(57)【要約】【課題】サーボパターンを有する塗布型磁気記録媒体の製造方法であって、サーボパターンの書き込み容易性の向上が可能な製造方法を提供すること。【解決手段】磁気記録媒体の製造方法であって、上記磁気記録媒体は非磁性支持体上に強磁性粉末および結合剤を含む磁性層を有し、上記磁性層は３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示し、マイクロ波アシスト記録により上記磁性層にサーボパターンを形成することを含む上記製造方法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体の製造方法であって、
前記磁気記録媒体は、非磁性支持体上に強磁性粉末および結合剤を含む磁性層を有し、
前記磁性層は、３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示し、
マイクロ波アシスト記録により前記磁性層にサーボパターンを形成することを含む、前記製造方法。
【請求項２】
前記強磁性粉末は、金属酸化物粉末である、請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記金属酸化物粉末は、フェライト粉末である、請求項２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記磁性層は、３０．０ＧＨｚ以上の２以上の異なる固有強磁性共鳴周波数を示す単層の磁性層である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項５】
前記磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数は、３０．０〜５０．０ＧＨｚの範囲である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体の製造方法に関するものであり、詳しくは、サーボパターンを有する塗布型磁気記録媒体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体では、通常、データ情報は磁気記録媒体のデータバンド上に記録される。これによりデータバンドにデータトラックが形成される。磁気記録媒体の高容量化のための手段としては、データトラックの幅を狭くすることにより、磁気記録媒体の磁性層により多くのデータトラックを配置して、記録密度を高めることが挙げられる。しかしデータトラックの幅を狭くすると、磁気記録媒体をドライブ内で搬送してデータ情報の記録および／または再生を行う際、磁気記録媒体の位置変動によって、磁気ヘッドがデータトラックに正確に追従することが困難となり、記録および／または再生時にエラーを起こし易くなってしまう。そこで、かかるエラーの発生を抑制するための手段として、近年、磁性層にサーボパターンを形成しヘッドトラッキングサーボを行うことが提案され、実用化されている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第５６８９３８４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ヘッドトラッキングサーボの中で、磁気サーボ方式のヘッドトラッキングサーボでは、サーボパターンを磁気記録媒体の磁性層に形成し、このサーボパターンをサーボヘッドにより読み取ってヘッドトラッキングサーボを行う。ヘッドトラッキングサーボとは、ドライブにおいて磁気ヘッドの位置を制御することをいう。ヘッドトラッキングサーボは、より詳しくは次のように行われる。
まずサーボヘッドにより、磁性層に形成されているサーボパターンを読み取る（即ち、サーボ信号を再生する）。サーボパターンを読み取ることにより得られた値に応じて、ドライブ内で磁気ヘッドの位置を制御する。これにより、データ情報の記録および／または再生のためにドライブ内で磁気記録媒体を搬送する際、磁気記録媒体の位置が変動しても、磁気ヘッドがデータトラックに追従する精度を高めることができる。例えば、テープ状の磁気記録媒体（即ち磁気テープ）をドライブ内で搬送してデータ情報の記録および／または再生を行う際、磁気テープの位置が磁気ヘッドに対して幅方向に変動しても、ヘッドトラッキングサーボを行うことにより、ドライブ内で磁気テープの幅方向における磁気ヘッドの位置を制御することができる。こうして、ドライブにおいて磁気テープに正確にデータ情報を記録すること、および／または、磁気テープに記録されているデータ情報を正確に再生すること、が可能となる。
【０００５】
上記サーボパターンは、磁性層へのデータ情報の記録と同様に、磁性層の特定の位置を磁化することによって形成される。データ情報の記録に関しては、情報量の増大により、磁気記録媒体には高密度記録化が常に求められている。高密度記録化を達成するためには、磁気記録媒体の磁性層に含まれる強磁性粉末の粒子サイズを小さくすること（以下、「微粒子化」と記載する。）が有効である。しかし、強磁性粉末を微粒子化するほど磁化の熱的安定性が低下し、いわゆる熱揺らぎによって記録の保持性は低下してしまう。
【０００６】
上記の点を、以下に更に説明する。磁化の熱的安定性に関する指標として、「ＫｕＶ／ｋＴ」が知られている。Ｋｕは強磁性粉末の異方性定数、Ｖは粒子体積、ｋはボルツマン定数、Ｔは絶対温度である。磁気エネルギーＫｕＶを熱エネルギーｋＴに対して大きくすることにより、即ち「ＫｕＶ／ｋＴ」の値を大きくすることにより、熱揺らぎの影響を抑える（即ち、磁化の熱的安定性を向上させる）ことができる。しかし、粒子体積Ｖは、高密度記録化のためには小さくすべきである。磁気エネルギーはＫｕとＶとの積であるため、Ｖが小さい領域で磁化エネルギーを高めるためには、Ｋｕを高めればよいことになる。しかし、高いＫｕを有する強磁性粉末は、磁化反転に要するスイッチング磁界が増大するため保磁力Ｈｃが高く、データ情報の記録のためには強い外部磁界が必要となり書き込み容易性は低下してしまう。この書き込み容易性の低下は、サーボパターンの形成（サーボ信号の記録）においても発生し得る。即ち、データ情報の記録のために強い外部磁界が必要となる場合には、サーボパターンの形成にも強い外部磁界が必要となるため、サーボパターンの書き込み容易性も低下してしまう。
【０００７】
一方、磁気記録媒体は、金属薄膜型と塗布型の二種類に大別される。金属薄膜型磁気記録媒体は、蒸着等によって形成された金属薄膜の磁性層を有する磁気記録媒体である。これに対し、塗布型磁気記録媒体は、強磁性粉末を結合剤とともに含む磁性層を有する磁気記録媒体である。塗布型磁気記録媒体は、金属薄膜型磁気記録媒体と比べて化学的耐久性に優れるため、大容量の情報を長期間保存するためのデータストレージメディアとして有用な磁気記録媒体である。
【０００８】
以上を鑑み、本発明の目的は、サーボパターンを有する塗布型磁気記録媒体の製造方法であって、サーボパターンの書き込み容易性の向上が可能な製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様は、
磁気記録媒体の製造方法であって、
上記磁気記録媒体は、非磁性支持体上に強磁性粉末および結合剤を含む磁性層を有し、
上記磁性層は、３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示し、
マイクロ波アシスト記録により上記磁性層にサーボパターンを形成することを含む、上記製造方法、
に関する。
【００１０】
一態様では、上記強磁性粉末は、金属酸化物粉末であることができる。
【００１１】
一態様では、上記金属酸化物粉末は、フェライト粉末であることができる。
【００１２】
一態様では、上記磁性層は、３０．０ＧＨｚ以上の２以上の異なる固有強磁性共鳴周波数を示す単層の磁性層であることができる。
【００１３】
一態様では、上記磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数は、３０．０〜５０．０ＧＨｚの範囲であることができる。
【００１４】
本発明の一態様によれば、塗布型磁気記録媒体へのサーボパターンの書き込み容易性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】データバンドおよびサーボバンドの配置例を示す。
【図２】ＬＴＯ（Ｌｉｎｅａｒ−Ｔａｐｅ−Ｏｐｅｎ） Ｕｌｔｒｉｕｍフォーマットテープのサーボパターン配置例を示す。
【図３】実施例において作製した磁気記録媒体サンプルの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の一態様は、磁気記録媒体の製造方法であって、上記磁気記録媒体は非磁性支持体上に強磁性粉末および結合剤を含む磁性層を有し、上記磁性層は３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示し、マイクロ波アシスト記録により上記磁性層にサーボパターンを形成することを含む、上記製造方法（以下、「磁気記録媒体の製造方法」または単に「製造方法」とも記載する。）に関する。
【００１７】
上記磁気記録媒体は、非磁性支持体上に強磁性粉末および結合剤を含む磁性層を有する磁気記録媒体、即ち塗布型磁気記録媒体である。
先に記載したように、磁気記録媒体は、金属薄膜型と塗布型の二種類に大別される。金属薄膜型磁気記録媒体を搭載したドライブとしては、ハードディスクドライブ（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ；ＨＤＤ）が挙げられる。ＨＤＤについては、データ情報記録時に磁気ヘッドからマイクロ波磁界を印加し書き込み容易性を向上する記録方式（マイクロ波アシスト記録）が提案されている。これに対し、塗布型磁気記録媒体については、データ情報の記録に関して、未だマイクロ波アシスト記録の実用例は報告されていない。更に、塗布型磁気記録媒体へのサーボパターンの形成に関しては、マイクロ波アシスト記録の適用の可能性すら、今まで検討されていなかった。これに対し本発明の一態様にかかる磁気記録媒体の製造方法では、塗布型磁気記録媒体の磁性層へのサーボパターンの形成を、マイクロ波アシスト記録によって行う。これにより、３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示す磁性層へのサーボパターンの書き込み容易性を向上させることができる。
【００１８】
強磁性共鳴とは、固有振動数に等しいマイクロ波磁界を与えることにより、強磁性体の磁気モーメント（電子スピン）が大きく歳差運動する現象である。本発明および本明細書において、磁性層の「固有強磁性共鳴周波数」とは、磁性層に飽和磁界以上の外部磁界を反転させるべき磁化方向と同一方向に印加することによって磁性層の磁化を飽和させた後、印加磁界をゼロにしたときに、ベクトルネットワークアナライザ（ｖｅｃｔｏｒ  ｎｅｔｗｏｒｋ  ａｎａｌｉｚｅｒ；ＶＮＡ）によって測定される磁性層の吸収ピーク周波数である。上記の「同一方向」等の本発明および本明細書における方向に関する記載は、本発明が属する技術分野において許容される誤差の範囲を含むものとする。例えば、誤差については、厳密な方向から角度±３０°程度の誤差は許容されるものとする。また、ここで「磁化方向」とは、磁性層に含まれる強磁性粉末の個々の粒子（強磁性粒子）の磁化方向の平均の磁化方向である。例えば、磁気記録媒体の製造時に磁性層に配向処理を施す場合、配向処理において磁性層に印加する磁界の方向が、通常、個々の粒子の磁化方向の平均の磁化方向となる。ベクトルネットワークアナライザとしては、例えば、アンリツ社製ＭＳ４６４７Ｂ等の公知のベクトルネットワークアナライザを使用することができる。また、測定時に磁性層とベクトルネットワークアナライザを接続するためのケーブルおよび／またはプローバとしては、磁界中に配置されても磁界の影響を受けない部材、即ち非磁性部材によって構成されたものを使用する。ベクトルネットワークアナライザを使用した吸収ピーク周波数の測定方法については、例えば、Ｙ．  Ｎｏｚａｋｉ，  Ｋ．  Ｔａｔｅｉｓｈｉ，  Ｓ．  Ｔａｈａｒａｚａｋｏ，  Ｍ．  Ｏｈｔａ，  Ｓ．  Ｙｏｓｈｉｍｕｒａ，  ａｎｄ  Ｋ．  Ｍａｔｓｕｙａｍａ，  Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ  Ｌｅｔｔｅｒｓ，  ９１，  １２２５０５（２００７）；ｄｏｉ：１０．１０６３／１．２７８６５９３を参照できる。また、後述の実施例の記載も参照できる。
【００１９】
本発明および本明細書において、「マイクロ波」とは、周波数が３００ＭＨｚ〜３００ＧＨｚの電磁波をいうものとする。「マイクロ波アシスト記録」とは、磁性層にマイクロ波磁界を印加することによって強磁性粉末の磁化反転をアシストして磁化パターンを形成する記録方式をいう。一般に、サーボパターンの形成はサーボパターンまたはサーボ信号の記録とも言われ、サーボパターンの読み取りはサーボパターンまたはサーボ信号の再生とも言われる。
【００２０】
以下、上記磁気記録媒体の製造方法について、更に詳細に説明する。
【００２１】
［磁気記録媒体］
＜磁性層＞
（固有強磁性共鳴周波数）
上記製造方法において、磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数は、３０．０ＧＨｚ以上である。３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示す磁性層には、マイクロ波磁界によって磁化反転をアシストすることにより磁化パターン、即ちサーボパターンを形成することができる。即ち、マイクロ波アシスト記録によってサーボパターンを形成することができる。また、３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示す磁性層は熱揺らぎの影響を受け難い傾向があり熱的安定性に優れるため、サーボパターンが経時変化することを抑制するうえで好ましい。サーボパターンの経時変化は、ヘッドトラッキングサーボによって磁気ヘッドの位置を制御する精度の低下の要因となるため、サーボパターンの経時変化を抑制できることは、上記精度の向上の観点から好ましい。また、熱的安定性に優れることは、磁性層へのデータ情報の記録に関して、記録の保持性向上の観点からも好ましい。上記磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数は、３０．０ＧＨｚ以上であって、例えば５０．０ＧＨｚ以下または４０．０ＧＨｚ以下であることができる。ただし、高い固有強磁性共鳴周波数を示す磁性層ほど熱揺らぎの影響を受け難い傾向があるため、磁性層の固有強磁性共鳴周波数は、５０．０ＧＨｚ超であっても４０．０ＧＨｚ超であってもよい。上記磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数の詳細については、更に後述する。
【００２２】
磁性層の固有強磁性共鳴周波数は、磁性層に含まれる強磁性粉末の保磁力Ｈｃによって制御することができる。保磁力Ｈｃが高い強磁性粉末を含む磁性層ほど、高い固有強磁性共鳴周波数を示す傾向がある。強磁性粉末の保磁力Ｈｃ等の詳細については、後述する。
【００２３】
（強磁性粉末）
上記磁気記録媒体は塗布型磁気記録媒体であり、強磁性粉末および結合剤を含む磁性層を有する。強磁性粉末としては、六方晶フェライト、ε−酸化鉄等の金属酸化物の粉末、金属粉末、ＦｅＰｔ、ＮｄＦｅＢ等の合金粉末、またはＦｅ１６Ｎ２等の窒化物の粉末等を挙げることができる。磁性層の固有強磁性共鳴周波数は、一般に、磁性層に含まれる強磁性粉末の保磁力Ｈｃが高いほど、高くなる傾向がある。強磁性粉末の保磁力Ｈｃは、一態様では、２１０ｋＡ／ｍ以上であることが好ましい。強磁性粉末の保磁力Ｈｃは、例えば２００００ｋＡ／ｍ以下であることができる。ただし、２００００ｋＡ／ｍ超であってもよい。一般に、保磁力Ｈｃが高い強磁性粉末ほど、異方性定数Ｋｕが高く、熱的安定性（記録の保持性）の観点から好ましい傾向がある。強磁性粉末の保磁力Ｈｃは、振動試料型磁束計等の公知の磁気特性測定装置により、温度２０〜２５℃の測定環境下で求められる値とする。
【００２４】
上記磁性層に含まれる強磁性粉末を微粒子化することは、高密度記録化の観点から好ましい。強磁性粉末の粒子サイズに関して、物理的な粒子サイズの指標である強磁性粉末の平均粒子サイズは、高密度記録化の観点からは５０ｎｍ以下であることが好ましく、４０ｎｍ以下であることがより好ましく、３５ｎｍ以下であることが更に好ましく、３０ｎｍ以下であることが一層好ましく、２５ｎｍ以下であることがより一層好ましく、２０ｎｍ以下であることが更に一層好ましい。一方、磁化の安定性の観点からは、強磁性粉末の平均粒子サイズは、５ｎｍ以上であることが好ましく、７ｎｍ以上であることがより好ましい。
【００２５】
本発明および本明細書において、強磁性粉末等の各種粉末の「平均粒子サイズ」は、透過型電子顕微鏡を用いて、以下の方法により測定される値とする。
粉末を、透過型電子顕微鏡を用いて撮影倍率１０００００倍で撮影し、総倍率５０００００倍になるように印画紙にプリントして粉末を構成する粒子の写真を得る。得られた粒子の写真から目的の粒子を選びデジタイザーで粒子の輪郭をトレースし粒子（一次粒子）のサイズを測定する。一次粒子とは、凝集のない独立した粒子をいう。
以上の測定を、無作為に抽出した５００個の粒子について行う。こうして得られた５００個の粒子の粒子サイズの算術平均を、粉末の平均粒子サイズとする。上記透過型電子顕微鏡としては、例えば日立製透過型電子顕微鏡Ｈ−９０００型を用いることができる。また、粒子サイズの測定は、公知の画像解析ソフト、例えばカールツァイス製画像解析ソフトＫＳ−４００を用いて行うことができる。
本発明および本明細書において、強磁性粉末およびその他の粉末についての平均粒子サイズとは、上記方法により求められる平均粒子サイズをいうものとする。
【００２６】
粒子サイズ測定のために磁気記録媒体から試料粉末を採取する方法としては、例えば特開２０１１−４８８７８号公報の段落００１５に記載の方法を採用することができる。
【００２７】
本発明および本明細書において、粉末を構成する粒子のサイズ（粒子サイズ）は、上記の粒子の写真において観察される粒子の形状が、
（１）針状、紡錘状、柱状（ただし、高さが底面の最大長径より大きい）等の場合は、粒子を構成する長軸の長さ、即ち長軸長で表され、
（２）板状または柱状（ただし、厚みまたは高さが板面または底面の最大長径より小さい）の場合は、その板面または底面の最大長径で表され、
（３）球形、多面体状、不特定形等であって、かつ形状から粒子を構成する長軸を特定できない場合は、円相当径で表される。円相当径とは、円投影法で求められるものを言う。
そして、上記粒子サイズの定義（１）の場合、平均粒子サイズは平均長軸長とも呼ばれ、同定義（２）の場合、平均粒子サイズは平均板径とも呼ばれる。同定義（３）の場合、平均粒子サイズは平均直径（または平均粒径もしくは平均粒子径）とも呼ばれる。
【００２８】
本発明および本明細書において、強磁性粉末とは、複数の強磁性粒子の集合を意味するものとする。集合とは、これを構成する粒子が直接接触している態様に限定されず、結合剤、添加剤等が、粒子同士の間に介在している態様も包含される。以上の点は、非磁性粉末等の、本発明および本明細書における各種粉末についても同様とする。
【００２９】
磁性層における強磁性粉末の含有量（充填率）は、好ましくは５０〜９０質量％の範囲であり、より好ましくは６０〜９０質量％の範囲である。磁性層の強磁性粉末以外の成分は少なくとも結合剤であり、任意に一種以上の添加剤が含まれ得る。磁性層において強磁性粉末の充填率が高いことは、データ情報の記録密度向上の観点から好ましい。
【００３０】
強磁性粉末としては、高密度記録化のために微粒子化しても高い熱的安定性を示すことができる（即ち、熱揺らぎの影響を受け難い）強磁性粉末を用いることが好ましい。この点からは、上記磁性層に含まれる強磁性粉末は、金属酸化物粉末であることが好ましく、金属酸化物粉末の中でもフェライト粉末であることがより好ましい。フェライト粉末としては、六方晶フェライト粉末、ε−酸化鉄粉末等の各種フェライト粉末を挙げることができ、六方晶フェライト粉末およびε−酸化鉄粉末が好ましい。
【００３１】
六方晶フェライト粉末に関して、六方晶フェライトの結晶構造としては、マグネトプランバイト型（「Ｍ型」とも呼ばれる。）、Ｗ型、Ｙ型およびＺ型が知られている。上記磁性層の強磁性粉末として使用可能な六方晶フェライト粉末は、いずれの結晶構造を取るものであってもよい。六方晶フェライト粉末の保磁力Ｈｃは、例えば、六方晶フェライトの結晶構造を構成する原子の種類および組成比によって制御することができる。例えば、置換原子を含まない無置換型のＭ型六方晶フェライトは、組成式：ＡＦｅ１２Ｏ１９で表される。磁気記録分野で一般に広く用いられているＭ型六方晶フェライト粉末は、上記組成式中のＦｅの一部が他の原子（置換原子）によって置換されている置換型のＭ型六方晶フェライトである。このような置換型の六方晶フェライトは、無置換型の六方晶フェライトと比べて低い保磁力Ｈｃを示す傾向がある。置換原子としては、例えば、ニオブ原子（Ｎｂ）、コバルト原子（Ｃｏ）、チタン原子（Ｔｉ）、亜鉛原子（Ｚｎ）等が挙げられる。ただし、これらに限定されるものではない。一方、上記組成式中、Ａは、二価金属原子を表す。二価金属原子とは、イオンとして二価のカチオンになり得る金属原子であり、バリウム原子、ストロンチウム原子、カルシウム原子等のアルカリ土類金属原子、鉛原子等を挙げることができる。なおＡとして二種以上の二価金属原子が含まれていてもよい。例えば、Ａとしてバリウム原子およびストロンチウム原子を含む六方晶フェライトは、バリウムフェライトとストロンチウムフェライトの混晶である。
【００３２】
六方晶フェライト粉末の製造方法としては、ガラス結晶化法、共沈法、逆ミセル法、水熱合成法等が知られている。上記製造方法は、いずれも公知である。上記磁性層において強磁性粉末として使用可能な六方晶フェライト粉末の製造方法は限定されない。
【００３３】
一方、ε−酸化鉄粉末に関しては、結晶構造を構成する鉄原子（Ｆｅ）の一部を、Ｇａ、Ａｌ、Ｒｈ等の置換原子により置換することによって、保磁力Ｈｃを制御することができる。Ｆｅの一部が置換原子によって置換されたε−酸化鉄粉末を製造する方法については、例えば、Ｊ．  Ｊｐｎ．  Ｓｏｃ．  Ｐｏｗｄｅｒ  Ｍｅｔａｌｌｕｒｇｙ  Ｖｏｌ．  ６１  Ｓｕｐｐｌｅｍｅｎｔ，  Ｎｏ．  Ｓ１，  ｐｐ．  Ｓ２８０−Ｓ２８４、Ｊ．  Ｍａｔｅｒ．  Ｃｈｅｍ．  Ｃ，  ２０１３，  １，  ｐｐ．５２００−５２０６等を参照できる。ただし、上記磁性層において強磁性粉末として使用可能なε−酸化鉄粉末は、上記文献に記載の方法により得られるε−酸化鉄粉末に限定されるものではない。ε−酸化鉄粉末の製造方法としては、ゲーサイトから作製する方法、逆ミセル法等が知られている。上記製造方法は、いずれも公知である。上記磁性層において強磁性粉末として使用可能なε−酸化鉄粉末の製造方法は限定されない。
【００３４】
（結合剤）
上記磁性層は、強磁性粉末とともに結合剤を含む。結合剤とは、一種以上の樹脂であり、樹脂はホモポリマーであってもコポリマー（共重合体）であってもよい。磁性層に含まれる結合剤としては、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、塩化ビニル樹脂、スチレン、アクリロニトリル、メチルメタクリレート等を共重合したアクリル樹脂、ニトロセルロース等のセルロース樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール、ポリビニルブチラール等のポリビニルアルキラール樹脂等から選択した単独の樹脂を使用することができ、または複数の樹脂を混合して使用することもできる。これらの中で好ましいものはポリウレタン樹脂、アクリル樹脂、セルロース樹脂および塩化ビニル樹脂である。これらの樹脂は、後述する非磁性層および／またはバックコート層においても結合剤として使用することができる。以上の結合剤については、特開２０１０−２４１１３号公報の段落００２９〜００３１を参照できる。結合剤として使用される樹脂の平均分子量は、重量平均分子量として、例えば１０，０００以上２００，０００以下であることができる。なお本発明および本明細書における重量平均分子量とは、ゲル浸透クロマトグラフィー（Ｇｅｌ  Ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ  Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ；ＧＰＣ）により測定され、標準ポリスチレン換算により求められる値をいうものとする。測定条件としては、下記条件を挙げることができる。
ＧＰＣ装置：ＨＬＣ−８１２０（東ソー社製）
カラム：ＴＳＫ ｇｅｌ Ｍｕｌｔｉｐｏｒｅ ＨＸＬ−Ｍ（東ソー社製、７．８ｍｍＩＤ（Ｉｎｎｅｒ  ｄｉａｍｅｔｅｒ（内径））×３０．０ｃｍ）
溶離液：テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）
【００３５】
（添加剤）
磁性層は、必要に応じて一種以上の添加剤を含むことができる。添加剤の一例として、例えば、磁性層形成時、上記結合剤として使用可能な樹脂とともに硬化剤を使用することもできる。硬化剤は、一態様では加熱により硬化反応（架橋反応）が進行する化合物である熱硬化性化合物であることができ、他の一態様では光照射により硬化反応（架橋反応）が進行する光硬化性化合物であることができる。なお硬化剤は、磁性層形成工程の中で硬化反応が進行することにより、少なくとも一部は、結合剤等の他の成分と反応（架橋）した状態で磁性層に含まれ得る。好ましい硬化剤は、熱硬化性化合物であり、ポリイソシアネートが好適である。ポリイソシアネートの詳細については、特開２０１１−２１６１４９号公報の段落０１２４〜０１２５を参照できる。硬化剤は、磁性層形成用組成物中に、結合剤１００．０質量部に対して、例えば０〜８０．０質量部、磁性層の強度向上の観点からは好ましくは５０．０〜８０．０質量部の量で添加し使用することができる。
【００３６】
また、磁性層に含まれ得る添加剤としては、研磨剤または突起形成剤として機能することができる非磁性粉末、潤滑剤、分散剤、分散助剤、防黴剤、帯電防止剤、酸化防止剤、カーボンブラック等を挙げることができる。各種添加剤は、所望の性質に応じて市販品を適宜選択して、または公知の方法で製造して、任意の量で使用することができる。
【００３７】
＜非磁性層＞
次に非磁性層について説明する。
上記磁気記録媒体は、非磁性支持体上に直接磁性層を有していてもよく、非磁性支持体と磁性層との間に非磁性粉末と結合剤を含む非磁性層を有していてもよい。非磁性層に含まれる非磁性粉末は、無機粉末でも有機粉末でもよい。また、カーボンブラック等も使用できる。無機粉末としては、例えば金属、金属酸化物、金属炭酸塩、金属硫酸塩、金属窒化物、金属炭化物、金属硫化物等の粉末が挙げられる。これらの非磁性粉末は、市販品として入手可能であり、公知の方法で製造することもできる。その詳細については、特開２０１０−２４１１３号公報の段落００３６〜００３９を参照できる。
【００３８】
非磁性層の結合剤、任意に含まれ得る添加剤等の詳細については、磁性層および／または非磁性層に関する公知技術を適用できる。また、非磁性層にはカーボンブラックおよび／または有機粉末を添加することも可能である。それらについては、例えば特開２０１０−２４１１３号公報の段落００４０〜００４２を参照できる。
【００３９】
＜非磁性支持体＞
非磁性支持体（以下、単に「支持体」とも記載する。）としては、二軸延伸を行ったポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリアミドイミド、芳香族ポリアミド等の公知のものが挙げられる。これらの中でもポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、およびポリアミドが好ましい。
これらの支持体には、あらかじめコロナ放電、プラズマ処理、易接着処理、熱処理等を行ってもよい。
【００４０】
＜非磁性支持体および各層の厚み＞
非磁性支持体および各層の厚みについては、非磁性支持体の厚みは、好ましくは３．０〜８０．０μｍであり、より好ましくは３．０〜２０．０μｍであり、更に好ましくは３．０〜１０．０μｍである。
【００４１】
磁性層の厚みは、用いる磁気ヘッドの飽和磁化量、ヘッドギャップ長、記録信号の帯域等により最適化することができる。磁性層の厚みは、一般には５〜２００ｎｍであり、好ましくは１０〜１５０ｎｍであり、より好ましくは１０〜１２０ｎｍであり、更に好ましくは１０〜８０ｎｍであり、一層好ましくは１０〜３０ｎｍである。
【００４２】
一態様では、上記磁気記録媒体は、磁性層を一層のみ含む（即ち単層の磁性層を有する）磁気記録媒体であることができる。この場合、単層の磁性層は、３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を１つのみ示してもよく、３０．０ＧＨｚ以上の２以上の固有強磁性共鳴周波数を示してもよい。例えば、保磁力Ｈｃが異なる二種の強磁性粉末ロットから採取した強磁性粉末を用いて磁性層を形成することにより、３０．０ＧＨｚ以上の２つの固有強磁性共鳴周波数を示す単層の磁性層を有する塗布型磁気記録媒体を得ることができる。そして、マイクロ波アシスト記録によれば、単層の磁性層が３０．０ＧＨｚ以上の２つの固有強磁性共鳴周波数を示すことを利用して、単層の磁性層に２以上の異なる情報を記録（即ち多重記録）することが可能となる。この点について、以下に更に説明する。「２以上の異なる情報」とは、２以上の互いに独立な情報系列をいうものとする。２以上の互いに独立な情報系列は、複数の異なるヘッドトラッキングサーボ情報のみから構成されてもよく、１以上のヘッドトラッキングサーボ情報と１以上のデータ情報から構成されていてもよい。データ情報とは、磁気記録媒体の磁性層に記録される文字情報、画像情報等の各種情報をいうものとする。一方、ヘッドトラッキングサーボ情報は、ヘッドトラッキングサーボを可能とするためのサーボパターンの形状および複数のサーボパターンの配置から構成される。
【００４３】
以下では、単層の磁性層が３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数αおよびβ（α≠β）を示し、この単層の磁性層に、
周波数Ａのマイクロ波磁界を印加することにより磁化反転がアシストされる強磁性粉末（以下、「強磁性粉末α」という。）；および
周波数Ｂのマイクロ波磁界を印加することにより磁化反転がアシストされる強磁性粉末（以下、「強磁性粉末β」という。）、
という二種の強磁性粉末が含まれる場合を例に説明する。固有強磁性共鳴周波数αは、強磁性粉末αによってもたらされ、固有強磁性共鳴周波数βは、強磁性粉末βによってもたらされるものとする。強磁性粉末αおよび強磁性粉末βは、通常、保磁力Ｈｃが異なる強磁性粉末ロットから採取された強磁性粉末である。マイクロ波磁界は、磁化反転をアシストするために、磁化反転前の磁化方向と逆方向に印加される。マイクロ波磁界の周波数の値は、マイクロ波磁界の磁界強度に依存し、磁界強度を大きくするほど周波数は低くなる。強磁性粉末αと強磁性粉末βは、磁化反転がアシストされる周波数が異なるものとする。強磁性粉末αの磁化反転をアシストするためには、好ましくは固有強磁性共鳴周波数α以下、より好ましくは固有強磁性共鳴周波数αよりも低い周波数のマイクロ波磁界を印加する。強磁性粉末βの磁化反転をアシストするためには、好ましくは固有強磁性共鳴周波数β以下、より好ましくは固有強磁性共鳴周波数βよりも低い周波数のマイクロ波磁界を印加する。したがって、周波数Ａは、固有強磁性共鳴周波数α以下であることが好ましく、αよりも低いことがより好ましい。周波数Ｂは、固有強磁性共鳴周波数β以下であることが好ましく、βよりも低いことがより好ましい。Ａ≠Ｂであり、強磁性粉末αの磁化反転をアシストするために周波数Ａのマイクロ波磁界を印加することによっては強磁性粉末βの磁化反転はアシストされず、強磁性粉末βの磁化反転をアシストするために周波数Ｂのマイクロ波磁界を印加することによっては強磁性粉末αの磁化反転はアシストされない。
以上の性質を利用することによって、単層の磁性層に異なる２情報（以下、「情報α」および「情報β」という。）を記録することができる。詳しくは、次の通りである。強磁性粉末αおよび強磁性粉末βを含む磁性層に「情報α」に対応する記録磁界を印加する際、強磁性粉末αの磁化反転をアシスト可能な周波数Ａのマイクロ波磁界を印加すれば、強磁性粉末αの磁化反転がアシストされることにより、強磁性粉末αの磁化反転を起こして強磁性粉末αに情報αを記録することができる。ここでは強磁性粉末βの磁化反転はアシストされないため、強磁性粉末βには情報αは記録されない。一方、強磁性粉末αおよび強磁性粉末βを含む磁性層に「情報β」に対応する記録磁界を印加する際、強磁性粉末βの磁化反転をアシスト可能な周波数Ｂのマイクロ波磁界を印加すれば、強磁性粉末βの磁化反転がアシストされることにより、強磁性粉末βの磁化反転を起こして強磁性粉末βに情報βを記録することができる。ここでは強磁性粉末αの磁化反転はアシストされないため、強磁性粉末αには情報βは記録されない。こうして、単一の磁性層（同一磁性層）に、異なる２情報を多重記録することができる。
上記の例では、異なる２情報を多重記録する例を説明した。ただし多重記録される情報は、２情報に限定されず、３情報、４情報、または５情報以上（例えば５〜１０情報）であってもよい。異なる周波数のマイクロ波磁界を印加してマイクロ波アシスト記録を行うことにより、単層の磁性層に、最大で、この磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数の数と同数の情報を多重記録することができる。これに対し、金属薄膜型磁気記録媒体は、蒸着等により磁性層を形成するという製造上の理由から、２以上の固有強磁性共鳴周波数を示す単層の磁性層を形成することは困難である。そのため、同一の金属薄膜型磁気記録媒体に異なる２以上の情報をマイクロ波アシスト記録によって多重記録するためには、異なる固有強磁性共鳴周波数を示す二層以上の重層磁性層を設けることになる。これに対し、塗布型磁気記録媒体によれば、上記のようにマイクロ波アシスト記録によって単層の磁性層への多重記録が可能である。これにより、例えば、単層の磁性層の同一領域に異なるヘッドトラッキングサーボ情報を記録することが可能となる。また、例えば、単一の磁性層の同一領域または異なる領域に、マイクロ波アシスト記録によってサーボパターンを形成し、かつマイクロ波アシスト記録によってデータ情報を記録することが可能となる。
【００４４】
ただし、本発明の一態様にかかる製造方法において製造される磁気記録媒体から、二層以上の重層磁性層を有する態様が除外されるものではない。例えば、本発明の一態様にかかる磁気記録媒体において、磁性層を異なる磁気特性を有する二層以上に分離してもかまわず、公知の重層磁性層に関する構成が適用できる。重層磁性層について、磁性層の厚みとは、複数の磁性層の合計厚みをいう。この場合、異なる磁性層は、異なる固有強磁性共鳴周波数を示してもよく、同じ固有強磁性共鳴周波数を示してもよい。
【００４５】
非磁性層の厚みは、例えば０．０５〜３．０μｍであり、０．１〜２．０μｍであることが好ましく、０．１〜１．５μｍであることが更に好ましい。本発明および本明細書において、「非磁性層」には、非磁性粉末とともに、例えば不純物として、または意図的に、少量の強磁性粉末を含む実質的に非磁性な層も包含されるものとする。ここで「実質的に非磁性な層」とは、この層の残留磁束密度が１０ｍＴ以下であるか、保磁力が７．９６ｋＡ／ｍ（１００Ｏｅ）以下であるか、または、残留磁束密度が１０ｍＴ以下であり、かつ保磁力が７．９６ｋＡ／ｍ（１００Ｏｅ）以下である層をいうものとする。非磁性層は、残留磁束密度および保磁力を持たないことが好ましい。
【００４６】
＜バックコート層＞
上記磁気記録媒体は、非磁性支持体の磁性層を有する側とは反対側にバックコート層を有することもできる。バックコート層には、カーボンブラックおよび／または無機粉末が含有されていることが好ましい。バックコート層形成のための結合剤および各種添加剤については、磁性層、非磁性層およびバックコート層に関する公知技術を適用できる。バックコート層の厚みは、０．９μｍ以下であることが好ましく、０．１〜０．７μｍであることがより好ましい。
【００４７】
＜サーボパターンが形成される磁気記録媒体の製造工程＞
磁性層、非磁性層またはバックコート層を形成するための組成物を製造する工程は、通常、少なくとも混練工程、分散工程、およびこれらの工程の前後に必要に応じて設けた混合工程を含む。個々の工程はそれぞれ二段階以上に分かれていてもかまわない。各種成分は、どの工程の最初または途中で添加してもかまわない。また、個々の成分を２つ以上の工程で分割して添加してもかまわない。例えば、結合剤を混練工程、分散工程、および分散後の粘度調整のための混合工程で分割して投入してもよい。上記磁気記録媒体を製造するためには、従来の公知の製造技術を一部または全部の工程に用いることができる。例えば、混練工程では、オープンニーダ、連続ニーダ、加圧ニーダ、エクストルーダ等の強い混練力をもつものを使用することが好ましい。これらの混練処理の詳細については、特開平１−１０６３３８号公報および特開平１−７９２７４号公報を参照できる。また、各層形成用の組成物を分散するために、分散ビーズとしてガラスビーズを用いることができる。また、分散ビーズとしては、高比重の分散ビーズであるジルコニアビーズ、チタニアビーズ、およびスチールビーズも好適である。これら分散ビーズの粒径と充填率は最適化して用いることができる。分散機は公知のものを使用することができる。各層形成用組成物を、塗布工程に付す前に公知の方法によってろ過してもよい。ろ過は、例えばフィルタろ過によって行うことができる。ろ過に用いるフィルタとしては、例えば孔径０．０１〜３μｍのフィルタ（例えばガラス繊維製フィルタ、ポリプロピレン製フィルタ等）を用いることができる。
【００４８】
磁気記録媒体の製造方法の詳細については、例えば特開２０１０−２４１１３号公報の段落００５１〜００５７も参照できる。
【００４９】
上記磁気記録媒体の形状は限定されない。上記磁気記録媒体は、テープ状の磁気記録媒体（磁気テープ）であっても、ディスク状の磁気記録媒体（磁気ディスク）であってもよい。また、後述の実施例に示すように、磁気ヘッドとの摺動部を有さず、非磁性支持体（例えばシリコン基板）上に導波路と磁性層とが一体形成された構成でもよい。
【００５０】
＜サーボパターンの形成工程＞
磁性層へのサーボパターンの形成は、サーボパターン記録ヘッド（「サーボライトヘッド（ｓｅｒｖｏ  ｗｒｉｔｅ  ｈｅａｄ）」と呼ばれる。）により、磁性層の特定の位置を磁化することにより行われる。このサーボライトヘッドとしてマイクロ波アシスト記録が可能なヘッドを使用し、磁性層に記録すべきヘッドトラッキングサーボ情報に対応する記録磁界を磁性層に印加する際に記録磁界の印加によっては磁化反転しない強磁性粉末の磁化反転をマイクロ波磁界を印加してアシストすることにより、上記強磁性粉末を磁化反転させてサーボパターンを形成することができる。このような磁化反転のアシストは、磁性層に含まれる強磁性粉末を磁気共鳴状態とすることによって実現することができる。そのためには、磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数と同じ周波数またはその近傍の周波数のマイクロ波磁界を、磁性層に印加することが好ましい。磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数を「Ｘ」ＧＨｚとすると、（Ｘ−１５．０）ＧＨｚ〜ＸＧＨｚの範囲の周波数のマイクロ波磁界を印加することがより好ましく、（Ｘ−１５．０）ＧＨｚ以上ＸＧＨｚ未満の周波数のマイクロ波磁界を印加することが更に好ましい。また、単一の磁性層が３０．０ＧＨｚ以外の２以上の異なる固有強磁性共鳴周波数を示す場合、先に記載した多重記録をより良好に行う観点からは、異なる固有強磁性共鳴周波数は、５．０ＧＨｚ以上（例えば５．０ＧＨｚ〜１０．０ＧＨｚ）、異なることが好ましい。
【００５１】
マイクロ波アシスト記録が可能なサーボライトヘッドは、少なくともサーボパターン形成部（記録部）を含む。サーボパターン形成部は、記録磁界を発生する記録磁極と対向磁極を含み、更に、マイクロ波磁界を発生するマイクロ波発振素子を含む構成を有することができる。マイクロ波磁界は、直流電流によって交流磁界として発生させることが好ましい。交流磁界の周波数は直流電流の電流値に比例する。したがって、直流電流の電流値を調整することにより、磁性層に印加するマイクロ波磁界の周波数を制御することができる。マイクロ波発振素子としては、静磁場を印加するマイクロ波発振素子を用いてもよい。または、スピントルクオシレータ（Ｓｐｉｎ  Ｔｏｒｑｕｅ  Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ）等を用いて動的記録を行ってもよい。マイクロ波発振素子は、サーボパターン形成部に１つ含まれてもよく、２つ以上含まれてもよい。サーボライトヘッドによって磁性層に２以上の異なる周波数のマイクロ波磁界を印加する場合、異なる周波数のマイクロ波磁界の印加は同時に行ってもよく順次行ってもよく、順次行うことが好ましい。また、磁性層の形成されたサーボパターンの読み取りは、例えば後述の実施例に示すように吸収ピーク周波数を測定することにより行うことができる。または、磁界検出が可能な素子、例えば、ホール素子、ＭＲ（ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）素子、ＧＭＲ（ｇｉａｎｔ−ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）素子、ＴＭＲ（ｔｕｎｎｅｌ−ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）素子等を再生部として用いることもできる。また、先に記載したように多重記録されたサーボパターンの読み取りのためには、例えば、スピントルクオシレータを用いた読み取り部を利用することもできる。スピントルクオシレータを用いるサーボパターンの読み取りについては、例えば、Ｒｉｅ  Ｓａｔｏ，  Ｋｉｗａｍｕ  Ｋｕｄｏ，  Ｔａｚｕｍｉ  Ｎａｇａｓａｗａ，  Ｈｉｒｏｆｕｍｉ  Ｓｕｔｏ，  ａｎｄ  Ｋｏｉｃｈｉ  Ｍｉｚｕｓｈｉｍａ，  “Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｓ  ａｎｄ  Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓ  Ｔｏｗａｒｄ  Ｈｉｇｈ−Ｄａｔａ−Ｔｒａｎｓｆｅｒ−Ｒａｔｅ  Ｒｅａｄｅｒｓ  Ｃｏｍｐｏｓｅｄ  ｏｆ  ａ  Ｓｐｉｎ−Ｔｏｒｑｕｅ  Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ，”  ＩＥＥＥ  Ｔｒａｎｓ．  Ｍａｇｎ．，  ｖｏｌ．  ４８，  ｎｏ．  ５，  ｐｐ．１７５８−１７６４  （２０１２）を参照できる。
【００５２】
磁気記録の記録方式として、データ情報の記録については、垂直記録と長手記録がある。磁性層に含まれる強磁性粉末が六方晶フェライト粉末の場合、反磁界に起因する減磁の影響を低減する観点から、磁性層表面に対して垂直方向に磁化容易軸を向けることが好ましい。したがって、垂直記録を行うことが好ましい。一方、磁性層に含まれる強磁性粉末がε−酸化鉄粉末の場合、磁化容易軸を、磁性層表面に対して垂直方向に向けることも好ましく、垂直方向と直交する方向（磁気テープについては長手方向であり、磁気ディスクにおいては半径方向である。）に向けることも好ましい。ε−酸化鉄粉末は、六方晶フェライト粉末と比べて、磁化が比較的小さく保磁力が比較的大きいため、反磁界による減磁の影響を受け難い傾向があるためである。なお、磁気テープにおいて長手記録は、出力向上に有利な傾向がある。以上のことは、サーボパターンの形成および読み取りにおいても当てはまる。
【００５３】
ヘッドトラッキングサーボを可能とするためのサーボパターンの形状および磁性層における配置は公知である、上記磁気記録媒体の磁性層へ形成するサーボパターンの形状および配置については、公知技術を適用することができる。例えば、ヘッドトラッキングサーボの方式としては、タイミングベースサーボ方式と振幅ベースサーボ方式が知られている。上記磁気テープの磁性層が有するサーボパターンは、いずれの方式のヘッドトラッキングサーボを可能とするサーボパターンでもよい。また、タイミングベースサーボ方式でのヘッドトラッキングサーボを可能とするサーボパターンと振幅ベースサーボ方式でのヘッドトラッキングサーボを可能とするサーボパターンとが磁性層に形成されていてもよい。
【００５４】
以下に、ヘッドトラッキングサーボの具体的態様の１つとして、タイミングベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボについて記載する。ただし本発明の一態様にかかる磁気記録媒体の製造方法により製造される磁気記録媒体において行われるヘッドトラッキングサーボは、下記具体的態様に限定されるものではない。
【００５５】
タイミングベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボ（以下、「タイミングベースサーボ」と記載する。）では、二種以上の異なる形状の複数のサーボパターンを磁性層に形成し、サーボヘッドが、異なる形状の２つのサーボパターンを読み取った時間間隔と、同種の形状の２つのサーボパターンを読み取った時間間隔と、によりサーボヘッドの位置を認識する。こうして認識されたサーボヘッドの位置に基づき、磁気テープの幅方向における磁気ヘッドの位置が制御される。ここで位置制御が行われる磁気ヘッドは、一態様では磁気テープに記録されたデータ情報を再生する磁気ヘッド（再生ヘッド）であり、他の一態様では磁気テープにデータ情報を記録する磁気ヘッド（記録ヘッド）である。
【００５６】
図１に、データバンドおよびサーボバンドの配置例を示す。図１中、磁気テープ１の磁性層には、複数のサーボバンド１０が、ガイドバンド１２に挟まれて配置されている。２本のサーボバンドに挟まれた複数の領域１１が、データバンドである。サーボパターンは、磁化領域であって、サーボライトヘッドにより磁性層の特定の領域を磁化することによって形成される。サーボライトヘッドにより磁化する領域（サーボパターンを形成する位置）は規格により定められている。例えば、業界標準規格であるＬＴＯＵｌｔｒｉｕｍフォーマットテープには、磁気テープ製造時に、図２に示すようにテープ幅方向に対して傾斜した複数のサーボパターンが、サーボバンド上に形成される。詳しくは、図２中、サーボバンド１０上のサーボフレームＳＦは、サーボサブフレーム１（ＳＳＦ１）およびサーボサブフレーム２（ＳＳＦ２）から構成される。サーボサブフレーム１は、Ａバースト（図２中、符号Ａ）およびＢバースト（図２中、符号Ｂ）から構成される。ＡバーストはサーボパターンＡ１〜Ａ５から構成され、ＢバーストはサーボパターンＢ１〜Ｂ５から構成される。一方、サーボサブフレーム２は、Ｃバースト（図２中、符号Ｃ）およびＤバースト（図２中、符号Ｄ）から構成される。ＣバーストはサーボパターンＣ１〜Ｃ４から構成され、ＤバーストはサーボパターンＤ１〜Ｄ４から構成される。このような１８本のサーボパターンが５本と４本のセットで、５、５、４、４、の配列で並べられたサブフレームに配置され、サーボフレームを識別するために用いられる。図２には、説明のために１つのサーボフレームを示した。ただし、実際には、タイミングベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボが行われる磁気テープの磁性層では、各サーボバンドに、複数のサーボフレームが走行方向に配置されている。図２中、矢印は走行方向を示している。例えば、ＬＴＯ  Ｕｌｔｒｉｕｍフォーマットテープは、通常、磁性層の各サーボバンドに、テープ長１ｍあたり５０００以上のサーボフレームを有する。サーボヘッドは、ドライブ内で搬送される磁気テープの磁性層表面と接触し摺動しながら、複数のサーボフレームにおいて順次サーボパターンの読み取りを行う。
【００５７】
タイミングベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボでは、異なる形状の２つのサーボパターンをサーボヘッドが読み取った（サーボ信号を再生した）時間間隔と、同種の形状の２つのサーボパターンを読み取った時間間隔と、によりサーボヘッドの位置を認識する。時間間隔は、通常、サーボ信号の再生波形のピークの時間間隔として求められる。例えば、図２に示す態様では、ＡバーストのサーボパターンとＣバーストのサーボパターンが同種の形状のサーボパターンであり、ＢバーストのサーボパターンとＤバーストのサーボパターンが同種の形状のサーボパターンである。ＡバーストのサーボパターンおよびＣバーストのサーボパターンは、ＢバーストのサーボパターンおよびＤバーストのサーボパターンとは形状が異なるサーボパターンである。異なる形状の２つのサーボパターンをサーボヘッドが読み取った時間間隔とは、例えば、Ａバーストのいずれかのサーボパターンを読み取った時間とＢバーストのいずれかのサーボパターンを読み取った時間との間隔である。同種の形状の２つのサーボパターンをサーボヘッドが読み取った時間間隔とは、例えば、Ａバーストのいずれかのサーボパターンを読み取った時間とＣバーストのいずれかのサーボパターンを読み取った時間との間隔である。タイミングベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボは、上記の時間間隔が設定値からずれた場合、時間間隔のズレは磁気テープの幅方向の位置変動に起因して発生することを前提とするシステムである。設定値とは、磁気テープが幅方向で位置変動を起こさずに走行する場合の時間間隔である。タイミングベースサーボシステムでは、求められた時間間隔の設定値からのズレの程度に応じて、磁気ヘッドを幅方向に移動させる。詳しくは、時間間隔の設定値からのズレが大きいほど、磁気ヘッドを幅方向に大きく移動させる。この点は、図１および図２に示す態様に限定されずタイミングベースサーボシステム全般に当てはまる。
【００５８】
タイミングベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボの詳細については、例えば、米国特許第５６８９３８４号、米国特許第６５４２３２５号、および米国特許第７８７６５２１号に記載の技術をはじめとする公知技術を適用することができる。また、振幅ベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボの詳細については、例えば、米国特許第５４２６５４３号および米国特許第５８９８５３３号をはじめとする公知技術を適用することができる。
【００５９】
更に、本発明の一態様によれば、マイクロ波アシスト記録によってサーボパターンを形成するために使用される磁気記録媒体であって、非磁性支持体上に強磁性粉末および結合剤を含む磁性層を有し、上記磁性層は、３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示す磁気記録媒体を提供することもできる。かかる磁気記録媒体の詳細は、先に記載した通りである。
【００６０】
また、本発明の一態様によれば、上記製造方法によって製造された磁気記録媒体と、サーボヘッドと、磁気ヘッドと、を含む磁気記録再生装置を提供することもできる。磁気記録再生装置は一般にドライブと呼ばれ、データ情報の記録および再生を行う装置に限定されず、データ情報の記録のみ、または再生のみを行う装置も包含するものとする。
【００６１】
磁気ヘッドとしては、磁気記録媒体へのデータ情報の記録および／または再生を行うことが可能な公知の磁気ヘッドを用いることができる。記録ヘッドと再生ヘッドは、１つの磁気ヘッドであってもよく分離した磁気ヘッドであってもよい。また、記録ヘッドは、マイクロ波アシスト記録によらずにデータ情報の記録を行う磁気ヘッドであってもよく、マイクロ波アシスト記録によってデータ情報の記録を行う磁気ヘッドであってもよい。マイクロ波アシスト記録によってデータ情報の記録を行う磁気ヘッドについては、マイクロ波アシスト記録を行うためのサーボライトヘッドに関する先の記載を参照できる。
【００６２】
サーボヘッドとしては、磁気記録媒体の磁性層に形成されたサーボパターンを読み取り可能な公知のサーボヘッドを用いることができる。サーボヘッドは、磁気記録再生装置に少なくとも１つ含まれ、２つ以上含まれてもよい。また、データ情報を記録するための素子および／または再生するための素子を含む磁気ヘッドに、サーボパターン読み取り素子が含まれていてもよい。即ち、磁気ヘッドとサーボヘッドとが単一のヘッドであってもよい。
【００６３】
多重記録された情報の再生に関して、Ｔ．  Ｙａｎｇ，  Ｈ．  Ｓｕｔｏ，  Ｔ．  Ｎａｇａｓａｗａ，  Ｋ．  Ｋｕｄｏ，  Ｋ．  Ｍｉｚｕｓｈｉｍａ，  Ｒ．  Ｓａｔｏ，  “Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｍａｇｎｅｔｉｓｍ  ａｎｄ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ”  ３３２  （２０１３），ｐｐ．５２−５５には、吸収ピーク周波数が異なる多層膜に記録された情報を再生する方法が記載されている。かかる再生方法は、同一の単層の磁性層に異なる強磁性粉末を含む磁気記録媒体に多重記録されたサーボパターンの読み取りにも利用可能である。
【実施例】
【００６４】
以下に、本発明を実施例に基づき更に説明する。ただし本発明は、実施例に示す態様に限定されるものではない。
【００６５】
１．強磁性粉末
表１に示す４種の強磁性粉末を用いて、下記の磁気記録媒体サンプルの作製および評価を行った。表１に示す強磁性粉末は、ガラス結晶化法により作製された六方晶フェライト粉末である。
表１に示す保磁力は、振動試料型磁束計（東英工業社製）を用い、印加磁界１１９４ｋＡ／ｍ（１５ｋＯｅ）で測定した。
【００６６】
【表１】
2019021357.tif 000002
【００６７】
２．磁気記録媒体サンプルの作製
以下の方法により、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１〜４を作製した。
表１に示す各六方晶フェライト粉末を、結合剤含有組成物である紫外線硬化性樹脂組成物（Ｄｏｗ社製フォトレジストＭＩＣＲＯＰＯＳＩＴ  Ｓ１８１３Ｇ）に添加し分散させて磁性層形成用組成物を調製した。調製した磁性層形成用組成物を、熱酸化膜付きシリコン基板上にスピンコートにより塗布し（乾燥後の厚み：１５０ｎｍ）、塗布面に対して垂直方向に磁界を印加し垂直配向処理を施した後、乾燥させた。乾燥後、マスク露光および現像を行い矩形にパターニングし、磁性層を形成した。
【００６８】
３．固有強磁性共鳴周波数の測定
上記２．で作製した磁気記録媒体サンプルの磁性層上に、スパッタ法によりＳｉＯ２膜を厚み１００ｎｍで製膜した後、リフトオフ法により厚み５ｎｍのＴｉ膜と厚み３００ｎｍのＡｕ膜が積層された平面導波路を形成した。
こうして平面導波路が形成された磁気記録媒体サンプルの概略図を、図３に示す。図３に示す磁気記録媒体サンプル２は、磁性層２０をシリコン基板２１上に有し、平面導波路２２が形成されている。
ベクトルネットワークアナライザとしてアンリツ社製ＭＳ４６４７Ｂを用いて、ケーブルおよびプローバとして非磁性部材を用いて、各磁気記録媒体サンプルの磁性層の固有強磁性共鳴周波数を測定した。後述の吸収ピーク周波数も、同様に測定した。固有強磁性共鳴周波数は、磁性層の厚み方向のシリコン基板側をマイナス方向、他方をプラス方向として、プラス方向に１０３４．８ｋＡ／ｍ（１３ｋＯｅ）の磁界を印加し磁性層の磁化を飽和させた後、印加磁界をゼロにしたときにベクトルネットワークアナライザにより測定される磁性層の吸収ピーク周波数として求めた。測定された固有強磁性共鳴周波数を、表２に示す。
【００６９】
【表２】
2019021357.tif 000003
【００７０】
４．磁気記録媒体サンプルＮｏ．３へのマイクロ波アシスト記録
表２に示す各磁気記録媒体サンプルに、このサンプルに含まれる強磁性粉末の保磁力以下の磁界強度の外部磁界を印加すると、外部磁界と磁性層中の強磁性粉末の磁化方向が同一方向の場合は吸収ピーク周波数が高くなり、逆方向の場合は低くなる。即ち、各磁気記録媒体サンプルに含まれる強磁性粉末の保磁力以下の外部磁界を印加することによって固有強磁性共鳴周波数から吸収ピーク周波数がどのように変化するかにより、強磁性粉末の磁化方向（即ち、磁化反転が起こるか否か）を確認することができる。具体的には、各磁気記録媒体サンプルの磁性層の磁化をプラス方向に磁界を印加して飽和させた後、１５９．２ｋＡ／ｍ（２ｋＯｅ）の磁界強度の磁界（記録磁界）をマイナス方向に印加することによって、磁化反転が起こるか否かを確認した。
その結果、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１およびＮｏ．２では、強磁性粉末の一部で磁化反転が起こり、固有強磁性共鳴周波数よりも高い周波数にも吸収ピーク周波数が確認された。
これに対して、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３およびＮｏ．４では、強磁性粉末の磁化反転が起こらず、固有強磁性共鳴周波数よりも低い周波数にのみ吸収ピーク周波数が確認された。
次に、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３において、磁性層の磁化をプラス方向に磁界を印加して飽和させた後、１５９．２ｋＡ／ｍ（２ｋＯｅ）の磁界強度の磁界（記録磁界）をマイナス方向に印加した状態で、周波数２６．５ＧＨｚのマイクロ波磁界を増幅器を通して１００ｎｓ（ナノ秒）間印加した。その後、磁性層の吸収ピーク周波数を測定したところ、測定された吸収ピーク周波数は３５．０ＧＨｚであり、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３の磁性層の固有強磁性共鳴周波数（３０．１ＧＨｚ）よりも高い周波数となった。このことから、１５９．２ｋＡ／ｍ（２ｋＯｅ）の磁界強度の記録磁界の印加のみでは磁化反転（情報の記録）が起こらなかった磁気記録媒体サンプルＮｏ．３において、マイクロ波磁界の印加によって磁化反転がアシストされ、磁化反転が起こった（情報が記録された）ことが確認できる。なお上記の例では、磁性層の厚み方向に記録磁界を印加しているため、記録方式は垂直記録である。
以上の通り、３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示す磁性層にマイクロ波アシスト記録によって情報の記録を行うことができることが示された。こうして記録される情報をヘッドトラッキングサーボ情報とすることにより、即ち、規格により定められた形状および配置でサーボパターンを形成することにより、マイクロ波アシスト記録により形成されたサーボパターンを磁性層に有する磁気記録媒体を製造することができる。  
【００７１】
５．多重記録用磁気記録媒体サンプルＮｏ．５の作製
強磁性粉末Ｎｏ．Ｃの半量（質量基準）を強磁性粉末Ｎｏ．Ｄに代えた点以外、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３と同様に磁気記録媒体サンプルＮｏ．５を作製した。磁気記録媒体サンプルＮｏ．５は、強磁性粉末の５０質量％が強磁性粉末Ｎｏ．Ｃであり、５０質量％が強磁性粉末Ｎｏ．Ｄである。
磁気記録媒体サンプルＮｏ．５の固有強磁性共鳴周波数を、上記３．に記載の方法により測定したところ、３０．１ＧＨｚおよび３８．５ＧＨｚという２つの固有強磁性共鳴周波数が確認された。表２に示す一種の強磁性粉末のみを含む磁気記録媒体サンプルＮｏ．３およびＮｏ．４の固有強磁性共鳴周波数との対比から、３０．１ＧＨｚの固有強磁性共鳴周波数は強磁性粉末Ｎｏ．Ｃによりもたらされ、３８．５ＧＨｚの固有強磁性共鳴周波数は強磁性粉末Ｎｏ．Ｄによりもたらされたことが確認できる。
【００７２】
６．磁気記録媒体サンプルＮｏ．５へのマイクロ波アシスト記録
磁気記録媒体サンプルＮｏ．５において、磁性層の磁化をプラス方向に磁界を印加して飽和させた後、１５９．２ｋＡ／ｍ（２ｋＯｅ）の磁界強度の磁界（記録磁界）をマイナス方向に印加したところ、固有強磁性共鳴周波数（３０．１ＧＨｚおよび３８．５ＧＨｚ）よりも低い周波数である２６．５ＧＨｚおよび３４．０ＧＨｚという２つの吸収ピーク周波数が確認された。この結果から、磁気記録媒体サンプルＮｏ．５では、１５９．２ｋＡ／ｍ（２ｋＯｅ）の磁界強度の記録磁界の印加のみでは磁化反転（情報の記録）は起こらなかったことが確認できる。
次に、磁気記録媒体サンプルＮｏ．５において、磁性層の磁化をプラス方向に磁界を印加して飽和させた後、１５９．２ｋＡ／ｍ（２ｋＯｅ）の磁界強度の磁界（記録磁界）をマイナス方向に印加した状態で、周波数２６．５ＧＨｚのマイクロ波磁界を増幅器を通して１００ｎｓ（ナノ秒）間印加した。その後、磁性層の吸収ピーク周波数を測定したところ、吸収ピーク周波数が、周波数３５．０ＧＨｚ近傍にのみ確認された。吸収ピーク周波数３５．０ＧＨｚは、強磁性粉末Ｎｏ．Ｃによってもたらされた固有強磁性共鳴周波数（３０．１ＧＨｚ）が変化した吸収ピーク周波数と、強磁性粉末Ｎｏ．Ｄによってもたらされた固有強磁性共鳴周波数（３８．５ＧＨｚ）が、ほぼ同一周波数領域に出現したことによりもたらされたと考えられる。このことから、マイクロ波磁界の印加によって、強磁性粉末Ｎｏ．Ｃが選択的に磁化反転したこと、即ち強磁性粉末Ｎｏ．Ｃに選択的に情報が記録されたことが確認できる。また、磁気記録媒体サンプルＮｏ．５に、上記マイクロ波磁界の周波数とは異なる周波数のマイクロ波磁界を印加して磁化反転をアシストすることにより、強磁性粉末Ｎｏ．Ｄを選択的に磁化反転させることができる。このように強磁性粉末Ｎｏ．Ｄを選択的に磁化反転させる際、強磁性粉末Ｎｏ．Ｃを選択的に磁化反転させた際と異なる磁界（記録磁界）を印加して情報を記録することにより、同一の単層の磁性層に、異なる情報を記録することができる。
以上の通り、３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示す磁性層にマイクロ波アシスト記録によって多重記録を行うことができることも示された。こうして多重記録される情報の少なくとも１つをヘッドトラッキングサーボ情報とすることにより、即ち、規格により定められた形状および配置でサーボパターンを形成することにより、マイクロ波アシスト記録により形成されたサーボパターンを磁性層に有する磁気記録媒体を製造することができる。  
【００７３】
上記の例では、熱酸化膜付きのシリコン基板を非磁性支持体として、この非磁性支持体上に単層の磁性層を形成した磁気記録媒体サンプルを用いた。ただし、これは例示であって、本発明の一態様にかかる製造方法においてサーボパターンが形成された磁気記録媒体は、先に記載したように、非磁性支持体上に直接、または非磁性層を介して間接的に、３０．０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示す磁性層を有する各種の構成を取ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明の一態様は、高密度記録用磁気記録媒体の技術分野において、有用である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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