(57)【要約】【課題】１回目のソーイングでリードフレームを約半分の厚みだけカットした際、アライメントマークを残存させ、このアライメントマークを２回目のソーイングで用いることが可能な、リードフレームおよび半導体装置を提供する。【解決手段】リードフレーム１０は、外周領域１８と、外周領域１８内に配置されたパッケージ領域１０ａと、パッケージ領域１０ａの周囲から外周領域１８に延びるステップカット領域４５とを備えている。外周領域１８には、アライメントマーク４０が設けられている。アライメントマーク４０は、ステップカット領域４５に重ならないように配置されている。【選択図】図２
2019029569.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リードフレームにおいて、
外周領域と、
前記外周領域内に配置されたパッケージ領域と、
前記パッケージ領域の周囲から前記外周領域に延びるステップカット領域と、
前記外周領域に設けられたアライメントマークとを備え、
前記アライメントマークは、前記ステップカット領域に重ならないように配置されている、リードフレーム。
【請求項２】
前記アライメントマークは、前記ステップカット領域の幅方向両側にそれぞれ設けられている、請求項１記載のリードフレーム。
【請求項３】
前記アライメントマークは、前記外周領域の厚み方向途中まで凹む非貫通領域を含む、請求項１又は２記載のリードフレーム。
【請求項４】
リードフレームにおいて、
外周領域と、
前記外周領域内に配置されたパッケージ領域と、
前記パッケージ領域の周囲から前記外周領域に延びるステップカット領域と、
前記外周領域に設けられたアライメントマークとを備え、
前記アライメントマークは、前記外周領域を厚み方向に貫通する貫通領域を含む、リードフレーム。
【請求項５】
前記アライメントマークは、前記外周領域の厚み方向途中まで凹む非貫通領域を含む、請求項４記載のリードフレーム。
【請求項６】
半導体装置の製造方法において、
請求項１乃至５のいずれか一項記載のリードフレームを準備する工程と、
前記リードフレームを封止樹脂により封止する工程と、
前記アライメントマークに基づいて前記リードフレームを位置決めし、前記ステップカット領域に沿って、前記リードフレームの厚み方向の一部を切除する工程と、
前記アライメントマークに基づいて前記リードフレームを位置決めし、前記パッケージ領域毎に前記リードフレーム及び前記封止樹脂を切断する工程とを備えた、半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレームおよび半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、基板に実装される半導体装置の小型化および薄型化が要求されてきている。このような要求に対応すべく、従来、リードフレームを用い、その搭載面に搭載した半導体素子を封止樹脂によって封止するとともに、裏面側にリードの一部分を露出させて構成された、いわゆるＱＦＮ（Quad Flat Non-lead）タイプの半導体装置が種々提案されている。
【０００３】
従来、ＱＦＮパッケージを作製する工程において、樹脂封止後にリードフレームを切断し、リードフレームを各パッケージ毎に分離することが行われている。このようにリードフレームを切断する際、まず１回目のソーイングにより、リードフレームを約半分の厚みだけカットし、その後、１回目のソーイングに使用されるブレードよりも薄いブレードを使用して、２回目のソーイングを行い、リードフレームを互いに分離する方法が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第７１８３６３０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したように２回のソーイング工程によりリードフレームを切断する場合、１回目のソーイングでリードフレームを約半分の厚みだけカットした際、リードフレームを位置決めするアライメントマークも消滅してしまい、２回目のソーイングの際にリードフレームを位置決めすることが困難になるという問題がある。
【０００６】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、１回目のソーイングでリードフレームを約半分の厚みだけカットした際、アライメントマークを残存させ、このアライメントマークを２回目のソーイングで用いることが可能な、リードフレームおよび半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、リードフレームにおいて、外周領域と、前記外周領域内に配置されたパッケージ領域と、前記パッケージ領域の周囲から前記外周領域に延びるステップカット領域と、前記外周領域に設けられたアライメントマークとを備え、前記アライメントマークは、前記ステップカット領域に重ならないように配置されている、リードフレームである。
【０００８】
本発明は、前記アライメントマークは、前記ステップカット領域の幅方向両側にそれぞれ設けられている、リードフレームである。
【０００９】
本発明は、前記アライメントマークは、前記外周領域の厚み方向途中まで凹む非貫通領域を含む、リードフレームである。
【００１０】
本発明は、リードフレームにおいて、外周領域と、前記外周領域内に配置されたパッケージ領域と、前記パッケージ領域の周囲から前記外周領域に延びるステップカット領域と、前記外周領域に設けられたアライメントマークとを備え、前記アライメントマークは、前記外周領域を厚み方向に貫通する貫通領域を含む、リードフレームである。
【００１１】
本発明は、前記アライメントマークは、前記外周領域の厚み方向途中まで凹む非貫通領域を含む、リードフレームである。
【００１２】
本発明は、半導体装置の製造方法において、前記リードフレームを準備する工程と、前記リードフレームを封止樹脂により封止する工程と、前記アライメントマークに基づいて前記リードフレームを位置決めし、前記ステップカット領域に沿って、前記リードフレームの厚み方向の一部を切除する工程と、前記アライメントマークに基づいて前記リードフレームを位置決めし、前記パッケージ領域毎に前記リードフレーム及び前記封止樹脂を切断する工程とを備えた、半導体装置の製造方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、１回目のソーイングでリードフレームを約半分の厚みだけカットした際、アライメントマークを残存させ、このアライメントマークを２回目のソーイングで用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態によるリードフレームの一部を示す平面図。
【図２】図２は、本発明の一実施の形態によるリードフレームの一部を示す底面図。
【図３】図３は、本発明の一実施の形態によるリードフレームを示す断面図（図１のIII−III線断面図）。
【図４】図４は、本発明の一実施の形態による半導体装置を示す平面図。
【図５】図５は、本発明の一実施の形態による半導体装置を示す断面図（図４のＶ−Ｖ線断面図）。
【図６】図６（ａ）−（ｅ）は、本発明の一実施の形態によるリードフレームの製造方法を示す断面図。
【図７】図７（ａ）−（ｄ）は、本発明の一実施の形態による半導体装置の製造方法（前半）を示す断面図。
【図８】図８（ａ）−（ｃ）は、本発明の一実施の形態による半導体装置の製造方法（後半）を示す断面図。
【図９】図９は、本発明の一変形例（変形例１）によるリードフレームの一部を示す底面図。
【図１０】図１０は、本発明の一変形例（変形例２）によるリードフレームの一部を示す底面図。
【図１１】図１１は、本発明の一変形例（変形例３）によるリードフレームの一部を示す底面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態について、図１乃至図８を参照して説明する。なお、以下の各図において、同一部分には同一の符号を付しており、一部詳細な説明を省略する場合がある。
【００１６】
リードフレームの構成
まず、図１乃至図３により、本実施の形態によるリードフレームの概略について説明する。図１は、本実施の形態によるリードフレームの一部を示す平面図であり、図２は、本実施の形態によるリードフレームの一部を示す底面図であり、図３は、本実施の形態によるリードフレームを示す断面図である。
【００１７】
図１乃至図３に示すリードフレーム１０は、半導体装置２０（図４および図５）を作製する際に用いられるものである。このようなリードフレーム１０は、矩形状の外形を有する外周領域１８と、外周領域１８内に多列および多段に（マトリックス状に）配置された、複数のパッケージ領域１０ａとを備えている。なお、図１および図２においては、リードフレーム１０の角部を含む一部のみを図示している。
【００１８】
外周領域１８は、複数のパッケージ領域１０ａの周囲を取り囲むように平面視で矩形状の環状に形成されている。この外周領域１８の幅Ｗ１は、１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下としても良い。なお、外周領域１８は、後述するアライメントマーク４０を除き、薄肉化（ハーフエッチング）されることなく、加工前の金属基板（後述する金属基板３１）と同一の厚みを有している。
【００１９】
外周領域１８と複数のパッケージ領域１０ａとの間には、外周薄肉部１８ａが形成されている。外周薄肉部１８ａは、最も外側に配置された複数のパッケージ領域１０ａを取り囲むように平面視で矩形状の環状に形成されている。この外周薄肉部１８ａは、裏面側からハーフエッチングにより薄肉に形成された部分である。
【００２０】
ここでハーフエッチングとは、被エッチング材料をその厚み方向に途中までエッチングすることをいう。ハーフエッチング後の被エッチング材料の厚みは、ハーフエッチング前の被エッチング材料の厚みの例えば３０％以上７０％以下、好ましくは４０％以上６０％以下となる。なお、各図において、ハーフエッチングされた領域を網掛けで示している。
【００２１】
本明細書中、「内」、「内側」とは、各パッケージ領域１０ａにおいてダイパッド１１の中心方向を向く側をいい、「外」、「外側」とは、各パッケージ領域１０ａにおいてダイパッド１１の中心から離れる側（コネクティングバー１３側）をいう。また、「表面」とは、半導体素子２１が搭載される側の面をいい、「裏面」とは、「表面」の反対側の面であって外部の図示しない実装基板に接続される側の面をいう。
【００２２】
図１乃至図３に示すように、各パッケージ領域１０ａは、半導体素子２１（後述）を搭載する平面矩形状のダイパッド１１と、ダイパッド１１周囲に設けられ、半導体素子２１と外部回路（図示せず）とを接続する複数の細長いリード部１２とを備えている。なお、パッケージ領域１０ａは、それぞれ半導体装置２０（後述）に対応する領域である。パッケージ領域１０ａは、図１および図２において縦横に延びる切断領域４６によって取り囲まれる領域である。なお、本実施の形態において、リードフレーム１０は、複数のパッケージ領域１０ａを含んでいるが、これに限らず、１つのリードフレーム１０に１つのパッケージ領域１０ａのみが形成されていても良い。
【００２３】
複数のパッケージ領域１０ａは、コネクティングバー（支持部材）１３を介して互いに連結されている。このコネクティングバー１３は、ダイパッド１１と、リード部１２とを支持するものであり、Ｘ方向およびＹ方向に沿ってそれぞれ延びている。ここで、Ｘ方向、Ｙ方向とは、リードフレーム１０の面内において、ダイパッド１１の各辺に平行な二方向であり、Ｘ方向とＹ方向とは互いに直交している。また、Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向の両方に対して垂直な方向である。なお、パッケージ領域１０ａの一辺の長さＬ１は、２ｍｍ以上９ｍｍ以下としても良い。
【００２４】
ダイパッド１１は、平面略正方形形状を有しており、その表面には、後述する半導体素子２１が搭載される。ダイパッド１１の平面形状は、正方形に限らず、長方形等の多角形としても良い。また、ダイパッド１１の四つのコーナー部にはそれぞれ吊りリード１４が連結されており、ダイパッド１１は、この４本の吊りリード１４を介してコネクティングバー１３又は外周領域１８に連結支持されている。各吊りリード１４は、その全域にわたりハーフエッチングにより裏面側から薄肉に形成されている。しかしながら、これに限らず、吊りリード１４の一部のみが裏面側から薄肉化されていても良い。
【００２５】
各コネクティングバー１３は、細長い棒形状を有しており、その幅Ｗ２（コネクティングバー１３の長手方向に垂直な方向の長さ）は、１００μｍ以上２５０μｍ以下としても良い。各コネクティングバー１３には、複数のリード部１２が長手方向に沿って間隔を空けて連結されている。コネクティングバー１３は、その全域にわたりハーフエッチングにより裏面側から薄肉化されている。
【００２６】
ダイパッド１１は、中央に位置するダイパッド厚肉部１１ａと、ダイパッド厚肉部１１ａの周縁全周にわたって形成されたダイパッド薄肉部１１ｂとを有している。このうちダイパッド厚肉部１１ａは、ハーフエッチングされておらず、加工前の金属基板（後述する金属基板３１）と同一の厚みを有している。具体的には、ダイパッド厚肉部１１ａの厚みは、半導体装置２０の構成にもよるが、８０μｍ以上２００μｍ以下とすることができる。一方、ダイパッド薄肉部１１ｂは、ハーフエッチングにより裏面側から薄肉に形成されている。このようにダイパッド薄肉部１１ｂを設けたことにより、ダイパッド１１が封止樹脂２３（後述）から離脱しにくくすることができる。
【００２７】
各リード部１２は、後述するようにボンディングワイヤ２２を介して半導体素子２１に接続されるものであり、ダイパッド１１との間に空間を介して配置されている。各リード部１２は、それぞれコネクティングバー１３から延び出している。この場合、複数のリード部１２の形状は全て互いに同一であるが、これに限らず、複数のリード部１２の形状が互いに異なっていても良い。
【００２８】
複数のリード部１２は、上述したように、ダイパッド１１の周囲においてコネクティングバー１３の長手方向に沿って互いに間隔を空けて配置されている。隣接するリード部１２同士は、半導体装置２０（後述）の製造後に互いに電気的に絶縁される形状となっている。また、リード部１２は、半導体装置２０の製造後にダイパッド１１とも電気的に絶縁される形状となっている。このリード部１２の裏面には、それぞれ外部の実装基板（図示せず）に電気的に接続される外部端子１７がそれぞれ形成されている。各外部端子１７は、半導体装置２０（後述）の製造後に、それぞれ半導体装置２０から外方に露出するようになっている。
【００２９】
この場合、外部端子１７は、ダイパッド１１の各辺に沿って平面視で１列に配置されている。しかしながら、これに限らず、外部端子１７は、隣り合うリード部１２間で交互に内側および外側に位置するよう、平面視で千鳥状に配置されていても良い。
【００３０】
各リード部１２は、それぞれその内端（ダイパッド１１側端部）に、ハーフエッチングにより裏面側から薄肉化された薄肉部１２ａが形成されている。また、各リード部１２の表面には内部端子１５が形成されている。内部端子１５は、後述するようにボンディングワイヤ２２を介して半導体素子２１に電気的に接続される領域となっている。このため、内部端子１５上には、ボンディングワイヤ２２との密着性を向上させるめっき部が設けられていても良い。
【００３１】
各リード部１２の基端部は、コネクティングバー１３に連結されている。各リード部１２は、当該リード部１２が連結されるコネクティングバー１３の長手方向に対して垂直に延びている。しかしながら、これに限らず、各リード部１２の一部又は全部がコネクティングバー１３に対して傾斜して延びていても良い。
【００３２】
ところで、本実施の形態によるリードフレーム１０は、後述するように、２段階のソーイングにより切断される。すなわち、まず１回目のソーイングにより、コネクティングバー１３に沿ってリードフレーム１０を約半分の厚みだけ部分的にカット（ステップカット）する。その後、ステップカットに使用されるステップカット用ブレード３７（後述）よりも薄い切断用ブレード３８（後述）を使用して、２回目のソーイングを行い、リードフレーム１０を互いに分離する。
【００３３】
このため、リードフレーム１０には、コネクティングバー１３の長さ方向に沿って、ステップカットされるステップカット領域４５と、ダイシングにより分離される切断領域４６とが設けられている。そして平面視で、コネクティングバー１３の全域が、対応する切断領域４６の内側に位置し、切断領域４６の全域が、対応するステップカット領域４５の内側に位置している。また、ステップカット領域４５、切断領域４６及びコネクティングバー１３の幅方向中心線ＣＬは互いに一致するようになっている。
【００３４】
ステップカット領域４５は、樹脂封止後１回目のソーイングにより、リードフレーム１０の厚み方向（Ｚ方向）に略半分だけステップカット（ハーフカット）される領域であり、平面視で互いに平行な一対の外縁Ｓ１、Ｓ１によって区画されている。このステップカット領域４５は、パッケージ領域１０ａの外周に沿って格子状に配置され、それぞれＸ方向又はＹ方向に沿って延びている。ステップカット領域４５は、パッケージ領域１０ａから外周領域１８に延びるとともに、外周領域１８を幅方向に横断している。ステップカット領域４５の幅Ｗ３は、ステップカットを行うステップカット用ブレード３７（後述）の幅に対応しており、コネクティングバー１３の幅Ｗ２よりも広い。具体的には、ステップカット領域４５の幅Ｗ３は、３０μｍ以上８０μｍ以下としても良い。
【００３５】
切断領域４６は、２回目のソーイングにより、リードフレーム１０の厚み方向（Ｚ方向）全体に切断する領域であり、平面視で互いに平行な一対の外縁Ｃ１、Ｃ１によって区画されている。この切断領域４６は、パッケージ領域１０ａの外周に沿って格子状に配置され、それぞれＸ方向又はＹ方向に沿って延びている。また切断領域４６は、パッケージ領域１０ａから外周領域１８に延びるとともに、外周領域１８を幅方向に横断している。なお、パッケージ領域１０ａの外縁は、切断領域４６の外縁Ｃ１、Ｃ１に一致する。切断領域４６の幅Ｗ４は、２回目のソーイングを行う切断用ブレード３８（後述）の幅に対応しており、コネクティングバー１３の幅Ｗ２よりも広く、ステップカット領域４５の幅Ｗ３よりも狭い（Ｗ２＜Ｗ４＜Ｗ３）。具体的には、切断領域４６の幅Ｗ４は、１０μｍ以上４０μｍ以下としても良い。
【００３６】
本実施の形態において、外周領域１８には、複数のアライメントマーク４０が設けられている。このアライメントマーク４０は、ソーイング時のブレード３７、３８の位置決めを行うためのものである。具体的には、アライメントマーク４０は、ステップカット領域４５に沿うステップカット（１回目のソーイング）と、切断領域４６に沿う切断分離（２回目のソーイング）との両方を行うための位置決めに用いられる。したがって、各アライメントマーク４０は、それぞれのステップカット領域４５及び切断領域４６に対応する位置に配置されている。この場合、複数のアライメントマーク４０は、外周領域１８の４つの辺に沿って設けられ、それぞれＸ方向又はＹ方向に延びるステップカット領域４５及び切断領域４６に対応している。
【００３７】
各アライメントマーク４０は、平面視略矩形形状である。各アライメントマーク４０の、外周領域１８の幅方向に平行な辺の長さＬ２は、１００μｍ以上１５００μｍ以下としても良い。各アライメントマーク４０の、外周領域１８の長手方向に平行な辺の長さＬ３は、５０μｍ以上３００μｍ以下としても良い。また、各アライメントマーク４０は、外周領域１８の厚み方向（Ｚ方向）の途中まで凹む非貫通領域から構成されている。すなわち各アライメントマーク４０は、ハーフエッチングにより裏面側から薄肉に形成されており、その深さは、外周領域１８の厚みの３０％以上７０％以下、好ましくは４０％以上６０％以下である。なお、これに限らず、各アライメントマーク４０は、リードフレーム１０の厚み方向（Ｚ方向）に貫通する貫通領域から構成されていても良い。
【００３８】
本実施の形態において、各アライメントマーク４０は、ステップカット領域４５に重ならないように、ステップカット領域４５からその幅方向にずれて配置されている。これにより、リードフレーム１０がステップカットされた後も、各アライメントマーク４０がリードフレーム１０上に残存するようになっている。すなわち、図２において、各アライメントマーク４０は、ステップカットによりステップカット領域４５が厚み方向に一部除去された後も、外周領域１８上に残存する。このため、このアライメントマーク４０を用いて、２回目のソーイングを行う切断用ブレード３８の位置決めを行うことができる。
【００３９】
この場合、各ステップカット領域４５の幅方向両側に、それぞれアライメントマーク４０が１つずつ（合計２つ）設けられている。各アライメントマーク４０と、対応するステップカット領域４５との間隔Ｐ１はそれぞれ一定の値に設定されており、具体的には、５０μｍ以上３００μｍ以下としても良い。すなわち、一対のアライメントマーク４０同士の中心位置が、これらに対応するステップカット領域４５及び切断領域４６の幅方向中心線ＣＬ上にくるようになっている。なお、これに限らず、各ステップカット領域４５にアライメントマーク４０が１つだけ対応するようにしても良い。
【００４０】
以上説明したリードフレーム１０は、全体として銅、銅合金、４２合金（Ｎｉ４２％のＦｅ合金）等の金属から構成されている。また、リードフレーム１０の厚みは、製造する半導体装置２０の構成にもよるが、８０μｍ以上２００μｍ以下とすることができる。
【００４１】
なお、本実施の形態において、リード部１２は、ダイパッド１１の４辺全てに沿って配置されているが、これに限られるものではなく、例えばダイパッド１１の対向する２辺のみに沿って配置されていても良い。
【００４２】
半導体装置の構成
次に、図４および図５により、本実施の形態による半導体装置について説明する。図４および図５は、本実施の形態による半導体装置（ＱＦＮタイプ）を示す図である。
【００４３】
図４および図５に示すように、半導体装置（半導体パッケージ）２０は、ダイパッド１１と、ダイパッド１１の周囲に配置された複数のリード部１２と、ダイパッド１１上に搭載された半導体素子２１と、リード部１２と半導体素子２１とを電気的に接続する複数のボンディングワイヤ（接続部材）２２とを備えている。また、ダイパッド１１、リード部１２、半導体素子２１およびボンディングワイヤ２２は、封止樹脂２３によって樹脂封止されている。
【００４４】
ダイパッド１１及びリード部１２は、上述したリードフレーム１０から作製されたものである。リード部１２のうち、封止樹脂２３の周縁に位置する部分は、ステップカットにより裏面側から薄肉化され、段状のステップカット部４５ａを形成している。ステップカット部４５ａには、封止樹脂２３が充填されていない。このステップカット部４５ａは、半田めっきにより覆われていても良い。また、ステップカット部４５ａの側面４５ｂには、ステップカット時にバリが生じ、このバリが裏面側に向けて突出しても良い。なお、ステップカット部４５ａの深さＤ１は、ハーフエッチング部（ダイパッド薄肉部１１ｂ等）の深さＤ２より深くしても良い。このほか、ダイパッド１１及びリード部１２の構成は、半導体装置２０に含まれない領域を除き、上述した図１乃至図３に示すものと同様であるため、ここでは詳細な説明を省略する。
【００４５】
半導体素子２１としては、従来一般に用いられている各種半導体素子を使用することが可能であり、特に限定されないが、例えば集積回路、大規模集積回路、トランジスタ、サイリスタ、ダイオード等を用いることができる。この半導体素子２１は、各々ボンディングワイヤ２２が取り付けられる複数の電極２１ａを有している。また、半導体素子２１は、例えばダイボンディングペースト等の接着剤２４により、ダイパッド１１の表面に固定されている。
【００４６】
各ボンディングワイヤ２２は、例えば金、銅等の導電性の良い材料からなっている。各ボンディングワイヤ２２は、それぞれその一端が半導体素子２１の電極２１ａに接続されるとともに、その他端が各リード部１２の内部端子１５にそれぞれ接続されている。なお、内部端子１５には、ボンディングワイヤ２２と密着性を向上させるめっき部が設けられていても良い。
【００４７】
封止樹脂２３としては、シリコーン樹脂やエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、あるいはＰＰＳ樹脂等の熱可塑性樹脂を用いることができる。封止樹脂２３全体の厚みは、３００μｍ以上１２００μｍ以下程度とすることができる。また、封止樹脂２３の一辺（半導体装置２０の一辺）は、例えば６ｍｍ以上１６ｍｍ以下することができる。なお、図４において、封止樹脂２３のうち、ダイパッド１１及びリード部１２よりも表面側に位置する部分の表示を省略している。
【００４８】
リードフレームの製造方法
次に、図１乃至図３に示すリードフレーム１０の製造方法について、図６（ａ）−（ｅ）を用いて説明する。なお、図６（ａ）−（ｅ）は、リードフレーム１０の製造方法を示す断面図（図３に対応する図）である。
【００４９】
まず図６（ａ）に示すように、平板状の金属基板３１を準備する。この金属基板３１としては、銅、銅合金、４２合金（Ｎｉ４２％のＦｅ合金）等の金属からなる基板を使用することができる。なお金属基板３１は、その両面に対して脱脂等を行い、洗浄処理を施したものを使用することが好ましい。
【００５０】
次に、金属基板３１の表裏全体にそれぞれ感光性レジスト３２ａ、３３ａを塗布し、これを乾燥する（図６（ｂ））。なお感光性レジスト３２ａ、３３ａとしては、従来公知のものを使用することができる。
【００５１】
続いて、この金属基板３１に対してフォトマスクを介して露光し、現像することにより、所望の開口部３２ｂ、３３ｂを有するエッチング用レジスト層３２、３３を形成する（図６（ｃ））。
【００５２】
次に、エッチング用レジスト層３２、３３を耐腐蝕膜として金属基板３１に腐蝕液でエッチングを施す（図６（ｄ））。これにより、ダイパッド１１及びリード部１２の外形が形成される。このとき、外周領域１８には、その裏面側からハーフエッチングされることにより、アライメントマーク４０が形成される。なお、腐蝕液は、使用する金属基板３１の材質に応じて適宜選択することができ、例えば、金属基板３１として銅を用いる場合、通常、塩化第二鉄水溶液を使用し、金属基板３１の両面からスプレーエッチングを行うことができる。
【００５３】
その後、エッチング用レジスト層３２、３３を剥離して除去することにより、図１乃至図３に示すリードフレーム１０が得られる。（図６（ｅ））。
【００５４】
半導体装置の製造方法
次に、図４および図５に示す半導体装置２０の製造方法について、図７（ａ）−（ｄ）及び図８（ａ）−（ｃ）を用いて説明する。
【００５５】
まず、例えば図６（ａ）−（ｅ）に示す方法により、リードフレーム１０を作製する（図７（ａ））。
【００５６】
次に、リードフレーム１０のダイパッド１１上に、半導体素子２１を搭載する。この場合、例えばダイボンディングペースト等の接着剤２４を用いて、半導体素子２１をダイパッド１１上に載置して固定する（ダイアタッチ工程）（図７（ｂ））。
【００５７】
次に、半導体素子２１の各電極２１ａと、各リード部１２の内部端子１５とを、それぞれボンディングワイヤ（接続部材）２２によって互いに電気的に接続する（ワイヤボンディング工程）（図７（ｃ））。
【００５８】
次に、リードフレーム１０に対して熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂を射出成形またはトランスファ成形することにより、封止樹脂２３を形成する（樹脂封止工程）（図７（ｄ））。このようにして、リードフレーム１０（ダイパッド１１及びリード部１２）、半導体素子２１およびボンディングワイヤ２２を封止する。このとき、外周領域１８のアライメントマーク４０内にも封止樹脂２３が充填される。
【００５９】
続いて、アライメントマーク４０に基づいてリードフレーム１０を位置決めし、ステップカット領域４５に沿って、リードフレーム１０の厚み方向の一部を切除する（ステップカット工程：１回目のソーイング）（図８（ａ））。
【００６０】
この間、まず図示しない撮像装置により、ステップカット領域４５の幅方向両側に位置するアライメントマーク４０をそれぞれ検出し、これら一対のアライメントマーク４０同士の中心部を通る中心線を求める。次いで、例えばダイヤモンド砥石からなるステップカット用ブレード３７を準備し、このステップカット用ブレード３７を上記中心線に沿って移動させる。この際、ステップカット用ブレード３７を回転させながら、ステップカット領域４５を切除する。これにより、ステップカット領域４５内のコネクティングバー１３、外周領域１８及び封止樹脂２３を部分的に切除する。このステップカットにより、ステップカット領域４５のコネクティングバー１３及び外周領域１８が厚み方向途中まで切除され、ステップカット部４５ａが形成される。このステップカットの作業は、Ｘ方向及びＹ方向に沿って複数回繰り返され、平面視格子状にステップカット部４５ａが形成される。
【００６１】
このステップカット工程の後、電解めっきを施すことにより、ステップカット部４５ａに図示しない半田めっき層を形成しても良い。
【００６２】
次いで、アライメントマーク４０に基づいてリードフレーム１０を再度位置決めし、パッケージ領域１０ａ毎に、リードフレーム１０及び封止樹脂２３を切断する（切断工程：２回目のソーイング）（図８（ｂ））。
【００６３】
この際、図示しない撮像装置により、切断領域４６の幅方向両側に位置するアライメントマーク４０をそれぞれ検出し、これら一対のアライメントマーク４０同士の中心部を通る中心線を求める。次いで、例えばダイヤモンド砥石からなる切断用ブレード３８を準備する。なお、切断用ブレード３８は、上述したステップカット用ブレード３７よりも幅が狭い。次に、この切断用ブレード３８を回転させながら上記中心線に沿って移動することにより、切断領域４６を切断する。これにより、切断領域４６内のコネクティングバー１３、外周領域１８及び封止樹脂２３を厚み方向（Ｚ方向）全域にわたって切断（ダイシング）する。この切断作業は、Ｘ方向及びＹ方向に沿って複数回繰り返され、平面視格子状に切断線が形成される。
【００６４】
このようにして、リードフレーム１０が各半導体装置２０毎に分離され、図４および図５に示す半導体装置２０が得られる（図７（ｃ））。
【００６５】
以上説明したように、本実施の形態によれば、外周領域１８に、ステップカット工程及び切断工程の両方でリードフレーム１０を位置決めするためのアライメントマーク４０が設けられている。このアライメントマーク４０は、ステップカット領域４５に重ならないように配置されている。これにより、ステップカット領域４５がステップカットされ、厚み方向に一部切除された後においても、アライメントマーク４０が消滅しない。このため、切断工程でこのアライメントマーク４０を用いてリードフレーム１０を位置決めすることができる。
【００６６】
また、本実施の形態によれば、アライメントマーク４０がステップカット領域４５に重ならないため、ステップカットの作業によってアライメントマーク４０にバリ等が生じることがない。これにより、アライメントマーク４０の形状が変化することがなく、切断工程でアライメントマーク４０を正確に識別することが可能となる。
【００６７】
また、本実施の形態によれば、アライメントマーク４０は、ステップカット領域４５の幅方向両側にそれぞれ設けられている。この一対のアライメントマーク４０の中心を例えばステップカット領域４５の中心線と位置させることにより、ステップカット領域４５を正確に位置決めし、高い位置精度でステップカット作業を行うことができる。
【００６８】
また、本実施の形態によれば、アライメントマーク４０は、外周領域１８の厚み方向途中まで凹む非貫通領域を含む。このアライメントマーク４０は、リードフレーム１０をエッチングにより形成する際に、ハーフエッチングにより同時に形成することができるので、アライメントマーク４０を形成する工程を別途設ける必要が生じない。
【００６９】
変形例
次に、図９乃至図１１により、本実施の形態によるリードフレームの変形例について説明する。図９および図１０に示す変形例は、アライメントマークの構成が異なるものであり、他の構成は、図１乃至図８に示す実施の形態と略同一である。また、図１１に示す変形例は、主としてダイパッド及びリード部の構成が異なるものである。図９乃至図１１において、図１乃至図８と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７０】
（変形例１）
図９に示すリードフレーム１０Ａにおいて、アライメントマーク４０は、外周領域１８を厚み方向（Ｚ方向）に貫通する貫通領域４１と、外周領域１８の厚み方向の途中まで凹む非貫通領域４２とを有している。
【００７１】
貫通領域４１は、外周領域１８のうち非貫通領域４２よりも外側（パッケージ領域１０ａから遠い側）に位置しており、非貫通領域４２から離間して配置されている。この場合、貫通領域４１は、平面視矩形形状を有しており、その各辺はＸ方向又はＹ方向に平行である。貫通領域４１の、外周領域１８の長手方向に平行な辺の長さＬ４は、ステップカット領域４５の幅よりも広く、具体的には２００μｍ以上６００μｍ以下としても良い。貫通領域４１の、外周領域１８の幅方向に平行な辺の長さＬ５は、５０μｍ以上６００μｍ以下としても良い。
【００７２】
非貫通領域４２は、平面視矩形形状を有しており、その各辺はＸ方向又はＹ方向に平行である。非貫通領域４２は、ハーフエッチングにより裏面側から薄肉に形成されており、その深さは、外周領域１８の厚みの３０％以上７０％以下、好ましくは４０％以上６０％以下である。非貫通領域４２の、外周領域１８の幅方向に平行な辺の長さＬ６は、貫通領域４１の、外周領域１８の長手方向に平行な辺の長さＬ４と同一としても良い。非貫通領域４２の、外周領域１８の幅方向に平行な辺の長さＬ７は、１００μｍ以上１５００μｍ以下としても良い。
【００７３】
貫通領域４１及び非貫通領域４２の中心位置は、これらに対応するステップカット領域４５及び切断領域４６の幅方向中心線ＣＬと一致するようになっている。このため、貫通領域４１及び非貫通領域４２の中心線に沿って、ステップカット領域４５を切除し、あるいは切断領域４６を切断することができる。
【００７４】
図９に示すリードフレーム１０Ａを用いて半導体装置を製造する場合、まず図示しない撮像装置により、アライメントマーク４０の非貫通領域４２を検出し、この非貫通領域４２の中心部を通る中心線を求める。次いで、ステップカット用ブレード３７（図７（ａ）参照）を上記中心線に沿って移動させることにより、ステップカット領域４５内のコネクティングバー１３、外周領域１８及び封止樹脂２３を厚み方向に部分的に切除する。
【００７５】
その後、図示しない撮像装置により、アライメントマーク４０の貫通領域４１を検出し、この貫通領域４１の中心部を通る中心線を求める。次いで、切断用ブレード３８（図７（ｂ）参照）を上記中心線に沿って移動させることにより、切断領域４６を切断する。
【００７６】
このように、本変形例によれば、アライメントマーク４０は、外周領域１８を厚み方向に貫通する貫通領域４１を含む。これにより、ステップカット領域４５がステップカットされ、厚み方向に一部切除された後においても、アライメントマーク４０の貫通領域４１が消滅することがない。このため、切断工程でこの貫通領域４１を用いてリードフレーム１０Ａを位置決めすることができる。
【００７７】
（変形例２）
図１０に示すリードフレーム１０Ｂにおいて、アライメントマーク４０は、外周領域１８を厚み方向（Ｚ方向）に貫通する貫通領域４３と、外周領域１８の厚み方向の途中まで凹む非貫通領域４４とを有している。この場合、貫通領域４３と非貫通領域４４とは一体に形成されている。
【００７８】
貫通領域４３は、平面視矩形形状を有しており、その各辺はＸ方向又はＹ方向に平行である。貫通領域４３の、外周領域１８の長手方向に平行な辺の長さＬ８は、切断領域４６の幅よりも狭く、具体的には８０μｍ以上３００μｍ以下としても良い。貫通領域４３の、外周領域１８の幅方向に平行な辺の長さＬ９は、１００μｍ以上１５００μｍ以下としても良い。
【００７９】
非貫通領域４４は、平面視で貫通領域４３の周囲全体を取り囲むように配置されている。すなわち、平面視で、貫通領域４３は非貫通領域４４の内側に位置している。非貫通領域４４は、環状の矩形形状を有しており、当該矩形の各辺はＸ方向又はＹ方向に平行である。非貫通領域４４は、ハーフエッチングにより裏面側から薄肉に形成されており、その深さは、外周領域１８の厚みの３０％以上７０％以下、好ましくは４０％以上６０％以下である。非貫通領域４４の、外周領域１８の幅方向に平行な辺の長さＬ１０は、ステップカット領域４５の幅と同一としても良い。非貫通領域４４の、外周領域１８の幅方向に平行な辺の長さＬ１１は、２００μｍ以上６００μｍ以下としても良い。
【００８０】
貫通領域４３及び非貫通領域４４の中心位置は、これらに対応するステップカット領域４５及び切断領域４６の幅方向中心線ＣＬと一致するようになっている。このため、貫通領域４３及び非貫通領域４４の中心線に沿って、ステップカット領域４５を切除し、あるいは切断領域４６を切断することができる。
【００８１】
図１０に示すリードフレーム１０Ｂを用いて半導体装置を製造する場合、まず図示しない撮像装置により、アライメントマーク４０の非貫通領域４４を検出し、この非貫通領域４４の中心部を通る中心線を求める。次いで、ステップカット用ブレード３７（図７（ａ）参照）を上記中心線に沿って移動させることにより、ステップカット領域４５内のコネクティングバー１３、外周領域１８及び封止樹脂２３を厚み方向に部分的に切除する。
【００８２】
その後、図示しない撮像装置により、アライメントマーク４０の貫通領域４３を検出し、この貫通領域４３の中心部を通る中心線を求める。次いで、切断用ブレード３８（図７（ｂ）参照）を上記中心線に沿って移動させることにより、切断領域４６を切断する。
【００８３】
本変形例によれば、アライメントマーク４０は、外周領域１８を厚み方向に貫通する貫通領域４３を含む。これにより、ステップカット領域４５がステップカットされ、厚み方向に一部切除された後においても、アライメントマーク４０の貫通領域４３が消滅することがない。このため、切断工程でこの貫通領域４３を用いてリードフレーム１０Ｂを位置決めすることができる。
【００８４】
また、本変形例によれば、封止樹脂２３がアライメントマーク４０の貫通領域４３及び非貫通領域４４内に進入するので、アライメントマーク４０内の封止樹脂２３がアンカーとしての役割を果たし、封止樹脂２３とリードフレーム１０Ｂとを強固に密着することができる。
【００８５】
（変形例３）
図１１に示すリードフレーム１０Ｃは、複数のパッケージ領域１０ａを含み、各パッケージ領域１０ａは、平面矩形状のダイパッド６１と、ダイパッド６１の周囲に設けられた複数の平面矩形状のリード部６２とを備えている。この場合、リード部６２は、各ダイパッド６１の周囲に４つ配置されている。また、各ダイパッド６１は、４本の吊りリード６４によってコネクティングバー１３又は外周領域１８に保持されている。この場合、吊りリード６４は、Ｘ方向又はＹ方向に平行に延びており、裏面側からハーフエッチングにより薄肉化されている。
【００８６】
リード部６２は、それぞれＸ方向に延びるコネクティングバー１３に連結されている。一方、Ｙ方向に延びるコネクティングバー１３には、リード部６２が連結されていない。また、ステップカット領域４５及び切断領域４６は、Ｙ方向に延びるコネクティングバー１３の周囲に形成されている。一方、Ｘ方向に延びるコネクティングバー１３の周囲には、ステップカット領域４５が形成されておらず、切断領域４６のみが形成されている。
【００８７】
Ｙ方向に延びるステップカット領域４５の幅方向両側には、それぞれアライメントマーク４０が１つずつ（合計２つ）設けられている。このアライメントマーク４０の構成は、図１乃至図３に示すアライメントマーク４０の構成と略同様である。一方、Ｘ方向に延びる切断領域４６上には、それぞれ平面矩形状のアライメントマーク４０Ａが１つずつ設けられている。このアライメントマーク４０Ａは、外周領域１８の厚み方向の途中まで凹む非貫通領域４２から構成されている。また、アライメントマーク４０ＡのＹ方向の長さは、対応する切断領域４６の幅と略同一である。
【００８８】
図１１において、パッケージ領域１０ａの角部近傍であって、Ｘ方向に延びる切断領域４６とＹ方向に延びる切断領域４６とが重なる領域（例えば図１１の矢印Ａで示す部分）は、３回にわたってソーイングされる部分である。本変形例においては、この３回ソーイングされる部分Ａを厚み方向に貫通させた貫通部としている。これにより、ソーイング時にリードフレーム１０Ｃの材料（例えば銅）の延性によって生じるバリを抑制することができる。
【００８９】
また、本変形例によれば、Ｙ方向に延びるコネクティングバー１３は２回ソーインクされ、Ｘ方向に延びるコネクティングバー１３は１回のみソーイングされるようになっている。これにより、ソーイングによりリードフレーム１０Ｃに生じる歪みを最小減にし、この歪みによって２回目の切断時に生じる位置ずれを軽減することができる。
【００９０】
また、本変形例によれば、Ｘ方向に延びるコネクティングバー１３（ソーイング１回）とＹ方向に延びるコネクティングバー１３（ソーイング２回）がともに、裏面側から薄肉化されている。このため、１回ソーイングされる部分と２回ソーイングされる部分との金属の切削量が略同等となるので、Ｘ方向のカット条件とＹ方向のソーイング条件とを略同等にすることができる。
【００９１】
上記各実施の形態及び変形例に開示されている複数の構成要素を必要に応じて適宜組合せることも可能である。あるいは、上記各実施の形態及び変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【符号の説明】
【００９２】
１０        リードフレーム
１０ａ      パッケージ領域
１１        ダイパッド
１２        リード部
１３        コネクティングバー
１４        吊りリード
１５        内部端子
１７        外部端子
１８        外周領域
２０        半導体装置
２１        半導体素子
２２        ボンディングワイヤ
２３        封止樹脂
４０        アライメントマーク
４５        ステップカット領域
４６        切断領域
【図１】
2019029569.tif 000003
【図２】
2019029569.tif 000004
【図３】
2019029569.tif 000005
【図４】
2019029569.tif 000006
【図５】
2019029569.tif 000007
【図６】
2019029569.tif 000008
【図７】
2019029569.tif 000009
【図８】
2019029569.tif 000010
【図９】
2019029569.tif 000011
【図１０】
2019029569.tif 000012
【図１１】
2019029569.tif 000013