(57)【要約】      （修正有）【課題】表裏面が絶縁状態で、なおかつ電荷を空気中に放出することで静電気を除去しうる静電除去シートの提供。【解決手段】導電物質を付着させた繊維よりなる導電紙４と、導電紙の両面に位置する可撓性のシリコーンゴム層２，３とを備え、シリコーンゴム層２，３のシリコーンゴムは導電紙４の繊維５ａの隙間５ｂに含浸すると共に両シリコーンゴム層２，３を連通した状態で固化した含浸部６を備え、導電紙４が両シリコーンゴム層と共に少なくとも一部端部において切断されて端面８に露出している静電除去シート１。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電物質を付着させた繊維よりなる導電紙と、前記導電紙の両面に位置する可撓性のシリコーンゴム層とを備え、前記シリコーンゴム層のシリコーンゴムは前記導電紙の繊維の隙間に含浸すると共に両シリコーンゴム層を連通した状態で固化した含浸部を備え、前記導電紙が前記両シリコーンゴム層と共に少なくとも一部端部において切断されて端面に露出している静電除去シート。
【請求項２】
前記導電物質はカーボンの微粒子である請求項１記載の静電除去シート。
【請求項３】
前記導電紙は基材となる紙の繊維にカーボンの微粒子を含む墨液を含浸させ乾燥させたものである請求項１又は２記載の静電除去シート。
【請求項４】
前記シリコーンゴム層は液状のシリコーンゴムを加熱・加圧状態で固化し、表面を平滑に仕上げたものである請求項１〜３のいずれかに記載の静電除去シート。
【請求項５】
前記両シリコーンゴム層のうち一方の層は他層のものよりも粘着性の高い材料により構成されている請求項１〜４のいずれかに記載の静電除去シート。
【請求項６】
電子部品の静電除去用である請求項１〜５のいずれかに記載の静電除去シート。
【請求項７】
切断加工により請求項１〜６のいずれかに記載の静電除去シートとなる静電除去シート作成用シートであって、
導電物質を付着させた繊維よりなる導電紙と、前記導電紙の両面に位置する可撓性のシリコーンゴム層とを備え、前記シリコーンゴム層のシリコーンゴムは前記導電紙の繊維の隙間に含浸すると共に両シリコーンゴム層を連通した状態で固化した含浸部を備え、全体の端部に前記導電紙が介在しない前記シリコーンゴム層のみの絶縁縁部を有しており、この絶縁縁部は近傍の前記導電紙と共に切断加工により除去されるものであると共に、切断加工により前記導電紙が前記両シリコーンゴム層と共に少なくとも一部端部において端面に露出している静電除去シートとなる静電除去シート作成用シート。
【請求項８】
可撓性を有する静電除去シートの製造方法であって、
第一、第二プレス板の間に、導電物質を付着させた繊維よりなる導電紙と、前記導電紙の両面に液状のシリコーンゴムとを配置し、前記第一、第二プレス板間を加圧して上下の液状シリコーンゴムを前記導電紙の繊維の隙間に含浸させ、液状シリコーンゴム全体を硬化させて一対の可撓性のシリコーンゴム層及び前記繊維の隙間を連通する含浸部を固化させて形成し、前記導電紙を前記一対のシリコーンゴム層と共に少なくとも一部端部において切断し、前記導電紙を端面に露出させる静電除去シートの製造方法。
【請求項９】
前記第一プレス板の表面に液状のシリコーンゴムを塗布し、その液状シリコーンゴムの上に前記導電紙を配置し、その導電紙の上に液状シリコーンゴムをさらに塗布し、二番目の液状シリコーンゴムの上に第二プレス板を配置し、前記第一、第二プレス板間を加圧する請求項８記載の静電除去シートの製造方法。
【請求項１０】
前記液状シリコーンゴムの粘度は１０Ｐａ・ｓ以上７００Ｐａ・ｓ以下である請求項８又は９記載の静電除去シートの製造方法。
【請求項１１】
前記プレスの圧力は５ｋｇ／ｃｍ2以上１００ｋｇ／ｃｍ2以下である請求項８〜１０のいずれかに記載の静電除去シートの製造方法。
【請求項１２】
前記加圧の際に前記液状シリコーンゴムを加熱する請求項８〜１１のいずれかに記載の静電除電シートの製造方法。
【請求項１３】
前記液状シリコーンゴムは、白金を触媒、シラン系化合物を硬化剤とする２液硬化型のシリコーンゴムである請求項８〜１２のいずれかに記載の静電除去シートの製造方法。
【請求項１４】
前記プレスを行う工程前に、基材となる紙の繊維に、カーボンの微粒子を分散させた液状媒質を含浸させ、乾燥させて前記導電紙を製作する請求項８〜１３のいずれかに記載の静電除去シートの製造方法。
【請求項１５】
請求項７記載の静電除去シート作成用シートの製造方法であって、
第一、第二プレス板の間に、導電物質を付着させた繊維よりなる導電紙と、前記導電紙の両面に液状のシリコーンゴムとを配置し、前記第一、第二プレス板間を加圧して上下の液状シリコーンゴムを前記導電紙の繊維の隙間に含浸させ、液状シリコーンゴム全体を硬化させて一対の可撓性のシリコーンゴム層及び前記繊維の隙間を連通する含浸部を固化させて形成し、全体の端部に前記導電紙が介在しない前記シリコーンゴム層のみの絶縁縁部を形成し、この絶縁縁部は近傍の前記導電紙と共に切断加工により除去されるものである静電除去シート作成用シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電除去シートおよび静電除去シートの製造方法並びに静電除去シート作成用シート及び静電除去シート作成用シートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電除去シートとしては、例えば、特許文献１に記載のごとき静電気防止粘着積層体が知られている。同文献によれば、ポリオレフィン系の基材層にポリエーテル系帯電防止剤を添加した粘着剤層を設けている。
しかし、同文献によれば、粘着剤層の粘着度はエチレン−α−オレフィン共重合体の含有率で調整されており、場合によっては帯電防止剤の効果も得られなくなることが指摘されている。
また、粘着剤層自体に帯電防止剤が含まれているので、電子部品保護用など、微小範囲での導通も懸念される用途では、電子部品等に接触しうる表面は絶縁状態であることが望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−７９２６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
かかる従来の実情に鑑みて、本発明は、表裏面が絶縁状態でなおかつ電荷を空気中に放出することで静電気を除去しうる静電除去シートおよび静電除去シートの製造方法並びに静電除去シート作成用シート及び静電除去シート作成用シートの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明に係る静電除去シートの特徴は、導電物質を付着させた繊維よりなる導電紙と、前記導電紙の両面に位置する可撓性のシリコーンゴム層とを備え、前記シリコーンゴム層のシリコーンゴムは前記導電紙の繊維の隙間に含浸すると共に両シリコーンゴム層を連通した状態で固化した含浸部を備え、前記導電紙が前記両シリコーンゴム層と共に少なくとも一部端部において切断されて端面に露出していることにある。
【０００６】
前記導電物質はカーボンの微粒子を利用することができる。また、前記導電紙は基材となる紙の繊維にカーボンの微粒子を含む墨液を含浸させ乾燥させたものを利用するとよい。
【０００７】
前記シリコーンゴム層は液状のシリコーンゴムを加熱・加圧状態で固化し、表面を平滑に仕上げると上記構成となる。
前記両シリコーンゴム層のうち一方の層は他層のものよりも粘着性の高い材料により構成すると、例えば、他物に粘着固定しながらの利用等が可能となる。
本発明の静電除去シートは、電子部品の静電除去用に利用できる。
【０００８】
一方、上記目的を達成するため、本発明に係る静電除去シート作成用シートの特徴は、切断加工により上記のいずれかに記載の静電除去シートとなる静電除去シート作成用シートにおいて、導電物質を付着させた繊維よりなる導電紙と、前記導電紙の両面に位置する可撓性のシリコーンゴム層とを備え、前記シリコーンゴム層のシリコーンゴムは前記導電紙の繊維の隙間に含浸すると共に両シリコーンゴム層を連通した状態で固化した含浸部を備え、全体の端部に前記導電紙が介在しない前記シリコーンゴム層のみの絶縁縁部を有しており、この絶縁縁部は近傍の前記導電紙と共に切断加工により除去されるものであると共に、切断加工により前記導電紙が前記両シリコーンゴム層と共に少なくとも一部端部において端面に露出している静電除去シートとなることにある。
【０００９】
次に、上記目的を達成するため、本発明に係る静電除去シートの製造方法の特徴は、可撓性を有する静電除去シートの製造方法において、第一、第二プレス板の間に、導電物質を付着させた繊維よりなる導電紙と、前記導電紙の両面に液状のシリコーンゴムとを配置し、前記第一、第二プレス板間を加圧して上下の液状シリコーンゴムを前記導電紙の繊維の隙間に含浸させ、液状シリコーンゴム全体を硬化させて一対の可撓性のシリコーンゴム層及び前記繊維の隙間を連通する含浸部を固化させて形成し、前記導電紙を前記一対のシリコーンゴム層と共に少なくとも一部端部において切断し、前記導電紙を端面に露出させることにある。
【００１０】
同製造方法の特徴において、前記第一プレス板の表面に液状のシリコーンゴムを塗布し、その液状シリコーンゴムの上に前記導電紙を配置し、その導電紙の上に液状シリコーンゴムをさらに塗布し、二番目の液状シリコーンゴムの上に第二プレス板を配置し、前記第一、第二プレス板間を加圧するとよい。
【００１１】
前記液状シリコーンゴムの粘度は１０Ｐａ・ｓ以上７００Ｐａ・ｓ以下とするとよく、前記プレスの圧力は５ｋｇ／ｃｍ2以上１００ｋｇ／ｃｍ2以下とするとよい。また、前記加圧の際に前記液状シリコーンゴムを加熱することで、固化の反応が促進される。
前記液状シリコーンゴムは、白金を触媒、シラン系化合物を硬化剤とする２液硬化型のシリコーンゴムを用いるとよい。
【００１２】
また、前記プレスを行う工程前に、基材となる紙の繊維に、カーボンの微粒子を分散させた液状媒質を含浸させ、乾燥させて前記導電紙を製作するとよい。
【００１３】
一方、上記目的を達成するため、本発明に係る静電除去シート作成用シートの製造方法の特徴は、上記に記載の静電除去シート作成用シートの製造方法において、第一、第二プレス板の間に、導電物質を付着させた繊維よりなる導電紙と、前記導電紙の両面に液状のシリコーンゴムとを配置し、前記第一、第二プレス板間を加圧して上下の液状シリコーンゴムを前記導電紙の繊維の隙間に含浸させ、液状シリコーンゴム全体を硬化させて一対の可撓性のシリコーンゴム層及び前記繊維の隙間を連通する含浸部を固化させて形成し、全体の端部に前記導電紙が介在しない前記シリコーンゴム層のみの絶縁縁部を形成し、この絶縁縁部は近傍の前記導電紙と共に切断加工により除去されるものとすることにある。
【発明の効果】
【００１４】
上記本発明に係る静電除去シートおよび静電除去シートの製造方法並びに静電除去シート作成用シート及び静電除去シート作成用シートの製造方法の特徴によれば、表裏面が絶縁状態でなおかつ電荷を空気中に放出することで静電気を除去しうるに至った。
【００１５】
本発明の他の目的、構成及び効果については、以下の発明の実施の形態の項から明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係るシートの使用状態を示す斜視図である。
【図２】本発明に係るシートの縦断面の電子顕微鏡による拡大写真であり、（ａ）は拡大倍率１００倍、（ｂ）は（ａ）の一部をさらに拡大した拡大倍率５００倍のものである。
【図３】本発明に係るシートの拡大縦断面図である。
【図４】本発明に係るシートに用いられる和紙の顕微鏡写真（倍率５００倍）であり、（ａ）は縦断面、（ｂ）は平面である。
【図５】カーボン粒子の状態を示す電子顕微鏡写真（倍率１００，０００倍）である。
【図６】和紙の繊維とカーボン粒子の関係を示す概念図である。
【図７】プレス機による製造工程を示し、（ａ）は第一のシリコーンゴム層の材料を設けたところ、（ｂ）は導電紙を設けたところ、（ｃ）第二のシリコーンゴム層の材料を設けたところ、（ｄ）は加熱下で加圧を行うところである。
【図８】（ａ）は図７による生産物（作成用シート）の平面図、（ｂ）はその一辺をカットする状態を示す図である。
【図９】本発明に係るシートの使用状態を示すハードディスクの斜視図である。
【図１０】（ａ）は本発明に係るシートの使用状態を示すウエハキャリアの斜視図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図１１】（ａ）は本発明に係るシートの使用状態を示す電子部品キャビネットの斜視図、（ｂ）は（ａ）の引き出しの斜視図である。
【図１２】静電除去シートの端面部分の切断形状を示す平面図であって、（ａ）はのこぎり状、（ｂ）は他ののこぎり状、（ｃ）は先端を丸めたのこぎり状の例をそれぞれ示すものである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、適宜添付図面を参照しながら、本発明をさらに詳しく説明する。
本発明に係る静電除去シート１は、例えば図１に示すように、ＰＣメモリ等の電子部品１０１の下に敷く。シートの絶縁面に電荷を集めると共に、シートの端面８から静電気を空気中に放出することで、シート表面の電位の絶対値を下げ、この電子部品１０１を静電破壊から守る。
【００１８】
図２（ａ）は本発明に係るシートの縦断面の電子顕微鏡による拡大写真、同図（ｂ）は（ａ）の一部をさらに拡大した断面である。また、図３は図２の写真を模式的に表示した本発明に係るシートの拡大縦断面図である。図面２，３において、符号２，３で示す範囲はシリコーンゴム層、符号４で示す範囲は導電紙の部分である。
【００１９】
静電除去シート１は、導電紙４と、この導電紙４の両面に位置する可撓性のシリコーンゴム層２，３とを備える。シリコーンゴム層２，３のシリコーンゴムは導電紙４の基材となる紙（和紙５）の複数の繊維５ａが絡み合ってできる隙間５ｂに含浸すると共に両シリコーンゴム層２，３を連通した状態で固化した含浸部６を備える。
【００２０】
図４〜６に示すように、導電紙４は、植物繊維を抄いた和紙５に、導電物質であるカーボンの微粒子９を含む墨液を含浸させ乾燥させたものである。和紙５は、楮（こうぞ）、三椏（みつまた）、雁皮（がんぴ）などを主成分とする植物繊維もしくはセルロースなどのブドウ糖などの多糖類を含む繊維を使用する。この多糖類を含む繊維は繊維長が３ｍｍ〜７ｍｍ上と長く、繊維分子同士の自己接着性や親水性が高いため、水に浸し漉いた後に乾燥する事で繊維同士が水素結合し強固に絡み合い結びつき繊維間の隙間が多く、通気性に優れる。
【００２１】
図４，６にも示すように、和紙５の繊維５ａは非常に長く連続しており、その周囲に図５に示すようなカーボンの微粒子９が密集状態で付着している。したがって、墨液を含浸させ乾燥させた和紙５は、長く連続する繊維５ａとその表面のカーボンの微粒子９を通じ、その全体において導電性が高い。
【００２２】
導電紙４の基材となる紙は、カーボンの微粒子９が密集状態で付着するとともに、シート全体としての引き裂き耐久性を付与できるのであれば、和紙５以外に、化学繊維を用いた紙（不織布）でもよい。化学繊維としては、レーヨンやキュプラなどの再生繊維、アセテートなどの半合成繊維、ポリエステルやナイロンなど合成繊維を用いることができる。
【００２３】
シリコーンゴム層２，３は、液状のシリコーン材料を硬化させたものであり、いったん硬化すると、他の物質に対して不活性を呈する。しかし、液状のシリコーンは導電紙４である和紙５の繊維５ａの隙間５ｂに含浸して、一対のシリコーンゴム層２，３間にまたがって一体化する。したがって、不活性で本来は積層接着しにくい一対のシリコーンゴム層２，３を、導電紙４とともに一体化させて剥離をきわめて起こしにくい積層体としている。
【００２４】
シリコーンゴム層２，３は、表面抵抗が高く絶縁性に優れているため、電子部品の微小範囲間でも短絡を起こしにくい。しかも、集めた静電気を、その近傍で繊維５ａの隙間５ｂに入り込んで固化している含浸部６を通じて導電紙４に放散させ、導電紙４に沿って電荷を流す。静電除去シート１の端面８は、一対のシリコーンゴム層２，３及び導電紙４とともに切断され、導電紙４の端面が外部に露出している。この端面８で空気中に露出した導電紙４から静電気が空気中に放散され、その繰り返しで、静電除去シート１の電荷が下がり、静電気が除去されることとなる。
【００２５】
シリコーンゴム層２，３は、原料である液状シリコーンの粘度を選択することにより、適度な柔軟性を付与し、部品等との滑りの発生を防止することが可能である。また、適度な粘着性を付与することにより、合成樹脂、ガラス、金属面等にこの静電除去シート１を粘着保持させることも可能である。粘着性を有していても不活性で上述のごとく一体化しているため、層間の剥離も発生しにくい。
【００２６】
両シリコーンゴム層２，３のうち一方の層２は他層３のものよりも粘着性の高い材料により構成してもよい。例えば、テーブル等に粘着（吸着）させる下層のシリコーンゴム層２を粘着性（吸着性）の高い材料とし、上面に来るシリコーンゴム層３を粘着性の低い材料とすることで、テーブルに静電除去シート１を貼り付け、その上で作業を行う等のことができる。なお、シリコーンゴム層２，３は他の物質に対する不活性の程度が高い基材であるため、粘着してもきれいに剥離させることができる。
上記第二シリコーンゴム層３の上に、カラフルに着色した（例えば緑、黄色、青その他任意の色）の液状シリコーンを塗布し、固化させてもよい。このように着色することで、静電除去シート１を利用していることを識別しやすくなる。
【００２７】
導電紙４の導電物質は、電子部品との接触を避けるために、できるだけ繊維５ａから離脱しないことが望ましい。そのため、カーボンの微粒子９を含む墨液を用いている。墨液は膠またはＰＶＡ等により繊維５ａにカーボンの微粒子９を密着（接着）させている。また、和紙５の繊維５ａ同士は水素結合により強固なネットワークを形成しており、そのため、互いに離脱しにくく、カーボンの微粒子９同士の接触を通じて導電性を維持しつづける。また、シリコーンゴム層２，３及び含浸部６が和紙５の隙間５ｂに入り込んでいるため、カーボンの微粒子９やこれの付着した繊維５ａも離脱しない。
【００２８】
次に、静電除去シート１の製造工程について説明する。静電除去シートは、図７に示すように、プレス機２０を用い、内面が鏡面状である第一、第二プレス板２１，２２の間で、導電紙４の両面に配置位置した液状シリコーンゴムを加圧・加熱下で硬化させる。
【００２９】
この液状シリコーンゴムは、白金を触媒、シラン系化合物を硬化剤とする２液硬化型のシリコーンゴムを用いることができる。また、液状シリコーンゴムの粘度は７００Ｐａ・ｓ以下が望ましい。さらに、好ましくは、液状シリコーンゴムの粘度は１０Ｐａ・ｓ以上２５０Ｐａ・ｓ以下であるとよい。液状シリコーンゴムの粘度が２５０Ｐａ・ｓを超えると、導電紙によってはシリコーンの含浸に問題の生じることがあるためである。
【００３０】
まず、図７（ａ）に示すように、第一プレス板２１の表面に液状のシリコーンゴム２’を塗布し、図７（ｂ）に示すように、その液状シリコーンゴム２’の上に導電紙４を配置する。図７（ｃ）に示すように、その導電紙４の上に液状シリコーンゴム３’をさらに塗布し、図７（ｄ）に示すように、二番目の液状シリコーンゴム３’の上に第二プレス板２２を配置する。
【００３１】
その後、プレスヘッド２３，２３を近接させて、第一、第二プレス板２１，２２間を加熱下で加圧する。プレスの圧力は５ｋｇ／ｃｍ2以上１００ｋｇ／ｃｍ2以下とすることで、シリコーンゴム層２，３の液状シリコーンゴムを導電紙４の繊維５ａの隙間５ｂに含浸すると共に両シリコーンゴム層２，３を連通した状態で固化させ、含浸部６を形成することができる。なお、好ましくは、プレスの圧力は５ｋｇ／ｃｍ2以上３０ｋｇ／ｃｍ2以下であるとよい。プレスの圧力が低すぎると平滑なシートが形成できず、プレスの圧力が高すぎると圧力に耐えきれずに導電紙４が裂けることがあるためである。
加熱は上記２液の液状シリコーンゴムの反応を促進させることができる。
【００３２】
上記工程により液状シリコーンゴムの固化が完了すると、図８の如く、絶縁縁部１１を周囲に有する、静電除去シート１の作成用シート１０が製造される。この絶縁縁部１１は、端面に導電紙４が露出しておらず、絶縁性が確保されている。しかも、作成用シート１０の一部において絶縁縁部１１を図８（ｂ）の如く導電紙４と共に切断除去することで、上述の空気中への電荷の放散はなされる。したがって、使用環境に応じて、絶縁縁部１１の一部を選択して切断するとよい。
【００３３】
以下、図９〜１１を参照しながら、静電除去シート１の使用態様について説明する。まず図９では、ハードディスク１０２の金属面に静電除去シート１を貼り付けている。第一、第二のシリコーンゴム層２，３の粘着性が異なる場合は、粘着度の高い面（２）をハードディスク１０２等の対象物に張り付けるとよく、以下同様である。端面８から静電気を放散させ、データを静電破壊から守ることができる。
【００３４】
図１０では、ウエハキャリア１１０に静電除去シート１を用いた例を示す。ウエハキャリア１１０は、それぞれ一対の側面１１１及び保持面１１２と、底面１１３とを有し、一対の保持面１１２にはウエハ１０３を挟んで保持するための複数の溝を形成してある。本使用例では、静電除去シート１として、側面１１１の内側に横静電除去シート１Ａを、底面の外側に底静電除去シート１Ｂを張り付けている。
【００３５】
図１１では、電子部品キャビネット１２０の引出部１２２に静電除去シート１を用いた例を示す。電子部品キャビネット１２０は、少なくとも前面が解放された箱状の本体部１２１に複数の引出部１２２をスライド自由に差し込んでなる。本体部１２１及び引出部１２２は透明の合成樹脂（アクリル、ＡＢＳ，ＰＣ，ＰＳ等）よりなり、内部の収納物を前面、側面等の全面から確認することができる。
【００３６】
引出部１２２は、一対の側面１２２ａ、背面１２２ｂ、前面１２２ｃ及び底面１２２ｅで上面以外を覆われている。前面１２２ｃには開閉用の取手１２２ｄが設けられている。本使用例では、静電除去シート１として、外横静電除去シート１ａ及び外底静電除去シート１ｂが引出部１２２に設けられ、視界を妨げずに静電除去を行っている。まず、一対の側面１２２ａ、背面１２２ｂ及び前面１２２ｃには、外側面に外横静電除去シート１ａが帯状に貼り付けられている。また、底面１２２ｅの中央部内側には内底静電除去シート１ｂが縦長に貼り付けられている。
【００３７】
静電除去シートの端面部分の平面視での切断形状は、上記各実施形態では、直線状であったが、のこぎり状、曲線状等、図１２（ａ）〜（ｃ）に示すように様々な形状を取り得る。例えば、同図（ａ）（ｂ）の符号８ａ，８ｂに示すのこぎり状の切断形状のほか、同図（ｃ）の符号８ｃに示す先端を丸めたのこぎり状（曲線状）とすることで、単位長さあたりの端面８の面積を増大させることができ、電荷の放散効率が向上する。
【００３８】
上記各実施形態及び使用例は、本発明の趣旨を逸脱しない限り改変及び相互を組み合わせて実施することが可能である。上述の静電除去シート１、横静電除去シート１Ａ、底静電除去シート１Ｂ、外横静電除去シート１ａ及び内底静電除去シート１ｂは貼り付ける面を内外面や場所で異ならせたり、寸法、絶縁縁部１１を全辺で切断除去するか一部にするか、端面部分の平面紙での切断形状等も適宜変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明にかかる静電除去シートは、電子部品の静電除去用に用いることができる。例えば、電子部品に直接貼付したり、電子部品を収納する容器に貼付して使用することができる。また、例えば、静電除去シートを机上作業シートとして利用したり、施設や機器の壁面に貼付してもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１：静電除去シート、１Ａ：横静電除去シート、１Ｂ：底静電除去シート、１ａ：外横静電除去シート、１ｂ：内底静電除去シート、２：第一のシリコーンゴム層、３：第二のシリコーンゴム層、２’，３’：液状シリコーンゴム、４：導電紙、５：和紙、５ａ：繊維、５ｂ：隙間、６：含浸部、８：端面、８ａ〜ｃ：端面部分の平面視での切断形状、９：カーボンの微粒子、１０，１０’：作成用シート、１１：絶縁縁部、２０：プレス機、２１：第一プレス板、２２：第二プレス板、２３：プレスヘッド、１０１：電子部品、１０２：ハードディスク、１０３：ウエハ、１１０：ウエハキャリア、１１１：側面、１１２：保持面、１１３：底面、１２０：電子部品キャビネット、１２１：本体部、１２１ａ：本体部裏板、１２２：引出部、１２２ａ：側面、１２２ｂ：背面、１２２ｃ：前面、１２２ｄ：取手、１２２ｅ：底面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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