(57)【要約】      （修正有）【課題】原版と基板との位置合わせを行うのに有利な位置合わせ装置を提供する。【解決手段】原版１と基板８との位置合わせを行う位置合わせ装置であって、原版１と基板８との相対位置を変更するための第１駆動部２，７と、原版１に設けられた複数の原版マーク３及び基板８に設けられた複数の基板マーク９を撮像して画像を取得する撮像部４ａと、撮像部４ａで取得された画像において、位置合わせを行う複数の基板マーク９と、複数の基板マークのそれぞれの位置合わせの対象となる複数の原版マーク３とを指定するためのユーザインタフェースを提供する制御部ＣＵと、ユーザインタフェースを介して指定された、複数の基板マーク９のそれぞれと複数の原版マーク３のそれぞれとの位置ずれが小さくなるように第１駆動部２，７を制御する駆動制御部１２と、を有することを特徴とする。【選択図】図１
2019008250.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版と基板との位置合わせを行う位置合わせ装置であって、
前記原版と前記基板との相対位置を変更するための第１駆動部と、
前記原版に設けられた複数の原版マーク及び前記基板に設けられた複数の基板マークを撮像して画像を取得する撮像部と、
前記撮像部で取得された画像において、位置合わせを行う複数の基板マークと、前記複数の基板マークのそれぞれの位置合わせの対象となる複数の原版マークとを指定するためのユーザインタフェースを提供する制御部と、
前記ユーザインタフェースを介して指定された、前記複数の基板マークのそれぞれと前記複数の原版マークのそれぞれとの位置ずれが小さくなるように前記第１駆動部を制御する駆動制御部と、
を有することを特徴とする位置合わせ装置。
【請求項２】
前記ユーザインタフェースを介して指定された前記複数の基板マークは、第１基板マークと、第２基板マークとを含み、
前記ユーザインタフェースを介して指定された前記複数の原版マークは、前記第１基板マークの位置合わせの対象となる第１原版マークと、前記第２基板マークの位置合わせの対象となる第２原版マークとを含み、
前記駆動制御部は、前記第１基板マークと前記第１原版マークとの位置合わせと、前記第２基板マークと前記第２原版マークとの位置合わせとを並行して行うように前記第１駆動部を制御することを特徴とする請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項３】
前記撮像部は、前記第１原版マーク及び前記第１基板マークを撮像する第１撮像部と、前記第２原版マーク及び前記第２基板マークを撮像する第２撮像部と、前記第１撮像部及び前記第２撮像部のそれぞれを駆動する第２駆動部と、を含み、
前記駆動制御部は、互いに位置合わせされた前記第１原版マーク及び前記第１基板マークの前記第１撮像部の視野の中心への位置合わせと、互いに位置合わせされた前記第２原版マーク及び前記第２基板マークの前記第２撮像部の視野の中心への位置合わせとを並行して行うように前記第２駆動部を制御することを特徴とする請求項２に記載の位置合わせ装置。
【請求項４】
前記ユーザインタフェースでは、互いの位置関係を維持する第３基板マーク及び第３原版マークを指定することが可能であり、
前記駆動制御部は、前記第３基板マークと前記第３原版マークとの位置関係を維持するように、前記第１駆動部を制御することを特徴とする請求項２に記載の位置合わせ装置。
【請求項５】
前記駆動制御部は、前記ユーザインタフェースを介して指定された、前記複数の基板マークのそれぞれと前記複数の原版マークのそれぞれのうち、互いの位置ずれ量が許容範囲に収まっている基板マークと原版マークとの位置関係を維持し、互いの位置ずれ量が許容範囲に収まっていない基板マークと原版マークとを位置合わせするように、前記第１駆動部を制御することを特徴とする請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項６】
前記画像を表示する表示部と、
前記表示部に表示された前記画像において、前記複数の基板マーク及び前記複数の原版マークを指定するためのポインタを操作するための操作部と、
を更に有することを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の位置合わせ装置。
【請求項７】
前記画像を表示する表示部を更に有し、
前記表示部は、タッチパネルで構成されていることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の位置合わせ装置。
【請求項８】
前記ユーザインタフェースを介して指定された、前記複数の基板マークのそれぞれと前記複数の原版マークのそれぞれとの位置ずれ量に基づいて、前記複数のマークのそれぞれと前記複数の原版マークのそれぞれとを位置合わせするために前記第１駆動部で必要となるシフト成分及び回転成分を含む駆動量を演算する演算部を更に有し、
前記駆動制御部は、前記演算部で演算された前記駆動量に従って前記第１駆動部を制御することを特徴とする請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項９】
原版と基板との位置合わせを行う位置合わせ装置であって、
前記原版と前記基板との相対位置を変更するための駆動部と、
前記原版に設けられた第１原版マークと前記基板に設けられた第１基板マークとを撮像して第１画像を取得し、前記原版に設けられた第２原版マークと前記基板に設けられた第２基板マークとを撮像して第２画像を取得する撮像部と、
前記第１画像に基づいて前記第１基板マークと前記第１原版マークとを位置合わせするための処理を行い、前記第２画像に基づいて前記第２基板マークと前記第２原版マークとを位置合わせするための処理を行い、
前記第１基板マークと前記第１原版マークとの第１位置ずれ量及び前記第２基板マークと前記第２原版マークとの第２位置ずれ量が小さくなるように前記駆動部を制御する制御部と、
を有することを特徴とする位置合わせ装置。
【請求項１０】
原版を用いて基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
前記原版と前記基板との位置合わせを行う請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の位置合わせ装置を有し、
前記位置合わせ装置によって位置合わせされた前記原版と前記基板とを用いて、前記基板にパターンを形成することを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１１】
原版を用いて基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
前記原版に設けられた複数の原版マーク及び前記基板に設けられた複数の基板マークを撮像して取得された画像において、位置合わせを行う複数の基板マークと、前記複数の基板マークのそれぞれの位置合わせの対象となる複数の原版マークとを指定するためのユーザインタフェースを提供する制御部を有することを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１２】
前記原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系を更に有することを特徴とする請求項１０又は１１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１３】
請求項１０乃至１２のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された前記基板を処理する工程と、
処理された前記基板から物品を製造する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置合わせ装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスや液晶表示素子の製造に用いられるリソグラフィ装置の１つである露光装置は、マスク（原版）のパターンを投影光学系を介して基板に投影して基板を露光する。露光装置では、基板を露光する前に、マスクに設けられたマスクマークと基板に設けられた基板マークとを撮像部（カメラ）で同時に撮像して得られる画像に基づいて、マスクと基板との相対的な位置ずれ（位置誤差）を求める。そして、基板を露光する際に、マスクと基板との相対的な位置ずれが補正されるように、マスクを保持するマスクステージ、基板を保持する基板ステージ及び投影光学系を駆動する。
【０００３】
露光装置では、マスクマークと基板マークとを撮像部で同時に撮像するため、事前に、マスクマークと基板マークとの位置合わせ（これらのマークを撮像部の視野に入れること）を行う必要がある。マスクマークと基板マークとの位置合わせは、撮像部で得られた画像を確認しながら、例えば、ジョイスティックを操作してマスクステージや基板ステージの位置を調整することで行われる。また、撮像部の位置を調整する必要がある場合にも、撮像部で得られた画像を確認しながら、ジョイスティックを操作して撮像部の位置を調整する。
【０００４】
このような位置合わせに関して、撮像部の視野内で位置合わせを行うマークと、かかるマークの目標位置とを指定することで、マークが目標位置に位置するように、マスクステージや基板ステージの位置が調整される技術が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２１３９１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示された技術は、単一の撮像部を用いて単一のマークの位置合わせを行う場合には有用である。しかしながら、特許文献１に開示された技術は、同一の駆動軸上に存在する複数のマークのそれぞれに対応する複数の撮像部を用いて、それらのマークの位置合わせを同時に行う場合には有用であるとはいえない。
【０００７】
例えば、ＸＹ平面上でＸ／Ｙ方向及び回転方向に駆動可能なステージにおいて、かかるステージの回転に起因して、第１撮像部で撮像される第１マークの位置と第２撮像部で撮像される第２マークの位置とがずれている場合を考える。ここで、特許文献１に開示された技術を適用して、位置合わせの対象とするマークとして第１マークのみを指定して位置合わせを行うと、ステージのＸ／Ｙ方向の駆動で第１マークの位置合わせが終了する可能性がある。このような場合、第２撮像部で撮像される第２マークの位置を合わせることができない。
【０００８】
また、マークの位置合わせでは、撮像部で得られた画像を確認しながら、一般的には、ジョイスティックを何度も操作することになるため、位置合わせが終了するまでに時間を要する。更に、ジョイスティックによる操作対象は、マスクステージや基板ステージに代表されるように複数存在し、ジョイスティックによる操作対象を切り替えながら、かかる操作対象の位置を調整するため、位置合わせが終了するまでに時間を要する。
【０００９】
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、原版と基板との位置合わせを行うのに有利な位置合わせ装置を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての位置合わせ装置は、原版と基板との位置合わせを行う位置合わせ装置であって、前記原版と前記基板との相対位置を変更するための第１駆動部と、前記原版に設けられた複数の原版マーク及び前記基板に設けられた複数の基板マークを撮像して画像を取得する撮像部と、前記撮像部で取得された画像において、位置合わせを行う複数の基板マークと、前記複数の基板マークのそれぞれの位置合わせの対象となる複数の原版マークとを指定するためのユーザインタフェースを提供する制御部と、前記ユーザインタフェースを介して指定された、前記複数の基板マークのそれぞれと前記複数の原版マークのそれぞれとの位置ずれが小さくなるように前記第１駆動部を制御する駆動制御部と、を有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、例えば、原版と基板との位置合わせを行うのに有利な位置合わせ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一側面としての露光装置の構成を示す概略図である。
【図２】マスクマーク及び基板マークを具体的に説明するための図である。
【図３】マスクマークと基板マークとの位置合わせに用いられる位置合わせ画面を示す図である。
【図４】図３に示す位置合わせ画面を用いたマスクマークと基板マークとの位置合わせを説明するためのフローチャートである。
【図５】位置ずれ量と駆動量との座標系を示す図である。
【図６】マスクマークと基板マークとの位置合わせに用いられる位置合わせ画面を示す図である。
【図７】図６に示す位置合わせ画面を用いたマスクマークと基板マークとの位置合わせを説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【００１５】
図１は、本発明の一側面としての露光装置１００の構成を示す概略図である。露光装置１００は、半導体デバイスや液晶表示素子の製造工程であるリソグラフィ工程に採用され、原版を用いて基板にパターンを形成するリソグラフィ装置である。本実施形態では、露光装置１００は、ステップ・アンド・スキャン方式で、原版であるマスクのパターンを、投影光学系を介して基板（基板上の各ショット領域）に転写する。
【００１６】
露光装置１００は、図１に示すように、照明光学系５と、第１撮像部４ａと、第２撮像部４ｂと、マスクステージ２と、投影光学系６と、基板ステージ７とを有する。また、露光装置１００は、画像処理部１０と、演算部１１と、駆動制御部１２と、表示部１３と、操作部１４と、制御部ＣＵと、駆動部ＤＵとを有する。ここで、マスク１と基板８との相対位置を変更するための第１駆動部として機能するマスクステージ２及び基板ステージ７、第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂ、制御部ＣＵ、演算部１１、及び、駆動制御部１２は、位置合わせ装置を構成する。かかる位置合わせ装置は、マスク１と基板８との位置合わせを行う。
【００１７】
照明光学系５は、光源からの光でマスク１を円弧状に照明する。マスクステージ２は、マスク１を保持し、ＸＹ平面内で駆動される。基板ステージ７は、基板８を保持し、ＸＹ平面内で駆動される。マスク１と基板８とは、投影光学系６を介して、光学的に共役な位置（投影光学系６の物体面及び像面）に配置される。
【００１８】
投影光学系６は、例えば、複数のミラーを含むミラープロジェクション方式の光学系である。投影光学系６は、所定の投影倍率（例えば、１倍や１／２倍）を有し、マスク１に形成されたパターンを基板８に投影する。
【００１９】
マスクステージ２及び基板ステージ７は、駆動制御部１２の制御下において、投影光学系６の光軸方向（Ｚ方向）に直交する方向に互いに同期しながら、投影光学系６の投影倍率に応じた速度比で走査される。これにより、マスク１のパターンが基板８のショット領域に転写される。なお、マスクステージ２及び基板ステージ７は、投影光学系６の光軸方向に直交する方向及び回転方向に駆動可能である。
【００２０】
第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂは、マスク１の下面に設けられたマスクマーク（原版マーク）３と、基板８に設けられ、投影光学系６を介してマスク１の下面に結像された基板マーク９とを撮像する。第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂは、マスク１に設けられた複数のマスクマーク３及び基板８に設けられた複数の基板マーク９を撮像して画像を取得する撮像部として機能する。また、第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂは、それぞれを駆動する駆動部（第２駆動部）ＤＵによって、投影光学系６の光軸方向に直交する方向に駆動可能である。なお、本実施形態では、露光装置１００は、マスクマーク３と基板マーク９とを同時に撮像する第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂのみを有しているが、基板マーク９のみを撮像するオフアクシスの撮像部を有していてもよい。
【００２１】
マスクマーク３は、マスク１のパターン領域内の左右端周辺に設けられ、基板マーク９は、基板８のショット領域の左右端周辺に設けられている。マスクマーク３及び基板マーク９は、マスク１のパターンを基板８のショット領域に転写する際に、マスク１と基板８（ショット領域）との位置合わせに用いられる。
【００２２】
画像処理部１０は、第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂで取得された画像からマスクマーク３と基板マーク９との相対的な位置ずれ量を求める。また、画像処理部１０は、操作部１４を介して指定された画像内でのマスクマーク３や基板マーク９の位置を求める。
【００２３】
演算部１１は、例えば、ＣＰＵやメモリを含み、画像処理部１０で求めたマスクマーク３と基板マーク９との相対的な位置ずれ量から、マスクマーク３と基板マーク９とを位置合わせするためにマスクステージ２や基板ステージ７で必要となる駆動量を演算する。また、演算部１１は、操作部１４を介して入力された指示に基づいて、マスクステージ２、基板ステージ７、第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂの駆動量を演算する。
【００２４】
駆動制御部１２は、演算部１１で演算された駆動量に従って、マスク１のパターンを基板８のショット領域に転写する際にマスクステージ２及び基板ステージ７の位置や速度を制御する。また、駆動制御部１２は、演算部１１で演算された駆動量に従って、マスク１（マスクマーク３）と基板８（基板マーク９）との位置合わせを行う際に、第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂのそれぞれを駆動する駆動部ＤＵを制御する。本実施形態では、演算部１１及び駆動制御部１２の制御対象をマスクステージ２、基板ステージ７及び駆動部ＤＵとしているが、露光装置１００が有するその他の駆動部も制御対象として含まれる。
【００２５】
表示部１３は、第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂでマスクマーク３及び基板マーク９を撮像して取得された画像を表示するモニタを含む。操作部１４は、露光装置１００に対して各種指示を入力するための端末、例えば、タッチパネルやポインティングデバイスを含む。なお、表示部１３及び操作部１４は、それらを組み合わせて１つのタッチパネルとして構成してもよい。
【００２６】
制御部ＣＵは、例えば、ＣＰＵやメモリを含み、露光装置１００の各部を制御する。制御部ＣＵは、本実施形態では、表示部１３及び操作部１４を介して、マスク１と基板８との位置合わせに関するユーザインタフェースを提供する。かかるユーザインタフェースは、第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂで取得された画像において、位置合わせを行う少なくとも２つの基板マークと、それぞれの位置合わせの対象となる少なくとも２つの原版マークとを指定するためのものである。
【００２７】
図２（ａ）乃至図２（ｃ）を参照して、マスクマーク３及び基板マーク９を具体的に説明する。図２（ａ）は、本実施形態におけるマスクマーク３を示している。図２（ａ）において、マスクマーク３の中心は、中心位置３１として示されている。図２（ｂ）は、本実施形態における基板マーク９を示している。図２（ｂ）において、基板マーク９の中心は、中心位置３２として示されている。図２（ｃ）は、マスクマーク３と基板マーク９とが位置合わせされた（アライメントされた）状態を示している。本実施形態では、図２（ｃ）に示すように、マスクマーク３の中心位置３１と基板マーク９の中心位置３２とが一致した状態を、マスクマーク３と基板マーク９とが位置合わせされた状態とする。従って、図２（ｃ）に示す状態を目標として、マスクマーク３と基板マーク９との位置合わせを行う。
【００２８】
＜第１実施形態＞
図３（ａ）乃至図３（ｃ）を参照して、マスクマーク３と基板マーク９との位置合わせに用いられる位置合わせ画面３０について説明する。位置合わせ画面３０は、マスクマーク３と基板マーク９との位置合わせを行うための画面であって、ユーザインタフェースとして提供される。図３（ａ）は、マスクマーク３ａと基板マーク９ａとの位置合わせ、及び、マスクマーク３ｂと基板マーク９ｂとの位置合わせを行う前の位置合わせ画面３０を示している。図３（ｂ）は、操作部１４を介して、位置合わせを行う基板マークと、かかる基板マークの位置合わせの対象となるマスクマークとが指定された後の位置合わせ画面３０を示している。図３（ｃ）は、マスクマーク３ａと基板マーク９ａとの位置合わせ、及び、マスクマーク３ｂと基板マーク９ｂとの位置合わせが行われた後の位置合わせ画面３０を示している。
【００２９】
位置合わせ画面３０は、表示部１３（モニタ）に表示され、操作部１４を介して操作される。位置合わせ画面３０は、第１表示部２０ａと、第２表示部２０ｂとを含む。第１表示部２０ａは、第１撮像部４ａでマスクマーク３ａ及び基板マーク９ａを撮像して取得された画像（第１画像）を表示する。第２表示部２０ｂは、第２撮像部４ｂでマスクマーク３ｂ及び基板マーク９ｂを撮像して取得された画像（第２画像）を表示する。また、位置合わせ画面３０は、位置合わせの実行を指示するスタートボタン３４と、位置合わせの指示を取り消すキャンセルボタン３５とを含む。第１表示部２０ａには、第１撮像部４ａで取得された画像、即ち、かかる画像に含まれるマスクマーク３ａ及び基板マーク９ａが表示される。また、第２表示部２０ｂには、第２撮像部４ｂで取得された画像、即ち、かかる画像に含まれるマスクマーク３ｂ及び基板マーク９ｂが表示される。
【００３０】
図３（ｂ）を参照するに、第１表示部２０ａに表示されている十字のカーソル３６ａは、操作部１４を介して指定された位置合わせを行う基板マーク９ａの位置を示している。同様に、第２表示部２０ｂに表示されている十字のカーソル３６ｂは、操作部１４を介して指定された位置合わせを行う基板マーク９ｂの位置を示している。カーソル３６ａ及び３６ｂは、それぞれ、操作部１４を介して位置合わせを行う基板マークを指定された時点から第１表示部２０ａ及び第２表示部２０ｂに表示される。また、カーソル３６ａ及び３６ｂは、スタートボタン３４又はキャンセルボタン３５を操作されると、第１表示部２０ａ及び第２表示部２０ｂから消去される。
【００３１】
図３（ｂ）を参照するに、第１表示部２０ａに表示されている十字のカーソル３７ａは、操作部１４を介して指定された位置合わせの対象となるマスクマーク３ａの位置を示している。同様に、第２表示部２０ｂに表示されている十字のカーソル３７ｂは、操作部１４を介して指定された位置合わせの対象となるマスクマーク３ｂの位置を示している。カーソル３７ａ及び３７ｂは、それぞれ、操作部１４を介して位置合わせの対象となるマスクマークを指定された時点から第１表示部２０ａ及び第２表示部２０ｂに表示される。また、カーソル３７ａ及び３７ｂは、スタートボタン３４又はキャンセルボタン３５を操作されると、第１表示部２０ａ及び第２表示部２０ｂから消去される。
【００３２】
図３（ｂ）を参照するに、ΔＸｉａ及びΔＹｉａのそれぞれは、第１表示部２０ａに表示されているカーソル３６ａとカーソル３７ａとの間の画像内でのＸ方向及びＹ方向の位置ずれ量である。ΔＸｉｂ及びΔＹｉｂのそれぞれは、第２表示部２０ｂに表示されているカーソル３６ｂとカーソル３７ｂとの間の画像内でのＸ方向及びＹ方向の位置ずれ量である。ΔＸｃｉａ及びΔＹｃｉａのそれぞれは、第１表示部２０ａの中心３３ａとカーソル３７ａとの間の画像内でのＸ方向及びＹ方向の位置ずれ量である。ΔＸｃｉｂ及びΔＹｃｉｂのそれぞれは、第２表示部２０ｂの中心３３ｂとカーソル３７ｂとの間の画像内でのＸ方向及びＹ方向の位置ずれ量である。なお、ΔＸｃｉａ及びΔＹｃｉａは、第１撮像部４ａの視野の中心とカーソル３７ａ（マスクマーク３ａの位置）との間の位置ずれ量でもある。同様に、ΔＸｃｉｂ及びΔＹｃｉｂは、第２撮像部４ｂの視野の中心とカーソル３７ｂ（マスクマーク３ｂの位置）との間の位置ずれ量でもある。
【００３３】
図４を参照して、図３（ａ）乃至図３（ｃ）に示す位置合わせ画面３０を用いたマスクマーク３と基板マーク９との位置合わせについて説明する。図４は、本実施形態におけるマスクマーク３と基板マーク９との位置合わせを説明するためのフローチャートである。
【００３４】
Ｓ１０１では、位置合わせ画面３０を表示部１３に表示する。具体的には、第１撮像部４ａで取得された画像を位置合わせ画面３０の第１表示部２０ａに表示し、第２撮像部４ｂで取得された画像を位置合わせ画面３０の第２表示部２０ｂに表示する。第１撮像部４ａで取得された画像には、マスクマーク３ａ及び基板マーク９ａが含まれており、第２撮像部４ｂで取得された画像には、マスクマーク３ｂ及び基板マーク９ｂが含まれている。従って、Ｓ１０１では、図３（ａ）に示す位置合わせ画面３０が表示部１３に表示される。
【００３５】
Ｓ１０２では、Ｓ１０１で表示された位置合わせ画面３０において、操作部１４を介して、位置合わせを行う基板マークとして、第１表示部２０ａに表示されている基板マーク９ａを指定する。これにより、位置合わせ画面３０の第１表示部２０ａには、十字のカーソル３６ａが表示される。なお、カーソル３６ａが表示された位置が、位置合わせを行う基板マーク９ａ（第１基板マーク）の位置となる。
【００３６】
Ｓ１０３では、Ｓ１０１で表示された位置合わせ画面３０において、操作部１４を介して、Ｓ１０２で指定された基板マーク９ａの位置合わせの対象（位置合わせ先）となるマスクマークとして、第１表示部２０ａに表示されているマスクマーク３ａを指定する。これにより、位置合わせ画面３０の第１表示部２０ａには、十字のカーソル３７ａが表示される。なお、カーソル３７ａが表示された位置が、位置合わせの対象となるマスクマーク３ａ（第１原版マーク）の位置となる。
【００３７】
Ｓ１０４では、Ｓ１０１で表示された位置合わせ画面３０において、操作部１４を介して、位置合わせを行う基板マークとして、第２表示部２０ｂに表示されている基板マーク９ｂを指定する。これにより、位置合わせ画面３０の第２表示部２０ｂには、十字のカーソル３６ｂが表示される。なお、カーソル３６ｂが表示された位置が、位置合わせを行う基板マーク９ｂ（第２基板マーク）の位置となる。
【００３８】
Ｓ１０５では、Ｓ１０１で表示された位置合わせ画面３０において、操作部１４を介して、Ｓ１０４で指定された基板マーク９ｂの位置合わせの対象となるマスクマークとして、第２表示部２０ｂに表示されているマスクマーク３ｂを指定する。これにより、位置合わせ画面３０の第２表示部２０ｂには、十字のカーソル３７ｂが表示される。なお、カーソル３７ｂが表示された位置が、位置合わせの対象となるマスクマーク３ｂ（第２原版マーク）の位置となる。
【００３９】
本実施形態では、操作部１４を介して、基板マーク及びマスクマークのそれぞれをポインタで指示する又はタッチすることで、位置合わせを行う基板マークと位置合わせの対象となるマスクマークを指定することを想定している。但し、ドラッグ＆ドロップなどの操作によって、位置合わせを行う基板マークと位置合わせの対象となるマスクマークを指定してもよい。
【００４０】
Ｓ１０２乃至Ｓ１０５を経ることで、図３（ｂ）に示す位置合わせ画面３０が表示部１３に表示される。Ｓ１０２乃至Ｓ１０５を行うことで、位置合わせ画面３０（ユーザインタフェース）を介して、位置合わせを行う少なくとも２つの基板マークと、少なくとも２つの基板マークのそれぞれの位置合わせの対象となる少なくとも２つのマスクマークとが指定される。
【００４１】
Ｓ１０６では、Ｓ１０１で表示された位置合わせ画面３０において、操作部１４を介して、位置合わせの実行を指示するスタートボタン３４を操作して、マスクマーク３と基板マーク９との位置合わせを開始する。これにより、Ｓ１０２で指定した基板マーク９ａとＳ１０３で指定したマスクマーク３ａとの位置合わせ、及び、Ｓ１０４で指定した基板マーク９ｂとＳ１０５で指定したマスクマーク３ｂとの位置合わせが行われる。ここで、位置合わせとは、基板マークとマスクマークとの位置ずれが小さくなるように、駆動部ＤＵを駆動することである。
【００４２】
Ｓ１０７では、Ｓ１０２乃至Ｓ１０５での指定に基づいて、基板マーク９とマスクマーク３との間の実際の位置ずれ量、及び、マスクマーク３と撮像部の視野の中心との間の実際の位置ずれ量を求める。本実施形態では、基板マーク９とマスクマーク３との間の実際の位置ずれ量は、Ｓ１０２及びＳ１０４のそれぞれで指定された基板マーク９ａ及び９ｂとＳ１０３及びＳ１０５のそれぞれで指定されたマスクマーク３ａ及び３ｂとの間の実際の位置ずれ量を含む。また、マスクマーク３と撮像部の視野の中心との間の実際の位置ずれ量は、Ｓ１０３及びＳ１０５のそれぞれで指定されたマスクマーク３ａ及び３ｂと第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂのそれぞれの視野の中心との間の実際の位置ずれ量を含む。
【００４３】
具体的には、まず、画像処理部１０は、基板マーク９ａの位置に対応するカーソル３６ａとマスクマーク３ａの位置に対応するカーソル３７ａとの間の画像内での位置ずれ量（ΔＸｉａ，ΔＹｉａ）を求める。同様に、画像処理部１０は、基板マーク９ｂの位置に対応するカーソル３６ｂとマスクマーク３ｂの位置に対応するカーソル３７ｂとの間の画像内での位置ずれ量（ΔＸｉｂ，ΔＹｉｂ）を求める。また、画像処理部１０は、第１撮像部４ａの視野の中心（第１表示部２０ａの中心３３ａ）とカーソル３７ａとの間の画像内での位置ずれ量（ΔＸｃｉａ，ΔＹｃｉａ）を求める。同様に、画像処理部１０は、第２撮像部４ｂの視野の中心（第２表示部２０ｂの中心３３ｂ）とカーソル３７ｂとの間の画像内での位置ずれ量（ΔＸｃｉｂ，ΔＹｃｉｂ）を求める。次に、演算部１１は、画像内での位置ずれ量（ΔＸｉａ，ΔＹｉａ）と、第１撮像部４ａの解像度、画素サイズ及び倍率とに基づいて、カーソル３６ａとカーソル３７ａの実際の位置ずれ量（ΔＸａ，ΔＹａ）を求める。同様に、演算部１１は、画像内での位置ずれ量（ΔＸｉｂ，ΔＹｉｂ）と、第２撮像部４ｂの解像度、画素サイズ及び倍率とに基づいて、カーソル３６ｂとカーソル３７ｂの実際の位置ずれ量（ΔＸｂ，ΔＹｂ）を求める。また、演算部１１は、画像内での位置ずれ量（ΔＸｃｉａ，ΔＹｃｉａ）と、第１撮像部４ａの解像度、画素サイズ及び倍率とに基づいて、カーソル３７ａと第１撮像部４ａの視野の中心との実際の位置ずれ量（ΔＸｃａ，ΔＹｃａ）を求める。同様に、演算部１１は、画像内での位置ずれ量（ΔＸｃｉｂ，ΔＹｃｉｂ）と、第２撮像部４ｂの解像度、画素サイズ及び倍率とに基づいて、カーソル３７ｂと第２撮像部４ｂの視野の中心との実際の位置ずれ量（ΔＸｃｂ，ΔＹｃｂ）を求める。
【００４４】
Ｓ１０８では、演算部１１は、Ｓ１０７で求めた位置ずれ量に基づいて、基板ステージ７、マスクステージ２、第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂのそれぞれの駆動量を求める。本実施形態では、まず、第１駆動量として、マスクマーク（３ａ、３ｂ）と基板マーク（９ａ、９ｂ）との位置ずれ量を基板ステージ７で補正するための基板ステージ７の駆動量（ΔＸ，ΔＹ，Δθ）を求める。第１駆動量は、基板マーク９ａ及び９ｂのそれぞれとマスクマーク３ａ及び３ｂのそれぞれとを位置合わせするために基板ステージ７やマスクステージ２で必要となるシフト成分及び回転成分を含む駆動量である。また、第１駆動量は、基板マーク９ａとマスクマーク３ａとの位置合わせと、基板マーク９ｂとマスクマーク３ｂとの位置合わせとを並行して（同時に）行うための駆動量でもある。次いで、第２駆動量として、位置合わせされた状態のマスクマーク（３ａ、３ｂ）及び基板マーク（９ａ、９ｂ）を、第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂのそれぞれの視野の中心に位置合わせするための駆動量を求める。かかる駆動量は、マスクステージ２の駆動量ΔＹｍと、基板ステージ７の駆動量ΔＹｐと、第１撮像部４ｂの駆動量ΔＸａと、第２撮像部４ｂの駆動量ΔＸｂとを含む。また、第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂの駆動量（駆動部ＤＵで必要となる駆動量）は、シフト成分及び回転成分を含む。この駆動量は、位置合わせされたマスクマーク３ａ及び基板マーク９ａの第１撮像部４ａの視野の中心への位置合わせと、位置合わせされたマスクマーク３ｂ及び基板マーク９ｂの第２撮像部４ｂの視野の中心への位置合わせとを並行して行うため駆動量でもある。なお、本実施形態における位置ずれ量と駆動量との座標系は、図５に示す座標系で定義されるものとする。
【００４５】
詳細には、基板ステージ７の駆動量（ΔＸ，ΔＹ，Δθ）は、Ｓ１０７で求めた基板マークに対するマスクマークの位置ずれ量である（ΔＸａ，ΔＹａ）及び（ΔＸｂ，ΔＹｂ）を用いて、以下の式（１）から求める。なお、式（１）において、ΔＣは、第１撮像部４ａと第２撮像部４ｂとの間のＸ方向の距離を表す。また、ΔＸｃａは、Ｓ１０７で求めた第１撮像部４ａの視野の中心に対するカーソル３７ａの位置ずれ量を表し、ΔＸｃｂは、Ｓ１０７で求めた第２撮像部４ｂの視野の中心に対するカーソル３７ｂの位置ずれ量を表す。
【００４６】
【数１】
2019008250.tif 000003
【００４７】
マスクステージ２の駆動量ΔＹｍと、基板ステージ７の駆動量ΔＹｐと、第１撮像部４ｂの駆動量ΔＸａと、第２撮像部４ｂの駆動量ΔＸｂは、以下の式（２）から求める。この際、Ｓ１０７で求めた撮像部に対するマスクマークの位置ずれ量である（ΔＸｃａ，ΔＹｃａ）及び（ΔＸｃｂ，ΔＹｃｂ）を用いる。
【００４８】
【数２】
2019008250.tif 000004
【００４９】
本実施形態では、マスクマーク３と基板マーク９との間の位置ずれを基板ステージ７を駆動することで補正し、マスクマーク３及び基板マーク９と撮像部との間の位置ずれをマスクステージ２、基板ステージ７及び撮像部を駆動することで補正している。但し、これらの位置ずれは、露光装置１００の状態に応じて、露光装置１００が有するその他の駆動部で補正してもよい。
【００５０】
なお、マスクステージ２、基板ステージ７及び撮像部のそれぞれで、位置ずれを補正するための十分な駆動量がない場合には、例えば、基板ステージ７の粗動ステージの設定に戻るようにしてもよい。また、位置ずれを補正可能な駆動部が存在しない場合、マスクステージ２、基板ステージ７及び撮像部のそれぞれを駆動させずに、位置合わせ画面３０を介して、マスクマーク３と基板マーク９との位置合わせを行うことができない旨を通知してもよい。例えば、スタートボタン３４の背景色を変更したり、スタートボタン３４を操作できなくしたりする。
【００５１】
Ｓ１０９では、駆動制御部１２は、Ｓ１０８で求めた駆動量に基づいて、マスクステージ２、基板ステージ７及び駆動部ＤＵを制御する。本実施形態では、駆動制御部１２は、マスクステージ２を駆動量（０，ΔＹｍ）で駆動し、基板ステージ７を駆動量（ΔＸ，ΔＹ＋ΔＹｐ）で駆動する。また、駆動制御部１２は、駆動部ＤＵを介して、第１撮像部４ａを駆動量（ΔＸａ，０）で駆動し、第２撮像部４ｂを駆動量（ΔＸｂ，０）で駆動する。これにより、基板マーク９ａとマスクマーク３ａとの位置合わせ、及び、基板マーク９ｂとマスクマーク３ｂとの位置合わせとが並行して（同時に）行われる。また、マスクマーク３ａ及び基板マーク９ａの第１撮像部４ａの視野の中心への位置合わせと、マスクマーク３ｂ及び基板マーク９ｂの第２撮像部４ｂの視野の中心への位置合わせとが並行して（同時に）行われる。
【００５２】
Ｓ１１０では、Ｓ１０９を経て、第１撮像部４ａで取得された画像を位置合わせ画面３０の第１表示部２０ａに表示し、第２撮像部４ｂで取得された画像を位置合わせ画面３０の第２表示部２０ｂに表示する。Ｓ１１０では、図３（ｂ）に示す位置合わせ画面３０が表示部１３に表示される。
【００５３】
このように、本実施形態では、位置合わせ画面３０を介して、位置合わせを行う複数の基板マークと、位置合わせの対象となる複数のマスクマークとを指定すると、それらの位置合わせに必要となる駆動量が演算で求められる。かかる駆動量は、それらの位置合わせが並行して（同時に）行われるように演算で求められる。従って、本実施形態では、複数の基板マークのそれぞれと、複数のマスクマークのそれぞれとの位置合わせを行う場合にも、それらの位置合わせを短時間で容易に行うことができる。
【００５４】
＜第２実施形態＞
本実施形態では、位置合わせされた状態のマスクマーク及び基板マークと、位置合わせされていない状態のマスクマーク及び基板マークとが存在する場合について説明する。この場合、位置合わせされた状態のマスクマーク及び基板マークについては、互いの位置関係を維持することが必要となる。そこで、本実施形態では、インターフェースとして機能する位置合わせ画面３０において、互いの位置関係を維持する基板マーク（第３基板マーク）及びマスクマーク（第３原版マーク）を指定することを可能にする。そして、演算部１１では、かかる基板マークとマスクマークの位置関係を維持するように、基板ステージ７やマスクステージ２の駆動量を求める。
【００５５】
図６（ａ）及び図６（ｂ）を参照して、マスクマーク３と基板マーク９との位置合わせに用いられる位置合わせ画面３０について説明する。図６（ａ）は、マスクマーク３ａと基板マーク９ａとの位置合わせを行う前の位置合わせ画面３０を示している。図６（ｂ）は、操作部１４を介して、位置合わせを行う基板マークと、かかる基板マークの位置合わせの対象となるマスクマークとが指定された後の位置合わせ画面３０を示している。また、図６（ｂ）に示す位置合わせ画面３０では、互いの位置関係（相対位置関係）を維持する基板マーク及びマスクマークも指定されている。
【００５６】
図６（ａ）を参照するに、第１表示部２０ａには、位置合わせされていない状態のマスクマーク３ａ及び基板マーク９ａが表示されている。また、第２表示部２０ｂには、位置合わせされた状態（即ち、互いの位置ずれ量が許容範囲に収まっている状態）のマスクマーク３ｂ及び基板マーク９ｂが表示されている。
【００５７】
図６（ｂ）を参照するに、第１表示部２０ａに表示されている十字のカーソル３６ａは、操作部１４を介して指定された位置合わせを行う基板マーク９ａの位置を示している。また、第１表示部２０ａに表示されている十字のカーソル３７ａは、操作部１４を介して指定された位置合わせの対象となるマスクマーク３ａの位置を示している。一方、第２表示部２０ｂに表示されている十字のカーソル３８ｂは、マスクマーク３ｂとの相対位置関係を維持する基板マーク９ｂの位置を示している。
【００５８】
図６（ｂ）を参照するに、ΔＸｉａ及びΔＹｉａのそれぞれは、第１表示部２０ａに表示されているカーソル３６ａとカーソル３７ａとの間の画像内でのＸ向及びＹ方向の位置ずれ量である。ΔＸｃｉａ及びΔＹｃｉａのそれぞれは、第１表示部２０ａの中心３３ａとカーソル３７ａとの間の画像内でのＸ方向及びＹ方向の位置ずれ量である。ΔＸｃｉｂ及びΔＹｃｉｂのそれぞれは、第２表示部２０ｂの中心３３ｂとカーソル３８ｂとの間の画像内でのＸ方向及びＹ方向の位置ずれ量である。
【００５９】
図７を参照して、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示す位置合わせ画面３０を用いたマスクマーク３と基板マーク９との位置合わせについて説明する。図７は、本実施形態におけるマスクマーク３と基板マーク９との位置合わせを説明するためのフローチャートである。
【００６０】
Ｓ２０１では、位置合わせ画面３０を表示部１３に表示する。具体的には、第１撮像部４ａで取得された画像を位置合わせ画面３０の第１表示部２０ａに表示し、第２撮像部４ｂで取得された画像を位置合わせ画面３０の第２表示部２０ｂに表示する。Ｓ２０１では、図６（ａ）に示す位置合わせ画面３０が表示部１３に表示される。
【００６１】
Ｓ２０２では、Ｓ２０１で表示された位置合わせ画面３０において、操作部１４を介して、位置合わせを行う基板マークとして、第１表示部２０ａに表示されている基板マーク９ａを指定する。これにより、位置合わせ画面３０の第１表示部２０ａには、十字のカーソル３６ａが表示される。なお、カーソル３６ａが表示された位置が、位置合わせを行う基板マーク９ａの位置となる。
【００６２】
Ｓ２０３では、Ｓ２０１で表示された位置合わせ画面３０において、操作部１４を介して、Ｓ２０２で指定された基板マーク９ａの位置合わせの対象（位置合わせ先）となるマスクマークとして、第１表示部２０ａに表示されているマスクマーク３ａを指定する。これにより、位置合わせ画面３０の第１表示部２０ａには、十字のカーソル３７ａが表示される。なお、カーソル３７ａが表示された位置が、位置合わせの対象となるマスクマーク３ａの位置となる。
【００６３】
Ｓ２０４では、Ｓ２０１で表示された位置合わせ画面３０において、操作部１４を介して、マスクマークとの相対位置関係を維持する（互いの位置関係を維持する）基板マークとして、第２表示部２０ｂに表示されている基板マーク９ｂを指定する。これにより、位置合わせ画面３０の第２表示部２０ｂには、十字のカーソル３８ｂが表示される。なお、カーソル３８ｂが表示された位置が、マスクマーク３ｂとの相対位置関係を維持する基板マーク９ｂの位置となる。
【００６４】
Ｓ２０２乃至Ｓ２０４を経ることで、図６（ｂ）に示す位置合わせ画面３０が表示部１３に表示される。なお、本実施形態では、Ｓ２０２及びＳ２０３を行ってからＳ２０４を行っているが、Ｓ２０４を行ってからＳ２０２及び２０３を行ってもよい。
【００６５】
Ｓ２０５では、Ｓ２０１で表示された位置合わせ画面３０において、操作部１４を介して、位置合わせの実行を指示するスタートボタン３４を操作して、マスクマーク３と基板マーク９との位置合わせを開始する。本実施形態では、スタートボタン３４が操作された時点で、基板マークのみが指定されている（それに対応するマスクマークが指定されていない）ものを、マスクマークとの相対位置関係を維持する基板マークとして認識する。これにより、Ｓ２０４で指定した基板マーク９ｂとマスクマーク３ｂとの位置関係を維持しながら、Ｓ２０２で指定した基板マーク９ａとＳ２０３で指定したマスクマーク３ａとの位置合わせが行われる。
【００６６】
Ｓ２０６では、Ｓ２０２乃至Ｓ２０４での指定に基づいて、基板マーク９とマスクマーク３との間の実際の位置ずれ量、及び、マスクマーク３と撮像部の視野の中心との間の実際の位置ずれ量を求める。具体的には、まず、画像処理部１０は、基板マーク９ａの位置に対応するカーソル３６ａとマスクマーク３ａの位置に対応するカーソル３７ａとの間の画像内での位置ずれ量（ΔＸｉａ，ΔＹｉａ）を求める。なお、マスクマーク３ｂとの相対位置関係を維持するように指定された基板マーク９ｂの位置に対応するカーソル３８ｂとマスクマーク３ｂとの位置ずれ量（ΔＸｉｂ，ΔＹｉｂ）は、ゼロとする。また、画像処理部１０は、第１撮像部４ａの視野の中心（第１表示部２０ａの中心３３ａ）とカーソル３７ａとの間の画像内での位置ずれ量（ΔＸｃｉａ，ΔＹｃｉａ）を求める。なお、マスクマーク３ｂとの相対位置関係を維持するように指定された基板マーク９ｂについては、基板マーク９ｂの位置をマスクマーク３ｂの位置とみなす。そして、第２撮像部４ｂの視野の中心（第２表示部２０ｂの中心３３ｂ）とカーソル３８ｂとの間の画像内での位置ずれ量（ΔＸｃｉｂ，ΔＹｃｉｂ）を求める。次に、演算部１１は、画像内での位置ずれ量（ΔＸｉａ，ΔＹｉａ）と、第１撮像部４ａの解像度、画素サイズ及び倍率とに基づいて、カーソル３６ａとカーソル３７ａの実際の位置ずれ量（ΔＸａ，ΔＹａ）を求める。なお、カーソル３６ｂとカーソル３７ｂの実際の位置ずれ量（ΔＸｂ，ΔＹｂ）は、ゼロとなる。また、演算部１１は、画像内での位置ずれ量（ΔＸｃｉａ，ΔＹｃｉａ）と、第１撮像部４ａの解像度、画素サイズ及び倍率とに基づいて、カーソル３７ａと第１撮像部４ａの視野の中心との実際の位置ずれ量（ΔＸｃａ，ΔＹｃａ）を求める。同様に、演算部１１は、画像内での位置ずれ量（ΔＸｃｉｂ，ΔＹｃｉｂ）と、第２撮像部４ｂの解像度、画素サイズ及び倍率とに基づいて、カーソル３７ｂと第２撮像部４ｂの視野の中心との実際の位置ずれ量（ΔＸｃｂ，ΔＹｃｂ）を求める。
【００６７】
Ｓ２０７では、演算部１１は、Ｓ１０７で求めた位置ずれ量に基づいて、基板ステージ７、マスクステージ２、第１撮像部４ａ及び第２撮像部４ｂのそれぞれの駆動量を求める。これらの駆動量は、第１実施形態と同様に求めることができるため、ここでの詳細な説明は省略する。
【００６８】
Ｓ２０８では、駆動制御部１２は、Ｓ２０７で求めた駆動量に基づいて、マスクステージ２、基板ステージ７及び駆動部ＤＵを制御する。これにより、基板マーク９ｂとマスクマーク３ｂとの位置関係を維持しながら、基板マーク９ａとマスクマーク３ａとの位置合わせが行われる。
【００６９】
Ｓ２０９では、Ｓ２０８を経て、第１撮像部４ａで取得された画像を位置合わせ画面３０の第１表示部２０ａに表示し、第２撮像部４ｂで取得された画像を位置合わせ画面３０の第２表示部２０ｂに表示する。Ｓ２０９では、図３（ｂ）に示すような位置合わせ画面３０が表示部１３に表示される。
【００７０】
このように、本実施形態では、位置合わせされた状態のマスクマーク及び基板マークについては互いの位置関係を維持しながら、その他のマスクマークと基板マークとの位置合わせを行うことができる。
【００７１】
また、本実施形態は、互いの位置ずれ量が許容範囲に収まっている基板マーク及びマスクマークの位置関係を維持し、互いの位置ずれ量が許容範囲に収まっていない基板マーク及びマスクマークの位置合わせに必要な駆動量を演算で求めているともいえる。
【００７２】
また、これまでの実施形態では、ユーザインタフェースを介して、位置合わせを行う基板マークと、かかる基板マークの位置合わせの対象となるマスクマークとを指定する場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。例えば、ユーザインタフェースを介して、位置合わせを行う基板マークと、かかる基板マークの目標位置とを指定してもよい（即ち、位置合わせの対象となるマスクマークを指定するのではない）。このように、第１撮像部４ａで取得された画像に基づいて基板マーク９ａとマスクマーク３ａとを位置合わせするための処理を行い、第２撮像部４ｂで取得された画像に基づいて基板マーク９ｂとマスクマーク３ｂとを位置合わせするための処理を行ってもよい。ここで位置合わせするための処理は、位置合わせを行う基板マークを指定することに加えて、上述したように、位置合わせの対象となるマスクマークを指定するだけではなく、位置合わせの目標位置を指定することも含む。
【００７３】
本発明の実施形態における物品の製造方法は、例えば、デバイス（半導体デバイス、液晶表示素子、磁気記憶媒体など）などの物品を製造するのに好適である。かかる製造方法は、露光装置１００を用いて、感光剤が塗布された基板を露光する（パターンを基板に形成する）工程と、露光された基板を現像する（基板を処理する）工程を含む。また、かかる製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど）を含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。
【００７４】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、本発明は、リソグラフィ装置を露光装置に限定するものではなく、インプリント装置などのリソグラフィ装置にも適用することができる。ここで、インプリント装置は、基板上に供給されたインプリント材とモールド（原版）とを接触させ、インプリント材に硬化用のエネルギーを与えることにより、モールドのパターンが転写された硬化物のパターンを形成する。上述した物品の製造方法は、インプリント装置を用いて行ってもよい。
【符号の説明】
【００７５】
１００：露光装置    １：マスク    ２：マスクステージ    ３：マスクマーク    ４ａ：第１撮像部    ４ｂ：第２撮像部    ７：基板ステージ    ８：基板    ９：基板マーク    １１：演算部    １２：駆動制御部    ＣＵ：制御部    ＤＵ：駆動部
【図１】
2019008250.tif 000005
【図２】
2019008250.tif 000006
【図３】
2019008250.tif 000007
【図４】
2019008250.tif 000008
【図５】
2019008250.tif 000009
【図６】
2019008250.tif 000010
【図７】
2019008250.tif 000011