(57)【要約】【課題】狭い空間においても容易に発光素子とレンズとの調芯を精度よく行うことが可能な光モジュールを提供する。【解決手段】光モジュールは、発光素子搭載面および発光素子搭載面に直交するレンズ搭載面を有するサブマウントと、前記発光素子搭載面に固定された発光素子５０４と、レンズ搭載面に固定されたレンズ２００とを備え、サブマウントは、発光素子が固定された第１の平板５０２と、第１の平板に垂直且つ発光素子の光軸と平行に、第１の平板に結合された第２の平板５０３とを備え、レンズは、第１の平板に対し発光素子の出射方向に突き出た第２の平板に固定されたことを特徴とする。【選択図】図４
2019053230.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子搭載面および前記発光素子搭載面に直交するレンズ搭載面を有するサブマウントと、
前記発光素子搭載面に固定された発光素子と、
前記レンズ搭載面に固定されたレンズと
を備えたことを特徴とする光モジュール。
【請求項２】
前記サブマウントは、
前記発光素子搭載面を有する第１の平板と、
前記レンズ搭載面を有する第２の平板であり、前記第１の平板に垂直且つ前記発光素子の光軸と平行に前記第１の平板に固定された第２の平板と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
【請求項３】
前記第１の平板に対し前記発光素子の出射方向に突き出た前記第２の平板の部分に、前記レンズが固定されたことを特徴とする請求項２に記載の光モジュール。
【請求項４】
前記第２の平板は、対向する２枚の平板の組であり、前記レンズが前記対向する２枚の平板の前記レンズ搭載面に挟まれ固定されることを特徴とする請求項２または３に記載の光モジュール。
【請求項５】
前記レンズはガラス材のみで形成した角型バルクレンズであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の光モジュール。
【請求項６】
光モジュールの製造方法であって、
発光素子搭載面および発光素子搭載面に直交するレンズ搭載面を有するサブマウントの、前記発光素子搭載面に発光素子を固定することと、
前記サブマウントの前記レンズ搭載面にレンズを固定することと
を含み、
前記発光素子搭載面に前記発光素子を固定することは、
レーザから参照光を照射することであり、前記参照光の光軸が、前記発光素子搭載面に平行となり、且つ前記レンズを前記レンズ搭載面に搭載したときの当該レンズの中心を通る前記レンズ搭載面に平行な面に含まれるように、前記参照光を照射することと、
前記発光素子の光軸の方向が、前記レンズを前記レンズ搭載面に搭載したときの当該レンズの中心を通る前記レンズ搭載面に平行な面における前記参照光の光軸の方向と一致するように、前記発光素子の位置を調整することと
を含み、
前記レンズ搭載面に前記レンズを固定することは、
前記発光素子を発光させることと、
前記発光素子からの光に基づいて、前記レンズを前記レンズ搭載面に搭載したときの当該レンズの中心を通る前記レンズ搭載面に平行な面における前記発光素子の光軸を調整することと
を含む、
ことを特徴とする光モジュールの製造方法。
【請求項７】
前記発光素子搭載面に前記発光素子を固定することは、
所望の位置から前記参照光を前記発光素子の端面に照射することと、
前記発光素子の端面からの反射光に基づいて、前記レンズを前記レンズ搭載面に搭載したときの当該レンズの中心を通る前記レンズ搭載面に平行な面における前記発光素子の光軸を調整することと
をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載の光モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信分野で用いられる光モジュールとその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、発光素子を内蔵する光通信用光モジュールには、コリメータレンズやフォーカスレンズなどのレンズも搭載されている。レンズは、発光素子からの光に作用し、発光素子と光ファイバや平面型光導波路（ＰＬＣ）との間の接続損失を抑制する。近年の光モジュールパッケージ（ＰＫＧ）の小型化の流れの中で、搭載するレンズに対しても小型化の要求が高まっている。
【０００３】
図１は、現在一般的に用いられている凸型のレンズを示す図である。図１に示す凸型レンズ１００は、ＳＵＳ材の凸型形状の筐体１０２と、筐体１０２に圧入したレンズ１０４とを備える。凸型レンズ１００（レンズ１０４を保持するレンズ筐体１０２）は、サドル１０６に支持されてステンレス材やコバール材等の金属材料を用いたレーザダイオード（ＬＤ）キャリア１０８（マウント１０８ともいう。）のレンズ搭載領域平面上に設けられている。サドル１０６をマウント１０８のレンズ搭載領域平面上で摺動させることにより発光素子とレンズ１００との間の作動距離や水平方向を調整することができる。また、空間１０７が増減するように凸型形状の筐体１０２をサドル１０６内で上下させることによりレンズ１００の垂直方向を調整することができる。凸型レンズ１００はＳＵＳ材の凸型形状の筐体１０２を、サドル１０６にＹＡＧ溶接することにより固定することができ、サドル１０６は、同じくＹＡＧ溶接や接着材などを用いてＬＤキャリア（マウント）１０８に固定することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、レンズ筐体１０２の形状やサドル１０６の形状に起因して、これらの部品は大型化し、凸型レンズ１００および凸型レンズ１００を備えた光モジュールパッケージは小型化が難しいという問題や価格が高いという問題があった。
【０００５】
最近では光モジュールの小型化の要求のため、外周にＳＵＳ部品の構造体が無い、ガラス材のみで形成した角型バルクレンズが用いられている。図２（ａ）は、ガラス材のみで形成した角型バルクレンズ（単に、ガラスレンズともいう。）２００を示す図である。ガラスレンズ２００には、レンズを包む筐体がなく、レンズ自身が角型に成型されている。そのため、ガラスレンズ２００は、幅が１ｍｍ程度と非常に小さく、小型の光モジュールに用いやすい。図２（ａ）に示す例では、ガラスレンズ２００の形状は、縦横１．２ｍｍの正方形である。ただし、このガラスレンズ２００は、ＹＡＧ溶接用の筐体を持たないため、ＹＡＧ溶接等の固定方法が使えない。ＹＡＧ溶接の代替として、接着剤や半田などが、光モジュールパッケージにガラスレンズ２００を搭載し固定するために用いられる。例えば、ガラスレンズ２００は熱膨張率が硬質ガラスに近いコバール材製のＬＤキャリア１０８のレンズ搭載領域平面上に搭載される。
【０００６】
しかし、図２（ａ）の角型バルクレンズ２００はレンズサドル１０６などの高さを調整する部品を用いないため、ガラスレンズ２００の高さ方向の位置合わせには、レンズの形状寸法を厳密に管理することに加えて、発光デバイス（素子）の厚さやその素子を搭載する基板部品の厚さを精密に管理制御することで、レンズの高さ方向の調整を不要とするか、あるいは、図２（ｂ）に示したようにガラスレンズ２００の下に厚さを何種類にも変えた高さ調整用スペース板２０２などを用いることによって高さを調整する方法が用いられている。
【０００７】
しかし、素子を搭載する基板部品の製造精度や素子の厚さ制御の精度により、各ロット間などの組み合わせによっては、素子やガラスレンズを所望の光ビーム位置に調整することができず、歩留まりが低下する場合も少なくない。また、そういった光ビーム位置のズレに伴う光結合効率の劣化を許容するようにデバイスのスペック自体が決められているケースもあり、光ビーム位置のズレは小型光デバイスの性能向上の障害となっている。
【０００８】
さらに、光デバイスの小型化の要求により、ＰＫＧ内部の素子やレンズを搭載する空間が狭く、搭載後の位置調整が難しいという問題がある。図３（ａ）はレンズの高さ方向の位置ずれの影響を示しており、レンズの高さがレンズの設計中心位置から上方向にずれた場合の光線の挙動を示している。図３（ｂ）および（ｃ）は、図３（ａ）に示す構成で、レーザからの光線であるコリメータビームを、伝搬長さ（レンズ後端面からの長さ）が２．８ｍｍの位置で観察した観測結果を示す。図３（ｂ）より、２．８ｍｍ離れた距離では、レンズが中心から５０μｍ程度上方に外れると光源からのビームの到達位置が、約３００μｍ程度ずれることが分かる。またその時、図３（ｃ）より、光線ビームの出射角度は、６度も変わってしまうことがわかる。この状態では、レンズの位置ズレによる光のケラレ（ビーム周辺の光量低下）も発生し、第二レンズなどで調整して光ファイバに結合したとしても光結合パワーは半分以下となることが多い。
【０００９】
したがって、光デバイスの小型化に伴い、レンズの位置調整が困難になるため、結合効率の低下や歩留まりの低下が増加することになる。
【００１０】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、小型光モジュールに搭載される光学レンズにおいて、狭い空間においても容易に発光素子とレンズとの調芯を精度よく行うことが可能で、小型化に伴う結合効率の低下や歩留まりの低下を抑制する光モジュールとその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような目的を達成するために、一実施態様は、光モジュールである。光モジュールは、発光素子搭載面および発光素子搭載面に直交するレンズ搭載面を有するサブマウントと、発光素子搭載面に固定された発光素子と、レンズ搭載面に固定されたレンズとを備えたことを特徴とする。
【００１２】
別の実施態様は、光モジュールの製造方法である。光モジュールの製造方法は、発光素子搭載面および発光素子搭載面に直交するレンズ搭載面を有するサブマウントの、発光素子搭載面に発光素子を固定することと、サブマウントのレンズ搭載面にレンズを固定することとを含むことを特徴とする。発光素子搭載面に発光素子を固定することは、レーザから参照光を照射することであり、参照光の光軸が、発光素子搭載面に平行となり、且つレンズをレンズ搭載面に搭載したときの当該レンズの中心を通るレンズ搭載面に平行な面に含まれるように、参照光を照射することと、発光素子の光軸の方向が、レンズをレンズ搭載面に搭載したときの当該レンズの中心を通るレンズ搭載面に平行な面における参照光の光軸の方向と一致するように、発光素子の位置を調整することとを含む。レンズ搭載面にレンズを固定することは、発光素子を発光させることと、発光素子からの光に基づいて、レンズをレンズ搭載面に搭載したときの当該レンズの中心を通るレンズ搭載面に平行な面における発光素子の光軸を調整することとを含む。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明によれば、小型光モジュールに搭載される光学レンズにおいて、狭い空間においても容易に発光素子とレンズとの調芯を精度よく行うことが可能で、小型化に伴う結合効率の低下や歩留まりの低下を抑制する光モジュールとその製造方法を提供するが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】一般的な凸型のレンズを示す図である。
【図２】（ａ）はガラス材のみで形成した角型バルクレンズを示す図であり、（ｂ）は角型バルクレンズの高さ方向を調整する方法を説明する図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、レンズの高さ方向の位置ずれの影響を説明する図である。
【図４】（ａ）〜（ｅ）は、一実施形態の光モジュールのサブマウントを示す図である。
【図５】（ａ）および（ｂ）は、一実施形態の光モジュールを示す図であり、図４（ａ）および（ｂ）のサブマウントを備えた光モジュールを示す図である。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、一実施形態の光モジュールを示す図である。
【図７】（ａ）および（ｂ）は、一実施形態の光モジュールを示す図であり、図４（ｃ）のサブマウントを備えた光モジュールを示す図である。
【図８】（ａ）および（ｂ）は、サブマウントへ発光素子を搭載する方法を説明する図である。
【図９】（ａ）および（ｂ）は、パッケージに光モジュールを搭載する方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。同一または類似の符号は、同一または類似する要素を示し、繰り返しの説明は省略する。本願発明は、以下に示す数値や材料の例に限定されるものではなく、一般性を失うことなく他の数値や材料およびこれらの組み合わせによっても実施することができる。
【００１６】
以下に説明する光モジュールは、発光素子５０４と、発光素子５０４を搭載するための第１の平板５０２と、第１の平板５０２に垂直で発光素子５０４の光軸と平行に、第１の平板５０２に結合されたレンズ２００を搭載するための第２の平板５０３とで構成されたサブマウントを用いることを特徴としている。第１の平板５０２には発光素子５０４が半田または接着剤で搭載されており、第２の平板５０３のレンズ搭載面に対してレンズ２００の底面が接着剤、半田などを用いて固定される。
【００１７】
サブマウントは発光素子を搭載するための基板（例えばヒートシンク）にレンズを搭載するための基板（平板または柱（これらをまとめて単に、平板ともいう））が固定された部品であり、図４に、一実施形態の光モジュールに用いるサブマウントの形状の例を示す。図４（ａ）は、サブマウントの斜視図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）のサブマウントの上面図である。本実施形態では角型バルクレンズ２００を用いた例を説明する。
【００１８】
図４（ａ）を参照すると、サブマウントは、発光素子５０４が固定された第１の平板５０２と第２の平板５０３とを備える。第２の平板５０３は、第１の平板５０２に垂直で発光素子５０４の光軸と平行に、第１の平板５０２に結合されている。第１の平板５０２は、厚さ（ｙ軸方向）約０．５ｍｍ、幅（ｘ軸方向）１．１ｍｍ、長さ（ｚ軸方向）１．５ｍｍの直方体であり、第２の平板５０３は、高さ（ｙ軸方向）約１．１ｍｍ、厚さ（ｘ軸方向）０．５ｍｍ、長さ（ｚ軸方向）２．７ｍｍである。
【００１９】
サブマウントは、第１の平板５０２と第２の平板５０３とを固定して一体としても、一体成型しても良い。第２の平板５０３は第１の平板５０２の側面に固定することも（図４（ａ）および（ｂ））、第１の平板５０２の上面に固定することもできる（図４（ｄ））。また、第２の平板５０３は発光素子を挟む対称の位置に対向するように２枚備えても良い（図４（ｃ））。図４（ｅ）は、銅タングステン材（ＣｕＷ材）にコバール材を接合させた一体型サブマウントの例（斜視図）である。この例では、第１の平板５０２を延伸させ突き出し部（ＣｕＷ材）（第２の平板５０３に相当）とした構成であり、突き出し部に異なる材料（例えば、熱膨張率が硬質ガラスに近いコバール材）４００が接合されている。突き出し部に接合したコバール材にレンズ２００は搭載される。異なる材料４００は、その表面にレンズ２００を搭載することから、突き出し部の発光素子５０４側の面に接合される。図４（ｅ）の例では、突き出し部の発光素子５０４側の全面（ｙｚ面）に異なる材料４００は接合されているが、レンズ２００が搭載される限られた面にのみ異なる材料４００を接合しても良い。
【００２０】
図４（ａ）および（ｂ）に示すサブマウントの第２の平板５０３は、第２の平板５０３のレンズ搭載面の一部が、第１の平板５０２の側面（第１の平板５０２の発光素子搭載面に垂直な面、且つ発光素子５０４の光軸と平行な面）に固定されている。一方、図４（ｃ）の例では、第２の平板５０３として平行に対向する２枚の平板５０３ａ、５０３ｂを備えている。２枚の平板５０３ａ、５０３ｂは図４（ａ）のように第１の平板５０２の側面に固定しても、図４（ｄ）のように第１の平板５０２の上面に搭載しても良い。この場合、レンズ２００が２枚の平板５０３ａ、５０３ｂに接触した状態でｙ軸、ｚ軸方向に摺動できるように、第１の平板５０２や第２の平板５０３ａ、５０３ｂのｘ軸方向のサイズは調整される。図４（ｄ）では、第２の平板５０３が第１の平板５０２の上面（発光素子搭載面）に固定されている。この場合、第１の平板５０２に固定する面が広い第２の平板５０３を用いることで、強い固定強度が実現できる。
【００２１】
図５は、一実施形態の光モジュールを示す図であり、図５（ａ）は側面図、図５（ｂ）は出射側からの前面図である。図５の光モジュールは、図４（ａ）および（ｂ）のサブマウントに発光素子５０４とレンズ２００を搭載した光モジュールである。本実施形態ではレンズ２００は、図２（ａ）を参照して説明した一般的な角型小型レンズである。本実施形態では第２の平板５０３の高さ（ｙ軸方向）がレンズ２００の高さ（ｙ軸方向）よりも高い例を示している。図５では、レンズ２００の側面は第１の平板５０２の底面に対し上方に位置している。これは、レンズ２００の側面が第１の平板５０２の底面から下方にはみ出ていると、例えば、そのはみ出し部がＰＫＧへの光モジュールの搭載の障害になるためである。そのため、レンズ２００の側面が第１の平板５０２の底面から下方にはみ出さないように、ｙ軸方向の第１の平板５０２の厚さやレンズ２００のサイズが調整されている。
【００２２】
図６は、一実施形態の光モジュールを示す図であり、図６（ａ）は上面図、図６（ｂ）は出射側からの前面図である。第２の平板５０３のｙ軸方向の長さは第１平板の厚さと略同一であり、第２の平板５０３のレンズ搭載面に垂直な面（ｘｙ面）が発光素子５０４の出射端の接する第１の平板５０２の端面（ｘｙ面）に固定されている。発光素子は出射端が第１の平板５０２の一辺に重なるように配置される。
【００２３】
図５および６に示す光モジュールは、Ｈｅ−Ｎｅレーザの参照光やオートコリメータなどを用いて、発光素子５０４を第１の平板５０２の搭載面の所定の位置に設置固定される。この際、上述したように、発光素子５０４のｘ軸方向の位置は予めレンズ２００の部材公差を考慮し位置決めされる。レンズ２００は、第２の平板５０３上を摺動させｙ軸方向とｚ軸方向の位置を調整し第２の平板５０３のレンズ搭載面に固定される。調芯は、発光素子５０４を発光させ、レンズ２００を透過した光をビームプロファイラ（不図示）等でモニタし、位置と強度が最適な位置においてレンズ２００を第２の平板５０３にＵＶ接着剤で固定する。
【００２４】
図７は、図４（ｃ）のサブマウントに発光素子５０４とレンズ２００を搭載した光モジュールを示す図であり、図７（ａ）は上面図、図７（ｂ）は出射側からの前面図である。図７では、第２の平板５０３は、光軸と平行な、対向する２枚の平板５０３ａ、５０３ｂの組で構成されている点を除き、図５の光モジュールと同様である。接着面が２つになることでレンズの固定強度を高めることができ、加えて２枚の平板５０３ａ、５０３ｂの上面（ｘｚ面）にリッドを配置すれば封止構造とすることができる。
【００２５】
図７の光モジュールでは、発光素子５０４の位置決めを、レンズ２００を仮固定して行うこともできる。具体的には、レンズ２００を２枚の平板５０３ａ、５０３ｂで挟み仮固定して、発光素子５０４を最適な位置（ｘ軸方向の位置と向き）に調整し固定すればよい。この光モジュールは、後述するようにレンズを第２の平板５０３に搭載する際に第１の平板５０２の平板面（発光素子搭載面）を垂直にする（９０°回転させる）ことなく、そのままの状態で、レンズを真空吸着等により移動させ、ｙ軸とｚ軸方向に、精度高く調整できるため、光モジュールの小型化に伴う結合効率の低下や歩留まりの低下を抑制するとともに機械強度的にも優れたモジュールを製作することができる。
【００２６】
また、２つの第２の平板５０３ａ、５０３ｂを図４（ｄ）のように第１の平板５０２の上面に固定する構造の場合、図８（ａ）に示すように参照光を利用して、発光素子５０４を第１の平板５０２の所定の位置に搭載固定しても良い。例えば、第１の平板５０２の中心付近に照射されるように参照光の光源を配置し、それを基準に発光素子５０４を第１の平板５０２に搭載固定する。続いて、発光素子５０４に配線またはプローブにより電気的接続を行って発光素子５０４が発光できるようにする。次に、第１の平板５０２に固定されていない第２の平板５０３ａ、５０３ｂでレンズ２００を機械的に挟み一体とした状態のまま、３部品を同時に第１の平板５０２上を摺動させ、レンズ２００をｘ軸方向の最適位置に調整し、第２の平板５０３ａ、５０３ｂを第１の平板５０２上にＵＶ接着剤等を用いて固定する。レンズ２００のｘ軸方向の位置は、たとえば、参照光と同一行路または平行光となるように調整すればよく、また発光素子５０４の光軸とレンズ２００が一致するように調整すればよい。その後、レンズ２００を第２の平板５０３ａ、５０３ｂ上で移動させ、レンズ２００を透過する発光素子５０４の光を観測することによって、ｙ軸とｚ軸方向のレンズ２００の位置を精度高く調整できる。この位置決め方法はｘ軸、ｙ軸、ｚ軸方向を調整するため、従来の凸型レンズ１００とサドル１０６を用いた場合と同等の光結合効率が実現できる。
【００２７】
レンズ２００のサブマウントへの搭載方法を以下に説明する。  
初めに、第１の平板５０２に発光素子５０４を搭載する。発光素子５０４は、図４（ｂ）に記載するように、あらかじめ、第２の平板５０３にレンズを搭載することを考慮して、レンズの光学的中心に整合するように搭載する。ここでは、レンズ外形寸法（幅Ｗ）の半分Ｗ／２だけ第２の平板５０３から離れた位置に発光素子５０４の発光部（一般には電極パターンにより発光部の位置が認識できる）が位置するように発光素子５０４をＡｕＳｎ半田で搭載する。発光素子５０４の発熱による熱応力を抑制するため、第１の平板材料５０２には、発光素子５０４を構成する半導体の熱膨張係数と一致する熱膨張係数を有し、加えて発光素子５０４の温度上昇による特性変化や劣化を防止するため熱伝導特性に優れた窒化アルミ材を用いている。この搭載工程には図８（ａ）に示すように、発光素子５０４の搭載位置精度をさらに向上するため、参照光を用いることができる。例えば、第１の平板５０２と平行にｘ軸方向に移動できるステージに、Ｈｅ−Ｎｅレーザ等の可視光源を搭載し参照光として用いることにより、ステージの移動精度（１μｍ以下）で発光素子５０４のｘ軸方向の位置を調整することができる。同様に第２の平板５０３のｘ軸方向の調整も可能であり、ｙ軸方向に移動量が正確に認識できる移動できるステージに光源を搭載すれば、ｙ軸方向の発光素子５０４の搭載位置も高い精度で調整できる。
【００２８】
以下で詳細に説明する。  
可視光源は対象素子（部品）とｘｙの位置が一致し、参照光がｚ軸と平行になるように配置し、かつ、ｘ軸方向に移動できる可動ステージに載せてある。参照光は、レンズ搭載面である平板５０３の上面に照射し、位置を確認した後、ｘ軸方向に可動ステージをレンズ幅Ｗの半分Ｗ／２だけ移動させ、発光素子５０４の搭載位置を決める配置する。このため、参照光を基準として対象素子（部品、例えば発光素子）の位置や向きを合わせることができる。発光素子５０４の位置や向きの調整は、参照光を発光素子５０４の端面に照射し、その反射光が参照光の出射位置に戻るように発光素子５０４の向きや位置を調整することで行うことができる。具体的には、参照光の出射位置にピンホールを合わせて参照光を照射し、反射光の位置をピンホール裏面で確認し、反射光がピンホール位置（参照光の出射位置）に戻るように発光素子５０４の曲角度やアオリ位置を調整する。さらに、レンズを用いて、搭載位置での参照光のビームスポットを縮小すれば（図８（ｂ））、より高い精度で素子（部品）の向きや位置を合わせることができる。ここでいうレンズとは実際に搭載するレンズ、または、開口径が１φ程度あり、焦点距離ｆが０．５ｍｍ程度と短いレンズである。実際に搭載するレンズでこの工程を行えば、レンズの部品公差等も補正でき（部品公差により必ずしもＷ／２がレンズの中心にならないため）、約２μｍ程度の位置決め精度を得ることができる。このようなレンズをＬＤチップ（発光素子５０４）を搭載する第１の平板５０２の手前に配置すれば、参照光のスポットサイズは、２μｍφ以下まで絞ることができるので、ＬＤチップを搭載する際の位置決め精度を更に高めることができる。
【００２９】
続いて、レンズ２００を第２の平板５０３に搭載する。レンズ２００は、発光素子５０４を搭載した第１の平板５０２と垂直に面接続した第２の平板５０３上に搭載する。発光素子５０４を搭載後、発光素子５０４の電極にワイヤーボンディングを行い、発光素子５０４を自ら発光できるようにする。次に、第２の平板５０３の裏面（レンズ２００搭載面の反対の面）が下になるようにサブマウントを９０°回転させる。これにより、レンズ２００を搭載する面、つまり第２の平板５０３の上面（発光素子５０４側のｙｚ面）が上向きになり、レンズ２００を摺動させる面の上方が解放され水平となるため、レンズ２００の位置合わせ作業が容易になる。次に、レンズ２００を介してコリメート化される発光素子５０４の光線ビームの向きや強度を観測し、レンズ２００の透過光がｚ軸と平行で、強度が最も高い位置でレンズ２００をこの第２の平板５０３の上面上に固定する。また、一枚レンズ構成つまり、一枚のレンズでファイバ等に集光して光結合するモジュール構成の場合は、ファイバ等の結合位置にピンホール等を設置してピンホール越しに観測できる光強度が最も高くなる位置でレンズを固定する。レンズ２００はｙ軸方向とｚ軸方向に調整可能であるため、ｙ軸方向の光線傾きは最小限に調整ができる。前工程でｘ軸方向については調整済みであるため、レンズ２００を介して調整される発光素子５０４の出射ビームは曲の少ないコリメートまたは集光ビームとなる。レンズ固定に際して、レンズ２００と第２の平板５０３の間に残る半田や接着剤により、レンズ２００がその厚さ分だけｘ軸方向にズレる場合も考えられる。しかし、レンズ２００のｘ軸方向へのズレによる発光素子５０４の光線曲（ビーム傾き）は、光モジュールをパッケージなどに搭載する工程でその角度を補正して搭載することで補正できるため、光線曲（ビーム傾き）による光結合損失は解消できる。
【００３０】
図９は、パッケージに光モジュールを搭載する方法を説明する図である。図９（ａ）は、発光素子搭載面（ｘｚ平面）内における光の曲がりを示す図である。θは、レンズ２００を透過した光と光軸（ｚ軸）との角度を示す。この角度θは、発光素子５０４を駆動させ、遠方でレンズ透過光をモニタすることで、予め取得することができる。
【００３１】
図９（ｂ）は、予め取得した光の曲がりの角度θに基づいて、光モジュールをパッケージに搭載した状態を示す図である。パッケージ９００に光モジュールを搭載する際に、外部のレンズ９０２および光ファイバ９０４の光軸（ｚ軸方向）と光モジュールからの光の方向とが一致するように、光モジュールをθだけ傾けて搭載している。このように、予め取得した光の曲がりの角度θを考慮して、光モジュールをパッケージに搭載することで、発光素子５０４の光軸とレンズ２００の横方向（ｘ軸方向）の傾きや位置ズレは、図面に示すように完全に補正することができる。
【符号の説明】
【００３２】
１００  凸型レンズ
１０２  レンズ筐体
１０４  レンズ
１０６  サドル
１０７  空間
１０８  コバール材製のＬＤキャリア
２００  角型バルクレンズ（ガラスレンズ）
２０２  スペース板
４００  コバール材
５０２、５０３  平板
５０４  発光素子
９００  パッケージ
９０２  レンズ
９０４  光ファイバ
【図１】
2019053230.tif 000003
【図２】
2019053230.tif 000004
【図３】
2019053230.tif 000005
【図４】
2019053230.tif 000006
【図５】
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【図６】
2019053230.tif 000008
【図７】
2019053230.tif 000009
【図８】
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【図９】
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