(57)【要約】【課題】本発明は、半導体素子の傾きを抑制することが可能な半導体装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明による半導体装置は、金属パターン１上に開口部を有するように設けられたレジスト４を備え、レジスト４は開口部内へ突出する突起部を有し、開口部の突起部を除く外形寸法よりも小さい外形寸法である半導体素子５と、開口部内に設けられ、金属パターン１と半導体素子５とを接合するはんだ３とをさらに備え、レジスト４は、半導体素子５と平面視で重畳し、かつ半導体素子５の厚み方向を規制する複数の突起部を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属パターン上に開口部を有するように設けられたレジストを備え、
前記レジストは、前記開口部内へ突出する突起部を有し、
前記開口部の前記突起部を除く外形寸法よりも小さい外形寸法である半導体素子と、
前記開口部内に設けられ、前記金属パターンと前記半導体素子とを接合するはんだと、
をさらに備え、
前記レジストは、前記半導体素子と平面視で重畳し、かつ前記半導体素子の厚み方向を規制する複数の前記突起部を有することを特徴とする、半導体装置。
【請求項２】
前記開口部は、四角形状であり、
前記レジストは、前記開口部の各辺に少なくとも１つの前記突起部を有することを特徴とする、請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記開口部は、四角形状であり、
前記レジストは、前記開口部の少なくとも２つの角の各々に前記突起部を有することを特徴とする、請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記突起部は、前記開口部の内側の角を面取りした形状であることを特徴とする、請求項３に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記半導体素子は、前記はんだと接合する面に少なくとも１つの制御電極パッドを有し、
前記レジストは、少なくとも前記制御電極パッドと平面視で重畳する前記突起部を有することを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記半導体素子は、発熱領域と、当該発熱領域を囲む非発熱領域とを有し、
前記レジストは、前記非発熱領域と平面視で重畳する前記突起部を有し、
前記突起部が突出する方向において、前記突起部と前記非発熱領域とが平面視で重畳する距離は、前記非発熱領域の距離よりも短いことを特徴とする、請求項１から５のいずれか１項に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属パターンと半導体素子とをはんだで接合した構造を有する半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、金属パターンと半導体素子とをはんだで接合した構造を有する半導体装置がある。当該半導体装置では、半導体素子の直下に設けられたはんだが溶融する際に、はんだの厚みを均一に保つことができず、接合後の半導体素子が傾くことがあるという問題があった。
【０００３】
このような問題の対策として、従来、半導体素子が配置される箇所に予めワイヤボンドを設け、当該ワイヤボンドの直径分だけの厚みを確保する方法が提案されている。また、はんだを囲むように設けられたレジストを備える半導体装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−４９７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、ワイヤボンドの直径分だけの厚みを確保する方法は、ワイヤボンドを設けるための工程を追加する必要があり、生産時間および生産コストがかかるなどの問題があった。また、特許文献１では、半導体素子の傾きを抑制することができない。
【０００６】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、半導体素子の傾きを抑制することが可能な半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明による半導体装置は、金属パターン上に開口部を有するように設けられたレジストを備え、レジストは開口部内へ突出する突起部を有し、開口部の突起部を除く外形寸法よりも小さい外形寸法である半導体素子と、開口部内に設けられ、金属パターンと半導体素子とを接合するはんだとをさらに備え、レジストは、半導体素子と平面視で重畳し、かつ半導体素子の厚み方向を規制する複数の突起部を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、半導体装置は、金属パターン上に開口部を有するように設けられたレジストを備え、レジストは開口部内へ突出する突起部を有し、開口部の突起部を除く外形寸法よりも小さい外形寸法である半導体素子と、開口部内に設けられ、金属パターンと半導体素子とを接合するはんだとをさらに備え、レジストは、半導体素子と平面視で重畳し、かつ半導体素子の厚み方向を規制する複数の突起部を有するため、半導体素子の傾きを抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１による半導体装置の構成の一例を示す平面図である。
【図２】本発明の実施の形態１による半導体装置の構成の一例を示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２による半導体装置の構成の一例を示す平面図である。
【図４】本発明の実施の形態３による半導体装置の構成の一例を示す平面図である。
【図５】本発明の実施の形態４による半導体装置の構成の一例を示す平面図である。
【図６】本発明の実施の形態５による半導体装置の構成の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の実施の形態について、図面に基づいて以下に説明する。
【００１１】
＜実施の形態１＞
図１は、本発明の実施の形態１による半導体装置の構成の一例を示す平面図である。また、図２は、図１におけるＡ１−Ａ２の断面図である。
【００１２】
図１，２に示すように、絶縁層２上には金属パターン１が設けられている。金属パターン１上には、四角形状の開口部を有するレジスト４が設けられている。レジスト４の厚みは、例えば５０μｍ以下である。半導体素子５は、はんだ３と接合する面に４つの制御電極パッド６を有している。半導体素子５の外形寸法は、レジスト４の開口部の突起部を除く外形寸法よりも小さい。
【００１３】
はんだ３は、レジスト４の開口部内に設けられ、金属パターン１と半導体素子５とを接合する。換言すれば、レジスト４は、はんだ３の濡れ広がりを抑制するように、半導体素子５の直下に設けられたはんだ３の周囲に設けられている。
【００１４】
レジスト４は、開口部内へ突出する複数の突起部を有している。具体的には、レジスト４は、開口部の各辺に１つの突起部を有している。各突起部は、半導体素子５と平面視で重畳し、かつ半導体素子５の厚み方向を規制する。
【００１５】
なお、図１，２の例では、レジスト４が開口部の各辺に１つの突起部を有する場合を示しているが、これに限るものではない。レジスト４は、開口部の各辺に少なくとも１つの突起部を有するようにすればよい。
【００１６】
レジスト４の各突起部と半導体素子５とは、直接接触してもよく、はんだ３を介して接触してもよい。制御電極パッド６は、４つに限らず、少なくとも１つあればよい。
【００１７】
以上のことから、本実施の形態１によれば、レジスト４の突起部が半導体素子５と平面視で重畳し、かつ半導体素子５の厚み方向を規制しているため、半導体素子５がはんだ３の中に沈み込む距離に制限をかけることができる。すなわち、金属パターン１と半導体素子５との厚み方向の距離を、レジスト４の厚み分だけ確保することができため、半導体素子５の傾きを抑制することが可能となる。また、半導体素子５の直下のはんだ３の厚みが均一となるため、半導体素子５で発生した熱を放熱する際の局所的な放熱性の悪化を抑制することができ、長時間の使用によるはんだ３における局所的なクラックの進展などを抑制することができる。
【００１８】
なお、ＳｉＣを用いた半導体素子など、外形寸法が小さい半導体素子は傾きが大きくなる可能性があるため、このような半導体素子を備える半導体装置においてより有効である。
【００１９】
＜実施の形態２＞
図３は、本発明の実施の形態２による半導体装置の構成の一例を示す平面図である。
【００２０】
図３に示すように、本実施の形態２による半導体装置では、レジスト４が開口部の４つ角の各々に突起部を有することを特徴としている。その他の構成は、実施の形態１と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００２１】
なお、図３の例では、レジスト４が開口部の４つの角の各々に突起部を有する場合を示しているが、これに限るものではない。レジスト４は、開口部の少なくとも２つの角の各々に突起部を有するようにすればよい。
【００２２】
以上のことから、本実施の形態２によれば、実施の形態１と同様の効果が得られる。また、レジスト４は、開口部の少なくとも２つの角の各々に突起部を有しているため、半導体素子５で発生した熱を放熱しやすい構造となる。すなわち、本実施の形態２による半導体装置は、実施の形態１による半導体装置よりも放熱性能が優れた構造となる。
【００２３】
なお、上記では、レジスト４が開口部の少なくとも２つの角の各々に突起部を有する半導体装置の構造について説明したが、これに限るものではない。本実施の形態２による半導体装置の構造は、例えば、図１，２に示す実施の形態１による半導体装置の構造と、図３に示す実施の形態２による半導体装置の構造とを任意に組み合わせた構造であってもよい。
【００２４】
＜実施の形態３＞
図４は、本発明の実施の形態３による半導体装置の構成の一例を示す平面図である。
【００２５】
図４に示すように、本実施の形態３による半導体装置では、レジスト４の突起部が開口部の内側の角を面取りした形状であることを特徴としている。その他の構成は、実施の形態２と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００２６】
以上のことから、本実施の形態３によれば、実施の形態１と同様の効果が得られる。また、レジスト４の突起部は、開口部の内側の角を面取りした形状であるため、平面視において突起部と半導体素子５とが重畳する面積が小さくなる。これにより、本実施の形態３による半導体装置は、実施の形態２による半導体装置よりも放熱性能に優れた構造となる。
【００２７】
＜実施の形態４＞
図５は、本発明の実施の形態４による半導体装置の構成の一例を示す平面図である。
【００２８】
図５に示すように、本実施の形態４による半導体装置では、レジスト４が少なくとも制御電極パッド６と平面視で重畳する突起部を有することを特徴としている。その他の構成は、実施の形態１と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００２９】
なお、図５の例では、レジスト４が制御電極パッド６と平面視で重畳する２つの突起部を有する場合を示しているが、これに限るものではない。制御電極パッド６と平面視で重畳する突起部は、少なくとも１つあればよい。
【００３０】
以上のことから、本実施の形態４によれば、実施の形態１と同様の効果が得られる。また、レジスト４は、半導体素子５の動作時にほとんど熱を発生しない制御電極パッド６と平面視で重畳する突起部を有しているため、半導体素子５で発生した熱を放熱しやすい構造となる。すなわち、本実施の形態４による半導体装置は、実施の形態１〜３による半導体装置よりも放熱性能が優れた構造となる。
【００３１】
なお、上記では、レジスト４が少なくとも制御電極パッド６と平面視で重畳する突起部を有する半導体装置の構造について説明したが、これに限るものではない。本実施の形態４による半導体装置の構造は、例えば、図１，２に示す実施の形態１による半導体装置の構造と、図３に示す実施の形態２による半導体装置の構造と、図４に示す実施の形態３による半導体装置の構造とを任意に組み合わせた構造であってもよい。
【００３２】
＜実施の形態５＞
図６は、本発明の実施の形態５による半導体装置の構成の一例を示す断面図である。
【００３３】
図６に示すように、半導体素子５は、発熱領域７と、当該発熱領域７を平面視で囲む非発熱領域８とを有している。レジスト４は、半導体素子５の非発熱領域８と平面視で重畳する突起部を有している。その他の構成は、実施の形態１と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００３４】
レジスト４の突起部が突出する方向において、突起部と非発熱領域８とが平面視で重畳する距離Ｔは、非発熱領域８の距離Ｌよりも短い。特に、発熱領域７で発生した熱が当該発熱領域７から４５°で広がっていくと仮定した場合、突起部と非発熱領域８とが平面視で重畳する距離Ｔは、０＜Ｔ≦Ｌ−ｄの関係を満足する。ここで、ｄは、半導体素子５の直下のはんだ３の厚みである。
【００３５】
以上のことから、本実施の形態５によれば、実施の形態１と同様の効果が得られる。また、レジスト４の突起部が突出する方向において、突起部と非発熱領域８とが平面視で重畳する距離を制限することによって、半導体素子５で発生した熱を放熱しやすい構造となる。すなわち、本実施の形態５による半導体装置は、実施の形態１〜４による半導体装置よりも放熱性能が優れた構造となる。
【００３６】
なお、上記では、実施の形態１を元に説明したが、これに限るものではない。本実施の形態５による半導体装置の構造は、例えば、図１，２に示す実施の形態１による半導体装置の構造と、図３に示す実施の形態２による半導体装置の構造と、図４に示す実施の形態３による半導体装置の構造と、図５に示す実施の形態４による半導体装置の構造とを任意に組み合わせた構造であってもよい。
【００３７】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１  金属パターン、２  絶縁層、３  はんだ、４  レジスト、５  半導体素子、６  制御電極パッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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