(57)【要約】【課題】  機能部材収納治具を適切に固定して位置ずれやガタツキを防ぎ、塵埃の発生に伴う基板の汚染のおそれを排除できる基板収納容器及びその取扱い方法を提供する。【解決手段】  半導体ウェーハを収納可能な容器本体１と、容器本体１に収納される機能部材収納治具１０と、容器本体１の正面に嵌合されて機能部材収納治具１０に対向する蓋体とを備え、機能部材収納治具１０は、容器本体１の内部上方に収納されるトレイ１１と、トレイ１１に収納される吸着剤１８等の機能部材とを備え、トレイ１１の蓋体裏面に対向する前端部１２の周壁１３に、蓋体に弾接する位置決め用の一対の板バネ３０を配設する。半導体ウェーハ用のフロントリテーナに機能部材収納治具１０を固定させるのではなく、機能部材収納治具１０と蓋体間に専用の一対の板バネ３０を介在させて機能部材収納治具１０を適切に位置決め固定する。【選択図】  図２
2019029596.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納可能な容器本体と、この容器本体に収納される機能部材収納治具と、容器本体の開口部に嵌め合わされて機能部材収納治具に対向する蓋体とを備えた基板収納容器であって、
機能部材収納治具は、容器本体に収納される治具と、この治具に収納される機能部材とを含み、治具の蓋体に対向する対向部に、蓋体に接触する位置決め用の弾性部材が設けられることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
容器本体がフロントオープンボックスに形成されてその内部両側に一対の支持部が対向して設けられ、この一対の支持部が容器本体の上下方向に多数配列されて多数対の支持部を形成しており、この多数対の支持部が、基板の両側部を支持する複数対の基板用支持部と、機能部材収納治具の治具両側部を支持する複数対の治具用支持部とに分割される請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
機能部材収納治具は、治具に吸湿剤、吸着剤、センサ、及び基板よりも幅の狭い別基板の少なくともいずれかが収納される請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
機能部材収納治具の治具に、貫通孔が設けられる請求項１、２、又は３記載の基板収納容器。
【請求項５】
弾性部材として、機能部材収納治具の治具の蓋体に対向する前部に、バネ、弾性エラストマー、及び弾性の発泡成形体の少なくともいずれかが設けられる請求項２、３、又は４記載の基板収納容器。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載した基板収納容器の容器本体に、基板と機能部材収納治具とをそれぞれ収納し、容器本体の開口部に蓋体を嵌め合わせるとともに、機能部材収納治具の弾性部材と蓋体とを接触させることを特徴とする基板収納容器の取扱い方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハに代表される基板を収納、保管、搬送、輸送等する基板収納容器及びその取扱い方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来における基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを収納するフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌合されて複数枚の半導体ウェーハを被覆保護する蓋体とを備え、容器本体に複数枚の半導体ウェーハを収納した状態でデバイスメーカに出荷される。
【０００３】
容器本体は、内部の両側に、薄い軽量の半導体ウェーハを支持する一対の支持片が対設されるとともに、この一対の支持片が上下方向に所定の間隔で複数配列され、上下方向に隣接する支持片と支持片との間に、半導体ウェーハ挿入用のスロットが区画形成されており、複数枚の半導体ウェーハ、具体的には２５枚の半導体ウェーハを整列収納するよう機能する。また、蓋体は、施錠機構を内蔵し、裏面にフロントリテーナが装着されており、このフロントリテーナの複数のバネ片が２５枚の半導体ウェーハの前部周縁を弾発的に保持する。
【０００４】
ところで、近年の半導体デバイスは、回路の細分化・微細化が進行しているが、この細分化・微細化に伴い、半導体ウェーハには益々の清浄化・高品質化が求められている。特に、半導体ウェーハに水分が付着して汚染しないことが強く求められており、基板収納容器には、その内部環境を調整する機能が要求されている。
【０００５】
この点に鑑み、従来においては、基板収納容器の容器本体に、半導体ウェーハに対する水分等の汚染物質を吸収する重い吸収体を収納する方法が提案されている（特許文献１参照）。
この方法で使用される吸収体は、容器本体の一対の支持片、あるいは複数対の支持片上方のスロットに収納支持される中空のケースと、このケースに内蔵されて汚染物質を吸収する複数の吸収剤とから構成され、ケースが半導体ウェーハと略同じ大きさの円板形に形成されており、ケースの上下部には、複数の通気孔がそれぞれ穿孔されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４‐２６００８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、容器本体に吸収体を収納すれば、半導体ウェーハの清浄化・高品質化が期待できるものの、容器本体の一対の支持片に重い吸収体が支持される場合には、フロントリテーナのバネ片が軽い半導体ウェーハの保持を前提に形成されている関係上、吸収体の固定に支障を来す事態が考えられる。吸収体の固定に支障を来すと、吸収体が位置ずれしたり、がたついて支持片との間で摺れ、パーティクルが発生して半導体ウェーハが汚染するおそれがある。
【０００８】
また、複数対の支持片上方のスロットに吸収体が収納される場合には、フロントリテーナがＳＥＭＩ規格に基づいて半導体ウェーハの保持を前提に設計されている関係上、フロントリテーナが吸収体に対応せず、吸収体の固定にきわめて困難な事態が予想される。したがって、上記同様、吸収体が位置ずれしたり、がたついて擦れ、パーティクルが発生して半導体ウェーハが汚染するおそれがある。
【０００９】
本発明は上記に鑑みなされたもので、機能部材収納治具を適切に固定して位置ずれやガタツキを防ぎ、塵埃の発生に伴う基板の汚染のおそれを排除することのできる基板収納容器及びその取扱い方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納可能な容器本体と、この容器本体に収納される機能部材収納治具と、容器本体の開口部に嵌め合わされて機能部材収納治具に対向する蓋体とを備えたものであって、
機能部材収納治具は、容器本体に収納される治具と、この治具に収納される機能部材とを含み、治具の蓋体に対向する対向部に、蓋体に接触する位置決め用の弾性部材が設けられることを特徴としている。
【００１１】
なお、容器本体がフロントオープンボックスに形成されてその内部両側に一対の支持部が対向して設けられ、この一対の支持部が容器本体の上下方向に多数配列されて多数対の支持部を形成しており、この多数対の支持部が、基板の両側部を支持する複数対の基板用支持部と、機能部材収納治具の治具両側部を支持する複数対の治具用支持部とに分割されるようにすることができる。
【００１２】
また、機能部材収納治具は、治具に吸湿剤、吸着剤、センサ、及び基板よりも幅の狭い別基板の少なくともいずれかが収納されることが好ましい。
また、機能部材収納治具の治具に、貫通孔が設けられるようにすることができる。
また、弾性部材として、機能部材収納治具の治具の蓋体に対向する前部に、バネ、弾性エラストマー、及び弾性の発泡成形体の少なくともいずれかが設けられることが好ましい。
【００１３】
また、本発明においては上記課題を解決するため、請求項１ないし５のいずれかに記載した基板収納容器の容器本体に、基板と機能部材収納治具とをそれぞれ収納し、容器本体の開口部に蓋体を嵌め合わせるとともに、機能部材収納治具の弾性部材と蓋体とを接触させることを特徴としている。
【００１４】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも半導体ウェーハ、液晶基板、各種ガラス板等が含まれる。また、容器本体と蓋体は、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。容器本体は、フロントオープンボックスタイプでも良いし、トップオープンボックスタイプでも良い。また、弾性部材は、単数でも良いし、複数でも良い。この弾性部材がバネの場合、バネには、少なくとも板バネ、コイルバネ、渦巻きバネ等が含まれる。さらに、本発明に係る基板収納容器は、工程内用のＦＯＵＰタイプでも良いし、出荷・輸送用のＦＯＳＢタイプでも良い。
【００１５】
本発明によれば、基板収納容器に基板を収納する場合には、容器本体内に基板を収納するとともに、機能部材収納治具を収納して治具の弾性部材を容器本体の開口部側に向けた後、容器本体の開口部に蓋体を嵌め合わせ、機能部材収納治具の弾性部材と蓋体とを接触させれば、基板収納容器に基板を収納することができる。この際、弾性部材が変形して機能部材収納治具と蓋体との間の隙間を埋めるので、機能部材収納治具の位置ずれやガタツキを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、機能部材収納治具を適切に固定して位置ずれやガタツキを防ぎ、塵埃の発生に伴う基板の汚染のおそれを排除することができるという効果がある。
【００１７】
請求項２記載の発明によれば、複数対の基板用支持部により複数枚の基板を安定した姿勢で支持することができる。また、複数対の治具用支持部により、単数あるいは複数の機能部材収納治具を安定した姿勢で支持することができる。
【００１８】
請求項３記載の発明によれば、機能部材収納治具に機能部材として吸湿剤が収納される場合には、基板収納容器の内部を乾燥させ、基板に対して水分が付着するのを抑制することができる。また、機能部材収納治具に機能部材として吸着剤が収納される場合には、基板に対して各種汚染物質が付着するのを抑制することができる。また、機能部材としてセンサを収納する場合には、基板収納容器内の湿度や温度等を計測し、計測した値を外部の情報機器やモニタリング機器等に出力することができる。また、機能部材として基板よりも幅の狭い別基板を収納する場合には、基板収納容器に収納するのが本来困難な別基板を容易に収納することができる。
【００１９】
請求項４記載の発明によれば、機能部材収納治具の治具に、貫通孔を設ければ、機能部材が吸湿剤や吸着剤の場合、これら吸湿剤や吸着剤の露出面積を拡大することができるので、基板に水分やガス成分等の各種汚染物質が付着するのをより有効に低減することが可能になる。
【００２０】
請求項５記載の発明によれば、弾性部材がバネの場合、機能部材収納治具と蓋体との間の距離にバラツキがあっても、バネが撓んで機能部材収納治具と蓋体との間の隙間を埋めるので、機能部材収納治具の適切な固定が期待できる。また、容器本体の開口部に蓋体を嵌め合わせると、バネが徐々に撓んで変形するので、蓋体の嵌め合わせに支障を来す事態が減少する。
【００２１】
また、弾性部材が弾性エラストマーの場合、機能部材収納治具と蓋体との間の距離にバラツキがあっても、弾性エラストマーが変形して機能部材収納治具と蓋体との間の隙間を埋めるので、機能部材収納治具の適切な固定が期待できる。また、容器本体の開口部に蓋体を嵌め合わせると、弾性エラストマーが治具方向に徐々に圧縮されるので、蓋体の嵌め合わせに支障を来すのを阻止することができる。
【００２２】
また、弾性部材が弾性の発泡成形体の場合、機能部材収納治具と蓋体との間の距離に多少のバラツキがあっても、発泡成形体が変形して機能部材収納治具と蓋体との間の隙間を埋めるので、機能部材収納治具を適切に固定することが可能となる。さらに、容器本体の開口部に蓋体を嵌め合わせると、発泡成形体がトレイ方向に徐々に変形するので、蓋体による閉鎖に支障を来すのを防ぐことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体に機能部材収納治具を収納する収納中の状態を模式的に示す斜視説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体に機能部材収納治具を収納した状態を模式的に示す斜視説明図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体、機能部材収納治具、及び蓋体の関係を模式的に示す部分断面説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における機能部材収納治具の弾性部材無しのトレイを模式的に示す斜視説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の実施形態における機能部材収納治具の弾性部材無しのトレイと吸着剤とを模式的に示す斜視説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の実施形態における機能部材収納治具を模式的に示す斜視説明図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ部を拡大して示す斜視説明図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【図１０】図９のＸ部を拡大して示す斜視説明図である。
【図１１】本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【図１２】図１１のＸＩＩ部を拡大して示す斜視説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図８に示すように、複数枚の半導体ウェーハを整列収納可能な容器本体１と、この容器本体１内に収納される内部環境調整用の機能部材収納治具１０と、容器本体１の開口した正面に嵌合されて半導体ウェーハや機能部材収納治具１０に対向する蓋体２０とを備え、機能部材収納治具１０のトレイ１１の蓋体２０に対向する前部に、蓋体２０に弾接する位置決め用の一対の板バネ３０を配設するようにしている。
【００２５】
半導体ウェーハは、図示しないが、例えば口径３００ｍｍ（１２インチ）の丸い軽量のシリコンウェーハからなる。この半導体ウェーハは、容器本体１の内部上下方向に、複数枚、具体的には２５枚が並べて収納される。
【００２６】
容器本体１は、図２や図３に示すように、所定の樹脂含有の成形材料により、正面の開口したフロントオープンボックスに射出成形される。この容器本体１の成形材料に含有される所定の樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。
【００２７】
これらの樹脂には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等からなる導電物質やアニオン、カチオン、非イオン系等の各種帯電防止剤が必要に応じて添加される。また、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ヒンダードアミン系の紫外線吸収剤が添加されたり、剛性を向上させるガラス繊維や炭素繊維等も選択的に添加される。
【００２８】
容器本体１の内部両側、換言すれば、左右両側壁の内面両側には図２や図３に示すように、半導体ウェーハを水平に支持可能な左右一対の支持片２が対設されるとともに、この左右一対の支持片２が上下方向に所定の間隔で多数配列されて多数対の支持片３を形成し、上下方向に隣接する支持片２と支持片２との間には、断面略Ｕ字形あるいは略Ｖ字形のスロットが区画形成されており、各支持片２が前後方向に細長い湾曲した板に形成される。
【００２９】
多数対の支持片３は、２５枚の半導体ウェーハの両側部を安定した姿勢で支持する複数対の基板用支持片４と、機能部材収納治具１０のトレイ１１両側部を安定した姿勢で支持する一対の治具用支持片５とに分割される。この一対の治具用支持片５は、複数対の基板用支持片４の上方に配置され、容器本体１の内部上方に位置して容器本体１の上部との間に機能部材収納治具１０用の空間を区画する。
【００３０】
容器本体１の底部後方には、図示しないが、識別用のタグプレート（インフォパッドプレートともいう）が選択的に装着され、容器本体１の上部中央には、図示しないが、天井搬送用のトップロボティックハンドリングフランジが着脱自在に装着される。また、容器本体１の左右両側壁の中央付近には図示しないが、握持操作用のハンドルがそれぞれ着脱自在に装着される。
【００３１】
機能部材収納治具１０は、図２ないし図７に示すように、容器本体１の一対の治具用支持片５に水平に支持されるトレイ１１を備え、このトレイ１１内に、機能部材である複数の吸着剤１８が着脱自在に収納される。トレイ１１は、所定の樹脂含有の成形材料により、後部が平面半円形に湾曲した平面略半トラック形の板に射出成形され、前端部１２、左右両側部、及び中央部と後部との間に、複数の周壁１３がそれぞれ立設されており、この複数の周壁１３の上端部に、吸着剤１８用の複数の係止片１４が所定の間隔で一体形成される。
【００３２】
トレイ１１の成形材料に含有される所定の樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。
【００３３】
トレイ１１の前端部１２から中央部にかけては、図５に示すように、複数の周壁１３の内面に連結される平面略十字形の仕切り壁１５が立設され、この仕切り壁１５がトレイ１１内に大小異なる大きさの空間を複数区画形成しており、各空間が吸着剤１８を収納する平面矩形の収納空間１６とされる。
【００３４】
仕切り壁１５の交差部や周壁１３との連結部の上端には、吸着剤１８用の係止片１４がそれぞれ一体形成され、各係止片１４が平板や屈曲した爪等に形成される。また、トレイ１１の前部から中央部にかけては、吸着剤１８の一部を下方に露出させる複数の通気孔１７が並べて穿孔され、この複数の通気孔１７がトレイ１１の左右両側部方向にそれぞれ指向しており、各通気孔１７が貫通した溝孔とされる。
【００３５】
複数の吸着剤１８は、図２、図６、図７に示すように、例えば、半導体ウェーハに対して水分等の汚染物質が付着するのを防止するケミカル吸着剤等からなり、複数の収納空間１６に対応する大きさに形成されており、複数の収納空間１６にそれぞれ収納された後、複数の係止片１４に係止されることで位置ずれや脱落が防止される。吸着剤１８がケミカル吸着剤の場合には、少なくとも有機ガス成分を吸着する有機ガス用吸着剤、酸性ガス成分を吸着する酸性ガス用吸着剤、アルカリガス成分を吸着するアルカリガス用吸着剤のいずれかが用いられる。
【００３６】
蓋体２０は、図１や図４に示すように、容器本体１の開口した正面に圧入して嵌合される蓋本体２１と、この蓋本体２１の凹んだ表面両側部に内蔵される施錠機構２２と、蓋本体２１の開口した表面両側部を被覆して施錠機構２２を保護する左右一対の蓋カバー２３とを備えて構成される。蓋本体２１は、例えば中央部が隆起した断面略トレイ形に形成され、半導体ウェーハや機能部材収納治具１０のトレイ１１に近接対向する裏面の中央部には、複数枚の半導体ウェーハを保持するフロントリテーナが着脱自在に装着される。
【００３７】
フロントリテーナは、図示しないが、例えば蓋本体２１の裏面の中央部に着脱自在に装着される縦長の枠体を備え、この枠体の左右両側部間に複数のバネ片が並べて架設され、各バネ片が細長い可撓性の角柱形に形成されており、バネ片の中央部付近には、半導体ウェーハの前部周縁をＶ溝又はＹ溝に嵌合保持する複数の保持ブロックが一体形成される。また、蓋本体２１の裏面の周縁部には、容器本体１の正面内周のシール形成面に対向する嵌合溝が枠形に周設される。この嵌合溝には、容器本体１のシール形成面に圧接して変形する枠形のシールガスケットが嵌入される。
【００３８】
一対の板バネ３０は、図７や図８に示すように、機能部材収納治具１０を構成するトレイ１１の前端部１２の周壁１３両側に配設される。各板バネ３０は、所定の樹脂含有の成形材料あるいは金属により、円弧形に湾曲形成され、蓋体２０の蓋本体２１裏面に圧接して変形し、機能部材収納治具１０のトレイ１１と蓋本体２１との間の隙間を弾性部材として埋めるよう機能する（図４参照）。
【００３９】
上記構成において、基板収納容器に複数枚の半導体ウェーハを収納してデバイスメーカに出荷する場合には、容器本体１の複数対の基板用支持片４に半導体ウェーハを整列収納するとともに、容器本体１の一対の治具用支持片５に機能部材収納治具１０を収納してトレイ１１の一対の板バネ３０を前方に配置し、容器本体１の開口した正面に蓋体２０を圧入して嵌合し、機能部材収納治具１０の一対の板バネ３０と蓋体２０の蓋本体２１とを弾接させれば、基板収納容器に複数枚の半導体ウェーハを収納してデバイスメーカに出荷することができる。
【００４０】
この際、機能部材収納治具１０は、蓋体２０と板バネ３０との弾接により、容器本体１の背面壁側に押しやられ、適切に位置決め固定される。また、機能部材収納治具１０の複数の吸着剤１８が半導体ウェーハに対して水分やガス成分等の汚染物質が付着するのを防止する。したがって、半導体ウェーハの汚染を防ぐことができ、半導体ウェーハの清浄化・高品質化を図ることができる。
【００４１】
上記構成によれば、半導体ウェーハ用のフロントリテーナやそのバネ片に機能部材収納治具１０を固定させるのではなく、機能部材収納治具１０と蓋体２０間に専用の一対の板バネ３０を介在させて機能部材収納治具１０を位置決め固定するので、機能部材収納治具１０の固定に支障を来すおそれが全くない。したがって、機能部材収納治具１０の位置ずれやガタツキを阻止し、パーティクルが発生して半導体ウェーハが汚染するおそれを有効に排除することができる。また、トレイ１１に複数の吸着剤１８を収納するので、容器本体１の内壁に吸着剤１８用の収容部を形成する必要がなく、容器本体１を成形する金型を新たに製造する必要がない。
【００４２】
また、トレイ１１の複数の通気孔１７が吸着剤１８の露出表面積を拡大するので、水分等の汚染物質が付着するのを有効に防止することができる。また、機能部材収納治具１０と蓋体２０との間の距離に多少のバラツキがあっても、板バネ３０が撓んで機能部材収納治具１０と蓋体２０との間の隙間を確実に埋めるので、機能部材収納治具１０を適切に位置決め固定することができる。
【００４３】
また、容器本体１の開口した正面に蓋体２０を圧入して嵌合すると、嵌合に伴い、板バネ３０がトレイ１１方向に徐々に撓んで変形するので、弾性部材の存在により、蓋体２０の嵌合に支障を来すことが全くない。さらに、接着剤や粘着剤ではなく、複数の係止片１４により吸着剤１８を固定するので、接着剤や粘着剤の成分が半導体ウェーハに付着するのを防止することが可能となる。
【００４４】
次に、図９と図１０は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、機能部材収納治具１０を構成するトレイ１１の前端部１２の周壁１３両側に、弾性エラストマー３１をそれぞれ配設するようにしている。
一対の弾性エラストマー３１は、例えば水分を透過しない安価なポリオレフィン系エラストマー、シリコーン系ゴム、フッ素系ゴム等により、それぞれ短い各種柱形、具体的には、蓋体２０の蓋本体２１裏面に対向する円柱形に成形される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００４５】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、機能部材収納治具１０と蓋体２０との間の距離に多少のバラツキがあっても、弾性エラストマー３１が変形して機能部材収納治具１０と蓋体２０との間の隙間を確実に埋めるので、機能部材収納治具１０を適切に位置決め固定することができるのは明らかである。また、容器本体１の開口した正面に蓋体２０を圧入して嵌合すると、嵌合に伴い、弾性エラストマー３１がトレイ１１方向に徐々に圧縮されるので、蓋体２０の嵌合に支障を来すのを阻止することができるのは明らかである。
【００４６】
次に、図１１と図１２は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、機能部材収納治具１０を構成するトレイ１１の前端部１２の周壁１３に、弾性の発泡成形体３２を接着するようにしている。
弾性の発泡成形体３２は、例えばポリオレフィン系樹脂、グリセリン誘導体、及び無機充填剤から主になる発泡成形体用樹脂組成物、ポリスチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂等を用いて横長の角棒形に成形され、トレイ１１の左右横方向に水平に指向する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００４７】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、機能部材収納治具１０と蓋体２０との間の距離に多少のバラツキがあっても、発泡成形体３２が変形して機能部材収納治具１０と蓋体２０との間の隙間を確実に埋めるので、機能部材収納治具１０を適切に位置決め固定することが可能となる。また、容器本体１の開口した正面に蓋体２０を圧入して嵌合すると、嵌合に伴い、発泡成形体３２がトレイ１１方向に徐々に変形するので、蓋体２０の嵌合に支障を来すのを阻止することが可能となる。
【００４８】
なお、上記実施形態では容器本体１の一対の治具用支持片５を、複数対の基板用支持片４の上方に配置したが、複数対の基板用支持片４の中央や下方に配置しても良い。また、機能部材収納治具１０のトレイ１１に、機能部材として、複数の吸着剤１８を着脱自在に収納したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、機能部材として、乾燥機能を発揮する複数の吸湿剤、基板収納容器の内部環境をモニタリングするモニタリングセンサ（空気圧センサ、湿度センサ、温度センサ、湿温度センサ、導電率計等）、口径３００ｍｍの半導体ウェーハよりも小口径の口径１５０ｍｍや２００ｍｍの半導体ウェーハ等を着脱自在に収納しても良い。
【００４９】
また、トレイ１１の形、収納空間１６の数や形は、必要に応じ、増減変更しても良い。例えば、トレイ１１を平面略円板形に成形しても良い。また、トレイ１１の複数の通気孔１７は、必要性に乏しければ、省略することができる。さらに、トレイ１１の前端部１２の周壁１３に、板バネ３０と弾性エラストマー３１とを配設することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明に係る基板収納容器及びその取扱い方法は、半導体や液晶基板等の製造分野で使用される。
【符号の説明】
【００５１】
１        容器本体
２        支持片（支持部）
３        多数対の支持片（多数対の支持部）
４        基板用支持片（基板用支持部）
５        治具用支持片（治具用支持部）
１０      機能部材収納治具
１１      トレイ（治具）
１２      前端部（前部）
１３      周壁
１６      収納空間
１７      通気孔（貫通孔）
１８      吸着剤（機能部材）
２０      蓋体
２１      蓋本体
３０      板バネ（弾性部材）
３１      弾性エラストマー（弾性部材）
３２      発泡成形体（弾性部材）
【図１】
2019029596.tif 000003
【図２】
2019029596.tif 000004
【図３】
2019029596.tif 000005
【図４】
2019029596.tif 000006
【図５】
2019029596.tif 000007
【図６】
2019029596.tif 000008
【図７】
2019029596.tif 000009
【図８】
2019029596.tif 000010
【図９】
2019029596.tif 000011
【図１０】
2019029596.tif 000012
【図１１】
2019029596.tif 000013
【図１２】
2019029596.tif 000014