(57)【要約】      （修正有）【課題】浸液用であって、1.49以上の開口数を有し、物体からの微弱な光を用いて物体を高い解像力で観察可能な顕微鏡対物レンズを提供する。【解決手段】対物レンズ１は４群構成を有する。第１レンズ群Ｇ１は第１接合レンズＬ１と少なくとも１つの単レンズからなる。第２レンズ群Ｇ２は複数の接合レンズを含み、最も物体側に第２接合レンズＣＬ２を含む。第３レンズ群Ｇ３は像側に凹面を向けたレンズ成分からなる。第４レンズ群Ｇ４は最も物体側に凹面を物体側に向けたレンズ成分を含む。対物レンズ１は以下の条件式を満たす。0.986≦NAob/N0≦0.995（１）、0.0095≦1/(N1×ν1)≦0.015（２）、但し、NAobは対物レンズ１の開口数である。N0は浸液のe線に対する屈折率である。N1は第１接合レンズに含まれるメニスカスレンズのe線に対する屈折率である。ν1はメニスカスレンズのｄ線に対するアッベ数である。【選択図】図１
2019191275.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液浸系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、
正の屈折力を有するレンズとメニスカスレンズとからなる第１接合レンズと、正の屈折力を有する少なくとも１つの単レンズと、からなり、正の屈折力を有する第１レンズ群と、
複数の接合レンズを含み、正の屈折力を有する第２レンズ群であって、最も物体側に第２接合レンズを含む、第２レンズ群と、
像側に凹面を向けた第１レンズ成分からなり、負の屈折力を有する第３レンズ群と、
最も物体側に、物体側に凹面を向けた第２レンズ成分を含む第４レンズ群と、からなり、
以下の条件式を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
0.986≦NAob/N0≦0.995                 （１）
0.0095≦1/(N1×ν1)≦0.015            （２）
但し、NAobは、前記顕微鏡対物レンズの物体側の開口数、N0は、前記顕微鏡対物レンズで使用される浸液のe線に対する屈折率、N1は、前記第１接合レンズに含まれる前記メニスカスレンズのe線に対する屈折率、ν1は、前記メニスカスレンズのｄ線に対するアッベ数である。
【請求項２】
請求項１に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
以下の条件式を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
0.05≦D1/H1≦0.335                 （３）
但し、H1は、前記第１レンズ群における軸上マージナル光線の最大光線高である第１光線高、D1は、前記第１光線高の軸上マージナル光線が通過するレンズの厚さである。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
前記第１レンズ群は、正の屈折力を有する複数の単レンズを含む
ことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
以下の条件式を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
0.87≦R1/R2≦1.22                 （４）
但し、R1は、前記第１接合レンズに含まれる前記メニスカスレンズの物体側のレンズ面の曲率半径、R2は、前記第１接合レンズに含まれる前記メニスカスレンズの像側のレンズ面の曲率半径である。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
第４レンズ群は、複数のレンズ成分を含む
ことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
以下の条件式を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
0.21≦(hg2-hg1)/t1≦3             （５）
但し、hg1は、前記第２レンズ成分の物体側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さ、hg2は、前記第２レンズ成分の像側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さ、t1は、前記第２レンズ成分の光軸上の厚さである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書の開示は、顕微鏡対物レンズに関し、特に、液浸系の顕微鏡対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、生物学の分野では、生体細胞内の運動や活性についての観察が、全反射型蛍光顕微鏡法（Total Internal Reflection Fluorescence Microscopy、以降、TIRFMと記す。）を用いて盛んに行われている。TIRFMでは、照明光をカバーガラスと標本との境界面で全反射させるために、高い開口数を有する顕微鏡対物レンズが使用される。
【０００３】
従来技術における高開口数を有する顕微鏡対物レンズは、例えば、特許文献１、特許文献２に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１１３４８６号公報
【特許文献２】特開２００７−１２１３３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、高い開口数を実現するための方法の一つに、特殊なオイル又はカバーガラスを用いる方法がある。このような特殊なオイル又はカバーガラスを用いることなしに高開口数を有し、且つ、球面収差、色収差などの諸収差を良好に補正することは非常に難しい。
【０００６】
以上のような実情を踏まえ、本発明の一側面に係る目的は、屈折率1.52程度のイマージョンオイルを浸液として用いた観察において、1.49以上の開口数を有し、物体からの微弱な光を用いて、物体を高い解像力で観察可能な顕微鏡対物レンズを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る対物レンズは、液浸系の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有するレンズとメニスカスレンズとからなる第１接合レンズと、正の屈折力を有する少なくとも１つの単レンズと、からなり、正の屈折力を有する第１レンズ群と、複数の接合レンズを含み、正の屈折力を有する第２レンズ群であって、最も物体側に第２接合レンズを含む、第２レンズ群と、像側に凹面を向けた第１レンズ成分からなり、負の屈折力を有する第３レンズ群と、最も物体側に、物体側に凹面を向けた第２レンズ成分を含む第４レンズ群と、からなる。対物レンズは、以下の条件式を満たす。
0.986≦NAob/N0≦0.995                 （１）
0.0095≦1/(N1×ν1)≦0.015            （２）
【０００８】
但し、NAobは、前記顕微鏡対物レンズの物体側の開口数である。N0は、前記顕微鏡対物レンズで使用される浸液のe線に対する屈折率である。N1は、前記第１接合レンズに含まれる前記メニスカスレンズのe線に対する屈折率である。ν1は、前記メニスカスレンズのｄ線に対するアッベ数である。
【発明の効果】
【０００９】
上記の態様によれば、屈折率1.52程度のイマージョンオイルを浸液として用いた観察において、1.49以上の開口数を有し、物体からの微弱な光を用いて、物体を高い解像力で観察可能な顕微鏡対物レンズを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施例１に係る対物レンズ１の断面図である。
【図２】結像レンズ１０の断面図である。
【図３】図１に示す対物レンズ１と図２に示す結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。
【図４】本発明の実施例２に係る対物レンズ２の断面図である。
【図５】図４に示す対物レンズ２と図２に示す結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。
【図６】本発明の実施例３に係る対物レンズ３の断面図である。
【図７】図６に示す対物レンズ３と図２に示す結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本願の一実施形態に係る対物レンズについて説明する。本実施形態に係る対物レンズ（以降、単に対物レンズと記す）は、結像レンズと組み合わせて使用される無限遠補正型の顕微鏡対物レンズである。この対物レンズは、標本と対物レンズの間に浸液を介在させた状態で標本を観察するときに用いられる、いわゆる液浸系の顕微鏡対物レンズである。
【００１２】
この対物レンズは、60倍以上の倍率を有し、且つ、1.49以上の開口数を有する。また、この対物レンズは、４群構成を有し、物体側から順に配置された、第１レンズ群、第２レンズ群、第３レンズ群、第４レンズ群からなる。
【００１３】
第１レンズ群は、正の屈折力を有し、物体側から順に配置された、正の屈折力を有するレンズとメニスカスレンズとからなる接合レンズ（以降、第１接合レンズと記す。）と、正の屈折力を有する少なくとも１つの単レンズと、からなる。
【００１４】
第１レンズ群は、主に、高い開口数において、球面収差の発生を抑えながらペッツバール和を良好に補正する役割を担っている。マージナル光線高さが低い物体付近の領域に、メニスカスレンズを含む第１接合レンズが配置されることによって、ペッツバール和を効果的に補正することが可能となる。
【００１５】
第２レンズ群は、正の屈折力を有し、複数の接合レンズを含み、全体として正の屈折力を有している。なお、第２レンズ群の最も物体側に配置されたレンズ成分は、接合レンズ（以降、第２接合レンズと記す。）である。
【００１６】
第２レンズ群は、主に、色収差を低減する役割を担っている。複数の接合レンズを含むことによって、対物レンズ内のスペースを効率的に使用しながら効果的に色収差補正を行うことが可能となる。
【００１７】
第３レンズ群は、負の屈折力を有し、像側に凹面を向けたレンズ成分（以降、第１レンズ成分と記す。）からなる。第４レンズ群は、最も物体側に、物体側に凹面を向けたレンズ成分（以降、第２レンズ成分と記す。）を含んでいる。即ち、第３レンズ群と第４レンズ群は、互いに凹面を向けて配置されている。なお、第４レンズ群は、負の屈折力を有することが望ましい。
【００１８】
第３レンズ群は、主に、コマ収差を良好に補正する役割を担っている。また、第４レンズ群は、主に、非点収差とコマ収差を良好に補正する役割を担っている。
【００１９】
この対物レンズは、以下の条件式を満たしている。
0.986≦NAob/N0≦0.995                 （１）
0.0095≦1/(N1×ν1)≦0.015            （２）
【００２０】
但し、NAobは、対物レンズの物体側の開口数である。N0は、対物レンズで使用される浸液のe線に対する屈折率である。N1は、第１接合レンズに含まれるメニスカスレンズのe線に対する屈折率である。ν1は、第１接合レンズに含まれるメニスカスレンズのd線に対するアッベ数である。
【００２１】
条件式（１）は、開口数と浸液の屈折率の関係を規定した式である。条件式（１）を満たすことで、液浸対物レンズの限界に近い解像力を得ることができるため、高解像の観察において、非常に細かい構造を観察することができる。また、TIRFMにおいてエバネッセント光が深さ方向にしみ出す領域を十分に小さくすることができる。
【００２２】
NAob/N0が条件式（１）の上限値を上回ると、第１接合レンズに含まれるメニスカスレンズの像側のレンズ面において、非常に強い屈折力が必要となり、高次球面収差の発生を抑えることが困難になる。NAob/N0が条件式（１）の下限値を下回ると、解像力が不足してしまい、高解像の観察において細かな構造を観察することが困難になる。また、TIRFMにおいてエバネッセント光が深さ方向にしみ出す領域を小さくすることが難しくなる
【００２３】
なお、この対物レンズで使用される浸液は、汎用カバーガラス用のイマージョンオイルであり、その屈折率は1.51から1.52の間の値、即ち、1.51≦N0≦1.52である。このため、条件式（１）は、対物レンズの開口数を規定した下記の条件式（１−１）と実質的に同じである。
1.48886≦NAob≦1.5124                 （１−１）  
【００２４】
条件式（２）は、第１接合レンズに含まれるメニスカスレンズの屈折率とアッベ数の関係を規定した式である。条件式（２）を満たすことで、高次球面収差と色収差を良好に補正することができる。
【００２５】
1/(N1×ν1)が条件式（２）の上限値を上回ると、分散が大きくなりすぎるため、色収差の補正が困難になってしまう。又は、屈折率が小さくなりすぎるため、高次球面収差の補正が困難になってしまう。1/(N1×ν1)が条件式（２）の下限値を下回ると、光学材料が可視域の波長で十分な透過率と均一性を持つことが難しくなる。
【００２６】
なお、対物レンズは、条件式（２）の代わりに条件式（２−１）を満してもよい。
0.01≦1/(N1×ν1)≦0.014            （２−１）
【００２７】
以上のように構成された対物レンズによれば、屈折率１．５２程度のイマージョンオイルを浸液として用いた観察において、１．４９以上の開口数を有し、物体からの微弱な光を用いて、物体を高い解像力で観察することができる。
【００２８】
以下、対物レンズの望ましい構成について説明する。
第１レンズ群は、正の屈折力を有する複数の単レンズを含むことが望ましい。第１レンズ群が正の屈折力を有する単レンズを複数含むことで、各レンズ面の屈折力を小さくすることができる。このため、色収差の発生を抑えながら高い開口数を実現することができる。
【００２９】
第１接合レンズに含まれる正の屈折力を有するレンズは、物体側に平面を向けた平凸レンズであることが望ましい。対物レンズの最も物体側のレンズ面を平面とすることによって、正立顕微鏡との組合せ時に、浸液と対物レンズとの間に気泡を溜まりにくくすることができる。
【００３０】
第２レンズ群に含まれる複数の接合レンズには、３枚接合レンズが含まれていることが望ましい。複数の接合レンズに３枚接合レンズが含まれることによって、より効果的な色収差補正が可能になる。
【００３１】
第４レンズ群は、複数のレンズ成分を含むことが望ましい。複数のレンズ成分を含むことで、少なくとも１つの空気間隔が第４レンズ群中に含まれることになる。これにより、コマ収差と倍率色収差の相関を小さくすることができるため、コマ収差と倍率色収差の両方を補正することが容易になる。
【００３２】
対物レンズは、以下の条件式の少なくとも１つを満たしてもよい。
0.05≦D1/H1≦0.335                 （３）
0.87≦R1/R2≦1.22                  （４）
0.21≦(hg2-hg1)/t1≦3             （５）
【００３３】
但し、H1は、第１レンズ群における軸上マージナル光線の最大光線高（以降、第１光線高と記す）である。D1は、第１光線高の軸上マージナル光線が通過するレンズの厚さである。R1は、第１接合レンズに含まれるメニスカスレンズの物体側のレンズ面の曲率半径である。R2は、第１接合レンズに含まれるメニスカスレンズの像側のレンズ面の曲率半径である。hg1は、第２レンズ成分の物体側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さである。hg2は、第２レンズ成分の像側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さである。t1は、第２レンズ成分の光軸上の厚さである。
【００３４】
条件式（３）は、第１レンズ群内の光線高とレンズの厚さの関係を規定した式である。開口数が1.4を大きく超える液浸対物レンズでは、高次の球面収差の発生を抑えるため、正の屈折力を有する複数のレンズ面で徐々に光線を曲げる必要がある。条件式（３）を満たすことで、第１レンズ群中の光線高が高い領域に複数のレンズ面を配置することが可能となるため、高次球面収差の発生を抑えながら、高い開口数を実現することができる。
【００３５】
D1/H1が条件式（３）の上限値を上回ると、第１レンズ群中の光線高の高い領域に複数のレンズ面を配置することが難しくなる。このため、高次の球面収差が発生しやすくなる。D1/H1が条件式（３）の下限値を下回ると、第１レンズ群中の光線高の高い領域に存在するレンズ面の間隔が小さくなりすぎる。これにより、各レンズ面の曲率半径を小さくすることが難しくなるため、各レンズ面で十分な屈折力を得ることが困難になる。その結果、色収差の補正が困難になる。
【００３６】
なお、対物レンズは、条件式（３）の代わりに条件式（３−１）を満してもよい。
0.2≦D1/H1≦0.33                 （３−１）
【００３７】
条件式（４）は、第１接合レンズに含まれるメニスカスレンズのレンズ面の曲率半径の関係について規定した式である。第１接合レンズから出射した光の光線高が高くなりすぎると色収差の補正がより困難になる。条件式（４）を満たすことで、第１接合レンズの像側のレンズ面における光線高を低くすることができるため、第１レンズ群中における光線高が高くなりすぎることを防ぐことができる。従って、高次の球面収差の発生を抑えつつ、色収差を補正することが容易になる。
【００３８】
R1/R2が条件式（４）の上限値を上回ると、第１接合レンズの像側の領域において光線高が低くなりすぎる。その結果、第１レンズ群で発生するペッツバール和が大きくなるため、対物レンズ全体で像面湾曲を補正することが難しくなる。R1/R2が条件式（４）の下限値を下回ると、第１接合レンズの像側の領域において光線高が高くなりすぎる。このため、高次球面収差の発生を抑えながら、色収差を補正することが難しくなる。
【００３９】
なお、対物レンズは、条件式（４）の代わりに条件式（４−１）を満してもよい。
0.9≦R1/R2≦1.2                  （４−１）
【００４０】
条件式（５）は、第４レンズ群の最も物体側に配置された第２レンズ成分における光線高と第２レンズ成分の厚さの関係を規定した式である。条件式（５）を満たすことで、第２レンズ成分で光線高を大きく変化させることができる。このため、高次コマ収差を補正し、１．４９を超える高開口数の対物レンズにおいて視野周辺部までコントラストの高い像を得ることができる。
【００４１】
(hg2-hg1)/t1が条件式（５）の上限値を上回ると、第２レンズ成分の物体側のレンズ面と像側のレンズ面の両方で光が強く屈折する。このため、高次の球面収差及びコマ収差が発生してしまい、良好な像が得られない。(hg2-hg1)/t1が条件式（５）の下限値を下回ると、１．４９を超える高開口数の対物レンズにおいては、高次コマ収差を十分に補正することができない。このため、周辺部までコントラストの高い像を得ることができない。
【００４２】
なお、対物レンズは、条件式（５）の代わりに条件式（５−１）を満してもよい。
0.223≦(hg2-hg1)/t1≦1             （５−１）
【００４３】
また、対物レンズは、上述したいずれかの条件式を単独で用いても、自由に組み合わせて用いてもよく、どのような組み合わせであっても十分な効果を奏する。また、上述した条件式の上限値、下限値をそれぞれ単独に変更して新たな条件式を作成してもよく、その場合であっても、同様の効果を奏する。
【００４４】
以下、上述した対物レンズの実施例について具体的に説明する。
【００４５】
［実施例１］
図１は、本実施例に係る対物レンズ１の断面図である。対物レンズ１は、物体側から順に配置された、第１レンズ群Ｇ１と、第２レンズ群Ｇ２と、第３レンズ群Ｇ３と、第４レンズ群Ｇ４と、からなる液浸系の顕微鏡対物レンズである。
【００４６】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ３と、両凸レンズであるレンズＬ４と、からなり、全体として正の屈折力を有している。接合レンズＣＬ１は、対物レンズ１の第１接合レンズであり、物体側から順に配置された、平凸レンズであるレンズＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２と、からなる。レンズＬ３及びレンズＬ４は、それぞれ、正の屈折力を有する単レンズである。
【００４７】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＬ２と、接合レンズＣＬ３と、接合レンズＣＬ４と、からなり、全体として正の屈折力を有している。接合レンズＣＬ２は、対物レンズ１の第２接合レンズである。接合レンズＣＬ２は、３枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ５と、両凹レンズであるレンズＬ６と、両凸レンズであるレンズＬ７と、からなる。接合レンズＣＬ３は、３枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ８と、両凸レンズであるレンズＬ９と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１０と、からなる。接合レンズＣＬ４は、２枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ１１と、両凹レンズであるレンズＬ１２と、からなる。
【００４８】
第３レンズ群Ｇ３は、接合レンズＣＬ５からなり、負の屈折力を有している。接合レンズＣＬ５は、像側に凹面を向けたレンズ成分であり、対物レンズ１の第１レンズ成分である。接合レンズＣＬ５は、２枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ１３と、両凹レンズであるレンズＬ１４と、からなる。
【００４９】
第４レンズ群Ｇ４は、物体側から順に配置された、両凹レンズであるレンズＬ１５と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１６と、からなる。レンズＬ１５は、物体側に凹面を向けたレンズ成分であり、対物レンズ１の第２レンズ成分である。
【００５０】
対物レンズ１の各種データは、以下のとおりである。ここで、βは、対物レンズ１の倍率である。
β=-99.9417, NAob=1.500, N0=1.5179, N1=1.75844, ν1=52.320, D1=2.210mm, H1=6.677mm, R1=-2.9072mm, R2=-2.9038mm, hg1=1.4030mm, hg2=1.6280mm, t1=1.0000mm
【００５１】
対物レンズ１のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のINFは無限大（∞）を示している。
対物レンズ１
s     r         d        ne         νs  
1     INF      0.1700   1.52626    54.41   
2     INF      0.1500   1.51793    41.00   
3     INF      0.7500   1.52033    58.90   
4   -2.9072    3.2600   1.75844    52.32   
5   -2.9038    0.1200                    
6  -36.6893    3.3900   1.57098    71.30   
7   -8.3325    0.2203                    
8   48.4017    2.2100   1.57098    71.30   
9  -27.2881    0.1500                    
10   13.7087    6.6800   1.43986    94.66   
11   -8.2672    0.9500   1.64132    42.41   
12   20.7526    4.7200   1.43986    94.66   
13  -10.2050    0.2099                    
14   78.1000    0.7500   1.75844    52.32   
15    8.4747    5.5100   1.43986    94.66   
16   -6.6481    0.7500   1.64132    42.41   
17  -20.0544    0.8904                    
18   10.0255    2.7300   1.43986    94.66   
19  -30.8626    0.7500   1.64132    42.41   
20   83.4717    0.3744                    
21    5.5353    3.5200   1.57098    71.30   
22  -13.6914    3.4100   1.75844    52.32   
23    2.5913    1.8500                    
24   -2.6281    1.0000   1.64132    42.41   
25   24.0146    2.7515                    
26  -73.7044    2.1500   1.74340    32.33   
27   -6.7507  114.644   
【００５２】
ここで、sは面番号を、rは曲率半径(mm)を、dは面間隔(mm)を、neはe線に対する屈折率を、νdはd線に対するアッベ数を示す。これらの記号は、以降の実施例でも同様である。なお、面番号s1,s2が示す面は、それぞれ物体面(カバーガラスＣＧの物体側の面)、カバーガラスＣＧの像側の面である。面番号s3,s27が示す面は、それぞれ対物レンズ１の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。
【００５３】
対物レンズ１は、以下で示されるように、条件式（１）から条件式（５）を満たしている。
（１）    NAob/N0=0.9882
（２）    1/(N1×ν1)= 0.0109         
（３）    D1/H1=0.331  
（４）    R1/R2=1.001  
（５）    (hg2-hg1)/t1=0.225  
【００５４】
図２は、対物レンズ１と組み合わせて使用される結像レンズ１０の断面図である。結像レンズ１０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ１０は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＴＬ１と接合レンズＣＴＬ２からなる。接合レンズＣＴＬ１は、両凸レンズであるレンズＴＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＴＬ２と、からなる。接合レンズＣＴＬ２は、両凸レンズであるレンズＴＬ３と、両凹レンズであるレンズＴＬ４と、からなる。対物レンズ１の最も像側のレンズ面（面番号s27の面）のｄ（ｍｍ）は結像レンズ１０の最も物体側のレンズ面（面番号s1の面）までの光軸上の距離である。なお、結像レンズ１０の焦点距離は179.99mmである。
【００５５】
結像レンズ１０のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１０
s     r         d        ne         νs  
1   68.7541    7.7321   1.48915    70.23  
2  -37.5679    3.4742   1.81078    40.92  
3 -102.8477    0.6973 
4   84.3099    6.0238   1.83932    37.16  
5  -50.7100    3.0298   1.64824    40.82  
6   40.6619   
【００５６】
図３は、対物レンズ１と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ１と結像レンズ１０が形成する像面における収差を示している。図３（ａ）は球面収差図であり、図３（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図３（ｃ）は非点収差図であり、図３（ｄ）は像高比0.7におけるコマ収差図である。なお、図中の“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【００５７】
［実施例２］
図４は、本実施例に係る対物レンズ２の断面図である。対物レンズ２は、物体側から順に配置された、第１レンズ群Ｇ１と、第２レンズ群Ｇ２と、第３レンズ群Ｇ３と、第４レンズ群Ｇ４と、からなる液浸系の顕微鏡対物レンズである。
【００５８】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ３と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ４と、からなり、全体として正の屈折力を有している。接合レンズＣＬ１は、対物レンズ２の第１接合レンズであり、物体側から順に配置された、平凸レンズであるレンズＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２と、からなる。レンズＬ３及びレンズＬ４は、それぞれ、正の屈折力を有する単レンズである。
【００５９】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＬ２と、接合レンズＣＬ３と、接合レンズＣＬ４と、からなり、全体として正の屈折力を有している。接合レンズＣＬ２は、対物レンズ２の第２接合レンズである。接合レンズＣＬ２は、３枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ５と、両凹レンズであるレンズＬ６と、両凸レンズであるレンズＬ７と、からなる。接合レンズＣＬ３は、３枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ８と、両凸レンズであるレンズＬ９と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１０と、からなる。接合レンズＣＬ４は、２枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ１１と、両凹レンズであるレンズＬ１２と、からなる。
【００６０】
第３レンズ群Ｇ３は、接合レンズＣＬ５からなり、負の屈折力を有している。接合レンズＣＬ５は、像側に凹面を向けたレンズ成分であり、対物レンズ２の第１レンズ成分である。接合レンズＣＬ５は、２枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ１３と、両凹レンズであるレンズＬ１４と、からなる。
【００６１】
第４レンズ群Ｇ４は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１５と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１６と、からなる。レンズＬ１５は、物体側に凹面を向けたレンズ成分であり、対物レンズ２の第２レンズ成分である。対物レンズ２の最も像側のレンズ面（面番号s27の面）のｄ（ｍｍ）は結像レンズ１０の最も物体側のレンズ面（面番号s1の面）までの光軸上の距離である。
【００６２】
対物レンズ２の各種データは、以下のとおりである。
β=−99.9363, NAob=1.500, N0=1.51793, N1=1.75844, ν1=52.320, D1=2.000mm, H1=6.508mm, R1=-3.3979mm, R2=-2.8484mm, hg1=1.3690mm, hg2=1.6390mm, t1=1.0000mm
対物レンズ２のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ２
s     r         d        ne         νs  
1     INF      0.1700   1.52626    54.41    
2     INF      0.1500   1.51793    41.00    
3     INF      0.7300   1.52033    58.90    
4   -3.3979    3.1179   1.75844    52.32    
5   -2.8484    0.2246                    
6  -21.5029    3.0999   1.57098    71.30    
7   -7.3840    0.1500                     
8  -43.0779    2.0000   1.57098    71.30    
9  -14.0837    0.1500                     
10   12.5378    7.5482   1.43986    94.66    
11   -7.6295    0.7748   1.64132    42.41    
12   47.9219    4.2998   1.43986    94.66    
13   -9.8247    0.1500                     
14  428.0000    0.7498   1.75844    52.32    
15   10.0791    5.4967   1.43986    94.66    
16   -6.6855    0.7498   1.64132    42.41    
17  -27.4437    0.7908                    
18   10.5679    3.3501   1.57098    71.30    
19  -16.2616    0.7538   1.64132    42.41    
20   96.9574    0.3011                    
21    5.6427    3.6315   1.57098    71.30    
22  -11.9358    3.3450   1.75844    52.32    
23    2.3215    1.8500                     
24   -2.3655    1.0000   1.64132    42.41    
25  -27.4646    2.7905                     
26  -27.4049    2.0535   1.74340    32.33    
27   -6.3096  114.632   
【００６３】
対物レンズ２は、以下で示されるように、条件式（１）から条件式（５）を満たしている。
（１）    NAob/N0=0.9882
（２）    1/(N1×ν1)= 0.0109         
（３）    D1/H1= 0.307  
（４）    R1/R2= 1.193  
（５）    (hg2-hg1)/t1= 0.270  
【００６４】
図５は、対物レンズ２と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ２と結像レンズ１０が形成する像面における収差を示している。図５（ａ）は球面収差図であり、図５（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図５（ｃ）は非点収差図であり、図５（ｄ）は像高比0.7におけるコマ収差図である。
【００６５】
［実施例３］
図６は、本実施例に係る対物レンズ３の断面図である。対物レンズ３は、物体側から順に配置された、第１レンズ群Ｇ１と、第２レンズ群Ｇ２と、第３レンズ群Ｇ３と、第４レンズ群Ｇ４と、からなる液浸系の顕微鏡対物レンズである。
【００６６】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ３と、からなり、全体として正の屈折力を有している。接合レンズＣＬ１は、対物レンズ３の第１接合レンズであり、物体側から順に配置された、平凸レンズであるレンズＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２と、からなる。レンズＬ３は、正の屈折力を有する単レンズである。
【００６７】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＬ２と、接合レンズＣＬ３と、両凸レンズであるレンズＬ１０と、からなり、全体として正の屈折力を有している。接合レンズＣＬ２は、対物レンズ３の第２接合レンズである。接合レンズＣＬ２は、３枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ４と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ５と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ６と、からなる。接合レンズＣＬ３は、３枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ７と、両凸レンズであるレンズＬ８と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ９と、からなる。
【００６８】
第３レンズ群Ｇ３は、接合レンズＣＬ４からなり、負の屈折力を有している。接合レンズＣＬ４は、像側に凹面を向けたレンズ成分であり、対物レンズ３の第１レンズ成分である。接合レンズＣＬ４は、２枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ１１と、両凹レンズであるレンズＬ１２と、からなる。
【００６９】
第４レンズ群Ｇ４は、接合レンズＣＬ５からなる。接合レンズＣＬ５は、２枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１３と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１４と、からなる。接合レンズＣＬ５は、物体側に凹面を向けたレンズ成分であり、対物レンズ３の第２レンズ成分である。対物レンズ３の最も像側のレンズ面（面番号s23の面）のｄ（ｍｍ）は結像レンズ１０の最も物体側のレンズ面（面番号s1の面）までの光軸上の距離である。
【００７０】
対物レンズ３の各種データは、以下のとおりである。
β=−60.0107, NAob=1.500, N0=1.5179, N1=1.88815, ν1=40.760, D1= 1.3057mm, H1= 5.387mm, R1= -3.0323mm, R2= -3.3067mm, hg1= 2.7620mm, hg2= 5.5660mm, t1= 7.0799mm
【００７１】
対物レンズ３のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ３
s     r         d        ne         νs  
1     INF      0.1700   1.52626    54.41    
2     INF      0.1517   1.51793    41.00    
3     INF      0.7556   1.51825    64.14    
4   -3.0323    3.6488   1.88815    40.76    
5   -3.3067    0.1000                     
6  -10.0000    1.3057   1.88815    40.76    
7   -7.6719    0.1500                     
8   13.0236    7.3756   1.43985    94.93    
9   -8.0420    0.5725   1.74341    32.26    
10  -28.0828    3.6594   1.43985    94.93    
11  -10.2544    0.3110                     
12   45.4925    0.5645   1.64132    42.41    
13   14.4615    7.2751   1.43985    94.93    
14   -7.8092    0.5636   1.64132    42.41    
15  -32.0204    0.2501                     
16   12.2183    5.1408   1.43985    94.93    
17  -24.5259    0.1499                     
18    6.3796    5.3858   1.43985    94.93    
19  -12.7768    0.5784   1.64132    42.41    
20    3.7146    4.2719                     
21   -3.3463    4.3611   1.77621    49.60    
22  -11.0800    2.7188   1.79173    26.29    
23   -7.3475  114.689  
【００７２】
対物レンズ３は、以下で示されるように、条件式（１）から条件式（５）を満たしている。
（１）    NAob/N0=0.9882
（２）    1/(N1×ν1)= 0.0130         
（３）    D1/H1= 0.242  
（４）    R1/R2= 0.917  
（５）    (hg2-hg1)/t1= 0.396  
【００７３】
図７は、対物レンズ３と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ３と結像レンズ１０が形成する像面における収差を示している。図７（ａ）は球面収差図であり、図７（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図７（ｃ）は非点収差図であり、図７（ｄ）は像高比0.5におけるコマ収差図である。
【符号の説明】
【００７４】
１、２、３                                                    対物レンズ
１０                                                          結像レンズ
ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＬ３、ＣＬ４、ＣＬ５                        接合レンズ
Ｇ１                                                          第１レンズ群
Ｇ２                                                          第２レンズ群
Ｇ３                                                          第３レンズ群
Ｇ４                                                          第４レンズ群
Ｇ５                                                          第５レンズ群
Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７、Ｌ８、Ｌ９、
Ｌ１０、Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、
ＴＬ１、ＴＬ２、ＴＬ３、ＴＬ４                                レンズ
【図１】
2019191275.tif 000003
【図２】
2019191275.tif 000004
【図３】
2019191275.tif 000005
【図４】
2019191275.tif 000006
【図５】
2019191275.tif 000007
【図６】
2019191275.tif 000008
【図７】
2019191275.tif 000009