(57)【要約】      （修正有）【課題】ストリートのズレの補正と、切削溝、分割溝を含む加工溝のズレの補正とを間違えることのない加工装置を提供する。【解決手段】表示手段２０には、撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部３８と、加工溝５４と基準線Ｌとのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタン４２と、Ｙ軸送り手段を作動するＹ軸作動部４６と、基準線Ｌを挟み線対称を保ち基準線Ｌに接近および離反する一対の可動線４８と、一対の可動線４８を作動する可動線作動部５０とが表示される。画像表示部３８に加工溝５４が表示されていない場合を含み加工溝５４が基準線Ｌから外れている場合に、加工溝補正ボタン４２をタッチするとエラーを報知する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウエーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置であって、
ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハのストリートに加工溝を形成する加工手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に相対的に加工送りするＸ軸送り手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段と、該保持手段に保持されたウエーハを撮像しストリートおよび加工溝を検出する基準線を備えた顕微鏡を有する撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備え、
該表示手段には、該撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、加工溝と該基準線とのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタンと、該Ｙ軸送り手段を作動するＹ軸作動部と、該基準線を挟み線対称を保ち該基準線に接近および離反する一対の可動線と、該一対の可動線を作動する可動線作動部と、が表示され、
該画像表示部に加工溝が表示されていない場合を含み加工溝が該基準線から外れている場合に該加工溝補正ボタンをタッチするとエラーが報知される加工装置。
【請求項２】
該一対の可動線の間隔が、加工溝の幅と認識される間隔に設定されていない場合に該加工溝補正ボタンをタッチするとエラーが報知される請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
該画像表示部に表示された加工溝の位置を該Ｙ軸作動部を作動して該基準線まで移動すると共に該可動線作動部を作動して該一対の可動線を加工溝の幅に一致させた場合に該加工溝補正ボタンにタッチすると加工溝の移動距離が加工溝の補正値として記憶される請求項１記載の加工装置。
【請求項４】
該加工手段は、切削ブレードを回転可能に備えた切削手段であり、該加工溝は切削溝である請求項１記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウエーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスがストリート（分割予定ライン）によって区画され表面に形成されたウエーハは切削装置によってストリートが切削され個々のデバイスに分割され、分割された各デバイスは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
切削装置は、ウエーハを保持する保持手段と、保持手段に保持されたウエーハのストリートを切削する切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、保持手段と切削手段とをＸ軸方向に相対的に切削送りするＸ軸送り手段と、保持手段と切削手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段と、保持手段に保持されたウエーハを撮像しストリートおよび切削溝を検出する基準線を備えた顕微鏡を有する撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備えていて、ウエーハのストリートを高精度に切削することができる（たとえば特許文献１参照。）。
【０００４】
切削装置においては、加工を繰り返していると切削ブレードを支持するスピンドルが熱膨張して切削ブレードがストリートから外れるおそれがあることから、加工中に切削ブレードの位置を確認し補正する必要がある。このため、表示手段には、撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、切削溝と基準線とのズレ量を補正値として記憶するための切削溝補正ボタンと、Ｘ軸送り手段を作動するＸ軸作動部と、Ｙ軸送り手段を作動するＹ軸作動部と、基準線を挟み線対称を保ち基準線に接近および離反する一対の可動線と、一対の可動線を作動する可動線作動部と、が表示され、Ｙ軸作動部を作動して切削溝の中央が基準線に位置づけられると共に一対の可動線の間隔が切削溝の幅に位置づけられた場合に切削溝補正ボタンにタッチすると切削溝のＹ軸方向の移動距離がＹ軸方向の補正値と記憶され次のストリートの割り出し送りにおいて基準線と切削溝の中央とが一致すると共にストリートの中央に切削溝が形成されるように補正される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１１３６６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、Ｙ軸作動部を誤って作動して切削溝が画像表示部に表示されていない場合または切削溝が基準線から外れている場合に誤ってまたは無意識に加工溝補正ボタンをタッチすると切削溝の位置が不適切であるにもかかわらず補正値として記憶されストリートの中央を高精度に切削できないという問題がある。
【０００７】
上記した問題は、ストリートにレーザー光線を照射して分割溝を形成するレーザー加工装置にも起こり得る。
【０００８】
上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、切削溝、分割溝を含む加工溝のズレの補正を間違えることのない加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明が提供するのは以下の加工装置である。すなわち、複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウエーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置であって、ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハのストリートに加工溝を形成する加工手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に相対的に加工送りするＸ軸送り手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段と、該保持手段に保持されたウエーハを撮像しストリートおよび加工溝を検出する基準線を備えた顕微鏡を有する撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備え、該表示手段には、該撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、加工溝と該基準線とのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタンと、該Ｙ軸送り手段を作動するＹ軸作動部と、該基準線を挟み線対称を保ち該基準線に接近および離反する一対の可動線と、該一対の可動線を作動する可動線作動部と、が表示され、該画像表示部に加工溝が表示されていない場合を含み加工溝が該基準線から外れている場合に該加工溝補正ボタンをタッチするとエラーが報知される加工装置である。
【００１０】
好ましくは、該一対の可動線の間隔が、加工溝の幅と認識される間隔に設定されていない場合に該加工溝補正ボタンをタッチするとエラーが報知される。該画像表示部に表示された加工溝の位置を該Ｙ軸作動部を作動して該基準線まで移動すると共に該可動線作動部を作動して該一対の可動線を加工溝の幅に一致させた場合に該加工溝補正ボタンにタッチすると加工溝の移動距離が加工溝の補正値として記憶されるのが好適である。該加工手段は、切削ブレードを回転可能に備えた切削手段であり、該加工溝は切削溝であるのが好都合である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明が提供する加工装置は、ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハのストリートに加工溝を形成する加工手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に相対的に加工送りするＸ軸送り手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段と、該保持手段に保持されたウエーハを撮像しストリートおよび加工溝を検出する基準線を備えた顕微鏡を有する撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備え、該表示手段には、該撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、加工溝と該基準線とのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタンと、該Ｙ軸送り手段を作動するＹ軸作動部と、該基準線を挟み線対称を保ち該基準線に接近および離反する一対の可動線と、該一対の可動線を作動する可動線作動部と、が表示され、該画像表示部に加工溝が表示されていない場合を含み加工溝が該基準線から外れている場合に該加工溝補正ボタンをタッチするとエラーが報知されるので、画像表示部に加工溝が表示されていない場合または加工溝が基準線から外れている場合に誤ってまたは無意識に加工溝補正ボタンをタッチしても補正値として記憶されることがなく、ストリートの中央を高精度に加工できないという問題が解消する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ウエーハの斜視図。
【図２】本発明に従って構成された加工装置の斜視図。
【図３】補正が行われる際の撮像手段およびウエーハの斜視図。
【図４】図２に示す表示手段に表示される画像の模式図。
【図５】補正が行われる前の画像の模式図。
【図６】図５に示す状態から加工溝の位置を基準線まで移動した状態における画像の模式図。
【図７】図６に示す状態から一対の可動線を加工溝の幅に一致させた状態における画像の模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に従って構成された加工装置の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１４】
図１には、本発明に従って構成された加工装置によって加工が施され得る円盤状のウエーハ２が示されている。このウエーハ２の表面２ａは、格子状に形成された複数のストリート４によって複数の矩形領域に区画され、複数の矩形領域のそれぞれにはＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイス６が形成されている。図示の実施形態におけるウエーハ２は、周縁が環状フレーム８に固定された粘着テープ１０に貼り付けられている。
【００１５】
図２に示す切削装置１２は、本発明に従って構成された加工装置の一例であり、ウエーハ２を保持する保持手段１４と、保持手段１４に保持されたウエーハ２のストリート４に加工溝を形成する加工手段としての切削手段１６と、保持手段１４と切削手段１６とをＸ軸方向（図１に矢印Ｘで示す方向）に相対的に加工送りするＸ軸送り手段（図示していない。）と、保持手段１４と切削手段１６とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向（図１に矢印Ｙで示す方向）に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段（図示していない。）と、撮像手段１８と、表示手段２０と、を少なくとも備える。なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向が規定する平面は実質上水平である。また、図１に矢印Ｚで示すＺ軸方向はＸ軸方向とＹ軸方向とに直交する上下方向である。
【００１６】
保持手段１４は、回転自在かつＸ軸方向に移動自在に装置ハウジング２２に装着された円形状のチャックテーブル２４を含む。このチャックテーブル２４は、装置ハウジング２２に内蔵されたチャックテーブル用モータ（図示していない。）によってＺ軸方向に延びる軸線を中心として回転される。図示の実施形態における上記Ｘ軸送り手段は、チャックテーブル２４に連結されＸ軸方向に延びるボールねじ（図示していない。）と、このボールねじを回転させるモータ（図示していない。）とから構成されていて、切削手段１６に対してチャックテーブル２４をＸ軸方向に相対的に加工送りする。チャックテーブル２４の上端部分には、吸引手段（図示していない。）に接続された多孔質の円形状吸着チャック２６が配置され、チャックテーブル２４においては、吸引手段で吸着チャック２６に吸引力を生成することにより、上面に載せられたウエーハ２を吸引保持するようになっている。また、チャックテーブル２４の周縁には、環状フレーム８を固定するための複数のクランプ２８が周方向に間隔をおいて配置されている。
【００１７】
切削手段１６は、Ｙ軸方向に移動自在かつＺ軸方向に移動自在（昇降自在）に装置ハウジング２２に支持されたスピンドルハウジング３０と、Ｙ軸方向を軸心として回転可能にスピンドルハウジング３０に支持されたスピンドル３２と、スピンドル３２を回転させるモータ（図示していない。）と、スピンドル３２の先端に固定された切削ブレード３４とを含む。このように、ウエーハ２のストリート４に加工溝を形成する加工手段としての切削手段１６は切削ブレード３４を回転可能に備えており、図示の実施形態においてウエーハ２に形成される加工溝は切削ブレード３４によって形成される切削溝である。上記Ｙ軸送り手段は、スピンドルハウジング３０に連結されＹ軸方向に延びるボールねじ（図示していない。）と、このボールねじを回転させるモータ（図示していない。）とから構成されていて、保持手段１４に対してスピンドルハウジング３０をＹ軸方向に相対的に割り出し送りする。また、スピンドルハウジング３０は、Ｚ軸方向に延びるボールねじ（図示していない。）と、このボールねじを回転させるモータ（図示していない。）とから構成され得るＺ軸送り手段によってＺ軸方向に切り込み送り（昇降）されるようになっている。
【００１８】
図２に示すとおり、撮像手段１８は、チャックテーブル２４の移動経路の上方に設けられている。図３および図４を参照して説明すると、撮像手段１８は、保持手段１４に保持されたウエーハ２を撮像しストリート４および加工溝（図示の実施形態では切削溝）を検出する基準線Ｌ（図４参照。）を備えた顕微鏡３６を有する。Ｘ軸方向に延びる基準線Ｌは顕微鏡３６のレンズまたはＣＣＤ等の撮像素子（図示していない。）に形成されている。また、顕微鏡３６は、スピンドルハウジング３０に支持されており、スピンドルハウジング３０と共にＹ軸送り手段によってＹ軸方向に移動され、かつＺ軸送り手段によってＺ軸方向に移動されるようになっている。
【００１９】
図示の実施形態における表示手段２０は、装置ハウジング２２の前面上部に設けられたタッチパネルから構成されている。図４に示すとおり、表示手段２０には、撮像手段１８が撮像した画像を表示する画像表示部３８と、加工溝と基準線Ｌとのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタン４２と、Ｘ軸送り手段を作動するＸ軸作動部４４と、Ｙ軸送り手段を作動するＹ軸作動部４６と、基準線Ｌを挟み線対称を保ち基準線Ｌに接近および離反する一対の可動線４８と、一対の可動線４８を作動する可動線作動部５０と、補正値表示部５２と、が表示される。
【００２０】
横軸をＸ軸方向とし縦軸をＹ軸方向として撮像手段１８が撮像した画像を表示する画像表示部３８は、撮像手段１８の基準線Ｌと共に、基準線Ｌを対称軸とする線対称の一対の可動線４８をＸ軸方向と平行に表示する。加工溝補正ボタン４２は、加工溝と基準線Ｌとのズレ量を補正値として切削装置１２の記憶手段（図示していない。）に記憶するためのボタンであり、画像表示部３８に表示された加工溝の位置をＹ軸作動部４６を作動して基準線Ｌまで移動すると共に可動線作動部５０を作動して一対の可動線４８を加工溝の幅に一致させた場合に加工溝補正ボタン４２にタッチすると加工溝の移動距離が加工溝の補正値として上記記憶手段に記憶される。そして図示の実施形態では、画像表示部３８に加工溝が表示されていない場合を含み、加工溝が基準線Ｌから外れている場合に加工溝補正ボタン４２をタッチするとエラーが報知されるようになっている。詳述すると、切削装置１２の制御手段（図示していない。）の演算処理部が、撮像手段１８が撮像した画像に二値化処理によって画像処理を施して加工溝に相当する領域の幅と座標を求め、次いで画像処理によって求めた加工溝に相当する領域が基準線Ｌの座標から外れている場合（画像表示部３８に加工溝が表示されていない場合を含む。）に加工溝補正ボタン４２をタッチするとエラーが報知される。したがって、画像表示部３８に加工溝が表示されていない場合または加工溝が基準線Ｌから外れている場合に誤ってまたは無意識に作業員が加工溝補正ボタン４２をタッチしてしまっても、上記の場合における加工溝の移動距離が補正値として上記記憶手段に記憶されることがない。なお、エラーの報知としては、表示手段２０へのエラー表示、警告ランプ（図示していない。）の点滅または点灯、警告音による報知等を挙げることができる。
【００２１】
Ｘ軸作動部４４は、Ｘ軸送り手段を作動して撮像手段１８による撮像領域を図４における右方向に移動させる右方向作動部４４ａと、Ｘ軸送り手段を作動して撮像手段１８による撮像領域を図４における左方向に移動させる左方向作動部４４ｂとを有する。また、Ｙ軸作動部４６は、Ｙ軸送り手段を作動して図４における上方向に撮像手段１８を移動させる上方向作動部４６ａと、Ｙ軸送り手段を作動して図４における下方向に撮像手段１８を移動させる下方向作動部４６ｂとを有する。また、可動線作動部５０は、基準線Ｌを対称軸とする線対称の関係を保ちつつ一対の可動線４８を基準線Ｌに向かって接近させる可動線接近部５０ａと、基準線Ｌを対称軸とする線対称の関係を保ちつつ一対の可動線４８を基準線Ｌから離反させる可動線離反部５０ｂとを有する。
【００２２】
上述したとおりの切削装置１２を用いてウエーハ２のストリート４に切削溝を形成する際は、まず、ウエーハ２の表面２ａを上に向けて、チャックテーブル２４の上面にウエーハ２を吸引保持させる。また、複数のクランプ２８で環状フレーム８を固定する。次いで、撮像手段１８で上方からウエーハ２を撮像し、撮像手段１８で撮像したウエーハ２の画像に基づいて、Ｘ軸送り手段、Ｙ軸送り手段およびチャックテーブル用モータを作動して、ストリート４をＸ軸方向に整合させると共に、Ｘ軸方向に整合させたストリート４の上方に切削ブレード３４を位置づける。次いで、切削ブレード３４をスピンドル３２と共にモータで回転させる。次いで、Ｚ軸送り手段でスピンドルハウジング３０を下降させ、Ｘ軸方向に整合させたストリート４に切削ブレード３４の刃先を切り込ませると共に、Ｘ軸送り手段を作動して切削手段１６に対してチャックテーブル２４を相対的にＸ軸方向に加工送りすることによって、ウエーハ２を個々のデバイス６に分割するための切削溝をストリート４に沿って形成する切削加工を施す。次いで、予め設定された割り出し送り量（ストリート４のＹ軸方向間隔）の分だけ、チャックテーブル２４に対して切削手段１６をＹ軸送り手段でＹ軸方向に割り出し送りする。そして、切削加工と割り出し送りとを交互に繰り返すことにより、Ｘ軸方向に整合させたストリート４のすべてに切削加工を施す。図３に、ストリート４に沿って形成された切削溝を符号５４で示す。しかし、上記のとおりにして切削装置１２により切削溝５４を形成していると、切削ブレード３４を支持するスピンドル３２が熱膨張して切削ブレード３４のＹ軸方向のズレが生じる。このようなズレが生じた状態において、予め設定された割り出し送り量で割り出し送りしながら切削加工を繰り返すと、ストリート４から外れた位置を切削してしまいデバイス６を損傷させてしまうおそれがある。そこで、切削装置１２により切削溝５４を形成する際には、切削加工を数回行った後に加工位置補正（すなわち、ストリート４と切削溝５４とのズレの補正）を行う。
【００２３】
加工位置補正では、まず図３に示すとおり、Ｘ軸送り手段およびＹ軸送り手段を作動してウエーハ２と撮像手段１８との位置合わせを行い、直近に切削溝５４が形成されたストリート４を撮像手段１８で撮像する。撮像手段１８で撮像された画像は、たとえば図５に示すとおりであり、表示手段２０の画像表示部３８に表示される。図示の実施形態では、切削加工を数回行った後においてもストリート４のＹ軸方向中央位置は基準線Ｌに一致している。なお、ストリート４にＴＥＧ（Test Element Group）と称される金属パターンが周期的に設けられている場合には、ＴＥＧを切断した箇所の切削溝には金属バリ等が発生し、この箇所の切削溝を撮像してしまうと金属バリ等を切削溝として誤認するおそれがあることから、Ｘ軸作動部４４を作動することにより撮像手段１８で撮像するストリート４の位置の調整し、ＴＥＧが設けられていない箇所の切削溝を撮像する。次いで、撮像した画像に基づいて、図６に示すとおり、画像表示部３８に表示された切削溝５４のＹ軸方向中央位置を、Ｙ軸作動部４６を作動して基準線Ｌに向かって移動する。この際、作業者は撮像した画像を見て、切削溝５４のＹ軸方向中央位置が基準線Ｌに一致するように目分量で切削溝５４の位置を調整しているので、Ｙ軸作動部４６の１回の作動で切削溝５４のＹ軸方向中央位置を基準線Ｌに正確に位置づけるのは困難である。このため、一対の可動線４８の間隔を切削溝５４の幅に合わせるように可動線作動部５０を作動して、切削溝５４のＹ軸方向中央位置が基準線Ｌに一致しているか否か確認する。上記のとおり、一対の可動線４８は、基準線Ｌを対称軸とする線対称の関係を保ちつつ接近および離反するので、一対の可動線４８の間隔が切削溝５４の幅に一致すると、切削溝５４のＹ軸方向中央位置と基準線Ｌとが一致したことになる。Ｙ軸作動部４６の作動と可動線作動部５０の作動とを適宜繰り返し、図７に示すとおりに一対の可動線４８の間隔が切削溝５４の幅に一致したときに、加工溝補正ボタン４２にタッチする。そうすると、補正前の位置からの切削溝５４のＹ軸方向の移動距離（切削溝５４と基準線Ｌとのズレ量）が切削溝５４のＹ軸方向の補正値として切削装置１２の上記記憶手段に記憶される。この切削溝５４の補正値は表示手段２０の補正値表示部５２に表示される。上記のとおり、補正前におけるストリート４のＹ軸方向中央位置と基準線Ｌとが一致していることから、切削溝５４の補正値はストリート４のＹ軸方向中央位置と切削溝５４のＹ軸方向中央位置とのズレ量でもある。そして、予め設定された割り出し送り量に切削溝５４の補正値を加入した補正後の割り出し送り量で割り出し送りしながら切削加工を行うことにより、ストリート４のＹ軸方向中央位置に切削溝５４を形成することができる。なお、図７には、便宜上、切削溝５４の幅よりも若干広い間隔で一対の可動線４８を記載している。
【００２４】
図示の実施形態では、このような加工位置補正の際に、画像表示部３８に切削溝５４が表示されていない場合を含み切削溝５４が基準線Ｌから外れている場合に加工溝補正ボタン４２をタッチするとエラーが報知されるようになっているので、画像表示部３８に切削溝５４が表示されていない場合または切削溝５４が基準線Ｌから外れている場合に誤ってまたは無意識に作業員が加工溝補正ボタン４２をタッチしてしまっても、上記の場合における切削溝５４の移動距離が補正値として記憶されることがないため（すなわち、切削溝５４のズレの補正を間違えることがないため）、ストリート４のＹ軸方向中央位置を高精度に加工できないという問題が解消する。
【００２５】
また、切削装置１２においては、一対の可動線４８の間隔が、切削溝５４の幅（たとえば２５〜３５μｍ）と認識される間隔（たとえば４５μｍ未満）に設定されていない場合に加工溝補正ボタン４２をタッチするとエラーが報知されるようになっているのが好ましい。これによって、一対の可動線４８の間隔を切削溝５４の幅に全く合わせておらず切削溝５４のＹ軸方向中央位置が基準線Ｌに一致しているか否か確認していないような場合に、誤ってまたは無意識に作業員が加工溝補正ボタン４２をタッチしてしまってもエラーが報知されるため、不正確な値が補正値として記憶されるのが防止される。
【００２６】
なお、加工位置補正において、画像処理によって切削溝５４のＹ軸方向中央位置を求めると共に切削溝５４のＹ軸方向中央位置と基準線Ｌとを切削装置１２において自動的に（作業員を介さずに）合わせて切削溝５４の補正値を求めることも可能ではある。しかしながら、二値化処理の特性上、切削溝５４とストリート４との境界を明確に規定することが困難であり、切削溝５４のＹ軸方向中央位置を正確に求めることが困難であることから、画像表示部３８に表示された画像を作業員が見ながら上述したとおりの手順を実施する方が、切削溝５４のＹ軸方向中央位置と基準線Ｌとを精度よく一致させることができ、より正確な切削溝５４の補正値を求めることができる。このように画像処理によって切削溝５４のＹ軸方向中央位置を正確に求めることは困難であるものの、切削溝５４のＹ軸方向中央位置となり得る範囲を数μｍ程度の幅で画像処理によって特定することができる。そして加工位置補正の際に、画像処理によって求めた切削溝５４のＹ軸方向中央位置となり得る範囲が基準線Ｌから外れている場合に加工溝補正ボタン４２をタッチするとエラーが報知されるようにしてもよい。これによって、エラーが報知される条件が厳格化され、高精度な加工位置補正が担保されることとなる。
【００２７】
なお、図示の実施形態では、保持手段１４に保持されたウエーハ２のストリート４を切削する切削ブレード３４を回転可能に備えた切削手段１６を備える切削装置１２について説明したが、保持手段に保持されたウエーハ２のストリート４にレーザー光線を照射して分割溝を形成するレーザー光線照射手段を備えるレーザー加工装置であってもよい。
【符号の説明】
【００２８】
２：ウエーハ
４：ストリート
１２：切削装置（加工装置）
１４：保持手段
１６：切削手段（加工手段）
１８：撮像手段
２０：表示手段
３４：切削ブレード
３６：顕微鏡
３８：画像表示部
４２：加工溝補正ボタン
４６：Ｙ軸作動部
４８：可動線
５０：可動線作動部
５４：切削溝（加工溝）
Ｌ：基準線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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