(57)【要約】【課題】一部の放射線検出器が故障した場合でもその影響を低減して厚さ測定を継続することを可能とする。【解決手段】実施形態の厚さ測定装置は、板状の測定対象物に放射線を照射する放射線源と、放射線源に対向して配置され、測定対象物を透過した放射線量を検出するｍ個（ｍは、３以上の整数）の放射線検出器と、ｍ個の放射線検出器のうち、ｋ個（ｋは、３以上の整数）の放射線検出器の検出線量に基づいて前記測定対象物の厚さを算出する算出部と、いずれか一の放射線検出器の検出線量が前回の検出線量に対して所定の閾値を超えて変動し、かつ、当該放射線検出器に隣設された他の放射線検出器における検出線量の前回の検出線量に対する変動量が前記閾値以下であるか否かを比較する比較部と、を備える。【選択図】図１
2019056604.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の測定対象物に放射線を照射する放射線源と、
前記放射線源に対向して配置され、前記測定対象物を透過した放射線量を検出するｍ個（ｍは、３以上の整数）の放射線検出器と、
前記ｍ個の放射線検出器のうち、ｋ個（ｋは、３以上の整数）の放射線検出器の検出線量に基づいて前記測定対象物の厚さを算出する算出部と、
いずれか一の前記放射線検出器の検出線量が前回の検出線量に対して所定の閾値を超えて変動し、かつ、当該放射線検出器に隣設された他の放射線検出器における検出線量の前回の検出線量に対する変動量が前記閾値以下であるか否かを比較する比較部と、
を備えた厚さ測定装置。
【請求項２】
前記算出部は、前記比較部においていずれか一の前記放射線検出器の検出線量が前回の検出線量に対して所定の閾値を超えて変動し、かつ、当該放射線検出器に隣設された他の放射線検出器における検出線量の前回の検出線量に対する変動量が前記閾値以下であるとされた場合に、当該所定の閾値を超えて変動した放射線検出器の検出線量を直前の正常な検出線量で置き換えて前記厚さの算出を行う、
請求項１記載の厚さ測定装置。
【請求項３】
前記算出部は、前記故障判別部において前記比較部においていずれか一の前記放射線検出器の検出線量が前回の検出線量に対して所定の閾値を超えて変動し、かつ、当該放射線検出器に隣設された他の放射線検出器における検出線量の前回の検出線量に対する変動量が前記閾値以下であるとされた場合に、当該所定の閾値を超えて変動した放射線検出器に隣設された二つの放射線検出器に対応する検出線量を内挿あるいは外挿して得られる値を検出線量として前記厚さの算出を行う、
請求項１又は請求項２記載の厚さ測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、厚さ測定装置に関する。 
【背景技術】
【０００２】
従来、鋼板の圧延工程では、圧延された金属シートに放射線を照射し、金属シートを透過後の放射線の減衰量から厚さを測定する厚さ測定装置が使用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
厚さ測定装置には、ガンマ線源等の放射線同位元素を使用したガンマ線厚さ測定装置や、Ｘ線源を使用したＸ線厚さ測定装置があるが、照射エネルギーを制御できるＸ線厚さ測定装置は、特に高精度で応答速度を要求されるプロセスにおいて使用されている。
【０００４】
このようなＸ線厚さ測定装置の一例として、測定対象となる鋼板に対してＸ線発生器から扇形Ｘ線ビームを照射し、透過したＸ線ビームの線量を複数の放射線検出器により検出する構成を採ったＸ線厚さ測定装置がある。
【０００５】
この種のＸ線厚さ測定装置において、放射線検出器は扇型ビームの広がる方向に沿って複数個並べられており、鋼板の板幅方向の複数点の板厚値を同時に測定し、各放射線検出器の測定板厚から、鋼板の板幅方向の形状を得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−１２８７５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、放射線検出器の故障などにより正常に検出線量が得られなかった場合、出力される検出線量が実際と異なる値となり、故障位置の板厚値が正常に計算されなくなる虞がある。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、一部の放射線検出器が故障した場合でもその影響を低減して厚さ測定を継続することが可能な厚さ測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
実施形態の厚さ測定装置は、板状の測定対象物に放射線を照射する放射線源と、放射線源に対向して配置され、測定対象物を透過した放射線量を検出するｍ個（ｍは、３以上の整数）の放射線検出器と、ｍ個の放射線検出器のうち、ｋ個（ｋは、３以上の整数）の放射線検出器の検出線量に基づいて前記測定対象物の厚さを算出する算出部と、いずれか一の放射線検出器の検出線量が前回の検出線量に対して所定の閾値を超えて変動し、かつ、当該放射線検出器に隣設された他の放射線検出器における検出線量の前回の検出線量に対する変動量が前記閾値以下であるか否かを比較する比較部と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施形態のＸ線厚さ測定装置の概要構成ブロック図である。
【図２】図２は、実施形態の処理フローチャートである。
【図３】図３は、厚さ計測の概念説明図である。
【図４】図４は、Ｘ線検出器が故障している場合の厚さ測定（板厚測定）の結果の説明図である。
【図５】図５は、Ｘ線検出器が故障していない通常の場合の厚さ測定（板厚測定）の結果の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
次に図面を参照して実施形態の厚さ測定装置について説明する。
以下の説明においては、放射線としてＸ線を用いたＸ線厚さ測定装置を例として説明する。
【００１２】
図１は、実施形態のＸ線厚さ測定装置の概要構成ブロック図である。
Ｘ線厚さ測定装置１０は、それぞれＸ線を発生するＸ線管１２を有し、図示しないスリットを介して扇形Ｘ線ビームＸＲを鋼板等の板状の測定対象物１１にそれぞれ照射する一対のＸ線発生器（Ｘ線源）１３−１、１３−２と、測定対象物１１を介してＸ線発生器１３−１、１３−２に対向配置され、測定対象物１１を透過した扇形Ｘ線ビームＸＲを検出してＸ線検出信号ＳＤＸを出力するｍ個（ｍは、３以上の整数：本実施形態では、ｍ＝１８）の第１Ｘ線検出器１４（１４−１〜１４−９、１４−１１〜１４−１９）と、Ｘ線を発生するＸ線管１５を有し、円形Ｘ線ビームＸＲＣを測定対象物１１の幅方向の中央部に照射するＸ線発生器（Ｘ線源）１６と、を備えている。
【００１３】
また、Ｘ線厚さ測定装置１０は、測定対象物１１を介してＸ線発生器１６に対向配置され、測定対象物１１を透過した円形Ｘ線ビームＸＲＣを検出してＸ線検出信号ＳＤＸＣを出力する例えば、円筒形状の電離箱として構成された第２Ｘ線検出器１７と、Ｘ線発生器１３−１、Ｘ線発生器１３−２及びＸ線発生器１６を制御して発生するＸ線量を一定に制御すると共に、複数の第１Ｘ線検出器１４から入力されるＸ線検出信号ＳＤＸ及び第２Ｘ線検出器１７から入力されるＸ線検出信号ＳＤＸＣをサンプリングして、測定対象物１１の厚さに対応する厚さデータを生成して記憶し、あるいは、厚さデータを補正するコントロール装置１８と、Ｘ線厚さ測定装置１０の較正時に板厚の異なる複数の標準試料から所望の板厚の標準試料を選択的にＸ線照射経路中に挿入する一対の標準試料チェンジャ１９と、を備えている。 
【００１４】
上記構成において、各第１Ｘ線検出器１４（１４−１〜１４−９、１４−１１〜１４−１９）は、例えば、円筒形状の電離箱として構成されている。また第１Ｘ線検出器１４−１〜１４−９は、測定対象物１１の幅方向（Ｗ方向）に沿って一列に近接して配置されている。
【００１５】
同様に第１Ｘ線検出器１４−１１〜１４−１９は、測定対象物１１の幅方向（Ｗ方向）に沿って一列に近接して配置されている。
【００１６】
また複数の第１Ｘ線検出器１４（１４−１〜１４−９、１４−１１〜１４−１９）のうち、一方のＸ線発生器１３−１に対応する第１Ｘ線検出器１４（１４−１〜１４−９）は、測定対象物１１の幅方向の一方のエッジ部分（図中、左側のエッジ部分）から測定対象物１１の幅方向の中心部分にわたって対応する検出箇所の透過Ｘ線量を検出し、それぞれＸ線検出信号ＳＤＸをコントロール装置１８に出力する。
【００１７】
さらに複数の第１Ｘ線検出器１４のうち、他方のＸ線発生器１３−２に対応する第１Ｘ線検出器１４（１４−１１〜１４−１９）は、測定対象物１１の幅方向の他方のエッジ部分（図中、右側のエッジ部分）から測定対象物１１の幅方向の中心部分にわたって対応する検出箇所の透過Ｘ線量を検出し、それぞれＸ線検出信号ＳＤＸをコントロール装置１８に出力する。
また、コントロール装置１８は、Ｘ線検出器の故障を判別する故障判別部（比較部）１８Ａと、測定結果（厚さ測定結果）を時系列に記憶可能な記憶部１８Ｂを備えている。
【００１８】
図２は、実施形態の処理フローチャートである。
まず、コントロール装置１８は、較正タイミングであるか否かを判別する（ステップＳ１１）。
ステップＳ１１の判別において、較正タイミングではない、すなわち、既に較正が済んでいる場合には（ステップＳ１１；Ｎｏ）処理をステップＳ１３に移行する。
【００１９】
ステップＳ１１の判別において、較正タイミングである場合には（ステップＳ１１；Ｙｅｓ）、較正処理を行う（ステップＳ１２）。
較正処理においては、標準試料チェンジャ１９は、板厚の異なる複数の標準試料から、例えば、板厚の薄い順に標準試料を選択的に第１Ｘ線検出器１４（１４−１〜１４−９、１４−１１〜１４−１９）及び第２Ｘ線検出器１７に対応するＸ線照射経路中に挿入する。
【００２０】
これにより、コントロール装置１８は、第１Ｘ線検出器１４（１４−１〜１４−９、１４−１１〜１４−１９）及び第２Ｘ線検出器１７のそれぞれにおいて透過Ｘ線量を統計処理が可能な所定回数検出し、標準試料の厚さ毎に透過Ｘ線量の平均値及び標準偏差σを算出し、各平均値を滑らかに結んだ検量線としての板厚−透過Ｘ線量曲線を取得して、較正処理を終了する。
【００２１】
較正処理が終了した状態で、コントロール装置１８は、測定対象物１１の厚さ計測を行う（ステップＳ１３）。
ここで、厚さ計測について詳細に説明する。
この場合において、Ｘ線発生器１３−１に対応する第１Ｘ線検出器１４（１４−１〜１４−９）における厚さ計測と、Ｘ線発生器１３−２に対応する第１Ｘ線検出器１４（１４−１１〜１４−１９）における厚さ計測と、は同様で計測位置が異なるだけであるので、以下においては、Ｘ線発生器１３−１に対応する第１Ｘ線検出器１４（１４−１〜１４−９）における厚さ計測を例として説明する。
【００２２】
図３は、厚さ計測の概念説明図である。
図３に示すように、Ｘ線発生器１３−１に対応する第１Ｘ線検出器１４（１４−１〜１４−９）は、測定対象物１１の幅方向（板幅方向）の一方のエッジ部分１１Ａが確実に検出可能なように、エッジ部分１１Ａ（図中、左側のエッジ部分）から測定対象物１１の幅方向の中心側に向かった所定の検出箇所（例えば、エッジ部分１１Ａを含み、所定距離間隔（例えば、４〜１０［ｍｍ］置き）の透過Ｘ線量を検出し、透過Ｘ線量に対応する検出信号をコントロール装置１８に出力する。
【００２３】
同様に、Ｘ線発生器１６に対応する第２Ｘ線検出器１７は、測定対象物１１の幅方向中心の透過Ｘ線量を検出し、透過Ｘ線量に対応する検出信号をコントロール装置１８に出力する。
【００２４】
コントロール装置１８は、較正された板厚−透過Ｘ線量曲線に基づいて、検出信号に対応する厚さ（板厚）を算出する。
図３の上部に示す図は、測定対象物１１の幅方向（板幅方向）と測定対象物１１の厚さ（板厚）との関係の一例を示している。
図３の上部に示す図の場合、第１Ｘ線検出器１４−１〜１４−３に対応する計測位置には、測定対象物１１が存在しないので、板厚はほぼ０として検出される。
【００２５】
これに対して、第１Ｘ線検出器１４−４〜１４−９においては、計測された透過Ｘ線量に応じた測定対象物１１の板厚がそれぞれ検出されることとなる。
同様に第２Ｘ線検出器１７に対応する計測位置においても、計測された透過Ｘ線量に応じた測定対象物１１の板厚が検出されることとなる。
【００２６】
厚さ計測が終了すると、コントロール装置１８は、一旦計測された測定対象物１１の板厚を第１Ｘ線検出器１４−１〜１４−９、１４−１１〜１４−１９及び第２Ｘ線検出器１７毎に記憶する（ステップＳ１４）。
【００２７】
続いてコントロール装置１８は、第１Ｘ線検出器１４−１〜１４−９、１４−１１〜１４−１９及び第２Ｘ線検出器１７毎に前回の計測結果と比較し、前回の計測結果との差を算出する（ステップＳ１５）。
【００２８】
続いて、コントロール装置１８は、ステップＳ１５の比較結果に基づいて、第１Ｘ線検出器１４−１〜１４−９、１４−１１〜１４−１９のいずれかが故障しているか否かを判別して、故障していると考えられるＸ線検出器についての測定結果を補正する処理を行う。
【００２９】
具体的には、まずコントロール装置１８は、処理に用いるＸ線検出器を特定するためのパラメータｎを初期値（図２の例の場合、ｎ＝１）とする（ステップＳ１６）。
続いてコントロール装置１８は、第１Ｘ線検出器ｎ番目のＸ線検出器、例えば、第１Ｘ線検出器１４−１〜１４−９については、ｎ＝１〜９とし、第１Ｘ線検出器１４−１１〜１４−１９については、ｎ＝１０〜１８とし、当該ｎ番目のＸ線検出器について前回計測結果との差が所定の閾値を超えているか否かを判別する（ステップＳ１７）。
【００３０】
ここで所定の閾値としては、例えば、厚さの分布がガウス分布（正規分布）であるとした場合の、較正された板厚−透過Ｘ線量曲線の作成時に得られた標準偏差σの２倍の値（２σ：信頼区間を両側としたときの９５％信頼区間に相当）を用いる。あるいは、標準偏差の１．６４倍の値（１．６４σ：信頼区間を片側とした時の９５％信頼区間に相当）を用いる。
【００３１】
ステップＳ１７の判別において、ｎ番目のＸ線検出器について前回計測結果との差が所定の閾値以下である場合には（ステップＳ１７；Ｎｏ）、ｎ番目のＸ線検出器は、正常であると考えられるので、今回の計測結果をそのまま正規の計測結果として保持し（ステップＳ１８）、処理をステップＳ２１に移行する。
【００３２】
ステップＳ１７の判別において、ｎ番目のＸ線検出器について前回計測結果との差が所定の閾値を超えている場合には（ステップＳ１７；Ｙｅｓ）、当該ｎ番目の第１Ｘ線検出器が故障している可能性があるので、当該ｎ番目の第１Ｘ線検出器に隣設された二つの検出器（第１Ｘ線検出器）について前回計測結果との差が閾値を超えているか否かを判別する（ステップＳ１９）。
【００３３】
この場合において、隣設された二つの検出器とは、通常は、ｎ番目の第１Ｘ線検出器について、（ｎ−１）番目の第１Ｘ線検出器及び（ｎ＋１）番目の第１Ｘ線検出器となる。
例えば、４番目の第１Ｘ線検出器である第１Ｘ線検出器１４−４については、第１Ｘ線検出器１４−３及び第１Ｘ線検出器１４−５とされる。
【００３４】
しかしながら、図２の例の場合、第１Ｘ線検出器１４−１及び第１Ｘ線検出器１４−１１については、端に位置する第１Ｘ線検出器であるため、（ｎ＋１）番目の第１Ｘ線検出器及び（ｎ＋２）番目の第１Ｘ線検出器、すなわち、第１Ｘ線検出器１４−１については、第１Ｘ線検出器１４−２及び第１Ｘ線検出器１４−３とされ、第１Ｘ線検出器１４−１１については、第１Ｘ線検出器１４−１２及び第１Ｘ線検出器１４−１３とされる。
【００３５】
同様に、図２の例の場合、第１Ｘ線検出器１４−９及び第１Ｘ線検出器１４−１９については、端に位置する第１Ｘ線検出器であるため、（ｎ−１）番目の第１Ｘ線検出器及び（ｎ−２）番目の第１Ｘ線検出器、すなわち、第１Ｘ線検出器１４−９については、第１Ｘ線検出器１４−８及び第１Ｘ線検出器１４−７とされ、第１Ｘ線検出器１４−１９については、第１Ｘ線検出器１４−１８及び第１Ｘ線検出器１４−１７とされる。
【００３６】
ステップＳ１９の判別において、当該ｎ番目の第１Ｘ線検出器に隣設された二つの検出器（第１Ｘ線検出器）について前回計測結果との差が閾値を超えている場合には（ステップＳ１９；Ｙｅｓ）、当該ｎ番目の第１Ｘ線検出器は、故障しておらず、正常であると考えられるので、コントロール装置１８は、今回の計測結果をそのまま正規の計測結果として保持し（ステップＳ１８）、処理をステップＳ２１に移行する。
【００３７】
ステップＳ１９の判別において、当該ｎ番目の第１Ｘ線検出器に隣設された二つの検出器（第１Ｘ線検出器）について前回計測結果との差が閾値を超えていない場合には（ステップＳ１９；Ｎｏ）、当該ｎ番目の第１Ｘ線検出器は、故障していると考えられるので、コントロール装置１８は、今回の計測結果を破棄し、前回の計測結果を今回の計測結果として採用する厚さ補正処理を行う（ステップＳ２０）。
【００３８】
続いてコントロール装置１８は、ｎ＝ｎ＋１とし（ステップＳ２１）、パラメータｎが第１Ｘ線検出器の総数ｍ（図１の例の場合、ｍ＝１８）を超えているか否かを判別する（ステップＳ２２）。
【００３９】
ステップＳ２２の判別において、いまだパラメータｎが第１Ｘ線検出器の総数ｍを超えていない場合には（ステップＳ２２；Ｎｏ）、コントロール装置１８は、次の第１Ｘ線検出器の故障の有無を判別するために、処理を再びステップＳ１７に移行し、上述した処理を繰り返す。
【００４０】
ステップＳ２２の判別において、パラメータｎが第１Ｘ線検出器の総数ｍを超えた場合には（ステップＳ２２；Ｙｅｓ）、コントロール装置１８は、今回の厚さ計測における処理が完了したので、処理を終了する。
【００４１】
次により具体的な故障判別処理について説明する。
図４は、Ｘ線検出器が故障している場合の厚さ測定（板厚測定）の結果の説明図である。
図４は、第１Ｘ線検出器１４−７が故障している場合の例であり、図４（ａ）は、ある測定タイミングにおける全ての第１Ｘ線検出器１４−１〜１４−９及び第１Ｘ線検出器１４−１１〜１４−１９の厚さ検出状態の説明図である。
【００４２】
また、図４（ｂ）は、第１Ｘ線検出器１４−７に隣設された一方の第１Ｘ線検出器１４−６の厚さ検出履歴の説明図である。
また、図４（ｃ）は、第１Ｘ線検出器１４−７の厚さ検出履歴の説明図である。
また、図４（ｄ）は、第１Ｘ線検出器１４−７に隣設された他方の第１Ｘ線検出器１４−８の厚さ検出履歴の説明図である。
【００４３】
図４（ｃ）に示すように、時刻ｔ１において、第１Ｘ線検出器１４−７について前回計測結果との差が閾値（例えば、較正された板厚−透過Ｘ線量曲線の作成時に得られた標準偏差σの２倍の値２σ）を超え（ステップＳ１７；Ｙｅｓ）、図４（ａ）に示すように、第１Ｘ線検出器１４−７においては、厚さがほぼ０と検出されている。
【００４４】
これに対し、第１Ｘ線検出器１４−７に隣設された第１Ｘ線検出器１４−６及び第１Ｘ線検出器１４−８においては、前回計測結果との差が閾値（上述の例の場合、値２σ）を超えておらず（ステップＳ１９；Ｎｏ）、第１Ｘ線検出器１４-７の検出線量のみが大きく変化している。
【００４５】
したがって、コントロール装置１８は、測定対象物１１の厚さが変化したのではなく、第１Ｘ線検出器１４−７が故障したと判別することとなる。
この結果、コントロール装置１８は、今回の計測結果を破棄し、前回の計測結果を今回の計測結果として採用する厚さ補正処理を行うこととなる（ステップＳ２０）。
【００４６】
また、コントロール装置１８は、第１Ｘ線検出器１４−７が故障した旨を図示しない警報装置（警報ランプ、ブザー等）あるいは、図示しないディスプレイに表示を行い通知する。
【００４７】
図５は、Ｘ線検出器が故障していない通常の場合の厚さ測定（板厚測定）の結果の説明図である。
図５（ａ）は、ある測定タイミングにおける全ての第１Ｘ線検出器１４−１〜１４−９及び第１Ｘ線検出器１４−１１〜１４−１９の厚さ検出状態の説明図である。
【００４８】
また、図５（ｂ）は、処理対象の第１Ｘ線検出器が第１Ｘ線検出器１４−７である場合の、隣設された一方の第１Ｘ線検出器１４−６の厚さ検出履歴の説明図である。
また、図５（ｃ）は、第１Ｘ線検出器１４−７の厚さ検出履歴の説明図である。
また、図（ｄ）は、第１Ｘ線検出器１４−７に隣設された他方の第１Ｘ線検出器１４−８の厚さ検出履歴の説明図である。
【００４９】
図５（ｃ）に示すように、時刻ｔ１において、第１Ｘ線検出器１４−７について前回計測結果との差が閾値（例えば、較正された板厚−透過Ｘ線量曲線の作成時に得られた標準偏差σの２倍の値２σ）を超え（ステップＳ１７；Ｙｅｓ）、図５（ａ）に示すように、第１Ｘ線検出器１４−７においては、厚さが前回よりも薄くなったことが検出されている。
【００５０】
このとき、第１Ｘ線検出器１４−７に隣設された一方の第１Ｘ線検出器である第１Ｘ線検出器１４−６においても前回計測結果との差が閾値を超えており、第１Ｘ線検出器１４−７に隣設された他方の第１Ｘ線検出器である第１Ｘ線検出器１４−８においても前回計測結果との差が閾値を超えている（ステップＳ１９；Ｙｅｓ）。
したがって、第１Ｘ線検出器１４−７の厚さ計測結果は、信頼性が高いので、今回の厚さ計測結果を保持する。
【００５１】
以上の説明のように本実施形態によれば、一部のＸ線検出器が故障した場合でもその影響を低減して厚さ測定を継続することが可能となり、Ｘ線厚さ測定装置１０の信頼性及び運用効率の向上が図れる。
【００５２】
以上の説明においては、複数（ｍ個）の放射線検出器のうち、いずれか一の放射線検出器の検出線量が前回の検出線量に対して所定の閾値を超えて変動し、かつ、当該放射線検出器に隣設された他の二つの放射線検出器における検出線量の前回の検出線量に対する変動量が閾値以下であるか否かを比較して、いずれか一の放射線検出器が故障であるか否かを判別していたが、隣接する三つ以上の他の放射線検出器における検出線量の前回の検出線量に対する変動量が閾値以下であるか否かを比較するように構成することも可能である。
【００５３】
以上の説明においては、Ｘ線検出器が故障した場合に、今回の計測結果を破棄し、前回の計測結果を今回の計測結果として採用する厚さ補正処理を行っていたが、隣設された二つのＸ線検出器に対応する検出線量を内挿あるいは外挿して得られる値を計測結果として採用するように構成することも可能である。
【００５４】
以上の説明においては、放射線厚さ測定装置としてＸ線厚さ測定装置を例として説明したが、γ線等他の放射線を用いた厚さ測定装置についても同様に適用が可能である。
【００５５】
以上の説明においては、放射線検出器の故障を判別する所定の閾値として、厚さ−透過放射線量曲線の標準偏差の所定倍（上述の例の場合、２倍又は１．６４倍）の値を用いていたが、前回の検出線量に対する所定割合値（例えば、１５％）を用いるようにすることも可能である。
【００５６】
本実施形態の厚さ測定装置（コントロール装置）は、ＣＰＵなどの制御装置と、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）やＲＡＭなどの記憶装置と、ＨＤＤ等の外部記憶装置と、ディスプレイ装置などの表示装置と、キーボードやマウスなどの入力装置を備えており、通常のコンピュータを利用したハードウェア構成となっている。
【００５７】
本実施形態の厚さ測定装置で実行されるプログラムは、インストール可能な形式又は実行可能な形式のファイルでＣＤ−ＲＯＭ、ＵＳＢメモリ等の半導体メモリ装置、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ）等のコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録されて提供される。
【００５８】
また、本実施形態の厚さ測定装置で実行されるプログラムを、インターネット等のネットワークに接続されたコンピュータ上に格納し、ネットワーク経由でダウンロードさせることにより提供するように構成しても良い。また、本実施形態の厚さ測定装置で実行されるプログラムをインターネット等のネットワーク経由で提供または配布するように構成しても良い。
また、本実施形態の厚さ測定装置のプログラムを、ＲＯＭ等に予め組み込んで提供するように構成してもよい。
【００５９】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６０】
１０    測定装置
１１    測定対象物
１１Ａ  エッジ部分
１２    Ｘ線管
１３    Ｘ線発生器
１４    第１Ｘ線検出器
１５    Ｘ線管
１６    Ｘ線発生器
１７    第２Ｘ線検出器
１８    コントロール装置
１８Ａ  故障判別部
１８Ｂ  記憶部
１９    標準試料チェンジャ
ＳＤＸ  Ｘ線検出信号
ＳＤＸＣ  Ｘ線検出信号
ＸＲ    扇形Ｘ線ビーム
ＸＲＣ  円形Ｘ線ビーム
【図１】
2019056604.tif 000003
【図２】
2019056604.tif 000004
【図３】
2019056604.tif 000005
【図４】
2019056604.tif 000006
【図５】
2019056604.tif 000007