(57)【要約】【課題】真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、熱の影響によるアームの上下左右方向への変形を抑制することが可能な産業用ロボットを提供する。【解決手段】この産業用ロボットでは、ハンド支持部材７を前後方向へ案内するガイドレール２９およびハンド支持部材８を前後方向へ案内するガイドレール３０は、アームフレーム２３の左右方向の両端側に固定され、ガイドレール３０は、ガイドレール２９の上側に配置されている。ガイドレール２９とガイドレール３０とは、同じ金属材料で同形状に形成され、アームフレーム２３は、ガイドレール２９、３０と線膨張係数の異なる金属材料で形成されている。アームフレーム２３は、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成され、ガイドレール２９、３０は、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、
前記搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、前記第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、前記第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、前記第１ハンド支持部材と前記第２ハンド支持部材とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように前記第１ハンド支持部材および前記第２ハンド支持部材を保持するアームと、前記アームに対して前記第１ハンド支持部材を往復移動させる第１駆動機構と、前記アームに対して前記第２ハンド支持部材を往復移動させる第２駆動機構とを備えるとともに、
前記アームに対する前記第１ハンド支持部材および前記第２ハンド支持部材の移動方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、
前記第１ハンド支持部材を前後方向へ案内する第１ガイド機構と、前記第２ハンド支持部材を前後方向へ案内する第２ガイド機構とを備え、
前記第１ガイド機構は、前記アームのフレームであるアームフレームの左右方向の両端側のそれぞれに固定される第１ガイドレールと、前記第１ハンド支持部材に固定されるとともに前記第１ガイドレールに係合する第１ガイドブロックとを備え、
前記第２ガイド機構は、前記アームフレームの左右方向の両端側のそれぞれにかつ前記第１ガイドレールの上側または下側に固定される第２ガイドレールと、前記第２ハンド支持部材に固定されるとともに前記第２ガイドレールに係合する第２ガイドブロックとを備え、
前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとは、同形状に形成されるとともに、同じ金属材料で形成され、
前記アームフレームは、前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールと線膨張係数の異なる金属材料で形成されるとともに、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成され、
前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとは、前後方向から見たときに前記アームフレームに対して上下左右方向で対称となる位置で前記アームフレームに固定されていることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記アームが回動可能に連結される本体部を備え、
前記アームの中心が前記本体部に連結されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項３】
前記アームフレームは、アルミニウム合金で形成され、
前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールは、ステンレス鋼で形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。
【請求項４】
前記アームフレームは、前記アームフレームの左右の側面を構成する平板状の右側板部および左側板部と、前記アームフレームの上下の側面を構成する平板状の上側板部および下側板部とを備え、
前記右側板部は、前記右側板部の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、
前記左側板部は、前記左側板部の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、
前記上側板部は、前記上側板部の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、
前記下側板部は、前記下側板部の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、
前記第１ガイドレールは、前記右側板部および前記左側板部に固定され、
前記第２ガイドレールは、前記右側板部および前記左側板部に固定され、
前後方向から見たときに、前記右側板部と前記左側板部とは、左右方向における前記アームフレームの中心に対して左右対称に配置され、前記上側板部と前記下側板部とは、上下方向における前記アームフレームの中心に対して上下対称に配置され、
前記右側板部に固定される前記第１ガイドレールと前記左側板部に固定される前記第１ガイドレールとは、上下方向において同じ位置に配置され、
前記右側板部に固定される前記第２ガイドレールと前記左側板部に固定される前記第２ガイドレールとは、上下方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項５】
前記第１ガイド機構は、前後方向で分割された複数の前記第１ガイドレールを備え、
前記第２ガイド機構は、前後方向で分割された複数の前記第２ガイドレールを備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項６】
前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールは、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルトによって前記アームフレームに固定され、
前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールには、前記ボルトの一部が配置される複数の配置穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成され、
前記アームフレームには、前記ボルトの軸部に形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成され、
複数の前記配置穴のうちの少なくとも１個の前記配置穴の、前後方向の幅は、前記ボルトの外径よりも広くなっており、
前後方向の幅が前記ボルトの外径よりも広くなっている前記配置穴を第１配置穴とすると、
前後方向における前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールの長さは、前記アームの周囲温度が変動して前記第１ガイドレール、前記第２ガイドレールおよび前記アームフレームが伸縮しても、前後方向における前記第１配置穴の側面と前記ボルトとの間に隙間が形成される長さに設定されていることを特徴とする請求項５記載の産業用ロボット。
【請求項７】
前記配置穴は、前記ボルトの前記軸部の一部が配置される軸部配置穴と、前記ボルトの頭部が配置される頭部配置穴とから構成され、
前記第１配置穴の前記軸部配置穴を第１軸部配置穴とし、前記第１配置穴の前記頭部配置穴を第１頭部配置穴とすると、
前後方向における前記第１軸部配置穴の幅は、前記ボルトの前記軸部の外径よりも広くなっており、
前後方向における前記第１頭部配置穴の幅は、前記ボルトの前記頭部の外径よりも広くなっており、
前後方向における前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールの長さは、前記アームの周囲温度が変動して前記第１ガイドレール、前記第２ガイドレールおよび前記アームフレームが伸縮しても、前後方向における前記第１軸部配置穴の側面と前記ボルトの前記軸部との間に隙間が形成され、かつ、前後方向における前記第１頭部配置穴の側面と前記ボルトの前記頭部との間に隙間が形成される長さに設定されていることを特徴とする請求項６記載の産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材を保持するアームと、アームを保持するアーム支持部材とを備えている。アームは、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材は、アームに対して前後方向へ直線的に往復移動可能となっている。アームは、アーム支持部材に対して前後方向へ直線的に往復移動可能となっている。
【０００３】
また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、アームに対して第１ハンド支持部材を往復移動させる第１駆動機構と、アームに対して第２ハンド支持部材を往復移動させる第２駆動機構と、アーム支持部材に対してアームを往復移動させる第３駆動機構とを備えている。第１駆動機構は、外周面にオネジが形成される第１ネジ部材と、第１ハンド支持部材に固定されるとともに第１ネジ部材に係合する第１ナット部材と、第１ネジ部材を回転させる第１モータとを備えている。第２駆動機構は、外周面にオネジが形成される第２ネジ部材と、第２ハンド支持部材に固定されるとともに第２ネジ部材に係合する第２ナット部材と、第２ネジ部材を回転させる第２モータとを備えている。第３駆動機構は、外周面にオネジが形成される第３ネジ部材と、アーム支持部材に固定されるとともに第３ネジ部材に係合する第３ナット部材と、第３ネジ部材を回転させる第３モータとを備えている。
【０００４】
特許文献１に記載の産業用ロボットでは、アームの左側面に、第１ハンド支持部材を前後方向へ案内するための２本の第１ガイドレールが固定され、アームの右側面に、第２ハンド支持部材を前後方向へ案内するための２本の第２ガイドレールが固定されている。また、アームの下面には、アームを前後方向へ案内するための２本の第３ガイドレールが固定されている。なお、アームの剛性をある程度確保しつつ、アームを軽量化するために、アームは、たとえば、アルミニウム合金で形成されている。また、ガイドレールの剛性を確保するために、第１〜第３ガイドレールは、たとえば、ステンレス鋼で形成されている。
【０００５】
また、従来、真空中でガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。この産業用ロボットは、トランスファーチャンバーと、トランスファーチャンバーを囲むように配置される複数のプロセスチャンバーとを備える製造システムに組み込まれて使用される。トランスファーチャンバーおよびプロセスチャンバーの内部は、真空になっている。
【０００６】
特許文献２に記載の産業用ロボットのハンドおよびアームは、トランスファーチャンバーの中に配置されている。プロセスチャンバーには、各種の機器が設置されており、プロセスチャンバーでは、ガラス基板に対する各種の処理が実行される。特許文献２に記載の産業用ロボットは、プロセスチャンバーからのガラス基板の搬出やプロセスチャンバーへのガラス基板の搬入を行う。なお、プロセスチャンバーでは、高温環境下でガラス基板に対する処理が実行されることがあり、高温環境下でガラス基板の処理が実行されるプロセスチャンバーでは、その内部温度が高くなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１５−８０８２８号公報
【特許文献２】特開２０１５−１３９８５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本願発明者は、特許文献２に記載の産業用ロボットのように真空中でガラス基板等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットとして、特許文献１に記載の産業用ロボットのようにアームに対して直線的に往復移動する第１ハンドおよび第２ハンドを有する産業用ロボットの採用を検討している。
【０００９】
特許文献１に記載の産業用ロボットによって、高温環境下でガラス基板の処理が実行されるプロセスチャンバー（すなわち、高温になっているプロセスチャンバー）に対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合、アームが高温のプロセスチャンバーに近づいて、アームに固定される第１〜第３ガイドレールおよびアームの温度が上昇する。特許文献１に記載の産業用ロボットでは、たとえば、アームがアルミニウム合金で形成されるとともに、第１〜第３ガイドレールがステンレス鋼で形成されており、アームと第１〜第３ガイドレールの線膨張係数とが異なる。そのため、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、高温のプロセスチャンバーに近づいた第１〜第３ガイドレールおよびアームの温度が上昇して、第１〜第３ガイドレールおよびアームが伸びると、前後方向に直交する方向（すなわち、第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材の移動方向に直交する方向）へアームが変形するおそれがある。
【００１０】
そこで、本発明の課題は、アームに対して前後方向へ直線的に往復移動する第１ハンドおよび第２ハンドを有するとともに真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、熱の影響によるアームの上下左右方向への変形を抑制することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第１ハンド支持部材と第２ハンド支持部材とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材を保持するアームと、アームに対して第１ハンド支持部材を往復移動させる第１駆動機構と、アームに対して第２ハンド支持部材を往復移動させる第２駆動機構とを備えるとともに、アームに対する第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材の移動方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、第１ハンド支持部材を前後方向へ案内する第１ガイド機構と、第２ハンド支持部材を前後方向へ案内する第２ガイド機構とを備え、第１ガイド機構は、アームのフレームであるアームフレームの左右方向の両端側のそれぞれに固定される第１ガイドレールと、第１ハンド支持部材に固定されるとともに第１ガイドレールに係合する第１ガイドブロックとを備え、第２ガイド機構は、アームフレームの左右方向の両端側のそれぞれにかつ第１ガイドレールの上側または下側に固定される第２ガイドレールと、第２ハンド支持部材に固定されるとともに第２ガイドレールに係合する第２ガイドブロックとを備え、第１ガイドレールと第２ガイドレールとは、同形状に形成されるとともに、同じ金属材料で形成され、アームフレームは、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールと線膨張係数の異なる金属材料で形成されるとともに、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成され、第１ガイドレールと第２ガイドレールとは、前後方向から見たときにアームフレームに対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレームに固定されていることを特徴とする。
【００１２】
本発明の産業用ロボットでは、第１ガイドレールと第２ガイドレールとは、同形状に形成されるとともに同じ金属材料で形成されている。そのため、本発明では、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合に、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの温度が上昇しても、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールは、前後方向へ同じように伸縮する。また、本発明では、アームフレームの左右方向の両端側のそれぞれに固定される第１ガイドレールと、アームフレームの左右方向の両端側のそれぞれにかつ第１ガイドレールの上側または下側に固定される第２ガイドレールとは、前後方向から見たときにアームフレームに対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレームに固定されている。
【００１３】
すなわち、本発明では、前後方向から見たときにアームフレームに対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレームに固定されている第１ガイドレールおよび第２ガイドレールは、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの温度が上昇すると、前後方向へ同じように伸縮する。また、本発明では、アームフレームが、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成されているため、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合に、アームフレームの温度が上昇しても、アームフレームは、上下左右方向へは変形しにくい。
【００１４】
したがって、本発明では、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合に、線膨張係数が異なる第１、第２ガイドレールおよびアームフレームの温度が上昇しても、アームのフレームであるアームフレームの上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。その結果、本発明では、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、熱の影響によるアームの上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。
【００１５】
本発明において、産業用ロボットは、たとえば、アームが回動可能に連結される本体部を備え、アームの中心が本体部に連結されている。この場合には、特許文献１に記載の産業用ロボットのようにアームの下面にガイドレールを固定する必要がなくなる。また、本発明において、たとえば、アームフレームは、アルミニウム合金で形成され、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールは、ステンレス鋼で形成されている。
【００１６】
本発明において、たとえば、アームフレームは、アームフレームの左右の側面を構成する平板状の右側板部および左側板部と、アームフレームの上下の側面を構成する平板状の上側板部および下側板部とを備え、右側板部は、右側板部の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、左側板部は、左側板部の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、上側板部は、上側板部の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、下側板部は、下側板部の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、第１ガイドレールは、右側板部および左側板部に固定され、第２ガイドレールは、右側板部および左側板部に固定され、前後方向から見たときに、右側板部と左側板部とは、左右方向におけるアームフレームの中心に対して左右対称に配置され、上側板部と下側板部とは、上下方向におけるアームフレームの中心に対して上下対称に配置され、右側板部に固定される第１ガイドレールと左側板部に固定される第１ガイドレールとは、上下方向において同じ位置に配置され、右側板部に固定される第２ガイドレールと左側板部に固定される第２ガイドレールとは、上下方向において同じ位置に配置されている。
【００１７】
本発明において、たとえば、第１ガイド機構は、前後方向で分割された複数の第１ガイドレールを備え、第２ガイド機構は、前後方向で分割された複数の第２ガイドレールを備えている。
【００１８】
本発明において、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールは、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルトによってアームフレームに固定され、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールには、ボルトの一部が配置される複数の配置穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成され、アームフレームには、ボルトの軸部に形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成され、複数の配置穴のうちの少なくとも１個の配置穴の、前後方向の幅は、ボルトの外径よりも広くなっており、前後方向の幅がボルトの外径よりも広くなっている配置穴を第１配置穴とすると、前後方向における第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの長さは、アームの周囲温度が変動して第１ガイドレール、第２ガイドレールおよびアームフレームが伸縮しても、前後方向における第１配置穴の側面とボルトとの間に隙間が形成される長さに設定されていることが好ましい。
【００１９】
このように構成すると、第１、第２ガイドレールの線膨張係数とアームフレームの線膨張係数とが異なっていても、第１、第２ガイドレールおよびアームフレームの温度が上昇して第１、第２ガイドレールおよびアームフレームが前後方向へ伸縮したときの第１配置穴の側面とボルトとの接触を防止することが可能になる。したがって、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、熱の影響によるアームフレームの上下左右方向への変形を効果的に抑制することが可能になる。
【００２０】
本発明において、たとえば、配置穴は、ボルトの軸部の一部が配置される軸部配置穴と、ボルトの頭部が配置される頭部配置穴とから構成され、第１配置穴の軸部配置穴を第１軸部配置穴とし、第１配置穴の頭部配置穴を第１頭部配置穴とすると、前後方向における第１軸部配置穴の幅は、ボルトの軸部の外径よりも広くなっており、前後方向における第１頭部配置穴の幅は、ボルトの頭部の外径よりも広くなっており、前後方向における第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの長さは、アームの周囲温度が変動して第１ガイドレール、第２ガイドレールおよびアームフレームが伸縮しても、前後方向における第１軸部配置穴の側面とボルトの軸部との間に隙間が形成され、かつ、前後方向における第１頭部配置穴の側面とボルトの頭部との間に隙間が形成される長さに設定されている。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明では、アームに対して前後方向へ直線的に往復移動する第１ハンドおよび第２ハンドを有するとともに真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、熱の影響によるアームの上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。
【図２】図１に示す産業用ロボットの側面図である。
【図３】図１に示す産業用ロボットの背面図である。
【図４】（Ａ）は、図１に示すアームの内部構造を説明するための平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＥ−Ｅ方向からアームの内部構造を説明するための図である。
【図５】（Ａ）は、図４（Ａ）のＦ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＧ部の拡大図である。
【図６】（Ａ）は、図４（Ａ）のＨ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図である。
【図７】（Ａ）は、図４（Ａ）のＫ−Ｋ方向からアームの内部構造を説明するための図であり、（Ｂ）は、図４（Ａ）のＬ−Ｌ方向からアームの内部構造を説明するための図である。
【図８】図４（Ｂ）のＮ−Ｎ方向から第１ハンド支持部材、第２ハンド支持部材、アーム、第１駆動機構および第２駆動機構の構成を説明するための断面図である。
【図９】図４（Ｂ）のＱ−Ｑ方向から第１ハンド支持部材、第２ハンド支持部材、アーム、第１駆動機構および第２駆動機構の構成を説明するための断面図である。
【図１０】（Ａ）は、図８のＰ−Ｐ断面の断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＲ部の拡大図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態にかかるアームの内部構造を説明するための図である。
【図１２】図１１（Ａ）のＷ−Ｗ方向から第１ハンド支持部材、第２ハンド支持部材、アーム、第１駆動機構および第２駆動機構の構成を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００２４】
（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の背面図である。
【００２５】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を真空中で搬送するロボットである。このロボット１は、液晶ディスプレイ装置の製造システムに組み込まれて使用される。この製造システムは、中心に配置されるトランスファーチャンバー３（以下、「チャンバー３」とする。）と、チャンバー３を囲むように配置される複数のプロセスチャンバー４（以下、「チャンバー４」とする。）とを備えている（図１参照）。
【００２６】
チャンバー３、４の内部は、真空になっている。すなわち、チャンバー３、４は、真空チャンバーである。チャンバー３の内部には、ロボット１の一部が配置されている。ロボット１は、チャンバー４への基板２の搬入とチャンバー４からの基板２の搬出とを行う。チャンバー４の内部には、各種の装置等が配置されており、チャンバー４の内部では、基板２に対して各種の処理が行われる。本形態のチャンバー４では、高温環境下で基板２に対する処理が実行される。そのため、チャンバー４の内部温度は高くなっている。
【００２７】
ロボット１は、基板２が搭載される第１ハンドとしてのハンド５と、基板２が搭載される第２ハンドとしてのハンド６と、ハンド５が固定される第１ハンド支持部材としてのハンド支持部材７と、ハンド６が固定される第２ハンド支持部材としてのハンド支持部材８と、ハンド支持部材７、８を保持するアーム９と、アーム９が回動可能に連結される本体部１０とを備えている。
【００２８】
本体部１０は、アーム９の中心部が固定される円柱状の昇降部材１２（図２参照）と、昇降部材１２を昇降させる昇降機構と、昇降部材１２を回動させる回動機構と、これらの構成が収容されるケース体１３とを備えている。ケース体１３は、略有底円筒状に形成されている。ケース体１３の上端には、円板状に形成されたフランジ１４が固定されている。フランジ１４には、昇降部材１２の上端側部分が配置される貫通孔が形成されている。
【００２９】
ハンド５、６およびアーム９は、本体部１０の上側に配置されている。上述のように、ロボット１の一部は、チャンバー３の内部に配置されている。具体的には、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分がチャンバー３の内部に配置されている。すなわち、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分は、真空領域ＶＲの中に配置されており、ハンド５、６およびアーム９は、真空チャンバー内（真空中）に配置されている。一方、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。
【００３０】
アーム９は、ハンド支持部材７とハンド支持部材８とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるようにハンド支持部材７、８を保持している。ロボット１は、アーム９に対してハンド支持部材７を往復移動させる第１駆動機構としての駆動機構１７と、アーム９に対してハンド支持部材８を往復移動させる第２駆動機構としての駆動機構１８とを備えている（図４参照）。
【００３１】
以下、ハンド５、６、ハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の具体的な構成を説明する。なお、以下の説明では、アーム９に対するハンド支持部材７、８の移動方向である図１等のＸ方向を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する図１等のＹ方向を「左右方向」とする。また、前後方向のうちのＸ１方向側を「前」側とし、その反対側であるＸ２方向側を「後ろ」側とする。
【００３２】
（ハンド、ハンド支持部材、アームおよび駆動機構の構成）
図４（Ａ）は、図１に示すアーム９の内部構造を説明するための平面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＥ−Ｅ方向からアーム９の内部構造を説明するための図である。図５（Ａ）は、図４（Ａ）のＦ部の拡大図であり、図５（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＧ部の拡大図である。図６（Ａ）は、図４（Ａ）のＨ部の拡大図であり、図６（Ｂ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図である。図７（Ａ）は、図４（Ａ）のＫ−Ｋ方向からアーム９の内部構造を説明するための図であり、図７（Ｂ）は、図４（Ａ）のＬ−Ｌ方向からアーム９の内部構造を説明するための図である。図８は、図４（Ｂ）のＮ−Ｎ方向からハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の構成を説明するための断面図である。図９は、図４（Ｂ）のＱ−Ｑ方向からハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の構成を説明するための断面図である。
【００３３】
ハンド５は、基板２が搭載される複数のフォーク２０と、複数のフォーク２０の基端部（後端部）が固定されるハンド基部２１とを備えている。ハンド６は、ハンド５と同様に、基板２が搭載される複数のフォーク２０と、複数のフォーク２０の基端部（後端部）が固定されるハンド基部２２とを備えている。本形態のハンド５、６は、６本のフォーク２０を備えている。フォーク２０は、前後方向に細長い直線状に形成されている。ハンド基部２１、２２は、左右方向に細長い略長方形状の平板状に形成されている。ハンド基部２１の長さ（左右方向の長さ）は、ハンド基部２２の長さ（左右方向の長さ）よりも長くなっている。
【００３４】
ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、上下方向で互いに重なるように配置されている。本形態では、前後方向から見たときに、ハンド５が上側に配置され、ハンド６が下側に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、ハンド基部２１が上側に配置され、ハンド基部２２が下側に配置されている。また、図３に示すように、ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、ハンド基部２１の中心とハンド基部２２の中心とが左右方向において一致するように配置されている。すなわち、ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、ハンド５の中心とハンド６の中心とが左右方向において一致するように配置されている。
【００３５】
アーム９は、ハンド６の下側に配置されている。このアーム９は、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。また、アーム９は、中空状に形成されている。アーム９の左右方向の幅は、ハンド５、６の左右方向の幅よりも狭くなっている。アーム９は、前後方向から見たときに、ハンド５、６の中心とアーム９の中心とが左右方向において一致するように配置されている。アーム９は、アーム９のフレームであるアームフレーム２３と、アーム９の上下、左右および前後の側面を構成するカバー部材２４と、アーム９の中心部に配置される箱状のモータ収容部材２５と、モータ収容部材２５の上面に固定される上面カバー２６とを備えている。なお、図４〜図９では、カバー部材２４の図示を省略している。
【００３６】
アームフレーム２３は、アルミニウム合金で形成されている。また、アームフレーム２３は、前後方向におけるアーム９の全域でアーム９のフレームを構成している。このアームフレーム２３は、アームフレーム２３の右側面を構成する右側板部２３ａと、アームフレーム２３の左側面を構成する左側板部２３ｂと、アームフレーム２３の上側面を構成する上側板部２３ｃと、アームフレーム２３の下側面を構成する下側板部２３ｄとを備えている。
【００３７】
右側板部２３ａ、左側板部２３ｂ、上側板部２３ｃおよび下側板部２３ｄは、平板状に形成されている。右側板部２３ａは、右側板部２３ａの厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、左側板部２３ｂは、左側板部２３ｂの厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。上側板部２３ｃは、上側板部２３ｃの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、下側板部２３ｄは、下側板部２３ｄの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。
【００３８】
右側板部２３ａと左側板部２３ｂとは、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。右側板部２３ａの上端面と左側板部２３ｂの上端面とは、同じ高さで配置されている。また、右側板部２３ａの下端面と左側板部２３ｂの下端面とは、同じ高さで配置されている。上側板部２３ｃは、右側板部２３ａの上端および左側板部２３ｂの上端にネジによって固定されている。下側板部２３ｄは、右側板部２３ａの下端および左側板部２３ｂの下端にネジによって固定されている。
【００３９】
上側板部２３ｃの右端面および下側板部２３ｄの右端面は、右側板部２３ａよりも右側に配置され、上側板部２３ｃの左端面および下側板部２３ｄの左端面は、左側板部２３ｂよりも左側に配置されている。また、上側板部２３ｃの右端面と下側板部２３ｄの右端面とは、左右方向において同じ位置に配置され、上側板部２３ｃの左端面と下側板部２３ｄの左端面とは、左右方向において同じ位置に配置されている。さらに、前後方向から見たときに、上側板部２３ｃの右端面および下側板部２３ｄの右端面と、右側板部２３ａの右面との左右方向の距離と、上側板部２３ｃの左端面および下側板部２３ｄの左端面と、左側板部２３ｂの左面との左右方向の距離とは、等しくなっている。
【００４０】
このように、前後方向から見たときに、右側板部２３ａと左側板部２３ｂとは、左右方向におけるアームフレーム２３の中心に対して左右対称に配置され、上側板部２３ｃと下側板部２３ｄとは、上下方向におけるアームフレーム２３の中心に対して上下対称に配置されている。すなわち、アームフレーム２３は、図８、図９に示すように、前後方向から見たときに、上下左右方向で略対称となるように形成されている。
【００４１】
モータ収容部材２５は、上面側が開口する略直方体の箱状に形成されている。また、モータ収容部材２５は、前後方向に細長い略直方体の箱状に形成されている。モータ収容部材２５には、駆動機構１７を構成する後述のモータ３７と、駆動機構１８を構成する後述のモータ３８とが収容されている。モータ収容部材２５は、アームフレーム２３の中心部分に固定されている。すなわち、モータ収容部材２５は、アーム９の中心部分に配置されている。モータ収容部材２５の底面の中心は、昇降部材１２の上端に固定されている。すなわち、アーム９の中心は、本体部１０に回動可能に連結されている。なお、モータ収容部材２５の、下端部以外の大半部分は、左右方向において、右側板部２３ａと左側板部２３ｂとの間に配置されている（図５（Ａ）、図９参照）。
【００４２】
上面カバー２６は、長方形の平板状に形成されている。上面カバー２６は、モータ収容部材２５の上面側に形成される開口部を塞ぐようにモータ収容部材２５の上面に固定されている。アーム９の中心部分の内部には、モータ収容部材２５と上面カバー２６とによって画定される内部空間Ｓが形成されている。モータ収容部材２５の底面部の中心には、上下方向に貫通する貫通穴２５ａが形成されている。上述のように、昇降部材１２は、円筒状に形成されている。昇降部材１２は、貫通穴２５ａを囲むようにモータ収容部材２５の底面に固定されており、ケース体１３の内部と内部空間Ｓとが通じている。ケース体１３の内部および内部空間Ｓは、大気圧となっている。
【００４３】
図８、図９に示すように、右側板部２３ａの右面および左側板部２３ｂの左面には、ハンド支持部材７を前後方向へ案内するためのガイドレール２９が固定されている。すなわち、アームフレーム２３の左右方向の両端側のそれぞれに（具体的には、アームフレーム２３の左右方向の両側面のそれぞれに）ガイドレール２９が固定されている。また、右側板部２３ａの右面および左側板部２３ｂの左面には、ハンド支持部材８を前後方向へ案内するためのガイドレール３０が固定されている。すなわち、アームフレーム２３の左右方向の両端側のそれぞれに（具体的には、アームフレーム２３の左右方向の両側面のそれぞれに）ガイドレール３０が固定されている。ガイドレール２９、３０は、ガイドレール２９、３０の長手方向と前後方向とが一致するように、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。
【００４４】
本形態では、前後方向で分割された複数のガイドレール２９が右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている（図７参照）。同様に、前後方向で分割された複数のガイドレール３０が右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。ガイドレール２９とガイドレール３０とは、同形状に形成されている。また、ガイドレール２９とガイドレール３０とは、同じ金属材料で形成されている。また、ガイドレール２９、３０は、アームフレーム２３と線膨張係数の異なる金属材料で形成されている。本形態のガイドレール２９、３０は、ステンレス鋼で形成されている。
【００４５】
右側板部２３ａの右面に固定されるガイドレール２９と、左側板部２３ｂの左面に固定されるガイドレール２９とは、上下方向において同じ位置に配置されている。同様に、右側板部２３ａの右面に固定されるガイドレール３０と、左側板部２３ｂの左面に固定されるガイドレール３０とは、上下方向において同じ位置に配置されている。また、ガイドレール３０は、ガイドレール２９の上側に配置されている。
【００４６】
また、前後方向から見たときに、アームフレーム２３の中心とガイドレール２９との上下方向の距離と、アームフレーム２３の中心とガイドレール３０との上下方向の距離とは、等しくなっている。すなわち、図８、図９に示すように、ガイドレール２９とガイドレール３０とは、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して（アームフレーム２３の中心に対して）上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。
【００４７】
ハンド支持部材７は、ガイドレール２９に沿って前後方向にスライドする２個のスライド部７ａと、ハンド５のハンド基部２１が固定される２個のハンド固定部７ｂとから構成されている。同様に、ハンド支持部材８は、ガイドレール３０に沿って前後方向にスライドする２個のスライド部８ａと、ハンド６のハンド基部２２が固定される２個のハンド固定部８ｂとから構成されている。
【００４８】
図８、図９に示すように、２個のスライド部７ａのそれぞれは、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂの左右方向の外側に配置されている。２個のスライド部８ａのそれぞれは、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂの左右方向の外側に配置されている。また、２個のスライド部８ａは、２個のスライド部７ａの上側に配置されている。図３に示すように、右側に配置されるスライド部７ａ、８ａの右端部分は、カバー部材２４の右側面よりも右側へ突出し、左側に配置されるスライド部７ａ、８ａの左端部分は、カバー部材２４の左側面よりも左側へ突出している。
【００４９】
２個のハンド固定部７ｂのうちの一方のハンド固定部７ｂは、右側に配置されるスライド部７ａの右端側から右斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部７ａに固定されており、このハンド固定部７ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２１の右端部分の下面が固定されている。他方のハンド固定部７ｂは、左側に配置されるスライド部７ａの左端側から左斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部７ａに固定されており、このハンド固定部７ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２１の左端部分の下面が固定されている。
【００５０】
２個のハンド固定部８ｂのうちの一方のハンド固定部８ｂは、右側に配置されるスライド部８ａの右端側から右斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部８ａに固定されており、このハンド固定部８ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２２の、左右方向の中心よりも右寄りの部分の下面が固定されている。他方のハンド固定部８ｂは、左側に配置されるスライド部８ａの左端側から左斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部８ａに固定されており、このハンド固定部８ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２２の、左右方向の中心よりも左寄りの部分の下面が固定されている。
【００５１】
右側に配置されるスライド部７ａには、右側に配置されるガイドレール２９に係合するガイドブロック３１が固定され、左側に配置されるスライド部７ａには、左側に配置されるガイドレール２９に係合するガイドブロック３１が固定されている。同様に、右側に配置されるスライド部８ａには、右側に配置されるガイドレール３０に係合するガイドブロック３２が固定され、左側に配置されるスライド部８ａには、左側に配置されるガイドレール３０に係合するガイドブロック３２が固定されている。
【００５２】
すなわち、ハンド支持部材７には、ガイドブロック３１が固定され、ハンド支持部材８には、ガイドブロック３２が固定されている。具体的には、２個のスライド部７ａのそれぞれに３個のガイドブロック３１が前後方向に間隔をあけた状態で固定されている（図７（Ｂ）参照）。また、２個のスライド部８ａのそれぞれに３個のガイドブロック３２が前後方向に間隔をあけた状態で固定されている（図７（Ａ）参照）。
【００５３】
本形態のガイドレール２９は第１ガイドレールであり、ガイドレール３０は第２ガイドレールであり、ガイドブロック３１は第１ガイドブロックであり、ガイドブロック３２は第２ガイドブロックである。また、本形態では、複数のガイドレール２９と６個のガイドブロック３１とによってハンド支持部材７を前後方向へ案内する第１ガイド機構としてのガイド機構３３が構成されている。また、複数のガイドレール３０と６個のガイドブロック３２とによってハンド支持部材８を前後方向へ案内する第２ガイド機構としてのガイド機構３４が構成されている。
【００５４】
駆動機構１７、１８は、アーム９の内部に配置されている。駆動機構１７は、駆動源としてのモータ３７を備えている。駆動機構１８は、駆動源としてのモータ３８を備えている。モータ３７、３８は、内部空間Ｓに配置されている。すなわち、モータ３７、３８は、アーム９の中心部分の内部に配置されている。モータ３７、３８は、所定のブラケットを介して、モータ収容部材２５に固定されている。モータ３７とモータ３８とは、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。具体的には、モータ３７が後ろ側に配置され、モータ３８が前側に配置されている。
【００５５】
モータ３７、３８は、モータ３７、３８の出力軸の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。また、モータ３７、３８は、モータ３７の出力軸とモータ３８の出力軸とが反対方向に突出するように内部空間Ｓに配置されている。具体的には、モータ３７の出力軸が後ろ側に向かって突出し、モータ３８の出力軸が前側に向かって突出するように、モータ３７、３８が内部空間Ｓに配置されている。前後方向から見たときに、モータ３７の回転中心とモータ３８の回転中心とは一致している。また、前後方向から見たときに、モータ３７、３８の回転中心とアーム９の中心とは略一致している。なお、モータ３７、３８には、冷却用のエア配管（図示省略）が巻き付けられている。
【００５６】
また、駆動機構１７は、モータ３７の出力軸に連結される回転軸３９と、回転軸３９の先端部に固定される傘歯車４０と、傘歯車４０に噛み合う傘歯車４１と、傘歯車４１が固定される回転軸４２とを備えている。同様に、駆動機構１８は、モータ３８の出力軸に連結される回転軸４３と、回転軸４３の先端部に固定される傘歯車４４と、傘歯車４４に噛み合う傘歯車４５と、傘歯車４５が固定される回転軸４６とを備えている。
【００５７】
さらに、駆動機構１７は、回転軸４２に固定される２個の駆動プーリ４８と、回転軸４６に回転可能に保持される２個の従動プーリ４９と、駆動プーリ４８と従動プーリ４９とに架け渡される２本のベルト５０とを備えている。同様に、駆動機構１８は、回転軸４６に固定される２個の駆動プーリ５２と、回転軸４２に回転可能に保持される２個の従動プーリ５３と、駆動プーリ５２と従動プーリ５３とに架け渡される２本のベルト５４とを備えている。
【００５８】
回転軸３９、４３は、ステンレス鋼で形成されている。回転軸３９は、回転軸３９の軸方向と前後方向とが一致するように配置されており、モータ３７の出力軸の先端（後端）にカップリング５５を介して連結されている（図５参照）。回転軸４３は、回転軸４３の軸方向と前後方向とが一致するように配置されており、モータ３８の出力軸の先端（前端）にカップリング５５を介して連結されている（図５参照）。傘歯車４０、４１、回転軸４２、駆動プーリ４８および従動プーリ５３は、アーム９の後端側の内部に配置されている。傘歯車４４、４５、回転軸４６、駆動プーリ５２および従動プーリ４９は、アーム９の前端側の内部に配置されている。
【００５９】
また、駆動機構１７は、回転軸３９を回転可能に保持するとともに内部空間Ｓからの空気の流出を防ぐ磁性流体シール５６を備えている。同様に、駆動機構１８は、回転軸４３を回転可能に保持するとともに内部空間Ｓからの空気の流出を防ぐ磁性流体シール５７を備えている。図５に示すように、磁性流体シール５６は、モータ収容部材２５の後面を構成する後壁部２５ｂに固定されている。磁性流体シール５７は、モータ収容部材２５の前面を構成する前壁部２５ｃに固定されている。具体的には、磁性流体シール５６は、後壁部２５ｂを前後方向で貫通する貫通穴の中に挿通された状態で後壁部２５ｂに固定され、磁性流体シール５７は、前壁部２５ｃを前後方向で貫通する貫通穴の中に挿通された状態で前壁部２５ｃに固定されている。
【００６０】
また、回転軸３９、４３は、アームフレーム２３に固定される複数の軸受５９に回転可能に支持されている。なお、本形態の回転軸３９は、長さの短い２本の短軸と、長さの長い１本の長軸とによって形成されている。２本の短軸のうちの一方の短軸は、カップリング５５を介してモータ３７の出力軸に連結されるとともに磁性流体シール５６に回転可能に保持されている。他方の短軸には、傘歯車４０が固定されている。一方の短軸と長軸の前端とは、磁性流体シール５６の後ろ側に配置されるカップリング６０によって連結され（図５参照）、他方の短軸と長軸の後端とは、最も後ろ側の軸受５９の前側に配置されるカップリング６０によって連結されている（図６（Ｂ）参照）。
【００６１】
同様に、本形態の回転軸４３は、長さの短い２本の短軸と、長さの長い１本の長軸とによって形成されている。２本の短軸のうちの一方の短軸は、カップリング５５を介してモータ３８の出力軸に連結されるとともに磁性流体シール５７に回転可能に保持されている。他方の短軸には、傘歯車４４が固定されている。一方の短軸と長軸の後端とは、磁性流体シール５７の前側に配置されるカップリング６０によって連結され（図５参照）、他方の短軸と長軸の前端とは、最も前側の軸受５９の後ろ側に配置されるカップリング６０によって連結されている（図６（Ａ）参照）。なお、回転軸３９、４３は、１本の長軸によって構成されていても良い。
【００６２】
回転軸４２は、傘歯車４０の後ろ側に配置されている。回転軸４２は、回転軸４２の軸方向と左右方向とが一致するように配置されており、モータ３７の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。すなわち、回転軸４２に固定される駆動プーリ４８は、モータ３７の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。また、回転軸４２に回転可能に保持される従動プーリ５３も、左右方向を回転の軸方向として回転する。傘歯車４１は、左右方向における回転軸４２の中心側に固定されている。
【００６３】
回転軸４６は、傘歯車４４の前側に配置されている。回転軸４６は、回転軸４６の軸方向と左右方向とが一致するように配置されており、モータ３８の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。すなわち、回転軸４６に固定される駆動プーリ５２は、モータ３８の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。また、回転軸４６に回転可能に保持される従動プーリ４９も、左右方向を回転の軸方向として回転する。傘歯車４５は、左右方向における回転軸４６の中心側に固定されている。
【００６４】
２個の駆動プーリ４８のそれぞれは、左右方向における回転軸４２の両端部のそれぞれに固定されている。従動プーリ５３は、傘歯車４１と駆動プーリ４８との間で回転軸４２に回転可能に保持されており、２個の従動プーリ５３は、２個の駆動プーリ４８よりも左右方向の内側に配置されている。２個の従動プーリ４９のそれぞれは、左右方向における回転軸４６の両端部のそれぞれに回転可能に保持されている。駆動プーリ５２は、傘歯車４５と従動プーリ４９との間で回転軸４６に固定されており、２個の駆動プーリ５２は、２個の従動プーリ４９よりも左右方向の内側に配置されている。
【００６５】
ベルト５０は、ハンド支持部材７に固定されている。具体的には、所定の取付部材およびボルトによって、２本のベルト５０のそれぞれの一部が２個のスライド部７ａのそれぞれの上端部に固定されている。本形態のベルト５０は、有端ベルトであり、駆動プーリ４８および従動プーリ４９に架け渡されたベルト５０の両端部のそれぞれが取付部材およびボルトによってスライド部７ａに固定されている（図７（Ｂ）参照）。なお、ベルト５０は、環状に形成された無端ベルトであっても良い。
【００６６】
ベルト５４は、ハンド支持部材８に固定されている。具体的には、所定の取付部材およびボルトによって、２本のベルト５４のそれぞれの一部が２個のスライド部８ａのそれぞれの下端部に固定されている。ベルト５０と同様に、本形態のベルト５４は、有端ベルトであり、駆動プーリ５２および従動プーリ５３に架け渡されたベルト５４の両端部のそれぞれが取付部材およびボルトによってスライド部８ａに固定されている（図７（Ａ）参照）。なお、ベルト５４は、環状に形成された無端ベルトであっても良い。
【００６７】
駆動プーリ４８、５２および従動プーリ４９、５３が上述のように配置されているため、前後方向から見たときに、２本のベルト５０のそれぞれは、モータ３７、３８の左右の両側のそれぞれに配置され、２本のベルト５４のそれぞれは、モータ３７、３８の左右の両側のそれぞれに配置されている。また、ベルト５４は、ベルト５０と左右方向で隣り合うように、かつ、ベルト５０と同じ高さで配置されている。すなわち、アーム９の内部の左右の両端側において、ベルト５４は、左右方向の内側でベルト５０と隣り合うように、かつ、ベルト５０と同じ高さで配置されている。
【００６８】
（ガイドレールの固定構造）
図１０（Ａ）は、図８のＰ−Ｐ断面の断面図であり、図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）のＲ部の拡大図である。
【００６９】
ガイドレール２９は、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルト６５によってアームフレーム２３の右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。ガイドレール２９には、複数のボルト６５のそれぞれの一部が配置される複数の配置穴２９ａが前後方向において間隔をあけた状態で形成されている。左側板部２３ｂには、ボルト６５の軸部６５ａに形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴２３ｆが前後方向において間隔をあけた状態で形成されている。右側板部２３ａにも、軸部６５ａに形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成されている。
【００７０】
配置穴２９ａは、ガイドレール２９を左右方向で貫通する貫通穴である。この配置穴２９ａは、ボルト６５の軸部６５ａの一部が配置される軸部配置穴２９ｂと、ボルト６５の頭部６５ｂが配置される頭部配置穴２９ｃとから構成されている。軸部配置穴２９ｂおよび頭部配置穴２９ｃは、丸穴状に形成されている。軸部配置穴２９ｂの内径は、ボルト６５の軸部６５ａの外径よりも大きくなっている。また、頭部配置穴２９ｃの内径は、ボルト６５の頭部６５ｂの外径よりも大きくなっている。
【００７１】
すなわち、配置穴２９ａは、いわゆるバカ穴であり、前後方向における配置穴２９ａの幅は、ボルト６５の外径よりも広くなっている。具体的には、前後方向における軸部配置穴２９ｂの幅は、ボルト６５の軸部６５ａの外径よりも広くなっており、前後方向における頭部配置穴２９ｃの幅は、ボルト６５の頭部６５ｂの外径よりも広くなっている。本形態では、全ての配置穴２９ａが、前後方向の幅がボルト６５の外径よりも広くなった第１配置穴となっている。また、全ての軸部配置穴２９ｂは、第１軸部配置穴であり、全ての頭部配置穴２９ｃは、第１頭部配置穴である。
【００７２】
前後方向におけるガイドレール２９の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール２９およびアームフレーム２３が伸縮しても、前後方向における配置穴２９ａの側面とボルト６５との間に隙間が形成される長さに設定されている。すなわち、前後方向におけるガイドレール２９の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール２９およびアームフレーム２３が伸縮しても、前後方向における配置穴２９ａの側面とボルト６５とが接触しない長さに設定されている。
【００７３】
具体的には、前後方向におけるガイドレール２９の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール２９およびアームフレーム２３が伸縮しても、前後方向における軸部配置穴２９ｂの側面とボルト６５の軸部６５ａとの間に隙間が形成され、かつ、前後方向における頭部配置穴２９ｃの側面とボルト６５の頭部６５ｂとの間に隙間が形成される長さに設定されている。なお、頭部配置穴２９ｃの内径と頭部６５ｂの外径との差は、軸部配置穴２９ｂの内径と軸部６５ａの外径との差よりも大きくなっている。
【００７４】
ガイドレール２９と同様に、ガイドレール３０は、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルト６５によってアームフレーム２３の右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。ガイドレール３０には、配置穴２９ａと同形状の配置穴が形成されている。すなわち、ガイドレール３０には、ガイドレール３０を左右方向で貫通するとともに、軸部配置穴と頭部配置穴とから構成される配置穴が形成されている。左側板部２３ｂおよび右側面部２３ａには、軸部６５ａに形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成されている
【００７５】
ガイドレール２９と同様に、前後方向におけるガイドレール３０の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール３０およびアームフレーム２３が伸縮しても、ガイドレール３０の配置穴の前後方向の側面とボルト６５との間に隙間が形成される長さに設定されている。具体的には、前後方向におけるガイドレール３０の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール３０およびアームフレーム２３が伸縮しても、ガイドレール３０の軸部配置穴の前後方向の側面と軸部６５ａとの間に隙間が形成され、かつ、ガイドレール３０の頭部配置穴の前後方向の側面と頭部６５ｂとの間に隙間が形成される長さに設定されている。
【００７６】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ガイドレール２９とガイドレール３０とは、同形状に形成されるとともに同じ金属材料で形成されている。そのため、本形態では、高温になっているチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出を行う場合に、ガイドレール２９、３０の温度が上昇しても、ガイドレール２９とガイドレール３０とが前後方向へ同じように伸縮する。また、本形態では、アームフレーム２３の左右方向の両側面のそれぞれに固定されるガイドレール２９とガイドレール３０とは、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。
【００７７】
すなわち、本形態では、ガイドレール２９、３０の温度が上昇すると、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されているガイドレール２９とガイドレール３０とが前後方向へ同じように伸縮する。また、本形態では、アームフレーム２３が、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成されているため、高温になっているチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出を行う場合に、アームフレーム２３の温度が上昇しても、アームフレーム２３は、上下左右方向へは変形しにくい。
【００７８】
したがって、本形態では、高温のチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合に、線膨張係数が異なるガイドレール２９、３０およびアームフレーム２３の温度が上昇しても、アームフレーム２３の上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。その結果、本形態では、高温のチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合であっても、熱の影響によるアーム９の上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。
【００７９】
本形態では、前後方向におけるガイドレール２９の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール２９およびアームフレーム２３が伸縮しても、前後方向における配置穴２９ａの側面とボルト６５とが接触しない長さに設定され、前後方向におけるガイドレール３０の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール３０およびアームフレーム２３が伸縮しても、ガイドレール３０の配置穴の前後方向の側面とボルト６５との間に隙間が形成される長さに設定されている。
【００８０】
そのため、本形態では、ガイドレール２９、３０の線膨張係数とアームフレーム２３の線膨張係数とが異なっていても、ガイドレール２９、３０およびアームフレーム２３の温度が上昇してガイドレール２９、３０およびアームフレーム２３が前後方向へ伸縮したときの、配置穴２９ａの側面とボルト６５との接触、および、ガイドレール３０の配置穴の側面とボルト６５との接触を防止することが可能になる。したがって、本形態では、高温のチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合であっても、熱の影響によるアームフレーム２３の上下左右方向への変形を効果的に抑制することが可能になる。
【００８１】
なお、本形態では、回転軸３９がカップリング５５を介してモータ３７の出力軸に連結され、回転軸４３がカップリング５５を介してモータ３８の出力軸に連結されている。また、回転軸３９、４３では、２本の短軸と１本の長軸とがカップリング６０によって連結されている。そのため、本形態では、ステンレス製の回転軸３９、４３の、熱の影響による前後方向の伸縮量と、アルミニウム合金製のアームフレーム２３の、熱の影響による前後方向の伸縮量との差は、カップリング５５、６０で吸収される。
【００８２】
（駆動機構の配置の変形例）
図１１は、本発明の他の実施の形態にかかるアーム９の内部構造を説明するための図である。図１２は、図１１（Ａ）のＷ−Ｗ方向からハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の構成を説明するための断面図である。
【００８３】
上述した形態において、図１１（Ａ）、図１２に示すように、ベルト５０とベルト５４とが上下方向で重なるように配置されていても良い。具体的には、前後方向から見たときに、モータ３７、３８の左右の両側のそれぞれにおいて、ベルト５０とベルト５４とが上下方向で重なるように配置されていても良い。この場合であっても、図１２に示すように、アームフレーム２３は、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成されている。また、アームフレーム２３の左右方向の両側面のそれぞれに固定されるガイドレール２９とガイドレール３０とは、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。なお、図１１、図１２では、上述した形態と同様の構成については同一の符号を付している。
【００８４】
また、この変形例では、図１１（Ｂ）に示すように、たとえば、モータ３７は、アーム９の後端部の内部に配置され、モータ３８は、アーム９の前端部の内部に配置されている。ただし、この変形例において、モータ３７、３８は、上述した形態と同様に、アーム９の中心部分の内部に配置されていても良い。また、この変形例では、モータ３８は、モータ３７よりも上側に配置されている。また、モータ３７とモータ３８とは、左右方向において同じ位置に配置されている。
【００８５】
また、この変形例では、駆動プーリ５２が固定される回転軸４６とは別に、従動プーリ４９が回転可能に保持される固定軸６７が設けられている（図１２参照）。同様に、駆動プーリ４８が固定される回転軸４２とは別に、従動プーリ５３が回転可能に保持される固定軸が設けられている。従動プーリ４９は、駆動プーリ５２の真下に配置され、従動プーリ５３は、駆動プーリ４８の真上に配置されている。
【００８６】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００８７】
上述した形態において、ハンド支持部材７にハンド６が固定され、ハンド支持部材８にハンド５が固定されていても良い。この場合には、ハンド支持部材８は、第１ハンド支持部材となり、ハンド支持部材７は、第２ハンド支持部材となり、ガイド機構３４は、第１ガイド機構となり、ガイド機構３３は、第２ガイド機構となる。また、ガイドレール３０は、第１ガイドレールとなり、ガイドレール２９は、第２ガイドレールとなる。
【００８８】
上述した形態において、下側板部２３ｄの上面の左右方向の両端側のそれぞれにガイドレール２９が固定され、上側板部２３ｃの下面の左右方向の両端側のそれぞれにガイドレール３０が固定されていても良い。この場合であっても、アームフレーム２３の左右方向の両端側のそれぞれに固定されるガイドレール２９とガイドレール３０とは、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。
【００８９】
上述した形態において、ガイドレール２９は、前後方向で分割されていなくても良い。すなわち、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂのそれぞれに１本のガイドレール２９が固定されていても良い。同様に、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂのそれぞれに１本のガイドレール３０が固定されていても良い。また、上述した形態において、アームフレーム２３は、アルミニウム合金以外の金属材料で形成されていても良いし、ガイドレール２９、３０は、ステンレス鋼以外の金属材料で形成されていても良い。
【００９０】
上述した形態において、ガイドレール２９に形成される複数の配置穴２９ａの中に、内径がボルト６５の外径と略等しくなっている配置穴２９ａがあっても良い。すなわち、軸部配置穴２９ｂの内径がボルト６５の軸部６５ａの外径と略等しくなり、かつ、頭部配置穴２９ｃの内径がボルト６５の頭部６５ｂの外径と略等しくなっている配置穴２９ａがあっても良い。同様に、上述した形態において、ガイドレール３０に形成される複数の配置穴の中に、内径がボルト６５の外径と略等しくなっている配置穴があっても良い。
【００９１】
上述した形態では、ベルト５０、５４を用いてハンド支持部材７、８を前後方向に移動させているが、上述の特許文献１に記載された産業用ロボットのように、ネジ部材を用いてハンド支持部材７、８を前後方向に移動させても良い。また、上述した形態において、アーム９の内部の全体が大気圧となっていても良い。また、アーム９の内部の全体が真空となっていても良い。すなわち、モータ３７、３８は、真空中に配置されていても良い。さらに、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は液晶ディスプレイ用のガラス基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、たとえば、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、ガラス基板２以外の搬送対象物であっても良い。
【符号の説明】
【００９２】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  基板（ガラス基板、搬送対象物）
５  ハンド（第１ハンド）
６  ハンド（第２ハンド）
７  ハンド支持部材（第１ハンド支持部材）
８  ハンド支持部材（第２ハンド支持部材）
９  アーム
１０  本体部
１７  駆動機構（第１駆動機構）
１８  駆動機構（第２駆動機構）
２３  アームフレーム
２３ａ  右側板部
２３ｂ  左側板部
２３ｃ  上側板部
２３ｄ  下側板部
２３ｆ  ネジ穴
２９  ガイドレール（第１ガイドレール）
２９ａ  配置穴（第１配置穴）
２９ｂ  軸部配置穴（第１軸部配置穴）
２９ｃ  頭部配置穴（第１頭部配置穴）
３０  ガイドレール（第２ガイドレール）
３１  ガイドブロック（第１ガイドブロック）
３２  ガイドブロック（第２ガイドブロック）
３３  ガイド機構（第１ガイド機構）
３４  ガイド機構（第２ガイド機構）
６５  ボルト
６５ａ  軸部
６５ｂ  頭部
Ｘ  前後方向
Ｙ  左右方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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