(57)【要約】【課題】配線基板と部品との間隔を維持しながら、隣接する端子同士が電気的にショートするのを抑制することが可能な電子装置及び配線基板装置を提供すること。【解決手段】配線基板１と、配線基板１の上に立設され、下端３０ａと上端３０ｂとの間にくびれ部３０ｃが設けられた複数の端子３０と、端子３０よりも融点が低く、かつ端子の表面を覆うはんだ３１とを有する配線基板装置１による。【選択図】図１１
2019062009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線基板と、
前記配線基板の上に立設され、下端と上端との間にくびれ部が設けられた複数の端子と、
前記端子よりも融点が低く、かつ前記端子の表面を覆うはんだと、
を有する配線基板装置。
【請求項２】
前記くびれ部は、断面視で幅が最も狭い幅狭部を有し、
前記下端から前記幅狭部に向かって前記端子の断面形状がテーパ状に細くなり、かつ前記幅狭部から前記上端に向かって前記端子の断面形状がテーパ状に広くなることを特徴とする請求項１に記載の配線基板装置。
【請求項３】
前記配線基板は、
前記はんだを介して前記端子に接続された配線と、
前記端子の周囲の前記配線の上に形成されたソルダレジスト層とを備え、
前記幅狭部は、前記ソルダレジスト層の上面よりも高い位置にあることを特徴とする請求項２に記載の配線基板装置。
【請求項４】
前記端子の側面に、前記下端から前記上端に延びる複数の溝が形成されたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の配線基板装置。
【請求項５】
前記端子は、
前記上端を含む上側板と、
前記下端を含む下側板と、
前記上側板と前記下側板とを接続する柱状部とを備え、
前記柱状部の幅が一定の幅を有することを特徴とする請求項１に記載の配線基板装置。
【請求項６】
前記はんだを介して前記端子に接続された部品を更に有することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の配線基板装置。
【請求項７】
前記部品は、半導体素子、又は前記配線基板とは別の配線基板であることを特徴とする請求項６に記載の配線基板装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
配線基板に半導体素子等の部品を接続するための端子には様々なタイプのものがある。なかでも、はんだバンプは、リフローによって溶融させることで簡単に配線基板に半導体素子を実装することができるため広く普及している。
【０００３】
しかしながら、このようにリフローではんだバンプを溶融させると、隣接するはんだバンプ同士が接触し、これらのはんだバンプ同士が電気的にショートしてしまうおそれがある。しかも、溶融したはんだバンプが潰れて配線基板と半導体素子との間隔が狭まり、場合によっては配線基板に半導体素子が接触してしまうおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１０３１６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一側面によれば、本発明は、配線基板と部品との間隔を維持しながら、隣接する端子同士が電気的にショートするのを抑制することが可能な配線基板装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一側面によれば、配線基板と、前記配線基板の上に立設され、下端と上端との間にくびれ部が設けられた複数の端子と、前記端子よりも融点が低く、かつ前記端子の表面を覆うはんだとを有する配線基板装置が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
一側面によれば、溶融したはんだが端子のくびれ部に溜まるため、溶融したはんだが基板横方向に広がるのを防止でき、隣接する端子同士がはんだを介して電気的にショートするのを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、検討に使用した配線基板の全体断面図である。
【図２】図２（ａ）、（ｂ）は、検討に使用した配線基板装置の製造途中の拡大断面図（その１）である。
【図３】図３（ａ）、（ｂ）は、検討に使用した配線基板装置の製造途中の拡大断面図（その２）である。
【図４】図４は、検討に使用した配線基板装置の問題について説明するための拡大断面図（その１）である。
【図５】図５は、検討に使用した配線基板装置の問題について説明するための拡大断面図（その２）である。
【図６】図６は、検討に使用した配線基板装置の問題について説明するための拡大断面図（その３）である。
【図７】図７は、第１実施形態に係る端子の上面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のI−I線に沿う断面図である。
【図８】図８は、表面にはんだが設けられた第１実施形態に係る端子の断面図である。
【図９】図９（ａ）は、第１実施形態に係る端子の製造方法について示す断面図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）のII−II線に沿う一部断面側面図である。
【図１０】図１０（ａ）、（ｂ）は、第１実施形態に係る配線基板装置の製造途中の拡大断面図（その１）である。
【図１１】図１１（ａ）、（ｂ）は、第１実施形態に係る配線基板装置の製造途中の拡大断面図（その２）である。
【図１２】図１２は、第１実施形態に係る配線基板装置の全体断面図である。
【図１３】図１３は、第１実施形態で奏される効果について説明するための拡大断面図（その１）である。
【図１４】図１４は、第１実施形態で奏される効果について説明するための拡大断面図（その２）である。
【図１５】図１５（ａ）は第２実施形態に係る端子の上面図であり、図１５（ｂ）はその端子の側面図である。
【図１６】図１６（ａ）は、第２実施形態に係る端子にはんだを設けた場合の上面図であり、図１６（ｂ）は図１６（ａ）のIII−III線に沿う断面図である。
【図１７】図１７（ａ）は、第２実施形態に係る端子の製造方法について示す断面図であり、図１７（ｂ）は、図１７（ａ）のIV−IV線に沿う一部断面側面図である。
【図１８】図１８は、第２実施形態に係る配線基板装置の一部断面側面図である。
【図１９】図１９（ａ）は、第３実施形態に係る端子の上面図であり、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）のV−V線に沿う断面図である。
【図２０】図２０は、第３実施形態に係る端子にはんだを設けた場合の断面図である。
【図２１】図２１（ａ）は、第３実施形態に係る端子の製造方法について示す断面図であり、図２１（ｂ）は、図２１（ａ）のVI−VI線に沿う一部断面側面図である。
【図２２】図２２は、第３実施形態に係る配線基板装置の拡大断面図である。
【図２３】図２３は、第３実施形態で奏される効果について説明するための断面図（その１）である。
【図２４】図２４は、第３実施形態で奏される効果について説明するための断面図（その２）である。
【図２５】図２５は、第４実施形態に係る配線基板装置の拡大断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本実施形態の説明に先立ち、本願発明者が検討した事項について説明する。
【００１０】
図１は、その検討に使用した配線基板の全体断面図である。
【００１１】
その配線基板１は、多層配線基板であって、コア基材２の両面に絶縁層６と配線層４、７とを交互に複数積層してなる。
【００１２】
このうち、コア基材２は、ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させたガラスエポキシ基板であって、複数の貫通孔２ａを備える。貫通孔２ａとその開口端には銅めっき膜が形成され、これにより貫通孔２ａ内に貫通電極３が設けられると共に、貫通電極２ａの周囲のコア基材２上に配線４が設けられる。
【００１３】
また、絶縁層６は、例えばフェノール樹脂やポリイミド樹脂等の樹脂層である。その樹脂層６には、レーザ加工等により配線４に至るビア６ａが形成されており、ビア６ａとその周囲の絶縁層６の上には配線７が銅めっきにより形成される。
【００１４】
そして、配線基板１の両主面のうち、上側の主面には第１のソルダレジスト層１１が形成される。その第１のソルダレジスト層１１には最上層の配線７に重なる第１の開口１１ａが設けられており、その第１の開口１１ａ内の配線７の表面には第１の拡散防止層１２が形成される。
【００１５】
第１の拡散防止層１２は、その上に後で形成されるはんだが配線７に拡散するのを防止するのを防ぐための金属層であり、UBM(Under Barrier Metal)とも呼ばれる。この例では第１の拡散防止層１２としてニッケル層、パラジウム層、及び金層をこの順に形成する。
【００１６】
一方、配線基板１の両主面のうち、下側の主面には第２のソルダレジスト層１３が形成される。その第２のソルダレジスト層１３には最下層の配線７に重なる第２の開口１３ａが設けられており、その第２の開口１３ａ内の配線７の表面には第２の拡散防止層１４が形成される。
【００１７】
第１の拡散防止層１２と同様に、第２の拡散防止層１４は、ニッケル層、パラジウム層、及び金層をこの順に積層した積層膜である。
【００１８】
この例では、以下のようにしてこの配線基板１の上に半導体素子を搭載する。
【００１９】
図２〜図３は、この配線基板１を利用した配線基板装置の製造途中の拡大断面図である。
【００２０】
まず、図２（ａ）に示すように、第１の開口１１ａ内に端子１６を立てる。
【００２１】
その端子１６は、ニッケルの線材を所定の長さに切断して得られた柱状であって、その表面にはバレルめっきによりはんだ１７が形成される。
【００２２】
次に、図２（ｂ）に示すように、はんだ１７をリフローして溶融させることにより、はんだ１７と第１の拡散防止層１２とを介して配線７に端子１６を接合する。そのリフローの際、表面張力によってはんだ１７は概略球形となる。
【００２３】
ここまでの工程により、この例に係る配線基板装置２５の基本構造が完成する。
【００２４】
この後は、配線基板装置２５に半導体素子を搭載する工程に移る。
【００２５】
まず、図３（ａ）に示すように、複数の電極２１を備えた半導体素子２０を用意し、その電極２１と端子１６との位置合わせを行う。その電極２１は特に限定されないが、この例では銅ポストを電極２１として形成する。
【００２６】
そして、図３（ｂ）に示すように、配線基板１に向けて半導体素子２０を押圧しながらはんだ１７をリフローして溶融させ、はんだ１７を介して端子１６と電極２１とを接続する。
【００２７】
そのリフローにおける加熱温度は、はんだ１７の融点よりも高くかつ端子１６の融点よりも低い温度に設定される。そのため、このリフローによってはんだ１７は溶融するものの、端子１６は溶融せずに柱状の形状が維持される。
【００２８】
以上により、この例に係る基本工程を終える
上記した配線基板装置２５によれば、はんだ１７よりも融点が高いニッケルの端子１６を採用するため、図３（ｂ）の工程ではんだ１７をリフローしても端子１６は溶融しない。これにより、そのリフローの際に半導体素子２０を押圧しても端子１６が潰れなくなるため、端子１６によって第１の配線基板１と半導体素子２０との間隔が維持され、第１の配線基板１に半導体素子２０が接触するのを防ぐことができる。
【００２９】
しかしながら、この配線基板装置２５には以下のような問題が生じることがある。
【００３０】
図４〜図６は、その問題について説明するための拡大断面図である。
【００３１】
図４の例では、図２（ｂ）や図３（ｂ）の工程ではんだ１７をリフローした際に表面張力によってはんだ１７が横方向に広がり、隣接する端子１６同士がはんだ１７を介して電気的にショートしてしまっている。
【００３２】
このような問題を回避するために、端子１６の表面におけるはんだ１７の量を減らすことも考えられる。しかし、これでは端子１６の下端１６ａと上端１６ｂにおけるはんだ１６の量が不足してしまうため、下端１６ａと配線７との接合強度や、上端１６ａと電極２１との接合強度が不足するおそれがある。
【００３３】
一方、図５は、製造誤差によって複数の電極２１の各々の高さがばらついている場合の拡大断面図である。
【００３４】
この場合は、高さが低い電極２１にはんだ１７が接触しておらず、その電極２１とこれに対応する端子１６とが電気的に接続されていない。
【００３５】
また、図６は、熱膨張等によって半導体素子２０に反りが生じている場合の拡大断面図である。
【００３６】
この場合は、半導体素子２０の反りによって一部の電極２１が端子１６から離れてしまい、その端子１６と電極２１とをはんだ１７で接続することができない。
【００３７】
以下に、このような問題を回避できる各実施形態について説明する。
【００３８】
（第１実施形態）
まず、本実施形態で使用する端子について説明する。
【００３９】
図７（ａ）はその端子の上面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のI−I線に沿う断面図である。
【００４０】
図７（ａ）に示すように、端子３０は上面視で円形である。
【００４１】
また、図７（ｂ）に示すように、端子３０は下端３０ａと上端３０ｂとを有しており、これらの間には下端３０ａと上端３０ｂの各々よりも幅が狭いくびれ部３０ｃが設けられる。
【００４２】
この例では、断面視で幅W1が最も狭い幅狭部３０ｄをくびれ部３０ｃに設ける。そして、下端３０ａから幅狭部３０ｄに向かって端子３０の断面形状をテーパ状に細くし、かつ幅狭部３０ｄから上端３０ｂに向かって端子３０の断面形状をテーパ状に広くする。
【００４３】
端子３０の寸法は特に限定されない。例えば、端子３０の高さHは１０μm〜１０００μm程度であり、下端３０ａと上端３０ｂのそれぞれの幅W2は１０μm〜５００μm程度である。また、前述の幅狭部３０ｄにおける幅W1は５μm〜４９５μm程度、より好ましくは３００μm程度である。
【００４４】
更に、端子３０の材料も特に限定されず、ニッケル、銅、金、及びアルミニウムのいずれかの金属で端子３０を形成し得る。
【００４５】
本実施形態では、その端子３０の表面に以下のようにはんだを設ける。
【００４６】
図８は、表面にはんだ３１が設けられた端子３０の断面図である。
【００４７】
はんだ３１は、例えばバレルめっきにより端子３０の全面に５μm〜１００μm程度の厚さに形成される。
【００４８】
また、はんだ３１の材料は、端子３０よりも融点が低い材料であれば特に限定されない。そのような材料としては、例えば錫又は鉛がある。
【００４９】
次に、この端子３０の製造方法について説明する。
【００５０】
図９（ａ）は、端子３０の製造方法について示す断面図である。また、図９（ｂ）は、図９（ａ）のII−II線に沿う一部断面側面図である。
【００５１】
図９（ａ）、（ｂ）に示すように、この例では線状のニッケルの線材３０ｘの上下に治具３３を配する。その治具３３には、前述のくびれ部３０ｃ（図７（ｂ）参照）に対応した傾斜面３３ａが形成されており、治具３３で線材３０ｘを回転させながら何度も挟むことにより線材３０ｘがテーパ状に加工される。
【００５２】
なお、転造加工法等を用いて線材３０ｘをテーパ状に加工してもよい。
【００５３】
そして、このようにテーパ状に加工した後に線材３０ｘを所定の長さに切断し、前述のようにくびれ部３０ｃを備えた端子３０を得る。
【００５４】
次に、この端子３０を備えた配線基板装置について、その製造方法を追いながら説明する。
【００５５】
図１０〜図１１は、本実施形態に係る配線基板装置の製造途中の拡大断面図である。なお、図１０〜図１１において、図１〜図３で説明したのと同じ要素にはこれらの図におけるのと同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
【００５６】
本実施形態では、図１の配線基板１に以下のように端子３０を立設する。
【００５７】
まず、図１０（ａ）に示すように、第１のソルダレジスト層１１の第１の開口１１ａ内に、下端３０ａを下にして端子３０を立てる。
【００５８】
次に、図１０（ｂ）に示すように、はんだ３１をリフローして溶融させ、はんだ３１と第１の拡散防止層１２とを介して配線７に端子３０を接続する。このリフローにおける加熱温度は、はんだ３１の融点よりも高くかつ端子３０の融点よりも低い１００℃〜４００℃程度の温度に設定される。
【００５９】
そのリフローの際、本実施形態では溶融したはんだ３１が表面張力によってくびれ部３０ｃに溜まるため、はんだ３１が基板横方向に広がるのを防止することができ、隣接する端子３０同士がはんだ３１によって電気的にショートする危険性を減らすことができる。
【００６０】
なお、上記のようにリフローの加熱温度は端子３０の融点よりも低いため、このリフローによって端子３０は溶融しない。
【００６１】
ここまでの工程により、本実施形態に係る配線基板装置３５が完成する。
【００６２】
その配線基板装置３５においては、端子３０の周囲の配線７の上に第１のソルダレジスト層１１が形成されており、その第１のソルダレジスト層１１から突出するように端子３０が設けられる。
【００６３】
この後は、この配線基板装置３５が備える端子３０に半導体素子等の部品を搭載する工程に移る。
【００６４】
まず、図１１（ａ）に示すように、複数の電極２１を備えた半導体素子２０を用意し、その電極２１と端子３０との位置合わせを行う。半導体素子２０の種類は特に限定されず、CPU(Central Processing Unit)等のプロセッサを半導体素子２０として採用し得る。
【００６５】
また、図３（ａ）の例と同様に、電極２１は銅ポスト等の金属ポストである。
【００６６】
次に、図１１（ｂ）に示すように、配線基板１に向けて半導体素子２０を押圧しながらはんだ３１をリフローして溶融させ、はんだ３１を介して端子３０と電極２１とを接続する。
【００６７】
そのリフローにおける加熱温度は、はんだ３１の融点よりも高くかつ端子３０の融点よりも低い１００℃〜４００℃程度の温度に設定される。そのため、このリフローでは端子３０は溶融せず、配線基板１に向けて半導体素子２０を押圧しても端子３０によって配線基板１と半導体素子２０との間隔を維持することができ、配線基板１に半導体素子２０が接触するのを防ぐことができる。
【００６８】
しかも、溶融したはんだ３１が端子３０のくびれ部３０ｃに溜まることではんだ３１が基板横方向に広がらず、隣接する端子３０同士がはんだ３１によって電気的にショートする可能性を低減できる。
【００６９】
特に、この例のように第１のソルダレジスト層１１の上面１１ｘよりも上に幅狭部３０ｄが位置することで、幅狭部３０ｄが第１のソルダレジスト層１１に隠れないようにすることができる。その結果、くびれ部３０ｃに多くのはんだ３１を溜めることができ、はんだ３１が基板横方向に広がるのを効果的に抑制することが可能となる。
【００７０】
更に、幅狭部３０ｄが露出することで、隣接する端子３０間で最も距離が離れた幅狭部３０ｄ間にはんだ３１を溜めることができるため、はんだ３１が横方向に広がることを抑制することができる。
【００７１】
以上により、本実施形態における基本工程を終える。
【００７２】
図１２は、半導体素子２０を含む全体断面図である。
【００７３】
この例では、上記のようにして配線基板１に半導体素子２０を搭載した後、配線基板１と半導体素子２０との間にアンダーフィル樹脂３８を充填する。更に、第２のソルダレジスト層１３の第２の開口１３ａから露出している配線７に外部接続端子３９としてはんだバンプを形成する。
【００７４】
なお、アンダーフィル樹脂３８や外部接続端子３９が不要な場合にはこれらを省いてもよい。これについては後述の各実施形態でも同様である。
【００７５】
以上説明した本実施形態によれば、はんだ３１よりも融点が高い端子３０を配線基板１と半導体素子２０との間に配する。これにより、はんだ３１をリフローしても配線基板１と半導体素子２０との間隔を維持することができ、配線基板１と半導体素子２０とが接触する可能性を低減できる。
【００７６】
特に、図１２のようにアンダーフィル樹脂３８を用いる場合には、このように配線基板１と配線素子２０との間隔が維持されることにより、これらの間にアンダーフィル樹脂３８を充填し易くなる。
【００７７】
更に、図１１（ｂ）に示したように、端子３０にくびれ部３０ｃを設けることによりはんだ３１が基板横方向に広がるのが防止され、隣接する端子３０同士がはんだ３１を介して接続される可能性を低減できる。
【００７８】
しかも、はんだ３１が基板横方向に広がるのを防止する目的ではんだ３１の量を減らす必要もないため、端子３０の下端３０ａと上端３０ｂの各々に十分な量のはんだ３１が行き渡る。その結果、端子３０と配線基板１との接続強度や、端子３０と半導体素子２０との接続強度をはんだ３１で十分に確保することができ、配線基板１と半導体素子２０との接続信頼性を維持することもできる。
【００７９】
また、本実施形態では以下のような効果も得ることができる。
【００８０】
図１３及び図１４は、本実施形態で奏される効果について説明するための拡大断面図である。
【００８１】
図１３は、製造誤差によって複数の電極２１の各々の高さがばらついている場合の断面図である。
【００８２】
この場合に図１１（ｂ）の工程で半導体素子２０を押圧すると、機械的に弱いくびれ部３０ｃが潰れるため、各電極２１の高さのばらつきを端子３０で吸収することができる。そのため、図５の例とは異なり、複数の端子３０のうちで電極２１に接続されないものが発生するのを抑制することができ、配線基板装置の歩留まりが低下するのを抑えることができる。
【００８３】
図１４は、熱膨張等によって半導体素子２０に反りが生じている場合の断面図である。
【００８４】
この場合は、図１１（ｂ）の工程で半導体素子２０を押圧することによりくびれ部３０ｃにおいて端子３０が屈曲し、端子３０の上端３０ｂが半導体素子２０の反りに倣うようになる。これにより、図６の例とは異なり、複数の端子３０の各々を電極２１に接続することが可能となる。
【００８５】
（第２実施形態）
本実施形態では、くびれ部３０ｃに溜められるはんだ３１の量を第１実施形態よりも多くする。
【００８６】
図１５（ａ）は本実施形態に係る端子３０の上面図であり、図１５（ｂ）はこの端子３０の側面図である。
【００８７】
なお、図１５（ａ）、（ｂ）において、第１実施形態で説明したのと同じ要素には第１実施形態におけるのと同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
【００８８】
図１５（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施形態では、端子３０の側面に、下端３０ａから上端３０ｂに延びる複数の溝３０ｇを形成する。
【００８９】
図１６（ａ）は、この端子３０にはんだ３１を設けた場合の上面図であり、図１６（ｂ）は図１６（ａ）のIII−III線に沿う断面図である。
【００９０】
第１実施形態と同様に、そのはんだ３１はバレルめっきにより端子３０の表面に形成される。
【００９１】
特に、図１６（ａ）に示すように、本実施形態では溝３０ｇによって端子３０の側面の表面積が増えるため、溝３０ｇがない場合と比較して多くのはんだ３１を端子３０に設けることができる。
【００９２】
次に、この端子３０の製造方法について説明する。
【００９３】
図１７（ａ）は、本実施形態に係る端子３０の製造方法について示す断面図である。また、図１７（ｂ）は、図１７（ａ）のIV−IV線に沿う一部断面側面図である。
【００９４】
図１７（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施形態においても一対の治具３３でニッケルの線材３０ｘを回転させながら何度も挟むことによりくびれ部３０ｃ（図１５（ｂ）参照）を形成する。
【００９５】
なお、転造加工法等を用いて線材３０ｘをテーパ状に加工してもよい。
【００９６】
また、図１７（ｂ）に示すように、その治具３３には溝３０ｇ（図１５（ａ）参照）に対応した凹凸３３ｂが設けられており、その凹凸３３ｂを線材３０ｘに転写することにより上記の溝３０ｇを形成することができる。
【００９７】
図１８は、この端子３０を備えた本実施形態に係る配線基板装置３５の一部断面側面図である。
【００９８】
なお、図１８において第１実施形態で説明したのと同じ要素には第１実施形態におけるのと同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
【００９９】
その配線基板装置３５は、第１実施形態の図１０（ａ）〜図１１（ｂ）と同じ工程を行うことにより作製され、配線基板１と半導体素子２０とが端子３０で接続された構造を有する。
【０１００】
本実施形態では、溝３０ｇを形成したことで端子３０の表面に多くのはんだ３１を設けることができるため、端子３０の下端３０ａや上端３０ｂではんだ３１が不足し難くなる。その結果、端子３０と配線基板１との接続強度や、端子３０と半導体素子２０との接続強度をはんだ３１で十分に確保することが可能となる。
【０１０１】
（第３実施形態）
本実施形態では、くびれ部３０ｃの形状を第１実施形態とは異なる形状にする。
【０１０２】
図１９（ａ）は本実施形態に係る端子３０の上面図であり、図１９（ｂ）は図１９（ａ）のV−V線に沿う断面図である。
【０１０３】
なお、図１９（ａ）、（ｂ）において、第１実施形態で説明したのと同じ要素には第１実施形態におけるのと同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
【０１０４】
図１９（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施形態に係る端子３０は、上端３０ｂを含む上側板３０ｅと、下端３０ａを含む下側板３０ｆと、上側板３０ｅと下側板３０ｆとを接続する柱状部３０ｈとを備える。
【０１０５】
このうち、柱状部３０ｈは、前述のくびれ部３０ｃとなる部位であり、下端３０ａと上端３０ｂとの間において一定の幅W3を有する。
【０１０６】
なお、その幅W3は例えば５μm〜４９５μm程度であり、柱状部３０ｈの高さhは例えば５μm〜８００μm程度である。また、下端３０ａと上端３０ｂのそれぞれの幅W2は、第１実施形態と同様に１０μm〜５００μm程度である。そして、端子３０の高さHは１０μm〜１０００μm程度である。
【０１０７】
図２０は、この端子３０にはんだ３１を設けた場合の断面図である。
【０１０８】
第１実施形態や第２実施形態と同様に、はんだ３１はバレルめっきにより端子３０の表面に形成される。
【０１０９】
次に、この端子３０の製造方法について説明する。
【０１１０】
図２１（ａ）は、本実施形態に係る端子３０の製造方法について示す断面図である。また、図２１（ｂ）は、図２１（ａ）のVI−VI線に沿う一部断面側面図である。
【０１１１】
図２１（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施形態においても一対の治具３３でニッケルの線材３０ｘを回転させながら何度も挟むことによりくびれ部３０ｃ（図１９（ｂ）参照）を形成する。
【０１１２】
なお、転造加工法等を用いて線材３０ｘにくびれ部３０ｃを形成してもよい。
【０１１３】
図２１（ｂ）に示すように、各々の治具３３には、柱状のくびれ部３０ｃに対応した半円状の凸部３３ｃが設けられる。その凸部３３ｃの形状を線材３０ｘに転写することにより、上記のような柱状のくびれ部３０ｃを形成することができる。
【０１１４】
図２２は、この端子３０を備えた本実施形態に係る配線基板装置の拡大断面図である。
【０１１５】
なお、図２２において第１実施形態で説明したのと同じ要素には第１実施形態におけるのと同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
【０１１６】
その配線基板装置は、第１実施形態の図１０（ａ）〜図１１（ｂ）と同じ工程を行うことにより作製され、配線基板１と半導体素子２０とが端子３０で接続された構造を有する。
【０１１７】
本実施形態では、上記のようにくびれ部３０ｃを柱状にしたため、下端３０ａと上端３０ｂの各々の側面からくびれ部３０ｃの側面を大きく後退させることができ、隣接する端子３０の各々のくびれ部３０ｃ同士を大きく離すことができる。そのため、図１１（ｂ）の工程ではんだ３１をリフローさせても、隣接する端子３０同士がはんだ３１で接続されるのを効果的に抑制することが可能となる。
【０１１８】
また、第１実施形態と同様に、くびれ部３０ｃを柱状にしても以下のような効果が奏される。
【０１１９】
図２３及び図２４は、本実施形態で奏される効果について説明するための断面図である。
【０１２０】
図２３は、製造誤差によって複数の電極２１の各々の高さがばらついている場合の断面図である。
【０１２１】
この場合は、くびれ部３０ｃが潰れることにより各電極２１の高さのばらつきを端子３０で吸収することができ、複数の端子３０の各々を電極２１に接続することができる。
【０１２２】
図２４は、熱膨張等によって半導体素子２０に反りが生じている場合の断面図である。
【０１２３】
この場合は、くびれ部３０ｃが屈曲することにより端子３０の上端３０ｂが半導体素子２０の反りに倣うようになり、複数の端子３０の各々を電極２１に接続することが可能となる。
【０１２４】
（第４実施形態）
第１〜第３実施形態では、端子３０を介して配線基板１に接続される部品として半導体素子２０を用いたが、本実施形態ではその部品として配線基板を用いる。
【０１２５】
図２５は、本実施形態に係る配線基板装置の拡大断面図である。
【０１２６】
なお、図２５において第１実施形態で説明したのと同じ要素には第１実施形態におけるのと同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
【０１２７】
図２５に示すように、この配線基板装置５０においては、二つの配線基板１の各々を対向させる。そして、はんだ３１をリフローして溶融させることにより、各配線基板１の各々の配線７同士を端子３０を介して接続する。
【０１２８】
その端子３０には前述のようにくびれ部３０ｃが設けられているため、溶融したはんだ３１がそのくびれ部３０ｃに溜まり、基板横方向にはんだ３１が広がるのを防止できる。その結果、隣接する端子３０同士がはんだ３１で接続されるのを抑制することができ、配線基板装置５０の歩留まりを向上させることができる。
【符号の説明】
【０１２９】
１…配線基板、２…コア基材、２ａ…貫通孔、３…貫通電極、４、７…配線、６…絶縁層、６ａ…ビア、１１…第１のソルダレジスト層、１１ａ…開口、１２…第１の拡散防止層、１３…第２のソルダレジスト層、１３ａ…第２の開口、１４…第２の拡散防止層、１６…端子、１６ａ…下端、１６ｂ…上端、１７…はんだ、２０…半導体素子、２１…電極、３０…端子、３０ａ…下端、３０ｂ…上端、３０ｃ…くびれ部、３０ｄ…幅狭部、３０ｅ…上側板、３０ｆ…下側板、３０ｇ…溝、３０ｈ…柱状部、３０ｘ…線材、３１…はんだ、３３…治具、３３ａ…傾斜面、３３ｂ…凹凸、３３ｃ…凸部、３８…アンダーフィル樹脂、３９…外部接続端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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