(57)【要約】      （修正有）【課題】切削装置のスピンドルに切削ブレードを装着する際に、作業者が直に切削ブレードに触れることなく切削ブレードを保持できる切削ブレード保持具を提供する。【解決手段】環状の切削ブレードを保持するためのブレード保持具２であって、切削ブレードを保持する保持面を備えたＵ字状の保持部４を含み、保持面に付着させた液体を介して液体の表面張力によって切削ブレードを保持する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状の切削ブレードを保持するためのブレード保持具であって、
該切削ブレードを保持する保持面を備えたＵ字状の保持部を含み、
該保持面に付着させた液体を介して該液体の表面張力によって該切削ブレードを保持することを特徴とするブレード保持具。
【請求項２】
前記保持部から延出する被把持部を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のブレード保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードを保持するためのブレード保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等のデバイスを備えるデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコン等の半導体材料でなるウェーハの表面を複数の分割予定ライン（ストリート）で区画し、各領域にデバイスを形成した後、この分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することで得られる。
【０００３】
ウェーハを複数のデバイスチップへと分割する際には、例えば、スピンドル（回転軸）に環状の切削ブレードが装着された切削装置を使用する。切削ブレードを高速に回転させた上で被加工物の分割予定ラインに沿って深く切り込ませることで、この被加工物を切断して複数のデバイスチップへと分割できる。
【０００４】
切削ブレードの一態様として、砥粒が結合材で固定された切刃のみでなるワッシャータイプが知られている。このワッシャータイプの切削ブレードには、厚みが０．３ｍｍ以下の薄い物も多い。そこで、搬送等の際には、切削ブレードをブレードケースに収容してその破損を防いでいる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−８２８１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述のようなスピンドルに切削ブレードを装着する際には、通常、作業者が切削ブレードを手に取って必要な作業を行う。しかしながら、ワッシャータイプの切削ブレードは上述のように薄いことが多く、作業者の手が直に触れると破損する可能性が高かった。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者が直に触れることなく切削ブレードを保持できるブレード保持具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様によれば、環状の切削ブレードを保持するためのブレード保持具であって、該切削ブレードを保持する保持面を備えたＵ字状の保持部を含み、該保持面に付着させた液体を介して該液体の表面張力によって該切削ブレードを保持するブレード保持具が提供される。
【０００９】
本発明の一態様において、前記保持部から延出する被把持部を更に備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一態様に係るブレード保持具は、保持部の保持面に付着させた液体を介して液体の表面張力によって切削ブレードを保持する。よって、このブレード保持具を用いることで、作業者が直に触れることなく切削ブレードを保持できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】ブレード保持具の構成例を模式的に示す平面図である。
【図２】ブレード保持具の構成例を模式的に示す側面図である。
【図３】ブレード保持具によって切削ブレードが保持された状態を模式的に示す平面図である。
【図４】切削ユニットに対して切削ブレードが装着される様子を模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るブレード保持具２の構成例を模式的に示す平面図であり、図２は、ブレード保持具２の構成例を模式的に示す側面図である。図１及び図２に示すように、ブレード保持具２は、樹脂や金属等の材料でなる板状の保持部材（保持部）４を備えている。
【００１３】
保持部材４は、例えば、概ね平坦な第１面（保持面）４ａ、及びこの第１面４ａとは反対側の第２面４ｂを有し、平面視で半環状（Ｕ字状）に形成されている。第１面４ａの表面粗さは、例えば、算術平均粗さ（Ｒａ）で６．３μｍ以下とする。第１面４ａをこのような表面粗さに形成することで、ブレード保持具２によって切削ブレード１２（図３等参照）を適切に保持できるようになる。
【００１４】
保持部材４の先端側は、開口４ｃを挟んで第１部分４ｄと第２部分４ｅとに分かれている。開口４ｃの形状は、例えば、平面視で半円状等である。また、本実施形態では、この開口４ｃを切削ブレード１２の開口１２ｂ（図３等参照）よりも大きく形成している。これにより、切削ブレード１２の装着先である切削ユニット等とブレード保持具２との干渉を防止できる。ただし、開口４ｃの形状、大きさ等に特段の制限はない。
【００１５】
保持部材４の第２面４ｂ側には、作業者等が把持するための被把持部材（被把持部）６が、平面視で開口４ｃと重ならない位置に設けられている。この被把持部材６は、保持部材４から外向きに延出する板状の基部６ａと、基部６ａから保持部材４の反対側に突出する突出部６ｂとを含んでいる。例えば、この突出部６ｂを指でつまむことにより、被把持部材６を把持できる。ただし、被把持部材６の構造及び把持の態様に特段の制限はない。
【００１６】
図３は、ブレード保持具２によって切削ブレード１２が保持された状態を模式的に示す平面図である。ブレード保持具２で円環状の切削ブレード１２を保持する際には、まず、保持部材４の第１面４ａに液体（不図示）を付着させる。そして、この液体を介して第１面４ａを切削ブレード１２の任意の被保持面（本実施形態では、第１面１２ａ）に接触させる。
【００１７】
その結果、液体の表面張力によって、切削ブレード１２の任意の被保持面（本実施形態では、第１面１２ａ）がブレード保持具２の第１面４ａに密着する。これにより、切削ブレード１２をブレード保持具２で保持できる。本実施形態では、保持部材４の開口４ｃの内側に切削ブレード１２の開口１２ｂが配置されるように、切削ブレード１２とブレード保持具２との位置関係を調整している。
【００１８】
これにより、切削ユニット等とブレード保持具２との干渉を防止できる。なお、本実施形態では、ブレード保持具２の第１面４ａを切削ブレード１２の第１面１２ａ側に接触させて切削ブレード１２を保持しているが、第１面４ａを第１面１２ａとは反対の第２面（不図示）側に接触させて切削ブレード１２を保持することもできる。
【００１９】
保持部材４の第１面４ａに付着させる液体の種類に特段の制限はないが、コストや取り扱い易さ等の点から水を用いることが望ましい。水を用いる場合には、後の洗浄等が不要になるというメリットもある。また、本実施形態では、ブレード保持具２側（保持部材４の第１面４ａ）に液体を付着させているが、切削ブレード１２側（被保持面）に液体を付着させても良い。
【００２０】
次に、このブレード保持具２により保持された切削ブレード１２が切削ユニットに装着される様子を説明する。図４は、切削ユニット２２に対して切削ブレード１２が装着される様子を模式的に示す斜視図である。図４に示すように、切削ユニット２２は、例えば、切削装置の移動機構（不図示）等によって支持される筒状のスピンドルハウジング２４を備えている。
【００２１】
スピンドルハウジング２４の内部には、回転軸であるスピンドル２６が収容されている。スピンドル２６の先端部は、スピンドルハウジング２４の外部に露出している。このスピンドル２６の先端部には、切削ブレード１２を装着するための後フランジ２８が取り付けられている。後フランジ２８は、径方向外向きに延出するフランジ部３０と、フランジ部３０の前面中央部分から前方に突出するボス部３２とを含む。
【００２２】
フランジ部３０の外周側の表面（前面）は、切削ブレード１２の被保持面とは反対側の面（本実施形態では、第２面）に接触する接触面となっている。この接触面は、スピンドル２６の軸心方向から見て円環状に形成されている。ボス部３２は円筒状に形成されており、その外周面には、ねじ山が設けられている。
【００２３】
ブレード保持具２を介して切削ブレード１２を保持し、その開口１２ｂにボス部３２を挿入することで、切削ブレード１２は、後フランジ２８に取り付けられる。本実施形態では、保持部材４の開口４ｃの内側に切削ブレード１２の開口１２ｂが配置されるように、切削ブレード１２とブレード保持具２との位置関係を調整しているので、ボス部３２がブレード保持具２と干渉することはない。
【００２４】
後フランジ２８に切削ブレード１２を取り付けた後には、切削ブレード１２の保持面（本実施形態では、第１面１２ａ）に対してブレード保持具２を平行にスライドさせて、切削ブレード１２からブレード保持具２を取り外す。切削ブレード１２は、液体の表面張力によってブレード保持具２に保持されているだけなので、切削ブレード１２に対してブレード保持具２を平行にスライドさせることで切削ブレード１２からブレード保持具２を容易に取り外せる。
【００２５】
切削ブレード１２からブレード保持具２を取り外した後には、切削ブレード１２の被保持面側（本実施形態では、第１面１２ａ側）に、円環状の前フランジ３４を装着する。前フランジ３４の中央には、開口３４ａが形成されており、この開口３４ａに後フランジ２８のボス部３２が挿入される。なお、前フランジ３４の外周側の裏面（後面）は、切削ブレード１２の被保持面に接触する接触面となっている。前フランジ３４の接触面は、後フランジ２８の接触面と対応する位置に設けられている。
【００２６】
前フランジ３４をボス部３２に挿入した後には、ボス部３２の先端に円環状の固定ナット３６を締め込む。これにより、前フランジ３４は後フランジ２８側に押し付けられ、切削ブレード１２は、後フランジ２８と前フランジ３４とで挟持される。なお、固定ナット３６には、開口３６ａが形成されており、この開口３６ａの内壁面には、ボス部３２のネジ山に対応するねじ溝が設けられている。
【００２７】
以上のように、本実施形態に係るブレード保持具２は、保持部材（保持部）４の第１面（保持面）４ａに付着させた液体を介して液体の表面張力によって切削ブレード１２を保持する。よって、このブレード保持具２を用いることで、作業者が直に触れることなく切削ブレード１２を保持できる。
【００２８】
なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、切削ブレード１２を切削ユニット２２に装着する際に、切削ブレード１２の被保持面を前フランジ３４に接触させ、切削ブレード１２の被保持面とは反対側の面を後フランジ２８（フランジ部３０）に接触させているが、切削ブレード１２の被保持面を後フランジ２８（フランジ部３０）に接触させ、切削ブレード１２の被保持面とは反対側の面を前フランジ３４に接触させても良い。
【００２９】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００３０】
２  ブレード保持具
４  保持部材（保持部）
４ａ  第１面（保持面）
４ｂ  第２面
４ｃ  開口
４ｄ  第１部分
４ｅ  第２部分
６  被把持部材（被把持部）
６ａ  基部
６ｂ  突出部
１２  切削ブレード
１２ａ  第１面
１２ｂ  開口
２２  切削ユニット
２４  スピンドルハウジング
２６  スピンドル
２８  後フランジ
３０  フランジ部
３２  ボス部
３４  前フランジ
３４ａ  開口
３６  固定ナット
３６ａ  開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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