(57)【要約】【課題】反りが生じた部材の反りを低減する、部材の反り矯正方法とそれを用いる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】反りが生じた部材の反り矯正方法は、部材の長手方向に沿って硬化型樹脂を配置する工程と、部材を矯正すべき状態に変形する工程と、部材を変形した状態で硬化型樹脂を硬化させる硬化工程と、を含む。【選択図】図２
2019119134.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反りが生じた部材の反り矯正方法において、
前記部材の長手方向に沿って硬化型樹脂を配置する工程と、
前記部材を矯正すべき状態に変形する工程と、
前記部材を変形した状態で前記硬化型樹脂を硬化させる硬化工程と、を含むことを特徴とする反り矯正方法。
【請求項２】
前記部材に前記硬化型樹脂を配置する溝を形成する工程をさらに含む請求項１に記載の反り矯正方法。
【請求項３】
前記硬化型樹脂は硬化後の状態で前記部材よりも線膨張係数が大きく、前記部材の反りの凸側となる面に配置される請求項１又は２に記載の反り矯正方法。
【請求項４】
前記硬化型樹脂は硬化後の状態で前記部材よりも線膨張係数が小さく、前記部材の反りの凹側となる面に配置される請求項１又は２に記載の反り矯正方法。
【請求項５】
前記部材の厚み中心より反りの凸側に存在する前記硬化型樹脂の厚さが、該厚み中心より反りの凹側に存在する前記硬化型樹脂の厚さより大きい請求項３に記載の反り矯正方法。
【請求項６】
前記部材の厚み中心より反りの凸側に存在する前記硬化型樹脂の厚さが、該厚み中心より反りの凹側に存在する前記硬化型樹脂の厚さより小さい請求項４に記載の反り矯正方法。
【請求項７】
前記硬化型樹脂は、熱硬化型又は紫外線硬化型である請求項１から６のいずれか一項に記載の反り矯正方法。
【請求項８】
前記硬化型樹脂は、流動性を有する請求項１から７のいずれか一項に記載の反り矯正方法。
【請求項９】
前記変形する工程は、前記部材を平坦な冶具に倣わせて変形する請求項１から８のいずれか一項に記載の反り矯正方法。
【請求項１０】
前記硬化工程時に、第２の部材を接着する請求項１から９のいずれか一項に記載の反り矯正方法。
【請求項１１】
前記硬化工程時に、前記第２の部材の反り矯正を同時に行う請求項１０に記載の反り矯正方法。
【請求項１２】
液体を供給する流路部材と、該流路部材の上に積層された液体吐出ノズル形成部材とを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
請求項１から９のいずれか一項に記載の部材の反り矯正方法を含み、該部材は該液体吐出ヘッドの該流路部材であることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
液体を供給する流路部材と、該流路部材の上に積層された液体吐出ノズル形成部材とを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
請求項１０又は１１に記載の部材の反り矯正方法を含み、該部材は該液体吐出ヘッドの該流路部材であり、前記第２の部材は該液体吐出ノズル形成部材であることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部材の反り矯正方法及び液体吐出ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の部材同士を接合する方法として接着が広く使用されている。反りを有する部材同士の接着においては、反りに起因する応力が接着部に加わる。通常は応力に耐えうる強度を有する接着剤を用いればよいが、インクジェットヘッドの流路部材など接着剤の強度を低下させる要因がある場合には、部材同士の接着部に剥離が生じやすくなる。
【０００３】
特許文献１では、第１及び第２の基板を接合する際に、接着剤に加わる応力が大きい部分は可とう性の大きな接着剤で接合し、接着剤に加わる応力が小さい部分は可とう性の小さな接着剤で接合するという方法が提案されている。これにより、基板の反りに起因する接着部分の剥離を防止することができ、基板同士を寸法精度良く接合することができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−５９９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示された技術では、可とう性が異なる複数の接着剤を使用することで剥離のリスクを低減できる。しかしながら、反りに起因する応力を有する状態で接着されるため、接着後に応力が残留し接着後の平面的な寸法精度（平面度）に影響を及ぼしてしまうおそれがある。したがって、特に反りやすい部材について、他の部材と接合した場合でも、接合した部材同士の剥離を抑制できるとともに、部材同士を寸法精度良く接合することができる反りの少ない部材が望まれている。
【０００６】
本発明は、反りが生じた部材の反りを低減する、部材の反り矯正方法とそれを用いる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明の一態様は、
反りが生じた部材の反り矯正方法において、
前記部材の長手方向に沿って硬化型樹脂を配置する工程と、
前記部材を矯正すべき状態に変形する工程と、
前記部材を変形した状態で前記硬化型樹脂を硬化させる硬化工程と、を含むことを特徴とする。
また、本発明の他の態様は、
液体吐出ヘッドの製造方法において、
液体を供給する流路部材と、該流路部材の上に積層された液体吐出ノズル形成部材とを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
上記の部材の反り矯正方法を含み、該部材は該液体吐出ヘッドの該流路部材であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
以上の構成によれば、反りが生じた部材の反りを低減する、部材の反り矯正方法とそれを用いる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。したがって、その部材を他の部材と接合した場合における部材同士の剥離を抑制できるとともに、部材同士を寸法精度良く接着することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態１に係る反りが矯正された部材の斜視図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は実施形態１に係る部材の反り矯正方法を示す概略工程図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は実施形態１に係る硬化型樹脂の塗布位置を示す断面模式図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は実施形態１に係る部材の変形方法を示す断面模式図である。
【図５】実施形態１に係る反り低減のメカニズムを示す断面模式図である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は実施形態１に係る加熱硬化時の反り低減のメカニズムを示す断面模式図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は実施形態１に係る複数部材の接着方法を示す断面模式図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は実施形態２に係る部材の反り矯正方法を示す断面模式図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）は実施形態２に係る硬化型樹脂の塗布位置を示す断面模式図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は実施形態３に係る部材の反り矯正と接着を同時に行う方法を示す断面模式図である。
【図１１】部材の反り矯正方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。本実施形態では、部材の一例として板状の流路部材を例示する。
【００１１】
（実施形態１）
図１は実施形態１により反りが矯正された板状部材（流路部材）１を示す斜視図である。板状部材１は、流路部材１０に硬化型樹脂１３を配置して反りを矯正したものである。本実施形態では、複数の流路溝１１を有するインクジェットヘッド等の液体吐出ヘッドの流路部材１０を例にとって説明する。しかし液体吐出ヘッドの流路部材以外にも反りを矯正したい部材であればその物性・材料・形状は不問である。材料については、液体に対して耐腐食性を有するとともに、線膨張率の低い材質からなることが好ましい。具体的な材質としては例えば、アルミナや、ＬＣＰ（液晶ポリマ）、ＰＰＳ（ポリフェニルサルファイド）やＰＳＦ（ポリサルフォン）を母材としてシリカ微粒子やファイバなどの無機フィラーを添加した複合材料（樹脂材料）等が好ましい。
【００１２】
液体吐出ヘッドは、液体を供給する流路部材と、流路部材の上に積層して形成された、液体を吐出するノズルを有する液体吐出ノズル形成部材とから構成される。図１に示すように、矯正された流路部材１０は長手方向Ｌと短手方向Ｗを持つ略直方体の板状部材である。流路部材１０の上面１６には、長手方向Ｌに沿ってインクの通路となる複数の流路溝１１が形成されている。このように片面側に大きな肉抜き部（溝部）があるような部材は、肉抜き部側が凸となる方向に反りが生じやすい。つまり、肉抜き部側の面の長手方向Ｌの両端領域が、平坦面から肉抜き部側の反対側方向に離れるように反ってしまう。本実施形態においては、流路部材１０の反りの凸側表面（上面１６）に形成された樹脂塗布溝１２に、硬化型樹脂１３を配置（塗布等）している。樹脂塗布溝１２は、流路部材１０の上面１６の短手方向Ｗの両側部に、流路溝１１に沿って形成されている。部材を均一に矯正するため、このように樹脂塗布溝１２は上面１６の長手方向の中央線に対して線対称的な位置に設けることが好ましい。
【００１３】
次に、図２と図１１を用いて、（板状）部材の反り矯正方法について説明する。
図２（ａ）〜（ｄ）は、図１に示す板状部材１のＡ−Ａ断面図を用いて、本実施形態の流路部材１０の反り矯正工程を表した概略工程図である。流路部材１０は本来平坦であるべきである。本実施形態では、図２（ａ）に示すように長手方向Ｌにおいて、上面１６側が凸になるように反ってしまった場合の矯正方法を説明する。この状態から、まず図２（ａ）に示すように、流路部材１０の上面１６に硬化型樹脂を配置する樹脂塗布溝１２を長手方向Ｌに沿って形成する（図１１のステップＳ１１、図１１では「部材」として説明している）。
【００１４】
次に図２（ｂ）に示すように、この樹脂塗布溝１２に硬化型樹脂１３を塗布する。つまり、硬化型樹脂１３を流路部材１０の反り方向に沿って配置する（図１１のステップＳ１２）。この実施形態では、硬化型樹脂１３を配置する専用の樹脂塗布溝１２を設けているが、使用しない流路溝１１に硬化型樹脂１３を塗布しても構わない。樹脂塗布溝１２は、流路部材１０の成形段階で形成してもよいし、後加工によって形成してもよい。使用しない流路溝１１を用いる、又は樹脂塗布溝１２を設けることにより、流路部材１０の外形面から突出せずに硬化型樹脂１３を配置することができる。なお、流路部材１０の凸側（上面１６）の表面に硬化型樹脂１３を直接塗布してもよい。その場合には、使用しない流路溝１１や樹脂塗布溝１２を設ける必要がないというメリットがある。なお使用しない流路溝１１を用いる場合、又は流路部材１０の上面１６の表面に硬化型樹脂１３を直接配置する場合は、ステップＳ１１は不要である。
【００１５】
硬化型樹脂１３は後述する流路部材１０の変形状態において硬化可能であれば材料や硬化方式は問わないが、反り矯正の観点からは、硬化収縮率が大きい材料が好ましい。また、本実施形態のように熱硬化型接着剤を使用する場合は、硬化後の状態で流路部材１０よりも線膨張係数が大きい材料が好ましい。また、硬化型樹脂１３は流動性を有することが好ましい。硬化型樹脂が流動性を有するとは、硬化型樹脂が自らの重みで広がっていく（流動する）性質を有することである。
【００１６】
ここで図３を用いて硬化型樹脂の塗布位置について説明する。硬化型樹脂１３は、図３（ａ）に示すように、流路部材１０の厚み中心ＣＬよりも反りの凸側（上面１６側）に配置することが好ましい。厚み中心とは、一般に板状部材の肉抜き部（溝部）の深さも含めた厚さの半分の位置を結んだ曲面（断面図であれば線分）である。ただし、図３（ｂ）に示すように厚み中心ＣＬより反りの凸側に存在する硬化型樹脂の厚さｔ１が反りの凹側（下面１７側）に存在する硬化型樹脂の厚さｔ２より大きい（ｔ１＞ｔ２）場合であれば反り矯正効果は得られる。本実施形態では、図３（ａ）に示すように樹脂塗布溝１２の深さを流路部材１０の厚みｔの１／２以下にし、硬化型樹脂１３を充填する。流路溝１１または樹脂塗布溝１２の全てを硬化型樹脂１３で満たす必要はない。また、図３（ｃ）に示すように、硬化型樹脂１３を流路部材１０の反りの凸側の面に反り方向に沿って直接塗布する場合にも反り矯正効果は得られる。樹脂塗布溝１２の有無や形状は適宜選択可能である。
【００１７】
次に図２（ｃ）に戻り、硬化型樹脂１３を配置した流路部材１０を、矯正冶具（平坦化冶具）２を用いて矯正すべき状態に、つまり平坦になるように変形させる（図１１のステップＳ１３）。図２（ｃ）では矯正冶具２は簡略化しているため、詳細は図４を用いて説明する。
【００１８】
まず図４（ａ）に示すように、平坦な上面２０Ａを有する下冶具２０に流路部材１０（図４では簡略化して示している）を設置し、押し冶具２２を取り付けた上冶具２１を、流路部材１０の真上から下方向に降下させていく。押し冶具２２には、流路部材１０を変形するのに十分な力を有するバネ２６が取り付けられている。図４（ｂ）に示すようにバネ２６の押圧力によって流路部材１０を平坦な下冶具２０に倣わせ、その状態でシャフト２３とボルト２４を使用して上冶具２１を固定する。下冶具２０は、流路部材１０を精度よく平坦化するため平面度（平面形体の幾何学的に正しい平面からの狂いの大きさ、ＪＩＳ  ０６２１  １９８４）を２０μｍとした。
【００１９】
下冶具２０と上冶具２１の材質は、後述する硬化型樹脂１３の加熱硬化時に流路部材１０が膨張するため、流路部材１０と線膨張係数の近い材料であることが好ましい。ただし、流路部材１０と矯正冶具２の線膨張係数は必ずしも近づける必要はなく、例えば押し冶具２２の流路部材１０との接触面をボール形状にするなど、後述する硬化型樹脂１３の加熱硬化時に流路部材１０が自在に伸縮できる構成であればよい。
【００２０】
なお、本実施形態における矯正方法は、冶具を使用した機械的（メカニカル）な方法であったが、矯正の効果が得られれば方法は不問である。上記以外の機械的な方法としては、負圧を利用して吸着によって矯正する方法、部品または治具に爪やレール形状を設けておき、引っかけて矯正する方法、あるいは材料の種類によっては磁力を利用する方法等が挙げられる。また、流路部材１０の反り矯正が目的であるため平面度の良い冶具に倣わせ矯正を行ったが、部材の用途に合わせて、冶具の平面度や形状は選択できる。
【００２１】
図２に戻り、次に硬化型樹脂１３を硬化させる工程を説明する。図２（ｃ）に示す矯正冶具２による変形した状態を維持したまま、硬化型樹脂１３を硬化させる（図１１のステップＳ１４）。本実施形態においては、硬化型樹脂１３に熱硬化型樹脂接着剤を使用しているため、矯正冶具２ごとオーブンに入れ加熱硬化させるが、選択した硬化型樹脂１３に応じて硬化方法は適宜選択可能である。例えば紫外線硬化型樹脂を用いた場合は、樹脂に紫外線を照射して硬化させる。硬化型樹脂１３を硬化させた後に、流路部材１０を矯正冶具２から取り出せば、図２（ｄ）に示すように反りが矯正された板状部材１が得られる。
【００２２】
次に板状部材１の反り矯正メカニズムについて図５を用いて説明する。図５は、図２（ｄ）に示す反り矯正後の流路部材１０に働く応力を示す図である。図５に示すように流路部材１０には黒塗りの矢印方向に元に戻ろうとする応力（反ろうとする力）が働く。しかし、硬化型樹脂１３は流路部材１０が変形されていた状態で硬化しているため、その状態を維持しようとする力が白抜きの矢印方向に働く。よって硬化型樹脂１３は流路部材１０において梁のような働きをし、流路部材１０の反りを低減する。この梁による反りの矯正力は、硬化型樹脂１３の位置（反りの凸側又は凹側）に関わらず発揮される。また硬化型樹脂１３は硬化時に硬化収縮するため、硬化型樹脂１３が流路部材１０の反りの凸側（上面１６側）に存在するときは、図５に示すように流路部材１０の凸側に収縮力が白抜きの矢印方向に働くため、流路部材１０の反りの更なる低減が可能となる。
【００２３】
一方、硬化型樹脂１３が反りの凹側に存在するときは、硬化収縮力は流路部材１０の反りを増大させる方向に力が働く。そのため、硬化収縮力による反り低減は、図３（ｂ）に示すように厚み中心ＣＬより反りの凸側に存在する硬化型樹脂の厚さｔ１が反りの凹側に存在する硬化型樹脂の厚さｔ２より大きい（ｔ１＞ｔ２）ときに発揮される。なお硬化型樹脂１３は可能であれば流路部材１０の厚み中心ＣＬよりも反りの凸側のみに存在することが好ましい。
【００２４】
さらに、硬化型樹脂１３に熱硬化型樹脂接着剤を使用し、その線膨張係数が流路部材１０よりも大きければ、より一層の反り低減効果が見込まれる。そのメカニズムを図６を用いて説明する。
【００２５】
図６（ａ）に示すように流路部材１０は長手方向の反りを有しており、その反りの凸側（上面１６側）に硬化型樹脂１３を塗布する。次に、図６（ｂ）に示すように、矯正冶具２で流路部材１０を変形し、この変形状態で硬化型樹脂１３を硬化させる。流路部材１０には、黒塗り矢印で示すように反ろうとする応力が発生する。硬化型樹脂１３は流動し、樹脂塗布溝１２の全体に均一に広がるが、ここでは体積の変化量をわかりやすくするため広がりを小さく図示している。硬化型樹脂１３を硬化させるために流路部材１０と硬化型樹脂１３を加熱すると、図６（ｃ）に示すように流路部材１０は矢印Ｙ１のように膨張する。一方、線膨張係数の関係は「流路部材１０＜硬化型樹脂１３」であるため、硬化型樹脂１３は矢印Ｘ１のように膨張し、この状態で硬化する。硬化が終了し流路部材１０と硬化型樹脂１３を矯正冶具２から取り出し常温に戻すと、流路部材１０と硬化型樹脂１３は元通りに収縮しようとする。その結果、流路部材１０は矢印Ｙ２のように元通りに収縮する。しかし、硬化型樹脂１３は矢印Ｘ３のように元通りに収縮しようとしても、流路部材１０と接着されているため、流路部材１０の収縮分の矢印Ｘ２までしか元に戻れない。したがって図６（ｄ）の白抜き矢印に示すように、流路部材１０の凸側には硬化型樹脂１３の収縮力が加わり、流路部材１０の反りを低減する。この線膨張係数の差による反り低減は、硬化型樹脂１３が流路部材１０の凸側に存在し、線膨張係数の関係が「流路部材１０＜硬化型樹脂１３」である場合において発揮される。
【００２６】
同様に、硬化型樹脂１３が流路部材１０の凹側に存在し、線膨張係数の関係が「流路部材１０＞硬化型樹脂１３」である場合においても反り低減力が発揮される。
【００２７】
したがって、先述した硬化型樹脂１３の梁の力、硬化収縮の力と併せて、流路部材１０の反りのさらなる低減が図れる。尚、硬化型樹脂１３の線膨張係数は、硬化後の状態の線膨張係数である。
【００２８】
次に、反りが矯正された２つの部材同士の接着方法について図７を用いて説明する。まず図７（ａ）に示すように、反りを有する板状部材１０Ａに硬化型樹脂１３Ａを塗布し、変形・加熱硬化を行い、反りが矯正された板状部材１Ａを製造する。同様に、図７（ｂ）に示すように、反りを有する板状部材１０Ｂに硬化型樹脂１３Ｂを塗布し、変形・加熱硬化を行い、反りが矯正された板状部材１Ｂを製造する。部材１０Ａと部材１０Ｂの材料、反りの大きさや形状は異なっていてもよく、それに伴い硬化型樹脂１３Ａと硬化型樹脂１３Ｂの材料や塗布位置も適宜選択可能である。
【００２９】
次に図７（ｃ）に示すように、熱硬化型の接着剤１４を部材１Ａの下面１７Ａと部材１Ｂの上面１６Ｂの接着面に塗布し、加熱することによって部材１Ａと部材１Ｂを接着する。本実施形態において接着剤１４は熱硬化型の接着剤を使用するが、用途に応じて材料や硬化方式は適宜選択可能である。ただし、反り矯正の観点からは可とう性に劣る接着剤の使用が好ましい。可とう性に劣る接着剤とは、応力が加わった時に破壊が生じやすいが硬い接着剤をいう。逆に、可とう性に優れた接着剤とは、応力が加わった時に破壊が生じにくいが柔らかい接着剤をいう。
【００３０】
以上のように、反りが矯正された部材同士を可とう性の劣る接着剤で接着することによって、部材同士の剥離のリスクを低減し、なおかつ部材同士を寸法精度良く（小さな平面度で）接着することが可能となる。なお、本実施形態では反りが矯正された部材同士を接合したが、反りが矯正された部材と反りが矯正されていない部材（反りを矯正する必要のない部材）を接着してもよい。
【００３１】
（実施形態２）
次に本発明の実施形態２を説明する。本実施形態では、硬化型樹脂１３を流路部材１０の反りの凹側に塗布する点が、実施形態１と異なっている。その他は、実施形態１と同様であるため、同様の構成および工程は同様の符号を付して説明は簡略、または省略する。
【００３２】
図８（ａ）〜（ｄ）は、図１に示す部材１のＡ−Ａ断面図であり、本実施形態を用いた流路部材１０の反り矯正工程を表している。なお図８では、流路部材１０の上下面を実施形態１とは逆さまにして示している。本実施形態においては、図８（ｂ）に示すように、流路溝１１の反対側である流路部材１０の反りの凹側（下面１７側）に樹脂塗布溝１２を形成し硬化型樹脂１３を配置する。樹脂塗布溝１２は、流路部材１０の成形段階で形成してもよいし、後加工によって形成してもよい。なお、流路部材１０の凹側の表面に硬化型樹脂１３を直接塗布してもよく、その場合には、樹脂塗布溝１２を形成する必要はない。硬化型樹脂１３は後述する流路部材１０の変形状態において硬化可能であれば材料や硬化方式は問わないが、反り低減の観点からは、硬化収縮率が小さい材料が好ましい。また、本実施形態のように熱硬化型接着剤を使用する場合は、流路部材１０よりも線膨張係数が小さい材料が好ましい。
【００３３】
ここで図９を用いて硬化型樹脂の塗布位置について説明する。なお図９も流路部材１０を実施形態１とは上下面を逆さまにして示している。硬化型樹脂１３は、図９（ａ）に示すように流路部材１０の厚み中心ＣＬよりも凹側（下面１７側）に配置することが好ましい。ただし、図９（ｂ）に示すように厚み中心ＣＬより凸側（上面１６側）に存在する硬化型樹脂の厚さｔ１が凹側に存在する硬化型樹脂の厚さｔ２より小さい（ｔ１＜ｔ２）場合であれば反り矯正効果は得られる。本実施形態では、樹脂塗布溝１２の深さを流路部材１０の厚みｔの１／２以下にし、硬化型樹脂１３を充填するが、流路溝１１または樹脂塗布溝１２の全てを硬化型樹脂１３で満たす必要はない。また、図９（ｃ）に示すように、硬化型樹脂１３を流路部材１０の反りの凹側の面に反り方向に沿って直接塗布する場合にも反り矯正効果は得られる。樹脂塗布溝１２の有無や形状は適宜選択可能である。
【００３４】
以後、反りが矯正された板状部材１が完成するまでの工程は実施形態１と同様であるため説明は省略する。
【００３５】
（実施形態３）
次に本発明の実施形態３を説明する。本実施形態では、板状部材の反り矯正方法において、板状部材の反りを平坦に変形する工程と硬化型樹脂を硬化する硬化工程時に、他の板状部材の反りの矯正と接着を同時に行う点が、実施形態１と異なっている。その他は、実施形態１と同様であるため、同様の構成および工程は同様の符号を付して説明は簡略、または省略する。
【００３６】
図１０（ａ）〜（ｃ）は、板状部材１０Ａの図１に示すＡ−Ａ断面図であり、本実施形態による板状部材１０Ａの反り矯正及び第２の板状部材１０Ｂの反り矯正と接着工程を表している。例えば、板状部材１０Ａは液体吐出ヘッドの流路部材であり、第２の板状部材１０Ｂは液体吐出ノズル形成部材とすることができる。
【００３７】
まず図１０（ａ）に示すように反りを有する板状部材１０Ａと第２の板状部材１０Ｂに、それぞれ硬化型樹脂１３Ａと硬化型樹脂１３Ｂを塗布する。板状部材１０Ａと第２の板状部材１０Ｂの材料、反りの大きさや形状は異なっていてもよく、それに伴い硬化型樹脂１３Ａと硬化型樹脂１３Ｂの材料や塗布位置も適宜選択可能である。次に熱硬化型の接着剤１４を板状部材１０Ａと第２の板状部材１０Ｂとを接着したい面に塗布し、図１０（ｂ）に示すように矯正冶具３を用いて板状部材１０Ａと第２の板状部材１０Ｂを貼りあわせた状態で平坦に変形する。これにより、板状部材１０Ａの変形工程と第２の板状部材１０Ｂの変形工程とを同時に行うことができる。矯正冶具３の構成は矯正冶具２と同様であるため説明は省略する。本実施形態において接着剤１４は熱硬化型の接着剤を使用するが、変形状態において硬化可能であれば材料や硬化方式は問わない。ただし反り矯正の観点からは、可とう性に劣る接着剤の使用が好ましい。
【００３８】
次に矯正冶具３による変形状態を維持したまま、硬化型樹脂１３Ａ、硬化型樹脂１３Ｂ、接着剤１４を同時に硬化させる。本実施形態においては、硬化型樹脂１３Ａ、硬化型樹脂１３Ｂ、接着剤１４に熱硬化型接着剤を使用しているため、矯正冶具３ごと図１０（ｂ）に示す状態でオーブンに入れ加熱硬化させる。これにより、板状部材１０Ａの硬化工程と第２の板状部材１０Ｂの硬化工程とともに、板状部材１０Ａと第２の板状部材１０Ｂとの接着を同時に行うことができる。なお、選択した硬化型樹脂１３Ａ、硬化型樹脂１３Ｂ、接着剤１４に応じて硬化方法は適宜選択可能である。そして硬化型樹脂１３Ａ、硬化型樹脂１３Ｂ、接着剤１４を硬化させた後に矯正冶具３から取りだし、図１０（ｃ）に示すように板状部材１０Ａと第２の板状部材１０Ｂの反り矯正と接着が同時に完了する。
【００３９】
なお、本実施形態では反りを矯正する板状部材同士を反り矯正しつつ（つまり変形工程と硬化工程を行うと同時に）接着した。しかしこれに限らず、反りを矯正する板状部材を反り矯正しつつ反りを矯正しない第２の板状部材（反りを矯正する必要のない部材）を合わせて接着してもよい。このように、反りが生じた板状部材を反り矯正しつつ、第２の板状部材（反り矯正する部材でもしない部材でもよい）を合わせて変形工程、硬化工程にかけて接着することができる。
【００４０】
以上のように反りの矯正と部材同士の接着を同時に行うため、部材同士の剥離のリスクを低減し、なおかつ部材同士を寸法精度良く接着することに加えて工程の簡略化、短縮化も可能となる。
【符号の説明】
【００４１】
１      反りが矯正された板状部材（流路部材）
２、３  矯正冶具
１０    流路部材（板状部材）
１０Ａ  板状部材
１０Ｂ  第２の板状部材
１１    流路溝
１２    樹脂塗布溝
１３    硬化型樹脂
１４    接着剤
１６    上面
１７    下面
【図１】
2019119134.tif 000003
【図２】
2019119134.tif 000004
【図３】
2019119134.tif 000005
【図４】
2019119134.tif 000006
【図５】
2019119134.tif 000007
【図６】
2019119134.tif 000008
【図７】
2019119134.tif 000009
【図８】
2019119134.tif 000010
【図９】
2019119134.tif 000011
【図１０】
2019119134.tif 000012
【図１１】
2019119134.tif 000013