(57)【要約】【課題】光学測定用セルの組み立てを容易にするとともに、スペーサの取り扱いを気にすることなく光路長を短くできる。【解決手段】互いに対向する対向面２１ａ、２２ａを有する一対の透光板２１、２２を有し、一対の透光板２１、２２における一対の対向面２１ａ、２２ａ間に被検液Ｘが収容される光学測定用セル２であって、一方の対向面２１ａに、他方の対向面２２ａに接触して一対の対向面２１ａ、２２ａ間の距離を規定するスペーサ膜２５が形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する対向面を有する一対の透光板を有し、当該一対の透光板における一対の対向面間に流体が収容される光学測定用セルであって、
前記一対の対向面のうち一方の対向面に、他方の対向面に接触して前記一対の対向面間の距離を規定するスペーサ膜が形成されている、光学測定用セル。
【請求項２】
前記スペーサ膜は、前記一方の対向面に形成された蒸着膜、めっき膜、スパッタ膜又は印刷膜である、請求項１記載の光学測定用セル。
【請求項３】
前記スペーサ膜が形成された透光板に、前記一対の対向面間に前記流体を導入する導入部、及び、前記流体を導出する導出部が設けている、請求項１記載の光学測定用セル。
【請求項４】
前記一対の透光板の少なくとも一方に、発熱部となる導電膜が形成されている、請求項１記載の光学測定用セル。
【請求項５】
前記一対の透光板は板厚が互いに異なる、請求項１記載の光学測定用セル。
【請求項６】
請求項１記載の光学測定用セルを用いた粒子物性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学測定用セル及びこれを用いた粒子物性測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
粒子物性測定装置として被検液に含まれる粒子の粒子径分布を測定する粒子径分布測定装置がある。従来の粒子径分布測定装置では、特許文献１に示すように、例えばインクの原液等の高濃度且つ低粘度の被検液を測定する場合に、一対の透光板の間にスペーサを挟んで構成された光学測定用セルを用いている。なお、スペーサとしては、テフロン製や金属製のものが用いられている。
【０００３】
ここで、高濃度の被検液を希釈することなく測定するためには、光学測定用セルに収容された被検液が所定の透過率となるように光路長の短くする必要がある。そのため、特許文献１に記載の光学測定用セルの構成では、光路長に対応した薄いスペーサを用いなくてはならない。
【０００４】
しかしながら、薄いスペーサを用いて光学測定用セルを組み立てる場合には、一対の透光板の間に当該スペーサを挟み込む際にスペーサが歪む等の変形をしてしまい、その組み立て作業が困難である。また、薄いスペーサはその取り扱いが難しく、一対の透光板に挟む際や光学測定用セルを洗浄する際にスペーサが破損しやすく使い回すことが難しい。これらの問題はスペーサが薄くなればなるほど顕著になってしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第２９１０５９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで本発明は、上述した課題を解決すべくなされたものであり、光学測定用セルの組み立てを容易にするとともに、スペーサの取り扱いを考慮することなく光路長を短くできることをその主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち本発明に係る光学測定用セルは、互いに対向する対向面を有する一対の透光板を有し、当該一対の透光板における一対の対向面間に流体が収容される光学測定用セルであって、前記一対の対向面のうち一方の対向面に、他方の対向面に接触して前記一対の対向面間の距離を規定するスペーサ膜が形成されていることを特徴とする。
【０００８】
このような光学測定用セルであれば、一対の透光板における一方の対向面にスペーサ膜を形成しているので、一対の透光板を重ね合わせるだけで所定の光路長を有する光学測定用セルを構成することができ、光学測定用セルの組み立てを容易にすることができる。また、対向面に一体的に形成されるスペーサ膜の膜厚により光路長を規定することができるので、別体のスペーサを用いた場合に生じるスペーサの変形や破損を考慮する必要がなく、光路長を短くすることができる。さらに、別体のスペーサを用いないので、光学測定用セルの組み立て誤差を低減することができ、その結果、粒子物性測定の前に行う光学測定用セルに対する光軸合わせを容易にすることができる。その他、スペーサ膜が一方の透光板に一体的に形成されているので、光学測定用セルを洗浄する場合にその作業を簡単にすることができる。
【０００９】
スペーサ膜の具体的な実施の態様としては、透光板の対向面に堆積して一体的に形成される膜であり、前記一方の対向面に形成された蒸着膜、めっき膜、スパッタ膜、又は印刷膜であることが考えられる。これらの膜を用いることにより、光路長を例えば１μｍ〜２μｍといった微小なものにすることができる。
【００１０】
前記スペーサ膜が形成された透光板に、前記一対の対向面間に前記流体を導入する導入部、及び、前記流体を導出する導出部が設けていることが望ましい。この構成であれば、スペーサ膜の成膜処理工程において、導入部及び導出部の構成を利用して透光板を保持することができる。
【００１１】
前記一対の透光板の少なくとも一方に、発熱部となる導電膜が形成されていることが望ましい。この構成において、導電膜に透明導電膜を用いることにより光が入射又は出射する領域を含めた全体を加熱することができる。
【００１２】
光学測定用セルの具体的な実施の態様としては、前記一対の透光板は板厚が互いに異なる構成であることが考えられる。この構成であれば、板厚の小さい方の透光板は、板厚の大きい方の透光板よりも流体の温度やその変動を反映しやすくなる。そして、板厚の小さい方の透光板の温度を例えば放射温度計により検出することによって、セル内の流体の温度を精度良く測定することができる。また、このとき前記導電膜は、板厚の大きい方の透光板に形成することが望ましい。
【００１３】
また、本発明に係る粒子物性測定装置は、上述した光学測定用セルを具備することを特徴とするものである。
このような粒子物性測定装置であれば、上述した光学測定用セルと同様の作用効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
このように構成した本発明によれば、一対の透光板における一方の対向面にスペーサ膜を形成しているので、光学測定用セルの組み立てを容易にするとともに、スペーサの取り扱いを考慮することなく光路長を短くできる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態の光学測定用セルを用いた粒子物性測定装置の概略構成図である。
【図２】同実施形態の光学測定用セル及びセルホルダの構成を模式的に示す斜視図である。
【図３】同実施形態の光学測定用セルの構成を模式的に示す断面図である。
【図４】同実施形態の一対の透光板の構成を模式的に示す部分拡大断面図である。
【図５】同実施形態の一対の透光板の平面図である。
【図６】同実施形態の光学測定用セルの製造方法を示す模式図である。
【図７】変形実施形態の光学測定用セルの構成を模式的に示す断面図及び一対の透光板の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明に係る光学測定用セルを用いた粒子物性測定装置の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
本実施形態に係る粒子物性測定装置１００は、粒子に光を照射した際に生じる回折／散乱光の拡がり角に応じる光強度分布が、ＭＩＥ散乱理論から粒子径によって定まることを利用し、前記回折／散乱光を検出することによって粒子径分布を測定する粒子径分布測定装置である。
【００１８】
具体的に粒子物性測定装置１００は、図１及び図２に示すように、セルホルダ７にセットされた例えばバッチ式の光学測定用セル２と、光学測定用セル２内の被検液Ｘにレンズ３を介してレーザ光を照射する光源たるレーザ装置４と、レーザ光の照射により生じる回折／散乱光の光強度を拡がり角に応じて検出する複数の光検出器５と、各光検出器５から出力された光強度信号を受信して被検液Ｘに含まれる粒子の粒子径分布を算出する演算装置６とを備えている。
【００１９】
なお、本実施形態の粒子物性測定装置１００では、セルホルダ７がレール８上をスライドするスライド部材９上に設けられており、セルホルダ７にセットされた光学測定用セル２が光路上に位置する光照射位置と、光路上から退避した退避位置との間で移動可能に構成されている。図１において、スライド部材９上には光学測定用セル２がセットされた複数のセルホルダ７が設けられた例を示している。その他、スライド部材９上には、光学測定用セル２とは複数種類の異なる測定セル（乾式セル又は湿式フローセル等）がセットされたセルホルダを設けてもよい。また、セルホルダ７は、レーザ光が光学測定用セル２に垂直に入射しないようにレーザ光に対して光学測定用セル２が傾斜するように保持している。
【００２０】
このスライド部材９を有する構成を生かして以下のようにしてもよい。
例えば、溶媒のみを収容した光学測定用セル２を保持した第１セルホルダ７と、溶媒及び粒子からなる被検液Ｘを収容し、光路長が１μｍに設定された光学測定用セル２を保持した第２セルホルダ７と、溶媒及び粒子からなる被検液Ｘを収容し、光路長が３μｍに設定された光学測定用セル２を保持した第３セルホルダ７を、スライド部材９上にセットする。その他のセルホルダ７を有するものであってもよい。
そして、第１セルホルダ７の光学測定用セル２を光照射位置に移動させてバックグラウンド測定（透過光測定）を行う。その後、第２セルホルダ７の光学測定用セル２及び第３セルホルダ７の光学測定用セル２を順次光照射位置に移動させて光路長を変えて透過光測定を行う。そして、透過率が８５〜９０％となる光路長を有する光学測定用セル２を決定し、当該光学測定用セル２を用いて粒子径分布測定を行う。
【００２１】
以下、光学測定用セル２について図３〜図６を参照しながら説明する。なお、図３〜図６に示す部材のうち、少なくとも膜厚については、説明を明確にするため誇張して示している。
【００２２】
光学測定用セル２は、所定の粘弾性を有する被検液Ｘを収容するバッチ式のものである。本実施形態の光学測定用セル２は、インクなどの高濃度且つ低粘度の試料を収容するものであり、例えば０．１ｃＰ〜１００ｃＰの粘度を有する被検液Ｘを分析するために用いられる。その他、光学測定用セル２は、アルコールや有機溶媒を収容するものであってもよい。
【００２３】
具体的に光学測定用セル２は、図３に示すように、互いに対向する対向面２１ａ、２２ａを有する一対の透光板２１、２２と、当該一対の透光板２１、２２を外側から挟み込んで保持する挟持機構２３とを備えている。
【００２４】
各透光板２１、２２は、光源４から照射されたレーザ光を透過する例えば石英ガラス（ＳｉＯ２）製のものである。各透光板２１、２２の少なくとも対向面２１ａ、２２ａは平面状をなすものであり、本実施形態の各透光板２１、２２は平板である。また、各透光板２１、２２は、平面視において同一形状をなすものであり、本実施形態では平面視において概略円形状をなすものである（図５参照）。なお、各透光板２１、２２の側面に形成された切り欠き部２１ｘ、２２ｘは、後述する挟持機構２３に対する透光板２１、２２の周方向の位置決めを行うためのものである。
【００２５】
各透光板２１、２２のレーザ光通過領域には、図３に示すように、反射防止膜２４が形成されている。本実施形態では、レーザ光通過領域を含む中央部に反射防止膜２４が形成されている。この反射防止膜２４は、透光板２１、２２の内向き面（対向面２１ａ、２２ａ）と外向き面の両方に形成されている。本実施形態の反射防止膜２４は、蒸着法によって形成された蒸着膜である。なお、各反射防止膜２４は全体に亘って実質的に同一の膜厚を有するものであり、各対向面２１ａ、２２ａに形成された反射防止膜２４は互いに同一の膜厚である。
【００２６】
然して、図３〜図５に示すように、一方の透光板２１（以下、第１透光板２１ともいう。）の対向面２１ａの外縁部には、全周に亘ってスペーサ膜２５が形成されている。
【００２７】
このスペーサ膜２５は、特に図４に示すように、他方の透光板２２（以下、第２透光板２２ともいう。）の対向面２２ａに接触して、一対の対向面２１ａ、２２ａ間の距離を規定するものであり、全周に亘って実質的に同一の膜厚を有するものである。
【００２８】
スペーサ膜２５は、第１透光板２１の対向面２１ａに直接堆積して一体的に形成されたものである。つまりスペーサ膜２５は、対向面２１ａに成膜されて対向面２１ａに直接接触したものである。このスペーサ膜２５は、蒸着法を用いて形成された蒸着膜、スパッタ法を用いて形成されたスパッタ膜、めっき法を用いて形成されためっき膜、印刷法を用いて形成された印刷膜である。本実施形態のスペーサ膜２５は、透光板と同じ材質の二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）からなる薄膜である。このスペーサ膜２５によって、第１透光板２１の対向面２１ａには、その外縁部に凸条部が一体的に形成されることになる。さらに、スペーサ膜２５は、有機溶媒等の腐食性を有する被検液に対して耐腐食性を有する材料から形成されている。
【００２９】
本実施形態では、一対の対向面２１ａ、２２ａにおいてスペーサ膜２５の内側には、反射防止膜２４が形成されている。そのため、スペーサ膜２５の膜厚は、一対の反射防止膜２４間の距離が所望の光路長（例えば１μｍ）となるように、一対の対向面２１ａ、２２ａが所定距離離間する値とされている。つまり、スペーサ膜２５の膜厚は、前記所望の光路長と対向面２１ａ、２２ａの反射防止膜２４の膜厚とを足し合わせた値に設定されている。具体的にスペーサ膜２５の膜厚は５μｍ以下であり、スペーサ膜２５が蒸着膜の場合には、その最小値は１原子層分である。
【００３０】
なお、対向面２１ａ、２２ａ全体に反射防止膜２４が形成されており、当該反射防止膜２４上にスペーサ膜２５を形成する場合には、スペーサ膜２５の膜厚は反射防止膜２４の膜厚を考慮せずに、所望の光路長と同一の値に設定される。
【００３１】
また、スペーサ膜２５が形成された第１透光板２１には、一対の対向面２１ａ、２２ａ間に被検液Ｘを導入する導入部２６及び被検液Ｘを導出する導出部２７が設けられている。この導入部２６及び導出部２７は、スペーサ膜２５の内側に設けられており、本実施形態では、第１透光板２１を貫通して設けられた貫通孔である。これらの貫通孔２６、２７は、栓２８、２９により封止される。なお、スペーサ膜２５が蒸着膜である場合には、図６に示すように、第１透光板２１の対向面２１ａが下方を向くように、前記貫通孔２６、２７を介して第１透光板２１を支持治具により保持して成膜することができる。
【００３２】
なお、光学測定用セル２を栓２８、２９により封止した状態で、光学測定用セル２は、図２に示す状態でセルホルダ７にセットされる。つまり、測定において栓２８、２９が光源４の光を遮らないようにセットされる。具体的には、粒子物性測定装置が２種類の光源４（例えばレーザ光源及びＬＥＤ）を有する構成において、各光源４の光路から栓２８、２９が退避した位置となるようにセットされる。なお、図２では、ＬＥＤが斜め上方から光を照射する構成を想定しており、栓２８、２９が左右に位置するようにセットされている。また、光学測定用セル２を栓２８、２９で封止することで被検液Ｘの蒸発を防ぐことができる。
【００３３】
さらに、第１透光板２１の板厚は、第２透光板２２の板厚よりも大きい構成としてある。板厚の小さい方の透光板（第２透光板２２）は、板厚の大きい方の透光板（第１透光板２１）よりも被検液Ｘの温度及びその変動を反映しやすくなる。そのため、板厚の小さい方の透光板（第２透光板２２）の温度を例えば粒子物性測定装置に内蔵された放射温度計（不図示）により検出することによって、光学測定用セル２内の被検液Ｘの温度を精度良く測定することができる。
【００３４】
挟持機構２３は、一対の透光板２１、２２を外側から挟んで一対の対向面２１ａ、２２ａ間に被検液収容空間Ｓを形成するものである。この被検液収容空間Ｓは、スペーサ膜２５の内側に形成される空間である。
【００３５】
本実施形態の挟持機構２３は、図３に示すように、一対の透光板２１、２２を収容する収容部２３１ａを有する第１挟持要素２３１と、当該第１挟持要素２３１との間で一対の透光板２１、２２を挟み込む第２挟持要素２３２とを備えている。そして、第１挟持要素２３１に対して第２挟持要素２３２を螺合させることによって、一対の透光板２１、２２が挟持されるように構成されている。このように各挟持要素２３１、２３２を螺合して挟持することによって、一対の透光板２１、２２に周方向全体に亘って均一に押圧力が加わり、スペーサ膜２５を第２透光板の対向面２２ａに周方向全体に亘って均一に押し付けることができる。これにより、光路長を精度良く定めることができる。
【００３６】
ここで、第１挟持要素２３１の収容部２３１ａには、一対の透光板２１、２２の側面に形成された切り欠き部２１ｘ、２２ｘに当接して位置決めするための位置決め部（不図示）が設けられている。また、第１挟持要素２３１及び第２挟持要素２３２には、一対の透光板２１、２２にレーザ光が通過するように開口部２３１Ｈ、２３２Ｈが形成されている。その他、少なくとも第２挟持要素２３２の外側周面には、螺合する際の滑り止めとなるローレット加工等の滑り止め加工が施されている。
【００３７】
一対の透光板２１、２２を重ね合わせて、挟持機構２３によりそれらを挟持することによって光学測定用セル２が構成される。このように構成された光学測定用セル２は、セルホルダ７にセットされる。この状態で、導入部２６から被検液Ｘを導入して被検液収容空間Ｓを被検液Ｘで満たす。この状態で光源４からレーザ光を照射して被検液Ｘに含まれる粒子の粒子径分布を算出する。
【００３８】
ここで、光学測定用セル２のセル長（光路長）は、スペーサ膜２５の膜厚で決まっているので、粒子径分布において光路長よりも大きい粒子径は測定誤差により生じたものであることがわかる。そのため、演算装置６において光路長以上の粒子径の算出結果は削除又は無視する等のデータ処理を行うことができる。このとき、光路長以上の粒子径の算出結果を削除又は無視したことに伴って、その光路長以上の粒子径分を用いて、その光路長未満の粒子径分布を補正することが考えられる。
【００３９】
＜本実施形態の効果＞
このように構成した本実施形態の粒子物性測定装置１００によれば、一対の透光板２１、２２における一方の対向面２１ａにスペーサ膜２５を形成しているので、一対の透光板２１、２２を重ね合わせるだけで所定の光路長を有する光学測定用セル２を構成することができ、光学測定用セル２の組み立てを容易にすることができる。また、対向面２１ａに一体的に形成されるスペーサ膜２５の膜厚により光路長を規定することができるので、別体のスペーサを用いた場合に生じるスペーサの変形や破損を考慮する必要がなく、光路長を短くすることができる。さらに、別体のスペーサを用いないので、光学測定用セル２の組み立て誤差を低減することができ、その結果、粒子径分布測定の前に行う光学測定用セル２に対する光軸合わせを容易にすることができる。その他、スペーサ膜２５が第１透光板２１に一体的に形成されているので、光学測定用セル２を洗浄する場合にその作業を簡単にすることができる。
【００４０】
＜その他の変形実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【００４１】
例えば、前記実施形態では、第１透光板２１に導入部２６及び導出部２７を形成した構成であったが、第１透光板２１に導入部２６又は導出部２７の一方を形成し、第２透光板２２に導入部２６又は導出部２７の他方を形成する構成であっても良い。この構成であれば、第１透光板２１及び第２透光板２２の構成を共通化することができ、部品点数を削減することができる。
【００４２】
また、第１透光板２１又は第２透光板２２の少なくとも一方の外向き面に、発熱部となる導電膜を形成しても良い。この構成において、導電膜に透明導電膜を用いることにより光が入射又は出射する領域を含めた全体を加熱することができる。この導電膜を用いて被検液Ｘの温度を例えば８０℃に温調することができる。このとき、板厚の小さいほうの透光板（第２透光板２２）が放射温度計等によって温度検出される場合には、導電膜は、板厚の大きい方の透光板（第１透光板２１）に形成する。透明導電膜でない場合には、透光板のレーザ光通過領域を避けて導電膜を形成することが考えられる。
【００４３】
前記導電膜は透光板の内向き面（対向面）に形成してもよい。この場合、導電膜とスペーサ膜とを兼用してもよい。つまり、スペーサ膜を導電膜から構成してもよい。透光板の構成を簡単にすることができるとともに、その製造コストを安価にすることができる。
【００４４】
さらに、前記実施形態ではスペーサ膜２５が第１透光板２１の外縁部の全周に亘って設けられていたが、外縁部に間欠的に設けられたものであっても良い。この場合、互いに隣り合うスペーサ膜２５の間から被検液Ｘが外部に出るので、一対の透光板２１、２２の外部から漏れ出ないように挟持機構等にシール構造を設けることが考えられる。
【００４５】
前記実施形態では、一対の透光板２１、２２の側面に切り欠き部２１ｘ、２２ｘが形成されたものであったが、これらの切り欠き部を形成しない構成であっても良い。この場合、スペーサ膜２５が形成されない第２透光板２２を裏表関係なく使用することもできる。
【００４６】
前記実施形態では、透光板が平面視において概略円形状をなすものであったが、例えば平面視において矩形状をなすもの等、その他の形状であってもよい。
【００４７】
前記実施形態では導入部２６から光学測定用セル２内に被検液Ｘを導入するものであったが、導入部２６を介さずに光学測定用セル２内に被検液Ｘを収容するものであってもよい。例えば、光学測定用セル２を組み立てる前に、被検液Ｘを第１透光板のスペーサ膜２５の内側に例えばスポイト等を使って垂らして留めておき、この状態に第１透光板２１と第２透光板２２とを重ね合わせて光学測定用セル２を組み合わせてもよい。
【００４８】
前記実施形態では光学測定用セル２は一対の透光板２１、２２を挟持機構２３により挟持するものであったが、一対の透光板２１、２２及び挟持機構２３において被検液収容空間Ｓと外部との間をシールするシール部材を設けてシール性を向上させたものであってもよい。このような光学測定用セル２であれば、被検液ＸがＨ２ＯやＯ２を嫌うものの場合に好適に用いることができる。また、この光学測定用セル２に被検液を収容する場合には、グローブボックス内等の不活性ガス雰囲気下で行う。なお、導入部２６及び導出部２７に設けられる栓２８、２９においてもシール部材を設けてシール性を向上させる。
【００４９】
光学測定用セル２は導入部及び導出部となる２つの貫通孔を有する構成の他、１つの貫通孔を有する構成であってもよい。
【００５０】
光学測定用セル２は、被検液等の液体を収容するものの他、試料ガスを収容するものであってもよい。
【００５１】
前記実施形態の光学測定用セル２はバッチ式のものであったが、被検液Ｘが光学測定用セル２に入れ替わるフロー式のものであってもよい。この場合、導入部２６から被検液Ｘを連続的に導入することによってフロー式にすることができる。例えば、導入部２６から被検液Ｘを導入すると、光路長が小さいことから、表面張力によって毛細管現象が生じて被検液Ｘが一対の透光板２１、２２の間を流れることになる。
【００５２】
前記実施形態では透光板の反射防止膜を形成していたが、図７に示すように反射防止膜を形成しないものであってもよい。反射防止膜を形成しない場合には、セルホルダの傾きを調整して反射光が光検出器に入らないようにその傾き角度を調整する必要があるが、透光板の洗浄時に反射防止膜を傷つける心配もなくなり、また、透光板の製造コストも安価にすることができる。また、反射防止膜を形成しない場合において、反射光が光検出器に入る場合には、その光検出器の光強度信号を粒子径分布の算出に用いないようにすることも可能である。
【００５３】
加えて、前記実施形態の粒子径分布測定装置は、いわゆる回折／散乱式のものであったが、光学測定用セル内の被検液にレーザ光を照射して、その際にサンプル中の粒子のブラウン運動に起因して発生する散乱光の揺らぎを解析することにより粒子径分布を測定するように構成された、いわゆる動的光散乱式のものであっても構わない。
【００５４】
さらに、本発明に係る光学測定用セルは、粒子径分布測定装置のほか、例えば赤外分光法などを利用した光学分析装置に用いても良い。
【００５５】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５６】
１００・・・粒子物性測定装置
２・・・光学測定用セル
２１、２２・・・透光板
２１ａ・・・一方の対向面
２２ａ・・・他方の対向面
２４・・・反射防止膜
２５・・・スペーサ膜
２６・・・導入部
２７・・・導出部
【図１】
2019211455.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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