(57)【要約】【課題】  長尺でありながらも、断熱性能および機械的強度に優れるセラミック結合体および炭素繊維製造装置用断熱部材を提供する。【解決手段】  本開示のセラミック結合体は、酸化アルミニウム質セラミックスからなり、外周面および内周面間において通気性を有する筒状体と、該筒状体よりも強度が高い、酸化ジルコニウム質セラミックスからなる環状体と、を少なくとも備える。そして、前記筒状体は、複数であり、隣り合う前記筒状体同士の端面が対向して位置する。また、前記環状体は、前記端面が対向する部分を含む結合部において、隣り合う前記筒状体のいずれにも接して位置する。本開示の炭素繊維製造装置用断熱部材は、上記セラミック結合体を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化アルミニウム質セラミックスからなり、外周面および内周面間において通気性を有する筒状体と、
該筒状体よりも強度が高い、酸化ジルコニウム質セラミックスからなる環状体と、を少なくとも備え、
前記筒状体は、複数であり、隣り合う前記筒状体同士の端面が対向して位置し、
前記環状体は、前記端面が対向する部分を含む結合部において、隣り合う前記筒状体のいずれにも接して位置する、セラミック結合体。
【請求項２】
前記筒状体は、気孔率が２５体積％以上３５体積％以下の多孔体である、請求項１に記載のセラミック結合体。
【請求項３】
前記環状体は、気孔率が１０体積％以下の緻密体である、請求項１または請求項２に記載のセラミック結合体。
【請求項４】
前記筒状体は、前記結合部に相当する部分の平均気孔径が、連通方向における長さの中央部分の平均気孔径よりも小さい、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のセラミック結合体。
【請求項５】
前記酸化アルミニウム質セラミックスは、酸化アルミニウム結晶同士の間の粒界相において、酸化アルミニウム結晶に隣接する部分を第１領域、該第１領域よりも前記酸化アルミニウム結晶から離れた部分を第２領域としたとき、
前記第１領域は、前記第２領域よりもＮａの含有量が少ない、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のセラミック結合体。
【請求項６】
前記酸化アルミニウム質セラミックスは、前記粒界相内において、ＮａをＮａ２Ｏに換算した含有量をＡとし、ＡｌおよびＮａ以外の成分をそれぞれ酸化物に換算した含有量の合計をＢとしたとき、比Ａ／Ｂが０．１１以下である、請求項５に記載のセラミック結合体。
【請求項７】
前記酸化アルミニウム質セラミックスは、ＡｌをＡｌ２Ｏ３換算した含有量が９９．４質量％以上であり、ＮａをＮａ２Ｏ換算した含有量が３０質量ｐｐｍ以上５００質量ｐｐｍ以下であり、８．５ＧＨｚにおける誘電正接の値が、ＮａをＮａ２Ｏ換算した含有量の値の０．５倍以下である、請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のセラミック結合体。
【請求項８】
前記酸化アルミニウム質セラミックスは、Ｍｇを含み、ＭｇをＭｇＯ換算した含有量が２００質量ｐｐｍ以上１５００質量ｐｐｍ以下である、請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のセラミック結合体。
【請求項９】
前記酸化ジルコニウム質セラミックスは、酸化ジルコニウム結晶の単斜晶率が１０％以上４０％以下である、請求項１乃至請求項８のいずれかに記載のセラミック結合体。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれかに記載のセラミック結合体を備える、炭素繊維製造装置用断熱部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、セラミック結合体および炭素繊維製造装置用断熱部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高周波誘電加熱装置やマイクロ波加熱装置では加熱管の外周側あるいは内周側に熱を逃がさないようにするために断熱スリーブが配置されている。これらの加熱装置では加熱管の外部に高周波発振器やマイクロ波発振器等の加熱源を設置して加熱管に熱を供給する構造となっている。
【０００３】
このような断熱スリーブとして、特許文献１では、純度が９９．０質量％以上のアルミナを主成分とする長繊維を用いて空芯部を有する紐に編み込み、この紐の空芯部内に、純度が９４．０質量％以上のアルミナを主成分とする短繊維を、密度が０．２０〜０．３０ｇ／ｃｍ３となるように充填し、この紐によりスリーブ状に形成した断熱スリーブが提案されている。
【０００４】
特許文献１に記載されたアルミナ繊維からなる断熱スリーブは、耐熱性および耐久性が低いため、これに代わる材質として、特許文献２において、アルミナ、シリカ、マグネシア等の混合物が例示されている。特許文献２に記載された断熱スリーブの材質はマイクロ波を透過させる機能（以下、マイクロ波を透過させる機能をマイクロ波透過性という。）が高い。
【０００５】
しかしながら、断熱スリーブの長尺化が求められ、このような混合物の粉体を順次、成形、焼成して得られる断熱スリーブは、焼成後に大きな反りが生じやすく、このような反りが生じたときには、部分的に残留応力が蓄積する。そのため、長尺の断熱スリーブを得るには、特許文献３で示されているように、２つの多孔質セラミックス管を接触させて配置し、その外周部に同一のセラミックスからなる補強環を装着し、アロンセラミック（登録商標）をその合間に充填してから、焼成するという方法が提案されている。この方法によれば、一体的に形成され部分的に残留応力が蓄積された長尺の断熱スリーブよりも残留応力は少なくすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−１４１８７３号公報
【特許文献２】国際公開第２０１５／１５２０１９号
【特許文献３】特開平７−８７３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献３に記載されているように、多孔質セラミックス管および補強環の主成分が酸化アルミニウムであるときには、酸化アルミニウムが有する熱伝導特性により、断熱性能が低下するという問題があった。また、補強環に求められる機械的強度が不足するという問題があった。
【０００８】
本開示は、長尺でありながらも、断熱性能および機械的強度に優れるセラミック結合体および炭素繊維製造装置用断熱部材を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示のセラミック結合体は、酸化アルミニウム質セラミックスからなり、外周面および内周面間において通気性を有する筒状体と、該筒状体よりも強度が高い、酸化ジルコニウム質セラミックスからなる環状体と、を少なくとも備える。そして、前記筒状体は、複数であり、隣り合う前記筒状体同士の端面が対向して位置する。また、前記環状体は、前記端面が対向する部分を含む結合部において、隣り合う前記筒状体のいずれにも接して位置する。
【００１０】
本開示の炭素繊維製造装置用断熱部材は、上記セラミック結合体を備える。
【発明の効果】
【００１１】
本開示のセラミック結合体および炭素繊維製造装置用断熱部材は、断熱性能および機械的強度に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本開示のセラミック結合体の一例を示す、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は縦断面図である。
【図２】本開示のセラミック結合体の他の例を示す、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は縦断面図である。
【図３】本開示のセラミック結合体の他の例を示す、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本開示のセラミック結合体について詳細に説明する。図１〜図３は、本開示のセラミック結合体の複数の例を示す斜視図および縦断面図である。なお、縦断面図とは、筒状体の軸方向に沿った断面、若しくは、筒状体の貫通方向に沿った断面と言い換えることができる。
【００１４】
本開示のセラミック結合体１０は、酸化アルミニウム質セラミックスからなり、外周面および内周面間において通気性を有する筒状体１と、筒状体１よりも強度が高い、酸化ジルコニウム質セラミックスからなる環状体２と、を少なくとも備える。各図においては、筒状体１の３個が結合された例を示し、以下において結合部の説明にあたっては、最上部に位置する筒状体１を第１筒状体１ａ、中部に位置する筒状体１を第２筒状体１ｂとして説明する。
【００１５】
図１、２に示す筒状体１は、多孔体であり、内周面から外周面、または、外周面から内周面に亘って通気性を有する。そして、筒状体１は、複数であり、隣り合う筒状体１、例えば、第１筒状体１ａにおける第１端面１ａａ、第２筒状体１ｂの第２端面１ｂｂが対向して位置する。
【００１６】
環状体２は、第１端面１ａａおよび第２端面１ｂｂが対向する部分を含む結合部において、隣り合う第１筒状体１および第２筒状体１ｂのいずれにも接して位置する。すなわち、本開示のセラミック結合体１０は、環状体２によって、第１筒状体１ａおよび第２筒状体１ｂが結合されてなる。
【００１７】
結合部において隣り合う第１筒状体１ａおよび第２筒状体１ｂのいずれにも接している例として、図１および図３においては、内周側で当接している例を示し、図２においては外周側で当接している例を示す。また、環状体２は、第１筒状体１ａおよび第２筒状体１ｂに成された段差部に、嵌め合わされている例を示している。
【００１８】
このように、環状体２は、筒状体１の主成分である酸化アルミニウムよりも熱伝導率の
値が小さく、筒状体１よりも機械的強度が高いため、この環状体２によって結合されたセラミック結合体１０は、断熱性能および機械的強度に優れる。従って、加熱管（図示しない）の外周側あるいは内周側にこのようなセラミック結合体１０が配置され、高周波誘電加熱装置やマイクロ波加熱装置（いずれも図示しない）によって加熱管に熱が供給された場合には、熱の放出を抑制することができる。また、筒状体１が、昇温および冷却の繰り返しにより伸縮したとしても、環状体２により結合されているため、長期間に亘って使用することができる。
【００１９】
ここで多孔体である酸化アルミニウム質セラミックスとして具体的には、気孔率が１０体積％を超える酸化アルミニウム質セラミックスであり、酸化アルミニウム質セラミックスとは、セラミックスを構成する全成分１００質量％のうち、ＡｌをＡｌ２Ｏ３に換算した酸化アルミニウムの含有量が８０質量％以上であることをいう。また、筒状体１よりも強度が高い、酸化ジルコニウム質セラミックスとは、例えば、気孔率が１０体積％以下の酸化ジルコニウム質セラミックスであり、酸化ジルコニウム質セラミックスとは、セラミックスを構成する全成分１００質量％のうち、ＺｒをＺｒＯ２に換算した酸化ジルコニウムの含有量が８０質量％以上であることをいう。
【００２０】
ここで、各セラミックスの気孔率はアルキメデス法で求めればよい。また、セラミックスを構成する成分は、ＣｕＫα線を用いたＸ線回折装置による測定結果から同定することができ、各成分の含有量は、例えばＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）発光分光分析装置または蛍光Ｘ線分析装置により求めることができる。
【００２１】
そして、筒状体１は、気孔率が２５体積％以上３５体積％以下であってもよい。気孔率がこの範囲であるときには、例えば、断熱スリーブに要求される機械的強度を有しつつ、高いマイクロ波透過性を有する。
【００２２】
また、本開示のセラミック結合体１０において、図３に示すように、複数の分岐孔４を有し、筒状体１は、気孔率が１０体積％以下の緻密質セラミックス（緻密体）であってもよい。このような場合、分岐孔４は、例えば軸方向に沿って所定間隔、且つ、筒状体１の円周方向に沿って、中心角が、３０°以上４５°以下になるように配置すればよい。
【００２３】
また、筒状体１は、結合部に相当する部分の平均気孔径が、連通方向における長さの中央部分の平均気孔径よりも小さくてもよい。ここで結合部に相当する部分とは、図１〜図３において、第１筒状体１ａにおいては、第１端面１ａａを含み、段差部の径方向部分のことを指す。また、連通方向における長さの中央部分とは、各図の（ｂ）で示す上下方向にあたる長さの４０％〜６０％の中間部分のことを指す。このような構成を満たすときには、結合部となる部分が高い機械的強度を有するため、セラミック結合体１０がさらに機械的強度に優れる。また、環状体２を嵌め合わせる場合の筒状体１の破損のおそれが低減する。
【００２４】
筒状体１の結合部に相当する部分および連通方向における長さの中央部分の平均気孔径の差は、例えば、２μｍ以上であってもよい。そして、筒状体１が、図１、２に示すように、多孔質セラミックスである場合、平均気孔径は水銀圧入法を用いて求めればよい。また、筒状体１が、図３に示すように緻密質セラミックスである場合、平均気孔径は、平均粒径が１μｍ以上５μｍ以下であるダイヤモンド砥粒を用いて、錫からなる研磨盤を用いて研磨した後、画像解析装置（三谷商事（株）製、Ｗｉｎ  ＲＯＯＦ）で研磨面を解析して求めればよい。
【００２５】
また、酸化アルミニウム質セラミックスは、酸化アルミニウム結晶同士の間にあたる粒界相内において、酸化アルミニウムの結晶に隣接する部分を第１領域、この第１領域より
も酸化アルミニウム結晶から離れた部分を第２領域としたとき、第１領域は第２領域よりもＮａの含有量が少なくてもよい。Ｎａは、含有していることによって誘電損失が高くなるが、第２領域に多く存在し、第１領域において少ないときには、誘電損失が低く抑えられ、貫通孔３内の熱量を維持することができるため、効率よく被処理物を加熱することができる。なお、粒界相内における、第１領域とは、酸化アルミニウム結晶の表面から５ｎｍまでの範囲であり、５ｎｍを超える部分が第２領域である。
【００２６】
第１領域および第２領域における、Ｎａの含有量は、以下の方法により確認することができる。まず、酸化アルミニウム質セラミックスの一部をイオンシンニング装置などの加工装置を用いてエッチングし、測定面とする。次に、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ  ＪＥＯＬ社製  ＪＥＭ−２０１０Ｆ）を用いて、加速電圧を２００ｋＶとして測定面の特定視野を１万倍〜１０万倍の倍率で粒界相を観察する。なお、位置によるＮａの含有量を確認するため、３重点を観察する。
【００２７】
そして、３重点において、第１領域に対応する部分と、第２領域に対応する部分とをエネルギー分散型Ｘ線分析（ＥＤＳ）により測定し、Ｎａの含有量を確認することで粒界相の位置におけるＮａの含有量を確認することができる。
【００２８】
また、粒界相内において、ＮａをＮａ２Ｏに換算した含有量をＡとし、ＡｌおよびＮａ以外の成分をそれぞれ酸化物に換算した含有量の合計をＢとしたとき、比Ａ／Ｂが０．１１以下であってもよい。比Ａ／Ｂが上記範囲であるときには、誘電損失をさらに低く抑えることができる。
【００２９】
ここで、上記比Ａ／Ｂは、次のようにして求めることができる。まず、酸化アルミニウム質セラミックスの一部をイオンシンニング装置などの加工装置を用いてエッチングした測定面をＴＥＭにより、加速電圧２００ｋＶの条件で測定面の特定視野を１万倍〜１０万倍の倍率で観察し、粒界相のＥＤＳ測定を行ない、得られた各成分の含有量を求め、それぞれ酸化物に換算し、ＮａをＮａ２Ｏに換算した含有量をＡとし、他の成分をそれぞれ酸化物に換算した含有量の合計をＢとし、比Ａ／Ｂを算出すればよい。なお、１つの粒界相において、直線状に位置する第１領域２ヵ所と第２領域１か所の３カ所についてＥＤＳ測定を行ない、平均値を用いて比Ａ／Ｂを算出し、小数点第３位で四捨五入する。
【００３０】
なお、粒界相にＡｌが含まれていない場合は、酸化アルミニウム質セラミックスの一部を粉砕し、得られた粉体を塩酸などの溶液に溶解した後、ＩＣＰ発光分光分析装置を用いて、ＮａやＮａ以外の他の成分の含有量を測定し、それぞれ酸化物に換算した値を用いて比（Ａ／Ｂ）を算出してもよい。
【００３１】
また、酸化アルミニウム質セラミックスは、ＡｌをＡｌ２Ｏ３換算した含有量が９９．４質量％以上であり、ＮａをＮａ２Ｏ換算した含有量が３０質量ｐｐｍ以上５００質量ｐｐｍ以下であり、８．５ＧＨｚにおける誘電正接の値が、ＮａをＮａ２Ｏ換算した含有量の値の０．５倍以下であってもよい。Ａｌ、Ｎａおよび８．５ＧＨｚにおける誘電正接の値が上記範囲であるときには、誘電損失をさらに低く抑えることができる。
【００３２】
また、酸化アルミニウム質セラミックスは、Ｍｇを含み、ＭｇをＭｇＯ換算した含有量が２００質量ｐｐｍ以上１５００質量ｐｐｍ以下であってもよい。Ｍｇは、焼結促進剤としての作用をなすものであるが、アルミン酸マグネシウム（ＭｇＡｌ２Ｏ４）が生成されると誘電損失が高くなる。そのため、Ｍｇが上記範囲であるときには、誘電損失が高くなる傾向を示すアルミン酸マグネシウム（ＭｇＡｌ２Ｏ４）の結晶を生成させるおそれが少なく、焼結の促進を図ることができるため、機械的強度を高くすることができる。
【００３３】
また、酸化ジルコニウム質セラミックスは、酸化ジルコニウム結晶の単斜晶率が１０％以上４０％以下であってもよい。単斜晶率が上記範囲であるときには、酸化ジルコニウム質セラミックスが相変態しにくく、この相変態による体積変化が起きにくいため、加熱および冷却を繰り返しても隣り合う第１筒状体１ａおよび第２筒状体１ｂの結合強度が低下しにくくなる。
【００３４】
ここで、単斜晶率Ｘは、Ｘ線回折装置による測定結果から得られる酸化ジルコニウム結晶の各ピーク強度Ｉの面積から以下の式を用いて算出すればよい。
Ｘ＝（Ｉｍ（１１１）＋Ｉｍ（１１−１））／（Ｉｍ（１１１）＋Ｉｍ（１１−１）＋Ｉｔ（１１１）＋Ｉｃ（１１１））
ここで、Ｉｍ（１１１）は単斜晶（１１１）面のピーク強度、Ｉｍ（１１−１）は単斜晶（１１−１）面のピーク強度、Ｉｔ（１１１）は正方晶（１１１）面のピーク強度、Ｉｃ（１１１）は立方晶（１１１）面のピーク強度である。
【００３５】
上述したように、本開示のセラミック結合体は、断熱性能および機械的強度に優れることから、炭素繊維製造装置用断熱部材として用いられてもよい。
【００３６】
炭素繊維製造装置は、例えば、一端が炭素繊維の導入口であり、他端が炭素繊維の導出口である円筒状の導波管と、この導波管にマイクロ波を導入するマイクロ波発振器と、導波管の内部に配置された円筒体とを備え、この円筒体が上記炭素繊維製造装置用断熱部材に該当する。
【００３７】
次に、本開示のセラミック結合体の製造方法の一例について説明する。まず、筒状体の製造方法の一例について説明する。平均粒径が０．４〜０．６μｍの酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）Ａ粉末および平均粒径が１．２〜１．８μｍの酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）Ｂ粉末を準備する。また、Ｓｉ源として酸化珪素（ＳｉＯ２）粉末、Ｃａ源として炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）粉末を準備する。なお、酸化珪素粉末は、平均粒径が０．５μｍ以下の微粉のものを準備する。また、Ｍｇを含む酸化アルミニウム質セラミックスを得るには、水酸化マグネシウム粉末を用いる。なお、以下の記載において、酸化アルミニウムＡ粉末および酸化アルミニウムＢ粉末以外の粉末を総称して、第１の副成分粉末と称す。
【００３８】
そして、第１の副成分粉末をそれぞれ所定量秤量する。次に、酸化アルミニウムＡ粉末と、酸化アルミニウムＢ粉末とを質量比率が４０：６０〜６０：４０となるように、また、得られる酸化アルミニウム質セラミックスを構成する成分１００質量％のうち、ＡｌをＡｌ２Ｏ３換算した含有量が９９．４質量％以上となるように秤量し、酸化アルミニウムアルミナ調合粉末とする。また、第１の副成分粉末について好適には、酸化アルミニウム調合粉末におけるＮａ量をまず把握し、酸化アルミニウム質セラミックスとした場合におけるＮａ量からＮａ２Ｏに換算し、この換算値と、第１の副成分粉末を構成する成分（この例においては、ＳｉやＣａ等）を酸化物に換算した値との比が１．１以下となるように秤量する。
【００３９】
そして、酸化アルミニウム調合粉末と、第１の副成分粉末と、酸化アルミニウム調合粉末および第１の副成分粉末との合計１００質量部に対し、１〜１．５質量部のＰＶＡ（ポリビニールアルコール）などのバインダーと、１００質量部の溶媒と、０．１〜０．５質量部の分散剤とを攪拌装置に入れて混合・攪拌してスラリーを得る。
【００４０】
その後、スラリーを噴霧造粒して顆粒を得た後、静水圧加圧装置または１軸加圧装置を用いて成形し、必要に応じて切削加工を施すことによって、筒状のセラミック成形体を得る。あるいは、押出し成形方法により、成形体を得る。例えば、分岐孔を有する緻密質セ
ラミックスを得る場合、成形体の外周面から内周面に向って切削加工を施して、分岐孔の下穴を形成しておけばよい。
【００４１】
なお、筒状体である酸化アルミニウム質セラミックスにおいて、結合部に相当する部分の平均気孔径が、連通方向における長さの中央部分の平均気孔径よりも小さくなるようにするには、１軸加圧装置を用いて成形すればよい。
【００４２】
そして、筒状のセラミック成形体を、焼成温度を１２００℃以上１５００℃以下として、１時間以上３時間以下保持することによって、多孔質セラミックスからなる筒状の焼結体を得ることができる、また、焼成温度を１４００℃以上１７００℃以下として、１時間以上３時間以下保持することによって、緻密質セラミックスからなる筒状の焼結体をそれぞれ得ることができる。
【００４３】
なお、酸化アルミニウム質セラミックスの気孔率を２５体積％以上３５体積％以下とする場合には、１３００℃以上１５００℃以下として、１時間以上３時間以下保持すればよい。
【００４４】
そして、筒状の焼結体の端部のうち、環状体が当接する段差部は、研削加工によって形成すればよい。
【００４５】
上述した方法により、誘電正接を低くすることができるのは、理由は明らかではないが、０．５μｍ以下の微粉の酸化珪素粉末を用いることにより、酸化アルミニウム調合粉末に含まれる不可避不純物であるＮａの酸化物を酸化珪素が捕らえるとともに、第１の副成分粉末を構成する成分の酸化物と併せてＮａの酸化物が覆われることによって、粒界相の内部にＮａの酸化物を存在させることができるからであると考えられる。
【００４６】
次に、環状体の製造方法の一例を説明する。まず、主成分である酸化ジルコニウム粉末と、安定化剤として酸化マグネシウム粉末と、必要に応じて酸化ジルコニウム粉末を分散させる分散剤と、ポリビニルアルコール等のバインダーとをバレルミル、回転ミル、振動ミル、ビーズミル、サンドミルおよびアジテーターミルなどにより４０〜５０時間湿式混合してスラリーとする。
【００４７】
ここで、酸化ジルコニウム粉末の平均粒径（Ｄ５０）は、０．１μｍ以上２．２μｍ以下であり、上記粉末の合計１００質量％における酸化マグネシウム粉末の含有量は、２．０質量％以上４．０質量％以下とする。
【００４８】
次に、パラフィンワックス、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）およびＰＥＧ（ポリエチレングリコール）などの有機バインダーを、所定量秤量してスラリーに加える。また、増粘安定剤、分散剤、ｐＨ調整剤および消泡剤等を添加してもよい。
【００４９】
そして、スラリーを噴霧乾燥して顆粒を得る。次に、顆粒を成形型に充填し、成形圧を、例えば、８０ＭＰａ以上２００ＭＰａ以下として、１軸加圧装置を用いて環状の成形体を得る。そして、焼成温度を１４００℃以上１７００℃以下、好ましくは１６００℃以上１７００℃以下として、１時間以上３時間以下保持することによって、環状体を得ることができる。
【００５０】
主成分が酸化ジルコニウムであって、酸化ジルコニウム結晶の単斜晶率が１０モル％以上４０モル％以下である酸化ジルコニウム質セラミックスからなる環状体を得る場合、まず、酸化ジルコニウム粉末および酸化マグネシウム粉末の合計１００質量％における酸化マグネシウム粉末の含有量を３．０質量％以上３．８質量％以下として、上述した方法に
より、成形体を得る。そして、この成形体を、焼成温度を１６００℃以上１７００℃以下として、１時間以上３時間以下保持した後、時間当たり８０℃以上１５０℃以下の降温速度で冷却すればよい。
【００５１】
そして、エポキシ系の有機接着剤を環状体の接合面に塗布した後、筒状体の段差部に当接して硬化させることによって、本開示のセラミック結合体を得ることができる。
【００５２】
上述した製造方法によって得られたセラミック結合体は、長尺でありながらも、機械的強度および断熱性能をともに高くすることができる。従って、加熱管（図示しない）の外周側あるいは内周側にこのようなセラミック結合体が配置され、高周波誘電加熱装置やマイクロ波加熱装置（いずれも図示しない）によって加熱管に熱が供給された場合には、熱の放出を抑制することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１    ：筒状体
１ａ  ：第１筒状体
１ａａ：第１端面
１ｂ  ：第２筒状体
１ｂｂ：第２端面
２    ：環状体
３    ：貫通孔
４    ：分岐孔
１０  ：セラミック結合体
【図１】
2019172528.tif 000003
【図２】
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【図３】
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