる。有底溝５３ｘと有底溝５３ｙとは最大開口部の幅が略同一であり、開口側同士を内側に向けて平面視で重複する位置に配置されている。そのため、有底溝５３ｘと有底溝５３ｙとは開口側同士が連通して流路５３を形成している。
【００９７】
すなわち、有底溝５３ｘと有底溝５３ｙとが厚さ方向に連通するように対向配置されて流路５３が形成されている。流路５３のＸＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略円形や略楕円形とすることができる。
【００９８】
多孔質体６０Ｃ２及びＣ３は、有底孔６３ｘ、６３ｙ、６４ｘ、及び６４ｙを備えている。金属層６４には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６４ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６４ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
【００９９】
有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６４ｚを形成している。又、Ｙ方向に交互に配置された有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６４ｚを形成している。有底孔６４ｘ及び６４ｙ、細孔６４ｚの形状等は、例えば、有底孔６２ｘ及び６２ｙ、細孔６２ｚの形状等と同様とすることができる。
【０１００】
又、金属層６３の有底孔６３ｙと金属層６４の有底孔６４ｘとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６８ｚを形成している。
【０１０１】
多孔質体Ｃ１を構成する有底孔の少なくとも一部は、流路５１、５２、及び５３と連通している。又、多孔質体Ｃ２を構成する有底孔の少なくとも一部は、流路５１及び５３と連通している。又、多孔質体Ｃ３を構成する有底孔の少なくとも一部は、流路５２及び５３と連通している。これにより、作動流体Ｃが多孔質体Ｃ１、Ｃ２、及びＣ３内に浸透することができる。
【０１０２】
このように、液管は、必ずしも４層の金属層を積層して形成する必要はなく、例えば、５層の金属層を積層して形成することができる。５層の金属層を積層して液管を形成する場合、流路及び多孔質体は、内層となる金属層６２〜６４の任意の位置に任意の個数形成することができる。
【０１０３】
〈第５の実施の形態〉
第５の実施の形態では、６層の金属層が積層されてなる液管の例を示す。なお、第５の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【０１０４】
図１０は、第５の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの液管を例示する図であり、図１０（ａ）は図３（ａ）に対応する部分拡大平面図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＨ−Ｈ線に沿う断面図である。但し、図１０（ａ）では、液管４０Ｄ内の多孔質体６０Ｄ１の平面形状を示すため、一方の最外層となる金属層（図１０（ｂ）に示す金属層６１）の図示が省略されている。
【０１０５】
図１０に示すように、液管４０Ｄは６層の金属層６１〜６６が積層された構造であり、液管４０Ｄ内には流路５１、５２、５３、５４、及び５５、並びに多孔質体６０Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、及びＤ４が設けられている。
【０１０６】
液管４０Ｄの金属層６２及び６３には、流路５１及び５２並びに多孔質体６０Ｄ１が設けられている。流路５１は多孔質体６０Ｄ１のＸ方向の一端側に設けられ、流路５２は多孔質体６０Ｄ１のＸ方向の他端側に設けられている。言い換えれば、流路５１及び５２は、両側から多孔質体６０Ｄ１を挟持するように設けられている。
【０１０７】
なお、流路５１及び５２の構造については図３で説明した通りである。但し、有底溝５１ｙ及び５２ｙは、各々別々の有底孔６３ｙと連通している。又、多孔質体６０Ｄ１は、有底孔の個数を変更し便宜上別符号としているが、基本的に多孔質体６０と同一構造であるため、説明は省略する。
【０１０８】
液管４０Ｄの金属層６３及び６４には、流路５３並びに多孔質体６０Ｄ２及び６０Ｄ３が設けられている。多孔質体６０Ｄ２は、流路５３のＸ方向の一端側に設けられ、多孔質体６０Ｄ３は流路５３のＸ方向の他端側に設けられている。言い換えれば、多孔質体６０Ｄ２及びＤ３は、両側から流路５３を挟持するように設けられている。
【０１０９】
なお、流路５３の構造については図９で説明した通りである。但し、有底溝５３ｙは、有底孔６４ｙと連通している。又、多孔質体６０Ｄ２及びＤ３は、便宜上別符号としているが、多孔質体６０Ｃ２及び６０Ｃ３と同一構造であるため、説明は省略する。
【０１１０】
液管４０Ｄの金属層６４及び６５には、流路５４及び５５並びに多孔質体６０Ｄ４が設けられている。流路５４は多孔質体６０Ｄ４のＸ方向の一端側に設けられ、流路５５は多孔質体６０Ｄ４のＸ方向の他端側に設けられている。言い換えれば、流路５４及び５５は、両側から多孔質体６０Ｄ４を挟持するように設けられている。
【０１１１】
流路５４は、有底溝５４ｘと有底溝５４ｙとが連通して形成されている。又、流路５５は、有底溝５５ｘと有底溝５５ｙとが連通して形成されている。より詳しくは、金属層６４には、金属層６５側に開口する有底溝５４ｘ及び５５ｘが形成されている。又、金属層６５には、金属層６４側に開口する有底溝５４ｙ及び５５ｙが形成されている。有底溝５４ｘ及び５５ｘ、並びに有底溝５４ｙ及び５５ｙは、例えば、内壁面が湾曲面からなるかまぼこ型の凹形状とすることができる。
【０１１２】
有底溝５４ｘ及び５５ｘ、並びに有底溝５４ｙ及び５５ｙのＸＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略半円形や略半楕円形とすることができる。有底溝５４ｘと有底溝５４ｙとは最大開口部の幅が略同一であり、開口側同士を内側に向けて平面視で重複する位置に配置されている。そのため、有底溝５４ｘと有底溝５４ｙとは開口側同士が連通して流路５４を形成している。同様に、有底溝５５ｘと有底溝５５ｙとは最大開口部の幅が略同一であり、開口側同士を内側に向けて平面視で重複する位置に配置されている。そのため、有底溝５５ｘと有底溝５５ｙとは開口側同士が連通して流路５５を形成している。
【０１１３】
すなわち、有底溝５４ｘと有底溝５４ｙとが厚さ方向に連通するように対向配置されて流路５４が形成され、有底溝５５ｘと有底溝５５ｙとが厚さ方向に連通するように対向配置されて流路５５が形成されている。流路５４及び５５のＸＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略円形や略楕円形とすることができる。
【０１１４】
多孔質体６０Ｄ４は、有底孔６４ｘ、６４ｙ、６５ｘ、及び６５ｙを備えている。金属層６５には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６５ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６５ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
【０１１５】
有底孔６５ｘと有底孔６５ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔６５ｘと有底孔６５ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔６５ｘと有底孔６５ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６５ｚを形成している。又、Ｙ方向に交互に配置された有底孔６５ｘと有底孔６５ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６５ｚを形成している。有底孔６５ｘ及び６５ｙ、細孔６５ｚの形状等は、例えば、有底孔６２ｘ及び６２ｙ、細孔６２ｚの形状等と同様とすることができる。
【０１１６】
又、金属層６４の有底孔６４ｙと金属層６５の有底孔６５ｘとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６９ｚを形成している。
【０１１７】
多孔質体Ｄ１を構成する有底孔の少なくとも一部は、流路５１、５２、及び５３と連通している。又、多孔質体Ｄ２を構成する有底孔の少なくとも一部は、流路５１、５３、及び５４と連通している。又、多孔質体Ｄ３を構成する有底孔の少なくとも一部は、流路５２、５３、及び５５と連通している。又、多孔質体Ｄ４を構成する有底孔の少なくとも一部は、流路５３、５４、及び５５と連通している。これにより、作動流体Ｃが多孔質体Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、及びＤ４内に浸透することができる。
【０１１８】
このように、液管は、必ずしも４層の金属層を積層して形成する必要はなく、例えば、６層の金属層を積層して形成することができる。６層の金属層を積層して液管を形成する場合、流路及び多孔質体は、内層となる金属層６２〜６５の任意の位置に任意の個数形成することができる。
【０１１９】
〈第６の実施の形態〉
第６の実施の形態では、６層の金属層が積層されてなる液管の他の例を示す。なお、第６の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【０１２０】
図１１は、第６の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの液管を例示する図であり、図１１（ａ）は図３（ａ）に対応する部分拡大平面図、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＩ−Ｉ線に沿う断面図である。但し、図１１（ａ）では、液管４０Ｅ内の多孔質体６０Ｅの平面形状を示すため、一方の最外層となる金属層（図１１（ｂ）に示す金属層６１）の図示が省略されている。
【０１２１】
図１１に示すように、液管４０Ｅは６層の金属層６１〜６６が積層された構造であり、液管４０Ｅ内には流路５１及び５２、並びに多孔質体６０Ｅが設けられている。
【０１２２】
液管４０Ｅの金属層６２〜６５には、多孔質体６０Ｅが設けられている。多孔質体６０Ｅは、金属層６２に設けられた有底孔６２ｘ及び６２ｙ、金属層６３に設けられた有底孔６３ｘ及び６３ｙ、金属層６４に設けられた有底孔６４ｘ及び６４ｙ、並びに金属層６５に設けられた有底孔６５ｘ及び６５ｙを備えている。金属層６２〜６５における各有底孔の配置については液管４０〜４０Ｄで説明した通りである。
【０１２３】
液管４０Ｅの金属層６３及び６４には、流路５１及び５２が設けられている。流路５１及び５２の構造については図３で説明した通りである。
【０１２４】
多孔質体６０Ｅを構成する有底孔の少なくとも一部は、流路５１及び５２と連通している。これにより、作動流体Ｃが多孔質体６０Ｅ内に浸透することができる。又、多孔質体６０Ｅは、液管４０Ｅの略中央部にも設けられているため、支柱としても機能する。これにより、例えば固相接合時の加圧により液管４０Ｅが潰れることを防止できる。
【０１２５】
このように、液管は、必ずしも４層の金属層を積層して形成する必要はなく、例えば、６層の金属層を積層して形成することができる。６層の金属層を積層して液管を形成する場合、流路及び多孔質体は、内層となる金属層６２〜６５の任意の位置に任意の個数形成することができる。
【０１２６】
〈変形例１〉
変形例１では、１つの有底孔に対して複数の細孔を設ける例を示す。なお、変形例１において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【０１２７】
図１２は、１つの有底孔に対して複数の細孔を設ける例を示す図である。図１２に示すように、例えば、金属層６２において、有底孔６２ｘの大きさを有底孔６２ｙの大きさよりも大きくし、複数の有底孔６２ｙを平面視で有底孔６２ｘの周囲に配置してもよい。
【０１２８】
このように、一部の有底孔のサイズを大型化することで、空間体積が広くなるため、有底孔内を流れる作動流体Ｃの圧力損失を低減できる。
【０１２９】
以上は、金属層６２を例にして説明したが、金属層６３〜６５についても図１２を参照して説明した金属層６２と同様の構造とすることができる。
【０１３０】
又、変形例１は、第１〜第６の各実施の形態について適用することができる。
【０１３１】
〈変形例２〉
変形例２では、多孔質体が有底孔に加えて溝を有する例を示す。なお、変形例２において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【０１３２】
図１３は、１つの金属層に有底孔と溝を設ける例を示す図である。図１３に示すように、例えば、金属層６２において、上面側から中央部側に窪む溝８２ｘと、下面側から中央部側に窪む溝８２ｙとを設けてもよい。図１３において、１つの溝８２ｘにより隣接する有底孔６２ｘ同士が連通し、１つの溝８２ｙにより隣接する有底孔６２ｙ同士が連通する。溝８２ｘ及び８２ｙは、有底孔と同様にハーフエッチングにより形成することができる。なお、溝８２ｘと溝８２ｙとは連通していない。
【０１３３】
このように、隣接する有底孔同士を溝を介して連通させることにより、作動流体Ｃの浸透性を補助することができる。なお、溝８２ｘと溝８２ｙのうち何れか一方のみを設けた場合にも、一定の効果を得ることができる。
【０１３４】
以上は、金属層６２を例にして説明したが、金属層６３〜６５についても図１３を参照して説明した金属層６２と同様の構造とすることができる。
【０１３５】
又、変形例２は、第１〜第６の各実施の形態について適用することができる。
【０１３６】
以上、好ましい実施の形態について詳説したが、上述した実施の形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形及び置換を加えることができる。
【０１３７】
例えば、有底孔の配置は、上述した実施の形態（平面図）に限定されず、様々に変形・変更することが可能である。
【符号の説明】
【０１３８】
１  ループ型ヒートパイプ
１０  蒸発器
１０ｘ  貫通孔
２０  凝縮器
３０  蒸気管
４０、４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄ、４０Ｅ  液管
５０、５１、５１Ａ、５２、５３、５４、５５  流路
５１ｘ〜５５ｘ、５１ｙ〜５５ｙ  有底溝
６０、６０Ａ、６０Ｂ１、６０Ｂ２、６０Ｃ１〜６０Ｃ３、６０Ｄ１〜６０Ｄ４  多孔質体
６１〜６６  金属層
６２ｘ〜６５ｘ、６２ｙ〜６５ｙ  有底孔
６２ｚ〜６５ｚ、６７ｚ〜６９ｚ  細孔
８２ｘ、８２ｙ  溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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