(57)【要約】【課題】複数のボトルの交換作業を迅速かつ容易に実施すること。【解決手段】イオン交換樹脂を収容した複数のボトル（３１）が取り付けられたイオン交換ユニット（１７）であり、複数のボトルの下部から水を排出する排出部が差し込まれる複数の第１の収容部が設けられた第１のブロック（４２）と、複数のボトルの上部に水を流入する流入部が差し込まれる複数の第２の収容部が設けられた第２のブロック（４７）と、第２のブロックの複数の第２の収容部を複数のボトルの流入部に脱着させる脱着手段（６７）とを備え、脱着手段が、排出部及び流入部の差し込み方向に長穴（５５）が形成された一対のガイド部（５４）と、一対のガイド部の長穴に差し込まれた旋回軸（６６）とを有し、旋回軸を軸にして第２のブロックが旋回可能に一対のガイド部に連結される構成にした。【選択図】図４
2019013877.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオン交換樹脂を収容した複数のボトルを接続するイオン交換ユニットであって、
該ボトルは、円柱状でイオン交換樹脂を収容する本体部と、該本体部の上部から水を流入する凸状の流入部と、該本体部の下部から水を排出する凸状の排出部とを備え、
該イオン交換ユニットは、複数の該ボトルを立設させて、全ての該排出部を並列接続する排出部接続手段と、全ての該流入部を並列接続する流入部接続手段と、該流入部接続手段を全ての該流入部に対して脱着する脱着手段とを備え、
該排出部接続手段は、該排出部を差し込む第１の収容部を複数形成する第１のブロックと、複数の該第１の収容部どうしを連通させる第１の連通路とを備え、
該流入部接続手段は、該流入部を差し込む第２の収容部を複数形成する第２のブロックと、複数の該第２の収容部どうしを連通させる第２の連通路とを備え、
該脱着手段は、該第２のブロックを該ボトルの立設方向に昇降自在とするガイド部と、該ガイド部に沿って上昇させ該流入部を該第２の収容部から離間させると共に該ガイド部から離間した該第２のブロックを旋回させる旋回軸と、を備え、
該旋回軸は、該ガイド部のガイド方向に対して直交する方向に延在し、立設する複数の該ボトルの該流入部より外に位置づけられていて、
該旋回軸を軸に該第２のブロックを該ボトル側に旋回させ該流入部に該第２の収容部を差し込んだ状態で該第２のブロックを固定させる固定部とを備えるイオン交換ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、純水を生成する際に用いられるイオン交換ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
切削装置では、切削水として純水を供給しながらウエーハを切削ブレードで切削している。切削装置には、水道水や工業用水から生成した純水が供給される他、切削装置の廃液から再生した純水が供給される。水道水等を用いる場合、水道水等をＲＯ膜フィルタ、殺菌ユニット、イオン交換ユニットに通水させて純水が生成される（例えば、特許文献１参照）。切削装置の廃液を用いる場合、廃液からフィルタで切削屑を取り除き、殺菌ユニット、イオン交換ユニットに通水させて純水が再生される。このように、水道水等から純水を生成する場合も、廃液から純水を再生する場合もイオン交換樹脂を必要としている。
【０００３】
イオン交換樹脂はボトルに充填されており、このボトルに通水することでイオン交換樹脂によってイオン交換がなされて純水が生成される。イオン交換が行われることでイオン交換樹脂のイオン交換能力が失われるため、イオン交換樹脂の入れ換えが必要であるが、ボトルの通水口からはイオン交換樹脂の入れ換えは難しく時間がかかっていた。対策として、イオン交換能力があるイオン交換樹脂が充填されたボトルと交換することでイオンの補充作業を簡単にしている。このような、ボトル交換作業を簡単にするイオン交換ユニットとして、ボトルを引き出し可能にしたものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１５７９９６号公報
【特許文献２】特開２００９−１９０１２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、イオン交換樹脂が満杯になったボトルの交換作業は作業者の負担が大きい。そこで、ボトル１本の容量を１／３にした小型ボトルに変更することで、ボトルの軽量化を図って作業者の負担をさらに軽減することができる。ボトルの軽量化によって１本当たりの作業負担が減るものの、３本の小型ボトルを並列に接続する接続作業が発生するため交換時間が長くかかっていた。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、複数のボトルの交換作業を迅速かつ容易に実施することができるイオン交換ユニットを提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様のイオン交換ユニットは、イオン交換樹脂を収容した複数のボトルを接続するイオン交換ユニットであって、該ボトルは、円柱状でイオン交換樹脂を収容する本体部と、該本体部の上部から水を流入する凸状の流入部と、該本体部の下部から水を排出する凸状の排出部とを備え、該イオン交換ユニットは、複数の該ボトルを立設させて、全ての該排出部を並列接続する排出部接続手段と、全ての該流入部を並列接続する流入部接続手段と、該流入部接続手段を全ての該流入部に対して脱着する脱着手段とを備え、該排出部接続手段は、該排出部を差し込む第１の収容部を複数形成する第１のブロックと、複数の該第１の収容部どうしを連通させる第１の連通路とを備え、該流入部接続手段は、該流入部を差し込む第２の収容部を複数形成する第２のブロックと、複数の該第２の収容部どうしを連通させる第２の連通路とを備え、該脱着手段は、該第２のブロックを該ボトルの立設方向に昇降自在とするガイド部と、該ガイド部に沿って上昇させ該流入部を該第２の収容部から離間させると共に該ガイド部から離間した該第２のブロックを旋回させる旋回軸と、を備え、該旋回軸は、該ガイド部のガイド方向に対して直交する方向に延在し、立設する複数の該ボトルの該流入部より外に位置づけられていて、該旋回軸を軸に該第２のブロックを該ボトル側に旋回させ該流入部に該第２の収容部を差し込んだ状態で該第２のブロックを固定させる固定部とを備える。
【０００８】
この構成によれば、ボトルの装着時には、脱着手段の旋回軸を中心に第２のブロックが各ボトルの真上まで旋回されて、ボトルの立設方向に降ろされることで、各第２の収容部に各ボトルの流入部が同時に差し込まれる。ボトルの取り外し時には、第２のブロックがボトルの立設方向に持ち上げられて、脱着手段の旋回軸を中心に各ボトルから離間させる方向に第２のブロックが旋回されることで、各第２の収容部から各ボトルの流入部が同時に離間される。よって、第２のブロックの脱着作業を複数のボトルに対して同時に実施することができるため、複数のボトルの交換作業を迅速かつ容易に実施することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、第２のブロックを降ろすことで各第２の収容部に各ボトルの流入部を同時に差し込み、第２のブロックを持ち上げることで各第２の収容部から各ボトルの流入部を同時に離間させることができる。よって、複数のボトルに対する脱着作業を簡略化して、複数のボトルの交換作業を迅速かつ容易に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施の形態の廃液再生装置の斜視図である。
【図２】本実施の形態の純水の循環系を示す図である。
【図３】本実施の形態のイオン交換ユニットの模式図である。
【図４】本実施の形態のイオン交換ユニットの斜視図である。
【図５】本実施の形態の脱着手段による脱着動作の説明図である。
【図６】本実施の形態のイオン交換ユニットのボトルの交換作業の説明図である。
【図７】本実施の形態のイオン交換ユニットのボトルの交換作業の説明図である。
【図８】本実施の形態のイオン交換ユニットのボトルの交換作業の説明図である。
【図９】本実施の形態のイオン交換ユニットのボトルの交換作業の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の廃液再生装置について説明する。図１は、本実施の形態の廃液再生装置の斜視図である。図２は、本実施の形態の純水の循環系を示す図である。なお、本実施の形態では、切削装置に接続された廃液再生装置について説明するが、廃液再生装置が切削装置以外の他の加工装置に接続されてもよい。なお、図１では、説明の便宜上、筐体を破線で示している。
【００１２】
図１及び図２に示すように、廃液再生装置１０は、切削装置１（図２参照）から廃液を回収して純水を再生し、切削装置１に純水を供給するように構成されている。廃液再生装置１０の筐体１１の外面にはタッチパネル式のモニタ１２が設けられており、モニタ１２には処理条件等の各種情報が表示される。筐体１１内には、第１のタンク１３、濾過フィルタ１４、ＵＶ照射部１６付きの第２のタンク１５、イオン交換ユニット１７が設けられている。第１のタンク１３及び濾過フィルタ１４の間、第２のタンク１５及びイオン交換ユニット１７の間、イオン交換ユニット１７及び切削装置１の間には、第１−第３のポンプ２１−２３が設けられている。
【００１３】
第１のタンク１３は、切削装置１の排出口２（図２参照）よりも低い位置に設置されており、切削装置１の排出口２から排出された廃液を貯留している。第１のタンク１３内の廃液は第１のポンプ２１によって汲み上げられて濾過フィルタ１４に向けて送り出される。濾過フィルタ１４はトレイ２４上に載せられており、濾過フィルタ１４に流れ込んだ廃液から切削屑等の異物を除去してトレイ２４に排出している。トレイ２４の下方には第２のタンク１５が設置されており、濾過フィルタ１４で濾過された廃液はトレイ２４の底穴を通じて第２のタンク１５に貯留される。
【００１４】
第２のタンク１５の下部にはＵＶ照射部１６が設けられており、第２のタンク１５内の廃液はＵＶ照射部１６によって除菌および有機物の分解がされる。第２のタンク１５で除菌および有機物の分解がされた廃液は第２のポンプ２２によって汲み上げられてイオン交換ユニット１７に向けて送り出される。イオン交換ユニット１７には、イオン交換樹脂を収容した複数（本実施の形態では３つ）のボトル３１が設置されている。イオン交換ユニット１７に流れ込んだ廃液はボトル３１内のイオン交換樹脂で脱イオン化されて純水へと再生される。再生された純水は第３のポンプ２３によって汲み上げられて切削装置１の供給口３に向けて送り出される。なお、第３のポンプ２３と切削装置１の供給口３とを接続する配管にゴミの送り込みを防ぐフィルタを備えてもよい。
【００１５】
このように、切削装置１から廃液再生装置１０に排出された廃液が異物除去、除菌、脱イオン化されて純水が再生され、廃液再生装置１０から切削装置１に供給された純水が切削水として切削加工に再利用される。よって、廃液再生装置１０が切削装置１の隣に設置されることで、切削装置１に対する純水の供給環境が整えられる。廃液再生装置１０によって切削装置１からの廃液が全て純水に再生されるため、排水口が存在しない場所に切削装置１を設置することが可能になっている。また、純水の循環系が短く形成されているため、循環中の水温の変動が抑えられている。
【００１６】
ところで、一般的なイオン交換ユニット（不図示）では、イオン交換樹脂が収容された複数のボトルが並列に取り付けられている。ボトル内のイオン交換樹脂は消耗品であるため、ボトルを交換する必要がある。しかしながら、各ボトルの上下２箇所もしくは上２箇所で水圧に耐えられるようにネジ止めされているため、１つずつボトルのネジを開け閉めしなければならず作業者にとって煩わしい作業になっていた。そこで、本実施の形態のイオン交換ユニット１７に、複数のボトル３１の上部を同時に脱着できる脱着手段６７（図５参照）を設けて、ボトル３１交換時の作業者の負担を軽減している。なお、ボトルを交換する時期は、ボトルから排出される水の比抵抗値（電気抵抗値）を測定して交換時期を判断する。例えば、閾値を１２ＭΩと設定し、閾値より測定した比抵抗値が小さくなったらボトルを交換する。
【００１７】
以下、本実施の形態のイオン交換ユニットの詳細構成について説明する。図３は、本実施の形態のイオン交換ユニットの模式図である。図４は、本実施の形態のイオン交換ユニットの斜視図である。
【００１８】
図３に示すように、イオン交換ユニット１７には複数のボトル３１が並列に接続されており、第２のタンク１５（図２参照）から送られた廃液が複数のボトル３１に分かれて脱イオン化処理が実施されている。各ボトル３１は、イオン交換樹脂３２が収容された本体部３３が円柱状に形成されており、本体部３３の上部に凸状の流入部３４が設けられ、本体部３３の下部に凸状の排出部３５が設けられている。流入部３４によって本体部３３の上部に水が流入して、本体部３３内のイオン交換樹脂３２に水が入り込み、排出部３５によって本体部３３の下部からイオン交換樹脂３２を通過した水が排出される。
【００１９】
イオン交換ユニット１７の下部は、複数のボトル３１を立設させて、全てのボトル３１の排出部３５を並列に接続する排出部接続手段４１になっている。排出部接続手段４１には複数のボトル３１の下側を支持する厚板状の第１のブロック４２が設けられ、第１のブロック４２の上面には複数の排出部３５が差し込まれる複数の第１の収容部４３が形成されている。排出部３５の外周面及び第１の収容部４３の内周面のいずれかには漏洩防止用のＯリング（不図示）が設けられている。第１のブロック４２内には、第１の収容部４３同士を連通させる第１の連通路４４が形成されており、第１の連通路４４の出口は配管を通じて切削装置１（図２参照）に接続されている。
【００２０】
イオン交換ユニット１７の上部は、全てのボトル３１の流入部３４を並列に接続する流入部接続手段４６になっている。流入部接続手段４６には複数のボトル３１の上側を支持する厚板状の第２のブロック４７が設けられ、第２のブロック４７の下面には複数の流入部３４が差し込まれる複数の第２の収容部４８が形成されている。流入部３４の外周面には漏洩防止用のＯリング３４ａ（図７参照）が設けられている。なお、Ｏリングは第２の収容部４８の内周面に設けられていてもよい。第２のブロック４７内には、第２の収容部４８同士を連通させる第２の連通路４９が形成されており、第２の連通路４９の入口は配管を通じて第２のタンク１５（図２参照）に接続されている。
【００２１】
図４に示すように、イオン交換ユニット１７には、複数のボトル３１を一側方から支える支持柱５１が設けられている。支持柱５１は排出部接続手段４１の第１のブロック４２に立設されており、支持柱５１の側方には複数のボトル３１の設置空間が形成されている。支持柱５１には、部分的に開口された支持板５２の短手方向の両側部分がボトル３１側に屈曲されて一対の側板５３が形成されている。一対の側板５３の上部は支持板５２よりも上方に突出しており、この側板５３の突出部分は流入部接続手段４６の第２のブロック４７をボトル３１の立設方向に昇降自在にガイドする一対のガイド部５４になっている。各ガイド部５４には先端側に向かって長穴５５及び切欠き５６が形成されている。
【００２２】
第２のブロック４７の上面には、取っ手６２、６３付きのカバープレート６１が取り付けられている。カバープレート６１には、一対のガイド部５４を外側から覆うように屈曲された一対の連結板６４が形成されている。一対の連結板６４の対向面の上側は、ガイド部５４の切欠き５６に引っ掛けられる止め軸６５によって連結されている。一対の連結板６４の対向面の下側は、ガイド部５４の長穴５５に差し込まれた旋回軸６６によって連結されている。切欠き５６から止め軸６５が外れて、長穴５５の内側で旋回軸６６を中心に第２のブロック４７が旋回されることで、複数のボトル３１の流入部３４に対して第２の収容部４８が脱着される。
【００２３】
このように、本実施の形態では、一対のガイド部５４に形成された切欠き５６及び長穴５５と、一対の連結板６４を繋ぐ止め軸６５及び旋回軸６６とによって、流入部接続手段４６を全てのボトル３１の流入部３４に脱着する脱着手段６７が構成されている。また、支持板５２の上部には、流入部接続手段４６がボトル３１の流入部３４に対して装着された状態で、流入部接続手段４６の動きを規制する固定部７１が設けられている。固定部７１は、いわゆるスナップ錠であり、止め軸６５及び旋回軸６６に設けた受け部材７２のフックに、支持板５２の上側に設けた留め部材７３の爪を係止させた状態で引き下ろすことで固定される。
【００２４】
また、イオン交換ユニット１７は支持柱５１を廃液再生装置１０の外側に向けて廃液再生装置１０の筐体１１に収容されている。イオン交換ユニット１７の下部は、脱着手段６７の旋回軸６６と平行に延在した傾動軸７５を介して廃液再生装置１０の基台５に連結されている。このため、傾動軸７５を中心にイオン交換ユニット１７が傾けられると、支持柱５１（支持板５２）を下方に向けた状態で複数のボトル３１が筐体１１の外側に引き出される（図６参照）。これにより、イオン交換ユニット１７からボトル３１を脱着するための作業スペースが廃液再生装置１０の外側に形成され、ボトル３１の交換作業の作業性が向上されている。
【００２５】
図５を参照して、脱着手段について説明する。図５は、本実施の形態の脱着手段による脱着動作の説明図である。
【００２６】
図５Ａに示すように、第２のブロック４７にはカバープレート６１の連結板６４を介して旋回軸６６及び止め軸６５が設けられており、旋回軸６６及び止め軸６５は複数のボトル３１の流入部３４よりも外に位置付けられている。旋回軸６６及び止め軸６５はガイド部５４のガイド方向に対して直交する方向に延在しており、旋回軸６６は一対のガイド部５４の長穴５５に差し込まれ、止め軸６５は一対のガイド部５４の切欠き５６に入り込んでいる。長穴５５及び切欠き５６は、第２の収容部４８に対する流入部３４の差し込み方向に延在し、この差し込み方向が旋回軸６６及び止め軸６５のガイド方向になっている。
【００２７】
また、旋回軸６６のガイド方向に延びる中心線Ｃから各ボトル３１の流入部３４までの距離Ｌａ、Ｌｂと、この中心線Ｃから第２の収容部４８までの距離Ｌｃ、Ｌｄが一致している。このため、旋回軸６６及び止め軸６５のいずれもが中心線Ｃ上にある場合には、各流入部３４の中心に対して第２の収容部４８の中心が位置決めされている。したがって、止め軸６５が切欠き５６に入り込むことで流入部３４に対して第２の収容部４８が位置合わせされ、旋回軸６６及び止め軸６５がガイド方向に沿って中心線Ｃ上で動かされている間は、流入部３４対して第２の収容部４８が位置ズレすることがない。
【００２８】
図５Ｂに示すように、第２のブロック４７から複数のボトル３１を取り外すときは、固定部７１（図４参照）のロックが解除されて受け部材７２のフックから留め部材７３の爪が外される。これにより、旋回軸６６及び止め軸６５がガイド方向で昇降可能になり、ガイド部５４の長穴５５に沿って第２のブロック４７が上昇することで切欠き５６から止め軸６５が外される。このとき、ガイド方向が第２の収容部４８に対する流入部３４の差し込み方向に一致しているため、第２の収容部４８から複数の流入部３４が同時に離間される。そして、旋回軸６６を中心にして第２のブロック４７がボトル３１から離間方向に旋回される。
【００２９】
図５Ｃに示すように、第２のブロック４７を複数のボトル３１に取り付けるときは、旋回軸６６を中心にして第２のブロック４７がボトル３１に接近する方向に旋回される。止め軸６５が切欠き５６に入り込むことで、ボトル３１の各流入部３４に対して各第２の収容部４８が位置決めされる。ガイド部５４の長穴５５に沿って第２のブロック４７が降ろされることで、複数のボトル３１の各流入部３４に対して第２の収容部４８が位置ズレすることなく、複数のボトル３１の各流入部３４が第２の収容部４８に同時に差し込まれる。そして、受け部材７２のフックに留め部材７３の爪が係止された状態で、固定部７１（図４参照）によって第２のブロック４７が固定される。
【００３０】
このように、複数のボトル３１の各流入部３４に対して第２のブロック４７の各第２の収容部４８が位置決めされ、ガイド部５４によって第２のブロック４７が第２のブロック４７に対する流入部３４の差し込み方向にガイドされている。よって、複数のボトル３１から第２のブロック４７を持ち上げることで、複数のボトル３１の各流入部３４から第２の収容部４８が同時に離間される。また、複数のボトル３１に対して第２のブロック４７を押し下げることで、複数のボトル３１の各流入部３４に第２の収容部４８が同時に差し込まれる。よって、イオン交換ユニット１７に対するボトル３１の脱着作業の作業性が向上されている。
【００３１】
図６−図９を参照して、本実施の形態のイオン交換ユニットのボトルの交換作業について説明する。図６−図９は、本実施の形態のイオン交換ユニットのボトルの交換作業の説明図である。
【００３２】
図６に示すように、イオン交換ユニット１７の上部の取っ手６２が引かれると、イオン交換ユニット１７が下部の傾動軸７５を中心にして傾けられる。これにより、イオン交換ユニット１７が廃液再生装置１０の筐体１１内から外側に突出されて、作業者によるボトル３１の交換作業の作業性が向上される。次に、固定部７１（図９）のロックを解除した後に、取っ手６２によって第２のブロック４７が持ち上げられると、上記したように止め軸６５が切欠き５６（図７参照）から外れると共に、複数のボトル３１の流入部３４から第２の収容部４８（図７参照）が同時に離間される（図５Ｂ参照）。
【００３３】
図７に示すように、旋回軸６６を軸に第２のブロック４７がボトル３１とは逆側に旋回されると、複数のボトル３１の上方が開放されて流入部３４が上方に露出される。この状態で、第１のブロック４２（図６参照）からイオン交換能力が無くなったボトル３１が取り外されて、イオン交換樹脂３２（図３参照）が充填された新たなボトル３１に付け替えられる。この場合、第１のブロック４２からイオン交換能力が無くなったボトル３１が持ち上げられて、第１の収容部４３（図３参照）からボトル３１の排出部３５（図６参照）が引き抜かれる。さらに、新たなボトル３１の排出部３５が第１の収容部４３に差し込まれて、第１のブロック４２に対してボトル３１が取り付けられる。
【００３４】
図８に示すように、第１のブロック４２（図６参照）に対して複数のボトル３１が付け替えられると、取っ手６２が持ち上げられて、旋回軸６６を軸に第２のブロック４７がボトル３１側に旋回される。このとき、ガイド部５４の長穴５５（図５参照）の上側に旋回軸６６が位置付けられるため、第２のブロック４７の旋回時に止め軸６５がガイド部５４の先端に衝突することない。図９に示すように、第２のブロック４７の旋回によって複数の第２の収容部４８が複数のボトル３１の流入部３４の真上に位置付けられ、第２のブロック４７が降ろされることで複数のボトル３１の流入部３４が第２の収容部４８に同時に差し込まれる。
【００３５】
第２の収容部４８にボトル３１の流入部３４が差し込まれた状態で、固定部７１がロックされることで第２のブロック４７が固定される。そして、イオン交換ユニット１７の上部の取っ手６２が押し込まれて、イオン交換ユニット１７が下部の傾動軸７５（図６参照）を中心にして起こされる。イオン交換ユニット１７が廃液再生装置１０の筐体１１内に収容されることでボトル３１の交換作業が完了する。これにより、複数のボトル３１の流入部３４には第２のブロック４７から除菌済みの廃液が流入され、複数のボトル３１の排出部３５からは脱イオン化した純水が第１のブロック４２（図６参照）に排出される。
【００３６】
以上のように、本実施の形態のイオン交換ユニット１７によれば、ボトル３１の装着時には、脱着手段６７の旋回軸６６を中心に第２のブロック４７が各ボトル３１の真上まで旋回されて、ボトル３１の立設方向に降ろされることで、各第２の収容部４８に各ボトル３１の流入部３４が同時に差し込まれる。ボトル３１の取り外し時には、第２のブロック４７がボトル３１の立設方向に持ち上げられて、脱着手段６７の旋回軸６６を中心に各ボトル３１から離間させる方向に第２のブロック４７が旋回されることで、各第２の収容部４８から各ボトル３１の流入部３４が同時に離間される。よって、第２のブロック４７の脱着作業を複数のボトル３１に対して同時に実施することができるため、複数のボトル３１の交換作業を迅速かつ容易に実施することができる。
【００３７】
なお、本実施の形態では、ガイド部の切欠き及び長穴と、止め軸及び旋回軸とによって脱着手段が構成されたが、この構成に限定されない。脱着手段は、流入部接続手段を全ての流入部に対して脱着する構成であればよい。例えば、ガイド部は、第２のブロックをボトルの立設方向に昇降自在にガイドすればよく、切欠きや長穴が形成されていなくてもよい。また、旋回軸が、ガイド部に沿って上昇して流入部を第２の収容部から離間させると共に、第２のブロックを旋回させる構成であれば、脱着手段に止め軸が設けられていなくてもよい。
【００３８】
また、本実施の形態では、第１のブロックが厚板に形成されたが、この構成に限定されない。第１のブロックには、第１の収容部が設けられると共に第１の連通路が形成されていればよく、特に形状は限定されない。また、本実施の形態では、第２のブロックが厚板に形成されたが、この構成に限定されない。第２のブロックには、第２の収容部が設けられると共に第２の連通路が形成されていればよく、特に形状は限定されない。
【００３９】
また、本実施の形態では、排出部と第１の収容部の接続部分、流入部と第２の収容部の接続部分にはそれぞれＯリングが設置されたが、この構成に限定されない。排出部と第１の収容部の接続部分、流入部と第２の収容部の接続部分には、それぞれ他のシール材が設けられていてもよい。
【００４０】
また、本実施の形態では、加工装置として切削装置に使用される廃液再生装置のイオン交換ユニットについて説明したが、この構成に限定されない。本発明は、他の加工装置で使用される廃液再生装置のイオン交換ユニットに適用可能である。例えば、廃液再生装置に接続した加工装置であれば、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザ加工装置、プラズマエッチング装置、エッジトリミング装置、エキスパンド装置、ブレーキング装置、及びこれらを組み合わせたクラスター装置等の他の加工装置に接続した廃液再生装置のイオン交換ユニットに適用されてもよい。
【００４１】
また、本実施の形態では、廃液から純水を再生する廃液再生装置のイオン交換ユニットについて説明したが、この構成に限定されない。イオン交換ユニットは、水道水や工業用水から純水を生成する純水生成装置に設けられていてもよい。
【００４２】
また、加工対象のウエーハとして、加工の種類に応じて、例えば、半導体デバイスウエーハ、光デバイスウエーハ、パッケージ基板、半導体基板、無機材料基板、酸化物ウエーハ、生セラミックス基板、圧電基板等の各種ワークが用いられてもよい。半導体デバイスウエーハとしては、デバイス形成後のシリコンウエーハや化合物半導体ウエーハが用いられてもよい。光デバイスウエーハとしては、デバイス形成後のサファイアウエーハやシリコンカーバイドウエーハが用いられてもよい。また、パッケージ基板としてはＣＳＰ（Chip  Size  Package）及びＦＯＷＬＰ（Fan  Out  Wafer  Level  Package）用の基板が用いられてもよい。半導体基板としてはシリコンやガリウム砒素等、無機材料基板としてはサファイア、セラミックス、ガラス等が用いられてもよい。さらに、酸化物ウエーハとしては、デバイス形成後又はデバイス形成前のリチウムタンタレート、リチウムナイオベートが用いられてもよい。
【００４３】
また、本実施の形態及び変形例を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
【００４４】
また、本発明の実施の形態及び変形例は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。
【００４５】
また、本実施の形態では、本発明をイオン交換ユニットに適用した構成について説明したが、複数のボトルの交換が必要な他の装置に適用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
以上説明したように、本発明は、複数のボトルの交換作業を迅速かつ容易に実施することができるという効果を有し、特に、純水を生成する際に用いられるイオン交換ユニットに有用である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  廃液再生装置
１７  イオン交換ユニット
３１  ボトル
３２  イオン交換樹脂
３３  本体部
３４  流入部
３５  排出部
４１  排出部接続手段
４２  第１のブロック
４３  第１の収容部
４４  第１の連通路
４６  流入部接続手段
４７  第２のブロック
４８  第２の収容部
４９  第２の連通路
５４  ガイド部
５５  長穴
５６  切欠き
６５  止め軸
６６  旋回軸
６７  脱着手段
７１  固定部
【図１】
2019013877.tif 000003
【図２】
2019013877.tif 000004
【図３】
2019013877.tif 000005
【図４】
2019013877.tif 000006
【図５】
2019013877.tif 000007
【図６】
2019013877.tif 000008
【図７】
2019013877.tif 000009
【図８】
2019013877.tif 000010
【図９】
2019013877.tif 000011