(57)【要約】 【課題】検査速度を確保しつつコストを削減できるデータ収集装置およびデータ収集方法を提供すること。【解決手段】第１記憶装置、第１記憶装置より速い書込み速度を有する第２記憶装置、制御部を備え、制御部は、第２記憶装置が設計データを送信可能な空き容量を有し、第２記憶装置が設計データの送信順序及び送信先の記憶装置の情報を有する登録リストに登録されている場合、検査装置の外部から第１記憶装置への設計データの送信及び第１記憶装置から第２記憶装置への設計データの転送に優先して検査装置の外部から第２記憶装置に設計データを送信し、第１記憶装置に設計データが記憶され、第２記憶装置が設計データを転送可能な空き容量を有するが第２記憶装置が登録リストに登録されていない場合、第１記憶装置から第２記憶装置に設計データを転送して第１記憶装置から設計データを削除する。【選択図】図１
2019101221.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンが設けられた試料の設計データに基づいて生成された参照画像と前記試料を撮像した光学画像とを比較することで前記パターンの欠陥を検査する検査装置に備えられ、前記検査装置の外部から前記設計データを収集するデータ収集装置であって、
前記検査装置の外部から送信された前記設計データを記憶する第１記憶装置と、
前記第１記憶装置よりも速い書込み速度を有し、前記検査装置の外部から送信または前記第１記憶装置から転送された前記設計データを記憶し、当該記憶された設計データが前記参照画像の生成のために読み出される第２記憶装置と、
前記検査装置の外部から前記第１または第２記憶装置への前記設計データの送信および前記第１記憶装置から前記第２記憶装置への前記設計データの転送を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記第２記憶装置が前記設計データを送信可能な空き容量を有し、かつ、前記第２記憶装置が前記設計データの送信順序および送信先の記憶装置の情報を有する登録リストに登録されている場合に、前記検査装置の外部から前記第１記憶装置への前記設計データの送信および前記第１記憶装置から前記第２記憶装置への前記設計データの転送に優先して、前記検査装置の外部から前記第２記憶装置に前記設計データを送信し、
前記第１記憶装置に前記設計データが記憶され、かつ、前記第２記憶装置が前記設計データを転送可能な空き容量を有するが、前記第２記憶装置が前記登録リストに登録されていない場合に、前記第１記憶装置から前記第２記憶装置に前記設計データを転送して、前記第１記憶装置から前記設計データを削除する、データ収集装置。
【請求項２】
前記検査装置は、前記試料が載置されたステージの移動により、前記試料の検査領域が短冊状に仮想分割された複数のストライプに沿って前記試料に光源からの光を照射し、前記ストライプ毎に前記光学画像を取得して前記パターンの欠陥を検査し、
前記制御部は、
検査中の前記ストライプに対応する前記光学画像を取得するための前記ステージの移動が完了するまでの残り時間が閾値時間以上であり、かつ、前記第２記憶装置に対するデータの入出力量が閾値量以下である場合に、前記検査装置の外部から前記第２記憶装置に前記設計データを送信、もしくは前記第１記憶装置から前記第２記憶装置へ前記設計データを転送する、請求項１に記載のデータ収集装置。
【請求項３】
前記検査装置は、前記試料が載置されたステージの移動により、前記試料の検査領域が短冊状に仮想分割された複数のストライプに沿って前記試料に光源からの光を照射し、前記ストライプ毎に前記光学画像を取得して前記パターンの欠陥を検査し、
前記制御部は、
検査中の前記ストライプに対応する前記光学画像を取得するための前記ステージの移動が完了するまでの残り時間が閾値時間以上であり、かつ、前記第２記憶装置に対するデータの入出力量が閾値を超える場合に、前記参照画像の生成のための前記第２記憶装置からの前記設計データの読出しに劣後して、前記検査装置の外部から前記第２記憶装置に前記設計データを送信、もしくは前記第１記憶装置から前記第２記憶装置へ前記設計データを転送する、請求項１または２に記載のデータ収集装置。
【請求項４】
前記検査装置は、前記試料が載置されたステージの移動により、前記試料の検査領域が短冊状に仮想分割された複数のストライプに沿って前記試料に光源からの光を照射し、前記ストライプ毎に前記光学画像を取得して前記パターンの欠陥を検査し、
前記制御部は、
検査中の前記ストライプに対応する前記光学画像を取得するための前記ステージの移動が完了するまでの残り時間が閾値時間未満である場合に、前記検査装置の外部から前記第２記憶装置への前記設計データの送信および前記第１記憶装置から前記第２記憶装置への前記設計データの転送のうちの少なくとも一方を行わない、請求項１〜３のいずれか一項に記載のデータ収集装置。
【請求項５】
パターンが設けられた試料の設計データに基づいて生成された参照画像と前記試料を撮像した光学画像とを比較することで前記パターンの欠陥を検査する検査装置を用いて、前記検査装置の外部から前記設計データを収集するデータ収集方法であって、
前記検査装置は、
前記検査装置の外部から送信された前記設計データを記憶する第１記憶装置と、
前記第１記憶装置よりも速い書込み速度を有し、前記検査装置の外部から送信または前記第１記憶装置から転送された前記設計データを記憶し、当該記憶された設計データが前記参照画像の生成のために読み出される第２記憶装置と、を備え、
前記データ収集方法は、
前記検査装置の外部から前記第１または第２記憶装置への前記設計データの送信および前記第１記憶装置から前記第２記憶装置への前記設計データの転送を制御する工程を備え、
前記制御する工程は、
前記設計データの送信順序および送信先の記憶装置が登録された登録リストを確認する工程と、
前記第２記憶装置が前記設計データを送信可能な空き容量を有するか否かを判定する工程と、
前記第２記憶装置が前記設計データを送信可能な空き容量を有し、かつ、前記登録リストに前記第２記憶装置が登録されている場合に、前記検査装置の外部から前記第２記憶装置に前記設計データを送信する工程と、
前記第２記憶装置が前記設計データを送信可能な空き容量を有しない場合に、前記第１記憶装置が前記設計データを送信可能な空き容量を有するか否かを判定する工程と、
前記第１記憶装置が前記設計データを送信可能な空き容量を有し、かつ、前記登録リストに前記第１記憶装置が登録されている場合に、前記検査装置の外部から前記第１記憶装置に前記設計データを送信する工程と、
前記検査装置の外部から前記第１または第２記憶装置への前記設計データの送信後に、前記第１記憶装置に前記設計データが記憶されているか否かを判定する工程と、
前記第２記憶装置が前記設計データを転送可能な空き容量を有するか否かを判定する工程と、
前記第１記憶装置に前記設計データが記憶され、かつ、前記第２記憶装置が前記設計データを転送可能な空き容量を有するが、前記第２記憶装置が前記登録リストに登録されていない場合に、前記第１記憶装置から前記第２記憶装置に前記設計データを転送する工程と、
前記設計データの転送が正常完了した場合に、前記第１記憶装置から前記設計データを削除する工程と、を備える、データ収集方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、データ収集装置およびデータ収集方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、マスクに形成されたパターンの欠陥を検査するパターン検査装置においては、マスクの設計データに基づいて生成された参照画像と、マスクを撮像した光学画像とを比較することでパターンの欠陥を検査するＤ−ＤＢ(Die to Database)検査が行われている。
【０００３】
このようなパターン検査装置には、高速で検査を行うことが求められている。高速で検査を行うため、設計データを格納するパターン検査装置のディスクには、高速で設計データを読み出すことが求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−５４１２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、高速に設計データを読み出すディスクは高価であるため、検査速度を確保しつつコストを削減することが困難であるといった問題があった。
【０００６】
本発明の目的は、検査速度を確保しつつコストを削減することができるデータ収集装置およびデータ収集方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様であるデータ収集装置は、
パターンが設けられた試料の設計データに基づいて生成された参照画像と試料を撮像した光学画像とを比較することでパターンの欠陥を検査する検査装置に備えられ、検査装置の外部から設計データを収集するデータ収集装置であって、
検査装置の外部から送信された設計データを記憶する第１記憶装置と、
第１記憶装置よりも速い書込み速度を有し、検査装置の外部から送信または第１記憶装置から転送された設計データを記憶し、記憶された設計データが参照画像の生成のために読み出される第２記憶装置と、
検査装置の外部から第１または第２記憶装置への設計データの送信および第１記憶装置から第２記憶装置への設計データの転送を制御する制御部と、を備え、
制御部は、
第２記憶装置が設計データを送信可能な空き容量を有し、かつ、第２記憶装置が設計データの送信順序および送信先の記憶装置の情報を有する登録リストに登録されている場合に、検査装置の外部から第１記憶装置への設計データの送信および第１記憶装置から第２記憶装置への設計データの転送に優先して、検査装置の外部から第２記憶装置に設計データを送信し、
第１記憶装置に設計データが記憶され、かつ、第２記憶装置が設計データを転送可能な空き容量を有するが、第２記憶装置が登録リストに登録されていない場合に、第１記憶装置から第２記憶装置に設計データを転送して、第１記憶装置から設計データを削除する。
【０００８】
上述のデータ収集装置において、
検査装置は、試料が載置されたステージの移動により、試料の検査領域が短冊状に仮想分割された複数のストライプに沿って試料に光源からの光を照射し、ストライプ毎に光学画像を取得してパターンの欠陥を検査し、
制御部は、
検査中のストライプに対応する光学画像を取得するためのステージの移動が完了するまでの残り時間が閾値時間以上であり、かつ、第２記憶装置に対するデータの入出力量が閾値量以下である場合に、検査装置の外部から第２記憶装置に設計データを送信、もしくは第１記憶装置から第２記憶装置へ設計データを転送してもよい。
【０００９】
上述のデータ収集装置において、
検査装置は、試料が載置されたステージの移動により、試料の検査領域が短冊状に仮想分割された複数のストライプに沿って試料に光源からの光を照射し、ストライプ毎に光学画像を取得してパターンの欠陥を検査し、
制御部は、
検査中のストライプに対応する光学画像を取得するためのステージの移動が完了するまでの残り時間が閾値時間以上であり、かつ、第２記憶装置に対するデータの入出力量が閾値を超える場合に、参照画像の生成のための第２記憶装置からの設計データの読出しに劣後して、検査装置の外部から第２記憶装置に設計データを送信、もしくは第１記憶装置から第２記憶装置へ設計データを転送してもよい。
【００１０】
上述のデータ収集装置において、
検査装置は、試料が載置されたステージの移動により、試料の検査領域が短冊状に仮想分割された複数のストライプに沿って試料に光源からの光を照射し、ストライプ毎に光学画像を取得してパターンの欠陥を検査し、
制御部は、
検査中のストライプに対応する光学画像を取得するためのステージの移動が完了するまでの残り時間が閾値時間未満である場合に、検査装置の外部から第２記憶装置への設計データの送信および第１記憶装置から第２記憶装置への設計データの転送のうちの少なくとも一方を行わなくてもよい。
【００１１】
本発明の一態様であるデータ収集方法は、
パターンが設けられた試料の設計データに基づいて生成された参照画像と試料を撮像した光学画像とを比較することでパターンの欠陥を検査する検査装置を用いて、検査装置の外部から設計データを収集するデータ収集方法であって、
検査装置は、
検査装置の外部から送信された設計データを記憶する第１記憶装置と、
第１記憶装置よりも速い書込み速度を有し、検査装置の外部から送信または第１記憶装置から転送された設計データを記憶し、記憶された設計データが参照画像の生成のために読み出される第２記憶装置と、を備え、
データ収集方法は、
検査装置の外部から第１または第２記憶装置への設計データの送信および第１記憶装置から第２記憶装置への設計データの転送を制御する工程を備え、
制御する工程は、
設計データの送信順序および送信先の記憶装置が登録された登録リストを確認する工程と、
第２記憶装置が設計データを送信可能な空き容量を有するか否かを判定する工程と、
第２記憶装置が設計データを送信可能な空き容量を有し、かつ、登録リストに第２記憶装置が登録されている場合に、検査装置の外部から第２記憶装置に設計データを送信する工程と、
第２記憶装置が設計データを送信可能な空き容量を有しない場合に、第１記憶装置が設計データを送信可能な空き容量を有するか否かを判定する工程と、
第１記憶装置が設計データを送信可能な空き容量を有し、かつ、登録リストに第１記憶装置が登録されている場合に、検査装置の外部から第１記憶装置に設計データを送信する工程と、
検査装置の外部から第１または第２記憶装置への設計データの送信後に、第１記憶装置に設計データが記憶されているか否かを判定する工程と、
第２記憶装置が設計データを転送可能な空き容量を有するか否かを判定する工程と、
第１記憶装置に設計データが記憶され、かつ、第２記憶装置が設計データを転送可能な空き容量を有するが、第２記憶装置が登録リストに登録されていない場合に、第１記憶装置から第２記憶装置に設計データを転送する工程と、
設計データの転送が正常完了した場合に、第１記憶装置から設計データを削除する工程と、を備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、検査速度を確保しつつコストを削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施形態によるデータ収集装置を備えたパターン検査装置を示す図である。
【図２】第１の実施形態によるデータ収集方法を示すフローチャートである。
【図３】第１の実施形態によるパターン検査方法を示す斜視図である。
【図４】第１の実施形態によるデータ収集方法において、登録リストの一例を示す図である。
【図５】第２の実施形態によるデータ収集装置を備えたパターン検査装置を示す図である。
【図６】第２の実施形態によるデータ収集方法を示すフローチャートである。
【図７】図６に続く第２の実施形態によるデータ収集方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。実施形態は、本発明を限定するものではない。また、実施形態で参照する図面において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号または類似の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１５】
（第１の実施形態）
図１は、本発明に係る検査装置の一例として、第１の実施形態によるデータ収集装置３００を備えたパターン検査装置１を示す図である。図１のパターン検査装置１は、例えば、Ｄ−ＤＢ検査によって試料の一例であるマスク２に形成されたパターンの欠陥を検査するために用いることができる。
【００１６】
図１に示すように、パターン検査装置１は、光の進行方向順に、光源３と、偏光ビームスプリッタ４と、照明光学系５と、ステージの一例であるＸＹθテーブル６と、拡大光学系７と、フォトダイオードアレイ８とを備える。なお、偏光ビームスプリッタ４とＸＹθテーブル６との間に、光の偏光方向を変化させる波長板を設けてもよい。
【００１７】
光源３は、偏光ビームスプリッタ４に向けてレーザ光を出射する。偏光ビームスプリッタ４は、光源３からの光を照明光学系５に向けて反射する。照明光学系５は、偏光ビームスプリッタ４で反射された光をＸＹθテーブル６に向けて照射する。
【００１８】
ＸＹθテーブル６は、マスク２を載置可能なＸＹ平面６ａを有する。ＸＹθテーブル６は、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能かつＸＹ平面６ａに対して垂直なＺ軸回りに回転可能である。
【００１９】
ＸＹθテーブル６に載置されたマスク２は、照明光学系５から照射された光を反射する。このマスク２の反射光によって、マスク２が照明される。マスク２の反射光は、照明光学系５および偏向ビームスプリッタ４を透過した後、拡大光学系７に入射する。拡大光学系７は、入射したマスク２の反射光を、マスク２の光学画像としてフォトダイオードアレイ８に結像させる。フォトダイオードアレイ８は、マスク２の光学画像を光電変換する。光電変換されたマスク２の光学画像に基づいて、マスク２に形成されたパターンの欠陥が検査される。
【００２０】
また、図１に示すように、パターン検査装置１は、オートローダ９と、Ｘ軸モータ１０Ａ、Ｙ軸モータ１０Ｂおよびθ軸モータ１０Ｃと、レーザ測長システム１１と、Ｚセンサ１２と、フォーカス機構１３と、を備える。
【００２１】
オートローダ９は、ＸＹθテーブル６上にマスク２を自動搬送する。Ｘ軸モータ１０Ａ、Ｙ軸モータ１０Ｂおよびθ軸モータ１０Ｃは、それぞれ、ＸＹθテーブル６をＸ方向、Ｙ方向およびθ方向に移動させる。ＸＹθテーブル６を移動させることで、ＸＹθテーブル６上のマスク２に対して光源３の光がスキャン（照射）される。レーザ測長システム１１は、ＸＹθテーブル６のＸ方向およびＹ方向の位置を検出する。
【００２２】
Ｚセンサ１２は、パターン側のマスク２の表面であるマスク面の高さすなわちＺ方向の位置を検出する。Ｚセンサ１２は、例えば、マスク面に光を照射する投光器と、照射された光を受光する受光器とを備えていてもよい。
【００２３】
フォーカス機構１３は、照明光学系５の焦点をマスク面に合わせるフォーカス合わせを行う。フォーカス合わせは、例えば、Ｚセンサ１２で検出されたマスク面の高さに応じた移動量でＸＹθテーブル６をＺ方向に移動させることで行う。
【００２４】
また、図１に示すように、パターン検査装置１は、バス１４に接続された各種の回路を備える。具体的には、パターン検査装置１は、オートローダ制御回路１５と、テーブル制御回路１７と、オートフォーカス制御回路１８とを備える。また、パターン検査装置１は、位置回路２２と、展開回路２３と、参照回路２４と、比較回路２５とを備える。また、パターン検査装置１は、センサ回路１９を備えており、このセンサ回路１９は、フォトダイオードアレイ８と比較回路２５との間に接続されている。また、パターン検査装置１は、制御部の一例であるデータ送信判断回路３３を備えている。データ送信判断回路３３は、データ収集装置３００の一部を構成する。
【００２５】
オートローダ制御回路１５は、オートローダ９を制御することで、ＸＹθテーブル６上にマスク２を自動搬送する。
【００２６】
テーブル制御回路１７は、パターンの欠陥を検査すべきマスク２の検査領域２０１（図３参照）を複数の短冊状に仮想的に分割したストライプ２０２に沿って検査領域２０１に光源３からの光をスキャンする制御を行う。具体的には、テーブル制御回路１７は、ストライプ２０２に沿って検査領域２０１に光源３からの光がスキャンされるように、モータ１０Ａ〜１０Ｃを駆動制御してＸＹθテーブル６を移動させる。
【００２７】
オートフォーカス制御回路１８は、Ｚセンサ１２で検出されたマスク面の高さに応じてフォーカス機構１３を制御することで、光源３の光を自動的にマスク面に合焦させる。
【００２８】
センサ回路１９は、フォトダイオードアレイ８で光電変換された光学画像を取り込み、取り込まれた光学画像をＡ／Ｄ変換する。そして、センサ回路１９は、Ａ／Ｄ変換した光学画像を参照回路２４および比較回路２５に出力する。センサ回路１９は、例えば、ＴＤＩ(Time Delay Integration)センサの回路であってもよい。ＴＤＩセンサを用いることで、パターンを高精度に撮像できる。
【００２９】
レーザ測長システム１１は、ＸＹθテーブル６の移動位置を検出し、検出された移動位置を位置回路２２に出力する。位置回路２２は、レーザ測長システム１１から入力された移動位置に基づいて、ＸＹθテーブル６上でのマスク２の位置を検出する。そして、位置回路２２は、検出されたマスク２の位置を比較回路２５に出力する。
【００３０】
展開回路２３は、後述する第２記憶装置３２に収集された設計データを第２記憶装置３２から読み出し、読み出された設計データを２値または多値の画像データに変換する。そして、展開回路２３は、変換された画像データを参照回路２４に出力する。
【００３１】
参照回路２４は、展開回路２３から入力された画像データに適切なフィルタ処理を行うことで、マスク２の欠陥検査に用いる参照画像を生成する。そして、参照回路２４は、生成された参照画像を比較回路２５に出力する。
【００３２】
比較回路２５は、センサ回路１９から入力されたマスク２の光学画像と、参照回路２４から入力された参照画像との比較に基づいて、マスク２に形成されたパターンの欠陥を検査する。例えば、比較回路２５は、位置回路２２から入力された位置情報を用いながら、光学画像のパターンの各位置の線幅を測定し、測定された光学画像のパターンと、参照回路２４から入力された参照画像のパターンについて、両パターンの線幅や階調値（明るさ）を比較する。そして、比較回路２５は、例えば、光学画像のパターンの線幅と、参照画像のパターンの線幅との誤差をパターンの欠陥として検出する。
【００３３】
データ送信判断回路３３は、後述する外部記憶装置２００から第１記憶装置３１および第２記憶装置３２への設計データの送信の有無および第１記憶装置３１から第２記憶装置３２への設計データの転送の有無を判断（すなわち、判定）する。
【００３４】
また、図１に示すように、パターン検査装置１は、制御部の一例である制御計算機３０と、第１記憶装置３１と、第２記憶装置３２と、ＣＲＴ３４と、プリンタ３５とを備える。これらの構成部３０〜３５は、いずれもバス１４に接続されている。また、制御計算機３０と第１記憶装置３１との間には、パターン検査装置１の外部に位置する外部記憶装置２００が接続されている。外部記憶装置２００には、設計データが記憶されている。外部記憶装置２００は、制御計算機３０からの指令に応じて、外部記憶装置２００に記憶された設計データを第１記憶装置３１または第２記憶装置３２に送信する。
【００３５】
制御計算機３０、第１記憶装置３１および第２記憶装置３２は、データ送信判断回路３３とともにデータ収集装置３００を構成する。
【００３６】
第１記憶装置３１は、外部記憶装置２００から送信された設計データを記憶する。第１記憶装置３１は、例えば、磁気ディスク装置などであってもよい。
【００３７】
第２記憶装置３２は、第１記憶装置３１よりも速い書込み速度を有する。第２記憶装置３２は、更に、第１記憶装置３１よりも速い読出し速度を有していてもよい。第２記憶装置３２は、外部記憶装置２００から送信された設計データまたは第１記憶装置３１から転送された設計データを記憶する。既述したように、第２記憶装置３２に記憶された設計データは、参照画像の生成のために展開回路２３に読み出される。第２記憶装置３２は、例えば、ＳＳＤ(solid state drive)などの半導体メモリであってもよい。
【００３８】
制御計算機３０は、バス１４に接続された各構成部に対して、欠陥検査に関連する各種の制御や処理を実行する。ＣＲＴ３４は、欠陥検査に関連する各種の画像を表示する。プリンタ３５は、欠陥検査に関連する各種の情報を印刷する。
【００３９】
制御計算機３０は、データ送信判断回路３３とともに制御部として機能し、外部記憶装置２００から第１記憶装置３１または第２記憶装置３２への設計データの送信および第１記憶装置３１から第２記憶装置３２への設計データの転送を制御する。
【００４０】
具体的には、制御計算機３０は、第２記憶装置３２が設計データを送信可能な空き容量を有し、かつ、設計データの送信順序および送信先の記憶装置の情報を有する登録リスト（図４参照）に第２記憶装置３２が登録されている場合に、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２への設計データの送信を優先的に行う。より具体的には、制御計算機３０は、外部記憶装置２００から第１記憶装置３１への設計データの送信および第１記憶装置３１から第２記憶装置３２への設計データの転送に優先して、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信する。
【００４１】
さらに具体的には、データ送信判断回路３３は、第２記憶装置３２が設計データを送信可能な空き容量を有するか否か、また、登録リストに第２記憶装置３２が登録されているか否かを判断基準として、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２への設計データの送信の有無を判断する。第２記憶装置３２が設計データを送信可能な空き容量を有し、かつ、登録リストに第２記憶装置３２が登録されている場合、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信すると判断する。一方、第２記憶装置３２が設計データを送信可能な空き容量を有さず、または、登録リストに第２記憶装置３２が登録されていない場合、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信しないと判断する。
【００４２】
そして、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信すると判断された場合、制御計算機３０は、登録リストの送信順に、第２記憶装置３２を送信先とした設計データを外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に送信する。
【００４３】
このように、先ず、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信する条件が満足されているか否かを判断し、条件が満足されている場合に外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信する。これにより、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２への設計データの送信を優先的に行うことができる。参照画像の生成のための設計データの読出しが行われる第２記憶装置３２には、高速の検査を遅延させないためにすみやかに設計データを送信することが望ましい。第１の実施形態によれば、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２への設計データの送信を優先的に行うことで、検査速度を確保することができる。
【００４４】
一方、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信しないと判断した場合、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１が設計データを送信可能な空き容量を有するか否か、また、登録リストに第１記憶装置３１が登録されているか否かを判断基準として、外部記憶装置２００から第１記憶装置３１への設計データの送信の有無を判断する。第１記憶装置３１が設計データを送信可能な空き容量を有し、かつ、登録リストに第１記憶装置３１が登録されている場合、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第１記憶装置３１に設計データを送信すると判断する。一方、第１記憶装置３１が設計データを送信可能な空き容量を有さず、または、登録リストに第１記憶装置３１が登録されていない場合、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第１記憶装置３１に設計データを送信しないと判断する。
【００４５】
そして、外部記憶装置２００から第１記憶装置３１に設計データを送信すると判断された場合、制御計算機３０は、登録リストの送信順にしたがい、第１記憶装置３１を送信先とした設計データを外部記憶装置２００から第１記憶装置３１に送信する。
【００４６】
書込み速度が速い第２記憶装置３２と異なり、書込み速度が遅い第１記憶装置３１には、単位時間あたりに送信する設計データのデータ量を第２記憶装置３２の場合よりも制限してもよい。例えば、制御計算機３０は、第１記憶装置３１を送信先とした設計データのうち、登録リストの最上位に登録された設計データを第１記憶装置３１に送信してもよい。
【００４７】
第２記憶装置３２を送信先とした設計データと異なり、第１記憶装置３１を送信先として設計データは、参照画像の生成に早期に用いられないことが多い。このような緊急性が低い設計データは、書込み速度が速い高価な記憶装置に迅速に書込まずとも検査を遅延させない。第１の実施形態によれば、書込み速度が速い高価な第２記憶装置３２に加えて書込み速度が遅い安価な第１記憶装置３１を併用し、緊急性が低い設計データを第１記憶装置３１に記憶させることで、検査速度に影響を与えることなくコストを削減することができる。
【００４８】
上記構成に加えて、更に、第１の実施形態において、制御計算機３０は、第１記憶装置３１に設計データが記憶され、かつ、第２記憶装置３２が設計データを転送可能な空き容量を有するが、第２記憶装置３２が登録リストに登録されていない場合に、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送して、第１記憶装置３１から設計データを削除する。設計データの転送に失敗した場合にリトライできるようにするため、第１記憶装置３１からの設計データの削除は、転送が正常完了した場合に行うようにしてもよい。
【００４９】
具体的には、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データが優先的に送信され、外部記憶装置２００から第１記憶装置３１に設計データが送信された後、第１記憶装置３１に設計データが記憶されているか否か、第２記憶装置３２が設計データを転送可能な空き容量を有するか否か、また、第２記憶装置３２が登録リストに登録されているか否かを判断基準として、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２への設計データの転送の有無を判断する。第１記憶装置３１に設計データが記憶され、かつ、第２記憶装置３２が設計データを転送可能な空き容量を有するが、第２記憶装置３２が登録リストに登録されていない場合、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送すると判断する。一方、第１記憶装置３１に設計データが記憶されておらず、第２記憶装置３２が設計データを転送可能な空き容量を有さず、または、第２記憶装置３２が登録リストに登録されている場合、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送しないと判断する。
【００５０】
そして、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送すると判断された場合、制御計算機３０は、第１記憶装置３１に記憶された順に、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送する。そして、制御計算機３０は、転送済みの設計データを第１記憶装置３１から削除することで、第１記憶装置３１に新たな設計データを格納するための容量を確保する。
【００５１】
このような構成によれば、例えば、緊急性が低い設計データを、先ず書込み速度が遅い安価な第１記憶装置３１に一時的に保存しておき、第２記憶装置３２の空き容量を考慮しながら第２記憶装置３２に転送することで、時間経過に応じて第１記憶装置３１内の設計データの緊急性が高まることに対応することができる。
【００５２】
以上述べたように、第１の実施形態によるパターン検査装置１によれば、参照画像の生成に早期に用いられる緊急性が高い設計データを第２記憶装置３２に記憶させることができるので、緊急性が高い設計データに対する読み出しの迅速性を確保して検査速度を確保することができる。また、参照画像の生成に早期に用いられない緊急性が低い設計データを安価な第１記憶装置３１に記憶させて高価な第２記憶装置３２の容量を抑えることができるので、検査を遅延させずにコストを削減することができる。
【００５３】
（データ収集方法）
次に、図１のデータ収集装置３００を適用した第１の実施形態のデータ収集方法について説明する。図２は、第１の実施形態によるデータ収集方法を示すフローチャートである。図２のフローチャートは、必要に応じて繰り返される。図３は、第１の実施形態によるパターン検査方法を示す斜視図である。図３に示すように、マスク２上の検査領域２０１は、短冊状の複数のストライプ２０２に仮想的に分割されている。フォトダイオードアレイ８は、ＸＹθテーブル６の移動にともなって、マスク２をストライプ２０２毎に撮像する。このとき、図３の破線矢印に示す方向に各ストライプ２０２が連続的にスキャンされるように、テーブル制御回路１７はＸＹθテーブル６の動作を制御する。ＸＹθテーブル６を移動させながら、フォトダイオードアレイ８で撮像された光学画像に基づいてストライプ２０２上のパターンの欠陥を検査する。このようなパターンの欠陥の検査に用いる設計データを収集するため、第１の実施形態によるデータ収集方法を適用することができる。
【００５４】
図４は、第１の実施形態によるデータ収集方法において、登録リストの一例を示す図である。図４には、外部記憶装置２００に記憶されている設計データの登録リストが模式的に示されている。図４の例において、登録リストには、設計データの送信単位（図４における＃１〜＃６）毎に、送信順序および送信先記憶装置の情報がテーブル形式で対応付けられて登録されている。ユーザは、キーボード等の制御計算機３０に備えられたインターフェースを用いた入力操作によって、登録リスト（すなわち、リスト入力画面）に対して外部記憶装置２００に記憶されている設計データについての登録項目を登録することができる。例えば、数日以内の検査に用いられる緊急性が高い設計データについては、第２記憶装置３２を送信先として登録し、数日以後の検査に用いられる緊急性が低い設計データについては、第１記憶装置３１を送信先として登録することができる。なお、図４は、登録リストの一例を概念的に示したものに過ぎず、具体的な態様は図４と異なってよい。このような登録リストを用いて、第１の実施形態によるデータ収集方法を実施することができる。
【００５５】
すなわち、図２に示すように、先ず、データ送信判断回路３３は、登録リストを確認する（ステップＳ１）。
【００５６】
登録リストを確認した後、データ送信判断回路３３は、第２記憶装置３２の空き容量が、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２への設計データの送信を許容する許容値以上であるか否かを判定する（ステップＳ２）。
【００５７】
第２記憶装置３２の空き容量が許容値以上である場合（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、データ送信判断回路３３は、登録リストに第２記憶装置３２が登録されているか否かを判定する（ステップＳ３）。
【００５８】
一方、第２記憶装置３２の空き容量が許容値以上でない場合（ステップＳ２：Ｎｏ）、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信しないと判断する。この場合、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１の空き容量が、外部記憶装置２００から第１記憶装置３１への設計データの送信を許容する許容値以上であるか否かを判定する（ステップＳ５）。
【００５９】
登録リストに第２記憶装置３２が登録されている場合（ステップＳ３：Ｙｅｓ）、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信すると判断する。この場合、制御計算機３０は、登録リスト順に、第２記憶装置３２を送信先として設計データを外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に送信する（ステップＳ４）。
【００６０】
一方、登録リストに第２記憶装置３２が登録されていない場合（ステップＳ３：Ｎｏ）、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信しないと判断する。この場合、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１の空き容量が、外部記憶装置２００から第１記憶装置３１への設計データの送信を許容する許容値以上であるか否かを判定する（ステップＳ５）。
【００６１】
第１記憶装置３１の空き容量が許容値以上である場合（ステップＳ５：Ｙｅｓ）、データ送信判断回路３３は、登録リストに第１記憶装置３１が登録されているか否かを判定する（ステップＳ６）。
【００６２】
一方、第１記憶装置３１の空き容量が許容値以上でない場合（ステップＳ５：Ｎｏ）、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第１記憶装置３１に設計データを送信しないと判断する。この場合、制御計算機３０は、処理を終了する。
【００６３】
登録リストに第１記憶装置３１が登録されている場合（ステップＳ６：Ｙｅｓ）、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第１記憶装置３１に設計データを送信すると判断する。この場合、制御計算機３０は、第１記憶装置３１を送信先とした登録リスト中の最上位の設計データを外部記憶装置２００から第１記憶装置３１に送信する（ステップＳ７）。
【００６４】
一方、登録リストに第１記憶装置３１が登録されていない場合（ステップＳ６：Ｎｏ）、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第１記憶装置３１に設計データを送信しないと判断する。この場合、制御計算機３０は、処理を終了する。
【００６５】
外部記憶装置２００から第２記憶装置３２への設計データの送信（ステップＳ４）または外部記憶装置２００から第１記憶装置３１への設計データの送信（ステップＳ７）の後、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１に設計データが記憶されているか否かを判定する（ステップＳ８）。
【００６６】
第１記憶装置３１に設計データが記憶されている場合（ステップＳ８：Ｙｅｓ）、データは、登録リストに第２記憶装置３２が登録されているか否かを判定する（ステップＳ９）。
【００６７】
一方、第１記憶装置３１に設計データが記憶されていない場合（ステップＳ８：Ｎｏ）、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送しないと判断する。この場合、制御計算機３０は、登録リストの確認に移行する（ステップＳ１）。
【００６８】
登録リストに第２記憶装置３２が登録されている場合（ステップＳ９：Ｙｅｓ）、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送しないと判断する。この場合、データ送信判断回路３３は、第２記憶装置３２の空き容量が許容値以下であるか否かの判定に移行する（ステップＳ２）。
【００６９】
一方、登録リストに第２記憶装置３２が登録されていない場合（ステップＳ９：Ｎｏ）、データ送信判断回路３３は、第２記憶装置３２の空き容量が許容値以上であるか否かを判定する（ステップＳ１０）。
【００７０】
第２記憶装置３２の空き容量が許容値以上である場合（ステップＳ１０：Ｙｅｓ）、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送すると判断する。この場合、制御計算機３０は、第１記憶装置３１に記憶されている最古の設計データを第２記憶装置３２に転送し、転送された最古の設計データを第１記憶装置３１から削除する（ステップＳ１１）。この最古の設計データの削除は、第２記憶装置３２への最古の設計データの転送が正常完了した場合に行ってもよい。転送が正常完了しなかった場合、第１記憶装置３１に保持されている最古の設計データを再度転送すればよい。
【００７１】
一方、第２記憶装置３２の空き容量が許容値以上でない場合（ステップＳ１０：Ｎｏ）、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送しないと判断する。この場合、制御計算機３０は、登録リストの確認に移行する（ステップＳ１）。
【００７２】
第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送した後、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１に設計データが記憶されているか否かを判定する（ステップＳ１２）。
【００７３】
第１記憶装置３１に設計データが記憶されている場合（ステップＳ１２：Ｙｅｓ）、データは、登録リストに第２記憶装置３２が登録されているか否かの判定に移行する（ステップＳ９）。
【００７４】
一方、第１記憶装置３１に設計データが記憶されていない場合（ステップＳ１２：Ｎｏ）、データ送信判断回路３３は、登録リストの確認に移行する（ステップＳ１）。
【００７５】
以上述べたように、第１の実施形態によれば、書込み速度が速い高価な第２記憶装置３２と書込み速度が遅い安価な第１記憶装置３１との双方を用いることで、参照画像の生成に早期に用いられる緊急性が高い設計データを第２記憶装置３２に記憶させることができる。これにより、緊急性が高い設計データに対する読み出しの迅速性を確保して検査速度を確保することができる。また、参照画像の生成に早期に用いられない緊急性が低い設計データを安価な第１記憶装置３１に記憶させることができる。これにより、記憶装置３１、３２全体の容量を確保しつつ高価な第２記憶装置３２の容量を抑えることができるので、コストを削減することができる。すなわち、第１の実施形態によれば、検査速度を確保しつつコストを削減することができる。
【００７６】
（第２の実施形態）
次に、検査中のストライプ２０２に対するＸＹθテーブル６の移動完了までの残り時間と、第２記憶装置３２のＩ／Ｏとを考慮して設計データを収集する第２の実施形態について説明する。
【００７７】
図５は、第２の実施形態によるデータ収集装置３００を備えたパターン検査装置１を示す図である。
【００７８】
既述したように、第１の実施形態によるデータ収集装置３００は、制御計算機３０と、第１記憶装置３１と、第２記憶装置３２と、データ送信判断回路３３とを備える。これに対して、第２の実施形態によるデータ収集装置３００は、第１の実施形態の構成に加えて、更に、データＩ／Ｏ判断回路３６と、テーブル移動モニタリング回路３７とを備える。データＩ／Ｏ判断回路３６およびテーブル移動モニタリング回路３７は、制御計算機３０およびデータ送信判断回路３３とともに制御部として機能する。
【００７９】
既述したように、パターン検査装置１は、マスク２が搭載されたＸＹθテーブル６の移動により、マスク２の検査領域２０１が短冊状に仮想分割された複数のストライプ２０２に沿ってマスク２に光源３からの光を照射する。そして、パターン検査装置１は、ストライプ２０２毎に、光学画像を取得してパターンの欠陥を検査する。
【００８０】
第２の実施形態におけるデータ収集装置３００は、ストライプ２０２毎の検査に連動して、設計データの収集を行う。
【００８１】
具体的には、データＩ／Ｏ判断回路３６は、第２記憶装置３２に対するデータの入出力量の一例であるＩ／Ｏが閾値以下であるか否かを判断する。Ｉ／Ｏは、第２記憶装置３２に対して入出力する設計データのＩ／Ｏに限らず、ユーザのアクセス等によって第２記憶装置３２に対して入出力するデータも含めた全てのデータのＩ／Ｏである。例えば、データ送信判断回路３３は、ストライプ２０２毎のパターンの面積等に基づいて、ストライプ２０２毎にＩ／Ｏを判断してもよい。第２記憶装置３２のＩ／Ｏを考慮しながら第２記憶装置３２への設計データの送信または転送を制御することで、参照画像の生成のための第２記憶装置３２からの設計データの読出しが、第２記憶装置３２への設計データの送信または転送によって妨げられないようにすることができる。これにより、検査速度をより有効に確保することができる。
【００８２】
テーブル移動モニタリング回路３７は、検査中のストライプ２０２（以下、検査ストライプ）に対応する光学画像を取得するためのＸＹθテーブル６の移動が完了までの残り時間（以下、テーブル移動残り時間とも呼ぶ）が閾値時間以下であるか否かを判断する。例えば、テーブル移動モニタリング回路３７は、ＸＹθテーブル６を移動させるモータ１０Ａ、１０Ｂの回転量に基づいてテーブル移動残り時間を判断してもよい。テーブル移動残り時間を考慮しながら第２記憶装置３２への設計データの送信または転送を制御することで、第２記憶装置３２への設計データの送信または転送中に、検査ストライプの変更によって第２記憶装置３２のＩ／Ｏが変更されることを防止することができる。これにより、さらに確実に、参照画像の生成のための第２記憶装置３２からの設計データの読出しが、第２記憶装置３２への設計データの送信または転送によって妨げられないようにすることができるので、検査速度をさらに有効に確保することができる。
【００８３】
データ送信判断回路３３は、第２記憶装置３２が設計データを送信可能な空き容量を有し、かつ、登録リストに第２記憶装置３２が登録されている場合であって、テーブル移動残り時間が閾値時間以上かつ第２記憶装置３２に対するＩ／Ｏが閾値量以下である場合に、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信すると判断する。この判断に応じて、制御計算機３０は、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを優先的に送信する。
【００８４】
一方、データ送信判断回路３３は、第２記憶装置３２が設計データを送信可能な空き容量を有し、かつ、登録リストに第２記憶装置３２が登録されている場合であっても、テーブル移動残り時間が閾値時間未満である場合には、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信しないと判断する。この判断に応じて、制御計算機３０は、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信しない。
【００８５】
また、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１に設計データが記憶され、かつ、第２記憶装置３２が設計データを転送可能な空き容量を有するが、第２記憶装置３２が登録リストに登録されていない場合であって、テーブル移動残り時間が閾値時間以上かつ第２記憶装置３２に対するＩ／Ｏが閾値量以下である場合に、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送すると判断してもよい。この判断に応じて、制御計算機３０は、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送してもよい。
【００８６】
一方、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１に設計データが記憶され、かつ、第２記憶装置３２が設計データを転送可能な空き容量を有するが、第２記憶装置３２が登録リストに登録されていない場合であって、テーブル移動残り時間が閾値時間未満である場合には、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送しないと判断してもよい。この判断に応じて、制御計算機３０は、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送しないようにしてもよい。
【００８７】
ここで、第２記憶装置３２のＩ／Ｏが閾値以上である場合、第２記憶装置３２に対して、参照画像の生成のための設計データの読出し（すなわち、検査）が頻繁に行われている可能性が高い。もし、第２記憶装置３２のＩ／Ｏが閾値以上であるときに外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信または第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送する場合、この設計データの送信／転送が検査を妨害することになり、検査が遅延する虞がある。また、テーブル移動残り時間が閾値時間未満である場合、第２記憶装置３２への設計データの送信中に検査ストライプが変更される可能性が高い。Ｉ／Ｏは、ストライプ２０２毎に異なることが多いので、検査ストライプの変更によってＩ／Ｏが変更される可能性が高い。もし、テーブル移動残り時間が閾値時間未満であるときに外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信または第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送する場合、送信／転送中に検査ストライプの変更によってＩ／Ｏが増大することで、送信／転送が検査を妨害して検査が遅延する虞がある。
【００８８】
これに対して、第２の実施形態によれば、テーブル移動残り時間が閾値時間以上かつ第２記憶装置３２に対するＩ／Ｏが閾値量以下である場合に、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信または第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送することで、送信／転送が検査を妨害して検査が遅延することを有効に防止することができる。
【００８９】
また、データ送信判断回路３３は、第２記憶装置３２が設計データを送信可能な空き容量を有し、かつ、登録リストに第２記憶装置３２が登録されている場合であって、テーブル移動残り時間が閾値時間以上かつ第２記憶装置３２に対するＩ／Ｏが閾値量を超える場合に、参照画像の生成のための第２記憶装置３２からの設計データの読出しに劣後して、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信すると判断する。この判断に応じて、制御計算機３０は、参照画像の生成のための第２記憶装置３２からの設計データの読出しに劣後して、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信する。
【００９０】
また、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１に設計データが記憶され、かつ、第２記憶装置３２が設計データを転送可能な空き容量を有するが、第２記憶装置３２が登録リストに登録されていない場合であって、テーブル移動残り時間が閾値時間以上かつ第２記憶装置３２に対するＩ／Ｏが閾値量を超える場合に、参照画像の生成のための第２記憶装置３２からの設計データの読出しに劣後して、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送すると判断してもよい。この判断に応じて、制御計算機３０は、参照画像の生成のための第２記憶装置３２からの設計データの読出しに劣後して、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送してもよい。
【００９１】
このように、第２記憶装置３２からの設計データの読出しを待って外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信または第１記憶装置３１から第２記憶装置３２に設計データを転送することで、検査を遅延させずに緊急性が高い設計データまたは緊急性が高くなった設計データを可及的すみやかに第２記憶装置３２に送信または転送することができる。
【００９２】
（データ収集方法）
次に、図５のデータ収集装置３００を適用した第２の実施形態のデータ収集方法について、第１の実施形態との差異を中心に説明する。図６は、第２の実施形態によるデータ収集方法を示すフローチャートである。図７は、図６に続く第２の実施形態によるデータ収集方法を示すフローチャートである。なお、図７は、図２のステップＳ９〜ステップＳ１２の処理を紙面の都合上別ページに記載したものであり、図２と内容は同一である。
【００９３】
図６に示すように、第２の実施形態においては、登録リストに第２記憶装置３２が登録されている場合（ステップＳ３：Ｙｅｓ）、テーブル移動モニタリング回路３７は、テーブル移動残り時間が閾値時間以上であるか否かを判定する（ステップＳ１３）。
【００９４】
テーブル移動残り時間が閾値時間以上である場合（ステップＳ１３：Ｙｅｓ）、データＩ／Ｏ判断回路３６は、第２記憶装置３２のＩ／Ｏが閾値以下であるか否かを判定する（ステップＳ１４）。
【００９５】
一方、テーブル移動残り時間が閾値時間未満である場合（ステップＳ１３：Ｎｏ）、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信しないと判断する。この場合、データ送信判断回路３３は、第１記憶装置３１の空き容量が許容値以上であるか否かの判定に移行する（ステップＳ５）。
【００９６】
第２記憶装置３２のＩ／Ｏが閾値以下である場合（ステップＳ１４：Ｙｅｓ）、データ送信判断回路３３は、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信すると判断する。この判断に応じて、制御計算機３０は、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２への設計データの送信に移行する（ステップＳ４）。
【００９７】
一方、第２記憶装置３２のＩ／Ｏが閾値を超える場合（ステップＳ１４：Ｎｏ）、データ送信判断回路３３は、参照画像の生成のための第２記憶装置３２からの設計データの読出しに劣後して、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信すると判断する。この判断に応じて、制御計算機３０は、参照画像の生成のための第２記憶装置３２からの設計データの読出しの完了を待機する（ステップＳ１５）。設計データの読出しの完了を待機した後、制御計算機３０は、外部記憶装置２００から第２記憶装置３２への設計データの送信に移行する（ステップＳ４）。
【００９８】
なお、図７のステップＳ１０とステップＳ１１との間において、図６のステップＳ１３〜ステップＳ１５と同様の工程を実行してもよい。
【００９９】
以上述べたように、第２の実施形態によれば、第２記憶装置３２のＩ／Ｏおよびテーブル移動残り時間を考慮して外部記憶装置２００から第２記憶装置３２に設計データを送信することで、検査の遅延を有効に防止することができる。
【０１００】
なお、第１記憶装置３１から第２記憶装置３２への設計データの転送の有無を判断するために、テーブル移動残り時間および第２記憶装置３２のＩ／Ｏを考慮してもよい。
【０１０１】
データ収集装置３００の少なくとも一部は、ハードウェアで構成してもよいし、ソフトウェアで構成してもよい。ソフトウェアで構成する場合には、データ収集装置３００の少なくとも一部の機能を実現するプログラムをフレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体に収納し、コンピュータに読み込ませて実行させてもよい。記録媒体は、磁気ディスクや光ディスク等の着脱可能なものに限定されず、ハードディスク装置やメモリなどの固定型の記録媒体でもよい。
【０１０２】
上述の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【０１０３】
１  パターン検査装置
２  マスク
３００  データ収集装置
３０  制御計算機
３１  第１記憶装置
３２  第２記憶装置
３３  データ送信判断回路
２００  外部記憶装置
【図１】
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【図２】
2019101221.tif 000004
【図３】
2019101221.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2019101221.tif 000008
【図７】
2019101221.tif 000009