(57)【要約】【課題】高い流量と高い圧力を生じるポンプを実現する。【解決手段】ポンプ１０は、平板２０、平板３０、圧電素子４１、振動規制部材５０、支持部材８２、および、ポンプ室１００を備える。圧電素子４１は、平板２０の主面２１に配置されている。ポンプ室１００は、平板２０、平板３０、側壁部材８３によって囲まれる空間からなる。振動規制部材５０は、平板３０の内縁に接続されており、所定の質量を有する。支持部材８２は、第２板の第４主面側に配置され、平板３０の外縁を支持している。平板３０は、振動規制部材５０への接続部分と支持部材８２への接続部分との間に、ベンディング振動が可能な振動領域３００を有する。この振動領域３００は、平板２０の振動領域の直径における外縁側の略１／３の領域に重なっている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面と第２主面とを有する第１板と、
前記第１板の前記第１主面に配置され、前記第１板を振動させる駆動体と、
互いに対向する第３主面と第４主面とを有する第２板と、
前記第１板、前記第２板、側壁部材によって囲まれる空間からなり、前記第１板の外周の第１孔および前記第２板の中央領域の第２孔を介して外部に連通するポンプ室と、
前記第２板の前記第４主面側に配置され、前記第２板の外縁を支持する支持部材と、
前記第２板の前記第４主面側に配置され、前記第２板における前記第２孔の外縁部に接続された振動規制部材と、
を備え、
前記第２板は、前記支持部材への接続部分と前記振動規制部材への接続部分との間に、前記第１板の振動時において、前記第３主面および前記第４主面に直交する方向に振動可能な受動振動領域を有し、
前記受動振動領域は、前記第１板の振動領域の直径における外縁側の略１／３の領域に重なっている、
ポンプ。
【請求項２】
前記第２板の前記第４主面側に、前記第２板から離間して配置されたベース部材を備え、
前記支持部材および前記振動規制部材は、前記ベース部材に接続されている、
請求項１に記載のポンプ。
【請求項３】
前記第２板の前記第４主面側に、前記第２板から離間して配置されたベース部材を備え、
前記支持部材は、前記ベース部材に接続されており、
前記振動規制部材は、前記ベース部材に接続されていない、
請求項１に記載のポンプ。
【請求項４】
前記支持部材は、前記ベース部材に対して変位可能に接続されている、
請求項２または請求項３に記載のポンプ。
【請求項５】
前記支持部材は、弾性体を介して前記ベース部材に接続されている、
請求項４に記載のポンプ。
【請求項６】
前記支持部材は、前記変位を可能にする弾性を有する部分を備える、
請求項４または請求項５に記載のポンプ。
【請求項７】
前記第１板は、円形である、
請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のポンプ。
【請求項８】
前記第２板における前記振動領域は、円環形である、
請求項７に記載のポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、屈曲振動を用いて流体を搬送するポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、特許文献１に示す構造を有するポンプがある。特許文献１に示すポンプは、内部空間を有する筐体と、アクチュエータとを備える。
【０００３】
アクチュエータは、平板状であり、筐体の内部空間に、筐体の１つの壁に対向して配置されている。アクチュエータが対向する壁は、中央部の厚みが薄く、受動振動板として機能する。受動振動板の中央には、吸気口が設けられている。また、アクチュエータの外縁には開口があり、排気口となっている。
【０００４】
アクチュエータが振動すると、アクチュエータと受動振動板との間のポンプ室の圧力変化によって、受動振動板が振動する。吸気と排気は、これらアクチュエータの振動と受動振動板の振動との組合せによって実現される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５１７７３３１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に示すようなポンプでは、受動振動板の面積を大きくできない等の理由によって、高い流量や高い圧力を得難い。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、従来構成よりも高い流量と高い圧力を実現可能なポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明のポンプは、第１板、駆動体、第２板、ポンプ室、支持部材、および、振動規制部材を備える。第１板は、第１主面と第２主面とを有する。駆動体は、例えば、圧電素子からなり、第１板の第１主面に配置され、第１板を振動させる。第２板は、互いに対向する第３主面と第４主面とを有する。ポンプ室は、第１板、第２板、側壁部材によって囲まれる空間からなり、第１板の外周の第１孔および第２板の中央領域の第２孔を介して外部に連通している。支持部材は、第２板の第４主面側に配置され、第２板の外縁を支持している。振動規制部材は、第２板の第４主面側に配置され、第２板における第２孔の外縁部に接続されている。第２板は、支持部材への接続部分と振動規制部材への接続部分との間に、第１板の振動時において、第３主面および第４主面に直交する方向に振動可能な受動振動領域を有する。この受動振動領域は、第１板の振動領域の直径における外縁側の略１／３の領域（第１板の振動領域の中心と外縁とを両端とする区間（半径）において、外縁側の略２／３の領域）に重なっている。
【０００９】
この構成では、駆動体によって、第１板が振動すると、この振動によるポンプ室内の圧力変化によって、第２板の振動領域が振動する。この際、第２の振動領域の振動は、第１板の振動に対して、同じ周波数で逆相となる。これにより、流体の流れが進行波と同様になり、第２孔からポンプ室内に流入し、ポンプ室内を中心から外縁方向へ搬送され、第１穴から吐出される。この際、第２板の振動領域が、第１板の外周側の略１／３と略同じ面積になるので、進行波を生じる領域を大きくでき、流量および圧力が向上する。
【００１０】
また、この発明のポンプは、次の構成であってもよい。ポンプは、ベース部材を備える。ベース部材は、第２板の第４主面側に、第２板から離間して配置されている。支持部材および振動規制部材は、ベース部材に接続されている。
【００１１】
この構成では、第２板の中央領域と外縁がベース部材に固定されるので、第２板の振動が安定し易い。
【００１２】
また、この発明のポンプは、次の構成であってもよい。ポンプは、第２板の第４主面側に、第２板から離間して配置されたベース部材を備える。支持部材は、ベース部材に接続されている。振動規制部材は、ベース部材に接続されていない。
【００１３】
この構成では、第２板における振動規制部材が接続される領域において、微小振動が生じる。この微小振動によるエネルギーは、振動領域に与えられ、振動領域の振幅が増大する。これにより、流量および圧力が更に向上する。
【００１４】
また、この発明のポンプでは、支持部材は、ベース部材に対して変位可能に接続されていてもよい。
【００１５】
この構成では、第２板における支持部材が接続される領域において、微小振動が生じる。この微小振動によるエネルギーは、振動領域に与えられ、振動領域の振幅が増大する。これにより、流量および圧力が更に向上する。
【００１６】
また、この発明のポンプでは、支持部材は、弾性体を介してベース部材に接続されていてもよい。
【００１７】
この構成では、支持部材をベース部材に変位可能に接続する構成が、簡単な構成で実現される。
【００１８】
また、この発明のポンプでは、支持部材は、変位を可能にする弾性を有する部分を備えていてもよい。
【００１９】
この構成では、支持部材に変位が可能な箇所が設けられる。これにより、支持部材がベース部材に対して変位しないように固定しても、支持部材の変位可能な接続が実現される。
【００２０】
また、この発明のポンプでは、第１板は、円形であることが好ましい。
【００２１】
この構成では、第１板が効率的に振動する。したがって、ポンプの効率が向上し、流量および圧力の向上に繋がる。
【００２２】
また、この発明のポンプでは、第２板における振動領域は、円環形であることが好ましい。
【００２３】
この構成では、第２板が効率的に振動する。したがって、ポンプの効率が向上し、流量および圧力の向上に繋がる。
【発明の効果】
【００２４】
この発明によれば、従来構成よりも高い流量と高い圧力とを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るポンプの構成を示す側面断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るポンプの構成を示す分解斜視図である。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係るポンプの挙動を説明する側面断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係るポンプの構成を示す側面の断面図である。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の第２の実施形態に係るポンプの挙動を説明する側面断面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係るポンプの構成を示す側面の断面図である。
【図７】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の第３の実施形態に係るポンプの挙動を説明する側面断面図である。
【図８】本発明の第４の実施形態に係るポンプの構成を示す側面の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明の第１の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係るポンプの構成を示す側面の断面図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係るポンプの構成を示す分解斜視図である。
【００２７】
図１、図２に示すように、ポンプ１０は、平板２０、平板３０、圧電素子４１、振動規制部材５０、ベース部材８１、支持部材８２、および、側壁部材８３を備える。
【００２８】
平板２０は、互いに対向する主面２１（本発明の「第１主面」に対応する。）と主面２２（本発明の「第２主面」に対応する。）とを有する。平板２０は、所定の材料、厚み、および、径からなる円板である。平板２０の材料、厚み、および、径は、平板２０が圧電素子４１によって振動する際の共振周波数に基づいて設定されている。平板２０が、本発明の「第１板」に対応し、圧電素子４１が、本発明の「駆動体」に対応する。
【００２９】
なお、平板２０は、主たる振動領域が円形であれば、外形形状は、円形に限らず、略円形、正多角形を含む略正多角形であってもよい。これにより、平板２０における振動が中心軸ＰＯに対して軸対称に伝わるため、流体搬送のエネルギー損失を小さくできる。特に、平板２０が円形の場合、最も効果的に流体搬送のエネルギー損失を小さくできる。
【００３０】
圧電素子４１は、平板２０の主面２１に配置されている。圧電素子４１は、円板である。図示を省略しているが、圧電素子４１は、円柱形の圧電体と、一対の駆動用電極とからなる。一対の駆動用電極の一方は、圧電体の一方主面に配置され、一対の駆動用電極の他方は、圧電体の他方主面に配置されている。この際、平面視において、圧電素子４１の中心と平板２０の中心とは略一致している。
【００３１】
平板２０の外縁ＯＥ２０よりも外方には、固定用部材２２０が配置されている。固定用部材２２０は、円環形である。固定用部材２２０の内周面と平板２０の外縁ＯＥ２０とは、弾性部材２０１によって接続されている。また、固定用部材２２０の内周面と平板２０の外縁ＯＥ２０と間には、孔２１０が形成されている。孔２１０は、本発明の「第１孔」に対応する。孔２１０は、平板２０の外縁ＯＥ２０の全周に亘って離散的に形成されている。例えば、平板２０と固定用部材２２０とは、一枚の板からなり、平板２０の外縁ＯＥ２０と固定用部材２２０の内周面との間の領域を貫通する孔を複数設けることによって孔２１０が形成される。そして、平板２０の外縁ＯＥ２０と固定用部材２２０の内周面との間の領域における孔２１０が形成されずに残った部分は、弾性部材２０１となる。この構成によって、平板２０は、外縁ＯＥ２０が振動可能な状態で、固定用部材２２０に保持される。
【００３２】
平板３０は、互いに対向する主面３１（本発明の「第３主面」に対応する。）と主面３２（本発明の「第４主面」に対応する。）とを有する。平板３０は、所定の材料、厚み、および、径からなる円板である。平板３０の材料、厚み、および、径は、平板３０の共振周波数と平板２０の共振周波数とが一致するように設定されている。平板３０が、本発明の「第２板」に対応する。
【００３３】
平板３０は、平板２０に対して、所定距離で離間して配置されている。より具体的には、平板３０の主面３１と平板２０の主面２２とは、互いに対向しており、主面３１と主面２２とは平行であり、主面３１と主面２２との距離が、上記所定距離である。平板３０の中心軸と平板２０の中心軸とは一致している。
【００３４】
平板３０は、中心軸ＰＯを含むように、主面３１から主面３２に貫通する孔３１０を有する。孔３１０は、主面３１および主面３２の平面視において円形の円筒形であり、孔３１０の直径は、平板２０の直径Φの１／３よりも小さい。
【００３５】
なお、平板３０は、後述する振動領域３００が円環形であれば、外形形状は、円形に限らず、略円形、正多角形を含む略正多角形であってもよい。これにより、平板３０における振動が中心軸ＰＯに対して軸対称に伝わるため、流体搬送のエネルギー損失を小さくできる。特に、平板３０が円形の場合、最も効果的に流体搬送のエネルギー損失を小さくできる。
【００３６】
側壁部材８３は、円環形である。側壁部材８３は、所定の剛性を有する。側壁部材８３の底面は、平板３０の外縁に沿って、平板３０の主面３１に接合している。側壁部材８３の天面は、固定用部材２２０の底面（平板２０の主面２２側と同じ側の面）に接合している。
【００３７】
このような構成によって、ポンプ１０のポンプ室１００は、平板２０、平板３０、および、側壁部材８３によって囲まれる空間によって実現される。そして、ポンプ室１００は、孔２１０によって、ポンプ１０における平板２０側の外部に連通している。また、ポンプ室１００は、孔３１０と、後述の孔５１０および孔８１０とによって、ポンプ１０における平板３０側（ベース部材８１側）の外部に連通している。
【００３８】
振動規制部材５０は、円環形であり、円筒形の孔５１０を有する。孔５１０の径は、平板３０の孔３１０の径と同じである。振動規制部材５０の天面は、平板３０の主面３２における内縁側の領域に接合している。振動規制部材５０は、円環の放射方向に所定の幅を有する。すなわち、この幅において、振動規制部材５０は、平板３０の主面３２に当接、接合している。振動規制部材５０の孔５１０は、平板３０の孔３１０に連通している。
【００３９】
支持部材８２は、円環形であり、円筒形の孔８２０を有する。孔８２０の径は、平板３０の後述の振動領域３００の外径に基づいて設定されている。支持部材８２の天面は、平板３０の主面３２の外縁側の領域に接合している。支持部材８２は、円環の放射方向に所定の幅を有する。すなわち、この幅において、振動規制部材５０は、平板３０の主面３２に当接、接合している。
【００４０】
ベース部材８１は、円環形であり、円筒形の孔８１０を有する。孔８１０の径は、平板３０の孔３１０の径、および、振動規制部材５０の孔５１０の径と同じである。ベース部材８１の天面は、振動規制部材５０の底面および支持部材８２の底面に接合している。ベース部材８１は、所定の剛性を有する。
【００４１】
ベース部材８１の孔８１０は、振動規制部材５０の孔５１０に連通している。そして、これら孔８１０、孔５１０、および、孔３１０によって、本発明の「第２孔」が形成される。すなわち、ポンプ室１００は、第２孔によって、ポンプ１０におけるベース部材８１側の外部に連通している。
【００４２】
この構成では、ベース部材８１に接合された振動規制部材５０によって、平板３０の内縁ＩＥ３０が固定され、同じくベース部材８１に接合された支持部材８２によって、平板３０の外縁ＯＥ３０が固定される。これにより、平板３０は、放射方向において、振動規制部材５０に接合する内縁側領域と、支持部材８２に接合する外縁側領域との間に、振動可能な、円環形の振動領域３００を有する。そして、振動領域３００は、平板２０における直径の外縁側の略１／３の領域に対向している。言い換えれば、振動領域３００は、平板２０における振動領域の中心と外縁とを両端とする区間（半径）において、外縁側の略２／３の領域に対向している。
【００４３】
このような構成からなるポンプ１０は、次に示すように動作し、流体を搬送する。図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係るポンプの挙動を説明する側面断面図である。
【００４４】
圧電素子４１に所定の周波数の駆動信号を印加すると、図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すように、平板２０は、所定の共振周波数でベンディング振動を生じる。平板２０の外縁ＯＥ２０は、振動可能に保持されている。このため、平板２０の振動の腹は、中心軸ＰＯの位置である。平板２０の振動の節は、中心軸ＰＯから放射方向（中心軸ＰＯから外縁ＯＥ２０に向かう方向）において、中心軸ＰＯから平板２０の半径（直径Φ／２）の略２／３の位置になる。言い換えれば、平板２０の振動の節は、平板２０における直径Φの外周側の１／３の領域の略中心位置となる。
【００４５】
平板２０がベンディング振動すると、当該ベンディング振動によるポンプ室１００の圧力変動によって、平板３０が受動的にベンディング振動を生じる。上述のように、平板２０と平板３０とは、共振周波数を一致させている。したがって、平板２０のベンディング振動に対して、ポンプ室１００の圧力変動を介して、平板３０が受動的にベンディング振動することによって、平板２０のベンディング振動と平板３０のベンディング振動との時間的な位相差は、約９０°となる。
【００４６】
具体的に、図３（Ａ）に示すように、平板２０が主面２１側に凸となる時、振動領域３００は、主面３２側に凸となる。一方、図３（Ｂ）に示すように、平板２０が主面２２側に凸となる時、振動領域３００は、主面３１側に凸となる。
【００４７】
また、平板３０では、振動領域３００の内縁と外縁とが固定されている。したがって、平板３０の振動領域３００は、両端を固定端とするベンディング振動を生じる。これにより、振動領域３００の内縁および外縁は、振動領域３００の振動の節となり、中心軸ＰＯから平板３０（振動領域３００）の放射方向における内端と外縁との中間位置は、振動領域３００の振動の腹となる。
【００４８】
ここで、平板２０における直径Φの外周側の１／３の領域と、振動領域３００とは対向している。したがって、平板２０のベンディング振動の節の位置と、振動領域３００のベンディング振動の腹の位置とは、重なる。平板２０のベンディング振動と平板３０のベンディング振動との放射方向での空間的な位相差は、略９０°となる。
【００４９】
具体的に、図３（Ａ）に示すように、平板２０において中心軸ＰＯの位置で主面２１側に凸となる時、振動領域３００は、振動領域３００の放射方向の中心（平板２０の節に重なる位置）で主面３２側に凸となる。一方、図３（Ｂ）に示すように、平板２０において中心軸ＰＯの位置で主面２２側に凸となる時、振動領域３００は、振動領域３００の放射方向の中心（平板２０の節に重なる位置）で主面３１側に凸となる振動を生じる。
【００５０】
平板２０のベンディング振動と平板３０のベンディング振動とが、上述のように、空間的な位相差が略９０°となり、時間的な位相差が略９０°となることによって、ポンプ室１００内には、中心軸ＰＯから外縁に向かう流体の蠕動運動（流体の進行波）が生じる。これにより、ポンプ１０は、孔８１０、孔５１０、および、孔３１０からなる第２孔から、流体を外部から吸入し、ポンプ室１００内を中心から外縁方向に流体を搬送し、孔２１０からなる第１孔から、流体を外部に吐出する。
【００５１】
そして、ポンプ１０の構成では、振動領域３００の面積を、平板２０の直径の外縁側の略１／３の領域の面積と同じにしている。これにより、ポンプ１０では、従来構成よりも、振動領域３００の面積を大きくでき、ポンプ１０の流量および圧力は、向上する。
【００５２】
また、ポンプ１０では、平板３０の両端が振動しないように固定されているので、振動領域３００の振動が安定し易い。
【００５３】
次に、本発明の第２の実施形態にポンプについて、図を参照して説明する。図４は、本発明の第２の実施形態に係るポンプの構成を示す側面の断面図である。
【００５４】
図４に示すように、第２の実施形態に係るポンプ１０Ａは、第１の実施形態に係るポンプ１０に対して、振動規制部材５０Ａの形状において異なる。ポンプ１０Ａの他の構成は、ポンプ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
【００５５】
振動規制部材５０Ａの高さ（厚み）は、支持部材８２の高さ（厚み）よりも小さい。振動規制部材５０Ａは、平板３０の主面３２に接合されているが、ベース部材８１には接合されていない。
【００５６】
このような構成では、平板３０における振動規制部材５０Ａが接合されている領域も、平板２０の振動によって、振動領域３００とともに受動振動を生じる。図５（Ａ）および図５（Ｂ）は、本発明の第２の実施形態に係るポンプの挙動を説明する側面断面図である。
【００５７】
図５（Ａ）、図５（Ｂ）に示すように、平板２０がベンディング振動を生じると、振動領域３００と、平板３０における振動規制部材５０Ａが接合されている領域とが、一体となってベンディング振動を生じる。
【００５８】
ここで、振動規制部材５０Ａの質量は、振動領域３００における平板３０の質量以上である。これにより、平板３０における振動規制部材５０Ａが接合されている領域の振動は抑圧されて、微小振動となる。このため、抑圧された振動エネルギーは、振動領域３００の振動エネルギーとなり、振動領域３００の振幅は増大する。したがって、ポンプ１０と比較して、ポンプ１０Ａの流量および圧力は、更に向上する。
【００５９】
なお、ポンプ１０Ａでは、ベース部材８１に設けられた孔８１０Ａが中心軸ＰＯに重なっていない。より具体的には、孔８１０Ａは、複数であり、複数の孔８１０Ａは、中心軸ＰＯの位置を中心点とする所定の直径からなる円上に、所定の距離を空けて配列されている。この構成では、孔８１０Ａは、支持部材８２の孔８２０を外部に連通する。そして、孔８１０Ａは、孔８２０を介して、振動規制部材５０Ａの孔５１０Ａに連通している。これにより、ポンプ室１００の中心の開口が、ポンプ１０Ａの外部に直接露出しない。したがって、外部からの異物がポンプ室１００内に直接吸入されることを抑制でき、ポンプ１０Ａの信頼性は向上する。
【００６０】
次に、本発明の第３の実施形態にポンプについて、図を参照して説明する。図６は、本発明の第３の実施形態に係るポンプの構成を示す側面の断面図である。
【００６１】
図６に示すように、第３の実施形態に係るポンプ１０Ｂは、第２の実施形態に係るポンプ１０Ａに対して、支持部材８２Ｂの形状、および、支持部材８２Ｂのベース部材８１への固定構造において異なる。ポンプ１０Ｂの他の構成は、ポンプ１０Ａと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。なお、振動規制部材５０Ｂは、振動規制部材５０Ａと同じであり、振動規制部材５０Ｂの孔５１０Ｂも振動規制部材５０Ａの孔５１０Ａと同じである。
【００６２】
支持部材８２Ｂは、底面に突起８２１を有する。突起８２１はベース部材８１の表面に当接している。また、支持部材８２Ｂの底面における突起８２１の周囲は、弾性体からなる接着剤８５によって接着されている。これにより、支持部材８２Ｂは、ベース部材８１に対して変位可能に接続される。
【００６３】
このような構成では、平板３０における支持部材８２Ｂが接合されている領域も、平板２０の振動によって、振動領域３００とともに受動振動を生じる。図７（Ａ）および図７（Ｂ）は、本発明の第３の実施形態に係るポンプの挙動を説明する側面断面図である。
【００６４】
図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示すように、平板２０がベンディング振動を生じると、振動領域３００と、平板３０における振動規制部材５０Ａが接合されている領域と、平板３０における支持部材８２Ｂが接合されている領域とが、一体となってベンディング振動を生じる。
【００６５】
ここで、支持部材８２Ｂの質量は、振動領域３００の質量よりも大きい。これにより、平板３０における支持部材８２Ｂが接合されている領域の振動は抑圧される。このため、抑圧された振動エネルギーは、振動領域３００に与えられ、振動領域３００の振幅は増大する。したがって、ポンプ１０Ａと比較して、ポンプ１０Ｂの流量および圧力は、更に向上する。
【００６６】
また、この構成では、平板２０の振動がベース部材８１に漏洩することも抑制できる。したがって、ポンプ１０Ｂは、振動のためのエネルギー効率を向上できる。
【００６７】
なお、突起８２１は、図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示すように、平板３０の振動の外縁側の節の位置に重なっていることが好ましい。これにより、突起８２１とベース部材８１との当接部によって平板３０の振動が減衰してしまうことを抑制できる。したがって、ポンプ１０Ｂは、流量、圧力、およびエネルギー効率を更に向上できる。この際、突起８２１の放射方向に沿った長さは、できる限り短いことが好ましい。もしくは、突起８２１は、断面形状が逆三角形であり、その突出する頂点の位置と節とが一致することが好ましい。
【００６８】
また、ポンプ１０Ｂでは、支持部材８２Ｂに突起８２１を備えているが、突起８２１を省略することも可能である。すなわち、ポンプ１０Ａにおける支持部材８２の底面を、弾性体からなる接着剤８５によって、ベース部材８１に接着してもよい。
【００６９】
次に、本発明の第４の実施形態にポンプについて、図を参照して説明する。図８は、本発明の第４の実施形態に係るポンプの構成を示す側面の断面図である。
【００７０】
図８に示すように、第４の実施形態に係るポンプ１０Ｃは、第２の実施形態に係るポンプ１０Ａに対して、支持部材８２Ｃの形状において異なる。ポンプ１０Ｃの他の構成は、ポンプ１０Ａと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。なお、振動規制部材５０Ｃは、振動規制部材５０Ａと同じであり、振動規制部材５０Ｃの孔５１０Ｃも振動規制部材５０Ａの孔５１０Ａと同じである。
【００７１】
支持部材８２Ｃは、高さ（厚み）方向の途中位置に、所定の高さのスリット８２２を有する。すなわち、支持部材８２Ｃは、高さ（厚み）方向の途中位置に、他の位置に対して面積の小さな部分を有する。これにより、支持部材８２Ｃは、自身で弾性を有する部分を構成する。したがって、支持部材８２Ｃにおける平板３０に当接する面の近傍部は、ベース部材８１に対して変位可能に接続される。
【００７２】
このような構成によって、ポンプ１０Ｃでは、ポンプ１０Ｂと同様に、平板３０における支持部材８２Ｃが接合されている領域が振動しながら、当該領域の振動は抑圧される。このため、抑圧された振動エネルギーは、振動領域３００に与えられ、振動領域３００の振幅は増大する。したがって、ポンプ１０Ｂと同様に、ポンプ１０Ａと比較して、ポンプ１０Ｃの流量および圧力は、更に向上する。
【００７３】
また、この構成では、平板２０の振動がベース部材８１に漏洩することも抑制できる。したがって、ポンプ１０Ｃは、振動のためのエネルギー効率を向上できる。
【００７４】
また、この構成では、支持部材８２Ｃとベース部材８１との接合に弾性体を介する必要が無く、支持部材８２Ｃとベース部材８１との接合の密着度および信頼性は向上する。
【００７５】
なお、上述の各実施形態では、平板３０の内縁ＩＥ３０と振動規制部材５０（振動規制部材５０Ａ、振動規制部材５０Ｂ、振動規制部材５０Ｃ）の内周端とは、面一であるが、これらは所定の範囲内でズレていてもよい。例えば、平板３０の内縁ＩＥ３０は、振動規制部材５０（振動規制部材５０Ａ、振動規制部材５０Ｂ、振動規制部材５０Ｃ）の内周端よりも中心側に突出していてもよい。この際、この突出する部分において生じる振動が振動規制部材５０（振動規制部材５０Ａ、振動規制部材５０Ｂ、振動規制部材５０Ｃ）によって十分に抑制される程度であればよい。
【００７６】
また、上述の各実施形態に係るポンプの構成は、それぞれ部分的に、適宜組み合わせることが可能であり、それぞれの組合せに応じた作用効果を奏することができる。
【００７７】
また、上述の各実施形態に係るポンプは、例えば、血圧計、搾乳器、陰圧閉鎖療法装置等に利用可能である。そして、上述の各実施形態に係るポンプを用いることによって、血圧計、搾乳器、陰圧閉鎖療法装置等の装置性能は向上する。
【符号の説明】
【００７８】
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ：ポンプ
２０：平板
２１、２２：平板２０の主面
３０：平板
３１、３２：平板３０の主面
４１：圧電素子
５０、５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ：振動規制部材
８１：ベース部材
８２、８２Ｂ、８２Ｃ：支持部材
８３：側壁部材
８５：接着剤
１００：ポンプ室
２０１：弾性部材
２１０、３１０、５１０、５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ｃ、８１０、８１０Ａ、８２０：孔
２２０：固定用部材
３００：振動領域
８２１：突起
８２２：スリット
ＩＥ３０：平板３０の内縁
ＯＥ２０：平板２０の外縁
ＯＥ３０：平板３０の外縁
ＰＯ：中心軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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