(57)【要約】【課題】  二流体ノズルを用いて噴霧を停止する際に液だれがなく、かつ噴霧を短時間で再開することができる噴霧装置を提供する。【解決手段】  複数の二流体ノズル１１と、気体流路１２と、液体流路１３と、気体供給源１４と、液体供給源１５と、気体用弁１６と、二流体ノズル１１毎に設置された液体用弁２１とを備え、噴霧を停止する際に、液体用弁２１が閉じた後に、気体用弁１６を閉じることで、液だれを防止することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体と気体とを混合して微粒化した液滴を噴霧する複数の二流体ノズルと、
前記二流体ノズルに前記気体を供給する気体流路と、
前記二流体ノズルに前記液体を供給する液体流路と、
前記気体流路に前記気体を供給する気体供給源と、
前記液体流路に前記液体を供給する液体供給源と、
前記二流体ノズル毎に１つずつ前記二流体ノズルの近傍に設置された複数の液体用弁と、
前記気体流路に設置された気体用弁と、
少なくとも前記気体用弁を開閉制御することにより、前記複数の液体用弁の開閉を介して噴霧の開始と停止とを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、噴霧を停止する際に、前記液体用弁を閉じた後に、前記気体用弁を閉じるように開閉制御する、噴霧装置。
【請求項２】
前記制御部の制御の下に、噴霧を開始するとき、前記気体用弁を開けて前記気体を前記二流体ノズルに供給した後、前記液体用弁を開ける一方、噴霧を停止するとき、前記液体用弁を閉じた後に、前記気体用弁を閉じる、請求項１に記載の噴霧装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記気体用弁及び前記液体用弁をそれぞれ開閉制御し、
前記液体用弁が、非通電時に閉じ、かつ、通電時に開く、二方向電磁弁である、請求項１又は２に記載の噴霧装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記気体用弁を開閉制御し、
前記液体用弁が、前記気体の圧力により開閉される二方向気体作動弁であり、
前記二流体ノズル近傍の前記気体流路を分岐して前記二方向気体作動弁に接続された作動気体流路をさらに備えて、
前記液体用弁が、前記作動気体流路を介して前記気体の圧力が加わらないときに閉じ、かつ、前記作動気体流路を介して前記気体の圧力が加わるときに開く、請求項１又は２に記載の噴霧装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記気体用弁を開閉制御し、
前記液体用弁が、前記気体の圧力と前記液体の圧力とにより開閉される三方向気体作動弁であり、
前記二流体ノズル近傍の前記気体流路を分岐して前記三方向気体作動弁に接続された作動気体流路と、前記二流体ノズル近傍の前記液体流路を分岐して前記三方向気体作動弁に接続された補助気体流路とをさらに備えて、
前記液体用弁が、前記作動気体流路を介して前記気体の圧力が加わらないときに閉じ、かつ、前記作動気体流路を介して前記気体の圧力が加わるときに開くとともに、前記液体用弁を閉じたのち、前記二流体ノズルと前記補助気体流路とを接続して、前記液体用弁と前記二流体ノズルとの間の前記液体流路に存在する液体を、前記補助気体流路からの前記気体で二流体ノズル側に排出する、請求項１又は２に記載の噴霧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体によって液体を微粒化する二流体ノズル型式の噴霧装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体を微粒化する噴霧装置は、空間又は物質の冷却装置、加湿装置、薬液散布装置、燃焼装置、又は、粉塵対策装置等に広く用いられている。噴霧装置に用いられる微粒化ノズルを大別すると、液体を微細な孔より噴出して微粒化する一流体ノズルと、空気、窒素、又は蒸気等の気体を用い、液体を微粒化する二流体ノズルとに分類される。これらの一流体ノズルと二流体ノズルとでは、一般的に、二流体ノズルの方が、気体の持つエネルギーを用いて液体を微粒化するため、一流体ノズルよりも微粒化性能に優れるという特徴がある。
【０００３】
二流体ノズルを用いた噴霧装置の例としては、例えば、特許文献１に記載された噴霧装置がある。特許文献１に記載された噴霧装置は、図６に示すように、圧縮機ＣＰと第１の電磁弁４２１を含む圧縮空気供給系Ａと、ポンプＰＰと第２の電磁弁４２２を含む加圧水供給系Ｗと、二流体ノズル４９と、加圧純水を加圧水供給系Ｗから外部に排出する際に開放し、それ以外は閉止状態の第３の弁例えば電磁弁４２３を含む開放系（排水系）Ｄを備えている。
【０００４】
そして、二流体ノズル４９の噴霧を停止する際に、第１の電磁弁４２１及び第２の電磁弁４２２を閉止した状態で、加圧水供給系Ｗからの加圧水及び圧縮空気供給系Ａからの圧縮空気の供給を停止すると共に、第３の電磁弁４２３を開放し、加圧水供給系Ｗの配管内の加圧水をサイフォンの原理で引き込むことにより、二流体ノズル４９からの液だれを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１６−１５３１２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記従来の構成では、第１の電磁弁４２１及び第２の電磁弁４２２を閉止した状態で、加圧水供給系Ｗからの加圧水及び圧縮空気供給系Ａからの圧縮空気の供給を停止すると共に、第３の電磁弁４２３を開放し、加圧水供給系Ｗの配管内の加圧水をサイフォンの原理で引き込んでいるので、広い空間を加湿する噴霧装置等で二流体ノズル４９と電磁弁４２２との間に長い配管を持つ場合、噴霧を停止した後に、噴霧を再開するときに加圧水供給系Ｗの配管内を加圧水で満たす必要があり、噴霧の再開に時間を要するという課題を有している。また、長い配管を持つ場合に、瞬断（すなわち、瞬停）などで電源からの電力供給が絶たれてしまったときに、二流体ノズル４９への気体の供給が停止するとともに、配管内の加圧水の圧力が開放されるのに時間がかかるため、二流体ノズル４９から加圧水が噴出するという課題を有している。
【０００７】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、二流体ノズルを用いた噴霧装置が噴霧を停止する際に液だれがなく、かつ噴霧を短時間で再開することができる噴霧装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の１つの態様にかかる噴霧装置は、
液体と気体とを混合して微粒化した液滴を噴霧する複数の二流体ノズルと、
前記二流体ノズルに前記気体を供給する気体流路と、
前記二流体ノズルに前記液体を供給する液体流路と、
前記気体流路に前記気体を供給する気体供給源と、
前記液体流路に前記液体を供給する液体供給源と、
前記二流体ノズル毎に１つずつ前記二流体ノズルの近傍に設置された複数の液体用弁と、
前記気体流路に設置された気体用弁と、
少なくとも前記気体用弁を開閉制御することにより、前記複数の液体用弁の開閉を介して噴霧の開始と停止とを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、噴霧を停止する際に、前記液体用弁を閉じた後に、前記気体用弁を閉じるように開閉制御する。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように、本発明の前記態様にかかる噴霧装置によれば、前記液体用弁が前記二流体ノズルの近傍に設置されており、かつ、噴霧停止時には、液体用弁が閉じているため、噴霧を停止する際に液だれがない。また、噴霧を停止する際に、液体用弁が閉じて液体用弁が液体流路内の液体を保持するので、噴霧を短時間で再開することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態１における噴霧装置の構成図
【図２】本発明の実施の形態１における二流体ノズルの切断部端面図
【図３】本発明の実施の形態１における二流体ノズルの図２の３−３線での断面図
【図４】本発明の実施の形態２における噴霧装置の構成図
【図５】本発明の実施の形態３における噴霧装置の構成図
【図６】特許文献１に記載された従来の噴霧装置の構成図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１２】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における噴霧装置の構成図である。図１において、二流体ノズル１１と、気体流路１２と、液体流路１３と、気体供給源１４と、液体供給源１５と液体用弁２１と、気体用弁１６と、制御部３１とで噴霧装置を構成している。
【００１３】
気体供給源１４は、気体流路１２を通じて、複数の二流体ノズル１１に気体を供給する。
【００１４】
液体供給源１５は、液体流路１３を通じて、複数の二流体ノズル１１に液体を供給する。
【００１５】
二流体ノズル１１にそれぞれ供給された気体と液体とは、二流体ノズル１１で混合され、液体が微粒化される。微流化された液滴と気体とは、二流体ノズル１１から噴霧される。
【００１６】
二流体ノズル１１としては、圧縮空気等の気体と加圧した液体とをノズルに供給し、ノズル内部で気体と液体とを混合して、液体を微粒化する内部混合型のノズルを用いることができる。この二流体ノズル１１の具体例については後述する。
【００１７】
気体流路１２と液体流路１３としては、それぞれ、鋼管又はステンレス管などの金属配管又は樹脂チューブなどを用いることができる。
【００１８】
気体供給源１４としては、例えば０．１〜１ＭＰａの圧力の圧縮気体を気体流路１２に供給できるコンプレッサ、ポンプ、又は、ブロワなどを用いることができ、圧力調整器を介して所定の圧力で気体を気体流路１２に供給できるものが良い。
【００１９】
液体供給源１５としては、例えば０．１〜１ＭＰａの圧力で液体を液体流路１３に供給できるポンプを用いることができ、圧力調整器を介して所定の圧力で液体を液体流路１３に供給できるものが良い。また、液体供給源１５としては、圧力容器内の液体を、圧縮空気等を用いて所定の圧力で加圧して、液体を供給できる加圧タンクを用いても良い。
【００２０】
気体供給源１４と、気体供給源１４に気体流路１２上で最も近い二流体ノズル１１との間の気体流路１２に、気体用弁１６は設置されている。気体用弁１６は、制御部３１と制御配線３２とに接続されて制御され、制御部３１からの通電及び非通電で開閉し、気体供給源１４から気体流路１２を介しての二流体ノズル１１への気体の供給を開始及び停止する。
【００２１】
二流体ノズル１１と液体流路１３との間に液体用弁２１が設置されている。液体用弁２１は、制御部３１と制御配線３２とで接続されて制御され、制御部３１からの通電及び非通電で開閉し、液体供給源１５から液体流路１３を介しての二流体ノズル１１への液体の供給を開始及び停止する。
【００２２】
気体用弁１６及び液体用弁２１としては、それぞれ、二方向電磁弁を用いることができ、非通電時に弁が閉じ、かつ、通電時に弁が開く、ノーマルクローズのものが良い。
【００２３】
気体を用いて液体を微粒化噴霧する二流体ノズル１１の例において、前記気体としては、例えば、空気、窒素、酸素、又は、不活性ガス等が挙げられ、使用の目的に応じて適宜選定可能である。また、前記液体としては、例えば、水、オゾン水、殺菌及び除菌機能を有する薬液、塗料、又は、燃料油等が挙げられ、使用の目的に応じて適宜選定可能である。
【００２４】
図２は、本発明の実施の形態１における二流体ノズル１１を示す切断端面図である。以下、この二流体ノズル１１の構成について図２を参照しながら説明する。
【００２５】
二流体ノズル１１は、二流体ノズル本体部１１０ａと、内蓋部１１３と、外蓋部１１４とを少なくとも備えている。内蓋部１１３と外蓋部１１４とで気液混合部１１５を構成している。二流体ノズル１１は、さらに、二流体ノズル蓋固定部１１７を備えている。
【００２６】
二流体ノズル本体部１１０ａは、円柱状部材の中心部に軸方向沿いに配置された液体流路１１１と、液体流路１１１の周囲に間隔をおいて軸方向沿いに配置された円筒状の気体流路１１２とがそれぞれ形成されている。液体流路１１１と気体流路１１２とは、二流体ノズル本体部１１０ａの一部として中央部に位置する円筒部１１０ｂで区切られている。液体流路１１１は、先端側のみを図示しており、後端の図示しない液体供給口は、例えば、水供給管を介して、液槽に接続されたポンプなどに接続されている。気体流路１１２も、先端側のみを図示しており、後端の図示しない気体供給口は、例えば、気体供給管を介して、空気圧縮機からなる空圧源などに接続されている。
【００２７】
円筒部１１０ｂの先端は、円筒部１１０ｂ以外の二流体ノズル本体部１１０ａより先端側に少し突出し、その先端に内蓋部１１３が固定されている。
【００２８】
内蓋部１１３は、二流体ノズル本体部１１０ａの先端に配置され、液体流路１１１の開口を覆いかつ平らな内側端面１１３ａを有する断面略Ｃ字形状をなしている。内蓋部１１３は、円筒部１１０ｂの端面と内蓋部１１３の内側端面１１３ａの内面との間には、円板状の外形の第１隙間１２２が形成されている。内蓋部１１３の内側端面１１３ａの外周部の１カ所には、内側端面１１３ａを軸方向に貫通する液体流入口１１８が形成されている。すなわち、液体流入口１１８は、気液混合部１１５の外周壁面近傍の上流側平坦面である内蓋部１１３の内側端面１１３ａに位置しており、液体流路１１１と気液混合部１１５とを連通させている。
【００２９】
外蓋部１１４は、二流体ノズル本体部１１０ａの先端に配置され、内蓋部１１３を覆うとともに、気体流路１１２の開口を覆いかつ内蓋部１１３の内側端面１１３ａに対向する平らな外側端面１１４ａを有する断面略Ω形状をなしている。外蓋部１１４は、内蓋部１１３との間の側部では、所定間隔の円筒状の外形の第２隙間１２３をあけて覆うとともに、内蓋部１１３との間の端部では、所定間隔の円板状の外形の空間の気液混合部１１５を隙間として形成しつつ内蓋部１１３を覆うように、二流体ノズル本体部１１０ａの端面と二流体ノズル蓋固定部１１７との間に挟持されて固定されている。なお、二流体ノズル蓋固定部１１７を無くして、外蓋部１１４が、直接、二流体ノズル本体部１１０ａの端面に固定されるようにしてもよい。
【００３０】
外蓋部１１４と内蓋部１１３との間において所定間隔の円板状の外形の気液混合部１１５を確実に形成するため、外蓋部１１４の外側端面１１４ａの内面に円環状の凸部１２４を形成して、外蓋部１１４の内面と内蓋部１１３の内側端面１１３ａとの間に強制的に隙間として気液混合部１１５が配置形成できるようにしている。円環状の凸部１２４は、外蓋部１１４の外側端面１１４ａの内面に設ける代わりに、内蓋部１１３の内側端面１１３ａの外面に設けても良い。このように構成される気液混合部１１５は、気体流路１１２を流れる気体流と液体流路１１１を流れる液体流とを混合するためのものである。
【００３１】
また、気液混合部１１５の側部において、円環状の凸部１２４の一部を径方向に切り欠いて、気体流路１１２と気液混合部１１５とを連通させる気体流入口１１９を形成している。よって、気体流入口１１９は、液体流入口１１８から流入する液体流の流入方向に対して、気体流入口１１９から流入する気体流の流入方向が交差するように配置されている。気体流入口１１９は、二流体ノズル本体部１１０ａの中心（中心軸１２７）に対して液体流入口１１８とは１８０度位相を異にした、液体流入口１１８に対向する位置に位置する。さらに、外蓋部１１４の外側端面１１４ａの外面の中央には、円筒部が突出して固定され、軸方向に外側端面１１４ａ及び円筒部を貫通した噴出口１１６ａを有する噴出部１１６を形成している。噴出口１１６ａは、液体流路１１１と同一中心軸１２７上に配置されている。これに対して、液体流入口１１８は、この中心軸１２７から外れた位置に位置している。
【００３２】
よって、気液混合部１１５は、円環状の凸部１２４と内蓋部１１３と外蓋部１１４とで囲まれて形成されており、軸方向沿いに内蓋部１１３を貫通した液体流入口１１８と、軸方向とは交差する方向沿いに円環状の凸部１２４を切り欠いた気体流入口１１９と、軸方向沿いに外蓋部１１４を貫通した噴出口１１６ａとに連通している。
【００３３】
このような構成において、二流体ノズル１１に供給された液体は、二流体ノズル本体部１１０ａに対して、図示しない液体供給口から装置先端側に液体流路１１１を流れて液体流となり、その液体流は、第１隙間１２２と液体流入口１１８とを通って、気液混合部１１５に供給される。また、二流体ノズル１１に供給された気体は、二流体ノズル本体部１１０ａに対して、図示しない気体供給口から装置先端側に気体流路１１２を流れて気体流となり、その気体流は、第２隙間１２３と気体流入口１１９とを通って、気液混合部１１５に供給される。
【００３４】
気液混合部１１５に対して気体流と液体流とが供給されると、気液混合部１１５内で互いに混合され、液体が微粒化された後に、外蓋部１１４に設けられた噴出部１１６の噴出口１１６ａから、混合されて微粒化された液体を外側に噴出する。
【００３５】
以下、気液混合部１１５での微粒化の機構について、図３を参照しながら説明する。液体流路１１１を流れてきた液体流は、第１隙間１２２を通り、内蓋部１１３に設けられた液体流入口１１８を通り、図３に示すように、気液混合部１１５の円環状の凸部１２４の近傍より、液体流が内蓋部１１３の内側端面１１３ａと平行かつ噴出部１１６の方向へ供給する。
【００３６】
一方、液体流入口１１８から気液混合部１１５に供給された液体流に対して、液体流入口１１８の対向する位置に位置する気体流入口１１９を通って気液混合部１１５に供給された気体が、気液混合部１１５内で液体に衝突する。このように衝突することで、液体は外蓋部１１４の外側端面１１４ａに押し広げられ、薄い膜状になり外側端面１１４ａを流れる。さらに、この状態から外側端面１１４ａを凸部１２４の周方向に流れることにより、薄い膜状からさらに細かな液滴へと変化する。さらに、この液滴を含む気液混合流を、気液混合部１１５の外蓋部１１４側の外側端面１１４ａの内面である壁面に沿って、周回及び撹拌することで、液滴をさらに微粒化することができ、より粒径の小さな液体を噴出口１１６ａから噴霧することが可能である。
【００３７】
より具体的には、気液混合部１１５は直径８．０ｍｍ、高さ２．０ｍｍであり、噴出部１１６は噴出口１１６ａは直径１．５ｍｍ、長さ２．０ｍｍ、液体流入口１１８は直径０．７ｍｍ、気体流入口１１９は矩形であり、幅１．０ｍｍ、高さ１．０ｍｍの二流体ノズルである。
【００３８】
この二流体ノズルに対し、気体の例として圧縮空気を０．２ＭＰａ（ゲージ圧）の圧力で供給し、液体の例として水を０．１５ＭＰａ（ゲージ圧）の圧力で供給した。この条件で微粒化した水のザウター平均粒径をレーザー回折法にて評価を行った。レーザー回折法の測定距離は二流体ノズルの先端から３００ｍｍの位置であり、ザウター平均粒径は１０．０μｍとなった。
【００３９】
前記実施の形態１にかかる二流体ノズル１１によれば、内蓋部１１３と外蓋部１１４との間に設けられた気液混合部１１５で、液体流入口１１８から流入する液体と気体流入口１１９から流入する気体とが向かい合って衝突するとともに、円環状凸部１２４に沿って周回及び撹拌して液体が微粒化し、微粒化した液体を噴出部１１６から噴出することができる。この結果、気化が早くかつ濡れ等を感じない粒径の小さな液体を噴霧可能な二流体ノズル１１を提供することができる。より具体的には、気化が早くかつ濡れ等を感じないような小さな粒径の例として１０μｍ以下の粒径の液体を噴霧することができる二流体ノズル型式の二流体ノズル１１を提供することができる。
【００４０】
前記噴霧装置において、各二流体ノズル１１の噴霧の開始は、制御部３１の制御の下に、各気体用弁１６を開けて気体を各二流体ノズル１１に供給した後に、各液体用弁２１を開けることにより行う。すなわち、各気体用弁１６を開けて気体を各二流体ノズル１１に供給した後、各気体用弁１６から各二流体ノズル１１に至る気体流路１２内の気体圧力が上昇して、各二流体ノズル１１から噴出する気体流量が安定した後、各液体用弁２１を開けるのが好ましい。このとき、各気体用弁１６を開けてから各液体用弁２１を開けるまでの時間は、気体流路１２の長さと流路径とによって異なる。例えば、気体流路１２の長さが短く、流路径が小さい場合には、１秒程度の短時間で安定する一方、気体流路１２の長さが長く（例えば３０ｍ）、流路径が大きい（例えば内径１６ｍｍ）場合には、３秒程度で安定する。気体流路１２の長さがより長く、流路径がより大きくなれば、時間はもっと長くなると考えられる。
【００４１】
各二流体ノズル１１の噴霧の停止は、制御部３１の制御の下に、各液体用弁２１を閉じた後に、各気体用弁１６を閉じることにより行う。すなわち、各液体用弁２１を閉じて、各二流体ノズル１１への液体の供給が止まれば、すぐに、各気体用弁１６を閉じればよい。各気体用弁１６を閉じると、気体流路１２内の圧力が低下するとともに、各二流体ノズル１１から噴出する気体流量も低下し、気体流路１２内の圧力が大気圧と同じになると、各二流体ノズル１１からの気体の噴出が止まる。各気体用弁１６を閉じてから気体の噴出が止まるまでの時間も、気体流路１２の長さと流路径とに依存する。
【００４２】
かかる構成によれば、１つの二流体ノズル１１の近傍に１つ設置された液体用弁２１を閉じることで、液体用弁２１と液体供給源１５との間の液体流路１３内の液体の圧力を二流体ノズル１１から遮断することにより、二流体ノズル１１からの液だれを防止することができる。ここで、液体用弁２１は、二流体ノズル１１に近ければ近いほど、液だれ防止には良い。
【００４３】
また、二流体ノズル１１近傍の液体流路１３に設置された液体用弁２１は、噴霧停止時に液体用弁２１を閉じることで、液体用弁２１と液体供給源１５との間の液体流路１３内の液体の圧力を保持することができ、二流体ノズル１１の噴霧を短時間で再開することができる。
【００４４】
また、瞬断（すなわち瞬停）などで電力供給が絶たれても、二流体ノズル１１毎に設置された液体用弁２１が非通電状態となることで閉じて、液体流路１３内の液体の圧力を二流体ノズル１１から遮断するため、二流体ノズル１１からの液体の噴出を防ぐことができる。
【００４５】
（実施の形態２）
図４は、本発明の実施の形態２における噴霧装置の構成図である。図４において、図１と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【００４６】
図４に示すように、制御部３１で電気的に制御される液体用弁２１の代わりに、気体流路１２を流れる気体の圧力で作動する液体用弁２１ａを使用するようにしている。この液体用弁２１ａは、二流体ノズル１１毎にそれらの近傍に設置されている。二流体ノズル１１近傍の気体流路１２から分岐した作動気体流路２２は、液体用弁２１ａに接続している。
【００４７】
気体流路１２を流れる気体の圧力で作動する液体用弁２１ａとしては、作動圧力が例えば０．１〜０．３Ｍｐａの間で弁が開閉する二方向気体作動弁を用いることができる。この二方向気体作動弁では、作動気体流路２２を介して、二方向気体作動弁に気体の圧力が加わらないときに二方向気体作動弁が閉じ、かつ、二方向気体作動弁に気体の圧力が加わるときに二方向気体作動弁が開く、ノーマルクローズのものが良い。
【００４８】
二流体ノズル１１の噴霧の開始は、制御部３１の制御の下に気体用弁１６を開けて気体を気体流路１２を介して二流体ノズル１１に供給するとともに、気体流路１２を介して各作動気体流路２２にも気体を供給して気体の圧力を加え、液体用弁２１ａを開いて行う。二流体ノズル１１の噴霧の停止は、制御部３１の制御の下に気体用弁１６を閉じて、液体用弁２１ａへの気体の圧力を低下させ、液体用弁２１ａを閉じることにより行う。
【００４９】
かかる構成によれば、二流体ノズル１１毎に設置された液体用弁２１ａへの制御配線３２が不要であり、噴霧装置の設置を簡便に行うことができる。また、二流体ノズル１１の噴霧の開始と停止とを気体用弁１６の開閉のみで行うことができ、噴霧装置の制御を容易に行うことができる。
【００５０】
また、実施の形態１と同様に、噴霧を停止する際に液だれがなく、かつ噴霧を短時間で再開することができる。
【００５１】
また、瞬断（瞬停）などで電力供給が絶たれても、二流体ノズル１１毎に設置された液体用弁２１ａに作動気体流路２２を介して加わる気体の圧力が低下することで液体用弁２１ａが閉じて、液体流路１３内の液体の圧力を二流体ノズル１１から遮断するため、二流体ノズル１１からの液体の噴出を防ぐことができる。
【００５２】
（実施の形態３）
図５は、本発明の実施の形態３における噴霧装置の構成図である。図５において、図４と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【００５３】
図５において、液体用弁２１ｂとしては、液体用弁２１，２１ａの代わりに、作動圧力が例えば０．１〜０．３Ｍｐａの間で弁が切り換わる三方向気体作動弁を用いることができる。三方向気体作動弁は、気体流路１２を流れる気体の圧力で作動する。二流体ノズル１１近傍の気体流路１２から分岐した作動気体流路２２は、液体用弁２１ｂに接続している。また、二流体ノズル１１近傍の気体流路１２から分岐した補助気体流路２７は、液体用弁２１ｂに接続している。
【００５４】
この三方向気体作動弁は、制御部３１の制御の下に、作動気体流路２２を介して気体の圧力が三方向気体作動弁に加わるときに液体流路１３から二流体ノズル１１へ液体が供給され、作動気体流路２２を介して気体の圧力が三方向気体作動弁に加わらないときに気体流路１２から二流体ノズル１１へ気体が供給されるように三方向気体作動弁が切り換わるものが良い。
【００５５】
かかる構成によれば、二流体ノズル１１の噴霧を停止する際に、液体用弁２１ｂを閉じたのち、二流体ノズル１１と補助気体流路２７とを接続して、液体用弁２１ｂと二流体ノズル１１との間の液体流路１３に存在する液体を、補助気体流路２７からの気体で二流体ノズル１１側に噴き切ることができ、二流体ノズル１１での液だれをより完全に防止することができる。
【００５６】
また、実施の形態２と同様に、噴霧を停止する際に液だれがなく、かつ噴霧を短時間で再開することができ、かつ瞬断（瞬停）などで電力供給が絶たれても二流体ノズル１１からの液体の噴出を防ぐことができる。
【００５７】
なお、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明の前記態様にかかる噴霧装置は、噴霧を停止する際に液だれがなく、かつ噴霧を短時間で再開することができ、空間又は物質の冷却、加湿、薬液散布、燃焼、又は、粉塵対策等に広く用いることが可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１１  二流体ノズル
１２  気体流路
１３  液体流路
１４  気体供給源
１５  液体供給源
１６  気体用弁
２１，２１ａ，２１ｂ  液体用弁
２２  作動気体流路
２７  補助気体流路
３１  制御部
３２  制御配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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