(57)【要約】      （修正有）【課題】極細スプリングプローブに供せられる薄肉小径パイプに、レーザ加工によって螺旋溝を形成する。【解決手段】薄肉小径円筒１の両端部を支持して回転する一対の回転駆動装置１６を対向するように設置し、前記一対の回転駆動装置を同期して回転させる手段を設けて、前記薄肉小径パイプの回転方向の位置決めを行う構成としている。また、前記薄肉小径パイプの両端部を位置決めする基準座２６、２７を設け、基準面の傍らに設置した弾性部材３０ａを押しのけて前記の基準座まで持ち込むようにすると共に、前記の基準座に持ち込まれた前記薄肉小径パイプの両端部を前記の弾性部材で前記基準面に押付けて支持する構成としている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄肉小径パイプの、外周円筒面に接する面内において、前記外周円筒面への接線に対して、所定の角度傾斜した方向からレーザ光を照射すると共に、前記薄肉小径パイプをその軸芯方向に駆動位置決めするＸ軸と、前記の軸芯周りに前記薄肉小径パイプを回転駆動位置決めするθ軸とを設けて、前記のレーザ光を照射しながら、前記Ｘ軸と前記θ軸を同期して駆動することによって、前記薄肉小径パイプの外周面に螺旋溝を形成する薄肉小径パイプの螺旋溝レーザ加工機であって、前記の薄肉小径パイプの両端部を支持して回転する一対の回転駆動装置を対向するように設置し、前記一対の回転駆動装置を同期して回転させる手段を設けて、前記のθ軸としたことを特徴とする、薄肉小径パイプの螺旋溝レーザ加工機。
【請求項２】
請求項１の薄肉小径パイプの螺旋溝レーザ加工機において、前記の薄肉小径パイプの両端部を所定の基準座に持ち込む際に、前記薄肉小径パイプの両端部を位置決めする基準座を設け、前記基準座の傍らに設置した弾性部材を押しのけて前記の基準座まで持ち込むようにすると共に、前記の基準座に持ち込まれた前記薄肉小径パイプの両端部を前記の弾性部材で前記基準面に押付けて支持するようにしたことを特徴とする、薄肉小径パイプの螺旋溝レーザ加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、半導体デバイスのウェハ上での電気検査や、電子部品の電気検査を行うための小径スプリングプローブに供せられる、薄肉小径パイプの螺旋溝レーザ加工機に関する。
【背景技術】
【０００２】  狭ピッチ半導体検査用の小径スプリングプローブとして、ニッケル電鋳で製造した薄肉小径パイプの軸方向の中央部近辺に螺旋溝を形成してパイプスプリングとし、導電性の優れたプランジャーを前記パイプスプリングに挿入し、前記パイプスプリングの端部近辺で前記パイプと前記プランジャーを接続固定したスプリングプローブが実用化され始めている。【０００３】  しかしながら、従来のパイプスプリングの製造方法では、前記の螺旋溝形成方法が以下に示すように複雑な工程となっている。後述する特許文献１によると、前記工程は以下の通りである。【０００４】  １）心材の外周にメッキにより金メッキ層を形成した後、形成された金メッキ層の外周に電鋳によりＮｉ電着層を形成する。
２）前記Ｎｉ電着層の外周にレジスト層を形成した後、レーザで露光して前記レジスト層に螺旋状の溝条を形成する。
３）前記レジスト層をマスキング材としてエッチングを行い、前記レジスト層の螺旋状の部分のＮｉ電着層と金メッキ層を除去する。
４）金メッキ層を前記Ｎｉ電着層の内周に残したまま前記心材のみを除去する。【０００５】  前記のように、従来のパイプスプリングの製造法は複雑な工程となっているため、製造設備費用も巨額となっている。【０００６】  従来のパイプスプリングの製造法の開発開始当時は、加工用レーザの性能も低く、現在のような、ピコ秒レーザなど、加工対象に与える熱歪やクラックが極めて小さい加工品質と加工精度に優れたレーザはなかった。そのため、複雑な工程のパイプスプリングの製造法となっていた。【０００７】  しかしながら、現在でも高性能レーザを適用したとしても、前記の薄肉小径パイプに螺旋溝を形成する場合、品質と精度のよい加工を行うには、前記薄肉小径パイプのハンドリングにおける困難性がある。【０００８】  第一の困難性は、前記薄肉小径パイプは変形しやすいので、前記薄肉小径パイプの一端のみを支持したのでは曲り変形が大きくなることと、レーザ加工中の前記薄肉小径パイプ真直度の確保が難しいことである。【０００９】  第二の困難性は、前記薄肉小径パイプの両端を支持すれば、曲り変形の抑制と真直度の確保は可能となるが、螺旋溝を加工するためには、前記薄肉小径パイプを回転しながらレーザ加工を行う必要があり、両端支持の場合、螺旋溝加工用のレーザと支持治具との干渉の問題が発生することである。【００１０】  第三の困難性は、前記した従来のパイプスプリングの製造法において、心材に金メッキとニッケルメッキを施した後で、レーザ加工によって螺旋溝を形成する場合、心材表面もレーザ加工されて平滑性を失い、心材を引き抜くことが困難となることである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特４５７２３０３公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】  本発明は、上述したような不具合に鑑みてなされたもので、極細スプリングプローブに供せられる薄肉小径パイプに、レーザ加工によって螺旋溝を形成する際に、変形しやすく位置決めの難しい薄肉小径パイプを、螺旋溝の加工精度に影響を与えずに位置決め保持する手段と、前記薄肉小径パイプの両端を支持して前記螺旋溝加工中の前記薄肉小径パイプの真直度の確保をすると共に、前記薄肉小径パイプの両端を支持する治具と螺旋溝加工用のレーザとの干渉を生じないようにした回転方向の駆動位置決めをする手段、を提供すること、を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】  本発明の請求項１によると、薄肉小径パイプの、外周円筒面と内周円筒面との中間に位置する中間円筒面に接する面内において、前記中間円筒面への接線に対して、所定の角度傾斜した方向からレーザ光を照射すると共に、前記薄肉小径パイプをその軸芯方向に駆動位置決めするＸ軸と、前記の軸芯周りに前記薄肉小径パイプを回転駆動位置決めするθ軸とを設けて、前記のレーザ光を照射しながら、前記Ｘ軸と前記θ軸を同期して駆動することによって、前記薄肉小径パイプの外周面に螺旋溝を形成する薄肉小径パイプの螺旋溝レーザ加工機であって、前記の薄肉小径パイプの両端部を支持して回転する一対の回転駆動装置を対向するように設置し、前記一対の回転駆動装置を同期して回転させる手段を設けて、前記のθ軸としたこと、を特徴とする。【００１４】  また、本発明の請求項２によると、請求項１の薄肉小径パイプの螺旋溝レーザ加工機において、前記の薄肉小径パイプの両端部を所定の基準座に持ち込む際に、前記薄肉小径パイプの両端部を位置決めする基準座を設け、前記基準座の傍らに設置した弾性部材を押しのけて前記の基準座まで持ち込むようにすると共に、前記の基準座に持ち込まれた前記薄肉小径パイプの両端部を前記の弾性部材で前記基準面に押付けて支持するようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】  本発明による薄肉小径パイプの螺旋溝レーザ加工機によると、片持ち支持すると変形しやすく、また真直度が確保しにくい薄肉小径パイプの両端を、基準面に対して弾性体で押し付け支持することによって、変形を両端部のみに限定し、レーザ加工精度に変形や真直度不良の影響が生じないようにしている。【００１６】  また、前記の薄肉小径パイプをその両端部を支持して回転する際も、両端支持部を回転させる一対の回転駆動装置を対向して設置し、前記一対の回転駆動装置を同期して回転させる手段を設けて、両端支持部材と螺旋溝加工のためのレーザ光との干渉が生じないようにしている。
【図面の簡単な説明】
【００１７】  以下、本発明の一実施例を、図１〜図１０に従って説明する。
【図１】は、薄肉小径パイプの外周面に螺旋溝をレーザで形成する原理の説明図。
【図２】は、薄肉小径パイプの螺旋溝レーザ加工機の全体構成図。
【図３】は、薄肉小径パイプの両端支持部を回転させる、対向して設置された一対の回転駆動装置の構成説明図。
【図３】〜
【図１０】は、前記一対の回転駆動装置の動作説明図。
【００１８】  以下に図面を参照して本発明に係わる実施例の形態を詳細に説明する。
本発明に基づく実施例を図１〜図１０に従って説明する。
【実施例】
【００１９】  図１において、薄肉小径パイプ１が、その軸芯２の回りに、矢印３に示される方向のθ軸方向に回転し、また矢印４に示される方向のＸ軸方向に移動している状態で、矢印で示されるレーザ光５が、前記薄肉小径パイプ１の外周面に照射されて、前記薄肉小径パイプの外周面に螺旋溝が形成される原理を示している。
ただし、前記レーザ光５は、前記薄肉小径パイプ１の外周円筒に接する面内において、前記薄肉小径パイプ１への接線である鉛直線６に対して角度αだけ傾いた方向から照射されている。【００２０】  すなわち、螺旋角αの螺旋溝であり、リード角とも称せられる。前記薄肉小径パイプ１の外径をＤとするとき、前記Ｘ軸移動量の移動角、移動量との関係は、Ｘ＝πＤｔａｎαｔａｎ（θ／２π）となる。【００２１】  次に、図２で、薄肉小径パイプの螺旋溝レーザ加工機の全体構成を説明する。
チルトヘッド７は、レーザ発信器９から照射されたレーザを、ベンダー８を介して受け、鉛直線６に対して角度αだけ傾斜したレーザ光５を、前記薄肉小径パイプ１の外周面に照射するようになっている。【００２２】  また、前記のチルトヘッド７は、サドル１０に設置されており、サドル１０はガイド１１で摺動自在に案内され、Ｚ軸サーボモータ１２によって、矢印１３に示すＺ軸方向へ駆動位置決めされるようになっている。【００２３】  前記のレーザ発信器９、ガイド１１、およびＺ軸サーボモータ１２は、コラム１４に設置され、前記コラム１４は、ベッド１５の上に設置されている。【００２４】  薄肉小径パイプ支持回転装置１６は、前記の薄肉小径パイプ１の両端を支持し、その軸芯２の回りに、矢印３で示すθ軸方向に回転駆動される。薄肉小径パイプ支持回転装置１６の詳細は、図３に従って後述する。【００２５】  前記の薄肉小径パイプ支持回転装置１６は、Ｘ軸テーブル１７上に設置されており、前記Ｘ軸テーブル１７は、ガイド１８によって矢印４に示す方向のＸ軸方向に摺動自在に案内され、Ｘ軸サーボモータ１９、ボーネジ２０によって、Ｘ軸方向に駆動位置決めされるようになっている。【００２６】  前記のガイド１８は、Ｙ軸テーブル２１の上に設置されており、Ｙ軸テーブル２１は、ガイド２２ａ、ガイド２２ｂ、によって紙面に垂直なＹ軸方向に摺動自在に案内され、Ｙ軸サーボモータ２３と図示しないボールネジによって駆動位置決めされるようになっている。【００２７】  次に図３に従って、前記の薄肉小径パイプ支持回転装置１６の詳細を説明する。
内側回転軸２４ａと内側回転軸２４ｂの先端部には、それぞれ、同図の拡大Ａ−Ａ視図に示すように、垂直基準面２６、水平基準面２７を有する、基準面部材２８ａ、２８ｂとがボルト２９によって取り付けられている。【００２８】  前記の基準面部材２８ａ、２８ｂには、弾性部材３０ａ（３０ｂ）がボルト３１によって固定されており、前記弾性部材３０ａ（３０ｂ）は弾性変形によって、前記薄肉小径パイプ１の端部１ｅを、前記の垂直基準面２６、水平基準面２７に押付けている。【００２９】    前記の前記薄肉小径パイプ１の端部１ｅは、前記基準面２６、２７に装着される前は、図中に破線１ｅｓで示すように、前記弾性部材３０ａ（３０ｂ）を図中に破線３０ｓで示すように押しのけて、前記基準面２６、２７に接する位置に装着されるようになっている。【００３０】  前記の内側回転軸２４ａは、外側回転軸３２ａの内面側に挿入されている。キー溝３３ａ、キー３４ａによって、前記内側回転軸２４ａは前記外側回転軸３２ａに対して、軸方向には摺動自在となっているが、回転方向には前記外側回転軸３２ａで拘束されている。【００３１】  同様に、前記の内側回転軸２４ｂは、外側回転軸３２ｂの内面側に挿入されている。キー溝３３ｂ、キー３４ｂによって、前記内側回転軸２４ｂは前記外側回転軸３２ｂに対して、軸方向には摺動自在となっているが、回転方向には前記外側回転軸３２ｂで拘束されている。【００３２】  前記の外側回転軸３２ａは、ハウジング３５ａによりアンギュラー玉軸受３６ａ、３７ａを介して回転自在に支承されているが軸方向には拘束されている。同様に、前記の外側回転軸３２ｂは、ハウジング３５ｂによりアンギュラー玉軸受３６ｂ、３７ｂを介して回転自在に支承されているが軸方向には拘束されている。【００３３】  回転駆動軸３８は、前記のハウジング３５ａ、およびハウジング３５ｂ内の軸受４０ａ、４１ａ、４０ｂ、４１ｂで回転自在に支承されている。前記ハウジング３５ａ、３５ｂは、ベース板３９上に固定されており、前記ベース板３９は、前記Ｘ軸テーブル１７上に設置されて、矢印４で示されるＸ軸方向に移動するようになっている。【００３４】  θ軸サーボモータ４３は、前記ベース板３９上に設置されたブロック部材４２に固定されており、前記回転駆動軸３８は、θ軸サーボモータ４３によって回転駆動され、その回転は、プーリ４４ａ、タイミングベルト４５ａ、およびプーリ４４ｃを介して、前記の外側回転軸３２ａに伝達されるようになっている。同様にして、前記回転駆動軸３８の回転は、プーリ４４ｂ、タイミングベルト４５ｂ、およびプーリ４４ｄを介して、前記の外側回転軸３２ｂに伝達されるようになっている。【００３５】  リニアアクチュエータ４６ａは、取り付け板４７ａに取り付けられており、前記取り付け板４７ａは、ハウジング３５ａに固定されている。前記リニアアクチュエータ４６ａの駆動軸４８ａは、一対のアンギュラー玉軸受４９ａによって、前記の内側回転軸２４ａの端部で軸方向には拘束されているが回転自在に支承されている。それゆえに、前記のリニアアクチュエータ４６ａは、前記の内側回転軸２４ａからの回転駆動力を受けることなく、内側回転軸２４ａを軸方向に位置決めできる��うになっている。【００３６】  同様に、リニアアクチュエータ４６ｂは、取り付け板４７ｂに取り付けられており、前記取り付け板４７ｂは、ハウジング３５ｂに固定されている。前記リニアアクチュエータ４６ｂの駆動軸４８ｂは、一対のアンギュラー玉軸受４９ｂによって、前記の内側回転軸２４ｂの端部で軸方向には拘束されているが回転自在に支承されている。それゆえに、前記のリニアアクチュエータ４６ｂは、前記の内側回転軸２４ｂからの回転駆動力を受けることなく、内側回転軸２４ｂを軸方向に位置決めできるようになっている。【００３７】  次に、図３において、前記薄肉小径パイプ１の外周面に螺旋溝を形成する際の動作を説明する。前記薄肉小径パイプ１が、その軸芯２回りに、矢印３で示されるθ軸方向に回転し、同時に矢印４で示されるＸ軸方向へ移動しながら、前記レーザ光５が前記薄肉小径パイプ１の外周面に照射されると、レーザ加工によって前記薄肉小径パイプ１の外周面に螺旋溝が加工されるようになっている。【００３８】  図３では、薄肉小径パイプ支持回転装置１６として、タイミングベルトとプーリを用いて、対向して設置された一対の回転駆動装置を同期して回転する構成を示した。しかし、対向して設置された一対の回転駆動装置を同期して回転する構成としては、歯車列を用いる構成や、電気的に同期制御される二つのモータを用いて、一対の回転駆動装置を同期して回転させる構成もあり得る。したがって、対向して設置された一対の回転駆動装置を同期して回転する構成は、実施例で示した構成に限定されないものとする。【００３９】  次に、図４〜図１０を用いて、前記の薄肉小径パイプ支持回転装置１６へ、前記の薄肉小径パイプ１を搬入し、レーザ加工で前記の薄肉小径パイプ１に螺旋溝を形成した後、前記の薄肉小径パイプ１を搬出する動作に関して説明する。【００４０】  図４において、下側フィンガー５０は図示しないＶ溝を有しており、薄肉小径パイプ１を前記Ｖ溝で支持できるようになっている。上側板５１には、樹脂板５２が接着されており、前記上側板５１と樹脂板５２で、上側フィンガー５３を形成している。前記薄肉小径パイプ１は、前記の上側フィンガー５３と下側フィンガー５０で挟まれて、前記の薄肉小径パイプ支持回転装置１６へ搬入される。【００４１】  内側回転軸２４ａは、リニアアクチュエータ４６ａの作用によって  、矢印５４ａの方向に移動しており、また内側回転軸２４ｂは、リニアアクチュエータ４６ｂの作用によって、矢印５４ｂの方向に移動して、それぞれ前記薄肉小径パイプ１の受入準備位置に退避している。【００４２】  図５において、前記の上側フィンガー５３と下側フィンガー５０で挟まれて、矢印５５に示される方向に移動して、前記の薄肉小径パイプ支持回転装置１６へ搬入され、前記の弾性部材３０ａ、３０ｂを押しのけて、図３の拡大Ａ−Ａ視図で示した基準面２６，２７に接して着座するようになっている。【００４３】  次に、図６に従って、前記薄肉小径パイプ１が、前記薄肉小径パイプ支持回転装置１６へ搬入されたのちの、前記薄肉小径パイプ１への螺旋溝加工を開始するための準備動作に関して説明する。【００４４】  図６において、前記の上側フィンガー５３と下側フィンガ���５０は、それぞれ矢印５６，５７の方向に移動した後、紙面に垂直な背面方向に移動し、図示しない待機位置へ移動する。また、前記のリニアアクチュエータ４６ａ、４６ｂの作用によって、前記の内側回転軸２４ａ、２４ｂは、それぞれ矢印５８ａ、５８ｂの方向へ移動し、前記の薄肉小径パイプ１の軸方向の位置決めをして停止する。【００４５】  次に、図７において、前記薄肉小径パイプ１への螺旋溝加工を行うための装置各要素の動作を説明する。前記のθ軸サーボモータ４３の回転駆動トルクは、前記の回転駆動軸３８、プーリ４４ａ、タイミングベルト４５ａ、プーリ４４ｃ、外側回転軸３２ａ、およびキー３４ａを介して、前記の内側回転軸２４ａに伝達される。【００４６】  同様に、前記のθ軸サーボモータ４３の回転駆動トルクは、前記の回転駆動軸３８、プーリ４４ｂ、タイミングベルト４５ｂ、プーリ４４ｄ、外側回転軸３２ｂ、およびキー３４ｂを介して、前記の内側回転軸２４ｂに伝達される。【００４７】  前記薄肉小径パイプ１の両端は、前記の弾性部材３０ａ、３０ｂによって、図３で示した基準面２６、２７に押付けられ、前記の内側回転軸２４ａ、２４ｂの回転にしたがって回転し、図７の矢印３示す方向のθ軸方向へ回転する。【００４８】  図７において、前記薄肉小径パイプ１が、前記の矢印３示す方向のθ軸方向へ回転し、また前記のベース板３９が矢印４で示されるＸ軸方向へ移動しながら、前記のチルトヘッド７から前記レーザ光５が発射され、鉛直線６に対して、角度α傾斜した方向から前記薄肉小径パイプ１の外周面に接するように照射されて、螺旋角度αの螺旋溝が、前記薄肉小径パイプ１の外周面に形成される。【００４９】  次に、螺旋溝加工の終わった前記薄肉小径パイプ１を、前記の薄肉小径パイプ支持回転装置１６から排出する動作を、図８、図９、図１０に従って説明する。
図８において、前記下側フィンガー５０と上側フィンガー５３は紙面に垂直な背面側から、前記の薄肉小径パイプ１に接近してきた状態を示す。前記の内側回転軸２４ａ、２４ｂは、それぞれ前記リニアアクチュエータ４６ａ、４６ｂの作用によって、矢印５４ａ、５４ｂの方向に移動して、前記の薄肉小径パイプ１の搬出準備を行っている。【００５０】  図９において、前記下側フィンガー５０は、矢印５５の方向に移動して、前記の薄肉小径パイプ１を図示しないＶ溝で支持する。また、上側フィンガー５３は、矢印５６の方向に移動して、前記の薄肉小径パイプ１に接触して、前記の薄肉小径パイプ１の搬出準備が完了する。【００５１】  図１０は、前記の薄肉小径パイプ１の搬出動作を示す。前記下側フィンガー５０と前記上側フィンガー５３とで挟まれた前記の薄肉小径パイプ１は、前記弾性部材３０ａ、３０ｂを押しのけて、矢印５７の方向へ移動する。その後、紙面に垂直な方向の背面方向に移動して、前記の薄肉小径パイプ１の搬出が完了する。【００５２】  次に、本発明の実施例における本発明の効果を説明する。第一の効果は、変形しやすい前記の薄肉小径パイプ１の、形状精度および位置精度を高めて、螺旋溝加工の品質を高めることである。前記の薄肉小径パイプ１は、例えば外径０．０７０ｍｍ、内径０．０５０ｍｍ、長さ５ｍｍであり、片持ち支持したのでは螺旋溝加工前でも自重による変形誤差が生じ、ましては螺旋溝加工中には自重による変形誤差が大きくなる。本発明の実施例では、前記の薄肉小径パイプ１を両端支持しているので、前記の変形誤差が実用上支障のない程度まで小さくなる。【００５３】  さらに、前記の薄肉小径パイプ１の両端の位置決め支持においては、両端部をそれぞれ垂直基準面、水平基準面に押付けながら、前記の弾性部材３０ａ、３０ｂによって、必要最小限の力で前記の基準面に押付けているので、変形を局部的な変形に抑制し、両端の位置決め精度を確保している。【００５４】  また、前記の薄肉小径パイプ１の両端を支持して回転する場合、両端を治具などで支持し、治具ごと回転するのでは、前記のレーザ光５と治具とが干渉して、前記の薄肉小径パイプ１に螺旋溝を形成することは困難である。本発明の実施例では、前記の薄肉小径パイプ１の両端をそれぞれ同期して回転駆動し、前記のレーザ光５と前記の薄肉小径パイプ１の両端を回転駆動する装置とは干渉しないようにしている。
【符号の説明】
【００５５】１                              薄肉小径パイプ
１ｅ、１ｅｓ                    薄肉小径パイプの端部
２                              薄肉小径パイプの軸芯
３、４                          矢印
５                              レーザ光
６                              鉛直線
７                              チルトヘッド
８                              ベンダー
９                              レーザ発信器
１０                            サドル
１１                            ガイド
１２                            Ｚ軸サーボモータ
１３                            矢印
１４                            コラム
１５                            ベッド
１６                            薄肉小径パイプ支持回転装置
１７                            Ｘ軸テーブル
１８                            ガイド
１９                            Ｘ軸サーボモータ
２０                            ボーネジ
２１                            Ｙ軸テーブル
２２ａ、２２ｂ                  ガイド
２３                            Ｙ軸サーボモータ
２４ａ、２４ｂ                  内側回転軸
２６                            垂直基準面
２７                            水平基準面
２８ａ、２８ｂ                  基準面部材
２９                            ボルト
３０ａ、３０ｂ                  弾性部材
３１                            ボルト
３２ａ、３２ｂ                  外側回転軸
３３ａ、３３ｂ                  キー溝
３４ａ、３４ｂ                  キー
３５ａ、３５ｂ                  ハウジング
３６ａ、３６ｂ                  アンギュラー玉軸受
３７ａ、３７ｂ                  アンギュラー玉軸受
３８                            回転駆動軸
３９                            ベース板
４０ａ、４０ｂ                  軸受
４１ａ、４１ｂ                  軸受
４２                            ブロック部材
４３                            θ軸サーボモータ
４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄ  プーリ
４５ａ、４５ｂ                  タイミングベルト
４６ａ、４６ｂ                  リニアアクチュエータ
４７ａ、４７ｂ                  取り付け板
４８ａ、４８ｂ                  駆動軸
４９ａ                          一対のアンギュラー玉軸受
４９ｂ                          一対のアンギュラー玉軸受
５０                            下側フィンガー
５１                            上側板
５２                            樹脂板
５３                            上側フィンガー
５４ａ、５４ｂ                  矢印
５５                            矢印
５６                            矢印
５７                            矢印
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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