(57)【要約】【課題】接着剤の付与状態のモニタリングと位置合わせを効率的に行えるようにする。【解決手段】第１部材１０１と、第１部材１０１と接着剤１０３で接合される第２部材１０２とを備え、第１部材１０１には位置合わせ用マークとして貫通穴マーク１１１が設けられ、第２部材１０２には位置合わせ用マークとして第１マーク１２１と第２マーク１２２が設けられ、第１マーク１２１は、接合領域１０４内に配置された近傍に接着剤１０３が付与されている位置合わせ用マークであり、第２マーク１２２は、接合領域１０４外に配置された近傍に接着剤１０３が付与されていない位置合わせ用マークである。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材と、
前記第１部材と接着剤で接合された第２部材と、を備え、
前記第１部材及び前記第２部材には位置合わせ用マークが設けられ、
前記第１部材及び前記第２部材の少なくともいずれかの部材に設けられた前記位置合わせ用マークは、近傍に前記接着剤が付与されている第１マークと、近傍に前記接着剤が付与されていない第２マークとを含む
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１マーク及び前記第２マークはノズル配列方向の少なくとも一端部側に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１マーク及び前記第２マークはノズル配列方向において並んで配置されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１マーク及び前記第２マークはノズル配列方向と直交する方向において並んで配置されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第１マークと前記第２マークは同じ形状である。
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１マークは、前記接着剤が付与されていない領域と、前記接着剤が付与された領域とが同心状に配置されているマークである
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項８】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ユニット。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、請求項７若しくは８に記載の液体吐出ユニットを備えている
ことを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドとして、複数のヘッド構成部材を接着剤で接合するときの位置合わせ用マーク（アライメントマーク）を設けたものがある。
【０００３】
そして、例えば、互いに接合される第１の部品及び第２の部品の少なくとも一方に２種類の接着剤を塗布し、各部品を互いに対向するように第１の保持手段及び第２の保持手段で保持する工程と、各部品を互いに接触させた後に弱圧にて加圧し、基準となる一方の部品に対して他方の部品を接触及び加圧して各部品が互いに密着した状態でこの姿勢を保持し、各部品を接触させたまま各部品に設けられたアライメントマークに基づいて各部品の相対的な位置合わせを行い、位置合わせ後に各部品の密着状体を一旦解除した後に各部品を第１の接着剤を用いて強圧下で加圧接合し、強圧下で加圧接合された各部材を紫外線硬化型の第２の接着剤により仮固定し、各部品を第１及び第２の接着剤を介した状態で接合することが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２５４６１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、位置合わせ用マーク（アライメントマーク）を認識しながらヘッド構成部材を接着剤で接合する場合、接着剤の付与状態のモニタリングと位置合わせを効率的に行わなければならないという課題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、接着剤の付与状態のモニタリングと位置合わせを効率的に行えるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
第１部材と、
前記第１部材と接着剤で接合された第２部材と、を備え、
前記第１部材及び前記第２部材には位置合わせ用マークが設けられ、
前記第１部材及び前記第２部材の少なくともいずれかの部材に設けられた前記位置合わせ用マークは、近傍に前記接着剤が付与されている第１マークと、近傍に前記接着剤が付与されていない第２マークとを含む
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、接着剤の付与状態のモニタリングと位置合わせを効率的に行えるようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係る液体吐出ヘッドの第１実施形態のノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図２】図１の要部拡大断面説明図である。
【図３】同ヘッドノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【図４】本発明の第１実施形態における位置合わせ用マークの説明に供する斜視説明図である。
【図５】同実施形態における第１部材と第２部材の接着剤接合の一例の説明に供する斜視説明図である。
【図６】同実施形態における第１部材と第２部材の接着剤接合の他の例の説明に供する斜視説明図である。
【図７】本発明の第２実施形態における第２部材としての流路板の平面説明図である。
【図８】本発明の第３実施形態における第２部材の平面説明図である。
【図９】同じく第１マーク部分の拡大平面説明図である。
【図１０】同実施形態の作用説明に供する接着剤付与不足の場合の平面説明図である。
【図１１】同じく接着剤付与過剰の場合の平面説明図である。
【図１２】本発明の第４実施形態における第２部材の平面説明図である。
【図１３】本発明の第５実施形態における第２部材の平面説明図である。
【図１４】本発明の第６実施形態における第２部材の平面説明図である。
【図１５】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。
【図１６】同装置の要部側面説明図である。
【図１７】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図１８】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの第１実施形態について図１ないし図３を参照して説明する。図１は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図２は図１の要部拡大断面説明図、図３は同ヘッドノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【００１１】
液体吐出ヘッド１００は、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材である振動板部材３と、圧力発生素子である圧電素子１１と、保持基板５０と、ＦＰＣなどの配線部材６０と、共通液室部材７０と、カバー部材４５とを備えている。
【００１２】
ここで、流路板２、振動板部材３及び圧電素子１１で構成される部分がアクチュエータ基板２０となる。
【００１３】
ノズル板１には、液体を吐出する複数のノズル４が形成されている。ここでは、ノズル４を配列したノズル列を４列配置した構成としている。
【００１４】
流路板２は、ノズル板１及び振動板部材３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部８を形成している。
【００１５】
この液導入部８は振動板部材３の開口９と保持基板５０の流路となる開口部５１を介して共通液室部材７０で形成される共通液室１０に通じている。
【００１６】
振動板部材３は、個別液室６の壁面の一部を形成する変形可能な振動領域３０を形成している。そして、この振動板部材３の振動領域３０の個別液室６と反対側の面には、振動領域３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動領域３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。
【００１７】
圧電素子１１は、振動領域３０側から下部電極１３、圧電層（圧電体）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には絶縁膜２１が形成されている。
【００１８】
複数の圧電素子１１の共通電極となる下部電極１３は、共通配線１５を介して共通電極電源配線パターン２８に接続されている。なお、下部電極１３は、ノズル配列方向ですべての圧電素子１１に跨って形成される１つの電極層である。
【００１９】
また、圧電素子１１の個別電極となる上部電極１４は、個別配線１６を介して駆動回路部である駆動ＩＣ（以下、「ドライバＩＣ」という。）５００に接続されている。個別配線１６などは絶縁膜２２にて被覆されている。
【００２０】
ドライバＩＣ５００は、圧電素子列の列間の領域を覆うようにアクチュエータ基板２０にフリップチップボンディングなどの工法により実装されている。
【００２１】
アクチュエータ基板２０に搭載されたドライバＩＣ５００は、駆動波形（駆動信号）が供給される個別電極電源配線パターン２９と接続されている。
【００２２】
配線部材６０に設けられた配線が、ドライバＩＣ５００と電気的に接続されており、配線部材６０の他端側は装置本体側の制御部に接続される。
【００２３】
そして、アクチュエータ基板２０の振動板部材３側には、アクチュエータ基板２０上の圧電素子１１を覆っている保持基板５０が接着剤で接合されている。
【００２４】
保持基板５０には、共通液室１０と個別液室６側を通じる流路の一部となる開口部５１と、圧電素子１１を収容する凹部５２と、ドライバＩＣ５００を収容する開口部５３が設けられている。開口部５１は、ノズル配列方向に亘って延びるスリット状の貫通穴であり、ここでは共通液室１０の一部を構成している。
【００２５】
この保持基板５０は、アクチュエータ基板２０と共通液室部材７０との間に介在し、共通液室１０の壁面の一部を形成している。
【００２６】
共通液室部材７０は、各個別液室６に液体を供給する共通液室１０を形成する。なお、共通液室１０は４つのノズル列に対応してそれぞれ設けられ、外部から所要の色の液体が供給される。
【００２７】
共通液室部材７０には、ダンパ部材９０が接合されている。ダンパ部材９０は、共通液室１０の一部の壁面を形成する変形可能なダンパ９１と、ダンパ９１を補強するダンパプレート９２とを有している。
【００２８】
共通液室部材７０はノズル板１の外周部及び保持基板５０と接着剤で接合され、アクチュエータ基板２０及び保持基板５０を収容して、このヘッドのフレームを構成している。
【００２９】
そして、ノズル板１の周縁部及び共通液室部材７０の外周面の一部を覆うカバー部材４５を設けている。
【００３０】
この液体吐出ヘッド１００においては、ドライバＩＣ５００から圧電素子１１の上部電極１４と下部電極１３の間に電圧を与えることで、圧電層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域３０と平行な方向に収縮する。これにより、振動領域３０の下部電極１３側に引っ張り応力が発生し、振動領域３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液体が吐出される。
【００３１】
次に、本発明の第１実施形態における位置合わせ用マークと位置合わせについて図４を参照して説明する。図４は同説明に供する斜視説明図である。
【００３２】
ここでは、第１部材１０１と第２部材１０２とを接着剤１０３で接合する例で説明する。第１部材１０１及び第２部材１０２は、例えば、一方をノズル板１、他方をアクチュエータ基板２０とし、また、一方をアクチュエータ基板２０、他方を保持基板５０とし、また、一方をノズル板１、他方を流路板２とするが、これらの例に限るものではない。
【００３３】
第１部材１０１には位置合わせ用マークとして貫通穴マーク１１１が設けられている。貫通穴マーク１１１は、接着剤１０３で接合する接合領域１０４のノズル配列方向の両端部側にそれぞれ設けられている。
【００３４】
第２部材１０２には位置合わせ用マークとして第１マーク１２１と第２マーク１２２が設けられている。第１マーク１２１及び第２マーク１２２は、エッチングなどで形成したパターンである。
【００３５】
ここで、第１マーク１２１は、接合領域１０４内に配置された近傍に接着剤１０３が付与されている位置合わせ用マークである。第２マーク１２２は、接合領域１０４外に配置された近傍に接着剤１０３が付与されていない位置合わせ用マークである。
【００３６】
また、第１マーク１２１は、接合領域１０４のノズル配列方向の両端部側にそれぞれ設けられている。第２マーク１２２は、接合領域１０４外で、ノズル配列方向の一端部側に、第１マーク１２１と並んで設けられている。
【００３７】
ここで、第１マーク１２１と第２マーク１２２とをノズル配列方向の一端部に並べて配置することで、マークのレイアウトが容易になり、また、接合領域１０４となる接着剤１０３の付与領域と非付与領域１０５の制御が容易になる。
【００３８】
なお、接着剤１０３は薄膜印刷やスプレー塗布などで第２部材１０２に付与される。
【００３９】
次に、本実施形態における第１部材と第２部材の接着剤接合の一例について図５を参照して説明する。図５は同説明に供する斜視説明図である。
【００４０】
この例では、撮像装置２００によって第１部材１０１の貫通穴マーク１１１と第２部材１０２の第１マーク１２１とを同軸上で撮像して画像処理による画像認識を行いながら、第１部材１０１及び第２部材１０２を相対移動させて位置合わせを行う。その後、第１部材１０１と第２部材１０２とを加圧などして接着剤１０３で接合する。
【００４１】
次に、本実施形態における第１部材と第２部材の接着剤接合の他の例について図６を参照して説明する。図６は同説明に供する斜視説明図である。
【００４２】
ここでは、撮像装置２０１と撮像装置２０２の相互の位置関係を管理しておき、撮像装置２０１で第１部材１０１を撮像して画像認識し、撮像装置２０２で第２部材１０２を撮像して画像認識する。
【００４３】
そして、第１部材１０１の貫通穴マーク１１１と第２部材１０２の第１マーク１２１を目標位置に合わせることにより、間接的に第１部材１０１と第２部材１０２の位置合わせを行う。その後、第１部材１０１と第２部材１０２とを加圧などして接着剤１０３で接合する。
【００４４】
これらの例において、第１マーク１２１を近傍の接着剤１０３の付与状態を含めて基準マークとして、位置合わせを行って接合する接合装置に予め登録しておく。
【００４５】
そして、撮像装置２００又は２０２による第１マーク１２１の撮像結果と登録している基準マークとを比較することによって、接着剤１０３の付与状態を判別して、接着剤１０３の付与不足などの付与不良が生じているときにはエラー処理を行うことができる。
【００４６】
このように、近傍に接着剤１０３が付与された第１マーク１２１を有することで、第１マーク１２１を近傍の接着剤１０３の付与状態を含めて基準マークとして登録できる。これにより、マークの認識による位置合わせとともに、接着剤付与状態を認識可能となり、安定した歩留まりの確保と高い生産性を両立できるようになる。
【００４７】
また、本実施形態では、近傍に接着剤１０３が付与される第１マーク１２１とともに、近傍に接着剤１０３が付与されない第２マーク１２２を備えている。
【００４８】
そこで、第１マーク１２１の形状が例えば過剰な接着剤付与で変化している場合など、正常なマークの画像認識ができない場合などには、第２マーク１２２を使用して位置合わせすることが可能になる。
【００４９】
この場合には、第１マーク１２１と第２マーク１２２とのマーク間距離を予め管理しておき、第２マーク１２２を使用して位置合わせを行った後、第１部材１０１又は第２部材１０２をマーク間距離分だけオフセットさせることで、正しい位置に合わせることができる。
【００５０】
このように、接着剤の付与状態のモニタリングと位置合わせを効率的に行うことができるようになる。
【００５１】
次に、本発明の第２実施形態について図７を参照して説明する。図７は同実施形態における第２部材としての流路板の平面説明図である。
【００５２】
流路板２には個別液室６、流体抵抗部７、液導入部８などで構成される複数の個別流路６１の列が４列設けられている。第１マーク１２１は個別液室６１の列と隣接して配置している。
【００５３】
これにより、ノズル配列方向におけるヘッドサイズを短くすることができる。
【００５４】
また、第１マーク１２１と第２マーク１２２とは同じ形状としている。
【００５５】
これにより、画像認識する場合のマーク登録を容易に行うことができ、また、接合後の位置ずれ量の管理が容易となる。更に、同じ形状とすることで、マークを形成するプロセスを同じにでき、プロセスばらつきの影響を小さくできる。
【００５６】
次に、本発明の第３実施形態について図８及び図９を参照して説明する。図８は同実施形態における第２部材の平面説明図、図９は同じく第１マーク部分の拡大平面説明図である。
【００５７】
本実施形態でも、第２部材１０２に第１マーク１２１と第２マーク１２２とを配置している。
【００５８】
第１マーク１２１は、接着剤１０３が付与されていない領域１２１Ａ、接着剤１０３が付与されている領域１２１Ｂ、接着剤１０３が付与されていない領域１２１Ｃが同心状に配置されて構成され、領域１２１Ｃの外側領域にも接着剤１０３が付与されている。
【００５９】
そこで、図９に示すように、第１マーク１２１の外側領域の接着剤１０３も含めた領域をマーク画像（登録マーク）として接合装置に登録している。これにより、位置合わせだけでなく、接着剤付与状態も合わせて確認することができる。
【００６０】
この場合、接着剤１０３の付与状態（例えば印刷状態）は厚みによって色合いが変化するので、接着剤領域の第１マーク１２１の検出時は比較的感度を低くし、第２マーク１２２の検出時は感度を高くすることにより、適切に検査、確認することができる。
【００６１】
次に、本実施形態の作用について図１０及び図１１も参照して説明する。図１０は接着剤付与領域不足の場合の平面説明図、図１１は接着剤付与量過剰の場合の平面説明図である。
【００６２】
図１０に示すように、接着剤付与領域不足の場合には、登録マークとの不一致によりサーチエラーを発生させることが可能となり、不良発生を抑制することができる。
【００６３】
これにより、第１部材１０１がノズル板１である場合など、貫通穴マーク１１１から液体が内部に侵入する液体吐出ヘッドの発生を防ぐことができる。
【００６４】
また、図１１に示すように、接着剤付与量過剰の場合には、第１マーク１２１の形状が変化したことにより第１マーク１２１を認識できないので、サーチエラー発生となり、不良発生を抑制することができる。また、接着剤付与量過剰に対する許容度のある接着の場合には、前述したように、近傍に接着剤１０３が付与されていない第２マーク１２２を位置合わせ用に使用してリカバリーを行う。
【００６５】
この場合、前述したように、第１マーク１２１と第２マーク１２２とのマーク間距離を管理して第２マーク１２２で位置合わせ後にマーク間距離分をオフセットさせて対応する。このとき、マーク間距離を小さくすることによって、第１部材と第２部材とを相対移動させる距離が短くなり、接合装置の大型化を抑制できる。
【００６６】
次に、本発明の第４実施形態について図１２を参照して説明する。図１２は同実施形態における第２部材の平面説明図である。
【００６７】
本実施形態では、第２部材１０２のノズル配列方向の両端部に、それぞれ、第１マーク１２１と第２マーク１２２を、ノズル配列方向に沿って並べて配置している。この場合、第２部材１０２のノズル配列方向の両端部には第２マーク１２２の近傍に接着剤１０３が付与されない非付与領域１０５を設けている。
【００６８】
次に、本発明の第５実施形態について図１３を参照して説明する。図１３は同実施形態における第２部材の平面説明図である。
【００６９】
本実施形態では、第２部材１０２のノズル配列方向の両端部に、それぞれ、第１マーク１２１と第２マーク１２２を、ノズル配列方向に沿って並べて配置している。そして、第２部材１０２のノズル配列方向の両端部の第２マーク１２２の近傍の領域だけ接着剤１０３が付与されない非付与領域１０５とし、その外側には接着剤１０３を付与する付与領域（接合領域）１０４を設けている。
【００７０】
これにより、第４実施形態よりも第１部材１０１と第２部材１０２との接合領域が広くなって接合強度を向上することができる。
【００７１】
次に、本発明の第６実施形態について図１４を参照して説明する。図１４は同実施形態における第２部材の平面説明図である。
【００７２】
本実施形態では、第１マーク１２１と第２マーク１２２とは、ノズル配列方向と直交する方向に並べて配置している。そして、第２マーク１２２は第２部材１０２の角に配置している。
【００７３】
これによって、接着剤１０３の付与領域を広くして接合強度を向上し、また、第２部材１０２のノズル配列方向のサイズを短くすることができ、ヘッドサイズの小型化や接合装置の小型化を図れる。
【００７４】
なお、上記各実施形態においては第１マークと第２マークを第２部材に設けた例で説明しているが、第１部材に第１マークと第２マークを設けてもよく、また、第１部材及び第２部材の両方に第１マークと第２マークを設けてもよい。
【００７５】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１５及び図１６を参照して説明する。図１５は同装置の要部平面説明図、図１６は同装置の要部側面説明図である。
【００７６】
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【００７７】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【００７８】
液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
【００７９】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
【００８０】
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【００８１】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【００８２】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【００８３】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【００８４】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【００８５】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【００８６】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【００８７】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。
【００８８】
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【００８９】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１７を参照して説明する。図１７は同ユニットの要部平面説明図である。
【００９０】
この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。
【００９１】
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【００９２】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１８を参照して説明する。図１８は同ユニットの正面説明図である。
【００９３】
この液体吐出ユニットは、液体供給部材である流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【００９４】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【００９５】
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【００９６】
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
【００９７】
「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【００９８】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【００９９】
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【０１００】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【０１０１】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【０１０２】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【０１０３】
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
【０１０４】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【０１０５】
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【０１０６】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【０１０７】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【０１０８】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【０１０９】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【０１１０】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【０１１１】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【０１１２】
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【０１１３】
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【０１１４】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板部材
４  ノズル
６  個別液室
１０  共通液室
２０  アクチュエータ基板
５０  保持基板
１００  液体吐出ヘッド
１０１  第１部材
１０２  第２部材
１０３  接着剤
１０４  接合領域（付与領域）
１０５  非付与領域
４０３  キャリッジ
４０４  液体吐出ヘッド
４４０  液体吐出ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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