(57)【要約】【課題】複数の並列する工程の診断を効率的に行う。【解決手段】本発明の異常予兆診断装置は、同種の装置が同種の処理を行う複数の並列工程の計測値を並列工程ごとに時系列で取得し、取得した複数の並列工程の計測値を、１つの工程における計測値と看做す前処理部と、前処理部が１つの工程における計測値と看做した計測値を分類する分類部と、を備えることを特徴とする。より具体的には、前処理部は、並列工程のそれぞれから取得した計測値のうち、実際に取得された実時刻が同じであるものに対して、所定の時間幅に含まれる複数の異なる仮想時刻をそれぞれ関連付け、分類部は、計測値が仮想時刻において取得されたものと看做す。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同種の装置が同種の処理を行う複数の並列工程の計測値を前記並列工程ごとに時系列で取得し、
前記取得した複数の並列工程の計測値を、１つの工程における計測値と看做す前処理部と、
前記前処理部が１つの工程における計測値と看做した計測値を分類する分類部と、
を備えることを特徴とする異常予兆診断装置。
【請求項２】
前記前処理部は、
前記並列工程のそれぞれから取得した計測値のうち、実際に取得された実時刻が同じであるものに対して、所定の時間幅に含まれる複数の異なる仮想時刻をそれぞれ関連付け、
前記分類部は、
前記計測値が前記仮想時刻において取得されたものと看做すこと、
を特徴とする請求項１に記載の異常予兆診断装置。
【請求項３】
前記前処理部は、
ある並列工程の前記実時刻をそのまま前記仮想時刻とし、
当該ある並列工程の実時刻より後であって、次の実時刻より前の時間帯に、当該並列工程以外のすべての並列工程の前記仮想時刻を関連付けること、
を特徴とする請求項２に記載の異常予兆診断装置。
【請求項４】
各種の計測値を軸に有する多次元空間において、過去の計測値の代表値と診断対象時点の計測値との距離を、前記多次元空間の任意の軸に対する成分に分解する後処理部を備えること、
を特徴とする請求項３に記載の異常予兆診断装置。
【請求項５】
前記分類部は、
適応共鳴理論を用いたクラスタリングを行い、
同種の装置が同種の処理を行う複数の並列工程の時系列の計測値を同一の空間内に表示すること、
を特徴とする請求項４に記載の異常予兆診断装置。
【請求項６】
異常予兆診断装置の前処理部は、
同種の装置が同種の処理を行う複数の並列工程の計測値を前記並列工程ごとに時系列で取得し、
前記取得した複数の並列工程の計測値を、１つの工程における計測値と看做し、
前記異常予兆診断装置の分類部は、
前記前処理部が１つの工程における計測値と看做した計測値を分類すること、
を特徴とする、異常予兆診断装置の異常予兆診断方法。
【請求項７】
異常予兆診断装置の前処理部に対し、
同種の装置が同種の処理を行う複数の並列工程の計測値を前記並列工程ごとに時系列で取得し、
前記取得した複数の並列工程の計測値を、１つの工程における計測値と看做す処理を実行させ、
前記異常予兆診断装置の分類部に対し、
前記前処理部が１つの工程における計測値と看做した計測値を分類する処理を実行させること、
を特徴とする、異常予兆診断装置を機能させるための異常予兆診断プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異常予兆診断装置、異常予兆診断方法及び異常予兆診断プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
機器が劣化し正常に稼働できなくなると、その機器を修理・更新することになる。修理・更新が計画的に実行できれば問題はない。しかしながら、大規模な生産ラインに組み込まれている機器が突然停止したような場合、その修理・更新は、予想外の手間及び費用を必要とし、企業経営に大きな影響を及ぼす。そこで、機器が本格的な異常に陥る前にその予兆を検出し、予防的に修理・更新を行うことが重要である。
【０００３】
特許文献１の診断装置は、プラントの診断に先立ち、プラントが正常であることが既知である時点においてプラントから取得した状態量を用いて、正常モデルを構築しておく。当該診断装置は、診断対象時点においてプラントから取得した状態量が、正常モデルに分類されるか否かを判定する。当該診断装置は、診断対象時点においてプラントから取得した状態量が、正常モデルに分類される場合、プラントは正常である旨を表示する。当該診断装置は、診断対象時点においてプラントから取得した状態量が、正常モデルに分類されない場合、プラントは過去に経験したことがない未知状態である旨を表示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１２／０７３２８９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
実際のプラントにおいては、同一の工程が複数並列する場合が多い。例えば、原料Ａ及び原料Ｂを反応装置内で混合し製品Ｃを生産する工程が複数（多い場合には数十〜数百）並列し、生産計画に応じて、そのうちの一部又は全部が稼働する。このような場合、並列する工程のうちのある工程で異常が発生した場合、他の工程においても同じ種類の異常が発生していることが多い。プラントの保守者としては、並列している工程に異常が発生しているか否か、また、発生しているとすれば具体的にどのような異常が発生しているかを一度に知りたい。
【０００６】
しかしながら、特許文献１の診断装置は、プラント内に複数の工程が存在する場合であっても、それらのうち、どの工程とどの工程が並列するか、そして、どの工程とどの工程が直列するかという関係を特に認識しない。その結果、当該診断装置は、並列する複数の工程の診断結果を個別に出力することになる。結局、保守者が並列する複数の工程のそれぞれを診断しようとすると、診断回数が複数回に亘り、それぞれの診断結果を一覧することができず、それらの診断結果間の共通性を知ることもできない。
そこで、本発明は、複数の並列する工程の診断を効率的に行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の異常予兆診断装置は、同種の装置が同種の処理を行う複数の並列工程の計測値を並列工程ごとに時系列で取得し、取得した複数の並列工程の計測値を、１つの工程における計測値と看做す前処理部と、前処理部が１つの工程における計測値と看做した計測値を分類する分類部と、を備えることを特徴とする。
その他の手段については、発明を実施するための形態のなかで説明する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、複数の並列する工程の診断を効率的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】異常予兆診断装置の構成を説明する図である。
【図２】プラントの構成を説明する図である。
【図３】計測値の分類を説明する図である。
【図４】実時刻及び仮想時刻を説明する図である。
【図５】計測値情報を説明する図である。
【図６】並べ替え後計測値情報を説明する図である。
【図７】仮想時刻及び仮想工程導入の効果を説明する図である。
【図８】仮想時刻及び仮想工程導入の効果を説明する図である。
【図９】適応共鳴理論を用いたクラスタリングを説明する図である。
【図１０】異常度及び寄与度を説明する図である。
【図１１】処理手順のフローチャートである。
【図１２】異常度・寄与度情報を説明する図である。
【図１３】診断結果情報を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以降、本発明を実施するための形態（“本実施形態”という）を、図等を参照しながら詳細に説明する。本実施形態は、化学製品を生産するプラントの診断を行う例である。しかしながら、本発明は、それ以外の対象にも適用可能である。
【００１１】
（異常予兆診断装置の構成）
図１に沿って、異常予兆診断装置１の構成を説明する。異常予兆診断装置１は、一般的なコンピュータであり、中央制御装置１１、入力装置１２、出力装置１３、主記憶装置１４、補助記憶装置１５及び通信装置１６を備える。これらは、バスで相互に接続されている。補助記憶装置１５は、計測値情報３１、異常度・寄与度情報３２及び診断結果情報３３を格納している。
【００１２】
主記憶装置１４における、前処理部２１、分類部２２及び後処理部２３は、プログラムである。以降において、“○○部は”と動作主体を記した場合、それは、中央制御部１１が補助記憶装置１５から“○○部”での処理に使用する情報を読み出して主記憶装置１４に記憶したうえで、後記する処理を実行することを意味する。異常予兆診断装置１は、通常、プラント監視センタ（図示せず）等に配置される。
【００１３】
本実施形態のプラント２は、化学製品を生産する設備の集合であり、複数の並列する工程を有する（詳細後記）。計測・制御装置３は、プラント２の各所に配置されたセンサ等から、流量、温度、圧力等の計測値を取得し、ネットワーク４を介して又はネットワーク４を介さず直接、計測値を異常予兆診断装置１に送信する。計測・制御装置３は、流量、温度、圧力等の計測値がそれらの目標値となるように、プラント２の配管に配置されている弁の開度等を制御する。
【００１４】
（プラント）
図２に沿って、プラント２の構成を説明する。プラント２は、全体として、原料Ａ及び原料Ｂを反応させて製品Ｃを生産する。より細かく見れば、工程ＰＲ１、工程ＰＲ２及び工程ＰＲ３が、この生産を並列的に分担する。工程ＰＲ１、工程ＰＲ２及び工程ＰＲ３の上流には、原料Ａを貯蔵するタンク４１及び原料Ｂを貯蔵するタンク４２が存在し、下流には、製品Ｃを貯蔵するタンク４３が存在する。
【００１５】
工程ＰＲ１に注目する。原料Ａは、タンク４１からポンプ４４Ａ及びバルブ４５Ａを経由して反応装置４６に送られる。原料Ｂは、タンク４２からポンプ４４Ｂ及びバルブ４５Ｂを経由して反応装置４６に送られる。反応装置４６は、原料Ａ及び原料Ｂを反応させて製品Ｃを生産する。製品Ｃは、タンク４３に送られる。反応装置４６の反応速度は、反応装置４６の温度によって変化する。反応装置４６は冷却装置（図示せず）を有しており、冷却水の流量は、バルブ４７の開度によって制御される。
【００１６】
バルブ４５Ａと反応装置４６との間の配管に流量計Ｆ１Ａが配置されている。流量計Ｆ１Ａは、原料Ａの流量を計測し、その計測値に基づいて、計測・制御装置３（図１）は、バルブ４５Ａの開度を制御する。バルブ４５Ｂと反応装置４６との間の配管に流量計Ｆ１Ｂが配置されている。流量計Ｆ１Ｂは、原料Ｂの流量を計測し、その計測値に基づいて、計測・制御装置３は、バルブ４５Ｂの開度を制御する。圧力計Ｐ１は、反応装置４６の圧力を計測する。反応装置４６の出口に温度計Ｔ１が配置されている。温度計Ｔ１は、反応装置４６の出口の温度を計測し、その計測値に基づいて、計測・制御装置３は、バルブ４７の開度を制御する。すると、反応装置４６に流入する冷却水の流量が変化する。
工程ＰＲ２及びＰＲ３についても、同様である。
【００１７】
（同一の複数の並列工程）
前記で明らかなように、本実施形態における並列する工程とは、次のような特徴を有する複数の工程であり、以降“並列工程”とも呼ばれる。
・工程のそれぞれが、同種の処理（例えば原料Ａと原料Ｂを反応させて製品Ｃを生産する処理）を行う。
・工程のそれぞれが、同種の装置（例えば、ポンプ、バルブ及び反応装置）を有する。
・工程のそれぞれが、他の工程と並列に配置されている。
・工程のそれぞれにおいて、センサが、同種の状態量（例えば、流量、圧力及び温度）を取得する。
【００１８】
（計測値の分類）
図３に沿って、計測値の分類を説明する。本実施形態の異常予兆診断装置１は、クラスタリング技術の１つである適応共鳴理論（Adaptive Resonance Theory）を用いて、計測値を複数のカテゴリに分類する。適応共鳴理論を用いた分類については、特許文献１にも記載されている。計測値は、一般的に時系列のベクトルである。ベクトルの各成分は、流量、圧力、温度等の計測値である。異常予兆診断装置１は、多次元空間にこれらのベクトルを示す点を描画し、その位置が近接するもの同士を同じカテゴリに分類する。
【００１９】
図３の横軸は、上図５１においても下図５２においても時間である。図３の縦軸は、上図５１においては計測値であり、下図５２においてはカテゴリである。横軸の時間は、プラント状態が正常であることが既知である正常期間、及び、プラント状態が正常であるか否かが既知ではない診断期間に分かれている。正常期間は、診断期間における計測値を比較する基準となる計測値のサンプルを収集する期間でもある。その意味で、正常期間は、“学習”期間とも呼ばれる。上図５１において、ある工程における原料Ａの流量の変化を示す実線のグラフＦＡ、及び、当該工程における原料Ｂの流量の変化を示す破線のグラフＦＢが描画されている。反応装置の圧力及び出口温度も同時に計測されている。しかしながら、説明の単純化のために、ここでは、これらは捨象されている。
【００２０】
グラフＦＡ及びグラフＦＢは、両者に共通の警告上限値及び警告下限値の間で上下している。警告下限値から警告上限値までの範囲を、その中間値を境界線として“大”及び“小”に２分すると、以下のように、４種類の“大”及び“小”の組合せが想定され得る。
（ＦＡ，ＦＢ）＝（大，小），（小，小），（小，大），（大，大）
【００２１】
正常期間のうち期間５３の６つの時点において、組合せは、“（ＦＡ，ＦＢ）＝（大，小）”であった。そこで、異常予兆診断装置１は、この組合せを“カテゴリ１”に分類し、分類結果である６つの“◆”を下図５２に描画した。正常期間のうち期間５４の４つの時点において、組合せは、“（ＦＡ，ＦＢ）＝（小，小）”であった。そこで、異常予兆診断装置１は、この組合せを“カテゴリ２” に分類し、分類結果である４つの“◆”を下図５２に描画した。正常期間のうち期間５５の２つの時点において、組合せは、“（ＦＡ，ＦＢ）＝（小，大）”であった。そこで、異常予兆診断装置１は、この組合せを“カテゴリ３”に分類し、分類結果である２つの“◆”を下図５２に描画した。
【００２２】
正常期間において、異常予兆診断装置１は、計測値をカテゴリ１、カテゴリ２及びカテゴリ３のうちのいずれかに分類したことになる。これらのカテゴリ間における計測値の相違は、運転条件、運転環境等の相違に起因する。
【００２３】
診断期間のうち期間５６の３つの時点において、組合せは、“（ＦＡ，ＦＢ）＝（小，小）”であった。そこで、異常予兆診断装置１は、この組合せを既知の（学習済の）“カテゴリ２”に分類し、分類結果である３つの“◆”を下図５２に描画した。診断期間のうち期間５７の３つの時点において、組合せは、“（ＦＡ，ＦＢ）＝（大，大）”であった。この組合せは、正常期間においては出現していない。そこで、異常予兆診断装置１は、この組合せを新規の“カテゴリ４”に分類し、分類結果である３つの“■”を下図５２に描画した。なお、異常予兆診断装置１は、前記のように２種類の計測値の大小関係に基づき計測値の組合せを分類する他に、２種類の計測値の差分に基づき計測値の組合せを分類してもよい。
【００２４】
既存の技術においては、このような分類が並列工程のそれぞれについて実行される。説明の都合上、図４〜図７を飛ばして一時的に図８に進む。図８の左上図８１、左中図８２及び左下図８３は、図３の上図５１における２種類の計測値及び下図５２における４つのカテゴリの関係を図示している。このうち、左上図８１が図２の工程ＰＲ１に対応し、左中図８２が図２の工程ＰＲ２に対応し左下図８３が図２の工程ＰＲ３に対応している。
【００２５】
図８の左上図８１の座標平面の横軸は、原料Ａの流量ＦＡであり、縦軸は、原料Ｂの流量ＦＢである。座標平面上には、カテゴリ１、カテゴリ２、カテゴリ３及びカテゴリ４を示す４つの球（クラスタ）が描画されている。なお、本実施形態における“球”は、２次元の円も含む。このうち、カテゴリ１、カテゴリ２及びカテゴリ３を示す球のそれぞれは、正常期間における計測値“（ＦＡ，ＦＢ）”を示す多くの点（図示せず）を含む。カテゴリ４を示す球は、診断期間における計測値を示す点“◎”を含む。異常予兆診断装置１のユーザ（プラントの保守者）は、左上図８１を見て、工程ＰＲ１に未知の状態が発生していることを知る。ユーザは、当然工程ＰＲ２及び工程ＰＲ３の状態も知りたいと考える。しかしながら既存の技術では、そのためには並列工程ごとに画面を切り替えなければならない。仮に、すべての工程について一覧できる右図８４があれば便利である。説明は、図４に戻る。
【００２６】
（実時刻及び仮想時刻）
図４に沿って、実時刻及び仮想時刻を説明する。実時刻とは、計測値がセンサ等によって計測された実際の時刻である。本実施形態では、ある実時刻において、並列する３つの工程で４種類の計測値が同時に測定される。仮想時刻とは、本実施形態の異常予兆診断装置１が、並列工程を同時に診断する目的で使用する、情報処理上の仮想的な時刻である。なお、実時刻は、例えば“ｔ１”というように“ｔ＋数字１桁”で表され、仮想時刻は、例えば“ｔ１１” というように“ｔ＋数字２桁”で表される。
【００２７】
いま、診断期間のある時点ｔ１において実際に取得された工程ＰＲ１の原料Ａの流量は、“Ｆ１Ａ（ｔ１）”と表される。ここで、“ｔ１”は、実時刻である。同様に、時点ｔ１において実際に取得された工程ＰＲ１の原料Ｂの流量は、“Ｆ１Ｂ（ｔ１）” と表される。時点ｔ１において実際に取得された工程ＰＲ１の反応装置の圧力は、“Ｐ１（ｔ１）” と表される。時点ｔ１において実際に取得された工程ＰＲ１の反応装置の出口の温度は、“Ｔ１（ｔ１）” と表される。
【００２８】
これらを成分とするベクトル“（Ｆ１Ａ（ｔ１），Ｆ１Ｂ（ｔ１），Ｐ１（ｔ１），Ｔ１（ｔ１））”は計測値ベクトルと呼ばれる。同様に、時点ｔ１における工程ＰＲ２の計測値ベクトル“（Ｆ２Ａ（ｔ１），Ｆ２Ｂ（ｔ１），Ｐ２（ｔ１），Ｔ２（ｔ１））”が定義される。さらに、時点ｔ１における工程ＰＲ３の計測値ベクトル“（Ｆ３Ａ（ｔ１），Ｆ３Ｂ（ｔ１），Ｐ３（ｔ１），Ｔ３（ｔ１））”も定義される。ｔ１以外の実時刻についても同様に計測値ベクトルが定義される。図４の上図６１の横軸は、実時刻である。図４の上図６１における破線の長方形のそれぞれが計測値ベクトルとして定義される。
【００２９】
本実施形態の異常予兆診断装置１は、図４の上図６１における工程ＰＲ１の計測値ベクトル６３に含まれる実時刻“ｔ１”を仮想時刻“ｔ１１”に置き換える。同様に、異常予兆診断装置１は、工程ＰＲ２の計測値ベクトル６４に含まれる実時刻“ｔ１”を仮想時刻“ｔ１２”に置き換え、工程ＰＲ３の計測値ベクトル６５に含まれる実時刻“ｔ１”を仮想時刻“ｔ１３”に置き換える。異常予兆診断装置１は、実時刻“ｔ２”及び“ｔ３”についても同じ処理を行う。
【００３０】
その後、異常予兆診断装置１は、実時刻が仮想時刻に置き換えられた計測値ベクトルを、図４の下図６２に時系列で並べる。図４の下図６２の横軸は仮想時刻である。このとき、“ｔ１＝ｔ１１＜ｔ１２＜ｔ１３＜ｔ２＝ｔ２１＜ｔ２２＜ｔ２３＜ｔ３＝ｔ３１＜ｔ３２＜ｔ３３”が成立するものとする。図４の下図６２において、ｔ１１、ｔ１２、ｔ１３、ｔ２１、ｔ２２、ｔ２３、ｔ３１、ｔ３２及びｔ３３のそれぞれの間の長さは任意であり、相互に等しい必要もないが、等間隔であることが望ましい（詳細後記）。
【００３１】
（計測値情報）
図５に沿って、計測値情報３１を説明する。計測値情報３１においては、工程ＩＤ欄１０１に記憶された工程ＩＤに関連付けて、計測値ＩＤ欄１０２には計測値ＩＤが、計測値種類欄１０３には計測値の種類が、実時刻欄１０４には実時刻が、計測値欄１０５には計測値が記憶されている。
工程ＩＤ欄１０１の工程ＩＤは、並列工程を一意に特定する識別子である。
計測値ＩＤ欄１０２の計測値ＩＤは、計測値を一意に特定する識別子である。本実施形態の計測値ＩＤは、例えば“Ｆ１Ａ（ｔ１）”のように、それがどの実時刻におけるどの工程のどの種類の計測値であるかが直ちにわかるようになっている。
【００３２】
計測値種類欄１０３の計測値の種類は、“原料Ａ流量”、“原料Ｂ流量”、“反応装置圧力”及び“反応装置出口温度”のうちのいずれかである。当然のことながら、計測値の種類は、プラントの内容によって異なる。ここに掲げたものは、あくまでも一例である。
実時刻欄１０４の実時刻は、前記した実時刻である。なお、流量は、単位時間当たりの体積又は質量で定義される。つまり、流量を計測するためには、ある時間幅（例えば５秒）が必要になる。ここでの実時刻は、そのような時間幅の始点の時刻を示す。
計測値欄１０５の計測値は、センサ等が計測した計測値そのものである。“＃”は、異なる値を省略的に示している。なお、異常予兆診断装置１は、複数の並列工程を跨る同種のセンサが計測した計測値を、例えば０〜１の範囲に正規化しておくことが好ましい。なぜならば、同種の装置の同じ位置の計測値であっても、各並列工程で取り得る値の範囲が異なることがあるからである。
【００３３】
図５を見ると、例えば次のことがわかる。
・並列工程として、ＰＲ１、ＰＲ２及びＰＲ３の３つが存在する。
・２０１７年１０月１０日１０時００分００秒以降１分ごとに、Ｆ１Ａ（ｔ１）、Ｆ１Ｂ（ｔ１）、Ｐ１（ｔ１）及びＴ１（ｔ１）というように、各工程において４種類の計測値が同時に計測されている。
【００３４】
（並べ替え後計測値情報）
図６に沿って、並べ替え後計測値情報３１ｂを説明する。並べ替え後計測値情報３１ｂにおいては、工程ＩＤ欄１１１に記憶された工程ＩＤに関連付けて、計測値ＩＤ欄１１２には計測値ＩＤが、計測値種類欄１１３には計測値の種類が、仮想時刻欄１１４には仮想時刻が、計測値欄１１５には計測値が、元計測値ＩＤ欄１１６には元計測値ＩＤが記憶されている。
【００３５】
工程ＩＤ欄１１１の工程ＩＤは、図５の工程ＩＤと同じである。しかしながら、ここでは、すべてのレコード（行）の工程ＩＤは、“仮想工程”を示す“ＶＰＲ１”になっている。“仮想工程”の語は、同種の装置が同種の処理を行う工程ＰＲ１、工程ＰＲ２及び工程ＰＲ３が、一体となって１つの工程と看做されていることを示す。
【００３６】
計測値ＩＤ欄１１２の計測値ＩＤは、図５の計測値ＩＤと同じである。しかしながら、ここでの計測値ＩＤは、例えば“Ｆ１Ａ（ｔ１１）”のように、それがどの仮想時刻におけるどの工程のどの種類の計測値であるかが直ちにわかるようになっている。
計測値種類欄１１３の計測値の種類は、“原料Ａ流量”、“原料Ｂ流量”、“反応装置圧力”及び“反応装置出口温度”のうちのいずれかである。
【００３７】
仮想時刻欄１１４の仮想時刻は、前記した仮想時刻である。仮想時刻は、前記したように、異常予兆診断装置１に情報処理をさせるための仮想的な時刻であり、異常予兆診断装置１は、計測値が仮想時刻に取得されたものと看做す。
計測値欄１１５の計測値は、図５の計測値と同じである。
元計測値ＩＤ欄１１６の元計測値ＩＤは、そのレコードが対応する図５のレコードの計測値ＩＤ（実時刻が仮想時刻に置き換わる前の計測値ＩＤ）である。
【００３８】
（並列工程の認識）
異常予兆診断装置１は、計測値情報３１（図５）の計測値の種類（原料Ａ流量、原料Ｂ流量、反応装置圧力及び反応装置出口温度）を読み取る。そして、異常予兆診断装置１は、これらが工程ＰＲ１、ＰＲ２及びＰＲ３に跨って同じであることを認識した結果、これらが並列工程であると認識し、これらに仮想工程の工程ＩＤ“ＶＰＲ１”を付与する。その他にも、異常予兆診断装置１は、ユーザが入力装置１２を介して、例えば複数の計測値ＩＤを入力するのを受け付けることによって、並列工程を認識してもよい。図６においては、元計測値ＩＤが含む実時刻（ｔ１、ｔ２及びｔ３）の境目に二重線が引かれている。これは、専ら説明の分かり易さのためのものであって、異常予兆診断装置１の処理内容とは無関係である。
【００３９】
図５及び図６を比較すると、例えば次のことがわかる。
・工程ＰＲ１についての実時間“ｔ１”は、仮想時刻“ｔ１１”に置き換えられている。“ｔ１”は、“２０１７年１０月１０日１０時００分００秒”である。“ｔ１１”もまた、“２０１７年１０月１０日１０時００分００秒”である。異常予兆装置１は、並列工程のうち任意の１つを選択し、当該工程については、仮想時刻を実時刻に一致させる。
【００４０】
・工程ＰＲ２についての実時間“ｔ１”は、仮想時刻“ｔ１２”に置き換えられている。“ｔ１”が“２０１７年１０月１０日１０時００分００秒”であるのに対し、“ｔ１２”は、“２０１７年１０月１０日１０時００分２０秒”である。仮想時刻は、実時刻に対して２０秒遅れている。この遅れについては、後記する。
【００４１】
・工程ＰＲ３についての実時間“ｔ１”は、仮想時刻“ｔ１３”に置き換えられている。“ｔ１”が“２０１７年１０月１０日１０時００分００秒”であるのに対し、“ｔ１３”は、“２０１７年１０月１０日１０時００分４０秒”である。仮想時刻は、実時刻に対して４０秒遅れている。この遅れについても、後記する。
【００４２】
（変換時間差）
一旦、図５及び図６の説明から離れて、仮想時刻と実時刻との差について説明する。仮想時刻から実時刻を減算した差分を“変換時間差”と呼ぶ。前記の例では、異常予兆診断装置１は、各工程の変換時間差を、“（ＰＲ１，ＰＲ２，ＰＲ３）＝（０秒，２０秒，４０秒）”としている。任意の１つの工程の変換時間差が“０秒”であることが好ましい。また、他の２つの工程の変換時間差は、同じではない方が好ましく、さらには、“（０秒，１０秒，２０秒）”、“（０秒，２０秒，４０秒）”のように、間隔が均等になっていることがより望ましい。
【００４３】
しかしながら仮に、例えば実時間ｔ１と次の実時間ｔ２との間隔が６０秒である場合、変換時間差が “（０秒，４０秒，８０秒）”になると、すべての工程の仮想時刻が、実時刻ｔ１と次の実時刻ｔ２との間に収まり切れなくなる。そこで、一般的には、異常予兆診断装置１は、変換時間差を“（ＰＲ１，ＰＲ２，ＰＲ３，・・・）＝（０，ｐ／ｑ，２ｐ／ｑ，３ｐ／ｑ，・・・）“とするのが最も好ましい。ここで、ｐは、実時間の間隔であり、ｑは、並列工程の数である。ｐ＝６０秒、及び、ｑ＝３が成立するとき、最も好ましい変換時間差は、前記のように“（ＰＲ１，ＰＲ２，ＰＲ３）＝（０秒，２０秒，４０秒）”となる。この変換時間差を“標準時間差”と呼ぶ。前記した遅れは、異常予兆診断装置１が標準時間差を適用した結果である。
【００４４】
図５及び図６の説明に戻ると、さらに例えば次のことがわかる。
・工程ＰＲ１についての実時間“ｔ２”は、仮想時刻“ｔ２１”に置き換えられている。“ｔ２”は、“２０１７年１０月１０日１０時０１分００秒”である。“ｔ２１”もまた、“２０１７年１０月１０日１０時０１分００秒”である。
【００４５】
・工程ＰＲ２についての実時間“ｔ２”は、仮想時刻“ｔ２２”に置き換えられている。“ｔ２”が“２０１７年１０月１０日１０時０１分００秒”であるのに対し、“ｔ２２”は、“２０１７年１０月１０日１０時０１分２０秒”である。仮想時刻は、実時刻に対して２０秒遅れている。この遅れは、異常予兆診断装置１が標準時間差を適用した結果である。
【００４６】
・工程ＰＲ３についての実時間“ｔ２”は、仮想時刻“ｔ２３”に置き換えられている。“ｔ２”が“２０１７年１０月１０日１０時０１分００秒”であるのに対し、“ｔ２３”は、“２０１７年１０月１０日１０時０１分４０秒”である。仮想時刻は、実時刻に対して４０秒遅れている。この遅れも、異常予兆診断装置１が標準時間差を適用した結果である。
【００４７】
・工程ＰＲ１についての実時間“ｔ３”は、仮想時刻“ｔ３１”に置き換えられている。“ｔ３”は、“２０１７年１０月１０日１０時０２分００秒”である。“ｔ３１”もまた、“２０１７年１０月１０日１０時０２分００秒”である。
【００４８】
・工程ＰＲ２についての実時間“ｔ３”は、仮想時刻“ｔ３２”に置き換えられている。“ｔ３”が“２０１７年１０月１０日１０時０２分００秒”であるのに対し、“ｔ３２”は、“２０１７年１０月１０日１０時０２分２０秒”である。仮想時刻は、実時刻に対して２０秒遅れている。この遅れは、異常予兆診断装置１が標準時間差を適用した結果である。
【００４９】
・工程ＰＲ３についての実時間“ｔ３”は、仮想時刻“ｔ３３”に置き換えられている。“ｔ３”が“２０１７年１０月１０日１０時０２分００秒”であるのに対し、“ｔ３３”は、“２０１７年１０月１０日１０時０２分４０秒”である。仮想時刻は、実時刻に対して４０秒遅れている。この遅れも、異常予兆診断装置１が標準時間差を適用した結果である。
【００５０】
（仮想時刻及び仮想工程導入の効果）
図７及び図８に沿って、仮想時刻及び仮想工程導入の効果を説明する。いま、異常予兆診断装置１が、既存の技術に従って、図５の計測値情報３１を読み込んだとする。すると、異常予兆診断装置１は、工程が３つ存在し、工程ごとに同じ４種類の時系列の計測値が存在すると認識する。つまり、異常予兆診断装置１は、図７の左上図７１、左中図７２及び左下図７３のような情報が存在すると認識する。これらの情報の存在を前提として異常予兆診断装置１が診断期間における計測値の診断（適応共鳴理論を用いたクラスタリング）を行った結果が、図８の左上図８１、左中図８２及び左下図８３である。なお、これらの図は、専ら説明目的のために、多次元空間のうち最も単純な２次元平面を示している。その横軸は原料Ａの流量ＦＡであり、縦軸は原料Ｂの流量ＦＢである（後記する右図８４も同様）。
【００５１】
左上図８１におけるカテゴリ１を示す球の位置及び半径は、左中図８２におけるカテゴリ１を示す球の位置及び半径と同じであるとは限らないし、左下図８３におけるカテゴリ１を示す球の位置及び半径と同じであるとも限らない。カテゴリ２〜４についても同じことが言える。つまり、工程ＰＲ１の計測値“◎”、工程ＰＲ２の計測値“○”及び工程ＰＲ３の計測値“●”のすべてが番号が同じカテゴリに含まれるように見えても、それらが同じ異常（又は同じ未知の状態）に属するか否かは不明である。
【００５２】
一方、異常予兆診断装置１が、図６の並べ替え後計測値情報３１ｂを読み込んだとする。すると、異常予兆診断装置１は、工程が１つだけ存在し、その１つの工程について４種類の時系列の計測値が存在すると認識する。つまり、異常予兆診断装置１は、図７の右図７４のような情報が存在すると認識する。仮想工程は、このようにして異常予兆診断装置１に認識される工程である。
【００５３】
図７の右図７４は一見、左上図７１、左中図７２及び左下図７３に類似している。しかしながら、左上図７１、左中図７２及び左下図７３のそれぞれが、１つの工程の計測値しか有していないのに対し、右図７４は、３つの工程の計測値を有している。つまり、例えば、左上図７１の破線、左中図７２の一点鎖線及び左下図７３の二点鎖線が示す時点における計測値のすべてを、右図７４は有している（時間軸のデータ量が３倍になっている）。なお、右図７４における“*”は、“１”、“２”及び“３”をまとめて表している。
【００５４】
これらの情報の存在を前提として異常予兆診断装置１が診断期間における計測値の診断を行った結果が、図８の右図８４である。右図８４では、診断期間における工程ＰＲ１の計測値“◎”、工程ＰＲ２の計測値“○”及び 工程ＰＲ３の計測値“●”が同一空間（平面）に描画されている。ここでは、これらの３つの点は、カテゴリ４を示す球に属している。ユーザは、並列する３つの工程に未知の状態が発生していることを知る。なお、図８の右図８４におけるカテゴリ１を示す球は、図８の左上図８１、左中図８２及び左下図８３におけるカテゴリ１を示す球のすべてを含む。カテゴリ２〜４についても同じことが言える。
【００５５】
（適応共鳴理論を用いたクラスタリング）
図９に沿って、適応共鳴理論を用いたクラスタリングを説明する。異常予兆診断装置１は、多次元の計測値を示す点を多次元空間に描画する。計測値には仮想時刻が関連付けられており、描画された点の数が仮想時刻の数に相当する。図９の２次元平面もまた、多次元空間のうち最も単純な説明目的の例であり、横軸に原料Ａの流量ＦＡを有し、縦軸に原料Ｂの流量ＦＢを有する。異常予兆診断装置１は、正常時間において取得された計測値を示す複数の点を、カテゴリ１、カテゴリ２及びカテゴリ３に分類している。これらの点は、工程ＰＲ１において取得された計測値“◎”、工程ＰＲ２において取得された計測値“○”及び工程ＰＲ３において取得された計測値“●”のうちのいずれかである。
【００５６】
診断期間においても、異常予兆診断装置１は、計測値を示す点（◎、○及び●）を多次元空間に描画して行く。これらの点は、カテゴリ１、カテゴリ２又はカテゴリ３のいずれかに属する場合もあり、いずれにも属さない場合もある。図９の例では、仮想時刻が経過するにつれて、◎、○及び●がこの順序で繰り返し描画されている。これらの点は、正常期間には未知であったカテゴリ４に属している。ユーザは、並列する３つの工程において、原料Ａの流量及び原料Ｂの流量がともに高水準になるような状態が発生していることを知る。
【００５７】
（異常度及び寄与度）
図１０に沿って、異常度及び寄与度を説明する。図１０の縦軸、横軸及びカテゴリ１〜４は、図９と同じである。診断期間における計測値●８５が、正常期間には未知であるカテゴリ４に属する場合、ユーザは、次のことを知りたいと考える。
・その計測値が既知のどのカテゴリから見てどの程度異常であるか。
・複数種類の計測値（原料Ａの流量、原料Ｂの流量等）のうち、その異常に最も寄与しているものは何であるか。
【００５８】
そこで、まず異常予兆診断装置１は、次の処理を行い、異常度を算出する。
（１）異常予兆診断装置１は、カテゴリ１の代表点◇８６ａ、カテゴリ２の代表点◇８６ｂ及びカテゴリ３の代表点◇８６ｃを特定する。ここで、代表点（代表値）とは、例えば、各カテゴリに属する計測値の中央値（最大値−最小値）、平均値（重心）等である。
（２）異常予兆診断装置１は、特定した各代表点◇と計測値●８５との距離を算出し、これらを異常度の候補とする。異常度の候補の数は、既知のカテゴリの数に一致する。
（３）異常予兆診断装置１は、算出した異常度の候補のうち、最小のものを“異常度”とする。図１０の例では、計測値●８５とカテゴリ３の代表点◇８６ｃとの距離が異常度８７となる。
【００５９】
続いて、異常予兆診断装置１は、次の処理を行い、寄与度を算出する。
（４）異常予兆診断装置１は、異常度８７を、横軸方向に対する成分及び縦軸方向に対する成分に分解する。ここで“軸方向に対する成分に分解する”とは、異常度８７を各軸に投影した長さを求めることである。
（５）異常予兆診断装置１は、長さ８８ａを原料Ａの流量の寄与度とし、長さ８８ｂを原料Ｂの流量の寄与度とする。
【００６０】
一般的に、多次元空間における異常度は、多次元空間の任意の座標軸に対して投影され得る。つまり、寄与度の数は、多次元空間の次数に一致する。前記したように、計測値は、多次元空間の各軸の値を成分に有する計測値ベクトルとして表される。したがって、異常度は、計測値ベクトルからカテゴリの代表点◇の位置ベクトルを減算した結果のベクトル（減算結果ベクトル）の大きさであるといえる。さらに、寄与度は、減算結果ベクトルの任意の成分そのものであるといえる。
【００６１】
（処理手順）
図１１に沿って、処理手順を説明する。説明の途中で適宜図１２及び図１３等を参照する。処理手順を開始する前提として、補助記憶装置１５は、計測値情報３１（図５）を、正常期間及び診断期間について記憶しているものとする。
ステップＳ２０１において、異常予兆診断装置１の前処理部２１は、正常時のカテゴリを学習する。具体的には、第１に、前処理部２１は、補助記憶装置１５から計測値情報３１を読み出す。
【００６２】
第２に、前処理部２１は、ユーザが入力装置１２を介して正常期間を入力するのを受け付ける。正常期間は、プラントが正常であることが既知である期間である。仮に、正常期間としたい期間中に、ある工程が異常であることが既知である期間が部分的に含まれる場合、ユーザは、その期間を除外した期間を正常期間として入力する。以降の説明を単純化するため、ここで除外された期間はなかったものとする。
第３に、前処理部２１は、ステップＳ２０１の“第１”において読み出した計測値情報３１から、ステップ２０１の“第２”において受け付けた正常期間に該当するレコードを抽出する。
【００６３】
第４に、前処理部２１は、ステップＳ２０１の“第３”において抽出したレコードを前記した方法で並べ替え、並び替え後計測値情報３１ｂ（図６）を作成する。
第５に、前処理部２１は、ステップＳ２０１の“第４”において作成した並び替え後計測値情報３１ｂに基づいて、多次元空間において計測値を示す点を描画し、複数の球（クラスタ）を作成する。この段階で、前処理部２１は、多次元空間において、図９のカテゴリ１、カテゴリ２及びカテゴリ３を描画していることになる。
【００６４】
ステップＳ２０２において、前処理部２１は、診断期間の計測値を取得する。具体的には、第１に、前処理部２１は、ユーザが入力装置１２を介して診断期間を入力するのを受け付ける。診断期間は、各工程が正常であるか否かが既知ではない期間であり、通常、正常期間に続く期間である。
第２に、前処理部２１は、ステップＳ２０１の“第１”において読み出した計測値情報３１から、ステップ２０２の“第１”において受け付けた診断期間に該当するレコードを抽出する。
【００６５】
ステップＳ２０３において、前処理部２１は、診断期間の計測値を並び替える。具体的には、前処理部２１は、ステップＳ２０２の“第２”において抽出したレコードを前記した方法で並べ替え、並び替え後計測値情報３１ｂ（図６）を作成する。このとき、前処理部２１は、並列工程のそれぞれから取得した計測値のうち、実時刻が同じであるものに対して、複数の異なる仮想時刻をそれぞれ関連付けていることになる（図４参照）。図４において、例えば仮想時刻ｔ１１、ｔ１２及びｔ１３は、所定の時間幅（実時刻ｔ１とｔ２との時間幅）に含まれている。
【００６６】
ステップＳ２０４において、異常予兆診断装置１の分類部２２は、診断期間の計測値を分類する。具体的には、第１に、分類部２２は、ステップＳ２０３において作成した並び替え後計測値情報３１ｂに基づいて、多次元空間において計測値を示す点を描画する。そして、分類部２２は、描画した点から以下のいずれかの基準に従って“後処理対象点”を抽出する。
〈基準１〉描画した点のうち、既知のカテゴリ１、カテゴリ２及びカテゴリ３のいずれにも属さない点を後処理対象点とする。
〈基準２〉描画したすべての点を後処理対象点とする。
【００６７】
第２に、分類部２２は、出力装置１３に多次元空間を表示する。図９は、多次元空間が２次元平面である場合の例である。このとき、分類部２２は、後処理対象点が属する工程及び仮想時刻の前後関係も併せて表示することが望ましい。図９の例では、分類部２２は、工程ごとに点の形状を変え（◎、○及び●）、仮想時刻が早い点から遅い点へ向けて矢印を描画している。
【００６８】
ステップＳ２０５において、異常予兆診断装置１の後処理部２３は、異常度及び寄与度を算出する。具体的には、後処理部２３は、図１０の説明で前記した方法で、異常度及び寄与度を後処理対象点ごとに算出する。
【００６９】
ステップＳ２０６において、後処理部２３は、異常度・寄与度情報３２（図１２）を表示する。具体的には、後処理部２３は、出力装置１３に異常度・寄与度情報３２を、後処理対象点ごとに表示する。
計測時刻欄９１ａには、実時刻及び／又は仮想時刻が表示される。
カテゴリ欄９１ｂには、後処理対象点が属するカテゴリの番号が表示される。基準１に従う場合、ここでの番号は、１、２及び３以外の番号である。
正常／異常欄９１ｃには、“正常”又は“異常”が表示される。基準１に従う場合、ここでは常に“異常”が表示される。
【００７０】
異常原因欄９１ｄには、異常度に対する寄与度が最も大きい計測値の種類（減算結果ベクトルの成分のうち最大のもの）が表示される。当該欄に例えば“Ｆ１Ａ”が表示されている場合、工程ＰＲ１に異常が発生しており、原料Ａの流量の過去例からの変化が、異常の原因となっている可能性が高いことがわかる。
異常度欄９１ｅには、異常度が表示される。異常度は、減算結果ベクトルの、単位が異なる各成分の二乗和の平方根である。よって、異常度は、独自の単位を有さない。“[-]”はこのことを示している。
【００７１】
寄与度ランキング欄９２ａには、寄与度が大きい方から数えた順位が表示される。多次元空間の次元数（計測値の種類の数）をｎとするとき、この順位は、１、２、３、・・・、ｎとなる。
計測点欄９２ｂには、異常度が投影された軸が示す計測値の種類が表示される。
寄与度欄９２ｃには、寄与度が表示される。
計測値欄９２ｄには、計測値そのものが示される。
後処理対象点が例えば１０個存在するとき、後処理部２３は、図１２の異常度・寄与度情報３２を、仮想時刻が早い順に１０回表示することになる。
【００７２】
ステップＳ２０７において、後処理部２３は、診断結果情報３３（図１３）を表示する。具体的には、第１に、後処理部２３は、出力装置１３に診断結果情報３３を表示する。診断結果情報３３は、ステップＳ２０６において後処理対象点ごとに表示された異常度・寄与度情報３２を１つにまとめたものである。
【００７３】
診断結果情報３３のカテゴリ欄９３ａ、正常／異常欄９３ｂ及び異常原因欄９３ｄは、図１２の異常度・寄与度情報３２における同名の欄に対応している。
学習／診断欄９３ｃには、“学習”又は“診断”が表示される。“学習”は、そのレコードのカテゴリが正常（学習）期間について作成されたことを示す。“診断”は、そのレコードのカテゴリが診断期間について作成されたことを示す。
確定者欄９３ｅには、そのレコードの内容を確認したユーザ名（識別子でもよい）が表示される。
確定日欄９３ｆには、そのレコードの内容が確認された時点の年月日が表示される。
【００７４】
診断結果情報３３のレコードは、二重線９５を境界として、上部分と下部分とに分かれる。上部分のレコード９４ａ〜９４ｃは、正常（学習）期間において作成されたカテゴリをユーザが確認するためのものである。正常／異常欄９３ｂには、常に“正常”が表示されている。異常原因欄９３ｄには、常に“−”（データなし）が表示されている。後処理部２３は、初めに、これらのレコードの確定者欄９３ｅ及び確定日欄９３ｆを空欄として表示する。ユーザは、これらを視認し、正常であるカテゴリが３つ存在することを確認した後、入力装置１２を介して、これらのレコードの確定者欄９３ｅに自身の識別子を入力し、確定日欄９３ｆに確定日を入力する。
【００７５】
下部分のレコード９６ａ〜９６ｄのそれぞれは、診断期間における後処理対象点のそれぞれに対応している。初めに、後処理部２３は、これらのレコードの確定者欄９３ｅ及び確定日欄９３ｆを空欄として表示し、学習／診断欄９３ｃに“診断”を表示する。基準２に従う場合、後処理部２３は、これらのレコードの正常／異常欄９３ｂに、“正常”又は“異常”を表示する。
【００７６】
後処理部２３は、正常／異常欄９３ｂに“異常”を表示した場合、そのレコードのカテゴリ欄９３ａに、“１”、“２”及び“３”以外の数字を表示し、異常原因欄９３ｄに、最も寄与度の大きい計測値の種類を表示する。後処理部２３は、正常／異常欄９３ｂに“正常”を表示した場合、そのレコードのカテゴリ欄９３ａに、“１”、“２”又は“３”を表示し、異常原因欄９３ｄに、“−”を表示する。
【００７７】
ユーザは、レコード９６ａ〜９６ｄを視認した後、入力装置１２を介して、これらのレコードの確定者欄９３ｅに自身の識別子を入力し、確定日欄９３ｆに確定日を入力する。なお、ユーザは、必要に応じ以下の例のように、正常／異常欄９３ｂ及び異常原因欄９３ｄに表示されているデータを変更することができる。
【００７８】
〈例１：レコード９６ｂ〉
後処理部２３は、正常／異常欄９３ｂに“正常”を表示した。しかしながら、ユーザは、この診断結果を一旦保留にしたいと考えた。このとき、後処理部２３は、ユーザが“正常”を“保留”に変更するのを受け付ける。
【００７９】
〈例２：レコード９６ｄ〉
後処理部２３は、正常／異常欄９３ｂに“異常”を表示した。しかしながら、ユーザは、この診断結果は、仮想工程の不具合に起因するものではなく、仮想工程が配置される環境の変化に起因するものであると判断した。このとき、後処理部２３は、ユーザが“正常”を“新規”に変更し、異常原因欄９３ｄに表示されているデータを削除するのを受け付ける。ここでの“新規”は、新たなカテゴリの“正常”という意味を有する。
【００８０】
例１及び例２の他にも、後処理部２３は、計測値が既知のカテゴリのいずれにも含まれない場合、正常／異常欄９３ｂに、まず“要注意”を表示してもよい。そして、ユーザは、“要注意”を“新規”、“正常”又は“異常”に変更してもよい。
【００８１】
画面表示の説明が長くなったが、処理手順に戻る。第２に、後処理部２３は、ユーザが入力装置１２を介して任意の操作（例えば、図示しない“終了”ボタンの押下）を行うのを受け付ける。
第３に、後処理部２３は、確定者の識別子等の入力及びその他の変更を受け付けた後の診断結果情報３３を補助記憶装置１５に記憶し、処理手順を終了する。
【００８２】
（本実施形態の効果）
本実施形態の異常予兆診断装置の効果は以下の通りである。
（１）異常予兆診断装置は、複数の並列工程から構成されるプラントに対して、同一原因の異常を同一カテゴリに分類することができる。
（２）異常予兆診断装置は、保守員が、複数の並列工程の診断を効率的に行うことを可能にする。
（３）異常予兆診断装置は、保守員が、並列工程を正常状態に戻す対策を立てることを容易にする。
（４）異常予兆診断装置は、保守員に、診断結果の根拠を定量的に示すことができる。
（５）異常予兆診断装置は、保守員に、診断結果をリスト型式で示すことができる。
【００８３】
なお、本発明は前記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、前記した実施例は、本発明を分かり易く説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明したすべての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【００８４】
また、前記の各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部又は全部を、例えば集積回路で設計する等によりハードウエアで実現してもよい。また、前記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウエアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリや、ハードディスク、ＳＳＤ（Solid State Drive）等の記録装置、又は、ＩＣカード、ＳＤカード、ＤＶＤ等の記録媒体に置くことができる。
また、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしもすべての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には殆どすべての構成が相互に接続されていると考えてもよい。
【符号の説明】
【００８５】
１      異常予兆診断装置
２      プラント
３      計測・制御装置
４      ネットワーク
１１    中央制御装置
１２    入力装置
１３    出力装置
１４    主記憶装置
１５    補助記憶装置
１６    通信装置
２１    前処理部
２２    分類部
２３    後処理部
３１    計測値情報
３２    異常度・寄与度情報
３３    診断結果情報
【図１】
2019121065.tif 000003
【図２】
2019121065.tif 000004
【図３】
2019121065.tif 000005
【図４】
2019121065.tif 000006
【図５】
2019121065.tif 000007
【図６】
2019121065.tif 000008
【図７】
2019121065.tif 000009
【図８】
2019121065.tif 000010
【図９】
2019121065.tif 000011
【図１０】
2019121065.tif 000012
【図１１】
2019121065.tif 000013
【図１２】
2019121065.tif 000014
【図１３】
2019121065.tif 000015