(57)【要約】【課題】  検出弁の検出部材が摩耗や破損するのを防止することにある。【解決手段】  ハウジング（１）内にピストン（５）が上下方向へ移動可能に挿入される。前記ハウジング（１）内に形成される流路（２５）の途中部に第１検出弁（２６）が装着され、その第１検出弁（２６）が前記ピストン（５）のリリース状態を検出する。前記第１検出弁（２６）は、前記ロック室（１０）側から順に設けられる筒状のケーシング部材（２９）と、キャップ部材（３４）とを有する。前記ケーシング（２９）の小径孔（３１）に前記検出部材（３５）の小径部（３５ａ）が挿入されると共に、前記ケーシング（２９）の大径孔（３３ｂ）に前記検出部材（３５）の大径部（３５ｂ）が挿入される。【選択図】  図３
2019190565.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング（１）内に軸方向へ移動可能に挿入される出力部材（４）と、
前記ハウジング（１）内であって前記出力部材（４）の軸方向の先端側または基端側に形成されると共に、駆動用の圧力流体が供給および排出される作動室（１０，１１）と、
前記ハウジング（１）内に形成される流路（２５，４５）であって、圧力流体が供給される流路（２５，４５）と、
前記作動室（１０，１１）に連通されると共に、前記流路（２５，４５）の途中部に形成される装着孔（２７，４７）と、
前記出力部材（４）の作動状態を検出する検出弁（２６，４６）であって、前記装着孔（２７，４７）に装着される検出弁（２６，４６）と、を備え、
前記検出弁（２６，４６）は、前記装着孔（２７，４７）内に前記作動室（１０，１１）側から順に装着される筒状のケーシング（２９，４９）と、キャップ部材（３４，５４）とを有し、
前記ケーシング（２９，４９）の筒孔が小径孔（３１，５１）と大径孔（３３ｂ、５３ｂ）とを有し、
前記ケーシング（２９，４９）の前記小径孔（３１，５１）に検出部材（３５，５５）の小径部（３５ａ，５５ａ）が挿入され、
前記ケーシング（２９，４９）の前記大径孔（３３ｂ，５３ｂ）に前記検出部材（３５，５５）の大径部（３５ｂ，５５ｂ）が挿入され、
前記検出部材（３５，５５）が前記出力部材（４）に当接可能となっていると共に、前記作動室（１０，１１）内に突出可能となっており、
前記キャップ部材（３４，５４）に形成される凹部（４０，６０）に進出バネ（４１，６１）が装着され、
前記進出バネ（４１，６１）が前記検出部材（３５，５５）を前記作動室（１０，１１）に向けて進出させる、
ことを特徴とするシリンダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、シリンダ装置に関し、より詳しくは、シリンダ装置の出力部材の作動状態を確認する検出弁を備えるシリンダ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のシリンダ装置には、従来では、特許文献１(日本国・特開２０１６−１３８６６２号公報)に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
ハウジング内にピストンが軸方向へ移動可能に挿入される。そのピストンの作動状態を確認する検出弁が、ハウジングの下壁と上壁に設けられる。各検出弁は、環状部材とキャップ部材とを有している。その環状部材に形成された挿通孔に検出部材の小径部が挿入されると共に、キャップ部材に形成された凹部に検出部材の大径部が保密状に内嵌されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１３８６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の従来技術は次の問題がある。
上記の従来技術は、検出部材が環状部材の挿通孔とキャップ部材の凹部に跨って挿入される。その挿通孔と凹部とが、別々の部材である環状部材とキャップ部材とに形成されているので、その挿通孔の軸心と凹部の軸心とが心ズレしていることがある。この場合に、挿通孔と凹部とに軸心に対して傾いた状態で挿入された出力部材を、油圧力により大きな駆動力で駆動されるピストンが強力に押すことにより、検出部材の外周壁と挿通孔の周壁および凹部の周壁とが擦れて摩耗および破損するという問題がある。
本発明の目的は、上記の問題点を改善するためのシリンダ装置を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図１から図６に示すように、シリンダ装置を次のように構成した。
ハウジング１内に出力部材４が軸方向へ移動可能に挿入される。前記ハウジング１内であって前記出力部材４の軸方向の先端側または基端側に形成される作動室１０，１１には、駆動用の圧力流体が供給および排出される。前記ハウジング１内に形成される流路２５，４５には、検出用の圧力流体が供給される。前記流路２５，４５の途中部に形成される装着孔２７，４７が、前記作動室１０，１１に連通される。前記装着孔２７，４７に装着される検出弁２６，４６が、前記出力部材４の作動状態を検出する。前記検出弁２６，４６は、前記装着孔２７，４７内に前記作動室１０，１１側から順に装着される筒状のケーシング２９，４９と、キャップ部材３４，５４とを有する。前記ケーシング２９，４９の筒孔が小径孔３１，５１と大径孔３３ｂ、５３ｂとを有する。前記ケーシング２９，４９の前記小径孔３１，５１に検出部材３５，５５の小径部３５ａ，５５ａが挿入される。前記ケーシング２９，４９の前記大径孔３３ｂ，５３ｂに前記検出部材３５，５５の大径部３５ｂ，５５ｂが挿入される。前記検出部材３５，５５が前記出力部材４に当接可能となっていると共に、前記作動室１０，１１内に突出可能となっている。前記キャップ部材３４，５４に形成される凹部４０，６０に進出バネ４１，６１が装着される。前記進出バネ４１，６１が前記検出部材３５，５５を前記作動室１０，１１に向けて進出させる。
【０００６】
本発明は、次のような作用効果を奏する。
上記のシリンダ装置では、ケーシング内に連続して形成される小径孔と大径孔とに、検出部材の大径部と小径部とが軸心を一致させるように挿入される。これにより、検出部材とケーシングとが芯ズレするおそれがある従来技術の場合に比べて、本発明の検出部材は、ケーシングの筒孔内でスムーズに進退される。その結果、検出部材がケーシングの筒孔の周壁に擦れて摩耗および破損することが防止される。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、本発明の一実施形態を示し、シリンダ装置のリリース状態を示す立面視の断面図である。
【図２】図２は、上記シリンダ装置のロック状態を示す断面図である。
【図３】図３は、図１の１Ａ部分を拡大した部分図を示している。
【図４】図４は、図２の２Ａ部分を拡大した部分図を示している。
【図５】図５は、図１の１Ｂ部分を拡大した部分図を示している。
【図６】図６は、図２の２Ｂ部分を拡大した部分図を示している。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態を図１から図６によって説明する。
この実施形態では、シリンダ装置をワーク固定用のリンク式クランプ装置に適用した場合を例示してある。
まず、図１に基づいて上記のリンク式クランプの全体構造を説明する。
【０００９】
固定台としてのテーブルＴにハウジング１が取付けられ、そのハウジング１内にシリンダ孔２が上下方向（軸方向）に形成される。そのシリンダ孔２に出力部材４のピストン５が封止部材５ａを介して保密状に挿入される。そのピストン５から出力ロッド６から上方に突設される。その出力ロッド６は、ハウジング１の上壁１ａに封止部材６ａを介して保密状に挿入される。
【００１０】
上記ピストン５とハウジング１の下壁１ｂとの間にロック室１０が配置されると共に、ピストン５と上壁１ａとの間にリリース室１１が配置される。そのロック室１０は、ハウジング１の胴部１ｃに形成された給排路１２に連通され、駆動用の圧油（圧力流体）が給排路１２を通って供給および排出される。また、そのリリース室１１は、ハウジング１の上壁１ａに形成された別の給排路１４に連通され、駆動用の圧油（圧力流体）が給排路１４を通って供給および排出される。
【００１１】
上記のハウジング１の上壁１ａから上方に枢支部１ｄが突設され、その枢支部１ｄにリンク部材１８が揺動可能にピン連結される。出力ロッド６の上端部にクランプアーム１９の左端部１９ａが揺動可能にピン連結されると共に、そのクランプアーム１９の長手方向の途中部１９ｂがリンク部材１８の先端部に揺動可能にピン連結される。クランプアーム１９の右端部１９ｃに形成されたメネジ孔２０に押しボルト２１が螺合される。その押しボルト２１の上部にはロックナット２２が取り付けられる。その押しボルト２１の下端部に、（図２に示す）ワークＷに当接する押圧部２１ａが形成される。
【００１２】
前記ハウジング１の下壁１ｂに検出用の圧縮エア（圧力流体）の流路２５が形成される。その流路２５の入口路２５ａが圧縮エアの供給源（図示せず）に連通されると共に、流路２５の出口路２５ｂが外気へ連通される。上記の流路２５の途中部に第１検出弁（検出弁）２６が設けられる。
【００１３】
また、ハウジング１の上壁１ａに検出用の圧縮エア（圧力流体）の流路４５が形成される。その流路４５の入口路４５ａが圧縮エアの供給源（図示せず）に連通されると共に、流路４５の出口路４５ｂが外気へ連通される。上記の流路４５の途中部に第２検出弁（検出弁）４６が設けられる。
【００１４】
上記の第１検出弁２６は、図３および図４に示すように、次のように構成されている。
図３は、図１の１Ａ部分の拡大図である。図４は、図２の１Ｂ部分の拡大図である。
【００１５】
前記ハウジング１の下壁１ｂに装着孔２７がロック室１０に連通するように形成される。その装着孔２７に第１検出弁２６が保密状に螺合される。その装着孔２７は、上方（ロック室１０側）から順に形成される小径孔２７ａと中径孔２７ｂと大径孔２７ｃとを有する。その小径孔２７ａには、封止部材としてのＯリング２８と、そのＯリング２８を小径孔２７ａから抜け止めするリング状の第１ケーシング３０とが挿入される。
【００１６】
前記の中径孔２７ｂに筒状の第２ケーシング３２の小径部３２ａが挿入される。第２ケーシング３２の筒孔３３が、第１ケーシング３０に形成される小径部３０ａの外周壁を外嵌めしている。このため、第１ケーシング３０の筒孔３１の軸心と第２ケーシング３２の筒孔３３の軸心とが一致するように、第１ケーシング３０と第２ケーシング３２とが一体となるように嵌合される。また、第２ケーシング３２の小径部３２ａの下側に形成されるフランジ部３２ｂが、装着孔２７の中径部２７ｂと大径孔２７ｃとの間に形成される段差部２７ｄに上側から受け止められる。なお、本実施形態において、ケーシング２９は、第１ケーシング３０と第２ケーシング３２とによって構成される。
【００１７】
前記の装着孔２７の大径孔２７ｃに雌ネジ部が形成され、その雌ネジ部にキャップ部材３４が保密状に螺合される。第２ケーシング３２の筒孔３３に検出部材３５が軸方向へ移動可能に挿入される。その検出部材３５は、上方から順に形成される小径部３５ａと大径部３５ｂとバネガイド部３５ｃとを有する。その検出部材３５の小径部３５ａの先端部がロック室１０内に侵入可能となっていると共に、ピストン５の下端面に当接可能となっている。その小径部３５ａが装着孔２７の小径孔２７ａにＯリング２８を介して保密状に挿入される。
【００１８】
前記の第２ケーシング３２の筒孔３３は、上方から順に形成される小径孔３３ａと大径孔３３ｂとを有する。第２ケーシング３２の小径孔３３ａから突出部３６が半径方向の内方に周方向に形成され、その環状の突出部３６上にＯリング３７が装着される。そのＯリング３７の内周壁に仕切り面３８が形成される。また、検出部材３５の小径部３５ａの外周壁に閉じ面３９が形成される。その検出部材３５の閉じ面３９が仕切り面３８に係合可能となっている。キャップ部材３４の上部に収容孔４０が形成され、その収容孔４０の底部と検出部材３５の大径部３５ｂの下面との間に進出バネ４１が装着される。その進出バネ４１によって検出部材３５が上方へ付勢される。その進出バネ４１が検出部材３５のバネガイド部３５ｃによって軸方向へ案内される。なお、本実施形態の検出部材３５は、小径部３５ａと大径部３５ｂとバネガイド部３５ｃから構成されることに代えて、バネガイド部３５ｃを省略して、小径部３５ａと大径部３５ｂから構成されるようにしてもよい。
【００１９】
上記の流路２５の入口路２５ａに連通する第１流路２５ｃが、中径孔２７ｂの天井壁と第２ケーシング３２の小径部３２ａの上面との間に形成される。その第１流路２５ｃに連通する第２流路２５ｄが、第２ケーシング３２の小径部３２ａの上面と第１ケーシング３０の下面との間に形成される。その第２流路２５ｄに連通する第３流路２５ｅが、検出部材３５の小径部３５ａの外周壁であって閉じ面３９の下側と、検出部材３５の大径部３５ｂの上面と、検出部材３５の大径部３５ｂの外周壁とに連続して溝状に形成される。その第３流路２５ｅに連通する第４流路２５ｆが、第２ケーシング３２の下面とキャップ部材３４の上面との間に溝状に形成される。その第４流路２５ｆに連通する第５流路２５ｇが、第２ケーシング３２の外周面と装着孔２７の大径孔２７ｃの内周面との間に形成される。その第５流路２５ｇが流路２５の出口路２５ｂに連通される。
【００２０】
上記の第２検出弁４６は、第１検出弁２６と同じように構成され、第１検出弁２６と違いは、次のようである。
図１および図２に示すように、第１検出弁２６は、軸方向に縦向き姿勢でハウジング１の下壁１ｂに装着される。これに対して、第２検出弁４６は、軸方向に対して交差する横向き姿勢でハウジング１の上壁１ａに装着される。第２検出弁４６の検出部材５５の右側に係合ボール６２が左右方向へ移動可能に配置され、その係合ボール６２がリリース室１１内に侵入可能であると共に、ピストン５に当接可能となっている。
上記の第２検出弁４６は、図５と図６に示すように、次のように構成されている。
図５は、図１の２Ａ部分の拡大図である。図６は、図２の２Ｂ部分の拡大図である。
【００２１】
前記リリース室１１に連通する装着孔４７がハウジング１の上壁１ａに形成され、装着孔４７に第２検出弁４６が保密状に螺合される。その装着孔４７の小径孔４７ａには、Ｏリング４８と、筒状の第１ケーシング５０とが挿入される。
【００２２】
前記の装着孔４７の中径孔４７ｂに筒状の第２ケーシング５２のフランジ部５２ｂが挿入される。第２ケーシング５２の筒孔５３が、第１ケーシング５０の左端部に形成される小径部５０ａの外周壁を外嵌めする。このため、第１ケーシング５０の筒孔５１の軸心と第２ケーシング５２の筒孔５３の軸心とが一致するように、第１ケーシング５０と第２ケーシング５２とが一体となるように嵌合される。また、第２ケーシング５２の小径部５２ａの左側に形成されるフランジ部５２ｂが、装着孔４７の小径孔４７ａと中径孔４７ｂとの間に形成される段差部４７ｄに右側から受け止められる。なお、本実施形態において、ケーシング４９は、第１ケーシング５０と第２ケーシング５２とによって構成される。
【００２３】
前記の装着孔４７の大径孔４７ｃに雌ネジ部が形成され、その雌ネジ部にキャップ部材５４が保密状に螺合される。第２ケーシング５２の筒孔５３に検出部材５５が軸方向へ移動可能に挿入される。その検出部材５５は、上方から順に形成される小径部５５ａと大径部５５ｂとバネガイド部５５ｃとを有する。その検出部材５５の小径部５５ａの先端部が係合ボール６２に当接可能となっている。その係合ボール６２は、リリース室１１内に侵入可能となっていると共に、ピストン５の外周壁に当接可能となっている。その検出部材５５の小径部５５ａが装着孔４７の小径孔４７ａにＯリング４８を介して保密状に挿入される。
【００２４】
前記の第２ケーシング５２の筒孔５３は、右側から順に形成される小径孔５３ａと大径孔５３ｂとを有する。第２ケーシング５２の突出部５６の右側に装着されるＯリング５７の内周壁に、仕切り面５８が形成される。また、検出部材５５の小径部５５ａの外周壁に閉じ面５９が形成される。その検出部材５５の閉じ面５９が仕切り面５８に係合可能となっている。キャップ部材５４の右部に形成される収容孔６０の底部と、検出部材５５の大径部５５ｂの左側面との間に進出バネ６１が装着される。その進出バネ６１によって検出部材５５がリリース室１１に向けて右方へ付勢される。その進出バネ６１が検出部材５５のバネガイド部５５ｃによって軸方向へ案内される。なお、検出部材５５は、小径部５５ａと大径部５５ｂとバネガイド部５５ｃから構成されることに代えて、バネガイド部５５ｃを省略して、小径部５５ａと大径部５５ｂから構成されるようにしてもよい。
【００２５】
上記流路４５の入口路４５ａに連通する第１流路４５ｃが、装着孔４７と第１ケーシング５０の外周面および第２ケーシング５２の小径部５２ａの外周面との間に形成される。その第１流路４５ｃに連通する第２流路４５ｄが、第２ケーシング５２の小径部５２ａの右端面と第１ケーシング５０の左端面との間に形成される。その第２流路４５ｄに連通する第３流路４５ｅが、検出部材５５の外周壁であって閉じ面５９の左側と、検出部材５５の大径部５５ｂの右側面と、検出部材５５の大径部５５ｂの外周壁とに連続して溝状に形成される。その第３流路４５ｅに連通する第４流路４５ｆが、第２ケーシング５２の左端面とキャップ部材５４の右端面との間に溝状に形成される。その第４流路４５ｆに連通する第５流路４５ｇが、第２ケーシング５２のフランジ部５２ｂの外周面と装着孔４７の大径孔４７ｃの内周壁との間に形成される。その第５流路４５ｇが流路４５の出口路４５ｂに連通される。
【００２６】
上記のクランプ装置は、次のように作動する。図１，図３，図５の初期状態としてのアンクランプ状態（リリース状態）では、ロック室１０から圧油が排出されると共に、リリース室１１に圧油が供給されている。これにより、ピストン５および出力ロッド６が下限位置へ下降されている。クランプ装置のアンクランプ状態では、ピストン５が第１検出弁２６の検出部材３５を下限位置へ移動させる。このため、検出部材３５の閉じ面３９が第２ケーシング３２の仕切り面３８に係合される。従って、第１検出弁２６は閉弁される。これにより、入口路２５aの圧縮エアの圧力が所定の閾値を上回り、その上昇圧力を圧力スイッチ（図示せず）によって検出する。その結果、ピストン５が下限位置へ移動されていることが確認される。また、第２検出弁４６は、進出バネ６１の付勢力によって検出部材５５がリリース室１１内に向けて右側限界位置へ移動されており、第２検出弁４６が開弁されている。
【００２７】
上記クランプ装置をアンクランプ状態から図２，図４，図６のクランプ状態（ロック状態）へクランプ（ロック）駆動するときには、リリース室１１の圧油を排出すると共に、ロック室１０に圧油を供給する。すると、ピストン５が速やかに上昇していくと、その出力ロッド６がクランプアーム１９の左端部１９ａを上方へ移動させていく。すると、クランプアーム１９が時計回りの方向へ回転されながら、クランプアーム１９がリンク部材１８を枢支部１ｄのピン中心に時計回りの方向へ回転させていく。なお、ピストン５が上昇されていくときに、第１検出弁２６の進出バネ４１の上方への付勢力によって検出部材３５が上方へ移動されていく。次いで、検出部材３５の閉じ面３９が第２ケーシング３２の仕切り面３８から離間されると、第１検出弁２６が開弁される。このため、入口路２５ａの圧縮エアが第１,第２流路２５ｃ,２５ｄと開弁隙間と第３から第５流路２５ｅ〜２５ｇを通って出口路２５ｂに排出される。引き続いて、ピストン５を上昇させていくと、図２に示すように、クランプアーム１９の押しボルト２１がワークＷを上方から押圧する。このとき、ピストン５の外周壁が係合ボール６２を左方へ移動させ、第２検出弁４６の検出部材５５の閉じ面５９が第２ケーシング５２の仕切り面５８に係合される。このため、第２検出弁４６が閉弁される。従って、流路４５の入口路４５ａの圧縮エアの圧力が上昇され、その上昇圧力が圧力スイッチ（図示しない）によって検出される。よって、ピストン５が所定高さ位置であるロック位置に移動されたことが確認される。
【００２８】
上記クランプ装置をクランプ状態からアンクランプ状態へアンクランプ駆動するときには、ロック室１０の圧油を排出すると共に、リリース室１１に圧油を供給する。すると、ピストン５が速やかに下降していく。このとき、第２検出弁４６の進出バネ６１が検出部材５５をリリース室１１の圧油の圧力に抗して右方へ移動させていく。すると、検出部材５５の閉じ面５９が第２ケーシング５２の仕切り面５８から離間され、流路４５の入口路４５ａの圧縮エアが第１,第２流路４５ｃ，４５ｄと開弁隙間と第３から第５流路４５ｅ〜４５ｇとを通って出口路４５ｂへ排出される。このため、入口路４５ａの圧縮エアの圧力が下降し、その下降圧力が圧力スイッチ（図示しない）によって検出される。従って、ピストン５が所定高さ位置であるロック位置から下方へ移動されたことが確認される。引き続いて、その出力ロッド６がクランプアーム１９の左端部１９ａを下方へ移動させていく。すると、クランプアーム１９が反時計回りの方向へ回転されながら、クランプアーム１９がリンク部材１８を枢支部１ｄのピン中心に反時計回りの方向へ回転させていく。そのピストン５が所定の高さ位置へ下降したときに、ピストン５の下面が第１検出弁２４の検出部材３５の先端面に当接される。次いで、ピストン５が進出バネ４１の上方への付勢力に抗して検出部材３５を下方へ移動させていく。すると、検出部材３５の閉じ面３９が仕切り面３８に係合されることにより、第１検出弁２６が閉弁される。このため、入口路２５ａの圧縮エアの圧力が上昇されて、その上昇圧力が圧力スイッチ（図示しない）によって検出される。従って、ピストン５がリリース位置（下限位置もしくは下限位置付近）に移動されたことが確認される。
【００２９】
上記の実施形態は次の長所を奏する。
上記のクランプ装置では、第１ケーシング３０，５０の筒孔３１，５１と第２ケーシング３２，５２の大径孔３３ｂ，５３ｂとが連続するように形成され、その第１ケーシング３０，５０の筒孔３１，５１と第２ケーシング３２，５２の大径孔３３ｂ，５３ｂとに検出部材３５，５５の大径部３５ａ，５５ａと小径部３５ｂ，５５ｂとが軸心を一致させるように挿入される。これにより、検出部材と環状部材およびキャップ部材とが芯ズレするおそれがある従来技術の場合に比べて、本発明の検出部材３５，５５は、ケーシング２９，４９の筒孔内でスムーズに進退される。その結果、検出部材３５，５５がケーシング２９，４９の筒孔の周壁に擦れて摩耗および破損することが防止される。
【００３０】
上記の実施形態は次のように変更可能である。
本発明のシリンダ装置に使用される駆動用の圧力流体は、例示した圧油に、他の液体または圧縮空気等の気体であってもよい。
前記のロック室１０に保持バネを装着してもよく、リリース室１１にリリースバネを装着してもよい。
また、駆動手段は、複動式のシリンダに代えて単動式のシリンダであってもよい。
さらには、駆動手段は、例示の油圧シリンダに代えて、空圧シリンダや電動アクチュエータであってもよい。
上記の検出弁２６，４６は、ピストン５が下限位置に移動されたこと、および、所定高さ位置のロック位置に移動されたことを確認することに代えて、ピストン５が下限位置から上限位置までの任意の位置に移動したことを確認してもよい。また、検出弁２６，４６は、進出バネ４１，６１によって検出部材３５，５５が作動室１０，１１内に進出したときに開弁状態であると共に、後退したときに閉弁状態であることに代えて、進出バネ４１，６１によって検出部材３５，５５が作動室１０，１１内に進出したときに閉弁状態であると共に、後退したときに開弁状態となるように構成されてもよい。
上記の第１ケーシング３０，５０と第２ケーシング３２，５２とを別々に形成することに代えて、第１ケーシング３０，５０と第２ケーシング３２，５２とを一つの部材から機械加工して、又は、複数の部材を当該第１ケーシング３０，５０の筒孔３１，５１の軸心と第２ケーシング３２，５２の筒孔３３，５３の軸心とを一致させた状態を維持しつつ、螺合、圧入、溶接などにより一体に形成してもよい。
また、上記のケーシング２９，４９の小径孔は、第１ケーシング３０，５０の筒孔３１，５１によって構成されるのに代えて、第２ケーシング３２，５２の筒孔３３，５３に形成されてもよい。
上記のケーシング２９，４９の大径孔は、第２ケーシング３２，５２の大径孔３３ｂ，５３ｂによって構成されるのに代えて、第１ケーシング３０，５０の筒孔３１，５１に形成されてもよい。
また、本発明のシリンダ装置は、クランプの技術分野とは異なる技術分野に利用することも可能である。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
【符号の説明】
【００３１】
１：ハウジング，４：出力部材，１０:ロック室（作動室），１１：リリース室（作動室），２５：流路，２６：第１検出弁（検出弁），２７：装着孔，２９：ケーシング，３１：筒孔（小径孔），３３ｂ：大径孔，３４：キャップ部材，３５：検出部材，３５ａ：小径部，３５ｂ：大径部，４０：収容孔（凹部），４１：進出バネ，４５：流路，４６：第２検出弁（検出弁），４７：装着孔，４９：ケーシング，５１：筒孔（小径孔），５３ｂ：大径孔，５４：キャップ部材，５５：検出部材，５５ａ:小径部，５５ｂ：大径部，６０：収容孔（凹部），６１：進出バネ．
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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