(57)【要約】【課題】金型を使用することなく、しかも、多数の透明板を積層して切断するといったことなく、容易に、かつ安価に製造できる２面コーナーリフレクタアレイを提供する。【解決手段】異方性エッチング材料でそれぞれ構成されると共に、一方向へ延びる互いに平行な複数の貫通孔２ａ，３ａがそれぞれ形成された第１，第２反射体２，３を備え、前記両反射体２，３が、複数の貫通孔２ａ，３ａが延びる前記一方向を、平面視で互いに略直交するように重ね合わされて接合されており、両反射体２，３の少なくとも貫通孔２，３ａの内壁面が、光反射性膜で被覆された反射面とされている。【選択図】図１
2019053163.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異方性エッチング材料で構成されると共に、一方向へ延びる互いに平行な複数の貫通孔が形成された第１反射体と、
異方性エッチング材料で構成されると共に、一方向へ延びる互いに平行な複数の貫通孔が形成された第２反射体とを備え、
前記第１反射体における前記複数の貫通孔が延びる前記一方向と前記第２反射体における前記複数の貫通孔が延びる前記一方向とが、平面視で互いに略直交するように、前記第１反射体と前記第２反射体との両反射体が重ね合わされて接合されており、
前記両反射体の少なくとも前記複数の各貫通孔の内壁面が、光反射性膜で被覆された反射面である、
ことを特徴とする２面コーナーリフレクタアレイ。
【請求項２】
前記第１反射体及び前記第２反射体が平板状であって、前記第１反射体及び前記第２反射体の前記複数の貫通孔の、前記一方向に延びる内壁面が、前記平板状の前記第１反射体及び前記第２反射体の各板面に対してそれぞれ略垂直である、
請求項１に記載の２面コーナーリフレクタアレイ。
【請求項３】
前記異方性エッチング材料が水晶である、
請求項１または２に記載の２面コーナーリフレクタアレイ。
【請求項４】
前記第１反射体と前記第２反射体とが、金属層を介して接合されている、
請求項１ないし３のいずれかに記載の２面コーナーリフレクタアレイ。
【請求項５】
前記金属層が、金層である、
請求項４に記載の２面コーナーリフレクタアレイ。
【請求項６】
異方性エッチング材料に対して、フォトリソグラフィによって形成したパターンをマスクとして異方性エッチングを行って、一方向へ延びる互いに平行な複数の貫通孔を形成して構造体を作製するエッチング工程と、
前記エッチング工程によって作製した第１構造体及び第２構造体を、前記第１構造体における前記複数の貫通孔が延びる前記一方向と前記第２構造体における前記複数の貫通孔が延びる前記一方向とが、平面視で互いに略直交するように重ね合わせて接合する接合工程と、
前記第１構造体及び第２構造体の、少なくとも前記複数の各貫通孔の内壁面を、光反射性膜で被覆して反射面を形成する反射面形成工程とを含む、
ことを特徴とする２面コーナーリフレクタアレイの製造方法。
【請求項７】
前記異方性エッチング材料が平板状であり、
前記エッチング工程では、前記異方性エッチングによって、前記第１構造体及び前記第２構造体の前記複数の貫通孔を、該貫通孔の前記一方向に延びる内壁面が前記平板状の異方性エッチング材料の板面に対して略垂直となるように形成する、
請求項６に記載の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法。
【請求項８】
前記異方性エッチング材料が水晶である、
請求項６または７に記載の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法。
【請求項９】
前記エッチング工程の前記異方性エッチングが、ウェットエッチングである、
請求項６ないし８のいずれかに記載の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法。
【請求項１０】
前記接合工程は、前記第１構造体及び前記第２構造体の少なくとも接合面に、接合用の金属膜をそれぞれ形成する工程を含み、前記第１構造体と前記第２構造体とを、前記金属膜を介して接合する、
請求項６ないし９のいずれかに記載の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法。
【請求項１１】
前記接合用の金属膜が、金膜を含む、
請求項１０に記載の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直交する２つの反射面から構成される２面コーナーリフレクタを多数備えた２面コーナーリフレクタアレイ（DCRA:Dihedral Corner Reflector Array）及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
２面コーナーリフレクタアレイは、映像を当該２面コーナーリフレクタアレイに対して面対称な位置にある空間に結像させることができる光学結像素子であり、空中に映像を表示する空中映像表示技術に利用されている。２面コーナーリフレクタアレイは、２つの直交する反射面を基本構成とする２面コーナーリフレクタの多数の集合として構成される。
【０００３】
かかる２面コーナーリフレクタアレイの製造方法として、樹脂材料などを金型で成型する方法があるが、２面コーナーリフレクタは、微小な凹部や凸部を有しているので、金型の製作に高い精度が要求されると共に、金型からの製品の離型が容易でなく、製造コストが高くなるといった課題がある。
【０００４】
金型を使用しない２面コーナーリフレクタアレイの製造方法として、例えば、特許文献１に開示された製造方法がある。
【０００５】
この特許文献１では、一方の主面に反射面を設けた複数の透明板を前記反射面に対して垂直な方向に積層して積層ブロックを形成し、この積層ブロックを前記反射面に対して交差する方向に切断して厚み方向に平行な反射面を所定間隔で平行に配置した平板状の光学素子を形成する。この光学素子の２枚を互いの反射面が直交するように配置して接合するものであって、前記積層ブロックの切断に先立って、前記積層ブロックの２箇所の外面に対して平面加工を行うものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１６−１５１６９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献１の製造方法では、複数の透明板をそれら反射面が同一方向を向くように積層して積層ブロックを形成するが、多数の薄い透明板をずれないように積層するのは容易でなく、その積層ブロックを透明板の反射面に対して交差する方向に、薄く切断するのも難しく、更に、切断した面を研磨する必要がある。
【０００８】
本発明は、上記のような点に鑑みて為されたものであって、金型を使用することなく、しかも、多数の透明板を積層して切断するといったことなく、容易に製造できる２面コーナーリフレクタアレイ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明では、上記目的を達成するために、次のように構成している。
【００１０】
すなわち、本発明の２面コーナーリフレクタアレイは、異方性エッチング材料で構成されると共に、一方向へ延びる互いに平行な複数の貫通孔が形成された第１反射体と、異方性エッチング材料で構成されると共に、一方向へ延びる互いに平行な複数の貫通孔が形成された第２反射体とを備え、前記第１反射体における前記複数の貫通孔が延びる前記一方向と前記第２反射体における前記複数の貫通孔が延びる前記一方向とが、平面視で互いに略直交するように、前記第１反射体と前記第２反射体との両反射体が重ね合わされて接合されており、前記両反射体の少なくとも前記複数の各貫通孔の内壁面が、光反射性膜で被覆された反射面である。
【００１１】
本発明の２面コーナーリフレクタアレイによれば、第１反射体における複数の貫通孔と第２反射体における複数の貫通孔とが、互いに略直交するように、重ね合わされて接合されているので、第１反射体の複数の貫通孔と第２反射体の複数の貫通孔とが格子状に交差する。これによって、第１反射体の複数の貫通孔の対向する内壁面である反射面同士と、第２反射体の複数の貫通孔の対向する内壁面である反射面同士とによって、平面視で矩形の領域が多数形成される。各矩形の領域には、平面視で略直交する第１反射体の反射面と第２反射体の反射面とによって２面コーナーリフレクタが構成され、この２面コーナーリフレクタを多数並べた２面コーナーリフレクタアレイが構成される。
【００１２】
各反射体は、異方性エッチング材料で構成されているので、互いに平行に一方向に延びる貫通孔を、異方性エッチングによって容易に形成することが可能である共に、反射面となる内壁面を含む貫通孔の形状を、簡単に所望の形状にすることができる。
【００１３】
これによって、金型を使用して２面コーナーリフレクタアレイを成型する従来例のように金型からの離型の問題もなく、上記特許文献１のように、多数の薄い透明板をずれないように積層したり、積層した積層ブロックを切断して切断面を研磨するといった必要がなく、容易に、かつ、安価に２面コーナーリフレクタアレイを製造することができる。
【００１４】
前記第１反射体及び前記第２反射体が平板状であって、前記第１反射体及び前記第２反射体の前記複数の貫通孔の、前記一方向に延びる内壁面が、前記平板状の前記第１反射体及び前記第２反射体の各板面に対してそれぞれ略垂直であるのが好ましい。
【００１５】
前記異方性エッチング材料は、水晶であるのが好ましい。
【００１６】
上記構成によれば、水晶の結晶異方性を利用した異方性エッチングによって、貫通孔の内壁面である反射面が、平板状の各反射体の板面に対して略垂直となる２面コーナーリフレクタアレイを得ることができる。
【００１７】
前記第１反射体と前記第２反射体とが、金属層を介して接合されているのが好ましい。
【００１８】
上記構成によれば、接着剤による接合に比べて、微小な接合領域で安定確実に接合することができ、また、接着剤による接合に比べて高い耐熱性を有する。
【００１９】
前記金属層が、金層であるのが好ましい。
【００２０】
上記構成によれば、金（Ａｕ）−金（Ａｕ）接合によって確実安定に接合することができる。
【００２１】
本発明の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法は、異方性エッチング材料に対して、フォトリソグラフィによって形成したパターンをマスクとして異方性エッチングを行って、一方向へ延びる互いに平行な複数の貫通孔を形成して構造体を作製するエッチング工程と、前記エッチング工程によって作製した第１構造体及び第２構造体を、前記第１構造体における前記複数の貫通孔が延びる前記一方向と前記第２構造体における前記複数の貫通孔が延びる前記一方向とが、平面視で互いに略直交するように重ね合わせて接合する接合工程と、前記第１構造体及び第２構造体の、少なくとも前記複数の各貫通孔の内壁面を、光反射性膜で被覆して反射面を形成する反射面形成工程とを含む。
【００２２】
本発明の２面コーナーリフレクタアレイの製造方法によれば、第１構造体における複数の貫通孔と第２構造体における複数の貫通孔とが、互いに略直交するように、重ね合わされて接合されているので、第１構造体の複数の貫通孔と第２構造体の複数の貫通孔とが格子状に交差する。これによって、第１構造体の複数の貫通孔の対向する内壁面である反射面同士と、第２構造体の複数の貫通孔の対向する内壁面である反射面同士とによって、平面視で矩形の領域が多数形成される。各矩形の領域には、平面視で略直交する第１構造体の反射面と第２構造体の反射面とによって２面コーナーリフレクタが構成され、この２面コーナーリフレクタを多数並べた２面コーナーリフレクタアレイが構成される。
【００２３】
反射面を構成する第１，第２構造体の複数の貫通孔を、異方性エッチング材料からなる各構造体に対して、フォトリソグラフィを利用した異方性エッチングを行って形成するので、金型を使用して２面コーナーリフレクタアレイを成型する従来例のように金型からの離型の問題もなく、上記特許文献１のように、多数の薄い透明板をずれないように積層したり、積層した積層ブロックを切断して切断面を研磨するといった必要がなく、容易に、かつ、安価に２面コーナーリフレクタアレイを製造することができる。
【００２４】
前記異方性エッチング材料が平板状であり、前記エッチング工程では、前記異方性エッチングによって、前記第１構造体及び前記第２構造体の前記複数の貫通孔を、該貫通孔の前記一方向に延びる内壁面が前記平板状の異方性エッチング材料の板面に対して略垂直となるように形成するのが好ましい。
【００２５】
前記異方性エッチング材料は水晶であるのが好ましい。
【００２６】
上記構成によれば、水晶の結晶異方性を利用した異方性エッチングによって、貫通孔の内壁面である反射面が、平板状の板面に対して略垂直となる構造体を得ることができる。
【００２７】
前記エッチング工程の前記異方性エッチングが、ウェットエッチングであるのが好ましい。
【００２８】
前記接合工程は、前記第１構造体及び前記第２構造体の少なくとも接合面に、接合用の金属膜をそれぞれ形成する工程を含み、前記第１構造体と前記第２構造体とを、前記金属膜を介して接合するのが好ましい。
【００２９】
上記構成によれば、第１構造体と第２構造体とを、接合用の金属膜によって接合するので、接着剤による接合に比べて、微小な接合領域で、安定確実に接合することができ、また、接着剤による接合に比べて高い耐熱性を有する。
【００３０】
前記接合用の金属膜が、金膜を含むのが好ましい。
【００３１】
上記構成によれば、金（Ａｕ）−金（Ａｕ）接合によって確実安定に接合することができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、２面コーナーリフレクタの反射面を構成する貫通孔を、異方性エッチング材料に対する異方性エッチングによって形成することができるので、金型を使用して２面コーナーリフレクタアレイを成型する従来例のように金型からの離型の問題もなく、上記特許文献１のように、多数の薄い透明板をずれないように積層したり、積層した積層ブロックを切断して切断面を研磨するといった必要がなく、容易に、かつ、安価に２面コーナーリフレクタアレイを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施形態に係る２面コーナーリフレクタアレイを模式的に示す斜視図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】図２の一部を拡大した平面図である。
【図６】図１の２面コーナーリフレクタアレイによる結像様式を模式的に示す図である。
【図７】図１の２面コーナーリフレクタアレイにおける一つのコーナーリフレクタの反射経路を模式的に示す図である。
【図８】ＡＴカット水晶板を示す切断方位図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る２面コーナーリフレクタアレイの製造方法におけるエッチング工程を示す図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る２面コーナーリフレクタアレイの製造方法における接合工程及び反射膜形成工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３５】
図１は、本発明の一実施形態の２面コーナーリフレクタアレイを模式的に示す斜視図であり、図２はその平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ線断面図であり、図４は、図２のＢ−Ｂ線断面図である。なお、図３及び図４の断面図では、後述の光反射性膜等の図示は省略している。
【００３６】
この実施形態の２面コーナーリフレクタアレイ１は、矩形板状の第１反射体２と、同じく矩形板状の第２反射体３とを備えている。
【００３７】
各反射体２，３は、各一辺の長さが、例えば、約５０ｍｍであり、厚みが、例えば、０．０８ｍｍ〜０．２ｍｍである。
【００３８】
第１反射体２は、一方向（図２の上下方向、図３の左右方向）へ延びる互いに平行な複数の貫通孔２ａが、等しい間隔をあけて形成されている。第２反射体３は、実質的に第１反射体２と同じ構造を有し、一方向（図２及び図４の左右方向）へ延びる互いに平行な複数の貫通孔３ａが、等しい間隔をあけて形成されている。各貫通孔２ａ，３ａは、平面視で前記一方向へそれぞれ延びる矩形であり、前記一方向に直交する断面が、図４及び図３に示すように略矩形である。
【００３９】
各貫通孔２ａ，３ａの長手方向の長さは、例えば、約４５ｍｍであり、幅は、例えば、０．１６ｍｍ〜０．２０ｍｍである。
【００４０】
また、各反射体２，３に形成されている貫通孔２ａ，３ａの数は、例えば、前述した貫通孔の長さおよび幅の場合、２００〜２２５である。
【００４１】
各反射体２，３の貫通孔２ａ，３ａのサイズや数等は、２面コーナーリフレクタアレイ１の用途や要求される明度や解像度等に応じて適宜選択すればよい。
【００４２】
第１反射体２の複数の貫通孔２ａが延びる一方向と、第２反射体３の複数の貫通孔３ａが延びる一方向とが、図２に示すように、平面視で互いに略直交するように、第１反射体２と第２反射体３とが重ね合わされて接合されており、第１反射体２の複数の貫通孔２ａと第２反射体３の複数の貫通孔３ａとが、格子状に交差している。
【００４３】
各反射体２，３は、特定の結晶面がエッチングされ易い、異方性エッチング材料である水晶ウェハで構成されており、その表面の全体が、貫通孔２ａ，３ａの内壁面を含めて光反射性膜で被覆された反射面、すなわち、鏡面となっている。
【００４４】
各貫通孔２ａ，３ａの前記一方向に延びる内壁面は、後述の異方性エッチングによって、平板状の反射体２，３の表裏の板面に対して略垂直に形成されており、各内壁面は、上記のように光反射性膜で被覆された反射面となっている。
【００４５】
略垂直とは、垂直である９０度だけでなく、８５度〜９５度、好ましくは、８７度〜９３度を含むものである。
【００４６】
この実施形態では、第１反射体２の複数の貫通孔２ａの長手方向に延びて対向する内壁面が、第１反射面２ａ１となり、第２反射体３の複数の貫通孔３ａの長手方向に延びて対向する内壁面が、第２反射面３ａ１となる。
【００４７】
上記のように第１，第２反射体２，３は、複数の貫通孔２ａ，３ａが延びる方向が、平面視で略直交するように重ね合わされて接合されているので、第１反射体２の第１反射面２ａ１と、第２反射体３の第２反射面３ａ１とが、高さをずらして平面視で略直交している。
【００４８】
図５は、図２の一部を拡大して示す平面図である。
【００４９】
この実施形態では、上記のように、第１反射体２の第１反射面２ａ１と、第２反射体３の第２反射面３ａ１とが、高さをずらして略直交するように重ね合わせているので、貫通孔２ａの対向する第１反射面２ａ１同士と、貫通孔３ａの対向する第２反射面３ａ１同士とによって区画される平面視が矩形の領域Ｓが多数形成される。
【００５０】
この各矩形の領域Ｓにおいて、高さをずらして直交する２つの第１反射面２ａ１と第２反射面３ａ１とによって２面コーナーリフレクタ４が構成され、この微小な２面コーナーリフレクタ４を、縦横に多数並べた２面コーナーリフレクタアレイ１が構成される。
【００５１】
ここで、図６及び図７を参照して、２面コーナーリフレクタアレイ１の光学結像作用について説明する。図６は、２面コーナーリフレクタアレイ１による結像様式を模式的に示す図であり、図７は、２面コーナーリフレクタアレイにおける一つのコーナーリフレクタ４の反射経路を模式的に示す図である。
【００５２】
２面コーナーリフレクタアレイ１は、素子面５に対して一方側（図６では下方側）の空間に配置した光源６の空中像７を実像として、素子面５に対する面対称位置に結像させるものである。
【００５３】
このような２面コーナーリフレクタアレイ１による結像作用は、各２面コーナーリフレクタ４において、光源６からの光が素子面５の一方側から他方側へ透過する際に、光源６から発した光が第１反射面２ａ１で反射し、更に第２反射面３ａ１で反射することによって得られるものである。
【００５４】
このようにして２面コーナーリフレクタアレイ１では、素子面５の一方側の空間に配置された光源６から発した光が、２面コーナーリフレクタアレイ１を通過する際に、図７で示すように、２面コーナーリフレクタ４の第１反射面２ａ１及び第２反射面３ａ１で１回ずつ、合計２回反射する。これにより、素子面５に対する光源６の面対称位置に空中像７が結像し、それを素子面５に対して空中像７と同じ側の空間から観察することができる。
【００５５】
次に、この実施形態の２面コーナーリフレクタアレイ１の製造方法について説明する。
【００５６】
この実施形態の製造方法では、先ず、異方性エッチング材料である水晶ウェハに、フォトリソグラフィを用いた異方性エッチングを行って、第１，第２反射体２，３の基本構造を有する構造体を作製する。
【００５７】
この実施形態では、水晶ウェハとして、ＡＴカットした水晶板であるＡＴ板を用いている。
【００５８】
ＡＴカットは、図８の切断方位図に示すように、主面がＹ軸に直交した水晶板（Ｙ板）を＋Ｘ軸から見て、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向へ反時計回りに３５゜１５’回転した切断角度である。回転した新たな軸をＹ´及びＺ´軸という。ＡＴ板８では、主面がＸＺ´平面とされる。
【００５９】
なお、ＡＴ板８に代えて、主面（Ｘ−Ｙ平面）がＺ軸に直交するＺ板９を使用してもよい。
【００６０】
図９は、このＡＴ板８に、フォトリソグラフィを用いた異方性エッチングを行って、反射体の基本構造を有する構造体を作製するエッチング工程を模式的に示す概略断面図である。
【００６１】
この図９においては、矩形板状のＡＴ板８のＺ´軸方向が左方向、Ｙ´軸方向が上方向となり、ＡＴ板８の矩形の直交する二辺が、Ｚ´軸方向及びＸ軸方向である。
【００６２】
このＡＴ板８の両主面は、研磨加工によって、平坦平滑面（鏡面加工面）となっている。
【００６３】
図９（ａ）に示される洗浄したＡＴ板８に、例えば、スパッタリングや蒸着などの手法を用いて耐フッ酸膜である金属膜１０を、図９（ｂ）に示すように形成する。この金属膜１０は、例えばクロム（Ｃｒ）の下地層に金（Ａｕ）を積層したものである。
【００６４】
次に、図９（ｃ）に示されるようにスピンコートなどによって、フォトレジスト１１を塗布する。
【００６５】
このフォトレジスト１１を、図９（ｄ）に示すように、複数の貫通孔に対応するパターンとなるように露光及び現像する。このとき、次の異方性エッチングで、貫通孔の内壁面が、垂直となるように、表裏のパターンをずらして形成する。
【００６６】
次に、図９（ｅ）に示すように、フォトレジスト１１をマスクにして金属膜１０のウェットエッチングを行い、フォトレジスト１１に覆われていない金属膜１０の部分を除去する。
【００６７】
次に、図９（ｆ）に示すように、水晶をウェットエッチングする。このとき、水晶の結晶異方性を利用した異方性エッチングによって、垂直な内壁面を有する複数の貫通孔８ａが形成される。
【００６８】
次に、図９（ｇ）に示すように、フォトレジスト１１及び金属膜１０を除去し、複数の貫通孔８ａが形成されたＡＴ板８からなる構造体１２を得る。
【００６９】
この構造体１２は、一方向へ延びる互いに平行な複数の貫通孔８ａが、等しい間隔をあけて形成されている。この構造体１２は、上記第１，第２反射体２，３が接合される前であって、その表面に金属膜等が形成されていない状態の水晶ウェハであり、第１，第２反射体２，３に対応する構造体である。
【００７０】
なお、ウェットエッチングに代えてドライエッチングを行って、複数の貫通孔８ａを形成してもよい。
【００７１】
このようにして、エッチング工程によって、上記第１，第２反射体に対応する２つの構造体１２を作製する。
【００７２】
２つの構造体１２は、いずれも同じ構造を有し、矩形の水晶板であるＡＴ板８に、一方向へ延びる互いに平行な複数の貫通孔８ａが形成されている。
【００７３】
次に、接合工程によって、２つの構造体を、複数の貫通孔８ａがそれぞれ延びる一方向が、平面視で互いに略直交するように重ね合わせて接合する。
【００７４】
その後、接合された両構造体１２の全面を、光反射性膜で被覆して反射面を形成する反射面形成工程を行う。
【００７５】
図１０は、この接合工程及び反射膜形成工程を模式的に示す図９に対応する概略断面図である。
【００７６】
図１０（ａ）に示される構造体１２に、例えば、スパッタリングや蒸着などの手法を用いて接合用の金属膜１３を、図１０（ｂ）に示すように形成する。この接合用の金属膜１３は、例えばチタン（Ｔｉ）の下地層に金（Ａｕ）を積層したものである。
【００７７】
この接合用の金属膜１３を形成した２つの第１，第２構造体１２1，１２2を準備し、第１構造体１２1における複数の貫通孔８ａが延びる一方向と、第２構造体１２2における複数の貫通孔８ａが延びる一方向とが、平面視で互いに略直交するように、すなわち、第１構造体１２1に対して、第２構造体１２2を９０°回転させた状態で、図１０（ｃ）に示すように、重ね合わせて接合する。
【００７８】
このとき、第１構造体１２1の接合用の金属膜１３であるＡｕ膜と、第２構造体１２2の接合用の金属膜１３であるＡｕ膜とが、重ね合わされた状態で拡散接合されて、Ａｕ−Ａｕ接合となる。このＡｕ−Ａｕ接合は、Ａｕ膜の表面が活性な状態で行われるのが好ましい。このＡｕ−Ａｕ接合は、加熱、加圧することによって、より強固に接合することができる。
【００７９】
このように第１構造体１２1及び第２構造体１２2の接合は、接合用の金属膜１３であるＡｕ膜によるＡｕ−Ａｕ接合であるので、接着剤を塗布して接合する場合のように接着剤の厚みが不均一になるといったことがなく、接着剤に比べて、微小な接合領域であっても確実安定に接合することができ、また、接着剤による接合に比べて高い耐熱性を有する。
【００８０】
接合後、接合された第１構造体１２1及び第２構造体１２2の貫通孔８ａの内壁面を含む露出面の全面に、図１０（ｄ）に示されるように、例えば、スパッタリングや蒸着などの手法を用いて金属膜からなる光反射性膜１４を形成して反射面、すなわち、鏡面とする反射膜形成工程を行う。これによって、第１，第２構造体１２1，１２2が、図１に示される第１，第２反射体２，３となり、
２面コーナーリフレクタアレイ１が得られる。
【００８１】
この光反射性膜１４を構成する金属膜として、例えば、銀、ニッケル、アルミニウムなどの金属を用いることができ、この実施形態では、銀合金（例えばＡｇ−Ｐｄ-Ｃｕ合金）を用いている。
【００８２】
第１構造体１２1及び第２構造体１２2の貫通孔８ａは、異方性エッチングによって形成されるので、その貫通孔８ａ内壁は、平坦面とすることができ、反射率を高めることができる。
【００８３】
以上のように本実施形態によれば、第１反射体２と第２反射体３とが各第１反射面２ａ１と各第２反射面３ａ１とが、高さをずらして略直交するように重ね合わせて接合されているので、貫通孔２ａの対向する第１反射面２ａ１同士と、貫通孔３ａの対向する第２反射面３ａ１同士とによって区画される平面視が矩形の領域Ｓが多数形成される。これら各矩形の領域Ｓにおいて、直交する第１反射面２ａ１と第２反射面３ａ１とからなる２面コーナーリフレクタ４を構成することができる。
【００８４】
各反射体２，３の第１，第２反射面２ａ１，３ａ１となる貫通孔２ａ，３ａは、異方性エッチングによって形成するので、金型を使用して２面コーナーリフレクタアレイを成型する従来例のように金型からの離型の問題もなく、上記特許文献１のように、多数の薄い透明板をずれないように積層したり、積層した積層ブロックを切断して切断面を研磨するといった必要がなく、簡便な方法で２面コーナーリフレクタを多数備えた２面コーナーリフレクタアレイを低コストで製造することができる。
【００８５】
また、この実施形態では、各反射体２，３は、貫通孔２ａ，３ａを含む全面が、光反射性膜で覆われており、各反射体２，３を構成する水晶が露出していない。これによって、第１，第２反射面２ａ１，３ａ１を構成する貫通孔２ａ，３ａの内壁面のみを光反射性膜で覆った場合のように、光源からの光が反射体を構成する水晶の内部を通過することがなく、したがって、水晶の内部を通過することによる屈折率の変化の影響を受けることがない。
【００８６】
なお、本発明の他の実施形態として、各反射体２，３は、その全面ではなく、第１，第２反射面２ａ１，３ａ１を構成する貫通孔２ａ，３ａの内壁面のみを光反射性膜で覆うようにしてもよい。
【００８７】
各反射体２，３の機械的強度等によって、各貫通孔２ａ，３ａの対向する反射面同士２ａ１，２ａ１；３ａ１，３ａ１が撓んで接触し、元に戻らなくなる、いわゆるスティッキングが生じるような場合には、それを防止するために、各貫通孔２ａ，３ａの長手方向の適宜箇所に、対向する反射面同士２ａ１，２ａ１；３ａ１，３ａ１を連結支持する桟を、貫通孔２ａ，３ａを分断するように形成し、反射面同士２ａ１，２ａ１；３ａ１，３ａ１が接触しないようにすればよい。この場合、上記エッチング工程において、桟を形成する部分をマスクして異方性エッチングを行えばよい。
【００８８】
上記実施形態では、各反射体２，３の各貫通孔２ａ，３ａの対向する内壁面は、略垂直に形成したが、２面コーナーリフレクタアレイ１の用途等に応じて、内壁面を傾斜面としてもよい。
【００８９】
上記実施形態では、異方性エッチング材料として水晶を使用したが、シリコン単結晶などの他の異方性エッチング材料を使用してもよい。
【符号の説明】
【００９０】
１                    ２面コーナーリフレクタアレイ
２                    第１反射体
３                    第２反射体
４                    ２面コーナーリフレクタ
５                    素子面
８                    ＡＴ板
１０                  金属膜
１１                  フォトレジスト
１２，１２1，１２2    構造体
１３                  金属膜（接合用）
１４                  光反射性膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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