(57)【要約】【課題】支持基板の捻じれ歪みによる特性誤差が抑制された物理量センサを実現する。【解決手段】支持基板１１と、支持基板１１に部分的に接続された固定部材２０と、検出部６０を有する可動部３０と、固定部材２０と可動部３０とを接続する支持部材４３とを備える物理量センサにおいて、固定部材２０は、支持基板１１に接続された固定部２１と、固定部２１を挟んで両側から延設され、支持基板１１から浮遊した状態とされた浮遊部２２と、により構成されている。そして、可動部３０は、支持部材４３を介して、主として浮遊部２２により支持されている。これにより、支持基板１１に捻じれる方向の歪みが生じたとしても、浮遊部２２および可動部３０にはこの捻じれ歪みが伝搬せず、特性誤差が抑制される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物理量が印加されると、該物理量に応じた信号を出力する物理量センサであって、
一面（１１ａ）を有する支持基板（１１）と、
前記一面側で前記支持基板に部分的に固定されている固定部材（２０）と、
駆動錘（３３ 、３４）と、検出錘（３５、３６）と、検出部（６０）と、を有してなる可動部（３０）と、
前記駆動錘を振動させる駆動部（５０）と、を備え、
前記検出部は、前記駆動錘を駆動振動させているときに前記物理量が印加されると、該物理量の印加に伴う前記検出錘の移動に基づいて電気出力を発生させ、
前記固定部材は、前記支持基板に接続された固定部（２１）、および前記固定部を挟んだ両側に前記固定部から延設された浮遊部（２２）により構成され、
前記浮遊部は、前記一面に対する法線方向において、前記支持基板と隙間を隔てて配置され、浮遊した状態とされており、
前記可動部は、少なくとも前記浮遊部のうち前記固定部を挟んだ両端側の部分を介して支持されている物理量センサ。
【請求項２】
前記浮遊部が前記固定部から延設された方向を延設方向として、
前記浮遊部は、前記法線方向から見て、前記可動部側の部分の前記延設方向における幅が、前記可動部と反対側の部分の前記延設方向における幅よりも大きい請求項１に記載の物理量センサ。
【請求項３】
前記浮遊部に支持部材（４３）を介して支持されると共に、前記駆動錘を連結する駆動梁（４２）をさらに有し、
前記固定部材は、２つ備えられることで一対とされると共に、前記法線方向から見て、前記可動部を挟んだ両側それぞれに配置され、
前記検出錘は、２つ備えられることで一対とされ、
前記駆動錘は、前記検出錘のうちの１つの周囲を囲み、かつ、検出梁（４１）を介して前記検出錘と連結される一対の内側駆動錘（３３、３４）と、一対の前記内側駆動錘を挟んだ両側それぞれに配置される外側駆動錘（３１、３２）と、を備える構成とされており、
前記駆動梁は、前記内側駆動錘と前記外側駆動錘とを連結しており、
前記駆動部は、前記内側駆動錘と前記外側駆動錘とを互いに逆方向に振動させる請求項１に記載の物理量センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、バネに支持された錘が物理量の印加に伴って変位することに基づき、その変位量から印加された物理量を検出するバネマス系の物理量センサが知られている。この種の物理量センサとしては、例えば、特許文献１に記載のものがある。
【０００３】
特許文献１に記載の発明は、振動型角速度センサなどに適用され、基板に支持された固定部および固定電極と、固定部にバネ（梁部）を介して支持され、錘、可動用電極および検出用電極を備える可動部と、を有してなる。この可動部は、基板と隙間を隔てて配置されると共に、複数の錘と梁とを有し、所定の間隔で対向配置された複数の錘がその両端において梁により連結された梯子状の構造、いわゆるラダー構造とされている。
【０００４】
この物理量センサは、物理量の印加に伴って梁に支持された錘および検出用電極が変位することで、固定電極と検出用電極との間隔が変わり、これらの間に構成される容量の変化に基づいて、物理量を検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−６２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の物理量センサでは、可動部が複数の梁を介して固定部に支持されているため、固定部が接続されている基板に捻じる方向の歪み（以下「捻じれ歪み」という）が生じると、可動部にこの歪みが伝わり、物理量の検出誤差が生じてしまう。
【０００７】
具体的には、基板に捻じれ歪みが生じると、基板の変位に引きずられて固定部も変位し、固定部に梁を介して支持された可動部も基板と同様に捻じれた状態となる。このように可動部が捻じれた状態では、物理量が印加されても検出部分に当該物理量による影響が正確に伝わらず、検出に誤差が生じてしまい、物理量センサの特性誤差が生じる。
【０００８】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、基板に捻じれ歪みが生じた場合であっても、特性誤差の発生が抑制された物理量センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の物理量センサは、物理量が印加されると、該物理量に応じた信号を出力する物理量センサであって、一面（１１ａ）を有する支持基板（１１）と、一面側で支持基板に部分的に固定されている固定部材（２０）と、駆動錘（３３、３４）と、検出錘（３５、３６）と、検出部（６０）と、を有してなる可動部（３０）と、駆動錘を振動させる駆動部（５０）と、を備える。このような構成において、検出部は、駆動錘を駆動振動させているときに物理量が印加されると、該物理量の印加に伴う検出錘の移動に基づいて電気出力を発生させ、固定部材は、支持基板に接続された固定部（２１）、および固定部を挟んだ両側に固定部から延設された浮遊部（２２）により構成され、浮遊部は、一面に対する法線方向において、支持基板と隙間を隔てて配置され、浮遊した状態とされており、可動部は、少なくとも浮遊部のうち固定部を挟んだ両端側の部分を介して支持されている。
【００１０】
これにより、検出部を備える可動部が、基板に固定された固定部材のうち該基板から隙間を隔てて配置された浮遊部を介して支持された構造となる。そのため、基板に捻じれ歪みが生じても、従来に比べて、基板の捻じれ歪みに伴う可動部の捻じれ歪みが低減され、特性誤差が抑制された物理量センサとなる。
【００１１】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係の一例を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態の振動型角速度センサを示す平面模式図である。
【図２】図１中に示すII-II間の断面構成を示す概略断面図である。
【図３】図１の振動型角速度センサの基本動作時の様子を示した模式図である。
【図４】図１の基本動作中に、当該振動型角速度センサに角速度が印加された時の様子を示した模式図である。
【図５Ａ】従来の振動型角速度センサにおいて、基板に捻じれ歪みが生じた状態を示す模式図である。
【図５Ｂ】第１実施形態の振動型角速度センサにおいて、基板に捻じれ歪みが生じた状態を示す模式図である。
【図６】第２実施形態の振動型角速度センサを示す平面模式図である。
【図７】図６の振動型角速度センサの基本動作時の様子を示した模式図である。
【図８】図７の基本動作中に、当該振動型角速度センサに角速度が印加された時の様子を示した模式図である。
【図９】図８における第１検出梁の変位の様子を示した拡大図である。
【図１０】第３実施形態の振動型角速度センサを示す平面模式図である。
【図１１】固定部材の他の形態例を示す平面模式図である。
【図１２】固定部材の他の形態例を示す概略断面図である。
【図１３】固定部材の他の形態例を示す平面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
【００１４】
（第１実施形態）
第１実施形態の物理量センサとして、振動型角速度センサ、すなわちジャイロセンサに適用された例について、図１を参照して述べる。図１では、構成を分かり易くするため、後述する固定部材２０を構成する固定部２１と浮遊部２２との境界部分を便宜的に破線で示している。
【００１５】
なお、以降の説明の簡略化のため、図１に示すように、図１の紙面左右方向を「ｘ軸方向」と、該紙面平面においてｘ軸方向に対して垂直な方向を「ｙ軸方向」と、ｘｙ平面に対して垂直な方向を「ｚ軸方向」と称する。
【００１６】
本実施形態の振動型角速度センサは、角速度を検出するためのセンサであり、例えば、車両の上下方向に平行な中心線周りの回転角速度の検出に用いられる。この場合、本実施形態の振動型角速度センサは、図１の紙面に対する法線方向が車両の上下方向と一致するようにして車両に搭載される。なお、本実施形態の振動型角速度センサは、勿論、車両用以外の用途にも適用され得る。
【００１７】
本実施形態の振動型角速度センサは、図１に示すように、板状の基板１０の一面側に形成されている。基板１０は、支持基板１１と半導体層１２とで犠牲層となる埋込酸化膜１３を挟み込んだ構造とされたＳＯＩ（Silicon on insulator）基板にて構成されている。このようなセンサ構造は、半導体層１２側をセンサ構造体のパターンにエッチングしたのち埋込酸化膜を部分的に除去し、センサ構造体の一部がリリースされた状態にすることで構成される。
【００１８】
半導体層１２は、固定部材２０、可動部３０および梁部４０にパターニングされている。固定部材２０は、少なくともその裏面の一部に埋込酸化膜が残されており、支持基板１１からリリースされることなく、埋込酸化膜を介して支持基板１１の一面１１ａ上に部分的に固定された状態とされている。可動部３０および梁部４０は、振動型角速度センサにおける振動子を構成するものである。可動部３０は、その裏面側の埋込酸化膜が除去されており、支持基板１１からリリースされた状態とされている。梁部４０は、可動部３０を支持すると共に、角速度検出を行うために可動部３０をｘ軸方向およびｙ軸方向において変位させるものである。駆動部５０および検出部６０は、埋込酸化膜を介して支持基板１１に固定された固定部分と、該固定部分に接続されると共に、埋込酸化膜が除去されて支持基板１１からリリースされた電極と、を有してなる。駆動部５０は、可動部３０を駆動させるのに用いられる。検出部６０は、可動部３０を駆動部５０により駆動させた状態で外力が印加された際に、その外力を検出するものである。以下、これら固定部材２０、可動部３０、梁部４０、駆動部５０および検出部６０について順に説明する。
【００１９】
固定部材２０は、図１に示すように、２つ備えられることで一対とされており、ｘ軸方向に沿って並べられ、可動部３０を挟んで対向配置されると共に、可動部３０が支持部材４３を介して接続されている。固定部材２０は、上面視にて、例えば長方形状とされ、固定部２１および浮遊部２２にて構成されている。
【００２０】
固定部２１は、図２に示すように、埋込酸化膜１３を介して支持基板１１に接続され、支持基板１１に固定されている。固定部２１には、図１に示すように、可動部３０を支持する複数の支持部材４３のうちの一部が接続されている。
【００２１】
浮遊部２２は、支持基板１１に捻じれ歪みが生じた際に、この歪みが可動部３０に伝搬するのを遮断するものであり、本実施形態では、図１に示すように、上面視にて、固定部２１を挟んだ両端側からｘ軸方向に対して平行な方向に沿って延設されている。浮遊部２２は、本実施形態では、例えば埋込酸化膜１３がエッチングにより除去され、支持基板１１との接続から解放されることで、図２に示すように、支持基板１１との間に隙間が存在した状態、すなわち浮遊した状態とされている。つまり、浮遊部２２は、支持基板１１の一面１１ａに対する法線方向（以下「一面法線方向」という）において、支持基板１１から浮遊した状態とされている。なお、浮遊部２２による可動部３０への捻じれ歪みの伝搬抑制については、後述する。
【００２２】
浮遊部２２には、図１に示すように、残りの支持部材４３が接続されると共に、浮遊部２２の厚み方向において貫通する貫通孔２２ａが複数形成されている。貫通孔２２ａは、犠牲層となる埋込酸化膜１３をエッチングで除去する場合に、固定部材２０のうち浮遊部２２となる部分の直下に存在する埋込酸化膜１３を効率的に除去するために設けられるものであり、例えばドライエッチングなどにより形成される。貫通孔２２ａの数、形状や配置については、任意である。
【００２３】
可動部３０は、角速度の印加に応じて変位する部分であり、図１に示すように、外側駆動錘３１、３２と内側駆動錘３３、３４および検出錘３５、３６とを有した構成とされている。可動部３０は、外側駆動錘３１、検出錘３５を備える内側駆動錘３３、検出錘３６を備える内側駆動錘３４および外側駆動錘３２がこの順にｘ軸方向に沿って並べられたレイアウトとされている。つまり、可動部３０は、検出錘３５、３６を内部に備えた２つの内側駆動錘３３、３４が内側に並べられていると共に、これら２つの内側駆動錘３３、３４を挟み込むように両外側にさらに外側駆動錘３１、３２が１つずつ配置された構造とされている。
【００２４】
外側駆動錘３１、３２は、ｙ軸方向に延設されている。外側駆動錘３１は、内側駆動錘３３と対向配置されている。外側駆動錘３２は、内側駆動錘３４と対向配置されている。これら外側駆動錘３１、３２は、質量部として機能し、梁部４０に含まれる各種梁よりも太くされ、後述する駆動梁４２および駆動部５０による駆動振動を行う際の振動方向であるｙ軸方向に移動可能とされている。外側駆動錘３１、３２は、図１に示すように、ｙ軸方向に沿った辺のうち内側駆動錘３３、３４側の辺に櫛歯状の駆動用可動電極３１ａ、３２ａが形成されている。
【００２５】
駆動用可動電極３１ａは、後述する駆動部５０のうち外側駆動錘３１側の辺に形成された櫛歯状の駆動用固定電極５２と距離を隔てて配置されている。駆動用可動電極３１ａのうちｙ軸方向に沿って延設された部分は、図１に示すように、駆動用固定電極５２のうちｙ軸方向に沿って延設された部分と互い違いになるように配置され、駆動用固定電極５２に電圧が印加されると、静電気力が生じる。外側駆動錘３１は、この静電気力の作用によりｙ軸方向に沿って駆動振動する。
【００２６】
駆動用可動電極３２ａは、図１に示すように、駆動部５０のうち外側駆動錘３２側の辺に形成された櫛歯状の駆動用固定電極５４と距離を隔てて配置されている。駆動用可動電極３２ａと駆動用固定電極５４との配置関係は、駆動用可動電極３１ａと駆動用固定電極５２との配置関係と同様であるため、説明を割愛する。外側駆動錘３２は、駆動用固定電極５４に電圧が印加されると、ｙ軸方向に沿って駆動振動する。
【００２７】
内側駆動錘３３、３４は、図１に示すように、上面視にて四角形状の枠体形状とされ、検出錘３５、３６のうち１つの周囲を囲んでいる。これら内側駆動錘３３、３４は、質量部として機能し、梁部４０に含まれる各種梁よりも太くされ、ｙ軸方向に移動可能とされている。四角形状で構成された内側駆動錘３３、３４は、図１に示すように、相対する二辺がそれぞれｘ軸方向およびｙ軸方向に平行となる配置とされている。内側駆動錘３３、３４は、ｙ軸方向に平行とされた二辺のうちの一辺が外側駆動錘３１、３２と対向配置され、もう一辺が内側駆動錘３３、３４の他方と対向配置されている。内側駆動錘３３、３４は、図１に示すように、ｙ軸方向に平行とされた辺のうち外側駆動錘３１、３２側の辺に櫛歯状の駆動用可動電極３３ａ、３４ａが形成されている。
【００２８】
駆動用可動電極３３ａは、駆動部５０のうち内側駆動錘３３側の辺に形成された駆動用固定電極５２と距離を隔てて配置されている。駆動用可動電極３３ａのうちｙ軸方向に沿って延設された部分は、図１に示すように、駆動用固定電極５２のうちｙ軸方向に沿って延設された部分と互い違いになるように配置され、駆動用固定電極５２に電圧が印加されると、静電気力が生じる。内側駆動錘３３は、この静電気力の作用によりｙ軸方向に沿って駆動振動する。
【００２９】
駆動用可動電極３４ａは、駆動部５０のうち内側駆動錘３４側の辺に形成された駆動用固定電極５４と距離を隔てて配置されている。駆動用可動電極３２ａと駆動用固定電極５４との配置関係は、駆動用可動電極３３ａと駆動用固定電極５２との配置関係と同様であるため、説明を割愛する。内側駆動錘３４は、駆動用固定電極５４に電圧が印加されると、ｙ軸方向に沿って駆動振動する。
【００３０】
検出錘３５、３６は、図１に示すように、上面視にて、例えば四角形枠体状とされており、梁部４０のうち後述する検出梁４１を介して内側駆動錘３３、３４の内壁面に支持されている。検出錘３５、３６は、駆動錘３１〜３４と同様に、質量部として機能し、駆動振動によって内側駆動錘３３、３４と共にｙ軸方向に移動させられるが、角速度印加時にはｘ軸方向に移動させられる。
【００３１】
検出錘３５、３６は、例えば、図１に示すように、その内壁面のうちｘ軸方向に平行とされた辺に検出用可動電極３５ａ、３６ａが形成されている。検出用可動電極３５ａ、３６ａは、ｙ軸方向に沿って延設されると共に、検出部６０のうち後述する検出用固定電極６２、６４と距離を隔てて配置されている。
【００３２】
検出用可動電極３５ａは、検出用基部６１の外壁面のうちｘ軸方向に沿った辺にｙ軸方向に沿って延設された検出用固定電極６２と互い違いになるように配置されている。検出用可動電極３６ａは、検出用基部６３の外壁面のうちｘ軸方向に沿った辺にｙ軸方向に沿って延設された検出用固定電極６４と互い違いになるように配置されている。
【００３３】
梁部４０は、図１に示すように、検出梁４１、駆動梁４２および支持部材４３を有した構成とされている。
【００３４】
検出梁４１は、図１に示すように、駆動錘３１〜３４の振動方向であるｙ軸方向に沿って延設された直線状梁であり、内側駆動錘３３、３４の内壁面のうちｘ軸方向に平行とされた辺と検出錘３５、３６の外壁面のうちｘ軸方向に平行とされた辺とを接続している。検出梁４１は、駆動振動時における振動方向であるｙ軸方向を長手方向とする配置とされており、角速度が印加された場合などにおいて検出梁４１が振動方向に対して交差する方向であるｘ軸方向へ変位できる。この検出梁４１のｘ軸方向への変位により、検出錘３５、３６のｘ軸方向への移動が可能となっている。
【００３５】
駆動梁４２は、図１に示すように、外側駆動錘３１、３２および内側駆動錘３３、３４を連結すると共に、これら外側駆動錘３１、３２および内側駆動錘３３、３４のｙ軸方向への移動を可能とするものである。具体的には、駆動梁４２は、一方の外側駆動錘３１、一方の内側駆動錘３３、他方の内側駆動錘３４および他方の外側駆動錘３２の順番に並べられた駆動錘３１〜３４を連結している。つまり、駆動錘３１〜３４がｘ軸方向に沿って並べて配置され、これらがｙ軸方向での両端において一対の駆動梁４２により挟まれつつ、駆動梁４２により連結されたラダー構造とされている。
【００３６】
より具体的には、駆動梁４２は、ｙ軸方向の幅が所定寸法とされた直線状梁である。駆動梁４２は、図１に示すように、ｙ軸方向において、外側駆動錘３１、３２および内側駆動錘３３、３４を挟んだ両側に一本ずつ配置されており、それぞれ、外側駆動錘３１、３２および内側駆動錘３３、３４に接続されている。駆動梁４２と、外側駆動錘３１、３２および内側駆動錘３３、３４とは直接接続されていても良いが、例えば、本実施形態では駆動梁４２と内側駆動錘３３、３４とが連結部４２ａを介して接続されている。
【００３７】
支持部材４３は、図１に示すように、固定部材２０と可動部３０との間に複数配置され、可動部３０を支持するものである。具体的には、本実施形態では、支持部材４３は、図１に示すように、６つ配置され、そのうちの２つが固定部２１に接続され、残りの４つが浮遊部２２に接続されている。言い換えると、可動部３０は、支持部材４３を介して、主として浮遊部２２に支持されている。
【００３８】
支持部材４３は、図１に示すように、回転梁４３ａと支持梁４３ｂおよび連結部４３ｃとを有した構成とされている。回転梁４３ａは、ｙ軸方向の幅が所定寸法とされた直線状梁であり、その両端に支持梁４３ｂが接続されていると共に、支持梁４３ｂと反対側の中央位置に連結部４３ｃが接続されている。この回転梁４３ａは、センサ駆動時に連結部４３ｃを中心としてＳ字状に波打って撓む。支持梁４３ｂは、回転梁４３ａの両端を固定部材２０の所定の箇所に接続されるものであり、本実施形態では直線状部材とされている。この支持梁４３ｂは、衝撃などが加わった時に各錘３１〜３６がｘ軸方向に移動することを許容する役割も果たしている。連結部４３ｃは、支持部材４３を駆動梁４２に接続する役割を果たしている。
【００３９】
駆動部５０は、可動部３０や梁部４０などのセンサ構造体を駆動振動させるためのものであり、例えば、図１に示すように、外側駆動錘３１と内側駆動錘３３との間および外側駆動錘３２と内側駆動錘３４との間にそれぞれ配置されている。
【００４０】
具体的には、外側駆動錘３１と内側駆動錘３３との間には、基部５１と駆動用固定電極５２とを備える駆動部５０が配置されている。外側駆動錘３２と内側駆動錘３４との間には、基部５３と駆動用固定電極５４とを備える駆動部５０が配置されている。
【００４１】
基部５１、５３は、本実施形態では、例えば、図１に示すように、上面視にてｙ軸方向に沿って延設され、ｙ軸方向を長手方向とする長方形板状とされている。基部５１、５３のうち長手方向の二辺には、駆動用固定電極５２、５４が備えられている。
【００４２】
駆動用固定電極５２、５４は、駆動用可動電極３１ａ〜３４ａと同様に櫛歯状とされ、電圧が印加されることにより、駆動用可動電極３１ａ〜３４ａとの間に静電気力を生じさせ、可動部３０を駆動するために用いられる。駆動用固定電極５２、５４は、例えば、駆動部５０のうち基部５１、５３に形成された図示しない電極パッドに接続され、外部から電圧が印加される構成とされている。駆動用固定電極５２は、駆動用可動電極３１ａ、３３ａと向き合っている。駆動用固定電極５４は、駆動用可動電極３２ａ、３４ａと向き合っている。
【００４３】
検出部６０は、角速度印加に伴う検出梁４１の変位に応じた電気信号を出力する部分であり、図１に示すように、検出錘３５、３６の内側にそれぞれ配置されている。具体的には、検出用基部６１と検出用固定電極６２とによりなる検出部６０が検出錘３５の内側に配置され、検出用基部６３と検出用固定電極６４とによりなる検出部６０が検出錘３６の内側に配置されている。
【００４４】
検出用基部６１、６３は、その裏側に図示しない埋込酸化膜が残されており、支持基板１１に固定されている。
【００４５】
検出用固定電極６２、６４は、例えば、図１に示すように、検出用基部６１、６３の外壁面のうちｘ軸方向に沿った辺に形成されており、ｙ軸方向に沿って延設されている。検出用固定電極６２、６４は、その裏側の図示しない埋込酸化膜が除去され、支持基板１１からリリースされている。
【００４６】
以上のような構造により、外側駆動錘３１、３２や内側駆動錘３３、３４および検出錘３５、３６がそれぞれ２つずつ備えられた一対の角速度検出構造が備えられた振動型角速度センサが構成されている。
【００４７】
次に、振動型角速度センサの基本動作時の様子について図３を参照して説明する。
【００４８】
駆動用固定電極５２、５４に対してＤＣ電圧に加算したＡＣ電圧を印加することにより、外側駆動錘３１、３２と内側駆動錘３３、３４との間に電位差を発生させると、その電位差に基づいてｙ軸方向に沿った静電気力が発生する。この静電気力に基づいて、例えば図３に示すように、各駆動錘３１〜３４をｙ軸方向に振動させる。このとき、ＡＣ電圧の周波数を変えながら各駆動錘３１〜３４のｙ軸方向の振動をモニタし、ＡＣ電圧の周波数が所定の駆動共振周波数となるように調整する。例えば、外側駆動錘３１、３２と対向配置されるようにモニタ用の電極を設け、これらの間に形成される容量の変化に基づいて外側駆動錘３１、３２の変位を検出する。
【００４９】
なお、この際、回路処理により、容量変化が大きいときを駆動共振周波数ｆｄとして検知している。駆動共振周波数ｆｄは、駆動梁４２の幅などの振動子の構造によって決まる。
【００５０】
そして、図３に示すように、駆動用固定電極５２と外側駆動錘３１の駆動用可動電極３１ａおよび内側駆動錘３３の駆動用可動電極３３ａとの配置により、外側駆動錘３１と内側駆動錘３３とがｙ軸方向において互いに逆位相、すなわち逆方向で振動させられる。また、駆動用固定電極５４と外側駆動錘３２の駆動用可動電極３２ａおよび内側駆動錘３４の駆動用可動電極３４ａの配置により、図３に示すように、外側駆動錘３２と内側駆動錘３４とがｙ軸方向において互いに逆位相で振動させられるようにしている。さらに、２つの内側駆動錘３３、３４がｙ軸方向において逆位相で振動させられるようにしている。これにより、振動型角速度センサは、駆動モード形状にて駆動されることになる。
【００５１】
なお、このとき、駆動梁４２がＳ字状に波打つことで各錘３１〜３４のｙ軸方向への移動が許容されるが、回転梁４３ａと駆動梁４２とを接続している連結部４３ｃの部分については振幅の節、すなわち不動点となり、殆ど変位しない構造である。
【００５２】
上記した図３のような基本動作を行っている際に振動型角速度センサにｚ軸回りの角速度が印加されると、コリオリ力により、図４に示すように検出錘３５、３６がｘ軸方向へ変位する。この変位により、検出錘３５の検出用可動電極３５ａと検出用基部６１の検出用固定電極６２とで構成されるキャパシタの容量値や、検出錘３６の検出用可動電極３６ａと検出用基部６３の検出用固定電極６４とで構成されるキャパシタの容量値が変化する。
【００５３】
このため、検出用基部６１、６３の図示しないボンディングパッドからの信号取り出しに基づいてキャパシタの容量値の変化を読み取ることにより、角速度を検出することができる。例えば、本実施形態のような構成の場合、２つの角速度検出構造それぞれから取り出した信号を差動増幅してキャパシタの容量値の変化を読み取ることが可能であるため、より正確に角速度を検出することが可能となる。このようにして、本実施形態の振動型角速度センサにより、印加された角速度を検出することができる。
【００５４】
以上のような動作により、本実施形態の振動型角速度センサは、印加された角速度を検出することができる。
【００５５】
次に、浮遊部２２を備える固定部材２０による効果について、図５Ａ、図５Ｂを参照して説明する。図５Ａ、図５Ｂでは、支持基板１１に捻じれ歪みが生じた際における固定部材２０の変位を分かり易くするため、固定部材２０付近の領域の一部を拡大して示すと共に、他の領域について省略している。また、図５Ａ、６Ｂでは、捻じれ歪みが生じる前の状態を破線で示している。
【００５６】
ここで、従来の振動型角速度センサは、可動部３０を支持する固定部材７０がほぼすべて埋込酸化膜１３を介して支持基板１１に接続された構造とされている。このような構造において、支持基板１１に捻じれ歪みが生じると、固定部材７０は、図５Ａに示すように、支持基板１１の捻じれ歪みに引きずられて、該支持基板１１と同様に捻じれた状態となる。これに伴い、固定部材７０に支持部材４３を介して接続された可動部３０にもこの捻じれが伝搬し、可動部３０も捻じれ歪みが生じた状態となってしまう。結果的には、可動部３０の検出部６０にも捻じれ歪みが伝搬することで、角速度が印加された時の変位に狂いが生じてしまい、特性誤差の原因となる。
【００５７】
これに対して、本実施形態では、固定部材２０の一部が、埋込酸化膜１３が除去されて支持基板１１との接続から解放された浮遊部２２とされると共に、可動部３０は、支持部材４３を介して主にこの浮遊部２２に接続されている。本実施形態では、支持基板１１に捻じれ歪みが生じた場合であっても、図５Ｂに示すように、浮遊部２２が支持基板１１から浮遊した状態であるため、浮遊部２２には、支持基板１１の捻じれ歪みが伝搬しにくい。そして、主に浮遊部２２に支持されている可動部３０も同様に捻じれ歪みが伝搬しにくくなるため、支持基板１１の捻じれ歪みに伴う特性誤差の発生が抑制される構造となる。
【００５８】
また、固定部２１は、図１に示すように、支持基板１１の外郭を構成する一辺に対して垂直な直線であって、当該一辺の中心部を通る直線（以下、便宜的に「中心軸」という）上に沿って配置されることが好ましい。特に、支持部材４３が浮遊部２２だけでなく、固定部２１にも接続される場合に、固定部２１が支持基板１１の中心軸上に配置されることが好ましい。
【００５９】
これは、支持基板１１に捻じれ歪みが生じた場合、支持基板１１のうち捻じれにくい中心軸上の部分に固定部２１が配置されることで、固定部２１の捻じれ歪みも低減でき、可動部３０への捻じれ歪みの伝搬をより抑制できるためである。
【００６０】
言い換えると、浮遊部２２が支持基板１１のうち捻じれ歪みが大きい領域の上、例えば、支持基板１１が四角形板状とされている場合には四隅付近の領域の上などに配置されることが好ましい。例えば、可動部３０の外郭が略四角形状である場合において、少なくとも４本の支持部材４３が可動部３０に接続されると共に、支持部材４３の一端が可動部３０の外郭の四隅の近傍部分それぞれに、支持部材４３の他端が浮遊部２２に接続された構造とされる。つまり、本実施形態では、浮遊部２２に接続された４本の支持部材４３が、可動部３０の外郭の四隅の近傍部分にそれぞれ接続された配置、すなわち対角配置とされた構造とされる。
【００６１】
本実施形態では、可動部３０を挟んだ両側に対向配置された一対の固定部材２０において、固定部材２０に対して直交する中心軸上に固定部２１が配置されている。そして、固定部２１の両端それぞれに浮遊部２２が配置されることで、合計４つの浮遊部２２が対角配置された構造とされている。
【００６２】
本実施形態によれば、支持基板１１に捻じれ歪みが生じた場合であっても、支持基板１１のうち捻じれの影響が大きい部分に浮遊部２２が配置され、この浮遊部２２に支持部材４３を介して可動部３０が支持された構造の物理量センサとなる。また、いわゆるラダー構造とされることで耐衝撃性やエネルギー漏れ防止の特性を備えつつ、支持基板１１の捻じれ歪みによる特性誤差が抑制された物理量センサとなる。
【００６３】
（第２実施形態）
第２実施形態の物理量センサについて、振動型角速度センサとして適用された例について、図６〜図９を参照して述べる。
【００６４】
上記第１実施形態の物理量センサが静電方式の振動型角速度センサであるのに対し、本実施形態の物理量センサは、圧電方式の振動型角速度センサとされている点において、上記第１実施形態と相違する。本実施形態では、主にこの相違点、特に各錘３１〜３６、検出梁４１、駆動部５０および検出部６０の構成のうち上記第１実施形態のとの違いやその動作について簡単に説明する。
【００６５】
駆動錘３１〜３４は、本実施形態では、後述する駆動圧電膜５５を用いて駆動振動させられるため、駆動用可動電極３１ａ〜３４ａを備えない構成とされている。
【００６６】
検出錘３５、３６は、本実施形態では、例えば図６に示すように、上面視にて、四角形状とされており、梁部４０のうち後述する検出梁４１を介して内側駆動錘３３、３４の内壁面に支持されている。検出錘３５、３６は、駆動錘３１〜３４と同様に、質量部として機能し、駆動振動によって内側駆動錘３３、３４と共にｙ軸方向に移動させられるが、角速度印加時にはｘ軸方向に移動させられる。
【００６７】
なお、検出錘３５、３６は、後述する検出部６０が圧電方式とされ、検出梁４１上に検出部６０が形成されているため、本実施形態では、検出用可動電極３５ａ、３６ａを備えない構成とされている。
【００６８】
検出梁４１は、図６に示すように、内側駆動錘３３、３４の内壁面のうちｙ軸方向に平行とされた辺と検出錘３５、３６の外壁面のうちｙ軸方向に平行とされた辺とを接続している。本実施形態の場合、検出梁４１は、駆動錘３１〜３４の振動方向であるｙ軸方向に沿って直線的に延設され、ｘ軸方向において位置をずらして振動方向の両端において検出錘３５、３６を支持する構造の梁とされている。検出梁４１は、検出錘３５、３６それぞれにおけるｘ軸方向の両側に配置されており、一方を第１検出梁４１ａ、もう一方を第２検出梁４１ｂとして、検出錘３５、３６をｘ軸方向両側で支持した構造とされている。また、第１検出梁４１ａおよび第２検出梁４１ｂは、共に、ｙ軸方向の中央部を連結部４１ｃとして、連結部４１ｃにおいて内側駆動錘３３、３４の内壁と連結されている。そして、連結部４１ｃを中心とした両側において、検出錘３５、３６のｙ軸方向両端を検出梁４１で支持している。
【００６９】
なお、第１検出梁４１ａと第２検出梁４１ｂとは、図６に示すように、ｘ軸方向の寸法を異ならせてバネ定数が異なる状態とされてもよいし、ｘ軸方向の寸法を同一にしてバネ定数が同じ状態とされてもよい。
【００７０】
駆動部５０は、本実施形態では、各駆動梁４２の両端それぞれに設けられた駆動圧電膜５５や駆動配線５６などによって構成されている。
【００７１】
駆動圧電膜５５は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛の略）薄膜などによって構成され、駆動配線５６を通じて駆動電圧が印加されることでセンサ構造体を駆動振動させる力を発生させる。駆動圧電膜５５は、各駆動梁４２の両端それぞれに２つずつ備えられており、センサ構造体の外縁側に位置しているものが外側圧電膜５５ａ、外側圧電膜５５ａよりも内側に位置しているものが内側圧電膜５５ｂとされている。これら外側圧電膜５５ａと内側圧電膜５５ｂは、ｘ軸方向に延設されており、各配置場所で平行に並んで形成されている。
【００７２】
駆動配線５６は、外側圧電膜５５ａや内側圧電膜５５ｂに対して駆動電圧を印加する配線である。駆動配線５６については、図中では一部のみしか記載していないが、実際には駆動梁４２から支持部材４３を通じて固定部材２０まで延設されている。そして、固定部材２０に形成された図示しないパッドを介してワイヤボンディングなどにより、駆動配線５６が外部と電気的に接続されている。これにより、駆動配線５６を通じて、外側圧電膜５５ａや内側圧電膜５５ｂに対して駆動電圧を印加できるようになっている。
【００７３】
検出部６０は、本実施形態では、検出梁４１のうち第１検出梁４１ａに形成されており、検出圧電膜６５ａ〜６５ｄ、ダミー圧電膜６６ａ〜６６ｄおよび検出配線６７を備えた構成とされている。
【００７４】
検出圧電膜６５ａ〜６５ｄは、ＰＺＴ薄膜などによって構成され、第１検出梁４１ａのうち、角速度印加によって第１検出梁４１ａが変位したときに引張応力が加わる位置に形成されている。具体的には、第１検出梁４１ａのうちの両端側ではｘ軸方向において検出錘３５、３６側、連結部４１ｃ側ではｘ軸方向において検出錘３５、３６から離れる側に検出圧電膜６５ａ〜６５ｄが配置されている。
【００７５】
ダミー圧電膜６６ａ〜６６ｄは、ＰＺＴ薄膜などによって構成され、検出梁４１の対称性を保つために、検出圧電膜６５ａ〜６５ｄと対称的に配置されている。すなわち、ダミー圧電膜６６ａ〜６６ｄは、第１検出梁４１ａのうち、角速度印加によって第１検出梁４１ａが変位したときに圧縮応力が加わる位置に形成されている。具体的には、第１検出梁４１ａのうちの両端側ではｘ軸方向において検出錘３５、３６から離れる側、連結部４１ｃ側ではｘ軸方向において検出錘３５、３６側にダミー圧電膜６６ａ〜６６ｄが配置されている。
【００７６】
検出圧電膜６５ａ〜６５ｄおよびダミー圧電膜６６ａ〜６６ｄは、共に検出錘３５、３６の駆動振動の方向であるｙ軸方向に延設されており、各配置場所で平行に並んで形成されている。なお、ここでは、検出圧電膜６５ａ〜６５ｄを一番変位が大きくなる引張応力が発生する部位に形成する例について説明したが、圧縮応力が発生する部位に形成しても良いし、引張応力が発生する部位と圧縮応力が発生する部位の両方に形成しても良い。
【００７７】
例えば、検出圧電膜６５ａ〜６５ｄは、角速度印加時に、図６のｘ軸方向左側の第１検出梁４１ａでは圧縮応力が生じる部位に形成され、図６のｘ軸方向右側の第１検出梁４１ａでは引張応力が生じる部位に形成されてもよいし、その逆であってもよい。
【００７８】
また、ダミー圧電膜６６ａ〜６６ｄについては必須ではなく、少なくとも検出圧電膜６５ａ〜６５ｄが形成されていれば良い。
【００７９】
検出配線６７は、検出圧電膜６５ａ〜６５ｄに接続され、検出梁４１の変位に伴う検出圧電膜６５ａ〜６５ｄの電気出力を取り出すものである。検出配線６７については、図中では省略して一部のみを記載してあるが、実際には内側駆動錘３３、３４や駆動梁４２から支持部材４３を通じて固定部材２０まで延設されている。そして、固定部材２０に形成された図示しないパッドを介してワイヤボンディングなどにより、検出配線６７が外部と電気的に接続されている。これにより、検出配線６７を通じて、検出圧電膜６５ａ〜６５ｄの電気出力の変化を外部に伝えられる構成となっている。
【００８０】
続いて、このように構成された圧電方式の振動型角速度センサの作動について、図７〜図９を参照して説明する。
【００８１】
まず、本実施形態の振動型角速度センサの基本動作時の様子について図７を参照して説明する。各駆動梁４２の両端に配置された駆動部５０に対して所望の駆動電圧を印加し、その駆動電圧に基づいて各駆動錘３１〜３４をｙ軸方向に振動させる。
【００８２】
具体的には、紙面上方側の駆動梁４２のうち左端部に備えられた駆動部５０については、外側圧電膜５５ａにて引張応力が発生させられ、内側圧電膜５５ｂにて圧縮応力が発生させられるようにする。逆に、紙面上方側の駆動梁４２のうち右端部に備えられた駆動部５０については、外側圧電膜５５ａにて圧縮応力が発生させられ、内側圧電膜５５ｂにて引張応力が発生させられるようにする。これについては、紙面上方側の駆動梁４２の左右両側に配置された駆動部５０の外側圧電膜５５ａ同士もしくは内側圧電膜５５ｂ同士それぞれに逆位相の電圧を印加することによって実現できる。
【００８３】
一方、紙面下方側の駆動梁４２のうち左端部に備えられた駆動部５０については、外側圧電膜５５ａにて圧縮応力が発生させられ、内側圧電膜５５ｂにて引張応力が発生させられるようにする。逆に、紙面下方側の駆動梁４２のうち右端部に備えられた駆動部５０については、外側圧電膜５５ａにて引張応力が発生させられ、内側圧電膜５５ｂにて圧縮応力が発生させられるようにする。これについても、紙面下方側の駆動梁４２の左右両側に配置された駆動部５０の外側圧電膜５５ａ同士もしくは内側圧電膜５５ｂ同士それぞれに逆位相の電圧を印加することによって実現できる。
【００８４】
次に、各駆動部の外側圧電膜５５ａや内側圧電膜５５ｂで発生させられる応力が、引張応力については圧縮応力に切替えられ、圧縮応力については引張応力に切替えられるように、各外側圧電膜５５ａや内側圧電膜５５ｂへの印加電圧を制御する。そして、この後も、これらの動作を所定の駆動周波数で繰り返す。
【００８５】
これにより、図７に示すように、ｙ軸方向において、外側駆動錘３１と内側駆動錘３３とが互いに逆位相、外側駆動錘３２と内側駆動錘３４とが互いに逆位相、２つの内側駆動錘３３、３４が逆位相で、２つの外側駆動錘３１、３２が逆位相で振動させられる。これにより、振動型角速度センサは、上記第１実施形態と同様の駆動モード形状にて駆動されることになる。
【００８６】
なお、このときには、上記第１実施形態の振動型角速度センサと同様の理由で、連結部４３ｃの部分については振幅の節、つまり不動点となり、殆ど変位せず、衝撃などが加わった時には、衝撃による出力変化が緩和され、耐衝撃性が得られるようになっている。
【００８７】
次に、振動型角速度センサに角速度が印加された時の様子について図８を参照して説明する。上記した図３のような基本動作を行っている際に振動型角速度センサにｚ軸回りの角速度が印加されると、コリオリ力により、図８に示すように検出錘３５、３６がｙ軸と交差する方向、ここではｘ軸方向へ変位する。具体的には、検出錘３５、３６と内側駆動錘３３、３４とが検出梁４１を介して接続されているため、検出梁４１の弾性変形に基づいて検出錘３５、３６が変位する。そして、検出梁４１の弾性変形に伴って、第１検出梁４１ａに備えた検出圧電膜６５ａ〜６５ｄに引張応力が加えられる。このため、加えられた引張応力に応じて検出圧電膜６５ａ〜６５ｄの出力電圧が変化し、これが検出配線６７を通じて外部に出力される。この出力電圧を読み取ることで、印加された角速度を検出することができる。
【００８８】
特に、検出圧電膜６５ａ〜６５ｄを検出梁４１のうちの検出錘３５、３６との連結箇所や内側駆動錘３３、３４との連結箇所の近傍に配置していることから、図９に示すように検出圧電膜６５ａ〜６５ｄに最も大きな引張応力が加えられる。このため、より検出圧電膜６５ａ〜６５ｄの出力電圧を大きくすることが可能となる。
【００８９】
以上のような動作により、本実施形態の振動型角速度センサは、印加された角速度を検出することができる。
【００９０】
本実施形態のように、可動部３０が上記のような圧電方式に合わせた構造とされた場合であっても、固定部材２０のうち浮遊部２２により可動部３０が支持されているため、支持基板１１の捻じれ歪みが可動部３０に伝搬しない。そのため、本実施形態においても、上記第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００９１】
（第３実施形態）
第３実施形態の物理量センサについて、振動型角速度センサとして適用された例について、図１０を参照して述べる。図１０では、構成を分かり易くするため、固定部材２０のうち固定部２１と浮遊部２２との境界を破線で示している。
【００９２】
上記第１実施形態の物理量センサは、複数の駆動錘３１〜３４が２本の駆動梁４２に挟まれると共に、ｙ軸方向の両端において連結された梯子状の構造、いわゆるラダー構造とされていた。これに対して、本実施形態の振動型角速度センサは、ラダー構造とされていない点において、上記第１実施形態と相違する。本実施形態では、この相違点について主に説明する。
【００９３】
なお、本実施形態を構成する固定部材２０、駆動錘３３、３４、検出錘３５、３６、駆動梁４２、駆動部５０および検出部６０については、上記第１実施形態または上記第２実施形態と同じ構成であるため、図１０に示すようにバネ構造を主に説明する。
【００９４】
本実施形態の振動型角速度センサは、図１０に示すように、一対の固定部材２０と、一対の固定部材２０に挟まれた可動部３０と、固定部材２０と可動部３０とを連結する４本の駆動梁４２とを有してなる。
【００９５】
固定部材２０は、図１０に示すように、可動部３０を挟んで両側に配置されると共に、固定部２１を挟んで両側に配置された浮遊部２２それぞれに１本の駆動梁４２が接続されている。
【００９６】
可動部３０は、例えば、図１０に示すように、一対の駆動錘３３、３４と、駆動錘３３、３４に囲まれた検出錘３５、３６と、駆動錘３３、３４と検出錘３５、３６とを検出錘３５、３６の両端で接続する検出梁４１と、を有してなる。
【００９７】
駆動錘３３は、例えば、図１０に示すように、検出錘３５を囲む四角形状の枠体形状とされると共に、２本の検出梁４１を介して検出錘３５を支持している。駆動錘３４は、例えば、図１０に示すように、検出錘３６を囲む四角形状の枠体形状とされると共に、２本の検出梁４１を介して検出錘３５を支持している。駆動錘３３、３４は、図１０中の紙面左右方向に沿って対面配置され、駆動連成梁４５により接続されると共に、図示しない駆動部５０が設けられており、浮遊部２２の延設方向と平行な方向に沿って駆動振動する。なお、駆動連成梁４５は、２つの駆動錘３３、３４を連成する梁であって、駆動錘３３、３４が変位すると、これに伴って変形可能な構成とされている。
【００９８】
検出梁４１は、図示しない検出部６０が形成されており、駆動錘３３、３４が駆動振動している場合において角速度が印加されたときに、検出部６０が変位に応じた電気出力が出力される構成とされている。
【００９９】
以上が、本実施形態の振動型角速度センサの基本的な構造であり、駆動錘３３、３４が１本の駆動連成梁４５により図１０の紙面左右方向と垂直な方向における中心位置にて連結されており、いわゆるラダー構造とは異なる構造とされる。なお、本実施形態では、可動部３０が一対の固定部材２０に挟まれた配置とされると共に、駆動梁４２を介して浮遊部２２に接続された構成とされていればよく、可動部３０の構造については適宜変更されてもよい。
【０１００】
本実施形態によれば、可動部３０が浮遊部２２に駆動梁４２を介して支持された構造であるため、支持基板１１に捻じれ歪みが生じた場合であっても、可動部３０にその捻じれ歪みの伝搬が抑制される。そのため、上記第１実施形態と同様に、従来に比べて、支持基板１１の捻じれ歪みによる特性誤差の少ない振動型角速度センサとなる。
【０１０１】
（他の実施形態）
なお、上記した各実施形態に示した振動型角速度センサは、本発明の物理量センサの一例を示したものであり、上記の各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
【０１０２】
（１）例えば、上記各実施形態では、固定部材２０が略長方形板状とされた例について説明したが、これに限定されるものではなく、固定部材２０は、略Ｔ字形状や台形形状、他の形状などにされてもよい。
【０１０３】
具体的には、浮遊部２２は、図１１に示すように、固定部２１から延設される方向を延設方向とし、延設方向に対して交差する方向を交差方向として、交差方向における幅を所定以上とされることが好ましい。また、浮遊部２２は、交差方向における幅を大きくした場合に、可動部３０側の部分の延設方向における幅（以下「延設幅」という）が、可動部３０の反対側の部分の延設幅よりも大きい形状とされることが好ましい。
【０１０４】
これは、浮遊部２２のうち延設方向における先端部、すなわち支持部材４３が接続される部分の剛性を大きくして撓みにくい形状とし、浮遊した状態であることによる強度低下を低減するためである。これにより、浮遊部２２に起因する共振周波数の低下を抑制し、特性誤差を低減できる。
【０１０５】
具体的には、浮遊部２２は、長方形板状とされた場合よりも、図１１に示すように、台形形状とされた場合のほうが、延設幅が小さい領域、すなわち固定部２１に拘束されて撓みにくい領域が多くなり、先端部の一面法線方向における剛性が相対的に大きくなる。つまり、浮遊部２２は、一面法線方向における剛性が大きくされることで先端部が撓みにくい状態、すなわち一面法線方向において不要な振動をすることが抑制される状態となる。
【０１０６】
そのため、可動部３０には、支持基板１１の捻じれ歪みの伝搬が抑制されるだけでなく、浮遊部２２に起因する不要な振動が伝搬することも抑制されることとなる。したがって、可動部３０に意図しない歪みや不要振動が生じることが抑制され、上記各実施形態よりもさらに特性誤差が抑制された物理量センサとなる。
【０１０７】
（２）上記第１実施形態では、浮遊部２２に貫通孔２２ａが形成された例について説明したが、貫通孔２２ａが形成されていなくてもよい。例えば、支持基板１１と半導体層１２とを貼り合せて物理量センサを製造する場合には、図１２に示すように、支持基板１１の一面１１ａ側にあらかじめ凹部１４が形成しておくことで、浮遊部２２が浮遊した状態とすることができる。このように埋込酸化膜１３のエッチング以外の方法により浮遊部２２を浮遊した状態とする場合、浮遊部２２は、貫通孔２２ａが形成されない構造とされ、更なる剛性の向上および共振周波数の低下抑制の効果が期待される。
【０１０８】
（３）上記第１実施形態や上記第２実施形態では、固定部２１にも支持部材４３が接続された構造とされた例について説明したが、支持部材４３は、少なくとも浮遊部２２に接続されていればよく、固定部２１に接続されていなくてもよい。具体的には、図１３に示すように、浮遊部２２が固定部２１と可動部３０との間にも延設され、当該延設された浮遊部２２に支持部材４３が接続された構造とされてもよい。上記の構造においても、上記第１実施形態および第２実施形態と同様の効果が得られる。
【０１０９】
（４）上記各実施形態では、物理量センサを振動型角速度センサとして適用した例について説明したが、これに限られず、例えば加速度センサなどにも適用可能である。
【符号の説明】
【０１１０】
１１        支持基板
２０        固定部材
２１        固定部
２２        浮遊部
３１、３２  外側駆動錘
３３、３４  内側駆動錘
３５、３６  検出錘
４３        支持部材
５０        駆動部
６０        検出部
【図１】
2019211228.tif 000003
【図２】
2019211228.tif 000004
【図３】
2019211228.tif 000005
【図４】
2019211228.tif 000006
【図５Ａ】
2019211228.tif 000007
【図５Ｂ】
2019211228.tif 000008
【図６】
2019211228.tif 000009
【図７】
2019211228.tif 000010
【図８】
2019211228.tif 000011
【図９】
2019211228.tif 000012
【図１０】
2019211228.tif 000013
【図１１】
2019211228.tif 000014
【図１２】
2019211228.tif 000015
【図１３】
2019211228.tif 000016