(57)【要約】【課題】ガラス薄板などの透明薄板やこの透明薄板に重ねるシートをそれぞれ積層体構成部材とし、この積層体構成部材を重ね合わせて一体となる湾曲した積層体を得るに際し、積層体構成部材同士の重ね合わせ部分に、面として押圧力が加わり、且つ気泡が混入しないようにする。【解決手段】曲面透明薄板１やこの曲面透明薄板に重ねるシート体２をそれぞれ積層体構成部材とし、湾曲状態にある複数の積層体構成部材を、積層体製造装置Ａでの上下にして位置する凸体２２と積層体受け２７との広面の挟み込み面の部分で減圧された環境の下で挟み込んで、積層体構成部材同士の重ね合わせ部分に、面として押圧力を加え、且つ気泡が混入しないようにして重ね合わせ部分を均一に貼り合わせる。【選択図】図５
2019188629.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
断面形状が下方に凸となる曲面形状を呈する曲面透明薄板とこの曲面透明薄板の片面側に重ね合わせる変形可能なシート体とをそれぞれ積層体構成部材とし、
上下移動可能とした上ステージとこの上ステージの下方で上下移動可能とした下ステージとで、前記曲面透明薄板と前記シート体とを含む複数の積層体構成部材からなる重ね合わせ状態物を挟み込み形成して、
前記上ステージと下ステージとの前記重ね合わせ状態物に対する押圧によって、重なり合う積層体構成部材同士を密着させる積層体製造装置であって、
搬出入用開口部を有し、チャンバー内で前記上ステージと前記下ステージとを互いに離接するように上下に対向させていて、上ステージと下ステージとが重ね合わせ状態物を挟み込みして前記押圧を行なうときにチャンバー内を減圧状態にする真空チャンバーと、
前記上ステージの下面に位置していて、前記曲面透明薄板の曲面形状に対応して下方に凸の凸曲面形状とした凸型基材を、上ステージの下面側に取り付けられた空気不透過膜材で覆って、曲面透明薄板の曲面形状に対応して下方に凸の凸曲面形状とされている凸体と、
前記凸体の周辺部に配置されている微粘着性ゴムからなり、凸体に下方から重ねられる積層体構成部材への貼着により、凸体の前記凸曲面形状の部分に沿って重なる前記積層体構成部材を、曲面透明薄板の曲面形状に対応した状態に形状維持して着脱可能に保持する保持手段と、
前記真空チャンバーの搬出入用開口部を通してチャンバー内外に移動し、前記シート体からなる積層体構成部材を上ステージ側となる上面側に静電吸着により保持して上ステージと下ステージとの間に搬入して、上ステージの降下により凸体との間で前記シート体からなる積層体構成部材を挟み込んで凸体の下面に位置させる変形可能なシート状の静電チャックと、
前記真空チャンバーの搬出入用開口部を通してチャンバー内外に移動し、上ステージと下ステージとの間に前記シート体からなる積層体構成部材を搬入する前記静電チャックの下方に位置していて、降下する凸体とで前記シート体からなる積層体構成部材の挟み込みをする静電チャックを下方から押圧しながら、前記凸体の凸曲面形状に応じて静電チャックにおける保持手段対応部分に向けて転がり移動して凸体に沿わせた前記シート体からなる積層体構成部材を前記保持手段に接触させる一対の加圧ローラーと、
上ステージとこの上ステージに対して下方から重ね合わされた前記静電チャックとの間であって、前記保持手段に保持されてシート体からなる積層体構成部材が凸体に沿って位置している前記上ステージと前記静電チャックとの間の空間から空気を吸引して、該吸引により上ステージ側に押し付けられる静電チャックにより前記シート体からなる積層体構成部材を前記保持手段に貼着させて保持させる真空吸引手段と、
前記下ステージの上面に位置し、前記曲面透明薄板の曲面形状に対応して下方に凸の凹曲面形状にして形成されていて、上ステージと下ステージとの間に配される積層体構成部材である前記シート体と前記曲面透明薄板とを、前記凸体とで挟み込む積層体受けと
を備えることを特徴とする積層体製造装置。
【請求項２】
上記上ステージと下ステージの減圧環境下での重ね合わせ状態物に対する押圧は、上ステージの下面に位置する凸体が、チャンバー外から導入される大気圧を受けて前記重ね合わせ状態物を押すことにより形成されるものとされている請求項１に記載の積層体製造装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の積層体製造装置により、断面形状が下方に凸となる曲面形状を呈する曲面透明薄板の凹曲面側に、変形可能な透明センサーシートやフレキシブルディスプレイシートなどの情報表示パネルのシート状電子部品であり両面が保護フィルムで覆われているシート体と、変形可能な透明光学粘着フィルムからなり両面が保護フィルムで覆われている貼り合わせ用のシート体とを、重ね合わせ側となる前記保護フィルムを除去しながら交互にして重ね合わせて、曲面透明薄板の凹曲面側にシート状電子部品のシート体を複数層にして貼り合わされている積層体を製造する方法であって、
積層体製造装置における上ステージと下ステージとの間に曲面透明薄板を進入させて、前記下ステージの積層体受けに、曲面形状を呈する積層体受け載置部材として前記曲面透明薄板を載置する曲面透明薄板載置工程
の後に、前記貼り合わせ用のシート体の取付工程と前記シート状電子部品のシート体の取付工程とを交互に行なうものであり、
前記貼り合わせ用のシート体の取付工程は、
積層体製造装置の上ステージと下ステージとの間に、未貼合状態である貼り合わせ用のシート体を静電吸着した静電チャックが進入して、上ステージの凸体の下方に前記貼り合わせ用のシート体を位置させるとともに、静電チャックの下面側に対の加圧ローラーを位置させるステップＡ−０１と、
前記上ステージが降下してこの上ステージとともに降下する凸体が、貼り合わせ用のシート体と静電チャックとを押し下げて、前記加圧ローラーそれぞれが、前記降下する凸体とで貼り合わせ用のシート体の挟み込みをする静電チャックを下方から押圧しながら、該静電チャックでの凸体下端対応部分から互いに逆方向にして静電チャックにおける保持手段対応部分に向けて転がり移動し、前記貼り合わせ用のシート体を、凸体の凸曲面形状の部分に沿わせて凸体の保持手段に接触させるステップＡ−０２と、
降下した前記上ステージとこの上ステージに重なる静電チャックとの間の空間を閉じた空間とした状態の下で、積層体製造装置における真空吸引手段により、上ステージと静電チャックとの間の空間から空気を吸引し、この吸引で上ステージ側に押し付けられる静電チャックにより前記貼り合わせ用のシート体を前記保持手段に貼着して、該保持手段にて、貼り合わせ用のシート体を曲面透明薄板の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持させるステップＡ−０３と、
前記凸体側に貼り合わせ用のシート体を着脱可能に貼着した上ステージが上昇して、上ステージから離れた静電チャックと加圧ローラーとが上ステージと下ステージとの間から退避した後に、凸体側に位置する前記貼り合わせ用のシート体の下面側の保護フィルムを除去するステップＡ−０４と、
上ステージと下ステージとを互いに近接させるとともに真空チャンバーのチャンバー内を減圧した後に、減圧環境下で、上ステージと下ステージとの間で、前記積層体受け載置部材と凸体側で形状維持されている前記貼り合わせ用のシート体とからなる重ね合わせ状態物を挟み込み保持し、前記凸体にて前記貼り合わせ用のシート体を積層体受け載置部材側に押圧して、重なり合う前記貼り合わせ用のシート体と前記積層体受け載置部材とを貼り合わせるステップＡ−０５と、
前記凸体による貼り合わせ用のシート体への押圧を解除し、真空チャンバーのチャンバー内を大気圧環境に戻してから真空チャンバーを大気開放するステップＡ−０６と、
上ステージと下ステージとを上下方向に離間させて、上ステージの上昇により、凸体から積層体受け側に貼り合わせ用のシート体を分離して、積層体受けに、最上層を貼り合わせ用のシート体とするとともに最下層を曲面透明薄板とする積層体受け載置部材を形成し、この積層体受け載置部材での最上層に位置する前記貼り合わせ用のシート体から、該貼り合わせ用のシート体の曲面透明薄板側とは反対の保護フィルムを除去して、最上層を貼り合わせ用のシート体とするとともに最下層を曲面透明薄板として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体を形成するステップＡ−０７と、
とからなるものであり、
前記シート状電子部品のシート体の取付工程は、
上ステージと下ステージとの間に、未貼合状態であるシート状電子部品のシート体を静電吸着した静電チャックが進入して、上ステージの凸体の下方に前記シート状電子部品のシート体を位置させるとともに、前記静電チャックの下面側に対の前記加圧ローラーを位置させるステップＢ−０１と、
前記上ステージが降下してこの上ステージとともに降下する凸体が、シート状電子部品のシート体と静電チャックとを押し下げて、前記加圧ローラーそれぞれが、前記降下する凸体とでシート状電子部品のシート体の挟み込みをする静電チャックを下方から押圧しながら、該静電チャックでの凸体下端対応部分から互いに逆方向にして静電チャックにおける前記保持手段対応部分に向けて転がり移動し、前記シート状電子部品のシート体を、凸体の凸曲面形状の部分に沿わせて凸体の保持手段に接触させるステップＢ−０２と、
降下した前記上ステージとこの上ステージに重なる静電チャックとの間の空間を閉じた空間とした状態の下で、積層体製造装置における前記真空吸引手段により、上ステージと静電チャックとの間の空間から空気を吸引し、この吸引で上ステージ側に押し付けられる静電チャックによりシート状電子部品のシート体を前記保持手段に貼着して、該保持手段にて、シート状電子部品のシート体を曲面透明薄板の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持させるステップＢ−０３と、
前記凸体側にシート状電子部品のシート体を着脱可能に貼着した上ステージが上昇して、上ステージから離れた静電チャックと加圧ローラーとが上ステージと下ステージとの間から退避した後に、凸体側に位置する前記シート状電子部品のシート体の下面側の保護フィルムを除去するステップＢ−０４と、
上ステージと下ステージとを互いに近接させるとともに真空チャンバーのチャンバー内を減圧した後に、減圧環境下で、上ステージと下ステージとの間で、前記貼り合わせ用のシート体の取付工程を経て形成された積層体である積層体受け載置部材と前記シート状電子部品のシート体とを挟み込み保持し、前記凸体にて前記シート状電子部材のシート体を前記積層体受け載置部材側に押圧して、重なり合う前記シート状電子部品のシート体と前記積層体受け載置部材とを貼り合わせるステップＢ−０５と、
前記凸体によるシート状電子部品のシート体への押圧を解除し、真空チャンバーのチャンバー内を大気圧環境に戻してから真空チャンバーを大気開放するステップＢ−０６と、
上ステージと下ステージとを上下方向に離間させて、上ステージの上昇により、凸体から積層体受け側にシート状電子部品のシート体を分離して、積層体受けに、最上層をシート状電子部品のシート体とするとともに最下層を曲面透明薄板とする積層体受け載置部材を形成し、この積層体受け載置部材での最上層に位置する前記シート状電子部品のシート体から、該シート状電子部品のシート体の曲面透明薄板側とは反対の保護フィルムを除去して、最上層をシート状電子部品のシート体とするとともに最下層を曲面透明薄板として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体を形成するステップＢ−０７と
からなるものであることを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項４】
上記シート状電子部品のシート体は、該シート体の辺部に、可撓性を有するフレキシブルプリント配線板を介して、電子素子が実装されたプリント基板が設けられているものであって、
上記ステップＢ−０１での静電チャックの静電吸着は、前記シート状電子部品のシート体とフレキシブルプリント配線板とプリント基板とに対して行なわれていて、
上記ステップＢ−０３において、上記吸着で上ステージ側に押し付けられる静電チャックにより、前記フレキシブルプリント配線板と前記プリント基板とが上記保持手段に貼着される請求項３に記載の積層体の製造方法。
【請求項５】
請求項１または２に記載の積層体製造装置により、断面形状が下方に凸となる曲面形状を呈する曲面透明薄板の凸曲面側に、変形可能な透明センサーシートやフレキシブルディスプレイシートなどの情報表示パネルのシート状電子部品であり両面が保護フィルムで覆われているシート体と、変形可能な透明光学粘着フィルムからなり両面が保護フィルムで覆われている貼り合わせ用のシート体とを、重ね合わせ側となる前記保護フィルムを除去しながら交互にして重ね合わせて、曲面透明薄板の凸曲面側にシート状電子部品のシート体を複数層にして貼り合わされている積層体を製造する方法であって、
積層体製造装置における上ステージと下ステージとの間に曲面透明薄板を進入させて、前記下ステージの積層体受けに前記曲面透明薄板を載置し、上ステージと下ステージとの間で曲面透明薄板を挟み込み保持して凸体の凸曲面形状の部分に沿わせて凸体の保持手段に貼着し、上ステージと下ステージとを離間させて、形状維持された曲面透明薄板を凸体側に位置する凸体下重ね部材として、前記保持手段にて保持する曲面透明薄板取付工程
の後に、前記貼り合わせ用のシート体の取付工程と前記シート状電子部品のシート体の取付工程とを交互に行なうものであり、
前記貼り合わせ用のシート体の取付工程は、
積層体製造装置の上ステージと下ステージとの間に、重ね合わせ側の保護フィルムを除去して未貼合状態である貼り合わせ用のシート体を静電吸着した静電チャックが進入して、上ステージの凸体の下方に前記貼り合わせ用のシート体を位置させるとともに、静電チャックの下面側に対の加圧ローラーを位置させるステップＣ−０１と、
搬出入用開口部を閉じて真空チャンバーのチャンバー内を減圧し、この減圧環境下で、前記上ステージが降下してこの上ステージとともに前記凸体下重ね部材を保持して降下する凸体が、貼り合わせ用のシート体と静電チャックとを押し下げて、前記加圧ローラーそれぞれが、前記降下する凸体とで凸体下重ね部材と貼り合わせ用のシート体との挟み込みをする静電チャックを下方から押圧しながら、該静電チャックでの凸体下端対応部分から互いに逆方向にして静電チャックにおける凸体側端対応部分に向けて転がり移動し、前記貼り合わせ用のシート体を凸体下重ね部材の凸曲面形状の部分に沿わせて凸体下重ね部材に密に接触させ、貼り合わせ用のシート体を曲面透明薄板の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持させるステップＣ−０２と、
真空チャンバーのチャンバー内を大気圧状態に戻して搬出入用開口部を開いて大気開放し、上ステージと下ステージとを互いに離間させて、静電チャックと加圧ローラーとを退避させるステップＣ−０３と、
上ステージと下ステージとを互いに近接させるとともに搬出入用開口部を閉じて真空チャンバーのチャンバー内を減圧した後に、減圧環境下で、上ステージと下ステージとの間で、凸体側で形状維持されている前記凸体下重ね部材とこの凸体下重ね部材に密にして接触する前記貼り合わせ用のシート体とからなる重ね合わせ状態物を挟み込み保持し、前記凸体にて前記凸体下重ね部材と貼り合わせ用のシート体からなる前記重ね合わせ状態物を下ステージの積層体受け側に押圧して、重なり合う前記凸体下重ね部材と貼り合わせ用のシート体とを貼り合わせるステップＣ−０４と、
前記凸体による前記重ね合わせ状態物への押圧を解除し、真空チャンバーのチャンバー内を大気圧環境に戻してから真空チャンバーを大気開放するステップＣ−０５と、
上ステージと下ステージとを上下方向に離間させて、上ステージの上昇により凸体側の前記重ね合わせ状態物から積層体受けを分離して、凸体に、最上層を曲面透明薄板とするとともに最下層を貼り合わせ用のシート体とする凸体下重ね部材を形成し、この凸体下重ね部材での最下層に位置する前記貼り合わせ用のシート体から、該貼り合わせ用のシート体の曲面透明薄板側とは反対の保護フィルムを除去して、最上層を曲面透明薄板とするとともに最下層を貼り合わせ用のシート体として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体を形成するステップＣ−０６と
からなるものであり、
前記シート状電子部品のシート体の取付工程は、前記貼り合わせ用のシート体の取付工程にて形成されて最下層を貼り合わせ用のシート体とする積層体からなる凸体下重ね部材に対して行なわれるものであり、
上ステージと下ステージとの間に、重ね合わせ側の保護フィルムを除去して未貼合状態であるシート状電子部品のシート体を静電吸着した静電チャックが進入して、前記貼り合わせ用のシート体の取付工程を経て上ステージの凸体に保持されている積層体の下方に前記シート状電子部品のシート体を位置させるとともに、前記静電チャックの下面側に対の前記加圧ローラーを位置させるステップＤ−０１と、
搬出入用開口部を閉じて真空チャンバーのチャンバー内を減圧し、この減圧環境下で、前記上ステージが降下してこの上ステージとともに前記凸体下重ね部材を保持して降下する凸体が、貼り合わせ用のシート体と静電チャックとを押し下げて、前記加圧ローラーそれぞれが、前記降下する凸体とで凸体下重ね部材とシート状電子部品のシート体との挟み込みをする静電チャックを下方から押圧しながら、該静電チャックでの凸体下端対応部分から互いに逆方向にして静電チャックにおける凸体側端対応部分に向けて転がり移動し、前記シート状電子部品のシート体を凸体下重ね部材の凸曲面形状の部分に沿わせて凸体下重ね部材に密に接触させ、シート状電子部品のシート体を曲面透明薄板の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持させるステップＤ−０２と、
真空チャンバーのチャンバー内を大気圧状態に戻して搬出入用開口部を開いて大気開放し、上ステージと下ステージとを互いに離間させて、静電チャックと加圧ローラーとを退避させるステップＤ−０３と、
上ステージと下ステージとを互いに近接させるとともに搬出入用開口部を閉じて真空チャンバーのチャンバー内を減圧した後に、減圧環境下で、上ステージと下ステージとの間で、凸体側で形状維持されている前記凸体下重ね部材とこの凸体下重ね部材に密にして接触する前記シート状電子部品のシート体とからなる重ね合わせ状態物を挟み込み保持し、前記凸体にて前記凸体下重ね部材とシート状電子部品のシート体からなる前記重ね合わせ状態物を下ステージの積層体受け側に押圧して、重なり合う前記凸体下重ね部材とシート状電子部品のシート体とを貼り合わせるステップＤ−０４と、
前記凸体による前記重ね合わせ状態物への押圧を解除し、真空チャンバーのチャンバー内を大気圧環境に戻してから真空チャンバーを大気開放するステップＤ−０５と、
上ステージと下ステージとを上下方向に離間させて、上ステージの上昇により凸体側の前記重ね合わせ状態物から積層体受けを分離して、凸体に、最上層を曲面透明薄板とするとともに最下層をシート状電子部品のシート体とする凸体下重ね部材を形成し、この凸体下重ね部材での最下層に位置する前記シート状電子部品のシート体から、該シート状電子部品のシート体の曲面透明薄板側とは反対の保護フィルムを除去して、最上層を曲面透明薄板とするとともに最下層をシート状電子部品のシート体として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体を形成するステップＤ−０６と
からなるものであることを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項６】
上記シート状電子部品のシート体は、該シート体の辺部に、可撓性を有するフレキシブルプリント配線板を介して、電子素子が実装されたプリント基板が設けられているものであって、
上記ステップＤ−０１での静電チャックの静電吸着は、前記シート状電子部品のシート体とフレキシブルプリント配線板とプリント基板とに対して行なわれていて、
上記ステップＤ−０２において、上記加圧ローラーで上ステージ側に押し付けられる静電チャックにより、前記フレキシブルプリント配線板と前記プリント基板とが上記保持手段に貼着される請求項５に記載の積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
従来、液晶基板やプラズマディスプレイ基板などのガラス基板と、偏光シートや反射防止フィルムなどの平坦な機能性シートとを貼り合わせる装置として、特許文献１に貼合装置が示されている。この文献における貼合装置は、前記ガラス基板を湾曲状に吸着保持する上吸着台を備えた上吸着盤と、前記機能性シートを湾曲状に吸着保持する複数の下吸着台を備えた下吸着盤とを有している。
【０００２】
そしてこの貼合装置では、上吸着盤と下吸着盤とを上下に向い合わせに配置することで、湾曲状のガラス基板と同じく湾曲状の機能性シートとが一定の間隔で離れた状態で対向配置するようにしている。
【０００３】
さらにこの貼合装置には、下吸着盤の複数の下吸着台に保持された機能性シートを下方から押し上げて、前記ガラス基板の予め接着剤が塗布されている片面に押し付ける貼合ローラーを有し、この貼合ローラーの移動に先行して下吸着台が順次降下するとともに、貼合ローラーがガラス基板の湾曲形状に沿って昇降しながら、ガラス基板と機能性シートとの対向部分の一辺側から他辺側にかけて一方向に移動するようにした点が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第６０２２４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記貼合装置では、上述したように湾曲状のガラス基板と同じく湾曲状の機能性シートとを対向配置させ、上記貼合ローラーが機能性シートをガラス基板の接着剤塗布面側に押し付けて、さらにガラス基板の湾曲形状に沿って昇降しながら一方向に移動することで、ガラス基板と機能性シートとの貼り合わせが行なわれるようにしている。
【０００６】
しかしながら、機能性シートをガラス基板に押し付けるに際して、貼合ローラーから押圧力が加わる形態がほぼ直線状の狭い範囲であるとともに、かつ貼合ローラーが昇降しながら移動する動作を行なうものであることから、ガラス基板と機能性シートとの重ね合わせ部分が均等に貼り合わされ難く、ガラス基板と機能性シートとの重ね合わせ部分を均等に貼り合わせるには、貼合ローラーの昇降と移動との制御が非常に煩雑になるという不具合を有するものである。
【０００７】
そこで本発明は、上記事情に鑑みて、ガラス薄板などの透明薄板やこの透明薄板に重ねる機能性シートなどをそれぞれ積層体構成部材として、これらの積層体構成部材を重ね合わせて一体となる湾曲した積層体を得るに際し、上下にして位置する広面の挟み込み面にそれぞれ湾曲状態にして積層体構成部材を位置させた状態にして、その広面の挟み込み面の部分で積層体構成部材を挟み込んで、積層体構成部材同士の重ね合わせ部分に、面として押圧力が加わり、且つ気泡が混入しないようにすることを課題とし、重ね合わせ部分が均一に貼り合わされている積層体を得ることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（請求項１の発明）
本発明は上記課題を考慮してなされたもので、断面形状が下方に凸となる曲面形状を呈する曲面透明薄板とこの曲面透明薄板の片面側に重ね合わせる変形可能なシート体とをそれぞれ積層体構成部材とし、
上下移動可能とした上ステージとこの上ステージの下方で上下移動可能とした下ステージとで、前記曲面透明薄板と前記シート体とを含む複数の積層体構成部材からなる重ね合わせ状態物を挟み込み形成して、
前記上ステージと下ステージとの前記重ね合わせ状態物に対する押圧によって、重なり合う積層体構成部材同士を密着させる積層体製造装置であって、
【０００９】
搬出入用開口部を有し、チャンバー内で前記上ステージと前記下ステージとを互いに離接するように上下に対向させていて、上ステージと下ステージとが重ね合わせ状態物を挟み込みして前記押圧を行なうときにチャンバー内を減圧状態にする真空チャンバーと、
【００１０】
前記上ステージの下面に位置していて、前記曲面透明薄板の曲面形状に対応して下方に凸の凸曲面形状とした凸型基材を、上ステージの下面側に取り付けられた空気不透過膜材で覆って、曲面透明薄板の曲面形状に対応して下方に凸の凸曲面形状とされている凸体と、
【００１１】
前記凸体の周辺部に配置されている微粘着性ゴムからなり、凸体に下方から重ねられる積層体構成部材への貼着により、凸体の前記凸曲面形状の部分に沿って重なる前記積層体構成部材を、曲面透明薄板の曲面形状に対応した状態に形状維持して着脱可能に保持する保持手段と、
【００１２】
前記真空チャンバーの搬出入用開口部を通してチャンバー内外に移動し、前記シート体からなる積層体構成部材を上ステージ側となる上面側に静電吸着により保持して上ステージと下ステージとの間に搬入して、上ステージの降下により凸体との間で前記シート体からなる積層体構成部材を挟み込んで凸体の下面に位置させる変形可能なシート状の静電チャックと、
【００１３】
前記真空チャンバーの搬出入用開口部を通してチャンバー内外に移動し、上ステージと下ステージとの間に前記シート体からなる積層体構成部材を搬入する前記静電チャックの下方に位置していて、降下する凸体とで前記シート体からなる積層体構成部材の挟み込みをする静電チャックを下方から押圧しながら、前記凸体の凸曲面形状に応じて静電チャックにおける保持手段対応部分に向けて転がり移動して凸体に沿わせた前記シート体からなる積層体構成部材を前記保持手段に接触させる一対の加圧ローラーと、
【００１４】
上ステージとこの上ステージに対して下方から重ね合わされた前記静電チャックとの間であって、前記保持手段に保持されてシート体からなる積層体構成部材が凸体に沿って位置している前記上ステージと前記静電チャックとの間の空間から空気を吸引して、該吸引により上ステージ側に押し付けられる静電チャックにより前記シート体からなる積層体構成部材を前記保持手段に貼着させて保持させる真空吸引手段と、
【００１５】
前記下ステージの上面に位置し、前記曲面透明薄板の曲面形状に対応して下方に凸の凹曲面形状にして形成されていて、上ステージと下ステージとの間に配される積層体構成部材である前記シート体と前記曲面透明薄板とを、前記凸体とで挟み込む積層体受けと
を備えることを特徴とする積層体製造装置を提供して、上記課題を解消するものである。
【００１６】
（請求項２の発明）
そして、上記発明は、上記上ステージと下ステージの減圧環境下での重ね合わせ状態物に対する押圧は、上ステージの下面に位置する凸体が、チャンバー外から導入される大気圧を受けて前記重ね合わせ状態物を押すことにより形成されるものとされていることが良好である。
【００１７】
（請求項３の発明）
また、もう一つの発明は、請求項１または２に記載の積層体製造装置により、断面形状が下方に凸となる曲面形状を呈する曲面透明薄板の凹曲面側に、変形可能な透明センサーシートやフレキシブルディスプレイシートなどの情報表示パネルのシート状電子部品であり両面が保護フィルムで覆われているシート体と、変形可能な透明光学粘着フィルムからなり両面が保護フィルムで覆われている貼り合わせ用のシート体とを、重ね合わせ側となる前記保護フィルムを除去しながら交互にして重ね合わせて、曲面透明薄板の凹曲面側にシート状電子部品のシート体を複数層にして貼り合わされている積層体を製造する方法であって、
【００１８】
積層体製造装置における上ステージと下ステージとの間に曲面透明薄板を進入させて、前記下ステージの積層体受けに、曲面形状を呈する積層体受け載置部材として前記曲面透明薄板を載置する曲面透明薄板載置工程
の後に、前記貼り合わせ用のシート体の取付工程と前記シート状電子部品のシート体の取付工程とを交互に行なうものであり、
【００１９】
前記貼り合わせ用のシート体の取付工程は、
積層体製造装置の上ステージと下ステージとの間に、未貼合状態である貼り合わせ用のシート体を静電吸着した静電チャックが進入して、上ステージの凸体の下方に前記貼り合わせ用のシート体を位置させるとともに、静電チャックの下面側に対の加圧ローラーを位置させるステップＡ−０１と、
【００２０】
前記上ステージが降下してこの上ステージとともに降下する凸体が、貼り合わせ用のシート体と静電チャックとを押し下げて、前記加圧ローラーそれぞれが、前記降下する凸体とで貼り合わせ用のシート体の挟み込みをする静電チャックを下方から押圧しながら、該静電チャックでの凸体下端対応部分から互いに逆方向にして静電チャックにおける保持手段対応部分に向けて転がり移動し、前記貼り合わせ用のシート体を、凸体の凸曲面形状の部分に沿わせて凸体の保持手段に接触させるステップＡ−０２と、
【００２１】
降下した前記上ステージとこの上ステージに重なる静電チャックとの間の空間を閉じた空間とした状態の下で、積層体製造装置における真空吸引手段により、上ステージと静電チャックとの間の空間から空気を吸引し、この吸引で上ステージ側に押し付けられる静電チャックにより前記貼り合わせ用のシート体を前記保持手段に貼着して、該保持手段にて、貼り合わせ用のシート体を曲面透明薄板の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持させるステップＡ−０３と、
【００２２】
前記凸体側に貼り合わせ用のシート体を着脱可能に貼着した上ステージが上昇して、上ステージから離れた静電チャックと加圧ローラーとが上ステージと下ステージとの間から退避した後に、凸体側に位置する前記貼り合わせ用のシート体の下面側の保護フィルムを除去するステップＡ−０４と、
【００２３】
上ステージと下ステージとを互いに近接させるとともに真空チャンバーのチャンバー内を減圧した後に、減圧環境下で、上ステージと下ステージとの間で、前記積層体受け載置部材と凸体側で形状維持されている前記貼り合わせ用のシート体とからなる重ね合わせ状態物を挟み込み保持し、前記凸体にて前記貼り合わせ用のシート体を積層体受け載置部材側に押圧して、重なり合う前記貼り合わせ用のシート体と前記積層体受け載置部材とを貼り合わせるステップＡ−０５と、
【００２４】
前記凸体による貼り合わせ用のシート体への押圧を解除し、真空チャンバーのチャンバー内を大気圧環境に戻してから真空チャンバーを大気開放するステップＡ−０６と、
【００２５】
上ステージと下ステージとを上下方向に離間させて、上ステージの上昇により、凸体から積層体受け側に貼り合わせ用のシート体を分離して、積層体受けに、最上層を貼り合わせ用のシート体とするとともに最下層を曲面透明薄板とする積層体受け載置部材を形成し、この積層体受け載置部材での最上層に位置する前記貼り合わせ用のシート体から、該貼り合わせ用のシート体の曲面透明薄板側とは反対の保護フィルムを除去して、最上層を貼り合わせ用のシート体とするとともに最下層を曲面透明薄板として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体を形成するステップＡ−０７と、
とからなるものであり、
【００２６】
前記シート状電子部品のシート体の取付工程は、
上ステージと下ステージとの間に、未貼合状態であるシート状電子部品のシート体を静電吸着した静電チャックが進入して、上ステージの凸体の下方に前記シート状電子部品のシート体を位置させるとともに、前記静電チャックの下面側に対の前記加圧ローラーを位置させるステップＢ−０１と、
【００２７】
前記上ステージが降下してこの上ステージとともに降下する凸体が、シート状電子部品のシート体と静電チャックとを押し下げて、前記加圧ローラーそれぞれが、前記降下する凸体とでシート状電子部品のシート体の挟み込みをする静電チャックを下方から押圧しながら、該静電チャックでの凸体下端対応部分から互いに逆方向にして静電チャックにおける前記保持手段対応部分に向けて転がり移動し、前記シート状電子部品のシート体を、凸体の凸曲面形状の部分に沿わせて凸体の保持手段に接触させるステップＢ−０２と、
【００２８】
降下した前記上ステージとこの上ステージに重なる静電チャックとの間の空間を閉じた空間とした状態の下で、積層体製造装置における前記真空吸引手段により、上ステージと静電チャックとの間の空間から空気を吸引し、この吸引で上ステージ側に押し付けられる静電チャックによりシート状電子部品のシート体を前記保持手段に貼着して、該保持手段にて、シート状電子部品のシート体を曲面透明薄板の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持させるステップＢ−０３と、
【００２９】
前記凸体側にシート状電子部品のシート体を着脱可能に貼着した上ステージが上昇して、上ステージから離れた静電チャックと加圧ローラーとが上ステージと下ステージとの間から退避した後に、凸体側に位置する前記シート状電子部品のシート体の下面側の保護フィルムを除去するステップＢ−０４と、
【００３０】
上ステージと下ステージとを互いに近接させるとともに真空チャンバーのチャンバー内を減圧した後に、減圧環境下で、上ステージと下ステージとの間で、前記貼り合わせ用のシート体の取付工程を経て形成された積層体である積層体受け載置部材と前記シート状電子部品のシート体とを挟み込み保持し、前記凸体にて前記シート状電子部材のシート体を前記積層体受け載置部材側に押圧して、重なり合う前記シート状電子部品のシート体と前記積層体受け載置部材とを貼り合わせるステップＢ−０５と、
【００３１】
前記凸体によるシート状電子部品のシート体への押圧を解除し、真空チャンバーのチャンバー内を大気圧環境に戻してから真空チャンバーを大気開放するステップＢ−０６と、
【００３２】
上ステージと下ステージとを上下方向に離間させて、上ステージの上昇により、凸体から積層体受け側にシート状電子部品のシート体を分離して、積層体受けに、最上層をシート状電子部品のシート体とするとともに最下層を曲面透明薄板とする積層体受け載置部材を形成し、この積層体受け載置部材での最上層に位置する前記シート状電子部品のシート体から、該シート状電子部品のシート体の曲面透明薄板側とは反対の保護フィルムを除去して、最上層をシート状電子部品のシート体とするとともに最下層を曲面透明薄板として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体を形成するステップＢ−０７と
からなるものであることを特徴とする積層体の製造方法であり、この積層体の製造方法を提供して上記課題を解消するものである。
【００３３】
（請求項４の発明）
そして、上記発明は、上記シート状電子部品のシート体は、該シート体の辺部に、可撓性を有するフレキシブルプリント配線板を介して、電子素子が実装されたプリント基板が設けられているものであって、
上記ステップＢ−０１での静電チャックの静電吸着は、前記シート状電子部品のシート体とフレキシブルプリント配線板とプリント基板とに対して行なわれていて、
上記ステップＢ−０３において、上記吸着で上ステージ側に押し付けられる静電チャックにより、前記フレキシブルプリント配線板と前記プリント基板とが上記保持手段に貼着されるものとすることが可能である。
【００３４】
（請求項５の発明）
さらに、もう一つの発明は、請求項１または２に記載の積層体製造装置により、断面形状が下方に凸となる曲面形状を呈する曲面透明薄板の凸曲面側に、変形可能な透明センサーシートやフレキシブルディスプレイシートなどの情報表示パネルのシート状電子部品であり両面が保護フィルムで覆われているシート体と、変形可能な透明光学粘着フィルムからなり両面が保護フィルムで覆われている貼り合わせ用のシート体とを、重ね合わせ側となる前記保護フィルムを除去しながら交互にして重ね合わせて、曲面透明薄板の凸曲面側にシート状電子部品のシート体を複数層にして貼り合わされている積層体を製造する方法であって、
【００３５】
積層体製造装置における上ステージと下ステージとの間に曲面透明薄板を進入させて、前記下ステージの積層体受けに前記曲面透明薄板を載置し、上ステージと下ステージとの間で曲面透明薄板を挟み込み保持して凸体の凸曲面形状の部分に沿わせて凸体の保持手段に貼着し、上ステージと下ステージとを離間させて、形状維持された曲面透明薄板を凸体側に位置する凸体下重ね部材として、前記保持手段にて保持する曲面透明薄板取付工程
の後に、前記貼り合わせ用のシート体の取付工程と前記シート状電子部品のシート体の取付工程とを交互に行なうものであり、
【００３６】
前記貼り合わせ用のシート体の取付工程は、
積層体製造装置の上ステージと下ステージとの間に、重ね合わせ側の保護フィルムを除去して未貼合状態である貼り合わせ用のシート体を静電吸着した静電チャックが進入して、上ステージの凸体の下方に前記貼り合わせ用のシート体を位置させるとともに、静電チャックの下面側に対の加圧ローラーを位置させるステップＣ−０１と、
【００３７】
搬出入用開口部を閉じて真空チャンバーのチャンバー内を減圧し、この減圧環境下で、前記上ステージが降下してこの上ステージとともに前記凸体下重ね部材を保持して降下する凸体が、貼り合わせ用のシート体と静電チャックとを押し下げて、前記加圧ローラーそれぞれが、前記降下する凸体とで凸体下重ね部材と貼り合わせ用のシート体との挟み込みをする静電チャックを下方から押圧しながら、該静電チャックでの凸体下端対応部分から互いに逆方向にして静電チャックにおける凸体側端対応部分に向けて転がり移動し、前記貼り合わせ用のシート体を凸体下重ね部材の凸曲面形状の部分に沿わせて凸体下重ね部材に密に接触させ、貼り合わせ用のシート体を曲面透明薄板の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持させるステップＣ−０２と、
【００３８】
真空チャンバーのチャンバー内を大気圧状態に戻して搬出入用開口部を開いて大気開放し、上ステージと下ステージとを互いに離間させて、静電チャックと加圧ローラーとを退避させるステップＣ−０３と、
【００３９】
上ステージと下ステージとを互いに近接させるとともに搬出入用開口部を閉じて真空チャンバーのチャンバー内を減圧した後に、減圧環境下で、上ステージと下ステージとの間で、凸体側で形状維持されている前記凸体下重ね部材とこの凸体下重ね部材に密にして接触する前記貼り合わせ用のシート体とからなる重ね合わせ状態物を挟み込み保持し、前記凸体にて前記凸体下重ね部材と貼り合わせ用のシート体からなる前記重ね合わせ状態物を下ステージの積層体受け側に押圧して、重なり合う前記凸体下重ね部材と貼り合わせ用のシート体とを貼り合わせるステップＣ−０４と、
【００４０】
前記凸体による前記重ね合わせ状態物への押圧を解除し、真空チャンバーのチャンバー内を大気圧環境に戻してから真空チャンバーを大気開放するステップＣ−０５と、
【００４１】
上ステージと下ステージとを上下方向に離間させて、上ステージの上昇により凸体側の前記重ね合わせ状態物から積層体受けを分離して、凸体に、最上層を曲面透明薄板とするとともに最下層を貼り合わせ用のシート体とする凸体下重ね部材を形成し、この凸体下重ね部材での最下層に位置する前記貼り合わせ用のシート体から、該貼り合わせ用のシート体の曲面透明薄板側とは反対の保護フィルムを除去して、最上層を曲面透明薄板とするとともに最下層を貼り合わせ用のシート体として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体を形成するステップＣ−０６と
からなるものであり、
【００４２】
前記シート状電子部品のシート体の取付工程は、前記貼り合わせ用のシート体の取付工程にて形成されて最下層を貼り合わせ用のシート体とする積層体からなる凸体下重ね部材に対して行なわれるものであり、
上ステージと下ステージとの間に、重ね合わせ側の保護フィルムを除去して未貼合状態であるシート状電子部品のシート体を静電吸着した静電チャックが進入して、前記貼り合わせ用のシート体の取付工程を経て上ステージの凸体に保持されている積層体の下方に前記シート状電子部品のシート体を位置させるとともに、前記静電チャックの下面側に対の前記加圧ローラーを位置させるステップＤ−０１と、
【００４３】
搬出入用開口部を閉じて真空チャンバーのチャンバー内を減圧し、この減圧環境下で、前記上ステージが降下してこの上ステージとともに前記凸体下重ね部材を保持して降下する凸体が、貼り合わせ用のシート体と静電チャックとを押し下げて、前記加圧ローラーそれぞれが、前記降下する凸体とで凸体下重ね部材とシート状電子部品のシート体との挟み込みをする静電チャックを下方から押圧しながら、該静電チャックでの凸体下端対応部分から互いに逆方向にして静電チャックにおける凸体側端対応部分に向けて転がり移動し、前記シート状電子部品のシート体を凸体下重ね部材の凸曲面形状の部分に沿わせて凸体下重ね部材に密に接触させ、シート状電子部品のシート体を曲面透明薄板の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持させるステップＤ−０２と、
【００４４】
真空チャンバーのチャンバー内を大気圧状態に戻して搬出入用開口部を開いて大気開放し、上ステージと下ステージとを互いに離間させて、静電チャックと加圧ローラーとを退避させるステップＤ−０３と、
【００４５】
上ステージと下ステージとを互いに近接させるとともに搬出入用開口部を閉じて真空チャンバーのチャンバー内を減圧した後に、減圧環境下で、上ステージと下ステージとの間で、凸体側で形状維持されている前記凸体下重ね部材とこの凸体下重ね部材に密にして接触する前記シート状電子部品のシート体とからなる重ね合わせ状態物を挟み込み保持し、前記凸体にて前記凸体下重ね部材とシート状電子部品のシート体からなる前記重ね合わせ状態物を下ステージの積層体受け側に押圧して、重なり合う前記凸体下重ね部材とシート状電子部品のシート体とを貼り合わせるステップＤ−０４と、
【００４６】
前記凸体による前記重ね合わせ状態物への押圧を解除し、真空チャンバーのチャンバー内を大気圧環境に戻してから真空チャンバーを大気開放するステップＤ−０５と、
【００４７】
上ステージと下ステージとを上下方向に離間させて、上ステージの上昇により凸体側の前記重ね合わせ状態物から積層体受けを分離して、凸体に、最上層を曲面透明薄板とするとともに最下層をシート状電子部品のシート体とする凸体下重ね部材を形成し、この凸体下重ね部材での最下層に位置する前記シート状電子部品のシート体から、該シート状電子部品のシート体の曲面透明薄板側とは反対の保護フィルムを除去して、最上層を曲面透明薄板とするとともに最下層をシート状電子部品のシート体として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体を形成するステップＤ−０６と
からなるものであることを特徴とする積層体の製造方法であり、この積層体の製造方法を提供して上記課題を解消するものである。
【００４８】
（請求項６の発明）
そして、上記発明は、上記シート状電子部品のシート体は、該シート体の辺部に、可撓性を有するフレキシブルプリント配線板を介して、電子素子が実装されたプリント基板が設けられているものであって、
上記ステップＤ−０１での静電チャックの静電吸着は、前記シート状電子部品のシート体とフレキシブルプリント配線板とプリント基板とに対して行なわれていて、
上記ステップＤ−０２において、上記加圧ローラーで上ステージ側に押し付けられる静電チャックにより、前記フレキシブルプリント配線板と前記プリント基板とが上記保持手段に貼着されるものすることが可能である。
【発明の効果】
【００４９】
本発明によれば、静電チャックに静電吸着した状態で貼り合わせ用のシート体やシート状電子物品のシート体を、加圧ローラーでその静電チャックの下方から押し上げて、加圧ローラーを転がり移動させることで曲面透明薄板の曲面形状に対応した形状にし、その曲面透明薄板の曲面状態に対応した形状に維持された状態でシート体が曲面透明薄板に重ね合わされたものとなるようにしている。
【００５０】
そして上ステージの凸体と下ステージの積層体受けとの間に曲面透明薄板と複数層のシート体とが挟み込みされることとなり、曲面透明薄板の曲面形状に対応している凸体で押圧力を加えるようにしているので、その凸体の広い面圧力で曲面透明薄板を含んで重なり合う積層体構成部材同士が貼り合わされるものとしている。
【００５１】
さらに重なり合っている積層体構成部材同士を、減圧された環境の下で押し付けて貼り合わせるようにしているので、重なり合う積層体構成部材同士を、気泡が混入しないようにムラなく均一に貼り合わせることができるという優れた効果を奏する。
【００５２】
また本発明の積層体製造装置によれば、上ステージの凸体側で、曲面透明薄板やこの曲面透明薄板に重ね合わせる変形可能なシート体からなる積層体構成部材を形状維持した状態で保持するようにしているので、一台の積層体製造装置により、曲面透明薄板の凹曲面側に透明センサーシートやフレキシブルディスプレイシートなどを配した積層体と、曲面透明薄板の凹曲面側に透明センサーシートやフレキシブルディスプレイシートなどを配した積層体とのいずれでも製造することができる。
【００５３】
そのため、曲面透明薄板の凹曲面側に透明センサーシートやフレキシブルディスプレイシートを配する積層体を製造するための専用の製造装置と、曲面透明薄板の凸曲面側に透明センサーシートやフレキシブルディスプレイシートを配する積層体を製造するための専用の製造装置とを用意する必要がなく、設備コストなどを大幅に削減させることができるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】曲面透明薄板を示すもので、（ａ）は曲面透明薄板を斜視状態で示す説明図、（ｂ）は断面形状を示す説明図である。
【図２】積層体構成部材を示すもので、（ａ）は貼り合わせ用のシート体を断面で概略的に示す説明図、（ｂ）はセンサーシート体を断面で概略的に示す説明図、（ｃ）はディスプレイシート体を断面で概略的に示す説明図である。
【図３】積層体製造装置における真空貼り合わせ部とシート体準備部を示す説明図である。
【図４】静電チャックの構造を断面で概略的に示す説明図である。
【図５】真空チャンバーとそのチャンバー内に配された上ステージと下ステージとを示す説明図である。
【図６】空気不透過膜材を示すもので、（ａ）は空気不透過膜材の取付を概略的に示す説明図、（ｂ）は空気不透過膜材での保持手段の配置を示す説明図である。
【図７】積層体製造方法において曲面透明薄板の凹曲面側への積層体構成部材の配置に際し、曲面透明薄板を真空チャンバーへ送り込む状態を示す説明図である。
【図８】曲面透明薄板を上ステージと下ステージとの間に進入させた状態を示す説明図である。
【図９】曲面透明薄板を積層体受けに載置した状態を示す説明図である。
【図１０】撮像カメラを真空チャンバーに送り込む前の状態を示す説明図である。
【図１１】撮像カメラを上ステージと下ステージとの間に進入させた状態を示す説明図である。
【図１２】静電チャックに貼り合わせ用のシート体を配する状態を示す説明図である。
【図１３】静電チャックの貼り合わせ用のシート体を静電吸着した状態を示す説明図である。
【図１４】静電チャックと加圧ローラーの進入を示す説明図である。
【図１５】貼り合わせ用のシート体の位置合わせを示す説明図である。
【図１６】撮像カメラを退避させた状態を示す説明図である。
【図１７】凸体の最下端が貼り合わせ用のシート体に接した状態を示す説明図である。
【図１８】対の加圧ローラーが上方への押圧を伴ないながら転がり移動する状態を示す説明図である。
【図１９】対の加圧ローラーが静電チャックの保持手段対応部分に達した状態を示す説明図である。
【図２０】対の加圧ローラーが貼り合わせ用のシート体の辺部の対応部分より外側に移動した状態を示す説明図である。
【図２１】真空吸着して貼り合わせ用のシート体を保持手段に貼着させた状態を示す説明図である。
【図２２】上ステージの上昇にて貼り合わせ用のシート体を静電チャックから分離した状態を示す説明図である。
【図２３】加圧ローラーと静電チャックとを退避させた状態を示す説明図である。
【図２４】貼り合わせ用のシート体から下面の保護フィルムを除去する状態を示す説明図である。
【図２５】曲面透明薄板を載置した下ステージを上昇させた状態を示す説明図である。
【図２６】真空チャンバーを閉じた状態を示す説明図である。
【図２７】貼り合わせ用のシート体と曲面透明薄板とが近接する状態を示す説明図である。
【図２８】貼り合わせ用のシート体と曲面透明薄板とを重ね合わせして貼り合わせた状態を示す説明図である。
【図２９】凸体による貼り合わせ用のシート体への押圧を示す説明図である。
【図３０】真空チャンバーを大気開放した状態を示す説明図である。
【図３１】凸体から貼り合わせ用のシート体を離した状態を示す説明図である。
【図３２】貼り合わせ用のシート体の分離後に上ステージと下ステージとを待機位置に戻した状態を示す説明図である。
【図３３】貼り合わせ用のシート体と曲面透明薄板とが貼り合わされた積層体から保護フィルムを除去する状態を示す説明図である。
【図３４】貼り合わせ用のシート体と曲面透明薄板とが貼り合わされた積層体が積層体受けで形成されている状態を示す説明図である。
【図３５】センサーシート体を静電吸着した静電チャックと加圧ローラーの進入を示す説明図である。
【図３６】凸体の最下端がセンサーシート体に接した状態を示す説明図である。
【図３７】対の加圧ローラーが、センサーシート体を静電吸着する静電チャックの保持手段対応部分に達した状態を示す説明図である。
【図３８】対の加圧ローラーが、センサーシート体の辺部の対応部分より外側に移動した状態を示す説明図である。
【図３９】真空吸着してセンサーシート体を保持手段に貼着させた状態を示す説明図である。
【図４０】センサーシート体の取付工程において加圧ローラーと静電チャックとを退避させた状態を示す説明図である。
【図４１】積層体受け載置部材を載置した下ステージを上昇させた状態を示す説明図である。
【図４２】センサーシート体と積層体受け載置部材とを重ね合わせして貼り合わせた状態を示す説明図である。
【図４３】凸体によるセンサーシート体への押圧を示す説明図である。
【図４４】センサーシート体の取付工程で真空チャンバーを大気開放した状態を示す説明図である。
【図４５】センサーシート体の分離後に上ステージと下ステージとを待機位置に戻した状態を示す説明図である。
【図４６】センサーシート体と曲面透明薄板とが貼り合わされた積層体が積層体受けで形成されている状態を示す説明図である。
【図４７】二回目の貼り合わせ用のシート体の取付工程を経た積層体が積層体受けで形成されている状態を示す説明図である。
【図４８】二回目のシート状電子部品のシート体の取付工程を経た積層体が積層体受けで形成されている状態を示す説明図である。
【図４９】積層体製造方法において曲面透明薄板の凸曲面側への積層体構成部材の配置に際し、上ステージと下ステージとで曲面透明薄板を挟み込みした状態を示す説明図である。
【図５０】曲面透明薄板を保持した上ステージを上昇させた状態を示す説明図である。
【図５１】貼り合わせ用のシート体を配した静電チャックと加圧ローラーを真空チャンバー内に進入させた状態を示す説明図である。
【図５２】凸体下重ね部材である曲面透明薄板の最下端を貼り合わせ用のシート体に接触させた状態を示す説明図である。
【図５３】凸体下重ね部材である曲面透明薄板に貼り合わせ用のシート体を貼り合わせた状態を示す説明図である。
【図５４】真空チャンバーを大気開放した状態を示す説明図である。
【図５５】上ステージを上昇させる状態を示す説明図である。
【図５６】静電チャックと加圧ローラーとを退避させた状態を示す説明図である。
【図５７】真空チャンバーを閉じて減圧した状態を示す説明図である。
【図５８】曲面透明薄板と貼り合わせ用のシート体とが挟み込み保持されている状態を示す説明図である。
【図５９】凸体の押圧により曲面透明薄板と貼り合わせ用のシート体とを貼り合わせた状態を示す説明図である。
【図６０】凸体の下面側の重ね合わせ状態物が積層体受けから分離する状態を示す説明図である。
【図６１】凸体の下面側の重ね合わせ状態物から保護フィルムを除去して凸体下重ね部材を形成する状態を示す説明図である。
【図６２】センサーシート体を配した静電チャックと加圧ローラーを真空チャンバー内に進入させた状態を示す説明図である。
【図６３】凸体下重ね部材の最下端をセンサーシート体に接触させた状態を示す説明図である。
【図６４】凸体下重ね部材の最下層の貼り合わせ用のシート体にセンサーシート体を貼り合わせた状態を示す説明図である。
【図６５】凸体の押圧により凸体下重ね部材とセンサーシート体とを貼り合わせた状態を示す説明図である。
【図６６】凸体の下面側の重ね合わせ状態物から保護フィルムを除去して凸体下重ね部材を形成する状態を示す説明図である。
【図６７】二回目の貼り合わせ用のシート体の取付工程を経た重ね合わせ状態物から保護フィルムを除去して積層体を形成する状態を示す説明図である。
【図６８】二回目のシート状電子部品のシート体の取付工程を経た重ね合わせ状態物から保護フィルムを除去して積層体を形成する状態を示す説明図である。
【図６９】フレキシブルプリント配線板とプリント基板とを有するシート状電子部品のシート体を静電チャックが静電吸着した状態を示す説明図である。
【図７０】シート状電子部品のシート体が凸体側に保持された状態を示すもので、（ａ）は曲面透明薄板の凹曲面側に重ね合わせる方法においてフレキシブルプリント配線板とプリント基板とが保持手段に貼着にて保持されている形態を下方から見た状態で示す説明図、（ｂ）は曲面透明薄板の凸曲面側に重ね合わせる方法においてフレキシブルプリント配線板とプリント基板とが保持手段に貼着にて保持されている形態を下方から見た状態で示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００５５】
つぎに本発明を図示の実施の形態に基づいて詳細に説明する。本発明の積層体製造装置は例えば情報表示機能を有する機器での湾曲した表示パネル部分を積層体として製造するものである。
【００５６】
（積層体構成部材−曲面透明薄板、図１）
図１（ａ）と図１（ｂ）は湾曲した表示パネル部分とする積層体において、その一つの積層体構成部材である曲面透明薄板１を示していて、以下の実施の形態において説明する曲面透明薄板１は、断面形状が下方に凸となる曲面形状を呈している薄板のガラス板からなるものである。
【００５７】
（積層体構成部材−シート体）
湾曲した表示パネル部分とする前記積層体の積層体構成部材としては、曲面透明薄板１の他に、この曲面透明薄板１の片面側に複数層にして重ね合わせる変形可能なシート体２がある。積層体が形成されている時点では、前記各シート体２それぞれの断面形状も曲面透明薄板１の曲面形状に応じた曲面形状となっているが、重ね合わせる前の積層体構成部材単体では、平らなシートの形態となっているものである。
【００５８】
（貼り合わせ用のシート体、図２（ａ））
上記シート体２の一つとして、貼り合わせ用のシート体３がある。この貼り合わせ用のシート体３自体も、積層体構成部材である曲面透明薄板１に貼り合わされる積層体構成部材であるとともに、曲面透明薄板１と後述のシート体２との間に位置して両者を貼り合わせ、また重なり合うシート体２の間に位置して両者を貼り合わせる役割を果たす部材として用意されるものである。即ち、曲面透明薄板１とシート体２との複数の積層体構成部材からなる積層体では、重なり合う積層体構成部材同士が貼り合わされているものである。
【００５９】
図２（ａ）に貼り合わせ用のシート体３が断面で示されている。図示されているように貼り合わせ用のシート体３は、透明光学粘着フィルム３ａの両面を保護フィルム３ｂで覆ったものである。
【００６０】
また、他のシート体２として、透明センサーシートの両面を保護フィルムで覆ったセンサーシート体４、フレキシブル有機ＥＬシートやフレキシブル液晶シートなどの情報表示機能を有するフレキシブルディスプレイシートの両面を保護フィルムで覆ったディスプレイシート体５がある。
【００６１】
（センサーシート体、図２（ｂ））
図２（ｂ）にセンサーシート体４が断面で示されている。図示されているようにセンサーシート体４は、透明センサーシート４ａの両面を保護フィルム４ｂで覆ったものである。
【００６２】
（ディスプレイシート体、図２（ｃ））
図２（ｃ）にディスプレイシート体５が断面で示されている。図示されているようにディスプレイシート体５は、フレキシブルディスプレイシート５ａの両面を保護フィルム５ｂで覆ったものである。
【００６３】
（積層体製造装置、図３）
本発明の積層体製造装置Ａは、曲面透明薄板１とシート体２とを含む複数の積層体構成部材からなる重ね合わせ状態物を挟み込み形成して、この重ね合わせ状態物に対して押圧力を加えることによって、重なり合う積層体構成部材同士を密着させた貼り合わせを行なうものであり、貼り合わせ用のシート体の取付と、表示パネル部分での上記センサーシート体４や上記ディスプレイシート体５のシート状電子部品のシート体の取付とを交互に行なって積層体を製造する。
【００６４】
図３で概略的に示されているようにこの積層体製造装置Ａは、真空貼り合わせ部６と、この真空貼り合わせ部６に並設されていて、真空貼り合わせ部６に送り込むシート体２を準備するためのシート体準備部７とからなるものである。
【００６５】
真空貼り合わせ部６には、曲面透明薄板１とシート体２とを重ね合わせるための機構が位置していて、この機構の主たる構成の一つとして、まず図３に示されているように上下に移動可能とした上ステージ８とこの上ステージ８の下方で同じく上下に移動可能とした下ステージ９とが設けられており、上ステージ８と下ステージ９とで前記曲面透明薄板と前記シート体とを含む複数の積層体構成部材からなる重ね合わせ状態物を挟み込み形成する。
【００６６】
そして、真空貼り合わせ部６には開閉可能な搬出入用開口部１０を有する真空チャンバー１１が設けられており、上記上ステージ８と下ステージ９とがこの真空チャンバー１１のチャンバー内にあり、チャンバー内で上ステージ８と下ステージ９とを互いに離接するように上下に対向させている。
【００６７】
また、真空貼り合わせ部６には真空チャンバー１１の搬出入用開口部１０を通してチャンバー内外に移動するとともに、シート体準備部７にも位置することができるように設けられている静電チャック１２が設けられている。
【００６８】
さらに、図３に示すように真空チャンバー１１の搬出入用開口部１０を通してチャンバー内外に移動し、上ステージ８と下ステージ９との間で前記静電チャック１２の下方に位置している一対の加圧ローラー１３が設けられている。なお、図３では、説明を容易にするために、真空貼り合わせ部６シート体準備部７との両方に、後述の静電チャックと加圧ローラーとが図示されている。
【００６９】
（静電チャック、図４）
上記静電チャック１２は、シート体準備部７にてシート体２からなる積層体構成部材を上ステージ８側となる上面側に静電吸着により保持する。そして、シート体準備部７から真空貼り合わせ部６へと移動して、静電吸着しているシート体２からなる積層体構成部材を上ステージ８と下ステージ９との間に搬入し、上ステージ８における後述の凸体の下方にその積層体構成部材を位置させるように設けられている。
【００７０】
図４は静電チャック１２の構成を断面で示しており、この図４に示されているように銅箔からなる櫛の歯状パターンとされた通電回路１４を上下からポリイミドフィルム層１５で覆い、さらにその上下をゴム製基材層１６で覆った層構成の柔軟なシート状物としていて、周辺部を静電チャックフォルダー１７で支えた構造としている。
【００７１】
このように静電チャック１２での主体部分は、シート体２（貼り合わせ用のシート体３、シート状電子部品のセンサーシート体４、シート状電子部品のディスプレイシート体５）を静電吸着して保持するシート状物が柔軟にして変形可能とされている。
【００７２】
そして、上ステージ８での後述の凸体や、この凸体側に保持されている曲面透明薄板、積層体（後述の製造方法参照）との間でシート体２を挟み込みし、その状態で上方への押し上げ力などを受けることで静電チャック１２が変形し、静電吸着しているシート体２からなる積層体構成部材を挟み込んで湾曲させた形状で凸体側へ押し付けて位置させるものである。
【００７３】
（加圧ローラー）
上述したように対の加圧ローラー１３は、静電チャック１２の下方に位置してこの静電チャック１２と共にチャンバー内外に移動するものである。そして、静電チャック１２に静電吸着されたシート体２からなる積層体構成部材が位置決めされた後、この加圧ローラー１３それぞれは、上ステージ８側とで前記積層体構成部材の挟み込みを行なう静電チャック１２を下方から押圧しながら、互いに逆方向に転がり移動するように設けられている。
【００７４】
そして、静電チャック１２の下方からの押し上げを行ないながら転がり移動してから、真空チャンバー１１内での所定の動作が行なわれた後には、平坦な形態に戻った静電チャック１２の下方にて互いに近接し、或いは接触した状態で待機位置に戻り、静電チャック１２と共に真空チャンバー１１の外へ退避するものとされている。
【００７５】
（上ステージ、図５）
図５は上ステージ８と下ステージ９とが配置されている真空チャンバー１１のチャンバー内がより具体的に図示されている。上ステージ８自体は基盤として略板状に形成されている。
【００７６】
そしてこの上ステージ８の下面中央には、ステージ基盤１８の下面中央を上方に向けて凸にして形成された凹所１９を下方から覆うようにして凸型基材２０を上下移動可能に配置している。さらに上ステージ８におけるステージ基盤１８の下面側にエアバッグシート素材などからなる空気不透過膜材２１を取り付けていて、この空気不透過膜材２１が前記凸型基材２０の下面に密にして重ねられている。空気不透過膜材２１の周辺は、前記ステージ基盤１８に対して密に接するようにして取り付けられている。
【００７７】
（凸型基材）
凸型基材２０は少なくとも外表面が硬質部材から形成されている物品であるとともに、この凸型基材２０の下面の形状を、上記曲面透明薄板１の曲面形状に対応して下方に凸の凸曲面形状としている。
【００７８】
（凸体）
そして凸型基材２０の下面を密にして空気不透過膜材２１で覆うことで、同様に曲面透明薄板１の曲面形状に対応して下方に凸の凸曲面形状としている凸体２２が形成されており、この凸体２２が、上ステージ８の下面において下ステージ９に対応する位置となるようにして配置されている。
【００７９】
（凸体圧力制御部）
上記凹所１９に臨むとともに、真空チャンバー１１の外部の不図示の供給源からから空気を送り込むパイプからなる凸体圧力制御部２３が、凸型基材２１に対応するようにして設けられており、この凸体圧力制御部２３によって凸型基材２０を介して凸体２２に下方に向いた押圧力を付与できるようにしている。即ち、凸体２２によって下ステージ９側に向けて押し下げ力を生じさせることができるようになっている。
【００８０】
（大気圧の利用）
凸体圧力制御部２３が凸体２２に押圧力を付与する方法は、上記真空チャンバー１１のチャンバー内が減圧状態となっているときに、チャンバー外からこの凸体圧力制御部２３の制御の下でこの凸体圧力制御部２３を通して大気を上記凹所１９に送り込んで、大気圧を前記押圧力として用いる方法である。前記押圧力を付与する方法としては、その他に圧縮空気を凸体圧力制御部２３の制御の下で凹所１９に送り込んで前記押圧力を生じさせる方法もあり、特に限定されない。なお、以下に示す実施の形態では、凸体圧力制御部２３の制御の下でこの凸体圧力制御部２３を通して大気圧を押圧力として用いるものとして説明している。
【００８１】
（真空吸引手段）
凸体２２の形成領域外であって上記空気不透過膜材２１を貫通しながらこの膜材の位置より下方の空間に吸い込み口を臨ませたパイプからなる真空吸引手段２４が凸体２２の周辺にして設けられている。
【００８２】
この真空吸引手段２４は、上ステージ８の下面側に重ねられた静電チャック１２を必要に応じて上ステージ８側に大気圧（真空チャンバーが大気開放状態時）で押し付けるようにするものであり、不図示の吸引元の動作によって空気不透過膜材２１と静電チャック１２とで構成された閉じた空間から空気を抜くことができるものである。
【００８３】
真空吸引手段２４のパイプ部分が通る空気不透過部材２１の周辺部分の上下には補強板２５が取り付けられている。上方の補強板２５はステージ基盤１８に密着している。また、上ステージ８の下面側に上記静電チャック１２が重なった際、静電チャックフォルダー１７と下方の補強板２５とが密に接合するように設けられている。
【００８４】
（下ステージ）
上ステージ８の下方で対向配置されていて、上下に移動可能である上ステージ８と同様に上下に移動可能な下ステージ９にあっては、この下ステージ９のステージ基盤２６の上面を凹ませた積層体受け２７が設けられている。
【００８５】
（積層体受け）
上記積層体受け２７は、曲面透明薄板１の曲面形状に対応して下方に凸の凹曲面形状にして形成されており、この積層体受け２７に曲面透明薄板１を載置することができる。また、上ステージ８と下ステージ９との間に配される積層体構成部材、例えばシート体２（貼り合わせ用のシート体、シート状電子部品のシート体）と曲面透明薄板１とを、上記凸体２２とで挟み込む部分である。そして、複数の積層体構成部材が重なる重ね合わせ状物に対して上ステージ８の凸体２２側から押圧力が加えられるときに、前記重ね合わせ状物を支えて、重なり合う積層体構成部材同士を密に接合させる働きをする部分である。
【００８６】
（静電チャック支持台）
真空チャンバー１１のチャンバー内には静電チャック支持台２８があり、シート体２を静電吸着した静電チャック１２が真空チャンバー１１に送り込まれてきた際、静電チャックフォルダー１７の部分が前記静電チャック支持台２８に乗せられて、上ステージ８と下ステージ９との間で静電チャック１２が位置するようにこの静電チャック支持台２８で前記静電チャック１２を支持するように設けられている。
【００８７】
（保持手段、図５、図６（ａ）（ｂ））
図５において符号２９は微粘着性ゴムからなる保持手段を示している。この保持手段２９は、下方の補強板２５の一部分を含む凸体２２の周辺部に配置されていて、凸体２２に下方から重ねられる曲面透明薄板１や上記シート体２への弱粘着力での粘着を行なうものである。そして、保持手段２９は、前記粘着により、凸体２２の凸曲面形状の部分に沿って重なる積層体構成部材（曲面透明薄板１や上記シート体２）を、曲面透明薄板１の曲面形状に対応した状態に形状維持して着脱可能に保持する。
【００８８】
なお、保持手段２９は、保護フィルムで覆われた状態のシート体２でのその保護フィルムの部分に粘着して、シート体２を、凸体２２の下面側に位置させた状態で着脱可能に保持する場合があるが、シート体２での保護フィルムの剥離強度より、保護手段２９が前記保護フィルムから剥離する際の強度が小さく設定されており、凸体２２から前記シート体２を離す場合、そのシート体２の保護フィルムも保持手段２９から分離する。
【００８９】
（保持手段が設けられている範囲）
図６（ａ）は上ステージ８の下面で空気不透過膜材２１が取り付けられている状態を概略的に示し、図６（ｂ）は空気不透過膜材２１の平面で保持手段２９の領域を概略的に示している。なお、補強板２５で保持されている部分以外は、凸型基体の凸部分の形状を象っていることとなる。
【００９０】
図６（ｂ）の平面で示されているように、空気不透過膜材２１は、補強板２５を位置させている部分も含めて平面全体を真空吸着領域に設定されており、静電チャックフォルダー１７を補強板２５に相対するように静電チャック１２を空気不透過膜材２１の下方から重ね合わせて、静電チャック１２と空気不透過膜材２１との間の空気を抜くようにした際に、静電チャック１２が空気不透過膜材２１に密にして重なるようにしている。
【００９１】
また、空気不透過膜材２１の周辺部から空気不透過膜材２１の中心側に寄った位置を境界として、その境界に囲まれている部分を、本積層体製造装置で得ようとする積層体の曲面デバイス有効画面領域に対応するデバイス有効領域３０としている。
【００９２】
さらに上記デバイス有効領域３０より外側には、空気不透過膜材２１の辺部に沿って取り付けられる補強板２５の内周辺部を含む位置を上記微粘着性ゴムを取り付けてなる微粘着領域３１が設定されており、上述したように凸体２２の周辺部をこの微粘着領域３１にして保持手段２９が形成されている。
【００９３】
（上ステージと下ステージの支承ステー）
上ステージ８は、上記凸体圧力制御部２３のパイプ部分の役割を兼ねて真空チャンバー１１の筐体壁（天面側）を貫通する支承ステー３２によって上下に移動するように支えられている。また、下ステージ９も、ステージ基盤２６に連結されて真空チャンバー１１の筐体壁（底面側）を貫通する支承ステー３３によって上下に移動可能にして支えられている。
【００９４】
＜積層体の製造方法＞
本発明では、積層体を製造するに際し、曲面透明薄板１、この曲面透明薄板１の片面側に重ね合わせる変形可能な貼り合わせ用のシート体３、センサーシート体やディスプレイシート体などのシート状電子部品のシート体をそれぞれ積層体構成部材としていて、上記積層体製造装置Ａによって複数の積層体構成部材を重ね合わせて積層体を製造するものである。そして、積層体を製造する場合、曲面透明薄板の凹曲面側に重ね合わせる方法と凸曲面側に重ね合わせる方法とがある。
【００９５】
＜曲面透明薄板の凹曲面側に貼り合わせ＞
まず、曲面透明薄板１の凹曲面側に、情報表示パネルのシート状電子部品であり両面が保護フィルムで覆われているシート体（センサーシート体４、ディスプレイシート体５）と、両面が保護フィルムで覆われている貼り合わせ用のシート体３とを、重ね合わせ側となる前記保護フィルムを除去しながら交互にして重ね合わせて、曲面透明薄板１の凹曲面側に前記シート状電子部品のシート体を複数層にして貼り合わされている積層体を製造する方法を説明する。
【００９６】
（曲面透明薄板載置工程）
この方法では、積層体製造装置における上ステージと下ステージとの間に曲面透明薄板を進入させて、前記下ステージの積層体受けに、曲面形状を呈する積層体受け載置部材として前記曲面透明薄板を載置する曲面透明薄板載置工程の後に、貼り合わせ用のシート体の取付工程とシート状電子部品のシート体の取付工程とを交互に行なう。
【００９７】
（曲面透明薄板の載置、図７〜図９）
図７、図８、図９に示すように下方が凸曲面となるようにして曲面透明薄板１を搬出入用開口部１０を通して、互いに離間して待機位置にある上ステージ８と下ステージ９との間に進入させ、上ステージ８と下ステージ９との間に進入した後に、曲面透明薄板１の曲面形状に対応して下に凸の凹曲面形状とされている下ステージ９の積層体受け２７にその曲面透明薄板１を降ろして載置する。この曲面透明薄板１の進入、降下、載置などの動作については、不図示のマニピュレーターにて行なう。
【００９８】
（曲面透明薄板の位置確認、図１０、図１１）
曲面透明薄板１の上記載置後、真空チャンバー１１の外部から位置合わせ用の撮像カメラ３４を上ステージ８と下ステージ９との間に進入させ、所定位置に停止した撮像カメラ３４にて曲面透明薄板１に対する位置確認を行なっていて、この曲面透明薄板１の位置を記憶する。記憶された曲面透明薄板１の位置が以降の重ね合わせの基準となるように設けられている。曲面透明薄板１が適正な位置に載置されていることの確認とこの曲面透明薄板１の位置が記憶されれば、撮像カメラは真空チャンバーの外部へと退避する。
【００９９】
（貼り合わせ用のシート体の取付工程）
（シート体の搬入、ステップＡ−０１、図１２〜図１６）
貼り合わせ用のシート体の取付工程にあっては、まず、シート体準備部７には静電チャック１２が待機している。上記曲面透明薄板１に最初に重ねる積層体構成部材として、図１２に示すように上下両面が保護フィルム３ｂで覆われている貼り合わせ用のシート体３を、前記静電チャック１２の上面に載置する。そして、図１３に示すように静電チャック１２の上面（上ステージ側となる面）に、静電吸着にて貼り合わせ用のシート体３を保持する。
【０１００】
上ステージ８と下ステージ９との間に、貼り合わせ用のシート体３を静電吸着した静電チャック１２が進入し、静電チャックフォルダー１７を静電チャック支持台２８に架けることで静電チャック１２を支持させ、凸体２２の下方に貼り合わせ用のシート体３を位置させる。また、静電チャック１２の進入とともに、この静電チャック１２の下面側であって、凸体２２の最下端の部分に対応位置するように対の加圧ローラー１３、１３が進入するようにしている。（図１４）
【０１０１】
（貼り合わせ用のシート体の位置合わせ）
つぎに図１５に示すように上ステージ８を貼り合わせ用のシート体３との間にある程度の間隔が空く位置まで降下し、凸体２２と貼り合わせ用のシート体３との間に撮像カメラ３４を進入させて、上記曲面透明薄板１の場合と同様に、撮像カメラ３４にて映し出される画像データに基づいて静電チャックフォルダー１７のＸ軸調整、Ｙ軸調整、θ調整を行ない、上記基準（曲面透明薄板の位置）に対して貼り合わせ用のシート体３の位置合わせを行なう。（図１５）
【０１０２】
貼り合わせ用のシート体３の位置合わせを行なった後は、撮像カメラ３４を真空チャンバー１１の外部へ退避させる。（図１６）
【０１０３】
（静電チャック下からの加圧ローラーの押し付け、ステップＡ−０２、図１７〜図２０）
つぎに上ステージ８の降下と静電チャック１２の下面側から加圧ローラー１３、１３それぞれが押し上げる動作が行なわれるステップとなる。まず、上ステージ８が降下して、この上ステージ８とともに降下する凸体２２の最下端の部分が、静電チャック１２の上面の貼り合わせ用のシート体３の保護フィルム３ｂと接触し（図１７参照）、さらに凸体２２の降下が続いて貼り合わせ用のシート体３と静電チャック１２とを押し下げる。
【０１０４】
凸体２２の最下端の部分による貼り合わせ用のシート体３と静電チャック１２とに対する押し下げが始まったときに、静電チャック１２の下面であって凸体２２の前記最下端の部分に対応する位置に配置されていた対の加圧ローラー１３、１３が、静電チャック１２を下方から押圧する状態となりながら、静電チャック１２での凸体下端対応部分から凸体２２の凸曲面の曲がりに沿いながら互いに逆方向にして転がり移動する。この加圧ローラー１３、１３それぞれが転がり移動する方向は、加圧ローラー１３が離れる方向での静電チャック１２における保持手段対応部分に向いており、この保持手段対応部分まで転がり移動する。（図１８、図１９）
【０１０５】
加圧ローラー１３、１３それぞれが下方から静電チャック１２を押圧しながら転がり移動をすることで、静電チャック１２に静電吸着されている貼り合わせ用のシート体３が凸体２２の下面の凸曲面形状の部分に沿って曲がる変形をする。そして、図１９に示されているように加圧ローラー１３、１３が静電チャック１２における保持手段対応部分に達すると、貼り合わせ用のシート体３が保持手段２９に接触するようになる。そして、図２０に示すように加圧ローラー１３、１３は、貼り合わせ用のシート体３の加圧ローラー転がり移動方向に対向する辺部より外側位置に対応する箇所まで移動する。
【０１０６】
本ステップにおいて、上記保持手段対応部分に加圧ローラー１３、１３が達し、貼り合わせ用のシート体３が保持手段２９に接触する点についての説明は、上述したように貼り合わせ用のシート体３の加圧ローラー１３、１３の転がり移動方向に対向する辺部が、凸体２２の周辺部の領域に設けられている保持手段２９に接触することを述べている。
【０１０７】
一方、加圧ローラー１３、１３の転がり移動方向に沿った貼り合わせ用のシート体３の辺部については、その加圧ローラー１３、１３が転がり移動するときに保持手段２９に接する。即ち、加圧ローラーの転がり移動方向に沿う部分の保持手段２９は、凸体２２の凸曲面形状を呈する部分にある。
【０１０８】
なお、加圧ローラー１３それぞれの長さは、保持手段２９の配置パターンでの加圧ローラー転がり移動方向に直交する幅より十分に長いものとされている。そして、加圧ローラー１３、１３の転がり移動方向に沿った貼り合わせ用のシート体３の辺部が、加圧ローラー１３、１３が転がり移動するときに保持手段２９に接する点は、他のステップで、積層体構成部材が保持手段２９に接触する場合についても同様である。
【０１０９】
（貼り合わせ用のシート体の形状維持、ステップＡ−０３、図２１）
上記ステップを経た上ステージ８は降下した状態となっていて、上記空気不透過膜材２１の周辺部にある補強板２５と静電チャックフォルダー１７とが密にして接合している。これによって降下した状態にある上ステージ８の空気不透過膜材２１と静電チャック１２との間の空間は、閉じた空間３５として形成される。
【０１１０】
空気不透過膜材２１と静電チャック１２との間の空間が閉じられると、積層体製造装置Ａにおける真空吸引手段２４により、前記閉じた空間３５から空気を吸引する。この吸引で上ステージ８側（空気不透過膜材２１側）に押し付けられる静電チャック１２により貼り合わせ用のシート体３を保持手段２９に着脱可能に貼着する。貼り合わせ用のシート体３は凸体２２の凸曲面形状の部分に重なっていることから、保持手段２９は、貼り合わせ用のシート体３を曲面透明薄板１の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持する。
【０１１１】
（貼り合わせ用のシート体の静電チャックからの分離、ステップＡ−０４、図２２〜図２４）
貼り合わせ用のシート体３を保持手段２９に保持させる上記ステップの動作が終了した後、貼り合わせ用のシート体３を凸体２２側に位置させた状態で上ステージ８が上昇し、上ステージ８と静電チャック１２とが離れる。そして、静電チャック１２と加圧ローラー１３、１３とが、互いに待機位置にある上ステージ８と下ステージ９との間から退避して、真空チャンバー１１の外部へ移動する。その後、貼り合わせ用のシート体３の下面側の保護フィルム３ｂを剥離して除去し、真空チャンバー１１の外部に取り出す。（図２３、図２４）
【０１１２】
（貼り合わせ用のシート体と積層体受け載置部材の貼り合わせ、ステップＡ−０５、図２５〜図２９）  
上記ステップで保護フィルム３ｂを取り外すことによって、貼り合わせ用のシート体３の下面側に透明光学粘着フィルム３ａが表出した状態となる。また、図２５に示すように積層体受け２７に積層体受け載置部材が存在している下ステージ９、即ち、曲面透明薄板１を積層体受け２７に載置している下ステージ９を上昇させて、重ね合わせ状態物の挟み込み形成を行なう所定高さ位置で停止させる。
【０１１３】
つぎに、図２６に示されているように搬出入用開口部１０を閉じるとともに、真空チャンバー１１に接続されて必要時にチャンバー内の空気を引き込む真空ポンプ３６にてそのチャンバー内を減圧する。
【０１１４】
チャンバー内の減圧環境下で上ステージ８を降下させて、積層体受け載置部材となっている曲面透明薄板１の凹曲面形状の部分と、凸体２２に前記曲面透明薄板１の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持されるとともに透明光学粘着フィルム３ａが表出している貼り合わせ用のシート体３の前記透明光学粘着フィルム３ａの部分とを接近させる。（図２７）
【０１１５】
上ステージ８の降下を続けて曲面透明薄板１の凹曲面形状の部分と貼り合わせ用のシート体３の透明光学粘着フィルム３ａの部分とを接合させて、凸体２２と積層体受け２７との間で、貼り合わせ用のシート体３と曲面透明薄板１とからなる重ね合わせ状態物ａを挟み込み保持する。（図２８）
【０１１６】
さらに、この重ね合わせ状態物ａを挟み込み保持している状態のときに、上記凸体圧力制御部２３の働きによって、凸型基材２０の上記凹所１９に臨む部分に、該凸型基材２０を下方に向けて押し下げる押圧力３７を加える。これによって凸体２２は、前記押圧力３７で貼り合わせ用のシート体３を曲面透明薄板１側に押圧する加圧圧着を行ない、重なり合う貼り合わせ用のシート体３と曲面透明薄板１とを確実に貼り合わせる。（図２９）
【０１１７】
（凸体の押圧力の解除、ステップＡ−０６、図３０）
凸体２２で重ね合わせ状態物ａを押圧して、この重ね合わせ状態物ａにおける貼り合わせ用のシート体３と曲面透明薄板１との貼り合わせを行なう上記ステップの後には、上記押圧力を付与する凸体圧力制御部２３の動作を停止させ、これによって凸体２２による貼り合わせ用のシート体３への押圧を解除して、貼り合わせ用のシート体３と曲面透明薄板１との重ね合わせ状態物ａを、凸体２２と積層体受け２７とで挟み込み保持している状態に戻す。
【０１１８】
その後、真空ポンプ３６を停止して真空チャンバー１１のチャンバー内を大気圧環境に戻し、さらに搬出入用開口部１０を開いて真空チャンバー１１を大気開放する。（図３０）
【０１１９】
（貼り合わせ用のシート体を貼り合わせた積層体の形成、ステップＡ−０７、図３１〜図３４）
上記ステップの大気開放の後、上ステージ８を所定量にて上昇させる。この上ステージ８の上昇により、凸体２２から積層体受け２７側（曲面透明薄板１側）に貼り合わせ用のシート体３を分離する。（図３１）
【０１２０】
貼り合わせ用のシート体３での透明光学粘着フィルム３ａとその上面側の保護フィルム３ｂとを接合させている力、および透明光学粘着フィルム３ａと曲面透明薄板１とを接合させている力に比べて、上記保持手段２９の微粘着性ゴムが貼り合わせ用のシート体３の上面側の保護フィルム３ｂを保持している力が小さいため、前記大気開放後の上ステージ８を所定量で上昇させたときには、保持手段２９から貼り合わせ用のシート体３が確実に離れる。
【０１２１】
上述のように上ステージ８を所定量で上昇させて、貼り合わせ用のシート体３の曲面透明薄板１側への移動を確認する。その後、上ステージ８と下ステージ９とを離間するように動作させて、それぞれを待機位置に戻す。
【０１２２】
上記上ステージ８と下ステージ９との離間によって、積層体受け２７に、最上層を貼り合わせ用のシート体３とするとともに最下層を曲面透明薄板１とする積層体受け載置部材ｂが形成されることとなる。（図３２）
【０１２３】
つぎに、下ステージ９の積層体受け２７の上に載置された状態となっている上記積層体受け載置部材ｂでの貼り合わせ用のシート体３から、曲面透明薄板１側とは反対の保護フィルム３ｂを除去する。（図３３）
【０１２４】
これによって、透明光学粘着フィルム３ａを表出させて最上層を貼り合わせ用のシート体３とするとともに最下層を曲面透明薄板１として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体ｃが、積層体受け２７で形成される。（図３４）
【０１２５】
（センサーシート体（シート状電子部品）の取付工程）
つぎに、上記貼り合わせ用のシート体の取付工程を経て形成された積層体ｃに、シート状電子部品であるセンサーシート体４を取り付けて、このセンサーシート体４を新たに有する積層体を形成するためのセンサーシート体の取付工程になる。
【０１２６】
なお、シート体２の一種であるセンサーシート体４の取付を行なうに際し、積層体製造装置Ａの動作手順は、上述したステップＡ−０１〜Ａ−０７の貼り合わせ用のシート体の取付工程の場合と同様である。
【０１２７】
（センサーシート体の搬入、ステップＢ−０１、図３５）
センサーシート体の取付工程にあっても、まず、上記積層体ｃに重ねる積層体構成部材として、図２（ｂ）に示す上下両面が保護フィルム４ｂで覆われているセンサーシート体４を、シート体準備部７で待機している静電チャック１２の上方に搬入する。そして、静電チャック１２の上面に静電吸着にてセンサーシート体４を保持する。
【０１２８】
上ステージ８と下ステージ９との間に、センサーシート体４を静電吸着した静電チャック１２が進入させ、静電チャックフォルダー１７を静電チャック支持台２８に架けて静電チャック１２を支持させ、凸体２２の下方にセンサーシート体４を位置させる。また、上記加圧ローラー１３、１３についても貼り合わせ用のシート体の取付工程の場合と同様であって、静電チャック１２の下面側にして凸体２２の最下端の部分に対応位置するように対の加圧ローラー１３、１３が進入する。（図３５）
【０１２９】
（センサーシート体の位置合わせ）
つぎに、静電チャック１２の上に位置するセンサーシート体４の位置合わせは、上記貼り合わせ用のシート体３の取付工程のステップＡ−０１の段階で図１５で示す貼り合わせ用のシート体３の位置合わせの動作と同じである。上ステージ８をセンサーシート体４との間にある程度の間隔が空く位置まで降下し、両者の間に進入させた撮像カメラ３４にて映し出される画像データに基づいて、静電チャックフォルダー１７のＸ軸調整、Ｙ軸調整、θ調整を行ない、センサーシート体４の位置合わせを行なう。（センサーシート体の位置合わせについての図示は省略）
【０１３０】
センサーシート体４の位置合わせを行なった後は、撮像カメラ３４を真空チャンバー１１の外部へ退避させる。
【０１３１】
（静電チャック下からの加圧ローラーの押し付け、ステップＢ−０２、図３６〜図３８）
つぎに上ステージ８の降下と静電チャック１２の下面側から加圧ローラー１３、１３それぞれが押し上げる動作が行なわれるステップとなる。まず、上ステージ８が降下して、この上ステージ８とともに降下する凸体２２の最下端の部分が、静電チャック１２の上面のセンサーシート体４の保護フィルム４ｂに接触し（図３６）、さらに凸体２２の降下が続いてセンサーシート体４と静電チャック１２とを押し下げる。
【０１３２】
貼り合わせ用のシート体３の取付工程のステップＡ−０２での動きと同様に、対の加圧ローラー１３、１３が、静電チャック１２を下方から押圧する状態となりながら、静電チャック１２での凸体下端対応部分から互いに逆方向にして転がり移動する。この加圧ローラー１３、１３それぞれが静電チャック１２における保持手段対応部分まで転がり移動する。（図３７）
【０１３３】
加圧ローラー１３、１３それぞれが下方から静電チャック１２を押圧しながら転がり移動をすることで、静電チャック１２に静電吸着されているセンサーシート体４が凸体２２の下面の凸曲面形状の部分に沿って曲がる変形をする。そして、図３７に示されているように加圧ローラー１３、１３が静電チャック１２における保持手段対応部分に達すると、センサーシート体４が保持手段２９に接触するようになる。そして、図３８に示すように加圧ローラー１３、１３は、センサーシート体４の加圧ローラー転がり移動方向に対向する辺部より外側位置に対応する箇所まで移動する。
【０１３４】
以上のように加圧ローラー１３、１３の転がり移動することによって、センサーシート体４の辺部が保持手段２９に接する。
【０１３５】
（センサーシート体の形状維持、ステップＢ−０３、図３９）
上記ステップを経た上ステージ８は降下した状態となっていて、上記空気不透過膜材２１の周辺部にある補強板２５と静電チャックフォルダー１７とが密にして接合している。これによって降下した状態にある上ステージ８の空気不透過膜材２１と静電チャック１２との間の空間は、閉じた空間３５として形成される。
【０１３６】
空気不透過膜材２１と静電チャック１２との間の空間が閉じられると、積層体製造装置Ａにおける真空吸引手段２４により、閉じた空間３５から空気を吸引する。この吸引により上ステージ８側（空気不透過膜材２１側）に押し付けられる静電チャック１２によって、センサーシート体４の辺部を保持手段２９に着脱可能に貼着する。
【０１３７】
ステップＡ−０３での場合と同様に、加圧ローラー１３、１３の転がり移動と静電チャック１２による前記押し付けによって、センサーシート体４は凸体２２の凸曲面形状の部分に重なっていることから、保持手段２９は、センサーシート体４を曲面透明薄板１の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持する。
【０１３８】
（センサーシート体の静電チャックからの分離、ステップＢ−０４、図４０）
センサーシート体４を保持手段２９に保持させる上記ステップＢ−０３の動作が終了した後、センサーシート体４を凸体２２側に位置させた状態で上ステージ８が上昇し、上ステージ８と静電チャック１２とが離れる。そして、静電チャック１２と加圧ローラー１３、１３とが、互いに待機位置にある上ステージ８と下ステージ９との間から退避して、真空チャンバー１１の外部へ移動する。その後、センサーシート体４の下面側の保護フィルム４ｂを剥離して除去し、真空チャンバー１１の外部に取り出す。（図４０）
【０１３９】
（センサーシート体と積層体受け載置部材の貼り合わせ、ステップＢ−０５、図４１〜図４３）  
上記ステップでセンサーシート体４の下面側の保護フィルム４ｂを取り外すことによって、センサーシート体４の下面側に透明センサーシート４ａが表出した状態となる。また、積層体受け２７に積層体受け載置部材ｂ（曲面透明薄板１に貼り合わせ用のシート体３を貼り合わせた積層体）が存在している下ステージ９を上昇させて、重ね合わせ状態物の挟み込み形成を行なう所定高さ位置で停止させる。（図４１）
【０１４０】
つぎに、真空チャンバー１１の搬出入用開口部１０を閉じるとともに、真空チャンバー１１に接続される真空ポンプ３６を動作させてそのチャンバー内を減圧する。
【０１４１】
チャンバー内の減圧環境下で上ステージ８を降下させて、積層体受け載置部材ｂの凹曲面形状の部分（貼り合わせ用のシート体３の凹曲面形状の部分）と、凸体２２に曲面透明薄板１の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持されているセンサーシート体４の透明センサーシート４ａの部分とを接近させる。
【０１４２】
上ステージ８の降下を続けて前記積層体受け載置部材ｂの凹曲面形状の部分と前記透明センサーシート４ａの部分とを接合させて、凸体２２と積層体受け２７との間で、センサーシート体４と積層体受け載置部材ｂとからなる重ね合わせ状態物ａを挟み込み保持する。（図４２）
【０１４３】
さらに、この重ね合わせ状態物ａを挟み込み保持している状態のときに、凸体圧力制御部２３の働きによって、凸型基材２０の上記凹所１９に臨む部分に、該凸型基材２０を下方に向けて押し下げる押圧力３７を加える。これによって凸体２２は、前記押圧力３７でセンサーシート体４を積層体受け載置部材ｂ側に押圧する加圧圧着を行ない、重なり合うセンサーシート４と貼り合わせ用のシート体３とを確実に貼り合わせる。（図４３）
【０１４４】
（凸体の押圧力の解除、ステップＢ−０６、図４４）
凸体２２で重ね合わせ状態物ａを押圧してセンサーシート体４と貼り合わせ用のシート体３との貼り合わせを行なう上記ステップの後には、押圧力を付与する凸体圧力制御部２３の動作を停止させ、これによって凸体２２によるセンサーシート体４への押圧を解除して、センサーシート体４と積層体受け載置部材ｂとの重ね合わせ状態物ａを、凸体２２と積層体受け２７とで挟み込み保持している状態に戻す。
【０１４５】
その後、真空ポン部３６を停止して真空チャンバー１１のチャンバー内を大気圧環境に戻し、さらに搬出入用開口部１０を開いて真空チャンバー１１を大気開放する。（図４４）
【０１４６】
（センサーシート体を貼り合わせた積層体の形成、ステップＢ−０７、図４５、図４６）
上記ステップの大気開放の後、上ステージ８を所定量にて上昇させて、凸体２２から積層体受け２７側にセンサーシート体４を分離する。
【０１４７】
センサーシート体４での透明センサーシート４ａとその上面側の保護フィルム４ｂとを接合させている力、および透明センサーシート４ａと曲面透明薄板１側の貼り合わせ用のシート体３とを接合させている力に比べて、上記保持手段２９の微粘着性ゴムがセンサーシート体４の上面側の保護フィルム４ｂを保持している力が小さいため、大気開放後の上ステージ８を所定量で上昇させたときには、保持手段２９からセンサーシート体４が確実に離れる。
【０１４８】
なお、保持手段２９は、凸体２２側に配置された積層体構成部材を保持するときに、積層体構成部材が有している保護フィルムが、その積層体構成部材内で不用意に剥離しない粘着力を有するように調整されている。勿論、保持手段２９を構成している微粘着性ゴム自体の粘着力は、貼り合わせ用のシート体の取付工程、センサーシート体の取付工程、さらに以降の工程で変化するものではない。
【０１４９】
上述のように上ステージ８を所定量で上昇させて、センサーシート体４の積層体受け載置部材ｂ側への移動を確認する。その後、上ステージ８と下ステージ９とを離間するように動作させて、それぞれを待機位置に戻す。
【０１５０】
上ステージ８と下ステージ９との離間によって、積層体受け２７に、最上層をセンサーシート体４とするとともに最下層を曲面透明薄板１とする積層体受け載置部材ｂが新たに形成されることとなる。
【０１５１】
つぎに、下ステージ９の積層体受け２７の上に載置された状態となっている上記積層体受け載置部材ｂでのセンサーシート体４から、曲面透明薄板１側とは反対の保護フィルム４ｂを除去する。
【０１５２】
これによって、透明センサーシート４ａを表出させて最上層をセンサーシート体４とするとともに最下層を曲面透明薄板１として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体ｃが、積層体受け２７で形成される。（図４６）
【０１５３】
（二回目の貼り合わせ用のシート体の取付工程、ステップＡ−０１〜０７参照、図４７）
上記センサーシート体の取付工程を経て形成された積層体ｃに、貼り合わせ用のシート体３を取り付けて、この貼り合わせ用のシート体３を新たに有する積層体を形成するための貼り合わせ用のシート体の取付工程になる。
【０１５４】
なお、上記センサーシート体４を有する積層体ｃを形成した後に、この積層体ｃに貼り合わせ用のシート体３を貼り合わせるための積層体製造装置Ａの動作は、上述したステップＡ−０１〜０７での動作と同様であるので、二回目の貼り合わせ用のシート体の取付工程中の各段階の説明を省略する。
【０１５５】
最上層をセンサーシート体４とする積層体ｃに対して、ステップＡ−０１〜０７での手順と同じ貼り合わせ用のシート体の取付工程を経ることで、図４７に示すように、透明光学粘着フィルム３ａを表出させて最上層を貼り合わせ用のシート体３とするとともに最下層を曲面透明薄板１として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体ｃが、積層体受け２７で形成される。
【０１５６】
二回目の貼り合わせ用のシート体３を貼り合わせた積層体ｃの層構成は、曲面透明薄板１側から、曲面透明薄板１と、貼り合わせ用のシート体３（透明光学粘着フィルム）と、センサーシート体４（透明センサーシート）と、貼り合わせ用のシート体３（透明光学粘着フィルム）とが、順に重ね合わされたものとなっている。
【０１５７】
（ディスプレイシート体（シート状電子部品）の取付工程、ステップＢ−０１〜０７参照、図４８）
二回目の貼り合わせ用のシート体の取付工程を経て形成された上記積層体ｃに、フレキシブルディスプレイシートからなる上記ディスプレイシート体５を取り付けて、このディスプレイシート体５を新たな最上層（曲面透明薄板とは反対側）として有する積層体を形成するためのシート状電子部品のシート体の取付工程になる。
【０１５８】
なお、シート体２の一種であるディスプレイシート体５の取付を行なうに際し、積層体製造装置Ａの動作手順は、上述したステップＢ−０１〜０７のセンサーシート体の取付工程の場合と同様であって二回目のシート状電子部品の取付工程となるので、このディスプレイシート体の取付工程中の各段階については説明を省略する。
【０１５９】
最上層をディスプレイシート体５とする積層体ｃに対して、ステップＢ−０１〜０７での手順と同じシート状電子部品のシート体の取付工程を経ることで、図４８に示すように、フレキシブルディスプレイシート５ａを表出させて最上層をディスプレイシート体５とするとともに最下層を曲面透明薄板１として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体ｃが、積層体受け２７で新たに形成される。
【０１６０】
ディスプレイシート体５を貼り合わせた上記積層体ｃの層構成は、曲面透明薄板１側から、曲面透明薄板１と、貼り合わせ用のシート体３（透明光学粘着フィルム）と、センサーシート体４（透明センサーシート）と、貼り合わせ用のシート体３（透明光学粘着フィルム）と、ディスプレイシート体５（フレキシブルディスプレイシート）とが、順に重ね合わされたものとなっている。
【０１６１】
＜曲面透明薄板の凸曲面側に貼り合わせ＞
つぎに、曲面透明薄板１の凸曲面側に、シート状電子部品のシート体（センサーシート体４、ディスプレイシート体５）と貼り合わせ用のシート体３とを、重ね合わせ側となる前記保護フィルムを除去しながら交互にして重ね合わせて、曲面透明薄板１の凸曲面側に前記シート状電子部品のシート体を複数層にして貼り合わされている積層体を製造する方法を説明する。
【０１６２】
（曲面透明薄板取付工程）
曲面透明薄板１の凹曲面側にシート体２を貼り合わせる積層体の製造方法では、上述したように下ステージ９の積層体受け２７に、曲面透明薄板１を適正な位置にして載置している。そして、曲面透明薄板１の凸曲面側にシート体２を貼り合わせて積層体を製造する方法では、上記曲面透明薄板載置工程を経てからその曲面透明薄板を上ステージ側に位置させた後に、貼り合わせ用のシート体の取付工程とシート状電子部品のシート体の取付工程とを交互に行なう。
【０１６３】
なお、積層体受け２７に曲面透明薄板１を適正な位置にして載置する点は、曲面透明薄板載置工程と同じであるため、その点の説明は省略する。
【０１６４】
まず、上述したように下ステージ９の積層体受け２７に曲面透明薄板１が適正な位置にあることを確認し、その曲面透明薄板１の位置を上記撮像カメラ３４を用いて記憶して基準とした後、上ステージ８を降下させてこの上ステージ８と下ステージ９との間で曲面透明薄板１を挟み込み保持する。
【０１６５】
（曲面透明薄板の保持手段への貼着、図４９、図５０）
上ステージ８と下ステージ９との間で曲面透明薄板１を挟み込み保持することで、曲面透明薄板１の周辺部は凸体２２の周辺部に位置する保持手段２９と相対して接合する。そして真空吸引手段２４を動作させて、空気不透過膜材２１と曲面透明薄板１との間の空気を引くようにして大気圧により曲面透明薄板１を凸体２２の凸曲面形状の部分に沿わせて保持手段２９に貼着させる。（図４９）
【０１６６】
そして、上ステージ８を上昇して上ステージ８と下ステージ９との間を離すことで、形状維持された曲面透明薄板１を凸体２２側に位置する凸体下重ね部材ｄとして、前記保持手段２９にて保持する。なお、保持手段２９により曲面透明薄板１を適正な曲面形状を維持した状態で保持するので、上ステージ８と下ステージ９との間が開く前の時点で、上記真空吸引手段２４の動作は停止させる。
【０１６７】
（貼り合わせ用のシート体の取付工程）
（シート体の搬入、ステップＣ−０１、図５１）
上記曲面透明薄板取付工程が終了した後、貼り合わせ用のシート体の取付工程に移る。まず、上記シート体準備部７で未貼合状態である貼り合わせ用のシート体３を静電チャック１２の上面に乗せて静電吸着する。そして、貼り合わせ用のシート体３の上面側の保護フィルム３ｂを除去する。
【０１６８】
つぎに、上ステージ８と下ステージ９との間に、貼り合わせ用のシート体３を静電吸着した静電チャック１２が進入し、静電チャックフォルダー１７を静電チャック支持台２８に架けることで静電チャック１２を支持させ、凸体２２の下方に貼り合わせ用のシート体３を位置させる。また、静電チャック１２の進入とともに、この静電チャック１２の下面側であって、凸体２２の最下端の部分に対応位置するように対の加圧ローラー１３、１３が進入するようにしている。（図５１）
【０１６９】
（貼り合わせ用のシート体の位置合わせ）
つぎに、曲面透明薄板の凹曲面側にシート体を貼り合わせる場合の位置合わせと同様に、上ステージ８を貼り合わせ用のシート体３との間にある程度の間隔が空く位置まで降下し、凸体２２と貼り合わせ用のシート体３との間に撮像カメラ３４を進入させて、上記曲面透明薄板１の場合と同様に、撮像カメラ３４にて映し出される画像データに基づいて静電チャックフォルダー１７のＸ軸調整、Ｙ軸調整、θ調整を行ない、基準に対して貼り合わせ用のシート体３の位置合わせを行なう。（撮像カメラ３４については、図１５参照）
【０１７０】
貼り合わせ用のシート体３の位置合わせを行なった後は、撮像カメラ３４を真空チャンバー１１の外部へ退避させる。
【０１７１】
（静電チャック下からの加圧ローラーの押し付け、ステップＣ−０２、図５２、図５３）
つぎに上ステージ８の降下と静電チャック１２の下面側から加圧ローラー１３、１３それぞれが押し上げる動作が行なわれるステップとなる。この段階のステップは曲面透明薄板１の凹曲面側にシート体を貼り合わせる方法でのステップＡ−０２とほぼ同様であり、違いは、真空チャンバー１１のチャンバー内を減圧する点と、凸体２２側に凸体下重ね部材ｄとして曲面透明薄板１が保持されている点である。
【０１７２】
まず、搬出入用開口部１０を閉じて真空チャンバー１１を減圧する。この減圧環境下で上ステージ８が降下する。前記上ステージ８に一体の凸体２２が降下し、凸体２２側の凸体下重ね部材ｄである曲面透明薄板１の最下端の部分が、静電チャック１２の上面の貼り合わせ用のシート体３の透明光学粘着フィルム３ａと接触し（図５２参照）、さらに凸体２２の降下が続いて貼り合わせ用のシート体３と静電チャック１２とを押し下げる。
【０１７３】
曲面透明薄板１の最下端の部分による貼り合わせ用のシート体３と静電チャック１２とに対する押し下げが始まると、対の加圧ローラー１３、１３が、静電チャック１２を下方から押圧する状態となりながら、静電チャック１２での凸体下端対応部分から互いに逆方向にして転がり移動する。加圧ローラー１３、１３それぞれは、加圧ローラー１３が離れる方向での静電チャック１２におけるシート体辺部対応部分を通過して、保持手段対応部分まで転がり移動する。
【０１７４】
加圧ローラー１３、１３それぞれが下方から静電チャック１２を押圧しながら転がり移動をすることで、静電チャック１２に静電吸着されている貼り合わせ用のシート体３が、凸体下重ね部材ｄとされた曲面透明薄板１の下面の凸曲面形状の部分に沿って曲がる変形をしながらその凸曲面形状の部分に接触する。（図５３）
【０１７５】
このようにして貼り合わせ用のシート体３を、凸体下重ね部材である曲面透明薄板１の凸曲面形状の部分に沿わせて曲面透明薄板１に密に接触させ、貼り合わせ用のシート体３を曲面透明薄板１の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持させる。
【０１７６】
（静電チャックと加圧ローラーの退避、ステップＣ−０３、図５４〜図５６）
つぎに、真空チャンバー１１のチャンバー内を大気圧状態に戻してから、搬出入用開口部１０を開いて大気開放する（図５４）。その後、上ステージ８を上昇させて静電チャック１２から凸体２２を上方に離間させる（図５５）。そして、上ステージ８を待機位置に停止させるとともに、静電チャック１２と加圧ローラー１３、１３とを退避させる。（図５６）
【０１７７】
（凸体下重ね部材と貼り合わせ用のシート体との貼り合わせ、ステップＣ−０４、図５７〜図５９）
静電チャック１２と加圧ローラー１３、１３とを退避させる上記ステップＣ−０３を経た後、重なり合う上記曲面透明薄板１と貼り合わせ用のシート体３とを密に貼り合わせることとなる。
【０１７８】
まず、上ステージ８と下ステージ９とを互いに近接させるとともに搬出入用開口部１０を閉じて真空チャンバー１１のチャンバー内を減圧する。（図５７）
【０１７９】
真空度が上昇したチャンバー内の減圧環境下で、下ステージ９が重ね合わせ状態物を受けるための高さ位置に停止するとともに、停止した下ステージ９に向けて上ステージ８が降下する。そして、上ステージ８と下ステージ９との間で、凸体２２側で形状維持されている凸体下重ね部材ｄである曲面透明薄板１とこの曲面透明薄板１に密にして接触する貼り合わせ用のシート体３とからなる重ね合わせ状態物ａを挟み込み保持する。即ち、前記重ね合わせ状態物ａは、上ステージ８の凸体２２と下ステージ９の積層体受け２７とで挟み込まれた状態となる。（図５８）
【０１８０】
つぎに、上記曲面透明薄板１の凹曲面形状の部分にシート体２を押し付ける押圧力の付与と同様に、上記凸体圧力制御部２３の動作により、凸型基材２０を介して下方へ向いた押圧力が凸体２２に作用するように設けられている。そのため、前記凸体２２は、曲面透明薄板１（凸体下重ね部材ｄ）と貼り合わせ用のシート体３とからなる前記重ね合わせ状態物ａを積層体受け２７側に向けて押圧することとなり、重なり合う曲面透明薄板１と貼り合わせ用のシート体３とが貼り合わされる。（図５９）
【０１８１】
（凸体の押圧解除と大気開放、ステップＣ−０５）
つぎに、凸体２２による重ね合わせ状態物ａへ押圧を解除し、真空チャンバー１１のチャンバー内を大気圧環境に戻す。そして搬出入用開口部１０を開いて真空チャンバー１１を大気開放する。
【０１８２】
（積層体の形成、ステップＣ−０６、図６０、図６１）
真空チャンバー１１を大気開放した後の本ステップＣ−０６は、貼り合わせ用のシート体３の取付工程の最終段階となる。まず、上ステージ８を上昇させて待機位置に戻すとともに、下ステージ９も降下させて待機位置に戻すようにする。このように上ステージ８と下ステージ９とを上下方向に離間させ、上ステージ８の上昇とともに凸体２２側に重ね合わせ状態物ａを伴なわせて、下ステージ９の積層体受け２７から前記重ね合わせ状態物ａを分離する。これによって凸体２２の下面側に、最上層を曲面透明薄板１とするとともに最下層を貼り合わせ用のシート体３とする凸体下重ね部材ｄが形成される。（図６０）
【０１８３】
元々、重ね合わせ状態物ａでの最下層のシート体２である貼り合わせ用のシート体３は、このステップの時点でも下面側に保護フィルム３ｂが位置しており、上記凸体２２での押圧力の付与によっても、積層体受け２７に密着することはない。
【０１８４】
そして、以下の各取付工程中の最終段階でも、上ステージ８と下ステージ９とを上下に離間させるが、各場合の重ね合わせ状物ａの最下層のシート体はその下面に保護フィルムを配した状態となり、下ステージ９に重ね合わせ状態物ａが貼り付いてしまうことはない。なお、凸体２２側で形成される凸体下重ね部材ｄは、上記保持手段２９によって保持されており、凸体２２の曲面形状に対応した形状を維持したまま保持される。
【０１８５】
つぎに、上記凸体下重ね部材ｄでの最下層に位置する貼り合わせ用のシート体３から、この貼り合わせ用のシート体３の曲面透明薄板１側とは反対の保護フィルム３ｂを除去する。これによって最上層を曲面透明薄板１とするとともに最下層を貼り合わせ用のシート体３として曲面透明薄板１の曲面形状に対応している積層体ｃを形成する。（図６１）
【０１８６】
（センサーシート体（シート状電子部品）の取付工程）
つぎに、貼り合わせ用のシート体の取付工程を経て形成された積層体ｃに、シート状電子部品であるセンサーシート体４を取り付けて、このセンサーシート体４を新たに有する積層体を形成するためのセンサーシート体の取付工程になる。
【０１８７】
なお、シート体２の一種であるセンサーシート体４の取付を行なうに際し、積層体製造装置Ａの動作手順は、上述したステップＣの貼り合わせ用のシート体の取付工程の場合と同様である。
【０１８８】
（シート体の搬入、ステップＤ−０１、図６２）
本シート状電子部品のシート体の取付工程は、上記貼り合わせ用のシート体の取付工程にて形成されて最下層を貼り合わせ用のシート体３とする積層体ｃからなる凸体下重ね部材ｄに対して行なわれるものである。まず、シート体準備部７で未貼合状態であるセンサーシート体４を静電チャック１２の上面に乗せて静電吸着する。そして、センサーシート体４の上面側の保護フィルム４ｂを除去する。
【０１８９】
つぎに、上ステージ８と下ステージ９との間に、センサーシート体４を静電吸着した静電チャック１２が進入し、静電チャックフォルダー１７を静電チャック支持台２８に架けることで静電チャック１２を支持させ、凸体２２の下方にセンサーシート体４を位置させる。また、静電チャック１２の進入とともに、この静電チャック１２の下面側であって、凸体２２の最下端の部分に対応位置するように対の加圧ローラー１３、１３が進入するようにしている。（図６２）
【０１９０】
（センサーシート体の位置合わせ）
つぎに、曲面透明薄板の凸曲面側にシート体を貼り合わせる場合の位置合わせ（ステップＣ−０１）と同様に、上ステージ８を、凸体下重ね部材ｄの最下層の貼り合わせ用シート体３とセンサーシート体４との間にある程度の間隔が空く位置まで降下し、凸体２２側の貼り合わせ用のシート体３とセンサーシート体４との間に撮像カメラ３４を進入させて、上記曲面透明薄板１の場合と同様に、撮像カメラ３４にて映し出される画像データに基づいて静電チャックフォルダー１７のＸ軸調整、Ｙ軸調整、θ調整を行ない、基準に対するセンサーシート体４の位置合わせを行なう。なお、本ステップでの撮像カメラ３４における動作の図示については省略する。（図１５参照）
【０１９１】
センサーシート体４の位置合わせを行なった後は、撮像カメラ３４を真空チャンバー１１の外部へ退避させる。
【０１９２】
（静電チャック下からの加圧ローラーの押し付け、ステップＤ−０２、図６３、図６４）
つぎに上ステージ８の降下と静電チャック１２の下面側から加圧ローラー１３、１３それぞれが押し上げる動作が行なわれるステップとなる。この段階のステップは曲面透明薄板１の凸曲面側にシート体を貼り合わせる方法でのステップＣ−０２と同様である。
【０１９３】
まず、搬出入用開口部１０を閉じて真空チャンバー１１を減圧する。この減圧環境下で上ステージ８が降下する。前記上ステージ８に一体の凸体２２が降下し、凸体２２側の凸体下重ね部材ｄの最下層である貼り合わせ用のシート体３の最下端の部分が、静電チャック１２の上面のセンサーシート体４の透明センサーシート４ａと接触し、さらに凸体２２の降下が続いてセンサーシート体４と静電チャック１２とを押し下げる。（図６３参照）
【０１９４】
凸体下重ね部材ｄの最下端の部分によるセンサーシート体４と静電チャック１２とに対する押し下げが始まると、対の加圧ローラー１３、１３が、静電チャック１２を下方から押圧する状態となりながら、静電チャック１２での凸体下端対応部分から互いに逆方向にして転がり移動する。加圧ローラー１３、１３それぞれは、加圧ローラー１３が離れる方向での静電チャック１２におけるシート体辺部対応部分を通過して、保持手段対応部分まで転がり移動する。
【０１９５】
加圧ローラー１３、１３それぞれが下方から静電チャック１２を押圧しながら転がり移動をすることで、静電チャック１２に静電吸着されているセンサーシート体４が、凸体下重ね部材ｄの最下層とされた貼り合わせ用のシート体３の下面の凸曲面形状の部分に沿って曲がる変形をしながらその凸曲面形状の部分に接触する。（図６４）
【０１９６】
このようにしてセンサーシート体４を、凸体下重ね部材ｄの最下層である貼り合わせ用のシート体３の凸曲面形状の部分に沿わせてこの貼り合わせ用のシート体３に密に接触させ、センサーシート体４を曲面透明薄板１の曲面形状に対応した曲面形状に形状維持させる。
【０１９７】
（静電チャックと加圧ローラーの退避、ステップＤ−０３）
つぎに、真空チャンバー１１のチャンバー内を大気圧状態に戻してから、搬出入用開口部１０を開いて大気開放する（図５４）。その後、上ステージ８を上昇させて静電チャック１２から凸体２２を上方に離間させる（図５５）。そして、上ステージ８を待機位置に停止させるとともに、静電チャック１２と加圧ローラー１３、１３とを退避させる。なお、本ステップでの動作の図示は省略する。（図５４〜図５６参照）
【０１９８】
（凸体下重ね部材とセンサーシート体との貼り合わせ、ステップＤ−０４、図６５）
静電チャック１２と加圧ローラー１３、１３とを退避させる上記ステップＤ−０３を経た後、重なり合う上記貼り合わせ用のシート体３とセンサーシート体４とを密に貼り合わせることとなる。
【０１９９】
まず、上ステージ８と下ステージ９とを互いに近接させるとともに搬出入用開口部１０を閉じて真空チャンバー１１のチャンバー内を減圧する。
【０２００】
真空度が上昇したチャンバー内の減圧環境下で、下ステージ９が重ね合わせ状態物を受けるための高さ位置に停止するとともに、停止した下ステージ９に向けて上ステージ８が降下する。そして、上ステージ８と下ステージ９との間で、凸体２２側で形状維持されている凸体下重ね部材ｄとこの凸体下重ね部材ｄの最下層に密にして接触するセンサーシート体４とからなる重ね合わせ状態物ａを挟み込み保持する。即ち、前記重ね合わせ状態物ａは、上ステージ８の凸体２２と下ステージ９の積層体受け２７とで挟み込まれた状態となる。
【０２０１】
つぎに、上述した曲面透明薄板１の凸曲面形状の部分にシート体２を押し付ける押圧力の付与と同様に、上記凸体圧力制御部２３の動作により、凸型基材２０を介して下方へ向いた押圧力が凸体２２に作用し、該凸体２２は前記重ね合わせ状態物ａを積層体受け２７側に向けて押圧して、重なり合う貼り合わせ用のシート体３とセンサーシート体４とが貼り合わされる。（図６５）
【０２０２】
（凸体の押圧解除と大気開放、ステップＤ−０５）
つぎに、凸体２２による重ね合わせ状態物ａへ押圧を解除し、真空チャンバー１１のチャンバー内を大気圧環境に戻す。そして搬出入用開口部１０を開いて真空チャンバー１１を大気開放する。
【０２０３】
（積層体の形成、ステップＤ−０６、図６６）
真空チャンバー１１を大気開放した後の本ステップＤ−０６は、センサーシート体４の取付工程の最終段階となる。まず、上ステージ８を上昇させて待機位置に戻すとともに、下ステージ９も降下させて待機位置に戻す。このように上ステージ８と下ステージ９とを上下方向に離間させ、上ステージ８の上昇とともに凸体２２側に重ね合わせ状態物ａを伴なわせて、下ステージ９の積層体受け２７から前記重ね合わせ状態物ａを分離する。これによって凸体２２の下面側に、最上層を曲面透明薄板１とするとともに最下層をセンサーシート体４とする凸体下重ね部材ｄが形成される。
【０２０４】
つぎに、凸体下重ね部材ｄでの最下層に位置するセンサーシート体４から、このセンサーシート体４の曲面透明薄板１側とは反対の保護フィルム４ｂを除去する。これによって最上層を曲面透明薄板１とするとともに最下層をセンサーシート体４として曲面透明薄板１の曲面形状に対応している積層体ｃが新たに形成される。（図６６）
【０２０５】
（二回目の貼り合わせ用のシート体の取付工程、ステップＣ−０１〜０６参照、図６７）
上述した＜曲面透明薄板の凹曲面側に貼り合わせ＞の場合と同様に、上記センサーシート体の取付工程を経て形成された積層体ｃに、貼り合わせ用のシート体３を取り付けて、この貼り合わせ用のシート体３を新たに有する積層体を形成するための貼り合わせ用のシート体の取付工程になる。
【０２０６】
なお、上記センサーシート体４を有する積層体ｃを形成した後に、この積層体ｃに貼り合わせ用のシート体３を貼り合わせるための積層体製造装置Ａの動作は、上述したステップＣ−０１〜０６での動作と同様であるので、二回目の貼り合わせ用のシート体の取付工程中の各段階の説明を省略する。
【０２０７】
最下層をセンサーシート体４とする積層体ｃに対して、ステップＣ−０１〜０６での手順と同じ貼り合わせ用のシート体の取付工程を経ることで、図６７に示すように、透明光学粘着フィルム３ａを表出させて最下層を貼り合わせ用のシート体３とするとともに最上層を曲面透明薄板１として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体ｃが、凸体２２の下面側に新たに形成される。
【０２０８】
二回目の貼り合わせ用のシート体３を貼り合わせた積層体ｃの層構成は、曲面透明薄板１側から、曲面透明薄板１と、貼り合わせ用のシート体３（透明光学粘着フィルム）と、センサーシート体４（透明センサーシート）と、貼り合わせ用のシート体３（透明光学粘着フィルム）とが、順に重ね合わされたものとなっている。
【０２０９】
（ディスプレイシート体（シート状電子部品）の取付工程、ステップＤ−０１〜０６参照、図６８）
二回目の貼り合わせ用のシート体の取付工程を経て形成された上記積層体ｃに、フレキシブルディスプレイシートからなる上記ディスプレイシート体５を取り付けて、このディスプレイシート体５を新たな最下層（曲面透明薄板とは反対側）として有する積層体を形成するためのシート状電子部品のシート体の取付工程になる。
【０２１０】
なお、シート体２の一種であるディスプレイシート体５の取付を行なうに際し、積層体製造装置Ａの動作手順は、上述したステップＤ−０１〜０６のセンサーシート体の取付工程の場合と同様であって二回目のシート状電子部品の取付工程となるので、このディスプレイシート体の取付工程中の各段階については説明を省略する。
【０２１１】
最下層をディスプレイシート体５とする積層体ｃに対して、ステップＤ−０１〜０６での手順と同じシート状電子部品のシート体の取付工程を経ることで、図６８に示すように、フレキシブルディスプレイシート５ａを表出させて最下層をディスプレイシート体５とするとともに最上層を曲面透明薄板１として曲面透明薄板の曲面形状に対応している積層体ｃが、凸体２２の下面側に新たに形成される。
【０２１２】
ディスプレイシート体５を貼り合わせた上記積層体ｃの層構成は、曲面透明薄板１側から、曲面透明薄板１と、貼り合わせ用のシート体３（透明光学粘着フィルム）と、センサーシート体４（透明センサーシート）と、貼り合わせ用のシート体３（透明光学粘着フィルム）と、ディスプレイシート体５（フレキシブルディスプレイシート）とが、順に重ね合わされたものとなっている。
【０２１３】
（フレキシブルプリント配線板とプリント基板）
シート状電子部品のシート体の取付工程を説明する図では、理解し易くするために、シート状電子部品のシート体の形状を簡略化して図示している。ところで、センサーシート体４やディスプレイシート体５であるシート状電子部品のシート体は、積層体を製造する前の積層体構成部材の形態の時点で、シート体の辺部に、フレキシブルプリント配線板を介して、電子素子が実装されたプリント基板が設けられているものである。そのため、積層体を製造するときには、シート状電子部品のシート体は、フレキシブルプリント配線板と電子素子実装済みのプリント基板とを伴なって貼り合わせを行なうようにする。
【０２１４】
（シート状電子部品のシート体の静電吸着）
図６９は静電チャック１２がセンサーシート体４やディスプレイシート体５を静電吸着した状態をより具体的に示している。この図６９で示されているセンサーシート体４やディスプレイシート体５のシート状電子部品のシート体２は、辺部にフレキシブルプリント配線板３８が接続され、このフレキシブルプリント配線板３８の前記シート体２とは反対側に、電子素子実装済みのプリント基板３９が接続されている。
【０２１５】
そして、上記シート体準備部７において静電チャック１２の上面にセンサーシート体４やディスプレイシート体５が載置された後、前記静電チャック１２が、センサーシート体４やディスプレイシート体５を静電吸着するときには、フレキシブルプリント配線板３８を静電吸着するとともに、プリント基板３９も静電吸着するように設けられており、シート状電子部品のシート体２全体が静電チャック１２に保持されるようにしている。
【０２１６】
即ち、上述した＜曲面透明薄板の凹曲面側に貼り合わせ＞における（センサーシート体の搬入、ステップＢ−０１）の段階で、静電チャック１２の上面に載置されたセンサーシート体４が静電吸着されるとともに、センサーシート体４の辺部に接続のフレキシブルプリント配線板３８とこのフレキシブルプリント配線板３８に接続されているプリント基板３９とが静電吸着される。
【０２１７】
また、同じ＜曲面透明薄板の凹曲面側に貼り合わせ＞におけるディスプレイシート体５の取付工程でのステップＢ−０１の段階で、静電チャック１２の上面に載置されたディスプレイシート体５が静電吸着されるとともに、ディスプレイシート体５の辺部に接続のフレキシブルプリント配線板３８とこのフレキシブルプリント配線板３８に接続されているプリント基板３９とが静電吸着される。
【０２１８】
さらに、上述した＜曲面透明薄板の凸曲面側に貼り合わせ＞における（センサーシート体の搬入、ステップＤ−０１）の段階で、静電チャック１２の上面に載置されたセンサーシート体４が静電吸着されるとともに、センサーシート体４の辺部に接続のフレキシブルプリント配線板３８とこのフレキシブルプリント配線板３８に接続されているプリント基板３９とが静電吸着される。
【０２１９】
また、同じ＜曲面透明薄板の凸曲面側に貼り合わせ＞におけるディスプレイシート体５の取付工程でのステップＤ−０１の段階で、静電チャック１２の上面に載置されたディスプレイシート体５が静電吸着されるとともに、ディスプレイシート体５の辺部に接続のフレキシブルプリント配線板３８とこのフレキシブルプリント配線板３８に接続されているプリント基板３９とが静電吸着される。
【０２２０】
（フレキシブルプリント配線板とプリント基板とを有するシート体の凸体側での配置）
上述したように積層体を製造するに際し、静電チャック１２は、センサーシート体４やディスプレイシート体５を静電吸着し、このセンサーシート体４やディスプレイシート体５を保持する。そして、上記真空吸引手段２４を動作させた真空吸着や、静電チャック１２の下面側からの上記加圧ローラー１３，１３の押し上げによって、センサーシート体４やディスプレイシート体５が曲面透明薄板１の曲面形状に対応して形状維持されるようにしている。
【０２２１】
図７０はセンサーシート体４やディスプレイシート体５のシート状電子部品のシート体２が凸体２２側に保持された状態を示していて、図７０（ａ）はステップＢ−０３において、真空吸引手段２４の吸着で凸体２２の下面側に押し付けられる静電チャック１２により、フレキシブルプリント配線板３８とプリント基板３９とが保持手段２９に貼着にて保持されている形態を下方から見た状態で示している。
【０２２２】
また、図７０（ｂ）はステップＤ−０２において、加圧ローラー１３、１３で凸体２２の下面側に押し付けられる静電チャック１２により、フレキシブルプリント配線板３８とプリント基板３９とが保持手段２９に貼着にて保持されている形態を下方から見た状態で示している。
【０２２３】
図７０で示したように、センサーシート体４やディスプレイシート体５が有するフレキシブルプリント配線板３８とプリント基板３９とは、凸体２２の保持手段２９の領域に対応するように形成されている。静電チャック１２に静電吸着された状態で、真空吸引手段２４の真空吸着の作用を受けたり、また、静電チャック１２の下面側から加圧ローラー１３、１３の押し上げの作用を受けることで、前記保持手段２９が、フレキシブルプリント配線板３８とプリント基板３９とを着脱可能に保持（貼着）するように設けられている。
【０２２４】
勿論、保持手段２９がフレキシブルプリント配線板３８とプリント基板３９とを着脱可能に保持する形態は、貼り合わせ用のシート体２に対する保持と同様に静電チャック１２の静電吸着が解除された後も継続する。そのため、静電チャック１２が真空ジャンバー１１の外に退避したときに、フレキシブルプリント配線板３８とプリント基板３９が下方に垂れ下がる状態となるのを、確実に防止することができるという効果を奏するものである。
【０２２５】
実施の形態では、曲面透明薄板として、曲面を呈するガラス薄板を挙げて説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、前記曲面透明薄板は、他の素材として、例えば、透明な合成樹脂製の薄板を採用することも可能である。
【符号の説明】
【０２２６】
Ａ…積層体製造装置
１…曲面透明薄板
２…シート体
３…貼り合わせ用のシート体
３ａ…透明光学粘着フィルム
３ｂ…保護フィルム
４…センサーシート体
４ａ…透明センサーシート
４ｂ…保護フィルム
５…ディスプレイシート体
５ａ…フレキシブルディスプレイシート
５ｂ…保護フィルム
６…真空貼り合わせ部
７…シート体準備部
８…上ステージ
９…下ステージ
１０…搬出入用開口部
１１…真空チャンバー
１２…静電チャック
１３…加圧ローラー
１４…通電回路
１５…ポリイミドフィルム層
１６…ゴム製基材層
１７…静電チャックフォルダー
１８…ステージ基盤
１９…凹所
２０…凸型基材
２１…空気不透過膜材
２２…凸体
２３…凸体圧力制御部
２４…真空吸引手段
２５…補強板
２６…ステージ基盤
２７…積層体受け
２８…静電チャック支持台
２９…保持手段
３０…デバイス有効領域
３１…微粘着領域
３２…支承ステー
３３…支承ステー
３４…撮像カメラ
３５…閉じた空間
３６…真空ポンプ
３７…押圧力
３８…フレキシブルプリント配線板
３９…プリント基板
ａ…重ね合わせ状態物
ｂ…積層体受け載置部材
ｃ…積層体
ｄ…凸体下重ね部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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【図５７】
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【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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【図６３】
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【図６４】
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【図６５】
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【図６６】
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【図６７】
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【図６８】
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【図６９】
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【図７０】
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