(57)【要約】【課題】  シャッタ装置の駆動時に必要な潤滑性を良好に保ちながら、摩耗分の発生を防止し、要求される低反射性を満足することのできる光学部材を提供することである。【解決手段】  複合粒子と金属からなる潤滑層が最表層に形成されている光学部材であって、前記複合粒子は光吸収剤を固体潤滑剤で包括しものとなっている。光学部材を使用したカメラ用シャッタユニットに好ましく用いられる。また、光学部材を使用したカメラ用シャッタユニットを備えるカメラに好ましく用いられる。【選択図】図４
2019101119.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複合粒子と金属からなる潤滑層が最表層に形成されている光学部材であって、前記複合粒子は光吸収剤を固体潤滑剤で包括したことを特徴とする光学部材。
【請求項２】
前記固体潤滑剤がフッ素含有樹脂からなることを特徴とする請求項１記載の光学部材。
【請求項３】
前記フッ素含有樹脂がＰＴＦＥであることを特徴とする請求項１または２記載の光学部材。
【請求項４】
前記光吸収剤が少なくとも可視光波長領域に吸収を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光学部材。
【請求項５】
前記潤滑層を構成する金属がＮｉ,Ｐを含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学部材。
【請求項６】
前記潤滑層がめっき被膜であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の光学部材。
【請求項７】
前記潤滑層が無電解めっきにより形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の光学部材。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の光学部材を使用したカメラ用シャッタユニット。
【請求項９】
請求項８に記載のカメラ用シャッタユニットを具備することを特徴とするカメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタル一眼レフカメラに搭載されるフォーカルプレーンシャッタに含まれる光学部材の光吸収性を向上させ、低反射化することで、ゴースト等による画質の低下を抑制する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一眼レフカメラやデジタル一眼レフカメラには一般的に、フォーカルプレーンシャッタが用いられている。このようなフォーカルプレーンシャッタは、シャッタ幕やシャッタ幕を駆動させるためのアーム、フォーカルプレーンシャッタのフレームを構成する仕切板、カバー板などから構成されている。
【０００３】
カメラなどの撮影光学系に搭載される光学部材は、光学部材間の多重反射で発生するゴースト等や、光学部材同士の接触によって発生する異物が画像に映り込んでしまうなどの画質劣化を極力抑制することが求められる。このため、従来から、アーム、仕切板、カバー板には、ポリアミドイミドなどの樹脂バインダーに、潤滑性を向上させ光学部材同士の摩擦により発生する異物を抑制するための固体潤滑剤（二硫化モリブデン、ＰＴＦＥなど）と、光を吸収するための染料、顔料が添加された黒色潤滑塗装がされている。
【０００４】
このような背景を受け、特許文献１では潤滑性向上を目的に、ＰＴＦＥ粒子を分散させめっき膜が形成された光学部材が提案されている。ＰＴＦＥは表面張力が非常に低く、潤滑性の向上に効果を持っているので、耐摩耗性の高い金属膜に分散させてめっきすることで、潤滑性に優れた光学部材ができる。また、特許文献２では潤滑性の向上を目的にカーボンブラックを分散させためっき膜が形成された光学部材が提案されている。カーボンブラックは、可視光波長領域に吸収特性をもっており、ゴースト等の抑制にも効果がある。
【０００５】
特許文献３では低反射性、潤滑性などの向上を目的に、基材に金属遮光膜、炭化酸化チタン膜、最表層にフッ素系樹脂膜を積層した光学部材が提案されている。最表層に低屈折率で表面張力が低いフッ素樹脂が形成されており、フッ素樹脂より基材側に黒色で光吸収性の大きい炭化酸化チタン膜が形成されているので、低反射で潤滑性のある光学部材ができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８-１９７６０１号公報
【特許文献２】特開２０１３-２１６９７１号公報
【特許文献３】特開２０１４-１２２９４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１では、ＰＴＦＥを共析することで潤滑性は向上しているが、近年の撮像素子の高感度化に対して要求される低反射化は実現されていなかった。
【０００８】
また、特許文献２の構成では、ＰＴＦＥよりも潤滑性の劣るカーボンブラックが表層に存在する可能性があり、他の部材と接触した際に、カーボンブラックが剥離し、異物の発生源となってしまう虞がある。
【０００９】
特許文献３では、表面形状についての言及がなく、表面に存在する凸部のうち、高さを幅で除したアスペクト比の大きい尖った部分があった場合、相手材と接触してその部分が脱落し、異物の発生源になる虞がある。
【００１０】
本発明の目的は、潤滑性を良好に保ちながら、摩耗粉の発生を防止し、要求される低反射特性を満足する光学部材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
以上の課題を解決する為に、本発明における光学部材は、複合粒子と金属からなる潤滑層が最表層に形成されている光学部材であって、前記複合粒子は光吸収剤を固体潤滑剤で包括している。
【発明の効果】
【００１２】
上述のような構成とすることで、良好な潤滑性を保ちつつ、摩耗粉の発生を防止し、要求される低反射特性を満足する光学部材を提供することができる。更に、本発明の光学部材を組み込むことで、高画質化に対応したシャッタユニット、及びカメラを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】フォーカルプレーンシャッタ装置の正面図。
【図２】図１のＡ-Ａ断面図。
【図３】本発明の一実施形態に係わるデジタル一眼レフカメラの構成を示す側断面図。
【図４】実施例１のフォーカルプレーンシャッタに用いられる光学部材の断面図。
【図５】衝撃式打撃手段による粒子の包括に使用する装置の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施形態について説明する。
【００１５】
図３において３１はカメラボディ、３２はカメラボディ３１に着脱可能なレンズ鏡筒、３３は被写体像を結像させるための撮像光学系、３４はレンズ鏡筒３２をカメラボディに着脱するためのレンズマウントである。また、３５は被写体像を光電変換して画像信号を生成する撮像素子、３６は光学ローパスフィルター、３７はミラーボックス、３８はクイックリターンミラーである。また、１はフォーカルプレーンシャッタ、３,４はそれぞれフォーカルプレーンシャッタ１の開口部を開閉する先幕と後幕、３９は光学ファインダーである。
【００１６】
カメラボディ３１にはレンズマウント３４を介して各種の撮影レンズが着脱可能となっている。撮影レンズは撮像光学系３３を備えており、不図示のピント調整手段を用いて、被写体像を撮像素子３５の近傍に結像させる。
【００１７】
図１、２は、図３に示したデジタル一眼レフカメラ３０に内蔵されているフォーカルプレーンシャッタ１の構成を示す図であり、図１はフォーカルプレーンシャッタ１の正面図、図２はフォーカルプレーンシャッタ１のＡ-Ａ断面図である。
【００１８】
図１、２において、２はフォーカルプレーンシャッタのフレームを構成する地板であり、流動性が高いため成形時の寸法安定性が良く、熱収縮の小さい液晶ポリマーからなる。また、地板１は、撮影用の開口部であるアパーチャ枠を有し、アパーチャ枠の周囲には斜面（面取り）が形成されている。１６は後述の先幕３と後幕４の間にあってそれぞれの走行スペースを仕切る仕切板である。仕切板１６は、撮影用の開口部であるアパーチャ枠を有している。１５は、地板２と共にフォーカルプレーンシャッタ１のフレームを構成し、先幕３が羽根走行方向と直行する方向に広がるのを防ぐカバー板である。カバー板１５は、撮影用の開口部であるアパーチャ枠を有し、アパーチャ枠の周囲には斜面（面取り）が形成されている。さらに、カバー板１５は、仕切板２および後述の先幕３と後幕４を地板２との間で挟むように配置されている。このフォーカルプレーンシャッタ１は、いわゆる縦走りタイプと呼称されているもので  あり、地板２のアパーチャ枠を開閉する上下方向に走行する先幕３、及び後幕４を有している。そして相互に重なり合う複数枚（図示例ではそれぞれ５枚、及び４枚）のシャッタ羽根５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３は、移動方向に対して略直行する方向を長手方向とする形状を有している。
【００１９】
先幕３はカバー板１５と仕切板１６との間に配置され、後幕４は仕切板１６と地板２との間に配置されている。先幕３を構成するシャッタ羽根５から９の長手方向一端側（図１左側）には、先幕支持アーム１７と先幕駆動アーム１８がそれぞれカシメダボを介して取り付けられており、上述した構成において、先幕駆動アーム１８が不図示の駆動源からの駆動力を受けて、回転すると先幕シャッタ羽根５〜９が重畳したり展開したりする。同様に後幕４を構成するシャッタ羽根１０から１３の長手方向の一端側にも後幕支持アーム１９と後幕駆動アーム２０がカシメダボを介して取り付けられており、上述した構成において、後幕駆動アーム２０が不図示の駆動源からの駆動力を受けて、回転すると後幕シャッタ羽根１０〜１３が重畳したり展開したりする。すなわち、撮影待機状態においては先幕シャッタ羽根５〜９が展開状態にあり、後幕シャッタ羽根１０〜１３が重畳状態にある。そして、撮影を行う際には先幕シャッタ羽根５〜９が重畳動作を開始するとともに、この動作が開始されてから所定時間経過後に後幕シャッタ羽根１０〜１３が展開動作を開始する。撮影が終了すると、先幕シャッタ羽根５〜９および後幕シャッタ羽根１０〜１３は撮影待機状態に戻る。
【００２０】
上記のようにシャッタユニットに使用され、他部材と接触するカバー板１５、仕切板１６には、潤滑性向上、摩耗粉の発生防止、低反射化のために複合粒子と金属からなる潤滑層が形成されている。ここで複合粒子とは光吸収剤を固体潤滑剤で包括した粒子である。この潤滑層を形成する方法としては、真空蒸着法、イオンプレーティング法、化学蒸着法、スパッタ法、めっき法等があるが、必要な特性を満たす膜厚や膜質を適切にする必要があることから、制御が簡便なめっき法を採用することが好ましい。
【００２１】
めっき法により潤滑層を形成する方法としては、前記複合粒子を分散させためっき液を用いる方法がある。前記めっき液から潤滑めっき膜を形成する方法は、電気めっき、無電解めっきのどちらでも問題ないが、膜厚分布が管理しやすく寸法安定性のより優れた無電解めっきが望ましい。
【００２２】
また、潤滑層を形成する金属の種類としては、本発明による特段の制限はない。但し、他部材と接触する光学部材としての機能を考えた場合、接触時に異物が発生しにくい金属の材質が好ましく、例えば、ＮｉＰ、ＮｉＰＢ、Ｃｒ、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｒｈ等が用いられる。また、前記金属のうち、硬度が高く、低コストであるＮｉＰ金属めっき膜がさらに好ましい。
【００２３】
前記光吸収剤は、光学部材に入射した光を吸収することで、光学部材での反射に起因した画質劣化を抑制する目的で用いる。光学部材での反射に起因した画質の劣化は、主に可視光波長領域の反射に起因しているため、光吸収剤の種類としては、少なくとも可視光波長領域に光吸収特性を有していればよく、たとえば、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、カーボンファイバー、黒鉛などの炭素材料や、炭化チタン、炭化酸化チタンのような金属炭化物、シアニン系色素、フタロシアニン系色素、アゾ系色素などの色素などが挙げられる。これらの光吸収剤は所望の吸収特性を得られるように、単独あるいは複数を混合して利用することができる。ここで可視光波長とは光波長４００ｎｍ−７００ｎｍを指す。
【００２４】
特に、干渉タイプの赤外カットフィルターを搭載したカメラでは、赤色の波長付近（光波長６００〜７５０ｎｍ程度）の光でゴーストが発生しやすい。干渉タイプの赤外カットフィルターは、通常撮影に必要な可視光波長を透過する透過領域と通常撮影に不要な近赤外波長を反射によって遮蔽する不透過領域を有し、透過領域と不透過領域によって形成される遷移波長領域（光波長６００〜７５０ｎｍ）におけるゴースト強度が大きくなる。その為、前記光吸収剤の吸収特性が上述の遷移波長領域において大きいものを採用することでゴーストの発生をより効果的に抑制できる。
【００２５】
色素によって光吸収特性を得る場合には、樹脂バインダーに色素を分散させたものを光吸収剤としてもよい。なお、樹脂バインダーに色素を均一に分散させるために、溶媒を用いてもよい。色素として有機色素を使用する場合は、色素と樹脂バインダーからなる光吸収剤に紫外線吸収剤を添加することが好ましい。有機色素は、紫外線による劣化で、光吸収特性が変化しやすいが、紫外線吸収剤を添加することで、長期にわたり吸収特性の安定した光吸収剤を得ることができる。
【００２６】
次に固体潤滑剤について説明する。固体潤滑剤は最表層の潤滑性を向上するために用いられ、光吸収剤を包括している。
【００２７】
固体潤滑剤としては、摩擦係数が低い材料、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテルコポリマー）などのフッ素樹脂、２,２,２-トリフルオロエチルアクリレートのようなフッ素含有（メタ）アクリル化合物などのフッ素含有樹脂、二硫化モリブデン、銀、鉛などを用いることができる。このうち、フッ素樹脂は、摩擦係数が低く、低屈折率であるため、潤滑性向上と低反射化を同時に満たしうる材料であるので好ましく、フッ素樹脂の中でも摩擦係数の最も低いＰＴＦＥが特に好ましい。
【００２８】
次に複合粒子の作製法について説明する。複合粒子の作製方法としては、光吸収剤が固体潤滑剤により包括された構造を形成できればよく、例えば、衝撃式打撃手段による粒子の包括、物理吸着法、化学吸着法、真空蒸着法、分子線蒸着法、イオンプレーティング法、イオンビーム蒸着法、化学蒸着法、スパッタ法、レーザー蒸発法などの乾式方法や、ディッピング法などの湿式法、スプレー法などの塗布法などが挙げられる。このうち、比較的生産性に優れ制御することが容易な作製法として、衝撃式打撃による粒子の包括が好ましく用いられる。
【００２９】
以下に、本発明の一実施形態として光吸収剤としてカーボンブラック、固体潤滑剤としてＰＴＦＥを用いた場合の、衝撃式打撃法による複合粒子の作製方法を説明する。
【００３０】
まず、カーボンブラック粒子の表面にＰＴＦＥ粒子を付着させる。カーボンブラック粒子とＰＴＦＥ粒子を攪拌混合機に投入し、所定の回転速度でローターを回転させ、二つの粉末を混合し、その際に発生する静電気で、カーボンブラック粒子の表面にＰＴＦＥ粒子を付着させる。
【００３１】
次に、ＰＴＦＥ粒子を付着させたカーボンブラック粒子を図５に示す装置に投入口５１から投入する。衝撃室５２に入った前記カーボンブラック粒子は、所定の速度で高速回転する回転盤５３の多数の衝撃ピン５４によって瞬間的な打撃作用、及び周辺の衝突リング５５との衝突により、カーボンブラック粒子表面のＰＴＦＥ粒子が圧縮作用を受ける。
【００３２】
このような衝撃作業が短時間のうちに連続して何回も繰り返されることで、ＰＴＦＥ粒子はカーボンブラック粒子の表面に強固に固着され、さらに、衝撃、打撃作用によるエネルギーを受けることにより、ＰＴＦＥ粒子は短時間のうちに軟化・溶融され、ＰＴＦＥ粒子同士が融着しあう。この一連の衝撃作用、即ちカーボンブラック粒子表面に対するＰＴＦＥ粒子の軟化・溶融固定化作業は、ＰＴＦＥ粒子が所望の融着状態になるまで継続される。作業終了後、複合粒子を排出口５６より取り出す。上記工程を経ることにより、複合粒子を作製できる。
【００３３】
ここで、光吸収剤粒子を固体潤滑粒子で包括するためには、固体潤滑粒子の重量は、光吸収剤粒子の重量に対して１０%以上が好ましく、それ以上であれば、適切な比率を適宜決定すればよい。固体潤滑粒子の重量が、光吸収剤粒子の重量に対して１０%より少なくなると、固体潤滑粒子数が少ないため、光吸収剤を十分に包括できないためである。
【００３４】
また、複合粒子の粒径は、潤滑層形成時のめっき液中での分散性を考慮すると１００ｎｍ〜３μｍ程度であることが好ましい。１００ｎｍ以下では、めっき液中での分散性が悪く、３μｍ以上では粒子が沈降し、複合粒子のめっき膜への共析が難しくなるためである。
【００３５】
複合粒子の粒径を１００ｎｍ〜３μｍとするには、光吸収剤粒子の粒径は１００ｎｍ〜２μｍとすることが好ましく、固体潤滑粒子の粒径は２０ｎｍ〜４００ｎｍとすることが好ましい。また、固体潤滑粒子としては、上記２０ｎｍ〜４００ｎｍの条件を満たし、かつ、光吸収剤粒子の粒径の１/５以下であることが好ましい。固体潤滑粒子の粒径を光吸収剤粒子の粒径の１/５以下としたのは、１/５より大きい場合には、付着した固体潤滑粒子間に空隙ができてしまい、光吸収剤粒子を十分に包括できないためである。
【００３６】
次に上記方法で作製した複合粒子を用いて、めっき法により、潤滑層を形成する方法について説明する。
【００３７】
まず、複合粒子を純水に分散させ複合粒子分散水溶液を得た。この際、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、ノニオン界面活性剤、両性界面活性剤などの界面活性剤を適量添加してもよい。これらの界面活性剤を添加することで、複合粒子の分散性を向上させることが出来る。作製した複合粒子分散水溶液を所定量めっき液に添加・攪拌することで複合粒子分散めっき液とした。
【００３８】
めっき膜の形成は、被めっき物を所定温度に設定した前記複合粒子分散めっき液に所定時間浸漬することにより行われる。被めっき物としては、ＦｅやＳＵＳなどの金属、ＡＢＳなどの樹脂を使用することができる。
【００３９】
めっき液への浸漬時間とめっき液の温度は、めっき液の組成やめっき膜の厚さ等を考慮して適宜決定すればよい。温度は、例えば６０〜９０℃、好ましくは７０〜９０℃とすることができ、浸漬時間は、例えば、１〜５０分とすることができる。また、めっき液のｐＨは３〜１０が好適である。必要であれば、めっき液に浸漬する前に、めっきの密着性を良好にする目的で、被めっき物に対して前処理を行うことも可能である。前処理としては、溶剤またはアルカリ溶液を用いた脱脂、酸浸漬処理等の公知の前処理を行うことができる。樹脂材料にめっきする際には、パラジウムなどの触媒を付与する工程が必要となる。また、前記複合金属めっき膜を形成する前に、公知の電気ニッケルめっきや無電解ニッケルめっきにより下地ニッケルめっきを施してもよい。
【００４０】
形成するめっき膜の厚さは特に限定されず、めっき液への浸漬時間、温度、ｐＨにより調整することができる。耐食性等を考慮すると、例えば２〜２０μｍ、好ましくは４〜１０μｍとすることができる。
【００４１】
更に、めっき膜を形成後、熱処理することにより、めっき膜の結晶化、高硬度化が起こり、耐摩耗性を向上させられる。熱処理の温度は、例えば１００〜３８０℃が好ましい。
【００４２】
このように上述しためっき法を採用することにより、本発明の実施形態となる光学部材において、好適な潤滑層を形成することが可能となる。
【００４３】
以下、本発明を更に詳細に説明する。但し、本発明は下記実施例に示す態様に限定されるものではない。
【００４４】
＜実施形態１＞
<複合粒子の作製>
平均粒径約３００ｎｍのカーボンブラック粒子と、平均粒径約６０ｎｍのＰＴＦＥ粒子を攪拌混合機に投入し、周速４０ｍ/ｓでローターを回転させ、その際に発生する静電引力により、カーボンブラック粒子にＰＴＦＥ粒子を付着させた。
【００４５】
次にＰＴＦＥ粒子が付着したカーボンブラック粒子を図５の装置に投入し、回転盤５３を周速１００ｍ/ｓで回転させた。回転盤５３の多数の衝撃ピン５４によって瞬間的な打撃作用、及び周辺の衝突リングとの衝突によりカーボンブラック粒子表面のＰＴＦＥ粒子に圧縮作用を与えることで、ＰＴＦＥ粒子はカーボンブラック粒子の表面に強固に固着される。さらに、衝撃、打撃作用によるエネルギーを受けることにより、ＰＴＦＥ粒子は短時間のうちに軟化・溶融され、ＰＴＦＥ粒子同士が融着しあう。この一連の衝撃作用、即ちカーボンブラック粒子表面に対するＰＴＦＥ粒子の軟化・溶融固定化作業を１０分間行うことで、複合粒子を得た。
【００４６】
<複合粒子分散めっき液の作製>
カチオン界面活性剤であるエソカード（ライオン（株）社製）とノニオン界面活性剤であるレオコール（ライオン（株）社製）各１ｇを純水１Ｌに溶かした水溶液に、前記複合粒子を添加し、１０分間超音波をかけ、複合粒子を水溶液中に分散させた。
【００４７】
上記、複合粒子分散水溶液１Ｌと、硫酸ニッケル、次亜リン酸を主成分とするカニフロンＳＥＦ-１５０３９Ｌ（日本カニゼン（株）社製）（ＳＥＦ-１５０-０：４Ｌ、ＳＥＦ-１５０-１：２Ｌ、純水：３３Ｌ）を混合し、攪拌羽根を１０分間回転させ、めっき液中に複合粒子を分散させた。
【００４８】
上記工程によって、潤滑層を形成するための複合粒子分散めっき液を作製した。
【００４９】
<めっき処理>
上記めっき液を使用して、炭素工具鋼（ＳＫ４）をプレスで打ち抜き成形したカメラ用シャッタユニットで使用するカバー板、及び仕切板に対して、表１に示す前処理、めっき、熱処理を行った。
【００５０】
まず、５０℃のアルカリ脱脂水溶液に１０分間浸漬させ、さらに５０℃の電界脱脂水溶液に浸漬させ、所定の電流密度で２分間電界脱脂を行うことで、プレス時に付着した加工油などを除去する。次に、めっきの反応性をよくするため、前記カバー板、仕切板を塩酸に０.５分浸漬し、表面を活性化させる。活性化後、前記カバー板、仕切板を９０℃の前記複合粒子分散めっき液に１８分間浸漬し、所定の膜厚の複合粒子分散めっき膜を形成した。最後に、耐摩耗性を向上させるために前記複合粒子分散めっき膜を形成した前記カバー板、仕切板を３５０℃で６０分熱処理した。
【００５１】
【表１】
2019101119.tif 000003
【００５２】
上述の工程を経ることで、複合粒子分散めっき層を形成したカバー板、仕切板を作製した。
【００５３】
[比較例１]
比較例１として、ＰＴＦＥ粒子をめっき膜に分散させたカバー板、仕切り板を作製した。
めっき液にはカニフロンＳＥＦ-１５０（カニフロン、日本カニゼン（株）社製）を使用した。建浴時の各液の量は、ＳＥＦ-１５０-０を４Ｌ、ＳＥＦ-１５０-１を２Ｌ、ＳＥＦ-１５０-４を１Ｌ、純水３３Ｌとした。
【００５４】
炭素工具鋼（ＳＫ４）をプレスで打ち抜き成形したカバー板、及び仕切板の表面に対して、表２に示す実施例１と同様の前処理、めっき、及び熱処理を行った。
【００５５】
【表２】
2019101119.tif 000004
【００５６】
上述の工程を経ることで、ＰＴＦＥ粒子分散めっき層を形成したカバー板、仕切板を作製した。
【００５７】
[比較例２]
まず、炭素工具鋼（ＳＫ４）をプレスで打ち抜き成形したカバー板、及び仕切板の両面に対してブラスト処理を行い、算術平均粗さＲａが１.０μｍ程度のカバー板、仕切板を得た。
【００５８】
炭化チタンターゲット、炭化酸化チタンターゲット、ＰＴＦＥターゲットと前記カバー板、及び前記仕切板が対向するようにスパッタ装置に取り付け、スパッタリング法でカバー板、及び仕切板上に炭化チタン膜、炭化酸化チタン膜、ＰＴＦＥ膜の順に所定の厚みの膜を形成した。上記作業を裏面でも行い、両面に炭化チタン膜、炭化酸化チタン膜、ＰＴＦＥ膜を形成した表面の算術平均粗さＲａが１.０μｍ程度のカバー板、及び仕切板を作製した。
【００５９】
（評価方法）
(１)耐摩耗性、(２)摩擦係数、(３)反射率に関しては、実施例１、比較例１、２で作製した    カバー板、仕切板を評価し、(４)異物の付着、(５)画像評価は実施例１、比較例１、２で作製したカバー板、仕切板を組み込んだフォーカルプレーンシャッタユニットを搭載したカメラで評価した。表２は、これらの評価結果をまとめた表である。
【００６０】
(１)耐摩耗性
以下の条件にて耐摩耗性試験を行った。摩耗試験前後の摩耗後の幅を測定し、摩耗幅が狭いほど、耐摩耗性が良好であると判断した。
・測定器・・・連続荷重式表面測定器ＨＥＩＤＯＮ（新東科学（株）社製）
・試験条件・・・圧子：Ａｌ２Ｏ３、荷重：１００ｇ、摩耗回数：１０００回
・摩耗幅測定方法・・・摩耗幅をデジタル顕微鏡の測長機能で測定した
【００６１】
(２)摩擦係数
以下の条件にて静摩擦係数を測定した。
・測定器・・・連続荷重式表面測定器ＨＥＩＤＯＮ（新東科学（株）社製）
・試験条件・・・圧子：Ａｌ２Ｏ３（直径４ｍｍ）、荷重：３００ｇ、摩耗回数：１回
【００６２】
(３)反射率
以下の条件にて反射率を測定した。
・測定器・・・分光光度計 Ｕ-４１００（（株）日立製作所社製）
・試験条件・・・測定波長域４００〜７００ｎｍ
・評価結果・・・全波長域の反射率の平均値を反射率とした
【００６３】
(４)異物の付着
・シャッタ羽根を１０００回駆動後に撮影した画像に、異物の映りこみがあるか確認した。映り込みが確認されなかったもの、確認されたものをそれぞれ○、×と評価し表３に記載した。
【００６４】
(５)画像評価
・撮影後の画像にゴースト等が発生しているか確認した。
ゴースト等が確認されなかったもの、確認されたものをそれぞれ○、×と評価し表３に記載した。
【００６５】
【表３】
2019101119.tif 000005
【００６６】
表３に示すように、実施例１と比較例１、２の評価結果を比較すると、耐摩耗性、摩擦係数、の項目でほぼ差はなく、反射率、異物の付着、画像評価の項目が改善されていることが分かる。以上の結果から、本発明によれば、良好な潤滑性を保ちつつ、摩耗粉の発生を防止し、シャッタユニットとして要求される低反射性を有する光学部材を提供することができる。
【００６７】
更に、本発明の光学部材を組み込むことで、高画質化に対応したシャッタユニット、及びカメラを提供することができる。
【符号の説明】
【００６８】
１  フォーカルプレーンシャッタ
２  地板
３  先幕
４  後幕
５〜１３  シャッタ羽根
１４  スペーサ
１５  カバー板
１６  仕切板
３５  撮像素子
４１  固体潤滑剤
４２  光吸収剤
４３  めっき膜
４４  基材
５１  投入口
５２  衝撃室
５３  衝撃ピン
５４  衝突リング
５５  排出口
【図１】
2019101119.tif 000006
【図２】
2019101119.tif 000007
【図３】
2019101119.tif 000008
【図４】
2019101119.tif 000009
【図５】
2019101119.tif 000010