(57)【要約】      （修正有）【課題】基板が大型化しても、膜ボケを抑制することのできる蒸着方法，電子デバイスの製造方法及び蒸着装置の提供。【解決手段】基板を直立した状態で位置決めさせ、かつ、基板における主面側に複数の短冊状マスク３１０により構成されるマスクを配置させて、これら基板及びマスクに対して移動する蒸発源によって、複数の短冊状マスク３１０にそれぞれ形成されている複数の開口部３１１を介して前記基板の主面に成膜を施す蒸着方法であって、複数の開口部３１１は、いずれも矩形状の開口により構成されており、成膜を行う際には、開口部３１１の長手方向と一致する方向に、前記蒸発源を移動させることを特徴とする蒸着方法。【選択図】図１４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を直立した状態で位置決めさせ、かつ、基板における主面側に複数の短冊状マスクにより構成されるマスクを配置させて、これら基板及びマスクに対して移動する蒸発源によって、複数の前記短冊状マスクにそれぞれ形成されている複数の開口部を介して前記基板の主面に成膜を施す蒸着方法であって、
複数の前記開口部は、いずれも矩形状の開口により構成されており、
成膜を行う際には、前記開口部の長手方向と一致する方向に、前記蒸発源を移動させることを特徴とする蒸着方法。
【請求項２】
基板を直立した状態で位置決めさせ、かつ、基板における主面側に複数の短冊状マスクにより構成されるマスクを配置させて、これら基板及びマスクに対して移動する蒸発源によって、複数の前記短冊状マスクにそれぞれ形成されている複数の開口部を介して前記基板の主面に成膜を施す蒸着方法であって、
前記蒸発源を前記短冊状マスクの長手方向に並ぶ列を作るように複数設けると共に、前記基板の主面と平行、かつ前記短冊状マスクの長手方向に対して垂直方向に、複数の前記蒸発源を移動させながら成膜を施すことを特徴とする蒸着方法。
【請求項３】
複数の前記開口部は、いずれも矩形状の開口により構成されており、これらの開口部の長手方向と前記短冊状マスクの長手方向が一致するように構成されている短冊状マスクを用いて、前記蒸発源によって成膜を施すことを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着方法。
【請求項４】
前記短冊状マスクの長手方向と鉛直方向が一致するように、複数の前記短冊状マスクを位置決めさせた状態で、前記蒸発源によって成膜を施すことを特徴とする請求項１，２または３に記載の蒸着方法。
【請求項５】
蒸発源が設けられたチャンバ内に基板及びマスクを搬送させる工程と、
請求項１〜４のいずれか一つに記載の蒸着方法を用いて、前記基板上に有機膜を形成させる工程と、
を有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項６】
前記基板上に有機膜を形成させる工程の後に、金属膜を蒸着させる工程を有することを特徴とする請求項５に記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項７】
基板を直立した状態で位置決めさせる基板位置決め機構と、
前記基板位置決め機構により位置決めされた基板における主面側に複数の短冊状マスクにより構成されるマスクを配置させるマスク位置決め機構と、
前記基板位置決め機構により位置決めされた基板の主面と平行、かつ直線的に蒸発源を移動させる蒸発源移動機構と、
を備え、
前記蒸発源移動機構により前記蒸発源を移動させながら、複数の前記短冊状マスクにそれぞれ形成されている複数の開口部を介して前記基板の主面に成膜を施す蒸着装置であって、
複数の前記開口部は、いずれも矩形状の開口により構成されると共に、
前記蒸発源移動機構による前記蒸発源の移動方向は、前記開口部の長手方向と一致することを特徴とする蒸着装置。
【請求項８】
基板を直立した状態で位置決めさせる基板位置決め機構と、
前記基板位置決め機構により位置決めされた基板における主面側に複数の短冊状マスク
により構成されるマスクを配置させるマスク位置決め機構と、
前記基板位置決め機構により位置決めされた基板の主面と平行、かつ直線的に蒸発源を移動させる蒸発源移動機構と、
を備え、
前記蒸発源移動機構により前記蒸発源を移動させながら、複数の前記短冊状マスクにそれぞれ形成されている複数の開口部を介して前記基板の主面に成膜を施す蒸着装置であって、
前記蒸発源は、前記短冊状マスクの長手方向に並ぶ列を作るように複数設けられると共に、
前記蒸発源移動機構により複数の前記蒸発源が移動する方向は、前記短冊状マスクの長手方向に対して垂直方向であることを特徴とする蒸着装置。
【請求項９】
複数の前記開口部は、いずれも矩形状の開口により構成されており、これらの開口部の長手方向と前記短冊状マスクの長手方向が一致することを特徴とする請求項７または８に記載の蒸着装置。
【請求項１０】
前記マスク位置決め機構により配置される複数の前記短冊状マスクは、各短冊状マスクの長手方向が鉛直方向と一致していることを特徴とする請求項７，８または９に記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に膜を形成する蒸着方法，電子デバイスの製造方法及び蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機ＥＬなどの電子デバイスにおいては、基板の大型化が進んでいる。そのため、基板上に膜を形成する際に、基板やマスクの自重による撓みが無視できなくなってきている。すなわち、基板やマスクが撓んだ状態で、基板上に有機膜が形成されると、マスクに設けられている開口部の形状及び寸法の通りに成膜されない、いわゆる「膜ボケ」が発生してしまう。そのため、例えば、ディスプレイ装置等においては、膜ボケの結果として、混色の発生や輝度の低下につながり、画像の高精細化を実現することが難しくなってしまう。
【０００３】
そこで、基板の撓み対策として、基板を直立させた状態で蒸着を行う技術や、マスクの撓み対策として、短冊状マスクを複数並べて配置させる技術などが開発されている。
【０００４】
しかしながら、膜ボケを抑制するために、複数の条件について複合的に考慮された技術は見当たらず、未だ改良の余地がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】韓国公開特許第１０−２０１８−７４３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、基板が大型化しても、膜ボケを抑制することのできる蒸着方法，電子デバイスの製造方法及び蒸着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
【０００８】
本発明の蒸着方法は、
基板を直立した状態で位置決めさせ、かつ、基板における主面側に複数の短冊状マスクにより構成されるマスクを配置させて、これら基板及びマスクに対して移動する蒸発源によって、複数の前記短冊状マスクにそれぞれ形成されている複数の開口部を介して前記基板の主面に成膜を施す蒸着方法であって、
複数の前記開口部は、いずれも矩形状の開口により構成されており、
成膜を行う際には、前記開口部の長手方向と一致する方向に、前記蒸発源を移動させることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の他の蒸着方法は、
基板を直立した状態で位置決めさせ、かつ、基板における主面側に複数の短冊状マスクにより構成されるマスクを配置させて、これら基板及びマスクに対して移動する蒸発源によって、複数の前記短冊状マスクにそれぞれ形成されている複数の開口部を介して前記基板の主面に成膜を施す蒸着方法であって、
前記蒸発源を前記短冊状マスクの長手方向に並ぶ列を作るように複数設けると共に、前記基板の主面と平行、かつ前記短冊状マスクの長手方向に対して垂直方向に、複数の前記
蒸発源を移動させながら成膜を施すことを特徴とする。
【００１０】
そして、本発明の電子デバイスの製造方法は、
蒸発源が設けられたチャンバ内に基板及びマスクを搬送させる工程と、
上記のいずれか一つに記載の蒸着方法を用いて、前記基板上に有機膜を形成させる工程と、
を有することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の蒸着装置は、
基板を直立した状態で位置決めさせる基板位置決め機構と、
前記基板位置決め機構により位置決めされた基板における主面側に複数の短冊状マスクにより構成されるマスクを配置させるマスク位置決め機構と、
前記基板位置決め機構により位置決めされた基板の主面と平行、かつ直線的に蒸発源を移動させる蒸発源移動機構と、
を備え、
前記蒸発源移動機構により前記蒸発源を移動させながら、複数の前記短冊状マスクにそれぞれ形成されている複数の開口部を介して前記基板の主面に成膜を施す蒸着装置であって、
複数の前記開口部は、いずれも矩形状の開口により構成されると共に、
前記蒸発源移動機構による前記蒸発源の移動方向は、前記開口部の長手方向と一致することを特徴とする。
【００１２】
更に、本発明の他の蒸着装置は、
基板を直立した状態で位置決めさせる基板位置決め機構と、
前記基板位置決め機構により位置決めされた基板における主面側に複数の短冊状マスクにより構成されるマスクを配置させるマスク位置決め機構と、
前記基板位置決め機構により位置決めされた基板の主面と平行、かつ直線的に蒸発源を移動させる蒸発源移動機構と、
を備え、
前記蒸発源移動機構により前記蒸発源を移動させながら、複数の前記短冊状マスクにそれぞれ形成されている複数の開口部を介して前記基板の主面に成膜を施す蒸着装置であって、
前記蒸発源は、前記短冊状マスクの長手方向に並ぶ列を作るように複数設けられると共に、
前記蒸発源移動機構により複数の前記蒸発源が移動する方向は、前記短冊状マスクの長手方向と垂直方向であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明によれば、基板が大型化しても、膜ボケを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は本発明の実施例１に係る蒸着装置を上方から見た概略構成図である。
【図２】図２は本発明の実施例１に係る蒸着装置を背面側から見た概略構成図である。
【図３】図３は本発明の実施例１に係る蒸着装置を側面側から見た概略構成図である。
【図４】図４は本発明の実施例１に係る基板位置決め機構の説明図である。
【図５】図５は本発明の実施例１に係るマスク位置決め機構の説明図である。
【図６】図６は本発明の実施例１に係るマスク位置決め機構の説明図である。
【図７】図７は本発明の実施例１に係る蒸発源を上方から見た概略構成図である。
【図８】図８は本発明の実施例１に係る蒸発源を正面側から見た概略構成図である。
【図９】図９は本発明の実施例１に係る基板に形成された有機膜の具体例を示す説明図である。
【図１０】図１０は本発明の実施例２に係る蒸着装置を上方から見た概略構成図である。
【図１１】図１１は本発明の実施例２に係る蒸着装置を背面側から見た概略構成図である。
【図１２】図１２は本発明の実施例２に係る蒸着装置を側面側から見た概略構成図である。
【図１３】図１３は開口部と蒸発源との位置関係に伴う成膜の精度についての説明図である。
【図１４】図１４は開口部の長手方向と蒸発源の移動方向との関係を示す説明図である。
【図１５】図１５は短冊状マスクの長手方向と開口部の長手方向との関係を示す説明図である。
【図１６】図１６は短冊状マスクの長手方向と鉛直方向との関係を示す説明図である。
【図１７】図１７は短冊状マスクの長手方向と蒸発源の移動方向との関係を示す説明図である。
【図１８】図１８は各種条件を満たすか否かをまとめた表である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００１６】
本発明の実施例に係る蒸着方法は、蒸発源が鉛直方向に移動するように構成されている蒸着装置、または、蒸発源が水平方向に移動するように構成されている蒸着装置に適用され得る。まず、これらの蒸着装置（前者を実施例１、後者を実施例２とする）について、それぞれ説明する。なお、以下の説明において、基板の主面とは、基板において、成膜が施される面をいう。また、蒸着装置においては、基板の主面側にマスクが配置され、かつ、マスクを挟んで基板とは反対側に蒸発源が配される。以下の説明において、基板側からマスク及び蒸発源に向かって各種構成を見た場合を「正面側から見た」ものとし、その反対側から各種構成を見た場合を「背面側から見た」ものとする。
【００１７】
＜蒸着装置の実施例１＞
図１〜図８を参照して、本発明の実施例１に係る蒸着装置について説明する。図１〜図３は本発明の実施例１に係る蒸着装置の概略構成図であり、蒸着装置の主要構成を概略的に示した図である。なお、図１は蒸着装置を上方から見た図であり、図２は蒸着装置を背面側から見た図であり、図３は蒸着装置を側面側から見た図である。図４は本発明の実施例１に係る基板位置決め機構の説明図であり、同図（ａ）は蒸着装置内の基板及び基板の位置決め機構について蒸着装置の背面側から見た図であり、同図（ｂ）は蒸着装置内の基板及び基板の位置決め機構を蒸着装置の側面側から見た図である。図５及び図６は本発明の実施例１に係るマスク位置決め機構の説明図である。図５（ａ）は蒸着装置内のマスク位置決め機構について蒸着装置の背面側から見た図であり、図５（ｂ）は蒸着装置内のマスク位置決め機構について蒸着装置の側面側から見た図である。図６は短冊状マスクの取り付け方を示した図である。図７及び図８は本発明の実施例１に係る蒸発源の概略構成図であり、蒸発源の主要構成を概略的に示した図である。なお、図７は蒸発源を上方から見
た図であり、図８は蒸発源を正面側から見た図である。
【００１８】
蒸着装置１０は、不図示の真空ポンプによって、内部が真空に近い状態になるように構成されるチャンバ１００と、チャンバ１００の内部に配置される蒸発源装置４００とを備えている。チャンバ１００の内部においては、基板２００が直立した状態で位置決めされるように構成され、かつ、基板２００における主面側にマスク３００が配置されるように構成されている。蒸発源装置４００は、基板２００に蒸着させる物質の材料を加熱することで、当該材料を蒸発又は昇華させて、蒸発又は昇華させた材料Ｏを基板２００に向けて噴射する役割を担っている。
【００１９】
ここで、各図において、矢印Ｘ，Ｙは水平方向を示し、矢印Ｚは鉛直方向を示している。また、矢印Ｙは基板２００の主面に対する法線方向であって、蒸発源装置４００から基板２００に向かう方向を示し、矢印Ｘは当該方向に対して垂直な方向を示している。
【００２０】
＜＜基板位置決め機構＞＞
特に、図４を参照して、基板２００の位置決め機構について説明する。基板２００は、矢印Ｘ方向に対して往復動自在に構成された基板フレーム２１０に固定される。基板フレーム２１０の下端にはガイド棒２２０が固定され、上端にはガイドレール２４０が固定されている。ガイド棒２２０は、Ｘ方向に一列に並ぶように配置された複数の第１ガイドローラ２３０によって、案内されながら移動可能に構成されている。また、ガイドレール２４０は、Ｘ方向に一列に並ぶように配置された複数の第２ガイドローラ２５０によって、案内されながら移動可能に構成されている。更に、第１ガイドローラ２３０，ガイド棒２２０，ガイドレール２４０及び第２ガイドローラ２５０は、鉛直方向に一列に並ぶように配置されている。以上のような構成により、基板フレーム２１０に固定された基板２００は、鉛直方向に直立した状態で位置決めされ、かつ、矢印Ｘ方向に往復移動することができる。
【００２１】
＜＜マスク位置決め機構＞＞
特に、図５及び図６を参照して、マスク３００の位置決め機構について説明する。マスク３００は、矢印Ｘ方向に対して往復動自在に構成されたマスクフレーム３２０に固定される。マスクフレーム３２０の下端にはガイド棒３３０が固定され、上端にはガイドレール３６０が固定されている。ガイド棒３３０は、Ｘ方向に一列に並ぶように配置された複数の第３ガイドローラ３４０によって、案内されながら移動可能に構成されている。また、ガイドレール３６０は、Ｘ方向に一列に並ぶように配置された複数の第４ガイドローラ３７０によって、案内されながら移動可能に構成されている。更に、第３ガイドローラ３４０，ガイド棒３３０，ガイドレール３６０及び第４ガイドローラ３７０は、鉛直方向に一列に並ぶように配置されている。以上のような構成により、マスクフレーム３２０に固定されたマスク３００は、鉛直方向に直立した状態で位置決めされ、かつ、矢印Ｘ方向に往復移動することができる。
【００２２】
また、複数の第３ガイドローラ３４０及び第４ガイドローラ３７０は、それぞれ第１アライメント機構３５０及び第２アライメント機構３８０によって、位置調整が行われるように構成されている。これにより、マスクフレーム３２０は、Ｘ方向と、Ｚ方向と、ＸＺ面内において回転する方向について、それぞれ位置調整できるように構成されている。このようなアライメント調整を行うための機構については、例えば、特開２０１２−７２４７８号公報及び特開２０１２−１４０６７１号公報に開示されているように公知技術であるので、その詳細説明は省略する。以上のように、第１アライメント機構３５０及び第２アライメント機構３８０によって、マスクフレーム３２０の位置を調整できるため、基板２００に対するマスク３００の位置合わせを行うことができる。
【００２３】
そして、本実施例に係るマスク３００は、複数の短冊状マスク３１０により構成される。この構成について、特に、図６を参照して説明する。マスクフレーム３２０は、外形が矩形で、かつ中央に矩形の孔３２１が設けられた板状部材により構成されている。このように構成されるマスクフレーム３２０に対して、複数の短冊状マスク３１０が互いに隣接するように固定される。なお、それぞれの短冊状マスク３１０は、短冊状マスク３１０の長手方向に引っ張られた状態で、その両端がそれぞれマスクフレーム３２０に溶接などにより固定される。また、複数の短冊状マスク３１０には、それぞれ複数の開口部３１１が設けられている。これら複数の開口部３１１は、いずれも矩形状の開口により構成されている。
【００２４】
＜＜蒸発源装置＞＞
特に、図１〜図３，図７及び図８を参照して、蒸発源装置４００について説明する。蒸発源装置４００は、複数の蒸発源４１３を備える蒸発源ユニット４１０と、蒸発源ユニット４１０の両側にそれぞれ備えられる一対のリニアガイド４２０及び一対のボールねじ４３０と、蒸発源ユニット４１０に接続された大気アーム４４０と、ボールねじ４３０を回転させる駆動機構４５０とを備えている。駆動機構４５０は、モータなどの駆動源と、駆動源からの動力をボールねじ４３０に伝達させる複数の歯車などにより構成されている。この駆動機構４５０によりボールねじ４３０を回転させることによって、蒸発源ユニット４１０をリニアガイド４２０に沿って往復移動させることができる。また、大気アーム４４０の内部は大気状態に保たれている。この大気アーム４４０の内部には、蒸発源４１３に接続される各種信号線や水冷用流路などが設けられている。ただし、大気アーム４４０の代わりに連結ベローズを設ける構成を採用することもできる。
【００２５】
蒸発源ユニット４１０は、複数のケース４１１と、それぞれのケース４１１の端部に設けられる水晶モニタ４１２と、それぞれのケース４１１の内部に一列に設けられる複数の蒸発源４１３とを備えている。蒸発源４１３は、図８中の丸で囲んだ部分に拡大して示すように、材料を気化させるための坩堝４１３ａと、気化された材料を溜める材料溜め４１３ｂと、気化された材料を噴射するノズル４１３ｃとを備えている。また、本実施例においては、ケース４１１が鉛直方向に３列並べて配置されており、上下のケース４１１に備えられる蒸発源４１３はドーパント材料を噴射するように利用され、真ん中のケース４１１に備えられる蒸発源４１３はホスト材料を噴射するように利用される。なお、本実施例においては、上下の蒸発源４１３によりドーパント材料を噴射させ、真ん中の蒸発源４１３によりホスト材料を噴射させる場合を示しているが、これは一例に過ぎず、各蒸発源により噴射させる材料はこれに限られない。水晶モニタ４１２は、基板２００に形成された膜の厚みを間接的に計測する役割を担っている。
【００２６】
以上のように構成される蒸発源装置４００により、本実施例の場合には、蒸発源ユニット４１０が鉛直方向に移動しながら基板２００への蒸着が行われる。なお、図２及び図３においては、蒸着前の待機状態の位置にある蒸発源ユニット４１０Ｘを点線にて示している。また、図２中、範囲Ｆは、蒸着を行う際の蒸発源ユニット４１０の移動範囲を示している。図示の通り、基板２００及びマスク３００の鉛直方向の下端よりも下方の位置から、基板２００及びマスク３００の鉛直方向の上端よりも上方の位置まで蒸発源ユニット４１０は移動するように構成されている。これにより、基板２００に対して所望の位置に一定の厚みの膜を形成させることが可能となる。また、蒸発源ユニット４１０の横幅Ｌ１は、マスク３００の横幅（複数の短冊状マスク３１０の横幅の合計）Ｌ２よりも小さくなるように構成されている（図１参照）。すなわち、本実施例に係る蒸発源ユニット４１０においては、図７及び図８に示すように、幅方向外側に配置される蒸発源４１３のノズル４１３ｃは外側を向き、幅方向内側に配置される蒸発源４１３のノズル４１３ｃは内側を向くように構成されている。これにより、複数の蒸発源４１３から噴射される材料は、蒸発源ユニット４１０の横幅よりも広い範囲に万遍なく噴射される。従って、上記の通り、横
幅Ｌ１＜横幅Ｌ２であっても、基板２００における所望の位置に、一定の厚みの膜を形成させることができる。
【００２７】
＜電子デバイスの製造方法＞
上記の蒸着装置及び蒸着方法を用いて、電子デバイスを製造する方法について説明する。ここでは、電子デバイスの一例として、ディスプレイ装置などに用いられる有機ＥＬの場合を例にして説明する。有機ＥＬを製造する工程においては、少なくとも、基板及びマスクを搬送する工程と、基板上に有機膜を形成する工程と、有機膜を形成する工程の後に金属膜を形成する工程とを有している。以下、これらの工程について説明する。
【００２８】
＜＜搬送工程＞＞
まず、上記の基板位置決め機構によって、基板２００がチャンバ１００の内部に搬送される。そして、基板２００は直立した状態で位置決めされる。次に、マスク位置決め機構によって、マスク３００がチャンバ１００の内部に搬送される。そして、マスク３００は、基板２００に対してアライメント調整が行われる。これにより、基板２００における主面側に複数の短冊状マスク３１０により構成されるマスク３００が配置された状態となる。なお、本実施例においては、チャンバ１００の内部で、基板２００に対してマスク３００のアライメント調整を行う場合の構成を採用したが、チャンバの外部でアライメント調整を行った後に、基板及びマスクをチャンバの内部に搬送させる構成も採用し得る。
【００２９】
＜＜有機膜の成膜工程＞＞
基板２００及びマスク３００がチャンバ１００の内部で位置決めされた状態で、蒸発源ユニット４１０が基板２００及びマスク３００（複数の短冊状マスク３１０）に対して鉛直方向に移動しながら蒸着が施される。すなわち、蒸発源ユニット４１０に備えられている複数の蒸発源４１３から気化された材料が噴射されて、複数の短冊状マスク３１０にそれぞれ形成されている複数の開口部３１１を介して基板２００の主面に成膜が施される。
【００３０】
なお、ディスプレイ装置などに用いられる有機ＥＬを製造する場合には、以上の搬送工程、及び有機膜の成膜工程が少なくとも３回繰り返される。すなわち、当該有機ＥＬの場合、赤の画素用の有機膜と、緑の画素用の有機膜と、青の画素用の有機膜を基板２００に形成させる必要がある。図９は基板２００Ｘの一部拡大図と、マスク３００Ｘ，３００Ｙ，３００Ｚの一部拡大図を示している。図示のように赤の画素用の有機膜Ｒと、緑の画素用の有機膜Ｇと、青の画素用の有機膜Ｂとを並べて、基板２００Ｘ上に形成させる必要がある。そこで、赤の画素用のマスク３００Ｘを用いて、赤の画素に応じた材料により有機膜Ｒを形成した後に、緑の画素用のマスク３００Ｙを用いて、緑の画素に応じた材料により有機膜Ｇを形成し、その後、青の画素用のマスク３００Ｚを用いて、青の画素に応じた材料により有機膜Ｂを形成する必要がある。勿論、赤，緑，青の順序はこの順序に限られることはない。以上のように、３種類の有機膜Ｒ，Ｇ，Ｂを成膜する必要があるため、上記の搬送工程と有機膜の成膜工程を少なくとも３回繰り返す必要がある。
【００３１】
＜＜金属膜の成膜工程＞＞
基板２００上に、３種類の有機膜Ｒ，Ｇ，Ｂが形成された後に、これらの有機膜Ｒ，Ｇ，Ｂ上に、電子輸送層や電子注入層などが成膜される。その後、更に金属膜の蒸着が施される。これにより、これらの有機膜Ｒ，Ｇ，Ｂ上に電子輸送層などが形成され、更にその上に金属膜が形成される。なお、金属膜の蒸着方法については、上記の有機膜を蒸着する際と同様の蒸着方法を採用することもできるし、他の公知技術を採用することもできる。
【００３２】
（蒸着装置の実施例２）
図１０〜図１２には、本発明の実施例２に係る蒸着装置が示されている。上記実施例１では、蒸発源ユニット（蒸発源）を鉛直方向に移動させながら蒸着を行う場合の構成につ
いて示したが、本実施例においては、蒸発源ユニット（蒸発源）を水平方向に移動させながら蒸着を行う場合の構成を示す。その他の基本的な構成および作用については実施例１と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して、その説明は適宜省略する。
【００３３】
図１０〜図１２は本発明の実施例２に係る蒸着装置の概略構成図であり、蒸着装置の主要構成を概略的に示した図である。なお、図１０は蒸着装置を上方から見た図であり、図１１は蒸着装置を背面側から見た図であり、図１２は蒸着装置を側面側から見た図である。
【００３４】
本実施例に係る蒸着装置１０Ａにおいても、チャンバ１００と、チャンバ１００の内部に配置される蒸発源装置４００とを備えている。また、チャンバ１００の内部において、基板２００が直立した状態で位置決めされるように構成され、かつ、基板２００における主面側にマスク３００が配置されるように構成される点についても、上記実施例１の場合と同様である。また、図１０〜図１２においても、矢印Ｘ，Ｙは水平方向を示し、矢印Ｚは鉛直方向を示している。また、矢印Ｙは基板２００の主面に対する法線方向であって、蒸発源装置４００から基板２００に向かう方向を示し、矢印Ｘは当該方向に対して垂直な方向を示している。
【００３５】
基板位置決め機構及びマスク位置決め機構については、上記実施例１で説明した通りであるので、その説明は省略する。また、蒸発源装置４００については、基本的な構成は上記実施例１の構成と同一であるので、その詳細な説明は省略する。ただし、本実施例に係る蒸発源装置４００の場合には、蒸発源ユニット４１０が鉛直方向ではなく、水平方向（図１０及び図１１中、Ｘ方向）に往復動自在に構成されている点のみが、上記実施例１の構成と異なっている。蒸発源装置４００を構成する各種部材の構成及び動作については、上記実施例１で説明した通りであるので、その説明は省略する。なお、上記実施例１の場合には、複数の蒸発源４１３は水平方向に一列に並ぶように配置されるが、本実施例の場合には、複数の蒸発源４１３は鉛直方向に一列に並ぶように配置される。
【００３６】
本実施例に係る蒸発源装置４００の場合には、上記の通り、蒸発源ユニット４１０が水平方向に移動しながら基板２００への蒸着が行われる。なお、図１０及び図１１においては、蒸着前の待機状態の位置にある蒸発源ユニット４１０Ｘを点線にて示している。また、図１１中、範囲Ｆは、蒸着を行う際の蒸発源ユニット４１０の移動範囲を示している。図１１に示す通り、基板２００及びマスク３００における水平方向の図中左端よりも左側の位置から、基板２００及びマスク３００の水平方向の図中右端よりも右側の位置まで蒸発源ユニット４１０は移動するように構成されている。これにより、基板２００に対して所望の位置に一定の厚みの膜を形成させることが可能となる。また、蒸発源ユニット４１０の横幅Ｌ１が、マスク３００の横幅（複数の短冊状マスク３１０の横幅の合計）Ｌ２よりも小さくなるように構成されている点（図１２参照）については、上記実施例１の場合と同様である。
【００３７】
本実施例に係る蒸着装置１０Ａを用いて、電子デバイスを製造する方法については、上記実施例１の場合と同様であるので、その説明は省略する。
【００３８】
＜膜ボケの抑制効果についての考察＞
短冊状マスク３１０に設けられた矩形状の開口部３１１の長手方向Ｄ１と、蒸発源４１３の移動方向Ｄ２と、短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３との関係が、膜ボケの抑制効果に与える影響について考察した結果を説明する。
【００３９】
蒸発源４１３は、基板２００の主面に対して平行かつ直線的に移動するように構成され
る。つまり、蒸発源４１３は、短冊状マスク３１０の表面に平行かつ直線的に移動するように構成される。また、蒸発源４１３については、実施例１に係る蒸着装置１０が用いられた場合には鉛直方向に移動し、実施例２に係る蒸着装置１０Ａが用いられた場合には水平方向に移動する。従って、開口部３１１の長手方向Ｄ１と短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３についても、鉛直方向に向くか、水平方向に向くかの２通りが考えられる。従って、上記の３種類の方向Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３は、いずれも鉛直方向か水平方向の２通りとなるため、これらの組み合わせは合計８通り考えられる。
【００４０】
次に、各部の方向の組み合わせ条件について、それぞれ膜ボケの抑制効果に与える影響の考察結果を説明する。
【００４１】
＜＜条件１＞＞
矩形状の開口部３１１の長手方向Ｄ１と、蒸発源４１３の移動方向Ｄ２との関係が、膜ボケの抑制効果に与える影響についての考察結果について、図１３及び図１４を参照して説明する。図１３は開口部と蒸発源との位置関係に伴う成膜の精度についての説明図であり、図１４は開口部の長手方向と蒸発源の移動方向との関係を示す説明図である。
【００４２】
基板２００とマスク３００は、互いに密接することが望ましい。しかしながら、一般的には、各構成の自重による変形などによって、図１３に示すように、基板２００とマスク３００との間には微小な隙間Ｓが生じてしまう。従って、基板２００の主面の面方向において、蒸発源の位置が、マスク３００に形成されている開口部３１１から離れているほど、膜ボケが生じ易い。すなわち、図１３中、開口部３１１から比較的近い距離に位置する蒸発源４１３Ａから開口部３１１を通って基板２００の主面に向かって噴射される材料の入射角度よりも、開口部３１１から比較的遠い距離に位置する蒸発源４１３Ｂから開口部３１１を通って基板２００の主面に向かって噴射される材料の入射角度の方が小さくなる。前者の場合には、所望の位置よりも図１３中Ｔ１だけ、成膜位置の位置ずれが発生し得るのに対して、後者の場合には、所望の位置よりも図１３中Ｔ２（Ｔ２＞Ｔ１）だけ、成膜位置の位置ずれが発生し得る。従って、後者の方が、膜厚が不安定になり易く、膜ボケが生じ易い。
【００４３】
ここで、基板２００には、開口部３１１の形状及び寸法に応じた矩形の膜が形成される。基板２００に形成される矩形の膜については、長手方向の寸法精度よりも短手方向の寸法精度を高めることが重要な場合が多い。この点について、上記のディスプレイ装置などに用いられる有機ＥＬの場合を例にして説明する。上記の通り、基板２００Ｘには、赤の画素用の有機膜Ｒと、緑の画素用の有機膜Ｇと、青の画素用の有機膜Ｂとが並べて形成される。そして、これらの有機膜Ｒ，Ｇ，Ｂは短手方向が隣り合うように、基板２００Ｘに形成される。従って、これら有機膜Ｒ，Ｇ，Ｂの短手方向の寸法精度が低いと、ディスプレイ装置などにおいては、混色が発生したり、輝度が低下してしまったりする現象が生じてしまう。これに対して、有機膜Ｒ，Ｇ，Ｂの長手方向の寸法精度が低下しても、そのような問題は殆ど発生しない。
【００４４】
以上より、矩形状の開口部３１１の長手方向Ｄ１と、蒸発源４１３の移動方向Ｄ２とを一致させる（この場合を「条件１」とする）のが望ましいと考えられる。この点について、図１４を参照して、より詳細に説明する。図１４（ａ）は条件１を満たす場合を示し、図１４（ｂ）は条件１を満たさない場合（矩形状の開口部３１１の長手方向Ｄ１と、蒸発源４１３の移動方向Ｄ２が直交する場合）を示している。上記実施例１，２の説明から分かるように、蒸発源４１３の移動範囲Ｆは、短冊状マスク３１０の長手方向よりも広い範囲となる。そのため、例えば、図１４（ｂ）中、移動範囲Ｆの最も端に位置する蒸発源ユニット４１０ｃから最も離れた位置にある開口部３１１Ｘまでの距離は大分長くなる。そのため、この開口部３１１Ｘを通って基板２００に噴射される材料により形成される矩形
状の有機膜については、短手方向の寸法精度が低下してしまう。これに対して、条件１を満たす場合には、図１４（ａ）中、移動範囲Ｆの最も端に位置する蒸発源ユニット４１０ｃから最も離れた位置にある開口部３１１Ｙまでの距離は大分長くなる。しかしながら、この開口部３１１Ｙを通って基板２００に噴射される材料により形成される矩形状の有機膜については、短手方向の寸法精度に影響することは殆どない。従って、条件１を満たす方が、膜ボケが生じ難いと考えられる。また、開口部３１１の長手方向３１１に沿って、蒸発源４１３を移動させた方が、開口部３１１の長手方向３１１に対して垂直に横切るように蒸発源４１３を移動させる場合に比べて、膜厚を一定にすることができる。このような観点からも、条件１を満たす方が、膜ボケが生じ難い。
【００４５】
＜＜条件２＞＞
矩形状の開口部３１１の長手方向Ｄ１と、短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３との関係が、膜ボケの抑制効果に与える影響についての考察結果について、図１５を参照して説明する。図１５は開口部の長手方向と短冊状マスクの長手方向との関係を示す説明図である。
【００４６】
上記のマスク位置決め機構の中で説明した通り、短冊状マスク３１０は、短冊状マスク３１０の長手方向に引っ張られた状態で、その両端がそれぞれマスクフレーム３２０に溶接などにより固定される。そのため、短冊状マスク３１０に形成されている複数の開口部３１１にも引っ張り力の影響が生じ得る。矩形の開口部３１１に対して長手方向に引っ張り力が作用しても開口部３１１は変形し難いのに対して、短手方向に引っ張り力が作用した場合には開口部３１１は変形し易い。
【００４７】
以上より、矩形状の開口部３１１の長手方向Ｄ１と、短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３とを一致させる（この場合を「条件２」とする）のが望ましいと考えられる。図１５（ａ）は条件２を満たす場合を示し、図１５（ｂ）は条件２を満たさない場合（矩形状の開口部３１１の長手方向Ｄ１と、短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３が直交する場合）を示している。図１５（ｂ）中、開口部３１１の一部を拡大した図に示すように、条件２を満たさない場合には、開口部３１１を比較的大きく変形してしまうおそれがある。従って、条件２を満たす方が、膜ボケが生じ難いと考えられる。
【００４８】
＜＜条件３＞＞
短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３と鉛直方向との関係が、膜ボケの抑制効果に与える影響についての考察結果について、図１６を参照して説明する。図１６は短冊状マスクの長手方向と鉛直方向との関係を示す説明図である。
【００４９】
短冊状マスク３１０は、その自重の影響により変形してしまうおそれがある。従って、短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３と、鉛直方向とを一致させる（この場合を「条件３」とする）のが望ましいと考えられる。図１６（ａ）は条件３を満たす場合を示し、図１６（ｂ）は条件３を満たさない場合（短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３と、水平方向とが一致する場合）を示している。
【００５０】
条件３を満たす場合には、短冊状マスク３１０は、その自重による変形量は小さい。これに対して、条件３を満たさない場合には、短冊状マスク３１０は、その中央付近が自重（矢印Ｇ参照）により鉛直方向下方に向かって突き出すように変形してしまう。これにより、この短冊状マスク３１０に形成されている開口部３１１も変形してしまうため、膜ボケが生じ易いと考えられる。従って、条件３を満たす方が、膜ボケが生じ難いと考えられる。
【００５１】
＜＜条件４＞＞
短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３と、蒸発源４１３の移動方向Ｄ２との関係が、膜ボケの抑制効果に与える影響についての考察結果について、図１７を参照して説明する。図１７は短冊状マスクの長手方向と蒸発源の移動方向との関係を示す説明図である。
【００５２】
蒸発源４１３は発熱するため、短冊状マスク３１０は蒸発源４１３によって加熱される。そのため、短冊状マスク３１０の一部が局所的に加熱されてしまうと、短冊状マスク３１０が湾曲するように変形してしまい、膜ボケが生じ易くなってしまう。従って、短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３と、蒸発源４１３の移動方向Ｄ２とを垂直にする（この場合を「条件４」とする）のが望ましいと考えられる。つまり、基板２００の主面と平行、かつ短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３に対して垂直方向に、蒸発源ユニット４１０（短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３に並ぶ列を作るように複数設けられた蒸発源４１３）を移動させながら成膜を施すのが望ましいと考えられる。
【００５３】
これにより、短冊状マスク３１０は、その長手方向Ｄ３の全体が、一様に蒸発源４１３によって加熱されるため、短冊状マスク３１０の一部が局所的に加熱されてしまうことが抑制される。そのため、短冊状マスク３１０が湾曲するように変形してしまうことが抑制される。これに対して、短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３と、蒸発源４１３の移動方向Ｄ２とを一致させると、短冊状マスク３１０は、一端側から他端側に向かって、蒸発源４１３により加熱される箇所が移動することになる。これにより、短冊状マスク３１０は、一部が局所的に加熱されてしまい、湾曲するように変形してしまうおそれがある。従って、条件４を満たす方が、膜ボケが生じ難いと考えられる。
【００５４】
＜＜総合的な考察結果＞＞
図１８を参照して、総合的な考察結果について説明する。図１８は、矩形状の開口部３１１の長手方向Ｄ１と、蒸発源４１３の移動方向Ｄ２と、短冊状マスク３１０の長手方向Ｄ３が、それぞれ鉛直方向であるか水平方向であるかについてと、条件１〜条件４を満たすか否かをまとめた表である。なお、条件を満たすケースについては○を記入し、条件を満たさないケースについては×を記入している。また、ケース１〜８については、条件１，条件２，条件３の順に優先順位を重みづけして、優先順位の高い順に並べている。そして、判定については、条件１〜条件４のうち、２つ以上の条件を満たすケースについては、合格（ＯＫ）とした。その結果、ケース７とケース８は不合格（ＮＧ）となった。
【符号の説明】
【００５５】
１０，１０Ａ…蒸着装置，２００…基板，３００…マスク，３１０…短冊状マスク，３１１…開口部，４００…蒸発源装置，４１０…蒸発源ユニット，４１３…蒸発源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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