(57)【要約】【課題】表示部等の主要部位のスペースを確保しつつ光電変換によって十分な電力を発電し得る光電変換素子を備えた電子機器、および、かかる電子機器に好適な光電変換素子を効率よく製造可能な光電変換素子の製造方法を提供すること。【解決手段】曲線を含む開口部を有するケースと、前記ケース内に設けられ、結晶性を有する半導体基板を含む光電変換素子と、を備え、前記光電変換素子の外縁は、前記開口部に沿って少なくとも一部が曲線で構成されており、前記光電変換素子の内縁は、前記光電変換素子の外縁に沿って少なくとも一部が曲線で構成されていることを特徴とする電子機器。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
曲線を含む開口部を有するケースと、
前記ケース内に設けられ、結晶性を有する半導体基板を含む光電変換素子と、
を備え、
前記光電変換素子の外縁は、前記開口部に沿って少なくとも一部が曲線で構成されており、
前記光電変換素子の内縁は、前記光電変換素子の外縁に沿って少なくとも一部が曲線で構成されていることを特徴とする電子機器。
【請求項２】
前記光電変換素子は、複数の電極パッドを含み、
前記複数の電極パッドは、前記光電変換素子の外縁または内縁に沿って配置されている請求項１に記載の電子機器。
【請求項３】
前記光電変換素子の内縁に沿う外形形状を含む電気光学パネルを有する請求項１または２に記載の電子機器。
【請求項４】
前記光電変換素子の形状は、円環である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の電子機器。
【請求項５】
電気光学パネルを有し、
前記光電変換素子の少なくとも一部は、前記電気光学パネルの画素領域より外側と重なるように配置されている請求項４に記載の電子機器。
【請求項６】
前記半導体基板は、単結晶性を有する請求項１ないし５のいずれか１項に記載の電子機器。
【請求項７】
前記光電変換素子は、複数の前記半導体基板を含み、
複数の前記半導体基板で結晶方位が互いに同じである請求項６に記載の電子機器。
【請求項８】
前記半導体基板の主要構成元素以外の不純物元素濃度がそれぞれ１×１０１１［ａｔｏｍｓ／ｃｍ２］以下である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の電子機器。
【請求項９】
前記光電変換素子の内縁の異なる２点を通過する垂線を引いたとき、２本の前記垂線同士が、前記開口部内において交差する請求項１ないし８のいずれか１項に記載の電子機器。
【請求項１０】
前記光電変換素子の端面の少なくとも一部において、受光面が裏面よりも張り出している請求項１ないし９のいずれか１項に記載の電子機器。
【請求項１１】
前記光電変換素子は、裏面電極型である請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の電子機器。
【請求項１２】
結晶性を有する半導体ウエハーを用意する工程と、
前記半導体ウエハーに電極および電極パッドを形成する工程と、
前記半導体ウエハーにレーザー加工を施し、外縁の少なくとも一部が曲線で構成され、内縁の少なくとも一部が前記外縁に沿う曲線で構成されているセルを切り出す工程と、
を有することを特徴とする光電変換素子の製造方法。
【請求項１３】
前記半導体ウエハーの前記電極パッドが形成されている面に向けてレーザーを照射し、前記レーザー加工を施す請求項１２に記載の光電変換素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器および光電変換素子の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＧＰＳ（Global Positioning System）等の測位システムに用いられる位置情報衛星からの電波を受信し、測位信号に含まれる時刻を取得したり、現在位置を検出したりする装着型電子機器（腕時計）が提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、腕時計ケースと、文字板と、文字板の下側に配置され位置情報衛星からの電波を受信するアンテナを含む時計モジュールと、文字板と時計モジュールとの間に設けられたソーラーパネルと、を有する腕時計が開示されている。このような腕時計によれば、文字板が光透過性を有しているため、文字板を透過した外部光をソーラーパネルに照射することにより、時計モジュールの動作に必要な電力を発電することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−１７６９５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、位置情報衛星から送出される電波には極超短波が使用されているが、この極超短波を受信するためには高周波回路を作動させる必要がある。このため、腕時計の消費電力が大きくなるという問題がある。
【０００６】
特に、近年は、現在位置を検出する動作を高頻度に行うことで移動経路を記録する機能（データロガー）を搭載することが求められている。このような機能が搭載されると、高周波回路の作動時間も長くなるため、消費電力のさらなる増大が懸念される。そうなると、消費電力がソーラーパネルの発電電力を上回ってしまい、二次電池を外部電源から充電するための部品を別途用意せざるを得なくなったり、二次電池の容量を高める必要が生じたりする。その結果、腕時計の小型化および軽量化が妨げられることとなる。
【０００７】
他方、特許文献１に記載の腕時計では、外部光が文字板を透過する際、光量が減少してしまう。このため、ソーラーパネルにおいて十分な電力を発電することができないという問題がある。また、電力を確保するためにソーラーパネルを大型化した場合、それに伴って時計モジュールのような主要部位のサイズが制限されたり、腕時計の大型化を招いたりするという問題がある。
【０００８】
本発明の目的は、表示部等の主要部位のスペースを確保しつつ光電変換によって十分な電力を発電し得る光電変換素子を備えた電子機器、および、かかる電子機器に好適な光電変換素子を効率よく製造可能な光電変換素子の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の電子機器は、曲線を含む開口部を有するケースと、
前記ケース内に設けられ、結晶性を有する半導体基板を含む光電変換素子と、
を備え、
前記光電変換素子の外縁は、前記開口部に沿って少なくとも一部が曲線で構成されており、
前記光電変換素子の内縁は、前記光電変換素子の外縁に沿って少なくとも一部が曲線で構成されていることを特徴とする。
【００１０】
これにより、表示部等の主要部位のスペースを確保しつつ光電変換によって十分な電力を発電し得る電子機器が得られる。
【００１１】
本発明の電子機器では、前記光電変換素子は、複数の電極パッドを含み、
前記複数の電極パッドは、前記光電変換素子の外縁または内縁に沿って配置されていることが好ましい。
【００１２】
これにより、光電変換素子の外縁または内縁の延在方向（周方向）に沿って接続点を確保することができる。このため、光電変換素子をより確実に固定することができ、かつ、光電変換素子と配線基板との間の接続抵抗を十分に低減させることができる。
【００１３】
本発明の電子機器では、前記光電変換素子の内縁に沿う外形形状を含む電気光学パネルを有することが好ましい。
【００１４】
これにより、例えば光電変換素子の内側に配される表示部の外形形状を円形にすることができるので、意匠性が高い電子機器を実現することができる。
【００１５】
本発明の電子機器では、前記光電変換素子の形状は、円環であることが好ましい。
これにより、例えば光電変換素子の内側に配される表示部の外形形状を円形にすることができるので、意匠性が高い電子機器を実現することができる。
【００１６】
本発明の電子機器では、電気光学パネルを有し、
前記光電変換素子の少なくとも一部は、前記電気光学パネルの画素領域より外側と重なるように配置されていることが好ましい。
【００１７】
これにより、太陽電池は、電気光学パネルの画素領域の外側を覆う、いわゆる見切り板として機能することができる。
【００１８】
本発明の電子機器では、前記半導体基板は、単結晶性を有することが好ましい。
これにより、光電変換素子の光電変換効率が特に高められる。したがって、光電変換効率と意匠性との両立を最大限に図ることができる。また、特に、光電変換素子の省スペース化が図られることにより、電子機器の意匠性をより高めることができる。
【００１９】
本発明の電子機器では、前記光電変換素子は、複数の前記半導体基板を含み、
複数の前記半導体基板で結晶方位が互いに同じであることが好ましい。
【００２０】
これにより、複数の半導体基板の外観が揃いやすくなるため、外観の均一化が図られることとなり、光電変換素子全体の意匠性もより高めることができる。また、複数の半導体基板の受光面にエッチング処理を施す場合、エッチングレートが結晶方位に依存しやすいことを踏まえると、処理結果の差が自ずと小さくなる。かかる観点からも、複数の半導体基板の受光面における反射率や反射方向等の特性が揃いやすくなり、光電変換素子全体の意匠性がさらに高くなる。
【００２１】
本発明の電子機器では、前記半導体基板の主要構成元素以外の不純物元素濃度がそれぞれ１×１０１１［ａｔｏｍｓ／ｃｍ２］以下であることが好ましい。
【００２２】
これにより、半導体基板の不純物が光電変換に及ぼす影響を十分に小さく抑えることができる。これにより、小面積であっても十分な電力を発生させ得る光電変換素子を実現することができる。
【００２３】
本発明の電子機器では、前記光電変換素子の内縁の異なる２点を通過する垂線を引いたとき、２本の前記垂線同士が、前記開口部内において交差することが好ましい。
【００２４】
これにより、光電変換素子の内縁は、開口部の内側により十分なスペースを確保し得る程度の曲率を持つものとなる。したがって、表示部と光電変換素子との配置のバランスがより良好になる。
【００２５】
本発明の電子機器では、前記光電変換素子の端面の少なくとも一部において、受光面が裏面よりも張り出していることが好ましい。
【００２６】
これにより、受光面側から光電変換素子を見たとき、張り出した受光面の陰に隠れて端面が見えにくくなる。このため、見た目上、受光面が支配的になり、光電変換素子の外観の均一性が高まる。これにより、光電変換素子および電子機器の意匠性をより高めることができる。
【００２７】
本発明の電子機器では、前記光電変換素子は、裏面電極型であることが好ましい。
これにより、全ての電極パッドを電極面（裏面）側に配置することができる。このため、受光面を最大限に大きくすることができ、受光面積の最大化に伴う発電効率の向上を図ることができる。加えて、受光面側に電極パッドを設けることによる意匠性の低下を防止することができる。このため、電子機器の意匠性をさらに高めることができる。
【００２８】
本発明の光電変換素子の製造方法は、結晶性を有する半導体ウエハーを用意する工程と、
前記半導体ウエハーに電極および電極パッドを形成する工程と、
前記半導体ウエハーにレーザー加工を施し、外縁の少なくとも一部が曲線で構成され、内縁の少なくとも一部が前記外縁に沿う曲線で構成されているセルを切り出す工程と、
を有することを特徴とする。
これにより、電子機器に好適なセルを効率よく製造することができる。
【００２９】
本発明の光電変換素子の製造方法では、前記半導体ウエハーの前記電極パッドが形成されている面に向けてレーザーを照射し、前記レーザー加工を施すことが好ましい。
【００３０】
これにより、電極パッドが形成されている面よりもその反対の受光面となる面が張り出すように傾斜した傾斜面が形成される。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の電子機器の実施形態を適用した電子時計を示す斜視図である。
【図２】本発明の電子機器の実施形態を適用した電子時計を示す斜視図である。
【図３】図１、２に示す電子時計の平面図である。
【図４】図１、２に示す電子時計の縦断面図である。
【図５】図４に示す電子時計のうち、光電変換素子のみを図示した平面図である。
【図６】図５に示す光電変換素子の分解斜視図である。
【図７】図５に示す光電変換素子のＡ−Ａ線断面図である。
【図８】本発明の光電変換素子の製造方法の実施形態を説明するための図である。
【図９】本発明の光電変換素子の製造方法の実施形態を説明するための図である。
【図１０】本発明の光電変換素子の製造方法の実施形態を説明するための図である。
【図１１】本発明の光電変換素子の製造方法の実施形態を説明するための図である。
【図１２】本発明の光電変換素子の製造方法の実施形態を説明するための図である。
【図１３】本発明の光電変換素子の製造方法の実施形態を説明するための図である。
【図１４】本発明の光電変換素子の製造方法の実施形態を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の電子機器および光電変換素子の製造方法について、添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３３】
＜電子機器＞
まず、本発明の電子機器の実施形態を適用した電子時計について説明する。かかる電子時計は、受光面に光が照射されると、内蔵する太陽電池（光電変換モジュール）によって発電（光電変換）し、発電により得られた電力を駆動電力として利用するように構成されている。
【００３４】
図１、２は、それぞれ、本発明の電子機器の実施形態を適用した電子時計を示す斜視図である。このうち、図１は、電子時計の表側（受光面側）から見たときの外観を表す斜視図であり、図２は、電子時計の裏側から見たときの外観を表す斜視図である。また、図３は、図１、２に示す電子時計の平面図であり、図４は、図１、２に示す電子時計の縦断面図である。
【００３５】
電子時計２００は、ケース３１と太陽電池８０（光電変換モジュール）と表示部５０と光センサー部４０を含む機器本体３０と、ケース３１に取り付けられた２つのバンド１０と、を有している。
【００３６】
なお、以下の説明では、太陽電池８０の受光面に直交する方向に延在する方向軸をＺ軸とする。また、電子時計の裏側から表側への向きを「＋Ｚ方向」とし、その反対向きを「−Ｚ方向」とする。
【００３７】
一方、Ｚ軸に直交する２つの軸を「Ｘ軸」および「Ｙ軸」とする。このうち、２つのバンド１０同士を結ぶ方向軸をＹ軸とし、Ｙ軸に直交する方向軸をＸ軸とする。また、表示部５０の上向きを「＋Ｙ方向」とし、下向きを「−Ｙ方向」とする。また、太陽電池８０の受光面を平面視したとき、右向きを「＋Ｘ方向」とし、左向きを「−Ｘ方向」とする。
【００３８】
以下、電子時計２００の構成について順次説明する。
（機器本体）
機器本体３０は、表側および裏側に開口したケース３１と、表側の開口部を塞ぐように設けられた風防板５５と、ケース３１の表面と風防板５５の側面とを覆うように設けられたベゼル５７と、裏側の開口部を塞ぐように設けられた透明カバー４４と、を備える筐体を有している。この筐体内には、後述する種々の構成要素が収容される。
【００３９】
筐体のうち、ケース３１は円環状をなしており、表側には風防板５５を嵌め込み可能な開口部３５を備え、裏側には透明カバー４４を嵌め込み可能な開口部（測定窓部４５）を備えている。
【００４０】
また、ケース３１の裏側の一部は、突出するように成形された凸状部３２になっている。この凸状部３２の頂部が開口しており、この開口部に透明カバー４４が嵌め込まれているとともに、透明カバー４４の一部が開口部から突出している。
【００４１】
ケース３１の構成材料としては、例えばステンレス鋼、チタン合金のような金属材料の他、樹脂材料、セラミック材料等が挙げられる。また、ケース３１は、複数の部位の組み立て体であってもよく、その場合、部位同士で構成材料が異なっていてもよい。
【００４２】
また、ケース３１の外側面には、複数の操作部５８（操作ボタン）が設けられている。
また、ケース３１の表側に設けられた開口部３５の外縁には、＋Ｚ方向に突出する突起部３４が形成されている。そして、この突起部３４を覆うように、円環状をなすベゼル５７が設けられている。
【００４３】
さらに、ベゼル５７の内側には風防板５５が設けられている。そして、風防板５５の側面とベゼル５７との間が、パッキンや接着剤のような接合部材５６を介して接着されている。
【００４４】
風防板５５および透明カバー４４の構成材料としては、例えばガラス材料、セラミック材料、樹脂材料等が挙げられる。また、風防板５５は透光性を有し、風防板５５を介して表示部５０の表示内容を視認することができるようになっている。さらに、透明カバー４４も透光性を有し、光センサー部４０を生体情報測定部として機能させることができる。
【００４５】
また、筐体の内部空間３６は、後述する種々の構成要素を収容可能な閉空間になっている。
【００４６】
機器本体３０は、それぞれ内部空間３６に収容される要素として、回路基板２０と、方位センサー２２（地磁気センサー）と、加速度センサー２３と、ＧＰＳアンテナ２８と、光センサー部４０と、表示部５０を構成する電気光学パネル６０および照明部６１と、二次電池７０と、太陽電池８０と、を備えている。また、機器本体３０は、これらの要素の他にも、標高や水深等を算出するための圧力センサー、温度を測定する温度センサー、角速度センサーのような各種センサー、バイブレーター等を備えていてもよい。
【００４７】
回路基板２０は、前述した要素同士を電気的に接続する配線を含む基板である。また、回路基板２０には、前述した要素の動作を制御する制御回路や駆動回路等を含むＣＰＵ２１（Central Processing Unit）および他の回路素子２４が搭載されている。
【００４８】
また、太陽電池８０、電気光学パネル６０、回路基板２０および光センサー部４０は、風防板５５側からこの順で配置されている。これにより、太陽電池８０は、風防板５５に近接して配置されることになり、多くの外部光が太陽電池８０に効率よく入射する。その結果、太陽電池８０における発電効率を最大限に高めることができる。
【００４９】
以下、機器本体３０に収容される要素についてさらに詳述する。
回路基板２０は、その端部が回路ケース７５を介してケース３１に取り付けられている。
【００５０】
また、回路基板２０には、接続配線部６３および接続配線部８１が電気的に接続されている。このうち、接続配線部６３を介して回路基板２０と電気光学パネル６０とが電気的に接続されている。また、接続配線部８１を介して回路基板２０と太陽電池８０とが電気的に接続されている。これらの接続配線部６３、８１は、例えばフレキシブル回路基板で構成され、内部空間３６の隙間に効率よく引き回される。
【００５１】
方位センサー２２および加速度センサー２３は、電子時計２００を装着したユーザーの体の動きに係る情報を検出することができる。方位センサー２２および加速度センサー２３は、ユーザーの体動に応じて変化する信号を出力し、ＣＰＵ２１に送信する。
【００５２】
ＣＰＵ２１は、ＧＰＳアンテナ２８を含むＧＰＳ受信部（図示せず）を制御する回路、光センサー部４０を駆動しユーザーの脈波等を測定する回路、表示部５０を駆動する回路、太陽電池８０の発電を制御する回路等を含む。
【００５３】
ＧＰＳアンテナ２８は、複数の位置情報衛星から電波を受信する。また、機器本体３０は、図示しない信号処理部を備えている。信号処理部は、ＧＰＳアンテナ２８が受信した複数の測位信号に基づいて測位計算を行い、時刻および位置情報を取得する。信号処理部は、これらの情報をＣＰＵ２１に送信する。
【００５４】
光センサー部４０は、ユーザーの脈波等を検出する生体情報測定部である。図２に示す光センサー部４０は、受光部４１と、受光部４１の外側に設けられた複数の発光部４２と、受光部４１および発光部４２が搭載されたセンサー基板４３と、を含む光電センサーである。また、受光部４１および発光部４２は、前述した透明カバー４４を介して、ケース３１の測定窓部４５に臨んでいる。また、機器本体３０が備える接続配線部４６を介して回路基板２０と光センサー部４０とが電気的に接続されている。
【００５５】
このような光センサー部４０は、発光部４２から射出した光を被検体（例えばユーザーの皮膚）に対して照射し、その反射光を受光部４１で受光することにより、脈波を検出する。光センサー部４０は、検出した脈波の情報をＣＰＵ２１に送信する。
【００５６】
なお、光電センサーに代えて、心電計、超音波センサーのような他のセンサーを用いるようにしてもよい。
【００５７】
また、機器本体３０は、図示しない通信部を備えている。この通信部は、機器本体３０が取得した各種の情報や記憶している情報、ＣＰＵ２１による演算結果等を外部に送信する。
【００５８】
表示部５０は、風防板５５を介して、電気光学パネル６０の表示内容をユーザーに視認させる。これにより、例えば前述した要素から取得した情報を、文字や画像として表示部５０に表示し、ユーザーに認識させることができる。
【００５９】
電気光学パネル６０としては、例えば、液晶表示素子、有機ＥＬ（Organic Electro Luminescence）表示素子、電気泳動表示素子、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）表示素子等が挙げられる。
【００６０】
図４は、一例として、電気光学パネル６０が反射型の表示素子（例えば反射型液晶表示素子、電気泳動表示素子等）である場合を図示している。このため、表示部５０は、電気光学パネル６０が備える導光板（図示せず）の光入射面に設けられた照明部６１を備えている。照明部６１としては、例えばＬＥＤ素子が挙げられる。このような照明部６１および導光板は、反射型表示素子のフロントライトとして機能する。
【００６１】
なお、電気光学パネル６０が透過型の表示素子（例えば透過型液晶表示素子等）である場合には、フロントライトに代えてバックライトを設けるようにすればよい。
【００６２】
また、電気光学パネル６０が自発光型の表示素子（例えば有機ＥＬ表示素子、ＬＥＤ表示素子等）である場合や、自発光型ではないものの外光を利用する表示素子である場合には、フロントライトやバックライトを省略することができる。
【００６３】
二次電池７０は、図示しない配線を介して回路基板２０に接続されている。これにより、二次電池７０から出力される電力を、前述した要素の駆動に用いることができる。また、太陽電池８０で発電した電力によって、二次電池７０を充電することができる。
【００６４】
以上、電子時計２００について説明したが、本発明の電子機器の実施形態は電子時計に限定されず、例えば携帯電話端末、スマートフォン、タブレット端末、ウェアラブル端末、カメラ等であってもよい。
【００６５】
（太陽電池）
太陽電池８０は、光エネルギーを電気エネルギーに変換する光電変換モジュールである。
【００６６】
図５は、図４に示す電子時計２００のうち、太陽電池８０のみを図示した平面図である。また、図６は、図５に示す太陽電池８０の分解斜視図である。
【００６７】
図５に示す太陽電池８０（光電変換モジュール）は、風防板５５と電気光学パネル６０との間に設けられ、結晶性を有する半導体基板からなる４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄ（光電変換素子）と、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄと電気的に接続された配線基板８２と、を備えている。
【００６８】
セル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄは、それぞれ板状をなしており、その主面はＺ軸方向に向いている。また、風防板５５に臨む主面は、外部光を受光する受光面８４となる。一方、電気光学パネル６０に臨む主面は、発電した電力を取り出す電極パッドが設けられた電極面８５となる。
【００６９】
図５に示す太陽電池８０の形状は、円環になっている。換言すれば、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄがわずかな隙間を介して並ぶことにより、内縁形状（内形形状）および外縁形状（外形形状）がそれぞれ円形である円環が形成されている。
【００７０】
一方、前述したケース３１の開口部３５は、円形をなしていることから、その内縁は曲線を含んでいる。
【００７１】
すなわち、電子時計２００（電子機器）は、輪郭に曲線を含む開口部３５を有するケース３１と、ケース３１内に設けられ、結晶性を有する半導体基板を含む太陽電池８０と、を備えている。
【００７２】
そして、太陽電池８０の外縁は、開口部３５に沿って円形をなしている。すなわち、太陽電池８０の外縁は、開口部３５に沿って少なくとも一部が曲線で構成されている。
【００７３】
また、太陽電池８０の内縁は、太陽電池８０の外縁に沿って円形をなしている。すなわち、太陽電池８０の内縁は、太陽電池８０の外縁に沿って少なくとも一部が曲線で構成されている。
【００７４】
このような電子時計２００によれば、円形の開口部３５を有するケース３１に対して、表示部５０のような主要部位のスペースを確保しつつ、太陽電池８０を効率的に配置することができる。これにより、太陽電池８０を風防板５５に近接して配置することができるので、太陽電池８０の発電効率を十分に高めることができる。一方、表示部５０の配置スペースを、開口部３５の中心部に確保することができるので、表示部５０の視認性が良好になるとともに、表示部５０と太陽電池８０との配置のバランスも良好になる。その結果、太陽電池８０の発電効率と全体的な意匠性とを両立した電子時計２００が得られる。
【００７５】
なお、ケース３１の開口部３５（の内縁）は、少なくとも一部に曲線を含んでいればよく、例えば直線と曲線とを含んでいてもよい。
【００７６】
また、「太陽電池８０の外縁」とは、太陽電池８０の輪郭のうち、開口部３５の外側に臨む部分のことをいい、「太陽電池８０の内縁」とは、太陽電池８０の輪郭のうち、開口部３５の中心側に臨む部分のことをいう。
【００７７】
また、「太陽電池８０の外縁が開口部３５に沿っている」とは、太陽電池８０の外縁と開口部３５の内縁とが、一定の距離を保ちながら変位している状態を指す。そして、「一定の距離を保ちながら」とは、太陽電池８０の外縁の全長にわたって、太陽電池８０の外縁と開口部３５の内縁との離間距離の変化幅が、離間距離の最大値の１００％以下（好ましくは離間距離の平均値の１０％以下）である状態を指す。
【００７８】
また、「太陽電池８０の内縁が太陽電池８０の外縁に沿っている」とは、太陽電池８０の内縁と太陽電池８０の外縁とが、一定の距離を保ちながら変位している状態を指す。そして、「一定の距離を保ちながら」とは、太陽電池８０の内縁の全長にわたって、太陽電池８０の内縁と太陽電池８０の外縁との離間距離の変化幅が、離間距離の最大値の１００％以下（好ましくは離間距離の平均値の１０％以下）である状態を指す。
【００７９】
また、図５に示すように、太陽電池８０の内縁の異なる２点Ｐ１、Ｐ２を通過する垂線Ｌ１、Ｌ２を引いたとき、すなわち、内縁上の異なる２点を通過するようにそれぞれ内縁に直交する直線を引いたとき、２本の垂線Ｌ１、Ｌ２同士が、開口部３５内において交差することが好ましい。このような条件を満たすとき、太陽電池８０の内縁は、開口部３５の内側により十分なスペースを確保し得る程度の曲率を持つものとなる。したがって、表示部５０と太陽電池８０との配置のバランスがより良好になる。
【００８０】
また、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄにおいて、それぞれの内縁および外縁は、互いに同じ中心を持つ円（同心円）の一部であることが好ましい。換言すれば、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの集合体が円環をなすとき、その円環の内円と外円とが同心円であることが好ましい。これにより、とりわけ意匠性が高い電子時計２００を実現することができる。
【００８１】
なお、図３に示すように、太陽電池８０の内縁側には、表示部５０（電気光学パネル６０）が設けられるが、この表示部５０の外形形状は、太陽電池８０の内縁に沿っている。換言すれば、電子時計２００は、太陽電池８０の内縁に沿う外形形状を含む電気光学パネル６０を有する。このように配置することで、例えば太陽電池８０の内側に配される表示部５０の外形形状を円形にすることができるので、意匠性が高い電子時計２００を実現することができる。
【００８２】
また、太陽電池８０の少なくとも一部は、電気光学パネル６０の画素領域より外側と重なるように配置されている。これにより、例えば、太陽電池８０の受光面８４を正視するように電子時計２００を見たとき、太陽電池８０よりも遠い位置に表示部５０（電気光学パネル６０）が配置されれば、太陽電池８０は、電気光学パネル６０の画素領域の外側を覆う、いわゆる見切り板として機能することができる。
【００８３】
また、本実施形態では、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの集合体によって太陽電池８０が構成されているが、セルの数は、１つであってもよく、２つ以上の任意の数であってもよい。
【００８４】
また、本実施形態では、太陽電池８０の形状が円環になっているが、多重の円環であってもよい。
【００８５】
また、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄのうち、１つ以上が省略されてもよく、セル同士の形状が互いに異なっていてもよい。
【００８６】
また、太陽電池８０が含む半導体基板は、前述したように結晶性を有している。この結晶性とは、単結晶性または多結晶性のことをいう。このような結晶性を有する半導体基板を含むことにより、非晶質性を有する半導体基板を含む場合に比べて、より発電効率の高い太陽電池８０が得られる。かかる太陽電池８０は、仮に同じ電力を発電する場合、より面積を小さくすることを可能にする。このため、結晶性を有する半導体基板を含むことにより、発電効率と意匠性とをより高度に両立させた電子時計２００が得られる。
【００８７】
特に、半導体基板は、単結晶性を有するものが好ましい。これにより、太陽電池８０の発電効率が特に高められる。したがって、発電効率と意匠性との両立を最大限に図ることができる。また、特に、太陽電池８０の省スペース化が図られることにより、電子時計２００の意匠性をより高めることができる。さらに、室内光のような低照度光においても発電効率が低下しにくいという利点もある。
【００８８】
なお、単結晶性を有するとは、半導体基板全体が単結晶である場合の他、一部が多結晶または非晶質である場合も含む。後者の場合、単結晶の体積が相対的に大きい（例えば９０体積％以上である）ことが好ましい。
【００８９】
半導体基板としては、例えばシリコン基板の他、化合物半導体基板（例えばＧａＡｓ基板）等が挙げられる。
【００９０】
また、太陽電池８０が４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄ（複数の半導体基板）を含み、各半導体基板が単結晶性を有している場合、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの主面の結晶方位（結晶軸）が互いに同じであるのが好ましい。これにより、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの外観が揃いやすくなるため、外観の均一化が図られることとなり、太陽電池８０全体の意匠性もより高めることができる。また、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの受光面にエッチング処理を施す場合、エッチングレートが結晶方位に依存しやすいことを踏まえると、処理結果の差が自ずと小さくなる。かかる観点からも、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの受光面における光の反射率や反射方向等の特性が揃いやすくなり、太陽電池８０全体の意匠性がさらに高くなる。
【００９１】
さらに、図３に示すように、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄが全体として環状に配置されているとき、その環の中心Ｃから各セルの中心Ｃａ、Ｃｂ、Ｃｃ、Ｃｄに向かう仮想的な直線を仮想線Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄとする。
【００９２】
このとき、セル８０ａの結晶方位のうち仮想線Ｌａと平行な結晶方位と、セル８０ｂの結晶方位のうち仮想線Ｌｂと平行な結晶方位と、セル８０ｃの結晶方位のうち仮想線Ｌｃと平行な結晶方位と、セル８０ｄの結晶方位のうち仮想線Ｌｄと平行な結晶方位とが、互いに等価な方位であることが好ましい。これにより、前述した太陽電池８０の意匠性をより高めることができる。すなわち、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの受光面にそれぞれエッチング処理が施された場合には、仮に受光面内で結晶方位に基づくエッチング異方性が生じたとしても、その異方性は前述した環の中心Ｃを回転軸とした回転対称の関係を互いに満たすものとなる。このため、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄに生じたエッチング異方性が太陽電池８０全体の意匠性に与える影響を最小限に留めることができる。
【００９３】
なお、環の中心Ｃとは、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの集合体で構成される円環の中心のことをいう。また、意匠性の観点から、この中心Ｃは、ケース３１の開口部３５の中心と一致しているのが好ましい。
【００９４】
また、各セルの中心とは、各セルの長軸の中点のことをいう。例えばセル８０ａの場合、取り得る最も長い線分を長軸Ａａ（図３参照）とすると、その長軸Ａａの中点がセル８０ａの中心Ｃａとなる。
【００９５】
また、互いに等価とは、各セル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの前記結晶方位が、立方晶である単結晶シリコンにおいて、互いに同じ結晶方位とみなせる状態をいう。具体的には、例えば、［１１０］軸、［１０１］軸、［０１１］軸、［１−１０］軸、［１０−１］軸、および［０１−１］軸は、単結晶シリコンにおいて結晶学的に区別されないため、＜１１０＞軸と表記され、互いに等価な軸とされる。したがって、各セル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの前記結晶方位がいずれも＜１１０＞軸、すなわち前述した６つの軸のいずれかであれば、互いに等価な結晶方位であるといえる。
【００９６】
また、太陽電池８０は、好ましくは裏面電極型とされる。具体的には、図６に示すように、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの電極面８５に、それぞれ電極パッド８６、８７が設けられている。このうち、電極パッド８６は正極であり、一方、電極パッド８７は負極である。したがって、電極パッド８６および電極パッド８７から配線を介して電力を取り出すことができる。
【００９７】
裏面電極型では、全ての電極パッドを電極面８５（裏面）側に配置することができる。このため、受光面８４を最大限に大きくすることができ、受光面積の最大化に伴う発電効率の向上を図ることができる。加えて、受光面８４側に電極パッドを設けることによる意匠性の低下を防止することができる。このため、電子時計２００の意匠性をさらに高めることができる。
【００９８】
また、太陽電池８０は、図５に示すように、電極パッド８６および電極パッド８７をそれぞれ複数含んでいるのが好ましい。これにより、セル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄと配線基板８２との間を、電気的かつ機械的により確実に接続することができる。
【００９９】
また、複数の電極パッド８６は、太陽電池８０の外縁に沿って配置されている。一方、複数の電極パッド８７は、太陽電池８０の内縁に沿って配置されている。このような配置をとることにより、太陽電池８０の延在方向（周方向）に沿って接続点を確保することができる。このため、太陽電池８０をより確実に固定することができ、かつ、太陽電池８０と配線基板８２との間の接続抵抗を十分に低減させることができる。
【０１００】
なお、電極パッド８６、８７の配置は、図示のものに限定されず、例えば電極パッド８６の列の位置と電極パッド８７の列の位置とが入れ替わっていてもよい。
【０１０１】
また、１つのセル当たりの電極パッド８６、８７の数も、特に限定されず、それぞれ１つであっても、任意の複数であってもよい。また、電極パッド８６、８７の形状も、特に限定されず、いかなる形状であってもよい。
【０１０２】
図７は、図５に示す太陽電池８０のＡ−Ａ線断面図である。なお、図７では、半導体基板としてＳｉ基板８００を用いた例を図示している。
【０１０３】
図７に示す太陽電池８０は、Ｓｉ基板８００と、Ｓｉ基板８００に形成されたｐ＋拡散領域８０１およびｎ＋拡散領域８０２と、ｐ＋拡散領域８０１およびｎ＋拡散領域８０２に接続されているフィンガー電極８０４、フィンガー電極８０４に接続されているバスバー電極８０５と、を備えている。なお、図７では、図示の便宜上、ｐ＋拡散領域８０１に接続されているバスバー電極８０５および電極パッド８６（正極）のみを図示し、ｎ＋拡散領域８０２に接続されているバスバー電極および電極パッド（負極）の図示を省略している。また、図７では、ｎ＋拡散領域８０２に接続されているフィンガー電極８０４について破線で示しており、このフィンガー電極８０４がバスバー電極８０５と電気的に接続されていないことを表している。
【０１０４】
Ｓｉ基板８００としては、例えばＳｉ（１００）基板等が用いられる。なお、Ｓｉ基板８００の結晶面は、特に限定されず、Ｓｉ（１００）面以外の結晶面であってもよい。
【０１０５】
Ｓｉ基板８００（半導体基板）の主要構成元素以外の不純物元素濃度は、できるだけ低いことが好ましいが、それぞれ１×１０１１［ａｔｏｍｓ／ｃｍ２］以下であるのがより好ましく、１×１０１０［ａｔｏｍｓ／ｃｍ２］以下であるのがさらに好ましい。不純物元素濃度が前記範囲内であることにより、Ｓｉ基板８００の不純物が光電変換に及ぼす影響を十分に小さく抑えることができる。これにより、小面積であっても十分な電力を発生させ得る太陽電池８０を実現することができる。さらに、室内光のような低照度光においても発電効率が低下しにくくなるという利点もある。
【０１０６】
なお、Ｓｉ基板８００の不純物元素濃度は、例えばＩＣＰ−ＭＳ（Inductively Coupled Plasma - Mass Spectrometry）法により測定することができる。
【０１０７】
また、ｐ＋拡散領域８０１に接続されているバスバー電極８０５の一部が露出し、前述した電極パッド８６を構成している。一方、ｎ＋拡散領域８０２に接続されているバスバー電極（図示せず）の一部が露出し、前述した電極パッド８７を構成している。
【０１０８】
また、電極パッド８６は、図７に示すように、導電接続部８３を介して、配線基板８２と接続されている。同様に、電極パッド８７も、図示しない導電接続部を介して、配線基板８２と接続されている。
【０１０９】
導電接続部８３としては、例えば導電ペースト、導電シート、金属材料、はんだ、ろう材等が挙げられる。
【０１１０】
Ｓｉ基板８００の受光面８４には、テクスチャーが形成されている。テクスチャーは、例えば受光面８４に形成された多数のピラミッド状突起で構成される。このようなテクスチャーを設けることにより、受光面８４における外部光の反射を抑制し、Ｓｉ基板８００に入射する光量の増大を図ることができる。
【０１１１】
なお、Ｓｉ基板８００が例えばＳｉ（１００）面を主面とする基板である場合、Ｓｉ（１１１）面を傾斜面とするピラミッド状突起がテクスチャーとして好適に用いられる。
【０１１２】
また、太陽電池８０は、受光面８４に設けられた、図示しないパッシベーション膜を備えている。なお、このパッシベーション膜は、反射防止膜の機能を有していてもよい。一方、太陽電池８０は、電極面８５に設けられたパッシベーション膜８０６を備えている。
【０１１３】
また、フィンガー電極８０４とＳｉ基板８００との間、および、バスバー電極８０５とフィンガー電極８０４との間は、それぞれ層間絶縁膜８０７を介して絶縁されている。
【０１１４】
パッシベーション膜８０６や層間絶縁膜８０７の構成材料としては、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化アルミニウム等が挙げられる。
【０１１５】
フィンガー電極８０４やバスバー電極８０５の構成材料としては、例えば、アルミニウム、チタン、銅のような金属の単体または合金等が挙げられる。
【０１１６】
配線基板８２は、絶縁基板８２１と、その上に設けられた導電膜８２２と、を備えている。
【０１１７】
絶縁基板８２１としては、例えばポリイミド基板、ポリエチレンテレフタレート基板のような各種樹脂基板が挙げられる。導電膜８２２の構成材料としては、例えば銅または銅合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金、銀または銀合金等が挙げられる。
【０１１８】
また、太陽電池８０の端面８０８は、図７に示すように、電極面８５（裏面）に対して傾斜しているのが好ましい。具体的には、受光面８４が電極面８５（裏面）よりも張り出すように傾斜していることが好ましい。これにより、受光面８４側から太陽電池８０を見たとき、張り出した受光面８４の陰に隠れて端面８０８が見えにくくなる。このため、見た目上、受光面８４が支配的になり、太陽電池８０の外観の均一性が高まる。これにより、太陽電池８０および電子時計２００の意匠性をより高めることができる。
【０１１９】
換言すれば、端面８０８が見えてしまうと、受光面８４とは異なる色や模様、光反射率を視認することになるため、太陽電池８０の外観が悪化するおそれがある。
【０１２０】
なお、上記のような傾斜は、端面８０８の全体に施されているのが好ましいが、一部のみであってもよい。その場合、少なくとも内縁に施されているのが好ましい。これにより、表示部５０を視認したときの外観の悪化を抑制することができる。
【０１２１】
端面８０８の傾斜角度θは、９０°より小さければ特に限定されないが、４５°以上９０°未満であるのが好ましく、６０°以上８５°以下であるのがより好ましく、７０°以上８０°以下であるのがさらに好ましい。これにより、視点を変えた場合でも、端面８０８が見えにくくなるとともに、太陽電池８０の発電効率や機械的特性が低下するのを防止することができる。すなわち、傾斜角度θが前記下限値を下回ると、その分、電極面８５の面積が減少するため、発電効率や機械的特性が低下するおそれがある。
【０１２２】
なお、端面８０８の傾斜角度θとは、電極面８５（裏面）と端面８０８とがなす角のうち、セルの外側に形成される角の大きさのことをいう。
【０１２３】
また、各セル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄ同士の隙間の長さｄ（図３参照）は、特に限定されないが、０．０５ｍｍ以上３ｍｍ以下であるのが好ましく、０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下であるのがより好ましい。隙間の長さｄを前記範囲内に設定することにより、受光面８４側から太陽電池８０を見たとき、図７に示す端面８０８がより見えにくくなる。また、隙間の長さｄが短すぎることによる、太陽電池８０の組み立てにくさやセル同士が接触しやすくなるという問題を回避するという観点からも有用である。
【０１２４】
また、各セル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの厚さは、特に限定されないが、５０μｍ以上５００μｍ以下であるのが好ましく、１００μｍ以上３００μｍ以下であるのがより好ましい。これにより、太陽電池８０の光電変換効率と機械的特性との両立を図ることができる。また、電子時計２００の薄型化にも貢献することができる。
【０１２５】
＜太陽電池の製造方法＞
次に、本発明の光電変換素子の製造方法の実施形態について説明する。
【０１２６】
図８〜１４は、それぞれ本発明の光電変換素子の製造方法の実施形態を説明するための図である。ここでは、一例として図７に示す太陽電池８０の製造方法を説明する。
【０１２７】
本実施形態に係る光電変換素子の製造方法は、結晶性を有する半導体ウエハーを用意する工程と、半導体ウエハーに電極および電極パッドを形成する工程と、半導体ウエハーにレーザー加工を施し、外縁の少なくとも一部が曲線で構成され、内縁の少なくとも一部が外縁に沿う曲線で構成されている半導体基板（セル）を切り出す工程と、を少なくとも有する。これにより、電子時計２００に好適な半導体基板（セル）を効率よく製造することができる。以下、各工程について順次説明する。
【０１２８】
［１］まず、半導体ウエハー８００Ｗを用意する。この半導体ウエハー８００Ｗは、最終的に複数のセルを切り出すための母材として用いられる。
【０１２９】
［２］次に、半導体ウエハー８００Ｗのうち、鏡面である一方の主面に、ｐ＋拡散領域８０１およびｎ＋拡散領域８０２を形成する（図８参照）。ｐ＋拡散領域８０１およびｎ＋拡散領域８０２は、例えば半導体ウエハー８００Ｗに不純物イオンを注入した後、活性化アニール処理を施すことにより形成される。
【０１３０】
続いて、半導体ウエハー８００Ｗ上に、フィンガー電極８０４、バスバー電極８０５、パッシベーション膜８０６および層間絶縁膜８０７を形成する（図８参照）。フィンガー電極８０４およびバスバー電極８０５は、導電性材料を各種蒸着法等によって成膜した後、得られた被膜をパターニングすることによって形成される。パッシベーション膜８０６および層間絶縁膜８０７は、絶縁性材料を各種蒸着法等によって成膜した後、得られた被膜をパターニングすることによって形成される。
【０１３１】
［３］次に、半導体ウエハー８００Ｗのうち、前述した電極等を形成した主面の反対面である表面８００Ｆを研削する（図９参照）。これにより、半導体材料の清浄面を露出させる。
【０１３２】
［４］次に、半導体ウエハー８００Ｗの表面８００Ｆにテクスチャーを形成する（図１０参照）。テクスチャーの形成には、例えばウェットエッチング法が用いられる。
【０１３３】
その後、必要に応じて、表面８００Ｆに図示しないパッシベーション膜や反射防止膜を成膜する。
【０１３４】
その後、必要に応じて、加熱処理（シンター処理）を施す。これにより、半導体ウエハー８００Ｗの特性を最適化させることができる。
【０１３５】
［５］次に、半導体ウエハー８００Ｗの表面８００Ｆを粘着テープ９１に貼り付ける。粘着テープ９１の外周部には、ダイシングリング９２を貼り付けることにより、粘着テープ９１およびそれに貼り付けた半導体ウエハー８００Ｗを支持し易くなる。
【０１３６】
［６］次に、半導体ウエハー８００Ｗの裏面８００ＢにレーザーＬを照射してレーザー加工を施す。すなわち、半導体ウエハー８００Ｗのうち、フィンガー電極８０４、バスバー電極８０５および電極パッド８６が形成されている面にレーザーＬを照射してレーザー加工を施す（図１１参照）。これにより、半導体ウエハー８００Ｗから複数のセル８０ｂ、８０ｄを切り出す（図１２参照）。
【０１３７】
このようにして切り出されたセル８０ｂ、８０ｄは、前述したように、外縁の少なくとも一部が曲線で構成され、内縁の少なくとも一部が外縁に沿う曲線で構成されている。
【０１３８】
なお、半導体ウエハー８００Ｗの切断面は、レーザーＬの光源に近いほど切断カーフ（切断溝の幅）が広く、光源から遠いほど切断カーフが狭いという現象に応じた面になる。このため、レーザー加工による切断によって切り出されたセル８０ｂ、８０ｄの端面８０８は、図１２に示すように、裏面８００Ｂよりも表面８００Ｆが張り出すように傾斜した傾斜面になる。すなわち、電極パッド等が形成される面よりもその反対の受光面となる面が張り出すように傾斜した傾斜面となる。
【０１３９】
また、レーザー加工に際しては、半導体ウエハー８００Ｗの表面８００Ｆを粘着テープ９１に貼り付けることで、表面８００Ｆを保護することができる。これにより、レーザー加工の際に発生する副生成物（気化物・飛散物）が表面８００Ｆを汚染してしまうのを抑制することができる。
その後、必要に応じて洗浄処理を施す。
【０１４０】
ここで、図１４は、前述したセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄを切り出すときの切断パターンの一例を示す図である。図１４に示す切断パターンは、１つのセルにおける外縁の中点Ｍ１と内縁の中点Ｍ２とを結ぶ直線Ｌ３を引いたとき、残りのセルについても、この直線Ｌ３上に中点Ｍ１および中点Ｍ２が位置するような配置となるパターンである。このような切断パターンを採用することにより、余白の面積を抑えつつセルを切り出すことができる。
【０１４１】
また、このような切断パターンによれば、４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの前述した結晶方位が、自ずと、互いに等価な方位になる。このため、図３に示すように、中心Ｃを回転軸として９０°回転対称を満たすように４つのセル８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄを配置することによって、前述したような顕著な意匠性を実現することができる。
【０１４２】
［７］次に、電極パッド８６と配線基板８２との間を、導電接続部８３を介して接続する。これにより、太陽電池８０（太陽電池モジュール）が得られる（図１３参照）。
【０１４３】
以上、本発明について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１４４】
例えば、本発明の電子機器は、前記実施形態の要素の一部が、同等の機能を有する任意の要素に代替されたものであってもよく、また、前記実施形態に任意の要素が付加されたものであってもよい。
【０１４５】
また、本発明の光電変換素子の製造方法は、前記実施形態に任意の工程が付加されたものであってもよい。
【符号の説明】
【０１４６】
１０…バンド、２０…回路基板、２１…ＣＰＵ、２２…方位センサー、２３…加速度センサー、２４…回路素子、２８…ＧＰＳアンテナ、３０…機器本体、３１…ケース、３２…凸状部、３４…突起部、３５…開口部、３６…内部空間、４０…光センサー部、４１…受光部、４２…発光部、４３…センサー基板、４４…透明カバー、４５…測定窓部、４６…接続配線部、５０…表示部、５５…風防板、５６…接合部材、５７…ベゼル、５８…操作部、６０…電気光学パネル、６１…照明部、６３…接続配線部、７０…二次電池、７５…回路ケース、８０…太陽電池、８０ａ…セル、８０ｂ…セル、８０ｃ…セル、８０ｄ…セル、８１…接続配線部、８２…配線基板、８３…導電接続部、８４…受光面、８５…電極面、８６…電極パッド、８７…電極パッド、９１…粘着テープ、９２…ダイシングリング、２００…電子時計、８００…Ｓｉ基板、８００Ｂ…裏面、８００Ｆ…表面、８００Ｗ…半導体ウエハー、８０１…拡散領域、８０２…拡散領域、８０４…フィンガー電極、８０５…バスバー電極、８０６…パッシベーション膜、８０７…層間絶縁膜、８０８…端面、８２１…絶縁基板、８２２…導電膜、Ａａ…長軸、Ｃ…中心、Ｃａ…中心、Ｃｂ…中心、Ｃｃ…中心、Ｃｄ…中心、ｄ…隙間の長さ、Ｌａ…仮想線、Ｌｂ…仮想線、Ｌｃ…仮想線、Ｌｄ…仮想線、Ｌ…レーザー、Ｌ１…垂線、Ｌ２…垂線、Ｌ３…直線、Ｍ１…中点、Ｍ２…中点、θ…傾斜角度
【図１】
2019102576.tif 000003
【図２】
2019102576.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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