(57)【要約】【課題】歪みセンサの数を減らしてコストを削減しながら検出したい特定の軸方向の負荷を精度よく検出する。【解決手段】所定の軸線Ａの軸方向のみに相対移動可能に支持された第１部材２および第２部材３を備えるリニア軸受５と、第１部材２および第２部材３にそれぞれ固定される固定部９ａ，９ｂと、固定部９ａ，９ｂ間を接続する歪み発生部１０とを備える接続部材６と、接続部材６に少なくとも移動方向の歪みを検出可能に配置された歪み検出手段７とを備える歪みセンサ１を提供する。【選択図】図１
2019113459.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の軸線の軸方向のみに相対移動可能に支持された第１部材および第２部材を備えるリニア軸受と、
前記第１部材および前記第２部材にそれぞれ固定される固定部と、該固定部間を接続する歪み発生部とを備える接続部材と、
該接続部材に少なくとも移動方向の歪みを検出可能に配置された歪み検出手段とを備える歪みセンサ。
【請求項２】
前記歪み発生部の横断面積が、前記固定部の横断面積より小さい請求項１に記載の歪みセンサ。
【請求項３】
前記第１部材および前記第２部材が、これらを被検出体に固定する固定手段を備える請求項１または請求項２に記載の歪みセンサ。
【請求項４】
前記接続部材が、前記軸方向に略平行な面に沿って伸びる平板状に形成されている請求項１から請求項３のいずれかに記載の歪みセンサ。
【請求項５】
前記歪み検出手段が、周囲温度変化による歪み量変動を補正する補正手段を備える請求項１から請求項４のいずれかに記載の歪みセンサ。
【請求項６】
前記歪み検出手段が、前記接続部材に、ネジ留め固定される請求項１から請求項５のいずれかに記載の歪みセンサ。
【請求項７】
前記歪み検出手段が、前記歪み発生部に複数並んで配置されている請求項１から請求項６のいずれかに記載の歪みセンサ。
【請求項８】
前記リニア軸受が、リニアボール軸受である請求項１から請求項７のいずれかに記載の歪みセンサ。
【請求項９】
前記リニア軸受が、リニアローラ軸受である請求項１から請求項７のいずれかに記載の歪みセンサ。
【請求項１０】
前記リニア軸受が、滑り軸受である請求項１から請求項７のいずれかに記載の歪みセンサ。
【請求項１１】
前記接続部材が前記移動方向に間隔をあけて複数備えられ、
各前記接続部材の前記歪み発生部に前記歪み検出手段が配置されている請求項１から請求項１０のいずれかに記載の歪みセンサ。
【請求項１２】
前記第１部材および前記第２部材にそれぞれ固定され、前記第１部材と前記第２部材とを連結する１以上の補強部材を備える請求項１から請求項１１のいずれかに記載の歪みセンサ。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２のいずれかに記載された歪みセンサを複数備え、
軸力が検出される複数の各検出方向に、複数の前記リニア軸受の各前記軸方向を一致させた多軸力センサ。
【請求項１４】
請求項１から請求項１２のいずれかに記載の歪みセンサが、直動軸を持つロボットの直動軸線に前記リニア軸受の前記所定の軸線を一致させて取り付けられるロボット。
【請求項１５】
アームと、
各検出方向の軸力を検出する多軸力センサとを備え、
該多軸力センサの複数の前記検出方向に前記リニア軸受の前記軸方向を一致させた請求項１から請求項１２のいずれかに記載の歪みセンサが、前記アームの少なくとも一部に取り付けられているロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、歪みセンサ、多軸力センサおよびロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、軸方向の歪みを検出する歪みセンサとして、送りネジ軸の軸方向に移動可能に配置されたナットと、ナットに固定される可動テーブルとの間に配置され、ナットと可動テーブルとの間に作用する歪みを検出する歪みセンサが知られている（例えば、特許文献１参照。）。種々の軸方向の負荷が作用するロボットの関節においては、関節に作用する軸方向の負荷を精度よく検出するために、軸方向の歪みを検出できる多数の歪みセンサを用いたブリッジ回路による歪みキャンセル機構を構成して、検出したい特定の軸方向以外の負荷を排除することが行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１３８４８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、歪みセンサは高価であり、関節軸毎に多数の歪みセンサを用いたのではロボットのコストが高く付くという不都合がある。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、歪みセンサの数を減らしてコストを削減しながら検出したい特定の軸方向の負荷を精度よく検出することができる歪みセンサ、多軸力センサおよびロボットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明は以下の手段を提供する。
本発明の一態様は、所定の軸線の軸方向のみに相対移動可能に支持された第１部材および第２部材を備えるリニア軸受と、前記第１部材および前記第２部材にそれぞれ固定される固定部と、該固定部間を接続する歪み発生部とを備える接続部材と、該接続部材に少なくとも移動方向の歪みを検出可能に配置された歪み検出手段とを備える歪みセンサを提供する。
【０００６】
本態様によれば、所定の軸方向に沿って駆動される被検出体の軸に軸線を一致させて、軸力が伝達される部位を跨ぐように配置した第１部材および第２部材を被検出体に固定することにより、被検出体に負荷がかかると第１部材と第２部材とが相対的に移動し、接続部材の歪み発生部に歪みが発生する。この歪み量が歪み検出手段により検出されることにより、検出された歪み量に基づいて被検出体に作用しているリニア軸受における軸方向の負荷を求めることができる。
【０００７】
この場合において、リニア軸受の第１部材と第２部材とが移動可能な軸方向のみに相対移動可能に支持されているので、種々の軸方向の負荷が作用するロボットの関節に取り付けた場合においても、リニア軸受における移動方向以外の負荷が接続部材の歪み発生部に作用することが防止される。その結果、複数の歪みゲージを用いたブリッジ回路によって歪みキャンセル機構を構成しなくても、第１部材および第２部材が移動可能な軸方向の歪みを精度よく検出することができる。
【０００８】
上記態様においては、前記歪み発生部の横断面積が、前記固定部の横断面積より小さくてもよい。
このようにすることで、歪み発生部における歪み量が大きくなり、歪み検出手段が軸方向の歪みを精度よく検出することができる。
【０００９】
上記態様においては、前記第１部材および前記第２部材が、これらを被検出体に固定する固定手段を備えていてもよい。
このようにすることで、固定手段によって第１部材および第２部材を被検出体に直接固定することができる。
【００１０】
また、上記態様においては、前記接続部材が、前記軸方向に略平行な面に沿って伸びる平板状に形成されていてもよい。
このようにすることで、平板状の接続部材を第１部材および第２部材の側面に沿って配置し、軸方向に直交する断面方向に接続部材が突出する量を小さくできる。
【００１１】
また、上記態様においては、前記歪み検出手段が、周囲温度変化による歪み量変動を補正する補正手段を備えていてもよい。
このようにすることで、周囲温度が変化するとそれだけで歪み量が変化してしまうので、この周囲温度変化分の歪み量を補正することで歪み検出精度を更に向上させることができる。
【００１２】
また、上記態様においては、前記歪み検出手段が、前記接続部材に、ネジ留め固定されていてもよい。
このようにすることで、歪みゲージは一般的には接着で固定されることがほとんどであるが、接着層が均一になるよう注意を払う必要がある。ネジ留め固定とすることで、組み立て性を向上させることができる。
【００１３】
また、上記態様においては、前記歪み検出手段が、前記歪み発生部に複数並んで配置されていてもよい。
このようにすることで、一の歪み検出手段が正常であるかどうかを他の歪み検出手段の歪みデータと比較することで、把握することができる。一の歪み検出手段が万一故障しても、故障していない残りの正常な歪み検出手段の歪み情報を用いて、ロボットを安全に速やかに停止させることができる。
【００１４】
また、上記態様においては、前記リニア軸受が、リニアボール軸受であってもよい。
このようにすることで、第１部材および第２部材が移動可能な軸方向のみに相対移動可能に支持され、種々の軸方向の負荷が作用するロボットの関節に取り付けた場合においても、第１部材および第２部材が移動可能な軸方向の負荷が接続部材の歪み発生部に作用することを簡易に防止することができる。
また、上記態様においては、前記リニア軸受が、リニアローラ軸受であってもよい。
【００１５】
また、上記態様においては、前記リニア軸受が、滑り軸受であってもよい。
このようにすることで、簡易な構成の滑り軸受によってコストを低減することができる。
【００１６】
また、上記態様においては、前記接続部材が前記移動方向に間隔をあけて複数備えられ、各前記接続部材の前記歪み発生部に前記歪み検出手段が配置されていてもよい。
このようにすることで、歪み検出手段が配置された同じ接続部材を複数備え、複数系統の検出値を出力する歪みセンサを容易に構成できる。
【００１７】
また、上記態様においては、前記第１部材および前記第２部材にそれぞれ固定され、前記第１部材と前記第２部材とを連結する１以上の補強部材を備えていてもよい。
このようにすることで、補強部材が歪み発生部に作用する歪み量を低減するため、補強部材がない場合と比較して、歪み検出手段が検出する歪み量が小さくなる。そのため、補強部材によって歪み検出手段の検出値を調整することができる。
【００１８】
また、本発明の他の態様は、上記いずれかに記載された歪みセンサを複数備え、軸力が検出される複数の各検出方向に、複数の前記リニア軸受の各前記軸方向を一致させた多軸力センサを提供する。
本態様によれば、多軸力センサにおいて、軸力を検出可能な複数の検出方向に、歪みセンサが歪みを検出可能な軸方向が一致するように配置されている。そのため、この多軸力センサでは、各検出方向の軸力を精度よく検出できる。
また、本発明の他の態様は、上記いずれかの歪みセンサが、直動軸を持つロボットの直動軸線に前記リニア軸受の前記所定の軸線を一致させて取り付けられるロボットを提供する。
【００１９】
また、本発明の他の態様は、アームと、各検出方向の軸力を検出する多軸力センサとを備え、該多軸力センサの複数の前記検出方向に前記リニア軸受の前記軸方向を一致させた上記いずれかの歪みセンサが、前記アームの少なくとも一部に取り付けられているロボットを提供する。
本態様によれば、アームに取り付けられた多軸力センサが検出する各軸力の検出精度を高めることができ、また、複数の歪みゲージを用いた歪みキャンセル機構が必要ないため、多軸力センサのコストを低減できる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、歪み検出手段の数を減らしてコストを削減しながらリニア軸受の軸方向の歪みを精度よく検出することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係る歪みセンサを示す斜視図である。
【図２】図１の歪みセンサを示す正面図である。
【図３】図１の歪みセンサを示す側面図である。
【図４】図１の歪みセンサをロボットの直動アームの直動軸に取り付けた例を示す図である。
【図５】ロボットの直動アームに取り付けられた図１の歪みセンサを示す断面図である。
【図６】図１の歪みセンサの変形例を示す側面図である。
【図７】図１の歪みセンサの変形例を示す斜視図である。
【図８】図１の歪みセンサの変形例を示す斜視図である。
【図９】ロボットの直動アームに取り付けられた図１の歪みセンサの変形例を示す断面図である。
【図１０】図１の歪みセンサの変形例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の一実施形態に係る歪みセンサ１およびロボット１００について、図面を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る歪みセンサ１は、図１から図３に示されるように、高さ方向に隣接して配置された第１部材２および第２部材３と、これら第１部材２と第２部材３との間に、高さ方向に直交する軸線Ａ方向に間隔をあけて複数配列されたリニアローラ４を備えるリニアローラ軸受（リニア軸受）５と、第１部材２および第２部材３にそれぞれ固定される接続部材６と、該接続部材６に固定された１軸歪みセンサ部（歪み検出手段）７とを備えている。
【００２３】
第２部材３には、図１に示されるように、第２部材３を被検出体に固定するために高さ方向に沿って形成されたネジ孔（固定手段）８ｂが複数設けられている。なお、図１では示されていないが、同様のネジ孔（固定手段）が、第１部材２における下面にも設けられている。
接続部材６は、図１および図３に示されるように、リニアローラ軸受５の軸線Ａ方向に略平行な第１部材２および第２部材３の端面に沿って配置される平板状に形成され、第１部材２および第２部材３の側面にそれぞれ固定される固定部９ａ，９ｂと、該固定部９ａ，９ｂ間を接続する歪み発生部１０とを備えている。
【００２４】
第１部材２に固定される固定部９ａと、第２部材３に固定される固定部９ｂとは、図２に示される例では、それぞれ軸線Ａ方向における幅寸法Ｗ１，Ｗ２で異なる軸方向位置に配置され、第１部材２に固定された固定部９ａは高さ方向上方に延び、第２部材３に固定された固定部９ｂは高さ方向下方に延びている。固定部９ａ，９ｂ間を接続する歪み発生部１０は、第１部材２と第２部材３との境界位置近傍において、高さ方向における幅寸法Ｗ３で固定部９ａ，９ｂ間に軸線Ａ方向に挟まれる位置に配置され、両固定部９ａ，９ｂを接続している。
【００２５】
歪み発生部１０の横断面積は、固定部９ａ，９ｂの横断面積と比較して十分に小さく設定されている。これにより、図２に矢印で示されるように、第１部材２と第２部材３との間に両者を相対的に軸線Ａ方向に移動させる引っ張り力あるいは圧縮力（以下では、単に「軸力」ともいう）が作用した場合には、専ら歪み発生部１０に歪みが発生するようになっている。
【００２６】
１軸歪みセンサ部７は、歪み発生部１０の表面に、軸力が作用する方向に検出方向を一致させて貼り付けられている。１軸歪みセンサ部７には図示しない配線が接続され、歪み発生部１０に発生する歪み量に比例する電圧信号を出力するようになっている。これにより、１軸歪みセンサ部７から出力された電圧信号に基づいて、歪み発生部１０に発生する軸力を求めることができる。１軸歪みセンサ部７としては、半導体歪みゲージや金属箔歪みゲージなどがあるが、ボルト固定タイプのセンサでもよいし、レーザ変位センサやレーザ近接センサ、静電容量形近接センサなどの変位検出機器であってもよい。相手側との距離から歪み量を検出することができるものならばよい。この場合、これらの変位検出機器の投光器側と相手側の壁状部材とは、同じ歪み発生部１０上に配置される必要がある。
【００２７】
このように構成された本実施形態に係る歪みセンサ１の作用について、以下に説明する。
ここでは、ロボット１００の関節軸に作用する軸力を、本実施形態に係る歪みセンサ１を用いて検出する場合について説明する。
【００２８】
ロボット１００は、図４に示されるように、鉛直な第１軸線Ｊ１回りに回転可能な旋回胴２５と、水平な第２軸線Ｊ２回りに旋回胴２５に対して回転可能な第１アーム２６と、第１アーム２６の先端に水平な第３軸線Ｊ３回りに回転可能な第２アーム３０と、第２アーム３０の先端に配置された手首ユニット４５とを備える垂直多関節型ロボットである。第２アーム３０は、第２アーム３０の先端に第３軸線Ｊ３回りに回転可能に取り付けられた長尺のベース部材３９と、ベース部材３９の長手方向に移動可能に支持され先端に手首ユニット４５を支持する直動アーム（被検出体）４０と備えている。
【００２９】
直動アーム４０は、直動機構によってベース部材３９に対して長手方向に移動させられる。直動機構は、ベース部材３９の長手方向（直動軸線）Ｂに沿って延びるリニアガイド３１と、リニアガイド３１に沿って移動可能なスライダ３３と、スライダ３３に固定されたナットに噛み合うボールネジ３２と、ボールネジ３２を長手軸回りに回転させるモータ３５とを備えている。
【００３０】
図４および図５に示されるように、直動アーム４０とスライダ３３とは取付板５０によって堅固に固定されているとともに、本実施形態に係る歪みセンサ１が直動アーム４０とスライダ３３との間に固定されている。歪みセンサ１は、リニアローラ軸受５の軸線をベース部材３９の長手方向Ｂに一致させて固定されている。
【００３１】
モータ３５の作動によりボールネジ３２を回転させると、ボールネジ３２に噛み合うナットが固定されたスライダ３３がリニアガイド３１に沿って直線移動させられる。これにより第２アーム３０のベース部材３９に対して直動アーム４０が長手方向に移動させられる。直動アーム４０が移動させられると、直動アーム４０に負荷が作用し、歪みセンサ１には長手方向Ｂに沿った軸力が作用する。これにより、歪みセンサ１を構成しているリニアローラ軸受５の第１部材２と第２部材３とが長手方向Ｂに沿って微小に変位する。そのため、その変位により、接続部材６の固定部９ａ，９ｂ間に配置されている歪み発生部１０に軸力が作用して、歪み発生部１０が変形する。これにより、歪み発生部１０に貼り付けられている１軸歪みセンサ部７により歪み量が検出され、検出された歪み量に基づいて引っ張り力または圧縮力を検出することができる。
【００３２】
この場合において、本実施形態に係る歪みセンサ１によれば、歪み発生部１０を備える接続部材６が、リニアローラ軸受５の第１部材２および第２部材３に掛け渡すように固定されており、第１部材２と第２部材３とは軸線Ａ方向にのみ相対移動するように支持されている。したがって、ロボット１００の直動アーム４０に種々の方向の負荷が作用しても、１軸歪みセンサ部７が取り付けられている歪み発生部１０には、長手方向Ｂの軸方向のみに引っ張り力または圧縮力が作用する。
【００３３】
すなわち、本実施形態に係る歪みセンサ１によれば、直動アーム４０に種々の方向の負荷が作用しても、長手方向Ｂに沿って作用する引っ張り力および圧縮力のみを精度よく検出することができるという利点がある。
その結果、高価な歪みセンサを多数方向に貼り付けてブリッジ回路を用いた多軸歪みキャンセル機構を採用しなくても、軸方向以外の負荷により発生する歪み量を検出することなく、精度よく軸方向に沿った引っ張り力および圧縮力を検出でき、コストを低く抑えることができる。特に、多関節ロボットの全ての関節軸に歪みセンサを設置する場合に効果的にコストを低減することができる。
【００３４】
また、本実施形態においては、歪み発生部１０における歪み量を１軸歪みセンサ部７により検出するものを例示したが、歪み量の検出は必ずしも１軸に限定されるものではない。１軸に限らずに歪み発生部１０の歪み量を検出する歪みセンサを採用してもよい。
【００３５】
また、本実施形態に係る歪みセンサ１によれば、第１部材２と第２部材３との間に１軸歪みセンサ部７を取り付ける接続部材６が第１部材２および第２部材３の軸方向に平行な側面に沿って配置される平板状に形成されているので、リニアローラ軸受５の軸方向に直交する断面方向において若干突出するコンパクトな構成を有している。これにより、スライダ３３と直動アーム４０とが取り付けられている部分において形成される鉛直方向の隙間を利用してロボット１００の関節軸に、歪みセンサ１を取り付けることができる。
【００３６】
そして、本実施形態に係る歪みセンサ１を各関節軸に取り付けたロボット１００によれば、ロボット１００の先端に複数方向の負荷が作用しても、各関節軸に作用する軸力を精度よく求めて、制御することができるという利点がある。例えば、ロボット１００が備える複数のアームの少なくとも一部に、複数の軸方向の軸力を検出可能な多軸力センサが備えられており、複数の軸方向の軸力の１つまたは２つ以上を検出するために対応する軸方向の数に応じた歪みセンサ１が用いられていてもよい。この場合の歪みセンサ１が検出可能な軸方向は、多軸力センサによって検出したい軸方向に一致させることができる。
【００３７】
なお、本実施形態においては、軸受としてリニアローラ軸受５を用いたが、軸受としては、これに限定されるものではなく、所定の軸線Ａ方向のみに第１部材２と第２部材３とが相対移動可能に支持されている軸受であれば、図６に示すボール４ａを有するリニアボール軸受５ａ、滑り軸受等の他の種類の軸受を採用してもよい。特に、軸力を検出するための第１部材２と第２部材３との相対変位量は極めて微量であるため、構造の簡易な滑り軸受を用いることにしてもよく、その場合には、さらなるコスト低減を図ることができる。
【００３８】
また、本実施形態においては、１軸歪みセンサ部７が、周囲温度変化による歪み量変動を補正する補正手段を備えていてもよい。
このようにすることで、接続部材６の歪み発生部１０近傍の周囲温度が変化した場合、温度の変化量に応じて歪み量が変化してしまうが、補正手段を用いて周囲温度の変化分の歪み量を補正することによって、歪み検出精度を更に向上させることができる。
【００３９】
また、本実施形態においては、１軸歪みセンサ部７として、歪み発生部１０の表面に貼り付けられているものを例示したが、これに代えて、ネジ留め固定されるものを採用してもよい。
また、歪みセンサ１が単一の１軸歪みセンサ部７を備える場合を例示したが、故障検出用に２以上の１軸歪みセンサ部７を歪み発生部１０に並べて配置してもよい。並べ方は、並列であっても直列であってもよい。
【００４０】
２以上の１軸歪みセンサ部７が配置される構成とすることで、一の１軸歪みセンサ部７が正常であるかどうかを他の１軸歪みセンサ部７の歪みデータと比較することにより、把握することができる。一の１軸歪みセンサ部７が万一故障しても、故障していない残りの正常な１軸歪みセンサ部７の歪み情報を用いて、ロボット１００を安全に速やかに停止させることができる。
【００４１】
図７には、２つの接続部材６，１６を備える変形例の歪みセンサ１ｂが示されている。歪みセンサ１ｂは、実施形態の歪みセンサ１と比較して、図７に示されるように、接続部材６に加えて、１軸歪みセンサ部（歪み検出手段）１７が固定された接続部材１６をさらに備えている。接続部材１６および１軸歪みセンサ部１７は、接続部材６および１軸歪みセンサ部７と同じ構成である。接続部材１６は、１軸歪みセンサ部１７の軸線方向が１軸歪みセンサ部７の軸線方向に一致するように配置されている。そのため、１軸歪みセンサ部１７は、接続部材１６に発生する歪み量を検出できる。
【００４２】
このように、図７に示す変形例の歪みセンサ１ｂは、同一の軸線方向に沿って２つの接続部材６，１６および１軸歪みセンサ部７，１７を備えることで、複数系統の検出値を出力できる。なお、図７に示す変形例では、歪みセンサ１ｂが２つの接続部材６，１６および１軸歪みセンサ部７，１７を備える例について説明したが、他の形態の歪みセンサが備える接続部材および１軸歪みセンサ部は、３つ以上であってもよい。また、２つの接続部材６，１６は、同一形状でもよいし、２つの１軸歪みセンサ部７，１７は同一の１軸歪みセンサ部であってもよい。
【００４３】
図８には、第１部材２および第２部材３のそれぞれに固定され第１部材２および第２部材３とを連結する２つの補強部材２１，２２を備え、接続部材６に２つの１軸歪みセンサ部７，１７が配置された変形例の歪みセンサ１ｃが示されている。補強部材２１，２２のそれぞれが第１部材２および第２部材３にボルト締結により固定されているため、接続部材６に発生する歪み量は、実施形態の歪みセンサ１に固定された接続部材６に発生する歪み量よりも小さくなる。そのため、補強部材２１，２２によって、接続部材６に配置された１軸歪みセンサ部７，１７の検出値を調整することができる。２つの１軸歪みセンサ部７，１７は同一の１軸歪みセンサ部であってもよい。
【００４４】
他の形態の歪みセンサは、図８に示す歪みセンサ１ｃと異なり、１つの接続部材６に配置された３つ以上の１軸歪みセンサ部を備えてもよいし、１または３つ以上の補強部材を備えてもよい。歪みセンサが備える補強部材の一例として、図８に示す補強部材２１，２２を説明したが、歪みセンサに備えられる補強部材は、第１部材２および第２部材３のそれぞれに固定可能な形状であれば、形状について種々変形可能である。補強部材は、例えば、図８に示す接続部材６と同じ形状であってもよいし、円板形状などであってもよい。補強部材は、接続部材６が配置されている歪みセンサ１ｃの側面とは反対側の側面に配置されてもよい。
【００４５】
図４および図５に示されたロボット１００では、第２アーム３０のスライダ３３と直動アーム４０とが取付板５０によって固定されていたが、図９に示されるように、スライダ３３と直動アーム４０とが歪みセンサ１ｄのみによって固定されていてもよい。この場合の歪みセンサ１ｄは、直動アーム４０の負荷の全てを受けるため、図４および図５に示された歪みセンサ１と比較して、接続部材６ｄが、水平方向に沿って厚くなるように形成されていてもよい。
【００４６】
上記実施形態の歪みセンサ１では、固定部９ａ，９ｂの横断面積が、歪み発生部１０の横断面積よりも大きい接続部材６について説明したが、接続部材６に含まれる各部の横断面積の関係については、種々変形可能である。例えば、図１０に示すように、変形例の歪みセンサ１ｅが備える接続部材６ｅは、正面から見たときの形状が長方形である。極端な例としては、接続部材の形状が、第１部材２および第２部材３の側面の全面を覆うような平板形状であってもよい。１軸歪みセンサ７が歪みを検出する歪み発生部１０ｅは、図１に示す歪みセンサ１の歪み発生部１０とは異なり、他の部分と比較して横断面積が小さく形成されていなくてもよい。他の変形例では、接続部材において、歪み発生部の横断面積の方が、固定部の横断面積よりも大きくてもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ  歪みセンサ
２  第１部材
３  第２部材
５  リニアローラ軸受（リニア軸受）
５ａ  リニアボール軸受
６，６ｄ，６ｅ，１６  接続部材
７，１７  １軸歪みセンサ部（歪み検出手段）
８ｂ  ネジ孔（固定手段）
９ａ，９ａｅ，９ｂ，９ｂｅ，１９ａ，１９ｂ  固定部
１０，１０ｅ  歪み発生部
３３  スライダ（被検出体）
４０  直動アーム（被検出体）
１００  ロボット
Ａ  軸線（所定の軸線）
Ｂ  長手方向（直動軸線）
【図１】
2019113459.tif 000003
【図２】
2019113459.tif 000004
【図３】
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【図４】
2019113459.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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