(57)【要約】【課題】筐体内から排出配管へのガスの排出流量を好適に調整し得る循環式ＥＦＥＭを提供する。【解決手段】ガスを導入する導入部と、導入された前記ガスが内部を循環する筐体と、前記ガスを前記筐体内から排出配管へ排出する排出部とを有する循環式ＥＦＥＭであって、前記排出部は、前記筐体に形成された排出開口の周りを覆うように設けられており、前記排出配管が接続されるボックスと、前記排出開口を閉鎖及び開放できるように前記ボックス内に設けられており、前記筐体内と前記ボックス内との差圧に応じて少なくとも一部が可動することにより、前記排出開口を介する前記ガスの排出流量を調整するダンパー部と、を有する循環式ＥＦＥＭ。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスを導入する導入部と、導入された前記ガスが内部を循環する筐体と、前記ガスを前記筐体内から排出配管へ排出する排出部とを有する循環式ＥＦＥＭであって、
前記排出部は、前記筐体に形成された排出開口の周りを覆うように設けられており、前記排出配管が接続されるボックスと、前記排出開口を閉鎖及び開放できるように前記ボックス内に設けられており、前記筐体内と前記ボックス内との差圧に応じて少なくとも一部が可動することにより、前記排出開口を介する前記ガスの排出流量を調整するダンパー部と、を有する循環式ＥＦＥＭ。
【請求項２】
前記ダンパー部は、前記差圧に対する前記ガスの前記排出流量の対応関係を変更する調整機構を有することを特徴とする請求項１に記載の循環式ＥＦＥＭ。
【請求項３】
前記ボックスには、前記筐体外の外気を前記ボックス内に導入する外気導入開口が形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の循環式ＥＦＥＭ。
【請求項４】
前記外気導入開口は、前記筐体において前記排出開口が位置する側壁と前記ボックスとの間に形成された隙間であることを特徴とする請求項３に記載の循環式ＥＦＥＭ。
【請求項５】
前記ダンパー部は、前記筐体において前記排出開口が位置する側壁から略垂直方向に突出しており前記排出開口の外周を囲む無底筒状の囲い部と、前記囲い部の先端周縁に対して接触及び離間するように可動することで、前記囲い部に囲まれた前記排出開口を閉鎖及び開放する可動板と、を有することを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかに記載の循環式ＥＦＥＭ。
【請求項６】
前記ダンパー部は、前記囲い部の上方において前記筐体の前記側壁に略平行に設けられる軸を有しており、前記可動板は前記軸を中心として回動することを特徴とする請求項５に記載の循環式ＥＦＥＭ。
【請求項７】
前記囲い部の前記先端周縁は、前記筐体の前記側壁に対して傾斜していることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の循環式ＥＦＥＭ。
【請求項８】
前記排出開口は、前記筐体において前記導入部より下方に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項７までのいずれかに記載の循環式ＥＦＥＭ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、筐体内で窒素のようなガスを循環させる循環式ＥＦＥＭに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程では、ＥＦＥＭ（イーフェム）と呼ばれる装置を用いて、ウエハの受け渡しが行われる。工場内におけるウエハの搬送は、ＦＯＵＰ（フープ）等と呼ばれる容器を用いて行われるが、ＥＦＥＭは、容器内のウエハを処理装置へ搬送し、また、処理装置内において所定の処理が行われたウエハを容器内に戻すために用いられる。ＥＦＥＭは、ロードポート装置と呼ばれる容器の載置台や、ウエハを搬送するためのウエハ搬送空間を形成するための筐体や、ウエハを搬送するための搬送ロボット等を備えている。
【０００３】
ここで、ＥＦＥＭ内に形成されるウエハ搬送室内の雰囲気は、搬送されるウエハへの有害物質やパーティクルの付着を防止し、また、ウエハの酸化等を防止するために、清浄な状態に保たれることが好ましい。ウエハ搬送室内は、例えば空気を浄化した清浄空気で満たされる場合があるが、ウエハ表面が酸素等に接触する頻度を抑制するためには、ウエハ搬送室を窒素等の不活性ガスで満たす方が好ましい。そこで、ウエハ搬送室内に窒素等の不活性ガスを導入し、そのガスを装置内で循環させることにより、ウエハ搬送室内を不活性雰囲気に維持する循環式ＥＦＥＭが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１４６３４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
循環式ＥＦＥＭとしては、ＥＦＥＭの内部から窒素等のガスを排出する排出部を備えているものが提案されているが、従来の循環式ＥＦＥＭでは、排出部から排出されるガスの排出流量を調整することが難しいという問題を有している。例えば、ＥＦＥＭ内へのガスの供給量は、ウエハ搬送室内の清浄度等に応じて変更したい場合があるが、従来のＥＦＥＭでは、ガスの排出量を適切に調整できないために、ガスの供給量を変更した際に、ウエハ搬送室内の圧力が過度に変化する等の問題が生じ得る。また、従来のＥＦＥＭでは、ガスの排出量を適切に調整できないため、排出配管の圧力変化が生じた場合に、同様の問題が生じ得る。
【０００６】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、筐体内から排出配管へのガスの排出流量を好適に調整し得る循環式ＥＦＥＭを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る循環式ＥＦＥＭは、
ガスを導入する導入部と、導入された前記ガスが内部を循環する筐体と、前記ガスを前記筐体内から排出配管へ排出する排出部とを有する循環式ＥＦＥＭであって、
前記排出部は、前記筐体に形成された排出開口の周りを覆うように設けられており、前記排出配管が接続されるボックスと、前記排出開口を閉鎖及び開放できるように前記ボックス内に設けられており、前記筐体内と前記ボックス内との差圧に応じて少なくとも一部が可動することにより、前記排出開口を介する前記ガスの排出流量を調整するダンパー部と、を有する。
【０００８】
本願発明に係る循環式ＥＦＥＭは、差圧に応じて可動することによりガスの排出流量を調整するダンパー部を有するため、導入部からのガスの導入流量が変化した場合であっても、筐体内の圧力およびガスの排出流量を、好適な状態に保つことが可能である。たとえばＥＦＥＭに設けられたダンパー部は、導入部からのガスの導入流量が多い場合は排出開口を大きく開放し、ガスの排出流量を増加させることにより、筐体内の圧力が過度に上昇することを防止できる。また、反対に、導入部からのガスの導入流量が少ない場合は排出開口を小さく開放するか又は閉鎖し、ガスの排出流量を減少させることにより、筐体内の圧力が過度に下がることを防止できる。また、ダンパー部により、ガスの導入流量の変化に伴って排出流量が自動的に調整されるため、本願発明に係るＥＦＥＭは、搬送室内の清浄度が高い場合はガスの流量を減らすなどして、ガスの消費量を抑制することが可能である。
【０００９】
また、例えば、前記ダンパー部は、前記差圧に対する前記ガスの前記排出流量の対応関係を変更する調整機構を有してもよい。
【００１０】
調整機構を有する循環式ＥＦＥＭは、たとえばボックスに接続される排出配管内の負圧や、循環式ＥＦＥＭ内における循環気流の状態など、循環式ＥＦＥＭ又はこれに接続される設備等の条件に応じて、ダンパー部の動作条件を適切に調整することが可能である。したがって、このような循環式ＥＦＥＭは、様々な装置に接続して、様々な工場において、好適な条件で使用することが可能である。
【００１１】
また、例えば、前記ボックスには、前記筐体外の外気を前記ボックス内に導入する外気導入開口が形成されていてもよい。
【００１２】
このようなＥＦＥＭは、例えば排出配管内の負圧が変動した場合であっても、外気導入開口からボックス内に導入される外気の流量が変化することにより、ボックス内の圧力が過度に変化することを防止できる。したがって、このような排出部を有する循環式ＥＦＥＭは、ボックスに接続された排出配管内の負圧が変動した場合であっても、過度に筐体内のガスが排出されることを防止し、ガスの消費量を抑制することが可能である。
【００１３】
前記外気導入開口は、前記筐体において前記排出開口が位置する側壁と前記ボックスとの間に形成された隙間であってもよい。
【００１４】
このような外気導入開口を有する排出部では、ボックス内において、排出開口の周りに排出配管へ向かう気流が形成されるため、排出開口から排出されたガスが、排出配管へ向かう気流に導かれて適切に排出配管へ向かって流れる。したがって、このような排出部は、排出配管以外の外部へガスが漏れる問題を防止できる。
【００１５】
また、例えば、前記ダンパー部は、前記筐体において前記排出開口が位置する側壁から略垂直方向に突出しており前記排出開口の外周を囲む無底筒状の囲い部と、前記囲い部の先端周縁に対して接触及び離間するように可動することで、前記囲い部に囲まれた前記排出開口を閉鎖及び開放する可動板と、を有してもよい。
【００１６】
このようなダンパー部は、差圧自体が可動板を動かす力を生じるため、シンプルな構造を有しており、耐久性が高くメンテナンス性も良好である。
【００１７】
また、例えば、前記ダンパー部は、前記囲い部の上方において前記筐体の前記側壁に略平行に設けられる軸を有してもよく、前記可動板は前記軸を中心として回動してもよい。
【００１８】
このような可動板は、重力により可動板を閉鎖するため、よりシンプルな構造を有しており、耐久性が高い。また、錘等を取り付けることにより、可動板の動作条件を容易に変更可能である。
【００１９】
また、例えば、前記囲い部の前記先端周縁は、前記筐体の前記側壁に対して傾斜していてもよい。
【００２０】
囲い部の先端周縁が、垂直な側壁に対して傾いていることにより、筐体内とボックス内との差圧が小さい場合は可動板が重力により確実に閉鎖位置に移動し、排出開口を閉鎖することができる。
【００２１】
また、例えば、前記排出開口は、前記筐体において前記導入部より下方に形成されていてもよい。
【００２２】
排出開口を下方に形成することにより、筐体内のパーティクルや汚染物質を、ガスと共に効果的に排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は本発明の一実施形態に係るＥＦＥＭの概略図である。
【図２】図２は、図１に示すＥＦＥＭが有する排出部及び排出部に含まれるダンパー部の閉鎖状態を示す概略断面図である。
【図３】図３は、図１に示すＥＦＥＭが有する排出部及び排出部に含まれるダンパー部の開放状態を示す概略断面図である。
【図４】図４は、図１に示すＥＦＥＭが有する排出部の外観図である。
【図５】図５は、排出部のボックスに接続される排出配管を表す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るＥＦＥＭ（イーフェム、Equipment front end module)１０を表す概略断面図である。ＥＦＥＭ１０は、例えば半導体工場内における各種処理装置（不図示）に付随して設けられ、搬送容器であるＦＯＵＰ（フープ、Front-opening unified pod)８０内に収容されるウエハ８２を処理装置に搬送する搬送手段や、ＦＯＵＰ８０と処理装置との間を搬送中のウエハ８２が通過する清浄な空間を形成するための筐体２０を有する。
【００２５】
ＥＦＥＭ１０は、筐体２０内にガスを導入する導入部１６と、導入されたガスが内部を循環する筐体２０と、ガスを筐体２０内から排出配管６０へ排出する排出部３０とを有する循環式ＥＦＥＭである。導入部１６から筐体２０内へ導入されるガスとしては、窒素ガスやその他の不活性ガスが挙げられ、窒素ガスが好適に用いられるが、特に限定されない。
【００２６】
ＥＦＥＭ１０は、筐体２０内の空気を導入部１６から導入されるガスに置換し、筐体２０内をガス雰囲気とした状態で使用されるが、筐体２０内の気体におけるガスの濃度は特に限定されず、筐体２０の導入部１６から導入されるガス以外のガスや空気等が、許容範囲内において筐体２０内を満たす気体に含まれていてもよい。
【００２７】
ＥＦＥＭ１０は、導入部１６、筐体２０及び排出部３０の他に、ＦＯＵＰ８０を載置する載置台７２及びＦＯＵＰ８０の蓋を開くドア（不図示）等を有するロードポート装置７０と、筐体２０内に循環気流を形成し、有害物質やパーティクル等を除去するためのファンフィルタユニット１１と、ウエハ８２を搬送する搬送手段としてのウエハ搬送ロボット２６を有する。
【００２８】
ロードポート装置７０は、筐体２０の側壁を塞ぐように設けられる。ロードポート装置７０は、載置台７２に載置されたＦＯＵＰ８０を、水平方向に移動させることにより筐体２０に対して気密に接続することができる。さらに、ロードポート装置７０は、ＦＯＵＰ８０の蓋を開くことによって、ウエハ８２が収容されるＦＯＵＰ８０の内部と、筐体２０の内部に形成されたウエハ搬送室２２とを、連通させることができる。
【００２９】
ウエハ搬送ロボット２６は、筐体２０内のウエハ搬送室２２の床面に設置されており、ウエハ８２を把持して搬送するためのアーム２６ａを有している。ウエハ搬送ロボット２６は、ＦＯＵＰ８０内のウエハ８２を、ＥＦＥＭ１０が付随する処理装置（より詳細には、例えば処理装置のロードロック室等）に搬送したり、処理装置において処理が終わったウエハ８２を、処理装置からＦＯＵＰ８０内へ搬送したりする。
【００３０】
ファンフィルタユニット１１は、筐体２０内の天井２０ｂ付近に設けられている。ファンフィルタユニット１１は、筐体２０内の天井２０ｂに設けられるファン１２と、ファンの直下に設けられるフィルタ１４とを有している。ファン１２は、フィルタ１４の下方に形成されるウエハ搬送室２２にダウンフローを形成する。ファン１２は、例えば、回転方向に対して傾斜した羽根と、羽根を回転させるためのモータを有するが、筐体２０内に所定の気流を発生させるものであれば特に限定されない。
【００３１】
フィルタ１４は、ファン１２の直下に設けられている。フィルタ１４としては特に限定されないが、たとえばパーティクル除去フィルタとケミカルフィルタとを組み合わせたものを用いることができ、筐体２０内を満たす気体に存在するパーティクルや汚染物質を除去することができる。なお、ファンフィルタユニット１１は、ファン１２のような送風手段とフィルタ１４を有していればよく、ファンフィルタユニット１１には、送風手段とフィルタとが別々に配置されるものも含まれる。
【００３２】
筐体２０は略直方体の外形状を有しており、筐体２０内には、ウエハ搬送室２２と循環流路２４とが形成されている。筐体２０内には、ウエハ搬送室２２と循環流路２４とを隔てる中間壁２０ｄが設けられており、循環流路２４は、筐体２０における直立する側壁２０ａと中間壁２０ｄとの間と、筐体２０の天井２０ｂとフィルタ１４との間に形成される。
【００３３】
中間壁２０ｄはガス等による気流を遮蔽するが、中間壁２０ｄと床面との間には循環用隙間２３が形成されている。したがって、ウエハ搬送室２２と循環流路２４とは、ウエハ搬送室２２の上方ではフィルタ１４を介して繋がっており、ウエハ搬送室２２の下方では循環用隙間２３を介して繋がっている。
【００３４】
ウエハ搬送室２２の天井に設けられるフィルタ１４は、ファン１２で形成された気流を通過させるため、ウエハ搬送室２２には、天井に設けられたファン１２によるダウンフロー（下降気流）が形成される。また、中間壁２０ｄと床面との間に形成された循環用隙間２３を介して、ウエハ搬送室２２から循環流路２４へガスが流入することにより、フィルタ１４上方を除く循環流路２４の大部分には、循環用隙間２３からファン１２へ向かう上昇気流が形成される。このようにして、導入部１６から導入されたガスは、筐体２０内を循環する。
【００３５】
なお、循環流路２４には、ウエハ搬送室２２に設けられるフィルタ１４とは別のフィルタが設けられていてもよく、また、循環流路２４に上昇気流を生じさせるファンが、筐体２０の天井２０ｂに設けられるファン１２とは別途設けられていてもよい。
【００３６】
導入部１６は、筐体２０の天井２０ｂ付近における循環流路２４に設けられている。導入部１６は、窒素等の不活性ガスを放出するガス放出ノズルを有しており、筐体２０内にガスを導入する。導入部１６には、図示しないガスタンクからガスが供給される。図１に示す導入部１６は、循環流路２４においてファン１２に向かってガスを放出するが、ＥＦＥＭ１０が有する導入部１６としてはこれに限定されず、例えば導入部１６は、フィルタ１４の直下にガス放出ノズルを配置して、ウエハ搬送室２２に設けられていてもよい。
【００３７】
排出部３０は、筐体２０の外部に設けられており、側壁２０ａにおける床部に近い部分に取り付けられている。図２（Ａ）は、排出部３０の概略断面図である。排出部３０は、ボックス３２と、ボックス３２内に設けられたダンパー部４０とを有している。
【００３８】
図２（Ａ）に示すように、ボックス３２は、１つの面が開口した略直方体状の外形状を有しており、開口している開口周縁３３が、筐体２０の側壁２０ａを向くように、側壁２０ａに取り付けられている。ボックス３２は、筐体２０の側壁２０ａに形成された排出開口２０ａａの周りを覆うように設けられており、ボックス３２の開口周縁３３は、排出開口２０ａａの周りの側壁２０ａに対向している。
【００３９】
なお、排出開口２０ａａは、側壁２０ａのうち、図１に示す循環流路２４の流路壁となっている部分であって、水平方向から見て中間壁２０ｄの下端の一部が、排出開口２０ａａ又はボックス３２の開口周縁３３に重なる位置に形成されているが、排出開口２０ａａの位置はこれに限定されない。また、ウエハ搬送室２２内の清浄度を高める観点から、排出開口２０ａａは、筐体２０において図１に示す導入部１６より下方に形成されているが、導入部１６と排出開口２０ａａの位置関係はこれに限定されない。
【００４０】
図４の外観図に示すように、ボックス３２は、ボルト２８等を用いて側壁２０ａに固定されているが、ボックス３２の固定方法は特に限定されない。さらに、図２（Ａ）及び図４に示すように、側壁２０ａとボックス３２の開口周縁３３との間には、筐体２０外の外気をボックス３２内に導入する外気導入開口としての隙間３４が形成されている。排出配管６０がボックス内に接続されることにより、ボックス３２内が負圧になると、隙間３４を介してボックス３２内に外気（大気）が導入される。
【００４１】
図２（Ａ）に示すように、ボックス３２には、側壁２０ａに対向する面とは異なる面に形成されるボックス開口３６が形成されている。ボックス３２には、ガスを排出する排出配管６０が接続されており、排出配管６０は、ボックス開口３６を介してボックス３２内と連通することができる。ボックス開口３６には、ボックス開口３６を開閉可能な接続弁３８が設けられている。ＥＦＥＭ１０の操作者は、ボックス３２の上部に設けられた弁操作ハンドル３９を回すことにより、接続弁３８を操作することができる。なお、ＥＦＥＭ１０の使用中は、通常、接続弁３８は開放されている。
【００４２】
図５は、排出配管６０を表す概念図である。排出配管６０は、工場内に備えられる複数のＥＦＥＭ１０の排出部３０や、ＥＦＥＭ１０以外の他の装置（例えば、処理装置など）の排出部など、複数の排出部に接続されている。排出配管６０は、ポンプ等の排気手段に接続されており、排出配管６０内は、負圧に維持されることが好ましい。
【００４３】
図２（Ａ）に示すように、ボックス３２内には、排出開口２０ａａを閉鎖及び開口できるダンパー部４０が設けられている。ダンパー部４０は、筐体２０内、特に排出開口２０ａａ付近における循環流路２４（図１参照）と、ボックス３２内との差圧に応じて可動板４４が可動することにより、排出開口２０ａａを介するガスの排出流量を調整する。
【００４４】
図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、ダンパー部４０は、囲い部４２と、可動板４４と、軸４６とを有している。囲い部４２は、筐体２０において排出開口２０ａａが位置する側壁２０ａから略垂直方向に突出しており、排出開口２０ａａの外周を囲む無底筒状の外形状を有している。囲い部４２の基端周縁と先端周縁４２ａとは、筒状部分から外側に突出するフランジ形状となっており、囲い部４２の基端周縁は、側壁２０ａに固定されている。
【００４５】
可動板４４は、囲い部４２の上方において側壁２０ａに略平行に設けられる軸４６を中心として回動する。可動板４４は、ヒンジ機構などを介して、固定部であるボックス３２に対して接続されているが、可動板４４の取付け方法は特に限定されない。可動板４４は、囲い部４２における先端周縁４２ａの開口面積より広い面積を有している。可動板４４は、排出開口２０ａａに対向する面からの圧力と、その反対側からの圧力との差圧によって、囲い部４２の先端周縁４２ａに対して接触及び離間するように可動することで、囲い部４２に囲まれた排出開口２０ａａを閉鎖及び開放する。
【００４６】
図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は、可動板４４が囲い部４２の先端周縁４２ａに対して接触し、可動板４４及び可動板４４を含むダンパー部４０が、排出開口２０ａａを閉鎖した状態を表している。これに対して、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は、可動板４４が囲い部４２の先端周縁４２ａに対して離間し、可動板４４及び可動板４４を含むダンパー部４０が、排出開口２０ａａを開放した状態を表している。可動板４４及びダンパー部４０は、筐体２０内の圧力が高く、ボックス３２内との差圧が大きいほど排出開口２０ａａを広く開放し、これとは反対に、筐体２０内の圧力が低く、ボックス３２内との差圧が小さいほど、排出開口２０ａａを狭く開放し、筐体２０内とボックス３２内との差圧が一定以下になると、排出開口２０ａａを閉鎖する。
【００４７】
図２（Ｂ）及び図３（Ｂ）に示すように、囲い部４２の先端周縁４２ａは、下方に向かうに従って側壁２０ａから離間するように、側壁２０ａに対して傾斜している。したがって、可動板４４及び可動板４４を含むダンパー部４０は、筐体２０内の圧力がボックス３２内に対して高い場合であって、圧力差が所定値以下になれば、排出開口２０ａａを閉鎖する。これにより、ダンパー部４０は、ＥＦＥＭ１０におけるガスの消費量を抑制することができ、また、たとえ筐体２０内の圧力が低下した場合にでも、外気や排出配管６０内の気体が、排出開口２０ａａを介して筐体２０内に逆流することを防止できる。
【００４８】
図２（Ｂ）に示すように、ダンパー部４０は、可動板４４に着脱又は位置を変更可能に取り付けられる錘４８を有していてもよい。錘４８は、可動板４４に取り付ける重さや位置を変更することにより、筐体２０内とボックス３２内との差圧に対する可動板４４の移動量（可動板４４が囲い部４２の先端周縁４２ａから離間する程度）が変化する。これにより、錘４８は、筐体２０内とボックス３２内との差圧に対するガスの排出流量の対応関係を変更する調整機構として機能する。
【００４９】
なお、ダンパー部４０が有する可動部は、図２（Ｂ）及び図３（Ｂ）に示す可動板４４に限定されず、筐体２０内とボックス３２内との差圧に応じて可動して、排出開口２０ａａ及びダンパー部４０による流路抵抗を変更するものであれば、他の可動部であってもよい。また、調整機構も錘４８に限定されず、差圧に対する可動板４４の移動量を変更可能な付勢部材や、軸４６に対する可動板４４の回転抵抗を変化させる可変ギアのような、他の機構であってもかまわない。
【００５０】
図１に示すＥＦＥＭ１０は、その筐体２０内に矢印で示すようなガスの循環気流を形成しながら、使用される。このようなガスの気流は、導入部１６から筐体２０内に導入されたガスを、ファンフィルタユニット１１を用いて、ウエハ搬送室２２及び循環流路２４の間を循環させることにより形成される。
【００５１】
導入部１６は、図示しない制御部によって制御され、ＥＦＥＭ１０内にガスを導入する。例えば、ウエハ搬送室２２の清浄度を上げたい場合などに、導入部１６を制御して筐体２０内へのガスの導入を開始したり、又は、筐体２０内への単位時間当たりのガスの導入量を増やしたりすることができる。この際、外気がウエハ搬送室２２内に流入してウエハ搬送室２２の清浄度が低下することを防止するために、ガスで満たされる筐体２０内は、正圧に保たれることが好ましい。
【００５２】
筐体２０内の圧力が所定の値より低い場合、排出部３０は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、ダンパー部４０が排出開口２０ａａを閉鎖することにより、筐体２０内の圧力低下を抑制してウエハ搬送室２２の清浄度を好適に保つとともに、ＥＦＥＭ１０でのガスの消費量を抑制する。また、導入部１６からのガスの導入により筐体２０内の圧力が所定の値より高くなると、排出部３０は、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、ダンパー部４０が排出開口２０ａａを開放することにより、筐体２０内の圧力が過度に上昇することを防止するとともに、筐体２０内のガスの入れ替えを促進させる。
【００５３】
ここで、図１に示すボックス３２に接続される排出配管６０の負圧は、図５に示す工場内における他の装置の稼働状況等により変動する場合がある。仮にボックス３２内の圧力が想定以上に低下した場合は、排出開口２０ａａから排出されるガスの排出流量が多くなり、ＥＦＥＭ１０でのガスの消費量が多くなる懸念がある。しかし、図２（Ａ）に示すように、ボックス３２には、外気導入開口としての隙間３４が形成されているため、排出配管６０の圧力変化に伴うボックス３２内の圧力変化を抑制することができ、ガスの消費量が多くなる問題を防止できる。
【００５４】
また、隙間３４から導入された外気により、ボックス３２内において、排出開口２０ａａ及び囲い部４２の周りに、隙間３４から排出配管６０へ向かう気流が形成される。このため、図３（Ａ）のように可動板４４が動くことにより排出開口２０ａａから排出されたガスは、排出配管へ向かう気流に導かれて適切に排出配管６０へ向かって流れる。したがって、このような排出部３０を有するＥＦＥＭ１０は、排出配管６０以外の外部へガスが漏れる問題を防止できる。
【００５５】
また、ＥＦＥＭ１０を設置した際や、工場の設備が変更されて排出配管６０の負圧が定常的に変化する場合は、可動板４４に取り付ける調整部材としての錘４８の取付け位置や重さを変更することにより、排出部３０を適切な条件で作動させることができる。
【００５６】
図１に示すＥＦＥＭ１０は、適切な条件で排出開口２０ａａを開放及び閉鎖する排出部３０を有するため、ウエハ搬送室２２の圧力及び清浄度を適切な状態に保ちつつ、ガスの消費量を抑制することができる。また、図２及び図３に示すように、排出部３０は、差圧自体により可動して排出流量を調整する可動板４４を有しており、構造がシンプルであるため、信頼性が高くメンテナンス性も良好である。
【００５７】
以上のように、実施形態を示して本発明を詳細に説明したが、本発明は上述した実施形態のみに限定されず、他の多くの実施形態や変形例を有することは言うまでもない。たとえば、ボックス３２内に外気を導入する外気導入開口は、図２（Ａ）及び図３（Ａ）に示す隙間３４に限定されず、ボックス３２に形成された貫通孔であってもかまわない。また、ボックス３２には、必ずしも外気導入開口を設ける必要はなく、ダンパー部４０自体にも、排出配管６０の圧力変化に伴い、排出開口２０ａａから排出されるガスの排出流量が変動する問題を、抑制する効果がある。
【００５８】
また、排出開口２０ａａは、筐体２０におけるロードポート装置７０が設けられる側とは反対側の側壁２０ａにおける外側面に形成されているが、排出開口２０ａａの形成場所はこれに限定されない。例えば、ダンパー部４０を設ける排出開口は、ウエハ搬送室２２の壁に設けられていてもよく、筐体２０の床面に設けられていてもよい。また、排出開口２０ａａは、ウエハ搬送ロボット２６におけるアーム２６ａの最低搬送位置より下方に設けられることにより、搬送中のウエハ８２からのアウトガス等の有害物質を筐体２０内から効率的に排出する効果がある。
【符号の説明】
【００５９】
１０…  ＥＦＥＭ
１１…  ファンフィルタユニット
１２…  ファン
１４…  フィルタ
１６…  導入部
２０…  筐体
２０ａ…  側壁
２０ａａ…  排出開口
２０ｂ…  天井
２０ｄ…  中間壁
２２…  ウエハ搬送室
２４…  循環流路
２６…  ウエハ搬送ロボット
２６ａ…  アーム
３０…  排出部
３２…  ボックス
３３…  開口周縁
３４…  隙間
３６…  ボックス開口
３８…  接続弁
３９…  弁操作ハンドル
４０…  ダンパー部
４２…  囲い部
４２ａ…  先端周縁
４４…  可動板
４６…  軸
４８…  錘
６０…  排出配管
７０…  ロードポート装置
７２…  載置台
８０…  ＦＯＵＰ
８２…  ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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