(57)【要約】【課題】本発明の目的は、複数の基板を立たせた状態で保持することが可能な基板キャリアを提供することである。【解決手段】キャリア１６は、筐体２０、側部支持ユニット２２および下辺支持ユニット２４を備えている。筐体２０は、所定方向に沿って配列された複数のガラス基板５０を収容するように構成される。側部支持ユニット２２は、ガラス基板５０の側端部を支持するように構成される。下辺支持ユニット２４は、筐体２０に対して着脱自在に構成されており、支持バー３４および連結ユニット３２を備えている。支持バー３４は、ガラス基板５０の下辺と当接する当接部を備えている。連結ユニット３２は、複数の下辺支持バー３４を支持するように構成される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を立たせた状態で保持するように構成された基板キャリアにおいて、
所定方向に沿って配列された前記複数の基板を収容可能なキャリア本体と、
前記複数の基板の側端部を支持するように構成される側端部支持ユニットと、
前記キャリア本体に対して着脱自在に構成される下辺支持ユニットと、
を備えており、
前記下辺支持ユニットは、前記複数の基板の下辺と当接する当接部を備えた下辺支持バーと、
前記下辺支持バーを支持するための連結ユニットと、を備えることを特徴とする基板キャリア。
【請求項２】
前記側端部支持ユニットの固定位置を調節するための長孔が前記キャリア本体に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板キャリア。
【請求項３】
前記側端部支持ユニットは、前記キャリア本体に対して着脱自在であることを特徴とする請求項１または２に記載の基板キャリア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の基板を立たせた状態で保持することが可能な基板キャリアに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイは、小型化や薄型化が求められている。薄型化を行うための手段としては、表示パネルに使用されるガラス基板をフッ酸等の薬液を使用したエッチング液に接触させるエッチング処理が挙げられる。エッチング処理は、ガラス基板に対してエッチング液を噴射するスプレイ式のエッチング方式とエッチング液中にガラス基板を浸漬するディップ式のエッチング方式とに大別することができる。
【０００３】
ディップ式のエッチング装置は、複数のガラス基板を保持したキャリアをエッチング液が収容されたエッチング槽に浸漬する方式が主流である。ディップ式のエッチング装置は、ガラス基板をキャリアで保持することによって、一回のエッチング処理で複数のガラス基板を処理することができるため、非常に効率の良い処理であるとされていた。
【０００４】
一方で、ディップ式のエッチング装置においては、ガラス基板とキャリアが接触することにより、ガラス基板にエッチング不良や治具跡が発生するといった問題があった。このため、ディップ式のエッチング装置に使用されるキャリアは、ガラス基板との接触面積を最小限にした状態で保持することが求められている。特に、ガラス基板の下辺は、必然的にキャリアと接触してしまうので、接触面積を低減したり、エッチング液の流れをスムーズにするために治具の形状の工夫が行われたりしていた（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７-１６８６１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ガラス基板の下辺を支持する部材は、ガラス基板との接触面積が最小限にするために、支持部に加わる荷重が非常に大きくなる。このため、キャリアを繰り返し使用していると、下辺を支持する部材が変形したり破損したりしてしまうことがある。また、キャリアは、エッチング液に浸漬して使用するため、樹脂材やゴム部材を使用せざるを得ず、硬質部材を使用することが困難である。このため、支持部材が変形したり破損したりしたキャリアは、支持部を取り外すために分解しなければならず、メンテナンス作業に手間がかかっていた。
【０００７】
また、従来のキャリアは、サイズが異なるガラス基板を処理する場合にも対応することが難しかった。このため、処理すべきガラス基板のサイズに応じて、複数のキャリアを用意しなければならず、キャリアの管理が煩雑になったり、保管場所を確保しなければならなかったりするといった問題が生じることがあった。
【０００８】
本発明の目的は、破損等により治具等の構成部材の交換の必要がある場合に、簡易に部材を交換することが可能な基板キャリアを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る基板キャリアは、基板を立たせた状態で保持するように構成された基板キャリアである。基板キャリアは、キャリア本体、側端部支持ユニットおよび下辺支持ユニットを備えている。キャリア本体は、所定方向に沿って配列された複数の基板を収容するように構成される。側端部支持ユニットは、複数の基板の側端部を支持するように構成される。下辺支持ユニットは、キャリア本体に対して着脱自在に構成されており、下辺支持バーおよび連結ユニットを備えている。下辺支持バーは、複数の基板の下辺と当接する当接部を備えている。連結ユニットは、複数の下辺支持バーを支持するように構成される。
【００１０】
下辺支持ユニットの中でも、基板と接触する下辺支持バーは、基板の荷重により変形や破損するおそれがある。下辺支持バーを交換する際に、着脱自在の下辺支持ユニットごと交換すれば、キャリアの分解等を行わなくても容易に交換作業を行うことが可能になる。特に、交換頻度の高くなる下辺支持ユニットのみを交換することで、メンテナンス作業の時間を短縮することができる。
【００１１】
また、側端部支持ユニットの固定位置を調節するための長孔がキャリア本体に形成されていることが好ましい。基板キャリアで保持すべき基板のサイズが異なる場合には、長孔の長辺方向に沿って側端部支持ユニットの固定位置を調節することによって、異なる基板のサイズであっても同一のキャリアで対応することが可能になる。
【００１２】
また、側端部支持ユニットは、キャリア本体に対して着脱自在であることが好ましい。側端部支持ユニットも、繰り返し使用することで摩耗や汚損により交換する必要があるが、キャリアに対して着脱自在にすることで、キャリアのメンテナンスをさらに容易にすることが可能になる。また、厚さが異なる基板を保持する場合は、固定位置の調節だけでは対応が困難なこともあるが、側端部支持ユニットを取り外して、他のものに交換することで、１つのキャリアで様々な寸法の基板に対応することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、基板キャリアの治具が破損等により交換の必要性がある場合に、簡易に構成部材を交換することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】エッチング装置の構成を示す図である。
【図２】キャリアの構造を示す図である。
【図３】筐体と側部支持ユニットの構成を示す図である。
【図４】下部支持ユニットの構成を示す図である。
【図５】キャリアの底部の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を用いて本発明の一実施形態に係る基板キャリアを用いるエッチング装置１０について説明する。エッチング装置１０は、少なくともエッチング槽１２、散気管１４およびキャリア１６を備えている。エッチング装置１０は、キャリア１６に収容した複数のガラス基板５０をエッチング槽１２に浸漬することで、エッチング処理を行うように構成される。エッチング槽１２は、エッチング液を収容するように構成される槽である。エッチング液は、少なくともフッ酸を含んでおり、必要に応じて塩酸等の無機酸や界面活性剤等のエッチング補助剤が添加される。
【００１６】
散気管１４は、エッチング槽１２の底面に配置されている。散気管１４は、エッチング槽１２の外部に配置されている不図示のエア供給部からエアが供給される中空配管である。散気管１４は、所望の間隔で散気孔が設けられており、散気孔から上方に向かって微小な気泡を噴出するように構成される。散気管１４の配置や数は、ガラス基板５０の全域に均一に気泡が接触するように適宜調整することが好ましい。
【００１７】
エッチング液とガラス基板が反応すると、不溶性生成物（以下、スラッジともいう）が発生する。スラッジがエッチング槽１２内で増加すると、ガラス基板５０に付着するおそれが高くなり、スラッジが付着した領域は、局所的にエッチング処理が行われずに、凸状の突起部がガラス基板５０上に形成されてしまう。また、エッチング槽１２内でエッチング液が滞留すると、エッチングの反応速度が低下してしまうことがある。散気管１４は、上述のような不具合を抑制するために、気泡を噴射することよってエッチング槽１２内で液流を発生させ、エッチング液を循環させている。
【００１８】
キャリア１６は、複数のガラス基板５０を垂直方向に保持するように構成された治具であり、エッチング槽１２内に浸漬されるように構成される。キャリア１６は、不図示の昇降装置によってエッチング槽１２への投入や引き揚げが行われる。キャリア１６は、エッチング液に耐性のある素材で構成されており、例えば、ポリ塩化ビニルやフッ素系樹脂等の樹脂を使用することが好ましい。
【００１９】
キャリア１６は、筐体２０、側部支持ユニット２２および下部支持ユニット２４を備えている。筐体２０は、板状部材であり、筐体２０の内部に側部支持ユニット２２および下部支持ユニット２４を収容するように構成される。筐体２０は、支柱４６で連結された板状部であるが、箱状部材等であっても良い。
【００２０】
側部支持ユニット２２は、筐体２０の内側においてガラス基板５０の側端部を保持するように構成される。側部支持ユニット２２は、一対の板状部材であり、その対向する主面に複数のスリット部３０を備えている。スリット部３０は、ガラス基板５０の側端部を支持するための凹状の溝が形成されている。ガラス基板５０は、スリット部３０に支持されることによって、垂直状態に保持されるように構成される。エッチング処理中において、ガラス基板５０はスリット部３０と非接触の状態で支持されており、ガラス基板５０の端面のエッチングが不均一になるといった不具合は起こりにくい。なお、本発明における垂直とは、水平面に対して９０±５度の範囲を含んだ意味に解釈するものとする。スリット部３０の長さや幅は、ガラス基板５０の板厚やエッチング量によって適宜調整される。
【００２１】
側部支持ユニット２２を筐体２０に固定する際は、図３に示すように、固定治具２６を使用する。固定治具２６は、側部支持ユニット２２を固定するために、スリット状の挿入部２６１が形成されており、挿入部２６１に側部支持ユニット２２の端部を挿入することにより、側部支持ユニット２２を固定するように構成される。固定治具２６は、筐体２０に形成された長孔部２８にボルト等を挿入することによって固定される。長孔部２８は、ガラス基板５０の配列方向と直交する方向が長くなるように形成された貫通孔である。長孔部２８の長辺方向に沿って固定治具２６の固定位置を調節することができるので、ガラス基板５０のサイズに応じて、側部支持ユニット２２の位置を調節することができる。また、固定治具２６から側部支持ユニット２２を取り外す際は、側部支持ユニット２２を上方向にスライドさせれば良いので、例えば、処理条件の異なるガラス基板を処理する際や側部支持ユニット２２が破損した際にも、容易に交換することが可能である。
【００２２】
下部支持ユニット２４は、筐体２０の下部に配置されており、ガラス基板５０の下端を支持するように構成される。下部支持ユニット２４は、連結ユニット３２および支持バー３４を備えている。連結ユニット３２は、支持バー３４を挟持するための２本のフレームであり、一対の連結ユニット３２の間で複数の支持バー３４が支持されている。
【００２３】
支持バー３４は、所定の間隔でガラス基板５０と直交する方向に沿って配置されている。支持バー３４は、連結ユニット３２に形成された凹部４０に嵌め込まれることによって固定されている。支持バー３４は、ガラス基板５０と当接する柱状支持部３６を有している。柱状支持部３６の先端部４２は、ガラス基板５０との接触面積を軽減するために、先細り形状を呈している。ガラス基板５０は、２本の柱状支持部３６の間で先端部４２と当接することによって下方から支持されている。なお、柱状支持部３６の形状は、本実施形態には限定されず、ガラス基板５０への治具跡が残りにくいものであることが好ましい。柱状支持部３６の間隔は、ガラス基板５０の板厚によって適宜設定される。
【００２４】
続いて、下辺支持ユニット２４を筐体２０に装着する方法について説明する。下辺支持ユニット２４は、筐体２０の底部に形成された貫通孔４４に挿入された支柱４６によって支持されている。支柱４６は、円柱状を呈しており、筐体２０の内部に架け渡されたように設けられている。支柱２６は、ボルト等によって固定されている。エッチング処理中は、エッチング液の液温等の影響により筐体２０の間隔が広がってしまうおそれがあるが、ボルトによって肯定された支柱によって一対の筐体２０の間隔を一定に保つことができ、かつ、液循環を阻害するおそれも少ない。
【００２５】
下辺支持ユニット２４は、筐体２０にボルト等によって固定される。連結ユニット３２には、支柱４６と対応する位置に、嵌合部４８が設けられており、嵌合部４８に支柱４６は嵌め込むことで、下辺支持ユニット２４がの配置が固定される。また、筐体２０には、高さ方向に沿って複数の貫通孔４４が形成されており、キャリア１６に保持されるガラス基板５０のサイズに応じて、支柱４６を挿入する位置および下辺治具ユニット２４の固定位置を変えることによって、異なるサイズのガラス基板にも対応することが可能となる。
【００２６】
エッチング装置１０を用いて処理するガラス基板５０は、通常、中型以上のサイズのガラス基板であることが多く、キャリア１６が保持すべきガラス基板の重量は、１００ｋｇ程度になる。このため、繰り返し使用すると、柱状支持部３６の先端部４２が変形することがある。このため、一定回数以上使用した下辺治具ユニット２４や変形が確認された柱状支持部３６を有する支持バー３４は、交換する必要がある。下辺支持ユニット２４は、支柱２４によって支持されるという簡易な構成であるため、キャリア１６からの着脱作業を容易に行うことができる。さらに、支持バー４２は、連結ユニット３２に形成された凹部４０に嵌め込まれることによって固定されているだけなので、複雑な作業を行うことなく、簡易に交換作業を行うことができる。
【００２７】
なお、本実施形態ではガラス基板を用いて説明したが、本発明はこれには限定されず、板状を呈する基板のエッチングに適用することができ、例えば半導体に用いられるシリコンウェハのエッチング処理等に使用することが可能である。また、エッチング処理は薄型化処理には限定されず、基板の凹凸加工等のその他の表面処理にも本発明は適用することができる。
【００２８】
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００２９】
１０‐エッチング装置
１２‐エッチング槽
１４‐散気管
１６‐キャリア
２０‐筐体
２２‐側部支持ユニット
２４‐下辺支持ユニット
２６‐固定治具
２８‐長孔部
３０‐スリット部
３２‐連結ユニット
３４‐支持バー
３６‐柱状支持部
４０‐凹部
４２‐先端部
４４‐貫通孔
４６‐支柱
４８‐嵌合部
５０‐ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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