(57)【要約】      （修正有）【課題】無線モジュールの試験を容易に行える試験装置、試験システム、および試験方法を提供する。【解決手段】試験装置１は、収容空間１２３、第１の開口１２５および第２の開口１２６を決める試験ソケット１２と、収容空間１２３に配置されており、互いに平行せず傾斜面であり伝送空間１４４を決める複数の反射面１４３を有し、第１の開口１４５と、第１の開口１４５に反対する第２の開口１４６を決める反射体１４から構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
収容空間を決める試験ソケットと、
前記収容空間に配置されており、互いに平行しない複数の反射面を有する反射体と、を含み、
前記反射面は伝送空間を決めることを特徴とする試験装置。
【請求項２】
前記反射体は、第１の開口と、第１の開口に反対する第２の開口を決め、前記第１の開口の幅が前記第２の開口の幅と異なる、請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記第１の開口の幅が前記第２の開口の幅より大きい、請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記反射体の前記伝送空間に配置され、受入空間を決める装置ホルダーをさらに含む、
請求項１に記載の試験装置。
【請求項５】
前記装置ホルダーは、前記受入空間を決める受入部と、前記受入部から前記試験ソケットの上面に延びる延長部を含む、請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
前記受入部は、上部開口、下部開口および少なくとも１つの側面開口を決め、前記装置ホルダーの前記受入部により決められる前記受入空間は、前記下部開口と前記側面開口を介して前記反射体の前記伝送空間と連通する、請求項５に記載の試験装置。
【請求項７】
前記装置ホルダーは、前記反射体の前記反射面と接触する複数の外面を有する、請求項４に記載の試験装置。
【請求項８】
第１の開口と、第１の開口に反対する第２の開口を決め、前記第１の開口と前記第２の開口の間に伝送空間を決める複数の反射面を有する試験固定具と、
前記伝送空間に配置され、上部開口を決め、少なくとも１つの第１の信号伝送部および第２の信号伝送部を含む装置ホルダーと、を備える試験装置において、前記装置ホルダーの前記上部開口は、前記試験固定具の前記第１の開口に対応し、前記第１の信号伝送部および前記第２の信号伝送部は受入空間を決め、前記第２の信号伝送部は、前記上部開口に反対することを特徴とする試験装置。
【請求項９】
前記装置ホルダーは、前記試験固定具の前記反射面と接触する複数の外面をさらに含む、請求項８に記載の試験装置。
【請求項１０】
前記装置ホルダーは、前記第１の信号伝送部から前記試験固定具の上面に延びる少なくとも１つの延長部をさらに含む、請求項８に記載の試験装置。
【請求項１１】
前記第１の信号伝送部は側面開口を決め、前記第２の信号伝送部は下部開口を決め、前記装置ホルダーの前記受入空間は、前記下部開口と前記側面開口を介して前記伝送空間に連通する、請求項８に記載の試験装置。
【請求項１２】
前記試験固定具は、
前記第１の開口、前記第１の開口に反対する前記第２の開口、および前記第１の開口と前記第２の開口の間の収容空間を決める試験ソケットと、
前記伝送空間を決める前記反射面を有し、前記収容空間に配置される反射体と、を含む、請求項８に記載の試験装置。
【請求項１３】
第１の開口、前記第１の開口に反対する第２の開口、および前記第１の開口と前記第２の開口の間の収容空間を決める試験ソケットと、
前記収容空間に配置され、複数の反射面を有する反射体と、
前記収容空間に配置され、被試験体（ＤＵＴ）を収容する受入空間を決め、少なくとも１つの第１の信号伝送部および第２の信号伝送部を含む装置ホルダーと、を含む試験装置と、
前記試験ソケットの前記第１の開口の上に配置され、前記ＤＵＴに電気的に接続されるように構成される回路板と、
前記試験ソケットの前記第２の開口の下に配置され、前記回路板に電気的に接続され、前記試験ソケットの前記第２の開口に対応する試験アンテナを有するテスターと、を備える試験システム。
【請求項１４】
前記装置ホルダーは、前記反射体の前記反射面と接触する複数の外面をさらに含む、請求項１３に記載の試験システム。
【請求項１５】
前記装置ホルダーは、前記第１の信号伝送部から前記試験ソケットの上面に延びる延長部をさらに含み、一部の前記延長部は、前記試験ソケットと前記回路板の間に配置される、請求項１３に記載の試験システム。
【請求項１６】
前記第１の信号伝送部は側面開口を決め、前記第２の信号伝送部は下部開口を決め、前記装置ホルダーの前記受入空間は、前記下部開口および前記側面開口を介して前記反射体の伝送空間に連通する、請求項１３に記載の試験システム。
【請求項１７】
前記反射体は、第１の開口と、前記第１の開口に反対する第２の開口を決め、前記反射体の前記第１の開口の幅は、前記反射体の前記第２の開口の幅と異なる、請求項１３に記載の試験システム。
【請求項１８】
（ａ）試験板と、第１の表面、前記第１の表面に反対する第２の表面、および前記第１の表面と隣接して配置される複数の電気接点を含むＤＵＴとを提供することと、
（ｂ）前記ＤＵＴの前記電気接点が前記試験板に電気的に接続されるように、前記ＤＵＴの前記第１の表面を吸引することを含む、試験方法。
【請求項１９】
（ｃ）試験ソケットに前記試験板を配置することをさらに含む、請求項１８に記載の試験方法。
【請求項２０】
（ｃ）において、前記ＤＵＴは、前記試験ソケットに配置される装置ホルダーに配置され、前記装置ホルダーは、前記ＤＵＴの前記第１の表面と前記ＤＵＴの少なくとも１つの側面を収容する、請求項１９に記載の試験方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【０００１】
本出願は、米国仮特許出願第６２/５９１，６７４号（出願日：２０１７年１１月２８日）を基礎出願とする優先権を享受する。本出願はこの基礎出願を参照することによって基礎出願の全ての内容を含む。
【技術分野】
【０００２】
本発明は、試験装置、試験システム、および試験方法に関し、非接触技術を使用して無線モジュールを試験する試験装置、試験システム、および試験方法に関する.
【背景技術】
【０００３】
無線モジュール（例えば、ミリ波ＲＦの無線モジュール）はオーバー・ジ・エア（ＯＴＡ）で試験される。このような試験は、複数の吸収体が配置されている（例えば、その内面に）試験室（または試験チャンバー）に行われてもよい。このような試験室（または試験チャンバー）は大きくなる可能性がある。例えば、そのサイズは、６メートル（ｍ）＊６ｍ＊６ｍ、あるいは６０センチメートル（ｃｍ）＊６０ｃｍ＊６０ｃｍであり得る。また、このような試験はかなり時間がかかる。したがって、このような試験は、大量生産工程の部分として試験装置に適さない。
【発明の概要】
【０００４】
１つの態様によれば、いくつかの実施形態において、試験装置は、試験ソケットおよび反射体を含む。試験ソケットは収容空間を決める。反射体は、収容空間に配置され、互いに平行しない複数の反射面を有する。それらの反射面は伝送空間を決める。
【０００５】
他の態様によれば、いくつかの実施形態において、試験装置は、試験固定具および装置ホルダーを含む。試験固定具は、第１の開口と、第１の開口に反対する第２の開口を決め、複数の反射面を有する。それらの反射面は、第１の開口と第２の開口の間に伝送空間を決める。装置ホルダーは、伝送空間に配置され、上部開口を決める。装置ホルダーは、少なくとも１つの第１の信号伝送部および第２の信号伝送部を含む。装置ホルダーの上部開口は、試験固定具の第１の開口に対応する。第１の信号伝送部と第２の信号伝送部は、受入空間を決めており、第２の信号伝送部は、上部開口に反対する。
【０００６】
他の態様によれば、いくつかの実施形態において、試験システムは、試験装置、回路板およびテスターを含む。試験装置は、試験ソケット、反射体および装置ホルダーを含む。試験ソケットは、第１の開口、第１の開口に反対する第２の開口、および第１の開口と第２の開口の間の収容空間を決める。反射体は、収容空間に配置され、複数の反射面を有する。装置ホルダーは、収容空間に配置され、被試験体（ＤＵＴ）を収容する受入空間を決める。装置ホルダーは、少なくとも１つの第１の信号伝送部および第２の信号伝送部を含む。回路板は、試験ソケットの第１の開口の上に配置され、ＤＵＴに電気的に接続されている。テスターは、試験ソケットの第２の開口の下に配置され、回路板に電気的に接続されている。テスターは、試験ソケットの第２の開口に対応する試験アンテナを含む。
【０００７】
他の態様によれば、いくつかの実施形態において、試験方法は、（ａ）試験板と、第１の表面、第１の表面に反対する第２の表面、および第１の表面と隣接して配置される複数の電気接点を含むＤＵＴとを提供することと、（ｂ）ＤＵＴの電気接点が試験板に電気的に接続されるように、ＤＵＴの第１の表面を吸引すること、を含む。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明のいくつかの実施形態の態様は、添付図面を参照しながら以下の詳細な説明から理解されやすい。様々な構造は縮尺に合わして引かなくてもよく、それらの様々な構造の寸法は、説明の明確さのために、任意に増加または減少されてもよいことが理解される。
【０００９】
【図１】図１は、本発明のいくつかの実施形態による試験装置の断面図を示す。
【００１０】
【図２】図２は、図１に示す試験装置の上面図を示す。
【００１１】
【図３】図３は、図１における試験装置の装置ホルダーの断面図を示す。
【００１２】
【図４】図４は、図３に示す装置ホルダーの斜視図を示す。
【００１３】
【図５】図５は、本発明のいくつかの実施形態による装置ホルダーの断面図を示す。
【００１４】
【図６】図６は、図５に示す装置ホルダーの斜視図を示す。
【００１５】
【図７】図７は、図１における試験装置の試験ソケットの斜視図を示す。
【００１６】
【図８】図８は、図１における試験装置の反射体の斜視図を示す。
【００１７】
【図９】図９は、図１における試験装置の試験固定具の斜視図を示す。
【００１８】
【図１０】図１０は、本発明のいくつかの実施形態による試験固定具の断面図を示す。
【００１９】
【図１１】図１１は、本発明のいくつかの実施形態による試験固定具の断面図を示す。
【００２０】
【図１２】図１２は、本発明のいくつかの実施形態による試験固定具の断面図を示す。
【００２１】
【図１３】図１３は、本発明のいくつかの実施形態による試験固定具の断面図を示す。
【００２２】
【図１４】図１４は、本発明のいくつかの実施形態による試験装置の断面図を示す。
【００２３】
【図１５】図１５は、図１４に示す試験装置の上面図を示す。
【００２４】
【図１６】図１６は、図１４および図１５に示す装置ホルダーの斜視図を示す。
【００２５】
【図１７】図１７は、本発明のいくつかの実施形態による試験装置の断面図を示す。
【００２６】
【図１８】図１８は、図１７に示す試験装置の上面図を示す。
【００２７】
【図１９】図１９は、図１７および図１８に示す装置ホルダーの斜視図を示す。
【００２８】
【図２０】図２０は、本発明のいくつかの実施形態による試験システムの断面図を示す。
【００２９】
【図２１】図２１は、本発明のいくつかの実施形態による試験方法の例の１つ以上のステージを示す。
【００３０】
【図２２】図２２は、本発明のいくつかの実施形態による試験方法の例の１つ以上のステージを示す。
【００３１】
【図２３】図２３は、図２２に示す試験方法の１つ以上のステージの上面図を示す。
【００３２】
【図２４】図２４は、本発明のいくつかの実施形態による試験方法の例の１つ以上のステージを示す。
【００３３】
【図２５】図２５は、本発明のいくつかの実施形態による試験システムにおける放射経路を示す。
【００３４】
【図２６】図２６は、本発明のいくつかの実施形態による試験システムにおける放射経路を示す。
【００３５】
【図２７】図２７は、本発明のいくつかの実施形態による試験システムの様々な寸法を示す。
【００３６】
【図２８】図２８は、本発明のいくつかの実施形態による試験システムの概略図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
図面と詳細な説明に用いられる共通の参照符号は、同じまたは同様の部材を示す。本発明は、添付図面と併用される以下の詳細な説明から理解されやすい。
【００３８】
以下の発明は、多くの異なる実施形態または例を提供して、指定される対象の異なる特徴を実現する。以下、本発明のある態様を明らかにするために、具体的な部材および配置の例を説明する。これらは、当然に、あくまでも例示であり、発明の範囲を限定することは意図していない。例えば、ここに提供される説明における第２の特徴の上方またはその上の第１の特徴の形成は、第１と第２の特徴を直接接触で形成または配置する実施形態を含んでもよいし、第１のと第２の特徴が直接接触しないように、付加的な特徴を第１と第２の特徴の間に形成または配置する実施形態を含んでもよい。また、本発明は、ここに提供される様々な例において参照符号および／または文字を重複することがある。この重複は、説明を簡素化し明確にするために行われ、その自身が説明される様々な実施形態および／または構成の間の関係を指示することがない。
【００３９】
比較試験工程において、ＤＵＴは、第１の表面と、第１の表面に反対する第２の表面を有することがある。ＤＵＴは、複数のハンダバンプとアンテナを含んでもよい。ハンダバンプは、第１の表面に配置されてもよく、アンテナは、第２の表面に配置されてもよい。その試験工程において、試験固定具は、ＤＵＴの第２の表面からＤＵＴを取り上げる。そのため、試験固定具の硬質の材料（例えば、金属材料）は、第２の表面におけるアンテナと接触することがある。そのため、アンテナの効率に悪影響を与える（例えば、アンテナの変形を介して）ことがある。
【００４０】
ＤＵＴが複数のアンテナを含むと、ＤＵＴのアンテナは、異なる方向から信号を発信することがある。しかしながら、ＤＵＴのアンテナからの信号を受信する試験アンテナは、固定位置に設けられる場合がある。したがって、試験工程において、ＤＵＴ付き試験固定具は、ＤＵＴからのすべての信号が試験アンテナにより受信され得るように３６０度で回転される。このような試験固定具を設計することが難しい。
【００４１】
本発明は、大量生産において生産ラインに用いられる試験装置を可能にする。いくつかの実施形態において、試験装置が試験ソケットの収容空間に配置される反射体を含むので、反射体は、ＤＵＴから試験アンテナに信号を反射し得る。そのため、試験装置のサイズを効率的に低減することができる。本発明の少なくともいくつかの実施形態は、ＤＵＴの第１の表面における電気接点が試験板に電気的に接続されるように、ＤＵＴの第１の表面に吸引力を提供する試験方法を可能にする。
【００４２】
図１は、本発明のいくつかの実施形態による試験装置１の断面図を示す。図２は、図１に示す試験装置１の上面図を示す。図１が図２のＩ−Ｉ線に沿う断面図であることは理解される。試験装置１は、試験固定具１１（例えば、試験ソケット１２と反射体１４を含む）および装置ホルダー２を備える。
【００４３】
試験ソケット１２は、収容空間１２３、第１の開口１２５および第２の開口１２６を決める。第２の開口１２６は第１の開口１２５に反対するが、収容空間１２３は、第１の開口１２５と第２の開口１２６の間に配置される。収容空間１２３、第１の開口１２５と第２の開口１２６は互いに連通する。いくつかの実施形態において、試験ソケット１２は、１つ以上の側壁１２１（例えば、４つの側壁１２１）および底壁１２２を含む。側壁１２１のそれぞれの頂部は、第１の開口１２５を決め得る。側壁１２１は、底壁１２２に接続されて収容空間１２３を決め得る。底壁１２２は、第２の開口１２６を決め得る。図１に示すように、第２の開口１２６は、底壁１２２の中心に位置し、底壁１２２を通じて延びてもよい。第１の開口１２５の幅は、第２の開口１２６の幅より大きい（例えば、約１.３倍以上、約１.５倍以上、または約２倍以上）。いくつかの実施形態において、側壁１２１と底壁１２２は、一体構造として一体成形される。また、試験ソケット１２は、装置ホルダー２の延長部２２を受け入れるために、側壁１２１の頂部（例えば、上面１２１１）に複数のスロット１２７をさらに決めてもよい。
【００４４】
反射体１４は、試験ソケット１２の収容空間１２３に配置されており、互いに平行しない複数の反射面１４３を含む。反射面１４３は、傾斜面であり伝送空間１４４を決める。図１に示すように、反射体１４は、第１の開口１４５と、第１の開口１４５に反対する第２の開口１４６を決めるが、第１の開口１４５の幅は第２の開口１４６の幅と異なる。第１の開口１４５の幅は、第２の開口１４６の幅より大きく（例えば、約１.３倍以上、約１.５倍以上、または約２倍以上）、伝送空間１４４は、第１の開口１４５と第２の開口１４６の間に配置される。伝送空間１４４、第１の開口１４５と第２の開口１４６は互いに連通する。
【００４５】
反射体１４の材料は、アルミニウム、銅、鉄または鋼、その他の反射性金属などの金属、あるいはその合金を含んでもよい。いくつかの実施形態において、反射体１４の反射面１４３は、平面または曲面である。いくつかの実施形態において、１つの反射面１４３は、互いに平行しない２つ以上のサブ面を含んでもよい。反射体１４は、４つの湾曲コーナー面１４７を含んでもよく、各々の湾曲コーナー面１４７は、２つの反射面１４３（時計回りで）の間に配置される。したがって、平面または曲面が２つの反射面１４３の間に（時計回りで）配置されないことが可能性がある。いくつかの実施形態において、反射体１４は、４つの反射部１４’を含む。各々の反射部１４’の断面は三角形状であり、すべての反射部１４’は一体構造として一体成形されてもよい。反射体１４は、一体構造として一体成形されてもよい。各々の反射部１４’は、反射面１４３、外面１４１および底面１４２を有する。したがって、反射体１４は、４つの外面１４１および１つの底面１４２を有する。第１の開口１４５は、４つの反射部１４’の上縁により決められるが、第２の開口１４６は、４つの反射部１４’の底部内縁により決められる。反射体１４が試験ソケット１２に位置する場合に、反射体１４の外面１４１および底面１４２は、それぞれ試験ソケット１２の側壁１２１および底壁１２２の内面と接触する。さらに、反射体１４の第１の開口１４５は、試験ソケット１２の第１の開口１２５に対応し揃えるが、反射体１４の第２の開口１４６は、試験ソケット１２の第２の開口１２６に対応し揃える。そのため、試験ソケット１２の第２の開口１２６は、反射体１４の伝送空間１４４に連通する。図１に示すように、反射面１４３は、試験ソケット１２の側壁１２１の頂部の内縁と試験ソケット１２の第２の開口１２６の側壁の上縁の間に延びる。
【００４６】
装置ホルダー２は、試験固定具１１における反射体１４の伝送空間１４４に配置され、試験固定具１１により（例えば、試験ソケット１２または反射体１４により）支持される。図１に示すように、装置ホルダー２は、受入部２１および延長部２２を備える。受入部２１は、ＤＵＴ４を受け入れる受入空間２３を決める（図２０参照）。延長部２２は、受入部２１から試験固定具１１の試験ソケット１２の上面１２１１に延びる。いくつかの実施形態において、延長部２２は、試験ソケット１２の側壁１２１のスロット１２７に位置するか、あるいは連結してもよい。図１および図２に示すように、装置ホルダー２は、収容空間１２３と伝送空間１４４に配置されるので、受入空間２３が反射体１４の反射面１４３により囲まれ、反射体１４の反射面が装置ホルダー２の受入空間２３に対向する。
【００４７】
また、装置ホルダー２の受入部２１は、上部開口２４を決める。装置ホルダー２の上部開口２４は、試験固定具１１の試験ソケット１２の第１の開口１２５と試験固定具１１の反射体１４の第１の開口１４５に対応する。また、装置ホルダー２の受入部２１は、少なくとも１つ以上の第１の信号伝送部２１１および１つの第２の信号伝送部２１２を含む。第１の信号伝送部２１１は、第２の信号伝送部２１２に接続され、また、第１の信号伝送部２１１は、第２の信号伝送部２１２とともに受入空間２３を決める。第２の信号伝送部２１２は上部開口２４に反対する。図１および図２に示すように、装置ホルダー２の受入部２１は、受入部２１の４つの側辺にそれぞれ対応する４つの第１の信号伝送部２１１を含む。第２の信号伝送部２１２は、受入部２１の底辺に対応する。また、延長部２２は、第１の信号伝送部２１１から試験固定具１１の試験ソケット１２の上面１２１１に延びる。
【００４８】
図３は、図１における試験装置１の装置ホルダー２の断面図を示す。図４は、図３における装置ホルダー２の斜視図を示す。装置ホルダー２は、複数のストリップまたはバーを含んでもよく、且つ一体構造として一体成形されてもよい。いくつかの実施形態において、装置ホルダー２の材料として、例えば、プラスチック、木材、アクリルまたはエアロゲルが挙げられる。受入部２１の第１の信号伝送部２１１は、側面開口２１１１を決め、側面開口２１１１と第１のストリップ部２１１２を含む。受入部２１の第２の信号伝送部２１２は、下部開口２１２１を決め、下部開口２１２１と第２のストリップ部２１２２を含む。第２のストリップ部２１２２は、ＤＵＴ４の底縁を保持することができる（図２０参照）。そのため、装置ホルダー２の受入空間２３は、下部開口２１２１と側面開口２１１１を通じて反射体１４（図１参照）の伝送空間１４４に連通する。図３および図４における装置ホルダー２は、「網袋式」とも呼ばれる。
【００４９】
図５は、本発明のいくつかの実施形態による装置ホルダー２ａの断面図を示す。図６は、図５に示す装置ホルダー２ａの斜視図を示す。装置ホルダー２ａは、図３および図４に示す装置ホルダー２に似ているが、以下の点で異なる。図５および図６に示すように、第１の信号伝送部２１１は、第１の信号伝送部２１１ａを含み、第１の信号伝送部２１１ａの第１のストリップ部２１１２ａが側面開口２１１１ａに向かって延びる。したがって、図５および図６における第１の信号伝送部２１１ａの側面開口２１１１ａのサイズは、図３および図４における第１の信号伝送部２１１の側面開口２１１１のサイズより小さい。延びられる第１のストリップ部２１１２ａは、ＤＵＴ４の側面４７を保持することができる（図２０参照）。
【００５０】
図７は、図１における試験装置１の試験ソケット１２の斜視図を示す。試験ソケット１２は、４つの側壁１２１および１つの底壁１２２を含み得る。側壁１２１の頂部は、第１の開口１２５を決め得る。側壁１２１は、収容空間１２３を決めるために底壁１２２に接続されてもよい。底壁１２２は、第２の開口１２６を決め得る。第２の開口１２６は、底壁１２２の中心に位置されてもよく、底壁１２２を通じて延びてもよい。第１の開口１２５のの幅は、第２の開口１２６の幅より大きい（例えば、約１.３倍以上、約１.５倍以上、または約２.０倍以上）。いくつかの実施形態において、側壁１２１と底壁１２２は、一体構造として一体成形される。また、試験ソケット１２は、装置ホルダー２の延長部２２を受け入れるために、側壁１２１の頂部（例えば、上面１２１１）に複数のスロット１２７をさらに決めてもよい。
【００５１】
図８は、図１における試験装置１の反射体１４の斜視図を示す。反射体１４は、互いに平行しない４つの反射面１４３を含み、第１の開口１４５、第１の開口１４５に反対する第２の開口１４６、および第１の開口１４５と第２の開口１４６の間の伝送空間１４４を決める。第１の開口１４５の幅は、第２の開口１４６の幅より大きい（例えば、約１.３倍以上、約１.５倍以上、または約２.０倍以上）。また、反射体１４は、４つの湾曲コーナー面１４７をさらに含んでもよく、各々の湾曲コーナー面１４７が２つの反射面１４３の間に（時計回りで）配置される。したがって、平面または曲面が２つの反射面１４３の間に（時計回りで）配置されない可能性がある。いくつかの実施形態において、反射体１４は、一体構造として一体成形されてもよい。反射体１４は、１つ以上の外面１４１（例えば、４つの外面１４１）および１つの底面１４２を有する。第１の開口１４５が４つの反射面１４３の上縁により決められるが、第２の開口１４６が４つの反射面１４３の底部内縁により決められる。
【００５２】
図９は、図１における試験装置１の試験固定具１１の斜視図を示す。反射体１４が試験固定具１１を形成するように試験ソケット１２の収容空間１２３に位置する場合に、反射体１４の外面１４１および底面１４２は、それぞれ試験ソケット１２の側壁１２１および底壁１２２の内面と接触する。さらに、反射体１４の第１の開口１４５は、試験ソケット１２の第１の開口１２５に対応し、反射体１４の第２の開口１４６は、試験ソケット１２の第２の開口１２６に揃える。そのため、試験ソケット１２の第２の開口１２６は、反射体１４の伝送空間１４４に連通する。
【００５３】
図１０は、本発明のいくつかの実施形態による試験固定具１１ａの断面図を示す。試験固定具１１ａは、図１および図９に示す試験固定具１１に似ているが、以下の点で異なる。図１０に示すように、図１および図９における反射体１４および試験ソケット１２は、一体構造として一体成形されて試験固定具１１ａを形成してもよい。すなわち、試験固定具１１ａが一体構造であり、図１および図９における反射体１４と試験ソケット１２の間に境界がない可能性がある。試験固定具１１ａは、第１の開口１１５と、第１の開口１１５に反対する第２の開口１１６を決め、第１の開口１１５と第２の開口１１６の間に伝送空間１１４を決める複数の反射面１１３を含んでもよい。第１の開口１１５の幅は、第２の開口１１６の幅より大きい（例えば、約１.３倍以上、約１.５倍以上、または約２.０倍以上）。試験固定具１１ａは、装置ホルダー２の延長部２２を受け入れるために、その頂部（例えば、上面）に複数のスロット１１７をさらに決めてもよい。試験固定具１１ａの材料は、金属のような反射性の材料であってもよい。したがって、反射面１１３は、電磁信号を反射することができる。
【００５４】
図１１は、本発明のいくつかの実施形態による試験固定具１１ｂの断面図を示す。試験固定具１１ｂは、図１０に示す試験固定具１１ａに似ているが、以下の点で異なる。図１１に示すように、試験固定具１１ｂの材料は、非反射性の材料を含んでもよく、また、金属などの反射性の材料１１８は、反射面１１３に配置（例えば、塗布）される。
【００５５】
図１２は、本発明のいくつかの実施形態による試験固定具１１ｃの断面図を示す。試験固定具１１ｃは、図１および図９に示す試験固定具１１に似ているが、以下の点で異なる。図１２に示すように、反射体１４ａは、図１および図９における反射体１４と同じであるが、反転されて配置される。したがって、反射体１４ａの底面１４２は、上方に向かって、試験ソケット１２の底壁１２２の内面に接触しない。また、図１における第２の開口１４６が図１２における第１の開口１４５ａになり、図１における第１の開口１４５が図１２における第２の開口１４６ａになる。第１の開口１４５ａの幅は、第２の開口１４６ａの幅より小さい（例えば、約３／４倍以下、約１／２倍以下、または約１／４倍以下）。いくつかの実施形態において、反射体１４ａと試験ソケット１２は、一体構造として一体成形されてもよい。試験固定具１１ｃは、一体構造として一体成形されてもよい。
【００５６】
図１３は、本発明のいくつかの実施形態による試験固定具１１ｄの断面図を示す。試験固定具１１ｄは、図１および図９に示す試験固定具１１に似ているが、以下の点で異なる。図１３に示すように、反射体１４ｂは、反射体１４および内輪部１４ｃを含む。図１３における反射体１４は、図１および図９における反射体１４と同じであってもよい。内輪部１４ｃは、反射面１４３に配置されてもよい。一部の内輪部１４ｃの断面は、略三角状であってもよい。内輪部１４ｃの頂面１４８は、上方に向かって、第１の開口１４５ｂを決める。内輪部１４ｃの頂面１４８は、反射体１４の底面１４２にほぼ平行してもよい。内輪部１４ｃは、反射体１４の反射面１４３とほぼ交差する複数の反射面１４９を含んでもよい。１つの反射面１４３と１つの反射面１４９の間における１つ以上の結合部はカーブを決める。内輪部１４ｃの反射面１４９は、反射体１４の覆われていない反射面１４３とともに伝送空間１４４’を決める。
【００５７】
内輪部１４ｃの反射面１４９と反射体１４の反射面１４３の間の交差部（結合部）は、第３の開口１４７ｂを決める。また、図１における第２の開口１４６は、図１３における第２の開口１４６ｂになる。そのため、反射体１４ｂは、第１の開口１４５ｂ、第２の開口１４６ｂおよび第３の開口１４７ｂを決める。第３の開口１４７ｂは、第１の開口１４５ｂと第２の開口１４６ｂの間に配置され、第３の開口１４７ｂの幅は、第１の開口１４５ｂおよび第２の開口１４６ｂの幅に等しくない。図１３に示すように、第３の開口１４７ｂの幅は、第１の開口１４５ｂおよび第２の開口１４６ｂの幅より大きい（例えば、約１.３倍以上、約１.５倍以上、または約２.０倍以上）。いくつかの実施形態において、反射体１４と内輪部１４ｃは、一体構造として一体成形されてもよい。反射体１４ｂは、一体構造として一体成形されてもよい。いくつかの実施形態において、反射体１４ｂと試験ソケット１２は、一体構造として一体成形されてもよい。試験固定具１１ｄは、一体構造として一体成形されてもよい。
【００５８】
図１４は、本発明のいくつかの実施形態による試験装置１ａの断面図を示す。図１５は、図１４に示す試験装置１ａの上面図を示す。試験装置１ａは、試験固定具１１ｅ（例えば、試験ソケット１２ａと反射体１４を含む）および装置ホルダー２ｂを備える。試験ソケット１２ａは、試験ソケット１２ａの側壁１２１の頂部（例えば、上面１２１１）から突出する突出輪１２８をさらに含むこと以外に、図１および図２における試験ソケット１２と同様である。突出輪１２８は、試験ソケット１２ａの側壁１２１の上面１２１１とともに、装置ホルダー２ｂの延長部２５を受け入れる収容域１２９を決める。
【００５９】
装置ホルダー２ｂは、受入部２１および延長部２５を含む。装置ホルダー２の受入部２１ｂは、図１および図２における装置ホルダー２の受入部２１と同じである。すなわち、装置ホルダー２ｂの受入部２１は、受入空間２３と上部開口２４を決める。受入空間２３は、ＤＵＴ４を受け入れるのに用いられる（図２０参照）。装置ホルダー２ｂの上部開口２４は、試験固定具１１ｅの試験ソケット１２ａの第１の開口１２５と試験固定具１１ｅの反射体１４の第１の開口１４５に対応する。装置ホルダー２ｂの延長部２５は、受入部２１から試験固定具１１ｅの試験ソケット１２ａの上面１２１１に延びる。いくつかの実施形態において、延長部２５は、収容域１２９に位置してもよい。したがって、延長部２５の周縁の底部は、試験固定具１１ｅの試験ソケット１２ａの上面１２１１により支持され、延長部２５の外側面は、突出輪１２８により制限される。
【００６０】
図１６は、図１４および図１５に示す装置ホルダー２ｂの斜視図を示す。装置ホルダー２ｂは、装置ホルダー２ｂの延長部２５が受入部２１に対応する中央貫通孔を有する平板であること以外に、図３および図４の装置ホルダー２と同様である。装置ホルダー２ｂは、「帽子型」とも呼ばれる。図１４から図１６における装置ホルダー２ｂの剛性は、図３および図４の装置ホルダー２より大きい下向き押圧力を保持することができ、ＤＵＴの位置に対してよい安定性を提供することができる。
【００６１】
図１７は、本発明のいくつかの実施形態による試験装置１ｂの断面図を示す。図１８は、図１７に示す試験装置１ｂの上面図を示す。試験装置１ｂは、試験固定具１１ｆ（例えば、試験ソケット１２ｂおよび反射体１４を含む）および装置ホルダー２ｃを備える。試験ソケット１２ｂは、スロット１２７を含まないこと以外に、図１および図２における試験ソケット１２と同様である。
【００６２】
装置ホルダー２ｃは、受入部２１ｃおよび中実部２６を含む。装置ホルダー２ｃは、中実のブロック構造である。装置ホルダー２ｃの受入部２１ｃは、受入空間２３および上部開口２４を決める。受入空間２３は、ＤＵＴを受け入れるのに用いられる。装置ホルダー２ｃの上部開口２４は、試験固定具１１ｆの試験ソケット１２ｂの第１の開口１２５と試験固定具１１ｆの反射体１４の第１の開口１４５に対応する。装置ホルダー２ｃの受入部２１ｃは、少なくとも１つの第１の信号伝送部２１１ｃおよび第２の信号伝送部２１２ｃを含む。第１の信号伝送部２１１ｃが第２の信号伝送部２１２ｃに接続され、第１の信号伝送部２１１ｃが第２の信号伝送部２１２ｃとともに受入空間２３を決める。第２の信号伝送部２１２ｃは上部開口２４に反対する。図１７に示すように、第１の信号伝送部２１１ｃが受入部２１ｃの内側壁であってもよく、第２の信号伝送部２１２ｃが受入部２１ｃの内部底壁であってもよい。
【００６３】
また、中実部２６は、上面２６１、底面２６２および複数の外面２６３を有してもよい。底面２６２が上面２６１に反対し、外面２６３が上面２６１と底面２６２の間に延びる。受入部２１ｃが上面２６１に凹陥し、底面２６２が試験ソケット１２ｂの第２の開口１２６に対向する。いくつかの実施形態において、中実部２６は、試験ソケット１２ｂの収容空間１２３に位置してもよい。したがって、装置ホルダー２ｃは、試験固定具１１ｆの反射体１４の反射面１４３により支持されてもよく、外面２６３は、反射体１４の反射面１４３に接触する。いくつかの実施形態において、装置ホルダー２ｃの材料は、プラスチック、木材、アクリルまたはエアロゲルを含んでもよい。装置ホルダー２ｃのサイズは、伝送空間１４４のサイズに実質的に等しく、上面２６１は、試験ソケット１２ｂの上面１２１１と実質的に共平面であってもよい。
【００６４】
図１９は、図１７および図１８に示す装置ホルダー２ｃの斜視図を示す。装置ホルダー２ｃは、中実のブロック構造であり、上面２６１から底面２６２まで先細りになる。図１７から図１９における装置ホルダー２ｃの剛性は、図３および図４における装置ホルダー２より大きい下向き押圧力を保持することができ、ＤＵＴの位置に対して優れた安定性を提供する。
【００６５】
図２０は、本発明のいくつかの実施形態による試験システム３の断面図を示す。試験システム３は、試験装置１、ＤＵＴ４、頂部回路板３４（例えば、試験板）、ハンドラアーム３０、チャック３２、接続ソケット３５、コンバータボード３６、テスター３８、底部回路板５０（例えば、負荷板）、ボードスティフナ５２および試験アンテナ５４を含む。図２０における試験装置１は、図１および図２における試験装置１と同じであり、試験固定具１１（例えば、試験ソケット１２および反射体１４を含む）および装置ホルダー２を備える。
【００６６】
ＤＵＴ４は、装置ホルダー２の受入空間２３に配置されており、少なくとも１つの第１の信号伝送部２１１と第２の信号伝送部２１２に対応する少なくとも１つの信号発信源を含む。信号発信源は、信号を発信／受信する機能を有してもよい。いくつかの実施形態において、ＤＵＴ４は、パッケージ構造であってもよく、第１の表面４１、第１の表面４１に反対する第２の表面４２、および複数の側面４７を有してもよい。ＤＵＴ４は、基板４３、少なくとも１つの電気素子４４、封止材４５およびアンテナ４６を含んでもよい。したがって、ＤＵＴ４はアンテナインパッケージ（ＡｉＰ）である。例えば、ＤＵＴ４は、ミリ波の無線モジュールなどの無線モジュールであってもよい。１つの実施形態において、ＤＵＴ４は、３０ＧＨｚから８０ＧＨｚの周波数を有する無線周波数（ＲＦ）ＡｉＰであってもよい。
【００６７】
基板４３は、第１の表面４１と隣接して配置されており、その上面（例えば、第１の表面４１）と隣接して配置される複数の電気接点４３１（例えば、ハンダボールまたはハンダバンプ）を含む。電気素子４４、例えば、半導体ダイおよび／または受動素子は、基板４３の下面に電気的に接続される。封止材４５、例えば、成形コンパウンドは、基板４３の下面と電気素子４４を覆う。アンテナ４６は、封止材４５に埋め込まれるか配置される。すなわち、アンテナ４６は、ＤＵＴ４の第２の表面４２と隣接して配置される。アンテナ４６の底部は、ＤＵＴ４の第２の表面４２から露出してもよく、アンテナ４６の側部の一部は、ＤＵＴ４の側面４７から露出してもよい。そのため、ＤＵＴ４の側面４７は、装置ホルダー２の第１の信号伝送部２１１に対応する信号発信源であってもよく、ＤＵＴ４の第２の表面４２は、装置ホルダー２の第２の信号伝送部２１２に対応する信号発信源であってもよい。図２０に示すように、アンテナ４６は下向きであってもよい。
【００６８】
コンバータボード３６は、試験固定具１１の試験ソケット１２の頂部（例えば、上面１２１１）に、及び装置ホルダー２の延長部２２に配置される。コンバータボード３６は、少なくとも１つの配線付き回路層３６１、および複数のポゴピン（またはほかの電気コネクタ）３６２を含んでもよい。コンバータボード３６は、環状であってもよく、中央貫通孔を決めて装置ホルダー２の受入空間２１を露出する。
【００６９】
頂部回路板３４（例えば、プリント回路板（ＰＣＢ））は、試験装置１の試験ソケット１２の第１の開口１２５の上方に配置され、コンバータボード３６およびＤＵＴ４に電気的に接続される。１つの実施形態において、頂部回路板３４は、チャック３２を介してハンドラアーム３０に付着される。チャック３２は、ＤＵＴ４に対して吸引を作用させることができる。１つの実施形態において、頂部回路板３４は、その下面と隣接して配置される信号を反射する少なくとも１つの反射部３４１を含む。いくつかの実施形態において、反射部３４１は、頂部回路板３４の最も外側の金属層であってもよく、保護層から露出することがある。図２０に示すように、装置ホルダー２の一部の延長部２２は、試験ソケット１２と頂部回路板３４の間に配置される。
【００７０】
接続ソケット３５は、頂部回路板３４の下面に付着され、複数の試験用プローブ３５１を含む。試験用プローブ３５１の一端が、ＤＵＴ４の電気接点４３１との接触に用いられ、試験用プローブ３５１の他端が、頂部回路板３４との接触に用いられる。チャック３２がＤＵＴ４の第１の表面４１を吸引する場合に、ＤＵＴ４は、電気接点４３１および試験用プローブ３５１を介して頂部回路板３４に電気的に接続されることができる。
【００７１】
テスター３８、底部回路板５０およびボードスティフナ５２は試験装置１の下に配置される。ボードスティフナ５２は、テスター３８に配置され、底部回路板５０を支持する。すなわち、底部回路板５０は、ボードスティフナ５２を介してテスター３８により支持される。試験装置１は、底部回路板５０に配置される。これにより、底部回路板５０は、試験装置１とテスター３８の間に配置される。底部回路板５０は、試験ソケット１２の第２の開口１２６に揃える貫通孔５０１を決める。いくつかの実施形態において、底部回路板５０は、コンバータボード３６を介して頂部回路板３４に電気的に接続てもよい。いくつかの実施形態において、底部回路板５０は、テスター３８に電気的に接続されてもよい。
【００７２】
テスター３８は、コンバータボード３６を介して頂部回路板３４に電気的に接続される。テスター３８は、試験アンテナ５４、ダウンコンバーター３８１、アップコンバータ３８２、電源３８３および試験コンピューター３８４を含む。試験アンテナ５４は、試験ソケット１２の第２の開口１２６と隣接して配置される。図２０に示すように、一部の試験アンテナ５４は、試験アンテナ５４が伝送空間１４４に露出するように、試験ソケット１２の第２の開口１２６と底部回路板５０の貫通孔５０１に配置される。試験アンテナ５４の種類として、例えば、ホーンアンテナ、パッチアンテナ、アレーアンテナ、または無線周波部（ＲＵ）が挙げられる。電源３８３および試験コンピューター３８４は、コンバータボード３６および頂部回路板３４に電気的に接続されてＤＵＴ４を制御する。試験コンピューター３８４は、プロセッサーを含んでもよく、機械可読な媒体に書き込まれ、プロセッサーにより実行されるときに、プロセッサーにそこに説明するプロセス、例えば、電磁信号の分析を実行させる指令を実施してもよい。
【００７３】
図２０に図示される実施形態において、試験システム３は、ＤＵＴ４の発信機能および／または受信機能を試験することができる。例えば、第１の試験モードでＤＵＴ４の発信機能を試験する。テスター３８は、ＤＵＴ４を制御して高周波（例えば、ミリメータオーダーの波長を有するミリ波）を発信する。ＤＵＴ４から発信される高周波は、装置ホルダー２の第１の信号伝送部２１１および／または第２の信号伝送部２１２を通過し、反射体１４の反射面１４３により反射され、試験アンテナ５４に受信される。そして、試験アンテナ５４からの信号は、ダウンコンバーター３８１による中間周波数より低くてもよい。最後に、テスター３８は、ダウンコンバーター３８１からの信号の分析に基づいて、所要のＤＵＴ４の発信機能が達成されるかどうかを判定できる。また、第２の試験モードでＤＵＴ４の受信機能を試験する。テスター３８は、アップコンバータ３８２によって中間周波数信号を高周波信号に処理する。そして、テスター３８は、試験アンテナ５４を制御して高周波（例えば、ミリ波）を発信する。試験アンテナ５４から発信される高周波は、反射体１４の反射面１４３により反射され、装置ホルダー２の第１の信号伝送部２１１および／または第２の信号伝送部２１２を通過し、ＤＵＴ４で受信される。最後に、テスター３８は、ＤＵＴ４からの信号の分析に基づいて、所要のＤＵＴ４の受信機能が達成されるかどうかを判定できる。
【００７４】
そのため、空気において波を伝送してもよい（例えば、空気においてのみ）。したがって、装置ホルダー２の材料が試験結果に実質的な影響を与えないので、装置ホルダー２の材料は、試験工程の著しい環境変数と言えない。また、伝送空間１４４において伝送されるすべての波は、反射面１４３の設計のため、試験アンテナ５４またはＤＵＴ４により受信され得る。したがって、試験装置１のサイズは、Ｘ＊Ｘ＊Ｘの寸法に小さくされることができ、ここに、Ｘは、例えば、約３０ｃｍ以下、約１０ｃｍ以下、または約５ｃｍ以下。試験装置１の寸法は、互いに等しくする必要がない。また、このような試験方法は、比較試験方法より少ない時間をかけて行われ得る。そのため、このような試験装置１は、大量生産において生産ラインに用いられることができる。さらに、試験工程において、ＤＵＴ４を３６０度で回転させる必要がないので、試験装置１の試験固定具１１は、より簡単に設計され、製造されることがある。
【００７５】
図２１から図２４は、本発明のいくつかの実施形態による試験方法を示す。図２１を参照して、ＤＵＴ４、頂部回路板３４（例えば、試験板）、ハンドラアーム３０、チャック３２および接続ソケット３５が備える。いくつかの実施形態において、ＤＵＴ４は、パッケージ構造であってもよく、第１の表面４１、第１の表面４１に反対する第２の表面４２、および複数の側面４７を有してもよい。ＤＵＴ４は、基板４３、少なくとも１つの電気素子４４、封止材４５およびアンテナ４６を含んでもよい。基板４３は、第１の表面４１と隣接して配置され、自由域４３２およびＤＵＴ４の上面（例えば、第１の表面４１）と隣接して配置複数の電気接点４３１（例えば、ハンダボールまたはハンダバンプ）を含む。自由域４３２は、基板４３上面（例えば、ＤＵＴ４の第１の表面４１）に配置され、電気接点を有しない。したがって、自由域４３２はチャック３２が接触する域である。電気素子４４、例えば、半導体ダイまたは受動素子は、基板４３の下面に電気的に接続される。封止材４５、例えば、成形コンパウンドは、基板４３の下面および電気素子４４を覆う。アンテナ４６は、封止材４５に埋め込まれるか配置される。すなわち、アンテナ４６は、ＤＵＴ４の第２の表面４２と隣接して配置される。アンテナ４６の底部は、ＤＵＴ４の第２の表面４２から露出してもよく、アンテナ４６の一部の側部は、ＤＵＴ４の側面４７から露出してもよい。図２１に示すように、アンテナ４６は下向きであってもよい。
【００７６】
頂部回路板３４は、チャック３２を介してハンドラアーム３０に付着される。チャック３２は、４ＤＵＴ４に対して吸引を作用させるのに用いられる。接続ソケット３５は、頂部回路板３４の下面に付着され、複数の試験用プローブ３５１を含む。
【００７７】
そして、チャック３２は、ＤＵＴ４の第１の表面４１の自由域４３２に吸引力３２１をかける。したがって、チャック３２がＤＵＴ４の第１の表面４１を吸引し、ＤＵＴ４の電気接点４３１が試験用プローブ３５１を介して頂部回路板３４に電気的に接続されることができる。
【００７８】
図２２および図２３を参照して、図２３は図２２の上面図である。図２２および図２３は、試験装置１の試験ソケット１２の上面１２１１に配置されように備えられるコンバータボード３６を示す。
【００７９】
図２４を参照して、テスター３８、底部回路板５０およびボードスティフナ５２が備えられ、試験装置１の下に配置される。ボードスティフナ５２は、テスター３８に配置され、底部回路板５０を支持するのに用いられる。試験装置１は、底部回路板５０に配置される。いくつかの実施形態において、底部回路板５０は、コンバータボード３６を介して頂部回路板３４に電気的に接続されてもよい。いくつかの実施形態において、底部回路板５０は、テスター３８に電気的に接続されてもよい。テスター３８は、コンバータボード３６を介して頂部回路板３４に電気的に接続される。テスター３８は、試験アンテナ５４、ダウンコンバーター３８１、アップコンバータ３８２、電源３８３および試験コンピューター３８４を含む。
【００８０】
そして、ＤＵＴ４、頂部回路板３４、ハンドラアーム３０、チャック３２と接続ソケット３５の組立体を下向きに移動する。したがって、図２０に示すように、ＤＵＴ４は、試験ソケット１２に配置される装置ホルダー２の受入部２１に配置されることができる。装置ホルダー２は、ＤＵＴ４の下面（例えば、第２の表面４２）およびＤＵＴ４の側面４７を収容する。
【００８１】
図２５は、本発明のいくつかの実施形態による試験システム３における放射経路を示す。ＤＵＴ４のアンテナ４６は、エンドファイアアンテナであってもよい。ＤＵＴ４から発信された波６０は、反射体１４の反射面１４３と頂部回路板３４の反射部３４１に反射されて、試験アンテナ５４により受信されてもよい。いくつかの実施形態において、試験モードで、周波６０は、試験アンテナ５４から発信され、反射体１４の反射面４１３と頂部回路板３４の反射部３４１により反射され、そしてＤＵＴ４により受信されてもよい。
【００８２】
図２６は、本発明のいくつかの実施形態による試験システム３における放射経路を示す。ＤＵＴ４のアンテナ４６はパッチアンテナであってもよい。ＤＵＴ４から発信された周波６２は、反射体１４の反射面１４３と頂部回路板３４の反射部３４１により反射されて、試験アンテナ５４により受信されてもよい。いくつかの実施形態において、試験モードで、周波６２は、試験アンテナ５４から発信され、反射体１４の反射面４１３と頂部回路板３４の反射部３４１により反射され、そしてＤＵＴ４により受信されてもよい。
【００８３】
図２７は、本発明のいくつかの実施形態による試験システム３における様々な寸法を示す。図２７に示すように、試験距離「ｄ」とは、試験アンテナ５４とＤＵＴ４の間の距離である。試験アンテナ５４とＤＵＴ４の動作周波数「Ｆ」は、約３０ギガヘルツ（ＧＨｚ）から約８０ＧＨｚの範囲にある。近傍場測定はλから２λに対して行われ、ここに、λが波長である。λ＝Ｃ／Ｆであり、式中、「Ｃ」が光の速さ：３＊１０８ｍ／ｓである。「ｄ」を「ｄ１」から「ｄ２」の範囲にすると、
【００８４】
ｄ１＝λ＝Ｃ／Ｆ
【００８５】
ｄ２＝２λ＝２＊（Ｃ／Ｆ）である。
【００８６】
例えば、動作周波数「Ｆ」が３０ＧＨｚ／６０ＧＨｚ／７９ＧＨｚであり、試験距離「ｄ」がそれぞれ以下のとおりであり、
【００８７】
（ａ）Ｆ＝３０ＧＨｚであるときに、ｄがｄ１からｄ２＝１０ミリメートル（ｍｍ）〜２０ｍｍの範囲にあり、
【００８８】
（ｂ）Ｆ＝６０ＧＨｚであるときに、ｄがｄ１からｄ２＝５ｍｍ〜１０ｍｍの範囲にあり、
【００８９】
（ｃ）Ｆ＝７９ＧＨｚであるときに、ｄがｄ１からｄ２＝３．８ｍｍ〜７．６ｍｍの範囲にあり。
【００９０】
また、反射体１４の反射部１４’の底面１４２の幅を「ａ」とし、反射体１４の反射部１４’の外面１４１の高さを「ｂ」とし、反射体１４の反射部１４’の反射面１４３の長さを「ｃ」とし、試験アンテナ５４の幅を「Ｘ」とし、試験ソケット１２の収容空間１２３の幅を「Ｙ」とし、また、底面１４２と反射面１４３の間の傾斜角を「θ」とする。
【００９１】
ａがほぼ（Ｙ−Ｘ）／２と等しいという関係は、いくつかの実施形態において保持され得る。
【００９２】
１つの実施形態において、Ｘ＝２０ｍｍ、Ｙ＝７０ｍｍであると、ａ＝ほぼ２５ｍｍである。さらに、ｄ＝２０ｍｍ、ｂ＝２５ｍｍであると、ｃ２＝ａ２＋ｂ２＝１２５０であり、ｃが約３５．３５ｍｍである。今説明される例においてθが約４５度であることは注意される。いくつかの実施形態において、θは約３０度から約４５度の範囲にあってもよい。
【００９３】
いくつかの実施形態において、Ｘ＝１０ｍｍ、Ｙ＝５０ｍｍであると、ａはほぼ２０ｍｍと等しい。さらに、ｄ＝４５ｍｍ、ｂ＝５０ｍｍであると、ｃ２＝ａ２＋ｂ２＝２９００であり、ｃが約５３．８５ｍｍである。θが４５度より大きい場合があることが注意される。高さｂまたは傾斜角θは予め定められてもよい。
【００９４】
図２８は、本発明のいくつかの実施形態による試験システム３ａの概略図を示す。試験システム３ａは、４つのＤＵＴ４、４つの頂部回路板３４、ハンドラアーム３０ａ、４つの試験装置１および底部回路板５０ａを含んでもよい。各ＤＵＴ４が各頂部回路板３４にそれぞれ対応し、４つのＤＵＴ４と４つの頂部回路板３４が１つのハンドラアーム３０ａにより取り扱われてもよい。４つの試験装置１は、１つの底部回路板５０ａに配置されてもよい。４つのＤＵＴ４と４つの頂部回路板３４を備えるハンドラアーム３０ａは、移動させて４つの試験装置１を覆うことがあり、各ＤＵＴ４が各試験装置１に配置される。そのため、試験システム３ａは、多部位の試験を可能にし、１つの試験装置１における信号が隣接する試験装置１に大きな影響を与えない。いくつかの実施形態において、４つ以上のＤＵＴ４、または４つ以下のＤＵＴ４は、適切な装置で多部位の試験において試験されることができる。
【００９５】
「真上」、「真下」、「上」、「左」、「右」、「下」、「頂部」、「底部」、「垂直」、「水平」、「側」、「より高い」、「より低い」、「上部」、「上方」、「下方」などの空間説明は、特に断らない限り、図面に示す方位に対して示される。ここに使用される空間説明が、例示的なものだけであり、実際の実施において、本発明の実施形態のメリットがこのような配置から逸脱されることがなければ、ここに説明する構造が任意の方位または方式で空間的に配置されることができると理解される。
【００９６】
ここに使用される用語「ほぼ」、「実質的に」、「実質的な」および「約」は、小さな変動を説明し意味するのに使用される。事情または状況と併用される時に、それらの用語は、事情または状況がまさにそのとおりに起こる場合と、事情または状況が近似に生じる場合を言う。例えば、数値と併用される時に、それらの用語は、その数値の±１０％以下、例えば、±５％以下、±４％以下、±３％以下、±２％以下、±１％以下、±０．５％以下、±０．１％以下、または±０．０５％以下の変動の範囲を言う。例えば、２つの数値は、その差が平均値の±１０％以下、例えば、±５％以下、±４％以下、±３％以下、±２％以下、±１％以下、±０．５％以下、±０．１％以下、または±０．０５％以下であれば、「実質的に」同じであると見なされてもよい。
【００９７】
２つの表面は、その２つの表面のずれが５μｍ以下、２μｍ以下、１μｍ以下、または０．５μｍ以下であれば、共平面または実質的に共平面であると見なされてもよい。
【００９８】
ここに使用単数形は、特に規定されない限り、複数の指示物を含んでもよい。いくつかの実施形態の説明において、ほかの部材「に」または「の上方に」設けられる部材は、前者の部材が後者の部材に直接に接する（例えば、物理的接触がある）場合、および１つ以上の中間部材が前者の部材と後者の部材の間に位置する場合を含む。
【００９９】
ここに使用される用語「伝導性の」、「導電性の」および「導電性」は、電流を伝導する能力を言う。導電性の材料は、典型的に電流の流れに抵抗が小さいかあるいは抵抗がない材料を意味する。導電性の１つの測定単位として、メートルにつきシーメンス（Ｓ／ｍ）が挙げられる。典型的には、導電性の材料は、ほぼ１０４Ｓ／ｍ以上、例えば、少なくとも１０５Ｓ／ｍまたは少なくとも１０６Ｓ／ｍの導電性を有する材料である。材料の導電性は温度によって異なることがある。特に断りがない場合に、材料の導電性は室温で測定されたものである。
【０１００】
また、量、割合、およびほかの数値は、範囲としてここに表される場合がある。このような範囲は、便利さと簡潔さのために使用されており、範囲の制限として明確に指定される数値を含むだけでなく、各数値とサブ範囲が明確に指定されるようにその範囲に含まれるすべての個別の数値またはサブ範囲を含むように柔軟に理解するべきであることが理解される。
【０１０１】
本発明は、その具体的な実施形態を参照しながら説明され図示されたが、それらの説明と図面は本発明を限定するものではない。添付の特許請求の範囲により限定される本発明の精神と範囲から逸脱することなく、様々な変形が可能であり、等価部材に置換できることは、当業者にとって明らかである。図面は必ず縮尺にに一致するものとは限らない。製造プロセスと公差により、本発明の図面表現と実物の間に区別が発生することがある。具体的に図示されない本発明のほかの実施形態がある。仕様と図面は、限定性のものではなく、例示性のものと見なされる。本発明の目的、精神および範囲を逸脱することなく、特定の状況、材料、組成物、方法、またはプロセスに変更を施してもよい。すべてのこのような変更は添付の特許請求の範囲にあることを意図する。ここに開示される方法は特定の順序で行われる特定の操作を参照しながら説明されるが、これらの操作は、本発明の教示から逸脱することなく組み合わせ、細分され、または再順序付けられて等価方法を形成できると了承される。したがって、特にここに断りがない場合に、操作の順序と分類は、本発明を限定するものではない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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