(57)【要約】【課題】超高輝度で且つコンパクトなレーザ装置。【解決手段】複数のビームを１本のファイバ１５に結合させるレーザ装置であり、光軸を中心とし光軸から所定距離離れた位置で且つ周方向に略等間隔に配置され、複数のビームを出射する複数のレーザダイオード１０と、レーザダイオードよりも光軸側に複数のレーザダイオードと対応して配置され、複数のレーザダイオードから出射される複数のビームを平行にさせる複数の光学素子１１と、光学素子よりも光軸側に複数の光学素子と対応して配置され、複数の光学素子からのビームの進行方向を制御する複数の光進行方向制御手段１３と、複数の光進行方向制御手段で進行方向が制御された複数のビームをファイバに集光させる集光部１４とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のビームを１本のファイバに結合させるレーザ装置であって、
光軸を中心とし前記光軸から所定距離離れた位置で且つ周方向に略等間隔に配置され、前記複数のビームを出射する複数のレーザダイオードと、
前記レーザダイオードよりも光軸側に前記複数のレーザダイオードと対応して配置され、前記複数のレーザダイオードから出射される前記複数のビームを平行にさせる複数の光学素子と、
前記光学素子よりも前記光軸側に前記複数の光学素子と対応して配置され、前記複数の光学素子からのビームの進行方向を制御する複数の光進行方向制御手段と、
前記複数の光進行方向制御手段で進行方向が制御された前記複数のビームを前記ファイバに集光させる集光部と、
を備えることを特徴とするレーザ装置。
【請求項２】
前記複数の光進行方向制御手段と前記集光部との間に配置され、前記複数の光進行方向制御手段からの前記複数のビームの断面積を縮小する縮小光学系を備えることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項３】
複数のビームを１本のファイバに結合させるレーザ装置であって、
光軸を中心とし前記光軸から所定距離離れた位置で且つ周方向に略等間隔に配置され、前記複数のビームを出射する複数のレーザダイオードと、
前記複数のレーザダイオードと対応して配置され、前記複数のレーザダイオードから出射される前記複数のビームを平行にさせて第１進行方向に進行させる複数の光学素子と、
前記複数の光学素子と対応して配置され、前記複数の光学素子からの第１進行方向のビームの進行方向を制御する複数の第１の光進行方向制御手段と、
前記複数の第１の光進行方向制御手段と対応して配置され、前記複数の第１の光進行方向制御手段で制御された前記複数のビームの進行方向を、前記第１進行方向とは異なる方向の第２光進行方向に変更させる複数の第２の光進行方向制御手段と、
前記複数の第２の光進行方向制御手段で進行方向が制御された前記複数のビームを前記ファイバに集光させる集光部と、
を備えることを特徴とするレーザ装置。
【請求項４】
前記複数のレーザダイオードを放熱させるための放熱素子を備え、
前記複数のレーザダイオードは、前記放熱素子に取り付けられていることを特徴とする請求項３記載のレーザ装置。
【請求項５】
前記光軸を中心とし前記光軸から所定距離離れた位置で且つ周方向に略等間隔に配置され、前記複数のレーザダイオードとは所定距離離間して配置され、前記複数のビームを前記光軸方向に出射する複数の第２のレーザダイオードと、
前記第２のレーザダイオードよりも光軸側に前記複数の第２のレーザダイオードと対応して配置され、前記複数の第２のレーザダイオードから出射される前記複数のビームを平行にさせる複数の第２の光学素子と、
前記第２の光学素子よりも前記光軸側に前記複数の第２の光学素子及び前記複数の光進行方向制御手段と対応して配置され、反射面を有し、前記複数の光進行方向制御手段からのＰ偏光のビームを前記反射面で透過させて前記集光部に出射し、前記複数の第２の光学素子からのＳ偏光のビームを前記反射面で反射させて前記集光部に出射する複数の偏光ビームスプリッタと、
を備えることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項６】
前記複数のレーザダイオード、前記複数の光学素子、及び前記複数の光進行方向制御手段の各々は、奇数個設けられることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工装置、レーザ照明装置等に適用されるレーザ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ファイバ出力型の高出力レーザは、光源部と出射部とを離間して配置することができる。このレーザは、出射部を軽量化、小型化させることができるため、レーザ加工ロボットや溶接ロボット等に搭載されている。
【０００３】
また、ファイバ出力型の高出力レーザは、自由空間出力型の高出力レーザに比べて、レーザを搭載する装置を設計する自由度が格段に優れている。
【０００４】
ファイバ出力型のレーザの輝度特性は、ファイバコア径、ファイバＮＡ（開口数）によって決定される。輝度が高いほど小さなスポットに絞ることができ、焦点深度が深くなる。このため、一般的に輝度の大きなビームが求められている。また、輝度が高いと光学系の小型化を図ることができる。
【０００５】
高輝度高出力なファイバ出力型のダイレクトダイオードレーザでは、複数の半導体レーザから出射されたコリメートビームを、プリズムやミラー等の複数の光進行方向制御手段やテレスコープ等の複数の光断面積制御手段を用いて自由に制御し、ビームを結合レンズで集光してファイバコアに結合させる。即ち、ビームの空間合波が行われる。
【０００６】
複数のレーザダイオードから出射されたビームを空間合波させるための手法として、特許文献１が知られている。特許文献１では、基本的に、レーザダイオードのパッケージサイズやコリメートレンズ及びそのレンズホルダサイズによって、レーザダイオードの配置関係が決定される。このため、空間合波方式でコリメートビームの進行方向を光軸中心に寄せて、ファイバ結合効率を高めている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１４−１９２４５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載された半導体レーザ装置にあっては、空間合波が十分になされておらず、超高輝度を実現することができなかった。
【０００９】
本発明の課題は、空間合波方式のファイバ結合型で、超高輝度且つコンパクトなレーザ装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明に係るレーザ装置は、複数のビームを１本のファイバに結合させるレーザ装置であって、光軸を中心とし前記光軸から所定距離離れた位置で且つ周方向に略等間隔に配置され、前記複数のビームを光軸方向に出射する複数のレーザダイオードと、前記レーザダイオードよりも光軸側に前記複数のレーザダイオードと対応して配置され、前記複数のレーザダイオードから出射される前記複数のビームを平行にさせる複数の光学素子と、前記光学素子よりも前記光軸側に前記複数の光学素子と対応して配置され、前記複数の光学素子からのビームの進行方向を制御する複数の光進行方向制御手段と、前記複数の光進行方向制御手段で進行方向が制御された前記複数のビームを前記ファイバに集光させる集光部とを備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、複数のビームを１本のファイバに結合させるレーザ装置であって、光軸を中心とし前記光軸から所定距離離れた位置で且つ周方向に略等間隔に配置され、前記複数のビームを出射する複数のレーザダイオードと、前記複数のレーザダイオードと対応して配置され、前記複数のレーザダイオードから出射される前記複数のビームを平行にさせて第１進行方向に進行させる複数の光学素子と、前記複数の光学素子と対応して配置され、前記複数の光学素子からの第１進行方向のビームの進行方向を制御する複数の第１の光進行方向制御手段と、前記複数の第１の光進行方向制御手段と対応して配置され、前記複数の第１の光進行方向制御手段で制御された前記複数のビームの進行方向を、前記第１進行方向とは異なる方向の第２光進行方向に変更させる複数の第２の光進行方向制御手段と、前記複数の第２の光進行方向制御手段で進行方向が制御された前記複数のビームを前記ファイバに集光させる集光部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、空間合波方式のファイバ結合型で、超高輝度且つコンパクトなレーザ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施例１のレーザ装置の構成図である。
【図２】図１に示す実施例１のレーザ装置のＡ−Ａ間の断面図である。
【図３】本発明の実施例２のレーザ装置の構成図である。
【図４】本発明の実施例３のレーザ装置の構成図である。
【図５】図４に示す実施例３のレーザ装置のＥ−Ｅ間の断面図である。
【図６】本発明の実施例４のレーザ装置の構成図である。
【図７】本発明の実施例５のレーザ装置の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明のレーザ装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１５】
（実施例１）
図１（ａ）は、本発明の実施例１のレーザ装置の構成図である。図１（ｂ）は、Ｂから結合レンズ１４を見た図であり、本発明の実施例１のレーザ装置の結合レンズ１４上の楕円状のコリメートビームを示す図である。図１（ｃ）は、Ｃからファイバ１５の端面を見た図であり、ファイバ１５の端面におけるビームを示す図である。図２は、図１に示す実施例１のレーザ装置のＡ−Ａ間の断面図である。
【００１６】
レーザ装置は、複数のビームを１本のファイバ１５に結合させる。レーザ装置は、レーザダイオード１０−１〜１０−６、コリメートレンズ１１−１〜１１−６、ホルダ１２−１〜１２−６、プリズムミラー１３−１〜１３−６、結合レンズ１４を備えている。
【００１７】
レーザダイオード１０−１〜１０−６、コリメートレンズ１１−１〜１１−６は、ホルダ１２−１〜１２−６に固定されている。図１では、レーザダイオード１０、コリメートレンズ１１、ホルダ１２の各々が６個である。これらの数は、６個に限定されることなく、６個以外でも良い。
【００１８】
レーザダイオード１０−１〜１０−６は、光軸Ｏを中心とし光軸Ｏから所定距離離れた位置で且つ周方向に略等間隔（約６０°間隔）に配置され、各々のレーザダイオードは、ビームを光軸方向に出射する。ファイバ１５の中心軸は、結合レンズ１４の光軸Ｏの同一線上にある。
【００１９】
レーザダイオード１０−１〜１０−６のファスト軸成分あるいはスロー軸成分が光軸Ｏを中心として、放射方向又は円周方向と一致するように配置されている。
【００２０】
コリメートレンズ１１−１〜１１−６は、本発明の複数の光学素子に対応し、レーザダイオード１０−１〜１０−６よりも光軸側に、レーザダイオード１０−１〜１０−６と対応して配置され、レーザダイオード１０−１〜１０−６から出射される複数のビームを平行にさせる。
【００２１】
プリズムミラー１３−１〜１３−６は、本発明の光進行方向制御手段に対応し、コリメートレンズ１１−１〜１１−６よりも光軸側に、複数のコリメートレンズ１１−１〜１１−６と対応して配置され、コリメートレンズ１１−１〜１１−６からのビームを反射させることにより、ビームの進行方向を変更させて結合レンズ１４に導く。プリズムミラー１３−１〜１３−６は、三角形をなし、ファイバ１５の軸（＋Ｚ軸）延長上に配置され、＋ｒ方向からレーザビームが入力される。
【００２２】
結合レンズ１４は、本発明の集光部に対応し、プリズムミラー１３−１〜１３−６で進行方向が制御された複数のビームをファイバ１５に集光させる。結合レンズ１４は、ファイバ１５にビームを高輝度結合させるためにファイバ端面が焦点位置になるように配置されている。
【００２３】
このように、実施例１のレーザ装置によれば、光軸Ｏから所定距離離れた位置で且つ周方向に略等間隔に配置されたレーザダイオード１０−１〜１０−６からのレーザビームは、図１及び図２に示すように、光軸方向に出射され、コリメートレンズ１１−１〜１１−６でコリメートされる。
【００２４】
さらに、コリメートレンズ１１−１〜１１−６でコリメートされた複数のビームは、ファイバ１５の中心軸（＋Ｚ軸）延長上に配置されたプリズムミラー１３−１〜１３−６で反射されて図１に示すように、結合レンズ１４に送られる。結合レンズ１４では、プリズムミラー１３−１〜１３−６からのビームを集光させてファイバ１５の端面に結合させる。
【００２５】
従って、超高輝度なレーザ装置を提供することができる。また、レーザダイオード１０−１〜１０−６、コリメートレンズ１１−１〜１１−６、プリズムミラー１３−１〜１３−６を周方向に略等間隔に配置したので、ファイバ１５の軸方向の長さを短くことができ、レーザ装置をコンパクト化することができる。
【００２６】
（実施例２）
図３（ａ）は、本発明の実施例２のレーザ装置の構成図である。図３（ｂ）は、実施例２のレーザ装置の結合レンズ上のビームを示す図である。実施例２のレーザ装置は、レーザダイオード１０−１Ａ〜１０−６Ａ、コリメートレンズ１１−１Ａ〜１１−６Ａ、ホルダ１２−１Ａ〜１２−６Ａ、プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａ、結合レンズ１４を備えている。レーザ装置は、レーザダイオード１０−１Ｂ〜１０−６Ｂ、コリメートレンズ１１−１Ｂ〜１１−６Ｂ、ホルダ１２−１Ｂ〜１２−６Ｂ、プリズムミラー１３−１Ｂ〜１３−６Ｂを備えている。
【００２７】
レーザダイオード１０−１Ａ〜１０−６Ａ，１０−１Ｂ〜１０−６Ｂは、図１に示したレーザダイオード１０−１〜１０−６の構成と同一構成である。コリメートレンズ１１−１Ａ〜１１−６Ａ，１１−１Ｂ〜１１−６Ｂは、図１に示したコリメートレンズ１１−１〜１１−６の構成と同一構成である。ホルダ１２−１Ａ〜１２−６Ａ，１２−１Ｂ〜１２−６Ｂは、図１に示したホルダ１２−１〜１２−６の構成と同一構成である。プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａ，プリズムミラー１３−１Ｂ〜１３−６Ｂは、図１に示したプリズムミラー１３−１〜１３−６の構成と同一構成である。
【００２８】
レーザダイオード１０−１Ａ〜１０−６Ａ，コリメートレンズ１１−１Ａ〜１１−６Ａ，ホルダ１２−１Ａ〜１２−６Ａ、プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａは、レーザダイオード１０−１Ｂ〜１０−６Ｂ、コリメートレンズ１１−１Ｂ〜１１−６Ｂ、ホルダ１２−１Ｂ〜１２−６Ｂ、プリズムミラー１３−１Ｂ〜１３−６Ｂに対して、ファイバ１５の軸方向にずらして配置されている。プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａとは、プリズムミラー１３−１Ｂ〜１３−６Ｂに対して、ｒ方向にずらして配置されている。
【００２９】
さらに、プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａ，１３−１Ｂ〜１３−６Ｂと結合レンズ１４との間にテレスコープ１６（本発明の縮小光学系に対応）が配置されている。テレスコープ１６は、プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａ，１３−１Ｂ〜１３−６Ｂからの複数のビームの断面積を縮小して結合レンズ１４に出射する。
【００３０】
このように、実施例２のレーザ装置によれば、レーザダイオード１０−１Ａ〜１０−６Ａのビームは、プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａを介してテレスコープ１６に送られる。レーザダイオード１０−１Ｂ〜１０−６Ｂのビームは、プリズムミラー１３−１Ｂ〜１３−６Ｂを介してテレスコープ１６に送られる。テレスコープ１６は、プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａ，１３−１Ｂ〜１３−６Ｂからの複数のビームの断面積を縮小して結合レンズ１４に出射するので、実施例１のレーザ装置よりもさらに、超高輝度なレーザ装置を提供することができる。
【００３１】
（実施例３）
図４は、本発明の実施例３のレーザ装置の構成図である。図５は、図４に示す実施例３のレーザ装置のＥ−Ｅ間の断面図である。図４に示す実施例３のレーザ装置は、レーザダイオード１０−１〜１０−６、コリメートレンズ１１−１〜１１−６、ホルダ１２−１〜１２−６、プリズムミラー１７−１〜１７−６、プリズムミラー１３−１〜１３−６、結合レンズ１４、ファイバ１５、モードストリッパー１８、ヒートシンク２１を備えている。
【００３２】
ヒートシンク２１は、本発明の放熱素子に対応し、レーザダイオード１０−１〜１０−６を放熱させる。レーザダイオード１０−１〜１０−６は、ヒートシンク２１に取り付けられ、各々が光軸Ｏを中心とし光軸Ｏから所定距離離れた位置で且つ周方向に略等間隔（約６０°間隔）に配置され、複数のビームを出射する。
【００３３】
コリメートレンズ１１−１〜１１−６は、レーザダイオード１０−１〜１０−６と対応して配置され、レーザダイオード１０−１〜１０−６から出射される複数のビームを平行にさせて−Ｚ方向（第１進行方向）に進行させる。
【００３４】
プリズムミラー１７−１〜１７−６は、本発明の複数の第１の光進行方向制御手段に対応し、コリメートレンズ１１−１〜１１−６と対応して配置され、コリメートレンズ１１−１〜１１−６からの第１進行方向のビームの進行方向を制御する。
【００３５】
プリズムミラー１３−１〜１３−６は、本発明の複数の第２の光進行方向制御手段に対応し、三角形をなし、ファイバ１５の軸（＋Ｚ軸）延長上に配置される。プリズムミラー１３−１〜１３−６は、プリズムミラー１７−１〜１７−６と対応して配置され、プリズムミラー１７−１〜１７−６で制御された複数のビームの進行方向を、−Ｚ方向（第１進行方向）とは逆方向の＋Ｚ方向（第２光進行方向）に変更させる。
【００３６】
結合レンズ１４は、プリズムミラー１３−１〜１３−６で進行方向が制御された複数のビームをファイバ１５に集光させる。ファイバ１５は、ヒートシンク２１を貫通して配置されている。モードストリッパー１８は、ファイバ１５を覆うように配置されるとともに、ヒートシンク２１に取り付けられている。モードストリッパー１８は、ファイバ１５のクラッドに入ったレーザ光を除去する。
【００３７】
このように、実施例３のレーザ装置によれば、レーザダイオード１０−１〜１０−６が、ビームを−Ｚ方向に出射すると、プリズムミラー１７−１〜１７−６により−ｒ方向に折り返される。折り返されたビームは、Ｚ軸上に配置されたプリズムミラー１３−１〜１３−６により、＋Ｚ方向にレーザビームを折り返す。そして、レーザビームは、結合レンズ１４によりファイバ１５に結合される。
【００３８】
ファイバ１５のコネクタ部とレーザダイオ―ド１０−１〜１０−６とを同一平面上のヒートシンク２１に配置したので、さらにレーザ装置を小型化することができる。また、ヒートシンク２１によりレーザダイオ―ド１０−１〜１０−６を放熱することができる。
【００３９】
さらに、モードストリッパー１８はレーザ光により発熱するが、モードストリッパー１８がヒートシンク２１に取り付けられているので、モードストリッパー１８を放熱することができる。
【００４０】
（実施例４）
図６は、本発明の実施例４のレーザ装置の構成図である。図６に示す実施例４のレーザ装置は、レーザダイオード１０−１Ａ〜１０−６Ａ、コリメートレンズ１１−１Ａ〜１１−６Ａ、ホルダ１２−１Ａ〜１２−６Ａ、プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａ、結合レンズ１４を備えている。レーザ装置は、レーザダイオード１０−１Ｂ〜１０−６Ｂ、コリメートレンズ１１−１Ｂ〜１１−６Ｂ、ホルダ１２−１Ｂ〜１２−６Ｂ、偏光ビームスプリッタ１９−１〜１９−６を備えている。
【００４１】
レーザダイオード１０−１Ａ〜１０−６Ａ、コリメートレンズ１１−１Ａ〜１１−６Ａ、ホルダ１２−１Ａ〜１２−６Ａ、プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａ、レーザダイオード１０−１Ｂ〜１０−６Ｂ、コリメートレンズ１１−１Ｂ〜１１−６Ｂ、ホルダ１２−１Ｂ〜１２−６Ｂは、図３に示したそれらの構成と同一構成である。
【００４２】
レーザダイオード１０−１Ａ〜１０−６Ａ，コリメートレンズ１１−１Ａ〜１１−６Ａ，ホルダ１２−１Ａ〜１２−６Ａ、プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａは、レーザダイオード１０−１Ｂ〜１０−６Ｂ、コリメートレンズ１１−１Ｂ〜１１−６Ｂ、ホルダ１２−１Ｂ〜１２−６Ｂ、偏光ビームスプリッタ１９−１〜１９−６に対して、ファイバ１５の軸方向にずらして配置されている。
【００４３】
偏光ビームスプリッタ１９−１〜１９−６は、コリメートレンズ１１−１Ｂ〜１１−６Ｂよりも光軸Ｏ側に、コリメートレンズ１１−１Ｂ〜１１−６Ｂとプリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａと対応して配置されている。
【００４４】
偏光ビームスプリッタ１９−１〜１９−６は、反射面２０−１〜２０−６を有し、プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６ＡからのＰ偏光のビームを反射面２０−１〜２０−６で透過させて結合レンズ１４に出射し、コリメートレンズ１１−１Ｂ〜１１−６ＢからのＳ偏光のビームを反射面２０−１〜２０−６で反射させて結合レンズ１４に出射する。
【００４５】
このように、実施例４のレーザ装置によれば、偏光ビームスプリッタ１９−１〜１９−６をファイバ１５の光軸延長上に配置し、さらに、ファイバ１５から遠い位置にプリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａを配置する。プリズムミラー１３−１Ａ〜１３−６Ａから反射されてくるＰ偏光のビームは、偏光ビームスプリッタ１９−１〜１９−６の反射面２０−１〜２０−６で透過されて結合レンズ１４に出射される。
【００４６】
コリメートレンズ１１−１Ｂ〜１１−６ＢからのＳ偏光のビームは、反射面２０−１〜２０−６で反射されて結合レンズ１４に出射される。従って、実施例１のレーザ装置よりもさらに、高輝度なレーザ装置を提供することができる。
【００４７】
（実施例５）
図７は、本発明の実施例５のレーザ装置の構成図である。図２に示す実施例１のレーザ装置は、レーザダイオード、コリメートレンズ、ホルダ、プリズムミラーの各々を略等間隔に６個配置したが、図７に示す実施例５のレーザ装置は、レーザダイオード、コリメートレンズ、ホルダ、プリズムミラーの各々を、周方向に略等間隔に５個、即ち奇数個配置したことを特徴とする。
【００４８】
このように５個のレーザダイオード１０−１〜１０−５が周方向に略等間隔に配置されている場合には、例えば、レーザダイオード１０−１に対して軸対称の位置（１８０度の位置）にはレーザダイオードは存在しない。このため、プリズムミラー漏れ光やファイバ端面での反射光が軸対称の位置に伝播してもレーザダイオードには到達せず、戻り光を防止することができる。従って、レーザダイオードを、略等間隔に５個、即ち奇数個配置した方がより安定になる。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明は、レーザ半田付け装置、レーザライト等に利用可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１０−１〜１０−６，１０−１Ａ〜１０−６Ａ，１０−１Ｂ〜１０−６Ｂ  レーザダイオード（ＬＤ）
１１−１〜１１−６，１１−１Ａ〜１１−６Ａ，１１−１Ｂ〜１１−６Ｂ  コリメートレンズ
１２−１〜１２−６，１２−１Ａ〜１２−６Ａ，１２−１Ｂ〜１２−６Ｂ  ホルダ
１３−１〜１３−６，１３−１Ａ〜１３−６Ａ，１３−１Ｂ〜１３−６Ｂ，１７−１〜１７−６  プリズムミラー
１４  結合レンズ
１５  ファイバ
１６  テレスコープ
１８  モードストリッパー
１９−１〜１９−６  偏光ビームスプリッタ
２０−１〜２０−６  反射面
２１  ヒートシンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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