(57)【要約】【課題】部品の位置確認の精度を向上させることが可能な位置確認方法及び位置確認装置を提供する。【解決手段】表面実装機１０は、吸着穴５２が形成され、多孔質材料を含む板状のクリーンペーパー２１に対向して配される吸着ブロック５１と、吸着ブロック５１における吸着穴５２内の空気を吸引するエア供給装置４７と、エア供給装置４７により吸着穴５２内の空気が吸引された状態の吸着ブロック５１上に配されたクリーンペーパー２１に部品２３を複数回搭載するヘッド部４０と、クリーンペーパー２１に搭載された状態の部品２３の位置を認識する搬送対象物認識カメラ４９と、搬送対象物認識カメラ４９により認識した部品２３の位置と予め設定されている部品２３の搭載位置とに基づいて搭載位置のずれを算出する算出する演算処理部７１と、を備える。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔質材料を含む板状の多孔質部材に部品を複数回搭載する搭載工程と、
前記多孔質部材に搭載された状態の前記部品の位置を認識する位置認識工程と、を備える位置確認方法。
【請求項２】
前記多孔質部材は、発塵防止処理が施されたクリーンペーパーである請求項１に記載の位置確認方法。
【請求項３】
一つの前記部品が前記多孔質部材上の複数の位置に順番に搭載される請求項１又は請求項２に記載の位置確認方法。
【請求項４】
前記搭載工程は、所定位置で固定された前記多孔質部材に対して前記部品を複数回搭載し、
前記位置認識工程は、前記多孔質部材に搭載された状態の前記部品の位置を認識する請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の位置確認方法。
【請求項５】
前記多孔質部材は、厚み方向に通気可能とされており、
前記搭載工程では、吸着穴が形成された吸着ブロック上に配された前記多孔質部材に対して前記吸着穴内の空気の吸引により前記多孔質部材を前記吸着ブロック側に吸引した状態で前記多孔質部材に前記部品を搭載し、
前記位置認識工程で認識した前記部品の位置と予め設定されている前記部品の搭載位置とに基づいて前記搭載位置のずれを算出する算出工程と、を備える請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の位置確認方法。
【請求項６】
請求項５に記載の位置確認方法の前記位置認識工程で認識した前記部品の位置と予め設定されている前記部品の搭載位置とに基づいて前記設定されている前記部品の位置を調整する調整工程を備える位置調整方法。
【請求項７】
吸着穴が形成され、多孔質材料を含む板状の多孔質部材に対向して配される吸着ブロックと、
前記吸着ブロックにおける吸着穴内の空気を吸引する吸引手段と、
前記吸引手段により前記吸着穴内の空気が吸引された状態の前記吸着ブロック上に配された前記多孔質部材に部品を複数回搭載するヘッド部と、
前記多孔質部材に搭載された状態の前記部品の位置を認識する位置認識手段と、
前記位置認識手段により認識した前記部品の位置と予め設定されている前記部品の搭載位置とに基づいて前記搭載位置のずれを算出する算出手段と、
を備える位置確認装置。
【請求項８】
請求項７に記載の位置確認装置の位置認識手段で認識した前記部品の位置と予め設定されている前記部品の搭載位置とに基づいて前記設定されている前記部品の搭載位置を調整する調整手段を備える位置調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書では、部品の位置を認識する技術を開示する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基台上の基板に搭載された部品の位置を検出する技術が知られている。特許文献１の表面実装装置は、基台上に搬送された基板に電子部品を実装し、電子部品を実装した後、搬送を開始するまでの間の待機時間に、電子部品の実装状態を検査する部品検査処理を実行する。この部品検査処理では、ヘッドユニットに搭載された基板認識カメラにより、部品実装後の基板画像を撮影し、基板認識カメラから得られる実装部品の実装位置に基づき実装位置精度を確認する。確認した実装位置精度に問題があれば、位置ズレを補正するべく、実装位置に関する情報をフィードバックし、次回実装処理を実施する際の各種モーターの制御に反映するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１５３２９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記構成では、複数の電子部品を基板に実装した後に基板認識カメラから得られる各実装部品の実装位置に基づき実装位置精度が確認されている。そのため、電子部品が実装される前に、電子部品の位置を確認して位置精度を向上させることができないという問題がある。
【０００５】
本明細書に記載された技術は、上記のような事情に基づいて完成されたものであって、部品の位置確認の精度を向上させることが可能な位置確認方法、位置調整方法、位置確認装置及び位置調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書に記載された位置確認方法は、多孔質材料を含む板状の多孔質部材に部品を複数回搭載する搭載工程と、前記多孔質部材に搭載された状態の前記部品の位置を認識する位置認識工程と、を備える。
【０００７】
本構成によれば、多孔質材料により形成された多孔質部材に部品が搭載されることにより、多孔質ではない部材に部品を搭載する場合と比較して、部品の位置を保持することが容易になるため、部品の位置確認の精度を向上させることが可能になる。また、例えばＳＵＳ板等に表面処理を施してジグ基板として使用する場合と比較して必ずしも表面処理を行わなくてもよいため、部品の位置確認方法を簡素化することが可能になる。
【０００８】
本明細書に記載された位置確認装置は、吸着穴が形成され、多孔質材料を含む板状の多孔質部材に対向して配される吸着ブロックと、前記吸着ブロックにおける吸着穴内の空気を吸引する吸引手段と、前記吸引手段により前記吸着穴内の空気が吸引された状態の前記吸着ブロック上に配された前記多孔質部材に部品を複数回搭載するヘッド部と、前記多孔質部材に搭載された状態の前記部品の位置を認識する位置認識手段と、前記位置認識手段により認識した前記部品の位置と予め設定されている前記部品の搭載位置とに基づいて前記搭載位置のずれを算出する算出手段と、を備える。
【０００９】
本構成によれば、多孔質材料により形成された多孔質部材に部品が搭載されることにより、多孔質ではない部材に部品を搭載する場合と比較して、部品の位置を保持することが容易になるため、部品の位置確認の精度を向上させることが可能になる。また、例えばＳＵＳ板等に表面処理を施してジグ基板として使用する場合と比較して必ずしも表面処理を行わなくてもよいため、部品の位置確認方法を簡素化することが可能になる。
【００１０】
本明細書に記載された技術の実施態様としては以下の態様が好ましい。
前記多孔質部材は、発塵防止処理が施されたクリーンペーパーである。
このようにすれば、多孔質部材はクリーンペーパーであるため、傷や凹凸が生じても安価かつ容易に取り換えることができる。また、使用環境基準の厳しいクリーンルームで使用することができる。
【００１１】
一つの前記部品が前記多孔質部材上の複数の位置に順番に搭載される。
このようにすれば、位置確認のために複数の部品を用いる場合と比較して、部品の個体差により生じる搭載位置の誤差を抑制することができる。
【００１２】
前記搭載工程は、所定位置で固定された前記多孔質部材に対して前記部品を複数回搭載し、前記位置認識工程は、前記多孔質部材に搭載された状態の前記部品の位置を認識する。
【００１３】
前記多孔質部材は、厚み方向に通気可能とされており、前記搭載工程では、吸着穴が形成された吸着ブロック上に配された前記多孔質部材に対して前記吸着穴内の空気の吸引により前記多孔質部材を前記吸着ブロック側に吸引した状態で前記多孔質部材に前記部品を搭載し、前記位置認識工程で認識した前記部品の位置と予め設定されている前記部品の搭載位置とに基づいて前記搭載位置のずれを算出する算出工程と、を備える。
このようにすれば、多孔質部材を吸着ブロック側に吸引することで多孔質部材の位置を保持することができるため、部品の位置確認の精度を高めることができる。
【００１４】
前記位置確認方法の前記位置認識工程で認識した前記部品の位置と予め設定されている前記部品の搭載位置とに基づいて前記設定されている前記部品の位置を調整する。
このようにすれば、簡素な構成で部品の搭載位置の精度を高めることができる。
【００１５】
前記位置確認装置の位置認識手段で認識した前記部品の位置と予め設定されている前記部品の搭載位置とに基づいて前記設定されている前記部品の搭載位置を調整する調整手段を備える。
【発明の効果】
【００１６】
本明細書に記載された技術によれば、部品の位置確認の精度を向上させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態の表面実装機を示す平面図
【図２】表面実装機を示す側面図
【図３】表面実装機の電気的構成を示すブロック図
【図４】一対の側板内に配されたバックアップユニットを示す平面図
【図５】バックアップユニット上にヘッドユニットが配された状態の側面図
【図６】一対の側板内に配されたバックアップユニット上にクリーンペーパーを配し、クリーンペーパーに部品を搭載した状態を示す斜視図
【図７】バックアップユニット上にクリーンペーパーを配し、クリーンペーパーに部品を搭載した状態を示す平面図
【図８】バックアップユニット上のクリーンペーパー及び部品に対して負圧を供給する構成を説明する図
【図９】吸着ブロックに吸着されたクリーンペーパー内に空気が流通する様子を示す断面図
【図１０】位置調整処理を示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１８】
＜実施形態１＞
実施形態１は、基板上に電子部品Ｅを実装可能な表面実装機１０を例示している。
表面実装機１０（「位置調整装置」の一例）は、空気中の塵や埃の数を一定値以下に抑えるように管理された例えばクリーンルーム内に設置されており、図１に示すように、基台１１と、板状の搬送対象物２０を搬送する搬送コンベア１２（「搬送手段」の一例）と、搬送対象物２０を下方側から支持するバックアップユニット５０と、部品供給装置６０から供給される部品２３をバックアップユニット５０に支持された搬送対象物２０に移載する部品移載ユニット３０と、を備えて構成されている。なお、以下の説明において、図１のＸ方向（基台１１の長辺方向および搬送コンベア１２の搬送方向）を前後方向とし、Ｙ方向（基台１１の短辺方向）を左右方向とし、図２のＺ方向を上下方向として説明する。
【００１９】
基台１１は、左右方向に横長な平面視略矩形状をなす。基台１１上には、搬送コンベア１２、バックアップユニット５０、部品移載ユニット３０が配置されている。搬送コンベア１２は、左右一対の搬送ベルト１３が基台１１上に設けられている。搬送ベルト１３は、前後方向に複数並んで設けられており、左右一対の搬送ベルト１３の間に、搬送対象物２０が架設する形でセットされ、各搬送ベルト１３の循環駆動により搬送対象物２０が前後方向に搬送される。搬送対象物２０は、電子部品Ｅの実装時は基板とされるが、本実施形態における部品２３の搭載位置のずれの調整時は、クリーンペーパー２１（「多孔質部材」の一例）とされる。基板は、絶縁板に銅箔等からなる導電路が印刷されたプリント基板とされており、ＩＣチップ等の電子部品が搭載される。クリーンペーパー２１は、クリーンルームでの使用に適した部材であって、塵が出にくいという特性を有しており、多孔質材料から形成されている。
【００２０】
クリーンペーパー２１は、例えば、天然パルプから抄造した紙に特殊な樹脂を含浸させ、パルプ繊維間の接着性を高めることで発塵防止機能を持たせたものを用いることができる。クリーンペーパー２１の幅寸法は、基板と同様に、搬送コンベア１２で搬送可能な寸法とされる。また、クリーンペーパー２１の長さは、バックアップユニット５０に応じた長さとされる。クリーンペーパー２１は、搬送ベルト１３により左右方向の一方側から搬入され、バックアップユニット５０上の搬送停止位置にて停止する。搬送停止位置は、部品移載ユニット３０により電子部品Ｅや部品２３を搭載可能な正規位置（所定位置）であり、搬送停止位置において部品２３の搭載作業が終了した後、搬送ベルト１３により左右方向の他方に搬出されるようになっている。クリーンペーパー２１が搬送停止位置に搬入されたことは検出センサ４６Ａにより検出することができる。検出センサ４６Ａは、例えば、透過型の光電センサとすることができる。例えば検出センサ４６Ａの光がクリーンペーパー２１により遮光されると、クリーンペーパー２１が搬送停止位置に到達したことが検出され、搬送コンベア１２の駆動が停止される。
【００２１】
図７に示すように、クリーンペーパー２１に搭載される部品２３は、本実施形態では、ＩＣチップの外形を模した（ＩＣチップと同一の外形を有する）ガラス製のジグチップとすることができる。なお、部品２３は、これに限られず、例えば基板に実装されるＩＣチップ等の電子部品Ｅを用いてもよい。部品２３は、長方形の平板状であって、部品２３の位置や水平方向の回転の検出のために各角部寄りの４か所に円形状のマークＭが視認可能に設けられている。本実施形態では、部品２３の搭載位置の確認時には、１つの部品２３をクリーンペーパー２１上の複数箇所に繰り返し搭載することで、複数の部品を使用した場合と比較して部品の個体差による誤差を抑制するようになっている。
【００２２】
部品移載ユニット３０は、図１に示すように、部品供給装置６０から基台１１上に供給される部品２３を取り出してクリーンペーパー２１上に搭載するものであって、基台１１の前後方向の両側に配される一対のＹ軸フレーム３５と、一対のＹ軸フレーム３５に架設されたＸ軸フレーム３１と、Ｘ軸フレーム３１に移動可能に取り付けられたヘッドユニット３８とを備えて構成されている。一対のＹ軸フレーム３５には、Ｙ軸フレーム３５に沿って配されたＹ軸ガイドレール３６と、Ｙ軸サーボモータ３７とが設けられており、Ｙ軸サーボモータ３７の駆動により、Ｘ軸フレーム３１及びＸ軸フレーム３１に取り付けられたヘッドユニット３８がＹ軸ガイドレール３６に沿って左右方向に移動する。Ｘ軸フレーム３１には、Ｘ軸フレーム３１に沿って配されたＸ軸ガイドレール３２と、Ｘ軸サーボモータ３３とが設けられており、Ｘ軸サーボモータ３３の駆動により、Ｘ軸フレーム３１に取り付けられたヘッドユニット３８がＸ軸ガイドレール３２に沿って前後方向に移動する。
【００２３】
ヘッドユニット３８は、箱形状をなすユニット本体３９と、部品２３の搭載動作を行う複数のヘッド部４０とを有している。複数のヘッド部４０は、ユニット本体３９から下方に突出した形態でＸ方向に並んで配列されている。各ヘッド部４０は、図２に示すように、上下方向に延びる回転シャフト４１と、回転シャフト４１の先端である下端部に着脱可能な吸着ノズル４５とを有している。
【００２４】
回転シャフト４１は、図３に示すように、Ｚ軸サーボモータ４２によって上下方向に昇降可能とされ、Ｒ軸サーボモータ４３によって軸周りに回転可能とされている。吸着ノズル４５は、図８に示すように、上下方向に延びる略筒状をなしている。吸着ノズル４５内には、エア供給装置４７から負圧もしくは正圧が供給される。吸着ノズル４５は、エア供給装置４７から供給される負圧によって部品２３を吸着し、エア供給装置４７から供給される正圧によって部品２３を解放し、基板やクリーンペーパー２１上に部品２３を搭載する。
【００２５】
部品移載ユニット３０は、Ｘ軸サーボモータ３３及びＹ軸サーボモータ３７を駆動させることで、基台１１上においてヘッドユニット３８を前後左右に移動させることができ、Ｚ軸サーボモータ４２を駆動させることで、バックアップユニット５０に保持固定された基板やクリーンペーパー２１に電子部品Ｅや部品２３を搭載する。
【００２６】
ユニット本体３９の側面には、図１に示すように、搬送コンベア１２により搬送された搬送対象物２０を認識するための搬送対象物認識カメラ４９が取り付けられている。搬送対象物認識カメラ４９は、バックアップユニット５０上の搬送対象物２０を撮像する。撮像した部品２３を含む搬送対象物２０の画像データは、図３に示すように、画像処理部７４により部品２３の中心の位置情報やマークＭの位置情報や水平方向の回転の情報として記憶部７３に記憶されるとともに、演算処理部７１により処理される。
【００２７】
図１に示すように、基台１１上におけるバックアップユニット５０の左右方向の両側には、一対の部品認識カメラ４８が設置されている。各部品認識カメラ４８は、ヘッドユニット３８のヘッド部４０に吸着保持された部品２３を撮影する。
【００２８】
バックアップユニット５０は、左右方向に横長なブロック状をなしており、基台１１上における搬送コンベア１２の間に配置され、搬送対象物２０上に部品２３を搭載する際に搬送対象物２０を下方側から保持する。バックアップユニット５０は、図６に示すように、搬送対象物２０が載置される吸着ブロック５１と、吸着ブロック５１を下方側から支持する支持部材５５とを備える。
【００２９】
吸着ブロック５１は、金属製であって、吸着ブロック５１の上面は、平面度が高く設定されている。また、吸着ブロック５１の上面には、図４に示すように、空気が挿通可能な程度の小さい複数の吸着穴５２が前後左右に並んで設けられている。吸着ブロック５１の内部には、図８に概略的に示すように、吸着穴５２に連通する負圧供給路５３が設けられている。負圧供給路５３は吸着ブロック５１の外面の連結部５３Ａを介してエア供給装置４７に接続されており、エア供給装置４７の動作により負圧供給路５３に負圧が供給される。
【００３０】
負圧供給路５３に負圧が供給されると、各吸着穴５２に負圧が生じ、吸着ブロック５１の上面に載置された搬送対象物２０が負圧によって吸着ブロック５１側に吸引される。ここで、搬送対象物２０がクリーンペーパー２１のように多孔質材料からなる場合には、図９に示すように、クリーンペーパー２１が吸着ブロック５１に吸引されるとともに、クリーンペーパー２１の内部の空気が吸着穴５２側に吸引されてクリーンペーパー２１内を流通する（図９ではクリーンペーパー内の空気の流れを矢印Ａ１で示す）。クリーンペーパー２１の上面は、ガラス製の部品２３の搭載により多数の小孔が部品２３の下面で閉鎖されるため、部品２３は吸着ブロック５１側（クリーンペーパー２１側）に吸引されて位置決めされる（図９では吸着力の強さを部品２３内の矢印Ｆ１の長さで示す）。
【００３１】
支持部材５５は、図２に示すように、基台１１に対して図示しない固定部材により固定されている。バックアップユニット５０は、図６に示すように、左右一対の側板５７の間に保持されている。一対の側板５７は、吸着ブロック５１と支持部材５５とを両側から挟んでおり、一対の側板５７の内面には、前後一対のプーリ５９が回動可能に支持されている。一対のプーリ５９には、循環駆動する搬送ベルト１３が張設されている。一対の側板５７の上端部は、前後方向の全長に亘って内方側に板状に張り出した張出部５７Ａが設けられており、張出部５７Ａと搬送ベルト１３の間にクリーンペーパー２１の側縁部が配されるようになっている。図６の搬送ベルト１３の前方及び後方には、他の搬送ベルト１３が連続するように設けられており、搬送対象物２０は、前後方向に並んだ複数の搬送ベルト１３により所定の速度で搬送される。
【００３２】
図１に示すように、部品供給装置６０は、４箇所に配されており、複数のフィーダ６１が前後方向に整列した状態で部品供給装置６０に取り付けられている。各フィーダ６１は、複数の電子部品Ｅが収容された部品供給テープをリールから引き出す図示しない電動式の送出装置などを備えており、各フィーダ６１は、電子部品Ｅを一つずつ部品移載ユニット３０に供給する。
【００３３】
次に、表面実装機１０の電気的構成を、図３を参照しつつ説明する。
表面実装機１０は、制御部７０によって全体が統括制御されており、制御部７０は、演算処理部７１（「算出手段」，「調整手段」の一例）を備えている。演算処理部７１には、モータ制御部７２、記憶部７３、画像処理部７４、外部入出力部７５、部品供給装置通信部７６、管理装置通信部７７、操作部１７、表示部１８などが接続されている。
【００３４】
演算処理部７１は、記憶部７３に記憶されたプログラムを実行することで、外部入出力部７５を通じてエア供給装置４７を作動する。これにより、吸着ノズル４５や、吸着ブロック５１の負圧供給路５３に供給される空気の圧力が制御される。また、モータ制御部７２は、演算処理部７１の指令により、記憶部７３に記憶されている実装プログラムに基づいて、Ｘ軸サーボモータ３３、Ｙ軸サーボモータ３７、Ｚ軸サーボモータ４２、Ｒ軸サーボモータ４３、搬送コンベア１２などを制御し、搬送対象物２０に電子部品Ｅや部品２３を搭載する。
【００３５】
記憶部７３には、搬送対象物２０に電子部品Ｅや部品２３を搭載するための搭載プログラムや、各種データなどが記憶されている。各種データには、生産が予定されている基板の生産枚数や品種に関する情報、基板上において複数の電子部品Ｅや部品２３を搭載すべき位置（座標）などが含まれている。画像処理部７４は、搬送対象物認識カメラ４９や部品認識カメラ４８から出力される画像信号が取り込まれるようになっており、取り込んだ画像信号に基づいて画像や部品２３等の位置情報を生成する。
【００３６】
外部入出力部７５は、いわゆるインターフェースであり、センサ類４６とエア供給装置４７に接続されている。センサ類４６は、検出センサ４６Ａ（図１）と、負圧供給路５３の圧力を検出する圧力センサ４６Ｂ（図８）とを有する。演算処理部７１は、外部入出力部７５を通じて圧力センサ４６Ｂから出力される検出信号を取り込み、外部入出力部７５を通じて制御信号をエア供給装置４７に出力する。
【００３７】
部品供給装置通信部７６は、部品供給装置６０に接続されており、部品供給装置６０を統括して制御する。管理装置通信部７７は、管理装置７８と通信可能に接続されている。管理装置７８は、生産予定の基板の種類に基づいて最適化プログラムを実行し、電子部品Ｅや部品２３を搭載する順番などを事前に決定する。操作部１７は、キーボードやマウスなどの作業者が操作可能な入力装置を備えている。表示部１８は、液晶モニタ等からなり、作業者が視認可能とされている。
【００３８】
電子部品の位置調整処理について、図１０のフローチャートを参照しつつ、説明する。
例えば、ロールに巻かれた状態のクリーンペーパー２１に対して鋏やカッター等の切断工具を用いて所定の長さにカットする。そして、搬送コンベア１２を駆動し、所定の長さのクリーンペーパー２１を搬送コンベア１２により搬送する。クリーンペーパー２１がバックアップユニット５０上の搬送停止位置まで搬送されたことを検出センサ４６Ａが検出すると（Ｓ２で「ＹＥＳ」）、演算処理部７１は、搬送コンベア１２を停止し（Ｓ３）、外部入出力部７５を通じてエア供給装置４７を作動させ、吸着ブロック５１の負圧供給路５３に負圧を供給する（Ｓ４）。これにより、負圧が吸着ブロック５１の吸着穴５２に供給され、搬送停止位置に配置されたクリーンペーパー２１がバックアップユニット５０の吸着ブロック５１に吸引され、バックアップユニット５０上のクリーンペーパー２１が位置決めされる。
【００３９】
（搭載工程）
次に、ヘッドユニット３８のヘッド部４０は、部品供給装置６０から供給された部品２３を負圧により吸着ノズル４５に吸着し、部品２３を設定されている実装すべき位置に搭載する（Ｓ５）。搭載された部品２３は、クリーンペーパ２１を介して負圧により吸引される。
【００４０】
（撮像工程）
次に、搬送対象物認識カメラ４９により、部品２３が搭載されたクリーンペーパー２１を上方側から撮像する（Ｓ６）。
（位置認識工程）
画像処理部７４は、搬送対象物認識カメラ４９で撮影した画像について、部品２３の各搭載位置ごとに、４か所のマークＭの座標を認識し、４か所のマークＭの中心位置、及び、４か所のマークＭの位置により、クリーンペーパー２１上における部品２３の搭載位置及び水平方向の回転を検出する（Ｓ７）。
【００４１】
（算出工程）
次に、演算処理部７１は、記憶部７３に記憶されている部品２３の実装すべき設定座標及び水平方向の回転角度と、画像処理部７４により検出された部品２３の中心位置の座標及び水平方向の回転角度との差（位置ずれ）を算出する（Ｓ８）。
（調整工程）
演算処理部７１は、記憶部７３に記憶されている設定座標及び水平方向の回転角度と、演算処理部７１により算出された座標及び水平方向の回転角度とに基づいて、設定されている座標及び水平方向の回転角度を修正し（Ｓ９）、修正した新たな座標及び水平方向の回転角度を記憶部７３に記憶する。なお、本実施形態では、演算処理部７１は、設定座標及び回転角度に基づき修正した座標及び回転角度を記憶部７３に記憶する構成としたが、これに限られず、例えば、設定座標のみに基づいて修正したり、修正した座標のみを記憶部７３に記憶するようにしてもよい。
【００４２】
上記した位置確認検査はクリーンペーパー２１上（基板上）における部品２３を実装（搭載）すべき全ての位置に対して行う。なお、位置認識工程、算出工程、調整工程は、搭載工程及び撮像工程の都度行ってもよいいが、これに限られず、搭載位置の全てに対して搭載工程及び撮像工程を行った後に、位置認識工程、算出工程、調整工程をまとめて行うようにしてもよい。
【００４３】
複数の部品搭載箇所の全てについて、位置調整が終了したら、エア供給装置４７からの負圧供給路５３への負圧の供給を停止し（Ｓ１０）、搬送コンベア１２を駆動して、（部品２３が実装されていない）クリーンペーパー２１を搬出する（Ｓ１１）。
【００４４】
本実施形態によれば、以下の作用、効果を奏する。
本実施形態の表面実装機１０（位置確認装置）は、吸着穴５２が形成され、多孔質材料を含む板状のクリーンペーパー２１（多孔質部材）に対向して配される吸着ブロック５１と、吸着ブロック５１における吸着穴５２内の空気を吸引するエア供給装置４７（吸引手段）と、エア供給装置４７により吸着穴５２内の空気が吸引された状態の吸着ブロック５１上に配されたクリーンペーパー２１に部品２３を複数回搭載するヘッド部４０と、クリーンペーパー２１に搭載された状態の部品２３の位置を認識する搬送対象物認識カメラ４９（位置認識手段）と、搬送対象物認識カメラ４９により認識した部品２３の位置と予め設定されている部品２３の搭載位置とに基づいて搭載位置のずれを算出する算出する演算処理部７１（算出手段）と、を備える。また、位置確認方法は、多孔質材料を含む板状のクリーンペーパー２１（多孔質部材）に部品２３を複数回搭載する搭載工程と、クリーンペーパー２１に搭載された状態の部品２３の位置を認識する位置認識工程と、を備える。
【００４５】
本実施形態によれば、多孔質材料により形成されたクリーンペーパー２１に部品２３が搭載されることにより、多孔質ではない部材に部品２３を搭載する場合と比較して、部品２３の位置を保持することが容易になり、また、クリーンペーパー２１上に部品２３を保持して部品２３の移動を防止でき、位置確認の精度を向上させることが可能になる。また、部品２３の位置を保持するために、例えばＳＵＳ板等に表面処理を施してジグ基板として使用する場合と比較して必ずしも表面処理を行わなくてもよいため、部品２３の位置を確認する方法を簡素化することが可能になる。
【００４６】
クリーンペーパー２１は、厚み方向に通気可能とされており、搭載工程では、吸着穴５２が形成された吸着ブロック５１上に配されたクリーンペーパー２１に対して吸着穴５２内の空気の吸引によりクリーンペーパー２１を吸着ブロック５１側に吸引した状態でクリーンペーパー２１に部品２３を搭載し、位置認識工程で認識した部品２３の位置と予め設定されている部品２３の搭載位置とに基づいて搭載位置のずれを算出する算出工程と、を備える。
このようにすれば、クリーンペーパー２１を吸着ブロック５１側に吸引することでクリーンペーパー２１の位置を保持することができるため、部品２３の位置確認の精度を向上させることができる。
【００４７】
また、クリーンペーパー２１は、吸着ブロック５１に応じた大きさで切断される。
このようにすれば、鋏やカッターを用いてクリーンペーパー２１を吸着ブロック５１に応じた大きさにカットして使用することができる。
【００４８】
また、クリーンペーパー２１は、発塵防止処理が施されたクリーンペーパー２１である。
このようにすれば、クリーンペーパー２１に傷や凹凸が生じても安価に取り換えることができる。また、位置の確認時に容易に新品に取り替えて使用することができる。また、使用環境基準の厳しいクリーンルームで使用することができる。
【００４９】
また、一つの部品２３がクリーンペーパー２１上の複数の位置に順番に搭載される。
このようにすれば、位置確認のために複数の部品を用いる場合と比較して、部品２３の個体差により生じる位置の誤差を抑制することができる。
【００５０】
また、搭載工程は、搬送コンベア１２（搬送手段）により搬送されて搬送停止位置で停止したクリーンペーパー２１に対して部品２３を複数回搭載し、位置認識工程は、搬送停止位置で停止したクリーンペーパー２１に搭載された状態の部品２３の位置を認識する。
このようにすれば、搬送停止位置におけるクリーンペーパー２１の位置ずれを抑制することができる。
【００５１】
位置認識工程で認識した部品２３の位置と予め設定されている部品２３の搭載位置とに基づいて設定されている部品２３の位置を調整する位置調整方法とする。
このようにすれば、簡素な構成で部品２３の搭載位置の精度を高めることができる。
【００５２】
また、搬送対象物認識カメラ４９で認識した部品２３の位置と予め設定されている部品２３の搭載位置とに基づいて設定されている部品２３の搭載位置を調整する演算処理部７１（調整手段）を備える。
このようにすれば、実装位置の誤差を修正することができる。
【００５３】
＜他の実施形態＞
本明細書に記載された技術は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本明細書に記載された技術の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施形態では、クリーンペーパー２１を搬送コンベア１２で搬送する構成としたが、これに限られず、例えば、クリーンペーパー２１を搬送コンベア１２で搬送せず、作業者がクリーンペーパー２１を吸着ブロック５１上の所定位置に重ね、この状態でエア供給装置４７を作動させて吸着ブロック５１の負圧供給路５３に負圧を供給し、クリーンペーパー２１を位置決めするようにしてもよい。
また、上記実施形態では、部品２３の位置調整が終了したら、搬送コンベア１２により（部品２３が実装されていない）クリーンペーパー２１を搬出する構成としたが、これに限られず、作業者がクリーンペーパー２１を吸着ブロック５１上から取り除いてもよい。
【００５４】
（２）上記実施形態では、基板処理装置として表面実装機１０としたが、これに限られず、例えば、基板に半田ペーストを印刷する印刷機や、基板上に接着剤を塗布する塗布装置としてもよい。
【００５５】
（３）上記実施形態では、多孔質部材の一例として、クリーンペーパー２１を用いた構成にしたが、これに限らず、クリーンペーパー２１以外の多孔質部材を用いてもよい。多孔質部材として、例えば、多孔質ガラス、多孔質シリコン等を用いてもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１０：  表面実装機、１１：  基台、１２：  搬送コンベア、１３：  搬送ベルト、２０：  搬送対象物、２１：  クリーンペーパー、２３：  部品、３０：  部品移載ユニット、３８：  ヘッドユニット、４０：  ヘッド部、４６：  センサ類、４７：  エア供給装置、４９：  搬送対象物認識カメラ、５０：  バックアップユニット、５１：  吸着ブロック、５２：  吸着穴、５３：  負圧供給路、７０：  制御部、７１：  演算処理部、７３：  記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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