(57)【要約】      （修正有）【課題】スティッキング現象が起こってしまった場合に、メンブレンに無理な負荷を加えることなく、固定電極との貼り付きを解消する方法を提供する。【解決手段】外力に応じて撓む可撓部５３と、可撓部５３に対向して配置される基板と、基板の可撓部側に配置され可撓部５３と容量を形成する固定電極とを備え、可撓部５３が固定電極側に撓んで貼り付いた状態の力学量センサを、容器１０の中に入れ、容器１０内を液体で満たすように処理をし、容器１０を密封し、容器１０の容積を拡張する、ことを含む、方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外力に応じて撓む可撓部と、前記可撓部に対向して配置される基板と、前記基板の前記可撓部側に配置され前記可撓部と容量を形成する固定電極とを備え、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態の力学量センサを、容器の中に入れ、
前記容器内を液体で満たすように処理をし、
前記容器を密封し、
前記容器の容積を拡張する、
ことを含む、方法。
【請求項２】
前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定すると、前記容積の拡張を止めることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記容器内を液体で満たすように処理をすることは、前記容器に設けられ開閉可能な第１開閉部及び第２開閉部を開けて、前記第１開閉部から脱泡された液体を入れ、前記第２開閉部から前記容器の中にある液体を出し、
前記第１開閉部及び前記第２開閉部を閉じる
ことを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記容器内を液体で満たすように処理をすることは、前記容器に設けられ開閉可能な第１開閉部及び第２開閉部を開けて、前記第１開閉部から脱気された液体を入れ、前記第２開閉部から前記容器の中にある液体を出し、
前記第１開閉部及び前記第２開閉部を閉じる
ことを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第２開閉部は、前記第１開閉部よりも前記容器の前記液体中の気泡が上昇する側に設けられる、請求項３または請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記可撓部の位置の変化を測定することをさらに含み、
前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定することは、前記可撓部の位置が変化したことを測定することである、請求項２に記載の方法。
【請求項７】
前記可撓部の画像を撮影することをさらに含み、
前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定することは、前記撮影した前記可撓部の画像が変化することである、請求項２に記載の方法。
【請求項８】
前記容器は、シリンジを含み、
前記シリンジは、プランジャに接続され、
前記プランジャが動くことを検知し、
前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定することは、前記プランジャが動いたことを検知することである、請求項２に記載の方法。
【請求項９】
前記力学量センサは、複数あり、
前記複数の力学量センサのうちの一部の前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定すると、前記容積の拡張を止める、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
開閉可能で開いたときに液体を供給可能な第１開閉部と、開閉可能で開いたときに液体を排出可能な第２開閉部と、を有する容器と、
前記容器の容積を拡張する拡張部と、を備える力学量センサをリペアするための装置。
【請求項１１】
外力に応じて撓む可撓部と、前記可撓部に対向して配置される基板と、前記基板の前記可撓部側に配置され前記可撓部とコンデンサを形成する固定電極とを備え、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態の力学量センサを、前記容器の中に入れ、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったかどうかを判定する判定部と、
前記判定部が、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定すると、前記容器の容積の拡張を止めるように制御する駆動部をさらに備える、請求項９に記載の装置。
【請求項１２】
前記可撓部の位置の変化を測定する測定部をさらに備え、
前記判定部は、前記測定部が前記可撓部の位置が変化したことを測定したときに、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定する、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記可撓部の画像を撮影する撮影部をさらに備え、
前記判定部は、前記撮影部が前記撮影した前記可撓部の画像が変化したときに、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定する、請求項１１に記載の装置。
【請求項１４】
前記容器は、シリンジを含み、
前記拡張部は、プランジャであり、
前記シリンジは、プランジャに接続され、
前記プランジャを引く引張部と、
前記プランジャが動くことを検知する検知部をさらに備え、
前記判定部は、前記検知部が前記プランジャが動いたことを検知したときに、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定し、
前記駆動部は、前記引張部が前記プランジャを引くことを止めるように制御する、請求項１１に記載の装置。
【請求項１５】
前記プランジャの移動量の上限を定める移動制限部をさらに備える、請求項１４に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、力学量センサのリペア方法及び力学量センサをリペアするための装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜（以下「メンブレン」という場合がある。）によって隔てられた２つの空間の圧力差によって生じるメンブレンの撓みを電気信号に変換することによって、圧力を測定する圧力センサが知られている。例えば、特許文献１には、導電性を有するメンブレンをダイヤフラムとして用い、このメンブレンに対向して設けられた固定電極とで形成されるコンデンサの静電容量の変化から、メンブレンの撓み量を測定する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２５８０８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような圧力センサでは、ダイヤフラムを加工したシリコン基板と固定電極を加工したガラス基板が陽極接合されていて、これらの間の空間が真空封止されている場合がある。メンブレンに対向するガラス基板上には、固定電極が形成されている。この圧力センサを大気圧下に置くと、メンブレンが大気圧で押されて、対向して設けられた固定電極側に撓む。そして、メンブレンが固定電極に接触して、その後、この圧力センサを真空下に置いても、ダイヤフラムが固定電極に貼り付いて、接触したまま戻らない現象（以下「スティッキング現象」という場合がある。）が生じることがある。
【０００５】
そこで、スティッキング現象を起こりにくくするため、メンブレン上に小さな突起（以下「ストッパ」という場合がある。）を配置することで、メンブレンと固定電極とを直接接触させず、メンブレンと電極とがストッパを挟む構造になるようにして接触面積を低減することが試みられている。他方、スティッキング現象が起こってしまった場合に、メンブレンに無理な負荷を加えることなく、固定電極との貼り付きを解消する技術はおよそ確立されていない。
【０００６】
本開示の目的の一つは、上記実情に鑑み、スティッキング現象が起こってしまった場合に、メンブレンに無理な負荷を加えることなく、固定電極との貼り付きを解消する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一実施形態によれば、外力に応じて撓む可撓部と、前記可撓部に対向して配置される基板と、前記基板の前記可撓部側に配置され前記可撓部と容量を形成する固定電極とを備え、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態の力学量センサを、容器の中に入れ、前記容器内を液体で満たすように処理をし、前記容器を密封し、前記容器の容積を拡張する、ことを含む、方法が提供される。
【０００８】
前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定すると、前記容積の拡張を止めてもよい。
【０００９】
前記容器内を液体で満たすように処理をすることは、前記容器に設けられ開閉可能な第１開閉部及び第２開閉部を開けて、前記第１開閉部から脱泡された液体を入れ、前記第２開閉部から前記容器の中にある液体を出し、前記第１開閉部及び前記第２開閉部を閉じることを含んでもよい。
【００１０】
前記容器内を液体で満たすように処理をすることは、前記容器に設けられ開閉可能な第１開閉部及び第２開閉部を開けて、前記第１開閉部から脱気された液体を入れ、前記第２開閉部から前記容器の中にある液体を出し、前記第１開閉部及び前記第２開閉部を閉じることを含んでもよい。
【００１１】
前記第２開閉部は、前記第１開閉部よりも前記容器の前記液体中の気泡が上昇する側に設けられてもよい。
【００１２】
前記可撓部の位置の変化を測定することをさらに含み、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定することは、前記可撓部の位置が変化したことを測定することであってもよい。
【００１３】
前記可撓部の画像を撮影することをさらに含み、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定することは、前記撮影した前記可撓部の画像が変化することであってもよい。
【００１４】
前記容器は、シリンジを含み、前記シリンジは、プランジャに接続され、前記プランジャが動くことを検知し、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定することは、前記プランジャが動いたことを検知することであってもよい。
【００１５】
前記力学量センサは、複数あり、前記複数の力学量センサのうちの一部の前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定すると、前記容積の拡張を止めてもよい。
【００１６】
本開示の一実施形態によれば、開閉可能で開いたときに液体を供給可能な第１開閉部と、開閉可能で開いたときに液体を排出可能な及び第２開閉部と、を有する容器と、前記容器の容積を拡張する拡張部と、を備える力学量センサをリペアするための装置が提供される。
【００１７】
外力に応じて撓む可撓部と、前記可撓部に対向して配置される基板と、前記基板の前記可撓部側に配置され前記可撓部とコンデンサを形成する固定電極とを備え、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態の力学量センサを、前記容器の中に入れ、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったかどうかを判定する判定部と、前記判定部が、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定すると、前記容器の容積の拡張を止めるように制御する駆動部をさらに備えてもよい。
【００１８】
前記可撓部の位置の変化を測定する測定部をさらに備え、前記判定部は、前記測定部が前記可撓部の位置が変化したことを測定したときに、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定してもよい。
【００１９】
前記可撓部の画像を撮影する撮影部をさらに備え、前記判定部は、前記撮影部が前記撮影した前記可撓部の画像が変化したときに、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定してもよい。
【００２０】
前記容器は、シリンジを含み、前記拡張部は、プランジャであり、前記シリンジは、プランジャに接続され、前記プランジャを引く引張部と、前記プランジャが動くことを検知する検知部をさらに備え、前記判定部は、前記検知部が前記プランジャが動いたことを検知したときに、前記可撓部が前記固定電極側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定し、前記駆動部は、前記引張部が前記プランジャを引くことを止めるように制御してもよい。
【００２１】
前記プランジャの移動量の上限を定める移動制限部をさらに備えてもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本開示によれば、スティッキング現象が起こってしまった場合に、メンブレンに無理な負荷を加えることなく、固定電極との貼り付きを解消する方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本開示の一実施形態に係る装置の概要を示す概念図である。
【図２】本開示の一実施形態に係る圧力センサのスティッキング現象を説明するための断面構造の模式図である。
【図３】本開示の一実施形態に係る圧力センサにおいて、メンブレンと固定電極との貼り付きが起こっていない状態を説明するための断面構造の模式図である。
【図４】本開示の一実施形態に係る方法のフローを説明するための図である。
【図５】図４のステップＳ４０７の詳細を説明するための図である。
【図６】本開示の他の実施形態に係る装置の概要を示す概念図である。
【図７】本開示の他の実施形態に係る方法のフローを説明するための図である。
【図８】本開示の他の実施形態に係る装置の概要を示す概念図である。
【図９】本開示の他の実施形態に係る方法のフローを説明するための図である。
【図１０】本開示の変形例に係る容器の一部を示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本開示に係る装置及び方法について説明する。但し、本開示の装置及び方法は多くの異なる態様で実施することが可能であり、以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、本実施の形態で参照する図面において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、説明の便宜上、上方又は下方という語句を用いて説明するが、上下方向が逆転してもよい。
【００２５】
＜第１実施形態＞
［装置１の構成］
図１から図３を用いて、本開示の一実施形態に係る装置１について説明する。図１は、本開示の一実施形態に係る装置の概要を示す概念図である。装置１は、容器１０、供給部２０、拡張部３０、引張部３２、移動制限部３３、測定部４０及び制御部６０を備える。装置１は、力学量センサをリペアするための装置である。
【００２６】
図１に示すように、容器１０の内部には、圧力センサ５０がある。前述のとおり、本開示の目的の一つは、スティッキング現象が起こってしまった場合に、メンブレン（可撓部）に無理な負荷を加えることなく、固定電極との貼り付きを解消することである。そして、この目的を達成するためには、装置１の構成要素の性質等が関係する。装置１の構成要素の性質等を説明するための前提として、図２及び図３を用いて、圧力センサ、圧力センサのスティッキング現象、圧力センサにおいて、メンブレンと固定電極との貼り付きが解消された状態について説明する。図２は、本開示の一実施形態に係る圧力センサのスティッキング現象を説明するための断面構造の模式図である。図３は、本開示の一実施形態に係る圧力センサにおいて、メンブレンと固定電極との貼り付きが起こっていない状態を説明するための断面構造の模式図である。
【００２７】
圧力センサ５０は、第１基板５１及び第２基板５７を組み合わせて形成されている。この例では、第１基板５１はＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｏｎ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板である。第２基板５７はガラス基板である。第１基板５１は、中央部分が薄く形成されている。この薄く形成された部分を可撓部５３という。可撓部５３は、周囲が固定されたメンブレンである。
【００２８】
可撓部５３の第２基板５７側の面（以下「第１面」という場合がある。）には、密閉された内部空間５８が形成されている。第２基板５７の内部空間５８側には、電極５５が形成されている。電極５５と可撓部５３とでコンデンサを形成する。電極５５は固定電極である。一方、可撓部５３が撓むことにより、電極間の距離が変化するため、コンデンサの静電容量の大きさが撓み量に応じて変化する。
【００２９】
可撓部５３の第１面とは反対側の面である第２面は、外部空間５９に面している。内部空間５８と圧力センサ５０の外部空間５９とは、可撓部５３を介して隔てられている。内部空間５８は、大気圧よりも低い所定の圧力に保たれるように、第１基板５１と第２基板５７とで密閉されている。この例では、内部空間５８は、高真空状態に保たれている。そのため、外部空間５９が内部空間５８よりも高い圧力である場合、可撓部５３は、内部空間５８の体積を縮小するように第２基板５７側に撓む。一方、外部空間５９が内部空間５８と同様に高真空である場合、可撓部５３は、撓まず平坦になる。可撓部５３は、大きく撓んだときに、電極５５と接触する可能性がある。そして、図２に示すように、可撓部５３が電極５５に接触して、外部空間５９を高真空にしても、貼り付いて、接触したまま戻らない現象をスティッキング現象という。他方、図３では、可撓部５３が電極５５と離れており、貼り付きが起こっていない。
【００３０】
ところで、図２と図３の状態では、図３における内部空間５８の体積の方が、図２における内部空間５８の体積よりも大きい。つまり、図２に示すスティッキング現象が生じた場合に、図３に示すように、可撓部５３と電極５５との貼り付きを解消するためには、内部空間５８の体積を大きくする方向に可撓部５３を引っ張る必要がある。この内部空間５８の体積の増加量は、容器１０の容積の増加量と等しくなる。ここで、容器１０の容積の増加量は、拡張部３０を引くことで増加するシリンジ１７の液体体積と等しいことが好ましい。シリンジ１７の液体体積の増加量によって、内部空間５８の体積の増加量を制御することが可能であれば、制御がより容易になるからである。つまり、制御をするにあたって、容器１０のシリンジ１７以外の他の構成要素の体積変化を考慮する必要があると、制御が複雑になってしまうからである。そこで、以下の説明では、容器１０の容積の増加量が、拡張部３０を引くことで増加するシリンジ１７の液体体積と可及的に等しくなるような構成について説明する。
【００３１】
再び図１に戻って説明する。容器１０は、第１開閉部１１及び第２開閉部１２を有する。第１開閉部１１及び第２開閉部１２は、この例では、弁である。弁は、変形しにくい部材であり、例えば、ステンレスや真鍮などの金属、テフロン（登録商標）や塩化ビニルなどの樹脂などである。第１開閉部１１及び第２開閉部１２としては、閉めるときの体積変化が少ないことから、ボールバルブと呼ばれるタイプの弁が好ましい。また、容器１０は、窓部１３を有する。窓部１３は、変形しにくい部材である。また、窓部１３は、後述の測定部４０が窓部１３を介して可撓部５３の位置の変化を測定することが可能な部材である必要がある。例えば、測定部４０が、レーザ光を用いて、可撓部５３との距離を測定する場合、窓部１３の部材は、レーザ光を透過させる部材である必要がある。また、容器１０は、管１５及びシリンジ１７を有する。管１５及びシリンジ１７の部材も、同様に、変形しにくい部材である必要があり、例えば、金属である。
【００３２】
容器１０の内部には、後述のとおり、液体が入る。そして、容器１０の容積の増加量が、拡張部３０を引くことで増加するシリンジ１７の液体体積と可及的に等しくなるためには、容器１０の内部の液体は、可及的に脱泡されている必要がある。容器１０の内部の液体に気泡がある場合には、拡張部３０を引いても、当該気泡が膨張するだけで、内部空間５８の体積を増加させることができなくなってしまう。そこで、容器１０は、容器１０の外部から気体が入ることを防ぐ必要がある。内部の液体が脱気されていて、溶存ガスが少ないと、気泡が発生しにくいことから望ましい。
【００３３】
具体的には、第１開閉部１１、第２開閉部１２、窓部１３、管１５を設ける箇所から気体が入ることを防ぐ必要がある。つまり、これらを設ける箇所には、密封するための部材（図示せず）を設ける必要がある。そして、この密封するための部材であっても、変形しにくい部材を用いる必要がある点においては、第１開閉部１１等と同じである。密封するための方法としては、例えば、溶接やメタルガスケットによる封止や、ステンレス製継手やＰＴネジ（テーパネジ）継手による接続が挙げられる。密封するための部材として、ゴムや樹脂製のＯリングを用いる場合には、Ｏリングをできる限り強く潰して変形しにくい状態にして用いることが好ましい。第１開閉部１１、第２開閉部１２、窓部１３、管１５、シリンジ１７、密封するための部材を除く容器１０の部材としては、例えば、金属やガラスなどが挙げられ、その弾性係数は、ステンレスでは約２００（ｋＮ／ｍｍ2）である。
【００３４】
供給部２０は、管２１を介して、第１開閉部１１から脱泡及び脱気された液体を容器１０に供給する。このとき、第１開閉部１１は、開いている。容器１０内の気泡又は溶存ガスは、液体とともに、第２開閉部１２から管２３を介して排出される。容器１０内の気泡には、浮力が働く。浮力が働くと、気泡は、上昇する。そのため、上昇した気泡を排出するために、第１開閉部１２は、図１に示すように、第１開閉部１１よりも、容器１０の液体中の気泡が上昇する側に設けることが好ましい。供給部２０が、所定の期間、脱泡及び脱気された液体を供給後に、第１開閉部１１及び第２開閉部１２を閉じる。その結果、容器１０内の液体は、気泡が消滅し、溶存ガスが少なくなった状態となる。
【００３５】
圧力センサ５０は、この例では、可撓部５３側が、図示において上側になるように、容器１０の内部に配置されている。この例では、圧力センサ５０の第２基板５７側が、容器１０の底部に接するように、圧力センサ５０が配置されている。なお、容器１０には、圧力センサ５０を容器１０の内部に配置するための入口（図示せず）が設けられているが、当該入口は、その構造部分に気泡が残りにくいように、上向きになっていることが望ましい。
【００３６】
拡張部３０は、容器１０の容積を拡張する。より具体的には、拡張部３０は、これを引いてシリンジ１７の液体体積を増加させることによって、容器１０の容積を拡張する。この例では、拡張部３０は、プランジャである。引張部３２は、拡張部３０を引く。この例では、引張部３２は、移動制限部３２がある方向に、拡張部３０を引く。引張部３２の引く力や引き方については、後述の駆動部６３が制御する。例えば、駆動部６３が、引張部３２が引く力を所定の期間経過後に徐々に大きくなるように制御する。また、駆動部６３は、引張部３２が引く力の上り幅が徐々に小さくなるように制御してもよい。他方、移動制限部３３は、プランジャ３０の移動量の上限を定める。つまり、駆動部６３が、引張部３２が引く力を上げていったとしても、プランジャ３０が移動制限部３３に接触すると、プランジャ３０及び引張部３２は移動することができなくなる。
【００３７】
制御部６０は、判定部６１及び駆動部６３を含む。判定部６１は、圧力センサ５０における可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったかどうかを判定する。測定部４０は、可撓部５３の位置の変化を測定する。具体的には、測定部４０は、可撓部５３との距離を測定する。そして、この例では、判定部６１は、測定部４０が測定する可撓部５３との距離に変化があったときに、圧力センサ５０における可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定する。可撓部５３との距離を測定する方法としては、レーザ光を用いる方法や超音波を用いる方法などが挙げられる。
【００３８】
駆動部６３は、判定部６１が圧力センサ５０における可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定すると、拡張部３０による容積の拡張を止めるように制御する。具体的には、駆動部６３は、引張部３２が拡張部３０を引くことを止める。以上で、装置１の構成について説明した。
【００３９】
［方法］
続いて、図４及び図５を用いて、圧力センサ５０における可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態にするための方法ついて説明する。図４は、本開示の一実施形態に係る方法のフローを説明するための図である。図５は、図４のステップＳ４０７の詳細を説明するための図である。なお、図４は、後述の第２実施形態及び第３実施形態についても共通する。
【００４０】
まず、可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態の圧力センサ５０を容器１０の中に入れる（ステップＳ４０１）。この例では、ステップＳ４０１の時点において、容器１０の中に液体（気泡又は溶存ガスを含む）が入っているが、液体が入っていなくてもよい。続いて、容器１０を閉じる。具体的には、圧力センサ５０を容器１０の中に入れる際の入口を閉じる。
【００４１】
続いて、容器１０内を液体で満たすように処理をする（ステップＳ４０３）。具体的には、容器１０内の液体に気泡・溶存ガスが含まれない状態にする処理である。例えば、前述のとおり、第１開閉部１１を開けて、供給部２０から脱泡及び脱気された液体を第１開閉部１１から入れて、容器１０内の液体の溶存ガスと気泡を第２開閉部１２から排出する。そして、容器１０内の液体の溶存ガスと気泡が第２開閉部１２から排出されたら、第１開閉部１１及び第２開閉部１２を閉じることによって、容器１０を密封する（ステップＳ４０５）。
【００４２】
続いて、容器１０の容積の拡張処理をする（ステップＳ４０７）。具体的には、図５に示すように、容器１０の容積を拡張するために、駆動部６３が、引張部３２を引くことによって、プランジャ３０に力を加える（ステップＳ５０１）。次に、可撓部５３の位置が変化したかどうかを測定し（ステップＳ５０３）、可撓部５３の位置が変化したことを測定していない場合（ステップＳ５０３でＮｏの場合）には、ステップＳ５０１に戻る。他方、可撓部５３の位置が変化したことを測定した場合（ステップＳ５０３でＹｅｓの場合）には、駆動部６３が、引張部３２を引くことを止めることによって、プランジャ３０に力を加えることを止める（ステップＳ５０５）。より具体的には、測定部４０が可撓部５３との距離を測定し、判定部６１は、測定部４０が測定する可撓部５３との距離に変化があったときに、圧力センサ５０における可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定する。判定部６１がこのような判定をしたときに、駆動部６３が、引張部３２を引くことを止めることによって、プランジャ３０に力が加わることを止める。以上で、圧力センサ５０における可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態にするための方法ついて説明した。
【００４３】
本開示によれば、容器１０の容積を拡張することによって、内部空間５８の体積を大きくし、可撓部５３と電極５５との貼り付きを解消する。この方法によれば、スティッキング現象が起こってしまった場合に、可撓部５３に無理な負荷を加えることなく、電極（固定電極）５５との貼り付きを解消することができる。
【００４４】
＜第２実施形態＞
［装置の構成］
次に、図６を用いて、本開示の第２実施形態に係る装置２について説明する。図６は、本開示の他の実施形態に係る装置の概要を示す概念図である。装置２は、第１実施形態に係る装置１と概ね同じ構成を有している。そのため、同じ構成についての重複する説明については省略し、異なる構成について、ここでは説明する。
【００４５】
装置２は、装置１の測定部４０の代わりに、撮影部７０を有する。撮影部７０は、可撓部５３の画像を撮影する。装置２の判定部６１は、撮影部が撮影した可撓部５３の画像が変化したときに、可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定する。
【００４６】
［方法］
続いて、図７を用いて、圧力センサ５０における可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態にするための方法ついて説明する。図７は、本開示の他の実施形態に係る方法のフローを説明するための図である。本開示の第２実施形態に係る方法は、第１実施形態に係る方法のステップＳ４０５までは同じで、ステップＳ４０７の詳細が異なる。そこで、重複する点についての説明は省略し、異なる点について詳細に説明する。
【００４７】
本開示の第２実施形態に係る方法では、ステップＳ４０５に続いて、図７に示すように、容器１０の容積を拡張するために、駆動部６３が、引張部３２を引くことによって、プランジャ３０に力を加える（ステップＳ７０１）。次に、撮影部７０が撮影した可撓部５３の画像が変化したかどうかによって処理が異なる（ステップＳ７０３）。可撓部５３の画像が変化しない場合（ステップＳ７０３でＮｏの場合）には、ステップＳ７０１に戻る。他方、判定部６１が、可撓部５３の画像が変化した場合（ステップＳ７０３でＹｅｓの場合）には、駆動部６３が、引張部３２を引くことを止めることによって、プランジャ３０に力を加えることを止める（ステップＳ７０５）。より具体的には、撮影部７０が可撓部５３を撮影し、判定部６１は、撮影部が撮影する可撓部５３の画像に変化があったときに、圧力センサ５０における可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定する。判定部６１がこのような判定をしたときに、駆動部６３が、引張部３２を引くことを止めることによって、プランジャ３０に力が加わることを止める。
【００４８】
＜第３実施形態＞
［装置の構成］
次に、図８を用いて、本開示の第３実施形態に係る装置３について説明する。図８は、本開示の他の実施形態に係る装置の概要を示す概念図である。装置３は、第１実施形態に係る装置１と概ね同じ構成を有している。そのため、同じ構成についての重複する説明については省略し、異なる構成について、ここでは説明する。
【００４９】
装置３は、装置１が備える測定部４０を備えていない。他方、装置３は、検知部３５を備える。検知部３５は、プランジャ３０が動くことを検知する。検知部３５は、例えば、加速度センサである。そして、判定部６１は、検知部３５がプランジャ３０が動き始めたことを検知したときに、可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定する。また、装置３は、装置１が備える測定部４０を備えていないことから、装置３は、装置１の窓部１３を備えていなくてもよい。
【００５０】
［方法］
続いて、図９を用いて、圧力センサ５０における可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態にするための方法ついて説明する。図９は、本開示の他の実施形態に係る方法のフローを説明するための図である。本開示の第３実施形態に係る方法は、第１実施形態に係る方法のステップＳ４０５までは同じで、ステップＳ４０７の詳細が異なる。そこで、重複する点についての説明は省略し、異なる点について詳細に説明する。
【００５１】
本開示の第３実施形態に係る方法では、ステップＳ４０５に続いて、図９に示すように、容器１０の容積を拡張するために、駆動部６３が、引張部３２を引くことによって、プランジャ３０に力を加える（ステップＳ９０１）。次に、検知部３５が、プランジャ３０が動き始めたことを検知したかどうかによって、処理が異なる（ステップＳ９０３）。検知部３５が、プランジャ３０が動き始めたことを検知しない場合（ステップＳ９０３でＮｏの場合）には、ステップＳ９０１に戻る。検知部３５がプランジャ３０が動き始めたことを検知した場合（ステップＳ９０３でＹｅｓの場合）には、駆動部６３が、引張部３２を引くことを止めることによって、プランジャ３０に力を加えることを止める（ステップＳ９０５）。より具体的には、検知部３５がプランジャが動き始めたことを検知し、判定部６１は、この検知があったときに、圧力センサ５０における可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判定する。判定部６１がこのような判定をしたときに、駆動部６３が、引張部３２を引くことを止めることによって、プランジャ３０に力が加わることを止める。
【００５２】
＜変形例１＞
以上の実施形態においては、駆動部６３が引張部３２の制御を行うこと、撮影部が可撓部５３の画像を撮影すること、検知部３５がプランジャが動き始めたことを検知することを前提として説明した。もっとも、駆動部６３の役割や検知部３５の役割を、人が代わりに行ってもよい。具体的には、第１実施形態における駆動部６３の一部の役割を、人が代わりに行ってもよい。つまり、プランジャ３０を引くことや、プランジャ３０を引くことを止めることは、人が行ってもよい。この場合、判定部６１の判定結果を、人が認識可能なように通知又は出力してもよい。
【００５３】
また、第２実施形態における駆動部６３の役割や撮影部の役割を、人が代わりに行ってもよい。つまり、人が、プランジャ３０を引いてもよい。また、人の目が、直接又は顕微鏡を介して、可撓部５３を観察し、可撓部５３が動いたことを確認したら、人が、可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判断してもよい。または、判定部６１の判定結果を、人が認識可能なように通知又は出力してもよい。そして、人がそのように判断するか、又は、判定結果の通知又は出力を認識したら、人が、プランジャ３０を引くことを止めてもよい。
【００５４】
また、第３実施形態における駆動部６３の役割や検知部３５の役割を、人が行ってもよい。つまり、人がプランジャ３０を引いてもよい。また、人がプランジャ３０が動いたことを認識したら、人が、可撓部５３が電極（固定電極）５５側に撓んで貼り付いた状態から貼り付いていない状態になったと判断してもよい。または、判定部６１の判定結果を、人が認識可能なように通知又は出力してもよい。そして、人がそのように判断するか、又は、判定結果の通知又は出力を認識したら、人が、プランジャ３０を引くことを止めてもよい。
【００５５】
＜変形例２＞
以上の実施形態においては、圧力センサ５０は、可撓部５３側が、図示において上側になるように、容器１０の内部に配置されていることを前提に説明した。もっとも、圧力センサ５０の配置方法は、これに限定されるものではない。ここで、図１０は、本開示の変形例に係る容器の一部を示す概念図である。図１０では、容器１０Ａが以上の実施形態の容器１０と異なるため、容器１０Ａの一部のみを示している。図１０に示すように、容器１０Ａの内部に圧力センサ５０を固定する固定部１８、支持部１４を設けてもよい。固定部１８及び支持部１４を設ける場合、固定部１８及び支持部１４は、容器１０Ａの内部のどこに設けてもよい。この例では、固定部１８及び支持部１４は、容器１０Ａの底部に設けている。支持部１４を設けることによって、圧力センサ５０と容器１０Ａの底部との間に空間１９を設けている。つまり、支持部１４は、圧力センサ５０を容器１０Ａの底部から離すために設けられている。また、空間１９は、閉じたものではなく、開かれている。そのため、空間１９を設けることによって、圧力センサ５０の下側に気泡が入り込んで残ることを防ぐことが可能になる。
【００５６】
＜変形例３＞
以上の実施形態及び変形例においては、容器１０内に入れる圧力センサ５０が一つであることを前提に説明した。もっとも、容器１０内に入れる圧力センサ５０は、複数であってもよい。例えば、個片化する前のウェーハ形状であってもよい。この場合には、圧力センサ５０のうち、可撓部５３が電極５５側に撓んで貼り付いた状態のものと、貼り付いていない状態のものが含まれていることがありうる。この場合、可撓部５３が電極５５側に貼り付いていない状態のものは、良品である。他方、可撓部５３が電極５５側に貼り付いている状態のものが複数ある場合、貼り付き方にばらつきが生じることが想定される。つまり、可撓部５３が電極５５側に貼り付いている状態における内部空間５８の体積が、圧力センサ５０毎に異なっていることを意味する。ここで、可撓部５３が電極５５側に貼り付いている状態の圧力センサ５０すべてをその可撓部５３が電極５５側に貼り付いていない状態にしようとすると、可撓部５３を引っ張る力が強くなりすぎ、良品が壊れてしまうリスクがある。そこで、このようなリスクを回避するため、良品を壊さない程度に、容器１０の容積を拡張することが好ましい。この場合には、複数の圧力センサ５０のうちの良品の可撓部５３の移動を監視し、予め良品が壊れない範囲を決めておき、当該範囲内で、容器１０の容積を拡張することになる。良品の可撓部５３の移動を検知できることが前提であるため、本変形例は、第１実施形態及び第２実施形態の変形例となる。
【００５７】
なお、本開示は上記の実施形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【００５８】
１、２、３：装置  １０：容器  １１：第１開閉部  １２：第２開閉部
１３：窓部  １５：管  １７：シリンジ  ２０：供給部  ２１：管
２３：管  ３０：プランジャ  ３２：引張部  ３３：移動制限部
３５：検知部４０：測定部  ５０：圧力センサ  ５１：第１基板
５３：可撓部  ５５：電極  ５７：第２基板  ５８：内部空間
５９：外部空間  ６０：制御部  ６１：判定部  ６３：駆動部
７０：撮影部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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