(57)【要約】【課題】ばねによる工具のクランプ力が適正か不足しているかを、簡単且つ安価な構成で工作機械の運転を停止することなく判定可能な主軸装置を提供する。【解決手段】主軸装置１は、ピストン５５の変位を検知する変位検知部としてのアンクランプ端スイッチ４５を備え、圧油供給部７０は、シリンダハウジング４へ供給する圧油を、ピストン５５を皿ばね３３の付勢力に抗してプッシュロッド３０を前方端側へ押圧させる高圧ＰＨと、皿ばね３３の付勢力によるクランプ力の下限値に基づいて定められた低圧ＰＬとの２圧に設定可能な圧設定回路としての２圧制御減圧弁７２を有し、制御部８０は、シリンダハウジング４へ供給する圧油を２圧制御減圧弁７２により低圧ＰＬに設定し、その状態でアンクランプ端スイッチ４５の検知結果に基づいて皿ばね３３の付勢力によるクランプ力が適正か不足かを判定する判定部（Ｓ２、Ｓ３）を有する。【選択図】図３
2019188562.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転自在に支持された主軸と、
前記主軸内に軸方向に沿って移動自在に支持されるプッシュロッドと、
前記プッシュロッドの軸方向の第一端に取り付けられて、前記プッシュロッドが前記主軸に対して軸方向の第二端側へ移動したときは工具を把持するクランプ状態とされ、前記第一端側へ移動したときは工具の把持が解除されたアンクランプ状態とされる把持部材と、
前記プッシュロッドを前記第二端側へ付勢するばねと、
圧油を供給する圧油供給部と、
前記プッシュロッドの前記第二端側にて軸方向に往復移動可能に設けられ、前記第一端側に移動したときは前記プッシュロッドの前記第二端に当接し前記ばねの付勢力に抗して前記プッシュロッドを前記第一端側へ押圧し、前記第二端側に移動したときは前記プッシュロッドと離間するピストンと、
前記ピストンを収容すると共に、前記ピストンが前記第一端側に移動する際に前記圧油供給部から圧油が供給されるアンクランプ室、及び前記ピストンが前記第二端側に移動する際に前記圧油供給部から圧油が供給されるクランプ室を設けてなるシリンダハウジングと、
前記ピストンを軸方向に移動させるために、前記圧油供給部から前記シリンダハウジングへの圧油の供給を制御する制御部と、
を備える主軸装置であって、
前記プッシュロッドの軸方向変位を検知する変位検知部を備え、
前記圧油供給部は、前記シリンダハウジングへ供給する圧油を、前記ピストンを前記ばねの付勢力に抗して前記プッシュロッドを前記第一端側へ押圧させる高圧と、前記ばねの付勢力によるクランプ力の下限値に基づいて定められた低圧との少なくとも２圧に設定可能な圧設定回路を有し、
前記制御部は、前記シリンダハウジングへ供給する圧油を前記圧設定回路により前記低圧に設定し、その状態で前記変位検知部の検知結果に基づいて前記ばねの付勢力によるクランプ力が適正か不足かを判定する判定部を有する、主軸装置。
【請求項２】
前記判定部は、前記シリンダハウジングの前記アンクランプ室へ供給する圧油を前記圧設定回路により前記高圧から前記低圧に切り替え、その結果、前記プッシュロッドに所定の軸方向変位が生じたことが前記変位検知部によって検知された場合に前記クランプ力が適正と判定し、それ以外の場合に前記クランプ力が不足と判定する請求項１に記載の主軸装置。
【請求項３】
前記判定部は、前記制御部により前記アンクランプ状態から前記クランプ状態へ遷移させる制御の過程で、前記シリンダハウジングへ供給する圧油を前記圧設定回路により前記低圧に設定し、その状態で前記変位検知部の検知結果に基づいて前記クランプ力が適正か不足かを判定する、請求項１又は２に記載の主軸装置。
【請求項４】
前記判定部は、前記制御部により前記クランプ状態から前記アンクランプ状態へ遷移させる制御の過程で、前記シリンダハウジングへ供給する圧油を前記圧設定回路により前記低圧に設定し、その状態で前記変位検知部の検知結果に基づいて前記クランプ力が適正か不足かを判定する、請求項１又は２に記載の主軸装置。
【請求項５】
前記変位検知部は、前記プッシュロッドに係合して一体動作する前記ピストンの軸方向変位の検知を通じて、前記プッシュロッドの軸方向変位を検知する請求項１乃至４のいずれか一項に記載の主軸装置。
【請求項６】
前記圧設定回路は、前記高圧を設定するための減圧弁と、前記低圧を設定するためのリリーフ弁と、前記減圧弁と前記リリーフ弁との間に設けられたチェック弁とを有する２圧制御減圧弁である、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の主軸装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主軸装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
マシニングセンタ、ＮＣ専用機等の工作機械における主軸装置は、主軸の先端に装着された工具をクランプ、アンクランプする把持部材と、この把持部材と連係したプッシュロッドと、把持部材をクランプ方向に作動するためにプッシュロッドを付勢する付勢部材であるばねとが挿設され、プッシュロッドの後端にはプッシュロッドを付勢部材に抗して押動するシリンダ部を備えている。
【０００３】
このような工作機械の主軸装置では、把持部材は付勢部材の付勢力により工具をクランプしていることから、この付勢部材の付勢力の低下により工具のクランプ力が低下して工具による加工精度に大きな影響を及ぼすこととなる。即ち、長期の使用により付勢部材の付勢力が低下すると、把持部材が工具を適正にクランプすることができず、主軸による工具のクランプ力が低下し、切削による製品の加工精度が低下するばかりでなく、主軸と工具とのクランプ部でフレッティングなどの表面損傷が発生してしまう。
【０００４】
このような問題に鑑みて、従来、駆動装置によるプッシュロッドの押圧力を検出するロッド押圧力検出手段と、プッシュロッドの変位を検出するロッド変位検出手段と、このプッシュロッドの押圧力とプッシュロッドの変位に基づいて把持部材としてのコレットによる工具のクランプ力を検出する工具クランプ力検出手段と、この工具のクランプ力と予め設定された付勢部材におけるクランプ回数に対するクランプ力から求まる付勢力特性値に基づいて付勢手段の交換時期を判定する交換時期判定手段を設けた主軸装置が提案されている（特許文献１参照。）。この主軸装置によれば、プッシュロッドの押圧力とプッシュロッドの変位を用いることで、コレットによる工具のクランプ力を適正に検出することができ、この工具のクランプ力と付勢部材の付勢力特性値を用いることで、付勢部材の劣化を推定してその交換時期を高精度に判定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４６３８４６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した従来の主軸装置は、プッシュロッドの押圧力を検出するために、圧力センサを設けたり、油圧を徐々に可変できる油圧制御回路を設けたりする必要があり、構成が複雑で高価とならざるを得ないという問題がある。また、付勢部材の劣化を推定するために予め工具のクランプ力と付勢部材の付勢力特性値のデータ取りが必要になるという問題がある。
【０００７】
本発明は、付勢部材としてのばねの付勢力による工具のクランプ力が適正か不足しているかを、簡単且つ安価な構成で工作機械の運転を停止することなく判定可能な主軸装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る主軸装置は、回転自在に支持された主軸と、前記主軸内に軸方向に沿って移動自在に支持されるプッシュロッドと、前記プッシュロッドの軸方向の第一端に取り付けられて、前記プッシュロッドが前記主軸に対して軸方向の第二端側へ移動したときは工具を把持するクランプ状態とされ、前記第一端側へ移動したときは工具の把持が解除されたアンクランプ状態とされる把持部材と、前記プッシュロッドを前記第二端側へ付勢するばねと、圧油を供給する圧油供給部と、前記プッシュロッドの前記第二端側にて軸方向に往復移動可能に設けられ、前記第一端側に移動したときは前記プッシュロッドの前記第二端に当接し前記ばねの付勢力に抗して前記プッシュロッドを前記第一端側へ押圧し、前記第二端側に移動したときは前記プッシュロッドと離間するピストンと、前記ピストンを収容すると共に、前記ピストンが前記第一端側に移動する際に前記圧油供給部から圧油が供給されるアンクランプ室、及び前記ピストンが前記第二端側に移動する際に前記圧油供給部から圧油が供給されるクランプ室を設けてなるシリンダハウジングと、前記ピストンを軸方向に移動させるために、前記圧油供給部から前記シリンダハウジングへの圧油の供給を制御する制御部と、を備える。
【０００９】
さらに、主軸装置は、前記プッシュロッドの軸方向変位を検知する変位検知部を備え、前記圧油供給部は、前記シリンダハウジングへ供給する圧油を、前記ピストンを前記ばねの付勢力に抗して前記プッシュロッドを前記第一端側へ押圧させる高圧と、前記ばねの付勢力によるクランプ力の下限値に基づいて定められた低圧との少なくとも２圧に設定可能な圧設定回路を有し、前記制御部は、前記シリンダハウジングへ供給する圧油を前記圧設定回路により前記低圧に設定し、その状態で前記変位検知部の検知結果に基づいて前記ばねの付勢力によるクランプ力が適正か不足かを判定する判定部を有する。
【００１０】
この構成によれば、ばねの付勢力によるクランプ力が適正か不足しているかを、簡単且つ安価な構成で工作機械の運転を停止することなく判定することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態に係る工作機械の主軸装置の全体構成を示す図である。
【図２】第１実施形態に係る圧油供給部の構成を示す回路図である。
【図３】第１実施形態に係るクランプ力判定処理の流れを示すフローチャートである。
【図４】第１実施形態に係るクランプ力判定処理において、ピストン及びプッシュロッドの動きと軸方向変位検知用の各スイッチとの位置関係を模式的に示す説明図である。
【図５】第２実施形態に係るクランプ力判定処理の流れを示すフローチャートである。
【図６】第２実施形態に係るクランプ力判定処理において、ピストン及びプッシュロッドの動きと軸方向変位検知用の各スイッチとの位置関係を模式的に示す説明図である。
【図７】第３実施形態に係るクランプ力判定処理の流れを示すフローチャートである。
【図８】第３実施形態に係るクランプ力判定処理において、ピストン及びプッシュロッドの動きと軸方向変位検知用の各スイッチとの位置関係を模式的に示す説明図である。
【図９】第４実施形態に係るクランプ力判定処理の流れを示すフローチャートである。
【図１０】第４実施形態に係るクランプ力判定処理において、ピストン及びプッシュロッドの動きと軸方向変位検知用の各スイッチとの位置関係を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を具体化した工作機械の主軸装置の各実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１３】
＜第１実施形態＞
（１．主軸装置１の全体構成）
本実施形態の主軸装置１は、マシニングセンタ等の工作機械に備えられる装置であって、図１に示すように、主軸１０、電動モータ４０及びシリンダ部５０を有する主軸ユニット２と、主軸ユニット２のシリンダ部５０へ圧油を供給する圧油供給部７０と、圧油供給部７０を制御する制御部８０とを備えて構成される。尚、図１では、主軸ユニット２における工具Ｔのアンクランプ状態が上半分に示され、クランプ状態が下半分に示されている。
【００１４】
（２．主軸ユニット２の構成）
主軸ユニット２は、略円筒状の主軸ハウジング３を備え、ロータ４１とステータ４２とを有する電動モータ４０によって回転駆動する主軸１０が、軸受１０Ａ，１０Ｂにより回転自在に支持されている。
【００１５】
主軸１０は、軸線方向に貫通する主軸内孔１０Ｈが形成され、その前端には工具Ｔ取付け用のテーパ部１０Ｔが形成されている。主軸内孔１０Ｈには、テーパ部１０Ｔに装着される工具ＴのプルスタッドＴＰを把持して引き込んだり、把持を解除したりするコレット３２と、コレット３２と連係したプッシュロッド３０とが配設されると共に、複数の皿ばね３３が介装されている。プッシュロッド３０は、一般には「ドローバー」とも称されている部材であり、主軸１０内に軸方向に沿って移動自在に支持される。コレット３２は、プッシュロッド３０の軸方向の前方端（第一端）に取り付けられて、プッシュロッド３０が主軸１０に対して軸方向の後方端（第一端とは反対側の端部である第二端）側へ移動したときは工具Ｔを把持するクランプ状態とされ、前方端側へ移動したときは工具Ｔの把持が解除されたアンクランプ状態とされる。皿ばね３３は、プッシュロッド３０を後方端側（図１右側）へ付勢する。従って、プッシュロッド３０は、皿ばね３３により主軸１０に対して後方端側、すなわちコレット３２をクランプ側へ作動させるように常時付勢されている。
【００１６】
主軸１０の後方には、主軸ハウジング３と一体化されたシリンダハウジング４と、シリンダハウジング４内に軸方向に移動可能に設けられたピストン５５とを有するシリンダ部５０が設けられている。シリンダハウジング４は、ピストン５５を収容すると共に、ピストン５５を挟んで後方側に、ピストン５５が前方端側に移動する際に圧油供給部７０から圧油が供給されるアンクランプ室５２が設けられると共に、ピストン５５を挟んで前方側に、ピストン５５が後方端側に移動する際に圧油供給部７０から圧油が供給されるクランプ室５１が設けられている。クランプ室５１に連通するポート５１Ｐには、圧油供給部７０のクランプ経路Ｙｃが接続され、クランプ室５１への圧油の供給又はクランプ室５１からの圧油の排出が可能となっている。同様に、アンクランプ室５２に連通するポート５２Ｐには、圧油供給部７０のアンクランプ経路Ｙｕが接続され、アンクランプ室５２への圧油の供給又はアンクランプ室５２からの圧油の排出が可能となっている。
【００１７】
ピストン５５は、プッシュロッド３０の後方端側にて軸方向に往復移動可能に設けられ、前方端側に移動したときはプッシュロッド３０の後方端に当接し皿ばね３３の付勢力に抗してプッシュロッド３０を前方端側へ押圧し、後方端側に移動したときはプッシュロッド３０と離間する。ピストン５５の前端部外周には、ピストン位置検出用のドグ５５ｄが突設されている。一方、シリンダハウジング４には、ピストン５５が軸方向に駆動される際のドグ５５ｄの移動範囲に対応して、アンクランプ端スイッチ４５、クランプ正常確認スイッチ４６、及びクランプ端スイッチ４７が、軸線方向前方から後方に向かって順に配置されている。アンクランプ端スイッチ４５、クランプ正常確認スイッチ４６、及びクランプ端スイッチ４７としては、公知の近接スイッチを好適に用いることができる。
【００１８】
より詳細には、アンクランプ端スイッチ４５は、ピストン５５をシリンダハウジング４内の前方端まで前進させた時にドグ５５ｄに近接位置で対向するように配置され、ドグ５５ｄが近接している時に制御部８０へオン信号を出力する。クランプ正常確認スイッチ４６は、ピストン５５をアンクランプ端スイッチ４５がオンする前方端位置から徐々に後退させたときにプッシュロッド３０との係合が解除される位置で、或いは、ピストン５５をクランプ端スイッチ４７がオンする後方端位置から徐々に前進させたときにてプッシュロッド３０との係合が開始される位置で、ドグ５５ｄに近接位置で対向するように配置され、ドグ５５ｄが近接している時に制御部８０へオン信号を出力する。クランプ端スイッチ４７は、ピストン５５をシリンダハウジング４内の移動可能範囲の後方端まで後退させた時に、ドグ５５ｄに近接位置で対向するように配置され、ドグ５５ｄが近接している時に制御部８０へオン信号を出力する。ここで、ピストン５５は、アンクランプ端スイッチ４５がオンする前方端位置とクランプ正常確認スイッチ４６がオンする位置との間を移動するとき、プッシュロッド３０と係合しているため、プッシュロッド３０と一体となって軸方向移動を行う。従って、アンクランプ端スイッチ４５及びクランプ正常確認スイッチ４６は、ピストン５５の軸方向変位を検知すると同時に、プッシュロッド３０の軸方向変位を検知する変位検知部として機能する。
【００１９】
圧油供給部７０のクランプ経路Ｙｃからポート５１Ｐを介してクランプ室５１へ高圧ＰＨの圧油が供給されると、ピストン５５が後方に移動してピストン５５とプッシュロッド３０との係合が解除され、工具Ｔをコレット３２で把持したプッシュロッド３０は皿ばね３３の付勢力により主軸１０に対し後退する。そして、コレット３２は縮径して工具ＴのプルスタッドＴＰを把持し、引き込むことにより、主軸１０のテーパ部１０Ｔに工具Ｔが嵌着されて主軸１０に固定され、クランプ状態となる。
【００２０】
一方、圧油供給部７０のアンクランプ経路Ｙｕからポート５２Ｐを介してアンクランプ室５２へ高圧ＰＨの圧油が供給されると、ピストン５５が前方に移動してピストン５５とプッシュロッド３０とが係合され、プッシュロッド３０は皿ばね３３の付勢力に抗して主軸１０に対し前進する。そして、コレット３２は拡径して工具Ｔの把持を解除し、アンクランプ状態となる。
【００２１】
制御部８０は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、及びＲＯＭ等を有する公知のコンピュータであり、ピストン５５を軸方向に移動させるために、圧油供給部７０の各ソレノイドの通電、非通電を切り換えて、圧油供給部７０からシリンダハウジング４への圧油の供給を制御する。また、制御部８０は、アンクランプ端スイッチ４５、クランプ正常確認スイッチ４６、及びクランプ端スイッチ４７からの信号に基づいて、皿ばね３３の付勢力によるクランプ力が適正か不足かを判定するクランプ力判定処理を実行する。尚、本明細書において、クランプ力が「適正」とは、工作機械に要求される加工精度を確保するために必要なクランプ力を満たすことを意味し、「不足」とは必要なクランプ力を満たしていないことを意味する。また、本明細書では、「皿ばねの付勢力によるクランプ力」を単に「皿ばねによるクランプ力」とも記載する。
【００２２】
（３．圧油供給部７０の構成）
次に、圧油供給部７０の詳細構成について、図２を参照しつつ説明する。圧油供給部７０は、圧油を供給する回路であって、方向切換弁７１と、２圧制御減圧弁７２と、パイロット操作ダブルチェック弁７６とを備えて構成される。
【００２３】
方向切換弁７１は、４個のポートを備えて油路を３通りに切り替え可能な４ポート３位置方向制御弁であって、制御部８０によりソレノイド７１ｃ，７１ｕの通電、非通電を切り替えることによって、３つの接続状態に切り替え可能に構成されている。
【００２４】
すなわち、ソレノイド７１ｃ，７１ｕが共に非通電の時、方向切換弁７１は両側のばねにより中立ポジション７１ｎｐに切り替えられ、ポンプＰに接続される供給経路Ｙｐが閉鎖され、クランプ経路Ｙｃ及びアンクランプ経路Ｙｕと、タンクＲに接続される排出経路Ｙｒとが接続される。ソレノイド７１ｃが通電且つソレノイド７１ｕが非通電の時、方向切換弁７１はクランプポジション７１ｃｐに切り替えられ、供給経路Ｙｐとクランプ経路Ｙｃとが接続されると共に、アンクランプ経路Ｙｕと排出経路Ｙｒとが接続される。ソレノイド７１ｕが通電且つソレノイド７１ｃが非通電の時、方向切換弁７１はアンクランプポジション７１ｕｐに切り替えられ、供給経路Ｙｐとアンクランプ経路Ｙｕとが接続されると共に、クランプ経路Ｙｃと排出経路Ｙｒとが接続される。
【００２５】
２圧制御減圧弁７２は、シリンダハウジング４へ供給する圧油を高圧ＰＨと低圧ＰＬとの２圧に設定可能な圧設定回路を有し、２圧制御が可能な減圧弁である。高圧ＰＨは、ピストン５５を皿ばね３３の付勢力に抗してプッシュロッド３０を前方端側へ押圧させる圧力であり、低圧ＰＬは、皿ばね３３の付勢力によるクランプ力の下限値に基づいて定められた圧力である。２圧制御減圧弁７２は、供給経路Ｙｐ経由でポンプＰから供給される圧油を高圧ＰＨ又は低圧ＰＬに減圧して、方向切換弁７１のＰポートへ供給する。高圧ＰＨは、ピストン５５のプッシュロッド３０に対する押圧力が、皿ばね３３の付勢力の最大値を上回る大きさとなるように設定された圧力値を持っている。高圧ＰＨは、例えば、０．７〜７．０ＭＰａの範囲内で且つ低圧ＰＬよりも大きい値に設定される。一方、低圧ＰＬは、皿ばね３３の付勢力によるクランプ力の下限値に基づいて定められた圧力値を持っている。より具体的には、ピストン５５の押圧力が、工作機械の加工性能を確保するために予め規定されたコレット３２のクランプ力の下限値に対応する皿ばね３３の付勢力と等しくなるように、低圧ＰＬが定められている。低圧ＰＬは、例えば、０．２〜３．５ＭＰａの範囲内で且つ高圧ＰＨよりも小さい値に設定される。例えば、高圧ＰＨを５．５ＭＰａとし、低圧ＰＬを０．７９ＭＰａと設定することができる。このような２圧制御減圧弁７２として、例えば、豊興工業株式会社製の２圧制御減圧弁（ＨＧＤ２Ｈ）を用いることができる。
【００２６】
２圧制御減圧弁７２は、具体的には、減圧弁７３と、チェック弁７４と、リリーフ弁７５とから回路が構成される。減圧弁７３は、バランスピストン形の減圧弁であって、供給経路Ｙｐ中に設けられている。また、減圧弁７３は、アンクランプ経路Ｙｕの油圧がパイロット圧として導入されると共に、ドレンポートがチェック弁７４の入口側に連通している。
【００２７】
チェック弁ソレノイド７４ｓが非通電の時、チェック弁７４が閉鎖されているため、リリーフ弁７５は作動せず、減圧弁７３の二次側圧力は、パイロットスプリング７３ｐｓの押圧力を予め調整することにより設定された高圧ＰＨになる。
【００２８】
一方、チェック弁ソレノイド７４ｓを通電するとチェック弁７４が開放され、減圧弁７３のドレンポートから流れる圧油がチェック弁７４を通過してリリーフ弁７５へ流入する。これにより、リリーフ弁７５が作動して、減圧弁７３の二次側圧力が、パイロットスプリング７５ｐｓの押圧力を予め調整することにより設定された低圧ＰＬになる。
【００２９】
（４．クランプ力判定処理の流れ）
次に、制御部８０において実行されるクランプ力判定処理の流れについて、図３のフローチャート及び図４の説明図を参照しつつ説明する。本実施形態では、アンクランプ状態からクランプ状態へ移行する動作の過程で、皿ばね３３によるクランプ力が適正か不足かを判定する。尚、図４に示すように、ピストン５５のドグ５５ｄがアンクランプ端スイッチ４５に対向する位置とクランプ正常確認スイッチ４６に対向する位置との間では、ピストン５５はプッシュロッド３０と係合するため、ピストン５５とプッシュロッド３０とは軸方向に一体動作する。
【００３０】
図３に示すように、ステップ１（以下、Ｓ１と略記する。他のステップも同様。）に示す初期状態において、方向切換弁７１は、アンクランプポジション７１ｕｐに設定され、供給経路Ｙｐとアンクランプ経路Ｙｕとが接続されると共に、クランプ経路Ｙｃと排出経路Ｙｒとが接続されている。また、２圧制御減圧弁７２の二次側圧力は、高圧ＰＨに設定されている。すなわち、方向切換弁７１のソレノイド７１ｕが通電且つソレノイド７１ｃが非通電とされ、２圧制御減圧弁７２のチェック弁ソレノイド７４ｓが非通電とされる。
【００３１】
従って、初期状態（Ｓ１）では、高圧ＰＨの圧油が、アンクランプ経路Ｙｕを介してポート５２Ｐよりアンクランプ室５２に供給されている。この時、ピストン５５は、皿ばね３３の付勢力に抗してプッシュロッド３０を前方側へ押圧することによりドグ５５ｄが前方端まで前進してアンクランプ端スイッチ４５に近接しているため、アンクランプ端スイッチ４５がオンしている。
【００３２】
次に、２圧制御減圧弁７２の二次側圧力を低圧ＰＬに設定する（Ｓ２）。すなわち、２圧制御減圧弁７２のチェック弁ソレノイド７４ｓに通電する。これにより、低圧ＰＬの圧油が、アンクランプ経路Ｙｕを介してポート５２Ｐよりアンクランプ室５２に供給される。
【００３３】
続いて、アンクランプ端スイッチ４５が直ちにオフしたか否かを検知する（Ｓ３）。アンクランプ端スイッチ４５のオフが検知された場合（Ｓ３：Ｙｅｓ）、皿ばね３３のクランプ力が適正と判定される（Ｓ４）。アンクランプ端スイッチ４５のオフが検知されるのは、図４に示すように、皿ばね３３の付勢力によってプッシュロッド３０が後方へ押圧されてピストン５５が直ちに後退し、ドグ５５ｄがアンクランプ端スイッチ４５から遠ざかったからである。このことは、低圧ＰＬの圧油によるピストン５５の押圧力に対して皿ばね３３の付勢力が上回っている、つまり、クランプ力が適正であることを示している。
【００３４】
そして、クランプ力が適正と判定された場合（Ｓ４）、締め動作を行い（Ｓ５）、本ルーチンを終了する。すなわち、方向切換弁７１において、ソレノイド７１ｃを通電且つソレノイド７１ｕを非通電として、アンクランプポジション７１ｕからクランプポジション７１ｃｐに切り替え、供給経路Ｙｐとクランプ経路Ｙｃとを接続すると共に、アンクランプ経路Ｙｕと排出経路Ｙｒとを接続する。これにより、クランプ経路Ｙｃを介してポート５１Ｐよりクランプ室５１に高圧ＰＨの圧油が供給されて、ピストン５５は油圧によりさらに後方端まで後退し、クランプ端スイッチ４７にドグ５５ｄが近接してオンし、締め動作が完了する（Ｓ５）。
【００３５】
一方、アンクランプ端スイッチ４５が直ちにオフしたことが検知されなかった場合、（Ｓ３：Ｎｏ）、皿ばね３３によるクランプ力が不足と判定される（Ｓ６）。アンクランプ端スイッチ４５のオフが検知されないのは、ピストン５５による前方側への押圧によって、ドグ５５がアンクランプ端スイッチ４５の近接位置に停止する状態が継続しているからである。このことは、低圧ＰＬの圧油によるピストン５５の押圧力に対して皿ばね３３の付勢力が下回っている、つまり、クランプ力が不足していることを示しているからである。
【００３６】
そして、クランプ力が不足と判定された場合（Ｓ６）、締め動作を行うことなく、皿ばね３３の交換が必要である旨を示すランプの点灯やメッセージの画面表示又は音声出力等の警告動作を行い（Ｓ７）、本ルーチンを終了する。作業者は、警告によって皿ばね３３の交換が必要であることを認識し、新品への交換作業等を行う。尚、シリンダハウジング４へ供給する圧油を２圧制御減圧弁７２により低圧ＰＬに設定し、その状態で変位検知部としてのアンクランプ端スイッチ４５の検知結果に基づいて皿ばね３３の付勢力によるクランプ力が適正か不足かを判定するＳ２〜Ｓ３のステップが、本発明の判定部として機能するものである。
【００３７】
（５．まとめ）
本実施形態によれば、主軸装置１は、シリンダハウジング４へ供給する圧油が２圧制御減圧弁７２により低圧ＰＬに設定された状態で、低圧ＰＬの圧油によるピストン５５の押圧力に対して皿ばね３３の付勢力が上回っている場合はアンクランプ端スイッチ４５がオフとなり、クランプ力が適正と判定し、皿ばね３３の付勢力が下回っている場合は、アンクランプ端スイッチ４５がオンとなり、クランプ力が不足と判定する。よって、皿ばね３３の付勢力によるクランプ力が適正か不足かを、簡単且つ安価な構成で工作機械の運転を停止することなく判定することができる。
【００３８】
また、主軸装置１は、高圧ＰＨを設定するための減圧弁７３と、低圧ＰＬを設定するためのリリーフ弁７５と、減圧弁７３とリリーフ弁７５との間に設けられるチェック弁７４とを有し、高圧ＰＨと低圧ＰＬとの２圧を設定可能な２圧設定回路の機能が１台に集約された２圧制御減圧弁７２を用いている。よって、シリンダハウジング４へ供給する圧油を、１台の２圧制御減圧弁７２を用いた簡単な構成で高圧ＰＨと低圧ＰＬとの２圧に制御することができる。
【００３９】
また、主軸装置１は、シリンダハウジング４のアンクランプ室５２へ供給する圧油を２圧制御減圧弁７２により高圧ＰＨから低圧ＰＬに切り替え、その結果、プッシュロッド３０に所定の軸方向変位が生じたことがアンクランプ端スイッチ４５によって検知された場合にクランプ力が適正と判定し、それ以外の場合にクランプ力が不足と判定する。尚、本実施形態において、「所定の軸方向変位」は、アンクランプ端スイッチ４５がオンする位置からオフする位置へプッシュロッド３０が軸方向に変位することである。よって、皿ばね３３の付勢力によるクランプ力が適正か不足かを、アンクランプ室５２への低圧ＰＬの圧油の供給によってプッシュロッド３０に所定の軸方向変位が生じたか否かに基づいて、確実に判定することができる。
【００４０】
また、主軸装置１は、制御部８０によりアンクランプ状態からクランプ状態へ遷移させる制御の過程で、シリンダハウジング４へ供給する圧油を２圧制御減圧弁７２により低圧ＰＬに設定し、その状態でアンクランプ端スイッチ４５の検知結果に基づいて皿ばね３３によるクランプ力が適正か不足かを判定する。よって、アンクランプ状態からクランプ状態へ遷移させる制御の過程で、圧油を高圧ＰＨから低圧ＰＬに切り替えてクランプ力の判定を効率的に行うことができる。そして、クランプ力が適正と判定された場合（Ｓ４）、方向切換弁７１をクランプポジション７１ｃｐとし且つ２圧制御減圧弁７２を高圧ＰＨとする締め動作を引き続き実施することができるので、工作機械における一連の工具交換動作を円滑に行うことができる。
【００４１】
特に、皿ばね３３の交換が不要な通常の使用場面において、圧油を低圧ＰＬに切り替えた直後にピストン５５と共にプッシュロッド３０が動いてアンクランプ端スイッチ４５がオフするので、クランプ力が適正であることを瞬時に判定し、速やかに締め動作を開始することができ、クランプ力判定による動作時間の増大が殆ど生じない。
【００４２】
また、本実施形態では、変位検知部としてのアンクランプ端スイッチ４５は、プッシュロッド３０に係合して一体動作するピストン５５の軸方向変位の検知を通じて、プッシュロッド３０の軸方向変位を検知する。よって、従来の主軸装置に設けられる既存の近接スイッチであるアンクランプ端スイッチ４５を利用するので、簡単且つ安価な構成とすることができる。
【００４３】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について、図５及び図６を参照しつつ説明する。尚、第２〜第４実施形態において、主軸装置１の全体構成、主軸ユニット２の構成、及び圧油供給部７０の構成は、上記第１実施形態と同様であるのでこれらについての説明を省略し、クランプ力判定処理の流れについてのみ説明する。また、上記第１実施形態と同一部材には同一符号を付し、それらについての詳細な説明を省略する。
【００４４】
本実施形態は、アンクランプ状態からクランプ状態へ遷移させる制御の過程で皿ばね３３によるクランプ力が適正か不足かを判定する点で第１実施形態と共通する一方、第１実施形態ではクランプ力の判定のためにアンクランプ端スイッチ４５を用いるのに対し、本実施形態ではクランプ正常確認スイッチ４６を用いる点が異なっている。
【００４５】
図５に示すように、方向切換弁７１は、初期状態において、アンクランプポジション７１ｕｐに設定され、２圧制御減圧弁７２の二次側圧力は、高圧ＰＨに設定されている（Ｓ１１）。従って、初期状態では、高圧ＰＨの圧油が、アンクランプ経路Ｙｕを介してポート５２Ｐよりアンクランプ室５２に供給されている。この時、ピストン５５は、皿ばね３３のばね力に抗してプッシュロッド３０を前方側へ押圧することによりドグ５５ｄが前進してアンクランプ端スイッチ４５に近接しているため、アンクランプ端スイッチ４５がオンしている。
【００４６】
次に、２圧制御減圧弁７２の二次側圧力を、高圧ＰＨから低圧ＰＬに切り替える（Ｓ１２）。これにより、低圧ＰＬの圧油が、アンクランプ経路Ｙｕを介してポート５２Ｐよりアンクランプ室５２に供給される。
【００４７】
続いて、クランプ正常確認スイッチ４６が所定時間後にオンしたか否かを検知する（Ｓ１３）。所定時間後にクランプ正常確認スイッチ４６のオンが検知された場合（Ｓ１３：Ｙｅｓ）、皿ばね３３のクランプ力が適正と判定される（Ｓ１４）。ここで、クランプ正常確認スイッチ４６のオンが検知されるのは、皿ばね３３の付勢力によってプッシュロッド３０が後方へ押圧されて所定時間後にプッシュロッド３０と共にピストン５５が後退して、ドグ５５ｄがクランプ正常確認スイッチ４６の近接位置へ到達したからである。このことは、低圧ＰＬの圧油によるピストン５５の押圧力に対して皿ばね３３の付勢力が上回っている、つまり、クランプ力が適正であることを示している。
【００４８】
そして、クランプ力が適正と判定された場合（Ｓ１４）、締め動作を行い（Ｓ１５）、本ルーチンを終了する。すなわち、方向切換弁７１において、ソレノイド７１ｃを通電且つソレノイド７１ｕを非通電として、アンクランプポジション７１ｕからクランプポジション７１ｃｐに切り替え、供給経路Ｙｐとクランプ経路Ｙｃとを接続すると共に、アンクランプ経路Ｙｕと排出経路Ｙｒとを接続する。これにより、クランプ経路Ｙｃを介してポート５１Ｐよりクランプ室５１に圧油が供給されると、ピストン５５は油圧によってさらに後方端まで後退して、クランプ端スイッチ４７にドグ５５ｄが近接してオンし、締め動作が完了する（Ｓ１５）。
【００４９】
一方、クランプ正常確認スイッチ４６が所定時間後にオンしたことが検知されなかった場合（Ｓ１３：Ｎｏ）、皿ばね３３の付勢力によるクランプ力が不足していると判定される（Ｓ１６）。ここで、クランプ正常確認スイッチ４６のオンが検知されないのは、低圧ＰＬの圧油のアンクランプ室５２への供給によるピストン５５の前方側への押圧によって、皿ばね３３により付勢されるプッシュロッド３０及びピストン５５の後退が妨げられているからである。このことは、低圧ＰＬの圧油によるピストン５５の押圧力に対して皿ばね３３の付勢力が下回っている、つまり、クランプ力が不足していることを示している。
【００５０】
そして、クランプ力が不足と判定された場合（Ｓ１６）、締め動作を行うことなく、皿ばね３３の交換が必要である旨を示すランプの点灯やメッセージの画面表示又は音声出力等の警告動作を行い（Ｓ１７）、本ルーチンを終了する。
【００５１】
本実施形態によれば、アンクランプ状態からクランプ状態へ遷移させる制御の過程で、圧油を高圧ＰＨから低圧ＰＬに切り替えた後、クランプ正常確認スイッチ４６からの信号を検知することにより、クランプ力が適正か不足かを確実に判定することができる。特に、クランプ正常確認スイッチ４６のオンの検知により、皿ばね３３のクランプ力が適正であることの判定に加えて、皿ばね３３の付勢力によって工具Ｔのクランプが正常に行われたことも同時に確認できるので、直ちに締め動作を開始することができる。
【００５２】
また、本実施形態では、変位検知部としてのクランプ正常確認スイッチ４６は、プッシュロッド３０に係合して一体動作するピストン５５の軸方向変位の検知を通じて、プッシュロッド３０の軸方向変位を検知する。よって、従来の主軸装置に設けられる既存の近接スイッチであるクランプ正常確認スイッチ４６を利用するので、簡単且つ安価な構成とすることができる。その他、本実施形態は、上記第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００５３】
＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態におけるクランプ力判定処理の流れについて、図７及び図８を参照しつつ説明する。
【００５４】
上述した第１、第２実施形態では、アンクランプ状態からクランプ状態へ遷移させる制御の過程で皿ばね３３によるクランプ力が適正か不足かを判定するようにしたが、本実施形態では、クランプ状態からアンクランプ状態へ遷移させる制御の過程で皿ばね３３によるクランプ力が適正か不足かを判定する。
【００５５】
図７に示すように、Ｓ２１に示す初期状態において、方向切換弁７１は、クランプポジション７１ｃｐに設定され、供給経路Ｙｐとクランプ経路Ｙｃとが接続されると共に、アンクランプ経路Ｙｕと排出経路Ｙｒとが接続されている。また、２圧制御減圧弁７２の二次側圧力は、高圧ＰＨに設定されている。すなわち、方向切換弁７１のソレノイド７１ｃが通電且つソレノイド７１ｕが非通電とされ、２圧制御減圧弁７２のチェック弁ソレノイド７４ｓが非通電とされる。
【００５６】
従って、初期状態（Ｓ２１）では、高圧ＰＨの圧油が、クランプ経路Ｙｃを介してポート５１Ｐよりクランプ室５１に供給されている。この時、ピストン５５は、油圧で後退してクランプ端スイッチ４７にドグ５５ｄが近接しているため、クランプ端スイッチ４７がオンしている（図８参照）。
【００５７】
次に、２圧制御減圧弁７２の二次側圧力を低圧ＰＬに設定すると共に、方向切換弁７１を、クランプポジション７１ｃｐからアンクランプポジション７１ｕｐに切り替える（Ｓ２２）。すなわち、２圧制御減圧弁７２のチェック弁ソレノイド７４ｓに通電すると共に、方向切換弁７１のソレノイド７１ｕを通電且つソレノイド７１ｃを非通電とする。これにより、低圧ＰＬの圧油が、アンクランプ経路Ｙｕを介してポート５２Ｐよりアンクランプ室５２に供給される。
【００５８】
続いて、クランプ正常確認スイッチ４６が直ちにオンしたか否かを検知する（Ｓ２３）。クランプ正常確認スイッチ４６のオンが検知された場合（Ｓ２３：Ｙｅｓ）、皿ばね３３のクランプ力が適正と判定される（Ｓ２４）。ここで、クランプ正常確認スイッチ４６のオンが検知されるのは、低圧ＰＬの圧油のアンクランプ室５２への供給による前方側への押圧によってピストン５５がクランプ正常確認スイッチ４６の近接位置まで前進した後、皿ばね３３の付勢力によって前方への移動が阻止されてプッシュロッド３０と共に当該位置で停止しているからである（図８参照）。このことは、低圧ＰＬの圧油によるピストン５５の押圧力に対して皿ばね３３の付勢力が上回っている、つまり、クランプ力が適正であることを示している。
【００５９】
そして、クランプ力が適正と判定された場合（Ｓ２４）、緩め動作を行い（Ｓ２５）、本ルーチンを終了する。すなわち、２圧制御減圧弁７２のチェック弁ソレノイド７４ｓを非通電とする。これにより、高圧ＰＨの圧油が、アンクランプ経路Ｙｕを介してポート５２Ｐよりアンクランプ室５２に供給され、ピストン５５が皿ばね３３の付勢力に抗してプッシュロッド３０を前方へ押圧する。そして、プッシュロッド３０が前方端まで前進してアンクランプ状態となり、アンクランプ端スイッチ４５にドグ５５ｄが近接してオンし、緩め動作が完了する（Ｓ２５）。
【００６０】
一方、クランプ正常確認スイッチ４６のオンが検知されなかった場合（Ｓ２３：Ｎｏ）、皿ばね３３によるクランプ力が不足していると判定される（Ｓ２６）。ここで、クランプ正常確認スイッチ４６のオンが検知されないのは、低圧ＰＬの圧油のアンクランプ室５２への供給による前方側への押圧によってピストン５５がクランプ正常確認スイッチ４６の近接位置まで前進した後、皿ばね３３の付勢力に抗してプッシュロッド３０と共にさらに前方へ移動するからである（図８参照）。このことは、低圧ＰＬの圧油によるピストン５５の押圧力に対して皿ばね３３の付勢力が下回っている、つまり、クランプ力が不足していることを示しているからである。
【００６１】
そして、クランプ力が不足と判定された場合（Ｓ２６）、緩め動作を行うことなく、皿ばね３３の交換が必要である旨を示すランプの点灯やメッセージの画面表示又は音声出力等の警告動作を行い（Ｓ２７）、本ルーチンを終了する。
【００６２】
本実施形態によれば、制御部８０によりクランプ状態からアンクランプ状態へ遷移させる制御の過程で、シリンダハウジング４へ供給する圧油を２圧制御減圧弁７２により低圧ＰＬに設定し、その状態で変位検知部としてのクランプ正常確認スイッチ４６の検知結果に基づいて皿ばね３３によるクランプ力が適正か不足かを判定することができる。
【００６３】
よって、クランプ状態からアンクランプ状態へ遷移させる制御の過程で、圧油を高圧ＰＨから低圧ＰＬに切り替えてクランプ力の判定を効率的に行うことができる。そして、クランプ力が適正と判定された場合（Ｓ２５）、２圧制御減圧弁７２を高圧ＰＨとする緩め動作（Ｓ２６）を引き続き行うことができるので、工作機械における一連の工具交換動作を円滑に行うことができる。
【００６４】
特に、皿ばね３３の交換が不要な通常の使用場面において、圧油を低圧ＰＬに切り替えた直後にピストン５５が前進してプッシュロッド３０に当接して停止し、クランプ正常確認スイッチ４６がオンするので、クランプ力が適正であることを瞬時に判定し、速やかに緩め動作を開始することができる。その他、本実施形態は、上記第１、第２実施形態と同様の効果を奏する。
【００６５】
＜第４実施形態＞
次に、第４実施形態におけるクランプ力判定処理の流れについて、図９及び図１０を参照しつつ説明する。
【００６６】
本実施形態は、クランプ状態からアンクランプ状態へ遷移させる制御の過程で皿ばね３３によるクランプ力が適正か不足かを判定する点で第３実施形態と共通する一方、第３実施形態ではクランプ力の判定のためにクランプ正常確認スイッチ４６を用いるのに対し、本実施形態ではアンクランプ端スイッチ４５を用いる点が異なっている。
【００６７】
図９に示すように、Ｓ３１に示す初期状態において、方向切換弁７１は、クランプポジション７１ｃｐに設定され、２圧制御減圧弁７２の二次側圧力は、高圧ＰＨに設定されている。
【００６８】
従って、初期状態（Ｓ３１）では、高圧ＰＨの圧油がクランプ経路Ｙｃを介してポート５１Ｐよりクランプ室５１に供給されている。この時、ピストン５５は、油圧で後退してクランプ端スイッチ４７にドグ５５ｄが近接しているため、クランプ端スイッチ４７がオンしている（図１０参照）。
【００６９】
次に、２圧制御減圧弁７２の二次側圧力を低圧ＰＬに設定すると共に、方向切換弁７１を、クランプポジション７１ｃｐからアンクランプポジション７１ｕｐに切り替える（Ｓ３２）。これにより、低圧ＰＬの圧油が、アンクランプ経路Ｙｕを介してポート５２Ｐよりアンクランプ室５２に供給される。
【００７０】
続いて、アンクランプ端スイッチ４５が所定時間後にオンしたか否かを検知する（Ｓ３３）。アンクランプ端スイッチ４５のオンが検知されなかった場合（Ｓ３３：Ｎｏ）、皿ばね３３のクランプ力が適正と判定される（Ｓ３４）。ここで、アンクランプ端スイッチ４５のオンが検知されないのは、低圧ＰＬの圧油のアンクランプ室５２への供給による前方側への押圧によってピストン５５がクランプ正常確認スイッチ４６の近接位置まで前進した後、皿ばね３３の付勢力によってさらに前方への移動が阻止されてプッシュロッド３０と共に当該位置で停止しているからである（図１０参照）。このことは、低圧ＰＬの圧油によるピストン５５の押圧力に対して皿ばね３３の付勢力が上回っている、つまり、クランプ力が適正であることを示している。
【００７１】
そして、クランプ力が適正と判定された場合（Ｓ３４）、緩め動作を行い（Ｓ３５）、本ルーチンを終了する。すなわち、２圧制御減圧弁７２のチェック弁ソレノイド７４ｓを非通電とする。これにより、高圧ＰＨの圧油が、アンクランプ経路Ｙｕを介してポート５２Ｐよりアンクランプ室５２に供給され、ピストン５５が皿ばね３３の付勢力に抗して前方へ押圧する。そして、プッシュロッド３０が前方端まで前進してアンクランプ状態となり、アンクランプ端スイッチ４５にドグ５５が近接してオンし、緩め動作が完了する（Ｓ３５）。
【００７２】
一方、アンクランプ端スイッチ４５のオンが所定時間後に検知された場合（Ｓ３３：Ｙｅｓ）、皿ばね３３によるクランプ力が不足していると判定される（Ｓ３６）。ここで、アンクランプ端スイッチ４５のオンが検知されるのは、低圧ＰＬの圧油のアンクランプ室５２への供給による前方側への押圧によってピストン５５がクランプ正常確認スイッチ４６の近接位置まで前進し、さらに皿ばね３３の付勢力に抗してアンクランプ端スイッチ４５の近接位置まで前進するからである（図１０参照）。このことは、低圧ＰＬの圧油によるピストン５５の押圧力に対して皿ばね３３の付勢力が下回っている、つまり、クランプ力が不足していることを示している。
【００７３】
そして、クランプ力が不足と判定された場合（Ｓ３６）、緩め動作を行うことなく、皿ばね３３の交換が必要である旨を示すランプの点灯やメッセージの画面表示又は音声出力等の警告動作を行い（Ｓ３７）、本ルーチンを終了する。
【００７４】
本実施形態によれば、クランプ状態からアンクランプ状態へ遷移させる制御の過程で、圧油を高圧ＰＨから低圧ＰＬへ切り替え後に、アンクランプ端スイッチ４５からの信号を検知することにより、クランプ力が適正か不足かを確実に判定することができる。その他、本実施形態は、上記第１〜第３実施形態と同様の効果を奏する。
【００７５】
＜変形例＞
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々に変更を施すことが可能である。例えば、上記各実施形態では、圧設定回路として２圧制御減圧弁７２を用いた例を示したが、これには限られない。例えば、圧設定回路は、２個の減圧弁と１個の電磁切換弁とを用いて構成してもよいし、１個の減圧弁と１個のパイロットリリーフ弁と電磁切換弁とを用いて構成してもよい。また、本発明の圧設定回路は、高圧ＰＨと低圧ＰＬとの少なくとも２圧に設定可能な回路であればよく、例えば、本発明とは別の目的等のために、高圧ＰＨ及び低圧ＰＬに加えて、これらとは異なる１以上の所定圧をも設定できる３圧以上に設定可能な回路を用いてもよい。
【００７６】
また、上記各実施形態では、プッシュロッド３０を付勢する部材として皿ばね３３を用いた例を示したが、これには限られない。皿ばね３３に代えて、例えば、コイルばねを用いる構成としてもよい。
【００７７】
また、上記各実施形態では、工具Ｔを把持する部材として、コレット３２を用いた例を示したが、これには限られず、プッシュロッド３０を軸方向に移動させることにより工具の把持とその解除を行える把持部材であればよい。
【００７８】
また、上記各実施形態では、工具ＴとしてプルスタッドＴＰを有するＢＴ型の工具を示したが、これには限られず、例えば、ＨＳＫ型であってもよくＫＭ型であってもよい。
【００７９】
また、上記各実施形態では、プッシュロッド３０とピストン５５とが係合して一体動作する間、ピストン５５のドグ５５ｄの近接をアンクランプ端スイッチ４５及びクランプ正常確認スイッチ４６で検知することによりプッシュロッド３０の軸方向変位を検知する構成とした例を示したが、これには限られず、プッシュロッド３０の後方端等の特定部位を近接スイッチにより直接検知する構成としてもよい。
【００８０】
また、上記各実施形態において、皿ばね３３によるクランプ力が適正か不足かをアンクランプ端スイッチ４５やクランプ正常確認スイッチ４６の検知結果を用いて判定する例を示したが、これらには限られず、プッシュロッド３０の軸方向移動を直接的又は間接的に検知する近接スイッチ等の配置態様によって如何なる変形も可能である。要するにシリンダハウジング４のアンクランプ室５２へ供給する圧油を２圧制御減圧弁７２により高圧ＰＨから低圧ＰＬに切り替え、その結果、プッシュロッド３０に所定の軸方向変位が生じたこと（無変位を含む）が近接スイッチ等からなる変位検知部によって検知された場合にクランプ力が適正と判定し、それ以外の場合にクランプ力が不足と判定するように構成すればよい。
【符号の説明】
【００８１】
１…主軸装置、４…シリンダハウジング、１０…主軸、３０…プッシュロッド、３２…コレット（把持部材）、３３…皿ばね（ばね）、４５…アンクランプ端スイッチ（変位検知部）、４６…クランプ正常確認スイッチ（変位検知部）、５１…クランプ室、５２…アンクランプ室、５５…ピストン、７０…圧油供給部、７２…２圧制御減圧弁（圧設定回路）、７３…減圧弁、７４…チェック弁、７５…リリーフ弁、８０…制御部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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