(57)【要約】      （修正有）【課題】柱形状の溶接用チップの検査装置において、チップの立体形状を計測してチップの摩耗具合や孔径の拡がり、付着物などチップの劣化度合いを検査できるようにする。【解決手段】溶接用のチップ５を保持するチップ保持部材と、軸中心Ｏを通る線状光をチップ５の先端に照射する光照射部材２と、線状光の照射方向とは異なる角度から、チップ５に照射された線状光の反射光である線状反射光を撮像する撮像部材３と、光照射部材２と撮像部材３との相対位置を固定した状態で、チップ保持部材及び光照射部材２の少なくとも一方をチップ５の軸中心Ｏを回転中心として回転させる回転部材と、チップ保持部材及び光照射部材２の少なくとも一方を回転部材によって回転させて、撮像部材３によって線状反射光を撮像し、生成された光切断線からチップ５の先端表面形状データを取得し、チップ５の劣化度合いを検査する検査部４３とを備えたことを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
柱形状の溶接用チップの検査装置であって、
前記チップを保持するチップ保持部材と、
前記チップの先端から所定距離離隔した前記チップの軸中心を含む平面上に配置され、前記軸中心を通る線状光を前記チップの先端に照射する光照射部材と、
前記線状光の照射方向とは異なる角度から、前記チップに照射された前記線状光の反射光である線状反射光を撮像する撮像部材と、
前記光照射部材と前記撮像部材との相対位置を固定した状態で、前記チップ保持部材及び前記光照射部材の少なくとも一方を前記チップの軸中心を回転中心として回転させる回転部材と、
前記チップ保持部材及び前記光照射部材の少なくとも一方を前記回転部材によって回転させて、前記撮像部材によって前記線状反射光を撮像し、生成された光切断線から前記チップの先端表面形状データを取得し、前記チップの劣化度合いを検査する検査部材と、
を備えたことを特徴とする溶接用チップの検査装置。
【請求項２】
前記チップの正常な先端表面形状データを記憶した記憶部材をさらに備え、
前記検査部材は、前記チップの正常な先端表面形状データと、光切断線から取得された先端表面形状データとの差分値から前記チップの劣化度合いを検査する請求項１記載の溶接用チップの検査装置。
【請求項３】
前記溶接用チップがアーク溶接用チップ又はスポット溶接用チップである請求項１又は２記載の溶接用チップの検査装置。
【請求項４】
柱形状の溶接用チップの検査方法であって、
前記チップをチップ保持部材に固定する工程と、
前記チップの先端から所定距離離隔した前記チップの軸中心を含む平面上に配置された光照射部材から前記チップの先端に前記軸中心を通る線状光を照射する工程と、
前記チップ保持部材及び前記光照射部材の少なくとも一方を前記回転部材によって回転させて、前記線状光の照射方向とは異なる角度から、前記チップに照射された前記線状光の反射光である線状反射光を撮像部材で撮像する工程と、
前記撮像部材によって撮像された前記線状反射光により生成された光切断線から前記チップの先端表面形状を取得し、前記チップの劣化度合いを検査する工程と、
を有することを特徴とする溶接用チップの検査方法。
【請求項５】
前記チップの劣化度合いの検査は、前記チップの正常な先端表面形状データと、光切断線から取得された先端表面形状データとの差分値から行われる請求項４記載の溶接用チップの検査方法。
【請求項６】
前記溶接用チップがアーク溶接用チップ又はスポット溶接用チップである請求項４又は５記載の溶接用チップの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は溶接用チップ（以下、単に「チップ」と記すことがある。）の検査装置及び検査方法に関し、より詳細にはアーク溶接やスポット溶接のチップに好適に使用される検査装置及び検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１０に示すように、アーク溶接に用いられるチップ５は、一般に、軸中心Ｏを同一とする、円柱状部５２と、円柱状部５２の軸方向先端側に延在するテーパー状部５３と、円柱状部５２の軸方向後端側に形成された雄ネジ部５４とを有し、テーパー状部５３、円柱状部５２、雄ネジ部５４の軸中心Ｏを貫く貫通孔５１が形成されている。そして、アーク溶接では、貫通孔５１に電極ワイヤ（不図示）が供給されて電極ワイヤと母材との間にアークを発生させアークの高温によって電極ワイヤを溶融させ溶融池を形成させながら溶接金属層を形成して溶接する。
【０００３】
このようなアーク溶接に用いられるチップ５は、溶接を行うたびに電極ワイヤとの摩擦や給電時の発熱による変質などで摩耗し、チップ５に形成された貫通孔５１の先端開口が拡がっていく（図１０（ａ））。また同時に、チップ５の先端表面に酸化物などの異物が付着していく（図１０（ｂ））。このように劣化したチップ５は、給電位置の変化や電極ワイヤの狙い位置ずれ、送給抵抗の増加など、均一な溶接品質を阻害する一つの要因となっていた。そのため、チップ５は定期的に交換する必要が生じるが、チップ５の交換時期が早すぎると製造コストの必要以上の増加を招く一方、チップ５の交換時期が遅すぎると溶接品質に影響を及ぼし、溶接不良を引き起こすこともある。したがって、チップ５の交換は適切な時期に行わなければならい。
【０００４】
またスポット溶接に用いられるチップはその用途によって種々の形状のものが存在するが、いずれの形状のチップにおいても溶接作業を重ねるとチップ先端が摩耗していく。図１１に示すチップ６を例に説明する。図１１に示すチップ６は、円柱状部６２と、円柱状部６２の軸方向先端側に形成された半球状部６３と、円柱状部６２の軸方向後端側に形成された円柱状の基部６４とを有する。このようなチップ６は溶接を行うたびにチップ先端が摩耗してチップ先端径が初期状態（図１１（ａ），先端径ｄ）から次第に大きくなっていく（図１１（ｂ），先端径Ｄ）。チップ先端径が大きくなると、溶接電流を一定にしても電流密度も減少し発熱量が小さくなって溶接不良の要因となる。このため連続溶接の途中で定期的にチップ先端をドレッシングし、常に初期的状態に近い状態に戻すようにしなければならない。
【０００５】
これまでスポット溶接のチップ６に関しては付着物や真円度を検査する装置やシステムが提案されている（特許文献１，２）。これら提案された検査装置及び検査システムによればチップ６の交換時期が適切に判断可能とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−２３０５０６号公報
【特許文献２】特開２０１７−８７２２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１，２の提案装置では、チップの先端外径を計測することはできるが、チップの先端表面の凹凸や傾斜といった立体形状を計測することができない。
【０００８】
本発明の目的は、チップの立体形状を計測してチップの摩耗具合や孔径の拡がり、付着物などを検査することができ、チップの交換時期を適切に判断可能とする検査装置及び検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成する本発明に係る溶接用チップの検査装置は、柱形状の溶接用チップの検査装置であって、前記チップを保持するチップ保持部材と、前記チップの先端から所定距離離隔した前記チップの軸中心を含む平面上に配置され、前記軸中心を通る線状光を前記チップの先端に照射する光照射部材と、前記線状光の照射方向とは異なる角度から、前記チップに照射された前記線状光の反射光である線状反射光を撮像する撮像部材と、前記光照射部材と前記撮像部材との相対位置を固定した状態で、前記チップ保持部材及び前記光照射部材の少なくとも一方を前記チップの軸中心を回転中心として回転させる回転部材と、前記チップ保持部材及び前記光照射部材の少なくとも一方を前記回転部材によって回転させて、前記撮像部材によって前記線状反射光を撮像し、生成された光切断線から前記チップの先端表面形状データを取得し、前記チップの劣化度合いを検査する検査部材とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
また本発明に係る溶接用チップの検査方法は、柱形状の溶接用チップの検査方法であって、前記チップをチップ保持部材に固定する工程と、前記チップの先端から所定距離離隔した前記チップの軸中心を含む平面上に配置された光照射部材から前記チップの先端に前記軸中心を通る線状光を照射する工程と、前記チップ保持部材及び前記光照射部材の少なくとも一方を前記回転部材によって回転させて、前記線状光の照射方向とは異なる角度から、前記チップに照射された前記線状光の反射光である線状反射光を撮像部材で撮像する工程と、前記撮像部材によって撮像された前記線状反射光により生成された光切断線から前記チップの先端表面形状を取得し、前記チップの劣化度合いを検査する工程とを有することを特徴とする。
【００１１】
前記構成において、前記チップの正常な先端表面形状データを記憶した記憶部材をさらに備え、前記検査部材は、前記チップの正常な先端表面形状データと、光切断線から取得された先端表面形状データとの差分値から前記チップの劣化度合いを検査する構成としてもよい。
【００１２】
また前記構成において、前記溶接用チップとしてはアーク溶接用チップ又はスポット溶接用チップであるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のチップの検査装置及び検査方法によれば、チップの立体形状を計測することができ、チップの摩耗具合や孔径の拡がり、付着物などを検査することができる。これにより、溶接用チップの交換時期が適切に判断可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態に係る溶接用チップの検査装置の概説図である。
【図２】第１実施形態に係る溶接用チップの検査装置のブロック図である。
【図３】アーク溶接用チップの光反射画像、ｍ列における輝度値分布、光切断線の一例を示す図である。
【図４】アーク溶接用チップの先端表面形状データの解析例を示す図である。
【図５】スポット溶接用チップの先端表面形状データの解析例を示す図である。
【図６】光切断位置を示すチップ先端上方から見たチップの平面図である。
【図７】実際に測定した未使用と使用中のアーク溶接用チップの光反射画像、光切断線、先端表面形状データである。
【図８】第２実施形態に係る溶接用チップの検査装置の概説図である。
【図９】第３実施形態に係る溶接用チップの検査装置の概説図である。
【図１０】アーク溶接用チップの使用劣化を説明する図である。
【図１１】ポット溶接用チップの使用劣化を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る溶接用チップの検査装置及び検査方法について図に基づいてさらに詳述するが、本発明はこれらの実施形態に何ら限定されるものではない。
【００１６】
（第１実施形態）
図１に第１実施形態に係る溶接用チップの検査装置Ａの概説図を示し、図２にブロック図を示す。図１に示す検査装置Ａは、直方体形状の基台９１と、チップ保持台（チップ保持部材）１と、光照射部材２と、撮像部材３とを備える。
【００１７】
チップ保持台１は円柱形状を有し上面中央部に雌ネジ穴１１が形成されている。そしてチップ保持台１は、基台９１に内部に設けられたモーター（回転部材）Ｍによって駆動する軸部１２に接続され、基台９１の上面に回転自在に取り付けられている。なお、チップ保持台１の回転はチップ５の軸中心Ｏを中心として回転する。すなわち、回転する軸部１２の中心とチップ５の軸中心Ｏとは同一線上となるよう設定されている。
【００１８】
光照射部材２は、チップ５の先端の上方でチップ５の軸中心Ｏを含む平面上に配置され、チップ５の軸中心Ｏを通る線状光をチップ５の先端部に照射する。なお、図１に示す検査装置Ａでは光照射部材２はチップ５の軸中心Ｏ上に配置されている。チップ５の先端部の照射される線状光の幅はチップ５の先端の直径以上に設定され線状光はチップ５の直径全域を照射する。本発明で使用する光照射部材２としては、レーザー光やＬＥＤ照明光、ハロゲン照明光などをシリンドリカルレンズやスリットなどによって直線状にするもの、あるいは点光源をポリゴンミラーなどによって直線状にするものなどが使用可能である。
【００１９】
撮像部材３は、線状光の照射方向とは異なる角度に配置される。なお、線状光の照射方向と撮像部材３に入射する線状反射光と成す角度が大きいほどチップ５の先端表面の細かい凹凸部分まで測定可能となるが線状反射光の光量が低下するため測定精度が低下する。撮像部材３としては２次元撮像デバイスが使用され、チップ５の先端の大きさに合わせて適切なレンズを備えたものや、線状光の特定の波長や偏光方向の成分を撮像素子に入射させるフィルターを備えたもの、適切な光量を撮像素子へ入射させる絞り機構、ＮＤフィルターなどを備えたものなどが使用可能である。
【００２０】
このような構成の検査装置Ａにおいて、チップ５の軸中心Ｏ上に設けられた光照射部材２からチップ５の先端に向けて照射された線状光は、チップ５の先端形状（孔を含む凹凸）に従って拡散反射した線状反射光となり撮像部材３に入射する。撮像部材３は線状光の照射方向とは異なる角度に配置されているため、撮像部材３に入射する線状反射光はチップ５の先端の凹凸によって線状反射光の幅方向に対して垂直な方向に変化する。
【００２１】
次に、図２の検査装置Ａのブロック図に示すように、撮像部材３で撮像された光反射画像データは制御部４に送信される。そして、光切断線抽出部４１において光反射画像データから光切断線が抽出される。光反射画像データから光切断線を抽出するデータ処理の例を図３に示す。
【００２２】
図３（ａ）は撮像部材３で撮像されたアーク溶接用チップ５の光反射画像である。この光反射画像は縦Ｙ行×横Ｘ列の画素から構成されている。光切断線は、各列における光切断線の位置を検出することにより抽出される。ｍ列における光切断線の位置を抽出する場合を例に説明する。図３（ｂ）は、縦軸をｍ列の各画素位置とし、横軸を輝度値として、ｍ列における輝度値分布を示したものである。この輝度値分布から最も高い輝度値を示す画素位置が光切断線の位置と判断する。同様の処理を各列について行うことによって光切断線が得られる。図３（ｃ）は、このようにして得られた光切断線の一例であって、縦軸をチップ５の軸中心方向の基準となる位置からの距離（高さ）とし、横軸をチップ５の軸中心方向に垂直な方向の基準となる位置からの距離（幅）として光切断線を表したものである。
【００２３】
次に解析部４２において、得られた光切断線からチップ５の先端表面形状データを取得する。解析部４２で取得する先端表面形状データは、検査するチップ種類などから適宜決定すればよい。
【００２４】
例えばアーク溶接用チップ５では、前述のように、溶接を行うたびに電極ワイヤとの摩擦や給電時の発熱による変質などで摩耗し、チップ５に形成された貫通孔５１の先端開口が拡がり、また同時にチップ５の先端表面に異物が付着していくので、図４に示すように、チップ５の貫通孔５１の開口径ｄ及び左右段差ｈ、チップ５の先端平面部の直径Ｄ、左側面及び右側面の傾きθ１及び傾きθ２、表面凹凸度などが先端表面形状データとして解析・取得される。
【００２５】
またスポット溶接用チップ６では、溶接を行うたびにチップ６の先端が摩耗してチップ先端径が次第に大きくなっていくと同時にチップ６の先端表面に異物が付着していくので、図５に示すように、チップ６の先端平面部の直径Ｄ、傾きθ、表面凹凸度などが先端表面形状データとして解析・取得される。
【００２６】
以上説明した光切断線の抽出及びチップ５の先端表面形状データの取得をチップ５の全周にわたって行う。すなわち、チップ５を少なくとも半回転させてチップ５の各々の各回転角度における光切断線を得る。チップ５の回転はチップ保持台１を回転させることにより行う。チップ５の回転は連続回転であってもよいし、所定角度間隔の間欠回転であってもよい。図６はチップ先端上方から見たチップ５の平面図であって、回転角度０°から１８０°まで３０°間隔でチップ５を間欠回転させて各々の回転角度における先端表面形状データを収集する場合を示している。チップ５を間欠回転させて先端表面形状データを収集する場合には、チップ５の間欠回転角度を小さくする程、より詳細なチップ５の先端表面形状データが得られる。
【００２７】
図２に示す検査部４３では、解析部４２で得られたチップ５の先端表面形状データ（解析データ）からチップ５の劣化度合いを検査する。チップ５の劣化度合いの検査の一例としては、正常なチップ５の先端表面形状データ（基準データ）を予め記憶部４４に記憶させておき、この記憶されている基準データと解析部４２で得られた解析データとを比較し、その差分値からチップ５の劣化度合いを判定する。例えば、解析データと基準データとの差が所定値以上であった場合には、チップ５の劣化度が大きいとしてチップ５の交換が必要と判定する。
【００２８】
ここで記憶部４４に記憶させておく基準データとしては設計値などのデータを用いる、あるいは使用前（未使用）のチップ５の先端表面形状テータを予め測定しておき、これを基準データとして用いる。後者の場合には個々のチップ５の使用前の状態を基準とするので、チップ５の劣化度合いがより精度よく判定可能となる。
【００２９】
アーク溶接用チップ５であれば、例えば、貫通孔５１の開口径ｄが所定の基準値よりも大きくなった場合、あるいはチップ５の先端平面部の直径Ｄが所定の基準値よりも大きくなった場合（あるいは小さくなった場合）、チップの先端の左側面及び右側面の傾きθ１及び傾きθ２が所定の基準値より大きくなった場合、さらにはチップ５の先端平面部の表面凹凸度が所定の基準値より大きくなった場合には劣化度合いが大きいと判定し、報知部４５（図２に図示）によってチップの交換が必要である旨を使用者に報知する。
【００３０】
またスポット溶接用チップであれば、チップの先端平面部の直径Ｄが所定の基準値よりも大きくなった場合、チップ５の先端平面部の水平面からの傾きθが所定の基準値より大きくなった場合、さらにはチップの先端平面部の表面凹凸度が所定の基準値より大きくなった場合には劣化度合いが大きいと判定し、報知部４５（図２に図示）によってドレッシングまたはチップ交換が必要である旨を使用者に報知する。
【００３１】
スポット溶接用チップ６の場合、使用劣化によってチップ６の先端平面部の直径Ｄが大きくなったり先端平面部に酸化物等が付着した場合などにはドレッシング（研削）してチップ６を再生使用する。そして、ドレッシングが不能となった場合にチップ交換を行う。チップ６をドレッシングするか交換するかの判断は、通常、チップ６の軸中心方向の長さによって判断される。すなわち、ドレッシングによってチップ６の軸中心方向の長さは徐々に短くなるので、チップ６の軸中心方向の長さが所定長さ以下となるとドレッシング不能となりチップ交換が必要と判断される。
【００３２】
報知部４５によるチップ５，６の劣化度合いの報知は、使用者が理解できるものであれば特に限定はなく、例えば、チップ５，６の交換やドレッシングが必要である旨を表示部に単に表示するものであってもよいし、チップの劣化度合いに対応した数字や絵図を表示部に表示してもよい。またチップ５，６が使用可能と判定された場合であっても、後どれくらいチップ５，６の使用が可能かを表示するようにしてもよい。
【００３３】
図７に、実際に測定した未使用と使用中のアーク溶接用チップ５の光反射画像、光切断線、先端表面形状データを示す。ここでは、回転角度０度から１８０度まで３０度間隔で７つの光反射画像を撮影し、先端表面形状テータとしてチップ上面の左側面の傾き、右側面の傾き、貫通孔の左右段差、貫通孔の孔径をそれぞれ求めた。
【００３４】
未使用チップの先端表面形状テータを基準データとして使用中チップの先端表面形状テータと比較すると、使用中チップでは、左側面及び右側面の半径方向外方に向かって下方に傾斜し、また貫通孔の左右の高さが不均一となると共に開口径が大きくなっていることがわかる。すなわちチップが使用により劣化していることがわかる。チップを継続使用するか交換するかは使用者が定めた基準に従い適宜判断すればよい。
【００３５】
（第２実施形態）
第１実施形態の検査装置では、回転するチップ保持部材１にチップ５を固定してチップ５の劣化度合いを検査していたが、例えば溶接ロボットを用いた溶接作業の場合にはチップの劣化度合いを測定する度に溶接装置からチップを着脱しなければならずチップの着脱作業が煩雑で、生産効率も低下する。そこで、このような場合には、溶接ロボットにチップを装着した状態でチップの劣化度合いを検査するのが好適である。図８に、チップ５を固定した状態でチップ５の劣化度合いを検査する本発明に係る検査装置の一例を示す。
【００３６】
溶接ロボットＲは、基台Ｂｓと、基台Ｂｓ上に設置された多関節アームＡｍと、多関節アームＡｍの先端部に設けられた溶接部Ｗｄとを有する。多関節アームＡｍは複数の関節部において回動可能とされており、溶接部Ｗｄは多関節アームＡｍによってＸ方向、Ｚ方向、Ｙ方向（紙面に垂直な方向）の所望位置に移動可能とされている。そして溶接部Ｗｄにはチップ５が取り外し可能に装着されている。溶接部Ｗｄによって溶接を行うとき、溶接部Ｗｄが多関節アームＡｍによって所望位置に移動され、ワイヤ給送部８２から電極ワイヤ８３がチップ５に供給されるとともに、チップ５と母材（不図示）との間に高電圧が印加されてアーク溶接が行われる。そして、所定の溶接回数あるいは溶接時間が経過する毎に、溶接部Ｗｄは溶接領域から検査装置Ｂに移動されチップ５の劣化度合いが検査される。
【００３７】
検査装置Ｂは密閉箱形状のハウジング８０を有し、ハウジング８０のＺ方向一方側面（図８では上面）にはチップ５が挿通可能な検査用孔８１が形成され、ハウジング８０内には、モーターＭ（回転部材）によって回転可能な基台９１と、基台９１の上面の所定位置に固定された光照射部材２及び撮像部材３とが設けられている。また、ハウジング８０内の光照射部材２の上方にはチップ検査用空間８４が確保されている。基台９１は回転軸を中心として回転し、光照射部材２は回転軸上に配置され、撮像部材３は、光照射部材２による線状光の照射方向と所定の角度を有する位置に配置される。なお、光照射部材２と撮像部材３とは基台９１が回転した場合でも相対位置は変化しない。すなわち光照射部材２から照射される線状光と撮像部材３に入射する線状反射光とのなす角度は変化しない。
【００３８】
このような構成の検査装置Ｂにおいてチップ５の劣化度合いが検査される場合には、まず、ハウジング８０の上面に形成された検査用孔８１に多関節アームＡｍによってチップ５が挿入され所定位置で固定される。すなわち本実施形態では多関節アームＡｍがチップ保持部材としての役割を果たす。多関節アームＡｍによるチップ５の固定位置は、より詳細には、ＸＹ平面においてチップ５の軸中心Ｏが基台９１の回転軸と同一線上となる位置で、Ｚ方向位置は光照射部材２から照射された線状光がチップ５の先端で反射して線状反射光として撮像部材３に入射する位置である。
【００３９】
次に、光照射部材２からチップ５の先端に線状光が照射され、チップ５の先端で反射した線状反射光が撮像部材３で撮像される。そして、第１実施形態と同様に、撮像部材３で撮像された光反射画像データは制御部４に送信され、光切断線抽出部４１において光反射画像データから光切断線が抽出された後、解析部４２において光切断線からチップ５の先端表面形状データが取得される。このような処理を基部９１を連続回転あるいは所定角度間隔の間欠回転することによってチップ５の全周にわたって行い、チップ全周の先端表面形状テータを得る。そして検査部４３において、解析部４２で得られたチップ５の先端表面形状データ（解析データ）からチップ５の劣化度合いが検査される。チップ５の劣化度合いの検査の一例としては、第１実施形態と同様に、正常なチップ５の先端表面形状データ（基準データ）と解析部４２で得られた解析データとを比較し、その差分値からチップの劣化度合いを判定する手法が挙げられる。
【００４０】
（第３実施形態）
第２実施形態の検査装置Ｂは、アーク溶接など１個のチップで溶接を行う装置のチップ検査装置であったが、スポット溶接では２個のチップが対で使用される。このような２個のチップを１対として溶接を行う装置のチップの劣化度合いを測定する場合には、１対のチップの劣化度合い測定が同時に行えるのが望ましい。図９に、１対のチップの劣化度合いを同時に測定可能な装置の概説図を示す。図９に示す検査装置Ｃは密閉箱形状のハウジング８０ａを有し、ハウジング８０ａのＺ方向両側面には検査用孔８１ａ，８１ｂが形成されている。ハウジング８０ａ内には、Ｚ方向略中央部にモーターＭ（回転部材）が配置されている。モーターＭを中心としてＺ方向一方側には、モーターＭによって回転可能とされる基台９１ａと、基台９１ａの上面において基台９１ａの回転軸上に配置された光照射部材２ａと、光照射部材２ａによる線状光の照射方向と所定の角度を有する位置に配置された撮像部材３ａとが設けられている。また、モータＭを中心として対称にＺ方向他方側にも基台９１ｂ、光照射部材２ｂ、撮像部材３ｂが設けられている。
【００４１】
なお、光照射部材２ａと撮像部材３ａ及び光照射部材２ｂと撮像部材３ｂとは、基台９１ａ，９１ｂがモーターＭによってそれぞれ回転した場合でも相対位置は変化しない。すなわち光照射部材２ａ，２ｂから照射される線状光と撮像部材３ａ，３ｂに入射する線状反射光とのなす角度は変化しない。
【００４２】
このような構成の検査装置Ｃにおいて一対のチップ６ａ，６ｂの劣化度合いが検査される場合には、ハウジング８０ａのＺ方向両側面に形成された検査用孔８１ａ，８１ｂから所定距離隔てた測定位置にチップ６ａ，６ｂが多関節アームＡｍによって移動される。なお、チップ６ａ，６ｂの測定位置は、より詳細には、ＸＹ平面においてチップ６ａ，６ｂの軸中心Ｏが基台９１ａ，９１ｂの回転軸と同一線上となる位置で、Ｚ方向位置は光照射部材２ａ，２ｂから照射された線状光がチップ６ａ，６ｂの先端で反射して線状反射光として撮像部材３ａ，３ｂに入射する位置である。
【００４３】
次に、光照射部材２ａ，２ｂからチップ６ａ，６ｂの先端に線状光が照射され、チップ６ａ，６ｂの先端で反射した線状反射光が撮像部材３ａ，３ｂで撮像される。そして、第１実施形態と同様に、撮像部材３ａ，３ｂで撮像された光反射画像データはそれぞれ制御部４に送信され、光切断線抽出部４１において光反射画像データから光切断線が抽出された後、解析部４２において光切断線からチップ５の先端表面形状データが取得される。このような処理を基部９１ａ，９１ｂを連続回転あるいは所定角度間隔の間欠回転することによってチップ６ａ，６ｂの各々全周にわたって行い、チップ全周の先端表面形状テータを得る。そして検査部４３において、解析部４２で得られたチップ５の先端表面形状データ（解析データ）からチップ６ａ，６ｂの劣化度合いが検査される。チップ６ａ，６ｂの劣化度合いの検査の一例としては、第１実施形態と同様に、正常なチップ５の先端表面形状データ（基準データ）と解析部４２で得られた解析データとを比較し、その差分値からチップの劣化度合いを判定する手法が挙げられる。
【００４４】
（変形例）
１対のチップの劣化度合いを測定するには、検査装置Ｂを基台９１の回転軸に対して垂直な軸を中心として１８０度回転可能とし、一方のチップの劣化度合いを測定した後、検査装置Ｂを１８０度回転させて他方のチップの劣化度合いを測定する構成としてもよい。
【００４５】
（その他）
以上説明した実施形態ではチップ保持部１、又は照射部材２と撮像部材３とが設けられた基台９１を回転させていたが、両者を回転させて光反射画像を得るようにしても構わない。また、本発明の効果に影響を及ぼさない範囲において必要に応じて種々の変更を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明のチップの検査装置及び検査方法によればチップの摩耗具合や孔径の拡がり、付着物などを検査することができ、溶接用チップの交換時期が適切に判断可能となり有用である。
【符号の説明】
【００４７】
１    チップ保持部材
２，２ａ，２ｂ    光照射部材
３，３ａ，３ｂ    撮像部材
４    制御部
５    チップ
６，６ａ，６ｂ    チップ
４１    光切断線抽出部
４２    解析部
４３    検査部
４４    記憶部
４５    報知部
５１    貫通孔
８０，８０ａ    ハウジング
８１，８１ａ，８１ｂ    検査用孔
９１，９１ａ，９１ｂ    基部
Ａ，Ｂ，Ｃ    検査装置
Ｍ    モーター（回転部材）
Ｏ    チップの軸中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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