(57)【要約】【課題】表面の平滑性が高く、且つ、表面のうねりが少ないアルミニウム合金基板を高い生産性で製造することを可能とした磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法を提供する。【解決手段】キャリアプレート１３に設けられた開口部１３ａにアルミニウム合金基板を配置し、アルミニウム合金基板の面上に研削液を供給しながら、上定盤１１及び下定盤１２に対してキャリアプレート１３を面内で相対移動させることによって、アルミニウム合金基板の両主面を研削パッド１４により研削する研削加工装置１０を用い、研削パッド１３は、平坦な頂部を有するタイル状の凸部が複数並んで設けられ、且つ、凸部にダイヤモンド砥粒が結合剤により固定された構造を有し、ダイヤモンド砥粒の平均粒径が２〜１５μｍであり、凸部におけるダイヤモンド砥粒の含有量が５〜５０体積％である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心孔を有する円盤状のアルミニウム合金基板の両主面に対して、少なくとも研削加工を施す工程を含む磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法であって、
前記研削加工を施す工程において、互いに対向する上下一対の上定盤及び下定盤と、前記下定盤の対向面側に配置されたキャリアプレートと、前記上定盤及び前記下定盤の対向面にそれぞれ取り付けられた研削パッドとを備え、前記キャリアプレートに設けられた開口部に前記アルミニウム合金基板を配置し、前記アルミニウム合金基板の面上に研削液を供給しながら、前記上定盤及び前記下定盤に対して前記キャリアプレートを面内で相対移動させることによって、前記アルミニウム合金基板の両主面を前記研削パッドにより研削する研削加工装置を用い、
前記研削パッドは、平坦な頂部を有するタイル状の凸部が複数並んで設けられ、且つ、前記凸部にダイヤモンド砥粒が結合剤により固定された構造を有し、
前記ダイヤモンド砥粒の平均粒径が２〜１５μｍであり、前記凸部におけるダイヤモンド砥粒の含有量が５〜５０体積％であることを特徴とする磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法。
【請求項２】
前記研削パッドは、前記凸部の頂部での面内における外接円の直径が１．５〜７ｍｍであり、前記凸部の高さが０．１〜５ｍｍであり、互いに隣接する前記凸部の間の間隔が０．４〜５ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法。
【請求項３】
前記アルミニウム合金基板は、Ｓｉを３〜３０質量％の範囲で含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録メディアの需要の高まりを受けて、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）に用いられる磁気記録媒体の製造が活発化している。ＨＤＤに用いられる磁気記録媒体には、ドーナツ円盤状のアルミニウム合金基板とガラス基板とが広く用いられている。このうち、アルミニウム合金基板は、加工性に優れ、安価である点に特長がある。一方、ガラス基板は、強度に優れている点に特長がある。
【０００３】
従来から磁気記録媒体の製造工程において、磁気記録媒体用基板の研磨加工や研削加工が行われている。磁気記録媒体用基板の研磨又は研削加工としては、キャリアプレートの保持孔に基板を保持した状態で、互いに対向する上下一対の定盤の間にキャリアプレートを挟持し、これら定盤とキャリアプレートとを面内で相対的に移動させることによって、基板の両主面を研磨又は研削する方法がある。
【０００４】
例えば、下記特許文献１には、研磨機用キャリアのワーク保持穴内にワークを位置させて、ワークの上下面を、これらと相対移動する上定盤ないし下定盤の間に供給された研磨剤中の砥粒によって研磨する技術が記載されている。
【０００５】
ところで、近年のインタ−ネット網の発展やビッグデータの活用の拡大から、データセンターにおけるデータの蓄積量も増大を続けている。また、データセンターのスペース上の問題から、データセンターの単位体積当たりの記憶容量を高める必要性が生じている。
【０００６】
そこで、規格化されたハードディスクドライブの一台当たりの記憶容量を高めるため、磁気記録媒体の一枚当たりの記憶容量を高めることに加え、ドライブケースの内部に納める磁気記録媒体の枚数を増やすことが試みられている。また、ドライブケースの内部に納める磁気記録媒体の枚数を増やすため、磁気記録媒体に用いられる基板を薄くすることが試みられている。
【０００７】
しかしながら、基板を薄くした場合、アルミニウム合金基板は、ガラス基板に比べて、ヤング率が低いため、フラッタリングが生じやすい。フラッタリングとは、磁気記録媒体を高速回転させた場合に生じる磁気記録媒体のばたつきである。フラッタリングが大きくなると、ＨＤＤにおいて安定した読み取り動作が困難になる。
【０００８】
下記特許文献２には、ヤング率の高いアルミニウム合金基板として、Ｍｇを０．２〜６質量％の範囲内、Ｓｉを３〜１７質量％の範囲内、Ｚｎを０．０５〜２質量％の範囲内、Ｓｒを０．００１〜１質量％の範囲内で含む磁気記録媒体用基板が開示されている。
【０００９】
上述した磁気記録媒体用アルミニウム合金基板は、以下の工程によって一般的に製造される。先ず、アルミニウム合金鋳塊を圧延して、厚さ２ｍｍ以下程度のアルミニウム合金板材を得て、得られたアルミニウム合金板材をドーナツ円盤状に打ち抜いて、所望の寸法のアルミニウム合金基板とする。
【００１０】
次に、打ち抜かれたアルミニウム合金基板に対して、内外径の面取り加工及び両主面（最終的に磁気記録媒体の記録面となる面）の旋削加工を施した後、旋削加工後のアルミニウム合金基板の表面粗さやうねりを下げるために、アルミニウム合金基板の両主面に砥石による研削加工を施す。
【００１１】
次に、表面硬さの付与と表面欠陥の抑制を目的として、アルミニウム合金基板の表面にＮｉＰめっきを施す。その後、ＮｉＰめっき被膜が形成されたアルミニウム合金基板の両主面に対して、研磨加工を施す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２０００−１９８０６４号公報
【特許文献２】特開２０１７−１２０６８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、アルミニウム合金基板のヤング率を高めた場合、合金中には、ＳｉやＭｇ、Ｃｕなどの添加物が含まれており、これらが単体又は合金として粒界に析出している。これらの析出物は、基材のアルミニウムより硬いため、研削されずに基材から脱落し、凹部を形成したり、加工表面に留まると、加工傷の原因となったりすることがある。したがって、これを防止するためには、加工速度を大幅に遅くする必要があり、研削加工工程の生産性が低下するといった問題があった。
【００１４】
本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、表面の平滑性が高く、且つ、表面のうねりが少ないアルミニウム合金基板を高い生産性で製造することを可能とした磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は以下の手段を提供する。
（１）  中心孔を有する円盤状のアルミニウム合金基板の両主面に対して、少なくとも研削加工を施す工程を含む磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法であって、
前記研削加工を施す工程において、互いに対向する上下一対の上定盤及び下定盤と、前記下定盤の対向面側に配置されたキャリアプレートと、前記上定盤及び前記下定盤の対向面にそれぞれ取り付けられた研削パッドとを備え、前記キャリアプレートに設けられた開口部に前記アルミニウム合金基板を配置し、前記アルミニウム合金基板の面上に研削液を供給しながら、前記上定盤及び前記下定盤に対して前記キャリアプレートを面内で相対移動させることによって、前記アルミニウム合金基板の両主面を前記研削パッドにより研削する研削加工装置を用い、
前記研削パッドは、平坦な頂部を有するタイル状の凸部が複数並んで設けられ、且つ、前記凸部にダイヤモンド砥粒が結合剤により固定された構造を有し、
前記ダイヤモンド砥粒の平均粒径が２〜１５μｍであり、前記凸部におけるダイヤモンド砥粒の含有量が５〜５０体積％であることを特徴とする磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法。
（２）  前記研削パッドは、前記凸部の頂部での面内における外接円の直径が１．５〜７ｍｍであり、前記凸部の高さが０．１〜５ｍｍであり、互いに隣接する前記凸部の間の間隔が０．４〜５ｍｍであることを特徴とする前項（１）に記載の磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法。
（３）  前記アルミニウム合金基板は、Ｓｉを３〜３０質量％の範囲で含むことを特徴とする前項（１）又は（２）に記載の磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明では、表面の平滑性が高く、且つ、表面のうねりが少ない磁気記録媒体用アルミニウム合金基板を高い生産性で製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係る磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造工程で用いられる研削加工装置の一構成例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す研削加工装置において用いられる研削パッドを示し、（ａ）はその要部を拡大して示す平面図、（ｂ）はその要部を拡大して示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を適用した磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法について、図面を参照して詳細に説明する。
本発明を適用して製造される磁気記録媒体用アルミニウム合金基板は、中心孔を有する円盤状（ドーナツ円盤状）のアルミニウム合金基板である。磁気記録媒体は、このアルミニウム合金基板の面上に、磁性層、保護層及び潤滑膜等を順次積層したものからなる。また、磁気記録再生装置（ＨＤＤ）では、この磁気記録媒体の中心部をスピンドルモータの回転軸に取り付けて、スピンドルモータにより回転駆動される磁気記録媒体の面上を磁気ヘッドが浮上走行しながら、磁気記録媒体に対して情報の書き込み又は読み出しを行う。
【００１９】
磁気記録媒体用アルミニウム合金基板は、以下の工程によって製造される。
先ず、アルミニウム合金鋳塊を圧延して、厚さ２ｍｍ以下程度のアルミニウム合金板材を得て、得られたアルミニウム合金板材をドーナツ円盤状に打ち抜いて、所望の寸法のアルミニウム合金基板とする。
【００２０】
次に、打ち抜かれたアルミニウム合金基板に対して、内外径の面取り加工及び両主面の旋削加工を施した後、旋削加工後のアルミニウム合金基板の表面粗さやうねりを下げるために、アルミニウム合金基板の両主面に砥石による研削加工を施す。
【００２１】
次に、表面硬さの付与と表面欠陥の抑制を目的として、アルミニウム合金基板の表面にＮｉＰめっきを施す。その後、ＮｉＰめっき被膜が形成されたアルミニウム合金基板の両主面に対して、研磨加工を施す。
【００２２】
本発明を適用した磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法では、例えば図１に示すような研削加工装置１０を用いて、アルミニウム合金基板の両主面（最終的に磁気記録媒体の記録面となる面）に研削加工を施す。なお、図１は、研削加工装置１０の構成を示す斜視図である。
【００２３】
本実施形態の研削加工装置１０は、図１に示すように、互いに対向する上下一対の上定盤１１及び下定盤１２と、下定盤１２の対向面側に配置された複数のキャリアプレート１３と、上定盤１１及び下定盤１２の対向面にそれぞれ取り付けられた研削パッド１４とを備えている。
【００２４】
研削加工装置１０は、各キャリアプレート１３に設けられた複数の開口部１３ａにアルミニウム合金基板を配置し、アルミニウム合金基板の面上に研削液を供給しながら、上定盤１１及び下定盤１２に対してキャリアプレート１３を面内で相対移動させることによって、アルミニウム合金基板の両主面を研削パッド１４により研削する。
【００２５】
上定盤１１及び下定盤１２は、それぞれの中心部に設けられた回転軸１１ａ，１２ａを駆動モータなどの駆動手段（図示せず。）により回転駆動することで、互いの中心軸を一致させた状態で互いに逆向きに回転可能となっている。また、下定盤１２の対向面（上面）には、複数のキャリアプレート１３を配置するための凹部１５が設けられている。
【００２６】
複数のキャリアプレート１３は、例えばアラミド繊維やガラス繊維を混入することで強化されたエポキシ樹脂などを円盤状に形成したものからなる。そして、これら複数のキャリアプレート１３は、凹部１５の内側において回転軸１２ａの周囲に並んで配置されている。また、各キャリアプレート１３の外周部には、全周に亘って遊星歯車１６が設けられている。一方、凹部１５の内周部には、各キャリアプレート１３の遊星歯車１６と噛合された状態で、回転軸１２ａと共に回転する太陽歯車１７が設けられている。また、凹部１５の外周部には、各キャリアプレート１３の遊星歯車１６と噛合される固定歯車１８が設けられている。
【００２７】
これにより、複数のキャリアプレート１３は、回転軸１２ａと共に太陽歯車１７が回転すると、太陽歯車１７及び固定歯車１８と遊星歯車１６との噛合によって、凹部１５内で回転軸１２ａの周囲を当該回転軸１２ａと同一方向に回転（公転）しながら、互いの中心軸回りに回転軸１２ａとは逆方向に回転（自転）する、いわゆる遊星運動を行う。
【００２８】
研削液の供給手段としては、アルミニウム合金基板の両主面に研削液を供給できるものであればよく、特に限定されないものの、例えば、上定盤１１側に設けられ、所定の流量で研削液を供給する供給口を有するものを用いることができる。
【００２９】
研削液としては、アルミニウム合金基板の材質や、研削の目的などに応じて適宜決定すればよく、例えば、市販のクーラントや水などを用いることができる。
【００３０】
以上のような構成を有する本実施形態の研削加工装置１０では、各キャリアプレート１３の開口部１３ａに保持された複数のアルミニウム合金基板を遊星運動させながら、その両主面を上定盤１１及び下定盤１２に設けられた研削パッド１４により研削することが可能である。この構成の場合、複数のアルミニウム合金基板に対して、研削加工をより精度良く、また迅速に行うことが可能である。
【００３１】
ところで、本実施形態の研削加工装置１０で用いられる研削パッド１４は、例えば図２（ａ），（ｂ）に示すような構造を有している。なお、図２（ａ）は、研削パッド１４の要部を拡大して示す平面図である。図２（ｂ）は、研削パッド１４の要部を拡大して示す断面図である。また、図２（ｂ）は、図２（ａ）中に示す線分Ａ−Ａ’による研削パッド１４の断面を表す。
【００３２】
本実施形態の研削パッド１４は、図２（ａ），（ｂ）に示すように、ダイヤモンド砥粒が結合剤（ボンド）で固定されたダイヤモンド砥石２０であり、さらに、その研削面２０ａには、平坦な頂部を有するタイル状の凸部２１が複数並んで設けられている。また、このダイヤモンド砥石２０は、ダイヤモンド砥粒が結合剤で固定された凸部２１を基材２２の表面に複数並べて形成されている。なお、ダイヤモンド砥石２０の結合剤には、例えば、ポリウレタン系樹脂、フェノール系樹脂、メラミン系樹脂、アクリル系樹脂などの樹脂を用いることができる。
【００３３】
ここで、ダイヤモンド砥石２０（研削パッド１４）において、凸部２１の外形寸法Ｓは、１．５〜５ｍｍ角であることが好ましい。又は、凸部２１の頂部での面内における外接円（凸部２１に外接する円）の直径は、１．５〜７ｍｍの範囲であることが好ましく、より好ましくは３〜５ｍｍの範囲である。
【００３４】
また、凸部２１の高さＴは、０．１〜５ｍｍの範囲であることが好ましく、より好ましくは０．２〜３ｍｍの範囲である。
【００３５】
また、互いに隣接する凸部２１の間の間隔Ｇは、０．４〜５ｍｍの範囲であることが好ましく、より好ましくは０．５〜３ｍｍの範囲である。
【００３６】
本実施形態の研削加工装置１０では、上記範囲を満足するダイヤモンド砥石２０（研削パッド１４）を用いることで、溝を通じて研削液が均等に行き渡るため、加工性が向上する。さらに、研削面２０ａの凸部２１の間から研削屑等を円滑に排出することが可能であり、ＳｉやＭｇ、Ｃｕなどの析出物からなる硬い研削屑が加工面に傷付けることを防止できる。
【００３７】
また、凸部２１の形状については、研削面２０ａを平面視したときに、上記図２（ａ）に示す正方形となる場合に限らず、例えば、長方形、ひし形、多角形、円形などであってもよい。この場合、凸部２１の大きさについては、上述した凸部２１の頂部での面内における外接円の直径を、１．５〜７ｍｍの範囲で設定すればよい。
【００３８】
また、ダイヤモンド砥石２０（研削パッド１４）において、ダイヤモンド砥粒の平均粒径は、２〜１５μｍの範囲であることが好ましく、より好ましくは４〜９μｍの範囲である。また、凸部２１におけるダイヤモンド砥粒の含有量は、５〜５０体積％の範囲であることが好ましく、より好ましくは１０〜２０体積％の範囲である。
【００３９】
ダイヤモンド砥粒の粒径及び含有量が上記範囲を下回ると、加工時間の増大を招くため、コスト高となる。一方、ダイヤモンド砥粒の粒径及び含有量が上記範囲を上回ると、所望の表面粗度を得ることが困難となる。
【００４０】
研削加工が施されたアルミニウム合金基板は、その後、表面硬さの付与と表面欠陥の抑制を目的として、表面にＮｉＰ系めっきを施す。アルミニウム合金基板にＮｉＰ系めっき被膜を形成する方法としては、無電解めっき法を用いることが好ましい。ＮｉＰ系合金からなるめっき被膜は、従来から使用されている方法を用いて形成することができる。
【００４１】
ＮｉＰ系めっき被膜の厚さは、めっき液への浸漬時間、めっき液の温度によって適宜調整することが可能である。めっき条件は、特に限定されるものではないが、めっき液のｐＨを５．０〜８．６とし、めっき液の温度を７０〜１００℃、好ましくは８５〜９５℃とし、めっき液への浸漬時間を９０〜１５０分間とするのが好ましい。
【００４２】
得られたＮｉＰ系めっき被膜付きのアルミニウム合金基板は、加熱処理を施すことが好ましい。これにより、ＮｉＰ系めっき被膜の硬度をより高め、磁気記録媒体用アルミニウム合金基板のヤング率をさらに高めることができる。加熱処理の温度は、３００℃以上とすることが好ましい。
【００４３】
ＮｉＰ系めっき被膜が形成されたアルミニウム合金基板の両主面（最終的に磁気記録媒体の記録面となる面）に対して、研磨加工を施す。研磨加工工程は、平滑で、傷が少ないといった表面品質の向上と生産性の向上との両立の観点から、複数の独立した研磨盤を用いた２段階以上の研磨工程を有する多段階研磨方式を採用するのが好ましい。
【００４４】
例えば、第１の研磨盤を用いて、アルミナ砥粒を含む研磨液を供給しながら研磨する粗研磨工程と、研磨されたアルミニウム合金基板を洗浄した後に、第２の研磨盤を用いて、コロイダルシリカ砥粒を含む研磨液を供給しながら研磨する仕上げ研磨工程を行う。研磨加工工程は、研削加工工程と同様に両面加工装置を用いた、公知の方法で行うことができる。
【００４５】
以上のように、本発明を適用した磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法では、上述した研削加工装置１０を用いた研削加工をアルミニウム合金基板に施すことによって、研削液が研削面に均等に行き渡り、且つ、研削面の凸部２１の間から研削屑等を円滑に排出することが可能となる。
【００４６】
したがって、本発明によれば、従来は加工が困難であったヤング率の高い高剛性のアルミニウム合金基板を研削加工する場合においても、表面の平滑性が高く、表面のうねりが少ない磁気記録媒体用アルミニウム合金基板を高い生産性で製造することが可能である。
【００４７】
特に、本発明では、Ｓｉを３〜３０質量％の範囲、より具体的にはＳｉを５質量％〜１７質量％の範囲で含むアルミニウム合金基板に対して、表面の平滑性が高く、表面のうねりが少ない研削加工を施すことが可能である。
【実施例】
【００４８】
以下、実施例により本発明の効果をより明らかなものとする。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することができる。
【００４９】
（実施例１）
実施例１では、先ず、アルミニウム合金の板材として、Ａ５０８６相当品（Ｍｇ：４質量％、Ｍｎ：０．５質量％、Ｆｅ：０．３質量％、Ｃｒ：０．２質量％、Ｓｉ：０．２質量％、Ｚｎ：０．２質量％、残部Ａｌ）を用いた。なお、この板材は半連続鋳造法でアルミニウム合金塊を得た後、これを圧延することで製造した。
【００５０】
次に、厚さ１．２ｍｍの板材をドーナツ円盤状に打ち抜き、中心孔を有する直径９７ｍｍのアルミニウム合金基板を得た後、これを３８０℃で１時間焼鈍した。その後、アルミニウム合金基板の両主面及び端面をダイヤモンドバイトにより切削加工し、直径９６ｍｍ、厚さ０．８ｍｍのアルミニウム合金基板を得た。
【００５１】
次に、このアルミニウム合金基板に対し、本発明の方法により研削加工を施した。具体的には、研削加工装置を用いて、各キャリアプレートの開口部に保持された複数枚のアルミニウム合金基板を遊星運動させながら、その両主面を上定盤及び下定盤に設けられた研削パッドにより研削した。
【００５２】
このとき、研削パッドには、ダイヤモンド砥石（商品名：トライザクト、住友３Ｍ社製）を使用した。このダイヤモンド砥石は、凸部の外形寸法が２．６ｍｍ角、高さが２ｍｍ、隣接する凸部の間の間隔が１ｍｍ、ダイヤモンド砥粒の平均粒径が６μｍであり、凸部におけるダイヤモンド砥粒の含有量が約１５体積％であり、結合剤としてアクリル系樹脂を用いている。
【００５３】
また、研削加工装置には、４ウエイタイプ両面研削盤（浜井産業株式会社製１６Ｂ型）を用い、定盤の回転数を３０ｒｐｍ、加工圧力を１１０ｇ／ｃｍ２として、５分間研削を行った。研削液には、水を使用し、アルミニウム基板の片面当たりの研削量は約１００μｍとした。
【００５４】
得られたアルミニウム合金基板をＮｉＰ系めっき液に浸漬し、無電解めっき法を用いてアルミニウム合金基板の表面に、ＮｉＰ系めっき被膜として、８８Ｎｉ−１２Ｐ（Ｐの含有量１２質量％、残部Ｎｉ）膜を形成した。
【００５５】
ＮｉＰ系めっき液には、硫酸ニッケル（ニッケル源）と、次亜リン酸ナトリウム（リン源）とを含み、酢酸鉛、クエン酸ナトリウム、ホウ酸ナトリウムを適宜加えて、上記組成のＮｉＰ系めっき被膜が得られるように、成分の分量を調整したものを用いた。ＮｉＰ系めっき被膜の形成時のＮｉＰ系めっき液はｐＨを６、液温を９０℃に調整した。アルミニウム合金基板のＮｉＰ系めっき液への浸漬時間は２時間とした。
【００５６】
次に、ＮｉＰ系めっき被膜が形成されたアルミニウム合金基板を３００℃で３分間加熱して、ＮｉＰ系めっき被膜付きアルミニウム合金基板を得た。
【００５７】
次に、研磨盤として、上下一対の定盤を備える２段の４ウエイタイプ両面研磨盤（システム精工社製１１Ｂ型）を用いて、ＮｉＰ系めっき被膜付アルミニウム合金基板の表面に対して、研磨加工を施し、円盤状アルミニウム基板を作製した。
【００５８】
このとき、研磨パッドには、スエードタイプ（Ｆｉｌｗｅｌ社製）を用いた。そして、第１段目の研磨加工には、Ｄ５０が０．５μｍのアルミナ砥粒と、キレート剤と酸化剤とを添加してｐＨ１．５の酸性領域に調整した水溶液を用いた。また、第２段目の研磨加工には、Ｄ５０が３０ｎｍのコロイダルシリカ砥粒と、キレート剤と酸化剤とを添加してｐＨ１．５の酸性領域に調整した水溶液を用いた。また、研磨時間を各段５分間とした。
【００５９】
下砥石と上砥石との間の加工圧力は１１０ｇ／ｃｍ２とした。下砥石及び上砥石の回転数は２０ｒｐｍとし、第１段目の研磨加工での研磨量を約１．５μｍ、第２段目の研磨加工での研磨量を約０．５μｍとした。
【００６０】
製造した実施例１の磁気記録媒体用アルミニウム合金基板に対して、表面のうねりと平滑性に対する評価試験を行った。
【００６１】
うねりの評価試験は、Ｚｙｇｏ社非接触表面形状測定機ＮｅｗＶｉｅｗ５０３２を用いて、波長が１００μｍ〜４００μｍの範囲内のうねりの振幅を測定した。また、平滑性の評価試験は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、ＳＩＩナノテクノロジー社製、ＳＰＡ４００を用いて、１μｍ×１μｍの領域での中心面平均粗さＲａを測定した。
【００６２】
また、アルミニウム合金のヤング率を、日本工業規格「ＪＩＳ Ｚ ２２８０−１９９３」に基づいて、常温で測定した。なお、ヤング率は、製造した磁気記録媒体用アルミニウム合金基板を、長さ５０ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ０．８ｍｍの短冊状に切り出し、これを試験片として測定した。これらをまとめた結果を下記表１に示す。
【００６３】
（比較例１）
比較例１では、研削パッドに平均粒径４μｍの炭化ケイ素砥粒を使用した研削砥石を用いた。使用した研削砥石は、炭化ケイ素砥粒をポリビニルアルコール樹脂やフェノール樹脂で担持させ、気孔剤（でんぷん）にて５０％程度の気孔を作ったスポンジ状であり、砥石の表面には切粉排出用の溝が設けられている。
【００６４】
それ以外は、上記実施例１と同様にして、磁気記録媒体用アルミニウム合金基板を製造した。そして、製造した比較例１の磁気記録媒体用アルミニウム合金基板に対して、表面のうねりと平滑性に対する評価試験とヤング率の測定を実施例１と同様の方法で行った。これらをまとめた結果を下記表１に示す。
【００６５】
（実施例２〜１３）
実施例２〜１３では、下記表１に示す組成のアルミニウム合金基板に対して、実施例１同様のダイヤモンド砥石を用いて研削加工を行った。なお、Ｓｉの含有量が２３％以上のアルミニウム合金基板の製造には、半連続鋳造法に変えて粉末冶金法を用いた。
【００６６】
それ以外は、上記実施例１と同様にして、磁気記録媒体用アルミニウム合金基板を製造した。そして、製造した実施例２〜１３の磁気記録媒体用アルミニウム合金基板に対して、表面のうねりと平滑性に対する評価試験とヤング率の測定を実施例１と同様の方法で行った。これらをまとめた結果を下記表１に示す。
【００６７】
（比較例２〜１３）
比較例２〜１３では、下記表１に示す組成のアルミニウム合金基板に対して、比較例１同様の研削砥石を用いて研削加工を行った。なお、Ｓｉの含有量が２３％以上のアルミニウム合金基板の製造には、半連続鋳造法に変えて粉末冶金法を用いた。
【００６８】
それ以外は、上記実施例１と同様にして、磁気記録媒体用アルミニウム合金基板を製造した。そして、製造した比較例２〜１３の磁気記録媒体用アルミニウム合金基板に対して、表面のうねりと平滑性に対する評価試験とヤング率の測定を実施例１と同様の方法で行った。これらをまとめた結果を下記表１に示す。
【００６９】
【表１】
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【００７０】
表１に示すように、実施例１〜１３の磁気記録媒体用アルミニウム合金基板では、比較例１〜１３の磁気記録媒体用アルミニウム合金基板に比べて、表面の平滑性が高く、且つ、表面のうねりが少ないことがわかる。また、基板全体で深さ２μｍ以上の凹部や傷は確認されなかった。
【符号の説明】
【００７１】
１０…研削加工装置  １１…上定盤  １２…下定盤  １３…キャリアプレート  １３ａ…開口部  １４…研削パッド  １５…凹部  １６…遊星歯車  １７…太陽歯車  １８…固定歯車  ２０…ダイヤモンド砥石  ２０ａ…研削面  ２１…凸部  ２２…基材
【図１】
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【図２】
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