(57)【要約】【課題】誤作動を低減し、高精度に加速度を検出することができる物理量センサーを提供すること、また、この物理量センサーを備える慣性計測装置、測位装置、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】第１周波数で振動する第１振動子と、加速度に応じて前記第１周波数とは異なる変化量で変化する第２周波数で前記第１振動子とは独立して振動する第２振動子と、前記第１周波数と前記第２周波数との差分に基づいて、物理量を検出する検出回路と、を備えることを特徴とする物理量センサー。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１周波数で振動する第１振動子と、
加速度に応じて前記第１周波数とは異なる変化量で変化する第２周波数で前記第１振動子とは独立して振動する第２振動子と、
前記第１周波数と前記第２周波数との差分に基づいて、物理量を検出する検出回路と、を備えていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
前記独立とは、前記第１振動子と前記第２振動子とが別体で設けられている請求項１に記載の物理量センサー。
【請求項３】
前記第１振動子および前記第２振動子は、互いに同一の材料を用いて構成されている請求項１または２に記載の物理量センサー。
【請求項４】
前記第１振動子は、
第１基部と、
前記第１基部に設けられている第１振動腕と、を有し、
前記第２振動子は、
第２基部と、
前記第２基部に設けられている第２振動腕と、を有する請求項１ないし３のいずれか一項に記載の物理量センサー。
【請求項５】
前記第２振動腕の前記第２基部側とは反対側の端部側の幅は、前記第１振動腕の前記第１基部側とは反対側の端部側の幅よりも大きい請求項４に記載の物理量センサー。
【請求項６】
前記第１振動子および前記第２振動子は、それぞれ、水晶を用いて構成されている請求項４または５に記載の物理量センサー。
【請求項７】
前記第１振動子および前記第２振動子は、それぞれ、櫛歯状の電極を有する静電容量型の共振子である請求項１ないし３のいずれか一項に記載の物理量センサー。
【請求項８】
前記第１振動子および前記第２振動子は、それぞれ、シリコンを用いて構成されている請求項７に記載の物理量センサー。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーの動作を制御する制御回路と、を備えることを特徴とする慣性計測装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の慣性計測装置と、
測位用衛星から受信した衛星信号に基づいて測位計算を行う受信機と、
前記慣性計測装置の計測結果および前記受信機の測位計算結果に基づいて、受信点の位置を算出する処理を行う処理部と、を備えることを特徴とする測位装置。
【請求項１１】
請求項１ないし８のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含むことを特徴とする携帯型電子機器。
【請求項１２】
請求項１ないし８のいずれか一項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１３】
請求項１ないし８のいずれか一項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサー、慣性計測装置、測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
加速度等の物理量を検出する物理量センサーが知られている（例えば、特許文献１参照）。例えば、特許文献１に記載の振動式加速度計は、一端がベースに固定された支柱と、この支柱の自由端側に固定された所定の質量を有する重りと、前記支柱に平行に、かつ、対向して設けられ、前記ベースと前記重りに両端を固定された一対の振動梁と、これらの振動梁を振動させる励振手段と、前記振動梁の固有振動数を検出する振動検出手段と、前記振動検出手段で検出した各振動梁の固有振動数を加算および減算する演算手段とを具備する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６１−１７８６６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の振動式加速度計では、２つの振動梁の自由端同士が重りにより連結されているため、一方の振動梁の振動が他方の振動梁に伝わって２つの振動梁が干渉し、誤作動を生じてしまうという課題がある。
【０００５】
本発明の目的は、誤作動を低減し、高精度に加速度を検出することができる物理量センサーを提供すること、また、この物理量センサーを備える慣性計測装置、測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例または形態として実現することが可能である。
【０００７】
本適用例の物理量センサーは、第１周波数で振動する第１振動子と、
加速度に応じて前記第１周波数とは異なる変化量で変化する第２周波数で前記第１振動子とは独立して振動する第２振動子と、
前記第１周波数と前記第２周波数との差分に基づいて、物理量を検出する検出回路と、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
このような物理量センサーによれば、第２周波数（第２振動子の振動周波数）が加速度に応じて第１周波数（第１振動子の振動周波数）とは異なる変化量で変化するため、第１周波数と第２周波数との差分に基づいて物理量（当該加速度またはそれに基づく物理量）を検出することができる。ここで、第１振動子および第２振動子が互いに独立して振動するため、これらの振動子の干渉を低減し（実質的に無くし）、物理量センサーの誤作動を低減することができる。また、第１振動子および第２振動子の温度特性を互いに等しくまたは近似させることにより、これらの振動子の温度特性を相殺または低減し、検出精度を高めることができる。
【０００９】
本適用例の物理量センサーでは、前記独立とは、前記第１振動子と前記第２振動子とが別体で設けられていることが好ましい。
【００１０】
本適用例の物理量センサーでは、前記第１振動子および前記第２振動子は、互いに同一の材料を用いて構成されていることが好ましい。
【００１１】
これにより、第１振動子および第２振動子の温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。
【００１２】
本適用例の物理量センサーでは、前記第１振動子は、
第１基部と、
前記第１基部に設けられている第１振動腕と、を有し、
前記第２振動子は、
第２基部と、
前記第２基部に設けられている第２振動腕と、を有することが好ましい。
【００１３】
これにより、優れた周波数特性を有する第１振動子および第２振動子を実現することができる。その結果、検出精度を高めることができる。
【００１４】
本適用例の物理量センサーでは、前記第２振動腕の前記第２基部側とは反対側の端部側の幅は、前記第１振動腕の前記第１基部側とは反対側の端部側の幅よりも大きいことが好ましい。
【００１５】
これにより、第１振動子および第２振動子の構成の簡単化を図りつつ、第２周波数を加速度に応じて第１周波数とは異なる変化量で変化させることができる。
【００１６】
本適用例の物理量センサーでは、前記第１振動子および前記第２振動子は、それぞれ、水晶を用いて構成されていることが好ましい。
【００１７】
これにより、第１振動子および第２振動子の温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。また、優れた特性（周波数温度特性、低位相ジッタ、低位相雑音、低消費電力等）を有する第１振動子および第２振動子を実現することができる。
【００１８】
本適用例の物理量センサーでは、前記第１振動子および前記第２振動子は、それぞれ、櫛歯状の電極を有する静電容量型の共振子であることが好ましい。
【００１９】
これにより、第１振動子および第２振動子の構成の簡単化を図りつつ、第２周波数を加速度に応じて第１周波数とは異なる変化量で変化させることができる。
【００２０】
本適用例の物理量センサーでは、前記第１振動子および前記第２振動子は、それぞれ、シリコンを用いて構成されていることが好ましい。
【００２１】
これにより、第１振動子および第２振動子の温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。また、極めて小型な第１振動子および第２振動子を実現することができる。
【００２２】
本適用例の慣性計測装置は、本適用例の物理量センサーと、
前記物理量センサーの動作を制御する制御回路と、を備えることを特徴とする。
【００２３】
このような慣性計測装置によれば、物理量センサーの高精度な検出結果を用いることで、計測精度を高めることができる。
【００２４】
本適用例の測位装置は、本適用例の慣性計測装置と、
測位用衛星から受信した衛星信号に基づいて測位計算を行う受信機と、
前記慣性計測装置の計測結果および前記受信機の測位計算結果に基づいて、受信点の位置を算出する処理を行う処理部と、を備えることを特徴とする。
【００２５】
このような測位装置によれば、慣性計測装置の高精度な計測結果を用いることで、測位精度を高めることができる。
【００２６】
本適用例の携帯型電子機器は、本適用例の物理量センサーと、
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含むことを特徴とする。
【００２７】
このような携帯型電子機器は、物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【００２８】
本適用例の電子機器は、本適用例の物理量センサーを備えることを特徴とする。
このような電子機器によれば、物理量センサーの高精度な検出結果を用いることで、電子機器の特性（例えば信頼性）を高めることができる。
【００２９】
本適用例の移動体は、本適用例の物理量センサーを備えることを特徴とする。
このような移動体によれば、物理量センサーの高精度な検出結果を用いることで、移動体の特性（例えば信頼性）を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示す物理量センサーが備える第１振動子の平面図である。
【図３】図２中のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図１に示す物理量センサーが備える第２振動子の平面図である。
【図５】図４中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】第１周波数ｆ１、第２周波数ｆ２およびこれらの周波数の差分Δｆと加速度との関係を示すグラフである。
【図７】本発明の第２実施形態に係る物理量センサーが備える振動子（共通してパッケージ化された第１振動子および第２振動子）を示す平面図である。
【図８】図７中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図９】本発明の慣性計測装置の実施形態を示す分解斜視図である。
【図１０】図９に示す慣性計測装置が備える基板の斜視図である。
【図１１】本発明の測位装置の実施形態の概略構成を示すブロック図である。
【図１２】本発明の電子機器の実施形態（モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター）を示す斜視図である。
【図１３】本発明の電子機器の実施形態（携帯電話機）を示す斜視図である。
【図１４】本発明の電子機器の実施形態（デジタルスチールカメラ）を示す斜視図である。
【図１５】本発明の携帯型電子機器の実施形態を示す平面図である。
【図１６】図１５に示す携帯型電子機器の概略構成を示す機能ブロック図である。
【図１７】本発明の移動体の実施形態（自動車）を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の物理量センサー、慣性計測装置、測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３２】
１．物理量センサー
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示すブロック図である。図２は、図１に示す物理量センサーが備える第１振動子の平面図である。図３は、図２中のＡ−Ａ線断面図である。図４は、図１に示す物理量センサーが備える第２振動子の平面図である。図５は、図４中のＢ−Ｂ線断面図である。図６は、第１周波数ｆ１、第２周波数ｆ２およびこれらの周波数の差分Δｆと加速度との関係を示すグラフである。
【００３３】
なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸であるＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を適宜用いて説明を行う。また、各図において、これらの軸を示す矢印の先端側を「＋」、基端側を「−」とする。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。
【００３４】
図１に示す物理量センサー１は、物理量として加速度を検出する加速度センサーである。この物理量センサー１は、第１振動子２と、第２振動子３と、第１振動子２を発振させる第１発振回路４と、第２振動子３を発振させる第２発振回路５と、第１振動子２の発振周波数（振動周波数）と第２振動子３の発振周波数（振動周波数）との差分に基づいて物理量（加速度またはそれに基づく速度、距離等の物理量）を検出する検出回路６と、を備える。
【００３５】
第１振動子２および第２振動子３は、それぞれ、独立して振動する共振子である。ここで、第１振動子２は、第１周波数（第１共振周波数）で振動（共振）し、一方、第２振動子３は、第２周波数（第２共振周波数）で振動（共振）する。ただし、第１振動子２は、加速度を受けても、第１周波数が変化しないか、または、その変化量が第２周波数の変化量に比べて小さい。一方、第２振動子３は、加速度を受けたとき、その加速度に応じて第２周波数が第１周波数よりも大きく変化する。なお、第１振動子２および第２振動子３の具体的構成については、後に詳述する。
【００３６】
第１発振回路４および第２発振回路５は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）チップ内に集積化されて構成されている。第１発振回路４は、第１振動子２とともに発振器（第１発振器）を構成しており、第１振動子２を発振（共振）させる駆動信号を出力し、その発振周波数である第１周波数の発振信号を出力する。第２発振回路５は、第２振動子３とともに発振器（第２発振器）を構成しており、第２振動子３を発振（共振）させる駆動信号を出力し、その発振周波数である第２周波数の発振信号を出力する。なお、第１発振回路４および第２発振回路５は、同一のＩＣチップ内に設けられていてもよいし、別々のＩＣチップ内に設けられていてもよい。
【００３７】
検出回路６は、第１発振回路４からの発振信号と第２発振回路５からの発振信号との周波数差に応じた周波数の信号を出力する演算回路６１を有する。この演算回路６１は、例えば、減算回路を含んで構成されている。演算回路６１から出力される信号の周波数は、物理量センサー１に加わった加速度に応じた周波数となる。なお、検出回路６の少なくとも一部は、前述した第１発振回路４および第２発振回路５のうちの少なくとも一方とともにＩＣチップ内に設けられていてもよい。
【００３８】
このような物理量センサー１は、前述したように、第２周波数が加速度に応じて第１周波数とは異なる変化量で変化するため、第１周波数と第２周波数との差分に基づいて物理量（当該加速度またはそれに基づく物理量）を検出することができる。また、第１振動子２および第２振動子３が互いに独立して振動するため、第１振動子２および第２振動子３の互いの干渉を低減し（実質的に無くし）、物理量センサー１の誤作動を低減することができる。その結果、物理量センサー１の検出精度を高めることができる。また、第１振動子２および第２振動子３の温度特性を互いに等しくまたは近似させることで、第１振動子２および第２振動子３の互いの温度特性を相殺または低減し、この点でも、物理量センサー１の検出精度を高めることができる。以下、第１振動子２および第２振動子３の具体的構成について詳述する。
【００３９】
（第１振動子）
図２および図３に示すように、第１振動子２は、素子片２１と、素子片２１を収納しているパッケージ２２と、を有する。
【００４０】
パッケージ２２は、図３に示すように、基板２２１と、基板２２１に接合された蓋体２２２と、を有する。基板２２１は、例えばガラス材料で構成されており、基板２２１の蓋体２２２側の面には、凹部２２３が設けられている。また、凹部２２３の底面には、１対の凸部２２４および１対の凸部２２５が設けられている。一方、蓋体２２２は、例えばシリコンで構成されており、蓋体２２２の基板２２１側の面には、凹部２２６が設けられている。このような基板２２１および蓋体２２２は、例えば陽極接合により互いに接合されている。そして、基板２２１の凹部２２３および蓋体２２２の凹部２２６によって、素子片２１を収納する空間が気密的に形成されている。この空間は、例えば、減圧（真空）状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。
【００４１】
素子片２１は、図２に示すように、１対の固定部２１１と、２組の１対の固定電極２１２、２１３と、振動部２１４と、１対のバネ部２１５と、１対の可動電極２１６と、を有する。これらは、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされた導電性のシリコン基板をエッチングによってパターニングすることで一括形成される。また、各固定部２１１および各固定電極２１２、２１３は、それぞれ、前述した基板２２１に対して例えば陽極接合により接合されている。
【００４２】
１対の固定部２１１は、前述したパッケージ２２の１対の凸部２２４の頂面に接合され、Ｘ軸方向に並んで配置されている。１対の固定電極２１２は、前述したパッケージ２２の１対の凸部２２５の頂面に接合され、Ｙ軸方向に並んで配置されている。１対の固定電極２１３は、前述したパッケージ２２の凹部２２３の外側において基板２２１に接合され、Ｙ軸方向に並んで配置されている。各固定電極２１２、２１３は、櫛歯状をなす電極部を有する。
【００４３】
振動部２１４は、矩形の枠体であり、その内側には、１対の固定部２１１および１対の固定電極２１２が配置されている。そして、振動部２１４は、１対のバネ部２１５を介して１対の固定部２１１に接続されている。一方、振動部２１４の外側には、振動部２１４を介して１対の固定電極２１２に対向するように１対の固定電極２１３が配置されている。
【００４４】
また、振動部２１４には、１対の可動電極２１６が設けられている。各可動電極２１６は、固定電極２１２に噛み合う櫛歯状をなす電極部と、固定電極２１３に噛み合う櫛歯状をなす電極部と、を有する。
【００４５】
以上のように構成された第１振動子２では、振動部２１４に直流電圧が印加される。これにより、固定電極２１２、２１３と可動電極２１６との間に電位差が生じ、その電位差に応じて固定電極２１２、２１３のそれぞれの表面に電荷がチャージされる。この状態で、１対の固定電極２１２のうち一方の可動電極２１６に対向する固定電極２１２、および、１対の固定電極２１３のうち他方の可動電極２１６に対向する固定電極２１３のそれぞれに、駆動信号として第１周波数の交流電圧が印加される。これにより、振動部２１４が１対のバネ部２１５の弾性変形（曲げ変形）を伴ってＹ軸方向に振動する。また、１対の固定電極２１２のうち前述した駆動信号が印加される固定電極２１２とは異なる固定電極２１２、および、１対の固定電極２１３のうち前述した駆動信号が印加される固定電極２１３とは異なる固定電極２１３のそれぞれから、第１周波数の信号が出力される。
【００４６】
ここで、第１周波数は、振動部２１４（可動電極２１６を含む）の質量および１対のバネ部２１５のバネ定数に応じて設定される。例えば、振動部２１４の質量を大きくしたり、バネ部２１５を長くまたは細くしたりすることで、第１周波数を低く（小さく）することができる。逆に、振動部２１４の質量を小さくしたり、バネ部２１５の短くまたは太くしたりすることで、第１周波数を高く（大きく）することができる。
【００４７】
（第２振動子）
図４に示す第２振動子３は、２組の１対の固定部３３１、３３２と、錘部３３３と、１対のバネ部３３５と、を有し、かつ、前述した第１振動子２の１対のバネ部２１５のうちの一方のバネ部２１５に代えて、バネ部３３６を有する以外は、第１振動子２と同様に構成されている。
【００４８】
具体的に説明すると、図４および図５に示すように、第２振動子３は、素子片３１と、素子片３１を収納しているパッケージ３２と、を有する。
【００４９】
パッケージ３２は、図５に示すように、基板３２１と、基板３２１に接合された蓋体３２２と、を有する。基板３２１は、例えばガラス材料で構成されており、基板３２１の蓋体３２２側の面には、凹部３２３が設けられている。また、凹部３２３の底面には、凸部３２４および１対の凸部３２５が設けられている（図４参照）。一方、蓋体３２２は、例えばシリコンで構成されており、蓋体３２２の基板３２１側の面には、凹部３２６が設けられている。このような基板３２１および蓋体３２２は、例えば陽極接合により互いに接合されている。そして、基板３２１の凹部３２３および蓋体３２２の凹部３２６によって、素子片３１を収納する空間が気密的に形成されている。この空間は、例えば、減圧（真空）状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよいが、前述した第１振動子２のパッケージ２２の空間と同じ減圧状態または不活性ガス封入状態であることが好ましい。これにより、第１振動子２および第２振動子３の温度特性を等しくまたは近似させることが容易となる。
【００５０】
素子片３１は、図４に示すように、１対の固定部３１１と、２組の１対の固定電極３１２、３１３と、振動部３１４と、バネ部３１５と、１対の可動電極３１６と、２組の１対の固定部３３１、３３２と、錘部３３３と、１対のバネ部３３５と、バネ部３３６と、を有する。これらは、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされた導電性のシリコン基板をエッチングによってパターニングすることで一括形成される。また、各固定部３１１、各固定電極３１２、３１３および各固定部３３１、３３２は、それぞれ、基板３２１に対して例えば陽極接合により接合されている。
【００５１】
固定部３１１は、前述したパッケージ３２の凸部３２４の頂面に接合されている。１対の固定電極３１２は、前述したパッケージ３２の１対の凸部３２５の頂面に接合され、Ｙ軸方向に並んで配置されている。１対の固定電極３１３は、前述したパッケージ３２の凹部３２３の外側において基板３２１に接合され、Ｙ軸方向に並んで配置されている。各固定電極３１２、３１３は、櫛歯状をなす電極部を有する。
【００５２】
振動部３１４は、矩形の枠体であり、その内側には、固定部３１１および１対の固定電極３１２が配置されている。そして、振動部３１４は、バネ部３１５を介して固定部３１１に接続されている。一方、振動部３１４の外側には、振動部３１４を介して１対の固定電極３１２に対向するように１対の固定電極３１３が配置されている。
【００５３】
また、振動部３１４には、１対の可動電極３１６が設けられている。各可動電極３１６は、固定電極３１２に噛み合う櫛歯状をなす電極部と、固定電極３１３に噛み合う櫛歯状をなす電極部と、を有する。
【００５４】
また、振動部３１４に対して−Ｘ軸方向側には、錘部３３３が配置されている。この錘部３３３は、板状をなしており、前述した枠状の振動部３１４のような開口部を有しない。これにより、錘部３３３の質量を大きくすることができる。
【００５５】
ここで、錘部３３３は、Ｙ軸方向に延びている１対のバネ部３３４を介して１対の固定部３３１に接続されている。１対の固定部３３１は、前述したパッケージ３２の凹部３２３の外側において基板３２１に接合され、Ｙ軸方向に並んで配置されている。
【００５６】
また、錘部３３３の振動部３１４側の端部は、Ｙ軸方向に延びているバネ部３３６を介して振動部３１４に接続されている。これにより、素子片３１が有する振動系の質量を大きくすることができる。一方、錘部３３３の振動部３１４とは反対側の端部は、ミアンダ状の１対のバネ部３３５を介して１対の固定部３３２に接続されている。これにより、錘部３３３をＸ軸方向に変位させることができる。１対の固定部３３２は、前述したパッケージ３２の凹部３２３の外側において基板３２１に接合され、Ｙ軸方向に並んで配置されている。
【００５７】
以上のように構成された第２振動子３では、振動部３１４に直流電圧が印加される。これにより、固定電極３１２、３１３と可動電極３１６との間に電位差が生じ、その電位差に応じて固定電極３１２、３１３のそれぞれの表面に電荷がチャージされる。この状態で、１対の固定電極３１２のうち一方の可動電極３１６に対向する固定電極３１２、および、１対の固定電極３１３のうち他方の可動電極３１６に対向する固定電極２１３のそれぞれに、駆動信号として第２周波数の交流電圧が印加される。これにより、振動部３１４がバネ部３１５、３３６の弾性変形（曲げ変形）を伴ってＹ軸方向に振動する。また、１対の固定電極３１２のうち前述した駆動信号が印加される固定電極３１２とは異なる固定電極３１２、および、１対の固定電極３１３のうち前述した駆動信号が印加される固定電極３１３とは異なる固定電極３１３のそれぞれから、第２周波数の信号が出力される。なお、錘部３３３は、Ｙ軸方向に延びている１対のバネ部３３４により支持されているため、振動部３１４のＹ軸方向の振動に伴って振動することは実質的にない。
【００５８】
ここで、第２周波数は、振動部３１４（可動電極３１６を含む）の質量および１対のバネ部３１５のバネ定数に応じて設定される。例えば、振動部３１４の質量を大きくしたり、バネ部３１５を長くまたは細くしたりすることで、第２周波数を低く（小さく）することができる。逆に、振動部３１４の質量を小さくしたり、バネ部３１５の短くまたは太くしたりすることで、第２周波数を高く（大きく）することができる。
【００５９】
また、第２振動子３がＸ軸方向の加速度を受けたとき、１対のバネ部３３５の弾性変形（曲げ変形）を伴って錘部３３３がＸ軸方向に変位する。これにより、バネ部３１５、３３６のうちの一方が引張、他方が圧縮され、バネ部３１５、３３６のバネ定数がともに増加する。そのため、前述したように振動部３１４を振動させた状態で第２振動子３がＸ軸方向の加速度を受けると、図６中破線で示すように、第２振動子３が受けた加速度に応じて第２周波数ｆ２が大きくなる。
【００６０】
これに対し、前述した第１振動子２は、第２振動子３のような錘部３３３およびこれに付随する構成を有しないため、加速度の影響を受け難い。そのため、第１振動子２は、図６中１点鎖線で示すように、Ｘ軸方向の加速度を受けても、第１周波数ｆ１がほとんど変化しない。したがって、第１周波数ｆ１と第２周波数ｆ２との差分Δｆは、物理量センサー１（第１振動子２および第２振動子３）が受けた加速度に応じた値となる。
【００６１】
このように、第１周波数ｆ１を基準周波数とし、第２周波数ｆ２を物理量（加速度）検出のための検出周波数として用い、物理量センサー１が受けた加速度を把握することができる。また、この加速度を積分等することで、速度、距離等の物理量を求めることもできる。
【００６２】
なお、図６では、説明の便宜上、第１周波数ｆ１および第２周波数ｆ２のそれぞれが加速度に応じて線形的に変化しているが、図示の変化に限定されない。また、図６では、第２周波数ｆ２が第１周波数ｆ１よりも高い場合を例に示しているが、第２周波数ｆ２が第１周波数ｆ１よりも低くてもよい。また、図６では、差分Δｆが（ｆ２−ｆ１）である場合を例に示しているが、差分Δｆが（ｆ１−ｆ２）であってもよい。この場合、図示の例では、受ける加速度が大きくなるほど、差分Δｆが小さくなるため、これを加味した処理を検出回路６で行えばよい。
【００６３】
以上のような物理量センサー１は、前述したように、第１周波数ｆ１で振動する第１振動子２と、加速度に応じて第１周波数ｆ１とは異なる変化量で変化する第２周波数ｆ２で第１振動子２とは独立して振動する第２振動子３と、第１周波数ｆ１と第２周波数ｆ２との差分Δｆに基づいて、物理量を検出する検出回路６と、を備える。
【００６４】
このような物理量センサー１によれば、第２周波数ｆ２（第２振動子の振動周波数）が加速度に応じて第１周波数ｆ１（第１振動子の振動周波数）とは異なる変化量で変化するため、第１周波数ｆ１と第２周波数ｆ２との差分Δｆに基づいて物理量（当該加速度またはそれに基づく物理量）を検出することができる。ここで、第１振動子２および第２振動子３が互いに独立して振動するため、これらの振動子の干渉を低減し（実質的に無くし）、物理量センサー１の誤作動を低減することができる。また、第１振動子２および第２振動子３の温度特性を互いに等しくまたは近似させることで、これらの振動子の温度特性を相殺または低減し、検出精度を高めることができる。
【００６５】
本実施形態では、第１振動子２および第２振動子３は、それぞれ、櫛歯状の電極（固定電極２１２、２１３、３１２、３１３および可動電極２１６、３１６）を有する静電容量型の共振子である。これにより、第１振動子２および第２振動子３の構成の簡単化を図りつつ、第２周波数ｆ２を加速度に応じて第１周波数ｆ１とは異なる変化量で変化させることができる。
【００６６】
ここで、第１振動子２および第２振動子３、特に、素子片２１、３１は、互いに同一の材料を用いて構成されていることが好ましい。これにより、第１振動子２および第２振動子３の温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。なお、第１振動子２および第２振動子３の構成材料が互いに異なっていてもよいが、この場合、第１振動子２および第２振動子３の互いに温度特性を相殺または低減する処理を検出回路６で行うことが好ましい。ここで、「同一」とは、実質的に同一であることを意味し、組成が全く同一の他、組成が近似するもの、同種のものも含む概念である。
【００６７】
特に、第１振動子２および第２振動子３、特に、素子片２１、３１は、それぞれ、シリコンを用いて構成されていることが好ましい。これにより、第１振動子２および第２振動子３の温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。また、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を用いて、極めて小型な第１振動子２および第２振動子３を実現することができる。
【００６８】
なお、物理量センサー１において、第１振動子２と第２振動子３との配置（位置関係）としては、特に限定されず、例えば、第１振動子２と第２振動子３とがＸ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸方向に並んで配置される場合や、Ｘ−Ｙ平面上、Ｘ−Ｚ平面上またはＹ−Ｚ平面上の任意の箇所に配置される場合、その他両者が離間して配置される場合等が挙げられる。
【００６９】
＜第２実施形態＞
図７は、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーが備える振動子（共通してパッケージ化された第１振動子および第２振動子）を示す平面図である。図８は、図７中のＣ−Ｃ線断面図である。
【００７０】
本実施形態は、第１振動子および第２振動子の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。以下、第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００７１】
本実施形態の物理量センサー１Ａは、振動子２０を備え、振動子２０は、素子片２３、２４と、素子片２３、２４を収納しているパッケージ２５と、を有する。ここで、素子片２３およびパッケージ２５が第１振動子２Ａを構成し、素子片２４およびパッケージ２５が第２振動子３Ａを構成している。すなわち、第１振動子２Ａは、素子片２３およびパッケージ２５を有し、第２振動子３Ａは、素子片２４およびパッケージ２５を有する。このように、同一パッケージ２５内に素子片２３、２４を収納することで、第１振動子２Ａおよび第２振動子３Ａの周波数温度特性の差を小さくすることが容易となる。
【００７２】
パッケージ２５は、図８に示すように、ベース２５１と、ベース２５１に接合された蓋体２５２と、を有する。ベース２５１は、例えばセラミックス材料で構成されており、ベース２５１の蓋体２５２側の面には、凹部２５３が設けられている。一方、蓋体２５２は、板状をなし、例えばガラス材料またはコバール等の金属材料で構成されている。このような蓋体２５２は、ベース２５１に対して凹部２５３を塞ぐようにシーム溶接等により接合されている。これにより、凹部２５３が素子片２３、２４を収納する空間として気密的に形成されている。この空間は、例えば、減圧（真空）状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。
【００７３】
素子片２３、２４は、それぞれ、例えば、Ｚカット水晶板で構成されている。これにより、第１振動子２Ａおよび第２振動子３Ａは、それぞれ、優れた振動特性を発揮することができる。Ｚカット水晶板とは、水晶のＺ軸（光学軸）を厚さ方向とする水晶基板である。なお、水晶のＺ軸は、水晶基板の厚さ方向と一致しているのが好ましいが、厚さ方向に対して若干（１５°未満程度）傾いていてもよい。
【００７４】
この素子片２３は、図７に示すように、前述したベース２５１に対して１対の接着剤２６（例えば、導電性接着剤）により固定（接合）されている基部２３１と、基部２３１からＹ軸方向に延出する１対の振動腕２３２と、を有している。同様に、素子片２４は、前述したベース２５１に対して１対の接着剤２７（例えば、導電性接着剤）により固定（接合）されている基部２４１と、基部２４１からＹ軸方向に延出する１対の振動腕２４２と、を有している。ただし、素子片２３の振動腕２３２は、幅が一定であるのに対し、素子片２４の振動腕２４２は、先端側の端部２４３の幅が基部２４１側の端部の幅よりも大きくなっている。これにより、振動腕２４２の基部２４１側とは反対側の端部２４３側の幅Ｗ２を、振動腕２３２の基部２３１側とは反対側の端部側２３３の幅Ｗ１よりも大きくすることができる。その結果、振動腕２４２の基部２４１側とは反対側の端部２４３側の質量を、振動腕２３２の基部２３１側とは反対側の端部２３３側の質量よりも大きくすることができる。
【００７５】
なお、各振動腕２３２、２４２には、Ｚ軸方向での両面に開口する溝または孔が設けられていてもよい。また、振動腕２４２の基部２４１側とは反対側の端部２４３側の質量が振動腕２３２の基部２３１側とは反対側の端部２３３側の質量よりも大きければ、素子片２３の振動腕２３２は、先端側の端部２３３の幅が基部２３１側の端部の幅よりも大きくなっていてもよい。この場合、例えば、端部２３３の幅を振動腕２４２の端部２４３の幅よりも小さくすればよい。また、図示では、平面視で素子片２３、２４がＸ軸方向に沿って並んで配置されているが、素子片２３、２４の配置は、図示の配置に限定されず、任意である。
【００７６】
このような各振動腕２３２、２４２には、図示しないが、金属材料等で構成された１対の駆動電極が形成されている。そして、第１振動子２Ａでは、１対の駆動電極間に交番電圧が駆動信号として印加されることで、１対の振動腕２３２が互いに接近と離間を繰り返すように面内方向（ＸＹ平面方向）に第１周波数で振動する。一方、第２振動子３Ａでは、１対の駆動電極間に交番電圧が駆動信号として印加されることで、１対の振動腕２４２が互いに接近と離間を繰り返すように面内方向（ＸＹ平面方向）に第２周波数で振動する。
【００７７】
ここで、第１周波数は、振動腕２３２の質量（特に端部２３３の質量）およびバネ定数（振動腕２３２の基部２３１側の部分のバネ定数）に応じて設定される。同様に、第２周波数は、振動腕２４２の質量（特に端部２４３の質量）およびバネ定数（振動腕２４２の基部２４１側の部分のバネ定数）に応じて設定される。
【００７８】
また、第２振動子３Ａが駆動振動の方向とは異なる所定方向（例えばＺ軸方向）の加速度を受けたとき、１対の振動腕２４２の端部２４３側が当該所定方向に変位する。これにより、各振動腕２４２の変形により各振動腕２４２のバネ定数がともに増加し、第２振動子３Ａが受けた加速度に応じて第２周波数が大きくなる。
【００７９】
これに対し、前述した第１振動子２Ａは、各振動腕２３２の幅が一定であるため、端部２３３が加速度の影響を受け難い。そのため、第１振動子２Ａは、当該所定方向の加速度を受けても、第１周波数がほとんど変化しない。
【００８０】
したがって、前述したような第１振動子２Ａおよび第２振動子３Ａを用いても、第１周波数と第２周波数との差分に基づいて、物理量センサー１が受けた加速度を検出することができる。
【００８１】
以上のように、本実施形態の物理量センサー１Ａでは、第１振動子２Ａは、第１基部である基部２３１と、基部２３１から延出している第１振動腕である振動腕２３２と、を有し、第２振動子３Ａは、第２基部である基部２４１と、基部２４１から延出している第２振動腕である振動腕２４２と、を有する。これにより、優れた周波数特性を有する第１振動子２Ａおよび第２振動子３Ａを実現することができる。その結果、物理量センサー１Ａの検出精度を高めることができる。
【００８２】
ここで、振動腕２４２（第２振動腕）の基部２４１（第２基部）側とは反対側の端部２４３側の幅Ｗ２は、振動腕２３２（第１振動腕）の基部２３１（第１基部）側とは反対側の端部２３３側の幅Ｗ１よりも大きい。これにより、第１振動子２Ａおよび第２振動子３Ａの構成の簡単化を図りつつ、第２周波数を加速度に応じて第１周波数とは異なる変化量で変化させることができる。
【００８３】
また、第１振動子２Ａおよび第２振動子３Ａ、特に、素子片２３、３４は、互いに同一の材料を用いて構成されていることが好ましい。これにより、第１振動子２Ａおよび第２振動子３Ａの温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。
【００８４】
特に、第１振動子２Ａおよび第２振動子３Ａ、特に素子片２３、２４は、それぞれ、水晶を用いて構成されていることが好ましい。これにより、第１振動子２Ａおよび第２振動子３Ａの温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。また、優れた特性（周波数温度特性、低位相ジッタ、低位相雑音、低消費電力等）を有する第１振動子２Ａおよび第２振動子３Ａを実現することができる。
【００８５】
以上説明したような第２実施形態によっても、誤作動を低減し、高精度に加速度を検出することができる。
【００８６】
２．慣性計測装置
図９は、本発明の慣性計測装置の実施形態を示す分解斜視図である。図１０は、図９に示す慣性計測装置が備える基板の斜視図である。
【００８７】
図９に示す慣性計測装置（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）２０００は、いわゆる６軸モーションセンサーであり、例えば、自動車、ロボット等の移動体（計測対象物）に装着して用いられ、当該移動体の姿勢および挙動（慣性運動量）を検出する。
【００８８】
この慣性計測装置２０００は、アウターケース２１００と、接合部材２２００と、センサーモジュール２３００と、を備え、センサーモジュール２３００がアウターケース２１００内に接合部材２２００を介在させた状態で篏合（挿入）されている。
【００８９】
アウターケース２１００は、箱状をなしており、このアウターケース２１００の対角にある２つの角部には、計測対象物に対するネジ止めのためのネジ孔２１１０が設けられている。
【００９０】
センサーモジュール２３００は、インナーケース２３１０と、基板２３２０と、を備え、インナーケース２３１０が基板２３２０を支持した状態で、前述したアウターケース２１００の内部に収納されている。ここで、インナーケース２３１０は、アウターケース２１００に対して、接合部材２２００（例えばゴム製のパッキン）を介して、接着剤等により接合されている。また、インナーケース２３１０は、基板２３２０上に実装される部品の収納空間として機能する凹部２３１１と、基板２３２０上に設けられているコネクター２３３０を外部に露出するための開口部２３１２と、を有する。基板２３２０は、例えば、多層配線基板であり、インナーケース２３１０に対して接着剤等により接合されている。
【００９１】
図１０に示すように、基板２３２０には、コネクター２３３０、角速度センサー２３４０Ｘ、２３４０Ｙ、２３４０Ｚ、加速度センサー２３５０および制御ＩＣ２３６０が実装されている。
【００９２】
コネクター２３３０は、図示しない外部装置に電気的に接続され、当該外部装置と慣性計測装置２０００との間で電力、計測データ等の電気信号の送受信を行うのに用いられる。
【００９３】
角速度センサー２３４０Ｘは、Ｘ軸まわりの角速度を検出し、角速度センサー２３４０Ｙは、Ｙ軸まわりの角速度を検出し、角速度センサー２３４０Ｚは、Ｚ軸まわりの角速度を検出する。角速度センサー２３４０Ｘ、２３４０Ｙ、２３４０Ｚは、それぞれ、例えば、コリオリの力を用いて角速度を検出する振動ジャイロセンサーである。また、加速度センサー２３５０は、前述した物理量センサー１または１Ａを有して構成され、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向での加速度を検出する。
【００９４】
制御ＩＣ２３６０は、ＭＣＵ（Micro Controller Unit）であり、不揮発性メモリーを含む記憶部、Ａ／Ｄコンバーター等を内蔵しており、慣性計測装置２０００の各部を制御する。ここで、記憶部には、加速度および角速度を検出するための順序と内容を規定したプログラム、検出データをデジタル化してパケットデータに組込むプログラム、付随するデータ等が記憶されている。
【００９５】
以上のように、慣性計測装置２０００は、物理量センサー１または１Ａと、物理量センサー１または１Ａの動作を制御する制御回路である制御ＩＣ２３６０と、を備える。このような慣性計測装置２０００によれば、物理量センサー１または１Ａの高精度な検出結果を用いることで、計測精度を高めることができる。
【００９６】
３．測位装置
図１１は、本発明の測位装置の実施形態の概略構成を示すブロック図である。
【００９７】
図１１に示す測位装置３０００は、例えば、図示しない移動体に装着して用いられ、当該移動体の測位を行う装置である。当該移動体としては、例えば、自動車、オートバイ、自転車、船、電車、人間等が挙げられる。測位装置３００を人間に装着する場合、例えば、測位装置３０００を時計型等の携帯情報機器等に組み込めばよい。
【００９８】
この測位装置３０００は、測位用衛星ＮＳからの衛星信号に基づいて測位計算を行う受信機３１００と、角速度および加速度を計測する慣性計測装置３３００と、受信機３１００の測位計算結果および慣性計測装置３３００の計測結果に基づいて受信点の位置を算出する処理を行う処理部３４００と、を備える。
【００９９】
受信機３１００は、例えば、ＧＰＳ（Global Positioning System）受信機であり、アンテナ３２００を介して測位用衛星ＮＳ（ＧＰＳ衛星）からの衛星信号を受信し、当該衛星信号に含まれる軌道情報（エフェメリスデータやアルマナックデータ等）および時刻情報（週番号データやＺカウントデータ等）に基づいて測位計算を行う。より具体的には、受信機３１００は、例えば、ＲＦ（Radio Frequency）回路、ベースバンド処理回路等を有して構成され、ＲＦ回路が、アンテナ３２００で受信した衛星信号のダウンコンバート、増幅等を行い、ベースバンド処理部が、ＲＦ回路を介した４つ以上の衛星信号に含まれる軌道情報および時刻情報に基づいて測位計算を行い、その測位計算結果（位置情報）を出力する。なお、受信機３１００は、位置情報を、時刻情報、受信状況（測位用衛星ＮＳの捕捉数、衛星信号の強度等）等の各種情報とともに、ＮＭＥＡデータとして出力してもよい。
【０１００】
慣性計測装置３３００は、３軸の各軸まわりの角速度および各軸方向の加速度を検出する装置である。この慣性計測装置３３００は、３軸の各軸まわりの角速度を検出する角速度センサー３３１０と、３軸の各軸方向の角速度を検出する加速度センサー３３２０と、角速度センサー３３１０および加速度センサー３３２０の動作を制御する制御回路３３３０と、を備える。ここで、慣性計測装置３３００は、前述した慣性計測装置２０００と同様に構成されている。そして、慣性計測装置３３００は、３軸の各軸まわりの角速度および各軸方向の加速度を含む慣性情報を計測結果として出力する。
【０１０１】
処理部３４００は、慣性計測装置３３００の計測結果に基づいて測位計算（例えば加速度および角速度を積分する演算）を行い、その測位計算結果および受信機３１００の測位計算結果に基づいて、受信点の位置を算出し、その算出結果（位置情報）を出力する。これにより、高精度な位置情報を生成することができる。なお、処理部３４００は、受信機３１００の測位計算結果の値をそのまま前述した受信点の位置の算出に用いてもよいし、受信機３１００の測位計算結果を所定時間ごとに統計処理（例えば平均値、中央値または最頻値を求める処理）した結果を前述した受信点の位置の算出に用いてもよい。また、前述した受信点の位置の算出において、慣性計測装置３３００の計測結果に基づく測位計算を行わずに、慣性計測装置３３００の計測結果（加速度情報および角速度情報）を直接用いて受信機３１００の測位計算結果を補正してもよい。
【０１０２】
以上のように、測位装置３０００は、慣性計測装置３３００と、測位用衛星ＮＳから受信した衛星信号に基づいて測位計算を行う受信機３１００と、慣性計測装置３３００の計測結果および受信機３１００の測位計算結果に基づいて、受信点の位置を算出する処理を行う処理部３４００と、を備える。このような測位装置３０００によれば、慣性計測装置３３００の高精度な計測結果を用いることで、測位精度を高めることができる。
【０１０３】
４．電子機器
次に、本発明の物理量センサーを備える電子機器について説明する。
【０１０４】
図１２は、本発明の電子機器の実施形態（モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター）を示す斜視図である。
【０１０５】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、前述した慣性計測装置２０００（物理量センサー１または１Ａ）が内蔵されている。
【０１０６】
図１３は、本発明の電子機器の実施形態（携帯電話機）を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ（図示せず）、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、前述した慣性計測装置２０００（物理量センサー１または１Ａ）が内蔵されている。
【０１０７】
図１４は、本発明の電子機器の実施形態（デジタルスチールカメラ）を示す斜視図である。
【０１０８】
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース１３０２の背面には表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。そして、撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押すと、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、前述した慣性計測装置２０００（物理量センサー１または１Ａ）が内蔵されており、この慣性計測装置２０００の計測結果は、例えば、手振れ補正に用いられる。
【０１０９】
以上のような電子機器は、物理量センサー１または１Ａを備える。このような電子機器によれば、物理量センサー１または１Ａの高精度な検出結果を用いることで、電子機器の特性（例えば信頼性）を高めることができる。
【０１１０】
なお、本発明の電子機器は、図１２のパーソナルコンピューター、図１３の携帯電話機、図１４のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計（スマートウォッチを含む）、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）等のウェアラブル端末、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、携帯端末用の基地局、フライトシミュレーター等に適用することができる。
【０１１１】
５．携帯型電子機器
次に、本発明の携帯型電子機器の実施形態について説明する。
【０１１２】
図１５は、本発明の携帯型電子機器の実施形態を示す平面図である。図１６は、図１５に示す携帯型電子機器の概略構成を示す機能ブロック図である。
【０１１３】
図１５に示す腕時計型の活動計１４００（アクティブトラッカー）は、本発明の携帯型電子機器を適用したリスト機器である。活動計１４００は、バンド１４０１によってユーザーの手首等の部位（被検体）に装着される。また、活動計１４００は、デジタル表示の表示部１４０２を備えるとともに、無線通信が可能である。上述した本発明に係る物理量センサー１は、加速度を測定するセンサーや角速度を計測するセンサーとして活動計１４００に組込まれている。
【０１１４】
活動計１４００は、物理量センサー１が収容されているケース１４０３と、ケース１４０３に収容され、物理量センサー１からの出力データを処理する処理部１４１０と、ケース１４０３に収容されている表示部１４０２と、ケース１４０３の開口部を塞いでいる透光性カバー１４０４と、を備えている。また、透光性カバー１４０４の外側にはベゼル１４０５が設けられている。また、ケース１４０３の側面には複数の操作ボタン１４０６、１４０７が設けられている。
【０１１５】
図１６に示すように、物理量センサー１としての加速度センサー１４０８は、互いに交差する（理想的には直交する）３軸方向の各々の加速度を検出し、検出した３軸加速度の大きさおよび向きに応じた信号（加速度信号）を出力する。また、角速度センサー１４０９は、互いに交差する（理想的には直交する）３軸方向の各々の角速度を検出し、検出した３軸角速度の大きさおよび向きに応じた信号（角速度信号）を出力する。
【０１１６】
表示部１４０２を構成する液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）では、種々の検出モードに応じて、例えば、ＧＰＳセンサー１４１１や地磁気センサー１４１２を用いた位置情報、移動量や物理量センサー１に含まれる加速度センサー１４０８や角速度センサー１４０９などを用いた運動量などの運動情報、脈拍センサー１４１３などを用いた脈拍数などの生体情報、もしくは現在時刻などの時刻情報などが表示される。なお、温度センサー１４１４を用いた環境温度を表示することもできる。
【０１１７】
通信部１４１５は、ユーザー端末と図示しない情報端末との間の通信を成立させるための各種制御を行う。通信部１４１５は、例えば、Bluetooth（登録商標）（BTLE：Bluetooth Low Energyを含む）、Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）（Wireless Fidelity）、Ｚｉｇｂｅｅ（登録商標）、ＮＦＣ（Near field communication）、ＡＮＴ＋（登録商標）等の近距離無線通信規格に対応した送受信機や、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）等の通信バス規格に対応したコネクターを含んで構成される。
【０１１８】
処理部１４１０（プロセッサー）は、例えば、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等により構成される。処理部１４１０は、記憶部１４１６に格納されたプログラムと、操作部１４１７（例えば操作ボタン１４０６、１４０７）から入力された信号とに基づき、各種の処理を実行する。処理部１４１０による処理には、ＧＰＳセンサー１４１１、地磁気センサー１４１２、圧力センサー１４１８、加速度センサー１４０８、角速度センサー１４０９、脈拍センサー１４１３、温度センサー１４１４、計時部１４１９の各出力信号に対するデータ処理、表示部１４０２に画像を表示させる表示処理、音出力部１４２０に音を出力させる音出力処理、通信部１４１５を介して情報端末と通信を行う通信処理、バッテリー１４２１からの電力を各部へ供給する電力制御処理などが含まれる。
【０１１９】
このような活動計１４００では、少なくとも以下のような機能を有することができる。
１．距離：高精度のＧＰＳ機能により計測開始からの合計距離を計測する。
２．ペース：ペース距離計測から、現在の走行ペースを表示する。
３．平均スピード：平均スピード走行開始から現在までの平均スピードを算出し表示する。
４．標高：ＧＰＳ機能により、標高を計測し表示する。
５．ストライド：ＧＰＳ電波が届かないトンネル内などでも歩幅を計測し表示する。
６．ピッチ：１分あたりの歩数を計測し表示する。
７．心拍数：脈拍センサーにより心拍数を計測し表示する。
８．勾配：山間部でのトレーニングやトレイルランにおいて、地面の勾配を計測し表示する。
９．オートラップ：事前に設定した一定距離や一定時間を走った時に、自動でラップ計
測を行う。
１０．運動消費カロリー：消費カロリーを表示する。
１１．歩数：運動開始からの歩数の合計を表示する。
【０１２０】
このような活動計１４００（携帯型電子機器）は、物理量センサー１と、物理量センサー１が収容されているケース１４０３と、ケース１４０３に収容され、物理量センサー１からの出力データを処理する処理部１４１０と、ケース１４０３に収容されている表示部１４０２と、ケース１４０３の開口部を塞いでいる透光性カバー１４０４と、を含んでいる。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１２１】
なお、活動計１４００は、ランニングウォッチ、ランナーズウォッチ、デュアスロンやトライアスロン等マルチスポーツ対応のランナーズウォッチ、アウトドアウォッチ、および衛星測位システム、例えばＧＰＳを搭載したＧＰＳウォッチ、等に広く適用できる。
【０１２２】
また、上述では、衛星測位システムとしてＧＰＳ（Global Positioning System）を用いて説明したが、他の全地球航法衛星システム（ＧＮＳＳ：Global Navigation Satellite System）を利用してもよい。例えば、ＥＧＮＯＳ(European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service)、ＱＺＳＳ（Quasi Zenith Satellite System）、ＧＬＯＮＡＳＳ（GLObal NAvigation Satellite System）、ＧＡＬＩＬＥＯ、ＢｅｉＤｏｕ（BeiDou Navigation Satellite System）、等の衛星測位システムのうち１又は２以上を利用してもよい。また、衛星測位システムの少なくとも１つにＷＡＡＳ（Wide Area Augmentation System）、ＥＧＮＯＳ（European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service）等の静止衛星型衛星航法補強システム（ＳＢＡＳ：Satellite-based Augmentation System）を利用してもよい。
【０１２３】
６．移動体
次に、本発明の移動体について説明する。
【０１２４】
図１７は、本発明の移動体の実施形態（自動車）を示す斜視図である。
自動車１５００には、前述した慣性計測装置２０００（物理量センサー１）が内蔵されており、例えば、慣性計測装置２０００（物理量センサー１）によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。慣性計測装置２０００（物理量センサー１）の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。
【０１２５】
その他、このような姿勢制御は、二足歩行ロボットやラジコンヘリコプター（ドローンを含む）で利用することができる。以上のように、各種移動体の姿勢制御の実現にあたって、慣性計測装置２０００（物理量センサー１）が組み込まれる。
【０１２６】
以上のような移動体である自動車１５００は、物理量センサー１または１Ａを備える。このような自動車１５００によれば、物理量センサー１または１Ａの高精度な検出結果を用いることで、自動車１５００の特性（例えば信頼性）を高めることができる。
【０１２７】
以上、本発明の物理量センサー、慣性計測装置、測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１２８】
また、前述した実施形態では、第１振動子および第２振動子として、櫛歯状の電極を有する共振子および音叉型振動子を用いた場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、カンチレバー式の振動子等を用いてもよい。また、第１振動子と第２振動子の駆動方式が異なっていてもよい。
【０１２９】
また、第１実施形態において、第２実施形態と同様、素子片２１、３１を同一のパッケージに収納してもよいし、第２実施形態において、第１実施形態と同様、素子片２３、２４を別々のパッケージに収納してもよい。
【符号の説明】
【０１３０】
１…物理量センサー、１Ａ…物理量センサー、２…第１振動子、２Ａ…第１振動子、３…第２振動子、３Ａ…第２振動子、４…第１発振回路、５…第２発振回路、６…検出回路、２０…振動子、２１…素子片、２２…パッケージ、２３…素子片、２４…素子片、２５…パッケージ、２６…接着剤、２７…接着剤、３１…素子片、３２…パッケージ、３４…素子片、６１…演算回路、２１１…固定部、２１２…固定電極、２１３…固定電極、２１４…振動部、２１５…バネ部、２１６…可動電極、２２１…基板、２２２…蓋体、２２３…凹部、２２４…凸部、２２５…凸部、２２６…凹部、２３１…基部（第１基部）、２３２…振動腕（第１振動腕）、２３３…端部、２４１…基部（第２基部）、２４２…振動腕（第２振動腕）、２４３…端部、２５１…ベース、２５２…蓋体、２５３…凹部、３００…測位装置、３１１…固定部、３１２…固定電極、３１３…固定電極、３１４…振動部、３１５…バネ部、３１６…可動電極、３２１…基板、３２２…蓋体、３２３…凹部、３２４…凸部、３２５…凸部、３２６…凹部、３３１…固定部、３３２…固定部、３３３…錘部、３３４…バネ部、３３５…バネ部、３３６…バネ部、１１００…パーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１１０８…表示部、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１２０８…表示部、１３００…デジタルスチールカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１４００…活動計、１４０１…バンド、１４０２…表示部、１４０３…ケース、１４０４…透光性カバー、１４０５…ベゼル、１４０６、１４０７…操作ボタン、１４０８…加速度センサー、１４０９…角速度センサー、１４１０…処理部、１４１１…ＧＰＳセンサー、１４１２…地磁気センサー、１４１３…脈拍センサー、１４１４…温度センサー、１４１５…通信部、１４１６…記憶部、１４１７…操作部、１４１８…圧力センサー、１４１９…計時部、１４２０…音出力部、１４２１…バッテリー、１５００…自動車、１５０１…車体、１５０２…車体姿勢制御装置、１５０３…車輪、２０００…慣性計測装置、２１００…アウターケース、２１１０…ネジ孔、２２００…接合部材、２３００…センサーモジュール、２３１０…インナーケース、２３１１…凹部、２３１２…開口部、２３２０…基板、２３３０…コネクター、２３４０Ｘ…角速度センサー、２３４０Ｙ…角速度センサー、２３４０Ｚ…角速度センサー、２３５０…加速度センサー、３０００…測位装置、３１００…受信機、３２００…アンテナ、３３００…慣性計測装置、３３１０…角速度センサー、３３２０…加速度センサー、３３３０…制御回路、３４００…処理部、２３６０…制御ＩＣ、ＮＳ…測位用衛星、ｆ１…第１周波数、ｆ２…第２周波数、Δｆ…差分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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