(57)【要約】【課題】新たに接合用の粘着テープを用いることなく、粘着テープの末端同士をより強固に接合できる粘着テープ接合装置を提供する。【解決手段】先行する粘着テープＴ１を原反ロール２７Ａから切り離すとともに、接合テープ作成部３３において、後続粘着テープＴ２の一部を切断して接合テープＣＴを作成する。供給位置にある原反ロール２７Ａを別の原反ロール２７Ｂに切り換えた後、原反ロール２７Ｂから繰り出される後続粘着テープＴ２の先端と、原反ロール２７Ａから切り離された先行粘着テープＴ１の後端とを接合テープＣＴで接合させる。【選択図】図１４
2019172393.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺の粘着テープの端部同士を接合する粘着テープ接合装置であって、
粘着テープの原反ロールを複数個備え、複数の前記原反ロールのうち供給位置に配置されている第１の原反ロールから粘着テープを繰り出させるテープ供給部と、
テープ供給部が備える複数の原反ロールのうち、供給位置にある第１の原反ロールから繰り出されている第１の粘着テープを所定位置で切断して前記第１の原反ロールから切り離す切断機構と、
テープ供給部が備える複数の原反ロールのうち、前記第１の原反ロールから繰り出されている前記第１の粘着テープ、および第２の原反ロールから繰り出されている第２の粘着テープのうち、いずれかの一部を切断して接合用の粘着テープ片を作成する第１接合テープ作成機構と、
前記粘着テープ片を保持する接合テープ保持部材と、
前記テープ供給部を移動させ、供給位置に配置される原反ロールを前記第１の原反ロールから第２の原反ロールへと切り換えるロール切換機構と、
前記第１の原反ロールから切り離された前記第１の粘着テープの後端と、前記第２の原反ロールから繰り出されている前記第２の粘着テープの先端とを前記粘着テープ片で接合させる粘着テープ接合機構と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ接合装置。
【請求項２】
請求項１に記載の粘着テープ接合装置であって、
前記粘着テープ接合機構は、前記粘着テープ片の粘着面と、前記第１の粘着テープの後端部分の粘着面および前記第２の粘着テープの先端部分の粘着面とが互いに対面した状態で、第１の粘着テープの後端と第２の粘着テープの先端とを前記粘着テープ片で接合させる
ことを特徴とする粘着テープ接合装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の粘着テープ接合装置であって、
前記原反ロールの各々は、セパレータが添設された前記粘着テープを繰り出すものであり、
前記第１の原反ロールから切り離された第１のセパレータの後端と、前記第２の原反ロールから繰り出されている第２のセパレータの先端とを接合させるセパレータ接合機構を備える
ことを特徴とする粘着テープ接合装置。
【請求項４】
請求項３に記載の粘着テープ接合装置であって、
前記セパレータ接合機構は、前記第１のセパレータの後端と前記第２のセパレータの先端ともうち少なくとも一方を加熱する加熱機構を備え、
前記第１のセパレータおよび前記第２のセパレータは、熱接着による接合を可能とする材料で構成される
ことを特徴とする粘着テープ接合装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の粘着テープ接合装置であって、
前記第１の粘着テープおよび前記第２の粘着テープとは特性の異なる第３の粘着テープを供給する第３の原反ロールと、
前記第３の粘着テープの一部を切断して接合用の粘着テープ片を作成する第２接合テープ作成機構と、
前記第１の粘着テープの特性または前記第２の粘着テープの特性に基づいて、第１のモードと第２のモードとのいずれかを選択する選択機構と、
前記選択機構の選択に基づいて、前記第１接合テープ作成機構および前記第２接合テープ作成機構を制御する制御機構とを備え、
前記制御機構は、
前記第１のモードが選択された場合は、第２接合テープ作成機構を停止させる制御を行うとともに第１接合テープ作成機構を作動させ、前記第１の粘着テープおよび前記第２の粘着テープのうち、いずれかの一部を切断して接合用の粘着テープ片を作成するよう制御し、
前記第２のモードが選択された場合は、第１接合テープ作成機構を停止させる制御を行うとともに第２接合テープ作成機構を作動させ、前記第３の粘着テープの一部を切断して接合用の粘着テープ片を作成するよう制御する
ことを特徴とする粘着テープ接合装置。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｄｉｏｄｅ）、電子回路などの各種基板に貼りつける粘着テープの供給過程において、先行する粘着テープの後端に、後続する粘着テープの先端を接合させる粘着テープ接合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）は、その表面に多数の素子の回路パターンが形成されている。例えば、バンプや微細回路がウエハ表面に形成されている。そこで、裏面研削時および搬送時に当該回路面の汚染および損傷を防止するために、保護用の粘着テープが貼り付けられる。
【０００３】
ここでウエハの表面に粘着テープを貼り付けるために用いる、テープ貼付け装置の従来構成について説明する。従来のテープ貼付け装置１０１は図３０に示すように、テープ供給部１０３、セパレータ剥離部１０５、保持テーブル１０７、テープ貼付け部１０９、テープ切断機構１１１、テープ回収部１１３、およびセパレータ回収部１１５などを備えている。
【０００４】
テープ供給部１０３は、回路保護用のセパレータ付き粘着テープＴＳが巻回された原反ロールの装填された供給ボビンから、当該粘着テープＴＳを繰り出し案内する。セパレータ剥離部１０５は、繰り出された粘着テープＴＳからセパレータＳを剥離する。保持テーブル１０７は、回路形成面が上向きの状態となっているウエハＷを吸着保持する。テープ貼付け部１０９は一例として貼り付けローラであり、図３０において左方向へ水平移動する。当該水平移動によって、テープ貼付け部１０９は、セパレータＳが剥離された粘着テープＴを、保持テーブル１０７上のウエハＷに貼り付ける。
【０００５】
テープ切断機構１１１はカッタ１１１ａを備えており、符号Ｐで示す鉛直軸周りにテープ切断機構１１１が回転することによって、粘着テープＴはウエハＷの外形に沿って切り抜かれる。切り抜かれた後の不要な部分の粘着テープＴ、すなわち不要テープＴｎは、テープ回収部１１３を構成する巻き取り軸においてロール状に巻き取られて回収される。また粘着テープＴから剥離されたセパレータＳは、セパレータ回収部１１５を構成する巻き取り軸においてロール状に巻き取られて回収される。
【０００６】
このようなテープ貼付け装置において、テープ供給部１０３における粘着テープＴの装填量が一定量を下回った場合、またはテープ回収部１１３に回収される不要テープＴｎの量などが一定量を上回った場合はロールを交換する必要がある。従来のテープ貼付け装置１０１ではロールの交換を行う場合、オペレータは煩雑な作業を手動で行う必要がある。
【０００７】
すなわちテープ供給部１０３においては、原反ロールから繰り出される粘着テープＴの切断、原反ロールの交換、切断された粘着テープＴの接合、および粘着テープＴの繰り出し再開といった一連の作業を要する。そしてテープ回収部１１３などにおいては、不要なテープＴｎの切断、ロール状に回収された不要テープＴｎの除去、巻き取り軸に対する不要テープＴｎの接合、および不要テープＴｎの巻き取り再開といった一連の作業を要する。従来の装置ではこれら一連の作業を行う間、テープ貼付け装置の運転を中断させる必要がある。
【０００８】
近年ではテープ貼付け装置の運転中断による貼付け効率の低下を回避すべく、ロールの交換作業、特に切断された粘着テープＴの末端同士を接合させる作業を自動で行うための試みが行われている。その一例として、以下のようなテープ接合方法が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。すなわち、先行しているセパレータ付き粘着テープの後端に、接合用の粘着テープである接合テープを貼り付ける。
【０００９】
接合テープが貼り付けられた後、後続のセパレータ付き粘着テープの先端に対して、接合テープが貼り付けられたセパレータ付き粘着テープの後端を押圧して接合させる。このような方法により、先行の粘着テープと後続の粘着テープとの末端同士を、接合テープを介して接合させることができる。
【００１０】
【特許文献１】特開２０１４−１３３６１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。
【００１２】
すなわち、従来の装置では先行の粘着テープと後続の粘着テープとを接合させる際に、第３の粘着テープというべき接合テープを別に用意する必要がある。また、接合テープの供給および貼付けを行う装置が別途必要となるため、粘着テープ同士を接合させる装置が大型化する。
【００１３】
さらに、接合テープの粘着面は、先行の粘着テープの後端における非粘着面と、後続の粘着テープの先端における非粘着面と接触する。そのため、接合テープＣＴと先行の粘着テープとの接着力、および接合テープと後続の粘着テープとの接着力が比較的弱い。従って、接合させたはずの先行の粘着テープおよび後続の粘着テープが互いに剥離し、接合エラーが発生するという問題も懸念される。
【００１４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、新たに接合用の粘着テープを用いることなく、粘着テープの末端同士をより強固に接合できる粘着テープ接合装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、長尺の粘着テープの端部同士を接合する粘着テープ接合装置であって、
粘着テープの原反ロールを複数個備え、複数の前記原反ロールのうち供給位置に配置されている第１の原反ロールから粘着テープを繰り出させるテープ供給部と、
テープ供給部が備える複数の原反ロールのうち、供給位置にある第１の原反ロールから繰り出されている第１の粘着テープを所定位置で切断して前記第１の原反ロールから切り離す切断機構と、
テープ供給部が備える複数の原反ロールのうち、前記第１の原反ロールから繰り出されている前記第１の粘着テープ、および第２の原反ロールから繰り出されている第２の粘着テープのうち、いずれかの一部を切断して接合用の粘着テープ片を作成する第１接合テープ作成機構と、
前記粘着テープ片を保持する接合テープ保持部材と、
前記テープ供給部を移動させ、供給位置に配置される原反ロールを前記第１の原反ロールから第２の原反ロールへと切り換えるロール切換機構と、
前記第１の原反ロールから切り離された前記第１の粘着テープの後端と、前記第２の原反ロールから繰り出されている前記第２の粘着テープの先端とを前記粘着テープ片で接合させる粘着テープ接合機構と、
を備えたことを特徴とするものである。
【００１６】
（作用・効果）この発明によれば、第１接合テープ作成機構は、接合対象である第１の粘着テープおよび第２の粘着テープのうち、いずれかの一部を切断して接合用の粘着テープ片を作成する。そして粘着テープ接合機構は、第１の粘着テープの後端と第２の粘着テープの先端とを当該粘着テープ片で接合する。
【００１７】
この場合、接合対象である第１の粘着テープまたは第２の粘着テープの一部を接合用の粘着テープ片として用いる。そのため、粘着テープ同士を接合させる際に接合対象である各粘着テープとは別のテープを、接合用の粘着テープとして予め準備する必要がない。また、テープ接合装置に対して、当該別のテープを供給する構成や、当該別のテープを接合対象の粘着テープに貼り付ける構成を配設する必要もない。そのため、粘着テープの接合の準備が煩雑化する事態や、テープ接合装置の大型化およびコスト上昇が発生する事態を回避できる。
【００１８】
さらに、第１の粘着テープの後端と第２の粘着テープの先端とを接合する、接合用の粘着テープ片の特性は、接合対象の特性と同一となる。そのため、粘着テープ片と第１の粘着テープとの間の粘着力が低いという事態や、粘着テープ片と第２の粘着テープとの間の粘着力が低いという事態は確実に回避される。そのため、接合部分において再剥離に起因する接合エラーが発生することをより確実に防止できる。
【００１９】
また、上述した発明において、前記粘着テープ接合機構は、前記粘着テープ片の粘着面と、前記第１の粘着テープの後端部分の粘着面および前記第２の粘着テープの先端部分の粘着面とが互いに対面した状態で、第１の粘着テープの後端と第２の粘着テープの先端とを前記粘着テープ片で接合させることが好ましい。
【００２０】
（作用・効果）この構成によれば、粘着テープ接合機構は、粘着テープ片の粘着面と、第１の粘着テープの後端部分の粘着面および第２の粘着テープの先端部分の粘着面とが互いに対面した状態で、第１の粘着テープの後端と第２の粘着テープの先端とを粘着テープ片で接合させる。すなわち、接合を行う際に、第１の粘着テープの後端部分の粘着面および第２の粘着テープの先端部分の粘着面とは同じ方向を向いているのに対し、粘着テープ片の粘着面は各粘着テープの粘着面に対面している。
【００２１】
そのため、粘着テープ片の粘着面は、第１の粘着テープの後端部分の粘着面および第２の粘着テープの先端部分の粘着面の各々と接触することによって接合が行われる。この場合、接合部分における接着力は粘着テープ片の粘着力のみならず、第１の粘着テープおよび第２の粘着テープの粘着力も影響する。従って、接合部分における接着力をより向上できるので、接合部分における接合エラーの発生をより確実に回避できる。
【００２２】
また、上述した発明において、前記原反ロールの各々は、セパレータが添設された前記粘着テープを繰り出すものであり、前記第１の原反ロールから切り離された第１のセパレータの後端と、前記第２の原反ロールから繰り出されている第２のセパレータの先端とを接合させるセパレータ接合機構を備えることが好ましい。
【００２３】
（作用・効果）この構成によれば、第１の原反ロールから切り離された第１のセパレータの後端と、第２の原反ロールから繰り出されている第２のセパレータの先端とはセパレータ接合機構によって接合される。すなわち粘着テープ同士が接合されて連続した長尺状となるとともに、セパレータ同士も接合されて連続した長尺状となる。そのため、粘着テープのみならずセパレータについても連続的に巻き取り回収することができるので、装置をより長時間連続して運用できる。
【００２４】
また、上述した発明において、前記セパレータ接合機構は、前記第１のセパレータの後端と前記第２のセパレータの先端とのうち少なくとも一方を加熱する加熱機構を備え、
前記第１のセパレータおよび前記第２のセパレータは、熱接着による接合を可能とする材料で構成されることが好ましい。
【００２５】
（作用・効果）この構成によれば、セパレータ接合機構が第１のセパレータの後端と第２のセパレータの先端とのうち少なくとも一方を加熱することによって、第１のセパレータと第２のセパレータとを接合できる。そのため、各々のセパレータ同士をより好適に接合できる。
【００２６】
また、上述した発明において、前記第１の粘着テープおよび前記第２の粘着テープとは特性の異なる第３の粘着テープを供給する第３の原反ロールと、
前記第３の粘着テープの一部を切断して接合用の粘着テープ片を作成する第２接合テープ作成機構と、
前記第１の粘着テープの特性または前記第２の粘着テープの特性に基づいて、第１のモードと第２のモードとのいずれかを選択する選択機構と、
前記選択機構の選択に基づいて、前記第１接合テープ作成機構および前記第２接合テープ作成機構を制御する制御機構とを備え、
前記制御機構は、
前記第１のモードが選択された場合は、第２接合テープ作成機構を停止させる制御を行うとともに第１接合テープ作成機構を作動させ、前記第１の粘着テープおよび前記第２の粘着テープのうち、いずれかの一部を切断して接合用の粘着テープ片を作成するよう制御し、
前記第２のモードが選択された場合は、第１接合テープ作成機構を停止させる制御を行うとともに第２接合テープ作成機構を作動させ、前記第３の粘着テープの一部を切断して接合用の粘着テープ片を作成するよう制御する
ことが好ましい。
【００２７】
（作用・効果）この構成によれば、第３の原反ロールを備えるとともに、接合対象である第１の粘着テープまたは第２の粘着テープの特性に基づいて、第１のモードと第２のモードとのいずれかを適宜選択できる。そして第１のモードが選択された場合、第１接合テープ作成機構が作動し、第１の粘着テープまたは第２の粘着テープの一部を用いて接合用の粘着テープ片が作成される。一方、第２のモードが選択された場合、第２接合テープ作成機構が作動し、第３の粘着テープを用いて接合用の粘着テープ片を作成する。
【００２８】
この場合、第１の粘着テープまたは第２の粘着テープの特性が接合用の粘着テープ片として不適切である場合、第２のモードを選択して接合用の粘着テープ片として適切な第３の粘着テープを使用する。そのため、第３の粘着テープによって、第１の粘着テープと第２の粘着テープとを強固に接合できる。
【００２９】
一方、第１の粘着テープまたは第２の粘着テープの特性が接合用の粘着テープ片として適切である場合、第１のモードを選択して第１の粘着テープまたは第２の粘着テープの一部を用いて第１の粘着テープと第２の粘着テープとを接合させる。従って、第１のモードと第２のモードとを適宜使い分けることにより、第１の粘着テープおよび第２の粘着テープの特性に関わらず、粘着テープ同士の接合が可能となる。すなわち、粘着テープ接合装置の汎用性を向上できる。そして、第３の粘着テープを用いることなく接合が可能である場合は第１のモードで粘着テープ同士の接合を行うので、副資材である第３の粘着テープの消費量を抑えつつ、第１の粘着テープと第２の粘着テープとの接合に際して接合エラーが発生することをより確実に回避できる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明の粘着テープ接合装置によれば、セパレータの添設された長尺の粘着テープの端部同士を接合する際に、接合対象である粘着テープの一部を利用して接合用の粘着テープ片を作成し、当該粘着テープ片を用いて粘着テープの端部同士を接合させる。そのため、接合対象である粘着テープを用意すれば、接合用の粘着テープ片を別途準備する必要が無い。また、接合対象である粘着テープと接合用の粘着テープ片とは構成材料の特性が同一であるので、接合用の粘着テープ片と接合対象である粘着テープとの間の粘着力が低いという事態を確実に回避できる。また、粘着テープ接合装置の大型化やコスト上昇を防止することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の基本構成を示す正面図である。
【図２】実施例１に係るテープ供給ユニットの構成を示す図である。（ａ）はテープ供給ユニットの斜視図であり、（ｂ）はテープ供給ユニットの正面図である。
【図３】実施例１に係るテープ供給部およびセパレータ剥離部の構成を示す図である。
【図４】実施例１に係る接合テープ作成部の構成を示す図である。
【図５】実施例１に係るセパレータ接合ユニットの構成を示す図である。
【図６】実施例１に係るセパレータ付き粘着テープの構成を示す断面図である。
【図７】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の動作を示すフローチャートである。（ａ）はウエハに粘着テープを貼り付ける動作の概要を示すフローチャートであり、（ｂ）はステップＳ７の動作の詳細を説明するフローチャートである。
【図８】実施例１に係るステップＳ２の動作を示す図である。（ａ）は粘着テープがウエハに貼り付けられる前の状態を示す図であり、（ｂ）は粘着テープがウエハに貼り付けられた後の状態を示す図である。
【図９】実施例１に係るステップＳ３の動作を示す図である。
【図１０】実施例１に係るステップＳ４の動作を示す図である。
【図１１】実施例１に係るステップＳ７の開始時におけるテープ接合装置の構成を示す図である。
【図１２】実施例１に係るステップＳ７−１において、先行粘着テープを切断する動作を示す図である。（ａ）はカッタユニットが初期位置に配置されている状態を示す図であり、（ｂ）はカッタユニットが切断準備位置に移動している状態を示す図であり、（ｃ）はカッタユニットが切断実行位置に移動して先行粘着テープを切断している状態を示す図であり、（ｄ）はステップＳ７−２におけるカッタユニットと先行粘着テープとの位置関係を、先行粘着テープの繰り出し方向（Ｌ方向）から見た断面図を示している。
【図１３】実施例１に係るステップＳ７−１において、先行セパレータを切断する動作を示す図である。（ａ）はカッタユニットが初期位置に配置されている状態を示す図であり、（ｂ）はカッタユニットが切断準備位置に移動している状態を示す図であり、（ｃ）はカッタユニットが切断実行位置に移動して先行セパレータを切断している状態を示す図である。
【図１４】実施例１に係るステップＳ７−２の動作を示す図である。（ａ）はカッタユニットが初期位置に配置されている状態を示す図であり、（ｂ）はカッタユニットが切断実行位置に移動して後続粘着テープを切断し、接合テープを作成している状態を示す図であり、（ｃ）はステップＳ７−３までの各工程が完了した後におけるテープ接合装置の概略構成を示す図である。
【図１５】実施例１に係るステップＳ７−３の動作を示す図である。（ａ）は接合テープ保持部材が切断準備位置に配置されている状態を示す図であり、（ｂ）は接合テープ保持部材が切断準備位置から接合準備位置に変位した後の状態を示す図であり、（ｃ）は先行粘着テープ保持部材が近接位置に配置されている状態を示す図であり、（ｄ）は先行粘着テープ保持部材が近接位置から退避位置へと移動する状態を示す図である。
【図１６】実施例１に係るステップＳ７−４の動作を示す図である。（ａ）は供給位置に配置される原反ロールを切り換える前におけるテープ接合装置の状態を示す図であり、（ｂ）は供給位置に配置される原反ロールを切り換えた後におけるテープ接合装置の状態を示す図である。
【図１７】実施例１に係るステップＳ７−５の動作を示す図である。（ａ）は接合テープ保持部材が接合準備位置に配置されている状態を示す図であり、（ｂ）は接合テープ保持部材が接合準備位置から接合実行位置に変位し、接合テープを押圧している状態を示す図であり、（ｃ）は接合テープによる粘着テープ同士の接合が完了し、粘着テープの保持が解除された状態を示す図であり、（ｄ）は接合が完了した粘着テープの繰り出しを再開した状態を示す図である。
【図１８】実施例１に係るステップＳ７−６の動作を示す図である。（ａ）は先行セパレータ保持部材が接合準備位置に配置されている状態を示す図であり、（ｂ）は先行セパレータ保持部材が接合準備位置から接合実行位置に変位し、先行セパレータを後続セパレータに加熱押圧している状態を示す図であり、（ｃ）はセパレータ同士の接合が完了し、セパレータの保持が解除された状態を示す図である。
【図１９】実施例１に係るステップＳ７−５およびステップＳ７−６の動作を示す図である。（ａ）は粘着テープ同士の接合およびセパレータ同士の接合を実行している状態におけるテープ接合装置の概略構成を示す図であり、（ｂ）は粘着テープ同士の接合およびセパレータ同士の接合が完了した状態におけるテープ接合装置の概略構成を示す図である。
【図２０】従来構成の問題点と、実施例１の構成による効果を説明する図である。（ａ）は片面テープを接合テープとして用いて、従来の接合方法を実行した場合における接合部分の断面図であり、（ｂ）は両面テープを接合テープとして用いて、従来の接合方法を実行した場合における接合部分の断面図であり、（ｃ）は実施例１に係る接合方法を実行した場合における接合部分の断面図である。
【図２１】実施例２に係るステップＳ７の開始時におけるテープ接合装置の構成を示す図である。
【図２２】実施例２に係るステップＳ７−１の動作を示す図である。（ａ）は先行粘着テープおよび先行セパレータを切断する前の状態を示す図であり、（ｂ）は先行粘着テープおよび先行セパレータを切断した後の状態を示す図である。
【図２３】実施例２に係るステップＳ７−２の動作を示す図である。
【図２４】実施例２に係るステップＳ７−３の動作を示す図である。
【図２５】実施例２に係るステップＳ７−４の動作を示す図である。（ａ）は供給位置に配置される原反ロールを切り換える前におけるテープ接合装置の状態を示す図であり、（ｂ）は供給位置に配置される原反ロールを切り換えた後におけるテープ接合装置の状態を示す図である。
【図２６】実施例２に係るステップＳ７−５およびステップＳ７−６の動作を示す図である。（ａ）は粘着テープ同士の接合およびセパレータ同士の接合を開始する前の状態を示す図であり、（ｂ）は粘着テープ同士の接合およびセパレータ同士の接合を実行している状態を示す図である。
【図２７】変形例に係るテープ接合装置を示す図である。（ａ）は基材が厚い粘着テープを用いて実施例に係る粘着テープの接合を実行した場合における、粘着テープの接合部分の断面図であり、（ｂ）は変形例に係るテープ接合装置の概略構成を示す図である。
【図２８】変形例に係るテープ接合装置の動作を示す図である。（ａ）は変形例に係るステップＳ７の開始時における、後続粘着テープの初期状態を示す図であり、（ｂ）は変形例に係るステップＳ７−２において、粘着テープＦの切断を開始する前における状態を示す図であり、（ｃ）は変形例に係るステップＳ７−２の工程が完了し、接合テープが作成された状態を示す図である。
【図２９】変形例に係るテープ接合装置の動作を示す図である。（ａ）は変形例に係るステップＳ７−５の工程を開始する前の状態を示す図であり、（ｂ）は変形例に係るステップＳ７−５工程を実行し、粘着テープ同士が接合されている状態を示す図である。
【図３０】従来例に係るテープ貼付け装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００３２】
以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は、実施例１に係る粘着テープ接合装置を備える、粘着テープ貼付け装置１の基本構成を示す正面図である。なお粘着テープ貼付け装置１を示す図において、各種構成を支持する支持手段、および各種構成を駆動させる駆動手段などについては図示を省略している。
【００３３】
本実施例では、半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」と略称する）などの各種基板に貼り付ける表面保護用の粘着テープＴをセパレータＳが添接された長尺で供給し、下流側で所定系状に切断する場合を例にとって説明する。すなわち、本実施例では長尺の粘着テープ同士を接合する。なお、セパレータＳが添接された状態の粘着テープＴを、テープＴＳとする。
【００３４】
本実施例において「上流」および「下流」とはテープＴＳの繰り出し方向に沿うものとして定義される。すなわち「上流」とはテープＴＳの繰り出し方向において、後述するテープ供給部に近い側を意味するものとする。また粘着テープＴは図６に示すように、非粘着性の基材Ｂと、粘着性を有する粘着層Ｃとが積層された構成を備えている。セパレータＳを構成する材料としては、熱接着による接合を可能とする材料であることがより好ましい。
【００３５】
＜全体構成の説明＞
実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１は図１に示すように、粘着テープ接合装置３、保持テーブル５、テープ貼付けユニット７、テープ切断ユニット９、テープ剥離ユニット１１、テープ回収部１３、およびセパレータ回収部１５を備えている。粘着テープ接合装置３は、先行している粘着テープＴの後端に、当該先行している粘着テープＴに後続する別の粘着テープＴの先端を接合する。粘着テープ接合装置３の具体的な構成については後述する。
【００３６】
保持テーブル５は、回路形成面が上向きとなっているウエハＷを載置して保持する。実施例では保持テーブル５として、ウエハＷを吸着保持するチャックテーブルを用いるが、保持テーブル５の構成としてはこれに限られない。また、この保持テーブル５の上面には、後述するテープ切断ユニット１１に備えたカッタ刃９ｃをウエハＷの外形に沿って旋回移動させて粘着テープＴを切断するために、カッタ走行溝５ａが形成されている。保持テーブル５は、適宜昇降移動を可能とする構成であってもよい。
【００３７】
テープ貼付けユニット７は、保持テーブル５に載置されて吸着保持されたウエハＷの回路面に粘着テープＴを貼付ける。テープ貼付けユニット７は図１に示すように、図示しないレールに沿って左右水平に往復移動する可動台７ａと、可動台７ａに接続されたブラケットに軸支された貼付けローラ７ｂとを備えている。
【００３８】
テープ切断ユニット９は、駆動昇降可能な可動台９ａの下部に、保持テーブル５の中心上に位置する縦軸心Ｐ周りに駆動旋回可能に支持アーム９ｂが装備される。また、この支持アーム９ｂの遊端側に、刃先を下向きにしたカッタ９ｃが装着されている。つまり、支持アーム９ｂが縦軸心Ｐを旋回中心として旋回することにより、カッタ９ｃがウエハＷの外周に沿って移動して粘着テープＴを切り抜くよう構成されている。
【００３９】
テープ剥離ユニット１１は、カッタ９ｃによって切り抜かれてウエハＷの表面に貼り付けられた粘着テープＴｗと、粘着テープＴｗが切り抜かれて不要となった粘着テープＴである、不要テープＴｎとを分離させる。テープ剥離ユニット１１は、不要テープＴｎのテンションを維持するガイドローラ１１ａと、ニップローラ１２とを備えている。ニップローラ１２は昇降移動を可能とするピンチローラ１２ａと、モータによって駆動する送りローラ１２ｂによって構成される。テープ剥離ユニット１１は、図示しないレールに沿って左右水平に往復移動が可能となるように構成されている。
【００４０】
テープ回収部１３はテープ剥離ユニット１１の下流に配設されており、不要テープＴｎを巻き取る回収ボビンが巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。セパレータ回収部１５は、粘着テープＴから剥離されたセパレータＳを巻き取る回収ボビンが巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【００４１】
なお、粘着テープ貼付け装置１は、さらに制御部８１と入力部８３とを備えている。制御部８１はＣＰＵ（中央演算処理装置）などを備えており、粘着テープ貼付け装置１に設けられている構成の各々について、各種動作などを統括制御する。入力部８３の例としてはコンソールパネルやキーボードなどが挙げられ、オペレータは入力部８３を用いて各種指示を入力する。入力部８３に入力された指示内容は制御部８１に送信され、制御部８１は当該指示に沿って各種制御を行うことができる。
【００４２】
＜粘着テープ接合装置の構成＞
ここで、実施例１に係る粘着テープ接合装置３の構成について説明する。粘着テープ接合装置３は、テープ供給ユニット１７と、先行粘着テープ保持部材１９と、セパレータ接合ユニット２１とを備えている。
【００４３】
テープ供給ユニット１７は図２（ａ）に示すように、回転プレート２３に複数のボビン２５が立設され、テープＴＳの原反ロール２７を、各々のボビン２５に装填するように構成されている。本実施例では２つのボビン２５Ａおよび２５Ｂが回転プレート２３に立設されているものとする。ボビン２５Ａに装填されている原反ロールには符号２７Ａを付し、ボビン２５Ｂに装填される原反ロールには符号２７Ｂを付して両者を区別する。なお、図２（ａ）に係る斜視図では説明の便宜上、回転プレート２３、ボビン２５、および原反ロール２７を除く各構成を省略している。
【００４４】
テープ供給ユニット１７は図２（ｂ）に示すように、全体として複数の供給ユニット１８を備えている。本実施例に係るテープ供給装置１７は、全体として２つの供給ユニット、すなわちボビン２５Ａを含む第１供給ユニット１８Ａと、ボビン２５Ｂを含む第２供給ユニット１８Ｂとによって構成されているものとする。各々の供給ユニット１８は、テープ供給部２９と、セパレータ剥離部３１と、接合テープ作成部３３とを備えている。
【００４５】
なお、本実施例では各構成について、第１ユニット１８Ａに含まれる各構成には符号にＡを付し、第２ユニット１８Ｂに含まれる各構成には符号にＢを付すことで両者を区別する。一例として、２つのテープ供給部２９のうち、第１ユニット１８Ａに配設される一方についてはテープ供給部２９Ａと表記することによって特定される。そして第２ユニット１８Ｂに配設される他方についてはテープ供給部２９Ｂと表記する。
【００４６】
回転プレート２３は、駆動機構３７によって中心軸３９の軸周りに回転するように構成されている。回転プレート２３の回転によって、第１供給ユニット１８Ａと第２供給ユニット１８Ｂとは供給位置と待機位置とを相互に移動可能となっている。
【００４７】
本実施例において、供給位置とは原反ロール２７からワーク（本実施例ではウエハＷ）へと粘着テープＴを繰り出し供給できるような位置を意味する。すなわち、一例として供給ユニット１８Ｂの各構成が供給位置に配置される場合、複数の原反ロール２７のうち、供給ユニット１８Ｂが備える原反ロール２７Ｂからワークに対して粘着テープＴを繰り出し供給できる。
【００４８】
図１および図２の各図では、第１供給ユニット１８Ａが供給位置に配置されており、かつ第２供給ユニット１８Ｂが待機位置に配置されている状態を示している。そして２つの原反ロール２７のうち、供給位置に配置されている原反ロール２７（図では原反ロール２７Ａ）から、粘着テープＴがテープ貼付けユニット７へと供給される。
【００４９】
テープ供給部２９の各々は図３に示すように、ボビン２５と、原反ロール２７と、図示しないガイドローラを備えている。ボビン２５に装填された原反ロール２７から繰り出されたテープＴＳの先端は、ガイドローラによってテンションが維持されつつ、セパレータ剥離部３１へと導かれる。
【００５０】
なお、待機位置に配置されている原反ロール２７は、開閉扉９１を通して粘着テープ貼付け装置１の外部へ自動または手動で取り出すことができるように構成される。オペレータや作業ロボットは当該原反ロール２７を取り出すとともに、新たな原反ロール２７を待機位置にセットできる。
【００５１】
また、粘着テープ接合装置３において、待機位置は供給位置と比べて粘着テープ貼付け装置１の中央部から離れた位置となるように構成される。一般的に、可動部、カッタ、および高温になる部材、などは粘着テープ貼付け装置１の中央部に多く設けられる。そのため、待機位置に切り換えられた原反ロール２１を交換する際に、高温となっている部材や可動部などに対して、オペレータなどが近づくといった事態を回避できる。
【００５２】
セパレータ剥離部３１は図３に示すように、ガイドローラ３４と送りローラ３５と、セパレータ保持部材３６と、粘着テープ保持部材４１とを備えている。セパレータ剥離部３１へと案内されたテープＴＳは、ガイドローラ３４によって粘着テープＴとセパレータＳとに剥離される。セパレータ剥離部３１の各構成は、回転プレート２３に接続されており、回転プレート２３の回転によってボビン２５とともに変位する。
【００５３】
テープＴＳが粘着テープＴおよびセパレータＳに剥離された後、粘着テープＴはガイドローラ３４に巻回されて粘着テープ保持部材４１へ案内される。そしてセパレータＳは送りローラ３５に巻回されてセパレータ保持部材３６へ案内される。
【００５４】
セパレータ保持部材３６は一例として板状の部材であり、送りローラ３５を経由して案内されたセパレータＳを保持する。より好ましい構成の例として、セパレータ保持部材３６は図示しない吸引装置を用いてセパレータＳを吸着保持する。
【００５５】
粘着テープ保持部材４１は一例として板状の部材であり、その一方の面（保持面）において、ガイドローラ３４から案内されてきた粘着テープＴを保持する。セパレータ保持部材３６と同様、粘着テープ保持部材４１は、粘着テープＴを吸着保持する機能を有することがより好ましい。
【００５６】
なお、セパレータ剥離部３１が供給位置に配置されている場合、粘着テープ保持部材４１（図２の各図では粘着テープ保持部材４１Ａ）に案内されている粘着テープＴは、図１に示すように、先行粘着テープ保持部材１９を経由し、さらにテープ貼付けユニット７へと案内される。そして、セパレータ保持部材３６（図２の各図ではセパレータ保持部材３６Ａ）に案内されているセパレータＳは、図１に示すように、セパレータ接合ユニット２１を経由し、さらにセパレータ回収部１５へと案内される。
【００５７】
接合テープ作成部３３は図４に示すように、接合テープ保持部材４３と、カッタユニット４５とを備えている。接合テープ保持部材４３は一例として板状の部材である。接合テープ保持部材４３は供給位置および待機位置のいずれに配置されている場合であっても、図４において実線で示される切断準備位置と、図４において点線で示される接合準備位置と、後述する接合実行位置との各位置へ移動できるように構成されている。
【００５８】
切断準備位置と接合準備位置、および切断準備位置と接合実行位置は、いずれも粘着テープＴを挟んで対向する位置関係となっている。接合実行位置と比べて、接合準備位置は粘着テープＴから離間した位置となるように構成されている。
【００５９】
接合テープ保持部材４３が切断準備位置に移動している場合、当該接合テープ保持部材４３は粘着テープ保持部材４１の下流に配置され、一方の面（保持面）において粘着テープＴを保持できるように構成されている。接合テープ保持部材４３は、粘着テープＴを吸着保持する機能を有することがより好ましい。
【００６０】
また、接合テープ保持部材４３が切断準備位置から接合準備位置に移動する場合、接合テープ保持部材４３はその向きを反転させる。すなわち接合準備位置において、接合テープ保持部材４３の保持面と粘着テープ保持部材４１の保持面とが向かい合うように構成される。
【００６１】
カッタユニット４５は、可動台４６とカッタ刃４８とを備えている。可動台４６は図示しない駆動機構によって、所定の方向Ｒに駆動可能となっている。方向Ｒは粘着テープＴの厚み方向であることが好ましい。また可動台４６は、粘着テープＴの幅方向（本実施例ではｚ方向）にも駆動可能に構成されている。
【００６２】
可動台４６の先端部にはカッタ刃４８が備えられている。カッタ刃４８は、粘着テープ保持部材４１と接合テープ保持部材４３との間隙部において、粘着テープＴを幅方向にわたって切断する。カッタ刃４８が粘着テープＴを切断することにより、先行する粘着テープＴの後端と後続の粘着テープＴの先端とを接合するための粘着テープ、すなわち接合テープＣＴが形成される。接合テープ保持部材４３は、形成された接合テープＣＴを保持する機能も有している。
【００６３】
なお、供給ユニット１８の各構成は回転プレート２３に接続されており、回転プレート２３の回転によって回転軸３９を中心とする軸周りに変位する。すなわち各々の供給ユニット１８に設けられているテープ供給部２９、セパレータ剥離部３１、および接合テープ作成部３３の各々は回転プレート２３の回転によって供給位置と待機位置を相互に移動可能となっている。
【００６４】
先行粘着テープ保持部材１９は、供給位置に配置されている接合テープ作成部３３の下流に配設されており、供給位置にある原反ロール２７から供給されている粘着テープＴ、すなわち先行粘着テープＴ１を保持する。先行粘着テープ保持部材１９は、粘着テープＴの繰り出し方向に沿って移動可能に構成されており、後述する近接位置と退避位置との間を往復移動する。先行粘着テープ保持部材１９の保持面と、供給位置に配置されている粘着テープ保持部材４１の保持面とは面一となる構成であることが好ましい。
【００６５】
セパレータ接合ユニット２１は図５に示すように、供給位置に配置されているセパレータ保持部材３６の下流に配設されており、先行セパレータ保持部材４７とカッタユニット４９とを備えている。先行セパレータ保持部材４７は、供給位置にある原反ロール２７から供給されているセパレータＳ、すなわち先行セパレータＳ１を保持する。先行セパレータ保持部材４７の内部には、セパレータＳを加熱するためのヒータ５０が配設されている。
【００６６】
カッタユニット４９は、可動台５１とカッタ刃５３とを備えている。可動台５１は図示しない駆動機構によって、所定の方向Ｒに駆動可能となっている。方向Ｒは先行セパレータＳ１の厚み方向であることが好ましい。また可動台５１は、先行セパレータＳ１の幅方向（本実施例ではｚ方向）にも駆動可能に構成されている。
【００６７】
可動台５１の先端部にはカッタ刃５３が備えられている。カッタ刃５３は、セパレータ保持部材３６と先行セパレータ保持部材４７との間隙部において、先行セパレータＳ１を幅方向にわたって切断する。なお、先行セパレータ保持部材４７およびカッタユニット４９は先行セパレータＳ１の繰り出し方向（方向Ｌ）に沿って移動可能に構成されており、後述する近接位置と退避位置との間を往復移動する。
【００６８】
実施例１において、先行粘着テープ保持部材１９およびセパレータ接合ユニット２１は、供給ユニット１８の各構成とは異なり、回転プレート２３に接続されていない。すなわち、先行粘着テープ保持部材１９およびセパレータ接合ユニット２１の各構成は、回転プレート２３の回転とは独立してその位置を適宜変更できる。
【００６９】
＜テープ貼付け動作の概要＞
ここで、粘着テープ貼付け装置１を用いて回路面保護用の粘着テープＴをウエハＷに貼付けるための一連の基本動作を説明する。図７（ａ）は、保護用の粘着テープＴをウエハＷに貼り付ける工程を説明するフローチャートである。
【００７０】
貼付け指令が出されると、所定の収納部に収納されているウエハＷは、アライメントステージで位置合わせされた後、図示しないウエハ搬送機構によって保持テーブル５に載置される。保持テーブル５に載置されたウエハＷは旋回され、ウエハＷの中心が保持テーブル５の中心の上にあるように位置合わせされた状態で吸着保持される。（ステップＳ１）。
【００７１】
このとき、テープ貼付けユニット７、テープ切断ユニット９、およびテープ剥離ユニット１１の各々は図８（ａ）に示す初期位置に移動している。すなわち、テープ貼付けユニット９は保持テーブル５の右側に移動しており、テープ剥離ユニット１１は保持テーブル５の左側に移動している。また、テープ切断ユニット９は保持テーブル５の上方で待機している。
【００７２】
なお、テープ供給ユニット１７において、供給位置に移動しているボビン２５に装填されている原反ロール２７からテープＴＳが下流へと繰り出し供給され、テープＴＳはセパレータ剥離部３１によって粘着テープＴおよびセパレータＳに剥離される。そして粘着テープＴはテープ貼付けユニット７およびテープ剥離ユニット１１に案内されている。
【００７３】
次に、図８（ｂ）に示すように、テープ貼付けユニット７の貼付けローラ７ｂは粘着テープＴを下方に押圧しながらウエハＷ上を前方（図８では左方向）に転動し、点線で示す初期位置から実線で示す終端位置へと移動する。これによって、粘着テープＴがウエハＷの表面全体に貼付けられる（ステップＳ２）。
【００７４】
粘着テープＴがウエハＷに貼り付けられた後、図９に示すように、上方に待機していたテープ切断ユニット９が下降され、点線で示す初期位置から実線で示す切断位置へと移動する。そしてテープ切断ユニット９が切断位置へ下降することによって、保持テーブル５のカッタ走行溝５ａにおいてカッタ９ｃが粘着テープＴに突き刺される。
【００７５】
カッタ９ｃが粘着テープＴに突き刺されると、支持アーム９ｂが縦軸心Ｐを旋回中心として旋回する。これに伴ってカッタ９ｃがウエハ外周縁に摺接しながら旋回移動し、粘着テープＴがウエハの外形に沿って切断される（ステップＳ３）。
【００７６】
ウエハの外形に沿った粘着テープＴの切断が終了すると、テープ切断ユニット９は元の待機位置まで上昇される。そして、テープ貼付けユニット７は終端位置から初期位置へと復帰する。貼付けユニット１７が初期位置へ復帰するとともに、図１０に示すように、テープ剥離ユニット１１が後方（図１０では右方向）へ移動する。すなわちテープ剥離ユニット１１は、図１０において点線で示す初期位置から実線で示す終端位置へ右方向に移動する。
【００７７】
テープ剥離ユニット１１は終端位置へ移動しつつ、粘着テープＴのうち、ウエハＷ上で切り抜き切断されて残った不要テープＴｎを巻き上げて剥離する（ステップＳ４）。なお、粘着テープＴのうち、ウエハＷの表面に貼り付けられている部分については符号Ｔｗを付して不要テープＴｎと区別する。
【００７８】
テープ剥離ユニット１１が終端位置に達して剥離作業が終了すると、テープ剥離ユニット１１は終端位置から初期位置に復帰する。このとき、不要テープＴｎが巻き取られてテープ回収部１３へ案内されて回収されるとともに、供給位置に配置されている原反ロール２７から一定量のテープＴＳが繰り出される（ステップＳ５）。
【００７９】
ステップＳ５までの各処理が終了すると、保持テーブル５における吸着が解除される。吸着解除の後、粘着テープＴｗが貼り付けられたウエハＷはウエハ搬送機構によって搬送されて図示しないウエハ回収部に回収される（ステップＳ６）。以上で１回の粘着テープ貼付け処理が完了する。
【００８０】
なお、粘着テープ貼付け処理の完了後、供給位置に配置されている原反ロール２７（供給用テープ）の装填量に応じて以下の工程を分岐する。供給用テープの装填量が予め定められた規定量以下となった場合、供給位置にある原反ロール２７からテープＴＳを繰り出す動作を一時停止し、テープＴＳの自動交換を行う（ステップＳ７）。供給用テープの装填量が規定量以上であることが各種センサなどを用いて確認することによって、以後、上記動作を順次繰返してゆく。
【００８１】
＜テープの交換工程の説明＞
ここで、ステップＳ７に係る、テープＴＳを自動で交換する工程について説明する。ステップＳ７に係るテープの交換工程は、図７（ｂ）のフローチャートで示すステップＳ７−１からステップＳ７−６までの工程に従って行われる。図７（ｂ）に示す工程により、十分な量のテープＴＳが装填されている新たな原反ロール２７をテープ供給ユニット１７の供給位置に配置させる。そして、当該新たな原反ロール２７から繰り出される後続の（上流側の）粘着テープＴの先端と、交換前の原反ロール２７から繰り出されていた先行の（下流側の）粘着テープＴの後端とが自動的に接合される。また、先行のセパレータＳの後端と、後続のセパレータＳの先端とが自動的に接合される。
【００８２】
なお本実施例では、テープ供給ユニット１７の供給位置にボビン２５Ａおよび原反ロール２７Ａが当初配置されており、ステップＳ７において、装填量が規定値以下となった原反ロール２７Ａを、新たな原反ロール２７Ｂに交換する場合を例にとって説明する。原反ロール２７Ａの装填量が規定値以下となり、ステップＳ７を開始する時点における粘着テープ接合装置３の各構成は図１１に示される通りである。
【００８３】
ステップＳ７について説明するにあたり、交換前において供給位置に配置されていた原反ロール（本実施例では原反ロール２７Ａ）から繰り出されていたテープＴＳの各構成については、先行テープＴＳ１、先行粘着テープＴ１、先行セパレータＳ１と称する。そして交換後に供給位置に配置される新たな原反ロール（本実施例では原反ロール２７Ｂ）から繰り出されるテープＴＳの各構成については、後続テープＴＳ２、後続粘着テープＴ２、後続セパレータＳ２と称し、先行テープＴＳ１に係る各構成と区別する。
【００８４】
ステップＳ７を開始するにあたり、粘着テープ接合装置３における各構成の初期配置について説明する。まず、図１１において符号Ｄ１で示される部分の構成について説明する。先行粘着テープ保持部材１９は近接位置に移動しており、粘着テープ保持部材４１Ａに近接している。供給位置にある接合テープ保持部材４３Ａは、接合準備位置に移動している。接合準備位置に配置されることにより、接合テープ保持部材４３Ａは、接着テープＴ１を挟んで粘着テープ保持部材４１Ａと保持面同士が対向するようになっている。
【００８５】
次に、符号Ｄ２で示される部分の構成について説明する。待機位置にある接合テープ保持部材４３Ｂは、切断準備位置に移動している。切断準備位置に移動していることにより、接合テープ保持部材４３Ｂの保持面（粘着テープＴを保持する面）は、粘着テープ保持部材４１Ｂの保持面と面一になっている。
【００８６】
また、ステップＳ７を開始するに際し、待機位置に配置されている後続テープＴＳ２は、予め以下のように構成されている。図１１において符号Ｄ２で示されるように、待機位置に配置されている原反ロール２７Ｂからセパレータ付きの粘着テープである後続テープＴＳ２が繰り出されている。繰り出された後続テープＴＳ２はセパレータ剥離部３１Ｂによって、後続粘着テープＴ２と後続セパレータＳ２とに剥離されており、後続粘着テープＴ２の粘着層Ｃが露出している。
【００８７】
後続セパレータＳ２は、送りローラ３５Ｂに巻回されてセパレータ保持部材３６Ｂの保持面へと案内されている。後続セパレータＳ２の先端部分は、セパレータ保持部材３６Ｂによって吸着保持されている。後続粘着テープＴ２はガイドローラ３４Ｂに巻回され、粘着テープ保持部材４１Ｂの保持面および接合テープ保持部材４３Ｂの保持面へと案内されている。後続粘着テープＴ２の先端部分は接合テープ保持部材４３Ｂによって吸着保持されており、当該先端部分より上流側の部分は粘着テープ保持部材４１Ｂによって吸着保持されている。
【００８８】
切断準備位置に配置されている接合テープ保持部材４３Ｂの保持面は、粘着テープ保持部材４１Ｂの保持面と面一となっている。そのため、後続粘着テープＴ２全体のテンションを維持しつつ、粘着テープ保持部材４１Ｂおよび接合テープ保持部材４３Ｂの各々は保持面の全面で後続粘着テープＴ２を安定に保持できる。なお、実施例１では後続粘着テープＴ２を巻回させて接合テープ保持部材４３Ｂに保持させる操作、および後続セパレータＳ２を巻回させてセパレータ保持部材３６Ｂに保持させる操作の各々を手動で行っているが、制御部８１の制御下で自動化してもよい。ステップＳ７の開始前における各種構成の初期配置は、以上の通りである。
【００８９】
ステップＳ７−１（先行テープの切断）
テープの交換工程において、まず先行テープの切断を行う。すなわち粘着テープ接合装置３において、供給位置に配置されているカッタユニット４５（本実施例ではカッタユニット４５Ａ）によって先行粘着テープＴ１が切断されるとともに、セパレータ接合ユニット２１が備えるカッタユニット４９によって先行セパレータＳ１が切断される。
【００９０】
カッタユニット４５Ａによる先行粘着テープＴ１の切断が行われる部位は図１１において符号Ｄ１で示されており、カッタユニット４９による先行セパレータＳ１の切断が行われる部位は図１１において符号Ｄ３で示されている。まずは図１２の各図を用いて、先行粘着テープＴ１を切断する動作を説明する。
【００９１】
図１２（ａ）は、先行粘着テープＴ１の切断を行う前における、接合テープ作成部３３Ａの状態を示している。先行粘着テープ保持部材１９は点線で示す退避位置から実線で示す近接位置へと予め変位しており、粘着テープ保持部材４１Ａに近接している。そして先行粘着テープ保持部材１９と粘着テープ保持部材４１Ａとはそれぞれ先行粘着テープＴ１を吸着保持している。また、カッタユニット４５Ａは粘着テープＴ１から離れている初期位置（図１２（ｄ）においては、点線で示される位置Ｍ１）に位置している。
【００９２】
先行粘着テープＴ１の切断を開始すると、カッタユニット４５Ａの可動台４６Ａを方向Ｒに駆動させ、図１２（ｂ）に示すように、カッタユニット４５Ａを初期位置から切断準備位置へと移動させる。図１２（ｂ）において、カッタ刃４８Ａは先行粘着テープＴ１の奥側に移動している。なお、カッタユニット４５Ａの切断準備位置は、図１２（ｄ）において二点鎖線で示される位置Ｍ２に相当する。
【００９３】
カッタユニット４５Ａが切断準備位置へ移動した後、可動台４６Ａを先行粘着テープＴ１の幅方向（ｚ方向）に駆動させる。当該駆動により、切断準備位置に位置していたカッタユニット４５Ａは、図１２（ｄ）において実線で示されている切断完了位置へと移動する。当該移動に伴い、カッタ刃４８Ａは先行粘着テープ保持部材１９と粘着テープ保持部材４１Ａとの間における所定の位置において、先行粘着テープＴ１を幅方向にわたって切断する（図１２（ｃ））。切断が完了した後、カッタユニット４５Ａは切断完了位置から初期位置へと復帰する。
【００９４】
カッタユニット４５Ａが先行粘着テープＴ１を切断することにより、先行粘着テープＴ１の下流側（Ｔ１ｆ）は原反ロール２７Ａから切り離される。当該切断の後、原反ロール２７Ａから切り離された先行粘着テープＴ１ｆの後端部分は先行粘着テープ保持部材１９によって吸着保持される。そして依然として原反ロール２７Ａと繋がっている先行粘着テープＴ１の上流側（Ｔ１ｒ）の先端部分は、粘着テープ保持部材４１Ａによって吸着保持される。
【００９５】
各々の吸着保持が行われることにより、カッタユニット４５Ａによる切断が行われた後も、先行粘着テープＴ１の位置を安定に維持できる。また、先行粘着テープＴ１を切断する際に、先行粘着テープ保持部材１９を近接位置へ移動させて粘着テープ保持部材４１Ａに近接させている。そのため、先行粘着テープ保持部材１９と粘着テープ保持部材４１Ａとの間において先行粘着テープＴ１が撓むなどの原因によって、先行粘着テープＴ１の切断精度が低下するという事態を回避できる。
【００９６】
次に、図１３の各図を用いて、先行セパレータＳ１を切断する動作を説明する。図１３（ａ）は、先行セパレータＳ１の切断を行う前における、各構成の状態を示している。先行セパレータ保持部材４７は初期位置において、セパレータ保持部材３６Ａの下流側に近接している位置に配置されており、かつ先行セパレータＳ１を挟んでセパレータ保持部材３６Ａと対向している。そして先行セパレータ保持部材４７とセパレータ保持部材３６Ａとはそれぞれ先行セパレータＳ１を吸着保持している。また、カッタユニット４９は先行セパレータＳ１から離れている初期位置に位置している。
【００９７】
先行セパレータＳ１の切断を開始すると、カッタユニット４９の可動台５１を方向Ｒに駆動させ、図１３（ｂ）に示すように、カッタユニット４９を初期位置から切断準備位置へと移動させる。図１３（ｂ）において、カッタ刃５３は先行セパレータＳ１の奥側に移動している。
【００９８】
カッタユニット４９が切断準備位置へ移動した後、可動台５１を先行セパレータＳ１の幅方向（ｚ方向）に駆動させる。当該駆動により、切断準備位置に位置していたカッタユニット４９は奥側から手前側へと移動し、切断完了位置へと移動する。当該移動に伴い、カッタ刃５３は先行セパレータ保持部材４７とセパレータ保持部材３６Ａとの間における所定の位置において、先行セパレータＳ１を幅方向にわたって切断する（図１３（ｃ））。切断が完了した後、カッタユニット４９は切断完了位置から初期位置へと復帰する。
【００９９】
カッタユニット４９が先行セパレータＳ１を切断することにより、先行セパレータＳ１の下流側（Ｓ１ｆ）は原反ロール２７Ａから切り離される。当該切断の後、原反ロール２７Ａから切り離された先行セパレータＳ１ｆの後端部分は先行セパレータ保持部材４７によって吸着保持される。
【０１００】
そして依然として原反ロール２７Ａと繋がっている先行セパレータＳ１の上流側（先行セパレータＳ１ｒ）の先端部分は、セパレータ保持部材３６Ａによって吸着保持される。各々の吸着保持が行われることにより、カッタユニット４９による切断が行われた後も、先行セパレータＳ１の位置を安定に維持できる。先行粘着テープＴ１と先行セパレータＳ１とがそれぞれ切断されて原反ロール２７Ａから切り離されることにより、ステップＳ７−１の工程は完了する。
【０１０１】
ステップＳ７−２（接合テープの作成）
ステップＳ７−１の工程により、先行粘着テープＴ１と先行セパレータＳ１の各々の下流側が原反ロール２７Ａから切り離された後、ステップＳ７−２に係る接合テープの作成工程を実行する。本発明の特徴として、ワーク（本実施例ではウエハＷ）への貼り付けに用いられる粘着テープＴの一部を、接合用の粘着テープ片である接合テープＣＴとして利用する。
【０１０２】
本実施例では、待機位置に配置されているカッタユニット４５（本実施例ではカッタユニット４５Ｂ）を用いて後続粘着テープＴ２の先端を一部切り取り、切り取られて断片化した当該先端部分を接合テープＣＴとして用いる。具体的には図１１において符号Ｄ２で示される部位において、接合テープの作成が行われる。
【０１０３】
図１４の各図を用いて、接合テープＣＴを作成する工程を説明する。図１４（ａ）は、後続粘着テープＴ２の切断を行う前における、各構成の状態を示している。接合テープ保持部材４３Ｂは切断準備位置に移動している。すなわち、接合テープ保持部材４３Ｂは粘着テープ保持部材４１Ｂの下流側近傍に配置されており、後続粘着テープＴ２の先端部分を吸着保持している。カッタユニット４５Ｂは初期位置、すなわち後続粘着テープＴ２から離れた位置に配置されている。
【０１０４】
後続粘着テープＴ２の切断を開始すると、カッタユニット４５Ｂの可動台４６Ｂを方向Ｒに駆動させ、カッタユニット４５Ｂを初期位置から切断準備位置へと移動させる。カッタユニット４９が切断準備位置へ移動した後、可動台４６Ｂはカッタユニット４５Ｂを後続粘着テープＴ２の幅方向（ｚ方向）に駆動させる。当該駆動により、カッタユニット４９は切断準備位置から切断完了位置へと移動し、粘着テープ保持部材４１Ｂと接合テープ保持部材４３Ｂとの間の所定位置において、後続粘着テープＴ２を幅方向にわたって切断する（図１４（ｂ））。
【０１０５】
カッタユニット４５Ｂが後続粘着テープＴ２を切断することにより、後続粘着テープＴ２の先端部分が原反ロール２７Ｂから切り離される。当該切断の後、原反ロール２７Ｂから切り離された当該先端部分は、接合テープＣＴとして接合テープ保持部材４３Ｂに吸着保持される。そして当該切断によって新たに形成された、後続粘着テープＴ２の先端部分は、粘着テープ保持部材４１Ｂによって吸着保持される。
【０１０６】
切断が完了した後、カッタユニット４５Ｂは切断完了位置から初期位置へと復帰する。このように、接合テープ作成部３３のうち、待機位置に配置されている接合テープ作成部３３Ｂにおいて接合テープＣＴが作成されることによってステップＳ７−２の工程は完了する。ステップＳ７−１およびステップＳ７−２の工程が完了した状態における粘着テープ接合装置３の概略構成は、図１４（ｃ）に示す通りである。
【０１０７】
ステップＳ７−３（接合テープの変位）
後続粘着テープＴ２の先端部分を切断して接合テープの作成が完了した後、接合テープを変位させる。すなわち待機位置に位置する供給ユニット１８において接合テープＣＴを保持している接合テープ保持部材４３Ｂを適宜移動させることにより、接合テープＣＴの粘着層Ｃと、後続粘着テープＴ２の先端部分の粘着層Ｃとが対面する位置関係となるように接合テープＣＴを反転させる。
【０１０８】
本実施例では接合テープＣＴを変位させる工程として、以下のように行う。接合テープＣＴが作成された直後は図１５（ａ）に示すように、接合テープＣＴの粘着層Ｃと、後続粘着テープＴ２の先端部分の粘着層Ｃとは同じ方向を向いている。この状態で、図示しない駆動装置を用いて、接合テープ保持部材４３Ｂをｚ方向の軸周りに反転移動させつつ、ｘｙ平面上で適宜平行移動させる。
【０１０９】
当該移動によって、接合テープ保持部材４３Ｂは図１５（ｂ）において点線で示されている切断準備位置から、同図において実線で示されている接合準備位置へと移動する。接合テープ保持部材４３Ｂが接合準備位置へ移動することにより、接合テープ保持部材４３Ｂによって保持されている接合テープＣＴの粘着層Ｃと、粘着テープ保持部材４１Ｂによって保持されている後続粘着テープＴ２の先端部分の粘着層Ｃとが対面する位置関係となるように接合テープＣＴは反転する。なお、接合テープＣＴの粘着層Ｃと、後続粘着テープＴ２の先端部分の粘着層Ｃとを対向させることができるならば、接合テープ保持部材４３Ｂの移動軌跡は本実施例の構成に限られない。
【０１１０】
なお、接合テープ作成部３３Ｂにおいて接合テープＣＴの反転を行う工程と同期して、接合テープ作成部３３Ａにおいて先行粘着テープ保持部材１９を退避させることが好ましい。接合テープＣＴを作成する時点において、先行テープ保持部材１９は近接位置に移動している（図１５（ｃ））。すなわち先行粘着テープ保持部材１９は粘着テープ保持部材４１Ａの下流近傍に配置されている。
【０１１１】
この状態で図示しない駆動装置を用いることにより、先行粘着テープ保持部材１９を粘着テープＴの繰り出し方向に沿って下流側へ移動させる。当該移動により、先行粘着テープ保持部材１９は先行粘着テープＴ１ｆの後端部分を吸着保持した状態を維持しつつ、図１５（ｄ）において点線で示される近接位置から、同図において実線で示される退避位置へと移動する。
【０１１２】
先行粘着テープ保持部材１９の退避位置は、粘着テープ接合装置３の正面視において回転プレート２３と重ならない位置であることがより好ましい。予め先行粘着テープ保持部材１９を退避位置へと移動させておくことにより、後述する回転プレート２３を回転させる工程において、セパレータ保持部材３６を例とする、回転プレート２３に接続されている構成が先行粘着テープ保持部材１９と干渉する事態を確実に回避できる。
【０１１３】
同様に、セパレータ接合ユニット２１が他の構成と干渉する事態を回避することを目的として、セパレータ接合ユニット２１についても先行セパレータＳ１ｆの後端部分を吸着保持した状態を維持しつつ、正面視において回転プレート２３と重ならない位置へと退避させることがより好ましい。接合テープＣＴの反転、先行粘着テープ保持部材１９の退避、およびセパレータ接合ユニット２１の退避が完了した時点における粘着テープ接合装置３の構成は、図１６（ａ）に示される通りである。接合テープＣＴの変位が完了することにより、ステップＳ７−３に係る工程は完了する。
【０１１４】
ステップＳ７−４（原反ロールの切り換え）
接合テープＣＴを反転させた後、原反ロールの切り換えを行う。すなわち、テープ供給部ユニット１７の回転プレート２３を適宜回転させ、供給位置に配置される原反ロール２７を切り換える。回転プレート２３の回転により、供給位置に配置される原反ロール２７は、テープＴＳの装填量が所定以下に減少している原反ロール２７Ａから（図１６（ａ））、十分な量のテープＴＳが装填されている原反ロール２７Ｂへと切り換えられる（図１６（ｂ））。
【０１１５】
また、回転テーブル２３の回転により、回転テーブル２３に接続されている構成の各々も回転テーブル２３とともに変位する。すなわち、供給位置に配置されていた第１供給ユニット１８Ａの各構成は回転軸３９を中心として約１８０°回転変位し、供給位置から待機位置へと移動する。一方、待機位置に配置されていた第２供給ユニット１８Ｂの各構成は、待機位置から供給位置へと移動する。
【０１１６】
その結果、粘着テープ保持部材４１Ｂに保持されている後続粘着テープＴ２と、接合テープ保持部材４３Ｂに保持されている接合テープＣＴとは、各々の粘着層Ｃが互いに対面している状態を維持しつつ、同期的に待機位置から供給位置へと移動する。一方、回転テーブル２３に接続されていない構成である、先行粘着テープ保持部材１９およびセパレータ接合ユニット２１の位置は、回転テーブル２３の回転による影響を受けない。
【０１１７】
従って、回転プレート２３を回転させて原反ロール２７を切り換える動作により、供給位置へと移動した後続粘着テープＴ２および接合テープＣＴは、先行粘着テープ保持部材１９が保持する先行粘着テープＴ１ｆの後端部分の近傍へ移動する（図１６（ｂ））。また、後続セパレータＳ２を吸着保持しているセパレータ保持部材３６Ｂも、待機位置から供給位置へと移動する。
【０１１８】
その結果、後続セパレータＳ２は、先行セパレータ保持部材４７が吸着保持している先行セパレータＳ１ｆの後端部分の近傍へと移動する。回転プレート２３を回転させて供給位置にある供給ユニット１８を切り換えることにより、ステップＳ７−４に係る工程は完了する。なお、ステップＳ７−３の工程とステップＳ７−４の工程の順番は適宜入れ換えてもよいし、同期的に行ってもよい。
【０１１９】
ステップＳ７−５（粘着テープの接合）
原反ロールの切り換えが完了した後、粘着テープの接合を行う。すなわち供給位置に配置されている接合テープ作成部３３（この時点では接合テープ作成部３３Ｂ）において、先行粘着テープＴ１ｆの後端部分と後続粘着テープＴ２の先端部分とを、接合テープＣＴを介して接合させる操作を行う。
【０１２０】
図１７の各図を用いて、ステップＳ７−５に係る工程を説明する。まず図１７（ａ）に示すように、退避位置へ退避していた先行粘着テープ保持部材１９を近接位置へと移動させる。すなわち先行粘着テープ保持部材１９は先行粘着テープＴ１ｆの後端を保持した状態で、粘着テープＴの繰り出し方向に沿って、点線で示される退避位置から実線で示される近接位置へと移動する。その結果、先行粘着テープＴ１ｆの後端と後続粘着テープＴ２とは、接合テープＣＴを介した接合が可能となる程度に近接した状態となる。
【０１２１】
先行粘着テープＴ１ｆの後端と後続粘着テープＴ２とを近接させた後、接合テープＣＴによる粘着テープＴの接合が行われる。すなわち図１７（ｂ）に示されるように、接合テープ保持部材４３Ｂを点線で示される接合準備位置から実線で示される接合実行位置へと方向Ｒへ移動させる。当該移動により、先行粘着テープＴ１ｆの後端と後続粘着テープＴ２とに対して接合テープＣＴが押圧される。当該押圧により、先行粘着テープＴ１と後続粘着テープＴ２との接合が行われる。すなわち、先行粘着テープＴ１ｆの後端と後続粘着テープＴ２の先端とは接合テープＣＴによって繋げられ、連続した長尺状となる。
【０１２２】
先行粘着テープＴ１ｆの後端は先行粘着テープ保持部材１９に支持され、後続粘着テープＴ２は粘着テープ保持部材４１Ｂに支持されている。そして先行粘着テープ保持部材１９の保持面と粘着テープ保持部材４１Ｂの保持面は面一となっている。そのため、接合テープＣＴと、先行粘着テープＴ１ｆおよび後続粘着テープＴ２との間において、均一かつ強い押圧力を作用させることができる。
【０１２３】
本実施例に係る粘着テープの接合工程において、先行粘着テープＴ１ｆの後端および後続粘着テープＴ２の各粘着層Ｃと、接合テープＣＴの粘着層Ｃとは対面した位置関係となっている。すなわち、接合テープＣＴが各粘着テープＴへ向けて押圧されることによって接合テープＣＴの粘着層Ｃと先行粘着テープＴ１ｆの後端および後続粘着テープＴ２の各粘着層Ｃとが接着する。言い換えれば、一方の粘着層Ｃが他方の基材Ｂ（非粘着面）と接触するのではなく粘着層Ｃ同士が接着するので、接合テープＣＴと先行粘着テープＴ１ｆの後端および後続粘着テープＴ２との間の接着力はより強固となる。従って、先行粘着テープＴ１と後続粘着テープＴ２とをより強固に接合できる。
【０１２４】
接合テープＣＴによる先行粘着テープＴ１ｆと後続粘着テープＴ２との接合が完了した後、接合テープ保持部材４３Ｂによる接合テープＣＴの吸着保持を解除させる。そして図１７（ｃ）に示すように、接合テープ保持部材４３Ｂを接合実行位置から接合準備位置へと復帰させる（図１９（ｂ）、矢印Ｎ１）。
【０１２５】
当該復帰とともに、粘着テープ保持部材４１Ｂによる後続粘着テープＴ２の吸着保持と、先行粘着テープ保持部材１９による先行粘着テープＴ１ｆの吸着保持とをそれぞれ解除させる。接合テープＣＴを介して接合され、連続した帯状となった先行粘着テープＴ１ｆおよび後続粘着テープＴ２は、各々の吸着保持が解除されることにより、方向Ｌへと繰り出されることが可能となる。
【０１２６】
ステップＳ７−６（セパレータの接合）
粘着テープの接合工程を行うとともに、セパレータの接合工程を行う。すなわち、供給位置へ移動したセパレータ保持部材３６Ｂと、セパレータ接合ユニットとが協働することにより、先行セパレータＳ１ｆの後端部分と後続セパレータＳ２の先端部分とを接合させる。
【０１２７】
図１８の各図を用いて、ステップＳ７−６に係る工程を説明する。まず図１８（ａ）に示すように、退避位置へ退避していたセパレータ接合ユニット２１を移動させる。すなわち先行セパレータ保持部材４７は先行セパレータＳ１ｆの後端を保持した状態で、セパレータＳの繰り出し方向に沿って、点線で示される退避位置から実線で示される接合準備位置へと移動する。その結果、先行セパレータＳ１ｆの後端と後続セパレータＳ２の先端とは互いに対面した位置関係となる。
【０１２８】
先行セパレータＳ１ｆの後端と後続セパレータＳ２とを近接させた後、加熱によるセパレータＳの接合が行われる。すなわち図１８（ｂ）に示されるように、先行セパレータ保持部材４７を点線で示される接合準備位置から実線で示される接合実行位置へと方向Ｒへ移動させる。当該移動により、後続セパレータＳ２の先端に対して先行セパレータＳ１ｆの後端が押圧される。
【０１２９】
また、先行セパレータ保持部材４７を移動させるとともに、先行セパレータ保持部材４７に内蔵されているヒータ５０は、先行セパレータＳ１ｆの後端を加熱させる。当該加熱および押圧により、先行セパレータＳ１ｆの後端と後続セパレータＳ２の先端とは熱接着によって接合され、連続した長尺状となる。なおこのとき、セパレータ保持部材３６Ｂにもヒータを内蔵させ、当該ヒータによって後続セパレータＳ２の先端側も加熱させることがより好ましい。
【０１３０】
先行セパレータＳ１ｆの後端と後続セパレータＳ２の先端との接合が完了した後、先行セパレータ保持部材４７による先行セパレータＳ１ｆの吸着保持を解除させる。そして図１８（ｃ）に示すように、先行セパレータ保持部材４７を初期位置へと復帰させる（図１９（ｂ）、矢印Ｎ２）。
【０１３１】
当該復帰とともに、セパレータ保持部材３６Ｂによる後続セパレータＳ２の吸着保持を解除させる。熱圧着によって接合され、連続した帯状となった先行セパレータＳ１ｆおよび後続セパレータＳ２は、各々の吸着保持が解除されることにより、方向Ｌへと繰り出されることが可能となる。また、待機位置に移動した接合テープ保持部材４３Ａは、接合準備位置から切断準備位置へと復帰する（図１９（ｂ）、矢印Ｎ３）。
【０１３２】
ステップＳ７−５に係る粘着テープ接合工程と、ステップＳ７−６に係るセパレータ接合工程とは、実行するタイミングを適宜前後させてもよいし、同期的に行ってもよい。ステップＳ７−５およびステップＳ７−６に係る、各々の押圧が行われている状態における粘着テープ接合装置３の構成は図１９（ａ）に示される通りである。そしてステップＳ７−５およびステップＳ７−６が完了することにより、粘着テープ接合装置３の構成は図１９（ｂ）に示される通りとなる。
【０１３３】
ステップＳ７−５およびステップＳ７−６が完了すると、新たに供給位置へと移動した原反ロール２７Ｂに装填されているテープＴＳ２は、先行粘着テープＴ１ｆおよび先行セパレータＳ１ｆの各々と接合され、連続した帯状となる。その結果、テープＴＳ２を繰り出してウエハに粘着テープＴを貼り付ける操作を再開できる。ステップＳ７−１〜ステップＳ７−６までの各工程により、原反ロール２７を自動的に交換させるとともに、粘着テープＴおよびセパレータＳの各々を自動的に接合させる一連の工程が完了する。
【０１３４】
なお、供給位置から待機位置へ切り換えられた原反ロール２７Ａは、開閉扉９１を通して粘着テープ貼付け装置１の外部へ取り出すことができる。そして待機位置にあるボビン２５Ａに対し、十分な量のテープＴＳが装填された新たな原反ロール２７を装填できる。
【０１３５】
＜実施例１の構成による効果＞
従来、先行する第１のテープＰと後続する第２のテープＰとを自動で接合させる方法としては、以下のような構成が挙げられる。すなわち、各々のテープＰとは異なる、第３のテープＱを接合用の粘着テープとして予め用意し、第１のテープＰと第２のテープＰとの間を繋ぐようにテープＱを貼り付ける。
【０１３６】
その結果、一般的に接合部分の断面は、テープＱが片面のみに粘着層Ｃａを有する場合は図２０（ａ）に示すような構造となり、テープＱが両面に粘着層Ｃａを有する場合は図２０（ｂ）に示すような構造となる。このような従来の接合方法では次のような問題点が懸念される。
【０１３７】
第１に、図２０の各図に示すように、テープＱの粘着層Ｃａは、テープＰのうち基材Ｂの層またはセパレータＳの層に当接することによってテープＰ同士を接合する。すなわち従来の方法では、接合用のテープＱは、接合対象であるテープＰの非粘着面に対して貼り付けられる。この場合、接合部分における接着力は、テープＱの粘着層Ｃａが備える接着力のみが影響するため、接合部分の接着力は比較的弱くなる。そのため、テープＱがテープＰから剥離してしまい、接合エラーが発生するという問題が懸念される。
【０１３８】
第２に、接合用のテープＱは、ウエハに対して実際に貼り付けられるテープＰとは別に、予め準備されるテープである。そのため、ウエハ保護用のテープＰと、接合用のテープＱとは構成する材料や性質が異なることがある。従って、接合用のテープＱの粘着層Ｃａと、回路保護用のテープＰの基材Ｂ（またはテープＰのセパレータＳ）とは互いに接着しにくい組み合わせである場合が考えられる。このように接着の相性が悪い組み合わせである場合、テープＱとテープＰとの接着力はさらに弱くなるので、接合エラーが発生するという事態がより顕著に発生する。
【０１３９】
さらに主資材であるテープＰとは別に、テープＱを副資材として準備する必要があるので、複数種類のテープを用意するという煩雑さが発生する。また、テープＰ同士の接合部分にテープＱを供給するための構成等を新たにテープ接合装置へ配設させる必要があるので、テープ接合装置が大型化しやすくなり、コストを抑えることが難しくなる。
【０１４０】
そして、従来構成において図２０（ｂ）に示すように、接合用のテープＱを挟んでテープＰ同士を積層させるように接合させた場合、接合部分における厚さＪは比較的厚くなる。すなわち、接合部分以外と比べて接合部分がより厚いので、接合させた後のテープＰを巻き取り回収する際に、厚みのある部分がボビンなどに引っ掛かる。その結果、巻き取りロールの形状が歪んでしまい、巻き取り効率の低下や巻き取りエラーが発生する事態が懸念される。接合部分における厚みＪは、セパレータＳを添設させた状態のテープＰ同士を接合させる場合、より顕著に厚くなることとなる。
【０１４１】
さらにテープＰ同士を積層させるように接合させる場合、接合部分の前後において、先行するテープＰの軌道（高さなど）と、後続のテープＰの軌道とは異なっている（図２０（ｂ））。そのため、特に接合部分の近傍において、先行テープＰが繰り出される軌道と後続のテープＰが繰り出される軌道にズレが発生し、テープＰをウエハＷに貼り付ける操作を例とする、各操作の精度が低下する事態も懸念される。このような接合部分の前後における軌道のズレは、厚みＪに比例して大きくなる。
【０１４２】
一方、本実施例に係る粘着テープ接合装置３では、粘着テープＴ同士の接合、すなわち先行の粘着テープＴ１と後続の粘着テープＴ２との接合を行う際に、後続の粘着テープＴ２の一部を予め切り取る。そして、当該切り取られた部分を接合用の粘着テープである接合テープＣＴとして利用する。この場合、粘着テープＴと別に接合テープＣＴを予め装填する構成や、接合テープＣＴを接合部分に供給させる大型の構成を配設させる必要がない。そのため、粘着テープ接合装置３の小型化や低コスト化が容易となる。
【０１４３】
また、本実施例では接合テープＣＴと、接合の対象となる粘着テープＴ１および粘着テープＴ２とは、確実に同じ構造・性質となる。そのため、各々の粘着テープＴと接合テープＣＴとの接着の相性が悪いという事態は確実に回避される。そのため接合テープＣＴによる接合力を向上できる。
【０１４４】
さらに、本実施例では先行するテープと後続のテープとを接合する場合、面一となって近接並行している先行粘着テープＴ１の粘着層Ｃおよび後続粘着テープＴ２の粘着面Ｃの各々に対し、接合テープＣＴの粘着層Ｃを対向させた状態で、接合テープＣＴを粘着テープＴの各々に押圧させて接合を行う。すなわち図２０（ｃ）に示すように、接合に際して粘着面Ｃの各々が接する。
【０１４５】
このように粘着層Ｃ同士が接することで接合を行うことにより、接合部分における接着力は、接合テープＣＴの粘着層Ｃが備える接着力に加えて、接合対象である粘着テープＴの粘着層Ｃが備える接着力も影響する。そのため、接合部分における接着力をより向上できるので、接合エラーが発生する事態をより確実に回避できる。また、先行粘着テープＴ１の粘着層Ｃおよび後続粘着テープＴ２の粘着面Ｃとは面一状に並行している。そのため、接合部分の前後において、先行粘着テープＴ１が繰り出される軌道と後続粘着テープＴ２が繰り出される軌道にズレが発生することを回避できる。
【０１４６】
そして、本実施例では、セパレータが添設されている状態のテープＴＳ同士を接合させるのではなく、テープＴＳを粘着テープＴとセパレータＳに剥離させた後、粘着テープＴ同士の接合とセパレータＳ同士の接合とを別々に行う。そのため、特に粘着テープＴ同士を接合テープＣＴで接合させた場合であっても、接合部分における厚みＪは従来方法と比べて薄くなる（図２０（ｃ））。
【０１４７】
そのため、接合部分を巻き取り回収する場合であっても装置の部材に与える影響を小さくできる。また、粘着テープＴとセパレータＳに剥離させて粘着層Ｃを露出させた後に接合テープＣＴを作成させるので、断片化した接合テープＣＴからセパレータＳを剥離させるといった煩雑な工程を行うことなく、接合テープＣＴの粘着層Ｃと粘着テープＴの粘着層Ｃとを対向させるように各種保持部材を移動させることが容易となる。
【実施例２】
【０１４８】
次に、本発明の実施例２を説明する。実施例１では先行粘着テープＴ１と後続粘着テープＴ２とを接合させる際に、後続粘着テープＴ２の一部を接合テープＣＴとして粘着テープＴ同士の接合に用いる構成を例にとって説明した。実施例２では、先行粘着テープＴ１の一部を接合テープＣＴとして、粘着テープＴ同士の接合に用いる構成を例にとって説明する。なお、実施例２に係る粘着テープ貼付け装置は実施例１に係る装置と基本的に構成は共通する。そのため、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置と同一構成については同一符号を付すに留め、異なる構成部分について詳述する。
【０１４９】
実施例１に係る粘着テープ接合装置３において、接合テープ作成部３３は供給ユニット１８の各々に設けられ、回転プレート２３と接続されている構成となっている。そして各々の接合テープ作成部３３Ａおよび３３Ｂは、回転テーブル２３の回転によって供給位置と待機位置とを相互に入れ換わるように構成されている。一方、実施例２に係る粘着テープ接合装置３ａにおいて、接合テープ作成部６１は供給ユニット１８と独立に設けられており、回転プレート２３と接続されてないという点で実施例１と相違する。実施例２に係る接合テープ作成部６１は、供給ユニット１８の数に関わらず少なくとも１つ設けられていればよい。
【０１５０】
実施例２に係る接合テープ作成部６１は、供給位置へ移動している粘着テープ保持部材４１（図２１においては、粘着テープ保持部材４１Ａ）の下流に配設されている。接合テープ作成部６１は先行粘着テープ保持部材１９と同様、近接位置と退避位置との間を粘着テープＴの繰り出し方向Ｌへ往復移動する。
【０１５１】
接合テープ作成部６１が近接位置に移動した場合、接合テープ作成部６１は、供給位置へ移動している粘着テープ保持部材４１Ａの下流近傍に配置される。接合テープ作成部６１が退避位置へ移動した場合、接合テープ作成部６１はテープ供給ユニット１７の各構成と干渉を回避できる位置へ配置される。退避位置の一例としては、各実施例に係る先行粘着テープ保持部材１９と同様、正面視において回転テーブル２３と重複しない位置であることが好ましい。
【０１５２】
実施例２に係る接合テープ作成部６１は、接合テープ保持部材６３と、カッタユニット６５とを備えている。接合テープ保持部材６３は実施例１と同様に、切断準備位置と、接合準備位置と、接合実行位置とを相互に移動できるように構成されている。接合テープ保持部材６３の切断準備位置は、供給位置に移動している粘着テープ保持部材４１の下流に相当する。接合テープ保持部材６３は切断準備位置に移動した場合、その保持面において粘着テープＴを保持できるように構成される。切断準備位置と、接合準備位置と、接合実行位置との位置関係は、実施例１と同様である。
【０１５３】
カッタユニット６５は可動台６７とカッタ刃６８とを備えている。可動台６７およびカッタ刃６８の各々の構成は、実施例１に係る可動台４６とカッタ刃４８の構成と同様であるので、詳細な説明を省略する。また接合テープ保持部材６３は、カッタユニット６５によって切り取られた先行粘着テープＴ１の一部を、接合テープＣＴとして保持するとともに、当該接合テープＣＴを粘着テープＴ同士の接合部分に押圧させて接合させる機能を有する。
【０１５４】
＜実施例２に係るテープの交換工程の説明＞
ここで、実施例２に係るステップＳ７の各工程について説明する。実施例２に係るステップＳ７のフローチャートの概要は実施例１と共通しており、図７（ｂ）に示す通りである。そこで、実施例２に係るステップＳ７の各工程において、実施例１と相違する部分について説明する。
【０１５５】
ステップＳ７を開始するにあたり、粘着テープ接合装置３における各構成の初期配置は図２１に示す通りである。すなわち、接合テープ作成部６１および先行粘着テープ保持部材１９は近接位置に移動している。接合テープ保持部材６３は切断準備位置に配置されている。この場合、供給位置に移動している粘着テープ保持部材４１Ａの下流近傍に接合テープ保持部材６３が配置され、接合テープ保持部材６３の下流近傍に先行粘着テープ保持部材１９が配置されている。そして粘着テープ保持部材４１Ａ、接合テープ保持部材６３、および先行粘着テープ保持部材１９の各々は先行粘着テープＴ１を吸着保持している。
【０１５６】
また、後続テープＴＳ２の初期状態は以下の通りである。すなわち図２１において符号Ｄ４で示すように、待機位置に配置されている原反ロール２７Ｂから後続テープＴＳ２が予め繰り出されており、セパレータ剥離部３１Ｂによって後続粘着テープＴ２と後続セパレータＳ２とに剥離されている。そして後続粘着テープＴ２の先端部分は粘着テープ保持部材４１Ｂに吸着保持されており、後続セパレータＳ２の先端部分はセパレータ保持部材３６Ｂによって吸着保持されている。実施例２におけるステップＳ７の開始時点において、各構成は以上のように予め操作されている。
【０１５７】
ステップＳ７−１（先行テープの切断）
ステップＳ７を開始すると、まずは先行テープの切断を行う。すなわち粘着テープ接合装置３において、カッタユニット６５による先行粘着テープＴ１の切断と、カッタユニット４９による先行セパレータＳ１の切断とが行われる。ステップＳ７−１の開始時点における、接合テープ作成部６１およびセパレータ接合ユニット２１の周辺の構成は図２２（ａ）に示す通りである。
【０１５８】
この状態において、図２２（ｂ）に示すように、カッタユニット６５を点線で示す初期位置から実線で示す第１切断実行位置へと適宜移動させる。当該移動によって、カッタユニット６５は、先行粘着テープ保持部材１９と接合テープ保持部材６３との間における所定の位置において、先行粘着テープＴ１を幅方向へ切断する（図２２（ｂ）、矢印Ｗ１）。
【０１５９】
当該切断により、先行粘着テープＴ１の下流側（Ｔ１ｆ）は供給位置にある原反ロール２７Ａから切り離される。原反ロール２７Ａから切り離された先行粘着テープＴ１ｆの後端部分は、先行粘着テープ保持部材１９によって吸着保持される。そして依然として原反ロール２７Ａと繋がっている先行粘着テープＴ１の上流側（Ｔ１ｒ）の先端部分は、接合テープ保持部材６３と粘着テープ保持部材４１Ａによって吸着保持される。
【０１６０】
そして先行粘着テープＴ１を切断する一方で、先行セパレータＳ１の切断を行う。すなわち実施例１と同様に、カッタユニット４９は、先行セパレータ保持部材４７とセパレータ保持部材３６Ａとの間における所定の位置において、先行セパレータＳ１を幅方向にわたって切断する（図２２（ｂ）、矢印Ｗ２）。カッタユニット４９が先行セパレータＳ１を切断することにより、先行セパレータＳ１の下流側（Ｓ１ｆ）は原反ロール２７Ａから切り離される。先行粘着テープＴ１と先行セパレータＳ１とがそれぞれ切断されて原反ロール２７Ａから切り離されることにより、ステップＳ７−１の工程は完了する。
【０１６１】
ステップＳ７−２（接合テープの作成）
先行粘着テープＴ１と先行セパレータＳ１の各々の下流側が原反ロール２７Ａから切り離された後、ステップＳ７−２に係る接合テープの作成工程を実行する。本実施例ではカッタユニット６５を用いて先行粘着テープＴ１ｒの先端を一部切り取り、当該切り取られた先端部分の断片を接合テープＣＴとして用いる。
【０１６２】
具体的には図２３に示すように、カッタユニット６５を第１切断実行位置から実線で示す第２切断実行位置へと適宜移動させる。当該移動によって、カッタユニット６５は、粘着テープ保持部材４１Ａと接合テープ保持部材６３との間における所定の位置において、先行粘着テープＴ１ｒを幅方向へ切断する。
【０１６３】
当該切断により、先行粘着テープＴ１ｒの下流側（先端部分）は原反ロール２７Ａから切り離され、接合用の粘着テープ片である接合テープＣＴとして作成される。そして作成された接合テープＣＴは接合テープ保持部材６３によって吸着保持される。そして依然として原反ロール２７Ａと繋がっている先行粘着テープＴ１ｒの上流側の先端部分は、粘着テープ保持部材４１Ａによって吸着保持される。
【０１６４】
ステップＳ７−３（接合テープの反転）
接合テープの作成が完了した後、接合テープを反転させる。すなわち接合テープＣＴを保持している接合テープ保持部材６３を切断準備位置から接合準備位置へと適宜移動させることにより、接合テープＣＴの粘着層Ｃと、先行粘着テープＴ１ｒの先端部分の粘着層Ｃとが対向するように接合テープＣＴを変位させる（図２４）。
【０１６５】
なお、接合テープ作成部６１において接合テープＣＴの反転を行う工程と同期して、接合テープ作成部６１と、先行粘着テープ保持部材１９と、セパレータ接合ユニット２１とをテープ供給ユニット１７から退避させることが好ましい。退避させる方向の具体例として、接合テープ作成部６１と、先行粘着テープ保持部材１９とを粘着テープＴの繰り出し方向に沿って下流側へ退避させ、セパレータ接合ユニット２１をセパレータの繰り出し方向に沿って下流側へ退避させる。
【０１６６】
接合テープ作成部６１と、先行粘着テープ保持部材１９と、セパレータ接合ユニット２１との退避位置は、粘着テープ接合装置３の正面視において回転プレート２３と重ならない位置であることがより好ましい。接合テープＣＴの反転が完了することにより、ステップＳ７−３に係る工程は完了する。完了時点における粘着テープ接合装置３ａの構成は、図２５（ａ）に示される通りである。
【０１６７】
ステップＳ７−４（原反ロールの切り換え）
接合テープＣＴを反転させた後、原反ロールの切り換えを行う。すなわち、テープ供給ユニット１７の回転プレート２３を適宜回転させ、供給位置に配置される原反ロール２７を切り換える。回転プレート２３の回転により、供給位置に配置される原反ロール２７は、テープＴＳの装填量が所定以下に減少している原反ロール２７Ａから（図２５（ａ））、十分な量のテープＴＳが装填されている原反ロール２７Ｂへと切り換えられる（図２５（ｂ））。
【０１６８】
また、回転テーブル２３の回転により、回転テーブル２３に接続されている構成の各々も回転テーブル２３とともに変位する。そのため、粘着テープ保持部材４１Ｂに保持されている後続粘着テープＴ２は、待機位置から供給位置へと移動する。一方、回転テーブル２３に接続されていない構成である、接合テープ作成部６３、先行粘着テープ保持部材１９、およびセパレータ接合ユニット２１の位置は、回転テーブル２３の回転による影響を受けない。
【０１６９】
その結果、後続粘着テープＴ２の先端部分は、先行粘着テープ保持部材１９が保持する先行粘着テープＴ１ｆの後端部分と、接合テープ保持部材６３が保持する接合テープＣＴとの近傍へ移動する。回転プレート２３を回転させて供給位置に配置される原反ロール２７を別の原反ロール２７へと切り換えることにより、ステップＳ７−４に係る工程は完了する。
【０１７０】
ステップＳ７−５（粘着テープの接合）
原反ロールの切り換えが完了した後、粘着テープの接合を行う。すなわち図２６（ａ）に示すように、退避位置へ退避していた接合テープ保持部６１および先行粘着テープ保持部材１９を近接位置へと移動させる。すなわち先行粘着テープ保持部材１９は先行粘着テープＴ１ｆの後端を保持した状態で、点線で示される退避位置から実線で示される近接位置へと移動する。その結果、先行粘着テープＴ１ｆの後端と後続粘着テープＴ２とは、接合テープＣＴを介した接合が可能となる程度に近接した状態となる。
【０１７１】
先行粘着テープＴ１ｆの後端と後続粘着テープＴ２とを近接させた後、接合テープＣＴによる粘着テープＴの接合が行われる。すなわち図２６（ｂ）に示すように、接合テープ保持部材６３を点線で示される接合準備位置から実線で示される接合実行位置へと移動させる。Ｒ方向へ接合テープ保持部材６３が移動することにより、先行粘着テープＴ１ｆの後端と後続粘着テープＴ２とに対して接合テープＣＴが押圧される。その結果、先行粘着テープＴ１ｆの後端と後続粘着テープＴ２の先端とは、接合テープＣＴを介して接合されて連続した長尺状となる。
【０１７２】
接合テープＣＴによる先行粘着テープＴ１ｆと後続粘着テープＴ２との接合が完了した後、接合テープ保持部材６３による接合テープＣＴの吸着保持を解除させる。そして接合テープ保持部材６３を接合実行位置から接合準備位置へと復帰させる。当該復帰とともに、粘着テープ保持部材４１Ｂによる後続粘着テープＴ２の吸着保持と、先行粘着テープ保持部材１９による先行粘着テープＴ１ｆの吸着保持とをそれぞれ解除させる。接合テープＣＴを介して接合され、連続した長尺状となった先行粘着テープＴ１ｆおよび後続粘着テープＴ２は、各々の吸着保持が解除されることにより、方向Ｌへと繰り出されることが可能となる。
【０１７３】
ステップＳ７−６（セパレータの接合）
粘着テープの接合工程を行うとともに、セパレータの接合工程を行う。すなわち図２６（ａ）に示すように、退避位置へ退避していたセパレータ接合ユニット２１を移動させる。先行セパレータ保持部材４７は先行セパレータＳ１ｆの後端を保持した状態で、セパレータＳの繰り出し方向に沿って、点線で示される退避位置から実線で示される接合準備位置へと移動する。
【０１７４】
先行セパレータＳ１ｆの後端と後続セパレータＳ２とを近接対向させた後、図２６（ｂ）に示されるように、先行セパレータ保持部材４７を点線で示される接合準備位置から実線で示される接合実行位置へと方向Ｒへ移動させる。当該移動により、後続セパレータＳ２の先端に対して先行セパレータＳ１ｆの後端が押圧される。さらに当該押圧とともに、ヒータ５０による、先行セパレータＳ１ｆの加熱を行う。当該加熱押圧により、先行セパレータＳ１ｆの後端と後続セパレータＳ２の先端とは熱接着によって接合され、連続した帯状となる。
【０１７５】
先行セパレータＳ１ｆの後端と後続セパレータＳ２の先端との接合が完了した後、先行セパレータ保持部材４７による先行セパレータＳ１ｆの吸着保持を解除させ、先行セパレータ保持部材４７を初期位置へと復帰させる。当該復帰とともに、セパレータ保持部材３６Ｂによる後続セパレータＳ２の吸着保持を解除させる。各々の吸着保持が解除されることにより、連続した帯状となった先行セパレータＳ１ｆおよび後続セパレータＳ２は、方向Ｌへと繰り出されることが可能となる。以上の工程により、実施例２に係るステップＳ７の各工程は完了する。
【０１７６】
実施例２に係るテープ接合装置により、先行粘着テープＴ１ｆおよび先行セパレータＳ１ｆの各々を、原反ロール２７Ｂに装填されているテープＴＳ２と自動的に接合できる。実施例１では後続粘着テープＴ２の一部を接合テープＣＴとして用いるが、実施例２に係る構成により、先行粘着テープＴ１の一部を接合テープＣＴとして用いることもできる。先行粘着テープＴ１は後続粘着テープＴ２と同様、ワークに対して実際に用いられる粘着テープＴである。
【０１７７】
すなわち実施例１と同様、実施例２の構成においても接合テープＣＴの粘着層Ｃと粘着テープＴの粘着層Ｃとは同じ構成となるので、接合テープＣＴと粘着テープＴとの粘着力が低下して剥離する事態を回避できる。また、接合テープＣＴの粘着層Ｃと粘着テープＴの粘着層Ｃとを対向させた状態で押圧して接合するので、接合テープＣＴの粘着層Ｃと粘着テープＴの粘着層Ｃの各々の粘着力による、より強固な接合を実現できる。また実施例２では供給ユニット１８の数に関わらず、接合テープ保持部６１が少なくとも１つあればよいので、粘着テープ接合装置３の構成をより単純化できる。
【０１７８】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【０１７９】
（１）各実施例において、ウエハＷの貼付けに用いられる粘着テープＴの一部（原反ロール２７の一部）を接合テープとして用いる構成を説明したが、本発明は、当該構成のみを行う装置に限られない。すなわち、ウエハＷの貼付け工程に用いられる粘着テープＴの一部を接合テープとして用いる第１のモードと、各々の原反ロール２７に巻回されている粘着テープＴとは別の粘着テープＦを接合テープとして供給する第２のモードとを併用する構成としてもよい。
【０１８０】
まず、上述したような第２のモードを用いる状況としては次のような場合が挙げられる。すなわち図２７（ａ）に示すように、ウエハＷの表面にバンプなどによる凹凸が多い場合、回路保護用の粘着テープとして、基材Ｂが厚い粘着テープＴｐが用いられることがある。
【０１８１】
この場合、各実施例の構成を適用し、粘着テープＴｐの一部を切り取って接合テープＣＴとして粘着テープＴｐ同士を接合させた場合、接合部分においてテープの厚みが増大するとともに柔軟性が低下するので、接合テープＣＴが剥離して接合エラーが発生する事態が懸念される。そのため、基材Ｂが厚い粘着テープＴｐを用いる場合、原反ロール２７の一部を切断して接合テープＣＴとして用いる構成を適用することは困難である。このような事態は、基材Ｂの剛性が高い粘着テープをウエハＷに貼付ける場合にも発生する。
【０１８２】
以下、２つのモードを併用する変形例の構成の一例について、図を用いて説明する。図２７（ｂ）に示すように、変形例に係る粘着テープ接合装置３ｂは、実施例１に係る粘着テープ接合装置３の各構成に加え、センサ７１と、モード判定部７３と、接合テープ供給ユニット７５とを備えている。なお、変形例に係る粘着テープ接合装置３ｂは、実施例２に係る粘着テープ接合装置３ａをベースとして、センサ７１と、モード判定部７３と、接合テープ供給ユニット７５とを備える構成としてもよい。
【０１８３】
センサ７１は原反ロール２７に装填されている粘着テープＴの特性を検知する。粘着テープＴの特性の例としては、基材Ｂの厚さや基材Ｂの剛性などが挙げられる。センサ７１としては光学センサやテレビカメラなど、粘着テープＴの特性を検知する公知の構成を適宜利用してよい。
【０１８４】
モード判定部７３はセンサ７１が検知した粘着テープＴの特性に関する情報を受信し、当該情報に基づいて第１のモードと第２のモードとのうち、実行すべきモードを判定する。すなわち、粘着テープＴを接合テープＣＴとして用いても問題ない場合、第１のモードで粘着テープＴの接合を実行する旨の判定を行う。
【０１８５】
第１のモードを実行する旨の判定がなされた場合、制御部８１は当該判定に係る情報を受信して各構成を統括制御する。粘着テープ接合装置３の各構成は制御部８１の制御に従い、各実施例で説明した工程に沿って、原反ロール２７に装填されている粘着テープＴの一部を接合テープＣＴとして用いて粘着テープＴの接合を行う。
【０１８６】
一方、粘着テープＴを接合テープＣＴとして用いるには不適切である場合、モード判定部７３は第２のモードで粘着テープＴの接合を実行する旨の判定を行う。この場合、制御部８１は当該判定に係る情報を受信し、各構成を統括制御する。粘着テープ接合装置３の各構成は制御部８１の制御に従い、接合テープ供給ユニット７５から供給される粘着テープＧを用いて粘着テープＴの接合を行う。判定基準の一例として、粘着テープＴの基材Ｂの厚さが０．５ｍｍ以上であると検知された場合、モード判定部７３は第２のモードが適切であると判定し、第２のモードを選択する旨の情報を制御部８１へ送信する。
【０１８７】
接合テープ供給ユニット７５は図２８（ａ）などに示すように、テープ供給部７７とガイドロール７８とカッタユニット７９とを備えている。テープ供給部７７は、粘着テープＴとは別に用意された、粘着テープＦが巻回された原反ロールの装填されたボビンから、当該粘着テープＦを繰り出し供給する。粘着テープＦは比較的薄く、剛性の低い素材で基材Ｂが構成されていることが好ましい。また粘着テープＦの粘着層Ｃに含まれる粘着材は、粘着テープＴの粘着層Ｃとの接着力が強い材料であることが好ましい。粘着テープＦの基材Ｂの厚さとしては、一例として０．１ｍｍ〜０．２ｍｍであることがより好ましい。
【０１８８】
ガイドロール７８は、テープ供給部７７から供給された粘着テープＦを巻回して接合テープ保持部材４３へと案内する。カッタユニット７９はカッタユニット４５などと同様、可動部とカッタ刃を備えており、接合テープ保持部材４３へと案内された粘着テープＦを幅方向へと切断する。
【０１８９】
以下、変形例において第２のモードが選択された場合に実行される、ステップＳ７の各工程について説明する。ここでは実施例１に係る工程および装置を基にして、第２のモードを行う変形例について説明する。第２のモードにおけるステップＳ７と、第１のモード（各実施例）におけるステップＳ７との相違点は、以下の２点である。
【０１９０】
第１に、変形例ではステップＳ７−１において、接合テープ保持部材４３は粘着テープＴを保持することなく、先行粘着テープＴ１および先行セパレータＳ１を切断させる。第２に、変形例ではステップＳ７−２において、接合テープ供給ユニット７５から供給される接合テープＦを接合テープ保持部材４３が保持することにより、粘着テープＴ同士を接合させる接合テープが作成される。
【０１９１】
すなわち実施例１において後続粘着テープＴ２は、ステップＳ７の開始前に、予め図１１の符号Ｄ２で示される状態となっている。すなわち待機位置の原反ロール２７Ｂから供給される後続粘着テープＴ２は、粘着テープ保持部材４１Ｂおよび接合テープ保持部材４３Ｂへ案内されており、各保持部材によって吸着保持されている。一方、変形例における後続粘着テープＴ２は、予め図２８（ａ）で示される状態となっている。すなわち、原反ロール２７Ｂから供給される粘着テープＴ２は、接合テープ保持部材４３Ｂに保持されておらず、粘着テープ保持部材４１Ｂによってその先端が吸着保持されている。
【０１９２】
まず、変形例に係るステップＳ７−１では、実施例１と同様に先行粘着テープＴ１と先行セパレータＳ１とが切断され、各々は原反ロール２７Ａから切り離される（図１２、図１３）。
【０１９３】
そして変形例に係るステップＳ７−２では、図２８（ｂ）に示すように、テープ供給部７７から粘着テープＦが繰り出し供給され、供給された粘着テープＦはガイドローラ７８を経由し、その先端部分は接合テープ保持部材４３Ｂによって保持される。当該吸着保持が行われた後、カッタユニット７９は接合テープ保持部材４３Ｂとガイドローラ７８との間の所定位置において、粘着テープＦを幅方向に切断する（図２８（ｃ））。当該切断により、粘着テープＦの先端部分はテープ供給部７７から切り離される。切り離された粘着テープＦの先端部分は、接合テープＣＴとして接合テープ保持部材４３Ｂに保持される。
【０１９４】
変形例では以上の工程によって接合テープＣＴが作成・準備される。ステップＳ７−３以降の工程は、各実施例と同様であるので詳細な説明を省略する。変形例に係る一連の工程により、ステップＳ７−５において、粘着テープＦからなる接合テープＣＴは粘着層Ｃ同士対向させた状態で（図２９（ａ））、先行粘着テープＴ１と後続粘着テープＴ２とに押圧される（図２９（ｂ））。当該押圧によって、接合テープＣＴは先行粘着テープＴ１と後続粘着テープＴ２とを接合させる。
【０１９５】
本変形例では、粘着テープＴの特性に応じて適切なモードの判定を行い、適宜第１のモードと第２のモードのいずれかを選択できるように構成される。すなわち粘着テープＴの特性が接合テープＣＴとして適切である場合は第１のモードを選択し、粘着テープＴの一部を接合テープＣＴとして用いることにより、各実施例に特徴的な有利な効果を得ることができる。
【０１９６】
一方で粘着テープＴの特性が接合テープＣＴとして不適切である場合は第２のモードを選択する。この場合、基材Ｂが厚く剛性が高い粘着テープＴ同士は、基材Ｂが比較的薄く剛性が低い粘着テープＦの断片を介して接合される。そのため、粘着テープＴ自体を接合テープＣＴとして用いることに起因する接合エラーの発生を確実に回避できる。
【０１９７】
なお、本変形例では、粘着テープＴの特性の検知と、モードの選択と、粘着テープＦの供給との各々を自動で実行する構成を例示している。しかしこれらのうち少なくとも１つについて手動で行ってもよい。すなわち粘着テープＴをボビン２５に装填させる時点で、オペレータは粘着テープＴの特性を検知できる。また、オペレータは入力部８３を適宜操作することで、第１のモードと第２のモードとのうち、粘着テープＴの接合により適切なモードを選択できる。さらに、オペレータは粘着テープＦを適切な長さの断片に切断し、当該粘着テープＦの断片を接合テープ保持部材４３に吸着保持させることもできる。
【０１９８】
（２）各実施例および各変形例において、自動接合の対象となる粘着テープＴの例として、回路保護用の粘着テープ（保護テープ）を例に挙げて説明したがこれに限られない。すなわち粘着テープＴとしては保護テープの他、半導体ウエハをリングフレームとにわたって支持する支持用粘着テープ（ダイシングテープ）や、保護テープを剥離するために保護テープの表面に貼り付けられる剥離用の粘着テープなど、長尺状の粘着テープであれば本発明に係るテープ接合装置の構成を適用できる。
【０１９９】
（３）各実施例および各変形例において、粘着テープ貼付け装置を用いて本発明に係るテープ接合装置を説明したが、本発明に係るテープ接合装置およびテープ回収装置は、テープ貼付け装置の他にも多様なテープ処理装置に適用できる。テープ処理装置の例としては、ウエハに貼り付けられている各種テープを剥離するテープ剥離装置、またはウエハをリングフレームにマウントするために用いるマウント装置（マウンター）などが挙げられる。
【０２００】
（４）各実施例および各変形例において、テープ供給ユニット１７に配設される原反ロール２７は２つに限ることはなく、３つ以上配設してもよい。この場合、原反ロール２７の数に応じて供給ユニット１８の各構成を増設する。
【０２０１】
（５）各実施例および各変形例において、粘着テープＴをカッタ刃で切断する構成を例示したが、粘着テープＴを幅方向に切断できる構成であれば、公知の切断手段および切断方法を適宜用いてもよい。
【０２０２】
（６）実施例および各変形例において、セパレータＳを接合させる工程については加熱および押圧によって接合させる方法を例示したが、この方法に限ることはない。セパレータＳを接合させる方法としては、粘着材を塗布した状態で押圧して接合させる構成や、超音波発生装置を用いて両者を超音波接合させる構成など、他の方法に適宜変更してもよい。
【０２０３】
（７）各実施例および各変形例において、原反ロール２７の各々にはテープＴＳ、すなわち粘着テープＴにセパレータＳが添設された長尺のテープが巻回されている構成を例示しているが、セパレータＳが添設されていない、基材Ｂおよび粘着層Ｃからなる粘着テープＴが原反ロール２７の各々に巻回されている構成にも本発明の構成を適用できる。この場合、粘着テープ接合装置において、セパレータＳの操作に係る構成を省略できる。例えば、セパレータＳを巻回案内させる構成や、セパレータＳを切断・接合させる構成などを省略できる。
【０２０４】
（８）各実施例および各変形例において、ステップＳ７に係る各工程を実行する順番は適宜変更させてもよい。一例として、ステップＳ７−２およびＳ７−３の工程を先に行い、その後にステップＳ７−１およびステップＳ７−４の工程を行ってもよい。
【０２０５】
このような順番で各工程を行うことにより、接合テープＣＴを作成するとともに、接合テープＣＴと粘着テープＴとが粘着層Ｃ同士を対面するように接合テープＣＴを変位（反転）される。その後、先行粘着テープＴ１および先行セパレータＳ１が切断され、さらに供給位置に配置される原反ロール２７が別の原反ロール２７へと切り換えられる。
【０２０６】
この場合、供給位置に配置されている原反ロール２７に巻回されているテープＴＳを用いてウエハＷへ粘着テープＴを貼り付けている間に、待機位置に配置されている原反ロール２７に巻回されている粘着テープＴを用いて接合テープＣＴを予め作成・準備できる。そのため、粘着テープＴを接合させる工程に要する時間を削減し、粘着テープ接合装置３の作動効率を向上させることが可能となる。
【符号の説明】
【０２０７】
１    …  粘着テープ貼付け装置
３    …  テープ接合装置
５    …  保持テーブル
７    …  テープ貼付けユニット
９    …  テープ切断ユニット
１１    …  テープ剥離ユニット
１３    …  テープ回収部
１５    …  セパレータ回収部
１７    …  テープ供給ユニット
１９    …  先行粘着テープ保持部材
２１    …  セパレータ接合ユニット
２７    …  原反ロール
２９    …  テープ供給部
３１    …  セパレータ剥離部
３３    …  接合テープ作成部
３６    …  セパレータ保持部材
４１    …  粘着テープ保持部材
４３    …  接合テープ保持部材
４５    …  カッタユニット
４７    …  先行セパレータ保持部材
４９    …  カッタユニット
５０    …  ヒータ
ＴＳ  …  テープ（セパレータ付き粘着テープ）
Ｔ    …  粘着テープ
Ｓ    …  セパレータ
Ｂ    …  基材
Ｃ    …  粘着層
【図１】
2019172393.tif 000003
【図２】
2019172393.tif 000004
【図３】
2019172393.tif 000005
【図４】
2019172393.tif 000006
【図５】
2019172393.tif 000007
【図６】
2019172393.tif 000008
【図７】
2019172393.tif 000009
【図８】
2019172393.tif 000010
【図９】
2019172393.tif 000011
【図１０】
2019172393.tif 000012
【図１１】
2019172393.tif 000013
【図１２】
2019172393.tif 000014
【図１３】
2019172393.tif 000015
【図１４】
2019172393.tif 000016
【図１５】
2019172393.tif 000017
【図１６】
2019172393.tif 000018
【図１７】
2019172393.tif 000019
【図１８】
2019172393.tif 000020
【図１９】
2019172393.tif 000021
【図２０】
2019172393.tif 000022
【図２１】
2019172393.tif 000023
【図２２】
2019172393.tif 000024
【図２３】
2019172393.tif 000025
【図２４】
2019172393.tif 000026
【図２５】
2019172393.tif 000027
【図２６】
2019172393.tif 000028
【図２７】
2019172393.tif 000029
【図２８】
2019172393.tif 000030
【図２９】
2019172393.tif 000031
【図３０】
2019172393.tif 000032