(57)【要約】 【課題】  上面を吸着保持することが困難な基板を搬送することが可能で、容器内の配置位置にも搬入可能な基板搬送装置を提供すること。【解決手段】  基板を第１配置位置から第２配置位置に搬送する基板搬送装置であって、前記第１配置位置と第２配置位置の間に、直線的に設けた搬送レールと、前記基板の外縁部を保持して、前記基板を前記搬送レールに沿って滑らせる搬送手段と、を備え、前記搬送手段は、前記搬送レールと平行に設けたスライドレールと、前記スライドレールに沿って移動可能なアーム部と、前記アーム部の前記第１配置位置側に設けた第１基板保持部と、前記２配置位置側に設けた第２基板保持部と、を有する基板搬送装置を提供する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を第１配置位置から第２配置位置に搬送する基板搬送装置であって、
前記第１配置位置と第２配置位置の間に、直線的に設けた搬送レールと、
前記基板の外縁部を保持して、前記基板を前記搬送レールに沿って滑らせる搬送手段と、を備え、
前記搬送手段は、前記搬送レールと平行に設けたスライドレールと、
前記スライドレールに沿って移動可能なアーム部と、
前記アーム部の前記第１配置位置側に設けた第１基板保持部と、前記２配置位置側に設けた第２基板保持部と、を有する基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記基板を前記第１配置位置から前記搬送レール上に搬送する際は、前記第１基板保持部が前記基板を保持し、
前記基板を前記搬送レール上から前記第２配置位置に搬送する際は、前記第２基板保持部が前記基板を保持するよう、
搬送途中で、前記第１基板保持部から前記第２基板保持部への持ち替えを行なう基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記第２配置位置から前記第１配置位置に基板を搬送する機能を更に備え、
前記基板を前記第２配置位置から前記搬送レール上に搬送する際は、前記第２基板保持部が前記基板を保持し、
前記基板を前記搬送レール上から前記第１配置位置に搬送する際は、前記第１基板保持部が前記基板を保持するよう、
搬送途中で、前記第２基板保持部から前記第１基板保持部への持ち替えを行なう基板搬送装置。
【請求項４】
請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記基板を前記第１配置位置から前記搬送レール上に搬送する際は、前記第１基板保持部が前記基板を保持し、
前記基板を前記搬送レール上から前記第２配置位置に搬送する際は、前記第２基板保持部が前記基板を押すよう、
搬送途中で、前記第１基板保持部から前記第２基板保持部への切替えを行なう基板搬送装置。
【請求項５】
請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記第２配置位置から前記第１配置位置に基板を搬送する機能を更に備え、
前記基板を前記第２配置位置から前記搬送レール上に搬送する際は、前記第２基板保持部が前記基板を保持し、
前記基板を前記搬送レール上から前記第１配置位置に搬送する際は、前記第１基板保持部が前記基板を押すよう、
搬送途中で、前記第２基板保持部から前記第１基板保持部への切替えを行なう基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は配線基板等の基板を搬送する基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップを実装するための配線基板や、半導体チップ実装後の実装済基板は、種々の処理等を行なうために、所定の位置から別の位置に移動させる必要がある。例えば、配線基板に未硬化の接着剤を塗布するための塗布部から、半導体チップを実装する実装部への移動等がある。
【０００３】
このような基板搬送において、従来、基板上面の四隅を吸着して吊上げる方法が用いられてきた。すなわち、図４に示すような先端部に真空パッド２９１を有する吊上げアーム２９０を用い、基板ＰＢを吊上げた状態でレール等により所定箇所に搬送してから降下して吸着解除するという手法が用いられている（特許文献１等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２４３７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図５（ａ）に基板ＰＢにチップ部品Ｃを実装した実装済基板ＭＢの上面図を示すが、基板ＰＢ内においてチップ部品Ｃを実装する実装エリアＡＭに対して実装エリアＡＭの周囲に非実装エリアＡＦが存在し、図４の真空パッド２９１が吸着できるのが非実装エリアに限定されることが判る。ここで、図５（ａ）のように、基板ＰＢのサイズに対して非実装エリアＡＦが狭まり、真空パッド２９１も小さくせざるを得なくなっている。このため、基板ＰＢを吊上げるのに充分な吸着力を得るのが困難となっている。
【０００６】
更に、実装過程において基板ＰＢが加熱される場合においては、図６のように基板ＰＢが湾曲して、真空パッド２９１と基板ＰＢの間に空隙ＶＧが生じ真空吸着自体が困難となることもある。
【０００７】
このような非実装エリアの狭い基板に対し、基板外縁部を保持してレール上を滑らせる手法が適用されている。その例を図７に示すが、基板Ｂを第１配置位置Ｐ１から第２基板配置位置２に搬送するのに際して、基板保持部３２が基板Ｂの外縁部を保持した状態で、搬送レール２と平行に移動することで、基板Ｂを搬送することが出来る。そこで、基板保持部３２を搬送レール２と平行に移動させるために、図８のように搬送レール２と平行なスライドレール３０を設ける装置構成が考えられる。
【０００８】
そこで、図８のような装置構成とした場合、搬送先である第２配置位置Ｐ２部分を通過するスライドレール３０が必要となる。しかし、第２配置位置Ｐ２を通過するスライドレール３０を設けることが困難な場合もある。例えば、第２配置位置Ｐ２が真空チャンバーのような容器に入っている場合にスライドレール３０を設ける場合などである。このような場合、別の基板搬送機構が更に必要になり好ましくない。
【０００９】
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、上面を吸着保持することが困難な基板を搬送することが可能で、容器内の配置位置にも搬入可能な基板搬送装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
基板を第１配置位置から第２配置位置に搬送する基板搬送装置であって、
前記第１配置位置と第２配置位置の間に、直線的に設けた搬送レールと、前記基板の外縁部を保持して、前記基板を前記搬送レールに沿って滑らせる搬送手段と、を備え、
前記搬送手段は、前記搬送レールと平行に設けたスライドレールと、前記スライドレールに沿って移動可能なアーム部と、前記アーム部の前記第１配置位置側に設けた第１基板保持部と、前記２配置位置側に設けた第２基板保持部と、を有する基板搬送装置である。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記基板を前記第１配置位置から前記搬送レール上に搬送する際は、前記第１基板保持部が前記基板を保持し、前記基板を前記搬送レール上から前記第２配置位置に搬送する際は、前記第２基板保持部が前記基板を保持するよう、搬送途中で、前記第１基板保持部から前記第２基板保持部への持ち替えを行なう基板搬送装置である。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記第２配置位置から前記第１配置位置に基板を搬送する機能を更に備え、
前記基板を前記第２配置位置から前記搬送レール上に搬送する際は、前記第２基板保持部が前記基板を保持し、前記基板を前記搬送レール上から前記第１配置位置に搬送する際は、前記第１基板保持部が前記基板を保持するよう、搬送途中で、前記第２基板保持部から前記第１基板保持部への持ち替えを行なう基板搬送装置である。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、  請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記基板を前記第１配置位置から前記搬送レール上に搬送する際は、前記第１基板保持部が前記基板を保持し、前記基板を前記搬送レール上から前記第２配置位置に搬送する際は、前記第２基板保持部が前記基板を押すよう、搬送途中で、前記第１基板保持部から前記第２基板保持部への切替えを行なう基板搬送装置である。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記第２配置位置から前記第１配置位置に基板を搬送する機能を更に備え、
前記基板を前記第２配置位置から前記搬送レール上に搬送する際は、前記第２基板保持部が前記基板を保持し、前記基板を前記搬送レール上から前記第１配置位置に搬送する際は、前記第１基板保持部が前記基板を押すよう、搬送途中で、前記第２基板保持部から前記第１基板保持部への切替えを行なう基板搬送装置である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の基板搬送装置により、上面を吸着保持することが困難な基板も搬送することが可能であり、別の搬送機構がなくとも容器内の配置位置にも基板を搬入することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係る基板搬送装置の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板搬送装置の動作を説明するものであり、（ａ）第１配置位置の基板を取り出す状態を示す図であり、（ｂ）搬送レール上に基板を搬送した状態を示す図であり、（ｃ）基板を保持する位置を変更する状態を示す図である。
【図３】本発明の実施形態に係る基板搬送装置の動作を説明するものであり、（ｄ）基板を搬送レール上から第２配置位置に向けて押している状態を示す図であり、（ｅ）第２配置位置に基板を配置している状態を示す図である。
【図４】従来の基板搬送に用いている基板吊上げ手法について説明する図である。
【図５】（ａ）基板の実装エリアと非実装エリアについて説明する図であり、（ｂ）非実装エリアが狭まっている状況を説明する図である。
【図６】非実装エリアが狭まった実装済基板の表面を吸着して吊上げる際の問題点を説明する図である。
【図７】基板の外縁部を保持し、搬送レール上を滑らせて基板を搬送する手法を説明する図である。
【図８】基板の外縁部を保持して、搬送レール上を滑らせる際に必要な、装置構成を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。
図１は本発明の実施形態に係る基板搬送装置の一例を示す該略図である。図１の基板搬送装置１は、基板Ｂを第１配置位置Ｐ１から第２搬送位置Ｐ２に搬送するものである。
【００１８】
ここで、基板Ｂとしては、配線基板であってもよいし、半導体チップ部品を実装した実装済み基板であっても良く、上面を吸着保持するのが困難な基板が本発明には適している。また、第１配置位置および第２配置位置は、基板Ｂを保管する場所や、基板Ｂへの半導体チップ実装や、表面処理等の何らかの処置を行なうための基板ステージが該当する。
【００１９】
基板搬送装置１は、搬送レール２および搬送手段３を基本構成要素としており、搬送手段３が基板Ｂを保持して、搬送レール２上を滑らせながら搬送する機能を有している。
【００２０】
搬送レール２は、第１配置位置Ｐ１と第２配置位置Ｐ２の間に直線的に設けられ、上部に基板Ｂが載るものであるが、図１に示すように２つのレールから構成され、両レールに基板Ｂの端部が乗るような間隔で設けるのが好ましい。
【００２１】
搬送手段３は、スライドレール３０、アーム部３１、第１基板保持部３２１、第２基板保持部３２２を構成要素としている。
【００２２】
スライドレール３０は、搬送レール２と平行に、第１配置位置Ｐ１と第２配置位置Ｐ２の間に直線的に設けられている。アーム部３１は、スライドレール３０に沿って往復移動可能に設けられているとともに、上下にも移動可能である。
【００２３】
第１基板保持部３２１はアーム部３１の第１配置位置Ｐ１側に設けられており、基板Ｂの第２配置位置側の外縁部を保持および解除する機能を有している。また、第２基板保持部３２２はアーム部３１の第２配置位置Ｐ２側に設けられており、基板Ｂの第１配置位置側の外縁部を保持および解除する機能を有している。
【００２４】
ここで、第１基板保持部３２１および第２基板保持部３２２は、基板Ｂの外縁部を上下から挟み込む機能を有しており、保持するのは外縁から１ｍｍ以上であることが望ましく、基板Ｂの非実装エリアに応じて深く保持することが望ましいが、最大でも８ｍｍあれば充分である。なお、第１基板保持部３２１および第２基板保持部３２２は、基板Ｂの端部を押して移動させる機能を有していてもよく、その際は基板Ｂを挟み込む必要はない。
【００２５】
第１基板保持部３２１、第２基板保持部３２２ともに、アーム部３１によって上下移動および、スライドレール３０に沿った方向の移動が可能である。
【００２６】
以下、図１に示した基板搬送装置１により基板Ｂを第１配置位置Ｐ１から第２配置位置Ｐ２に搬送する工程を図２および図３を用いて説明する。
【００２７】
まず、図２（ａ）は第１配置位置Ｐ１から基板Ｂを引出す段階であり、第１基板保持部３２１が基板Ｂの第２配置位置Ｐ２側の外縁部を保持して、第２配置位置Ｐ２方向に引いている状態を示している。
【００２８】
この後、第１基板保持部３２１が基板Ｂを保持した状態でアーム部３１がスライドレール３０に沿って第２配置位置Ｐ２方向に移動し、基板Ｂは搬送レール２上を滑りながら搬送するが、途中でアーム部３１の移動を停止する（図２（ｂ）。
【００２９】
スライドレール３０に沿ったアーム部３１の移動を停止した後は、第１基板保持部３２１は基板Ｂの保持を解除し、基板Ｂと干渉しない状態で図３（ｃ）のようにアーム部３１により基板Ｂの上部に上昇してから、アーム部３１により第１配置位置Ｐ１方向に移動する。
【００３０】
スライドレール３０に沿って第１配置位置Ｐ１方向に移動したアーム部３１は、第２基板保持部３２２が基板Ｂの第１配置位置側の外縁部を保持可能な状態で降下し、図４（ｄ）に示すように第２基板保持部３２２が基板Ｂを保持した状態で、アーム部３１は再びスライドレール３０に沿って第２配置位置Ｐ２方向に移動する。すなわち、基板Ｂは搬送レール２を滑りながら、第２基板保持部３２２によって第２配置位置Ｐ２方向に押されていき、図４（ｅ）のように第２配置位置まで移動する。その後、第２基板保持部３２２による基板Ｂの保持を解除すれば、基板Ｂの搬送が完了する。
【００３１】
なお、第２基板保持部３２２が基板Ｂを押す際は、基板Ｂを保持せずに移動させることも可能であり、搬送完了時の保持解除も不要である。
【００３２】
ここまで、第１配置位置Ｐ１から第２配置位置Ｐ２への搬送について説明したが、本実施形態の基板搬送装置１の構成で基板Ｂを第２配置位置Ｐ２から第１配置位置にＰ１に搬送する機能を併せて備えることも可能である。すなわち、第２配置位置Ｐ２に配置された基板Ｂを第２基板保持部３２２が保持して引出し、途中で第1基板保持部３２１への持ち替えを行なった後に、第１基板保持部３２１が保持した状態で第１配置位置に押し込む（第２基板保持部３２２による保持解除後、第１基板保持部３２１が基板Ｂを保持せずに押し込む）ことも可能である。
【００３３】
このように、本発明は基板Ｂを一方方向に引く（あるいは押す）だけでなく、搬送元である第１配置位置Ｐ１から引きだし、搬送先である第２配置位置Ｐ２に押し込むという作業を行なっている。このため、第１配置位置Ｐ１、第２配置位置の少なくとも一方が容器内にあったとしても本発明では基板搬送が可能である。また、基板の外縁部を保持または基板の端部を押す方式であるため、上面吸着が困難な基板の搬送にも適している。
【符号の説明】
【００３４】
１      基板搬送装置
２      搬送レール
３      搬送手段
３０      スライドレール
３１      アーム部
３２１      第１基板保持部
３２２      第２基板保持部
Ｂ      基板
Ｐ１      第１配置位置
Ｐ２      第２配置位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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