(57)【要約】【課題】処理対象の部材に対する流体による各種の処理を、広範囲において均一かつ良好に行うことが可能なノズル構造、ブロー装置、並びに部品、軸受、直動装置、操舵装置、車両及び機械装置の製造方法を提供する。【解決手段】ノズル構造は、インナー部材１１と、インナー部材１１の周囲を囲うアウター部材１３と、インナー部材１１の外面とアウター部材１３の内面との間に形成されて流体が流される層状の流路１５と、を有する。ノズル構造を備えるブロー装置や機械装置は、流路１５に流体を流すことによってインナー部材１１に対して処理を施すことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外面に凹凸を有する加工物の周囲を囲うアウター部材と、
前記加工物の外面と前記アウター部材の内面との間の隙間として形成され、流体が前記アウター部材の軸方向一端側の流体入口から他端側の流体出口に流される円筒状の流路と、
を有するノズル構造を備え、
前記アウター部材の内面は、前記加工物の軸方向垂直断面における前記円筒状の流路の断面積が任意の軸方向位置で一定となる径に形成され、
前記流路の少なくとも前記加工物の外面に沿う部分に前記流体が流れ、前記加工物に対して処理を行うブロー装置。
【請求項２】
前記加工物は、円柱状に形成された本体部と、前記本体部に設けられ径方向外側へ張り出したフランジ部を有する請求項１に記載のブロー装置。
【請求項３】
前記フランジ部の外縁に、前記加工物の一端側へ向けて前記加工物に沿って延出する円筒部が形成された請求項２に記載のブロー装置。
【請求項４】
前記流路を流れる前記流体が、前記加工物の外面に沿って螺旋状に流される請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のブロー装置。
【請求項５】
前記流路は、前記加工物の外周側ほど径方向に狭くなっている請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のブロー装置。
【請求項６】
前記アウター部材は、複数の分割体を有する分割構造である請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載のブロー装置。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載のブロー装置を用いて、前記加工物に処理を施す処理工程を含む部品の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の部品の製造方法を用いる軸受の製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載の部品の製造方法を用いる直動装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項７に記載の部品の製造方法を用いる操舵装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項７に記載の部品の製造方法を用いる車両の製造方法。
【請求項１２】
請求項７に記載の部品の製造方法を用いる機械装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ブロー装置、並びに部品、軸受、直動装置、操舵装置、車両及び機械装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、機械加工等によって形成した加工物である部材の表面に付着した洗浄液、塵埃あるいは粉体等を除去するために、部材の外面に空気を吹き付けるブロー処理が行われる。このブロー処理として、フィルムが通される筐体内に送り込んだ乾燥エアを、フィルムが通されるスリットから流出させるものがある（例えば、特許文献１参照）。また、吐出ノズルによって製品に空気流体を吹き付けるとともに吸引ノズルで吸引する技術も知られている（例えば、特許文献２参照）。さらに、樹脂被覆電線の外周面に円環状の気体噴出口から圧縮空気を吹き付けて樹脂被覆電線の水切りを行う技術も知られている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１４４９７４号公報
【特許文献２】特開２００１−５９６８０号公報
【特許文献３】特許第３３９９９０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のようなブロー処理は、機構が単純で安価であるため広く用いられているが、処理対象の部材の形状が複雑になると、部材表面に除去できない部分が残ってしまう。そこで、多数のノズルからエアを吹き付けることが考えられるが、その場合、エアの消費量が増大するとともに、エアの吹き付けの調整が困難になる。その結果、部材への処理が不安定となり、均一で広範囲な処理が難しくなる。また、単に部材の表面にエアを吹き付けるだけでは、吹き付け箇所の周囲に乱流が生じ、処理能力の低下や、除去した物体の再付着を招くおそれがある。
【０００５】
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、その目的は、処理対象の部材に対する流体による各種の処理を、広範囲において均一かつ良好に行うことが可能なブロー装置、並びに部品、軸受、直動装置、操舵装置、車両及び機械装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は下記構成からなる。
（１）  外面に凹凸を有する加工物の周囲を囲うアウター部材と、
前記加工物の外面と前記アウター部材の内面との間の隙間として形成され、流体が前記アウター部材の軸方向一端側の流体入口から他端側の流体出口に流される円筒状の流路と、
を有するノズル構造を備え、
前記アウター部材の内面は、前記加工物の軸方向垂直断面における前記円筒状の流路の断面積が任意の軸方向位置で一定となる径に形成され、
前記流路の少なくとも前記加工物の外面に沿う部分に前記流体が流れ、前記加工物に対して処理を行うブロー装置。
このブロー装置によれば、処理対象の加工物の外面に流体を吹き付けるのではなく、加工物とアウター部材との間の層状の流路に流体を流す。したがって、加工物の表面近傍の略全域でムラのない連続的な高速の層状の流れを、流速を落とすことなく揃えて発生させることができ、加工物に対して少量の流体によって効率良く各種の処理を良好に行うことができる。
また、このブロー装置によれば、流体を加工物に吹き付けるのではなく、流体を加工物の外面に沿って層状に流すことにより、加工物に対する流体による各種の処理を効率的に行うことができる。
なお、各種の処理としては、例えば、加工物の外面に付着した液体、塵埃あるいは粉体等を除去する除去処理、加工物の外面を洗浄する洗浄処理、加工物の外面を乾燥させる乾燥処理、加工物を流体で冷却する冷却処理等がある。
【０００７】
（２）  前記流路に連通して前記流路に前記流体が流入される流体入口と、
前記流体入口から送り込まれて前記流路を通る前記流体が流出される流体出口と、を有する（１）に記載のブロー装置。
このブロー装置によれば、流体入口から送り込まれ、層状の流路を通って流体出口から流出される流体によって、加工物に対して流体による各種の処理を良好に行うことができる。
【０００８】
（３）  前記加工物は、外面に凹凸を有し、
前記流路は、前記加工物の外面の凹凸に沿って形成されている（１）又は（２）に記載のブロー装置。
このノズル構造によれば、加工物の外面の凹凸に沿って形成された層状の流路に流体を流すことで、外面に凹凸を有する複雑形状の加工物に対しても流体による各種の処理を効率的に行うことができる。
【０００９】
（４）  前記加工物は、円柱状に形成された本体部と、前記本体部に設けられ径方向外側へ張り出したフランジ部を有する（１）〜（３）のいずれか一つに記載のブロー装置。
（５）  前記アウター部材の前記張り出した部位はフランジ部である（４）に記載のブロー装置。
このブロー装置によれば、フランジ部に沿って流体を流すことができる。
（６）  前記フランジ部の外縁に、前記加工物の一端側へ向けて前記加工物に沿って延出する円筒部が形成された（５）に記載のブロー装置。
このブロー装置によれば、フランジ部と円筒部に沿って流体を流すことができる。
【００１０】
（７）  前記流路を流れる前記流体が、前記加工物の外面に沿って螺旋状に流される（１）〜（６）のいずれか一つに記載のブロー装置。
このブロー装置によれば、加工物の外面に沿って螺旋状に流される流体によって、加工物に対する流体による各種の処理を良好に行うことができる。特に、加工物が、流体の入口から出口に向かって不均一な複雑形状の外面を有していても、その複雑形状の外面に対して流体を万遍なく流して良好に各種の処理を行うことができる。
【００１１】
（８）  前記流路は、前記加工物の外周側ほど径方向に狭くなっている（１）〜（７）のいずれか一つに記載のブロー装置。
このブロー装置によれば、径が大きくなる加工物の外周側ほど、流路の径方向隙間を狭くすることで、軸方向垂直断面における流路断面積を一定にできる。
【００１２】
（９）  前記アウター部材は、複数の分割体を有する分割構造である（１）〜（８）のいずれか一つに記載のブロー装置。
このブロー装置によれば、加工物の形状や設備の周辺状況に広く適応させることができる。
【００１３】
（１０）  （１）〜（９）のいずれか一つに記載のブロー装置を用いて、前記加工物に処理を施す処理工程を含む部品の製造方法。
この部品の製造方法によれば、例えば、外面に付着した液体、塵埃あるいは粉体等を除去する除去処理、外面を洗浄する洗浄処理、外面を乾燥させる乾燥処理、流体で冷却する冷却処理等の各種の処理が良好に行われた加工物からなる高品質な部材を製造することができる。
【００１４】
（１１）  （１０）に記載の部品の製造方法を用いる軸受の製造方法。
（１２）  （１０）に記載の部品の製造方法を用いる直動装置の製造方法。
（１３）  （１０）に記載の部品の製造方法を用いる操舵装置の製造方法。
（１４）  （１０）に記載の部品の製造方法を用いる車両の製造方法。
（１５）  （１０）に記載の部品の製造方法を用いる機械装置の製造方法。
これらの製造方法によれば、軸受、直動装置、操舵装置、車両、機械装置の部品を高品質に製造できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、処理対象の部材に対する流体による各種の処理を、広範囲において均一かつ良好に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施形態に係るノズル構造を示す断面図である。
【図２】第２実施形態に係るノズル構造を示す断面図である。
【図３】第３実施形態に係るノズル構造を示す断面図である。
【図４Ａ】第４実施形態に係るノズル構造を示す断面図である。
【図４Ｂ】図４ＡにおけるIVB−IVB断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図１は第１実施形態に係るノズル構造を示す断面図である。
【００１８】
（第１実施形態）
第１実施形態のノズル構造は、インナー部材１１と、アウター部材１３と、流路１５とを有する。このノズル構造は、インナー部材１１に対して各種の処理を施すブロー装置を構成する。
【００１９】
インナー部材１１は、円柱状に形成された本体部２１と、本体部２１の一端（図１の上端）の端面に設けられた小径の円柱状の突起部２３と、本体部２１の他端（図１の下端）に設けられて径方向外側へ張り出すフランジ部２５とを有する。フランジ部２５の外縁には、本体部２１の一端側へ向けて本体部２１に沿って延出された円筒部２７が形成される。
【００２０】
アウター部材１３は、一端側に流体入口３１を有し、他端側に流体出口３３を有する。アウター部材１３は、アウター本体部３５と、アウター底板部３７とを有する。アウター部材１３は、アウター本体部３５とアウター底板部３７とを、軸方向に互いに突き合わせることで構成される。
【００２１】
アウター部材１３は、インナー部材１１の本体部２１を収容する本体収容凹部４１を有する。本体収容凹部４１の一端側の内壁面には、インナー部材１１の突起部２３を収容する突起収容凹部４３が形成される。さらに、本体収容凹部４１の他端側の開口には、インナー部材１１のフランジ部２５を収容するフランジ収容凹部４５が形成される。フランジ収容凹部４５の外縁には、インナー部材１１の円筒部２７を収容する円筒凹部４７が形成される。
【００２２】
流体入口３１は、突起収容凹部４３の一端側に形成された環状の内側端面４３ａにおける、内側開口に連通する。突起収容凹部４３の円筒状の内壁面４３ｂは、インナー部材１１の突起部２３より大径に形成される。本体収容凹部４１の内側端面４１ａは、インナー部材１１の本体部２１よりも大径で、内壁面４３ｂよりも大径に形成される。内側端面４１ａ，４３ａは、いずれも流体入口３１から本体収容凹部４１に向けて徐々に拡径するテーパ形状にされている。
【００２３】
流体出口３３は、フランジ収容凹部４５に形成される環状の内側端面４５ａにおける、内側開口に連通する。流体出口３３の中心には、柱状部５１が設けられる。フランジ収容凹部４５の内側端面４５ａは、径方向内側に向かって次第に縮径し、流体出口３３側へ傾斜するテーパ形状に形成されている。
【００２４】
アウター本体部３５は、円筒凹部４７側からインナー部材１１が挿入され、インナー部材１１を保持した状態で、円筒凹部４７がアウター底板部３７で塞がれる。これにより、インナー部材１１は、アウター本体部３５とアウター底板部３７とからなるアウター部材１３によって覆われる。アウター本体部３５は、このインナー部材１１の形状の場合には、一体品であればよい。
【００２５】
流路１５は、インナー部材１１の外面と、インナー部材１１に装着されたアウター部材１３の内面との間の隙間として形成される。アウター部材１３に形成された流体入口３１及び流体出口３３は、それぞれ流路１５に連通される。流路１５には、流体入口３１から圧縮空気等の流体が流入される。流体入口３１から流路１５へ送り込まれる流体は、流路１５を通って、流体出口３３から流出される。流路１５は、インナー部材１１における突起部２３の端面とフランジ部２５の端面との間で略同一の断面積となる厚さの層状に形成される。
【００２６】
上記のノズル構造では、流路１５に流体を流すことによって、インナー部材１１に対して各種の処理を施す処理工程が行われる。このインナー部材１１は、上記の処理工程を含む各工程によって製造される。
【００２７】
処理工程では、流体入口３１から流体が流入される。流体入口３１から流入される流体は、凹凸を有するインナー部材１１の外面に沿って層状に形成された流路１５内を層状に流れる。具体的には、流体入口３１から流入された流体は、突起部２３の外面に沿って流れた後、本体部２１及び円筒部２７を有するフランジ部２５の外面に沿って流れて、流体出口３３から流出する。そして、インナー部材１１の外面に沿って層状の流路１５内を流れる流体によって、インナー部材１１に対して処理が施される。
【００２８】
上記構成によれば、本体収容凹部４１の内側端面４１ａ，４３ａ、及びフランジ収容凹部４５の内側端面４５ａがテーパ状に形成される。このため、流路１５の軸方向隙間の間隔は、径方向外側ほど小さくされている。また、突起部２３の外面と本体部２１の外面には、円筒状の流路１５が形成される。各流路１５は、突起部２３の外面よりも本体部２１の外面の方が径方向隙間の間隔が小さい。つまり、円筒状の流路１５の場合には、円筒中心軸から離れるほど径方向隙間の間隔が小さくされている。これによれば、図中水平方向の断面における流路１５の断面積が、任意の位置で一定に保たれ、流路１５内の流体の流速が一様になる。よって、インナー部材１１は、その部位によらずに流体の流速が一定となり、均等な処理効果が得られる。
【００２９】
流路１５を流れる流体によるインナー部材１１に対する各種の処理としては、例えば、インナー部材１１の外面に付着した液体、塵埃又は粉体等を除去する除去処理、インナー部材１１の外面を洗浄する洗浄処理、インナー部材１１の外面を乾燥させる乾燥処理、インナー部材１１を流体で冷却する冷却処理等が挙げられる。
【００３０】
各種の処理を行うために流路１５へ流す流体としては、例えば、空気や窒素等の気体等が用いられる。
【００３１】
以上、説明したように、本構成のノズル構造及びブロー装置によれば、処理対象のインナー部材１１の外面に流体を吹き付けるのではなく、インナー部材１１とアウター部材１３との間の層状の流路１５に流体を流す。したがって、インナー部材１１の表面近傍の略全域でムラのない連続的な高速の層状の流れを、流速を落とすことなく一様に揃えて発生させることができ、インナー部材１１に対して少量の流体によって効率良く各種の処理を良好に行うことができる。なお、流路１５の中では、少なくともインナー部材１１の外面に沿う部分で流体が層流となればよく、その他の部分に乱流が発生しても構わない。
【００３２】
特に、インナー部材１１の外面の凹凸に沿って形成された層状の流路１５に流体を流すので、外面に凹凸を有する複雑形状のインナー部材１１に対しても流体による各種の処理を効率的に行うことができる。
【００３３】
そして、上記ノズル構造及びブロー装置によってインナー部材１１に対して各種の処理を施すことで、例えば、外面に付着した液体、塵埃又は粉体等を除去する除去処理、外面を洗浄する洗浄処理、外面を乾燥させる乾燥処理、流体で冷却する冷却処理等の各種の処理が良好に行われたインナー部材１１からなる高品質な部材を製造できる。
【００３４】
次に、他の実施形態について説明する。なお、上記の第１実施形態と同一構成部分は同一符号を付して説明を省略する。
（第２実施形態）
図２は第２実施形態に係るノズル構造を示す断面図である。
図２に示すように、第２実施形態では、インナー部材１１Ａは、フランジ部２５に前述した円筒部２７がなく、本体部２１の長手方向の中央部分に、径方向外側に延びる中央フランジ部５５が形成される。
【００３５】
本実施形態では、アウター部材１３Ａは、左右に分割された一対のアウター分割体６１Ａ，６１Ｂで構成される。アウター分割体６１Ａ，６１Ｂは、互いに対称形状に形成されており、一方を他方に突き合わせることで、アウター部材１３Ａが構成される。アウター部材１３Ａを一体品とするか、分割構造とするかは、インナー部材の形状や設備の周囲状況に応じて選択できる。これは、以降に説明する実施形態についても同様である。
【００３６】
アウター部材１３Ａは、前述した第１実施形態における円筒凹部４７（図１参照）がなく、インナー部材１１Ａの本体部２１を収容する本体収容凹部４１に、中央フランジ部５５を収容する中央フランジ収容凹部６３が形成される。
【００３７】
アウター部材１３Ａは、インナー部材１１Ａに対して、その両脇側からアウター分割体６１Ａ，６１Ｂを被せて、相互に突き合わせることでインナー部材１１に装着される。これにより、インナー部材１１Ａは、一対のアウター分割体６１Ａ，６１Ｂからなるアウター部材１３Ａによって周囲が覆われる。
【００３８】
本実施形態においても、流路１５は、その断面積が、インナー部材１１Ａにおける突起部２３の端面及びフランジ部２５の端面との間を除く部分で略同一の層状に形成される。
【００３９】
そして、本実施形態における流体による処理工程においても、流体入口３１から流入された流体は、凹凸を有するインナー部材１１Ａの外面に沿って層状の流路１５内を流れる。具体的には、流体入口３１から流入された流体は、突起部２３の外面に沿って流れた後、中央フランジ部５５を有する本体部２１及びフランジ部２５の外面に沿って流れて流体出口３３から流出する。そして、インナー部材１１Ａの外面に沿って層状の流路１５内を流れる流体によって、インナー部材１１Ａに対して各種の処理が施される。
【００４０】
第２実施形態の場合も、インナー部材１１Ａの表面近傍の略全域でムラのない連続的な高速の層状の流れを、流速を落とすことなく揃えて発生させることができ、インナー部材１１Ａに対して少量の流体によって効率良く各種の処理を良好に行うことができる。
【００４１】
（第３実施形態）
図３は第３実施形態に係るノズル構造を示す断面図である。
図３に示すように、第３実施形態では、インナー部材１１Ｂは、図１に示す突起部２３及びフランジ部２５の円筒部２７がない形状とされている。
【００４２】
本実施形態の場合も、アウター部材１３Ｂは、左右に分割された一対のアウター分割体６２Ａ，６２Ｂを有している。アウター分割体６２Ａ，６２Ｂは、互いに対称形状に形成されており、一方を他方に突き合わせることで、アウター部材１３Ｂが構成される。
【００４３】
アウター部材１３Ｂは、図１に示す突起収容凹部４３及び円筒凹部４７がなく、本体収容凹部４１に、インナー部材１１Ｂの本体部２１側へ突出する突出部６５を有している。
【００４４】
アウター部材１３Ｂは、インナー部材１１Ｂに対して、その両脇側からアウター分割体６２Ａ，６２Ｂを被せて、相互に突き合わせることでインナー部材１１Ｂに装着される。これにより、インナー部材１１Ｂは、一対のアウター分割体６２Ａ，６２Ｂからなるアウター部材１３Ｂによって周囲が覆われる。
【００４５】
本実施形態では、流路１５は、流体の流れの方向に沿って断面積が変化されている。具体的には、流路１５は、アウター部材１３Ｂの突出部６５が形成された部分が、他の部分よりも流体の流れの方向に沿って断面積が小さい狭隘領域Ａとされており、この狭隘領域Ａにおいて、他の部分よりも流体の流れの方向に沿って断面積が小さくされている。
【００４６】
本実施形態における流体による処理工程においても、流体入口３１から流入された流体は、インナー部材１１Ｂの外面に沿って層状の流路１５内を流れる。具体的には、流体入口３１から流入された流体は、本体部２１及びフランジ部２５の外面に沿って流れて流体出口３３から流出する。そして、インナー部材１１Ｂの外面に沿って層状の流路１５内を流れる流体によって、インナー部材１１Ｂに対して各種の処理が施される。
【００４７】
また、本実施形態では、断面積が変化されていることで、流路１５を流れる流体の流速が変化される。具体的には、流路１５を流れる流体は、アウター部材１３Ｂの突出部６５が形成された狭隘領域Ａにおいて、その流速が局所的に速められる。これにより、この狭隘領域Ａにおいては、流体によるインナー部材１１Ｂに対する処理能力が高められる。
【００４８】
本実施形態の場合も、インナー部材１１Ｂの表面近傍の略全域でムラのない連続的な高速の層状の流れを、流速を落とすことなく揃えて発生させることができ、インナー部材１１Ｂに対して少量の流体によって効率良く各種の処理を良好に行うことができる。
【００４９】
特に、第３実施形態では、流路１５の断面積が変化されていることで、流路１５を流れる流体の流速が部分的に変化される。これにより、この流体の流速の変化により、インナー部材１１Ｂに対する流体による各種の処理に部分的に強弱をもたせることができ、均一な処理、部分的な集中処理、入り組んだ複雑な形状部分の処理等を良好に行うことが可能となる。
【００５０】
（第４実施形態）
図４Ａは第４実施形態に係るノズル構造を示す断面図であり、図４Ｂは図４ＡにおけるIVB−IVB断面図である。
図４Ａ及び図４Ｂに示すように、第４実施形態では、インナー部材１１Ｃは、図１に示す突起部２３及びフランジ部２５の円筒部２７がなく、周面の一部に、長手方向に沿う突出片６７を有している。
【００５１】
本実施形態の場合も、アウター部材１３Ｃは、左右に分割された一対のアウター分割体６３Ａ，６３Ｂを有している。アウター分割体６１Ｃは、互いに対称形状に形成されており、一方を他方に突き合わせることで、アウター部材１３Ｃが構成される。
【００５２】
アウター部材１３Ｃは、図１に示す突起収容凹部４３及び円筒凹部４７がなく、本体収容凹部４１に、長手方向に沿う溝状の突出片収容凹部６９を有している。
【００５３】
アウター部材１３Ｃは、インナー部材１１Ｃに対して、その両脇側からアウター分割体６３Ａ，６３Ｂを被せて、相互に突き合わせることでインナー部材１１Ｃに装着される。これにより、インナー部材１１Ｃは、一対のアウター分割体６３Ａ，６３Ｂからなるアウター部材１３Ｃによって周囲が覆われる。
【００５４】
本実施形態では、アウター部材１３Ｃは、複数の流体入口３１を有している。複数の流体入口３１は、周方向へ等間隔に形成されている。流体入口３１は、それぞれ周方向に沿う同一方向に傾斜され、インナー部材１１Ｃの本体部２１とアウター部材１３Ｃの本体収容凹部４１との間の流路１５へ向けられている。
【００５５】
本実施形態における流体による処理工程では、それぞれの流体入口３１から流入された流体は、それぞれインナー部材１１Ｃの本体部２１とアウター部材１３Ｃの本体収容凹部４１との間の流路１５へ向けて斜めに吹き付けられる。これにより、流体は、インナー部材１１Ｃの外面に沿って層状の流路１５内を流れる。具体的には、流体入口３１から流入された流体は、突出片６７を有する本体部２１及びフランジ部２５の外面に沿って流れて流体出口３３から流出する。そして、インナー部材１１Ｃの外面に沿って層状の流路１５内を流れる流体によって、インナー部材１１Ｃに対して各種の処理が施される。
【００５６】
このとき、本実施形態では、それぞれの流体入口３１から流入された流体が、それぞれインナー部材１１Ｃの本体部２１とアウター部材１３Ｃの本体収容凹部４１との間の流路１５へ向けて斜めに吹き付けられるので、流路１５を流れる流体に回転力が付与される。これにより、流路１５を流れる流体は、インナー部材１１Ｃの外面に沿って螺旋状に流れて流体出口３３から流出する。
【００５７】
本実施形態の場合も、前述同様に、インナー部材１１Ｃの表面近傍の略全域でムラのない連続的な高速の層状の流れを、流速を落とすことなく揃えて発生させることができ、インナー部材１１Ｃに対して少量の流体によって効率良く各種の処理を良好に行うことができる。
【００５８】
特に、本実施形態では、インナー部材１１Ｃの外面に沿って流体が螺旋状に流されるので、インナー部材１１Ｃが、流体の入口から出口に向かって不均一な複雑形状の外面を有していても、複雑形状の外面に対して流体を万遍なく流して良好に各種の処理を行うことができる。
【００５９】
本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、実施形態の各構成を相互に組み合わせることや、明細書の記載、並びに周知の技術に基づいて、当業者が変更、応用することも本発明の予定するところであり、保護を求める範囲に含まれる。
【００６０】
例えば、アウター部材に形成される流体入口から流体を流入させる際、インナー部材を回転させながら流入させてもよい。その場合、インナー部材の軸方向両端（図示されたインナー部材の上下端）に回転中心支持部を設け、軸方向のいずれか一方（図中、上方又は下方）から回転力を付与すればよい。この場合、流体の流れが円滑となり、しかも、回転中心支持部が流体の流れを妨げることがない。
【００６１】
また、本発明のノズル構造における各種の処理は、軸受等の回転部を有する機械、また、直動案内軸受（レール、スライダー）、ボールねじ装置等のねじ装置（ねじ軸、ナット）、及びアクチュエータ（直動案内軸受とボールねじの組合せ、ＸＹテーブル等）等の直動装置、また、ステアリングコラム、自在継手、中間ギア、ラックアンドピニオン、電動パワーステアリング装置、ウォーム減速機、及びトルクセンサ等の操舵装置、更に、自動車、オートバイ、鉄道等の車両や、各種製造装置等の機械部品及び電気電子部品に適用可能である。
【００６２】
そして、本発明のノズル構造における各種の処理を施して製造したインナー部材１１からなる部品を機械装置（動力の種別を問わない）に組み込むことにより、高品質な機械装置が得られる。
【００６３】
本出願は２０１７年１０月２４日出願の日本国特許出願（特願２０１７−２０５２６６）に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【符号の説明】
【００６４】
１１，１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ  インナー部材
１３，１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ  アウター部材
１５  流路
３１  流体入口
３３  流体出口
【図１】
2019195809.tif 000003
【図２】
2019195809.tif 000004
【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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