(57)【要約】【課題】疎密波同士の干渉も利用して被洗浄物をムラなく効果的に洗浄可能な超音波洗浄器を提供する。【解決手段】被洗浄物が収容されると共に液体が貯留される洗浄槽２と、この洗浄槽２の下部に設けられる超音波振動板２６と、この超音波振動板２６を振動させる超音波発振器１０と、この超音波発振器１０を制御して被洗浄物を超音波洗浄する制御手段とを備える。超音波振動板２６は、少なくとも二枚の超音波振動板２６の板面が、互いに向き合って上方に傾けて設けられる。超音波発振器１０は、超音波振動板２６ごとに設けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物が収容されると共に液体が貯留される洗浄槽と、この洗浄槽の下部に設けられる超音波振動板と、この超音波振動板を振動させる超音波発振器と、この超音波発振器を制御して被洗浄物を超音波洗浄する制御手段とを備え、
前記超音波振動板は、少なくとも二枚の超音波振動板の板面が、互いに向き合って上方に傾けて設けられ、
前記超音波発振器は、前記超音波振動板ごとに設けられる
ことを特徴とする超音波洗浄器。
【請求項２】
前記制御手段は、二枚の超音波振動板の内、一方のみを作動させるか、他方のみを作動させるか、または、双方を作動させるかを切り替えながら被洗浄物を洗浄させる
ことを特徴とする請求項１に記載の超音波洗浄器。
【請求項３】
前記制御手段は、二枚の超音波振動板を、互いに異なる動作モードで作動させる
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の超音波洗浄器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被洗浄物を洗浄する超音波洗浄器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、下記特許文献１に開示されるように、被洗浄物と洗浄液を収容する洗浄槽（２０ａ）と、洗浄槽に取り付けられた複数の振動素子（３１〜３３）と、各振動素子を励振する複数の発振器（４１〜４３）と、複数の発振器が複数の振動素子に対して同一位相の信号を出力するように各発振器を制御する制御部（６０）とを備える超音波洗浄装置が知られている。この装置では、洗浄槽（２０ａ）の底面に振動板（２０ｂ）が接着され、この振動板（２０ａ）の下面に複数の振動素子（３１〜３３）が固定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００８／０３５５８１号（請求項１、段落［００２９］、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来技術では、洗浄槽の底面に、単一の振動板が、真上へ向けて設けられている。単一の振動板を用いるのでは、槽内での疎密波が単調となり、洗浄ムラを生じるおそれがある。仮に振動板を複数設けるとしても、各振動板を真上へ向けたのでは、各振動板からの疎密波を積極的に干渉させて、効果的な洗浄を図ることができない。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、疎密波同士の干渉も利用して被洗浄物をムラなく効果的に洗浄可能な超音波洗浄器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、被洗浄物が収容されると共に液体が貯留される洗浄槽と、この洗浄槽の下部に設けられる超音波振動板と、この超音波振動板を振動させる超音波発振器と、この超音波発振器を制御して被洗浄物を超音波洗浄する制御手段とを備え、前記超音波振動板は、少なくとも二枚の超音波振動板の板面が、互いに向き合って上方に傾けて設けられ、前記超音波発振器は、前記超音波振動板ごとに設けられることを特徴とする超音波洗浄器である。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、複数の超音波振動板を備えると共に、振動板ごとに超音波発振器が設けられるので、各超音波振動板による疎密波の発振を個別に制御することができる。しかも、少なくとも二枚の超音波振動板が、板面を互いに向き合う側へ傾けて上方へ向けて設けられるので、疎密波同士の干渉も利用して、被洗浄物をムラなく効果的に洗浄することができる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、前記制御手段は、二枚の超音波振動板の内、一方のみを作動させるか、他方のみを作動させるか、または、双方を作動させるかを切り替えながら被洗浄物を洗浄させることを特徴とする請求項１に記載の超音波洗浄器である。
【０００９】
請求項２に記載の発明によれば、二枚の超音波振動板の内、一方のみを作動させるか、他方のみを作動させるか、または、双方を作動させるかを切り替えながら被洗浄物を洗浄できる。これにより、各振動板からの疎密波を干渉させたり、干渉させなかったりして、疎密波を多様に変化させつつ、被洗浄物をムラなく効果的に洗浄することができる。
【００１０】
さらに、請求項３に記載の発明は、前記制御手段は、二枚の超音波振動板を、互いに異なる動作モードで作動させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の超音波洗浄器である。
【００１１】
請求項３に記載の発明によれば、二枚の超音波振動板を、互いに異なる動作モードで作動させることで、槽内での疎密波を一層複雑にして、被洗浄物をムラなく効果的に洗浄することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の超音波洗浄器によれば、疎密波同士の干渉も利用して被洗浄物をムラなく効果的に洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施例の超音波洗浄器を示す概略図であり、一部を断面にして示している。
【図２】図１の超音波洗浄器の超音波振動板の個数と配置の変形例を示す概略斜視図であり、超音波振動板以外の構成を省略して示している。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の具体的実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施例の超音波洗浄器１を示す概略図であり、一部を断面にして示している。
【００１５】
本実施例の超音波洗浄器１は、被洗浄物が収容される洗浄槽２と、この洗浄槽２内に設けられる洗浄ノズル３と、洗浄槽２内への給水手段４と、洗浄槽２外への排水手段５と、洗浄槽２内への薬液供給手段６と、洗浄槽２下部から洗浄ノズル３への液体の循環手段７と、洗浄槽２内の貯留液を加熱する加熱手段８と、洗浄槽２下部に設けられる超音波振動子９と、超音波振動子９を作動させる超音波発振器１０と、前記各手段４〜８および超音波発振器１０を制御する制御手段（図示省略）とを備える。
【００１６】
被洗浄物は、特に問わないが、たとえば鉗子などの医療器具である。洗浄槽２内には、上下複数段に洗浄ノズル３が設けられるが、被洗浄物は上下の洗浄ノズル３間に配置される。この際、洗浄槽２内に上下複数段に設けられる網棚（図示省略）に、被洗浄物が載せられる。なお、被洗浄物は、所望によりバスケットなどに収容されていてもよい。
【００１７】
洗浄槽２は、被洗浄物が収容される中空容器である。洗浄槽２は、本実施例では略矩形の中空ボックス状である。洗浄槽２は、ドア（図示省略）により開閉可能とされる。ドアを開けることで、洗浄槽２に対し被洗浄物を出し入れすることができる。ドアは、洗浄槽２の正面に設けられるが、洗浄槽２の正面および背面の双方に設けられてもよい。
【００１８】
洗浄ノズル３は、洗浄槽２内の被洗浄物へ液体を噴射する。洗浄ノズル３は、洗浄槽２内に、上下複数段に設けられる。本実施例では、洗浄槽２の一側部に、上下複数段に中空パイプ状の洗浄アーム１１の基端部が保持され、各洗浄アーム１１は、洗浄槽２の一側部から左右方向中央部へ向けて延出する。そして、その延出先端部に、洗浄ノズル３の長手方向中央部が垂直軸まわりに回転自在に保持される。洗浄ノズル３は、洗浄アーム１１内を介して供給される流体を噴射させるノズル孔（図示省略）を複数形成されている。洗浄アーム１１を介して洗浄ノズル３内に流体が供給されると、その流体は洗浄ノズル３のノズル孔から噴射される。この噴流により、洗浄ノズル３は、洗浄アーム１１の端部の軸受部まわりに回転する。なお、洗浄槽２内の上端部に設けられる洗浄ノズル３は、下方へのみ流体を噴射し、洗浄槽２内の下端部に設けられる洗浄ノズル３は、上方へのみ流体を噴射し、上下両端部以外の洗浄ノズル３は、上下両方へ流体を噴射する。
【００１９】
洗浄槽２内の下部には、液貯留部１２が連接されている。言い換えれば、洗浄槽２は、下部に液貯留部１２を備える。本実施例では、洗浄槽２の下壁は、左右両端部が左右方向内側へ行くに従って下方へ傾斜する傾斜面２ａに形成されており、左右方向中央部は下方へ略矩形状に凹んで形成されており、この凹部を含んだ形で、洗浄槽２内の下部が液貯留部１２とされる。
【００２０】
給水手段４は、洗浄槽２内に、給水路１３を介して水を供給する。給水路１３には、給水弁１４が設けられている。給水弁１４を開けることで、洗浄槽２内に給水することができる。なお、給水手段４は、複数種の水（たとえば水道水、温水、膜濾過水など）から選択された水を供給可能に構成されてもよい。
【００２１】
洗浄槽２には、液位検出器１５が設けられている。液位検出器１５は、その構成を特に問わないが、たとえば、液貯留部１２の底部に設置した圧力センサから構成される。この場合、液貯留部１２や洗浄槽２内の液位に応じて、水圧が変わることを利用して液位を把握する。
【００２２】
排水手段５は、洗浄槽２や液貯留部１２から、排水路１６を介して水を排出する。排水路１６には、排水弁１７が設けられている。排水弁１７を開けることで、洗浄槽２や液貯留部１２から排水することができる。
【００２３】
薬液供給手段６は、洗浄槽２または液貯留部１２に、薬液タンク１８から給液路１９を介して薬液を供給する。給液路１９には、薬液ポンプ２０が設けられている。薬液ポンプ２０を作動させることで、設定量の薬液を洗浄槽２または液貯留部１２内に供給することができる。なお、薬液供給手段６は、複数種の薬液（たとえばアルカリ性洗剤、酵素配合洗剤、潤滑防錆剤、乾燥促進剤など）から選択された薬液を供給可能に構成されてもよい。
【００２４】
循環手段７は、洗浄槽２内下部からの液体を、洗浄ノズル３へ循環供給する。具体的には、循環手段７は、循環配管２１と循環ポンプ２２とを備える。循環配管２１は、液貯留部１２から各洗浄ノズル３の洗浄アーム１１への配管であり、その途中に循環ポンプ２２が設けられている。なお、図示例では、循環配管２１の内、液貯留部１２から循環ポンプ２２への配管は、上流側において、排水路１６と共通管路とされている。また、循環配管２１の内、循環ポンプ２２の出口側には、逆止弁２３が設けられている。循環ポンプ２２を作動させると、液貯留部１２の液体を、循環配管２１および洗浄アーム１１を介して洗浄ノズル３へ供給し、洗浄槽２内へ噴射することで液貯留部１２へ戻すことができる。
【００２５】
加熱手段８は、洗浄槽２内の貯留液を加熱する手段である。本実施例では、加熱手段８は、液貯留部１２に設けられたヒータ２４から構成される。ヒータ２４は、図示例では電気ヒータであるが、場合により蒸気ヒータであってもよい。電気ヒータの場合、典型的にはオンオフ制御されるが、場合により出力を調整されてもよい。一方、蒸気ヒータの場合、蒸気管内に蒸気が供給可能とされ、蒸気の凝縮水は蒸気トラップを介して外部へ排出される。そして、給蒸路に設けた給蒸弁の開閉または開度が制御される。
【００２６】
なお、液貯留部１２には、温度センサ２５が設けられている。温度センサ２５の検出温度に基づきヒータ２４を制御することで、液貯留部１２や洗浄槽２内の貯留液の温度を調整することができる。
【００２７】
超音波振動子９は、超音波振動板２６の裏面（洗浄槽２の外側の面）に振動素子２７が設けられて構成される。本実施例では、洗浄槽２の下部に、一対の超音波振動子９が設けられる。各超音波振動子９は、超音波振動板２６の板面が、互いに向き合って上方に傾けて設けられる。具体的には、洗浄槽２の下壁の左右の傾斜面２ａに、それぞれ超音波振動板２６が設けられ、各超音波振動子９ないし超音波振動板２６からの超音波の進行方向が交差する構成となっている。これにより、図１において、左側の超音波振動板２６は、左側へ行くに従って上方へ傾斜するよう配置される一方、右側の超音波振動板２６は、右側へ行くに従って上方へ傾斜するよう配置される。この際、左右の超音波振動板２６は、傾斜角度が同一とされ、左右対称に設けられるのがよい。また、各超音波振動子９ないし超音波振動板２６からの超音波の進行方向が洗浄槽２のケーシングに対し傾斜されるように設けられるのがよい。
【００２８】
超音波振動板２６は、洗浄槽２内に設けられるのが好ましい。具体的には、本実施例では、洗浄槽２の下壁の左右の傾斜面２ａに、それぞれ略矩形状の取付穴２ｂが貫通形成されており、この取付穴２ｂを塞ぐように、前記傾斜面２ａにシール材を介して超音波振動板２６が設けられる。
【００２９】
各超音波振動子９（より具体的には振動素子２７）には、それぞれ、超音波発振器１０が接続される。言い換えれば、超音波発振器１０は、超音波振動板２６ごとに設けられる。超音波発振器１０から設定動作モード（設定された発振モード、周波数および出力など）で超音波振動子９に給電することで、超音波振動子９を所望に発振させることができる。そして、これによる超音波振動は、超音波振動板２６を介して、洗浄槽２内の貯留液に付与される。洗浄槽２内の貯留液に被洗浄物を浸漬した状態で、貯留液に超音波振動を付与することで、超音波振動板２６からの疎密波により被洗浄物の洗浄を図ることができる。
【００３０】
制御手段は、前記各手段４〜８および各超音波発振器１０の他、液位検出器１５および温度センサ２５などに接続された制御器（図示省略）である。具体的には、給水弁１４、排水弁１７、薬液ポンプ２０、循環ポンプ２２、ヒータ２４、超音波発振器１０、液位検出器１５および温度センサ２５などは、制御器に接続されている。そして、制御器は、以下に述べるように、所定の手順（プログラム）に従い、洗浄槽２内の被洗浄物の洗浄を図る。
【００３１】
以下、本実施例の超音波洗浄器１の運転方法の一例について具体的に説明する。
初期状態において、各弁１４，１７は閉じられ、各ポンプ２０，２２、ヒータ２４、各超音波発振器１０は停止している。この状態で、洗浄槽２内には、被洗浄物が収容され、洗浄槽２のドアは気密に閉じられる。そして、スタートボタンが押されるなど、運転開始が指示されると、制御器は、給水工程、加熱工程、超音波洗浄工程および排水工程を、順次に実行する。以下、各工程の内容について説明する。
【００３２】
≪給水工程≫
給水工程では、給水手段４により、洗浄槽２内に設定水位まで水を貯留する。この際、被洗浄物を浸漬（言い換えれば水没）する水位まで、洗浄槽２内に水を貯留する。被洗浄物を浸漬するのであれば、必ずしも洗浄槽２内の上部まで給水する必要はない。給水時の目標水位を複数段階で変更可能としておき、被洗浄物の量（洗浄槽２に対する収容高さ）に応じて設定された目標水位まで水を貯留してもよい。また、給水工程では、所望により、薬液供給手段６により薬液を投入してもよい。
【００３３】
給水工程では、給水途中（つまりある程度水が貯まった後）から、超音波振動子９を作動させてもよい。たとえば、発振開始水位（被洗浄物が一部でも浸漬する水位）以上になれば、超音波振動子９を作動させてもよい。
【００３４】
給水工程では、給水途中（つまりある程度水が貯まった後）から、循環手段７を作動させてもよい。たとえば、循環開始水位（液貯留部１２を超える水位）以上になれば、循環ポンプ２２を作動させてもよい。循環ポンプ２２を作動させることで、液貯留部１２からの水を、循環配管２１および洗浄アーム１１を介して洗浄ノズル３へ供給し、洗浄ノズル３のノズル孔から被洗浄物に噴射することができる。
【００３５】
給水工程中、液位検出器１５により洗浄槽２内の水位を監視し、洗浄槽２内に設定水位まで水が貯留されると、次工程へ移行する。但し、給水工程中、洗浄槽２内が所定の加熱開始水位以上になれば、次工程の加熱工程を開始してもよい。
【００３６】
≪加熱工程≫
加熱工程では、加熱手段８により、洗浄槽２内の貯留液を設定温度（たとえば４０℃）まで加熱する。この間、給水工程と同様に、超音波振動子９を作動させてもよい。給水工程にて既に超音波振動子９を作動させている場合、継続して加熱工程でも作動させればよい。
【００３７】
また、加熱工程では、給水工程と同様に、循環手段７を作動させてもよい。給水工程にて既に循環ポンプ２２を作動させている場合、継続して加熱工程でも作動させればよい。
【００３８】
加熱工程中、温度センサ２５により洗浄槽２内の貯留液の水温を監視し、その水温が設定温度になると、次工程へ移行する。但し、次工程の超音波洗浄工程においても、加熱手段８を制御して、貯留液を設定温度に維持するのがよい。たとえば、水温が所定温度まで下がると、設定温度に再加熱することを繰り返せばよい。また、次工程の超音波洗浄工程への移行に伴い、循環ポンプ２２を停止させるが、超音波洗浄工程中、貯留液の温度ムラを防止するために、間欠的に循環ポンプ２２を作動させてもよい。
【００３９】
≪超音波洗浄工程≫
超音波洗浄工程では、超音波発振器１０を作動させて、超音波振動板２６を振動させる。これにより、各超音波振動子９ないし超音波振動板２６からの超音波（疎密波）により、洗浄槽２内の貯留液中の被洗浄物の洗浄が図られる。
【００４０】
洗浄槽２の下部に設けられた左右一対の超音波振動板２６は、斜め角度で向き合うように、板面を斜め上方へ向けて配置される。従って、各超音波振動子９ないし超音波振動板２６からの疎密波を液中で干渉させることができる。すなわち、図１において、左側の超音波振動子９ないし超音波振動板２６からの疎密波と、右側の超音波振動子９ないし超音波振動板２６からの疎密波とは、それぞれ水面または洗浄槽２壁面に達する前に、お互い衝突するよう配置される。左右の疎密波同士を積極的に干渉させて、被洗浄物をムラなく効果的に洗浄することができる。
【００４１】
本実施例では、左右一対の超音波振動板２６を備えると共に、超音波振動板２６ごとに超音波発振器１０が設けられるので、各超音波振動板２６による疎密波の発振を個別に制御することができる。そのため、たとえば、二枚の超音波振動板２６の内、一方のみを作動させるか、他方のみを作動させるか、または、双方を作動させるかを切り替えながら被洗浄物を洗浄することができる。これにより、各超音波振動板２６からの疎密波を干渉させたり、干渉させなかったりして、疎密波を多様に変化させつつ、被洗浄物をムラなく効果的に洗浄することができる。
【００４２】
さらに、左右一対の超音波振動板２６を、互いに異なる動作モードで作動させてもよい。この際、動作モードを切り替えつつ、被洗浄物を洗浄してもよい。動作モードには、超音波の発振モード、周波数、位相および振幅などの内、いずれか一以上が含まれる。左右一対の超音波振動板を、互いに異なる動作モードで作動させることで、洗浄槽２内での疎密波を一層複雑にして、被洗浄物をムラなく効果的に洗浄することができる。
【００４３】
なお、動作モードの一要素としての発振モードには、たとえば、シングル発振モード（単周波）、デュアル発振モード（近接二周波）、ＦＭ発振モード（周波数変調）、パルス発振モード（単周波の断続発振）、ＡＭ発振モード（振幅変調）、ＦＭ／ＡＭ発振モード（周波数変調と振幅変調）、マルチ発振モード（三周波の順次繰返し）、またはダイナショックモジュレーション発振モード（二周波同時発生する超音波のパワー比率をコントロール）が含まれる。
【００４４】
いずれにしても、超音波洗浄工程では、各超音波発振器１０の発振の有無や、発振の仕方などを、個別に制御しつつ、被洗浄物を超音波洗浄することができる。所定時間（たとえば１０分）だけ、超音波洗浄を図った後、超音波発振器１０やヒータ２４を停止して、次工程へ移行する。
【００４５】
前述したとおり、給水工程や加熱工程でも、超音波発振器１０を作動させてもよいが、それら工程でも、超音波発振器１０に対しては、超音波洗浄工程と同様の制御を行うことができる。各超音波発振器１０をどのように制御するかは、運転開始に先立ち、設定器（たとえばタッチパネル）から設定可能とされるのがよい。
【００４６】
≪排水工程≫
排水工程では、排水手段５により、洗浄槽２内の貯留液を外部へ排出する。液位検出器１５により、洗浄槽２内からの排水がなされたことを検知すると、排水弁１７を閉じて、一連の工程を終了する。
【００４７】
次に、本実施例の超音波洗浄器１の変形例について説明する。
図２は、図１の超音波洗浄器１の超音波振動板２６の個数と配置の変形例を示す概略斜視図であり、超音波振動板２６以外の構成を省略して示している。
【００４８】
前記実施例では、超音波振動板２６は二枚であったが、本変形例では、超音波振動板２６は三枚とされている。図２では、洗浄槽２下部の傾斜面２ａを二点鎖線で示しているが、これから分かるように、本変形例では、洗浄槽２下部が略逆三角錐台状に形成されている。そして、各傾斜面２ａには、前記実施例と同様にして、超音波振動子９が設けられている。この際、各超音波振動子９の超音波振動板２６は、同一高さ位置に設けられる。これにより、各超音波振動板２６は、斜め角度で向き合うように、板面を斜め上方へ向けて配置される。
【００４９】
図示しないが、本変形例でも、超音波振動板２６ごとに超音波発振器１０が設けられており、各超音波振動板２６の作動を個別に制御することができる。その際、三枚の超音波振動板２６の内、いずれか一つのみを作動させるか、いずれか二つを作動させるか、全てを作動させるかなどを切り替えながら、被洗浄物を超音波洗浄することができる。その際、各超音波振動板２６を、互いに異なる動作モードで作動させてもよい。その他の構成および制御は、前記実施例と同様のため、説明を省略する。
【００５０】
なお、ここでは、超音波振動板２６を三枚設けた例について説明したが、同様にして、超音波振動板２６を四枚以上としてもよい。たとえば、四枚の場合、洗浄槽２の下部を略逆四角錐台状として、前後左右の各傾斜面２ａに超音波振動板２６を設ければよい。
【００５１】
本発明の超音波洗浄器１は、前記実施例の構成（制御を含む）に限らず適宜変更可能である。特に、（ａ）被洗浄物が収容されると共に液体が貯留される洗浄槽２と、この洗浄槽２の下部に設けられる超音波振動板２６と、この超音波振動板２６を振動させる超音波発振器１０と、この超音波発振器１０を制御して被洗浄物を超音波洗浄する制御手段とを備え、（ｂ）超音波振動板２６は、少なくとも二枚の超音波振動板２６の板面が、互いに向き合って上方に傾けて設けられ、（ｃ）超音波発振器１０は、超音波振動板２６ごとに設けられるのであれば、その他の構成は適宜に変更可能である。
【００５２】
たとえば、前記実施例では、洗浄ノズル３からのシャワー洗浄も実行可能な構成としたが、これは必須ではない。つまり、前記実施例において、洗浄ノズル３や循環手段７は場合により省略可能である。あるいは、洗浄ノズル３を設置するにしても、前記実施例では、洗浄ノズル３は、洗浄アーム１１に対し回転可能に設けたが、場合により、洗浄アーム１１と一体的に回転不能に設けてもよい。つまり、洗浄槽２内に被洗浄物への液体の噴射部を設け、循環手段７により、液貯留部１２の液体を噴射部へ循環供給可能とすれば足りる。その他、前記実施例において、場合により、ヒータ２４の設置も省略可能である。
【００５３】
また、前記実施例では、洗浄槽２は、正面（および背面）の開口部をドアで開閉可能とされたが、上方への開口部をドアで開閉可能とされてもよい。つまり、洗浄槽２は、上方へのみ開口した中空容器とされ、その上部開口をドアで開閉可能とされてもよい。
【００５４】
また、前記実施例において、超音波洗浄後の被洗浄物を乾燥可能に、送風機をさらに備えてもよい。この場合、洗浄後の濡れた被洗浄物は、洗浄槽２へ供給される温風により乾燥を図られる。
【００５５】
さらに、前記実施例では、被洗浄物は、洗浄槽２内の網棚に対し出し入れされたが、洗浄槽２内に洗浄ラックを出し入れ可能とし、その洗浄ラックの網棚に被洗浄物を収容可能としてもよい。その場合、上下複数段に設けられる洗浄ノズル３（特に最上部および／または最下部の洗浄ノズル以外の洗浄ノズル）は、洗浄ラックに設けられる。洗浄ラックには、前記実施例と同様に、一側部に、上下複数段に洗浄アーム１１が設けられ、各洗浄アーム１１に洗浄ノズル３が回転可能に保持される。そして、洗浄槽２に洗浄ラックを収容した状態で、循環ポンプ２２からの液体（または送風機からの空気）を洗浄ラックの洗浄ノズル３へ供給可能に、洗浄ラック側の洗浄アーム１１への流体供給口と、洗浄槽２側の循環ポンプ２２からの配管の流体吐出口とが、着脱可能に接続される。なお、洗浄ラックは、下端部にキャスターが設けられたワゴン状とされてもよい。また、前記実施例において洗浄槽２内の上下両端部に設けられた洗浄ノズル３の内、一方または双方は、洗浄ラックに設けるのではなく、洗浄槽２の側に設けられてもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１  超音波洗浄器
２  洗浄槽（２ａ：傾斜面、２ｂ：取付穴）
３  洗浄ノズル
４  給水手段
５  排水手段
６  薬液供給手段
７  循環手段
８  加熱手段
９  超音波振動子
１０  超音波発振器
１１  洗浄アーム
１２  液貯留部
１３  給水路
１４  給水弁
１５  液位検出器
１６  排水路
１７  排水弁
１８  薬液タンク
１９  給液路
２０  薬液ポンプ
２１  循環配管
２２  循環ポンプ
２３  逆止弁
２４  ヒータ
２５  温度センサ
２６  超音波振動板
２７  振動素子
【図１】
2019217480.tif 000003
【図２】
2019217480.tif 000004