(57)【要約】【課題】圧電ダイアフラムポンプの液送時の脈動を抑えることができる液体循環装置を提供する。【解決手段】液体循環装置は、液体貯留容器から液体噴射装置に向けて液体を供給する供給ポンプと、前記液体噴射装置から液体を回収して前記液体貯留容器に戻す回収ポンプと、前記供給ポンプと前記回収ポンプを制御するポンプ制御部と、を備え、前記供給ポンプと前記回収ポンプのいずれか一方または両方は、直列に連結された複数の圧電ダイヤフラムポンプからなり、前記ポンプ制御部は、前記液体噴射装置と前記液体貯留容器の間で液体を循環させるとき、直列に連結された複数の圧電ダイヤフラムポンプのうち、前記液体噴射装置に近接するサブポンプにより液体の圧力を吸収させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体貯留容器から液体噴射装置に向けて液体を供給する供給ポンプと、
前記液体噴射装置から液体を回収して前記液体貯留容器に戻す回収ポンプと、
前記供給ポンプと前記回収ポンプを制御するポンプ制御部と、
を備え、
前記供給ポンプと前記回収ポンプのいずれか一方または両方は、直列に連結された複数の圧電ダイヤフラムポンプからなり、
前記ポンプ制御部は、前記液体噴射装置と前記液体貯留容器の間で液体を循環させるとき、前記複数の圧電ダイヤフラムポンプのうち、前記液体噴射装置に近接するサブポンプにより液体の圧力を吸収させる液体循環装置。
【請求項２】
前記ポンプ制御部は、前記サブポンプに印加する駆動波の電圧または周波数を変更する請求項１に記載の液体循環装置。
【請求項３】
前記液体噴射装置における液体の圧力を測定する圧力センサを備え、
前記ポンプ制御部は、前記圧力センサの測定結果に基づいて、前記供給ポンプと前記回収ポンプを制御する請求項１または２に記載の液体循環装置。
【請求項４】
液体貯留容器と、
液体噴射装置と、
請求項１から３のうちいずれか一項に記載の液体循環装置と、
前記液体噴射装置に向けて記録媒体を搬送する媒体搬送部と、
を備える液体噴射記録装置。
【請求項５】
液体貯留容器から液体噴射装置に向けて液体を供給する供給ポンプと、
前記供給ポンプを制御するポンプ制御部と、
を備え、
前記供給ポンプは、直列に連結された複数の圧電ダイヤフラムポンプからなり、
前記ポンプ制御部は、前記液体噴射装置に液体を供給するとき、前記複数の圧電ダイヤフラムポンプのうち、前記液体噴射装置に近接するサブポンプにより液体の圧力を吸収させる液体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、液体循環装置、液体噴射記録装置、液体供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタにおいて、インクの固着を回避するために、インクジェットヘッドにインク循環装置を連結する技術がある。この技術により、インクジェットヘッドに供給したインクを最適な状態に維持することができる。したがって、インク自体が乾きやすい場合やインクジェットヘッドが高温乾燥環境に置かれた場合であっても、安定したインクの吐出が実現できる。
【０００３】
インク循環装置は、液送ポンプとして、圧電ダイヤフラムポンプを用いることが多い。圧電ダイヤフラムポンプは、小型化が容易であるため、インクジェットヘッドに近接させて配置することができる。
ところが、圧電ダイヤフラムポンプは、液送時の脈動が大きいため、インクジェットヘッドの背圧（ノズル圧ともいう）が不安定になる。このため、ヘッドノズルにおけるインクのメニスカスが乱れて、インクの吐出量が変動したり、インクの着弾精度が低下したりする。インクの吐出が不能になったり、インクが漏出したりする虞もある。
また、圧電ダイヤフラムポンプは、吸引圧や吐出圧が小さいため、インクジェットヘッドへのインクの充填に時間が掛かったり、インクジェットヘッドから気泡等を取り除くパージが不十分になったりする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１９５９３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、圧電ダイヤフラムポンプの液送時の脈動を抑えることができる液体循環装置、液体噴射記録装置、液体供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態の液体循環装置は、液体貯留容器から液体噴射装置に向けて液体を供給する供給ポンプと、前記液体噴射装置から液体を回収して前記液体貯留容器に戻す回収ポンプと、前記供給ポンプと前記回収ポンプを制御するポンプ制御部と、を備え、前記供給ポンプと前記回収ポンプのいずれか一方または両方は、直列に連結された複数の圧電ダイヤフラムポンプからなり、前記ポンプ制御部は、前記液体噴射装置と前記液体貯留容器の間で液体を循環させるとき、直列に連結された複数の圧電ダイヤフラムポンプのうち、前記液体噴射装置に近接するサブポンプにより液体の圧力を吸収させることを特徴とする。
【０００７】
実施形態の液体噴射記録装置は、液体貯留容器と、液体噴射装置と、実施形態の液体循環装置と、前記液体噴射装置に向けて記録媒体を搬送する媒体搬送部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
実施形態の液体供給装置は、液体貯留容器から液体噴射装置に向けて液体を供給する供給ポンプと、前記供給ポンプを制御するポンプ制御部と、を備え、前記供給ポンプは、直列に連結された複数の圧電ダイヤフラムポンプからなり、前記ポンプ制御部は、前記液体噴射装置に液体を供給するとき、直列に連結された複数の圧電ダイヤフラムポンプのうち、前記液体噴射装置に近接するサブポンプにより液体の圧力を吸収させることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】一実施形態のインクジェットプリンタ１００の構成例を示す模式図である。
【図２】一実施形態のインク循環装置７を示す斜視図である。
【図３】圧電ダイヤフラムポンプ５０を示す図であって、（ａ）正面図、（ｂ）Ａ-Ａ断面図である。
【図４】逆止弁５４，５５の動作を示す図であって、（ａ）インク吸入時、（ｂ）インク排出時である。
【図５】ポンプ制御部３０の構成例を示すシステムブロック図である。
【図６】実施形態のインク循環装置７の動作例を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施形態のインク循環装置７およびインクジェットプリンタ１００を図面を参照して説明する。各図において、同一構成については同一の符号を付す。
【００１１】
図１は、一実施形態のインクジェットプリンタ１００の構成例を示す模式図である。
インクジェットプリンタ（液体噴射記録装置）１００は、印字データに応じてインクＫを吐出して、記録用紙１０３，１０８に画像を記録する。
【００１２】
以下の説明では、インクジェットヘッド１の主走査方向をＺ方向という。副走査方向をＸ方向という。上下（鉛直）方向をＹ方向という。
【００１３】
記録用紙（記録媒体）１０３，１０８は、無地の記録用紙、アート紙、コート紙などである。
インク（液体）Ｋは、着色剤として染料または顔料を、溶媒に溶解または分散させた液体である。インク溶媒として、水性、油性、溶剤などがある。さらに、インクＫは、透明な液体も含んでいる。透明な液体は、画像形成のための下地層や保護層形成に利用される。下地層は、着色剤を含むインクＫを付着させる前に、記録用紙１０３，１０８に形成し、付着したインクＫの発色性を改善する。保護層は、着色剤を含むインクＫを記録用紙１０３，１０８に付着させた後に、このインク層上に形成される。
【００１４】
インクジェットプリンタ１００は、箱型の筐体１０１を備える。
筐体１０１の内部には、下部から上部に向かって、給紙カセット１０２，１０７、上流搬送路１０６、搬送ベルト１１０、印字部１３０、下流搬送路１２０、排紙トレイ１２３が配置される。さらに、筐体１０１の内部には、メイン制御部１４０、表示部１４５等が配置される。
【００１５】
給紙カセット１０２は、Ａ４サイズの記録用紙１０３を複数枚収容する。給紙カセット１０７は、Ａ３サイズの記録用紙１０８を複数枚収容する。
インクジェットプリンタ１００は、給紙カセット１０２，１０７の２種類の記録用紙にインクＫで描画する。給紙カセット１０２，１０７は、筐体１０１の下部に設けられる。
【００１６】
給紙ローラ１０４は、給紙カセット１０２から記録用紙１０３を一枚ずつ上流搬送路１０６へ給紙する。上流搬送路１０６は、送りローラ対１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃと、記録用紙１０３，１０８の搬送方向を規制する記録用紙案内板１０６ａ，１０６ｂで構成される。記録用紙１０３は、送りローラ対１０５ａ，１０５ｂの回転によって搬送され、送りローラ対１０５ａを通過後、記録用紙案内板１０６ａによって搬送ベルト１１０の上面（外周面）へ送られる。
【００１７】
給紙ローラ１０９は、給紙カセット１０７から記録用紙１０８を一枚ずつ上流搬送路１０６へ給紙する。記録用紙１０８は、送りローラ対１０５ｃ，１０５ａ，１０５ｂの回転によって搬送され、送りローラ対１０５ｃを通過後、記録用紙案内板１０６ａ，１０６ｂによって搬送ベルト１１０の上面（外周面）へ送られる。
【００１８】
搬送ベルト（媒体搬送部）１１０は、微細孔が形成された無端ベルトである。搬送ベルト１１０は、搬送する紙幅より大きい幅（Ｚ方向の長さ）である。本実施例では、Ａ３記録用紙を搬送するため、搬送ベルト１１０は３３０ｍｍ幅である。
搬送ベルト１１０は、駆動ローラ１１２ａ、従動ローラ１１２ｂ，１１２ｃの３本のローラによって、弛みなく回転自在に支えられる。駆動ローラ１１２ａは、モータ１１１によって回転し、所定の周速で搬送ベルト１１０を回転させる。
搬送ベルト１１０の内側には、負圧容器１１３が設けられる。負圧容器１１３の上面は、多数の微細孔１１４が形成され、搬送ベルト１１０の裏面（内周面）に接触する。
負圧容器１１３は、容器内部を減圧するファン１１５に連通する。ファン１１５の回転によって気流が発生し、負圧容器１１３の内部は減圧される。この減圧によって、搬送ベルト１１０に形成された微細孔を通して記録用紙１０３，１０８が搬送ベルト１１０の上面に吸着される。
記録用紙１０３，１０８は、搬送ベルト１１０に吸着された状態で、搬送ベルト１１０の回転によって印字部１３０の直下を通ってＸ方向に搬送される。その後、記録用紙１０３，１０８は、下流搬送路１２０に搬送される。
【００１９】
印字部１３０は、４つのインクジェットヘッド（液体噴射装置）１を備える。印字部１３０は、この４つのインクジェットヘッド１からシアン、マゼンタ、イエロー、ブラックのインクＫを記録用紙１０３，１０８に向けて吐出して、印字データに応じた画像を記録する。
４つのインクジェットヘッド１は、吐出するインク色を除き同一構造である。
【００２０】
インクジェットヘッド１のインク吐出面は、搬送ベルト１１０の上面から距離Ｈだけ離れた位置に固定される。本実施例では、Ｈは１ｍｍである。
各インクジェットヘッド１は、Ｚ方向に長く、Ｘ方向に短い。さらに、各インクジェットヘッド１は、Ｘ方向において間隔を開けて配置される。各インクジェットヘッド１は、Ｚ方向の長さが２９７ｍｍに形成される。本実施例では、インクジェットヘッド１は、長さ３０ｍｍの小型ヘッドを千鳥配列することにより構成される。
【００２１】
印字部１３０は、インクジェットヘッド１毎に、メンテナンスユニット１３２、インクタンク５、インク循環装置７をそれぞれ備える。
メンテナンスユニット１３２は、インクジェットヘッド１のノズルの表面を保護するキャップ１３３、ノズルの表面に残留する付着物を除去するブレード１３４を備える。
【００２２】
インクタンク（液体貯留容器）５は、インクＫを貯留するインク容器である。
インクタンク５は、インクジェットヘッド１の上部に配置される。インクタンク５とインクジェットヘッド１は、インク供給管１１、インク回収管１５を介して接続される。インク供給管１１、インク回収管１５は、樹脂製チューブである。
インクジェットヘッド１は、インク供給ポート２とインク回収ポート３を有し、インク供給ポート２にインク供給管１１が、インク回収ポート３にインク回収管１５がそれぞれ接続される。
インク供給管１１を通してインクジェットヘッド１にインクＫが供給され、インク回収管１５を通してインクタンク５にインクＫが回収される。
【００２３】
インク循環装置（液体循環装置、液体供給装置）７は、インクジェットヘッド１の非印刷時（待機時）または印刷時に、インクＫが固着しないようにインクＫを循環（流動）させる。
インク循環装置７は、インクタンク５とインクジェットヘッド１の間に配置される。インク循環装置７は、インク供給管１１、インク回収管１５に接続（付設）される。
【００２４】
記録用紙１０３，１０８は、画像が形成された後に搬送ベルト１１０から離れて、送りローラ対１２０ａへ送られる。下流搬送路１２０は、送りローラ対１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄと、記録用紙１０３，１０８の搬送方向を規制する記録用紙案内板１２１ａ，１２１ｂで構成される。
記録用紙１０３，１０８は、送りローラ対１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄによって、排紙口１２２から排紙トレイ１２３へ排出される。
【００２５】
インクジェットプリンタ１００には、コンピュータ１５０が接続される。コンピュータ１５０は、記録用紙１０３，１０８に描画するための印字データを発生する。印字データは、ケーブル１４３、コネクタ１４１，１４２を通してインクジェットプリンタ１００に入力される。
【００２６】
次に、インク循環装置７の詳細構成について説明する。
図２は、一実施形態のインク循環装置７を示す斜視図である。
インク循環装置７は、インクジェットヘッド１の非印刷時（待機時）または印刷時に、インクＫを循環させる。このとき、インク循環装置７は、インクジェットヘッド１の内部のインクＫを大気圧に対して負圧に維持する。インクジェットヘッド１の内部の圧力（負圧）は−１ｋＰａに設定される。
また、インク循環装置７は、インクジェットヘッド１にインクＫを充填したり、インクジェットヘッド１からインクＫをパージしたりする。
【００２７】
インク循環装置７は、インクジェットヘッド１の直上に配置される。
インク循環装置７は、インク供給管１１、供給ポンプ１２、インク回収管１５、回収ポンプ１６、フィルター２１、圧力センサ２５、温度センサ２６（図５参照）、ポンプ制御部３０等を備える。
【００２８】
供給ポンプ１２は、２つの圧電ダイヤフラムポンプ５０（メインポンプ５０Ａ、サブポンプ５０Ｂ）からなる。メインポンプ５０Ａ、サブポンプ５０Ｂは、インク供給管１１の経路中において、＋Ｙ方向に直列に連結される。供給ポンプ１２は、２つの圧電ダイヤフラムポンプ５０（メインポンプ５０Ａ、サブポンプ５０Ｂ）の動作により、インクタンク５からインク供給管１１を介してインクジェットヘッド１にインクＫを供給する。
回収ポンプ１６は、２つの圧電ダイヤフラムポンプ５０（サブポンプ５０Ｃ、メインポンプ５０Ｄ）からなる。サブポンプ５０Ｃ、メインポンプ５０Ｄは、インク回収管１５の経路中において、−Ｙ方向に直列に連結される。回収ポンプ１６は、２つの圧電ダイヤフラムポンプ５０（サブポンプ５０Ｃ、メインポンプ５０Ｄ）の動作により、インクジェットヘッド１からインク回収管１５を介してインクＫを回収してインクタンク５に戻す。つまり、インクジェットヘッド１から吐出されずに余ったインクをインクタンク５に戻す。
【００２９】
フィルター２１は、供給ポンプ１２から送液されるインクＫに含まれるゴミや気泡をトラップする。フィルター２１がトラップしたゴミや気泡は、少量のインクＫとともに、バイパス２２、インク回収管１５を通じてインクタンク５に回収される。
バイパス２２は、管路抵抗が調整されており、インクＫの流量を規制している。そのため、供給ポンプ１２が送液するインクＫの大半は、フィルター２１を通過してインクジェットヘッド１に送液される。
【００３０】
圧力センサ２５は、インク供給ポート２とインク回収ポート３におけるインクＫの圧力を測定する。
温度センサ２６は、インクジェットヘッド１の内部のインクＫの温度を測定する。
ポンプ制御部３０は、ＣＰＵ３１、各種メモリ３２、駆動回路３３を備える。ポンプ制御部３０は、インクジェットプリンタ１００のメイン制御部１４０に依存することなく、供給ポンプ１２、回収ポンプ１６、圧力センサ２５、温度センサ２６を動作させる。
【００３１】
図３は、圧電ダイヤフラムポンプ５０を示す図であって、（ａ）正面図、（ｂ）Ａ-Ａ断面図である。
図４は、逆止弁５４，５５の動作を示す図であって、（ａ）インク吸入時、（ｂ）インク排出時である。
圧電ダイヤフラムポンプ５０（メインポンプ５０Ａ，５０Ｄ、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃ）は、同一構造、同一能力を有するポンプである。各圧電ダイヤフラムポンプ５０は、圧電素子の圧縮・伸張によりダイアフラムを動作させて、インクＫを一方向に送液する。
【００３２】
圧電ダイヤフラムポンプ５０は、インクケース５１、アクチュエータユニット５２、隔膜５３、逆止弁５４，５５を備える。
インクケース５１はリング形状を有し、このインクケース５１の開口にアクチュエータユニット５２と隔膜５３が張設される。また、インクケース５１は中底を有し、この中底に逆止弁５４，５５が配設される。
圧電ダイヤフラムポンプ５０の内部には、圧力室５６、インク室５４，５５が形成される。圧力室５６とインク室５７の間に逆止弁５４が設けられて、インクＫを圧力室５６に吸入する。圧力室５６とインク室５８の間に逆止弁５５が設けられて、インクＫを圧力室５６から排出する。
【００３３】
アクチュエータユニット５２は、保護シート、圧電セラミック、金属板、接液ダイアフラムを順番に接着したものであり、インクケース５１の開口に張った状態で固定される。
保護シートは、例えばポリテトラフルオロエチレンのフィルムである。圧電セラミックは、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸塩）からなる。圧電セラミックは、その両面にＮｉ／Ａｕメッキ電極が施されて、分極処理によって圧電性を有する。金属板は、例えば黄銅やＳＵＳからなる。接液ダイアフラムは、例えばポリイミド樹脂等からなる。圧電セラミックと金属板にそれぞれ電源ケーブルが接続される。
【００３４】
隔膜５３は、例えばポリイミド樹脂等からなる円形の樹脂シートであり、インクケース５１の開口に張った状態で固定される。隔膜５３は、アクチュエータユニット５２の動作に追従して振動して、圧力室５６の容積変動で発生した圧力を低減するダンパとして機能する。隔膜５３の振動により、インクＫの脈動が軽減するため、圧電ダイヤフラムポンプ５０の流量や吸引圧、吐出圧等の基本性能が向上する。
逆止弁５４，５５は、同一構造を有する。逆止弁５４，５５は、中心穴を有する円板形の樹脂シートであり、例えばポリイミド樹脂等からなる。逆止弁５４，５５は、中心穴に留めピンが挿通されて、インクケース５１の中底に固定される。
【００３５】
各圧電ダイヤフラムポンプ５０（供給ポンプ１２、回収ポンプ１６）は、ポンプ制御部３０により駆動制御される。ポンプ制御部３０の駆動回路３３で生成された交流電圧のパルス波（駆動波）がアクチュエータユニット５２に印加されて、アクチュエータユニット５２が振動する。パルス波の電圧は１０〜４００Ｖ、周波数は１０〜５００Ｈｚである。本実施例では、パルス波の電圧は２００Ｖ、周波数は１００Ｈｚである。
アクチュエータユニット５２の振動は、パルス波の電圧に比例して振幅が大きくなる。また、アクチュエータユニット５２の振動は、パルス波の周波数が１００Ｈｚのときに振幅が最大になり、１００Ｈｚから離れるほど振幅が小さくなる。
【００３６】
図４（ａ）に示すように、アクチュエータユニット５２が振動して圧力室５６の容積が膨張すると、逆止弁５４が開き、逆止弁５５が閉じて、インク室５７から圧力室５６にインクＫが流入する。つまり、圧電ダイヤフラムポンプ５０に外部からインクＫが吸入される。
一方、図４（ｂ）に示すように、圧力室５６の容積が収縮すると、逆止弁５４が閉じ、逆止弁５５が開いて、圧力室５６からインク室５８にインクＫが流出する。つまり、圧電ダイヤフラムポンプ５０から外部にインクＫが排出される。
【００３７】
アクチュエータユニット５２の振動により圧力室１２１の容積が周期的に変化し、これに伴い逆止弁５４，５５が開閉することにより、インクＫが一方向に送液される。
各圧電ダイヤフラムポンプ５０（供給ポンプ１２、回収ポンプ１６）は、このような動作を繰り返して、インクＫを送液する。
【００３８】
図５は、ポンプ制御部３０の構成例を示すシステムブロック図である。
ポンプ制御部３０は、ＣＰＵ３１、各種メモリ３２、駆動回路３３を備える。駆動回路３３には、供給ポンプ１２（メインポンプ５０Ａ、サブポンプ５０Ｂ）、回収ポンプ１６（サブポンプ５０Ｃ、メインポンプ５０Ｄ）が接続される。ＣＰＵ３１には、駆動回路３３、圧力センサ２５、温度センサ２６が接続される。また、ＣＰＵ３１には、電源３４が接続される。
【００３９】
ポンプ制御部３０は、供給ポンプ１２（メインポンプ５０Ａ、サブポンプ５０Ｂ）、回収ポンプ１６（サブポンプ５０Ｃ、メインポンプ５０Ｄ）、圧力センサ２５、温度センサ２６を動作させる。
インク循環開始／停止、インク充填開始／停止、パージ開始／停止などの指示は、メイン制御部１４０から通信インターフェース３５を介してＣＰＵ３１に伝えられる。一方、ＣＰＵ３１が取得するインク圧力、インク温度、各圧電ダイヤフラムポンプ５０の動作情報は、通信インターフェース３５を介して、メイン制御部１４０に伝えらえる。
【００４０】
次に、インク循環装置７の動作例について説明する。
図６は、実施形態のインク循環装置７の動作例を示すフローチャートである。
ポンプ制御部３０は、メイン制御部１４０からインク循環開始の指示が伝えられると、インク循環を開始する。
【００４１】
（ステップＳ１）
まず、ポンプ制御部３０は、インクジェットヘッド１に近接する圧電ダイヤフラムポンプ５０の駆動電圧が０Ｖに設定される。つまり、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃの液送能力が抑制される。
【００４２】
（ステップＳ２）
次いで、ポンプ制御部３０は、メインポンプ５０Ａ，５０Ｄのみに駆動電圧を印加して、インクＫの送液を行う。つまり、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃを停止させた状態で、メインポンプ５０Ａ，５０ＤのみによりインクＫを送液（循環）する。
【００４３】
（ステップＳ３）
インク循環が開始されると、圧力センサ２５は、インク供給ポート２とインク回収ポート３におけるインクＫの圧力を測定してＣＰＵ３１に出力する。
ＣＰＵ３１は、インク供給ポート２とインク回収ポート３の差圧を求め、さらにインクジェットヘッド１の水頭圧を考慮して、インクジェットヘッド１のインク圧力を求める。つまり、インクジェットヘッド１のノズルにおけるインクＫの圧力（背圧）を求める。
【００４４】
（ステップＳ４）
ＣＰＵ３１は、求めたノズル圧と目標圧力（−１ｋＰａ）を比較して、供給ポンプ１２（メインポンプ５０Ａ）ないし回収ポンプ１６（メインポンプ５０Ｄ）の駆動電圧を調整する。
【００４５】
（ステップＳ５）
ポンプ制御部３０は、メイン制御部１４０からインク循環停止の指示が伝えられるまで、ノズル圧算出（ステップＳ３）と駆動電圧調整（ステップＳ４）を繰り返す。つまり、供給ポンプ１２と回収ポンプ１６によるインク送液（インク循環）を継続する。
【００４６】
（ステップＳ６）
ポンプ制御部３０は、メイン制御部１４０からインク循環停止の指示が伝えられると、供給ポンプ１２と回収ポンプ１６の動作を停止させる。つまり、メインポンプ５０Ａ，５０Ｄに印加するパルス波の周波数を０Ｈｚにする。
【００４７】
（ステップＳ７、Ｓ８）
次いで、ポンプ制御部３０は、メインポンプ５０Ａ，５０Ｄの駆動電圧を初期値に戻し、さらにサブポンプ５０Ｂ，５０Ｃの駆動電圧を初期値に戻す。
これにより、インク循環装置７によるインクＫの送液（循環）が終了する。
【００４８】
上述したように、インク循環装置７は、供給ポンプ１２と回収ポンプ１６が、それぞれ直列に連結された複数の圧電ダイヤフラムポンプ５０からなる。インク循環装置７は、インク循環のときに、複数の圧電ダイヤフラムポンプ５０を個別に制御する。具体的には、メインポンプ５０Ａ，５０Ｄのみを駆動制御する。一方、インクジェットヘッド１に近接するサブポンプ５０Ｂ，５０Ｃの駆動電圧を０Ｖに設定（変更）する。つまり、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃの送液能力を抑制する。
【００４９】
サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃは、薄型のアクチュエータユニット５２や柔軟な隔膜５３をそれぞれ備えている。このアクチュエータユニット５２と隔膜５３は、送液動作を停止しているので、脈動減衰ダンパとして機能する。つまり、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃは、アクチュエータユニット５２と隔膜５３によりインクＫの圧力を吸収する。
言い換えると、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃは、供給ポンプ１２（メインポンプ５０Ａ）と回収ポンプ１６（メインポンプ５０Ｄ）で発生したインクＫの脈動を軽減する蓄圧器（サージタンク）になる。
【００５０】
インク循環装置７は、圧力センサ２５によりインクジェットヘッド１におけるインクＫの圧力を測定する。そして、ポンプ制御部３０は、圧力センサ２５の測定結果に基づいて供給ポンプ１２（メインポンプ５０Ａ）と供給ポンプ１２（メインポンプ５０Ｄ）を制御する。これにより、インク循環装置７は、インクジェットヘッド１のノズル圧（背圧）を大気圧に対して負圧（−１ｋＰａ）に維持できる。したがって、インクジェットヘッド１のノズルにおけるインクＫのメニスカスが良好に維持される。
よって、インク循環装置７は、インクＫの吐出量が変動したり、インクＫの着弾精度が低下したりすることを防止できる。さらに、インク循環装置７は、インクＫの吐出が不能になったり、インクＫが漏出したりすることを回避できる。
特に、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃは、インクジェットヘッド１に近接しているので、インクＫの脈動が残ったとしても、インクジェットヘッド１に伝わりづらい。このため、インクジェットヘッド１のノズルにおけるインクＫのメニスカスが良好に維持される。
【００５１】
インク循環装置７は、インク循環以外の動作では、４つの圧電ダイヤフラムポンプ５０を駆動する。供給ポンプ１２と供給ポンプ１２は、直列に連結された２つの圧電ダイヤフラムポンプ５０を有するので、インクジェットヘッド１へのインク充填やパージを良好に行うことができる。つまり、インクタンク５からインクジェットヘッド１にインクＫを充填しやすく、インクジェットヘッド１からインクＫを強制排出しやすい。
【００５２】
インク循環装置７は、インク循環時に、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃの駆動電圧を０Ｖに調整する場合に限らない。インクジェットヘッド１におけるインク圧（背圧）が安定する範囲内であれば、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃに小さな電圧を印加してもよい。つまり、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃのアクチュエータユニット５２を小さく振動させて、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃの液送能力を抑制する。例えば、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃに印加するパルス波の電圧を半減させてもよい。例えば、供給ポンプ１２（メインポンプ５０Ａ）と回収ポンプ１６（メインポンプ５０Ｄ）の脈動を打ち消す位相のパルス波を、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃに印加してもよい。このような場合であっても、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃは、アクチュエータユニット５２と隔膜５３によりインクＫの圧力を吸収できる。
【００５３】
インク循環装置７は、インク循環時に、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃの駆動波（パルス波）の電圧を変更する場合に限らない。駆動波の周波数を変更してもよい。サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃに印加するパルス波の周波数を、例えば１０Ｈｚや２００Ｈｚ等に変更してもよい。このような場合であっても、サブポンプ５０Ｂ，５０Ｃのアクチュエータユニット５２の振幅を小さくなるので、インクＫの圧力を吸収できる。
【００５４】
供給ポンプ１２と回収ポンプ１６の両方が、圧電ダイヤフラムポンプ５０を２つずつ備える場合に限らない。供給ポンプ１２と回収ポンプ１６のいずれか一方が複数の圧電ダイヤフラムポンプ５０を備えればよい。例えば、供給ポンプ１２が圧電ダイヤフラムポンプ５０を２つ以上備え、回収ポンプ１６が圧電ダイヤフラムポンプ５０を１つだけ備える場合であってもよい。また、供給ポンプ１２が圧電ダイヤフラムポンプ５０を１つだけ備え、回収ポンプ１６が圧電ダイヤフラムポンプ５０を２つ以上備える場合であってもよい。さらに、供給ポンプ１２と回収ポンプ１６が、圧電ダイヤフラムポンプ５０をそれぞれ３つ以上備える場合であってもよい。
【００５５】
インク循環装置７は、供給ポンプ１２と回収ポンプ１６を備える場合に限らない。インク循環装置（液体供給装置）７は、供給ポンプ１２（メインポンプ５０Ａ、サブポンプ５０Ｂ）のみを備える場合であってもよい。ポンプ制御部３０は、インクジェットヘッド１にインクＫを供給するときに、サブポンプ５０Ｂを停止させて、メインポンプ５０Ａのみを駆動することができる。これにより、インクジェットヘッド１のノズルにおけるインクＫのメニスカスが良好に維持される。
【００５６】
インクジェットヘッド１で飛翔させる液体は、インク以外の液体であってもよい。創薬やバイオ分野で使われる試薬品や医薬品、３Ｄプリンタで使用される液体樹脂なども含まれる。
【００５７】
記録媒体は、紙以外であってもよい。例えば、布、塩化ビニル樹脂膜、プラスチック膜、セラミクスなどである。
【００５８】
本発明の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５９】
１  インクジェットヘッド（液体噴射装置）  
５  インクタンク（液体貯留容器）  
７  インク循環装置（液体循環装置、液体供給装置）  
１１  インク供給管  
１２  供給ポンプ  
１５  インク回収管  
１６  回収ポンプ  
２５  圧力センサ  
３０  ポンプ制御部  
５０  圧電ダイヤフラムポンプ  
５０Ａ、５０Ｄ  メインポンプ  
５０Ｂ、５０Ｃ  サブポンプ  
１００  インクジェットプリンタ（液体噴射記録装置）  
１０３、１０８  記録用紙（記録媒体）  
１１０  搬送ベルト（媒体搬送部）  
Ｋ  インク（液体）  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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