(57)【要約】【課題】高耐久性と高信頼性を有する固体電解コンデンサの製造方法を提供する。【解決手段】誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属上に、電解質塩を保持させる工程（ａ）、固体電解質層を形成させる工程（ｂ）を少なくとも有する固体電解コンデンサの製造方法において、前記電解質塩を保持させる工程（ａ）が、イオン性液体を溶媒にて所定濃度に希釈した前処理液を準備し、該前処理液を前記陽極金属上に接触させ、溶媒を蒸発させることにより、誘電体酸化皮膜上に電解質塩を保持させる工程である固体電解コンデンサの製造方法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属上に、電解質塩を保持させる工程（ａ）、固体電解質層を形成させる工程（ｂ）を少なくとも有する固体電解コンデンサの製造方法において、前記電解質塩を保持させる工程（ａ）が、イオン性液体を溶媒にて所定濃度に希釈した前処理液を準備し、該前処理液を前記陽極金属上に接触させ、溶媒を蒸発させることにより、誘電体酸化皮膜上に電解質塩を保持させる工程であることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項２】
前記前処理液は、イオン性液体１０重量部に対し、溶媒１０〜３０重量部にて希釈したものであることを特徴とする請求項１に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項３】
前記溶媒がメタノール、エタノール、イソプロピルアルコールからなる群から選ばれる少なくとも一つであることを特徴とした請求項１又は２に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項４】
前記イオン性液体が、非ポリマーの窒素オニウムカチオンを含み、該カチオン部位がイミダゾリウム及び／又はピリジニウム骨格を少なくとも有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項５】
前記イオン性液体が、含フッ素有機アニオンを含み、該アニオンがビストリフルオロメタンスルホニルイミドアニオンを少なくとも有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項６】
前記誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属が、タンタル、チタン及びニオブからなる群から選ばれる少なくとも一つの金属の焼結体であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体電解コンデンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン等の導電性高分子は、優れた安定性及び導電性を有することから、固体電解コンデンサ用電解質に適用されている。
【０００３】
これらの導電性高分子は一般に、溶媒に不溶あるいは難溶、かつ、不融であるため成形、加工が困難である。
【０００４】
固体電解コンデンサは、誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属上に、導電性高分子を含有する固体電解質層を形成してなるものが知られている。
【０００５】
導電性高分子を含有する固体電解質層の形成方法としては、化学酸化重合法が知られている。化学酸化重合法では、例えば、誘電体酸化皮膜が形成された弁作用金属上にて、モノマー化合物を含む溶液及び酸化剤を付着、接触させることで重合せしめ、前記弁作用金属上に導電性高分子からなる固体電解質層を形成することができる。
【０００６】
しかし、この化学酸化重合法では、所望の容量出現率及びＥＳＲ、耐久性、特に耐湿性が得られないという問題がある。
【０００７】
特許文献１には、陰極層に、分解点が少なくとも３００℃の常温溶融塩と、導電性高分子とからなる陰極層を形成させた固体電解コンデンサが開示されている。しかし、該固体電解コンデンサは、所望の容量出現率及びＥＳＲ、高耐久性、高耐湿性が得られないという問題があった。
【０００８】
以上より、優れた電気特性を有し、高耐久性、高耐湿性を具備する固体電解コンデンサの製造方法が求められていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−０２４７０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来の製造方法では、所望の容量出現率とＥＳＲ、耐久性、耐湿性が得られないという問題がある。従って本発明は、優れた容量出現率とＥＳＲを兼ね備え、高耐久性、特に高耐湿性を有する固体電解コンデンサの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、イオン性液体を溶媒にて所定濃度に希釈した前処理液を用いることで、意外にも容量出現率とＥＳＲ、耐久性、耐湿性が格段に優れる方法を提供できることを見出した。
【００１２】
すなわち、本発明は以下に示すものである。
【００１３】
第一の発明は、誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属上に、電解質塩を保持させる工程（ａ）、固体電解質層を形成させる工程（ｂ）を少なくとも有する固体電解コンデンサの製造方法において、前記電解質塩を保持させる工程（ａ）が、イオン性液体を溶媒にて所定濃度に希釈した前処理液を準備し、該前処理液を前記陽極金属上に接触させ、溶媒を蒸発させることにより、誘電体酸化皮膜上に電解質塩を保持させる工程であることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法である。
【００１４】
第二の発明は、前記前処理液は、イオン性液体１０重量部に対し、溶媒１０〜３０重量部にて希釈したものであることを特徴とする前記第一の発明に記載の固体電解コンデンサの製造方法である。
【００１５】
第三の発明は、前記溶媒がメタノール、エタノール及びイソプロピルアルコールからなる群から選ばれる少なくとも一つであることを特徴とした前記第一又は第二の発明に記載の固体電解コンデンサの製造方法である。
【００１６】
第四の発明は、前記イオン性液体が、非ポリマーの窒素オニウムカチオンを含み、該カチオン部位がイミダゾリウム及び／又はピリジニウム骨格を少なくとも有することを特徴とする前記第一から第三の発明のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法である。
【００１７】
第五の発明は、前記イオン性液体が、含フッ素有機アニオンを含み、該アニオンがビストリフルオロメタンスルホニルイミドアニオンを少なくとも有することを特徴とする前記第一から第四の発明のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法である。
【００１８】
第六の発明は、前記誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属が、タンタル、チタン及びニオブからなる群から選ばれる少なくとも一つの金属の焼結体であることを特徴とする前記第一から第五の発明のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、優れた電気特性を有し、高耐久性と高耐湿性を具備した固体電解コンデンサの製造方法を提供することができる。すなわち、高静電容量と低ＥＳＲとを両立でき、耐湿熱試験において電気特性の経時変化が極めて少なく、高信頼性の固体電解コンデンサの製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】耐熱性試験における容量変化率の経時変化を示すグラフである。
【図２】耐湿性試験における容量変化率の経時変化を示すグラフである。
【図３】耐湿性試験におけるＥＳＲの経時変化を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に本発明について説明する。
【００２２】
本発明の固体電解コンデンサは、誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属上に、電解質塩および固体電解質が形成されてなる固体電解コンデンサである。
【００２３】
［誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属］
陽極金属としては、アルミニウム、タンタル、ニオブ、チタン等の弁作用金属を例示することができる。陽極金属の形状としては、微細な粒子を焼結させた焼結体、エッチング等により粗面化処理した箔状あるいは板状の形状で用いられる。これらの陽極金属の中でも、タンタル、ニオブ、チタンからなる群から選ばれる少なくとも一つの金属の焼結体であることが好ましい。
【００２４】
陽極金属に公知の化成処理を施すことによって弁作用金属の表面に誘電体酸化皮膜を形成することができる。例えば、アジピン酸二アンモニウム等の水溶液中で陽極酸化処理を行い、陽極金属上に誘電体酸化皮膜を形成することができる。
【００２５】
［電解質塩］
本発明に用いられる電解質塩は、イオン性液体とすることができる。本発明でいうイオン性液体とは、室温（２５℃）で液状を呈する溶融塩（イオン性化合物）のことを指し、カチオン成分とアニオン成分とからなる塩である。
カチオン成分としては、アルキルアンモニウム、アルキルホスホニウム、アルキルピリジニウム、アルキルイミダゾリウム等が挙げられ、又、アニオン成分としては、テトラフルオロホウ酸、ヘキサフルオロリン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、パーフルオロアルキルスルホニルイミド、パーフルオロアルキルスルホニルメチド、環状パーフルオロアルキルスルホニルイミド、ヒドロフッ化物、ビストリフルオロメタンスルホニルイミドアニオン、ビスフルオロメタンスルホニルイミドアニオン等が挙げられる。
これらのカチオン成分の中でも、非ポリマーの窒素オニウムカチオンを有し、該カチオン部位がイミダゾリウム及び／又はピリジニウム骨格を有するものが耐湿熱性の面で好ましい。また、アニオン成分の中でも、含フッ素有機アニオンを有し、該アニオンがビストリフルオロメタンスルホニルイミドアニオンであることが耐湿熱性の面で好ましい。また、カチオン成分として、非ポリマーの窒素オニウムカチオンを有し、該カチオン部位がイミダゾリウム及び／又はピリジニウム骨格を有するものであり、アニオン成分として、含フッ素有機アニオンを有し、該アニオンがビストリフルオロメタンスルホニルイミドアニオンであるものが耐湿熱性の面で好ましい。
【００２６】
［前処理液の溶媒］
本発明の前処理液の溶媒は、水又は有機溶媒を用いることができる。
【００２７】
有機溶媒としては、アルコール類、ケトン類、エステル類、エーテル類、セロソルブ類、芳香族炭化水素類、脂肪族炭化水素類等を用いることができる。
【００２８】
アルコール類としては、メタノール、エタノール、１−プロパノール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブタノール、ｓ−ブタノール、ｔ−ブタノール、ｎ−アミルアルコール、ｓ−アミルアルコール、ｔ−アミルアルコール、アリルアルコール、イソアミルアルコール、イソブチルアルコール、２−エチルブタノール、２−オクタノール、ｎ−オクタノール、シクロヘキサノール、テトラヒドロフルフリルアルコール、フルフリルアルコール、ｎ−ヘキサノール、ｎ−ヘプタノール、２−ヘプタノール、３−ヘプタノール、ベンジルアルコール、メチルシクロヘキサノール、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、グリセリン、ジエチレングリコール、プロピレングリコール等が挙げられる。
【００２９】
ケトン類としては、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、メチル−ｎ−プロピルケトン等が挙げられる。
【００３０】
エステル類としては、アセト酢酸エチル、安息香酸エチル、安息香酸メチル、蟻酸イソブチル、蟻酸エチル、蟻酸プロピル、蟻酸メチル、酢酸イソブチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸メチル、サリチル酸メチル、シュウ酸ジエチル、酒石酸ジエチル、酒石酸ジブチル、フタル酸エチル、フタル酸メチル、フタル酸ブチル、γ−ブチロラクトン、マロン酸エチル、マロン酸メチル等が挙げられる。
【００３１】
セロソルブ類としては、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ等が挙げられる。
【００３２】
芳香族炭化水素類としては、ベンゼン、トルエン、キシレン等が挙げられる。
【００３３】
脂肪族炭化水素類としては、ヘキサン、シクロヘキサン等が挙げられる。
【００３４】
前記溶媒は混合して用いることができる。
【００３５】
前記溶媒の中でも特に、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコールからなる群から選ばれる少なくとも一つであることが、好ましく挙げられる。
【００３６】
［イオン性液体を溶媒にて所定濃度に希釈した前処理液］
上述した前処理液は、イオン性液体１０重量部に対し、溶媒１０〜３０重量部で希釈したものが好ましく、イオン性液体１０重量部に対し、溶媒１２〜２３重量部であることがより好ましく、イオン性液体１０重量部に対し、溶媒１５〜１９重量部であることが特に好ましく挙げられる。該範囲にすることで、特に優れた静電容量とＥＳＲ特性を有する固体電解コンデンサを製造することができる。
【００３７】
上述した前処理液は、イオン性液体２５〜５０質量％、溶媒５０〜７５質量％であることが好ましく、イオン性液体３０〜４５質量％、溶媒５５〜７０質量％であることがより好ましく、イオン性液体３５〜４０質量％、溶媒６０〜６５質量％であることが更に好ましく上げられる。該範囲にすることで、特に優れた静電容量とＥＳＲ特性を有する固体電解コンデンサを製造することができる。
【００３８】
［電解質塩を保持させる工程］
上述した電解質塩を保持させる工程を次に述べる。上述した前処理液を、誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属に接触させた後、乾燥させることで、誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属に、電解質塩を保持させたコンデンサ素子を作製する。接触させる方法は、任意の方法でよいが、好ましくは、浸漬させる方法が挙げられる。
【００３９】
つまり、誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属を上述した前処理液に浸漬し引き上げた後乾燥して、誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属に電解質塩を付着させる工程を有することが好ましく挙げられる。
【００４０】
誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属を、上記前処理液に浸漬し、引き上げた後、乾燥する工程を複数回繰り返してもよい。好ましい回数としては、１〜６回が好ましく挙げられ、１〜３回がより好ましく挙げられ、１回が特に好ましく挙げられる。
【００４１】
乾燥は室温での自然乾燥から加熱乾燥までのいずれでもよいが、８０℃以上に加熱して乾燥させるのが好ましく挙げられる。
【００４２】
［固体電解質］
前記固体電解質層を形成させる工程に用いられる導電性高分子は、好ましくはドーパントをドープした重合体である。重合体を製造するのに用いるモノマー化合物としては、特に制限されるものではなく、例えば、ピロール類、チオフェン類、アニリン類等を用いることができるが、導電性に優れることから、下記一般式（１）で表されるチオフェン化合物であることがより好ましい。
【００４３】
【化１】
2019145679.tif 000002
【００４４】
上記一般式（１）中、Ｒaは水素原子又は炭素数１〜６の直鎖又は分岐状のアルキル基を示し、Ｘはそれぞれ同一でも異なっていても良い酸素原子又は硫黄原子を示す。
【００４５】
上記一般式（１）で表されるチオフェン化合物として、具体的には、３，４−エチレンジオキシチオフェン、メチル−３，４−エチレンジオキシチオフェン、エチル−３，４−エチレンジオキシチオフェン、プロピル−３，４−エチレンジオキシチオフェン、３，４−プロピレンジオキシチオフェン、メチル−３，４−プロピレンジオキシチオフェン、エチル−３，４−プロピレンジオキシチオフェン、プロピル−３，４−プロピレンジオキシチオフェン、３，４−エチレンジチアチオフェン、メチル−３，４−エチレンジチアチオフェン、エチル−３，４−エチレンジチアチオフェン、プロピル−３，４−エチレンジチアチオフェン、３，４−プロピレンジチアチオフェン、メチル−３，４−プロピレンジチアチオフェン、エチル−３，４−プロピレンジチアチオフェン、プロピル−３，４−プロピレンジチアチオフェン等が挙げられる。
【００４６】
これらの中でも特に固体電解コンデンサにおける電気特性に優れる点より、３，４−エチレンジオキシチオフェン、メチル−３，４−エチレンジオキシチオフェン、エチル−３，４−エチレンジオキシチオフェンが特に好ましく挙げられる。
【００４７】
本発明に用いる導電性高分子は、上記一般式（１）で表されるチオフェン化合物等のモノマー化合物を、上記ドーパントの存在下で化学酸化重合することによって得ることができる。化学酸化重合のための酸化剤は例えば特開２０１０−３１１６０号公報記載の公知の酸化剤を用いることができる。
【００４８】
該ドーパントとしては、高分子への化学酸化ドープが起こりうる官能基を有していればよく、硫酸エステル基、リン酸エステル基、リン酸基、カルボキシル基、スルホ基等が好ましく挙げられる。これらの中でも、ドープ効果の点より、硫酸エステル基、カルボキシル基、スルホ基がより好ましく挙げられ、スルホ基が特に好ましく挙げられる。
【００４９】
ドーパントとして、例えば、ヨウ素、臭素、塩素等のハロゲンイオン、ヘキサフルオロリン、ヘキサフルオロヒ素、ヘキサフルオロアンチモン、テトラフルオロホウ素、過塩素酸等のハロゲン化物イオン、又はメタンスルホン酸、ドデシルスルホン酸等のアルキル置換有機スルホン酸イオン、カンファースルホン酸イオン等の環状スルホン酸イオン、又はベンゼンスルホン酸、パラトルエンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、ベンゼンジスルホン酸等のアルキル置換もしくは無置換のベンゼンモノもしくはジスルホン酸イオン、２−ナフタレンスルホン酸、１，７−ナフタレンジスルホン酸等のスルホン酸基を１〜４個置換したナフタレンスルホン酸のアルキル置換もしくは無置換イオン、アントラセンスルホン酸イオン、アントラキノンスルホン酸イオン、アルキルビフェニルスルホン酸、ビフェニルジスルホン酸等のアルキル置換もしくは無置換のビフェニルスルホン酸イオン、ポリスチレンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合体等の高分子スルホン酸イオン等、またはモリブドリン酸、タングストリン酸、タングストモリブドリン酸等のヘテロポリ酸イオン、メトキシベンゼンスルホン酸、エトキシベンゼンスルホン酸、キシレンスルホン酸が挙げられる。これらの中でも、ポリスチレンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、パラトルエンスルホン酸、メトキシベンゼンスルホン酸、エトキシベンゼンスルホン酸、キシレンスルホン酸から選ばれる少なくとも一種がより好ましく挙げられ、パラトルエンスルホン酸が特に好ましく挙げられる。
【００５０】
［固体電解質層を形成させる工程］
前記固体電解層を形成させる工程を次に述べる。上述したモノマー化合物とドーパント及び酸化剤を含む混合溶液を、誘電体酸化皮膜を有し電解質塩を保持した弁作用金属に接触させた後、乾燥させることで、誘電体酸化皮膜を有し、電解質塩を保持した弁作用金属に、導電性高分子を付着させたコンデンサ素子を作製する。接触させる方法は、任意の方法でよいが、好ましくは、浸漬させる方法が挙げられる。
【００５１】
つまり、誘電体酸化皮膜を有し電解質塩を保持した弁作用金属を、上述したモノマー化合物とドーパントを含む溶液に浸漬し引き上げた後乾燥して、誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属に導電性高分子を付着させる工程を有することが好ましく挙げられる。
【００５２】
誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属を、上述したモノマー化合物とドーパント及び酸化剤を含む混合溶液に浸漬し、引き上げた後、乾燥する工程を複数回繰り返してもよい。好ましい回数としては、１〜６回が好ましく挙げられ、１〜３回がより好ましく挙げられ、１回が特に好ましく挙げられる。
【００５３】
固体電解質を形成させる工程は、モノマー化合物とドーパントを含む酸化剤溶液を交互に接触させる化学重合法や、電解重合法や、導電性高分子分散液を前記弁作用金属に接触させる方法も挙げられる。
【００５４】
乾燥は室温での自然乾燥から加熱乾燥までのいずれでもよいが、導電性高分子分散液に高沸点有機溶媒を含有させている場合には、１５０℃以上に加熱して乾燥させるのが好ましく挙げられる。
【００５５】
［固体電解コンデンサ］
用いる弁作用金属の種類、形状により、固体電解コンデンサはチップ型とすることができる。
【実施例】
【００５６】
（実施例1）
陽極として大きさが１．３×２．１×１．６ｍｍ３のタンタル焼結体を用い、陽極線としてタンタル線を用いた陽極体を０．０５重量％燐酸水溶液中で８０℃、２５Ｖで１５０分陽極酸化し、脱イオン水の流水により洗浄して、乾燥を行いコンデンサ素子とした。
【００５７】
（前処理液の製造）
１−エチル−３−メチルイミダゾリウム・ビストリフルオロメタンスルホニルイミド(ビストリフルオロメタンスルホニルイミドアニオン使用、東京化成工業株式会社製)１０重量部をメタノール１９部で希釈し前処理液を得た。
【００５８】
（導電性高分子モノマーとドーパント及び酸化剤を含む混合溶液の製造）
１．０部の２−エチル−２，３−ジヒドロチエノ［３，４−ｂ］−１，４−
ジオキシン（２−エチル−ＥＤＯＴ）と３．０部の４０％パラトルエンスルホン酸第二鉄／ｎ−ブタノール溶液を混合し、導電性高分子モノマーとドーパント及び酸化剤を含む混合溶液を得た。
【００５９】
（電解質塩を保持させる工程）
次に、上記前処理液に、上記コンデンサ素子を５分浸漬し、１５０℃で５分乾燥させる工程を３回繰り返した後、さらに１５０℃で１時間熱処理を行って電解質塩を保持させ、コンデンサ素子とした。
【００６０】
（固体電解質層を形成させる工程）
次に、上記で得られた導電性高分子モノマーとドーパント及び酸化剤を含む混合溶液に、上記コンデンサ素子を５分浸漬し、１５０℃で５分乾燥させる工程を３回繰り返した後、さらに１５０℃で１時間熱処理を行って固体電解質層を形成させ、コンデンサ素子とした。
【００６１】
（固体電解コンデンサの作製）
その後、上記で得られたコンデンサ素子の固体電解質上にグラファイト層及び銀ペースト層を順次形成し、銀ペースト層に導電性接着剤を介して陰極リードを、陽極に陽極リードをそれぞれ接続し、固体電解コンデンサを完成させた。
【００６２】
（実施例２〜１２）
イオン性液体と溶媒の比率を表１に対応するように変えた以外は、実施例１と同様にして固体電解コンデンサを作製した。
【００６３】
（実施例１３）
イオン性液体のアニオンをトリフルオロメタンスルホン酸に変えた以外は、実施例１と同様にして固体電解コンデンサを作製した。
【００６４】
（実施例１４）
イオン性液体のカチオンをピリジニウム(１−ブチル−ピリジニウム・ビストリフルオロメタンスルホニルイミド、東京化成工業株式会社製)に変えた以外は、実施例１と同様にして固体電解コンデンサを作製した。
【００６５】
（実施例１５）
イオン性液体のカチオンをトリメチルプロピルアンモニウムビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド（東京化成工業株式会社製)に変えた以外は、実施例１と同様にして固体電解コンデンサを作製した。
【００６６】
（比較例１）
実施例１に記載の電解質塩を保持させる工程において、溶媒によるイオン性液体の希釈を行わなかった以外は、実施例１と同様にして固体電解コンデンサを作製した。
【００６７】
（比較例２）
実施例１に記載の電解質塩を保持させる工程を行わなかった以外は、実施例１と同様にして固体電解コンデンサを作製した。
【００６８】
＜固体電解コンデンサの静電容量及びＥＳＲ特性の評価＞
実施例１〜１２及び比較例１〜２より得られた固体電解コンデンサについて、１２０Ｈｚにおける静電容量（μＦ）を測定し、１００ｋＨｚにおける等価直列抵抗（ＥＳＲ）を測定した。測定結果を表１に示す。前処理液の溶媒重量部は、イオン性液体及び電解コンデンサ用電解液の重量部を１０とした場合のものである。
【００６９】
【表１】
2019145679.tif 000003
【００７０】
＜固体電解コンデンサの耐熱試験＞
実施例１及び比較例２より得られた固体電解コンデンサを、１２５℃の恒温槽中で付加電圧２．５Vの条件で試験した。５時間後、１２時間後、２０時間後、２９時間後、３７時間後の耐熱試験後の固体電解コンデンサの１２０Ｈｚにおける静電容量（μＦ）を測定した。測定結果から容量変化率を算出した結果を図１に示す。
【００７１】
＜固体電解コンデンサの耐湿性試験＞
実施例１及び比較例２より得られた固体電解コンデンサを、６０℃、８５％ＲＨの恒温槽中、電圧付加無しの条件で試験した。条件下で１００時間後、５００時間後、１０００時間後、１５００時間後、２０００時間後の固体電解コンデンサの１２０Ｈｚにおける静電容量（μＦ）を測定し、１００ｋＨｚにおける等価直列抵抗（ＥＳＲ）を測定した。測定結果を図２、図３に示す。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明の固体電解コンデンサは信頼性、耐久性に優れるため、高周波数のデジタル機器等に適用できる。
【図１】
2019145679.tif 000004
【図２】
2019145679.tif 000005
【図３】
2019145679.tif 000006