(57)【要約】【課題】比較的簡単な方法により，セラミックス等の硬脆性材料の表面に事後的にディンプルを形成する方法を提供する。【解決手段】セラミックス等の硬脆性材料成品の表面や硬脆性材料でコーティングされた成品の表面等，硬脆性材料の表面のうち，ディンプルを形成する領域であるディンプル形成領域に対し，メディアン径ｄ５０が１〜２０μmの略球状の噴射粒体を，０．０１MPa〜０．７MPaの噴射圧力の圧縮気体と共に噴射する。これにより，硬脆性材料の表面に破砕やクラックを生じさせることなく塑性変形によって微小なディンプルを形成することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理成品の硬脆性材料から成る表面のうち，ディンプルを形成する領域であるディンプル形成領域に対し，メディアン径ｄ５０が１〜２０μmの略球状の噴射粒体を，０．０１MPa〜０．７MPaの噴射圧力の圧縮気体と共に噴射して，前記ディンプル形成領域の前記硬脆性材料表面に，塑性変形によるディンプルを形成することを特徴とする硬脆性材料表面に対する微小ディンプルの形成方法。
【請求項２】
前記ディンプルが開口径１〜２０μm，深さ０．０１〜１μmであることを特徴とする請求項１記載の硬脆性材料表面に対する微小ディンプルの形成方法。
【請求項３】
前記ディンプルの開口面積の合計が前記ディンプル形成領域の面積に対し５０％以上になるように形成することを特徴とする請求項１記載の硬脆性材料表面に対する微小ディンプルの形成方法。
【請求項４】
前記硬脆性材料がセラミックスであることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の硬脆性材料表面に対する微小ディンプルの形成方法。
【請求項５】
前記硬脆性材料がガラスであることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の硬脆性材料表面に対する微小ディンプルの形成方法。
【請求項６】
摺動部品を前記被処理成品とすると共に，該摺動部品の摺動面を前記ディンプル形成領域とすることを特徴とする請求項４記載の硬脆性材料表面に対する微小ディンプルの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はセラミックス等の硬脆性材料表面に対し，ミクロンオーダーの開口径を有する微小な窪み（ディンプル）を形成する方法に関する。
【０００２】
なお，本発明における硬脆性材料の表面には，硬脆性材料から成る表面全般を含み，硬脆性材料製の成品の表面のみならず，各種材質の成品表面に形成された硬脆性材料の被膜，例えばセラミックコーティングの表面も含む。
【背景技術】
【０００３】
硬脆性材料の一例としてセラミックスは各種成品の材料やコーティング材等として使用されており，高硬度であると共に耐熱性，耐摩耗性等に優れていることから，他部材との接触が行われる成品，例えば摺動部品や金型表面の構成材料やコーティング材等として使用されている。
【０００４】
このような摺動部品や金型の表面には，微小な窪み（ディンプル）を形成してこのディンプル内に潤滑剤や離型剤等を保持させることで摺動部の摩擦抵抗の低減や離型性の向上を図ることが行われている。
【０００５】
このようなディンプルの形成は，ディンプルの形成対象とする成品が金属製のものである場合，その表面を塑性変形させることにより形成することもでき，このような方法として，略球状の噴射粒体を高速で噴射して衝突させることにより生じた圧痕を，潤滑油を保持するための油溜とすることも提案されている（特許文献１）。
【０００６】
しかし，摺動部品がセラミックスで形成されている場合，あるいはセラミックコーティングされている場合，セラミックスは高硬度である一方で，変形し難く，大きな力が加わった際に金属のように塑性変形することなく強度の限界に達すると一気に破壊してしまう，硬脆性の材料であることから，金属のような塑性変形によるディンプルの形成を行うことができない。
【０００７】
そのため，セラミックスに対するディンプルの形成は，セラミックスを焼成する前にディンプルが形成されるように調整しておくか，又は事後的にディンプルを形成する場合には，脆性破壊によって形成する等，塑性変形によらない方法によって形成されている。
【０００８】
焼成前の調整によってディンプルを形成する方法としては，セラミックス原料に樹脂や発泡剤，ウイスカー等を添加混合して成形した後に焼成することで，添加した樹脂や発泡剤を焼成中に焼失させてディンプルを形成する方法（特許文献２の［0030］欄），焼成前のセラミック原料を，ディンプルに対応する凸形状を備えた金型を用いて成形した後に焼成する方法（特許文献２の［0031］欄）等がある。
【０００９】
また，焼成後のセラミックスに対し事後的にディンプルを形成する方法としては，ベアリングや等速ジョイントのセラミックス製転動体の表面に，ピコ秒レーザ以上に短いパルス幅の単パルスレーザを照射して微小なディンプルを形成することが提案されている（特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平０７−１８８７３８号公報
【特許文献２】特開平０８−１２８４４８号公報
【特許文献３】特開２０１６−１５６４２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
以上で説明したディンプルの形成方法中，セラミックス原料に樹脂や発泡剤，ウイスカー等を添加混合して成形した後に焼成することで添加した樹脂や発泡剤等の焼失によってディンプルを形成する方法では，連続しない独立したディンプルが均一に形成されるようにするためのプロセス管理が困難であり，安定した品質の成品を製造することが困難である。
【００１２】
また，この方法では，製造する成品の材料となるセラミックスの種類毎，製造する成品の種類毎に，添加する樹脂や発泡剤等の種類や量等を調整することが必要となる点においても製造管理が煩雑である。
【００１３】
これに対し，焼成前のセラミック原料を，ディンプルに対応する凸形状を備えた金型を用いて成形した後に焼成する方法では，この金型を使用して成型された成品では，いずれも同じ位置に同じ形状のディンプルを形成することができる点で成品間の品質のばらつきをなくすことができる。
【００１４】
しかし，この方法によるディンプルの形成は，該金型を使用して成型される成品に対してのみ適用され，他の成品に対してもディンプルを形成しようとすれば，製造する成品毎に，適切な配置でディンプルとなる凸部が形成された金型を準備する必要があり，製造コストが嵩む。
【００１５】
特に，前掲の特許文献２では，半球状のディンプルの他，長方形，星形，円形連鎖形等の角を持った形状に形成することも提案するが，このような角を持った形状では摺動時にこの部分に力の集中が起こり破壊の原因となると共に，欠け等が生じた場合，欠けにより生じた破片が摺動面を傷付けて摩耗させるアブレッシブ摩耗の発生原因にもなる。
【００１６】
しかも，上記方法は，いずれもディンプルを形成するためには焼成前の事前の準備が必要であり，焼成後のセラミックスの表面に事後的にディンプルを形成することはできない。
【００１７】
また，前述したセラミックス成品に対するディンプルの形成方法では，いずれ共，セラミックコーティングに対してディンプルを形成することができない。
【００１８】
これに対し，セラミックス製の転動体の表面に単パルスレーザを照射して微小なディンプルを形成する特許文献３に記載の方法では，焼成後のセラミックス成品に対し事後的にディンプルを形成することができ，また，各転動体に同大，同間隔でディンプルを形成することで，均一な品質の成品を製造することも可能である。
【００１９】
しかし，この方法によりディンプルを形成する場合，個々の転動体を所定の方向に回転させながら表面に単パルスレーザを一定の間隔で照射して同大，同間隔にディンプルを形成する作業が必要であり，このような複雑な動作を可能とする複雑かつ高価な処理装置が必要となるため，多大な初期投資が必要となる。
【００２０】
しかも，転動体のそれぞれに対し同大，同間隔でディンプルを形成する作業には長時間を要することから，ディンプルの形成にコストが嵩み，この方法でディンプルが形成された転動体の価格を高めることとなる。
【００２１】
さらに，パルスレーザの照射によってディンプルを形成する場合，加工により材料表面より飛散した物質がデブリと呼ばれる微粒子となって表面に付着して汚染し，このデブリが摩擦面間に介在することにより摺動部の表面が削り取られるアブレッシブ摩耗の原因となることから，ディンプルの形成後，このデブリを除去する作業が必要となる。
【００２２】
なお，以上では摺動部品の摺動面に潤滑油等の潤滑材を保持するためのディンプルを形成する場合を例として説明したが，このようなディンプルの形成は，離型性の向上を目的として金型の表面に離型剤や空気を保持させるために設ける場合がある等，摺動部材の摺動面に限定されず，各種のセラミックス成品やセラミックコーティングの表面に対し形成され得るものであり，セラミックスの表面に対するディンプルを簡単かつ低コストで形成することができる方法が要望されている。
【００２３】
本発明は，上記要望に応ずるべく成されたものであり，比較的廉価に導入することができる既存の処理装置を使用して，比較的簡単な方法により，低コストで，かつ，被処理成品の形状や材質に関係なく，セラミックスに代表される硬脆性材料に対し事後的にディンプルを形成することができるディンプルの形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記目的を達成するための，本発明の硬脆性材料表面に対する微小ディンプルの形成方法は，
セラミックス等の硬脆性材料から成る被処理成品の表面や硬脆性材料製の被膜で覆われた被処理成品の表面等，被処理成品の硬脆性材料から成る表面のうち，ディンプルを形成する領域であるディンプル形成領域に対し，メディアン径ｄ５０が１〜２０μmの略球状の噴射粒体を，０．０１MPa〜０．７MPaの噴射圧力の圧縮気体と共に噴射して，前記ディンプル形成領域の前記硬脆性材料表面に，塑性変形によるディンプルを形成することを特徴とする（請求項１）。
【００２５】
ここで「メディアン径ｄ５０」とは，累積質量５０％径，すなわち，粒子群をある粒子径から２つに分けたとき，大きい側の粒子群の積算粒子量と，小さい側の粒子群の積算粒子量が等量となる径をいい，JIS R 6001(1987)における「累積高さ５０％点の粒子径」と同義である。
【００２６】
前記ディンプルは，一例として開口径１〜２０μm，深さ０．０１〜１μmである（請求項２）。
【００２７】
前記ディンプルは，前記ディンプルの開口面積の合計が前記ディンプル形成領域の面積に対し５０％以上になるように形成することが好ましい（請求項３）。
【００２８】
前記硬脆性材料は，好ましくはセラミックス（請求項４），又はガラスであり（請求項５），セラミックス製の摺動部品を被処理対象とし，該摺動部品の摺動面を前記ディンプル形成領域とすることもできる（請求項６）。
【発明の効果】
【００２９】
以上で説明した本発明の構成により，本発明の方法では，以下の顕著な効果を得ることができた。
【００３０】
メディアン径ｄ５０が１〜２０μmの略球状の噴射粒体を，０．０１MPa〜０．７MPaの噴射圧力の圧縮気体と共に噴射するという極めて簡単な方法で，セラミックス等の硬脆性材料表面にディンプルを形成することができた。
【００３１】
このディンプルの形成によっても硬脆性材料には破断やクラックが生じておらず，また，ディンプルの形成に際し切削粉等の発生も確認できないこと，更には本発明の方法で処理した後のセラミックス成品（一例としてＷＣを主成分とした超硬合金）の表面をＸ線解析した結果では，圧縮残留応力の大幅な増加（未処理時−1000MPaが，処理後−2200MPaに変化）が得られていること等から，本発明の方法によるディンプルの形成は，脆性破壊によるものではなく，硬脆性材料の表面が塑性変形することにより生じたものであると考えられる。
【００３２】
また，上記方法によるディンプルの形成は，比較的廉価である既知のエア式のブラスト加工装置を使用して比較的短時間の処理によって行うことができ，ディンプルの形成に要するコストを低く抑えることができた。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】実施例１の金型の（Ａ）は表面顕微鏡写真，（Ｂ）は表面断面形状。
【図２】比較例（未処理）の金型の（Ａ）は表面顕微鏡写真，（Ｂ）は表面断面形状。
【図３】ＦＥＭによるフォンミーゼス応力の解析画像（噴射粒体１０μm)。
【図４】ＦＥＭによるフォンミーゼス応力の解析画像（噴射粒体５０μm)。
【図５】試験片（ソーダガラス）の表面断面形状であり，（Ａ）は本発明による処理後，（Ｂ）は未処理の状態。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
次に，本発明の実施形態につき添付図面を参照しながら以下説明する。
【００３５】
〔処理対象〕
本発明の方法によるディンプルの形成対象とする成品（被処理対象成品）は，硬脆性材料から成る成品，又は，表面を硬脆性材料の被膜でコーティングされた成品等，その最表面が硬脆性材料によって構成されている各種成品を対象とすることができる。
【００３６】
硬脆性材料には，セラミックスの他，単結晶シリコン等も含み，前述のセラミックスには，酸化物，炭化物，窒化物，ホウ化物，珪化物，弗化物，硫化物，炭素などの，主として非金属から成る無機固体材料全般を含み，一例としてアルミナ（Ａｌ2Ｏ3），ジルコニア（ＺｒＯ2），二酸化珪素（ＳｉＯ2），チタン酸バリウム（ＢａＯ3Ｔｉ），酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3），炭化ケイ素（ＳｉＣ），炭化タングステン（ＷＣ），炭化チタン（ＴｉＣ），窒化ケイ素（Ｓｉ3Ｎ4），窒化チタン（ＴｉＮ），窒化チタンアルミ（ＴｉＡｌＮ），ホウ化チタン（ＴｉＢ2），ホウ化ジルコニウム（ＺｒＢ2），珪化モリブデン（ＭｏＳｉ2），珪化タングステン（ＷＳｉ2），フッ化カルシウム（ＣａＦ2），ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）や，前掲の二酸化珪素（ＳｉＯ2）を主成分とするガラス（ソーダガラス，鉛ガラス，硼珪酸ガラス）等はいずれも本願におけるセラミックスに含まれる。
【００３７】
また，前述した硬脆性材料から成る成品，又は，硬脆性材料がコーティングされた成品であれば，その用途に限定はなく，各種成品に対し本発明の方法を適用可能であり，また，成品表面の一部分に対しディンプルを形成することもでき，ベアリング，シャフト，歯車などの他部材と摺接させて使用する摺動部材に対し適用する場合には，摺動部材のうち，他部材との摺動部のみを処理対象とするものとしても良い。
【００３８】
〔ディンプルの形成方法〕
前述した被処理対象成品の表面のうち，ディンプルを形成する領域であるディンプル形成領域に対し，略球状の噴射粒体を圧縮気体と共に噴射して，前述した領域に衝突させる処理を行う。
【００３９】
上記の処理を行う際に使用する噴射粒体，噴射装置，噴射条件を一例として以下に示す。
【００４０】
（１）噴射粒体
本発明の表面処理方法で使用する略球状の噴射粒体における「略球状」とは，厳密に「球」である必要はなく，一般に「ショット」として使用される，角のない形状の粒体であれば，例えば楕円形や俵型等の形状のものであっても本発明で使用する「略球状の噴射粒体」に含まれる。
【００４１】
噴射粒体の材質としては，金属系，セラミックス系のいずれのものも使用可能であり，一例として，金属系の噴射粒体の材質としては，スチール，高速度工具鋼（ハイス鋼），ステンレス鋼，クロムボロン鋼（ＦｅＣｒＢ）等を挙げることができ，また，セラミックス系の噴射粒体の材質としては，アルミナ（Ａｌ2Ｏ3），ジルコニア（ＺｒＯ2），ジルコン（ＺｒＳｉＯ4），炭化ケイ素（ＳｉＣ），硬質ガラス等を挙げることができる。
【００４２】
使用する噴射粒体の粒径は，メディアン径（ｄ５０）で１〜２０μmの範囲のものが使用可能である。
【００４３】
（２）噴射装置
前述した噴射粒体を被処理成品の表面に向けて噴射する噴射装置としては，圧縮気体（空気，アルゴン，窒素等）と共に研磨材の噴射を行う既知のブラスト加工装置を使用することができる。
【００４４】
このようなブラスト加工装置としては，圧縮気体の噴射により生じた負圧を利用して研磨材を噴射するサクション式のブラスト加工装置，研磨材タンクから落下した研磨材を圧縮気体に乗せて噴射する重力式のブラスト加工装置，研磨材が投入されたタンク内に圧縮気体を導入し，別途与えられた圧縮気体供給源からの圧縮気体流に研磨材タンクからの研磨材流を合流させて噴射する直圧式のブラスト加工装置，及び，上記直圧式の圧縮気体流を，ブロワーユニットで発生させた気体流に乗せて噴射するブロワー式ブラスト加工装置等が市販されているが，これらはいずれも前述した噴射粒体の噴射に使用可能である。
【００４５】
（３）処理条件
以上で説明した被処理対象成品に対し，前述した材質等からなるメディアン径ｄ５０が１〜２０μmの略球状の噴射粒体を，０．０１MPa以上，０．７MPa以下の噴射圧力の圧縮気体と共に噴射する。
【００４６】
これにより，硬脆性材料の表面に開口径１〜２０μm，深さ０．０１〜１μmのディンプルを形成することができる。
【００４７】
噴射粒体の噴射は，形成されたディンプルの開口面積の合計が，ディンプル形成領域の面積に対し５０％以上となるように行う。
【実施例】
【００４８】
〔ディンプルの形成試験１〕
（１）試験の目的
噴射粒体の噴射条件の変化に伴う硬脆性材料表面の状態変化を確認すると共に，ディンプルの形成による摺動性の向上を確認する。
【００４９】
（２）試験方法
被処理対象成品としてジルコニア（ＺｒＯ2）製のアルミ合金用押出し成形金型（表面を算術平均粗さ(Ra)で０．１μm以下にラップ研磨したもの）に対し，下記の表１に示す条件で噴射粒体の噴射を行った。
【００５０】
【表１】
2019025584.tif 000003
【００５１】
未処理の金型の表面凹凸形状と，上記各条件で処理した後の金型の表面凹凸形状を，形状解析レーザ顕微鏡（キーエンス社製「VK-X250」）を使用して観察した。
【００５２】
また，未処理の金型と，上記実施例１〜３の条件で処理した金型を使用して，アルミ合金の押出し成型を行い，金型表面に対するアルミの凝着状態を目視により観察した。
【００５３】
（３）測定結果
図１は，前掲の実施例１の条件でディンプルを形成した後の金型表面の形状解析レーザ顕微鏡による観察結果であり，図１（Ａ）は金型表面を撮影した電子顕微鏡像，図１（Ｂ）は解析結果より求めたディンプル形成位置表面の断面形状である。
【００５４】
なお，実施例２，３の条件で処理した金型の表面形状についても略同様の結果が確認されたことから，代表例として実施例１の条件で処理を行った金型の表面形状のみを図１に示し，実施例２，３の条件で処理した金型表面の形状解析レーザ顕微鏡による観察結果は図示を省略した。
【００５５】
なお，比較のため，図２に未処理の金型表面の形状解析レーザ顕微鏡による観察結果を示す。図２（Ａ）は金型表面を撮影した電子顕微鏡像，図２（Ｂ）は解析結果より求めた表面の断面形状である。
【００５６】
また，実施例１〜３及び未処理（比較例）の金型を使用した押出し成型後の金型表面に対するアルミの凝着状態を観察した結果を，表２に示す。
【００５７】
【表２】
2019025584.tif 000004
【００５８】
図１と図２の比較より，比較的平坦な状態であった未処理の金型表面（図２参照）に対し，実施例１の条件で処理を行った後の金型表面（図１参照）ではディンプル（半球状の窪み）が形成されていることが判る。
【００５９】
また，同様に形状解析レーザ顕微鏡を使用した観察で，実施例２，３の条件で処理した金型についても同様にディンプルが形成されていることが確認できた。
【００６０】
なお，実施例１〜３のいずれの条件での処理によっても，加工後の金型表面には破断やクラックの発生は確認できず，また，処理中，切削粉の発生も確認できなかったこと，更には本願方法による処理後の表面では圧縮残量応力の大幅な増大が確認されていることから，前述したディンプルの形成は，脆性破壊によるものではなく，塑性変形により生じたものであると推察される。
【００６１】
また，表２に示すように，本発明の方法でディンプルを形成した金型では，アルミの凝着が生じ難くなっていることが確認でき，本発明の方法によって形成されたディンプルが，成形材料と金型表面間の摺動性の向上に貢献するものであることが確認されている。
【００６２】
（４）考察
本発明の方法により，硬脆性材料であるジルコニアに破断やクラックを発生させることなく塑性変形によるものと考えられるディンプルが形成できた原理は必ずしも明らかではないが，本発明の方法では，メディアン径（ｄ５０）で１〜２０μmという微小な噴射粒体を使用したことにより，このような塑性変形によるディンプルの形成が実現できたものと考えられる。
【００６３】
すなわち，セラミックス等の硬脆性材料に塑性変形を生じさせるためには，力を加えたときの単位体積あたりの永久変形エネルギーが大きくなくてはならないと考えられ，本発明の場合では，噴射粒子が衝突したときに，微小な領域に大きな力（衝撃力）を加える必要がある。
【００６４】
そこで，粒径１０μmと，粒径５０μmの二種類のスチール製の噴射粒体（密度７．８５）を被加工物に対し衝突させた際の有限要素法（Finite Element Method：FEM）による解析（以下，「ＦＥＭ解析」という）によるフォンミーゼス（Von Mises）応力のシミュレーションを行った結果を，図３（粒径１０μm）及び図４（粒径５０μm）にそれぞれ示す。
【００６５】
ここで，ＦＥＭ解析は，数値解析手法の１つであり，複雑形状モデルなど解析的手法で解くことが困難な場合，領域を微小要素に分割し要素単位で単純方程式を立て要素間を補間関数で近似して領域全体の解を得る手法であり，ここでは解析用のソフトウェアとして，「Femap with NX Nastran」(株式会社エヌ・エス・ティ製)を使用した。
【００６６】
また，「フォンミーゼス応力」とは，せん断ひずみエネルギー説に基づく相当応力のことで，方向を持たないスカラー値として表現されるもので荷重が多方向から複雑にかかるような応力場で，１軸の引張りまたは圧縮応力へ投影した値である。
【００６７】
このフォンミーゼス応力を参照することで，この材料が降伏するかどうかを判断する指標となり，降伏応力との比較の際に，他方向に応力を見る必要がなく，フォンミーゼス応力一つで判断し得るものである点に鑑み，これを利用して，噴射粒体の衝突によって生じる応力をシミュレートした。
【００６８】
シミュレーション結果より，噴射粒体の粒径と，応力の入る深さの関係を見ると，噴射粒体の粒径が小さい程，表面の非常に浅い層に強い応力が入り，粒径が大きくなると応力はより深い層まで入るが，その応力は小さくなっていることが判る。
【００６９】
図３及び図４の等値線図（コンター図）において，三日月型に見える部分の中心が応力の最も強く入っている部分を表している。
【００７０】
この最大応力は，１０μmの噴射粒体では８．７５２kgf/mm2，５０μmの噴射粒体では６．０８４kgf/mm2であり，１０μmの噴射粒体では，５０μmの噴射粒体の場合に比較して１．４倍の最大応力が発生している。
【００７１】
しかも，最大応力の発生している深さは粒径５０μmの噴射粒体の場合では２．３３μmであるのに対し，粒径１０μmの噴射粒体の場合では０．４０μmと約１／６程度であることから，単位体積当たりの衝撃力は，噴射粒体の粒径が小さくなる程，飛躍的に同大する。
【００７２】
そのため，メディアン径（ｄ５０）で１〜２０μmという微小な粒径の噴射粒体を使用する本発明の方法では，硬脆性材料製品の表面に降伏点を超える衝撃力を加えることができ，その結果，塑性変形によるディンプルの形成ができたものと考えられる。
【００７３】
〔ディンプルの形成試験２〕
（１）試験の目的
前掲の〔ディンプル形成試験１〕で処理対象とした，ジルコニア以外の硬脆性材料に対しても，本発明の方法によりディンプルを形成することができることを確認する。
【００７４】
（２）試験方法
未処理のソーダガラス製試験片（縦１０mm×横１０mm×厚さ２mm）と，本発明の方法で噴射粒体を噴射してディンプルを形成した後のソーダガラス製試験片それぞれの表面形状を，形状解析レーザ顕微鏡（キーエンス社製「VK-X250」）を使用して観察した。
【００７５】
噴射粒体の噴射は，下記の表３に示す噴射条件にて試験片の片面全体に対して行った。
【００７６】
【表３】
2019025584.tif 000005
【００７７】
（３）測定結果
未処理の試験片の表面形状（断面）を図５（Ａ）に，本発明の方法による処理後の試験片の表面形状（断面）を図５（Ｂ）にそれぞれ示す。
【００７８】
未処理の試験片表面〔図５（Ａ）〕には目立った凹凸がなく平坦であったが，本発明の方法による処理後の状態〔図５（Ｂ）〕では，ディンプルが形成されていることが確認できた。
【００７９】
また，ソーダガラスに対する試験においても，処理後の試験片には破断やクラックの発生を確認することはできず，また，噴射粒体との衝突に伴うソーダガラスの切削粉の発生も確認できないこと，更には圧縮残留応力が付与されていることから，上記ディンプルは塑性変形によって得られたものであると推察される。
【００８０】
（４）考察
以上の結果から，本発明の方法によればジルコニアに限らず，ソーダガラスの表面に対しても塑性変形によるディンプルの形成ができることが確認された。
【００８１】
このことから，本発明の方法は，実施例で処理対象としたジルコニアやソーダガラスに限定されず，その他の硬脆性材料に対するディンプルの形成にも適用可能であると合理的に推察される。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
以上で説明した本発明の方法は，硬脆性材料の表面に対するディンプルの形成が必要となるあらゆる用途に適用可能である。
【００８３】
一例として，セラミックス成品又はセラミックスコーティングされた成品に対する適用例を挙げると，摺動部材の摺動面に対するディンプルの形成により，ティンプルに対する液体・固体潤滑材の保持や，ディンプルを空気溜りとすることによる接触面積の減少による摩擦抵抗の低減を図ることができる。
【００８４】
また，金型表面に対するディンプルの形成により，ディンプルに対する離型剤の保持や，ディンプルを空気溜りとすることによる接触面積の減少に伴う離型性の向上を図ることができる。
【００８５】
その他，ディンプルの形成によってセラミックスの表面を各種の液体（薬品，香水，油脂，オイル等）の保持性に優れた表面とすることができることで，印刷時に使用されるセラミックス製給水ローラ等，液体や油脂の塗布等に使用されるセラミックス製ローラの表面処理等，前述した摺動性の向上等を目的とした処理の他，液体の保持性を向上が必要とされる各種セラミックス製品に対し適用可能である。
【図１】
2019025584.tif 000006
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【手続補正書】
【提出日】平成30年4月13日(2018.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
【図１】実施例１の金型の（Ａ）は表面顕微鏡写真，（Ｂ）は表面断面形状。
【図２】比較例（未処理）の金型の（Ａ）は表面顕微鏡写真，（Ｂ）は表面断面形状。
【図３】ＦＥＭによるフォンミーゼス応力の解析画像（噴射粒体１０μm)。
【図４】ＦＥＭによるフォンミーゼス応力の解析画像（噴射粒体５０μm)。
【図５】試験片（ソーダガラス）の表面断面形状であり，（Ａ）は未処理の状態，（Ｂ）は本発明による処理後。