(57)【要約】【課題】孔の底に液体を斑なく塗布することができる液体塗布方法を提供する。【解決手段】液体塗布方法は、ブラックマトリクス部の貫通孔の底の基板の第１主面に青色感光性樹脂組成物、緑色感光性樹脂組成物または赤色感光性樹脂組成物である着色部用第１液体を塗布する液体塗布方法であって、着色部用第１液体よりも表面張力が小さい有機溶媒である着色部用第２液体を貫通孔の底に注入する着色部用第２液体注入工程と、着色部用第２液体注入工程の後、貫通孔に着色部用第１液体を注入する着色部用第１液体注入工程と、着色部用第２液体を除去する除去工程と、を含む。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
孔が穿設された基材の前記孔の底に第１液体を塗布する液体塗布方法であって、
前記第１液体よりも表面張力が小さい第２液体を前記孔に注入する第２液体注入工程と、
前記第２液体注入工程の後、前記孔に前記第１液体を注入する第１液体注入工程と、
前記第２液体の少なくとも一部を除去する除去工程と、を含む、
液体塗布方法。
【請求項２】
前記第２液体は、揮発性の溶媒を含み且つ溶質の濃度が前記第１液体よりも低い溶液、または、揮発性の溶媒である、
請求項１に記載の液体塗布方法。
【請求項３】
前記第１液体注入工程において、ダイコータまたはキャピラリーコータを使用し、前記基材から予め設定された距離だけ離間した状態で保持された前記ダイコータまたは前記キャピラリーコータの塗布ヘッドの吐出口より、前記第１液体を吐出しながら、前記塗布ヘッドまたは前記基材を予め設定された一方向へ相対的に移動させることにより、前記基材における前記孔が開口する主面に前記第１液体を塗布する、
請求項１または２に記載の液体塗布方法。
【請求項４】
前記第２液体注入工程において、インクジェット装置を使用し、前記インクジェット装置のインクジェットノズルから前記第２液体を前記孔へ吐出する、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体塗布方法。
【請求項５】
前記基材は、撥液性を有し少なくとも前記基材における前記孔が開口する主面に露出した状態で設けられた撥液部を有し、
前記第２液体注入工程において、前記基材から予め設定された距離だけ離間した状態で保持された塗布ヘッドの吐出口より、前記第２液体を吐出しながら、前記塗布ヘッドまたは前記基材を予め設定された一方向へ相対的に移動させることにより、前記第２液体を前記主面に塗布する、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体塗布方法。
【請求項６】
前記塗布ヘッドは、前記吐出口における、前記塗布ヘッドから見て前記基材が移動する方向側とは反対側の領域を減圧する減圧部を有する、
請求項５に記載の液体塗布方法。
【請求項７】
前記基材は、透光性を有する基板と、前記基板に積層され厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する隔壁部と、を有し、
前記孔は、一端が前記基板で閉塞された前記貫通孔であり、
前記第１液体は、色素と樹脂と有機溶媒とを含む組成物であり、
前記第２液体は、有機溶媒である、
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
入射する光を赤色、緑色、青色の光に変換する着色部を有するカラーフィルタを備える表示装置が提案されている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に記載されたカラーフィルタは、透明基板と、透明基板上に設けられたブラックマトリクスと、を備え、ブラックマトリクスに形成された各貫通孔に着色部が設けられている。この種の表示装置として、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）を光源に用いて着色部を透過する光の量を増加させることにより、カラーフィルタにおける着色部の占める割合を小さくしつつ、表示画像の輝度の低下を抑制した表示装置が提供されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２３６９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前述のようにカラーフィルタにおける着色部の占める割合が小さくなると、その分、着色部が設けられる各貫通孔の開口面積が小さくなる。そして、着色部を形成する際に、ブラックマトリクス部の厚さが一定であれば、貫通孔の開口面積が小さい分、着色部の基となる色素を含む溶液が貫通孔に入りにくくなる、そして、ブラックマトリクスの基板側とは反対側に塗布しても、溶液の表面張力が大きく、溶液が貫通孔の底の基板表面まで侵入せず貫通孔の底の基板に塗布できない場合がある。この場合、生成された着色部または色変換部の平坦性が低くなり、表示装置の表示画像の品質の劣化の原因となる虞がある。
【０００５】
本発明は、上記事由に鑑みてなされたものであり、孔の底に液体を斑なく塗布することができる液体塗布方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係る液体塗布方法は、
孔が穿設された基材の前記孔の底に第１液体を塗布する液体塗布方法であって、
前記第１液体よりも表面張力が小さい第２液体を前記孔に注入する第２液体注入工程と、
前記第２液体注入工程の後、前記孔に前記第１液体を注入する第１液体注入工程と、
前記第２液体の少なくとも一部を除去する除去工程と、を含む。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、第２液体注入工程において、第１液体よりも表面張力が小さい第２液体を孔に注入して、孔の底に第２液体が溜まった状態とすることにより、第２液体が注入された孔の見かけ上の深さを浅くする。その後、第１液体注入工程において、孔に第１液体を注入する。これにより、第１液体を孔の底全体に斑なく侵入させることができるので、孔の底に第１液体を斑なく塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態に係る表示装置の断面図である。
【図２】実施の形態に係るカラーフィルタの製造方法の流れの一例を示すフローチャートである。
【図３】実施の形態に係るカラーフィルタの製造方法の流れの一例を示すフローチャートである。
【図４】実施の形態に係るカラーフィルタの製造方法を説明するための図であり、（Ａ）はブラックマトリクス部形成工程後、（Ｂ）は着色部用第２液体注入工程、におけるカラーフィルタの断面図である。
【図５】（Ａ）は実施の形態に係る塗布の様子を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線における断面矢視図であり、（Ｃ）は着色部用第１液体注入工程後におけるカラーフィルタの断面図である。
【図６】実施の形態に係る着色部用第１液体注入工程後におけるカラーフィルタの断面図である。
【図７】（Ａ）は着色部形成工程後におけるカラーフィルタの断面図であり、（Ｂ）は色変換部用第２液体注入工程におけるカラーフィルタの断面図であり、（Ｃ）は色変換部用第１液体注入工程における図５（Ａ）のＣ−Ｃ線での断面矢視図である。
【図８】変形例に係る塗布ヘッドの塗布状態を示す図である。
【図９】変形例に係る基板の断面図である。
【図１０】変形例に係る基板の製造方法を説明するための図であり、（Ａ）は第２液体注入工程、（Ｂ）は第１液体注入工程における基板の断面図である。
【図１１】変形例に係る第１液体注入工程における基板の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施の形態に係る表示装置について、図面を参照しながら説明する。
【００１０】
本実施の形態に係る表示装置は、カラーフィルタと、複数の発光素子が実装され、カラーフィルタの後面側に配置される発光モジュールと、を備える。発光モジュールは、回路パターンが形成された基板と、基板に実装された複数の発光部と、を有する。カラーフィルタは、透光性の基板と、基板に積層され厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する隔壁部であるブラックマトリクス部と、基板上における貫通孔の内側に設けられた赤色着色部、緑色着色部および青色着色部と、色変換部と、を有する。カラーフィルタは、色変換部を発光モジュールに対向させた状態で配置される。色変換部は、基板上における、赤色着色部、緑色着色部が設けられた貫通孔の内側に設けられ、入射する青色光を赤色、緑色の波長帯域の光に変換する色変換物質を含む。
【００１１】
図１に示すように、本実施の形態に係る表示装置１は、カラーフィルタ１０と、カラーフィルタ１０の後面側（−Ｚ方向側）に配置された発光モジュール２０と、を備える。発光モジュール２０は、回路パターン（図示せず）が形成された回路基板２１と、回路基板２１に実装された複数の発光部２２と、複数の発光部２２それぞれの周囲を囲繞する隔壁２３と、を有する。
【００１２】
回路基板２１は、例えば複数のＴＦＴ（thin film transistor）が格子状に配設されたＴＦＴ基板から構成される。複数の発光部２２は、例えば回路基板２１上に格子状に配設されている。発光部２２は、青色ＬＥＤ（Light Emitting Diode）や青色ＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode）を有する。青色ＬＥＤとしては、例えば窒化物系半導体を用いたものを採用することができる。発光部２２は、例えば表面実装型の発光装置から構成される。隔壁２３は、例えば黒色色素を含む感光性樹脂または熱硬化性樹脂から形成されている。黒色色素としては、赤色顔料と青色またはバイオレット顔料の混合物やチタンブラック、カーボンブラック、金属酸化物からなる微粒子等が挙げられる。
【００１３】
カラーフィルタ１０は、透光性の基板１１と、赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇおよび青色着色部１３１Ｂと、ブラックマトリクス部１２と、色変換部１３２と、を備える。基板１１は、透明なガラスまたは透明な樹脂から形成されている。ガラスとしては、ソーダガラス、無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス等が挙げられる。なお、基板１１は、透光性を有するフレキシブル基板であってもよい。
【００１４】
ブラックマトリクス部１２は、基板１１の第１主面１１ａに積層されており、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂを有する。ここで、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂは、＋Ｚ方向側の一端が基板１１で閉塞されている。このブラックマトリクス部１２と基板１１とから、孔が穿設された基材が構成される。
【００１５】
ブラックマトリクス部１２は、遮光機能を有する遮光部１２２と撥液性を有する撥液部１２３とから構成される２層構造を有する。遮光部１２２は、例えば黒色色素を含む感光性樹脂または熱硬化性樹脂から形成されている。黒色色素としては、隔壁２３と同様に、赤色顔料と青色またはバイオレット顔料の混合物やチタンブラック、カーボンブラック、金属酸化物からなる微粒子等が挙げられる。ブラックマトリクス部１２の厚さＴ１は、例えば１０μｍ程度に設定される。貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂは、例えば直径Ｒ１が５０μｍ程度の平面視円形状の孔である。なお、ブラックマトリクス部１２の厚さＴ１は１０μｍ程度に限定されるものではなく、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの直径Ｒ１も５０μｍ程度に限定されるものではない。撥液部１２３は、ブラックマトリクス部１２における基板１１側とは反対側の主面１２ａに露出した状態で設けられている。
【００１６】
赤色着色部１３１Ｒは、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｒの内側に設けられている。赤色着色部１３１Ｒは、赤色の波長帯域の光を選択的に透過させる。赤色着色部１３１Ｒは、例えば５５０ｎｍ以下の波長帯域の光を透過しない特性を有する。赤色着色部１３１Ｒは、赤色色素を含む熱硬化性樹脂から形成されている。赤色色素としては、赤色染料または赤色顔料を用いることができる。赤色顔料としては、例えばピグメントレッド９、９７、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７７、１９０、１９２、２０９、２１５、２１６、２２４、２５４等が挙げられる。熱硬化性樹脂としては、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、オキセタン樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾオキサジン樹脂等が挙げられる。
【００１７】
緑色着色部１３１Ｇは、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｇの内側に設けられている。緑色着色部１３１Ｇは、緑色の波長帯域の光を選択的に透過させる。緑色着色部１３１Ｇは、例えば４７５ｎｍ乃至６００ｎｍの波長帯域の光を透過させる特性を有する。緑色着色部１３１Ｇは、緑色色素を含む緑色熱硬化性樹脂から形成されている。緑色色素としては、緑色染料または緑色顔料を用いることができる。緑色顔料としては、例えばピグメントグリーン７、１０、３６、４７等が挙げられる。
【００１８】
青色着色部１３１Ｂは、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｂの内側に設けられている。青色着色部１３１Ｂは、青色の波長帯域の光を選択的に透過させる。青色着色部１３１Ｂは、例えば５５０ｎｍ以上の波長帯域の光を透過しない特性を有する。青色着色部１３１Ｂは、青色色素を含む熱硬化性樹脂から形成されている。青色色素としては、青色染料または青色顔料を用いることができる。青色顔料としては、例えばピグメントブルー１５：３、１５：４、１５：６、２１、２２、６０、６４等が挙げられる。
【００１９】
色変換部１３２は、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの内側に設けられている。色変換部１３２は、赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇおよび青色着色部１３１Ｂに積層され、青色の波長帯域の光を、青色の波長帯域とは異なる緑色の波長帯域の光および赤色の波長帯域の光に変換する。色変換部１３２は、青色の波長帯域の光で励起されることにより赤色の波長帯域の光を放射する赤色量子ドットと、青色の波長帯域の光で励起されることにより緑色の波長帯域の光を放射する緑色量子ドットと、を含んでいる。ここで、色変換部１３２に含まれる赤色量子ドットと緑色量子ドットとは、入射する青色の波長帯域の光を、赤色の波長帯域の光および緑色の波長帯域の光に変換する色変換物質に相当する。色変換部１３２は、発光モジュール２０の発光部２２から入射する青色の波長帯域の光を、赤色の波長帯域の光と緑色の波長帯域の光に変換して、基板１１の第２主面１１ｂへ放射する。
【００２０】
赤色量子ドットは、発光部２２から入射する青色の波長帯域の光で励起されることにより、６００ｎｍ乃至６５０ｎｍの波長帯域の赤色光を放射する半導体微粒子である。赤色量子ドットは、例えば化合物半導体から形成されたコア部と、コア部とは異なる化合物半導体から形成されたシェル部と、を含む構造を有する。コア部を形成する化合半導体としては、ＭｇＳやＭｇＳｅ、ＭｇＴｅ、ＣａＳ、ＣａＳｅ、ＳｒＳ、ＳｒＳｅ、ＳｒＴｅ、ＢａＳ、ＢａＳｅ、ＢａＴｅ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ、ＨｇＳ、ＨｇＳｅ、ＨｇＴｅ等のＩＩ−ＶＩ族化合物半導体、またはＡｌＮやＡｌＰ、ＡｌＡｓ、ＡｌＳｂ、ＧａＡｓ、ＧａＰ、ＧａＮ、ＧａＳｂ、ＩｎＮ、ＩｎＰ、ＩｎＳｂ、ＴｉＮ、ＴｉＰ、ＴｉＡｓ、ＴｉＳｂ等のＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体が挙げられる。また、コア部は、ＩｎＧａＰのような３元素以上を含んだ化合物半導体から形成されていてもよい。
【００２１】
また、シェル部は、コア部を形成する化合物半導体よりもバンドギャップの大きい半導体から形成されている。コア部とシェル部との化合物半導体の組み合わせとしては、例えばＣｄＳｅ／ＺｎＳ、ＣｄＳｅ／ＺｎＳｅ、ＣｄＳｅ／ＣｄＳ、ＣｄＴｅ／ＣｄＳ、ＩｎＰ／ＺｎＳ、ＧａＰ／ＺｎＳ、Ｓｉ／ＺｎＳ、ＩｎＮ／ＧａＮ、ＩｎＰ／ＣｄＳＳｅ、ＩｎＰ／ＺｎＳｅＴｅ、ＩｎＧａＰ／ＺｎＳｅ、ＩｎＧａＰ／ＺｎＳ、Ｓｉ／ＡｌＰ、ＩｎＰ／ＺｎＳＴｅ、ＩｎＧａＰ／ＺｎＳＴｅ、ＩｎＧａＰ／ＺｎＳＳｅ等が挙げられる。赤色量子ドットのコア部の平均粒径は、例えば５．０ｎｍ乃至８．０ｎｍである。
【００２２】
緑色量子ドットは、発光部２２から入射する青色の波長帯域の光で励起されることにより、５２０ｎｍ乃至５４５ｎｍの波長帯域の緑色光を放射する半導体微粒子である。緑色量子ドットも、赤色量子ドットと同様に、例えば化合物半導体から形成されたコア部と、コア部とは異なる化合物半導体から形成されたシェル部と、を含む構造を有する。緑色量子ドットのコア部とシェル部とを形成する材料は、赤色量子ドットのそれらと同様である。緑色量子ドットのコア部の平均粒径は、例えば１．０ｎｍ乃至４．０ｎｍである。
【００２３】
次に、本実施の形態に係るカラーフィルタ１０の製造方法について、図２乃至図６を参照しながら説明する。このカラーフィルタ１０の製造方法では、図２および図３に示すように、ブラックマトリクス部形成工程、青色着色部形成工程、緑色着色部形成工程、赤色着色部形成工程、色変換部形成工程を順に行う。青色着色部形成工程、緑色着色部形成工程および赤色着色部形成工程では、それぞれ着色部用第２液体注入工程、着色部用第１液体注入工程、除去工程、露光工程、現像工程を順に行う。着色部用第１液体注入工程では、青色感光性樹脂組成物、緑色感光性樹脂組成物または赤色感光性樹脂組成物からなる着色部用第１液体を塗布する。色変換部形成工程では、色変換部用第２液体注入工程、緑色量子ドットおよび赤色量子ドットを含む樹脂組成物を塗布する色変換部用第１液体注入工程と、除去工程と、を順に行う。この着色部用第２液体注入工程と着色部用第１液体注入工程とからなる一連の工程、並びに、色変換部用第２液体注入工程と色変換部用第１液体注入工程とからなる一連の工程が、それぞれ本発明に係る液体塗布方法に相当する。以下、各工程について詳細に説明する。
【００２４】
まず、ブラックマトリクス部形成工程を行う（ステップＳ１０１）。このブラックマトリクス部形成工程では、まず、紫外線が照射されることにより硬化する黒色感光性樹脂組成物を、乾燥および焼成後の膜厚が１０μｍ程度となるように基板１１に塗布する。次に、加熱乾燥、減圧乾燥等により、基板１１に塗布された黒色感光性樹脂組成物に含まれる有機溶媒を除去することにより黒色感光性樹脂層を形成する。続いて、黒色感光性樹脂層上にフォトマスクを配置した状態で、露光装置を用いて紫外線を照射した後、例えばアルカリ性現像液を用いて現像を行うことにより遮光部１２２を形成する。
【００２５】
その後、遮光部１２２が形成された基板１１に、撥液部１２３の基となる感光性樹脂組成物を塗布する。撥液部１２３の基となる感光性樹脂組成物としては、ネガ型レジストまたはポジ型レジストが挙げられる。ポジ型レジストとしては、少なくともバインダ樹脂と感光剤と有機溶媒とフッ素系界面活性剤とを含むものが挙げられる。バインダ樹脂としては、ポリアミド酸、ポリイミドまたはその前駆体、ポリアミドイミド、アクリル樹脂、ノボラック樹脂およびこれらの混合物が挙げられる。感光剤としては、ナフトキノンジアジド化合物が挙げられる。また、有機溶媒としては、ケトン系溶剤、脂肪族アルコール系溶剤、脂肪族エステル系溶剤、アルキレングリコールエーテル系溶剤、アミド系極性溶剤、芳香族炭化水素類等が挙げられる。
【００２６】
フッ素系界面活性剤としては、パーフルオロアルキルポリアルキレンオキサイド、パーフルオロアルキルアミンオキサイド等の非イオン性フッ素系界面活性剤、パーフルオロアルキルカルボン酸アンモニウム塩、パーフルオロアルキルカルボン酸ナトリウム塩、パーフルオロアルキルリン酸エステル等の陰イオン性フッ素系界面活性剤、パーフルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩のような陽イオン性フッ素系界面活性剤、パーフルオロアルキルベタインのような両性フッ素系界面活性剤等が挙げられる。
【００２７】
次に、加熱乾燥、減圧乾燥等により、基板１１上に塗布された感光性樹脂組成物に含まれる有機溶媒を除去することにより撥液部１２３の基となる感光性樹脂層を形成する。続いて、基板１１における感光性樹脂層とは反対側から、露光装置を用いて撥液部１２３の基となる感光性樹脂層に紫外線を照射した後、例えばアルカリ性現像液を用いて現像を行う。これにより、図４（Ａ）に示すように、基板１１上に設けられた遮光部１２２と、遮光部１２２に積層され撥液性を有する撥液部１２３と、を有するブラックマトリクス部１２が形成される。ブラックマトリクス部１２には、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂが形成されている。
【００２８】
図２に戻って、続いて、青色着色部形成工程における着色部用第２液体注入工程が行われる（ステップＳ１０２）。着色部用第２液体としては、揮発性を有し、直径５０μｍ程度の貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに注入された場合に、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの底に露出する基板１１の第１主面１１ａ全体が濡れる程度の表面張力を有する液体が採用される。このような着色部用第２液体としては、ＰＧＭＥＡ溶剤、ケトン系溶剤、脂肪族アルコール系溶剤、脂肪族エステル系溶剤、アルキレングリコールエーテル系溶剤、アミド系極性溶剤、芳香族炭化水素類等が挙げられる。
【００２９】
この着色部用第２液体注入工程では、例えば図４（Ｂ）に示すようなインクジェットヘッド５０を備えたインクジェット装置を使用する。インクジェットヘッド５０は、ヘッド本体５１と、ヘッド本体５１に固定された振動板５２と、振動板５２に接合されたピエゾ素子５３と、を備える。ヘッド本体５１は、着色部用第２液体の液滴が吐出される複数のインクジェットノズル５１ｂと、インクジェットノズル５１ｂに連通する収容部５１ａと、を有する。ピエゾ素子５３は、外部から電圧が印加されると振動板５２を変形させる。そして、振動板５２が変形してヘッド本体５１の収容部５１ａと振動板５２とで囲まれた領域の体積が減少すると収容部５１ａに充填された着色部用第２液体がインクジェットノズル５１ｂを通じて吐出される。着色部用第２液体注入工程では、インクジェットノズル５１ｂからブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｂへ着色部用第２液体を吐出する。これにより、貫通孔１２１Ｂの底に着色部用第２液体１１３５が溜まった状態となり、着色部用第２液体１１３５が充填された貫通孔１２１Ｂの見かけ上の深さＶＴ１が浅くなる。また、貫通孔１２１Ｂの底に露出する基板１１の第１主面１１ａ全体が、着色部用第２液体１１３５で濡れた状態となっている。
【００３０】
図２に戻って、その後、紫外線が照射されることにより硬化する青色感光性樹脂組成物からなる着色部用第１液体を塗布する着色部用第１液体注入工程が行われる（ステップＳ１０３）。青色感光性樹脂組成物は、青色の色素と、感光性樹脂と、揮発性を有する有機溶媒と、を含む溶液である。感光性樹脂としては、ネガ型レジストまたはポジ型レジストが挙げられる。ポジ型レジストとしては、少なくともバインダ樹脂と感光剤とを含むものが挙げられる。バインダ樹脂と感光剤とは、前述の黒色感光性樹脂組成物に含まれるバインダ樹脂、感光剤と同様である。有機溶媒は、前述の着色部用第２液体と同様である。この青色感光性樹脂組成物は、有機溶媒に溶質として色素と感光性樹脂とが混合されていることにより、有機溶媒そのものに比べて表面張力が大きくなっている。
【００３１】
この着色部用第１液体注入工程では、例えば図５（Ａ）に示すような、長尺の塗布ヘッド１０５０を備えるダイコータを使用して着色部用第１液体をブラックマトリクス部１２の基板１１側とは反対側の主面１２ａに塗布する。塗布ヘッド１０５０から着色部用第１液体を流出させつつ基板１１を塗布ヘッド１０５０に対して塗布ヘッド１０５０の長手方向に直交する方向へ相対的に移動させることにより、ブラックマトリクス部１２の主面１２ａに着色部用第１液体が塗布される。
【００３２】
塗布ヘッド１０５０は、長尺のフロントリップ１０５１と長尺のリアリップ１０５２とを備える。塗布ヘッド１０５０の内部には、図５（Ｂ）に示すように、着色部用第１液体を塗布ヘッド１０５０の長手方向へ供給するためのマニホールド１０５３が形成されている。また、リアリップ１０５２には、マニホールド１０５３に連通しリアリップ１０５２の短手方向における端縁まで延長されたスリット１０５４が形成されている。そして、スリット１０５４の下端部が、着色部用第１液体を吐出する吐出口１０５５を構成している。吐出口１０５５は、基板１１の移動方向（Ｙ軸方向）に直交する方向に延長されている。
【００３３】
この着色部用第１液体注入工程では、ブラックマトリクス部１２から予め設定された距離だけ離間した状態で保持された塗布ヘッド１０５０の吐出口１０５５より、着色部用第１液体を吐出する。そして、塗布ヘッド１０５０の吐出口１０５５より、着色部用第１液体を吐出しながら、基板１１を予め設定された一方向（図５（Ｂ）の矢印ＡＲ１参照）へ相対的に移動させる。そうすると、図５（Ｂ）に示すような着色部用第１液体からなる塗布ビードＢ１が、ブラックマトリクス部１２と塗布ヘッド１０５０との間に形成され、着色部用第１液体が、ブラックマトリクス部１２における基板１１側とは反対側の面に塗布される。このとき、塗布ビードＢ１の一部が、ブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｂ内に侵入する。このとき、着色部用第１液体は、撥液部１２３が存在することにより、撥液部１２３上に残らずに、ブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｂの内側へ流入する。そして、着色部用第１液体が貫通孔１２１Ｂへ流入した直後において、図５（Ｃ）に示すように、貫通孔１２１Ｂの底に溜まった着色部用第２液体１１３５の上に第１液体１１３７Ｂが存在した状態となる。その後、着色部用第２液体１１３５が揮発していく。このとき、着色部用第１液体１１３７Ｂに含まれる青色の色素および感光性樹脂が着色部用第２液体１１３５へ拡散しうる。このようにして、予め貫通孔１２１Ｂの底に存在していた着色部用第２液体１１３５が着色部用第１液体１１３７Ｂの呼び水的に機能することにより、図６に示すように、貫通孔１２１Ｂの底に露出する基板１１の第１主面１１ａ全体に、青色の色素と感光性樹脂と有機溶媒とを含む青色感光性樹脂組成物１１３６Ｂが行き渡る。
【００３４】
図２に戻って、次に、着色部用第１液体１１３７Ｂ、着色部用第２液体１１３５に含まれていた有機溶媒を除去する除去工程を行う（ステップＳ１０４）。これにより、着色部用第１液体１１３７Ｂ、着色部用第２液体１１３５に含まれていた有機溶媒が除去され、青色感光性樹脂層が形成される。続いて、青色感光性樹脂層のうち貫通孔１２１Ｂに対応する部分のみを覆うフォトマスクを配置した状態で、露光装置を用いて紫外線を照射する露光工程を行い（ステップＳ１０５）、その後、例えばアルカリ性現像液を用いて現像工程を行うことにより（ステップＳ１０６）、青色着色部１３１Ｂが形成される。
【００３５】
次に、緑色着色部形成工程における着色部用第２液体注入工程を行う（ステップＳ１０７）。この着色部用第２液体注入工程は、前述のステップＳ１０２で説明した着色部用第２液体注入工程と同様であり、インクジェット装置を使用する。続いて、紫外線が照射されることにより硬化する緑色感光性樹脂組成物からなる着色部用第１液体を塗布する着色部用第１液体注入工程が行われる（ステップＳ１０８）。緑色感光性樹脂組成物は、緑色の色素と、感光性樹脂と、有機溶媒と、を含む。この着色部用第１液体注入工程は、前述のステップＳ１０３で説明した着色部用第１液体注入工程と同様であり、ダイコータを使用する。
【００３６】
その後、着色部用第１液体、着色部用第２液体に含まれていた有機溶媒を除去する除去工程（ステップＳ１０９）を行うことにより、緑色感光性樹脂層を形成する。次に、緑色感光性樹脂層のうち貫通孔１２１Ｇに対応する部分のみを覆うフォトマスクを配置した状態で、露光装置を用いて紫外線を照射する露光工程を行い（ステップＳ１１０）、続いて、例えばアルカリ性現像液を用いて現像工程を行うことにより（ステップＳ１１１）、緑色着色部１３１Ｇが形成される。
【００３７】
その後、図３に示すように、赤色着色部形成工程における着色部用第２液体注入工程を行う（ステップＳ１１２）。この着色部用第２液体注入工程は、前述のステップＳ１０２、Ｓ１０７で説明した着色部用第２液体注入工程と同様であり、インクジェット装置を使用する。続いて、紫外線が照射されることにより硬化する赤色感光性樹脂組成物からなる着色部用第１液体を塗布する着色部用第１液体注入工程が行われる（ステップＳ１１３）。緑色感光性樹脂組成物は、赤色の色素と、感光性樹脂と、有機溶媒と、を含む。この着色部用第１液体注入工程は、前述のステップＳ１０３、Ｓ１０８で説明した着色部用第１液体注入工程と同様であり、ダイコータを使用する。
【００３８】
その後、着色部用第１液体、着色部用第２液体に含まれていた有機溶媒を除去する除去工程（ステップＳ１１４）を行うことにより、赤色感光性樹脂層を形成する。次に、赤色感光性樹脂層のうち貫通孔１２１Ｒに対応する部分のみを覆うフォトマスクを配置した状態で、露光装置を用いて紫外線を照射する露光工程を行い（ステップＳ１１５）、その後、例えばアルカリ性現像液を用いて現像工程を行うことにより（ステップＳ１１６）、赤色着色部１３１Ｒが形成される。以上のステップＳ１０２乃至Ｓ１１６の一連の処理を行うことにより、図７（Ａ）に示すように、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂそれぞれの内側に赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇおよび青色着色部１３１Ｂが形成される。
【００３９】
図３に戻って、次に、色変換部形成工程における色変換部用第２液体注入工程を行う（ステップＳ１１７）。この色変換部用第２液体注入工程は、前述のステップＳ１０２、Ｓ１０７、Ｓ１１２で説明した着色部用第２液体注入工程と同様であり、インクジェット装置を使用する。これにより、図７（Ｂ）に示すように、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂ内における赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇ、青色着色部１３１Ｂの上に色変換部用第２液体１１３８が溜まった状態となり、色変換部用第２液体１１３８が充填された貫通孔１２１Ｂの見かけ上の深さＶＴ３が浅くなる。また、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂ内における赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇ、青色着色部１３１Ｂの上面が、第２液体１１３５で濡れた状態となっている。
【００４０】
続いて、赤色量子ドットおよび緑色量子ドットを含む樹脂組成物からなる色変換部用第１液体を、ブラックマトリクス部１２における基板１１側とは反対側に塗布する色変換部用第１液体注入工程を行う（ステップＳ１１８）。この樹脂組成物は、赤色量子ドットと、緑色量子ドットと、樹脂と、有機溶媒と、を含む。なお、樹脂としては、例えば熱硬化性樹脂、紫外線硬化樹脂等が用いられる。この色変換部用第１液体注入工程では、前述のステップＳ１０３、Ｓ１０８、Ｓ１１３と同様に、ダイコータを使用して、量子ドットを含む樹脂組成物をブラックマトリクス部１２における基板１１側とは反対側に塗布する。このとき、図７（Ｃ）に示すように、色変換部用第１液体からなる塗布ビードＢ２の一部が、ブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂ内に侵入する。そして、この塗布ビードＢ２を介して、ブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂ内に樹脂組成物が設けられる。このとき、樹脂組成物は、撥液部１２３が存在することにより、撥液部１２３上に残らずに、ブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの内側へ流入する。そして、色変換部用第１液体が貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂへ流入した直後において、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに溜まった色変換部用第２液体１１３８の上に色変換部用第１液体が存在した状態となる。
【００４１】
図３に戻って、次に、色変換部用第１液体、色変換部用第２液体１１３８に含まれていた有機溶媒を除去する除去工程を行う（ステップＳ１１９）。このとき、色変換部用第２液体１１３８が揮発していく。また、色変換部用第１液体に含まれる赤色量子ドット、緑色量子ドットおよび樹脂が色変換部用第２液体１１３８へ拡散しうる。これにより、量子ドットを含む熱硬化性樹脂組成物に含まれる有機溶媒が除去され、図１に示すような色変換部１３２が形成される。
【００４２】
以上説明したように、本実施の形態に係るカラーフィルタ１０の製造方法によれば、着色部用第２液体注入工程において、着色部用第１液体よりも表面張力の小さい着色部用第２液体を貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの底に注入して、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの底に第２液体１１３５が溜まった状態とする。これにより、第２液体１１３５が充填された貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの見かけ上の深さＶＴ１を浅くする。その後、着色部用第１液体注入工程において、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに着色部用第１液体を注入する。これにより、着色部用第２液体を貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの底にまで侵入させることができる。従って、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの深さが深くても貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの底の基板１１の第１主面１１ａに着色部用第２液体を良好に塗布することができる。
【００４３】
また、色変換部用第２液体注入工程においても、色変換部用第１液体よりも表面張力の小さい色変換部用第２液体１１３８を貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに注入して、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂ内における赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇ、青色着色部１３１Ｂの上に色変換部用第２液体１１３８が溜まった状態とする。これにより、色変換部用第２液体１１３８が充填された貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの見かけ上の深さＶＴ３を浅くする。その後、色変換部用第１液体注入工程において、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに色変換部用第１液体を注入する。これにより、色変換部用第１液体を貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの奥にまで侵入させることができる。従って、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの深さが深くても貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂ内における赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇ、青色着色部１３１Ｂの上に色変換部用第１液体を良好に塗布することができる。
【００４４】
ところで、着色部用第１液体注入工程において、例えばインクジェット装置を使用して着色部用第１液体を塗布する場合、コーヒーステイン現象に起因して、赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇまたは青色着色部１３１Ｂ内において厚さの斑が発生し易くなる。そして、赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇまたは青色着色部１３１Ｂ内において厚さに斑があると、赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇまたは青色着色部１３１Ｂ内において透過する光の色に斑が生じてしまう虞がある。これに対して、本実施の形態では、着色部用第１液体注入工程において、ダイコータを使用して、塗布ヘッド１０５０の吐出口１０５５より、着色部用第１液体を吐出しながら基板１１を予め設定された一方向へ移動させることにより、ブラックマトリクス部１２の主面１２ａに着色部用第１液体を塗布する。これにより、赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇまたは青色着色部１３１Ｂ内において厚さを均一にすることができるので、赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇまたは青色着色部１３１Ｂ内における透過光の色斑が低減されるという利点がある。
【００４５】
また、インクジェット装置で使用可能な色変換部用第１液体も、コーヒーステイン現象による塗布斑が発生する可能性がある。これに対して、本実施の形態では、色変換部用第１液体注入工程において、ダイコータを使用して、色変換部用第１液体を塗布する。これにより、色変換部１３２内にいて厚さを均一にすることができるので、色変換部１３２の厚さ斑が低減されるという利点がある。
【００４６】
また、色変換部用第１液体注入工程において、色変換部用第１液体がインクジェット装置で塗布できるものであれば、インクジェット装置を使用してもよい。但し、インクジェット装置で使用可能な色変換部用第１液体の種類の選択の余地が比較的少ない。そして、色変換部用第１液体として、インクジェット装置で使用できないものしか準備できない場合、その色変換部用第１液体を、ダイコータを用いて塗布せざるを得ない。ダイコータを使用して色変換部用第１液体を塗布する場合、インクジェット装置を使用する場合に比べて、色変換部用第１液体が貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに流入しにくい。そこで、本実施の形態では、前述のように、まず、インクジェット装置で使用可能な色変換部用第２液体を、インクジェット装置を使用して貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに流入させる。その後、ダイコータを使用して色変換部用第１液体を貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに流入させる。このようにして、ダイコータを用いて色変換部用第１液体を貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂ内における赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇ、青色着色部１３１Ｂの上へ良好に塗布することを可能としている。
【００４７】
また、本実施の形態に係る着色部用第２液体注入工程では、インクジェット装置を使用して、インクジェットノズル５１ｂから着色部用第２液体をブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂへ吐出する。これにより、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの底の基板１１の第１主面１１ａに着色部用第２液体を確実に塗布することができる。更に、色変換部用第２液体注入工程でも、インクジェット装置を使用して、色変換部用第２液体を貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂへ吐出する。これにより、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂ内における赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇ、青色着色部１３１Ｂの上に色変換部用第２液体を確実に塗布することができる。
【００４８】
（変形例）
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は前述の実施の形態の構成に限定されるものではない。例えば、着色部用第２液体が、青色感光性樹脂組成物、緑色感光性樹脂組成物または赤色感光性樹脂組成物であってもよい。この場合、着色部用第２液体と着色部用第１液体とに含まれる溶媒が同一種類の材料であれば、着色部用第２液体に含まれる色素および感光性樹脂の濃度は、着色部用第１液体のそれに比べて低くすることによりその表面張力を小さくすればよい。そして、着色部用第２液体に含まれる色素および感光性樹脂の濃度は、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに注入されると、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの底に露出する基板１１の第１主面１１ａ全体が濡れる程度に設定すればよい。また、色変換部用第２液体が、量子ドットを含む樹脂組成物であってもよい。この場合、色変換部用第２液体と色変換部用第１液体とに含まれる溶媒が同一種類の材料であれば、色変換部用第２液体に含まれる量子ドットおよび樹脂の濃度は、色変換部用第１液体のそれに比べて低くすることによりその表面張力を小さくすればよい。そして、色変換部用第２液体に含まれる量子ドットおよび樹脂の濃度は、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに注入されると、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂ内における赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇ、青色着色部１３１Ｂの上面が濡れる程度に設定すればよい。
【００４９】
実施の形態に係るカラーフィルタ１０の製造方法では、着色部用第２液体注入工程および色変換部用第２液体注入工程においてインクジェット装置を使用する例について説明した。但し、これに限らず、着色部用第２液体注入工程または色変換部用第２液体注入工程において、インクジェット装置の代わりに例えばダイコータを使用してもよい。
【００５０】
本構成によれば、ダイコータで使用できる着色部用第２液体または色変換部用第２液体の種類は、インクジェット装置で使用できる着色部用第２液体または色変換部用第２液体に比べて多い。従って、使用する着色部用第２液体または色変換部用第２液体の種類の選択の余地が広がる。更に、ダイコータは、インクジェット装置に比べてメンテナンス費用を低くできるという利点もある。
【００５１】
また、着色部用第２液体注入工程または色変換部用第２液体注入工程において、例えば減圧部を有するダイコータを使用してもよい。例えば図８に示すように、本変形例に係る塗布ヘッド２０５０は、吐出口１０５５における、塗布ヘッド２０５０から見て基板１１が移動する方向（図８の矢印ＡＲ１参照）側とは反対側の領域Ａ１を減圧する機能を有するリアリップ（減圧部）２０５２を備える。なお、図８において、実施の形態に係るダイコータと同様の構成については図５（Ｂ）と同一の符号を付している。リアリップ２０５２は、真空ポンプ（図示せず）に接続された吸引口２０５６を有する。そして、リアリップ２０５２は、吐出口１０５５の上流側の領域Ａ１に存在する空気を、吸引口２０５６を通じて吸引することにより（図８の矢印ＡＲ２参照）、領域Ａ１を減圧雰囲気にする。これにより、着色部用第２液体または色変換部用第２液体からなる塗布ビードＢ３が吐出口１０５５の上流側へ引き寄せられ、塗布ビードＢ３がブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｂ、１２１Ｇ、１２１Ｒの内側へ流入し易くなる。
【００５２】
本構成によれば、塗布ビードＢ３がブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｂ、１２１Ｇ、１２１Ｒの内側へ流入し易くなるので、着色部用第２液体または色変換部用第２液体の塗布欠陥が生じにくくなる。従って、カラーフィルタ１０の品質が向上する。
【００５３】
実施の形態の着色部形成工程において、着色部用第１液体が貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂへ流入し易い液体である場合、ブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂへ着色部用第２液体を注入せずに、そのまま着色部用第１液体を注入するようにしてもよい。
【００５４】
実施の形態では、着色部用第２液体と着色部用第１液体に含まれる有機溶媒とが同一種類の有機材料、または、色変換部用第２液体と色変換部用第１液体に含まれる有機溶媒とが同一種類の有機材料である場合について説明した。但し、これに限らず、着色部用第２液体と着色部用第１液体に含まれる有機溶媒と異なる種類の有機材料、または、色変換部用第２液体と色変換部用第１液体に含まれる有機溶媒とが異なる種類の有機材料であってもよい。また、着色部用第１液体に含まれる有機溶媒と着色部用第２液体に含まれる有機溶媒とは、異なる種類であり且つ互いに混じり合わないものであってもよい。また、色変換部用第１液体に含まれる有機溶媒と色変換部用第２液体に含まれる有機溶媒とは、異なる種類であり且つ互いに混じり合わないものであってもよい。この場合、着色部用第２液体、色変換部用第２液体が揮発性であり、着色部用第１液体、色変換部用第１液体が、少なくとも着色部用第２液体、色変換部用第２液体が全て揮発して貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂ内に存在しなくなるまでの期間中、流動性を維持する有機材料であればよい。即ち、着色部用第１液体、色変換部用第１液体の有機溶媒が、予め貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの底に溜まっている着色部用第２液体、色変換部用第２液体の有機溶媒と置き換わる性質を有するものであればよい。また、着色部用第１液体、色変換部用第１液体は、必ずしも揮発性を有する有機溶媒に限定されるものではなく、揮発性の低い有機溶媒であってもよい。
【００５５】
実施の形態では、着色部用第１液体注入工程、色変換部用第１液体注入工程において、ダイコータを使用する場合について説明したが、これに限らず、例えばキャピラリーコータを使用してもよい。この場合、着色部用第１液体注入工程において、ブラックマトリクス部１２の主面１２ａから予め設定された距離だけ離間した状態で保持されたキャピラリーコータの塗布ヘッドの吐出口より、着色部用第１液体を吐出しながら、塗布ヘッドまたは基板１１を予め設定された一方向へ相対的に移動させることにより、基板１１の第１主面１１ａに着色部用第１液体を塗布するようにすればよい。色変換部用第１液体注入工程も同様である。また、着色部用第１液体注入工程、色変換部用第１液体注入工程において、ストライプコータを使用してもよい。例えば、ブラックマトリクス部１２が、同一色の着色部（例えば青色着色部１３１Ｂ）に対応する貫通孔（例えば貫通孔１２１Ｂ）が同一直線上に並んでいる構造を有する場合、着色部用第１液体注入工程、色変換部用第１液体注入工程において、このストライプコータを使用することができる。更に、着色部用第２液体注入工程、色変換部用第２液体注入工程においても、キャピラリーコータまたはストライプコータを使用してもよい。
【００５６】
実施の形態では、本発明に係る液体塗布方法をカラーフィルタ１０の製造方法に適用する例について説明した。但し、本発明に係る液体塗布方法はカラーフィルタ１０の製造方法に限らず、他の製造方法に適用されてもよい。例えば図９に示すような、孔３１２１が穿設された基材３０１１と、平面視円形の孔３１２１の底に設けられた樹脂部３１３と、を備える複合部材３０１０の製造方法に適用されてもよい。孔３１２１の深さＴ２が、例えば１０μｍであり、孔３１２１の直径Ｒ２は、例えば５０μｍである。また、基材３０１１は、少なくとも基材３０１１における孔３１２１が開口する第３主面３０１１ａが撥液性を有する。
【００５７】
次に、本変形例に係る複合部材３０１０の製造方法について、図１０（Ａ）および（Ｂ）を参照しながら説明する。この複合部材３０１０の製造方法では、第２液体注入工程、第１液体注入工程、除去工程を順に行う。第１液体注入工程では、樹脂組成物からなる第１液体を塗布する。この第２液体注入工程と第１液体注入工程とからなる一連の工程が、本発明に係る液体塗布方法に相当する。まず、図１０（Ａ）に示すように、基材３０１１の孔３１２１に第２液体を注入する第２液体注入工程が行われる。第２液体としては、揮発性を有し、孔３１２１に注入された場合に、孔３１２１の底全体が濡れる程度の表面張力を有する液体が採用される。このような第２液体としては、実施の形態で説明したケトン系溶剤、脂肪族アルコール系溶剤、脂肪族エステル系溶剤、アルキレングリコールエーテル系溶剤、アミド系極性溶剤、芳香族炭化水素類等が挙げられる。この第２液体注入工程では、インクジェットヘッド５０を備えたインクジェット装置を使用する。そして、インクジェットノズル５１ｂから基材３０１１の孔３１２１へ第２液体を吐出することにより、孔３１２１の底に第２液体３１３５が溜まった状態となり、第２液体３１３５が注入された孔３１２１の見かけ上の深さＶＴ２が浅くなる。また、孔３１２１の底全体は、第２液体３１３５で濡れた状態となっている。
【００５８】
次に、樹脂組成物からなる第１液体を塗布する第１液体注入工程が行われる。樹脂組成物は、樹脂と、揮発性を有する有機溶媒と、を含む溶液である。樹脂は、紫外線が照射されることにより硬化する感光性樹脂、熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂である。有機溶媒は、前述の第２液体と同様である。この樹脂組成物は、有機溶媒に溶質として樹脂が混合されていることにより、有機溶媒そのものに比べて表面張力が大きくなっている。この第１液体注入工程では、例えば実施の形態で説明した塗布ヘッド１０５０を備えるダイコータを使用して第１液体を基材３０１１の第３主面３０１１ａに塗布する。塗布ヘッド１０５０から第１液体を流出させつつ基材３０１１を塗布ヘッド１０５０に対して相対的に移動させることにより、基材３０１１の第３主面３０１１ａに第１液体を塗布する。このとき、第１液体は、基材３０１１の第３主面３０１１ａが撥液性を有することにより、基材３０１１の第３主面３０１１ａ上に残らずに、孔３１２１の内側へ流入する。そして、第１液体が孔３１２１へ流入した直後において、図１０（Ｂ）に示すように、孔３１２１の底に溜まった第２液体３１３５の上に第１液体３１３７が存在した状態となる。その後、第２液体１１３５が揮発していく。このとき、第１液体３１３７に含まれる樹脂が第２液体３１３５へ拡散しうる。このようにして、予め孔３１２１の底に存在していた第２液体３１３５が第１液体の呼び水的に機能することにより、図１１に示すように、孔３１２１の底全体に樹脂と有機溶媒とを含む樹脂組成物３１３６が行き渡る。
【００５９】
その後、第１液体３１３７、第２液体３１３５に含まれていた有機溶媒を除去する除去工程を行うことにより、図９に示す樹脂部３１３１が形成される。
【００６０】
本構成によれば、実施の形態と同様に、第２液体３１３５が注入された孔３１２１の見かけ上の深さＶＴ２を浅くする。これにより、第１液体を孔３１２１の底にまで侵入させることができる。従って、孔３１２１の底に第１液体を良好に塗布することができる。
【００６１】
実施の形態では、ブラックマトリクス部１２が、遮光機能を有する遮光部１２２と撥液性を有する撥液部１２３とから構成される２層構造を有する例について説明した。但し、ブラックマトリクス部１２は、２層構造を有するものに限定されるものではなく、例えば遮光性および撥液性を兼ね備えた単層構造を有するものであってもよい。また、ブラックマトリクス部１２は、撥液部を有しないものであってもよい。
【００６２】
実施の形態において、着色部用第１液体に含まれる有機溶媒と色変換部用第１液体に含まれる有機溶媒とが異なる種類の有機溶媒であってもよい。また、着色部用第２液体に含まれる有機溶媒と色変換部用第２液体に含まれる有機溶媒とが異なる種類の有機溶媒であってもよい。
【００６３】
着色部用第２液体に含まれる有機溶媒は、例えば着色部用第１液体を変質させてしまうような悪い影響を与えるものでなければ着色部用第１液体に含まれる有機溶媒と異なる種類の有機溶媒であってもよい。また、色変換部用第２液体に含まれる有機溶媒も、例えば色変換部用第１液体を変質させてしまうような悪い影響を与えるものでなければ色変換部用第１液体に含まれる有機溶媒と異なる種類の有機溶媒であってもよい。但し、着色部用第２液体に含まれる有機溶媒は、着色部用第１液体に含まれる有機溶媒と同じ種類であれば着色部用第１液体に含まれる有機溶媒に与える影響が極めて少ないと考えられる。色変換部用第２液体に含まれる有機溶媒と色変換部用第１液体に含まれる有機溶媒とについても同様である。
【００６４】
実施の形態では、着色部形成工程において、感光性樹脂を用いて露光工程、現像工程を行うカラーフィルタ製造方法について説明したが、これに限らず、着色部形成工程において、例えば熱硬化性樹脂を用いるとともに、例えばインクジェット装置またはストライプコータを使用して、赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇおよび青色着色部１３１Ｂに対応する着色部用第１液体を所定の場所に塗り分けることにより露光工程、現像工程を省略してもよい。
【００６５】
以上、本発明の実施の形態および変形例（なお書きに記載したものを含む。以下、同様。）について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。本発明は、実施の形態および変形例が適宜組み合わされたもの、それに適宜変更が加えられたものを含む。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明は、ディスプレイ用のカラーフィルタの製造に広く利用可能である。
【符号の説明】
【００６７】
１：表示装置、１０：カラーフィルタ、１１：基板、１１ａ：第１主面、１１ｂ：第２主面、１２：ブラックマトリクス部、２０：発光モジュール、２１：回路基板、２２：発光部、２３：隔壁、５０：インクジェットヘッド、５１：ヘッド本体、５１ａ：収容部、５１ｂ：インクジェットノズル、５２：振動板、５３：ピエゾ素子、１２１Ｂ，１２１Ｇ，１２１Ｒ：貫通孔、１２２：遮光部、１２３：撥液部、１３１Ｂ：青色着色部、１３１Ｇ：緑色着色部、１３１Ｒ：赤色着色部、１３２：色変換部、３１３：樹脂部、１０５０，２０５０：塗布ヘッド、１０５１：フロントリップ、１０５２，２０５２：リアリップ、１０５３：マニホールド、１０５４：スリット、１０５５：吐出口、１１３５：着色部用第２液体、１１３７Ｂ：着色部用第１液体、１１３８：色変換部用第２液体、３１３５：第２液体、３１３７：第１液体、１１３６Ｂ：青色感光性樹脂組成物、２０５６：吸引口、３０１０：複合部材、３０１１：基材、３０１１ａ：第３主面、３１２１：孔、３１３１：樹脂部、３１３６：樹脂組成物、Ａ１：領域、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３：塗布ビード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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