(57)【要約】【課題】チップがニードルによって突き上げられて破損することを抑えることができるチップ突き上げニードル装置を提供する。【解決手段】本発明に係るチップ突き上げニードル装置は、外側から内側へ順に配置される複数の外枠及び１つの中央台部を有し、これら外枠の各側壁の上面に複数の第１傾斜溝チャンネル及び第２傾斜溝チャンネルが形成され、各第１傾斜溝チャンネル及び第２傾斜溝チャンネルは、内壁面が平面であり、且つ中央台部における第１溝部及び第２溝部と連通している。このような本発明に係るチップ突き上げニードル装置が真空環境に設置されて使用される際に、これら第１、第２傾斜溝チャンネル及び第１、第２溝部によって、チップが粘着されている上方のテープに対する均等な真空吸着力が発生するため、外枠及び中央台部によってテープを突き上げる過程中にチップが破損することを抑制することができる。【選択図】図１
2019121775.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側から内側へ順に設置される複数の外枠と、
前記複数の外枠のうち最も内側にある外枠内に設置され、少なくとも１つの第１溝部及び少なくとも１つの第２溝部が形成されている中央台部と、
前記複数の外枠の各側壁の上面に形成され、それぞれの内壁面が平面である複数の第１傾斜溝チャンネルと、
前記複数の外枠の各側壁の上面に形成され、それぞれの内壁面が平面であって且つ傾斜方向が各前記第１傾斜溝チャンネルの傾斜方向とは反対方向である複数の第２傾斜溝チャンネルとを備えるチップ突き上げニードル装置であって、
各前記外枠の少なくとも１つの内側面に通気間隙が形成され、
各前記第１溝部は、各前記第２溝部と互いに連通し、
前記複数の第１傾斜溝チャンネルのうち少なくとも１つの第１傾斜溝チャンネルが前記少なくとも１つの第１溝部及び少なくとも１つの第２溝部と連通し、
前記複数の第２傾斜溝チャンネルのうち少なくとも１つの第２傾斜溝チャンネルが前記少なくとも１つの第１溝部及び少なくとも１つの第２溝部と連通している、チップ突き上げニードル装置。
【請求項２】
各前記第１傾斜溝チャンネルは、前記複数の外枠の同じ側の側壁の上面における互いに連通する第１傾斜溝部によって構成され、
各前記第２傾斜溝チャンネルは、前記複数の外枠の同じ側の側壁の上面における互いに連通する第２傾斜溝部によって構成されている、請求項１に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項３】
前記複数の外枠の各側壁の上面中央部位における互いに連通する第１傾斜溝部及び第２傾斜溝部によってＶ形溝が構成され、
前記第１溝部は、対向する２つの側壁の上面におけるＶ形溝と連通する長手溝であり、
前記第２溝部は、対向する他の２つの側壁の上面におけるＶ形溝と連通する長手溝である、請求項２に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項４】
各前記第１溝部と各前記第２溝部とが互いに連通して十字形溝を構成している、請求項３に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項５】
前記第１溝部の幅と前記第２溝部の幅はいずれも、各前記第１傾斜溝チャンネルの幅及び各前記第２傾斜溝チャンネルの幅より大きい、請求項１に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項６】
前記複数の外枠の各側壁の上面中央部位における互いに連通する第１傾斜溝部及び第２傾斜溝部によってＶ形溝が構成され、
前記第１溝部は、前記複数の外枠の対向する２つの側壁の上面におけるＶ形溝と連通する長手溝であり、
各前記第２溝部は、１つの第３傾斜溝部及び１つの第４傾斜溝部を有し、
前記第３傾斜溝部は、前記第１傾斜溝チャンネル及び前記第１溝部と連通し、前記第４傾斜溝部は、前記第２傾斜溝チャンネル及び前記第１溝部と連通し、
互いに連通する第１傾斜溝チャンネル及び第３傾斜溝部と、互いに連通する第２傾斜溝チャンネル及び第４傾斜溝部とによってＶ形溝が構成されている、請求項１に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項７】
前記第３傾斜溝部の内壁面と、連通する前記第１傾斜溝チャンネルの内壁面とが共面をなし、
前記第４傾斜溝部の内壁面と、連通する前記第２傾斜溝チャンネルの内壁面とが共面をなしている、請求項６に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項８】
各前記通気間隙は、各前記外枠の内側面の中央部位に形成されている、請求項１から７のいずれか一項に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項９】
各前記外枠は矩形の枠体であり、
前記中央台部は矩形のブロックである、請求項８に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載のチップ突き上げニードル装置を備え、前記チップ突き上げニードル装置は真空筒内の一端に設置されている、チップ突き上げニードル設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はチップ突き上げニードル装置に関し、特に多段式チップ突き上げニードル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体パッケージングプロセスにおいて、複数あるチップは一旦テープ上に貼り付けられ、所定の工程を終えた後、テープからそれぞれピックアップされて次の工程へ搬送される。最も一般的なチップピックアップ方法は、テープの下方に針状ニードルを設けると共にチップの上方に真空吸着ヘッドを設け、チップに位置合わせされた針状ニードルによってチップを突き上げてチップを真空吸着ヘッドに接近させた後、真空吸着ヘッドによってチップを吸着してテープから離脱させることを、テープ上のチップが全てピックアップされるまで繰り返すという方法である。
【０００３】
上記従来の針状ニードルによってチップを突き上げる際に、ニードルによる圧力はチップの一箇所に集中する。そのため、近年、厚さがますます薄くなる傾向にあるチップは、従来の針状ニードルによって突き上げられる際に、ニードルから受ける圧力によって破損しやすい。この問題を解決する手段として、引用文献１には、圧力の集中を防止できるチップ剥離装置が提案された。また、図９、図１０に示すような、複数の外枠６１と１つの中央台部６２が外側から内側へ順に配置される他の多段式チップ突き上げニードル装置６０も提案されている。多段式チップ突き上げニードル装置６０において、図１０に示すように、各外枠６１の各長側壁の上面及び各短側壁の上面には、凹入した１つ又は複数の溝部６１１、６１２がそれぞれ形成され、これら外枠６１における、同じ位置にある溝部６１１、６１２は互いに連通している。また、中央台部６２における、これら外枠６１の長側壁上面の溝部６１１に対応する位置には、長手の溝部６２１が形成され、これら外枠６１の対向する２つの長側壁上面の溝部６１１は、長手の溝部６２１を介して互いに連通している。また、各外枠６１の内壁面には通気間隙６１３が形成されている。
【０００４】
上記多段式チップ突き上げニードル装置６０は、真空環境に設置されて使用される。チップのピックアップ過程中、多段式チップ突き上げニードル装置６０は上方におけるテープ上のチップに位置合わせされ、真空環境下では、複数の連通した溝部及び通気間隙を介して下方への真空吸着力が発生し、吸着力によって固定テープが多段式チップ突き上げニードル装置６０に固定される。その後、多段式チップ突き上げニードル装置６０の複数の外枠６１と中央台部６２とが、外側から内側への順で上昇してテープを突き上げ、中央台部６２によってテープが最も高い位置へ突き上げられる。中央台部６２の長さ及び幅が各外枠の長さ及び幅よりも小さいため、多段式チップ突き上げニードル装置６０による突き上げ中に、チップの底面とテープの間の粘着強度は次第に弱まり、最終的にピックアップヘッドによってチップがピックアップされ、テープから離脱する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】台湾特許第Ｉ３１７９６６号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
針状ニードルと比べると、上述した多段式チップ突き上げニードル装置では、チップを突き上げる力が分散されているため、ピックアップ過程中にチップが破損するおそれが低減される。ところで、図１０に示すように、上記多段式チップ突き上げニードル装置６０では、互いに連通する複数の溝部６１１及び互いに連通する複数の溝部６１２のうち、中央台部６２における長手の溝部６２１と連通して比較的長い溝チャンネルを構成しているのは長側壁上面の溝部６１１のみである。そして、互いに連通する溝部６１１の内壁面が連続しておらず段階状となっている。その結果、テープを固定するための吸着力は限定的であり、且つ分布が均等でないため、厚さがより薄いチップのピックアップに使用される場合、テープを突き上げる過程中に薄化チップを破損させてしまいやすい問題があった。したがって、薄化チップのピックアップ作業に使用するためには、このような多段式チップ突き上げニードル装置６０を改良する必要があった。
【０００７】
本発明は上記多段式チップ突き上げニードル装置の課題に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、チップのピックアップ作業中に、チップがニードルによって突き上げられて破損することを抑えることができるチップ突き上げニードル装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明のチップ突き上げニードル装置は、
外側から内側へ順に設置される複数の外枠と、
前記複数の外枠のうち最も内側にある外枠内に設置され、少なくとも１つの第１溝部及び少なくとも１つの第２溝部が形成されている中央台部と、
前記複数の外枠の各側壁の上面に形成され、それぞれの内壁面が平面である複数の第１傾斜溝チャンネルと、
前記複数の外枠の各側壁の上面に形成され、それぞれの内壁面が平面であって且つ傾斜方向が各前記第１傾斜溝チャンネルの傾斜方向とは反対方向である複数の第２傾斜溝チャンネルとを備え、
各前記外枠の少なくとも１つの内側面に通気間隙が形成され、
各前記第１溝部は、各前記第２溝部と互いに連通し、
前記複数の第１傾斜溝チャンネルのうち少なくとも１つの第１傾斜溝チャンネルが前記少なくとも１つの第１溝部及び少なくとも１つの第２溝部と連通し、
前記複数の第２傾斜溝チャンネルのうち少なくとも１つの第２傾斜溝チャンネルが前記少なくとも１つの第１溝部及び少なくとも１つの第２溝部と連通していることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように、本発明では、主に複数の外枠の各側壁の上面に複数の第１傾斜溝チャンネル、第２傾斜溝チャンネルが形成され、各第１傾斜溝チャンネル、第２傾斜溝チャンネルは、段階状とならないように内壁面が平面であり、且つ中央台部における第１溝部、第２溝部と連通している。この構成によれば、本発明のチップ突き上げニードル装置が真空環境に設置されて使用する際に、これら第１傾斜溝チャンネル及び第２傾斜溝チャンネルと、第１溝部及び第２溝部とによって、チップが粘着されている上方のテープに対する均等な真空吸着力が発生するため、外枠及び中央台部によってテープを突き上げる過程中にチップが破損することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明のチップ突き上げニードル装置の第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１のチップ突き上げニードル装置を示す分解斜視図である。
【図３】図１のチップ突き上げニードル装置を示す平面図である。
【図４】真空環境に設置された図１のチップ突き上げニードル装置を示す縦方向断面図である。
【図５Ａ】図４のチップ突き上げニードル装置の動作を示す模式図である。
【図５Ｂ】図４のチップ突き上げニードル装置の動作を示す模式図である。
【図５Ｃ】図４のチップ突き上げニードル装置の動作を示す模式図である。
【図６】本発明のチップ突き上げニードル装置の第２実施形態を示す平面図である。
【図７】真空環境に設置された図６のチップ突き上げニードル装置を示す縦方向断面図である。
【図８Ａ】図７のチップ突き上げニードル装置の動作を示す模式図である。
【図８Ｂ】図７のチップ突き上げニードル装置の動作を示す模式図である。
【図８Ｃ】図７のチップ突き上げニードル装置の動作を示す模式図である。
【図９】従来の多段式チップ突き上げニードル装置の外観斜視図である。
【図１０】図９の多段式チップ突き上げニードル装置を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明は、チップ突き上げニードル装置について構造の改良を行って得られたものであり、以下、図面を参考しながら複数の実施形態を用いて本発明のチップ突き上げニードル装置の構造的特徴を説明する。
【００１２】
まず、図１に示すように、第１実施形態の本発明のチップ突き上げニードル装置１０は、複数の外枠１１、１２、１３と、１つの中央台部１４とを備え、これら複数の外枠１１、１２、１３と、中央台部１４とは、外側から内側へ順に同軸的に設置され、中央台部１４は最も内側にある外枠１３内に設置される。組み立てられた状態では、これら外枠１１、１２、１３と、中央台部１４とは、上面が共面をなしている。また、本実施形態において、これら外枠１１、１２、１３の上面には、複数の第１傾斜溝チャンネル１０１及複数の第２傾斜溝チャンネル１０２が形成されている。
【００１３】
説明の便宜上、ここでは外側から内側へ順に設置された第１外枠１１、第２外枠１２及び第３外枠１３を有する例を示したが、外枠の数はこの限りではない。図２に示すように、第１外枠１１は、２つの長側壁及び２つの短側壁を有する矩形の枠体であり、各長側壁及び各短側壁には、複数の第１傾斜溝部１１１、複数の第２傾斜溝部１１２がそれぞれ形成されている。各第１傾斜溝部１１１の傾斜方向と各第２傾斜溝部１１２の傾斜方向とは反対方向であり、これにより、各長側壁及び短側壁の中央部位において隣接する２つの第１傾斜溝部１１１及び第２傾斜溝部１１２が互いに交差して連通し、Ｖ形溝を構成する。第１外枠１１の内側面１１０ａの中央部位には第１通気間隙１１３が形成されている。本実施形態では、第１外枠１１は矩形のものであるため、４つの外側面１１０ｂ及び４つの内側面１１０ａが備えられ、各内側面１１０ａには、第１通気間隙１１３がそれぞれ形成されている。
【００１４】
上記第２外枠１２は、第１外枠１１よりも長さと幅が小さい矩形の枠体であり、外側面１２０ｂが第１外枠１１の内側面１１０ａに当接するように第１外枠１１内に嵌設されている。第２外枠１２は、２つの長側壁及び２つの短側壁を有する。各長側壁及び各短側壁における、第１外枠１１の各第１傾斜溝部１１１と対応する箇所に第１傾斜溝部１２１が形成され、第２外枠１２における各第１傾斜溝部１２１の内壁面１２１１と、第１外枠１１における対応する第１傾斜溝部１１１の内壁面１１１１とが共面をなしている。また、第２外枠１２の各長側壁及び各短側壁における、第１外枠１１の各第２傾斜溝部１１２と対応する箇所に第２傾斜溝部１２２が形成され、第２外枠１２における各第２傾斜溝部１２２の内壁面１２２１と、第１外枠１１における対応する第２傾斜溝部１１２の内壁面１１２１とが共面をなしている。第２外枠１２の内側面１２０ａの中央部位には第２通気間隙１２３が形成されている。本実施形態において、第２外枠１２も同じく矩形の枠体であるため、４つの外側面１２０ｂ及び４つの内側面１２０ａが備えられ、各内側面１２０ａには、第１外枠１１における対応する内側面１１０ａの第１通気間隙１１３と位置合わせされている第２通気間隙１２３が形成されている。
【００１５】
上記第３外枠１３は、第２外枠１２よりも長さと幅が小さい矩形の枠体であり、外側面１３０ｂが第２外枠１２の内側面１２０ａに当接するように第２外枠１２内に嵌設されている。第３外枠１３は、２つの長側壁及び２つの短側壁を有する。各長側壁及び各短側壁における、第２外枠１２の各第１傾斜溝部１２１と対応する箇所に第１傾斜溝部１３１が形成され、第３外枠１３における各第１傾斜溝部１３１の内壁面１３１１と、第２外枠１２における対応する第１傾斜溝部１２１の内壁面１２１１とが共面をなしている。これにより、図１及び図３に示すような第１傾斜溝チャンネル１０１が構成される。また、第３外枠１３の各長側壁及び各短側壁における、第２外枠１２の各第２傾斜溝部１２２と対応する箇所に第２傾斜溝部１３２が形成され、第３外枠１３における各第２傾斜溝部１３２の内壁面１３２１と、第２外枠１２における対応する第２傾斜溝部１２２の内壁面１２２１とが共面をなしている。これにより、図１及び図３に示すような第２傾斜溝チャンネル１０２が構成される。第３外枠１３の各長側壁及び短側壁の中央部位において隣接する２つの第１傾斜溝部１３１及び第２傾斜溝部１３２と、これらと連通する第１外枠１１における第１傾斜溝部１１１、第２傾斜溝部１１２及び第２外枠１２における第１傾斜溝部１２１、第２傾斜溝部１２２とによってＶ形溝が構成されている。第３外枠１３の内側面１３０ａの中央部位には第３通気間隙１３３が形成されている。本実施形態において、第３外枠１３も同じく矩形の枠体であるため、４つの外側面１３０ｂ及び４つの内側面１３０ａが備えられ、各内側面１３０ａには、第２外枠１２における対応する内側面１２０ａの第２通気間隙１２３と位置合わせされている第３通気間隙１３３が形成されている。
【００１６】
上記中央台部１４の上面には、１つの第１溝部１４１及び複数の第２溝部１４２が形成され、中央台部１４の外側面１４０は第３外枠１３の内側面１３０ａに当接している。本実施形態において、中央台部１４は矩形のブロックであり、第１溝部１４１は中央台部１４における２つの短側面にわたって穿設された長手溝であり、第３外枠１３の短側壁の上面における対応する位置にある、Ｖ形溝を構成する第１傾斜溝部１３１及び第２傾斜溝部１３２と連通している。各第２溝部１４２は中央台部１４における２つの長側面にわたって穿設された長手溝であり、第３外枠１３の長側壁における対応する位置にある第１傾斜溝部１３１及び第２傾斜溝部１３２（すなわちＶ形溝）と連通している。各第２溝部１４２は、第１溝部１４１と互いに交差して連通し、複数の十字形溝を構成している。第１溝部１４１の幅と第２溝部１４２の幅はいずれも、各第１傾斜溝チャンネル１０１の幅及び各第２傾斜溝チャンネル１０２の幅より大きい。
【００１７】
図３に示すように、第１外枠〜第３外枠１１、１２、１３には、複数の連続した第１傾斜溝部１１１、１２１、１３１によって構成された複数の第１傾斜溝チャンネル１０１が形成されている。すなわち、各第１傾斜溝チャンネル１０１は、第１外枠〜第３外枠１１、１２、１３の同じ側の側壁の上面における互いに連通する第１傾斜溝部１１１、１２１、１３１によって構成されている。また、第１外枠〜第３外枠１１、１２、１３には、複数の連続した第２傾斜溝部１１２、１２２、１３２によって構成された複数の第２傾斜溝チャンネル１０２が形成されている。すなわち、各第２傾斜溝チャンネル１０２は、第１外枠〜第３外枠１１、１２、１３の同じ側の側壁の上面における互いに連通する第２傾斜溝部１１２、１２２、１３２によって構成されている。各第１傾斜溝チャンネル１０１、第２傾斜溝チャンネル１０２の内壁面は平面である。中央台部１４における第１溝部１４１、第２溝部１４２は、一部の第１傾斜溝チャンネル１０１、第２傾斜溝チャンネル１０２と連通している。
【００１８】
図４に示すように、使用時に、上記チップ突き上げニードル装置１０は真空環境２０中に設置されている。本実施形態において、チップ突き上げニードル設備を構成するように、チップ突き上げニードル装置１０は、内部が真空状態である真空筒２１内の一端に設置されている。ピックアップ作業時に、チップ突き上げニードル装置１０は、上方にあるテープ４０の上面におけるチップ３０に位置合わせされた状態でテープ４０の底面に貼り付けられる。真空筒２１の内部が真空状態となっていることにより、外枠１１、１２、１３の通気間隙１１３、１２３、１３３を介して各第１傾斜溝チャンネル１０１と第２傾斜溝チャンネル１０２、及び第１溝部１４１と第２溝部１４２において真空吸着力を発生させることができ、上方にあるテープ４０を均等な吸着力でチップ突き上げニードル装置１０の上面に吸着して固定させることができる。
【００１９】
そして、図４及び図５Ａに示すように、第２外枠１２、第３外枠１３及び中央台部１４が上昇し、チップ３０をテープ４０と共に第１の高さまで突き上げる。この時、チップ３０の底面の外周部分はテープ４０から離脱する。次に、図５Ｂに示すように、第３外枠１３及び中央台部１４が上昇してチップ３０をテープ４０と共に第２高さまでさらに突き上げることにより、チップ３０の底面とテープ４０との粘着面積がさらに縮小する。さらに、図５Ｃに示すように、中央台部１４が上昇してチップ３０をテープ４０と共に第３高さまでさらに突き上げることにより、チップ３０の底面とテープ４０との粘着面積がさらに縮小する。その後、ピックアップヘッド５０がチップ３０の上面に接触し、チップ３０をテープ４０から離脱させる。
【００２０】
本発明のチップ突き上げニードル装置１０において、その上面には均等に分布された複数の第１傾斜溝チャンネル１０１及び複数の第２傾斜溝チャンネル１０２が形成されており、さらに中央台部１４に第１溝部１４１及び第２溝部１４２が形成されている。そのため、ピックアップ作業時に、テープ４０には均等な真空吸着力が作用するので、チップ突き上げニードル装置１０によって突き上げられる過程中にチップ３０が破損することを抑制することができる。
【００２１】
図６には、本発明のチップ突き上げニードル装置１０’の第２の好適な実施形態が示されている。本実施形態のチップ突き上げニードル装置１０’の構成の多くは、図１に示す第１の好適な実施形態と同様であるが、本実施形態において、中央台部１４には、２つの短側面にわたって穿設された第１溝部１４１が形成されていると共に、第１傾斜溝チャンネル１０１、第２傾斜溝チャンネル１０２とそれぞれ連通する複数の第３傾斜溝部１４３、第４傾斜溝部１４４が形成されている。そのうち、互いに連通する第１傾斜溝チャンネル及び第３傾斜溝部と、互いに連通する第２傾斜溝チャンネル及び第４傾斜溝部とによってＶ形溝が構成されており、これにより、チップ突き上げニードル装置１０’の上面における４つの側部に全Ｖ形溝が構成されている。すなわち、第３傾斜溝部１４３の内壁面１４３１と、連通する第１傾斜溝チャンネル１０１の内壁面とが共面をなしておおり、第４傾斜溝部１４４の内壁面１４４１と、連通する第２傾斜溝チャンネル１０２の内壁面とが共面をなしている。
【００２２】
図７に示すように、使用時に、チップ突き上げニードル装置１０’は同様に真空筒２１内の一端に設置されている。本実施形態のチップ突き上げニードル装置１０’の上面における４つの側部に全Ｖ形溝が構成されているため、真空筒２１内が真空状態となった時、チップ突き上げニードル装置１０’における全Ｖ形真空溝により、テープ４０に対するより均等な真空吸着力が発生する。図８Ａ〜図８Ｃに示すように、テープ４０の底面に対応する真空溝チャンネルがより多く存在するため、チップ突き上げニードル装置１０’によってチップ３０を突き上げる過程中に、テープ４０を安定的に吸着することができ、チップ３０の破損をより一層抑制することができる。
【００２３】
以上のように、本発明のチップ突き上げニードル装置では、主に複数の外枠の各側壁の上面に複数の第１傾斜溝チャンネル、第２傾斜溝チャンネルが形成され、各第１傾斜溝チャンネル、第２傾斜溝チャンネルは、段階状とならないように内壁面が平面であり、且つ中央台部における第１溝部、第２溝部と連通している。この構成によれば、本発明のチップ突き上げニードル装置が真空環境に設置されて使用する際に、これら第１傾斜溝チャンネル及び第２傾斜溝チャンネルと、第１溝部及び第２溝部とによって、チップが粘着されている上方のテープに対する均等な真空吸着力が発生するため、外枠及び中央台部によってテープを突き上げる過程中にチップが破損することを抑制することができる。
【符号の説明】
【００２４】
１０、１０’    チップ突き上げニードル装置  
１１、１２、１３    外枠
１１０ａ、１２０ａ、１３０ａ    内側面 
１１０ｂ、１２０ｂ、１３０ｂ    外側面
１１１、１２１、１３１    第１傾斜溝部  
１１１１、１２１１、１３１１    内壁面
１１２、１２２、１３２    第２傾斜溝部  
１１２１、１２２１、１３２１    内壁面
１１３、１２３、１３３    通気間隙
１４、１４’    中央台部
１４０    外側面
１４１    第１溝部
１４２    第２溝部
１４３    第３傾斜溝部
１４３１    内壁面
１４４    第４傾斜溝部
１４４１    内壁面
２０    真空環境
２１    真空筒
３０    チップ
４０    テープ 
５０    ピックアップヘッド
６０    チップ突き上げニードル装置
６１    外枠
６１１、６１２    溝部
６２    中央台部
６２１    長手の溝部
６１３    通気間隙 
【図１】
2019121775.tif 000003
【図２】
2019121775.tif 000004
【図３】
2019121775.tif 000005
【図４】
2019121775.tif 000006
【図５Ａ】
2019121775.tif 000007
【図５Ｂ】
2019121775.tif 000008
【図５Ｃ】
2019121775.tif 000009
【図６】
2019121775.tif 000010
【図７】
2019121775.tif 000011
【図８Ａ】
2019121775.tif 000012
【図８Ｂ】
2019121775.tif 000013
【図８Ｃ】
2019121775.tif 000014
【図９】
2019121775.tif 000015
【図１０】
2019121775.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成31年2月1日(2019.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側から内側へ順に設置される複数の外枠と、
前記複数の外枠のうち最も内側にある外枠内に設置され、少なくとも１つの第１溝部及び少なくとも１つの第２溝部が形成されている中央台部と、
前記複数の外枠の各側壁の上面に形成され、階段状とならないようにそれぞれの内壁面が平面である複数の第１傾斜溝チャンネルと、
前記複数の外枠の各側壁の上面に形成され、階段状とならないようにそれぞれの内壁面が平面であって且つ傾斜方向が各前記第１傾斜溝チャンネルの傾斜方向とは非平行である複数の第２傾斜溝チャンネルとを備えるチップ突き上げニードル装置であって、
各前記外枠の少なくとも１つの内側面に通気間隙が形成され、
各前記第１溝部は、各前記第２溝部と互いに連通し、
前記複数の第１傾斜溝チャンネルのうち少なくとも１つの第１傾斜溝チャンネルが前記少なくとも１つの第１溝部及び少なくとも１つの第２溝部と連通し、
前記複数の第２傾斜溝チャンネルのうち少なくとも１つの第２傾斜溝チャンネルが前記少なくとも１つの第１溝部及び少なくとも１つの第２溝部と連通している、チップ突き上げニードル装置。
【請求項２】
各前記第１傾斜溝チャンネルは、前記複数の外枠の同じ側の側壁の上面における互いに連通する第１傾斜溝部によって構成され、
各前記第２傾斜溝チャンネルは、前記複数の外枠の同じ側の側壁の上面における互いに連通する第２傾斜溝部によって構成されている、請求項１に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項３】
前記複数の外枠の各側壁の上面中央部位における互いに連通する第１傾斜溝部及び第２傾斜溝部によってＶ形溝が構成され、
前記第１溝部は、対向する２つの側壁の上面におけるＶ形溝と連通する長手溝であり、
前記第２溝部は、対向する他の２つの側壁の上面におけるＶ形溝と連通する長手溝である、請求項２に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項４】
各前記第１溝部と各前記第２溝部とが互いに連通して十字形溝を構成している、請求項３に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項５】
前記第１溝部の幅と前記第２溝部の幅はいずれも、各前記第１傾斜溝チャンネルの幅及び各前記第２傾斜溝チャンネルの幅より大きい、請求項１に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項６】
前記複数の外枠の各側壁の上面中央部位における互いに連通する第１傾斜溝部及び第２傾斜溝部によってＶ形溝が構成され、
前記第１溝部は、前記複数の外枠の対向する２つの側壁の上面におけるＶ形溝と連通する長手溝であり、
各前記第２溝部は、１つの第３傾斜溝部及び１つの第４傾斜溝部を有し、
前記第３傾斜溝部は、前記第１傾斜溝チャンネル及び前記第１溝部と連通し、前記第４傾斜溝部は、前記第２傾斜溝チャンネル及び前記第１溝部と連通し、
互いに連通する第１傾斜溝チャンネル及び第３傾斜溝部と、互いに連通する第２傾斜溝チャンネル及び第４傾斜溝部とによってＶ形溝が構成されている、請求項１に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項７】
前記第３傾斜溝部の内壁面と、連通する前記第１傾斜溝チャンネルの内壁面とが共面をなし、
前記第４傾斜溝部の内壁面と、連通する前記第２傾斜溝チャンネルの内壁面とが共面をなしている、請求項６に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項８】
各前記通気間隙は、各前記外枠の内側面の中央部位に形成されている、請求項１から７のいずれか一項に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項９】
各前記外枠は矩形の枠体であり、
前記中央台部は矩形のブロックである、請求項８に記載のチップ突き上げニードル装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載のチップ突き上げニードル装置を備え、前記チップ突き上げニードル装置は真空筒内の一端に設置されている、チップ突き上げニードル設備。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明のチップ突き上げニードル装置は、
外側から内側へ順に設置される複数の外枠と、
前記複数の外枠のうち最も内側にある外枠内に設置され、少なくとも１つの第１溝部及び少なくとも１つの第２溝部が形成されている中央台部と、
前記複数の外枠の各側壁の上面に形成され、階段状とならないようにそれぞれの内壁面が平面である複数の第１傾斜溝チャンネルと、
前記複数の外枠の各側壁の上面に形成され、階段状とならないようにそれぞれの内壁面が平面であって且つ傾斜方向が各前記第１傾斜溝チャンネルの傾斜方向とは非平行である複数の第２傾斜溝チャンネルとを備え、
各前記外枠の少なくとも１つの内側面に通気間隙が形成され、
各前記第１溝部は、各前記第２溝部と互いに連通し、
前記複数の第１傾斜溝チャンネルのうち少なくとも１つの第１傾斜溝チャンネルが前記少なくとも１つの第１溝部及び少なくとも１つの第２溝部と連通し、
前記複数の第２傾斜溝チャンネルのうち少なくとも１つの第２傾斜溝チャンネルが前記少なくとも１つの第１溝部及び少なくとも１つの第２溝部と連通していることを特徴としている。