(57)【要約】      （修正有）【課題】実装不良、配線の短絡及び駆動素子の変形不良や破壊を抑制する、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】配線基板３０は第１面３０１側に駆動回路１２０と接続されて駆動素子の個別電極６０に接続される個別配線３１と、配線基板３０の溝３０４内に埋設された埋設配線３５とを具備し、埋設配線３５における駆動回路１２０との接続部は、個別配線３１における駆動回路１２０との接続部よりも配線基板３０側の界面を有しており、個別配線３１と埋設配線３５とのそれぞれは、弾性を有する第１コア部１２２と第１コア部１２２の一部を覆う第１配線１２３とを有する第１バンプ電極１２１によって駆動回路１２０と電気的に接続されており、配線基板３０の第２面３０２には、弾性を有する第２コア部３９１と第２コア部３９１の一部を覆う第２配線３９２とを有する第２バンプ電極３９によって駆動素子と電気的に接続される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズルに連通する流路内の液体に圧力変化を生じさせる駆動素子を有する駆動素子基板と、
前記駆動素子を駆動する信号を出力する駆動回路と、
前記駆動素子とは反対側の第１面が前記駆動回路側、第２面が前記駆動素子基板側となる配線基板と、を備え、
前記配線基板は前記第１面側に前記駆動回路と接続されて前記駆動素子の個別電極に接続される個別配線と前記配線基板の溝内に埋設された埋設配線とを具備し、
前記埋設配線における前記駆動回路との接続部は、前記個別配線における前記駆動回路との接続部よりも前記配線基板側の界面を有しており、
前記個別配線と前記埋設配線とのそれぞれは、弾性を有する第１コア部と該第１コア部の一部を覆う第１配線とを有する第１バンプ電極によって前記駆動回路と電気的に接続されており、
前記配線基板の第２面には、弾性を有する第２コア部と該第２コア部の一部を覆う第２配線とを有する第２バンプ電極によって前記駆動素子と電気的に接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記埋設配線は、前記駆動回路に駆動信号を供給する駆動信号配線であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記埋設配線は、前記駆動回路に電源を供給する電源配線であることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記第２バンプ電極は、前記第１バンプ電極よりも数が多いことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記配線基板と前記駆動素子基板との積層方向において、前記第２バンプ電極の前記第２コア部の高さは、前記第１バンプ電極の前記第１コア部の高さよりも高いことを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記第２バンプ電極の各々の前記駆動素子との接続面積は、前記第１バンプ電極の各々の前記駆動回路との接続面積よりも大きいことを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記駆動素子が第１の方向に並設された列を具備し、前記駆動素子の列に対して、前記第２バンプ電極が前記第１の方向に並設された列が、前記第１の方向に交差する第２の方向に２列以上設けられており、
前記第１バンプ電極は、前記第２の方向において、前記第２バンプ電極の列の間に設けられていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドは、ノズル開口に連通する流路に圧力変化を生じさせる駆動素子と、駆動素子を駆動する信号を出力するスイッチング素子を有する駆動回路が設けられた配線基板を具備する。
【０００３】
配線基板には、駆動素子に信号を出力するための配線、駆動回路に駆動信号を供給する配線、駆動回路に電源を供給する配線などが設けられている。
【０００４】
このような配線のうち、駆動回路に駆動信号や電源を供給する配線は、電圧降下を抑制するために電気抵抗値が低いものが望ましいが、配線を高密度に且つ高精度に配設するためには、又は、配線に電子部品を実装するためには、配線の高さを抑える必要がある。このため、配線基板に溝を設け、溝内に配線を埋設することで配線の高さを抑制した構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、配線基板と駆動素子が設けられた駆動素子基板との接合に、樹脂からなるコア部と、コア部の少なくとも一部の表面を覆う配線とを有する電極を用いたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１６−１６５８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、駆動素子を駆動する信号を供給する配線は、配線基板の表面に形成された配線を用いており、駆動回路に駆動信号や電源を供給する配線は、配線基板の溝内に埋設された配線を用いているため、これらの配線と駆動回路との接続界面の高さにばらつきが生じてしまう。つまり、配線基板の表面に設けられた配線と配線基板に埋設された配線との表面高さにばらつきが生じる。このため、表面の高さにばらつきのある配線に駆動回路を実装する際に、例えば、金バンプなどの金属バンプを用いると、駆動回路を高い荷重で押圧しなくてはならず、荷重によって駆動回路や配線基板に反りが生じてしまうという問題がある。また、回路基板や配線基板に反りを生じながら実装することによって高い残留応力が残ってしまい、後工程の熱処理などによって剥離や実装不良が発生し易いという問題がある。
【０００８】
また、配線基板と駆動素子基板とを接続する電極として樹脂等のコア部とコア部の少なくとも一部を覆う配線とを用いた場合、駆動回路を配線基板に実装する際の荷重が高くなるとコア部がつぶれるように変形し、配線基板と駆動素子基板との間隔が短くなって、放電による絶縁破壊や配線基板が駆動素子の変位を阻害するなどの不具合が生じる虞がある。
【０００９】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑み、駆動回路や配線基板等の反りを抑制して実装不良を抑制することができると共に、配線の短絡、駆動素子の変形不良や破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズルに連通する流路内の液体に圧力変化を生じさせる駆動素子を有する駆動素子基板と、前記駆動素子を駆動する信号を出力する駆動回路と、前記駆動素子とは反対側の第１面が前記駆動回路側、第２面が前記駆動素子基板側となる配線基板と、を備え、前記配線基板は前記第１面側に前記駆動回路と接続されて前記駆動素子の個別電極に接続される個別配線と前記配線基板の溝内に埋設された埋設配線とを具備し、前記埋設配線における前記駆動回路との接続部は、前記個別配線における前記駆動回路との接続部よりも前記配線基板側の界面を有しており、前記個別配線と前記埋設配線とのそれぞれは、弾性を有する第１コア部と該第１コア部の一部を覆う第１配線とを有する第１バンプ電極によって前記駆動回路と電気的に接続されており、前記配線基板の第２面には、弾性を有する第２コア部と該第２コア部の一部を覆う第２配線とを有する第２バンプ電極によって前記駆動素子と電気的に接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、駆動回路と配線基板とを弾性を有する第１コア部を有する第１バンプ電極によって接続することで、駆動回路を配線基板に実装する際の荷重を低減して、駆動回路と配線基板との反りを抑制することができる。また、回路基板や配線基板の反りを抑制することができるため、高い残留応力が残るのを抑制して、残留応力による剥離や実装不良が発生するのを抑制することができる。さらに、駆動回路を配線基板に実装する際の荷重を低減することができるため、配線基板と駆動素子基板との間の弾性を有する第２コア部を有する第２バンプ電極がつぶれるように変形するのを抑制することができる。
【００１２】
ここで、前記埋設配線は、前記駆動回路に駆動信号を供給する駆動信号配線であることが好ましい。これによれば、配線基板の第１面の狭いスペースに横断面積が大きく、電気抵抗値が低い駆動信号配線を設けることができる。また、駆動信号配線を高密度に配置することができ、配線基板を第１面の面内方向に小型化することができる。
【００１３】
また、前記埋設配線は、前記駆動回路に電源を供給する電源配線であることが好ましい。これによれば、配線基板の第１面の狭いスペースに横断面積が大きく、電気抵抗値が低い電源配線を設けることができる。また、電源配線を高密度に配置することができ、配線基板を第１面の面内方向に小型化することができる。
【００１４】
また、前記第２バンプ電極は、前記第１バンプ電極よりも数が多いことが好ましい。これによれば、駆動回路を配線基板に実装する際の荷重を第２バンプ電極によって支えることができると共に、１つ当たりの第２バンプ電極にかかる荷重を低減して変形を抑制することができる。
【００１５】
また、前記配線基板と前記駆動素子基板との積層方向において、前記第２バンプ電極の前記第２コア部の高さは、前記第１バンプ電極の前記第１コア部の高さよりも高いことが好ましい。これによれば、駆動回路を配線基板に実装する際の荷重によって第２コア部がつぶれるように変形しても、配線基板と駆動素子基板との間隔が短くなることによる不具合を抑制することができる。
【００１６】
また、前記第２バンプ電極の各々の前記駆動素子との接続面積は、前記第１バンプ電極の各々の前記駆動回路との接続面積よりも大きいことが好ましい。これによれば、駆動回路を配線基板に実装する際の荷重を、第２バンプ電極の比較的広い接触面積で支えることができ、第２バンプ電極の変形を抑制することができる。
【００１７】
前記駆動素子が第１の方向に並設された列を具備し、前記駆動素子の列に対して、前記第２バンプ電極が前記第１の方向に並設された列が、前記第１の方向に交差する第２の方向に２列以上設けられており、前記第１バンプ電極は、前記第２の方向において、前記第２バンプ電極の列の間に設けられていることが好ましい。これによれば、駆動回路を配線基板に実装する際の荷重を、第１バンプ電極の両側の第２バンプ電極によって支えることができ、荷重の偏りによる第２バンプ電極の偏った変形などを抑制することができる。
【００１８】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、駆動回路や配線基板等の反りを抑制して実装不良を抑制することができると共に、配線の短絡、駆動素子の変形不良や破壊を抑制した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの液体噴射面側の平面図である。
【図３】実施形態１に係る図２のＡ−Ａ′線断面図である。
【図４】実施形態１に係る図３の要部を拡大した断面図である。
【図５】実施形態１に係る図４の要部をさらに拡大した断面図である。
【図６】実施形態１に係る配線基板の第１面側の平面図である。
【図７】実施形態１に係る配線基板の要部を拡大した平面図である。
【図８】実施形態１に係る駆動回路の平面図である。
【図９】実施形態１に係る配線基板の第２面側の平面図である。
【図１０】実施形態１に係る図６のＢ−Ｂ′線断面図である。
【図１１】実施形態２に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。
【図１２】他の実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２はインクジェット式記録ヘッドの平面図（液体噴射面２０ａ側の平面図）であり、図３は図２のＡ−Ａ′線断面図であり、図４は図３の要部を拡大した断面図である。
【００２１】
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１（以下、記録ヘッド１とも言う）は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、本実施形態の配線基板３０、コンプライアンス基板４５等の複数の部材を備える。
流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ２あるいはＡｌ２Ｏ３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの双方に交差する方向を本実施形態では、第３の方向Ｚと称する。各図に示した座標軸は第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ、第３の方向Ｚを表しており、矢印の向かう方向を正（＋）方向、反対方向が負（−）方向ともいう。なお、本実施形態では、各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるものではない。
【００２２】
流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。
流路形成基板１０の一方面側（配線基板３０とは反対側であって−Ｚ方向）には、連通板１５とノズルプレート２０とが順次積層されている。すなわち、流路形成基板１０の一方面に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズル開口２１を有するノズルプレート２０と、を具備する。
【００２３】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル開口２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル開口２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけでよいので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。
【００２４】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。
【００２５】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。
【００２６】
このような連通板１５としては、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ２あるいはＡｌ２Ｏ３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ３のような酸化物などを用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。このようなノズル開口２１は、第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。
【００２７】
このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００２８】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側（配線基板３０側であって＋Ｚ方向）には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（連通板１５が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。もちろん、振動板５０は、特にこれに限定されるものではなく、弾性膜５１と絶縁体膜５２との何れか一方を設けるようにしてもよく、その他の膜が設けられていてもよい。
【００２９】
流路形成基板１０の振動板５０上には、本実施形態の圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせる駆動素子として圧電アクチュエーター１５０が設けられている。上述したように、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って複数並設され、圧力発生室１２の列が第２の方向Ｙに沿って２列並設されている。圧電アクチュエーター１５０は、実質的な駆動部である活性部が第１の方向Ｘに並設されて列を構成し、この圧電アクチュエーター１５０の活性部の列が第２の方向Ｙに２列並設されている。すなわち、駆動素子とは、実質的には圧電アクチュエーター１５０の活性部のことである。また、本実施形態では、駆動素子である圧電アクチュエーター１５０の活性部が設けられた駆動素子基板は、流路形成基板１０に相当する。
【００３０】
圧電アクチュエーター１５０は、振動板５０側から順次積層された第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を有する。圧電アクチュエーター１５０を構成する第１電極６０は、圧力発生室１２毎に切り分けられており、圧電アクチュエーター１５０の実質的な駆動部である活性部毎に独立する個別電極を構成する。
圧電体層７０は、第２の方向Ｙが所定の幅となるように第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。
【００３１】
圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側（マニホールド１００とは反対側）における圧電体層７０の端部は、第１電極６０の端部よりも外側に位置している。すなわち、第１電極６０の端部は圧電体層７０によって覆われている。また、圧力発生室１２の第２の方向Ｙのマニホールド１００側である他端側における圧電体層７０の端部は、第１電極６０の端部よりも内側（圧力発生室１２側）に位置しており、第１電極６０のマニホールド１００側の端部は、圧電体層７０に覆われていない。
【００３２】
圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができる。圧電体層７０に用いられるペロブスカイト型酸化物としては、例えば、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。
【００３３】
なお、特に図示していないが、圧電体層７０には、圧力発生室１２間の各隔壁に対応する位置に凹部が形成されていてもよい。これにより、圧電アクチュエーター１５０を良好に変位させることができる。
【００３４】
第２電極８０は、圧電体層７０の第１電極６０とは反対面側に設けられており、複数の活性部に共通する共通電極を構成する。
このような第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０で構成される圧電アクチュエーター１５０は、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加することで変位が生じる。すなわち両電極の間に電圧を印加することで、第１電極６０と第２電極８０とで挟まれている圧電体層７０に圧電歪みが生じる。そして、両電極に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分（第１電極６０と第２電極８０とで挟まれた領域）を活性部と称する。これに対して、圧電体層７０に圧電歪みが生じない部分を非活性部と称する。また、圧電アクチュエーター１５０の圧力発生室１２に対向して可変可能な部分を可撓部と称し、圧力発生室１２の外側の部分を非可撓部と称する。
【００３５】
上述したように、圧電アクチュエーター１５０は、第１電極６０を複数の活性部毎に独立して設けることで個別電極とし、第２電極８０を複数の活性部に亘って連続して設けることで共通電極とした。もちろん、このような態様に限定されず、第１電極６０を複数の活性部に亘って連続して設けることで共通電極とし、第２電極を活性部毎に独立して設けることで個別電極としてもよい。また、振動板５０としては、弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター１５０自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。本実施形態では、圧電アクチュエーター１５０の活性部は、圧力発生室１２に対応して第１の方向Ｘに並設されており、このように第１の方向Ｘに並設された活性部の列が、第２の方向Ｙに２列設けられていることになる。
【００３６】
また、図３及び図４に示すように、圧電アクチュエーター１５０の第１電極６０からは、引き出し配線である個別リード電極９１が引き出されている。個別リード電極９１は、各列の活性部から第２の方向Ｙにおいて列の外側に引き出されている。
【００３７】
また、圧電アクチュエーター１５０の第２電極８０からは、引き出し配線である共通リード電極９２が引き出されている。本実施形態では、共通リード電極９２は、２列の圧電アクチュエーター１５０のそれぞれの第２電極８０に導通している。また、共通リード電極９２は、複数の活性部に対して１本の割合で設けられている。
【００３８】
流路形成基板１０の圧電アクチュエーター１５０側の面には、配線基板３０が接合されている。配線基板３０は、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する。ここで、本実施形態の配線基板３０についてさらに図５〜図８を参照して説明する。なお、図５は図４の要部をさらに拡大した断面図であり、図６は配線基板の第１面側の平面図であり、図７は図６の要部を拡大した図であり、図８は駆動回路の−Ｚ側の平面図であり、図９は配線基板の第２面側の平面図であり、図１０は図６のＢ−Ｂ′線断面図である。
【００３９】
配線基板３０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ２あるいはＡｌ２Ｏ３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、配線基板３０は、表面の面方位が（１１０）面に優先配向したシリコン単結晶基板からなる。また、配線基板３０の駆動素子である圧電アクチュエーター１５０とは反対側の面（＋Ｚ）を第１面３０１と称し、配線基板３０の圧電アクチュエーター１５０側の面（−Ｚ）を第２面３０２と称する。そして、図１及び図３等に示すように、配線基板３０の第１面３０１には、圧電アクチュエーター１５０を駆動するための信号を出力する駆動回路１２０が実装されている。すなわち、配線基板３０の駆動素子である圧電アクチュエーター１５０とは反対側の第１面３０１が駆動回路１２０側となっている。
【００４０】
駆動回路１２０には、圧電アクチュエーター１５０の活性部毎にトランスミッションゲート等のスイッチング素子が設けられており、入力された制御信号に基づいてスイッチング素子を開閉させて、外部から供給された駆動信号（ＣＯＭ）から所望のタイミングで圧電アクチュエーター１５０の活性部を駆動させる吐出信号を生成する。なお、ここで言う吐出信号とは、駆動素子である圧電アクチュエーター１５０の活性部を駆動させてノズル開口２１からインク滴を吐出させる信号に代表されるものであるが、これに限定されるものではなく、インク滴が吐出しない程度に圧電アクチュエーター１５０の活性部を駆動させる微振動駆動等のその他の駆動を行わせる信号も含むものである。このような駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）を用いることができる。ちなみに、駆動回路１２０によって圧電アクチュエーター１５０の各活性部の個別電極である第１電極６０には、駆動信号（ＣＯＭ）から生成した吐出信号を供給し、複数の活性部の共通電極である第２電極８０には基準電位となるバイアス電圧（ＶＢＳ）を供給することで、圧電アクチュエーター１５０の活性部は駆動される。
【００４１】
このような配線基板３０は、圧電アクチュエーター１５０の各列の活性部の並設方向である第１の方向Ｘが長尺となるように設けられている。すなわち、配線基板３０は、第１の方向Ｘが長手方向となり、第２の方向Ｙが短手方向となるように配置されている。
【００４２】
また、図４、図５、図６及び図７に示すように、この配線基板３０の第１面３０１には、個別配線３１を構成する第１個別配線３１１と駆動信号配線３２と電源配線３３とバイアス配線３４を構成する第１バイアス配線３４１とが設けられている。
個別配線３１は、一端が駆動回路１２０に接続されると共に、他端が圧電アクチュエーター１５０の活性部の個別電極である第１電極６０に電気的に接続されて、駆動回路１２０からの吐出信号を圧電アクチュエーター１５０の第１電極６０に供給するものである。
【００４３】
個別配線３１を構成する第１個別配線３１１は、配線基板３０の第１面３０１の第２の方向Ｙの両端部のそれぞれに、第１の方向Ｘに複数並設されている。また、第１個別配線３１１は、第２の方向Ｙに沿って延設されており、一端において駆動回路１２０の各端子と電気的に接続され、他端において第１貫通配線３１５と電気的に接続されている。
【００４４】
ここで、第１貫通配線３１５は、配線基板３０を厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通して設けられた第１貫通孔３０３の内部に設けられたものであり、第１面３０１と第２面３０２とを中継して第１面３０１の第１個別配線３１１と詳しくは後述する第２面３０２の第２個別配線３１２とを接続する配線である。第１貫通配線３１５が設けられた第１貫通孔３０３は、配線基板３０をレーザー加工、ドリル加工、ドライエッチング加工（Ｂｏｓｃｈ法、非Ｂｏｓｃｈ法、イオンミリング）、ウェットエッチング加工、サンドブラスト加工等やこれらの加工方法の組み合わせで形成することができる。このような第１貫通孔３０３内に第１貫通配線３１５が充填して形成されている。なお、第１貫通配線３１５は、銅（Ｃｕ）等の金属からなり、電解めっきや無電界めっきなどによって形成することができる。
【００４５】
また、第１貫通配線３１５は、第２面３０２で第２個別配線３１２と接続されている。第２個別配線３１２は、詳しくは後述するが、圧電アクチュエーター１５０の活性部の個別電極である第１電極６０に接続された個別リード電極９１と電気的に接続されている。すなわち、第１個別配線３１１と第１貫通配線３１５と第２個別配線３１２とで構成される個別配線３１は、圧電アクチュエーター１５０の活性部の個別電極である第１電極６０と同数設けられている。
【００４６】
また、図６及び図７に示すように、配線基板３０の第１面３０１には、駆動信号配線３２が設けられている。駆動信号配線３２は、外部配線１３０から供給された駆動信号（ＣＯＭ）を駆動回路１２０に供給するためのものである。本実施形態の駆動信号配線３２は、配線基板３０の第１の方向Ｘに沿って外部配線１３０が接続される一端側から他端側に向かって延設されている。また、駆動信号配線３２は、本実施形態では、圧電アクチュエーター１５０の各列に対して第２の方向Ｙに２本ずつ、合計４本並設されている。
【００４７】
また、図６及び図７に示すように、配線基板３０の第１面３０１には、電源配線３３が設けられている。電源配線３３は、駆動回路１２０に電力を供給するものであり、本実施形態では、駆動回路１２０の高電圧回路用に高圧電力を供給する高圧電源配線３３１とこれに対応した高圧用グランド配線３３２と駆動回路１２０に低電圧回路用に低圧電力を供給する低圧電源配線３３３とこれに対応した低圧用グランド配線３３４とを具備する。すなわち、本実施形態では、４種類の電源配線３３が設けられている。
【００４８】
このような電源配線３３は、配線基板３０の第１の方向Ｘに沿って外部配線１３０が接続される一端側から他端側に向かって設けられている。また、高圧電源配線３３１と高圧用グランド配線３３２と低圧電源配線３３３と低圧用グランド配線３３４とは、圧電アクチュエーター１５０の活性部の列毎に１本ずつ、すなわち、圧電アクチュエーター１５０の活性部の列毎に４本の合計８本設けられている。このような高圧電源配線３３１と高圧用グランド配線３３２と低圧電源配線３３３と低圧用グランド配線３３４とは、第２の方向Ｙに並設されている。また、圧電アクチュエーター１５０の活性部の各列に対応する駆動信号配線３２は、電源配線３３に対して一方側、本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて配線基板３０の電源配線３３よりも外側に配置されている。すなわち、第２の方向Ｙにおいて配線基板３０の中央側に電源配線３３が配置され、配線基板３０の外側に駆動信号配線３２が配置されている。
【００４９】
図６及び図７に示すように、配線基板３０の第１面３０１には、バイアス配線３４を構成する第１バイアス配線３４１が設けられている。バイアス配線３４は、外部配線１３０から供給されたバイアス電圧（ＶＢＳ）を圧電アクチュエーター１５０の活性部の共通電極である第２電極８０に供給するものである。
【００５０】
第１バイアス配線３４１は、第１の方向Ｘにおいて配線基板３０の外部配線１３０が接続される一端部側に第１の方向Ｘに沿って設けられており、駆動信号配線３２や電源配線３３よりも短い長さを有する。すなわち、第１バイアス配線は、駆動回路１２０に接続することなく、直接圧電アクチュエーター１５０の共通電極である第２電極８０に接続すればよいため、第１の方向Ｘにおいて駆動回路１２０が実装された領域に達しない長さで設けられている。本実施形態では、第１バイアス配線３４１は、第２の方向Ｙにおいて電源配線３３の駆動信号配線３２とは反対側、すなわち、電源配線３３よりも配線基板３０の内側である中央側に配置されている。また、本実施形態では、第１バイアス配線３４１は、各圧電アクチュエーター１５０に対して１本ずつ、合計２本設けられている。
【００５１】
このような駆動信号配線３２と電源配線３３とは、図４に示すように、それぞれ配線基板３０の第１面３０１に設けられた第１溝３０４内に埋め込まれた第１埋設配線３５と、第１埋設配線３５を覆うように設けられた第１接続配線３６と、を具備する。
【００５２】
ここで、第１埋設配線３５が設けられた第１溝３０４は、配線基板３０の表面の（１１０）面に垂直な第１の（１１１）面と、第１の（１１１）面に相対向して（１１０）面に垂直な第２の（１１１）面と、で形成された内壁面を有する。このような第１溝３０４は、配線基板３０を、水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ）や水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）等のアルカリ溶液を用いた異方性エッチング（ウェットエッチング）することで高精度に形成することができる。また、本実施形態では、第１溝３０４の内壁面である第１の（１１１）面と、第２の（１１１）面とは、第１の方向Ｘに沿った直線状となるように配置されている。このように、第１溝３０４の内壁面を第１の方向Ｘに沿った直線状となるように形成することで、第１溝３０４及び第１埋設配線３５を第１の方向Ｘに亘って長尺に且つ省スペースに形成することができる。ちなみに、例えば、圧電アクチュエーター１５０の活性部の並設方向と配線基板３０の第１の（１１１）面及び第２の（１１１）面の面方向とを異ならせてもよい。また、本実施形態では、第１溝３０４及び第１埋設配線３５を直線状に沿って設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、第１溝３０４及び第１埋設配線３５が延設方向の途中で屈曲していてもよい。
【００５３】
このように形成された第１溝３０４は、横断面が矩形状となっている。もちろん、第１溝３０４は、異方性エッチングによって形成したものに限定されず、レーザー加工、ドリル加工、ドライエッチング加工（Ｂｏｓｃｈ法、非Ｂｏｓｃｈ法（ＲＩＥ法）、イオンミリング）、サンドブラスト加工等やこれらの加工方法の組み合わせで形成してもよい。
【００５４】
そして、本実施形態では、このような第１溝３０４を第２の方向Ｙに同じ間隔で複数個、本実施形態では、各圧電アクチュエーター１５０の活性部の列に対して６個ずつ、合計１２個設けるようにした。具体的には、第１溝３０４は、圧電アクチュエーター１５０の各列に対して駆動信号配線３２の２個と、電源配線３３用の４個との合計６個が設けられている。もちろん、第１溝３０４の駆動信号配線３２及び電源配線３３に対応する数及び位置は特にこれに限定されず、１個であってもよく、また、２個以上の複数個であってもよい。
【００５５】
この第１溝３０４内に第１埋設配線３５が埋め込まれている。すなわち、第１埋設配線３５は、第１溝３０４内に充填されて形成されている。第１埋設配線３５は、銅（Ｃｕ）等の金属からなり、例えば、電解めっき、無電界めっき、導電性ペーストの印刷などの方法によって形成することができる。また、第１埋設配線３５は、第１貫通配線３１５とめっきによって同時に形成することも可能である。このように、第１埋設配線３５と第１貫通配線３１５とを同時に形成することで、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。
【００５６】
第１接続配線３６は、各第１埋設配線３５を覆うように積層されている。この第１接続配線３６は、第２の方向Ｙにおいて第１埋設配線３５の幅よりも若干広い幅を有するが、第２の方向Ｙで互いに隣り合う駆動信号配線３２及び電源配線３３が互いに短絡しないように間隔を空けて配置されている。なお、本実施形態の駆動信号配線３２や電源配線３３は、１本の第１埋設配線３５と１本の第１接続配線３６とによって構成されている。
【００５７】
このような第１接続配線３６としては、特に図示していないが、例えば、第１埋設配線３５側に設けられたチタン（Ｔｉ）等の密着層と、密着層上に設けられた金（Ａｕ）等の導電層とを積層したものを用いることができる。もちろん、その他の導電性材料で形成された層が積層されていてもよい。また、第１接続配線３６は、例えば、スパッタリング法等によって形成することができる。なお、第１接続配線３６は、例えば、第１個別配線３１１と同時に形成することもできる。このように、第１接続配線３６と第１個別配線３１１とを同時に形成することで、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。
【００５８】
また、上記の密着層と導電層を埋設配線のマイグレーション、酸化に対しての保護膜とすることもできる。また、上記の導電層を、他の駆動回路基板に形成されたバンプやフレキシブルテープ（ＦＰＣ）、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  ｏｎ  Ｆｉｌｍ／Ｆｌｅｘ）との接合面とすることもできる。
【００５９】
また、第１接続配線３６は図６、図７及び図１０に示すように、第１の方向Ｘにおいて、第１埋設配線３５の端部の外側まで延設され、配線基板３０の第１の方向Ｘの端部近傍まで設けられている。このように、配線基板３０の第１の方向Ｘの一端部まで延設された第１接続配線３６にＦＰＣ等の外部配線１３０が電気的に接続される。外部配線１３０が接続された駆動信号配線３２には駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、電源配線３３には電源が供給され、第１バイアス配線３４１には、バイアス電圧（ＶＢＳ）が供給される。そして、第１個別配線３１１と駆動信号配線３２と電源配線３３とは、第１面３０１において駆動回路１２０の各端子（図示なし）と電気的に接続されている。なお、特に図示していないが、配線基板３０の第１面３０１には、駆動回路１２０を制御するための、クロック信号（ＣＬＫ）、ラッチ信号（ＬＡＴ）、チェンジ信号（ＣＨ）、画素データ（ＳＩ）、設定データ（ＳＰ）等の制御信号を外部配線１３０から供給するための配線が設けられており、外部配線１３０と配線とが電気的に接続されていると共に、配線と駆動回路１２０の各端子とが電気的に接続されている。
【００６０】
ここで、第１埋設配線３５は、銅（Ｃｕ）等の金属を電解めっき、無電界めっき、導電性ペーストの印刷などの方法によって第１溝３０４内に形成した後、配線基板３０の第１面３０１の表面をケミカルメカニカルポリッシング（ＣＭＰ）等によって研磨することで平坦化されている。このとき、シリコンからなる配線基板３０と銅（Ｃｕ）等の金属からなる第１埋設配線３５との異種材料を同時に研磨することになるため、図５に示すように、第１埋設配線３５は、配線基板３０の第１面３０１の表面よりも削られて後退する。つまり、第１埋設配線３５の第１面３０１側の表面は、第１面３０１よりも削られてΔｈだけ凹んでしまう。そして、配線基板３０の第１面３０１に配線基板３０の表面と第１埋設配線３５の表面とに亘って第１接続配線３６を形成すると、第１接続配線３６は略同じ厚みで形成されるため、第１埋設配線３５の表面を覆う第１接続配線３６、すなわち、駆動信号配線３２や電源配線３３の表面には、第１埋設配線３５の凹みに沿った凹みが形成される。これに対して、第１埋設配線３５を覆わない第１接続配線３６、すなわち、第１個別配線３１１の表面には、凹みが形成されない。したがって、駆動回路１２０に接続される第１個別配線３１１の第１面３０１からの表面高さｈ１と、駆動回路１２０に接続される第１接続配線３６の第１面３０１からの表面高さｈ２との間に差Δｈが生じる。つまり、第１埋設配線３５を有する駆動信号配線３２及び電源配線３３と第１バンプ電極１２１（駆動回路１２０）とが接続された接続部の界面は、第１個別配線３１１と第１バンプ電極１２１（駆動回路１２０）とが接続された接続部の界面よりも、配線基板３０側に位置する。
【００６１】
このような第１個別配線３１１と駆動信号配線３２及び電源配線３３とに駆動回路１２０を実装する際に、金バンプなどの金属のみで形成された金属バンプを用いると、金属バンプは変形し難いことから、第１個別配線３１１と駆動信号配線３２及び電源配線３３との表面の差Δｈを吸収するまで、駆動回路１２０及び配線基板３０に反りを生じさせる必要がある。すなわち、駆動回路１２０及び配線基板３０を反らせて表面の差Δｈを吸収するには、駆動回路１２０を配線基板３０に向かって高い荷重で押圧しなくてはならない。
【００６２】
このため、本実施形態では、図４及び図５に示すように、駆動回路１２０の配線基板３０側の面に第１バンプ電極１２１を設け、第１バンプ電極１２１を介して駆動回路１２０の各端子（図示なし）と第１個別配線３１１と駆動信号配線３２と電源配線３３とをそれぞれ電気的に接続するようにした。
【００６３】
ここで、第１バンプ電極１２１は、例えば、弾性を有する樹脂材料で形成された第１コア部１２２と、第１コア部１２２の表面の少なくとも一部を覆う第１配線である第１バンプ配線１２３と、を有する。
【００６４】
第１コア部１２２は、弾性を有し、絶縁性を有する材料、例えば、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、シリコーン変性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂などの感光性絶縁樹脂や熱硬化性絶縁樹脂等の樹脂で形成されている。
【００６５】
また、第１コア部１２２は、駆動回路１２０と配線基板３０とを接続する前において、ほぼ蒲鉾状に形成されている。ここで、蒲鉾状とは、駆動回路１２０に接する内面（底面）が平面であると共に、非接触面である外面側が湾曲面となっている柱状形状をいう。具体的に、ほぼ蒲鉾状とは、横断面がほぼ半円状、ほぼ半楕円状、ほぼ台形状であるものなどが挙げられる。
【００６６】
そして第１コア部１２２は、駆動回路１２０と配線基板３０とが相対的に近接するように押圧されることで、その先端形状が第１個別配線３１１、駆動信号配線３２及び電源配線３３の表面形状に倣うように弾性変形している。これにより、駆動回路１２０や配線基板３０に反りやうねりがあっても、第１コア部１２２がこれに追従して変形することにより、第１バンプ電極１２１と第１個別配線３１１、駆動信号配線３２及び電源配線３３とを確実に接続することができる。
【００６７】
第１コア部１２２は、第１の方向Ｘに沿って直線状に連続して形成されている。そして、この第１コア部１２２は、第２の方向Ｙに複数並設されている。本実施形態では、駆動回路１２０の第２の方向Ｙの両端部のそれぞれに設けられた第１コア部１２２が、第１個別配線３１１と接続される第１バンプ電極１２１を構成する。また、駆動回路１２０の第２の方向Ｙの中央側に設けられた第１コア部１２２が、駆動信号配線３２や電源配線３３と接続される第１バンプ電極１２１を構成する。このような第１コア部１２２は、フォトリソグラフィー技術やエッチング技術によって形成することができる。
【００６８】
第１バンプ配線１２３は、第１コア部１２２の少なくとも表面の一部を被覆している。このような第１バンプ配線１２３は、例えば、Ａｕ、ＴｉＷ、Ｃｕ、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｗ、ＮｉＶ、Ａｌ、Ｐｄ（パラジウム）、鉛フリーハンダなどの金属や合金で形成されており、これらの単層であっても、複数種を積層したものであってもよい。そして、第１バンプ配線１２３は、第１コア部１２２の弾性変形によって第１個別配線３１１、駆動信号配線３２及び電源配線３３の表面形状に倣って変形しており、第１個別配線３１１、駆動信号配線３２及び電源配線３３のそれぞれと電気的に接合されている。すなわち、第１埋設配線３５を有さない第１個別配線３１１と、第１埋設配線３５を有する駆動信号配線３２及び電源配線３３の間で段差Δｈが生じても、第１コア部１２２の弾性変形によってこの段差Δｈを吸収して、駆動回路１２０の端子と第１個別配線３１１、駆動信号配線３２及び電源配線３３とを確実に接続することができる。すなわち、樹脂で形成された第１コア部１２２を有する第１バンプ電極１２１は、金バンプなどの金属のみで形成された金属バンプに比べて変形し易いため、駆動回路１２０や配線基板３０の反りによって段差Δｈを吸収する必要がなく、駆動回路１２０や配線基板３０が反る前に第１バンプ電極１２１の第１コア部１２２を変形させることにより段差Δｈを吸収することができる。したがって、駆動回路１２０を配線基板３０に押し当てる荷重を金属バンプに比べて低くすることができ、駆動回路１２０及び配線基板３０の反りを低減することができる。このような第１コア部１２２としては、駆動回路１２０や配線基板３０が反るよりも先に変形する弾性を有する材料であるのが好ましい。つまり、第１コア部１２２は、駆動回路１２０や配線基板３０よりもヤング率が低い材料を用いるのが好ましい。
【００６９】
また、駆動回路１２０や配線基板３０に反りを生じながら実装することによる残留応力を低減することができるため、後工程の熱処理などによって高い残留応力による剥離や実装不良が発生するのを抑制することができる。
【００７０】
ちなみに、低い荷重で駆動回路１２０と配線基板３０とを接続する方法として、半田接続などの溶接や、異方性導電性接着剤（ＡＣＰ、ＡＣＦ）を介在させる方法なども挙げられるが、溶接や異方性導電性接着剤では、高密度な配線の接続を行うことができない。特に、第１個別配線３１１は、圧電アクチュエーター１５０の活性部の数だけ設けられているため、圧電アクチュエーター１５０の活性部の高密度化に伴い、高密度に配置される傾向にあるが、このような第１個別配線３１１と駆動回路１２０の端子とを溶接や異方性導電性接着剤では隣り合う配線が短絡することなく接続するのは困難である。本実施形態では、第１コア部１２２と第１バンプ配線１２３とを有する第１バンプ電極１２１を用いることで、高密度に配置された配線にも接続することが可能となるため、圧電アクチュエーター１５０の活性部の高密度化を実現することができる。
【００７１】
なお、本実施形態では、駆動回路１２０と配線基板３０との間に接着層１２４を設け、接着層１２４によって駆動回路１２０と配線基板３０とを接合することで、第１バンプ電極１２１と第１個別配線３１１、駆動信号配線３２及び電源配線３３との接続状態を維持するようにした。
【００７２】
また、図８に示すように、第１バンプ電極１２１のうち、第１個別配線３１１に接続されるものを第１バンプ電極１２１Ａ、駆動信号配線３２に接続されるものを第１バンプ電極１２１Ｂ、電源配線３３に接続されるものを第１バンプ電極１２１Ｃとすると、駆動信号配線３２及び電源配線３３に接続される第１バンプ電極１２１Ｂ、１２１Ｃは、駆動信号配線３２及び電源配線３３の長手方向である第１の方向Ｘに沿って、所定の間隔で複数箇所に設けられている。これにより、１つの駆動信号配線３２及び電源配線３３に対して複数箇所で駆動回路１２０と接続することができ、駆動回路１２０の長手方向である第１の方向Ｘにおける電圧降下を抑制することができる。ちなみに、本実施形態では、駆動信号配線３２に接続される第１バンプ電極１２１Ｂの数の方が、電源配線３３のうちの１本に接続される第１バンプ電極１２１Ｃの数よりも多い。
【００７３】
このように、本実施形態では、配線基板３０の第１面３０１に駆動回路１２０を実装するため、配線基板３０の第１面３０１上に余分なスペースを確保することができない。すなわち、配線基板３０の第１面３０１と駆動回路１２０との間のスペースは、第１バンプ電極１２１の高さによって決まる。記録ヘッド１の第１バンプ電極１２１の高さは、例えば２０μｍ以下である。このような構成であっても、第１埋設配線３５を有する駆動信号配線３２、電源配線３３及び第１バイアス配線３４１を設けることで、第１面３０１上の狭いスペースに、横断面積が大きく電気抵抗値が低い配線を配置することができる。ちなみに、駆動信号配線３２及び電源配線３３として第１埋設配線３５を設けない場合、すなわち、配線基板３０の第１面３０１に第１溝３０４を設けずに、各配線を設けた場合、第１面３０１上のスペースに制限があることから、配線を高く形成することができず、配線の横断面積が小さくなって、電気抵抗値が高くなってしまう。また、配線の電気抵抗値を小さくするために、配線の幅を広げると、配線基板３０が大型化、特に第２の方向Ｙに大型化してしまう。さらに、配線基板３０に第１溝３０４を設けずに、厚さの比較的厚い配線を形成する場合、フォトリソグラフィー法の制限によって配線を高精度及び高密度にパターニングするのが困難であり、厚さの比較的薄い配線しか形成することができない。本実施形態では、第１埋設配線３５は、第１溝３０４によってその厚さが決定されると共に、第１溝３０４によってそのパターンが形成されるため、表面のみに配線を形成する場合に較べて、比較的厚い、例えば１０μｍ〜５０μｍ程度の厚さの第１埋設配線３５を４０μｍ〜５０μｍのピッチで高密度に形成することができる。したがって、第１埋設配線３５の横断面積を増大させて電気抵抗値を低減することができる。また、第１埋設配線３５は、内壁面が第１の（１１１）面及び第２の（１１１）面で形成された第１溝３０４内に埋め込まれているため、第１埋設配線３５の横断面は矩形状となる。したがって、駆動回路基板として（１００）面のシリコン単結晶基板を用いた場合に較べて、横断面積を増大させて、電気抵抗値をさらに低減することができる。すなわち、（１００）面にシリコン単結晶基板を異方性エッチングして第１溝３０４を形成すると、開口幅が底面に行くにしたがって狭くなる、所謂、台形状の断面形状となってしまう。このため、断面が台形状の第１溝３０４内に埋め込んだ第１埋設配線３５の横断面積が小さくなり、電気抵抗値が高くなってしまう。このように第１埋設配線３５の横断面積を増大させることができるため、第１埋設配線３５の第２の方向Ｙの幅を狭くしても電気抵抗値が著しく高くなるのを抑制することができる。したがって、第１埋設配線３５を高密度に配置して配線基板３０の小型化を図ることができる。
【００７４】
一方、図４に示すように、第１バイアス配線３４１は、配線基板３０に設けられた第２貫通配線３４５に電気的に接続されている。第２貫通配線３４５は、配線基板３０を第１面３０１と第２面３０２とを連通するように第３の方向Ｚに貫通して設けられた第２貫通孔３０７内に形成されている。これにより第２貫通配線３４５と第１バイアス配線３４１とは、電気的に接続されている。なお、第２貫通配線３４５は、上述した第１貫通配線３１５と同様に銅（Ｃｕ）等の金属を電界めっき、無電界めっき等によって形成することができる。また、第１埋設配線３５と、第２貫通配線３４５とを同時に形成することで、第１埋設配線３５と第２貫通配線３４５とを一体的に連続して形成することも可能である。つまり、第１埋設配線３５、第１貫通配線３１５及び第２貫通配線３４５を同時に形成することでさらに製造工程を簡略化してコストを低減することができる。なお、第２貫通配線３４５は、第１の方向Ｘにおいて外部配線１３０と接続される一端側のみに形成されている。
【００７５】
また、配線基板３０の第２面３０２には、図４及び図９に示すように、個別配線３１を構成する第２個別配線３１２とバイアス配線を構成する第２バイアス配線３４２とが設けられている。
第２個別配線３１２は、第１貫通配線３１５に電気的に接続されると共に、流路形成基板１０に設けられた個別リード電極９１に電気的に接続されており、駆動回路１２０からの吐出信号を第１バンプ電極１２１と第１個別配線３１１と第１貫通配線３１５と第２個別配線３１２と個別リード電極９１とを介して圧電アクチュエーター１５０の活性部の個別電極である第１電極６０に供給する。
【００７６】
具体的には、第２個別配線３１２は、配線基板３０の第２の方向Ｙの両端部のそれぞれに、第１の方向Ｘに亘って複数並設されている。また、第２個別配線３１２は、第２の方向Ｙに沿って延設されており、一端において第１貫通配線３１５の端部を覆うことで第１貫通配線３１５と電気的に接続されている。すなわち、個別配線３１は、第１面３０１に設けられた第１個別配線３１１と第１貫通配線３１５と第２面３０２に設けられた第２個別配線３１２とを含む。また、第２個別配線３１２は、詳しくは後述する第２バンプ電極３９によって流路形成基板１０に設けられた個別リード電極９１と電気的に接続されている。
【００７７】
第２バイアス配線３４２は、図４及び図１０に示すように、第２貫通配線３４５に電気的に接続されると共に、流路形成基板１０に設けられた共通リード電極９２に電気的に接続されたものであり、外部配線１３０から供給されたバイアス電圧（ＶＢＳ）を第１バイアス配線３４１と第２貫通配線３４５と第２バイアス配線３４２と共通リード電極９２とを介して圧電アクチュエーター１５０の活性部の共通電極である第２電極８０に供給する。すなわち、圧電アクチュエーター１５０にバイアス電圧（ＶＢＳ）を供給するバイアス配線３４は、第１面３０１に設けられた第１バイアス配線３４１と第２貫通配線３４５と第２バイアス配線３４２とを具備する。また、第２バイアス配線３４２は、第１の方向Ｘに沿って延設されており、圧電アクチュエーター１５０の列毎に１本、合計２本が第２の方向Ｙに並設されている。
【００７８】
このように第２面３０２にバイアス配線３４を構成する第２バイアス配線３４２を設けることで、第１面３０１に第１の方向Ｘに亘ってバイアス配線３４を設ける必要がなく、第１面３０１に第１の方向Ｘに亘ってバイアス配線３４を設けるスペースが不要となって配線基板３０の小型化を図ることができる。つまり、バイアス配線３４の主要部分である第２バイアス配線３４２を第１面３０１に比べてスペースに余裕のある第２面３０２に設けることで、配線基板３０の大型化を抑制して、小型化を図ることができる。
ここで、第２個別配線３１２と第２バイアス配線３４２とは、第２バンプ電極３９を介してそれぞれ個別リード電極９１と共通リード電極９２とに電気的に接続されている。
【００７９】
なお、第２バイアス配線３４２は、第２の方向Ｙで並設された第２個別配線３１２の間に延設されており、この延設された部分において、図４及び図９に示すように第２バンプ電極３９を介して流路形成基板１０に設けられた共通リード電極９２と接続されている。
【００８０】
ここで、第２バンプ電極３９は、上述した駆動回路１２０に設けられた第１バンプ電極１２１と同様に、弾性を有する樹脂材料からなる第２コア部３９１と、第２コア部３９１の表面の少なくとも一部を覆う第２配線である第２バンプ配線３９２と、を有する。
【００８１】
第２コア部３９１は、上述した駆動回路１２０の第１バンプ電極１２１を構成する第１コア部１２２と同様の材料を用いて同様の断面形状で形成されている。このような第２コア部３９１は、第１の方向Ｘに直線状に連続して配置されている。また、第２コア部３９１は、第２の方向Ｙにおいて、圧電アクチュエーター１５０の活性部の２列の外側のそれぞれに１本ずつの計２本と、圧電アクチュエーター１５０の活性部の２列の間に１本と、の合計３本が設けられている。そして、２列の圧電アクチュエーター１５０の活性部の外側に設けられた各第２コア部３９１が、第２個別配線３１２を個別リード電極９１に接続するための第２バンプ電極３９を構成する。また、圧電アクチュエーター１５０の活性部の２列の間に設けられた第２コア部３９１が、第２バイアス配線３４２と２列の圧電アクチュエーター１５０の共通リード電極９２とを接続するための第２バンプ電極３９を構成する。
【００８２】
また、第２個別配線３１２を個別リード電極９１に接続するための第２バンプ電極３９を構成する第２バンプ配線３９２は、本実施形態では、第２個別配線３１２を第２コア部３９１上まで延設することで、第２個別配線３１２を第２バンプ配線３９２として用いている。
【００８３】
同様に、第２バイアス配線３４２を共通リード電極９２に接続するための第２バンプ電極３９を構成する第２バンプ配線３９２は、本実施形態では、第２バイアス配線３４２を第２コア部３９１上まで延設することで、第２接続配線３８を第２バンプ配線３９２として用いている。もちろん、第２個別配線３１２及び第２接続配線３８と第２バンプ配線３９２とを別の配線として、両者の一部を積層することで電気的に接続するようにしてもよい。
【００８４】
なお、第２バイアス配線３４２は、第１の方向Ｘに沿って所定の間隔で複数箇所において第２コア部３９１上まで延設されている。つまり、第２バイアス配線３４２と共通リード電極９２を接続する第２バンプ電極３９は、第１の方向Ｘに亘って所定の間隔で複数設けられている。このような第２バイアス配線３４２は、上述のように、第２貫通配線３４５を介して第１面３０１の第１バイアス配線３４１と電気的に接続されている。このため、第１の方向Ｘに亘ってバイアス配線３４の電気抵抗値を実質的に低下させることができる。すなわち、バイアス配線３４を配線基板３０の第１面３０１に、長手方向である第１の方向Ｘに亘って設けることなく、第２面３０２にバイアス配線３４の一部である第２バイアス配線３４２を複数設けることで、第１の方向Ｘに亘ってバイアス配線３４の電気抵抗値を低下させることができるため、バイアス配線３４の電流容量不足による電圧降下を抑制することができる。
【００８５】
さらに、第２バイアス配線３４２は、第２バンプ電極３９を介して共通リード電極９２と第２の方向Ｙの複数箇所で電気的に接続されている。このため、第２電極８０の第１の方向Ｘにおける電圧降下が抑制され、各活性部へのバイアス電圧の印加ばらつきを抑制することができる。
【００８６】
また、流路形成基板１０と配線基板３０とは、接着層３００によって接着されており、これにより、第２バンプ電極３９を構成する第２バンプ配線３９２である第２個別配線３１２及び第２バイアス配線３４２と個別リード電極９１及び共通リード電極９２とは互いに当接した状態で固定されている。
【００８７】
このように流路形成基板１０と配線基板３０とを接合する接着層３００によって、流路形成基板１０と配線基板３０との間には、内部に圧電アクチュエーター１５０が配置された空間である保持部１６０が形成されている。
【００８８】
このように第２個別配線３１２と第２バイアス配線３４２とを個別リード電極９１と共通リード電極９２とに第２バンプ電極３９によって接続することで、配線基板３０と流路形成基板１０との接続時の荷重を低減して、配線基板３０及び流路形成基板１０の反りを低減することができる。また、上述のように、駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際に第１バンプ電極１２１を用いることで、配線基板３０と流路形成基板１０との間の第２バンプ電極３９がつぶれるように変形するのを抑制することができる。つまり、駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際に、金バンプなどの金属のみで形成された金属バンプを用いた場合、駆動回路１２０を実装する際の荷重が高くなることから、配線基板３０と流路形成基板１０との間の第２バンプ電極３９がつぶれるように変形してしまう。第２バンプ電極３９がつぶれるように変形すると、第２バンプ電極３９が互いに隣り合う個別リード電極９１に接触するなどの短絡が生じてしまう虞がある。また、第２バンプ電極３９がつぶれるように変形すると、圧電アクチュエーター１５０と配線基板３０との間隔が短くなり、圧電アクチュエーター１５０が配線基板３０に当接することによって圧電アクチュエーター１５０の変形が阻害される虞がある。また、第２バンプ電極３９がつぶれるように変形すると、圧電アクチュエーター１５０と配線基板３０の第２面３０２に設けられた配線との距離が近くなり、配線と圧電アクチュエーター１５０の電極とが接触することや、放電により絶縁破壊が発生する虞がある。
【００８９】
本実施形態では、第１バンプ電極１２１を用いて駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際の荷重を低くすることができるため、第２バンプ電極３９がつぶれるように変形するのを抑制することができる。したがって、圧電アクチュエーター１５０と配線基板３０との距離を保つことができ、つぶれた第２バンプ電極３９が互いに隣り合う個別リード電極９１等に接触して短絡するのを抑制することができる。また、配線基板３０が圧電アクチュエーター１５０の変形を阻害するのを抑制することができる。さらに、圧電アクチュエーター１５０と配線基板３０の第２面３０２に設けられた配線とが接触することや、放電により絶縁破壊が発生するのを抑制することができる。
【００９０】
ちなみに、第２バンプ電極３９の変形を抑制するために、駆動回路１２０を配線基板３０に実装してから配線基板３０と流路形成基板１０とを接合する方法も考えられるものの、駆動回路１２０は高価であるため、駆動回路１２０を先に実装した配線基板３０と流路形成基板１０との接合不良が生じると歩留まりが低下しコストが高くなってしまう。また、流路形成基板１０は、配線基板３０を接合することでハンドリングを向上した状態で異方性エッチング（ウェットエッチング）などの加工が行われるため、配線基板３０に先に駆動回路１２０が実装されていると、流路形成基板１０の加工が困難になる。したがって、製造工程の簡略化やコストを鑑みると配線基板３０と流路形成基板１０とを接合した後に、配線基板３０に駆動回路１２０を実装する必要があり、このような順番の製造工程では第２バンプ電極３９の変形が生じ易い。本実施形態では、配線基板３０と流路形成基板１０とを接合した後に、駆動回路１２０を第１バンプ電極１２１によって配線基板３０に実装することで、第２バンプ電極３９の変形を抑制することができる。
【００９１】
また、本実施形態では、第２バンプ電極３９の数は、第１バンプ電極１２１の数よりも多いのが好ましい。このように第２バンプ電極３９の数を、第１バンプ電極１２１の数よりも多くすることで、駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際の荷重が複数の第２バンプ電極３９に分散されるため、１つの第２バンプ電極３９に印加される荷重を低減して、第２バンプ電極３９の変形をさらに抑制することができる。
【００９２】
また、図４に示すように、配線基板３０と流路形成基板１０との積層方向である第３の方向Ｚにおいて、第２バンプ電極３９の高さＨ２は、第１バンプ電極１２１の第１コア部１２２の高さＨ１よりも高いのが好ましい。これにより、駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際の荷重によって第２バンプ電極３９がつぶれるように変形したとしても、第２バンプ電極３９の変形による影響、すなわち、上述した第２バンプ電極３９が互いに隣り合う個別リード電極９１に接触することによる短絡、圧電アクチュエーター１５０の変形の阻害、配線基板３０の第２面３０２の配線と圧電アクチュエーター１５０の電極とが接触による短絡や放電による絶縁破壊を抑制することができる。
【００９３】
また、第２バンプ電極３９の各々の個別リード電極９１及び共通リード電極９２との接続面積は、第１バンプ電極１２１の各々の駆動回路１２０との接続面積よりも大きいことが好ましい。すなわち、第２バンプ電極３９の各々の個別リード電極９１及び共通リード電極９２との接続長は、第１バンプ電極１２１の各々の駆動回路１２０との接続長よりも大きい。これにより、駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際の荷重を、第２バンプ電極３９の比較的広い接触面積で支えることができ、第２バンプ電極３９の変形を抑制することができる。
【００９４】
このように、第２個別配線３１２と第２バイアス配線３４２とを個別リード電極９１と共通リード電極９２とに接続する第２バンプ電極３９は、第１の方向Ｘに並設された列が、第２の方向Ｙに３列設けられている。つまり、圧電アクチュエーター１５０の活性部が第１の方向Ｘに並設された列の各々に対して、第２バンプ電極３９が第１の方向Ｘに並設された列が、第２の方向Ｙに２列設けられている。このような第２バンプ電極３９に対して、第１バンプ電極１２１は、第２の方向Ｙにおいて、第２バンプ電極３９の列の間に設けられている。すなわち、第３の方向Ｚから平面視した際に、第１バンプ電極１２１は、第２の方向Ｙにおいて、第２バンプ電極３９の列の間に配置されている。したがって、駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際の荷重を、第１バンプ電極１２１の両側の第２バンプ電極３９によって支えることができ、荷重の偏りによる第２バンプ電極３９の偏った変形などを抑制することができる。
【００９５】
以上説明したように、本実施形態では、液体としてインクを噴射するノズル開口２１に連通する流路である圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせる駆動素子である圧電アクチュエーター１５０の活性部を有する駆動素子基板である流路形成基板１０と、圧電アクチュエーター１５０の活性部を駆動する信号を出力する駆動回路１２０と、圧電アクチュエーター１５０の活性部とは反対側の第１面３０１が駆動回路１２０側、第２面３０２が流路形成基板１０側となる配線基板３０と、を備え、配線基板３０は第１面３０１側に駆動回路１２０と接続されて圧電アクチュエーター１５０の活性部の個別電極である第１電極６０に接続される個別配線３１の第１個別配線３１１と配線基板３０の第１溝３０４内に埋設された第１埋設配線３５とを具備し、第１埋設配線３５における駆動回路１２０との接続部は、第１個別配線３１１における駆動回路１２０との接続部よりも配線基板３０側の界面を有しており、第１個別配線３１１と第１埋設配線３５とのそれぞれは、弾性を有する第１コア部１２２と第１コア部１２２の一部を覆う第１配線である第１バンプ配線１２３とを有する第１バンプ電極１２１によって駆動回路１２０と電気的に接続されており、配線基板３０の第２面３０２には、弾性を有する第２コア部３９１と第２コア部３９１の一部を覆う第２配線である第２バンプ配線３９２とを有する第２バンプ電極３９によって圧電アクチュエーター１５０の活性部と電気的に接続されている。
【００９６】
このように、弾性を有する第１コア部１２２を有する第１バンプ電極１２１は、金バンプなどの金属のみで形成された金属バンプに比べて変形し易いため、駆動回路１２０を配線基板３０に押し当てる荷重を金属バンプに比べて低くすることができる。したがって、駆動回路１２０及び配線基板３０の反りを低減することができる。また、駆動回路１２０や配線基板３０の反りを抑制することができるため、高い残留応力が残るのを抑制して、残留応力による剥離や実装不良が発生するのを抑制することができる。
【００９７】
また、駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際の荷重を低下させることができるため、配線基板３０と流路形成基板１０とを接続する弾性を有する第２コア部３９１を有する第２バンプ電極３９がつぶれるように変形するのを抑制することができる。これにより、第２バンプ電極３９が変形することによる配線の短絡や、放電による絶縁破壊や配線基板３０が圧電アクチュエーター１５０の変位を阻害するのを抑制することができる。
【００９８】
また、第１埋設配線３５は、駆動回路１２０に駆動信号を供給する駆動信号配線３２であることが好ましい。これによれば、第１面３０１の狭いスペースに横断面積が大きく、電気抵抗値が低い駆動信号配線３２を設けることができる。また、駆動信号配線３２を高密度に配置することができ、配線基板３０を第１面３０１の面内方向に小型化することができる。
【００９９】
また、第１埋設配線３５は、駆動回路１２０に電源を供給する電源配線３３であることが好ましい。これによれば、第１面３０１の狭いスペースに横断面積が大きく、電気抵抗値が低い電源配線３３を設けることができる。また、電源配線３３を高密度に配置することができ、配線基板３０を第１面３０１の面内方向に小型化することができる。
【０１００】
また、第２バンプ電極３９は、第１バンプ電極１２１よりも多いことが好ましい。このように第２バンプ電極３９の数を、第１バンプ電極１２１の数よりも多くすることで、駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際の荷重が複数の第２バンプ電極３９に分散されるため、１つの第２バンプ電極３９に印加される荷重を低減して、第２バンプ電極３９の変形をさらに抑制することができる。
【０１０１】
また、配線基板３０と流路形成基板１０との積層方向である第３の方向Ｚにおいて、第２バンプ電極３９の第２コア部３９１の高さは、第１バンプ電極１２１の第１コア部１２２の高さよりも高いことが好ましい。これにより、駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際の荷重によって第２バンプ電極３９がつぶれるように変形したとしても、第２バンプ電極３９の変形による影響、すなわち、上述した第２バンプ電極３９が互いに隣り合う個別リード電極９１に接触することによる短絡、圧電アクチュエーター１５０の変形の阻害、配線基板３０の第２面３０２の配線と圧電アクチュエーター１５０の電極とが接触による短絡や放電による絶縁破壊を抑制することができる。
【０１０２】
また、第２バンプ電極３９の各々の圧電アクチュエーター１５０の活性部との接続面積は、第１バンプ電極１２１の各々の駆動回路１２０との接続面積よりも大きいことが好ましい。これによれば、駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際の荷重を、第２バンプ電極３９の比較的広い接触面積で支えることができ、第２バンプ電極３９の変形を抑制することができる。
【０１０３】
また、圧電アクチュエーター１５０の活性部が第１の方向Ｘに並設された列を具備し、圧電アクチュエーター１５０の活性部の列に対して、第２バンプ電極３９が第１の方向Ｘに並設された列が、第１の方向Ｘに交差する第２の方向Ｙに２列以上設けられており、第１バンプ電極１２１は、第２の方向Ｙにおいて、第２バンプ電極３９の列の間に設けられていることが好ましい。これによれば、駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際の荷重を、第１バンプ電極１２１の両側の第２バンプ電極３９によって支えることができ、荷重の偏りによる第２バンプ電極３９の偏った変形などを抑制することができる。
【０１０４】
図１〜図３に示すように、このような流路形成基板１０、配線基板３０、連通板１５及びノズルプレート２０の接合体には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００を形成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、配線基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、配線基板３０側に流路形成基板１０及び配線基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、配線基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。また、ケース部材４０には、凹部４１の第２の方向Ｙの両側に凹形状を有する第３マニホールド部４２が形成されている。この第３マニホールド部４２と、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８とによって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。
【０１０５】
ケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。
【０１０６】
連通板１５のノズルプレート２０側の面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８のノズルプレート２０側の開口を封止している。このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。
【０１０７】
ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース部材４０には、配線基板３０が露出し、外部配線が挿通される接続口４３が設けられており、接続口４３に挿入された外部配線１３０が配線基板３０の各配線、すなわち、駆動信号配線３２と電源配線３３と第１バイアス配線３４１とに接続されている。
【０１０８】
このような構成の記録ヘッド１では、インクを噴射する際に、インクが貯留された液体貯留手段から導入路４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター１５０に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター１５０と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。
【０１０９】
（実施形態２）
図１１は、本発明の実施形態２に係る駆動回路基板の要部断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図１１に示すように、本実施形態では、配線基板３０の第１面３０１には、上述した実施形態１と同様に、第１個別配線３１１と駆動信号配線３２と電源配線３３と第１バイアス配線３４１とが設けられている。
【０１１０】
また、配線基板３０の第２面３０２には、第２バイアス配線３４２が設けられている。第２バイアス配線３４２は、配線基板３０の第２面３０２に設けられた第２溝３０６に埋設された第２埋設配線３７と、第２埋設配線３７を被覆する第２接続配線３８と、を具備する。
【０１１１】
第２溝３０６は、本実施形態では、第１面３０１に設けられた第１溝３０４と第３の方向Ｚにおいて相対向する位置に設けられている。すなわち、本実施形態の各第２溝３０６は、第２の方向Ｙの位置が各第１溝３０４と同じ位置で、且つ第１溝３０４と同じ幅で設けられている。また、第２溝３０６は、第１の方向Ｘに亘って第１の方向Ｘに沿って直線状に設けられている。このような第２溝３０６は、圧電アクチュエーター１５０の活性部の列毎にそれぞれ６個、合計１２個設けられている。
【０１１２】
このような第２溝３０６は、上述した第１溝３０４と同様に、配線基板３０の表面の結晶方位である（１１０）面に垂直な第１の（１１１）面と、第１の（１１１）面に相対向して（１１０）面に垂直な第２の（１１１）面とで内壁面が形成されている。すなわち、第２溝３０６は、第１溝３０４と同様にアルカリ溶液を用いた異方性エッチング（ウェットエッチング）によって高精度に形成することができる。また、第１溝３０４と第２溝３０６とは、異方性エッチングによって同時に形成することが可能である。
【０１１３】
この第２溝３０６内に、第２埋設配線３７が埋め込まれている。すなわち、第２埋設配線３７は、圧電アクチュエーター１５０の活性部の列毎に６本、合計１２本設けられている。このような第２埋設配線３７は、上述した第１溝３０４内に埋設された第１埋設配線３５と同様に、銅（Ｃｕ）等の金属からなり、例えば、電解めっき、無電界めっき、導電性ペーストの印刷などの方法によって形成することができる。
【０１１４】
第２接続配線３８は、第２埋設配線３７を覆うように積層されている。本実施形態の第２バイアス配線３４２では、第２接続配線３８は複数の第２埋設配線３７を連続して覆うように積層されている。すなわち、１つの第２接続配線３８が圧電アクチュエーター１５０の活性部の列毎に設けられた６本の第２埋設配線３７の全てを覆うように設けられている。
【０１１５】
このような第２接続配線３８は、第１接続配線３６と同様に、第２埋設配線３７側に設けられたチタン（Ｔｉ）等の密着層と、密着層上に設けられた金（Ａｕ）等の導電層とを積層したものを用いることができる。もちろん、第２接続配線３８として、その他の導電性材料で形成された層が積層されていてもよい。なお、第２接続配線３８は、第２個別配線３１２と同時に形成することができる。これにより、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。
このような第２埋設配線３７と第２接続配線３８とによって第２バイアス配線３４２が形成されている。
【０１１６】
また、特に図示していないが、上述した実施形態と同様に第１バイアス配線３４１と接続された第２貫通配線３４５は、第２溝３０６の底面において第２埋設配線３７と接続されている。これにより、バイアス配線３４は、第１バイアス配線３４１と第２貫通配線３４５と第２バイアス配線３４２とを有する。
【０１１７】
このように第２面３０２にバイアス配線３４を構成する第２バイアス配線３４２を設けることで、第１面３０１に第１の方向Ｘに亘ってバイアス配線３４を設ける必要がなく、第１面３０１に第１の方向Ｘに亘ってバイアス配線３４を設けるスペースが不要となって配線基板３０の小型化を図ることができる。つまり、バイアス配線３４の主要部分である第２バイアス配線３４２を第１面３０１に比べてスペースに余裕のある第２面３０２に設けることで、配線基板３０の大型化を抑制して、小型化を図ることができる。
【０１１８】
そして、配線基板３０の第２面３０２に設けられた第２バイアス配線３４２は、本実施形態では、第２溝３０６内に設けられた第２埋設配線３７を有するため、高さの低い保持部１６０内に電気抵抗値の低い第２バイアス配線３４２を設けることができる。すなわち、配線基板３０の第２面３０２に第２溝３０６を設けずに、第２バイアス配線３４２を設ける場合、保持部１６０の高さに制限があることから、配線を高く形成することができず、配線の横断面積が小さくなって、電気抵抗値が高くなってしまう。また、第２バイアス配線３４２の電気抵抗値を低くするために、第２バイアス配線３４２の幅を広げると、配線基板３０や流路形成基板１０が第２の方向Ｙに大型化してしまう。さらに、配線基板３０に第２溝３０６を設けずに、厚さの比較的厚い配線を形成する場合、フォトリソグラフィー法の制限によって配線を高精度及び高密度にパターニングするのが困難であり、厚さの比較的薄い配線しか形成することができない。さらに、配線を厚く形成すると配線と圧電アクチュエーター１５０とが近くなり、配線と圧電アクチュエーター１５０の電極とが接触することや、放電により絶縁破壊が発生する虞がある。本実施形態では、第２埋設配線３７は、第２溝３０６によってその厚さが決定されると共に、第２溝３０６によってパターンが形成されるため、表面のみに配線を形成する場合に較べて、比較的厚い、例えば２０μｍ〜４０μｍ程度の厚さの第２埋設配線３７を４０μｍ〜５０μｍのピッチで高密度に形成することができる。したがって、第２埋設配線３７の横断面積を増大させて第２バイアス配線３４２の電気抵抗値を低下させることができる。また、第２埋設配線３７の横断面積を増大させることができるため、第２埋設配線３７の第２の方向Ｙの幅を狭くしても電気抵抗値が著しく高くなるのを抑制することができる。したがって、第２埋設配線３７を高密度に配置して配線基板３０及び流路形成基板１０の小型化を図ることができる。また、本実施形態では、１本の第２バイアス配線３４２は、複数、具体的には６本の第２埋設配線３７を有する。したがって、第２バイアス配線３４２は複数の第２埋設配線３７によってバイアス電圧（ＶＢＳ）が外部配線１３０から供給される第１の方向Ｘの一端部から他端部までの電気抵抗値を効果的に低下させることができる。
【０１１９】
このような実施形態２の記録ヘッド１においても、駆動回路１２０と配線基板３０との接続に上述した実施形態１と同様の第１バンプ電極１２１を用いることで、駆動回路１２０を配線基板３０に押し当てる荷重を金属バンプに比べて低くすることができる。したがって、駆動回路１２０及び配線基板３０の反りを低減することができる。また、駆動回路１２０や配線基板３０の反りを抑制することができるため、高い残留応力が残るのを抑制して、残留応力による剥離や実装不良が発生するのを抑制することができる。
【０１２０】
また、駆動回路１２０を配線基板３０に実装する際の荷重を低下させることができるため、配線基板３０と流路形成基板１０とを接続する第２バンプ電極３９がつぶれるように変形するのを抑制することができる。これにより、第２バンプ電極３９が変形することによる配線の短絡や、放電による絶縁破壊や配線基板３０が圧電アクチュエーター１５０の変位を阻害するのを抑制することができる。
【０１２１】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、上述した各実施形態では、バイアス配線３４を構成する第２バイアス配線３４２を配線基板３０の第２面３０２に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、第２バイアス配線３４２を第１面３０１のみに設けるようにしてもよい。
【０１２２】
また、上述した各実施形態では、駆動信号配線３２を配線基板３０の第１面３０１のみに形成したが、特にこれに限定されず、駆動信号配線３２の一部を第２面３０２にも形成するようにしてもよい。また、第２面３０２に駆動信号配線３２の一部を設ける際には、駆動信号配線３２は、第２埋設配線３７を有するものであってもよい。
【０１２３】
また、上述した各実施形態では、駆動信号配線３２と電源配線３３とが第１埋設配線３５を有する構成を例示したが、特にこれに限定されず、駆動信号配線３２と電源配線３３との何れか一方のみが第１埋設配線３５を有するものであってもよい。
【０１２４】
また、上述した各実施形態では、配線基板３０の第２面３０２に第２バンプ電極３９を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、流路形成基板１０に第２バンプ電極３９を設けるようにしてもよい。
【０１２５】
さらに、上述した各実施形態では、２列の圧電アクチュエーター１５０に対して１つの駆動回路１２０を設けたが、特にこれに限定されない。例えば、１列の圧電アクチュエーター１５０の列毎に駆動回路１２０を設けてもよく、１列の圧電アクチュエーター１５０の列に対して、第１の方向Ｘで２つ以上に分割された複数の駆動回路１２０を設けるようにしてもよい。
【０１２６】
さらに、上述した各実施形態では、第２バンプ配線３９２を共通リード電極９２に接続する第２バンプ電極３９は、２つの第２バンプ配線３９２から引き出された第２接続配線３８を１つの第２コア部３９１の表面の一部を覆うように設けたが、特にこれに限定されず、例えば、第２バンプ配線３９２毎に第２コア部３９１を設けるようにしてもよい。また、第２バンプ配線３９２用の第２バンプ電極３９の第２コア部３９１と、第２個別配線３１２用の第２バンプ電極３９の第２コア部３９１とを共通化してもよい。
【０１２７】
さらに、上述した各実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる駆動素子として、薄膜型の圧電アクチュエーター１５０を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、駆動素子として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【０１２８】
なお、実施形態の記録ヘッド１は、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置に搭載される。図１２は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
図示するように、インクジェット式記録装置Ｉにおいて、記録ヘッド１は、インク供給手段を構成するカートリッジ２が着脱可能に設けられ、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。
【０１２９】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。
【０１３０】
なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【０１３１】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体貯留手段であるカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、貯留手段と記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。
【０１３２】
さらに、本発明は、広くヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【符号の説明】
【０１３３】
Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…カートリッジ、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、６…駆動モーター、７…タイミングベルト、８…搬送ローラー、１０…流路形成基板（駆動素子基板）、１２…圧力発生室、１５…連通板、１６…ノズル連通路、１７…第１マニホールド部、１８…第２マニホールド部、１９…供給連通路、２０…ノズルプレート、２０ａ…液体噴射面、２１…ノズル開口、３０…配線基板、３１…個別配線、３１１…第１個別配線、３１２…第２個別配線、３１５…第１貫通配線、３２…駆動信号配線、３３…電源配線、３３１…高圧電源配線、３３２…高圧用グランド配線、３３３…低圧電源配線、３３４…低圧用グランド配線、３４…バイアス配線、３４１…第１バイアス配線、３４２…第２バイアス配線、３４５…第２貫通配線、３５…第１埋設配線、３６…第１接続配線、３７…第２埋設配線、３８…第２接続配線、３９…第２バンプ電極、３９１…第２コア部、３９２…第２バンプ配線、４０…ケース部材、４１…凹部、４２…第３マニホールド部、４３…接続口、４４…導入路、４５…コンプライアンス基板、４６…封止膜、４７…固定基板、４８…開口部、４９…コンプライアンス部、５０…振動板、５１…弾性膜、５２…絶縁体膜、６０…第１電極、７０…圧電体層、８０…第２電極、９１…個別リード電極、９２…共通リード電極、１００…マニホールド、１２０…駆動回路、１２１、１２１Ａ、１２１Ｂ、１２１Ｃ…第１バンプ電極、１２２…第１コア部、１２３…第１バンプ配線、１２４…接着層、１３０…外部配線、１５０…圧電アクチュエーター、１６０…保持部、３００…接着層、３０１…第１面、３０２…第２面、３０３…第１貫通孔、３０４…第１溝、３０６…第２溝、３０７…第２貫通孔、Ｓ…記録シート、Ｘ…第１の方向、Ｙ…第２の方向、Ｚ…第３の方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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