(57)【要約】【課題】リングフレーム保持機構からリングフレームを容易に取り外しできるようにする。【解決手段】リングフレーム搬送機構１０は、吸盤１３を吸引源１に連通させる吸引路１４と、吸盤１３の近傍に配設され吸引路１４を大気解放させる開放バルブ１５とを備え、吸盤１３がリングフレームＦを吸引保持した状態で開放バルブ１５により吸引路１４を大気開放させ、吸盤１３からリングフレームＦを取り外すことを可能にしたため、リングフレーム保持機構１０からリングフレームＦを容易に取り外すことができる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リングフレームの一方の面を吸引保持する少なくとも３つの吸盤を備えたリングフレーム搬送機構であって、
該吸盤を吸引源に連通させる吸引路と、
該吸盤の近傍に配設され該吸引路を大気解放させる開放バルブとを備え、
該吸盤が該リングフレームを吸引保持した状態で該開放バルブにより該吸引路を大気開放させ、該吸盤から該リングフレームを取り外すことを可能にするリングフレーム搬送機構。
【請求項２】
前記吸引源は、バキュームポンプであって、
該バキュームポンプの動力源が遮断されたら前記吸引路を密閉して負圧を維持させるために前記開放バルブと該吸引源との間の該吸引路に保持維持バルブを備え、
前記吸盤が前記リングフレームを吸引保持した状態で該開放バルブにより該吸引路を大気開放させ、該吸盤から該リングフレームを取り外すことを可能にする請求項１記載のリングフレーム搬送機構。
【請求項３】
前記開放バルブを操作する操作手段を備え、
該操作手段は、前記吸盤が配設されたプレートの面方向に該プレートの中心を軸に該プレートを回転移動または面方向にスライド移動させる移動機構と、
該プレートの原点位置を位置決めするストッパと、
該プレートを原点位置に向かって付勢するバネと、
該プレートを該原点位置から遠ざかる方向に移動させたときに該開放バルブを操作し前記吸引路を大気開放する操作部とを備える請求項１または請求項２に記載のリングフレーム搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リングフレームを搬送するリングフレーム搬送機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエーハなどの被加工物を加工する加工装置においては、ウエーハをリングフレームに貼着されたテープに貼着することにより、リングフレームにウエーハが支持されたフレームユニットを形成し、フレームユニットの形態でリングフレーム搬送機構がリングフレームを吸引保持して保持テーブルに搬送している。保持テーブルでウエーハを保持したら、加工手段によってウエーハを加工している（例えば、下記の特許文献１を参照）。加工には、例えば切削ブレードでウエーハを切削する切削加工、レーザビームをウエーハに対して照射するレーザ加工、研削砥石でウエーハを研削する研削加工などがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−２０４０２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
被加工物の加工中にトラブルが発生したときには、作業者の安全を確保するために、加工装置の電源を遮断している。このとき、リングフレーム搬送機構に接続された吸引源への電力供給が途絶えてリングフレーム搬送機構からリングフレームが落下してしまうが、リングフレーム搬送機構が、例えばリングフレームを保持し続ける保持維持機構を備えている場合は、電源が遮断されたとしても、リングフレーム搬送機構からリングフレームが落下してウエーハを破損させることがない。
【０００５】
その後、電源を投入し加工装置を稼働させる際には、リングフレーム搬送機構が保持しているリングフレームを取り外す必要があり、この取り外し作業には、少なくとも２人の作業者が必要である。すなわち、上記特許文献に示した加工装置においては、リングフレーム保持機構の吸引を解除する解除ボタンがタッチパネルに表示され、タッチパネルとリングフレーム保持機構とが遠い位置に配置されているため、１人がタッチパネルを操作してリングフレーム保持機構の吸引を解除する操作を行い、もう１人がリングフレーム保持機構の吸引が解除されて落下するリングフレームを受け取るようにしているため、作業効率が悪い。
【０００６】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、リングフレーム保持機構からリングフレームを容易に取り外しできるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、リングフレームの一方の面を吸引保持する少なくとも３つの吸盤を備えたリングフレーム搬送機構であって、該吸盤を吸引源に連通させる吸引路と、該吸盤の近傍に配設され該吸引路を大気解放させる開放バルブとを備え、該吸盤が該リングフレームを吸引保持した状態で該開放バルブにより該吸引路を大気開放させ、該吸盤から該リングフレームを取り外すことを可能にする。
【０００８】
また、上記吸引源は、バキュームポンプであって、該バキュームポンプの動力源が遮断されたら上記吸引路を密閉して負圧を維持させるために上記開放バルブと該吸引源との間の該吸引路に保持維持バルブを備え、上記吸盤が上記リングフレームを吸引保持した状態で該開放バルブにより該吸引路を大気開放させ、該吸盤から該リングフレームを取り外すことを可能にする。
【０００９】
さらに、本発明は、上記開放バルブを操作する操作手段を備え、該操作手段は、上記吸盤が配設されたプレートの面方向に該プレートの中心を軸に該プレートを回転移動または面方向にスライド移動させる移動機構と、該プレートの原点位置を位置決めするストッパと、該プレートを原点位置に向かって付勢するバネと、該プレートを該原点位置から遠ざかる方向に移動させたときに該開放バルブを操作し上記吸引路を大気開放する操作部とを備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るリングフレーム搬送機構は、吸盤を吸引源に連通させる吸引路と、吸盤の近傍に配設され吸引路を大気解放させる開放バルブとを備え、吸盤がリングフレームを吸引保持した状態で開放バルブにより吸引路を大気開放させ、吸盤からリングフレームを取り外すことを可能にしたため、リングフレームの取り外し作業を容易に行うことができる。
【００１１】
また、上記吸引源は、バキュームポンプであって、バキュームポンプの動力源が遮断されたら上記吸引路を密閉して負圧を維持させるために上記開放バルブと吸引源との間の吸引路に保持維持バルブを備えたため、動力源から吸引源への電力供給が途絶えたとしても、吸盤でリングフレームを吸引保持した状態を維持できる。また、上記同様に、開放バルブを大気開放すれば、吸盤からリングフレームを容易に取り外すことができる。
【００１２】
さらに、本発明は、上記開放バルブを操作する操作手段を備え、操作手段は、上記吸盤が配設されたプレートの面方向にプレートの中心を軸にプレートを回転移動または面方向にスライド移動させる移動機構と、プレートの原点位置を位置決めするストッパと、プレートを原点位置に向かって付勢するバネと、プレートを原点位置から遠ざかる方向に移動させたときに開放バルブを操作し上記吸引路を大気開放する操作部とを備えたため、吸盤が吸引保持した状態のリングフレームを例えば作業者が把持して、回転移動または水平移動させるだけで、開放バルブを開いて吸引路を大気開放させることが可能となり、リングフレームを容易に取り外すことができる。したがって、本発明によれば、例えば、リングフレーム搬送機構を備える加工装置において、リングフレームを吸引保持した状態のリングフレーム搬送機構からリングフレームを取り外す際には、１人の作業者でリングフレームの取り外し作業を行うことができるため、作業効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】リングフレーム搬送機構の第１例によってリングフレームを搬送する状態を示す断面図である。
【図２】第１例によるリングフレームの搬送中に不具合が発生した場合を示す断面図である。
【図３】第１例からリングフレームを取り外す状態を示す断面図である。
【図４】リングフレーム搬送機構の第２例によってリングフレームを搬送する状態を示す断面図である。
【図５】第２例によるリングフレームの搬送中に電源が遮断された場合を示す断面図である。
【図６】第２例からリングフレームを取り外す状態を示す断面図である。
【図７】リングフレーム搬送機構の第３例の構成を示す斜視図である。
【図８】リングフレーム搬送機構の第３例の構成を示す平面図である。
【図９】リングフレームを回転させて第３例からリングフレームを取り外す状態を示す平面図である。
【図１０】リングフレーム搬送機構の第４例の構成を示す斜視図である。
【図１１】リングフレーム搬送機構を備える加工装置の一例の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１に示すリングフレーム搬送機構１０は、中央に開口を有するリングフレームＦを搬送するリングフレーム搬送機構の第１例であって、プレート１１と、プレート１１の中央に連結されたシャフト１２と、プレート１１の下端隅部に配設されリングフレームＦの一方の面を吸引保持する少なくとも３つの吸盤１３（２つのみ図示）と、吸盤１３を吸引源１に連通させる吸引路１４と、吸盤１３の近傍に配設され吸引路１４を大気開放させる開放バルブ１５とを備えている。
【００１５】
吸引源１は、例えば、バキュームポンプで構成してもよいし、エジェクタで構成してもよい。また、吸引源１は、バキュームポンプとエジェクタとを併用した構成でもよい。吸引源１には、動力源となる電源２が接続されている。リングフレーム搬送機構１０には、図示していないが、リングフレームＦを吸引保持した状態で水平方向に移動する移動手段と鉛直方向に昇降する昇降手段とが接続されている。
【００１６】
開放バルブ１５は、例えば逃がし弁であり、吸引路１４において吸盤１３の近傍の位置に配設されている。図示の例における開放バルブ１５は、ポートを切り替えるためのローラ１５０を備えている。開放バルブ１５では、ローラ１５０に外力が作用していないときは開放バルブ１５で吸引路１４を密閉させることができ、ローラ１５０に外力が作用することにより開放バルブ１５が開き吸引路１４を大気開放させることができる。リングフレーム搬送機構１０は、例えば、切削装置、レーザ加工装置、研削装置等の加工装置に搭載される。
【００１７】
次に、リングフレーム搬送機構１０の動作例について説明する。ウエーハＷは、被加工物の一例である。リングフレーム搬送機構１０が稼働する際には、予めリングフレームＦの開口を塞いで貼着され開口から露出したテープＴにウエーハＷが貼着され、ウエーハＷがリングフレームＦと一体となって支持されたフレームユニットが形成される。なお、リングフレーム搬送機構１０は、リングフレームＦ単体を搬送することもできるが、本実施形態では、フレームユニットの形態でリングフレームＦを搬送するものとする。
【００１８】
図１に示すように、リングフレーム搬送機構１０を用いてリングフレームＦを搬送する場合は、電源２を投入し吸引源１を作動させるとともに、吸盤１３と吸引源１とを連通させて吸引路１４内を負圧にさせる。吸引作用が発揮した吸盤１３でリングフレームＦの一方の面を吸引保持したら、図示しない昇降手段及び移動手段によって、リングフレーム搬送機構１０を移動させて所定の搬送先にリングフレームＦを搬送する。
【００１９】
ここで、リングフレーム搬送機構１０によるリングフレームＦの搬送中に、加工装置等に不具合が発生した場合でも吸盤１３の吸引は解除されない。例えば、図２に示すように、吸盤１３がリングフレームＦを吸引保持した状態で、加工装置等に不具合が発生しても、開放バルブ１５によって吸引路１４が密閉されている。そのため、吸盤１３に作用する吸引力が維持される。加工装置等の不具合としては、例えば、切削装置において切削ブレードが破損した場合や、切削ブレードを回転させるスピンドルの負荷（電流値）が急上昇するなどの異常が発生した場合などが挙げられ、特にリングフレーム搬送機構１０とは関連しない異常が生じた場合が想定される。図示の例では、電源２が遮断されていないものとする。このように、リングフレーム搬送機構１０では、上記不具合が生じても、吸盤１３の吸引が解除されないため、リングフレームＦが落下するのを防ぐことができる。
【００２０】
電源２を遮断せずに吸引源１を作動させたまま、リングフレーム搬送機構１０の吸盤１３からリングフレームＦを取り外す場合は、図３に示すように、ローラ１５０に外力を付与して開放バルブ１５を開くことにより、負圧が発生している吸引路１４を大気開放させる。開放バルブ１５が吸盤１３の近傍に配設されているため、吸盤１３側の吸引路１４の真空破壊と吸引源１側の吸引路１４の大気開放とを速やかに実施して吸盤１３の吸引を効率よく解除することができる。そして、吸盤１３の吸引を解除したら、吸盤１３からリングフレームＦを取り外すことができる。かかる取り外し作業は、装置によって自動で行ってもよいし、作業者によって手動で行ってもよい。
【００２１】
このように、本発明に係るリングフレーム搬送機構１０は、吸盤１３を吸引源１に連通させる吸引路１４と、吸盤１３の近傍に配設され吸引路１４を大気解放させる開放バルブ１５とを備え、吸盤１３がリングフレームＦを吸引保持した状態で開放バルブ１５により吸引路１４を大気開放させ、吸盤１３からリングフレームＦを取り外すことを可能にしたため、リングフレームＦの取り外し作業を容易に行うことができる。
【００２２】
図４に示すリングフレーム搬送機構１０Ａは、リングフレーム搬送機構の第２例である。第２例における吸引源１ａは、例えばバキュームポンプにより構成されている。吸引源１ａには、動力源となる電源２ａが接続されている。電源２ａには、電源２ａが遮断されたどうかを検知する動力源遮断検知部３が接続されている。リングフレーム搬送機構１０Ａにおいて第１例と同様の構成部分については、共通の符号を付している。
【００２３】
リングフレーム搬送機構１０Ａは、吸引源１ａの電源２ａが遮断されたら吸引路１４を密閉して負圧を維持させるために開放バルブ１５と吸引源１ａとの間の吸引路１４に保持維持バルブ１６を備えている。保持維持バルブ１６は、例えば、開閉のみを行う切り替えバルブである。保持維持バルブ１６には、動力源遮断検知部３が接続されている。リングフレーム搬送機構１０Ａでは、動力源遮断検知部３により電源２ａが遮断されていると検知されると、保持維持バルブ１６が閉じて吸引路１４を密閉して吸引路１４内の負圧を維持させることができる。
【００２４】
次に、リングフレーム搬送機構１０Ａの動作例について説明する。図４に示すように、リングフレーム搬送機構１０Ａを用いてリングフレームＦを搬送する場合は、第１例と同様に、電源２ａを投入し吸引源１ａを作動させるとともに、吸盤１３と吸引源１ａとを連通させて吸引路１４内を負圧にさせる。電源２ａの投入中は、保持維持バルブ１６は常に開いており、吸引路１４を通じて吸盤１３と吸引源１ａとを連通させている。吸引作用が発揮した吸盤１３でリングフレームＦの一方の面を吸引保持したら、図示しない昇降手段及び移動手段によって、リングフレーム搬送機構１０Ａを移動させて所定の搬送先にリングフレームＦを搬送する。
【００２５】
ここで、リングフレーム搬送機構１０ＡによるリングフレームＦの搬送中に、動力源遮断検知部３により電源２ａが遮断されていると検知した場合、吸引源１ａへの電力供給が途絶えるため、図５に示すように、保持維持バルブ１６が閉じて吸引路１４を密閉し吸引路１４内の負圧を維持させ、吸盤１３でリングフレームＦを吸引保持した状態が維持される。このように、リングフレーム搬送機構１０Ａでは、電源２ａが遮断されても、吸盤１３の吸引が解除されないため、リングフレームＦが落下するのを防ぐことができる。
【００２６】
リングフレーム搬送機構１０Ａの吸盤１３からリングフレームＦを取り外す場合は、図６に示すように、第１例と同様に、ローラ１５０に外力を付与して開放バルブ１５を開くことにより、負圧が発生している吸引路１４を大気開放させる。吸盤１３の吸引を解除したら、吸盤１３からリングフレームＦを取り外すことができる。図６の例では、電源２ａが遮断され保持維持バルブ１６が閉じた状態でリングフレームＦの取り外しが行われているが、この場合に限られず、電源２ａの投入中においても開放バルブ１５を開けばリングフレームＦを吸盤１３から取り外すことができる。かかる取り外し作業は、装置によって自動で行ってもよいし、作業者によって手動で行ってもよい。
【００２７】
このように、本発明に係るリングフレーム搬送機構１０Ａは、吸引源１ａの電源２ａが遮断されたら吸引路１４を密閉して負圧を維持させるために開放バルブ１５と吸引源１ａとの間の吸引路１４に保持維持バルブ１６を備えたため、電源２ａから吸引源１ａへの電力供給が途絶えたとしても、吸盤１３でリングフレームＦを吸引保持した状態を維持できる。また、第１例と同様に、開放バルブ１５を大気開放すれば、吸盤１３からリングフレームＦを容易に取り外すことができる。
【００２８】
図７に示すリングフレーム搬送機構１０Ｂは、リングフレーム搬送機構の第３例である。リングフレーム搬送機構１０Ｂは、略Ｈ形状のプレート１１ａと、プレート１１ａの中央に連結されたシャフト１２と、プレート１１ａの下端隅部に配設されリングフレームＦの一方の面を吸引保持する少なくとも３つの吸盤１３と、吸盤１３を吸引源１に連通させる吸引路１４と、吸盤１３の近傍に配設され吸引路１４を大気開放させる開放バルブ１７と、吸盤１３と開放バルブ１７との間の吸引路１４に配設された継手１８と、シャフト１２を支持する図８に示すアーム１９と、開放バルブ１７を操作する操作手段２０とを備えている。第３例の吸盤１３は、プレート１１ａの下端隅部に４つ取り付けられているが、少なくとも３つあればよい。リングフレーム搬送機構１０Ｂには、リングフレームＦを吸引保持した状態で水平方向に移動する移動手段４４と鉛直方向に昇降する昇降手段４５とが接続されている。
【００２９】
操作手段２０は、吸盤１３が配設されたプレート１１ａの面方向にプレート１１ａの中心のシャフト１２を軸にしてプレート１１ａを回転移動させる移動機構２１と、プレート１１ａの原点位置を位置決めするストッパ２２と、プレート１１ａを原点位置に向かって付勢するバネ２３と、プレート１１ａを原点位置から遠ざかる方向に移動させたときに開放バルブ１７を操作し吸引路１４を大気開放する操作部２６とを備えている。
【００３０】
第３例における開放バルブ１７は、シャフト１２の側面から水平方向（図示の例では＋Ｘ方向側）に突出しているバー２７ａの上に取り付けられており、ポートを切り替えるプッシュボタン１７０を備えている。操作部２６は、プッシュボタン１７０を押すための部材であり、例えばバー状に形成されプレート１１ａの上に立設されている。操作部２６の高さ位置と開放バルブ１７のプッシュボタン１７０の高さ位置とが一致している。開放バルブ１７では、操作部２６によりプッシュボタン１７０が押されていないときは開放バルブ１７が閉じて吸引路１４を密閉させることができ、操作部２６によりプッシュボタン１７０が押されることにより開放バルブ１７が開き吸引路１４を大気開放させることができる。
【００３１】
バー２７ａと反対側のシャフト１２の側面から水平方向（図示の例では−Ｘ方向側）にバー２７ｂが突出して取り付けられている。ストッパ２２は、バー２７ｂの側方に接触するようにプレート１１ａの上に配設されている。バー２７ｂの側面がストッパ２２に当接することによりプレート１１ａの原点位置が位置決めされる。
【００３２】
移動機構２１は、回転機構であり、シャフト１２を囲繞するベアリング２１０とシャフト１２とベアリング２１０との間に転動可能に配設された図示しない複数の転動体とを少なくとも備えている。移動機構２１では、吸盤１３でリングフレームＦを吸引保持した状態でリングフレームＦを回転移動させることにより、リングフレームＦの回転にともなってベアリング２１０がシャフト１２を中心として回転してプレート１１ａを原点位置から遠ざかる方向に移動させることができる。
【００３３】
バネ２３は、例えば引きバネからなり、両端にフック２４ａ，２４ｂをそれぞれ有している。プレート１１ａの上面には、バー２７ｂから例えば−Ｙ方向側に所定距離離間した位置に突起部２５が配設され、バー２７ｂの上面には突起部２５と対向する位置に突起部２８が配設されている。バネ２３のフック２４ａが突起部２５に引っ掛けられるとともに、バネ２３のフック２４ｂが突起部２８に引っ掛けられプレート１１ａを原点位置に向かって付勢している。このように、第３例では、吸盤１３で吸引保持した状態のリングフレームＦを作業者が回転移動させてプレート１１ａを原点位置から遠ざかる方向に移動させた状態から、リングフレームＦを離すと、バネ２３の復元力によってプレート１１ａが原点位置に向かって戻るように構成されている。
【００３４】
次に、リングフレーム搬送機構１０Ｂの動作例について説明する。リングフレーム搬送機構１０Ｂを用いてリングフレームＦを搬送する動作は、上記第１例と同様である。すなわち、電源２を投入し吸引源１を作動させて吸引路１４内を負圧にさせて吸盤１３でリングフレームＦの一方の面を吸引保持し、図８に示す昇降手段４５及び移動手段４４によって、リングフレーム搬送機構１０Ｂを移動させて所定の搬送先にリングフレームＦを搬送すればよい。
【００３５】
図９に示すように、リングフレーム搬送機構１０ＢでリングフレームＦを吸引保持しているときに、吸盤１３からリングフレームＦを取り外す場合は、作業者の手でリングフレームＦを把持して、例えばＲ方向に回転移動させることにより、プレート１１ａを原点位置から遠ざかる方向に移動させ、操作部２６で開放バルブ１７のプッシュボタン１７０を押す。その結果、開放バルブ１７が開いて吸引路１４が大気開放するため、吸盤１３からリングフレームＦを取り外すことが可能となる。
【００３６】
このように、本発明に係るリングフレーム搬送機構１０Ｂは、開放バルブ１７を操作する操作手段２０を備え、操作手段２０は、吸盤１３が配設されたプレート１１ａの面方向にプレート１１ａの中心を軸にプレート１１ａを回転移動させる移動機構２１と、プレート１１ａの原点位置を位置決めするストッパ２２と、プレート１１ａを原点位置に向かって付勢するバネ２３と、プレート１１ａを原点位置から遠ざかる方向に移動させたときに開放バルブ１７を操作し吸引路１４を大気開放する操作部２６とを備えたため、吸盤１３が吸引保持した状態のリングフレームＦを作業者が把持して回転移動させるだけで、開放バルブ１７を開いて吸引路１４を大気開放させることができ、リングフレーム搬送機構１０Ｂから容易にリングフレームＦを取り外すことができる。
【００３７】
図１０に示すリングフレーム搬送機構１０Ｃは、リングフレーム搬送機構の第４例である。リングフレーム搬送機構１０Ｃは、開放バルブ１７を操作する操作手段３０を備えている。リングフレーム搬送機構１０Ｃにおいて操作手段３０以外の構成は、リングフレーム搬送機構１０Ｂと同様の構成であるため、共通の符号を付している。
【００３８】
操作手段３０は、吸盤１３が配設されたプレート１１ａの面方向にプレート１１ａをスライド移動させる移動機構３１と、プレート１１ａの原点位置を位置決めするストッパ３２と、プレート１１ａを原点位置に向かって付勢するバネ３３と、プレート１１ａを原点位置から遠ざかる方向に移動させたときに開放バルブ１７を操作し吸引路１４を大気開放する操作部３６とを備えている。
【００３９】
移動機構３１は、スライダ機構であり、プレート１１ａの上面中央に配設されたスライダベース３１０と、スライダベース３１０に沿ってＹ軸方向にスライド移動するスライダ３１１とを少なくとも備えている。スライダ３１１の上面にはシャフト１２の下端が連結され、スライダ３１１の下面にはスライダベース３１０の外形に応じた凹部３１１ａが形成されている。この凹部３１１ａにスライダベース３１０が摺接可能に嵌め込まれている。ストッパ３２は、スライダベース３１０の側方で、かつ、スライダ３１１のスライド移動の経路上でスライダ３１１の角部が接触する位置に配設されている。移動機構３１では、吸盤１３でリングフレームＦを吸引保持した状態でリングフレームＦを水平移動させることにより、スライダベース３１０に沿ってスライダ３１１がスライド移動してプレート１１ａを原点位置から遠ざかる方向に移動させることができる。
【００４０】
操作部３６は、例えばバー状に形成されプレート１１ａの上に立設されている。開放バルブ１７は、スライダ３１１の側部から水平方向（図示の例では＋Ｘ方向側）に突出しているバー３７ａの上に取り付けられ、ポートを切り替えるプッシュボタン１７０を備えている。操作部３６の高さ位置と開放バルブ１７のプッシュボタン１７０の高さ位置とが一致している。
【００４１】
バー２７ａと反対側のスライダ３１１の側部から水平方向（図示の例では−Ｘ方向側）にバー３７ｂが突出して取り付けられている。バネ３３は、両端にフック３４ａ，３４ｂをそれぞれ有している。プレート１１ａの上面には、バー３７ｂから例えば−Ｙ方向側に所定距離離間した位置に突起部３５が配設され、バー３７ｂの上面には突起部３５と対向する位置に突起部３８が配設されている。バネ３３のフック３４ａが突起部３５に引っ掛けられるとともに、バネ３３のフック３４ｂが突起部３８に引っ掛けられプレート１１ａを原点位置に向かって付勢している。このように、第４例では、吸盤１３で吸引保持した状態のリングフレームＦを水平移動させてプレート１１ａを原点位置から遠ざかる方向に移動させた状態から、リングフレームＦを離すと、バネ２３の復元力によってプレート１１ａが原点位置に向かって戻るように構成されている。
【００４２】
次に、リングフレーム搬送機構１０Ｃの動作例について説明する。リングフレーム搬送機構１０Ｃを用いてリングフレームＦを搬送する場合は、第３例と同様に、吸盤１３でリングフレームＦの一方の面を吸引保持し、昇降手段４５及び移動手段４４によって、リングフレーム搬送機構１０Ｃを移動させて所定の搬送先にリングフレームＦを搬送する。リングフレーム搬送機構１０ＣでリングフレームＦを吸引保持しているときに、吸盤１３からリングフレームＦを取り外す場合は、作業者の手でリングフレームＦを把持して、リングフレームＦを例えば＋Ｙ方向に水平移動させることによりスライダ３１１が同方向にスライド移動してプレート１１ａを原点位置から遠ざかる方向に移動させ、操作部３６でプッシュボタン１７０を押す。その結果、開放バルブ１７が開いて吸引路１４が大気開放するため、吸盤１３からリングフレームＦを取り外すことが可能となる。
【００４３】
このように、本発明に係るリングフレーム搬送機構１０Ｃは、開放バルブ１７を操作する操作手段３０を備え、操作手段３０は、吸盤１３が配設されたプレート１１ａの面方向にプレート１１ａをスライド移動させる移動機構３１と、プレート１１ａの原点位置を位置決めするストッパ３２と、プレート１１ａを原点位置に向かって付勢するバネ３３と、プレート１１ａを原点位置から遠ざかる方向に移動させたときに開放バルブ１７を操作し吸引路１４を大気開放する操作部３６とを備えたため、吸盤１３が吸引保持した状態のリングフレームＦを作業者が把持して水平移動させるだけで、開放バルブ１７を開いて吸引路１４を大気開放させることができ、リングフレーム搬送機構１０Ｃから容易にリングフレームＦを取り外すことができる。
【００４４】
図１１に示す加工装置４は、上記のリングフレーム搬送機構１０Ｂ，１０Ｃを備えた加工装置の一例である。加工装置４は、装置基台４００と、装置基台４００に連接した筐体４０１とを有している。装置基台４００のＹ軸方向前部側には、Ｚ軸方向に昇降可能なステージ４０２が配設され、ステージ４０２には、テープＴを介してリングフレームＦと一体となったウエーハＷが複数収容されたカセット（図示せず）が載置されている。ステージ４０２の近傍には、ウエーハＷを保持する保持テーブル４０と、保持テーブル４０とステージ４０２に載置されたカセットとの間でウエーハＷを搬送するプッシュプル４１とが配設されている。装置基台４００のＹ軸方向後部側には、加工後のウエーハＷを洗浄する洗浄手段４２が配設されている。
【００４５】
筐体４０１の側面４０１ａには、リングフレーム搬送機構１０Ｂを水平方向（Ｙ軸方向）に移動させる移動手段４４と、リングフレーム搬送機構１０ＢをＺ軸方向に昇降させる昇降手段４５と、リングフレーム搬送機構１０ＣをＹ軸方向に移動させる移動手段４４Ａと、リングフレーム搬送機構１０ＢをＺ軸方向に昇降させる昇降手段４５Ａとが配設されている。筐体４０１の前方には、加工装置４を稼働させる加工条件などを設定するための操作パネル４３が配設されている。操作パネル４３は、例えばタッチパネルであり、作業者により操作される。筐体４０１の内部には、図示していないが、例えば切削手段、レーザ加工手段、研削手段等の加工手段が配設されている。
【００４６】
本実施形態に示す加工装置４では、操作パネル４３の位置がリングフレーム搬送機構１０Ｂ，１０Ｃから離れているが、本発明によれば、操作パネル４３を操作することなく、１人の作業者だけで上記第３例及び第４例で説明した取り外し動作を行い、開放バルブ１７を開いて吸引路１４を大気開放させることができるため、リングフレーム搬送機構１０Ｂ，１０ＣからリングフレームＦを容易に取り外すことができる。よって、従来に比べて作業効率が向上する。
【符号の説明】
【００４７】
１，１ａ：吸引源  ２：電源  ３：動力源遮断検知部
４：加工装置  ４００：装置基台  ４０１：筐体  ４０１ａ：側面  ４０２：ステージ
４０：保持テーブル  ４１：プッシュプル  ４２：洗浄手段  ４３：操作パネル
４４，４４Ａ：移動手段  ４５，４５Ａ：昇降手段
１０，１０Ｂ，１０Ｃ：リングフレーム搬送機構  １１，１１ａ：プレート
１２：シャフト  １３：吸盤  １４：吸引路  １５：開放バルブ  １５０：ローラ
１６：保持維持バルブ  １７：開放バルブ  １７０：プッシュボタン  １８：継手
１９：アーム
２０：操作手段  ２１：移動機構  ２１０：ベアリング  ２２：ストッパ  ２３：バネ
２４ａ，２４ｂ：フック  ２５：突起部  ２６：操作部  ２７ａ，２７ｂ：バー
２８：突起部
３０：操作手段  ３１：移動機構  ３１０：スライダベース  ３１１：スライダ
３２：ストッパ  ３３：バネ  ３４ａ，３４ｂ：フック  ３５：突起部  ３６：操作部
３７ａ，３７ｂ：バー  ３８：突起部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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