(57)【要約】      （修正有）【課題】簡易な構成で十分な光量を観察対象物に光源からの出射光の一部で照射することができ、観察対象物が微小である、或いは光を吸収しやすい特性を有する場合等、低反射性の観察対象物であっても可視光による観察を容易に行うことができる結像光学素子及び顕微鏡を提供する。【解決手段】結像光学素子５は、光源２又は観察器４と観察対象物Ｆ１との間に配置される結像光学素子５であって、上記観察対象物Ｆ１からの戻り光、又は上記出射光及び戻り光を導入する開口部７を備える凹面鏡６と、上記凹面鏡６に対向して配置される凸面鏡８を備え、上記凸面鏡８が開口部９を有することを特徴とし、上記凸面鏡開口部９の中心軸が上記凹面鏡開口部７の中心軸上に配置されることが好ましい。上記凸面鏡開口部９の直径が、上記凸面鏡の直径の１％以上７０％以下であることが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源又は観察器と観察対象物との間に配置される結像光学素子であって、
上記光源からの出射光、上記観察対象物からの戻り光、又は上記出射光及び戻り光を導入する開口部を備える凹面鏡と、
上記凹面鏡に対向して配置される凸面鏡を備え、
上記凸面鏡が開口部を有することを特徴とする結像光学素子。
【請求項２】
上記凸面鏡開口部の中心軸が上記凹面鏡開口部の中心軸上に配置される請求項１に記載の結像光学素子。
【請求項３】
上記凸面鏡開口部の直径が、上記凸面鏡の直径の１％以上７０％以下である請求項１又は請求項２に記載の結像光学素子。
【請求項４】
請求項１、請求項２又は請求項３に記載の結像光学素子を含む顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、結像光学素子、及び顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
顕微鏡による観察、測定等において、高倍率が得られる反射型の結像光学素子としてシュバルツシルト光学系が知られている。このシュバルツシルト光学系は、中心に光束を通すための開口部を有する凹面鏡と、この凹面鏡と比較して小型の凸面鏡とを有し、この凹面鏡及び凸面鏡は互いを対向して配置される。試料を観察する際は、試料を照射する光源と試料との間に当該シュバルツシルト光学系が配置される。
【０００３】
従来のシュバルツシルト光学系では、試料は光源から見て凸面鏡の背後に配置され、光源からの出射光は凹面鏡の開口部を通り、凸面鏡及び凹面鏡を反射して試料を照射する。試料からの戻り光（以下、観察光ということがある）は、光源からの出射光とは逆の順路で凹面鏡及び凸面鏡を反射して凹面鏡の開口部を通り、カメラ等の受光器に入射する。従来のシュバルツシルト光学系では、光源からの光が直接試料に照射できないことから、光を吸収しやすい試料等では観察光が弱くなるため、観察が困難になる場合がある。
【０００４】
十分な光量の下で試料の観察を行うため、凸面鏡と試料との間に放物面鏡を配置し、この放物面鏡に照明用の光を照射して、その反射光を照明光として試料に照射する赤外顕微鏡が発案されている（特開２００６−４７７８０号公報）。この顕微鏡によると、当該顕微鏡が備える光源とは異なる照明用の光源が必要となり、顕微鏡の構成が複雑化し、高コストになるおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−４７７８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記不都合に鑑みて、本発明は、簡易な構成で十分な光量を観察対象物に光源からの出射光の一部を照射することができ、観察対象物が微小である、或いは光を吸収しやすい特性を有する場合等、低反射性の観察対象物であっても可視光による観察を容易に行うことができる結像光学素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためになされた本発明の一態様に係る結像光学素子は、光源又は観察器と観察対象物との間に配置される結像光学素子であって、上記光源からの出射光、上記観察対象物からの戻り光、又は上記出射光及び戻り光を導入する開口部を備える凹面鏡と、上記凹面鏡に対向して配置される凸面鏡を備え、上記凸面鏡開口部を有することを特徴とする。
【０００８】
凸面鏡が開口部を有することで、凹面鏡開口部に導入された光源からの出射光の一部が凸面鏡開口部を通り、観察対象物に直接照射される。よって、凸面鏡及び凹面鏡の反射光に加えて、光源からの出射光の一部が観察対象物に直接照射されるため、観察対象物を照明する光量が増大され、十分な照明の下で観察対象物を観察することができる。また、観察対象物からの戻り光（観察光）が凸面鏡開口部に導入され、凹面鏡開口部を通り観察器に受光される。よって、凹面鏡及び凸面鏡で反射された観察光に加えて、観察対象物からの観察光の一部が直接観察器に受光されるため、観察光の光量が増大され、観察対象物を鮮明に観察することができる。
【０００９】
上記凸面鏡開口部の中心軸が上記凹面鏡開口部の中心軸上に配置されるとよい。上記凸面鏡開口部の中心軸が上記凹面鏡開口部の中心軸上に配置されることで、上記凸面鏡開口部を通る出射光及び観察光と、上記凸面鏡及び上記凹面鏡を反射する出射光及び観察光とを効率よく利用することができる。
【００１０】
上記凸面鏡開口部の直径が、上記凸面鏡の直径の１％以上７０％以下であるとよい。上記凸面鏡開口部の直径が上記凸面鏡の直径の１％以上７０％以下とすることにより、上記凸面鏡開口部を通る光と、凸面鏡及び凹面鏡を反射する光との双方を、より効率よく利用することができる。
【００１１】
上記課題を解決するためになされた本発明の他の態様に係る顕微鏡は、上記結像光学素子を含む。当該顕微鏡が上記結像光学素子を含むことにより、観察対象物を容易に観察することができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように、当該結像光学素子によれば、光源からの出射光及び観察対象物からの戻り光の光量の損失を抑制することができるため、照明用の光源等を設けることなく、観察対象物の鮮明な観察を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係る結像光学素子を備えた顕微鏡の構成を示す模式図である。
【図２】本発明の別の実施形態に係る結像光学素子を備えた顕微鏡の構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［第一実施形態］
以下、本発明の一実施形態に係る顕微鏡について、適宜図を用いて説明する。
【００１５】
［顕微鏡］
本発明の一実施形態に係る顕微鏡１は、図１に示すように、光源２、ビームスプリッタ３、観察器４、結像光学素子５、及びステージ１０を主に備え、試料Ｓを観察することができる。光源２、観察器４、結像光学素子５及び試料Ｓは、光源２が出射する光線束Ｐの中心軸線上に直列して配置され、光源２及び観察器４と試料Ｓとは、結像光学素子５を挟んで対向して配置される。光源２又は観察器４のいずれかは、上記中心軸線に直交して配置される。
【００１６】
＜光源＞
光源２は、試料Ｓを照明するための光を出射する。本実施形態では、光源２は、結像光学素子５へと進行する光線束Ｐの中心軸線（以下、「光線束Ｐの中心軸線上」ということがある）に直交して配置される。光源２が出射する光線束Ｐは、ビームスプリッタ３に反射され、結像光学素子５へと進行する。光源２は、可視領域の光を出射できるものであれば特に限定されず、例えばＬＤ（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ）、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）、ハロゲンランプ等の公知のものを使用することができ、中でも、ガスレーザーが好ましい。ガスレーザーはコヒーレント性が高く、光学特性に優れているため、試料観察に好適に用いることができる。
【００１７】
＜ビームスプリッタ＞
ビームスプリッタ３は、光源２からの光線束Ｐを反射させて結像光学素子５へと進行させると共に、試料Ｓからの戻り光Ｒを透過して観察器４へと進行させる。ビームスプリッタ３は、光線束Ｐの中心軸線上で、光源２が出射してビームスプリッタ３が反射した光線束Ｐの中心軸線に配置される。ビームスプリッタ３としては、光源２からの光線束Ｐの反射及び試料Ｓからの戻り光Ｒの透過が可能なものであれば特に限定されず、ハーフミラー等公知のものを使用することができるが、試料Ｓを観察するために必要な光の波長λが特定されている場合は、ダイクロイックミラーを使用することが好ましい。ダイクロイックミラーは、波長に応じて反射、透過をすることによって、光をスペクトル的に分離するため、試料観察におけるノイズを低減することができ、精度の高い観察を容易に行うことができる。
【００１８】
＜観察器＞
観察器４は、試料Ｓの戻り光を受光し、観察する。観察器４は、光線束Ｐの中心軸線上、かつ結像光学素子５の焦点Ｆ２上に配置される。観察器４は、観察光Ｒを検知できるものであれば特に限定されず、例えばカメラ等の公知のものを使用することができる。又は、観察器４に換えて接眼レンズ等を配置し、肉眼で観察することも可能である。
【００１９】
＜結像光学素子＞
結像光学素子５は、光源２からの光線束Ｐを試料Ｓに照射し、試料Ｓからの戻り光Ｒを観察器４上に集光する。本実施形態では、結像光学素子５は焦点Ｆ１及び焦点Ｆ２を有するシュバルツシルト光学系である。結像光学素子５は、光源２及び観察器４と試料Ｓとの間に配置され、一方の焦点Ｆ１上に試料Ｓ、他方の焦点Ｆ２上に光源２及び観察器４が配置される。結像光学素子５は、上記一方の焦点Ｆ１までの距離に対し、上記他方の焦点Ｆ２までの距離を長く取ることで、当該結像光学素子５は拡大鏡として機能することができる。結像光学素子５は、凹面鏡６及び凸面鏡８と、凹面鏡６及び凸面鏡８を所定の位置に配置する図示されない筐体とを備える。凹面鏡６の凹面を形成する仮想中心点と、凸面鏡８の凸面を形成する仮想中心点とは、光線束Ｐの中心軸線上に配置され、凹面鏡６の凹面と凸面鏡８の凸面とは、対向して配置される。結像光学素子５は、それ自体が本発明の一実施形態である。
【００２０】
光源２の光線束Ｐはビームスプリッタ３に光路を変更されて、凹面鏡開口部７に導入され、凸面鏡８に到達する。後述するように、凸面鏡８は開口部９を備えるため、光線束Ｐの一部は凸面鏡開口部９に導入され、試料Ｓを照射する。凸面鏡開口部９を通る光線束Ｐの他の一部は、凸面鏡８に反射され、凹面鏡６にさらに反射されて、一方の焦点Ｆ１に配置される試料Ｓを照射する。
【００２１】
試料Ｓを照射した光は試料Ｓによって反射され、観察光Ｒとして他方の焦点Ｆ２に配置される観察器４に導入される。具体的には、観察光Ｒの一部は、凸面鏡開口部９及び凹面鏡開口部７に導入され、ビームスプリッタ３を透過し、観察器４へと進行する。凸面鏡開口部９を通る観察光Ｒの一部以外の観察光Ｒは、凹面鏡６に反射され、凸面鏡８にさらに反射され、凹面鏡開口部７からビームスプリッタ３を透過し、焦点Ｆ２に集光され観察器４によって観察される。
【００２２】
（凹面鏡）
凹面鏡６は、凸面鏡８が反射した光源２の出射光Ｐをさらに反射して、試料Ｓに照射する。また、試料Ｓからの戻り光Ｒを反射して、凸面鏡８の反射面に照射する。凹面鏡６は、光源２からの光線束Ｐ及び凸面鏡８が反射する観察光Ｒを導入するための凹面鏡開口部７を有する。凹面鏡開口部７の大きさとしては、光線束Ｐ及び観察光Ｒを導入することができ、凹面鏡６の反射面（凹面）で反射される光量の損失が生じない大きさであれば、特に限定されず、例えば凹面の直径の０．１％以上６０％以下とすることができる。凹面鏡６の凹面は反射面であり、当該反射面は凸面鏡８の反射光を試料Ｓに照射できるように所定の関数曲線で形成される。反射面としては、特に限定されず、鏡面加工、コーティング等の公知のものが使用できる。試料Ｓを観察するために必要な光の波長λが特定されている場合は、波長λの光を効果的に反射し、波長λ以外の波長の光の反射を抑制する反射面とすることが好ましい。波長λ以外の波長の光の反射を抑制することで、試料観察におけるノイズを低減することができ、精度の高い観察を容易に行うことができる。
【００２３】
（凸面鏡）
凸面鏡８は、光源２からの光線束Ｐを反射して凹面鏡６の反射面に照射する。また、凹面鏡６が反射した観察光Ｒをさらに反射して、観察器４上に集光する。凸面鏡８の凸面は反射面であり、当該反射面は光源２からの光線束Ｐを凹面鏡６の反射面全面に照射できるように所定の関数曲線で形成される。反射面としては、特に限定されず、凹面鏡６と同様な反射面とすることができる。
【００２４】
凸面鏡８は、光源２が出射する光線束Ｐの一部を導入するための凸面鏡開口部９を有する。また、凸面鏡開口部９は、試料Ｓからの戻り光Ｒの一部を導入して、観察器４へと進行させる。凸面鏡開口部９は、凸面鏡８の凸面の中心であって、光線束Ｐの中心軸線方向に貫通する開口部である。凸面鏡開口部９の形状としては、特に限定されず、丸孔、楕円形孔、矩形孔等とすることができる。凸面鏡開口部９の形状が丸孔ではない場合、上記直径は２（Ａ／π）１／２（Ａは凸面鏡開口部９の開口面積）で求められる値である。
【００２５】
凸面鏡開口部９の中心軸が凹面鏡開口部７の中心軸上に配置されることが好ましい。また、凸面鏡開口部９の中心軸及び凹面鏡開口部７の中心軸が、光線束Ｐの中心軸線上に配置されるのがより好ましい。凸面鏡開口部９の中心軸が凹面鏡開口部７の中心軸上に配置されることで、光量の損失を抑制することができる。
【００２６】
凸面鏡開口部９の直径が、凸面鏡８の直径の１％以上７０％以下であるとよい。凸面鏡開口部９の直径の下限としては、凸面鏡８の直径の２％がより好ましく、凸面鏡８の直径の３％がさらに好ましい。凸面鏡開口部９の直径の上限としては、凸面鏡８の直径の６０％がより好ましく、凸面鏡８の直径の５０％がさらに好ましい。凸面鏡開口部９の直径が上記下限に満たない場合、凸面鏡開口部９に導入される光線束Ｐ及び観察光Ｒの光量が少なくなるため、当該光量の損失を効果的に抑制することができないおそれがある。一方、凸面鏡開口部９の直径が上記上限を超える場合、凸面鏡８で反射する光線束Ｐ及び観察光Ｒの損失が大きくなり、結像光学系としての機能が損なわれるおそれがある。
【００２７】
＜ステージ＞
ステージ１０は、結像光学素子５の一方の焦点Ｆ１上に試料Ｓを載置する。ステージ１０としては、特に限定されず、公知の電動又は手動のＸＹＺステージとすることができる。ステージ１０は、載置された試料ＳをＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動させ、焦点Ｆ１に合わせることができる。
【００２８】
［利点］
凸面鏡８が凸面鏡開口部９を有しない場合、凸面鏡の頂点で光源からの光線束の一部が正反射をして観察器に受光される。当該正反射した光源からの出射光は、観察光Ｒのノイズとなるため、鮮明な試料観察に好ましくない。本実施形態に係る結像光学素子５は開口部９を有する凸面鏡８を備えるため、光源２からの光線束Ｐの一部が正反射してノイズとなることがなく、また、光源２からの光線束Ｐの一部が直接試料Ｓを照射することができる。さらに、試料Ｓからの戻り光Ｒの一部も凸面鏡開口部９を通り、直接観察器４で観察されるため、より鮮明な観察をすることができる。すなわち、光線束Ｐ及び観察光Ｒの一部が凸面鏡開口部９に導入されるため、光線束Ｐ及び観察光Ｒの光量の損失を抑制することができる、試料Ｓが低反射性のものである場合等でも十分な光量の照射及び観察光の受光をすることができる。よって、観察対象物の鮮明な観察を容易に行うことができる。
【００２９】
［第二実施形態］
次に本発明の他の実施形態に係る顕微鏡１１について、図２を用いて説明する。上述の第一実施形態と同一の構成については、同一の符号を用いて説明を省略する。
【００３０】
顕微鏡１１は、光源１２、反射鏡１３、観察器４、観察レンズ１４、結像光学素子１５、試料レンズ１６、及びステージ１０を主に備え、試料Ｓを観察することができる。本実施形態では、光源１２と試料Ｓとが結像光学素子１５を挟んで対向して配置され、観察器４が光源１２からの平行光線束Ｑの中心軸線に直交して配置される。
【００３１】
＜光源＞
光源１２は、平行光線束Ｑを出射する。光源１２が出射する平行光線束Ｑは、反射鏡１３のミラー開口部１７及び結像光学素子１５の凸面鏡開口部２１に導入され、試料Ｓを直接照射する。光源１２は、可視領域の光を平行光線束で出射できるものであれば特に限定されず、例えばＬＤとすることができる。光源１２を、平行光線束を出射することができないＬＥＤ、ハロゲンランプ等とする場合、光源１２と結像光学素子１５との間にコリメーターレンズを配置し、光源から出射される光線束を平行光線束Ｑとすることができる。
【００３２】
＜ハーフミラー＞
反射鏡１３は、光源１２からの平行光線束Ｑを導入するためのミラー開口部１７を有する。反射鏡１３は、ミラー開口部１７で光源１２からの平行光線束Ｑを導入して結像光学素子１５へと進行させると共に、試料Ｓからの戻り光Ｒを反射して観察器４へと進行させる。反射鏡１３は、平行光線束Ｑの中心軸線上で、光源１２と結像光学素子１５の間に配置される。反射鏡１３の反射面としては、試料Ｓからの戻り光Ｒの反射が可能なものであれば特に限定されないが、試料Ｓを観察するために必要な光の波長λが特定されている場合は、波長λの光のみを反射することができるものが好ましい。
【００３３】
反射鏡１３が、光源１２からの平行光線束Ｑを導入するためのミラー開口部１７を有することで、光源１２からの平行光線束Ｑが、後述する結像光学素子１５の凸面鏡開口部２１に導入され、試料Ｓを直接照射することができる。よって、試料Ｓを照射する光量の損失を抑制することができる。ミラー開口部１７は、その中心が光源１２からの平行光線束Ｑの中心軸線上に重なるように配置されるのが好ましい。ミラー開口部１７の形状としては、特に限定されず、円形、矩形等とすることができる。ミラー開口部１７の大きさとしては、光源１２からの平行光線束Ｑを導入することができる大きさであれば、特に限定されないが、結像光学素子１５が備える凸面鏡開口部２１と同一の大きさであることが好ましい。
【００３４】
＜結像光学素子＞
結像光学素子１５は、試料Ｓからの戻り光Ｒを反射鏡１３へと進行させる。本実施形態では、結像光学素子１５は、焦点Ｆ３を有し、観察光Ｒを反射して平行光線束とすることができる。結像光学素子１５は、光源１２及び観察器４と試料Ｓとの間に配置され、焦点Ｆ３上に試料Ｓが配置される。結像光学素子１５は、凹面鏡１８及び凸面鏡１９と、凹面鏡１８及び凸面鏡１９を所定の位置に配置する図示されない筐体とを備える。凹面鏡１８の凹面を形成する仮想中心点と、凸面鏡１９の凸面を形成する仮想中心点とは、平行光線束Ｑの中心軸線上に配置され、凹面鏡１８の凹面と凸面鏡１９の凸面とは、対向して配置される。
【００３５】
光源１２の平行光線束Ｑは、反射鏡１３のミラー開口部１６に導入され、後述する凹面鏡１８の凹面鏡開口部１９及び凸面鏡２０の凸面鏡開口部２１にさらに導入され、試料Ｓを直接照射する。
【００３６】
試料Ｓで反射された光は、観察光Ｒとして結像光学素子１５によって反射鏡１３へと進行し、観察器４に導入される。具体的には、観察光Ｒは、凹面鏡１８に反射され、凸面鏡２０でさらに反射され、凹面鏡開口部１９から反射鏡１３へと進行し、反射鏡１３で反射され、観察器４に導入される。
【００３７】
（凹面鏡）
凹面鏡１８は、観察光Ｒを反射して、凸面鏡２０の反射面に照射する。凹面鏡１８は、光源１２からの平行光線束Ｑ及び凸面鏡２０が反射する観察光Ｒを導入するための凹面鏡開口部１９を有する。凹面鏡１８の凹面は反射面であり、当該反射面は観察光Ｒを反射して凸面鏡２０の反射面に照射できるように所定の関数曲線で形成される。
【００３８】
（凸面鏡）
凸面鏡２０は、凹面鏡１８が反射した観察光Ｒをさらに反射して、反射鏡１３へと進行させる。凸面鏡２０の凸面は反射面であり、当該反射面は凹面鏡１８が反射した観察光Ｒを平行光線束とすることができるように所定の関数曲線で形成される。
【００３９】
凸面鏡２０は、光源１２が出射する平行光線束Ｑを導入するための凸面鏡開口部２１を有する。凸面鏡開口部２１は、凸面鏡２０の凸面の中心であって、平行光線束Ｑの中心軸線方向に形成される。
【００４０】
凸面鏡開口部２１の中心軸が凹面鏡開口部１９の中心軸上に配置されることが好ましい。また、凸面鏡開口部２１の中心軸及び凹面鏡開口部１９の中心軸が、平行光線束Ｑの中心軸線上に配置されるのがより好ましい。凸面鏡開口部２１の中心軸が凹面鏡開口部１９の中心軸上に配置されることで、光量の損失を抑制することができる。
【００４１】
＜試料レンズ＞
試料レンズ１６は、凸面鏡開口部２１を通過する光源１２からの平行光線束Ｑを試料Ｓ上に集光する。試料レンズ１６は、結像光学素子１５と試料Ｓとの間に配置される。試料レンズ１６は、本実施形態で必須の構成ではないが、特に試料Ｓが微小物である等の場合に配置されるのが好ましい。試料Ｓが微小物である等の場合、試料レンズ１６を配置することで、明視野での観察を容易に行うことができる。試料レンズ１６としては、特に限定されず、コリメーターレンズ等の公知のものを使用することができる。
【００４２】
＜観察レンズ＞
観察レンズ１４は、反射鏡１３が反射した平行光線束の観察光Ｒを観察器４上に結蔵させる。観察レンズ１４は、反射鏡１３と観察器４との間に配置される。観察レンズ１４としては、特に限定されず、コリメーターレンズ等の公知のものを使用することができる。
【００４３】
［利点］
本実施形態に係る顕微鏡１１は、反射鏡１３及び結像光学素子１５が備える凸面鏡２０が開口部を有するため、光源１２からの平行光線束Ｑが直接試料Ｓに照射することができる。従って、試料Ｓに照射される光量の損失がなく、明りょうな試料観察をすることができる。また、試料Ｓを照射する光源１２からの平行光線束Ｑと、試料Ｓからの戻り光Ｒとの光路が異なり、観察光Ｒと光源１２からの光とが分離されているため、観察光Ｒのノイズを低減することができる。従って、試料Ｓの像が滲みにくく、鮮明な試料観察をすることができる。
【００４４】
［その他の実施形態］
本発明の結像光学素子及び顕微鏡は、上記実施形態に限定されるものではない。
【００４５】
上記実施形態では可視光で観察対象物を観察する顕微鏡で説明したが、赤外線、Ｘ線等を用いる顕微鏡においても、当該結像光学素子を用いることができる。
る。
【００４６】
また、当該結像光学素子の凹面鏡を放物面鏡に形成し、凹面鏡から出射される光を平行光線束とすることができるようにして、水位計、測距計等に当該結像光学素子を用いることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明の結像光学素子及び顕微鏡は、上述のように、試料に照射される光量の損失を抑制して試料観察をすることができるので、低反射性の試料等の観察、製品の外観検査等に好適に用いられる。
【符号の説明】
【００４８】
１，１１    顕微鏡
２，１２    光源
３    ビームスプリッタ
４    観察器
５，１５    結像光学素子
６，１８    凹面鏡
７，１９    凹面鏡開口部
８，２０    凸面鏡
９，２１    凸面鏡開口部
１０    ステージ
１３    反射鏡
１４    観察レンズ
１６    試料レンズミラー開口部
１７    ミラー開口部
Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３    焦点
Ｐ    光線束
Ｑ    平行光線束
Ｒ    戻り光（観察光）
Ｓ    試料
【図１】
2019074662.tif 000003
【図２】
2019074662.tif 000004