(57)【要約】【課題】曲げ部における導電性を安定に保持できるセンサーフィルム及びセンサーフィルム付き画像表示装置の提供。【解決手段】  センサーチャネル２と、引出し配線４と、コネクト部５とを備え、更に曲げ部Ｂを有するセンサーフィルムであって、センサーチャネル２は金属細線メッシュにより構成され、曲げ部Ｂにはセンサーチャネル２から延長された金属細線メッシュにより構成されたメッシュ延長部３が配置され、センサーチャネル２と引出し配線４とはメッシュ延長部３を介して電気的に接続されており、曲げ部Ｂのメッシュ延長部３のメッシュ開口率が、センサーチャネル２のメッシュ開口率より小さいセンサーフィルム、及び、該センサーフィルムの曲げ部Ｂにおける曲げによって、画像表示装置の表側にセンサーチャネル２、裏側にコネクト部５が配置されているセンサーフィルム付き画像表示装置。【選択図】図３
2019008361.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム上に、センサーチャネルと、前記センサーチャネルに電気的に接続された引出し配線と、前記引出し配線の端部に設けられたコネクト部とを備え、更に曲げ部を有するセンサーフィルムであって、
前記センサーチャネルは金属細線メッシュにより構成され、
前記曲げ部には、前記センサーチャネルから延長された金属細線メッシュにより構成されたメッシュ延長部が配置され、
前記センサーチャネルと前記引出し配線とは、前記メッシュ延長部を介して電気的に接続されており、
前記曲げ部の前記メッシュ延長部のメッシュ開口率が、前記センサーチャネルのメッシュ開口率より小さいことを特徴とするセンサーフィルム。
【請求項２】
前記曲げ部の前記メッシュ延長部を構成する金属細線メッシュと、前記センサーチャネルを構成する金属細線メッシュのメッシュパターンとが、それぞれ格子状のメッシュパターンであり、
前記曲げ部の前記メッシュ延長部のメッシュピッチが、前記センサーチャネルのメッシュピッチより小さいことを特徴とする請求項１記載のセンサーフィルム。
【請求項３】
前記曲げ部の前記メッシュ延長部のメッシュピッチが０．５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項２記載のセンサーフィルム。
【請求項４】
前記曲げ部の前記メッシュ延長部を構成する金属細線メッシュと、前記センサーチャネルを構成する金属細線メッシュのメッシュパターンとが、それぞれ幾何学図形を成す金属細線を複数組み合わせて構成されたメッシュパターンであり、
前記曲げ部の前記メッシュ延長部のメッシュピッチが、前記センサーチャネルのメッシュピッチより小さいことを特徴とする請求項１記載のセンサーフィルム。
【請求項５】
前記幾何学図形は四角形であり、
前記四角形の２本の対角線の方向に、前記四角形を成す前記金属細線を二次元的に複数並設してなり、
少なくとも一組の互いに隣接する前記四角形を成す前記金属細線は、頂点を挟む両辺同士を交差させて２つの交点で交わっていることを特徴とする請求項４記載のセンサーフィルム。
【請求項６】
前記曲げ部の前記メッシュ延長部のメッシュピッチが０．７１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項４又は５記載のセンサーフィルム。
【請求項７】
前記曲げ部の前記メッシュ延長部を構成する金属細線メッシュのメッシュパターンと、前記センサーチャネルを構成する金属細線メッシュのメッシュパターンとが相似関係にあることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のセンサーフィルム。
【請求項８】
前記曲げ部の前記メッシュ延長部の幅が、前記センサーチャネルの幅よりも小さいことを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載のセンサーフィルム。
【請求項９】
前記センサーチャネル及び前記メッシュ延長部を構成する金属細線は、金属ナノ粒子層と、該金属ナノ粒子層を被覆する１層以上の金属層とにより構成された多層構造を有することを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載のセンサーフィルム。
【請求項１０】
前記金属層はめっき皮膜であることを特徴とする請求項９記載のセンサーフィルム。
【請求項１１】
前記センサーチャネルと、前記メッシュ延長部と、前記引出し配線と、前記コネクト部とを、フィルムの両面に備えることを特徴とする請求項１〜１０の何れかに記載のセンサーフィルム。
【請求項１２】
画像表示装置と、請求項１〜１１の何れかに記載のセンサーフィルムとにより構成され、
前記画像表示装置の表側に前記センサーチャネルが配置されていると共に、前記曲げ部における曲げによって、前記画像表示装置の裏側に前記コネクト部が配置されていることを特徴とするセンサーフィルム付き画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサーフィルム及びセンサーフィルム付き画像表示装置に関し、より詳しくは、曲げ部における導電性を安定に保持できるセンサーフィルム及びセンサーフィルム付き画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
タッチパネルセンサーを構成するセンサーフィルムには、タッチを検出するためのセンサーチャネルと、該センサーチャネルに接続された引出し配線と、該引出し配線の端部に形成されたコネクト部とが設けられる。コネクト部は、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）やＦＦＣ（Flexible Flat Cable）を介して、タッチパネルセンサーを制御するための集積回路（ＩＣ）に接続される。
【０００３】
特許文献１、２には、画像表示装置の表側に配置されたセンサーフィルムの一部を折り曲げて、コネクト部を該画像表示装置の裏側に配置することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１８６３４号公報
【特許文献２】特開２０１５−１５８８４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１、２のように、コネクト部を該画像表示装置の裏側に配置することで、タッチパネルセンサーの狭ベゼル化（狭額縁化ともいう）が可能になる。また、画像表示装置の裏側でコネクト部をＦＰＣやＦＦＣに接続できるため、画像表示装置の表側の厚みを薄くすることが可能になる。
【０００６】
しかし、センサーフィルムを折り曲げる場合は、曲げ部において導線が断線し易くなる。断線が生じると、センサーチャネルとコネクト部との間の導電性が損なわれる。
【０００７】
特許文献２は、曲げ部の導線を太く形成することによって断線防止できるとしているが、曲げ部における導電性を安定に保持する観点で、更なる改善の余地が見出された。
【０００８】
そこで本発明の課題は、曲げ部における導電性を安定に保持できるセンサーフィルム及びセンサーフィルム付き画像表示装置を提供することにある。
【０００９】
また本発明の他の課題は、以下の記載によって明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１１】
１．
フィルム上に、センサーチャネルと、前記センサーチャネルに電気的に接続された引出し配線と、前記引出し配線の端部に設けられたコネクト部とを備え、更に曲げ部を有するセンサーフィルムであって、
前記センサーチャネルは金属細線メッシュにより構成され、
前記曲げ部には、前記センサーチャネルから延長された金属細線メッシュにより構成されたメッシュ延長部が配置され、
前記センサーチャネルと前記引出し配線とは、前記メッシュ延長部を介して電気的に接続されており、
前記曲げ部の前記メッシュ延長部のメッシュ開口率が、前記センサーチャネルのメッシュ開口率より小さいことを特徴とするセンサーフィルム。
２．
前記曲げ部の前記メッシュ延長部を構成する金属細線メッシュと、前記センサーチャネルを構成する金属細線メッシュのメッシュパターンとが、それぞれ格子状のメッシュパターンであり、
前記曲げ部の前記メッシュ延長部のメッシュピッチが、前記センサーチャネルのメッシュピッチより小さいことを特徴とする前記１記載のセンサーフィルム。
３．
前記曲げ部の前記メッシュ延長部のメッシュピッチが０．５ｍｍ以下であることを特徴とする前記２記載のセンサーフィルム。
４．
前記曲げ部の前記メッシュ延長部を構成する金属細線メッシュと、前記センサーチャネルを構成する金属細線メッシュのメッシュパターンとが、それぞれ幾何学図形を成す金属細線を複数組み合わせて構成されたメッシュパターンであり、
前記曲げ部の前記メッシュ延長部のメッシュピッチが、前記センサーチャネルのメッシュピッチより小さいことを特徴とする前記１記載のセンサーフィルム。
５．
前記幾何学図形は四角形であり、
前記四角形の２本の対角線の方向に、前記四角形を成す前記金属細線を二次元的に複数並設してなり、
少なくとも一組の互いに隣接する前記四角形を成す前記金属細線は、頂点を挟む両辺同士を交差させて２つの交点で交わっていることを特徴とする前記４記載のセンサーフィルム。
６．
前記曲げ部の前記メッシュ延長部のメッシュピッチが０．７１ｍｍ以下であることを特徴とする前記４又は５記載のセンサーフィルム。
７．
前記曲げ部の前記メッシュ延長部を構成する金属細線メッシュのメッシュパターンと、前記センサーチャネルを構成する金属細線メッシュのメッシュパターンとが相似関係にあることを特徴とする前記１〜６の何れかに記載のセンサーフィルム。
８．
前記曲げ部の前記メッシュ延長部の幅が、前記センサーチャネルの幅よりも小さいことを特徴とする前記１〜７の何れかに記載のセンサーフィルム。
９．
前記センサーチャネル及び前記メッシュ延長部を構成する金属細線は、金属ナノ粒子層と、該金属ナノ粒子層を被覆する１層以上の金属層とにより構成された多層構造を有することを特徴とする前記１〜８の何れかに記載のセンサーフィルム。
１０．
前記金属層はめっき皮膜であることを特徴とする前記９記載のセンサーフィルム。
１１．
前記センサーチャネルと、前記メッシュ延長部と、前記引出し配線と、前記コネクト部とを、フィルムの両面に備えることを特徴とする前記１〜１０の何れかに記載のセンサーフィルム。
１２．
画像表示装置と、前記１〜１１の何れかに記載のセンサーフィルムとにより構成され、
前記画像表示装置の表側に前記センサーチャネルが配置されていると共に、前記曲げ部における曲げによって、前記画像表示装置の裏側に前記コネクト部が配置されていることを特徴とするセンサーフィルム付き画像表示装置。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、曲げ部における導電性を安定に保持できるセンサーフィルム及びセンサーフィルム付き画像表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態に係るセンサーフィルムを説明する図
【図２】センサーフィルム付き画像表示装置の一例を概念的に説明する図
【図３】メッシュ延長部近傍の拡大図
【図４】第２実施形態に係るセンサーフィルムにおけるメッシュ延長部近傍の拡大図
【図５】金属細線の形成方法の一例を説明する図
【図６】金属細線メッシュ形成の第一態様を説明する図
【図７】金属細線メッシュ形成の第二態様を説明する図
【図８】金属細線メッシュ形成の第二態様によって形成されたメッシュ延長部近傍の拡大図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、図面を参照して本発明を実施するための形態について詳しく説明する。
【００１５】
１．第１実施形態
図１は第１実施形態に係るセンサーフィルムを説明する図であり、図２はセンサーフィルムの曲げを説明する図である。本実施形態では、タッチパネルセンサーを構成するセンサーフィルムを例示している。
【００１６】
図１において、１はフィルム、２、２’はセンサーチャネル、４、４’は引出し配線、５、５’はコネクト部である。
【００１７】
図１において、センサーチャネル２’、引出し配線４’及びコネクト部５’はフィルム１の裏面に設けられているが、説明の便宜上、実線で示されている。
【００１８】
フィルム１の材質は格別限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、セルロース系樹脂（ポリアセチルセルロース、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート等）、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン系樹脂、メタクリル系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−（ポリ）スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）樹脂等が挙げられる。これらの材質を用いれば、フィルムに良好な透明性を付与できる。また、特に合成樹脂材料を用いることによって、フィルムに良好な可撓性を付与することができる。合成樹脂材料により構成されたフィルムは、延伸されていても、未延伸であってもよい。
【００１９】
フィルム１の厚さは格別限定されず、例えば１μｍ〜１０ｃｍ程度、更には２０μｍ〜３００μｍ程度とすることができる。
【００２０】
フィルム１には、表面エネルギーを変化させるための表面処理を施してもよい。更に、フィルム１は、積層体でもよく、ハードコート層や反射防止層などを有してもよい。
【００２１】
フィルム１の形状は格別限定されず、１以上の曲げ部において曲げることができる形状であればよい。本実施形態では、センサーフィルムを２つの曲げ部Ｂ、Ｂ’で曲げ易くするように、方形状の一つの角部を切り欠いた形状を有するフィルム１を用いている。
【００２２】
センサーチャネル２、２’は、タッチパネルセンサーにおいてタッチを検出するための電極であり、タッチを検出するためのアクティブエリアＡに配置されている。
【００２３】
フィルム１の表面には、Ｘ方向に延びる帯状のセンサーチャネル２がＹ方向に複数並設されている。これにより、センサーチャネル２は、Ｙ方向のタッチ位置を検出することができる。また、フィルム１の裏面には、Ｙ方向に延びる帯状のセンサーチャネル２’がＸ方向に複数並設されている。これにより、センサーチャネル２’は、Ｘ方向のタッチ位置を検出することができる。アクティブエリアＡにおいて、センサーチャネル２と、センサーチェネル２’とが交差していることによって、Ｘ方向及びＹ方向のタッチ位置を検出することができる。
【００２４】
タッチパネルセンサーの検出方式は格別限定されず、例えば、抵抗膜方式、静電容量方式、光センサー方式等が挙げられる。
【００２５】
センサーチャネル２は、引出し配線４を介して、コネクト部５に電気的に接続されている。コネクト部５には、図示しないＦＰＣ又はＦＦＣが接続され、ＦＰＣ又はＦＦＣを介して、タッチパネルセンサーを制御するための図示しない集積回路（ＩＣ）に接続される。同様に、センサーチャネル２’は、引出し配線４’を介して、コネクト部５’に電気的に接続されている。コネクト部５’には、ＦＰＣ又はＦＦＣが接続され、ＦＰＣ又はＦＦＣを介して、タッチパネルセンサーを制御するための集積回路に接続される。
【００２６】
本実施形態において、センサーフィルムは、２つの曲げ部Ｂ、Ｂ’を有しており、図２に示すように、これらの曲げ部Ｂ、Ｂ’においてセンサーフィルムを曲げることができる。ここでは、薄い板状の画像表示装置Ｃの裏側にセンサーフィルムを曲げる場合について示している。曲げ部Ｂ、Ｂ’の曲率半径は格別限定されず、例えば０．１ｍｍ〜５ｍｍ、更には０．３ｍｍ〜２ｍｍとすることができる。
【００２７】
２つの曲げ部Ｂ、Ｂ’は、センサーエリアＡの外部に設けられている。また、曲げ部Ｂは、センサーチャネル２とコネクト部５との間に設けられている。また、曲げ部Ｂ’は、センサーチャネル２’とコネクト部５’との間に設けられている。そのため、画像表示装置Ｃの表側にセンサーチャネル２、２’を配置すると共に、曲げ部Ｂ、Ｂ’における曲げによって、画像表示装置Ｃの裏側にコネクト部５、５’を配置することができる。このようにして、センサーフィルム付き画像表示装置を構成することができる。
【００２８】
上記のようにセンサーフィルムを曲げることによって、タッチパネルセンサーの狭ベゼル化が可能になる。即ち、画像表示装置Ｃの側方にコネクト部５、５’を収容するためのスペースを確保する必要がなくなり、画像表示装置Ｃの表側を全面的にセンサーエリアＡで被覆する場合においてもベゼル（額縁）を狭くすることができる。
【００２９】
また、画像表示装置Ｃの裏側でコネクト部５、５’をＦＰＣ又はＦＦＣに接続できるため、画像表示装置Ｃの表側の厚みを薄くすることが可能になる。
【００３０】
これらの効果は、センサーチャネル２、２’と、引出し配線４、４’と、コネクト部５、５’とをフィルム１の両面に備える場合（即ち、フィルム１の両面にＦＰＣ又はＦＦＣを接続する場合）に、更に良好に発揮される。
【００３１】
以下に、曲げ部Ｂの構成について詳しく説明するが、この説明は曲げ部Ｂ’にも援用される。
【００３２】
図１に示したように、曲げ部Ｂには、センサーチャネル２から延長された金属細線メッシュにより構成されたメッシュ延長部３が配置されている。曲げ部が金属細線メッシュで構成されることにより、メッシュのばね性を利用し曲げ性が向上される。図３に、かかるメッシュ延長部３近傍を拡大した様子を示す。
【００３３】
メッシュ延長部３は、アクティブエリアＡの外部に配置されており、アクティブエリアＡのセンサーチャネル２と引出し配線４とを電気的に接続している。
【００３４】
曲げ部Ｂにおけるメッシュ延長部３のメッシュ開口率は、センサーチャネル２のメッシュ開口率より小さい。
【００３５】
ここで、センサーチャネル２のメッシュ開口率は、センサーチャネル２の面積のうちの金属細線２１によって被覆されていない面積の割合である。センサーチャネル２の面積は、センサーチャネル２を構成する金属細線２１によって被覆された面積と、センサーチャネル２を構成する金属細線２１間の、金属細線２１によって被覆されていない面積との和である。
【００３６】
曲げ部Ｂにおけるメッシュ延長部３のメッシュ開口率も、センサーチャネル２のメッシュ開口率と同様にして算出する。曲げ部Ｂにおけるメッシュ延長部３を構成する導電性細線３１の線幅が、センサーチャネル２を構成する導電性細線２１よりも太い場合は、導電性細線３１の線幅を導電性細線２１の線幅に置き換えて算出された開口率をメッシュ延長部３のメッシュ開口率とする。
【００３７】
曲げ部Ｂにおけるメッシュ延長部３のメッシュ開口率を、センサーチャネル２のメッシュ開口率より小さくする例として、メッシュ延長部３の単位面積あたりの金属細線３１の配置本数を、センサーチャネル２の単位面積あたりの金属細線２１の配置本数よりも多くすること、あるいは、メッシュ延長部３の単位面積あたりの金属細線３１の合計長さを、センサーチャネル２の単位面積あたりの金属細線２１の合計長さよりも大きくすることが挙げられる。
【００３８】
曲げ部Ｂにおけるメッシュ延長部３のメッシュ開口率が、センサーチャネル２のメッシュ開口率より小さいことによって、曲げ部Ｂにおける導電性を安定に保持できる。そのため、センサーフィルムは、そのセンサー機能を良好に発揮できる。このような効果が得られる理由としては、曲げ部Ｂにおけるメッシュ延長部３を構成する一部の金属細線３１に断線が生じても、他の金属細線３１によって導電性が補われ易いこと等が考えられる。
【００３９】
更に、本実施形態では、特許文献２のように曲げ部Ｂの導線を太くする必要がないため、太くされた導線の剛性によって曲げ部Ｂにおける曲げが困難になることも回避できる。本発明では、例えば、曲げ部Ｂの金属細線３１の線幅を、図３に示すようにセンサーチャネル２の金属細線２１の線幅と同じにする、あるいは金属細線２１の線幅よりも小さくすることができる。これにより、金属細線２１の剛性が大きくなることを防止でき、センサーフィルムを曲げ部Ｂにおいて好適に曲げることができる。また、金属細線３１が曲げに伴う変形を許容し易くなり、断線も防止される。
【００４０】
更にまた、センサーチャネル２とメッシュ延長部３とで個別に開口率を設定できるため、センサーチャネル２には良好な透明性が得られる比較的大きい開口率を設定し、メッシュ延長部３には良好な導電性が得られる比較的小さい開口率を設定できる。これにより、センサーチャネル２の透明性と、メッシュ延長部３の導電性とを両立することもできる。
【００４１】
本実施形態では、センサーチャネル２は金属細線２１を所定のメッシュピッチで配置して格子状のメッシュパターンを形成し、メッシュ延長部３も金属細線３１を所定のメッシュピッチで配置して格子状のメッシュパターンを形成している。このとき、曲げ部Ｂのメッシュ延長部３のメッシュピッチを、センサーチャネル２のメッシュピッチより小さくすることによって、曲げ部Ｂにおけるメッシュ延長部３のメッシュ開口率を、センサーチャネル２のメッシュ開口率より小さくすることができる。
【００４２】
曲げ部Ｂのメッシュ延長部３のメッシュピッチは、０．５ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、曲げ部Ｂにおける導電性を更に安定化できる。曲げ部Ｂのメッシュ延長部３のメッシュピッチの下限は格別限定されないが、例えば０．１ｍｍ以上とすることができる。
【００４３】
センサーチャネル２のメッシュピッチは格別限定されないが、例えば、０．６ｍｍ以上３ｍｍ以下とすることができる。
【００４４】
格子状のメッシュパターンにおけるメッシュピッチは、対向する（平行に隣接する）金属細線３１の線中心（線幅方向の中心）の間隔である。複数組の対向する金属細線３１において、この間隔が一定でない場合は、間隔の平均値をメッシュピッチとする。
【００４５】
また、曲げ部Ｂのメッシュ延長部３のメッシュパターンと、センサーチャネル２のメッシュパターンとが相似関係にある場合は、曲げ部Ｂのメッシュ延長部３のメッシュパターンのスケールを、センサーチャネル２のメッシュパターンのスケールよりも小さくすることによって、曲げ部Ｂにおけるメッシュ延長部３のメッシュ開口率を、センサーチャネル２のメッシュ開口率より小さくすることができる。このような相似関係が成立する場合、メッシュパターンは、メッシュピッチを計測できないランダムパターンであってもよい。また、このような相似関係が成立しない場合であっても、上述した開口率の条件を満たすものであれば、ランダムパターンであってもよい。
【００４６】
２．第２実施形態
図４は第２実施形態に係るセンサーフィルムにおけるメッシュ延長部３近傍の拡大図である。
【００４７】
上述した第１実施形態では、曲げ部Ｂにおけるメッシュ延長部３の幅（帯幅）が、センサーチャネル２の幅（帯幅）と同じである場合について示したが、これに限定されない。本実施形態では、曲げ部Ｂにおけるメッシュ延長部３の幅が、センサーチャネル２の幅よりも小さい。
【００４８】
本実施形態によれば、メッシュ延長部３の幅が小さいことによって寄生容量が低下し、センサーフィルムのノイズ耐性が向上する効果が得られる。センサーチャネル２の幅は、良好なセンサー機能を発揮するように、比較的大きい幅で形成することができる。
【００４９】
図４に示したように、小さくされたメッシュ延長部３の幅は、曲げ部Ｂから引出し配線４との接続部まで維持されていることが好ましい。これにより、寄生容量を更に低下することができる。
【００５０】
以上の説明では、主にフィルム１の表面の構成について説明したが、フィルム１の裏面についても表面と同様であり、曲げ部Ｂ’にメッシュ延長部３’が設けられており、同様の効果が発揮される。
【００５１】
３．他の実施形態
以上に説明した第１及び第２実施形態では、小さくされたメッシュ延長部３の開口率を、曲げ部Ｂから引出し配線４との接続部まで維持する場合について示したが、これに限定されない。例えば、曲げ部Ｂのメッシュ延長部３についてのみ開口率を小さく設定してもよい。
【００５２】
また、以上の説明では、センサーチャネル２、２’と、メッシュ延長部３、３’と、引出し配線４、４’と、コネクト部５、５’とを、フィルム１の両面に備える場合について示したが、これに限定されない。例えば、これらの構成をフィルム１の一方の面のみに備えてもよい。
【００５３】
さらに、フィルム１が積層体である場合、センサーチャネル２、メッシュ延長部３、引出し配線４及びコネクト部５が設けられたフィルムと、センサーチャネル２’、メッシュ延長部３’、引出し配線４’及びコネクト部５’が設けられたフィルムとを用意して、これらを積層してフィルム１を構成することができる。
【００５４】
４．金属細線
次に、センサーチャネル及びメッシュ延長部を構成する金属細線の好ましい態様について、詳しく説明する。
【００５５】
金属細線は、単層構造でもよいが、多層構造であることが好ましい。金属細線は、金属ナノ粒子層と、該金属ナノ粒子層を被覆する１層以上の金属層とにより構成された多層構造を有することが特に好ましい。これにより、曲げ部における導電性を更に安定に保持できる。
【００５６】
このような効果が得られる理由としては、まず、金属ナノ粒子層が緩衝層として機能することが考えられる。即ち、金属ナノ粒子層は、フィルム上に堆積された金属ナノ粒子から構成されるため、金属ナノ粒子間に微細な間隙を多数有する。この間隙によって金属ナノ粒子層は適度に肉抜きされた状態にあるため、曲げに伴う変形を好適に吸収し、あるいは曲げに伴う変形に好適に追従し、断線を防止できる。更に、金属層の積層によって、金属ナノ粒子の集合体である金属ナノ粒子層が保護されると共に、金属細線の導電性が向上する。
【００５７】
金属ナノ粒子層を構成する金属ナノ粒子の材質は格別限定されず、例えば、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｚｎ、Ｃｏ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｗ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｇａ、Ｉｎ等が挙げられる。これらの中でも、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉが好ましく、Ａｇ、Ｎｉが特に好ましい。金属ナノ粒子の平均粒子径は、例えば１〜１００ｎｍ、更には３〜５０ｎｍとすることができる。平均粒子径は、体積平均粒子径であり、マルバーン社製「ゼータサイザ１０００ＨＳ」により測定することができる。
【００５８】
金属層の材質は格別限定されず、例えば、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｚｎ、Ｓｎ等が挙げられる。金属層は中実であることが好ましい。また、金属層はめっき皮膜であることが好ましい。これにより、金属ナノ粒子層との密着性が向上し、金属細線の導電性も好適に向上することができる。金属ナノ粒子層上に複数の金属層が積層されていることは好ましいことであり、例えば、Ａｇナノ粒子により構成されたナノ粒子層上に、Ｃｕにより構成された金属層とＮｉにより構成された金属層とを、この順で積層することによって、Ｃｕによる導電性向上効果及びＮｉによる耐久性向上効果が良好に発揮される。
【００５９】
以下に、金属細線について、その製造方法の観点から、更に詳しく説明する。
【００６０】
フィルム上に金属ナノ粒子層により構成された金属細線を形成する際には印刷法が好適に用いられる。印刷法においては、金属ナノ粒子を含有するインクを基材上に付与して金属細線を形成することができる。
【００６１】
印刷法は格別限定されず、例えば、スクリーン印刷法、凸版印刷法、凹版印刷法、オフセット印刷法、フレキソ印刷法、インクジェット法等が挙げられ、中でもインクジェット法が好ましい。インクジェット法におけるインクジェットヘッドの液滴吐出方式は格別限定されず、例えばピエゾ方式やサーマル方式等が挙げられる。
【００６２】
印刷法には、金属ナノ粒子を自己組織化させる手法を組み合わせてもよく、これにより線幅の細い金属細線を形成できる。自己組織化に際しては、例えば、金属ナノ粒子の基材に対する親和性や、金属ナノ粒子のインク成分に対する親和性を利用することができる。親和性としては、親水性及び又は疎水性を利用できる。また、インクの内部流動を利用して金属ナノ粒子を自己組織化させてもよい。
【００６３】
特に、フィルム上に付与されたインクを乾燥させる際にコーヒーステイン現象を利用して金属細線を形成することが好ましい。これについて、図５を参照して説明する。
【００６４】
まず、図５（ａ）に示すように、フィルム１上に、金属ナノ粒子を含むインクにより構成されたライン状液体２０を付与する。
【００６５】
次いで、ライン状液体２０を乾燥させる過程でライン状液体２の縁に金属ナノ粒子を選択的に堆積させることによって、図５（ｂ）に示すように、金属細線２１を形成することができる。この例では、ライン状液体２０の長手方向に沿う両縁に導電材料を選択的に堆積させることによって、一対の金属細線２１、２１を形成している。ライン状液体２０の線幅を均一に形成することによって、一対の金属細線２１、２１を互いに平行に形成することができる。
【００６６】
金属細線２１の線幅は、ライン状液体２の線幅よりも細く、例えば２０μｍ以下、１５μｍ以下、更には１０μｍ以下とすることができる。このように金属細線２１の線幅が小さいことによって、金属細線２１が視認され難くなり、センサーチャネル２の透明性も向上できる。金属細線２１の線幅の下限は格別限定されないが、安定な導電性を付与する等の観点では、例えば１μｍ以上とすることができる。
【００６７】
複数の金属細線２１によって金属細線メッシュを形成することができる。以下に、図６を参照して金属細線メッシュ形成の第一態様について説明し、次いで、図７を参照して金属細線メッシュ形成の第二態様について説明する。
【００６８】
〔金属細線メッシュ形成の第一態様〕
金属細線メッシュ形成の第一態様においては、まず、図６（ａ）に示すように、フィルム１上に、所定の間隔で並設された複数のライン状液体２０を形成する。
【００６９】
次いで、図６（ｂ）に示すように、ライン状液体２０を乾燥させる際にコーヒーステイン現象を利用して、各々のライン状液体２０から一対の金属細線２１、２１を形成する。
【００７０】
次いで、図６（ｃ）に示すように、先に形成された複数の金属細線２１と交差するように、所定の間隔で並設された複数のライン状液体２０を形成する。
【００７１】
次いで、図６（ｄ）に示すように、ライン状液体２０を乾燥させる際にコーヒーステイン現象を利用して、各々のライン状液体２０から一対の金属細線２１、２１を形成する。以上のようにして金属細線メッシュを形成することができる。
【００７２】
図６の例では、ライン状液体２０及び金属細線２１を直線にしているが、これに限定されない。ライン状液体２０及び金属細線２１の形状は、例えば波線又は折線（ジグザグ線）等であってもよい。
【００７３】
以上、センサーチャネル２の金属細線２１を形成する場合について説明したが、同様にしてメッシュ延長部３の金属細線３１も形成できる。ライン状液体２０の線幅及びライン状液体２０の配置間隔の一方又は両方を小さくすることによって、得られる金属細線メッシュのメッシュピッチを小さくすることができる。これにより、センサーチャネルの金属細線２１と、曲げ部Ｂのメッシュ延長部３の金属細線３１とを、曲げ部Ｂにおけるメッシュ延長部３のメッシュ開口率が、センサーチャネル２のメッシュ開口率より小さくなるように、形成することができる。
【００７４】
〔金属細線メッシュ形成の第二態様〕
金属細線メッシュ形成の第二態様においては、まず、図７（ａ）に示すように、フィルム１上に、フィルム１の長手方向（図中、上下方向）及び幅方向（図中、左右方向）に所定の間隔で並設された、複数の四角形を成すライン状液体２０を形成する。
【００７５】
次いで、図７（ｂ）に示すように、ライン状液体２０を乾燥させる際にコーヒーステイン現象を利用して、各々のライン状液体２０から、一対の金属細線２１、２１により構成された細線ユニットを形成する。かかる細線ユニットにおいて、金属細線２１、２１は、一方（外側の金属細線２１）が他方（内側の金属細線２１）を内部に包含しており、同心状に形成されている。また、金属細線２１、２１はそれぞれ、ライン状液体２０の両縁（内周縁及び外周縁）の形状に対応して四角形を成している。
【００７６】
次いで、図７（ｃ）に示すように、フィルム１上に、フィルム１の長手方向及び幅方向に所定の間隔で並設された、複数の四角形を成すライン状液体２０を形成する。ここで、複数の四角形を成すライン状液体２０は、先に形成された細線ユニットの間に挟まれる位置に形成される。ここでは、四角形を成すライン状液体２０は、これに隣接する細線ユニットのうちの外側の金属細線２１と接触するが、内側の金属細線２１とは接触しないように配置されている。
【００７７】
次いで、図７（ｄ）に示すように、ライン状液体２０を乾燥させる際にコーヒーステイン現象を利用して、各々のライン状液体２０から、一対の金属細線２１、２１により構成された細線ユニットを更に形成する。
【００７８】
図７（ｄ）に示すパターンにおいて、外側の金属細線２１は、隣接する外側の金属細線２１と互いに接続されている。一方、内側の金属細線２１は、他の内側の金属細線２１、及び、外側の金属細線２１と接続されていない。即ち、内側の金属細線２１は、孤立するように配置されている。
【００７９】
図７（ｄ）に示すパターンを、そのまま金属細線メッシュとして用いてもよい。また、図７（ｄ）に示すパターンにおける内側の金属細線２１を除去し、外側の金属細線２１により構成された金属細線メッシュ（図７（ｅ））を形成してもよい。金属細線メッシュ形成の第二態様によれば、金属細線２１を自由度高く形成できる効果が得られる。特に複数の金属細線２１の配置間隔を、ライン状液体２０の線幅に依拠せず自由度高く設定できる効果が得られる。
【００８０】
内側の金属細線２１を除去する方法は格別限定されず、例えば、レーザー光等のようなエネルギー線を照射する方法や、化学的にエッチング処理する方法等を用いることができる。
【００８１】
また、外側の金属細線２１に電解めっきを施す際に、内側の金属細線２１をめっき液によって除去する方法を用いてもよい。上述したように内側の金属細線２１は孤立するように配置されており、外側の金属細線２１に電解めっきを施すための通電経路から除外することができる。そのため、外側の金属細線２１に電解めっきを施している間（通電している間）に、電解めっきが施されない内側の金属細線２１を、めっき液によって溶解又は分解して除去することができる。
【００８２】
以上のようにして、四角形を成す金属細線２１を複数組み合わせて、メッシュパターンを構成することができる。かかるメッシュパターンにおいて、四角形を成す金属細線２１は、四角形の２本の対角線の方向に、二次元的に複数並設されている。そして、互いに隣接する四角形を成す金属細線２１は、頂点を挟む両辺同士を交差させて２つの交点で交わっている。これにより、互いに隣接する四角形を成す金属細線２１間の導電性が安定になり、メッシュパターン全体の導電性を向上できる。
【００８３】
図７（ｄ）に示したメッシュパターンでは、全組の互いに隣接する四角形を成す金属細線２１が、頂点を挟む両辺同士を交差させて２つの交点で交わっている場合について示したが、これに限定されず、少なくとも一組の互いに隣接する四角形を成す金属細線２１が、頂点を挟む両辺同士を交差させて２つの交点で交わるようにしてもよい。
【００８４】
以上、センサーチャネル２の金属細線２１を形成する場合について説明したが、同様にしてメッシュ延長部３の金属細線３１も形成できる。ライン状液体２０により構成された四角形の大きさ及び四角形の配置間隔の一方又は両方を小さくすることによって、得られる金属細線メッシュのメッシュピッチを小さくすることができる。これにより、センサーチャネル２の金属細線２１と、曲げ部Ｂのメッシュ延長部３の金属細線３１とを、曲げ部Ｂにおけるメッシュ延長部３のメッシュ開口率が、センサーチャネル２のメッシュ開口率より小さくなるように、形成することができる。
【００８５】
このようにして形成されたメッシュ延長部近傍の一例を図８に示す。図８の例において、曲げ部Ｂのメッシュ延長部３を構成する複数の四角形を成す金属細線３１は、センサーチャネル２を構成する複数の四角形を成す金属細線２１と比較して、四角形の大きさが小さく、且つ四角形の配置間隔も小さい。これにより、曲げ部Ｂのメッシュ延長部３のメッシュピッチを、センサーチャネル２のメッシュピッチよりも小さくしている。ここでいうメッシュピッチは、四角形の重心間距離である。
【００８６】
曲げ部Ｂのメッシュ延長部３のメッシュパターンが、四角形を成す金属細線を複数組み合わせて構成される場合は、メッシュピッチが０．７１ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、曲げ部Ｂにおける導電性を更に安定化できる。曲げ部Ｂのメッシュ延長部３のメッシュピッチの下限は格別限定されないが、例えば０．１４ｍｍ以上とすることができる。
【００８７】
センサーチャネル２のメッシュパターンが、四角形を成す金属細線を複数組み合わせて構成される場合は、メッシュピッチは格別限定されないが、例えば、０．８５ｍｍ以上４．２ｍｍ以下とすることができる。
【００８８】
センサーチャネル２の金属細線２１を構成する複数の金属細線２１が成す四角形は、大きさがランダムであってもよいが、規則性を有することが好ましく、均一であることが最も好ましい。同様に、曲げ部Ｂのメッシュ延長部３を構成する複数の金属細線３１が成す四角形は、大きさがランダムであってもよいが、規則性を有することが好ましく、均一であることが最も好ましい。
【００８９】
以上の説明では、ライン状液体２０及び金属細線２１を四角形にしているが、これに限定されない。ライン状液体２０及び金属細線２１の形状として、例えば閉じられた幾何学図形が挙げられる。閉じられた幾何学図形としては、例えば三角形、四角形、六角形、八角形等の多角形が挙げられる。また、閉じられた幾何学図形は、例えば円形、楕円形等のように曲線要素を含むことができる。上述した四角形の場合に限らず、幾何学図形を成す金属細線を複数組み合わせて構成されたメッシュパターンのメッシュピッチは、幾何学図形の重心間距離として算出できる。重心間距離が一定でない場合は平均値をメッシュピッチとする。曲げ部Ｂのメッシュ延長部３のメッシュパターンが、幾何学図形を成す金属細線を複数組み合わせて構成される場合は、上述した四角形の場合に限らず、メッシュピッチが０．７１ｍｍ以下であることが好ましい。幾何学図形が四角形である場合についてした説明は、四角形以外の幾何学図形の場合にも適宜援用される。
【００９０】
〔インク〕
次に、印刷法、特に上述したコーヒーステイン現象に好適に用いられるインクについて、詳しく説明する。
【００９１】
インクには上述した金属ナノ粒子を含有させることができる。インクにおける金属ナノ粒子の濃度は格別限定されないが、例えば５重量％以下とすることができ、更には０．０１重量％以上１．０重量％以下とすることができる。これにより、コーヒーステイン現象が促進され、金属細線を更に細くできる等の効果が得られる。
【００９２】
インクに用いられる溶媒は格別限定されず、水や有機溶剤から選択された一種又は複数種を含むことができる。有機溶剤としては、例えば、１，２−ヘキサンジオール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、プロピレングリコール等のアルコール類、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル等のエーテル類等が挙げられる。
【００９３】
また、インクには界面活性剤等の他の成分を含有させることができる。界面活性剤は格別限定されず、例えばシリコン系界面活性剤等が挙げられる。インク中の界面活性剤の濃度は、例えば１重量％以下とすることができる。
【００９４】
フィルム上に付与されたインク（ライン状液体）の乾燥方法は自然乾燥でも強制乾燥でもよい。強制乾燥に用いる乾燥方法は格別限定されず、例えば、フィルムの表面を所定温度に加温する方法や、フィルムの表面に気流を形成する方法等を単独で、あるいは組み合わせて用いることができる。気流は、例えばファン等を用いて、送風又は吸引を行うことによって形成することができる。
【００９５】
〔後処理〕
フィルム上に形成された金属細線に後処理を施すことができる。後処理として、例えば、焼成処理、めっき処理等が挙げられる。焼成処理を施した後、めっき処理を施してもよい。
【００９６】
焼成処理としては、例えば、光照射処理、熱処理等が挙げられる。光照射処理には、例えば、ガンマ線、Ｘ線、紫外線、可視光、赤外線（ＩＲ）、マイクロ波、電波等を用いることができる。熱処理には、例えば、熱風、加熱ステージ、加熱プレス等を用いることができる。
【００９７】
めっき処理としては、例えば、無電解めっき、電解めっき等が挙げられる。電解めっきでは、金属細線の導電性を利用して、該金属細線に選択的にめっきを施すことができる。金属細線に複数回のめっき処理を施してもよい。めっき金属を異ならせた複数回のめっき処理を施してもよい。複数回のめっき処理によって、金属ナノ粒子層上に１以上の金属層（めっき皮膜）を有する多層構造の金属細線を形成することができる。
【００９８】
電解めっきを用いる場合は、めっき液に、例えば、過硫酸ナトリウム、塩化第二銅、過酸化水素等のような酸化剤を含有させてもよい。酸化剤の使用により、金属細線の導電性を向上でき、且つめっき太りが抑制される。この効果は、コーヒーステイン現象を利用して形成された金属細線を対象とする場合に特に良好に発揮される。
【００９９】
５．その他
以上、インクを用いた印刷法によって金属細線を形成する場合について説明したが、これに限定されない。金属細線は、例えば、フォトリソグラフィー法等によって形成してもよい。また、引出し配線、コネクト部の形成方法も限定されず、印刷法やフォトリソグラフィー法等によって形成することができる。
【０１００】
以上の説明では、タッチパネルセンサーを構成するセンサーフィルムについて説明したが、これに限定されない。センサーフィルムを構成するセンサーチャネルによる検出対象は、タッチに限定されず、種々の検出対象であり得る。
【０１０１】
以上の説明において、一つの態様について説明された構成は、他の態様に適宜適用することができる。
【実施例】
【０１０２】
以下に、本発明の実施例について説明するが、本発明はかかる実施例により限定されない。
【０１０３】
１．センサーフィルムの作製
（実施例１）
ＰＥＴフィルムの両面に、センサーチャネル、メッシュ延長部、引出し配線及びコネクト部を形成して、図１に示したものと同様のセンサーフィルムを作製した。
【０１０４】
センサーチャネル及びメッシュ延長部の金属細線は、コーヒーステイン現象を利用して、図７に示したものと同様の方法によって形成した。これにより、四角形を成す金属細線を複数組み合わせて構成されたメッシュパターンが形成された。これらの金属細線は、金属ナノ粒子層（ここではＡｇナノ粒子を用いた）と、金属ナノ粒子層を被覆する金属層とにより構成された多層構造を有する。この多層構造は、具体的には、Ａｇナノ粒子により構成されたナノ粒子層上に、Ｃｕにより構成された金属層とＮｉにより構成された金属層とを、この順で積層することによって構成されている。これら２つの金属層は、電解めっきによって形成されためっき皮膜である。
【０１０５】
センサーチャネルについては、開口率９８．１６％、メッシュピッチ２．１ｍｍ、金属細線の線幅５μｍとした。一方、曲げ部のメッシュ延長部については、開口率９７．１１％、メッシュピッチ０．７１ｍｍ、金属細線の線幅５μｍとした。従って、曲げ部におけるメッシュ延長部のメッシュ開口率及びメッシュピッチは、センサーチャネルのメッシュ開口率及びメッシュピッチより小さい。
【０１０６】
（実施例２）
実施例１において、曲げ部のメッシュ延長部について、開口率９７．４２％、メッシュピッチ１．１ｍｍとしたこと以外は、実施例１と同様にしてセンサーフィルムを作製した。ここで、曲げ部におけるメッシュ延長部のメッシュ開口率及びメッシュピッチは、センサーチャネルのメッシュ開口率及びメッシュピッチより小さい。
【０１０７】
（実施例３）
実施例１において、曲げ部のメッシュ延長部について、開口率９７．７７％、メッシュピッチ１．４ｍｍとしたこと以外は、実施例１と同様にしてセンサーフィルムを作製した。ここで、曲げ部におけるメッシュ延長部のメッシュ開口率及びメッシュピッチは、センサーチャネルのメッシュ開口率及びメッシュピッチより小さい。
【０１０８】
（比較例１）
実施例１において、曲げ部のメッシュ延長部について、開口率９８．１６％、メッシュピッチ２．１ｍｍとしたこと以外は、実施例１と同様にしてセンサーフィルムを作製した。ここで、曲げ部におけるメッシュ延長部のメッシュ開口率及びメッシュピッチは、センサーチャネルのメッシュ開口率及びメッシュピッチと等しい。
【０１０９】
（比較例２）
比較例１において、センサーチャネルについて、開口率９７．１１％、メッシュピッチ０．７１ｍｍとしたこと以外は、比較例１と同様にしてセンサーフィルムを作製した。ここで、曲げ部におけるメッシュ延長部のメッシュ開口率及びメッシュピッチは、センサーチャネルのメッシュ開口率及びメッシュピッチより大きい。
【０１１０】
２．評価方法
作製された各センサーフィルムを以下の評価項目について評価した。
【０１１１】
（１）抵抗値変化
センサーチャネルとコネクト部間の抵抗値を、センサーフィルムを曲げ部で曲げる前及び後で測定し、曲げる前の抵抗値に対する曲げた後の抵抗値の倍率を抵抗値変化とした。抵抗値変化が小さいほど、曲げ部における導電性が安定であると評価できる。曲げ部での曲げは、図２に示したものと同様であり、曲率半径は０．５ｍｍとした。
【０１１２】
（２）アクティブエリア透過率
フィルムの両面にセンサーチャネルが配置されているアクティブエリアの透過率（全光線透過率）（％Ｔ）を、東京電色社製「ＡＵＴＯＭＡＴＩＣＨＡＺＥＭＥＴＥＲ（ＭＯＤＥＬ  ＴＣ−ＨＩＩＩＤＰ）」を用いて測定した。その際、センサーチャネルが形成されていないフィルムを用いて補正を行うことで、センサーチャネル（両面）部分の全光線透過率として透過率を測定した。
【０１１３】
以上の結果を表１に示す。
【０１１４】
【表１】
2019008361.tif 000003
【０１１５】
３．評価
曲げ部のメッシュ延長部のメッシュ開口率が、センサーチャネルのメッシュ開口率より小さいことによって、曲げ部における導電性を安定に保持できることがわかる。曲げ部のメッシュ延長部のメッシュピッチが、センサーチャネルのメッシュピッチより小さいことによって、この効果が良好に発揮されることがわかる。また、曲げ部のメッシュ延長部のメッシュピッチが小さいほど、好ましくは０．７１ｍｍ以下であることによって、導電性を更に安定に保持できることがわかる。
【０１１６】
４．ノイズ耐性の検証
（実施例４）
実施例１と同様にしてセンサーフィルムを作製した。このセンサーフィルムは、曲げ部におけるメッシュ延長部の幅が、センサーチャネルの幅と同じ（６．３ｍｍ）である。
【０１１７】
得られたセンサーフィルムを曲げ部において曲げてタッチパネルセンサーを構成し、該タッチパネルのノイズ耐性を評価するために、タッチ時の誤動作発生率を測定した。具体的には、任意の箇所を５００回タッチし、正常に反応しなかった場合の回数から誤動作発生率（％）を測定した。結果を表２に示す。
【０１１８】
（実施例５）
実施例４において、曲げ部におけるメッシュ延長部の幅を、２．１ｍｍとし、センサーチャネルの幅（６．３ｍｍ）よりも小さくしたこと以外は、実施例４と同様にしてセンサーフィルムを作製した。小さくされたメッシュ延長部の幅は、曲げ部から引出し配線との接続部まで維持されている。実施例４と同様に評価した結果を表２に示す。
【０１１９】
【表２】
2019008361.tif 000004
【０１２０】
＜ノイズ耐性の評価＞
表２より、曲げ部におけるメッシュ延長部の幅が、センサーチャネルの幅よりも小さいことによってセンサーフィルムのノイズ耐性が向上する（誤動作発生率が低下する）ことがわかる。この理由としては、曲げ部におけるメッシュ延長部の幅が小さいことによって、寄生容量が低下していることが考えられる。
【符号の説明】
【０１２１】
１：フィルム
２、２’：センサーチャネル
２１：金属細線
３、３’：メッシュ延長部
３１：金属細線
４、４’：引出し配線
５、５’：コネクト部
Ａ：アクティブエリア
Ｂ、Ｂ’：曲げ部
【図１】
2019008361.tif 000005
【図２】
2019008361.tif 000006
【図３】
2019008361.tif 000007
【図４】
2019008361.tif 000008
【図５】
2019008361.tif 000009
【図６】
2019008361.tif 000010
【図７】
2019008361.tif 000011
【図８】
2019008361.tif 000012