(57)【要約】【課題】バッテリの能力を最大限に利用できるようにした定電力制御装置を提供する。【解決手段】ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０はウェハー加熱ヒータ１１０に印加する電圧を出力する。検出部１４０はウェハー加熱ヒータ１１０に印加されている電圧Ｖ＿ＡＤＩ２とウェハー加熱ヒータ１１０に流れている電流Ｉ＿ＡＤＩとを検出する。制御部１００は、検出部１４０が検出したウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２と電流Ｉ＿ＡＤＩとに基づいてウェハー加熱ヒータ１１０を定電力で作動させるためＤＣ−ＤＣコンバータ１５０が出力すべき目標電圧ＤＡＣを演算し、目標電圧ＤＡＣをＤＣ−ＤＣコンバータ１５０に出力させる。【選択図】図１４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
負荷に印加する電圧を出力するＤＣ−ＤＣコンバータと、
前記負荷に印加されている電圧と前記負荷に流れている電流とを検出する検出部と、
前記検出部が検出した前記負荷の電圧と電流とに基づいて前記負荷を定電力で作動させるため前記ＤＣ−ＤＣコンバータが出力すべき目標電圧を演算し、前記目標電圧を前記ＤＣ−ＤＣコンバータに出力させる制御部と、
を有する、定電力制御装置。
【請求項２】
さらに、前記ＤＣ−ＤＣコンバータが出力している電圧を監視する監視部を有し、
前記制御部は、前記ＤＣ−ＤＣコンバータが出力している電圧が、前記制御部が演算した前記目標電圧を維持するように、信号ラインを介して前記ＤＣ−ＤＣコンバータに指示を出力する、請求項１に記載の定電力制御装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記検出部が複数回に亘って検出した前記負荷の電圧と電流のそれぞれの平均を演算し、それぞれの平均から前記目標電圧を演算する、請求項１に記載の定電力制御装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記検出部が検出した前記負荷の電圧と電流とに基づいて前記負荷の抵抗を演算し、前記負荷の目標電力と演算された抵抗とから前記目標電圧を演算する、請求項１に記載の定電力制御装置。
【請求項５】
さらに、前記ＤＣ−ＤＣコンバータと前記負荷との間にスイッチを有し、
前記制御部は、前記負荷を作動させるときに、前記スイッチをＯＮさせる、請求項１に記載の定電力制御装置。
【請求項６】
前記制御部から前記ＤＣ−ＤＣコンバータに指示を出力する前記信号ラインには逆流防止ダイオードが接続され、前記逆流防止ダイオードは、前記信号ラインの障害によって前記ＤＣ−ＤＣコンバータが出力する電圧が過電圧になることを防止する、請求項２に記載の定電力制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば、チューブを接合するチューブ接合装置に好適な定電力制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂製のチューブ同士を繋ぎ合わせる技術として、各チューブの端部を溶断し、溶断した端部同士を相互に押し付けて加圧接合する接合方法がある。この接合方法はチューブを接合するチューブ接合装置に採用されている。
【０００３】
チューブ接合装置は、２本のチューブを装置の上下方向（高さ方向）に重ねて相互に密着させ、加熱した板状の金属製ウェハーを２本のチューブに対して接近移動させることによって２本のチューブを溶断する。金属製ウェハーの加熱にはバッテリの電力を用いる。従来、バッテリから得られる大きな電圧とＰＷＭ制御により得られる電流とを定電力制御することによって金属ウェハーを加熱している。
【０００４】
バッテリの電力をＰＷＭ制御によって負荷に供給する技術としては、特許文献１に示すものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１４３３３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１のように、バッテリの電力をＰＷＭ制御によって負荷に供給する場合には、バッテリから瞬間的に大きな電流が供給される。そのため、バッテリを十分な放電深度まで放電させることができず、そのバッテリの能力を最大限有効に活用できない。
【０００７】
本発明は、上記の不具合を解消するためになされたものであり、バッテリの能力を最大限に利用できるようにした定電力制御装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る定電力制御装置は、ＤＣ−ＤＣコンバータ、検出部、制御部を有する。ＤＣ−ＤＣコンバータは負荷に印加する電圧を出力する。検出部は負荷に印加されている電圧と負荷に流れている電流とを検出する。制御部は、検出部が検出した負荷の電圧と電流とに基づいて負荷を定電力で作動させるためＤＣ−ＤＣコンバータが出力すべき目標電圧を演算し、目標電圧をＤＣ−ＤＣコンバータに出力させる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る定電力制御装置によれば、制御部が演算した目標電圧にしたがってＤＣ−ＤＣコンバータを作動させ、ＤＣ−ＤＣコンバータが負荷に定電力を供給するので、バッテリから瞬間的に大きな電流が供給されることはない。このため、バッテリを十分な放電深度まで放電させることができ、バッテリの容量を有効に活用することができる。さらに、バッテリの種類、容量など、バッテリの選定範囲が広がる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施形態に係るチューブ接合装置の斜視図である。
【図２】図１に示す矢印Ｊ１方向から見たチューブ接合装置の側面図である。
【図３】図１に示す矢印Ｊ２方向から見たチューブ接合装置の側面図である。
【図４】チューブ接合装置を底面部側から見た斜視図である。
【図５】図５（Ａ）は、図１に示す筐体の正面部側に設けられている操作パネル部を示す図、図５（Ｂ）は、図１に示す筐体の上面部に設けられている表示部を示す図である。
【図６】図１に示すＲＴ方向にクランプ蓋部を開いた状態の斜視図である。
【図７】クランプ蓋部および筐体の内部構造を示す図である。
【図８】チューブ接合装置の筐体内に配置されている構成要素の配置を示す斜視図である。
【図９】チューブ接合装置の制御系統のブロック図である。
【図１０】図１０（Ａ）は、筐体のウェハーカセット挿入部を示す図、図１０（Ｂ）は、ウェハーカセット取り出しボタン付近を示す図、図１０（Ｃ）は、筐体とともにウェハーカセットを示す斜視図である。
【図１１】図１１（Ａ）は、ウェハーカセットの底面部を示す斜視図、図１１（Ｂ）は、ウェハーカセットの上面部を示す斜視図である。
【図１２】ファンと筐体側クランプ部に配置された各チューブとウェハーとの位置関係の例を示す側面図である。
【図１３】接合後のチューブを説明するための図であって、図１３（Ａ）は、接合後の各チューブを拡大して示す図、図１３（Ｂ）は、接合後の各チューブの配設状態を模式的に示す図である。
【図１４】本実施形態に係る定電力制御装置のブロック図である。
【図１５】本実施形態に係る定電力制御装置の初期化処理のフローチャートである。
【図１６】本実施形態に係る定電力制御装置の動作フローチャートである。
【図１７】本実施形態に係る定電力制御装置の動作説明に供する図である。
【図１８】本実施形態に係る定電力制御装置の動作説明に供する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本実施形態に係る定電力制御装置は、２本のチューブを溶断して接合するチューブ接合装置に好適である。以下に、図面を参照して、この定電力制御装置を適用するチューブ接合装置の実施形態を説明する。なお、図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の寸法比率とは異なる場合がある。
【００１２】
図１は、本実施形態に係るチューブ接合装置の斜視図である。図２は、図１に示す矢印Ｊ１方向から見たチューブ接合装置の側面図である。図３は、図１に示す矢印Ｊ２方向から見たチューブ接合装置の側面図である。図４は、チューブ接合装置を底面部側から見た斜視図である。
【００１３】
図１に示すチューブ接合装置１は、図１３に示すように、複数のチューブＴ１、Ｔ２のそれぞれの端部を溶断し、溶断した各端部同士を無菌状態で加圧して接合するものである。本実施形態においては、腹膜透析液バッグの透析液チューブと、腹膜透析をする際に使用される患者の腹膜カテーテル側のチューブの接合に使用される医療装置に適用した例を通じてチューブ接合装置を説明する。
【００１４】
チューブ接合装置１の各構成について説明する。図１、図２、図３に示すように、チューブ接合装置１は、例えば、筐体２と、チューブ接合装置１に各チューブＴ１、Ｔ２（図１〜図３には図示しない）をセットする際にそのセットの補助に使用されるチューブセット補助具４とを有する。
【００１５】
筐体２は、上側筐体部分２Ｗと、上側筐体部分２Ｗと組み合わせられる下側筐体部分２Ｖと、上側筐体部分２Ｗの上部側に設けられた開閉可能なクランプ蓋部３とを有している。クランプ蓋部３を含む筐体２とチューブセット補助具４は、例えば、硬質のプラスチックにより作られるが、材質等について制限は特にない。
【００１６】
筐体２は、後述するように、チューブ接合装置１の各構成要素を収容する。クランプ蓋部３は、この筐体２の上部に配置している。
【００１７】
チューブセット補助具４は、筐体２に対して着脱可能に取り付けられている。筐体２とクランプ蓋部３は、例えば、明度の比較的高い明るい色、具体的には、クリーム色あるいは白色で構成することが可能である。また、ユーザー（実際にチューブ接合装置１を使用する者や患者等）が、筐体２、クランプ蓋部３、チューブセット補助具４のそれぞれを、視覚的に明確に区別できるようにするために、チューブセット補助具４は、例えば、オレンジ色で構成できる。
【００１８】
筐体２は、図１から図４に示すように、底面部２Ａと、正面部２Ｂと、右側面部２Ｃと、左側面部２Ｄと、背面部２Ｅと、上面部２Ｆとを有するケースによって構成している。このケースは、図示するように、面取りがされた略直方体形状の形状を有している。
【００１９】
図４に示すように、底面部２Ａの四隅には、それぞれ設置用部材２Ｇを取り付けている。これらの設置用部材２Ｇは、例えば円形状のプラスチック製あるいはゴム製の滑り止め部材で構成することができる。重量が比較的大きなチューブ接合装置１は、これらの設置用部材２Ｇが用いられることにより机面のような設置面に対して滑らないように置かれる。これにより、各チューブＴ１、Ｔ２を接合する作業時などにチューブ接合装置１に位置ずれが生じることを防止でき、接合作業を安定した状態で実施できる。
【００２０】
底面部２Ａには、例えば、バッテリ交換用の蓋部材２Ｈを設けることができる。この蓋部材２Ｈは、例えば、ねじ２Ｉのような固定部材により着脱可能に取り付けることができる。ねじ２Ｉを外して、蓋部材２Ｈを取り外せば、図４中において破線で示されるバッテリＢＡを交換することが可能となる。蓋部材２Ｈは、例えば、正面部２Ｂよりも背面部２Ｅ寄り側に配置することができる。また、蓋部材２Ｈは、ファンＦＮの排気用開口部６から離れた位置に配置している。
【００２１】
図４に示すように、底面部２Ａには、音声用開口部５と排気用開口部６が形成されている。音声用開口部５と排気用開口部６は、例えば、バッテリ交換用の蓋部材２Ｈと正面部２Ｂとの間に形成される。
【００２２】
音声用開口部５は、複数の細長い貫通穴５Ａにより構成されており、排気用開口部６は、複数の細長い貫通穴６Ａにより構成されている。
【００２３】
底面部２Ａの内側には、破線で示すようにスピーカＳＰと排気装置としてのファンＦＮが配置されている。このファンＦＮは、接合動作を終えた後にウェハーＷＦを冷却する冷却用ファンとしての機能も有する。
【００２４】
音声用開口部５は、スピーカＳＰが発生する音声ガイダンスや警告音等を、筐体２の外部に出力するために設けられている。これにより、ユーザーはスピーカＳＰが発生する音声ガイダンスや警告音等を明瞭に聞くことができる。
【００２５】
排気用開口部６は、冷却用のファンＦＮが作動することで筐体２の内部で発生する熱や内部を通るガスを筐体２の外部に強制的に排出するために設けられている。これにより、筐体２内の熱や内部を通るガスを側面部２Ｃ、２Ｄではなく、底面部２Ａ側から筐体２の外部に排出することができる。
【００２６】
図４に示すように、筐体２の底面部２Ａには、その他にも、複数本のリブ２ＪがＹ方向に平行に形成されている。これらのリブ２Ｊは、チューブセット補助具４を筐体２に対して着脱自在に取り付ける際の、ガイド部分としての機能を有している。
【００２７】
次に、図５を参照して、操作パネル部７と表示部８について説明する。
【００２８】
図５（Ａ）は、図１に示す筐体２の正面部２Ｂ側に設けられている操作パネル部７を示している。図５（Ｂ）は、図１に示す筐体２の上面部２Ｆに設けられている表示部８を示している。
【００２９】
図５（Ａ）に示す操作パネル部７は、［電源スイッチ］ボタン７Ｂと、［電源］ランプ７Ｃと、［充電中］ランプ７Ｄと、［接合］ボタン７Ｅと、［接合］ランプ７Ｆと、［ウェハー取り出し］ランプ７Ｇとを有している。
【００３０】
［電源］ランプ７Ｃ、［充電中］ランプ７Ｄ、［接合］ランプ７Ｆ、および［ウェハー取り出し］ランプ７Ｇは、操作パネル部７における各種の状態を表す表示用のランプである。各ランプは、例えば、緑色のＬＥＤ（発光ダイオード）ランプで構成することができる。
【００３１】
［電源スイッチ］ボタン７Ｂは、チューブ接合装置１に電源を入れるために押されるボタンである。［電源］ランプ７Ｃは、［電源スイッチ］ボタン７Ｂを押すことにより点灯する。
【００３２】
［接合］ボタン７Ｅは、ユーザーが各チューブＴ１、Ｔ２（図１３参照）のそれぞれの端部を溶断して、そして各チューブＴ１、Ｔ２の端部を入れ替えて加圧接合する溶断−接合作業を開始する際に押すボタンである。［接合］ランプ７Ｆは、［接合］ボタン７Ｅを押すと点灯する。また、［接合］ランプ７Ｆは、チューブ接合装置１の故障時に、故障状態にあることをユーザーに警告するために点滅するように構成することができる。
【００３３】
［充電中］ランプ７Ｄは、図４に示すバッテリＢＡに対して商用交流電源側からの充電が行われている場合に点灯する。
【００３４】
［ウェハー取り出し］ランプ７Ｇは、各チューブＴ１、Ｔ２同士の接合が終了して、ユーザーが使用済みのウェハーＷＦを筐体２から取り出して排出することができるような状態になると点灯または点滅する。
【００３５】
図５（Ｂ）に示す表示部８は、［カバー閉じる］ランプ８Ｂと、［ウェハーカセット交換］ランプ８Ｃと、［ウェハー不良］ランプ８Ｄと、［要充電］ランプ８Ｅと、［室温不適］ランプ８Ｆと、［装置故障］ランプ８Ｇとを有している。
【００３６】
［装置故障］ランプ８Ｇは、チューブ接合装置１が故障したことを知らせる警告ランプである。［装置故障］ランプ８Ｇは、例えば、赤色のＬＥＤランプにより構成することができる。その他のランプは、警報表示ランプとして構成されており、例えば、黄色のＬＥＤランプにより構成することができる。
【００３７】
図１と図２を再度参照して、筐体２の側面部２Ｃには、ウェハーカセット挿入部２０と、ウェハーカセット取り出しボタン２１が設けられている。
【００３８】
ウェハーカセット挿入部２０は、図１に示すウェハーカセットＷＣを着脱可能に挿入するための長方形状の開口部により構成している。ウェハーカセットＷＣがウェハーカセット挿入部２０を通じて筐体２内に挿入された状態で、ユーザーが指でウェハーカセット取り出しボタン２１を押し込む。これにより、ウェハーカセットＷＣはウェハーカセット挿入部２０を通じて筐体２の外部に取り出すことができる。ウェハーカセットＷＣは各チューブＴ１、Ｔ２の溶断に使用される複数個のウェハーＷＦが収容された容器によって構成している。
【００３９】
図３に示すように、筐体２の左側面部２Ｄには、音量調整ボリューム２２と、音声メッセージ切替スイッチ２３を設けている。
【００４０】
ユーザーが音量調整ボリューム２２をスライドすることで音声メッセージの音量の大小を好みに応じて調整できる。また、ユーザーが音声メッセージ切替スイッチ２３を例えば「無」の状態から「有」の状態にスライドすることで、所定の音声メッセージを図４に示すスピーカＳＰから出力することができる。ユーザーが音声メッセージ切替スイッチ２３を例えば「無」の状態にすれば、スピーカＳＰから、例えば、所定のブザー音を出力させることができる。
【００４１】
次に、筐体２に配置されたクランプ蓋部３について説明する。
【００４２】
図１に示すように、クランプ蓋部３は、例えば、操作パネル部７と表示部８との間に配置することができる。
【００４３】
図６は、図１に示す矢印ＲＴ方向にクランプ蓋部３を開いた状態における筐体２を示す斜視図である。
【００４４】
クランプ蓋部３は、図６に示すように、クランプ板３０と、クランプ操作部３１と、被覆カバー３２とを有している。
【００４５】
クランプ操作部３１はユーザーが手指でクランプ蓋部３を開閉する際に使用される。クランプ操作部３１と、クランプ板３０、および被覆カバー３２は、それぞれ目視で容易に区別できるようにする。このために、例えば、クランプ操作部３１は緑色に着色することができ、クランプ板３０と被覆カバー３２は、例えば、クリーム色あるいは白色に着色することができる。
【００４６】
図１に示すように、クランプ板３０の表面には、各チューブＴ１、Ｔ２の挿入状態を模式的に記した確認シール３０Ｓを貼り付けることができる。チューブ接合装置１を使用する際に、ユーザーが確認シール３０Ｓを目視することにより、各チューブＴ１、Ｔ２がクランプ蓋部３と筐体側クランプ部５０の間に正しく挟み込まれているか否かを簡易的に確認できる。
【００４７】
図１と図６に示すように、クランプ蓋部３のクランプ板３０は、中心軸ＣＬを中心として図１に示す閉じた状態から図６に示す９０度を超える角度まで開くことができるように筐体２に取り付けている。
【００４８】
クランプ蓋部３の被覆カバー３２は、筐体２に対して中心軸ＣＬ１を中心にして回転できるように取り付けている。この被覆カバー３２に設けられた突起３２Ｔは、クランプ板３０に設けられたガイド溝３０Ｒにはめ込まれている。突起３２Ｔとガイド溝３０Ｒを設けることにより、クランプ板３０が筐体２に対して中心軸ＣＬを中心として図６に示す９０度を超える角度まで開く際に、被覆カバー３２がクランプ板３０の動きに追従して持ち上げられるように動作する。
【００４９】
図１と図６に示すように、クランプ操作部３１は、クランプ板３０の先端部３０Ｄに所定のピン（図示省略）を介して取り付けている。クランプ操作部３１は、このピンにより、中心軸ＣＬ２を中心として回転できるように軸支されている。
【００５０】
図６に示すように、クランプ操作部３１は、幅方向にそれぞれ所定の間隔を空けて配置された一対の係合爪３１Ｍを有している。筐体２には、幅方向にそれぞれ所定の間隔を空けて配置された一対の突起部３３を取り付けている。クランプ操作部３１の各係合爪３１Ｍは、筐体２の各突起部３３にそれぞれ引っ掛けて固定することが可能に構成されている。
【００５１】
図６に示すように、クランプ蓋部３が開いた状態で、ユーザーがクランプ操作部３１を指で持って、中心軸ＣＬを中心にして矢印ＲＳ方向に回転させると、図１に示すように、クランプ板３０により筐体側クランプ部５０が上側から覆われる。そして、ユーザーがクランプ操作部３１を指で持って、中心軸ＣＬ２を中心に矢印ＲＧ方向に回転させると、図６に示す一対の係合爪３１Ｍは、それぞれ筐体２の対応する位置に形成された突起部３３に対して噛み合わされる。これにより、クランプ蓋部３は、筐体２に設けられた筐体側クランプ部５０を上方側から閉じる。
【００５２】
図６と図７に示すように、筐体２の操作パネル部７の付近には、溶断に使用されたウェハーＷＦが送り込まれる取出し口５８が設けられている。この取出し口５８は、ウェハーＷＦが通る所定の隙間５７（図７を参照）の延長上に配置している。取出し口５８が隙間５７の延長上に設けられているため、ユーザーは取出し口５８に案内されたウェハーＷＦを、指で摘んで容易に取り出すことができる。
【００５３】
図７中の破線部（拡大図）に示すように、取出し口５８の付近には、円形の穴５９が形成されている。また、この円形の穴５９には、棒状のインターロック６０が配置されている。
【００５４】
インターロック６０は、例えば、電磁駆動式のソレノイド６１のロッドにより構成される。ソレノイド６１は、制御部１００から送信される指令により、図７中の破線で示す状態から実線で示すＺ１方向に上昇する。上昇したインターロック６０によりクランプ操作部３１の前端部が押さえられる。その結果、例えば、各チューブＴ１、Ｔ２を溶断して接合している最中に、クランプ蓋部３が開かないようにして閉じた状態をより確実に維持することが可能になる。
【００５５】
図７に示すソレノイド検出センサ８９は、例えば、光８９Ｌを出射する発光部８９Ａと、光８９Ｌを受光可能な受光部８９Ｂとを有するフォトカプラにより構成することができる。ソレノイド検出センサ８９によりクランプ蓋部３の開閉状態が検出される。検出結果は制御部１００に送信される（図９を参照）。
【００５６】
図８は、チューブ接合装置１の筐体２内に配置されている構成要素の概略の配置例を示す斜視図である。
【００５７】
図８に示すように、筐体２内には、メイン基板８０、ＤＣ入力基板８１、ウェハーカセット収納ユニット８２、ウェハー送りユニット８３、可動クランプユニット７１、ソレノイド６１、スピーカＳＰ、ファンＦＮ、そしてバッテリＢＡが収容されている。
【００５８】
ＤＣ入力基板８１は、例えば、メイン基板８０から可能な限り離れた位置に配置されていることが好ましい。ＤＣ入力基板８１からのノイズがメイン基板８０に搭載されている回路要素に対して影響を与えないようにするためである。
【００５９】
次に、図９を参照して、チューブ接合装置１の制御部１００の機能を説明する。図９は、チューブ接合装置１の電気ブロックを示している。
【００６０】
チューブ接合装置１は、当該装置の各部の動作を統轄的に制御する制御部１００を有している。制御部１００は、マイクロコンピュータなどのＣＰＵと、ＣＰＵにより実行される装置全体の制御プログラムや各種データを記憶するＲＯＭと、ワークエリアとして測定データや各種データを一時的に記憶するＲＡＭとを備えている。
【００６１】
制御部１００は、ＤＣ入力基板８１側のバッテリＢＡから電源供給を受ける。このＤＣ入力基板８１は、ジャック８４と、切り替えスイッチ８５を有している。ジャック８４は、充電器８６の接続ピン８６Ｐに接続されることで、商用交流電源から交流／直流変換した所定のＤＣ電源を受ける。なお、充電器８６とジャック８４は、図１にも示している。
【００６２】
切り替えスイッチ８５は、ジャック８４とバッテリＢＡを接続する。充電器８６からのＤＣ電源は、バッテリＢＡの充電に用いられる。そして、バッテリＢＡに充電されたＤＣ電源は、制御部１００に供給される。
【００６３】
制御部１００には、サーミスタ等の温度センサ８７が電気的に接続されている。この温度センサ８７は、筐体２の周囲の環境温度（外気温度）を検出して制御部１００に外気温度情報ＴＦを供給する。制御部１００は、各チューブＴ１、Ｔ２を加熱する際に外気温度情報ＴＦを参照して、例えば、各外気温度が予め定めた温度よりも低い場合には、各チューブＴ１、Ｔ２の加熱時間を長くするといった処理を実行する。また、制御部１００は、例えば、環境温度をスピーカＳＰで患者に報知するように動作制御を行う。
【００６４】
図９に示すように、図５（Ａ）にそれぞれ示された操作パネル部７の［電源スイッチ］ボタン７Ｂと、［接合］ボタン７Ｅと、各ランプ７Ｃ、７Ｄ、７Ｆ、７Ｇは制御部１００に電気的に接続されている。
【００６５】
スピーカＳＰは、音声合成部８８を介して制御部１００に電気的に接続されている。スピーカＳＰは、制御部１００の指令により予め決められている音声ガイダンス等を発声する。
【００６６】
音量調整ボリューム２２と、音声メッセージ切替スイッチ２３は、制御部１００に電気的に接続されている。音声メッセージ切替スイッチ２３が「有」である場合には、音声ガイダンスをスピーカＳＰから出すことができ、音声メッセージ切替スイッチ２３が「無」である場合には、図示しないブザーを鳴らすことができる。
【００６７】
図９に示すように、図５（Ｂ）にそれぞれ示された表示部８の［カバー閉じる］ランプ８Ｂ、［ウェハーカセット交換］ランプ８Ｃ、［ウェハー不良］ランプ８Ｄ、［要充電］ランプ８Ｅ、［室温不適］ランプ８Ｆ、［装置故障］ランプ８Ｇは、制御部１００の指令により点灯または点滅するように構成されている。
【００６８】
図９に示すように、図７に示すインターロック６０のソレノイド６１は、制御部１００の指令により作動する。具体的には、図７に例示するように、ソレノイド６１のインターロック６０が下端位置６０Ｌにある場合には、インターロック６０が破線で示すように発光部８９Ａからの光８９Ｌを遮る。このため、受光部８９Ｂは、制御部１００に対して「クランプ蓋部３をインターロックしていないという信号」を送信する。これに対して、ソレノイド６１のインターロック６０が上端位置６０Ｈにある場合には、インターロック６０が実線で示すように発光部８９Ａからの光８９Ｌを遮らない。このため、受光部８９Ｂは、制御部１００に対して「クランプ蓋部３をインターロックしているという信号」を送信する。これにより、制御部１００は、クランプ蓋部３のロック状態あるいは非ロック状態を把握する。
【００６９】
筐体側クランプ部５０のホールセンサ９０は、制御部１００に電気的に接続されており、検出結果を制御部１００に送信するように構成されている。図１２に示すように、第１突起５２Ａと第２突起５２Ｂの間のはめ込み溝５２ＣにチューブＴ１とチューブＴ２が順番にはめ込まれると、チューブＴ１とチューブＴ２により、スプリング９２の力に抗してチューブ検出ピン７５がＺ２方向に押し込まれる。この押し込みにより、チューブ検出ピン７５が下がるため、ホールセンサ９０によりマグネット９１の磁力が検出される。そして、ホールセンサ９０は制御部１００に、「各チューブＴ１、Ｔ２が正しくはめ込まれたこと」を通知する旨の信号を送信する。仮に、チューブＴ１とチューブＴ２がはめ込み溝５２Ｃに十分にはめ込まれていないか、あるいはどちらか１本のチューブだけがはめ込まれている場合には、ホールセンサ９０がマグネット９１の磁力を検出できない。この際、ホールセンサ９０は、制御部１００に、「各チューブＴ１、Ｔ２が正しくはめ込まれていないこと」を通知する旨の信号を送信する。
【００７０】
筐体側クランプ部５０は、マイクロスイッチ９３を有している。マイクロスイッチ９３は、クランプ蓋部３の開閉状態を検出するセンサである。マイクロスイッチ９３は、図６に示すようにクランプ蓋部３のクランプ操作部３１を指で持って、矢印ＲＳ方向に中心軸ＣＬを中心にして回転させた際に、図１に示すようにクランプ板３０が筐体側クランプ部５０を閉じたことを検知する。なお、マイクロスイッチ９３としては、例えば、筐体側クランプ部５０が閉じられた際に、筐体２の任意の位置に対して当接により閉じられたことを検出する機械式のセンサや、筐体側クランプ部５０の位置に基づいて閉じられたことを検出する電気式のセンサなど公知のセンサを使用することが可能である。
【００７１】
ウェハーカセット収納ユニット８２は、ウェハー有無センサ１０１と、ウェハー残量検出センサ１０２を有している。ウェハー有無センサ１０１は、図１に示すウェハーカセットＷＣ内にウェハーＷＦが残っているか否かを検出するセンサである。ウェハー残量検出センサ１０２は、図１に示すウェハーカセットＷＣ内に何枚のウェハーＷＦが残っているか、すなわちウェハーＷＦの残り枚数を検出するセンサである。ウェハー有無センサ１０１とウェハー残量検出センサ１０２には、例えば、公知のフォトセンサ等を使用できる。
【００７２】
ウェハー送りユニット８３は、ウェハーカセットＷＣ内のウェハーＷＦを所定の待機ポジションＰＳ１まで直線移動させるユニットである。ウェハー送りユニット８３は、モータ１０３、モータドライブ１０４、前進端センサ１０５、中間センサ１０６、そして後進端センサ１０７を有する。モータドライブ１０４は、制御部１００からの指令を受けると、モータ１０３を駆動して、ウェハーカセットＷＣ内のウェハーＷＦを一枚ずつ待機ポジションＰＳ１に直線移動させる。
【００７３】
制御部１００は、ウェハー加熱ヒータ１１０、モータドライブ１１１、カムモータセンサ１１２、クランプモータセンサ１１３、ウェハー電流検出部１１５、ウェハー電圧検出部１１６、ファンＦＮのそれぞれと電気的に接続されている。モータドライブ１１１が制御部１００から指令を受けると、モータドライブ１１１は、各チューブＴ１、Ｔ２を溶断および接合するためにカムモータ１１７やクランプモータ５６を駆動する。
【００７４】
カムモータ１１７は、ウェハーＷＦを上下移動させる動作と、２本のチューブＴ１、Ｔ２を寄せる動作を行う。このカムモータ１１７が行うウェハーＷＦを上下移動させる動作とは、ウェハーＷＦを待機ポジションＰＳ１からその上方に位置する溶断ポジションＰＳｍに上昇させ、またこれとは逆に、ウェハーＷＦを溶断ポジションＰＳｍから待機ポジションＰＳ１に下降させる動作である。また、カムモータ１１７は、各チューブＴ１、Ｔ２を溶断した後、各チューブＴ１、Ｔ２同士を寄せる動作を実施する。この寄せる動作とは、ウェハーＷＦを溶断ポジションＰＳｍから待機ポジションＰＳ１に下げて待機させた後に、第１のチューブＴ１の溶断した端部と第２のチューブＴ２の溶断した端部を、相手方のチューブの溶断した端部に対してそれぞれ寄せることにより加圧接合する動作である。
【００７５】
クランプモータ５６は、可動クランプユニット７１の１８０度の回転と、１８０度回転した後の復帰回転を行う。
【００７６】
カムモータセンサ１１２は、カム位置と原点を検出する例えばフォトセンサで構成される。クランプモータセンサ１１３は、可動クランプユニット７１の回転時の原点を検出する例えばフォトセンサで構成される。
【００７７】
ウェハー加熱ヒータ１１０は、制御部１００からの指令によりウェハーＷＦを加熱するために設けられている。通電の際には、ウェハー電流検出部１１５は、ウェハーＷＦに供給されているウェハー電流値を検出する。また、ウェハー電圧検出部１１６は、ウェハーＷＦに供給されているウェハー電圧値を検出する。
【００７８】
次に、図１０、図１１を参照して、ウェハーカセット収納ユニット８２およびウェハーカセットＷＣについて説明する。
【００７９】
図１０は、筐体２のウェハーカセット挿入部２０と、ウェハーカセット取り出しボタン２１の周辺部と、ウェハーカセットＷＣとを示している。図１１（Ａ）は、ウェハーカセットＷＣの下面側を示す斜視図であり、図１１（Ｂ）は、ウェハーカセットＷＣの上面側を示す斜視図である。
【００８０】
ウェハーカセット挿入部２０とウェハーカセット取り出しボタン２１は、図８に示すウェハーカセット収納ユニット８２に配置している。
【００８１】
図１０（Ａ）に示すように、ウェハーカセットＷＣの上面部１２０には、挿入方向を示す矢印２１Ｙが設けられている。ユーザーがウェハーカセットＷＣを矢印２１Ｙにしたがって、図１０（Ｂ）に示すようにウェハーカセット挿入部２０内に挿入する。その後、ウェハーＷＦを使用したことでウェハーカセットＷＣ内のウェハーＷＦが無くなると、ユーザーは図１０（Ｃ）に示すようにウェハーカセット取り出しボタン２１を指で押す。これにより、空のウェハーカセットＷＣをウェハーカセット挿入部２０内から取り出すことができる。
【００８２】
図１１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ウェハーカセットＷＣは、複数枚のウェハーＷＦを収容するための容器として構成されている。ウェハーカセットＷＣは、好ましくは、内部のウェハーＷＦを目視で確認できるようにするために、透明のプラスチックにより作られる。
【００８３】
ウェハーカセットＷＣは、上面部１２０と、底面部１２１と、正面部１２２と、側面部１２３、１２４と、背面部１２５とにより構成されている。
【００８４】
正面部１２２の内側には、一枚ずつウェハーＷＦが配置される。そして、図１１（Ｂ）に示すように、ウェハーＷＦに対して押し出し用の部材１２６をＹ１方向に押し付けることで、１枚のウェハーＷＦは、ウェハーカセットＷＣの内部から一枚ずつＹ１方向に沿って所定の待機ポジションＰＳ１に押し出される。
【００８５】
図１１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ウェハーカセットＷＣの内部には、２本のスプリング１２８とスプリング受け部材１２９とが収容されている。２本のスプリング１２８の各一端部は、ウェハーカセットＷＣの背面部１２５の内面に支持されている。一方、２本のスプリング１２８の各他端部は、スプリング受け部材１２９に支持されている。このスプリング受け部材１２９は、各スプリング１２８がずれないようにするための位置ずれ防止部１３０を有している。
【００８６】
２本のスプリング１２８は、スプリング受け部材１２９を介して、複数枚のウェハーＷＦを正面部１２２の内面に対して押し付ける。各ウェハーＷＦが２本のスプリング１２８によって保持された状態で、正面部１２２側に位置するウェハーＷＦに対して押し出し用の部材１２６をＹ１方向に押し付ける。これにより、最も外側に位置する１枚のウェハーＷＦだけがウェハーカセットＷＣ内からＹ１方向に沿って取り出される。
【００８７】
図１１（Ａ）に示すように、切断部材として用いられるウェハーＷＦは、ウェハー加熱ヒータ１１０（図９、図１２を参照）により加熱可能な略長方形状に形成された銅製の金属板（厚み：０．３ｍｍ程度、幅：３４ｍｍ程度、高さ１３ｍｍ程度）で構成されている。なお、ウェハーＷＦは、加熱される際にウェハー加熱ヒータ１１０に接続される２つの接点１３１を有している。
【００８８】
次に、チューブセット補助具４について説明する。
【００８９】
チューブセット補助具４は、筐体２に対してユーザーが必要に応じて取り付けることができる。チューブセット補助具４は、使用者が図１０（Ｃ）に示すように、各チューブＴ１、Ｔ２を筐体２に保持する作業を簡単に行えるようにするためのガイド機能を有している。
【００９０】
図２、図３、図４に示すように、チューブセット補助具４は、第１側部１３５と、第２側部１３６と、裏面連結部１３７とを有している。
【００９１】
図２に示すように、第１側部１３５は、爪部分１３５Ａと、分岐部１３５Ｂと、１３５Ｃとを有している。爪部分１３５Ａは、筐体２の操作パネル部７の周辺部に取り付け可能に構成されている。
【００９２】
図３に示すように、第２側部１３６は、爪部分１３６Ａと、分岐部１３６Ｂ、１３６Ｃと、チューブを受けるためのＵ字型の受け部１３８とを有している。爪部分１３６Ａは、筐体２の操作パネル部７の周辺部に取り付け可能に構成されている。受け部１３８は、図１０（Ｃ）に示すように、各チューブＴ１、Ｔ２を受けるようになっている。また、図３に示すように、分岐部１３６Ｂと分岐部１３６Ｃの間に空間を設けることにより、音量調整ボリューム２２を露出させることができ、ユーザーが音量調整ボリューム２２を操作し易くなるように構成されている。
【００９３】
図４に示すように、チューブセット補助具４の裏面連結部１３７は、第１連結部分１３７Ａと第２連結部分１３７Ｂとを有している。第１連結部分１３７Ａには、設置用部材２Ｇを通す開口部１３７Ｃが形成されている。第２連結部分１３７Ｂには、設置用部材２Ｇの高さに合わせた突起部１３７Ｄが設けられている。これにより、筐体２は、４つの設置用部材２Ｇと２つの突起部１３７Ｄにより、例えば机面等に対して、所定間隔だけ浮かせた状態で設置することができる。
【００９４】
チューブセット補助具４の第１連結部分１３７Ａと第２連結部分１３７Ｂの間には、音声用開口部５と排気用開口部６を露出させ、かつ、排気装置であるファンＦＮの排気用開口部６とスピーカＳＰ用の音声用開口部５を開放する開放部分１４４が形成されている。このため、ファンＦＮは、筐体２の内部の気体や熱を、排気用開口部６を通じて筐体２の外部に確実に放出できる。また、スピーカＳＰが発生する音声ガイダンスや警告音等は、音声用開口部５を通じて筐体２の外部に確実に出力できるので、音声ガイダンスや警告音等がこもらずに聞き易くなる。
【００９５】
次に、図１２を参照して、ファンＦＮと、筐体側クランプ部５０における各チューブＴ１、Ｔ２と、ウェハーＷＦの位置関係を説明する。
【００９６】
図１２には、クランプ蓋部３および筐体側クランプ部５０によって固定保持された各チューブＴ１、Ｔ２を、ウェハーカセットＷＣから送り出したウェハーＷＦにより切断する前後の様子が模式的に示されている。
【００９７】
ウェハーＷＦは、図８に示すウェハー送りユニット８３を作動させることにより、ウェハーカセットＷＣからＹ１方向に送られ、待機ポジションＰＳ１に配置される。
【００９８】
図１２に示すように、ウェハーＷＦが待機ポジションＰＳ１に配置されると、ウェハーＷＦの２つの接点１３１は、ウェハー加熱ヒータ１１０に接続される。そして、ウェハー加熱ヒータ１１０は、制御部１００の指令により接点１３１を通電して発熱する。この発熱によりウェハーＷＦは加熱される。加熱されたウェハーＷＦの下方には、ファンＦＮが配置されている。
【００９９】
各チューブＴ１、Ｔ２は、図１２に示すように、ウェハーＷＦが待機ポジションＰＳ１から溶断ポジションＰＳ２に上昇すると、ウェハーＷＦにより溶断される。この際、各チューブＴ１、Ｔ２の構成材料である可塑剤が気化してガスが発生する。ガスは回転駆動されるファンＦＮにより、矢印ＭＹで示す排出経路に沿って底面部２Ａの排気用開口部６から筐体２の外部に排出される。このため、筐体２の付近にプラスチック製品等が置かれていても、可塑剤のガスがプラスチック製品に対して直接吹き付けられることが無いので、プラスチック製品の一部が溶ける等といった悪影響を受けない。
【０１００】
図１４は、本実施形態に係る定電力制御装置のブロック図である。図１４のブロック図は、図９に示したチューブ接合装置１の制御系統のブロック図から、ウェハーＷＦの加熱に関する部分のみを抽出して作成したものである。
【０１０１】
定電力制御装置２００は、バッテリＢＡ、制御部１００、ウェハー加熱ヒータ１１０、検出部１４０、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０、監視部１６０、スイッチ１７０、逆流防止ダイオード１８０を有する。
【０１０２】
バッテリＢＡは、制御部１００、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０およびウェハー加熱ヒータ１１０に電力を供給する。
【０１０３】
ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０は、バッテリＢＡからの入力電圧Ｖｉｎを制御部１００から出力される目標電圧ＤＡＣに応じてＤＣ−ＤＣ変換し、出力電圧Ｖｏｕｔを出力する。ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０の出力電圧Ｖｏｕｔは、スイッチ１７０を介して負荷であるウェハー加熱ヒータ１１０に印加される。
【０１０４】
監視部１６０は、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０の出力電圧Ｖｏｕｔが制御部１００から出力される目標電圧ＤＡＣと一致した電圧になっているか、いないかを監視するために設けられる。監視部１６０は、２つの分圧抵抗器Ｒ１、Ｒ２によって構成される。分圧抵抗器Ｒ１とＲ２との接続点の分圧電圧Ｖ＿ＡＤＩ１はＤＣ−ＤＣコンバータ１５０の出力電圧Ｖｏｕｔに比例する。分圧電圧Ｖ＿ＡＤＩ１は制御部１００にフィードバックされる。したがって、制御部１００は、分圧電圧Ｖ＿ＡＤＩ１を監視することによって、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０から制御部１００が指示した目標電圧ＤＡＣが出力されているか否かを認識できる。なお、分圧抵抗器Ｒ１とＲ２とは、指示した目標電圧ＤＡＣが出力されていることを確認することに加えて、指示した目標電圧ＤＡＣとは異なっていた場合の補正値計算のための入力としても用いられる。
【０１０５】
検出部１４０は、ウェハー加熱ヒータ１１０に印加されている電圧Ｖ＿ＡＤＩ２とウェハー加熱ヒータ１１０に流れている電流Ｉ＿ＡＤＩとを検出する。ウェハー加熱ヒータ１１０に印加されている電圧Ｖ＿ＡＤＩ２はウェハー加熱ヒータ１１０の端子間電圧をウェハー電圧検出部１１６が検出する。ウェハー加熱ヒータ１１０に流れている電流Ｉ＿ＡＤＩはウェハー加熱ヒータ１１０を流れる電流を抵抗器Ｒ３の端子間電圧に変えてウェハー電流検出部１１５が検出する。ウェハー加熱ヒータ１１０に印加されている電圧Ｖ＿ＡＤＩ２とウェハー加熱ヒータ１１０に流れている電流Ｉ＿ＡＤＩとは制御部１００にフィードバックされる。
【０１０６】
ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０とウェハー加熱ヒータ１１０との間にはスイッチ１７０が設けられている。スイッチ１７０は、制御部１００から出力されるＰＷＭ信号によってＯＮ、ＯＦＦされる。制御部１００は、ウェハー加熱ヒータ１１０を作動させるときに、スイッチ１７０をＯＮさせる。
【０１０７】
逆流防止ダイオード１８０は、制御部１００からＤＣ−ＤＣコンバータ１５０に目標電圧ＤＡＣを指示する信号ライン１８２に設けられる。逆流防止ダイオード１８０は、信号ライン１８２の障害によってＤＣ−ＤＣコンバータ１５０が出力する電圧が過電圧になることを防止する。
【０１０８】
制御部１００は、検出部１４０が検出したウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２と電流Ｉ＿ＡＤＩとに基づいてウェハー加熱ヒータ１１０を定電力で作動させるためＤＣ−ＤＣコンバータ１５０が出力すべき目標電圧ＤＡＣを演算する。そして、目標電圧ＤＡＣをＤＣ−ＤＣコンバータ１５０に出力させる。
【０１０９】
制御部１００は、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０の出力電圧Ｖｏｕｔが、制御部１００が演算した目標電圧ＤＡＣを維持するように、監視部１６０の分圧電圧Ｖ＿ＡＤＩ１を入力し、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０に指示を出力する。
【０１１０】
制御部１００は、検出部１４０が検出したウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２と電流Ｉ＿ＡＤＩとに基づいてウェハー加熱ヒータ１１０の抵抗値を演算する。そして、ウェハー加熱ヒータ１１０の目標電力と演算された抵抗値とから目標電圧ＤＡＣを演算する。
【０１１１】
次に、本実施形態に係る定電力制御装置の動作を説明する。図１５は、本実施形態に係る定電力制御装置の初期化処理のフローチャートである。このフローチャートは、逆流防止ダイオード１８０の特性バラツキ（温度特性）を吸収する、補正処理のアルゴリズムである。
【０１１２】
まず、制御部１００のＰＷＭの出力をＯＦＦとし、目標電圧ＤＡＣを０とし、ＥＮＡの出力をイネーブルする（Ｓ１００）。これによって、スイッチ１７０がＯＦＦされ、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０にハードウェアで規定された電圧が設定され、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０がリセットされる。
【０１１３】
イネーブルの安定化を待つ（Ｓ１０１）。つまり、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０が完全にリセットされるまで待つ。
【０１１４】
制御部１００はＤＡＣの出力を最小にする（Ｓ１０２）。このときには、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０の出力は最大となる。制御部１００のＰＷＭの出力をＯＮとする（Ｓ１０３）。これによって、スイッチ１７０がＯＮし、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０の出力電圧Ｖｏｕｔがウェハー加熱ヒータ１１０に印加される。次に、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０の出力の安定化を待つ（Ｓ１０４）。制御部１００は、検出部１４０が検出したウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２と電流Ｉ＿ＡＤＩとを入力する（Ｓ１０５）。
【０１１５】
制御部１００のＰＷＭの出力をＯＦＦとする（Ｓ１０６）。これによって、スイッチ１７０がＯＦＦとなる。制御部１００はＤＡＣの出力を最大にする（Ｓ１０７）。このときには、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０の出力は最小となる。制御部１００のＰＷＭの出力をＯＮとする（Ｓ１０８）。これによって、スイッチ１７０がＯＮし、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０の出力電圧Ｖｏｕｔがウェハー加熱ヒータ１１０に印加される。次に、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０の出力の安定化を待つ（Ｓ１０９）。制御部１００は、検出部１４０が検出したウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２と電流Ｉ＿ＡＤＩとを入力する（Ｓ１１０）。
【０１１６】
制御部１００のＰＷＭの出力をＯＦＦとする（Ｓ１１１）。これによって、スイッチ１７０がＯＦＦとなる。制御部１００は、ステップＳ１０５とステップＳ１１０とで入力した、ウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２と電流Ｉ＿ＡＤＩとから、ウェハー加熱ヒータ１１０の抵抗値を演算する。そして、ウェハー加熱ヒータ１１０の目標電力と、演算したウェハー加熱ヒータ１１０の抵抗値とから目標電圧ＤＡＣを演算する（Ｓ１１２）。
【０１１７】
制御部１００は、ステップＳ１０５とステップＳ１１０とで入力した、ウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２から、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０の出力電圧Ｖｏｕｔの制御幅を演算する。この制御幅の１デジット当たりの電圧変化量を演算する。演算した目標電圧値ＤＡＣと電圧変化量から目標電圧値ＤＡＣの初期値を演算する（Ｓ１１３）。そして、制御部１００は演算した目標電圧ＤＡＣの初期値を出力する（Ｓ１１４）。
【０１１８】
以上の初期化処理を行うことによって、逆流防止ダイオード１８０の特性バラツキ（温度特性）は吸収され、制御部１００はＤＣ−ＤＣコンバータ１５０から精密に出力電圧Ｖｏｕｔを出力させることができる。
【０１１９】
図１６は、本実施形態に係る定電力制御装置の動作フローチャートである。
【０１２０】
制御部１００がＥＮＡ信号ＨＩを出力し、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０にイネーブルの指示をした後、Ｔ１ｓｅｃの間、ＤＣ−ＤＣコンバータ１５０が安定化するのを待つ（Ｓ２００）。一定時間待って、制御部１００がＤＣ−ＤＣコンバータ１５０に演算した初期値のＤＡＣ値を出力する（Ｓ２０１）。
【０１２１】
一定時間待って、制御部１００は、検出部１４０が検出したウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２と電流Ｉ＿ＡＤＩとを入力する（Ｓ２０２）。また、一定時間待って、検出部１４０が検出したウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２と電流Ｉ＿ＡＤＩとを入力する（Ｓ２０３）。さらに、一定時間待って、検出部１４０が検出したウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２と電流Ｉ＿ＡＤＩとを入力する（Ｓ２０４）。
【０１２２】
このように、制御部１００は、検出部１４０が複数回に亘ってウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２と電流Ｉ＿ＡＤＩとを検出する。
【０１２３】
制御部１００は、３回に亘って入力したウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２と電流Ｉ＿ＡＤＩの平均値を演算する（Ｓ２０５）。制御部１００は、次回の目標電圧ＤＡＣを演算し（Ｓ２０６）、目標電圧ＤＡＣの出力の安定化と（Ｓ２０７）、検出部１４０からのウェハー加熱ヒータ１１０の電圧Ｖ＿ＡＤＩ２と電流Ｉ＿ＡＤＩとの安定化とを待つ（Ｓ２０８）。
【０１２４】
チューブ接合が完了していなければ（Ｓ２０９：ＮＯ）、ステップＳ２０１からＳ２０８までの処理を繰り返し、チューブ接合が完了したら（Ｓ２０９：ＹＥＳ）処理を終了する。
【０１２５】
以上のように、本実施形態に係る定電力制御装置２００は、逆流防止ダイオード１８０の温度や電圧降下の特性のばらつきを吸収するために初期化処理を行って、定電力制御を行うための目標電圧ＤＡＣを演算する。そして、この演算した目標電圧ＤＡＣによってウェハー加熱ヒータ１１０を定電力で駆動する。
【０１２６】
図１７は、本実施形態に係る定電力制御装置の動作説明に供する図である。
【０１２７】
本実施形態に係る定電力制御装置２００は、ウェハー加熱ヒータ１１０を昇温させるときには、図に示すように、２０Ｗの定電力がウェハー加熱ヒータ１１０に供給されるように目標電圧ＤＡＣを変化させる。また、チューブを切断するときには、２３Ｗの定電力がウェハー加熱ヒータ１１０に供給されるように目標電圧ＤＡＣを変化させる。さらに、チューブを接合・分離させるときには、１８Ｗの定電力がウェハー加熱ヒータ１１０に供給されるように目標電圧ＤＡＣを変化させる。
【０１２８】
制御部１００が目標電圧ＤＡＣをどのように変化させるのかは、図１６の動作フローチャートに示した通りである。
【０１２９】
図１８は、本実施形態に係る定電力制御装置２００の動作説明に供する図である。図１８の上側に示す図は、従来のＰＷＭ制御を用いて定電力制御を行ったときの電流の変化状況を示している。図１８の下側に示す図は、本実施形態に係る定電力制御装置２００を用いて定電力制御を行ったときの電流の変化状況を示している。
【０１３０】
従来のＰＷＭ制御では、図１８の上側の図に示すように、時間ととともに電流のＯＮ、ＯＦＦが繰り返され、定電力制御するときの電流の変化が激しい。このため、バッテリＢＡには大きな負担がかかる。
【０１３１】
しかし、本実施形態に係る定電力制御装置２００では、目標電圧ＤＡＣを変動させて、定電力制御をしているので、電流が急変することはなく、バッテリＢＡから瞬間的に大きな電流が供給されることはない。このため、バッテリＢＡを十分な放電深度まで放電させることができ、バッテリＢＡの容量を有効に活用することができる。さらに、バッテリＢＡの種類、容量など、バッテリＢＡの選定範囲が広がる。
【０１３２】
以上、チューブ接合装置１を通じて本発明に係る定電力制御装置２００を説明したが、本発明は実施形態において説明した構成に限定されることはなく、特許請求の範囲の記載に基づいて適宜改変することが可能である。
【０１３３】
たとえば、本発明に係る定電力制御装置２００は、チューブ接合装置１に限らず、熱を発生させるあらゆる電気機器に対して応用することができる。
【符号の説明】
【０１３４】
１  チューブ接合装置、
１００  制御部、
１１０  ウェハー加熱ヒータ、
１１５  ウェハー電流検出部、
１１６  ウェハー電圧検出部、
１４０  検出部、
１５０  ＤＣ−ＤＣコンバータ、
１６０  監視部、
１７０  スイッチ、
１８０  逆流防止ダイオード、
１８２  信号ライン、
２００  定電力制御装置、
Ｒ１〜Ｒ３  抵抗器、
ＢＡ  バッテリ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2019062641.tif 000018
【図１７】
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【図１８】
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