(57)【要約】【課題】絶縁容器の二つの筒部材の心合わせがし易い新規な構成の真空バルブを得る。【解決手段】実施形態の真空バルブは、絶縁容器と、二つの電極と、シールドと、金具と、を備えている。絶縁容器は、第一筒部材と、第一筒部材の軸方向に第一筒部材と間隔を空けて並べられ、軸方向に延びた第二筒部材と、を有している。二つの電極は、絶縁容器内に収容されている。シールドは、軸方向に延びた筒状に構成され、絶縁容器内に収容され、二つの電極を囲んでいる。金具は、筒内にシールドが入れられ、第一筒部材および第二筒部材とシールドとの間に位置した筒部と、シールドを支持した支持部と、第一筒部材および第二筒部材の間に介在し第一筒部材および第二筒部材に固定された固定部と、を有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一筒部材と、前記第一筒部材の軸方向に前記第一筒部材と間隔を空けて並べられ、前記軸方向に延びた第二筒部材と、を有した電気絶縁性の絶縁容器と、
前記絶縁容器内に収容され、前記軸方向への互いの相対的な移動により互いに接触および離間可能な二つの電極と、
前記軸方向に延びた筒状に構成され、前記絶縁容器内に収容され、前記二つの電極を囲んだシールドと、
筒内に前記シールドが入れられ、前記第一筒部材および前記第二筒部材と前記シールドとの間に位置した筒部と、前記シールドを支持した支持部と、前記第一筒部材および前記第二筒部材の間に介在し前記第一筒部材および前記第二筒部材に固定された固定部と、を有した金具と、
を備えた真空バルブ。
【請求項２】
前記金具は、
前記筒部に設けられ、前記第一筒部材に向かって延びた第一爪部と、
前記筒部に設けられ、前記第二筒部材に向かって延びた第二爪部と、
を有した、請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項３】
前記シールドの外周面に、前記軸方向に前記支持部と引っ掛かった引掛部が設けられた、請求項１または２に記載の真空バルブ。
【請求項４】
前記金具は、銅または銅合金によって構成された、請求項１〜３のうちいずれか一つに記載の真空バルブ。
【請求項５】
請求項１〜４のうちいずれか一つに記載の真空バルブの製造方法であって、
前記第一筒部材、前記第二筒部材、前記金具、および前記シールドの位置合わせを行い、
位置合わせされた前記第一筒部材および前記第二筒部材と前記金具とを鑞付けによって固定するとともに、位置合わせされた前記シールドと前記金具とを鑞付けによって固定し、
前記第一筒部材および前記第二筒部材と前記金具との前記鑞付けにおける加熱と、前記シールドと前記金具との前記鑞付けにおける加熱とを同時に行う、真空バルブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、真空バルブおよび真空バルブの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、二つの筒部材を有した電気絶縁性の絶縁容器と、絶縁容器内に収容され、互いに近接および離間が可能な二つの電極と、を備えた真空バルブがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１４９３９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の真空バルブでは、絶縁容器の二つの筒部材の心合わせに手間が掛る。そこで、絶縁容器の二つの筒部材の心合わせがし易い新規な構成が得られれば、好ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態の真空バルブは、絶縁容器と、二つの電極と、シールドと、金具と、を備えている。前記絶縁容器は、電気絶縁性である。前記絶縁容器は、第一筒部材と、前記第一筒部材の軸方向に前記第一筒部材と間隔を空けて並べられ、前記軸方向に延びた第二筒部材と、を有している。前記二つの電極は、前記絶縁容器内に収容され、前記軸方向への互いの相対的な移動により互いに接触および離間可能である。前記シールドは、前記軸方向に延びた筒状に構成され、前記絶縁容器内に収容され、前記二つの電極を囲んでいる。前記金具は、筒内に前記シールドが入れられ、前記第一筒部材および前記第二筒部材と前記シールドとの間に位置した筒部と、前記シールドを支持した支持部と、前記第一筒部材および前記第二筒部材の間に介在し前記第一筒部材および前記第二筒部材に固定された固定部と、を有している。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１は、第１実施形態の真空バルブの模式的かつ例示的な断面図である。
【図２】図２は、第１実施形態の真空バルブの一部の模式的かつ例示的な断面図である。
【図３】図３は、第２実施形態の真空バルブの一部の模式的かつ例示的な断面図である。
【図４】図４は、第３実施形態の真空バルブの一部の模式的かつ例示的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の例示的な実施形態が開示される。以下に示される実施形態の構成、ならびに当該構成によってもたらされる作用および結果（効果）は、一例である。
【０００８】
また、以下に開示される複数の実施形態には、同様の構成要素が含まれる。よって、以下では、それら同様の構成要素には共通の符号が付与されるとともに、重複する説明が省略される。また、本明細書において、序数は、部品や部位等を区別するために便宜上付与されており、優先順位や順番を示すものではない。
【０００９】
＜第１実施形態＞
図１は、本実施形態の真空バルブ１０の模式的かつ例示的な断面図である。図１に示されるように、真空バルブ１０は、第一電極部１１と、第二電極部１２と、真空容器１３と、シールド１４と、カバー１５と、金具１６と、を有している。第一電極部１１および第二電極部１２は、二つの電極部の一例である。真空バルブ１０は、例えば、真空遮断器とも称される。
【００１０】
本明細書において、Ｚ軸が定義される。Ｚ軸は、真空バルブ１０の中心軸Ａｘに沿って延びている。
【００１１】
第一電極部１１は、第二電極部１２よりもＺ軸に沿う正方向（Ｚ軸の矢印が向く方向、図１における上方向）に位置する。本実施形態において、第一電極部１１はいわゆる固定側電極であり、第二電極部１２はいわゆる可動側電極である。なお、第一電極部１１と第二電極部１２とはこれに限らない。
【００１２】
第一電極部１１と第二電極部１２とは、相対的に移動可能であり、互いに接触および離間可能である。例えば、第一電極部１１と第二電極部１２とは、Ｚ軸に沿う方向に相対的に移動可能である。Ｚ軸に沿う方向は、軸方向とも称される。
【００１３】
第二電極部１２は、第一電極部１１に対し、Ｚ軸に沿う正方向と、Ｚ軸に沿う負方向に相対的に移動可能である。このため、Ｚ軸に沿う方向は、第一電極部１１と第二電極部１２の移動方向とも称される。
【００１４】
第二電極部１２は、Ｚ軸に沿う正方向に移動することで、第一電極部１１に近付く。言い換えると、第一電極部１１および第二電極部１２は、互いに近付く方向に相対的に移動可能である。
【００１５】
第二電極部１２は、Ｚ軸に沿う負方向に移動することで、第一電極部１１から離間する。言い換えると、第一電極部１１および第二電極部１２は、互いに離間する方向に相対的に移動可能である。
【００１６】
第二電極部１２は、第一電極部１１に接触する位置と、第一電極部１１から離間した位置との間で移動可能である。図１は、第一電極部１１から離間した位置に配置された第二電極部１２を示す。
【００１７】
第一電極部１１と第二電極部１２とは、実質的に同じ形状を有している。なお、第一電極部１１の形状と第二電極部１２の形状とが異なってもよい。
【００１８】
第一電極部１１と第二電極部１２とはそれぞれ、通電軸２１と、電極２２と、を有している。言い換えると、通電軸２１と、電極２２と、第一電極部１１および第二電極部１２にそれぞれ設けられている。電極２２は、例えば、磁界発生機構とも称される。
【００１９】
通電軸２１は、Ｚ軸に沿う方向に延び、真空バルブ１０の電路となる。電極２２は、通電軸２１の端部に設けられている。第一電極部１１の電極２２は、第二電極部１２に向く通電軸２１の端部に設けられている。第二電極部１２の電極２２は、第一電極部１１に向く通電軸２１の端部に設けられている。電極２２は、当該電極２２の通電軸２１とは反対側の端部に接触子（不図示）を有した構成であってよい。通電軸２１と電極２２とは、例えば、無酸素銅のような導体によって作られる。電極２２の通電軸２１とは反対側の端部は、例えば、接点とも称される。
【００２０】
第一電極部１１と第二電極部１２とが接触すると、第一電極部１１と第二電極部１２とが電気的に接続され、真空バルブ１０が閉極状態となる。
【００２１】
図１に示されるように、第一電極部１１と第二電極部１２とは、真空容器１３の内部に収容されている。例えば、第一電極部１１および第二電極部１２の、通電軸２１の一部と、電極２２とが、真空容器１３の内部に収容されている。第一電極部１１と第二電極部１２とは、真空容器１３の内部で接触および離間可能である。
【００２２】
真空容器１３は、電気絶縁性の絶縁容器４１と、二つの封止部４２，４３と、ベローズ４４と、を有している。絶縁容器４１は、真空絶縁筒や筒状容器とも称される。
【００２３】
絶縁容器４１は、アルミナのような絶縁体によって作られており、電気絶縁性を有している。絶縁容器４１は、例えば、中心軸Ａｘ回りの円筒状、すなわちＺ軸に沿う方向に延びる円筒状に形成されている。絶縁容器４１は、二つの端部４１ａ，４１ｂを有している。端部４１ａは、Ｚ軸に沿う正方向における絶縁容器４１の端部である。端部４１ｂは、Ｚ軸に沿う負方向における絶縁容器４１の端部である。なお、絶縁容器４１は、他の形状に形成されてもよい。
【００２４】
また、絶縁容器４１は、第一筒部材５１および第二筒部材５２の組み合わせとして構成されている。第一筒部材５１は、端部４１ａを含み、第二筒部材５２は、端部４１ｂを含む。第一筒部材５１および第二筒部材５２は、実質的に同じ形状を有している。第一筒部材５１および第二筒部材５２は、中心軸Ａｘ回りの円筒状に構成され、中心軸Ａｘの軸方向に互いに間隔を空けて配置されている。すなわち、第二筒部材５２は、第一筒部材５１の軸方向（Ｚ方向に沿う方向）に第一筒部材５１と間隔を空けて並べられ、第一筒部材５１の軸方向に延びている。第一筒部材５１および第二筒部材５２は、金具１６を介して互いに結合されている。なお、第一筒部材５１および第二筒部材５２は、互いに異なる形状を有していてもよい。
【００２５】
一方の封止部４２は、絶縁容器４１の端部４１ａに取り付けられている。封止部４２に孔４２ａが設けられている。第一電極部１１の通電軸２１が、封止部４２の孔４２ａに通されている。第一電極部１１の通電軸２１は、封止部４２に固着されている。
【００２６】
他方の封止部４３は、絶縁容器４１の端部４１ｂに取り付けられている。封止部４３に孔４３ａが設けられている。第二電極部１２の通電軸２１が、封止部４３の孔４３ａを移動可能に通されている。
【００２７】
ベローズ４４は、伸縮自在にＺ軸に沿う方向に延びている。ベローズ４４の一方の端部４４ａは、封止部４３に固着されている。ベローズ４４の他方の端部４４ｂは、第二電極部１２の通電軸２１に固着されている。このため、ベローズ４４は、第二電極部１２の移動に合わせて伸長または収縮する。
【００２８】
二つの封止部４２，４３とベローズ４４とは、絶縁容器４１の端部４１ａ，４１ｂを気密に封止している。真空容器１３の内部の圧力は、例えば、１×１０−２Ｐａ以下に保たれる。
【００２９】
シールド１４およびカバー１５は、真空容器１３内に収容されている。シールド１４は、中心軸Ａｘ回りの筒状、すなわち第一筒部材５１の軸方向に延びた筒状に構成され、第一電極部１１および第二電極部１２を囲んでいる。カバー１５は、第二電極部１２の電極２２と、ベローズ４４との間に位置し、ベローズ４４を覆っている。シールド１４は、アークシールドとも称される。
【００３０】
第一電極部１１と第二電極部１２とが接触すると、第一電極部１１と第二電極部１２とに定格電流が流れる。第一電極部１１と第二電極部１２とが接触および離間するとき、第一電極部１１と第二電極部１２との間にアークが発生することがある。
【００３１】
アークにより、第一電極部１１と第二電極部１２とから、蒸発または溶融した金属が発生する可能性がある。シールド１４は、蒸発または溶融した金属が絶縁容器４１に付着して、絶縁容器４１の絶縁抵抗が低下することを抑制する。カバー１５は、蒸発または溶融した金属がベローズ４４に付着することを抑制する。
【００３２】
図２は、第１実施形態の真空バルブ１０の一部の模式的かつ例示的な断面図である。図１，２に示されるように、金具１６は、筒状に構成され、シールド１４を支持した状態で第一筒部材５１および第二筒部材５２に固定されている。金具１６は、銅または銅合金によって構成されている。なお、金具１６は、他の金属材料によって構成されていてもよい。金具１６は、中間金具とも称されうる。
【００３３】
詳細には、金具１６は、筒部１６ａと、支持部１６ｂと、固定部１６ｃと、を有している。筒部１６ａは、中心軸Ａｘ回りの円筒状、すなわち第一筒部材５１の軸方向に延びた円筒状に構成されている。筒部１６ａは、内側にシールド１４が入れられた状態で、第一筒部材５１および第二筒部材５２と、シールド１４との間に位置している。筒部１６ａの外径は、第一筒部材５１および第二筒部材５２の内径よりも僅かに小さい。筒部１６ａは、シールド１４、第一筒部材５１、および第二筒部材５２と離間している。筒部１６ａは、第一筒部材５１に面した筒状の第一部分１６ｅと、第二筒部材５２に面した筒状の第二部分１６ｆと、を有している。
【００３４】
支持部１６ｂは、中心軸Ａｘ回りの円筒状、すなわち第一筒部材５１の軸方向に延びた円筒状に構成されている。支持部１６ｂは、筒部１６ａよりもＺ軸に沿う正方向に位置している。支持部１６ｂの径は、筒部１６ａの径よりも小さい。支持部１６ｂは、接続部１６ｄを介して筒部１６ａに接続されている。支持部１６ｂの筒内にシールド１４が入れられた状態で、支持部１６ｂにシールド１４が固定されている。すなわち、支持部１６ｂは、シールド１４を支持している。支持部１６ｂとシールド１４とは、例えば鑞付けによって互いに固定されている。接続部１６ｄは、筒部１６ａから支持部１６ｂに向かうにつれて径が小さくなる筒状に構成さている。支持部１６ｂは、筒部とも称される。
【００３５】
固定部１６ｃは、筒部１６ａにおける第一部分１６ｅと第二部分１６ｆとの接合部分から筒部１６ａの径方向外側に張り出している。固定部１６ｃは、筒部１６ａ回りの円環の板状に構成されている。固定部１６ｃは、第一筒部材５１および第二筒部材５２の間に介在し、第一筒部材５１および第二筒部材５２に固定されている。固定部１６ｃは、絶縁容器４１外に露出している。固定部１６ｃと、第一筒部材５１および第二筒部材５２とは、例えば鑞付けによって互いに固定されている。固定部１６ｃは、フランジや鍔部とも称される。
【００３６】
上記構成では、真空バルブ１０の閉極時、第二電極部１２が第一電極部１１に近づく方向に移動し、第一電極部１１と、第二電極部１２とが接触する。これにより、真空バルブ１０が閉極され、第一電極部１１と第二電極部１２とに電気が流れる。一方、真空バルブ１０の開極時、第二電極部１２が第一電極部１１から離間する方向に移動する。これにより、第一電極部１１と第二電極部１２との間の通電が遮断される。
【００３７】
次に、真空バルブ１０の製造方法について説明する。まず、第一電極部１１の通電軸２１、第一電極部１１の電極２２、および封止部４２を鑞付け等によって互いに固定し、固定側部分組立部品６１とする（部分組立工程）。また、第二電極部１２の通電軸２１、第二電極部１２の電極２２、封止部４３、ベローズ４４、およびカバー１５を鑞付け等によって互いに固定し、可動側部分組立部品６２とする（部分組立工程）。このとき、通電軸２１が封止部４３に対して移動可能となるように、通電軸２１は封止部４３に対して固定しない。また、シールド１４および金具１６を鑞付け等によって互いに固定し、シールド組立部品６３とする（部分組立工程）。上記三つの部分組立工程の順序は、任意である。
【００３８】
次に、固定側部分組立部品６１、可動側部分組立部品６２、シールド組立部品６３、第一筒部材５１、および第二筒部材５２を位置決めし、固定側部分組立部品６１、可動側部分組立部品６２、シールド組立部品６３、第一筒部材５１、および第二筒部材５２を鑞付け等によって互いに固定する（全体組立工程）。
【００３９】
上記各工程において、互いに鑞付けされる二つの部材間には、鑞材が設けられる。この鑞材が、加熱によって溶融した後、固化することにより、二つの部材を接合する。鑞付けにおける加熱は、真空中に配置され、各部材を収容した加熱炉（不図示）によって行われる。
【００４０】
上記の全体組立工程において、金具１６に第一筒部材５１を固定する際には、例えば、第一筒部材５１の内側に金具１６における筒部１６ａの第一部分１６ｅが入るように、第一筒部材５１を筒部１６ａの軸方向に移動させて、第一筒部材５１を金具１６の固定部１６ｃに突き当てる。この際、第一筒部材５１が筒部１６ａの第一部分１６ｅの外周面に接触した場合には、第一筒部材５１は、筒部１６ａの第一部分１６ｅによって、筒部１６ａの径方向への移動を制限された状態で筒部１６ａの軸方向に案内される。すなわち、筒部１６ａの第一部分１６ｅは、第一筒部材５１を案内する案内部として機能する。
【００４１】
また、金具１６に第二筒部材５２を固定する際には、例えば、第二筒部材５２の内側に金具１６における筒部１６ａの第二部分１６ｆが入るように、第二筒部材５２を筒部１６ａの軸方向に移動させて、第二筒部材５２を金具１６の固定部１６ｃに突き当てる。この際、第二筒部材５２が筒部１６ａの第二部分１６ｆの外周面に接触した場合には、第二筒部材５２は、筒部１６ａの第二部分１６ｆによって、筒部１６ａの径方向への移動を制限された状態で筒部１６ａの軸方向に案内される。すなわち、筒部１６ａの第二部分１６ｆは、第二筒部材５２を案内する案内部として機能する。
【００４２】
このように組み立てられた真空バルブ１０では、固定部１６ｃが絶縁容器４１外に露出しているので、金具１６を介してシールド１４と二つの電極２２と間に電圧を印加することができる。よって、コンディショニング処理を施すことができる。
【００４３】
以上のように、本実施形態では、絶縁容器４１は、第一筒部材５１と、第一筒部材５１の軸方向に第一筒部材５１と間隔を空けて並べられ、第一筒部材５１の軸方向に延びた第二筒部材５２と、を有している。また、二つの電極２２は、絶縁容器４１内に収容され、第一筒部材５１の軸方向への互いの相対的な移動により互いに接触および離間可能である。また、シールド１４は、第一筒部材５１の軸方向に延びた筒状に構成され、絶縁容器４１内に収容され、二つの電極２２を囲んでいる。また、金具１６は、筒部１６ａと、支持部１６ｂと、固定部１６ｃと、を有している。筒部１６ａは、筒内にシールド１４が入れられ、第一筒部材５１および第二筒部材５２とシールド１４との間に位置している。支持部１６ｂは、シールド１４を支持している。固定部１６ｃは、第一筒部材５１および第二筒部材５２の間に介在し第一筒部材５１および第二筒部材５２に固定されている。
【００４４】
よって、本実施形態によれば、真空バルブ１０の製造において、金具１６の筒部１６ａが、第一筒部材５１および第二筒部材５２を案内する案内部として機能するので、第一筒部材５１および第二筒部材５２の心合わせがし易い。よって、例えば、第一筒部材５１および第二筒部材５２に心出し用の機械加工を施したり、心出しの専用治具を用いたりしなくても、第一筒部材５１および第二筒部材５２の心合わせを精度よく行うことができる。
【００４５】
また、本実施形態では、金具１６は、銅または銅合金によって構成されている。よって、例えば、金具１６の固定部１６ｃにおける第一筒部材５１および第二筒部材５２との接合部に発生する応力（残留応力）が低減されやすい。
【００４６】
＜第２実施形態＞
図３は、第２実施形態の真空バルブ１０の一部の模式的かつ例示的な断面図である。本実施形態の真空バルブ１０は、上記第１実施形態の真空バルブ１０と同様の構成を備えている。よって、本実施形態によっても、上記第１実施形態と同様の構成に基づく同様の結果（効果）が得られる。
【００４７】
ただし、本実施形態では、例えば、図３に示されるように、金具１６は、第一爪部１６ｇと、第二爪部１６ｈと、を有している。
【００４８】
第一爪部１６ｇは、筒部１６ａの第一部分１６ｅの複数箇所（一例として六カ所）に設けられている。すなわち、複数（六つ）の第一爪部１６ｇが、筒部１６ａに設けられている。なお、図３では、複数の第一爪部１６ｇのうち一つだけが示されている。複数の第一爪部１６ｇは、筒部１６ａの周方向に等間隔で配置されている。各第一爪部１６ｇは、筒部１６ａの径方向における当該第一爪部１６ｇの内側の端部（基端部）から、第一筒部材５１に向かって延びている。第一爪部１６ｇの先端部は、第一筒部材５１の内周面に接触している。第一爪部１６ｇは、例えば、第一筒部材５１によって径方向内側に押されて変形（一例として塑性変形）した状態となっている。すなわち、第一爪部１６ｇが変形していない状態（自由状態）では、複数の第一爪部１６ｇの外径は、第一筒部材５１の内径よりも僅かに大きい。第一爪部１６ｇは、例えば、筒部１６ａの第一部分１６ｅの一部がプレス加工によって筒部１６ａの外側に向けて押されることにより形成される。なお、第一爪部１６ｇの数や配置は、上記に限られない。
【００４９】
第二爪部１６ｈは、筒部１６ａの第二部分１６ｆの複数箇所（一例として六カ所）に設けられている。すなわち、複数（六つ）の第二爪部１６ｈが、筒部１６ａに設けられている。なお、図３では、複数の第二爪部１６ｈのうち一つだけが示されている。複数の第二爪部１６ｈは、筒部１６ａの周方向に等間隔で配置されている。各第二爪部１６ｈは、筒部１６ａの径方向における当該第二爪部１６ｈの内側の端部（基端部）から、第二筒部材５２に向かって延びている。第二爪部１６ｈの先端部は、第二筒部材５２の内周面に接触している。第二爪部１６ｈは、例えば、第二筒部材５２によって径方向内側に押されて変形（一例として塑性変形）した状態となっている。すなわち、第二爪部１６ｈが変形していない状態（自由状態）では、複数の第二爪部１６ｈの外径は、第二筒部材５２の内径よりも僅かに大きい。第二爪部１６ｈは、例えば、筒部１６ａの第二部分１６ｆの一部がプレス加工によって筒部１６ａの外側に向けて押されることにより形成される。なお、第二爪部１６ｈの数や配置は、上記に限られない。
【００５０】
上記構成の真空バルブ１０の製造において、第一筒部材５１の内側に金具１６の筒部１６ａの第一部分１６ｅが入るように第一筒部材５１を筒部１６ａの軸方向に移動させる際に、第一爪部１６ｇが第一筒部材５１に押されて変形（一例として塑性変形）する。そして、第一筒部材５１は、第一爪部１６ｇによって、筒部１６ａの径方向への移動を制限された状態で筒部１６ａの軸方向に案内される。すなわち、第一爪部１６ｇは、第一筒部材５１を案内する案内部として機能する。また、この際、第一爪部１６ｇによって、金具１６と第一筒部材５１との心合せが行われる。また、第一爪部１６ｇの変形により、第一筒部材５１の寸法変化を吸収することができる。
【００５１】
また、第二筒部材５２の内側に金具１６の筒部１６ａの第二部分１６ｆが入るように第二筒部材５２を筒部１６ａの軸方向に移動させる際に、第二爪部１６ｈが第二筒部材５２に押されて変形（一例として、塑性変形）する。そして、第二筒部材５２は、第二爪部１６ｈによって、筒部１６ａの径方向への移動を制限された状態で筒部１６ａの軸方向に案内される。すなわち、第二爪部１６ｈは、第二筒部材５２を案内する案内部として機能する。また、この際、第二爪部１６ｈによって、金具１６と第二筒部材５２との心合せが行われる。また、第二爪部１６ｈの変形により、第二筒部材５２の寸法変化を吸収することができる。
【００５２】
第一爪部１６ｇによって第一筒部材５１と金具１６との心合せが行われ、第二爪部１６ｈによって第二筒部材５２と金具１６との心合せが行われることにより、第一筒部材５１と第二筒部材５２との心合せが行われる。
【００５３】
以上のように、本実施形態では、金具１６は、筒部１６ａに設けられ、第一筒部材５１に向かって延びた第一爪部１６ｇと、筒部１６ａに設けられ、第二筒部材５２に向かって延びた第二爪部１６ｈと、を有している。よって、本実施形態によれば、真空バルブ１０の製造において、第一爪部１６ｇおよび第二爪部１６ｈが、第一筒部材５１および第二筒部材５２を案内することが可能であるので、第一爪部１６ｇおよび第二爪部１６ｈが設けられていない構成に比べて、第一筒部材５１および第二筒部材５２の心合わせがよりし易い。また、第一爪部１６ｇおよび第二爪部１６ｈの変形により、第一筒部材５１および第二筒部材５２の寸法変化を吸収することができるので、第一爪部１６ｇおよび第二爪部１６ｈが設けられていない構成に比べて、より正確な第一筒部材５１および第二筒部材５２の心合わせをすることができる。
【００５４】
＜第３実施形態＞
図４は、第３実施形態の真空バルブ１０の一部の模式的かつ例示的な断面図である。本実施形態の真空バルブ１０は、上記第１実施形態の真空バルブ１０と同様の構成を備えている。よって、本実施形態によっても、上記第１実施形態と同様の構成に基づく同様の結果（効果）が得られる。
【００５５】
ただし、本実施形態では、例えば、図４に示されるように、シールド１４の外周面１４ａに、引掛部１４ｂが設けられている。詳細には、シールド１４には、大径部１４ｃと小径部１４ｄとが設けられており、大径部１４ｃと小径部１４ｄとの段差部に引掛部１４ｂが設けられている。引掛部１４ｂは、第一筒部材５１の軸方向に、金具１６の支持部１６ｂと引っ掛かっている。小径部１４ｄは、例えばシールド１４の外周面１４ａの一部を切削加工することにより形成される。
【００５６】
上記構成の真空バルブ１０の製造において、金具１６とシールド１４との位置合わせの際に、金具１６の内側にシールド１４を入れて、金具１６とシールド１４とを相対的に移動させると、金具１６の支持部１６ｂとシールド１４の引掛部１４ｂとが引っ掛かる。これにより、金具１６とシールド１４との位置合わせが行われる。この状態で、金具１６がシールド１４を保持する。
【００５７】
また、本実施形態では、真空バルブ１０の製造において、シールド１４および金具１６の鑞付けにおける加熱を、全体組立工程で他の鑞付けにおける加熱と行う。具体的には、シールド組立部品６３の部分組立工程では、シールド１４および金具１６との間に鑞材を設け、シールド１４および金具１６を互いに引っ掛けた状態とする。そして、全体組立工程において、互いに位置合わせされた、固定側部分組立部品６１、可動側部分組立部品６２、シールド組立部品６３、第一筒部材５１、および第二筒部材５２を、加熱炉にいれて、加熱する。
【００５８】
以上のように、本実施形態では、第一筒部材５１、第二筒部材５２、金具１６、およびシールド１４の位置合わせを行い、位置合わせされた第一筒部材５１および第二筒部材５２と金具１６とを鑞付けによって固定するとともに、位置合わせされたシールド１４と金具１６とを鑞付けによって固定する。この際、第一筒部材５１および第二筒部材５２と金具１６との鑞付けにおける加熱と、シールド１４と金具１６との鑞付けにおける加熱とを同時に行う。すなわち、本実施形態では、金具１６とシールド１４との位置合わせを行い、金具１６とシールド１４との鑞付けを含む複数箇所の鑞付けを行う。このとき、複数箇所の鑞付けにおける加熱を同時に行う。
【００５９】
以上のように、本実施形態では、シールド１４の外周面１４ａに、第一筒部材５１の軸方向に支持部１６ｂと引っ掛かった引掛部１４ｂが設けられている。よって、本実施形態によれば、真空バルブ１０の製造において、金具１６とシールド１４との位置合わせを容易に行うことができる。
【００６０】
また、本実施形態では、第一筒部材５１および第二筒部材５２と金具１６との鑞付けにおける加熱と、シールド１４と金具１６との鑞付けにおける加熱とを同時に行う。よって、シールド１４と金具１６との鑞付けにおける加熱を単独で行う工程が不要となる。よって、真空バルブ１０の製造工程の簡素化が図れる。
【００６１】
なお、上記複数の実施形態は、適宜組み合わせることができる。例えば、第３実施形態の製造方法を、第１実施形態や第２実施形態に適用してもよい。また、第２実施形態の金具１６の第一爪部１６ｇおよび第二爪部１６ｈを、第３実施形態の金具１６に設けてもよい。また、第３実施形態のシールド１４の引掛部１４ｂを、第１実施形態や第２実施形態のシールド１４に設けてもよい。
【００６２】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６３】
１０…真空バルブ、１１…第一電極部、１２…第二電極部、２２…電極、１４…シールド、１４ａ…外周面、１４ｂ…引掛部、１６…金具、１６ａ…筒部、１６ｂ…支持部、１６ｃ…固定部、１６ｇ…第一爪部、１６ｈ…第二爪部、４１…絶縁容器、５１…第一筒部材、５２…第二筒部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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