(57)【要約】【課題】基板処理において、処理槽からの処理液の持ち出しを低減することにある。【解決手段】基板に対して異なる処理種別の処理を行う複数の処理槽と、  前記基板を搬送する搬送装置と、  前記搬送装置による前記基板の搬送と前記複数の処理槽での基板処理を制御する制御装置と、を備え、  前記制御装置は、処理種別ごとに各処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を固定し、最大スループットとなるように、前記複数の処理種別の複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成するとともに、１の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の前記搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間とに基づいて、前記基板の搬送順序における直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を延長するように前記搬送スケジュールを補正することが可能に構成されている、基板処理装置が提供される。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して異なる処理種別の処理を行う複数の処理槽と、
前記基板を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置による前記基板の搬送と前記複数の処理槽での基板処理を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、処理種別ごとに各処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を固定し、最大スループットとなるように、前記複数の処理種別の複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成するとともに、１の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の前記搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間とに基づいて、前記基板の搬送順序における直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を延長するように前記搬送スケジュールを補正することが可能に構成されている、
基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記制御装置は、補正後の搬送スケジュールに基づいて、前記搬送装置による前記基板の搬送と前記複数の処理槽での基板処理を制御する、基板処理装置。
【請求項３】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記制御装置は、１の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の前記搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間とのうち短い方の待ち時間、又は、前記短い方の待ち時間から所定の時間を差し引いた時間を、前記直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間に加算する、基板処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の基板処理装置において、
前記制御装置は、複数の基板に対して前記搬送スケジュールを作成するとともに、処理種別ごとに、複数の基板に対する、１の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の前記搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間のうちの最小値を算出し、該最小値、又は、該最小値から所定の時間を差し引いた時間を、各処理種別の直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間に加算する、基板処理装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかに記載の基板処理装置において、
前記制御装置は、前記直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間の延長によって、前記基板処理装置のスループットが低下する場合には、前記引き上げ所要時間の延長量を低減する補正を行う、又は、前記補正前の搬送スケジュールを使用する、基板処理装置。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載の基板処理装置において、
前記制御装置は、前記搬送装置による前記基板の引き上げ速度を低減すること、及び／又は、前記直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ後の前記直前の処理槽における待機時間を設定又は延長することによって、前記基板の引き上げ所要時間の延長を実行する、基板処理装置。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れかに記載の基板処理装置において、
前記制御装置は、前記引き上げ所要時間の延長が許可されているか否かを判別し、許可されている場合に、前記引き上げ所要時間を延長する補正を行う、基板処理装置。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れかに記載の基板処理装置において、
前記基板は、基板保持部材に保持された状態で搬送される、基板処理装置。
【請求項９】
基板処理装置の制御装置であって、
異なる処理種別の複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成する搬送スケジュール作成部と、
１の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間とに基づいて、前記基板の搬送順序における直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を延長する補正を行う補正部と、
を備える制御装置。
【請求項１０】
基板処理装置の制御方法であって、
異なる処理種別の複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成すること、
１の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間とに基づいて、前記基板の搬送順序における直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を延長する補正を行うこと、
を含む制御方法。
【請求項１１】
基板処理装置を制御する方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体であって、
異なる処理種別の複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成すること、
１の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間とに基づいて、前記基板の搬送順序における直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を延長する補正を行うこと、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置、基板処理装置の制御装置、基板処理装置の制御方法、基板処理装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置には種々の構成のものが存在する。基板処理装置は、例えば、処理液（薬液または純水）を収容する複数の処理槽を持ち、処理対象である基板、又は基板を保持した基板保持機構を槽間移動用の搬送機構によって複数の処理槽の間を搬送して、基板に複数の処理を施す。各処理槽では、槽間移動用の搬送機機構もしくは別の昇降搬送機構によって処理対象を処理槽に下降して処理液に浸漬させ、所定の処理後の処理対象を槽間移動用の搬送機構もしくは昇降搬送機構によって引き上げ、槽間移動用の搬送機構によって次の処理槽に搬送する。その際の下降動作及び上昇動作は予め設定された速度で実行される。
【０００３】
基板処理装置が新たに搬入された基板に対する基板処理実行指示を受けた時、基板搬送スケジューラと呼ばれるスケジューリングソフトウェアが、与えられた複数の基板の処理条件（めっき時間や電流値、処理後の搬送待ち時間の制約など）、搬送機構の動作時間の設定情報などを元に、装置全体としての単位時間当たりの処理枚数（スループット）が最大となるようにスケジューリング計算を行う（例えば、特許文献１）。そこで作成された動作の種類、各動作の開始時刻などの情報を含むタイムテーブルデータに基づいて、各搬送制御機器が基板、又は基板を保持した基板保持機構の搬送動作を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１４６４４８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、処理液槽への浸漬、引き上げを行う方式では、処理液が基板及び／又は基板ホルダ（以下、合わせてを単に基板ホルダと称す）に付着し持ち出されるため、その量に相当する新しい処理液を補充する必要がある。処理液は、高価であるため、処理槽からの処理液の持ち出し量を可能な限り低減することが求められる。
【０００６】
持ち出し量を減らす方法として、基板ホルダを引き上げる速度を遅くする、もしくは引き上げ後そのままの位置で一定時間停止させておくことで、付着した処理液を元の処理槽へ滴下させることで、処理液の持ち出し量を減らすことできるが、引き上げ動作全体（引き上げ開始から次の処理槽への移動開始まで）に必要な引き上げ所要時間が増えると装置全体のスループットが下がる原因となる。そのためスループットに影響を与えない範囲で、許容される範囲での持ち出し量となるような引き上げ速度をあらかじめ実験やシミュレーションなどで把握しておき、その結果把握された固定の速度を実際の生産時に使用する運用がされている。基板の処理条件によっては、搬送動作には余裕があるため処理液の持ち出し量をさらに削減できる可能性があるが、現在の技術では対応できないという課題がある。
【０００７】
本発明の目的は、上述した課題の少なくとも一部を解決することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面によれば、基板に対して異なる処理種別の処理を行う複数の処理槽と、
前記基板を搬送する搬送装置と、  前記搬送装置による前記基板の搬送と前記複数の処理槽での基板処理を制御する制御装置と、を備え、  前記制御装置は、処理種別ごとに各処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を固定し、最大スループットとなるように、前記複数の処理種別の複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成するとともに、１の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の前記搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間とに基づいて、前記基板の搬送順序における直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を延長するように前記搬送スケジュールを補正することが可能に構成されている、  基板処理装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の全体配置図である。
【図２】基板処理装置の制御構成を説明する説明図である。
【図３】基板搬送制御の動作時間パラメータの設定例を示す。
【図４】基板搬送制御の制約条件パラメータの設定例を示す。
【図５】全体レシピ設定の例を示す。
【図６】ユニットレシピ設定の例を示す。
【図７】基板搬送スケジュールのタイムテーブルの例を示す。
【図８】基板搬送スケジュールの補正処理後のタイムテーブルの例を示す。
【図９】基板処理のフローチャートである。
【図１０】基板搬送スケジューリングのフローチャートである。
【図１１】引き上げ補正のフローチャートである。
【図１２】引き上げ補正のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各実施形態において、同一または相当する部材には同一符号を付して重複した説明を省略する。また、本明細書において「上」、「下」、「左」、「右」等の表現を用いるが、これらは、説明の都合上、例示の図面の紙面上における位置、方向を示すものであり、装置使用時等の実際の配置では異なる場合がある。
【００１１】
（第１実施形態）
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の全体配置図である。この例では、基板処理装置１００は、電解めっき装置である。ここでは、電解めっき装置を例に挙げて説明するが、本発明は、任意のめっき装置を含む任意の基板処理装置に適用可能である。
【００１２】
基板処理装置１００は、基板ホルダ（図示略）に被処理物としての基板をロードし、又は基板ホルダから基板をアンロードするロード／アンロード部１０１Ａと、基板を処理する処理部１０１Ｂとに大きく分けられる。基板は、円形、角形、その他の任意の形状の基板を含む。また、基板は、半導体ウェハ、ガラス基板、液晶基板、プリント基板、その他の被処理物を含む。
【００１３】
ロード／アンロード部１０１Ａは、複数のカセットテーブル１０２と、アライナ１０４と、基板着脱部１０５と、スピンリンスドライヤ１０６と、を有する。カセットテーブル１０２は、基板を収納したカセットを搭載する。アライナ１０４は、基板のオリフラやノッチなどの位置を所定の方向に合わせる。基板着脱部１０５は、基板を基板ホルダに着脱するように構成される１又は複数の基板着脱装置１０５ａを備える。スピンリンスドライ
ヤ１０６は、めっき処理後の基板を洗浄し、高速回転させて乾燥させる。これらのユニットの中央には、これらのユニット間で基板を搬送する搬送ロボット１０３ａを備える基板搬送装置１０３が配置されている。
【００１４】
処理部１０１Ｂには、基板ホルダの保管及び一時仮置きを行うストッカ１０７と、プリウェット槽１０８と、プリソーク槽１０９と、プリソークリンス槽１１０ａと、ブロー槽１１１と、リンス槽１１０ｂと、めっき処理部１１２を有する。プリウェット槽１０８では、基板が純水に浸漬される。プリソーク槽１０９では、基板の表面に形成したシード層等の導電層の表面の酸化膜がエッチング除去される。プリソークリンス槽１１０ａでは、プリソーク後の基板が基板ホルダと共に洗浄液（純水等）で洗浄される。ブロー槽１１１では、洗浄後の基板の液切りが行われる。リンス槽１１０ｂでは、めっき後の基板が基板ホルダと共に洗浄液で洗浄される。めっき処理部１１２は、オーバーフロー槽を備えた複数のめっき槽１１２ａを有する。各めっき槽１１２ａは、内部に一つの基板を収納し、内部に保持しためっき液中に基板を浸漬させて基板表面に銅めっき等のめっきを行う。ここで、めっき液の種類は、特に限られることはなく、用途に応じて様々なめっき液が用いられる。一つの基板に対して複数の異なるめっき処理が施される場合には、めっき処理部１１２は、異なる種類のめっき液を収容する複数のめっき槽１１２ａを有する。
【００１５】
基板処理装置１００は、これらの各機器の側方に位置して、これらの各機器の間で、基板ホルダを搬送する、例えばリニアモータ方式を採用した基板ホルダ搬送装置１１３を有する。この基板ホルダ搬送装置１１３は、搬送機１１４と、搬送機１１５と、を有している。搬送機１１４及び搬送機１１５は、レール１１６上を走行する。搬送機１１４は、ストッカ１０７と、基板着脱部１０５と、プリウェット槽１０８と、プリソーク槽１０９と、プリソークリンス槽１１０ａと、ブロー槽１１１との間で、基板ホルダを搬送する。搬送機１５は、プリソークリンス槽１１０ａと、ブロー槽１１１と、リンス槽１１０ｂと、めっき処理部１１２の間で、基板ホルダを搬送する。なお、搬送機１１５を備えることなく、搬送機１１４のみを備え、搬送機１１４により上記各部の間の搬送を行うようにしてもよい。なお、この基板処理装置１００の構成は、一例であり、他の構成を採用することが可能である。
【００１６】
基板処理装置１００において、搬送ロボット１０３ａは、カセットテーブル１０２に載置されたカセットから未処理の基板を取り出し、アライナ１０４に載置し、アライナ１０４がオリフラ又はノッチを基準に基板の位置決めを行う。次に搬送ロボット１０３ａは、基板を基板着脱装置１０５ａに移送し、ここで、ストッカ１０７から取り出した基板ホルダに基板を装着する。ここでは２台の基板着脱装置１０５ａでそれぞれの基板ホルダに基板を装着し、２つの基板ホルダを１組として搬送するようになっている。基板ホルダに装着された基板は、搬送機１１４により、プリウェット槽１０８に移送され、前水洗処理された後、プリソーク槽１０９に移送され、前処理され、更にプリソークリンス槽１１０ａに移送され、水洗処理される。
【００１７】
プリソークリンス槽１１０ａで水洗処理された基板は、搬送機１５によりめっき処理部１１２のいずれかのめっき槽１１２ａに移送され、めっき液に浸漬される。ここでめっき処理が施され基板に金属膜が形成される。なお、複数種類のめっき処理がなされる場合は、基板は、複数のめっき槽１１２ａに順次搬送され、めっき処理される。めっき処理後の基板は、搬送機１１５によりリンス槽１１０ｂに移送され、水洗処理された後、ブロー槽１１１に移送され、粗乾燥処理を施される。その後、搬送機１１４により基板着脱装置１０５ａに移送され、ここで基板は基板ホルダから外される。基板ホルダから外された基板は、搬送ロボット１０３ａでスピンリンスドライヤ１０６に移送され、洗浄・乾燥処理を施された後、カセットテーブル１０２のカセットに収納される。
【００１８】
（制御構成）
図２は、基板処理装置の制御構成を説明する説明図である。基板処理装置１００は、主に、装置コンピュータ１２０と、装置コントローラ１２１とを備える。装置コンピュータ１２０は、装置コントローラ１２１に対して、有線又は無線によるネットワーク、ケーブル等を介して接続されている。装置コントローラ１２１には、基板搬送装置１００の各種の動作機器１３０が所定のインターフェースＩ／Ｏを介して接続されている。装置コンピュータ１２０及び装置コントローラ１２１は、協働して、基板搬送装置１００の各種の動作機器１３０の制御を実行する。装置コンピュータ１２０からの制御信号はネットワークを介して装置コントローラ１２１に送られることにより、装置コントローラ１２１を介して各種の動作機器１３０が制御される。また、装置コンピュータ１２０は、基板処理装置１００及びその他の関連装置を統括制御する図示しない上位コントローラ（ホストコンピュータ）と有線又は無線により通信可能に構成され、上位コントローラが有するデータベースとの間でデータのやり取りをすることができる。
【００１９】
装置コントローラ１２１は、例えば、シーケンサ等によって構成され、装置コンピュータ１２０からの制御指令、設定パラメータ、搬送タイムテーブル等に基づいて、基板搬送装置１００の各種の動作機器１３０を制御する。ここで、基板搬送装置１００の各種の動作機器１３０は、搬送ロボット１０３ａ、基板ホルダ搬送装置１１３の搬送機１１４、１１５、その他の機器を含む。
【００２０】
装置コンピュータ１２０は、各種の設定データ及び各種のプログラムを格納したメモリ１２０Ｂと、メモリ１２０Ｂのプログラムを実行するＣＰＵ１２０Ａと、を有する。なお、図示省略するが、装置コンピュータ１２０は、ディスプレイ等の出力デバイス、キーボード、マウス等を含む入力デバイスを含む入出力インターフェースを備えてもよい。メモリ１２０Ｂを構成する記憶媒体は、任意の揮発性の記憶媒体、及び／又は、任意の不揮発性の記憶媒体を含むことができる。記憶媒体は、例えば、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、フレキシブルディスクなどの任意の記憶媒体の１又は複数を含むことができる。
【００２１】
メモリ１２０Ｂが格納するプログラムは、操作画面アプリケーション１２０Ｃ（図２）と、基板搬送制御部１２０Ｄを構成するスケジューリングソフトウェア（搬送スケジューラ）とを含む。搬送スケジューラは、基板搬送スケジュールを計算するスケジューリングソフトウェアであり、搬送スケジューラがＣＰＵ１２０Ａで実行されることで基板搬送制御部１２０Ｄが構成される。また、メモリ１２０Ｂが格納するプログラムは、例えば、基板搬送装置１０３の搬送制御を行うプログラム、基板着脱部１０５における基板の基板ホルダへの着脱制御を行うプログラム、基板ホルダ搬送装置１１３の搬送制御を行うプログラム、めっき処理部１１２におけるめっき処理の制御を行うプログラムを含む。操作画面アプリケーション１２０は、後述する基板搬送スケジュールのタイムテーブル等をディスプレイに表示する。この操作画面アプリケーション１２０により、オペレータからの入力を受け付けることができる。基板搬送制御部１２０Ｄ（搬送スケジューラ）は、予め与えられた各搬送装置などの動作時間、処理の指示を受けた対象基板の処理条件(プロセスレシピ)、基板の処理枚数等から、最大のスループットとなる搬送制御を行うための搬送スケジュールのタイムテーブルを作成する機能（標準のスケジューリング機能）と、与えられた処理条件から計算したスループットを下回らない範囲で、対象の処理槽からの引き上げ時間を延長ないし最大化するように補正する機能（引き上げ補正プログラム又はルーチン）を有する。基板搬送制御部１２０Ｄ（搬送スケジューラ）は、搬送スケジュールのタイムテーブルを作成するスケジュール作成部と、基板の引き上げ所要時間を延長する補正を行う補正部とを備えている。スケジュール作成部、補正部は、搬送スケジューラがＣＰＵ１２０で実行されることによって構成されるスケジュール作成回路、補正回路である。
【００２２】
図３は、基板搬送制御の動作時間パラメータの設定例を示す。同図では、基板搬送ロボット１０３ａ、搬送機１１４、１１５による基板の搬送に要する所要時間の設定値の例が示されている。なお、本実施形態では、搬送機１１４、１１５は、基板を保持する基板ホルダを搬送するが、単に、搬送機１１４、１１５が基板を搬送すると表現する場合もある。搬送ロボット１０３ａによる基板搬送において、例えば、カセットＡから、カセットＢ、スピンリンスドライヤ１０６への移動時間は、それぞれ１秒、３秒である。搬送機１１４による基板ホルダの搬送において、例えば、基板着脱部１０５から、プリウェット層１０８、プリソーク槽１０９、ブロー槽１１１への移動時間は、それぞれ１秒、２秒、４秒である。搬送機１１５による基板ホルダの搬送において、例えば、ブロー槽１１１から、めっき槽Ａ、めっき槽Ｂへの移動時間は、それぞれ２秒、４秒である。ここで、めっき槽Ａ、めっき槽Ｂは、複数のめっき槽１１２ａのうちの何れかである。なお、図３では、理解を容易にするため、一部の動作パラメータの設定例を示すが、他の動作パラメータについても適宜設定される。
【００２３】
図４は、基板搬送制御の制約条件パラメータの設定例を示す。同図では、制約条件パラメータの設定例として、プリウェット槽１０８、プリソーク槽１０９、めっき槽Ａ、めっき槽Ｂにおける処理後取り出し待ち時間の上限値が示されている。処理後取り出し待ち時間の上限値とは、各処理槽においてレシピ設定の処理を完了した後に、処理槽の処理液内で待機することができる待ち時間の上限値である。ここでは、プリウェット槽１０８、プリソーク槽１０９、めっき槽Ａ、めっき槽Ｂにおける処理後取り出し待ち時間の上限値は、それぞれ、３０秒、３０秒、５秒、５秒である。
【００２４】
図５は、全体レシピ設定の例を示す。同図では、２つのレシピＩＤに対するユニットレシピ選択の例が示されている。レシピＩＤ＝ＡＢＣでは、プリウェット槽１０８、めっき槽Ｂ、ブロー槽１１１、スピンリンスドライヤ１０６において、標準処理（ＳＴＤ）を実行することが設定されている。レシピＩＤ＝ＸＹＺでは、プリウェット槽１０８、プリソーク槽１０９、めっき槽Ａ、ブロー槽１１１、スピンリンスドライヤ１０６において、テスト処理（ＴＥＳＴ）を実行することが選択されている。
【００２５】
図６は、ユニットレシピ設定の例を示す。同図では、プリウェット槽１０８、プリソーク槽１０９、めっき槽Ａ、めっき槽Ｂ、スピンリンスドライヤ１０６の各ユニットにおける標準処理（ＳＴＤ）、テスト処理（ＴＥＳＴ）のレシピ設定の例が示されている。例えば、プリウェット槽１０８における標準処理、テスト処理の処理時間は、それぞれ３０秒、５秒である。
【００２６】
図７は、基板搬送スケジュールのタイムテーブルの例を示す。同図では、基板が処理槽Ａで処理された後に、処理槽Ｂで処理される区間の搬送スケジュールの例を示す。処理槽Ａ、処理槽Ｂは、特定の基板に対するレシピ設定における連続する処理種別の処理槽である。処理槽Ａ、処理槽Ｂは、例えば、プリウェット槽１０８と、プリソーク槽１０９と、プリソークリンス槽１１０ａと、ブロー槽１１１と、リンス槽１１０ｂと、めっき槽１１２ａの何れかである。基板に対して複数種類のめっき処理を施す場合には、異なる処理種別（異なる種類のめっき液）のめっき槽１１２ａが配置される。なお、異なるめっき処理は、異なる処理種別として扱う。図１の例では、２つの基板ホルダを１組として搬送しており、各基板ホルダの搬送経路に沿って、１又は複数ずつ同一処理種別の処理槽が配置されている。プリウェット槽１０８と、プリソーク槽１０９と、プリソークリンス槽１１０ａと、ブロー槽１１１と、リンス槽１１０ｂとが１槽ずつ配置されている。処理時間の長いめっき処理については、同一のめっき液を収容する複数のめっき槽１１２ａが配置されている。複数のめっき処理を行う場合には、各種類のめっき液を収容するめっき槽１１２ａが複数ずつ配置されている。基板に応じて、レシピ設定が変わる場合があり、連続する処理種別の処理槽Ａ、処理槽Ｂに対応する処理槽も変わることがある。以下の説明では、
同図中のＴ１０、Ｔ１１等は、期間を表すとともに、期間の時間的な長さを表すことがある。搬送機は、搬送機１１４、１１５の何れかである。なお、この例では、基板は、基板ホルダに保持された状態で搬送機１１４、１１５の何れかによって搬送されるものとする。
【００２７】
処理槽Ａでは、収容期間Ｔ１２で基板が処理槽Ａの処理液中に収納され、レシピ処理期間Ｔ１３において基板に対してレシピ設定の処理が実施される。引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）において、搬送機または別の昇降機構によって処理後の基板が引き上げられ、その後、待機期間Ｔ１１では、処理槽Ａは動作せず待機する。これらの期間が、処理槽Ａの１サイクルを構成する。なお、図７では、便宜上、引き上げ期間Ｔ１０から開始してレシピ処理期間Ｔ１３で終了する期間を、処理槽Ａの１サイクルとして表示している。
【００２８】
処理槽Ｂでは、収容期間Ｔ４２で基板が処理槽Ｂの処理液中に収容され、レシピ処理期間Ｔ４３において基板に対してレシピ設定の処理がなされる。その後、待機期間Ｔ４４において処理槽Ｂは、動作せず、待機する。引き上げ期間Ｔ４５において、処理後の基板が搬送機または別の昇降機構によって引き上げられる。その後、待機期間Ｔ４６において、処理槽Ｂは、動作せず、待機する。これらの期間が、処理槽Ｂの１サイクルを構成する。
【００２９】
搬送機のタイムテーブルでは、引き上げ期間Ｔ２１において、処理槽Ａにおいて、搬送機または別の昇降機構によって処理後の基板を引き上げ、移動期間Ｔ２２において、基板ホルダを処理槽Ａから処理槽Ｂに移動させ、収納期間Ｔ２３において基板ホルダを処理槽Ｂの処理液中に収容する。その後、待機期間Ｔ２４において、搬送機は、動作せず、待機する。
【００３０】
その後、準備移動期間Ｔ２５において、処理槽Ａの直前の他の処理槽に移動し、引き上げ期間Ｔ２６において、直前の他の処理槽において、搬送機または別の昇降機構によって後続の基板を引き上げる。移動期間Ｔ２７において、搬送機は、直前の他の処理槽から処理槽Ａまで後続の基板を移動させ、収容期間Ｔ２８において、搬送機は、後続の基板を処理槽Ａの処理液中に収容する。
【００３１】
その後、移動期間Ｔ２９において、搬送機は、処理槽Ａから処理槽Ｂに移動し、引き上げ期間Ｔ３０において、処理槽Ｂにおいて、搬送機または別の昇降機構によって処理後の基板を引き上げる。その後、移動期間Ｔ３１において、処理槽Ｂから引き上げた基板を次の処理槽に移動させ、収容期間Ｔ３２において、基板ホルダを次の処理槽の処理液中に収容する。その後、待機期間Ｔ３３において、搬送機は動作せず、待機する。移動期間Ｔ３４において、搬送機は、上記次の処理槽から処理槽Ａに移動し、上述の引き上げ期間Ｔ２１以降の処理を繰り返す。これらの期間が、搬送機の１サイクルを構成する。
【００３２】
図８は、基板搬送スケジュールの補正処理後のタイムテーブルの例を示す。上述した図７の基板搬送スケジュールでは、搬送機では、収納期間Ｔ２３において処理槽Ｂに基板を収容した後に、待機期間Ｔ２４が存在する。また、処理槽Ｂでは、レシピ期間Ｔ４３後に、待機期間Ｔ４４が存在する。そこで、搬送機における収納期間Ｔ２３後の待機期間Ｔ２４と、処理槽Ｂにおけるレシピ期間Ｔ４３後の待機期間Ｔ４４とのうち短い方の時間を、直前の処理槽Ａから基板の引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）に加算し、引き上げ期間Ｔ１０Ａ（Ｔ２１Ａ）（図８）に延長する補正を行う。引き上げ期間Ｔ１０Ａ（Ｔ２１Ａ）への延長は、処理槽Ａから基板を引き上げる引き上げ速度を低減、及び／又は、引き上げ後に待機する待機時間を延長することによって、基板及び基板ホルダに付着した処理槽Ａの処理液を、処理槽Ａ内に滴下させて戻し、処理液の持ち出し量を低減するためのものである。引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）、Ｔ１０Ａ（Ｔ２１Ａ）は、処理槽Ａから基板を引き上げる動作に要する時間と、引き上げ後に処理槽Ａにおいて基板を待機させる待機時間とを
含む時間として定義され、待機時間は０である場合がある。
【００３３】
搬送機における収納期間Ｔ２３後の待機期間Ｔ２４と、処理槽Ｂにおけるレシピ期間Ｔ４３後の待機期間Ｔ４４とのうち短い方の時間が、待機期間Ｔ２４である場合には、待機時間Ｔ２４を直前の処理槽Ａから基板の引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）に加算し、引き上げ期間Ｔ１０Ａ（Ｔ２１Ａ）（図８）に延長する補正を行う。引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）を引き上げ期間Ｔ１０Ａ（Ｔ２１Ａ）に延長することによって、処理槽Ｂへの基板の収容時期Ｔ２３、Ｔ４２（図７）は、待機期間Ｔ２４分だけ、収容期間Ｔ２３Ａ、Ｔ４２Ａまで遅延され、処理槽Ｂでのその後のレシピ処理期間Ｔ４３もレシピ処理期間Ｔ４３Ａまで遅延することになる。一方、処理槽Ｂでは、レシピ処理期間Ｔ４３後に待機期間Ｔ４４（図７）があるため、レシピ処理期間Ｔ４３がレシピ処理期間Ｔ４３Ａまで遅延した分（待機期間Ｔ２４）だけ、待機期間Ｔ４４（図７）を待機期間Ｔ４４Ａ（図８）に短縮する。つまり、引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）の引き上げ期間Ｔ１０Ａ（Ｔ２１Ａ）への延長分は、処理槽Ｂの待機期間Ｔ４４の待機期間Ｔ４４Ａへの低減によって吸収され、処理槽Ｂにおけるレシピ処理期間Ｔ４３Ａ後の基板の引き上げ期間Ｔ４５が遅延されることが防止される。また、搬送機では、引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）を引き上げ期間Ｔ１０Ａ（Ｔ２１Ａ）に延長することによって、移動期間Ｔ２２、収納期間Ｔ２３（図７）が、待機期間Ｔ２４分だけ、移動期間Ｔ２２Ａ、収納期間Ｔ２３Ａ（図８）まで遅延されるが、待機期間Ｔ２４（図７）を削除することにより、準備移動期間Ｔ２５が遅延されることが防止される。これにより、引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）の延長によるスループットの低下を抑制ないし防止することができる。
【００３４】
搬送機における収納期間Ｔ２３後の待機期間Ｔ２４と、処理槽Ｂにおけるレシピ期間Ｔ４３後の待機期間Ｔ４４とのうち短い方の時間が、待機期間Ｔ４４である場合には、待機時間Ｔ４４を直前の処理槽Ａから基板の引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）に加算し、引き上げ期間Ｔ１０Ａ（Ｔ２１Ａ）（図８）に延長する補正を行う。この場合、処理槽Ｂにおける収納期間Ｔ４２Ａ、レシピ処理期間Ｔ４３Ａの遅延分（待機期間Ｔ４４に相当）は、待機期間Ｔ４４の削除によって吸収される。また、搬送機における移動期間Ｔ２２、収納期間Ｔ２３の遅延分（待機期間Ｔ４４に相当）は、待機期間Ｔ４３を待機期間Ｔ４４分だけ短縮することにより吸収される。これにより、引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）の延長によるスループットの低下を抑制ないし防止することができる。
【００３５】
上記のように、待機期間Ｔ２４又は待機期間Ｔ４４の短い期間の全体を引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）に加算することに代えて、待機期間Ｔ２４又は待機期間Ｔ４４の短い期間の一部を引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）に加算してもよい。この場合も、引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）を延長することができるので、スループットの低下を抑制ないし防止しつつ、延長分に応じて処理液の持ち出しを低減することができる。このようにすれば、待機期間の一部をマージンとして残すことができる。
【００３６】
以上のように、待機時間の一部又は全部を引き上げ時間に割り当てる処理によれば、各処理槽Ａ、Ｂにおける１サイクルの時間を変更することなく、処理槽Ａにおける引き上げ時間を延長し、補正することができる。
【００３７】
図９は、基板処理のフローチャートである。なお、各処理は、装置コンピュータ１２０及び装置コントローラ１２１によって適宜分担して実施され、以下の説明は、その一例である。
ステップＳ１０、Ｓ２０では、装置コンピュータ１２０のディスプレイに表示されるＧＵＩ画面に表示された内容に基づいて、オペレータが、搬送処理時間としての動作時間パラメータ（図３）の設定、制約条件としての制約条件パラメータ（図４）の設定を行う。これらは、事前設定とも称される。
【００３８】
ステップＳ３０では、装置コンピュータ１２０は、新規ロットの処理命令があるか否かを判断する。新規ロットの処理命令があると判断されるまでステップＳ３０の処理が繰り返され、新規ロットの処理命令があると判断されると、ステップＳ４０に移行する。
【００３９】
ステップＳ４０では、装置コンピュータ１２０のディスプレイに表示されるＧＵＩ画面に表示された内容に基づくオペレータからの設定、又は、上位コンピュータ（ホストコンピュータ）からの自動コマンドにより、新規ロットのレシピが選択され、処理が開始される。
【００４０】
ステップＳ５０では、装置コンピュータ１２０は、基板搬送スケジュールを計算し、搬送タイムテーブルを作成する基板搬送スケジューリングを実行する。
【００４１】
ステップＳ６０では、装置コンピュータ１２０および装置コントローラ１２１は、基板処理の実行を開始する。具体的には、装置コンピュータ１２０が、ステップＳ５０で計算された基板搬送スケジュールを装置コントローラ１２１に送信し、装置コントローラ１２１が基板搬送スケジュールに基づいて、新規ロット内の複数の基板の処理を開始する。この基板処理では、新規ロット内の複数の基板を１枚ずつまたは複数枚を１組として、基板処理装置１００内の各ユニットに搬送し、基板を処理する。
【００４２】
ステップＳ７０では、装置コンピュータ１２０及び／又は装置コントローラ１２１は、新規ロット内の全基板に対する処理が終了したか否かを判断する。新規ロット内の全基板に対する処理が終了していなければ、新規ロットに対する基板処理を継続する。新規ロット内の全基板に対する処理が終了したと判断されれば、新規ロットに対する基板処理を終了する（ステップＳ８０）。
【００４３】
図１０は、基板搬送スケジューリング（ステップＳ５０）のフローチャートである。
【００４４】
ステップＳ５１では、装置コンピュータ１２０の搬送スケジューラに、処理時間、制約条件等のデータを取り込む。
【００４５】
ステップＳ５２では、搬送スケジューラは、全基板を対象として、標準の搬送スケジューリングを実行する。この標準の搬送スケジューリングでは、予め与えられた各搬送装置などの動作時間、処理の指示を受けた対象基板の処理条件(プロセスレシピ)、基板の処理枚数等から、最大のスループットとなる搬送制御を行うための標準の搬送スケジュールを作成する。ここでは、処理種別ごとに各処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を固定し、最大スループットとなるように標準の搬送スケジュールを作成する。
【００４６】
ステップＳ５３では、搬送スケジューラは、標準の搬送スケジューリングの計算結果に基づいて、標準の搬送タイムテーブル（図７）を作成する。
【００４７】
ステップＳ５４では、搬送スケジューラは、搬送機の引き上げ動作補正機能が有効か否かを判断する。本実施形態の搬送スケジューラは、動作の変更にオペレータもしくは上位のホストコンピュータの確認、承認が必要な場合には、与えられた条件から算出された、引き上げ速度変更に関する推奨値、推奨設定をオペレータもしくは上位側に知らせる機能と、オペレータもしくは上位のホストコンピュータにより動作の変更が許可された場合のみ動作を変更する機能とを有する。搬送機の引き上げ補正機能が有効にされることにより、動作の変更が許可される。また、搬送スケジューラは、動作の変更にオペレータもしくは上位のホストコンピュータの確認、承認が必要か否かを設定できる機能を備えてもよい。
【００４８】
ステップＳ５４において引き上げ補正機能（引き上げ最適化機能）が有効であると判断された場合、ステップＳ５５に移行し、搬送機の引き上げ補正処理（引き上げ最適化処理）を実行する。その後、ステップＳ５６では、装置コンピュータ１２０は、動作補正処理後の搬送スケジュール（補正後の搬送スケジュール）に基づく搬送タイムテーブルを、装置コントローラ１２１に送信する。
【００４９】
一方、ステップＳ５４において引き上げ補正機能が無効であると判断された場合、ステップＳ５５の引き上げ補正処理を実行せず、ステップＳ５６に移行する。この場合、ステップＳ５６では、装置コンピュータ１２０は、ステップＳ５３で作成された標準の搬送スケジュールに基づく搬送タイムテーブルを、装置コントローラ１２１に送信する。
【００５０】
図１１、図１２は、引き上げ補正処理（ステップＳ５５）のフローチャートである。この処理は、搬送スケジューラの引き上げ補正処理プログラム（ルーチン）によって実行される。
【００５１】
ステップＳ６１では、引き上げ補正処理プログラム（ルーチン）が、ステップＳ５３で作成された搬送タイムテーブルのデータを取り込む。
【００５２】
ステップＳ６２では、基板の処理槽［ｐ］［ｂ］［ｎ］への収容後における、搬送器の収納後待ち時間をＴＰ［ｐ］［ｂ］［ｎ］として、全て取得する。ここで、［ｐ］は、処理種別番号を示す。処理種別は、例えば、前水洗処理（プリウェット槽）、前処理（プリソーク槽）、水洗処理（プリソークリンス槽）、水洗処理（リンス槽）、粗乾燥処理（ブロー槽）、１又は複数のめっき処理（めっき槽）を含む。［ｂ］は、同処理種別内の複数の処理槽を区別するための処理槽番号を示す。［ｎ］は、対象搬送動作のタイムテーブル上の各基板を区別するための通算番号を示す。全て取得するとは、［ｐ］［ｂ］［ｎ］の全ての組み合わせについて、処理槽［ｐ］［ｂ］［ｎ］への収納後待ち時間をＴＰ［ｐ］［ｂ］［ｎ］として取得する。ＴＰ［ｐ］［ｂ］［ｎ］は、例えば、図７における待機期間Ｔ２４に対応する。
【００５３】
ステップＳ６３では、処理槽［ｐ］［ｂ］［ｎ］のレシピ処理後の待ち時間をＴＢ［ｐ］［ｂ］［ｎ］として、全て取得する。全て取得するとは、［ｐ］［ｂ］［ｎ］の全ての組み合わせについて、処理槽［ｐ］［ｂ］［ｎ］のレシピ処理後の待ち時間をＴＢ［ｐ］［ｂ］［ｎ］として取得する。ＴＢ［ｐ］［ｂ］［ｎ］は、例えば、図７における待機期間Ｔ４４に対応する。
【００５４】
ステップＳ６４では、ｐ＝１とし、処理種別番号ｐ＝１の処理種別を選択する。
【００５５】
ステップＳ６５では、現在の処理種別番号［ｐ］の処理に対して、全ての処理槽番号［ｂ］、通算番号［ｎ］についてのＴＰ［ｐ］［ｂ］［ｎ］、ＴＢ［ｐ］［ｂ］［ｎ］のうち最小値をＴＵｍｉｎとして算出し、引き上げ所要時間の調整値ｄ［ｐ］［ｍ］をＴＵｍｉｎ［ｐ］とする（式１を参照）。つまり、処理種別ごとに、ＴＰ［ｐ］［ｂ］［ｎ］、ＴＢ［ｐ］［ｂ］［ｎ］のうち最小値をｄ［ｐ］［ｍ］とする。また、引き上げ所要時間の計算回数ｍ＝１とする。
ｄ［ｐ］［ｍ］＝ＴＵｍｉｎ［ｐ］
＝ｍｉｎ（ＴＰ［ｐ］［ｂ］［ｎ］，ＴＢ［ｐ］［ｂ］［ｎ］）
（式１）
なお、待ち時間の一部をマージンΔｔとして残すために、式１において、ｄ［ｐ］［ｍ］＝ＴＵｍｉｎ［ｐ］−Δｔとしてもよい。
【００５６】
これは、図７において上述した、搬送機における収納期間Ｔ２３後の待機期間Ｔ２４と、処理槽Ｂにおけるレシピ期間Ｔ４３後の待機期間Ｔ４４とのうち短い方の時間を、直前の処理槽Ａから基板の引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）に加算し、引き上げ期間Ｔ１０Ａ（Ｔ２１Ａ）（図８）に延長する補正を行うことに対応する。
【００５７】
ステップＳ６６では、対象搬送機の処理種別［ｐ］へ搬送する直前の（対象基板の搬送順序の直前の）処理種別［ｐ−１］の処理槽における基板の引き上げ所要時間ＴＧ［ｐ−１］にｄ［ｐ］［ｍ］を加算する（式２）。
ＴＧ［ｐ−１］＝ＴＧ［ｐ−１］＋ｄ［ｐ］［ｍ］      （式２）
例えば、図７において、処理種別［ｐ］は、処理槽Ｂにおける処理に対応し、直前の処理種別［ｐ−１］は、処理槽Ａにおける処理に対応し、加算前の引き上げ所要時間ＴＧ［ｐ−１］は、引き上げ期間Ｔ１０（Ｔ２１）に対応する。
【００５８】
ステップＳ６７では、補正後の引き上げ所要時間ＴＧ［ｐ−１］を使用して、全基板を対象として、搬送スケジュールを再計算する。
【００５９】
ステップＳ６８では、引き上げ補正処理後の搬送スケジュールによる基板処理が、元の標準の搬送スケジュールによる基板処理よりも、スループットが低下したか否かを判断する。スループットが低下したと判断された場合には、ステップＳ６９に移行する。
【００６０】
ステップＳ６９では、ｍが３より大きいか否か判断する。ｍが３より大きくないと判断された場合には、ステップＳ７０に移行する。
【００６１】
ステップＳ７０では、ｍに１を加えてカウントアップし、式（３）によって、引き上げ所要時間の調整値ｄ［ｐ］［ｍ］を補正する。即ち、現在の引き上げ所要時間の調整値の２分の１を新たな引き上げ所要時間の調整値とする。
ｄ［ｐ］［ｍ］＝ｄ［ｐ］［ｍ−１］／２      （３）
【００６２】
ステップＳ７１では、式（４）によって、直前の処理種別［ｐ−１］の処理槽における基板の引き上げ所要時間ＴＧ［ｐ−１］を補正する。即ち、最初に加算した理論上の延長可能時間ｄ［ｐ］［ｍ−１］からその半分の値を引いて、引き上げ所要時間ＴＧ［ｐ−１］を算出する。
ＴＧ［ｐ−１］＝ＴＧ［ｐ−１］−ｄ［ｐ］［ｍ］      （４）
例えば、ｍ＝１で算出したｄ［ｐ］［１］をｍ＝２で補正する場合には、ｄ［ｐ］［２］＝ｄ［ｐ］［１］／２となる。引き上げ所要時間は、ＴＧ［ｐ−１］＝ＴＧ［ｐ−１］−ｄ［ｐ］［１］／２となる。ｍ＝３では、引き上げ所要時間は、ＴＧ［ｐ−１］＝ＴＧ［ｐ−１］−ｄ［ｐ］［１］／４となる。
【００６３】
その後、ステップＳ７０で補正した後の引き上げ所要時間を使用して、全基板を対象として、搬送スケジュールを再計算し（ステップＳ６７）、再計算後の搬送スケジュールによる基板処理が元の標準の搬送スケジュールによる基板処理よりも、スループットが低下したか否かを判断し（ステップＳ６８）、スループットが低下していれば、再度、ステップＳ６９からＳ７０の処理を繰り返す。なお、ステップＳ６９においてｍが３を超えたと判断されると、即ち、ステップＳ７０、Ｓ７１の引き上げ所要時間の調整値ｄ［ｐ］［ｍ］の補正、引き上げ所要時間ＴＧ［ｐ−１］の補正を２回繰り返しても、スループットが低下する場合には、元の標準の搬送スケジュールを補正せず、引き上げ補正処理を終了する。
【００６４】
ステップＳ６８でスループットが低下していないと判断されると、ステップＳ７２に処理を移行する。ステップＳ７２では、全処理種別［ｐ］について引き上げ補正処理を実行
したか否かを判断する。全処理種別について引き上げ補正処理を実行していないと判断されると、ステップＳ７３に移行して処理種別番号ｐをカウントアップし、ステップＳ６５に戻り、次の処理種別について、引き上げ補正処理の計算を実行する。ステップＳ７２において、全処理種別について引き上げ補正処理を実行したと判断されると、ステップＳ７４に移行する。
【００６５】
ステップＳ７４では、引き上げ速度を遅くする設定がされているか否かが判断される。引き上げ速度を遅くする設定がされていると判断されると、ステップＳ７５に移行する。
【００６６】
ステップＳ７５では、引き上げ補正処理により計算された引き上げ所要時間ＴＧ［ｐ−１］に基づいて、現在の引き上げ速度を低減して、新たな引き上げ速度を算出し、搬送機制御機器に通知する。その後、ステップＳ７６において、搬送タイムテーブルの更新を行う。これにより、ステップＳ５３で作成された標準の搬送スケジュールに基づく搬送タイムテーブルが、引き上げ補正処理後の搬送タイムテーブルに更新される。
【００６７】
一方、ステップＳ７４において、引き上げ速度を遅くする設定がされていると判断されなかった場合には、新たな引き上げ速度の算出は行わず、ステップＳ７６において、搬送タイムテーブルの更新を行う。この場合、引き上げ速度の低減は行われず、引き上げ後に停止する待機時間が変更される（新たに待機時間を設定すること、現在の待機時間が延長されること、又は、両者の組み合わせを含む）。
【００６８】
なお、上記では、スループットが、補正前の標準の搬送スケジュールのものよりも低下した場合に、調整値を低減する補正を行い、補正回数が２回を超えた場合に、標準の搬送データを使用するが、これに代えて、標準の搬送スケジュールのものよりも低下した場合の補正回数を１回まで、又は３回以上としてもよく、調整値の加算（Ｓ６６）自体を行わず、補正前の標準の搬送スケジュールを使用してもよい。また、上記では、処理種別ごとに引き上げ所要時間を調整したが、各処理種別において基板ごとに引き上げ所要時間を調整するようにしてもよい。
【００６９】
上述した実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。スループットに影響しない（低下させない）範囲で、処理槽からの引き上げ速度を遅くする制御を行うこと、もしくは引き上げ動作後のその位置での待機時間を設ける制御を行うこと、もしくは両者の組み合わせにより、基板及び基板ホルダから処理液を処理槽中に滴下させ、処理液の持ち出し量を削減させることができる。レシピ条件によっては、例えば特定の処理槽における処理時間が装置全体のスループットを支配していて、その他の処理槽における処理には時間的に余裕がある場合がある。例えば、処理槽Ａから次の処理槽Ｂへの搬送が行われるとき、処理槽Ａ及び処理槽Ｂの潜在スループットが装置全体の実際のスループットに対して高い（時間的に余裕がある）場合は、処理槽Ａから処理槽Ｂへの搬送にかかる時間を延ばしても装置全体のスループットには影響を与えない。このため、与えられた条件下で最大のスループットとなるように最初に算出された標準の搬送タイムテーブルを元に、全体のスループットに影響を与えない範囲で、処理槽Ａからの取り出しから処理槽Ｂに収納するまでの最大搬送時間を算出することができる。当初のタイムテーブル作成時の処理槽Ａに基板を収納後の搬送器の待ち時間と、処理槽Ａの基板処理後の待ち時間の短い方（複数の基板に対する待ち時間のうち最小の待ち時間）を、処理槽Ａからの引き上げ動作（引き上げ所要時間）に割り当てるように、搬送タイムテーブル上の処理槽Ａから処理槽Ｂへの移動開始、処理槽Ｂでの収納動作開始のタイミングを遅らせる変更を行う。同時に引き上げ動作速度を算出し、搬送制御機器に伝達することで引き上げ速度を遅くし、処理槽Ａの処理液持ち出し量を削減することができる。もしくは、引き上げ速度はそのままとして、短い方の待ち時間が引き上げ動作完了後の待ち時間となるように搬送タイムテーブルを変更することで、処理槽Ａの処理液持ち出し量を削減することができる。また、搬送制御機器に伝達す
ることで引き上げ速度を遅くすること、引き上げ動作完了後の待ち時間を設定又は延長すること、を組み合わせてもよい。この場合、速度の調整範囲に制限がある場合にも、引き上げ所要時間全体を所望の値に調整することができる。
【００７０】
また、動作（引き上げ動作）の変更にオペレータもしくは上位のホストコンピュータの確認、承認が必要な場合には、与えられた条件から算出された、引き上げ速度変更に関する推奨値、推奨設定をオペレータもしくは上位側に知らせる機能を持つ。同一ロットの製品処理でプロセス処理に起因するプロセス性能について基板間の許容度が低い場合などに、オペレータもしくは上位のホストコンピュータに引き上げ動作の変更に関する推奨情報（推奨値、推奨設定）を提示し、許可された場合のみ動作を変更する機能を実装することで、プロセス性能の維持と処理液持ち出し量削減の両方に適宜対応することができる。
【００７１】
また、上記実施形態に係る補正処理は、シミュレーション方式のスケジューラ、及び、グラフネットワークを使用したスケジューラに適用可能である。なお、上記では、基板保持部材（基板ホルダ）に保持された基板を搬送する構成について説明したが、基板を直接搬送機で保持して搬送する構成にも適用可能である。
【００７２】
上記実施形態から少なくとも以下の技術的思想が把握される。
【００７３】
第１形態によれば、  基板に対して異なる処理種別の処理を行う複数の処理槽と、  前記基板を搬送する搬送装置と、  前記搬送装置による前記基板の搬送と前記複数の処理槽での基板処理を制御する制御装置と、を備え、  前記制御装置は、処理種別ごとに各処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を固定し、最大スループットとなるように、前記複数の処理種別の複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成するとともに、１の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の前記搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間とに基づいて、前記基板の処理順序における直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を延長するように前記搬送スケジュールを補正することが可能に構成されている、基板処理装置が提供される。
【００７４】
この形態によれば、基板を複数の処理種別の処理槽で順次処理する場合において、各処理槽からの引き上げ所要時間を固定して最大スループットとなるように標準の搬送スケジュールを作成後、ある処理種別の処理槽への基板の収容後に搬送機に待ち時間があり、処理槽において基板処理後に待ち時間がある場合には、それらの待ち時間に基づいて、直前の処理種別の処理槽において前記基板の引き上げ所要時間を延長する。処理槽において、基板を引き上げる速度を遅くする、もしくは引き上げ後に処理槽上方において一定時間停止させることにより、基板及び／又は基板ホルダに付着した処理液を元の処理槽へ滴下させ、処理液の持ち出し量を低減することができる。
【００７５】
第２形態によれば、第１形態の基板処理装置において、  前記制御装置は、補正後の搬送スケジュールに基づいて、前記搬送装置による前記基板の搬送と前記複数の処理槽での基板処理を制御する。
【００７６】
この形態によれば、基板の引き上げ所要時間を延長後のスケジュールに基づいて、基板搬送装置による前記基板の搬送と前記複数の処理槽での基板処理を制御するため、処理槽からの処理液の持ち出し量を低減することができる。
【００７７】
第３形態によれば、第１形態の基板処理装置において、  前記制御装置は、１の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の前記搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間とのうち短い方の待ち時間、又は、前記短い方の
待ち時間から所定の時間を差し引いた時間を、前記直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間に加算する。
【００７８】
この形態によれば、短い方の待ち時間又は、前記短い方の待ち時間から所定の時間を差し引いた時間を、引き上げ所要時間に加算するため、直前の処理種別の処理槽から当該処理種別の処理槽への搬送機による搬送の遅延を、当該処理種別の処理槽への基板の収容後の搬送機の待ち時間の低減又は削除によって吸収することができる。また、当該処理種別の処理槽における基板処理開始の遅延を、当該処理種別の処理槽における基板処理後の処理槽の待ち時間の低減又は削除によって吸収することができる。これにより、直前の処理種別の処理槽からの基板の引き上げ所要時間を延長することに起因して、搬送機の後続の処理、当該処理種別の処理槽における基板の引き上げ時期が遅れることを防止し、スループットの低下を抑制ないし防止することができる。短い方の待ち時間から所定の時間を差し引いた時間を加算する場合には、搬送機の後続の処理、当該処理種別の処理槽における基板の引き上げ時期が遅れることをより確実に防止し、スループットの低下をより確実に抑制ないし防止することができる。
【００７９】
第４形態によれば、第３形態の基板処理装置において、前記制御装置は、複数の基板に対して前記搬送スケジュールを作成するとともに、処理種別ごとに、複数の基板に対する、１の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の前記搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間のうちの最小値を算出し、該最小値、又は、該最小値から所定の時間を差し引いた時間を、各処理種別の直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間に加算する。
【００８０】
この形態によれば、同一の処理種別の複数の基板の待ち時間（搬送器の待ち時間、処理槽の待ち時間）のうちの最小値、又は、最小値から所定の時間を差し引いた時間を、直前の処理種別の処理槽からの基板の引き上げ所要時間に加算するため、何れの基板の処理についても、搬送機の後続の処理、当該処理種別の処理槽における基板の引き上げ時期が遅れることを防止することができる。最小値から所定の時間を差し引いた時間を加算する場合には、搬送機の後続の処理、当該処理種別の処理槽における基板の引き上げ時期が遅れることをより確実に防止し、スループットの低下をより確実に抑制ないし防止することができる。
また、種別ごとに、基板の引き上げ所要時間を最適化することができる。
【００８１】
第５形態によれば、第１乃至４形態の何れかの基板処理装置において、  前記制御装置は、前記直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間の延長によって、前記基板処理装置のスループットが低下する場合には、前記引き上げ所要時間の延長量を低減する補正を行うか、又は、前記補正前の搬送スケジュールを使用する。
【００８２】
この形態によれば、スループットの低下を防止しつつ、処理液の持ち出し量を低減することができる。
【００８３】
第６形態は、第１乃至５形態の何れかの基板処理装置において、  前記制御装置は、前記搬送装置による前記基板の引き上げ速度を低減すること、及び／又は、前記直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ後の前記直前の処理槽における待機時間を設定又は延長することによって、前記基板の引き上げ所要時間の延長を実行する。
【００８４】
この形態によれば、引き上げ速度の低減、及び／又は、引き上げ後の停止時間の設定又は延長によって、引き上げ所要時間を延長することができる。また、引き上げ速度の低減に限界がある場合には、引き上げ速度の低減と、引き上げ後の停止時間の設定とを組み合わせることで、引き上げ所要時間全体を所望の長さに補正することができる。
【００８５】
第７形態は、第１乃至６形態の何れかの基板処理装置において、  前記制御装置は、前記引き上げ所要時間の延長が許可されているか否かを判別し、許可されている場合に、前記引き上げ所要時間を延長する補正を行う。
【００８６】
この形態によれば、同一ロットの製品処理でプロセス処理に起因するプロセス性能について基板間の許容度が低い場合などに、オペレータもしくは上位のホストコンピュータに引き上げ動作の変更に関する推奨情報（推奨値、推奨設定）を提示し、許可された場合のみ動作を変更する機能を実装することで、プロセス性能の維持と処理液持ち出し量削減の両方に適宜対応することができる。
【００８７】
第８形態は、第１乃至７形態の何れかの基板処理装置において、  前記基板は、基板保持部材に保持された状態で搬送される。
【００８８】
この形態によれば、基板が基板保持部材（例えば、基板ホルダ）に保持された状態で搬送される場合に、基板に付着した処理液、及び、基板保持部材に付着した処理液の持ち出し量を低減することができる。
【００８９】
第９形態は、  基板処理装置の制御装置であって、  異なる処理種別の複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成する搬送スケジュール作成部と、  １の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間とに基づいて、前記基板の搬送順序における直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を延長する補正を行う補正部と、を備える制御装置が提供される。この形態によれば、第１形態と同様の作用効果を奏する。
【００９０】
第１０形態は、  基板処理装置の制御方法であって、  異なる処理種別の複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成すること、  １の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間とに基づいて、前記基板の搬送順序における直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を延長する補正を行うこと、を含む制御方法が提供される。この形態によれば、第１形態と同様の作用効果を奏する。
【００９１】
第１１形態は、  基板処理装置を制御する方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体であって、  異なる処理種別の複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成すること、  １の処理種別の処理槽への前記基板の収容後の搬送装置の待ち時間と、当該１の処理種別の処理槽での基板処理後の該処理槽の待ち時間とに基づいて、前記直前の処理種別の処理槽からの前記基板の引き上げ所要時間を延長する補正を行うこと、をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体が提供される。この形態によれば、第１形態と同様の作用効果を奏する。このプログラムによれば、既存の基板処理装置の制御プログラムの変更によって、処理液の持ち出し量の低減を図ることができる。
【００９２】
以上、いくつかの例に基づいて本発明の実施形態について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
【符号の説明】
【００９３】
１００…基板処理装置
１０１Ａ…ロード／アンロード部
１０１Ｂ…処理部
１０２…カセットテーブル
１０３…基板搬送装置
１０３ａ…搬送ロボット
１０４…アライナ
１０５…基板着脱部
１０５ａ…基板着脱装置
１０６…スピンリンスドライヤ
１０７…ストッカ
１０８…プリウェット槽
１０９…プリソーク槽
１１０ａ…プリソークリンス槽
１１１…ブロー槽
１１０ｂ…リンス槽
１１２…めっき処理部
１１２ａ…めっき槽
１１３…基板ホルダ搬送装置
１１４…搬送機
１１５…搬送機
１１６…レール
１２０…装置コンピュータ
１２０Ａ…ＣＰＵ
１２０Ｂ…メモリ
１２０Ｃ…操作画面アプリケーション
１２０Ｂ…基板搬送制御部
１２１…装置コントローラ
１３０…動作機器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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