(57)【要約】【課題】ベルトの捲れ上がりによる脆性材料基板の浮き上がりを防止し、精度良く基板を加工することができる基板加工装置を提供する。【解決手段】基板加工装置は脆性材料基板を搬送するベルト１１と、ベルト１１上に載せられた脆性材料基板をクランプするクランプ装置４０とを備える。クランプ装置４０は、下方から脆性材料基板を支持する基板支持部５１と、基板支持部５１に対して回転または移動し、基板支持部５１との間に脆性材料基板を挟み込むアーム５７とを備え、前記ベルトに孔が形成され、前記基板支持部が前記孔に配置され、前記孔の形状が前記脆性材料基板の搬送方向に向かって先細りの形状となっている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
脆性材料基板を搬送するベルトと、前記ベルト上に載せられた前記脆性材料基板をクランプするクランプ装置とを備え、
前記クランプ装置は、下方から前記脆性材料基板を支持する基板支持部と、前記基板支持部に対して回転または移動し、前記基板支持部との間に前記脆性材料基板を挟み込むアームとを備え、
前記ベルトに孔が形成され、前記基板支持部が前記孔に配置され、前記孔の形状が前記脆性材料基板の搬送方向に向かって先細りの形状となっていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記ベルトが前記脆性材料基板の載せられる部分の前記脆性材料基板の搬送方向の上流側に配置されたローラおよび下流側に配置されたローラによって支持される請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の基板搬送装置を備えた基板加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、脆性材料基板を搬送する基板搬送装置および脆性材料基板を加工する基板加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板加工装置は、例えば、ガラス等により形成される脆性材料基板を分断するために用いられる。特許文献１は従来の基板加工装置の一例を開示している。この基板加工装置は脆性材料基板を搬送するベルト、脆性材料基板の搬送方向においてベルトの上流側に配置される位置決め装置およびクランプ装置（基板搬送装置）、ならびに、脆性材料基板の搬送方向においてベルトの下流側に配置されるスクライブ装置を備える。基板搬送装置は、さらに、ベルトに対するクランプ装置の高さを変更するための昇降機構を備える。
【０００３】
上記基板搬送装置によれば、まず、昇降機構によりクランプ装置がベルトの下方の位置に退避させられ、位置決め装置により脆性材料基板の位置が決められる。次に、位置決め装置により脆性材料基板がベルト上に搬送される。このとき、脆性材料基板はベルトの下方に退避しているクランプ装置上を通過する。次に、昇降機構によりクランプ装置がクランプ可能な位置に移動し、ベルト上に載せられている脆性材料基板がクランプ装置によりクランプされる。次に、搬送方向においてベルトおよびクランプ装置が移動するようにベルトおよびクランプ装置が駆動され、脆性材料基板がスクライブ装置に搬送される。ベルトは、例えば、無端ベルトであり、ベルトを駆動するための駆動ローラとベルトを支持する回転自在な複数の回転ローラによって支持されており、駆動ローラの回転によって回転ローラに沿って駆動される。次に、スクライブ装置により脆性材料基板に分断線が形成される。そして、この脆性材料基板が分断線に沿って分断されることにより、所定の大きさのパネルが形成される。
特許文献２には、ベルトに孔を形成し、クランプ装置のクランプ部５０（基板を下方から支持する基板支持部および基板を上方から押圧するアーム）を、当該孔に固定して、ベルトの移動に伴ってベルトの孔とともに移動し、ベルト上の基板の端部を当該孔の位置でクランプさせることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】再公表特許ＷＯ２００５／０８７４５８号公報
【特許文献２】特開２０１６−０８３８２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、脆性材料基板を搬送するベルトに形成される孔は、例えば、クランプ装置で脆性材料基板の搬送方向上流側の端部をクランプする場合、通常、脆性材料基板の搬送方向（下流側）に向かって半円形状になっている。しかし、半円形状では、クランプ装置の移動によりクランプされた脆性材料基板を、例えば、搬送方向下流側のスクライブ装置に搬送する際に、ベルトの孔がベルトの基板載置面の下流側端部を支持する回転ローラ上に移動し、回転ローラの表面に沿って湾曲するとベルトの孔の半円形状部分の縁が捲れ上がり脆性材料基板が浮いてしまうため、この状態で基板を加工する場合、精度の良い基板の加工が困難となり、また、ベルトの孔の捲れ上がった縁によって基板が傷つけられるおそれがある。
【０００６】
本発明の目的は、クランプ装置で脆性材料基板を支持して搬送する基板搬送装置および加工する基板加工装置において、クランプ装置のクランプ部を配置するために形成されたベルトの孔の縁が捲れ上がり、脆性材料基板を浮上させることおよび傷つけることを防止し、精度良く基板を加工することができる基板搬送装置および基板加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一形態に従う基板搬送装置および基板加工装置は、脆性材料基板を搬送するベルトと、前記ベルト上に載せられた前記脆性材料基板をクランプするクランプ装置とを備え、前記クランプ装置は、下方から前記脆性材料基板を支持する基板支持部と、前記基板支持部に対して回転または移動し、前記基板支持部との間に前記脆性材料基板を挟み込むアームとを備え、前記ベルトに孔が形成され、前記基板支持部が前記孔に配置され、前記孔の形状が前記脆性材料基板の搬送方向に向かって先細りの形状となっていることを特徴とする。
本発明の基板搬送装置および基板加工装置においては、前記ベルトが前記脆性材料基板の載せられる部分の前記脆性材料基板の搬送方向の上流側に配置されたローラおよび下流側に配置されたローラによって支持されてもよい。
本基板搬送装置および加工装置によれば、脆性材料基板を搬送するベルトに形成される孔の形状が脆性材料基板の搬送方向に向かって先細りの形状となっているため、クランプ装置の移動によりクランプされた脆性材料基板を、搬送方向下流側（例えば、スクライブ装置）に搬送するときに、孔の形状が搬送方向に向かって半円形状の場合には孔がベルトを支持する回転ローラの面上を移動してベルトが湾曲する際に孔の縁とローラの回転軸とのなす角度が平行に近いためにベルトの孔の縁が浮き上がりやすいのに対して、孔の形状が搬送方向に向かって先細り形状となっている場合には孔の縁とローラの回転軸とのなす角度がより直角に近いためにベルトが湾曲してもベルトの孔の縁が浮き上がりにくくなり、ベルトの孔の縁の捲れ上がりによる脆性材料基板の浮き上がりを防止し、基板の傷つきを防止し、また、精度良く基板を加工することができる。
【０００８】
前記クランプ装置の前記ベルトに対する位置が固定された本基板搬送装置および加工装置によれば、前工程装置によりベルトの上方からベルト上に脆性材料基板が載せられる。このため、クランプ装置を構成する基板支持部は、ベルトに対する位置が予め固定されていても、脆性材料基板がベルト上に移動する過程において脆性材料基板の移動を妨げない。そして、基板支持部の位置が固定された構造が取れることにより、従来の基板搬送装置および基板加工装置に含まれるクランプ装置の昇降機構を省略できる。このため、クランプ装置の構成が簡素化される。
【０００９】
本基板搬送装置および基板加工装置によれば、前記ベルトに孔が形成され、前記基板支持部が前記孔に配置される。
このため基板支持部がベルトの周囲に配置される場合と比較して、基板搬送装置および基板加工装置において基板支持部およびベルトが占める領域が狭くなる。このため、基板搬送装置および基板加工装置を小型化しやすい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の基板搬送装置および基板加工装置によれば、ベルトの孔の縁の捲れ上がりによる脆性材料基板の浮き上がりを防止し、基板の傷つきを防止することができ、また、精度良く基板を加工することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態の基板加工装置の正面側の斜視図。
【図２】図１の基板加工装置の平面図。
【図３】図１の基板加工装置の背面側の斜視図。
【図４】図１の基板加工装置のクランプ部の拡大図。
【図５】図１のクランプ装置の平面図。
【図６】図５のクランプ装置の側面図。
【図７】図６のクランプ装置のアームが開いている状態の側面図。
【図８】図７のクランプ装置のアームが閉じた状態の側面図。
【図９】図３の基板加工装置が脆性材料基板を搬送している最中の背面側の斜視図。
【図１０】図１の基板加工装置の一実施形態に係るクランプ部の拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１を参照して、基板加工装置１の構成について説明する。
基板加工装置１はガラス等により形成される脆性材料基板３００を搬送する搬送装置１０、基板搬送装置１０を構成して脆性材料基板３００をクランプする複数のクランプ装置４０、および、搬送装置１０により搬送された脆性材料基板３００に分断線を形成するスクライブ装置９０を備える。また、スクライブ装置９０よりも脆性材料基板３００の搬送方向の下流側には、脆性材料基板３００を分断線に沿って分割するブレイク装置２００が配置されている。さらに、基板加工装置１のフレーム２の側方には、搬送装置１０のベルト１１の幅方向におけるベルト１１に対する脆性材料基板３００の位置を決め、ベルト１１の上方からベルト１１上に脆性材料基板３００を載せる前工程装置１００が配置されている。
【００１３】
図２を参照して搬送装置１０の構成について説明する。
搬送装置１０は脆性材料基板３００が載せられるベルト１１（図１参照）、基板加工装置１のフレーム２に取り付けられている複数の支持板１２、および、ベルト１１が巻き付けられるローラ１３Ａ，１３Ｂを備える。
【００１４】
ベルト１１は複数の孔１１Ａ（図４参照）が形成され、基板支持部５１が各孔に配置される。複数の支持板１２はベルト１１（図１参照）の幅方向に間隔を空けて並べられ、先端に複数のローラ１３Ａが取り付けられている。また、フレーム２のうちの支持板１２よりも脆性材料基板３００の搬送方向の上流側には１つのローラ１３Ｂが取り付けられている。
【００１５】
図３および図４を参照して、駆動装置２０の構成について説明する。
図３に示されるように、駆動装置２０はフレーム２の側方に形成されている一対のレール２１、レール２１に沿って移動する一対のガイド２２、一対のガイド２２を連結する２枚のガイド連結板２３、ガイド連結板２３とベルト１１とを連結するベルト連結部２４、および、一対のガイド２２を移動させるモータ２５を備える。
【００１６】
一対のレール２１は脆性材料基板３００の搬送方向に延びる形状である。一対のガイド２２はモータ２５の出力軸と例えば送りねじ機構（図示略）を介して連結されている。
２枚のガイド連結板２３は一対のガイド２２のうちの一方のガイド２２から他方のガイド２２にまたがるように配置されている。
【００１７】
図３および図４に示されるように、ベルト連結部２４はガイド連結板２３の下面から下方に延びる支柱２４Ａ、および、ベルト１１の上面に取り付けられている支柱連結部材２４Ｂを備える。
【００１８】
支柱連結部材２４Ｂは脆性材料基板３００の搬送方向に延びる直方体であり、１つのクランプ装置４０に対して支持板１２の短手方向に間隔を空けて２つ配置され、上面に支柱２４Ａが取り付けられている。
【００１９】
また、一対のレール２１の下方にはケーブル案内装置３０が配置されている。ケーブル案内装置３０はモータ２５の制御装置（図示略）に電力を供給するケーブル（図示略）が収容されたベルト３１を備える。ベルト３１の一方の端部である固定端３１Ａは電源（図示略）と接続されており、他方の端部である移動端３１Ｂはガイド連結板３２を介してレール２１と連結されている。
【００２０】
図３を参照してクランプ装置４０の構成について説明する。
複数のクランプ装置４０は支持板１２の短手方向に間隔を空けて配置され、脆性材料基板３００（図１参照）の端部をクランプするクランプ部５０、および、クランプ部５０を駆動するクランプ駆動装置６０を備える。
【００２１】
クランプ部５０は隣り合う支持板１２の間に配置されている。クランプ駆動装置６０はクランプ部５０よりも脆性材料基板３００（図１参照）の搬送方向の上流側に配置されている。
【００２２】
図４を参照してクランプ部５０の構成について説明する。
クランプ部５０はベルト１１の下面に取り付けられている基板支持部５１、ベルト１１の上面に取り付けられているアーム取付台５２、基板支持部５１との間で脆性材料基板３００（図１参照）を挟み込むアーム５７、および、クランプ駆動装置６０のアーム連結ロッド８０と連結されるロッド連結部５８を備える。
【００２３】
基板支持部５１の先端の支持面５１Ａとベルト１１の上面との関係は面一（同一平面上にある）である。
アーム取付台５２は２つの支柱連結部材２４Ｂの端部に複数のねじ５６により固定されている壁部５３、および、壁部５３から脆性材料基板３００（図１参照）の搬送方向の下流側に突出し、ベルト１１の上面に取り付けられているアーム配置部５４を備える。
【００２４】
壁部５３は、アーム配置部５４と一体的に成形され、アーム連結ロッド８０が挿入される孔５３Ａが形成されている。
アーム５７はアーム配置部５４の溝５４Ａに配置されている。アーム５７はアーム配置部５４に取り付けられた回転軸５５に回転可能に取り付けられている。また、アーム５７はロッド連結部５８に取り付けられた連結軸５８Ａに回転可能に取り付けられている。
【００２５】
図５および図６を参照して、クランプ駆動装置６０の構成について説明する。
クランプ駆動装置６０は往復動式のエアシリンダ７０、エアシリンダ７０とロッド連結部５８とを連結するアーム連結ロッド８０、エアシリンダ７０の動力をアーム連結ロッド８０に伝達する動力伝達部材６１、および、支柱連結部材２４Ｂに取り付けられる規制部材６２を備える。
【００２６】
エアシリンダ７０はチューブ７１、チューブ７１の内部に配置されるピストン７２、および、ピストン７２と連結されているピストンロッド７３を備える。
チューブ７１には圧縮空気が送り込まれる管７１Ａおよび７１Ｂが取り付けられている。ピストン７２は管７１Ａを介して圧縮空気がチューブ７１の内部に送り込まれる一方、管７１Ｂから空気が排出されることにより前方に移動する。一方、ピストン７２は管７１Ｂを介して圧縮空気がチューブ７１の内部に送り込まれる一方、管７１Ａを介して空気が排出されることにより後方に移動する。
【００２７】
動力伝達部材６１の上端はピストンロッド７３の端部に対して回転可能に連結され、下端はアーム連結ロッド８０に対して回転可能に連結されている。また、動力伝達部材６１のうちのアーム連結ロッド８０と連結されている部分は弾性部材（図示略）により前方に付勢されている。
【００２８】
規制部材６２は動力伝達部材６１の前方への移動の限界位置を決定する。規制部材６２は支柱連結部材２４Ｂの上面に固定され、ピストンロッド７３がチューブ７１から突出することにより動力伝達部材６１が接触する凹部６２Ａが形成されている。
【００２９】
アーム連結ロッド８０は隣り合う支柱連結部材２４Ｂの間に配置され、一方の端部が動力伝達部材６１と連結され、他方の端部がロッド連結部５８と連結されている。
図７〜図９を参照して、基板加工装置１の作用について説明する。
【００３０】
図７に示されるように、管７１Ａから圧縮空気がチューブ７１の内部の空間に送りこまれる一方、管７１Ｂから空気が排出されることによりピストン７２が前方に移動し、ピストンロッド７３がチューブ７１から突出する。このため、ピストンロッド７３と連結されている動力伝達部材６１が前方に移動して規制部材６２の凹部６２Ａと接触し、動力伝達部材６１のうちのピストンロッド７３と連結されている部分が回転する。そして、動力伝達部材６１のうちのアーム連結ロッド８０と連結されている部分が後方に移動することにより、アーム連結ロッド８０およびロッド連結部５８が後方に移動する。アーム連結ロッド８０が後方に移動することにより、アーム５７が回転軸５５のまわりに回転して、支持面５１Ａの上方が開放される。そして、前工程装置１００（図１参照）によりベルト１１の幅方向の位置決めが行われた脆性材料基板３００が支持面５１Ａの上方から降下して支持面５１Ａに載せられる。
【００３１】
図８に示されるように、管７１Ａから空気が排出される一方、管７１Ｂから圧縮空気がチューブ７１の内部の空間に送り込まれることにより、ピストン７２が後方に移動する。このため、ピストンロッド７３がチューブ７１の内部に入り込み、ピストンロッド７３と連結されている動力伝達部材６１が後方に移動する。このため、動力伝達部材６１が規制部材６２の凹部６２Ａから離間する。そして、弾性部材（図示略）の付勢力により動力伝達部材６１のうちのアーム連結ロッド８０と連結されている部分が前方に移動し、アーム連結ロッド８０およびロッド連結部５８が前方に移動する。このため、アーム５７が回転軸５５のまわりに回転し、基板支持部５１の支持面５１Ａとの間で脆性材料基板３００を挟み込みクランプする。
【００３２】
図９に示されるように、クランプ装置４０が脆性材料基板３００をクランプした状態でモータ２５に電力が供給され、送りねじ機構（図示略）によりガイド２２がレール２１に沿って移動する。
【００３３】
一対のガイド２２を連結しているガイド連結板２３がベルト連結部２４を介してベルト１１と連結され、ベルト１１とクランプ装置４０とが連結されている。このため、ガイド２２がレール２１に沿って移動することにともない、ベルト１１およびクランプ装置４０も脆性材料基板３００の搬送方向に移動して、脆性材料基板３００がスクライブ装置９０に搬送される。
【００３４】
基板加工装置１および基板搬送装置１０によれば、以下の効果が得られる。
（１）本基板加工装置１および基板搬送装置１０によれば、脆性材料基板３００を搬送するベルト１１に形成される孔１１Ａの形状が脆性材料基板３００の搬送方向に向かって先細りの形状（典型的には、＞型の形状）となっているため、クランプ装置４０のクランプ部５０（基板支持部５１およびアーム５７）の移動によりクランプされた脆性材料基板３００をスクライブ装置９０に搬送するときに、例えば、孔１１Ａがベルト１１を支持するローラ１３Ａの面上を移動してベルト１１がローラ１３Ａのローラ面に沿って湾曲する際にベルトの孔１１Ａの先細り形状の部分の縁とローラ１３Ａの回転軸とのなす角度が直角に近い（ベルトに付加される張力の方向と平行に近い）ために孔１１Ａの縁が浮き上がりにくくなり、ベルト１１の捲れ上がりによる脆性材料基板３００の浮き上がりを防止し、精度良く基板を加工することができる。ベルトの孔の先細り形状の部分の縁とローラ１３Ａの回転軸とのなす角度は、特に先細り形状の先端部分において３０°以上、好ましくは４５°以上、更に好ましくは６０°以上（通常は９０°未満）とすることができる。この場合、ベルトの孔の先細り形状の部分の縁と基板の搬送方向（ベルトの移動方向）とのなす角度は、特に先細り形状の先端部分において、６０°以下、好ましくは４５°以下、更に好ましくは３０°以下（通常は０°より大きい）となる。
（２）前工程装置１００によりベルト１１の上方からベルト１１上に脆性材料基板３００が載せられる。このため、クランプ装置４０を構成する基板支持部５１は、ベルト１１に対する位置が予め固定されていても、脆性材料基板３００がベルト１１上に移動する過程において脆性材料基板３００の移動を妨げない。そして、基板支持部５１の位置が固定された構造が取れることにより、従来の基板搬送装置および基板加工装置に含まれるクランプ装置の昇降機構を省略できる。このため、クランプ装置４０の構成が簡素化される。
【００３５】
（３）基板支持部５１がベルト１１の孔１１Ａに配置されているため、基板支持部５１がベルト１１の周囲に配置される場合と比較して、基板加工装置１において基板支持部５１およびベルト１１が占める領域が狭くなる。このため、基板加工装置１および基板搬送装置１０を小型化しやすい。
【００３６】
（４）前工程装置１００により位置決めされた脆性材料基板３００がベルト１１および基板支持部５１上に載せられる。次に、クランプ装置４０のアーム５７が回転することにより、脆性材料基板３００がクランプ装置４０によりクランプされる。このため、クランプ装置４０が脆性材料基板３００をクランプするときに決められた脆性材料基板３００の位置がずれにくい。
【００３７】
（５）ベルト１１とクランプ装置４０とが連結されているため、ベルト１１の移動速度とクランプ装置４０の移動速度とが実質的に一致する。このため、脆性材料基板３００とベルト１１との間に摩擦が発生するおそれが低減され、脆性材料基板３００に傷がつきにくい。
【００３８】
（６）共通の駆動装置２０によりベルト１１およびクランプ装置４０が搬送方向に移動するため、ベルト１１の移動速度とクランプ装置４０の移動速度とが実質的に一致する。このため、脆性材料基板３００とベルト１１との間に摩擦が発生することが抑えられ、脆性材料基板３００に傷がつきにくい。
【００３９】
（７）基板支持部５１がベルト１１の孔１１Ａに配置されているため、アーム５７と支持面５１Ａとの間にベルト１１が介在しない。これにより、アーム５７と支持面５１Ａとが直接的に脆性材料基板３００を挟み込むことができるため、アーム５７と支持面５１Ａとの間にベルト１１が介在する場合と比較して脆性材料基板３００をより強くクランプできる。
【００４０】
（８）基板支持部５１がベルト１１の孔１１Ａに配置されているため、基板支持部５１がベルト１１の下面と間隔を空けて配置されている場合と比較して、基板支持部５１が脆性材料基板３００を支持したときに、ベルト１１が撓み、脆性材料基板３００の位置がずれることが抑制される。
【００４１】
（９）クランプ部５０が隣り合う支持板１２の間に配置されているため、脆性材料基板３００の搬送方向に移動したときに、支持板１２の先端に取り付けられている複数のローラ１３Ａと干渉しない。このため、脆性材料基板３００を搬送している最中に、クランプ部５０がクランプしている脆性材料基板３００の位置がずれにくい。
【００４２】
基板加工装置および基板搬送装置が取り得る具体的な形態は上記実施の形態に例示された形態に限定されない。基板加工装置および基板搬送装置は上記実施の形態とは異なる各種の形態を取り得る。以下に示される上記実施の形態の変形例は基板加工装置および基板搬送装置が取り得る各種の形態の一例である。
【００４３】
・上記実施の形態の変形例によれば、ベルト１１とクランプ装置４０とが直接的に連結されない。
・上記実施の形態の変形例によれば、クランプ装置４０のクランプ部５０とベルト１１とが中間部材を介して間接的に連結されている。
【００４４】
・上記実施の形態の変形例によれば、クランプ装置４０のクランプ部５０がベルト１１よりも脆性材料基板３００の搬送方向の上流側に配置されている。
【００４５】
・上記実施の形態の変形例によれば、ベルト１１に形成される孔１１Ａの形状が脆性材料基板の搬送方向に向かって２辺が窪んだ＞型の形状に形成され、この孔１１Ａに基板支持部５１が配置されている（図１０参照）。
・上記実施の形態の変形例によれば、ベルト１１に形成される孔１１Ａの形状が脆性材料基板の搬送方向に向かって２辺が膨らんだ＞型の形状に形成され、この孔１１Ａに基板支持部５１が配置されている。
【００４６】
・上記実施の形態の変形例によれば、基板支持部５１と連結されず、基板支持部５１に対して移動することにより基板支持部５１の支持面５１Ａに載せられた脆性材料基板３００をクランプするアーム５７を備える。この変形例のアーム５７は直接的、または、間接的にベルト１１と連結されている。
【００４７】
・上記実施の形態の変形例によれば、モータ２５の出力軸がローラ１３Ａおよび１３Ｂの少なくとも一方の回転軸と連結され、モータ２５がローラ１３Ａおよび１３Ｂの少なくとも一方を回転させることにより、ベルト１１およびクランプ装置４０を脆性材料基板３００の搬送方向に移動させる。
【符号の説明】
【００４８】
１…基板加工装置、１１…ベルト、１１Ａ…孔、２０…駆動装置、４０…クランプ装置、５１…基板支持部、５７…アーム、１００…前工程装置、３００…脆性材料基板。
【図１】
2019102531.tif 000003
【図２】
2019102531.tif 000004
【図３】
2019102531.tif 000005
【図４】
2019102531.tif 000006
【図５】
2019102531.tif 000007
【図６】
2019102531.tif 000008
【図７】
2019102531.tif 000009
【図８】
2019102531.tif 000010
【図９】
2019102531.tif 000011
【図１０】
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