(57)【要約】【課題】本発明は、従来の技術で排気ガス処理装置が排気ガス中のヒ素を除去して回収する場合に経済的コストが高すぎるという問題を解決する。【解決手段】本発明は、排気ガス処理装置、真空コーティングシステム及び排気ガス処理装置の操作方法を提供し、排気ガス処理装置は、排気ガス中のヒ素を除去して回収するためのものであり、凝縮部とスクレーパ部とを含み、凝縮部は、凝縮室と凝縮室に連通した吸気口、排気口及び材料吐出口を有し、凝縮部が吸気口から凝縮室内に導入された排気ガスを冷却することにより、排気ガス中の気体状態のヒ素を冷却して凝縮室の内壁面に凝縮して、固体状態のヒ素を形成し、スクレーパ部が凝縮室内に回転可能に設置され、かつスクレーパ部の一部の表面が凝縮室の内壁面に当接し、スクレーパ部が回転して固体状態のヒ素を掻き落とし、掻き落とされた固体状態のヒ素をスクレーパ部の回転推進作用で材料吐出口へ連続的に移動させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気ガス中のヒ素を除去して回収するための排気ガス処理装置であって、
凝縮室（１１）と、前記凝縮室（１１）に連通した吸気口（１２）、排気口（１３）及び材料吐出口（１４）とを有し、前記吸気口（１２）から前記凝縮室（１１）内に導入された前記排気ガスを冷却することにより、前記排気ガス中の気体状態のヒ素を冷却して前記凝縮室（１１）の内壁面に凝縮して固体状態のヒ素を形成する凝縮部（１０）と、
前記凝縮室（１１）内に回転可能に設置され、かつ一部の表面が前記凝縮室（１１）の内壁面に当接し、回転して前記固体状態のヒ素を掻き落とし、掻き落とされた前記固体状態のヒ素をその回転推進作用で前記材料吐出口（１４）へ連続的に移動させるスクレーパ部（２０）とを含むことを特徴とする排気ガス処理装置。
【請求項２】
前記スクレーパ部（２０）はスクレーパ用スクリュー（２１）を含み、前記スクレーパ用スクリュー（２１）が複数あり、各前記スクレーパ用スクリュー（２１）がいずれも前記凝縮室（１１）の長さ方向に沿って設置され、隣接した二つの前記スクレーパ用スクリュー（２１）が接触して設置され、かつ隣接した二つの前記スクレーパ用スクリュー（２１）の螺旋ブレードが交差に設置されることを特徴とする請求項１に記載の排気ガス処理装置。
【請求項３】
前記スクレーパ用スクリュー（２１）が二つあり、前記凝縮室（１１）は連通した二つのサブ取付室（１１１）を含み、かつ二つの前記サブ取付室（１１１）の連通開口が前記凝縮室（１１）の長さ方向に沿って連続的に延伸した帯状開口であり、各サブ取付室（１１１）の横断面形状がいずれも円形であり、二つの前記スクレーパ用スクリュー（２１）が二つの前記サブ取付室（１１１）に一対一に対応して設置されることを特徴とする請求項２に記載の排気ガス処理装置。
【請求項４】
前記スクレーパ部（２０）は軸受（２２）をさらに含み、各前記スクレーパ用スクリュー（２１）の両端がそれぞれ一つの前記軸受（２２）を介して前記凝縮部（１０）に接続され、かつ前記軸受（２２）が前記凝縮部（１０）内に嵌設されることを特徴とする請求項２に記載の排気ガス処理装置。
【請求項５】
前記凝縮部（１０）は、オーバーフロー室（１５）、入液口（１６）及び出液口（１７）をさらに有し、前記オーバーフロー室（１５）と前記凝縮室（１１）とが間隔を隔てて設置され、前記入液口及び前記出液口がいずれも前記オーバーフロー室（１５）に連通し、冷媒が順に前記入液口（１６）、前記オーバーフロー室（１５）及び前記出液口（１７）を流れて、前記凝縮室（１１）内の温度を制御することを特徴とする請求項２又は３に記載の排気ガス処理装置。
【請求項６】
前記凝縮部（１０）は、
内部に前記オーバーフロー室（１５）が設置された凝縮部本体（１８）と、
前記凝縮部本体（１８）の両端に取り外し可能にカバーして設置され、前記凝縮部本体（１８）とともに前記凝縮室（１１）を囲む二つのエンドカバー（１９）とを含むことを特徴とする請求項５に記載の排気ガス処理装置。
【請求項７】
前記排気ガス処理装置は駆動部（３０）をさらに含み、
前記駆動部（３０）は、
前記凝縮部（１０）に接続された取付板（３１）と、
取付板（３１）に設置され、主動歯車（３３）を回転させるように駆動する駆動部品（３２）とを含み、
各前記スクレーパ用スクリュー（２１）の前記駆動部品（３２）に接近した端にいずれも前記主動歯車（３３）と噛み合う従動歯車（３４）が設置されることを特徴とする請求項６に記載の排気ガス処理装置。
【請求項８】
前記材料吐出口（１４）が前記凝縮部本体（１８）に開設され、前記材料吐出口（１４）が垂直方向に前記凝縮部本体（１８）の底部に位置し、かつ前記材料吐出口（１４）が前記凝縮部本体（１８）の駆動部（３０）から離れた端に位置することを特徴とする請求項７に記載の排気ガス処理装置。
【請求項９】
前記スクレーパ用スクリュー（２１）が二つの前記エンドカバー（１９）の間に支持して設置され、かつ前記スクレーパ用スクリュー（２１）が前記エンドカバー（１９）と密封接続されることを特徴とする請求項６に記載の排気ガス処理装置。
【請求項１０】
排気ガス排出口を有する真空コーティング機と、
吸気口（１２）が前記排気口（１３）に連通した請求項１〜９のいずれか一項に記載の排気ガス処理装置とを含むことを特徴とする真空コーティングシステム。
【請求項１１】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の排気ガス処理装置を操作するための排気ガス処理装置の操作方法であって、
凝縮部（１０）の凝縮室（１１）の温度をヒ素の凝固点未満に制御するステップＳ１と、
排気ガスを前記凝縮部（１０）の吸気口（１２）から前記凝縮室（１１）に導入し、排気ガス中の気体状態のヒ素を前記凝縮室（１１）の内壁面と接触させ、かつ冷却して前記凝縮室（１１）の内壁面に凝縮して、固体状態のヒ素を形成し、処理後の排気ガスを前記凝縮部（１０）の排気口（１３）から前記凝縮室（１１）の外に排出するステップＳ２と、
排気ガス処理装置の駆動部（３０）を起動するように制御し、前記駆動部（３０）がスクレーパ部（２０）を回転させるように駆動し、前記スクレーパ部（２０）が回転して前記固体状態のヒ素を掻き落とし、掻き落とされた前記固体状態のヒ素を前記スクレーパ部（２０）の回転推進作用で前記材料吐出口（１４）へ連続的に移動させ、かつ前記材料吐出口（１４）から吐出するステップＳ３とを含むことを特徴とする排気ガス処理装置の操作方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は2018年６月２１日に提出した中国特願201810644930.9に基づく優先権を主張し、引用によって本願明細書の記載に組み込まれる。
【０００２】
本発明は、排気ガス処理の技術分野に関し、具体的には、排気ガス処理装置、真空コーティングシステム及び排気ガス処理装置の操作方法に関するものである。
【背景技術】
【０００３】
真空コーティング機で発生した排気ガスにヒ素粒子を含有し、排気ガス中のヒ素を外部環境に直接的に排出すると、環境汚染を起こし、人類の身体健康を害する。
【０００４】
従来の技術では、この技術的課題を解決するために、一般的に、強酸化剤水溶液を排気ガスに噴霧しかつ高速遠心装置を増設するという方式で排気ガス中のヒ素を分離して収集し、該解決手段では化学試薬を用いる必要があるため、排気ガス処理の経済的コストが増大し、また、該解決手段では廃水及び水含有排気ガスが発生するため、排気ガス処理の後続処理ステップを増やし、排気ガス処理の経済的コストがさらに増大する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の主な目的は、従来の技術で排気ガス処理装置が排気ガス中のヒ素を除去して回収する場合に経済的コストが高すぎるという問題を解決するために、排気ガス処理装置、真空コーティングシステム及び排気ガス処理装置の操作方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一態様は、排気ガス中のヒ素を除去して回収するための排気ガス処理装置であって、凝縮室と、凝縮室に連通した吸気口、排気口及び材料吐出口とを有し、吸気口から凝縮室内に導入された排気ガスを冷却することにより、排気ガス中の気体状態のヒ素を冷却して凝縮室の内壁面に凝縮して固体状態のヒ素を形成する凝縮部と、凝縮室内に回転可能に設置され、かつ一部の表面が凝縮室の内壁面に当接し、回転して固体状態のヒ素を掻き落とし、掻き落とされた固体状態のヒ素をその回転推進作用で材料吐出口へ連続的に移動させるスクレーパ部とを含む排気ガス処理装置を提供する。
【０００７】
さらに、スクレーパ部はスクレーパ用スクリューを含み、スクレーパ用スクリューが複数あり、各スクレーパ用スクリューがいずれも凝縮室の長さ方向に沿って設置され、隣接した二つのスクレーパ用スクリューが接触して設置され、かつ隣接した二つのスクレーパ用スクリューの螺旋ブレードが交差に設置される。
【０００８】
さらに、スクレーパ用スクリューが二つあり、凝縮室は連通した二つのサブ取付室を含み、かつ二つのサブ取付室の連通開口が凝縮室の長さ方向に沿って連続的に延伸した帯状開口であり、各サブ取付室の横断面形状がいずれも円形であり、二つのスクレーパ用スクリューが二つのサブ取付室に一対一に対応して設置される。
【０００９】
さらに、スクレーパ部は軸受をさらに含み、各スクレーパ用スクリューの両端がそれぞれ一つの軸受を介して凝縮部に接続され、かつ軸受が凝縮部内に嵌設される。
【００１０】
さらに、凝縮部は、オーバーフロー室、入液口及び出液口をさらに有し、オーバーフロー室と凝縮室とが間隔を隔てて設置され、入液口及び出液口がいずれもオーバーフロー室に連通し、冷媒が順に入液口、オーバーフロー室及び出液口を流れて、凝縮室内の温度を制御する。
【００１１】
さらに、凝縮部は、内部にオーバーフロー室が設置された凝縮部本体と、凝縮部本体の両端に取り外し可能にカバーして設置され、凝縮部本体とともに凝縮室を囲む二つのエンドカバーとを含む。
【００１２】
さらに、排気ガス処理装置は駆動部をさらに含み、駆動部は、凝縮部に接続された取付板と、取付板に設置され、主動歯車を回転させるように駆動する駆動部品とを含み、各スクレーパ用スクリューの駆動部品に接近した端にいずれも主動歯車と噛み合う従動歯車が設置される。
【００１３】
さらに、材料吐出口が凝縮部本体に開設され、材料吐出口が垂直方向に凝縮部本体の底部に位置し、かつ材料吐出口が凝縮部本体の駆動部から離れた端に位置する。
【００１４】
さらに、スクレーパ用スクリューが二つのエンドカバーの間に支持して設置され、かつスクレーパ用スクリューがエンドカバーと密封接続される。
【００１５】
本発明の他の態様は、排気ガス排出口を有する真空コーティング機と、吸気口が排気口に連通した上記排気ガス処理装置とを含む真空コーティングシステムを提供する。
【００１６】
本発明の他の態様は、上記排気ガス処理装置を操作するための排気ガス処理装置の操作方法であって、凝縮部の凝縮室の温度をヒ素の凝固点未満に制御するステップＳ１と、排気ガスを凝縮部の吸気口から凝縮室に導入し、排気ガス中の気体状態のヒ素を凝縮室の内壁面と接触させ、かつ冷却して凝縮室の内壁面に凝縮して、固体状態のヒ素を形成し、処理後の排気ガスを凝縮部の排気口から凝縮室の外に排出するステップＳ２と、排気ガス処理装置の駆動部を起動するように制御し、駆動部がスクレーパ部を回転させるように駆動し、スクレーパ部が回転して固体状態のヒ素を掻き落とし、掻き落とされた固体状態のヒ素をスクレーパ部の回転推進作用で材料吐出口へ連続的に移動させ、かつ材料吐出口から吐出するステップＳ３とを含む排気ガス処理装置の操作方法を提供する。
【００１７】
本発明の技術手段を適用すると、凝縮部及びスクレーパ部が設置され、凝縮部が吸気口から凝縮室内に導入された排気ガスを冷却することにより、排気ガス中の気体状態のヒ素を冷却して凝縮室の内壁面に凝縮して、固体状態のヒ素を形成し、スクレーパ部が回転して固体状態のヒ素を掻き落とし、掻き落とされた固体状態のヒ素をスクレーパ部の回転推進作用で材料吐出口へ連続的に移動させ、その後、固体状態のヒ素を材料吐出口から凝縮室の外に吐出することにより、排気ガス中のヒ素を除去して回収することを実現する。本出願に係る排気ガス処理装置は、構造が簡単であり、経済的コストが低く、排気ガス中のヒ素を効果的に除去して回収することができる。
【００１８】
また、スクレーパ部が複数のスクレーパ用スクリューを含むと、隣接した二つのスクレーパ用スクリューが接触して設置され、かつ隣接した二つのスクレーパ用スクリューの螺旋ブレードが交差に設置され、スクレーパ用スクリューが回転して凝縮室の内壁面に凝縮された固体状態のヒ素を掻き落とすと同時に、それと隣接したスクレーパ用スクリューに凝縮された固体状態のヒ素を掻き落とし、掻き落とされた固体状態のヒ素をスクレーパ用スクリューの強制的な搬送作用で材料吐出口へ移動させることにより、スクレーパ部に凝縮された固体状態のヒ素が多すぎるから回収された固体状態のヒ素の量が減少したり、スクレーパ部のスクレーパ効果に影響したりすることを回避する。
【００１９】
本出願の一部となる図面は、本発明をさらに理解するために提供され、本発明の例示的な実施例及びそれらの説明は、本発明を解釈するために用いられるが、本発明を不当に限定するものを構成しない。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の好ましい実施例に係る排気ガス処理装置を示す概略構成図である。
【図２】図１の排気ガス処理装置を示す正面断面図である。
【図３】図２の排気ガス処理装置を示す左側断面図である。
【図４】図１の排気ガス処理装置の平面断面図である。
【図５】図４の排気ガス処理装置の一部の構造を示す左側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施例中の図面を組み合わせて本発明の実施例の技術手段を明確かつ完全に説明するが、明らかに、ここで説明する実施例は本発明の一部の実施例に過ぎず、全ての実施例ではない。以下で少なくとも一つの例示的な実施例についての説明は例示的なものに過ぎず、本発明及びその応用又は使用を限定するものではない。本発明の実施例に基づいて、当業者が創造的な労働をしない前提で得られた全ての他の実施例は、いずれも本発明の保護範囲に属する。
【００２２】
従来の技術で排気ガス処理装置が排気ガス中のヒ素を除去して回収する場合に経済的コストが高すぎるという問題を解決するために、本発明は、排気ガス処理装置、真空コーティングシステム及び排気ガス処理装置の操作方法を提供する。真空コーティングシステムは、前述した及び後述する排気ガス処理装置を含み、排気ガス処理装置の操作方法は、前述した及び後述する排気ガス処理装置を操作するために用いられる。
【００２３】
図１〜図５に示すように、排気ガス中のヒ素を除去して回収するための排気ガス処理装置は、凝縮部１０及びスクレーパ部２０を含み、凝縮部１０は、凝縮室１１と、凝縮室１１に連通した吸気口１２、排気口１３及び材料吐出口１４とを有し、凝縮部１０は、吸気口１２から凝縮室１１内に導入された排気ガスを冷却することにより、排気ガス中の気体状態のヒ素を冷却して凝縮室１１の内壁面に凝縮して、固体状態のヒ素を形成し、スクレーパ部２０は、凝縮室１１内に回転可能に設置され、かつスクレーパ部２０の一部の表面が凝縮室１１の内壁面に当接し、スクレーパ部２０が回転して固体状態のヒ素を掻き落とし、掻き落とされた固体状態のヒ素をスクレーパ部２０の回転推進作用で材料吐出口１４へ連続的に移動させる。
【００２４】
本出願において、凝縮部１０及びスクレーパ部２０が設置され、凝縮部１０が吸気口１２から凝縮室１１内に導入された排気ガスを冷却することにより、排気ガス中の気体状態のヒ素を冷却して凝縮室１１の内壁面に凝縮して、固体状態のヒ素を形成し、スクレーパ部２０が回転して固体状態のヒ素を掻き落とし、掻き落とされた固体状態のヒ素をスクレーパ部２０の回転推進作用で材料吐出口１４へ連続的に移動させ、その後、固体状態のヒ素を材料吐出口１４から凝縮室１１の外に吐出することにより、排気ガス中のヒ素を除去して回収することを実現する。本出願に係る排気ガス処理装置は、構造が簡単であり、経済的コストが低く、排気ガス中のヒ素を効果的に除去して回収することができる。
【００２５】
本出願において、凝縮室１１内の温度をヒ素の凝固点未満に制御することにより、排気ガス中の気体状態のヒ素をシート状固体状態のヒ素に凝縮して、凝縮室１１の内壁に付着する。
【００２６】
図１に示すように、スクレーパ部２０はスクレーパ用スクリュー２１を含み、スクレーパ用スクリュー２１が複数あり、各スクレーパ用スクリュー２１がいずれも凝縮室１１の長さ方向に沿って設置され、隣接した二つのスクレーパ用スクリュー２１が接触して設置され、かつ隣接した二つのスクレーパ用スクリュー２１の螺旋ブレードが交差に設置される。このように、スクレーパ用スクリュー２１が回転して凝縮室１１の内壁面に凝縮された固体状態のヒ素を掻き落とすと同時に、それと隣接したスクレーパ用スクリュー２１に凝縮された固体状態のヒ素を掻き落とすことにより、スクレーパ部２０に凝縮された固体状態のヒ素が多すぎるから回収された固体状態のヒ素の量が減少したり、スクレーパ部２０のスクレーパ効果に影響したりすることを回避する。
【００２７】
図３に示すように、スクレーパ用スクリュー２１が二つあり、凝縮室１１は連通した二つのサブ取付室１１１を含み、かつ二つのサブ取付室１１１の連通開口が凝縮室１１の長さ方向に沿って連続的に延伸した帯状開口であり、各サブ取付室１１１の横断面形状がいずれも円形であり、二つのスクレーパ用スクリュー２１が二つのサブ取付室１１１に一対一に対応して設置される。このように、二つのスクレーパ用スクリュー２１が同方向に回転して、それぞれ二つのサブ取付室１１１の内壁に凝縮された固体状態のヒ素を掻き落とし、スクレーパ用スクリュー２１の回転推進作用で材料吐出口１４の方向へ移動させ、かつ材料吐出口１４から凝縮室１１の外に吐出することにより、排気ガス中のヒ素を除去して回収することを実現する。
【００２８】
図２及び図４に示すように、スクレーパ部２０は軸受２２をさらに含み、各スクレーパ用スクリュー２１の両端がそれぞれ一つの軸受２２を介して凝縮部１０に接続され、かつ軸受２２が凝縮部１０内に嵌設される。このように、スクレーパ用スクリュー２１は軸受２２を介して凝縮部１０内に旋回可能に設置される。
【００２９】
図１、図２及び図４に示すように、凝縮部１０は、オーバーフロー室１５、入液口１６及び出液口１７をさらに有し、オーバーフロー室１５と凝縮室１１とが間隔を隔てて設置され、入液口及び出液口がいずれもオーバーフロー室１５に連通し、冷媒が順に入液口１６、オーバーフロー室１５及び出液口１７を流れて、凝縮室１１内の温度を制御する。このように、オーバーフロー室１５内に冷媒を循環的に導入することにより、凝縮室１１内の温度を制御し、さらに凝縮室１１内の排気ガスの冷却を実現することができる。
【００３０】
図１、図２及び図４に示すように、凝縮部１０は、凝縮部本体１８及び二つのエンドカバー１９を含み、オーバーフロー室１５が凝縮部本体１８の内部に設置され、入液口１６及び出液口１７が凝縮部本体１８に開設され、二つのエンドカバー１９が凝縮部本体１８の両端に取り外し可能にカバーして設置され、二つのエンドカバー１９が凝縮部本体１８とともに凝縮室１１を囲む。このように、凝縮部本体１８及び二つのエンドカバー１９を取り外し可能に設置すると、凝縮部１０の製造と加工に役立ち、さらにスクレーパ部２０の交換に役立つ。
【００３１】
好ましくは、図１に示すように、凝縮部本体１８は直方体であり、このように、排気ガス処理装置の配置安定性を高めることができる。好ましくは、図３に示すように、凝縮室１１の断面積が「８」字状であり、このように、スクレーパ部２０が回転中に凝縮室１１のすべての内壁面と接触し、スクレーパ部２０が掻き落とすことができない死角の存在を回避することができる。
【００３２】
スクレーパ用スクリュー２１と凝縮室１１の内壁との間に隙間が存在し、排気ガスの流路とすることができ、また、二つの平行で同方向に回転するスクレーパ用スクリュー２１の間に、連続的な楕円形小室が形成され、排気ガスの流路とすることもできる。
【００３３】
図１、図２、図４及び図５に示すように、排気ガス処理装置は駆動部３０をさらに含み、駆動部３０は取付板３１、駆動部品３２、主動歯車３３及び従動歯車３４を含み、取付板３１が凝縮部１０に接続され、駆動部品３２が取付板３１に設置され、駆動部品３２は主動歯車３３を回転させるように駆動し、各スクレーパ用スクリュー２１の駆動部品３２に接近した端にいずれも主動歯車３３と噛み合う従動歯車３４が設置される。
【００３４】
好ましくは、駆動部品３２はモータ、油圧モータ又は回転シリンダであり、モータ、油圧モータ又は回転シリンダを起動するように制御することにより、スクレーパ部２０を回転させるように駆動する。図１及び図２に示した好ましい実施例では、駆動部品３２はモータである。
【００３５】
本出願の一つの図示しない実施例では、駆動部品３２は主動スプロケットを回転させるように駆動し、各スクレーパ用スクリュー２１の駆動部品３２に接近した端にいずれも主動スプロケットに合わせる従動スプロケットが設置され、伝送チェーンが主動スプロケット及び従動スプロケットに嵌着され、主動スプロケットが伝送チェーンを介して従動スプロケットを駆動する。
【００３６】
本出願の他の図示しない実施例では、駆動部品３２は主動プーリを回転させるように駆動し、各スクレーパ用スクリュー２１の駆動部品３２に接近した端にいずれも従動プーリが設置され、コンベヤベルトが主動プーリ及び従動プーリに嵌着され、主動プーリがコンベアベルトを介して従動プーリを駆動する。
【００３７】
本出願の他の図示しない実施例では、駆動部品３２は複数あり、各駆動部品３２はそれぞれ各スクレーパ用スクリュー２１に駆動接続され、各駆動部品３２を同時に起動するように制御することにより、各スクレーパ用スクリュー２１を同方向に回転させるように駆動する。
【００３８】
図１及び図４に示すように、材料吐出口１４が凝縮部本体１８に開設され、材料吐出口１４が垂直方向に凝縮部本体１８の底部に位置し、かつ材料吐出口１４が凝縮部本体１８の駆動部３０から離れた端に位置する。このように、掻き落とされた固体状態のヒ素はスクレーパ用スクリュー２１の回転推進に伴い、駆動部３０から離れた方向へ移動し、その後、重力作用で凝縮室１１の外に吐出される。
【００３９】
図１及び図４に示した好ましい実施例では、吸気口１２、排気口１３及び材料吐出口１４はいずれも凝縮部本体１８に開設される。排気口１３は垂直方向に凝縮部本体１８の頂部に位置し、かつ排気口１３は凝縮部本体１８の駆動部３０に接近した端に位置し、吸気口１２が排気口１３と対向して設置されるか又は吸気口１２が材料吐出口１４と対向して設置される。好ましくは、吸気口１２、排気口１３及び材料吐出口１４の数は複数に設定することができる。
【００４０】
図２及び図４に示すように、スクレーパ用スクリュー２１が二つのエンドカバー１９の間に支持して設置され、かつスクレーパ用スクリュー２１がエンドカバー１９と密封接続される。スクレーパ用スクリュー２１をエンドカバー１９と密封接続することにより、凝縮室１１内の排気ガスが外部環境に漏れることを回避し、それにより排気ガス処理装置の使用安全性を高める。
【００４１】
好ましくは、スクレーパ用スクリュー２１とエンドカバー１９との間に密封リングを設置することにより、スクレーパ用スクリュー２１がエンドカバー１９と密封接続される。
【００４２】
好ましくは、スクレーパ用スクリュー２１とエンドカバー１９との間に磁性流体４０を有することにより、スクレーパ用スクリュー２１がエンドカバー１９と密封接続される。
【００４３】
本発明は、排気ガス排出口を有する真空コーティング機と、吸気口１２が排気口１３に連通した上記排気ガス処理装置とを含む真空コーティングシステムをさらに提供する。このように、本出願に係る真空コーティングシステムは、ガリウムヒ素を基材にコーティングする製造過程で気体状態のヒ素を含む排気ガスが発生し、排気ガス処理装置の吸気口１２を排気ガス排出口に連通することにより、真空コーティングシステムで発生した排気ガスを排気ガス処理装置に導入し、ヒ素を除去して回収する。
【００４４】
好ましくは、真空コーティングシステムはヒ素を除去するためのフィルタをさらに含み、排気ガス処理装置で処理された排気ガスをフィルタに導入し、排気ガス中に残留したヒ素をさらに処理し、真空コーティングシステムシステムの環境性能をさらに向上させる。また、フィルタが処理したヒ素が少ないため、フィルタエレメントを頻繁に交換する必要がないため、真空コーティングシステムの排気ガス処理の経済的コストを低減する。
【００４５】
フィルタエレメント交換は、真空コーティング機が停止するように制御した後に手動で交換する必要があるため、作業者の作業負荷を増加させ、作業者の身体健康を害し、真空コーティング機の製造効率に影響を与え、本出願に係る真空コーティングシステムは、フィルタエレメントを頻繁に交換する必要がないため、真空コーティング機の製造効率を向上させることに役立ち、真空コーティングシステムの経済的コストを低減する。
【００４６】
本出願は、上記排気ガス処理装置を操作するための排気ガス処理装置の操作方法であって、凝縮部１０の凝縮室１１の温度をヒ素の凝固点未満に制御するステップＳ１と、排気ガスを凝縮部１０の吸気口１２から凝縮室１１に導入し、排気ガス中の気体状態のヒ素を凝縮室１１の内壁面と接触させ、かつ冷却して凝縮室１１の内壁面に凝縮して、固体状態のヒ素を形成し、処理後の排気ガスを凝縮部１０の排気口１３から凝縮室１１の外に排出するステップＳ２と、駆動部３０を起動するように制御し、駆動部３０がスクレーパ部２０を回転させるように駆動し、スクレーパ部２０が回転して固体状態のヒ素を掻き落とし、掻き落とされた固体状態のヒ素をスクレーパ部２０の回転推進作用で材料吐出口１４へ連続的に移動させ、かつ材料吐出口１４から吐出するステップＳ３とを含む排気ガス処理装置の操作方法をさらに提供する。
【００４７】
本出願の一つの図示しない実施例では、スクレーパ部２０は噛み合う三つのスクレーパ用スクリュー２１を含み、三つのスクレーパ用スクリュー２１が「品」状に設置されるか又は順に隣接して設置される。
【００４８】
本出願に係る排気ガス処理装置は、化学的方法による除去を回避し、化学試薬を節約し、原料消費を減少させ、凝縮器を取り外して手動除去を行う必要がなく、作業者の作業負荷を低減し、機械を停止してメンテナンスする時間を短縮し、作業者がヒ素と接触することを回避し、排気ガス処理装置の使用安全性を高め、フィルタとともに用いる場合、フィルタエレメントの耐用年数を大幅に増加させ、フィルタのフィルタエレメントの交換頻度を低減し、高い密封性能を有し、排気ガスの漏れを回避することができるという利点を有する。
【００４９】
以上の記載は本発明の好ましい実施例に過ぎず、本発明を限定するものではなく、当業者であれば、本発明に様々な変更と変化を行うことができる。本発明の精神及び原則内で行われる全ての修正、均等置換、改良等は、いずれも本発明の保護範囲内に含まれるべきである。
【符号の説明】
【００５０】
１０―凝縮部、１１―凝縮室、１２―吸気口、１３―排気口、１４―材料吐出口、２０―スクレーパ部、２１―スクレーパ用スクリュー、１１１―サブ取付室、２２―軸受、１５―オーバーフロー室、１６―入液口、１７―出液口、１８―凝縮部本体、１９―エンドカバー、３０―駆動部、３１―取付板、３２―駆動部品、３３―主動歯車、３４―従動歯車、４０―磁性流体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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