(57)【要約】【課題】基板の端材を基板載置部から効率的に除去することが可能な基板搬出装置を提供する。【解決手段】所定方向に分割された基板が載置される基板載置部２と、基板載置部２を水平位置と水平位置から下方に傾斜した傾斜位置との間で移動させる駆動部４００と、基板Ｆを分割要素ごとに搬出する搬出部３００とを備える。また、制御部４０を備えており、制御部４０は、搬出部３００により基板Ｆの分割要素を全て搬出させた後に、駆動部４００により基板載置部を傾斜位置に傾斜させて基板載置部２から基板Ｆの端材Ｒを落下させる、ことを特徴とする基板搬出装置１。【選択図】図１
2019102540.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が載置される基板載置部と、
前記基板載置部を水平位置と前記水平位置から下方に傾斜した傾斜位置との間で移動させる駆動部と
前記基板を搬出する搬出部と、を備える、
ことを特徴とする基板搬出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬出装置において、
前記基板は、搬出対象と非搬出対象とに分割され、
前記搬出部により前記搬出対象を搬出させた後に、前記駆動部により前記基板載置部を前記傾斜位置に傾斜させて前記基板載置部から前記非搬出対象を落下させる制御部をさらに備える、
ことを特徴とする基板搬出装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板搬出装置において、
前記基板載置部は、前記基板載置部に載置された基板の下面に圧力を付与することが可能に構成され、
前記基板載置部に載置された基板の下面に圧力を付与するための圧力付与部をさらに備え、
前記制御部は、前記非搬出対象を前記基板載置部から落下させる際に、前記非搬出対象の下面に正圧を付与してされるように、圧力付与部を制御する、
ことを特徴とする基板搬出装置。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れか一項に記載の基板搬出装置において、
前記基板載置部は、水平方向に複数の部分に分割され、
前記駆動部は、前記複数の部分をそれぞれ前記水平位置と前記傾斜位置との間で駆動させる、
ことを特徴とする基板搬出装置。
【請求項５】
請求項１ないし３の何れか一項に記載の基板搬出装置において、
前記基板載置部は、前記水平方向に２つの部分に分割されている、
ことを特徴とする基板搬出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板搬出装置において、
前記駆動部は、前記２つの部分の境界側の端部が下方に移動するように前記２つの部分を傾斜させて、前記２つの部分を前記傾斜位置に位置付けさせる、
ことを特徴とする基板搬出装置。
【請求項７】
請求項１ないし６の何れか一項に記載の基板搬出装置において、
前記駆動部は、前記基板載置部を鉛直方向に回動可能に支持するとともに、前記水平位置と前記傾斜位置との間で前記基板載置部を回動させる駆動機構を備える、
ことを特徴とする基板搬出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を搬出するための基板搬出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板等の脆性材料基板は、最終製品の形態に応じて、所定数の分割要素に切断される。このとき、分割要素とは別に、端材が生じる。以下の特許文献１には、端材を切断する際に予め端材をチャック部材で掴んでおき、端材の切断後に、端材をチャック部材でシュータの開口部へと移送してシュータに投下する構成が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２５０８７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
基板から分割要素を生成するシステムでは、個々の分割要素に分割した状態の基板を、一旦、基板載置部に載置し、その後、所定数ずつ分割要素を下流側の装置へと搬出する装置が用いられ得る。ここで、基板載置部に載置される基板には、上流側の分割工程で生じた端材が除去されずに残っている場合がある。このため、全ての分割要素が下流側の装置に搬送された状態において、基板載置部上に、これらの端材が散在することが起こり得る。このような端材は、次の基板の搬入前に除去する必要がある。特許文献１に開示された構成では、基板の分断動作時に端材を除去するものであるため、上記のように分割状態の基板が一旦基板載置部に載置される構成の装置には、そのまま適用され得ない。
【０００５】
かかる課題に鑑み、本発明は、基板の端材を基板載置部から効率的に除去することが可能な基板搬出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の態様は、基板搬出装置に関する。この態様に係る基板搬出装置は、基板が載置される基板載置部と、前記基板載置部を水平位置と前記水平位置から下方に傾斜した傾斜位置との間で移動させる駆動部と、前記基板を搬出する搬出部と、を備える。  
【０００７】
基板載置部から基板を搬出した後、新たな基板が基板載置部に搬入されてくるが、このとき、基板載置部上には何も置かれていない状態にする必要がある。本態様に係る基板搬出装置によれば、駆動部によって基板載置部を水平位置と傾斜位置との間を移動させれば、基板載置部上に残っている、たとえば、基板を切断した際に生じた端材を、傾斜した基板載置部上に沿わせて落下させることができる。このように、基板載置部上に残っているものを除去することができる。
【０００８】
本態様に係る基板搬出装置において、前記基板は、搬出対象と非搬出対象とに分割され、前記搬出部により前記搬出対象を搬出させた後に、前記駆動部により前記基板載置部を前記傾斜位置に傾斜させて前記基板載置部から前記非搬出対象を落下させる制御部をさらに備える構成とされ得る。
【０００９】
この構成であれば、基板を搬出した後、基板載置部を傾斜させることにより、基板載置部上に残っている非搬出対象を落下させて、基板載置部から除去することができる。「非搬出対象」とは、たとえば、基板を複数に切断したときに生じる端材を意味する。よって、非搬出対象すなわち端材（以降、「非搬出対象」は、「端材」と称する。）を基板載置部から効率的に除去することができる。また、基板載置部の下方に回収用の容器等を設置しておけば、端材を効率的に回収することもできる。
【００１０】
本態様に係る基板搬出装置において、前記基板載置部は、前記基板載置部に載置された基板の下面に圧力を付与することが可能に構成され、前記基板載置部に載置された基板の下面に圧力を付与するための圧力付与部をさらに備え、前記制御部は、前記端材を前記基板載置部から落下させる際に、前記非搬出対象の下面に正圧を付与してされるように、圧力付与部を制御するよう構成され得る。
【００１１】
このように端材の下面に正圧が付与されることにより、端材は、基板載置部から離れ易くなるため、基板載置部を傾斜させると、端材はより容易に落下する。よって、端材を基板載置部から、より確実且つ円滑に落下させて、効率よく除去することができる。
【００１２】
本態様に係る基板搬出装置において、前記基板載置部は、水平方向に複数の部分に分割され、前記駆動部は、前記複数の部分をそれぞれ前記水平位置と前記傾斜位置との間で駆動させる構成とされ得る。
【００１３】
基板載置部から端材を除去するためには、端材が確実に落下し得る程度に基板載置部を傾斜させる必要がある。そのため、基板載置部の下方に基板載置部の傾斜を受け入れるためのスペースを確保しなければならない。この点、本態様に係る基板搬出装置では、基板載置部が複数の部分に分割されているため、単一の基板載置部を傾斜させる場合に比べ、各部分を所定角度だけ傾斜させるのに必要な下方のスペースを小さくできる。よって、基板搬出装置の大型化、とくに高さ方向に対する大型化を抑制することができる。また、各部分を大きく回動させ得るため、各部分上にある端材を円滑に落下させて、効率的に除去することができる。
【００１４】
本態様に係る基板搬出装置において、前記基板載置部は、前記水平方向に２つの部分に分割されるよう構成され得る。
【００１５】
この構成により、基板載置部の下方のスペースを適切に確保しつつ、２つの部分を大きく回動させ得るため、基板載置部から、非搬出対象をより円滑に落下させて、効率よく除去することができる。
【００１６】
本態様に係る基板搬出装置において、前記駆動部は、前記２つの部分の境界側の端部が下方に移動するように前記２つの部分を傾斜させて、前記２つの部分を前記傾斜位置に位置付ける構成とされ得る。
【００１７】
これにより、非搬出対象は、２つの部分がそれぞれ水平状態にあるときの各部分の境界位置付近から、２つの部分が傾斜位置に傾斜したときのそれぞれの部分の端部の位置付近までの範囲において落下する。よって、この範囲に端材を回収するための容器を設置することにより、２つの部分から端材を落下させて、容器に落下させることができる。これにより、それぞれの部分から端材をまとめて容器に回収し易くなるため、端材の回収効率が向上する。
【００１８】
本態様に係る基板搬出装置において、前記駆動部は、前記基板載置部を鉛直方向に回動可能に支持するとともに、前記水平位置と前記傾斜位置との間で前記基板載置部を回動させる駆動機構を備えるよう構成され得る。
【００１９】
この構成により、基板載置部は、水平位置から傾斜位置へと円滑に移動する。よって、端材は基板載置部から確実に落下し、除去することができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上のとおり、本発明によれば、基板の端材を基板載置部から効率的に除去することが可能な基板搬出装置を提供することができる。
【００２１】
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、実施形態に係る基板搬出装置の外観構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１の基板搬出装置から、基板、圧力付与部、および搬出装置を省略した斜視図である。
【図３】図３は、実施形態に係る基板搬出装置のシート移送部の構成を説明するための斜視図である。
【図４】図４は、実施形態に係る基板搬出装置のシートガイド部の構成を説明するための分解斜視図である。
【図５】図５は、実施形態に係る基板搬出装置の駆動部の構成を説明するための分解斜視図である。
【図６】図６は、実施形態に係る基板搬出装置の構成を示すブロック図である。
【図７】図７は、実施形態に係る基板搬出装置の動作を示すフローチャートである。
【図８】図８（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、実施形態に係る基板搬出装置の動作を模式的に示す正面図である。
【図９】図９（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る基板搬出装置の動作を模式的に示す正面図である。
【図１０】図１０（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、実施形態に係る基板搬出装置の動作を模式的に示す側面図である。
【図１１】図１１は、実施形態の変更例に係る基板搬出装置の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｘ−Ｙ平面は水平面に平行で、Ｚ軸方向は鉛直方向である。Ｚ軸正側が上方であり、Ｚ軸負側が下方である。
【００２４】
＜実施形態＞
ガラス基板およびセラミックス基板等の脆性材料基板や、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート樹脂）基板およびポリイミド樹脂基板等の樹脂基板等（以降、単に「基板」と称する。）は、種々の処理を経て最終製品となる。このような処理として、たとえば、基板を所定数の分割要素に切断する処理や、基板を切断したときに生じる端材を除去する処理、基板の表面をクリーニングする処理等がある。基板は、処理ごとに所定のステージに搬送され、処理が終了すると次の処理のために別のステージへと搬出される。本実施形態に係る基板搬出装置１は、とくに、少なくとも所定方向において複数の分割要素に分割された状態の基板Ｆを複数回にわけて搬出するための装置である。本実施形態において、所定方向は、Ｘ軸の正方向であって、分割要素の搬出方向と一致している。
【００２５】
また、本実施形態に係る基板搬出装置１には、切断の処理で生じた端材Ｒが含まれた状態の基板Ｆが搬入される。このような端材Ｒは、基板Ｆの外周に沿ように生じた端材や、分割基板どうしの間に生じた端材が含まれる。これらの端材Ｒは、搬出すべきではない対象であり、すなわち、非搬出対象である。本実施形態に係る基板搬出装置１は、端材Ｒを基板載置部２から除去するよう構成されている。
【００２６】
図１は、実施形態に係る基板搬出装置１の外観構成を示す斜視図である。図１に示すように、基板搬出装置１は、基板載置部２と、シート３と、圧力付与部４と、架台８と、シート移送部１００と、シートガイド部２００と、搬出部３００と、駆動部４００と、を備える。図２は、図１の基板搬出装置１から、基板載置部２、圧力付与部４、および搬出部３００を省略した斜視図である。
【００２７】
基板載置部２は、少なくとも所定方向において複数の分割要素に分割された基板Ｆが載置される。ここで、所定方向とは、基板Ｆの搬出方向である。また、基板Ｆは、所定方向に分割され、さらに所定方向に対して垂直に分割されてもよい。このように分割された基板Ｆは、分割要素がマス目状となっている。
【００２８】
基板載置部２は、たとえば、搬出対象となる基板Ｆを載置するための平坦面を有する部品であり、テーブルやベルトコンベア等が含まれる。図１においては、基板載置部２に対してＸ軸方向の負側からシートガイド部２００およびシート移送部１００が配されている。ここで、図１で示されている基板搬出装置１は、基板Ｆが搬送される直前の状態を示しており、基板Ｆは省略されている。図１に示されている基板搬出装置１の状態が、「初期状態」である。この初期状態には、基板Ｆが基板搬出装置１に搬入されて基板載置部２に載置され、基板Ｆの分割要素が搬出される直前の基板搬出装置１の状態も含まれる。また、基板載置部２には、多数の細孔が形成されおり、後で説明する圧力付与部４による圧力はこの細孔を通じて基板Ｆに送られる。
【００２９】
また、本実施形態では、基板載置部２は、水平方向に２つの部分に分割されており、Ｙ軸の正側および負側に位置する各部分は、それぞれ基板載置部２ａおよび２ｂである。基板載置部２ａおよび２ｂの面積や形状は同等である。
【００３０】
基板には、たとえば、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ＰＥＴ等のポリエステル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル等のポリビニル樹脂等の樹脂基板等の有機質基板（フィルムやシートも含む。以下同様）、ガラス基板やセラミックス基板等の脆性材料基板等の無機質基板があるが、本実施形態に係る基板搬出装置１の搬出対象の基板Ｆは、樹脂基板である。樹脂基板は、異なる基板が積層されていてもよく、たとえば、ＰＥＴ、ポリイミド樹脂、ＰＥＴを下層からこの順に積層した基板としてもよい。
【００３１】
シート３は、基板Ｆの上面を覆う。シート３の材質は、とくに限定されないが、高分子樹脂が好ましく、具体的には、ポリエチレン、ポリスチレン、ＰＥＴ等が好適である。
【００３２】
圧力付与部４は、空圧源を含み、基板載置部２の下面に設けられ、基板Ｆの下面に圧力を付与する。圧力付与部４が基板Ｆに圧力を付与すると、基板載置部２の下面に形成されている多数の微小な孔を通じて、基板Ｆの下面に圧力が付与される。圧力付与部４が基板Ｆに対して負圧を付与すると、基板Ｆは基板載置部２に吸着される。このため、基板Ｆを基板載置部２から離し難くなる。よって、基板Ｆの分割要素の位置ずれは抑制される。これに対して、圧力付与部４が基板Ｆに対して正圧を付与しない場合、および正圧を付与する場合、基板Ｆに対する基板載置部２の吸着が解除される。このため、基板Ｆを基板載置部２から容易に離すことができる。
【００３３】
架台８は、基板載置部２の下方に設置され、駆動部４００を支持する。架台８は、内部に空間８ａが形成されており、その上面には開口部８ｂが形成されている。図１および図２では、架台８の底面は無底であるが、有底であっても構わない。
【００３４】
シート移送部１００は、基板載置部２に載置された基板Ｆの上面にシート３を移送する。シートガイド部２００は、シート移送部１００にシート３を送り出すとき、および送り出したシート３を回収するとき、シート３を円滑に移送する。シート移送部１００およびシートガイド部２００については、追って詳細に説明する。
【００３５】
搬出部３００は、シート３で覆われていない基板Ｆの分割要素を搬出する。図１に示すように、基板搬出装置１の初期状態において、搬出部３００は、Ｘ軸方向の正側であって基板載置部２に対して上方に配されている。また、基板搬出装置１は、基板載置部２の上方であって、Ｘ軸方向に２つのレール３０１および３０２が配されている。搬出部３００は、レール３０１および３０２に係合されており、このレール３０１および３０２に沿ってＸ軸方向にスライド移動可能なように構成されている。
【００３６】
搬出部３００は、基板Ｆに吸着可能な吸着部３１０と、伸縮可能な管部材３２０と、を備える。搬出部３００は、搬出対象の分割要素の真上に吸着部３１０が位置するよう、Ｘ軸の負方向に移動する。そして、搬出部３００は、所定の位置まで移動すると、管部材３２０を延伸させ、吸着部３１０に搬出対象の分割要素を吸着させる。搬出部３００は、管部材３２０を収縮させて分割要素を持ち上げる。吸着部３１０はＹ軸方向において複数の吸着部に分割されていてもよく、Ｙ軸方向において複数に分割された分割要素を各吸着部が吸着するようにしてもよい。搬出部３００は、搬出対象の分割要素を吸着した状態で、Ｘ軸の正方向に移動し、所定の場所に分割要素を載置する。このようにして、搬出部３００は基板Ｆを分割要素ごとに搬出する。
【００３７】
駆動部４００は、基板載置部２を傾斜させる。駆動部４００は、同一の駆動機構４１０を複数備えており、本実施形態では、駆動部４００は、基板載置部２ａおよび２ｂのそれぞれに、４つの駆動機構４１０を備えている。駆動部４００についても、追って詳細に説明する。
【００３８】
図３は、実施形態に係る基板搬出装置１のシート移送部１００の構成を説明するための斜視図である。図３は、図１および図２に対応しており、シート移送部１００の初期状態を示す斜視図である。
【００３９】
図１〜図３に示すように、シート移送部１００は、搬送ローラ１１０と、搬送部１２０と、ガイドローラ１３０と、を備える。搬送ローラ１１０は、基板Ｆの上面側で基板Ｆに接触することなく転動しながらＸ軸の正方向および負方向に移動する。搬送ローラ１１０のＹ軸方向の長さは、基板載置部２のＹ軸方向の長さよりも長い。
【００４０】
搬送ローラ１１０において、Ｙ軸方向の正側に搬送ブラケット１１１ａが設けられ、Ｙ軸方向の負側に搬送ブラケット１１１ｂが設けられている。搬送ブラケット１１１ａには、Ｘ軸方向の負側から順に、プーリ１１２ａ、１１３ａ、および１１４ａが設けられている。図示しないが、搬送ブラケット１１１ｂも同様に、Ｘ軸方向の負側から順に、プーリ１１２ｂ、１１３ｂ、および１１４ｂが設けられている。また、搬送ブラケット１１１ａおよび１１１ｂの下部には、それぞれ搬送スライダ１２５ａおよび１２５ｂが設けられている。搬送スライダ１２５ａおよび１２５ｂについては、後で説明する。
【００４１】
搬送部１２０は、搬送ローラ１１０を基板Ｆの上面側で移動させる。搬送部１２０は、Ｙ軸方向の正側に、搬送ベルト１２１ａと、プーリ１２２ａと、プーリ１２３ａと、搬送レール１２４ａと、搬送スライダ１２５ａと、を備える。
【００４２】
搬送ベルト１２１ａは、基板載置部２のＸ軸方向に沿うように配されており、プーリ１２２ａおよびプーリ１２３ａに掛けられている。プーリ１２２ａは、基板載置部２に対してＸ軸方向の負側に配されており、プーリ１２３ａは、基板載置部２に対してＸ軸方向の正側に配される。プーリ１２２ａおよびプーリ１２３ａは、それぞれ固定板５ａおよび６ａに固定されており、固定板５ａおよび６ａは、基板搬出装置１のフレーム７ａに固定される。また、搬送ベルト１２１ａは、Ｘ軸の正方向から順に、搬送ブラケット１１１ａのプーリ１１２ａの下端面、プーリ１１３ａの上端面、プーリ１１４ａの下端面に当接するように掛けられる。
【００４３】
搬送ベルト１２１ａの下方には、フレーム７ａに固定されている搬送レール１２４ａが搬送ベルト１２１ａに沿って配されている。搬送スライダ１２５ａは、搬送ブラケット１１１ａの下部に設けられており、搬送レール１２４ａをスライド移動可能なように搬送レール１２４ａに取り付けられる。
【００４４】
上記した構成は、図３に示すように、Ｙ軸方向の負側も同様である。すなわち、搬送部１２０は、Ｙ軸方向の負側に、搬送ベルト１２１ｂと、プーリ１２２ｂと、プーリ１２３ｂと、搬送レール１２４ｂと、を備えており、プーリ１２２ｂおよびプーリ１２３ｂは、それぞれ固定板５ｂおよび６ｂに固定されており、固定板５ｂおよび６ｂは、基板搬出装置１のフレーム７ｂに固定される。搬送スライダ１２５ｂは、搬送ブラケット１１１ｂの下部に設けられており、搬送レール１２４ｂをスライド移動可能なように搬送レール１２４ｂに取り付けられる。また、プーリ１２２ａおよびプーリ１２２ｂは、シャフト１２６で連結されている。
【００４５】
搬送スライダ１２５ａは、図示しない駆動部から駆動力が付与されると、搬送レール１２４ａをスライド移動する。一方、搬送スライダ１２５ｂも搬送スライダ１２５ａと同様に、搬送レール１２４ｂをスライド移動する。上記のとおり、搬送ブラケット１１１ａのプーリ１１２ａ、１１３ａ、および１１４ａには、搬送ベルト１２１ａが掛けられており、搬送ブラケット１１１ｂのプーリ１１２ｂ、１１３ｂ、および１１４ｂには、搬送ベルト１２１ｂが掛けられているため、搬送ローラ１１０は安定してＸ軸方向に移動することができる。また、プーリ１２２ａおよび１２２ｂは、シャフト１２６で連結されており、プーリ１２２ａおよび１２２ｂの回転量は一致する。よって、搬送スライダ１２５ａおよび１２５ｂの移動速度は一致する。
【００４６】
図４は、実施形態に係る基板搬出装置１のシートガイド部２００の構成を説明するための分解斜視図である。図４は、図１および図２に対応しており、シートガイド部２００の初期状態を示す斜視図である。
【００４７】
図４に示すように、シートガイド部２００は、錘２１０および２２０と、シャフト２６０と、を備える。また、シートガイド部２００は、Ｙ軸方向の正側に、ガイド部材として、ガイド板２３０ａと、ガイドレール２４０ａと、ガイドスライダ２５０ａと、を備える。
【００４８】
錘２１０は、シート３がシート移送部１００によって移送されている間、シート３にテンションを付与する。錘２１０は、シャフトであり、Ｙ軸方向の端部２１０ａおよび２１０ｂにそれぞれ、軸２１１ａおよび２１１ｂが設けられている。軸２１１ａおよび２１１ｂのそれぞれには、さらに、突部２１２ａおよび２１２ｂが設けられている。錘２２０は、錘２１０と同様の部材であり、Ｙ軸方向の端部２２０ａおよび２２０ｂにそれぞれ、軸２２１ａおよび２２１ｂが設けられ、軸２２１ａおよび２２１ｂのそれぞれには、さらに、突部２２２ａおよび２２２ｂが設けられている。
【００４９】
ガイド板２３０ａには、同一のサイズである溝２３１ａおよび２３２ａがＺ軸方向に形成されている。溝２３１ａの幅は、錘２１０のシャフト部の径および突部２１２ａの径よりも小さく、軸２１１ａの径よりも大きく設定されている。溝２３１ａに錘２１０の軸２１１ａを嵌めて、軸２１１ａの先端に突部２１２ａが取り付けられる。同様に、溝２３２ａに錘２２０の軸２２１ａを嵌めて、軸２２１ａの先端に突部２２２ａが取り付けられる。これにより、錘２１０および２２０は、シート３からはみ出ることなく、安定して上下に移動できる。
【００５０】
ガイド板２３０ａには、溝２３１ａおよび２３２ａに沿うようにガイドレール２４０ａが設けられている。ガイドレール２４０ａにスライド移動可能なガイドスライダ２５０ａが取り付けられており、ガイドスライダ２５０ａは、錘２１０の突部２１２ａおよび錘２２０の突部２２２ａと係合する。
【００５１】
基板搬出装置１は、Ｙ軸方向の負側に、ガイド板２３０ａと対になるガイド板２３０ｂを備える。ガイド板２３０ｂは、ガイド板２３０ａと同様に、同一のサイズである溝２３１ｂおよび２３２ｂがＺ軸方向に形成されている。溝２３１ｂに錘２１０の軸２１１ｂが嵌められて、軸２１１ｂの先端に突部２１２ｂが取り付けられる。同様に、溝２３２ｂに錘２２０の軸２２１ｂが嵌められて、軸２２１ｂの先端に突部２２２ｂが取り付けられる。
【００５２】
また、ガイド板２３０ｂには、溝２３１ｂおよび２３２ｂに沿うように、図示しないガイドレール２４０ｂが設けられている。このガイドレール２４０ｂにスライド移動可能なガイドスライダ２５０ｂが取り付けられている。ガイドスライダ２５０ｂは、錘２１０の突部２１２ｂおよび錘２２０の突部２２２ｂに係合する。
【００５３】
シート３は、以下のようにして基板搬出装置１にセットされる。シート３は、Ｙ軸方向に延びる端縁部３ａで図示しないシート止め部により止められる。シート３は、端縁部３ａから下方に延び、錘２１０の外周面に沿うように折り返されて上方に延び、シャフト２６０の外周面に沿うように折り返されて下方に延びる。そして、シート３は、錘２２０の外周面に沿うように折り返されて上方に延び、ガイドローラ１３０の外周面に沿うように折り返される。ここから、シート３は、Ｘ軸の正方向に延び、搬送ローラ１１０の外周面に沿うように折り返されて、Ｘ軸の負方向に延び、シート３の端縁部３ｂの角部がシート挟持部２７０ａおよび２７０ｂに挟持される。図１に示すように、シート挟持部２７０ａおよび２７０ｂは、それぞれ、フレーム７ａおよび７ｂに固定されている。
【００５４】
搬送ローラ１１０がＸ軸の正方向に移動すると、ガイドスライダ２５０ａおよび２５０ｂがガイドレール２４０ａおよび２４０ｂに沿って上方にスライド移動する。この間、シート３は、錘２１０および２２０の外周面に摺接しながら上方に移動する。これにより、シート３は基板Ｆの上面側に送り出され、シート３の自重により基板Ｆの上面を覆う。錘２１０および２２０によるテンションは、シート３と搬送ローラ１１０等との摩擦力およびシート３の基板Ｆを覆う部分の自重等とつりあう程度の大きさである。
【００５５】
搬送ローラ１１０をＸ軸の負方向に移動させた場合、ガイドスライダ２５０ａおよび２５０ｂはガイドレール２４０ａおよび２４０ｂを下方にスライド移動する。この間、シート３は錘２１０および２２０に摺接しながら下方に移動する。これにより、基板Ｆの上面に送り出されたシート３は、元の状態つまり折り畳まれた状態へと戻る。
【００５６】
図５は、本実施形態に係る基板搬出装置１の駆動部４００の構成を説明するための分解斜視図である。駆動部４００は、図５に示すように、駆動機構４１０と、空圧源４２０と、を備える。空圧源４２０は、図６に示す。駆動機構４１０は、シリンダ４１１と、ロッド４１２と、支持部材４１３と、回転軸４１４と、を備える。本実施形態に係る基板搬出装置１の駆動部４００には、Ｙ軸の正側および負側、つまり、基板載置部２ａおよび２ｂのそれぞれに、４つの駆動機構４１０が配設されている。図５に示されている駆動部４００の状態は、図１および図２に対応しており、シート移送部１００、シートガイド部２００、および搬出部３００と同様に、初期状態である。
【００５７】
シリンダ４１１は、内部にロッド４１２を収容しており、シリンダ４１１の長手方向はＹ軸方向に平行となるように配される。
【００５８】
支持部材４１３は、基板載置部２ａの下面に配され、基板載置部２ａを下面から支持する。支持部材４１３の上面は、基板載置部２ａの下面に当接する面であり、支持面４１３ａである。支持面４１３ａから連続し、Ｘ軸方向に対向する側面４１３ｂにおいて、シリンダ４１１に近い方の端部に回転軸４１４を挿通するための軸孔４１３ｃが形成されている。支持部材４１３の側面４１３ｂの下部には、把持部４１３ｄが形成されている。ロッド４１２においてシリンダ４１１と反対側の端部４１２ａに、支持部材４１３の把持部４１３ｄを把持する把持部材４１５が取り付けられている。把持部材４１５が把持部４１３ｄを把持することにより、シリンダ４１１とロッド４１２および支持部材４１３が連結する。図１および図５に示すように、基板搬出装置１の初期状態では、支持部材４１３の支持面４１３ａは、基板載置部２を水平位置に位置付ける。
【００５９】
シリンダ４１１は、シリンダ４１１のロッド４１２から遠い方の端部４１１ａに連結している連結部材４１６によって架台８と連結されて、固定される。回転軸４１４は、各駆動機構４１０のそれぞれの軸孔４１３ｃに挿通される。
【００６０】
駆動機構４１０は、ロッド４１２がシリンダ４１１を摺動することにより、基板載置部２ａおよび２ｂを水平位置と傾斜位置とに位置付ける。具体的には、図６に図示される空圧源４２０からシリンダ４１１に負圧が付与されると、ロッド４１２は、シリンダ４１１の端部４１１ａの方へ摺動する。このとき、ロッド４１２の端部４１２ａに連結している支持部材４１３の把持部４１３ｄも端部４１１ａの方に移動する。これにより、支持部材４１３は、回転軸４１４を中心に下方に回動し、支持面４１３ａは下方に傾斜する。
【００６１】
支持部材４１３の傾斜角度、すなわち、基板載置部２の傾斜角度は、基板載置部２や基板Ｆのサイズや重量に応じて適宜設定されるが、好ましくは、４５度〜９０度の範囲である。この範囲であれば、基板載置部２上に散在している端材Ｒを円滑に落下させ、除去することができる。
【００６２】
駆動機構４１０が配される間隔や個数は、基板載置部２ａおよび基板Ｆのサイズや重量に応じて適宜調整される。本実施形態に係る基板搬出装置１では、駆動機構４１０は、基板載置部２ａおよび２ｂのそれぞれに４つずつ配設されているが、少なくとも１つ配設されていればよく、また、これより多く配設しても構わない。
【００６３】
また、回転軸４１４の両端には、スタンド９およびスタンド１０が配設されている。スタンド９は、架台８に固定されており、フレーム７ａおよび７ｂを支持する。スタンド１０は、架台８に固定されており、フレーム７ａおよび７ｂを支持する。スタンド１０は、さらに、固定板６ａおよび６ｂを支持する。
【００６４】
図６は、基板搬出装置１の構成を示すブロック図である。図６に示すように、基板搬出装置１は、図１に示した基板載置部２と、圧力付与部４と、シート移送部１００と、シートガイド部２００と、搬出部３００と、駆動部４００と、を備え、さらに、入力部２０と、検出部３０と、制御部４０と、を備える。
【００６５】
入力部２０は、搬出部３００によって搬出される基板Ｆの分割要素の数を受け付ける。検出部３０は、搬送ローラ１１０の位置を検出する。検出部３０は、たとえば、エンコーダであってもよく、この場合、図２に示すように、プーリ１２２ｂにサーボモータ１２７を設けることができる。エンコーダは、サーボモータ１２７の回転数を検出して、搬送ローラ１１０の位置を制御する。この他、検出部３０は、搬送ローラ１１０の位置を適切に検出できればよく、たとえば、センサや、撮像装置等でもよい。
【００６６】
制御部４０は、ＣＰＵ等の演算処理回路や、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク等のメモリを含んでいる。制御部４０は、メモリに記憶されたプログラムに従って各部を制御する。
【００６７】
図７は、実施形態１に係る基板搬出装置１の動作を示すフローチャートである。この制御は、図６に示した制御部４０が実行する。以下、制御部４０による制御を、適宜、図８（ａ）〜（ｄ）、図９（ａ）、（ｂ）、および図１０（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。図８（ａ）〜（ｄ）、図９（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、基板搬出装置１の動作を模式的に示す正面図である。図１０（ａ）〜（ｃ）は、基板搬出装置１の動作を模式的に示す側面図である。
【００６８】
図８（ａ）で示されている基板搬出装置１の状態は、初期状態である。ここで、基板Ｆは基板搬出装置１に搬入される前段階で、所定数の分割要素に切断される工程を経ており、基板Ｆを切断するときに生じる端材Ｒを含めて、基板Ｆは基板搬出装置１に搬出される。初期状態では、搬出部３００は、Ｘ軸方向の正側であって上方に待機しており、錘２１０および２２０は、それぞれ、溝２３１ａおよび２３２ａの最下端に位置している。つまり、溝２３１ａおよび２３２ａの最下端に突部２１２ａおよび２２２ａが位置している。また、制御部４０は、圧力付与部４に、基板Ｆに対して負圧を付与させ、基板Ｆを基板載置部２ａおよび２ｂに吸着させる。図７のフローチャートにおいて、「スタート」時の基板搬出装置１の状態は、図８（ａ）で示されている基板搬出装置１の初期状態である。
【００６９】
制御部４０は、入力部２０に、１回の搬出作業で搬出部３００が搬出すべき基板Ｆの分割要素の数を受け付けさせる。この数は、基板Ｆのサイズや分割要素のサイズ等に応じて適宜、ユーザが決定することができる。あるいは、たとえば、予め、基板の種類ごとに搬出する分割要素の数を制御部４０に記憶させておき、ユーザが基板の種類を入力部２０に入力すれば、制御部４０が搬出する分割要素の数を読み出すように設定してもよい。基板搬出装置１は、基板Ｆの最もＸ軸の正側に位置する分割要素Ａから順に、Ｘ軸の負側に向かって分割要素を搬出する。
【００７０】
搬出動作が開始されると、制御部４０は、図８（ｂ）に示すように、搬送ローラ１１０をＸ軸の正方向へ移動させ、分割要素Ａ以外をシート３で覆わせる（Ｓ１１）。このとき、制御部４０は、搬送ローラ１１０を移動させた距離だけ、シートガイド部２００にシート３を送り出させる。これにより、ガイドスライダ２５０ａがガイドレール２４０ａを上方にスライド移動し、錘２１０および２２０はシート３に摺接しながら上昇する。
【００７１】
次いで、制御部４０は、搬出部３００の吸着部３１０に分割要素Ａを吸着させる（Ｓ１２）。この時点では、制御部４０は、圧力付与部４に基板Ｆに対して負圧を付与させている。これにより、吸着部３１０は、基板載置部２ａおよび２ｂ上に整列した状態の分割要素Ａを確実に吸着することができる。この後、制御部４０は、圧力付与部４に基板Ｆに対して正圧を付与させる（Ｓ１３）。これにより、基板載置部２ａおよび２ｂと基板Ｆとの吸着状態が解除される。そして、図８（ｃ）に示すように、制御部４０は、搬出部３００に分割要素Ａを搬出させる（Ｓ１４）。このとき、基板Ｆにおいて、分割要素Ａ以外の分割要素はシート３に覆われているため、基板Ｆの下面に空気が送り出されても基板Ｆの分割要素に位置ずれは生じない。また、基板載置部２ａおよび２ｂと基板Ｆとの吸着状態は解除されているため、分割要素Ａは基板載置部２ａおよび２ｂから離れ易い状態となっている。よって、制御部４０は、搬出部３００に分割要素Ａを円滑に搬出させることができる。このとき、端材Ｒが基板載置部２ａおよび２ｂ上に残る。
【００７２】
搬出部３００が分割要素Ａを搬出した後、制御部４０は、搬出すべき基板Ｆの分割要素があるか否か判断する（Ｓ１５）。搬出すべき基板Ｆの分割要素がある場合、ステップＳ１６へ進む。一方、搬出すべき基板Ｆの分割要素がない、つまり、全ての分割要素を搬出した場合、基板Ｆの搬出は終了する。
【００７３】
ステップＳ１５でＮＯの場合、制御部４０は、圧力付与部４に基板Ｆに対して負圧を付与させる（Ｓ１６）。これにより、基板Ｆは基板載置部２ａおよび２ｂに吸着される。
【００７４】
ステップＳ１６の後、制御部４０は、基板Ｆの分割要素が全て搬出されるまで、ステップＳ１１〜Ｓ１６を繰り返すよう制御する。たとえば、制御部４０は、搬送ローラ１１０をＸ軸の負方向に移動させ、基板Ｆの分割要素Ｂ以外をシート３で覆わせる（Ｓ１１）。このとき、錘２１０および２２０は、シート３に摺接しながら下降し、シート３は搬送ローラ１１０がＸ軸の負方向に移動した長さだけ折り畳まれる。この状態を示した図が、図８（ｄ）である。この後は、上記したステップと同様である。このようにして、基板搬出装置１は、基板Ｆの搬出を分割要素ごとに行う。
【００７５】
図９（ａ）に示すように、搬出部３００による基板Ｆの搬出作業が進行するにつれて、基板載置部２ａおよび２ｂ上には端材Ｒが残る。基板Ｆの分割要素が全て搬出されると、図９（ｂ）に示すように、制御部４０は、搬送ローラ１１０および搬出部３００を初期状態に戻す。基板Ｆが搬出された後の基板載置部２ａおよび２ｂ上には、端材Ｒが散在している。
【００７６】
次に、基板搬出装置１は、図１０（ａ）に示されているような、基板載置部２ａおよび２ｂ上に散在している端材Ｒを除去する。制御部４０が駆動部４００の空圧源４２０に対して、シリンダ４１１に負圧を付与するよう制御すると、図１０（ｂ）に示すように、ロッド４１２がシリンダ４１１の端部４１１ａ側に摺動する。このとき、ロッド４１２の端部４１２ａに連結している支持部材４１３の把持部４１３ｄは端部４１１ａの方に移動する。これにより、支持部材４１３は、回転軸４１４を中心に下方に回動し、支持面４１３ａは下方に傾斜する。よって、基板載置部２ａおよび２ｂは下方に傾斜する。
【００７７】
基板載置部２ａおよび２ｂに散在している端材Ｒは、傾斜した基板載置部２ａおよび２ｂの上面を滑り落ちる。制御部４０が駆動部４００の空圧源４２０に対してシリンダ４１１に負圧を付与するよう制御し続けると、図１０（ｃ）に示すように、支持部材４１３は、支持面４１３ａが所定の角度まで傾斜するように回動する。よって、基板載置部２ａおよび２ｂは所定の角度まで傾斜する。端材Ｒは、傾斜した基板載置部２ａおよび２ｂの上面を滑り落ち、基板載置部２ａおよび２ｂから除去される。（Ｓ１７）。
【００７８】
図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように、架台８の空間８ａにおいて、基板載置部２ａおよび２ｂの下方に、落下した端材Ｒを回収するための容器Ｐを設けてもよい。容器Ｐのサイズは、基板載置部２のサイズに応じて適切なものを設置すればよい。
【００７９】
基板載置部２ａおよび２ｂ上に散在していた端材Ｒが基板載置部２ａおよび２ｂから完全に除去され、制御部４０は、空圧源４２０に対してシリンダ４１１に正圧を付与するよう制御すると、ロッド４１２は、シリンダ４１１から遠ざかる側に摺動する。これにより、支持部材４１３の把持部４１３ｄはシリンダ４１１から遠ざかる側に移動する。このとき、支持部材４１３は、回転軸４１４を中心に上方に回動し、支持面４１３ａは水平位置に位置付けられる。よって、基板載置部２ａおよび２ｂは、水平位置に位置付けられる（Ｓ１８）。ステップＳ１８における基板搬出装置１の状態は、図８（ａ）に示されている初期状態である。
【００８０】
このようにして、基板Ｆは分割要素ごとに搬出され、基板載置部２ａおよび２ｂ上に散在していた端材Ｒが基板載置部２ａおよび２ｂから除去された後、新しい基板Ｆが基板搬出装置１に搬入される。
【００８１】
＜実施形態の効果＞
本実施形態によれば、以下の効果が奏される。
【００８２】
図８（ａ）〜（ｄ）に示すように、基板Ｆの分割要素のうちの搬出対象以外の分割要素はシート３で覆われる。つまり、シート３で覆われている領域は、シート３の自重で押さえられている。ここで、シート３がない状態で基板Ｆの搬出対象の分割要素が搬出される場合、基板Ｆの搬出対象以外の分割要素（後続の搬出動作において搬出対象となる分割要素）は位置ずれが生じ易くなる。基板Ｆは整列した状態で基板搬出装置１に搬入されてきたのにも関わらず、搬出動作において搬出対象となる分割要素に位置ずれが生じていると、円滑に搬出し難い。本実施形態であれば、搬出対象の分割要素以外はシート３で押さえられているため、このシート３に覆われた基板Ｆの分割要素にはずれが生じない。このため、搬出部３００は、後続の搬出動作において、残りの分割要素を円滑且つ適切に搬出することができる。
【００８３】
また、シート３で覆われていない分割要素が搬出の対象であると明確に分かるため、搬出部３００はこの分割要素を確実に搬出することができる。
【００８４】
図１に示すように、基板搬出装置１は圧力付与部４を備える。これにより、圧力付与部４によって基板Ｆに対する負圧が解除される、または、基板Ｆに正圧が付与されると、基板載置部２と基板Ｆとの吸着状態が解除されるため、基板載置部２から基板Ｆが離れ易くなる。この場合、基板Ｆの分割要素は位置ずれが生じやすくなる。しかし、本実施形態であれば、搬出対象の分割要素以外はシート３で覆われて、シート３の自重で押さえられているため、圧力付与部４が基板Ｆに負圧を付与しなくとも、または圧力付与部４が基板Ｆに正圧を付与するとしても、シート３で覆われた分割要素に位置ずれは生じない。よって、搬出部３００は、搬出対象の分割要素を円滑に搬出するとともに、残りの分割要素を後続の搬出動作において円滑且つ適切に搬出することができる。
【００８５】
図８（ａ）〜（ｄ）に示すように、錘２１０および２２０は、シート３に取り付けるのではなく、シート３に乗せられている。このように、錘２１０および２２０の重力を用いる簡素な構成により、シート３には適度なテンションが付与される。よって、シート３の自重で適切に基板Ｆの表面に被せることができる。
【００８６】
また、錘２１０および２２０は、外周面が円弧状となっている。このため、錘２１０および２２０の円弧状の部分がシート３に摺接しながら、シート３の移動により上下に動くようになる。よって、搬送ローラ１１０の移動によりシート３が移送されている間、錘２１０および２２０はシート３に適切にテンションを付与し続けることができる。なお、錘２１０および２２０は、シート３の移動により回転しながら上下に動くようにしてもよい。
【００８７】
また、錘２１０および２２０は、ガイド板２３０ａおよび２３０ｂに形成された溝をスライダによって上下に移動するように構成される。これにより、錘２１０および２２０がシート３からずれることを抑制でき、シート３に安定的にテンションを付与することができる。
【００８８】
シート３の材質は、たとえば、ポリエチレンであり、柔軟性を有し、搬送ローラ１１０は基板Ｆに対して非接触である。シート３は、自重で基板Ｆを覆うため、搬送ローラ１１０は基板Ｆを損傷することなく基板Ｆの上面を覆うことができる。
【００８９】
図８（ａ）〜（ｄ）および図７のステップＳ１２およびＳ１６に示すように、制御部４０は、搬出部３００による分割要素の吸着および搬出のタイミングに合わせて、圧力付与部４に基板Ｆに対して正圧または負圧を付与さ、または圧力の付与を解除する。つまり、制御部４０は、圧力付与部４に、基板載置部２と基板Ｆとの吸着状態を維持または解除させる。これにより、基板Ｆの上面がシート３で覆われている間、基板載置部２と基板Ｆとの吸着状態を解除（圧力の付与を解除または正圧を付与）させても、基板Ｆの分割要素に位置ずれは生じない。よって、後続の搬出動作を円滑に行うことができる。また、シート３で覆われていない搬出対象である分割要素も、搬出部３００の吸着部３１０に吸着されて搬出されるまでの間、シート３で覆われている分割要素と分割された状態ではあるが一体的に連なった状態にあるため位置ずれが生じない。よって、搬出部３００は、搬出対象の分割要素を円滑且つ確実に搬出することができる。
【００９０】
図５に示すように、シリンダ４１１の内部を正圧または負圧にすることによって、支持部材４１３が水平位置から傾斜位置に位置付けられる。これにより、基板載置部２に散在していた端材Ｒは、基板載置部２上を滑り落ちる。このように、端材Ｒは基板載置部２から円滑に落下し、基板載置部２から効率的に除去される。
【００９１】
図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように、端材Ｒは、基板載置部２が水平状態にあるとき、２つの部分に分けられており、各部分の境界位置付近から、各部分が傾斜位置に傾斜したときの各部分の端部の位置付近までの範囲において落下するため、この範囲に端材Ｒの回収用の容器Ｐを設置すればよい。これにより、基板載置部２から端材Ｒを円滑且つ効率よく落下させて、除去することができる。また、基板載置部２から端材Ｒをまとめて回収し易くなるため、端材Ｒの回収効率が向上する。
【００９２】
また、基板載置部２を、上記のように分割しているため、単一の基板載置部２を傾斜させる場合に比べ、各部分を所定角度だけ傾斜させるのに必要な下方のスペースを小さくできる。よって、基板搬出装置１の大型化、とくに高さ方向に対する大型化を抑制することができる。また、各部分を大きく回動させ得るため、各部分上にある端材Ｒを円滑に落下させて、効率的に除去することができる。
【００９３】
＜実施形態の変更例＞
上記の実施形態では、図７のフローチャートにおいて、ステップＳ１５がＮＯの場合、つまり、基板Ｆの分割要素が全て搬出された場合、ステップＳ１７に進み、端材Ｒが基板載置部２から除去されていた。上記したとおり、基板Ｆが載置された基板載置部２に正圧が付与されると、基板Ｆは基板載置部２から容易に離れられる。そこで、実施形態の変更例では、図１１のフローチャートに示すように、ステップＳ１５において、基板Ｆの分割要素が全て搬出された場合、制御部４０は、基板載置部２ａおよび２ｂに対して、圧力付与部４に正圧を付与させる。これにより、端材Ｒは、基板載置部２ａおよび２ｂから容易に離れることができる。この状態でステップＳ１８にて、制御部４０が支持部材４１３を下方に傾斜させると、端材Ｒは、基板載置部２ａおよび２ｂの上面に沿ってより円滑に滑り落ちる。よって、端材Ｒをより効率的に基板載置部２ａおよび２ｂから除去することができる。ステップＳ１８は、実施形態における図７のステップＳ１７に相当する処理である。
【００９４】
図１１に示すように、ステップＳ１８で端材Ｒが基板載置部２ａおよび２ｂから完全に除去された後、ステップＳ１９にて、基板載置部２ａおよび２ｂは制御部４０により再び水平位置に位置付けられる。ステップＳ１９は、図７のステップＳ１８に相当する処理である。
【００９５】
＜他の実施形態＞
（１）基板載置部の分割について
上記の実施形態では、基板載置部２が２つの部分に分割されていたが、たとえば、基板載置部２のサイズが比較的小さい場合、基板載置部２の下方にスペースを確保し易いため、基板載置部２を分割する必要はない。あるいは、基板載置部２のサイズが大きい場合でも、基板載置部２の下方に基板載置部２を傾斜させたときに受け入れ可能なスペースを確保できるのであれば、基板載置部２を分割する必要はない。
【００９６】
また、基板載置部２を３つ以上の部分に分割し、各部分に駆動機構４１０を配設すればよい。この場合、駆動機構４１０の数は、各部分や基板Ｆのサイズや重量に応じて配設することもできる。また、基板載置部２を分割する場合、何分割するかは、基板載置部２のサイズや、基板搬出装置１全体のサイズによって適宜変更することができる。
【００９７】
（２）錘の形状について
上記の実施形態では、錘２１０および２２０にシャフトを用いており、外周面の形状は円形であった。ここで、錘２１０および２２０は、シート３を摺接することが可能な形状でればよく、外周面の形状は円形に限られない。
【００９８】
そこで、錘２１０および２２０は、外周面の少なくとも一部が外側に凸の曲面となるように形成され得る。そのような形状として、たとえば、凸の曲面以外の部分は、凹状に形成されていてもよく、直線状であってもよい。このような形状に錘２１０および２２０を形成しても、シート３は、凸の曲面部分に摺接することが可能である。
【００９９】
本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【０１００】
１…基板搬出装置
２…基板載置部
２ａ、２ｂ…基板載置部
３…シート
４…圧力付与部
３００…搬出部
４００…駆動部
４１０…駆動機構
Ｆ…基板
Ｒ…端材
【図１】
2019102540.tif 000003
【図２】
2019102540.tif 000004
【図３】
2019102540.tif 000005
【図４】
2019102540.tif 000006
【図５】
2019102540.tif 000007
【図６】
2019102540.tif 000008
【図７】
2019102540.tif 000009
【図８】
2019102540.tif 000010
【図９】
2019102540.tif 000011
【図１０】
2019102540.tif 000012
【図１１】
2019102540.tif 000013