(57)【要約】【課題】マニホールドベースに対するパイロット形電磁弁の組み付けや取り外しの作業性を向上させること。【解決手段】第１チェック弁７１及び第２チェック弁７２がガスケット６０に一体化されている。このため、電磁弁マニホールド１０においては、例えば、メンテナンス時など、マニホールドベース１１に対するパイロット形電磁弁１２の組み付けや取り外しの作業を行う際に、第１チェック弁７１又は第２チェック弁７２が単体で脱落してしまうことが無い。よって、マニホールドベース１１に対するパイロット形電磁弁１２の組み付けや取り外しの作業を行う際に、第１チェック弁７１又は第２チェック弁７２を紛失してしまうことが抑制される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の流路が形成されたマニホールドベースと、
前記マニホールドベースの載置面に載置される弁ボディを有するパイロット形電磁弁と、を備え、
前記複数の流路は、前記載置面に開口し、
前記弁ボディには、各流路にそれぞれ連通する複数のポートと、前記各ポートが連通するとともに弁体が収容される弁孔と、が形成され、
前記弁体がパイロット流体により前記弁孔内を往復動することによって前記各ポート間の連通が切り換えられ、
前記弁ボディには、前記パイロット流体を排出する電磁弁側パイロット流体排出流路が形成され、
前記マニホールドベースには、前記載置面に開口するとともに前記電磁弁側パイロット流体排出流路に連通するベース側パイロット流体排出流路が形成され、
前記載置面と前記弁ボディとの間に配置されるとともに前記載置面と前記弁ボディとの間をシールするガスケットと、
前記ベース側パイロット流体排出流路から前記電磁弁側パイロット流体排出流路への流体の流れを阻止するチェック弁と、を備えている電磁弁マニホールドであって、
前記チェック弁は、前記ガスケットに一体化されていることを特徴とする電磁弁マニホールド。
【請求項２】
前記チェック弁は、前記ベース側パイロット流体排出流路における前記載置面に開口する開口部に嵌入される嵌入部を有していることを特徴とする請求項１に記載の電磁弁マニホールド。
【請求項３】
前記マニホールドベースには、前記ベース側パイロット流体排出流路が二つ形成され、
前記ガスケットには、前記チェック弁が二つ一体化されていることを特徴とする請求項２に記載の電磁弁マニホールド。
【請求項４】
前記ガスケットは、金属板と、前記金属板に接合されたゴム製のシール部材と、を有し、
前記金属板は、前記チェック弁の一部分が挿通される挿通孔が形成された取付部を有し、
前記チェック弁は、一部分が前記挿通孔に挿通された状態で前記取付部に取り付けられていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の電磁弁マニホールド。
【請求項５】
前記挿通孔の内周面と前記チェック弁との間には、弾性部が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の電磁弁マニホールド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁弁マニホールドに関する。
【背景技術】
【０００２】
電磁弁マニホールドは、マニホールドベースと、マニホールドベースの載置面に載置される弁ボディを有するパイロット形電磁弁と、を備えている。マニホールドベースには、載置面に開口する複数の流路が形成されている。パイロット形電磁弁の弁ボディには、各流路にそれぞれ連通する複数のポートと、各ポートが連通するとともに弁体が収容される弁孔と、が形成されている。そして、弁体がパイロット流体により弁孔内を往復動することによって各ポート間の連通が切り換えられる。
【０００３】
電磁弁マニホールドは、例えば特許文献１に開示されているように、マニホールドベースの載置面と弁ボディとの間をシールするガスケットを備えている。ガスケットは、マニホールドベースの載置面と弁ボディとによって挟み込まれた状態でマニホールドベースの載置面と弁ボディとの間に配置されている。そして、ガスケットは、各流路と各ポートとの間をそれぞれ流れる流体が、マニホールドベースの載置面と弁ボディとの間を介して外部へ洩れ出すことを抑制する。
【０００４】
また、弁ボディには、パイロット流体を排出する電磁弁側パイロット流体排出流路が形成されている。マニホールドベースには、載置面に開口するとともに電磁弁側パイロット流体排出流路に連通するベース側パイロット流体排出流路が形成されている。また、電磁弁マニホールドにおいては、例えば特許文献２に開示されているように、ベース側パイロット流体排出流路から電磁弁側パイロット流体排出流路への流体の流れを阻止するチェック弁を備えているものがある。チェック弁は、マニホールドベースの載置面と弁ボディとによって挟み込まれた状態でマニホールドベースの載置面と弁ボディとの間に配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３７６６７４９号公報
【特許文献２】特許第３１５３１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、チェック弁は、例えば、ガスケットに比べると小さい部品である。よって、上記構成のように、マニホールドベースの載置面と弁ボディとの間に、ガスケット及びチェック弁が配置されている電磁弁マニホールドにおいては、例えば、メンテナンス時など、マニホールドベースに対するパイロット形電磁弁の組み付けや取り外しの作業を行う際に、チェック弁が脱落して、チェック弁を紛失する虞がある。したがって、マニホールドベースに対するパイロット形電磁弁の組み付けや取り外しの作業性が悪いという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、マニホールドベースに対するパイロット形電磁弁の組み付けや取り外しの作業性を向上させることができる電磁弁マニホールドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する電磁弁マニホールドは、複数の流路が形成されたマニホールドベースと、前記マニホールドベースの載置面に載置される弁ボディを有するパイロット形電磁弁と、を備え、前記複数の流路は、前記載置面に開口し、前記弁ボディには、各流路にそれぞれ連通する複数のポートと、前記各ポートが連通するとともに弁体が収容される弁孔と、が形成され、前記弁体がパイロット流体により前記弁孔内を往復動することによって前記各ポート間の連通が切り換えられ、前記弁ボディには、前記パイロット流体を排出する電磁弁側パイロット流体排出流路が形成され、前記マニホールドベースには、前記載置面に開口するとともに前記電磁弁側パイロット流体排出流路に連通するベース側パイロット流体排出流路が形成され、前記載置面と前記弁ボディとの間に配置されるとともに前記載置面と前記弁ボディとの間をシールするガスケットと、前記ベース側パイロット流体排出流路から前記電磁弁側パイロット流体排出流路への流体の流れを阻止するチェック弁と、を備えている電磁弁マニホールドであって、前記チェック弁は、前記ガスケットに一体化されている。
【０００９】
上記電磁弁マニホールドにおいて、前記チェック弁は、前記ベース側パイロット流体排出流路における前記載置面に開口する開口部に嵌入される嵌入部を有しているとよい。
上記電磁弁マニホールドにおいて、前記マニホールドベースには、前記ベース側パイロット流体排出流路が二つ形成され、前記ガスケットには、前記チェック弁が二つ一体化されているとよい。
【００１０】
上記電磁弁マニホールドにおいて、前記ガスケットは、金属板と、前記金属板に接合されたゴム製のシール部材と、を有し、前記金属板は、前記チェック弁の一部分が挿通される挿通孔が形成された取付部を有し、前記チェック弁は、一部分が前記挿通孔に挿通された状態で前記取付部に取り付けられているとよい。
【００１１】
上記電磁弁マニホールドにおいて、前記挿通孔の内周面と前記チェック弁との間には、弾性部が設けられているとよい。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、マニホールドベースに対するパイロット形電磁弁の組み付けや取り外しの作業性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態における電磁弁マニホールドの縦断面図。
【図２】電磁弁マニホールドの分解斜視図。
【図３】第１チェック弁及び第２チェック弁の周辺を拡大した部分断面図。
【図４】パイロット形電磁弁をマニホールドベース側から見た平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、電磁弁マニホールドを具体化した一実施形態を図１〜図４にしたがって説明する。
図１に示すように、電磁弁マニホールド１０は、四角ブロック状のマニホールドベース１１と、パイロット形電磁弁１２と、を備えている。パイロット形電磁弁１２は、マニホールドベース１１の載置面１１ａに載置される細長四角ブロック状の弁ボディ１３を有している。
【００１５】
弁ボディ１３は、細長四角ブロック状のボディ本体１４と、ボディ本体１４の長手方向の一端に連結される第１連結ブロック１５と、ボディ本体１４の長手方向の他端に連結される第２連結ブロック１６と、を有している。ボディ本体１４、第１連結ブロック１５、及び第２連結ブロック１６は、例えば、合成樹脂材料製である。ボディ本体１４は、載置面１１ａと対向する本体対向面１４ａを有している。第１連結ブロック１５は、載置面１１ａと対向する第１対向面１５ａを有している。第２連結ブロック１６は、載置面１１ａと対向する第２対向面１６ａを有している。
【００１６】
ボディ本体１４には、弁体１７が収容される円孔状の弁孔１８が形成されている。弁孔１８は、ボディ本体１４の長手方向に延びている。弁孔１８の一端は、ボディ本体１４の長手方向の一端面に開口するとともに、弁孔１８の他端は、ボディ本体１４の長手方向の他端面に開口している。よって、弁孔１８は、ボディ本体１４の長手方向に貫通している。弁体１７は、弁孔１８内を往復動可能に弁孔１８に収容されるスプール弁体である。
【００１７】
ボディ本体１４には、供給ポート２０、第１出力ポート２１、第２出力ポート２２、第１排出ポート２３、及び第２排出ポート２４が形成されている。よって、供給ポート２０、第１出力ポート２１、第２出力ポート２２、第１排出ポート２３、及び第２排出ポート２４は、弁ボディ１３に形成されたポートである。したがって、弁ボディ１３には、複数のポートが形成されている。本実施形態のパイロット形電磁弁１２は、５ポート電磁弁である。
【００１８】
供給ポート２０、第１出力ポート２１、第２出力ポート２２、第１排出ポート２３、及び第２排出ポート２４は、ボディ本体１４の長手方向の一端から他端に向かうにつれて、第１排出ポート２３、第１出力ポート２１、供給ポート２０、第２出力ポート２２、第２排出ポート２４の順に並んでボディ本体１４に形成されている。供給ポート２０、第１出力ポート２１、第２出力ポート２２、第１排出ポート２３、及び第２排出ポート２４それぞれの一端は弁孔１８に連通している。供給ポート２０、第１出力ポート２１、第２出力ポート２２、第１排出ポート２３、及び第２排出ポート２４それぞれの他端は、ボディ本体１４の本体対向面１４ａに開口している。
【００１９】
弁孔１８の内周面において、供給ポート２０と第１出力ポート２１との間には、第１弁座２５が設けられている。また、弁孔１８の内周面において、第１出力ポート２１と第１排出ポート２３との間には、第２弁座２６が設けられている。さらに、供給ポート２０と第２出力ポート２２との間には、第３弁座２７が設けられている。また、第２出力ポート２２と第２排出ポート２４との間には、第４弁座２８が設けられている。第１弁座２５、第２弁座２６、第３弁座２７、及び第４弁座２８は、弁孔１８の内周面の一部を形成する環状である。
【００２０】
また、弁孔１８は、第１排出ポート２３に連通するとともに第２弁座２６とは反対側に位置する弁孔１８の一端部を形成する第１孔部１８ａを有している。さらに、弁孔１８は、第２排出ポート２４に連通するとともに第４弁座２８とは反対側に位置する弁孔１８の他端部を形成する第２孔部１８ｂを有している。第１弁座２５、第２弁座２６、第３弁座２７、第４弁座２８、第１孔部１８ａ、及び第２孔部１８ｂの内径は同じである。
【００２１】
弁体１７には、弁体１７の軸線方向において互いに離間する第１弁部１７１、第２弁部１７２、第３弁部１７３、第４弁部１７４、第５弁部１７５、及び第６弁部１７６を有している。第１弁部１７１、第２弁部１７２、第３弁部１７３、第４弁部１７４、第５弁部１７５、及び第６弁部１７６は、弁体１７の軸線方向の一端から他端に向かうにつれて、第５弁部１７５、第２弁部１７２、第１弁部１７１、第３弁部１７３、第４弁部１７４、及び第６弁部１７６の順に配列されている。第１弁部１７１、第２弁部１７２、第３弁部１７３、第４弁部１７４、第５弁部１７５、及び第６弁部１７６の外径は同じである。
【００２２】
弁体１７は、第１弁部１７１と第３弁部１７３とを連結する第１軸部１７ａと、第１弁部１７１と第２弁部１７２とを連結する第２軸部１７ｂと、第３弁部１７３と第４弁部１７４とを連結する第３軸部１７ｃと、を有している。また、弁体１７は、第２弁部１７２と第５弁部１７５とを連結する第４軸部１７ｄと、第４弁部１７４と第６弁部１７６とを連結する第５軸部１７ｅと、を有している。
【００２３】
弁体１７は、第５弁部１７５における第４軸部１７ｄとは反対側の端面から突出する柱状の第１突出部１７ｆを有している。第１突出部１７ｆは、弁体１７の軸線方向の一端部である。また、弁体１７は、第６弁部１７６における第５軸部１７ｅとは反対側の端面から突出する柱状の第２突出部１７ｇを有している。第２突出部１７ｇは、弁体１７の軸線方向の他端部である。
【００２４】
第１軸部１７ａ、第２軸部１７ｂ、第３軸部１７ｃ、第４軸部１７ｄ、第５軸部１７ｅ、第１突出部１７ｆ、及び第２突出部１７ｇの外径は同じである。第１弁部１７１、第２弁部１７２、第３弁部１７３、第４弁部１７４、第５弁部１７５、及び第６弁部１７６の外径は、第１軸部１７ａ、第２軸部１７ｂ、第３軸部１７ｃ、第４軸部１７ｄ、第５軸部１７ｅ、第１突出部１７ｆ、及び第２突出部１７ｇの外径よりも大きい。
【００２５】
第１弁部１７１の外周面には、第１弁部１７１が第１弁座２５に着座して供給ポート２０と第１出力ポート２１との間をシールする第１スプールパッキン２９１が装着されている。第２弁部１７２の外周面には、第２弁部１７２が第２弁座２６に着座して第１出力ポート２１と第１排出ポート２３との間をシールする第２スプールパッキン２９２が装着されている。第３弁部１７３の外周面には、第３弁部１７３が第３弁座２７に着座して供給ポート２０と第２出力ポート２２との間をシールする第３スプールパッキン２９３が装着されている。第４弁部１７４の外周面には、第４弁部１７４が第４弁座２８に着座して第２出力ポート２２と第２排出ポート２４との間をシールする第４スプールパッキン２９４が装着されている。第１スプールパッキン２９１、第２スプールパッキン２９２、第３スプールパッキン２９３、及び第４スプールパッキン２９４は、ゴム製の環状である。
【００２６】
第１連結ブロック１５には、第１孔部１８ａに連通する円孔状の第１ピストン収容凹部３１が形成されている。弁体１７の第１突出部１７ｆは、第１孔部１８ａから第１ピストン収容凹部３１内に出没可能である。第１ピストン収容凹部３１内には、円板状の第１ピストン３２が往復動可能に収容されている。第１ピストン３２は、弁体１７の第１突出部１７ｆの先端部に取り付けられている。第１ピストン３２の外周面には第１リップパッキン３３が装着されている。第１リップパッキン３３は、第１ピストン３２と第１ピストン収容凹部３１の内周面との間をシールする。そして、第１ピストン３２により第１ピストン収容凹部３１内に第１パイロット圧作用室３４が区画されている。第１パイロット圧作用室３４にはパイロット流体が給排される。
【００２７】
第２連結ブロック１６には、第２孔部１８ｂに連通する円孔状の第２ピストン収容凹部３５が形成されている。第２ピストン収容凹部３５の内径は、第１ピストン収容凹部３１の内径よりも小さい。弁体１７の第２突出部１７ｇは、第２孔部１８ｂから第２ピストン収容凹部３５内に出没可能である。第２ピストン収容凹部３５内には、円板状の第２ピストン３６が往復動可能に収容されている。第２ピストン３６は、弁体１７の第２突出部１７ｇの先端部に取り付けられている。第２ピストン３６の外径は、第１ピストン３２の外径よりも小さい。第２ピストン３６の外周面には第２リップパッキン３７が装着されている。第２リップパッキン３７は、第２ピストン３６と第２ピストン収容凹部３５の内周面との間をシールする。そして、第２ピストン３６により第２ピストン収容凹部３５内に第２パイロット圧作用室３８が区画されている。第２パイロット圧作用室３８にはパイロット流体が給排される。
【００２８】
第２ピストン３６の外径が、第１ピストン３２の外径よりも小さいため、第２ピストン３６における第２パイロット圧作用室３８内のパイロット流体の圧力を受ける受圧面積は、第１ピストン３２における第１パイロット圧作用室３４内のパイロット流体の圧力を受ける受圧面積よりも小さい。
【００２９】
第５弁部１７５の外周面には、第５弁部１７５と第１孔部１８ａとの間をシールする第１シール部材３９ａが装着されている。第１シール部材３９ａは、環状のゴム製である。そして、第１シール部材３９ａによって、第１排出ポート２３から第１孔部１８ａを介した第１ピストン収容凹部３１への流体の洩れが抑制されている。
【００３０】
第６弁部１７６の外周面には、第６弁部１７６と第２孔部１８ｂとの間をシールする第２シール部材３９ｂが装着されている。第２シール部材３９ｂは、環状のゴム製である。そして、第２シール部材３９ｂによって、第２排出ポート２４から第２孔部１８ｂを介した第２ピストン収容凹部３５への流体の洩れが抑制されている。
【００３１】
パイロット形電磁弁１２は、パイロット弁部４０を有している。本実施形態のパイロット形電磁弁１２は、パイロット弁部４０が一つ設けられた所謂シングルパイロット型である。パイロット弁部４０は、ソレノイド部４１を備えている。パイロット弁部４０は、第１連結ブロック１５におけるボディ本体１４とは反対側の端部に連結されている。
【００３２】
また、弁ボディ１３には、弁孔１８を介して供給ポート２０に連通するパイロット流体供給流路４２が形成されている。パイロット流体供給流路４２は、弁孔１８において、弁体１７の位置とは無関係に供給ポート２０に連通する位置に開口している。また、パイロット流体供給流路４２は、途中で分岐してパイロット弁部４０と第２パイロット圧作用室３８とにそれぞれ接続されている。
【００３３】
また、第１連結ブロック１５には、パイロット弁部４０と第１パイロット圧作用室３４とを接続するパイロット流体出力流路４３が形成されている。さらに、第１連結ブロック１５には、パイロット流体を排出する電磁弁側パイロット流体排出流路４４が形成されている。電磁弁側パイロット流体排出流路４４の一端はパイロット弁部４０に接続されるとともに、電磁弁側パイロット流体排出流路４４の他端は、第１連結ブロック１５の第１対向面１５ａに開口している。
【００３４】
マニホールドベース１１には、供給流路５０、第１出力流路５１、第２出力流路５２、第１排出流路５３、及び第２排出流路５４が形成されている。よって、供給流路５０、第１出力流路５１、第２出力流路５２、第１排出流路５３、及び第２排出流路５４は、マニホールドベース１１に形成された流路である。したがって、マニホールドベース１１には、複数の流路が形成されている。
【００３５】
供給流路５０、第１出力流路５１、第２出力流路５２、第１排出流路５３、及び第２排出流路５４は、載置面１１ａに開口している。供給流路５０における載置面１１ａに開口する端部は、供給ポート２０に連通している。第１出力流路５１における載置面１１ａに開口する端部は、第１出力ポート２１に連通している。第２出力流路５２における載置面１１ａに開口する端部は、第２出力ポート２２に連通している。第１排出流路５３における載置面１１ａに開口する端部は、第１排出ポート２３に連通している。第２排出流路５４における載置面１１ａに開口する端部は、第２排出ポート２４に連通している。
【００３６】
供給流路５０における載置面１１ａとは反対側の端部は、例えば配管等を介して、図示しない流体供給源に接続されている。第１出力流路５１における載置面１１ａとは反対側の端部、及び第２出力流路５２における載置面１１ａとは反対側の端部は、例えば配管等を介して、図示しない流体圧機器に接続されている。第１排出流路５３における載置面１１ａとは反対側の端部、及び第２排出流路５４における載置面１１ａとは反対側の端部は、例えば配管等を介して、大気に連通している。
【００３７】
さらに、マニホールドベース１１には、ベース側パイロット流体排出流路としての第１ベース側パイロット流体排出流路５５及び第２ベース側パイロット流体排出流路５６が形成されている。よって、本実施形態において、マニホールドベース１１には、ベース側パイロット流体排出流路が二つ形成されている。
【００３８】
第１ベース側パイロット流体排出流路５５の一端は、載置面１１ａにおいて、第１連結ブロック１５の第１対向面１５ａと対向する部分に開口するとともに電磁弁側パイロット流体排出流路４４に連通している。第１ベース側パイロット流体排出流路５５の他端は、第１排出流路５３に連通している。第２ベース側パイロット流体排出流路５６の一端は、載置面１１ａにおいて、第２連結ブロック１６の第２対向面１６ａと対向する部分に開口している。第２ベース側パイロット流体排出流路５６の他端は、第２排出流路５４に連通している。
【００３９】
流体供給源からの流体は、供給流路５０、供給ポート２０、及びパイロット流体供給流路４２を介して、パイロット流体として第２パイロット圧作用室３８に常に供給されている。
【００４０】
また、パイロット弁部４０は、ソレノイド部４１への電力の供給が行われると、パイロット流体供給流路４２とパイロット流体出力流路４３とを連通させるとともに、パイロット流体出力流路４３と電磁弁側パイロット流体排出流路４４との連通を遮断する。すると、流体供給源からの流体が、供給流路５０、供給ポート２０、パイロット流体供給流路４２、及びパイロット流体出力流路４３を介して、パイロット流体として第１パイロット圧作用室３４に供給される。
【００４１】
このとき、第２ピストン３６における第２パイロット圧作用室３８内のパイロット流体の圧力を受ける受圧面積が、第１ピストン３２における第１パイロット圧作用室３４内のパイロット流体の圧力を受ける受圧面積よりも小さいことから、弁体１７が、第２ピストン収容凹部３５に向けて移動する。その結果、供給ポート２０と第１出力ポート２１とが連通するとともに第２出力ポート２２と第２排出ポート２４とが連通する。また、供給ポート２０と第２出力ポート２２との間が第３弁部１７３の第３スプールパッキン２９３によってシールされるとともに、第１出力ポート２１と第１排出ポート２３との間が第２弁部１７２の第２スプールパッキン２９２によってシールされる。
【００４２】
そして、流体供給源からの流体が、供給流路５０、供給ポート２０、第１出力ポート２１、及び第１出力流路５１を介して流体圧機器に供給される。また、流体圧機器からの流体が、第２出力流路５２、第２出力ポート２２、第２排出ポート２４、及び第２排出流路５４を介して大気に排出される。
【００４３】
パイロット弁部４０は、ソレノイド部４１への電力の供給が停止されると、パイロット流体出力流路４３と電磁弁側パイロット流体排出流路４４とを連通させるとともに、パイロット流体供給流路４２とパイロット流体出力流路４３との連通を遮断する。すると、流体供給源から、供給流路５０、供給ポート２０、パイロット流体供給流路４２、及びパイロット流体出力流路４３を介したパイロット流体としての流体の第１パイロット圧作用室３４への供給が遮断される。そして、第１パイロット圧作用室３４内の流体が、パイロット流体出力流路４３、電磁弁側パイロット流体排出流路４４、第１ベース側パイロット流体排出流路５５、及び第１排出流路５３を介して大気に排出される。これにより、弁体１７が、第１ピストン収容凹部３１に向けて移動する。その結果、供給ポート２０と第２出力ポート２２とが連通するとともに、第１出力ポート２１と第１排出ポート２３とが連通する。また、供給ポート２０と第１出力ポート２１との間が第１弁部１７１の第１スプールパッキン２９１によってシールされるとともに、第２出力ポート２２と第２排出ポート２４との間が第４弁部１７４の第４スプールパッキン２９４によってシールされる。
【００４４】
そして、流体供給源からの流体が、供給流路５０、供給ポート２０、第２出力ポート２２、及び第２出力流路５２を介して流体圧機器に供給される。また、流体圧機器からの流体が、第１出力流路５１、第１出力ポート２１、第１排出ポート２３、及び第１排出流路５３を介して大気に排出される。
【００４５】
よって、本実施形態のパイロット形電磁弁１２は、供給ポート２０に供給された流体の一部を第１パイロット圧作用室３４及び第２パイロット圧作用室３８に供給する内部パイロット式である。そして、パイロット形電磁弁１２においては、弁体１７がパイロット流体により弁孔１８内を往復動することによって各ポート間の連通が切り換えられる。
【００４６】
電磁弁マニホールド１０は、載置面１１ａと弁ボディ１３との間をシールするガスケット６０を備えている。ガスケット６０は、載置面１１ａと弁ボディ１３との間に配置されている。また、電磁弁マニホールド１０は、第１ベース側パイロット流体排出流路５５から電磁弁側パイロット流体排出流路４４への流体の流れを阻止するチェック弁である第１チェック弁７１を備えている。さらに、電磁弁マニホールド１０は、パイロット形電磁弁１２が、パイロット弁部４０が二つ設けられた所謂ダブルパイロット型である場合に用いられるチェック弁である第２チェック弁７２を備えている。
【００４７】
図２に示すように、ガスケット６０は、金属板６１と、金属板６１に接合されたゴム製のシール部材６２と、を有している。シール部材６２は、金属板６１の表裏両面にそれぞれ接合されている。
【００４８】
金属板６１は、細長平薄板状である。金属板６１には、第１連通孔６１ａ、第２連通孔６１ｂ、第３連通孔６１ｃ、第４連通孔６１ｄ、及び第５連通孔６１ｅが形成されている。第１連通孔６１ａ、第２連通孔６１ｂ、第３連通孔６１ｃ、第４連通孔６１ｄ、及び第５連通孔６１ｅは、金属板６１の長手方向に並んで配置されるとともに金属板６１を厚み方向に貫通している。第１連通孔６１ａは、供給ポート２０と供給流路５０とを繋ぐ。第２連通孔６１ｂは、第１出力ポート２１と第１出力流路５１とを繋ぐ。第３連通孔６１ｃは、第２出力ポート２２と第２出力流路５２とを繋ぐ。第４連通孔６１ｄは、第１排出ポート２３と第１排出流路５３とを繋ぐ。第５連通孔６１ｅは、第２排出ポート２４と第２排出流路５４とを繋ぐ。
【００４９】
各シール部材６２は、第１連通孔６１ａ、第２連通孔６１ｂ、第３連通孔６１ｃ、第４連通孔６１ｄ、及び第５連通孔６１ｅをそれぞれ一つずつ囲むように金属板６１の表裏両面にそれぞれ接合されている。
【００５０】
金属板６１の表裏両面のうち、ボディ本体１４の本体対向面１４ａと対向する面には、位置決め突起６３が二つ設けられている。各位置決め突起６３は、金属板６１の四隅のうち対角線上に位置する２箇所にそれぞれ配置されている。
【００５１】
金属板６１には、螺子挿通孔６１ｈが二つ形成されている。各螺子挿通孔６１ｈは、金属板６１を厚み方向に貫通している。各螺子挿通孔６１ｈは、各位置決め突起６３に対して金属板６１の長手方向で隣り合う位置にそれぞれ配置されている。
【００５２】
金属板６１は、取付部としての第１取付部６４及び第２取付部６５を有している。第１取付部６４は、金属板６１の長手方向の一方に位置する第１側縁６１１から突出する平板状である。第２取付部６５は、金属板６１の長手方向の他方に位置する第２側縁６１２から突出する平板状である。第１取付部６４及び第２取付部６５は、第１側縁６１１又は第２側縁６１２から金属板６１の長手方向に互いに離間する方向に延びている。
【００５３】
図３に示すように、第１取付部６４には、挿通孔６４ｈが形成されている。挿通孔６４ｈは、円孔状であるとともに第１取付部６４を厚み方向に貫通している。挿通孔６４ｈの内周面には、ゴム製の弾性部６４ａが接合されている。弾性部６４ａは円環状であるとともに挿通孔６４ｈの内周面全体を被覆している。また、第１取付部６４における載置面１１ａと対向する面の挿通孔６４ｈの周囲には、ゴム製のシール部６４ｂが接合されている。シール部６４ｂは、円環状である。シール部６４ｂの内周縁は、弾性部６４ａに連続している。よって、弾性部６４ａは、シール部６４ｂの内周縁から立設する円環状である。弾性部６４ａ及びシール部６４ｂは一体形成されている。
【００５４】
第２取付部６５には、挿通孔６５ｈが形成されている。挿通孔６５ｈは、円孔状であるとともに第２取付部６５を厚み方向に貫通している。挿通孔６５ｈの内周面には、ゴム製の弾性部６５ａが接合されている。弾性部６５ａは円環状であるとともに挿通孔６５ｈの内周面全体を被覆している。また、第２取付部６５における載置面１１ａと対向する面の挿通孔６５ｈの周囲には、ゴム製のシール部６５ｂが接合されている。シール部６５ｂは、円環状である。シール部６５ｂの内周縁は、弾性部６５ａに連続している。よって、弾性部６５ａは、シール部６５ｂの内周縁から立設する円環状である。弾性部６５ａ及びシール部６５ｂは一体形成されている。
【００５５】
第１チェック弁７１は、筒状部７１ａ、嘴部７１ｂ、及びフランジ部７１ｃを有するゴム製のダックビル型である。筒状部７１ａは、円筒状である。嘴部７１ｂは、筒状部７１ａの軸線方向の一端部に連続するとともに筒状部７１ａから離間するにつれて先細りしている。フランジ部７１ｃは、筒状部７１ａの軸線方向の他端部の外周縁に連続するとともに、筒状部７１ａの他端部の外周縁から筒状部７１ａの軸線方向に対して直交する方向に延びる円環状である。嘴部７１ｂの先端には、嘴部７１ｂの内外を連通するスリット７１ｄが形成されている。
【００５６】
第１チェック弁７１は、筒状部７１ａが第１取付部６４の挿通孔６４ｈに挿通された状態で第１取付部６４に取り付けられている。フランジ部７１ｃは、第１取付部６４における第１対向面１５ａと対向する面の挿通孔６４ｈの周囲に密着している。筒状部７１ａにおける嘴部７１ｂ側の部位は、挿通孔６４ｈを通過してシール部６４ｂの内側から突出している。
【００５７】
よって、挿通孔６４ｈには、第１チェック弁７１の一部分が挿通されており、第１チェック弁７１は、一部分が挿通孔６４ｈに挿通された状態で第１取付部６４に取り付けられている。そして、筒状部７１ａが挿通孔６４ｈに挿通されることにより、弾性部６４ａが挿通孔６４ｈの内周面と筒状部７１ａとの間で潰れるように弾性変形する。よって、弾性部６４ａは、挿通孔６４ｈの内周面と第１チェック弁７１との間に設けられている。そして、弾性部６４ａが弾性変形する前の元の形状に復帰しようとする復帰力によって、第１チェック弁７１が挿通孔６４ｈの内周面に対して弾性部６４ａを介して締結されている。これにより、第１チェック弁７１は、ガスケット６０に一体化されている。
【００５８】
第２チェック弁７２は、筒状部７２ａ、嘴部７２ｂ、及びフランジ部７２ｃを有するゴム製のダックビル型である。筒状部７２ａは、円筒状である。嘴部７２ｂは、筒状部７２ａの軸線方向の一端部に連続するとともに筒状部７２ａから離間するにつれて先細りしている。フランジ部７２ｃは、筒状部７２ａの軸線方向の他端部の外周縁に連続するとともに、筒状部７２ａの他端部の外周縁から筒状部７２ａの軸線方向に対して直交する方向に延びる円環状である。嘴部７２ｂの先端には、嘴部７２ｂの内外を連通するスリット７２ｄが形成されている。
【００５９】
第２チェック弁７２は、筒状部７２ａが第２取付部６５の挿通孔６５ｈに挿通された状態で第２取付部６５に取り付けられている。フランジ部７２ｃは、第２取付部６５における第２対向面１６ａと対向する面の挿通孔６５ｈの周囲に密着している。筒状部７２ａにおける嘴部７２ｂ側の部位は、挿通孔６５ｈを通過してシール部６５ｂの内側から突出している。
【００６０】
よって、挿通孔６５ｈには、第２チェック弁７２の一部分が挿通されており、第２チェック弁７２は、一部分が挿通孔６５ｈに挿通された状態で第２取付部６５に取り付けられている。そして、筒状部７２ａが挿通孔６５ｈに挿通されることにより、弾性部６５ａが挿通孔６５ｈの内周面と筒状部７２ａとの間で潰れるように弾性変形する。よって、弾性部６５ａは、挿通孔６５ｈの内周面と第２チェック弁７２との間に設けられている。そして、弾性部６５ａが弾性変形する前の元の形状に復帰しようとする復帰力によって、第２チェック弁７２が挿通孔６５ｈの内周面に対して弾性部６５ａを介して締結されている。これにより、第２チェック弁７２は、ガスケット６０に一体化されている。したがって、本実施形態において、ガスケット６０には、チェック弁が二つ一体化されている。
【００６１】
図４に示すように、第１連結ブロック１５の第１対向面１５ａは、第１チェック弁７１のフランジ部７１ｃが嵌め込まれる円孔状の嵌合凹部１５ｃを有している。嵌合凹部１５ｃ内は、電磁弁側パイロット流体排出流路４４に連通している。電磁弁側パイロット流体排出流路４４は、第１対向面１５ａの一部を形成する嵌合凹部１５ｃの底面に開口している。そして、第１チェック弁７１のフランジ部７１ｃが嵌合凹部１５ｃに嵌め込まれた状態において、電磁弁側パイロット流体排出流路４４と第１チェック弁７１の内側とは連通している。
【００６２】
第１チェック弁７１のフランジ部７１ｃは、嵌合凹部１５ｃの底面と第１取付部６４における第１対向面１５ａと対向する面の挿通孔６４ｈの周囲とによって挟み込まれている。そして、フランジ部７１ｃは、嵌合凹部１５ｃの底面と第１取付部６４における第１対向面１５ａと対向する面の挿通孔６４ｈの周囲との間をシールしている。また、シール部６４ｂは、第１取付部６４における載置面１１ａと対向する面の挿通孔６４ｈの周囲と載置面１１ａとによって挟み込まれている。そして、シール部６４ｂは、第１取付部６４における載置面１１ａと対向する面の挿通孔６４ｈの周囲と載置面１１ａとの間をシールしている。
【００６３】
また、第２連結ブロック１６の第２対向面１６ａは、第２チェック弁７２のフランジ部７２ｃが嵌め込まれる円孔状の嵌合凹部１６ｃを有している。第２チェック弁７２のフランジ部７２ｃは、嵌合凹部１６ｃの底面と第２取付部６５における第２対向面１６ａと対向する面の挿通孔６５ｈの周囲とによって挟み込まれている。そして、フランジ部７２ｃは、嵌合凹部１６ｃの底面と第２取付部６５における第２対向面１６ａと対向する面の挿通孔６５ｈの周囲との間をシールしている。また、シール部６５ｂは、第２取付部６５における載置面１１ａと対向する面の挿通孔６５ｈの周囲と載置面１１ａとによって挟み込まれている。そして、シール部６５ｂは、第２取付部６５における載置面１１ａと対向する面の挿通孔６５ｈの周囲と載置面１１ａとの間をシールしている。
【００６４】
ボディ本体１４の本体対向面１４ａには、各位置決め突起６３が挿入される挿入凹部１４ｂがそれぞれ形成されている。各挿入凹部１４ｂは、本体対向面１４ａの四隅のうち対角線上に位置する２箇所にそれぞれ配置されている。また、ボディ本体１４には、螺子挿通孔１４ｈが二つ形成されている。各螺子挿通孔１４ｈは、各挿入凹部１４ｂに対してボディ本体１４の長手方向で隣り合う位置にそれぞれ配置されている。
【００６５】
図２に示すように、載置面１１ａには、雌ねじ孔１１ｈが二つ形成されている。そして、各螺子１９が、ボディ本体１４の各螺子挿通孔１４ｈ、及びガスケット６０の各螺子挿通孔６１ｈを通過して、各雌ねじ孔１１ｈにねじ込まれることにより、ガスケット６０が載置面１１ａと弁ボディ１３との間に挟まれた状態で、マニホールドベース１１に対してパイロット形電磁弁１２が組み付けられている。
【００６６】
このとき、第１チェック弁７１の筒状部７１ａが第１ベース側パイロット流体排出流路５５における載置面１１ａに開口する開口部５５ａに嵌入されるとともに、第２チェック弁７２の筒状部７２ａが第２ベース側パイロット流体排出流路５６における載置面１１ａに開口する開口部５６ａに嵌入される。両開口部５５ａ，５６ａは円孔状である。各筒状部７１ａ，７２ａの外径は、各開口部５５ａ，５６ａの内径よりも僅かに小さい。そして、各筒状部７１ａ，７２ａは、各開口部５５ａ，５６ａに対して確実に嵌入される。
【００６７】
よって、第１チェック弁７１の筒状部７１ａは、第１ベース側パイロット流体排出流路５５の開口部５５ａに嵌入される嵌入部として機能している。したがって、第１チェック弁７１は、第１ベース側パイロット流体排出流路５５における載置面１１ａに開口する開口部５５ａに挿入される嵌入部を有している。また、第２チェック弁７２の筒状部７２ａは、第２ベース側パイロット流体排出流路５６の開口部５６ａに嵌入される嵌入部として機能している。したがって、第２チェック弁７２は、第２ベース側パイロット流体排出流路５６における載置面１１ａに開口する開口部５６ａに嵌入される嵌入部を有している。
【００６８】
次に、本実施形態の作用について説明する。
第１チェック弁７１では、第１チェック弁７１内の圧力が所定の圧力に達すると、スリット７１ｄが開口する。すると、第１チェック弁７１は、電磁弁側パイロット流体排出流路４４から第１ベース側パイロット流体排出流路５５に向けて流れる流体の流れを許容する。よって、電磁弁側パイロット流体排出流路４４から第１チェック弁７１内に流入した流体が、第１チェック弁７１を介して第１ベース側パイロット流体排出流路５５に流出する。また、第１チェック弁７１では、第１チェック弁７１内の圧力が所定の圧力よりも小さい場合、スリット７１ｄが閉塞している。これにより、第１チェック弁７１は、第１ベース側パイロット流体排出流路５５から電磁弁側パイロット流体排出流路４４への流体の流れを阻止する。
【００６９】
上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）第１チェック弁７１及び第２チェック弁７２がガスケット６０に一体化されている。このため、電磁弁マニホールド１０においては、例えば、メンテナンス時など、マニホールドベース１１に対するパイロット形電磁弁１２の組み付けや取り外しの作業を行う際に、第１チェック弁７１又は第２チェック弁７２が単体で脱落してしまうことが無い。よって、マニホールドベース１１に対するパイロット形電磁弁１２の組み付けや取り外しの作業を行う際に、第１チェック弁７１又は第２チェック弁７２を紛失してしまうことを抑制することができる。したがって、マニホールドベース１１に対するパイロット形電磁弁１２の組み付けや取り外しの作業性を向上させることができる。
【００７０】
（２）第１チェック弁７１の筒状部７１ａが第１ベース側パイロット流体排出流路５５における載置面１１ａに開口する開口部５５ａに嵌入されている。これによれば、第１チェック弁７１における第１ベース側パイロット流体排出流路５５に対する位置精度を向上させることができる。また、第２チェック弁７２の筒状部７２ａが第２ベース側パイロット流体排出流路５６における載置面１１ａに開口する開口部５６ａに嵌入されている。これによれば、第２チェック弁７２における第２ベース側パイロット流体排出流路５６に対する位置精度を向上させることができる。よって、マニホールドベース１１に対するパイロット形電磁弁１２の組み付けの作業性を向上させることができる。
【００７１】
（３）マニホールドベース１１には、ベース側パイロット流体排出流路としての第１ベース側パイロット流体排出流路５５及び第２ベース側パイロット流体排出流路５６が形成されている。したがって、マニホールドベース１１には、ベース側パイロット流体排出流路が二つ形成されている。そして、ガスケット６０には、チェック弁としての第１チェック弁７１及び第２チェック弁７２が一体化されている。したがって、ガスケット６０には、チェック弁が二つ一体化されている。これによれば、第１チェック弁７１の筒状部７１ａ及び第２チェック弁７２の筒状部７２ａが、第１ベース側パイロット流体排出流路５５の開口部５５ａ及び第２ベース側パイロット流体排出流路５６の開口部５６ａにそれぞれ嵌入されることにより、ガスケット６０における載置面１１ａに対する位置精度を向上させることができる。よって、マニホールドベース１１に対するパイロット形電磁弁１２の組み付けの作業性を向上させることができる。
【００７２】
（４）ガスケット６０は、金属板６１と、金属板６１に接合されたゴム製のシール部材６２と、を有している。金属板６１は、第１チェック弁７１の一部分が挿通される挿通孔６４ｈが形成された第１取付部６４、及び第２チェック弁７２の一部分が挿通される挿通孔６５ｈが形成された第２取付部６５を有している。そして、第１チェック弁７１は、一部分が挿通孔６４ｈに挿通された状態で第１取付部６４に取り付けられるとともに、第２チェック弁７２は、一部分が挿通孔６５ｈに挿通された状態で第２取付部６５に取り付けられている。これによれば、第１取付部６４の挿通孔６４ｈに第１チェック弁７１の一部分を挿通して第１チェック弁７１を第１取付部６４に取り付けることにより、第１チェック弁７１をガスケット６０に一体化させることができる。また、第２取付部６５の挿通孔６５ｈに第２チェック弁７２の一部分を挿通して第２チェック弁７２を第２取付部６５に取り付けることにより、第２チェック弁７２をガスケット６０に一体化させることができる。よって、第１チェック弁７１及び第２チェック弁７２をガスケット６０に一体化するために、例えば、第１チェック弁７１及び第２チェック弁７２とガスケット６０のシール部材６２とを一体成形する場合に比べると、第１チェック弁７１及び第２チェック弁７２及びガスケット６０の製造を簡素化させることができる。
【００７３】
（５）第１取付部６４の挿通孔６４ｈの内周面と第１チェック弁７１との間には、弾性部６４ａが設けられ、第２取付部６５の挿通孔６５ｈの内周面と第２チェック弁７２との間には、弾性部６５ａが設けられている。これによれば、第１チェック弁７１の一部分が挿通孔６４ｈに挿通されることにより、弾性部６４ａが挿通孔６４ｈの内周面と第１チェック弁７１との間で潰れるように弾性変形し、弾性部６４ａが弾性変形する前の元の形状に復帰しようとする復帰力によって、第１チェック弁７１が挿通孔６４ｈの内周面に対して弾性部６４ａを介して締結される。また、第２チェック弁７２の一部分が挿通孔６５ｈに挿通されることにより、弾性部６５ａが挿通孔６５ｈの内周面と第２チェック弁７２との間で潰れるように弾性変形し、弾性部６５ａが弾性変形する前の元の形状に復帰しようとする復帰力によって、第２チェック弁７２が挿通孔６５ｈの内周面に対して弾性部６５ａを介して締結される。これにより、第１チェック弁７１が挿通孔６４ｈから脱落し難くなるとともに第２チェック弁７２が挿通孔６５ｈから脱落し難くなり、第１チェック弁７１における第１取付部６４に対する取り付け、及び第２チェック弁７２における第２取付部６５に対する取り付けを強固なものとすることができる。
【００７４】
（６）第１チェック弁７１のフランジ部７１ｃが嵌合凹部１５ｃに嵌め込まれることにより、第１チェック弁７１における弁ボディ１３に対する位置精度を向上させることができる。また、第２チェック弁７２のフランジ部７２ｃが嵌合凹部１６ｃに嵌め込まれることにより、第２チェック弁７２における弁ボディ１３に対する位置精度を向上させることができる。よって、マニホールドベース１１に対するパイロット形電磁弁１２の組み付けの作業性を向上させることができる。
【００７５】
（７）各位置決め突起６３が各挿入凹部１４ｂに挿入されることにより、ガスケット６０における弁ボディ１３に対する位置精度を向上させることができる。よって、マニホールドベース１１に対するパイロット形電磁弁１２の組み付けの作業性を向上させることができる。
【００７６】
なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
【００７７】
・  実施形態において、例えば、ガスケット６０に第２チェック弁７２が一体化されておらず、第１チェック弁７１のみが一体化されていてもよい。
・  実施形態において、パイロット形電磁弁１２は、第２チェック弁７２を備えていない構成であってもよい。このとき、マニホールドベース１１には、第２ベース側パイロット流体排出流路５６が形成されておらず、第１ベース側パイロット流体排出流路５５のみが形成されていてもよい。したがって、マニホールドベース１１に、ベース側パイロット流体排出流路が一つだけ形成されている構成であってもよい。
【００７８】
・  実施形態において、例えば、第１チェック弁７１とガスケット６０のシール部材６２とが一体形成されていてもよい。また、第２チェック弁７２とガスケット６０のシール部材６２とが一体成形されていてもよい。
【００７９】
・  実施形態において、第１取付部６４の挿通孔６４ｈの内周面と第１チェック弁７１との間に弾性部６４ａが設けられておらず、第２取付部６５の挿通孔６５ｈの内周面と第２チェック弁７２との間に弾性部６５ａが設けられていない構成であってもよい。
【００８０】
・  実施形態において、例えば、載置面１１ａは、第１チェック弁７１及び第２チェック弁７２に干渉しないように逃げ凹部をそれぞれ有していてもよい。そして、各逃げ凹部の底面に、第１ベース側パイロット流体排出流路５５及び第２ベース側パイロット流体排出流路５６が開口していてもよい。さらに、例えば、第１チェック弁７１の嘴部７１ｂの先端、及び第２チェック弁７２の嘴部７２ｂの先端が、各逃げ凹部内に位置していてもよい。したがって、第１チェック弁７１の筒状部７１ａが第１ベース側パイロット流体排出流路５５の開口部５５ａに嵌入されておらず、第２チェック弁７２の筒状部７２ａが第２ベース側パイロット流体排出流路５６の開口部５６ａに嵌入されていない構成であってもよい。
【００８１】
・  実施形態において、ガスケット６０が、金属板６１を有しておらず、例えば、板状であるゴム製のシール部材のみによって構成されていてもよい。
・  実施形態において、弾性部６４ａ，６５ａは、挿通孔６４ｈ，６５ｈの内周面の一部分だけを被覆する環状であってもよい。
【００８２】
・  実施形態において、弾性部６４ａ，６５ａが、シール部６４ｂ，６５ｂに連続していなくてもよい。
・  実施形態において、弾性部６４ａ，６５ａが、シール部６４ｂ，６５ｂと一体形成されておらず、シール部６４ｂ，６５ｂとは別部材であってもよい。
【００８３】
・  実施形態において、第１チェック弁７１及び第２チェック弁７２が、ダックビル型ではなく、例えば、傘型（アンブレラ型）であってもよい。要は、ガスケット６０に一体化可能であれば、第１チェック弁７１及び第２チェック弁７２の形状は、特に限定されるものではない。
【００８４】
・  実施形態において、パイロット形電磁弁１２は、第１ピストン３２の外径と第２ピストン３６の外径とが同じであり、第２ピストン収容凹部３５内に、弁体１７を第１ピストン収容凹部３１に向けて付勢する付勢ばねが収容されている構成であってもよい。そして、例えば、第１パイロット圧作用室３４内の圧力が、付勢ばねの付勢力に抗することにより、弁体１７が第２ピストン収容凹部３５に向けて移動するようにしてもよい。
【００８５】
・  実施形態において、供給ポート２０とは別の外部から供給された流体を第１パイロット圧作用室３４及び第２パイロット圧作用室３８に供給する外部パイロット式であってもよい。
【００８６】
・  実施形態において、パイロット形電磁弁１２が、パイロット弁部４０が二つ設けられた所謂ダブルパイロット型であってもよい。
・  実施形態において、パイロット形電磁弁１２は、例えば、３ポート電磁弁であってもよい。よって、弁ボディ１３に形成されるポートの数は適宜変更してもよく、マニホールドベース１１に形成される流路の数は、弁ボディ１３に形成されるポートの数に合わせて適宜変更してもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１０…電磁弁マニホールド、１１…マニホールドベース、１１ａ…載置面、１２…パイロット形電磁弁、１３…弁ボディ、１７…弁体、１８…弁孔、２０…ポートとしての供給ポート、２１…ポートとしての第１出力ポート、２２…ポートとしての第２出力ポート、２３…ポートとしての第１排出ポート、２４…ポートとしての第２排出ポート、４４…電磁弁側パイロット流体排出流路、５０…流路としての供給流路、５１…流路としての第１出力流路、５２…流路としての第２出力流路、５３…流路としての第１排出流路、５４…流路としての第２排出流路、５５…ベース側パイロット流体排出流路としての第１ベース側パイロット流体排出流路、５５ａ…開口部、５６…ベース側パイロット流体排出流路としての第２ベース側パイロット流体排出流路、５６ａ…開口部、６０…ガスケット、６１…金属板、６２…シール部材、６４…取付部としての第１取付部、６４ａ，６５ａ…弾性部、６４ｈ，６５ｈ…挿通孔、６５…取付部としての第２取付部、７１…チェック弁としての第１チェック弁、７１ａ…嵌入部としての筒状部、７２…チェック弁としての第２チェック弁、７２ａ…嵌入部としての筒状部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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