(57)【要約】【課題】熱伝導性及び絶縁破壊耐性に優れる熱伝導性シートの前駆体、並びに該前駆体から得られる熱伝導性シート及びその製造方法を提供する。【解決手段】本開示の一実施態様の熱伝導性シート前駆体は、異方熱伝導性の一次粒子が凝集した等方熱伝導性凝集体、凝集体に構成されない異方熱伝導性材料、及びバインダー樹脂、を含み、熱伝導性シート前駆体に３〜１２ＭＰａの圧力を適用したときに、等方熱伝導性凝集体の少なくとも一部が崩壊する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
異方熱伝導性の一次粒子が凝集した等方熱伝導性凝集体、
前記凝集体に構成されない異方熱伝導性材料、及び
バインダー樹脂、を含む、熱伝導性シート前駆体であって、
前記熱伝導性シート前駆体に３〜１２ＭＰａの圧力を適用したときに、前記等方熱伝導性凝集体の少なくとも一部が崩壊する、熱伝導性シート前駆体。
【請求項２】
前記等方熱伝導性凝集体は、５０％よりも大きい空隙率を有する、請求項１に記載の熱伝導性シート前駆体。
【請求項３】
前記等方熱伝導性凝集体を１２．５〜５７．５体積％含み、前記異方熱伝導性材料を２．５〜３７．５体積％含む、請求項１又は２に記載の熱伝導性シート前駆体。
【請求項４】
前記等方熱伝導性凝集体の平均粒子径が５０μｍ以上であり、前記異方熱伝導性材料の平均長径が１〜９μｍである、請求項１〜３の何れか一項に記載の熱伝導性シート前駆体。
【請求項５】
前記異方熱伝導性材料が、異方熱伝導性の一次粒子、及び異方熱伝導性の一次粒子が異方熱伝導性を示すように凝集した二次粒子の中から選択される少なくとも１種である、請求項１〜４の何れか一項に記載の熱伝導性シート前駆体。
【請求項６】
前記等方熱伝導性凝集体の一次粒子は、前記異方熱伝導性材料の一次粒子又は二次粒子よりも１．５倍以上大きい、請求項５に記載の熱伝導性シート前駆体。
【請求項７】
前記等方熱伝導性凝集体及び前記異方熱伝導性材料が、窒化ホウ素の一次粒子を含む、請求項１〜６の何れか一項に記載の熱伝導性シート前駆体。
【請求項８】
前記等方熱伝導性凝集体の最も小さい側の長さの最大値よりも大きい厚さを有する、請求項１〜７の何れか一項に記載の熱伝導性シート前駆体。
【請求項９】
請求項１〜８の何れか一項に記載の熱伝導性シート前駆体から形成される熱伝導性シートであって、４Ｗ／ｍ・Ｋ以上の熱伝導率及び５．０ｋＶ以上の絶縁破壊電圧を有する、熱伝導性シート。
【請求項１０】
前記等方熱伝導性凝集体からの複数の崩壊一次粒子が局所的に集合した部分、及び、複数の前記異方熱伝導性材料が局所的に集合した部分を含む、請求項９に記載の熱伝導性シート。
【請求項１１】
熱伝導性シートの製造方法であって、
異方熱伝導性の一次粒子が凝集した等方熱伝導性凝集体、前記凝集体に構成されない異方熱伝導性材料、及びバインダー樹脂を含む混合物を調整する工程と、
前記混合物を用いて熱伝導性シート前駆体を形成する工程と、
前記熱伝導性シート前駆体に少なくとも３ＭＰａの圧力を適用して熱伝導性シートを形成する工程と、を備える、熱伝導性シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、熱伝導性及び絶縁破壊耐性に優れる熱伝導性シートの前駆体、並びに該前駆体から得られる熱伝導性シート及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子等の発熱性部品は使用時の発熱に伴い、性能の低下、破損等の不具合を生じる場合がある。このような不具合を解消するために、熱伝導性を有するシートが、例えば、半導体のヒートスプレッダをヒートシンクに取り付ける、電気自動車（ＥＶ）のパワーモジュールの組み立てにおいて使用されている。
【０００３】
特許文献１（特許第５０３６６９６号公報）には、鱗片状窒化ホウ素の一次粒子が等方的に凝集した二次凝集粒子を熱硬化性樹脂中に分散してなる熱伝導性シートであって、二次凝集粒子が、球状であり、且つ２０μｍ以上１８０μｍ以下の平均粒径、５０％以下の気孔率及び０．０５μｍ以上３μｍ以下の平均気孔径を有し、熱伝導性シートにおける二次凝集粒子の充填率が、２０体積％以上８０体積％以下である、熱伝導性シートが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５０３６６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
電気自動車のパワーモジュールの小型化、パワーの増加及び高性能化等に伴い、絶縁性及び熱伝導性の向上した新しい熱伝導性シートが望まれている。高熱伝導性の充填剤として、鱗片状窒化ホウ素などが知られている。鱗片状窒化ホウ素の一次粒子は、長径方向において高い熱伝導性を呈する一方で、短径方向（厚さ方向）においては低い熱伝導性を呈するという、異方熱伝導性能を示すことが知られている。このため、熱伝導性シートで鱗片状窒化ホウ素を使用する場合には、鱗片状窒化ホウ素の一次粒子をランダム方向に凝集させた凝集体の形態で使用されることがある。
【０００６】
しかしながら、このような凝集体を使用する熱伝導性シートの場合、熱伝導性は向上するものの、凝集体の間に鱗片状窒化ホウ素等が存在しない低密度領域が形成されてしまい、絶縁性能に劣るため、半導体素子等の誤作動を誘発させてしまうおそれがあった。
【０００７】
本開示は、熱伝導性及び絶縁破壊耐性に優れる熱伝導性シートの前駆体、並びに該前駆体から得られる熱伝導性シート及びその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の一実施態様によれば、異方熱伝導性の一次粒子が凝集した等方熱伝導性凝集体、該凝集体に構成されない異方熱伝導性材料、及びバインダー樹脂、を含む、熱伝導性シート前駆体であって、該熱伝導性シート前駆体に約３〜約１２ＭＰａの圧力を適用したときに、等方熱伝導性凝集体の少なくとも一部が崩壊する、熱伝導性シート前駆体が提供される。
【０００９】
本開示の別の実施態様によれば、約４Ｗ／ｍ・Ｋ以上の熱伝導率及び約５．０ｋＶ以上の絶縁破壊電圧を有する、上記の熱伝導性シート前駆体から形成される熱伝導性シートが提供される。
【００１０】
本開示の別の実施態様によれば、異方熱伝導性の一次粒子が凝集した等方熱伝導性凝集体、該凝集体に構成されない異方熱伝導性材料、及びバインダー樹脂を含む混合物を調整する工程と、該混合物を用いて熱伝導性シート前駆体を形成する工程と、該熱伝導性シート前駆体に少なくとも約３ＭＰａの圧力を適用して熱伝導性シートを形成する工程と、を備える、熱伝導性シートの製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本開示の熱伝導性シート前駆体、並びに該前駆体から得られる熱伝導性シート及びその製造方法は、得られる熱伝導性シートの熱伝導性及び絶縁破壊耐性を向上させることができる。
【００１２】
上述の記載は、本開示の全ての実施態様及び本開示に関する全ての利点を開示したものとみなしてはならない。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（ａ）は、本開示の一実施態様による熱伝導性シート前駆体における０．１ＭＰａの圧力適用時のＳＥＭ写真であり、（ｂ）は、本開示の一実施態様による熱伝導性シート前駆体における３ＭＰａの圧力適用時のＳＥＭ写真である。
【図２】（ａ）は、本開示の一実施態様による熱伝導性シート前駆体に圧力を適用して等方熱伝導性凝集体を崩壊させた箇所のＳＥＭ写真であり、（ｂ）は、等方熱伝導性凝集体を崩壊させた箇所の異方熱伝導性材料部分を拡大したＳＥＭ写真である。
【図３】（ａ）は、圧力適用前の本開示の一実施態様による熱伝導性シート前駆体を焼成した後の光学顕微鏡写真であり、（ｂ）は、等方熱伝導性凝集体が崩壊する圧力を適用して焼成した後の本開示の一実施態様による熱伝導性シート前駆体の光学顕微鏡写真である。
【図４】本開示の一実施態様による熱伝導性シート前駆体に対して圧力を適用した後の、熱伝導性シートの相対厚さ及び絶縁破壊電圧を示すグラフである。
【図５】本開示の一実施態様による熱伝導性シートにおける、各種異方熱伝導性材料の配合割合及び絶縁破壊電圧の関係を示すグラフである。
【図６】本開示の一実施態様による熱伝導性シートにおける、異方熱伝導性材料であるＰ００３の配合割合と、絶縁破壊電圧及び熱伝導率との関係を示すグラフである。
【図７】等方熱伝導性凝集体を含まず、異方熱伝導性材料である二次粒子のＶＳＮ１３９５のみを含む熱伝導性シートにおける、異方熱伝導性材料の配合割合と、絶縁破壊電圧及び熱伝導率との関係を示すグラフである。
【図８】等方熱伝導性凝集体、及び異方熱伝導性材料である二次粒子のＶＳＮ１３９５を含む熱伝導性シートにおける、異方熱伝導性材料の配合割合と、絶縁破壊電圧及び熱伝導率との関係を示すグラフである。
【図９】等方熱伝導性凝集体（Ａ１００）の単独系、及び等方熱伝導性凝集体（Ａ１００）と異方熱伝導性材料（Ｐ００３）との混合系の熱伝導性シートにおける、厚みと、絶縁破壊電圧との関係を示すグラフである。
【図１０】等方熱伝導性凝集体、及び等方熱伝導性材料であるアルミナ紛体（ＡＡ１８又はＡＡ１．５）を含む熱伝導性シートにおける絶縁破壊電圧及び熱伝導率に関するグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本開示の第１の実施形態における熱伝導性シート前駆体は、異方熱伝導性の一次粒子が凝集した等方熱伝導性凝集体、該凝集体に構成されない異方熱伝導性材料、及びバインダー樹脂、を含み、係る熱伝導性シート前駆体に約３〜１２ＭＰａの圧力を適用したときに、等方熱伝導性凝集体の少なくとも一部が崩壊する。鱗片状窒化ホウ素などの異方熱伝導性粒子の一次粒子を単にブレンドした樹脂材料からシートを形成した場合、該粒子は一方向に配列し易く、等方熱伝導性を発現しにくい。しかしながら、本開示の熱伝導性シート前駆体は、所定の圧力で崩壊し得る等方熱伝導性凝集体を採用しているため、崩壊後に、凝集体を構成する異方熱伝導性の一次粒子がランダム化し易く、熱伝導性シートに対して等方熱伝導性を発現させ易い。崩壊した異方熱伝導性の一次粒子及び凝集体に構成されない異方熱伝導性材料が、圧力適用前に凝集体間に位置していた空隙等の粒子の低密度化部分を、圧力適用後に少なくとも部分的に埋めて電子の侵入を低減し得るため、熱伝導性シートに対して絶縁破壊耐性を向上させることができる。同時に、配合する凝集体に構成されない異方熱伝導性材料は、絶縁破壊耐性の向上に加え、熱伝導性の向上にも寄与することができる。
【００１５】
第１の実施形態における熱伝導性シート前駆体に含まれる等方熱伝導性凝集体は、約５０％よりも大きい空隙率を有していてもよい。係る凝集体は、所定の圧力でより崩壊し易い性能を有している。
【００１６】
第１の実施形態における熱伝導性シート前駆体は、等方熱伝導性凝集体を約１２．５〜約５７．５体積％含むことができ、異方熱伝導性材料を約２．５〜約３７．５体積％含むことができる。係る配合割合で等方熱伝導性凝集体及び異方熱伝導性材料を含む熱伝導性シート前駆体は、最終的に得られる熱伝導性シートの熱伝導性及び絶縁破壊耐性をより向上させることができる。
【００１７】
第１の実施形態における熱伝導性シート前駆体に含まれる等方熱伝導性凝集体の平均粒子径は約５０μｍ以上であってもよく、異方熱伝導性材料の平均長径は約１〜約９μｍであってもよい。係る大きさの等方熱伝導性凝集体は、崩壊後に凝集体を構成する異方熱伝導性の一次粒子がランダム化し易く、熱伝導性シートに対して等方的な熱伝導性を発現させ易い。係る大きさの異方熱伝導性材料は、崩壊した、等方熱伝導性凝集体と等方熱伝導性凝集体の間に配置され易く充填性に優れるため、最終的に得られる熱伝導性シートの熱伝導性及び絶縁破壊耐性をより向上させることができる。
【００１８】
第１の実施形態における熱伝導性シート前駆体に含まれる異方熱伝導性材料は、異方熱伝導性の一次粒子、及び異方熱伝導性の一次粒子が異方熱伝導性を示すように凝集した二次粒子の中から選択される少なくとも１種であってもよい。係る異方熱伝導性材料は、最終的に得られる熱伝導性シートの熱伝導性及び絶縁破壊耐性をより向上させることができる。
【００１９】
第１の実施形態における熱伝導性シート前駆体に含まれる等方熱伝導性凝集体の一次粒子は、異方熱伝導性材料の一次粒子又は二次粒子よりも約１．５倍以上大きくてもよい。係る構成で等方熱伝導性凝集体及び異方熱伝導性材料を配合すると、崩壊した凝集体の一次粒子はランダムに配向され易く、且つ凝集体間に存在していた空隙等を異方熱伝導性材料で充填し易くなるため、最終的に得られる熱伝導性シートの熱伝導性及び絶縁破壊耐性をより向上させることができる。
【００２０】
第１の実施形態における熱伝導性シート前駆体に含まれる等方熱伝導性凝集体及び異方熱伝導性材料は、窒化ホウ素の一次粒子を含むことができる。窒化ホウ素は、熱伝導性及び絶縁性に優れるため、係る粒子を採用することで、両性能を向上させることができる。
【００２１】
第１の実施形態における熱伝導性シート前駆体は、等方熱伝導性凝集体の最も小さい側の長さの最大値よりも大きい厚さを有することができる。係る厚さであれば、等方熱伝導性凝集体の脱落等の不具合を低減することができる。
【００２２】
本開示の第２の実施形態における熱伝導性シートは、第１の実施形態における熱伝導性シート前駆体から形成され、約４Ｗ／ｍ・Ｋ以上の熱伝導率及び約５．０ｋＶ以上の絶縁破壊電圧を有する。
【００２３】
第２の実施形態における熱伝導性シートは、等方熱伝導性凝集体からの複数の崩壊一次粒子が局所的に集合した部分、及び、複数の異方熱伝導性材料が局所的に集合した部分を含んでいてもよい。本開示の第１の実施形態における熱伝導性シート前駆体に所定の圧力を適用して得られる熱伝導性シートは、等方熱伝導性凝集体及び異方熱伝導性材料を単に混合した樹脂材料から得られる熱伝導性シートとは異なり、上記の局所的集合部分を備えるため、熱伝導性及び絶縁破壊耐性を向上させることができる。
【００２４】
本開示の第３の実施形態における熱伝導性シートの製造方法は、異方熱伝導性の一次粒子が凝集した等方熱伝導性凝集体、該凝集体に構成されない異方熱伝導性材料、及びバインダー樹脂を含む混合物を調整する工程と、該混合物を用いて熱伝導性シート前駆体を形成する工程と、該熱伝導性シート前駆体に少なくとも約３ＭＰａの圧力を適用して熱伝導性シートを形成する工程と、を備える。係る方法によって得られる熱伝導性シートは、熱伝導性及び絶縁破壊耐性を向上させることができる。
【００２５】
以下、本開示の代表的な実施態様を例示する目的でより詳細に説明するが、本開示はこれらの実施態様に限定されない。
【００２６】
本開示において「シート」には、「フィルム」と呼ばれる物品も包含される。
【００２７】
本開示において「（メタ）アクリル」とは、アクリル又はメタクリルを意味する。
【００２８】
本開示において「異方熱伝導性」とは、方向によって熱伝導性が異なることを意図し、例えば、鱗片状窒化ホウ素は、長径方向（結晶方向）の熱伝導率が高く、短径方向（厚さ方向）の熱伝導率が低いという異方的な熱伝導性を呈する。本開示において「等方熱伝導性」とは、異方熱伝導性材料よりも熱伝導性に異方性がなく等方的であることを意図し、例えば、球状アルミナ粒子は、熱伝導性がいかなる方向においても略等しいという等方的な熱伝導性を呈する。ここで「略」とは、製造誤差などによって生じるバラつきを含むことを意味し、±約２０％程度の変動が許容されることを意図する。
【００２９】
本開示の一実施態様の熱伝導性シート前駆体は、異方熱伝導性の一次粒子が凝集した等方熱伝導性凝集体、該凝集体に構成されない異方熱伝導性材料、及びバインダー樹脂、を含み、係る熱伝導性シート前駆体に約３〜約１２ＭＰａの圧力（以下、「所定圧力」という場合がある。）を適用したときに、等方熱伝導性凝集体の少なくとも一部は崩壊する。
【００３０】
以下、本発明の代表的な実施態様を例示する目的で、図面を参照しながらより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施態様に限定されない。
【００３１】
《熱伝導性シート前駆体》
〈等方熱伝導性凝集体〉
本開示の熱伝導性シート前駆体に含まれる等方熱伝導性凝集体は、図１の（ａ）の白線で囲まれたような、異方熱伝導性の一次粒子が等方的な熱伝導性を呈するように凝集した二次凝集粒子である。係る等方熱伝導性凝集体は、熱伝導性シート前駆体に所定圧力を適用したときに、凝集体の少なくとも一部が崩壊するものであれば如何なるものも使用することができる。熱伝導性及び絶縁破壊耐性の観点から、凝集体は、図３に示されるように、所定圧力後に、１ｍｍ２当たり、約２０％以上、約３０％以上、又は約４０％以上の崩壊率を有していることが好ましい。ここで、崩壊率とは、シートから回収された凝集体の光学顕微鏡画像の粒子分布解析（イメージＪソフトウェア（バージョン１．５０ｉ））から得られる面積平均径の変化率を意味する。
【００３２】
（異方熱伝導性の一次粒子）
等方熱伝導性凝集体を構成する一次粒子は、異方熱伝導性を呈する一次粒子であれば如何なるものでもよく、次のものに限定されないが、例えば、針状、扁平状又は鱗片状の形状を有する、窒化アルミニウム、窒化珪素、窒化ホウ素等の電気絶縁性の無機一次粒子を使用することができ、これらの粒子は単独で又は２種以上混合して使用することができる。中でも、凝集体崩壊後の熱伝導性及び絶縁破壊耐性等の観点から、鱗片状の六方晶窒化ホウ素（ｈ−ＢＮ）が好ましい。
【００３３】
等方熱伝導性凝集体を構成する一次粒子の大きさは、最終的に得られる熱伝導性シートの所望の熱伝導性及び絶縁破壊耐性が得られるように適宜調整すればよく、次のものに限定されないが、例えば、以下で説明する異方熱伝導性材料の一次粒子又は二次粒子の大きさ（例えば、平均長径）よりも、約１．５倍以上、約２倍以上、又は約２．５倍以上大きい構成にすることができる。係る構成で等方熱伝導性凝集体及び異方熱伝導性材料を配合すると、図２（ａ）の四角部に示されるように、崩壊した凝集体の一次粒子がランダムに配向され、熱伝導性シートに対して等方的な熱伝導性を付与し易く、凝集体間に存在していた空隙等は、図２（ａ）の円形部に示されるように、異方熱伝導性材料で充填され易くなるため、熱伝導性及び絶縁破壊耐性をより向上させることができる。
【００３４】
（等方熱伝導性凝集体の空隙率）
等方熱伝導性凝集体は、所定圧力適用後の崩壊性の観点から、約５０％よりも大きい空隙率を有することができ、約６０％以上、又は約７０％以上の空隙率を有していてもよい。係る空隙率は、例えば、凝集体の焼成温度を調整して制御することができる。焼成温度が高い場合には、凝集体は収縮して緻密化するため、凝集体の強度は高くなるが空隙率は低くなる。一方、焼成温度が低い場合には、凝集体の収縮が低減されるため、凝集体の強度を高めることなく空隙率を高めることができる。ここで、高温焼成した場合には、凝集体は球状体の形態を呈し易い一方で、低温焼成した場合には、不完全な球状体、即ち、非球状体の形態を呈し易い。凝集体の空隙率は、例えば、凝集体のバルク密度から算出することができ、或いは、水銀圧入法により細孔体積を測定することによって求めることもできる。
【００３５】
（等方熱伝導性凝集体の大きさ）
等方熱伝導性凝集体の大きさは、最終的に得られる熱伝導性シートの所望の熱伝導性及び絶縁破壊耐性が得られるように適宜規定すればよく、次のものに限定されないが、例えば、約５０μｍ以上、約６０μｍ以上、又は約７０μｍ以上の平均粒子径とすることができる。平均粒子径の上限値については特に限定されるものではないが、熱伝導性シート前駆体からの耐脱落性等の観点から、例えば、約３００μｍ以下、約２５０μｍ以下、又は約２００μｍ以下にすることができる。係る大きさの等方熱伝導性凝集体は、崩壊後にランダム化し易く、熱伝導性シートに対して等方的な熱伝導性を発現させ易い。ここで、等方熱伝導性凝集体の平均粒子径は、例えば、レーザー回折・散乱法、又は走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）などの電子顕微鏡を用いて求めることができる。特に、レーザー回折（湿式測定、ＬＳ  １３  ３２０、Ｂｅｃｋｍａｎ  Ｃｏｕｌｔｅｒ社製）による凝集体粒度分布測定から得られる体積平均径を用いるのが好ましい。
【００３６】
（等方熱伝導性凝集体の配合割合）
等方熱伝導性凝集体の配合割合は、最終的に得られる熱伝導性シートの所望の熱伝導性及び絶縁破壊耐性が得られるように適宜調整すればよく、次のものに限定されないが、例えば、熱伝導性シート前駆体１００体積％当たり、約１２．５体積％以上、約１４体積％以上又は約１５．５体積％以上、約５７．５体積％以下、約５２．５体積％以下又は約４７．５体積％以下の範囲にすることができる。係る配合割合で等方熱伝導性凝集体を含む熱伝導性シート前駆体は、最終的に得られる熱伝導性シートの熱伝導性及び絶縁破壊耐性をより向上させることができる。ここで、熱伝導性シート前駆体、崩壊前の凝集体等には空隙が含まれているが、体積％の計算には各材料の真密度を用いているため、上記の体積％の値には係る空隙は含まれない。
【００３７】
〈異方熱伝導性材料〉
本開示の熱伝導性シート前駆体に含まれる異方熱伝導性材料とは、上述した等方熱伝導性凝集体に構成されていない異方熱伝導性材料、即ち、等方熱伝導性凝集体を構成している異方熱伝導性の一次粒子とは別個に存在している異方熱伝導性材料を意図している。係る異方熱伝導性材料は、図２（ａ）の円形部に示されるように、崩壊した、等方熱伝導性凝集体と等方熱伝導性凝集体との間に配置され易く充填性に優れるため、最終的に得られる熱伝導性シートの熱伝導性及び絶縁破壊耐性を向上させる機能を奏するものと考えている。
【００３８】
本開示の異方熱伝導性材料は、上述した機能を奏する材料であれば如何なるものでもよく、次のものに限定されないが、例えば、針状、扁平状又は鱗片状の形状を有する、窒化アルミニウム、窒化珪素、窒化ホウ素等の異方熱伝導性かつ電気絶縁性の無機一次粒子、及び係る無機一次粒子が異方熱伝導性を示すように凝集した二次粒子の中から選択される少なくとも１種を使用することができる。中でも、最終的に得られる熱伝導性シートの熱伝導性及び絶縁破壊耐性等の観点から、鱗片状の六方晶窒化ホウ素（ｈ−ＢＮ）の一次粒子又は二次粒子が好ましい。ここで、無機一次粒子が異方熱伝導性を示すように凝集した二次粒子とは、例えば、米国特許出願公開第２０１２／０１１４９０５号に開示されるようなものであり、このような二次粒子は、２つの異方向に回転するロールの間に窒化ホウ素等の無機一次粒子を適用して圧縮固化して製造することができる。
【００３９】
（異方熱伝導性材料の大きさ）
本開示の異方熱伝導性材料の大きさは、上述した機能を奏するように適宜規定すればよく、次のものに限定されないが、約１μｍ以上、約１．５μｍ以上又は約２μｍ以上、約９μｍ以下、約８．５μｍ以下又は約８μｍ以下の平均長径とすることができる。係る大きさの異方熱伝導性材料は、図２（ａ）の円形部に示されるように、崩壊した、等方熱伝導性凝集体と等方熱伝導性凝集体の間に配置され易く充填性に優れるため、最終的に得られる熱伝導性シートの熱伝導性及び絶縁破壊耐性をより向上させることができる。特に、球状ではない鱗片状等の無機一次粒子又は二次粒子は、図２（ｂ）の楕円部に示されるように、等方熱伝導性凝集体崩壊時に、鱗片状等の異方熱伝導性材料も、例えば、係る凝集体を構成する異方熱伝導性の一次粒子によって同時に圧力が付加されるため、係る圧力付加部分が緻密化し、且つ熱伝導性シートに対して水平方向ではなく異方向に配向され易くなると考えている。その結果、熱伝導性シートは等方的な熱伝導性をより発現し易くなり、絶縁破壊耐性も向上すると考えている。ここで、異方熱伝導性材料の平均長径は、例えば、光学顕微鏡、又は走査型電子顕微鏡などの電子顕微鏡を用いて求めることができる。この場合、粒子５０個以上から平均長径を求めるのが好ましい。
【００４０】
（異方熱伝導性材料の配合割合）
異方熱伝導性材料の配合割合は、最終的に得られる熱伝導性シートの所望の熱伝導性及び絶縁破壊耐性が得られるように適宜調整すればよく、次のものに限定されないが、例えば、熱伝導性シート前駆体１００体積％当たり、約２．５体積％以上、約４．０体積％以上又は約５．５体積％以上、約３７．５体積％以下、約３６．０体積％以下又は約３４．５体積％以下の範囲にすることができる。係る配合割合で異方熱伝導性材料を含む熱伝導性シート前駆体は、最終的に得られる熱伝導性シートの熱伝導性及び絶縁破壊耐性をより向上させることができる。ここで、熱伝導性シート前駆体、崩壊前の凝集体等には空隙が含まれているが、体積％の計算には各材料の真密度を用いているため、上記の体積％の値には係る空隙は含まれない。
【００４１】
〈バインダー樹脂〉
本開示の熱伝導性シート前駆体に含まれるバインダー樹脂としては、最終的に得られる熱伝導性シートの、使用用途、接着性等の使用条件などに応じて適宜選択することができ、次のものに限定されないが、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、シリコーンゴム、フッ素系ゴム等のゴム系樹脂などを用いることができる。例えば、熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂などを用いることができ、熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、（メタ）アクリル樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリイミド樹脂などを用いることができる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。中でも、熱伝導性シートの成形性等の観点から、エポキシ樹脂が好ましい。エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、脂環脂肪族エポキシ樹脂、グリシジル−アミノフェノール系エポキシ樹脂などが挙げられ、これらも単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４２】
（バインダー樹脂の配合割合）
バインダー樹脂の配合割合は、最終的に得られる熱伝導性シートの所望の熱伝導性及び絶縁破壊耐性が得られるように適宜調整すればよく、次のものに限定されないが、例えば、熱伝導性シート前駆体１００体積％当たり、約５体積％以上、約１１．５体積％以上又は約１８体積％以上、約８５体積％以下、約８２体積％以下又は約７９体積％以下の範囲にすることができる。係る配合割合でバインダー樹脂を含む熱伝導性シート前駆体は、最終的に得られる熱伝導性シートの、熱伝導性、絶縁破壊耐性、接着性等の性能をより向上させることができる。ここで、熱伝導性シート前駆体、崩壊前の凝集体等には空隙が含まれているが、体積％の計算には各材料の真密度を用いているため、上記の体積％の値には係る空隙は含まれない。
【００４３】
〈任意の添加材料〉
本開示の熱伝導性シート前駆体は、難燃剤、顔料、染料、充填剤、補強材、レベリング剤、カップリング剤、消泡剤、分散剤、熱安定剤、光安定剤、架橋剤、熱硬化剤、光硬化剤、硬化促進剤、粘着性付与剤、可塑剤、反応性希釈剤、溶剤などの添加剤をさらに含んでもよい。これらの添加剤の配合量は、本発明の効果を損なわない範囲において適宜決定することができる。
【００４４】
〈熱伝導性シート前駆体の厚さ〉
本開示の熱伝導性シート前駆体の厚さは、最終的に得られる熱伝導性シートの使用用途等に応じて適宜選択することができ、次のものに限定されないが、上述した等方熱伝導性凝集体の最も小さい側の長さの最大値よりも大きい厚さを有することができる。係る厚さであれば、等方熱伝導性凝集体の脱落等の不具合を低減することができる。ここで、等方熱伝導性凝集体の最も小さい側の長さは、例えば、等方熱伝導性凝集体を光学顕微鏡によってそのイメージ画像を取得し、次いで、係るイメージ画像を、イメージＪソフトウェア（バージョン１．５０ｉ）の粒子分析機能を使用し、楕円近似から得られる短軸直径として求めることができる。等方熱伝導性凝集体の最も小さい側の長さの最大値とは、凝集体１００個に対し、最も小さい側の長さを各々求め、その中の最大値として規定することができる。
【００４５】
《熱伝導性シート》
〈熱伝導性シートの特性〉
本開示の熱伝導性シート前駆体から得られる熱伝導性シートは、約４Ｗ／ｍ・Ｋ以上、約４．５Ｗ／ｍ・Ｋ以上、又は約５Ｗ／ｍ・Ｋ以上の熱伝導率、及び約５．０ｋＶ以上、約５．５ｋＶ以上、又は約６．０ｋＶ以上の絶縁破壊電圧を有することができる。係る熱伝導率及び絶縁破壊電圧を有する熱伝導性シートは、電気自動車（ＥＶ）のパワーモジュールなどに対しても十分に使用することができる。
【００４６】
〈熱伝導性シートの厚さ〉
本開示の熱伝導性シートの厚さは、使用用途等に応じて適宜選択することができ、次のものに限定されないが、例えば、約８０μｍ以上、約１００μｍ以上、又は約１５０μｍ以上にすることができ、約４００μｍ以下、約３５０μｍ以下、又は約３００μｍ以下にすることができる。本開示の熱伝導性シートは、熱伝導性に加えて優れた絶縁破壊耐性も奏するため、熱伝導性シートの厚さを薄くすることができる。
【００４７】
〈熱伝導性シートの製造方法〉
本開示の熱伝導性シート前駆体の製造方法としては、次のものに限定されないが、例えば、所定の容器中に、バインダー樹脂、溶剤、及び任意に硬化剤等を配合し、高速ミキサー等を使用して約１０００〜約３０００ｒｐｍ、約１０〜約６０秒間、撹拌混合し、混合物Ａを調整する。次いで、混合物Ａに対して、等方熱伝導性凝集体及び異方熱伝導性材料、任意に溶剤をさらに配合し、高速ミキサー等を使用して約１０００〜約３０００ｒｐｍ、約１０〜約６０秒間さらに撹拌混合し、混合物Ｂを調整する。次いで、混合物Ｂを剥離ライナー上に、バーコーター、ナイフコーター等の公知の塗工手段を用いて塗工し、所定条件で乾燥させて熱伝導性シート前駆体を得ることができる。係る乾燥は、一段階の乾燥でもよいが、二段階以上の乾燥であってもよく、例えば、約５０℃〜約７０℃で約１〜約１０分間の乾燥を実施した後に、約８０℃〜約１２０℃で約１〜約１０分間の乾燥を実施してもよい。このような多段階の乾燥を経由すると、図１の（ａ）に示されるような空隙を有する熱伝導性シート前駆体が得られ易い。次いで、得られた熱伝導性シート前駆体に対して、約５０℃〜約７０℃で約１〜約１０分間、少なくとも約３ＭＰａ、少なくとも約４ＭＰａ、又は少なくとも約５ＭＰａの圧力を適用し、図１の（ｂ）に示されるような熱伝導性シートを製造することができる。ここで、熱硬化剤を使用する場合には、上述した乾燥工程の熱を利用して硬化させてもよく、他の工程、例えば、圧力を適用する工程、追加の加熱工程などにおいて別途硬化させてもよい。
【００４８】
係る方法によって得られる熱伝導性シートは、図２の（ａ）の四角部分に示されるような、異方熱伝導性材料の存在しない、等方熱伝導性凝集体からの複数の崩壊一次粒子が局所的に集合した部分と、図２の（ａ）の円形部分に示されるような、等方熱伝導性凝集体からの崩壊一次粒子が存在しない、複数の異方熱伝導性材料が局所的に集合した部分を、熱伝導性シート内において別個に含むことができる。等方熱伝導性凝集体及び異方熱伝導性材料を単に混合した樹脂材料から得られる熱伝導性シートの場合には、等方熱伝導性凝集体及び異方熱伝導性材料が、一般的には、均一に分散混合されているため、上述したような局所的な集合部分は形成されない。
【００４９】
《用途》
本開示の熱伝導性シートは、例えば、電気自動車（ＥＶ）等の車両、家電製品、コンピューター機器等で使用される、例えば、ＩＣチップ等の発熱性部品と、ヒートシンク又はヒートパイプ等の放熱部品との間の間隙を充填するように配置して、発熱性部品から発生した熱を放熱部品に効率よく熱伝達し得る放熱用物品、特に、パワーモジュールに使用される放熱用物品として用いることができる。
【実施例】
【００５０】
《実施例１〜９及び比較例１〜５》
以下の実施例において、本開示の具体的な実施態様を例示するが、本開示はこれに限定されるものではない。
【００５１】
本実施例で使用した商品などを以下の表１に示す。
【００５２】
【表１】
2019121708.tif 000003
【００５３】
表１に示す各材料を表２に示す配合割合で混合し、熱伝導性シート前駆体を作製するためのコーティング液を各々作製した。ここで、表２における数値は全て質量部を意味する。
【００５４】
【表２】
2019121708.tif 000004
【００５５】
<評価試験>
熱伝導性シートの特性及び内部構造を、以下の方法を用いて評価した。
【００５６】
（熱伝導率試験）
Ｎｅｔｚｓｃｈ社製、Ｈｙｐｅｒｆｌａｓｈ(登録商標)ＬＦＡ  ４６７におけるフラッシュ分析方法を使用して熱拡散率の測定を次のようにして行う。２枚の剥離ライナーの間に熱伝導性シート前駆体を適用し、それをホットプレス機（ヒータープレートプレス機Ｎ５０４２−００、エヌピーエーシステム株式会社製）内に配置し、１８０℃で３０分間、所定の圧力を付加して前駆体を硬化させ、厚さ約２００μｍの熱伝導性シートのサンプルＡを作製する。次いで、係るサンプルＡをナイフカッターで１０ｍｍ×１０ｍｍの大きさに切断してサンプルＢを作製し、係るサンプルＢをサンプルホルダー内に取り付ける。測定前に、サンプルＢの両サイドを、グラファイト（ＧＲＡＰＨＩＴ  ３３、Ｋｏｎｔａｋｔ  Ｃｈｅｍｉｅ）の薄層でコートしてサンプルＣを作製する。測定では、底面への光のパルス（キセノンフラッシュランプ、２３０Ｖ、２０〜３０μｓの継続時間）の照射後に、ＩｎＳｂ  ＩＲ検出器によってサンプルＣの上面の温度を測定する。測定は、２３℃において、サンプルＣに対して３回行う。次いで、コワン法を用いてサーモグラムのフィットから熱拡散率を算出する。サンプルＣの熱拡散率、密度及びＤＳＣによって得られる比熱容量に基づき、Ｎｅｔｚｓｃｈ社製のＰｒｏｔｅｕｓ(登録商標)ソフトウェアで熱伝導率を算出する。
【００５７】
（絶縁破壊電圧試験）
上記と同じ手順でサンプルＡを調製する。アサオ電子社製のパンクテスター（ＴＰ−５１２０Ａ）を用い、大気雰囲気下、係るサンプルＡに対して０．５ｋＶ／ｓの速度で絶縁破壊電圧の測定を行う。測定は、サンプルＡの異なるスポットで３回実施され、その平均値を絶縁破壊電圧の値とする。
【００５８】
（走査型電子顕微鏡）
株式会社日立ハイテクノロジーズ製のＩＭ４０００Ｐｌｕｓイオンミリング装置を用いて断面サンプルを作製し、係る断面サンプルに対してスパッタリング装置により２ｎｍのＰｔ／Ｐｄ層を被覆する。次いで、株式会社日立ハイテクノロジーズ製のＳ３４００Ｎを使用してサンプルの断面を観察する。
【００５９】
〈試験１：圧力適用後の熱伝導性シートの相対厚さ及び絶縁破壊電圧の関係〉
（実施例１）
Ａ１００及びＰ００３が８５／１５の割合で含まれている熱伝導性シート前駆体用コーティング液ＴＡ−３を作製後、直ちに、３８μｍ厚の剥離ＰＥＴライナー（Ａ３１：東レデュポン株式会社製）上に、ギャップ間隔２９０μｍのナイフコーターでコーティングし、６５℃で５分間乾燥させた後、１００℃で５分間さらに乾燥させて、各種圧力を適用するための、厚さ約１８０μｍの熱伝導性シート前駆体を各々作製した。次いで、各熱伝導性シート前駆体に対し、２枚のシート前駆体を積層して、６５℃で５分間、１ＭＰａ、２ＭＰａ、３ＭＰａ、１０ＭＰａの圧力を各々適用して熱伝導性シートを作製した。得られた熱伝導性シートの相対厚さ、即ち、熱伝導性前駆体の厚さに対する熱伝導性シートの厚さの割合、及び絶縁破壊電圧の結果を図４に示す。ここで、１ＭＰａ及び２ＭＰａの圧力適用時の実施形態は参考例とする。
【００６０】
（実施例２）
ＴＡ−３に代えて、Ａ１００及びＰ００３が６０／４０の割合で含まれている熱伝導性シート前駆体用コーティング液ＴＡ−５を使用したこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。係る熱伝導性シートの相対厚さ及び絶縁破壊電圧の結果を図４に示す。ここでも、１ＭＰａ及び２ＭＰａの圧力適用時の実施形態は参考例とする。
【００６１】
（実施例３）
ＴＡ−３に代えて、Ａ１００及びＰ００３が４０／６０の割合で含まれている熱伝導性シート前駆体用コーティング液ＴＡ−６を使用したこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。係る熱伝導性シートの相対厚さ及び絶縁破壊電圧の結果を図４に示す。ここでも、１ＭＰａ及び２ＭＰａの圧力適用時の実施形態は参考例とする。
【００６２】
（比較例１）
ＴＡ−３に代えて、Ａ１００及びＰ００３が１００／０の割合で含まれている熱伝導性シート前駆体用コーティング液Ｔ−０を使用したこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。係る熱伝導性シートの相対厚さ及び絶縁破壊電圧の結果を図４に示す。
【００６３】
〈結果〉
図４から分かるように、比較例１の熱伝導性シートは、圧力を適用することで、相対厚さが減少している、即ち、熱伝導性シートの厚さが前駆体時の厚さに比べて減少していることから、シート内において等方熱伝導性凝集体（Ａ１００）が崩壊していると考えられるが、絶縁破壊電圧の値はほとんど変化がなかった。一方、本開示の熱伝導性シートに相当する実施例１〜３の態様は、適用する圧力が１ＭＰａから３ＭＰａへと増加するにしたがい、絶縁破壊電圧の値が急激に上昇することが確認された。その結果、等方熱伝導性凝集体と異方熱伝導性材料との併用は、絶縁破壊耐性に大きく寄与することが分かった。
【００６４】
〈試験２：各種異方熱伝導性材料における配合割合と絶縁破壊電圧との関係〉
（実施例４）
熱伝導性シート前駆体用コーティング液として、異方熱伝導性材料を含まないＴ−０、及び異方熱伝導性材料としてＰ００３を用いるＴＡ−１〜ＴＡ−８を使用したこと、並びに、適用圧力を３ＭＰａに固定したこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。得られた熱伝導性シートにおける異方熱伝導性材料の配合割合及び絶縁破壊電圧に関する結果を図５に示す。ここで、異方熱伝導性材料の配合割合が０％及び１００％の実施形態は参考例とする。
【００６５】
（実施例５）
熱伝導性シート前駆体用コーティング液として、異方熱伝導性材料を含まないＴ−０、及び異方熱伝導性材料としてＰ００７を用いるＴＢ−１〜ＴＢ−７を使用したこと、並びに、適用圧力を３ＭＰａに固定したこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。得られた熱伝導性シートにおける異方熱伝導性材料の配合割合及び絶縁破壊電圧に関する結果を、図５に示す。ここで、異方熱伝導性材料の配合割合が０％及び１００％の実施形態は参考例とする。
【００６６】
（実施例６）
熱伝導性シート前駆体用コーティング液として、異方熱伝導性材料を含まないＴ−０、及び異方熱伝導性材料としてＶＳＮ１３９５を用いるＴＣ−１〜ＴＣ−４を使用したこと、並びに、適用圧力を３ＭＰａに固定したこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。得られた熱伝導性シートにおける異方熱伝導性材料の配合割合及び絶縁破壊電圧に関する結果を図５に示す。ここで、異方熱伝導性材料の配合割合が０％及び１００％の実施形態は参考例とする。
【００６７】
〈結果〉
図５から分かるように、実施例４〜６のいずれの熱伝導性シートにおいても、異方熱伝導性材料の配合量が増えるに従い、絶縁破壊電圧の値も増加する傾向にあることが確認された。特に、異方熱伝導性材料としてＰ００３を採用した実施例４の熱伝導性シートの場合には、その配合量が低量であっても、４ｋＶ程度付近以上の絶縁破壊電圧を達成し得ることが確認された。
【００６８】
〈試験３：異方熱伝導性材料（Ｐ００３）の配合割合と絶縁破壊電圧及び熱伝導率との関係〉
（実施例７）
熱伝導性シート前駆体用コーティング液として、異方熱伝導性材料を含まないＴ−０、及び異方熱伝導性材料としてＰ００３を用いるＴＡ−１〜ＴＡ−８を使用したこと、並びに、適用圧力を３ＭＰａに固定したこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。得られた熱伝導性シートにおける異方熱伝導性材料の配合割合、並びに絶縁破壊電圧及び熱伝導率に関する結果を図６に示す。ここで、異方熱伝導性材料の配合割合が０％及び１００％の実施形態は参考例とする。
【００６９】
〈結果〉
図６から分かるように、異方熱伝導性材料の配合量の増加は、絶縁破壊電圧の向上に大きく寄与する一方で、熱伝導率に関しては、その値を減少させる要因となり得ることが分かった。熱伝導率が低下する要因としては、異方熱伝導性材料の割合が増加するに伴い等方熱伝導性凝集体の割合が減少し、凝集体崩壊後の異方熱伝導性一次粒子のランダムな配向の割合も減少するためであると考えられる。熱伝導性シートの要求性能などによっても変動するため、次に限定されないが、熱伝導率及び絶縁破壊耐性の両方の観点から、図６の実施形態に関しては、ドット部の領域を好ましい領域とすることができる。
【００７０】
〈試験４：異方熱伝導性材料（ＶＳＮ１３９５）のみを含む熱伝導性シートにおける、異方熱伝導性材料の配合割合と絶縁破壊電圧及び熱伝導率との関係〉
（比較例２）
熱伝導性シート前駆体用コーティング液として、等方熱伝導性凝集体を含まず、異方熱伝導性材料としてＶＳＮ１３９５を用いる、ＴＣ−４、ＴＣ−Ａ及びＴＣ−Ｂを使用したこと、並びに、適用圧力を３ＭＰａに固定したこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。得られた熱伝導性シートにおける異方熱伝導性材料の配合割合、並びに絶縁破壊電圧及び熱伝導率に関する結果を図７に示す。
【００７１】
〈結果〉
図７から分かるように、熱伝導性シートに対して異方熱伝導性材料の配合割合を増加させたとしても、異方熱伝導性材料のみしか含まれない構成では、絶縁破壊耐性と熱伝導率との両性能を同時に向上させることは難しいことが確認された。
【００７２】
〈試験５：異方熱伝導性材料（ＶＳＮ１３９５）の配合割合及び絶縁破壊電圧の関係〉
（実施例８）
熱伝導性シート前駆体用コーティング液として、異方熱伝導性材料を含まないＴ−０、及び異方熱伝導性材料としてＶＳＮ１３９５を用いるＴＣ−１〜ＴＣ−４を使用したこと、並びに、適用圧力を３ＭＰａに固定したこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。得られた熱伝導性シートにおける異方熱伝導性材料の配合割合、並びに絶縁破壊電圧及び熱伝導率に関する結果を図８に示す。ここで、異方熱伝導性材料の配合割合が０％及び１００％の実施形態は参考例とする。
【００７３】
〈結果〉
図８から分かるように、試験４の結果とは異なり、異方熱伝導性材料がＶＳＮ１３９５の系であっても、等方熱伝導性凝集体を併用することによって、試験３（異方熱伝導性材料がＰ００３の系）の結果と同様に、絶縁破壊耐性及び熱伝導性の両方の性能を向上させ得ることが確認された。
【００７４】
〈試験６：等方熱伝導性凝集体の単一系、及び等方熱伝導性凝集体と異方熱伝導性材料との混合系の熱伝導性シートにおける厚みと絶縁破壊電圧との関係〉
（実施例９）
熱伝導性シート前駆体用コーティング液として、異方熱伝導性材料としてＰ００３を用いるＴＡ−２〜ＴＡ−７を使用したこと、適用圧力を３ＭＰａに固定したこと、並びに熱伝導性シートの厚さを、１９６μｍ（ＴＡ−２の系）、２０７μｍ（ＴＡ−３の系）、１８７μｍ（ＴＡ−４の系）、１９０μｍ（ＴＡ−５の系）、１６９μｍ（ＴＡ−６の系）及び１５７μｍ（ＴＡ−７の系）としたこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。得られた熱伝導性シートにおける厚みと絶縁破壊電圧に関する結果を図９に示す。
【００７５】
（比較例３）
熱伝導性シート前駆体用コーティング液として、等方熱伝導性凝集体単一系のＴ−０を使用したこと、適用圧力を３ＭＰａに固定したこと、並びに熱伝導性シートの厚さを、９４μｍ、１５３μｍ、２３９μｍ、３６９μｍ、及び５５３μｍとしたこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。得られた熱伝導性シートにおける厚みと絶縁破壊電圧に関する結果を図９に示す。
【００７６】
〈結果〉
図９から分かるように、本開示の熱伝導性シートの実施態様に相当する実施例９の構成の方が、比較例３の構成に比べて、熱伝導性シートの厚さが薄くても、絶縁破壊耐性が高いことが確認された。
【００７７】
〈試験７：等方熱伝導性凝集体、及びアルミナ紛体を含む熱伝導性シートにおける絶縁破壊電圧及び熱伝導率との関係〉
（比較例４）
熱伝導性シート前駆体用コーティング液として、熱伝導性材料として等方熱伝導性材料であるＡＡ１８を用いるＴＤ−１を使用したこと、及び適用圧力を３ＭＰａに固定したこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。得られた熱伝導性シートにおける熱伝導率及び絶縁破壊電圧に関する結果を図１０に示す。
【００７８】
（比較例５）
熱伝導性シート前駆体用コーティング液として、熱伝導性材料として等方熱伝導性材料であるＡＡ１．５を用いるＴＥ−１を使用したこと、及び適用圧力を３ＭＰａに固定したこと以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを作製した。得られた熱伝導性シートにおける熱伝導率及び絶縁破壊電圧に関する結果を図１０に示す。
【００７９】
〈結果〉
図１０から分かるように、熱伝導性材料として、等方熱伝導性材料である球状のアルミナを使用した場合には、熱伝導性シートの熱伝導率及び絶縁破壊耐性の両方の性能を向上させることはできないことが確認された。
【００８０】
本発明の基本的な原理から逸脱することなく、上記の実施態様及び実施例が様々に変更可能であることは当業者に明らかである。また、本発明の様々な改良及び変更が本発明の趣旨及び範囲から逸脱せずに実施できることは当業者には明らかである。
【図１】
2019121708.tif 000005
【図２】
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【図３】
2019121708.tif 000007
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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