(57)【要約】【課題】作業者の負担が軽減されるようにパラメータ設計を支援するパラメータ設計支援装置を提供する。【解決手段】パラメータ設計支援装置２は、記憶部２４及び制御部２５を備える。記憶部２４は、基板処理装置１を制御するレシピを記憶する。制御部２５は、複数の制御因子のそれぞれの水準値を少なくとも１つ取得する。水準値は、基板処理装置１が基板１１を処理する際の条件を示す。制御部２５は、取得した水準値の組み合わせを示す組み合わせ情報を統計的手法によって生成する。制御部２５は、記憶部２４に記憶されたレシピと、組み合わせ情報とに基づいて、水準値の組み合わせごとに評価レシピを作成する。制御部２５は、評価レシピが、制御因子に対応するパラメータを含む場合、そのパラメータのパラメータ値として、対応する制御因子の水準値を設定する。【選択図】図２
2019029445.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置を制御するレシピを記憶する記憶部と、
複数の制御因子のそれぞれの水準値を少なくとも１つ取得する制御部と
を備え、
前記水準値は、前記基板処理装置が基板を処理する際の条件を示し、
前記制御部は、
取得した前記水準値の組み合わせを示す組み合わせ情報を統計的手法によって生成し、
前記レシピと前記組み合わせ情報とに基づいて、前記水準値の組み合わせごとに評価レシピを作成し、
前記評価レシピが、前記制御因子に対応するパラメータを含む場合、そのパラメータのパラメータ値として、対応する前記制御因子の水準値を設定する、パラメータ設計支援装置。
【請求項２】
前記統計的手法は、タグチメソッド又は実験計画法である、請求項１に記載のパラメータ設計支援装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記水準値を直交表に割り付けて前記組み合わせ情報を生成する、請求項２に記載のパラメータ設計支援装置。
【請求項４】
作業者が操作する入力部を備え、
前記入力部は、前記複数の制御因子の登録を受け付ける、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のパラメータ設計支援装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記水準値の組み合わせごとに、前記評価レシピに基づいて前記基板処理装置を動作させる、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のパラメータ設計支援装置。
【請求項６】
作業者が操作する入力部を備え、
前記入力部は、選択指示を受け付け、
前記選択指示は、前記制御部のモードを、前記評価レシピを作成するモードから前記基板処理装置を動作させるモードに遷移させるか否かを示す、請求項５に記載のパラメータ設計支援装置。
【請求項７】
前記複数の制御因子は、前記評価レシピによって制御できないレシピ対象外因子を含み、
前記制御部は、前記レシピ対象外因子が、対応する前記水準値となるまで、前記基板処理装置による処理の実行を待機させる、請求項５又は請求項６に記載のパラメータ設計支援装置。
【請求項８】
作業者が操作する入力部を備え、
前記入力部は、前記レシピ対象外因子が、対応する前記水準値となったことを示す準備完了指示を受け付け、
前記制御部は、前記入力部が前記準備完了指示を受け付けると、前記基板処理装置に前記基板を処理させる、請求項７に記載のパラメータ設計支援装置。
【請求項９】
前記複数の制御因子は、パラメータ値が安定するまで待機する必要があるパラメータに対応する待機因子を含み、
前記制御部は、前記待機因子が、対応する前記水準値で安定するまで、前記基板処理装置による処理の実行を待機させる、請求項５から請求項８のいずれか１項に記載のパラメータ設計支援装置。
【請求項１０】
前記制御部は、前記組み合わせ情報の生成及び前記評価レシピの作成を繰り返し、
前記制御部は、２回目以降の前記組み合わせ情報の生成時に、前記複数の制御因子のうちの少なくとも一部の前記水準値を変更する、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のパラメータ設計支援装置。
【請求項１１】
作業者が操作する入力部を備え、
前記入力部は、前記制御因子ごとに前記水準値の範囲の登録を受け付け、
前記制御部は、前記水準値を取得する際に、対応する前記水準値の範囲に含まれる値を取得し、
前記制御部は、２回目以降の前記組み合わせ情報の生成時に、前記複数の制御因子のうちの少なくとも一部の前記水準値として、対応する前記水準値の範囲から前回とは異なる値を取得する、請求項１０に記載のパラメータ設計支援装置。
【請求項１２】
前記制御部は、
前記基板処理装置によって処理された前記基板の検査結果に基づき、前記水準値のそれぞれのＳＮ比及び感度のうち、少なくとも前記ＳＮ比を算出し、
前記ＳＮ比及び／又は前記感度が合否基準の範囲内の値ではない前記制御因子が存在するか否かを判定し、
前記ＳＮ比及び／又は前記感度が前記合否基準の範囲内の値ではない前記制御因子が存在しないと判定した場合、前記組み合わせ情報の生成及び前記評価レシピの作成の繰り返しを終了する、請求項１０又は請求項１１に記載のパラメータ設計支援装置。
【請求項１３】
アラームを通知するアラーム通知部を備え、
前記組み合わせ情報の生成及び前記評価レシピの作成を繰り返した回数が所定回数に達しても、前記ＳＮ比及び／又は前記感度が前記合否基準の範囲内の値ではない前記制御因子が存在する場合に、前記アラーム通知部が前記アラームを通知する、請求項１２に記載のパラメータ設計支援装置。
【請求項１４】
制御部が、複数の制御因子のそれぞれの水準値を少なくとも１つ取得して、取得した前記水準値の組み合わせを示す組み合わせ情報を統計的手法によって生成する組み合わせ情報生成工程と、
前記制御部が、基板処理装置を制御するレシピと前記組み合わせ情報とに基づいて、前記水準値の組み合わせごとに評価レシピを作成する評価レシピ作成工程と
を包含し、
前記水準値は、前記基板処理装置が基板を処理する際の条件を示し、
前記評価レシピ作成工程において、前記制御部は、前記評価レシピが、前記制御因子に対応するパラメータを含む場合、そのパラメータのパラメータ値として、対応する前記制御因子の水準値を設定する、パラメータ設計支援方法。
【請求項１５】
前記統計的手法は、タグチメソッド又は実験計画法である、請求項１４に記載のパラメータ設計支援方法。
【請求項１６】
前記組み合わせ情報生成工程において、前記制御部は、前記水準値を直交表に割り付けて前記組み合わせ情報を生成する、請求項１５に記載のパラメータ設計支援方法。
【請求項１７】
前記組み合わせ情報生成工程において、入力部が、前記複数の制御因子の登録を受け付ける、請求項１４から請求項１６のいずれか１項に記載のパラメータ設計支援方法。
【請求項１８】
前記制御部が、前記水準値の組み合わせごとに、前記評価レシピに基づいて前記基板処理装置を動作させる処理工程を更に包含する、請求項１４から請求項１７のいずれか１項に記載のパラメータ設計支援方法。
【請求項１９】
入力部が選択指示を受け付ける工程を更に包含し、
前記選択指示は、前記制御部のモードを、前記評価レシピを作成するモードから前記基板処理装置を動作させるモードに遷移させるか否かを示す、請求項１８に記載のパラメータ設計支援方法。
【請求項２０】
前記複数の制御因子は、前記評価レシピによって制御できないレシピ対象外因子を含み、
前記処理工程において、前記制御部は、前記レシピ対象外因子が、対応する前記水準値となるまで、前記基板処理装置による処理の実行を待機させる、請求項１８又は請求項１９に記載のパラメータ設計支援方法。
【請求項２１】
前記処理工程は、入力部が準備完了指示を受け付ける工程を包含し、
前記準備完了指示は、前記レシピ対象外因子が、対応する前記水準値となったことを示し、
前記入力部が前記準備完了指示を受け付けると、前記制御部は、前記基板処理装置に前記基板を処理させる、請求項２０に記載のパラメータ設計支援方法。
【請求項２２】
前記複数の制御因子は、パラメータ値が安定するまで待機する必要があるパラメータに対応する待機因子を含み、
前記処理工程において、前記制御部は、前記待機因子が、対応する前記水準値で安定するまで、前記基板処理装置による処理の実行を待機させる、請求項１８から請求項２１のいずれか１項に記載のパラメータ設計支援方法。
【請求項２３】
前記組み合わせ情報生成工程及び前記評価レシピ作成工程は繰り返され、
２回目以降の前記組み合わせ情報生成工程において、前記制御部は、前記複数の制御因子のうちの少なくとも一部の前記水準値を変更する、請求項１４から請求項２２のいずれか１項に記載のパラメータ設計支援方法。
【請求項２４】
前記組み合わせ情報生成工程において、
入力部が、前記制御因子ごとに前記水準値の範囲の登録を受け付け、
前記制御部が、前記水準値を取得する際に、対応する前記水準値の範囲に含まれる値を取得し、
２回目以降の前記組み合わせ情報生成工程において、前記制御部は、前記複数の制御因子のうちの少なくとも一部の前記水準値として、対応する前記水準値の範囲から前回とは異なる値を取得する、請求項２３に記載のパラメータ設計支援方法。
【請求項２５】
前記制御部が、前記基板処理装置によって処理された前記基板の検査結果に基づき、前記水準値のそれぞれのＳＮ比及び感度のうち、少なくとも前記ＳＮ比を算出する算出工程と、
前記制御部が、前記算出工程において算出された前記ＳＮ比及び／又は前記感度が合否基準の範囲内の値ではない前記制御因子が存在するか否かを判定する工程と
を更に包含し、
前記ＳＮ比及び／又は前記感度が前記合否基準の範囲内の値ではない前記制御因子が存在しないと前記制御部が判定した場合、前記組み合わせ情報生成工程及び前記評価レシピ作成工程の繰り返しが終了する、請求項２３又は請求項２４に記載のパラメータ設計支援方法。
【請求項２６】
前記組み合わせ情報生成工程及び前記評価レシピ作成工程を繰り返した回数が所定回数に達しても、前記ＳＮ比及び／又は前記感度が前記合否基準の範囲内の値ではない前記制御因子が存在すると前記制御部が判定した場合に、アラーム通知部がアラームを通知する工程を更に包含する、請求項２５に記載のパラメータ設計支援方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パラメータ設計支援装置、及びパラメータ設計支援方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置のパラメータ設計は、試行（所謂「条件出し」）を繰り返すことによって行われる。具体的には、基板の処理に係る種々のパラメータ値（処理条件）を変更しながら基板を処理し、その結果を解析することにより、ロバスト性があるパラメータ値を決定している（例えば、特許文献１参照）。基板処理装置のパラメータ設計は、製品開発時だけではなく、基板処理装置を構成する部品の経時変化等によってパラメータ値の変更が必要となった場合にも行われる。
【０００３】
また、一般的に、パラメータ設計を行う際には、実験（試行）の回数を減らすために直交表が利用される。直交表は、専用のアプリケーションソフトを用いることによって、容易に作成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２５８５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、直交表を利用する場合であっても、特許文献１に記載されているように、各パラメータ値をダイアログ画面を介して作業者が変更（入力）する構成では、入力ミスが起きないように慎重に各パラメータ値を変更する必要があり、作業者の負担を考慮すれば、更なる改良の余地がある。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、作業者の負担が軽減されるようにパラメータ設計を支援するパラメータ設計支援装置、及びパラメータ設計支援方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るパラメータ設計支援装置は、記憶部と、制御部とを備える。前記記憶部は、基板処理装置を制御するレシピを記憶する。前記制御部は、複数の制御因子のそれぞれの水準値を少なくとも１つ取得する。前記水準値は、前記基板処理装置が基板を処理する際の条件を示す。前記制御部は、取得した前記水準値の組み合わせを示す組み合わせ情報を統計的手法によって生成する。前記制御部は、前記レシピと前記組み合わせ情報とに基づいて、前記水準値の組み合わせごとに評価レシピを作成する。前記制御部は、前記評価レシピが、前記制御因子に対応するパラメータを含む場合、そのパラメータのパラメータ値として、対応する前記制御因子の水準値を設定する。
【０００８】
ある実施形態において、前記統計的手法は、タグチメソッド又は実験計画法である。
【０００９】
ある実施形態において、前記制御部は、前記水準値を直交表に割り付けて前記組み合わせ情報を生成する。
【００１０】
ある実施形態において、前記パラメータ設計支援装置は、作業者が操作する入力部を備える。前記入力部は、前記複数の制御因子の登録を受け付ける。
【００１１】
ある実施形態において、前記制御部は、前記水準値の組み合わせごとに、前記評価レシピに基づいて前記基板処理装置を動作させる。
【００１２】
ある実施形態において、前記パラメータ設計支援装置は、作業者が操作する入力部を備える。前記入力部は、選択指示を受け付ける。前記選択指示は、前記制御部のモードを、前記評価レシピを作成するモードから前記基板処理装置を動作させるモードに遷移させるか否かを示す。
【００１３】
ある実施形態において、前記複数の制御因子は、前記評価レシピによって制御できないレシピ対象外因子を含む。前記制御部は、前記レシピ対象外因子が、対応する前記水準値となるまで、前記基板処理装置による処理の実行を待機させる。
【００１４】
ある実施形態において、前記パラメータ設計支援装置は、作業者が操作する入力部を備える。前記入力部は、前記レシピ対象外因子が、対応する前記水準値となったことを示す準備完了指示を受け付ける。前記制御部は、前記入力部が前記準備完了指示を受け付けると、前記基板処理装置に前記基板を処理させる。
【００１５】
ある実施形態において、前記複数の制御因子は、パラメータ値が安定するまで待機する必要があるパラメータに対応する待機因子を含む。前記制御部は、前記待機因子が、対応する前記水準値で安定するまで、前記基板処理装置による処理の実行を待機させる。
【００１６】
ある実施形態において、前記制御部は、前記組み合わせ情報の生成及び前記評価レシピの作成を繰り返す。前記制御部は、２回目以降の前記組み合わせ情報の生成時に、前記複数の制御因子のうちの少なくとも一部の前記水準値を変更する。
【００１７】
ある実施形態において、前記パラメータ設計支援装置は、作業者が操作する入力部を備える。前記入力部は、前記制御因子ごとに前記水準値の範囲の登録を受け付ける。前記制御部は、前記水準値を取得する際に、対応する前記水準値の範囲に含まれる値を取得する。前記制御部は、２回目以降の前記組み合わせ情報の生成時に、前記複数の制御因子のうちの少なくとも一部の前記水準値として、対応する前記水準値の範囲から前回とは異なる値を取得する。
【００１８】
ある実施形態において、前記制御部は、前記基板処理装置によって処理された前記基板の検査結果に基づき、前記水準値のそれぞれのＳＮ比及び感度のうち、少なくとも前記ＳＮ比を算出する。前記制御部は、前記ＳＮ比及び／又は前記感度が合否基準の範囲内の値ではない前記制御因子が存在するか否かを判定する。前記制御部は、前記ＳＮ比及び／又は前記感度が前記合否基準の範囲内の値ではない前記制御因子が存在しないと判定した場合、前記組み合わせ情報の生成及び前記評価レシピの作成の繰り返しを終了する。
【００１９】
ある実施形態において、前記パラメータ設計支援装置は、アラームを通知するアラーム通知部を備える。前記組み合わせ情報の生成及び前記評価レシピの作成を繰り返した回数が所定回数に達しても、前記ＳＮ比及び／又は前記感度が前記合否基準の範囲内の値ではない前記制御因子が存在する場合に、前記アラーム通知部が前記アラームを通知する。
【００２０】
本発明に係るパラメータ設計支援方法は、組み合わせ情報生成工程と、評価レシピ作成工程とを包含する。前記組み合わせ情報生成工程では、制御部が、複数の制御因子のそれぞれの水準値を少なくとも１つ取得して、取得した前記水準値の組み合わせを示す組み合わせ情報を統計的手法によって生成する。前記水準値は、基板処理装置が基板を処理する際の条件を示す。前記評価レシピ作成工程では、前記制御部が、前記基板処理装置を制御するレシピと前記組み合わせ情報とに基づいて、前記水準値の組み合わせごとに評価レシピを作成する。前記評価レシピ作成工程において、前記制御部は、前記評価レシピが、前記制御因子に対応するパラメータを含む場合、そのパラメータのパラメータ値として、対応する前記制御因子の水準値を設定する。
【００２１】
ある実施形態において、前記統計的手法は、タグチメソッド又は実験計画法である。
【００２２】
ある実施形態では、前記組み合わせ情報生成工程において、前記制御部は、前記水準値を直交表に割り付けて前記組み合わせ情報を生成する。
【００２３】
ある実施形態では、前記組み合わせ情報生成工程において、入力部が、前記複数の制御因子の登録を受け付ける。
【００２４】
ある実施形態において、前記パラメータ設計支援方法は、処理工程を更に包含する。前記処理工程では、前記制御部が、前記水準値の組み合わせごとに、前記評価レシピに基づいて前記基板処理装置を動作させる。
【００２５】
ある実施形態において、前記パラメータ設計支援方法は、入力部が選択指示を受け付ける工程を更に包含する。前記選択指示は、前記制御部のモードを、前記評価レシピを作成するモードから前記基板処理装置を動作させるモードに遷移させるか否かを示す。
【００２６】
ある実施形態において、前記複数の制御因子は、前記評価レシピによって制御できないレシピ対象外因子を含む。前記処理工程において、前記制御部は、前記レシピ対象外因子が、対応する前記水準値となるまで、前記基板処理装置による処理の実行を待機させる。
【００２７】
ある実施形態において、前記処理工程は、入力部が準備完了指示を受け付ける工程を包含する。前記準備完了指示は、前記レシピ対象外因子が、対応する前記水準値となったことを示す。前記入力部が前記準備完了指示を受け付けると、前記制御部は、前記基板処理装置に前記基板を処理させる。
【００２８】
ある実施形態において、前記複数の制御因子は、パラメータ値が安定するまで待機する必要があるパラメータに対応する待機因子を含む。前記処理工程において、前記制御部は、前記待機因子が、対応する前記水準値で安定するまで、前記基板処理装置による処理の実行を待機させる。
【００２９】
ある実施形態では、前記組み合わせ情報生成工程及び前記評価レシピ作成工程が繰り返される。２回目以降の前記組み合わせ情報生成工程において、前記制御部は、前記複数の制御因子のうちの少なくとも一部の前記水準値を変更する。
【００３０】
ある実施形態では、前記組み合わせ情報生成工程において、入力部が、前記制御因子ごとに前記水準値の範囲の登録を受け付ける。前記制御部が、前記水準値を取得する際に、対応する前記水準値の範囲に含まれる値を取得する。２回目以降の前記組み合わせ情報生成工程において、前記制御部は、前記複数の制御因子のうちの少なくとも一部の前記水準値として、対応する前記水準値の範囲から前回とは異なる値を取得する。
【００３１】
ある実施形態において、前記パラメータ設計支援方法は、算出工程と、判定工程とを更に包含する。前記算出工程では、前記制御部が、前記基板処理装置によって処理された前記基板の検査結果に基づき、前記水準値のそれぞれのＳＮ比及び感度のうち、少なくとも前記ＳＮ比を算出する。前記判定工程では、前記制御部が、前記算出工程において算出された前記ＳＮ比及び／又は前記感度が合否基準の範囲内の値ではない前記制御因子が存在するか否かを判定する。前記ＳＮ比及び／又は前記感度が前記合否基準の範囲内の値ではない前記制御因子が存在しないと前記制御部が判定した場合、前記組み合わせ情報生成工程及び前記評価レシピ作成工程の繰り返しが終了する。
【００３２】
ある実施形態において、前記パラメータ設計支援方法は、前記組み合わせ情報生成工程及び前記評価レシピ作成工程を繰り返した回数が所定回数に達しても、前記ＳＮ比及び／又は前記感度が前記合否基準の範囲内の値ではない前記制御因子が存在すると前記制御部が判定した場合に、アラーム通知部がアラームを通知するアラーム通知工程を更に包含する。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、作業者の負担を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施形態１に係るパラメータ設計支援システムを示す図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る操作装置の構成を示す図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る第１設定画面を示す図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る第２設定画面を示す図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る第３設定画面を示す図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る第４設定画面を示す図である。
【図７】本発明の実施形態１に係る第５設定画面を示す図である。
【図８】本発明の実施形態１に係るパラメータ設計支援システムのフローを示す図である。
【図９】（ａ）は制御因子と水準値との関係の一例を示す表であり、（ｂ）はＳＮ比の要因効果図の一例を示す図であり、（ｃ）は感度の要因効果図の一例を示す図である。
【図１０】本発明の実施形態１に係る処理工程を示す図である。
【図１１】本発明の実施形態２に係る第２設定画面を示す図である。
【図１２】本発明の実施形態２に係るパラメータ設計支援システムのフローを示す図である。
【図１３】本発明の実施形態３に係るパラメータ設計支援システムのフローを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されない。図中、同一又は相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。
【００３６】
［実施形態１］
図１は、本実施形態に係るパラメータ設計支援システム１０を示す図である。図１に示すように、パラメータ設計支援システム１０は、基板処理装置１、操作装置２、検査装置３、及び通信ケーブル４を備える。
【００３７】
基板処理装置１は、基板１１を１枚ずつ処理する枚葉式の装置である。具体的には、基板処理装置１は、基板１１に対して薬液を吐出することにより、基板１１を処理する。本実施形態において、基板１１は、半導体ウエハである。
【００３８】
基板１１に対する処理は特に限定されず、例えば、基板処理装置１は、基板１１を洗浄する洗浄装置であり得る。あるいは、基板処理装置１は、基板１１をエッチングするエッチング装置であり得る。具体的には、洗浄装置は、チャンバー内で、回転している基板１１に向けてノズルから薬液を吐出することにより、基板１１を洗浄する。エッチング装置は、チャンバー内で、回転している基板１１に向けてノズルから薬液を吐出することにより、基板１１をエッチングする。
【００３９】
薬液には、例えば、フッ化水素酸（フッ酸）のようなフッ化水素（ＨＦ）を含む液体が使用される。なお、薬液は、フッ化水素を含む液体に限定されず、例えば、硫酸、酢酸、硝酸、塩酸、アンモニア水、過酸化水素水、クエン酸及び蓚酸のような有機酸、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）のような有機アルカリ、界面活性剤、並びに腐食防止剤のうちの少なくとも１つを含む液体であってもよい。
【００４０】
また、基板処理装置１は、基板１１に対してリンス液を吐出することにより、リンス処理を行う。リンス処理は、薬液による処理（以下、「薬液処理」と記載する場合がある。）の後に実行される。具体的には、薬液処理後、チャンバー内で、回転している基板１１に向けてノズルからリンス液を吐出することにより、基板１１上の薬液をリンス液に置換する。
【００４１】
リンス液には、例えば脱イオン水（Ｄｅｉｏｎｉｚｅｄ  ｗａｔｅｒ；ＤＩＷ）、所謂「超純水」が使用される。なお、リンス液はＤＩＷに限定されず、例えば、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、及び希釈濃度（例えば、１０ｐｐｍ〜１００ｐｐｍ程度）のアンモニア水のいずれかであってもよい。
【００４２】
以下、基板処理装置１によって所定の処理が施される前の基板１１を「未処理基板１１ｂ」と記載する場合がある。また、基板処理装置１によって所定の処理が施された後の基板１１を「処理済み基板１１ａ」と記載する場合がある。
【００４３】
操作装置２は、作業者による操作を受け付ける。操作装置２は、本発明に係るパラメータ設計支援装置に相当する。操作装置２は、作業者による操作に応じて、複数の評価レシピを作成する。また、操作装置２は、各評価レシピに基づいて基板処理装置１を動作させる。この結果、複数の評価レシピに対応する複数の処理済み基板１１ａが生成される。なお、評価レシピ（レシピ）は、基板処理装置１を動作させるために必要な情報を示す。具体的には、評価レシピ（レシピ）は、基板処理装置１を動作させるために必要な各パラメータの目標値（パラメータ値）を示す。また、評価レシピ（レシピ）は、基板処理装置１が所定の処理を実行する手順を示す。
【００４４】
検査装置３は、各処理済み基板１１ａを検査して、各処理済み基板１１ａの検査結果データ（特性値を示すデータ）を作成する。検査装置３は、通信ケーブル４を介して操作装置２に検査結果データを送信する。処理済み基板１１ａに対する検査は、基板処理装置１の処理内容に応じた検査である限り特に限定されない。例えば、基板処理装置１が洗浄処理を実行する場合、検査装置３は、パーティクルを測定する装置であり得る。また、基板処理装置１がエッチング処理を実行する場合、検査装置３は、エッチング量を測定する装置であり得る。
【００４５】
続いて図２を参照して、操作装置２の構成について説明する。図２は、操作装置２の構成を示す図である。図２に示すように、操作装置２は、表示部２１、入力部２２、接続部２３、記憶部２４、及び制御部２５を備える。
【００４６】
表示部２１は、各種の画面を表示する。表示部２１は、典型的には、液晶ディスプレイ又は有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイのようなディスプレイ装置である。本実施形態において、表示部２１は、パラメータ設計に必要な各種の情報の登録を受け付ける設定画面を表示する。設定画面は、典型的には、ダイアログ画面である。
【００４７】
入力部２２は、作業者が操作するユーザーインターフェース装置である。入力部２２は、作業者の操作に応じた指示（制御信号）を制御部２５に入力する。また、入力部２２は、作業者の操作に応じたデータを制御部２５に入力する。本実施形態において、作業者は、入力部２２を操作して、表示部２１に表示された設定画面に各種の情報を入力（登録又は設定）することができる。入力部２２は、典型的には、キーボード及びマウスを有する。なお、入力部２２は、タッチセンサーを有してもよい。タッチセンサーは、表示部２１の表示面に重畳されて、作業者の表示面に対するタッチ操作を示す信号を生成する。作業者は、タッチ操作により、操作装置２に対して各種の指示を入力することができる。
【００４８】
接続部２３は、通信ケーブル４の一端が接続される端子を有する。接続部２３は、例えばＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）ボードのようなネットワークインターフェイスであり得る。通信ケーブル４によって送信された検査結果データは、接続部２３を介して制御部２５に入力される。
【００４９】
記憶部２４は、作業者が入力部２２を操作して入力した各種の情報（データ）を記憶する。また、記憶部２４は、制御プログラム、標準レシピ、及び各種画面のレイアウト情報等を予め記憶している。標準レシピの各パラメータ値には標準値が設定されている。記憶部２４は、例えば、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、及びＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）によって構成される。なお、標準レシピ（レシピ）は、標準レシピ（レシピ）に含まれる各パラメータのパラメータ値のリストを示すデータを含み得る。
【００５０】
制御部２５は、例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）又はＭＰＵ（Ｍｉｃｒｏ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）のような演算回路によって構成される。制御部２５は、記憶部２４に記憶された制御プログラム（コンピュータープログラム）に基づいて操作装置２の各部の動作を制御する。
【００５１】
本実施形態において、制御部２５は、レシピ作成モード、評価レシピ実行モード、及び水準値評価モードの各モードを有する。制御部２５は、各モードに応じて異なる処理を実行する。レシピ作成モードは、評価レシピを作成するモードである。評価レシピ実行モードは、評価レシピに基づいて基板処理装置１を動作させるモードである。水準値評価モードは、検査結果データに基づいて各水準値を評価するモードである。以下、図１及び図２を参照して、レシピ作成モード、評価レシピ実行モード、及び水準値評価モードについて説明する。
【００５２】
［レシピ作成モード］
制御部２５は、レシピ作成モードにおいて、複数の制御因子のそれぞれの水準値を少なくとも１つ取得する。制御因子は、最適化対象の因子である。制御因子の水準値は、基板処理装置１が未処理基板１１ｂを処理する際の条件を示す。詳しくは、制御部２５は、複数の制御因子の名称（因子名）及びそれらの水準値を登録するための設定画面を表示部２１に表示させる。作業者は、入力部２２を操作して、制御因子の名称を示す文字列を入力する。この結果、制御因子の名称が設定画面に登録される。更に、作業者は、入力部２２を操作して、各制御因子の水準値を入力する。この結果、各制御因子の水準値が設定画面に登録される。制御部２５は、設定画面に登録された各制御因子の名称及びそれらの水準値を取得する。
【００５３】
制御部２５は、制御因子の水準値を取得すると、記憶部２４に記憶されている標準レシピを参照して、標準レシピに含まれるパラメータのうちから、設定画面に登録された制御因子の名称（因子名）と一致するパラメータ（パラメータ名）を探索する。標準レシピが、制御因子に対応するパラメータを含む場合、制御部２５は、制御因子に対応するパラメータがハイライト表示されるように、標準レシピを表示部２１に表示させる。なお、標準レシピが、パラメータ値のリストを示すデータを含む場合、制御部２５は、制御因子に対応するパラメータがハイライト表示されるように、リストを表示部２１に表示させる。
【００５４】
更に、制御部２５は、制御因子の水準値が確定すると、確定した水準値の組み合わせを示す組み合わせ情報を統計的手法によって生成する。制御部２５は、組み合わせ情報を生成した後に、複数の評価レシピを作成する。詳しくは、制御部２５は、記憶部２４に記憶されている標準レシピと、組み合わせ情報とに基づいて、水準値の組み合わせごとに評価レシピを作成する。具体的には、標準レシピが、制御因子に対応するパラメータを含む場合、制御部２５は、そのパラメータのパラメータ値（標準値）を、対応する制御因子の水準値に変更（設定）する。なお、標準レシピが、制御因子に対応するパラメータを含まない場合、制御部２５は、評価レシピとして、水準値の組み合わせごとに、各パラメータ値に標準値が設定されたレシピを作成する。
【００５５】
［評価レシピ実行モード］
制御部２５は、評価レシピ実行モードにおいて、各評価レシピに基づき、基板処理装置１を動作させる。この結果、評価レシピごとに、１枚ずつ未処理基板１１ｂが処理される。
【００５６】
［水準値評価モード］
制御部２５は、水準値評価モードにおいて、制御因子ごとに、対応する水準値のうちからパラメータ値として最適な値を決定する。以下、パラメータ値として最適な値を「最適値」と記載する。
【００５７】
詳しくは、制御部２５は、検査装置３が生成した検査結果データに基づき、制御因子ごとに、各水準値のＳＮ比及び感度のうち、少なくともＳＮ比を算出する。感度を算出するか否かは、パラメータ設計の特性に応じて決定される。例えば、パラメータ設計の特性が望小特性である場合、制御部２５はＳＮ比のみを算出し、感度は算出しない。一方、パラメータ設計の特性が望目特性である場合、制御部２５はＳＮ比及び感度を算出する。パラメータ設計の特性は、作業者が入力部２２を操作して設定する。ＳＮ比及び感度の算出には、パラメータ設計の特性に対応する計算式が使用される。
【００５８】
制御部２５は、制御因子の水準値のＳＮ比、又は制御因子の水準値のＳＮ比及び感度を算出すると、算出したＳＮ比、又は算出したＳＮ比及び感度に基づいて、制御因子ごとに最適値を決定する。具体的には、制御部２５は、制御因子ごとに、ＳＮ比が最も高い水準値を最適値として決定する。あるいは、制御部２５は、制御因子ごとに、感度が予め規定した下限値以上上限値以下（以下、「合否基準の範囲」と記載する場合がある。）となる水準値を最適値の候補として選択する。次に、制御部２５は、制御因子ごとに、対応する最適値の候補のうちから、ＳＮ比が最も高い水準値を最適値として決定する。感度が合否基準の範囲内の値とならない制御因子については、合否基準（下限値又は上限値）に最も近い水準値を、最適値として選択する。
【００５９】
なお、操作装置２（制御部２５）は、作業者の指示により、品質又は生産性を加味した最適値の決定を行い得る。具体的には、作業者が入力部２２を操作して、各水準値に「重み」を付与する。詳しくは、品質を重視する場合、品質を高める水準値のＳＮ比に対して、重み付けをより重くする一方で、品質を下げる水準値のＳＮ比に対して、重み付けをより軽くする。例えば、薬液の吐出時間を示す水準値については、大きい水準値（長い吐出時間）ほど、重み付けをより重くする。生産性を重視する場合には、処理時間を短くする水準値のＳＮ比に対して、重み付けをより重くする一方で、処理時間を長くする水準値のＳＮ比に対して、重み付けをより軽くする。例えば、薬液の吐出時間を示す水準値については、小さい水準値（短い吐出時間）ほど、重み付けをより重くする。
【００６０】
生産性を重視する場合、品質を維持できる範囲で処理時間を短くすることが好ましい。したがって、制御部２５は、損失関数Ｌを用いて最適値を決定することが好ましい。具体的には、制御部２５は、予め設定された機能限界Δ及び損失Ａと、取得したＳ／Ｎ比とを用いて損失関数Ｌを求める。また、制御部２５は、以下の式に基づき、個別に重みαを定義した制御因子（水準値）の損失を損失関数Ｌに合算して、損失関数Ｌを補正する。以下の式において、「Ｌ′」は補正後の損失関数を示し、「ｘ」は水準値を示す。
Ｌ′＝Ｌ＋α×ｘ
【００６１】
制御部２５は、補正後の損失関数Ｌ′を最小化するように水準値を選択する。詳しくは、制御部２５は、水準値の組み合わせごとにＳ／Ｎ比を算出し、取得した全Ｓ／Ｎ比のうちから、補正後の損失関数Ｌ′が最小になるＳ／Ｎ比を選択する。
【００６２】
以上、制御部２５の各モード（レシピ作成モード、評価レシピ実行モード、及び水準値評価モード）について説明した。続いて、図２〜図７を参照して、設定画面について説明する。図３は本実施形態に係る第１設定画面１０１を示す図であり、図４は本実施形態に係る第２設定画面１０２を示す図であり、図５は本実施形態に係る第３設定画面１０３を示す図であり、図６は本実施形態に係る第４設定画面１０４を示す図であり、図７は本実施形態に係る第５設定画面１０５を示す図である。
【００６３】
本実施形態において、統計的手法は、タグチメソッド又は実験計画法であり、制御部２５は、直交表を作成するために必要な情報を入力（登録）するための設定画面を表示部２１に表示させる。詳しくは、制御部２５は、第１設定画面１０１、第２設定画面１０２、及び第３設定画面１０３を順次表示部２１に表示させる。また、制御部２５は、第１設定画面１０１に登録された情報に応じて、第４設定画面１０４及び第５設定画面１０５を表示部２１に表示させる。
【００６４】
図３に示すように、第１設定画面１０１は、「直交表の種類」、「信号因子の水準数」、「パラメータ設計の特性」、「誤差因子の名称とその水準数」、及び「標示因子の名称とその水準数」の登録を受け付ける。具体的には、第１設定画面１０１は、「直交表の種類」設定欄１１１、「信号因子の水準数」設定欄１１２、「パラメータ設計の特性」設定欄１１３、「誤差因子の名称とその水準数」設定欄１１４、「標示因子の名称とその水準数」設定欄１１５、及び「ＯＫ」ボタン１１６を表示する。
【００６５】
「直交表の種類」設定欄１１１は、「直交表の種類」を設定するための設定欄である。本実施形態において、「直交表の種類」設定欄１１１は、プルダウンメニュー形式で、「直交表の種類」を作業者に選択させる。例えば、「直交表の種類」設定欄１１１は、「直交表の種類」として、Ｌ４直交表、Ｌ８直交表、Ｌ９直交表、Ｌ１２直交表、Ｌ１６直交表、Ｌ１８直交表、及びＬ２７直交表のうちの１つを作業者に選択させる。なお、Ｌ４直交表、Ｌ８直交表、Ｌ１２直交表、及びＬ１６直交表は２水準系の直交表であり、Ｌ９直交表及びＬ２７直交表は３水準系の直交表であり、Ｌ１８直交表は混合系の直交表である。直交表の種類が選択されることにより、図４を参照して説明する第２設定画面１０２において登録可能な制御因子の数と各制御因子の水準数とが決定する。
【００６６】
「信号因子の水準数」設定欄１１２は、「信号因子の水準数」を設定するための設定欄である。「信号因子の水準数」設定欄１１２に設定可能な数値は、パラメータ設計の特性によって異なる。具体的には、「パラメータ設計の特性」設定欄１１３に設定された特性の属性が静特性である場合、信号因子の水準数は「１」に設定される。一方、「パラメータ設計の特性」設定欄１１３に設定された特性の属性が動特性である場合、作業者は、「信号因子の水準数」設定欄１１２に「２」以上の任意の値を設定することができる。
【００６７】
「パラメータ設計の特性」設定欄１１３は、「パラメータ設計の特性」を設定するための設定欄である。本実施形態において、「パラメータ設計の特性」設定欄１１３は、プルダウンメニュー形式で、「パラメータ設計の特性」を作業者に選択させる。例えば、「パラメータ設計の特性」設定欄１１３は、「パラメータ設計の特性」として、０点比例、基準点比例、望目特性、望大特性、及び望小特性のうちの１つを作業者に選択させる。なお、０点比例、及び基準点比例は動特性であり、望目特性、望大特性、及び望小特性は静特性である。
【００６８】
「パラメータ設計の特性」設定欄１１３は更に、エネルギー比型選択ラジオボタン１１３ａを含む。エネルギー比型選択ラジオボタン１１３ａは、ＳＮ比及び感度の計算式をエネルギー比型の計算式に変更するためのボタンである。詳しくは、エネルギー比型選択ラジオボタン１１３ａは、パラメータ設計の特性が０点比例、基準点比例、又は望目特性である場合に、作業者による選択操作を受け付ける。
【００６９】
制御部２５は、「パラメータ設計の特性」設定欄１１３に登録された情報に応じて、ＳＮ比の計算式、又はＳＮ比及び感度の計算式を決定する。具体的には、制御部２５は、０点比例、基準点比例、望目特性、望大特性、及び望小特性のうちから選択された特性、並びに、エネルギー比型が選択されているか否かに応じて、ＳＮ比の計算式、又はＳＮ比及び感度の計算式を決定する。
【００７０】
「誤差因子の名称とその水準数」設定欄１１４は、「誤差因子の名称とその水準数」を設定するための設定欄である。「誤差因子の名称とその水準数」設定欄１１４は、因子名設定欄１１４ａ、水準数設定欄１１４ｂ、及びスクロールバー１１４ｃを含む。
【００７１】
因子名設定欄１１４ａは、誤差因子の名称の登録を受け付ける。水準数設定欄１１４ｂは、誤差因子の水準数の登録を受け付ける。スクロールバー１１４ｃは、作業者による入力部２２の操作に応じて、因子名設定欄１１４ａ及び水準数設定欄１１４ｂをスクロールする。「誤差因子の名称とその水準数」設定欄１１４において登録可能な誤差因子の数は特に限定されず、作業者は、スクロールバー１１４ｃを操作することにより、任意の数の誤差因子を登録することができる。また、誤差因子を登録するか否かは、作業者が任意に決定できる。換言すると、作業者は、「誤差因子の名称とその水準数」設定欄１１４を空欄に設定できる。
【００７２】
「標示因子の名称とその水準数」設定欄１１５は、「標示因子の名称とその水準数」を設定するための設定欄である。「標示因子の名称とその水準数」設定欄１１５は、因子名設定欄１１５ａ、水準数設定欄１１５ｂ、及びスクロールバー１１５ｃを含む。
【００７３】
因子名設定欄１１５ａは、標示因子の名称の登録を受け付ける。水準数設定欄１１５ｂは、標示因子の水準数の登録を受け付ける。スクロールバー１１５ｃは、作業者による入力部２２の操作に応じて、因子名設定欄１１５ａ及び水準数設定欄１１５ｂをスクロールする。「標示因子の名称とその水準数」設定欄１１５において登録可能な標示因子の数は特に限定されず、作業者は、スクロールバー１１５ｃを操作することにより、任意の数の標示因子を登録することができる。また、標示因子を登録するか否かは、作業者が任意に決定できる。換言すると、作業者は、「標示因子の名称とその水準数」設定欄１１５を空欄に設定できる。
【００７４】
「ＯＫ」ボタン１１６は、第１設定画面１０１に登録された情報を確定するためのボタンである。制御部２５は、「ＯＫ」ボタン１１６を押下する指示が入力されると、第１設定画面１０１に登録された情報を確定する。更に、制御部２５は、「ＯＫ」ボタン１１６を押下する指示が入力されると、図４に示す第２設定画面１０２を表示部２１に表示させる。
【００７５】
続いて図３及び図４を参照して、第２設定画面１０２について説明する。図４に示すように、第２設定画面１０２は、「制御因子の名称とその水準値」の登録を受け付ける。具体的には、第２設定画面１０２は、因子名設定欄１２１、水準値設定欄１２２、及び「ＯＫ」ボタン１２３を表示する。因子名設定欄１２１は、各制御因子の名称の登録を受け付ける。水準値設定欄１２２は、各制御因子の水準値の登録を受け付ける。
【００７６】
第２設定画面１０２において登録可能な制御因子の数と各制御因子の水準数とは、図３を参照して説明したように、「直交表の種類」設定欄１１１において選択された直交表の種類によって変化する。具体的には、「直交表の種類」設定欄１１１において選択された直交表の種類によって、因子名設定欄１２１及び水準値設定欄１２２の行数、並びに水準値設定欄１２２の列数が変化する。図４は、「直交表の種類」設定欄１１１においてＬ１８直交表が選択された場合に表示される第２設定画面１０２を例示している。この場合、第２設定画面１０２は、１行目の制御因子に対して２つの水準値の登録を受け付け、２行目〜８行目の制御因子に対して３つの水準値の登録を受け付ける。
【００７７】
基板処理装置１の制御因子は、循環路を流れる薬液の流量、ノズルから吐出される薬液の吐出流量、薬液の温度、薬液の吐出時間、薬液の吐出位置をスキャンする範囲、薬液の吐出位置をスキャンする速度、基板１１の回転数（回転速度）等から登録され得る。更に、本実施形態では、基板処理装置１の制御因子として、評価レシピでは制御できないレシピ対象外因子を登録できる。基板処理装置１のレシピ対象外因子は、ノズルの高さ方向の位置、ノズルの角度、チャンバーの排気圧等から登録され得る。
【００７８】
「ＯＫ」ボタン１２３は、第２設定画面１０２に登録された情報を確定するためのボタンである。制御部２５は、「ＯＫ」ボタン１２３を押下する指示が入力されると、第２設定画面１０２に登録された情報を確定する。第２設定画面１０２に登録された情報が確定すると、制御部２５は、第１設定画面１０１に設定された「直交表の種類」、及び第２設定画面１０２に設定された「制御因子の名称とその水準値」を参照して、直交表に制御因子の水準値を割り付ける（内側割り付け）。この結果、制御因子の水準値の組み合わせを示す組み合わせ情報が生成される。
【００７９】
更に、制御部２５は、「ＯＫ」ボタン１２３を押下する指示が入力されると、図５に示す第３設定画面１０３を表示部２１に表示させる。続いて図３及び図５を参照して、第３設定画面１０３について説明する。
【００８０】
図５に示すように、第３設定画面１０３は、「信号因子の名称とその水準値」の登録を受け付ける。具体的には、第３設定画面１０３は、因子名設定欄１３１、水準値設定欄１３２、及び「ＯＫ」ボタン１３３を表示する。因子名設定欄１３１は、信号因子の名称の登録を受け付ける。水準値設定欄１３２は、信号因子の水準値の登録を受け付ける。
【００８１】
水準値設定欄１３２の列数は、図３を参照して説明した「信号因子の水準数」設定欄１１２に設定された数値に応じて変化する。図５は、「信号因子の水準数」設定欄１１２に「２」が設定された場合に表示される第３設定画面１０３を例示している。また、因子名設定欄１３１及び水準値設定欄１３２の行数は、第１設定画面１０１のエネルギー比型選択ラジオボタン１１３ａにおいて「エネルギー比型」が選択されているか否かによって変化する。詳しくは、エネルギー比型は、信号因子の水準値が試行ごと（制御因子の水準値の組み合わせごと）に変化する場合に選択される。したがって、「エネルギー比型」が選択されている場合、因子名設定欄１３１及び水準値設定欄１３２の行数は、制御因子の水準値の組み合わせの数に対応する行数となり、第３設定画面１０３は、制御因子の水準値の組み合わせごとに、信号因子の水準値の登録を受け付ける。なお、図５は、第１設定画面１０１において、Ｌ１８直交表が選択され、且つエネルギー比型が選択された場合に表示される第３設定画面１０３を例示している。
【００８２】
「ＯＫ」ボタン１３３は、第３設定画面１０３に登録された情報を確定するためのボタンである。制御部２５は、「ＯＫ」ボタン１３３を押下する指示が入力されると、第３設定画面１０３に登録された情報を確定する。第３設定画面１０３に登録された情報が確定すると、制御部２５は、第３設定画面１０３を参照して、直交表に信号因子の水準値を割り付ける（外側割り付け）。
【００８３】
更に、図３を参照して説明した第１設定画面１０１の「誤差因子の名称とその水準数」設定欄１１４に誤差因子が少なくとも１つ登録されている場合、制御部２５は、「ＯＫ」ボタン１３３を押下する指示が入力されると、図６に示す第４設定画面１０４を表示部２１に表示させる。
【００８４】
続いて図３及び図６を参照して、第４設定画面１０４について説明する。図６に示すように、第４設定画面１０４は、「誤差因子の水準値」の登録を受け付ける。具体的には、第４設定画面１０４は、因子名表示欄１４１、水準値設定欄１４２、及び「ＯＫ」ボタン１４３を表示する。因子名表示欄１４１は、図３に示す第１設定画面１０１の因子名設定欄１１４ａに登録された因子名を表示する。水準値設定欄１４２は、誤差因子の水準値の登録を受け付ける。
【００８５】
因子名表示欄１４１及び水準値設定欄１４２の行数は、図３に示す第１設定画面１０１の「誤差因子の名称とその水準数」設定欄１１４に登録された誤差因子の数に応じて変化する。また、水準値設定欄１４２の列数は、図３に示す第１設定画面１０１の水準数設定欄１１４ｂに設定された数値に応じて変化する。図６は、第１設定画面１０１の因子名設定欄１１４ａに２つの因子名「Ｘ１」及び「Ｘ２」が登録されるとともに、第１設定画面１０１の水準数設定欄１１４ｂにおいて、誤差因子「Ｘ１」の水準数が「２」に設定され、且つ誤差因子「Ｘ２」の水準数が「２」に設定された場合に表示される第４設定画面１０４を例示している。
【００８６】
「ＯＫ」ボタン１４３は、第４設定画面１０４に登録された情報を確定するためのボタンである。制御部２５は、「ＯＫ」ボタン１４３を押下する指示が入力されると、第４設定画面１０４に登録された情報を確定する。第４設定画面１０４に登録された情報が確定すると、制御部２５は、第４設定画面１０４を参照して、直交表に誤差因子の水準値を割り付ける（外側割り付け）。
【００８７】
更に、図３を参照して説明した第１設定画面１０１の「標示因子の名称とその水準数」設定欄１１５に標示因子が少なくとも１つ登録されている場合、制御部２５は、「ＯＫ」ボタン１４３を押下する指示が入力されると、図７に示す第５設定画面１０５を表示部２１に表示させる。なお、第５設定画面１０５は、図５を参照して説明した第３設定画面１０３の「ＯＫ」ボタン１３３を押下する指示が入力された場合にも表示され得る。具体的には、図３に示す第１設定画面１０１の「誤差因子の名称とその水準数」設定欄１１４が空欄であるとともに、第１設定画面１０１の「標示因子の名称とその水準数」設定欄１１５に標示因子が登録されている場合において、第３設定画面１０３の「ＯＫ」ボタン１３３を押下する指示が入力されると、第５設定画面１０５が表示部２１に表示される。
【００８８】
続いて図３及び図７を参照して、第５設定画面１０５について説明する。図７に示すように、第５設定画面１０５は、「標示因子の水準値」の登録を受け付ける。具体的には、第５設定画面１０５は、因子名表示欄１５１、水準値設定欄１５２、及び「ＯＫ」ボタン１５３を表示する。因子名表示欄１５１は、第１設定画面１０１の因子名設定欄１１５ａに登録された因子名を表示する。水準値設定欄１５２は、標示因子の水準値の登録を受け付ける。
【００８９】
因子名表示欄１５１及び水準値設定欄１５２の行数は、図３に示す第１設定画面１０１の「標示因子の名称とその水準数」設定欄１１５に登録された標示因子の数に応じて変化する。また、水準値設定欄１５２の列数は、図３に示す第１設定画面１０１の水準数設定欄１１５ｂに設定された数値に応じて変化する。図７は、第１設定画面１０１の因子名設定欄１１５ａに１つの因子名「Ｙ１」が登録されるとともに、第１設定画面１０１の水準数設定欄１１５ｂにおいて、標示因子「Ｙ１」の水準数が「２」に設定され場合に表示される第５設定画面１０５を例示している。
【００９０】
「ＯＫ」ボタン１５３は、第５設定画面１０５に登録された情報を確定するためのボタンである。制御部２５は、「ＯＫ」ボタン１５３を押下する指示が入力されると、第５設定画面１０５に登録された情報を確定する。第５設定画面１０５に登録された情報が確定すると、制御部２５は、第５設定画面１０５を参照して、直交表に標示因子の水準値を割り付ける（外側割り付け）。
【００９１】
以上、図２〜図７を参照して、設定画面（第１設定画面１０１〜第５設定画面１０５）について説明した。なお、基板処理装置１のレシピ（標準レシピ）は、信号因子に対応するパラメータを含み得る。制御部２５は、信号因子の水準数が２以上であって、信号因子に対応するパラメータが標準レシピに含まれる場合、信号因子の水準値と制御因子の水準値との組み合わせを示す組み合わせ情報を生成する。この組み合わせ情報も、制御因子の水準値の組み合わせ情報と同様に、信号因子の水準値と制御因子の水準値とを直交表に割り付けることによって取得される。
【００９２】
続いて図１〜図８を参照して、本実施形態に係るパラメータ設計支援システム１０について更に説明する。図８は、本実施形態に係るパラメータ設計支援システム１０のフローを示す図である。換言すると、図８は、本実施形態に係るパラメータ設計支援方法を示す。
【００９３】
図８に示すように、本実施形態に係るパラメータ設計支援方法は、組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２、評価レシピ作成工程Ｓ８０４、選択工程Ｓ８０６、第１処理工程Ｓ８０８、第２処理工程Ｓ８１０、検査工程Ｓ８１２、算出工程Ｓ８１４、及び水準値決定工程Ｓ８１６を包含する。
【００９４】
［組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２］
作業者が入力部２２を操作して、操作装置２（制御部２５）のモードをレシピ作成モードに遷移させると、組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２が開始される。組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２において、制御部２５は、複数の制御因子のそれぞれの水準値を少なくとも１つ取得する。また、制御部２５は、取得した水準値の組み合わせを示す組み合わせ情報を統計的手法によって生成する。
【００９５】
詳しくは、制御部２５は、図３〜図７を参照して説明した設定画面（第１設定画面１０１〜第５設定画面１０５）を表示部２１に表示させて、直交表を作成するために必要な情報を作業者に入力（登録）させる。
【００９６】
なお、図２を参照して説明したように、標準レシピが、制御因子に対応するパラメータを含む場合、制御部２５は、制御因子に対応するパラメータがハイライト表示されるように、標準レシピ又はパラメータ値のリストを表示部２１に表示させる。標準レシピ又はパラメータ値のリストは、図４を参照して説明した第２設定画面１０２の「ＯＫ」ボタン１１６を押下する指示が入力された後に、表示されてもよい。同様に、標準レシピが、信号因子に対応するパラメータを含む場合、制御部２５は、信号因子に対応するパラメータがハイライト表示されるように、標準レシピ又はパラメータ値のリストを表示部２１に表示させる。標準レシピ又はパラメータ値のリストは、図５を参照して説明した第３設定画面１０３の「ＯＫ」ボタン１３３を押下する指示が入力された後に、表示されてもよい。
【００９７】
制御部２５は、直交表に水準値を割り付けた後、制御因子の水準値の組み合わせの各々に識別子を付与する。あるいは、制御部２５は、信号因子の水準値と制御因子の水準値との組み合わせの各々に識別子を付与する。以下、「制御因子の水準値の組み合わせ」と「信号因子の水準値と制御因子の水準値との組み合わせ」とを纏めて、「水準値の組み合わせ」と記載する場合がある。制御部２５は、各識別子を、対応する水準値の組み合わせに紐づけて記憶部２４に記憶させる。
【００９８】
制御部２５は、水準値の組み合わせの各々に識別子を付与した後、直交表及び各識別子を表示部２１に表示させる。詳しくは、制御部２５は、水準値の組み合わせと識別子との対応関係がわかるように、直交表及び各識別子を表示部２１に表示させる。この結果、作業者は、水準値の組み合わせの数（評価レシピの数）と共に、水準値の組み合わせの各々（各評価レシピ）に付与された識別子を認識することができる。
【００９９】
［評価レシピ作成工程Ｓ８０４］
制御部２５は、組み合わせ情報を生成すると、標準レシピと組み合わせ情報とに基づいて、水準値の組み合わせごとに評価レシピを作成する。具体的には、制御部２５は、既に説明したように、標準レシピに含まれるパラメータのうち、設定画面（第２設定画面１０２）に登録された制御因子の名称と一致するパラメータのパラメータ値（標準値）を、その制御因子の水準値に変更する。同様に、制御部２５は、標準レシピに含まれるパラメータのうち、設定画面（第３設定画面１０３）に登録された信号因子の名称（因子名）と一致するパラメータ（パラメータ名）のパラメータ値（標準値）を、信号因子の水準値に変更（設定）する。なお、標準レシピが、制御因子及び信号因子に対応するパラメータを含まない場合、制御部２５は、評価レシピとして、水準値の組み合わせごとに、各パラメータ値に標準値が設定されたレシピを作成する。
【０１００】
［選択工程Ｓ８０６］
制御部２５は、評価レシピを作成すると、基板１１の処理を実行するか否かを問い合わせる選択画面（ダイアログ画面）を表示部２１に表示させる。作業者が、入力部２２を操作して、基板１１の処理を実行する旨を示す選択指示を入力すると（ステップＳ８０６のＹｅｓ）、制御部２５のモードがレシピ作成モードから評価レシピ実行モードに遷移する。一方、作業者が、入力部２２を操作して、基板１１の処理を実行しない旨を示す選択指示を入力すると（ステップＳ８０６のＮｏ）、制御部２５のモードは、レシピ作成モードから待機モードに遷移する。待機モードは、作業者による指示の入力を待つモードである。
【０１０１】
［第１処理工程Ｓ８０８］
作業者が、基板１１の処理を実行する旨を示す選択指示を入力すると（ステップＳ８０６のＹｅｓ）、第１処理工程Ｓ８０８が開始される。具体的には、制御部２５は、レシピ作成モードから評価レシピ実行モードに遷移して、記憶部２４に記憶された各評価レシピに基づいて基板処理装置１を動作させる。したがって、作業者は、選択工程Ｓ８０６において、基板１１の処理を実行する旨を示す選択指示を入力する前に、評価レシピの数に応じた枚数の基板１１を基板処理装置１にセットする。
【０１０２】
［第２処理工程Ｓ８１０］
作業者が入力部２２を操作して評価レシピの実行を指示すると、第２処理工程Ｓ８１０が開始される。評価レシピの実行の指示は、操作装置２（制御部２５）が待機モードである場合に入力することができる。作業者が、評価レシピの実行を指示すると、制御部２５は、待機モードから評価レシピ実行モードに遷移して、各評価レシピに基づいて基板処理装置１を動作させる。
【０１０３】
なお、操作装置２（制御部２５）は、評価レシピの実行が指示された場合、実行する評価レシピの数を作業者に入力させるダイアログ画面を表示部２１に表示させてもよい。この場合、第２処理工程Ｓ８１０は、記憶部２４に記憶された全ての評価レシピの実行が完了するまで、複数回にわたって実施され得る。また、操作装置２（制御部２５）は、評価レシピの実行が指示された場合、実行する評価レシピの識別子を作業者に入力させるダイアログ画面を表示部２１に表示させてもよい。この場合、一度に実行する評価レシピの数を任意の数に設定できるとともに、評価レシピの実行順序を入れ替えることが可能となる。
【０１０４】
［検査工程Ｓ８１２］
検査工程Ｓ８１２では、検査装置３が、各評価レシピに対応する処理済み基板１１ａの検査を行い、各評価レシピに対応する検査結果データを作成する。詳しくは、検査装置３は、基板１１を１枚ずつ検査する。作業者は、検査装置３に検査を実行させる際に、検査対象の処理済み基板１１ａに対応する評価レシピ（水準値の組み合わせ）に付与された識別子を示すデータを検査装置３に入力する。検査装置３は、検査結果データと共に、入力された識別子を示すデータを、操作装置２へ送信する。
【０１０５】
制御部２５は、検査結果データ及び識別子を受信すると、記憶部２４に記憶されている水準値の組み合わせのうちから、受信した識別子に一致する識別子が付与された水準値の組み合わせを検索する。制御部２５は、該当する水準値の組み合わせに紐づけて、受信した検査結果データを記憶する。
【０１０６】
［算出工程Ｓ８１４］
作業者が入力部２２を操作して水準値の評価の実行を指示すると、算出工程Ｓ８１４が開始される。水準値の評価を実行する指示は、操作装置２（制御部２５）が待機モードである場合に入力することができる。制御部２５は、作業者が水準値の評価を実行する指示を入力すると、待機モードから水準値評価モードに遷移して、制御因子の水準値のそれぞれのＳＮ比及び感度のうち、少なくともＳＮ比を算出する。詳しくは、制御部２５は、組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２において設定されたパラメータ設計の特性に応じて、ＳＮ比、又はＳＮ比及び感度を算出する。典型的には、制御部２５は、ＳＮ比の要因効果図、又はＳＮ比の要因効果図及び感度の要因効果図を作成する。
【０１０７】
［水準値決定工程Ｓ８１６］
制御部２５がＳＮ比を算出すると、あるいは制御部２５がＳＮ比及び感度を算出すると、水準値決定工程Ｓ８１６が開始される。水準値決定工程Ｓ８１６において、制御部２５は、算出したＳＮ比、又は算出したＳＮ比及び感度に基づいて、制御因子ごとに、対応する水準値のうちから最適値を決定する。更に、制御部２５は、最適値を表示部２１に表示させる。この結果、図８に示すフローが終了する。
【０１０８】
続いて図９（ａ）〜図９（ｃ）を参照して、ＳＮ比の要因効果図、及び感度の要因効果図について説明する。図９（ａ）は、制御因子と水準値との関係の一例を示す表であり、図９（ｂ）はＳＮ比の要因効果図の一例を示す図であり、図９（ｃ）は感度の要因効果図の一例を示す図である。
【０１０９】
図９（ａ）において、「Ａ」〜「Ｈ」は制御因子の名称を示し、「Ａ１」、「Ａ２」等は、水準値を示す。図９（ｂ）において、横軸は各制御因子Ａ〜Ｈの水準値を示し、縦軸はＳＮ比［ｄｂ］を示す。図９（ｂ）に示すように、水準値ごとにＳＮ比がプロットされる。パラメータ設計において、ＳＮ比の値は、バラつきが小さいほど高くなる。図９（ｃ）において、横軸は各制御因子Ａ〜Ｈの水準値を示し、縦軸は感度［ｄｂ］を示す。図９（ｃ）に示すように、水準値ごとに感度がプロットされる。感度の値は、出力を示す。
【０１１０】
続いて図２及び図１０を参照して、処理工程（第１処理工程Ｓ８０８及び第２処理工程Ｓ８１０）について更に説明する。図１０は、本実施形態に係る処理工程を示す図である。詳しくは、図１０は、１枚の未処理基板１１ｂを処理する際のフローを示す。
【０１１１】
図１０に示すように、未処理基板１１ｂを処理する際に、制御部２５は、制御因子がレシピ対象外因子を含むか否かを判定する（ステップＳ９０２）。具体的には、制御部２５は、処理対象の未処理基板１１ｂに対応する評価レシピ（水準値の組み合わせ）に付与された識別子を参照して、その評価レシピに対応する直交表に割り付けられた制御因子がレシピ対象外因子を含むか否かを判定する。既に説明したように、レシピ対象外因子は、評価レシピでは制御できない因子である。典型的には、レシピ対象外因子は、作業者が手作業で調整することが必要な因子である。
【０１１２】
制御部２５は、制御因子がレシピ対象外因子を含むと判定すると（ステップＳ９０２のＹｅｓ）、準備完了ボタンを表示部２１に表示させる（ステップＳ９０４）。作業者は、レシピ対象外因子の全てを、対応する水準値に設定すると、入力部２２を操作して、準備完了ボタンを押下する指示を入力する（ステップＳ９０４のＹｅｓ）。一方、作業者が準備完了ボタンを押下する指示を入力するまで、制御部２５は、基板処理装置１による所定の処理の実行を待機させる（ステップＳ９０４のＮｏ）。換言すると、制御部２５は、レシピ対象外因子の全てが、対応する水準値となるまで、基板処理装置１による所定の処理の実行を待機させる。
【０１１３】
準備完了ボタンを押下する指示（準備完了指示）は、レシピ対象外因子の全てが、対応する水準値となったことを示す。制御部２５は、入力部２２が準備完了指示を受け付けると、制御因子が待機因子を含むか否かを判定する（ステップＳ９０６）。あるいは、制御部２５は、制御因子がレシピ対象外因子を含まないと判定すると（ステップＳ９０２のＮｏ）、制御因子が待機因子を含むか否かを判定する（ステップＳ９０６）。具体的には、制御部２５は、処理対象の未処理基板１１ｂに対応する評価レシピ（水準値の組み合わせ）に付与された識別子を参照して、その評価レシピに対応する直交表に割り付けられた制御因子が待機因子を含むか否かを判定する。待機因子は、パラメータ値が水準値で安定するまで待機する必要があるパラメータに対応する制御因子である。例えば、待機因子は、薬液の温度であり得る。あるいは、待機因子は、循環路を流れる薬液の流量であり得る。
【０１１４】
制御部２５は、制御因子が待機因子を含むと判定すると（ステップＳ９０６のＹｅｓ）、待機因子に対応するパラメータのパラメータ値が、待機因子の水準値で安定したか否かを判定する（ステップＳ９０８）。例えば、制御因子が、待機因子として薬液の温度を含み、薬液の温度を１００℃から１５０℃（水準値）に変更する場合、薬液の温度が１５０±０．２℃で安定したか否かを判定する。
【０１１５】
制御部２５は、待機因子に対応するパラメータのパラメータ値が水準値で安定するまで、基板処理装置１による所定の処理の実行を待機させる（ステップＳ９０８のＮｏ）。
【０１１６】
制御部２５は、待機因子に対応するパラメータのパラメータ値が水準値で安定したと判定すると（ステップＳ９０８のＹｅｓ）、基板処理装置１に未処理基板１１ｂを処理させる（ステップＳ９１０）。あるいは、制御部２５は、制御因子が待機因子を含まないと判定すると（ステップＳ９０６のＮｏ）、基板処理装置１に未処理基板１１ｂを処理させる（ステップＳ９１０）。未処理基板１１ｂに対する処理が終了すると、図１０に示すフローは終了する。
【０１１７】
なお、制御部２５は、準備完了ボタンを表示部２１に表示させる際に、レシピ対象外因子の調整を作業者に促すメッセージを表示部２１に表示させてもよい。
【０１１８】
以上、実施形態１について説明した。本実施形態によれば、標準レシピに含まれる各パラメータ値を作業者がダイアログ画面を介して変更することなく、評価レシピが作成される。したがって、作業者の負担を軽減することができる。更に、作業者がパラメータ値を入力する手間が省けるため、パラメータ設計に要する期間を短縮することができる。換言すると、ロバスト性のあるレシピの作成に要する期間を短縮することができる。
【０１１９】
また、本実施形態によれば、ダイアログ画面を介して作業者が検査結果を入力することなく、制御因子の水準値のＳＮ比、又は制御因子の水準値のＳＮ比及び感度が算出される。したがって、作業者の負担を軽減することができる。
【０１２０】
また、本実施形態によれば、制御部２５が、制御因子ごとに、対応する水準値のうちからパラメータ値として最適な値を決定する。したがって、作業者の負担を軽減することができる。
【０１２１】
また、本実施形態によれば、作業者は、操作装置２（制御部２５）のモードをレシピ作成モードから評価レシピ実行モードに遷移させるか否かを選択することができる（選択工程Ｓ８０６）。したがって、一人の作業者が、評価レシピの作成から試行の終了まで基板処理装置１を占有し続けることを回避できる。
【０１２２】
また、本実施形態によれば、複数の評価レシピを分散させて実行することができる（第２処理工程Ｓ８１０）。したがって、一人の作業者が、試行の開始から終了まで基板処理装置１を占有し続けることを回避できる。
【０１２３】
また、本実施形態によれば、制御因子として、評価レシピによって制御できない因子を登録することができる。したがって、より多くの因子を制御因子の候補とすることができる。この結果、パラメータ設計の精度を向上させることができる。
【０１２４】
なお、本実施形態では、全ての評価レシピを実行した後に検査工程Ｓ８１２を実施したが、第２処理工程Ｓ８１０において評価レシピの一部が実行される場合、換言すると、第２処理工程Ｓ８１０が繰り返される場合、第２処理工程Ｓ８１０を実施する度に検査工程Ｓ８１２を実施してもよい。
【０１２５】
また、本実施形態では、基板１１の検査を実施する度に、検査装置３が検査結果データ及び識別子を示すデータを操作装置２へ送信したが、検査装置３は、各評価レシピに対応する処理済み基板１１ａを全て検査した後に、各検査結果データと、対応する識別子を示すデータとを、操作装置２へ送信してもよい。
【０１２６】
また、本実施形態では、作業者が直交表の種類を選択したが、制御部２５が、制御因子の数に応じて直交表の種類を選択してもよい。
【０１２７】
また、本実施形態では、制御部２５が最適値を決定したが、作業者が最適値を決定してもよい。例えば、制御部２５が、ＳＮ比の要因効果図、又はＳＮ比の要因効果図及び感度の要因効果図を表示部２１に表示させて、作業者が、表示された要因効果図から最適値を決定してもよい。
【０１２８】
また、本実施形態では、検査装置３が通信ケーブル４を介して操作装置２に検査結果データを入力したが、作業者が、入力部２２を操作して操作装置２に検査結果データを入力してもよい。この場合、操作装置２は、検査結果データの入力を受け付けるダイアログ画面を表示してもよい。
【０１２９】
［実施形態２］
続いて図１、図２、図１１、及び図１２を参照して、本発明の実施形態２について説明する。但し、実施形態１と異なる事項を説明し、実施形態１と同じ事項についての説明は割愛する。実施形態２は、組み合わせ情報の生成及び評価レシピの作成を所定回数繰り返す点で実施形態１と異なる。また、実施形態２は、組み合わせ情報の生成を繰り返す際に、制御因子の水準値が前回と異なる値に設定される点で実施形態１と異なる。
【０１３０】
図１１は、本実施形態に係る第２設定画面１０２の一例を示す図である。本実施形態に係る第２設定画面１０２は、「制御因子の名称とその水準値の範囲」の登録を受け付ける。具体的には、図１１に示すように、第２設定画面１０２は、因子名設定欄１２１、水準値範囲設定欄１２４、及び「ＯＫ」ボタン１２３を表示する。因子名設定欄１２１は、各制御因子の名称の登録を受け付ける。水準値範囲設定欄１２４は、各制御因子の「水準値の範囲」の登録を受け付ける。詳しくは、水準値範囲設定欄１２４は、水準値の範囲の上限値及び下限値の登録を受け付ける。「ＯＫ」ボタン１２３は、第２設定画面１０２に登録された情報を確定するためのボタンである。
【０１３１】
なお、図１１は、図３を参照して説明した第１設定画面１０１の「直交表の種類」設定欄１１１においてＬ１８直交表が選択された場合に表示される第２設定画面１０２を例示している。第２設定画面１０２において登録可能な制御因子の数は、「直交表の種類」設定欄１１１において選択された直交表の種類によって変化する。
【０１３２】
図１２は、本実施形態に係るパラメータ設計支援システム１０のフローを示す図である。図１２において、評価レシピ作成工程Ｓ８０４、選択工程Ｓ８０６、第１処理工程Ｓ８０８、第２処理工程Ｓ８１０、検査工程Ｓ８１２、算出工程Ｓ８１４、及び水準値決定工程Ｓ８１６は、図８を参照して説明した実施形態１に係るフローと同様であるため、その詳しい説明は割愛する。
【０１３３】
本実施形態に係る組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２において、入力部２２は、制御因子ごとに、対応する水準値の範囲の登録を受け付ける。また、制御部２５は、各制御因子の水準値を取得する際に、対応する水準値の範囲に含まれる値を取得する。
【０１３４】
詳しくは、制御部２５は、図１１を参照して説明した第２設定画面１０２を表示部２１に表示させて、「制御因子の名称とその水準値の範囲」の登録を受け付ける。第２設定画面１０２において「制御因子の名称とその水準値の範囲」が設定されると、制御部２５は、各制御因子の水準値として、対応する水準値の範囲に含まれる値を直交表に割り付ける。
【０１３５】
具体的には、制御因子の水準値の範囲は、スループットを考慮して、作業者が任意の範囲に設定し得る。あるいは、制御因子の水準値の範囲は、基板処理装置１の機構的又は機械的な限界値を考慮して、作業者が任意の範囲に設定し得る。あるいは、制御因子の水準値の範囲は、材料の特性を考慮して、作業者が任意の範囲に設定し得る。例えば、制御因子が薬液の温度である場合、水準値の範囲は、薬液が作用し得る温度範囲に基づいて設定され得る。
【０１３６】
制御部２５は、制御因子の水準値の範囲が設定されると、直交表の種類に応じて各制御因子に割り当てられた水準の数だけ、対応する水準値の範囲から異なる値を取得する。例えば、制御部２５は、水準値の範囲からランダムに水準値を取得してもよい。あるいは、制御部２５は、水準値の範囲を予め規定された数に等分する刻み値を取得し、刻み値（水準値の範囲の上限値及び下限値を含む）のうちからランダムに水準値を取得してもよい。
【０１３７】
また、制御部２５は、制御因子の水準値のＳＮ比、又は制御因子の水準値のＳＮ比及び感度を算出すると（算出工程Ｓ８１４）、組み合わせ情報の生成及び評価レシピの作成を繰り返した回数が所定回数と一致するか否かを判定する（ステップＳ１１０１）。所定回数は、記憶部２４に記憶された制御プログラムに予め設定されている。あるいは、所定回数は、作業者が入力部２２を操作して設定する。なお、以下の説明において、組み合わせ情報の生成及び評価レシピの作成を繰り返した回数を、「繰り返し回数」と記載する場合がある。
【０１３８】
制御部２５は、繰り返し回数が所定回数と一致しないと判定すると（ステップＳ１１０１のＮｏ）、レシピ作成モードに遷移し、再度、組み合わせ情報を生成する（組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２）。制御部２５は、組み合わせ情報の生成を繰り返す際に、つまり、組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２の実行が２回目以降において、複数の制御因子のうちの少なくとも一部の水準値を変更する。
【０１３９】
詳しくは、制御部２５は、水準値の範囲からランダムに水準値を取得することにより、又は、刻み値のうちからランダムに水準値を取得することにより、前回と異なる水準値を取得する。例えば、３水準の制御因子に対し、２つの水準値をランダムに取得し、それらの水準値の平均値を、残りの１つの水準値として取得してもよい。なお、各制御因子に含まれる水準値のうちの一部を変更してもよい。例えば、薬液の吐出時間に対応する制御因子の前回の水準値が「５秒、１５秒、２５秒」である場合、次回の水準値として、「１５秒、２０秒、２５秒」を取得してもよいし、「１０秒、１５秒、２０秒」を取得してもよい。
【０１４０】
制御部２５が、繰り返し回数が所定回数と一致すると判定すると（ステップＳ１１０１のＹｅｓ）、水準値決定工程Ｓ８１６が実施されて、制御因子ごとに、対応する水準値のうちから最適値が決定される。なお、本実施形態では、組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２及び評価レシピ作成工程Ｓ８０４が繰り返される度に、各制御因子の最適値の候補となる水準値の数が増加する。
【０１４１】
以上、本発明の実施形態２について説明した。本実施形態によれば、評価レシピの作成を繰り返す際に、操作装置２（制御部２５）が制御因子の水準値を変更する。したがって、作業者は、ダイアログ画面を介して制御因子の水準値を変更する必要がない。よって、作業者の負担を軽減することができる。
【０１４２】
［実施形態３］
続いて図１、図２、及び図１３を参照して、本発明の実施形態３について説明する。但し、実施形態１及び２と異なる事項を説明し、実施形態１及び２と同じ事項についての説明は割愛する。実施形態３は、ＳＮ比及び／又は感度が、対応する合否基準の範囲内の値になるまで、組み合わせ情報の生成及び評価レシピの作成を繰り返す点で実施形態１及び２と異なる。
【０１４３】
図１３は、本実施形態に係るパラメータ設計支援システム１０のフローを示す図である。図１３において、評価レシピ作成工程Ｓ８０４、選択工程Ｓ８０６、第１処理工程Ｓ８０８、第２処理工程Ｓ８１０、検査工程Ｓ８１２、及び算出工程Ｓ８１４は、図８を参照して説明した実施形態１に係るフローと同様であるため、その詳しい説明は割愛する。また、組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２は、図１２を参照して説明した実施形態２に係るフローと同様であるため、その詳しい説明は割愛する。
【０１４４】
図１３に示すように、制御部２５は、制御因子の水準値のＳＮ比、又は制御因子の水準値のＳＮ比及び感度を算出すると（算出工程Ｓ８１４）、ＳＮ比及び／又は感度が、対応する合否基準の範囲内の値になっていない制御因子が存在するか否かを判定する（ステップＳ１２０１）。また、制御部２５は、繰り返し回数が所定回数に一致すると判定した場合（Ｓ１１０１のＹｅｓ）、表示部２１にアラーム画面を表示させる（ステップＳ１２０２）。なお、ＳＮ比の合否基準及び感度の合否基準は、作業者が入力部２２を操作して設定する。
【０１４５】
以下、ステップＳ１２０１、及びステップＳ１２０２について更に説明する。なお、以下の説明において、ＳＮ比の合否基準を「第１合否基準」と記載し、感度の合否基準を「第２合否基準」と記載する場合がある。
【０１４６】
［ステップＳ１２０１］
［ＳＮ比の合否基準が設定されている場合］
各制御因子に対して第１合否基準が設定されている場合、制御部２５は、ＳＮ比が第１合否基準の範囲内の値ではない制御因子が存在するか否かを判定する（ステップＳ１２０１）。詳しくは、制御部２５は、制御因子ごとに、水準値のＳＮ比のうちの少なくとも１つが、対応する第１合否基準の範囲内の値であるか否かを判定する。なお、第１合否基準として、制御因子ごとに異なる上限値及び下限値が設定されてもよい。
【０１４７】
制御部２５は、ＳＮ比が第１合否基準の範囲内の値ではない制御因子が存在すると判定すると（ステップＳ１２０１のＹｅｓ）、繰り返し回数が所定回数と一致するか否かを判定する（ステップＳ１１０１）。制御部２５は、繰り返し回数が所定回数と一致しないと判定すると（ステップＳ１１０１のＮｏ）、レシピ作成モードに遷移し、再度、組み合わせ情報を生成する（組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２）。制御部２５は、組み合わせ情報の生成を繰り返す際に、ＳＮ比が第１合否基準の範囲内の値ではないと判定された制御因子の水準値を変更する。
【０１４８】
一方、制御部２５は、ＳＮ比が第１合否基準の範囲内の値ではない制御因子が存在しないと判定すると（ステップＳ１２０１のＮｏ）、制御因子ごとに、対応する水準値のうちから、ＳＮ比が最も大きい水準値を最適値として決定する（水準値決定工程Ｓ８１６）。更に、制御部２５は、最適値を表示部２１に表示させる。この結果、図１３に示すフローが終了する。
【０１４９】
［感度の合否基準が設定されている場合］
各制御因子に対して第２合否基準が設定されている場合、制御部２５は、感度が第２合否基準の範囲内の値ではない制御因子が存在するか否かを判定する（ステップＳ１２０１）。詳しくは、制御部２５は、制御因子ごとに、水準値の感度のうちの少なくとも１つが、対応する第２合否基準の範囲内の値であるか否かを判定する。なお、第２合否基準として、制御因子ごとに異なる上限値及び下限値が設定されてもよい。
【０１５０】
制御部２５は、感度が第２合否基準の範囲内の値ではない制御因子が存在すると判定すると（ステップＳ１２０１のＹｅｓ）、繰り返し回数が所定回数と一致するか否かを判定する（ステップＳ１１０１）。制御部２５は、繰り返し回数が所定回数と一致しないと判定すると（ステップＳ１１０１のＮｏ）、レシピ作成モードに遷移し、再度、組み合わせ情報を生成する（組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２）。制御部２５は、組み合わせ情報の生成を繰り返す際に、感度が第２合否基準の範囲内の値ではないと判定された制御因子の水準値を変更する。
【０１５１】
一方、制御部２５は、感度が第２合否基準の範囲内の値ではない制御因子が存在しないと判定すると（ステップＳ１２０１のＮｏ）、制御因子ごとに、対応する水準値のうちから、ＳＮ比が最も大きい水準値を最適値として決定する（水準値決定工程Ｓ８１６）。更に、制御部２５は、最適値を表示部２１に表示させる。この結果、図１３に示すフローが終了する。
【０１５２】
［ＳＮ比の合否基準及び感度の合否基準が設定されている場合］
各制御因子に対して第１合否基準及び第２合否基準が設定されている場合、制御部２５は、ＳＮ比が第１合否基準の範囲内の値ではない制御因子、又は感度が第２合否基準の範囲内の値ではない制御因子が存在するか否かを判定する（ステップＳ１２０１）。なお、以下の説明において、ＳＮ比が第１合否基準の範囲内の値ではない制御因子、又は感度が第２合否基準の範囲内の値ではない制御因子を「ＳＮ比又は感度が合否基準の範囲内の値ではない制御因子」と記載する場合がある。
【０１５３】
制御部２５は、ＳＮ比又は感度が合否基準の範囲内の値ではない制御因子が存在すると判定すると（ステップＳ１２０１のＹｅｓ）、繰り返し回数が所定回数と一致するか否かを判定する（ステップＳ１１０１）。制御部２５は、繰り返し回数が所定回数と一致しないと判定すると（ステップＳ１１０１のＮｏ）、レシピ作成モードに遷移し、再度、組み合わせ情報を生成する（組み合わせ情報生成工程Ｓ８０２）。制御部２５は、組み合わせ情報の生成を繰り返す際に、ＳＮ比又は感度が合否基準の範囲内の値ではないと判定された制御因子の水準値を変更する。
【０１５４】
一方、制御部２５は、ＳＮ比又は感度が合否基準の範囲内の値ではない制御因子が存在しないと判定すると（ステップＳ１２０１のＮｏ）、制御因子ごとに、対応する水準値のうちから、ＳＮ比が最も大きい水準値を最適値として決定する（水準値決定工程Ｓ８１６）。更に、制御部２５は、最適値を表示部２１に表示させる。この結果、図１３に示すフローが終了する。
【０１５５】
［ステップＳ１２０２］
本実施形態において、表示部２１は、アラーム通知部として機能する。制御部２５は、繰り返し回数が所定回数と一致すると判定すると（ステップＳ１１０１のＹｅｓ）、表示部２１にアラーム画面を表示させる（ステップＳ１２０２）。この結果、作業者にアラームが通知されて、図１３に示すフローが終了する。アラーム画面は、例えば、ＳＮ比及び／又は感度が、対応する合否基準の範囲内の値となる水準値を取得できなかった旨を示す。
【０１５６】
以上、本発明の実施形態３について説明した。本実施形態によれば、ＳＮ比及び／又は感度が対応する合否基準の範囲内の値となる水準値を操作装置２（制御部２５）が探索する。したがって、作業者の負担を軽減することができる。
【０１５７】
なお、本実施形態では、アラーム通知部として表示部２１が使用されたが、アラーム通知部は表示部２１に限定されない。例えば、操作装置２は、スピーカーを備え得る。この場合、アラーム通知部としてスピーカーが使用されてもよい。具体的には、制御部２５は、繰り返し回数が所定回数と一致すると判定すると（ステップＳ１１０１のＹｅｓ）、スピーカーからアラーム音を出力させる。あるいは、制御部２５は、ＳＮ比及び／又は感度が、対応する合否基準の範囲内の値となる水準値を取得できなかった旨を示す音声をスピーカーから出力させてもよい。
【０１５８】
以上、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明した。但し、本発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施することが可能である。
【０１５９】
例えば、本発明による実施形態では、検査結果データを操作装置２に送信する通信媒体が通信ケーブル４である構成について説明したが、検査結果データを操作装置２に送信する通信媒体は、無線通信であってもよい。
【０１６０】
また、本発明による実施形態では、通信媒体を用いて検査結果データを操作装置２に入力する構成について説明したが、本発明は、データを保持する媒体を用いて検査結果データを操作装置２に入力する構成にも採用され得る。例えば、データを保持する媒体として、コンパクトディスク又はＤＶＤのような光ディスク、あるいはＵＳＢメモリのような記憶装置を使用し得る。
【０１６１】
また、本発明による実施形態では、基板１１が半導体ウエハである形態について説明したが、基板１１は半導体ウエハに限定されない。基板１１は、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ用の基板、光ディスク用の基板、磁気ディスク用の基板、又は光磁気ディスク用の基板等であり得る。
【０１６２】
また、本発明による実施形態では、操作装置２が、評価レシピを作成する機能と、評価レシピに基づいて基板処理装置１を制御する機能とを有したが、操作装置２は、評価レシピを作成する機能と、評価レシピに基づいて基板処理装置１を制御する機能とのうち、評価レシピに基づいて基板処理装置１を制御する機能のみを有してもよい。この場合、パラメータ設計支援システム１０は、評価レシピを作成する機能を実行する情報処理装置を更に備え、操作装置２は、情報処理装置が作成した評価レシピに基づいて基板処理装置１を制御する。情報処理装置は、典型的には、汎用コンピューターである。
【産業上の利用可能性】
【０１６３】
本発明は、基板処理装置のパラメータ設計に有用である。
【符号の説明】
【０１６４】
１        基板処理装置
２        操作装置
３        検査装置
１０      パラメータ設計支援システム
１１      基板
２１      表示部
２２      入力部
２３      接続部
２４      記憶部
２５      制御部
【図１】
2019029445.tif 000003
【図２】
2019029445.tif 000004
【図３】
2019029445.tif 000005
【図４】
2019029445.tif 000006
【図５】
2019029445.tif 000007
【図６】
2019029445.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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