(57)【要約】      （修正有）【課題】駆動素子を駆動する駆動信号の検査精度が低下するおそれを低減できる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】第１信号が供給されることで駆動する第１駆動素子と、第２信号が供給されることで駆動する第２駆動素子と、第１信号及び第２信号を出力する駆動ＩＣと、第１辺と、第１辺よりも長い第２辺とを有し、駆動ＩＣと電気的に接続され、第１信号及び第２信号を伝搬する配線基板と、を備え、配線基板は、第１信号が入力される第１電極と、第２信号が入力される第２電極と、第１電極と電気的に接続される第３電極と、第２電極と電気的に接続される第４電極と、を含み、第２辺に沿った方向において、第１電極と第３電極との間に第２電極が位置し、第２電極と第４電極との間に第３電極が位置する、液体吐出ヘッド。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１信号が供給されることで駆動する第１駆動素子と、
第２信号が供給されることで駆動する第２駆動素子と、
前記第１信号及び前記第２信号を出力する駆動ＩＣと、
第１辺と、前記第１辺よりも長い第２辺とを有し、前記駆動ＩＣと電気的に接続され、前記第１信号及び前記第２信号を伝搬する配線基板と、
を備え、
前記配線基板は、
前記第１信号が入力される第１電極と、
前記第２信号が入力される第２電極と、
前記第１電極と電気的に接続される第３電極と、
前記第２電極と電気的に接続される第４電極と、
を含み、
前記第２辺に沿った方向において、前記第１電極と前記第３電極との間に前記第２電極が位置し、前記第２電極と前記第４電極との間に前記第３電極が位置する、
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１駆動素子が駆動することで液体を吐出するノズルを含む複数のノズルが、前記第２辺に沿った方向において並んで設けられ、
前記第１電極、前記第２電極、前記第３電極及び前記第４電極は、前記第２辺に沿った方向において並んで設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第３電極及び前記第４電極は、
前記配線基板の平面視において、前記駆動ＩＣと重ならない位置に設けられている、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記駆動ＩＣには、前記第１信号及び前記第２信号の基となる第３信号が入力され、
前記配線基板は、
前記駆動ＩＣに前記第３信号を出力する第５電極と、
前記第５電極と電気的に接続される第６電極と、
を備え、
前記第６電極と前記第２辺との距離は、前記第１電極と前記第２辺の距離よりも長い、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の前記液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドを制御する制御回路と、
を備える、
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項６】
第１信号が供給されることで駆動する第１駆動素子と、第２信号が供給されることで駆動する第２駆動素子と、前記第１信号及び前記第２信号を出力する駆動ＩＣと、を含む液体吐出ヘッドに設けられ、第１辺と、前記第１辺よりも長い第２辺とを有し、前記駆動ＩＣと電気的に接続され、前記第１信号及び前記第２信号を伝搬する配線基板であって、
前記第１信号が入力される第１電極と、
前記第２信号が入力される第２電極と、
前記第１電極と電気的に接続される第３電極と、
前記第２電極と電気的に接続される第４電極と、
を含み、
前記第２辺に沿った方向において、前記第１電極と前記第３電極との間に前記第２電極が位置し、前記第２電極と前記第４電極との間に前記第３電極が位置する、
ことを特徴とする配線基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び配線基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンター等の液体吐出装置は、液体吐出ヘッドに設けられた圧電素子等の駆動素子を駆動信号により駆動することで、キャビティーに充填されたインク等の液体をノズルから吐出し、記録媒体上に文字や画像を形成する。このような液体吐出ヘッドにおいては、液体吐出ヘッドの小型化のために、液体吐出ヘッドに入力される駆動信号を出力する駆動ＩＣと、インターポーザー基板と、駆動素子が設けられたアクチュエーター基板とを、バンプ電極によって電気的に接続する構成が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、駆動素子としての圧電素子が形成されたアクチュエーター基板、インターポーザー基板及び圧電素子を駆動する駆動信号を出力する駆動ＩＣを、バンプ電極を用いて電気的に接続するインクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１７−１６４９９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液体吐出装置の液体吐出ヘッドに用いられるアクチュエーター基板には、ノズルが１方向に対して複数形成されることでノズル列を形成する。そのため、特許文献１に記載の駆動ＩＣ、アクチュエーター基板及びインターポーザー基板がバンプ電極により電気的に接続されている構成において、駆動ＩＣから出力されてアクチュエーター基板及びインターポーザー基板で伝搬される駆動信号の検査を行う場合、当該検査に用いられる検査用端子は、当該ノズル列が形成されている方向おいて、当該ノズル列の端部に複数設けられることとなる。その結果、当該検査用端子に検査対象である駆動信号を伝搬するための配線長にばらつきが生じるおそれがあり、当該駆動信号の検査精度が低下するおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る液体吐出ヘッドの一態様は、
第１信号が供給されることで駆動する第１駆動素子と、
第２信号が供給されることで駆動する第２駆動素子と、
前記第１信号及び前記第２信号を出力する駆動ＩＣと、
第１辺と、前記第１辺よりも長い第２辺とを有し、前記駆動ＩＣと電気的に接続され、前記第１信号及び前記第２信号を伝搬する配線基板と、
を備え、
前記配線基板は、
前記第１信号が入力される第１電極と、
前記第２信号が入力される第２電極と、
前記第１電極と電気的に接続される第３電極と、
前記第２電極と電気的に接続される第４電極と、
を含み、
前記第２辺に沿った方向において、前記第１電極と前記第３電極との間に前記第２電極が位置し、前記第２電極と前記第４電極との間に前記第３電極が位置する。
【０００７】
前記液体吐出ヘッドの一態様において、
前記第１駆動素子が駆動することで液体を吐出するノズルを含む複数のノズルが、前記第２辺に沿った方向において並んで設けられ、
前記第１電極、前記第２電極、前記第３電極及び前記第４電極は、前記第２辺に沿った方向において並んで設けられていてもよい。
【０００８】
前記液体吐出ヘッドの一態様において、
前記第３電極及び前記第４電極は、
前記配線基板の平面視において、前記駆動ＩＣと重ならない位置に設けられていてもよい。
【０００９】
前記液体吐出ヘッドの一態様において、
前記駆動ＩＣには、前記第１信号及び前記第２信号の基となる第３信号が入力され、
前記配線基板は、
前記駆動ＩＣに前記第３信号を出力する第５電極と、
前記第５電極と電気的に接続される第６電極と、
を備え、
前記第６電極と前記第２辺との距離は、前記第１電極と前記第２辺の距離よりも長くてもよい。
【００１０】
本発明に係る液体吐出装置の一態様は、
前記液体吐出ヘッドの一態様と、
前記液体吐出ヘッドを制御する制御回路と、
を備える。
【００１１】
本発明に係る配線基板の一態様は、
第１信号が供給されることで駆動する第１駆動素子と、第２信号が供給されることで駆動する第２駆動素子と、前記第１信号及び前記第２信号を出力する駆動ＩＣと、を含む液体吐出ヘッドに設けられ、第１辺と、前記第１辺よりも長い第２辺とを有し、前記駆動ＩＣと電気的に接続され、前記第１信号及び前記第２信号を伝搬する配線基板であって、
前記第１信号が入力される第１電極と、
前記第２信号が入力される第２電極と、
前記第１電極と電気的に接続される第３電極と、
前記第２電極と電気的に接続される第４電極と、
を含み、
前記第２辺に沿った方向において、前記第１電極と前記第３電極との間に前記第２電極が位置し、前記第２電極と前記第４電極との間に前記第３電極が位置する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】液体吐出装置の概略構成を示す図である。
【図２】液体吐出装置の電気的な構成を示すブロック図である。
【図３】液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図４】図３のIII−III線における液体吐出ヘッドの断面を示す断面図である。
【図５】駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢの一例を示す図である。
【図６】駆動ＩＣ、インターポーザー基板、アクチュエーター基板及び圧電素子の電気的接続を説明するための図である。
【図７】バンプ電極の構成の一例を示す図である。
【図８】インターポーザー基板を面Ｇ２から見た場合の構成を示す平面図である。
【図９】インターポーザー基板を面Ｇ１から見た場合の構成を示す平面図である。
【図１０】アクチュエーター基板のインターポーザー基板側の面であって、圧電素子が形成される面を示す平面図である。
【図１１】第２実施形態のインターポーザー基板を面Ｇ２から見た場合の構成を示す平面図である。
【図１２】第２実施形態のインターポーザー基板を面Ｇ１から見た場合の構成を示す平面図である。
【図１３】第２実施形態のアクチュエーター基板のインターポーザー基板側の面であって、圧電素子が形成される面を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて説明する。用いる図面は説明の便宜上のものである。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００１４】
以下では、本発明に係る配線基板を備えた液体吐出ヘッドについて、印刷装置である液体吐出装置に適用される液体吐出ヘッドを例に挙げて説明する。
【００１５】
１  第１実施形態
１．１  液体吐出装置の概要
図１は、本実施形態の液体吐出ヘッドが適用される液体吐出装置１の概略構成を示す図である。本実施形態に係る液体吐出装置１は、液体の一例としてのインクを吐出する液体吐出ヘッド２１が搭載されたキャリッジ２２が往復動し、搬送される媒体Ｐに対してインクを吐出するシリアル印刷方式のインクジェットプリンターである。以下の説明では、キャリッジ２２が移動する方向をＸ方向、媒体Ｐが搬送される方向をＹ方向、インクが吐出される方向をＺ方向として説明する。なお、以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向は互いに直交する方向として説明を行う。また、媒体Ｐとしては、印刷用紙、樹脂フィルム、布帛等の任意の印刷対象を用いられてもよい。
【００１６】
液体吐出装置１は、液体容器２、制御ユニット１０、ヘッドユニット２０、移動ユニット８０及び搬送ユニット７０を備える。
【００１７】
液体容器２には、媒体Ｐに吐出される複数種類のインクが貯留されている。具体的には、ブラック、シアン、マゼンタ、イエロー、レッド、グレーの６種類のインクが液体容器２に貯留されている。なお、上述の液体容器２に貯留されるインクの数及び種類は一例であり、液体容器２に貯留されるインクは、５種類以下であってもよく、７種類以上であってもよい。さらに、液体容器２には、ライトシアン、ライトマゼンタ、グリーン等の色彩のインクが貯留されていても良い。このようなインクが貯留される液体容器２としては、インクカートリッジや、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、インクの補充が可能なインクタンク等が用いられる。
【００１８】
制御ユニット１０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリ等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１の各要素を制御する。
【００１９】
ヘッドユニット２０は、液体吐出ヘッド２１及びキャリッジ２２を含む。液体吐出ヘッド２１は、キャリッジ２２に搭載されている。キャリッジ２２は、液体吐出ヘッド２１を搭載した状態で、移動ユニット８０に含まれる無端ベルト８２に固定されている。なお、液体容器２も、キャリッジ２２に搭載されていてもよい。また、液体吐出ヘッド２１には、制御ユニット１０から、液体吐出ヘッド２１を制御するための複数の信号を含む制御信号Ｃｔｒｌ−Ｈ及び液体吐出ヘッド２１を駆動するための１又は複数の駆動信号ＣＯＭが入力される。そして、液体吐出ヘッド２１は、制御信号Ｃｔｒｌ−Ｈ及び１又は複数の駆動信号ＣＯＭに基づいて、液体容器２から供給されるインクをＺ方向に吐出する。
【００２０】
移動ユニット８０は、キャリッジモーター８１及び無端ベルト８２を含む。キャリッジモーター８１は、制御ユニット１０から入力される制御信号Ｃｔｒｌ−Ｃに基づいて動作する。そして、キャリッジモーター８１の動作に従って無端ベルト８２が回転する。これにより、無端ベルト８２に固定されたキャリッジ２２がＸ方向に往復動する。
【００２１】
搬送ユニット７０は、搬送モーター７１及び搬送ローラー７２を含む。搬送モーター７１は、制御ユニット１０から入力される制御信号Ｃｔｒｌ−Ｔに基づいて動作する。そして、搬送モーター７１の動作に従って搬送ローラー７２が回転する。この搬送ローラー７２の回転に伴って媒体ＰがＹ方向に搬送される。
【００２２】
以上のように液体吐出装置１は、制御ユニット１０が出力される各種信号に基づいて、搬送ユニット７０による媒体Ｐの搬送と移動ユニット８０によるヘッドユニット２０の往復動とに連動して、ヘッドユニット２０に含まれる液体吐出ヘッド２１からインクを吐出することで、媒体Ｐの表面の任意の位置にインクを着弾させ、媒体Ｐに所望の画像を形成する。
【００２３】
１．２  液体吐出装置の電気的構成
図２は、液体吐出装置１の電気的な構成を示すブロック図である。液体吐出装置１は、制御ユニット１０、ヘッドユニット２０、移動ユニット８０及び搬送ユニット７０を備える。図２に示すように、制御ユニット１０は、制御回路１００、駆動回路５０ａ，５０ｂ、基準電圧生成回路５１及び電源電圧生成回路５３を含む。
【００２４】
制御回路１００は、例えば、マイクロコントローラー等のプロセッサーを含む。そして、制御回路１００は、ホストコンピューターから供給される画像データ等の各種信号に基づいて、液体吐出装置１を制御するデータや信号を生成する。
【００２５】
具体的には、制御回路１００は、ヘッドユニット２０の走査位置に応じた制御信号Ｃｔｒｌ−Ｃを、移動ユニット８０に出力する。これにより、ヘッドユニット２０の往復動が制御される。また、制御回路１００は、搬送ユニット７０に対して制御信号Ｃｔｒｌ−Ｔを出力する。これにより、媒体Ｐの搬送が制御される。なお、制御信号Ｃｔｒｌ−Ｃは、不図示の信号変換回路により信号変換されたのち、移動ユニット８０に供給されてもよい。同様に、制御信号Ｃｔｒｌ−Ｔは、不図示の信号変換回路により信号変換されたのち、搬送ユニット７０に供給されてもよい。
【００２６】
また、制御回路１００は、ホストコンピューターからの供給される画像データ等の各種信号に基づいて、ヘッドユニット２０を制御するための制御信号Ｃｔｒｌ−Ｈとして、印刷データ信号ＳＩ、チェンジ信号ＣＨ、ラッチ信号ＬＡＴ及びクロック信号ＳＣＫを出力する。
【００２７】
また、制御回路１００は、駆動回路５０ａ，５０ｂのそれぞれにデジタル信号である駆動制御信号ｄＡ，ｄＢを出力する。
【００２８】
具体的には、駆動回路５０ａには駆動制御信号ｄＡが入力される。そして、駆動回路５０ａは、駆動制御信号ｄＡをデジタル／アナログ変換したのち、変換されたアナログ信号をＤ級増幅して駆動信号ＣＯＭＡを生成する。そして、駆動回路５０ａは、生成した駆動信号ＣＯＭＡをヘッドユニット２０に出力する。また、駆動回路５０ｂには駆動制御信号ｄＢが入力される。そして、駆動回路５０ｂは、駆動制御信号ｄＢをデジタル／アナログ変換したのち、変換されたアナログ信号をＤ級増幅して駆動信号ＣＯＭＢを生成する。そして、駆動回路５０ｂは、生成した駆動信号ＣＯＭＢをヘッドユニット２０に出力する。
【００２９】
基準電圧生成回路５１は、ヘッドユニット２０に含まれる圧電素子６０に供給される基準電圧信号ＶＢＳを生成する。この基準電圧信号ＶＢＳは、例えばＤＣ６Ｖの電圧信号である。そして、基準電圧生成回路５１は、生成した基準電圧信号ＶＢＳをヘッドユニット２０に出力する。なお、基準電圧生成回路５１は、グラウンド電位などのＤＣ６Ｖ以外の異なる電圧値の電圧信号を生成し出力してもよい。
【００３０】
電源電圧生成回路５３は、高電圧信号ＶＨＶ及び低電圧信号ＶＤＤを生成する。高電圧信号ＶＨＶは、例えばＤＣ４２Ｖの電圧信号である。また、低電圧信号ＶＤＤは、例えば３．３Ｖの電圧信号である。そして、高電圧信号ＶＨＶ及び低電圧信号ＶＤＤのそれぞれは、制御ユニット１０における各種構成の電源電圧として用いられるとともに、ヘッドユニット２０に出力される。なお、電源電圧生成回路５３は、高電圧信号ＶＨＶ及び低電圧信号ＶＤＤ以外の各種電圧信号を生成しても良い。
【００３１】
ヘッドユニット２０は、複数の液体吐出ヘッド２１を含む。ヘッドユニット２０に入力される印刷データ信号ＳＩ、チェンジ信号ＣＨ、ラッチ信号ＬＡＴ、クロック信号ＳＣＫ、駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢ、基準電圧信号ＶＢＳ、高電圧信号ＶＨＶ及び低電圧信号ＶＤＤは、ヘッドユニット２０において分岐された後、複数の液体吐出ヘッド２１のそれぞれに供給される。なお、本実施形態において複数の液体吐出ヘッド２１の各々は、同様の構成である。
【００３２】
各液体吐出ヘッド２１は、駆動信号選択回路２００及び複数の吐出部６００を含む。駆動信号選択回路２００は、入力される印刷データ信号ＳＩ、クロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ及びチェンジ信号ＣＨに基づいて、駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢを選択又は非選択とすることで、駆動信号ＶＯＵＴを生成する。そして、駆動信号選択回路２００は、対応する吐出部６００に含まれる圧電素子６０に駆動信号ＶＯＵＴを供給する。圧電素子６０は、駆動信号ＶＯＵＴが供給されることで変位する。そして、当該変位に応じた量のインクが吐出部６００から吐出される。
【００３３】
１．３  液体吐出ヘッドの構成
ここで、液体吐出ヘッド２１の構成について説明する。図３は、液体吐出ヘッド２１の分解斜視図である。また、図４は、図３のIII−III線における液体吐出ヘッド２１の断面を示す断面図である。
【００３４】
図３に示すように、液体吐出ヘッド２１は、Ｙ方向に配列された２Ｍ個のノズルＮを備える。本実施形態において、２Ｍ個のノズルＮは、列Ｌ１と列Ｌ２との２列で配列している。以下の説明では、列Ｌ１に属するＭ個のノズルＮの各々をノズルＮ１と称し、列Ｌ２に属するＭ個のノズルＮの各々をノズルＮ２と称する場合がある。また、以下の説明では、列Ｌ１に属するＭ個のノズルＮ１のうち、ｍ番目（ｍは、１≦ｍ≦Ｍを満たす自然数）のノズルＮ１と、列Ｌ２に属するＭ個のノズルＮ２のうち、ｍ番目のノズルＮ２との、Ｙ方向での位置が略一致する場合を想定する。ここで、「略一致」とは、完全に一致する場合の他に、誤差を考慮すれば同一とみなせる場合を含む。なお、２Ｍ個のノズルＮは、列Ｌ１に属するＭ個のノズルＮ１のうち、ｍ番目のノズルＮ１と、列Ｌ２に属するＭ個のノズルＮ２のうち、ｍ番目のノズルＮ２との、Ｙ方向の位置が相違するように、所謂、千鳥状又はスタガ状に配列されてもよい。
【００３５】
図３及び図４に示すように、液体吐出ヘッド２１は流路基板３２を備える。流路基板３２は、面Ｆ１と面ＦＡとを含む板状部材である。面Ｆ１は、液体吐出ヘッド２１から見て媒体Ｐ側の表面であり、面ＦＡは、面Ｆ１とは反対側の表面である。面ＦＡの面上には、圧力室基板３４、振動基板３６、複数の圧電素子６０、インターポーザー基板３８及び筐体部４０が設けられている。また、面Ｆ１の面上には、ノズル板５２と吸振体５４とが設けられている。液体吐出ヘッド２１の各要素は、概略的にはＹ方向に長尺な板状部材であり、Ｚ方向に積層されている。
【００３６】
ノズル板５２は板状部材であり、ノズル板５２には、貫通孔である２Ｍ個のノズルＮが形成されている。なお、以下の説明においてノズル板５２には、６００個以上のノズルＮが形成され、列Ｌ１及び列Ｌ２の各々に対応するノズルＮは、１インチあたり３００個以上の密度で設けられている。
【００３７】
流路基板３２は、インクの流路を形成するための板状部材である。図３及び図４に示すように、流路基板３２には流路ＲＡが形成されている。また、流路基板３２には、２Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するように、２Ｍ個の流路３１と２Ｍ個の流路３３とが形成される。流路３１及び流路３３は、図４に示すように流路基板３２を貫通するように形成された開口である。流路３３は、当該流路３３に対応するノズルＮに連通する。また、流路基板３２の面Ｆ１には、２つの流路３９が形成される。２つの流路３９のうちの一方は、流路ＲＡと列Ｌ１に属するＭ個のノズルＮ１に１対１に対応するＭ個の流路３１とを連結する流路であり、他方は、流路ＲＡと列Ｌ２に属するＭ個のノズルＮ２に１対１に対応するＭ個の流路３１とを連結する流路である。
【００３８】
図３及び図４に示すように、圧力室基板３４は、２Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するように２Ｍ個の開口３７が形成された板状部材である。圧力室基板３４のうち流路基板３２とは反対側の表面には振動基板３６が設けられる。
【００３９】
図４に示すように、振動基板３６と流路基板３２の面ＦＡとは、各開口３７の内側で相互に間隔をあけて対向する。開口３７の内側で流路基板３２の面ＦＡと振動基板３６との間に位置する空間は、当該空間に充填されたインクに圧力を付与するための圧力室Ｃとして機能する。圧力室Ｃは、例えば、Ｘ方向を長手方向としてＹ方向を短手方向とする空間である。液体吐出ヘッド２１には、２Ｍ個のノズルＮに１対１に対応するように、２Ｍ個の圧力室Ｃが設けられる。ノズルＮ１に対応して設けられた圧力室Ｃは、流路３１及び流路３９を介して流路ＲＡに連通するとともに、流路３３を介してノズルＮ１に連通する。また、ノズルＮ２に対応して設けられた圧力室Ｃは、流路３１及び流路３９を介して流路ＲＡに連通するとともに、流路３３を介してノズルＮ２に連通する。
【００４０】
図３及び図４に示すように、振動基板３６のうち圧力室Ｃとは反対側の面上には、２Ｍ個の圧力室Ｃに１対１に対応するように、２Ｍ個の圧電素子６０が設けられている。圧電素子６０の一端には、駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢに基づく駆動信号ＶＯＵＴが供給され、他端には、基準電圧信号ＶＢＳが供給される。圧電素子６０は、駆動信号ＶＯＵＴと基準電圧信号ＶＢＳとの電位差に応じて変形（駆動）する。振動基板３６は、圧電素子６０の変形に連動して振動し、振動基板３６が振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動する。そして、圧力室Ｃ内の圧力が変動することで、圧力室Ｃに充填されたインクが、流路３３及びノズルＮを経由して吐出される。
【００４１】
なお、圧力室Ｃ、流路３１，３３、ノズルＮ、振動基板３６及び圧電素子６０が、圧力室Ｃに充填されたインクを圧電素子６０の駆動により吐出させるための吐出部６００として機能する。すなわち、液体吐出ヘッド２１には、Ｙ方向に沿って複数の吐出部６００が２列に並設されている。
【００４２】
図３及び図４に示すインターポーザー基板３８は、面Ｇ１と、面Ｇ１と対向する面Ｇ２とを有し、駆動ＩＣ６２に駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢを伝搬する。また、インターポーザー基板３８は、振動基板３６に形成された２Ｍ個の圧電素子６０を保護するための板状部材であり、振動基板３６の表面、又は圧力室基板３４の表面に設けられる。
【００４３】
インターポーザー基板３８のうち液体吐出ヘッド２１から見て媒体Ｐ側の表面である面Ｇ１には、２つの収容空間４５が形成される。２つの収容空間４５のうち一方は、Ｍ個のノズルＮ１に対応するＭ個の圧電素子６０を収容するための空間であり、他方は、Ｍ個のノズルＮ２に対応するＭ個の圧電素子６０を収容するための空間である。この収容空間４５のＺ方向の幅である高さは、圧電素子６０が変位しても圧電素子６０とインターポーザー基板３８とが接触しないように、十分な大きさを有する。
【００４４】
インターポーザー基板３８のうち面Ｇ１の反対側の表面である面Ｇ２には、駆動ＩＣ６２が設けられる。駆動ＩＣ６２には、例えば図２に示す駆動信号選択回路２００が実装されている。また、駆動ＩＣ６２には、液体吐出ヘッド２１に入力される駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢ、印刷データ信号ＳＩ、チェンジ信号ＣＨ、ラッチ信号ＬＡＴ及びクロック信号ＳＣＫが入力される。そして、駆動ＩＣ６２は、印刷データ信号ＳＩに基づいて、各圧電素子６０に駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢのいずれを供給するか否かを切り替えることで、駆動信号ＶＯＵＴを生成し出力をする。すなわち、駆動ＩＣ６２は、駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢの圧電素子６０への供給を制御する。
【００４５】
インターポーザー基板３８には、駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢ，ＶＯＵＴ、印刷データ信号ＳＩ、チェンジ信号ＣＨ、ラッチ信号ＬＡＴ及びクロック信号ＳＣＫを伝搬するための複数の配線が設けられる。駆動ＩＣ６２から出力された駆動信号ＶＯＵＴは、当該配線を介して、圧電素子６０に供給される。
【００４６】
また、インターポーザー基板３８には、接続配線６４が電気的に接続される。接続配線６４は、液体吐出ヘッド２１に入力された複数の信号を、駆動ＩＣ６２に転送するための複数の配線が形成された部材であり、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）や、ＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等であってもよい。なお、インターポーザー基板３８に形成される複数の配線の詳細については後述する。
【００４７】
駆動ＩＣ６２において、駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢのいずれかが選択され、駆動信号ＶＯＵＴが生成される動作について説明する。駆動ＩＣ６２は、印刷データ信号ＳＩ、チェンジ信号ＣＨ及びラッチ信号ＬＡＴに基づいて、駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢを選択又は非選択とすることで、圧電素子６０に供給される駆動信号ＶＯＵＴを生成し出力する。
【００４８】
ラッチ信号ＬＡＴは、媒体Ｐに対してドットを形成する周期である印刷周期Ｔａを規定する。具体的には、ラッチ信号ＬＡＴが立ち上がってから、次にラッチ信号ＬＡＴが立ち上がるまでの期間が印刷周期Ｔａとなる。また、チェンジ信号ＣＨは、印刷周期Ｔａを複数の期間Ｔｎ（ｎは正の整数）に分割する。印刷データ信号ＳＩは、複数の吐出部６００のそれぞれに対応したデータ信号を含み、期間Ｔｎ毎に駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢのそれぞれを選択又は非選択とする。このように、駆動ＩＣ６２は、駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢのそれぞれを、印刷データ信号ＳＩに基づき期間Ｔｎ毎に選択又は非選択とすることで、印刷周期Ｔａにおいて駆動信号ＶＯＵＴを生成する。
【００４９】
ここで、図５に示す駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢを一例として、駆動ＩＣ６２における駆動信号ＶＯＵＴの生成手順について説明する。なお、図５における印刷周期Ｔａは、ラッチ信号ＬＡＴが立ち上がり、チェンジ信号ＣＨが立ち上がるまでの期間Ｔ１と、チェンジ信号ＣＨが立ち上がってから次にラッチ信号ＬＡＴが立ち上がるまでの期間Ｔ２と、の２つの期間で構成されている。
【００５０】
駆動信号ＣＯＭＡは、期間Ｔ１に配置された台形波形Ａｄｐ１と、期間Ｔ２に配置された台形波形Ａｄｐ２とを連続させた波形からなる信号である。台形波形Ａｄｐ１、Ａｄｐ２とは、互いにほぼ同一の波形であり、それぞれが圧電素子６０の一端に供給された場合、対応する吐出部６００のノズルＮから中程度の量のインクがそれぞれ吐出される。
【００５１】
駆動信号ＣＯＭＢは、期間Ｔ１に配置された台形波形Ｂｄｐ１と、期間Ｔ２に配置された台形波形Ｂｄｐ２とを連続させた波形からなる信号である。台形波形Ｂｄｐ１、Ｂｄｐ２は、互いに異なる波形であり、このうち、台形波形Ｂｄｐ１は、ノズルＮの開孔部付近のインクを微振動させてインクの粘度の増大を防止するための波形である。このため、台形波形Ｂｄｐ１が圧電素子６０の一端に供給されたとしても、対応する吐出部６００のノズルＮからインク滴は吐出されない。また、台形波形Ｂｄｐ２は、台形波形Ａｄｐ１，Ａｄｐ２の双方と異なる波形であり、台形波形Ｂｄｐ２が圧電素子６０の一端に供給された場合、対応する吐出部６００のノズルＮから上記中程度の量よりも少ない小程度の量のインクが吐出される。
【００５２】
駆動ＩＣ６２は、印刷データ信号ＳＩに基づいて、期間Ｔ１及び期間Ｔ２において、駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢのそれぞれを複数の吐出部６００に含まれる各圧電素子６０に供給するかを制御することで、駆動信号ＶＯＵＴを生成する。
【００５３】
例えば、印刷データ信号ＳＩが「大ドット」を示す信号であるとき、期間Ｔ１及び期間Ｔ２において、駆動信号ＣＯＭＡが選択される。これにより、駆動ＩＣ６２は、印刷周期Ｔａにおいて台形波形Ａｄｐ１と台形波形Ａｄｐ２とが連続した波形からなる駆動信号ＶＯＵＴを出力する。このとき、当該駆動信号ＶＯＵＴが供給される圧電素子６０に対応するノズルＮからは、中程度の量のインクが２回吐出される。したがって、媒体Ｐに大ドットが形成される。
【００５４】
また、印刷データ信号ＳＩが「中ドット」を示す信号であるとき、期間Ｔ１において駆動信号ＣＯＭＡが選択され、期間Ｔ２において駆動信号ＣＯＭＢが選択される。これにより、駆動ＩＣ６２は、印刷周期Ｔａにおいて台形波形Ａｄｐ１と台形波形Ｂｄｐ２とが連続した波形からなる駆動信号ＶＯＵＴを出力する。このとき、当該駆動信号ＶＯＵＴが供給される圧電素子６０に対応するノズルＮからは、中程度の量のインクと小程度の量のインクとが吐出される。したがって、媒体Ｐに中ドットが形成される。
【００５５】
また、印刷データ信号ＳＩが「小ドット」を示す信号であるとき、期間Ｔ１において駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢのいずれも選択されず、期間Ｔ２において駆動信号ＣＯＭＢが選択される。これにより、駆動ＩＣ６２は、印刷周期Ｔａにおいて台形波形Ｂｄｐ２からなる駆動信号ＶＯＵＴを出力する。このとき、当該駆動信号ＶＯＵＴが供給される圧電素子６０に対応するノズルＮからは、小程度の量のインクが吐出される。したがって、媒体Ｐに小ドットが形成される。
【００５６】
また、印刷データ信号ＳＩが「微振動」を示す信号であるとき、期間Ｔ１において駆動信号ＣＯＭＢが選択され、期間Ｔ２において駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢのいずれも選択されない。これにより、駆動ＩＣ６２は、印刷周期Ｔａにおいて台形波形Ｂｄｐ１からなる駆動信号ＶＯＵＴを出力する。このとき、当該駆動信号ＶＯＵＴが供給される圧電素子６０は、インクが吐出されない程度に駆動し、当該圧電素子６０に対応するノズルＮからは、インクが吐出されない。したがって、媒体Ｐにドットは形成されない。
【００５７】
ここで、台形波形Ａｄｐ１、Ａｄｐ２、Ｂｄｐ１、Ｂｄｐ２の開始タイミングでの電圧と、終了タイミングでの電圧とは、いずれも電圧Ｖｃで共通である。すなわち、駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢは、それぞれ電圧Ｖｃで開始し、電圧Ｖｃで終了する波形から構成される。なお、図５に示す駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢは一例でありこれに限られるものではない。
【００５８】
図３及び図４に戻り、筐体部４０は、２Ｍ個の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留するためのケースである。筐体部４０のうち液体吐出ヘッド２１から見て媒体Ｐ側の表面である面ＦＢは、例えば、接着剤により流路基板３２の面ＦＡに固定される。筐体部４０の面ＦＢには、Ｙ方向に延在する溝状の凹部４２が形成される。インターポーザー基板３８及び駆動ＩＣ６２は、凹部４２の内側に収容される。このとき、接続配線６４は、凹部４２の内側を通過するようにＹ方向に延在する。
【００５９】
筐体部４０は、例えば、樹脂材料の射出成形により形成される。図４に示すように、筐体部４０には、流路ＲＡに連通する流路ＲＢが形成される。流路ＲＡ及び流路ＲＢは、２Ｍ個の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留するリザーバーＱとして機能する。
【００６０】
筐体部４０の面ＦＢの反対の表面である面Ｆ２には、液体容器２から供給されるインクをリザーバーＱに導入するための２つの導入口４３が設けられている。液体容器２から２つの導入口４３に供給されたインクは、流路ＲＢを経由して流路ＲＡに流入する。そして、流路ＲＡに流入したインクの一部が、流路３９及び流路３１を経由して、ノズルＮに対応する圧力室Ｃに供給される。ノズルＮに対応する圧力室Ｃに充填されたインクは、ノズルＮに対応する圧電素子６０の駆動により流路３３を経由してノズルＮから吐出される。
【００６１】
１．４  駆動ＩＣ、配線基板及びアクチュエーター基板の電気的接続の構成
次に、図６を用いて、駆動ＩＣ６２、インターポーザー基板３８、振動基板３６及び圧電素子６０の電気的接続について説明する。図６は、駆動ＩＣ６２、インターポーザー基板３８、振動基板３６及び圧電素子６０の電気的接続を説明するための図である。
【００６２】
振動基板３６は、振動可能な板状部材である。そして、振動基板３６のＺ方向の上面には、複数の圧電素子６０が図３に示すようにＹ方向に沿って２列で並設されている。各圧電素子６０は、振動基板３６の上面において下電極層１３７、圧電体層１３８及び上電極層１３９がＺ方向に沿って順次積層されている。このように構成された圧電素子６０の下電極層１３７と上電極層１３９との間に生じた電位差に応じたて圧電体層１３８が変位し、圧電体層１３８の変位に応じて振動基板３６がＺ方向に変形する。
【００６３】
図６において、下電極層１３７は、個々の圧電素子６０に駆動信号ＶＯＵＴを供給する個別電極であり、また、上電極層１３９は、複数の圧電素子６０に基準電圧信号ＶＢＳを供給するために共通化された共通電極である。なお、下電極層１３７を共通電極とし上電極層１３９を個別電極としてもよい。
【００６４】
振動基板３６のＺ方向の上面には、インターポーザー基板３８が積層されている。インターポーザー基板３８には、振動基板３６に各種信号を供給するための複数の配線及び電極が設けられる。なお、インターポーザー基板３８に設けられる複数の配線及び電極の詳細については後述する。
【００６５】
インターポーザー基板３８の面Ｇ１には、対応する圧電素子６０に駆動ＩＣ６２から出力された駆動信号ＶＯＵＴを供給するためのバンプ電極１４１，１４２が設けられている。バンプ電極１４１は、２列で並設された複数の圧電素子６０の内、例えば、図３に示す列Ｌ１に含まれるノズルＮ１に対応する圧電素子６０の下電極層１３７と対応する位置に設けられている。バンプ電極１４１と下電極層１３７とが電気的に接続されることで、圧電素子６０に、駆動信号ＶＯＵＴが供給される。また、バンプ電極１４１は、インターポーザー基板３８の面Ｇ１に形成された電極１５１とも電気的に接続している。
【００６６】
バンプ電極１４２は、２列で並設された複数の圧電素子６０の内、例えば、図３に示す列Ｌ２に含まれるノズルＮ２に対応する圧電素子６０の下電極層１３７と対応する位置に設けられている。バンプ電極１４２と下電極層１３７とが電気的に接続されることで、圧電素子６０に、駆動信号ＶＯＵＴが供給される。また、バンプ電極１４２は、インターポーザー基板３８の面Ｇ１に形成された電極１５２とも電気的に接続している。
【００６７】
インターポーザー基板３８の面Ｇ１には、基準電圧信号ＶＢＳを圧電素子６０に供給するためのバンプ電極１４３が設けられている。バンプ電極１４３は、圧電素子６０の上電極層１３９と対応する位置に設けられている。バンプ電極１４３と上電極層１３９とが電気的に接続されることで、圧電素子６０に、基準電圧信号ＶＢＳが供給される。また、バンプ電極１４３は、インターポーザー基板３８の面Ｇ１に形成された電極１５３とも電気的に接続される。
【００６８】
インターポーザー基板３８において面Ｇ１とは反対側の面Ｇ２には、電極１５１に対応する電極１７１が形成されている。電極１５１と電極１７１とは、インターポーザー基板３８を貫通する貫通配線１７３により電気的に接続されている。また、インターポーザー基板３８の面Ｇ２には、電極１５２に対応する電極１７２が形成されている。電極１５２と電極１７２とは、インターポーザー基板３８を貫通する貫通配線１７４により電気的に接続されている。
【００６９】
インターポーザー基板３８の面Ｇ２において、電極１７１と電極１７２との間には、電極１９０〜１９９が形成されている。具体的には、電極１９０〜１９９は、電極１７１と電極１７２との間において、電極１７１から電極１７２に向かう方向に沿って電極１９０，１９１，１９２，１９３，１９４，１９５，１９６，１９７，１９８，１９９の順に並設されている。
【００７０】
インターポーザー基板３８のＺ方向の上面には、駆動ＩＣ６２が実装されている。駆動ＩＣ６２のインターポーザー基板３８と対向する面であって、インターポーザー基板３８の電極１７１と対向する領域には、バンプ電極２０１が設けられている。また、バンプ電極２０１は、駆動ＩＣ６２に形成された電極２１１と電気的に接続している。同様に、駆動ＩＣ６２のインターポーザー基板３８と対向する面であって、インターポーザー基板３８の電極１７２と対向する領域には、バンプ電極２０２が設けられている。また、バンプ電極２０２は、駆動ＩＣ６２に形成された電極２１２と電気的に接続している。
【００７１】
駆動ＩＣ６２のインターポーザー基板３８と対向する面であって、インターポーザー基板３８の電極１９０〜１９９のそれぞれと対向する領域には、バンプ電極２２０〜２２９が設けられている。また、バンプ電極２２０〜２２９のそれぞれは、駆動ＩＣ６２に形成された電極２３０〜２３９のそれぞれと電気的に接続している。
【００７２】
ここで、本実施形態において、駆動ＩＣ６２、インターポーザー基板３８及び振動基板３６のそれぞれを電気的に接続しているバンプ電極１４１〜１４３，２０１，２０２，２２０〜２２９の構成について、図７を用いて説明する。なお、バンプ電極１４１〜１４３，２０１，２０２，２２０〜２２９はいずれも同じ構成であり、図７の説明では、バンプ電極２４０として説明する。
【００７３】
図７は、バンプ電極２４０の構成の一例を示す図である。図７の上段には、バンプ電極２４０の平面図を示し、図７の下段には、バンプ電極２４０の側面図を示す。バンプ電極２４０は、突出して設けられた樹脂製のコア部２４１と、コア部２４１の上部に形成された金属製の電極２４２とを含む樹脂コアバンプである。このようなバンプ電極２４０では、電極２４２のパターン間が絶縁体のコア部２４１で構成できるため、バンプ電極２４０の間隔を小さくすることが可能となる。
【００７４】
なお、本実施形態では、バンプ電極２４０は個別にコア部２４１と電極２４２とを含み形成されているとして図示及び説明を行うが、共通に設けられたコア部２４１の上部に複数の電極２４２を形成することで、複数のバンプ電極２４０が形成されていてもよい。
【００７５】
また、駆動ＩＣ６２、インターポーザー基板３８及び振動基板３６のそれぞれは、上述したバンプ電極２４０以外の方法によって電気的に接続されていてもよい。例えば、駆動ＩＣ６２、インターポーザー基板３８及び振動基板３６のそれぞれは、金バンプにより電気的に接続されていてもよい。そして、駆動ＩＣ６２、インターポーザー基板３８及び振動基板３６のそれぞれは、バンプ電極２４０により電気的に接続された状態において、導電性接着剤、非導電性接着剤、又は異方導電性接着剤等の接着を用いた接合技術により接合される。
【００７６】
１．５  インターポーザー基板及びアクチュエーター基板の構成
ここで、インターポーザー基板３８及び振動基板３６の詳細について、図６、図８〜図１０を用いて説明する。図８は、インターポーザー基板３８を面Ｇ２から見た場合の構成を示す平面図である。図８には、インターポーザー基板３８に実装される駆動ＩＣ６２を１点鎖線で示している。図９は、インターポーザー基板３８を面Ｇ１から見た場合の構成を示す平面図である。図１０は、振動基板３６を含むアクチュエーター基板３５のインターポーザー基板３８側の面であって、圧電素子６０が形成される面を示す平面図である。なお、以下に説明するインターポーザー基板３８が、本実施形態における配線基板の一例である。
【００７７】
図８及び図９に示すように、インターポーザー基板３８は、基板３００を含む。基板３００は、第１面３０５及び第１面３０５と対向する第２面３０６を有する。また、基板３００は、辺３０１と、辺３０１に対向する辺３０２と、辺３０１よりも長い辺３０３と、辺３０３に対向する辺３０４とで形成される略矩形状である。ここで、辺３０１又は辺３０２が第１辺の一例であり、辺３０３又は辺３０４が第２辺の一例である。また、基板３００には、接続配線６４が接続される複数の電極を含む接続配線領域６５と、複数の配線及び複数の電極が形成されている。なお、基板３００の第１面３０５は、インターポーザー基板３８の面Ｇ２と同じ向きの面であり、基板３００の第２面３０６は、インターポーザー基板３８の面Ｇ１と同じ向きの面である。
【００７８】
図８に示すように、接続配線領域６５には、接続配線６４が電気的に接続される電極３８０〜３８９，３９２が形成されている。
【００７９】
図８に示すように、電極３８０は、配線３１０上に形成されている。そして、電極３８０は、配線３１０と接続配線６４とを電気的に接続する。配線３１０は、基板３００の第１面３０５において辺３０１から辺３０２に向かうＹ方向に沿って形成された配線パターンである。電極３８０には、駆動信号ＣＯＭＡが供給される。そして、配線３１０は、電極３８０を介して入力される駆動信号ＣＯＭＡを伝搬する。また、配線３１０上には電極１９０が形成されている。電極１９０は、図６に示すようにバンプ電極２２０と電気的に接続される。これにより、電極３８０を介して供給された駆動信号ＣＯＭＡは、配線３１０で伝搬されたのち、バンプ電極２２０を介して駆動ＩＣ６２に供給される。ここで、本実施形態において電極１９０は、列Ｌ１を形成するＭ個のノズルＮ１のそれぞれに対応して配線３１０上にＭ個形成されている。また、バンプ電極２２０は、Ｍ個の電極１９０に対応してＭ個設けられる。
【００８０】
電極３８１は、配線３１１上に形成されている。そして、電極３８１は、配線３１１と接続配線６４とを電気的に接続する。配線３１１は、基板３００の第１面３０５であって配線３１０の辺３０４側において、辺３０１から辺３０２に向かうＹ方向に沿って形成された配線パターンである。電極３８１には、駆動信号ＣＯＭＢが供給される。配線３１１は、電極３８１を介して入力される駆動信号ＣＯＭＢを伝搬する。また、配線３１１上には電極１９１が形成されている。電極１９１は、図６に示すようにバンプ電極２２１と電気的に接続される。これにより、電極３８１を介して供給された駆動信号ＣＯＭＢは、配線３１１で伝搬されたのち、バンプ電極２２１を介して駆動ＩＣ６２に供給される。ここで、本実施形態において電極１９１は、列Ｌ１を形成するＭ個のノズルＮ１のそれぞれに対応して配線３１１上にＭ個形成されている。また、バンプ電極２２１は、Ｍ個の電極１９１に対応してＭ個設けられる。
【００８１】
電極３８２は、配線３１２上に形成されている。そして、電極３８２は、配線３１２と接続配線６４とを電気的に接続する。配線３１２は、基板３００の第１面３０５であって配線３１１の辺３０４側において、辺３０１から辺３０２に向かうＹ方向に沿って形成された配線パターンである。電極３８２には、高電圧信号ＶＨＶが供給される。配線３１２は、電極３８２を介して入力される高電圧信号ＶＨＶを伝搬する。また、配線３１２上には電極１９２が形成されている。電極１９２は、図６に示すようにバンプ電極２２２と電気的に接続される。これにより、電極３８２を介して供給された高電圧信号ＶＨＶは、配線３１２で伝搬されたのち、バンプ電極２２２を介して駆動ＩＣ６２に供給される。ここで、本実施形態において電極１９２は、列Ｌ１又は列Ｌ２を形成するＭ個のノズルＮ１又はノズルＮ２のそれぞれに対応して配線３１２上にＭ個形成されている。また、バンプ電極２２２は、Ｍ個の電極１９２に対応してＭ個設けられる。
【００８２】
電極３８３〜３８６のそれぞれは、配線３１３〜３１６のそれぞれの配線上に形成されている。そして、電極３８３〜３８６それぞれは、配線３１３〜３１６のそれぞれと接続配線６４とを電気的に接続する。配線３１３は、基板３００の第１面３０５の配線３１２の辺３０４側において、辺３０１から辺３０２に向かいＹ方向に沿って形成された配線パターンである。配線３１３は、例えば、電極３８３を介して入力される印刷データ信号ＳＩを伝搬する。また、配線３１４は、基板３００の第１面３０５の配線３１３の辺３０４側において、辺３０１から辺３０２に向かいＹ方向に沿って形成された配線パターンである。配線３１４は、例えば、電極３８４を介して入力されるチェンジ信号ＣＨを伝搬する。また、配線３１５は、基板３００の第１面３０５の配線３１４の辺３０４側において、辺３０１から辺３０２に向かいＹ方向に沿って形成された配線パターンである。配線３１５は、電極３８５を介して入力されるラッチ信号ＬＡＴを伝搬する。また、配線３１６は、基板３００の第１面３０５の配線３１５の辺３０４側において、辺３０１から辺３０２に向かいＹ方向に沿って形成された配線パターンである。配線３１６は、電極３８６を介して入力されるクロック信号ＳＣＫを伝搬する。
【００８３】
配線３１３〜３１６のそれぞれの配線上には電極１９３〜１９６のそれぞれが形成されている。電極１９３〜１９６のそれぞれは、図６に示すようにバンプ電極２２３〜２２６のそれぞれと電気的に接続される。これにより、印刷データ信号ＳＩ、チェンジ信号ＣＨ、ラッチ信号ＬＡＴ及びクロック信号ＳＣＫが、駆動ＩＣ６２に供給される。ここで、本実施形態において電極１９３〜１９６のそれぞれは、列Ｌ１又はＬ２を形成するＭ個のノズルＮ１又はノズルＮ２に対応して、Ｙ方向に沿ってＭ個ずつ形成されている。また、バンプ電極２２３〜２２６のそれぞれは、電極１９３〜１９６のそれぞれに対応してＭ個ずつ形成されている。
【００８４】
電極３８７は、配線３１７上に形成されている。そして、電極３８７は、配線３１７と接続配線６４とを電気的に接続する。配線３１７は、基板３００の第１面３０５であって配線３１６の辺３０４側において、辺３０１から辺３０２に向かうＹ方向に沿って形成された配線パターンである。電極３８７には、低電圧信号ＶＤＤが供給される。配線３１７は、電極３８７を介して入力される低電圧信号ＶＤＤを伝搬する。また、配線３１７上には電極１９７が形成されている。電極１９７は、図６に示すようにバンプ電極２２７と電気的に接続される。これにより、電極３８７を介して供給された低電圧信号ＶＤＤは、配線３１７で伝搬されたのち、バンプ電極２２７を介して駆動ＩＣ６２に供給される。ここで、本実施形態において電極１９７は、列Ｌ１又は列Ｌ２を形成するＭ個のノズルＮ１又はノズルＮ２のそれぞれに対応して配線３１７上にＭ個形成されている。また、バンプ電極２２７は、Ｍ個の電極１９７に対応してＭ個設けられる。
【００８５】
電極３８８は、配線３１８上に形成されている。そして、電極３８８は、配線３１８と接続配線６４とを電気的に接続する。配線３１８は、基板３００の第１面３０５であって配線３１７の辺３０４側において、辺３０１から辺３０２に向かうＹ方向に沿って形成された配線パターンである。電極３８８には、駆動信号ＣＯＭＢが供給される。配線３１８は、電極３８８を介して入力される駆動信号ＣＯＭＢを伝搬する。また、配線３１８上には電極１９８が形成されている。電極１９８は、図６に示すようにバンプ電極２２８と電気的に接続される。これにより、電極３８８を介して供給された駆動信号ＣＯＭＢは、配線３１８で伝搬されたのち、バンプ電極２２８を介して駆動ＩＣ６２に供給される。ここで、本実施形態において電極１９８は、列Ｌ２を形成するＭ個のノズルＮ２のそれぞれに対応して配線３１８上にＭ個形成されている。また、バンプ電極２２８は、Ｍ個の電極１９８に対応してＭ個設けられる。
【００８６】
電極３８９は、配線３１９上に形成されている。そして、電極３８９は、配線３１９と接続配線６４とを電気的に接続する。配線３１９は、基板３００の第１面３０５であって配線３１８の辺３０４側において、辺３０１から辺３０２に向かうＹ方向に沿って形成された配線パターンである。電極３８９には、駆動信号ＣＯＭＡが供給される。配線３１９は、電極３８９を介して入力される駆動信号ＣＯＭＡを伝搬する。また、配線３１９上には電極１９９が形成されている。電極１９９は、図６に示すようにバンプ電極２２９と電気的に接続される。これにより、電極３８９を介して供給された駆動信号ＣＯＭＡは、配線３１９で伝搬されたのち、バンプ電極２２９を介して駆動ＩＣ６２に供給される。ここで、本実施形態において電極１９９は、列Ｌ２を形成するＭ個のノズルＮ２のそれぞれに対応して配線３１９上にＭ個形成されている。また、バンプ電極２２９は、Ｍ個の電極１９９に対応してＭ個設けられる。
【００８７】
以上のように、接続配線６４を介してインターポーザー基板３８に入力される駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢ、高電圧信号ＶＨＶ、低電圧信号ＶＤＤ、印刷データ信号ＳＩ、チェンジ信号ＣＨ、ラッチ信号ＬＡＴ及びクロック信号ＳＣＫが駆動ＩＣ６２に供給される。なお、インターポーザー基板３８と駆動ＩＣ６２とを接続する電極１９０〜１９９、バンプ電極２２０〜２２９は、列Ｌ１及び列Ｌ２を形成するノズルＮ１又はＮ２の数と一致していなくてもよい。すなわち、インターポーザー基板３８に設けられる電極１９０〜１９９、及びバンプ電極２２０〜２２９の数は、Ｍ個以上であってもよく、Ｍ個未満であってもよい。
【００８８】
電極３９２は、配線３９０上に形成されている。そして、電極３９２は、配線３９０と接続配線６４とを電気的に接続する。配線３９０は、基板３００の第１面３０５に形成された配線３１４と配線３１５の間であって、辺３０１側に形成されている。電極３９２には、基準電圧信号ＶＢＳが供給される。配線３９０には、基板３００を貫通し、配線３９０と電気的に接続する貫通配線３９１が形成されている。
【００８９】
図９に示すように貫通配線３９１は、第２面３０６に形成された配線５９０と電気的に接続する。すなわち、貫通配線３９１は、基板３００を貫通し、配線３９０と配線５９０とを電気的に接続する。これにより、電極３９２を介して入力された基準電圧信号ＶＢＳは、配線３９０及び貫通配線３９１を介して配線５９０で伝搬される。配線５９０上には電極１５３が形成されている。電極１５３上には、バンプ電極１４３が設けられている。そして、図６に示すようにバンプ電極１４３は、振動基板３６に設けられた圧電素子６０の上電極層１３９と電気的に接続する。これにより、基準電圧信号ＶＢＳは、電極１５３及びバンプ電極１４３を介して圧電素子６０に供給される。
【００９０】
図８に示すように、基板３００の第１面３０５であって配線３１０の辺３０３側には、電極１７１が形成されている。電極１７１には、駆動ＩＣ６２からノズルＮ１に対応する圧電素子６０に供給される駆動信号ＶＯＵＴが出力される。また、電極１７１の辺３０３側には、基板３００を貫通し、電極１７１と電気的に接続される貫通配線１７３が形成されている。そして、図９に示すように貫通配線１７３は、第２面３０６において電極１５１と電気的に接続される。また、電極１５１には、バンプ電極１４１が設けられている。そして、図６に示すようにバンプ電極１４１は、振動基板３６に設けられた圧電素子６０のうち、列Ｌ１を形成するノズルＮ１の下電極層１３７と電気的に接続する。これにより、駆動信号ＶＯＵＴは、電極１５１及びバンプ電極１４１を介して圧電素子６０に供給される。
【００９１】
図８に示すように、基板３００の第１面３０５であって配線３１９の辺３０４側には、電極１７２が形成されている。電極１７２には、駆動ＩＣ６２からノズルＮ２に対応する圧電素子６０に供給される駆動信号ＶＯＵＴが出力される。また、電極１７２の辺３０４側には、基板３００を貫通し、電極１７２と電気的に接続される貫通配線１７４が形成されている。そして、図９に示すように貫通配線１７４は、第２面３０６において電極１５２と電気的に接続される。また、電極１５２には、バンプ電極１４２が設けられている。そして、図６に示すようにバンプ電極１４２は、振動基板３６に設けられた圧電素子６０のうち、列Ｌ２を形成するノズルＮ２の下電極層１３７と電気的に接続する。これにより、駆動信号ＶＯＵＴは、電極１５２及びバンプ電極１４２を介して圧電素子６０に供給される。
【００９２】
図１０に示すように、アクチュエーター基板３５は、振動基板３６を含む。振動基板３６には、列Ｌ１を形成するノズルＮ１に対応する下電極層１３７及び圧電体層１３８と、列Ｌ２を形成するノズルＮ２に対応する下電極層１３７及び圧電体層１３８と、列Ｌ１及び列Ｌ２に共通して設けられる上電極層１３９と、の組が、列Ｌ１形成するＭ個のノズルＮ１に対応して、Ｙ方向に沿ってＭ組形成されている。すなわち、図８及び図９に示すように、インターポーザー基板３８において、電極１５１，１５２，１５３、バンプ電極１４１，１４２，１４３は、それぞれＭ個形成されている。
【００９３】
これにより、列Ｌ１を形成するノズルＮ１に対応するＭ個の圧電素子６０、及び列Ｌ２を形成するノズルＮ２に対応するＭ個の圧電素子６０のそれぞれに対して、対応する駆動信号ＶＯＵＴ及び基準電圧信号ＶＢＳが供給される。
【００９４】
辺３０１から辺３０２に向かうＹ方向に沿ってＭ個設けられた電極１７１のうち、最も辺３０１側に設けられた電極１７１−１は、配線３４０と電気的に接続する。配線３４０は、Ｙ方向に沿って辺３０１側から辺３０２側に向かって形成されている。そして、配線３４０は、電極１７１−Ｍの辺３０２側に設けられた電極３３０と電気的に接続する。
【００９５】
図６、図８〜図１０に示すように、電極１７１−１は駆動ＩＣ６２と電気的に接続される。これにより、電極１７１−１には、駆動ＩＣ６２から駆動信号ＶＯＵＴが入力される。電極１７１−１に入力された駆動信号ＶＯＵＴは、貫通配線１７３−１、電極１５１−１及びバンプ電極１４１−１を介して列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−１に供給される。したがって、電極１７１−１と電気的に接続する電極３３０には、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。以上のように設けられた電極３３０は、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を行うための検査用電極として機能する。
【００９６】
ここで、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−１が第１駆動素子の一例であり、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴが第１信号の一例であり、当該駆動信号ＶＯＵＴがインターポーザー基板３８に入力される電極１７１−１が第１電極の一例であり、当該電極１７１−１と電気的に接続される電極３３０が第３電極の一例である。
【００９７】
Ｍ個設けられた電極１７１のうち、最も辺３０２側であって、辺３０１側からＭ番目に設けられた電極１７１−Ｍは、配線３４２と電気的に接続する。配線３４２は、Ｙ方向に沿って辺３０１側から辺３０２側に向かって形成されている。そして、配線３４２は、電極３３０の辺３０２側に設けられた電極３３２と電気的に接続する。
【００９８】
図６、図８〜図１０に示すように、電極１７１−Ｍは駆動ＩＣ６２と電気的に接続される。これにより、電極１７１−Ｍには、駆動ＩＣ６２から駆動信号ＶＯＵＴが入力される。電極１７１−Ｍに入力された駆動信号ＶＯＵＴは、貫通配線１７３−Ｍ、電極１５１−Ｍ及びバンプ電極１４１−Ｍを介して列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される。したがって、電極１７１−Ｍと電気的に接続する電極３３２には、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。以上のように設けられた電極３３２は、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を行うための検査用電極として機能する。
【００９９】
ここで、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−Ｍが第２駆動素子の一例であり、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴが第２信号の一例であり、当該駆動信号ＶＯＵＴがインターポーザー基板３８に入力される電極１７１−Ｍが第２電極の一例であり、当該電極１７１−Ｍと電気的に接続される電極３３２が第４電極の一例である。
【０１００】
Ｍ個設けられた電極１７１のうち、辺３０１側からｉ番目（ｉは２〜Ｍ−１のいずれか）に設けられた電極１７１−ｉは、配線３４１と電気的に接続する。配線３４１は、Ｙ方向に沿って辺３０１側から辺３０２側に向かって形成されている。そして、配線３４１は、電極３３０と電極３３２との間に設けられた電極３３１と電気的に接続する。
【０１０１】
図６、図８〜図１０に示すように、電極１７１−ｉは駆動ＩＣ６２と電気的に接続される。これにより、電極１７１−ｉには、駆動ＩＣ６２から駆動信号ＶＯＵＴが入力される。電極１７１−ｉに入力された駆動信号ＶＯＵＴは、貫通配線１７３−ｉ、電極１５１−ｉ及びバンプ電極１４１−ｉを介して列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−ｉに供給される。したがって、電極１７１−ｉと電気的に接続する電極３３１には、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−ｉに供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。以上のように設けられた電極３３１は、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−ｉに供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を行うための検査用電極として機能する。
【０１０２】
ここで、電極１７１−１，１７１−ｉ，１７１−Ｍ、電極３３０，３３１，３３２は、
辺３０１から辺３０２に向かう方向において、電極１７１−１，１７１−ｉ，１７１−Ｍ，３３０，３３１，３３２の順に設けられる。すなわち、辺３０３に沿ったＹ方向において、電極１７１−１と電極３３１との間に電極１７１−Ｍが位置し、電極１７１−Ｍと電極３３３との間に電極３３１が位置する。これにより、電極１７１−１と電極３３０とを電気的に接続する配線３４０と、電極１７１−ｉと電極３３１とを電気的に接続する配線３４１と、電極１７１−Ｍと電極３３２とを電気的に接続する配線３４２との配線長のばらつきを低減することが可能となる。したがって、配線３４０，３４１，３４２の配線抵抗のばらつきが低減し、当該配線抵抗のばらつきに起因して、電極３３０，３３１，３３２のそれぞれに供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形にばらつきが生じることが低減される。よって、圧電素子６０に供給される駆動信号ＶＯＵＴの検査精度を高めることが可能となる。
【０１０３】
辺３０１から辺３０２に向かうＹ方向に沿ってＭ個設けられた電極１７２のうち、最も辺３０１側に設けられた電極１７２−１は、配線３４９と電気的に接続する。配線３４９は、Ｙ方向に沿って辺３０１側から辺３０２側に向かって形成されている。そして、配線３４９は、電極１７２−Ｍの辺３０２側に設けられた電極３３９と電気的に接続する。
【０１０４】
図６、図８〜図１０に示すように、電極１７２−１は駆動ＩＣ６２と電気的に接続される。これにより、電極１７２−１には、駆動ＩＣ６２から駆動信号ＶＯＵＴが入力される。電極１７２−１に入力された駆動信号ＶＯＵＴは、貫通配線１７４−１、電極１５２−１及びバンプ電極１４２−１を介して列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−１に供給される。したがって、電極１７２−１と電気的に接続する電極３３９には、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。以上のように設けられた電極３３９は、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を行うための検査用電極として機能する。
【０１０５】
ここで、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−１が第１駆動素子の他の一例であり、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴが第１信号の他の一例であり、当該駆動信号ＶＯＵＴがインターポーザー基板３８に入力される電極１７２−１が第１電極の他の一例であり、当該電極１７２−１と電気的に接続される電極３３９が第３電極の他の一例である。
【０１０６】
Ｍ個設けられた電極１７２のうち、最も辺３０２側であって、辺３０１側からＭ番目に設けられた電極１７２−Ｍは、配線３４７と電気的に接続する。配線３４７は、Ｙ方向に沿って辺３０１側から辺３０２側に向かって形成されている。そして、配線３４７は、電極３３９の辺３０２側に設けられた電極３３７と電気的に接続する。
【０１０７】
図６、図８〜図１０に示すように、電極１７２−Ｍは駆動ＩＣ６２と電気的に接続される。これにより、電極１７２−Ｍには、駆動ＩＣ６２から駆動信号ＶＯＵＴが入力される。電極１７２−Ｍに入力された駆動信号ＶＯＵＴは、貫通配線１７４−Ｍ、電極１５２−Ｍ及びバンプ電極１４２−Ｍを介して列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される。したがって、電極１７２−Ｍと電気的に接続する電極３３７には、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。以上のように設けられた電極３３７は、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を行うための検査用電極として機能する。
【０１０８】
ここで、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−Ｍが第２駆動素子の他の一例であり、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴが第２信号の他の一例であり、当該駆動信号ＶＯＵＴがインターポーザー基板３８に入力される電極１７２−Ｍが第２電極の他の一例であり、当該電極１７２−Ｍと電気的に接続される電極３３７が第４電極の他の一例である。
【０１０９】
Ｍ個設けられた電極１７２のうち、辺３０１側からｉ番目（ｉは２〜Ｍ−１のいずれか）に設けられた電極１７２−ｉは、配線３４８と電気的に接続する。配線３４８は、Ｙ方向に沿って辺３０１側から辺３０２側に向かって形成されている。そして、配線３４８は、電極３３７と電極３３９との間に設けられた電極３３８と電気的に接続する。
【０１１０】
図６、図８〜図１０に示すように、電極１７２−ｉは駆動ＩＣ６２と電気的に接続される。これにより、電極１７２−ｉには、駆動ＩＣ６２から駆動信号ＶＯＵＴが入力される。電極１７２−ｉに入力された駆動信号ＶＯＵＴは、貫通配線１７４−ｉ、電極１５２−ｉ及びバンプ電極１４２−ｉを介して列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−ｉに供給される。したがって、電極１７２−ｉと電気的に接続する電極３３８には、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−ｉに供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。以上のように設けられた電極３３８は、圧電素子６０−ｉに供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を行うための検査用電極として機能する。
【０１１１】
ここで、電極１７２−１，１７２−ｉ，１７２−Ｍ、電極３３７，３３８，３３９は、
辺３０１から辺３０２に向かう方向において、電極１７２−１，１７２−ｉ，１７２−Ｍ，３３９，３３８，３３７の順に設けられる。すなわち、辺３０３に沿ったＹ方向において、電極１７２−１と電極３３９との間に、電極１７２−Ｍが位置し、電極１７２−Ｍと電極３３７との間に、電極３３９が位置する。これにより、電極１７２−１と電極３３９とを電気的に接続する配線３４９と、電極１７２−ｉと電極３３８とを電気的に接続する配線３４８と、電極１７２−Ｍと電極３３７とを電気的に接続する配線３４７との配線長のばらつきを低減することが可能となる。したがって、配線３４７，３４８，３４９の配線抵抗のばらつきにより、電極３３７，３３８，３３９のそれぞれに供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形にばらつきが生じることを低減することができる。よって、圧電素子６０に供給される駆動信号ＶＯＵＴの検査精度を高めることが可能となる。
【０１１２】
接続配線６４から電極３８０を介して入力される駆動信号ＣＯＭＡを伝搬し、当該駆動信号ＣＯＭＡを、電極１９０を介して駆動ＩＣ６２に出力する配線３１０には、配線３４３を介して電極３３３が電気的に接続される。具体的には、配線３４３は、配線３１０の辺３０２側と電気的に接続される。そして、配線３４３は、Ｙ方向に沿って辺３０１側から辺３０２側に向かって形成されている。
【０１１３】
電極３３３は、配線３１０の辺３０２側に位置する。また、電極３３３は、辺３０３に沿って設けられる電極３３０，３３１，３３２よりも辺３０４側であって、辺３０４に沿って設けられる電極３３７，３３８，３３９よりも辺３０３側に設けられる。換言すれば、電極３３３と辺３０３との距離は、電極３３０と辺３０３との距離よりも長く、電極３３３と辺３０４との距離は、電極３３９と辺３０４との距離よりも長い。
【０１１４】
接続配線６４から電極３８１を介して入力される駆動信号ＣＯＭＢを伝搬し、当該駆動信号ＣＯＭＢを、電極１９１を介して駆動ＩＣ６２に出力する配線３１１には、配線３４４を介して電極３３４が電気的に接続される。具体的には、配線３４４は、配線３１１の辺３０２側と電気的に接続される。そして、配線３４４は、Ｙ方向に沿って辺３０１側から辺３０２側に向かって形成されている。
【０１１５】
電極３３４は、配線３１０の辺３０２側に位置する。また、電極３３４は、辺３０３に沿って設けられる電極３３０，３３１，３３２よりも辺３０４側であって、辺３０４に沿って設けられる電極３３７，３３８，３３９よりも辺３０３側に設けられる。換言すれば、電極３３４と辺３０３との距離は、電極３３０と辺３０３との距離よりも長く、電極３３４と辺３０４との距離は、電極３３９と辺３０４との距離よりも長い。
【０１１６】
接続配線６４から電極３８８を介して入力される駆動信号ＣＯＭＢを伝搬し、当該駆動信号ＣＯＭＢを、電極１９８を介して駆動ＩＣ６２に出力する配線３１８には、配線３４５を介して電極３３５が電気的に接続される。具体的には、配線３４５は、配線３１８の辺３０２側と電気的に接続される。そして、配線３４５は、Ｙ方向に沿って辺３０１側から辺３０２側に向かって形成されている。
【０１１７】
電極３３５は、配線３１８の辺３０２側に位置する。また、電極３３５は、辺３０３に沿って設けられる電極３３０，３３１，３３２よりも辺３０４側であって、辺３０４に沿って設けられる電極３３７，３３８，３３９よりも辺３０３側に設けられる。換言すれば、電極３３５と辺３０３との距離は、電極３３０と辺３０３との距離よりも長く、電極３３５と辺３０４との距離は、電極３３９と辺３０４との距離よりも長い。
【０１１８】
接続配線６４から電極３８９を介して入力される駆動信号ＣＯＭＡを伝搬し、当該駆動信号ＣＯＭＡを、電極１９９を介して駆動ＩＣ６２に出力する配線３１９には、配線３４６を介して電極３３６が電気的に接続される。具体的には、配線３４６は、配線３１９の辺３０２側と電気的に接続される。そして、配線３４６は、Ｙ方向に沿って辺３０１側から辺３０２側に向かって形成されている。
【０１１９】
電極３３６は、配線３１９の辺３０２側に位置する。また、電極３３６は、辺３０３に沿って設けられる電極３３０，３３１，３３２よりも辺３０４側であって、辺３０４に沿って設けられる電極３３７，３３８，３３９よりも辺３０３側に設けられる。換言すれば、電極３３６と辺３０３との距離は、電極３３０と辺３０３との距離よりも長く、電極３３６と辺３０４との距離は、電極３３９と辺３０４との距離よりも長い。
【０１２０】
以上のように設けられた電極３３３〜３３６は、駆動ＩＣ６２に入力される駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢの信号波形の検査・確認を、駆動ＩＣ６２に入力される前に行う検査用電極として機能する。駆動信号ＶＯＵＴの基となる駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢの信号波形を駆動ＩＣ６２に入力される前において検査・確認することで、仮に駆動信号ＶＯＵＴの信号波形に歪み等の異常が生じた場合に、当該歪みが駆動ＩＣ６２に起因して生じているのか否かを検査することが可能となる。したがって、当該検査結果に基づいて、駆動信号ＶＯＵＴの信号波形に生じた歪みを低減する対策を行うことが可能となり、よって、圧電素子６０に供給される駆動信号ＶＯＵＴの検査精度を高めることが可能となる。
【０１２１】
ここで、駆動信号ＶＯＵＴの基となる駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢのいずれかが第３信号の一例であり、電極１９０，１９１，１９８，１９９のいずれかが第５電極の一例であり、電極３３３〜３３６のいずれかが第６電極の一例である。
【０１２２】
以上のように設けられた電極３３０〜３３９は、インターポーザー基板３８を平面視である第１面３０５から見た場合において、インターポーザー基板３８に実装される駆動ＩＣ６２と重ならない位置に設けられることが好ましい。電極３３０〜３３９と、駆動ＩＣ６２と重ならない位置に設けることにより、駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を容易に行うことができる。
【０１２３】
以上の説明において、配線３４０と電気的に接続される電極１７１を、インターポーザー基板３８の最も辺３０１側に設けられた電極１７１−１として説明し、また、配線３４２と電気的に接続される電極１７１を、インターポーザー基板３８の最も辺３０２側に設けられた電極１７１−Ｍとして説明したが、これに限るものではない。例えば、配線３４０と電気的に接続される電極１７１を辺３０１からｊ番目の電極１７１−ｊ、配線３４２と電気的に接続される電極１７１を辺３０１からｋ番目の電極１７１−ｋとしてもよく、この場合において、１≦ｊ＜ｋ≦Ｍの関係を満たせばよい。
【０１２４】
２  第２実施形態
次に、第２実施形態の液体吐出装置１、液体吐出ヘッド２１、及び配線基板であるアクチュエーター基板３５について説明する。なお、第２実施形態の液体吐出装置１を説明するにあたり、第１実施形態と同様の構成については同じ符号を付し、その説明を省略する。第２実施形態における液体吐出ヘッド２１では、駆動信号ＶＯＵＴの信号波形を確認するための検査用電極が振動基板３６に設けられている点で第１実施形態と異なる。すなわち、第２実施形態における液体吐出ヘッド２１では、振動基板３６と、振動基板３６にも設けられた複数の検出電極とを含むアクチュエーター基板３５が、配線基板の他の一例である。
【０１２５】
第２実施形態におけるインターポーザー基板３８及びアクチュエーター基板３５の構成を図１１〜図１３を用いて説明する。図１１は、インターポーザー基板３８を面Ｇ２から見た場合の構成を示す平面図である。図１１には、インターポーザー基板３８に実装される駆動ＩＣ６２を１点鎖線で示している。図１２は、インターポーザー基板３８を面Ｇ１から見た場合の構成を示す平面図である。図１３は、アクチュエーター基板３５のインターポーザー基板３８側の面であって、圧電素子６０が形成される面を示す平面図である。図１３には、アクチュエーター基板３５と電気的接続されるインターポーザー基板３８を破線で示している。
【０１２６】
図１３に示すように、アクチュエーター基板３５は、振動基板３６と、複数の圧電素子６０と、複数の検査用電極とを含む。振動基板３６は、辺６０１と、辺６０１と対向する辺６０２と、辺６０１よりも長い辺６０３と、辺６０３に対向する辺６０４とで形成される略矩形状である。ここで、辺６０１又は辺６０２が第１辺の一例であり、辺６０３又は辺６０４が第２辺の一例である。
【０１２７】
図１１に示すように、インターポーザー基板３８には、電極３８０〜３８９，３９２を介して、駆動信号ＣＯＭＡ，ＣＯＭＢ、印刷データ信号ＳＩ、チェンジ信号ＣＨ、ラッチ信号ＬＡＴ及びクロック信号ＳＣＫが入力される。そして、入力された各種信号は、電極１９０〜１９９を介して駆動ＩＣ６２に入力される。駆動ＩＣ６２は、入力された各種信号に基づいて列Ｌ１に含まれるＭ個の圧電素子６０及び列Ｌ２に含まれるＭ個の圧電素子６０のそれぞれに対応する複数の駆動信号ＶＯＵＴを出力する。
【０１２８】
図１１〜図１３に示すように、駆動ＩＣ６２から出力された駆動信号ＶＯＵＴは、インターポーザー基板３８に設けられた電極１７１−１〜１７１−Ｍ、貫通配線１７３−１〜１７３−Ｍ、電極１５１−１〜１５１−Ｍ及びバンプ電極１４１−１〜１４１−Ｍを介して、振動基板３６に形成された圧電素子６０−１〜６０−Ｍに含まれる下電極層１３７−１〜１３７−Ｍに供給される。そして、圧電素子６０−１〜６０−Ｍのそれぞれは、入力される駆動信号ＶＯＵＴに基づいて駆動する。
【０１２９】
図１３に示すように、振動基板３６において辺６０１から辺６０２に向かうＹ方向に沿ってＭ個設けられた列Ｌ１に含まれる圧電素子６０のうち、最も辺６０１側に設けられた圧電素子６０−１に含まれる下電極層１３７−１は、配線６４０と電気的に接続する。配線６４０は、Ｙ方向に沿って辺６０１側から辺６０２側に向かって形成されている。そして、配線６４０は、列Ｌ１の辺６０２側に設けられた電極６３０と電気的に接続する。
【０１３０】
上述のとおり、下電極層１３７−１には、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。したがって、下電極層１３７−１と電気的に接続する電極６３０には、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。以上のように設けられた電極６３０は、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を行うための検査用電極として機能する。
【０１３１】
ここで、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−１が第２実施形態における第１駆動素子の一例であり、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴが第２実施形態における第１信号の一例であり、当該駆動信号ＶＯＵＴが振動基板３６に入力される下電極層１３７−１が第１電極の一例であり、当該下電極層１３７−１と電気的に接続される電極６３０が第３電極の一例である。
【０１３２】
Ｍ個設けられた列Ｌ１に含まれる圧電素子６０のうち、最も辺６０２側であって、辺６０１側からＭ番目に設けられた圧電素子６０−Ｍに含まれる下電極層１３７−Ｍは、配線６４２と電気的に接続する。配線６４２は、Ｙ方向に沿って辺６０１側から辺６０２側に向かって形成されている。そして、配線６４２は、電極６３０の辺６０２側に設けられた電極６３２と電気的に接続する。
【０１３３】
上述のとおり、下電極層１３７−Ｍには、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。したがって、下電極層１３７−Ｍと電気的に接続する電極６３２には、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。以上のように設けられた電極６３２は、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を行うための検査用電極として機能する。
【０１３４】
ここで、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−Ｍが第２実施形態における第２駆動素子の一例であり、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴが第２実施形態における第２信号の一例であり、当該駆動信号ＶＯＵＴが振動基板３６に入力される下電極層１３７−Ｍが第２電極の一例であり、当該下電極層１３７−Ｍと電気的に接続される電極６３２が第４電極の一例である。
【０１３５】
Ｍ個設けられた列Ｌ１に含まれる圧電素子６０のうち、辺６０１側からｉ番目（ｉは２〜Ｍ−１のいずれか）に設けられた下電極層１３７−ｉは、配線６４１と電気的に接続する。配線６４１は、Ｙ方向に沿って辺６０１側から辺６０２側に向かって形成されている。そして、配線６４１は、電極６３０と電極６３２との間に設けられた電極６３１と電気的に接続する。
【０１３６】
上述のとおり、下電極層１３７−ｉには、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−ｉに供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。したがって、下電極層１３７−ｉと電気的に接続する電極６３１には、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−ｉに供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。以上のように設けられた電極６３１は、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−ｉに供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を行うための検査用電極として機能する。
【０１３７】
振動基板３６において辺６０１から辺６０２に向かうＹ方向に沿ってＭ個設けられた列Ｌ２に含まれる圧電素子６０のうち、最も辺６０１側に設けられた圧電素子６０−１に含まれる下電極層１３７−１は、配線６４９と電気的に接続する。配線６４９は、Ｙ方向に沿って辺６０１側から辺６０２側に向かって形成されている。そして、配線６４９は、列Ｌ１の辺６０２側に設けられた電極６３９と電気的に接続する。
【０１３８】
上述のとおり、下電極層１３７−１には、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。したがって、下電極層１３７−１と電気的に接続する電極６３９には、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。以上のように設けられた電極６３９は、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を行うための検査用電極として機能する。
【０１３９】
ここで、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−１が第２実施形態における第１駆動素子の他の一例であり、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−１に供給される駆動信号ＶＯＵＴが第２実施形態における第１信号の他の一例であり、当該駆動信号ＶＯＵＴが振動基板３６に入力される下電極層１３７−１が第１電極の他の一例であり、当該下電極層１３７−１と電気的に接続される電極６３９が第３電極の他の一例である。
【０１４０】
Ｍ個設けられた列Ｌ２に含まれる圧電素子６０のうち、最も辺６０２側であって、辺６０１側からＭ番目に設けられた圧電素子６０−Ｍに含まれる下電極層１３７−Ｍは、配線６４７と電気的に接続する。配線６４７は、Ｙ方向に沿って辺６０１側から辺６０２側に向かって形成されている。そして、配線６４７は、電極６３０の辺６０２側に設けられた電極６３７と電気的に接続する。
【０１４１】
上述のとおり、下電極層１３７−Ｍには、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。したがって、下電極層１３７−Ｍと電気的に接続する電極６３７には、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。以上のように設けられた電極６３７は、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を行うための検査用電極として機能する。
【０１４２】
ここで、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−Ｍが第２実施形態における第２駆動素子の他の一例であり、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−Ｍに供給される駆動信号ＶＯＵＴが第２実施形態における第２信号の他の一例であり、当該駆動信号ＶＯＵＴが振動基板３６に入力される下電極層１３７−Ｍが第２電極の他の一例であり、当該下電極層１３７−Ｍと電気的に接続される電極６３７が第４電極の他の一例である。
【０１４３】
Ｍ個設けられた列Ｌ２に含まれる圧電素子６０のうち、辺６０１側からｉ番目（ｉは２〜Ｍ−１のいずれか）に設けられた下電極層１３７−ｉは、配線６４８と電気的に接続する。配線６４８は、Ｙ方向に沿って辺６０１側から辺６０２側に向かって形成されている。そして、配線６４８は、電極６３９と電極６３７との間に設けられた電極６３８と電気的に接続する。
【０１４４】
上述のとおり、下電極層１３７−ｉには、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−ｉに供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。したがって、下電極層１３７−ｉと電気的に接続する電極６３８には、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−ｉに供給される駆動信号ＶＯＵＴが供給される。以上のように設けられた電極６３８は、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−ｉに供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を行うための検査用電極として機能する。
【０１４５】
以上のように、列Ｌ１に含まれる圧電素子６０−ｉに含まれる下電極層１３７−１，１３７−ｉ，１３７−Ｍ、電極６３０，６３１，６３２は、辺６０１から辺６０２に向かう方向において、下電極層１３７−１，１３７−ｉ，１３７−Ｍ、電極６３０，６３１，６３２の順に設けられる。これにより、下電極層１３７−１と電極６３０とを電気的に接続する配線６４０と、下電極層１３７−ｉと電極６３１とを電気的に接続する配線６４１と、下電極層１３７−Ｍと電極６３２とを電気的に接続する配線６４２との配線長のばらつきを低減することが可能となる。したがって、第１実施形態と同様に、配線６４０，６４１，６４２の配線抵抗のばらつきが低減し、当該配線抵抗のばらつきに起因して、電極６３０，６３１，６３２のそれぞれに供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形にばらつきが生じることが低減される。よって、第１実施形態と同様に複数の圧電素子６０に供給される駆動信号ＶＯＵＴの検査精度を高めることが可能となる。
【０１４６】
同様に、列Ｌ２に含まれる圧電素子６０−ｉに含まれる下電極層１３７−１，１３７−ｉ，１３７−Ｍ、電極６３７，６３８，６３９は、辺６０１から辺６０２に向かう方向において、下電極層１３７−１，１３７−ｉ，１３７−Ｍ、電極６３９，６３８，６３７の順に設けられる。これにより、下電極層１３７−１と電極６３９とを電気的に接続する配線６４９と、下電極層１３７−ｉと電極６３８とを電気的に接続する配線６４８と、下電極層１３７−Ｍと電極６３７とを電気的に接続する配線６４７との配線長のばらつきを低減することが可能となる。したがって、第１実施形態と同様に、配線６４７，６４８，６４９の配線抵抗のばらつきが低減し、当該配線抵抗のばらつきに起因して、電極６３７，６３８，６３９のそれぞれに供給される駆動信号ＶＯＵＴの信号波形にばらつきが生じることが低減される。よって、第１実施形態と同様に複数の圧電素子６０に供給される駆動信号ＶＯＵＴの検査精度を高めることが可能となる。
【０１４７】
また、以上のように設けられた電極６３０〜６３２，６３７〜３３９は、振動基板３６を平面視した場合において、振動基板３６に実装されるインターポーザー基板３８と重ならない位置に設けられることが好ましい。電極６３０〜６３２，６３７〜３３９とインターポーザー基板３８とを重ならない位置に設けることで、駆動信号ＶＯＵＴの信号波形の検査・確認を容易に行うことができる。
【符号の説明】
【０１４８】
１…液体吐出装置、２…液体容器、１０…制御ユニット、２０…ヘッドユニット、２１…液体吐出ヘッド、２２…キャリッジ、３１…流路、３２…流路基板、３３…流路、３４…圧力室基板、３５…アクチュエーター基板、３６…振動基板、３７…開口、３８…インターポーザー基板、３９…流路、４０…筐体部、４２…凹部、４３…導入口、４５…収容空間、５０ａ…駆動回路、５０ｂ…駆動回路、５１…基準電圧生成回路、５２…ノズル板、５３…電源電圧生成回路、５４…吸振体、６０…圧電素子、６２…駆動ＩＣ、６４…接続配線、６５…接続配線領域、７０…搬送ユニット、７１…搬送モーター、７２…搬送ローラー、８０…移動ユニット、８１…キャリッジモーター、８２…無端ベルト、１００…制御回路、１３７…下電極層、１３８…圧電体層、１３９…上電極層、１４１，１４２，１４３…バンプ電極、１５１，１５２，１５３，１７１，１７２…電極、１７３，１７４…貫通配線、１９０，１９１，１９２，１９３，１９４，１９５，１９６，１９７，１９８，１９９…電極、２００…駆動信号選択回路、２０１，２０２…バンプ電極、２１１，２１２…電極、２２０，２２１，２２２，２２３，２２４，２２５，２２６，２２７，２２８，２２９…バンプ電極、２３０，２３１，２３２，２３３，２３４，２３５，２３６，２３７，２３８，２３９…電極、２４０…バンプ電極、２４１…コア部、３００…基板、３０１，３０２，３０３，３０４…辺、３０５…第１面、３０６…第２面、３１０，３１１，３１２，３１３，３１４，３１５，３１６，３１７，３１８，３１９…配線、３３０，３３１，３３２，３３３，３３４，３３５，３３６，３３７，３３８，３３９…電極、３４０，３４１，３４２，３４３，３４４，３４５，３４６，３４７，３４８，３４９…配線、３８０，３８１，３８２，３８３，３８４，３８５，３８６，３８７，３８８，３８９…電極、３９０…配線、３９１…貫通配線、３９２…電極、５９０…配線、６００…吐出部、６０１，６０２，６０３，６０４…辺、６３０，６３１，６３２，６３７，６３８，６３９…電極、６４０，６４１，６４２，６４７，６４８，６４９…配線、Ｐ…媒体、Ｑ…リザーバー、ＲＡ，ＲＢ…流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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