(57)【要約】【課題】ポーラスチャックテーブルとジグチャックテーブルとを交換可能な構成においても、ポーラスチャックテーブルの上に被加工物が載っているか否かを正確に判定できる切削装置を提供する。【解決手段】第１分岐路８３に設けられる第２開閉バルブ８６と、第１分岐路８３の第２開閉バルブ８６とテーブルベース１８との間に設けられ第１分岐路８３の圧力を測定する圧力センサ８７と、第１開閉バルブ８５を開いた状態で、圧力センサ８７で測定される負圧が基準値に至らない場合、ポーラスチャックテーブル１２０にフレームユニット１０３が載置されていないと判定する判定部７４と、ポーラスチャックテーブル１２０がテーブルベース１８に固定された状態において、判定部７４で判定する際に、第２開閉バルブ８６を閉じる開閉バルブ制御部７３とを備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を吸引保持するチャックテーブルがテーブルベースに交換可能に固定される吸着ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該チャックテーブルに被加工物が載置されているか否かを判定する判定機構と、を備え、該チャックテーブルは、ポーラス面で被加工物を吸引保持するポーラスチャックテーブルと、保持面に形成された吸引開口で被加工物を吸引保持するジグチャックテーブルとから選択される切削装置であって、
該吸着ユニットは、
一端が吸引源に接続し、他端が第１開閉バルブを介して分岐点に接続する吸引路と、
一端が該分岐点に接続し、他端が該テーブルベースに接続して該チャックテーブルの保持面に負圧を作用させる第１分岐路と、
一端が該分岐点に接続し、他端が該テーブルベースに接続して該チャックテーブルの保持面に負圧を作用させる第２分岐路と、を備え、
該判定機構は、
該第１分岐路に設けられる第２開閉バルブと、
該第１分岐路の該第２開閉バルブと該テーブルベースとの間に設けられ該第１分岐路の圧力を測定する圧力計と、
該第１開閉バルブを開いた状態で、該圧力計で測定される負圧が基準値に至らない場合、該チャックテーブルに被加工物が載置されていないと判定する判定部と、
該ポーラスチャックテーブルが該テーブルベースに固定された状態において、該判定部で判定する際に、該第２開閉バルブを閉じる開閉バルブ制御部と、を備える切削装置。
【請求項２】
該吸引源は、吸引ポンプである請求項１に記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハや樹脂パッケージ基板、セラミックスやガラス基板など各種板状の被加工物を切削ブレードで切削する切削装置（いわゆるダイサー）が知られている。この種の切削装置では、切削後の被加工物がバラバラにならないよう、環状フレームにダイシングテープで被加工物を固定したフレームユニットの状態で被加工物を切削するのが一般的である。切削装置は、テーブルベース上に設置されたポーラスチャックテーブルを備え、このポーラスチャックテーブルで被加工物全体を均一に吸引保持する。
【０００３】
一方、上記したダイシングテープは使い捨てのためコスト増の要因となっており、被加工物として、チップの単価の低い樹脂パッケージ基板などを切削する場合には、ダイシングテープを使わないジグチャックテーブルをテーブルベース上に設置した切削装置が使われることがある。ジグチャックテーブルは、チップ一つ一つを吸引保持するため、それぞれチップが飛ばないように強力なバキューム力が必要であり、従来用いられるエジェクタではなく吸引ポンプという強力な吸引源が用いられる。さらに、ポーラスチャックテーブルとジグチャックテーブルの二つのチャックテーブルはそれぞれ専用機で用いられるのが通常であるが、どちらのチャックテーブルによる加工も実施したいという要望がある。このため、従来、被加工物の種別に応じて、ポーラスチャックテーブルとジグチャックテーブルとを交換可能とした切削装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４８５１２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記した切削装置では、チャックテーブルの上面に切削ブレードの刃先を接触させて、切削ブレードの原点位置を設定するセットアップという作業が行われる。このセットアップを行う場合、吸引源を用いてチャックテーブルに負圧を作用させ、この負圧の強弱によって被加工物がチャックテーブルに載っているか否かを判定することが行われる。すなわち、チャックテーブルに被加工物が載っていないと、負圧を作用してもリークによって、吸引源とチャックテーブルとを繋ぐ配管内の負圧は低い（弱い）のが通常で、その負圧が所定の基準値に至らず弱い場合に被加工物が載っていないと判定することができる。
【０００６】
しかし、上記のような二つのチャックテーブルを交換可能とした切削装置では、ポーラスチャックテーブルは、ジグチャックテーブルに比べて吸引時の流通抵抗が大きい。このため、吸引ポンプのような強力な吸引源を用いて、ポーラスチャックテーブルに負圧を作用させた場合、配管内の負圧が基準値を超えて強くなってしまい、被加工物がチャックテーブルに載っているか否かを正確に判定できなくなるという課題がある。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ポーラスチャックテーブルとジグチャックテーブルとを交換可能な構成においても、ポーラスチャックテーブルの上に被加工物が載っているか否かを正確に判定できる切削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、被加工物を吸引保持するチャックテーブルがテーブルベースに交換可能に固定される吸着ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該チャックテーブルに被加工物が載置されているか否かを判定する判定機構と、を備え、該チャックテーブルは、ポーラス面で被加工物を吸引保持するポーラスチャックテーブルと、保持面に形成された吸引開口で被加工物を吸引保持するジグチャックテーブルとから選択される切削装置であって、該吸着ユニットは、一端が吸引源に接続し、他端が第１開閉バルブを介して分岐点に接続する吸引路と、一端が該分岐点に接続し、他端が該テーブルベースに接続して該チャックテーブルの保持面に負圧を作用させる第１分岐路と、一端が該分岐点に接続し、他端が該テーブルベースに接続して該チャックテーブルの保持面に負圧を作用させる第２分岐路と、を備え、該判定機構は、該第１分岐路に設けられる第２開閉バルブと、該第１分岐路の該第２開閉バルブと該テーブルベースとの間に設けられ該第１分岐路の圧力を測定する圧力計と、該第１開閉バルブを開いた状態で、該圧力計で測定される負圧が基準値に至らない場合、該チャックテーブルに被加工物が載置されていないと判定する判定部と、該ポーラスチャックテーブルが該テーブルベースに固定された状態において、該判定部で判定する際に、該第２開閉バルブを閉じる開閉バルブ制御部と、を備えるものである。
【０００９】
この構成において、該吸引源は、吸引ポンプであってもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかる切削装置によれば、第２開閉バルブを閉じた状態で第１分岐路の圧力を測定することにより、圧力計で測定される負圧が基準値を超えて過剰に強くなることを抑制できるため、ポーラスチャックテーブルの上に被加工物が載っているか否かを正確に判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本実施形態に係る切削装置を示す斜視図である。
【図２】図２は、図２は、ジグチャックテーブルを用いた場合の吸着ユニットの内部構成と判定機構とを示す概略構成図である。
【図３】図３は、ポーラスチャックテーブルを用いた場合の吸着ユニットの内部構成と判定機構とを示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１３】
図１は、本実施形態に係る切削装置を示す斜視図である。切削装置２は、図１に示すように、各構成要素が搭載される基台４を備えている。基台４の上面には、Ｘ軸移動機構（加工送りユニット）６が設けられている。Ｘ軸移動機構６は、Ｘ軸方向（加工送り方向）に概ね平行な一対のＸ軸ガイドレール８を備えており、Ｘ軸ガイドレール８には、Ｘ軸移動テーブル１０がスライド可能に取り付けられている。
【００１４】
Ｘ軸移動テーブル１０の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレール８に平行なＸ軸ボールねじ１２が螺合されている。Ｘ軸ボールねじ１２の一端部には、Ｘ軸パルスモータ１４が連結されている。Ｘ軸パルスモータ１４でＸ軸ボールねじ１２を回転させることで、Ｘ軸移動テーブル１０は、Ｘ軸ガイドレール８に沿ってＸ軸方向に移動する。
【００１５】
Ｘ軸移動テーブル１０の上面側（表面側）には、θテーブル１６を介して、加工対象である被加工物を吸引保持する吸着ユニット１７が設けられている。また、切削装置２は、吸着ユニット１７に被加工物を吸引保持するための負圧を作用させる吸引ポンプ（吸引源）１９が接続されている。θテーブル１６は、モータ等の回転駆動源（不図示）を備え、該θテーブル１６の上部に配置された吸着ユニット１７をＺ軸方向（切り込み送り方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転させる。吸引ポンプ１９は、例えば、エジェクタ真空ポンプよりも吸引力が強く、水を吸引しても吸引力が下がらない水封式真空ポンプである。また、上述したＸ軸移動機構６によりＸ軸移動テーブル１０をＸ軸方向に移動させることで吸着ユニット１７を加工送りする。
【００１６】
吸着ユニット１７は、θテーブル１６の上部に配置されたテーブルベース１８と、このテーブルベース１８上に固定配置されたチャックテーブル２０とを備える。チャックテーブル２０は、被加工物の種別に応じて、ポーラスチャックテーブル１２０とジグチャックテーブル２２０とをテーブルベース１８上に交換して配置可能に構成されている。具体的には、被加工物としてウエーハ１００を加工する場合には、ポーラスチャックテーブル１２０をテーブルベース１８上に配置する。また、被加工物としてパッケージ基板２００を加工する場合には、ジグチャックテーブル２２０をテーブルベース１８上に配置する。ポーラスチャックテーブル１２０及びジグチャックテーブル２２０を区別する必要がない場合には、単にチャックテーブル２０と表記し、ポーラスチャックテーブル１２０及びジグチャックテーブル２２０については後述する。
【００１７】
ウエーハ１００は、例えば図１中に示すように、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。本実施形態では、ウエーハ１００は、裏面に貼着されたダイシングテープ（粘着テープ）１０１を介して環状のフレーム１０２に支持されたフレームユニット１０３の状態でポーラスチャックテーブル１２０に保持されて加工される。なお、詳細は図示しないが、ウエーハ１００の表面には格子状に形成された複数の分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ，ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。
【００１８】
パッケージ基板２００は、例えば図１中に示すように、金属やセラミックスなどの材料で矩形の平板状に形成された基板本体２０１と、この基板本体２０１の表面側に積層された樹脂層２０２とを備えて構成される。なお、詳細は図示しないが、基板本体２０１には格子状に形成された複数の分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ，ＬＳＩ等のデバイスが搭載されている。また、樹脂層２０２は、熱可塑性樹脂により構成され、基板本体２０１の表面に搭載されたデバイスを封止する。
【００１９】
また、図２に示すように、Ｘ軸移動テーブル１０の近傍には、切削加工の際に使用される切削液（例えば、純水等）の廃液等を一時的に貯留するウォーターケース３８が設けられている。ウォーターケース３８内に貯留された廃液は、ドレーン（不図示）等を介して切削装置２の外部に排出される。チャックテーブル２０に近接する位置には、ウエーハ１００またはパッケージ基板２００をチャックテーブル２０へと搬送する搬送機構（不図示）が設けられている。
【００２０】
基台４の上面には、Ｘ軸移動機構６を跨ぐ門型の支持構造４０が配置されている。支持構造４０の前面上部には、２組の切削ユニット移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）４２が設けられている。各切削ユニット移動機構４２は、支持構造４０の前面に配置されＹ軸方向（割り出し送り方向、左右方向）に概ね平行な一対のＹ軸ガイドレール４４を共通に備えている。Ｙ軸ガイドレール４４には、各切削ユニット移動機構４２を構成するＹ軸移動プレート４６がスライド可能に取り付けられている。
【００２１】
各Ｙ軸移動プレート４６の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール４４に概ね平行なＹ軸ボールねじ４８がそれぞれ螺合されている。各Ｙ軸ボールねじ４８の一端部には、Ｙ軸パルスモータ５０が連結されている。Ｙ軸パルスモータ５０でＹ軸ボールねじ４８を回転させれば、Ｙ軸移動プレート４６は、Ｙ軸ガイドレール４４に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００２２】
各Ｙ軸移動プレート４６の前面（表面）には、Ｚ軸方向に概ね平行な一対のＺ軸ガイドレール５２が設けられている。Ｚ軸ガイドレール５２には、Ｚ軸移動プレート５４がスライド可能に取り付けられている。
【００２３】
各Ｚ軸移動プレート５４の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール５２に平行なＺ軸ボールねじ５６がそれぞれ螺合されている。各Ｚ軸ボールねじ５６の一端部には、Ｚ軸パルスモータ５８が連結されている。Ｚ軸パルスモータ５８でＺ軸ボールねじ５６を回転させれば、Ｚ軸移動プレート５４は、Ｚ軸ガイドレール５２に沿ってＺ軸方向に移動する。
【００２４】
各切削ユニット移動機構４２には、Ｙ軸移動プレート４６のＹ軸方向の位置を測定するＹ軸測定ユニット（不図示）が設けられている。また、各切削ユニット移動機構４２には、Ｚ軸移動プレート５４のＺ軸方向の位置を測定するＺ軸測定ユニット（不図示）が設けられている。
【００２５】
各Ｚ軸移動プレート５４の下部には、ウエーハ１００またはパッケージ基板２００を切削するための切削ユニット６０が固定されている。また、切削ユニット６０に隣接する位置には、ウエーハ１００またはパッケージ基板２００を撮像するためのカメラ（撮像ユニット）６２が設けられている。各切削ユニット移動機構４２で、Ｙ軸移動プレート４６をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット６０及びカメラ６２は割り出し送りされ、Ｚ軸移動プレート５４をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット６０及びカメラ６２は切り込み送りされる。
【００２６】
切削ユニット６０は、回転駆動される図示しない回転スピンドルに装着された切削ブレード６１と、この切削ブレード６１に切削液（例えば水）を供給する切削液供給ノズル６３と、を備える。切削液を回転する切削ブレード６１に供給しつつ、切削ブレード６１をＺ軸方向、Ｙ軸方向に移動することにより、ウエーハ１００またはパッケージ基板２００は切削されて各チップに個片化される。
【００２７】
切削装置２は、被加工物（ウエーハ１００またはパッケージ基板２００）の加工条件等に合わせて、上述した各構成要素を制御する制御ユニット７２を備える。制御ユニット７２は、開閉バルブ制御部７３と、判定部７４と、不図示の入出力インタフェース装置とを備える。制御ユニット７２は、ＣＰＵ（central  processing  unit）のようなマイクロプロセッサを有し、ＲＯＭに記憶されているコンピュータプログラムを実行して、切削装置２を制御するための制御信号を生成し、生成された制御信号は入出力インタフェース装置を介して切削装置２の各構成要素に出力される。
【００２８】
ところで、切削装置２は、切削加工をする前に、チャックテーブル２０（ポーラスチャックテーブル１２０またはジグチャックテーブル２２０）の上面にＺ軸方向に下降された切削ブレード６１の刃先を接触させて、この切削ブレード６１のＺ軸方向での原点位置を設定するセットアップという作業が行われる。このセットアップを行う場合、チャックテーブル２０上に被加工物（ウエーハ１００またはパッケージ基板２００）が載置された状態で切削ブレード６１の刃先を接触させようとすると、刃先が破損したり誤って切り込んだ切削ブレード６１によって被加工物が損傷するおそれがあるため、被加工物がチャックテーブル２０に載っているか否かを判定することが行われる。このため、切削装置２は、被加工物がチャックテーブル２０に載っているか否かを判定する判定機構１５０を備える。次に、この判定機構１５０について説明する。図２は、ジグチャックテーブルを用いた場合の吸着ユニットの内部構成と判定機構とを示す概略構成図である。図３は、ポーラスチャックテーブルを用いた場合の吸着ユニットの内部構成と判定機構とを示す概略構成図である。
【００２９】
ジグチャックテーブル２２０は、図２に示すように、テーブルベース１８上に設置される。ジグチャックテーブル２２０は、保持治具２２１と、治具ベース２２２とを備える。保持治具２２１は、金属により矩形状に形成され、保持治具２２１の上面には樹脂シート２２３が配置され、この樹脂シート２２３の上面がパッケージ基板２００を保持する保持面２２３Ａとなる。また、保持治具２２１及び樹脂シート２２３には、パッケージ基板２００の分割予定ラインに対応する位置に複数の逃げ溝２２４と、交差する逃げ溝２２４で区画された各領域には、保持面２２３Ａから裏面へ貫通する吸引孔２２５が形成されている。治具ベース２２２は、金属により矩形状に形成されて保持治具２２１と連結される。治具ベース２２２の上面には、保持治具２２１の吸引孔２２５に対向する第１凹部２２６が形成されている。また、治具ベース２２２の下面には、テーブルベース１８に設けられた吸引口２２９と対向する第２凹部２２７が形成されている。これら第１凹部２２６と第２凹部２２７とは連通孔２２８によって連通されている。
【００３０】
また、吸着ユニット１７は、ジグチャックテーブル２２０とテーブルベース１８とを備えると共に、ジグチャックテーブル２２０と吸引ポンプ１９とを接続する経路８０を備える。具体的には、上記した経路８０は、吸引ポンプ１９に一端８１Ａが接続され、他端８１Ｂが分岐点８２に接続される主吸引路（吸引路）８１と、分岐点８２に一端８３Ａが接続され、他端８３Ｂがテーブルベース１８の吸引口２２９に接続される第１分岐路８３と、この第１分岐路８３と並列に設けられ、分岐点８２に一端８４Ａが接続され、他端８４Ｂがテーブルベース１８の吸引口２２９に接続される第２分岐路８４とを備える。本実施形態では、第２分岐路８４は、並列に２本設けた構成としているが、これに限るものではなく、１本でも３本以上であってもよい。
【００３１】
主吸引路８１には、吸引ポンプ１９と分岐点８２との間に第１開閉バルブ８５が設けられている。また、第１分岐路８３には、分岐点８２と吸引口２２９との間に第２開閉バルブ８６が設けられ、この第２開閉バルブ８６と吸引口２２９との間には圧力を測定する圧力センサ（圧力計）８７が設けられている。第１開閉バルブ８５は、制御ユニット７２の開閉バルブ制御部７３により制御されて、主吸引路８１を全開もしくは全閉するバルブである。第２開閉バルブ８６は、制御ユニット７２の開閉バルブ制御部７３により制御されて、第１分岐路８３を全開もしくは全閉するバルブである。圧力センサ８７は、経路８０（第１分岐路８３）内の負圧（圧力）を測定し、その測定結果を制御ユニット７２の判定部７４に出力する。
【００３２】
吸引ポンプ１９が動作すると、主吸引路８１、第１分岐路８３及び第２分岐路８４を通じて、負圧がジグチャックテーブル２２０に作用される。ジグチャックテーブル２２０には、第２凹部２２７、連通孔２２８、第１凹部２２６及び吸引孔２２５が形成されているため、この負圧がこれらを通じて、保持面２２３Ａに載置されたパッケージ基板２００に作用され、パッケージ基板２００を吸引保持する。
【００３３】
判定機構１５０は、第２開閉バルブ８６と、圧力センサ８７と、制御ユニット７２の判定部７４と、開閉バルブ制御部７３とを備えて構成される。判定部７４は、測定された負圧と基準値とを比較することでパッケージ基板２００がジグチャックテーブル２２０に載っているか否かを判定する。すなわち、例えば、−９０［ｋＰａ］の吸引力を有する吸引ポンプ１９を用いて、ジグチャックテーブル２２０に負圧を作用させた際に、ジグチャックテーブル２２０にパッケージ基板２００が載っていないと、開放された吸引孔２２５からのリークによって、圧力センサ８７が測定する負圧（真空度）は弱く（例えば−２０［ｋＰａ］）なる。このため、測定された負圧が所定の基準値（例えば、−７０［ｋＰａ］）に至らない（弱い）場合、判定部７４は、ジグチャックテーブル２２０にパッケージ基板２００が載っていないと判定することができる。
【００３４】
一方、ポーラスチャックテーブル１２０は、図３に示すように、ジグチャックテーブル２２０と交換可能にテーブルベース１８上に設置される。ポーラスチャックテーブル１２０は、テーブル本体１２１と、吸着部１２２とを備える。テーブル本体１２１は、金属により円板形状に形成される。吸着部１２２は、ポーラスセラミック等から構成されてテーブル本体１２１の上面中央部に配置される。吸着部１２２の上面がウエーハ１００（フレームユニット１０３）を吸引保持する保持面１２２Ａとなる。テーブル本体１２１の上面には吸着部１２２と対向する第１凹部１２６が形成されている。また、テーブル本体１２１の下面には、テーブルベース１８に設けられた吸引口２２９と対向する第２凹部１２７が形成されている。これら第１凹部１２６と第２凹部１２７とは連通孔１２８によって連通されている。吸着ユニット１７の内部構成及び判定機構１５０については、同一の構成であるため、説明を省略する。
【００３５】
上記した吸着部１２２は、多数のポーラス孔を備えて構成され、保持面１２２Ａ全体でウエーハ１００（フレームユニット１０３）を吸引保持する。ポーラスチャックテーブル１２０の吸着部１２２は、ジグチャックテーブル２２０に比べて吸引時の流通抵抗が大きい。このため、吸引ポンプ１９のような強力な吸引力（例えば、−９０［ｋＰａ］）でポーラスチャックテーブル１２０に負圧を作用させた場合、ポーラスチャックテーブル１２０上にウエーハ１００（フレームユニット１０３）が載っていなくても、圧力センサ８７が測定する負圧（真空度）は基準値（例えば、−７０［ｋＰａ］）を超えて強く（例えば、−７５［ｋＰａ］）なることがあり、ポーラスチャックテーブル１２０上にウエーハ１００（フレームユニット１０３）が載っているか否かを正確に判定できなくなってしまう。
【００３６】
このため、本実施形態では、ポーラスチャックテーブル１２０がテーブルベース１８上に設置されている場合、開閉バルブ制御部７３は、図３に示すように、第２開閉バルブ８６を全閉する。そして、判定部７４は、この状態で、圧力センサ８７が測定する負圧（真空度）を取得し、この負圧と基準値とを比較する。第２開閉バルブ８６を全閉することにより、第１分岐路８３が閉塞されるため、吸引に寄与する分岐管の本数が低減する。さらに、第２開閉バルブ８６を圧力センサ８７と分岐点８２（吸引ポンプ１９）との間に配置することにより、吸引ポンプ１９の吸引力の影響を低減することができる。このため、圧力センサ８７が測定する負圧（真空度）は基準値（例えば、−７０［ｋＰａ］）に至らず弱く（例えば、−５０［ｋＰａ］）することができ、ポーラスチャックテーブル１２０とジグチャックテーブル２２０とを交換可能な構成においても、ポーラスチャックテーブル１２０の上にウエーハ１００（フレームユニット１０３）が載っているか否かを正確に判定することができる。
【００３７】
また、本実施形態では、吸引源として、吸引ポンプ１９を設けたため、ジグチャックテーブル２２０上のパッケージ基板２００を確実に吸引保持することができる。
【００３８】
なお、本発明は、上記実施形態等の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、ポーラスチャックテーブル１２０及びジグチャックテーブル２２０の構造は、図２及び図３に記載したものに限定するものではなく、既存のポーラスチャックテーブル及びジグチャックテーブルの構造を採用することができる。また、本実施形態では、第２開閉バルブ８６は、開閉バルブ制御部７３によって全開または全閉に制御された構成としたが、オペレータが手動で全開または全閉とする構成としてもよい。
【符号の説明】
【００３９】
２  切削装置
１７  吸着ユニット
１８  テーブルベース
１９  吸引ポンプ（吸引源）
２０  チャックテーブル
６０  切削ユニット
６１  切削ブレード
７２  制御ユニット
７３  開閉バルブ制御部
７４  判定部
８１  主吸引路（吸引路）
８１Ａ  一端
８１Ｂ  他端
８２  分岐点
８３  第１分岐路
８３Ａ  一端
８３Ｂ  他端
８４  第２分岐路
８４Ａ  一端
８４Ｂ  他端
８５  第１開閉バルブ
８６  第２開閉バルブ
８７  圧力センサ（圧力計）
１００  ウエーハ（被加工物）
１２０  ポーラスチャックテーブル
１２１  テーブル本体
１２２  吸着部
１２２Ａ  保持面
１５０  判定機構
２００  パッケージ基板（被加工物）
２２０  ジグチャックテーブル
２２１  保持治具
２２２  治具ベース
２２３  樹脂シート
２２３Ａ  保持面
２２４  逃げ溝
２２５  吸引孔
【図１】
2019202353.tif 000003
【図２】
2019202353.tif 000004
【図３】
2019202353.tif 000005