(57)【要約】【課題】実質的に変形させることができない薄膜部材への加工処理時には薄膜部材と支持部材との間において、薄膜部材が支持部材からずれたり剥がれ落ちたりすることがない適切な密着力を有し、薄膜部材への加工処理後には薄膜部材を支持部材から破損および糊残りすることなく容易に分離することができる両面粘着テープを提供すること。【解決手段】支持部材上に、第１の表面及び第２の表面を有する基材と、第１の表面及び第２の表面の上方かつ最上部に位置する粘着層と、該基材の少なくとも１つの表面から該表面上方に位置する該粘着層までの間に設けられた離型層とを、有する両面粘着テープ。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の表面及び第２の表面を有する基材と、第１の表面及び第２の表面の上方かつ最上部に位置する粘着層と、該基材の少なくとも１つの表面から該表面上方に位置する該粘着層までの間に設けられた離型層とを、有する両面粘着テープ。
【請求項２】
前記離型層は、前記基材のいずれか１つの表面から該表面上方に位置する粘着層までの間に設けられたものである請求項１に記載の両面粘着テープ。
【請求項３】
前記離型層は、シリコーン系剥離剤及びフッ素系剥離剤から成る群から選択される剥離剤を含んで成るものである請求項１又は２に記載の両面粘着テープ。
【請求項４】
前記粘着層は、活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子、熱架橋剤及び熱重合開始剤を主成分とする熱硬化性粘着剤、及び活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子、熱架橋剤及び光重合開始剤を主成分とする光感応性粘着剤から成る群から選択される粘着剤を含んで成るものである請求項１〜３のいずれか一項に記載の両面粘着テープ。
【請求項５】
第１の部材を第２の部材に仮固定するために使用され、該２つの部材は実質的に変形させることができない材料から形成されたものである請求項１〜４のいずれか一項に記載の両面粘着テープ。
【請求項６】
前記材料の少なくとも一つはガラスである請求項５に記載の両面粘着テープ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の両面粘着テープと、該両面粘着テープの粘着層の表面に設けられた剥離ライナーとを有する両面粘着テープ製品。
【請求項８】
支持部材と、
該支持部材に積層された第１の表面及び第２の表面を有する基材と、第１の表面及び第２の表面の上方かつ最上部に位置する粘着層と、該基材の少なくとも１つの表面から該表面上方に位置する該粘着層までの間に設けられた離型層とを、有する両面粘着テープと、
該両面粘着テープに積層された実質的に変形させることができない薄膜部材とを、
有する積層体。
【請求項９】
前記両面粘着テープが請求項２〜６のいずれか一項に記載の両面粘着テープである請求項８に記載の積層体。
【請求項１０】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の両面粘着テープにより、実質的に変形させることができない薄膜部材と支持部材とを貼り合わせる工程を包含する、薄膜部材と支持部材との積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、実質的に変形させることができない薄膜部材を支持部材に仮固定するために使用される両面粘着テープ、及び該両面粘着テープによって、実質的に変形させることができない薄膜部材が支持部材に仮固定された分離可能な積層体に関する。典型的には、薄膜部材は実質的に変形させることができない材料（例えば薄膜ガラス等）から形成されるか、若しくは、表面に実質的に変形させることができない部材（例えば、薄膜電極等）が加工処理された実質的に変形させることができる材料（例えば、プラスチックフィルム等）から形成される。ここで、「実質的に変形させることができない」とは、変形させた場合には破損することを意味する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ又はスマートフォン等の部品として、薄いガラス基板が使用されることがある。かかるガラス基板のように、脆性を有し、強度が低い薄膜基板に何らかの加工、例えば電子デバイス用の素子あるいは素子の一部の形成等を行う場合、薄膜基板の破損を防止するために、薄膜基板の加工面とは反対面に補強用の基盤を貼り合わせ、その状態で、各種加工処理・搬送の繰り返し工程を経て、薄膜基板上に電子デバイス用素子あるいは素子の一部が形成される。そして、上記加工処理の終了後に、薄膜基板は補強用基盤から分離される。
【０００３】
特許文献１には、表面に液晶表示素子の基板を支持して工程搬送される治具であって、ガラス製支持体と、その表面に接着されたブチルゴム製粘着剤層とを有する治具が記載されている。ブチルゴム製粘着剤層は、表面に貼り付けられる基板を保持するための粘着力が、繰返しの使用によってもほぼ一定に維持されるものである。
【０００４】
しかしながら、基板及びガラス製支持体は変形させると破損するので、一旦貼着した後は、貼着面から捲り上げることができず、基板に対して脱着力を印加することで基板をガラス製支持体から剥離することは困難である。
【０００５】
それゆえ、特許文献１の治具のように、基板を粘着剤層に直接貼着させた場合、昨今の薄型化・軽量化を目的とした更に薄いガラス基板に対しては、依然として、粘着層から剥離し難く、剥離する際に基板が破損するおそれがある。また、粘着剤が分離後の基板へ残存するおそれがある。
【０００６】
特許文献２には、ガラス基板と、裏面保護ガラス基板と、を積層させてなる保護ガラス付ガラス基板であって、前記ガラス基板と、前記裏面保護ガラス基板と、が再剥離性を有する無溶剤付加反応型剥離紙用シリコーン樹脂層を介して積層されている保護ガラス付ガラス基板が記載されている。
【０００７】
特許文献２の保護ガラス付ガラス基板は、ガラス基板と保護ガラス基板を結合する樹脂層として易剥離性および非粘着性のシリコーン樹脂層等を使用している。そのため、ガラス基板と保護ガラス基板とを剥離し易く、ガラス基板と保護ガラス基板とを剥離する際に、ガラス基板が破損する可能性は低い。
【０００８】
しかしながら、再剥離性を有する樹脂層は非粘着性であるために貼着し難く、ガラス基板に対する密着力に劣るおそれがある。また、実施例にも記載されているように、再剥離性を有する樹脂層を保護ガラスにスクリーン印刷して加熱硬化させる工程、再剥離性を有する樹脂を介してガラス基板と保護ガラス基板とを、室温下真空プレスにて貼り合わせる工程等、煩雑な工程を経る必要があり、生産性において改善の余地があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平８−８６９９３号公報
【特許文献２】国際公開ＷＯ２００８／００７６２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上記従来の問題を解決するものであり、その目的とするところは、実質的に変形させることができない薄膜部材への加工処理時には薄膜部材と支持部材との間において、薄膜部材が支持部材からずれたり剥がれ落ちたりすることがない適切な密着力を有し、薄膜部材への加工処理後には薄膜部材を支持部材から破損および糊残りすることなく容易に分離することができる両面粘着テープ、及び薄膜部材と支持部材との積層体、及びその積層体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、両面粘着テープの構成を、第１の表面及び第２の表面を有する基材と、第１の表面及び第２の表面の上方かつ最上部に位置する粘着層と、該基材の少なくとも１つの表面から該表面上方に位置する該粘着層までの間に設けられた離型層とを、有するものとし、この両面粘着テープにより、実質的に変形させることができない上記薄膜部材と上記支持部材とを貼り合わせた積層体を適用すれば、加工処理後に、最終的に薄膜部材を破損および糊残りすることなく、支持部材から容易に分離できることを見出し、本発明を成すに至った。
【００１２】
尚、本明細書において、「表面の上方」とは表面を有する材料の内部から表面へ向かう方向を意味する。
【００１３】
具体的に説明すると、（１）上記薄膜部材が上記支持部材上に上記両面粘着テープで貼り合わされた構成からなる積層体を準備し、上記薄膜部材への加工処理終了後に、まず、上記薄膜部材と上記支持部材に対して、垂直方向に脱着力を加えて、両面粘着テープの上記離型層と上記離型層に接する上記粘着層との間で薄膜部材側と支持部材側に分離し、次いで、（２）薄膜部材の加工処理面側と反対面側に、離型層を有する可撓性のある片面粘着テープの形で残った、該片面粘着テープをゆっくりと薄膜基板より剥離すれば、最終的に、破損がなく、且つ糊残りがない、加工処理された薄膜部材を得ることができることを見出した。更に、上記粘着層として放射線や熱等の外部エネルギーの後印加により硬化する性質を有する粘着層を適用すれば、上記薄膜部材側と上記支持部材との分離、及び上記片面粘着テープの上記薄膜部材からの剥離がより容易になり、より歩留まり良く、加工処理された薄膜部材を得ることができることを見出し、本発明を成すに至った。
【００１４】
すなわち、本発明は、第１の表面及び第２の表面を有する基材と、第１の表面及び第２の表面の上方かつ最上部に位置する粘着層と、該基材の少なくとも１つの表面から該表面上方に位置する該粘着層までの間に設けられた離型層とを、有する両面粘着テープを提供する。
【００１５】
ある一形態においては、前記離型層は、前記基材のいずれか１つの表面から該表面上方に位置する粘着層までの間に設けられたものである。
【００１６】
ある一形態においては、前記離型層は、シリコーン系剥離剤及びフッ素系剥離剤から成る群から選択される剥離剤を含んで成るものである。
【００１７】
ある一形態においては、前記粘着層は、活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子、熱架橋剤及び熱重合開始剤を主成分とする熱硬化性粘着剤、及び活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子、熱架橋剤及び光重合開始剤を主成分とする光感応性粘着剤から成る群から選択される粘着剤を含んで成るものである。
【００１８】
ある一形態においては、前記いずれかの両面粘着テープは、第１の部材を第２の部材に仮固定するために使用され、該２つの部材は実質的に変形させることができない材料から形成されたものである。
【００１９】
ある一形態においては、前記材料の少なくとも一つはガラスである。
【００２０】
また、本発明は、上記いずれかの両面粘着テープと、該両面粘着テープの粘着層の表面に設けられた剥離ライナーとを有する両面粘着テープ製品を提供する。
【００２１】
また、本発明は、支持部材と、
該支持部材に積層された第１の表面及び第２の表面を有する基材と、第１の表面及び第２の表面の上方かつ最上部に位置する粘着層と、該基材の少なくとも１つの表面から該表面上方に位置する該粘着層までの間に設けられた離型層とを、有する両面粘着テープと、
該両面粘着テープに積層された実質的に変形させることができない薄膜部材とを、
有する積層体を提供する。
【００２２】
ある一形態においては、前記両面粘着テープは上記いずれかの両面粘着テープである。
【００２３】
また、本発明は、上記いずれかの両面粘着テープにより、実質的に変形させることができない薄膜部材と支持部材とを貼り合わせる工程を包含する、薄膜部材と支持部材との積層体の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、実質的に変形させることができない薄膜部材への加工処理時には薄膜部材と支持部材との間において、薄膜部材が支持部材からずれたり剥がれ落ちたりすることがない適切な密着力を有し、薄膜部材への加工処理後には薄膜部材を支持部材から破損及び糊残りすることなく容易に分離することができる両面粘着テープ、及び薄膜部材と支持部材との積層体、及びその積層体の製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の積層体の一実施形態である両面粘着テープの層構造を示す断面図である。
【図２】本発明の積層体の一実施形態において、両面粘着テープを用いて支持部材に一旦仮固定された薄膜部材が、支持部材から分離される過程を示した断面図である。
【図３】（ａ）は実施例の積層体に使用される粘着テープ中間体の層構成を示す断面図であり、（ｂ）は実施例の積層体に使用される両面粘着テープの層構成を示す断面図である。
【図４】（ａ）は比較例の積層体に使用される粘着テープ中間体の層構成を示す断面図であり、（ｂ）は比較例の積層体に使用される両面粘着テープの層構成を示す断面図である。
【図５】実施例の積層体の一実施形態において、両面粘着テープを使用して薄膜基板ガラス（薄膜部材）と補強用基盤ガラス（支持部材）とを貼着し、垂直剥離試験を行うために補強用基盤ガラスを、接着剤を用いてステンレス板の上に取り付けた状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
図１は、本発明の積層体の一実施形態である両面粘着テープの層構造を示す断面図である。図１の両面粘着テープは、第１の表面ａ及び第２の表面ｂを有する基材３と、該基材の２つの表面の上方に積層され、最も上部に位置する粘着層２、５と、該基材３の第２の表面ｂと該粘着層５の間に設けられた離型層４とを有する。
【００２７】
本発明の両面粘着テープの構成部材及び層構造は、図１に示した実施形態に限定されない。本発明の両面粘着テープは、両面粘着テープを湾曲するのに十分な柔軟性を損なわない限り、基材３、粘着層２、５及び剥離層４以外の層を有していてもよい。
【００２８】
本発明の両面粘着テープの層構造として、例えば、離型層４は、基材３の第２の表面ｂと粘着層５の間に代えて、基材３の第１の表面ａと粘着層２の間に設けられてもよい。また、例えば、基材３の第２の表面ｂと粘着層５の間に加えて、基材３の第１の表面ａと粘着層２の間に追加の離型層が設けられてもよい。ただし、追加の離型層を設ける場合は、最終的に加工処理して利用したい薄膜部材に近い側の離型層をもう一方の離型層よりも重剥離化しておく必要がある。
【００２９】
本発明の両面粘着テープの層構造として、典型的には、離型層４は、基材３の第２の表面ｂと支持部材と接着する粘着層５の間に設けられる。
【００３０】
上記両面粘着テープの粘着層５に、新たに基材を貼り付け、その新たな基材の反対側面に支持部材８と接着する新たな粘着層を備えた積層体構成であっても良い。また、両面粘着テープは、使用時までは、各粘着層の粘着面を保護するための剥離ライナーを備えていてもよい。このような剥離ライナーとしては、特に限定されるものではなく、公知の剥離ライナーから適宜選択して用いることができる。
【００３１】
基材３は使用環境に耐える強度を有する材料であればよく、紙、高分子材料、布、金属箔などが含まれる。好ましくは、塩化ビニル、ポリイミド、ポリアミド、ポリ（テトラフルオロエチレン）、及び（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどの）ポリエステルなどの高分子材料から成るものである。これらの基材の形態はフィルム状であり、厚さは一般に５〜２００μｍ、好ましくは１０〜１００μｍである。
【００３２】
所望ならば、当技術分野では公知である通り、プライマー組成物を支持体に適用するか、或いは支持体をコロナ処理または火炎処理を施すことによって、樹脂組成物を適用する前に、基材の表面を改質して、樹脂組成物と基材の接着性を高めることができる。プライマーの使用は、ポリエチレンテレフタレートまたはポリエチレンナフタレートの基材を用いる場合に特に好適である。
【００３３】
離型層４は、その表面に接着する粘着層５の接着力を弱める層である。離型層４は剥離ライナーに通常使用される剥離剤から形成されて良い。剥離剤としては、例えば、シリコーン系剥離剤、フッ素系剥離剤、長鎖アルキル系剥離剤、アルキド系剥離剤、メラミン系剥離剤、アクリル系剥離剤等が挙げられる。中でも、使用される粘着剤との離型性の観点から、シリコーン系剥離剤及びフッ素系剥離剤から成る群から選択される剥離剤を含んで成るものであることが好ましい。
【００３４】
離型層４は、基材３の表面から剥離しないように形成される。即ち、剥離剤を必要に応じて、シクロヘキサン、ヘキサン、ヘプタン、イソオクタンなどの炭化水素系溶剤又はトルエン、キシレンなどの芳香族系溶剤等の有機溶剤、または水で希釈した後、必要に応じて硬化触媒を添加・混合することで、離型層塗工液を得る。次いで、得られた離型層塗工液を、基材３の表面に塗布して乾燥させ、硬化させることにより離型層を形成する。離型層塗工層の乾燥・硬化方法は、熱、紫外線照射、電子線照射などを使用できる。離型層の厚さは約０．１〜０．６μｍ、好ましくは約０．２〜０．４μｍである。
【００３５】
一般に、薄膜部材を支持部材に仮固定するために使用される粘着剤には、脱着（薄膜部材側と支持部材側との分離、片面粘着テープの薄膜部材からの剥離を意味する）時の接着力を低減する目的で、外部エネルギーを印加した際に硬化する性質を有する種類のものが存在する。かかる仮固定用粘着剤は、被着時は未硬化状態にあって柔軟性及び適度な接着力を有するが、脱着時は硬化状態にすることで、硬化収縮し、弾性率が増大するので接着力が大幅に低減される。
【００３６】
薄膜部材を支持部材に固定する状態の粘着層とは、薄膜部材に加工処理を施すため、未だ容易に薄膜部材側を支持部材側から分離させる目的で硬化させていない状態の粘着層を意味する。薄膜部材を支持部材から分離する状態の粘着層、あるいは片面粘着テープを薄膜部材から剥離する状態の粘着層とは、薄膜部材への加工処理後に、容易に薄膜部材側を支持部材側から分離、あるいは片面粘着テープを薄膜部材から剥離させる目的で硬化させた状態の粘着層を意味する。
【００３７】
粘着層２は、薄膜部材から剥離した後に、薄膜部材等の被着面に残存しない粘着剤から形成する。粘着層２を形成する粘着剤は、好ましくは、粘着層５と同等の性能を有する種類のものである。粘着層２及び粘着層５を形成する粘着剤は同一種類であっても異なる種類であってもよい。
【００３８】
仮固定用粘着剤としては、例えば、再剥離性のある微粘着タイプのシリコーン系粘着剤及びアクリル系粘着剤等が挙げられる。その中でも、特に、脱着時に外部エネルギーの印加により硬化状態にすることで接着力が大幅に低減される硬化型粘着剤が好ましい。
【００３９】
硬化型粘着剤の中でも放射線硬化型粘着剤としては、例えば、活性官能基（炭素−炭素二重結合基）を有するアクリル系粘着性高分子、熱架橋剤及び光重合開始剤を主成分とする光感応性粘着剤が好ましい。かかる粘着剤の構成は、その開示をここに参照として含める、特開２００２−２１２５２１号公報に記載されている。
【００４０】
上記活性官能基をアクリル系粘着性高分子に導入する方法としては、特に限定されるものではないが、通常、（メタ）アクリル酸エステル、ヒドロキシル基含有不飽和化合物、カルボキシル基含有不飽和化合物等からなる共重合体を重合した後、該共重合体が有する官能基に対して付加反応することが可能な官能基及び炭素−炭素二重結合を有する化合物を付加反応させる方法が挙げられる。例えば、アクリル系粘着性高分子の側鎖にあるヒドロキシル基を（メタ）アクリロイルオキシ基を有するイソシアネート化合物（例えば、２―メタクリロイルオキシエチルイソシアネートなど）と反応させる方法等がある。このようにして、（メタ）アクリロイルオキシ基などの活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子を得ることができる。
【００４１】
上記活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子の重量平均分子量が１０万より小さい場合には、塗工性などを考慮して、数千〜数万ｃＰの高粘度の粘着剤組成を得ることが難しく好ましくない。また、重量平均分子量が２００万より大きい場合には、粘着テープの特性上、特に問題はないが、アクリル系粘着性高分子を量産的に製造することが難しく、好ましくない。
【００４２】
また、上記活性官能基を有するアクリル系高分子の活性官能基含有量が０．０１ミリ当量／ｇより小さい場合には、光ラジカル架橋反応が十分に起こらず、その結果、易剥離性を付与することが難しくなり、また、活性官能基含有量が２．０ミリ当量／ｇより大きい場合には、粘着テープの特性上、特に問題はないが、アクリル系粘着性高分子を量産的に製造することが難しく、好ましくない。
【００４３】
また、上記活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子の水酸基価が１０ｍｇＫＯＨ／ｇより小さい場合には、熱架橋剤との反応が十分でない為に、初期粘着性が十分でなく、被着体に粘着剤残りが発生するおそれがある。また、水酸基価が１００ｍｇＫＯＨ／ｇより大きい場合には、熱架橋剤との反応に関与しない余剰の水酸基が被着体表面と相互作用するため、外部エネルギーを印加しても粘着力が十分に低下しないおそれがある。
【００４４】
上記活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子の主成分は、通常、（メタ）アクリル酸アルキルエステル単量体と極性基含有単量体との共重合体から成る。（メタ）アクリル酸アルキルエステル単量体としては、炭素数６ 〜 １ ２ のヘキシルアクリレート、ｎ − オクチルアクリレート、イソオクチルアクリレート、２ − エチルヘキシルアクリレート、ドデシルアクリレート、デシルアクリレート、または炭素数５ 以下の単量体である、ペンチルアクリレート、ｎ − ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、エチルアクリレート、メチルアクリレート、またはこれらと同様のメタクリレート等が挙げられる。また、極性基含有単量体としては、２ − ヒドロキシエチルアクリレート、２ − ヒドロキシエチルメタクリレート、２ − ヒドロキシプロピルアクリレート、２− ヒドロキシプロピルメタクリレート、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられる。これらを共重合した共重合体としては、具体的には、アクリル酸２―エチルヘキシルとアクリル酸との共重合体、アクリル酸２―エチルヘキシルとアクリル酸２―ヒドロキシエチルとの共重合体、アクリル酸２―エチルヘキシルとアクリル酸とアクリル酸２―ヒドロキシエチルとの三元共重合体等が挙げられるが、特にこれらに限定されるものではない。
【００４５】
放射線硬化型粘着剤に使用される活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子は、ラジカル反応により架橋する官能基をポリマー側鎖等に有するものである。放射線硬化型粘着剤は、被着体から剥離する際に、紫外線等に暴露されて架橋反応を起こすことにより、粘着剤の凝集力が上昇し、被着体より剥離する時に、被着体に粘着剤残りが生じ難い。
【００４６】
また、上記活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子の代わりとして、通常の上記活性官能基を有さないアクリル系粘着性高分子に、上記活性官能基を有するオリゴマー等を添加した組成物を使用しても構わない。また、上記活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子に、更に上記活性官能基を有するオリゴマー等を添加した組成物を使用しても構わない。
【００４７】
放射線硬化型粘着剤に使用される光重合開始剤としては、紫外線等によりラジカル活性種を発生させる化合物が好ましい。具体的には、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル系開始剤；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３’−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ポリビニルベンゾフェノン等のベンゾフェノン系開始剤；α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、α−ヒドロキシ−α，α’−ジメチルアセトフェノン、メトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）−フェニル］−２−モルホリノプロパン−１等の芳香族ケトン系開始剤；ベンジルジメチルケタール等の芳香族ケタール系開始剤；チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−ドデシルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン系開始剤；ベンジル等のベンジル系開始剤；ベンゾイン等のベンゾイン系開始剤；２−メチル−２−ヒドロキシプロピオフェノン等のα−ケトール系化合物；２−ナフタレンスルホニルクロリドなどの芳香族スルホニルクロリド系化合物；１−フェノン−１，１−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム等の光活性オキシム系化合物；カンファーキノン系化合物；ハロゲン化ケトン系化合物：アシルホスフィノキシド系化合物；アシルホスフォナート系化合物が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、または２種以上併用してもよい。
【００４８】
これらの光重合開始剤の添加量は活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子１００質量部に対して、０．１〜１０質量部であることが好ましい。
【００４９】
光重合開始剤の添加量が０．１質量部より少ない場合には、紫外線等に対する光反応性が充分ではない為に粘着剤の硬化が不十分となり剥離性が十分ではなく、また、その添加量が１０質量部より多い場合には、その効果は飽和し、経済性の観点からも好ましくない。
【００５０】
また、このような光重合開始剤の増感剤として、ジメチルアミノエチルメタクリレート、４―ジメチルアミノ安息香酸イソアミル等の化合物を粘着剤に添加してもよい。
【００５１】
放射線硬化型粘着剤に使用される熱架橋剤としては、一般にアクリル系粘着剤の架橋剤として使用されるイソシアネート化合物系架橋剤、エポキシ化合物系架橋剤、アルミキレート化合物系架橋剤等が使用される。
【００５２】
例えば、綜研化学社より販売されているポリイソシアネート架橋剤（商品名：Ｌ−４５など）、エポキシ化合物系架橋剤（商品名：Ｅ−ＡＸなど）、アルミキレート化合物系架橋剤（商品名：Ｍ−５Ａなど）等が使用できるが、ここに挙げたものに限定されるものではない。
【００５３】
これらの熱架橋剤は、上記活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子１００質量部に対して、０．０１〜１０質量部の割合で添加されるのが好ましい。熱架橋剤の添加量が０．０１質量部より少ない場合には、粘着剤の凝集力が十分ではなく、被着体に糊残りするおそれがあり、またその添加量が１０質量部より多い場合には、反応に関与しない余剰の熱架橋剤がブリードアウトし、被着体を汚染するおそれがある。
【００５４】
放射線効果型粘着剤には、通常、アクリル樹脂などに使用されるロジン系樹脂、テルペン系樹脂、石油樹脂等の粘着性付与剤を添加しても良い。
【００５５】
放射線効果型粘着剤の成分において、光重合開始剤の代わりに熱重合開始剤を使用してもよい。そのことにより、粘着剤に熱硬化性が付与され、熱硬化型粘着剤が提供される。使用される熱重合開始剤としては、加熱によりラジカル活性種を発生させる化合物が好ましい。具体的には、ジクミルパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、パラメンタンハイドロパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２，２’−アゾビス（イソブチロニトリル）、１，１−アゾビス（シクロヘキサン−１−カルボニトリル）、アゾクメン、２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）、２，２’−アゾビスジメチルバレロニトリル、４，４’−アゾビス（４−シアノ吉草酸）、２−（ｔｅｒｔ−ブチルアゾ）−２−シアノプロパン、２，２’−アゾビス（２，４，４−トリメチルペンタン）、２，２’−アゾビス（２−メチルプロパン）、ジメチル２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）等の化合物が挙げられる。
【００５６】
本発明で使用されるこれらの熱重合開始剤の添加量は活性官能基を有するアクリル系粘着性高分子１００質量部に対して、０．１〜１０質量部であることが好ましい。
【００５７】
熱重合開始剤の添加量が０．１質量部より少ない場合には、加熱に対する反応性が充分ではない為に粘着剤の硬化が不十分となり剥離性が十分ではなく、また、その添加量が１０質量部より多い場合には、その効果は飽和し、経済性の観点からも好ましくない。
【００５８】
粘着層２、５は、例えば、塗布法により形成される。即ち、粘着剤をトルエン、酢酸エチルなどの有機溶剤で希釈して粘着層塗工液を得る。次いで、得られた粘着層塗工液を、基材の表面に塗布して乾燥させ、硬化させることにより粘着層を形成する。粘着層の厚さは約５〜１００μｍ、好ましくは約１０〜３０μｍである。
【００５９】
図２（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、本発明の積層体の一実施形態において、両面粘着テープを用いて支持部材８に一旦仮固定された薄膜部材７が、支持部材８から分離される過程を示した断面図である。図２（ａ）は薄膜部材７が支持部材８に固定、積層された状態を示す。薄膜部材７の下面に両面粘着テープの粘着層２が基材３と離型層４とを有する片面粘着テープの形で貼着されており、支持部材８の上面に粘着層５が貼着されている。
【００６０】
薄膜部材７は加工される対象物であり、典型的には、脆性を有し、強度が低い材料から成る部材であるが、前述したような、可撓性を有し、強度が高い材料（例えば、プラスチックフィルム等の樹脂）であっても良い。加工の際に、薄膜部材７には、例えば、エッチング、スパッタリング、パターニング等の処理や、加工装置間搬送等の処理が行われる。
【００６１】
薄膜部材７の材料の具体例には、ガラス、金属、樹脂等が挙げられるが、典型的にはガラスが挙げられる。薄膜部材７の厚さは、一般に０．１ｍｍ以上、２．０ｍｍ以下、好ましくは０．２ｍｍ以上、１．０ｍｍ以下、より好ましくは０．２ｍｍ以上、０．５ｍｍ以下である。薄膜部材７の厚さが０．１ｍｍ未満では支持部材８から分離される際に破損する可能性が高くなり、厚さが２．０ｍｍを超えるような薄膜部材は単独でも破損させることなく加工することができる。
【００６２】
支持部材８は、薄膜部材７の加工に必要な所定の処理が行われる間、薄膜部材７の破損を防止するために補強する部材である。支持部材８は、脆性を有し、強度が低い薄膜部材７を破損させないために剛性、耐熱性、耐薬品性に優れた材料からなることが好ましい。支持部材８の材料の具体例には、ガラス、金属等がある。支持部材８の厚さは、薄膜部材７の厚さより厚いことが好ましいが、一般に、０．１ｍｍ以上、５．０ｍｍ以下、好ましくは０．４ｍｍ以上、２．０ｍｍ以下である。
【００６３】
図２（ｂ）は薄膜部材７が支持部材８から剥離された状態を示す。薄膜部材７の加工に必要な所定の処理が終了した後に、要すれば、薄膜部材７と支持部材８の積層体に対して易剥離処理を行う。易剥離処理の具体例は、加熱又は放射線照射を行うことで粘着層の接着力を低減する処理である。その後、薄膜部材７に剥離力、例えば薄膜部材７の表面に対して垂直な方向の脱着力を印加する。そうすると、両面粘着テープは離型層４と粘着層５との間で容易に剥離する。これにより、薄膜部材７は支持部材８から分離される。
【００６４】
図２（ｃ）は両面粘着テープが薄膜部材７及び支持部材８から分離された状態を示す。薄膜部材７の下面には、粘着層２、基材３、離型層４の構成から成る片面粘着テープが残っているが、該片面粘着テープは柔軟性があり、湾曲させて被着面からめくりあげることができる。それゆえ、粘着層２は基材３、離型層４と共に薄膜部材７の下面から容易に剥離され、粘着剤２は薄膜部材７に残存しない。また、粘着層５は支持部材８の上面に残るが、支持部材８を廃棄せずに再利用する場合は、指で剥がしたり、溶剤を用いて拭き取ることにより支持部材８から除去することができる。
【００６５】
粘着層２、５は、薄膜部材７への加工処理が行われる間、薄膜部材７が支持部材８から、ずれたり剥がれ落ちたりすることがないように、薄膜部材７を支持部材８に固定しておくのに適切な接着力を有する粘着剤から形成する。粘着剤としては、従来から加工部品を仮固定する用途に使用されてきた種類のものが好ましく、再剥離性のある種類のものがより好ましく、外部エネルギーの後印加により硬化する性質を有する種類のものがさらに好ましい。薄膜部材７は加工処理が終了した後に支持部材８から分離される必要があり、この状態においては、粘着剤の接着力は、できるだけ弱いこと、あるいは外部エネルギーの後印加により大幅に弱くなることが好ましい。
【００６６】
例えば、図２（ａ）に示したように、本発明の構成の積層体は、薄膜部材７と支持部材８と固定した直後においては、両面粘着テープの粘着層５は支持部材８と離型層４に接しており、粘着層２は薄膜部材７と基材３に接している。この状態において、粘着層５と支持部材８の界面の接着力、及び、粘着層２と薄膜部材７の界面の接着力は、適度に確保されており、最も接着力が小さい界面は、粘着層５と離型層４の界面となる。これは、典型的に、薄膜部材７及び支持部材８の表面エネルギーが粘着剤２、５の表面エネルギーよりも大きく、離型層４の表面エネルギーが粘着剤２、５の表面エネルギーよりも小さいことに起因する。この場合、粘着層５と離型層４の界面の接着力が極度に小さいと、加工処理中に、この界面において薄膜部材７が支持部材８から分離してしまい、薄膜部材７への加工処理ができなくなる。
【００６７】
従って、薄膜部材７を支持部材８に固定した直後においては、粘着層５の離型層４に対する接着力（Ｘ）は、０．０２Ｎ／２５ｍｍ以上、０．５０Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲であることが好ましい。絶対値そのものは小さいが、粘着層５の離型層４に対する接着力（Ｘ）として、少なくとも０．０２Ｎ／２５ｍｍ以上の接着力があれば、薄膜部材７は、加工処理中や搬送工程中に、支持部材８からずれたり、剥がれ落ちることはなく、支持部材８に固定された状態を維持することができる。また、薄膜部材７の加工処理終了後においては、薄膜部材７に対して垂直方向に脱着力を加え、薄膜部材７側を支持部材８側から粘着層５と離型層４の界面において分離する必要があるため、粘着層５に外部エネルギーの後印加により硬化する性質を有する粘着層を適応し、接着力を大幅に弱めてから分離する方法を採用する場合も含めて想定すると、この段階、いわゆる初期の接着力の上限値は０．５０Ｎ／２５ｍｍ以下に留めておくことが好ましい。このように、接着力の上限値を必要以上に高くしておかないことにより、加工処理終了後に薄膜部材７側を支持部材８側から粘着層５と離型層４の界面においてより容易に分離しやすくなる。
【００６８】
また、薄膜部材７への加工処理終了後に、薄膜部材７に対して垂直方向に脱着力を加え、薄膜部材７側を支持部材８側から粘着層５と離型層４の界面において分離する状態においては、最も接着力が小さい界面は、やはり、粘着層５と離型層４の界面となる。粘着層５の離型層４に対する接着力（Ｙ）は、０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上、０．１０Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲であることが好ましく、０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上、０．０５Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲であることがより好ましい。粘着層５の離型層４に対する接着力（Ｙ）を上記範囲とするには、粘着層５に外部エネルギーの後印加により硬化する性質を有する粘着層を適用することが好ましい。すなわち、上述した、薄膜部材７を支持部材８に固定した直後における粘着層５の離型層４に対する上記接着力（Ｘ）が、たとえ０．１０Ｎ／２５ｍｍを超えるような場合であっても、加工処理終了後に、粘着層５に外部エネルギーを後印加することにより粘着層５を硬化させることができるため、粘着層５の離型層４に対する上記接着力（Ｙ）を０．１０Ｎ／２５ｍｍ以下に低減することができる。上記接着力（Ｙ）を上記範囲とすることにより、薄膜部材７を破損することなく、薄膜部材７側を支持部材８側から、粘着層５と離型層４の界面において、垂直方向に分離することができる。上記接着力（Ｙ）が０．１０Ｎ／２５ｍｍを超えると、加工処理終了後に薄膜部材７側を支持部材８側から垂直方向に分離する際に、薄膜部材７に折れや欠け、割れ等の損傷を与えるおそれがある。
【００６９】
薄膜部材７への加工処理が終了し、先ず、離型層４と粘着層５との間で薄膜部材７側と支持部材８側とに分離された後は、例えば、図２（ｂ）に示したように、薄膜部材７の加工処理面側とは反対面側には、粘着層２、基材３、離型層４の構成から成る可撓性のある片面粘着テープ（図２（ｂ）の粘着テープ中間体１０に相当）が残る。すなわち、最終的に加工処理された薄膜部材７を得るためには、上記可撓性のある片面粘着テープをゆっくりと例えば９０°ピール方向に薄膜部材７から剥離する必要がある。上記片面粘着テープを薄膜部材７を破損させずに、且つ粘着剤残り（糊残り）することなく容易に剥離するためには、剥離する状態においては、上記粘着層２の薄膜部材７に対する接着力（Ｚ）は、０．０３Ｎ／２５ｍｍ以上、１．００Ｎ/２５ｍｍ未満の範囲であることが好ましく、０．０３Ｎ／２５ｍｍ以上、０．５０Ｎ/２５ｍｍ未満の範囲であることがより好ましい。粘着層２の薄膜部材７に対する接着力（Ｚ）を上記範囲とするには、粘着層２に外部エネルギーの後印加により硬化する性質を有する粘着層を適用することが好ましい。上記接着力（Ｚ）を上記範囲とすることにより、薄膜部材７を破損することなく、且つ糊残りすることなく、上記片面粘着テープを薄膜部材７から９０°ピール方向に剥離することができる。上記接着力（Ｚ）が１．００Ｎ／２５ｍｍを超えると、片面粘着テープを薄膜部材７から剥離する際に、薄膜部材７が破損するおそれがある。
【００７０】
薄膜部材７を支持部材８に固定した直後における、上記の粘着層５の離形層４に対する「接着力（Ｘ）」は、上記両面粘着テープの粘着層２をＰＥＴフィルムで裏打ちし、２３℃において、その反対面の粘着層５を支持部材８に貼り付け、２ｋｇローラーで一往復圧着して作製した試験片を用いて、２３℃において、支持部材８を固定した状態で剥離速度３００ｍｍ／分の剥離速度で９０度の角度で、離形層４側を粘着層５から剥離した際の９０度ピール接着力を意味する。
【００７１】
また、薄膜部材７側を支持部材８側から分離する状態における、上記の粘着層５の離形層４に対する「接着力（Ｙ）」は、基本的には「接着力（Ｘ）」と同様の９０度ピール接着力を意味する。ただし、薄膜部材７側を支持部材８側から分離する際に、必要に応じて粘着層に外部エネルギーを印加する場合は、上記試験片に外部エネルギーを印加した後に剥離した際の９０度ピール接着力を意味する。
【００７２】
更に、上記片面粘着テープを薄膜部材７から剥離する状態における、上記の粘着層２の薄膜部材７に対する「粘着力（Ｚ）」は、上記両面粘着テープの粘着層５を剥離した状態の上記片面粘着テープの粘着層２を薄膜部材７に貼り付け、２３℃において、２ｋｇローラーで一往復圧着して作製したテープ試験片を、２３℃において、薄膜部材７を固定した状態で剥離速度３００ｍｍ／分の剥離速度で９０度の角度で、粘着層２側を薄膜部材７から剥離した際の９０度ピール接着力を意味する。ただし、上記片面粘着テープを薄膜部材７から剥離する際に、必要に応じて粘着層に外部エネルギーを印加する場合は、上記試験片に外部エネルギーを印加した後に剥離した際の９０度ピール接着力を意味する。
【実施例】
【００７３】
以下の実施例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。
【００７４】
＜樹脂組成物の調製＞
１．粘着剤
（１）粘着剤組成物Ａ
シリコーン系粘着剤（信越化学製「ＫＲ−３７０４」（商品名））１００質量部、白金触媒（信越化学製「ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ」（商品名））０．５質量部を混合した後、固形分濃度４０質量％となるようにトルエンにより希釈し、シリコーン粘着剤組成物Ａを得た。
【００７５】
（２）粘着剤組成物Ｂ
ラジカル重合性アクリル系粘着剤（日本合成化学製「Ｎ−４４９８」（商品名））１００質量部、イソシアネート架橋剤（東ソー株式会社製「Ｌ−５５Ｅ」（商品名））１．０質量部、熱重合開始剤（大塚化学製ＭＡＩＢ）０．５質量部を混合した後、固形分濃度が３５質量％となるように酢酸エチルにより希釈し、熱硬化型アクリル粘着剤組成物Ｂを得た。
【００７６】
（３）粘着剤組成物Ｃ
ラジカル重合性アクリル系粘着剤（日本合成化学製「Ｎ−４４９８」（商品名））１００質量部、イソシアネート架橋剤（東ソー株式会社製「Ｌ−５５Ｅ」（商品名））１．０質量部、光重合開始剤（ＢＡＳＦ製「Ｉｒｇ８１９」（商品名））０．５質量部を混合した後、固形分濃度が３５質量％となるように酢酸エチルにより希釈し、放射線硬化型アクリル粘着剤組成物Ｃを得た。
【００７７】
（４）粘着剤組成物Ｄ
アクリル粘着剤（綜研化学製「ＳＫダイン１４９５」（商品名））１００質量部、イソシアネート系架橋剤（綜研化学製「Ｌ−４５」（商品名））１．０質量部を混合した後、固形分３０質量％となるように酢酸エチルにより希釈し、アクリル粘着剤組成物Ｄを得た。
【００７８】
２．剥離剤
（１）剥離剤組成物ａ
シリコーン系剥離剤（東レ・ダウコーニング製「ＬＴＣ−７５２」（商品名））１００質量部、白金触媒（東レダウコーニング製ＮＣ−２５」（商品名））０．５質量部を混合した後、固形分１質量％になるようにトルエンにより希釈し、シリコーン系剥離剤組成物ａを得た。
【００７９】
（２）剥離剤組成物ｂ
フッ素系剥離剤（東レ・ダウコーニング製「ＢＹ２４−９００」（商品名））１００質量部、白金触媒（東レ・ダウコーニング製ＮＣ−２５」（商品名））０．６質量部を混合した後、固形分１質量％になるようにイソオクタンにより希釈し、フッ素系剥離剤組成物ｂを得た。
【００８０】
（３）剥離剤組成物ｃ
非シリコーン系剥離剤（ライオン・スペシャリティ・ケミカル製「ピーロイル１０７０」（商品名））を固形分１質量％になるようにトルエンにより希釈し、非シリコーン系剥離剤組成物ｃを得た。
【００８１】
［実施例１］
＜両面粘着テープの作製＞
図３（ａ）は実施例の粘着テープ中間体の層構成を示す断面図である。ＰＥＴフィルム（厚さ：３８μｍ）から成る基材層３の一方の表面に、シリコーン系剥離剤組成物ａ（ｄｒｙ厚さ：０．２μｍ）を塗工し、溶剤を乾燥させ、離型層４を形成した。基材層３のもう一方の表面に、シリコーン粘着剤組成物Ａ（ｄｒｙ厚さ：１０μｍ）を塗工し、溶剤を乾燥させ、粘着層Ａ２を形成した。この粘着層Ａ２の表面に剥離ライナー１を貼り合せ、粘着テープ中間体１０を作製した。
【００８２】
図３（ｂ）は実施例の両面粘着テープの層構成を示す断面図である。剥離ライナー６に、熱硬化型アクリル粘着剤組成物Ｂ（厚さ：ｄｒｙ２０μｍ）を塗工し、溶剤を乾燥させ、粘着層Ｂ５を形成した。この粘着層Ｂ５の表面を粘着テープ中間体１０の離型層４の表面に貼り合せて、両面粘着テープ２０を得た。
【００８３】
＜薄膜部材と支持部材との積層体の作製および評価＞
図５は、両面粘着テープ２０を使用して、薄膜部材としての薄膜基板ガラス３０と支持部材としての補強用基盤ガラス３１とを貼着した積層体について、垂直剥離試験を行うために補強用基盤ガラス３１側を、エポキシ２液ガラス用接着剤４０を用いてステンレス板５０の上に取り付けた状態を示す断面図である。薄膜基板ガラス３０は縦４５ｍｍ×横４５ｍｍ、補強用基盤ガラスは縦５０ｍｍ×横５０ｍｍ、両面粘着テープ２０は縦４０ｍｍ×横４０ｍｍ、ステンレス板５０は１００ｍｍ×１００ｍｍの大きさとした。薄膜基板ガラス３０の厚さは、薄膜基板を想定し、０．４ｍｍとした。また、補強用基盤ガラス３１の厚さは、補強用基盤を想定し、２．０ｍｍとした。両面粘着テープ２０を用いて、粘着層Ａ２が薄膜基板ガラス３０、粘着層Ｂ５が補強用基盤ガラス３１に接するように、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を貼着し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製した。次いで、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１の積層体に対して、外部エネルギーの印加処理として、１５０℃で１時間の加熱処理を行った。
【００８４】
薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１の積層体を室温に冷却した後、補強用基盤ガラス３１を、エポキシ２液ガラス用接着剤４０を用いてステンレス板５０の上に貼り合わせて固定し、垂直剥離試験用の試験片を作製した。
【００８５】
作製した試験片のステンレス板５０を固定し、薄膜基板ガラス３０の上面中央に吸着パッドを取り付け、吸着パッドを手の指で持って薄膜基板ガラス３０に対して上垂直方向にゆっくりと脱着力を加え、薄膜基板ガラス３０を補強用基盤ガラス３１から引き剥がした。実施例１の両面粘着テープは離型層４と粘着層Ｂ５との間で剥離し、薄膜基板ガラス３０は補強用基盤ガラス３１から破損せずに分離された。
【００８６】
分離された薄膜基板ガラス３０の下面には、粘着層Ａ２、基材３、離型層４から構成される粘着テープ中間体１０が接着している。次いで、この粘着テープ中間体１０を、９０°方向に３００ｍｍ/ｍｉｎの速度で引き離した。実施例１の粘着テープ中間体１０は、粘着層Ａ２と薄膜基板ガラス３０の間で剥離し、薄膜基板ガラス３０の破損及び表面の糊残りの発生は見られなかった。
【００８７】
なお、両面粘着テープの離型層４と粘着層Ｂ５の間の剥離性は、以下の基準に基づいて評価した。
【００８８】
＜垂直剥離性評価基準＞
ガラス板積層体試験体数Ｎ＝１０とし、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を両面粘着テープ２０で貼り合せ、上記の方法により垂直方向に引き離した際に、薄膜基板ガラス３０の破損状態を確認し、薄膜基板ガラス３０が破損せずに分離できた場合を良品とし、以下の基準で評価した。
【００８９】
（◎）良品率：１００％（Ｎ＝１０の内、ＮＧ数が０）
（○）良品率：７０％〜９０％（Ｎ＝１０の内、ＮＧ数が１〜３）
（△）良品率：１０〜６０％（Ｎ＝１０の内、ＮＧ数が４〜９）
（×）良品率：０％（Ｎ＝１０の内、ＮＧ数が１０）
【００９０】
薄膜基板ガラス３０の良品率が７０％以上の（◎）（○）の評価となるものを、実用上、垂直剥離が可能な積層体とした。
【００９１】
［実施例２］
熱硬化型アクリル粘着剤組成物Ｂの代わりに放射線硬化型アクリル粘着剤組成物Ｃを使用して粘着層Ｂ５を形成すること以外は実施例１と同様にして両面粘着テープ２０を作製し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を貼着し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製した。加熱処理の代わりに紫外線照射（積算光量３００ｍＪ／ｃｍ２）すること以外は実施例１と同様にして薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１の積層体の垂直剥離試験を行った。その結果、両面粘着テープは離型層４と粘着層Ｂ５との間で剥離し、薄膜基板ガラス３０は補強用基盤ガラス３１から破損せずに分離された。
【００９２】
また、薄膜基板ガラス３０の下面に残った実施例２の粘着テープ中間体１０は、実施例１と同様に剥離したところ、粘着層Ａ２と薄膜基板ガラス３０の間で剥離することができ、薄膜基板ガラス３０の破損及び表面の糊残りの発生は見られなかった。
【００９３】
［実施例３］
シリコーン粘着剤組成物Ａの代わりに放射線硬化型アクリル粘着剤組成物Ｃを使用して粘着層Ａ２を形成すること以外は実施例１と同様にして両面粘着テープ２０を作製し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を貼着し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製した。次いで、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１の積層体の垂直剥離試験を行った。その結果、両面粘着テープは離型層４と粘着層Ｂ５との間で剥離し、薄膜基板ガラス３０は補強用基盤ガラス３１から破損せずに分離された。
【００９４】
また、薄膜基板ガラス３０の下面に残った実施例３の粘着テープ中間体１０に対して、更に紫外線を照射（積算光量３００ｍＪ／ｃｍ２）し、粘着層Ａ２を硬化させた後、実施例１と同様に剥離したところ、実施例３の粘着テープ中間体１０は、粘着層Ａ２と薄膜基板ガラス３０の間で剥離し、薄膜基板ガラス３０の破損及び糊残りの発生は見られなかった。
【００９５】
［実施例４］
シリコーン粘着剤組成物Ａの代わりに熱硬化型アクリル粘着剤組成物Ｂを使用して粘着層Ａ２を形成し、熱硬化型アクリル粘着剤組成物Ｂの代わりに放射線硬化型アクリル粘着剤組成物Ｃを使用して粘着層Ｂ５を形成すること以外は実施例１と同様にして両面粘着テープ２０を作製し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を貼着し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製した。加熱処理の代わりに紫外線照射（積算光量３００ｍＪ／ｃｍ２）すること以外は実施例１と同様にして薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１の積層体の垂直剥離試験を行った。その結果、両面粘着テープは離型層４と粘着層Ｂ５との間で剥離し、薄膜基板ガラス３０は補強用基盤ガラス３１から破損せずに分離された。
【００９６】
また、薄膜基板ガラス３０の下面に残った実施例４の粘着テープ中間体１０に対して、更に加熱処理（１５０℃、１時間）を施して、粘着層Ａ２を硬化させた後、実施例１と同様に剥離したところ、実施例３の粘着テープ中間体１０は、粘着層Ａ２と薄膜基板ガラス３０の間で剥離し、薄膜基板ガラス３０の破損及び糊残りの発生は見られなかった。
【００９７】
［実施例５］
シリコーン粘着剤組成物Ａの代わりに放射線硬化型アクリル粘着剤組成物Ｃを使用して粘着層Ａ２を形成し、熱硬化型アクリル粘着剤組成物Ｂの代わりにアクリル粘着剤組成物Ｄを使用して粘着層Ｂ５を形成すること以外は実施例１と同様にして両面粘着テープ２０を作製し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を貼着し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製した。加熱処理を行わないこと以外は実施例１と同様にして薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１の積層体の垂直剥離試験を行った。その結果、一部の薄膜基板ガラス３０が破損したが、殆どの両面粘着テープは離型層４と粘着層Ｂ５との間で剥離し、薄膜基板ガラス３０は補強用基盤ガラス３１から破損せずに分離された。薄膜基板ガラス３０の良品率は９０％であった。
【００９８】
また、薄膜基板ガラス３０の下面に残った実施例５の粘着テープ中間体１０に対して、更に紫外線を照射（積算光量３００ｍＪ／ｃｍ２）し、粘着層Ａ２を硬化させた後、実施例１と同様に剥離したところ、実施例５の粘着テープ中間体１０は、粘着層Ａ２と薄膜基板ガラス３０の間で剥離し、薄膜基板ガラス３０の破損及び糊残りの発生は見られなかった。
【００９９】
［実施例６］
シリコーン系剥離剤組成物ａの代わりにフッ素剥離剤組成物ｂを使用して離型層４を形成し、シリコーン粘着剤組成物Ａの代わりにアクリル粘着剤組成物Ｄを使用して粘着層Ａ２を形成し、熱硬化型アクリル粘着剤組成物Ｂの代わりにシリコーン粘着剤組成物Ａを使用して粘着層Ｂ５を形成すること以外は実施例１と同様にして両面粘着テープ２０を作製し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を貼着し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製した。加熱処理を行わないこと以外は実施例１と同様にして薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１の積層体の垂直剥離試験を行った。その結果、一部の薄膜基板ガラス３０が破損したが、殆どの両面粘着テープは離型層４と粘着層Ｂ５との間で剥離し、薄膜基板ガラス３０は補強用基盤ガラス３１から破損せずに分離された。薄膜基板ガラス３０の良品率は９０％以上であった。
【０１００】
また、薄膜基板ガラス３０の下面に残った実施例６の粘着テープ中間体１０は、実施例１と同様に剥離したところ、粘着層Ａ２と薄膜基板ガラス３０の間で剥離することができ、薄膜基板ガラス３０の破損及び表面の糊残りの発生は見られなかった。
【０１０１】
［実施例７］
シリコーン系剥離剤組成物ａの代わりに非シリコーン系剥離剤組成物ｃを使用して離型層４を形成すること以外は実施例１と同様にして両面粘着テープ２０を作製し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を貼着し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製した。次いで、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１の積層体の垂直剥離試験を行った。その結果、一部の薄膜基板ガラス３０が破損したが、殆どの両面粘着テープは離型層４と粘着層Ｂ５との間で剥離し、薄膜基板ガラス３０は補強用基盤ガラス３１から破損せずに分離された。薄膜基板ガラス３０の良品率は８０％であった。
【０１０２】
また、薄膜基板ガラス３０の下面に残った実施例７の粘着テープ中間体１０は、実施例１と同様に剥離したところ、粘着層Ａ２と薄膜基板ガラス３０の間で剥離することができ、薄膜基板ガラス３０の破損及び表面の糊残りの発生は見られなかった。
【０１０３】
［実施例８］
シリコーン系剥離剤組成物ａの代わりにフッ素系剥離剤組成物ｂを使用して離型層４を形成すること以外は実施例１と同様にして両面粘着テープ２０を作製し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を貼着し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製した。次いで、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１の積層体の垂直剥離試験を行った。その結果、両面粘着テープは離型層４と粘着層Ｂ５との間で剥離し、薄膜基板ガラス３０の破損は見られなかった。
【０１０４】
また、薄膜基板ガラス３０の下面に残った実施例８の粘着テープ中間体１０は、実施例１と同様に剥離したところ、粘着層Ａ２と薄膜基板ガラス３０の間で剥離することができ、薄膜基板ガラス３０の破損及び表面の糊残りの発生は見られなかった。
【０１０５】
［実施例９］
シリコーン系剥離剤組成物ａの代わりに非シリコーン系剥離剤組成物ｃを使用して離型層４を形成すること以外は実施例５と同様にして両面粘着テープ２０を作製し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を貼着し、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製した。次いで、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１の積層体の垂直剥離試験を行った。その結果、一部の薄膜基板ガラス３０が破損したが、殆どの両面粘着テープは離型層４と粘着層Ｂ５との間で剥離し、薄膜基板ガラス３０は補強用基盤ガラス３１から破損せずに分離された。薄膜基板ガラス３０の良品率は７０％であった。
【０１０６】
また、薄膜基板ガラス３０の下面に残った実施例９の粘着テープ中間体１０は、実施例１と同様に剥離したところ、粘着層Ａ２と薄膜基板ガラス３０の間で剥離することができ、薄膜基板ガラス３０の破損及び表面の糊残りの発生は見られなかった。
【０１０７】
［比較例１］
図４（ａ）は比較例の粘着テープ中間体の層構成を示す断面図である。図４（ｂ）は比較例の両面粘着テープの層構成を示す断面図である。基材層３に離型層４を形成しないこと以外は実施例１と同様にして粘着テープ中間体１１を作製し、両面粘着テープ２１を作製した。得られた両面粘着テープ２１を用いて、実施例１と同様にして薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製し、垂直剥離試験を行ったところ、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を垂直方向に分離しようとした際に、試験体数Ｎ＝１０の全ての薄膜基板ガラス３０が破損した。
【０１０８】
［比較例２］
基材層３に離型層４を形成しないこと以外は実施例２と同様にして粘着テープ中間体１１を作製し、両面粘着テープ２１を作製した。得られた両面粘着テープ２１を用いて、実施例２と同様にして薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製し、垂直剥離試験を行ったところ、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を垂直方向に分離しようとした際に、試験体数Ｎ＝１０の全ての薄膜基板ガラス３０が破損した。
【０１０９】
［比較例３］
基材層３に離型層４を形成しないこと以外は実施例３と同様にして粘着テープ中間体１１を作製し、両面粘着テープ２１を作製した。得られた両面粘着テープ２１を用いて、実施例３と同様にして薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製し、垂直剥離試験を行ったところ、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を垂直方向に分離しようとした際に、試験体数Ｎ＝１０の全ての薄膜基板ガラス３０が破損した。
【０１１０】
［比較例４］
基材層３に離型層４を形成しないこと以外は実施例４と同様にして粘着テープ中間体１１を作製し、両面粘着テープ２１を作製した。得られた両面粘着テープ２１を用いて、実施例４と同様にして薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製し、垂直剥離試験を行ったところ、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を垂直方向に分離しようとした際に、試験体数Ｎ＝１０の全ての薄膜基板ガラス３０が破損した。
【０１１１】
［比較例５］
基材層３に離型層４を形成しないこと以外は実施例５と同様にして粘着テープ中間体１１を作製し、両面粘着テープ２１を作製した。得られた両面粘着テープ２１を用いて、実施例５と同様にして薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製し、垂直剥離試験を行ったところ、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を垂直方向に分離しようとした際に、試験体数Ｎ＝１０の全ての薄膜基板ガラス３０が破損した。
【０１１２】
［比較例６］
基材層３に離型層４を形成しないこと、シリコーン粘着剤組成物Ａの代わりにアクリル粘着剤組成物Ｄを使用して粘着層Ａ２を形成し、熱硬化型アクリル粘着剤組成物Ｂの代わりにシリコーン粘着剤組成物Ａを使用して粘着層Ｂ５を形成すること以外は実施例１と同様にして粘着テープ中間体１１を作製し、両面粘着テープ２１を作製した。得られた両面粘着テープ２１を用いて、実施例１と同様にして薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１との積層体を作製し、垂直剥離試験を行ったところ、薄膜基板ガラス３０と補強用基盤ガラス３１を垂直方向に分離しようとした際に、試験体数Ｎ＝１０の全ての薄膜基板ガラス３０が破損した。
【０１１３】
実施例及び比較例の積層体の粘着テープに使用した樹脂組成物の種類及び積層体の垂直剥離試験の評価結果を表１〜４に総括した。
【０１１４】
［表１］
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【０１１５】
［表２］
2019056101.tif 000004
【０１１６】
［表３］
2019056101.tif 000005
【０１１７】
［表４］
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【産業上の利用可能性】
【０１１８】
本発明によれば、実質的に変形させることができない薄膜部材への加工処理時には薄膜部材と支持部材との間において、薄膜部材が支持部材からずれたり剥がれ落ちたりすることがない適切な密着力を有し、薄膜部材への加工処理後には薄膜部材を支持部材から破損および糊残りすることなく容易に分離することができる両面粘着テープ、及び薄膜部材と支持部材との積層体、及びその積層体の製造方法を提供することができる。なお、本実施例では、薄膜部材として、脆性を有し、強度の低い薄膜ガラスを適用した場合を例示したが、本発明は、実質的に変形させることができる材料から形成される部材の上に実質的に変形させることができない加工処理された部材が形成されている場合（例えば、プラスチックフィルム上に薄膜電極等が形成された部材）においても、適用できる。
【符号の説明】
【０１１９】
１、６…剥離ライナー、
２、Ａ２、５、Ｂ５…粘着層、
３…基材、
４…離型層、
７…薄膜部材、
８…支持部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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