(57)【要約】【課題】反りを容易に制御することのできる化合物半導体基板を提供する。【解決手段】化合物半導体基板ＣＳ１は、ＳｉＣ（炭化ケイ素）層２と、ＳｉＣ層２上に形成されたＡｌＮ（窒化アルミニウム）バッファー層３と、ＡｌＮバッファー層３上に形成された複合層４と、複合層４上に形成された複合層５とを備える。複合層４は、上下方向に積層されたＡｌ（アルミニウム）窒化物半導体層４１ａ、４１ｂ、および４１ｃと、Ａｌ窒化物半導体層４１ａ、４１ｂ、および４１ｃの各々の間に形成されたＧａＮ（窒化ガリウム）層４２ａおよび４２ｂとを含む。複合層５は、上下方向に積層されたＧａＮ層５１ａ、５１ｂ、および５１ｃと、ＧａＮ層５１ａ、５１ｂ、および５１ｃの各々の間に形成されたＡｌ窒化物半導体層５２ａおよび５２ｂとを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下地層と、
前記下地層上に形成されたＡｌＮよりなるバッファー層と、
前記バッファー層上に形成された下部複合層と、
前記下部複合層上に形成された上部複合層とを備え、
前記下部複合層は、
上下方向に積層され、Ａｌを含む複数の下部窒化物半導体層と、
前記複数の下部窒化物半導体層の各々の間に形成された下部ＧａＮ層とを含み、
前記上部複合層は、
上下方向に積層された複数の上部ＧａＮ層と、
前記複数の上部ＧａＮ層の各々の間に形成されたＡｌを含む上部窒化物半導体層とを含む、化合物半導体基板。
【請求項２】
前記下地層はＳｉＣよりなる、請求項１に記載の化合物半導体基板。
【請求項３】
前記下部ＧａＮ層は、３ｎｍ以上１００ｎｍ以下の厚さを有する、請求項１または２に記載の化合物半導体基板。
【請求項４】
前記上部窒化物半導体層は、３ｎｍ以上５０ｎｍ以下の厚さを有する、請求項１〜３のいずれかに記載の化合物半導体基板。
【請求項５】
前記複数の下部窒化物半導体層は３層であり、
前記下部ＧａＮ層は２層である、請求項１〜４のいずれかに記載の化合物半導体基板。
【請求項６】
前記複数の下部窒化物半導体層は、ＡｌおよびＧａを含み、
前記複数の下部窒化物半導体層の各々のＡｌの平均組成比を比較した場合、前記下地層から離れた位置に形成された下部窒化物半導体層である程、Ａｌの平均組成比が小さくなる、請求項１〜５のいずれかに記載の化合物半導体基板。
【請求項７】
前記複数の上部ＧａＮ層は３層であり、
前記上部窒化物半導体層は２層である、請求項１〜６のいずれかに記載の化合物半導体基板。
【請求項８】
前記複数の下部窒化物半導体層のうち前記下部ＧａＮ層と接触して前記下部ＧａＮ層上に形成された下部窒化物半導体層は、引張り歪みを含み、
前記複数の上部ＧａＮ層のうち前記上部窒化物半導体層と接触して前記上部窒化物半導体層上に形成された上部ＧａＮ層は、圧縮歪みを含む、請求項１〜７のいずれかに記載の化合物半導体基板。
【請求項９】
前記上部窒化物半導体層はＡｌＮよりなる、請求項１〜８のいずれかに記載の化合物半導体基板。
【請求項１０】
前記上部複合層上に形成されたＧａＮよりなる電子走行層と、
前記電子走行層上に形成された障壁層とをさらに備えた、請求項１〜９のいずれかに記載の化合物半導体基板。
【請求項１１】
前記複数の上部ＧａＮ層の各々は、１×１０18個／ｃｍ3以上１×１０21個／ｃｍ3以下の平均炭素原子濃度を有する、請求項１〜１０のいずれかに記載の化合物半導体基板。
【請求項１２】
前記複数の上部ＧａＮ層の各々は、５５０ｎｍ以上３０００ｎｍ以下の厚さを有する、請求項１〜１１のいずれかに記載の化合物半導体基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、化合物半導体基板に関し、より特定的には、反りを容易に制御することのできる化合物半導体基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＧａＮ（窒化ガリウム）は、Ｓｉ（ケイ素）に比べてバンドギャップが大きく、絶縁破壊電界強度が高いワイドバンドギャップ半導体材料として知られている。ＧａＮは、他のワイドバンドギャップ半導体材料と比べても高い耐絶縁破壊性を有するので、次世代の低損失なパワーデバイスへの適用が期待されている。
【０００３】
ＧａＮを用いた半導体デバイスのスタート基板（下地基板）にＳｉ基板を用いた場合、ＧａＮとＳｉとの間の格子定数および熱膨張係数の大きな差に起因して、基板に反りが発生したり、ＧａＮ層内にクラックが発生したりする現象が起こりやすくなる。このため、スタート基板として、Ｓｉ基板上にＳｉＣ（炭化ケイ素）層などを形成した化合物半導体基板を採用することで、ＧａＮとＳｉとの間の格子定数および熱膨張係数の差をＳｉＣ層などによって緩和する技術が提案されている。
【０００４】
このような技術として、下記特許文献１などには、基板の反りやクラックの発生を抑止する技術が開示されている。下記特許文献１には、ＳｉＣ層と、ＳｉＣ層上に形成されたＡｌＮ（窒化アルミニウム）バッファー層と、ＡｌＮバッファー層上に形成されたＡｌ（アルミニウム）を含む窒化物半導体層と、窒化物半導体層上に形成された第１のＧａＮ層と、第１のＧａＮ層に接触して第１のＧａＮ層上に形成された第１のＡｌＮ中間層と、第１のＡｌＮ中間層に接触して第１のＡｌＮ中間層上に形成された第２のＧａＮ層とを備えた化合物半導体基板が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２０１７／０６９０８７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
適切な条件で基板の表面に薄膜をエピタキシャル成長すると、薄膜は基板の表面の結晶面に揃うように成長する。基板の表面と薄膜とが異なる物質である場合、基板の表面と薄膜との格子定数の違いに起因して薄膜内には引張り応力や圧縮応力が発生する。すなわち、基板の表面の格子定数よりも薄膜の格子定数が小さい場合には薄膜内には引張り応力が発生し、基板の表面の格子定数よりも薄膜の格子定数が大きい場合には薄膜内には圧縮応力が発生する。薄膜内に引張り応力が発生している状態では基板には凹形状となるような反りが発生し、薄膜内に圧縮応力が発生している状態では基板には凸形状となるような反りが発生する。反りの方向が凹形状および凸形状のどちらであっても、基板の反り量が大きくなると薄膜中にクラックが発生しやすくなる。
【０００７】
上述のように、薄膜形成後の基板の反りの方向が凹形状となるか凸形状となるかは、薄膜の種類（格子定数の大きさ）によって異なる。このことを踏まえれば、薄膜形成後の基板の反りの方向が凹形状となると予め分かっている場合には凸形状の基板を用い、薄膜形成後の基板の反りの方向が凸形状であると予め分かっている場合には凹形状の基板を用いれば、薄膜形成後の基板の反り量を緩和することができはずである。
【０００８】
しかしながら、特許文献１などの従来技術において基板の反りを制御することは困難であり、上述の方法で薄膜形成後の反り量を緩和することができなかった。
【０００９】
当然のことながら、基板の反りを制御することが困難であるという問題は、形成する薄膜がＧａＮよりなる場合に限定されるものではなく、あらゆる種類の薄膜を形成する際に起こり得る問題である。
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するためのものであり、その目的は、反りを容易に制御することのできる化合物半導体基板を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一の局面に従う化合物半導体基板は、下地層と、下地層上に形成されたＡｌＮよりなるバッファー層と、バッファー層上に形成された下部複合層と、下部複合層上に形成された上部複合層とを備え、下部複合層は、上下方向に積層され、Ａｌを含む複数の下部窒化物半導体層と、複数の下部窒化物半導体層の各々の間に形成された下部ＧａＮ層とを含み、上部複合層は、上下方向に積層された複数の上部ＧａＮ層と、複数の上部ＧａＮ層の各々の間に形成されたＡｌを含む上部窒化物半導体層とを含む。
【００１２】
上記化合物半導体基板において好ましくは、下地層はＳｉＣよりなる。
【００１３】
上記化合物半導体基板において好ましくは、下部ＧａＮ層は、３ｎｍ以上１００ｎｍ以下の厚さを有する。
【００１４】
上記化合物半導体基板において好ましくは、上部窒化物半導体層は、３ｎｍ以上５０ｎｍ以下の厚さを有する。
【００１５】
上記化合物半導体基板において好ましくは、複数の下部窒化物半導体層は３層であり、下部ＧａＮ層は２層である。
【００１６】
上記化合物半導体基板において好ましくは、複数の下部窒化物半導体層は、ＡｌおよびＧａ（ガリウム）を含み、複数の下部窒化物半導体層の各々のＡｌの平均組成比を比較した場合、下地層から離れた位置に形成された下部窒化物半導体層である程、Ａｌの平均組成比が小さくなる。
【００１７】
上記化合物半導体基板において好ましくは、複数の上部ＧａＮ層は３層であり、上部窒化物半導体層は２層である。
【００１８】
上記化合物半導体基板において好ましくは、複数の下部窒化物半導体層のうち下部ＧａＮ層と接触して下部ＧａＮ層上に形成された下部窒化物半導体層は、引張り歪みを含み、複数の上部ＧａＮ層のうち上部窒化物半導体層と接触して上部窒化物半導体層上に形成された上部ＧａＮ層は、圧縮歪みを含む。
【００１９】
上記化合物半導体基板において好ましくは、上部窒化物半導体層はＡｌＮよりなる。
【００２０】
上記化合物半導体基板において好ましくは、上部複合層上に形成されたＧａＮよりなる電子走行層と、電子走行層上に形成された障壁層とをさらに備える。
【００２１】
上記化合物半導体基板において好ましくは、複数の上部ＧａＮ層の各々は、１×１０18個／ｃｍ3以上１×１０21個／ｃｍ3以下の平均炭素原子濃度を有する。
【００２２】
上記化合物半導体基板において好ましくは、複数の上部ＧａＮ層の各々は、５５０ｎｍ以上３０００ｎｍ以下の厚さを有する。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、反りを容易に制御することのできる化合物半導体基板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１の実施の形態における化合物半導体基板ＣＳ１の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態における複合層４内部のＡｌ組成比の分布を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態における化合物半導体基板ＣＳ２の構成を示す断面図である。
【図４】本発明の一実施例における試料Ａ１、Ａ２、およびＡ３の各々の反り量の計測結果を示す図である。
【図５】本発明の一実施例における試料Ａ１、Ａ２、およびＡ３の各々の反り量の計測結果から得られたＧａＮ層４２ｂの厚さと反り量との関係を示すグラフである。
【図６】本発明の一実施例における試料Ｂ１、Ｂ２、およびＢ３の各々の反り量の計測結果を示す図である。
【図７】本発明の一実施例における試料Ｂ１、Ｂ２、およびＢ３の各々の反り量の計測結果から得られたＡｌ窒化物半導体層５２ａおよび５２ｂの厚さと反り量との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
【００２６】
［第１の実施の形態］
【００２７】
図１は、本発明の第１の実施の形態における化合物半導体基板ＣＳ１の構成を示す断面図である。
【００２８】
図１を参照して、本実施の形態における化合物半導体基板ＣＳ１は、ＨＥＭＴ（Ｈｉｇｈ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｏｂｉｌｉｔｙ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を含んでいる。化合物半導体基板ＣＳ１は、Ｓｉ基板１と、ＳｉＣ層２（下地層の一例）と、ＡｌＮバッファー層３（バッファー層の一例）と、複合層４（下部複合層の一例）と、複合層５（上部複合層の一例）と、ＧａＮ層７（電子走行層の一例）と、Ａｌ窒化物半導体層１０（障壁層の一例）とを備えている。
【００２９】
Ｓｉ基板１は、たとえばｐ+型のＳｉよりなっている。Ｓｉ基板１の表面には（１１１）面が露出している。なお、Ｓｉ基板１は、ｎ型の導電型を有していてもよいし、半絶縁性であってもよい。Ｓｉ基板１の表面には（１００）面や（１１０）面が露出していてもよい。Ｓｉ基板１は、たとえば６インチの直径を有しており、１０００μｍの厚さを有している。
【００３０】
ＳｉＣ層２は、Ｓｉ基板１に接触しており、Ｓｉ基板１上に形成されている。ＳｉＣ層２は、３Ｃ−ＳｉＣ、４Ｈ−ＳｉＣ、または６Ｈ−ＳｉＣなどよりなっている。特に、ＳｉＣ層２がＳｉ基板１上にエピタキシャル成長されたものである場合、一般的に、ＳｉＣ層２は３Ｃ−ＳｉＣよりなっている。
【００３１】
ＳｉＣ層２は、Ｓｉ基板１の表面を炭化することで得られたＳｉＣよりなる下地層上に、ＭＢＥ（Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  Ｂｅａｍ  Ｅｐｉｔａｘｙ）法、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、またはＬＰＥ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｐｈａｓｅ  Ｅｐｉｔａｘｙ）法などを用いて、ＳｉＣをホモエピタキシャル成長させることによって形成されてもよい。ＳｉＣ層２は、Ｓｉ基板１の表面を炭化することのみによって形成されてもよい。さらに、ＳｉＣ層２は、Ｓｉ基板１の表面に（またはバッファー層を挟んで）ヘテロエピタキシャル成長させることによって形成されてもよい。ＳｉＣ層２は、たとえばＮ（窒素）などがドープされており、ｎ型の導電型を有している。ＳｉＣ層２は、たとえば０．１μｍ以上３．５μｍ以下の厚さを有している。なお、ＳｉＣ層２はｐ型の導電型を有していてもよいし、半絶縁性であってもよい。
【００３２】
なお、ＡｌＮバッファー層３の下地層としては任意の材料よりなる層を使用することができる。一例として、Ｓｉ基板１上にＳｉＣ層２を形成せずに、ＡｌＮバッファー層３をＳｉ基板１上に直接形成してもよい。この場合、ＡｌＮバッファー層３の下地層はＳｉ基板１となる。しかし、Ｓｉ基板１とＡｌＮバッファー層３との間にＳｉＣ層２を形成することで、メルトバックエッチング（ＧａＮ層７中のＧａが拡散しＳｉ基板１中のＳｉと反応し、Ｓｉ基板１が破壊される現象）をＳｉＣ層２によって確実に抑止することができる。
【００３３】
ＡｌＮバッファー層３は、ＳｉＣ層２に接触しており、ＳｉＣ層２上に形成されている。ＡｌＮバッファー層３は、ＳｉＣ層２と、複合層４を構成するＡｌ窒化物半導体層との格子定数の差を緩和するバッファー層としての機能を果たす。ＡｌＮバッファー層３は、たとえばＭＯＣＶＤ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法を用いて形成される。ＡｌＮバッファー層３の成長温度は、たとえば１０００℃以上Ｓｉ融点未満とされる。このとき、Ａｌ源ガスとしては、たとえばＴＭＡ（Ｔｒｉ  Ｍｅｔｈｙｌ  Ａｌｕｍｉｎｉｕｍ）や、ＴＥＡ（Ｔｒｉ  Ｅｔｈｙｌ  Ａｌｕｍｉｎｉｕｍ）などが用いられる。Ｎ源ガスとしては、たとえばＮＨ3（アンモニア）が用いられる。ＡｌＮバッファー層３は、たとえば１００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下の厚さを有している。
【００３４】
複合層４は、ＡｌＮバッファー層３に接触しており、ＡｌＮバッファー層３上に形成されている。複合層４は、上下方向（Ｓｉ基板１、ＳｉＣ層２、およびＡｌＮバッファー層３の積層方向と同じ方向、図１中縦方向）に積層された複数のＡｌ窒化物半導体層と、複数のＡｌ窒化物半導体層の各々の間に形成されたＧａＮ層とを含んでいる。言い換えれば、複合層４は、Ａｌ窒化物半導体層とＧａＮ層とが１以上の回数だけ交互に積層された構成を有しており、複合層４の最上層および最下層は、いずれもＡｌ窒化物半導体層である。
【００３５】
複合層４を構成するＡｌ窒化物半導体層の層数は２層以上であればよく、複合層４を構成するＧａＮ層の層数も１層以上であればよい。本実施の形態の複合層４は、Ａｌ窒化物半導体層として、３層のＡｌ窒化物半導体層４１ａ、４１ｂ、および４１ｃ（複数の下部窒化物半導体層の一例）を含んでおり、ＧａＮ層として２層のＧａＮ層４２ａおよび４２ｂ（下部ＧａＮ層の一例）を含んでいる。Ａｌ窒化物半導体層４１ａは、３層のＡｌ窒化物半導体層４１ａ、４１ｂ、および４１ｃのうちＳｉ基板１に最も近い位置に形成されており、ＡｌＮバッファー層３と接触している。Ａｌ窒化物半導体層４１ｂは、３層のＡｌ窒化物半導体層４１ａ、４１ｂ、および４１ｃのうち２番目にＳｉ基板１に近い位置に形成されている。Ａｌ窒化物半導体層４１ｃは、３層のＡｌ窒化物半導体層４１ａ、４１ｂ、および４１ｃのうちＳｉ基板１から最も遠い位置に形成されている。ＧａＮ層４２ａは、Ａｌ窒化物半導体層４１ａとＡｌ窒化物半導体層４１ｂとの間に形成されている。ＧａＮ層４２ｂは、Ａｌ窒化物半導体層４１ｂとＡｌ窒化物半導体層４１ｃとの間に形成されている。
【００３６】
複合層４を構成するＡｌ窒化物半導体層の各々は、Ａｌを含む窒化物半導体よりなっており、好ましくはＡｌＮよりなっている。複合層４を構成するＡｌ窒化物半導体層の各々は、たとえばＡｌxＧａ1-xＮ（０＜ｘ≦１）で表される材料よりなっている。この場合、Ａｌの組成比ｘを０．５以上にすることで、Ｇａの組成比が０．５以下となり、複合層４による反り制御の効果を大きくすることができる。また複合層４を構成するＡｌ窒化物半導体層の各々は、ＡｌxＩｎyＧａ1-x-yＮ（０＜ｘ≦１、０≦ｙ＜１）で表される材料よりなっていてもよい。複合層４を構成するＡｌ窒化物半導体層は、ＡｌＮバッファー層３と複合層５中のＧａＮ層との格子定数の差を緩和するバッファー層としての機能を果たす。複合層４を構成するＡｌ窒化物半導体層の総膜厚は、たとえば１００ｎｍ以上３μｍ以下、好ましくは９００ｎｍ以上２μｍ以下の厚さを有している。
【００３７】
複合層４を構成するＡｌ窒化物半導体層は、たとえばＭＯＣＶＤ法を用いて形成される。このとき、Ｇａ源ガスとしては、たとえばＴＭＧ（Ｔｒｉ  Ｍｅｔｈｙｌ  Ｇａｌｌｉｕｍ）や、ＴＥＧ（Ｔｒｉ  Ｅｔｈｙｌ  Ｇａｌｌｉｕｍ）などが用いられる。Ａｌ源ガスとしては、たとえばＴＭＡやＴＥＡなどが用いられる。Ｎ源ガスとしては、たとえばＮＨ3などが用いられる。
【００３８】
複合層４を構成するＧａＮ層は、後述するように化合物半導体基板ＣＳ１に凹形状の反りを発生させる役割を果たす。
【００３９】
複合層４を構成するＧａＮ層は、たとえばＭＯＣＶＤ法を用いて形成される。このとき、Ｇａ源ガスとしては、たとえばＴＭＧやＴＥＧなどが用いられる。Ｎ源ガスとしては、たとえばＮＨ3などが用いられる。
【００４０】
複合層４を構成するＧａＮ層は、たとえば３ｎｍ以上１００ｎｍ以下の厚さを有しており、好ましくは１０ｎｍ以上６０ｎｍ以下の厚さを有している。複合層４を構成するＧａＮ層が複数である場合、複合層４を構成するＧａＮ層の各々は、同一の厚さを有していてもよいし、互いに異なる厚さを有していてもよい。
【００４１】
複合層５は、複合層４（Ａｌ窒化物半導体層４１ｃ）に接触しており、複合層４（Ａｌ窒化物半導体層４１ｃ）上に形成されている。複合層５は、上下方向（Ｓｉ基板１、ＳｉＣ層２、ＡｌＮバッファー層３、および複合層４の積層方向と同じ方向、図１中縦方向）に積層された複数のＧａＮ層と、複数のＧａＮ層の各々の間に形成されたＡｌ窒化物半導体層とを含んでいる。言い換えれば、複合層５は、ＧａＮ層とＡｌ窒化物半導体層とが１以上の回数だけ交互に積層された構成を有しており、複合層５の最上層および最下層は、いずれもＧａＮ層である。
【００４２】
複合層５を構成するＧａＮ層の層数は２層以上であればよく、複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層の層数も１層以上であればよい。本実施の形態の複合層５は、ＧａＮ層として３層のＧａＮ層５１ａ、５１ｂ、および５１ｃ（複数の上部ＧａＮ層の一例）を含んでおり、Ａｌ窒化物半導体層として２層のＡｌ窒化物半導体層５２ａおよび５２ｂ（上部窒化物半導体層の一例）を含んでいる。ＧａＮ層５１ａは、３層のＧａＮ層５１ａ、５１ｂ、および５１ｃのうちＳｉ基板１に最も近い位置に形成されており、複合層４（Ａｌ窒化物半導体層４１ｃ）と接触している。ＧａＮ層５１ｂは、３層のＧａＮ層５１ａ、５１ｂ、および５１ｃのうち２番目にＳｉ基板１に近い位置に形成されている。ＧａＮ層５１ｃは、３層のＧａＮ層５１ａ、５１ｂ、および５１ｃのうちＳｉ基板１から最も遠い位置に形成されている。Ａｌ窒化物半導体層５２ａは、ＧａＮ層５１ａとＧａＮ層５１ｂとの間に形成されている。Ａｌ窒化物半導体層５２ｂは、ＧａＮ層５１ｂとＧａＮ層５１ｃとの間に形成されている。
【００４３】
複合層５を構成するＧａＮ層の各々にはＣ（炭素）がドープされていることが好ましい。ＣはＧａＮ層の絶縁性を高める役割を果たす。ＣがドープされているＧａＮ層は、１×１０18個／ｃｍ3以上１×１０21個／ｃｍ3以下の平均炭素原子濃度を有していることが好ましく、３×１０18個／ｃｍ3以上２×１０19個／ｃｍ3以下の平均炭素濃度を有していることがより好ましい。ＣがドープされているＧａＮ層が複数存在する場合、それらのＧａＮ層は、同一の平均炭素原子濃度を有していてもよいし、互いに異なる平均炭素原子濃度を有していてもよい。
【００４４】
複合層５を構成するＧａＮ層にＣをドープする場合、ＴＭＧに含まれるＣがＧａＮ層に取り込まれるようなＧａＮの成長条件が採用される。ＧａＮ層中にＣをドープする具体的な方法としては、ＧａＮの成長温度を下げる方法、ＧａＮの成長圧力を下げる方法、または、ＮＨ3に対してＴＭＧのモル流量比を高くする方法などがある。
【００４５】
また、複合層５を構成するＧａＮ層の各々は、たとえば５５０ｎｍ以上３０００ｎｍ以下の厚さを有しており、好ましくは８００ｎｍ以上２０００ｎｍ以下の厚さを有している。複合層５を構成するＧａＮ層の各々は、同一の厚さを有していてもよいし、互いに異なる厚さを有していてもよい。複合層５を構成するＧａＮ層は、複合層４を構成するＧａＮ層と同様の方法で形成される。
【００４６】
複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層は、後述するように化合物半導体基板ＣＳ１に凸形状の反りを発生させる役割を果たす。
【００４７】
複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層は、Ａｌを含む窒化物半導体よりなっており、好ましくはＡｌＮよりなっている。複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層は、たとえばＡｌxＧａ1-xＮ（０＜ｘ≦１）で表される材料よりなっている。この場合、Ａｌの組成比ｘを０．５以上にすることで、Ｇａの組成比が０．５以下となり、複合層４による反り制御の効果を大きくすることができる。また複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層は、ＡｌxＩｎyＧａ1-x-yＮ（０＜ｘ≦１、０≦ｙ＜１）で表される材料よりなっていてもよい。
【００４８】
複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層は、たとえば３ｎｍ以上５０ｎｍ以下の厚さを有しており、好ましくは２０ｎｍ以下の厚さを有している。複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層が複数である場合、複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層の各々は、同一の厚さを有していてもよいし、互いに異なる厚さを有していてもよい。また、複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層の各々のＡｌ組成比は任意である。複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層は、複合層４を構成するＡｌ窒化物半導体層と同様の方法で形成される。
【００４９】
ＧａＮ層７は、複合層５に接触しており、複合層５上に形成されている。ＧａＮ層７は、アンドープであり、半絶縁性である。ＧａＮ層７は、ＨＥＭＴの電子走行層となる。ＧａＮ層７は、たとえば１００ｎｍ以上１５００ｎｍ以下の厚さを有している。ＧａＮ層７は、複合層４を構成するＧａＮ層と同様の方法で形成される。
【００５０】
Ａｌ窒化物半導体層１０は、ＧａＮ層７に接触しており、ＧａＮ層７上に形成されている。Ａｌ窒化物半導体層１０は、Ａｌを含む窒化物半導体よりなっており、たとえばＡｌxＧａ1-xＮ（０＜ｘ≦１）で表される材料よりなっている。またＡｌ窒化物半導体層１０は、ＡｌxＩｎyＧａ1-x-yＮ（０＜ｘ≦１、０≦ｙ＜１）で表される材料よりなっていてもよい。Ａｌ窒化物半導体層１０は、ＨＥＭＴの障壁層となる。Ａｌ窒化物半導体層１０は、たとえば１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の厚さを有している。Ａｌ窒化物半導体層１０は、複合層４を構成するＧａＮ層と同様の方法で形成される。
【００５１】
図２は、本発明の第１の実施の形態における複合層４内部のＡｌ組成比の分布を示す図である。
【００５２】
図２を参照して、複合層４を構成するＡｌ窒化物半導体層であるＡｌ窒化物半導体層４１ａ、４１ｂ、および４１ｃの各々のＡｌの平均組成比を比較した場合、下地層であるＳｉＣ層２から離れた位置に形成されたＡｌ窒化物半導体層である程、Ａｌの平均組成比が小さくなることが好ましい。具体的には、ＳｉＣ層２に最も近いＡｌ窒化物半導体層４１ａは、Ａｌ0.75Ｇａ0.25Ｎ（Ａｌの組成比が０．７５であるＡｌＧａＮ）よりなっている。ＳｉＣ層２に２番目に近いＡｌ窒化物半導体層４１ｂは、Ａｌ0.5Ｇａ0.5Ｎ（Ａｌの組成比が０．５であるＡｌＧａＮ）よりなっている。ＳｉＣ層２から最も遠いＡｌ窒化物半導体層４１ｃは、Ａｌ0.25Ｇａ0.75Ｎ（Ａｌの組成比が０．２５であるＡｌＧａＮ）よりなっている。なお、上記のＡｌ組成比は一例であり、複合層４を構成するＡｌ窒化物半導体層の各々は他の組成比を有していてもよい。また、１つのＡｌ窒化物半導体層の内部においてＡｌの平均組成比が変化していてもよく、１つのＡｌ窒化物半導体層の内部においてＳｉ基板１から離れるに従ってＡｌの組成比が小さくなっていてもよい。
【００５３】
続いて、本実施の形態の効果を説明する。
【００５４】
なお、以降の説明における「凸形状」および「凹形状」とは、Ｓｉ基板１を下側、Ａｌ窒化物半導体層１０を上側にした場合の凸形状および凹形状を意味している。
【００５５】
図１を参照して、複合層４におけるＧａＮ層４２ｂと、ＧａＮ層４２ｂの下地層であるＡｌ窒化物半導体層４１ｂと、ＧａＮ層４２ｂの上層であるＡｌ窒化物半導体層４１ｃとの関係に着目する。
【００５６】
ＧａＮ層４２ｂとＡｌ窒化物半導体層４１ｂとの界面ＢＲ１は滑り面となっている。言い換えれば、界面ＢＲ１においてＧａＮ層４２ｂの結晶とＡｌ窒化物半導体層４１ｂの結晶とは不整合となっている。このため、ＧａＮ層４２ｂの結晶構造に及ぼすＡｌ窒化物半導体層４１ｂの結晶構造の影響は小さく、ＧａＮ層４２ｂの格子定数に及ぼすＡｌ窒化物半導体層４１ｂの格子定数の影響は小さい。
【００５７】
一方、Ａｌ窒化物半導体層４１ｃは、下地層であるＧａＮ層４２ｂの表面の結晶面に揃うように成長する。このため、Ａｌ窒化物半導体層４１ｃの結晶構造はＧａＮ層４２ｂの結晶構造の影響を受け、Ａｌ窒化物半導体層４１ｃの格子定数はＧａＮ層４２ｂの格子定数の影響を受ける。Ａｌ窒化物半導体層４１ｃを構成する材料（ＡｌＧａＮやＡｌＮなど）の格子定数はＧａＮ層４２ｂを構成するＧａＮの格子定数よりも小さいため、Ａｌ窒化物半導体層４１ｃには引張り応力が加わり、Ａｌ窒化物半導体層４１ｃの内部には引張り歪みが発生する。引張り応力の反作用として、複合層４は化合物半導体基板ＣＳ１に凹形状の反りを発生させる。
【００５８】
なお、ＧａＮ層４２ｂのエピタキシャル成長の条件（温度や圧力など）を制御することで、ＧａＮ層４２ｂとＡｌ窒化物半導体層４１ｂとの界面ＢＲ１を滑り面とすることができる。また、Ａｌ窒化物半導体層４１ｃのエピタキシャル成長の条件（温度や圧力など）を制御することで、Ａｌ窒化物半導体層４１ｃをＧａＮ層４２ｂの表面の結晶面にすべりが生じないように成長（コヒーレント成長）させることができる。
【００５９】
複合層４におけるＧａＮ層４２ａと、ＧａＮ層４２ａの下地層であるＡｌ窒化物半導体層４１ａと、ＧａＮ層４２ａの上層であるＡｌ窒化物半導体層４１ｂとの関係に着目した場合にも同様のことが言える。すなわち、ＧａＮ層４２ａの結晶構造に及ぼすＡｌ窒化物半導体層４１ａの結晶構造の影響は小さく、ＧａＮ層４２ａの格子定数に及ぼすＡｌ窒化物半導体層４１ａの格子定数の影響は小さい。一方、Ａｌ窒化物半導体層４１ｂは、下地層であるＧａＮ層４２ａの表面の結晶面に揃うように成長する。Ａｌ窒化物半導体層４１ｂにはＧａＮ層４２ａの影響により引張り応力が加わり、Ａｌ窒化物半導体層４１ｂの内部には引張り歪みが発生する。
【００６０】
凹形状の反りを発生させる複合層４の作用は、複合層４を構成するＧａＮ層が厚くなるほど大きくなる。一方で、複合層４を構成するＧａＮ層が厚すぎるとＧａＮ層の内部にクラックが発生しやすくなる。複合層４を構成するＧａＮ層の内部へのクラックの発生を抑止しつつ複合層４による凹形状の反りを効果的に発生させるためには、複合層４中の１層当たりのＧａＮ層の厚さを３ｎｍ以上１００ｎｍ以下、好ましくは１０ｎｍ以上６０ｎｍ以下とし、複合層４中のＧａＮ層の数を１〜２層程度にすることが好ましい。
【００６１】
次に、複合層５におけるＡｌ窒化物半導体層５２ｂと、Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの下地層であるＧａＮ層５１ｂと、Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの上層であるＧａＮ層５１ｃとの関係に着目する。
【００６２】
Ａｌ窒化物半導体層５２ｂとＧａＮ層５１ｂとの界面ＢＲ２は滑り面となっている。言い換えれば、界面ＢＲ２においてＡｌ窒化物半導体層５２ｂの結晶とＧａＮ層５１ｂの結晶とは不整合となっている。このため、Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの結晶構造に及ぼすＧａＮ層５１ｂの結晶構造の影響は小さく、Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの格子定数に及ぼすＧａＮ層５１ｂの格子定数の影響は小さい。
【００６３】
一方、ＧａＮ層５１ｃは、下地層であるＡｌ窒化物半導体層５２ｂの表面の結晶面に揃うように成長する。このため、ＧａＮ層５１ｃの結晶構造はＡｌ窒化物半導体層５２ｂの結晶構造の影響を受け、ＧａＮ層５１ｃの格子定数はＡｌ窒化物半導体層５２ｂの格子定数の影響を受ける。ＧａＮ層５１ｃを構成するＧａＮの格子定数はＡｌ窒化物半導体層５２ｂを構成する材料（ＡｌＧａＮやＡｌＮなど）の格子定数よりも大きいため、ＧａＮ層５１ｃには圧縮応力が加わり、ＧａＮ層５１ｃの内部には圧縮歪みが発生する。圧縮応力の反作用として、複合層５は化合物半導体基板ＣＳ１に凸形状の反りを発生させる。
【００６４】
なお、Ａｌ窒化物半導体層５２ｂのエピタキシャル成長の条件（温度や圧力など）を制御することで、Ａｌ窒化物半導体層５２ｂとＧａＮ層５１ｂとの界面ＢＲ２を滑り面とすることができる。また、ＧａＮ層５１ｃのエピタキシャル成長の条件（温度や圧力など）を制御することで、ＧａＮ層５１ｃをＡｌ窒化物半導体層５２ｂの表面の結晶面に揃うように成長させることができる。
【００６５】
複合層５におけるＡｌ窒化物半導体層５２ａと、Ａｌ窒化物半導体層５２ａの下地層であるＧａＮ層５１ａと、Ａｌ窒化物半導体層５２ａの上層であるＧａＮ層５１ｂとの関係に着目した場合にも同様のことが言える。すなわち、Ａｌ窒化物半導体層５２ａの結晶構造に及ぼすＧａＮ層５１ａの結晶構造の影響は小さく、Ａｌ窒化物半導体層５２ａの格子定数に及ぼすＧａＮ層５１ａの格子定数の影響は小さい。一方、ＧａＮ層５１ｂは、下地層であるＡｌ窒化物半導体層５２ａの表面の結晶面に揃うように成長する。ＧａＮ層５１ｂにはＡｌ窒化物半導体層５２ａの影響により圧縮応力が加わり、ＧａＮ層５１ｂの内部には圧縮歪みが発生する。
【００６６】
凸形状の反りを発生させる複合層５の作用は、複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層が厚くなるほど大きくなる。一方で、複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層が厚すぎるとＡｌ窒化物半導体層の内部にクラックが発生しやすくなる。複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層の内部へのクラックの発生を抑止しつつ複合層５による凸形状の反りを効果的に発生させるためには、複合層５中の１層当たりのＡｌ窒化物半導体層の厚さを３ｎｍ以上５０ｎｍ以下、好ましくは２０ｎｍ以下とし、複合層５中のＡｌ窒化物半導体層の数を１〜２層程度にすることが好ましい。
【００６７】
本実施の形態によれば、化合物半導体基板ＣＳ１に凹形状の反りを発生させる機能を有する複合層４と、化合物半導体基板ＣＳ１に凸形状の反りを発生させる機能を有する複合層５との各々を調節することにより、化合物半導体基板ＣＳ１の反りを容易に制御することができる。
【００６８】
加えて、滑り面である界面ＢＲ１およびＢＲ２上の半導体層は、下地層の格子定数差や歪みの影響を受けずに成長することができるので、クラックの発生も抑止することができる。
【００６９】
［第２の実施の形態］
【００７０】
図３は、本発明の第２の実施の形態における化合物半導体基板ＣＳ２の構成を示す断面図である。
【００７１】
図３を参照して、本実施の形態の化合物半導体基板ＣＳ２における複合層４は、Ａｌ窒化物半導体層として、２層のＡｌ窒化物半導体層４１ａおよび４１ｂを含んでおり、ＧａＮ層として１層のＧａＮ層４２ａを含んでいる。Ａｌ窒化物半導体層４１ａは、２層のＡｌ窒化物半導体層４１ａおよび４１ｂのうちＳｉ基板１により近い位置に形成されており、ＡｌＮバッファー層３と接触している。Ａｌ窒化物半導体層４１ｂは、２層のＡｌ窒化物半導体層４１ａおよび４１ｂのうちＳｉ基板１からより遠い位置に形成されている。ＧａＮ層４２ａは、Ａｌ窒化物半導体層４１ａとＡｌ窒化物半導体層４１ｂとの間に形成されている。
【００７２】
本実施の形態における複合層４を構成するＧａＮ層の厚さが第１の実施の形態の場合と同一であると仮定した場合、本実施の形態における複合層４による凹形状の反りを発生させる効果は、第１の実施の形態の複合層４による凹形状の反りを発生させる効果よりも小さくなる。このため、化合物半導体基板ＣＳ２では、化合物半導体基板ＣＳ１よりも凸形状の反り量を大きくすることができる。一方で、本実施の形態における複合層４を構成するＧａＮ層の厚さを１の実施の形態の場合よりも厚くした場合には、化合物半導体基板ＣＳ２においても、化合物半導体基板ＣＳ１と同等の反り量とすることもできる。
【００７３】
なお、上述以外の化合物半導体基板ＣＳ２の構成は、第１の実施の形態における化合物半導体基板ＣＳ１の構成と同様であるため、その説明は繰り返さない。
【００７４】
本実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。加えて、複合層４の層の数が少ないため、容易に化合物半導体基板ＣＳ２を作製することができる。
【００７５】
［実施例］
【００７６】
本願発明者らは、本発明の化合物半導体基板による反りの制御の効果を確認すべく、以下の実験を行った。
【００７７】
ＧａＮ層４２ｂの厚さを１５ｎｍ（試料Ａ１）、４５ｎｍ（試料Ａ２）、または６０ｎｍ（試料Ａ３）とした３種類の化合物半導体基板ＣＳ１を作製した。試料Ａ１、Ａ２、およびＡ３ではいずれも、Ａｌ窒化物半導体層５２ａおよび５２ｂの各々の厚さを１５ｎｍとし、ＧａＮ層４２ａの厚さを１５ｎｍとした。Ａｌ窒化物半導体層５２ａおよび５２ｂをＡｌＮとした。得られた化合物半導体基板ＣＳ１の反り量を計測した。
【００７８】
図４は、本発明の一実施例における試料Ａ１、Ａ２、およびＡ３の各々の反り量の計測結果を示す図である。図５は、本発明の一実施例における試料Ａ１、Ａ２、およびＡ３の各々の反り量の計測結果から得られたＧａＮ層４２ｂの厚さと反り量との関係を示すグラフである。なお、図５および図７では、凸形状となる反りの方向をマイナスとし、凹形状となる反りの方向をプラスとしている。
【００７９】
図４および図５を参照して、ＧａＮ層４２ｂの厚さが１５ｎｍである試料Ａ１は、凸形状で９０μｍの反り量となった。ＧａＮ層４２ｂの厚さが４５ｎｍである試料Ａ２は、凸形状で１５μｍの反り量となった。ＧａＮ層４２ｂの厚さが６０ｎｍである試料Ａ３は、凹形状で３９μｍの反り量となった。また、ＧａＮ層４２ｂの厚さが増加するに従って、化合物半導体基板ＣＳ１の反り量は凹形状となる方向に略一定の割合で増加した。
【００８０】
次に、Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの厚さ／Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの厚さを、１５ｎｍ／１５ｎｍ（試料Ｂ１）、１５ｎｍ／１０ｎｍ（試料Ｂ２）、または１０ｎｍ／１０ｎｍ（試料Ｂ３）とした３種類の化合物半導体基板ＣＳ１を作製した。試料Ｂ１、Ｂ２、およびＢ３ではいずれも、ＧａＮ層４２ａおよび４２ｂの各々の厚さを１５ｎｍとした。Ａｌ窒化物半導体層５２ａおよび５２ｂをＡｌＮとした。得られた化合物半導体基板ＣＳ１の反り量を計測した。
【００８１】
図６は、本発明の一実施例における試料Ｂ１、Ｂ２、およびＢ３の各々の反り量の計測結果を示す図である。図７は、本発明の一実施例における試料Ｂ１、Ｂ２、およびＢ３の各々の反り量の計測結果から得られたＡｌ窒化物半導体層５２ａおよび５２ｂの厚さと反り量との関係を示すグラフである。
【００８２】
図６および図７を参照して、Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの厚さ／Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの厚さが１５ｎｍ／１５ｎｍである試料Ｂ１は、凸形状で９０μｍの反り量となった。Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの厚さ／Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの厚さが１５ｎｍ／１０ｎｍである試料Ｂ２は、凸形状で２３μｍの反り量となった。Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの厚さ／Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの厚さが１０ｎｍ／１０ｎｍである試料Ｂ３は、凹形状で４６μｍの反り量となった。また、Ａｌ窒化物半導体層５２ｂの厚さとＡｌ窒化物半導体層５２ｂの厚さとの合計値が減少するに従って、化合物半導体基板ＣＳ１の反り量は凹形状となる方向に略一定の割合で増加した。
【００８３】
以上の実験結果から、複合層４を構成するＧａＮ層の厚さまたは複合層５を構成するＡｌ窒化物半導体層の厚さを調節することにより、化合物半導体基板ＣＳ１の反りを容易に制御できることが分かった。
【００８４】
［その他］
【００８５】
上述の実施の形態および実施例は、適宜組み合わせることが可能である。
【００８６】
上述の実施の形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００８７】
１  Ｓｉ（ケイ素）基板
２  ＳｉＣ（炭化ケイ素）層（下地層の一例）
３  ＡｌＮ（窒化アルミニウム）バッファー層（バッファー層の一例）
４  複合層（下部複合層の一例）
５  複合層（上部複合層の一例）
７，４２ａ，４２ｂ，５１ａ，５１ｂ，５１ｃ  ＧａＮ（窒化ガリウム）層（下部ＧａＮ層の一例、上部ＧａＮ層の一例、電子走行層の一例）
１０，４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，５２ａ，５２ｂ  Ａｌ（アルミニウム）窒化物半導体層（下部窒化物半導体層の一例、上部窒化物半導体層の一例、障壁層の一例）
ＢＲ１，ＢＲ２  界面
ＣＳ１，ＣＳ２  化合物半導体基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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