(57)【要約】      （修正有）【課題】ワイヤソー装置で被加工物表面の仕上がりの品質向上を目的とし、時間をかけずに効率よく加工出来るようにする。【解決手段】ワイヤソー装置１は、多軸制御により、自在に移動可能な１台のロボットアーム２と、ロボットアーム２にツールチェンジャー１０を介して接続されたワイヤソーユニット３と、前記ワイヤソーユニット３内に軸支された複数のプーリに掛け渡された固定砥粒ワイヤ８とを備える。ワイヤソー装置１では、ワイヤソーユニット３は、粗加工用のワイヤソーユニットと、仕上げ加工用のワイヤソーユニットとで構成され、粗加工時と仕上げ加工時で順次交換する。粗加工用のワイヤソーユニットを使用して切断した後の経路を、仕上げ加工用のワイヤソーユニットのワイヤがトレースすることを特徴とする。【選択図】図１
2019018263.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多軸制御により、自在に移動可能な１台のロボットアームと、前記ロボットアームにツールチェンジャーを介して接続されたワイヤソーユニットと、前記ワイヤソーユニット内に軸支された複数のプーリに掛け渡された固定砥粒ワイヤと、前記プーリ間に設定された被加工物切断加工域とを有し、前記ロボットアームを予め設定された方向に移動させながら、前記ワイヤソーユニットのワイヤを走行させて、前記ワイヤを保持された被加工物に押し付けることにより前記被加工物を所定形状に切断するワイヤソー装置において、前記ワイヤソーユニットは、粗加工用のワイヤソーユニットと、仕上げ加工用のワイヤソーユニットとで構成され、粗加工時と仕上げ加工時で順次交換するものとし、前記粗加工用のワイヤソーユニットのワイヤの直径は、前記仕上げ加工用のワイヤソーユニットのワイヤの直径よりも小さく、前記粗加工用のワイヤソーユニットのワイヤに固着するダイヤモンド砥粒の粒径は、前記仕上げ加工用のワイヤソーユニットのワイヤに固着するダイヤモンド砥粒の粒径よりも大きく構成し、前記粗加工用のワイヤソーユニットを使用して切断した後の経路を、前記仕上げ加工用のワイヤソーユニットのワイヤがトレースすることを特徴とするワイヤソー装置。
【請求項２】
前記ワイヤソーユニットは、少なくとも１つのエアーを噴射するノズルを有し、前記ノズルが前記被加工物切断加工域のワイヤ及び被加工物の切断加工面にエアーを噴射することにより、切断屑を除去する手段を具備することを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー装置。
【請求項３】
多軸制御により、自在に移動可能な１台のロボットアームにツールチェンジャーを介してワイヤソーユニットを接続させ、前記ワイヤソーユニット内に軸支された複数のプーリに固定砥粒ワイヤが掛け渡され、前記ロボットアームを予め設定された方向に移動させながら、前記ワイヤソーユニットのワイヤを走行させて、前記ワイヤの切断加工域を、保持された被加工物に押し付けることにより前記被加工物を所定形状に切断するワイヤソー装置による切断方法において、第１工程として、前記被加工物を所定形状に切断して粗加工し、その後、前記第1工程で使用したワイヤソーユニットを取り外し、前記ツールチェンジャーを介して新たに別のワイヤソーユニットを装着させ、第２工程として、前記ワイヤソーユニットのワイヤを走行させ、前記第1工程の切断経路をトレースし、仕上げ加工することを特徴とするワイヤソー装置による切断方法。
【請求項４】
前記第1工程で使用するワイヤの直径は、前記第2工程で使用するワイヤの直径よりも小さく、前記第1工程で使用するワイヤに固着するダイヤモンド砥粒の粒径は、前記第2工程で使用するワイヤに固着するダイヤモンド砥粒の粒径よりも大きいことを特徴とする、請求項３に記載のワイヤソー装置による切断方法。
【請求項５】
前記ワイヤソー装置による切断方法において、前記第２工程のワイヤの加工速度は、第1工程のワイヤの加工速度より遅くすることを特徴とする、請求項３または４のいずれか１項に記載のワイヤソー装置による切断方法。
【請求項６】
前記ワイヤソーユニットは、少なくとも１つのエアーを噴射するノズルを有し、前記ノズルが前記被加工物切断加工域のワイヤ及び被加工物の切断加工面にエアーを噴射することにより、切断屑を除去することを特徴とする、請求項３から請求項５までのいずれか１項に記載のワイヤソー装置による切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多関節で多軸制御可能なロボットアームを利用したワイヤソー装置及び切断加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、シリコンやサファイア等の被加工物をウエハ状に切り出す手段としてワイヤソー装置が知られている。ワイヤソー装置は、複数のガイドローラに螺旋状に巻き付けられた切断用ワイヤが多数本並んだワイヤ列を形成する。また、ワイヤに、鋼線で形成された芯線にダイヤモンド等の砥粒が電着、レジン等で固定された固定砥粒ワイヤを用いた、固定砥粒方式のワイヤソー装置もある。ワイヤを一方向走行または往復走行させながら、ワイヤ列に被加工物を押し当て、複数箇所で被加工物を同時に切断する。
【０００３】
上記のようなワイヤソー装置の従来の加工方法によると、被加工物表面の仕上がりの品質向上を目的とした場合、一定以上の加工時間を要する。一方、加工時間の短縮を試みる場合には、ワイヤに固着させる砥粒の粒径を大きくすればよい。しかし、被加工物の表面粗さが大きくなり品質が低下する。そこで、ワイヤソー装置による切断加工で、時間をかけずに、被加工物の良質な仕上がり表面を実現するために、次のような各種のワイヤソー装置が提案されている。
【０００４】
前後に２本以上のダイヤモンドワイヤが設置され、同一組中のダイヤモンドワイヤはお互いに平行するように１層の切断加工域を形成し、後の１本のダイヤモンドワイヤの直径は、前の１本のダイヤモンドワイヤの直径に比べて大きい。後の１本のダイヤモンドワイヤ上に固着されるダイヤモンド砥粒のサイズは、前の１本のダイヤモンドワイヤ上に固着される砥粒のサイズに比べて小さいことを特徴とするダイヤモンドワイヤソー装置である。前のワイヤが粗切り加工用、後のワイヤを仕上げ加工用とし、両ワイヤが平行にて同一加工ラインを描くように被加工物を切断する（例えば、特許文献1）。
【０００５】
また、一定の張力を保持したストレートワイヤーを、等間隔またはピッチ補正を施した溝を持つワークローラに巻き付けて、遊離状態の砥粒を供給しながら被加工物を一定速度で上昇させて、該ワークローラの駆動により、一定速度でワイヤを供給および正転、逆転させて被加工物を切断および厚み仕上げ加工することを特徴とする仕上げ加工方法（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許５５７６９８７号公報
【特許文献２】特開平９−２４８８２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に開示されたワイヤソー装置は、前後のワイヤが平行にて同一加工ラインを描くように被加工物を切断するため、直線方向での加工（例えば、図６）には適している。しかし、曲線を描く加工や、被加工物に対してワイヤの挿入方向を変えていく加工（例えば、図７）のように、両ワイヤを同一ライン上に保つことが困難な加工には適さない。
【０００８】
特許文献２に開示されたワイヤソー装置は、被加工物を切断加工する際、被加工物を装置内部にて、一定速度にて上昇させる。被加工物を安定し保持する必要があるので、被加工物のサイズは限定されてしまう。また、遊離状態の砥粒を供給するため、使用後の砥粒の処理も考慮しなければならないため、装置としては大掛かりになる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
したがって、上記の課題のもと、本発明は、ロボットアーム、ワイヤ、ワイヤソーユニット、ノズル、およびロボットの制御装置を有機的に組み合わせて、柔軟にかつ簡素な方式で、被加工物を加工切断し、被加工物の表面が品質よく仕上がるようなワイヤソー装置の切断加工方法を提供することを目的とする。
【００１０】
すなわち、上述の課題を解決するために、請求項１の発明は、多軸制御により、自在に移動可能な１台のロボットアームと、前記ロボットアームにツールチェンジャーを介して接続されたワイヤソーユニットと、前記ワイヤソーユニット内に軸支された複数のプーリに掛け渡された固定砥粒ワイヤと、前記プーリ間に設定された被加工物切断加工域とを有し、前記ロボットアームを予め設定された方向に移動させながら、前記ワイヤソーユニットのワイヤを走行させて、前記ワイヤを保持された被加工物に押し付けることにより前記被加工物を所定形状に切断するワイヤソー装置において、前記ワイヤソーユニットは、粗加工用のワイヤソーユニットと、仕上げ加工用のワイヤソーユニットとで構成され、粗加工時と仕上げ加工時で順次交換するものとし、前記粗加工用のワイヤソーユニットのワイヤの直径は、前記仕上げ加工用のワイヤソーユニットのワイヤの直径よりも小さく、前記粗加工用のワイヤソーユニットのワイヤに固着するダイヤモンド砥粒の粒径は、前記仕上げ加工用のワイヤソーユニットのワイヤに固着するダイヤモンド砥粒の粒径よりも大きく構成し、前記粗加工用のワイヤソーユニットを使用して切断した後の経路を、前記仕上げ加工用のワイヤソーユニットのワイヤがトレースすることを特徴とするワイヤソー装置である。
【００１１】
また、請求項２の発明は、前記ワイヤソーユニットは、少なくとも１つのエアーを噴射するノズルを有し、前記ノズルが前記被加工物切断加工域のワイヤ及び被加工物の切断加工面にエアーを噴射することにより、切断屑を除去する手段を具備することを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー装置である。
【００１２】
また、請求項３の発明は、多軸制御により、自在に移動可能な１台のロボットアームにツールチェンジャーを介してワイヤソーユニットを接続させ、前記ワイヤソーユニット内に軸支された複数のプーリに固定砥粒ワイヤが掛け渡され、前記ロボットアームを予め設定された方向に移動させながら、前記ワイヤソーユニットのワイヤを走行させて、前記ワイヤの切断加工域を、保持された被加工物に押し付けることにより前記被加工物を所定形状に切断するワイヤソー装置による切断方法において、第１工程として、前記被加工物を所定形状に切断して粗加工し、その後、前記第1工程で使用したワイヤソーユニットを取り外し、前記ツールチェンジャーを介して新たに別のワイヤソーユニットを装着させ、第２工程として、前記ワイヤソーユニットのワイヤを走行させ、前記第1工程の切断経路をトレースし、仕上げ加工することを特徴とするワイヤソー装置による切断方法である。
【００１３】
また、請求項４の発明は、前記第1工程で使用するワイヤの直径は、前記第2工程で使用するワイヤの直径よりも小さく、前記第1工程で使用するワイヤに固着するダイヤモンド砥粒の粒径は、前記第2工程で使用するワイヤに固着するダイヤモンド砥粒の粒径よりも大きいことを特徴とする、請求項３に記載のワイヤソー装置による切断方法である。
【００１４】
また、請求項５の発明は、前記ワイヤソー装置による切断方法において、前記第２工程のワイヤの加工速度は、第1工程のワイヤの加工速度より遅くすることを特徴とする、請求項３または４のいずれか１項に記載のワイヤソー装置による切断方法である。
【００１５】
また、請求項６の発明は、前記ワイヤソーユニットは、少なくとも１つのエアーを噴射するノズルを有し、前記ノズルが前記被加工物切断加工域のワイヤ及び被加工物の切断加工面にエアーを噴射することにより、切断屑を除去することを特徴とする、請求項３から請求項５までのいずれか１項に記載のワイヤソー装置による切断方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に関するワイヤソー装置は、回転自在な運動機能を備えたツールチェンジャーを介して、ロボットアームとワイヤソーユニットが接続されている。一体のロボットアームのため、被加工物の形状、大きさに合わせて、ロボットアームの交換が容易であり、装置の設置スペースもそれほど必要がない。ロボットアームの動作で、ワイヤソーユニットが自由に移動可能で、ワイヤソーユニットに懸架されたワイヤを被加工物に押し付け、被加工物を平面形状に切断加工するだけでなく、曲面形状に切断加工するといった多様な加工形態を実現できる。
【００１７】
例えば、粗加工用ワイヤを懸架したワイヤソーユニットと、仕上げ加工用ワイヤを懸架したワイヤソーユニットとを、ツールチェンジャーによる脱着で容易に交換できる。多種の加工形状で、被加工物の表面の品質を確認しながら、粗加工と仕上げ加工を柔軟に行うことが可能となる。さらには、粗加工と仕上げ加工のワイヤの加工速度に変化をつけることで、仕上げ加工の質の向上を図れる。
【００１８】
本発明は、このように、ワイヤソー装置の切断加工のみで高品質、高精度の被加工物の表面仕上げを実現する方法も提供している。
【００１９】
また、利便性の面において、ロボットアームの先端に設けられているワイヤソーユニットは、ロボットアームとワイヤソーユニット間を連結するツールチェンジャーを介しているため、脱着可能である。ワイヤ及びプーリを交換する際には、前記ワイヤソーユニットをロボットアーム本体から外すので、作業者が自身とより近い距離で細かい作業を行いやすい。そのため、メンテナンス性に優れている。また、被加工物の種類、サイズによって、選択的にワイヤソーユニットや、ワイヤを容易に交換することが出来る。
【００２０】
さらにコスト面においては、ノズルから噴出されるエアーにより切断屑を除去する方式（乾式）を採用すれば、洗浄目的で加工部に向けて放出される洗浄液を使わずに済み、コスト削減が可能となる。くわえて、切断屑で汚染された洗浄液を廃棄する必要もなく、環境面においても優位性がある。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る、ワイヤソー装置の一部破断全体図である。
【図２】本発明に係る、ワイヤソーユニットの拡大平面図である。
【図３】本発明に係る、図２のＡ−Ａ方向拡大正面図である。
【図４】本発明に係る、ワイヤソー装置での切断加工動作の説明図である。
【図５】本発明に係る、ツールチェンジャーの拡大断面図である。
【図６】被加工物を直線方向に切断加工する際、第１工程の粗加工時と第２工程の仕上げ加工時のワイヤが、同一ライン上に並ぶ場合の説明図である。
【図７】被加工物を曲線方向に切断加工する際、（ａ）は第１工程の粗加工時のワイヤが走行する説明図で、（ｂ）は第２工程の仕上げ加工時のワイヤが第1工程の経路をトレースする説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００２３】
図１は、本発明のワイヤソー装置１の一部破断全体図である。
【００２４】
ワイヤソー装置１は、ロボットアーム２の先端部に連結されたツールチェンジャー７を介して、脱着自在に接続されたワイヤソーユニット３を有する。
【００２５】
図２、図３、図４によって示されるワイヤソーユニット３は、ロボットアーム２側のツールチェンジャー７（図５に示す）のオス部１８と、ワイヤソーユニット３側のツールチェンジャー７のメス部１９が図示しないプランジャー等の適宜の手段で係合し、ロボットアーム２に脱着可能に装着される。ロボットアーム２の内部モーター（図示せず）の稼働で、回転軸１５を駆動し、駆動制御装置（図示せず）により回転体１２の回転は適宜制御され、これにより、ツールチェンジャー７は回動可能となる。回転体１２の動きに合わせ、ツールチェンジャー７を介して、ワイヤソーユニット３も３６０度回転可能だが、実際、切断加工する場合は、駆動制御装置（図示せず）によって、回転角度が制御される。ワイヤソーユニット３の内部は、２つのガイドプーリ４ａ、４ｂと、複数の回転プーリ５と、回転プーリ５を回転させる駆動源（図示せず）が設けられている。ここでは、複数の回転プーリ５のうち少なくとも一つは、張力調整用のテンションプーリである。また、ワイヤソーユニット３の先端部に設けられるガイドプーリ４ａ、４ｂのＶ溝上を、ワイヤ８が通過し、ガイドプーリ４ａと４ｂ間に、切断加工域２０を形成する。ワイヤソーユニット３全体は、軽量で耐久性に優れた部材（例えば炭素繊維）のカバーで覆うことも出来る。
【００２６】
ワイヤソーユニット３内部の回転プーリ５に巻回されているワイヤ８は、無端状に形成され、ワイヤ表面にダイヤモンド等の砥粒が電着やレジン等で固定された固定砥粒方式のワイヤを用いる。
【００２７】
また、ワイヤ８を無端状のループに形成するのではなく、ワイヤソーユニット３内部にワイヤの供給リール及び回収リールを設け、ワイヤの両端をそれぞれのリールに巻回させ、供給側のリールから繰出されたワイヤが回収側の回収リールに巻取られるようにし、一方で、ワイヤ８の走行方向が切り替わる際には、供給側と回収側が逆の状態となって、ワイヤ８の繰出し及び巻取りが行なわれるようにしてもよい。
【００２８】
ロボットアーム２は、基端がベース２４上に取り付けられている。ロボットアーム２は、多軸制御可能で昇降、回転、移動自在の多関節である。ベース２４を支点とし、ロボットアーム２の内部モーター（図示せず）によって稼働し、駆動制御装置（図示せず）により、ロボットアーム２の移動経路が制御される。制御されたロボットアーム２の動きによって、ワイヤ８が被加工物６を切断加工していく。
【００２９】
図５では、ツールチェンジャーの拡大断面図を使用して、ロボットアーム２とワイヤソーユニット３の脱着について、実施例の一つを示している。ロボットアーム２側に配置された回転可能な回転体１２の先端には、ツールチェンジャー７の基板１７ａが取り付けられる。一方、ワイヤソーユニット３側に配置された接続ブラケット１１の上には、ツールチェンジャー７の基板１７ｂが取り付けられる。基板１７ａはオス部１８を、基板１７ｂはメス部１９をそれぞれ有しており、基板１７ａと基板１７ｂの当接時に、オス部１８がメス部１９と係合する。結果、ロボットアーム２と、ワイヤソーユニット３が脱着可能となる。ワイヤソーユニット３側のツールチェンジャー７の接続部は、接続ブラケット１１に形成される。すなわち、ツールチェンジャー７の接続が、接続ブラケット１１内で行われることとなり、ロボットアーム２とワイヤソーユニット３とは当接して係合されるので、ワイヤソーユニット３が回転自在に移動してもツールチェンジャー７の接続部に掛かる負荷は少なくなる。
【００３０】
また、ツールチェンジャー７の基板１７ａ、１７ｂは、相互に対向する複数のコネクタを備えている。そのうち、コネクタ１３ａ、１３ｂはワイヤソーユニット３への給電用コネクタであり、コネクタ１４ａ、１４ｂはノズルへのエアー供給用コネクタである。オス部１８とメス部１９の係合と同時に、対向するコネクタ１４ａ、１４ｂ同士も係合する。  
【００３１】
ノズル１０はワイヤソーユニット３本体上面に配置されており、被加工物の切断加工面にエアーを吹きつけ、切断屑を吹き飛ばし除去する。エアーを排出する範囲の偏り防止のためには、ワイヤソーユニット３の中心線をはさんでほぼ対称に、１対のノズルを設けることが望ましい。ノズル１０の好適な配置位置としては、被加工物を切断する際に、被加工物に接触しないように、ワイヤソーユニット３の切断加工域に懸架されたワイヤ８よりも、ノズル１０のエアー吐出口が突出しない程度に設け、併せて、エアーが被加工物の切断加工面に十分に達する範囲内、すなわちワイヤソーユニット３の先端近くに設けることが望ましい。また、ノズル１０へのエアーの供給は、ロボットアーム２内部のエアー供給源（図示しない）がエアーを排出して行う。エアー供給源から排出されたエアーは、ロボットアーム２内のエアー供給用ホース１６を通過し、ツールチェンジャー７のエアー供給用コネクタ１４ａ、１４ｂを介して、前記コネクタに接続されたワイヤソーユニット３本体上部に配置された、エアー供給用ホース１６から、ノズル１０へ到達する。この場合において、好適な冷却機構をワイヤソー装置１に設けて、被加工物の切断加工面を冷却するエアーを排出しても良い。また、別途、切断屑を集塵する機能を備えても良い。例えば、図示しない吸引源をワイヤソー装置１内に配し、ノズル１０のうち一方を、切断屑を吸引可能としたり、ワイヤソー装置１にノズル１０とは別に、吸引ブロア装置を組み合わせることとする。そうすることで、切断屑の周辺への飛散を抑制し、汚染を減じることが可能となる。
【００３２】
上記の一連の構成により、本発明のワイヤソー装置１では、多様な加工態様に柔軟に対応出来る。ロボットアーム２の所定方向への動作によりワイヤソーユニット３が、適宜手段で保持されている被加工物６の位置まで移動する。ワイヤソーユニット３に懸架されているワイヤ８は、回転プーリ５の回転に合わせて循環走行する。ロボットアーム２の動きにより、ワイヤ８の切断加工域２０が、被加工物６の下面に押し付けられ（図４に示す）、回転可能なワイヤソーユニット３がノズル１０から排出されるエアーで切断屑を除去しながら、所望の形状に被加工物６を切断していく。
【００３３】
本発明のワイヤソー装置１では、昇降、回転、移動自在の多関節のロボットアーム２は自在な動きが可能であり、自在なワイヤソーユニット３との動きと連動して、被加工物を平面形状だけでなく、曲面形状に切断加工することが出来る。このような、柔軟な切断加工性能だけでなく、外部装置との連携性においても優れた面を有している。ロボットアーム２の可動範囲内であれば、方位方向を問わず、可動範囲内にある外部装置のサポートを受けることが可能である。それ故、本装置に余分な機構を付ける必要が無く、その機動性を落とすこともない。例えば、ロボットアーム２の可動範囲内に、ワイヤ８の線径を高速で検出可能な装置を設置する。ロボットアーム２の動きによって、ワイヤ８を前記装置のところまで、定期的に移動させれば、本発明のワイヤソー装置１自身が、ワイヤ８の摩耗を検知する機構を有さなくても、外部装置の検出データにより、ワイヤ８が摩耗によって断線する前に、自発的にワイヤ交換が可能となる。
【００３４】
また、本発明のワイヤソー装置１に余分な機構を付けないことにより、装置本体が簡素化され、大型化を防ぎ、設置場所の余分なスペースが不要となる。例えば、本装置を２台並べて同時に可動させ、その２台の間に、ワイヤ８の寸法検出装置を設置する。そうすることで、２台の本発明の装置で１台の前記検出装置を共有することも可能であり、限られた設置スペースでの作業効率が上がる。
【００３５】
図４では、ガイドプーリ４ａ、４ｂの正面が走行するワイヤ８を、被加工物６の下側表面に対向するよう、押し付けて切る態様が示されている。ここにおいて、単に押し付けて切断するだけでなく、ワイヤソーユニット３を揺動させ、被加工物６に対してワイヤ８の角度を付けながら切断させると、ワイヤ８の撓みの低減に繋がる。別の切断加工条件によっては、ワイヤソーユニット３を揺動させずに、ロボットアーム２を揺動させてもよい。被加工物６に対するワイヤ８が点接触となり、加工点に集中的に圧力がかかり、ワイヤ８の接触面が小さくなり加工精度が増す。また、揺動切断加工を行うことで、バリの発生を抑制することが出来る。
【００３６】
本発明の切断加工方法の特徴として、粗加工用ワイヤソーユニットと、仕上げ加工用のワイヤソーユニットとを、ツールチェンジャー７を介した脱着で随時交換し、第１工程の粗加工で切断した被加工物の経路を、自在に移動可能なロボットアーム２とツールチェンジャー７の複合的な動きの組み合わせを適宜手段によって制御し、第２工程の仕上げ加工でトレースしていくところにある。よって、図６のような直線方向の加工だけでなく、図７のような曲線方向の加工にも対応可能となる。
【実施例】
【００３７】
以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００３８】
（実施例１〜４）
本発明の切断加工方法である、第１工程の粗加工と第2工程の仕上げ加工について、固定砥粒ワイヤを使用して、評価テストを実施した。本テストでは、装置内固定型のシングルワイヤソー装置を使用したが、本発明に記載のロボットアームタイプのワイヤソーと条件的に変わるものではない。固定砥粒ワイヤは下記の表１に示すものを用いた。
【００３９】
【表１】
2019018263.tif 000003
【００４０】
また、ワイヤソーの切断加工条件を下記の表２に示す。
【００４１】
【表２】
2019018263.tif 000004
【００４２】
表1及び表２の条件の下、ワイヤ、固定砥粒、加工速度のパラメータを変えて実施した評価テストの結果を表３に示す。
【００４３】
【表３】
2019018263.tif 000005
【００４４】
実施例１〜４では、第２工程において、ワイヤの砥粒径の大きさの違いが、被加工物表面の平均粗さにどのような影響を与えるかを確認出来る。実施例３と４では、第２工程における砥粒の大きさを小さくすることが被加工物表面の平均粗さに好影響を与えていることが示されている。
【００４５】
また、実施例２と実施例４では、第１工程第と2工程で加工速度に変化をつけた。第１工程より第２工程が低速の方が、被加工物表面の平均粗さの質向上に有効であることを示している。
【００４６】
（比較例1）
表３に示すように、実施例１〜４と同様の条件で、第１工程のみを行っている。その結果から、第１工程の粗加工を行った後、第２工程の仕上げ加工を行うことが、被加工物表面の粗さを整える上で有効であることが判断できる。
【００４７】
これら結果をふまえ、本発明のロボットアームから、先に詳細に説明するツールチェンジャーを介したワイヤソーユニットの脱着により、第１工程用のワイヤと、第２工程用のワイヤの使い分けによる切断加工方法が有効であることが証明される。
【００４８】
尚、本発明は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、各請求項に示した範囲内において、種々変更を加え得ることは可能である。すなわち、請求項に示した範囲内で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態も、本発明の技術範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４９】
１      ワイヤソー装置
２      ロボットアーム
３      ワイヤソーユニット
４ａ    ガイドプーリ
４ｂ    ガイドプーリ
５      回転プーリ
６      被加工物
７      ツールチェンジャー
８      ワイヤ
１０    ノズル
１１    接続ブラケット
１２    回転体
１３ａ  給電用コネクタ
１３ｂ  給電用コネクタ
１４ａ  エアー供給用コネクタ
１４ｂ  エアー供給用コネクタ
１５    回転軸
１６    エアー供給用ホース
１７ａ  基板
１７ｂ  基板
１８    オス部
１９    メス部
２０    切断加工域
２１    テーブル
２１ａ   保持面
２２    非通気性部材
２３    吸着孔
２４    ベース
２５    ブラケット
２６    粗加工用ワイヤ
２７    仕上げ加工用ワイヤ
【図１】
2019018263.tif 000006
【図２】
2019018263.tif 000007
【図３】
2019018263.tif 000008
【図４】
2019018263.tif 000009
【図５】
2019018263.tif 000010
【図６】
2019018263.tif 000011
【図７】
2019018263.tif 000012