(57)【要約】【課題】装置の小型化を図ること。【解決手段】隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のステッピングモータ２１，３１，４１は、各駆動軸２２，３２，４２のなす角度が９０度となるように駆動源ベース５０に対して集積配置されている。これによれば、ステッピングモータ２１，３１，４１がそれぞれ離れた位置に配置されている場合に比べると、リンクの長さを十分に確保したとしても、ステージ移動装置の体格が大型化し難い。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
３つのリンク機構部が同時に一つのステージに接続されて、前記３つのリンク機構部が協働することにより動作するパラレルリンク機構を用いたステージ移動装置であって、
前記各リンク機構部は、駆動源と、前記各駆動源により駆動され、前記ステージの内表面をＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向から支持可能なリンクと、をそれぞれ有し、
隣り合うリンク機構部の駆動源の各駆動軸のなす角度が９０度となるように前記各駆動源を集積配置する駆動源ベースと、
前記駆動源ベースを支持する設置部と、を備えたステージ移動装置。
【請求項２】
前記駆動源ベースは、直方体形状のブロック体を備え、
前記各駆動源は、前記ブロック体の互いに垂直な３つの外面にそれぞれ隣り合っている請求項１に記載のステージ移動装置。
【請求項３】
前記駆動源ベースは、前記３つの外面の縁部から前記外面に対して垂直方向にそれぞれ延在するフランジ部を有し、
前記各駆動源は、前記各フランジ部に固定されている請求項２に記載のステージ移動装置。
【請求項４】
前記設置部は、前記ブロック体における前記３つの外面とは異なる外面に平行な設置面を有している請求項２又は請求項３に記載のステージ移動装置。
【請求項５】
前記設置部は、
前記設置面、及び前記設置面に対して直交する方向に延びる回転軸を有するとともに前記ブロック体を前記回転軸を回転中心として回転させるモータを有している請求項４に記載のステージ移動装置。
【請求項６】
前記３つのリンク機構部は、前記各駆動源の駆動軸に連結されるアームをそれぞれ有し、
前記リンクは、前記アームと前記ステージとを連結し、
前記各アームは、前記各駆動軸から前記駆動源ベースとは反対側に延びている請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載のステージ移動装置。
【請求項７】
前記３つのリンク機構部の前記各リンクは、自身が前記ステージを支持するＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向とは異なる２方向から見たときに、自身以外の各リンクとそれぞれ交差するように、前記各アームから延びている請求項６に記載のステージ移動装置。
【請求項８】
前記３つのリンク機構部は、前記アームをそれぞれ一対有し、
前記一対のアームは、前記駆動軸の両端部に支持されている請求項６又は請求項７に記載のステージ移動装置。
【請求項９】
前記駆動源は、減速機付きステッピングモータであり、
前記駆動軸は、高速側シャフトと、前記高速側シャフトの回転が減速機によって減速された状態で伝達される低速側シャフトと、を含み、
前記低速側シャフトの端部には、前記一対のアームの一方が固定されており、前記高速側シャフトの端部には、前記一対のアームの他方が軸受を介して回転が許容された状態で支持されている請求項８に記載のステージ移動装置。
【請求項１０】
前記一対のアームは、連結部を介して互いに連結されている請求項８又は請求項９に記載のステージ移動装置。
【請求項１１】
前記一対のアームにおける前記駆動軸とは反対側の端部には、前記リンクを構成する揺動軸が揺動可能に１自由度で固定されている請求項８〜請求項１０のいずれか一項に記載のステージ移動装置。
【請求項１２】
前記揺動軸の端部には、前記リンクを構成する伝達軸が揺動可能に１自由度で接続されている請求項１１に記載のステージ移動装置。
【請求項１３】
前記揺動軸の長さ及び位置は、他のリンクが干渉しないように調整されている請求項１１又は請求項１２に記載のステージ移動装置。
【請求項１４】
前記揺動軸の長さ及び位置の調整は、前記駆動源ベースから離れる側で行われる請求項１３に記載のステージ移動装置。
【請求項１５】
前記Ｚ軸方向を重力方向とすると、
前記Ｚ軸方向に前記ステージを支持可能なリンク機構部の前記一対のアームの一方の前記揺動軸とは反対側には、重力と釣り合うモーメントを作用させる錘が設置されている請求項１１〜請求項１４のいずれか一項に記載のステージ移動装置。
【請求項１６】
前記ステージは、前記設置面に平行な面を構成する請求項４又は請求項５に記載のステージ移動装置。
【請求項１７】
前記ステージは、前記３つの駆動軸のうちの少なくとも一つに平行な面を構成する請求項１〜請求項１６のいずれか一項に記載のステージ移動装置。
【請求項１８】
前記ステージは、各駆動軸にそれぞれ平行な面を構成する請求項１〜請求項１７のいずれか一項に記載のステージ移動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージ移動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１に開示されているパラレルリンク機構は、複数の駆動源の動きを、リンク機構を介して単一の被駆動部に協働して作用させることで、駆動源のサイズを小型化して分散させるとともにＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向における任意の方向に被駆動部を移動させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第４，９７６，５８２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のようなパラレルリンク機構の特徴を生かしながら、被駆動部をステージとして応用する場合、リンクの長さ等からステージの移動量に対して大型化してしまうという課題がある。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、装置の小型化を図ることができるステージ移動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するステージ移動装置は、３つのリンク機構部が同時に一つのステージに接続されて、前記３つのリンク機構部が協働することにより動作するパラレルリンク機構を用いたステージ移動装置であって、前記各リンク機構部は、駆動源と、前記各駆動源により駆動され、前記ステージの内表面をＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向から支持可能なリンクと、をそれぞれ有し、隣り合うリンク機構部の駆動源の各駆動軸のなす角度が９０度となるように前記各駆動源を集積配置する駆動源ベースと、前記駆動源ベースを支持する設置部と、を備えた。
【０００７】
上記ステージ移動装置において、前記駆動源ベースは、直方体形状のブロック体を備え、前記各駆動源は、前記ブロック体の互いに垂直な３つの外面にそれぞれ隣り合っているとよい。
【０００８】
上記ステージ移動装置において、前記駆動源ベースは、前記３つの外面の縁部から前記外面に対して垂直方向にそれぞれ延在するフランジ部を有し、前記各駆動源は、前記各フランジ部に固定されているとよい。
【０００９】
上記ステージ移動装置において、前記設置部は、前記ブロック体における前記３つの外面とは異なる外面に平行な設置面を有しているとよい。
上記ステージ移動装置において、前記設置部は、前記設置面、及び前記設置面に対して直交する方向に延びる回転軸を有するとともに前記ブロック体を前記回転軸を回転中心として回転させるモータを有しているとよい。
【００１０】
上記ステージ移動装置において、前記３つのリンク機構部は、前記各駆動源の駆動軸に連結されるアームをそれぞれ有し、前記リンクは、前記アームと前記ステージとを連結し、前記各アームは、前記各駆動軸から前記駆動源ベースとは反対側に延びているとよい。
【００１１】
上記ステージ移動装置において、前記３つのリンク機構部の前記各リンクは、自身が前記ステージを支持するＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向とは異なる２方向から見たときに、自身以外の各リンクとそれぞれ交差するように、前記各アームから延びているとよい。
【００１２】
上記ステージ移動装置において、前記３つのリンク機構部は、前記アームをそれぞれ一対有し、前記一対のアームは、前記駆動軸の両端部に支持されているとよい。
上記ステージ移動装置において、前記駆動源は、減速機付きステッピングモータであり、前記駆動軸は、高速側シャフトと、前記高速側シャフトの回転が減速機によって減速された状態で伝達される低速側シャフトと、を含み、前記低速側シャフトの端部には、前記一対のアームの一方が固定されており、前記高速側シャフトの端部には、前記一対のアームの他方が軸受を介して回転が許容された状態で支持されているとよい。
【００１３】
上記ステージ移動装置において、前記一対のアームは、連結部を介して互いに連結されているとよい。
上記ステージ移動装置において、前記一対のアームにおける前記駆動軸とは反対側の端部には、前記リンクを構成する揺動軸が揺動可能に１自由度で固定されているとよい。
【００１４】
上記ステージ移動装置において、前記揺動軸の端部には、前記リンクを構成する伝達軸が揺動可能に１自由度で接続されているとよい。
上記ステージ移動装置において、前記揺動軸の長さ及び位置は、他のリンクが干渉しないように調整されているとよい。
【００１５】
上記ステージ移動装置において、前記揺動軸の長さ及び位置の調整は、前記駆動源ベースから離れる側で行われるとよい。
上記ステージ移動装置において、前記Ｚ軸方向を重力方向とすると、前記Ｚ軸方向に前記ステージを支持可能なリンク機構部の前記一対のアームの一方の前記揺動軸とは反対側には、重力と釣り合うモーメントを作用させる錘が設置されているとよい。
【００１６】
上記ステージ移動装置において、前記ステージは、前記設置面に平行な面を構成するとよい。
上記ステージ移動装置において、前記ステージは、前記３つの駆動軸のうちの少なくとも一つに平行な面を構成するとよい。
【００１７】
上記ステージ移動装置において、前記ステージは、各駆動軸にそれぞれ平行な面を構成するとよい。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、装置の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態におけるステージ移動装置の斜視図。
【図２】ステージ移動装置の斜視図。
【図３】各ステッピングモータ、駆動源ベース、及び設置部を示す斜視図。
【図４】各ステッピングモータ、駆動源ベース、及び設置部を示す斜視図。
【図５】設置部及び駆動源ベースを示す斜視図。
【図６】設置部及び駆動源ベースを示す分解斜視図。
【図７】Ｘ軸のリンク機構部を説明するための斜視図。
【図８】Ｘ軸のリンク機構部を説明するための斜視図。
【図９】Ｘ軸のリンク機構部を説明するための斜視図。
【図１０】図９における１０−１０線断面図。
【図１１】Ｙ軸のリンク機構部を説明するための斜視図。
【図１２】Ｙ軸のリンク機構部を説明するための斜視図。
【図１３】Ｙ軸のリンク機構部を説明するための斜視図。
【図１４】Ｚ軸のリンク機構部を説明するための斜視図。
【図１５】Ｚ軸のリンク機構部を説明するための斜視図。
【図１６】（ａ）及び（ｂ）はステージにカバー部材が装着されたステージ移動装置を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、ステージ移動装置を具体化した一実施形態を図１〜図１６にしたがって説明する。なお、以下の説明において、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向のうち、Ｚ軸方向を重力方向とする。
【００２１】
図１及び図２に示すように、ステージ移動装置１０は、ステージ１１と、設置部１５と、を備えている。ステージ１１は、平板状の第１板部１３ａ、第２板部１３ｂ、及び第３板部１３ｃからなる。第１板部１３ａは、ＸＹ平面に沿って延びるとともに、Ｚ軸方向から平面視すると、四角板状である。第２板部１３ｂは、ＹＺ平面に沿って延びるとともに、Ｘ軸方向から平面視すると、四角板状である。第２板部１３ｂは、第１板部１３ａにおけるＸ軸方向に位置する両側縁の一方に連続している。第３板部１３ｃは、ＸＺ平面に沿って延びるとともに、Ｙ軸方向から平面視すると、四角板状である。第３板部１３ｃは、第１板部１３ａにおけるＹ軸方向に位置する両側縁の一方に連続している。第２板部１３ｂにおけるＹ軸方向に位置する両側縁の一方は、第３板部１３ｃにおけるＸ軸方向に位置する両側縁の一方に連続している。第１板部１３ａ、第２板部１３ｂ、及び第３板部１３ｃには、複数の貫通孔１４が形成されており、ステージ１１全体としての軽量化が図られている。
【００２２】
ステージ移動装置１０は、３つのリンク機構部２０，３０，４０が同時に一つのステージ１１に接続されて、３つのリンク機構部２０，３０，４０が協働することにより動作するパラレルリンク機構ＰＬを用いている。ステージ移動装置１０は、３つのリンク機構部２０，３０，４０を用いて、ステージ１１におけるＺ軸回り、Ｘ軸回り及びＹ軸回りの回転がそれぞれ規制された状態で、ステージ１１の姿勢を一定な状態に維持しながら、所定の移動範囲内において移動可能に支持している。
【００２３】
図３及び図４に示すように、各リンク機構部２０，３０，４０は、駆動源である減速機付きステッピングモータ２１，３１，４１を有している。なお、駆動源としては、減速機付きステッピングモータ２１，３１，４１に限定されるものではなく、ステッピングモータに限定されるものでもない。なお、以下の説明では、単に「ステッピングモータ２１，３１，４１」と記載する。
【００２４】
各ステッピングモータ２１，３１，４１は長四角柱状である。各ステッピングモータ２１，３１，４１の駆動軸２２，３２，４２は、各ステッピングモータ２１，３１，４１の長手方向に延びている。各駆動軸２２，３２，４２の両端部は、各ステッピングモータ２１，３１，４１の長手方向に位置する両端面から突出している。
【００２５】
ステージ移動装置１０は、隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のステッピングモータ２１，３１，４１の各駆動軸２２，３２，４２のなす角度が９０度となるように各ステッピングモータ２１，３１，４１を集積配置する駆動源ベース５０を備えている。設置部１５は、駆動源ベース５０を支持する。
【００２６】
図５及び図６に示すように、駆動源ベース５０は、直方体形状のブロック体５１を備えている。ブロック体５１は、ＸＹ平面に沿って延びる一対の外面５１ａ，５１ｂを有している。ブロック体５１は、ＹＺ平面に沿って延びる一対の外面５１ｃ，５１ｄを有している。ブロック体５１は、ＸＺ平面に沿って延びる一対の外面５１ｅ，５１ｆを有している。本実施形態のブロック体５１は、６つの外面５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ，５１ｅ，５１ｆが全て正方形である立方体形状である。ブロック体５１は、一対の外面５１ａ，５１ｂのうちの一方の外面５１ａが重力方向の上側に位置するとともに、一対の外面５１ａ，５１ｂのうちの５１ｂが重力方向の下側に位置するように設置部１５に対して設けられている。
【００２７】
駆動源ベース５０は、Ｘ軸モータ用ブラケット５２、Ｙ軸モータ用ブラケット５３、及びＺ軸モータ用ブラケット５４を備えている。Ｘ軸モータ用ブラケット５２、Ｙ軸モータ用ブラケット５３、及びＺ軸モータ用ブラケット５４は平板状である。
【００２８】
Ｘ軸モータ用ブラケット５２は、一対の外面５１ｅ，５１ｆのうちの一方の外面５１ｅに取り付けられる取付部５２ａを有している。取付部５２ａは、平板状であるとともに、外面５１ｅに対してＹ軸方向に重なった状態で取り付けられている。
【００２９】
Ｘ軸モータ用ブラケット５２は、ステッピングモータ２１が固定されるフランジ部５２ｂを有している。フランジ部５２ｂは、取付部５２ａに連続する平板状であり、外面５１ａにおける外面５１ｅ側の縁部から外面５１ａに対して垂直方向に延在している。フランジ部５２ｂには貫通孔５２ｃが形成されている。
【００３０】
Ｙ軸モータ用ブラケット５３は、外面５１ｂに取り付けられる取付部５３ａを有している。取付部５３ａは、平板状であるとともに、外面５１ｂに対してＺ軸方向に重なった状態で取り付けられている。
【００３１】
Ｙ軸モータ用ブラケット５３は、ステッピングモータ３１が固定されるフランジ部５３ｂを有している。フランジ部５３ｂは、取付部５３ａに連続する平板状であり、一対の外面５１ｃ，５１ｄのうちの一方の外面５１ｃにおける外面５１ｂ側の縁部から外面５１ｃに対して垂直方向に延在している。フランジ部５３ｂには貫通孔５３ｃが形成されている。
【００３２】
Ｚ軸モータ用ブラケット５４は、一対の外面５１ｃ，５１ｄのうちの他方の外面５１ｄに取り付けられる取付部５４ａを有している。取付部５４ａは、平板状であるとともに、外面５１ｄに対してＸ軸方向に重なった状態で取り付けられている。
【００３３】
Ｚ軸モータ用ブラケット５４は、ステッピングモータ４１が固定されるフランジ部５４ｂを有している。フランジ部５４ｂは、取付部５４ａに連続する平板状であり、一対の外面５１ｅ，５１ｆのうちの他方の外面５１ｆにおける外面５１ｄ側の縁部から外面５１ｆに対して垂直方向に延在している。フランジ部５４ｂには貫通孔５４ｃが形成されている。
【００３４】
よって、駆動源ベース５０は、ブロック体５１の３つの外面５１ａ，５１ｃ，５１ｆの縁部から外面５１ａ，５１ｃ，５１ｆに対して垂直方向にそれぞれ延在するフランジ部５２ｂ，５３ｂ，５４ｂを有している。そして、各ステッピングモータ２１，３１，４１は、各フランジ部５２ｂ，５３ｂ，５４ｂに固定されている。
【００３５】
図４に示すように、ステッピングモータ２１は、フランジ部５２ｂに固定された状態において、ステッピングモータ２１の長手方向がＹ軸方向に一致している。そして、ステッピングモータ２１は、ブロック体５１の外面５１ａに隣り合っており、ブロック体５１の外面５１ａに対向する対向面２１ａを有している。ステッピングモータ２１の長手方向に位置する両端面の一方は、フランジ部５２ｂにおけるブロック体５１側の面に接触している。駆動軸２２におけるフランジ部５２ｂ側の端部は、貫通孔５２ｃを通過してフランジ部５２ｂから突出している。
【００３６】
ステッピングモータ３１は、フランジ部５３ｂに固定された状態において、ステッピングモータ３１の長手方向がＺ軸方向に一致している。そして、ステッピングモータ３１は、ブロック体５１の外面５１ｃに隣り合っており、ブロック体５１の外面５１ｃに対向する対向面３１ａを有している。ステッピングモータ３１の長手方向に位置する両端面の一方は、フランジ部５３ｂにおけるブロック体５１側の面に接触している。駆動軸３２におけるフランジ部５３ｂ側の端部は、貫通孔５３ｃを通過してフランジ部５３ｂから突出している。
【００３７】
ステッピングモータ４１は、フランジ部５４ｂに固定された状態において、ステッピングモータ４１の長手方向がＸ軸方向に一致している。そして、ステッピングモータ４１は、ブロック体５１の外面５１ｆに隣り合っており、ブロック体５１の外面５１ｆに対向する対向面４１ａを有している。ステッピングモータ４１の長手方向に位置する両端面の一方は、フランジ部５４ｂにおけるブロック体５１側の面に接触している。駆動軸４２におけるフランジ部５４ｂ側の端部は、貫通孔５４ｃを通過してフランジ部５４ｂから突出している。このように、各ステッピングモータ２１，３１，４１は、ブロック体５１の互いに垂直な３つの外面５１ａ，５１ｃ，５１ｆにそれぞれ隣り合っている。
【００３８】
図１に示すように、設置部１５は、モータ１５ａと、支持台座１６と、回転軸１７（支柱）と、を有している。モータ１５ａは、例えば、ダイレクトドライブモータである。モータ１５ａは、支持台座１６及び回転軸１７を、回転軸１７の軸線を回転中心として回転させる。なお、図２以降では、モータ１５ａの図示を省略している。
【００３９】
図２に示すように、支持台座１６は、円板状である。支持台座１６には、回転軸１７を支持台座１６に対して取り付ける際に用いられるボルトが挿通される螺子挿通孔１６ａが二つ形成されている。そして、回転軸１７は、各螺子挿通孔１６ａに挿通された各ボルトが回転軸１７にねじ込まれることにより、支持台座１６に取り付けられる。回転軸１７は、支持台座１６の中央部から突出している。
【００４０】
支持台座１６の中央部には、貫通孔１６ｂが形成されている。また、図１に示すように、回転軸１７の外周面には、貫通孔１７ｈが形成されている。さらに、回転軸１７の中央部には、支持台座１６の貫通孔１６ｂと回転軸１７の貫通孔１７ｈとを連通するとともに回転軸１７の軸線方向に延びる図示しない連通孔が形成されている。そして、支持台座１６の貫通孔１６ｂ、回転軸１７の連通孔及び貫通孔１７ｈには、図示しないモータ配線が通過する。
【００４１】
図６に示すように、回転軸１７は、支持台座１６から突出する大径軸１７１と、大径軸１７１における支持台座１６とは反対側の端面に連続するとともに大径軸１７１よりも外径が小さい小径軸１７２と、を有している。
【００４２】
ブロック体５１の外面５１ｂには、円孔状の凹部５１ｈが形成されている。回転軸１７の小径軸１７２は、ブロック体５１の凹部５１ｈに挿入される。回転軸１７の小径軸１７２の先端面には、雌ねじ孔１８ｇが二つ形成されている。また、大径軸１７１における支持台座１６とは反対側の端面は、ブロック体５１の外面５１ｂに平行な設置面１８になっている。よって、設置部１５は、ブロック体５１における３つの外面５１ａ，５１ｃ，５１ｆとは異なる外面５１ｂに平行な設置面１８を有している。回転軸１７の小径軸１７２は、設置面１８に対して直交する方向に延びている。
【００４３】
Ｙ軸モータ用ブラケット５３の取付部５３ａには、貫通孔５３ｈが形成されている。回転軸１７の小径軸１７２は、貫通孔５３ｈを通過して凹部５１ｈに挿入され、ブロック体５１を貫通する螺子１８ｋが雌ねじ孔１８ｇにねじ込まれることにより、回転軸１７とブロック体５１とが互いに組み付けられている。設置面１８は、Ｙ軸モータ用ブラケット５３の取付部５３ａの外面において、貫通孔５３ｈの周囲に面接触している。
【００４４】
図７に示すように、リンク機構部２０は、駆動軸２２に連結される一対のアームとしての第１のＸ軸アーム２３及び第２のＸ軸アーム２４を有している。第１のＸ軸アーム２３及び第２のＸ軸アーム２４は、駆動軸２２の両端部に支持されている。第１のＸ軸アーム２３は、一対のアームの一方であり、第２のＸ軸アーム２４は、一対のアームの他方である。なお、以下の説明では、説明の便宜上、第１のＸ軸アーム２３及び第２のＸ軸アーム２４を、単に、「アーム２３，２４」と記載することもある。
【００４５】
第１のＸ軸アーム２３及び第２のＸ軸アーム２４は、一端部から他端部にかけて直線状に延びる細長平板状である。第１のＸ軸アーム２３及び第２のＸ軸アーム２４は、駆動軸２２から駆動源ベース５０のブロック体５１とは反対側に延びている。
【００４６】
図８、図９及び図１０に示すように、第１のＸ軸アーム２３の一端部には、駆動軸２２の一端部２２ａが挿通される円孔状の挿通孔２３ａが形成されている。第１のＸ軸アーム２３は、螺子部材２５ａによって駆動軸２２の一端部２２ａに固定されている。また、第１のＸ軸アーム２３の他端部には、円孔状の挿通孔２３ｂが形成されている。
【００４７】
第２のＸ軸アーム２４の一端部には、駆動軸２２の他端部２２ｂが挿通される円孔状の挿通孔２４ａが形成されている。第２のＸ軸アーム２４は、駆動軸２２の他端部２２ｂに対して軸受２５ｂを介して回転が許容された状態で支持されている。軸受２５ｂは、例えば、玉軸受である。また、第２のＸ軸アーム２４の他端部には、円孔状の挿通孔２４ｂが形成されている。第１のＸ軸アーム２３における両挿通孔２３ａ，２３ｂの軸間距離と第２のＸ軸アーム２４における両挿通孔２４ａ，２４ｂの軸間距離とは同じである。
【００４８】
図１０に示すように、駆動軸２２は、高速側シャフトＳＨ１と、高速側シャフトＳＨ１の回転が減速機Ｇ１によって減速された状態で伝達される低速側シャフトＳＨ２と、を含む。そして、駆動軸２２の一端部２２ａは、低速側シャフトＳＨ２の端部であり、駆動軸２２の他端部２２ｂは、高速側シャフトＳＨ１の端部である。
【００４９】
図８、図９及び図１０に示すように、リンク機構部２０は、第１のＸ軸アーム２３と第２のＸ軸アーム２４とを連結する細長平板状の連結部２５ｃを有している。連結部２５ｃは、第１のＸ軸アーム２３と第２のＸ軸アーム２４との間でＹ軸方向に延びている。連結部２５ｃの一端部は、第１のＸ軸アーム２３の二つの挿通孔２３ａ，２３ｂの間に対して螺子２５ｄによって取り付けられている。連結部２５ｃの他端部は、第２のＸ軸アーム２４の二つの挿通孔２４ａ，２４ｂの間に対して螺子２５ｅによって取り付けられている。第１のＸ軸アーム２３及び第２のＸ軸アーム２４は、連結部２５ｃを介して互いに連結されていることにより、Ｙ軸方向に所定の間隔を置いた状態で同じ揺動角度を維持する。
【００５０】
リンク機構部２０は、ステッピングモータ２１により駆動されるリンク２０Ａを有している。リンク２０Ａは、互いに対向配置される第１揺動軸２６及び第２揺動軸２７と、互いに対向配置される伝達軸としての第１伝達軸２８及び第２伝達軸２９と、から構成されている。第１揺動軸２６及び第２揺動軸２７の長さは同じである。第１伝達軸２８及び第２伝達軸２９の長さは同じである。
【００５１】
第１揺動軸２６は、第１のＸ軸アーム２３及び第２のＸ軸アーム２４における駆動軸２２とは反対側の端部に揺動可能に１自由度で固定される揺動軸である。第１揺動軸２６は、Ｙ軸方向に延びている。第１揺動軸２６は、各挿通孔２３ｂ，２４ｂに挿通されている。第１揺動軸２６と各挿通孔２３ｂ，２４ｂとの間には、軸受２６ａがそれぞれ設けられており、第１揺動軸２６を回転可能に保持する。軸受２６ａは、例えば、玉軸受である。
【００５２】
第１揺動軸２６の一端部は、挿通孔２３ｂを通過して第１のＸ軸アーム２３に対して第２のＸ軸アーム２４とは反対側に突出している。第１揺動軸２６の一端部は、一対の平面部２６ｂを有する二面幅形状になっている。第１揺動軸２６の他端部は、挿通孔２４ｂを通過して第２のＸ軸アーム２４に対して第１のＸ軸アーム２３とは反対側に突出している。第１揺動軸２６の他端部は、一対の平面部２６ｃを有する二面幅形状になっている。
【００５３】
一対の平面部２６ｂの一方の面と一対の平面部２６ｃの一方の面とは同一平面上に位置している。一対の平面部２６ｂの他方の面と一対の平面部２６ｃの他方の面とは同一平面上に位置している。
【００５４】
第１伝達軸２８は、両端部にそれぞれ設けられる第１接続部２８ａ及び第２接続部２８ｂを有している。第１接続部２８ａは、二股に分かれた一対の平板部２８１ａを有している。第２接続部２８ｂは、二股に分かれた一対の平板部２８１ｂを有している。
【００５５】
第１接続部２８ａは、一対の平板部２８１ａの一方が一対の平面部２６ｂの一方に面接触するとともに、一対の平板部２８１ａの他方が一対の平面部２６ｂの他方に面接触した状態で、第１揺動軸２６の一端部を挟み込んで回転可能な状態で保持している。そして、第１伝達軸２８は、一対の平面部２６ｂの平面内で、第１揺動軸２６の一端部に対して揺動可能になっている。つまり、第１伝達軸２８は、第１揺動軸２６の一端部に対して、一対の平面部２６ｂの平面内で揺動可能である１自由度の継手で接続されている。第１伝達軸２８は、第１揺動軸２６の一端部からＸ軸方向に一致可能に延びている。
【００５６】
第２伝達軸２９は、両端部にそれぞれ設けられる第１接続部２９ａ及び第２接続部２９ｂを有している。第１接続部２９ａは、二股に分かれた一対の平板部２９１ａを有している。第２接続部２９ｂは、二股に分かれた一対の平板部２９１ｂを有している。
【００５７】
第１接続部２９ａは、一対の平板部２９１ａの一方が一対の平面部２６ｃの一方に面接触するとともに、一対の平板部２９１ａの他方が一対の平面部２６ｃの他方に面接触した状態で、第１揺動軸２６の他端部を挟み込んで回転可能な状態で保持している。そして、第２伝達軸２９は、一対の平面部２６ｃの平面内で、第１揺動軸２６の他端部に対して揺動可能になっている。つまり、第２伝達軸２９は、第１揺動軸２６の他端部に対して、一対の平面部２６ｃの平面内で揺動可能である１自由度の継手で接続されている。第２伝達軸２９は、第１揺動軸２６の他端部からＸ軸方向に一致可能に延びている。
【００５８】
第２揺動軸２７には、第２板部１３ｂの内表面に取り付けられる一対の取付部２７１が設けられている。一対の取付部２７１には、貫通孔２７２がそれぞれ形成されている。第２揺動軸２７は、各貫通孔２７２を介して各取付部２７１を貫通している。図８及び図１０に示すように、第２揺動軸２７と各貫通孔２７２との間には軸受２７３がそれぞれ設けられている。第２揺動軸２７は、軸受２７３を介して第２板部１３ｂに取り付けられた一対の取付部２７１に回転可能に支持されている。
【００５９】
第２揺動軸２７の一端部は、一対の平面部２７ａを有する二面幅形状になっている。第２揺動軸２７の他端部は、一対の平面部２７ｂを有する二面幅形状になっている。一対の平面部２７ａの一方の面と一対の平面部２７ｂの一方の面とは同一平面上に位置している。一対の平面部２７ａの他方の面と一対の平面部２７ｂの他方の面とは同一平面上に位置している。
【００６０】
第１伝達軸２８の第２接続部２８ｂは、一対の平板部２８１ｂの一方が一対の平面部２７ａの一方に面接触するとともに、一対の平板部２８１ｂの他方が一対の平面部２７ａの他方に面接触した状態で、第２揺動軸２７の一端部を挟み込んで回転可能な状態で保持している。そして、第１伝達軸２８は、一対の平面部２７ａの平面内で、第２揺動軸２７の一端部に対して揺動可能になっている。つまり、第１伝達軸２８は、第２揺動軸２７の一端部に対して、一対の平面部２７ａの平面内で揺動可能である１自由度の継手で接続されている。
【００６１】
第２伝達軸２９の第２接続部２９ｂは、一対の平板部２９１ｂの一方が一対の平面部２７ｂの一方に面接触するとともに、一対の平板部２９１ｂの他方が一対の平面部２７ｂの他方に面接触した状態で、第２揺動軸２７の他端部を挟み込んで回転可能な状態で保持している。そして、第２伝達軸２９は、一対の平面部２７ｂの平面内で、第２揺動軸２７の他端部に対して揺動可能になっている。つまり、第２伝達軸２９は、第２揺動軸２７の他端部に対して、一対の平面部２７ｂの平面内で揺動可能である１自由度の継手で接続されている。
【００６２】
第２揺動軸２７は、第１伝達軸２８及び第２伝達軸２９における第１揺動軸２６とは反対側の端部同士を接続する揺動軸である。第１揺動軸２６と第２揺動軸２７とは互いに平行にＹ軸方向に延びている。第１伝達軸２８及び第２伝達軸２９は、第１揺動軸２６及び第２揺動軸２７を介して互いに連結されていることにより、Ｙ軸方向に所定の間隔を置いた状態で互いに平行になっている。
【００６３】
第１揺動軸２６、第２揺動軸２７、第１伝達軸２８、及び第２伝達軸２９により構成されるリンク２０Ａは、Ｚ軸方向から平面視すると、平行四辺形（長方形）を構成している。リンク２０Ａは、第１のＸ軸アーム２３及び第２のＸ軸アーム２４とステージ１１とを連結している。リンク２０Ａは、一対の取付部２７１が第２板部１３ｂに取り付けられることにより、ステージ１１をＸ軸方向から支持している。
【００６４】
図１１に示すように、リンク機構部３０は、駆動軸３２に連結される一対のアームとしての第１のＹ軸アーム３３及び第２のＹ軸アーム３４を有している。第１のＹ軸アーム３３及び第２のＹ軸アーム３４は、駆動軸３２の両端部に支持されている。第１のＹ軸アーム３３は、一対のアームの一方であり、第２のＹ軸アーム３４は、一対のアームの他方である。なお、以下の説明では、説明の便宜上、第１のＹ軸アーム３３及び第２のＹ軸アーム３４を、単に、「アーム３３，３４」と記載することもある。
【００６５】
第１のＹ軸アーム３３及び第２のＹ軸アーム３４は、一端部から他端部にかけて直線状に延びる細長平板状である。第１のＹ軸アーム３３及び第２のＹ軸アーム３４は、駆動軸３２から駆動源ベース５０のブロック体５１とは反対側に延びている。
【００６６】
図１２に示すように、第１のＹ軸アーム３３の一端部には、駆動軸３２の一端部３２ａが挿通される円孔状の挿通孔３３ａが形成されている。第１のＹ軸アーム３３は、螺子部材３５ａによって駆動軸３２の一端部３２ａに固定されている。また、第１のＹ軸アーム３３の他端部には、円孔状の挿通孔３３ｂが形成されている。
【００６７】
図１３に示すように、第２のＹ軸アーム３４の一端部には、駆動軸３２の他端部３２ｂが挿通される円孔状の挿通孔３４ａが形成されている。第２のＹ軸アーム３４は、駆動軸３２の他端部３２ｂに対して軸受３５ｂを介して回転が許容された状態で支持されている。軸受３５ｂは、例えば、玉軸受である。また、図１１及び図１３に示すように、第２のＹ軸アーム３４の他端部には、円孔状の挿通孔３４ｂが形成されている。第１のＹ軸アーム３３における両挿通孔３３ａ，３３ｂの軸間距離と第２のＹ軸アーム３４における両挿通孔３４ａ，３４ｂの軸間距離とは同じである。
【００６８】
なお、駆動軸３２も、駆動軸２２と同様に、高速側シャフトＳＨ１と、高速側シャフトＳＨ１の回転が減速機Ｇ１によって減速された状態で伝達される低速側シャフトＳＨ２と、を含む。そして、駆動軸３２の一端部３２ａは、低速側シャフトＳＨ２の端部であり、駆動軸３２の他端部３２ｂは、高速側シャフトＳＨ１の端部である。
【００６９】
リンク機構部３０は、第１のＹ軸アーム３３と第２のＹ軸アーム３４とを連結する細長平板状の連結部３５ｃを有している。連結部３５ｃは、第１のＹ軸アーム３３と第２のＹ軸アーム３４との間でＺ軸方向に延びている。図１１に示すように、連結部３５ｃの一端部は、第１のＹ軸アーム３３の二つの挿通孔３３ａ，３３ｂの間に対して螺子３５ｄによって取り付けられている。図１３に示すように、連結部３５ｃの他端部は、第２のＹ軸アーム３４の二つの挿通孔３４ａ，３４ｂの間に対して螺子３５ｅによって取り付けられている。第１のＹ軸アーム３３及び第２のＹ軸アーム３４は、連結部３５ｃを介して互いに連結されていることにより、Ｚ軸方向に所定の間隔を置いた状態で同じ揺動角度を維持する。
【００７０】
リンク機構部３０は、ステッピングモータ３１により駆動されるリンク３０Ａを有している。リンク３０Ａは、互いに対向配置される第１揺動軸３６及び第２揺動軸３７と、互いに対向配置される伝達軸としての第１伝達軸３８及び第２伝達軸３９と、から構成されている。第１揺動軸３６及び第２揺動軸３７の長さは同じである。第１伝達軸３８及び第２伝達軸３９の長さは同じである。
【００７１】
第１揺動軸３６は、第１のＹ軸アーム３３及び第２のＹ軸アーム３４における駆動軸３２とは反対側の端部に揺動可能に１自由度で固定される揺動軸である。第１揺動軸３６は、Ｚ軸方向に延びている。第１揺動軸３６は、各挿通孔３３ｂ，３４ｂに挿通されている。第１揺動軸３６と各挿通孔３３ｂ，３４ｂとの間には、軸受３６ａがそれぞれ設けられており、第１揺動軸３６を回転可能に保持する。軸受３６ａは、例えば、玉軸受である。
【００７２】
第１揺動軸３６の一端部は、挿通孔３３ｂを通過して第１のＹ軸アーム３３に対して第２のＹ軸アーム３４とは反対側に突出している。第１揺動軸３６の一端部は、一対の平面部３６ｂを有する二面幅形状になっている。第１揺動軸３６の他端部は、挿通孔３４ｂを通過して第２のＹ軸アーム３４に対して第１のＹ軸アーム３３とは反対側に突出している。第１揺動軸３６の他端部は、一対の平面部３６ｃを有する二面幅形状になっている。
【００７３】
一対の平面部３６ｂの一方の面と一対の平面部３６ｃの一方の面とは同一平面上に位置している。一対の平面部３６ｂの他方の面と一対の平面部３６ｃの他方の面とは同一平面上に位置している。
【００７４】
第１伝達軸３８は、両端部にそれぞれ設けられる第１接続部３８ａ及び第２接続部３８ｂを有している。第１接続部３８ａは、二股に分かれた一対の平板部３８１ａを有している。第２接続部３８ｂは、二股に分かれた一対の平板部３８１ｂを有している。
【００７５】
第１接続部３８ａは、一対の平板部３８１ａの一方が一対の平面部３６ｂの一方に面接触するとともに、一対の平板部３８１ａの他方が一対の平面部３６ｂの他方に面接触した状態で、第１揺動軸３６の一端部を挟み込んで回転可能な状態で保持している。そして、第１伝達軸３８は、一対の平面部３６ｂの平面内で、第１揺動軸３６の一端部に対して揺動可能になっている。つまり、第１伝達軸３８は、第１揺動軸３６の一端部に対して、一対の平面部３６ｂの平面内で揺動可能である１自由度の継手で接続されている。第１伝達軸３８は、第１揺動軸３６の一端部からＹ軸方向に一致可能に延びている。
【００７６】
第２伝達軸３９は、両端部にそれぞれ設けられる第１接続部３９ａ及び第２接続部３９ｂを有している。第１接続部３９ａは、二股に分かれた一対の平板部３９１ａを有している。第２接続部３９ｂは、二股に分かれた一対の平板部３９１ｂを有している。
【００７７】
第１接続部３９ａは、一対の平板部３９１ａの一方が一対の平面部３６ｃの一方に面接触するとともに、一対の平板部３９１ａの他方が一対の平面部３６ｃの他方に面接触した状態で、第１揺動軸３６の他端部を挟み込んで回転可能な状態で保持している。そして、第２伝達軸３９は、一対の平面部３６ｃの平面内で、第１揺動軸３６の他端部に対して揺動可能になっている。つまり、第２伝達軸３９は、第１揺動軸３６の他端部に対して、一対の平面部３６ｃの平面内で揺動可能である１自由度の継手で接続されている。第２伝達軸３９は、第１揺動軸３６の他端部からＹ軸方向に一致可能に延びている。
【００７８】
第２揺動軸３７には、第３板部１３ｃの内表面に取り付けられる一対の取付部３７１が設けられている。一対の取付部３７１には、貫通孔３７２がそれぞれ形成されている。第２揺動軸３７は、各貫通孔３７２を介して各取付部３７１を貫通している。図１１及び図１３に示すように、第２揺動軸３７と各貫通孔３７２との間には軸受３７３がそれぞれ設けられている。第２揺動軸３７は、軸受３７３を介して第３板部１３ｃに取り付けられた一対の取付部３７１に回転可能に支持されている。
【００７９】
第２揺動軸３７の一端部は、一対の平面部３７ａを有する二面幅形状になっている。第２揺動軸３７の他端部は、一対の平面部３７ｂを有する二面幅形状になっている。一対の平面部３７ａの一方の面と一対の平面部３７ｂの一方の面とは同一平面上に位置している。一対の平面部３７ａの他方の面と一対の平面部３７ｂの他方の面とは同一平面上に位置している。
【００８０】
第１伝達軸３８の第２接続部３８ｂは、一対の平板部３８１ｂの一方が一対の平面部３７ａの一方に面接触するとともに、一対の平板部３８１ｂの他方が一対の平面部３７ａの他方に面接触した状態で、第２揺動軸３７の一端部を挟み込んで回転可能な状態で保持している。そして、第１伝達軸３８は、一対の平面部３７ａの平面内で、第２揺動軸３７の一端部に対して揺動可能になっている。つまり、第１伝達軸３８は、第２揺動軸３７の一端部に対して、一対の平面部３７ａの平面内で揺動可能である１自由度の継手で接続されている。
【００８１】
第２伝達軸３９の第２接続部３９ｂは、一対の平板部３９１ｂの一方が一対の平面部３７ｂの一方に面接触するとともに、一対の平板部３９１ｂの他方が一対の平面部３７ｂの他方に面接触した状態で、第２揺動軸３７の他端部を挟み込んで回転可能な状態で保持している。そして、第２伝達軸３９は、一対の平面部３７ｂの平面内で、第２揺動軸３７の他端部に対して揺動可能になっている。つまり、第２伝達軸３９は、第２揺動軸３７の他端部に対して、一対の平面部３７ｂの平面内で揺動可能である１自由度の継手で接続されている。
【００８２】
第２揺動軸３７は、第１伝達軸３８及び第２伝達軸３９における第１揺動軸３６とは反対側の端部同士を接続する揺動軸である。第１揺動軸３６と第２揺動軸３７とは互いに平行にＺ軸方向に延びている。第１伝達軸３８及び第２伝達軸３９は、第１揺動軸３６及び第２揺動軸３７を介して互いに連結されていることにより、Ｚ軸方向に所定の間隔を置いた状態で互いに平行になっている。
【００８３】
第１揺動軸３６、第２揺動軸３７、第１伝達軸３８、及び第２伝達軸３９により構成されるリンク３０Ａは、Ｘ軸方向から平面視すると、平行四辺形（長方形）を構成している。リンク３０Ａは、第１のＹ軸アーム３３及び第２のＹ軸アーム３４とステージ１１とを連結している。リンク３０Ａは、一対の取付部３７１が第３板部１３ｃに取り付けられることにより、ステージ１１をＹ軸方向から支持している。
【００８４】
図１４に示すように、リンク機構部４０は、駆動軸４２に連結される一対のアームとしての第１のＺ軸アーム４３及び第２のＺ軸アーム４４を有している。第１のＺ軸アーム４３及び第２のＺ軸アーム４４は、駆動軸４２の両端部に支持されている。第１のＺ軸アーム４３は、一対のアームの一方であり、第２のＺ軸アーム４４は、一対のアームの他方である。なお、以下の説明では、説明の便宜上、第１のＺ軸アーム４３及び第２のＺ軸アーム４４を、単に、「アーム４３，４４」と記載することもある。
【００８５】
第１のＺ軸アーム４３及び第２のＺ軸アーム４４は、一端部から他端部にかけて直線状に延びる細長平板状である。第１のＺ軸アーム４３における長手方向の長さは、第２のＺ軸アーム４４における長手方向の長さよりも長くなっている。第１のＺ軸アーム４３及び第２のＺ軸アーム４４は、駆動軸４２から駆動源ベース５０のブロック体５１とは反対側に延びている。
【００８６】
第１のＺ軸アーム４３の長手方向の一端部と他端部との間には、駆動軸４２の一端部４２ａが挿通される円孔状の挿通孔４３ａが形成されている。第１のＺ軸アーム４３は、螺子部材４５ａによって駆動軸４２の一端部４２ａに固定されている。また、第１のＺ軸アーム４３の他端部には、円孔状の挿通孔４３ｂが形成されている。
【００８７】
図１５に示すように、第２のＺ軸アーム４４の一端部には、駆動軸４２の他端部４２ｂが挿通される円孔状の挿通孔４４ａが形成されている。第２のＺ軸アーム４４は、駆動軸４２の他端部４２ｂに対して軸受４５ｂを介して回転が許容された状態で支持されている。軸受４５ｂは、例えば、玉軸受である。また、第２のＺ軸アーム４４の他端部には、円孔状の挿通孔４４ｂが形成されている。
【００８８】
なお、駆動軸４２も、駆動軸２２，３２と同様に、高速側シャフトＳＨ１と、高速側シャフトＳＨ１の回転が減速機Ｇ１によって減速された状態で伝達される低速側シャフトＳＨ２と、を含む。そして、駆動軸４２の一端部４２ａは、低速側シャフトＳＨ２の端部であり、駆動軸４２の他端部４２ｂは、高速側シャフトＳＨ１の端部である。
【００８９】
図１４及び図１５に示すように、リンク機構部４０は、第１のＺ軸アーム４３と第２のＺ軸アーム４４とを連結する細長平板状の連結部４５ｃを有している。連結部４５ｃは、第１のＺ軸アーム４３と第２のＺ軸アーム４４との間でＸ軸方向に延びている。図１４に示すように、連結部４５ｃの一端部は、第１のＺ軸アーム４３の二つの挿通孔４３ａ，４３ｂの間に対して螺子４５ｄによって取り付けられている。図１５に示すように、連結部４５ｃの他端部は、第２のＺ軸アーム４４の二つの挿通孔４４ａ，４４ｂの間に対して螺子４５ｅによって取り付けられている。第１のＺ軸アーム４３及び第２のＺ軸アーム４４は、連結部４５ｃを介して互いに連結されていることにより、Ｘ軸方向に所定の間隔を置いた状態で同じ揺動角度を維持する。
【００９０】
リンク機構部４０は、ステッピングモータ４１により駆動されるリンク４０Ａを有している。リンク４０Ａは、互いに対向配置される第１揺動軸４６及び第２揺動軸４７と、互いに対向配置される伝達軸としての第１伝達軸４８及び第２伝達軸４９と、から構成されている。第１揺動軸４６及び第２揺動軸４７の長さは同じである。第１伝達軸４８及び第２伝達軸４９の長さは同じである。
【００９１】
第１揺動軸４６は、第１のＺ軸アーム４３及び第２のＺ軸アーム４４における駆動軸４２とは反対側の端部に揺動可能に１自由度で固定される揺動軸である。第１揺動軸４６は、Ｘ軸方向に延びている。第１揺動軸４６は、各挿通孔４３ｂ，４４ｂに挿通されている。第１揺動軸４６と各挿通孔４３ｂ，４４ｂとの間には、軸受４６ａがそれぞれ設けられており、第１揺動軸４６を回転可能に保持する。軸受４６ａは、例えば、玉軸受である。
【００９２】
第１揺動軸４６の一端部は、挿通孔４３ｂを通過して第１のＺ軸アーム４３に対して第２のＺ軸アーム４４とは反対側に突出している。第１揺動軸４６の一端部は、一対の平面部４６ｂを有する二面幅形状になっている。第１揺動軸４６の他端部は、挿通孔４４ｂを通過して第２のＺ軸アーム４４に対して第１のＺ軸アーム４３とは反対側に突出している。第１揺動軸４６の他端部は、一対の平面部４６ｃを有する二面幅形状になっている。
【００９３】
一対の平面部４６ｂの一方の面と一対の平面部４６ｃの一方の面とは同一平面上に位置している。一対の平面部４６ｂの他方の面と一対の平面部４６ｃの他方の面とは同一平面上に位置している。
【００９４】
第１伝達軸４８は、両端部にそれぞれ設けられる第１接続部４８ａ及び第２接続部４８ｂを有している。第１接続部４８ａは、二股に分かれた一対の平板部４８１ａを有している。第２接続部４８ｂは、二股に分かれた一対の平板部４８１ｂを有している。
【００９５】
第１接続部４８ａは、一対の平板部４８１ａの一方が一対の平面部４６ｂの一方に面接触するとともに、一対の平板部４８１ａの他方が一対の平面部４６ｂの他方に面接触した状態で、第１揺動軸４６の一端部を挟み込んで回転可能な状態で保持している。そして、第１伝達軸４８は、一対の平面部４６ｂの平面内で、第１揺動軸４６の一端部に対して揺動可能になっている。つまり、第１伝達軸４８は、第１揺動軸４６の一端部に対して、一対の平面部４６ｂの平面内で揺動可能である１自由度の継手で接続されている。第１伝達軸４８は、第１揺動軸４６の一端部からＺ軸方向に一致可能に延びている。
【００９６】
第２伝達軸４９は、両端部にそれぞれ設けられる第１接続部４９ａ及び第２接続部４９ｂを有している。第１接続部４９ａは、二股に分かれた一対の平板部４９１ａを有している。第２接続部４９ｂは、二股に分かれた一対の平板部４９１ｂを有している。
【００９７】
第１接続部４９ａは、一対の平板部４９１ａの一方が一対の平面部４６ｃの一方に面接触するとともに、一対の平板部４９１ａの他方が一対の平面部４６ｃの他方に面接触した状態で、第１揺動軸４６の他端部を挟み込んで回転可能な状態で保持している。そして、第２伝達軸４９は、一対の平面部４６ｃの平面内で、第１揺動軸４６の他端部に対して揺動可能になっている。つまり、第２伝達軸４９は、第１揺動軸４６の他端部に対して、一対の平面部４６ｃの平面内で揺動可能である１自由度の継手で接続されている。第２伝達軸４９は、第１揺動軸４６の他端部からＺ軸方向に一致可能に延びている。
【００９８】
第２揺動軸４７には、第１板部１３ａの内表面に取り付けられる一対の取付部４７１が設けられている。一対の取付部４７１には、貫通孔４７２がそれぞれ形成されている。第２揺動軸４７は、各貫通孔４７２を介して各取付部４７１を貫通している。図１４及び図１５に示すように、第２揺動軸４７と各貫通孔４７２との間には軸受４７３がそれぞれ設けられている。第２揺動軸４７は、軸受４７３を介して第１板部１３ａに取り付けられた一対の取付部４７１に回転可能に支持されている。
【００９９】
第２揺動軸４７の一端部は、一対の平面部４７ａを有する二面幅形状になっている。第２揺動軸４７の他端部は、一対の平面部４７ｂを有する二面幅形状になっている。一対の平面部４７ａの一方の面と一対の平面部４７ｂの一方の面とは同一平面上に位置している。一対の平面部４７ａの他方の面と一対の平面部４７ｂの他方の面とは同一平面上に位置している。
【０１００】
第１伝達軸４８の第２接続部４８ｂは、一対の平板部４８１ｂの一方が一対の平面部４７ａの一方に面接触するとともに、一対の平板部４８１ｂの他方が一対の平面部４７ａの他方に面接触した状態で、第２揺動軸４７の一端部を挟み込んで回転可能な状態で保持している。そして、第１伝達軸４８は、一対の平面部４７ａの平面内で、第２揺動軸４７の一端部に対して揺動可能になっている。つまり、第１伝達軸４８は、第２揺動軸４７の一端部に対して、一対の平面部４７ａの平面内で揺動可能である１自由度の継手で接続されている。
【０１０１】
第２伝達軸４９の第２接続部４９ｂは、一対の平板部４９１ｂの一方が一対の平面部４７ｂの一方に面接触するとともに、一対の平板部４９１ｂの他方が一対の平面部４７ｂの他方に面接触した状態で、第２揺動軸４７の他端部を挟み込んで回転可能な状態で保持している。そして、第２伝達軸４９は、一対の平面部４７ｂの平面内で、第２揺動軸４７の他端部に対して揺動可能になっている。つまり、第２伝達軸４９は、第２揺動軸４７の他端部に対して、一対の平面部４７ｂの平面内で揺動可能である１自由度の継手で接続されている。
【０１０２】
第２揺動軸４７は、第１伝達軸４８及び第２伝達軸４９における第１揺動軸４６とは反対側の端部同士を接続する揺動軸である。第１揺動軸４６と第２揺動軸４７とは互いに平行にＸ軸方向に延びている。第１伝達軸４８及び第２伝達軸４９は、第１揺動軸４６及び第２揺動軸４７を介して互いに連結されていることにより、Ｘ軸方向に所定の間隔を置いた状態で互いに平行になっている。
【０１０３】
第１揺動軸４６、第２揺動軸４７、第１伝達軸４８、及び第２伝達軸４９により構成されるリンク４０Ａは、Ｙ軸方向から平面視すると、平行四辺形（長方形）を構成している。リンク４０Ａは、第１のＺ軸アーム４３及び第２のＺ軸アーム４４とステージ１１とを連結している。リンク４０Ａは、一対の取付部４７１が第１板部１３ａに取り付けられることにより、ステージ１１をＺ軸方向から支持している。
【０１０４】
第１のＺ軸アーム４３の一端部には、錘５５が設置されている。第１のＺ軸アーム４３の一端部は、第１のＺ軸アーム４３における第１揺動軸４６とは反対側の端部である。錘５５は、重力と釣り合うモーメントを作用させる。
【０１０５】
図１及び図２に示すように、３つのリンク機構部２０，３０，４０は、ステージ１１の移動範囲の中で、隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のリンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａのなす角度が９０度を取り得るように構成されている。
【０１０６】
ステージ１１の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のリンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａのなす角度が９０度をなすとき、リンク機構部２０は、第１のＸ軸アーム２３及び第２のＸ軸アーム２４とリンク２０Ａとがなす角度が９０度を取り得るように構成されている。第１揺動軸２６の長さ及び位置は、他のリンク３０Ａ，４０Ａが干渉しないように調整されている。第１揺動軸２６の長さ及び位置の調整は、駆動源ベース５０から離れる側で行われている。
【０１０７】
ステージ１１の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のリンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａのなす角度が９０度をなすとき、リンク機構部３０は、第１のＹ軸アーム３３及び第２のＹ軸アーム３４とリンク３０Ａとがなす角度が９０度を取り得るように構成されている。第１揺動軸３６の長さ及び位置は、他のリンク２０Ａ，４０Ａが干渉しないように調整されている。第１揺動軸３６の長さ及び位置の調整は、駆動源ベース５０から離れる側で行われている。
【０１０８】
ステージ１１の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のリンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａのなす角度が９０度をなすとき、リンク機構部４０は、第１のＺ軸アーム４３及び第２のＺ軸アーム４４とリンク４０Ａとがなす角度が９０度を取り得るように構成されている。第１揺動軸４６の長さ及び位置は、他のリンク２０Ａ，３０Ａが干渉しないように調整されている。第１揺動軸４６の長さ及び位置の調整は、駆動源ベース５０から離れる側で行われている。
【０１０９】
３つのリンク機構部２０，３０，４０の各リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａは、自身がステージ１１を支持するＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向とは異なる２方向から見たときに、自身以外の各リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａとそれぞれ交差するように、各アーム２３，２４，３３，３４，４３，４４から延びている。
【０１１０】
ステージ１１の第１板部１３ａは、設置面１８に平行な面を構成している。また、第１板部１３ａは、各駆動軸２２，４２に平行な面を構成している。さらに、第２板部１３ｂは、各駆動軸２２，３２に平行な面を構成している。また、第３板部１３ｃは、各駆動軸３２，４２に平行な面を構成している。よって、ステージ１１は、３つの駆動軸２２，３２，４２のうちの少なくとも一つに平行な面を構成している。本実施形態においては、ステージ１１は、各駆動軸２２，３２，４２にそれぞれ平行な面を構成している。
【０１１１】
図１６（ａ）及び（ｂ）に示すように、ステージ１１には、カバー部材１２が装着される。カバー部材１２は、ＸＹ平面に沿って延びる上面１２ａを有している。上面１２ａは、Ｚ軸方向から平面視すると、四角形状である。カバー部材１２は、上面１２ａにおけるＸ軸方向に位置する両側縁にそれぞれ連続するとともにＹＺ平面に沿って延びる一対の側面１２ｂ，１２ｃを有している。一対の側面１２ｂ，１２ｃは、Ｘ軸方向から平面視すると、四角形状である。カバー部材１２は、上面１２ａにおけるＹ軸方向に位置する両側縁にそれぞれ連続するとともにＸＺ平面に沿って延びる一対の側面１２ｄ，１２ｅを有している。一対の側面１２ｄ，１２ｅは、Ｙ軸方向から平面視すると、四角形状である。一対の側面１２ｂ，１２ｃにおけるＹ軸方向に位置する両側縁は、一対の側面１２ｄ，１２ｅにおけるＸ軸方向に位置する両側縁それぞれに連続している。カバー部材１２において、Ｚ軸方向で上面１２ａと対向する一面は開口している。よって、カバー部材１２は、一面が開口するとともに５つの外面を構成する四角箱状である。
【０１１２】
ステージ１１の第１板部１３ａにカバー部材１２の上面１２ａが取り付けられるとともに、ステージ１１の第２板部１３ｂにカバー部材１２の側面１２ｃが取り付けられ、ステージ１１の第３板部１３ｃにカバー部材１２の側面１２ｅが取り付けられることにより、カバー部材１２がステージ１１を覆った状態でステージ１１に取り付けられている。よって、ステージ１１は、カバー部材１２に収容されている。
【０１１３】
次に、本実施形態の作用について説明する。
ステージ移動装置１０において、図示しないコンピュータに対し、ステージ１１を移動させる位置情報が入力されると、その情報に応じた指令信号が図示しないコントローラから各ステッピングモータ２１，３１，４１へ出力される。すると、指令信号に基づいて、各駆動軸２２，３２，４２が回転し、各リンク機構部２０，３０，４０のアーム２３，２４，３３，３４，４３，４４がそれぞれ駆動軸２２，３２，４２に対して揺動する。
【０１１４】
そして、アーム２３，２４，３３，３４，４３，４４の揺動に連動して、各リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａが、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ移動する。その結果、ステージ１１は、Ｘ軸回り、Ｙ軸回り及びＺ軸回りの回転がそれぞれ規制された状態で、ステージ１１の姿勢を一定な状態に維持しながらＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向へ移動する。このステージ１１の移動に伴って、図１６（ａ）及び（ｂ）に示すように、カバー部材１２に載置されたワークＷ１がステージ１１と一体的に移動する。
【０１１５】
また、ステージ移動装置１０は、図示しないコンピュータに対し、ステージ１１を移動させる位置情報が入力されると、その情報に応じた指令信号が図示しないコントローラからモータ１５ａへ出力される。すると、指令信号に基づいて、モータ１５ａが駆動して、支持台座１６及び回転軸１７が回転する。これにより、ブロック体５１が支持台座１６及び回転軸１７と一体的に回転して、３つのリンク機構部２０，３０，４０が回転軸１７を回転中心として回転し、ステージ１１が回転する。
【０１１６】
本実施形態では、ステージ１１と一体的に移動するワークＷ１の移動先に、ワークＷ１に取り付けられるシャフトＷ２が存在する。そして、ワークＷ１がステージ１１と一体的に移動することにより、シャフトＷ２に対してワークＷ１が押し付けられて、シャフトＷ２がワークＷ１に対して圧入や螺子締結などによってワークＷ１に取り付けられる。
【０１１７】
上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のステッピングモータ２１，３１，４１は、各駆動軸２２，３２，４２のなす角度が９０度となるように駆動源ベース５０に対して集積配置されている。これによれば、ステッピングモータ２１，３１，４１がそれぞれ離れた位置に配置されている場合に比べると、リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａの長さを十分に確保したとしても、ステージ移動装置１０の体格が大型化し難く、ステージ移動装置１０の小型化を図ることができ、カバー部材１２内にステージ１１を収容することができる。
【０１１８】
（２）各ステッピングモータ２１，３１，４１は、ブロック体５１の互いに垂直な３つの外面５１ａ，５１ｃ，５１ｆにそれぞれ隣り合っている。これによれば、隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のステッピングモータ２１，３１，４１を、各駆動軸２２，３２，４２のなす角度が９０度となるように駆動源ベース５０に対して集積配置させ易くなる。
【０１１９】
（３）各ステッピングモータ２１，３１，４１は、各フランジ部５２ｂ，５３ｂ，５４ｂに固定されている。これによれば、各ステッピングモータ２１，３１，４１が各駆動軸２２，３２，４２のなす角度が９０度となるように駆動源ベース５０に対して集積配置された状態を維持し易くすることができる。
【０１２０】
（４）設置部１５は、ブロック体５１における３つの外面５１ａ，５１ｃ，５１ｆとは異なる外面５１ｂに平行な設置面１８を有している。これによれば、駆動源ベース５０が設置部１５の設置面１８に対して設置された状態において、各駆動軸２２，３２，４２の平行度を出すことができ、ステージ１１の平行度を確保し易くすることができる。
【０１２１】
（５）モータ１５ａは、回転軸１７を回転中心としてブロック体５１を回転させる。これによれば、ブロック体５１が回転軸１７と一体的に回転して、３つのリンク機構部２０，３０，４０が回転軸１７を回転中心として回転し、ステージ１１が回転可能になる。
【０１２２】
（６）各アーム２３，２４，３３，３４，４３，４４は、各駆動軸２２，３２，４２から駆動源ベース５０のブロック体５１とは反対側に延びている。これによれば、各ステッピングモータ２１，３１，４１をステージ１１の接続部から遠い位置に設置でき、リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａの長さを確保したままで、ステージ移動装置１０の小型化を図ることができる。
【０１２３】
（７）３つのリンク機構部２０，３０，４０の各リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａは、自身がステージ１１を支持するＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向とは異なる２方向から見たときに、自身以外の各リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａとそれぞれ交差するように、各アーム２３，２４，３３，３４，４３，４４から延びている。これによれば、例えば、リンク２０Ａが、Ｘ軸方向とは異なる２方向から見たときに、二つのリンク３０Ａ，４０Ａのどちらかと交差しないように、アーム２３，２４から延びている構成に比べると、ステージ移動装置１０の小型化を図ることができる。
【０１２４】
（８）一対のアーム２３，２４，３３，３４，４３，４４は、駆動軸２２，３２，４２の両端部２２ａ，２２ｂ，３２ａ，３２ｂ，４２ａ，４２ｂに支持されている。これによれば、各リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａの剛性を高めることができる。
【０１２５】
（９）各駆動軸２２，３２，４２は、高速側シャフトＳＨ１と、高速側シャフトＳＨ１の回転が減速機Ｇ１によって減速された状態で伝達される低速側シャフトＳＨ２と、を含む。そして、駆動軸４２の一端部４２ａは、低速側シャフトＳＨ２の端部であり、駆動軸４２の他端部４２ｂは、高速側シャフトＳＨ１の端部である。各アーム２３，３３，４３は、各駆動軸２２，３２，４２の一端部２２ａ，３２ａ，４２ａに固定されている。アーム２４，３４，４４は、各駆動軸２２，３２，４２の他端部２２ｂ，３２ｂ，４２ｂに対して各軸受２５ｂ，３５ｂ，４５ｂを介して回転が許容された状態で支持されている。減速機付きステッピングモータ２１，３１，４１のように両軸の回転数が異なる場合であっても、これによれば、各リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａの剛性を高めることができる。
【０１２６】
（１０）一対のアーム２３，２４，３３，３４，４３，４４は、連結部２５ｃ，３５ｃ，４５ｃを介して互いに連結されている。これによれば、各リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａの剛性を高めることができる。
【０１２７】
（１１）一対のアーム２３，２４，３３，３４，４３，４４における駆動軸２２，３２，４２とは反対側の端部には、第１揺動軸２６，３６，４６が揺動可能に１自由度で固定されている。これによれば、各リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａの剛性を高めることができる。
【０１２８】
（１２）第１揺動軸２６，３６，４６の端部には、第１伝達軸２８，３８，４８及び第２伝達軸２９，３９，４９が揺動可能に１自由度で接続されている。これによれば、各リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａの剛性を高めることができる。
【０１２９】
（１３）第１揺動軸２６，３６，４６の長さ及び位置は、他のリンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａが干渉しないように調整されている。これによれば、ステージ移動装置１０の体格が大型化し難く、ステージ移動装置１０の小型化を図ることができる。
【０１３０】
（１４）第１揺動軸２６，３６，４６の長さ及び位置の調整は、駆動源ベース５０から離れる側で行われている。これによれば、ステージ移動装置１０の体格が大型化し難く、ステージ移動装置１０の小型化を図ることができる。
【０１３１】
（１５）第１のＺ軸アーム４３における第１揺動軸４６とは反対側には、重力と釣り合うモーメントを作用させる錘５５が設置されている。これによれば、重力の影響を低減して他の軸と同様に出力の小さなモータを使うことができる。また、非通電時の姿勢維持が容易となる。
【０１３２】
（１６）ステージ１１の第１板部１３ａは、設置面１８に平行な面を構成している。これによれば、ステージ移動装置１０の作業性を向上させることができる。
（１７）ステージ１１の第１板部１３ａは、各駆動軸２２，４２に平行な面を構成している。さらに、ステージ１１の第２板部１３ｂは、各駆動軸２２，３２に平行な面を構成している。また、ステージ１１の第３板部１３ｃは、各駆動軸３２，４２に平行な面を構成している。これによれば、ステージ１１の作業面が各駆動軸２２，３２，４２に平行に延びるため、ステージ１１の作業面が各駆動軸２２，３２，４２に対して斜交する方向に延びる場合に比べると、ステージ移動装置１０をコンパクトにすることができる。
【０１３３】
（１８）ステージ１１の第１板部１３ａ、第２板部１３ｂ、及び第３板部１３ｃは、各駆動軸２２，３２，４２にそれぞれ平行な面を構成している。これによれば、ステージ１１の作業面を少なくとも５面構成することができる。
【０１３４】
（１９）３つのリンク機構部２０，３０，４０は、ステージ１１の移動範囲の中で、隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のリンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａのなす角度が９０度を取り得るように構成されている。そして、各リンク機構部２０，３０，４０のリンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａは、ステージ１１の移動範囲の中でＸＹＺの各軸方向にステージ１１を支持可能である。これによれば、各ステッピングモータ２１，３１，４１の動きを高精度に伝達することができる。よって、例えば、ワークＷ１がステージ１１と一体的に移動することにより、シャフトＷ２に対してワークＷ１を押し付ける押し付け力を高めることができる。
【０１３５】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・  実施形態において、ブロック体５１は使用目的に応じて、アーム２３，２４，３３，３４，４３，４４等の動作を妨げない場所と方向とで保持する構造としてもよい。
【０１３６】
・  実施形態において、ブロック体５１は、対向する辺のみが等しい四角形、所謂長方形の面を有する直方体形状であってもよい。
・  実施形態において、駆動源ベース５０は、例えば、球体を備え、各ステッピングモータ２１，３１，４１が、各駆動軸２２，３２，４２のなす角度が９０度となるように球体に対して集積配置されていてもよい。
【０１３７】
・  実施形態において、ブロック体５１に、ブロック体５１の３つの外面５１ａ，５１ｃ，５１ｆの縁部から外面５１ａ，５１ｃ，５１ｆに対して垂直方向にそれぞれ延在するフランジ部が一体形成されていてもよい。そして、各ステッピングモータ２１，３１，４１が、各フランジ部に固定されている。これによれば、Ｘ軸モータ用ブラケット５２、Ｙ軸モータ用ブラケット５３、及びＺ軸モータ用ブラケット５４を用いなくてもよく、部品点数を削減することができる。
【０１３８】
・  実施形態において、設置面１８は、ブロック体５１における３つの外面５１ａ，５１ｃ，５１ｆとは異なる外面に平行でなくてもよい。
・  実施形態において、設置部１５は、モータ１５ａを有しておらず、例えば、ブロック体５１が回転不能であってもよい。
【０１３９】
・  実施形態において、各アーム２３，２４，３３，３４，４３，４４が、各駆動軸２２，３２，４２から駆動源ベース５０のブロック体５１側に延びていてもよい。
・  実施形態において、例えば、リンク２０Ａが、Ｘ軸方向とは異なる２方向から見たときに、二つのリンク３０Ａ，４０Ａのどちらかと交差しないように、アーム２３，２４から延びていてもよい。
【０１４０】
・  実施形態において、例えば、リンク３０Ａが、Ｙ軸方向とは異なる２方向から見たときに、二つのリンク２０Ａ，４０Ａのどちらかと交差しないように、アーム３３，３４から延びていてもよい。
【０１４１】
・  実施形態において、例えば、リンク４０Ａが、Ｚ軸方向とは異なる２方向から見たときに、二つのリンク２０Ａ，３０Ａのどちらかと交差しないように、アーム４３，４４から延びていてもよい。
【０１４２】
・  実施形態において、リンク機構部２０は、駆動軸２２にアームが一つだけ連結されている構成であってもよい。
・  実施形態において、リンク機構部３０は、駆動軸３２にアームが一つだけ連結されている構成であってもよい。
【０１４３】
・  実施形態において、リンク機構部４０は、駆動軸４２にアームが一つだけ連結されている構成であってもよい。
・  実施形態において、第１のＺ軸アーム４３における第１揺動軸４６とは反対側に、錘５５が設置されていなくてもよい。
【０１４４】
・  実施形態において、ステージ１１の第１板部１３ａが、設置面１８に対して斜交する方向に延びていてもよい。
・  実施形態において、例えば、ステージ１１の第１板部１３ａが、駆動軸２２又は駆動軸４２に対して斜交する方向に延びていてもよい。
【０１４５】
・  実施形態において、例えば、ステージ１１の第２板部１３ｂが、駆動軸２２又は駆動軸３２に対して斜交する方向に延びていてもよい。
・  実施形態において、例えば、ステージ１１の第３板部１３ｃが、駆動軸３２又は駆動軸４２に対して斜交する方向に延びていてもよい。
【０１４６】
・  実施形態において、各アーム２３，２４，３３，３４，４３，４４と各リンク２０Ａ，３０Ａ，４０Ａとをボールジョイントによって接続する構成にしてもよい。
【符号の説明】
【０１４７】
Ｇ１…減速機、ＰＬ…パラレルリンク機構、ＳＨ１…高速側シャフト、ＳＨ２…低速側シャフト、１０…ステージ移動装置、１１…ステージ、１５…設置部、１５ａ…モータ、１６…支持台座、１７…回転軸、１８…設置面、２０，３０，４０…リンク機構部、２０Ａ，３０Ａ，４０Ａ…リンク、２１，３１，４１…駆動源としてのステッピングモータ、２２，３２，４２…駆動軸、２２ａ，３２ａ，４２ａ…一端部、２２ｂ，３２ｂ，４２ｂ…他端部、２３，２４，３３，３４，４３，４４…アーム、２５ｂ，３５ｂ，４５ｂ…軸受、２５ｃ，３５ｃ，４５ｃ…連結部、２６，３６，４６…揺動軸である第１揺動軸、２８，３８，４８…伝達軸としての第１伝達軸、２９，３９，４９…伝達軸としての第２伝達軸、５０…駆動源ベース、５１…ブロック体、５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ，５１ｅ，５１ｆ…外面、５２ｂ，５３ｂ，５４ｂ…フランジ部、５５…錘。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2019217584.tif 000013
【図１２】
2019217584.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
2019217584.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
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