(57)【要約】【課題】ヘッドユニット内部の温度の上昇を抑制する。【解決手段】液体をノズルから噴射する液体噴射部と、前記液体噴射部を駆動する駆動回路とを含む第１ヘッドユニットおよび第２ヘッドユニットと、前記第１ヘッドユニットの駆動回路に熱的に接続された第１個別放熱体と、前記第２ヘッドユニットの駆動回路に熱的に接続された第２個別放熱体と、前記第１個別放熱体および前記第２個別放熱体に熱的に接続された共通放熱体とを具備する液体噴射ヘッド。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体をノズルから噴射する液体噴射部と、前記液体噴射部を駆動する駆動回路とを含む第１ヘッドユニットおよび第２ヘッドユニットと、
前記第１ヘッドユニットの駆動回路に熱的に接続された第１個別放熱体と、
前記第２ヘッドユニットの駆動回路に熱的に接続された第２個別放熱体と、
前記第１個別放熱体および前記第２個別放熱体に熱的に接続された共通放熱体と
を具備する液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第１個別放熱体および前記第２個別放熱体は、前記駆動回路からみて前記ノズルとは反対側に位置し、
前記共通放熱体は、前記第１個別放熱体および前記第２個別放熱体からみて前記駆動回路とは反対側に位置する
請求項１の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記第１ヘッドユニットおよび前記第２ヘッドユニットが固定される固定板を具備し、
前記固定板は、金属で形成される
請求項１または請求項２の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記第１ヘッドユニットおよび前記第２ヘッドユニットは、金属粒子が分散された接着剤により前記固定板に接合される
請求項３の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記第１ヘッドユニットと前記第２ヘッドユニットとの間において、前記共通放熱体から前記固定板にかけて形成される壁部を具備する
請求項３または請求項４の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記壁部は、金属で形成される
請求項５の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記壁部の内部を、前記液体噴射部液に供給される液体が通過する
請求項５または請求項６の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記第１ヘッドユニットおよび前記第２ヘッドユニットを支持する支持体を具備し、
前記固定板は、前記支持体に当接する
請求項３または請求項４の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記支持体は、前記固定板よりも熱伝導率が高い
請求項５の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
前記共通放熱体は、前記第１ヘッドユニットおよび前記第２ヘッドユニットを支持する支持体である
請求項１から請求項４の何れかの液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
前記支持体は、金属で形成される
請求項８から請求項１０の何れかの液体噴射ヘッド。
【請求項１２】
前記駆動回路は、平面視で長尺状であり、
前記第１個別放熱体および前記第２個別放熱体は、前記駆動回路の表面に対向し、前記駆動回路の長手方向における端部において前記共通放熱体と熱的に接続する
請求項１から請求項１１の何れかの液体噴射ヘッド。
【請求項１３】
前記液体噴射部は、
前記ノズルに連通する圧力室が形成された流路構造体と、
前記流路構造体における前記ノズルとは反対側に位置し、前記圧力室の圧力を変化させる駆動素子と、
前記駆動素子からみて前記流路構造体とは反対側に位置し、前記駆動回路と前記駆動素子とを電気的に接続する配線が形成された第１配線基板と、
前記第１配線基板に端部が接合された可撓性の第２配線基板とを含み、
前記駆動回路は、前記第１配線基板における前記流路構造体とは反対側の表面に実装される
請求項１から請求項１２の何れかの液体噴射ヘッド。
【請求項１４】
前記第１個別放熱体および前記第２個別放熱体は、前記第２配線基板に熱的に接続される
請求項１３の液体噴射ヘッド。
【請求項１５】
前記共通放熱体の内部を、前記液体噴射部に供給される液体が通過する
請求項１から請求項１４の何れかの液体噴射ヘッド。
【請求項１６】
液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを制御する制御部と
を具備する液体噴射装置であって、
前記液体噴射ヘッドは、
液体をノズルから噴射する液体噴射部と、前記液体噴射部を駆動する駆動回路とを含む第１ヘッドユニットおよび第２ヘッドユニットと、
前記第１ヘッドユニットの駆動回路に熱的に接続された第１個別放熱体と、
前記第２ヘッドユニットの駆動回路に熱的に接続された第２個別放熱体と、
前記第１個別放熱体および前記第２個別放熱体に熱的に接続された共通放熱体と
を具備する液体噴射装置。
【請求項１７】
前記液体噴射ヘッドはラインヘッドであり、
前記共通放熱体に熱的に接続し、前記液体噴射ヘッドが収容された筐体を具備する
請求項１６の液体噴射装置。
【請求項１８】
前記液体噴射部は、前記ノズルに連通する圧力室が形成された流路構造体を含み、
前記圧力室を経由して前記ヘッドユニットから排出される液体を当該ヘッドユニットに環流させる循環機構を具備し、
請求項１７の液体噴射装置。
【請求項１９】
前記液体噴射ヘッドは、前記液体噴射部に供給される液体を貯留する液体貯留室を含み、
前記循環機構は、前記液体貯留室を経由して前記ヘッドユニットから排出される液体を当該液体噴射ヘッドに環流させる
請求項１８の液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を噴射する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１には、インク等の液体を複数のノズルから噴射する液体噴射ヘッドが開示されている。ノズルからインクを吐出させる圧電素子を駆動する駆動ＩＣが液体吐出ヘッドに実装される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−０００４８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の技術では、圧電素子の駆動により駆動ＩＣが発熱し、液体吐出ヘッド内部の温度が上昇することで、インクの粘度が変化する。したがって、インクの吐出特性に誤差が生じるという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体噴射ヘッドは、液体をノズルから噴射する液体噴射部と、前記液体噴射部を駆動する駆動回路とを含む第１ヘッドユニットおよび第２ヘッドユニットと、前記第１ヘッドユニットの駆動回路に熱的に接続された第１個別放熱体と、前記第２ヘッドユニットの駆動回路に熱的に接続された第２個別放熱体と、前記第１個別放熱体および前記第２個別放熱体に熱的に接続された共通放熱体とを具備する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体噴射装置の構成を示すブロック図である。
【図２】ヘッドユニットの分解斜視図である。
【図３】ヘッドユニットの断面図（図２におけるIII-III線の断面図）である。
【図４】液体噴射ヘッドの断面図（図１におけるIV-IV線の断面図）である。
【図５】第２実施形態に係る液体噴射ヘッドの断面図である。
【図６】第３実施形態に係るヘッドユニットの断面図である。
【図７】変形例に係る液体噴射ヘッドの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体噴射装置１００を例示する構成図である。第１実施形態の液体噴射装置１００は、液体の例示であるインクを媒体１２に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体１２として利用される。図１に例示される通り、液体噴射装置１００には、インクを貯留する液体容器１４が設置される。例えば液体噴射装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンクが液体容器１４として利用される。色彩が相違する複数種のインクが液体容器１４には貯留される。
【０００８】
図１に例示される通り、液体噴射装置１００は、制御ユニット２０と搬送機構２２と液体噴射ヘッド２６と筐体２８とを具備する。制御ユニット２０と搬送機構２２と液体噴射ヘッド２６とは、筐体２８に収容される。制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体噴射装置１００の各要素を統括的に制御する。制御ユニット２０は、制御部の例示である。搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ方向に搬送する。
【０００９】
液体噴射ヘッド２６は、複数のヘッドユニット２６１を具備する。第１実施形態の液体噴射ヘッド２６は、Ｙ方向に直交するＸ方向に沿って複数のヘッドユニット２６１が配列されたラインヘッドである。例えば千鳥配置またはスタガ配置で複数のヘッドユニット２６１が配列される。各ヘッドユニット２６１は、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２に噴射する。搬送機構２２による媒体１２の搬送に並行して各ヘッドユニット２６１が媒体１２にインクを噴射することで媒体１２の表面に所望の画像が形成される。なお、媒体１２の表面に平行なＸ-Ｙ平面に垂直な方向を以下ではＺ方向と表記する。各ヘッドユニット２６１によるインクの噴射方向がＺ方向に相当する。Ｚ方向は、典型的には鉛直方向である。
【００１０】
図２は、ヘッドユニット２６１の分解斜視図であり、図３は、図２おけるIII−III線の断面図である。図２に例示される通り、ヘッドユニット２６１は、Ｙ方向に配列された複数のノズルＮを具備する。第１実施形態の複数のノズルＮは、Ｘ方向に相互に間隔をあけて並設された第１列Ｌ1と第２列Ｌ2とに区分される。第１列Ｌ1および第２列Ｌ2の各々は、Ｙ方向に直線状に配列された複数のノズルＮの集合である。なお、第１列Ｌ1と第２列Ｌ2との間で各ノズルＮのＹ方向の位置を相違させること（すなわち千鳥配置またはスタガ配置）も可能であるが、第１列Ｌ1と第２列Ｌ2とで各ノズルＮのＹ方向の位置を一致させた構成を以下では便宜的に例示する。図３から理解される通り、第１実施形態のヘッドユニット２６１は、第１列Ｌ1の各ノズルＮに関連する要素と第２列Ｌ2の各ノズルＮに関連する要素とが略線対称に配置された構造である。
【００１１】
図２および図３に例示される通り、各ヘッドユニット２６１は、インクをノズルＮから噴射する液体噴射部５０と、液体噴射部５０を駆動する駆動回路８０と、インクの貯留に利用される収容体４８とを含む。
【００１２】
液体噴射部５０は、ノズルＮに連通する圧力室３４２が形成された流路構造体３０と、圧力室３４２の圧力を変化させる圧電素子４４と、駆動回路８０と圧電素子４４とを電気的に接続する配線が形成された第１配線基板４６と、第１配線基板４６に接合された第２配線基板４７とを含む。圧電素子４４は、駆動素子の一例である。
【００１３】
流路構造体３０は、複数のノズルＮにインクを供給するための流路を形成する構造体である。第１実施形態の流路構造体３０は、流路基板３２と圧力室基板３４と振動板４２とノズル板６２と第１吸振体６４とで構成される。流路構造体３０を構成する各部材は、Ｘ方向に長尺な板状部材である。流路基板３２におけるＺ方向の負側の表面に、収容体４８および圧力室基板３４が設置される。他方、流路基板３２におけるＺ方向の正側の表面に、ノズル板６２および第１吸振体６４が設置される。例えば接着剤により各部材が固定される。
【００１４】
ノズル板６２は、複数のノズルＮが形成された板状部材である。複数のノズルＮの各々は、インクを通過させる円形状の貫通孔である。第１実施形態のノズル板６２には、第１列Ｌ1を構成する複数のノズルＮと第２列Ｌ2を構成する複数のノズルＮとが形成される。例えば半導体製造技術（例えばドライエッチングやウェットエッチング等の加工技術）を利用してシリコン（Ｓi）の単結晶基板を加工することで、ノズル板６２が製造される。ただし、ノズル板６２の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。
【００１５】
図２および図３に例示される通り、流路基板３２には、第１列Ｌ1および第２列Ｌ2の各々について、開口部３２０と複数の供給流路３２２と複数の連通流路３２４と連結流路３２６とが形成される。開口部３２０は、平面視で（すなわちＺ方向からみて）Ｘ方向に沿う長尺状に形成された開口であり、供給流路３２２および連通流路３２４はノズルＮ毎に形成された貫通孔である。連結流路３２６は、複数のノズルＮにわたりＸ方向に沿う長尺状に形成された空間であり、開口部３２０と複数の供給流路３２２とを相互に連通させる。複数の連通流路３２４の各々は、当該連通流路３２４に対応する１個のノズルＮに平面視で重なる。
【００１６】
図２および図３に例示される通り、圧力室基板３４は、第１列Ｌ1および第２列Ｌ2の各々について複数の圧力室３４２が形成された板状部材である。複数の圧力室３４２はＸ方向に配列する。各圧力室３４２（キャビティ）は、ノズルＮ毎に形成されて平面視でＹ方向に沿う長尺状の空間である。流路基板３２および圧力室基板３４は、前述のノズル板６２と同様に、例えば半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ただし、流路基板３２および圧力室基板３４の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。
【００１７】
図２に例示される通り、圧力室基板３４における流路基板３２とは反対側の表面には振動板４２が形成される。第１実施形態の振動板４２は、弾性的に振動可能な板状部材である。なお、所定の板厚の板状部材のうち圧力室３４２に対応する領域について板厚方向の一部を選択的に除去することで、振動板４２の一部または全部を圧力室基板３４と一体に形成してもよい。
【００１８】
図３から理解される通り、圧力室３４２は、流路基板３２と振動板４２との間に位置する空間である。第１列Ｌ1および第２列Ｌ2の各々について複数の圧力室３４２がＸ方向に配列する。図２および図３に例示される通り、圧力室３４２は、連通流路３２４および供給流路３２２に連通する。したがって、圧力室３４２は、連通流路３２４を介してノズルＮに連通し、かつ、供給流路３２２と連結流路３２６とを介して開口部３２０に連通する。
【００１９】
図２および図３に例示される通り、流路構造体３０におけるノズルＮとは反対側の表面には圧電素子４４が位置する。具体的には、流路構造体３０の振動板４２のうち圧力室３４２とは反対側の面上に、第１列Ｌ1および第２列Ｌ2の各々について、相異なるノズルＮに対応する複数の圧電素子４４が形成される。各圧電素子４４は、駆動回路８０から供給される駆動信号により変形することで、圧力室３４２の圧力を変化させる受動素子である。駆動回路８０から出力される駆動信号は、第１配線基板４６の接続端子Ｔを介して各圧電素子４４に供給される。駆動信号は、圧電素子４４を駆動するための信号である。
【００２０】
図２の第１配線基板４６は、複数の圧電素子４４が形成された振動板４２の表面に間隔をあけて対向する板状部材である。すなわち、圧電素子４４からみて流路構造体３０とは反対側に第１配線基板４６が位置する。駆動回路８０と圧電素子４４とを電気的に接続する配線が第１配線基板４６に形成される。第１実施形態の第１配線基板４６は、ヘッドユニット２６１の機械的な強度を補強する補強板、および、圧電素子４４を保護および封止する封止板としても機能する。
【００２１】
第１配線基板４６は、第２配線基板４７を介して制御ユニット２０に電気的に接続される。第２配線基板４７は、駆動信号を制御ユニット２０から第１配線基板４６に供給するための可撓性の配線基板である。第２配線基板４７の端部が第１配線基板４６に接合される。図２では、第２配線基板４７におけるＸ方向の正側の端部と、第１配線基板４６におけるＸ方向における負側の端部とが接合される。例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）またはＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の接続部品が第２配線基板４７として好適に採用される。
【００２２】
収容体４８は、複数の圧力室３４２に供給されるインクを貯留するためのケースである。収容体４８のうちＺ方向の正側の表面が例えば接着剤で流路基板３２に接合される。具体的には、収容体４８は、平面視でＸ方向に長尺な液体貯留室（リザーバー）Ｒが内部に形成された構造体である。第１実施形態では、第１列Ｌ1および第２列Ｌ2の各々について液体貯留室Ｒが形成される。図３に例示される通り、液体貯留室Ｒは、断面視においてＹ方向に沿う第１空間Ｒ1とＺ方向に沿う第２空間Ｒ2とを含む。液体貯留室Ｒのうち第１空間Ｒ1は、平面視において圧電素子４４に重なる。液体貯留室Ｒのうち第２空間Ｒ2と流路基板３２の開口部３２０とは相互に連通する。収容体４８に形成された導入口４８２を介して液体貯留室Ｒにインクが供給される。導入口４８２は、収容体４８の液体貯留室Ｒと収容体４８の外部とを連通させる管状部分である。液体貯留室Ｒ内のインクは、連結流路３２６と各供給流路３２２とを介して圧力室３４２に供給される。収容体４８は、例えば樹脂材料の射出成形で形成される。
【００２３】
第１実施形態の収容体４８には開口部４８４が形成される。開口部４８４は、液体貯留室Ｒに重なるようにＸ方向に長尺に形成された開口である。図２および図３に例示される通り、収容体４８の上面には第２吸振体４８６が設置される。第２吸振体４８６は、液体貯留室Ｒ内のインクの圧力変動を吸収するコンプライアンス基板として機能する可撓性のフィルムであり、開口部４８４を閉塞するように収容体４８の上面に設置されて液体貯留室Ｒの壁面（具体的には天井面）を構成する。
【００２４】
図３に例示される通り、第１吸振体６４は、液体貯留室Ｒ内のインクの圧力変動を吸収するための要素である。第１実施形態の第１吸振体６４は、弾性膜６４１と支持板６４３とを具備する。弾性膜６４１は、フィルム状に形成された可撓性の部材である。第１実施形態の弾性膜６４１は、開口部３２０と供給流路３２２と連結流路３２６とを閉塞するように流路基板３２の表面に設置される。支持板６４３は、ステンレス鋼等の高剛性の材料で形成された平板であり、流路基板３２に形成された開口が弾性膜６４１で閉塞されるように弾性膜６４１を流路基板３２の表面に支持する。弾性膜６４１が貯留室Ｒ内のインクの圧力に応じて変形することで液体貯留室Ｒ内の圧力変動が抑制される。
【００２５】
図２に例示される通り、第１配線基板４６は、基体部７０と、駆動回路８０に接続された複数の配線７２とを具備する。基体部７０は、Ｘ方向に長尺な絶縁性の板状部材であり、流路構造体３０と駆動回路８０との間に位置する。基体部７０は、例えば半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ただし、基体部７０の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。配線７２は、例えば駆動信号を伝送する。基体部７０の第１面Ｆ1のうちＸ方向の負側の端部に複数の配線７２が位置する。
【００２６】
基体部７０は、相互に反対側に位置する第１面Ｆ1と第２面Ｆ2とを含み、圧力室基板３４または振動板４２における流路基板３２とは反対側の表面に、例えば接着剤を利用して固定される。具体的には、振動板４２の表面に対して第２面Ｆ2が間隔をあけて対向するように基体部７０が設置される。
【００２７】
図２に例示される通り、基体部７０の第１面Ｆ1には、駆動回路８０と第２配線基板４７とが実装される。すなわち、第１配線基板４６における流路構造体３０とは反対側の表面に、駆動回路８０と第２配線基板４７とが実装される。駆動回路８０は、基体部７０の長手方向（Ｘ方向）に沿った長尺状のＩＣチップである。第２配線基板４７は、基体部７０の第１面Ｆ1のうちＸ方向の負側の端部に実装される。第２配線基板４７には、例えば駆動信号を第１配線基板４６伝送するための複数の配線が形成される。第１配線基板４６の複数の配線７２と第２配線基板４７の複数の配線とが電気的に接続される。圧電素子４４を駆動する動作により駆動回路８０は発熱する。
【００２８】
図２および図３に例示される通り、駆動回路８０における第１配線基板４６とは反対側の表面には、個別放熱体９０が配置される。すなわち、駆動回路８０からみてノズルＮとは反対側に個別放熱体９０が位置する。個別放熱体９０と、収容体４８のうち第１空間Ｒ1の底面を構成する部分とは、相互に間隔をあけて対向する。個別放熱体９０は、例えば熱伝導率が１０Ｗ・ｍ−１・Ｋ−１以上である材料により形成される。例えばアルミニウムまたは銅等の金属の薄板が、個別放熱体９０として好適である。実施形態の個別放熱体９０は、駆動回路８０の表面に対向するように、駆動回路８０の長手方向（Ｘ方向）に沿って長尺状に形成される。具体的には、駆動回路８０の全体にわたり重複するように個別放熱体９０が形成される。すなわち、個別放熱体９０は、駆動回路８０よりもＸ方向およびＹ方向の長さが大きい。収容体４８により形成される空間内に、駆動回路８０が配置される。
【００２９】
個別放熱体９０と駆動回路８０とは、例えば接着剤により接合される。したがって、駆動回路８０で発生した熱が個別放熱体９０に拡散する。すなわち、個別放熱体９０と駆動回路８０とは熱的に接続される。なお、要素Ａと要素Ｂとが「熱的に接続する」とは、
（１）要素Ａと要素Ｂとが直接的に接触する状態、または、
（２）熱伝導率が１０Ｗ・ｍ−１・Ｋ−１以上である要素Ｃが要素Ａと要素Ｂとの間に介在し、かつ、要素Ａと要素Ｂとの間に存在する間隙が５０μｍ以下である状態
を意味する。
なお、「間隙」は、要素Ａと要素Ｂとの間において熱伝導率が１０Ｗ・ｍ−１・Ｋ−１未満である部分を意味し、典型的には空間（すなわち空気層）である。
以上の説明から理解される通り、第１実施形態における個別放熱体９０と駆動回路８０との関係は、接着剤を要素Ｃとする（２）の状態である。
【００３０】
図４は、図１におけるIV-IV線の断面図（液体噴射ヘッド２６の断面図）である。図４に例示される通り、液体噴射ヘッド２６は、複数のヘッドユニット２６１に加えて、複数のヘッドユニット２６１が固定される固定板２６３と、固定板２６３に対向する共通放熱体２６５とを具備する。共通放熱体２６５と固定板２６３とは、Ｘ方向に延在する平板状の部材である。固定板２６３と共通放熱体２６５との間に複数のヘッドユニット２６１が位置する。固定板２６３と共通放熱体２６５とは、複数のヘッドユニット２６１にわたり連続する。すなわち、個別放熱体９０はヘッドユニット２６１毎に個別に設置されるのに対し、共通放熱体２６５は複数のヘッドユニット２６１にわたり共通に設置される。
【００３１】
共通放熱体２６５は、例えば熱伝導率が１０Ｗ・ｍ−１・Ｋ−１以上である材料により形成される。例えばアルミニウムまたは銅等の金属の薄板が、共通放熱体２６５として利用される。ただし、共通放熱体２６５の熱伝導率は、個別放熱体９０の熱伝導率を上回ることが望ましい。
【００３２】
例えばステンレス鋼等の高剛性の金属により固定板２６３が形成される。各ヘッドユニット２６１におけるノズル側（すなわちＺ方向の正側）の部位が固定板２６３に接触する。すなわち、ヘッドユニット２６１の流路構造体３０が固定板２６３に接触する。各ヘッドユニット２６１は、例えば金属粒子が分散された接着剤により固定板２６３に接合される。図４に例示される通り、固定板２６３には、ノズル板６２の外形に対応するように開口部Ｏが形成される。したがって、ノズルＮが開口部Ｏから露出する。
【００３３】
各ヘッドユニット２６１の個別放熱体９０は、当該ヘッドユニット２６１の駆動回路８０と、共通放熱体２６５とに熱的に接続される。図４に例示される通り、第１実施形態の個別放熱体９０は、当該個別放熱体９０に対応する駆動回路８０の表面に対向し、駆動回路８０の長手方向（すなわちＸ方向）における端部において共通放熱体２６５と熱的に接続する。ヘッドユニット２６１の個別放熱体９０からみて当該ヘッドユニット２６１の駆動回路８０とは反対側に共通放熱体２６５が位置する。具体的には、個別放熱体９０は、第１部分９１と第２部分９２と第３部分９３とを含む。
【００３４】
第１部分９１は、個別放熱体９０のうち駆動回路８０に接触する部分である。第１実施形態の第１部分９１は、駆動回路８０に対向するように配置される。駆動回路８０のうち第１配線基板４６とは反対側の表面に第１部分９１が接触する。第１部分９１のうちＸ方向の負側における端部は、収容体４８の内部の空間から外部に延出する。第２部分９２は、第１部分９１のうちＸ方向の負側における端部から共通放熱体２６５に向かって延在する部分である。第３部分９３は、個別放熱体９０のうち共通放熱体２６５に接触する部分である。第１実施形態の第３部分９３は、第２部分９２のうちＺ方向の負側における端部からＸ方向の正側に向かって延在する。図４に例示される通り、共通放熱体２６５と収容体４８との間に第３部分９３が位置する。共通放熱体２６５のうちヘッドユニット２６１側の表面に第３部分９３が接触する。以上の説明から理解される通り、駆動回路８０のうちＸ方向の負側の端部において共通放熱体２６５と個別放熱体９０とが熱的に接続する。
【００３５】
各駆動回路８０で発生した熱は、当該駆動回路８０と熱的に接続される個別放熱体９０を介して共通放熱体２６５に伝播する。すなわち、複数の個別放熱体９０が共通放熱体２６５に対して共通に熱的に接続される。また、第１実施形態では、液体噴射ヘッド２６が収容された筐体２８が共通放熱体２６５に熱的に接続する。
【００３６】
収容体４８の導入口４８２は、共通放熱体２６５に形成された貫通孔Ｈ1に挿入される。すなわち、共通放熱体２６５の内部をインクが通過する。第１配線基板４６に接合された第２配線基板４７は、共通放熱体２６５に形成された貫通孔Ｈ2に挿入される。図４に例示される通り、個別放熱体９０の第２部分９２と、第２配線基板４７のうちＹ方向に沿う部分とが接触する。具体的には、個別放熱体９０の第２部分９２のうち収容体４８とは反対側の表面に第２配線基板４７が接触する。すなわち、収容体４８と第２配線基板４７との間に第２部分９２が位置する。したがって、第２配線基板４７の熱は個別放熱体９０に伝播する。すなわち、第１実施形態では、個別放熱体９０が第２配線基板４７に熱的に接続される。
【００３７】
以上の説明から理解される通り、第１実施形態では、駆動回路８０で発生した熱が個別放熱体９０と共通放熱体２６５とを介して放熱されるから、例えば個別放熱体９０のみを具備する構成と比較して、放熱に利用できる面積を増加させることができる。したがって、ヘッドユニット２６１内部の温度の上昇を効率的に抑制することができる。ひいては、ヘッドユニット２６１内部の温度の上昇に起因したインクの吐出特性の誤差を低減することができる。
【００３８】
第１実施形態では、駆動回路８０からみてノズルＮとは反対側に各個別放熱体９０が位置し、当該個別放熱体９０からみて駆動回路８０とは反対側に共通放熱体２６５が位置する。したがって、例えば各個別放熱体９０からみて駆動回路８０側に共通放熱体２６５が位置する構成と比較して、液体噴射ヘッド２６に共通放熱体２６５を容易に実装することができる。
【００３９】
第１実施形態では、各ヘッドユニット２６１の個別放熱体９０が当該ヘッドユニット２６１の第２配線基板４７に熱的に接続されるから、第２配線基板４７で発生する熱も放熱できるという利点がある。また、第１実施形態では、筐体２８と共通放熱体２６５とが熱的に接続するから、筐体２８を介してヘッドユニット２６１の熱を放熱できる。なお、第２配線基板４７が個別放熱体９０に熱的に接続されることと、筐体２８が共通放熱体２６５に熱的に接続することは、第１実施形態において必須ではない。
【００４０】
第１配線基板４６における流路構造体３０とは反対側の表面に駆動回路８０が実装されるという第１実施形態の構成では、収容体４８により形成される空間内に、駆動回路８０が配置される。すなわち、駆動回路８０で発生した熱がヘッドユニット２６１内部に滞留しやすい。したがって、個別放熱体９０と共通放熱体２６５とにより駆動回路８０の熱を放熱させる構成がより有効である。
【００４１】
第１実施形態において、複数のヘッドユニット２６１のうち特定のヘッドユニット２６１を第１ヘッドユニットとし、第１ヘッドユニットとは異なるヘッドユニット２６１を第２ヘッドユニットと表現できる。第１実施形態は、第１ヘッドユニットの駆動回路８０に熱的に接続された第１個別放熱体と、第２ヘッドユニットの駆動回路８０に熱的に接続された第２個別放熱体とが設けられた構成である。そして、共通放熱体２６５は、第１個別放熱体および第２個別放熱体に熱的に接続される。
【００４２】
固定板２６３を金属で形成する第１実施形態の構成によれば、駆動回路８０で発生した熱を固定板２６３からも効率的に放熱できる。第１実施形態では、金属粒子が分散された接着剤により各ヘッドユニット２６１が固定板２６３に接続されるから、各ヘッドユニット２６１の熱が固定板２６３に伝播しやすいという利点がある。また、共通放熱体２６５の内部をインクが通過する第１実施形態の構成によれば、介してヘッドユニットで発生した熱をインクを介して効率的に放熱することが可能である。
【００４３】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
【００４４】
図５は、第２実施形態に係る液体噴射ヘッド２６の断面図である。第２実施形態の液体噴射ヘッドは、第１実施形態の液体噴射ヘッド２６に壁部２６７を追加した構成である。図５に例示される通り、壁部２６７は、共通放熱体２６５から固定板２６３にかけて形成される。すなわち、壁部２６５のうちＺ方向の負側の端部は、固定板２６３に当接する。相互に隣り合う２つのヘッドユニット２６１の間に壁部２６７が位置する。第２実施形態では、共通放熱体２６５と一体に壁部２６７が形成される。共通放熱体２６５と同様に、例えばアルミニウムまたは銅等の金属により壁部２６７が形成される。なお、共通放熱体２６５と壁部２６７とを個別に形成してもよい。
【００４５】
第２実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。第２実施形態では、相互に隣り合う２つのヘッドユニット２６１の間に壁部２６７が形成されるから、一方のヘッドユニット２６１の熱が他方のヘッドユニット２６１に伝播しにくいという利点がある。また、壁部２６７が金属で形成されるから、ヘッドユニット２６１で発生した熱を壁部２６７を介して共通放熱体２６５に伝播しやすい。なお、第２実施形態において、壁部２６７の内部をインクが通過してもよい。以上の構成によれば、ヘッドユニット２６１で発生した熱をインクを介して効率的に放熱できるという利点がある。
【００４６】
＜第３実施形態＞
図６は、第３実施形態に係るヘッドユニット２６１の断面図である。図６に例示される通り、第３実施形態では、Ｙ-Ｚ平面に平行な基準面Ｏを境界として液体噴射ヘッド２６を第１部分Ｐ1と第２部分Ｐ2とに便宜的に区分する。第１部分Ｐ1と第２部分Ｐ2とは、基準面Ｏを挟んで略面対称の関係にある。基準面Ｏに対してＸ方向の正側に位置する第１部分Ｐ1の構造は、第１実施形態と同様である。第２部分Ｐ2は、第１実施形態の構成からノズルＮと圧電素子４４とを省略した構造である。
【００４７】
第３実施形態の流路基板３２には、第１部分Ｐ1のノズルＮ毎に循環流路３２８が形成される。循環流路３２８は、流路基板３２におけるノズル板６２との対向面に形成された溝部と当該表面とで包囲された空間である。第１部分Ｐ1の連通流路３２４と第２部分Ｐ2の連通流路３２４とは、循環流路３２８を介して相互に連通する。
【００４８】
第１部分Ｐ1の導入口４８２に供給されるインクは、図６に破線の矢印で図示される通り、第１部分Ｐ1内において、液体貯留室Ｒ→供給液室３２６→供給流路３２２→圧力室Ｃ、という経路を介して連通流路３２４に供給される。連通流路３２４に供給されるインクのうちノズルＮから噴射されないインクは、循環流路３２８を介して第２部分Ｐ2の連通流路３２４に供給され、第２部分Ｐ2内において、連通流路３２４→圧力室Ｃ→供給流路３２２→供給液室３２６→液体貯留室Ｒ→導入口４８２、という経路で当該導入口４８２から排出される。
【００４９】
図６に例示される通り、第３実施形態の液体噴射装置１００は循環機構９２を具備する。循環機構９２は、液体噴射ヘッド２６から排出されるインクを当該液体噴射ヘッド２６に環流させる機構である。循環機構９２は、液体噴射ヘッド２６に供給されるインクを循環させる機構であり、例えば供給流路９２１と排出流路９２２と循環ポンプ９２３とを具備する。
【００５０】
供給流路９２１は、第１部分Ｐ1の導入口４８２に接続される。排出流路９２２は、第２部分Ｐ2の導入口４８２に接続される。供給流路９２１は、第１部分Ｐ1の導入口４８２にインクを供給するための流路であり、排出流路９２２は、第２部分Ｐ2の導入口４８２からインクを排出するための流路である。循環ポンプ９２３は、排出流路９２２から供給されるインクを供給流路９２１に送出する圧送機構である。すなわち、第２部分Ｐ2の導入口４８２から排出されたインクが排出流路９２２と循環ポンプ９２３と供給流路９２１とを経由して第１部分Ｐ1の導入口４８２に環流される。
【００５１】
以上の説明から理解される通り、第３実施形態においては、供給流路９２１から第１部分Ｐ1に供給されるインクのうちノズルＮから噴射されないインクが、第２部分Ｐ2から排出流路９２２に排出され、循環ポンプ９２３により供給流路９２１に環流される。すなわち、液体噴射ヘッド２６の内部のインクが循環する。
【００５２】
以上に説明した通り、第３実施形態によれば、ヘッドユニット２６１の内部に発生した熱がインクの循環により放散され易いという利点がある。第３実施形態では特に、駆動回路８０の周囲に位置する液体貯留室Ｒおよび圧力室Ｃを含む経路によりインクが循環するから、駆動回路８０に発生した熱を効率的に放散することが可能である。      
【００５３】
＜変形例＞
以上に例示した形態は多様に変形され得る。前述の形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
【００５４】
（１）前述の各形態では、駆動回路８０からみてノズルＮとは反対側に各個別放熱体９０が位置し、当該個別放熱体９０からみて駆動回路８０とは反対側に共通放熱体２６５が位置する構成を例示したが、個別放熱体９０と共通放熱体２６５との位置関係は以上の例示に限定されない。例えば、個別放熱体９０および共通放熱体２６５の少なくとも一方が駆動回路８０からみてノズルＮ側に位置してもよい。個別放熱体９０および共通放熱体２６５を実装する位置は、ヘッドユニット２６１の構成に応じて適宜に変更し得る。
【００５５】
（２）前述の各形態では、駆動回路８０の長手方向における端部において共通放熱体２６５と個別放熱体９０とが熱的に接続されたが、共通放熱体２６５と個別放熱体９０とが接続される位置は以上の例示に限定されない。例えば、駆動回路８０の短手方向（すなわちＹ方向）における端部において共通放熱体２６５と個別放熱体９０とが熱的に接触してもよい。
【００５６】
また、前述の各形態では、駆動回路８０のＸ方向の負側の端部において共通放熱体２６５と個別放熱体９０とが熱的に接続したが、駆動回路８０のＸ方向の正側および負側の端部において共通放熱体２６５と個別放熱体９０とが熱的に接続してもよい。例えば、個別放熱体９０がＸ方向の正側および負側の双方において駆動回路８０の端部から延出する構成としてもよい。以上の説明から理解される通り、個別放熱体９０と共通放熱体２６５とが熱的に接続する位置は任意である。
【００５７】
（３）前述の各形態では、第１部分９１と第２部分９２と第３部分９３とで個別放熱体９０が構成されたが、個別放熱体９０の構成は以上の例示に限定されない。例えば第２部分９２と第３部分９３とを個別放熱体９０において省略してもよい。以上の構成では、ヘッドユニット２６１側の表面から第１部分９１の端部に向かって延在する部分を共通放熱体２６５が含む。当該部分と第１部分９１とが接触する。以上の説明から理解される通り、個別放熱体９０の形状は、駆動回路８０と共通放熱体２６５とに熱的に接続されれば任意である。また、共通放熱体２６５の形状も個別放熱体９０の形状に応じて適宜に変更しうる。なお、各個別放熱体９０の形状が同じであることは必須ではない。
【００５８】
（４）前述の各形態では、個別放熱体９０が駆動回路８０よりもＸ方向およびＹ方向の長さが大きい構成を例示したが、個別放熱体９０と駆動回路８０との大きさの関係は以上の例示に限定されない。例えば、Ｘ方向およびＹ方向の少なくとも一方の長さを個別放熱体９０が駆動回路８０よりも小さくてもよい。ただし、個別放熱体９０が駆動回路８０よりもＸ方向およびＹ方向の長さが大きい前述の形態によれば、Ｘ方向およびＹ方向の少なくとも一方の長さを個別放熱体９０が駆動回路８０よりも小さい構成と比較して、駆動回路８０の全体にわたり熱が放熱されるので、ヘッドユニット２６１内の温度ムラがなくなるという利点がある。また、放熱する面積を大きくするという観点からも、個別放熱体９０が駆動回路８０よりもＸ方向およびＹ方向の長さが大きい構成が好適である。
【００５９】
（５）前述の各形態において、複数のヘッドユニット２６１を支持する支持体を液体噴射ヘッド２６が具備する構成も採用される。なお、支持体と共通放熱体２６５とは個別の部材である。支持体は、固定板２６３に対向する平面部と当該平面部の周縁からＺ方向の正側に突出する枠状の側壁部とで構成された箱型の構造体である。支持体は、例えばキャリッジである。固定板２６３に接合された複数のヘッドユニット２６１は、側壁部と平面部とにより形成される空間内に位置する。支持体は、固定板２６３よりも熱伝導率が高く、例えばアルミニウムや銅等の金属により形成される。したがって、ヘッドユニット２６１の熱を固定板２６５を介して支持体からも効率的に放熱できる。以上の構成では、支持体を共通放熱体２６５として利用してもよい。支持体の平面部に各個別放熱体９０が熱的に接続される。以上の構成によれば、共通放熱体２６５を支持体とは別個に設ける必要がないから、液体噴射ヘッド２６の小型化が可能である。      
【００６０】
（６）前述の液体噴射ヘッド２６において固定板２６３を省略してもよい。図７に例示される通り、共通放熱体２６５に各ヘッドユニット２６１が接合される。例えばヘッドユニット２６１のうち収容体４８のうち共通放熱体２６５側の表面と、共通放熱体２６５とが固定部Ｄにより固定される。固定部Ｄは、例えば接着剤やネジ等の締結具である。また、固定部Ｄを共通放熱体２６５と一体に形成してもよい。
【００６１】
（７）圧力室３４２内のインクをノズルＮから噴射させる駆動素子は、前述の各形態で方針案に例示した圧電素子４４に限定されない。例えば、加熱により圧力室３４２の内部に気泡を発生させて圧力を変動させる発熱素子を駆動素子として利用することも可能である。以上の例示から理解される通り、駆動素子は、圧力室３４２内の液体をノズルＮから噴射させる要素として包括的に表現され、動作方式（圧電方式／熱方式）や具体的な構成の如何は不問である。
【００６２】
（８）前述の各形態では、複数のノズルＮが媒体１２の全幅にわたり分布するライン方式の液体噴射装置１００を例示したが、ヘッドユニット２６１を搭載した搬送体を往復させるシリアル方式の液体噴射装置１００にも本発明を適用することが可能である。
【００６３】
（９）前述の各形態で例示した液体噴射装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置１００の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を噴射する液体噴射装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。
【符号の説明】
【００６４】
１００…液体噴射装置、１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２６…液体噴射ヘッド、２６１…ヘッドユニット、２６３…固定板、２６５…共通放熱体、２６７…壁部、２８…筐体、３０…流路構造体、３２…流路基板、３４…圧力室基板、３４２…圧力室、４２…振動板、４４…圧電素子、４６…第１配線基板、４７…第２配線基板、４８…収容体、４８６…第２吸振体、５０…液体噴射部、６２…ノズル板、６４…第１吸振体、６４１…弾性膜、６４３…支持板、７０…基体部、７２…配線、８０…駆動回路、９０…個別放熱体、Ｒ…液体貯留室、Ｎ…ノズル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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