(57)【要約】      （修正有）【課題】塗布速度を上げても、塗布開始端部における塗布膜の膜厚の均一化を図ることができる間欠塗布装置を提供する。【解決手段】本発明の間欠塗布装置１は、塗液２０を供給する供給部１０と、供給部から供給された塗液を、供給路２１を介して基材３０の表面に塗布する塗布部１５と、供給路を開閉する弁体を有する供給バルブ１２と、弁体を駆動する駆動部とを備え、駆動部は、第１のエアシリンダ１３と、第２のエアシリンダ１４とで構成され、第１のエアシリンダは、弁体に連結された第１のピストンの往復動作により、弁体の開閉を制御し、第２のエアシリンダは、弁体に連結された第２のピストンが、第１のピストンが弁体を閉鎖する方向に駆動される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続的に搬送される基材の表面に、塗液を間欠的に塗布して、塗布領域と未塗布領域とを断続的に形成する間欠塗布装置であって、
前記塗液を供給する供給部と、
前記供給部から供給された塗液を、供給路を介して、前記基材の表面に塗布する塗布部と、
前記供給路を開閉する弁体を有する供給バルブと、
前記弁体を駆動する駆動部と
を備え、
前記駆動部は、第１のエアシリンダと、第２のエアシリンダとで構成され、
前記第１のエアシリンダは、前記弁体に連結された第１のピストンの往復動作により、前記弁体の開閉を制御し、
前記第２のエアシリンダは、前記弁体に連結された第２のピストンが、前記第１のピストンが前記弁体を閉鎖する方向に駆動される、間欠塗布装置。
【請求項２】
前記第２のエアシリンダは、前記供給バルブに対して、前記第１のエアシリンダと同じ側に配置されており、
前記第２のピストンは、前記第１のピストンに連結されている、請求項１に記載の間欠塗布装置。
【請求項３】
前記第２のエアシリンダは、前記第１のエアシリンダの両側に、２個並列に配置されている、請求項２に記載の間欠塗布装置。
【請求項４】
前記第１のピストンが、前記弁体を開放する方向に駆動する駆動力が、前記第２のピストンが、前記弁体を閉鎖する方向に駆動する駆動力よりも大きくなるように、前記第１のエアシリンダ及び前記第２のエアシリンダに入力される圧力空気の圧力が、それぞれ設定されている、請求項１に記載の間欠塗布装置。
【請求項５】
前記第２のエアシリンダは、前記供給バルブに対して、前記第１のエアシリンダと反対側に配置されており、
前記第２のピストンは、前記弁体に直接連結されている、請求項１に記載の間欠塗布装置。
【請求項６】
前記第１のエアシリンダにおいて、前記弁体を開放する方向に駆動するときに入力される圧力空気の圧力と、前記弁体を閉鎖する方向に駆動するときに入力される圧力空気の圧力とは、同じ値に設定されている、請求項１に記載の間欠塗布装置。
【請求項７】
連続的に供給される基材の表面に、塗液を間欠的に塗布して、一定の長さの塗布パターンを連続的に形成する間欠塗布装置であって、
前記塗液を供給する供給部と、
前記供給部から供給された塗液を、供給路を介して、前記基材の表面に塗布する塗布部と、
前記供給路を開閉する弁体を有する供給バルブと、
前記弁体を駆動するエアシリンダと
を備え、
前記エアシリンダは、前記弁体に連結されたピストンの往復動作により、前記弁体の開閉を制御し、
前記弁体には、前記エアシリンダと反対側に、前記弁体と連動して往復動作するロッドが連結されており、
前記ロッドには、前記ピストンが、前記弁体を開放する方向に駆動したとき、前記弁体と連動して動作する前記ロッドに一定の摩擦力を付与するブレーキ機構が設けられている、間欠塗布装置。
【請求項８】
前記ピストンが、前記弁体を開放する方向に駆動する駆動力は、前記弁体と連動して動作する前記ロッドに付与される摩擦力よりも大きくなるように設定されている、請求項７に記載の間欠塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続的に搬送される基材の表面に、塗液を間欠的に塗布して、塗布領域と未塗布領域とを断続的に形成する間欠塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の間欠塗工装置は、例えば、特許文献１等に記載されているように、塗液タンクから供給された塗液を、塗布ダイから基材表面に吐出させる流路と、塗液を塗液タンクに回収させる流路との切り替えを、２つの切替バルブ（供給バルブ、回収バルブ）によって行っている。これにより、塗液タンクからの塗液の供給を連続的に行いながら、連続的に搬送される基材の表面に、塗布領域と未塗布領域とを断続的に形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１８８４４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
単位時間当たりの塗布面積を増やして、生産性を向上させるためには、塗布ダイからの塗液の単位時間当たりの吐出量、及び基材の搬送速度（すわなち、塗布速度）を上げる必要がある。
【０００５】
基板の搬送速度を上げた場合、連続搬送される基材の表面に、所定のタイミングで、塗布領域及び未塗布領域を形成するためには、２つの切替バルブ（供給バルブ、回収バルブ）の切り替えを素早く行う必要があり、そのためには、切替バルブの駆動速度を上げる必要がある。そのため、切替バルブの駆動には、電動アクチュエータ（例えば、サーボモータ）よりも応答性に優れたエアシリンダを用いることが好ましい。
【０００６】
しかしながら、エアシリンダを用いて切替バルブを高速で駆動させた場合、エアシリンダ内に入力される空気圧や、弁体に連結したピストンのストローク内での速度を、精度よく制御することが難しい。そのため、基材表面に形成される塗布膜の膜厚を均一に形成することが困難になる。特に、塗液の供給開始時には、弁体の移動によって加圧状態になるため、塗布ダイからの塗液の吐出量が一瞬多くなる。そのため、塗布開始端部において、塗布膜の膜厚が厚くなる（盛り上がる）という問題が発生する。しかしながら、従来、塗布速度を上げたときに発生する、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりについては、考慮されていなかった。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みなされたもので、その主な目的は、エアシリンダを用いて切替バルブの駆動を行う間欠塗布装置において、塗布速度を上げても、塗布開始端部における塗布膜の膜厚の均一化を図ることができる間欠塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る間欠塗布装置は、連続的に搬送される基材の表面に、塗液を間欠的に塗布して、塗布領域と未塗布領域とを断続的に形成する間欠塗布装置であって、塗液を供給する供給部と、供給部から供給された塗液を、供給路を介して、基材の表面に塗布する塗布部と、供給路を開閉する弁体を有する供給バルブと、弁体を駆動する駆動部とを備え、駆動部は、第１のエアシリンダと、第２のエアシリンダとで構成され、第１のエアシリンダは、弁体に連結された第１のピストンの往復動作により、弁体の開閉を制御し、第２のエアシリンダは、弁体に連結された第２のピストンが、第１のピストンが弁体を閉鎖する方向に駆動される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、エアシリンダを用いて切替バルブの駆動を行う間欠塗布装置において、塗布速度を上げても、塗布開始端部における塗布膜の膜厚の均一化を図ることができる間欠塗布装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態における間欠塗布装置の構成を模式的に示した図である。
【図２】第１及び第２のエアシリンダによって、供給バルブの開閉を駆動する動作を示した図で、（a）は、供給バルブを閉鎖する動作を示し、（ｂ）は、供給バルブを開放する動作を示す。
【図３】本発明の間欠塗布装置を用いて塗布領域／未塗布領域を形成したときの塗布膜の膜厚を示した側面図である。
【図４】本発明の他の実施形態における第２のエアシリンダの配置を示した図で、（a）は、供給バルブを閉鎖する動作を示し、（ｂ）は、供給バルブを開放する動作を示す。
【図５】本発明の他の実施形態におけるブレーキ機構の構成を示した図で、（a）は、供給バルブを閉鎖する動作を示し、（ｂ）は、供給バルブを開放する動作を示す。
【図６】本発明の他の実施形態におけるブレーキ機構の構成を示した図で、（a）は、供給バルブを閉鎖する動作を示し、（ｂ）は、供給バルブを開放する動作を示す。
【図７】従来の間欠塗布装置の一般的な構成を示した図である。
【図８】従来のエアシリンダによって、供給バルブの開閉を駆動する動作を示した図で、（a）は、供給バルブを閉鎖する動作を示し、（ｂ）は、供給バルブを開放する動作を示す。
【図９】従来の間欠塗布における供給バルブ及び回収バルブの開閉動作と、間欠塗布により塗布領域／未塗布領域を形成したときの塗布膜の膜厚を示した図である。
【図１０】従来の間欠塗布における供給バルブ及び回収バルブの開閉動作を示した図である。
【図１１】従来の間欠塗布により塗布領域／未塗布領域を形成したときの塗布膜の膜厚を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の実施形態を説明する前に、従来の間欠塗布装置における問題点を説明する。
【００１２】
図７は、従来の間欠塗布装置１００の一般的な構成を示した図である。
【００１３】
図７に示すように、塗液タンク１１０に収容された塗液１２０は、供給路１２１の途中に設けられたポンプ１１１によって送液されて、塗布ダイ１１５内のマニホールド１１６に供給される。そして、マニホールド１１６に供給された塗液１２０は、塗布ダイ１１５のスリットから吐出されて、基材１３０の表面に塗布膜１３１が形成される。
【００１４】
ポンプ１１１と塗布ダイ１１５との間の供給路１２１には、供給路１２１を開閉する弁体を有する供給バルブ１１２が設けられている。また、供給路１２１の途中から、塗液タンク１１０に接続された回収路１２２が分岐し、回収路１２２には、回収路１２２の開閉する弁体を有する回収バルブ１１７が設けられている。また、供給バルブ１１２及び回収バルブ１１７の弁体は、それぞれ、エアシリンダ１１３、１１８によって駆動され、その駆動は、制御部１１９によって制御される。
【００１５】
図８は、エアシリンダ１１３によって、供給バルブ１１２の開閉を駆動する動作を示した図で、図８（a）は、供給バルブ１１２を閉鎖する動作を示し、図８（ｂ）は、供給バルブ１１２を開放する動作を示している。
【００１６】
供給バルブ１１２は、弁体１４２と、弁座１４３を挟んで、供給路１２１から塗液１２０が入る液溜室１４１、及び供給路１２１から塗液１２０が出る液溜室１４０を有している。また、エアシリンダ１１３は、ピストン１５２を挟んで、圧空室１５０、１５１を有し、ピストン１５２は、ロッド１５３を介して、弁体１４２に連結されている。
【００１７】
図８（a）に示すように、圧空室１５１に、圧力Ｐの圧力空気を供給することによって、ピストン１５２が弁体１４２と反対方向に移動する。これにより、ピストン１５２と一体的に弁体１４２が移動して、弁座１４３と当接することにより、供給バルブ１１２が閉じ、塗液１２０の供給が停止する。
【００１８】
次に、図８（ｂ）に示すように、圧空室１５０に、圧力Ｐの圧力空気を供給することによって、ピストン１５２が弁体１４２の方向に移動する。これにより、ピストン１５２と一体的に弁体１４２が移動して、弁座１４３から離れることにより、供給バルブ１１２が開き、塗液１２０の供給が開始する。
【００１９】
なお、圧空室１５０、１５１への圧力空気の供給、及び大気開放（若しくは排気）は、例えば、ソレノイドバルブを用いて行うことができる。また、ピストン１５２の移動を精度よく制御するためには、圧空室１５０、１５１へ供給する圧力空気の圧力Ｐは、同じ大きさにすることが好ましい。
【００２０】
なお、エアシリンダ１１８によって、回収バルブ１１７の開閉を駆動する動作も、供給バルブ１１２の動作と同じであるので、説明を省略する。
【００２１】
図９は、間欠塗布における供給バルブ１１２及び回収バルブ１１７の開閉動作と、間欠塗布により塗布領域／未塗布領域を形成したときの塗布膜の膜厚を示した図である。
【００２２】
図９に示すように、塗布領域を形成するときは、供給バルブ１１２を開き、回収バルブ１１７を閉じて、塗布ダイ１１５から塗液１２０を基材１３０の表面に塗布して、塗布領域を形成する。また、未塗布領域を形成するときは、供給バルブ１１２を閉じて、回収バルブ１１７を開けて、回収路１２２を介して、塗液１２０を塗液タンク１１０に回収する。
【００２３】
塗布領域を形成する際、塗液１２０の供給開始時には、供給バルブ１１２の弁体１４２の移動によって、塗布ダイ１１５に通じる供給路１２１内の塗液１２０は圧力が上昇するため、塗布ダイ１１５からの塗液１２０の吐出量が一瞬多くなる。そのため、図９に示すように、塗布開始端部において、塗布膜の盛り上がりが発生する。
【００２４】
そこで、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりを解消するために、図１０に示すように、回収バルブ１１７を閉鎖するタイミングを、少し遅らせる方法がある。これにり、塗液１２０の供給開始時に上昇した供給路１２１内の塗液１２０の圧力を、回収路１２２側に逃がすことができるため、図１０に示すように、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりを解消することができる。
【００２５】
しかしながら、生産性を向上させるために、塗布ダイ１１５からの塗液１２０の単位時間当たりの吐出量を上げると、上記の方法だけでは、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりを解消することが難しくなる。また、生産性を向上させるために、基材１３０の搬送速度を上げると、未塗布領域を形成する時間（供給バルブ１１２が閉じている時間）が非常に短くなる。例えば、基材１３０の搬送速度を６０ｍ／分にした場合、未塗布領域の長さを１０ｍｍとすると、供給バルブ１１２が閉じている時間は、１０ｍｓｅｃと、非常に短くなる。そのため、回収バルブ１１７を閉鎖するタイミングを、供給バルブ１１２を開放するタイミングに同期して制御することが難しくなる。
【００２６】
そこで、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりを解消する方法として、塗液１２０の供給開始時に、塗布ダイ１１５に通じる供給路１２１内の塗液１２０の圧力上昇を押さえるために、供給バルブ１１２を開放する際のエアシリンダ１１３のピストン１５２の移動速度を下げることが考えられる。そのためには、圧空室１５０に供給する圧力空気の圧力Ｐを下げる必要がある。
【００２７】
しかしながら、この場合、供給バルブ１１２を閉める際に圧空室１５１に供給する圧力空気の圧力Ｐ１と、供給バルブ１１２を開ける際に圧空室１５０に供給する圧力空気の圧力Ｐ２とが、異なる大きさ（Ｐ１＞Ｐ２）になってしまう。そのため、圧空室１５０、１５１への圧力空気の供給／大気開放の切り替えを続けて行った場合、圧空室１５０、１５１に供給される圧力空気の圧力Ｐ１、Ｐ２に圧力差が生じるため、ピストン１５２の往復動作が不安定になる。例えば、切り替え時の圧空室１５０、１５１内の残圧や、ソレノイドバルブから圧空室１５０、１５１までの配管における圧力損失等の要因によって、ピストン１５２の往復動作が不安定にある。
【００２８】
そのため、供給バルブ１１２を開放する際のエアシリンダ１１３のピストン１５２の移動速度を下げた場合、図１１に示すように、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりは解消されるが、塗布膜の膜厚形状が不安定になる。その結果、塗布領域の長さＬ１、Ｌ２、Ｌ３にバラツキが発生してしまう。
【００２９】
そこで、本願発明者（等）は、供給バルブを開放する際のエアシリンダのピストンの移動速度を下げる手段として、供給バルブの弁体を駆動するエアシリンダに、エアシリンダのピストンの移動方向に逆らう方向に荷重をかけるエアシンダを、ブレーキシリンダとして付加することを思いつき、本発明を想到するに至った。
【００３０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。また、本発明の効果を奏する範囲を逸脱しない範囲で、適宜変更は可能である。
【００３１】
図１は、本発明の一実施形態における間欠塗布装置の構成を模式的に示した図である。なお、本実施形態における間欠塗布装置は、連続的に搬送される基材の表面に、塗液を間欠的に塗布して、塗布領域と未塗布領域とを断続的に形成する装置である。
【００３２】
図１に示すように、本実施形態における間欠塗布装置１は、塗液２０を供給する塗液タンク（供給部）１０と、塗液タンク１０から供給された塗液２０を、供給路２１を介して、基材３０の表面に塗布する塗布ダイ（塗布部）１５と、供給路２１を開閉する弁体を有する供給バルブ１２と、弁体を駆動する駆動部とを備えている。なお、本実施形態における駆動部は、第１のエアシリンダ１３と、第２のエアシリンダ１４とで構成されている。また、第１のエアシリンダ１３の駆動は、制御部１９によって制御される。
【００３３】
塗液タンク１０に収容された塗液２０は、供給路２１の途中に設けられたポンプ１１によって送液されて、塗布ダイ１５内のマニホールド１６に供給される。そして、マニホールド１６に供給された塗液２０は、塗布ダイ１５のスリットから吐出されて、基材３０の表面に塗布膜３１が形成される。
【００３４】
また、供給路２１の途中から、塗液タンク１０に接続された回収路２２が分岐され、回収路２２には、回収路１２２の開閉する弁体を有する回収バルブ１７が設けられている。回収バルブ１７の弁体は、エアシリンダ１８によって駆動され、その駆動は、制御部１９によって制御される。
【００３５】
図２は、第１及び第２のエアシリンダ１３、１４によって、供給バルブ１２の開閉を駆動する動作を示した図で、図２（a）は、供給バルブ１２を閉鎖する動作を示し、図２（ｂ）は、供給バルブ１２を開放する動作を示している。
【００３６】
供給バルブ１２は、弁体４２と、弁座４３を挟んで、供給路２１から塗液２０が入る液溜室４１、及び供給路２１から塗液２０が出る液溜室４０を有している。
【００３７】
第１のエアシリンダ１３は、第１のピストン５２を挟んで、圧空室５０、５１を有し、第１のピストン５２は、ロッド５３を介して、弁体４２に連結されている。ここで、第１のエアシリンダ１３は、弁体４２に連結された第１のピストン５２の往復動作により、弁体４２の開閉を制御するものである。
【００３８】
また、第２のエアシリンダ１４が、供給バルブ１２に対して、第１のエアシリンダ１３と同じ側に配置されている。ここでは、第１のエアシリンダ１３の両側に、同じ構造からなる２個の第２のエアシリンダ１４が、並列に配置されている。
【００３９】
第２のエアシリンダ１４は、第２のピストン６２を挟んで、圧空室６０、６１を有し、第２のピストン６２は、ロッド６３を介して、弁体４２に連結されている。ここでは、ロッド６３を、第１のエアシリンダ１３のロッド５３に連結することにより、ロッド５３と一体となって、弁体４２に連結５３されている。
【００４０】
図２（a）に示すように、第１のエアシリンダ１３の圧空室５１に、圧力Ｐの圧力空気を供給することによって、第１のピストン５２が弁体４２と反対方向に移動する。これにより、第１のピストン５２と一体的に弁体４２が移動して、弁座４３と当接することにより、供給バルブ１２が閉じ、塗液２０の供給が停止する。
【００４１】
一方、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１には、常に、一定の圧力Ｐの圧力空気が供給されている。そのため、第２のエアシリンダ１４において、弁体４２に連結された第２のピストン６２は、常に、第１のピストン５２が弁体４２を閉鎖する方向に駆動されている。
【００４２】
ここで、ピストンによる駆動力Ｆは、圧空室に供給される圧力空気の圧力Ｐと、ピストンの表面積との積で決まるが、本実施形態では、第１のエアシリンダ１３における第１のピストン５２の駆動力Ｆ１が、第２のエアシリンダ１４における第２のピストンの駆動力Ｆ２の和（２Ｆ２）より大きくなるように設定されている。
【００４３】
例えば、第１のエアシリンダ１３の圧空室５１に供給する圧力空気の圧力Ｐと、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１に供給する圧力空気の圧力Ｐとを、同じ大きさに設定した場合、第１のピストン５２の表面積に対する第２のピストン６２の表面積を規定することによって、Ｆ１＞２Ｆ２の関係を満たすことができる。
【００４４】
次に、図２（ｂ）に示すように、第１のエアシリンダ１３の圧空室５０に、圧力Ｐの圧力空気を供給することによって、第１のピストン５２が、駆動力Ｆ１によって、弁体４２の方向に移動する。これにより、ピストン５２と一体的に弁体４２が移動して、弁座４３から離れることにより、供給バルブ１２が開き、塗液２０の供給が開始する。
【００４５】
本実施形態では、第１のピストン５２の駆動力Ｆ１によって、弁体４２を開放する方向に駆動している間、第２のピストン６２によって、弁体４２を閉鎖する方向に駆動力Ｆ２が働いている。すなわち、第２のピストン６２の駆動力Ｆ２によって、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に移動するのを逆らう方向に、一定のブレーキがかけられた状態になっている。これにより、弁体４２を開放する際の第１のピストン５２の移動速度を下げることができる。その結果、図３に示すように、塗液２０の供給開始時に、塗布ダイ１５に通じる供給路２１内の塗液２０の圧力上昇を押さえことができるため、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりを解消することができる。
【００４６】
また、本実施形態では、供給バルブ１２を閉める際に圧空室５１に供給する圧力空気の圧力Ｐと、供給バルブ１２を開放する際に圧空室５０に供給する圧力空気の圧力Ｐとが、同じ値に設定されているため、圧空室５０、５１への圧力空気の供給／大気開放の切り替えを続けて行っても、第１のピストン５２の往復動作を安定して行うことができる。そのため、図３に示すように、塗布領域の長さＬを、安定して形成することができる。
【００４７】
なお、本実施形態では、図３（ａ）に示すように、第１のピストン５２の駆動力Ｆ１によって、弁体４２を閉鎖する方向に駆動している間、第２のピストン６２にも、弁体４２を閉鎖する方向に駆動力Ｆ２が働いている。そのため、弁体４２を閉鎖する際、第１のピストン５２の移動速度は上がるが、これは、塗布ダイ１５への塗液２０の供給を素早く停止する方向に作用するため、塗布膜の膜厚変動に影響を及ぼすことはない。
【００４８】
また、本実施形態では、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１には、常に、一定の圧力Ｐの圧力空気が供給されるため、第１のピストン５２の往復動作を安定して行うことができる。
【００４９】
図４は、本発明の他の実施形態における第２のエアシリンダ１４の配置を示した図で、図４（a）は、供給バルブ１２を閉鎖する動作を示し、図４（ｂ）は、供給バルブ１２を開放する動作を示している。
【００５０】
図４に示すように、本実施形態における第２のエアシリンダ１４は、供給バルブ１２に対して、第１のエアシリンダ１３と反対側に配置されている。また、第２のピストン６２は、ロッド６３を介して、弁体４２に直接連結されている。なお、ロッド６３は、第１のエアシリンダ１３のロッド５３と、軸心が一致していることが好ましい。
【００５１】
第２のエアシリンダ１４の圧空室６１には、常に、一定の圧力Ｐの圧力空気が供給されている。そのため、第２のエアシリンダ１４において、弁体４２に連結された第２のピストン６２は、常に、第１のピストン５２が弁体４２を閉鎖する方向に駆動されている。従って、図４（ｂ）に示すように、第２のピストン６２の駆動力Ｆ２によって、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に移動するのを逆らう方向に、一定のブレーキがかけられた状態になっている。これにより、弁体４２を開放する際の第１のピストン５２の移動速度を下げることができる。その結果、塗液２０の供給開始時に、塗布ダイ１５に通じる供給路２１内の塗液２０の圧力上昇を押さえことができるため、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりを解消することができる。
【００５２】
以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、もちろん、種々の改変が可能である。例えば、上記実施形態では、図１に示したように、第２のエアシリンダ１４を、第１のエアシリンダ１３の両側に、２個、並列して配置したが、第１のエアシリンダ１３の片側に、１個の第２のエアシリンダ１４を並列に配置してもよい。この場合、第１のエアシリンダ１３のロッド５３と、第２のエアシリンダ１４のロッド６３の剛性を高めておくことが好ましい。
【００５３】
また、上記実施形態では、第１のエアシリンダ１３の圧空室５０、５１に供給する圧力空気の圧力Ｐと、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１に供給する圧力空気の圧力Ｐとを、同じ値にしたが、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に駆動する駆動力Ｆ１が、第２のピストン６２が、弁体４２を閉鎖する方向に駆動する駆動力Ｆ２よりも大きくなるように、第１のエアシリンダ１３の圧空室５０、５１に供給する圧力空気の圧力と、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１に供給する圧力空気の圧力とを、それぞれ設定してもよい。
【００５４】
また、上記実施形態では、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１には、常に、一定の圧力Ｐの圧力空気が供給されている構成を例示した。そうすることで、駆動力Ｆ２を一定に保つことができるため好ましい。しかし、本発明を具体化する上では、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１への圧力空気の供給が、圧空室５０，５１への圧力空気の供給（つまり、第１のエアシリンダ１３の駆動）と連動して行われる構成としても良い。この場合でも、第１のエアシリンダ１３を駆動している間、第２のエアシリンダ１４が弁体４２を閉鎖する方向に駆動されることとなる。
【００５５】
あるいは、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１への圧力空気の供給が、圧空室５０への圧力空気の供給と連動して行われる構成としても良い。この場合、第１のエアシリンダ１３が弁体４２を開放する方向に駆動している間、第２のエアシリンダ１４が弁体４２を閉鎖する方向に駆動され、一定のブレーキがかけられた状態となる。
【００５６】
また、上記実施形態では、供給バルブ１２を開放する際の第１のピストン５２の移動速度を下げる手段として、供給バルブ１２の弁体４２を駆動する第１のエアシリンダ１３に、第１のピストン５２の移動方向に逆らう方向に荷重をかける第２のエアシリンダ１４を、ブレーキシリンダとして付加したが、例えば、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、弁体４２と連動して動作するロッド５３に、第１のエアシリンダ１３に対して両側にロッド６３を連結し、このロッド６３に、一定の反力を付与するブレーキ機構７０を設けてもよい。具体的には、一対のロッド６３の先端にプレート７１を取り付け、そのプレート７１を挟み込む位置に、摩擦パッド７２を配置することによって、ブレーキ機構７０を構成することができる。
【００５７】
図５（ａ）に示すように、第１のピストン５２が、弁体４２を閉鎖する方向に駆動するときは、摩擦パッド７２はプレート７１から離れているため、ロッド６３に対して摩擦力（ブレーキ）はかからない。
【００５８】
一方、図５（ｂ）に示すように、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に駆動するときは、プレート７１を摩擦パッド７２で押圧することによって、ロッド６３に対して、弁体４２を開放する方向に移動するのを逆らう方向に摩擦力Ｒが加わる。
【００５９】
この場合、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に駆動する駆動力Ｆ１は、弁体４２と連動して動作するロッド６３に付与される摩擦力Ｒよりも大きくなるように設定されている。これにより、ロッド６３に付与された摩擦力Ｒによって、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に移動するのを逆らう方向に、一定のブレーキがかけられた状態になる。これにより、弁体４２を開放する際の第１のピストン５２の移動速度を下げることができる。
【００６０】
このようなブレーキ機構７０による摩擦力Ｒは、弁体４２の変位（ロッド６３の移動距離）によって変化しないため、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に移動するのを逆らう方向に、一定のブレーキをかけることができる。
【００６１】
図６（ａ）、（ｂ）は、ブレーキ機構の他の例を示した図で、図６（a）は、供給バルブ１２を閉鎖する動作を示し、図６（ｂ）は、供給バルブ１２を開放する動作を示している。
【００６２】
図６（ａ）、（ｂ）に示すように、弁体４２に、第１のエアシリンダ１３とは反対側に、弁体４２と連動して往復動作するロッド８１を連結し、このロッド８１の先端に、緩衝材８０を設けることによって、ブレーキ機構を構成することができる。
【００６３】
図６（ｂ）に示すように、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に駆動したとき、ロッド８１で緩衝材８０を圧縮することによって、ロッド８１に対して、弁体４２を開放する方向に移動するのを逆らう方向に反力Ｒが加わる。なお、図６（ａ）に示すように、第１のピストン５２が、弁体４２を閉鎖する方向に駆動するときは、緩衝材８０はロッド８１によって圧縮されないため、ロッド８１に対してブレーキはかからない。
【符号の説明】
【００６４】
１      間欠塗布装置 
１０      塗液タンク（供給部） 
１１      ポンプ 
１２      供給バルブ 
１３      第１のエアシリンダ 
１４      第２のエアシリンダ 
１５      塗布ダイ（塗布部） 
１６      マニホールド 
１７      回収バルブ 
１８      エアシリンダ 
１９      制御部 
２０      塗液 
２１      供給路 
２２      回収路 
３０      基材 
３１      塗布膜 
４０、４１      液溜室 
４２      弁体 
４３      弁座 
５０、５１      圧空室 
５２      第１のピストン 
５３      ロッド 
６０、６１      圧空室 
６２      第２のピストン 
６３      ロッド 
７０      ブレーキ機構
７１      プレート
７２      摩擦パッド
８０      緩衝材（ブレーキ機構）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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