(57)【要約】【課題】信頼性の向上したヘッドジンバルアッセンブリおよび磁気ディスク装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、ヘッドジンバルアッセンブリは、サスペンションと、ジンバル部を介してサスペンションに支持された磁気ヘッドと、を備えている。磁気ヘッドは、スライダ３１と、スライダに設けられたヘッド部３３とを有している。スライダは、空気支持面４０と、一対の側面４２ｃと、リーディング側端面４２ａと、トレーリング側端面４２ｂとを有している。スライダは、リーディング側ステップ部とトレーリング側ステップ部との間に形成され、空気支持面および一対の側面に開口した深溝５０と、それぞれ一対の側面に沿ってトレーリング側ステップ部からリーディング側ステップ部に向かって延出し、深溝の側面側の開口の少なくとも一部を閉塞した一対の隔壁７２と、を有している【選択図】図３
2019145195.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サスペンションと、前記サスペンションに設けられたジンバル部と、前記ジンバル部に支持された磁気ヘッドと、を備えるヘッドジンバルアッセンブリであって、
前記磁気ヘッドは、
一対の側縁を有する空気支持面と、前記空気支持面の一対の側縁に沿った一対の側面と、リーディング側端面と、トレーリング側端面とを有するスライダと、
前記スライダに設けられデータの記録再生を行うヘッド部と、を備え、
前記スライダは、前記空気支持面のリーディング側端部に設けられたリーディング側ステップ部と、前記空気支持面のトレーリング側端部に設けられ、前記ヘッド部を内蔵するトレーリング側ステップ部と、前記リーディング側ステップ部とトレーリング側ステップ部との間に形成され、前記空気支持面および前記一対の側面に開口した深溝と、それぞれ前記一対の側面に沿って前記トレーリング側ステップ部から前記リーディング側ステップ部に向かって延出し、前記深溝の前記側面側の開口の少なくとも一部を閉塞した一対の隔壁と、を有しているヘッドジンバルアッセンブリ。
【請求項２】
前記隔壁は、それぞれ前記側面と面一に形成されている請求項１に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
【請求項３】
前記隔壁の各々は、前記空気支持面の正圧発生面よりも低い高さに形成されている請求項１又は２に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
【請求項４】
前記隔壁の各々は、前記側面と面一に延在する外側面と、前記外側面と対向し前記深溝に面する内側面とを有し、前記内側面は、前記深溝に突出する凸部を有している請求項１に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
【請求項５】
前記隔壁の各々は、前記側面と面一に延在する外側面と、前記外側面と対向し前記深溝に面する内側面とを有し、前記内側面は、凹部を有している請求項１に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
【請求項６】
前記内側面は、前記外側面に対して、前記隔壁の延出端から前記トレーリング側ステップ部に向かって前記深溝側に傾斜して延在している請求項４又は５に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
【請求項７】
前記スライダは、それぞれ前記一対の側面に沿って前記トレーリング側ステップ部から前記リーディング側ステップ部に向かって延出し、前記深溝の前記側面側の開口の少なくとも一部を閉塞した一対の第２隔壁を更に備えている請求項１から６のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
【請求項８】
前記第２隔壁は、それぞれ前記側面と面一に形成されている請求項７に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
【請求項９】
前記第２隔壁の各々は、前記空気支持面の正圧発生面よりも低い高さに形成されている請求項７に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
【請求項１０】
前記隔壁の各々は、前記側面に沿って、前記トレーリング側ステップ部からリーディング側ステップ部に亘って延在している請求項１に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
【請求項１１】
回転自在に設けられたディスク状の記録媒体と、
サスペンションと、前記サスペンションに設けられたジンバル部と、前記ジンバル部に支持された磁気ヘッドと、を有するヘッドジンバルアッセンブリと、を備え、
前記磁気ヘッドは、一対の側縁を有する空気支持面と、前記空気支持面の一対の側縁に沿った一対の側面と、リーディング側端面と、トレーリング側端面とを有するスライダと、前記スライダに設けられデータの記録再生を行うヘッド部と、を備え、
前記スライダは、前記空気支持面のリーディング側端部に設けられたリーディング側ステップ部と、前記空気支持面のトレーリング側端部に設けられ、前記ヘッド部を内蔵するトレーリング側ステップ部と、前記リーディング側ステップ部とトレーリング側ステップ部との間に形成され、前記空気支持面および前記一対の側面に開口した深溝と、それぞれ前記一対の側面に沿って前記トレーリング側ステップ部から前記リーディング側ステップ部に向かって延出し、前記深溝の前記側面側の開口の少なくとも一部を閉塞した一対の隔壁と、を有している磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明の実施形態は、ヘッドジンバルアッセンブリおよびこれを備える磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置として、例えば、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、回転自在に設けられた磁気ディスクと、ヘッドジンバルアッセンブリと、を備えている。ヘッドジンバルアッセンブリは、ジンバル部を有するサスペンションと、ジンバル部に支持された磁気ヘッドと、を有している。  
磁気ヘッドは、スライダ、およびスライダに設けられたヘッド部を有している。ヘッド部は、リード用の再生素子、ライト用の記録素子を含んで構成されている。スライダは、磁気ディスクの記録面と対向する対向面（エアベアリングサーフェース：ＡＢＳ）を有している。ＡＢＳは、上流側と下流側に１つ以上の正圧発生面を有し、下流側に少なくとも１対の負圧発生溝を有している。また、ＡＢＳは、流入側の圧力発生面と流出側の圧力発生面との間に圧力発生面よりも低い溝部を有し、この溝部はスライダのサイド部まで同一面で構成されている。
【０００３】
ディスクドライブの動作時、回転する磁気ディスクとスライダとの間に空気流が発生し、スライダのＡＢＳには、空気流体潤滑の原理により、スライダを磁気ディスク記録面から浮上させる力（正圧）が作用する。この浮上力とヘッド荷重とを釣り合わせることにより、スライダは磁気ディスク記録面と隙間を保って浮上する。
【０００４】
ディスクドライブは高度の清浄度に保たれているが、微量ながらドライブ内に塵、埃等のコンタミネーションが存在する。潤滑油等の液状コンタミネーションは、主にＡＢＳの溝部に溜まり、スライダのサイド部へ流れる。サイド部に達した液状コンタミネーションは、磁気ヘッドの下流側へ流れ、最終的に磁気ディスク上へ落下する。その結果、磁気ヘッドと磁気ディスクと間の隙間が変動し、磁気ヘッドあるいは磁気ディスクに悪影響を及ぼす場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１１０６１８号公報
【特許文献２】特開２００９−１１６０６２号公報
【特許文献３】米国特許第７００５１２７号明細書
【特許文献４】米国特許出願公開第２０１０／１０３５６０号明細書
【特許文献５】米国特許第８２０３８０５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明の実施形態の課題は、コンタミネーションによる障害を低減し、信頼性の向上したヘッドジンバルアッセンブリおよび磁気ディスク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態によれば、ヘッドジンバルアッセンブリは、サスペンションと、前記サスペンションに設けられたジンバル部と、前記ジンバル部に支持された磁気ヘッドと、を備えている。前記磁気ヘッドは、一対の側縁を有する空気支持面と、前記空気支持面の一対の側縁に沿った一対の側面と、リーディング側端面と、トレーリング側端面とを有するスライダと、前記スライダに設けられデータの記録再生を行うヘッド部と、を備えている。前記スライダは、前記空気支持面のリーディング側端部に設けられたリーディング側ステップ部と、前記空気支持面のトレーリング側端部に設けられ、前記ヘッド部を内蔵するトレーリング側ステップ部と、前記リーディング側ステップ部とトレーリング側ステップ部との間に形成され、前記空気支持面および前記一対の側面に開口した深溝と、それぞれ前記一対の側面に沿って前記トレーリング側ステップ部から前記リーディング側ステップ部に向かって延出し、前記深溝の前記側面側の開口の少なくとも一部を閉塞した一対の隔壁と、を有している。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の内部構造を示す平面図。
【図２】図２は、前記ＨＤＤの磁気ディスクと磁気ヘッドおよびサスペンションを拡大して示す側面図。
【図３】図３は、前記磁気ヘッドの空気支持面（ＡＢＳ）側を示す斜視図。
【図４】図４は、前記磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図。
【図５】図５は、図３の線Ｖ−Ｖに沿った磁気ヘッドの断面図。
【図６】図６は、図３の線ＶＩ−ＶＩに沿った磁気ヘッドの断面図。
【図７】図７は、第１変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示す図。
【図８】図８は、第２変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示す図。
【図９】図９は、第３変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示す図。
【図１０】図１０は、第４変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示す図。
【図１１】図１１は、第５変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示す図。
【図１２】図１２は、第６変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示す図。
【図１３】図１３は、第７変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示す図。
【図１４】図１４は、第８変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示す図。
【図１５】図１５は、第９変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示す図。
【図１６】図１６は、第１０変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示す図。
【図１７】図１７は、第１１変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示す図。
【図１８】図１８は、第１２変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下図面を参照しながら、実施形態に係る磁気ディスク装置ついて説明する。  
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更であって容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
【００１０】
（第１の実施形態）  
磁気ディスク装置の一例として、実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）について詳細に説明する。図１は、第１の実施形態に係るＨＤＤの内部構造を示している。  
図１に示すように、ＨＤＤは筐体１０を備えている。筐体１０は、上面の開口した矩形箱状のベース１２と、ベース１２の上端開口を閉塞する図示しないトップカバーと、を有している。ベース１２は、矩形状の底壁１２ａと、底壁１２ａの周縁に沿って立設された側壁１２ｂとを有している。  
筐体１０内には、記録媒体としての１枚あるいは複数枚の磁気ディスク１６、および磁気ディスク１６を支持および回転させる駆動部としてのスピンドルモータ２３が設けられている。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ２３の図示しないハブに互いに同軸的に嵌合されているとともにクランプばね２７によりクランプされ、ハブに固定されている。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ２３により矢印Ａ方向に所定の速度で回転される。
【００１１】
筐体１０内に、磁気ディスク１６に対してデータのライト／リードを行なう複数の磁気ヘッド１７、これらの磁気ヘッド１７を磁気ディスク１６に対して移動可能に支持したキャリッジアッセンブリ２２が設けられている。筐体１０内に、キャリッジアッセンブリ２２を回動および位置決めするボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）２４、磁気ヘッド１７が磁気ディスク１６の最外周に移動した際、磁気ヘッド１７を磁気ディスク１６から離間したアンロード位置に保持するランプロード機構２５、ＨＤＤに衝撃等が作用した際、キャリッジアッセンブリ２２を退避位置に保持するラッチ機構２６、および変換コネクタ等を有する基板ユニット２１が設けられている。
【００１２】
ベース１２の底壁１２ａ外面には、図示しないプリント回路基板がねじ止めされている。プリント回路基板は、基板ユニット２１を介してＶＣＭ２４、および磁気ヘッド１７の動作を制御するとともに、スピンドルモータ２３の動作を制御する。
【００１３】
図２は、浮上状態の磁気ヘッドおよび磁気ディスクを模式的に示している。図１および図２に示すように、磁気ディスク１６は、例えば、直径約２．５インチ（６．３５ｃｍ）の円板状に形成された非磁性体からなる基板１０１を有している。基板１０１の両面には、下地層として軟磁気特性を示す材料からなる軟磁性層１０２と、その上層部に、磁気記録層１０３と、その上層部に保護膜層１０４とが順に積層されている。
【００１４】
キャリッジアッセンブリ２２は、複数本のアーム２８と、各アーム２８から延出するヘッドジンバルアッセンブリ３０と、を有している。各ヘッドジンバルアッセンブリ３０は、細長い板ばね状のサスペンション３４と、サスペンション３４上に設けられた配線部材としてのフレキシャ４１と、磁気ヘッド１７と、を有している。磁気ヘッド１７は、フレキシャ４１のジンバル部３６を介して、サスペンション３４の先端部に支持されている。
【００１５】
図２に示すように、磁気ヘッド１７は浮上型のヘッドとして構成され、ほぼ直方体状に形成されたスライダ３１と、スライダ３１の流出端（トレーリング）側の端部に形成されたヘッド部３３とを有している。スライダ３１は、磁気ディスク１６の表面に対向する空気支持面（ＡＢＳ）４０を有している。磁気ヘッド１７は、磁気ディスク１６の回転によって磁気ディスク１６の表面とスライダ３１のＡＢＳ４０との間に生じる空気流Ｂにより浮上する。空気流Ｂの方向は、磁気ディスク１６の回転方向Ａと一致している。
【００１６】
次に、磁気ヘッド１７の構成について詳細に説明する。図３は磁気ヘッドのスライダを示す斜視図、図４はスライダのＡＢＳ側を示す平面図である。  
図３および図４に示すように、磁気ヘッド１７のスライダ３１は、ほぼ直方体状に形成され、磁気ディスク１６の表面に対向する矩形状の空気支持面（ディスク対向面）（air bearing surface ：ＡＢＳ）４０、ＡＢＳ４０と直交して延びる流入側端面（リーディング側端面）４２ａ、ＡＢＳ４０と直交して延びる流出側端面（トレーリング側端面）４２ｂ、およびそれぞれＡＢＳ４０と直交して流入側端面４２ａと流出側端面４２ｂとの間を延びる一対の側面（サイド部）４２ｃを有している。
【００１７】
ＡＢＳ４０の長手方向を第１方向Ｘ、これと直交する幅方向を第２方向Ｙとする。一例では、スライダ３１は、第１方向Ｘの長さＬ１が１．２５ｍｍ以下、例えば、１．２３５ｍｍ、第２方向Ｙに沿った幅Ｗ１が１．０ｍｍ以下、例えば、０．７ｍｍ、厚さＴ１が０．２３〜０．３ｍｍに形成され、いわゆるペムトスライダとして構成されている。
【００１８】
図５は図３の線Ｖ−Ｖに沿ったスライダの縦断面図、図６は図３の線ＶＩ−ＶＩに沿ったスライダの横断面図である。  
図３ないし図５に示すように、ＡＢＳ４０の第１方向Ｘのほぼ中央部に、第２方向Ｙの全長に亘って延びる帯状の深溝５０が形成されている。深溝５０は、平坦な底面を有し、スライダ３１の側面４２ｃに開口している。スライダ３１の厚さＴ１を、例えば０．２３ｍｍとした場合、深溝５０の深さは、１〜５μｍ、例えば３μｍに形成されている。深溝５０を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、深溝５０のリーディング側で負圧を発生させることができる。
【００１９】
ＡＢＳ４０のリーディング側端部に、ほぼ矩形状のリーディングステップ５２が形成されている。リーディングステップ５２は、深溝５０の底面に対して突出して設けられ、かつ、空気流Ｃに対して深溝５０の流入側に位置している。
磁気ヘッド１７のピッチ角を維持するため、リーディングステップ５２上には、空気膜によってスライダ３１を支えるリーディングパッド（流入側の圧力発生面）５３が突設されている。リーディングパッド５３は、流入側に向かって複数個所が開放するＭ字形状に形成されている。リーディングパッド５３の上面は、スライダ３１の最上面を構成し、ＡＢＳ４０の一部を構成している。リーディングステップ５２の流入端から僅かに流出側にずれた位置に、リーディング溝５５が形成されている。
【００２０】
図３ないし図５に示すように、ＡＢＳ４０のほぼ中央部から流出側端面４２ｂに亘って、凹所からなる負圧キャビティ５４が形成されている。負圧キャビティ５４は、深溝５０の流出端側に位置し、流出側端面４２ｂに向かって開放している。負圧キャビティ５４は、深溝５０よりも浅く形成され、すなわち、深溝５０の底面よりも高い位置に形成されている。負圧キャビティ５４の深さは５００〜１５００ｎｍ、例えば１０００ｎｍに形成されている。負圧キャビティ５４を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、負圧を発生させることができる。
【００２１】
ＡＢＳ４０において負圧キャビティ５４を囲うようにリブ状の中間クロスレール５６、一対のサイドパッド５８、および一対のスカート６０が形成されている。中間クロスレール５６は、深溝５０と負圧キャビティ５４との間に位置し、第２方向Ｙに沿ってＡＢＳ４０の両側縁間を延びている。中間クロスレール５６は、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して設けられ、かつ、空気流Ｃに対して負圧キャビティ５４の流入側に位置している。  
一対のサイドパッド５８は、ＡＢＳ４０の各側縁に沿って形成され、中間クロスレール５６からＡＢＳ４０の流出端側に延出している。これらのサイドパッド５８は負圧キャビティ５４の底面に対して突出している。
【００２２】
一対のスカート６０はＡＢＳ４０の各側縁（側面４２ｃ）に沿って形成され、それぞれ第１方向Ｘに沿ってサイドパッド５８からＡＢＳ４０の流出側端面４２ｂ近傍まで延びている。各スカート６０は、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して設けられ、かつ、サイドパッド５８よりも低く形成されている。  
中間クロスレール５６、一対のサイドパッド５８、および一対のスカート６０は、全体として、上流側が閉塞され、下流側に向かって開放したほぼＵ字形状に形成されている。そして、中間クロスレール５６、一対のサイドパッド５８、および一対のスカート６０により負圧キャビティ５４が規定されている。
【００２３】
図３ないし図６に示すように、スライダ３１は、空気流Ｃの方向に対して、ＡＢＳ４０の流出側端部に形成されたトレーリングステップ６２を有している。トレーリングステップ６２は、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して形成され、その突出高さは、リーディングステップ５２と同一の高さに形成されている。トレーリングステップ６２は、ＡＢＳ４０の第２方向Ｙのほぼ中央に位置している。トレーリングステップ６２の上面には、空気膜によってスライダ３１を支えるトレーリングパッド（流出側の圧力発生面）６３が突設されている。
【００２４】
トレーリングパッド６３は、トレーリングステップ６２の流出側端面、ここでは、スライダ３１の流出側端面４２ｂから流入側に隙間を置いて設けられている。トレーリングパッド６３は、リーディングパッド５３、中間クロスレール５６、サイドパッド５８と同一高さレベルに形成され、スライダ３１の最上面となりＡＢＳ４０の一部を構成している。
【００２５】
磁気ヘッド１７のヘッド部３３は、磁気ディスク１６に対して情報の記録再生を行う記録素子６５および再生素子６６を有している。これら記録素子６５および再生素子６６は、空気流Ｃの方向に対して、スライダ３１の下流側端部内、ここでは、トレーリングステップ６２内に埋め込まれている。記録素子６５および再生素子６６の先端部は、トレーリングパッド６３の位置でＡＢＳ４０に露出している。
【００２６】
スライダ３１のＡＢＳ４０は、第１方向Ｘに沿って、中間クロスレール５６からトレーリングステップ５８まで延びる細長い一対のセンターレール６８を有している。一対のセンターレール６８は、スライダ３１の中心軸線Ｄの両側に位置し、第２方向Ｙに隙間を置いて、互いに対向している。センターレール６８は、負圧キャビティ５４の底面からの高さが、中間クロスレール５６およびトレーリングパッド６３の高さと同一に形成されている。一対のセンターレール６２間に、空気流をトレーリングステップ６２およびトレーリングパッド６３に導くガイド溝７６が形成されている。このガイド溝７６は、中心軸線Ｄに沿って形成され、深溝５０を通り、更に、リーディングステップ５２まで延びている。
【００２７】
上述したリーディングステップ５２は、スライダ３１の流入側のステップ部を構成し、また、中間クロスレール５６、サイドパッド５８、およびトレーリングステップ６２は、スライダ３１の流出側のステップ部を構成している。そして、深溝５０は、流入側ステップ部と流出側ステップ部との間に設けられている。  
図３、図４および図６に示すように、本実施形態では、スライダ３１は、各側面部において、深溝５０の側面側開口を部分的に塞ぐように設けられた一対の第１隔壁（リブ）７２および一対の第２隔壁７４を有している。第１隔壁７２は、深溝５０の底面に立設されているとともに、側面４２ｃに沿ってトレーリング側ステップ部、ここでは、サイドパッド５８、からリーディング側ステップ部５３に向かって延出し、深溝５０の側面側の開口の一部を閉塞している。第１隔壁７２は、側面４２ｃと面一に延在する外側面７２ａと、外側面７２ａと対向し深溝５０に面する内側面７２ｂとを有している。本実施形態では、内側面７２ｂは、外側面７２ａとほぼ平行に延在している。第１隔壁７２の各々は、ＡＢＳ４０の最上面（正圧発生面）の高さＴ１よりも低い高さＴ２に形成されている。
【００２８】
第２隔壁７４の各々は、深溝５０の底面に立設されているとともに、側面４２ｃに沿ってリーディング側ステップ部５３からトレーリング側ステップ部に向かって延出し、深溝５０の側面側の開口の一部を閉塞している。第２隔壁７４の延出端は、第１隔壁７２の延出端と隙間を置いて対向している。第２隔壁７４は、側面４２ｃと面一に延在する外側面７４ａと、外側面７４ａと対向し深溝５０に面する内側面７４ｂとを有している。本実施形態では、内側面７２ｂは、外側面７４ａとほぼ平行に延在している。第２隔壁７４の各々は、ＡＢＳ４０の最上面（正圧発生面）の高さＴ１よりも低い高さＴ２に形成されている。
【００２９】
以上のように構成されたヘッドジンバルアッセンブリ３０の磁気ヘッド１７によれば、スライダ３１は、深溝５０の側面側開口の少なくとも一部を塞ぐように設けられた第１隔壁７２および第２隔壁７４を有している。そのため、図４に模式的に示すように、磁気ヘッド１７（スライダ３１）の中央部および深溝５０内に付着した潤滑剤あるいは液状コンタミネーションは、深溝５０内を下流側、すなわち、側面４２ｃ側に流れる過程で、第１隔壁７２および第２隔壁７４により移動が妨げられ、第１隔壁７２および第２隔壁７４の内側面７２ａ、７４ａ側に留まる。これにより、潤滑剤あるいは液状コンタミネーションが、スライダ３１の側面４２ｃへ流れ出ることが防止され、磁気ディスク１６上に落下することを防止できる。従って、コンタミネーションに起因する磁気ヘッド１７および磁気ディスク１６の障害、特性劣化を抑制し、磁気ディスク装置の信頼性を向上することが可能となる。  
以上のことから、第１の実施形態によれば、コンタミネーションによる障害を低減し、信頼性の向上したヘッドジンバルアッセンブリおよび磁気ディスク装置が得られる。  
なお、第１隔壁および第２隔壁の形状、幅、長さ、高さ等の寸法は、本実施形態に限定されることなく、種々変更可能である。また、隔壁は、第１および第２の２つに限らず、いずれか一方の隔壁のみを備えた構成としてもよい。
【００３０】
次に、種々の変形例について説明する。なお、以下に説明する変形例において、前述した第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略し、第１の実施形態と異なる部分を中心に詳しく説明する。  
（第１変形例）  
図７は、第１変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示している。第１変形例によれば、スライダ３１は、トレーリング側ステップ部からリーディング側ステップ部に向かって延出する第１隔壁（隔壁）７２のみを有している。すなわち、第２隔壁は省略可能である。  
第１変形例においても、深溝５０に付着したコンタミネッションを第１隔壁７２により塞き止め、側面部への流出を防止することが可能である。
【００３１】
（第２変形例）  
図８は、第２変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示している。第２変形例によれば、隔壁７２は、スライダ３１の側面４２ｃと面一に延在する外側面７２ａと、外側面７２ａと対向し深溝５０に面する内側面７２ｂとを有している。また、隔壁７２の延出端部において、内側面７２ｂは、深溝５０側に突出した鍵状の凸部７２ｃを有している。このような凸部７２ｃを設けた場合、隔壁７２に塞き止められたコンタミネッションの移動を凸部７２ｃにより妨げることができ、一層、側面部に流出し難くすることができる。
【００３２】
（第３変形例）  
図９は、第３変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示している。第３変形例によれば、隔壁７２の内側面７２ｂに、複数の凸部７２ｃが設けられている。  
（第４変形例）  
図１０は、第４変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示している。第４変形例によれば、隔壁７２の内側面７２ｂに、１つ、あるいは、複数の凹部７２ｄが形成されている。隔壁７２に塞き止められたコンタミネッションを凹部７２ｄに溜めて、移動を妨げることができる。
（第５変形例）  
図１１は、第５変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示している。第５変形例によれば、隔壁７２の内側面７２ｂに、凸部７２ｃおよび凹部７２ｄを設けている。凸部７２ｃは、凹部７２ｄよりも隔壁７２の延出端側に設けられている。
【００３３】
（第６変形例）  
図１２は、第６変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示している。第６変形例によれば、隔壁７２の内側面７２ｂは、外側面７２ａと平行ではなく、隔壁７２の延出端から基端に向かって徐々に幅が広くなるように、外側面７２ａに対して傾斜している。このような隔壁７２によっても、コンタミネーションを塞き止めることが可能である。また、逆に、隔壁７２の内側面７２ｂは、外側面７２ａと平行ではなく、隔壁７２の延出端から基端に向かって徐々に幅が狭くなるように、外側面７２ａに対して傾斜させてもよく、この場合でも、コンタミネーションを塞き止めることが可能である。
（第７変形例）  
図１３は、第７変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示している。
第６変形例によれば、隔壁７２の内側面７２ｂは、外側面７２ａに対して傾斜し、更に、深溝５０側に突出した鍵状の凸部７２ｃを有している。  
（第８変形例）  
図１４は、第８変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示している。
第８変形例によれば、隔壁７２の内側面７２ｂは、外側面７２ａに対して傾斜し、更に、深溝５０側に突出した凸部７２ｃおよび深溝５０に対して凹となる凹部７２ｄを有している。
【００３４】
（第９変形例）  
図１５は、第９変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示している。第９変形例によれば、第２隔壁７４は、スライダ３１は、前述した第１の実施形態と同様に、トレーリング側ステップ部からリーディング側ステップ部に向かって延出する第１隔壁７２と、リーディング側ステップ部からトレーリング側ステップ部に向かって延出する第２隔壁７４と、を有している。そして、第２隔壁７４の内側面７４ｂは、延出側部に、深溝５０側に突出した鍵状の凸部７４ｃを有している。
【００３５】
（第１０変形例）
図１６は、第１０変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示している。第１０変形例によれば、第２隔壁７４は、リーディング側ステップ部からトレーリングステップ部に向かって延出し、更に、側面４２ｃから離間する方向に、すなわち、深溝５０の内側に向かって、湾曲あるいは屈曲して延出している。  
（第１１変形例）  
図１７は、第１１変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示している。第１１変形例によれば、第１隔壁７２は、階段状に屈曲して形成された延出端を有し、同様に、第２隔壁７４は、階段状に屈曲した延出端を有している。第１隔壁７２の延出端と、第２隔壁７４の延出端とは、階段状の隙間（ラビリンス）を置いて、互いに対向している。
【００３６】
（第１２変形例）
図１８は、第１２変形例に係る磁気ヘッドのスライダの隔壁部分を模式的に示している。第１２変形例によれば、第１隔壁７２と第２隔壁７４とを連結し、１つの隔壁７２としている。すなわち、隔壁７２は、リーディング側ステップ部からトレーリングステップ部まで連続して延在し、深溝５０の側面４２ｃ側開口のほぼ全体を閉塞している。
【００３７】
なお、本発明の実施形態および種々の変形例を説明したが、これらの実施形態および変形例は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。  
例えば、磁気ヘッドのスライダは、ペムトスライダに限らず、ピコスライダ、フェムトスライダ、あるいは、より寸法の大きなスライダにも適用可能である。スライダにおける、トレーリングステップ、トレーリングパッド、その他の部分の形状、寸法等は、必要に応じて変更可能である。ディスクドライブにおいて、磁気ディスクは、２．５インチに限らず、他の大きさの磁気ディスクとしてもよい。磁気ディスクは２枚に限らず、１枚あるいは３枚以上としてもよく、ヘッドジンバルアッセンブリの数も磁気ディスクの設置枚数に応じて増減すればよい。ヘッドジンバルアッセンブリに用いる材料および寸法は、実施形態に限定されることなく、必要に応じて種々変更可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１０…筐体、１２…ベース、１６…磁気ディスク、１７…磁気ヘッド、  
３１…スライダ、３０…ヘッドジンバルアッセンブリ、３３…ヘッド部、  
４０…空気支持面（ＡＢＳ）、４２ｃ…側面、５０…深溝、  
５２…リーディングステップ、５６…中間クロスレール、  
６２…トレーリングステップ、６８…センターレール、７２…第１隔壁（隔壁）、  
７４…第２隔壁
【図１】
2019145195.tif 000003
【図２】
2019145195.tif 000004
【図３】
2019145195.tif 000005
【図４】
2019145195.tif 000006
【図５】
2019145195.tif 000007
【図６】
2019145195.tif 000008
【図７】
2019145195.tif 000009
【図８】
2019145195.tif 000010
【図９】
2019145195.tif 000011
【図１０】
2019145195.tif 000012
【図１１】
2019145195.tif 000013
【図１２】
2019145195.tif 000014
【図１３】
2019145195.tif 000015
【図１４】
2019145195.tif 000016
【図１５】
2019145195.tif 000017
【図１６】
2019145195.tif 000018
【図１７】
2019145195.tif 000019
【図１８】
2019145195.tif 000020