(57)【要約】【課題】乾燥用ファンを設置しなくても、浸漬洗浄後の被洗浄物の乾燥が可能な洗浄装置を提供する。【解決手段】被洗浄物２が収容されると共に液体が貯留される洗浄槽３と、この洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出する減圧手段５と、洗浄槽３内へ気体を導入する給気手段６と、各手段を制御する制御手段とを備える。減圧手段５は、洗浄槽３内からの排気路１９に真空ポンプ２２を備える。洗浄後の被洗浄物２の乾燥工程の乾燥動作として、給気手段６から洗浄槽３内へ気体を導入させると共に真空ポンプ２２を作動させる通風動作を行わせる。給気手段６は、洗浄槽３内の下方に設けられた液相給気ノズル２９を備えるのが好ましく、この液相給気ノズル２９は、下方に向けて開口する複数のノズル穴２９ａを有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物が収容されると共に液体が貯留される洗浄槽と、この洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出する減圧手段と、前記洗浄槽内へ気体を導入する給気手段と、前記各手段を制御する制御手段とを備え、
前記減圧手段は、前記洗浄槽内からの排気路に真空ポンプを備え、
前記制御手段は、洗浄後の被洗浄物の乾燥工程の乾燥動作として、前記給気手段から前記洗浄槽内へ気体を導入させると共に前記真空ポンプを作動させる通風動作を行わせる
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記給気手段は、前記洗浄槽内の下方に設けられた液相給気ノズルを備え、
前記液相給気ノズルは、下方に向けて開口する複数のノズル穴を有している
ことを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記給気手段からの気体を加温するヒータを備えた
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記ヒータは、蒸気ヒータまたは電気ヒータであり、
前記ヒータが電気ヒータである場合、前記洗浄槽外の給気路に第一電気ヒータを設ける
ことを特徴とする請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄槽内には、前記液相給気ノズルよりも下方に第二電気ヒータを設ける
ことを特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記制御手段は、
前記乾燥工程では、前記洗浄槽外の第一電気ヒータを用い、
前記洗浄槽内に液体を貯留した洗浄工程では、前記洗浄槽内の第二電気ヒータを用いる
ことを特徴とする請求項５に記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記洗浄槽内からの排気路には、熱交換器と前記真空ポンプとが順に設けられ、
前記洗浄工程は、前記減圧手段により前記洗浄槽内を減圧する減圧動作を含み、
前記制御手段は、前記減圧動作では、前記熱交換器に通水させ、前記乾燥工程の前記通風動作では、前記熱交換器に通水させない制御を行う
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄後の被洗浄物の乾燥が可能な洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、下記特許文献１に開示されるように、排気装置（３０）によって洗浄槽（２０）内を減圧して洗浄液（２４）を沸騰させた後、リーク弁（２６）を開放することによって導気口（２５ａ）から液相部へ外気を導入して、被洗浄物を洗浄する洗浄装置が知られている。
【０００３】
この種の洗浄装置では、洗浄終了後、洗浄槽内から排水しても、被洗浄物は濡れた状態にある。洗浄槽内に強制対流を起こして被洗浄物を乾燥させるには、被洗浄物を乾燥装置に移すか、洗浄装置に乾燥用ファンを設置する必要がある。また、仮に真空ポンプ（排気装置）の吸込みをファン代わりに利用するとしても、ファンと比較して真空ポンプの吸込風量は少ないので、洗浄槽内の空気の流れが不均一となるおそれがあり、その対策が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１０５０９号公報（要約の欄）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、乾燥用ファンを設置しなくても、浸漬洗浄後の被洗浄物の乾燥が可能な洗浄装置を提供することにある。また、風量が少なくても、被洗浄物を均一に乾燥可能な洗浄装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、被洗浄物が収容されると共に液体が貯留される洗浄槽と、この洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出する減圧手段と、前記洗浄槽内へ気体を導入する給気手段と、前記各手段を制御する制御手段とを備え、前記減圧手段は、前記洗浄槽内からの排気路に真空ポンプを備え、前記制御手段は、洗浄後の被洗浄物の乾燥工程の乾燥動作として、前記給気手段から前記洗浄槽内へ気体を導入させると共に前記真空ポンプを作動させる通風動作を行わせることを特徴とする洗浄装置である。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、浸漬洗浄後の乾燥工程において、給気手段から洗浄槽内へ気体を導入させつつ真空ポンプで排気することで、洗浄槽内に通風して被洗浄物の乾燥を図ることができる。減圧手段の真空ポンプを利用することで、別途、乾燥用ファンを設置しなくても、洗浄槽内に強制対流を起こして、被洗浄物の乾燥を図ることができる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、前記給気手段は、前記洗浄槽内の下方に設けられた液相給気ノズルを備え、前記液相給気ノズルは、下方に向けて開口する複数のノズル穴を有していることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置である。
【０００９】
請求項２に記載の発明によれば、洗浄槽内の下方に液相給気ノズルを備える。被洗浄物の浸漬洗浄時、所望により、液相給気ノズルから液中に気体を噴出させて、被洗浄物を効果的に洗浄することができる。浸漬洗浄後、洗浄槽内から排水するが、液相給気ノズルの各ノズル穴は下方へ開口して形成されているので、液相給気ノズル内からも排水することができる。その後の乾燥工程では、真空ポンプの吸込みに伴い、液相給気ノズルから洗浄槽内へ気体が導入されるが、液相給気ノズルの各ノズル穴から気体を導入することで、真空ポンプの吸込風量が少なくても、気体の流れを均一にして、被洗浄物を均一に乾燥することができる。その際、事前に液相給気ノズル内からも排水されているので、液相給気ノズル内から導入される空気が湿るおそれがなく、被洗浄物を迅速に乾燥することができる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、前記給気手段からの気体を加温するヒータを備えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄装置である。
【００１１】
請求項３に記載の発明によれば、給気手段により導入される気体をヒータで加温することができるから、被洗浄物を温風で迅速に乾燥することができる。通風動作において洗浄槽内に温風を流通させる場合、乾燥用ファンを設置した場合と比較して、真空ポンプによる風量は比較的少ないので、その分、ヒータの容量を小さくすることができる。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、前記ヒータは、蒸気ヒータまたは電気ヒータであり、前記ヒータが電気ヒータである場合、前記洗浄槽外の給気路に第一電気ヒータを設けることを特徴とする請求項３に記載の洗浄装置である。
【００１３】
請求項４に記載の発明によれば、蒸気ヒータまたは電気ヒータを用いて、被洗浄物を温風で迅速に乾燥することができる。なお、ヒータが電気ヒータである場合、洗浄槽外の給気路に設けることで、被洗浄物の乾燥に適した容量の電気ヒータを設置しやすい。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、前記洗浄槽内には、前記液相給気ノズルよりも下方に第二電気ヒータを設けることを特徴とする請求項４に記載の洗浄装置である。
【００１５】
請求項５に記載の発明によれば、液相給気ノズルよりも下方に第二電気ヒータを設けることで、洗浄工程において、貯留液の加温を図ることができる。また、乾燥工程において、第二電気ヒータを用いる場合でも、液相給気ノズルには下方へ向けてノズル穴が形成されているので、ノズル穴からの噴出気体を第二電気ヒータに当てて加温することができる。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、前記制御手段は、前記乾燥工程では、前記洗浄槽外の第一電気ヒータを用い、前記洗浄槽内に液体を貯留した洗浄工程では、前記洗浄槽内の第二電気ヒータを用いることを特徴とする請求項５に記載の洗浄装置である。
【００１７】
請求項６に記載の発明によれば、第一電気ヒータと第二電気ヒータとを、工程に応じて使い分けることで、各工程に応じた加温を容易に図ることができる。
【００１８】
さらに、請求項７に記載の発明は、前記洗浄槽内からの排気路には、熱交換器と前記真空ポンプとが順に設けられ、前記洗浄工程は、前記減圧手段により前記洗浄槽内を減圧する減圧動作を含み、前記制御手段は、前記減圧動作では、前記熱交換器に通水させ、前記乾燥工程の前記通風動作では、前記熱交換器に通水させない制御を行うことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の洗浄装置である。
【００１９】
請求項７に記載の発明によれば、洗浄槽内からの排気路に、熱交換器と真空ポンプとを順に備える。そして、洗浄工程の減圧動作では、熱交換器に通水することで効率的な減圧を図ることができる一方、乾燥工程の通風動作では、熱交換器に通水しないことで水の節約を図ることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の洗浄装置によれば、乾燥用ファンを設置しなくても、浸漬洗浄後の被洗浄物を乾燥することができる。また、真空ポンプを用いることで風量が少なくても、被洗浄物を均一に乾燥することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施例１の洗浄装置を示す概略図である。
【図２】図１の洗浄装置による乾燥工程の一例を示す概略図であり、洗浄槽内の圧力Ｐ（縦軸）と経過時間ｔ（横軸）との関係を示している。
【図３】本発明の実施例２の洗浄装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の具体的実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００２３】
図１は、本発明の実施例１の洗浄装置１を示す概略図である。
本実施例の洗浄装置１は、被洗浄物２が収容されると共に液体が貯留される洗浄槽３と、この洗浄槽３内の貯留液を加温する加温手段４と、洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出して洗浄槽３内を減圧する減圧手段５と、減圧された洗浄槽３内の液相部へ外気を導入する液相給気手段６と、減圧された洗浄槽３内の気相部へ外気を導入する気相給気手段７と、これら各手段４〜７を制御する制御手段（図示省略）とを備える。
【００２４】
被洗浄物２は、洗浄を図りたい物品であり、たとえば、医療器械、電子部品または機械部品である。被洗浄物２は、洗浄槽３内に設けられた網棚８に載せられて、洗浄槽３内に収容される。
【００２５】
洗浄槽３は、内部空間の減圧に耐える中空容器であり、本実施例では略矩形のボックス状に形成されている。洗浄槽３は、上方へ開口する洗浄槽本体９と、この洗浄槽本体９の開口部を開閉するドア１０とを備える。ドア１０を閉じた状態では、洗浄槽本体９とドア１０との隙間はパッキン１１で封止される。
【００２６】
図示しないが、洗浄槽３には、給水手段および排水手段の他、所望により薬液供給手段も設けられる。給水手段は、洗浄槽３内へ水を供給する手段であり、排水手段は、洗浄槽３外へ水を排出する手段である。また、薬液供給手段は、洗浄槽３内へ薬液を供給する手段である。給水手段による給水に薬液供給手段による薬液を投入することで、所望濃度の洗浄液とすることができる。
【００２７】
洗浄槽３には、圧力センサ１２と温度センサ１３とが設けられる。圧力センサ１２は、洗浄槽３の上部に設けられる一方、温度センサ１３は、洗浄槽３の下部に設けられる。そのため、洗浄槽３内に液体を貯留した状態では、圧力センサ１２により洗浄槽３内の気相部の圧力を検出でき、温度センサ１３により洗浄槽３内の液相部の温度を検出できる。
【００２８】
加温手段４は、被洗浄物２の浸漬洗浄時、洗浄槽３内の液体を加温する。また、本実施例では、加温手段４は、浸漬洗浄後の被洗浄物２の乾燥時、洗浄槽３内へ導入される気体を加温する。
【００２９】
加温手段４は、本実施例では蒸気ヒータ１４から構成される。具体的には、洗浄槽３内の下部にはパイプ材が設けられ、このパイプ材には、一端部から給蒸路１５を介して蒸気が供給され、他端部からドレン排出路１６を介してドレンが排出される。給蒸路１５には、給蒸弁１７が設けられる一方、ドレン排出路１６には、スチームトラップ１８が設けられる。給蒸弁１７の開閉または開度を制御して、洗浄槽３内の温度を調整することができる。
【００３０】
減圧手段５は、洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出して、洗浄槽３内を減圧する。本実施例では、洗浄槽３内からの排気路１９に、熱交換器２０、逆止弁２１および真空ポンプ２２が順に設けられて構成される。
【００３１】
熱交換器２０は、排気路１９内の流体と冷却水とを混ぜることなく熱交換する間接熱交換器である。熱交換器２０には、熱交給水路２３を介して冷却水が供給され、熱交排水路２４を介して冷却水が排出される。熱交換器２０において、排気路１９内の蒸気を、冷却水により冷却し凝縮させることができる。熱交給水路２３（または熱交排水路２４）に設けた熱交給水弁２５の開閉により、熱交換器２０への通水の有無を切り替えることができる。
【００３２】
真空ポンプ２２は、水封式であり、周知のとおり、封水と呼ばれる水が供給されつつ運転される。そのために、真空ポンプ２２には、封水給水路２６を介して水が供給される。封水給水路２６には封水給水弁２７が設けられており、この封水給水弁２７は、真空ポンプ２２の発停と連動して開閉される。
【００３３】
液相給気手段６は、被洗浄物２の浸漬洗浄時、減圧された洗浄槽３内の液相部へ、液相給気路２８を介して外気を導入する。また、詳細は後述するが、液相給気手段６は、浸漬洗浄後の被洗浄物２の乾燥時、排水済の洗浄槽３内に外気を導入するのにも用いられる。外気は、液相給気ノズル２９を介して導入されるのが好ましい。液相給気ノズル２９は、水平に配置されたパイプ材に、その長手方向へ離隔して複数のノズル穴２９ａが下方へ開口して形成されている。洗浄槽３内には、平面視において、液相給気ノズル２９が蛇行して配置されるのが好ましい。液相給気ノズル２９への液相給気路２８には、フィルタ３０および液相給気弁３１が順に設けられている。洗浄槽３内が減圧された状態で液相給気弁３１を開けると、洗浄槽３の内外の差圧により、フィルタ３０を介した空気を洗浄槽３内へ導入することができる。なお、液相給気ノズル２９は、蒸気ヒータ１４の上部に配置されるのが好ましい。
【００３４】
気相給気手段７は、減圧された洗浄槽３内の気相部へ、気相給気路３２を介して外気を導入する。洗浄槽３内への気相給気路３２には、フィルタ３３および気相給気弁３４が順に設けられている。洗浄槽３内が減圧された状態で気相給気弁３４を開けると、洗浄槽３の内外の差圧により、フィルタ３３を介した空気を洗浄槽３内へ導入して、洗浄槽３内を復圧することができる。
【００３５】
制御手段は、前記各センサ１２，１３の検出信号や経過時間などに基づき、前記各手段４〜７などを制御する制御器である。具体的には、給蒸弁１７、真空ポンプ２２、熱交給水弁２５、封水給水弁２７、液相給気弁３１、気相給気弁３４の他、圧力センサ１２および温度センサ１３などは、制御器に接続されている。また、制御器には、図示しないが、前述したとおり、給水手段（たとえば給水弁）、排水手段（たとえば排水弁）および薬液供給手段（たとえば薬液弁）も接続されている。そして、制御器は、以下に述べるように、所定の手順（プログラム）に従い、洗浄槽３内の被洗浄物２の洗浄と、その後の乾燥を図る。
【００３６】
以下、本実施例の洗浄装置１の運転方法の一例について説明する。
運転開始に先立ち、洗浄槽３内に被洗浄物２を収容し、洗浄槽３のドア１０を気密に閉じる。その後、所定のスタートボタンを押すなど、運転開始を指示すると、制御器は、被洗浄物２の洗浄工程と乾燥工程とを順次に実行する。
【００３７】
洗浄工程では、被洗浄物２が浸漬される所定水位まで、給水手段により洗浄槽３内に給水する。この間、気相給気弁３４を開けておくか、減圧手段５を作動させておけばよい。洗浄槽３内への給水後には、所望により、薬液供給手段により薬液を投入する。そして、加温手段４による貯留液の加温動作、減圧手段５による洗浄槽３内の減圧動作、減圧下の洗浄槽３内への液相給気手段６または気相給気手段７による復圧動作などを利用して、被洗浄物２を洗浄する。なお、洗浄工程での減圧動作では、真空ポンプ２２を作動させると共に、熱交給水弁２５を開けて熱交換器２０に通水するのが好ましい。
【００３８】
洗浄工程では、たとえば、加温手段４により洗浄槽３内の液体を所定温度まで加温後、次に述べる液相給気パルス制御と気相給気パルス制御との内、一方または双方を実行して、被洗浄物２を洗浄する。洗浄槽３内の液体を所定温度まで加温するには、本実施例では蒸気ヒータ１４への給蒸弁１７を開ければよい。その間、その他の弁２５，２７，３１，３４は閉じられており、真空ポンプ２２は停止している。
【００３９】
液相給気パルス制御では、減圧手段５により、洗浄槽３内の液体を沸騰させるかその直前まで洗浄槽３内を減圧した状態で、液相給気手段６により、被洗浄物２よりも下方から洗浄槽３内の液相部に外気を導入して液体を突沸させる。これにより、貯留液の爆発的な噴上げとそれに続く落下とによって、貯留液を大きく揺動させることができ、被洗浄物２を効果的に洗浄することができる。その後、洗浄槽３内の貯留液を再び所定温度まで加温し、洗浄槽３内を減圧後に洗浄槽３内の液相部に外気を導入することを、所定の終了条件を満たすまで繰り返すのがよい。
【００４０】
気相給気パルス制御では、減圧手段５により、洗浄槽３内の液体を沸騰させ続けるように洗浄槽３内の減圧を継続し、この減圧中、洗浄槽３内の気相部に外気を導入して、液体の沸騰が止むまで瞬時に一時的に復圧することを、所定の終了条件を満たすまで繰り返す。この制御によれば、洗浄槽３内の復圧の度に、それまでの沸騰により液体中に生じていた気泡は、瞬時に凝縮する。この凝縮時の圧力波や圧力差で、液体が撹拌および移送され、被洗浄物２の洗浄が図られる。また、被洗浄物２が貫通穴や袋穴を有する場合、沸騰により生じた蒸気を穴内に溜め、復圧時にその蒸気溜まりを一気に消して、穴内に液体を勢いよく入れることでも、被洗浄物２の洗浄が図られる。
【００４１】
洗浄工程の終了後、洗浄槽３内の貯留水は、排水手段により排水される。具体的には、気相給気弁３４を開けた状態で、排水弁（図示省略）を開ければよい。液相給気ノズル２９は、ノズル穴２９ａが下方へ開口して形成されているので、洗浄槽３内からの排水時、液相給気ノズル２９内からも排水することができる。なお、水を入れ替えて（あるいは入れ替えないで）、洗浄工程を複数回繰り返したり、洗浄工程後に濯ぎ工程を実施したりしてもよい。洗浄工程と濯ぎ工程とは、貯留水への薬液の投入の有無、または薬液の種類が異なるが、基本的には同様の内容で実施される。洗浄工程や濯ぎ工程の後、乾燥工程が行われる。
【００４２】
図２は、本実施例の洗浄装置１による乾燥工程の一例を示す概略図であり、洗浄槽３内の圧力Ｐ（縦軸）と経過時間ｔ（横軸）との関係を示している。図中、符号Ｐ０は、大気圧を示している。
【００４３】
乾燥工程では、洗浄槽３内へ気体を導入させると共に真空ポンプ２２を作動させる通風動作により、洗浄槽３内の被洗浄物２の乾燥が図られる。図２において、実線が通風動作を示している。通風動作は、たとえば設定時間だけ行われる。
【００４４】
通風動作の際、洗浄槽３内への気体の導入は、気相給気手段７ではなく、液相給気手段６の液相給気ノズル２９から行うのが好ましい。従って、好適には、気相給気弁３４を閉じたまま、液相給気弁３１を開けた状態で、真空ポンプ２２を作動させればよい。この場合、真空ポンプ２２による排気に伴い、洗浄槽３内には液相給気ノズル２９から外気が導入され、洗浄槽３内に通風して被洗浄物２の乾燥を図ることができる。
【００４５】
真空ポンプ２２による洗浄槽３内からの排気口（洗浄槽３に対する排気路１９の接続部）１９ａは、被洗浄物２よりも上方である一方、液相給気ノズル２９は、被洗浄物２よりも下方に配置される（しかもノズル穴２９ａが下向きである）ので、液相給気ノズル２９からの空気は、排気口１９ａへショートパスすることなく、被洗浄物２を通過して被洗浄物２を効果的に乾燥させる。また、前述したとおり、洗浄工程の終了時、液相給気ノズル２９内からも排水されているので、液相給気ノズル２９内から導入される空気が湿るおそれがなく、被洗浄物２を迅速に乾燥することができる
【００４６】
通風動作では、真空ポンプ２２の吸込みに伴い、液相給気ノズル２９から洗浄槽３内へ外気を引き込む（つまり外気を自然に導入する）ことができる。その際、液相給気ノズル２９の各ノズル穴２９ａから外気を導入することで、真空ポンプ２２の吸込風量が少なくても、洗浄槽３内における空気の流れを均一にして、被洗浄物２を均一に乾燥させることができる。
【００４７】
通風動作では、熱交給水弁２５を閉じたままとして、熱交換器２０に通水しないのが好ましい。これにより、熱交換器２０で使用される水の節約を図ることができる。但し、所望により、通風動作でも、熱交給水弁２５を開けて、熱交換器２０に通水してもよい。
【００４８】
通風動作では、給蒸弁１７を開けて、蒸気ヒータ１４を作動させるのが好ましい。これにより、洗浄槽３内に温風を流通させて、被洗浄物２の乾燥を迅速に図ることができる。液相給気ノズル２９のノズル穴２９ａは、下向きに形成されており、ノズル穴２９ａからの空気は蒸気ヒータ１４に接触して確実に加温されることになる。温度センサ１３の検出温度に基づき、給蒸弁１７を制御することで、温風の温度（洗浄槽３内の温度）を設定温度（たとえば６０〜１００℃）に維持することができる。なお、乾燥用ファンを設置した場合と比較して、真空ポンプ２２による通風量は少ないので、その分、蒸気ヒータ１４での加熱量（また後述する実施例２のように電気ヒータの場合にはその容量や出力）を小さくすることができる。
【００４９】
ところで、図２において二点鎖線で示すように、乾燥工程では、通風動作に加えて、真空乾燥動作や、大気圧（または大気圧付近）までの復圧動作を行ってもよい。
【００５０】
たとえば、図２において二点鎖線Ｘで示すように、乾燥工程の開始時、通風動作に代えて、真空乾燥動作を実施してもよい。その場合、気相給気弁３４および液相給気弁３１を閉じた状態で、減圧手段５により洗浄槽３内を所定圧力まで（または所定時間）減圧すればよい。この際、真空ポンプ２２を作動させるが、熱交換器２０には通水してもよいし、通水しなくてもよい。また、加温手段４は、停止させているが、所望により作動させてもよい。洗浄槽３内を減圧することで、被洗浄物２の粗熱を取ると共に、被洗浄物２からの水切りを図ることができる。真空乾燥動作の終了に伴い、液相給気弁３１を開ければ、洗浄槽３内がやや復圧されて、通風動作に移行することができる。
【００５１】
また、図２において二点鎖線Ｙで示すように、通風動作中（あるいは通風動作終了後）、復圧動作として、洗浄槽３内を一時的に大気圧（または大気圧付近）まで復圧してもよい。これには、減圧手段５（具体的には真空ポンプ２２）を停止させればよい。これにより、液相給気ノズル２９からの給気により、洗浄槽３内が大気圧まで復圧されることになる。そして、復圧状態のまま所定時間保持するのが好ましい。その間も加温手段４を作動させておくことで、洗浄槽３内に空気を滞留させた状態でその空気を加温して、被洗浄物２の乾燥を図ることができる。また、この復圧動作により被洗浄物２を加温しておけば、その後の真空乾燥動作により、被洗浄物２の真空乾燥を確実に図ることができる。
【００５２】
その後、図２において二点鎖線Ｚで示すように、洗浄槽３内を再び減圧して、真空乾燥動作を実施するのがよい。乾燥工程の最終部で行う真空乾燥動作では、加温手段４を作動させる必要はないし、熱交換器２０に通水する必要もない。この真空乾燥動作でも、液相給気弁３１や気相給気弁３４を閉じた状態で、洗浄槽３内を所定圧力まで（または所定時間）減圧すればよい。これにより、被洗浄物２の冷却を図ることができる。
【００５３】
所定の終了条件を満たすと、乾燥工程を終了する。乾燥工程の終了時、減圧手段５を停止すると共に、液相給気弁３１（および／または気相給気弁３４）を開ければよい。これにより、洗浄槽３内を大気圧まで復圧して、一連の運転を終了する。
【実施例２】
【００５４】
図３は、本発明の実施例２の洗浄装置１を示す概略図である。
本実施例２の洗浄装置１も、基本的には前記実施例１と同様である。そこで、以下においては、両者の異なる点を中心に説明し、対応する箇所には同一の符号を付して説明する。
【００５５】
本実施例２の洗浄装置１は、加温手段４および液相給気手段６の構成において、前記実施例１と相違する。具体的には、加温手段４は、蒸気ヒータ１４ではなく、電気ヒータ３５，３６から構成される。しかも、電気ヒータとして、洗浄槽３外の液相給気路２８ａに第一電気ヒータ３５を備えると共に、洗浄槽３内に第二電気ヒータ３６を備える。第二電気ヒータ３６は、前記実施例１の蒸気ヒータ１４と同様、液相給気ノズル２９よりも下方に設けられる。なお、第一電気ヒータ３５は、第一液相給気路２８ａを通過する空気を加温可能に構成される。また、第一電気ヒータ３５は、第二電気ヒータ３６よりも小容量（小出力）のヒータとされている。各電気ヒータ３５，３６は、制御器に接続され、オンオフ制御されるか、出力（電力）が制御される。
【００５６】
本実施例２の液相給気手段６では、フィルタ３０と液相給気ノズル２９が、第一液相給気路２８ａを介して接続される。フィルタ３０から液相給気ノズル２９への第一液相給気路２８ａには、第一電気ヒータ３５と第一液相給気弁３１ａとが順に設けられる。第一液相給気路２８ａには、第一電気ヒータ３５と第一液相給気弁３１ａとをバイパスするように、第二液相給気路２８ｂが設けられる。つまり、フィルタ３０と第一電気ヒータ３５との間の第一液相給気路２８ａと、第一液相給気弁３１ａと液相給気ノズル２９との間の第一液相給気路２８ａとが、第二液相給気路２８ｂで接続される。この第二液相給気路２８ｂには、第二液相給気弁３１ｂが設けられる。
【００５７】
第一液相給気路２８ａと第二液相給気路２８ｂの管径を変えておけば、各液相給気路２８ａ，２８ｂによる給気流量を変えることができる。たとえば、第一液相給気路２８ａの管径（内径）を第二液相給気路２８ｂの管径（内径）よりも大きくしておくのがよい。この場合、洗浄工程では、第二液相給気弁３１ｂを開けて、第二液相給気路２８ｂにより比較的小流量で給気することができ、乾燥工程では、第一液相給気弁３１ａを開けて、第一液相給気路２８ａにより比較的大流量で給気することができる。
【００５８】
本実施例２の洗浄装置１の運転方法も、基本的には前記実施例１と同様であるが、特に次の点が異なる。洗浄工程において、洗浄槽３内に被洗浄物が浸漬された状態で、液相部へ給気する際、第二液相給気弁３１ｂを開けて第二液相給気路２８ｂから給気するのがよい。その際、第一電気ヒータ３５は停止させておけばよい。洗浄工程において、貯留液を加温したい場合、第二電気ヒータ３６が用いられる。
【００５９】
一方、乾燥工程の通風動作時、液相給気ノズル２９から洗浄槽３内へ給気する際、第一液相給気弁３１ａを開けて第一液相給気路２８ａから給気するのがよい。その際、第一電気ヒータ３５を作動させることで、加温した空気を洗浄槽３内へ供給することができる。この場合、洗浄槽３内の第二電気ヒータ３６を作動させる必要はない。温度センサ１３の検出温度に基づき第一電気ヒータ３５の発停（または出力）を制御することで、給気温度（洗浄槽３内の温度）を所望に調整することができる。その他の構成および制御は、前記実施例１と同様のため、説明を省略する。
【００６０】
本発明の洗浄装置１は、前記各実施例の構成（制御を含む）に限らず、適宜変更可能である。特に、（ａ）洗浄槽３と、洗浄槽３内の減圧手段５と、洗浄槽３内への給気手段６（７）と、制御手段とを備え、（ｂ）減圧手段５は、洗浄槽３内からの排気路１９に真空ポンプ２２を備え、（ｃ）制御手段は、洗浄後の被洗浄物２の乾燥工程の乾燥動作として、給気手段６（７）から洗浄槽３内へ気体を導入させると共に真空ポンプ２２を作動させる通風動作を行わせるのであれば、その他の構成は適宜に変更可能である。
【００６１】
たとえば、前記実施例２では、液相給気ノズル２９には、第一液相給気路２８ａと第二液相給気路２８ｂとにより給気可能とされたが、場合により、第二液相給気路２８ｂの設置を省略してもよい。その場合、第一液相給気弁３１ａを開ければ、フィルタ３０および第一電気ヒータ３５を介した空気が供給されるが、第一電気ヒータ３５の作動の有無を状況に応じて切り替えればよい。具体的には、洗浄工程では、洗浄槽３内の第二電気ヒータ３６を用いるので、第一電気ヒータ３５を停止させておけばよいし、乾燥工程では、洗浄槽３外の第一電気ヒータ３５を用いるので、第二電気ヒータ３６を停止させておけばよい。
【００６２】
また、前記実施例２では、洗浄槽３外に第一電気ヒータ３５を設ける一方、洗浄槽３内に第二電気ヒータ３６を設けたが、場合により、第一電気ヒータ３５および／または第二電気ヒータ３６の設置を省略することができる。第一電気ヒータ３５の設置を省略する場合、乾燥工程において洗浄槽３内を加温する際、前記実施例１と同様に、第二電気ヒータ３６を作動させればよい。特に、第二電気ヒータ３６が出力（発熱量）を調整できる場合、第一電気ヒータ３５の設置を省略しやすい。なお、第一電気ヒータ３５を設置しない場合、液相給気手段６の構成は、第一液相給気路２８ａの設置を省略して、実施例１と同様に構成することができる。一方、第二電気ヒータ３６の設置を省略しても、第一電気ヒータ３５を用いて、温風による通風動作を実施可能である。また、両電気ヒータ３５，３６の設置を省略しても、常温空気による通風動作を実施可能である。
【００６３】
さらに、本発明は、通風動作を実行可能であれば、従来公知の各種の浸漬洗浄装置にも適用可能である。たとえば、超音波振動子を備えた超音波洗浄装置や、洗浄槽内へエアポンプで空気を吹き込むバブリング洗浄装置にも適用可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１  洗浄装置
２  被洗浄物
３  洗浄槽
４  加温手段
５  減圧手段
６  液相給気手段
７  気相給気手段
８  網棚
９  洗浄槽本体
１０  ドア
１１  パッキン
１２  圧力センサ
１３  温度センサ
１４  蒸気ヒータ
１５  給蒸路
１６  ドレン排出路
１７  給蒸弁
１８  スチームトラップ
１９  排気路（１９ａ：排気口）
２０  熱交換器
２１  逆止弁
２２  真空ポンプ
２３  熱交給水路
２４  熱交排水路
２５  熱交給水弁
２６  封水給水路
２７  封水給水弁
２８  液相給気路（２８ａ：第一液相給気路、２８ｂ：第二液相給気路）
２９  液相給気ノズル（２９ａ：ノズル穴）
３０  フィルタ
３１  液相給気弁（３１ａ：第一液相給気弁、３１ｂ：第二液相給気弁）
３２  気相給気路
３３  フィルタ
３４  気相給気弁
３５  第一電気ヒータ
３６  第二電気ヒータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
2019217440.tif 000005