(57)【要約】【課題】制御対象となるエリアの温度及び湿度をより効率的に制御することができる演算装置、演算方法及び演算プログラムを提供することである。【解決手段】実施形態の演算装置は、第一温度取得部を持つ。第一温度取得部は、外気と第一の温度である第一の熱媒体とを取り込み、取り込んだ前記外気を加湿することと前記第一の熱媒体によって加熱することとによって前記外気を所定の温度及び湿度の空気にし、前記所定の温度及び湿度の空気を制御対象の空間に供給する外調機、に取り込まれる前記第一の熱媒体の前記第一の温度を空気の乾球温度と絶対湿度と相対湿度との関係性に基づいて取得する。【選択図】図１
2019190705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外気と第一の温度である第一の熱媒体とを取り込み、取り込んだ前記外気を加湿することと前記第一の熱媒体によって加熱することとによって前記外気を所定の温度及び湿度の空気にし、前記所定の温度及び湿度の空気を制御対象の空間に供給する外調機、に取り込まれる前記第一の熱媒体の前記第一の温度を空気の乾球温度と絶対湿度と相対湿度との関係性に基づいて取得する第一温度取得部、
を備える演算装置。
【請求項２】
前記外調機が前記外気の温度及び湿度を前記所定の温度と所定の湿度まで加熱又は加湿する際に前記第一の熱媒体から奪う第一の熱量、を空気の乾球温度と絶対湿度と相対湿度との関係性に基づいて取得する第一熱量取得部と、
前記第一の熱媒体の温度を前記第一の温度に調整するための第二の熱媒体に、前記第二の熱媒体と第三の熱媒体とを取り込み前記第二の熱媒体との間の熱交換によって前記第三の熱媒体の温度を下げる冷凍機による前記熱交換によって前記第三の熱媒体から前記第二の熱媒体に与えられる熱量を第二の熱量として、前記第一温度取得部が取得した前記第一の温度と、前記第一熱量取得部が取得した前記第一の熱量とに基づいて前記第二の熱量を取得する、第二熱量取得部、
をさらに備える請求項１に記載の演算装置。
【請求項３】
前記第一熱量取得部は、さらに前記制御対象の室内顕熱負荷に基づいて、前記第一の熱量を取得する、
請求項２に記載の演算装置。
【請求項４】
前記第二熱量取得部は、取得した第二の熱量に基づいて、前記第二の熱媒体の量を取得する、
請求項２又は３に記載の演算装置。
【請求項５】
前記第二の熱媒体の量に基づいて、稼働させるべき前記冷凍機の数を取得する冷凍機数取得部、
をさらに備える請求項４に記載の演算装置。
【請求項６】
前記冷凍機数取得部は、さらに、前記第一の熱媒体に熱量を与えるボイラが前記第一の熱媒体に与える熱量に基づいて、稼働させるべき前記冷凍機の数を取得する、
請求項５に記載の演算装置。
【請求項７】
外気と第一の温度である第一の熱媒体とを取り込み、取り込んだ前記外気を加湿することと前記第一の熱媒体によって加熱することとによって前記外気を所定の温度及び湿度の空気にし、前記所定の温度及び湿度の空気を制御対象の空間に供給する外調機、に取り込まれる前記第一の熱媒体の前記第一の温度を空気の乾球温度と絶対湿度と相対湿度との関係性に基づいて取得する第一温度取得ステップ、
を有する演算方法。
【請求項８】
請求項１から６のいずれか一項に記載の演算装置としてコンピュータを機能させるための演算プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、演算装置、演算方法及び演算プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
制御対象となるエリアの温度及び湿度を熱媒体によって制御する制御システムは、熱媒体の温度を調整することで、制御対象のエリアの温度及び湿度を制御する。このような制御システムは、熱媒体の温度を操作変数としたフィードバック制御を行うことで、制御対象のエリアの温度及び湿度を制御する。しかしながら、このような制御システムは、熱媒体の温度を制御するために消費されるエネルギーを考慮することなくフィードバック制御を行っていた。そのため、このようなシステムは、必ずしもエネルギー効率のよい制御を行うことができない場合があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１７０７１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、制御対象となるエリアの温度及び湿度をより効率的に制御することができる演算装置、演算方法及び演算プログラムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態の演算装置は、第一温度取得部を持つ。第一温度取得部は、外気と第一の温度である第一の熱媒体とを取り込み、取り込んだ前記外気を加湿することと前記第一の熱媒体によって加熱することとによって前記外気を所定の温度及び湿度の空気にし、前記所定の温度及び湿度の空気を制御対象の空間に供給する外調機、に取り込まれる前記第一の熱媒体の前記第一の温度を空気の乾球温度と絶対湿度と相対湿度との関係性に基づいて取得する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１の実施形態の監視制御システム１００のシステム構成の具体例を示す図。
【図２】第１の実施形態における熱源システム２００のシステム構成の具体例を示す図。
【図３】第１の実施形態における外調機２５の機能構成の具体例を示す図。
【図４】第１の実施形態における設定値演算装置１の機能構成の具体例を示す図。
【図５】第１の実施形態における乾球温度と絶対湿度と相対湿度との具体的な関係を示す図。
【図６】第１の実施形態における設定値演算装置１が冷凍機必要数を取得する具体的な処理の流れを示すフローチャート。
【図７】第１の実施形態における外調機２５がクリーンルーム９０に送り出す空気を生成する具体的な処理の流れを示すフローチャート。
【図８】第２の実施形態の監視制御システム１００ａのシステム構成の具体例を示す図。
【図９】第２の実施形態における設定値演算装置１ａの機能構成の具体例を示す図。
【図１０】第２の実施形態における設定値演算装置１ａが冷凍機必要数を取得する具体的な処理の流れを示すフローチャート。
【図１１】第２の実施形態における外調機２５がクリーンルーム９０に送り出す空気を生成する具体的な処理の流れを示すフローチャート。
【図１２】第３の実施形態における監視制御システム１００ｂのシステム構成の具体例を示す図。
【図１３】第３の実施形態における熱源システム２００ｂのシステム構成の具体例を示す図。
【図１４】第３の実施形態における設定値演算装置１ｂの機能構成の具体例を示す図。
【図１５】第３の実施形態における設定値演算装置１ｂが冷凍機２２１の数とボイラ２９１の数とを取得する具体的な処理の流れを示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、実施形態の演算装置、演算方法及び演算プログラムを、図面を参照して説明する。
【０００８】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態の監視制御システム１００のシステム構成の具体例を示す図である。監視制御システム１００は、制御対象に所定の温度及び湿度の空気を送り出すシステムである。監視制御システム１００の制御対象は空間であって、例えば、クリーンルームである。監視制御システム１００は、制御対象の温度及び湿度が、ユーザが指示する温度及び湿度であるように、ユーザが指示する温度及び湿度に応じた温度及び湿度の空気を送り出す。以下、ユーザが指示する制御対象の温度を指示温度という。また、以下、ユーザが指示する制御対象の湿度を指示湿度という。監視制御システム１００は、設定値演算装置１、監視制御装置３及び熱源システム２００を備える。設定値演算装置１は、指示温度及び指示湿度に基づいた所定の演算を行い、監視制御システム１００を制御するための値を取得する。設定値演算装置１は、例えば、データセンター内の端末装置に実装されるクラウドサーバーである。監視制御装置３は、設定値演算装置１が取得した値を用いて、熱源システム２００を制御する。熱源システム２００は、監視制御装置３の制御によって動作する。熱源システム２００は、熱媒体によって所定の温度及び湿度の空気を生成し、生成した空気を制御対象に送り出す。熱源システム２００は、機器２−１〜２−Ｚ（Ｚは１以上の整数）を備える。機器２−１〜２−Ｚは、熱源システム２００の構成機器であって、監視制御装置３の制御によって動作し、制御対象に送り出す空気を生成する。熱源システム２００の構成機器は、例えば、熱交換器や冷却塔や冷凍機等である。以下、機器２−１〜２−Ｚをそれぞれ区別しない場合、機器２という。
【０００９】
図２は、第１の実施形態における熱源システム２００のシステム構成の具体例を示す図である。図２に示す熱源システム２００は、冷却塔２１、冷凍機ユニット２２、熱交換器２３、ポンプ２４−１〜２４−２、外調機２５、温度計２６、湿度計２７及び分配器２８−１及び２８−２を備える。冷却塔２１、冷凍機ユニット２２、熱交換器２３、ポンプ２４−１〜２４−２、外調機２５、温度計２６、湿度計２７及び分配器２８−１及び２８−２は、機器２の具体例である。熱源システム２００は、第一の熱媒体（以下「第一熱媒体」という。）と、第二の熱媒体（以下「第二熱媒体」という。）と、第三の熱媒体（以下「第三熱媒体」という。）との３つの熱媒体をシステム内で循環させる。熱源システム２００は、第一熱媒体と第二熱媒体と第三熱媒体とを用いて、クリーンルーム９０内の温度及び湿度を制御する。クリーンルーム９０は、監視制御システム１００の制御対象である。第一熱媒体は、具体的には、温水である。第二熱媒体は、具体的には、冷却水である。第三熱媒体は、具体的には、冷水である。以下、説明の簡単のため、熱源システム２００が備える各機能部の説明を、第二熱媒体の温度及び流れを制御する機能部、第三熱媒体の温度及び流れを制御する機能部、第一熱媒体の温度及び流れを制御する機能部の順番で説明する。
【００１０】
冷却塔２１は、熱源システム２００内を循環する温度Ｔｃｉの第二熱媒体を取り込み、取り込んだ第二熱媒体を温度Ｔｃｉよりも低い温度Ｔ２まで冷却する。冷却塔２１は、温度Ｔｃｏの第二熱媒体を冷凍機２２１に送り出す。冷却塔２１は、例えば、外気に接触させることで第二熱媒体を冷却する。
【００１１】
冷凍機ユニット２２は、冷却塔２１が送り出した第二熱媒体と、熱源システム２００内を循環する第三熱媒体とを取り込み、第三熱媒体の温度を下げ、第二熱媒体の温度を上げる。冷凍機ユニット２２は、冷凍機２２１−１〜２２１−Ｎ（Ｎは１以上の整数）を備える。以下、冷凍機２２１−１〜２２１−Ｎをそれぞれ区別しない場合、冷凍機２２１という。冷凍機２２１は、冷凍機ユニット２２が取り込んだ第二熱媒体の一部を取り込む。冷凍機２２１は、取り込んだ第二熱媒体と第三熱媒体との間の熱交換（以下「冷凍機内熱交換」という。）によって、第三熱媒体の温度を下げる。冷凍機２２１−１〜２２１−Ｎの冷凍機内熱交換によって冷凍機ユニット２２に取り込まれた第二熱媒体には合計Ｑｒ  ｋＪの熱量が与えられる。冷凍機内熱交換によって冷凍機ユニット２２に取り込まれた第三熱媒体は、Ｑｒ  ｋＪの熱量が奪われる。以下、熱量Ｑｒを排熱回収量Ｑｒという。排熱回収量Ｑｒは、設定値演算装置１による演算の前に予めユーザによって設定された量であって、熱源システム２００の稼働中は、ユーザが変更しない限り指示温度及び指示湿度によらず一定の値を保つ熱量である。
【００１２】
以下、冷凍機ユニット２２が取り込む第二熱媒体の流量を第二熱媒体流量という。第二熱媒体流量は、各冷凍機２２１が取り込む第二熱媒体の流量の合計値である。以下、各冷凍機２２１が取り込む第二熱媒体の流量を冷凍機流量という。以下、説明の簡単のため、稼働中の冷凍機２２１の冷凍機流量は、冷凍機２２１によらず同じであると仮定して説明を行う。稼働中の冷凍機２２１とは、冷凍機流量が０ではない冷凍機２２１である。なお、稼働中ではない冷凍機２２１の冷凍機流量は０である。また、以下簡単のため、各冷凍機２２１が第三熱媒体から奪う熱量は、冷凍機２２１によらず同じであると仮定して説明を行う。この場合、排熱回収量Ｑｒは、冷凍機熱量と冷凍機ユニット２２が備える冷凍機２２１の数との積である。
【００１３】
冷凍機ユニット２２が取り込む第二熱媒体の温度をＴｒｉとして、冷凍機内熱交換によって、第二熱媒体の温度はＴｒｉよりも高いＴｒｏまで上がる。冷凍機ユニット２２は、冷凍機内熱交換後の温度Ｔｒｏの第二熱媒体を熱交換器２３に送り出す。冷凍機ユニット２２は、冷凍機内熱交換後の第三熱媒体を外調機２５に送り出す。
【００１４】
熱交換器２３は、冷凍機ユニット２２が送り出した第二熱媒体と、熱源システム２００内を循環する温度Ｔｈｉの第一熱媒体とを取り込み、第二熱媒体を用いて第一熱媒体の温度を上げる。熱交換器２３が取り込む第二熱媒体の流量は、冷凍機ユニット２２が送り出した第二熱媒体の流量に略同一である。熱交換器２３は、第一熱媒体と第二熱媒体との間の熱交換（以下「熱交換器内熱交換」という。）によって、第一熱媒体の温度を上げる。熱交換器内熱交換によって、第一熱媒体はＱｈ  ｋＪの熱量を与えられる。熱交換器内熱交換によって、第一熱媒体の温度はＴｈｉよりも高いＴｈｏまで上がる。温度Ｔｈｏは、第二熱媒体が熱交換器２３に取り込まれる際の温度Ｔｅｉに略同一である。温度Ｔｈｉは、設定値演算装置１による演算の前に予めユーザによって設定された温度であって、熱源システム２００の稼働中は、ユーザが変更しない限り指示温度及び指示湿度によらず一定の値を保つ温度である。熱交換器内熱交換によって、第二熱媒体はＱｈ  ｋＪの熱量を奪われる。熱交換器２３が取り込む第二熱媒体の温度をＴｅｉとして、熱交換器内熱交換によって、第二熱媒体の温度はＴｅｉよりも低いＴｅｏまで下がる。なお、温度Ｔｅｏは、設定値演算装置１による演算の前に予めユーザによって設定された温度であって、熱源システム２００の稼働中は、ユーザが変更しない限り指示温度及び指示湿度によらず一定の値を保つ温度である。熱交換器２３は、熱交換器内熱交換後の温度Ｔｈｏの第一熱媒体を分配器２８−１に送り出す。熱交換器２３は、熱交換器内熱交換後の温度Ｔｅｏの第二熱媒体を冷却塔２１に送り出す。以下、説明の簡単のため、冷凍機ユニット２２から熱交換器２３まで流れる間の、第二熱媒体の放熱は０に略同一であると仮定して説明を行う。この場合、温度Ｔｅｉと温度Ｔｒｏとは略同一である。
【００１５】
ポンプ２４−１及び２４−２は、冷却塔２１と、冷凍機ユニット２２と、熱交換器２３との間で第二熱媒体を循環させる。具体的には、ポンプ２４−１及び２４−２は、冷却塔２１から冷凍機ユニット２２に向けて第二熱媒体を送り出し、送り出した第二熱媒体を冷凍機ユニット２２及び熱交換器２３を経由させてから、冷却塔２１に戻す。
【００１６】
外調機２５は、冷凍機ユニット２２が送り出した第三熱媒体と、温度Ｔｇｉの第一熱媒体と、外気とを取り込む。外気は、外調機２５の外の空気である。外調機２５は、取り込んだ第一熱媒体及び第三熱媒体によって、取り込んだ外気の温度及び湿度を指示温度及び指示湿度に応じた所定の温度及び湿度にする。以下、外調機２５が取り込んだ外調機２５内の外気を、外調機内空気という。以下、外調機２５が、第一熱媒体及び第三熱媒体から熱量を奪い、奪った熱量によって外調機内空気の温度及び湿度を所定の温度及び湿度にする処理を外調機内空気調整処理という。外調機内空気調整処理によって第一熱媒体の温度は下がり熱量はＱａ  ｋＪ減る。外調機内空気調整処理によって外調機内空気の熱量は増える。そのため、外調機内空気の比エンタルピーは外気の比エンタルピーよりも上がる。外調機２５は、外調機内空気調整処理後の外調機内空気をクリーンルーム９０に送り出す。外調機２５は、外調機内空気調整処理後の第一熱媒体を分配器２８−２に送り出す。外調機２５が分配器２８−２に送り出す第一熱媒体の温度はＴｇｏである。
【００１７】
温度計２６は、外調機２５が取り込む外気の温度を測定する。湿度計２７は、外調機２５が取り込む外気の湿度を測定する。
【００１８】
分配器２８−１は、熱交換器２３が送り出した第一熱媒体を取り込み、取り込んだ第一熱媒体を略同一の流量で外調機２５に送り出す。分配器２８−２は、外調機２５が送り出した第一熱媒体を取り込み、取り込んだ第一熱媒体を略同一の流量で熱交換器２３に送り出す。
【００１９】
ここで、熱源システム２００における第三熱媒体の単位体積あたりの熱量について説明をする。
熱源システム２００において、熱交換器２３から外調機２５に流れる第三熱媒体は、熱交換器２３から外調機２５まで流れる間に、放熱により温度が下がりうる。しかしながら、このような放熱による温度の変化は、一般に、０に略同一である。そこで、以下、説明の簡単のため、熱交換器２３から外調機２５まで流れる間、第三熱媒体の単位体積あたりの熱量は、場所によらず、略一定であるとする。同様に、以下、説明の簡単のため、外調機２５から熱交換器２３まで流れる間、第三熱媒体の単位体積あたりの熱量は、場所によらず、略一定であるとする。
【００２０】
図３は、第１の実施形態における外調機２５の機能構成の具体例を示す図である。外調機２５は、外気取り込み部２５１、プレフィルタ２５２、加熱コイル２５３、冷水コイル２５４、加湿器２５５、再熱コイル２５６、送風機２５７及びへパフィルタ２５８を備える。
【００２１】
外気取り込み部２５１は、クリーンルーム９０の外気を、外調機２５内に取り込む。外気取り込み部２５１は、外気を取り込み可能な装置であればどのような装置であってもよく、例えば、換気扇であってもよい。
プレフィルタ２５２は、外気取り込み部２５１が取り込んだ外調機内空気の不純物を取り除く。加熱コイル２５３は、熱交換器２３から供給された第一熱媒体によってプレフィルタ２５２を通過した外調機内空気を加熱する。冷水コイル２５４は、自装置に供給された第三熱媒体によって、加熱コイル２５３による加熱後の外調機内空気の温度を下げる。加湿器２５５は、自装置に供給された第三熱媒体によって、冷水コイル２５４を通過した外調機内空気を加湿する。
【００２２】
再熱コイル２５６は、自装置に供給された第一熱媒体によって、加湿器２５５を通過した外調機内空気を加熱する。
【００２３】
送風機２５７は、再熱コイル２５６を通過した外調機内空気をクリーンルーム９０に向けて送風する。へパフィルタ２５８は、送風機２５７によって送風される外調機内空気の不純物を取り除く。
【００２４】
図４は、第１の実施形態における設定値演算装置１の機能構成の具体例を示す図である。設定値演算装置１は、外調機２５が必要とする負荷熱量を供給可能な第一熱媒体、を生成するために稼働させるべき冷凍機２２１の数を取得する。外調機２５が必要とする負荷熱量とは、外調機２５によって奪われる第三熱媒体の熱量Ｑａ  ｋＪである。稼働させるべき冷凍機２２１の数とは、冷凍機流量が０ではない冷凍機２２１の数である。
【００２５】
設定値演算装置１は、バスで接続されたＣＰＵ（Central Processing Unit）やメモリや補助記憶装置などを備え、プログラムを実行する。設定値演算装置１は、プログラムの実行によって入力部１1、第一熱媒体温度取得部１２、外調機熱量取得部１３、第二熱媒体流量取得部１４、冷凍機数取得部１５及び流量判定部１６を備える装置として機能する。
【００２６】
入力部１１は、自装置に対する指示温度及び指示湿度と、設定値演算装置１の演算に使用される各種設定値の入力を受け付ける。入力部１１は、入力された指示温度及び指示湿度と、設定値演算装置１の演算に使用される各種設定値とを、第一熱媒体温度取得部１２又は補助記憶装置に出力する。設定値演算装置１の演算に使用される各種設定値は、例えば、排熱回収量Ｑｒや温度Ｔｈｉや温度Ｔｅｏや外調機２５の仕様を示す情報や、熱交換器２３の仕様を示す情報や、冷凍機２２１の仕様を示す情報や、冷凍機ユニット２２の仕様を示す情報や、温度計２６が測定した外気の温度や、湿度計２７が測定した外気の湿度である。以下、温度計２６が測定した外気の温度を外気温度という。以下、湿度計２７が測定した外気の湿度を外気湿度という。
【００２７】
第一熱媒体温度取得部１２は、乾球温度と湿球湿度と相対湿度との関係と、指示温度及び指示湿度と、外気温度と、外気湿度とに基づいて外調機２５が取り込む第一熱媒体の温度Ｔｇｉを取得する。乾球温度と絶対湿度と相対湿度との関係とは、具体的には、空気線図によって表される関係である。
【００２８】
第一熱媒体温度取得部１２は、温度取得処理を実行することで、第一熱媒体の温度Ｔｇｉを取得する。温度取得処理は、指示温度と、指示湿度と、外気温度と、外気湿度とに基づいて第一熱媒体の温度Ｔｇｉを取得する処理である。第一熱媒体温度取得部１２は、第一熱媒体取得処理において、まず、給気露点状態の乾球温度（以下「給気露点温度」という。）を取得する。給気露点状態とは、絶対湿度が指示湿度であって、相対湿度が１００％である空気の状態である。第一熱媒体温度取得部１２は、次に、同一エンタルピー状態の乾球温度（以下「同一エンタルピー温度」という。）を取得する。同一エンタルピー状態は、給気露点状態の比エンタルピーと同一の比エンタルピーを有する空気の状態であって、絶対湿度が外気の湿度である空気の状態である。比エンタルピーとは、湿度を含んだ空気の熱量のことである。同一エンタルピー温度は、第一熱媒体温度取得部１２が温度取得処理によって取得する第一熱媒体の温度Ｔｇｉである。
【００２９】
外調機熱量取得部１３は、熱量取得処理を実行することで、熱量Ｑａ（以下「外調機熱量Ｑａ」という。）を取得する。外調機熱量Ｑａは、外調機２５が第一熱媒体から奪う熱量である。熱量取得処理は、指示温度と、指示湿度と、外気温度と、外気湿度とに基づいて外調機熱量Ｑａを取得する処理である。外調機熱量取得部１３は、熱量取得処理において、まず、給気露点状態の乾球温度及び絶対湿度を取得する。外調機熱量取得部１３は、次に、同一エンタルピー状態の乾球温度及び絶対湿度を取得する。外調機熱量取得部１３は、外気温度及び外気湿度と、同一エンタルピー状態の乾球温度及び絶対湿度とに基づいて、外気を同一エンタルピー状態の空気にするために必要な熱量を取得する。外調機熱量取得部１３は、給気露点状態の乾球温度及び絶対湿度と、指示温度及び指示湿度とに基づいて給気露点状態の空気を指示温度及び指示湿度の空気にするために必要な熱量を取得する。外気を、同一エンタルピー状態を経て、給気露点状態の空気にするために必要な熱量は、一般に、加熱負荷と言われる熱量である。給気露点状態の空気を指示温度及び指示湿度の空気にするために必要な熱量は、一般に、再熱負荷と言われる熱量である。加熱負荷と最熱負荷との和の熱量が外調機熱量Ｑａである。このようにして、外調機熱量取得部１３は、外調機熱量Ｑａを取得する。
なお、外調機熱量Ｑａは、以下の式（１）によって取得されてもよい。
【００３０】
【数１】
2019190705.tif 000003
【００３１】
式（１）において、Ｖは、送風機２５７が送り出す空気の風量である。γαは送風機２５７が送り出す空気の比重量である。Ｃｐａは、空気の定圧比熱である。ｈ０は加熱前の空気の比エンタルピーである。ｈ１は再熱後の空気の比エンタルピーである。
【００３２】
式（１）における風量γαは、送風機２５７が送り出す空気の風量の測定値であってもよい。式（１）における風量γαは、ＶＡＶ（Variable Air Volume）開度に基づいて取得される値であって、風量γαに相当する物理量の値であってもよい。式（１）における風量γαは、ファンＩＶＮ（Inverter）周波数に基づいて取得される値であって、風量γαに相当する物理量の値であってもよい。
【００３３】
第二熱媒体流量取得部１４は、第一熱媒体温度取得部１２が取得した温度Ｔｇｉと、外調機熱量取得部１３が取得した外調機熱量Ｑａと、温度Ｔｅｏとに基づいて、第二熱媒体流量を取得する。
具体的には、第二熱媒体流量取得部１４は、第一流量取得処理を実行することで、第二熱媒体流量を取得する。第一流量取得処理において、第二熱媒体流量取得部１４は、まず、熱量Ｑｈを外調機熱量Ｑａに基づいて取得する。具体的には、第二熱媒体流量取得部１４は、Ｑｈ＝Ｑａによって熱量Ｑｈを取得する。次に、第二熱媒体流量取得部１４は、温度Ｔｇｉに基づいて温度Ｔｅｉを取得する。具体的には、第二熱媒体流量取得部１４は、まず、温度Ｔｇｉに基づいて温度Ｔｈｏを取得する。上述したように、熱源システム２００において、熱交換器２３から外調機２５まで流れる間、第三熱媒体の単位体積あたりの熱量は、場所によらず、略一定であるため、Ｔｇｉ＝Ｔｈｏである。そのため、第二熱媒体流量取得部１４は、温度ＴｈｏとしてＴｇｉを取得する。次に、第二熱媒体流量取得部１４は、温度Ｔｈｏと温度Ｔｅｏと基づいて、以下の式（２）によって、第二熱媒体流量を取得する。
【００３４】
【数２】
2019190705.tif 000004
【００３５】
式（２）において、ｃは第二熱媒体の比熱である。ｍは、第二熱媒体流量である。式（２）においてΔｔは、Ｔｅｉ−Ｔｅｏである。上述したようにＴｅｉ＝Ｔｈｏであるため、Δｔ＝Ｔｈｏ−Ｔｅｏである。
【００３６】
冷凍機数取得部１５は、冷凍機必要数を取得する。冷凍機必要数は、クリーンルーム９０の温度及び湿度を指示温度及び指示湿度に制御するために稼働させる必要のある冷凍機２２１の数である。具体的には、冷凍機数取得部１５は、第二熱媒体流量取得部１４が取得した第二熱媒体流量ｍと、最大冷凍機流量とに基づいて、冷凍機必要数を取得する。最大冷凍機流量とは、冷凍機２２１の仕様に応じて決められた値であって、冷凍機２２１が取り込み可能な冷凍機流量の最大値である。最大冷凍機流量は、予め不図示の補助記憶装置に記憶された情報である。冷凍機数取得部１５は、第二熱媒体流量ｍを最大冷凍機量によって割り算した商の値以下の整数より１大きい値を、冷凍機必要数として取得する。
【００３７】
流量判定部１６は、第二熱媒体流量取得部１４が取得した第二熱媒体流量ｍが、ユニット最大冷凍機流量以下であるか否かを判定する。流量判定部１６は、第二熱媒体流量取得部１４が取得した第二熱媒体流量ｍが、ユニット最大冷凍機流量以下でない場合、警告を出力する。警告は、熱源システム２００によるクリーンルーム９０の制御が不可能であることを示す情報である。ユニット最大冷凍機流量は、稼働可能な冷凍機２２１の最大数と最大冷凍機流量との積である。可動可能な冷凍機２２１とは、第二熱媒体を取り込み可能な冷凍機２２１である。稼働可能な冷凍機２２１の最大数は、予め不図示の補助記憶装置に記憶された情報である。
【００３８】
図５は、第１の実施形態における乾球温度と絶対湿度と相対湿度との具体的な関係を示す図である。
図５において、点Ｐ１は、外気の乾球温度及び絶対湿度を示す。点Ｐ２は、同一エンタルピー状態の空気の乾球温度及び絶対湿度を示す。点Ｐ３は、給気露点状態の空気の乾球温度及び絶対湿度を示す。点Ｐ４は、指示温度及び指示湿度を示す。
【００３９】
図６は、第１の実施形態における設定値演算装置１が冷凍機必要数を取得する具体的な処理の流れを示すフローチャートである。
入力部１１に指示温度及び指示湿度が入力される（ステップＳ１０１）。第一熱媒体温度取得部１２は、温度取得処理を実行することで、第一熱媒体の温度Ｔｇｉを取得する（ステップＳ１０２）。外調機熱量取得部１３が熱量取得処理を実行することで、外調機熱量を取得する（ステップＳ１０３）。第二熱媒体流量取得部１４は、第一流量取得処理を実行することで、第二熱媒体流量を取得する（ステップＳ１０４）。流量判定部１６は、第二熱媒体流量取得部１４が取得した第二熱媒体流量ｍが適正値であるか否かを判定する。具体的には、流量判定部１６は、第二熱媒体流量ｍがユニット最大冷凍機流量以下であるか否かを判定する（ステップＳ１０５）。第二熱媒体流量ｍが適正値である場合（ステップＳ１０５：ＹＥＳ）、冷凍機数取得部１５は、冷凍機必要数を取得する（ステップＳ１０６）。一方、第二熱媒体流量ｍが適正値である場合（ステップＳ１０５：ＮＯ）、流量判定部１６は警告を出力する（ステップＳ１０７）。
【００４０】
図７は、第１の実施形態における外調機２５がクリーンルーム９０に送り出す空気を生成する具体的な処理の流れを示すフローチャートである。
設定値演算装置１が冷凍機必要数を取得した後、監視制御装置３の制御によって、外気取り込み部２５１が外気を取り込む（ステップＳ２０１）。プレフィルタ２５２が、外気取り込み部２５１が取り込んだ外調機内空気の不純物を取り除く（ステップＳ２０２）。加熱コイル２５３による加熱と、冷水コイル２５４による冷却とによって外調機内空気の乾球温度及び絶対湿度を、設定値演算装置１が取得した同一エンタルピー状態の乾球温度及び絶対湿度にする（ステップＳ２０３）。図７においてステップＳ２０３の処理は、エンタルピー空気生成と記載されている。加湿器２５５は、自装置に供給された第三熱媒体によって、同一エンタルピー状態の空気を加湿し、給気露点状態の空気を生成する（ステップＳ２０４）。再熱コイル２５６は、自装置に供給された第一熱媒体によって、給気露点状態の空気を、乾球温度が指示温度になるまで加熱する（ステップＳ２０５）。ステップＳ２０５の処理は一般に再熱と言われる。送風機２５７は、ステップＳ２０５で生成された外調機内空気をクリーンルーム９０に向けて送風する（ステップＳ２０６）。へパフィルタ２５８は、送風機２５７によって送風される外調機内空気の不純物を取り除く（ステップＳ２０７）。
【００４１】
このように構成された第１の実施形態の監視制御システム１００は、指示温度及び指示湿度と乾球温度と湿球湿度と相対湿度との関係に基づいて、同一エンタルピー温度を取得することができる。そのため、このように構成された第１の実施形態の監視制御システム１００は、可動させる必要のある冷凍機２２１の数を熱源システム２００の稼働前に取得することができる。このため、このように構成された第１の実施形態の監視制御システム１００は、制御対象の温度及び湿度をより効率的に制御することができる。
【００４２】
（第２の実施形態）
図８は、第２の実施形態の監視制御システム１００ａのシステム構成の具体例を示す図である。監視制御システム１００ａは、設定値演算装置１に代えて設定値演算装置１ａを備える点で、監視制御システム１００と異なる。以下、図１と同様の機能を有するものは、同じ符号を付すことで説明を省略する。
【００４３】
図９は、第２の実施形態における設定値演算装置１ａの機能構成の具体例を示す図である。設定値演算装置１ａは、外調機熱量取得部１３に代えて、外調機熱量取得部１３ａを備える点で、設定値演算装置１と異なる。外調機熱量取得部１３ａは、乾球温度と湿球湿度と相対湿度との関係と、指示温度及び指示湿度とにくわえて、さらに、室内顕熱負荷に基づいて外調機熱量Ｑａを取得する点で外調機熱量取得部１３と異なる。第２の実施形態における室内顕熱負荷は、クリーンルーム９０内の室内顕熱負荷である。外調機熱量取得部１３ａは、給気露点状態の乾球温度及び絶対湿度と、指示温度及び指示湿度とにくわえて、さらに、室内顕熱負荷に基づいて再熱負荷を取得する。外調機熱量取得部１３ａは、具体的には、再熱負荷と室内顕熱負荷との和が、指示温度及び指示湿度の空気の比エンタルピーであるように、再熱負荷を取得する。室内顕熱負荷は、どのように取得される値であってもよい。室内顕熱負荷は、例えば、クリーンルーム９０内の装置の仕様に基づいてユーザによって取得された値であってもよい。室内顕熱負荷は、例えば、設定値演算装置１ａが第三熱媒体の温度に基づいて取得する値であってもよい。以下、図４と同様の機能を有するものは、同じ符号を付すことで説明を省略する。
【００４４】
図１０は、第２の実施形態における設定値演算装置１ａが冷凍機必要数を取得する具体的な処理の流れを示すフローチャートである。以下、図６と同様の処理は、同じ符号を付すことで説明を省略する。
ステップＳ１０２の次に、外調機熱量取得部１３ａは、まず、給気露点状態の乾球温度及び絶対湿度を取得する。外調機熱量取得部１３ａは、給気露点状態の比エンタルピーと、指示温度及び指示湿度が示す比エンタルピーとの差の比エンタルピーが示す熱量から室内顕熱負荷を引き算する。外調機熱量取得部１３ａが、引き算によって取得した値が再熱負荷である。外調機熱量取得部１３ａは再熱負荷と加熱負荷との和を外調機熱量として取得する（ステップＳ１０８）。
【００４５】
図１１は、第２の実施形態における外調機２５がクリーンルーム９０に送り出す空気を生成する具体的な処理の流れを示すフローチャートである。以下、図７と同様の処理は、同じ符号を付すことで説明を省略する。
ステップＳ２０４の次に、再熱コイル２５６は、自装置に供給された第一熱媒体によって、給気露点状態の空気に、外調機熱量取得部１３ａが取得した再熱負荷の熱量を与える
（ステップＳ２０８）。
【００４６】
このように構成された第２の実施形態の監視制御システム１００ａは、熱源システム２００の稼働前に室内顕熱負荷に基づいて外調機熱量を取得することができる。そのため、制御対象の温度及び湿度をより効率的に制御することができる。
【００４７】
（第３の実施形態）
図１２は、第３の実施形態における監視制御システム１００ｂのシステム構成の具体例を示す図である。監視制御システム１００ｂは、設定値演算装置１に代えて設定値演算装置１ｂを備える点と、熱源システム２００に代えて熱源システム２００ｂを備える点とで、監視制御システム１００と異なる。以下、図１と同様の機能を有するものは、同じ符号を付すことで説明を省略する。
【００４８】
図１３は、第３の実施形態における熱源システム２００ｂのシステム構成の具体例を示す図である。図１３に示す熱源システム２００ｂは、分配器２８−１に代えて分配器２８ｂ−２を備える点と、分配器２８−２に代えて分配器２８ｂ−１を備える点と、ボイラユニット２９を備える点とで、熱源システム２００と異なる。以下、図４と同様の機能を有するものは、同じ符号を付すことで説明を省略する。
【００４９】
分配器２８ｂ−１は、外調機２５が送り出した第一熱媒体を取り込み、取り込んだ第一熱媒体の一部（以下「ボイラユニット熱媒体」という。）をボイラユニット２９に送り出す。分配器２８ｂ−１は、外調機２５が送り出した第一熱媒体のうちボイラユニット熱媒体以外の第一熱媒体（以下「熱交換器第一熱媒体」という。）を熱交換器２３に送り出す。分配器２８ｂ−２は、ボイラユニット熱媒体と熱交換器第一熱媒体とを取り込み、合流させて、外調機２５に送り出す。
【００５０】
ボイラユニット２９は、ボイラ２９１−１〜２９１−Ｍ（Ｍは１以上の整数）を備える。以下、ボイラ２９１−１〜２９１−Ｍをそれぞれ区別しない場合、ボイラ２９１という。ボイラ２９１は、ボイラユニット熱媒体の一部を取り込み、取り込んだボイラユニット熱媒体の一部に熱量を与える。以下、ボイラ２９１が取り込むボイラユニット熱媒体の一部をボイラ熱媒体という。ボイラユニット２９は、ボイラユニット熱媒体を取り込み、ボイラ２９１−１〜２９１−Ｍによって合計Ｑｂ  ｋＪの熱量をボイラユニット熱媒体に与える。以下、説明の簡単のためボイラ２９１−１〜ボイラ２９１−Ｍがボイラ熱媒体に与える熱量（以下「ボイラ熱量」という。）はボイラ２９１によらず同じであると仮定する。以下、熱量Ｑｂをボイラユニット熱量Ｑｂという。ボイラユニット熱量Ｑｂは、ボイラ熱量とボイラユニット２９が備えるボイラ２９１の数との積である。以下、ボイラユニット２９がボイラ熱媒体に与えることができるボイラユニット熱量Ｑｂの最大値を最大ボイラユニット熱量という。以下、説明の簡単のため、ボイラ２９１−１〜２９１−Ｍの最大ボイラ熱量はボイラ２９１によらず同じであると仮定する。最大ボイラ熱量は、ボイラ２９１の仕様に応じた値であって、ボイラ熱量の最大値である。最大ボイラユニット熱量は、ボイラユニットが備えるボイラ２９１の数と最大ボイラ熱量との積である。ボイラ熱量は、ユーザが設定可能な量である。ボイラ熱量は、予め熱源システム２００ｂのユーザによって定められた熱量であって、熱源システム２００ｂの稼働中は、ユーザが変更しない限り指示温度及び指示湿度によらず一定の値を保つ熱量である。上述したように、ボイラユニット熱量Ｑｂは、ボイラ熱量とボイラユニット２９が備えるボイラ２９１の数との積である。そのため、ボイラユニット熱量Ｑｂも、予め熱源システム２００ｂのユーザによって定められた熱量であって、熱源システム２００ｂの稼働中は、ユーザが変更しない限り指示温度及び指示湿度によらず一定の値を保つ熱量である。
【００５１】
以下、ボイラユニット２９が取り込むボイラユニット熱媒体の流量を流量Ｒ１という。以下、熱交換器第一熱媒体の流量を流量Ｒ２という。以下、分配器２８ｂ−１が取り込み、分配器２８ｂ−２が外調機２５に送り出す第一熱媒体の流量を流量Ｒ３という。流量Ｒ１、流量Ｒ２及び流量Ｒ３は、Ｒ２＝Ｒ１＋Ｒ３の関係を満たす。
【００５２】
ここで、熱源システム２００ｂにおける第一熱媒体の温度について説明をする。
熱源システム２００ｂにおいて、熱交換器２３から分配器２８−１に流れる熱交換器第一熱媒体は、分配器２８−１でボイラユニット熱媒体と合流するため、温度Ｔｈｏと温度Ｔｇｉとは異なりうる。しかしながら、ボイラユニット２９がボイラユニット熱媒体を温度Ｔｈｏにして送り出す場合であって、放熱による第一熱媒体の温度変化が０に略同一である場合、Ｔｇｉ＝Ｔｈｏである。以下、説明の簡単のため、熱源システム２００ｂにおいて、ボイラユニット２９はボイラユニット熱媒体を温度Ｔｈｏにして送り出し、放熱による第一熱媒体の温度変化は０に略同一であると仮定して説明を行う。すなわち、以下の説明において、熱源システム２００ｂにおける温度Ｔｈｏと温度Ｔｇｉとは同じ値である。
【００５３】
図１４は、第３の実施形態における設定値演算装置１ｂの機能構成の具体例を示す図である。設定値演算装置１ｂは、第二熱媒体流量取得部１４及び冷凍機数取得部１５に代えて、第二熱媒体流量取得部１４ｂ及び冷凍機数取得部１５ｂを備える点で、第１の実施形態における設定値演算装置１ｂと異なる。
【００５４】
第二熱媒体流量取得部１４ｂは、第一熱媒体温度取得部１２が取得した温度Ｔｇｉと、外調機熱量取得部１３が取得した外調機熱量Ｑａと、温度Ｔｅｏと、ボイラユニット熱量Ｑｂとに基づいて、第二熱媒体流量ｍを取得する。具体的には、第二熱媒体流量取得部１４ｂは、第二流量取得処理を実行することで、第二熱媒体流量ｍを取得する。第二流量取得処理において、第二熱媒体流量取得部１４ｂは、まず、熱量Ｑｈを外調機熱量Ｑａとボイラユニット熱量Ｑｂとに基づいて取得する。具体的には、第二熱媒体流量取得部１４ｂは、Ｑｈ＝Ｑａ−Ｑｂによって熱量Ｑｈを取得する。次に、第二熱媒体流量取得部１４ｂは、温度Ｔｇｉに基づいて温度Ｔｅｉを取得する。上述したようにＴｇｉ＝Ｔｈｏであり、かつ、Ｔｈｏ＝Ｔｅｉであるため、具体的には、第二熱媒体流量取得部１４ｂは、温度Ｔｇｉを温度Ｔｅｉとして取得する。次に、第二熱媒体流量取得部１４ｂは、第二流量取得処理において、熱量Ｑｈと温度Ｔｅｉと温度Ｔｅｏと、上述の式（２）とによって第二熱媒体流量ｍを取得する。
このようにして第二熱媒体流量取得部１４ｂは、第二熱媒体流量ｍを取得する。
【００５５】
冷凍機数取得部１５ｂは、第一熱媒体温度取得部１２が取得した温度Ｔｇｉと、外調機熱量取得部１３が取得した外調機熱量Ｑａと、第二熱媒体流量取得部１４ｂが取得した第二熱媒体流量ｍと、冷凍機電力情報と、ボイラ電力情報と、排熱回収量Ｑｒと、ボイラユニット熱量Ｑｂとに基づいて、所定の条件を満たしながらシステム電力消費量を最も少なくする冷凍機２２１の数と、ボイラ２９１の数とを取得する。冷凍機電力情報及びボイラ電力情報は、予め不図示の補助記憶装置に記憶された情報である。熱源数情報が示す冷凍機２２１の数を冷凍機数Ｓｃとし、熱源数情報が示すボイラ２９１の数をボイラ数Ｓｂとする。
冷凍機電力情報は、冷凍機２２１が消費する電力と冷凍機２２１が冷凍機熱媒体に与える冷凍機熱量との関係を示す。
ボイラ電力情報は、ボイラ２９１が消費する電力とボイラ２９１がボイラ熱媒体に与えるボイラ熱量との関係を示す。
システム電力消費量は、指示温度及び指示湿度が示す温度及び湿度にクリーンルーム９０を制御するために、冷凍機ユニット２２及びボイラユニット２９によって消費される電力の合計値である。
【００５６】
冷凍機数取得部１５ｂは、冷凍機電力情報とボイラ電力情報とに基づいて、冷凍機数取得処理を実行する。冷凍機数取得部１５は、冷凍機数取得処理を実行することで、所定の条件を満たしつつシステム電力消費量を最も少なくする冷凍機２２１の数と、ボイラ２９１の数とを取得する。所定の条件とは、以下の３つの条件である。１つ目の条件は、温度Ｔｇｉが、第一熱媒体温度取得部１２が取得した値であることである。２つ目の条件は、外調機熱量Ｑａが、外調機熱量取得部１３が取得した値であることである。３つ目の条件は、第二熱媒体流量が、第二熱媒体流量取得部１４ｂが取得した値であることである。冷凍機数取得処理は、所定の条件を満たしつつシステム電力消費量を最低値とする冷凍機２２１の数と、ボイラ２９１の数とを取得可能な処理であればどのような処理であってもよい。例えば、冷凍機２２１の数と、ボイラ２９１の数とを変えていくことで、所定の条件を満たしつつシステム電力消費量を最も少なくする冷凍機２２１の数と、ボイラ２９１の数を探索する方法であってもよい。
【００５７】
図１５は、第３の実施形態における設定値演算装置１ｂがシステム電力消費量を最も少なくする冷凍機２２１の数とボイラ２９１の数とを取得する具体的な処理の流れを示すフローチャートである。以下、図６と同様の処理は、同じ符号を付すことで説明を省略する。
ステップＳ１０５においてｍが適正値であった場合（ステップＳ１０５：ＹＥＳ）、冷凍機数取得部１５ｂは冷凍機数取得処理を実行する。冷凍機数取得部１５ｂは、冷凍機数取得処理の実行によって所定の条件を満たしながらシステム電力消費量を最も少なくする冷凍機２２１の数と、ボイラ２９１の数とを取得する（ステップＳ１０９）。
【００５８】
このように構成された第３の実施形態における監視制御システム１００ｂは、熱源システム２００の稼働前に、システム電力消費量を最も少なくする冷凍機２２１の数とボイラ２９１の数とを取得することができる。そのため、制御対象の温度及び湿度をより効率的に制御することができる。
【００５９】
（変形例）
設定値演算装置１、１ａ及び１ｂは、取得した冷凍機２２１の数を用いて、冷凍機２２１と冷却塔２１と外調機熱量Ｑａとの関係性を機械学習によって学習してもよい。具体的には、設定値演算装置１、１ａ及び１ｂは、熱源システム２００又は２００ｂをモデル化する数式の所定の係数を機械学習によって学習してもよい。
【００６０】
なお、設定値演算装置１及び１ａは、必ずしも冷凍機必要数を取得する必要はない。設定値演算装置１は、例えば、冷凍機ユニット２２が取り込む第二熱媒体流量ｍを取得するだけであってもよい。
【００６１】
なお、冷凍機ユニット２２が一台の冷凍機２２１だけを備える場合には、設定値演算装置１、１ａ及び１ｂは、第二熱媒体流量ｍを冷凍機２２１が取り込む冷凍機流量として取得してもよい。この場合、さらに、設定値演算装置１、１ａ及び１ｂは、温度Ｔｅｉと、排熱回収量Ｑｒと、第二熱媒体流量ｍとに基づいて、排熱回収量Ｑｒを第二熱媒体流量ｍで割った商を温度Ｔｅｉから引いた値を取得してもよい。温度Ｔｅｉと温度Ｔｒｏとが略同一である場合、このようにして取得された値は温度Ｔｒｉである。
【００６２】
なお、第一熱媒体の温度Ｔｇｉは第一の温度の一例である。なお、温度Ｔｅｉは第二の温度の一例である。なお、第一熱媒体温度取得部１２は、第一温度取得部の一例である。なお、第二熱媒体流量取得部１４は、第二熱量取得部の一例である。なお、熱量Ｑｈは第二の熱量の一例である。なお、外調機熱量Ｑａは、第一の熱量の一例である。なお、外調機熱量取得部１３は、第一熱量取得部の一例である。なお、第二熱媒体流量は、第二の熱媒体の量の一例である。
【００６３】
上記各実施形態では、設定値演算装置１、１ａ及び１ｂの各機能部はソフトウェア機能部であるものとしたが、ＬＳＩ等のハードウェア機能部であってもよい。
【００６４】
以上説明した少なくともひとつの実施形態によれば、第一熱媒体温度取得部１２と、外調機熱量取得部１３又は１３ａとを備えることにより、制御対象となるエリアの温度及び湿度をより効率的に制御することができる。
【００６５】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６６】
１…設定値演算装置、１ａ…設定値演算装置、１ｂ…設定値演算装置、２…機器、３…監視制御装置、１００…監視制御システム、１００ａ…監視制御システム、１００ｂ…監視制御システム、２００…熱源システム、２００ｂ…熱源システム、２１…冷却塔、２２…冷凍機ユニット、２３…熱交換器、２４…ポンプ、２５…外調機、２６…温度計、２７…湿度計、２８…分配器、２９…ボイラユニット、２２１…冷凍機、２５１…外気取り込み部、２５２…プレフィルタ、２５３…加熱コイル、２５４…冷水コイル、２５５…加湿器、２５６…再熱コイル、２５７…送風機、２５８…へパフィルタ、２９１…ボイラ、１１…入力部、１２…第一熱媒体温度取得部、１３…外調機熱量取得部、１３ａ…外調機熱量取得部、１４…第二熱媒体流量取得部、１４ｂ…第二熱媒体流量取得部、１５…冷凍機数取得部、１５ｂ…冷凍機数取得部、１６…流量判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2019190705.tif 000015
【図１２】
2019190705.tif 000016
【図１３】
2019190705.tif 000017
【図１４】
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【図１５】
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