(57)【要約】【課題】ベローズ部の谷部の近傍に液体が滞留して不純物等のパーティクルが蓄積される不具合を抑制する。【解決手段】弁体部２０と、弁体部２０に連結されるダイヤフラム部と、を備え、ダイヤフラム部は、基部５１と、先端部５２と、基部５１と先端部５２とを連結するベローズ部５３と、を有し、先端部５２の液体と接触する接液部５２ａは、軸線Ｘに沿って延びる円筒状に形成されており、ベローズ部５３の下端部５３ｄは、接液部５２ａの外周面と一致する接続位置ＣＰで接液部５２ａに接続され、ベローズ部５３の谷部５３ｂが接続位置ＣＰに配置されているサックバックバルブ１００を提供する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流入する流入流路と液体が流出する流出流路と前記流入流路から前記流出流路へ液体を導く弁孔とが内部に形成されたハウジング部と、
前記弁孔の周囲に配置される弁座部に接触又は離間することにより前記弁孔を閉状態又は開状態とする弁体部と、
前記弁体部に連結されるダイヤフラム部と、を備え、
前記ダイヤフラム部は、
基部と、
前記弁体部に連結されるとともに前記弁孔に挿入される先端部と、
前記基部と前記先端部とを連結するとともに山部に隣接して谷部が形成されたベローズ部と、を有し、
前記先端部の液体と接触する接液部は、軸線に沿って延びる円筒状に形成されており、
前記ベローズ部の下端部は、前記接液部の外周面と一致する接続位置で該接液部に接続され、
前記ベローズ部の前記谷部は、前記接続位置に配置されているバルブ。
【請求項２】
前記軸線に沿って移動可能に前記ハウジング部に収容されるとともに外部から導入される流体の圧力から前記軸線の下方へ向けた第１付勢力を受けるピストン部と、
前記ピストン部に前記軸線の上方へ向けた第２付勢力を伝達する付勢力発生部と、を備え、
前記ダイヤフラム部は、前記弁体部および前記ピストン部の双方に連結されるとともに前記ピストン部が配置される空間から液体を隔離する請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
前記ベローズ部は、単一の前記山部に隣接して一対の前記谷部を形成したものである請求項１または請求項２に記載のバルブ。
【請求項４】
前記ピストン部の下端部が前記ダイヤフラム部の前記先端部に接触して前記弁孔が開状態となる場合に、前記ベローズ部の前記山部から隣接する一対の前記谷部へ向けて傾斜する一対の傾斜面のなす角度が３０°以上である請求項２に記載のバルブ。
【請求項５】
前記ピストン部の下端部が前記ダイヤフラム部の前記先端部に接触して前記弁孔が開状態となる場合に、前記ベローズ部の前記一対の傾斜面のなす角度が４０°以下である請求項４に記載のバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、薬液等の液体が流通する配管に設置される開閉弁において、全閉操作時に生じる液だれを防止するサックバック動作を行うものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に開示されるサックバックバルブは、弁体を全閉位置まで移動させる閉弁動作段階と、サックバック室の空間容積を増すサックバック動作段階との二段階動作を行うものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−６８５６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されるサックバックバルブは、サックバック室の上部を覆うダイヤフラムと、ダイヤフラムと一体に形成されたベローズを備える。ベローズは、サックバック室に配置されるとともに下端部が弁体軸部に連結されるダイヤフラムの基部の上面に連結されている。ベローズの下端部とダイヤフラムの基部との間の空間は、液体の流れが生じにくく液体が滞留し易い空間となっている。そのため、この空間に不純物等のパーティクルが蓄積され、蓄積されたパーティクルが予期せぬタイミングで外部に排出されてしまう可能性がある。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、ベローズ部の谷部の近傍に液体が滞留して不純物等のパーティクルが蓄積される不具合を抑制することが可能なバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明の一態様にかかるバルブは、液体が流入する流入流路と液体が流出する流出流路と前記流入流路から前記流出流路へ液体を導く弁孔とが内部に形成されたハウジング部と、前記弁孔の周囲に配置される弁座部に接触又は離間することにより前記弁孔を閉状態又は開状態とする弁体部と、前記弁体部に連結されるダイヤフラム部と、を備え、前記ダイヤフラム部は、基部と、前記弁体部に連結されるとともに前記弁孔に挿入される先端部と、前記基部と前記先端部とを連結するとともに山部に隣接して谷部が形成されたベローズ部と、を有し、前記先端部の液体と接触する接液部は、軸線に沿って延びる円筒状に形成されており、前記ベローズ部の下端部は、前記接液部の外周面と一致する接続位置で該接液部に接続され、前記ベローズ部の前記谷部は、前記接続位置に配置されている。
【０００７】
本発明の一態様にかかるバルブによれば、ベローズ部の下端部が弁体部に連結される接液部の外周面と一致する接続位置で接液部に接続されており、ベローズ部の谷部が接続位置に配置されている。そのため、ベローズ部の谷部から山部に至る全ての領域が、弁孔と接液部の間を軸線に沿って上方に流通する液体の流れの進行方向に存在することとなる。よって、ベローズ部の谷部の近傍に液体が滞留して不純物等のパーティクルが蓄積される不具合を抑制することができる。
【０００８】
本発明の一態様にかかるバルブにおいては、前記軸線に沿って移動可能に前記ハウジング部に収容されるとともに外部から導入される流体の圧力から前記軸線の下方へ向けた第１付勢力を受けるピストン部と、前記ピストン部に前記軸線の上方へ向けた第２付勢力を伝達する付勢力発生部と、を備え、前記ダイヤフラム部は、前記弁体部および前記ピストン部の双方に連結されるとともに前記ピストン部が配置される空間から液体を隔離するものであってもよい。
【０００９】
本発明の一態様にかかるサックバックバルブによれば、外部から導入される流体の圧力から第１付勢力を受けたピストン部が軸線の下方へ向けて移動すると、ダイヤフラム部を介して弁体部に第１付勢力が伝達される。第１付勢力により弁孔が開状態となると、流入流路から弁孔を介して流出流路へ液体が流入する状態となる。その後、外部から導入される流体の圧力を弱めて付勢力発生部が発生する第２付勢力が第１付勢力を上回ると、弁体部が弁孔に接触して弁孔が閉状態となり、流出流路への液体の供給が遮断される。その後、第２付勢力によってピストン部が軸線に沿って上方に移動するとそれに伴ってダイヤフラム部が上方へ移動し、流出流路の容積が増加する。流出流路の容積が増加すると、流出流路の液体を吸引するサックバック動作が行われ、全閉操作時に生じる液だれを防止することができる。
【００１０】
本発明の一態様にかかるバルブにおいて、前記ベローズ部は、単一の前記山部に隣接して一対の前記谷部を形成したものであってもよい。
単一の山部に隣接する他の山部が存在しないため、隣接する山部に挟まれた谷部に大きな滞留領域が形成されることがない。そのため、ベローズ部の谷部の近傍に液体が滞留して不純物等のパーティクルが蓄積される不具合を更に抑制することができる。
【００１１】
本発明の一態様にかかるバルブにおいて、前記ピストン部の下端部が前記ダイヤフラム部の前記先端部に接触して前記弁孔が開状態となる場合に、前記ベローズ部の前記山部から隣接する一対の前記谷部へ向けて傾斜する一対の傾斜面のなす角度が３０°以上である構成としてもよい。
一対の傾斜面のなす角度を３０°以上とすることで、山部に隣接する一対の谷部へ液体が流入し易くなり、ベローズ部の谷部の近傍に液体が滞留する不具合を更に抑制することができる。
【００１２】
上記構成のバルブにおいては、前記ピストン部の下端部が前記ダイヤフラム部の前記先端部に接触して前記弁孔が開状態となる場合に、前記ベローズ部の前記一対の傾斜面のなす角度が４０°以下であってもよい。
一対の傾斜面のなす角度を大きくし過ぎると、ベローズ部の伸縮量が少なくなってしまう。一対の傾斜面のなす角度を４０°以下とすることで、ベローズの伸縮量を十分に確保することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ベローズ部の谷部の近傍に液体が滞留して不純物等のパーティクルが蓄積される不具合を抑制することが可能なバルブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】サックバックバルブの閉状態を示す縦断面図である。
【図２】サックバックバルブの開状態を示す縦断面図である。
【図３】図２のＩ部分の部分拡大図である。
【図４】サックバックバルブのサックバック動作が完了した状態を示す縦断面図である。
【図５】定流量バルブの閉状態を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
〔第１実施形態〕
以下に、本発明の第１実施形態に係るバルブについて、図面を参照して説明する。
本実施形態のサックバックバルブ１００は、半導体製造装置に用いられる薬液等の液体を流す流路に設置され、全閉時の液だれを防止するサックバック機能を備えている。
図１はサックバックバルブ１００の全閉状態を示す縦断面図であり、図２はサックバックバルブ１００の全開状態を示す縦断面図である。図３は、図２のＩ部分を示す部分拡大図である。図４は、サックバックバルブ１００のサックバック動作が完了した状態を示す縦断面図である。
【００１６】
本実施形態のサックバックバルブ１００は、ハウジング部１０と、弁体部２０と、第１ピストン部３０と、第１スプリング（付勢力発生部）４０と、ダイヤフラム部５０と、第２ピストン部６０と、第２スプリング７０とを備える。
【００１７】
ハウジング部１０は、弁体部２０と、第１ピストン部３０と、第１スプリング（付勢力発生部）４０と、ダイヤフラム部５０と、第２ピストン部６０と、第２スプリング７０とを内部に収容する筐体である。ハウジング部１０は、第１ハウジング１０ａと、第２ハウジング１０ｂと、第３ハウジング１０ｃと、第４ハウジング１０ｄとを備える。第３ハウジング１０ｃは、フッ素樹脂材料（例えば、ＰＴＦＥ，変性ＰＴＦＥ，ＰＦＡ）により形成されている。
【００１８】
第１ハウジング１０ａと、第２ハウジング１０ｂと、第３ハウジング１０ｃと、第４ハウジング１０ｄには、それぞれ図１に示す軸線Ｘ方向に延びる貫通孔が形成されている。各ハウジングの貫通孔に締結ボルト（図示略）を挿入して締結ナットと締結することにより、各ハウジングが連結された状態となる。
【００１９】
第１ハウジング１０ａは、最も上方に配置される筐体である。第１ハウジング１０ａには、外部の圧縮空気供給源（図示略）から圧縮空気（流体）が導入される導入ポート１０ａＡと、第１ピストン部３０が移動可能に挿入される貫通孔１０ａＢが形成されている。
【００２０】
第２ハウジング１０ｂは、第１ハウジング１０ａの下方に配置される筐体である。第２ハウジング１０ｂには、第１ピストン部３０が移動可能に挿入される貫通孔１０ｂＡと、第１スプリング４０が保持される保持孔１０ｂＢが形成されている。第１ハウジング１０ａと第２ハウジング１０ｂとの間には、導入ポート１０ａＡから導入される圧縮空気が導かれるとともに第１ピストン部３０が配置される空間である圧力室Ｓ１が形成される。
【００２１】
第３ハウジング１０ｃは、第２ハウジング１０ｂの下方に配置される筐体である。第３ハウジング１０ｃには、外部の配管（図示略）から液体が流入する流入流路１１と、流入流路１１から流入した液体が外部の配管（図示略）へ流出する流出流路１２と、流入流路１１から流出流路１２へ液体を導く弁孔１３とが内部に形成されている。流入流路１１は、弁体部２０が配置される弁室１１ａに向けて下方に向けて傾斜した流路となっている。そのため、流入流路１１から弁室１１ａへ導かれる液体が弁室１１ａの下端部分を含む全体に流れ、弁室１１ａ内に液体の滞留領域が形成されない。また、流出流路１２は、ベローズ部５３が配置されるサックバック室１２ａの上端から下方に向けて傾斜した流路となっている。そのため、サックバック室１２ａから流出流路１２へ導かれる液体がサックバック室１２ａの上端部分を含む全体に流れ、サックバック室１２ａ内に液体の滞留領域が形成されない。
【００２２】
流入流路１１および流出流路１２の内周面は、切削加工あるいは成型により、平均粗さ０．８ａ以下に加工されている。流入流路１１および流出流路１２の内周面を平均粗さ０．８ａ以下と場合、ＰＦＡ（ポリテトラフルオロエチレン）を用いて射出成型により第３ハウジング１０ｃを形成するのが望ましい。切削加工よりも射出成型で流入流路１１および流出流路１２の内周面を形成する方が、パーティクル低減の観点で有利である。
【００２３】
第４ハウジング１０ｄは、第３ハウジング１０ｃの下方に配置されるとともに最も下方に配置される筐体である。第４ハウジング１０ｄには、第２ピストン部６０が移動可能に挿入される挿入孔１０ｄＡと、第２スプリング７０が保持される保持孔１０ｄＢが形成されている。
【００２４】
弁体部２０は、弁孔１３の周囲に配置される弁座部１４に接触又は離間することにより弁孔を開状態又は閉状態とする部材である。図３に示すように、弁体部２０は、流入流路１１の下流端に配置される弁室１１ａに収容されている。弁体部２０は、上端の外周端に軸線Ｘ回りに環状に形成されるとともに先端が平面形状の接触部２１を、軸線Ｘに直交する平面形状の弁座部１４に接触させて環状のシール領域を形成することにより、弁孔１３を閉状態とする。接触部２１の先端と弁座部１４が平面形状であるため、接触部２１と弁座部１４の接触と離間の繰り返しによりパーティクルが発生することが抑制される。接触部２１と弁座部１４は、平均粗さ０．１ａ以下に加工されている。弁体部２０の接触部２１以外の部分の外周面は、切削加工あるいは成型により、平均粗さ０．８ａ以下に加工されている。
【００２５】
第１ピストン部３０は、軸線Ｘに沿って移動可能にハウジング部１０に収容される部材である。第１ピストン部３０は、ピストン本体３１と、ピストン本体３１の下端に固定される軸部３２とを有する。第１ピストン部３０は、導入ポート１０ａＡから圧力室Ｓ１へ導入される圧縮空気の圧力から軸線Ｘの下方へ向けた下方付勢力（第１付勢力）を受ける。また、第１ピストン部３０は、第１スプリング４０から軸線Ｘの上方へ向けた上方付勢力（第２付勢力）が伝達される。第１ピストン部３０は、下方付勢力が上方付勢力を上回る場合に軸線Ｘに沿って下方へ移動し、上方付勢力が下方付勢力を上回る場合に軸線Ｘに沿って上方へ移動する。
【００２６】
第１スプリング４０は、第２ハウジング１０ｂの保持孔１０ｂＢに保持されるとともに第１ピストン部３０に軸線Ｘの上方へ向けた上方付勢力を伝達する弾性部材である。第１スプリング４０が第１ピストン部３０に伝達する上方付勢力は、弁孔１３を閉状態とした後に流出流路１２の容積を増加させる動力として利用される。
【００２７】
ダイヤフラム部５０は、図３に示すように、第１ピストン部３０が配置される圧力室Ｓ１を含む空間から流出流路１２のサックバック室１２ａの液体を隔離する隔離部材である。図２および図３に示すように、ダイヤフラム部５０は、第１ピストン部３０の軸部３２に連結される基部５１と、弁体部２０に連結される先端部５２と、基部５１と先端部５２とを連結するベローズ部５３とを有する。ダイヤフラム部５０は、基部５１と先端部５２とベローズ部５３とを、フッ素樹脂材料（例えば、ＰＴＦＥ）により一体に成形した部材である。ダイヤフラム部５０の液体と接触する部分は、切削加工あるいは成型により、平均粗さ０．８ａ以下に加工されている。
【００２８】
図３に示すように、基部５１は、第２ハウジング１０ｂと第３ハウジング１０ｃに挟まれた状態で保持される円環状の外周部５１ａと、第１ピストン部３０の軸部３２の外周面に連結される円環状の内周部５１ｂと、外周部５１ａの内周端と内周部５１ｂの外周端とを接続する薄膜状の薄膜部５２ｃとを有する。
【００２９】
図３に示すように、先端部５２は、弁孔１３の近傍で液体と接触する接液部５２ａを有する。接液部５２ａは、弁孔１３に挿入されるとともに軸線Ｘに沿って延びる円筒状に形成されている。接液部５２ａは、軸線Ｘを中心として一定の外径Ｄ１を有する部材である。先端部５２の下端は、弁体部２０に設けられた凹所に嵌め込まれた状態で固定されている。
【００３０】
図３に示すように、ベローズ部５３は、軸線Ｘを中心として外周側へ突出する単一の山部５３ａと山部５３ａに隣接した上部および下部に配置される一対の谷部５３ｂとが形成され、軸線Ｘに沿って伸縮可能な部材である。ベローズ部５３の下端部５３ｄは、接液部５２ａの外周面と径方向の位置が一致する接続位置ＣＰで接液部５２ａに接続されている。ベローズ部５３の谷部５３ｂは、軸線Ｘに直交する径方向において、接続位置ＣＰと同じ位置に配置されている。
【００３１】
ベローズ部５３は、図３に示すように、第１ピストン部３０の軸部３２の下端部３２ａがダイヤフラム部５０の先端部５２の底面５２ｂに接触して弁孔１３が開状態となる場合に、軸線Ｘに沿った長さが最も縮小した状態となる。この状態において、ベローズ部５３の山部５３ａから一対の谷部５３ｂへ向けて傾斜する一対の傾斜面５３ｃのなす角度は角度θとなる。角度θは、３０°以上かつ４０°以下の範囲に設定するのが望ましい。角度θを３０°以上とすることで、山部５３ａに隣接する一対の谷部５３ｂへ液体が流入し易くなり、ベローズ部５３の谷部の近傍に液体が滞留する不具合を更に抑制することができる。また、角度θを４０°以下とすることで、サックバック動作で増加する流出流路１２の容積を十分に確保し、全閉操作時に生じる液だれを確実に防止することができる。
【００３２】
第２ピストン部６０は、軸線Ｘに沿って移動可能に第４ハウジング１０ｄに収容される部材である。第２ピストン部６０は、第２スプリング７０から軸線Ｘの上方へ向けた上方付勢力が伝達される。第２ピストン部６０は、第１ピストン部３０からダイヤフラム部５０を介して伝達される下方付勢力が上方付勢力を上回る場合に軸線Ｘに沿って下方へ移動し、上方付勢力が下方付勢力を上回る場合に軸線Ｘに沿って上方へ移動する。
【００３３】
第２スプリング７０は、第４ハウジング１０ｄの保持孔１０ｂＢに保持されるとともに第２ピストン部６０に軸線Ｘの上方へ向けた上方付勢力を伝達する弾性部材である。
【００３４】
次に、本実施形態のサックバックバルブ１００の動作について説明する。
まず始めに、サックバックバルブ１００の閉状態について説明する。
圧力室Ｓ１から第１ピストン部３０に与えられる下方付勢力よりも第１スプリング４０から第１ピストン部３０に伝達される上方付勢力が大きい場合、サックバックバルブ１００は、図１に示す閉状態に維持される。図１に示す閉状態においては、第２スプリング７０から第２ピストン部６０に伝達される上方付勢力により弁体部２０が弁座部１４に接触し、弁孔１３が閉じられた状態となる。
【００３５】
次に、サックバックバルブ１００の開状態について説明する。
圧力室Ｓ１から第１ピストン部３０に与えられる下方付勢力が第１スプリング４０から第１ピストン部３０に伝達される上方付勢力を上回ると、サックバックバルブ１００は、図２に示す開状態となる。図２に示す開状態においては、第１ピストン部３０からダイヤフラム部５０を介して第２ピストン部６０に伝達される下方付勢力が第２スプリング７０から第２ピストン部６０に伝達される上方付勢力を上回り、弁体部２０が弁座部１４から離間して弁孔１３が開かれた状態となる。
【００３６】
最後に、サックバックバルブ１００のサックバック動作について説明する。
図２に示すサックバックバルブ１００の開状態から圧力室Ｓ１の圧力を減少させると、第１ピストン部３０からダイヤフラム部５０を介して第２ピストン部６０に伝達される下方付勢力よりも第２スプリング７０から第２ピストン部６０に伝達される上方付勢力が大きくなり、弁体部２０が弁座部１４に接触して弁孔１３が閉じられた図１に示す状態となる。
【００３７】
その後、圧力室Ｓ１の圧力を更に減少させると、圧力室Ｓ１から第１ピストン部３０に与えられる下方付勢力よりも第１スプリング４０から第１ピストン部３０に伝達される上方付勢力が大きくなり、ダイヤフラム部５０の底面５２ｂから軸部３２の下端部３２ａが離間する。第１ピストン部３０が軸線Ｘに沿って上方へ更に移動すると、ベローズ部５３が伸張するとともにダイヤフラム部５０の薄膜部５２ｃが上昇し、サックバック室１２ａの容積が増大する。サックバック室１２ａの容積が増すと、流出流路１２に接続される配管（図示略）から液体が流出流路１２側へ吸引され、液だれの防止が可能となる。
【００３８】
以上説明した本実施形態のサックバックバルブ１００が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態のサックバックバルブ１００によれば、外部から導入される圧縮空気の圧力から下方付勢力を受けた第１ピストン部３０が軸線Ｘの下方へ向けて移動すると、ダイヤフラム部５０を介して弁体部２０に下方付勢力が伝達される。下方付勢力により弁孔１３が開状態となると、流入流路１１から弁孔１３を介して流出流路１２へ液体が流入する状態となる。その後、外部から導入される圧縮空気の圧力を弱めて第１スプリング４０が発生する上方付勢力が下方付勢力を上回ると、弁体部２０が弁孔１３に接触して弁孔１３が閉状態となり、流出流路１２への液体の供給が遮断される。その後、上方付勢力によって第１ピストン部３０が軸線Ｘに沿って上方に移動するとそれに伴ってダイヤフラム部５０が上方へ移動し、流出流路１２の容積が増加する。流出流路１２の容積が増加すると、流出流路１２の液体を吸引するサックバック動作が行われ、全閉操作時に生じる液だれを防止することができる。
【００３９】
本実施形態のサックバックバルブ１００によれば、ベローズ部５３の下端部５３ｄが弁体部２０に連結される接液部５２ａの外周面と一致する接続位置ＣＰで接液部５２ａに接続されており、ベローズ部５３の谷部５３ｂが接続位置ＣＰに配置されている。そのため、ベローズ部５３の谷部５３ｂから山部５３ａに至る全ての領域が、弁孔１３と接液部５２ａの間を軸線Ｘに沿って上方に流通する液体の流れの進行方向に存在することとなる。よって、ベローズ部５３の谷部５３ｂの近傍に液体が滞留して不純物等のパーティクルが蓄積される不具合を抑制することができる。
【００４０】
本実施形態のサックバックバルブ１００において、ベローズ部５３は、単一の山部５３ａに隣接して一対の谷部５３ｂを形成したものである。
単一の山部５３ａに隣接する他の山部５３ａが存在しないため、隣接する山部５３ａに挟まれた谷部５３ｂに大きな滞留領域が形成されることがない。そのため、ベローズ部５３の谷部５３ｂの近傍に液体が滞留して不純物等のパーティクルが蓄積される不具合を更に抑制することができる。
【００４１】
本実施形態のサックバックバルブ１００は、第１ピストン部３０の下端部３２ａがダイヤフラム部５０の先端部５２に接触して弁孔１３が開状態となる場合に、ベローズ部５３の山部５３ａから隣接する一対の谷部５３ｂへ向けて傾斜する一対の傾斜面５３ｃのなす角度が３０°以上である。
一対の傾斜面５３ｃのなす角度を３０°以上とすることで、山部５３ａに隣接する一対の谷部５３ｂへ液体が流入し易くなり、ベローズ部５３の谷部５３ｂの近傍に液体が滞留する不具合を更に抑制することができる。
【００４２】
本実施形態のサックバックバルブ１００は、第１ピストン部３０の下端部３２ａがダイヤフラム部５０の先端部５２に接触して弁孔１３が開状態となる場合に、ベローズ部５３の一対の傾斜面５３ｃのなす角度が４０°以下である。
一対の傾斜面５３ｃのなす角度を大きくし過ぎると、ベローズ部５３の伸縮量が少なくなりサックバック動作で増加する流出流路１２の容積が少なくなってしまう。一対の傾斜面５３ｃのなす角度θを４０°以下とすることで、サックバック動作で増加する流出流路１２の容積を十分に確保し、全閉操作時に生じる液だれを確実に防止することができる。
【００４３】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態にかかるバルブについて、図面を参照して説明する。
本実施形態は、第１実施形態の変形例であり、以下で特に説明する場合を除き、第１実施形態と同様であるものとする。
【００４４】
本実施形態の定流量バルブ１００Ａは、半導体製造装置に用いられる薬液等の液体を流す流路に設置され、全開時に一定の流量の液体を流通させる機能を備えている。
図５に示すように、本実施形態の定流量バルブ１００Ａは、第１実施形態のサックバックバルブ１００の第１ピストン部３０，第１スプリング４０，第２ハウジング１０ｂを備えていない。
【００４５】
本実施形態の定流量バルブ１００Ａの動作について説明する。
まず始めに、定流量バルブ１００Ａの閉状態について説明する。
圧力室Ｓ１からダイヤフラム部５０に与えられる下方付勢力よりも第２スプリング７０からダイヤフラム部５０に伝達される上方付勢力が大きい場合、定流量バルブ１００Ａは、図５に示す閉状態に維持される。図５に示す閉状態においては、第２スプリング７０から第２ピストン部６０に伝達される上方付勢力により弁体部２０が弁座部１４に接触し、弁孔１３が閉じられた状態となる。
【００４６】
次に、定流量バルブ１００Ａの開状態について説明する。
圧力室Ｓ１からダイヤフラム部５０に与えられる下方付勢力が第２スプリング７０からダイヤフラム部５０に伝達される上方付勢力を上回ると、弁体部２０が弁座部１４から離間し、弁孔１３が開かれた状態となる。第２ピストン部６０の下面が第４ハウジング１０ｄに接触すると、弁孔１３の開度が一定となった状態で維持される。これにより、弁孔１３を介して流入流路１１から流出流路１２に一定の流量の液体が流通する状態となる。
【００４７】
本実施形態のダイヤフラム部５０は、第１実施形態のダイヤフラム部５０と同様である。すなわち、本実施形態の定流量バルブ１００Ａによれば、ベローズ部５３の下端部５３ｄが弁体部２０に連結される接液部５２ａの外周面と一致する接続位置ＣＰで接液部５２ａに接続されており、ベローズ部５３の谷部５３ｂが接続位置ＣＰに配置されている。そのため、ベローズ部５３の谷部５３ｂから山部５３ａに至る全ての領域が、弁孔１３と接液部５２ａの間を軸線Ｘに沿って上方に流通する液体の流れの進行方向に存在することとなる。よって、ベローズ部５３の谷部５３ｂの近傍に液体が滞留して不純物等のパーティクルが蓄積される不具合を抑制することができる。
【００４８】
〔他の実施形態〕
以上の説明において、ベローズ部５３は、単一の山部５３ａに隣接して一対の谷部５３ｂを形成したものであったが、他の態様であってもよい。例えば、ベローズ部５３は、複数の山部５３ａとそれらに隣接する複数の谷部５３ｂを形成したものであってもよい。この場合、前述と同様に、山部５３ａから一対の谷部５３ｂへ向けて傾斜する一対の傾斜面５３ｃのなす角度θは、３０°以上かつ４０°以下の範囲に設定するのが望ましい。このようにすることで、ベローズ部５３の谷部５３ｂの近傍に液体が滞留して不純物等のパーティクルが蓄積される不具合を抑制することが可能となる。
【００４９】
また、以上の説明において、第２ピストン部６０は、第２スプリング７０から軸線Ｘの上方へ向けた上方付勢力が伝達されるものとしたが、他の態様であってもよい。例えば、第２ピストン部６０は、圧縮空気の圧力から軸線Ｘの上方へ向けた上方付勢力が伝達されるものであってもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１０    ハウジング部
１０ａ  第１ハウジング
１０ａＡ  導入ポート
１０ｂ  第２ハウジング
１０ｂＡ  貫通孔
１０ｂＢ  保持孔
１０ｃ  第３ハウジング
１０ｄ  第４ハウジング
１０ｄＡ  挿入孔
１０ｄＢ  保持孔
１１    流入流路
１１ａ  弁室
１２    流出流路
１２ａ  サックバック室
１３    弁孔
１４    弁座部
２０    弁体部
２１    接触部
３０    第１ピストン部
３１    ピストン本体
３２    軸部
３２ａ  下端部
４０    第１スプリング（付勢力発生部）
５０    ダイヤフラム部
５１    基部
５１ａ  外周部
５１ｂ  内周部
５１ｃ  薄膜部
５２    先端部
５２ａ  接液部
５２ｂ  底面
５３    ベローズ部
５３ａ  山部
５３ｂ  谷部
５３ｃ  傾斜面
５３ｄ  下端部
６０    第２ピストン部
７０    第２スプリング
１００  サックバックバルブ
Ｓ１    圧力室（空間）
ＣＰ    接続位置
Ｘ      軸線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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