(57)【要約】【課題】  様々な曲率の曲がり穴を形成することが可能であるとともに、高精度で加工を行うことができる放電加工装置を提案する。【解決手段】  放電加工装置であって、ベース部材と、放電電極と、前記ベース部材と前記放電電極とを接続している板バネと、前記板バネの第１幅広面に対向して配置されており、前記板バネに沿って伸びており、前記放電電極に接続されている第１ワイヤと、前記板バネの前記第１幅広面の裏面である第２幅広面に対向して配置されており、前記板バネに沿って伸びており、前記放電電極に接続されている第２ワイヤと、前記第１ワイヤと前記第２ワイヤの張力を変化させることで、前記板バネを曲げる駆動装置を有している。【選択図】図２
2019217606.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電加工装置であって、
ベース部材と、
放電電極と、
前記ベース部材と前記放電電極とを接続している板バネと、
前記板バネの第１幅広面に対向して配置されており、前記板バネに沿って伸びており、前記放電電極に接続されている第１ワイヤと、
前記板バネの前記第１幅広面の裏面である第２幅広面に対向して配置されており、前記板バネに沿って伸びており、前記放電電極に接続されている第２ワイヤと、
前記第１ワイヤと前記第２ワイヤの張力を変化させることで、前記板バネを曲げる駆動装置、
を有している放電加工装置。
【請求項２】
前記駆動装置が、前記第１ワイヤと前記第２ワイヤの張力を周期的に変化させることによって前記放電電極を振動させる振動動作を実行可能である請求項１の放電加工装置。
【請求項３】
前記ベース部材から下方向に伸びる第１コイルばねをさらに有し、
前記板バネ、前記第１ワイヤ、及び、前記第２ワイヤが、前記第１コイルばねの内部に配置されている請求項１または２の放電加工装置。
【請求項４】
前記ベース部材から下方向に伸びる第２コイルばねをさらに有し、
前記板バネ、前記第１ワイヤ、前記第２ワイヤ、及び、前記第１コイルばねが、前記第２コイルばねの内部に配置されている請求項３の放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書に開示の技術は、放電加工装置に関する。
【０００２】
特許文献１に開示の放電加工装置は、ベース部材と、電極送り部材と、放電電極と、ワイヤを有している。電極送り部材は、ベース部材から下方向に伸びている。放電電極は、電極送り部材の下端に接続されている。電極送り部材は、多数の関節部品を連結した構造を備えている。ワイヤには、バネによって張力を付与することができる。バネがワイヤを引っ張ると、電極送り部材の各関節部品が回動する。各関節部品が回動することで、電極送り部材が、直線形状から屈曲形状に変化する。この放電加工装置の使用時には、金属製のワーク（加工対象物）と放電電極との間で放電を生じさせながら電極送り部材によって放電電極をワークの内部に移動させることで、ワークに穴を形成する。穴を形成する工程の間にワイヤに張力を付与すると、電極送り部材が屈曲し、ワークに曲がり穴を形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−３１５０５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の放電加工装置では、電極送り部材の関節の回転角が一定であるため、電極送り部材が曲がるときの曲率が一定である。このため、特許文献１の放電加工装置では、一定の曲率の曲がり穴しか形成することがでない。
【０００５】
これに対し、本願発明者らは、関節型の電極送り部材に代えてコイルバネを用いた放電加工装置を考案した。この放電加工装置では、放電電極とベース部材とがコイルバネによって接続されている。また、放電電極には、ワイヤが接続されている。ワイヤに張力を付与すると、コイルバネが曲がる。コイルバネが曲がるときの曲率は、ワイヤの張力によって変化させることができる。したがって、この放電加工装置では、様々な曲率の曲がり穴を形成することができる。しかしながら、この放電加工装置では、コイルバネが意図しない方向に曲がり、加工精度が悪くなる場合があった。したがって、本明細書では、様々な曲率の曲がり穴を形成することが可能であるとともに、高精度で加工を行うことができる放電加工装置を提案する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書が開示する放電加工装置は、ベース部材と、放電電極と、前記ベース部材と前記放電電極とを接続している板バネと、第１ワイヤと、第２ワイヤと、駆動装置を有している。前記第１ワイヤは、前記板バネの第１幅広面に対向して配置されており、前記板バネに沿って伸びており、前記放電電極に接続されている。前記第２ワイヤは、前記板バネの前記第１幅広面の裏面である第２幅広面に対向して配置されており、前記板バネに沿って伸びており、前記放電電極に接続されている。前記駆動装置は、前記第１ワイヤと前記第２ワイヤの張力を変化させることで、前記板バネを曲げる。
【０００７】
この放電加工装置では、ベース部材と放電電極とが、板バネによって接続されている。板バネは、その厚み方向に屈曲可能である一方で、その平面方向（板バネの幅広面に平行な方向）には屈曲できない。したがって、平面方向において板バネが意図せず屈曲することがない。また、この放電加工装置では、第１ワイヤが板バネの第１幅広面に対向して配置されており、第２ワイヤが板バネの第２幅広面に対向して配置されている。したがって、第１ワイヤと第２ワイヤの張力によって、板バネの厚み方向における屈曲が制御される。すなわち、第１ワイヤの張力を強くすれば板バネが第１ワイヤ側へ屈曲し、第２ワイヤの張力を強くすれば板バネが第２ワイヤ側へ屈曲する。第１ワイヤと第２ワイヤの張力によって板バネの厚み方向における屈曲を正確に制御することができ、板バネが意図せず厚み方向に屈曲することを防止することができる。このように、板バネの平面方向と板バネの厚み方向のいずれにおいても、意図せず板バネが曲がることを防止することができる。したがって、この放電加工装置によれば、曲がり穴を正確に形成することができる。また、板バネが厚み方向に曲がるときの曲率は、第１ワイヤと第２ワイヤの張力によって変更することができる。したがって、この放電加工装置によれば、様々な曲率の曲がり穴を形成することができる。
【０００８】
上述した放電加工装置においては、前記駆動装置が、前記第１ワイヤと前記第２ワイヤの張力を周期的に変化させることによって前記放電電極を振動させる振動動作を実行可能であってもよい。
【０００９】
放電加工中には、放電電極とワークとの間に適切な隙間が存在している必要がある。放電電極とワークが接触してしまうと、放電が生じず、加工が停止してしまう。上記のように放電電極を振動させれば、放電電極とワークの接触を防止または解消して、好適に放電加工を行うことができる。
【００１０】
上述した放電加工装置は、前記ベース部材から下方向に伸びる第１コイルばねをさらに有していてもよい。前記板バネ、前記第１ワイヤ、及び、前記第２ワイヤが、前記第１コイルばねの内部に配置されていてもよい。
【００１１】
この構成によれば、第１コイルばねの内部に板バネと第１ワイヤと第２ワイヤが配置されているので、板バネが曲がっている状態でも、第１ワイヤと第２ワイヤが板バネに沿っている状態が維持される。このため、板バネの屈曲をより正確に制御することができる。
【００１２】
上述した放電加工装置は、前記ベース部材から下方向に伸びる第２コイルばねをさらに有していてもよい。前記板バネ、前記第１ワイヤ、前記第２ワイヤ、及び、前記第１コイルばねが、前記第２コイルばねの内部に配置されていてもよい。
【００１３】
この構成によれば、第２コイルばねが加工穴の内面に対して摺動し、加工穴内での放電加工装置のがたつきを抑制する。これによって、より高精度な加工が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】放電加工装置の側面図。
【図２】放電加工装置の中心軸を通る位置における断面図。
【図３】板バネと放電電極の拡大図（コイルバネを省略した図）。
【図４】曲がった状態の放電加工装置の側面図。
【図５】放電加工装置による放電加工開始時の説明図。
【図６】放電加工装置によるストレート穴加工の説明図。
【図７】放電加工装置による曲がり穴加工の説明図。
【図８】放電加工装置による曲がり穴加工の説明図。
【図９】コイルバネがない場合の問題点を示す図。
【図１０】キャンセリング動作により形成される凹部を示す断面図。
【図１１】振動動作の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１に示す実施形態の放電加工装置１０は、放電加工によってワークに曲がり穴を形成する。例えば、アルミダイカスト用の金型に冷却水穴を形成することができる。曲がり穴によって冷却水穴を構成することで、冷却水穴を金型の内部に従来よりも自由に配置することが可能となる。これによって、金型の冷却不足を解消し、金型を開いてアルミダイカスト製品を離型するときに、アルミニウムの一部が金型に付着して成形不良となることを抑制することが可能となる。
【００１６】
図１に示すように、放電加工装置１０は、ベース部材２０と、接続部材４０と、放電電極３０を有している。ベース部材２０は、筒状の部材である。ベース部材２０の上端は、図示しない移動装置に固定されている。ベース部材２０は、図示しない移動装置と共に上下に移動することができる。ベース部材２０が上下に移動することで、図１に示す放電加工装置１０全体が上下に移動する。接続部材４０は、複数のバネにより構成されている。接続部材４０の上端は、ベース部材２０の下端に接続されている。接続部材４０の下端は、放電電極３０に接続されている。接続部材４０を介して、放電電極３０がベース部材２０に接続されている。放電電極３０は、球状の金属電極である。放電加工装置１０は、放電電極３０とワークとの間で放電を生じさせることで、ワークを加工する。
【００１７】
図２に示すように、ベース部材２０は、樹脂パイプ２２と、ステンレスパイプ２４と、アダプタ２６を有している。樹脂パイプ２２は、絶縁性の樹脂により構成されている。樹脂パイプ２２は、ベース部材２０の外壁を構成している。ステンレスパイプ２４の外径は、樹脂パイプ２２の内形と略等しい。ステンレスパイプ２４は、樹脂パイプ２２の内部に固定されている。アダプタ２６は、金属部品であり、ステンレスパイプ２４の下端に固定されている。
【００１８】
接続部材４０は、板バネ４２と、金属コイルバネ４４と、樹脂コイルバネ４６を有している。
【００１９】
樹脂コイルバネ４６は、絶縁性の樹脂により構成されたコイルバネである。樹脂コイルバネ４６の上端は、樹脂パイプ２２の下端に接続されている。樹脂コイルバネ４６の下端は、放電電極３０に接続されている。
【００２０】
金属コイルバネ４４は、金属により構成されたコイルバネである。金属コイルバネ４４の外径は、樹脂コイルバネ４６の内径よりも小さい。金属コイルバネ４４は、樹脂コイルバネ４６の内部に配置されている。なお、図１等では、見易さのため、金属コイルバネ４４の図示を省略している。図２に示すように、金属コイルバネ４４の外径は、樹脂パイプ２２の内径と略等しい。金属コイルバネ４４の上端は、樹脂パイプ２２の内部に挿入されており、アダプタ２６に接続されている。金属コイルバネ４４の下端は、放電電極３０に接続されている。
【００２１】
板バネ４２は、金属により構成されている。板バネ４２は、金属コイルバネ４４の内部に配置されている。板バネ４２は、長方形のシート形状を有している。板バネ４２は、ベース部材２０から放電電極３０に向かって長く伸びている。板バネ４２の上端は、アダプタ２６に接続されている。図３に示すように、板バネ４２の下端は、放電電極３０に接続されている。以下では、図２、３に示すように、板バネ４２の厚み方向をｘ方向といい、板バネ４２の幅方向（板バネ４２の長手方向及び板バネ４２の厚み方向に対して直交する方向）をｙ方向という。図４に示すように、板バネ４２は、ｘ方向に曲がることができる。板バネ４２がｘ方向に曲がると、それに伴って樹脂コイルバネ４６と金属コイルバネ４４もｘ方向に曲がる。板バネ４２がｘ方向に曲がることで、放電電極３０のｘ方向の位置が変化する。他方、板バネ４２は、ｙ方向に曲がることができない。
【００２２】
図２に示すように、金属コイルバネ４４の内部に、第１ワイヤ５１及び第２ワイヤ５２が配置されている。第１ワイヤ５１と第２ワイヤ５２は、金属製のワイヤである。図３に示すように、第１ワイヤ５１は、板バネ４２の幅広面４２ａに対向する位置に配置されている。第１ワイヤ５１の下端は、放電電極３０に接続されている。第１ワイヤ５１は、放電電極３０から、板バネ４２に沿って上方向に伸びている。図２に示すように、第１ワイヤ５１は、アダプタ２６に設けられた貫通孔とステンレスパイプ２４の内部を通ってベース部材２０の上端まで伸びている。第１ワイヤ５１は、ベース部材２０の上端で、駆動装置５０に接続されている。図３に示すように、第２ワイヤ５２は、板バネ４２の幅広面４２ｂに対向する位置に配置されている。幅広面４２ｂは、幅広面４２ａの裏面である。すなわち、板バネ４２は、第１ワイヤ５１と第２ワイヤ５２の間に配置されている。第２ワイヤ５２の下端は、放電電極３０に接続されている。第２ワイヤ５２は、放電電極３０から、板バネ４２に沿って上方向に伸びている。図２に示すように、第２ワイヤ５２は、アダプタ２６に設けられた貫通孔とステンレスパイプ２４の内部を通ってベース部材２０の上端まで伸びている。第２ワイヤ５２は、ベース部材２０の上端で、駆動装置５０に接続されている。
【００２３】
図２に示す駆動装置５０は、第１ワイヤ５１と第２ワイヤ５２の張力を制御する。駆動装置５０が第１ワイヤ５１を上側に引っ張ると第１ワイヤ５１の張力が強くなり、駆動装置５０が第１ワイヤ５１を下側に送り出すと第１ワイヤ５１の張力が弱くなる。同様に、駆動装置５０が第２ワイヤ５２を上側に引っ張ると第２ワイヤ５２の張力が強くなり、駆動装置５０が第２ワイヤ５２を下側に送り出すと第２ワイヤ５２の張力が弱くなる。駆動装置５０は、第１ワイヤ５１と第２ワイヤ５２の張力を変化させることで、板バネ４２を変形させる。第１ワイヤ５１の張力と第２ワイヤ５２の張力が均衡している場合には、図１に示すように、板バネ４２が直線状となる。第１ワイヤ５１の張力を第２ワイヤ５２の張力よりも大きくすると、図４に示すように板バネ４２が曲がって、放電電極３０が第１ワイヤ５１側に移動する。第２ワイヤ５２の張力を第１ワイヤ５１の張力よりも大きくすると、図４とは反対側に板バネ４２が曲がって、放電電極３０が第２ワイヤ５２側に移動する。
【００２４】
図２に示すように、ステンレスパイプ２４の上端に、電源６０が接続されている。電源６０は、ステンレスパイプ２４に電圧を印加する。電源６０は、ステンレスパイプ２４、アダプタ２６、板バネ４２、及び、金属コイルバネ４４を介して放電電極３０に接続されている。したがって、電源６０によって、放電電極３０に電圧を印加することができる。電源６０は、放電加工用の電力を供給する。
【００２５】
次に、放電加工装置１０を用いてワークを加工する方法について説明する。まず、図５に示すように、機械加工（例えば、ドリル）によって、ワーク９０に穴９２を形成する。穴９２は、ストレート穴である。次に、図５に示すように、穴９２に放電電極３０側から放電加工装置１０を挿入し、放電加工を実施する。放電加工では、ワーク９０をグランド電位に接続する。また、放電加工では、穴９２内を加工液で満たした状態で、電源６０によって放電電極３０に電圧を印加し、放電電極３０とワーク９０の間で放電を生じさせる。放電電極３０と穴９２の底面との間で放電が生じることで、穴９２の底面が削れる。ここでは、放電加工を行いながら放電加工装置１０を穴９２の底に向かって移動させる。これによって、図６に示すように、ワーク９０を下方向に削って穴９２を深くする。ここでは、駆動装置５０によって第１ワイヤ５１の張力と第２ワイヤ５２の張力を均衡させる。このため、板バネ４２はｘ方向にほとんど曲がらない。また、板バネ４２は、ｙ方向に幅を有するので、ｙ方向に曲がらない。このため、図６に示すように、放電加工によってストレートに穴９２を掘り進むことができる。
【００２６】
図６に示す深さまで穴９２を掘り進んだ段階で、駆動装置５０によって第１ワイヤ５１の張力を強めるとともに第２ワイヤ５２の張力を弱めることで、第１ワイヤ５１の張力を第２ワイヤ５２の張力よりも高くする。すると、板バネ４２を第１ワイヤ５１側に曲げる向きに板バネ４２に力が加わる。この状態でベース部材２０を穴９２の底方向に向かって移動させると、図７に示すように、板バネ４２が第１ワイヤ５１側に曲がりながら放電加工が進行する。このため、放電加工の進行方向が曲がる。その結果、ストレート部分９２ａから横方向に曲がった横穴部分９２ｂが形成される。このように、放電加工装置１０によれば、曲がり穴を形成することができる。
【００２７】
また、第１ワイヤ５１の張力を調節することで、曲がり穴９２の曲率を調節することができる。例えば、曲がり穴を形成する場合において、図７の場合よりも第１ワイヤ５１の張力を弱くすると、図８のように緩やかなカーブの曲がり穴９２を形成することができる。
【００２８】
このように、板バネ４２の曲がり具合は、板バネ４２に加わる力によって変化する。このため、第１ワイヤ５１と第２ワイヤ５２の張力を調節することによって、放電加工時の板バネの４２曲がり具合を調節することができる。したがって、この放電加工装置１０によれば、様々な曲率の曲がり穴を形成することができる。また、板バネ４２がｙ方向に幅を有するので、放電加工中に板バネ４２がｙ方向に曲がることがない。これによって、ｙ方向の加工精度が高くなる。また、板バネ４２のｘ方向の曲がり具合は第１ワイヤ５１と第２ワイヤ５２の張力のバランスによって調節できるので、放電加工時に板バネ４２がｘ方向に意図せず曲がることを抑制することができる。例えば、図５のようにストレート穴を形成する場合には、第１ワイヤ５１の張力と第２ワイヤ５２の張力を均衡させることで、板バネ４２がｘ方向に曲がることを抑制できる。また、図６、７のように曲がり穴を形成する場合には、第１ワイヤ５１の張力と第２ワイヤ５２の張力を一定の関係に維持することで、板バネ４２がｘ方向に意図しない態様で曲がることを抑制することができる。このように、ｘ方向においても、高精度で加工を行うことができる。以上に説明したように、この放電加工装置１０は、様々な曲率の曲がり穴を形成することが可能であるとともに、高精度で放電加工を行うことができる。
【００２９】
また、本実施形態の放電加工装置１０では、金属コイルバネ４４によって制御性が向上されている。仮に樹脂コイルバネ４６と金属コイルバネ４４が設けられていないとすると、図９に示すように、第１ワイヤ５１を上側に引っ張って板バネ４２を曲げるときに、第１ワイヤ５１が板バネ４２から離れて穴９２の内面と接触する。穴９２の形状によって第１ワイヤ５１の位置が変わるため、第１ワイヤ５１を上側に引っ張る量（距離）と板バネ４２の曲がり具合との相関関係が穴９２の形状によって変化し、板バネ４２の曲がり具合を正確に制御することができなくなる。また、第１ワイヤ５１が穴９２の側面と擦れるため、第１ワイヤ５１が摩耗する。これに対し、本実施形態の放電加工装置１０では、図２に示すように、金属コイルバネ４４の内側に板バネ４２と第１ワイヤ５１と第２ワイヤ５２が配置されている。したがって、図７、８に示すように、第１ワイヤ５１を上側に引っ張っても、金属コイルバネ４４（図７、８では図示省略）によって第１ワイヤ５１が板バネ４２の近傍の位置に保持される。板バネ４２と第１ワイヤ５１の位置関係がほとんど変化しないので、第１ワイヤ５１を上側に引っ張る量（距離）と板バネ４２の曲がり具合との相関関係がほとんど変化せず、板バネ４２の曲がり具合を正確に制御することができる。また、第１ワイヤ５１が穴９２の内面と擦れないので、第１ワイヤ５１の摩耗を抑制することができる。また、同様にして、第２ワイヤ５２を上側に引っ張る場合も、金属コイルバネ４４によって制御性が向上する。
【００３０】
また、本実施形態の放電加工装置１０では、樹脂コイルバネ４６の外径が、放電電極３０の直径と略等しい。したがって、図６〜８に示すように、樹脂コイルバネ４６が、穴９２の側面に略均一に接触し、穴９２の内部で放電加工装置１０ががたつくことを抑制する。これによって、放電加工装置１０の加工精度が向上されている。また、樹脂コイルバネ４６の内側に金属コイルバネ４４が配置されており、金属コイルバネ４４の内側に板バネ４２と第１ワイヤ５１及び第２ワイヤ５２が配置されているので、樹脂コイルバネ４６の直径が大きくても、板バネ４２と第１ワイヤ５１及び第２ワイヤ５２を狭い空間内に収容することができる。すなわち、第１ワイヤ５１及び第２ワイヤ５２を板バネ４２に近い位置に保持することができる。これによって、板バネ４２の曲がり具合をより正確に制御することが可能とされている。
【００３１】
なお、放電加工中には、放電電極３０とワーク９０（すなわち、穴９２の内面）の間に隙間が必要である。放電電極３０とワーク９０の間の隙間で放電が生じることで、ワーク９０が削られ、穴９２が形成される。しかしながら、放電加工中に放電電極３０とワーク９０が接触し、放電が停止する場合がある。この場合、放電加工装置１０全体を一旦上側に移動させる処理（キャンセリング動作と呼ばれる）を実施して放電電極３０とワーク９０の間に隙間を形成することで、放電を再開させることができる。しかしながら、曲がり穴を形成している場合に放電加工装置１０全体を上側に移動させると、放電電極３０とその上部の穴９２の内面との間で放電が生じ、図１０のように放電電極３０の上部で穴９２の内面が削れてしまう。このため、放電電極３０の上部で穴９２の内面に凹部８０が形成され、穴９２の加工精度が低下する。これに対し、放電加工装置１０では、上述したキャンセリング動作に代えて、放電電極３０を振動させる振動動作を実行することで、放電電極３０とワーク９０との間に隙間を確保することができる。振動動作は、第１ワイヤ５１と第２ワイヤ５２の張力を周期的に変動させることで実行することができる。例えば、図１１のように曲がり穴を形成している状態では、第１ワイヤ５１の張力が第２ワイヤ５２の張力よりも強い。この状態で、第１ワイヤ５１と第２ワイヤ５２のいずれかまたは両方の張力を周期的に変化させると、図１１に示すように放電電極３０が振動する。例えば、第１ワイヤ５１と第２ワイヤ５２を交互に引き上げることで、放電電極３０を振動させることができる。放電電極３０を振動させることで、放電電極３０とワークの間に隙間を確保することができる。また、図６のようにストレート穴を形成している場合にも、同様にして第１ワイヤ５１と第２ワイヤ５２の張力を周期的に変化させることで、放電電極３０を振動させることができる。放電電極３０とワーク９０が接触して放電が停止した場合には、振動動作を行うことで放電電極３０とワーク９０の間に隙間を形成して放電を再開させることができる。振動動作では、従来のキャンセリング動作に比べて放電電極３０が移動する距離が短いので、図１０のように穴９２の内面に凹部８０が形成されることを防止することができる。したがって、従来よりも高精度で穴９２を形成することができる。
【００３２】
なお、上記の実施形態では放電が停止した場合に振動動作を行った。しかしながら、放電加工中に常に振動動作を行うようにしてもよい。この場合、放電が停止することを防止することができる。
【００３３】
以上、実施形態について詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例をさまざまに変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独あるいは各種の組み合わせによって技術有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの１つの目的を達成すること自体で技術有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００３４】
１０    ：放電加工装置
２０    ：ベース部材
２２    ：樹脂パイプ
２４    ：ステンレスパイプ
２６    ：アダプタ
３０    ：放電電極
４０    ：接続部材
４２    ：板バネ
４４    ：金属コイルバネ
４６    ：樹脂コイルバネ
５０    ：駆動装置
５１    ：第１ワイヤ
５２    ：第２ワイヤ
６０    ：電源
【図１】
2019217606.tif 000003
【図２】
2019217606.tif 000004
【図３】
2019217606.tif 000005
【図４】
2019217606.tif 000006
【図５】
2019217606.tif 000007
【図６】
2019217606.tif 000008
【図７】
2019217606.tif 000009
【図８】
2019217606.tif 000010
【図９】
2019217606.tif 000011
【図１０】
2019217606.tif 000012
【図１１】
2019217606.tif 000013