(57)【要約】【課題】チップ部品の検査を短時間で行うことができるとともに、チップ部品が損傷するのを抑制できるようにする。【解決手段】検査対象となるチップ部品１０を出し入れ可能に保持する部品保持部（溝部２０）が設けられた部品保持部材２と、前記部品保持部に保持された前記チップ部品１０の電極に先端部が接触可能に配設された接触端子３と、当該接触端子３を支持する端子支持部材４と、前記部品保持部材２と前記端子支持部材４とを接離可能に連結する連結部材５ａ，５ｂとを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象のチップ部品を出し入れ可能に保持する部品保持部が設けられた部品保持部材と、
前記部品保持部に保持された前記チップ部品の電極に先端部が接触可能に配設された接触端子と、
当該接触端子を支持する端子支持部材と、
前記部品保持部材と前記端子支持部材とを接離可能に連結する連結部材とを備えている検査治具。
【請求項２】
前記部品保持部は、前記部品保持部材の一端部側から前記接触端子の配設位置に向けて延びる溝部により構成されている請求項１記載の検査治具。
【請求項３】
前記端子支持部材には、前記接触端子の先端部を前記チップ部品の電極に当接させる方向に付勢する端子付勢部材が設けられている請求項１又は２記載の検査治具。
【請求項４】
前記端子支持部材を前記部品保持部材から離間させる方向に付勢する付勢部材を、さらに備えている請求項１〜３の何れか１項に記載の検査治具。
【請求項５】
前記部品保持部材の第一面側に、一対の第一接触端子が配設されるとともに、前記部品保持部材の第二面側に、一対の第二接触端子が配設され、
前記端子支持部材は、前記第一接触端子を支持する第一端子支持部材と、前記第二接触端子を支持する第二端子支持部材とを有している請求項１〜４の何れか１項に記載の検査治具。
【請求項６】
前記部品保持部材は、前記部品保持部が形成された第一部品保持板と、当該第一部品保持板の前記第二面側に配設された第二部品保持板とを有し、
前記第一部品保持板には、前記第一接触端子の先端部が挿通される前記第一端子挿通孔が形成され、
当該第二部品保持板には、前記第二接触端子の先端部が挿通される第二端子挿通孔が形成されている請求項５記載の検査治具。
【請求項７】
前記第一部品保持板は、前記第二部品保持板の一端部よりも外方側に突出した突出部を有し、
当該突出部を含む範囲に、前記部品保持部が形成されるとともに、
当該部品保持部に設けられた部品検査位置の前記第二面側が当該第二部品保持板により覆われている請求項６記載の検査治具。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか１項に記載の検査治具と、
前記接触端子から伝送された電気信号に基づいてチップ部品の検査処理を行う検査装置本体と、
前記接触端子と前記検査装置本体とを電気的に接続する導電部材とを備えている検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ部品を検査する際に使用される検査治具、及びその検査治具を備えた検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、測定対象試料としてのチップ部品が下面側に相互に向き合った位置関係のもとで備える一対の電極における一方の前記電極側に各別に接触させる二本の接触端子を具備させた一側端子台と、他方の前記電極側に各別に接触させる二本の接触端子を具備させた他側端子台と、これら一側端子台と他側端子台とを前記チップ部品の下面サイズに対応させるべく相互の接離とその位置固定とを自在に支持する基台とを備え、該基台には、前記一側端子台の各接触端子にチップ部品の一方の電極を、前記他側端子台の各接触端子にチップ部品の他方の電極をそれぞれ接触させて前記チップ部品を定置する押当て部材を配設した四端子測定用チップ部品治具が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２６２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の技術によれば、二本の接触端子を具備させた一側端子台と、二本の接触端子を具備させた他側端子台とを、チップ部品のサイズに対応させるべく相互の接離とその位置固定とを自在に基台側に支持させているので、下面電極タイプの微小なチップ部品の電気的な特性をそのサイズの大小によく対応させながら四端子測定法による測定が可能である。
【０００５】
しかし、上述の検査治具では、一側端子台と他側端子台との間にチップ部品を保持させる際に、一側端子台を基台側に位置固定している抓みねじと、他側端子台を基台側に位置固定している抓みねじとを緩めた状態で、例えば一側支持片部の空間部内に一側端子台を進出させるとともに、他側支持片部の空間部内に他側端子台を進出させた後、一側端子台と他側端子台とを停止させて抓みねじを緊締することでチップ部品を位置固定する必要がある。このため、チップ部品を端子台にセットして検査を行うのに長時間を要していた。
【０００６】
本発明の目的は、チップ部品の検査を短時間で行うことができる検査治具、及びその検査治具を備えた検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る検査治具は、検査対象のチップ部品を出し入れ可能に保持する部品保持部が設けられた部品保持部材と、前記部品保持部に保持された前記チップ部品の電極に先端部が接触可能に配設された接触端子と、当該接触端子を支持する端子支持部材と、前記部品保持部材と前記端子支持部材とを接離可能に連結する連結部材とを備えている。
【０００８】
この構成によれば、ユーザがチップ部品を部品保持部に保持させた状態で、端子支持部材と部品保持部材とを接近させる方向に押圧力を作用させることにより、接触端子の先端部をチップ部品の電極に当接させて部品の検査を行うことができるため、この検査を短時間で行うことができる。
【０００９】
前記部品保持部は、前記部品保持部材の一端部側から前記接触端子の配設位置に向けて延びる溝部により構成されていることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、ユーザが部品保持部材の一端部側から溝部内にチップ部品を搬入した後、検査治具を傾斜させて前記溝部に沿ってチップ部品をスライド変位させる等により、接触端子が配設された部品検査位置にチップ部品を容易にセットすることができるため、チップ部品の検査を容易かつ迅速に実行することができる。
【００１１】
また、前記端子支持部材には、前記接触端子の先端部を前記チップ部品の電極に当接させる方向に付勢する端子付勢部材が設けられていることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、チップ部品の検査時に、その電極に対して接触端子の先端部を適度の圧接力で当接させることができる。また、ユーザが端子支持部材と部品保持部材とを過度に接近させるように押圧した場合においても、端子付勢部材を圧縮変形させることにより、チップ部品の電極に接触端子の先端部が食い込むのを抑制することできる。
【００１３】
また、前記端子支持部材を前記部品保持部材から離間させる方向に付勢する付勢部材を、さらに備えていることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、チップ部品の検査が終了した時点で、付勢部材により端子支持部材及び部品保持部材を自動的に初期位置に復帰させることができるため、チップ部品の出し入れに要する時間を効果的に短くすることができる。
【００１５】
また、前記部品保持部材の第一面側に、一対の第一接触端子が配設されるとともに、前記部品保持部材の第二面側に、一対の第二接触端子が配設され、前記端子支持部材は、前記第一接触端子を支持する第一端子支持部材と、前記第二接触端子を支持する第二端子支持部材とを有している構成としてもよい。
【００１６】
この構成によれば、第一接触端子及び第二接触端子の一方を、電圧測定用の接触端子として使用し、第一接触端子及び第二接触端子の他方を電流供給用の接触端子として使用することにより、測定精度の高い四端子測定法用の検査を行うことができる。
【００１７】
また、前記部品保持部材は、前記部品保持部が形成された第一部品保持板と、当該第一部品保持板の前記第二面側に配設された第二部品保持板とを有し、前記第一部品保持板には、前記第一接触端子の先端部が挿通される前記第一端子挿通孔が形成され、当該第二部品保持板には、前記第二接触端子の先端部が挿通される第二端子挿通孔が形成されていることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、チップ部品が、第一部品保持板と第二部品保持板との間に保持されるとともに、第一端子挿通孔及び第二端子挿通孔が、第一接触端子及び第二接触端子の案内孔として利用されることにより、第一接触端子及び第二接触端子がそれぞれ適正に位置決めされた状態で、チップ部品の電極に対して適正に当接される。また、ユーザが第一接触端子及び第二接触端子をチップ部品の電極に当接させる際に、第一接触端子及び第二接触端子に折れ曲がるが生じるおそれを効果的に低減することができる。
【００１９】
前記第一部品保持板は、前記第二部品保持板の一端部よりも外方側に突出した突出部を有し、当該突出部を含む範囲に、前記部品保持部が形成されるとともに、当該部品保持部に設けられた部品検査位置の前記第二面側が前記第二部品保持板により覆われていることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、部品保持部に設けられた部品検査位置の第二面側が第一部品保持板で覆われることにより、この部品検査位置に配設されたチップ部品が効果的に保持される。しかも、突出部に設けられた部品保持部の第二面側が開放状態となっているため、ユーザが突出部に位置する部品保持部にチップ部品を容易に搬入することできる。
【００２１】
本発明に係る検査装置は、上述の検査治具と、前記接触端子から伝送された電気信号に基づいてチップ部品の検査処理を行う検査装置本体と、前記接触端子と前記検査装置本体とを電気的に接続する導電部材とを備えているものである。
【００２２】
この構成によれば、チップ部品の検査を短時間で容易に行うことが可能であるとともに、導電部材を介して検査治具に接続される検査装置本体を異なる機種のものと交換することにより、検査治具に汎用性を持たせることができる。
【発明の効果】
【００２３】
このような構成の検査治具、及びその検査治具を備えた検査装置によれば、チップ部品の検査を短時間で行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第一実施形態に係る検査治具を有する検査装置の構成を示す側面図である。
【図２】検査治具の全体構成を示す斜視図である。
【図３】第一部品保持板の具体的構成を示す平面図である。
【図４】検査治具の具体的構成を示す図３のＩＶ-ＩＶ線断面図である。
【図５】検査対象となるチップ部品の概略構成を示す斜視図である。
【図６】溝部の具体的構成を示す拡大平面図である。
【図７】図４に示す検査治具によるチップ部品の検査状態を示す断面図である。
【図８】溝部の変形例を示す平面図である。
【図９】接触端子の配列状態の変形例を示す平面図である。
【図１０】検査対象となるチップ部品の変形例を示す平面図である。
【図１１】大きさの異なるチップ部品の検査例を示す平面図である。
【図１２】本発明の第二実施形態に係る検査治具の構成を示す断面図である。
【図１３】図１２に示す検査治具によるチップ部品の検査状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。
（第一実施形態）
【００２６】
図１は、本発明の第一実施形態に係る検査治具１を有する検査装置７の構成を示す側面図、図２は、検査治具１の全体構成を示す斜視図、図３は、第一部品保持板２１の具体的構成を示す平面図、図４は、検査治具１の具体的構成を示す図３のＩＶ-ＩＶ線断面図、図５は、検査対象となるチップ部品１０の概略構成を示す斜視図、図６は、溝部２０の具体的構成を示す拡大平面図、図７は、図４に示す検査治具１によるチップ部品１０の検査状態を示す断面図である。なお、図１、図４及び図７において、図の下方側に位置する部材の面を第一面側といい、図の上方側に位置する部材の面を第二面側という。
【００２７】
検査対象となるチップ部品１０は、図５に示すように、誘電体からなるチップ部品本体１１と、その長さ方向の両端部に設けられた一対の電極１２，１２とを有するチップキャパシタ、チップ抵抗器、又はチップインダクタ等からなっている。
【００２８】
検査治具１は、図１に示すように、先端部が電極１２，１２の第一面側に接触可能に配設された一対の第一接触端子３１と、先端部が電極１２，１２の第二面側に接触可能に配設された一対の第二接触端子３２とからなる接触端子３を有している。第一接触端子３１及び第二接触端子３２は、ワイヤケーブル等からなる導電部材７１を介して検査装置本体７０と接続されることにより、一方が電圧測定用の接触端子として使用されるとともに、他方が電流供給用の接触端子として使用されるように構成されている。
【００２９】
検査装置本体７０は、導電部材７１及び検査治具１を介してチップ部品１０の電極１２，１２間に測定用電流を流すとともに、これに応じてチップ部品１０の電極１２，１２間に生じた電圧を検出する機能を有している。検査装置本体７０は、前記の検出電圧や、この検出電圧から求められた電極１２，１２間の抵抗値等を予め設定された基準値と比較する等により、チップ部品１０の良否判定を実行するように構成されている。
【００３０】
検査治具１は、検査対象となるチップ部品１０を出し入れ可能に保持する部品保持部が形成された部品保持部材２と、接触端子３を支持する端子支持部材４と、部品保持部材２と端子支持部材４とを接離可能に連結する連結部材５とを有している。
【００３１】
部品保持部材２は、その第一面側に配設された第一部品保持板２１と、部品保持部材２の第二面側に配設された第二部品保持板２２とを有している。第一部品保持板２１の第二面側には、図４及び図６に示すように、チップ部品１０の幅寸法Ｗに対応した溝幅と、チップ部品１０の上下寸法Ｈに対応した溝深さとを有する溝部２０が形成され、この溝部２０によりチップ部品１０の保持部（部品保持部）が構成されている。
【００３２】
第一部品保持板２１は、第二部品保持板２２の一端部（図４の右側端部）よりも所定長Ｓだけ外方側に突出した突出部２３を有し、この突出部２３を含む範囲に溝部２０が形成されている。すなわち、溝部２０は、第一部品保持板２１の一端部側から、接触端子３が配設された部品検査位置に向けて延びるように形成されている。これにより、突出部２３に形成された溝部２０の第二面側が開放されるとともに、部品検査位置の第二面側が第二部品保持板２２により覆われた状態となっている。
【００３３】
また、第一部品保持板２１の一端部には、図６に示すように、溝部２０に対するチップ部品１０の搬入案内部となる外広がりの切欠き部２４，２４が形成されている。ユーザが、切欠き部２４，２４から溝部２０内にチップ部品１０を搬入した後、検査治具１を傾斜させる等により、溝部２０に沿って最奥部の部品検査位置までチップ部品１０を自重でスライド変位させるように構成されている。
【００３４】
溝部２０の最奥部には、一対の凹孔２７，２７が形成されている。この凹孔２７，２７は、ドリル等を使用して溝部２０のコーナーアールを切除するために設けられたものである。この結果、チップ部品１０を部品検査位置に移送する際に、前記コーナーアールに邪魔されることなく、溝部２０の最奥部まで移送できるようになっている。
【００３５】
第一接触端子３１及び第二接触端子３２は、図７に示すように、導電性部材からなる棒状の端子本体３０と、その基端部に設けられた鍔部３３とを有している。部品保持部材２の第一面側には、一対の第一接触端子３１，３１がチップ部品１０の電極１２，１２の設置間隔に対応した距離を隔てて配設されている。また、部品保持部材２の第二面側には、一対の第二接触端子３２，３２が電極１２，１２の設置間隔に対応した距離を置いて配設されている。
【００３６】
図６及び図７に示すように、第一部品保持板２１には、第一接触端子３１，３１の先端部が挿通される一対の第一端子挿通孔２５，２５が、溝部２０の第一面側に形成されている。また、第二部品保持板２２には、第二接触端子３２，３２の先端部が挿通される一対の貫通孔からなる第二端子挿通孔２６，２６が形成されている。
【００３７】
端子支持部材４は、図１に示すように、部品保持部材２の第一面側に配設された第一接触端子３１，３１を支持する第一端子支持部材４１と、部品保持部材２の第二面側に配設された第二接触端子３２，３２を支持する第二端子支持部材４２とを有している。
【００３８】
第一端子支持部材４１は、その第二面側に配設された内側支持板４１ａと、第一端子支持部材４１の第一面側に配設された外側支持板４１ｂとを有している。内側支持板４１ａと外側支持板４１ｂとは、連結ボルト等により一体に連結されている。
【００３９】
外側支持板４１ｂの第一面側（図１の下方側）には、複数本の支柱６０を有するベースプレート６が配設されている。この支柱６０の上端部に外側支持板４１ｂが固定されることで、第一端子支持部材４１がベースプレート６により支持されている。
【００４０】
内側支持板４１ａの第二面側には、図４に示すように、第一接触端子３１の端子本体３０を摺動可能に支持する一対の支持孔４３，４３が形成されている。一方、内側支持板４１ａの第一面側には、第一接触端子３１の鍔部３３を摺動可能に収容する一対の収容孔４４，４４が形成されている。また、第一接触端子３１の鍔部３３と外側支持板４１ｂとの間には、第一接触端子３１の先端部をチップ部品１０の電極１２に当接させる方向に付勢する圧縮コイルばね等からなる端子付勢部材４５が配設されている。
【００４１】
外側支持板４１ｂは、内側支持板４１ａの第一面側を覆うように設置されることにより、第一接触端子３１及び端子付勢部材４５が内側支持板４１ａから脱落するのを規制する機能を有している。また、外側支持板４１ｂには、接触端子３と検査装置本体７０とを電気的に接続する導電部材７１の挿通部７３が形成されている。
【００４２】
一方、第二端子支持部材４２は、その第一面側（図４の下方側）に配設された内側支持板４２ａと、第二端子支持部材４２の第二面側（図４の上方側）に配設された外側支持板４２ｂと、外側支持板４２ｂの上面を覆うカバープレート４２ｃとからなっている。内側支持板４２ａと、外側支持板４２ｂと、カバープレート４２ｃとは、連結ボルト等により一体に連結されている。
【００４３】
内側支持板４２ａには、第一端子支持部材４１の内側支持板４１ａと同様に、第二接触端子３２の端子本体３０を摺動可能に支持する一対の支持孔４６，４６と、第二接触端子３２の鍔部３３を摺動可能に収容する一対の収容孔４７，４７とが形成されている。
【００４４】
また、第二接触端子３２の鍔部３３と外側支持板４２ｂとの間には、第二接触端子３２の先端部をチップ部品１０の電極１２に接触させる方向に付勢する圧縮コイルばね等からなる端子付勢部材４５が配設されている。さらに、外側支持板４２ｂには、接触端子３と検査装置本体７０とを電気的に接続する導電部材７１の挿通部７４が形成されている。
【００４５】
連結部材５は、図４に示すように、第一部品保持板２１と第一端子支持部材４１とを接離可能に連結する第一連結部材５ａと、第二部品保持板２２と第二端子支持部材４２とを接離可能に連結する第二連結部材５ｂとを備えている。第一連結部材５ａと第二連結部材５ｂとは、上下対称に配置されている点を除いて、同様の構成を有している。このため、第一連結部材５ａの構成を以下に説明し、第二連結部材５ｂの構成についてはその説明を省略する。
【００４６】
第一連結部材５ａは、第一部品保持板２１と第一端子支持部材４１とを連結する連結バー５０と、その一端部に取付ボルト等により固定されるフランジ板５１と、連結バー５０の他端部に取付ボルト等により固定されるフランジ板５２と、第一部品保持板２１を第一端子支持部材４１から離間させる方向に付勢する圧縮コイルばね等からなる付勢部材５３とを有している。
【００４７】
第一端子支持部材４１の外側支持板４１ｂには、その第一面側（図４の下方側）にフランジ板５１を摺動可能に保持する保持孔５４が形成されている。外側支持板４１ｂの第二面側（図４の上方側）には、連結バー５０を摺動可能に支持する支持孔５５が形成されている。この支持孔５５の直径は、連結バー５０の外径よりも大きく、かつ付勢部材５３及びフランジ板５１の直径よりも小さな値に形成されている。また、第一端子支持部材４１の内側支持板４１ａには、付勢部材５３の直径よりも大きな直径を有する貫通孔５６が形成されている。
【００４８】
また、第一部品保持板２１には、フランジ板５２を摺動可能に保持する保持孔５７が、第一部品保持板２１の第二面側（図４の上方側）に形成され、かつ連結バー５０を摺動可能に支持する支持孔５８が、第一部品保持板２１の第一面側（図４の下方側）に形成されている。支持孔５８の直径は、連結バー５０の外径よりも大きく、かつ付勢部材５３及びフランジ板５２の直径よりも小さな値に形成されている。
【００４９】
連結バー５０は、第一端子支持部材４１の支持孔５５及び貫通孔５６と、第一部品保持板２１の支持孔５８とを挿通するように設置される。そして、第一端子支持部材４１の保持孔５４内にフランジ板５１が配設されて連結バー５０の一端部に固定される。また、第一部品保持板２１の保持孔５７内にフランジ板５２が配設されて連結バー５０の他端部に固定される。これにより、第一連結部材５ａを介して第一部品保持板２１と第一端子支持部材４１とが接離可能に連結される。
【００５０】
また、付勢部材５３は、連結バー５０に外嵌されるとともに、第一端子支持部材４１の外側支持板４１ｂと第一部品保持板２１との間に配設されて、第一端子支持部材４１と第一部品保持板２１とを互いに離間させる方向に付勢している。
【００５１】
通常時、つまり第一端子支持部材４１と第一部品保持板２１とを接近させる方向の外力をユーザが作用させる前の初期状態では、付勢部材５３の付勢力に応じ、第一部品保持板２１と内側支持板４１ａとが所定距離を置いて離間している。また、フランジ板５１及びフランジ板５２が、保持孔５４及び保持孔５７の底部に当接することにより、第一端子支持部材４１と第一部品保持板２１とが互いに連結されている。
【００５２】
また、前記初期状態では、第一接触端子３１及び第二接触端子３２の先端部が第一部品保持板２１の第一端子挿通孔２５内及び第二部品保持板２２の第二端子挿通孔２６内に挿入された状態で、チップ部品１０の電極１２と対向するように配設されている。
【００５３】
図３及び図４に示すように、第一部品保持板２１のコーナー部には、その第二面側、つまり第二部品保持板２２に対向する上面側には、複数本（図例では四本）の連結ピン２８が突設されている。また、第二部品保持板２２の第一面側、つまり第一部品保持板２１に対向する第二部品保持板２２の下面側には、連結ピン２８の先端部が挿入される挿入孔２９が形成されている。
【００５４】
そして、連結ピン２８の先端部が挿入孔２９に挿入されることにより、第一部品保持板２１と第二部品保持板２２とが、水平方向に相対変位することが規制された状態で、接離可能に連結されている。このようにして第一部品保持板２１及び第二部品保持板２２からなる部品保持部材２と、内側支持板４１ａ及び外側支持板４１ｂを有する第一端子支持部材４１と、内側支持板４２ａ及び外側支持板４２ｂを有する第二端子支持部材４２とが、連結部材５等を介して一体に連結された検査治具１が構成される。
【００５５】
上述の構成を有する検査治具１を使用してチップ部品１０の検査を行う場合には、導電部材７１を介して検査装置本体７０と検査治具１とを接続した状態で、ユーザがチップ部品１０を切欠き部２４，２４に沿って溝部２０へと搬入する。次いで、ユーザが検査治具１を傾斜させることにより、チップ部品１０をその自重に応じて部品検査位置へとスライド変位させることにより、部品検査位置にセットする。なお、ユーザがチップ部品１０を溝部２０上に載置した後、棒材等を使用してチップ部品１０を部品検査位置へと押し込むようにしてもよい。
【００５６】
そして、検査治具１のベースプレート６を机上等に載置した状態で、図４の矢印Ｙに示すように、ユーザが第二端子支持部材４２のカバープレート４２ｃを下方に押圧する。この押圧力に応じて、付勢部材５３が圧縮されることにより、第二端子支持部材４２が第二部品保持板２２に接近するとともに、第一部品保持板２１が第一端子支持部材４１に接近するように相対変位する。なお、ユーザが検査治具１を上下から把持した状態で、第一端子支持部材４１と第二端子支持部材４２とを接近させる方向に押圧力を作用させるようにしてもよい。
【００５７】
上述のように第一端子支持部材４１が第一部品保持板２１に接近するように相対変位することにより、図７に示すように、第一接触端子３１の先端部が第一端子挿通孔２５に沿って上昇し、検査対象であるチップ部品１０の電極１２の第一面側に当接する。また、第二端子支持部材４２が第二部品保持板２２に接近するように相対変位することにより、第二接触端子３２の先端部が第二端子挿通孔２６に沿って下降し、チップ部品１０の電極１２の第二面側に当接する。
【００５８】
一対の第一接触端子３１及び一対の第二接触端子３２の先端部をチップ部品１０の電極１２に当接させた後、ユーザがさらにカバープレート４２ｃを下方に押圧すると、端子付勢部材４５が圧縮されて変形する。これにより、チップ部品１０の電極１２に第一接触端子３１及び第二接触端子３２の先端部が食い込むことが抑制されるとともに、チップ部品１０の電極１２に対して第一接触端子３１及び第二接触端子３２が適度の押圧力で圧接されることになる。
【００５９】
そして、上述の状態で、例えば一対の第一接触端子３１から導電部材７１を介して、チップ部品１０の電極１２，１２間に測定用電流を供給する。また、この測定用電流に応じてチップ部品１０の電極１２，１２間に生じた電圧を、一対の第二接触端子３２から導電部材７１を介して検査装置本体７０に出力することにより、チップ部品１０の良否判定を実行することができる。
【００６０】
このように検査対象のチップ部品１０を出し入れ可能に保持する溝部（部品保持部）２０が設けられた部品保持部材２と、この溝部２０に保持されたチップ部品１０の電極１２に先端部が接触可能に配設された接触端子３と、この接触端子３を支持する端子支持部材４と、部品保持部材２と端子支持部材４とを接離可能に連結する連結部材５とを備えた検査治具１によれば、背景技術と比べてチップ部品１０の検査を短時間で行うことができるという利点がある。
【００６１】
すなわち、上述の実施形態では、チップ部品１０の幅寸法Ｗに対応した溝幅と、チップ部品１０の上下寸法Ｈに対応した溝深さとを有する溝部２０からなる部品保持部が、部品保持部材２の一端部側から接触端子３が配設された部品検査位置に向けて延びるように形成されているので、ユーザが、部品保持部材２の一端部側から溝部２０内にチップ部品１０を搬入した後に検査治具１を傾斜させて、前記溝部２０に沿ってチップ部品１０をスライド変位させる等により、接触端子３が配設された部品検査位置にチップ部品１０を容易にセットすることができる。
【００６２】
そして、連結部材５により連結された端子支持部材４と部品保持部材２とを接近させる方向に、ユーザが押圧力を作用させることにより、接触端子３の先端部をチップ部品１０の電極１２に当接させて上述の検査を行うことができるため、容易かつ迅速にチップ部品１０の検査を行うことができる。また、ユーザが前記押圧力を加減することにより、チップ部品１０の電極１２に対する接触端子３の当接力を適正に調節することができるため、チップ部品１０の損傷を効果的に抑制できるという利点がある。
【００６３】
また、上述のように圧縮コイルばね等からなる端子付勢部材４５を端子支持部材４に設けることにより、接触端子３をチップ部品１０に向けて付勢するように構成した場合には、チップ部品１０の検査時に、その電極１２に対して接触端子３の先端部を適度の圧接力で当接させることができる。しかも、ユーザが、端子支持部材４と部品保持部材２とを過度に接近させるように押圧力を作用させた場合には、端子付勢部材４５を圧縮変形させることにより、チップ部品１０の電極１２に接触端子３の先端部が食い込むのを抑制することできる。この結果、部品損傷のおそれを効果的に低減できるという利点がある。
【００６４】
なお、端子支持部材４を部品保持部材２から離間させる方向に付勢する付勢部材５３を省略し、ユーザの手動操作により、端子支持部材４と部品保持部材２とを接近又は離間させるように構成することも可能である。しかし、この構成では、チップ部品１０の出し入れを行う度に、ユーザが、端子支持部材４を部品保持部材２から離間させるように操作しなければならず、この操作が煩雑であった。
【００６５】
これに対し、上述のように端子支持部材４を部品保持部材２から離間させる方向に付勢する付勢部材５３を検査治具１に設けた構造とした場合には、チップ部品１０の検査が終了した時点で、付勢部材５３の付勢力に応じて端子支持部材４及び部品保持部材２を自動的に初期位置に復帰させることができる。このため、チップ部品１０の出し入れを容易に行うことができ、検査に要する時間を、より短くすることができる。なお、付勢部材５３を必ずしも連結バー５０に外嵌する必要はなく、端子支持部材４と部品保持部材２と間における適宜の位置に付勢部材を配設することが可能である。
【００６６】
また、上述の第一実施形態では、部品保持部材２の第一面側に一対の第一接触端子３１，３１を配設するとともに、部品保持部材２の第二面側に一対の第二接触端子３２，３２を配設し、かつ第一接触端子３１，３１を支持する第一端子支持部材４１と、第二接触端子３２，３２を支持する第二端子支持部材４２を設けている。この構成によれば、第一接触端子３１，３１及び第二接触端子３２，３２の一方を、電圧測定用の接触端子として使用するとともに、第一接触端子３１，３１及び第二接触端子３２，３２の他方を電流供給用の接触端子として使用することにより、測定精度の高い四端子測定法用の検査を行うことができる。
【００６７】
さらに、上述のように溝部２０からなる部品保持部が形成された第一部品保持板２１と、溝部２０の第二面側を覆うように設置された第二部品保持板２２とを有し、かつ第一部品保持板２１に第一端子挿通孔２５を形成するとともに、第二部品保持板２２に第二端子挿通孔２６を形成した構成によれば、チップ部品１０を、第一部品保持板２１と第二部品保持板２２との間に配設することにより、安定して保持させることができる。
【００６８】
そして、第一端子挿通孔２５及び第二端子挿通孔２６を、第一接触端子３１及び第二接触端子３２の案内孔として利用することにより、第一接触端子３１及び第二接触端子３２をそれぞれ適正に位置決めして、チップ部品１０の電極１２に当接させることができる。また、第一接触端子３１及び第二接触端子３２をチップ部品１０の電極１２に当接させる際に、第一接触端子３１及び第二接触端子３２に折れ曲がり等が生じるおそれを低減してこれらを効果的に保護できるという利点もある。
【００６９】
また、第一部品保持板２１に、第二部品保持板２２の一端部よりも外方側に突出した突出部２３を設け、この突出部２３を含む範囲に溝部２０を形成するとともに、この溝部２０に設けられた部品検査位置の第二面側を当該第二部品保持板２２により覆うようにした上述の実施形態によれば、部品検査位置に配設されたチップ部品１０を第一部品保持板２１により効果的に保護することができる。しかも、突出部２３に設けられた溝部２０の第二面側が開放状態とされているため、突出部２３に位置する溝部２０内にユーザがチップ部品１０を容易に搬入することが可能である。
【００７０】
なお、接触端子３の構成は、上述の第一実施形態に限定されることなく、種々の変形が可能である。例えば、導電体からなるプランジャーと、このプランジャーとスライド可能に支持する筒状体とを有し、プランジャーの先端部を筒状体外に突出させる方向に付勢する付勢部材が筒状体内に配設されてなる接触端子を用いてもよい。また、導電体からなる筒状体の基端部に導電部材７１を接続するとともに、筒状体の先端部をチップ部品１０の電極１２に接触可能に配設し、かつ筒状体の一部に形成された螺旋状のばね部を付勢部材として機能させるように構成された接触端子を用いることもできる。
【００７１】
上述の第一実施形態では、部品保持部材２に、チップ部品１０の幅寸法Ｗに対応した溝幅を有する溝部２０からなる部品保持部を設け、この溝部２０に沿ってチップ部品１０を、その長さ方向に搬入するように構成した例について説明したが、部品保持部の形状及び大きさ等は、これに限られず種々の変更が可能である。
【００７２】
図８は、溝部２０ａの変形例を示す平面図であり、図９は、接触端子の配列状態の変形例を示す平面図、図１０は、検査対象となるチップ部品の変形例を示す平面図、図１１は、大きさの異なるチップ部品の検査例を示す平面図である。
【００７３】
図８に示す変形例では、チップ部品１０の全長Ｌに対応した溝幅を有する溝部２０ａに沿って、チップ部品１０がその幅方向に搬送されるように構成されている。そして、第一接触端子３１，３１及び第二接触端子３２，３２は、それぞれ溝部２０ａの幅方向に相対向して配列されることにより、チップ部品１０の電極１２，１２に接触可能に配設されている。
【００７４】
なお、第一接触端子３１及び第二接触端子３２の配置及び個数等は、上述の第一実施形態に限られず、種々の変更が可能である。例えば、第一接触端子３１及び第二接触端子３２の一方のみを用いて二端子測定法による検査を行うように構成してもよい。
【００７５】
また、図９に示すように、部品保持部材２の第一面側に、四本の接触端子３ａ〜３ｄを配設し、そのうちの接触端子３ａ，３ｃを電圧測定用の接触端子として使用し、残りの接触端子３ｂ，３ｄを電流供給用の接触端子として使用することにより、測定精度の高い四端子測定法用の検査を行うようにしてもよい。なお、部品保持部材２の第二面側に、四本の接触端子３ａ〜３ｄを配設してもよいことは勿論である。
【００７６】
このように、部品保持部材２の第一面側及び第二面側の何れか一方に、四本の接触端子３ａ〜３ｄを配設するように構成した場合には、図１０に示すように、チップ部品本体１１の一方の面側にのみ電極１３，１３が形成されたチップ部品１０ａについても、四端子測定法による測定を行うことができる。
【００７７】
さらに、部品保持部材２の第一面側及び第二面側の両方に、四本の接触端子３ａ〜３ｄをそれぞれ配設し、これらを導電部材７１により検査装置本体にそれぞれ接続するように構成してもよい。そして、例えば接触端子３ａ，３ｂを電極１２，１２の一方に接触可能に配列するとともに、接触端子３ｃ，３ｄを電極１２，１２の他方に接触可能に配列するように構成すれば、接触端子３ａ，３ｂの何れか一方、又は接触端子３ｃ，３ｄの何れか一方を電極１２に接触できない状態となっても、その他方を電極１２に接触させることにより、チップ部品１０の検査を行うことができる。
【００７８】
また、部品保持部材２の第一面側及び第二面側の両方に、四本の接触端子３ａ〜３ｄをそれぞれ配設した場合には、チップ部品本体１１の一方の面側にのみ電極１３，１３が形成されたチップ部品１０ａを検査するときに、部品保持部材２の第一面側及び第二面側のうちいずれか一方に配設された四本の接触端子３ａ〜３ｄのうち、二本を電極１２，１２の一方に、残りの二本を電極１２，１２の他方に接触させて四端子測定法による測定を行うことができる。この場合、チップ部品１０ａの電極１３，１３が、第一面側及び第二面側のいずれの側に位置しても、四本の接触端子３ａ〜３ｄを電極１３，１３に接触させることができる。その結果、ユーザがチップ部品１０ａを検査治具１に取り付ける際に、チップ部品１０ａの向きを考慮する必要が無くなるので、ユーザの利便性が向上する。
【００７９】
また、本発明に係る検査装置７は、上述の構成を有する検査治具１と、接触端子３から伝送された電気信号に基づいてチップ部品１０の検査処理を行う検査装置本体７０と、接触端子３と検査装置本体７０とを電気的に接続する導電部材７１とを備えているため、チップ部品１０の検査を短時間で容易に行うことができるとともに、チップ部品１０に損傷が生じるおそれを効果的に低減することができる。
【００８０】
そして、導電部材７１を介して検査治具１に接続される検査装置本体７０を異なる機種のものと交換することにより、本発明に係る検査治具１を、各種の機能を有する検査装置に適用することが可能であり、検査治具１に汎用性を持たせることができるという利点がある。
【００８１】
検査治具１に、より優れた汎用性を持たせるためには、各種のチップ部品１０に対応して部品保持部が異なる形状及び大きさ等に形成された複数種の部品保持部材２を予め取り揃え、そのうちの一つを選択して検査治具１に着脱し得るように構成することが望ましい。例えば、部品保持部材２を構成する第一部品保持板２１と第二部品保持板２２とを分離した状態で、第二部品保持板２２を溝幅の異なる溝部２０を有するものと取り換えることにより、幅寸法が異なるチップ部品１０をそれぞれ検査することが可能である。
【００８２】
また、図１１に示すように、部品保持部材２の第一面側及び第二面の一方、又はその両方に、溝部２０に沿って複数本（図例では四本）の接触端子３Ａ〜３Ｄを所定間隔で配列し、チップ部品１０に設けられた電極１２，１２の設置間隔に対応した距離を置いて配設された一対の接触端子を選択して、検査装置本体７０に接続するようにしてもよい。
【００８３】
例えば、小型のチップ部品１０Ａの検査を行う場合には、離間距離の小さい接触端子３Ａと接触端子３Ｂとを選択して、導電部材７１Ａ，７１Ｂにより検査装置本体７０に接続する。また、大型のチップ部品１０Ｄの検査を行う場合には、離間距離の大きい接触端子３Ａと接触端子３Ｄとを選択して、導電部材７１Ａ，７１Ｄにより検査装置本体７０に接続する。この結果、検査装置本体７０に接続される導電部材７１を変更するだけで、幅寸法が異なる各種のチップ部品１０Ａ及びチップ部品１０Ｄ等をそれぞれ検査することができる。
（第二実施形態）
【００８４】
図１２は、本発明の第二実施形態に係る検査治具１Ａの構成を示す断面図であり、図１３は、図１２に示す検査治具１Ａによるチップ部品の検査状態を示す断面図である。
【００８５】
第二実施形態に係る検査治具１Ａは、適度の導電性及び弾力性を有するタングステンワイヤー等により形成されたワイヤープローブからなる接触端子３４Ａが、第一端子支持部材４１及び第二端子支持部材４２にそれぞれ支持されたものである。また、第一部品保持板２１及び第二部品保持板２２には、接触端子３４Ａの先端部が挿通される第一端子挿通孔２５Ａ及び第二端子挿通孔２６Ａがそれぞれ形成されている。さらに、各接触端子３４Ａの基端部には、それぞれ導電部材７１が接続されている。
【００８６】
部品保持部材２と端子支持部材４とを接離可能に連結する連結部材５Ａの連結バー５０Ａは、第一端子支持部材４１の内側支持板４１ａ及び第二端子支持部材４２の内側支持板４２ａに形成された貫通孔５６Ａに沿ってそれぞれスライド可能に支持されている。また、連結バー５０Ａの基端部に設けられたフランジ板５１Ａが、第一端子支持部材４１の外側支持板４１ｂ及び第二端子支持部材４２の外側支持板４２ａに形成された保持孔５４Ａにそれぞれ摺動可能に保持されている。さらに、連結バー５０Ａの先端部は、固定ボルト５９Ａを介して第一部品保持板２１の第一面側及び第二部品保持板２２の第二面側にそれぞれ固定されている。
【００８７】
部品保持部材２を端子支持部材４から離間させる方向に付勢する付勢部材５３Ａは、第一端子支持部材４１の内側支持板４１ａ及び第二端子支持部材４２の内側支持板４２ａにそれぞれ保持された筒状体５３１と、この筒状体５３１に摺動可能に支持された押し棒５３２と、この押し棒５３２の基端部に設けられたフランジ部５３３を押し棒５３２の先端部側に付勢する付勢ばね５３４とを有している。
【００８８】
ユーザが、端子支持部材４と部品保持部材２とを接近させるように操作する前の初期状態では、付勢ばね５３４の付勢力に応じて押し棒５３２の先端部が筒状体５３１外に突出している。そして、押し棒５３２の先端部が部品保持部材２に押圧されることにより、端子支持部材４と部品保持部材２とが離間した状態に保持されている。具体的には、第一部品保持板２１が、図１２の下側の押し棒５３２によって上方側に押圧されることにより、第一端子支持部材４１の内側支持板４１ａと、第一部品保持板２１との間に所定の間隙が形成されている。また、第二部品保持板２２が、図１２の上側の押し棒５３２によって下方側に押圧されることにより、第二端子支持部材４２の内側支持板４２ａと、第二部品保持板２２との間に所定の間隙が形成されている。
【００８９】
また、前記初期状態では、下側の連結部材５Ａのフランジ板５１Ａが、第一端子支持部材４１の第一面側に当接した状態となることにより、第一端子支持部材４１の内側支持板４１ａと、第一部品保持板２１との間隙が一定値となるように規制されている。また、上側の連結部材５Ａのフランジ板５１Ａが、第二端子支持部材４２の第二面側に当接した状態となることにより、第二端子支持部材４２の内側支持板４２ａと、第二部品保持板２２との間隙が一定値となるように規制されている。
【００９０】
そして、チップ部品１０を部品保持部材２の部品検査位置にセットした状態で、ユーザが端子支持部材４と部品保持部材２とを接近させる方向に押動すると、付勢ばね５３４の付勢力に抗して押し棒５３２の先端部が筒状体５３１内押し込まれるとともに、連結バー５０Ａが貫通孔５６Ａに沿って、その基端部側にスライド変位する。
【００９１】
この結果、第二端子支持部材４２が第二部品保持板２２に接近するとともに、第一部品保持板２１が第一端子支持部材４１に接近するように相対変位することにより、図１３に示すように、各接触端子３４Ａの先端部が第一端子挿通孔２５Ａ及び第二端子挿通孔２６Ａに沿ってスライド変位し、チップ部品１０の電極１２に当接する。
【００９２】
第二実施形態に示すように、適度の弾力性を有するワイヤープローブからなる接触端子３４Ａを用いた場合には、チップ部品１０の検査時に作用する圧力に応じて、接触端子３４Ａを弾性変形させることができる。このため、前記第一実施形態に示すように、接触端子３の先端部をチップ部品１０の電極１２に当接させる方向に付勢する端子付勢部材４５を設けることなく、チップ部品１０の電極１２に接触端子３４Ａを所定の押圧力で圧接させて、チップ部品１０の検査を適正に行うことができる。
【００９３】
また、第二実施形態では、部品保持部材２と端子支持部材４とを接離可能に連結する連結部材５Ａと、部品保持部材２を端子支持部材４から離間させる方向に付勢する付勢部材５３Ａとを別体に設けたため、連結部材５Ａにより部品保持部材２と端子支持部材４とを正確に位置決めした状態で、付勢部材５３Ａにより部品保持部材２を適正に付勢することが可能である。
【符号の説明】
【００９４】
１，１Ａ    検査治具
２    部品保持部材
３，３ａ〜３ｄ，３Ａ〜３Ｄ  接触端子
４    端子支持部材
５，５Ａ    連結部材
６    ベースプレート
７    検査装置
１０  チップ部品
１１  チップ部品本体
１２  電極
２０  溝部
２１  第一部品保持板
２２  第二部品保持板
２３  突出部
２４，２４  切欠き部
２５，２５Ａ  第一端子挿通孔
２６，２６Ａ  第二端子挿通孔
２７  凹孔
２８  連結ピン
２９  挿入孔
３０  端子本体
３１  第一接触端子
３２  第二接触端子
３３  鍔部
３４Ａ  接触端子
４１  第一端子支持部材
４１ａ  内側支持板
４１ｂ  外側支持板
４２  第二端子支持部材
４２ａ  内側支持板
４２ｂ  外側支持板
４２ｃ  カバープレート
４３  支持孔
４４  収容孔
４５  端子付勢部材
４６  支持孔
４７  収容孔
５０，５０Ａ  連結バー
５１，５１Ａ，５２  フランジ板
５３，５３Ａ  付勢部材
５４，５４Ａ  保持孔
５５  支持孔
５６，５６Ａ  貫通孔
５７  保持孔
５８  支持孔
５９Ａ  固定ボルト
６０  支柱
７０  検査装置本体
７１  導電部材
５３１  筒状体
５３２  押し棒
５３３  フランジ部
【図１】
2019056653.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2019056653.tif 000009
【図８】
2019056653.tif 000010
【図９】
2019056653.tif 000011
【図１０】
2019056653.tif 000012
【図１１】
2019056653.tif 000013
【図１２】
2019056653.tif 000014
【図１３】
2019056653.tif 000015