(57)【要約】【課題】ベルトコンベヤの上の基板の端材の分断を精度良く行う。【解決手段】基板分断装置１は、ベルトコンベヤ装置３と、第１のブレイクバー１１と、敷板２１とを備えている。ベルトコンベヤ装置３は、本体１０６ａ、１０６ｂと端材１０７ａ、１０７ｂとの間に端部スクライブラインＳ１、Ｓ２が形成された基板１００を搬送する。第１のブレイクバー１１は、ベルトコンベヤ装置３の上方に配置され、下降して基板１００に衝突することで端部スクライブラインＳ１、Ｓ２を分断する。敷板２１は、基板１００の端材に対応する位置においてベルトコンベヤ装置３の上側搬送部３ａの下面に当接又は近接して配置されることで、基板１００の下方に隙間２９を確保する。敷板２１の基板の本体側の端面２５ａに、交差スクライブラインＳ３、Ｓ４に対応する切欠きが形成されることで、交差スクライブラインＳ３、Ｓ４を分断する際に敷板２１が第２のブレイクバー１１と緩衝することを回避する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と端材との間に端部スクライブラインが形成され、前記端部スクライブラインと交差する交差スクライブラインが形成された基板を搬送するベルトコンベヤ装置と、
前記ベルトコンベヤ装置の上方に配置され、前記基板に衝撃力を与えることで前記端部スクライブラインを分断するための第１のブレイクバーと、
前記基板の端材に対応する位置において前記端部スクライブラインに沿って前記ベルトコンベヤ装置の上側搬送部の下面に当接又は近接して配置されることで、前記基板の下方に隙間を確保する敷板と、
を備え、
前記敷板の前記本体側の端面に、前記交差スクライブラインに対応する切欠きが形成された基板分断装置。
【請求項２】
前記ベルトコンベア装置の上方に配置され、前記基板に衝撃力を与えることで前記交差スクライブラインを分断するための第２のブレイクバーを備えた請求項１に記載の基板分断装置。
【請求項３】
前記敷板の前記端面は、前記基板の前記端部スクライブラインに平行である、請求項１又は２に記載の基板分断装置。
【請求項４】
前記端面は前記端部スクライブラインから離れており、前記隙間を形成している、請求項１〜３のいずれかに記載の基板分断装置。
【請求項５】
前記基板は２枚の基板からなる貼り合わせ基板であり、
下側の基板の端部スクライブラインを分断する際には、前記端面が前記端部スクライブラインより外側になるように、前記敷板が配置され、
上側の基板の端部スクライブラインを分断する際には、前記端面が前記端部スクライブラインより内側になるように、前記敷板が配置される、請求項１〜４のいずれかに記載の基板分断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板分断装置に関し、特に、基板の端材を本体から分断する基板分断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に液晶パネルの製造工程では、製造単位となる複数の単位表示パネル（単位基板）がパターニングされた大面積の貼り合わせガラス基板（マザー基板）を製造し、次にそれを単位表示パネルごとに分割する。具体的には、上下一対のカッターホイールを用いて、マザー基板に対して上下方向から２面同時にスクライブを行い、次に２面同時に分離することで、単位表示パネルごとに分割する。単位表示パネル同士の間には余分な部分が設けられており、これらが分断後には端材となる。
【０００３】
端材の処理としては、チャック部材で端材を把持し、引き離す方向にチャックを移動させて、端材を下方に設けた端材集積容器に落下させる方法が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２００２／０５７１９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年では、基板をベルトコンベヤの上で分割することが行われている。しかし、端材を分断するに当たってブレイクバーが基板に衝突すると、基板がベルトとともに撓んでしまい、そのため端部スクライブライン（基板の本体（単位基板）と端材との間に形成されたスクライブライン）の分断の精度が低下することが考えられる。
しかし、従来では、そのような問題を解決するための技術は提案されていない。
【０００６】
本発明の目的は、ベルトコンベヤの上の基板の端材の分断を精度良く行うことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。
【０００８】
本発明の一見地に係る基板分断装置は、ベルトコンベヤ装置と、第１のブレイクバーと、敷板とを備えている。
ベルトコンベヤ装置は、本体と端材との間に端部スクライブラインが形成され、前記端部スクライブラインと交差する交差スクライブラインが形成された基板を搬送する。
第１のブレイクバーは、ベルトコンベヤ装置の上方に配置され、基板に衝撃力を与えることで前記端部スクライブラインを分断する。
敷板は、基板の端材に対応する位置において端部スクライブラインに沿ってベルトコンベヤ装置の上側搬送部の下面に当接又は近接して配置されることで、基板の下方に隙間を確保する。敷板の基板の本体側の端面に、交差スクライブラインに対応する切欠きが形成されることで、交差スクライブラインを分断する際に敷板が第１のブレイクバーと緩衝することを回避する。
この装置では、敷板によってベルトコンベヤ装置の上側搬送部の下方に隙間が確保されるので、ベルトコンベヤ装置上に配置された基板に対して第１のブレイクバーが衝撃力を与えると、端部スクライブライン周辺に大きな応力が発生して、その結果、端部スクライブラインが精度良く分断される。
この装置では、交差スクライブラインを分断するための第２のブレイクバーを有していてもよい。また、第１のブレイクバーが水平面内で回転するようにし、第２のブレイクバーとしても機能するようにしてもよい。この装置では、交差スクライブラインを分断する際に第２のブレイクバーが基板の端材に対応する位置に配置された敷板の切欠きに対応する位置に当接するため、ブレイクバーと敷板との緩衝による分断不良を回避することができる。
なお、本発明とは異なり敷板がなければ、第１のブレイクバーが下降して端材を押し下げたとしても、端部スクライブライン周辺には十分に大きな曲げ応力が発生せず、したがって端部スクライブラインが精度良く分断されない可能性がある。また、敷板に切欠きがなければ、交差スクライブラインを分断する際に第２のブレイクバーが敷板に緩衝し、交差スクライブラインに沿って十分に大きな曲げ応力を発生させず、したがって交差スクライブラインが精度良く分断されない可能性がある。
【０００９】
この装置では、ブレイクバーが端材を押し下げると、スクライブラインに曲げ応力が作用する。
【００１０】
敷板の前記端面は、基板の端部スクライブラインに平行であってもよい。
この装置では、ブレイクバーが端材を押し下げると、端部スクライブライン全体に均等に曲げ応力が作用する。
【００１１】
前記端面は前記端部スクライブラインから離れており、上述の隙間を形成していてもよい。
この装置では、スクライブライン周辺に大きな応力が発生する。
【００１２】
基板は２枚の基板からなる貼り合わせ基板であってもよい。下側の基板の端部スクライブラインを分断する際には、端面が端部スクライブラインより外側になるように、敷板が配置されてもよい。上側の基板の端部スクライブラインを分断する際には、端面が端部スクライブラインより内側になるように、敷板が配置されてもよい。
この装置では、貼り合わせ基板の２枚の基板の端材を精度良く分断できる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る基板分断装置では、ベルトコンベヤの上の基板の端材の分断（端部スクライブラインに沿った分断）及び交差スクライブラインに沿った分断を精度良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態に係る基板分断装置の斜視図。
【図２】基板分断装置のベルトコンベヤ装置の部分平面図。
【図３】基板分断装置のベルトコンベヤ装置の部分斜視図。
【図４】敷板の斜視図。
【図５】基板分断動作を示す模式的断面図。
【図６】基板の模式的平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
１．第１実施形態
（１）基板分断装置
図１を用いて、第１実施形態の基板分断装置１を説明する。図１は、第１実施形態に係る基板分断装置の斜視図である。なお、各図において、矢印Ｘが第１水平方向であり、矢印Ｙが第２水平方向である。
【００１６】
基板分断装置１は、前段工程でスクライブライン（切溝）（端部スクライブラインＳ１、Ｓ２及び交差スクライブラインＳ３、Ｓ４を含む）が形成された基板１００（図５、図６）を、その端部スクライブラインＳ１、Ｓ２（及び交差スクライブラインＳ３、Ｓ４）の反対側の面から押圧して基板を撓ませることにより、端部スクライブラインＳ１、Ｓ２（及び交差スクライブラインＳ３、Ｓ４）に沿って基板１００を分断する装置である。
【００１７】
基板分断装置１は、ベルトコンベヤ装置３を有している。ベルトコンベヤ装置３は、基板１００を第２水平方向（Ｙ方向）に搬送可能である。ベルトコンベヤ装置３は、基板１００を載置するための上側搬送部３ａを有している。
基板分断装置１は、第１水平方向（Ｘ方向）に延びるビーム（横梁）９を有している。ビーム９は、ベルトコンベヤ装置３の上側搬送部３ａより上方の位置に配置され、スライド駆動機構（図示せず）によって、レール１５に沿って第２水平方向に移動可能である。
【００１８】
基板分断装置１は、第１のブレイクバー１１を有している。第１のブレイクバー１１は、ビーム９に保持され、例えば第２水平方向に沿って長く延びている。第１のブレイクバー１１は、ベルトコンベヤ装置３の上方に配置され、下降して基板１００に衝撃力を与えることで第１水平方向に形成された端部スクライブラインＳ１、Ｓ２を分断する。具体的には、第１のブレイクバー１１は基板１００の表面に接触した位置で静止させられ、この状態で第１のブレイクバー１１に衝撃部材としての錘（図示せず）を落下させ、その衝撃により基板１００を端部スクライブラインＳ１、Ｓ２に沿ってブレイクする。また、ブレイクバー１１自体の押圧による衝撃力で基板１００を端部スクライブラインＳ１、Ｓ２に沿ってブレイクするようにしてもよい。第１のブレイクバー１１は水平面内で回転可能とすることができ、第２水平方向に沿って延びた状態とし、第２水平方向に形成された交差スクライブラインＳ３、Ｓ４を分断するようにすることができる。また、第２水平方向に沿って延びている第１のブレイクバー１１とは別に、第１水平方向に沿って延びている第２のブレイクバーを有するようにし、第２のブレイクバーで第２水平方向に形成された交差スクライブラインＳ３、Ｓ４を分断するようにしてもよい。
【００１９】
基板１００は、図５に示すように、第１基板１０１及び第２基板１０２からなる貼り合わせガラスである。基板１００には、図６に示すように、端部スクライブラインＳ１、Ｓ２及び交差スクライブラインＳ３、Ｓ４が形成されている。第１基板１０１では、端部スクライブラインＳ１によって本体１０６ａと端材１０７ａが区画され、端部スクライブラインＳ１と交差する交差スクライブラインＳ３が形成されている。第２基板１０２では、端部スクライブラインＳ２によって本体１０６ｂと端材１０７ｂが区画され、端部スクライブラインＳ２と交差する交差スクライブラインＳ４が形成されている。端部スクライブラインＳ１と端部スクライブラインＳ２と及び交差スクライブラインＳ３と交差スクライブラインＳ４とは平面視で一致している。
基板分断装置１は、敷板２１を有している。敷板２１は、ベルトコンベヤ上の基板の交差スクライブラインの分断精度に悪影響を与えることなく端部スクライブライン分断精度を向上させるための部材である。敷板２１は、ベルトコンベヤ装置３の上側搬送部３ａの下方において、載置台２７の上面の上に配置されている。敷板２１は、端面２５ａを有している。端面２５ａは、第１基板１０１の端材１０７ａ、１０７ｂに対応する位置において、ベルトコンベヤ装置３の上側搬送部３ａの下面に当接又は近接して配置されている。端面２５ａには交差スクライブラインＳ３、Ｓ４に対応する切欠き２６が形成されている。
【００２０】
図２〜図４を用いて、敷板２１をさらに詳細に説明する。図２は、基板分断装置のベルトコンベヤ装置の部分平面図である。図３は、基板分断装置のベルトコンベヤ装置の部分斜視図である。図４は、敷板の斜視図である。
敷板２１は、ベルトコンベヤ装置３の第１方向両側に配置された一対の部材である。敷板２１は、基板の第１方向の片側又は両側の端材を分断するための部材である。各敷板２１は、載置台２７の上において、載置台２７に対して第１方向に所定範囲内の任意の位置に配置されている。載置台２７は、第２水平方向に所定の幅を有して、第１水平方向に長く延びる上面を有している。載置台２７の上面は平面であり、ベルトコンベヤ装置３の上側搬送部３ａの下方に近接して配置されている。
【００２１】
敷板２１は、第１部分２３と、第１部分２３の第１方向内側に形成された第２部分２５とを有している。第２部分２５は、前述の端面２５ａを有している。端面２５ａは、互いに対向する側に（第１水平方向の内側に）向いている。端面２５ａは、第２水平方向に直線状に延びている。敷板２１の端面２５ａ（基板の本体側の端面）には、端面２５ａから第２水平方向に延びる切欠き（交差スクライブラインに対応する切欠き）２６が形成されている。第２部分２５は、さらに、第２水平方向両側に延びる一対の細い延長部２５ｂを有している。つまり、端面２５ａの第２水平方向両側部分の第１水平方向外側は、板部材が切り欠かれた形状になっている。このため、敷板２１を軽量化でき、さらには材料費を低減できる。
【００２２】
さらに、第２部分２５は、延長部２５ｂの先端に折り曲げ部２５ｃを有している。折り曲げ部２５ｃは、延長部２５ｂ先端から下方に延びている。折り曲げ部２５ｃは、載置台２７の第２方向端面に当接又は近接している。これにより、敷板２１の載置台２７に対する第２方向への移動が制限される。
基板分断装置１は、敷板２１を図１の位置と他の位置との間で移動させる移動機構を有していてもよい。
【００２３】
（２）基板分断動作
図５を用いて、下側の基板の端部スクライブラインを分断する基板分断動作を説明する。図５は、基板分断動作を示す模式的断面図である。
図５において、基板１００では、端部スクライブラインＳ１、Ｓ２が第２水平方向に延びており、つまり端材１０７ａ及び１０７ｂが第１水平方向外側に配置されている。さらに、第１基板１０１が下側に配置されている。
【００２４】
敷板２１の端面２５ａは、端材１０７ａ、１０７ｂに対応するように、より具体的には端部スクライブラインＳ１より第１水平方向外側になるように配置されている。言い換えると、端面２５ａは、端部スクライブラインＳ１から第１方向外側に離れて配置されている。以上の結果、上側搬送部３ａの下方には、隙間２９が確保されている。具体的には、隙間２９は、本体１０６ａ、１０６ｂの下方及び端材１０７ａ、１０７ｂの下方の一部に形成されている。
【００２５】
図５に示すように、第１のブレイクバー１１が基板１００の端材１０７ａ、１０７ｂ又はその近傍を押し下げると、端部スクライブラインＳ１に曲げ応力が作用する。したがって、端部スクライブラインＳ１が精度良く分断される。なお、第１のブレイクバー１１が押す位置は、端部スクライブラインＳ１、Ｓ２に一致していてもよいし、そこから第１方向にずれていてもよい。
【００２６】
特に端面２５ａが基板１００の端部スクライブラインＳ１に平行であるので、第１のブレイクバー１１が端材１０７ａ、１０７ｂを押し下げると、端部スクライブラインＳ１全体に均等に曲げ応力が作用する。
【００２７】
図５に示すように、第１のブレイクバー１１が基板１００の端材１０７ａ、１０７ｂ又はその近傍を押し下げると、端部スクライブラインＳ２に曲げ応力が作用する。したがって、端部スクライブラインＳ２が精度良く分断される。なお、第１のブレイクバー１１が押す位置は、端部スクライブラインＳ１、Ｓ２より第１水平方向外側であること、つまり端材１０７ａ、１０７ｂであることが好ましい。
【００２８】
特に端面２５ａが基板１００の端部スクライブラインＳ１に平行であるので、第１のブレイクバー１１が端材１０７ａ、１０７ｂを押し下げると、端部スクライブラインＳ１全体に均等に曲げ応力が作用する。
【００２９】
２．他の実施形態
以上、本発明の複数の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
（１）敷板の変形例
敷板の平面形状、断面形状、厚み等は第１実施形態に限定されない。
敷板は第１水平方向に延びるように配置され、基板の第２水平方向片側又は両側にある端材を除去するのに用いられてもよい。
【００３０】
（２）基板の変形例
２枚の脆性材料基板を貼り合せた貼り合せ脆性材料基板には、ガラス基板を貼り合わせた液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、有機ＥＬディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルと、シリコン基板、サファイヤ基板等をガラス基板に貼り合わせた半導体基板とが含まれる。
基板の種類は特に限定されない。基板は、単板のガラス、半導体ウエハ、セラミック基板を含んでいる。
【００３１】
（３）スクライブラインの変形例
スクライブラインの形状は限定されない。前記実施形態ではスクライブラインは直線であったが、曲線を一部又は全てに有していてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明は、基板の端材を本体から分断する基板分断装置に広く適用できる。
【符号の説明】
【００３３】
１        ：基板分断装置
３        ：ベルトコンベヤ装置
３ａ      ：上側搬送部
１１      ：第１のブレイクバー
２１      ：敷板
２３      ：第１部分
２５      ：第２部分
２５ａ    ：端面
２５ｂ    ：延長部
２５ｃ    ：折り曲げ部
２６      ：切欠き
２７      ：載置台
２９      ：隙間
１００    ：基板
１０１    ：第１基板
１０２    ：第２基板
１０６ａ  ：本体
１０６ｂ  ：本体
１０７ａ  ：端材
１０７ｂ  ：端材
Ｓ１      ：端部スクライブライン
Ｓ２      ：端部スクライブライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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