(57)【要約】【課題】誤差の再現性を高める技術の提供【解決手段】移動対象をＸ軸に平行なＸ方向と前記Ｘ軸に垂直なＹ方向とに移動させる平面移動機構を制御する移動制御装置であって、中継座標から目標座標まで延びるベクトルにおける前記Ｘ方向および前記Ｙ方向の成分が非０の既定値であるように設定された前記中継座標に前記移動対象を移動させる第１移動制御部と、前記移動対象を前記中継座標から前記目標座標まで前記ベクトルに沿って移動させる第２移動制御部と、を備える、移動制御装置を構成する。【選択図】図１
2019191721.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動対象をＸ軸に平行なＸ方向と前記Ｘ軸に垂直なＹ方向とに移動させる平面移動機構を制御する移動制御装置であって、
中継座標から目標座標まで延びるベクトルにおける前記Ｘ方向および前記Ｙ方向の成分が非０の既定値であるように設定された前記中継座標に前記移動対象を移動させる第１移動制御部と、
前記移動対象を前記中継座標から前記目標座標まで前記ベクトルに沿って移動させる第２移動制御部と、を備える、
移動制御装置。
【請求項２】
前記目標座標は複数個存在し、複数の前記目標座標のそれぞれに対応する前記中継座標が存在し、
前記ベクトルの方向は、複数の前記目標座標の全てにおいて同一である、
請求項１に記載の移動制御装置。
【請求項３】
前記ベクトルの長さは、複数の前記目標座標の全てにおいて同一である、
請求項１または請求項２のいずれかに記載の移動制御装置。
【請求項４】
前記平面移動機構は、
前記Ｘ方向に移動するＸテーブルと、
前記Ｘテーブルにおける前記Ｙ方向の一方の端部に対して前記Ｘ方向に向けた力を作用させ、他方の端部に対して力を作用させない状態で前記Ｘテーブルを前記Ｘ方向に移動させるＸ方向駆動部と、
前記Ｙ方向に移動するＹテーブルと、
前記Ｙテーブルにおける前記Ｘ方向の一方の端部に対して前記Ｙ方向に向けた力を作用させ、他方の端部に対して力を作用させない状態で前記Ｙテーブルを前記Ｙ方向に移動させるＹ方向駆動部と、を備える、
請求項１〜請求項３のいずれかに記載の移動制御装置。
【請求項５】
移動対象をＸ軸に平行なＸ方向と前記Ｘ軸に垂直なＹ方向とに移動させる平面移動機構を制御する移動制御方法であって、
中継座標から目標座標まで延びるベクトルにおける前記Ｘ方向および前記Ｙ方向の成分が非０の既定値であるように設定された前記中継座標に前記移動対象を移動させる第１移動制御工程と、
前記移動対象を前記中継座標から前記目標座標まで前記ベクトルに沿って移動させる第２移動制御工程と、
を含む移動制御方法。
【請求項６】
移動対象をＸ軸に平行なＸ方向と前記Ｘ軸に垂直なＹ方向とに移動させる平面移動機構を制御するコンピュータを、
中継座標から目標座標まで延びるベクトルにおける前記Ｘ方向および前記Ｙ方向の成分が非０の既定値であるように設定された前記中継座標に前記移動対象を移動させる第１移動制御部、
前記移動対象を前記中継座標から前記目標座標まで前記ベクトルに沿って移動させる第２移動制御部、として機能させる、
移動制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物を平面的に移動させる平面移動機構を制御する移動制御装置、移動制御方法および移動制御プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＴ撮影等において移動対象を平面的に移動させる平面移動機構が広く利用されている。多くの平面移動機構は直交するＸ軸およびＹ軸のそれぞれに平行な方向にＸテーブル、Ｙテーブルを移動させることによって移動対象を平面的に移動させる。このような平面移動機構においては、Ｘ方向とＹ方向とのそれぞれにおいてＸテーブル、Ｙテーブルを往復させることができ、一般的には、モータ等の駆動力を直線方向への力に変換して往復動作を行わせる。
【０００３】
そして、駆動力を作用させる際にはギア、ボール等の機構が利用され、当該機構においては部品同士がスムーズに動作するために機構を構成するギア、ボール等の部品間にバックラッシュ（隙間）が設けられている。当該バックラッシュは、複数の部品によって可動部を構成するために必要であるものの、往復動作のそれぞれでバックラッシュによる影響が異なる場合が多く、バックラッシュの影響により平面移動機構による位置決め精度が悪くなる。
【０００４】
また、Ｘ方向、Ｙ方向に移動するテーブルを備える平面移動機構の一辺に力を作用させ、当該一辺に平行な他の辺に力を作用させない場合、これらの辺に平行な方向の歪みが生じる。このような歪みが生じると、平面移動機構による位置決め精度が悪くなる。そこで、位置決め精度を向上させるための各種の技術が開発されており、例えば、特許文献１においては、位置検出センサによる検出位置情報に基づいて基準からの誤差を測定し、当該誤差を考慮して断層像を作成する構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１１５２１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
位置決め精度を向上させるためには、各種の手法が考えられるが、平面移動機構による移動が行われるたびに誤差の量が変化すると、誤差に対する対策が煩雑になる。すなわち、平面移動機構による移動が行われるたびに不定の誤差が発生することを許容すると、例えば、上述の特許文献１のように位置検出センサを利用して誤差を測定するなどの対策を行う必要がある。また、平面移動機構による移動が行われるたびに発生する異なる値の誤差に基づいて誤差による影響の除去（例えば、画像の補正や平面移動機構による位置補正等）を行う必要がある。
本発明は、前記課題に鑑みてなされたもので、誤差の再現性を高める技術の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、移動対象をＸ軸に平行なＸ方向とＸ軸に垂直なＹ方向とに移動させる平面移動機構を制御する移動制御装置であって、中継座標から目標座標まで延びるベクトルにおける前記Ｘ方向および前記Ｙ方向の成分が非０であるように設定された前記中継座標に前記移動対象を移動させる第１移動制御部と、移動対象を中継座標から目標座標までベクトルに沿って移動させる第２移動制御部と、を備える移動制御装置を構成する。
【０００８】
すなわち、中継座標から目標座標までの移動方向を示すベクトルはＸ方向およびＹ方向のそれぞれについて非０の成分を有している。そして、移動制御装置においては、平面移動機構によって移動対象を目標座標に移動させる前に中継座標まで移動させ、当該中継座標から目標座標に移動させるように構成されている。このため、目標座標がどのような位置であっても、当該目標座標に移動するために行われたＸ方向への動作とＹ方向の動作は同じ動作になる。
【０００９】
平面移動機構においては、Ｘ方向への移動機構と、Ｙ方向への移動機構とのそれぞれにおいて、部品同士をスムーズに動作させるなどのために部品間にバックラッシュが設けられている。従って、移動対象が目標座標まで移動する過程においてＸ方向、Ｙ方向のそれぞれにおける移動方向と移動距離によって生じるバックラッシュによる影響が不定であると、移動対象を目標座標に移動させた状態で生じる誤差（以下、「位置のばらつき」又は単に「ばらつき」と呼ぶ。）が不定になる。
【００１０】
しかし、移動制御装置においては、目標座標がどのような位置であっても、中継座標から目標座標に移動するために行うＸ方向への動作とＹ方向の動作は同じ動作である。従って、移動対象が目標座標に移動する直前に行われる動作は常に同じ動作である。このため、バックラッシュによる位置のばらつきに対する影響が小さい。従って、簡易な構成や簡易な処理によって、再現性が無い位置のばらつきを全体として統一のとれた繰返し再現性のある位置のばらつきに変換することが可能である。
【００１１】
また、移動対象をＸ方向、Ｙ方向に移動させる平面移動機構は、一般的にＸテーブルとＹテーブルとを備えている。各テーブルが移動される際には各テーブルにモータ等の駆動力が作用するが、力が作用している部位と力が作用していない部位とでは移動量が異なる。従って、移動に伴ってＸテーブルやＹテーブルに歪みが生じる。
【００１２】
そして、移動対象が目標座標まで移動する過程においてＸ方向、Ｙ方向のそれぞれにおける移動方向と移動距離が不定であると、移動対象を目標座標に移動させた状態で生じる歪みが不定になり、この結果位置のばらつきも不定になる。
【００１３】
しかし、移動制御装置においては、目標座標がどのような位置であっても、中継座標から目標座標に移動するために行うＸ方向への動作とＹ方向の動作は同じ動作である。従って、移動対象が目標座標に移動する直前に行われる動作は常に同じ動作である。このため、歪みによる位置のばらつきに対する影響が小さい。従って、簡易な構成や簡易な処理によって、再現性の無い位置のばらつきを全体として統一のとれた繰返し再現性のある位置のばらつきに変換することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】移動制御装置を含む検査装置の概略ブロック図である。
【図２】図２Ａは平面移動機構の構成を模式的に示す図、図２ＢはＸ線が基板に照射される様子を示す模式図である。
【図３】Ｘ−Ｙ平面内の目標座標を示す図である。
【図４】Ｘ線検査処理のフローチャートである。
【図５】半田バンプの重心位置の軌跡をＸ−Ｙ平面に置き換えて示す図である。
【図６】図６Ａ，図６Ｂは、従来技術と本発明の差異を示す半田バンプの水平方向にスライスされた再構成画像である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
ここでは、下記の順序に従って本発明の実施の形態を、放射線にＸ線を用いた場合について説明する。
（１）移動制御装置の構成：
（２）Ｘ線検査処理：
（３）他の実施形態：
【００１６】
（１）移動制御装置の構成：
図１は本発明の一実施形態にかかる移動制御装置を含む検査装置の概略ブロック図である。検査装置は、Ｘ線撮影機構部１０と制御部２０とを備えている。Ｘ線撮影機構部１０は、Ｘ線発生器１１とＸ線検出器１２と平面移動機構１３とを備えている。Ｘ線撮影機構部１０は、平面移動機構１３上の基板ＰとＸ線発生器１１とＸ線検出器１２とが所定の相対位置関係となった状態で、Ｘ線発生器１１によって基板ＰにＸ線を照射させる。
【００１７】
Ｘ線発生器１１は、Ｘ線を出力するＸ線出力部１１ａを備えており、所定の強度でＸ線を基板Ｐに照射することができる。Ｘ線検出器１２は、Ｘ線の強度を検出する検出面１２ａを備えており、基板Ｐを透過したＸ線の透過量を反映したＸ線画像を撮影することができる。撮影されたＸ線画像はＸ線画像データ２６ｂとしてメモリ２６に記録される。
【００１８】
本実施形態において基板ＰはＸ線検査の対象となる半田バンプを含んでいる。すなわち、基板Ｐは複数の半田バンプによって実装されたプロセッサーを備えており、本実施形態においては、当該半田バンプが検査対象となる。当該半田バンプは平面移動機構１３によって基板Ｐが移動されることによって、Ｘ線の照射領域内で平面的に移動される。従って、本実施形態において半田バンプは移動対象でもある。
【００１９】
平面移動機構１３は、所定の平面（Ｘ−Ｙ平面と呼ぶ。Ｘ軸とＹ軸とはＸ−Ｙ平面内で互いに垂直である。）に沿って２次元的に移動対象を移動させることが可能な装置であり、本実施形態においては、基板ＰをＸ−Ｙ平面に沿って移動させる。図２Ａは、本実施形態にかかる平面移動機構１３の構成を模式的に示す図である。本実施形態において、平面移動機構１３は、Ｘ方向に移動するＸテーブルＴｘを備えている。すなわち、Ｘテーブルは、上面（Ｚ軸正方向側の面）に基板Ｐを固定可能な部材であり、Ｘテーブルの移動方向をＸ軸に平行なＸ方向に制限するリニアレールＲｘ１，Ｒｘ２に取り付けられている。なお、リニアレールＲｘ１，Ｒｘ２はＹテーブル上に固定されている。
【００２０】
また、平面移動機構１３は、モータＭｘ、ネジ軸Ｂｘ、結合部Ｊｘを含むＸ方向駆動部を備えている。モータＭｘはＹテーブル上に固定されており、ネジ軸ＢｘはモータＭｘの駆動力によって回転駆動される。結合部Ｊｘにはナットが形成されており、ネジ軸Ｂｘがナットに挿通されている。ナットとネジ軸Ｂｘとの間にはボールが備えられており、ネジ軸Ｂｘと結合部Ｊｘとによってボールネジが形成されている。なお、本実施形態においては、ネジ軸Ｂｘとナットとボールとが組み合わさってスムーズに駆動されるように、これらの間にバックラッシュ（隙間）が設けられている。
【００２１】
結合部Ｊｘは、ＸテーブルＴｘにおいてＹ方向の端面を構成する一辺（Ｘ方向に平行な辺Ｖｘ）に取り付けられており、Ｙ方向の他方の端面にはボールネジが取り付けられていない。従って、本実施形態においてＸ方向駆動部は、ＸテーブルＴｘの一辺に対してＸ方向に向けた力を作用させ、他方の端部に対して力を作用させない状態でＸテーブルをＸ方向に移動させる。
【００２２】
さらに、本実施形態にかかるＸテーブルＴｘにおいては、結合部Ｊｘの付近にリニアスケールＬｘおよびリニアスケールＬｘを読み取るセンサＳｘが取り付けられている。すなわち、モータＭｘの駆動に伴ってＸテーブルＴｘがＸ方向に移動すると、センサＳｘによってリニアスケールＬｘが読み取られることにより、その移動方向および移動量が検出される。なお、リニアスケールＬｘは、結合部Ｊｘの付近に取り付けられるため、本実施形態においては、リニアスケールＬｘが結合部Ｊｘから離れた位置（例えば、辺Ｖｘと逆側の辺）に取り付けられる場合と比較して、精度良く位置を測定することができる。
【００２３】
また、平面移動機構１３は、Ｙ方向に移動するＹテーブルＴｙを備えている。すなわち、Ｙテーブルは、上面にリニアレールＲｘ１，Ｒｘ２およびモータＭｘが固定される部材であり、Ｙテーブルの移動方向をＹ軸に平行なＹ方向に制限するリニアレールＲｙ１，Ｒｙ２に取り付けられている。なお、モータＭｙ、リニアレールＲｙ１，Ｒｙ２は検査装置の図示しない筐体等に固定される。
【００２４】
また、平面移動機構１３は、モータＭｙ、ネジ軸Ｂｙ、結合部Ｊｙを含むＹ方向駆動部を備えている。ネジ軸ＢｙはモータＭｙの駆動力によって回転駆動される。結合部Ｊｙにはナットが形成されており、ネジ軸Ｂｙがナットに挿通されている。ナットとネジ軸Ｂｙとの間にはボールが備えられており、ネジ軸Ｂｙと結合部Ｊｙとによってボールネジが形成されている。なお、本実施形態においては、ネジ軸Ｂｙとナットとボールとが組み合わさってスムーズに駆動されるように、これらの間にバックラッシュ（隙間）が設けられている。
【００２５】
結合部Ｊｙは、ＹテーブルＴｙにおいてＸ方向の端面を構成する一辺（Ｙ方向に平行な辺Ｖｙ）に取り付けられており、Ｙ方向の他方の端面にはボールネジが取り付けられていない。従って、本実施形態においてＹ方向駆動部は、ＹテーブルＴｙの一辺に対してＹ方向に向けた力を作用させ、他方の端部に対して力を作用させない状態でＹテーブルをＹ方向に移動させる。
【００２６】
さらに、本実施形態にかかるＹテーブルＴｙにおいては、結合部Ｊｙの付近にリニアスケールＬｙおよびリニアスケールＬｙを読み取るセンサＳｙが取り付けられている。すなわち、モータＭｙの駆動に伴ってＹテーブルＴｙがＹ方向に移動すると、センサＳｙによってリニアスケールＬｙが読み取られることにより、その移動方向および移動量が検出される。なお、リニアスケールＬｙは、結合部Ｊｙの付近に取り付けられるため、本実施形態においては、リニアスケールＬｙが結合部Ｊｙから離れた位置（例えば、辺Ｖｙと逆側の辺）に取り付けられる場合と比較して、精度良く位置を測定することができる。
【００２７】
図２Ｂは、Ｘ線が基板Ｐに照射される様子を示す模式図であり、同図においては、横方向がＸ−Ｙ平面に平行な方向であり、上下方向がＸ−Ｙ平面に垂直なＺ方向である。同図２Ｂにおいては、基板Ｐ上の半田バンプＳ、Ｘ−Ｙ平面Ｓｆ、Ｘ線発生器１１のＸ線出力部１１ａおよびＸ線検出器１２の検出面１２ａを模式的に示している。本実施形態において、Ｘ線出力部１１ａはＺ軸に平行であり、Ｘ線出力部１１ａの焦点を通るＡ軸を含む所定の立体角の範囲にＸ線を出力する。Ａ軸はＸ線出力部１１ａからＸ線の出力範囲のほぼ中央においてＺ軸方向に平行に延びる軸であり、当該Ａ軸を回転中心としてＸ線検出器１２の検出面１２ａが回転する。当該回転においては、Ｘ線出力部１１ａと検出面１２ａの中央とを結ぶ直線Ｌと検出面１２ａとが常に垂直な状態となるように検出面１２ａの向きが変化しながら回転移動が行われるように設計されている（Ａ軸と直線Ｌとの角度はα）。
【００２８】
また、平面移動機構１３は、検出面１２ａの回転移動に同期させ、Ｘ線出力部１１ａと検出面１２ａの中央とを結ぶ直線Ｌ上に半田バンプＳが配置されるように基板ＰをＸ−Ｙ平面内で移動させる。すなわち、撮影が行われる際には、検出面１２ａおよび半田バンプＳが図２Ｂに示す破線の矢印に沿って回転するように検出面１２ａの回転と平面移動機構１３による基板Ｐの移動が行われる。本実施形態においては、Ａ軸周りの回転角が異なる複数の撮影位置で半田バンプＳが撮影されることにより、複数の方向から撮影されたＸ線画像が取得される。なお、本実施形態においては基板ＰをＸ−Ｙ平面内で回転軌跡に沿って移動させる構成を提案するが、回転軌跡に沿って移動させるための構成は一例であり、基板Ｐを固定し、Ｘ線出力部１１ａおよび検出面１２ａが回転移動される構成等であっても良い。
【００２９】
次に制御部２０について説明する。制御部２０は、発生器制御部２１と撮影画像取得部２２と撮影機構制御部２３と入力部２４と出力部２５とメモリ２６とＣＰＵ２７とを備えている。メモリ２６はデータを記憶可能な記憶媒体であり、プログラムデータ２６ａとＸ線画像データ２６ｂと再構成画像データ２６ｃと目標座標データ２６ｄと中継座標データ２６ｅとが記憶される。ＣＰＵ２７は、プログラムデータ２６ａを読み出して実行することにより、後述する各種処理のための演算を実行する。なお、メモリ２６はデータを記憶することができればよく、ＲＡＭやＥＥＰＲＯＭ，ＨＤＤ等種々の記憶媒体を採用可能である。
【００３０】
撮影機構制御部２３はＸ線発生器１１，Ｘ線検出器１２および平面移動機構１３を制御し、基板ＰのＸ線画像を撮影する撮影位置および倍率となるように平面移動機構１３の位置と検出面１２ａの位置およびＸ線出力部１１ａの高さを調整する。なお、平面移動機構１３は、リニアスケールＬｘ，Ｌｙの出力に基づいて基板Ｐの任意の位置をＸ−Ｙ平面内の任意の座標に配置することができる。すなわち、平面移動機構１３においては初期位置が予め決められており、撮影機構制御部２３は、リニアスケールＬｘ，Ｌｙの出力に基づいてＸテーブルＴｘおよびＹテーブルＴｙを初期位置に配置することができる。本実施形態において、撮影機構制御部２３は、後述するＣＰＵ２７から移動対象（半田バンプＳ）と座標を指示されると、リニアスケールＬｘ，Ｌｙの出力に基づいて移動対象をＸ−Ｙ平面内の指示された座標に移動させることができる。
【００３１】
発生器制御部２１は、Ｘ線発生器１１を制御し、Ｘ線発生器１１から基板Ｐに対してＸ線を照射させる。撮影画像取得部２２は、Ｘ線検出器１２が検出したＸ線の強度、すなわち透過量の画像を示すＸ線画像データ２６ｂを取得する。Ｘ線画像データ２６ｂは複数の画素の階調値によって構成される画像データであり、各画素の階調値はＸ線検出器１２が検出したＸ線の強度を示す。再構成画像データ２６ｃは、Ｘ線画像データ２６ｂに基づいて再構成処理が行われることによって生成される検査対象（本実施形態では半田バンプＳ）の３次元像を示すデータである。
【００３２】
目標座標データ２６ｄは、移動対象を撮影する際に当該移動対象を配置すべき位置を、Ｘ−Ｙ平面内の座標によって示した情報である。本実施形態において、移動対象はＸ線による検査対象である半田バンプＳであり、目標座標データ２６ｄは、移動対象の基板Ｐ上の位置を示す情報に対して、撮影時に移動対象の半田バンプＳが配置されるべきＸ座標およびＹ座標が対応づけられている。
【００３３】
なお、本実施形態において、検出面１２ａは、Ａ軸周りの回転角が異なる複数の撮影位置に配置され、各撮影位置で半田バンプＳが撮影される。従って、目標座標データ２６ｄにおいては、各撮影位置で半田バンプＳが撮影される際の位置を示す複数の座標が含まれている。本実施形態においては、これらの座標を目標座標と呼ぶ。図３は、Ｘ−Ｙ平面内の目標座標を示す図である。図３においては、検出面１２ａがＡ軸周りに回転して８カ所の撮影位置に配置される例が想定されている。このため図３に示す例においては、合計８個の目標座標Ｄ1〜Ｄ8が設定されている。このように、本実施形態においては、Ｘ−Ｙ平面の原点を中心とした半径一定の円の周上に目標座標が配置される。
【００３４】
中継座標データ２６ｅは、目標座標データ２６ｄが示す複数の座標のそれぞれと一定の相対位置関係にある座標を示す情報である。本実施形態においては、当該座標を中継座標と呼ぶ。本実施形態において、中継座標から見た目標座標の方向は、全ての中継座標および目標座標において一定である。また、中継座標と目標座標との距離は、全ての中継座標および目標座標において一定である。従って、中継座標から目標座標まで延びるベクトルの方向は、複数の目標座標の全てにおいて同一である。中継座標から目標座標まで延びるベクトルの長さは、複数の目標座標の全てにおいて同一である。
【００３５】
本実施形態にかかる平面移動機構１３においては、ネジ軸Ｂｘとナットとボールとの間にバックラッシュが設けられ、ネジ軸Ｂｙとナットとボールとの間にバックラッシュが設けられている。従って、ネジ軸Ｂｘとナットとボールとの関係や、ネジ軸Ｂｙとナットとボールとの関係が不定であると、モータＭｘ，Ｍｙの駆動力がテーブルＴｘ，Ｔｙに作用してから実際にテーブルＴｘ，Ｔｙが移動を始めるまでタイムラグが不定になる。
【００３６】
このように、移動開始初期のバックラッシュは移動完了後の位置のばらつきの要因となる。このため、複数の目標座標に移動対象を移動させる直前におけるネジ軸Ｂｘとナットとボールとの関係やネジ軸Ｂｙとナットとボールとの関係が不定であると、移動対象の移動が完了した位置において生じるばらつきに再現性が無くなる。しかし、常に特定の方向に移動を行えば、位置のばらつきが小さくなり全体として統一の取れた繰返し再現性のあるばらつきになる。そこで、本実施形態においては、目標座標がどのような位置であっても、中継座標から目標座標に延びるベクトルが一定のベクトルになるように中継座標データ２６ｅが設定される。図３においては、当該ベクトルを実線の矢印によって示している。
【００３７】
さらに、本実施形態にかかる平面移動機構１３において、ＸテーブルＴｘ、ＹテーブルＴｙのそれぞれは剛体であるが、移動に伴って歪みが生じ得る。すなわち、本実施形態においてＸテーブルＴｘには、Ｙ方向の端面を構成する一辺Ｖｘに取り付けられた結合部ＪｘによってモータＭｘの駆動力が作用する。一方、辺Ｖｘ以外の辺にはモータＭｘの駆動力が作用しない。従って、ＸテーブルＴｘが移動する際には、辺Ｖｘ側に存在するリニアレールＲｘ１付近の部位が先に移動する一方、辺Ｖｘと逆側に存在するリニアレールＲｘ２付近の部位は若干遅れて移動する。このため、ＸテーブルＴｘが移動されると、ＸテーブルＴｘにおいてＸ方向の歪みが生じる。ＹテーブルＴｙも同様の構成であるため、ＹテーブルＴｙが移動されると、ＹテーブルＴｙにおいてＹ方向の歪みが生じる。
【００３８】
そして、移動対象が目標座標まで移動する過程においてＸ方向、Ｙ方向のそれぞれにおける移動方向と移動距離が不定であると、移動対象を目標座標に移動させた状態で生じる歪みが不定になり、この結果位置のばらつきも不定になる。そこで、本実施形態においては、目標座標がどのような位置であっても、中継座標から目標座標に延びるベクトルが一定のベクトルになるように中継座標データ２６ｅが設定される。
【００３９】
なお、当該ベクトルにおいては、Ｘ方向およびＹ方向の成分が０ではない。従って、Ｘ方向およびＹ方向の双方に移動した後に目標座標に到達するように中継座標が設定される。本実施形態においては、モータＭｘ、ネジ軸Ｂｘ、結合部Ｊｘで構成されるボールネジによる移動速度とモータＭｙ、ネジ軸Ｂｙ、結合部Ｊｙで構成されるボールネジによる移動速度とが同一である。そこで、本実施形態においては、Ｘ方向およびＹ方向の双方に同量の移動を行って目標座標に到達するように、Ｘ方向およびＹ方向の双方に対して４５°傾斜したベクトルが採用されている（図３参照の中継座標Ｒ1参照）。すなわち、中継座標から目標座標に延びるベクトルのＸ方向の成分と、Ｙ方向の成分とは同一である。
【００４０】
また、ベクトルの長さ、すなわち中継座標と目標座標との距離は、Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれにおいて、バックラッシュが充分に解消されるように設定される。例えば、Ｘ方向のバックラッシュの量と、少なくとも桁が違うような長さに設定される。本実施形態においては、バックラッシュが数十μｍ程度であり、ベクトルの長さが０．５ｍｍ程度（従って、Ｘ方向およびＹ方向の移動量は０．５／２1/2ｍｍ程度）である。
【００４１】
出力部２５は基板Ｐの検査結果等を表示するディスプレイであり、入力部２４は利用者の入力を受け付ける操作入力機器である。ＣＰＵ２７は、プログラムデータ２６ａが示すプログラムを実行することにより、検査対象のＸ線画像データ２６ｂを撮影するための制御と、検査対象の良否判定とを行う。良否判定は、半田バンプが不良であるか否かを個別に判定する処理であり、詳細は後述する。
【００４２】
ＣＰＵ２７が、検査対象のＸ線画像データ２６ｂを撮影するための制御プログラムを実行すると、ＣＰＵ２７は、第１移動制御部２７ａ、第２移動制御部２７ｂ、３次元像取得部２７ｃとして機能する。また、ＣＰＵ２７が、良否判定を行うためのプログラムを実行すると、ＣＰＵ２７は、良否判定部２７ｄとして機能する。
【００４３】
第１移動制御部２７ａは、中継座標から目標座標まで延びるベクトルにおけるＸ方向およびＹ方向の成分が非０の既定値であるように設定された中継座標に移動対象を移動させる機能をＣＰＵ２７に実行させる。すなわち、ＣＰＵ２７は、移動対象を複数の目標座標のそれぞれに移動させてＸ線による撮影を行う過程において、移動対象を各目標座標に移動させる前に中継座標に移動させる。
【００４４】
このため、ＣＰＵ２７は、目標座標データ２６ｄに基づいて中継座標データ２６ｅを生成する。すなわち、ＣＰＵ２７は、第１移動制御部２７ａの機能により、目標座標データ２６ｄに基づいて複数の目標座標を取得し、各目標座標に対応した中継座標から各目標座標まで延びるベクトルの方向および距離が一定になるように中継座標を設定する。以上のような処理によれば、例えば、図３に示す例であれば目標座標Ｄ1〜Ｄ8のそれぞれに対応した中継座標Ｒ1〜Ｒ8が設定される。
【００４５】
そこで、ＣＰＵ２７は、移動対象を目標座標Ｄnに移動させる前に、目標座標Ｄnに対応した中継座標Ｒnに移動対象を移動させる（ｎは１〜最大撮影回数の整数値）。このため、移動対象を中継座標Ｒnに移動させる際、ＣＰＵ２７は、移動対象である半田バンプＳの基板Ｐ上の位置とともに中継座標Ｒnを撮影機構制御部２３に出力する。この結果、撮影機構制御部２３は、平面移動機構１３を制御して当該移動対象を中継座標Ｒnに移動させる。
【００４６】
第２移動制御部２７ｂは、移動対象を中継座標から目標座標まで移動させる機能をＣＰＵ２７に実行させる。すなわち、ＣＰＵ２７は、移動対象である半田バンプＳの基板Ｐ上の位置とともに目標座標Ｄnを撮影機構制御部２３に出力する。この結果、撮影機構制御部２３は、平面移動機構１３を制御して当該移動対象を目標座標Ｄnに移動させる。
【００４７】
３次元像取得部２７ｃは、撮影位置に移動された移動対象（半田バンプＳ）にＸ線を照射して当該移動対象の３次元像を取得する機能である。すなわち、ＣＰＵ２７は、３次元像取得部２７ｃの機能により、各撮影位置において発生器制御部２１に既定の強度のＸ線の発生を指示する。発生器制御部２１は、当該指示に基づいてＸ線発生器１１を制御し、Ｘ線発生器１１から半田バンプＳに対してＸ線を照射させる。
【００４８】
この状態でＣＰＵ２７は、撮影画像取得部２２にＸ線画像の撮影を指示する。撮影画像取得部２２は、当該指示に基づいてＸ線検出器１２が出力するＸ線画像データを取得し、メモリ２６にＸ線画像データ２６ｂとして記録する。複数の撮影位置の全てにおいてＸ線画像データ２６ｂが取得されると、ＣＰＵ２７は、各Ｘ線画像データ２６ｂを参照し、半田バンプの３次元像を生成する。具体的には、ＣＰＵ２７は、各半田バンプを複数の位置から撮影して得られたＸ線画像データ２６ｂに基づいて再構成演算を実行して３次元像を生成する。生成された３次元像を示す情報は再構成画像データ２６ｃとしてメモリ２６に記録される。
【００４９】
良否判定部２７ｄは、再構成画像データ２６ｃに基づいて、検査対象である半田バンプＳの良否を判定する機能である。すなわち、ＣＰＵ２７は、良否判定部２７ｄの処理により、再構成画像データ２６ｃが示す再構成情報を参照し、当該再構成情報に基づいて、半田バンプＳをＺ軸に垂直な方向に切断した切断面の断層像を取得する。そして、ＣＰＵ２７は、断層像と所定の判定条件（例えば、ボイドの有無やボイドの大きさ、形状、位置等による良否の基準を示す条件）とを比較し、判定条件に基づいて良否を判定する。
【００５０】
以上の構成によれば、移動対象を複数の目標座標のそれぞれに移動させてＸ線による撮影を行う過程において、移動対象を各目標座標に移動させる前に必ず中継座標を経由させ、全ての目標座標に向けて同一の方向に同一距離だけ移動した上で移動対象を目標座標に配置することができる。従って、移動対象が目標座標に移動する直前に行われる動作は常に同じ動作であり、バックラッシュに起因する位置のばらつきやＸテーブルＴｘおよびＹテーブルＴｙの歪みによる位置のばらつきが生じたとしても、目標座標に対するそのばらつきが小さく繰返し再現性を備えたばらつきとなる。このため、恒常的に発生する方向と距離が一定の位置ずれに対し、簡易な構成や簡易な処理によって平面移動機構の位置を補正することが可能である。
【００５１】
（２）Ｘ線検査処理：
図４は、Ｘ線検査処理を示すフローチャートである。検査装置は、半田バンプＳの検査を行うために図４に示すＸ線検査処理を実行する。Ｘ線検査処理が開始されると、ＣＰＵ２７は、第１移動制御部２７ａの機能により、ベクトルの成分を取得する（ステップＳ１００）。すなわち、中継座標から見た目標座標に延びるベクトルのＸ方向およびＹ方向の成分ΔＸおよびΔＹは既定値であり、メモリ２６等に記録されている。ＣＰＵ２７は、メモリ２６等を参照して当該ベクトルの成分ΔＸおよびΔＹを取得する。なお、図３に示す例であれば、ΔＸおよびΔＹは負の同一値である。
【００５２】
次に、ＣＰＵ２７は、第２移動制御部２７ｂの機能により、目標座標を取得するための処理を行う。具体的には、ＣＰＵ２７は、第２移動制御部２７ｂの機能により、Ｘ線の焦点と移動対象の重心との垂直距離ＦＯＤを取得する（ステップＳ１０５）。本実施形態において、平面移動機構１３の高さ（Ｚ方向の位置）は固定されており、Ｘ線出力部１１ａの高さが調整可能である。そこで、ＣＰＵ２７は、Ｘ線出力部１１ａの高さに基づいて、当該Ｘ線出力部１１ａにおけるＸ線の焦点と平面移動機構１３に固定される基板ＰとのＺ方向の距離を取得し、垂直距離ＦＯＤとみなす（図２Ｂ参照）。なお、当該垂直距離ＦＯＤは、センサ等によって計測されても良いし、Ｘ線出力部１１ａの高さを指示するための指示値等によって特定されても良く、種々の手法で算出されて良い。
【００５３】
次に、ＣＰＵ２７は、第２移動制御部２７ｂの機能により、撮影時の傾斜角度αに基づいてＸ線の焦点と移動対象の重心との距離ＦＯＤαを取得する（ステップＳ１１０）。すなわち、ＣＰＵ２７は、Ｘ線の焦点と検出面１２ａの中央とを結ぶ直線ＬとＡ軸との角度αを取得する。ここでも、角度αは、センサによって測定される構成や、Ｘ線出力部１１ａの高さを指示するための指示値および平面移動機構１３の設計値等によって特定される構成など、種々の構成が採用されてよい。角度αが取得されると、ＣＰＵ２７は、ＦＯＤ／ｃｏｓαを演算して距離ＦＯＤαとみなす（図２Ｂ参照）。
【００５４】
次に、ＣＰＵ２７は、第２移動制御部２７ｂの機能により、撮影回数Ｎに基づいて１回の撮影毎の角度変化Δθを取得する（ステップＳ１１５）。すなわち、本実施形態においては撮影回数Ｎが予め決まっており、ＣＰＵ２７は、３６０／Ｎを１回あたりの検出面１２ａの角度変化Δθとして取得する。なお、図３に示す例であればＮ＝８であるため角度変化Δθは、４５°である。
【００５５】
次に、ＣＰＵ２７は、第２移動制御部２７ｂの機能により、ｋ番目の撮影における回転角度θｋを取得する（ステップＳ１２０）。すなわち、ＣＰＵ２７は、ｋ＝１〜Ｎとした場合におけるｋのそれぞれにおいて、検出面１２ａの回転角度θｋを取得する。具体的には、ＣＰＵ２７は、検出面１２ａの回転角度の初期値をθ0とした場合に、θ0＋Δθ（ｋ−１）をθｋとして取得する。なお、角度の基準は予め決められていればよく、図３においては、Ｘ軸に平行な方向が基準であり０°である。また、図３においては、θ0が４５°の場合を例示している。この例において、角度変化Δθも４５°であるため、１番目の撮影における回転角度θ1はＸ軸から９０°反時計回りに回転した角度であり、２番目の撮影における回転角度θ2はＸ軸から１３５°反時計回りに回転した角度である。
【００５６】
次に、ＣＰＵ２７は、第２移動制御部２７ｂの機能により、回転角度θｋにおける目標座標Ｄk（Ｘk，Ｙk）を取得する（ステップＳ１２５）。本実施形態において移動対象は、Ｘ−Ｙ平面において円の周上を移動する。当該円の半径は、Ｘ線の焦点と移動対象の重心との距離ＦＯＤα×ｓｉｎαである。また、Ｘ−Ｙ平面上での移動対象のＡ軸に対する回転角度と検出面１２ａの回転角度θｋとは同一である、そこで、ＣＰＵ２７は、ｋ＝１〜Ｎとした場合におけるｋのそれぞれにおいて
Ｘk＝ＦＯＤα×ｓｉｎα×ｃｏｓθｋ
Ｙk＝ＦＯＤα×ｓｉｎα×ｓｉｎθｋ
とし、目標座標Ｄk（Ｘk，Ｙk）を取得する。
【００５７】
次に、回転角度θｋにおける中継座標Ｒk（Ｘ'k，Ｙ'k）を取得する（ステップＳ１３０）。すなわち、ＣＰＵ２７は、ステップＳ１２５で取得された各目標座標Ｄk（Ｘk，Ｙk）に対してステップＳ１００で取得したベクトルの逆ベクトルを加えることで中継座標Ｒk（Ｘ'k，Ｙ'k）を取得する。具体的には、ＣＰＵ２７は、ｋ＝１〜Ｎとした場合におけるｋのそれぞれにおいて
Ｘ'k＝Ｘk−ΔＸ
Ｙ'k＝Ｙk−ΔＹ
とし、中継座標Ｒk（Ｘ'k，Ｙ'k）を取得する。
【００５８】
次に、ＣＰＵ２７は、第１移動制御部２７ａ、第２移動制御部２７ｂ、３次元像取得部２７ｃの機能により、半田バンプＳの撮影を行う。具体的には、ＣＰＵ２７は、３次元像取得部２７ｃの機能により、撮影回数をカウントする変数であるｋを１に初期化し、移動対象を図３の原点０に移動する（ステップＳ１３５）。また、ＣＰＵ２７は、３次元像取得部２７ｃの機能により、回転角度をθｋにセットする（ステップＳ１４０）。すなわち、ＣＰＵ２７は、撮影機構制御部２３に回転角度θｋを指示する。この結果、撮影機構制御部２３は、Ｘ線検出器１２を制御し、検出面１２ａを回転角度θkに変化させる。この結果、検出面１２ａの回転角度はｋ−１番目の撮影における回転角度θk-1からｋ番目の撮影における回転角度θｋに変化する。なお、ｋが１の場合、回転角度はθ0であり、検出面１２ａの回転角度の初期値である。
【００５９】
例えば、図３に示す例においてｋが１の場合、ステップＳ１４０により、回転角度θ0から回転角度θ1に変化する。このため、検出面１２ａは目標座標Ｄ1を撮影するための撮影位置にセットされる。図３に示す例においてｋが２の場合、ステップＳ１４０により、回転角度θ1から回転角度θ2に変化する。このため、検出面１２ａは目標座標Ｄ2を撮影するための撮影位置にセットされる。
【００６０】
次に、ＣＰＵ２７は、第１移動制御部２７ａの機能により、移動対象を中継座標Ｒkに移動させる（ステップＳ１４５）。すなわち、ＣＰＵ２７は、半田バンプＳの基板Ｐ上の位置とともにステップＳ１３０で取得した中継座標Ｒkを撮影機構制御部２３に出力する。この結果、撮影機構制御部２３は、平面移動機構１３を制御して当該移動対象を中継座標Ｒkに移動させる。例えば、図３に示す例においてｋが１の場合、半田バンプＳは図３の実線Ｌ1で示すように、原点０の座標から中継座標Ｒ1に移動し、ｋが２の場合、半田バンプＳは図３の実線Ｌ2で示すように、目標座標Ｄ１から中継座標Ｒ2に移動する。なお、図３に示す目標座標Ｄk-1から中継座標Ｒkへの移動を示す実線は中継座標Ｒ2までしか示していないが、ｋが３〜８の場合も同様の動作を繰り返す。
【００６１】
次に、ＣＰＵ２７は、第２移動制御部２７ｂの機能により、移動対象を目標座標Ｄkに移動させる（ステップＳ１５０）。すなわち、ＣＰＵ２７は、半田バンプＳの基板Ｐ上の位置とともにステップＳ１２５で取得した目標座標Ｄkを撮影機構制御部２３に出力する。この結果、撮影機構制御部２３は、平面移動機構１３を制御して当該移動対象を目標座標Ｄkに移動させる。例えば、図３に示す例においてｋが１の場合、半田バンプＳは図３の実線の矢印で示すように、中継座標Ｒ1から目標座標Ｄ1に延びるベクトルに沿って移動し、ｋが２の場合、中継座標Ｒ2から目標座標Ｄ2延びるベクトルに沿って移動する。
【００６２】
次に、ＣＰＵ２７は、３次元像取得部２７ｃの機能により、ｋ番目の撮影画像データＩkを取得する（ステップＳ１５５）。すなわち、ＣＰＵ２７は、撮影画像取得部２２にＸ線画像の撮影を指示する。撮影画像取得部２２は、当該指示に基づいてＸ線検出器１２が出力するＸ線画像データを取得し、撮影回数を示すｋを対応づけてメモリ２６にＸ線画像データ２６ｂとして記録する。
【００６３】
次に、ＣＰＵ２７は、３次元像取得部２７ｃの機能により、ｋをインクリメントし（ステップＳ１６０）、ｋが撮影回数Ｎ以下であるか否かを判定する（ステップＳ１６５）。ステップＳ１６５において、ｋが撮影回数Ｎ以下であると判定されない場合、ＣＰＵ２７は、ステップＳ１４０以降の処理を繰り返す。
【００６４】
ステップＳ１６５において、ｋが撮影回数Ｎ以下であると判定された場合、ＣＰＵ２７は、３次元像取得部２７ｃの機能により、再構成演算処理を実行する（ステップＳ１７０）。再構成演算は、半田バンプＳの３次元構造を再構成することができれば良く、種々の処理を採用可能である。例えば、フィルタ補正逆投影法を採用可能である。この処理においてＣＰＵ２７は、まず、複数のＸ線画像のいずれかに対してフーリエ変換を実施し、フーリエ変換で得られた結果に対して周波数空間でフィルタ補正関数を乗じる。さらに、この結果に対して逆フーリエ変換を実施することで、フィルタ補正を行った画像を取得する。尚、このフィルタ補正関数は、画像のエッジを強調するための関数等を採用可能である。
【００６５】
続いて、フィルタ補正後の画像を、それが投影された軌跡に沿って３次元空間へ逆投影する。すなわち、Ｘ線検出器１２の検出面１２ａにおけるある位置の像に対応する軌跡は、Ｘ線発生器１１の焦点とこの位置とを結ぶ直線であるので、この直線上に画像を逆投影する。以上の逆投影を複数のＸ線画像のすべてについて行うと、３次元空間上で基準のサンプルが存在する部分のＸ線吸収係数分布が強調され、基準のサンプルの３次元形状を示す再構成情報が得られる。生成された再構成情報は再構成画像データ２６ｃとしてメモリ２６に記録される。
【００６６】
次に、ＣＰＵ２７は、良否判定部２７ｄの機能により、良否判定処理を実行する（ステップＳ１７５）。すなわち、本実施形態においては、半田バンプＳの良否を判断するための特徴量が予め定義されており、ＣＰＵ２７は、ステップＳ１７０で生成された再構成画像データ２６ｃに基づいて半田バンプＳの特徴量を取得する。特徴量としては、種々の量を採用可能であり、例えば、半田バンプの中のボイドの大きさや形状等が挙げられる。当該特徴量には予め良否を判定するための閾値が設定されており、ＣＰＵ２７は、特徴量と当該閾値を比較することによって半田バンプの良否を検査する。また、ＣＰＵ２７は、半田バンプＳの良否判定結果を出力部２５に出力させる。
【００６７】
本実施形態においては、半田バンプＳを各目標座標に移動させる前に必ず中継座標を経由させ、同一の方向に同一距離だけ移動させて半田バンプＳを目標座標まで移動させる処理を全ての目標座標について実行する。この結果、バックラッシュやＸテーブルＴｘおよびＹテーブルＴｙの移動に伴う歪みによるばらつきが繰返し再現性のある位置のばらつきとなる。
【００６８】
図５は、半田バンプの重心の軌跡を示す図である。図５においては、検出面１２ａにおいて撮影された半田バンプの重心の軌跡を図３に示すＸ−Ｙ平面の座標に置き換えた軌跡によって示している。ただし、図３は本発明に対する理解を容易とするために撮影回数Ｎを８として説明したが、図５では従来技術によるバックラッシュの影響を受ける場合の軌跡と本発明の軌跡との差異を明確に示すために撮影回数Ｎを実際の撮影回数の３２を使って表現した。
【００６９】
図５は、本実施形態のように中継座標Ｒkから目標座標Ｄkまで半田バンプＳを移動させた場合の半田バンプの目標座標Ｄkにおける重心の座標をδr、目標座標Ｄkの間を中継座標Ｒkを介さないで半田バンプＳを直接に移動させた場合の従来技術による半田バンプの重心の座標をδdとして示している。さらに、半田バンプの重心の座標δr、δdに付された数字１〜３２は撮影回数に対する半田バンプの重心の各座標を示している。図５に示すように、重心の座標δr1〜δr32、δd1〜δd32は、撮影回数１〜３２において半田バンプＳがＸ−Ｙ平面内で円周上を移動することに応じて環状に変化する。
【００７０】
図５においては、中継座標Ｒkから目標座標Ｄkまで半田バンプＳを移動させた場合の本発明の半田バンプの重心の座標δr1〜δr32の軌跡を実線で示し、中継座標Ｒkを介さないで目標座標Ｄkに半田バンプＳを直接移動させた場合の従来技術による半田バンプの重心の座標δd1〜δd32の軌跡を破線で示している。また、図５の各軌跡により得られた半田バンプの水平方向にスライスされた再構成画像を図６Ａと図６Ｂにそれぞれ示す。図６Ａは従来技術による半田バンプの水平方向にスライスされた再構成画像を示しており、図６Ｂは本発明による半田バンプの水平方向にスライスされた再構成画像を示している。図５から明らかなように、中継座標を介して目標座標に移動させた場合の半田バンプの重心の座標δrは、円に近い軌跡となっていると共に、図６Ｂのようにはっきりとしたバンプの画像が得られる。一方、中継座標Ｒkを介さないで目標座標Ｄkに半田バンプＳを移動させた場合の半田バンプの重心の座標δdは、非常に異なった軌跡になっており、図６Ａのように不安定な形状のバンプの画像が得られる。以上のように、中継座標Ｒkから目標座標Ｄkまで移動させることで検査対象の鮮明な画像が生成される。
【００７１】
なお、実施形態は、取得したＸ線画像データから直接に再構成演算を実行することを説明したが、目標座標のばらつき自体が未定の場合、例えば、"検査装置の導入時"や"定期保守時"においては目標座標のばらつきを補正する処理を先に実行してもよい。具体的には、図４のステップＳ１６５の後で、図５に示した目標座標のばらつき（円周上の各目標座標に対する位置ずれ）を計測判定し、全体若しくは特定の目標座標のばらつきが大きいと判定された場合には、特定の方向と距離に対する位置ずれを目標座標の軌跡が原点を中心とする半径一定の円周上の座標に近づくように目標座標の値を補正し、補正した新たな目標座標で撮影した画像により再構成演算を実行すればよい。
【００７２】
（３）他の実施形態：
以上の実施形態は本発明を実施するための一例であり、移動対象を中継座標に移動させた後に目標座標に移動させる限りにおいて、他にも種々の実施形態を採用可能である。例えば、移動制御装置は、図１に示すＸ線検査装置以外の装置に備えられていても良い。移動制御装置は、移動対象をＸ軸に平行なＸ方向とＸ軸に垂直なＹ方向とに移動させる平面移動機構を制御することができればよい。従って、上述の実施形態のように、平面移動機構に対して撮影機構制御部を介して間接的に接続されたＣＰＵ等によって構成されても良いし、平面移動機構に直接的に接続されたコントローラー等によって構成されても良く、種々の構成を採用可能である。
【００７３】
平面移動機構は、移動対象をＸ軸に平行なＸ方向とＸ軸に垂直なＹ方向とに移動させることができればよい。従って、Ｘテーブル上に移動対象が配置されて移動される構成以外にも種々の構成が採用されてよい。例えば、ＸテーブルやＹテーブルと同程度の高さの位置に固定された移動対象が平面移動する構成であっても良いし、ＸテーブルやＹテーブルの下方に固定された移動対象が平面移動する構成であっても良い。
【００７４】
また、平面移動機構は、移動対象をＸ軸に平行なＸ方向とＸ軸に垂直なＹ方向とに移動させることができる。すなわち、移動対象は、Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれについて独立に移動させることが可能である。移動対象をＸ方向およびＹ方向のそれぞれについて移動させるための構成は、上述のようにモータの駆動力をボールネジによって直線方向への力に変換する構成に限定されない。従って、各種のギア等によって力が平面移動機構に伝達される構成であっても良く、種々の構成を採用可能である。
【００７５】
移動対象は、少なくとも平面的に移動可能であれば良く、他の方向への移動（例えば、平面に対する垂直方向や平面内での回転方向）が可能であっても良い。また、Ｘ軸、Ｙ軸は、移動対象が移動する平面内で垂直であれば良い。移動対象は、平面的に移動させる対象であれば良く、上述のように３次元再構成演算による検査が行われる検査対象に限定されない。例えば、検査装置において検出器を平面的に移動させる際に当該検出器が移動対象となっても良い。
【００７６】
第１移動制御部は、中継座標から目標座標まで延びるベクトルにおけるＸ方向およびＹ方向の成分が非０の既定値であるように設定された中継座標に移動対象を移動させることができればよい。すなわち、移動対象を目標座標に移動させる際には、移動対象を目標座標に対して直接的に移動させるのではなく、目標座標に対して特定の位置関係にある中継座標に移動させてから目標座標に移動させるように構成されていれば良い。
【００７７】
中継座標は、中継座標から目標座標まで延びるベクトルのＸ方向およびＹ方向の成分が非０の既定値であればよい。すなわち、中継座標から目標座標まで移動対象を移動させる際に、Ｘ方向とＹ方向の双方に移動させるように構成されていれば良い。Ｘ方向およびＹ方向の成分、すなわち、Ｘ方向およびＹ方向への移動距離は、予め決められた固定値であれば良く、Ｘ方向とＹ方向とで同一であっても良いし、異なっていてもよい。
【００７８】
既定値は、予め決められていれば良いが、ベクトルが当該既定値の成分を有していることにより、Ｘ方向およびＹ方向への移動後の誤差がばらつかないように構成されていることが好ましい。従って、バックラッシュや歪みの大きさよりも大きい値であることが好ましい。例えば、バックラッシュや歪みの大きさよりも一桁以上大きい量の移動が行われるように既定値が決定されていることが好ましい。
【００７９】
第２移動制御部は、移動対象を中継座標から目標座標までベクトルに沿って移動させることができればよい。すなわち、移動対象を中継座標から目標座標まで直線移動させることができればよい。このために、第２移動制御部は、移動対象をＸ方向とＹ方向とに向けて同時に移動させることができればよい。例えば、中継座標から目標座標まで延びるベクトルのＸ方向の成分である既定値と、Ｙ方向の成分である既定値とが同一の場合、第２移動制御部は、Ｘ方向およびＹ方向に同一の速度で移動させることによってベクトルに沿った移動を行う。Ｘ方向の成分である既定値と、Ｙ方向の成分である既定値とが異なる場合、例えば、Ｘ方向の成分である既定値と、Ｙ方向の成分である既定値との比と等しい速度比でＸ方向およびＹ方向に移動させれば良い。
【００８０】
本発明の適用対象は装置に限定されず、方法やプログラムとして実現されることも想定される。また、本発明の一実施形態としての移動制御装置は単独で実現される場合もあるし、ある方法に適用され、あるいは同方法が他の機器に組み込まれた状態で利用されることもあるなど、発明の思想としてはこれに限らず、各種の態様を含むものである。むろん、発明の実施態様がソフトウェアであったりハードウェアであったりするなど、適宜、変更可能である。また、ソフトウェアの記録媒体は、磁気記録媒体であってもよいし半導体メモリであってもよいし、今後開発されるいかなる記録媒体においても全く同様に考えることができる。一次複製品、二次複製品などの複製段階についても同等である。さらに、一部がソフトウェアであって、一部がハードウェアで実現されている場合においても発明の思想において全く異なるものではなく、一部を記録媒体上に記憶しておいて必要に応じて適宜読み込まれるような形態であってもよい。
【符号の説明】
【００８１】
１０…Ｘ線撮影機構部、１１…Ｘ線発生器、１１ａ…Ｘ線出力部、１２…Ｘ線検出器、１２ａ…検出面、１３…平面移動機構、２０…制御部、２１…発生器制御部、２２…撮影画像取得部、２３…撮影機構制御部、２４…入力部、２５…出力部、２６…メモリ、２６ａ…プログラムデータ、２６ｂ…Ｘ線画像データ、２６ｃ…再構成画像データ、２６ｄ…目標座標データ、２６ｅ…中継座標データ、２７…ＣＰＵ、２７ａ…第１移動制御部、２７ｂ…第２移動制御部、２７ｃ…３次元像取得部、２７ｄ…良否判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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