(57)【要約】【課題】搬送方向に間隔をあけて搬送される複数のシートにレーザ加工を施したウェブを貼り合わせる作業の効率化及び高精度化を実現できるウェブ貼合装置を提供すること。【解決手段】ラミネート装置（ウェブ貼合装置）１は、搬送方向に間隔をあけて複数のシート１１を貼合位置１００に第１搬送経路１１０を通じて搬送する第１搬送装置１５と、マスキング材（ウェブ）２０を貼合位置１００に第２搬送経路１２０を通じて搬送する第２搬送装置２５と、第１搬送経路１１０における貼合位置１００の上流側でシート１１の画像情報を取得するＣＣＤカメラ（画像検出部）３５と、第２搬送経路１２０における貼合位置１００の上流側でマスキング材２０に対してレーザ加工を行うレーザ加工装置３０と、を備え、ＣＣＤカメラ３５が取得した画像情報に基づいてシート１１の搬送誤差を取得し、当該搬送誤差に基づいてマスキング材２０に対するレーザ加工が調整される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートにウェブを貼り合わせるウェブ貼合装置であって、
搬送方向に間隔をあけて複数の前記シートを貼合位置に第１搬送経路を通じて搬送する第１搬送装置と、
前記ウェブを前記貼合位置に第２搬送経路を通じて搬送する第２搬送装置と、
前記第１搬送経路における前記貼合位置の上流側で前記シートの画像情報を取得する画像検出部と、
前記第２搬送経路における前記貼合位置の上流側で前記ウェブに対してレーザ加工を行うレーザ加工装置と、
を備え、
前記画像検出部が取得した前記画像情報に基づいて前記シートの搬送誤差を取得し、当該搬送誤差に基づいて前記ウェブに対する前記レーザ加工が調整されるウェブ貼合装置。
【請求項２】
前記搬送誤差に基づく前記レーザ加工の調整は、レーザ照射を行うタイミングを補正することで行われる請求項１に記載のウェブ貼合装置。
【請求項３】
前記第１搬送装置は、バキュームコンベアベルトである請求項１又は２に記載のウェブ貼合装置。
【請求項４】
剥離シートが接着された状態で前記第２搬送経路を搬送される前記ウェブから前記貼合位置の上流側で前記剥離シートを剥離するシート剥離装置を更に備え、
前記レーザ加工装置は、
前記シート剥離装置により前記剥離シートが剥離される剥離位置の上流側で、前記ウェブの前記剥離シートが接着される側と反対側の面にレーザを照射可能な請求項１から３の何れかに記載のウェブ貼合装置。
【請求項５】
前記貼合位置の下流側で前記ウェブにおける前記シートが貼り合わされた面に第２のウェブを更に貼り合わせる請求項１から４の何れかに記載のウェブ貼合装置。
【請求項６】
シートにウェブを貼り合わせるウェブ貼合方法であって、
搬送方向に間隔をあけて複数の前記シートを貼合位置に第１搬送経路を通じて搬送する第１搬送工程と、
前記ウェブを前記貼合位置に第２搬送経路を通じて搬送する第２搬送工程と、
前記第１搬送経路における前記貼合位置の上流側で前記シートの画像情報を取得する画像検出工程と、
前記第２搬送経路における前記貼合位置の上流側で前記ウェブに対してレーザ加工を行うレーザ加工工程と、
前記画像検出工程で取得した前記画像情報に基づいて前記シートの搬送誤差を取得し、当該搬送誤差に基づいて前記ウェブに対する前記レーザ加工を調整する調整工程と、を含むウェブ貼合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートにウェブを貼り合せるウェブ貼合装置及びウェブ貼合方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、異なる種類のシートやウェブを貼り合わせる技術が知られている。この種の技術を開示するものとして例えば特許文献１〜５がある。
【０００３】
特許文献１には、絵柄等が印刷された二つのシートについて、絵柄の位置を一致させながら貼り合わせる装置が記載されている。この装置では、両シートの絵柄の位置をそれぞれに対して設けられた二つのＣＣＤカメラで位置を検出し、ロールの送り速度を調整しつつ絵柄が一致するように貼り合わせている。
【０００４】
特許文献２には、絶縁テープに導電箔テープを切断しつつ貼り付ける装置において、絶縁テープを搬送するとともに、両テープを貼りあわせる貼合わせロールの近傍に設けた切断装置で導電箔テープを所定長に切断して貼り付ける技術について記載されている。
【０００５】
特許文献３には、一つのフィルム上に印刷した第一パターンを形成し、当該パターンに合わせて第二パターンとしてハーフカットをする装置において、両パターンが一致してハーフカット可能なようにフィルムの張力調整を行う技術について記載されている。
【０００６】
特許文献４には、製品フィルムに対してマスキングフィルムを張力調整しつつ弛みが無いように貼り付ける装置について記載されている。
【０００７】
特許文献５には、貼り合わせようの媒体の先端部がカールしないように張力調整をする装置において、貼り合わせ媒体をカットする際にレーザを用いて裁断するものが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平０５−１０５３２０号公報
【特許文献２】特開平０７−１７２６８１号公報
【特許文献３】特開２００７−１３１３９０号公報
【特許文献４】特開２０１０−１１１４７０号公報
【特許文献５】特開２０１５−２０９２８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、搬送方向に間隔をあけて複数のシート（例えば、所定のパターンが形成されたシート）に対してレーザ加工を施したウェブ（例えば、マスキング材）をそのまま貼り合わせる場合、シートの搬送誤差が生じると、レーザ加工を施した部分の位置ずれの原因となる。そのため、シートごとにマスキング材を貼り合わせる方法を採っていたが、枚葉ごとに貼り合わせる作業が自動化の障害となっていた。この点、従来技術には、ＣＣＤカメラ等を用いてウェブの搬送を調整するもの等があるものの、検出対象と加工対象が同じものであり、シートの搬送誤差に基づくウェブの加工部分の位置ずれを十分に解消できるものがなかった。搬送方向に流れる複数のシートにウェブを貼り合わせる構成において、高精度化及び効率化の観点から改善の余地があった。
【００１０】
本発明は、搬送方向に間隔をあけて搬送される複数のシートにレーザ加工を施したウェブを貼り合わせる作業の効率化及び高精度化を実現できるウェブ貼合装置及びウェブ貼合方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、シート（例えば、後述のシート１１）にウェブ（例えば、後述のマスキング材２０）を貼り合わせるウェブ貼合装置（例えば、後述のラミネート装置１）であって、
搬送方向に間隔をあけて複数の前記シートを貼合位置（例えば、後述の貼合位置１００）に第１搬送経路（例えば、後述の第１搬送経路１１０）を通じて搬送する第１搬送装置（例えば、後述の第１搬送装置１５）と、前記ウェブを前記貼合位置に第２搬送経路（例えば、後述の第２搬送経路１２０）を通じて搬送する第２搬送装置（例えば、後述の第２搬送装置２５）と、前記第１搬送経路における前記貼合位置の上流側で前記シートの画像情報を取得する画像検出部（例えば、後述のＣＣＤカメラ３５）と、前記第２搬送経路における前記貼合位置の上流側で前記ウェブに対してレーザ加工を行うレーザ加工装置（例えば、後述のレーザ加工装置３０）と、を備え、前記画像検出部が取得した前記画像情報に基づいて前記シートの搬送誤差を取得し、当該搬送誤差に基づいて前記ウェブに対する前記レーザ加工が調整されるウェブ貼合装置に関する。
【００１２】
前記搬送誤差に基づく前記レーザ加工の調整は、レーザ照射を行うタイミングを補正することで行われることが好ましい。
【００１３】
前記第１搬送装置は、バキュームコンベアベルトであることが好ましい。
【００１４】
前記ウェブ貼合装置は、剥離シートが接着された状態で前記第２搬送経路を搬送される前記ウェブから前記貼合位置の上流側で前記剥離シートを剥離するシート剥離装置（例えば、後述の第１シート剥離装置５０）を更に備え、前記レーザ加工装置は、前記シート剥離装置により前記剥離シートが剥離される剥離位置の上流側で、前記ウェブの前記剥離シートが接着される側と反対側の面にレーザを照射可能であることが好ましい。
【００１５】
前記貼合位置の下流側で前記ウェブにおける前記シートが貼り合わされた面に第２のウェブを更に貼り合わせることが好ましい。
【００１６】
また、本発明は、シートにウェブを貼り合わせるウェブ貼合方法であって、搬送方向に間隔をあけて複数の前記シートを貼合位置に第１搬送経路を通じて搬送する第１搬送工程と、前記ウェブを前記貼合位置に第２搬送経路を通じて搬送する第２搬送工程と、前記第１搬送経路における前記貼合位置の上流側で前記シートの画像情報を取得する画像検出工程と、前記第２搬送経路における前記貼合位置の上流側で前記ウェブに対してレーザ加工を行うレーザ加工工程と、前記画像検出工程で取得した前記画像情報に基づいて前記シートの搬送誤差を取得し、当該搬送誤差に基づいて前記ウェブに対する前記レーザ加工を調整する調整工程と、を含むウェブ貼合方法に関する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のウェブ貼合装置及びウェブ貼合方法によれば、搬送方向に間隔をあけて搬送される複数のシートにレーザ加工を施したウェブを貼り合わせる作業の効率化及び高精度化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係るラミネート装置（ウェブ貼合装置）を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の好ましい実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るラミネート装置（ウェブ貼合装置）１を示す図である。図１に示すラミネート装置１は、フレキシブル基板やフィルムセンサ等の電子部品を製造するためのものである。
【００２０】
本実施形態のラミネート装置１は、第１搬送装置１５と、第２搬送装置２５と、レーザ加工装置３０と、第１張力管理装置２７と、第１シート剥離装置５０と、第２張力管理装置３１と、第２シート剥離装置３２と、ＣＣＤカメラ３５と、制御部９０と、を含むように構成される。
【００２１】
第１搬送装置１５は、複数のパターン１１１が形成されたシート１１を貼合位置１００まで第１搬送経路１１０を通じて搬送するバキュームコンベアベルトである。第１搬送経路１１０は貼合位置１００までシート１１を搬送するシート１１の移動経路である。
【００２２】
シート１１は、例えば、ラミネート装置１に至る前の上流工程で、エッチング処理等によって基材１１２にパターン１１１を形成して作成される。本実施形態では、第１搬送装置１５によって複数のシート１１が所定速度で貼合位置１００まで搬送される。なお、シート１１は、搬送方向に１列で搬送される構成であってもよいし、複列搬送される構成であってもよい。
【００２３】
第１搬送装置１５は、バキュームコンベアベルトであり、シート１１を吸引しながら搬送し、位置ずれが防止される。
【００２４】
第２搬送装置２５は、第２搬送経路１２０を通じてマスキング材２０を貼合位置１００まで搬送する。第２搬送経路１２０は、第１搬送経路１１０とは異なる経路であり、第１搬送経路１１０の貼合位置１００に合流するマスキング材２０の移動経路である。第２搬送経路１２０の貼合位置１００側にはラミネートローラ２６が配置されており、このラミネートローラ２６の回転駆動により、マスキング材２０が第２搬送経路１２０を所定の速度で搬送される。
【００２５】
マスキング材２０は、帯状に延びており、貼合位置１００まで連続的に供給される。マスキング材２０には剥離シート２１が接着されており、後述する剥離位置１０２に到達するまでマスキング材２０と剥離シート２１は一体的に第２搬送経路１２０を搬送され、剥離位置１０２で剥離シート２１が剥離された後、貼合位置１００に送られる。
【００２６】
レーザ加工装置３０は、剥離シート２１が接着した状態のマスキング材２０に対してレーザによる切断加工を行う。レーザ加工装置３０は、ガルバノタイプのものが用いられる。なお、マスキング材２０に加工を行うレーザは、ガルバノタイプに限定される訳ではなく、事情に応じて適宜変更できる。
【００２７】
レーザの照射位置１０１は、第２搬送経路１２０における貼合位置１００の上流側に設定される。レーザ加工装置３０は、マスキング材２０の剥離シート２１が接着されている側の反対側からマスキング材２０にレーザを照射してレーザ加工を行う。
【００２８】
レーザ加工では、所定の形状を切り抜くようにマスキング材２０にレーザを照射する。マスキング材２０のレーザを加工する加工部分は、シート１１にマスキング材２０を貼り合わせたときに加工部分がシート１１のパターン１１１に応じた所定の部分に位置するように設定される。
【００２９】
本実施形態のレーザ加工では、マスキング材２０の厚みに応じた深度でレーザ加工を行っており、剥離シート２１までは切断しないようになっている。
【００３０】
第１シート剥離装置５０は、マスキング材２０が貼合位置１００に到達する前でマスキング材２０から剥離シート２１を剥離する。剥離シート２１が剥離される剥離位置１０２は、第２搬送経路１２０における照射位置１０１の下流側であって貼合位置１００の上流側に設定されており、シート１１に貼り合わされる手前でマスキング材２０から剥離シート２１が剥離される。
【００３１】
剥離位置１０２で剥離された剥離シート２１は第１シート剥離装置５０側に送られる。なお、剥離位置１０２の上流側で行われたレーザ加工では、マスキング材２０の部分だけが切断されるようにレーザの深度が設定されており、剥離シート２１の切断は行われない。そのため、マスキング材２０のうちレーザ加工によって切り出された不要な部分は、剥離位置１０２で剥離される剥離シート２１に接着したままマスキング材２０から離間する。即ち、レーザ加工によって切断された不要な部分は、剥離位置１０２で剥離シート２１とともに除去され、貼合位置１００に到達しない構成となっている。
【００３２】
第１張力管理装置２７は、第２搬送経路１２０を搬送されるマスキング材２０の張力を管理する。マスキング材２０に付与される張力は、マスキング材２０や剥離シート２１を構成する材料や厚みによって設定される。第１張力管理装置２７により、張力が適切に管理された状態でマスキング材２０が下流側に送られる。マスキング材２０の張力は、ロードセル（図示省略）等の張力検出部によって検出し、後述の制御部９０が張力管理を行う。
【００３３】
ＣＣＤカメラ３５は、第１搬送経路１１０を流れるシート１１の画像情報を取得する画像検出部である。ＣＣＤカメラ３５が画像情報を取得する撮像位置１０３は、第１搬送経路１１０における貼合位置１００の上流側に設定される。
【００３４】
制御部９０は、ラミネート装置１の各種の制御を行うコンピュータである。制御部９０によってシート１１の搬送速度の調整、第１搬送装置１５の吸引力の調整、マスキング材２０の搬送速度の調整、マスキング材２０の張力管理、レーザ加工装置３０のレーザ加工制御等が実行される。
【００３５】
レーザ加工制御では、第２搬送経路１２０を搬送されるマスキング材２０に対してレーザを照射して所定の形状を切り出す切断加工を行う。マスキング材２０における切断加工を行う位置は、シート１１に貼り合わせたときにシート１１の位置及びシート１１に形成されるパターン１１１の位置に合致する必要がある。そのため、第１搬送経路１１０を搬送されるシート１１の位置に応じてレーザを照射するタイミングが設定される。シート１１は、予め設定される搬送速度で搬送されており、搬送速度と経過時間等によってシート１１の現在位置を推定することができる。しかし、シート１１の搬送には搬送誤差が生じる場合がある。本実施形態では、ＣＣＤカメラ３５が取得する画像情報によって制御部９０が搬送誤差を検出し、この搬送誤差に基づいてレーザ照射のタイミングが補正される。なお、マスキング材２０はパターン１１の一部をマスキングするものであってもよいし、全部をマスキングするものであってもよい。このように、マスキング材２０のマスキングの仕方は、事情に応じて適したものを採用できる。
【００３６】
本実施形態の制御部９０には、実際のシート１１の位置を特定するための基準形状が記憶されている。基準形状は、シート１１そのものでもよいし、シート１１に形成されるパターン１１１の一部でもよいし、パターン１１１の外側に形成される特徴を持った形状でもよい。基準形状は、ＣＣＤカメラ３５の撮像範囲に入る位置にあり、視覚的に他の形状と比較するための特徴点を有する形状、模様、色彩又はこれらの結合である。
【００３７】
搬送誤差の検出例について説明する。制御部９０は、ＣＣＤカメラ３５が取得した画像情報の中から基準形状を抽出し、当該基準形状の位置に基づいて搬送誤差を算出する。搬送誤差は、ＣＣＤカメラ３５が撮像した画像情報に含まれる基準形状の位置と、搬送速度等から想定される基準形状の想定位置と、のずれから算出し、算出した搬送誤差をレーザ照射のタイミングに反映させる。例えば、第１搬送経路１１０において画像情報の基準形状の位置が想定位置よりも上流側に位置する場合は、シート１１の搬送が遅れていることになるので、その遅れ量にあわせてレーザ照射を行うタイミングを遅らせる。逆に、第１搬送経路１１０において基準形状の位置が想定位置よりも下流側に位置する場合は、シート１１の搬送が早まっていることになるので、早まった量に合わせてレーザ照射を行うタイミングを早める。なお、制御部９０による画像情報に基づく搬送誤差の検出は、この方法に限らず、種々の方法を採用することができる。
【００３８】
レーザ加工が行われたマスキング材２０は、第１シート剥離装置５０によって剥離位置１０２で剥離シート２１が剥離され、接着面が露出した状態でラミネートローラ２６により反転されて貼合位置１００に搬送される。第１搬送経路１１０と第２搬送経路１２０が合流する貼合位置１００では、第１搬送装置１５によって搬送されるシート１１（シート１１のパターン１１１が形成される面）に、マスキング材２０の剥離シート２１が剥離された面が貼り合わされて一体となり、この状態で下流工程へと搬送される。ウェブとしてのマスキング材２０に対して複数のシート１１が貼り合わされた状態となる。
【００３９】
貼合位置１００の下流側には、ラミネートロール２８，２９、第２張力管理装置３１及び第２シート剥離装置３２が配置される。搬送方向におけるシート１１間の隙間を埋めるマスキング材４０が更に貼り合わされる。マスキング材４０は、第２張力管理装置３１で張力が管理されながら貼合位置５０１に送られる。第２シート剥離装置３２は、貼合位置５０１の上流側で剥離シート４１を剥離させる。これによって、マスキング材２０とマスキング材４０の間に複数のシート１１が搬送方向に並ぶロール（ウェブ）５００が形成される。このロール５００が所定のサイズで切断され、ラミネートが施された電子部品が製造される。
【００４０】
上記実施形態によれば、以下のような効果を奏する。
ラミネート装置（ウェブ貼合装置）１は、搬送方向に間隔をあけて複数のシート１１を貼合位置１００に第１搬送経路１１０を通じて搬送する第１搬送装置１５と、マスキング材（ウェブ）２０を貼合位置１００に第２搬送経路１２０を通じて搬送する第２搬送装置２５と、第１搬送経路１１０における貼合位置１００の上流側でシート１１の画像情報を取得するＣＣＤカメラ（画像検出部）３５と、第２搬送経路１２０における貼合位置１００の上流側でマスキング材２０に対してレーザ加工を行うレーザ加工装置３０と、を備え、ＣＣＤカメラ３５が取得した画像情報に基づいてシート１１の搬送誤差を取得し、当該搬送誤差に基づいてマスキング材２０に対するレーザ加工が調整される。
また、本実施形態のウェブ貼合方法では、搬送方向に間隔をあけて複数のシート１１を貼合位置に第１搬送経路１１０を通じて搬送する第１搬送工程と、マスキング材２０を貼合位置１００に第２搬送経路１２０を通じて搬送する第２搬送工程と、第１搬送経路１１０における貼合位置１００の上流側でシート１１の画像情報を取得する画像検出工程と、第２搬送経路１２０における貼合位置１００の上流側でマスキング材２０に対してレーザ加工を行うレーザ加工工程と、画像検出工程で取得した画像情報に基づいてシート１１の搬送誤差を取得し、当該搬送誤差に基づいてマスキング材２０に対するレーザ加工を調整する調整工程と、を含む。
【００４１】
これにより、実際のシート１１（シート１１に形成されるパターン１１１）の位置がマスキング材２０に対するレーザ加工に反映されるので、レーザ加工を高精度に行うことができ、マスキング材２０に複数のシート１１を貼り合わせる作業を高精度に行うことができる。また、加工が施されたマスキング材２０に複数のシート１１を正確に貼り合わせることができるので、複数のシート１１をロール（ウェブ）として取り扱うことができる。これによって、複数のシート１１にマスキング材２０が貼り合わされたロールに対してカット作業を連続的に行うことも容易となり、シートの枚葉ごとにマスキング材を貼り合わせる工程に比べて作業時間を短縮でき、作業効率を効果的に向上させることができる。また、プレス装置に比べて装置構成が小さいレーザ加工装置３０を用いて切断加工を行うので、装置構成をコンパクトにまとめることができるとともに、照射位置１０１から貼合位置１００までの距離を短くすることができ、貼合精度を向上させることができる。即ち、ＣＣＤカメラ３５で画像を検出する対象がシート１１であるのに対し、レーザ加工を行う対象がシート１１とは異なるマスキング材２０という全く別の材料である構成において、高精度に貼り合わせる技術が実現されるのである。
【００４２】
また、本実施形態では、搬送誤差に基づくレーザ加工の調整は、レーザ照射を行うタイミングを補正することで行われる。
【００４３】
これにより、複雑なロジックを用いることなくレーザ照射のタイミングを調整するというシンプルな処理で第１搬送装置１５によって搬送されるシート１１の搬送誤差をレーザ加工に反映することができる。
【００４４】
また、本実施形態では、第１搬送装置１５は、バキュームコンベアベルトである。
【００４５】
これにより、第１搬送装置１５を搬送されるシート１１が吸引力によって安定して搬送されるので、搬送誤差が生じ難くなり、貼り合わせ精度も一層向上させることができる。
【００４６】
また、本実施形態では、ラミネート装置１は、剥離シート２１が接着された状態で第２搬送経路１２０を搬送されるマスキング材２０から貼合位置１００の上流側で剥離シート２１を剥離する第１シート剥離装置５０を更に備える。レーザ加工装置３０は、第１シート剥離装置５０により剥離シート２１が剥離される剥離位置１０２の上流側で、マスキング材２０の剥離シート２１が接着される側と反対側の面にレーザを照射可能に構成される。
【００４７】
これにより、マスキング材２０にレーザを照射するタイミングにシート１１の搬送誤差を反映させつつ、レーザ加工で切り出した不要な部分を剥離シート２１とともに剥離する構成も可能となる。
【００４８】
本実施形態では、貼合位置１００の下流側でマスキング材２０におけるシート１１が貼り合わされた面に第２のウェブとしてのマスキング材４０を更に貼り合わせる。
【００４９】
これにより、ロール（ウェブ）５００を形成し、下流の工程で行われる切断加工を連続的に行うことができる。
【００５０】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上述の実施形態に制限されるものではなく、適宜変更が可能である。
【００５１】
上記実施形態では、レーザ加工装置３０は、剥離シート２１が接着された状態のマスキング材２０に対してレーザによってマスキング材２０のみを切断する加工を行う構成であるが、この構成に限定されない。例えば、マスキング材２０とともに剥離シート２１を打ち抜くように切断加工を行う構成としてもよい。また、場合によっては剥離シート２１を剥離した後にマスキング材２０にレーザ加工を行う構成としてもよい。
【００５２】
上記実施形態では、第１搬送装置１５及び第２搬送装置２５が停止することなく連続的に搬送する構成であるが、搬送、停止を繰り返して搬送する構成に変更することもできる。
【００５３】
上記実施形態では、レーザの照射タイミングを補正することで搬送誤差に基づくレーザ加工の調整を行う構成であるが、この構成に限定されない。例えば、シート１１の搬送速度、マスキング材２０の搬送速度、第１搬送装置１５の吸引力の調整、第１張力管理装置２７によって付与する張力又はこれらの組み合せを搬送誤差に基づいて調整する構成としてもよい。レーザ加工の調整は、適宜の方法を採用することができる。
【００５４】
上記実施形態では、所定のパターン１１１が形成されたシート１１にマスキング材２０としてウェブを貼り合わせる構成を本発明の例として説明したが、この構成に限定されない。例えば、シート１１にメトロサーク（登録商標）等のような樹脂多層基板を用いることもできる。
【符号の説明】
【００５５】
１  ラミネート装置（ウェブ貼合装置）
１１  シート
１５  第１搬送装置
２０  マスキング材（ウェブ）
２５  第２搬送装置
３０  レーザ加工装置
３５  ＣＣＤカメラ（画像検出部）
１００  貼合位置
１１０  第１搬送経路
１２０  第２搬送経路
【図１】
2019210105.tif 000003