(57)【要約】【課題】被検査体の検査に要する時間を短縮する。【解決手段】プローブ針の針先位置調整方法は、撮影工程と、記憶工程と、検出工程と、特定工程と、調整工程とを含む。撮影工程では、検査装置は、プローブ針の高さ方向に沿ってカメラを移動させながら、１つの画像内に複数のプローブ針の針先が写るようにカメラで撮影する。記憶工程では、検査装置は、カメラによって撮影された画像を、カメラのフォーカスが合う面の位置情報に対応付けて記憶部に記憶する。検出工程では、検査装置は、撮影された各画像に基づいて、プローブ針の針先にフォーカスが合っている画像を検出する。特定工程では、検査装置は、検出された画像内における、フォーカスが合っているプローブ針の針先の位置に基づいて、各プローブ針の針先の位置を特定する。調整工程では、検査装置は、特定された各プローブ針の針先の位置に基づいて、各プローブ針の針先の位置を調整する。【選択図】図３
2019102640.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体に設けられた複数のテストパッドのそれぞれにプローブ針の針先を接触させ、複数の前記プローブ針の針先を介して前記被検査体に電気信号を供給することにより前記被検査体を検査する検査装置におけるプローブ針の針先位置調整方法であって、
検査装置が、
それぞれの前記プローブ針の高さ方向に沿ってカメラを移動させ、移動した前記カメラの各位置において前記カメラに、１つの画像内に複数の前記プローブ針の針先が写るように複数の前記プローブ針の針先を撮影させる撮影工程と、
前記カメラによって撮影された画像を、前記カメラのフォーカスが合う面の位置を示す位置情報に対応付けて記憶部に記憶させる記憶工程と、
前記プローブ針毎に、前記記憶部に記憶されたそれぞれの前記画像に基づいて、前記プローブ針の針先にフォーカスが合っている画像を検出する検出工程と、
前記プローブ針毎に、前記検出工程で検出された画像内における、フォーカスが合っている前記プローブ針の針先の位置に基づいて、複数の前記プローブ針の配列方向における前記プローブ針の針先の位置を特定する特定工程と、
前記特定工程で特定されたそれぞれの前記プローブ針の針先の位置に基づいて、それぞれの前記プローブ針の針先の位置を調整する調整工程と
を実行することを特徴とするプローブ針の針先位置調整方法。
【請求項２】
前記検査装置は、前記特定工程において、
前記検出工程で検出された画像に対応付けられている位置情報で示される位置を、前記プローブ針の針先の高さ方向における位置として特定することを特徴とする請求項１に記載のプローブ針の針先位置調整方法。
【請求項３】
前記検査装置は、前記検出工程において、
前記プローブ針毎に、フォーカスが合っている画像が複数検出された場合、検出された複数の画像の中で、前記高さ方向において、前記プローブ針の針先から最も遠い位置から撮影された画像を、前記プローブ針の針先にフォーカスが合っている画像として検出することを特徴とする請求項１または２に記載のプローブ針の針先位置調整方法。
【請求項４】
前記検査装置は、前記検出工程において、
前記プローブ針毎に、前記記憶部に記憶されたそれぞれの前記画像についてフォーカスが合っている領域の大きさを特定し、複数の前記画像間で、それぞれの前記プローブ針の針先に対応する前記領域の大きさが最小となった画像を、前記プローブ針の針先にフォーカスが合っている画像として検出することを特徴とする請求項１または２に記載のプローブ針の針先位置調整方法。
【請求項５】
前記検査装置は、前記検出工程において、
前記プローブ針毎に、前記記憶部に記憶された前記画像の中で、前記記憶部に記憶された前記画像の数よりも少ない数の複数の画像のそれぞれについて、前記プローブ針の針先が写っている領域におけるフォーカスを評価する指標の値を算出し、算出された前記指標の値の変化の傾向を推定し、推定された傾向において前記指標の値が最大となる場合の前記高さ方向におけるフォーカスが合う面の位置を推定し、推定された位置に最も近い位置を示す位置情報が対応付けられた画像を、前記プローブ針の針先にフォーカスが合っている画像として検出することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のプローブ針の針先位置調整方法。
【請求項６】
被検査体に設けられた複数のテストパッドのそれぞれにプローブ針の針先を接触させ、複数の前記プローブ針の針先を介して前記被検査体に電気信号を供給することにより前記被検査体を検査する検査装置におけるプローブ針の針先位置調整方法であって、
検査装置が、
それぞれの前記プローブ針の高さ方向に沿ってカメラを移動させ、移動した前記カメラの各位置において前記カメラに、第１の範囲内の複数の前記プローブ針の針先が１つの画像内に写るように複数の前記プローブ針の針先を撮影させる第１の撮影工程と、
前記カメラによって撮影された画像を、前記カメラのフォーカスが合う面の位置情報に対応付けて記憶部に記憶させる記憶工程と、
前記プローブ針毎に、前記記憶部に記憶されたそれぞれの前記画像に基づいて、前記プローブ針の針先にフォーカスが合っている画像を検出する検出工程と、
前記プローブ針毎に、前記検出工程で検出された画像内における、フォーカスが合っている前記プローブ針の針先の位置に基づいて、複数の前記プローブ針の配列方向における前記プローブ針の針先の位置を特定する第１の特定工程と、
前記プローブ針毎に、前記検出工程でフォーカスが合っていると検出された前記プローブ針の針先の画像に対応付けられた位置情報で示される前記高さ方向における位置であって、前記第１の特定工程で特定された前記プローブ針の針先の位置を撮影可能な位置に前記カメラを移動させる移動工程と、
前記プローブ針毎に、前記移動工程によって移動された位置において、前記第１の範囲よりも狭い第２の範囲を前記カメラに撮影させる第２の撮影工程と、
前記プローブ針毎に、前記第２の撮影工程で撮影された画像内における前記プローブ針の針先の位置に基づいて、複数の前記プローブ針の配列方向における前記プローブ針の針先の位置をさらに特定する第２の特定工程と、
前記第２の特定工程で特定されたそれぞれの前記プローブ針の針先の位置に基づいて、それぞれの前記プローブ針の針先の位置を調整する調整工程と
を実行することを特徴とするプローブ針の針先位置調整方法。
【請求項７】
被検査体に設けられた複数のテストパッドのそれぞれにプローブ針の針先を接触させ、複数の前記プローブ針の針先を介して前記被検査体に電気信号を供給することにより前記被検査体を検査する検査装置であって、
カメラと、
それぞれの前記プローブ針の高さ方向に沿って前記カメラを移動させる移動部と、
前記移動部によって移動した前記カメラの各位置において前記カメラに、１つの画像内に複数の前記プローブ針の針先が写るように複数の前記プローブ針の針先を撮影させる撮影制御部と、
前記カメラによって撮影された画像を、前記カメラのフォーカスが合う面の位置情報に対応付けて記憶する記憶部と、
前記プローブ針毎に、前記記憶部に記憶されたそれぞれの前記画像に基づいて、前記針先にフォーカスが合っている画像を検出する検出部と、
前記プローブ針毎に、前記検出部によって検出された画像内における、フォーカスが合っている前記プローブ針の針先の位置に基づいて、複数の前記プローブ針の配列方向におけるそれぞれの前記プローブ針の針先の位置を特定する特定部と、
前記特定部によって特定されたそれぞれの前記プローブ針の針先の位置に基づいて、それぞれの前記プローブ針の針先の位置を調整する調整部と
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項８】
前記特定部により特定された前記プローブ針の針先の位置に関する情報を、前記記憶部または検査装置の外部に設けられた外部記憶媒体に、ログファイルとして出力する出力部をさらに備えることを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の種々の側面および実施形態は、プローブ針の針先位置調整方法および検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスでは、半導体ウエハ上に所定の回路パターンを持つ多数の半導体デバイスが形成される。形成された半導体デバイスは、電気的特性等の検査が行われ、良品と不良品とに選別される。半導体デバイスの電気的特性の検査は、各半導体デバイスが分割される前の半導体ウエハの状態で、検査装置を用いて行われる。検査装置は、多数のプローブ針が設けられたプローブカードを有する。検査装置は、プローブカードに設けられた各プローブ針が、半導体デバイス上に設けられたテストパッドに接触するように、プローブカードと半導体デバイスとを近づける。そして、検査装置は、各テストパッドにプローブ針が接触した状態で、各プローブ針を介して半導体デバイスに電気信号を供給し、各プローブ針を介して半導体デバイスから出力された電気信号に基づいて、当該半導体デバイスが不良品か否かを選別する。
【０００３】
また、カメラを用いて、半導体素子上に形成されたボンディングワイヤの形状の検査を行う技術が知られている。このような技術では、半導体素子上のボンディングワイヤを落射照明し、照明されたボンディングワイヤを、複数の異なる高さ方向の位置が焦点面となるように撮像し、ボンディングワイヤの各焦点面における輝点像の画像データを取得する。そして、取得された各焦点面における輝点像の画像データのうち、所定の位置に存するものの輝度と、各焦点面の高さ方向位置とに基づいてボンディングワイヤの高さが特定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−２４７６６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年の半導体デバイスの高集積化に伴い、半導体デバイスに設けられるテストパッドが小さくなり、テストパッド間の間隔も狭くなっている。また、近年の半導体デバイスの高機能化に伴い、半導体デバイスに設けられるテストパッドの数が多くなっている。そのため、プローブカードには、多数のプローブ針が狭ピッチで配置されている。
【０００６】
このような多数のプローブ針を、それぞれ対応するテストパッドに確実に接触させるためには、プローブ針の針先とテストパッドとの位置合わせが重要となる。プローブ針の針先の位置が所望の位置に配置されているか否かを判定するためには、プローブ針の針先の位置を正確に特定する必要がある。プローブ針の針先の位置を特定する方法としては、カメラによりプローブ針の針先を撮影し、撮影したカメラの位置と、画像内のプローブ針の針先の位置とに基づいて、プローブ針の針先の位置を特定する方法がある。
【０００７】
しかし、近年の半導体デバイスの高集積化に伴い、プローブカードには膨大な数のプローブ針が設けられている。そのため、１つ１つのプローブ針の針先を個別にカメラで撮影するとすれば、プローブ針の針先の位置を特定する処理に多大な時間がかかる。そのため、半導体デバイスの検査に多大な時間がかかる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面は、被検査体に設けられた複数のパッドのそれぞれにプローブ針の針先を接触させ、複数のプローブ針の針先を介して被検査体に電気信号を供給することにより被検査体を検査する検査装置におけるプローブ針の針先位置調整方法であって、検査装置が、撮影工程と、記憶工程と、検出工程と、特定工程と、調整工程とを実行する。撮影工程では、検査装置は、それぞれのプローブ針の高さ方向に沿ってカメラを移動させ、移動したカメラの各位置においてカメラに、１つの画像内に複数のプローブ針の針先が写るように複数のプローブ針の針先を撮影させる。記憶工程では、検査装置は、カメラによって撮影された画像を、カメラのフォーカスが合う面の位置情報に対応付けて記憶部に記憶させる。検出工程では、検査装置は、プローブ針毎に、記憶部に記憶されたそれぞれの画像に基づいて、プローブ針の針先にフォーカスが合っている画像を検出する。特定工程では、検査装置は、プローブ針毎に、検出工程で検出された画像内における、フォーカスが合っているプローブ針の針先の位置に基づいて、複数のプローブ針の配列方向におけるプローブ針の針先の位置を特定する。調整工程では、検査装置は、特定工程で特定されたそれぞれのプローブ針の針先の位置に基づいて、それぞれのプローブ針の針先の位置を調整する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の種々の側面および実施形態によれば、被検査体の検査に要する時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、検査装置の一例を示す要部断面図である。
【図２】図２は、制御装置の一例を示すブロック図である。
【図３】図３は、カメラの移動方向とフォーカスが合う面の位置との関係の一例を説明する図である。
【図４】図４は、カメラによって撮影された画像の一例を示す図である。
【図５】図５は、カメラによって撮影された画像の一例を示す図である。
【図６】図６は、カメラによって撮影された画像の一例を示す図である。
【図７】図７は、カメラによって撮影された画像の一例を示す図である。
【図８】図８は、片持ち梁タイプのプローブ針が撮影される際のカメラの移動方向とフォーカスが合う面の位置との関係の一例を説明する図である。
【図９】図９は、カメラによって撮影された画像の一例を示す図である。
【図１０】図１０は、カメラによって撮影された画像の一例を示す図である。
【図１１】図１１は、カメラによって撮影された画像の一例を示す図である。
【図１２】図１２は、制御装置のハードウェアの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
開示するプローブ針の針先位置調整方法は、１つの実施形態において、被検査体に設けられた複数のパッドのそれぞれにプローブ針の針先を接触させ、複数のプローブ針の針先を介して被検査体に電気信号を供給することにより被検査体を検査する検査装置におけるプローブ針の針先位置調整方法であって、検査装置が、撮影工程と、記憶工程と、検出工程と、特定工程と、調整工程とを実行する。撮影工程では、検査装置は、それぞれのプローブ針の高さ方向に沿ってカメラを移動させ、移動したカメラの各位置においてカメラに、１つの画像内に複数のプローブ針の針先が写るように複数のプローブ針の針先を撮影させる。記憶工程では、検査装置は、カメラによって撮影された画像を、カメラのフォーカスが合う面の位置情報に対応付けて記憶部に記憶させる。検出工程では、検査装置は、プローブ針毎に、記憶部に記憶されたそれぞれの画像に基づいて、プローブ針の針先にフォーカスが合っている画像を検出する。特定工程では、検査装置は、プローブ針毎に、検出工程で検出された画像内における、フォーカスが合っているプローブ針の針先の位置に基づいて、複数のプローブ針の配列方向におけるプローブ針の針先の位置を特定する。調整工程では、検査装置は、特定工程で特定されたそれぞれのプローブ針の針先の位置に基づいて、それぞれのプローブ針の針先の位置を調整する。
【００１２】
また、開示するプローブ針の針先位置調整方法の１つの実施形態において、検査装置が、特定工程において、検出工程で検出された画像に対応付けられている位置情報で示される位置を、プローブ針の針先の高さ方向における位置として特定してもよい。
【００１３】
また、開示するプローブ針の針先位置調整方法の１つの実施形態において、検査装置が、検出工程において、プローブ針毎に、フォーカスが合っている画像が複数検出された場合、検出された複数の画像の中で、プローブ針の高さ方向において、プローブ針の針先から最も遠い位置から撮影された画像を、プローブ針の針先にフォーカスが合っている画像として検出してもよい。
【００１４】
また、開示するプローブ針の針先位置調整方法の１つの実施形態において、検査装置が、検出工程において、プローブ針毎に、記憶部に記憶されたそれぞれの画像についてフォーカスが合っている領域の大きさを特定し、複数の画像間で、それぞれのプローブ針の針先に対応する領域の大きさが最小となった画像を、プローブ針の針先にフォーカスが合っている画像として検出してもよい。
【００１５】
また、開示するプローブ針の針先位置調整方法の１つの実施形態において、検査装置が、検出工程において、プローブ針毎に、記憶部に記憶された画像の中で、記憶部に記憶された画像の数よりも少ない数の複数の画像のそれぞれについて、プローブ針の針先が写っている領域におけるフォーカスを評価する指標の値を算出し、算出された指標の値の変化の傾向を推定し、推定された傾向において指標の値が最大となる場合のプローブ針の高さ方向におけるフォーカスが合う面の位置を推定し、推定された位置に最も近い位置を示す位置情報が対応付けられた画像を、プローブ針の針先にフォーカスが合っている画像として検出してもよい。
【００１６】
また、開示するプローブ針の針先位置調整方法は、１つの実施形態において、被検査体に設けられた複数のパッドのそれぞれにプローブ針の針先を接触させ、複数のプローブ針の針先を介して被検査体に電気信号を供給することにより被検査体を検査する検査装置におけるプローブ針の針先位置調整方法であって、検査装置が、第１の撮影工程と、記憶工程と、検出工程と、第１の特定工程と、移動工程と、第２の撮影工程と、第２の特定工程と、調整工程とを実行する。第１の撮影工程では、検査装置は、それぞれのプローブ針の高さ方向に沿ってカメラを移動させ、移動したカメラの各位置においてカメラに、第１の範囲内の複数のプローブ針の針先が１つの画像内に写るように複数のプローブ針の針先を撮影させる。記憶工程では、検査装置は、カメラによって撮影された画像を、カメラのフォーカスが合う面の位置情報に対応付けて記憶部に記憶させる。検出工程では、検査装置は、プローブ針毎に、記憶部に記憶されたそれぞれの画像に基づいて、プローブ針の針先にフォーカスが合っている画像を検出する。第１の特定工程では、検査装置は、プローブ針毎に、検出工程で検出された画像内における、フォーカスが合っているプローブ針の針先の位置に基づいて、複数のプローブ針の配列方向におけるプローブ針の針先の位置を特定する。移動工程では、検査装置は、プローブ針毎に、検出工程でフォーカスが合っていると検出されたプローブ針の針先の画像に対応付けられた位置情報で示されるプローブ針の高さ方向における位置であって、第１の特定工程で特定されたプローブ針の針先の位置を撮影可能な位置にカメラを移動させる。第２の撮影工程では、検査装置は、プローブ針毎に、移動工程によって移動された位置において、第１の範囲よりも狭い第２の範囲をカメラに撮影させる。第２の特定工程では、検査装置は、プローブ針毎に、第２の撮影工程で撮影された画像内におけるプローブ針の針先の位置に基づいて、複数のプローブ針の配列方向におけるプローブ針の針先の位置をさらに特定する。調整工程では、検査装置は、第２の特定工程で特定されたそれぞれのプローブ針の針先の位置に基づいて、それぞれのプローブ針の針先の位置を調整する。
【００１７】
また、開示する検査装置は、１つの実施形態において、被検査体に設けられた複数のパッドのそれぞれにプローブ針の針先を接触させ、複数のプローブ針の針先を介して被検査体に電気信号を供給することにより被検査体を検査する検査装置であって、カメラと、移動部と、撮影制御部と、記憶部と、検出部と、特定部と、調整部とを備える。移動部は、それぞれのプローブ針の高さ方向に沿ってカメラを移動させる。撮影制御部は、移動部によって移動したカメラの各位置においてカメラに、１つの画像内に複数のプローブ針の針先が写るように複数のプローブ針の針先を撮影させる。記憶部は、カメラによって撮影された画像を、カメラのフォーカスが合う面の位置情報に対応付けて記憶する。検出部は、プローブ針毎に、記憶部に記憶されたそれぞれの画像に基づいて、針先にフォーカスが合っている画像を検出する。特定部は、プローブ針毎に、検出部によって検出された画像内における、フォーカスが合っているプローブ針の針先の位置に基づいて、複数のプローブ針の配列方向におけるそれぞれのプローブ針の針先の位置を特定する。調整部は、特定部によって特定されたそれぞれのプローブ針の針先の位置に基づいて、それぞれのプローブ針の針先の位置を調整する。
【００１８】
以下に、開示するプローブ針の針先位置調整方法および検査装置の実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、本実施形態により、開示されるプローブ針の針先位置調整方法および検査装置が限定されるものではない。
【実施例１】
【００１９】
［検査装置１０の構成］
図１は、検査装置１０の一例を示す要部断面図である。本実施例における検査装置１０は、検査装置本体２０および制御装置５０を有する。検査装置本体２０は、中空の筐体２１を有し、筐体２１内の略中央には、載置台２５を上下方向（図１に示したｚ軸方向）および横方向（図１に示したｘ軸およびｙ軸と平行なｘｙ平面内の方向）に移動させる移動機構２３が設けられている。載置台２５の上面には、被検査体の一例である半導体ウエハＷが載置され、載置台２５は、上面に載置された半導体ウエハＷを真空チャック等により載置台２５の上面に吸着保持する。載置台２５の側面には、カメラ２７が取り付けられている。カメラ２７は、撮影方向が上方を向くように載置台２５の側面に取り付けられている。
【００２０】
移動機構２３によって載置台２５が移動することにより、載置台２５の側面に取り付けられたカメラ２７も移動する。移動機構２３は、制御装置５０によって制御され、移動機構２３の移動量は、制御装置５０によって管理される。従って、載置台２５およびカメラ２７の筐体２１内における位置のｘ座標、ｙ座標、およびｚ座標は、制御装置５０によって管理されている。
【００２１】
筐体２１は、上部に略円形状の開口部を有しており、当該開口部には、テストヘッド３０が設けられている。テストヘッド３０は、開口部の周縁に沿って設けられたフレーム２２に固定されている。テストヘッド３０内において、フレーム２２の位置には、複数の傾き調整部３２が設けられている。それぞれの傾き調整部３２は、フレーム２２に沿って開口部の周辺に所定間隔で配置されている。本実施例において、傾き調整部３２は、フレーム２２に沿って開口部の周辺に、所定間隔で、例えば３個設けられている。また、それぞれの傾き調整部３２は、フレーム２２の下方において、シャフト３３を介して略円筒状のホルダ３４を上方から保持する。
【００２２】
ホルダ３４は、その下部において、複数のプローブ針３８が設けられたプローブカード３６を着脱可能に保持する。プローブカード３６に設けられたそれぞれのプローブ針３８は、針先が下方を向くようにプローブカード３６に設けられている。図１に例示されているプローブカード３６には、片持ち梁タイプのプローブ針３８が図示されているが、プローブカード３６には、垂直針タイプのプローブ針３８が設けられていてもよく、片持ち梁タイプのプローブ針３８と垂直針タイプのプローブ針３８とが両方設けられていてもよい。
【００２３】
また、それぞれのプローブ針３８は、載置台２５に載置された半導体ウエハＷが検査時の位置に移動した場合に、プローブ針３８の針先が半導体ウエハＷに設けられたテストパッドに接触する位置となるように、プローブカード３６に配置されている。それぞれのプローブ針３８は、プローブカード３６に設けられた配線に接続されており、プローブカード３６に設けられたそれぞれの配線は、ホルダ３４に設けられた配線を介してテストヘッド３０に接続されている。テストヘッド３０には、外部テスタ３１が接続されている。
【００２４】
ここで、プローブカード３６は、ホルダ３４に取り付けられる際の取り付け誤差等により、それぞれのプローブ針３８の針先の位置が、全体的に半導体ウエハＷに設けられたテストパッドに対応する位置からずれた位置となる場合がある。例えば、プローブカード３６が横方向にずれて取り付けられている場合には、全てのプローブ針３８の針先の位置が横方向に一定量ずれる。また、プローブカード３６がｚ軸に対して斜めに傾いて取り付けられている場合には、ｚ軸方向におけるプローブ針３８の針先の位置の差が大きくなる。
【００２５】
プローブ針３８の針先の位置が、横方向に大きくずれると、各プローブ針３８の針先が、対応するテストパッドに接触しなくなる。また、ｚ軸方向におけるプローブ針３８の針先の位置の差が大き過ぎると、全てのプローブ針３８の針先がテストパッドに接触した場合、針先が最も下方にあるプローブ針３８の弾性変形が大きくなり、折れたり変形する場合がある。そのため、本実施例では、検査開始前に、カメラ２７を用いて各プローブ針３８の位置が検出され、プローブ針３８毎に、プローブ針３８の針先の位置とテストパッドの位置との誤差が算出され、算出された誤差に基づいて、プローブ針３８の位置および半導体ウエハＷの位置が調整される。
【００２６】
それぞれの傾き調整部３２は、フレーム２２の下面と、ホルダ３４の上面との間に所定の隙間が空くように、ホルダ３４を保持する。そして、それぞれの傾き調整部３２は、制御装置５０からの指示に応じて個別にシャフト３３を上下させることにより、フレーム２２の下面とホルダ３４の上面との間の間隔を制御する。これにより、ｘｙ平面に対するホルダ３４の傾きが制御され、ホルダ３４によって保持されているプローブカード３６の面のｘｙ平面に対する傾きが制御される。プローブカード３６の傾きが制御されることにより、プローブカード３６に設けられた複数のプローブ針３８の針先の上下方向、即ち、プローブ針３８のｚ軸方向における針先の位置を調整することができる。
【００２７】
このように構成された検査装置本体２０において、載置台２５上に載置された半導体ウエハＷの検査が行われる場合、まず、制御装置５０は、カメラ２７がプローブ針３８の下方に位置するように移動機構２３を制御する。そして、制御装置５０は、移動機構２３を制御してカメラ２７をプローブ針３８に近づけながら、カメラ２７にプローブ針３８を撮影させる。そして、制御装置５０は、カメラ２７によって撮影された画像に基づいて、各プローブ針３８の針先の横方向および上下方向における位置を測定する。
【００２８】
そして、制御装置５０は、各プローブ針３８の針先の上下方向の位置のずれを補正するように、各傾き調整部３２を制御する。また、各プローブ針３８の針先の横方向の位置のずれについては、制御装置５０は、移動機構２３を制御することにより、載置台２５の横方向の位置を微調整する。
【００２９】
そして、制御装置５０は、移動機構２３を制御することにより、半導体ウエハＷが載置された載置台２５を上昇させ、半導体ウエハＷ上の各テストパッドとプローブ針３８とを所定のオーバードライブ量で接触させる。オーバードライブ量とは、半導体ウエハＷが載置された載置台２５を上昇させ、半導体ウエハＷ上のテストパッドと各プローブ針３８の針先とを接触させた後、更に載置台２５を上昇させたときの上昇量である。そして、制御装置５０は、外部テスタ３１を制御して、所定の電気信号をテストヘッド３０へ出力させる。テストヘッド３０は、外部テスタ３１から出力された電気信号を、ホルダ３４内のそれぞれの配線を介してプローブカード３６へ出力する。プローブカード３６へ出力された電気信号は、プローブカード３６内の配線を介して、それぞれのプローブ針３８に供給され、プローブ針３８を介して半導体ウエハＷのテストパッドへ出力される。
【００３０】
また、半導体ウエハＷ上のテストパッドから出力された電気信号は、プローブ針３８へ出力される。プローブ針３８へ出力された電気信号は、プローブカード３６内の配線およびホルダ３４内の配線を介して、テストヘッド３０へ出力される。テストヘッド３０へ出力された電気信号は、外部テスタ３１へ出力される。外部テスタ３１は、テストヘッド３０へ出力した電気信号と、テストヘッド３０から出力された電気信号とに基づいて、半導体ウエハＷの電気特性を評価し、評価結果を制御装置５０へ出力する。
【００３１】
なお、プローブ針３８に破損や変形等の不具合が発生している場合には、各傾き調整部３２による傾きの調整や、移動機構２３による横方向における位置の微調整を行ったとしても、正しく検査を行うことが難しい。そのため、カメラ２７により撮影された画像に基づいて、各プローブ針３８の針先の破損や変形等が検出された場合には、制御装置５０は、ディスプレイ等を介してオペレータにエラーを通知し、プローブカード３６のメンテナンスや交換を促す。
【００３２】
［制御装置５０］
図２は、制御装置５０の一例を示すブロック図である。制御装置５０は、例えば図２に示すように、撮影制御部５１、記憶部５２、検出部５３、特定部５４、調整部５５、および検査実行部５６を備える。
【００３３】
撮影制御部５１は、移動機構２３を制御して、カメラ２７がプローブ針３８の下方に位置するように載置台２５を移動させる。そして、撮影制御部５１は、移動機構２３を制御して、載置台２５を上昇させる。これにより、カメラ２７は、載置台２５と共に上昇し、それぞれのプローブ針３８の高さ方向、即ち、図１のｚ軸方向に沿って移動する。そして、撮影制御部５１は、移動したカメラ２７の各位置においてカメラ２７に、１つの画像内に複数のプローブ針３８の針先が写るように複数のプローブ針３８の針先を撮影させる。
【００３４】
そして、撮影制御部５１は、カメラ２７によって撮影された画像を、フォーカスが合う面のｚ座標に対応付けて記憶部５２に記憶させる。本実施例において、撮影制御部５１には、カメラ２７のレンズからフォーカスが合う面までの被写体距離が予め設定されており、撮影制御部５１は、各画像において、被写体距離と、当該画像が撮影された際のカメラ２７のレンズの位置の座標とに基づいて、フォーカスが合う面のｚ座標を特定する。
【００３５】
図３は、カメラ２７の移動方向とフォーカスが合う面の位置との関係の一例を説明する図である。撮影制御部５１は、移動機構２３を制御することにより、図３の矢印に示すように、プローブ針３８の下方から上昇するようにカメラ２７を移動させる。そして、撮影制御部５１は、移動したカメラ２７の各位置においてカメラ２７に、１つの画像内に複数のプローブ針３８の針先が写るように複数のプローブ針３８の針先を撮影させる。図３の例では、カメラ２７によって撮影された１つの画像内に、３つのプローブ針３８−１〜３８−３の針先が写る。カメラ２７が上昇することにより、カメラ２７のフォーカスが合う面のｚ座標は、例えば図３に示すように、Ｚ１からＺ１１へ変化する。
【００３６】
なお、以下では、カメラ２７のフォーカスが合う面のｚ座標であるＺｎ（ｎは１〜１１の整数）が対応付けられた画像を画像Ｚｎと記載する。図３の例では、画像Ｚ４においてプローブ針３８−１の針先にフォーカスが合っており、画像Ｚ６においてプローブ針３８−２の針先にフォーカスが合っており、画像Ｚ８においてプローブ針３８−３の針先にフォーカスが合っている。なお、カメラ２７は、被写界深度が短い（浅い）カメラであることが好ましい。これにより、撮影方向において、フォーカスが合う距離の範囲がより狭くなり、各プローブ針３８の針先のｚ軸方向における位置の差を精度よく検出することができる。
【００３７】
記憶部５２は、カメラ２７によって撮影されたそれぞれの画像を、カメラ２７のフォーカスが合う面の位置情報に対応付けて記憶する。位置情報とは、例えば、カメラ２７のフォーカスが合う面のｚ座標である。
【００３８】
検出部５３は、記憶部５２を参照し、カメラ２７の各位置においてカメラ２７によって撮影された画像に基づいて、プローブ針３８の針先にフォーカスが合っている画像を検出する。具体的には、検出部５３は、画像毎に、画像内に写って画素をグルーピングする。ｚ座標が隣接する画像間で、所定割合以上の領域が重なっているグループは、同一のグループと判定される。そして、検出部５３は、グループ毎に、フォーカスが合っている度合いを示す指標の値を算出する。そして、検出部５３は、グループ毎に算出された指標の値に基づいて、プローブ針３８の針先にフォーカスが合っている画像を検出する。
【００３９】
ここで、再び図３を参照する。カメラ２７は、プローブ針３８の下方から上昇しながら複数のプローブ針３８を撮影するため、まず、画像Ｚ１から順次撮影される。画像Ｚ３は、例えば図４のようになる。図４〜図７は、カメラ２７によって撮影された画像の一例を示す図である。検出部５３は、カメラ２７によって撮影された画像内の各画素の輝度等の画素値に基づいて、当該画像内の画素をグルーピングする。図４の例では、プローブ針３８−１の針先に対応する画素がグループ４１−１としてグルーピングされ、プローブ針３８−２の針先に対応する画素がグループ４１−２としてグルーピングされ、プローブ針３８−３の針先に対応する画素がグループ４１−３としてグルーピングされる。なお、以下では、プローブ針３８−１〜３８−３のそれぞれを区別することなく総称する場合に単にプローブ針３８と記載し、グループ４１−１〜４１−３のそれぞれを区別することなく総称する場合に単にグループ４１と記載する。
【００４０】
図４に例示した画像Ｚ３では、いずれのプローブ針３８の針先にもフォーカスが合っていないため、全てのグループ４１はぼやけており、全てのグループ４１の大きさは、プローブ針３８の針先にフォーカスが合っている場合のグループ４１の大きさよりも大きくなっている。
【００４１】
また、画像Ｚ４を図示すると、例えば図５のようになる。図５に例示した画像Ｚ４内には、プローブ針３８−１の針先に対応するグループ４１−１と、プローブ針３８−２の針先に対応するグループ４１−２と、プローブ針３８−３の針先に対応するグループ４１−３とが含まれている。画像Ｚ４では、プローブ針３８−１の針先にフォーカスが合っているため、プローブ針３８−１に対応するグループ４１−１の大きさは、フォーカスが合っていない場合のグループ４１−１の大きさよりも小さくなっている。複数の画像間において同一のグループ４１に着目した場合、プローブ針３８−１の針先にフォーカスが合っている画像では、グループ４１の大きさは最小となる。
【００４２】
また、画像Ｚ５を図示すると、例えば図６のようになる。図６に例示した画像Ｚ５では、いずれのプローブ針３８にもフォーカスが合っていないため、全てのグループ４１はぼやけている。また、画像Ｚ６を図示すると、例えば図７のようになる。図７に例示した画像Ｚ６では、プローブ針３８−２の針先にフォーカスが合っているので、プローブ針３８−２に対応するグループ４１−２の大きさは最小となる。しかし、他のプローブ針３８に対応するグループ４１は、針先にフォーカスが合っている場合のプローブ針３８に対応するグループ４１の大きさよりも大きい。
【００４３】
図２に戻って説明を続ける。特定部５４は、グループ毎に、検出部５３によって検出された画像に基づいて、当該グループに対応するプローブ針３８の針先の位置を特定する。具体的には、特定部５４は、検出部５３によって検出された画像内における、フォーカスが合っているグループの位置に基づいて、ｘｙ平面内における、当該グループに対応するプローブ針３８の針先の位置を特定する。また、特定部５４は、グループ毎に、検出部５３によって検出された画像に対応付けられているｚ座標を、当該グループに対応するプローブ針３８の針先のｚ座標として特定する。これにより、特定部５４は、画像内に写っているプローブ針３８の針先毎に、当該針先の３次元空間内の位置のｘ座標、ｙ座標、およびｚ座標を特定することができる。そして、特定部５４は、グループ毎に、特定されたプローブ針３８の針先の位置の情報を調整部５５へ出力する。
【００４４】
調整部５５は、特定部５４から出力されたプローブ針３８の針先の位置の情報に基づいて、それぞれのプローブ針３８の針先の位置を調整する。具体的には、調整部５５は、特定部５４から出力されたプローブ針３８の針先毎の位置の情報に基づいて、傾き調整部３２毎に、それぞれの針先のｚ座標の差を小さくするための調整量を算出する。そして、調整部５５は、傾き調整部３２毎に算出された調整量に基づいて、それぞれの傾き調整部３２を制御する。これにより、各プローブ針３８の針先のｚ方向における位置の差を小さくすることができる。また、各プローブ針３８の針先のｚ座標のバラツキも認識できるため、プローブカード３６の傾きを調整しなくても、必要なオーバードライブ量を算出することができ、各プローブ針３８の針先と半導体ウエハＷ上のテストパッドとを適切な圧力で接触させることができる。
【００４５】
また、調整部５５は、特定部５４から出力されたグループ毎の位置の情報に基づいて、それぞれのグループに対応するプローブ針３８の針先と、各プローブ針３８の針先に接触する半導体ウエハＷ上のテストパッドとのｘｙ平面内における位置の誤差を算出する。そして、調整部５５は、算出されたｘｙ平面内における位置の誤差を検査実行部５６へ出力する。
【００４６】
検査実行部５６は、移動機構２３を制御することにより、半導体ウエハＷが載置された載置台２５をプローブ針３８の下方に移動させ、半導体ウエハＷ上のテストパッドとプローブ針３８の針先とが接触するように、載置台２５を上昇させる。そして、外部テスタ３１に検査開始を指示し、半導体ウエハＷの検査を開始する。なお、検査実行部５６は、調整部５５から出力されたｘｙ平面内における位置の誤差に基づいて、半導体ウエハＷの検査時のｘｙ平面内における半導体ウエハＷの位置をオフセットさせる。これにより、各プローブ針３８の針先を、対応するテストパッドに確実に接触させることができる。
【００４７】
なお、プローブ針３８の中には、垂直針タイプだけでなく片持ち梁タイプのプローブ針も存在する。図８は、片持ち梁タイプのプローブ針３８−４が撮影される際のカメラ２７の移動方向とフォーカスが合う面の位置との関係の一例を説明する図である。図８の例では、画像Ｚ３において、プローブ針３８−４の針先にフォーカスが合うが、画像Ｚ８〜Ｚ１１においても、プローブ針３８−４の梁部分にフォーカスが合ってしまう。
【００４８】
また、画像Ｚ３を図示すると、例えば図９のようになる。図９〜図１１は、カメラ２７によって撮影された画像の一例を示す図である。図９に例示した画像Ｚ３では、プローブ針３８−４の針先および梁部分に対応する画素のグループ４１−４が特定される。そして、グループ４１−４内において、針先に対応する領域４２においてフォーカスが合っている。
【００４９】
一方、画像Ｚ８を図示すると、例えば図１０のようになる。図１０に例示した画像Ｚ８では、プローブ針３８−４の針先および梁部分に対応する画素のグループ４１−４のうち、梁部分の一部に対応する領域４２にフォーカスが合っている。
【００５０】
また、画像Ｚ９を図示すると、例えば図１１のようになる。図１１に例示した画像Ｚ９においても、プローブ針３８−４の針先および梁部分に対応するグループ４１−４のうち、梁部分の一部に対応する領域４２にフォーカスが合っている。ここで、片持ち梁タイプのプローブ針３８−４では、梁部分にフォーカスが合うことがあるが、カメラ２７のｚ軸方向における位置を変えると、例えば図１０および図１１に示すように、画像内においてフォーカスが合う領域４２が移動する。一方、プローブ針３８の針先部分にフォーカスが合っている場合、画像間でフォーカスが合っている領域は移動しないか、移動したとしてもその移動量は非常に少ない。
【００５１】
図９から図１１に示したように、片持ち梁タイプのプローブ針３８−４では、針先以外にも、梁部分にフォーカスが合う場合があり、梁部分が針先として誤認識される場合がある。これを回避するため、本実施例の検出部５３は、連続して撮影された画像を比較し、フォーカスが合う領域が画像間で移動している場合、針先以外の物体にフォーカスが合っていると判定し、針先にフォーカスが合っている候補となる画像から除外する。これにより、検出部５３は、片持ち梁タイプのプローブ針３８−４であっても、針先にフォーカスが合っている画像を精度よく検出することができる。
【００５２】
また、片持ち梁タイプのプローブ針３８−４であっても、針先は、梁部分よりもｚ軸方向において下方に位置する。そこで、検出部５３は、プローブ針３８毎に、プローブ針３８の針先にフォーカスが合っている画像が複数検出された場合、当該複数の画像の中で、プローブ針３８の針先から最も遠い位置から撮影された画像を、プローブ針３８の針先にフォーカスが合っている画像として検出してもよい。これにより、検出部５３は、片持ち梁タイプのプローブ針３８−４であっても、針先にフォーカスが合っている画像を精度よく検出することができる。
【００５３】
ここで、プローブ針３８を１つずつ撮影した画像に基づいて、プローブ針３８の位置を測定する比較例について説明する。比較例では、１つ１つのプローブ針３８について、ｚ軸方向においてカメラ２７の位置を変えながらプローブ針３８の針先が撮影され、フォーカスが合っている画像が特定される。そして、特定された画像が撮影されたｚ軸方向の位置をベストフォーカス位置として、カメラ２７がベストフォーカス位置に移動される。そして、ベストフォーカス位置において、再度プローブ針３８が撮影され、撮影された画像内の針先の位置に基づいて、プローブ針３８の針先の位置が特定される。
【００５４】
このように、比較例ではプローブ針の針先の位置をプローブ針毎に認識していたため、１本当たりの認識時間をＴ秒とするとｎ本のプローブ針の針先位置認識時間はｎＴ秒かかることになる。これに対し、本実施例ではｎ本のプローブ針の針先位置認識を同時に一括して行うことができるため、おおよそＴ秒でプローブ針の針先の位置を認識することができる。従って、本実施例では、針先位置の認識時間を、比較例の約１／ｎに短縮することができる。
【実施例２】
【００５５】
実施例１では、ｚ軸方向におけるカメラ２７の位置を変えながら撮影された複数の画像のそれぞれを比較し、フォーカスが合っている画像を用いて、プローブ針３８の針先の位置が特定された。これに対し、本実施例では、ｚ軸方向におけるカメラ２７の位置を変えながら撮影された複数の画像の中で、当該複数の画像よりも少ない数の画像について比較を行い、画像の変位の傾向からｚ座標が推定される。そして、推定されたｚ座標に最も近いｚ座標に対応付けられた画像を用いて、プローブ針３８の針先の位置が特定される。これにより、カメラ２７によって撮影された全ての画像について比較を行う場合に比べて、演算量を削減することができ、それぞれのプローブ針３８の針先の位置をより迅速に特定することができる。
【００５６】
次に、本実施例におけるｚ位置の具体的な推定方法の一例について説明する。まず、検出部５３は、カメラ２７によって撮影されたＺmax個の画像の中の一部の画像、例えば、奇数番目の画像を選択し、選択されたそれぞれの画像内の画素をグルーピングする。なお、検出部５３は、Ｚmax個の画像よりも少ない数の画像を用いて、それぞれの画像内の画素をグルーピングすれば、例えば、偶数番目の画像やｋ（ｋは２以上の整数）毎に異なる番号の画像を用いて、それぞれの画像内の画素をグルーピングしてもよい。
【００５７】
次に、検出部５３は、プローブ針の針先が撮影された画像内に写っている針先の領域を参照して、針先の領域が一番小さい画像（画像番号：Ｉn）およびその次に針先の領域が小さい画像（画像番号：Ｉn+1）を選択する。そして、検出部５３は、それぞれの画像に写っている針先の領域の大きさ（例えば領域の直径：φnおよびφn+1）をそれぞれ算出する。フォーカスが合うｚ位置は、画像番号Ｉnに関連付けられるｚ座標と画像番号Ｉn+1に関連付けられるｚ座標との間にあると考えられる。そのため、検出部５３は、領域の変位の傾向に基づき、画像番号Ｉnに関連付けられたｚ座標と画像番号Ｉn+1に関連付けられたｚ座標との間の座標を、フォーカスが合うｚ座標があると推定する。具体的には、検出部５３は、画像番号Ｉnに関連付けられたｚ座標から、ｚ軸方向にφn／（φn＋φn+1）だけ離れた座標を、フォーカスの合うｚ座標であると推定する。
【実施例３】
【００５８】
実施例１では、複数のプローブ針３８の針先が１枚の画像に写るように撮影した複数の画像を用いて、それぞれのプローブ針３８の針先の位置が特定された。これに対し、本実施例３では、第１の範囲内の複数のプローブ針３８の針先が１枚の画像に写るように撮影された画像を用いて、それぞれのプローブ針３８の針先の位置を特定する。そして、それぞれのプローブ針３８の針先について、針先を撮影可能な位置にカメラ２７を移動させ、第１の範囲よりも狭い第２の範囲でさらにプローブ針３８の針先をカメラ２７で撮影し、撮影された画像に基づいて、プローブ針３８の針先の位置をさらに詳細に特定する。これにより、それぞれのプローブ針３８の針先の位置をさらに精度よく特定することができる。
【００５９】
具体的には、撮影制御部５１は、第１の範囲内の複数のプローブ針３８の針先が１つの画像内に写るように、カメラ２７に複数のプローブ針３８の針先を撮影させる。検出部５３は、それぞれの画像内で特定されたグループ毎にフォーカスが合っている画像を検出する。そして、特定部５４は、グループ毎に、検出部５３によって検出された画像に基づいて、グループの位置のｘ座標、ｙ座標、およびｚ座標を、グループに対応するプローブ針３８の針先の位置のｘ座標、ｙ座標、およびｚ座標としてそれぞれ特定する。特定部５４は、グループ毎に、検出部５３によって検出された画像において、グループの領域の例えば中心位置のｘ座標、ｙ座標、およびｚ座標を、グループに対応するプローブ針３８の針先の位置のｘ座標、ｙ座標、およびｚ座標としてそれぞれ特定する。
【００６０】
特定部５４は、移動機構２３を制御することにより、特定された位置を撮影可能な位置へカメラ２７を移動させる。このとき、特定部５４は、検出部５３によって検出された画像が撮影された際のｚ軸方向におけるカメラ２７の位置であって、特定された位置を含む範囲を撮影可能な位置にカメラ２７を移動させる。
【００６１】
そして、特定部５４は、移動が完了したカメラ２７の位置で、カメラ２７にプローブ針３８の針先を撮影させる。このとき、特定部５４は、カメラ２７に、第１の範囲よりも狭い第２の範囲を撮影させる。即ち、特定部５４は、カメラ２７に、第１の範囲よりも狭い第２の範囲を拡大して撮影させる。
【００６２】
そして、特定部５４は、カメラ２７によって撮影された画像に基づいて、画像内に写っているグループに対応するプローブ針３８の針先の位置のｘ座標およびｙ座標をさらに特定する。
【００６３】
以上説明したように、本実施例では、第１の範囲内の複数のプローブ針３８の針先が１枚の画像に写るように撮影された画像を用いて、それぞれのプローブ針３８の針先の位置が特定される。そして、それぞれのプローブ針３８の針先について、針先を撮影可能な位置にカメラ２７がさらに移動され、第１の範囲よりも狭い第２の範囲でプローブ針３８の針先が撮影され、撮影された画像に基づいて、プローブ針３８の針先の位置がさらに詳細に特定される。
【００６４】
［ハードウェア］
なお、上記した実施例１〜３に示した制御装置５０は、例えば図１２に示すようなハードウェアにより実現される。図１２は、制御装置５０のハードウェアの一例を示す図である。制御装置５０は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）５００、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）５０１、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）５０２、補助記憶装置５０３、通信インターフェイス（Ｉ／Ｆ）５０４、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）５０５、およびメディアインターフェイス（Ｉ／Ｆ）５０６を備える。
【００６５】
ＣＰＵ５００は、ＲＯＭ５０２または補助記憶装置５０３に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。ＲＯＭ５０２は、制御装置５０の起動時にＣＰＵ５００によって実行されるブートプログラムや、制御装置５０のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。
【００６６】
補助記憶装置５０３は、例えばＨＤＤ（Hard  Disk  Drive）またはＳＳＤ（Solid  State  Drive）等であり、ＣＰＵ５００によって実行されるプログラムおよび当該プログラムによって使用されるデータ等を格納する。ＣＰＵ５００は、当該プログラムを、補助記憶装置５０３から読み出してＲＡＭ５０１上にロードし、ロードしたプログラムを実行する。
【００６７】
通信Ｉ／Ｆ５０４は、ＬＡＮ（Local  Area  Network）等の通信回線を介して検査装置本体２０との間で通信を行う。通信Ｉ／Ｆ５０４は、通信回線を介して検査装置本体２０からデータを受信してＣＰＵ５００へ送り、ＣＰＵ５００が生成したデータを、通信回線を介して検査装置本体２０へ送信する。
【００６８】
ＣＰＵ５００は、入出力Ｉ／Ｆ５０５を介して、キーボード等の入力装置およびディスプレイ等の出力装置を制御する。ＣＰＵ５００は、入出力Ｉ／Ｆ５０５を介して、入力装置から入力された信号を取得してＣＰＵ５００へ送る。また、ＣＰＵ５００は、生成したデータを、入出力Ｉ／Ｆ５０５を介して出力装置へ出力する。
【００６９】
メディアＩ／Ｆ５０６は、記録媒体５０７に格納されたプログラムまたはデータを読み取り、補助記憶装置５０３に格納する。記録媒体５０７は、例えばＤＶＤ（Digital  Versatile  Disc）、ＰＤ（Phase  change  rewritable  Disk）等の光学記録媒体、ＭＯ（Magneto-Optical  disk）等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、または半導体メモリ等である。
【００７０】
制御装置５０のＣＰＵ５００は、ＲＡＭ５０１上にロードされたプログラムを実行することにより、撮影制御部５１、検出部５３、特定部５４、調整部５５、および検査実行部５６の各機能を実現する。また、ＲＡＭ５０１または補助記憶装置５０３には、記憶部５２内のデータが格納される。
【００７１】
制御装置５０のＣＰＵ５００は、ＲＡＭ５０１上にロードされるプログラムを、記録媒体５０７から読み取って補助記憶装置５０３に格納するが、他の例として、他の装置から、通信回線を介してプログラムを取得して補助記憶装置５０３に格納してもよい。
【００７２】
なお、本発明は、上記した各実施例に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
【００７３】
例えば、第一変形例として、制御装置５０は、特定部５４で特定され、調整部５５へ出力される針先位置の情報を、記憶部５２や制御装置５０の外部に設けられた外部記憶媒体へ出力する出力部を有してもよい。出力部から出力された針先位置の情報は、例えば、針先位置の経時的な変化を検出するためのログファイルとして利用される。本発明においては、プローブ針先の検出の検出に要する時間を大幅に短縮することができるため、ログファイルへの保存も従来に比べ早期に実施される。保存されたログファイルを確認することにより、使用によるプローブ針先位置の経時変化や複数のプローブカードの機差を客観的に捉えることができる。そして、プローブ針先位置の変化量をトレースしていくことにより、プローブカードの取り付けの不具合やプローブカード自身の不具合の早期発見や、プローブ自身の消耗度合や寿命の早期判断に繋げていくことができる。
【００７４】
また、上記した各実施例では、カメラ２７によって撮影された複数の画像に基づいて、各プローブ針３８の針先の位置のｘ座標、ｙ座標、およびｚ座標がそれぞれ特定された。しかし、開示の技術はこれに限られない。例えば、第二変形例として、検査装置１０は、カメラ２７によって撮影された複数の画像に基づいて、各プローブ針３８の針先の、複数のプローブ針３８の配列方向における位置、即ち、ｘ座標およびｙ座標をそれぞれ特定してもよい。つまり、検査装置１０は、各プローブ針３８の針先のｚ座標については、特定しなくてもよい。
【００７５】
また、上記した各実施例では、カメラ２７を、プローブ針３８の針先から遠い位置から、プローブ針３８の針先に近い位置へ向かって移動させ、移動したカメラ２７の各位置において複数のプローブ針３８の針先が撮影されたが、開示の技術はこれに限られない。例えば、カメラ２７を、プローブ針３８の針先に近い位置から、プローブ針３８の針先から遠い位置へ向かって移動させ、移動したカメラ２７の各位置において複数のプローブ針３８の針先が撮影されてもよい。
【符号の説明】
【００７６】
Ｗ  半導体ウエハ
Ｚ  画像
１０  検査装置
２０  検査装置本体
２１  筐体
２２  フレーム
２３  移動機構
２５  載置台
２７  カメラ
３０  テストヘッド
３１  外部テスタ
３２  傾き調整部
３３  シャフト
３４  ホルダ
３６  プローブカード
３８  プローブ針
４１  グループ
４２  領域
５０  制御装置
５１  撮影制御部
５２  記憶部
５３  検出部
５４  特定部
５５  調整部
５６  検査実行部
５００  ＣＰＵ
５０１  ＲＡＭ
５０２  ＲＯＭ
５０３  補助記憶装置
５０４  通信Ｉ／Ｆ
５０５  入出力Ｉ／Ｆ
５０６  メディアＩ／Ｆ
５０７  記録媒体
【図１】
2019102640.tif 000003
【図２】
2019102640.tif 000004
【図３】
2019102640.tif 000005
【図４】
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【図５】
2019102640.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2019102640.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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