(57)【要約】【課題】  ストロークの位置検出に際しエア圧変化の検出位置が調整可能な流体圧シリンダ装置の提【解決手段】  シリンダ胴部１に形成されたシリンダ室２の一端がヘッド側端部３で塞がれ、他端がキャップ側端部４で塞がれ、前記シリンダ室２に収納されたピストン５から突出するピストンロッド６が前記ヘッド側端部３より突出し、前記ピストン５に前記ピストンロッド側に向かう深孔９が設けられ、該深孔９に挿入される位置検出ロッド１０が前記キャップ側端部４に設けられ、該位置検出ロッド１０にエア通路１１と該エア通路１１を開閉する弁体１２とが設けられ、前記深孔９と前記位置検出ロッド１０との相対位置を検出して前記弁体１２を移動させて前記エア通路１１を開閉するよう構成された流体圧シリンダ装置において、前記位置検出ロッド１０を前記キャップ側端部４に対して軸心方向に位置調整自在とする位置調整装置３２が設けられた流体圧シリンダ装置【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダ胴部に形成されたシリンダ室の一端がヘッド側端部で塞がれ、他端がキャップ側端部で塞がれ、前記シリンダ室に収納されたピストンから突出するピストンロッドが前記ヘッド側端部より突出し、前記ピストンに前記ピストンロッド側に向かう深孔が設けられ、該深孔に挿入される位置検出ロッドが前記キャップ側端部に設けられ、該位置検出ロッドにエア通路と該エア通路を開閉する弁体とが設けられ、前記深孔と前記位置検出ロッドとの相対位置を検出して前記弁体を移動させて前記エア通路を開閉するよう構成された流体圧シリンダ装置において、
前記位置検出ロッドを前記キャップ側端部に対して軸心方向に位置調整自在とする位置調整装置が設けられている流体圧シリンダ装置。
【請求項２】
前記位置調整装置は、前記位置検出ロッドの端部に設けられたフランジ部と、該フランジ部に螺合されて前記キャップ側端部との位置を調整するせりボルトと、前記フランジ部を前記キャップ側端部に固定する固定ボルトとを有する請求項１記載の流体圧シリンダ装置。
【請求項３】
前記位置調整装置は、前記位置検出ロッドの端部に設けられた雄ネジ部と、前記キャップ側端部に設けられて前記雄ネジ部と螺合する雌ネジ部と、前記雄ネジ部に螺合されて前記位置検出ロッドを前記キャップ側端部に固定するロックナットとを有する請求項１記載の流体圧シリンダ装置。
【請求項４】
前記位置検出ロッドには、前記エア通路を形成するエア供給管が挿通され、該エア供給管の先端が前記弁体で開閉される弁座とされ、前記エア供給管にエア供給源からのエアを供給するエア配管が接続され、該エア配管にエア圧検知装置が設けられ、
前記位置検出ロッドには、前記弁座から漏洩するエアを排気するエア排気口が設けられている請求項２または３に記載の流体圧シリンダ装置。
【請求項５】
前記位置検出ロッドには、前記弁体を閉弁方向に付勢する流体を導入する流体圧導入路が形成さ、該流体圧導入路は、前記ピストンと前記キャップ側端部との間の前記シリンダ室に供給される流体を導入するよう構成されている請求項４記載の流体圧シリンダ装置。
【請求項６】
前記深孔の内周面に位置検出凹部が設けられ、
前記弁体にヘッド側に向かって拡径するテーパ面が設けられ、
前記位置検出ロッドに該ロッドの径方向に移動可能な球体が設けられ、
前記球体が、前記深孔の内周面に接し且つ前記テーパ面と係合することで、前記弁体が前記エア通路を開き、
前記球体が、前記位置検出凹部にあるとき、前記テーパ面との係合が解除され前記弁体が前記エア通路を閉じるよう構成されている請求項１〜５のいずれか一つに記載の流体圧シリンダ装置。
【請求項７】
前記位置検出凹部は、前記ピストンロッドの進出位置を検知する位置に設けられている請求項６記載の流体圧シリンダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ストローク位置検出装置を備えた流体圧シリンダ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ストローク位置検出装置を備えた流体圧シリンダ装置として、下記特許文献１〜４に記載されたものが提案されている。
【０００３】
特許文献１記載のものは、簡単な構成で安価なストローク端検出機能をシリンダ装置に具備させ、またその検出位置を調整することが可能な機構を内蔵させるものであって、片ロッド形シリンダのピストンロッドの後端面側から軸方向へ深孔を形成し、その深孔の内周面の所定位置に環状マグネットを装着し、ヘッドカバー側から検出ユニットの保護管(非磁性材料)が前記深孔に内嵌・挿入されており、保護管内にはリードスイッチを挿着したパイプ(非磁性材料)が支持・挿入されており、各リードスイッチは各ストローク端での環状マグネットの位置に対応させて挿着されているが、検出ユニットの機構室に内蔵された調整機構でパイプを前後方向へ移動させて位置調整ができるというものであった。
【０００４】
特許文献２記載のものは、出力部材が所定の位置に達したことをクランプ本体内のエア通路のエア圧の圧力変化を介して確実に検知可能で信頼性や耐久性に優れ小型化可能な流体圧シリンダ及びクランプ装置を提供することを目的としたものであり、油圧シリンダのシリンダ本体内に形成され且つ一端部に加圧エアが供給され他端部が外界に連通したエア通路と、このエア通路を開閉可能な開閉弁機構とを備え、開閉弁機構は、進退可能に装着され且つ先端部が油圧室に突出する弁体と、弁体が当接可能な弁座と、油圧室の油圧によって弁体を出力部材側に進出させた状態に保持する油圧導入室と、油圧室と油圧導入室とを連通させる油圧導入路とを備え、出力部材が所定の位置に達したときに、出力部材により弁体を移動させて開閉弁機構の開閉状態を切り換え、エア通路のエア圧を介して出力部材が所定の位置に達したことを検知可能に構成したものであった。
【０００５】
特許文献３記載のものは、ピストン部材が予め設定された設定移動位置に移動したことを、流体圧を介して検知可能な旋回式クランプ装置を提供することを目的としたものであり、補助ロッドに組み込んだ検出用開閉弁機構と、ヘッド側端壁部材と補助ロッドに形成され且つ検出用開閉弁機構で開閉される流体通路とを設け、検出用開閉弁機構は、補助ロッドの先端側部分に形成された弁体収容穴と、弁体収容穴に可動に収容され且つ外周部に係合凹部を有する弁体と、補助ロッドに可動に装着されて係合凹部に係合可能な球体とを有し、ピストン部材が予め設定された設定移動位置に達した際に、球体と係合凹部とロッド挿入穴内周壁部の協働により、弁体が閉弁位置又は開弁位置に切換わるように構成したものであった。
【０００６】
特許文献４記載のものは、クランプ本体を大型化することなく、アンクランプ位置とクランプ位置の両方を確実に検知可能にしたクランプ装置を提供することを目的としたものであり、油圧シリンダを有するクランプ装置に、ピストン部材に形成されたロッド挿入穴と、シリンダ本体のヘッド側端壁部材にシリンダ孔内に突出状に設けられ且つロッド挿入穴に挿入可能な補助ロッドと、ヘッド側端壁部材と補助ロッドとに形成した第１，第２加圧エア通路と、第１加圧エア通路の途中部を開閉する第１開閉弁機構と、第２加圧エア通路の途中部を開閉する第２開閉弁機構とを設け、第１開閉弁機構をアンクランプ状態のときだけ閉弁又は開弁し、第２開閉弁機構をクランプ状態のときだけ閉弁又は開弁するように構成し、第１，第２開閉弁機構をヘッド側端壁部材と補助ロッドに同軸状に組み込んだものであった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−３２９１１２号公報
【特許文献２】特開２０１３−８２０２５号公報
【特許文献３】特開２０１４−１０８４９０号公報
【特許文献４】特開２０１５−２０２２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記特許文献１記載の従来のものは、検出ユニットの調整機構により検出位置を変更可能としたものであるが、検出ユニットは、電気的スイッチであるため、金型、シリンダの交換の際、配線コネクター部の切り離し作業時に、断線、結線不良が発生し、動作不良が生じてしまうという問題があった。また、電気スイッチの寿命は短いという問題があった。さらに、検出部の剛性がないため、振動等に弱く、故障が生じやすいという問題があった。
【０００９】
一方、前記特許文献２〜４に記載の従来のものは、エア圧の圧力変化を介して検出するものであるから、電気的スイッチの前記問題は生じないが、出力部材の検知したい位置は固定的であり、検知位置を調整することができないという問題があった。
【００１０】
すなわち、シリンダは、ピストンロッドのストロークエンド（ピストンがシリンダエンドに当接して停止する位置）で使うことはなく、ストロークエンドの少し手前の位置において、相手側面に当たり止まるので、相手方面の摩耗や、相手方面の位置のばらつきにより、ピストンロッドの作動停止位置は、ばらつくものとなる。ストローク位置検出装置の位置検出が固定的であれば、停止位置に合わせた検出装置が必要となる。
【００１１】
そこで、本発明は、エア圧の変化によりストロークの位置を検出するものにおいて、検出位置の調整ができる流体圧シリンダ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的を達成するため、本発明は、次の手段を講じた。すなわち、本発明の流体圧シリンダ装置は、シリンダ胴部に形成されたシリンダ室の一端がヘッド側端部で塞がれ、他端がキャップ側端部で塞がれ、前記シリンダ室に収納されたピストンから突出するピストンロッドが前記ヘッド側端部より突出し、前記ピストンに前記ピストンロッド側に向かう深孔が設けられ、該深孔に挿入される位置検出ロッドが前記キャップ側端部に設けられ、該位置検出ロッドにエア通路と該エア通路を開閉する弁体とが設けられ、前記深孔と前記位置検出ロッドとの相対位置を検出して前記弁体を移動させて前記エア通路を開閉するよう構成された流体圧シリンダ装置において、前記位置検出ロッドを前記キャップ側端部に対して軸心方向に位置調整自在とする位置調整装置が設けられている。
【００１３】
前記位置調整装置は、前記位置検出ロッドの端部に設けられたフランジ部と、該フランジ部に螺合されて前記キャップ側端部との位置を調整するせりボルトと、前記フランジ部を前記キャップ側端部に固定する固定ボルトとを有するのが好ましい。
【００１４】
前記位置調整装置は、前記位置検出ロッドの端部に設けられた雄ネジ部と、前記キャップ側端部に設けられて前記雄ネジ部と螺合する雌ネジ部と、前記雄ネジ部に螺合されて前記位置検出ロッドを前記キャップ側端部に固定するロックナットとを有する構成とすることが出来る。
【００１５】
前記位置検出ロッドには、前記エア通路を形成するエア供給管が挿通され、該エア供給管の先端が前記弁体で開閉される弁座とされ、前記エア供給管にエア供給源からのエアを供給するエア配管が接続され、該エア配管にエア圧検知装置が設けられ、前記位置検出ロッドには、前記弁座から漏洩するエアを排気するエア排気口が設けられているのが好ましい。
【００１６】
前記位置検出ロッドには、前記弁体を閉弁方向に付勢する流体を導入する流体圧導入路が形成さ、該流体圧導入路は、前記ピストンと前記キャップ側端部との間の前記シリンダ室に供給される流体を導入するよう構成されているのが好ましい。
【００１７】
前記深孔の内周面に位置検出凹部が設けられ、前記弁体にヘッド側に向かって拡径するテーパ面が設けられ、前記位置検出ロッドに該ロッドの径方向に移動可能な球体が設けられ、前記球体が、前記深孔の内周面に接し且つ前記テーパ面と係合することで、前記弁体が前記エア通路を開き、前記球体が、前記位置検出凹部にあるとき、前記テーパ面との係合が解除され前記弁体が前記エア通路を閉じるよう構成されているのが好ましい。
【００１８】
前記位置検出凹部は、前記ピストンロッドの進出位置を検知する位置に設けられているのが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、エア圧の変化によりストローク位置を検出するものにおいて、検出位置の調整ができるようになり、汎用性が高まった。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す断面図で、ピストンロッドの後退位置（非作動位置）を示す図。
【図２】図１のものにおいて、ピストンロッドの進出位置（作動位置）を示す図。
【図３】図１のＪ部を示す拡大図。
【図４】図２のＬ部を示す拡大図。
【図５】図１のＫ部を示す拡大図。
【図６】図２のＭ部を示す拡大図。
【図７】本発明の第２の実施の形態を示す断面図で、ピストンロッドの後退位置を示す図。
【図８】図７のものにおいて、ピストンロッドの進出位置を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
図１〜図６に示すものは第１の実施の形態である。
図１において、流体圧シリンダ装置は、シリンダ胴部１を有する。シリンダ胴部１に形成されたシリンダ室２の一端がヘッド側端部３で塞がれ、他端がキャップ側端部４で塞がれている。前記シリンダ室２にピストン５が収納されている。ピストン５から突出するピストンロッド６が前記ヘッド側端部３より突出している。（以下、方向性を示す場合、「ヘッド側」とはピストンロッド６が突出している方向をいい、「キャップ側」とは、その反対方向をいう。）
【００２２】
シリンダ室２は、ピストン５を介してヘッド側室２ａとキャップ側室２ｂに区分される。ヘッド側室２ａに圧力流体を供給又は排出する第１流体口７が、ヘッド側端部３に設けられている。キャップ側室２ｂに圧力流体を供給又は排出する第２流体口８が、キャップ側端部４に設けられている。本実施の形態では、圧力流体は油圧とされているが、これに限定されない。
【００２３】
ピストン５に、ピストンロッド側に向かう深孔９が設けられている。この深孔９に挿入される位置検出ロッド１０が、キャップ側端部４に設けられている。位置検出ロッド１０にエア通路１１と該エア通路１１を開閉する弁体１２とが設けられている。深孔９と位置検出ロッド１０との相対位置を検出して弁体１２を移動させてエア通路１１を開閉するよう構成されている。すなわち、深孔９の軸心方向途中に位置検出凹部１３が設けられ、この位置検出凹部１３を位置検出ロッド１０が検出することにより、ピストンロッド６のストローク位置を検出するように構成されている。
【００２４】
図１において、ピストンロッド６は後退位置であり、ピストン５はキャップ側端部４に当接し、非作動状態である。
【００２５】
図２において、ピストンロッド６は進出位置であり、作動状態である。この作動状態では、ピストン５はヘッド側端部３とは当接せず、所定間隙を有している。例えば、ピストンロッド先端側でワークを押圧して固定するロック装置として用いられる場合は、ピストン５はヘッド側端部３と約５ｍｍ程度の間隙を有して、ワークに対して押圧力を付与する。本発明は、この作動位置を検出するものであるが、ロック位置はワークによって異なるし、また、同じワークでも使用による摩耗等でロック位置は異なるものとなる。
【００２６】
従来のエア圧検知式のストローク検出装置を備えた流体圧シリンダ装置は、検出位置が固定的であったため、ワークに対応した専用品とせざるを得なかった。例えば、金型を固定するロック装置とした場合、金型交換の都度、流体圧シリンダ装置も取り換える必要があった。本実施の形態は、流体圧シリンダ装置を取り換えることなく、検出位置を調整可能とするものである。
【００２７】
位置検出ロッド１０は、ロッド部１４と、ロッド部１４のキャップ側の端部に形成されたフランジ部１５とを有する。フランジ部１５は、キャップ側端部４の表面側に位置している。ロッド部１４は、キャップ側端部４の中心部に設けられたロッド挿通孔１６に挿通され、その先端部分がピストンロッド６の深孔９に挿入されている。
【００２８】
位置検出ロッド１０には、フランジ部１５からロッド部１４にわたってその中心部に貫通孔１７が形成されている。フランジ部１５の貫通孔１７にエア配管接続部１８が設けられている。エア配管接続部１８に、中空のエア供給管１９が設けられている。エア供給管１９の外周面と貫通孔１７の内周面に所定間隙が形成されている。この隙間及びエア供給管１９の中空部が、前記エア通路１１を形成している。エア供給管１９のヘッド側の先端が、エア噴出口とされ、弁体１２で開閉される弁座２０とされている。
【００２９】
エア配管接続部１８に、エア供給源２１からのエアを供給するエア配管２２が接続される。エア配管２２の途中にエア圧検知装置２３が設けられている。
【００３０】
前記エア通路１１の内、貫通孔１７の内周面とエア供給管１９の外周面間の隙間により形成されている部分は、排気エア通路とされ、フランジ部１５に設けられたエア排気口２４に連通し、大気解放されている。
【００３１】
図３、図４に示すように、位置検出ロッド１０のロッド部１４の先端部分の貫通孔１７に、前記弁体１２が軸心方向移動自在に収納されている。弁体１２の下端（キャップ側の端部）が前記弁座２０に当接して、エア噴出口を開閉する。したがって、弁体１２の下端面は、エア供給管１９の先端の弁座２０を開閉自在とする弁面２５とされている。
【００３２】
位置検出ロッド１０には、前記弁体１２を閉弁方向に付勢する流体を導入する流体圧導入路２６が形成されている。流体圧導入路２６は、ピストン５とキャップ側端部４との間のシリンダ室２ｂに供給される流体を導入するよう構成されている。すなわち、ロッド部１４はピストンロッド６の深孔９に所定の隙間を有して挿通されているので、この隙間に、キャップ側室２ｂの圧油が導入され、ロッド部１４の先端部の貫通孔１７に作用して、弁体１２を押圧するように構成されている。したがって、弁体１２の頂部（ヘッド側の端部）は、圧油の受圧面とされている。弁体１２の頂部に作用する圧油が弁体１２と貫通孔１７との隙間に侵入してエア供給管１９に達しないように、弁体１２と貫通孔１７間にシール部材２７が設けられている。
【００３３】
位置検出ロッド１０には、前記弁体１２を閉弁方向に付勢する弾性部材２８が設けられている。この弾性部材２８は、本実施の形態では、一端がロッド部１４先端に係止され、他端部が弁体１２の頂部に当接するコイルスプリングとされているが、これに限定されない。この弾性部材２８は、前記圧油による弁体１２の付勢力を助長するものであり、必ずしも必須のものではない。
【００３４】
弁体１２に、ヘッド側に向かって拡径するテーパ面２９が設けられている。
【００３５】
位置検出ロッド１０のロッド部１４の先端部分に、貫通孔１７と外周部とを径方向に連通する球体保持孔３０が周方向等間隔を有して複数個設けられている。この孔３０に、ロッド部１４の径方向に移動可能な球体３１が設けられている。
【００３６】
図１及び図３に示すように、球体３１が、深孔９の内周面に接し且つテーパ面２９と係合することで、弁体１２がヘッド側に押圧され、弁体１２の弁面２５と、エア供給管１９の弁座２０との接触が離れ、エア通路１１が開かれる。
【００３７】
図２及び図４に示すように、球体１２が、位置検出凹部１３にあるとき、球体３１はテーパ面２９との係合を解除し、弁体１２が前記エア通路１１を閉じるよう構成されている。すなわち、球体１２によるヘッド側への押圧が解除されると、弾性部材２８と油圧により弁体１２はエア供給管１９の弁座２０に当接して、エア噴出口を閉じる。
【００３８】
なお、本実施の形態では、前記位置検出凹部１３は、前記ピストンロッド６の進出位置を検知する位置に設けられているが、これに限定されない。例えば、進出位置と後退位置の中途部の位置を検出するものであってもよい。
【００３９】
前記位置検出ロッド１０をキャップ側端部４に対して軸心方向に位置調整自在とする位置調整装置３２が設けられている。
【００４０】
位置調整装置３２は、位置検出ロッド１４の端部に設けられたフランジ部１５と、このフランジ部１５に螺合されてキャップ側端部４との位置を調整するせりボルト３３と、フランジ部１５をキャップ側端部４に固定する固定ボルト３４とを有する。せりボルト３３及び固定ボルト３４は、同じ円周上で周方向等間隔に複数設けられている。せりボルト３３を回すことにより、キャップ側端部４に対する位置検出ロッド１０の位置が調整され、固定ボルト３４を締め付けることで、位置検出ロッド１０をキャプ側端部４に固定する。
【００４１】
例えば、図２、図４に示すロック位置（作動位置）において、金型交換によりロック位置がずれ、位置検出ができない場合でも、位置調整装置３２によりロック位置を調整することが出来る。
【００４２】
位置検出ロッド１０は、ストローク位置検出装置としての作動位置検出装置３５を構成するものである。この作動位置検出装置３５とは別に、ピストンロッド６の非作動位置検出装置３６が、キャップ側端部４に設けられている。
【００４３】
図５、図６に示すものは、非作動位置検出装置３６の拡大断面図である。キャップ側端部４に、両端開口の装着孔３７がシリンダ軸心方向と平行な軸心を有して設けられている。この装着孔３７のキャップ側部分は、キャップ部材３８によって閉じられている。この装着孔３７のヘッド側部分は弁部材３９により閉じられている。弁部材３９は、シリンダ軸心方向に移動可能に設けられている。弁部材３９のヘッド側端部は、シリンダ室２ｂに出没自在に突出している。
【００４４】
弁部材３９のキャップ側端部とキャップ部材３８のヘッド側端部との間に流体圧導入室４０が形成されている。弁部材３９には、シリンダ室２ｂの流体圧を流体圧導入室４０に導入する導入路４１が設けられている。導入路４１を介してシリンダ室２ｂの流体圧が、流体圧導入室４０に導入されることにより、弁部材３９は、その先端がシリンダ室２ｂに突出するよう、常時付勢されている。
【００４５】
弁部材３９とキャップ部材３８との間に弁室４２が設けられている。この弁室４２と前記流体圧導入室４０はシール部材４３によりシールされて気密が保たれている。
【００４６】
キャップ側端部４には、エア配管接続口４４が設けられ、該接続口４４と前記弁室４２はエア通路で連通している。キャップ部材３８には、大気解放のエア排気口４６が設けられ、この排気口４６は弁室４２にエア通路４５を介して連通している。キャップ部材３８のエア通路４５は、前記弁室４２において弁部材３９により開閉自在とされている。
【００４７】
図１に示すように、エア配管接続口４４に、エア供給源２１からのエアを供給する第２エア配管４７が接続されている。このエア配管途中に第２エア圧検知装置４８が設けられている。
【００４８】
上記構成の第1の実施の形態の作用につき説明する。
図１、図３及び図５に示すピストンロッド６の非作動位置について説明する。
図５において、ピストン５は、非作動位置検出装置３６の弁部材３９の先端に当接して弁部材３９を移動させ、弁室４２において弁部材３９とキャップ部材３８間のエア通路４５を閉じる。第２エア圧検知装置４８は、エア通路４５の閉じにより、第２エア配管４７のエア圧の上昇を検知し、オン状態になり、ピストンロッド６が非作動位置に達したことを知ることができる。
【００４９】
図３に示すように、作動位置検出装置３５の位置検出ロッド１０の先端部は、深孔９の奥に位置している。球体３１は深孔９の内周面に当接しているため、弁体２０のテーパ面２９を圧接し、弁体２０をヘッド側に押圧する。弁体２０の頂面には、流体圧導入路２６を介してシリンダ室内の流体圧が作用し、また弾性部材２８の付勢力により、弁体１２はキャップ側に押圧されている。この状態において、弁体１２の端部の弁面２５と、エア供給管１９の端部の弁座２０との間には、隙間が生じている。
【００５０】
エア供給源２１からエア配管２２を介してエア供給管１９に供給されるエアは、前記隙間から漏れ、排気エア通路を通り、エア排気口２４から大気へ解放される。したがって、エア配管２２に設けられたエア検知装置２３では、エア圧が上がらず、検知はオフ状態となっている。
【００５１】
図２、図４及び図６の作動位置につき説明する。キャップ側室２ｂに流体圧が供給され、ピストンロッド６が進出側に移動し、ワークを固定する位置、すなわち、ピストン５がヘッド側端部３に当接する少し手前の位置が、作動位置とされている。
【００５２】
図４に示すように、この作動位置において、作動位置検出装置３５の位置検出ロッド１０の先端部は、深孔９に形成された位置検出凹部１３に位置している。深孔９の内周面に接していた球体３１は、この位置において、位置検出凹部１３内に移動する。すなわち、弁体１２の頂部は、流体圧と弾性部材２８により、キャップ側に付勢されているため、球体３１はテーパ面２９に押圧され、凹部１３内に押しやられる。その結果、弁体１２は、キャップ側に移動し、弁体１２先端の弁面２５が、エア供給管１９の弁座２０を閉じる。
【００５３】
このエア通路１１の閉鎖により、エア配管２２のエア圧が上がり、エア検知装置２３が検知して、オン状態となり、作動位置に達したことを知らせることができる。
【００５４】
図６に示すように、非作動位置検出装置３６の弁部材３９は、ピストン５の押圧を解除され、弁部材３９は、流体圧導入室４０の流体圧によりヘッド側に押圧され、弁室４２において弁部材３９とキャップ部材３８間のエア通路４５を開く。エア通路４５が開かれ、エア排気口４６から大気解放されるため、第２エア圧検知装置４８は、圧力減少を検知して、オフ状態になり、非作動状態でないことを知ることができる。
【００５５】
このような流体圧シリンダ装置において、位置検出ロッド１０が位置調整装置３２により、キャップ側端部４に対して軸心方向に位置調整自在に設けられているので、ピストンロッド６の作動位置が変わっても、位置調整装置３２により、その作動位置を正確なものとすることができる。
【００５６】
すなわち、作動位置であるにもかかわらず、図４に示す位置がずれて、球体３１が位置検出凹部１３に位置しない場合、固定ボルト３４を緩め、せりボルト３３を回して、球体３１が位置検出凹部１３に位置するよう調整する。球体３１が位置検出凹部１３に位置しているか否かは、エア検知手段２３により検知することができる。位置調整が終わると固定ボルト３４を締めて位置検出ロッド１０をキャップ側端部４に固定する。
【００５７】
図７、図８に示すものは、第２の実施の形態である。位置調整装置３２が、前記第１の実施の形態と異なっている。
【００５８】
この実施の形態の位置調整装置３２は、位置検出ロッド１０の端部に設けられた雄ネジ部４９と、キャップ側端部４に設けられて前記雄ネジ部４９と螺合する雌ネジ部５０と、雄ネジ部４９に螺合されて前記位置検出ロッド１０を前記キャップ側端部４に固定するロックナット５１とを有する。
【００５９】
作動位置において、位置検出凹部１３に球体３１が位置しないで、作動位置を検出できない場合、位置検出ロッド１０の位置調整は、ロックナット５１を緩め、位置検出ロッド１０を回転させて、雄ネジ部４９と雌ネジ部５０の相対位置を調整して、位置検出凹部１３に球体３１が位置するように調整する。その後、ロックナット５１を締め付ける。
【００６０】
その他の構成は、前記第１の実施の形態と同じであるので、その説明を援用する。
【００６１】
今回開示された実施例の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。
【符号の説明】
【００６２】
１  シリンダ胴部
２  シリンダ室
３  ヘッド側端部
４  キャップ側端部
５  ピストン
６  ピストンロッド
７  第１流体口
８  第２流体口
９  深孔
１０  位置検出ロッド
１１  エア通路
１２  弁体
１３  位置検出凹部
１４  ロッド部
１５  フランジ部
１６  ロッド挿通孔
１７  貫通孔
１８  エア配管接続部
１９  エア供給管
２０  弁座
２１  エア供給源
２２  エア配管
２３  エア圧検知装置
２４  エア排気口
２５  弁面
２６  流体圧導入路
２７  シール部材
２８  弾性部材
２９  テーパ面
３０  球体保持孔
３１  球体
３２  位置調整装置
３３  せりボルト
３４  固定ボルト
３５  作動位置検出装置
３６  非作動位置検出装置
３７  装着孔
３８  キャップ部
３９  弁部材
４０  流体圧導入室
４１  導入路
４２  弁室
４３  シール部材
４４  エア配管接続口
４５  エア通路
４６  エア排気口
４７  第２エア配管
４８  第２エア圧検知装置
４９  雄ネジ部
５０  雌ネジ部
５１  ロックナット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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