(57)【要約】【課題】本発明の課題は、回転容積式真空ポンプ、特にスクリュー式真空ポンプの二つのローターの整向を簡単にすることである。【解決手段】回転容積式真空ポンプ、特にスクリュー式真空ポンプの製造のための方法であって、以下のステップ、つまり、ハウジング（１６）の提供、ハウジング（１６）内に配置するための、ポンプ効果を奏する二つのローター（２８，３０）の提供、各整向面（７８）を、ローター（２８，３０）が整向された状態において、互いに所定の向きに向けられているよう、整向面（７８）をローター（２８，３０）に設けるステップ、整向面（７８）に基づいて、整向面（７８）に所定の向きで適合されたツール（８２）によってローター（２９，３０）を整向するステップを有する方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転容積式真空ポンプ、特にスクリュー式真空ポンプの製造のための方法であって、以下のステップ、つまり、ハウジング（１６）の提供、ハウジング（１６）内に配置するための、ポンプ効果を奏する二つのローター（２８，３０）の提供、各整向面（７８）を、ローター（２８，３０）が整向された状態において、互いに所定の向きに向けられているよう、整向面（７８）をローター（２８，３０）に設けるステップ、整向面（７８）に基づいて、整向面（７８）に所定の向きで適合されたツール（８２）によってローター（２９，３０）を整向するステップを有する方法。
【請求項２】
整向面（７８）の少なくとも一方が、平坦化部として形成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
整向面（７８）が少なくとも基本的に同じ軸方向位置においてローター（２８，３０）に設けられることを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
少なくとも一つの整向面（７８）がローター（２８，３０）において、作業過程の間に設けられ、当該作業過程中に、ローター（２８，３０）のポンププロフィル（３８，４０）が形成されることを特徴とする請求項１から３の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項５】
整向面（７８）が、それぞれローター（２８，３０）における位置、つまりポンプ（１０）が組み立てられた状態で吸い込み空間（６７）、特に吐出空間に存在する位置に設けられることを特徴とする請求項１から４の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項６】
ローター（２８，３０）を整向するためのツール（８２）が、ポンプのインレット（２２）またはアウトレットを通ってハウジング内に挿入されることを特徴とする請求項１から５の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項７】
整向面（７８）がそれぞれ、ローター（２８，３０）が整向された状態で、ローター断面に関して対称に配置されていることを特徴とする請求項１から６の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項８】
少なくとも一つの整向面（７８）が、軸方向において、ローター（２８，３０）のポンプ効果を奏する領域の一方の側に設けられ、これに、トルク伝達要素（４３）がローター（２８，３０）に設けられることを特徴とする請求項１から７の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項９】
ツール（８２）が、整向された状態でローター（２８，３０）の整向面（７８）に当接するため、それぞれ協働面（８４）を有し、その際、協働面（８４）がくさび形状を形成することを特徴とする請求項１から８の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１０】
くさび形状が、自己係止するよう形成されていることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
ツール（８２）が、整向された状態でローター（２８，３０）の整向面（７８）に当接するため、それぞれ協働面（８４）を有し、その際、協働面（８４）が整向面（７８）と当接させられることによって、ローター（２８，３０）が整向されることを特徴とする請求項１から１０の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１２】
回転容積式真空ポンプ、特にスクリュー式真空ポンプのローター（２８，３０）の整向のための方法であって、その際、ローター（２８，３０）が、ローター（２８，３０）に設けられる整向面（７８）に基づいて、整向面（７８）に適合されたツール（８２）によって整向されることを特徴とする方法。
【請求項１３】
特に請求項１から１１のいずれか一項に従い製造される回転容積式真空ポンプ、特にスクリュー式真空ポンプであって、ハウジング（１６）及びポンプ効果を奏するよう形成された二つのローター（２８、３０）を有し、これらが、ハウジング（１６）内に配置されており、その際、ローター（２８，３０）が、其々、ローター（２８，３０）の整向のための整向面（７８）を有することを特徴とする回転容積式真空ポンプ。
【請求項１４】
回転容積式真空ポンプ（１０）のローター（２８，３０）の整向のためのツール（８２）であって、ツール（８２）がそれぞれ、回転容積式真空ポンプの各ローター（２８，３０）の整向面（７８）への当接のための二つの協働面（８４）を有することを特徴とするツール（８２）。
【請求項１５】
請求項１３に記載の回転容積式真空ポンプと請求項１４に記載のツールを有するシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転容積式真空ポンプ、特にスクリュー式真空ポンプの製造のための方法に関する。この方法において、ハウジング、および該ハウジング内に配置するためのポンプ効果を奏するよう形成された二つのローターが提供される。
【０００２】
本発明は、回転容積式真空ポンプ、特にスクリュー式真空ポンプのローターの整向のための方法にも関する。
【０００３】
更に本発明は、回転容積式真空ポンプ、特にスクリュー式真空ポンプであって、ハウジングと、当該ハウジング内に配置されており、ポンプ効果を奏するよう形成された二つのローターを有するものに関する。
【０００４】
更に本発明は、回転容積式真空ポンプの二つのローターの整向のためのツールにも関する。
【０００５】
更に、本発明は、上述した形式の回転容積式真空ポンプと、上述した形式のツールを有するシステムにも関する。
【背景技術】
【０００６】
二つのローターを有する回転容積式真空ポンプは、通常複雑なローター形状を有する。ローターは、互いに、可能な限り正確に整向される必要がある。確実、効率的、かつ効果的な作動を保証するためである。
【０００７】
規範的なスクリュー式真空ポンプの二つのスクリュー式ローターは、その間に、そしてハウジングに対して、狭い間隙を形成する。間隙は、衝突、又は摩擦を回避可能とするため確かに必要ではある。しかしこれは可能な限り小さく保たれるべきである。そのような間隙は、通常、数十分の一ミリメートルである。これによって、製造公差および組立公差には高い要求がなされる。ローターは、よって、互いに整向され、そして例えば、相応する相対的向きにシンクロするギアの歯車を適用することによって設定される。
【０００８】
整向は、例えば、歯車の組み立ての際にローターにトルクがかかり、これが例えばローターのトーションを引き起こし、及び／又はその大きさに影響を与えることによって弱められることが可能である。
【０００９】
一般的に、回転容積式真空ポンプの二つのローターの整向は、特に、製造の際にもメンテナンス、又は修理の際にも大きな労力を要する。先行技術における回転容積式真空ポンプの二つのローターの整向のための方法においては、ローターは、ロータープロファイルの間に存在する間隙が、隙間ゲージによって定義され、ローターが、例えばハウジングに対して設定され、そして引き続いて同期歯車が適用されることによって整向される。そのような方法は、多数の、特に手作業での個別ステップを必要とする。更にこのためには、多数の特別なツールと、特別な手作業でのスキルが必要とされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】欧州特許出願公開第２５３２８９５Ａ１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
よって本発明の課題は、回転容積式真空ポンプ、特にスクリュー式真空ポンプの二つのローターの整向を簡単にすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この課題は、請求項１に記載の方法によって、特に以下のステップによって解決される。整向面が、ローターが整向された状態で互いに所定の向きにあるよう各一つの整向面をローターに設けるステップ、整向面に所定の向きで適合されたツールによって整向面に基づいてローターを整向するステップ。
【００１３】
ツールによって、つまりローターは、特に簡単に整向される。本発明に係る方法は、原理的に複数のツールを必要とせず、一つのツールのみを必要とする。これは、特別なツールであることも可能であるが、しかしまた、これによっても整向が簡易化される。基本的に、ツールを整向面と合わせるために手動での特別な技術は必要とされない。整向を実施する人は、つまり例えば、特別な教育や指導を必要とせず、相応する短い教育や指導のみを要する。
【００１４】
基本的に、整向面が、回転容積式真空ポンプのポンプ作用に影響しない、又は本質的でない程度のみしか影響しない、又は損なわないよう整向面を設け、及び／又は形成することは有利である。
【００１５】
少なくとも一つの整向面は、例えば平坦化部として形成されることが可能である。これは特に簡単に製造可能である。同様に、整向面のうち少なくとも一つが、スリットにより形成されるとき、簡単に製造されることが可能である。例えば、整向面は、切削によって形成されることが可能である。これは特に、これがローター軸を横切るように、特にローター軸に対して少なくとも基本的に直角に移動されることによって行われる。
【００１６】
この文献の枠内で、整向面の少なくとも一つに関する特徴が記載される限り、これら特徴は特に二つの整向面、特に両方の整向面、又は複数の整向面に対して意図されることが可能である。
【００１７】
更なる発展形では、整向面は、少なくとも基本的に同じ軸方向位置でローターに設けられる。これによって、ツールによってローターに沿う間隔が補償される必要が無くなる。ツールは、つまり比較的小さく形成されていることが可能である。更にこれは、ツール内での有利な力の分配にも通じる。
【００１８】
例えば、整向面の少なくとも一つが、平らに形成されていることが可能である。平らな整向面は、例えば、旋盤によって同様に簡単に製造することができ、そしてツールの当接にとって、および力の分配にとって有利である。
【００１９】
特に、整向面の少なくとも一つは、相応するローターのローター軸に対して垂直に延びていることが可能である。
【００２０】
一つの発展形にしたがい、整向面の少なくとも一つが、ローターにおいて、ローターのポンププロフィルが形成される作業ステップの間に設けられる。これによって、整向面は、ポンププロフィルに対して特に正確に配置され、そして形成されることが可能となる。特に、この作業ステップの間、詳しく言うと、整向面の切削のため、およびポンププロフィル、特にスクリュープロフィルの切削のためにローターの締め付けが維持される。
【００２１】
更なる発展形においては、整向面が、それぞれローターにおける位置、つまりポンプが組み立てられた状態での吸い込み空間、特に吐出空間に存在する位置に設けられる。「吸い込み空間」の概念は、ポンプのハウジングの内部の全てのプロセスガスボリュームに関する。吸い込み空間と、特に吐出空間には、比較的多くのスペースがあるので、ツールはこれによって簡単かつ確実に挿入されることが可能である。
【００２２】
特に、ツールは、ローターの整向のため、ポンプのインレットおよびアウトレットを通してハウジング内へと挿入されることが可能である。これは、ローターが、整向の際、特に完全にハウジング内に配置されていることが可能であるというメリットを有する。例えば、整向の前、及び／又はトルク伝達要素、及び／又は同期要素をを持ち込む前にローターに、支承装置、及び／又はシールが組付けられることが可能である。その際、ハウジング、支承装置、及び／又はシールは、特に回転容積式真空ポンプのそれは、製造された状態で意図され、そして整向の後、特に最終位置の前に、もはや取り外されない。更に、ツールは、特に簡単に開口部を通して、つまりインレットおよびアウトレットを通して挿入されることが可能である。これらは、いずれにせよ真空ポンプに設けられている。つまり特に追加的なアクセス部が設けられている必要がない。
【００２３】
有利には、整向面がそれぞれ、ローターが整向された状態で、ローター断面に関して対称に配置されている。
【００２４】
少なくとも一つのローターには、その整向面に対して、相応する形状が設けられることが可能である。これによって、ローター中の相応するアンバランスが防止される。
【００２５】
更なる発展形においては、整向面の少なくとも一つが、軸方向において、ローターのポンプ効果を奏する領域の一方側に設けられ、これにおいてトルク伝達要素、特に同期要素、特に同期ギアの歯車が、ローターに設けられ、特に固定される。よって、トルク伝達要素の組み立ての際に発生するトルクが、ローターのポンプ効果を奏する領域を介して、特にそのポンププロフィルを介して導かれるということが防止される。その代わり、トルクはツールによって受け止められる。これは、トルクが組み立ての際に見込まれる場合に、正確な整向を可能とする。例えば、整向面の少なくとも一つは、軸方向において、歯車座とローターのポンプ効果を奏する領域の間に設けられることが可能である。
【００２６】
一つの発展形は、ツールが、整向された状態でローターの整向面に当接するため、それぞれ協働面を有し、その際、協働面がくさび形状を形成することに特徴を有する。これによってツールは特に正確に整向面に当接させられることが可能である。例えば、平行な整向面と協働面においては、ツールを挿入するため、所定の遊びが設けられる必要がある。これと反対に、くさび形状は、実践的に遊び無く作られる、又は整向面に設けられることが可能である。つまり特に正確なローターの整向が保証される。
【００２７】
特にくさび形状は自己係止するよう形成されていることが可能である。この場合、場合によってローター内に発生するトルクが自動的にツールによって受け止められることが可能であり、そして整向は、更に正確に実施されることができる。更にこれによって、ツールは別に定位置（そのために場合によっては追加的な保持ツールが必要であろ位置）に保持される必要がない。
【００２８】
くさび形状は、例えば１度から１０度の間の角度、特に３度以上、及び／又は８度以下であり、特に例えば６度であることが可能である。その際、「以上」、および「以下」とは、記載された値を含むと解される。
【００２９】
特に、ツールが、整向された状態でローターの整向面に当接するため、それぞれ協働面を有することが可能であり、その際、協働面が整向面と当接させられることによって、ローターが整向される。
【００３０】
例えば、ローターは、ツールによって整向された位置に回転させられることが可能である。例えば、ツールは、整向のため、ローターの間に案内されることが可能である。特にこれは、ローター軸に対して少なくとも基本的に直角な方向において行われる。その際、ローターを回転させるために必要な力は、例えばツールのみによって導入されることが可能である。代替として、例えば、アクセス可能なローターが手動で回転させられることも可能である。
【００３１】
本発明の課題は、請求項１２に従う方法によっても解決される。これは特に、ローターが、ローターに設けられる整向面に基づいて、整向面に適合されたツールによって整向されることによって解決される。
【００３２】
本発明の課題は、請求項１３に記載の回転容積式真空ポンプによっても解決される。これは詳しく言うと特に、ローターが、それぞれローターの整向のための一つの整向面を有することによって解決される。
【００３３】
本発明の課題は、請求項１４に記載のツールによっても解決される。これは特に、ツールが、二つの協働面を、それぞれ、回転容積式真空ポンプの各ローターの整向面への当接のために有することによって解決される。
【００３４】
ツールは、例えば、整向部分、及び／又は保持部分を有し得る。両方が、例えば独立した部材として形成されていることが可能であり、そして例えば固定的に接続され、例えばねじ締結され、及び／又は溶接されていることが可能である。整向部分は、特にその協働面は、特に切削処理によって形成されていることが可能である。これによって、高い正確性が達成されることができる。保持部分は、例えば、低い正確性で製造されることが可能であり、そして例えば、特に曲げられた薄板部材として形成されていることが可能である。
【００３５】
協働面は、特に、例えば対照的なくさび形状を形成し得る。特に協働面と整向面は、ローターにおいて、平らに、及び／又は整向された状態ですくなくともきほんてきに互いに遊び無く当接するよう形成されていることが可能である。
【００３６】
本発明の課題は、請求項１５に記載のシステムによっても解決される。
【００３７】
ここに記載される方法、ポンプ、ツール、およびシステムは、ここに記載される方法、ポンプ、ツール、およびシステムの実施形、または発展形の任意の特徴の意味において有利に発展させられることが可能である。
【００３８】
発明に係るツール、又は発明に係る整向は、例えば、スクリュー式真空ポンプのスクリュー式ローターの測定のための方法も簡易化されることが可能である。そのような規範的な測定方法においては、対としてのローターは、ローラーブロック上に置かれ、そして回転可能に支承される。ローターは、ツールを介して整向される。同期歯車、例えばダミー歯車がローター上にもたらされる。ツールは引き離される。ローターは互いに転動させられ、その際、フィラーゲージによって、ローターに沿った最小間隙寸法が検出される。最大間隙寸法は、例えば、検出される必要がない。ポンプの最終圧力のために決定され、そしてこのため簡単に決定可能であり、そして特に、いずれにせよ最終管理の枠内で決定されるからである。本発明は、ポンプの性能のみならず、ローターの測定も簡単にする。
【００３９】
ハウジング内に設けられる二つのローターを有する例示的なスクリュー式真空ポンプの製造のための方法が以下に説明される。
【００４０】
ローターは、まずポンプの吸い込み空間内、又はハウジング内に挿入される。整向の前、又は同期の前に、其々支承部を有する二つの支承部シールドが、固定支承部、およびルーズ支承部と共に、およびシールが組付けられるので、ローターは完全に、最終的な支承部装置によって支承されている。
【００４１】
整向面の配置に応じて、整向ツールは、インレットフランジ、又はアウトレットフランジを通して吸い込み空間内に挿入される。インレットフランジは、通常、アウトレットフランジよりも大きい。よって、整向面は、特に吸い込み空間のインレット領域、又はアウトレット領域に設けらており、特に簡単なアクセスを可能とする。各ローターにおけるコンポーネントの配置は、有利には、組み立てに起因するトルクによるローターのトーションが、最小限であり、つまり例えば、歯車が、同じローター端部に、および整向面、又はツール位置の近くに配置されているように選択される。
【００４２】
ローターは、例えば平坦化部をツールの当接のための整向面として有する。アンバランスを防止するために、各ローターは対称に配置された平坦化部の対を有する。つまり、整向面として使用される平坦化部の補償のための追加的な平坦化部を有する。特に、二段のスクリュープロフィルにおいては、これによって特に高いバランス品質が、特にローターのバランスとりの前に既に達成されることが可能である。
【００４３】
ローターの整向面は、組み立ての前にスクリュープロフィルと一緒に切削によって作られる。その際、各整向面は、プロフィルの製造のための基準として使用されることが可能である。これは、特に正確な整向のための基礎を形成する。整向面は、例えば各ローターの、例えば３Ｄ座標軸機械による、測定のための基準としても使用されることが可能である。
【００４４】
ローターの整向のため、ツールは、ローターの間に案内される。ツールの整向部分は、例えば、くさび形状に形成され、そして、両方のローターは、ツールが両側で平らに当接するまで互いに回転する。これは、特にツールの平行な整向面、又は協働面と比較して、ツールの遊びのない当接、高い整向正確性、およびツールおよび整向面に対する比較的大きな製造公差を可能とする。面の角度、及び／又は間隔は、特に、組み立ての間のトルクが受け止められることが可能であり、そして比較的浅い差し込み深さがツールのために必要であるように選択される。例えば、自己係止する角度は、整向された状態の整向面の間で、又は整向面との当接のためのツールの協働面の間で、１度から１０度の間、特に３度から８度の間、特に約６度とされていることが可能である。
【００４５】
ツールは、正確に作られた整向部分と、安価に製造された保持部分を有する。保持部分は、整向部分と、例えばスクリューを介して接続され、または溶接されている。
【００４６】
同期ギアの歯車は、ローターの組み立ての後、ハウジング内でローターに組付けられる。その際、導入されるトルクはツールを介して受け止められる。歯車によって、又は同期ギアによってローターは互いに同期させられる。引き続いてツールは引き離される。
【００４７】
本発明を以下に単に例示的にのみ、簡略化した図面に基づいて説明する。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】スクリュー式真空ポンプの斜視図
【図２】図１のスクリュー式真空ポンプの上面図
【図３】図１および２のスクリュー式真空ポンプの側面図
【図４】図３に示された線Ａ−Ａに沿うスクリュー式真空ポンプの断面図
【図５】図１から４のスクリュー式真空ポンプの浸漬クーラー
【図６】図１から４のスクリュー式真空ポンプの吸引領域の断面図
【図７】図１から４のスクリュー式真空ポンプの二つのローターを整向するためのツールとともに吸引領域を別の断面図で示す図
【図８】図７のスクリュー式真空ポンプの上面図
【図９】整向工程において図７および８に示されているような、ローターの整向のためのツールの図
【発明を実施するための形態】
【００４９】
図１から３には、スクリュー式真空ポンプが示されている。これは、モーター１２、ギアボックス１４、ハウジング１６、支承部シールド１８、およびカバー２０を有している。スクリュー式真空ポンプ１０は、プロセスガスをインレット２２から、下に向けられた、図３に見て取ることが可能なアウトレット２４に搬送する。
【００５０】
モーター１２のために、アクティブな流体冷却部を設けられている。これは、モーター１２のハウジングから出ている。ハウジング２８の内部に設けられ、そして図４に見て取ることが可能であるスクリュー式ローター２８および３０のために、同様に、アクティブな流体冷却部が設けられている。これは、二つの冷却配管を有する。これらは図１には表わされていない。しかしその延在は、ハウジング１６の対応する溝３２によってあらわされている。これら溝の中に冷却配管がはめ込まれているのである。さらにアクティブな流体冷却部は、ギアボックス１４内と、カバー２０内に設けられており、そしてここでは、それぞれ浸漬クーラー３４として形成されている。これらは、以下に図５に基づいて詳細に説明される。
【００５１】
図１から４に見て取れるように、スクリュー式真空ポンプ１０のハウジング１６は、サイドカット３６を有する。サイドカット３６は、アウトレット２４の領域に設けられている。
【００５２】
図４には、スクリュー式真空ポンプ１０が断面図で示されている。その断面は、図３の線Ａ−Ａに対応している。二つのスクリュー式ローター２８および３０が見て取れる。これらはそれぞれ、二段の、入れ子式に係合するスクリュー状プロフィル３８および４０を有している。これらは、サイクロイドプロフィルを使って造られており、そしてスクリュー状基部のシリンダー状の基本形状とシリンダー状のスリーブ輪郭を有している。スクリュー状プロフィル３８および４０は、ハウジング１６と相互作用し、スクリュー式真空ポンプ１０のポンプ効果を奏する領域を形成する。そしてこれは、閉搬送量をインレット２２からアウトレット２４へと、つまり左から右へと繰り返し搬送する。
【００５３】
スクリュー式真空ポンプ１０のポンプ性能は、ポンプ効果を奏する領域における様々な間隙のサイズと態様に依存する。これは、ローター２８，３０とハウジング１６の相対動作に基づいて不可避ではあるが、しかし良好なポンプ性能のために、小さく、そして可能な限り一定に保たれるべきである。関与する部材中における温度変化は、その変形へと通じる。ここで説明した、ポンプ１０内の熱を回避し、連行し、そして一般的に抑制する措置は、よって、可能な限り少ない変形と、ひいては可能な限り支配可能な間隙を実現する。間隙は、つまり正確に検討されることが可能であり、このことは、ポンプ性能、又はその効率を改善する。
【００５４】
スクリューモーター２８は、直接、つまり中間接続された連結部を介さず、モーター１２によって駆動される。スクリューモーター３０は、これと反対に同期ギア４２を介して歯車４３によってスクリューローター２８に対して所定の角度で駆動される。
【００５５】
モーター１２は、ハウジング４４を有する。ハウジングは、例えばアルミニウムから作られており、そしてその中に、アクティブな流体冷却部のための冷却配管２６が形成されている。モーター１２は、更に、巻線ステーター４６を有している。このステーターは、スクリューローター２８のシャフト端部に設けられたマグネットキャリア４８と共に、磁気的モーター、およびスクリューローター２８のための直接駆動部を形成する。スクリューローター２８は、モーター１２の回転しを形成する。マグネットキャリア４８は、複数の永久磁石を有している。モーター１２は、つまりＩＰＭＳＭとも称される、統合された複数の磁石を有する永久磁石同期機械を形成する。
【００５６】
ステーター４６は、鋳造体５０内に配置されており、鋳造体は、ステーター４６における詳説されない伝導体を絶縁し、そしてこれを絶縁しつつ基板５２へ案内する。鋳造体５０は、ここでは基板５２と共にモーター１２の、ある大気圧の領域において設けられている制御エレクトロニクスに対して真空密な接続部を形成する。例えば、モーター１２のための外部の周波数変換器が設けられることも可能である。代替として、又は追加的に、基板５２上にモーター１２のための制御エレクトロニクスの少なくとも一部が設けられていることが可能である。
【００５７】
ギアボックス１４内には、同期ギア４２が設けられている。ギアボックス１４内には、更に、オイルが潤滑剤として配置されている。これは、スプラッシュディスク５４によって同期ギア４２にわたって、および隣接する支承部５６にわたって分配される。
【００５８】
サイドカット３６は、シールド、又は熱バリアを形成する。これは詳しく言うと、特に、スクリューローター２８，３０の領域においてポンプ作動の間に発生する熱のためのものである。より少ない材料断面が残ることによって、及び変形によって熱パスが変更されることによって、スクリューモーターからの熱（そうでなければハウジング１６内で広がる熱）が、その他の領域に至ることが防止される。よって特にオイルはギアボックス１４内において、そして支承部５６は、あまりに高い温度から保護される。ギアボックス１４内に配置された浸漬クーラー３４は、同様に温度減少に貢献する。これは、ギアボックス１４内の図示されないオイル槽中に配置され、よってオイルを直接冷却する。
【００５９】
各スクリューローター２８及び３０のために、支承部５６（ここでは固定支承部を形成する）に隣接して、デフレクター５８として形成された潤滑剤連行装置が設けられている。各デフレクター５８は、ギアボックス内でオイルのためのバリアを形成する。よって、ポンプ効果を奏する領域、又は真空領域、特にアウトレット領域に至らない。デフレクター５８は、詳細には見て取ることができないオイルのための遠心分離エッジを有している。遠心分離エッジに対して、ハウジング１６内には、フローオフ溝が形成されている。このフローオフ溝は、遠心分離されるオイルを収容し、そしてこれをギアボックス１４内へと、又はそこのオイル槽へと導く。スプラッシュディスク５４によってギア４２へ、および支承部５６へ搬送される、又は分配されるオイルは、よって、デフレクター５８によって再びローター２８または３０へと排出される。
【００６０】
動的なフルードシールとしてピストンリングが、ピストンリングキャリア６０に設けられている。これは、非接触式のシールを形成し、よって摩擦熱を防止する。デフレクター５８は、可能な限り多くのオイルをギアボックス１４へと戻すので、既にできる限り少ないオイルがピストンリングにある。よって、全体として許容されるシール性が、特に低い熱発生のもと達成される。
【００６１】
スクリューローター２８および３０は、そのそれぞれのスクリュープロフィル３８または４０において、異なる傾斜の三つの部分を有する。ポンプ方向において第一の部分６２は、図４において左側で、吸引領域を形成しており、そして一定で、かつ三つの部分で最も大きな傾斜を有する。第一の部分６２は、スクリュー軸６３（これは各ローター２８または３０に沿って延びている）に関して、第一の部分内の閉じられた搬送量よりも長い。第二の部分６４は、複数の下位部分を有する。これらは、詳細には参照されていない。下位部分は、それぞれ一定の、スクリュープロフィル３８又は４０において異なる傾斜を有している。その際、傾斜は、第一の部分におけるよりも小さい。第二の部分６４は、ここでは最も長い部分を形成する。より低い傾斜を有する第三の部分６６は、排出部分を形成する。第三の部分は、ここでもまた、一定の傾斜である。ポンプ方向に沿って減少する傾斜によって、内側での圧縮が行われる。これは、ポンプガスを既に排出の前に圧縮する。
【００６２】
ローター２８，３０、又は、スクリュープロフィル３８，４０は、一定の部分の存在によって特に簡単に検討され、そして製造されることが可能である。図４に見て取れるように、延ばされた第一の部分６２は、相応して、スクリュープロフィル２８，３０とハウジング１６の間の拡張された間隙へと通じるので、経路、又は間隙は、内側のシールから当該部分６２および６４の移行部において、吸い込み空間に対して、又は吸引領域６７に対してより長い。相応して、間隙のシール性も高まる。これは特に、高い圧力差において内側のシールの吸引領域６７に対する改善されたシール性へと通じる。
【００６３】
スクリュー式真空ポンプ１０は、内側のシールを有する。ポンプ１０のスクリュー式ローラー２８、３０は、ここでも、ハウジング１６と相互作用し閉じられた搬送量を取り囲む。そのサイズは、インレット側の端部において、又は部分６２において、アウトレット側の端部において、又は部分６２においてよりも大きい。搬送量のサイズは、スクリュープロフィル３８，４０の断面によって、およびその傾斜によって決定される。
【００６４】
インレット側、又は部分６２における搬送量のサイズは、スクリュー式ポンプ１０の理論的吸引性能を決定する。スクリュープロフィル３８，４０の傾斜は、インレット側で部分６２にわたって一定であり、よって搬送量は、内側のシールを通り分かれた後に初めて圧縮される。各ローター２８，３０が各搬送量をあまりに早く、またはあまりに遅く取り囲むと、または内側の圧縮があまりに早く開始すると、ポンプの理論的な吸引性能は沈む。
【００６５】
アウトレット側、又は部分６６における各搬送量のサイズが、達成可能な最終圧力での作動中のポンプの入力を決定する。インレット側における、およびアウトレット側における、又は部分６２及び６６における搬送量のサイズの比率は、ポンプの内側の圧縮の比率に相応する。
【００６６】
部分６６においては、傾斜はスクリュープロフィル３８，４０の複数の回転にわたって一定である。傾斜はその際、所定の処理ツールによって達成可能な傾斜の略最小に相当し、よって、特にコストを考慮すると製造技術に起因している。複数の回転が、つまり複数の閉じられた搬送量が、部分６６内に意図されていることによって、間隙の間の圧力差の結果の逆流は補償される。全体として、特に  ローター２８，３０の全体の傾斜の延びと、ローター２８，３０とローター２８，３０とハウジング１６の間に形成される間隙の間のサイズが、ポンプの真空技術的な性能データ、つまり特に吸引性能と、達成可能な最終圧力を決定する。
【００６７】
スクリュープロフィル３８，４０は、その二段の態様によって、特に低いアンバランスを有する。つまり例えば補償要素（追加的な構造空間を要求する、例えば補償質量のようなもの）、及び／又は、補償穴（この穴の中に質量が保存されることが可能である）が必要ない。ポンプは、二段のサイクロイドスクリュープロフィル３８，４０によって、更なる回転数領域で、特に回転数盛業によって、及び／又はスタンバイ作動モードで運転されることが可能である。
【００６８】
プロセスガスの圧縮は、一般的に熱を発生する。熱は、スクリュー式ポンプ１０において、特に流体冷却部によって冷却される。図４には、このために設けられる溝３２が見て取れる。流体冷却部のための冷却配管は、ここに延びており、そして好ましくは、スクリュープロフィルの別の領域にわたって長手方向に、特にスクリュープロフィルの長さの半分にわたって延びている。特に、流体冷却部は、内側の圧縮の領域に、又はその近傍に配置されている。
【００６９】
ハウジング１６のインレット側の端部には、支承部シールド１８が固定されている。これは、特に支承部６８を有する別の支承装置を担持する。これはルーズ支承装置を形成する。対向する、アウトレット側のハウジング端部に設けられる支承部シールド７０（ハウジングと統合的に形成されているが、別体式に形成されていることも可能である）と反対に、支承部シールド６８は、独立した部材として形成されているが、しかしまた統合的に形成されていることも可能である。
【００７０】
インレット側では、同様にスプラッシュディスク５４、デフレクター５８および複数のピストンリングを有するピストンリングキャリア６０が設けられている。これらは、アウトレット側の装置と対応して作動する。インレット側では、別の別体式に形成されたオイル槽がカバー２０を有している。このオイル槽のためにも、浸漬クーラー３４が設けられている。代替として、または追加的に、例えば冷却配管が支承部シールド１４及び／又はカバー２０の壁部内に設けられている、特に鋳込まれていることも可能である。
【００７１】
ポンプ１０を通した排ポンプ過程の初期には、通常インレット２２はアウトレットと基本的に同じ圧力である。排ポンプ過程の間、これと反対に、インレット２２における圧力は、最終圧力まで下がる。最終圧力は、生じる力に関して基本的にゼロである。よって、アウトレット２４における圧力は、ローター２８へ力を及ぼす。これは、排ポンプ過程の初期におけるものと異なるものである。この力を保証するために、例えば、予負荷装置、特にばねが設けられていることが可能である。これは、特に、ローターのルーズ支承部において、及び／又はインレット側に設けられている。予負荷装置は、例えば、傾斜して形成された歯車によってローターに及ぶ力を収容する、及び／又は一般的に、支承部の検討に適した予負荷を、変化する圧力又は圧力比率における運転状態に関わらず補償する。
【００７２】
図５には、浸漬クーラー３４が、どのようにギアボックス１４内、又はスクリュー式真空ポンプ１０のカバー２０内に配置されているかが表わされている。この実施形においては、浸漬クーラー３４は同一に形成されており、このことは、より少ない部材重複と、より低い製造コストに通じる。
【００７３】
浸漬クーラー３４は、冷却配管７２を有する。これは、冷却体７４を通って延びている。冷却体は、冷却体の表面積を高めるための構造化部を有している。熱伝達性を最適化するためである。浸漬クーラー３４は、更に、フランジ７６を有する。これによって浸漬クーラー３４は固定される。
【００７４】
図６には、スクリュー式真空ポンプ１０の吸引領域６７が斜視断面図で表されている。吸引領域６７には、それぞれスクリュープロフィル３８，４０の吸引側の端部が配置されている。これらは、その回転の結果、およびカバー面７７のエッジとの相互作用によって、搬送量を取り囲むことを繰り返し、そして回転軸に沿ってアウトレット２４へと搬送を行う。
【００７５】
スクリュー式ローター２８および３０は、それぞれ、整向面７８を有している。そのうち、図６には、ローター２８のみが見て取ることができる。更に、ローター２８及び３０は、整向面７８にそれぞれ対向して補完的な形状、又は補償面８０を有する。補償面８０のうち、図６にはここでもまたローター３０のそれだけが見て取ることができる。補償面８０は、相応する整向面７８によってアンバランスを回避する。
【００７６】
整向面７８は、ここでは、それぞれ平坦化部として形成されており、これは、ローター内の切削によるスリットによって形成されている。スリットは、ローター軸に対して垂直に延びている。整向面７８は、壁部７９に隣接している。目的にかなって、ここでは整向面７８は相応して形成されている。
【００７７】
図７には、ツール８２によるスクリュー式ローター２８，３０の整向過程が表わされている。ツール８２、又はローター２８，３０は、その際、整向された位置において、又は整向された状態において示されている。ツール８２の協働面８４（図７には斜視図であることに基づいてローター３０の方に向けられているもののみが見て取ることができる）は、整向面７８との接して存在している。
【００７８】
ローター２８，３０に対して直角な方向、ここではツールの上下、又は長手方向に関するツール８２の位置は、基本的にローター２８，３０の位置を決定する。ツール８２の移動を基本的にこの方向においてのみ可能とするために、壁部７９はツール８２のガイドを形成する。
【００７９】
ツール８２は、ローター２８、３０の整向のため、インレット２２を通して、吸い込み領域、ここではスクリュー式ポンプ１０の吸引領域内へと導入されている。吸い込み領域にも、整向面７８が設けられている。ツール８２は、つまり極めて簡単にローター２８，３０の整向のため、導入されることが可能である。特に、ローター２８，３０は、整向の時点において既に完全に支承されており、そしてシールされており、そしてあらかじめ独立して整向される必要がない。
【００８０】
図８の側面図に基づいて、ツール８２とローター２８，３０の相互作用が再び見て取れる。図８に見て取れるように、協働面８４は平らで、そして互いにくさび形状に形成されている。図示された、整向された位置では、協働面８４は、整向面７８に遊び無く接している。この位置において、相応して整向面７８がＶ字形状に、または対照に形成されている。
【００８１】
ローター２８、３０を整向された位置とするため、ツール８２を所定の力で上から導入することのみが必要である。ツール８２によって、ローター２８，３０は、その際、整向された位置へと回転させられる。
【００８２】
協働面８４は、ツール８２が自己係止して形成されているよう、互いに整向されている。スクリュー式ローター２８，３０内に発生するトルクは、よって、ツール８２をスライドさせず、整向された位置からずれない。その替わりにトルクは、ローター２８，３０内において自動的にツール８２によって受け止められる。
【００８３】
ツール８２は図９に詳細に示されている。二部品式に形成され、そして整向部分８６と保持部分８８を有する。整向部分８６は、正確に切削過程によって作られる。保持部分８８は、曲げられた薄板部材として形成され、よって極めて安価に製造されることが可能である。整向部分８６は、保持部分８８とねじ締結されている。ツール８２が比較的小さく、かつ平坦であるのが見て取れる。極めて便利に、かつ全体として比較的安価に製造可能である。
【符号の説明】
【００８４】
１０  スクリュー式真空ポンプ
１２  モーター
１４  ギアボックス
１６  ハウジング
１８  支承部シールド
２０  カバー
２２  インレット
２４  アウトレット
２６  冷却配管
２８  スクリュー式ローター
３０  スクリュー式ローター
３２  溝
３４  浸漬クーラー
３６  サイドカット部
３８  スクリュープロフィル
４０  スクリュープロフィル
４２  同期ギア
４３  歯車
４４  ハウジング
４６  ステーター
４８  マグネットキャリア
５０  鋳造体
５２  基板
５４  スプラッシュディスク
５６  支承部
５８  デフレクター
６０  ピストンリングキャリア
６２  第一の部分
６３  スクリュー軸
６４  第二の部分
６６  第三の部分
６８  吸引領域
６８  支承部
７０  支承部シールド
７２  冷却配管
７４  冷却体
７６  フランジ
７７  カバー面
７８  整向面
７９  壁部
８０  補償面
８２  ツール
８４  協働面
８６  整向部分
８８  保持部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2019113063.tif 000011
【外国語明細書】
2019113063000001.pdf