(57)【要約】【課題】単板の積層フィルムからカバーレイフィルムに反りを発生させたり、傷をつけたりすることなく、リリースフィルムを剥離し、除去することを可能にするリリースフィルム剥離方法及びリリースフィルム剥離装置を提供すること。【解決手段】積層フィルム１のリリースフィルム４側を積層フィルム吸着テーブル１４に吸着し、積層フィルム１をＸ（−）方向に移動しながら予備剥離ロール１３でカバーレイフィルム２の端部をリリースフィルム４から浮き上がらせ予備剥離代部Ｌを形成した後、積層フィルム１のカバーレイフィルム２側を吸着ヘッド１６に吸着し、積層フィルム吸着テーブル１４及び剥離ロール３０をＸ（＋）方向に移動させることによって剥離ロール３０を転動し、積層フィルム１からリリースフィルム４を巻き取りつつ剥離し、移送ベルト３３で移送し除去するリリースフィルム剥離方法及びリリースフィルム剥離装置１０。【選択図】図６
2019102626.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱硬化性の接着剤層を有するカバーレイフィルムと前記接着剤層に積層されたリリースフィルムとから構成される単板の積層フィルムから前記リリースフィルムを剥離し、除去するリリースフィルム剥離方法であって、
前記積層フィルムの前記リリースフィルム側を積層フィルム吸着テーブルに真空吸着する工程と、
前記積層フィルムを一方方向に移動しながら予備剥離ロールで前記積層フィルムを前記カバーレイフィルム側から押えつつ前記予備剥離ロールを転動させ、前記カバーレイフィルムの端部を前記リリースフィルムから浮き上がらせ予備剥離代部を形成する工程と、
前記積層フィルム吸着テーブルへの前記積層フィルムの吸着を解除し、前記積層フィルムの前記カバーレイフィルム側を吸着ヘッドに真空吸着する工程と、
前記吸着ヘッドが前記積層フィルムを吸着した状態で、前記リリースフィルムに粘着性を有する剥離ロールを接触させ、前記積層フィルム吸着テーブル及び前記剥離ロールを他方向に移動させることによって前記剥離ロールを転動し、前記積層フィルムから前記リリースフィルムを巻き取りつつ剥離し、除去する工程と、
を含む、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離方法。
【請求項２】
請求項１に記載のリリースフィルム剥離方法において、
前記予備剥離代部を形成する工程では、前記カバーレイフィルムを押えつつ前記予備剥離ロールを転動させて前記カバーレイフィルムの端部を前記リリースフィルムから浮き上がらせ、前記接着剤層に空気を触れさせる、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のリリースフィルム剥離方法において、
前記吸着ヘッドが前記積層フィルムを真空吸着する工程では、前記吸着ヘッドによって前記予備剥離代部を含む前記積層フィルムの全面を吸着する、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のリリースフィルム剥離方法において、
前記リリースフィルムを剥離し、除去する工程では、前記剥離ロールで前記リリースフィルムを剥離しつつ剥離された前記リリースフィルムを移送ベルトで移送し、分離板によって前記剥離ロール及び前記移送ベルトから前記リリースフィルムを分離し、除去する、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離方法。
【請求項５】
熱硬化性の接着剤層を有するカバーレイフィルムと前記接着剤層に積層されたリリースフィルムとから構成される単板の積層フィルムから前記リリースフィルムを剥離し、除去するリリースフィルム剥離装置であって、
前記積層フィルムの前記リリースフィルム側を真空吸着しつつ一方向に往復移動可能な積層フィルム吸着テーブルと、
前記カバーレイフィルム側から前記積層フィルムを押え、前記積層フィルム吸着テーブルの一方方向への移動によって転動しつつ前記積層フィルムの進行方向側の端部に予備剥離代部を形成する予備剥離ロールと、
前記積層フィルムの前記カバーレイフィルム側を真空吸着する吸着ヘッドと、
前記積層フィルム吸着テーブルと一体となって移動可能であり、前記吸着ヘッドが前記積層フィルムを吸着した状態で、前記予備剥離代部において剥離ロールが前記リリースフィルムに当接し、前記積層フィルム吸着テーブルの他方向への移動により前記剥離ロールが転動しつつ前記積層フィルムから前記リリースフィルムを剥離するリリースフィルム剥離ロール部と、
を有する、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離装置。
【請求項６】
請求項５に記載のリリースフィルム剥離装置において、
前記予備剥離ロールは、前記積層フィルムの移動方向に対し直交する幅寸法よりも長く、かつ表面に粘着性を有しており、前記積層フィルムを押えつつ前記積層フィルム吸着テーブルの移動によって転動する構成である、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離装置。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載のリリースフィルム剥離装置において、
前記リリースフィルム剥離ロール部は、前記積層フィルムの幅寸法よりも長く、かつ表面に粘着性を有する前記剥離ロールと、前記剥離ロールの下方側に、前記積層フィルム吸着テーブルから前記剥離ロールよりも離れた位置に配置される従動ロールと、前記剥離ロールと前記従動ロールとを連結し剥離された前記リリースフィルムを移送する移送ベルトと、を有し、
前記剥離ロール及び前記従動ロールには複数の溝が形成されており、複数の前記溝それぞれに前記移送ベルトが装着され、
前記移送ベルトが前記剥離ロールの外周表面の内側に収まるように装着されている、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれかに記載のリリースフィルム剥離装置において、
前記リリースフィルム剥離ロール部は、前記剥離ロールと前記従動ロールの間において前記移送ベルトと交差し、その交差部から前記従動ロール側が前記移送ベルトの外側に張り出すように配置される分離板を有している、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離装置。
【請求項９】
請求項５に記載のリリースフィルム剥離装置において、
前記吸着ヘッドは、前記リリースフィルムが剥離された前記カバーレイフィルムを吸着した状態で、前記カバーレイフィルムを貼着する回路基板の配置位置まで移動し、前記回路基板の所定位置に前記カバーレイフィルムを加熱圧着する機能を有している、
ことを特徴とするリリースフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リリースフィルム剥離方法及びリリースフィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、回路基板は、銅箔等の導体パターンが形成されたベース基板の導体パターン形成面に熱硬化性の接着剤層を有する導体パターン保護用のカバーレイフィルムを貼着して使用することが知られている。カバーレイフィルムには、熱硬化性の接着剤層表面に保護フィルムとしてのリリースフィルムが積層されており（これを積層フィルムと呼ぶ）、積層フィルムからリリースフィルムを剥離し、カバーレイフィルムは回路基板に加熱圧着される。接着剤層に積層されているリリースフィルムの剥離においては、カバーレイフィルムを反らせたり、傷をつけたりしないように剥離することが求められる。
【０００３】
単板の積層フィルムからリリースフィルムを剥離する方法としては、積層フィルムの角部にエアを吹き付け、角部の上層側のリリースフィルムをめくり上げ、このめくり上げたリリースフィルムを保持手段で保持し、エアを吹きつけながら角部の対角線に沿って保持手段を移動しリリースフィルムを剥離するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、基板材（回路基板）と保護材（リリースフィルム）が積層された積層板材から保護フィルムを剥離する剥離方法において、ハーフカットによって保護材を切断し、ハーフカットによる断片と共に基板材を保持手段で掴んで保護材を引きはがす保護材の剥離方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−３７５７２号公報
【特許文献２】特開２０１５−８３５０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の剥離方法は、エアを積層フィルムに吹き付けながら積層フィルムからリリースフィルムをめくり上げて剥離する方法であって、剥離開始時にリリースフィルムのめくり上がり時間にばらつきが出てしまうことや、剥離途中でリリースフィルム全体が浮き上がってしまい他所に静電気などではりついてしまうことなど剥離工程や除去工程に支障がでることがある。
【０００７】
また、特許文献２に記載の剥離方法は、保護材をハーフカットするため、基板材に傷をつけてしまったり、保護材が切断しきれなかったりするという課題がある。さらに、ハーフカットの際に、切断カスが発生し基板材に付着してしまうことが考えられ、ハーフカット後の断片を基板材から剥離除去なければならないという課題もある。
【０００８】
そこで、本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、単板の積層フィルムからカバーレイフィルムに反りを発生させたり、傷をつけたりすることなく、リリースフィルムを剥離し、除去することが可能なリリースフィルム剥離方法及びリリースフィルム剥離装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
［１］本発明のリリースフィルム剥離方法は、熱硬化性の接着剤層を有するカバーレイフィルムと前記接着剤層に積層されたリリースフィルムとから構成される単板の積層フィルムから前記リリースフィルムを剥離し、除去するリリースフィルム剥離方法であって、前記積層フィルムの前記リリースフィルム側を積層フィルム吸着テーブルに真空吸着する工程と、前記積層フィルムを一方方向に移動しながら予備剥離ロールで前記積層フィルムを前記カバーレイフィルム側から押えつつ前記予備剥離ロールを転動させ、前記カバーレイフィルムの端部を前記リリースフィルムから浮き上がらせ予備剥離代部を形成する工程と、前記積層フィルム吸着テーブルへの積層フィルムの吸着を解除し、積層フィルムのカバーレイフィルムの全面を吸着ヘッドに真空吸着する工程と、吸着ヘッドが前記積層フィルムを吸着した状態で、前記リリースフィルムに粘着性を有する剥離ロールを接触させ、前記積層フィルム吸着テーブル及び前記剥離ロールを他方向に移動させることによって前記剥離ロールを転動し、前記積層フィルムから前記リリースフィルムを巻き取りつつ剥離し、除去する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１０】
本発明のリリースフィルム剥離方法によれば、予備剥離ロールを積層フィルムのカバーレイフィルム側から押さえつつ転動させることで予備剥離代部を形成し、吸着ヘッドによってカバーレイフィルムの全面を吸着した後、リリースフィルム剥離ロール部を転動させてリリースフィルムを積層フィルムから剥離する。このようにすることによって、単板の積層フィルムにおいて、カバーレイフィルムに反りを発生させたり、傷をつけたりすることなく、リリースフィルムを剥離し、除去することが可能となる。
【００１１】
［２］本発明のリリースフィルム剥離方法においては、前記予備剥離代部を形成する工程では、前記カバーレイフィルムを押えつつ前記予備剥離ロールを転動させて前記カバーレイフィルムの端部を前記リリースフィルムから浮き上がらせ、前記接着剤層に空気を触れさせることが好ましい。
【００１２】
熱硬化性の接着剤層は、表面が空気に触れると加熱しなければ再びリリースフィルムが貼りつくことがないことを利用して予備剥離代部を形成することが可能となり、この予備剥離代部から剥離を開始すれば、容易に積層フィルムからリリースフィルムを剥離することができる。
【００１３】
［３］本発明のリリースフィルム剥離方法において、前記吸着ヘッドが前記積層フィルムを真空吸着する工程では、前記吸着ヘッドによって前記予備剥離代部を含む前記積層フィルムの全面を吸着することが好ましい。
【００１４】
吸着ヘッドは、予備剥離代部を含むカバーレイフィルムの全面を吸着するため、リリースフィルムを剥離する際にカバーレイフィルムに反りが発生することを防止できる。さらに、剥離ロールがカバーレイフィルムに直接接触することがないのでカバーレイフィルムに傷をつけてしまうことを防止できる。
【００１５】
［４］本発明のリリースフィルム剥離方法においては、前記リリースフィルムを剥離し、除去する工程では、前記剥離ロールで前記リリースフィルムを剥離しつつ剥離された前記リリースフィルムを移送ベルトで移送し、分離板によって前記剥離ロール及び前記移送ベルトから前記リリースフィルムを分離し、除去することが好ましい。
【００１６】
リリースフィルムを剥離ロールのみで剥離すると、リリースフィルムが剥離ロールに巻き込まれてしまい剥離ロールからリリースフィルムを除去することが困難になる。そこで、剥離されたリリースフィルムを移送ベルトによって移送しつつ分離板で剥離ロール及び移送ベルトから分離すれば、リリースフィルムが剥離ロールに巻きついてしまうことなく、リリースフィルムをカバーレイフィルムから剥離し、除去することが可能となる。
【００１７】
［５］本発明のリリースフィルム剥離装置は、熱硬化性の接着剤層を有するカバーレイフィルムと前記接着剤層に積層されたリリースフィルムとから構成される単板の積層フィルムから前記リリースフィルムを剥離し、除去するリリースフィルム剥離装置であって、前記積層フィルムの前記リリースフィルム側を真空吸着しつつ一方向に往復移動可能な積層フィルム吸着テーブルと、前記カバーレイフィルム側から前記積層フィルムを押え、前記積層フィルム吸着テーブルの一方方向への移動によって転動しつつ前記積層フィルムの進行方向側の端部に予備剥離代部を形成する予備剥離ロールと、前記積層フィルムの前記カバーレイフィルム側を真空吸着する吸着ヘッドと、前記積層フィルム吸着テーブルと一体となって移動可能であり、前記吸着ヘッドが前記積層フィルムを吸着した状態で、前記予備剥離代部において剥離ロールが前記リリースフィルムに当接し、前記積層フィルム吸着テーブルの他方向への移動により前記剥離ロールが転動しつつ前記積層フィルムから前記リリースフィルムを剥離するリリースフィルム剥離ロール部と、を有することを特徴とする。
【００１８】
本発明のリリースフィルム剥離装置によれば、予備剥離ロールを積層フィルムのカバーレイフィルム側から押さえつつ転動させることでリリースフィルムからカバーレイフィルムの端部を浮き上らせて予備剥離代部を形成し、吸着ヘッドによってカバーレイフィルムの全面を吸着した後、剥離ロールが転動して積層フィルムからリリースフィルムを剥離する。このようにすることによって、単板の積層フィルムにおいて、カバーレイフィルムに反りを発生させたり、傷をつけたりすることなく、積層フィルムからリリースフィルムを剥離することが可能となる。
【００１９】
［６］本発明のリリースフィルム剥離装置においては、前記予備剥離ロールは、前記積層フィルムの移動方向に対し直交する幅寸法よりも長く、かつ表面に粘着性を有しており、前記積層フィルムを押えつつ前記積層フィルム吸着テーブルの移動によって転動する構成であることが好ましい。
【００２０】
このように構成される予備剥離ロールは、粘着性を利用して偏りなく積層フィルムを押えつつ積層フィルム吸着テーブルに対して相対的に移動することによって転動し、積層フィルム吸着テーブルに真空吸着されたリリースフィルムからカバーレイフィルムを浮き上がらせて予備剥離代部を形成することが可能となる。
【００２１】
［７］本発明のリリースフィルム剥離装置においては、前記リリースフィルム剥離ロール部は、前記積層フィルムの幅寸法よりも長く、かつ表面に粘着性を有する前記剥離ロールと、前記剥離ロールの下方側に、前記積層フィルム吸着テーブルから前記剥離ロールよりも離れた位置に配置される従動ロールと、前記剥離ロールと前記従動ロールとを連結し剥離された前記リリースフィルムを移送する移送ベルトと、を有し、前記剥離ロール及び前記従動ロールには複数の溝が形成されており、複数の前記溝それぞれに前記移送ベルトが装着され、前記移送ベルトが前記剥離ロールの外周表面の内側に収まるように装着されていることが好ましい。
【００２２】
このように構成されるリリースフィルム剥離ロール部は、粘着性を有する剥離ロールによってリリースフィルムの幅全体に亘ってほぼ均等に巻き取るように剥離していき、剥離されたリリースフィルムは移送ベルトによって下方に移送される。従って、剥離されたリリースフィルムは剥離ロールに巻きつくことなく移送ベルトによって剥離ロールから分離して移送することが可能となる。
【００２３】
［８］本発明のリリースフィルム剥離装置においては、前記リリースフィルム剥離ロール部は、前記剥離ロールと前記従動ロールの間において前記移送ベルトと交差し、その交差部から前記従動ロール側が前記移送ベルトの外側に張り出すように配置される分離板を有していることが好ましい。
【００２４】
剥離ロールによって剥離されつつあるリリースフィルムは、移送ベルトによって下方側（剥離ロールから離れる方向）に移送され、分離板によって移送ベルトから分離され、除去することが可能となる。
【００２５】
［９］本発明のリリースフィルム剥離装置においては、前記吸着ヘッドは、前記リリースフィルムが剥離された前記カバーレイフィルムを吸着した状態で、前記カバーレイフィルムを貼着する回路基板の配置位置まで移動し、前記回路基板の所定位置に前記カバーレイフィルムを加熱圧着する機能を有していることが好ましい。
【００２６】
このような構成にすることによって、積層フィルムからリリースフィルムを剥離し、除去する剥離機能と、カバーレイフィルムを回路基板に加熱圧着する貼着機能とを併せ持つリリースフィルム剥離装置を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】積層フィルム１の構成を示す断面図である。
【図２】実施形態に係るリリースフィルム剥離装置１０の構成を示す斜視図である。
【図３】積層フィルム吸着テーブルユニット１１の構成を示す図である。
【図４】積層フィルム吸着テーブルユニット１１とリリースフィルム剥離ロール部１５をＹ（＋）方向から見た図である。
【図５】実施形態に係るリリースフィルム剥離方法を示す工程フロー図である。
【図６】実施形態に係るリリースフィルム剥離方法の主要工程を簡略化して表す工程説明図である。
【図７】リリースフィルム４の剥離・除去工程を拡大して示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態に係るリリースフィルム剥離方法及びリリースフィルム剥離装置１について、図１〜図７を参照しながら説明する。
【００２９】
［積層フィルム１の構成］
図１は、積層フィルム１の構成を示す断面図である。積層フィルム１は、平面形状が四角形の単板（枚葉又は短冊と呼ばれることがある）であり、熱硬化性の接着剤層３を有するカバーレイフィルム２と、接着剤層３にリリースフィルム４が積層された構成である。カバーレイフィルム２は、導電パターンが形成されたフレキシブル配線基板などの表面保護用フィルムであり、ポリイミド樹脂、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂などのフィルムである。リリースフィルム４はＰＥＴ樹脂などからなり、接着剤層３の表面を保護するためのフィルムである。接着剤層３とリリースフィルム４とは、層間の空気を排除して密接させた積層状態であり、接着剤層３が熱硬化性であるため、接着剤層３が常温で空気に触れると分離されたような状態となり、リリースフィルム４を接着剤層３、つまり、カバーレイフィルム２から剥離することができるように構成されている。
【００３０】
［リリースフィルム剥離装置１０の構成］
図２は、実施形態に係るリリースフィルム剥離装置１０の構成を示す斜視図である。なお、以降に説明する図においては、図２の図示左右方向をＸで表し、右方向をＸ（＋）、左方向をＸ（−）とし、図示奥行方向をＹで表し、奥側をＹ（−）、手前側をＹ（＋）とし、Ｘ−Ｙ平面に直交する方向をＺで表し、上側をＺ（＋）又は上方、下側をＺ（−）又は下方として説明する。リリースフィルム剥離装置１０は、積層フィルム１をリリースフィルム４（図１参照）側で真空吸着する積層フィルム吸着テーブルユニット１１と、積層フィルム１をカバーレイフィルム２（図１参照）側で真空吸着する吸着ヘッドユニット１２と、積層フィルム１をカバーレイフィルム側から積層フィルム吸着テーブル１４に押える予備剥離ロール１３とを有している。図２に示す積層フィルム吸着テーブルユニット１１、吸着ヘッドユニット１２及び積層フィルム１は、稼働時の１状態の配置を表す図である。予備剥離ロール１３の材質は、例えばポリオレフィンン系ゴムなどの粘着性を有するものであり、外周表面に粘着層を形成するようにしてもよい。
【００３１】
積層フィルム吸着テーブルユニット１１は、積層フィルム吸着テーブル１４と、積層フィルム吸着テーブル１４のＸ（−）方向端部に取付けられるリリースフィルム剥離ロール部１５と、を有している。積層フィルム吸着テーブルユニット１１は、Ｘ方向に往復移動可能であり、予備剥離ロール１３の下方をＸ（−）方向に通過する際に、リリースフィルム４の予備剥離を行い、吸着ヘッドユニット１２の下方をＸ（＋）方向に移動する際に、リリースフィルム剥離ロール１５によってリリースフィルム４をカバーレイフィルム２から剥離し、除去するように動作する。積層フィルム吸着テーブルユニット１１の詳しい構成は、図３、図４を参照し、リリースフィルム４の剥離方法は図５、図６、図７を参照して後述する。
【００３２】
吸着ヘッドユニット１２は、積層フィルム吸着テーブルユニット１１の上方（Ｚ（＋）側）に配設されており、積層フィルム吸着テーブル１４に対面する吸着ヘッド１６と、吸着ヘッド１６をＺ方向に往復移動させるＺ軸駆動部１７と、吸着ヘッド１６をＹ方向に往復移動させるＹ軸駆動部１８と、を有している。Ｚ軸駆動部１７及びＹ軸駆動部１８は、サーボモータとボールねじ機構（図示は省略）で高精度に駆動する。吸着ヘッドユニット１２は、吸着ヘッド１６を水平方向に回転するθ軸駆動１９を有し、θ軸駆動部１９は吸着したカバーレイフィルム２の姿勢（Ｘ軸又はＹ軸に対する角度）を補正する。吸着ヘッド１６には、積層フィルム１を真空吸着するための吸着孔（図示せず）が多数設けられている。
【００３３】
リリースフィルム剥離装置１０のＸ（＋）方向には、カバーレイフィルム２の貼着対象である不図示の回路基板（例えば、フレキシブル配線基板）を真空吸着する基板吸着テーブル２０と、基板吸着テーブル２０に回路基板を給材し、かつ積層フィルム１を積層フィルム吸着テーブル１４に給材する給材ユニット２１と、が配置されている。給材ユニット２１は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ往復移動可能である。基板吸着テーブル２０は、ガイドレール２２に沿ってＸ（−）方向に吸着ヘッド１６の下方まで移動し、回路基板の導体パターン形成面にカバーレイフィルム２を加熱圧着する。カバーレイフィルム２が貼着された回路基板は、ガイドレール２２に沿ってＸ（＋）方向に移動し、圧着ロール２３によって圧着され、基板給材位置まで戻って除材される。
【００３４】
［積層フィルム吸着テーブルユニット１１の構成］
図３は、積層フィルム吸着テーブルユニット１１の構成を示す図であり、図３（ａ）は積層フィルム吸着テーブルユニット１１の全体構成を示す斜視図、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示す点線Ｂで囲まれた吸着孔形成領域２４の一部を拡大して示す図である。積層フィルム吸着テーブルユニット１１は、多数の吸着孔２５が配列された吸着孔形成領域２４を有する積層フィルム吸着テーブル１４と、積層フィルム吸着テーブル１４を載置し保持するテーブルベース部２６と、積層フィルム吸着テーブル１４のＸ（−）方向端部に設けられるリリースフィルム剥離ロール部１５とを有している。
【００３５】
リリースフィルム剥離ロール部１５は、積層フィルム１の幅（Ｙ方向の寸法）よりも長く、表面に粘着性を有する剥離ロール３０と、剥離ロール３０から下方側に離れた位置に配置される従動ロール３１と、から構成されている。従動ロール３１は、剥離ロール３０と同じ長さを有している。剥離ロール３０及び従動ロール３１は、両端部が支持板３２に回転可能に支持されている。支持板３２はテーブルベース部２６のＹ方向両端に固定される。剥離ロール３０の材質としては、例えばポリオレフィン系ゴムなどであり、外周表面に粘着層を形成するようにしてもよい。剥離ロール３０と従動ロール３１とは、断面が円形の移送ベルト３３で連結される。移送ベルト３３は、剥離ロール３０及び従動ロール３１それぞれに形成された溝３４，３５に装着される。剥離ロール３０と従動ロール３１の間には、分離板３６が配設されている。剥離ロール３０、従動ロール３１及び移送ベルト３３の連結関係は図４を参照して詳しく説明する。
【００３６】
図４は、積層フィルム吸着テーブルユニット１１とリリースフィルム剥離ロール部１５をＹ（＋）方向から見た図であり、図４（ａ）は、図３に示す切断線Ａ−Ａで切断した切断面を示す断面図、図４（ｂ）は、リリースフィルム剥離ロール部１５（図４（ａ）において点線Ｃで囲まれ部分）を拡大して示す図である。積層フィルム吸着テーブル１４には、図３（ｂ）に示すような吸着孔２５が多数設けられており、吸着孔２５は負圧室２７に連通している。負圧室２７は、ニップル２８を介して不図示の真空ポンプに接続されており、真空ポンプを駆動することによって、吸着孔２５から空気を吸引し積層フィルム１をリリースフィルム４側で真空吸着する。図４（ａ）に示すように、剥離ロール３０の外周上面は、積層フィルム吸着テーブル１４よりも高い（Ｚ（＋）方向）位置になるように配置され、従動ロール３１は、剥離ロール３０よりも下方側、かつＸ（−）方向に離れた位置に配置されている。剥離ロール３０と従動ロール３１の軸心を結んだ直線（図中、二点鎖線で示す）は、積層フィルム吸着テーブル１４の表面に対して角度θだけ傾斜している。
【００３７】
図４（ｂ）に示すように、剥離ロール３０及び従動ロール３１の各々には、溝３４，３５が形成されている。これらの溝３４，３５に移送ベルト３３が装着される。溝３４，３５は、Ｙ方向に複数形成されている（図３（ａ）参照）。図３（ａ）に示す例においては、移送ベルト３３は１０本備えられているが、剥離されたリリースフィルム４が移送ベルト３３の間に垂れこまないように均等に配置されればよく、１０本に限定されない。剥離ロール３０に形成される溝３４は、移送ベルト３３が剥離ロール３０の外周面から突出しない深さを有している。従動ロール３１に形成される溝３５においては、移送ベルト３３が従動ロール３１の外周面から僅かに突出する深さとなっているが、突出しない深さにしてもよい。剥離ロール３０は、積層フィルム１が真空吸着された吸着ヘッド１６に対して積層フィルム吸着テーブル１４がＸ（＋）方向へ移動することに伴い、積層フィルム３０との摩擦によって転動する。移送ベルト３３は、剥離ロール３０の転動（回転）によって従動ロール３１との間で回転作動し、剥離されたリリースフィルム４を下方側に移送する。
【００３８】
リリースフィルム４の詳しい剥離方法については後述するが、剥離ロール３０によって剥離されたリリースフィルム４は、移送ベルト３３によって下方に移送される。リリースフィルム剥離ロール部１５には、剥離されたリリースフィルム４を分離、除去するための分離板３６が設けられている。図３、図４に示すように、分離板３６は、Ｙ方向に延長される板状の分離部３７と、分離部３７の両端部に設けられる固定部３８とから構成されている。
【００３９】
分離板３６は、固定部３８によって支持板３２に固定される（図３（ａ）も参照する）。図４（ｂ）に示すように、分離部３７は、積層フィルム吸着テーブル１４から外側に離れた方向の上方側端部が外側の移送ベルト３３（移送ベルト３３Ａと記載する）に交差し、下方側が移送ベルト３３Ａよりも外側（積層フィルム吸着テーブル１４から離れる方向）に張り出すように傾斜している。剥離ロール３０は、図４（ｂ）において実線の矢印で示す方向に転動し、移送ベルト３３を同じ方向に送る。この際、移送ベルト３３は、図３（ａ）、図４（ｂ）に示すように分離部３７に設けられた溝３９の上方側から入り、下方側の分離部３７の裏面側に抜けて従動ロール３１に達する。このようにすることによって、剥離ロール３０によって剥離されたリリースフィルム４は、移送ベルト３３によって下方側に移送され、分離板３６によって剥離ロール３０及び移送ベルト３３から分離・除去される。続いて、リリースフィルムの剥離方法について図５、図６、図７を参照して詳しく説明する。
【００４０】
［リリースフィルム剥離方法］
図５は、実施形態に係るリリースフィルム剥離方法を示す工程フロー図であり、図６は、リリースフィルム剥離方法の主要工程を簡略化して表す工程説明図、図７は、リリースフィルム４の剥離・除去工程を示す拡大図である。図５の工程フロー図に従って、図６、図７を参照ながら説明する。まず、図６（ａ）に示すように、積層フィルム１を積層フィルム吸着テーブル１４上に給材し、リリースフィルム４側を真空吸着する（ステップＳ１）。積層フィルム１の積層フィルム吸着テーブル１４への給材は、給材ユニット２１（図２参照）で行われる。この段階においては、予備剥離ロール１３及び吸着ヘッド１６は、積層フィルム１及び予備剥離ロール部１５から上方の離れた所定位置に待機している。
【００４１】
積層フィルム１を積層フィルム吸着テーブル１４に真空吸着した後、図６（ｂ）に示すように、積層フィルム吸着テーブル１４をＸ（−）方向に移動させ（ステップＳ２）、積層フィルム１のＸ（−）側端部が予備剥離ロール１３の下方に至る手前で、予備剥離ロール１３を積層フィルム１に当接可能な位置まで降下させる（ステップＳ３）。さらに、図６（ｃ）に示すように、積層フィルム吸着テーブル１４をＸ（−）方向に移動させると、積層フィルム１は予備剥離ロール１３を通過する際に押圧され、接着剤層３を含むカバーレイフィルム２の先端部だけがカバーレイフィルム２から浮きあがる。カバーレイフィルム２の先端部を浮き上がらせることを予備剥離とする。
【００４２】
予備剥離の様子を拡大して図６（ｄ）に示す。カバーレイフィルム２と接着剤層３とは、容易に剥離できないような固着力を有しており、リリースフィルム４と接着剤層とは、密接はしているものの固着はしていないので、予備剥離ロール１３によって押えられると、リリースフィルム４は積層フィルム吸着テーブル１４に真空吸着されていることからカバーレイフィルム２側がリリースフィルム４から瞬間的に浮き上がり、接着剤層３が空気に触れる。接着剤層１３は、熱硬化性のため一度空気に触れるとリリースフィルム４を再度押圧しても固着することなく容易に剥離できるようになる。この際の浮き上がり範囲を予備剥離代部Ｌとし、予備剥離ロール１３によるリリースフィルム４を浮き上がらせる工程を予備剥離代部形成工程とする（ステップＳ４）。予備剥離ロール１３の押え力は、積層フィルム１が移動する間にほぼ均一に積層フィルム１に接触する程度であればよく、カバーレイフィルム２を積極的に反り上がらせる必要はない。予備剥離代部ＬよりＸ（＋）側には、リリースフィルム４の浮き上がりはない。予備剥離ロール１３は、積層フィルム１に当接した状態で積層フィルム１がＸ（−）方向に移動することでカバーレイフィルム２との摩擦力で転動するようになっている。
【００４３】
積層フィルム１が予備剥離ロール１３の下方を通過した後、図６（ｅ）に示すように、予備剥離ローラ１３を待機位置（積層フィルム１から離れた位置）まで上昇させ（ステップＳ５）、積層フィルム吸着テーブル１４を停止し（ステップＳ６）、吸着ヘッド１６を積層フィルム１に当接するまで降下させ（ステップＳ７）、積層フィルム１のカバーレイフィルム２側を真空吸着する（ステップＳ８）。積層フィルム１を真空吸着した後、積層フィルム吸着テーブル１４による積層フィルム１の吸着を解除する（ステップＳ９）。次いで、図６（ｆ）に示すように、積層フィルム１を吸着した吸着ヘッド１６を、剥離ロール３０の上面に当接可能な高さ位置（リリースフィルム４の剥離可能位置）まで上昇させる（ステップＳ１０）。
【００４４】
続いて、図６（ｇ）に示すように、積層フィルム吸着テーブル１４をＸ（＋）方向に移動させ（ステップＳ１１）、剥離ロール３０がリリースフィルム４に接触したときから積層フィルム吸着テーブル１４（カバーレイフィルム２）の移動によって剥離ロール３０が転動を開始し、剥離ロール３０の粘着性を利用してリリースフィルム４の剥離を開始する（ステップＳ１２）。さらに、積層フィルム吸着テーブル１４（カバーレイフィルム２）をＸ（＋）方向に移動させることによって、リリースフィルム４をカバーレイフィルム２から剥離し、除去する（ステップＳ１３）。リリースフィルム４の除去については、図７を参照して詳しく説明する。
【００４５】
図７に示すように、剥離ロール３０は、積層フィルム吸着テーブル１４のＸ（＋）方向への移動によって転動し、表面の粘着性を利用してリリースフィルム４を巻き取るようにして剥離する。この際、剥離ロール３０だけの構成の場合には、剥離ロール３０がリリースフィルム４を巻き込んでしまうが、移送ベルト３３によって、剥離ロール３０がリリースフィルム４を巻き込むことなく下方側に剥離されたリリースフィルム４を移送する（移動方向を点線で示す）。リリースフィルム４の移送途中には分離板３６が配設されているため、リリースフィルム４を分離部３７によって剥離ロール３０及び移送ベルト３３から分離し、除去することが可能となっている。剥離ロール３０は、リリースフィルム４との摩擦によって転動するため静電気は発生しにくい。リリースフィルム４の剥離・除去工程（ステップＳ１３）が終了後、積層フィルム吸着テーブル１４は、次の積層フィルム１が給材される初期位置に復帰する。
【００４６】
リリースフィルム４の剥離・除去工程（ステップＳ１３）が終了後の吸着ヘッド１６の動作について図２を参照して説明する。吸着ヘッドユニット１２は、リリースフィルム４が剥離されたカバーレイフィルム２を吸着ヘッド１６が吸着した状態で、カバーレイフィルム２の貼着対象である回路基板（図示せず）の貼着位置までＹ（−）方向に移動し、カバーレイフィルム２を回路基板に加熱圧着する。回路基板は、基板吸着テーブル２０に真空吸着された状態で、ガイドレール２２に沿って吸着ヘッド１６の下方に移動し貼着位置に停止している。従って、リリースフィルム剥離装置１０は、積層フィルム１からリリースフィルム４を剥離・除去する機能と、カバーレイフィルム２を基板に貼着する機能とを有する装置である。カバーレイフィルム２が貼着された回路基板は、除材位置に戻る際に圧着ロール２３によってさらに圧着される。
【００４７】
以上説明したリリースフィルム剥離方法は、熱硬化性の接着剤層３を有するカバーレイフィルム２と接着剤層３に積層されたリリースフィルム４とから構成される単板の積層フィルム１からリリースフィルム４を剥離し、除去するリリースフィルム剥離方法であって、積層フィルム１のリリースフィルム４側を積層フィルム吸着テーブル１４に真空吸着する工程と、積層フィルム１を一方方向（Ｘ（−）方向）に移動しながら予備剥離ロール１３で積層フィルム１をカバーレイフィルム２側から押えつつ前記指剥離ロールを転動させ、カバーレイフィルム２の端部をリリースフィルム４から浮き上がらせ予備剥離代部Ｌを形成する工程と、積層フィルム吸着テーブル１４への積層フィルム１の吸着を解除し、積層フィルム１のカバーレイフィルム２の全面を吸着ヘッド１６に真空吸着する工程と、吸着ヘッド１６が積層フィルム１を吸着した状態で、リリースフィルム４に粘着性を有する剥離ロール３０を接触させ、積層フィルム吸着テーブル１４及び剥離ロール３０を他方向（Ｘ（＋）方向）に移動させることによって剥離ロール３０を転動し、積層フィルム１からリリースフィルム４を巻き取りつつ剥離し、除去する工程と、を含んでいる。
【００４８】
このような、リリースフィルム剥離方法によれば、予備剥離ロール１３を積層フィルム１のカバーレイフィルム２側から押さえつつ転動させることで予備剥離代部Ｌを形成し、吸着ヘッド１６によってカバーレイフィルム２の全面を吸着した後、剥離ロール３０を転動させてリリースフィルム２を積層フィルム１から剥離する。このようにすることによって、単板の積層フィルム１において、カバーレイフィルム２に反りを発生させたり、傷をつけたりすることなく、積層フィルム１からリリースフィルム４を剥離し、除去することが可能となる。
【００４９】
予備剥離代部Ｌを形成する工程（ステップＳ４）では、カバーレイフィルム２を押えつつ予備剥離ロール１３を転動させてカバーレイフィルム２の端部をリリースフィルム４から浮き上がらせ、接着剤層３に空気を触れさせる。
【００５０】
熱硬化性の接着剤層３は、表面が空気に触れると加熱しなければ再びリリースフィルムが貼りつくことがないことを利用して予備剥離代部Ｌを形成することが可能となり、この予備剥離代部Ｌから剥離を開始すれば、容易に積層フィルム１からリリースフィルム４を剥離することができる。
【００５１】
吸着ヘッド１６が積層フィルム１を真空吸着する工程では、吸着ヘッド１６によって予備剥離代部Ｌを含む積層フィルム１の全面を吸着する。このようにすることで、リリースフィルム４を剥離する際にカバーレイフィルム２に反りを発生することを防止できる。さらに、剥離ロール３０がカバーレイフィルム２に接触することがないのでカバーレイフィルム２に傷をつけてしまうことを防止できる。
【００５２】
リリースフィルム４を剥離し、除去する工程では、剥離ロール３０でリリースフィルム４を剥離しつつ剥離されたリリースフィルム４を移送ベルト３３で移送し、分離板３６によって剥離ロール３０及び移送ベルト３３からリリースフィルム４を分離し、除去する。
【００５３】
リリースフィルム４を剥離ロール３０のみで剥離すると、リリースフィルム４が剥離ロール３０に巻き込まれてしまい除去することが困難になる。そこで、剥離ロール３０によって剥離されたリリースフィルム４を移送ベルト３３で移送しつつ分離板３６で剥離ロール３０及び移送ベルト３３から分離すれば、リリースフィルム４が剥離ロール３０に巻きついてしまうことなく、カバーレイフィルム２からリリースフィルム４を剥離し、除去することが可能となる。
【００５４】
リリースフィルム剥離装置１０は、積層フィルム１のリリースフィルム４側を真空吸着しつつ一方向（Ｘ方向）に往復移動可能な積層フィルム吸着テーブル１４と、カバーレイフィルム４側から積層フィルム１を押え、積層フィルム吸着テーブル１４の一方方向（Ｘ（−）方向への移動によって転動しつつ積層フィルム１の進行方向側の端部に予備剥離代部Ｌを形成する予備剥離ロール１３と、積層フィルム１のカバーレイフィルム２側を真空吸着する吸着ヘッド１６と、積層フィルム吸着テーブル１４と一体となって移動可能であり、吸着ヘッド１６が積層フィルム１を吸着した状態で、予備剥離代部Ｌにおいて剥離ロール３０がリリースフィルム４に当接し、積層フィルム吸着テーブル１４の他方向（Ｘ（＋）方向）への移動により剥離ロール３０が転動しつつ積層フィルム１からリリースフィルム４を剥離するリリースフィルム剥離ロール部１５と、を有している。
【００５５】
以上説明したリリースフィルム剥離装置１０によれば、予備剥離ロール１３を積層フィルム１のカバーレイフィルム２側から押さえつつ転動させることでリリースフィルム４からカバーレイフィルム２の端部を浮き上がらせて予備剥離代部Ｌを形成し、吸着ヘッド１６によってカバーレイフィルム２の全面を吸着した後、剥離ロール１６が転動してリリースフィルム４を巻き取るようにして積層フィルムから剥離する。このようにすることによって、単板の積層フィルム１において、カバーレイフィルム２に反りが発生することがない。又、カバーレイフィルム２にリリースフィルム剥離ロール部が接触しないので傷をつけることなく、積層フィルム１からリリースフィルム４を剥離することが可能となる。
【００５６】
予備剥離ロール１３は、積層フィルム１の移動方向に対し直交する幅寸法（Ｙ方向寸法）よりも長く、かつ表面に粘着性を有しており、積層フィルム１を押えつつ積層フィルム吸着テーブル１４の移動によって転動する構成である。このように構成される予備剥離ロール１３は、粘着性を利用して偏りなく積層フィルム１を押えつつ相対的に移動することによって転動し、積層フィルム吸着テーブル１４に吸着されたリリースフィルム４からカバーレイフィルム２を浮き上がらせて予備剥離代部Ｌを形成することが可能となる。
【００５７】
リリースフィルム剥離ロール部１５は、積層フィルム１の幅寸法よりも長く、かつ表面に粘着性を有する剥離ロール３０と、剥離ロール３０の下方側に、積層フィルム吸着テーブル１４から剥離ロール３０よりも離れた位置に配置され従動ロール３１と、剥離ロール３０と従動ロール３１とを連結し剥離されたリリースフィルム４を移送する移送ベルト３３と、から構成され、剥離ロール３０及び従動ロール３１には複数の溝３４，３５が形成されており、複数の溝それぞれに移送ベルト３３が装着され、移送ベルト３３が剥離ロール３０の外周表面の内側に収まるように装着されている。
【００５８】
このように構成されるリリースフィルム剥離ロール部１５は、粘着性を有する剥離ロール３０によってリリースフィルム４の幅全体に亘ってほぼ均等に巻き取るように剥離していき、剥離されたリリースフィルムは移送ベルト３３によって下方に移送される。従って、剥離されたリリースフィルム４は剥離ロール３０に巻きつくことなく移送ベルト３３によって剥離ロール３０から分離して移送することが可能となる。
【００５９】
また、リリースフィルム剥離ロール部１５は、剥離ロール３０と従動ロール３１の間において移送ベルト３３と交差し、その交差部から従動ロール３１側が移送ベルト３３の外側に張り出すように配置される分離板３６を有している。剥離ロール３０によって剥離されつつあるリリースフィルム４は、移送ベルト３３によって下方側（剥離ロール３０から離れる方向）に移送され、分離板３６によって移送ベルト３３から分離され、除去することが可能となる。
【００６０】
また、吸着ヘッド１６は、リリースフィルム４が剥離されたカバーレイフィルム２を吸着した状態で、カバーレイフィルム２を貼着する回路基板（図示せず）の配置位置まで移動し、回路基板の所定位置にカバーレイフィルム２を加熱圧着する機能を有していることが好ましい。このような構成にすることによって、積層フィルム１４からリリースフィルムを剥離し、除去する剥離機能と、カバーレイフィルム２を回路基板に加熱圧着する貼着機能とを併せ持つリリースフィルム剥離装置１０を実現することが可能となる。
【００６１】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【００６２】
前述した実施形態では、１枚の単板の積層フィルム１からリリースフィルム４を剥離し、除去する例を説明したが、剥離対象の積層フィルムの数を１枚に限らずもっと増やすことが可能である。例えば、積層フィルム吸着テーブル１４に、積層フィルムをＹ方向、又はＸ方向、又はＹ方向及びＸ方向に複数枚ずつ配列し、それぞれからリリースフィルムを剥離するようにしてもよい。このような場合には、積層フィルムの配列に合わせて基板吸着テーブル２０に回路基板を配列しておき、リリースフィルムが剥離されたカバーレイフィルムを貼着すればよい。
【００６３】
また、前述した実施形態では、積層フィルム１は、単板に形成したものからリリースフィルム４を剥離しているが、例えば、ロールに巻回された長尺の積層フィルムを、積層フィルム吸着テーブル１４に給材する手前において、単板の積層フィルムに切断して給材するようにしてもよい。
【００６４】
また、前述した実施形態では、リリースフィルム剥離ロール部１５は、積層フィルム吸着テーブルと一体でＸ方向に移動可能となっているが、吸着ヘッド１６が積層フィルム１を吸着した後に、リリースフィルム剥離ロール部１５を積層フィルム吸着テーブルに対して独立して移動可能な構成としてもよい。このような場合には、吸着ヘッド１６が積層フィルム１を吸着した後に、積層フィルム吸着テーブルを初期位置に移動し、その後、リリースフィルム剥離ロール部１５を移動すれば、前述した実施形態と同じような方法でリリースフィルム４を剥離、除去することが可能となる。
【符号の説明】
【００６５】
１…積層フィルム、２…カバーレイフィルム、３…接着剤層、４…リリースフィルム、１０…リリースフィルム剥離装置、１１…積層フィルム吸着テーブルユニット、１３…予備剥離ロール、１４…積層フィルム吸着テーブル、１５…リリースフィルム剥離ロール部、１６…吸着ヘッド、３０…剥離ロール、３１…従動ロール、３３…移送ベルト、３４，３５…溝、３６…分離板、Ｌ…予備剥離代部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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