(57)【要約】【課題】基板間の接続状態を高精度に検査することが可能な基板ユニット及び表示装置を提供することを目的とする。【解決手段】基板ユニットは、第１樹脂基板と、第１樹脂基板に接続される第２樹脂基板と、第１樹脂基板に設けられる導電部と、第２樹脂基板に設けられる第１電極と、第２樹脂基板に設けられ、第１方向において第１電極から離して配置される第２電極と、を有する。導電部は、第１電極と対向して接続するための第１部位と、第１方向において第１部位から離して配置され、第２電極と対向して接続するための第２部位と、第１部位と第２部位とを連結する連結部と、を有する。第１方向において、第１部位と第２部位との中心間距離と、第１電極と第２電極との中心間距離は、互いに異なる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１樹脂基板と、
前記第１樹脂基板に接続される第２樹脂基板と、
前記第１樹脂基板に設けられる導電部と、
前記第２樹脂基板に設けられる第１電極と、
前記第２樹脂基板に設けられ、第１方向において前記第１電極から離して配置される第２電極と、を有し、
前記導電部は、
前記第１電極と対向して接続するための第１部位と、
前記第１方向において前記第１部位から離して配置され、前記第２電極と対向して接続するための第２部位と、
前記第１部位と前記第２部位とを連結する連結部と、を有し、
前記第１方向において、前記第１部位と前記第２部位との中心間距離と、前記第１電極と前記第２電極との中心間距離は、互いに異なる、
基板ユニット。
【請求項２】
前記第１樹脂基板に対する前記第２樹脂基板の位置ズレ量を検査するための検査パターンを備え、
前記導電部、前記第１電極と前記第２電極は前記検査パターンとして機能する、請求項１に記載の基板ユニット。
【請求項３】
前記第１部位と前記第１電極は、前記第１方向と平面視で交差する第２方向にそれぞれ延設されており、
前記第１方向において、前記第１部位の幅は前記第１電極の幅よりも小さい、請求項１又は２に記載の基板ユニット。
【請求項４】
前記第２部位と前記第２電極は、第２方向にそれぞれ延設されており、
前記第１方向において、前記第２部位の幅は前記第２電極の幅よりも小さい、請求項１又は３に記載の基板ユニット。
【請求項５】
前記第１電極に接続する第１パッドと、
前記第２電極に接続する第２パッドと、をさらに備える請求項１から４のいずれか１項に記載の基板ユニット。
【請求項６】
前記第１樹脂基板と前記第２樹脂基板との間に配置される接着層、をさらに備え、
前記接着層は、
接着剤と、
前記接着剤中に分散された導電性粒子と、を有する請求項１から５のいずれか１項に記載の基板ユニット。
【請求項７】
第１樹脂基板と、
前記第１樹脂基板に接続される第２樹脂基板と、
前記第１樹脂基板に設けられる導電部と、
前記第２樹脂基板に設けられる第１電極と、
前記第２樹脂基板に設けられ、第１方向において前記第１電極から離して配置される第２電極と、
前記第１電極に接続する第１パッドと、
前記第２電極に接続する第２パッドと、
前記導電部に接続する第３パッドと、を有し、
前記第１方向において、前記第１電極と前記第２電極との離隔距離は、前記導電部の幅よりも大きい、
基板ユニット。
【請求項８】
前記第１樹脂基板に対する前記第２樹脂基板の位置ズレ量を検査するための検査パターンを備え、
前記導電部、前記第１電極、前記第２電極、前記第１パッド、前記第２パッド及び前記第３パッドは前記検査パターンとして機能する、請求項７に記載の基板ユニット。
【請求項９】
第１樹脂基板と、
前記第１樹脂基板に接続される第２樹脂基板と、
前記第１樹脂基板に設けられる導電部と、
前記第２樹脂基板に設けられる第１電極と、
前記第２樹脂基板に設けられ、第１方向において前記第１電極から離して配置される第２電極と、を有し、
前記導電部は、
前記第１電極と対向して接続するための第１部位と、
前記第１方向において前記第１部位から離して配置される第２部位と、
前記第１部位と前記第２部位とを連結する連結部と、を有し、
前記第１方向において、前記第１電極と前記第２電極との離隔距離は、前記第２部位の幅よりも大きい、
基板ユニット。
【請求項１０】
前記第１樹脂基板に対する前記第２樹脂基板の位置ズレ量を検査するための検査パターンを備え、
前記導電部、前記第１電極及び前記第２電極は前記検査パターンとして機能する、請求項９に記載の基板ユニット。
【請求項１１】
前記検査パターンは、
前記第１電極と前記第２電極との間に配置されるダミー電極を有し、
前記第１方向において、前記第１電極と前記ダミー電極との離隔距離は、前記第２電極と前記ダミー電極との離隔距離と同じ長さである、
請求項８又は１０に記載の基板ユニット。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか１項に記載の基板ユニットと、
前記基板ユニットが取り付けられる表示パネルと、を備える表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板ユニット及び表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置や、携帯電子機器等の電子機器は、内部に電子回路や配線が形成された基板（配線基板、回路基板）と、基板に接続されたフレキシブル基板とを備える基板ユニットを備えている。基板とフレキシブル基板とを接続する方法としては、特許文献１に記載されているように、基板とフレキシブル基板との間にＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ、異方性導電膜）を配置し、圧着ヘッドを用いて圧着することで接続する方法がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−９５８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
基板間の接続状態を高精度に検査することが求められている。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、基板間の接続状態を高精度に検査することが可能な基板ユニット及び表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一態様に係る基板ユニットは、第１樹脂基板と、前記第１樹脂基板に接続される第２樹脂基板と、前記第１樹脂基板に設けられる導電部と、前記第２樹脂基板に設けられる第１電極と、前記第２樹脂基板に設けられ、第１方向において前記第１電極から離して配置される第２電極と、を有し、前記導電部は、前記第１電極と対向して接続するための第１部位と、前記第１方向において前記第１部位から離して配置され、前記第２電極と対向して接続するための第２部位と、前記第１部位と前記第２部位とを連結する連結部と、を有し、前記第１方向において、前記第１部位と前記第２部位との中心間距離と、前記第１電極と前記第２電極との中心間距離は、互いに異なる。
【０００７】
別の態様に係る基板ユニットは、第１樹脂基板と、前記第１樹脂基板に接続される第２樹脂基板と、前記第１樹脂基板に設けられる導電部と、前記第２樹脂基板に設けられる第１電極と、前記第２樹脂基板に設けられ、第１方向において前記第１電極から離して配置される第２電極と、前記第１電極に接続する第１パッドと、前記第２電極に接続する第２パッドと、前記導電部に接続する第３パッドと、を有し、前記第１方向において、前記第１電極と前記第２電極との離隔距離は、前記導電部の幅よりも大きい。
【０００８】
さらに別の態様に係る基板ユニットは、第１樹脂基板と、前記第１樹脂基板に接続される第２樹脂基板と、前記第１樹脂基板に設けられる導電部と、前記第２樹脂基板に設けられる第１電極と、前記第２樹脂基板に設けられ、第１方向において前記第１電極から離して配置される第２電極と、を有し、前記導電部は、前記第１電極と対向して接続するための第１部位と、前記第１方向において前記第１部位から離して配置される第２部位と、前記第１部位と前記第２部位とを連結する連結部と、を有し、前記第１方向において、前記第１電極と前記第２電極との離隔距離は、前記第２部位の幅よりも大きい。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、実施形態に係る表示装置の構成例を示す平面図である。
【図２】図２は、第１配線基板と第２配線基板との接合前の状態を示す断面図である。
【図３】図３は、第１配線基板と第２配線基板との接合後の状態を示す断面図である。
【図４】図４は、図１に示したＦＯＦ領域を拡大して示す平面図である。
【図５】図５は、実施形態１に係る検査パターンＴＰの構成例を示す平面図である。
【図６】図６は、図５に示す平面図をＶＩ−ＶＩ’線で切断した断面図である。
【図７】図７は、実施形態１に係る基板ユニットの作製工程と検査工程とを示すフローチャートである。
【図８】図８は、実施形態１に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【図９】図９は、実施形態１に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【図１０】図１０は、実施形態１の変形例１に係る検査パターンを示す平面図である。
【図１１】図１１は、図１０に示す平面図をＸＩ−ＸＩ’線で切断した断面図である。
【図１２】図１２は、実施形態１の変形例１に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【図１３】図１３は、実施形態１の変形例１に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【図１４】図１４は、実施形態１の変形例２に係る検査パターンを示す平面図である。
【図１５】図１５は、図１４に示す平面図をＸＶ−ＸＶ’線で切断した断面図である。
【図１６】図１６は、実施形態１の変形例２に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【図１７】図１７は、実施形態１の変形例２に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【図１８】図１８は、実施形態１の変形例３に係る検査パターンＴＰｃを示す断面図である。
【図１９】図１９は、実施形態１の変形例４に係る検査パターンの構成例を示す平面図である。
【図２０】図２０は、図１９に示す平面図をＸＸ−ＸＸ’線で切断した断面図である。
【図２１】図２１は、比較例に係る検査パターンの構成例を示す断面図である。
【図２２】図２２は、実施形態２に係る検査パターンの構成例を示す平面図である。
【図２３】図２３は、実施形態２に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【図２４】図２４は、実施形態３に係る検査パターンの構成例を示す平面図である。
【図２５】図２５は、実施形態３に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【図２６】図２６は、実施形態３に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【図２７】図２７は、実施形態３の変形例に係る検査パターンの構成例を示す平面図である。
【図２８】図２８は、実施形態３の変形例に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【図２９】図２９は、実施形態３の変形例に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
【００１１】
（実施形態１）
図１は、実施形態に係る表示装置の構成例を示す平面図である。なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、ＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。第１方向をＸ軸方向、第１方向と直交する第２方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに直交する方向（すなわち、Ｘ−Ｙ平面に垂直な方向）をＺ軸方向とする。
【００１２】
図１に示すように、表示装置２００は、表示パネル１５０と、表示パネル１５０に電気的に接続された第１配線基板１００と、第２配線基板１１０と、第３配線基板１４０と、樹脂層（図示せず）と、を備える。なお、表示パネル１５０には、第１配線基板１００、第２配線基板１１０及び第３配線基板１４０の他にも、バックライト等の照明装置やタッチパネル、その他の付帯機器が必要に応じて付設されるが、図１ではそれらの図示を省略している。
【００１３】
表示パネル１５０は、例えば液晶パネルである。表示パネル１５０は、ＴＦＴ基板６０と、ＴＦＴ基板６０と対向して配置された対向基板９０と、ＴＦＴ基板６０と対向基板９０とを貼り合せるシール材（図示せず）と、ＴＦＴ基板６０と対向基板９０との間に封止された液晶層（図示せず）とを有する。例えば、ＴＦＴ基板６０において対向基板９０と対向する領域には、それぞれＸ軸方向及びＹ軸方向に延びる複数の配線（図示せず）が設けられている。ＴＦＴ基板６０において、配線同士が交差する部分が表示の最小単位、すなわち画素に対応している。その画素が複数個、マトリクス状に配列することによって全体の表示領域が形成されている。また、図示しないが、例えば液晶層と対向基板９０との間には、カラーフィルタが配置されている。カラーフィルタは、対向基板９０においてＴＦＴ基板６０と対向する面に印刷されていてもよい。
【００１４】
なお、本実施形態において、表示パネル１５０は液晶パネルに限定されるものではない。例えば、表示パネル１５０は、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）パネルであってもよいし、電気泳動型ディスプレイやその他の電気光学装置であってもよい。
【００１５】
ＴＦＴ基板６０は、対向基板９０の外側へ張り出す張出し部６１を有する。張出し部６１の一方の面６１ａ側には、表示領域内に設けられた配線に直接又は間接的に接続されたパネル端子（図示せず）が設けられている。複数のパネル端子は、張出し部６１の外縁に沿って配列することで、パネル端子群を構成している。
【００１６】
図１に示すように、第１配線基板１００と張出し部６１は、ＦＯＧ（Ｆｉｌｍ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）領域Ｒ１１で接合している。ＦＯＧ領域Ｒ１１の周辺は、張出し部６１の表面６１ａ及び側面に塗布された樹脂層（図示せず）によって覆われている。これにより、第１配線基板１００が有するＦＯＧ端子（図示せず）が封止されている。また、第１配線基板１００と第２配線基板１１０は、ＦＯＦ（Ｆｉｌｍ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）領域Ｒ１２で接合している。
【００１７】
第２配線基板１１０は、フレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔｓ））である。第２配線基板１１０には、例えば、タッチパネル（図示せず）を駆動する駆動回路１２０や、受動素子１３０が実装されている。第２配線基板１１０は、タッチパネルに接続している。また、第２配線基板１１０には、表示装置２００を他の機器に接続するためのコネクタＣＮＴが設けられている。
【００１８】
第３配線基板１４０は、ＦＰＣである。第３配線基板１４０は、バックライトに接続している。また、第３配線基板１４０と第２配線基板１１０は、半田接続、あるいは、コネクタ等を用いＦＯＦ（Ｆｉｌｍ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）領域Ｒ１３で接合している。
【００１９】
図２は、第１配線基板と第２配線基板との接合前の状態を示す断面図である。図３は、第１配線基板と第２配線基板との接合後の状態を示す断面図である。図２及び図３は、図１をＩＩ−ＩＩ’線で切断した断面を拡大して示している。図４は、図１に示したＦＯＦ領域を拡大して示す平面図である。
【００２０】
図２から図４に示す第１配線基板１００は、例えば長尺のフィルム状の基材（以下、フィルム基材）１にＩＣチップ５（図１参照）が表面実装され、ＩＣチップ５が表面実装されたフィルム基材１が外形カットラインに沿って打ち抜きされることによって形成される。第１配線基板１００は、例えば、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）である。第１配線基板１００は、フィルム基材１と、フィルム基材１の一方の面１ａ側に設けられた複数のＦＯＧ端子（図示せず）及び複数の第１ＦＯＦ端子１２と、フィルム基材１の一方の面１ａ側に表面実装されたＩＣチップ５と、フィルム基材１の一方の面１ａにおいてＩＣチップ５の周辺を覆うソルダーレジスト７と、を有する。例えばフィルム基材１は可撓性のある樹脂材料で形成され、第１配線基板１００は第１樹脂基板１００と読み替えることもできる。
【００２１】
第２配線基板１１０は、フィルム基材１１１と、フィルム基材１１１の一方の面１１１ａ側に設けられた第２ＦＯＦ端子１１２と、接着層１１３、１１５と、カバーフィルム１１４、１１６と、を有する。第２ＦＯＦ端子１１２、接着層１１３及びカバーフィルム１１４は、フィルム基材１１１の一方の面１１１ａ側に設けられている。カバーフィルム１１４は、接着層１１３を介してフィルム基材１１１に貼付されている。また、接着層１１５及びカバーフィルム１１６は、フィルム基材１１１の他方の面１１１ｂ側に設けられている。カバーフィルム１１６は、接着層１１５を介してフィルム基材１１１に貼付されている。例えばフィルム基材１１１は可撓性のある樹脂材料で形成され、第２配線基板１１０は第２樹脂基板１１０と読み替えることもできる。
【００２２】
第１配線基板１００の第１ＦＯＦ端子１２と、第２配線基板１１０の第２ＦＯＦ端子１１２は、異方性導電フィルム（以下、ＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ））８に含まれる導電性粒子８１を介して接続される。また、図示しないが、第１配線基板１００のＦＯＧ端子と、張出し部６１（図１参照）のパネル端子もＡＣＦ８に含まれる導電性粒子８１を介して接続される。ＦＯＧ端子及び第１ＦＯＦ端子１２と、第２ＦＯＦ端子１１２は、例えば銅（Ｃｕ）等の金属膜で構成され、その金属膜表面には錫（Ｓｎ）メッキあるいは、金（Ａｕ）やニッケル（Ｎｉ）メッキ等が施されている。
【００２３】
図４に示すように、複数の第１ＦＯＦ端子１２は、Ｘ軸方向において間隔を置いて並んでいる。複数の第１ＦＯＦ端子１２はそれぞれ電子部品に接続されている。また、第１配線基板１００の両端部には、導電部Ｔ１Ａ、Ｔ１Ｂがそれぞれ設けられている。導電部Ｔ１Ａ、Ｔ１Ｂは、電子部品に接続されていない。
【００２４】
第２ＦＯＦ端子１１２は、Ｘ軸方向において間隔を置いて並んでいる。複数の第２ＦＯＦ端子１１２はそれぞれ電子部品に接続されている。また、第２配線基板１１０の両端部には、検査電極Ｔ２Ａ、Ｔ２Ｂがそれぞれ設けられている。検査電極Ｔ２Ａ、Ｔ２Ｂは、電子部品に接続されていない。
【００２５】
検査電極Ｔ２Ａは、第１検査電極Ｔ２１Ａと、Ｘ軸方向において第１検査電極Ｔ２１Ａから離して配置される第２検査電極Ｔ２２Ａと、を有する。第１検査電極Ｔ２１Ａの一方の端部は、ＡＣＦ８を介して導電部Ｔ１Ａに接続される。また、第１検査電極Ｔ２１Ａの他方の端部は、測定用パッドＰ２１Ａとなっている。同様に、検査電極Ｔ２Ｂは、第１検査電極Ｔ２１Ｂと、Ｘ軸方向において第１検査電極Ｔ２１Ｂから離して配置される第２検査電極Ｔ２２Ｂと、を有する。第１検査電極Ｔ２１Ｂの一方の端部は、ＡＣＦ８を介して導電部Ｔ１Ｂに接続される。また、第１検査電極Ｔ２１Ｂの他方の端部は、測定用パッドＰ２１Ｂとなっている。
【００２６】
本実施形態では、導電部Ｔ１Ａと、検査電極Ｔ２Ａとによって、検査パターンＴＰＡが構成されている。また、導電部Ｔ１Ｂと、検査電極Ｔ２Ｂとによって、検査パターンＴＰＢが構成されている。
【００２７】
以下、導電部Ｔ１Ａ、Ｔ１Ｂを区別して説明する必要がない場合は、これらを導電部Ｔ１という。また、検査パターンＴＰＡ、ＴＰＢを区別して説明する必要がない場合は、これらを検査パターンＴＰという。同様に、検査電極Ｔ２Ａ、Ｔ２Ｂを区別して説明する必要がない場合は、これらを検査電極Ｔ２という。第１検査電極Ｔ２１Ａ、２１Ｂを区別して説明する必要がない場合は、これらを第１検査電極Ｔ２１という。第２検査電極Ｔ２２Ａ、２２Ｂを区別して説明する必要がない場合は、これらを第２検査電極Ｔ２２という。測定用パッドＰ２１Ａ、Ｐ２１Ｂを区別して説明する必要がない場合は、これらを測定用パッドＰ２１という。測定用パッドＰ２２Ａ、Ｐ２２Ｂを区別して説明する必要がない場合は、これらを測定用パッドＰ２２という。
【００２８】
図５は、実施形態１に係る検査パターンＴＰの構成例を示す平面図である。また、図６は、図５に示す平面図をＶＩ−ＶＩ’線で切断した断面図である。図５及び図６に示すように、検査パターンＴＰは、導電部Ｔ１と検査電極Ｔ２とを有する。また、検査電極Ｔ２は、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２とを有する。導電部Ｔ１は、第１部位Ｔ１１と、第２部位Ｔ１２と、連結部Ｔ１０とを有する。
【００２９】
第１部位Ｔ１１は、例えばＹ軸方向に延設された導電膜である。第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量が予め設定した値（以下、所定値）以下の場合、第１部位Ｔ１１の少なくとも一部は、Ｚ軸方向において、第１検査電極Ｔ２１と対向する位置に配置される。なお、上記の位置ズレは、実装ズレと呼んでもよい。
【００３０】
第２部位Ｔ１２は、例えばＹ軸方向に延設された導電膜である。上記の位置ズレ量が所定値以下の場合、第２部位Ｔ１２の少なくとも一部は、Ｚ軸方向において、第２検査電極Ｔ２２と対向する位置に配置される。
【００３１】
連結部Ｔ１０は、例えばＸ軸方向に延設された導電膜である。連結部Ｔ１０は、Ｚ軸方向において、第１検査電極Ｔ２１及び第２検査電極Ｔ２２とは対向しない位置に配置される。連結部Ｔ１０は、第１検査電極Ｔ２１及び第２検査電極Ｔ２２とは平面視で重ならない位置で、第１部位Ｔ１１と第２部位Ｔ１２とを連結している。
【００３２】
図５に示すように、第１検査電極Ｔ２１は、Ｙ軸方向に延設された導電膜である。第１検査電極Ｔ２１は、Ｘ軸方向において、第２検査電極Ｔ２２と隣り合う側（つまり、検査電極Ｔ２の内側）に位置する第１縁部２１１と、第２検査電極Ｔ２２と隣り合う側の反対側（つまり、検査電極Ｔ２の外側）に位置する第２縁部２１２とを有する。第１縁部２１１と第２縁部２１２との間の距離Ｗ２１が、第１検査電極Ｔ２１の幅である。第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１は、第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１よりも大きい。例えば、第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１は、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１の１／２の長さである。
【００３３】
第１配線基板１００（図４参照）に対する第２配線基板１１０（図４参照）の相対的な位置ズレ量が所定値以下の場合、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１は、第１検査電極Ｔ２１の第１縁部２１１よりも第２縁部２１２寄りに位置する。すなわち、第１部位Ｔ１１は、検査電極Ｔ２の外側寄りに位置する。この場合、第１部位Ｔ１１の縁部は、第１検査電極Ｔ２１の第２縁部２１２と平面視で重なる、又はほぼ重なる。
【００３４】
同様に、第２検査電極Ｔ２２は、Ｙ軸方向に延設された導電膜である。第２検査電極Ｔ２２は、Ｘ軸方向において、第１検査電極Ｔ２１と隣り合う側（つまり、検査電極Ｔ２の内側）に位置する第１縁部２２１と、第１検査電極Ｔ２１と隣り合う側の反対側（つまり、検査電極Ｔ２の外側）に位置する第２縁部２２２とを有する。第１縁部２２１と第２縁部２２２との間の距離Ｗ２２が、第２検査電極Ｔ２２の幅である。第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２は、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２よりも大きい。例えば、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２の１／２の長さである。
【００３５】
第１配線基板１００（図４参照）に対する第２配線基板１１０（図４参照）の相対的な位置ズレ量が所定値以下の場合、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２は、第２検査電極Ｔ２２の第１縁部２２１よりも第２縁部２２２寄りに位置する。すなわち、第２部位Ｔ１２は、検査電極Ｔ２の外側寄りに位置する。この場合、第２部位Ｔ１２の縁部は、第２検査電極Ｔ２２の第２縁部２２２と平面視で重なる、又はほぼ重なる。
【００３６】
図５に示すように、導電部Ｔ１の第１部位の幅Ｗ１１と、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は、同じ長さである。また、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１と、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２も、同じ長さである。また、図６に示すように、Ｘ軸方向において、第１部位Ｔ１１と第２部位Ｔ１２との中心間距離Ｌ１と、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２との中心間距離Ｌ２は、互いに異なる長さであり、例えばＬ１はＬ２よりも長い。
【００３７】
図６に示すように、第１配線基板１００と第２配線基板１１０は、ＦＯＦ領域Ｒ１２（図１参照）において、ＡＣＦ８を介して接合される。第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量が所定値以下の場合、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１はＺ軸方向で対向し、ＡＣＦ８に含まれる導電性粒子８１を介して互いに接続される。また、上記の位置ズレ量が所定値以下の場合、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２はＺ軸方向で対向し、ＡＣＦ８に含まれる導電性粒子８１を介して互いに接続される。以下、ＡＣＦ８を介して第１配線基板１００と第２配線基板１１０とが接合された構造体を、基板ユニット３００（図４参照）という。
【００３８】
次に、基板ユニット３００の作製工程と検査工程とを説明する。図７は、実施形態１に係る基板ユニットの作製工程と検査工程とを示すフローチャートである。図８は、実施形態１に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレしている場合を示す平面図である。図９は、実施形態１に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【００３９】
図７に示すように、製造装置（図示せず）は、第１配線基板１００又は第２配線基板１１０（図４参照）にＡＣＦ８を貼付する（ステップＳＴ１）。次に、製造装置は、第１配線基板１００と第２配線基板１１０とをアライメントマークを用いて位置合わせする。次に、製造装置は、ＡＣＦ８を介して第１配線基板１００と第２配線基板１１０とを接合する（ステップＳＴ２）。ＡＣＦ８は、接着剤８２（図６参照）と、接着剤８２中に分散された多数の導電性粒子８１（図６参照）と、を有する。ＡＣＦ８は、接着剤８２によって第１配線基板１００と第２配線基板１１０とを接着する機能を有する。また、ＡＣＦ８は、対向しない端子間を絶縁しつつ、対向する端子間を導電性粒子８１によって接続する機能を有する。端子間として、第１ＦＯＦ端子１２と第２ＦＯＦ端子１１２との間や、導電部Ｔ１と検査電極Ｔ２（図６参照）との間が例示される。これにより、基板ユニット３００（図４参照）が完成する。
【００４０】
次に、検査装置（図示せず）は、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２との間の導通検査を行う（ステップＳＴ３）。例えば、検査装置は、第２配線基板１１０  に配置された測定用パッドＰ２１、Ｐ２２にプローブ針ＰＮ（図５参照）を接触させ、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れるか否かを測定する。この測定には、プローブ針ＰＮに接続された電流検知装置ＣＤＡ（図５参照）を用いる。このとき、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量（すなわち、導電部Ｔ１に対する検査電極Ｔ２の相対的な位置ズレ量）が所定値以下であれば、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２は導電部Ｔ１を介して接続される。
【００４１】
例えば、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量がゼロまたはほぼゼロの場合、第１部位Ｔ１１の縁部は、第１検査電極Ｔ２１の第２縁部２１２と平面視で重なる、又はほぼ重なる。また、第２部位Ｔ１２の縁部は、第２検査電極Ｔ２２の第２縁部２２２と平面視で重なる、又はほぼ重なる。これにより、ＡＣＦ８に含まれる導電性粒子８１を介して、第１検査電極Ｔ２１と第１部位Ｔ１１とが接続され、かつ、第２検査電極Ｔ２２と第２部位Ｔ１２とが接続される。これにより、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れる。測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間を流れる電流の電流値は、電流検知装置ＣＤＡによって検出される。
【００４２】
一方、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量が所定値を超える場合、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２は導電部Ｔ１を介して接続されないので、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流は流れない。
【００４３】
例えば、図８に示すように、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレし、その位置ズレ量が第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１（または、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２）を超える場合、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間には平面視でスペースＳが生じる。すなわち、上記の位置ズレ量が、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２の１／２を超える場合、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間には平面視でスペースＳが生じる。この場合、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間は接続されないため、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流は流れない。
【００４４】
また、図９に示すように、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレし、その位置ズレ量が第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１（または、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２）を超える場合、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１との間には平面視でスペースＳが生じる。すなわち、上記の位置ズレ量が第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１の１／２を超える場合、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１との間には平面視でスペースＳが生じる。この場合、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１との間は接続されないため、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流は流れない。
【００４５】
検査装置は、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れる場合は、位置ズレ量が所定値以下であると判断し（ステップＳＴ４；Ｙｅｓ）、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態は良であると判断する（ステップＳＴ５）。一方、検査装置は、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れない場合は、位置ズレ量が所定値を超えていると判断し（ステップＳＴ４；Ｎｏ）、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態は不良であると判断する（ステップＳＴ６）。以上により、基板ユニットの作製工程と検査工程とが終了する。
【００４６】
以上説明したように、実施形態１に係る基板ユニット３００は、第１配線（例えば、第１ＦＯＦ端子１２）を有する第１基板（例えば、第１配線基板１００）と、第１ＦＯＦ端子１２に接続される第２配線（第２ＦＯＦ端子１１２）を有する第２基板（例えば、第２配線基板１１０）と、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量を検査するための検査パターンＴＰと、を備える。検査パターンＴＰは、第１配線基板１００に設けられる導電部Ｔ１と、第２配線基板１１０に設けられる第１電極（例えば、第１検査電極Ｔ２１）と、第２配線基板１１０に設けられ、第１方向（例えば、Ｘ軸方向）において第１検査電極ＴＰ２１から離して配置される第２電極（例えば、第２検査電極Ｔ２２）と、を有する。導電部Ｔ１、第１検査電極Ｔ２１及び第２検査電極Ｔ２２は、検査パターンＴＰとして機能する。導電部Ｔ１は、第１検査電極Ｔ２１と対向して接続するための第１部位Ｔ１１と、Ｘ軸方向において第１部位Ｔ１１から離して配置され、第２検査電極Ｔ２２と対向して接続するための第２部位Ｔ１２と、第１部位Ｔ１１と第２部位Ｔ１２とを連結する連結部Ｔ１０と、を有する。Ｘ軸方向において、第１部位Ｔ１１と第２部位Ｔ１２との中心間距離Ｌ１と、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２との中心間距離Ｌ２は、互いに異なる。
【００４７】
これによれば、第１部位Ｔ１１は、位置ズレ量が所定値（例えば、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１の１／２）以下の場合に、第１検査電極Ｔ２１と対向する位置に配置される。第２部位Ｔ１２は、位置ズレ量が所定値以下の場合に第２検査電極Ｔ２２と対向する位置に配置される。これにより、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレの良否判断を、第１検査電極Ｔ２１に接続する測定用パッドＰ２１と、第２検査電極Ｔ２２に接続する測定用パッドＰ２２との間の抵抗値ではなく、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間での電流の有無に基づいて行うことができる。例えば、位置ズレ量が所定値以下であり、第１検査電極Ｔ２１と第１部位Ｔ１１との間、及び、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間がそれぞれ導通（ショート）していれば、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間に電流が流れる。一方、位置ズレ量が所定値を越えており、第１検査電極Ｔ２１と第１部位Ｔ１１との間、及び、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間、の少なくとも一方が非導通（オープン）であれば、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流は流れない。このように、位置ズレの良否判断の閾値が明確となるので、検査装置は、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態を高精度に検査することができる。
【００４８】
ここで、上記の位置ズレの良否判断を、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間の抵抗値に基づいて行う場合を説明する。抵抗値には、第１検査電極Ｔ２１が有する配線抵抗値と、第１検査電極Ｔ２１と第１部位Ｔ１１との間の接続抵抗値と、第１部位Ｔ１１が有する配線抵抗値と、連結部Ｔ１０が有する配線抵抗値と、第２部位Ｔ１２が有する配線抵抗値と、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間の接続抵抗値と、第２検査電極Ｔ２２が有する配線抵抗値と、が含まれる。各配線抵抗値と、各接続抵抗値は、それぞればらつきを有する。このため、抵抗値に基づく良否判断では、閾値が不明確となり易い。例えば、上記の位置ズレ量が所定値以下である場合の抵抗の最大値よりも、上記の位置ズレ量が所定値を超える場合の抵抗の最小値の方が大きい場合がある。このように、抵抗値に基づく良否判断では、閾値を適切に設定することは難しい。
これに対して、本実施形態は、電流の有無に基づく良否判断である。位置ズレ量が所定値を超えると、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間の電流経路がオープンとなり、電流は流れない。良否判断の閾値は、電流が流れるか否かであり、明確である。
【００４９】
また、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１は、Ｘ軸方向と平面視で交差するＹ軸方向にそれぞれ延設されている。Ｘ軸方向において、第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１は、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１よりも小さい。これによれば、検知したい位置ズレ量を、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１よりも小さくすることができる。例えば、第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１を第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１の１／２とすることによって、幅Ｗ２１の１／２の長さの位置ズレを検知することが可能となる。
【００５０】
また、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２は、Ｙ軸方向にそれぞれ延設されている。Ｘ軸方向において、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２よりも小さい。これによれば、検知したい位置ズレ量を、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２よりも小さくすることができる。例えば、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２を第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２の１／２とすることによって、幅Ｗ２２の１／２の大きさの位置ズレ量を検知することが可能となる。
【００５１】
また、基板ユニット３００は、第１検査電極Ｔ２１に接続する第１パッド（例えば、測定用パッドＰ２１）と、第２検査電極Ｔ２２に接続する第２パッド（例えば、測定用パッドＰ２２）と、をさらに備える。これによれば、検査装置は、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２にプローブ針ＰＮをそれぞれ接触させて、電流値を測定することができる。
【００５２】
また、基板ユニット３００は、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間に配置されるＡＣＦ８、をさらに備える。ＡＣＦ８は、接着剤８２と、接着剤８２中に分散された導電性粒子８１と、を有する。これによれば、ＡＣＦ８を介して第１配線基板１００と第２配線基板１１０とを接合するとともに、ＡＣＦ８に含まれる導電性粒子８１を介して第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１との間、及び、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間をそれぞれ接続することができる。
【００５３】
また、本実施形態に係る表示装置２００は、基板ユニット３００と、基板ユニット３００が取り付けられる表示パネル１５０と、を備える。これによれば、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態が高精度に検査された表示装置２００を提供することができる。
【００５４】
（変形例）
上述の実施形態１では、第１配線基板１００（図４参照）に対する第２配線基板１１０（図４参照）の相対的な位置ズレ量がゼロまたはほぼゼロの場合、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１と第２部位Ｔ１２はそれぞれ検査電極Ｔ２の外側寄りに位置することを説明した（図５参照）。しかしながら、本実施形態はこれに限定されない。
【００５５】
図１０は、実施形態１の変形例１に係る検査パターンを示す平面図である。また、図１１は、図１０に示す平面図をＸＩ−ＸＩ’線で切断した断面図である。図１０及び図１１に示すように、実施形態１の変形例１に係る検査パターンＴＰａでは、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量がゼロまたはほぼゼロの場合、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１は、第１検査電極Ｔ２１の第２縁部２１２よりも第１縁部２１１寄りに位置する。すなわち、第１部位Ｔ１１は、検査電極Ｔ２の内側寄りに位置する。この場合、第１部位Ｔ１１の縁部は、第１検査電極Ｔ２１の第１縁部２１１と平面視で重なる、又はほぼ重なる。
【００５６】
同様に、検査パターンＴＰａでは、上記の位置ズレ量がゼロまたはほぼゼロの場合、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２は、第２検査電極Ｔ２２の第２縁部２２２よりも第１縁部２２１寄りに位置する。すなわち、第２部位Ｔ１２は、検査電極Ｔ２の内側寄りに位置する。この場合、第２部位Ｔ１２の縁部は、第２検査電極Ｔ２２の第１縁部２２１と平面視で重なる、又はほぼ重なる。
【００５７】
図１０に示すように、検査パターンＴＰａにおいても、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１と、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は、同じ長さである。また、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１と、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２も、同じ長さである。図１０において、Ｗ１１はＷ２１の１／２の長さである。Ｗ１２はＷ２２の１／２の長さである。また、図１１に示すように、第１部位Ｔ１１と第２部位Ｔ１２の中心間距離Ｌ１と、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２の中心間距離Ｌ２は、互いに異なる長さである。例えば、Ｌ１はＬ２よりも短い。
【００５８】
図１２は、実施形態１の変形例１に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレしている場合を示す平面図である。図１３は、実施形態１の変形例１に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【００５９】
図１２に示すように、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレし、その位置ズレ量が第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１（または、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２）を超える場合、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１との間には平面視でスペースＳが生じる。すなわち、上記の位置ズレ量が第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１（または、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２）の１／２を超える場合、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１との間には平面視でスペースＳが生じる。この場合、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１との間は接続されないため、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流は流れない。
【００６０】
また、図１３に示すように、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレし、その位置ズレ量が第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１（または、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２）を超える場合、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間には平面視でスペースＳが生じる。すなわち、上記の位置ズレ量が第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１（または、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２）の１／２を超える場合、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間には平面視でスペースＳが生じる。この場合、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間は接続されないため、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流は流れない。
【００６１】
実施形態１の変形例１においても、検査装置（図示せず）は、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れる場合は、位置ズレ量が所定値以下であると判断し、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態は良であると判断する。また、検査装置は、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れない場合は、位置ズレ量が所定値を超えていると判断し、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態は不良であると判断する。
【００６２】
上記の実施形態１では、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１は、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１の１／２の長さであることを説明した。また、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２の１／２の長さであることを説明した。しかしながら、本実施形態はこれに限定されない。本実施形態では、検出したい位置ズレ量に基づいて、第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１及び第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２を任意に設定してよい。
【００６３】
図１４は、実施形態１の変形例２に係る検査パターンを示す平面図である。また、図１５は、図１４に示す平面図をＸＶ−ＸＶ’線で切断した断面図である。図１４及び図１５に示すように、実施形態１の変形例２に係る検査パターンＴＰｂでは、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量がゼロまたはほぼゼロの場合、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１は、検査電極Ｔ２の外側寄りに位置する。例えば、第１部位Ｔ１１の縁部は、第１検査電極Ｔ２１の第２縁部２１２と平面視で重なる、又はほぼ重なる。
【００６４】
同様に、検査パターンＴＰｂでは、上記の位置ズレ量がゼロまたはほぼゼロの場合、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２は、検査電極Ｔ２の外側寄りに位置する。例えば、第２部位Ｔ１２の縁部は、第２検査電極Ｔ２２の第２縁部２２２と平面視で重なる、又はほぼ重なる。
【００６５】
図１４に示すように、検査パターンＴＰｂにおいても、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１と、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は、同じ長さである。また、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１と、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２も、同じ長さである。図１４において、Ｗ１１はＷ２１の２／３の長さである。Ｗ１２はＷ２２の２／３の長さである。また、図１５に示すように、第１部位Ｔ１１と第２部位Ｔ１２の中心間距離Ｌ１と、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２の中心間距離Ｌ２は、互いに異なる長さである。検査パターンＴＰｂでは、Ｌ１はＬ２よりも長い。
【００６６】
図１６は、実施形態１の変形例２に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレしている場合を示す平面図である。図１７は、実施形態１の変形例２に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレしている場合を示す平面図である。
【００６７】
図１６に示すように、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレし、その位置ズレ量が所定値を超える場合、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間には平面視でスペースＳが生じる。この場合、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間は接続されないため、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流は流れない。また、図１７に示すように、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレし、その位置ズレ量が所定値を超える場合、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１との間には平面視でスペースＳが生じる。この場合も、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１との間は接続されないため、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流は流れない。
【００６８】
実施形態１の変形例２において、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量の所定値は、第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１（または、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２）と同じ長さ、つまり、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１（または、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２）の２／３の長さとなっている。
【００６９】
このように、検出したい位置ズレ量に応じて、第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１は第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１に対して細くされており、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２に対して細くされている。例えば、所定値が第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１の２／３の場合、第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１は第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１の２／３の長さとなっており、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２の２／３の長さとなっている。
【００７０】
また、上記の実施形態では、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１は第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１よりも小さく、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２よりも小さいことを説明した。しかしながら、本実施形態は、これに限定されない。
【００７１】
図１８は、実施形態１の変形例３に係る検査パターンＴＰｃを示す断面図である。図１８に示すように、実施形態１の変形例３に係る検査パターンＴＰｃでは、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１は、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１と同じ長さである。また、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２と同じ長さである。また、第１部位Ｔ１１と第２部位Ｔ１２の中心間距離Ｌ１と、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２の中心間距離Ｌ２は、互いに異なる長さである。例えば、Ｌ１はＬ２よりも長い。このような構成であっても、検査装置は、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間の導通又は非導通に基づいて、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態を高精度に検査することができる。
【００７２】
また、上記の実施形態では、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１と、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２とが同じ長さであることを説明した。しかしながら、本実施形態において、第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１と第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は、互いに異なる長さであってもよい。また、本実施形態の検査パターンは、複数の検査パターンで構成されていてもよい。
【００７３】
図１９は、実施形態１の変形例４に係る検査パターンの構成例を示す平面図である。また、図２０は、図１９に示す平面図をＸＸ−ＸＸ’線で切断した断面図である。図１９及び図２０に示すように、実施形態１の変形例４に係る検査パターンＴＰｄは、第１検査パターンＴＰｄ１と、第２検査パターンＴＰｄ２とを有する。
【００７４】
第１検査パターンＴＰｄ１では、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１は、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１よりも小さい。例えば、第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１は、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１の１／２である。また、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２と同じ長さである。また、第１部位Ｔ１１と第２部位Ｔ１２の中心間距離Ｌ１と、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２の中心間距離Ｌ２は、互いに異なる長さである。例えば、Ｌ１はＬ２よりも長い。また、第１部位Ｔ１１は、第１検査電極Ｔ２１の外側寄りに位置する。
【００７５】
第２検査パターンＴＰｄ２では、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１は、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１と同じ長さである。また、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２よりも小さい。例えば、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２の１／２である。また、第１部位Ｔ１１と第２部位Ｔ１２の中心間距離Ｌ１と、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２の中心間距離Ｌ２は、互いに異なる長さである。例えば、Ｌ１はＬ２よりも長い。また、第２部位Ｔ１２は、第２検査電極Ｔ２２の外側寄りに位置する。
【００７６】
図２０において、第２配線基板１１０に対して第１配線基板１００が左側に位置ズレした場合を想定する。第１検査パターンＴＰｄ１において、左側への位置ズレ量が第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１の長さを越えている場合、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１との間には平面視でスペースＳ（図１７参照）が生じる。第１検査パターンＴＰｄ１では、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１との間は接続されないため、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間（図１７参照）で電流は流れない。検査装置は、第１検査パターンＴＰｄ１が非導通状態にあると判断する。一方、第２検査パターンＴＰｄ２では、第２部位Ｔ１２は、第２検査電極Ｔ２２の外側寄りに位置する。このため、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間は接続される。検査装置は、第２検査パターンＴＰｄ２は導通状態にあると判断する。
【００７７】
次に、図２０において、第２配線基板１１０に対して第１配線基板１００が右側に位置ズレした場合を想定する。第２検査パターンＴＰｄ２において、右側への位置ズレ量が第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２の長さを超える場合、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間には平面視でスペースＳ（図１６参照）が生じる。第２検査パターンＴＰｄ２では、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２との間は接続されないため、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間（図１６参照）で電流は流れない。検査装置は、第２検査パターンＴＰｄ２が非導通状態にあると判断する。一方、第１検査パターンＴＰｄ１では、第１部位Ｔ１１は、第１検査電極Ｔ２１の外側寄りに位置する。このため、第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１との間は接続される。検査装置は、第１検査パターンＴＰｄ１は導通状態にあると判断する。
【００７８】
第１検査パターンＴＰｄ１が非導通状態と判断され、且つ、第２検査パターンＴＰｄ２が導通状態と判断される場合、検査装置は、第２配線基板１１０に対する第１配線基板１００の位置ズレの方向は、左側であると判断する。また、第１検査パターンＴＰｄ１が導通状態と判断され、且つ、第２検査パターンＴＰｄ２が非導通状態と判断される場合、検査装置は、第２配線基板１１０に対する第１配線基板１００の位置ズレの方向は、右側であると判断する。
【００７９】
（比較例）
図２１は、比較例に係る検査パターンの構成例を示す断面図である。図２１に示すように、比較例に係る検査パターンＴＰ’では、第１部位Ｔ１１’の幅Ｗ１１’と、第１検査電極Ｔ２１’の幅Ｗ２１’とが、互いに同じ長さである。また、第２部位Ｔ１２’の幅Ｗ１２’と、第２検査電極Ｔ２２’の幅Ｗ２２’とが、互いに同じ長さである。また、第１部位Ｔ１１’と第２部位Ｔ１２’の中心間距離Ｌ１’と、第１検査電極Ｔ２１’と第２検査電極Ｔ２２’の中心間距離Ｌ２’とが、互いに同じ長さである。比較例に係る検査パターンＴＰ’では、第１検査電極Ｔ２１’の幅Ｗ２１’よりも短い長さの位置ズレや、第２検査電極Ｔ２２’の幅Ｗ２２’よりも短い長さの位置ズレを検出することはできない。
【００８０】
（実施形態２）
上述の実施形態１とその変形例では、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量が所定値以下の場合、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間が導通することを説明した。また、上記の位置ズレ量が所定値を超える場合、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間が非導通となることを説明した。しかしながら、本実施形態はこれに限定されない。本実施形態では、上記の位置ズレ量が所定値以下の場合は測定用パッド間で電流が流れず、上記の位置ズレ量が所定値を超える場合測定用パッド間で電流が流れてもよい。
【００８１】
図２２は、実施形態２に係る検査パターンの構成例を示す平面図である。図２２に示すように、実施形態２に係る検査パターンＴＰｅは、第１配線基板１００（図４参照）に設けられた導電部Ｔ１と、第２配線基板１１０（図４参照）に設けられた検査電極Ｔ２とを有する。また、検査電極Ｔ２は、第１検査電極Ｔ２１と、第２検査電極Ｔ２２と、ダミー電極Ｔ２５を有する。
【００８２】
検査パターンＴＰｅにおいて、導電部Ｔ１は、Ｙ軸方向に延設された導電膜である。第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量が所定値以下の場合、導電部Ｔ１の少なくとも一部は、Ｚ軸方向において、ダミー電極Ｔ２５と対向する位置に配置される。導電部Ｔ１の一方の端部は、測定用パッドＰ１となっている。
【００８３】
検査パターンＴＰｅにおいて、第１検査電極Ｔ２１、第２検査電極Ｔ２２及びダミー電極Ｔ２５は、それぞれＹ軸方向に延設された導電膜である。第１検査電極Ｔ２１、第２検査電極Ｔ２２及びダミー電極Ｔ２５は、Ｘ軸方向に並んで配置されている。Ｘ軸方向において、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２との間にダミー電極Ｔ２５が配置されている。第１検査電極Ｔ２１と、第２検査電極Ｔ２２と、ダミー電極Ｔ２５は、それぞれ離して配置されている。
【００８４】
図２２に示すように、導電部Ｔ１の幅（Ｘ軸方向における長さ）をＷ１とする。ダミー電極Ｔ２５の幅をＷ２５とする。第１検査電極Ｔ２１とダミー電極Ｔ２５との間に位置する第１スペース領域Ｓ１の幅をＷＳ１とする。第２検査電極Ｔ２２とダミー電極Ｔ２５との間に位置する第２スペース領域Ｓ２の幅をＷＳ２とする。例えば、導電部Ｔ１の幅Ｗ１と、ダミー電極Ｔ２５の幅は、互いに同じ長さとなっている。また、第１スペース領域Ｓ１の幅ＷＳ１と、第２スペース領域Ｓ２の幅ＷＳ２は、互いに同じ長さとなっている。また、導電部Ｔ１の幅Ｗ１は、第１スペース領域Ｓ１の幅ＷＳ１よりも大きく、第２スペース領域Ｓ２の幅ＷＳ２よりも大きい。また、導電部Ｔ１の幅Ｗ１は、第１検査電極Ｔ２１の幅Ｗ２１よりも小さく、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２よりも小さい。また、導電部Ｔ１の幅Ｗ１は、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２との離隔距離Ｄ２よりも小さい。
【００８５】
例えば、第１検査電極Ｔ２１は、ダミー電極Ｔ２５側に拡幅した拡幅部Ｔ２１１を有する。拡幅部Ｔ２１１の幅Ｗ２１１の分だけ、第１検査電極Ｔ２１はダミー電極Ｔ２５よりも幅広となっている。同様に、第２検査電極Ｔ２２は、ダミー電極Ｔ２５側に拡幅した拡幅部Ｔ２２１を有する。拡幅部Ｔ２２１の幅Ｗ２２１の分だけ、第２検査電極Ｔ２２はダミー電極Ｔ２５よりも幅広となっている。検査パターンＴＰｅでは、拡幅部Ｔ２１１の幅Ｗ２１１と、第１スペース領域Ｓ１の幅ＷＳ１との和が、導電部Ｔ１の幅Ｗ１となっている。同様に、拡幅部Ｔ２２１の幅Ｗ２２１と、第２スペース領域Ｓ２の幅ＷＳ２との和が、導電部Ｔ１の幅Ｗ１となっている。
【００８６】
第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量がゼロまたはほぼゼロの場合、導電部Ｔ１は、ダミー電極Ｔ２５とＺ軸方向で対向する。この場合、導電部Ｔ１は、第１検査電極Ｔ２１及び第２検査電極Ｔ２２のいずれとも接続されない。このため、測定用パッドＰ１、Ｐ２１間、測定用パッドＰ１、Ｐ２２間のいずれにおいても、電流は流れない。
【００８７】
図２３は、実施形態２に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレしている場合を示す平面図である。図２３に示すように、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレし、その位置ズレ量が第２スペース領域Ｓ２の幅ＷＳ２を超えている場合、導電部Ｔ１の一部は第２検査電極Ｔ２２とＺ軸方向で対向する。この状態で第１配線基板１００と第２配線基板１１０とが接合されると、ＡＣＦ８に含まれる導電性粒子８１（図６参照）を介して、導電部Ｔ１と第２検査電極Ｔ２２とが接続される。このため、検査工程では、測定用パッドＰ１、Ｐ２２間で電流が流れる。
【００８８】
図示しない検査装置は、測定用パッドＰ１、Ｐ２２間で電流が流れる場合は、位置ズレ量が所定値を超えていると判断し、基板ユニット３００（図４参照）は不良品であると判断する。一方、測定用パッドＰ１、Ｐ２２間で電流が流れない場合は、検査装置は、位置ズレ量が所定値以下であると判断し、基板ユニット３００は良品であると判断する。
【００８９】
図示しないが、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレしている場合も、検査装置は、上記と同様の方法で、その位置ズレ量が所定値以下か否かを判断することができる。例えば、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレし、その位置ズレ量が第１スペース領域Ｓ１の幅ＷＳ１を超えている場合、導電部Ｔ１の一部は第１検査電極Ｔ２１とＺ軸方向で対向する。この場合、ＡＣＦ８に含まれる導電性粒子８１（図６参照）を介して、導電部Ｔ１と第１検査電極Ｔ２１とが接続される。このため、検査工程では、電流が測定用パッドＰ１、Ｐ２１間に流れる。
【００９０】
図示しない検査装置は、測定用パッドＰ１、Ｐ２１間で電流が流れる場合は、位置ズレ量が所定値を超えていると判断し、第１配線基板１００（図４参照）と第２配線基板１１０（図４参照）との間の接続状態は不良であると判断する。一方、測定用パッドＰ１、Ｐ２２間で電流が流れない場合は、検査装置は、位置ズレ量が所定値以下であると判断し、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態は良であると判断する。
【００９１】
以上説明したように、実施形態２に係る基板ユニット３００は、第１ＦＯＦ端子１２を有する第１配線基板１００と、第１ＦＯＦ端子１２に接続される第２ＦＯＦ端子１１２を有する第２配線基板１１０と、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量を検査するための検査パターンＴＰｅと、を備える。検査パターンＴＰｅは、第１配線基板１００に設けられる導電部Ｔ１と、第２配線基板１１０に設けられる第１検査電極Ｔ２１と、第２配線基板１１０に設けられ、第１方向において第１検査電極Ｔ２１から離して配置される第２検査電極Ｔ２２と、第１検査電極Ｔ２１に接続する第１パッド（例えば、測定用パッドＰ２１）と、第２検査電極Ｔ２２に接続する第２パッド（例えば、測定用パッドＰ２２）と、導電部Ｔ１に接続する第３パッド（例えば、測定用パッドＰ１）と、を有する。導電部Ｔ１、第１検査電極Ｔ２１、第２検査電極Ｔ２２、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２、Ｐ１は検査パターンＴＰｅとして機能する、Ｘ軸方向において、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２との離隔距離Ｄ２は、導電部Ｔ１の幅Ｗ１よりも大きい。
【００９２】
これによれば、導電部Ｔ１は、位置ズレ量が所定値以下の場合は、第１検査電極Ｔ１及び第２検査電極Ｔ２の両方と対向しない位置に配置される。導電部Ｔ１は、位置ズレ量が所定値を超える場合は、第１検査電極Ｔ１及び第２検査電極Ｔ２の一方と対向する位置に配置される。これにより、導電部Ｔ１は、位置ズレ量が所定値（例えば、第１スペース領域Ｓ１の幅ＷＳ１）以下の場合は第１検査電極Ｔ２１及び第２検査電極Ｔ２２と非導通となり、位置ズレ量が所定値を超える場合は第１検査電極Ｔ２１（または、第２検査電極Ｔ２２）と導通することができる。検査装置は、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレの良否判断を、導電部Ｔ１に接続する測定用パッドＰ１と、第１検査電極Ｔ２１に接続する測定用パッドＰ２１との間での電流の有無に基づいて行うことができる。または、検査装置は、上記の良否判断を、測定用パッドＰ１と、第２検査電極Ｔ２２に接続する測定用パッドＰ２２との間での電流の有無に基づいて行うことができる。実施形態１と同様に、位置ズレの良否判断の閾値は、抵抗値でなく電流の有無である。これにより、検査装置は、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態を高精度に検査することができる。
【００９３】
また、検査パターンＴＰｅは、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２との間に配置されるダミー電極Ｔ２５を有する。Ｘ軸方向において、第１検査電極Ｔ２１とダミー電極Ｔ２５との離隔距離（すなわち、第１スペース領域Ｓ１の幅ＷＳ１）は、第２検査電極Ｔ２２とダミー電極Ｔ２５との離隔距離（すなわち、第２スペース領域Ｓ２の幅ＷＳ２）と同じ長さである。これによれば、第１検査電極Ｔ２１とダミー電極Ｔ２５との離隔距離ＷＳ１と、第２検査電極Ｔ２２とダミー電極Ｔ２５との離隔距離ＷＳ２とを、互いに隣り合う第２ＦＯＦ端子１１２（図４参照）間の離隔距離に近づけることができる。これにより、第２配線基板１１０を作製する工程では、離隔距離が原因で第１検査電極Ｔ２１及び第２検査電極Ｔ２２がそれぞれ過剰にエッチングされて、幅Ｗ２１、Ｗ２２が意図せず細く形成されてしまうことを防ぐことができる。
【００９４】
（実施形態３）
本実施形態に係る検査パターンは、複数の検査パターンで構成されていてもよい。図２４は、実施形態３に係る検査パターンの構成例を示す平面図である。図２４に示すように、実施形態３に係る検査パターンＴＰｆは、第１検査パターンＴＰｆ１と、第２検査パターンＴＰｆ２とを有する。第１検査パターンＴＰｆ１において、導電部Ｔ１は、第１部位Ｔ１１と、第２部位Ｔ１２と、連結部Ｔ１０とを有する。第１部位Ｔ１の幅Ｗ１１と第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は、互いに同じ長さである。
【００９５】
また、第１検査パターンＴＰｆ１において、第１部位Ｔ１の幅Ｗ１１は、ダミー電極Ｔ２５の幅Ｗ２５と同じ長さである。また、第１部位Ｔ１１の幅Ｗ１１は、第１スペース領域Ｓ１の幅ＷＳ１よりも大きい。第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２は、第２スペース領域Ｓ２の幅ＷＳ２よりも大きい。
【００９６】
図２４に示すように、第２検査パターンＴＰｆ２も、第１検査パターンＴＰｆ１と同じ構成を有する。但し、導電部Ｔ１と検査電極Ｔ２との位置関係は、第１検査パターンＴＰｆ１と第２検査パターンＴＰｆ２とで互いに異なる。例えば、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量がゼロまたはほぼゼロの場合、第１検査パターンＴＰｆ１では、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１はダミー電極Ｔ２５とＺ軸方向で対向し、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２は第２検査電極Ｔ２２とＺ軸方向で対向する。一方、上記の位置ズレ量がゼロまたはほぼゼロの場合、第２検査パターンＴＰｆ２では、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１は第１検査電極Ｔ２１とＺ軸方向で対向し、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２はダミー電極Ｔ２５とＺ軸方向で対向する。
【００９７】
第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量がゼロまたはほぼゼロの場合、第１検査パターンＴＰｆ１及び第２検査パターンＴＰｆ２のいずれにおいても、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流は流れない。この場合、図示しない検査装置は、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量が所定値以下であると判断し、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態は良であると判断する。
【００９８】
図２５は、実施形態３に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレしている場合を示す平面図である。図２５に示すように、第１検査パターンＴＰｆ１において、左側への位置ズレ量が第１スペース領域Ｓ１の幅ＷＳ１の長さを越えている場合、第１部位Ｔ１１の一部と第１検査電極Ｔ２１とがＺ軸方向で対向し、且つ、第２部位Ｔ１２の一部と第２検査電極Ｔ２２とがＺ軸方向で対向する。この状態で、第１配線基板１００と第２配線基板１１０とが接合されると、ＡＣＦ８に含まれる導電性粒子８１（図６参照）を介して第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１とが接続され、且つ、導電性粒子８１を介して第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２とが接続される。これにより、検査工程では、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れる。
【００９９】
一方、第２検査パターンＴＰｆ２では、導電部Ｔ１は第２検査電極Ｔ２２とＺ軸方向で対向しない。このため、検査工程では、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流は流れない。
【０１００】
図示しない検査装置は、第１検査パターンＴＰｆ１の測定用パッドＰ２１、Ｐ２１間で電流が流れる場合は、位置ズレ量が所定値を超えていると判断し、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態は不良であると判断する。また、第１検査パターンＴＰｆ１の測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れ、且つ、第２検査パターンＴＰｆ２の測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間では電流が流れない場合、検査装置は、検査電極Ｔ２に対する導電部Ｔ１の相対的な位置ズレの方向が、左側であると判断する。
【０１０１】
図２６は、実施形態３に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレしている場合を示す平面図である。図２６に示すように、第２検査パターンＴＰｆ２において、右側への位置ズレ量が第２スペース領域Ｓ２の幅ＷＳ２の長さを越えている場合、第２部位Ｔ１２の一部と第２検査電極Ｔ２２とがＺ軸方向で対向し、且つ第１部位Ｔ１１の一部と第１検査電極Ｔ２１とがＺ軸方向で対向する。この状態で第１配線基板１００と第２配線基板１１０とが接合されると、ＡＣＦ８に含まれる導電性粒子８１（図６参照）を介して第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２とが接続され、且つ、導電性粒子８１を介して第１部位Ｔ１１と第１検査電極Ｔ２１とが接続される。このため、検査工程では、電流が測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間に流れる。
【０１０２】
一方、第１検査パターンＴＰｆ１では、導電部Ｔ１は第１検査電極Ｔ２１とＺ軸方向で対向しない。このため、検査工程では、電流は測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間に流れない。
【０１０３】
図示しない検査装置は、第２検査パターンＴＰｆ２の測定用パッドＰ２１、Ｐ２１間で電流が流れる場合は、位置ズレ量が所定値を超えていると判断し、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態は不良であると判断する。また、第２検査パターンＴＰｆ２の測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れ、且つ、第１検査パターンＴＰｆ１の測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間では電流が流れない場合、検査装置は、検査電極Ｔ２に対する導電部Ｔ１の相対的な位置ズレの方向が、右側であると判断する。
【０１０４】
以上説明したように、実施形態３に係る基板ユニット３００は、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量を検査するための検査パターンＴＰｆ、を備える。検査パターンＴＰｆは、第１検査パターンＴＰｆ１と、第２検査パターンＴＰｆ２とを有する。第１検査パターンＴＰｆ１は、第１配線基板１００に設けられる導電部Ｔ１と、第２配線基板１１０に設けられる第１検査電極Ｔ２１と、第２配線基板１１０に設けられ、Ｘ軸方向において第１検査電極ＴＰ２１から離して配置される第２検査電極Ｔ２２と、を有する。第２検査パターンＴＰｆ２も、導電部Ｔ１と、第１検査電極Ｔ２１と、第２検査電極Ｔ２２と、を有する。導電部Ｔ１、第１検査電極Ｔ２１及び第２検査電極Ｔ２２は、検査パターンＴＰｆとして機能する。導電部Ｔ１は、第１検査電極Ｔ２１と対向して接続するための第１部位Ｔ１１と、Ｘ軸方向において第１部位Ｔ１１から離して配置される第２部位Ｔ１２と、第１部位Ｔ１１と第２部位Ｔ１２とを連結する連結部Ｔ１０と、を有する。Ｘ軸方向において、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２との離隔距離Ｄ２は、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２よりも大きい。
【０１０５】
これによれば、導電部Ｔ１は、位置ズレ量が所定値以下の場合は、第１検査電極Ｔ２１と対向し且つ第２検査電極Ｔ２２とは対向しない位置に配置される。導電部Ｔ１は、位置ズレ量が所定値を超える場合は、第１検査電極Ｔ２１及び第２検査電極Ｔ２２の両方とそれぞれ対向する位置に配置される。これにより、導電部Ｔ１は、位置ズレ量が所定値以下の場合は第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２とを非導通とし、位置ズレ量が所定値を超える場合は第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２とを導通させることができる。検査装置は、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレの良否判断を、第１検査電極Ｔ２１に接続する測定用パッドＰ２１と、第２検査電極Ｔ２２に接続する測定用パッドＰ２２との間での電流の有無に基づいて行うことができる。実施形態１と同様に、位置ズレの良否判断の閾値は、抵抗値でなく電流の有無である。これにより、検査装置は、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態を高精度に検査することができる。
【０１０６】
また、導電部Ｔ１は、第１検査電極Ｔ２１と対向する位置に配置される第１部位Ｔ１１と、位置ズレ量が所定値以下の場合に第２検査電極Ｔ２２とは対向しない位置に配置される第２部位Ｔ１２と、第１部位Ｔ１１と第２部位Ｔ１２とを連結する連結部Ｔ１０と、を有する。これによれば、位置ズレ量が所定値以下の場合、導電部Ｔ１は、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２との間を非導通とすることができる。
【０１０７】
（変形例）
図２７は、実施形態３の変形例に係る検査パターンの構成例を示す平面図である。図２７に示すように、実施形態３の変形例に係る検査パターンＴＰｇにおいて、導電部Ｔ１は、第１部位Ｔ１１と、第２部位Ｔ１２と、第３部位Ｔ１３と、連結部Ｔ１０とを有する。第３部位Ｔ１３は、Ｙ軸方向に延設された導電膜である。連結部Ｔ１０は、第１部位Ｔ１１と、第２部位Ｔ１２と、第３部位Ｔ１３とを連結している。導電部１０の第１部位Ｔ１の幅Ｗ１１と、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２と、第３部位Ｔ３の幅Ｗ１３は、互いに同じ長さである。
【０１０８】
検査パターンＴＰｇにおいて、検査電極Ｔ２は、第１検査電極Ｔ２１と、第２検査電極Ｔ２２と、ダミー電極Ｔ２５と、第３検査電極Ｔ２３と、第４検査電極Ｔ２４と、を有する。第１検査電極Ｔ２１と、第２検査電極Ｔ２２と、ダミー電極Ｔ２５と、第３検査電極Ｔ２３と、第４検査電極Ｔ２４は、それぞれＹ軸方向に延設された導電膜である。第１検査電極Ｔ２１と、第２検査電極Ｔ２２と、ダミー電極Ｔ２５と、第３検査電極Ｔ２３と、第４検査電極Ｔ２４は、この順でＸ軸方向に並んで配置されている。
【０１０９】
第１検査電極Ｔ２１の端部が、測定用パッドＰ２１となっている。第２検査電極Ｔ２２の端部が、測定用パッドＰ２２となっている。第３検査電極Ｔ２３の端部が、測定用パッドＰ２３となっている。第４検査電極Ｔ２４の端部が、測定用パッドＰ２４となっている。
【０１１０】
検査パターンＴＰｇにおいて、第１部位Ｔ１の幅Ｗ１１は、第１検査電極の幅Ｗ２１、ダミー電極Ｔ２５の幅Ｗ２５、第４検査電極Ｔ２４の幅Ｗ２４とそれぞれ同じである。また、第２検査電極Ｔ２２の幅Ｗ２２と、第３検査電極Ｔ２３の幅Ｗ２３は、互いに同じ長さである。第１検査電極の幅Ｗ２１よりも、第２検査電極の幅Ｗ２２の方が大きい。
【０１１１】
例えば、第２検査電極Ｔ２２は、ダミー電極Ｔ２５側に拡幅した拡幅部Ｔ２２１を有する。拡幅部Ｔ２２１の幅Ｗ２２１の分だけ、第２検査電極Ｔ２２は第１検査電極Ｔ２１よりも幅広となっている。同様に、第３検査電極Ｔ２３は、ダミー電極Ｔ２５側に拡幅した拡幅部Ｔ２３１を有する。拡幅部Ｔ２３１の幅Ｗ２３１の分だけ、第３検査電極Ｔ２３は第４検査電極Ｔ２４よりも幅広となっている。
【０１１２】
また、第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２との間には第１スペース領域Ｓ１が設けられている。第２検査電極Ｔ２２とダミー電極Ｔ２５との間には第２スペース領域Ｓ２が設けられている。ダミー電極Ｔ２５と第３検査電極Ｔ２３との間には第３スペース領域Ｓ３が設けられている。第３検査電極Ｔ２３と第４検査電極Ｔ２４との間には第４スペース領域Ｓ４が設けられている。第１スペース領域Ｓ１の幅ＷＳ１と、第４スペース領域Ｓ４の幅ＷＳ４は、互いに同じ長さである。また、第２スペース領域Ｓ２の幅ＷＳ２と、第３スペース領域Ｓ３の幅ＷＳ３は、互いに同じ長さである。第１スペース領域Ｓ１の幅ＷＳ１よりも、第２スペース領域Ｓ２の幅ＷＳ２の方が小さい。また、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２よりも、第２スペース領域Ｓ２の幅ＷＳ２の方が小さい。
【０１１３】
検査パターンＴＰｇでは、拡幅部Ｔ２２１の幅Ｗ２２１と、第２スペース領域Ｓ２の幅ＷＳ２との和が、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２となっている。同様に、拡幅部Ｔ２３１の幅Ｗ２３１と、第３スペース領域Ｓ３の幅ＷＳ３との和が、第２部位Ｔ１２の幅Ｗ１２となっている。
【０１１４】
第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量がゼロまたはほぼゼロの場合、平面視で、導電部Ｔ１の第１部位Ｔ１１は第１検査電極Ｔ２１とＺ軸方向で対向する。また、上記の場合、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２はダミー電極Ｔ２５とＺ軸方向で対向する。また、上記の場合、導電部Ｔ１の第３部位Ｔ１３は第４検査電極Ｔ２４とＺ軸方向で対向する。この場合、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間や、測定用パッドＰ２３、Ｐ２４間は非導通であり、電流は流れない。検査装置は、非導通の結果に基づいて、第１配線基板１００に対する第２配線基板１１０の相対的な位置ズレ量が所定値以下であると判断し、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態は良であると判断する。
【０１１５】
図２８は、実施形態３の変形例に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレしている場合を示す平面図である。図２８に示すように、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレし、その位置ズレ量が第２スペース領域Ｓ２の幅ＷＳ２を超えると、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２の一部は、第２検査電極Ｔ２２とＺ軸方向で対向する。この状態で第１配線基板１００と第２配線基板１１０とが接合されると、ＡＣＦ８に含まれる導電性粒子８１（図６参照）を介して、第２部位Ｔ１２と第２検査電極Ｔ２２とが接続される。このため、検査工程では、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れる。
【０１１６】
一方、第４スペース領域Ｓ４の幅ＷＳ４は、導電部Ｔ１の第３部位１３の幅Ｗ１３と同じ長さである。これにより、第３部位１３が第３検査電極２３と第４検査電極２４とを接続することはない。このため、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が左側に位置ズレした場合でも、上記の検査工程で、電流が測定用パッドＰ２３、Ｐ２４間に流れることはない。
【０１１７】
図示しない検査装置は、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れる場合は、位置ズレ量が所定値を超えていると判断し、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態は不良であると判断する。また、検査パターンＴＰｇにおいて、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れ、且つ、測定用パッドＰ２３、Ｐ２４間では電流が流れない場合、検査装置は、検査電極Ｔ２に対する導電部Ｔ１の相対的な位置ズレの方向が、左側であると判断する。
【０１１８】
図２９は、実施形態３の変形例に係る検査パターンにおいて、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレしている場合を示す平面図である。図２９に示すように、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレし、その位置ズレ量が第３スペース領域Ｓ３の幅ＷＳ３を超えると、導電部Ｔ１の第２部位Ｔ１２の一部は、第３検査電極Ｔ２３とＺ軸方向で対向する。この状態で第１配線基板１００と第２配線基板１１０とが接合されると、ＡＣＦ８に含まれる導電性粒子８１（図６参照）を介して、第２部位Ｔ１２と第３検査電極Ｔ２３とが接続される。このため、検査工程では、測定用パッドＰ２３、Ｐ２４間で電流が流れる。
【０１１９】
一方、第１スペース領域Ｓ１の幅ＷＳ１は、導電部Ｔ１の第１部位１１の幅Ｗ１１と同じ長さである。これにより、第１部位１１が第１検査電極Ｔ２１と第２検査電極Ｔ２２とを接続することはない。このため、検査電極Ｔ２に対して導電部Ｔ１が右側に位置ズレした場合でも、上記の検査工程で、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間で電流が流れることはない。
【０１２０】
図示しない検査装置は、測定用パッドＰ２３、Ｐ２４間で電流が流れる場合は、位置ズレ量が所定値を超えていると判断し、第１配線基板１００と第２配線基板１１０との間の接続状態は不良であると判断する。また、検査パターンＴＰｇにおいて、測定用パッドＰ２３、Ｐ２４間で電流が流れ、且つ、測定用パッドＰ２１、Ｐ２２間では電流が流れない場合、検査装置は、検査電極Ｔ２に対する導電部Ｔ１の相対的な位置ズレの方向が、右側であると判断する。
【０１２１】
以上、本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明はこのような実施の形態に限定されるものではない。例えば、上記の検査パターンＴＰ、ＴＰａ、ＴＰｂ、ＴＰｃ、ＴＰｄ、ＴＰｅ、ＴＰｆ、ＴＰｇは、ＦＯＦ領域Ｒ１２における第１配線基板１００と第２配線基板１１０との接合に用いる場合に限定されない。上記の検査パターンＴＰ、ＴＰａ、ＴＰｂ、ＴＰｃ、ＴＰｄ、ＴＰｅ、ＴＰｆ、ＴＰｇは、ＦＯＧ領域Ｒ１１におけるＴＦＴ基板６０と第１配線基板１００との接合に用いてもよいし、ＦＯＦ領域Ｒ１３における第３配線基板１４０と第２配線基板１１０との接合に用いてもよい。実施の形態で開示された内容はあくまで一例にすぎず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で行われた適宜の変更についても、当然に本発明の技術的範囲に属する。
【符号の説明】
【０１２２】
１  フィルム基材
５  ＩＣチップ
８  ＡＣＦ
１２  第１ＦＯＦ端子
６０  ＴＦＴ基板
６１  張出し部
９０  対向基板
１００  第１配線基板（第１樹脂基板）
１１０  第２配線基板（第２樹脂基板）
１１２  第２ＦＯＦ端子
１２０  駆動回路
１３０  受動素子
１４０  第３配線基板
１５０  表示パネル
２００  表示装置
３００  基板ユニット
ＰＮ  プローブ針
Ｔ１  導電部
Ｔ１１、Ｔ１１’  第１部位
Ｔ１２、Ｔ１２’  第２部位
Ｔ１３  第３部位
Ｔ２  検査電極
Ｔ２１、Ｔ２１’  第１検査電極
Ｔ２２、Ｔ２２’  第２検査電極
Ｔ２３  第３検査電極
Ｔ２４  第４検査電極
Ｔ２５  ダミー電極
ＴＰ、ＴＰａ、ＴＰｂ、ＴＰｃ、ＴＰｄ、ＴＰｅ、ＴＰｆ、ＴＰｇ、ＴＰ’  検査パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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