(57)【要約】【課題】液体の浸入を抑制しつつ、外観不良を抑制できる圧力センサの製造方法及び圧力センサを提供すること。【解決手段】圧力検出部が固定されたケース２０を、一端側に圧力導入孔を有する筒状のハウジング４０に対して、ケースの一部及び圧力検出部がハウジングの筒内に配置されるようにハウジングの他端側から挿入した状態で、ハウジングの他端をケースにかしめることで、ケースとハウジングとを組み付ける。次いで、ハウジングにおいてケースにかしめられたかしめ部４４とケースとの間を水密に封止するために、ハウジングにおける他端側の先端とケースとの隙間を塞ぐようにシール材６０を塗布する。そして、シール材６０の硬化後、シール材６０を覆うようにシール材６１を塗布する。かしめ部とケースとの隙間を通じて空気が漏れ出しても、たとえば気泡をシール材６０に閉じ込め、且つ、シール材６１で目隠しすることができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力検出部（３０）が固定されたケース（２０）を、一端側に圧力導入孔（４１）を有する筒状のハウジング（４０）に対して、前記ケースの一部及び前記圧力検出部が前記ハウジングの筒内に配置されるように前記ハウジングの他端側から挿入した状態で、前記ハウジングの他端を前記ケースにかしめることで、前記ケースと前記ハウジングとを組み付け、
前記ハウジングにおいて前記ケースにかしめられたかしめ部（４４）と前記ケースとの間を水密に封止するために、前記ハウジングにおける他端側の先端と前記ケースとの隙間を塞ぐように第１シール材（６０）を塗布するとともに、前記第１シール材の硬化後、前記第１シール材を覆うように第２シール材（６１）を塗布する圧力センサの製造方法。
【請求項２】
前記第１シール材及び前記第２シール材として、同じシール材を用いる請求項１に記載の圧力センサの製造方法。
【請求項３】
前記第１シール材として、前記第２シール材よりも、前記ハウジング及び前記ケースに対する濡れ性の高いシール材を用いる請求項１に記載の圧力センサの製造方法。
【請求項４】
圧力検出部（３０）が固定されたケース（２０）を、一端側に圧力導入孔（４１）を有する筒状のハウジング（４０）に対して、前記ケースの一部及び前記圧力検出部が前記ハウジングの筒内に配置されるように前記ハウジングの他端側から挿入した状態で、前記ハウジングの他端を前記ケースにかしめることで、前記ケースと前記ハウジングとを組み付け、
前記ハウジングにおいて前記ケースにかしめられたかしめ部（４４）と前記ケースとの間を水密に封止するために、前記ハウジングにおける他端側の先端と前記ケースとの隙間を塞ぐように第３シール材（６２）を塗布するとともに、前記第３シール材を覆うように第４シール材（６３）を塗布し、
前記第４シール材として、前記第３シール材が硬化するよりも先に硬化するシール材を用いる圧力センサの製造方法。
【請求項５】
被測定媒体の圧力を検出する圧力検出部（３０）と、
前記圧力検出部が固定されたケース（２０）と、
筒状をなしており、一端側に設けられた圧力導入孔（４１）と、他端側から前記ケースの一部及び前記圧力検出部が筒内に配置された状態で、前記ケースにかしめられる前記他端の部分であるかしめ部（４４）と、を有するハウジング（４０）と、
前記かしめ部の内側に隣接して設けられ、前記ケースと前記ハウジングとの間を水密に封止するシール材（６４）と、を備える圧力センサ。
【請求項６】
前記ハウジングは、前記かしめ部がかしめられている前記ケースの面との対向面に凹部（４５）を有し、
前記シール材が、前記凹部に配置されている請求項５に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この明細書における開示は、圧力センサの製造方法及び圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、一端側に圧力導入孔を有する筒状のハウジングを、圧力検出部が固定されたケースにかしめてなる圧力センサが開示されている。ハウジングの他端側から筒内にケースの一部及び圧力検出部が挿入された状態で、ハウジングの他端がケースに対してかしめられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２１４７８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された圧力センサでは、ケースにおいて圧力検出部が固定された先端面と、ハウジングにおける先端面と対向する一面との間に、Ｏリングが介在している。
【０００５】
しかしながら、ハウジングのかしめ部とケースとの隙間を通じて液体（たとえば水）が入り込むと、圧力や温度によっては液体がＯリングによるシールの界面を透過し、圧力検出部側に浸入する虞がある。たとえば高温下において入り込んだ水が蒸発し、水蒸気がＯリングによるシールの界面を通過して圧力検出部側に浸入する虞がある。
【０００６】
液体の浸入を抑制するために、ハウジングにおける他端側の先端とハウジングとの隙間を塞ぐように、シール材を塗布することが考えられる。しかしながら、シール材を硬化させる前に、かしめ部とケースとの隙間を通じてかしめ部よりも内側の空気が漏れ出し、シール材に気泡が生じる虞がある。これにより、シール機能が低下する虞がある。また、シール材の表面に気泡由来の凹部が形成され、外観不良となる虞がある。
【０００７】
本開示はこのような課題に鑑みてなされたものであり、液体の浸入を抑制しつつ、外観不良を抑制できる圧力センサの製造方法及び圧力センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示は、上記目的を達成するために以下の技術的手段を採用する。なお、括弧内の符号は、ひとつの態様として後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであって、技術的範囲を限定するものではない。
【０００９】
本開示のひとつである圧力センサの製造方法によれば、
圧力検出部（３０）が固定されたケース（２０）を、一端側に圧力導入孔（４１）を有する筒状のハウジング（４０）に対して、ケースの一部及び圧力検出部がハウジングの筒内に配置されるようにハウジングの他端側から挿入した状態で、ハウジングの他端をケースにかしめることで、ケースとハウジングとを組み付け、
ハウジングにおいてケースにかしめられたかしめ部（４４）とケースとの間を水密に封止するために、ハウジングにおける他端側の先端とケースとの隙間を塞ぐように第１シール材（６０）を塗布するとともに、第１シール材の硬化後、第１シール材を覆うように第２シール材（６１）を塗布する。
【００１０】
このように、第１シール材の硬化後に第２シール材を塗布するため、かしめ部とケースとの隙間を通じて空気が漏れ出しても、たとえば気泡を第１シール材に閉じ込め、且つ、第２シール材で目隠しすることができる。気泡が第２シール材側に入り込むことはない。したがって、液体の浸入を抑制しつつ、外観不良を抑制することができる。
【００１１】
本開示の他のひとつである圧力センサの製造方法によれば、
圧力検出部（３０）が固定されたケース（２０）を、一端側に圧力導入孔（４１）を有する筒状のハウジング（４０）に対して、ケースの一部及び圧力検出部がハウジングの筒内に配置されるようにハウジングの他端側から挿入した状態で、ハウジングの他端をケースにかしめることで、ケースとハウジングとを組み付け、
ハウジングにおいてケースにかしめられたかしめ部（４４）とケースとの間を水密に封止するために、ハウジングにおける他端側の先端とケースとの隙間を塞ぐように第３シール材（６２）を塗布するとともに、第３シール材を覆うように第４シール材（６３）を塗布し、
第４シール材として、第３シール材が硬化するよりも先に硬化するシール材を用いる。
【００１２】
このように、第４シール材が先に硬化した蓋をするため、かしめ部とケースとの隙間を通じて空気が漏れ出ても、気泡を第３シール材に閉じ込めることができる。したがって、液体の浸入を抑制しつつ、外観不良を抑制することができる。
【００１３】
本開示の他のひとつである圧力センサは、
被測定媒体の圧力を検出する圧力検出部（３０）と、
圧力検出部が固定されたケース（２０）と、
筒状をなしており、一端側に設けられた圧力導入孔（４１）と、他端側からケースの一部及び圧力検出部が筒内に配置された状態で、ケースにかしめられる他端の部分であるかしめ部（４４）と、を有するハウジング（４０）と、
かしめ部の内側に隣接して設けられ、ケースとハウジングとの間を水密に封止するシール材（６４）と、を備える。
【００１４】
このように、かしめ部の内側にシール材を配置するため、内側の空間が減る分、気泡を抑制することができる。また、シール材に気泡が生じたとしても、外から見えない。したがって、液体の浸入を抑制しつつ、外観不良を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１実施形態に係る圧力センサの概略構成を示す断面図である。
【図２】図１に示す領域IIを拡大した図である。
【図３】圧力センサの製造方法を説明するための図であり、図２に対応している。
【図４】圧力センサの製造方法を説明するための図であり、図２に対応している。
【図５】効果を説明するための図であり、図２に対応している。
【図６】効果を説明するための図であり、図２に対応している。
【図７】変形例の効果を説明するための図であり、図２に対応している。
【図８】第２実施形態に係る圧力センサの製造方法を説明するための図であり、図２に対応している。
【図９】第３実施形態に係る圧力センサにおいて、かしめ部周辺を拡大した断面図であり、図２に対応している。
【図１０】第４実施形態に係る圧力センサにおいて、かしめ部周辺を拡大した断面図であり、図２に対応している。
【図１１】その他変形例を示す断面図であり、図２に対応している。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図面を参照しながら、複数の実施形態を説明する。複数の実施形態において、機能的に及び／又は構造的に対応する部分には同一の参照符号を付与する。
【００１７】
（第１実施形態）
先ず、図１及び図２に基づき、本実施形態に係る圧力センサの概略構成について説明する。この圧力センサは、たとえば自動車に搭載され、エアコンの冷媒配管内の冷媒圧力検出に適用される。
【００１８】
図１に示すように、圧力センサ１０は、ケース２０、センサ素子３０、ハウジング４０、及びシール材６０，６１を備えている。
【００１９】
ケース２０は、ＰＰＳやＰＢＴ等の樹脂材料を用いて成形されている。ケース２０は、略円柱状をなしている。ケース２０におけるハウジング４０側の一端部には、凹部２１が形成されている。凹部２１は、ケース２０における先端面２０ａに形成されている。すなわち、凹部２１は、その周囲に位置する先端面２０ａに対して凹んでいる。
【００２０】
この凹部２１の底面には、センサ素子３０が配置されている。センサ素子３０が、圧力検出部に相当する。センサ素子３０は、その表面に受圧面としてのダイアフラムを有し、ダイアフラムの表面にゲージ抵抗が形成されている。そして、ゲージ抵抗により、ダイアフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、センサ信号として出力する。
【００２１】
センサ素子３０は、台座３１に固定されている。本実施形態では、ガラスよりなる台座３１に、センサ素子３０が陽極接合されている。そして、台座３１におけるセンサ素子３０の固定面と反対の面を凹部２１の底面に接着することで、台座３１を介してセンサ素子３０がケース２０に固定されている。
【００２２】
ケース２０は、センサ素子３０と外部の回路等とを電気的に接続するための複数本のターミナル２２を保持している。ターミナル２２は、ケース２０を貫通し、柱状のケース２０の両端に露出している。本実施形態のターミナル２２は、黄銅にＮｉなどのめっきを施してなる。また、ターミナル２２は、ケース２０と一体的にインサート成形されている。
【００２３】
ターミナル２２の一端は、凹部２１の底面から突出している。そして、この突出部分とセンサ素子３０とが、ボンディングワイヤ２３によって電気的に接続されている。ケース２０の凹部２１内には、シール材２４が配置されている。このシール材２４により、凹部２１から突出するターミナル２２の根元部分とケース２０との隙間が封止されている。
【００２４】
ケース２０における凹部２１と反対の端部には、コネクタ用の開口部２５が設けられている。ターミナル２２の他端は、開口部２５内に突出している。そして、開口部２５と該開口部２５から突出するターミナル２２とにより、外部の回路等との接続のためのコネクタが構成されている。このコネクタには、ワイヤハーネス等が接続される。センサ素子３０と外部との間の信号の伝達は、ボンディングワイヤ２３及びターミナル２２を介して行われる。このように構成されたケース２０に対し、ハウジング４０が組み付けられている。
【００２５】
ハウジング４０は、筒状をなしている。ハウジング４０の一端側には収容凹部４０ａが形成されている。収容凹部４０ａは、ハウジング４０の中空の一部をなしている。そして、収容凹部４０ａにケース２０の一端側が挿入された状態で、ケース２０にハウジング４０が組み付けられている。したがって、センサ素子３０も収容凹部４０ａに挿入されている。
【００２６】
ハウジング４０は、たとえばアルミニウムを主成分とする金属材料を用いて形成されている。ハウジング４０は、被測定媒体が導入される圧力導入孔４１を有している。圧力導入孔４１は、ハウジング４０において収容凹部４０ａとは反対の他端側に開口している。圧力導入孔４１も、ハウジング４０の中空の一部をなしている。
【００２７】
ハウジング４０の他端側の外周面には、ねじ部４２が形成されている。このねじ部４２により、被測定媒体が流れる部材に対して、圧力センサ１０を固定（ねじ締結）することができる。上記したように、被測定媒体は、自動車エアコンの冷媒配管内の冷媒である。
【００２８】
ハウジング４０の収容凹部４０ａには、ケース２０の先端面２０ａに対向する一面４０ｂよりもケース２０から離れた位置に、突起部４０ｃが形成されている。突起部４０ｃは、圧力導入孔４１の中心軸を取り囲むように形成されている。突起部４０ｃの表面には、金属製の薄いメタルダイアフラム４３が溶接されている。メタルダイアフラム４３は、たとえばＳＵＳを用いて形成されている。
【００２９】
また、ケース２０の先端面２０ａには、凹部２１を取り囲むように、環状の溝２６が形成されている。そして、溝２６内には、圧力検出室５０を気密に封止するためのＯリング５１が配置されている。Ｏリング５１は、ゴム状弾性体である。Ｏリング５１は、ケース２０とハウジング４０とにより挟まれて押圧されている。Ｏリング５１の径は、突起部４０ｃの径よりも大きくなっており、突起部４０ｃがＯリング５１よりも内側に配置されている。
【００３０】
そして、ハウジング４０における収容凹部４０ａ側の端部がケース２０の一端部にかしめられることでかしめ部４４が形成され、これによりケース２０とハウジング４０とが組み付けられている。かしめにより、ケース２０とハウジング４０が固定され、ひとつのケーシングとして一体化している。
【００３１】
このようにして組み付けられたケース２０及びハウジング４０において、ケース２０の凹部２１、ハウジング４０、及びメタルダイアフラム４３の間で、Ｏリング５１によって閉塞された圧力検出室５０が構成されている。
【００３２】
圧力検出室５０には、圧力伝達媒体であり、封入液であるオイル５２が充填されている。すなわち、凹部２１には、センサ素子３０及びボンディングワイヤ１３等の電気接続部分を覆うように、オイル５２が充填されている。オイル５２は、メタルダイアフラム４３により覆われて封止されている。
【００３３】
図１及び図２に示すシール材６０，６１は、かしめ部４４とケース２０との隙間を通じて、水などの液体が、かしめ部４４よりも内側に浸入するのを抑制する。すなわち、水密に封止する。このために、シール材６０，６１は、耐水性に優れた材料からなる。シール材６０，６１は、硬化前で液状の接着材である。本実施形態では、シール材６０，６１のいずれもシリコーン系の室温硬化型接着材を採用している。シール材６０，６１は、積層配置されて２層構造をなしている。シール材６０が下層であり、シール材６１が上層である。シール材６０が第１シール材に相当し、シール材６１が第２シール材に相当する。
【００３４】
シール材６０は、ハウジング４０のかしめ部４４とケース２０との間を水密に封止するために、ハウジング４０の他端側の先端、すなわち、かしめ部４４の先端と、ケース２０との隙間を塞ぐように配置されている。シール材６０は、ケース２０を取り囲むように環状に配置されている。
【００３５】
シール材６１は、シール材６０上に配置されている。シール材６１も、ケース２０を取り囲むように環状に配置されている。シール材６１は、シール材６０を覆うように配置されている。ケース２０の他端側（開口部２５側）から見たときに、シール材６１によってシール材６０が完全に覆われている。
【００３６】
次に、上記した圧力センサ１０の基本的な圧力検出動作について説明する。
【００３７】
圧力センサ１０は、たとえばハウジング４０のねじ部４２を介して、車両におけるエアコンの冷媒配管系の適所に取り付けられる。そして、冷媒配管内を流れる冷媒がハウジング４０の圧力導入孔４１より圧力センサ１０内に導入される。
【００３８】
すると、冷媒圧力がメタルダイアフラム４３から圧力検出室５０内のオイル５２を介して、センサ素子３０の表面すなわち受圧面に印加される。そして、印加された圧力に応じた電気信号がセンサ信号として、センサ素子３０から出力される。
【００３９】
このセンサ信号は、センサ素子３０からボンディングワイヤ２３及びターミナル２２を介して、上記した外部回路へ伝達され、冷媒配管の冷媒圧力が検出される。このようにして、圧力センサ１０における圧力検出が行われる。
【００４０】
次に、図３及び図４に基づき、上記した圧力センサ１０の製造方法について説明する。
【００４１】
まず、ターミナル２２がインサート成形されたケース２０を準備する。そして、シリコーン系樹脂等よりなる接着材を用いて、台座３１を介してケース２０の凹部２１内へセンサ素子３０を接着固定する。
【００４２】
次いで、凹部２１内へシール材２４を注入し、シール材２４を、凹部２１の底面まで行き渡らせる。ここで、シール材２４がセンサ素子３０の表面に付着しないように、注入量を調整する。
【００４３】
次いで、注入したシール材２４を硬化させる。そして、シール材２４から露出する各ターミナル２２の露出部分とセンサ素子３０とをボンディングワイヤ２３で結線し、電気的に接続する。
【００４４】
次いで、メタルダイアフラム４３をハウジング４０における突起部４０ｃに載せた後、メタルダイアフラム４３とハウジング４０との間に所定の電圧を印加する。これにより、突起部４０ｃの先端部においてメタルダイアフラム４３が抵抗溶接され、メタルダイアフラム４３が全周溶接されたハウジング４０が形成される。
【００４５】
次いで、センサ素子３０側を上にしてケース２０を配置し、ケース２０の上方から、ディスペンサ等によりフッ素オイル等よりなるオイル５２を、凹部２１へ一定量注入する。
【００４６】
次いで、ケース２０のうち凹部２１側を上に向けてオイル５２がこぼれ落ちないようにしつつ、メタルダイアフラム４３が固定されたハウジング４０を、上から水平を保ったまま、ケース２０に嵌合するように降ろす。この状態のものを真空室に入れて真空引きを行い、圧力検出室５０内の余分な空気を除去する。
【００４７】
次いで、ケース２０の先端面２０ａとハウジングの一面４０ｂとが十分接するまで押さえることによって、メタルダイアフラム４３とＯリング５１によってシールされた圧力検出室５０を形成する。
【００４８】
次いで、ハウジング４０の端部をケース２０の一端側にかしめることにより、かしめ部４４を形成する。こうして、ハウジング４０とケース２０とを一体化することにより、かしめ部４４によるケース２０とハウジング４０との組み付け固定がなされる。
【００４９】
次いで、シール材６０，６１を塗布する。シール材６０，６１としては、ともにシリコーン系の室温硬化型接着材を用いる。このように、同じ接着材を用いる。図３に示すように、かしめ部４４よりも内側には、ハウジング４０とケース２０との間に空気が存在する。そこで、図４に示すように、先ず１層目のシール材６０のみ塗布する。かしめ部４４の先端とケース２０との隙間を塞ぐように、かしめ部４４に対して全周にシール材６０を塗布する。
【００５０】
そして、シール材６０の硬化が完了した後に、２層目のシール材６１を塗布する。シール材６０を覆うように、かしめ部４４に対して全周にシール材６１を塗布する。シール材６１の硬化により、図１及び図２に示した圧力センサ１０を得ることができる。
【００５１】
次に、図５及び図６に基づき、上記した圧力センサ１０の製造方法の効果について説明する。
【００５２】
本実施形態では、かしめ部４４の先端とケース２０との隙間を塞ぐように、かしめ部４４に対して全周に１層目のシール材６０を塗布し、このシール材６０を硬化させた後、２層目のシール材６１を塗布する。このように、シール材６１を塗布する前に、シール材６０を硬化させる。
【００５３】
上記したように、かしめ部４４よりも内側には、ハウジング４０とケース２０との間に空気が存在する。したがって、シール材６０の硬化前に、図５に示すように、かしめ部４４よりも内側の空気がかしめ部４４とケース２０との間の隙間を通じて漏れ出すと、シール材６０に気泡１００が生じる。この気泡１００が、硬化前のシール材６０内を上方に移動してシール材６０の表面に到達すると、シール材６０の表面に気泡１００由来の凹部６０ａが形成される。シール材６０を硬化した状態で、気泡１００由来の凹部６０ａはシール材６０に保持される。
【００５４】
このように、凹部６０ａがシール材６０に保持された状態で、図６に示すように、シール材６０上に２層目のシール材６１を塗布する。したがって、気泡１００がシール材６１内に入り込むことはない。また、凹部６０ａをシール材６１で目隠しをすることができる。よって、液体の浸入を抑制しつつ、外観不良を抑制することができる。
【００５５】
なお、図５及び図６では、気泡１００が上方に移動して凹部６０ａが形成される例を示したが、これに限定されない。たとえば気泡１００がシール材６０を貫通する場合、外観不良となり得る。また、水等の液体が浸入しやすくなる。しかしながら、上記した製造方法によれば、シール材６０の硬化後にシール材６１を塗布するため、液体の浸入を抑制しつつ、外観不良を抑制することができる。シール材６０が気泡１００を内包した状態で硬化すると、気泡１００はシール材６０に保持され、シール材６１に入り込まない。
【００５６】
また、本実施形態では、シール材６０，６１として同じシール材を用いるため、製造工程を簡素化することもできる。
【００５７】
図７は、本実施形態の変形例の効果を示す図である。変形例では、１層目のシール材６０として、２層目のシール材６１よりも、ハウジング４０及びケース２０に対する濡れ性の高いシール材を用いる。たとえば、シール材６１として上記したシリコーン系の室温硬化型接着材を用い、シール材６０としてシール材６１よりも濡れ性の高いシール材を用いる。そして、このようなシール材６０，６１を用いて、上記同様、シール材６０を塗布して硬化させた後、シール材６１を塗布する。
【００５８】
これによれば、シール材６０の濡れ性が高いため、かしめ部４４よりも内側の空気がかしめ部４４とケース２０との間の隙間を通じて漏れ出して、シール材６０に気泡１００が生じても、この気泡１００を図７に矢印で示すように、シール材６０外に逃がすことも可能である。特に硬化の初期に生じた気泡１００については、外に逃がすことができる。
【００５９】
（第２実施形態）
本実施形態は、先行実施形態を参照できる。このため、先行実施形態に示した圧力センサ１０及びその製造方法と共通する部分についての説明は省略する。
【００６０】
本実施形態の圧力センサ１０も、図８に示すように、２層のシール材６２，６３を有している。シール材６２，６３は、耐水性に優れた材料からなる。シール材６２，６３は、硬化前で液状の接着材である。２層目（上層）をなすシール材６３として、１層目（下層）をなすシール材６２よりも、硬化時間の短いシール材を用いている。シール材６２が第３シール材に相当し、シール材６３が第４シール材に相当する。それ以外の点は、先行実施形態に示した圧力センサ１０（図１参照）と同じである。
【００６１】
次に、圧力センサ１０の製造方法について説明する。かしめ部４４の形成までは、先行実施形態に示した方法と同じである。
【００６２】
かしめ部４４の形成後、シール材６２，６３を塗布する。本実施形態では、かしめ部４４の先端とケース２０との隙間を塞ぐように、かしめ部４４に対して全周にシール材６２を塗布するとともに、シール材６２を覆うようにシール材６３を塗布する。たとえば、シール材６２とシール材６３を同時に塗布する。または、シール材６２の塗布に続いて（連続して）シール材６３を塗布する。これにより、２層目のシール材６３の硬化が先に完了し、その後、１層目のシール材６２の硬化が完了する。
【００６３】
このように、本実施形態では、１層目のシール材６２よりも硬化時間の短い２層目のシール材６３を、シール材６２と同時かほぼ同時に塗布する。したがって、シール材６２よりも先にシール材６３が硬化し、硬化したシール材６３によってシール材６２を蓋することとなる。よって、かしめ部４４よりも内側の空気がかしめ部４４とケース２０との間の隙間を通じて漏れ出し、シール材６２に気泡１００が生じても、この気泡１００は、図８に示すようにシール材６２内に閉じ込められる。たとえば気泡１００が上方に移動しても、シール材６３が硬化しているため、気泡１００は、シール材６２におけるシール材６３との界面付近に保持される。したがって、液体の浸入を抑制しつつ、外観不良を抑制することができる。
【００６４】
（第３実施形態）
本実施形態は、先行実施形態を参照できる。このため、先行実施形態に示した圧力センサ１０及びその製造方法と共通する部分についての説明は省略する。
【００６５】
本実施形態の圧力センサ１０は、図９に示すように、かしめ部４４の内側に隣接して設けられ、ケース２０とハウジング４０との間を水密に封止するシール材６４を備えている。シール材６４は、かしめ部４４の後端側とケース２０との間の隙間を塞ぐように、配置されている。シール材６４は硬化前で液状の接着材であり、本実施形態でもシリコーン系の室温硬化型接着材を採用している。それ以外の点は、第１実施形態と同じである。
【００６６】
このような圧力センサ１０は、かしめる前に、シール材６４を塗布する。そして、シール材６４の硬化前に、ハウジング４０をケース２０にかしめて、かしめ部４４を形成する。このとき、液状のシール材６４が、かしめ部４４の後端側とケース２０との間の隙間を塞ぐ。そして、かしめ後に、シール材６４の硬化が完了する。
【００６７】
このように、本実施形態では、かしめ部４４の内側にシール材６４を配置するため、かしめ部４４よりも内側のハウジング４０とケース２０との間の空間が減る分、気泡を抑制することができる。また、シール材６４に気泡が生じたとしても、外から見えない。したがって、液体の浸入を抑制しつつ、外観不良を抑制することができる。
【００６８】
（第４実施形態）
本実施形態は、先行実施形態を参照できる。このため、先行実施形態に示した圧力センサ１０及びその製造方法と共通する部分についての説明は省略する。
【００６９】
本実施形態の圧力センサ１０では、第３実施形態に示した圧力センサ１０（図９参照）に対して、図１０に示すように凹部４５が追加されている。凹部４５は、ハウジング４０において、かしめ部４４がかしめられたケース２０の一面２０ｂとの対向面に形成されている。凹部４５は、かしめ部４４の近傍に形成されている。そして、この凹部４５内に、シール材６４が充填されている。
【００７０】
これによれば、シール材６４よりも内側の空間からシール材６４に空気が入り込んで気泡１００が生じても、気泡１００は上方に移動するため、図１０に示すように凹部４５内にトラップすることができる。したがって、第３実施形態に記載の効果と、凹部４５内に気泡１００をトラップできる効果とにより、液体の浸入を効果的に抑制しつつ、外観不良を抑制することができる。
【００７１】
この明細書の開示は、例示された実施形態に制限されない。開示は、例示された実施形態と、それらに基づく当業者による変形態様を包含する。たとえば、開示は、実施形態において示された要素の組み合わせに限定されない。開示は、多様な組み合わせによって実施可能である。開示される技術的範囲は、実施形態の記載に限定されない。開示されるいくつかの技術的範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものと解されるべきである。
【００７２】
圧力センサ１０の構成は上記例に限定されるものではない。
【００７３】
たとえば、ハウジング４０の突起部４０ｃにメタルダイアフラム４３が溶接される例を示したが、これに限定されない。たとえば押さえ部材であるリングウェルドとともに、メタルダイアフラム４３をハウジング４０に接合してもよい。
【００７４】
圧力検出室５０のオイル５２が封入されていなくてもよい。圧力伝達媒体としては、気体等でも良い。
【００７５】
さらには、圧力センサ１０として、ダイアフラムシールタイプの圧力センサに限定されない。
【００７６】
第３実施形態及び第４実施形態に示した構成に対して、かしめ部４４の外側にさらにシール材を設けてもよい。たとえば図１１に示すその他変形例では、第３実施形態に示した構成に対し、シール材６５をさらに加えた構成となっている。シール材６５は、シール材６４の硬化後に塗布される。したがって、気泡はシール材６４に保持され、シール材６５内に入り込むことはない。よって、液体の浸入を効果的に抑制しつつ、外観不良を抑制することができる。
【００７７】
被測定媒体の例として、自動車エアコンの冷媒配管内の冷媒を示したがこれに限定されない。
【符号の説明】
【００７８】
１０…圧力センサ、２０…ケース、２０ａ…先端面、２０ｂ…一面、２１…凹部、２２…ターミナル、２３…ボンディングワイヤ、２４…シール材、２５…開口部、２６…溝、３０…センサ素子、３１…台座、４０…ハウジング、４０ａ…収容凹部、４０ｂ…一面、４０ｃ…突起部、４１…圧力導入孔、４２…ねじ部、４３…メタルダイアフラム、４４…かしめ部、４５…凹部、５０…圧力検出室、５１…Ｏリング、５２…オイル、６０，６１，６２，６３，６４，６５…シール材、６０ａ…凹部、６０ｂ…貫通孔、１００…気泡
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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