(57)【要約】【課題】金属製の部材を用いることなく、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供する。【解決手段】基板収納容器１に取付けられるバルブ体４０であって、開放端部４１１が形成されるとともに、内部空間４１２を有する筒体４１と、内部空間４１２を、第１空間４１３と第２空間４１４とに仕切るとともに、開放端部４１１に至る栓部４２と、開放端部４１１及び栓部４２を覆う弾性体４３と、を有し、第１空間４１３は、容器本体１０の外部に連通する第１連通孔４１６を有し、かつ、第２空間４１４は、容器本体１０の内部に連通する第２連通孔４１７を有し、弾性体４３は、栓部４２に密着するか又は栓部４２から離間することで、容器本体１０に対する気体の流通を制御するものである。【選択図】図３
2019160982.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
前記バルブ体は、
開放端部が形成されるとともに、内部空間を有する筒体と、
前記内部空間を、第１空間と第２空間とに仕切るとともに、前記開放端部に至る栓部と、
前記開放端部及び前記栓部を覆う弾性体と、を有し、
前記第１空間は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔を有し、かつ、前記第２空間は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔を有し、
前記弾性体は、前記栓部に密着するか又は前記栓部から離間することで、前記容器本体に対する気体の流通を制御する
ことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記弾性体は、板状であるとともに、前記第１空間と、前記第２空間と、のみを前記気体が流れるように、前記第１空間側の開放端部と前記栓部との間、及び、前記栓部と前記第２空間側の開放端部との間を、それぞれシールする
ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記弾性体は、前記第１空間又は前記第２空間に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記栓部との間に隙間を形成して、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第１空間及び前記第２空間に陽圧が加わらない場合に、前記栓部と密着して、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記弾性体は、取り外し可能な状態で前記筒体に取り付けられている
ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記バルブ体は、前記容器本体に設けられた気体流路の途中に取り付けられている
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記第１連通孔は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に連通し、
前記第２連通孔は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連通する
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記第１連通孔は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に連通し、
前記第２連通孔は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連結された中蓋筒に連通する
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有する
ことを特徴とする請求項６又は７に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えた基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を収納する基板収納容器は、容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えている。このバルブ体は、チェックバルブ機能を有するもので、弁体と、弁体を開閉させる金属製の弾性部材と、を有している（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００３】
バルブ体のチェックバルブ機能は、一方向の気体の流通を制御するものであるから、気体の流通方向に応じて、バルブ体自体が取り替えられたり、弁体及び弾性部材が組み替えられたりしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−０６６３３０号公報
【特許文献２】特開２００４−１７９４４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、基板収納容器は、基板を気密状態で収納するために、バルブ体から気体が供給され、また、バルブ体を介して排出されるが、収納する基板の加工時に、基板に付着した残留物質も、供給した気体とともに排出されることがある。そのため、バルブ体の金属製の弾性部材などが、残留物質によって腐食されることがあった。
【０００６】
そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、金属製の部材を用いることなく、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。
また、本発明は、気体の供給又は排気といった気体の両方向への流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係る１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、開放端部が形成されるとともに、内部空間を有する筒体と、前記内部空間を、第１空間と第２空間とに仕切るとともに、前記開放端部に至る栓部と、前記開放端部及び前記栓部を覆う弾性体と、を有し、前記第１空間は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔を有し、かつ、前記第２空間は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔を有し、前記弾性体は、前記栓部に密着するか又は前記栓部から離間することで、前記容器本体に対する気体の流通を制御するものである。
（２）上記（１）の態様において、前記弾性体は、板状であるとともに、前記第１空間と、前記第２空間と、のみを前記気体が流れるように、前記第１空間側の開放端部と前記栓部との間、及び、前記栓部と前記第２空間側の開放端部との間を、それぞれシールしてもよい。
（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記弾性体は、前記第１空間又は前記第２空間に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記栓部との間に隙間を形成して、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第１空間及び前記第２空間に陽圧が加わらない場合に、前記栓部と密着して、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断してもよい。
（４）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記弾性体は、取り外し可能な状態で前記筒体に取り付けられてもよい。
（５）上記（１）から（４）までのいずれか１つに態様において、前記バルブ体は、前記容器本体に設けられた気体流路の途中に取り付けられてもよい。
（６）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記第１連通孔は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に連通し、前記第２連通孔は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連通してもよい。
（７）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記第１連通孔は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒に連通し、前記第２連通孔は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連結された中蓋筒に連通してもよい。
（８）上記（６）又は（７）の態様において、前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有してもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、金属製の部材を用いることなく、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す概略分解斜視図である。
【図２】容器本体におけるバルブ体を示す概略断面図である。
【図３】バルブ体の構造を示す、（ａ）断面斜視図、（ｂ）断面図である。
【図４】基板収納容器に取り付けられたバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
【図５】変形例における栓部の先端の形状を示す概略図である。
【図６】変形例における栓部の配置を示す断面図である。
【図７】第２実施形態の容器本体におけるバルブ体を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。
【００１１】
図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す概略分解斜視図である。
図１に示すように、基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のパッキン３０と、を備えている。
【００１２】
容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、パッキン３０が接触するシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口１１が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。
【００１３】
容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。
【００１４】
また、容器本体１０の内部の後方（奥側）には、リアリテーナ（図示なし）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合に、後述するフロントリテーナと対となって、基板Ｗを保持する。ただし、本実施形態のようにリアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状をした基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板Ｗを保持するようなものであってもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられている。
【００１５】
基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。
【００１６】
容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Ｗを気密収納した基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４を把持されて、基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。
【００１７】
また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。
【００１８】
図２は、容器本体１０におけるバルブ体４０を示す概略断面図である。
図２に示すように、容器本体１０の内側底面部１０１には、給気部１６と排気部１７とが設けられるとともに、容器本体１０の外側底板１０２には、給気部１６に対応する気体導入部５０と、排気部１７に対応する気体排出部５１とが設けられている。なお、給気部１６又は排気部１７には、気体を濾過するフィルタ４４が配置されている。
【００１９】
内側底面部１０１と外側底板１０２との間には、給気部１６と気体導入部５０とを連通する給気流路６０（気体流路）及び排気部１７と気体排出部５１とを連通する排気流路７０（気体流路）が設けられている。なお、気体流路（配管）である給気流路６０及び排気流路７０の途中には、後述するバルブ体４０が取り付けられている。
【００２０】
給気流路６０は、気体導入部５０及びバルブ体４０を連通する第１給気流路６１と、給気部１６及びバルブ体４０を連通する第２給気流路６２とを有し、同様に、排気流路７０は、気体排出部５１及びバルブ体４０を連通する第１排気流路７１と、排気部１７及びバルブ体４０を連通する第２排気流路７２とを有している。
【００２１】
このとき、各配管は、剛性の高い樹脂製の配管であっても、可撓性を有するチューブであってもよい。また、第１給気流路６１又は第１排気流路７１、好ましくは給気流路６０又は排気流路７０は、気体導入部５０側又は気体排出部５１側が低くなるように設けられているとよい。
【００２２】
これらは、蓋体２０によって閉止された基板収納容器１の内部に、気体導入部５０から給気流路６０及び給気部１６を介して窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、必要に応じて排気部１７から排気流路７０及び気体排出部５１を介して排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、低湿度の気密状態を維持したり、基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたりして、基板収納容器１の内部の清浄性を保つようになっている。
【００２３】
さらに、排気部１７から排気された気体を検知することで、基板収納容器１の内部が導入された気体で置換されたか確認することができる。なお、給気部１６及び排気部１７は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気部１６及び排気部１７の数量や位置は、図示したものに限らず、容器本体１０の底面の四隅部に位置していてもよい。また、給気部１６及び排気部１７は、蓋体２０の側に取り付けられてもよい。
【００２４】
一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示なし）に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が着脱自在に装着又は一体形成されている。
【００２５】
このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。フロントリテーナも、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けることができる。
【００２６】
そして、蓋体２０には、パッキン３０を取り付ける取付溝２１が形成されている。より詳しくは、蓋体２０の容器本体１０側の面には、開口１１の段差部より小さい凸部２２が環状に形成されることで、断面略Ｕ字状の取付溝２１が環状に形成されている。この凸部２２は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた時、開口１１の段差部より奥に入り込む。
【００２７】
これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。
【００２８】
つぎに、パッキン３０は、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口１１の形状）に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のパッキン３０は、蓋体２０への取り付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。
【００２９】
パッキン３０は、容器本体１０のシール面１２と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた際に、シール面１２と蓋体２０とに密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。
【００３０】
パッキン３０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。
【００３１】
そして、フィルタ４４は、供給又は排出される気体を濾過するものであり、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂などからなる多孔質膜、ガラス繊維などからなる分子濾過フィルタ、活性炭繊維などの濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタなどから選択される。
【００３２】
フィルタ４４は、給気部１６又は排気部１７に、１枚又は複数枚保持されている。なお、複数枚のフィルタ４４を用いる場合は、同種類のものであってもよいが、性質の異なるものを組み合わせた方が、パーティクル以外に、有機物の汚染なども防止することができるため、より好ましい。例えば、フィルタ４４は、容器本体１０を洗浄する際に、水や洗浄液などの液体が滞留しないように、液体の通過を抑制する機能も奏するため、フィルタ４４の一方に疎水性又は親水性の材料を用いて、液体の透過を更に抑制してもよい。
【００３３】
ここで、バルブ体４０について説明する。
バルブ体４０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、気体流路である給気流路６０又は排気流路７０の途中に取り付けられている。
【００３４】
図３は、バルブ体４０の構造を示す、（ａ）断面斜視図、（ｂ）断面図である。
バルブ体４０は、図３に示すように、開放端部４１１が形成されるとともに、内部空間４１２を有する筒体４１と、内部空間４１２を第１空間４１３と第２空間４１４とに仕切るとともに、開放端部４１１に至る栓部４２と、開放端部４１１及び栓部４２を覆う弾性体４３とを有している。
【００３５】
筒体４１の壁面には、外方へ突出する円環状のフランジ４１５が設けられており、円環状のフランジ４１５の内縁は、筒体４１の壁面を貫通する円形状の開放端部４１１を形成している。本実施形態では、円環状のフランジ４１５によって形成された円形状の開放端部４１１は、筒体４１の上壁面に設けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、筒体４１の下壁面に設けられてもよい。
【００３６】
栓部４２は、内部空間４１２を、容器本体１０の外部側に位置する第１空間４１３と第１空間４１３よりも容器本体１０の内部側に位置する第２空間４１４とに仕切る板状のものであり、筒体４１の開放端部４１１に対向する壁面４１８（下壁面）に立設されている。なお、本実施形態では、栓部４２は、上面視で、開放端部４１１を均等に２分割するとともにその径方向に沿って延在するように、開放端部４１１の中央位置に設けられている。また、栓部４２は、平面となる先端４２１を有している。
【００３７】
第１空間４１３は、容器本体１０の外部に連通する第１連通孔４１６（内径：Φ６程度）を有し、かつ、第２空間４１４は、容器本体１０の内部に連通する第２連通孔４１７（内径：Φ６程度）を有している。なお、本実施形態では、第１連通孔４１６及び第２連通孔４１７は、それぞれ、筒体４１の一端側及び他端側に形成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、筒体４１の壁面４１８に形成されてもよい。この場合、筒体４１の両端側が蓋などによって閉止されている。
【００３８】
第１連通孔４１６は、容器本体１０の外部に連通する第１給気流路６１又は第１排気流路７１の一端側に連通し、第２連通孔４１７は、容器本体１０の内部に連通する第２給気流路６２又は第２排気流路７２の一端側に連通している。
【００３９】
上述した筒体４１及び栓部４２は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂を非金属の材料として成形されている。
【００４０】
弾性体４３は、栓部４２の先端４２１に密着するか又は栓部４２の先端４２１から離間することで、容器本体１０に対する気体の流通を制御するものであり、開放端部４１１及び栓部４２を覆う円板形状のベース４３１からなっている。
【００４１】
そして、内側底面部１０１に設けられた円環状の押さえ部１０１１は、弾性体４３を筒体４１に押さえ付けるため、取り外し可能な状態で、弾性体４３を介して筒体４１に取り付けられている。なお、本実施形態では、弾性体４３は、押さえ部１０１１によって、取り外し可能に筒体４１に取り付けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、接着や溶着などによって筒体４１に直接取り付けられてもよい。
【００４２】
また、弾性体４３は、栓部４２の先端４２１に密着している状態で、容器本体１０の内側底面部１０１との間に間隙を有するように、設けられている。これにより、弾性体４３は、膨らむことで、栓部４２の先端４２１から離間することが可能である。
【００４３】
そして、弾性体４３は、給気又は排気される気体が、第１空間４１３と第２空間４１４と、のみを通って流れるように、第１空間４１３側の開放端部４１１と栓部４２の先端４２１との間、及び、栓部４２の先端４２１と第２空間４１４側の開放端部４１１との間を、確実にシールしている。
【００４４】
弾性体４３は、非金属の材料によって成形されればよく、非金属の材料としては、各種ゴムや熱可塑性エラストマーなどを用いることができる。例えば、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどを用いることができる。
【００４５】
最後に、バルブ体４０が、気体の流通を制御する状態を説明する。
図４は、基板収納容器１に取り付けられたバルブ体４０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
図４（ａ）において、第１空間４１３及び第２空間４１４に陽圧が加わらないと、弾性体４３は、栓部４２の先端４２１に密着して、気体の流通を遮断している。
【００４６】
例えば、図４（ｂ）に矢印で示したように、第１空間４１３に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体４３は、陽圧の大きさに応じて弾性変形し膨らむことで、栓部４２の先端４２１との間に隙間Ｃを形成する。そして、第１空間４１３側からの気体は、この隙間Ｃを通過して、第２空間４１４側へ流通し、容器本体１０の内部に供給される。
【００４７】
逆に、第２空間４１４に所定値以上の陽圧が加わっても、弾性体４３は同様に膨らみ、栓部４２の先端４２１との間に隙間Ｃを形成する。そして、第２空間４１４側からの気体は、この隙間Ｃを通過して、第１空間４１３側へ流通し、容器本体１０の外部に排出される。
【００４８】
このように、本実施形態のバルブ体４０は、いずれか一方側からの、気体の流通を遮断又は可能とするものではなく、双方向の気体の流通を遮断又は可能とすることができる。そして、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性体４３の材料、硬度や厚み、筒体４１の延在方向における栓部４２の位置、栓部４２の先端４２１の形状を変更することで調節可能である。
【００４９】
以上説明したとおり、本発明の実施形態に係る基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０に対する気体の流通を制御するバルブ体４０と、を備える基板収納容器１であって、バルブ体４０は、容器本体１０に設けられた気体流路の途中に取り付けられたものであり、開放端部４１１が形成されるとともに、内部空間４１２を有する筒体４１と、内部空間４１２を、第１空間４１３と第２空間４１４とに仕切るとともに、開放端部４１１に至る栓部４２と、開放端部４１１及び栓部４２を覆う弾性体４３と、を有し、第１空間４１３は、容器本体１０の外部に連通する第１連通孔４１６を有し、かつ、第２空間４１４は、容器本体１０の内部に連通する第２連通孔４１７を有し、弾性体４３は、栓部４２に密着するか又は栓部４２から離間することで、容器本体１０に対する気体の流通を制御するものである。
【００５０】
これにより、バルブ体４０の第１空間４１３又は第２空間４１４の一方から気体が導入され（陽圧になり）、所定の圧力値になると、弾性体４３が膨らみ、栓部４２の先端４２１との間に隙間Ｃが形成されるため、導入された気体はバルブ体４０の第１空間４１３又は第２空間４１４の他方へ供給されることになる。
【００５１】
また、基板収納容器１は、金属性の部材を用いないバルブ体４０を備えているため、収納する基板Ｗに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体４０が作動しないようなことが起こり難い。
【００５２】
さらに、基板収納容器１は、双方向の気体の流通を制御するバルブ体４０を備えているため、同じバルブ体４０を容器本体１０の気体流路の途中に適宜取り付けるだけで、給気部１６や排気部１７の位置や個数にかかわらず、あらゆる気体の給気及び排気ルートに対応することができる。
【００５３】
くわえて、実施形態の基板収納容器１を用いて湿度保持試験を行ったが、時間の経過による湿度低下は、従来のものに対して特に大きな差は見られなかった。
【００５４】
なお、気体導入部５０又は給気流路６０から第１給気流路６１又は第１排気流路７１を介したバルブ体４０までの距離が長いため、容器本体１０を液体で洗浄した場合でも、バルブ体４０まで液体が届き難くなり、容器本体１０の乾燥後の水残りを防止することができる。そして、バルブ体４０（栓部４２）よりも奥側の給気部１６又は排気部１７には、液体が届くことがない。
【００５５】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【００５６】
（変形例）
以下、実施形態の変形例を説明する。
図５は、変形例における栓部２の先端２１の形状を示す概略図である。図６は、変形例における栓部２の配置を示す断面図である。
【００５７】
上記実施形態において、第１空間４１３及び第２空間４１４は、それぞれ、１つの第１連通孔４１６及び１つの第２連通孔４１７を有しているが、これに限定されるものではなく、例えば、バルブ体４０の用途に応じて、それぞれ、２つ以上の第１連通孔４１６及び／又は２つ以上の第２連通孔４１７を有してもよい。
【００５８】
また、上記実施形態において、開放端部４１１は、円形状のものであるが、これに限定されるものではなく、例えば、楕円形状、三角形状又は四角形状のものであってもよく、この場合、弾性体４３の形状も、開放端部４１１の形状に合わせて、適宜変更してもよい。
【００５９】
さらに、上記実施形態において、栓部４２の先端４２１は、平面となっているが、これに限定されるものではなく、例えば、図５に示すように、その中央部分が弾性体４３側へ隆起する、曲面などのような形状面となってもよく、この場合、弾性体４３は、中央部分が隆起する先端４２１によって上方に付勢されるので、先端４２１が平面であるものに比べ、気体の流通が可能となる圧力の所定値を上げることができる。
【００６０】
そして、上記実施形態において、栓部４２は、開放端部４１１の中央位置に設けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、図６に示すように、開放端部４１１の中央位置から筒体４１の延在方向に偏在するように設けられてもよく、この場合、気体の流通が可能となる圧力の所定値が調節される。
【００６１】
（第２実施形態）
ところで、上記実施形態では、バルブ体４０は、容器本体１０に設けられた気体流路の途中に取り付けられるように構成されたが、これに限定されるものではなく、例えば、容器本体１０及び蓋体２０の少なくとも一方に取り付けられるように構成されてもよい。
【００６２】
図７は、第２実施形態の容器本体１０におけるバルブ体４０を示す断面図である。
バルブ体４０は、図７に示すように、容器本体１０のリブ１８０によって形成された貫通孔１８に下方から嵌められる固定筒４６と、貫通孔１８にシール部材４５を介して上方から嵌入されて、固定筒４６に上方から螺合により着脱自在に組み合わされる保持筒４８と、を有している。
【００６３】
固定筒４６は、容器本体１０の内部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、固定筒４６の内周面には、保持筒４８を取り付けるための取り付け用の螺子溝４６２が螺刻形成されている。また、固定筒４６の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４６３が周設されており、リブ１８０の開口周縁部に接触するようになっている。さらに、固定筒４６は、底部中心に、筒体４１の第１連通孔４１６に連通する気体流通用の通気口４６１が形成されている。
【００６４】
一方、保持筒４８は、容器本体１０の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、保持筒４８の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４８３が周設されており、貫通孔１８の開口周縁に接触している。さらに、保持筒４８の外周面には、固定筒４６へ取り付けるための螺子溝４８２が螺刻形成され、この螺子溝４８２が固定筒４６の螺子溝４６２と螺合する。ただし、固定筒４６及び保持筒４８は、螺合でなく、圧入や係止などの他の方法で互いに取り付けられてもよい。
【００６５】
また、保持筒４８は、容器本体１０（底面）の内部側に、気体流通用の複数の通気口（図示しない）を区画する区画リブ（図示しない）が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブの裏面には、フィルタ４４を収納する収納空間が形成されている。
【００６６】
なお、保持筒４８は、外周面にシール部材４５が装着されており、保持筒４８と貫通孔１８の内周面との間から、容器本体１０の内部に侵入する外気や洗浄液を遮断し、また、容器本体１０の内部から漏れる気体を遮断することができる。
【００６７】
ところで、バルブ体４０は、保持筒４８の内周壁にシール部材４７を介して取り付けられ、保持筒４８との間にフィルタ４４を保持する中蓋筒４９も有している。
【００６８】
中蓋筒４９は、容器本体１０の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、容器本体１０の内部側に、フィルタ４４が載置されるようになっている。また、中蓋筒４９の外周面には突起が形成されており、保持筒４８の内周面側に形成された係止溝と係止することで、中蓋筒４９は、保持筒４８に連結され取り付けられている。この中蓋筒４９は、底部中心に、筒体４１の第２連通孔４１７に連通する気体流通用の通気口４９１が形成されている。
【００６９】
そして、バルブ体４０は、固定筒４６と中蓋筒４９との間に配置され、開放端部４１１が形成されるとともに、内部空間４１２を有する筒体４１と、内部空間４１２を第１空間４１３と第２空間４１４とに仕切るとともに、開放端部４１１に至る栓部４２と、開放端部４１１及び栓部４２を覆う弾性体４３と、有している。なお、本実施形態では、筒体４１、栓部４２及び弾性体４３については、上記実施形態と同様であるため、これらの説明を省略する。
【００７０】
上述した固定筒４６、保持筒４８及び中蓋筒４９は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂を材料として成形されている。また、シール部材４５，４７には、例えば、フッ素ゴム、ＮＢＲゴム、ウレタンゴム、ＥＰＤＭゴム、シリコーンゴムなどの材料から形成された、Ｏリングなどが用いられている。
【００７１】
第２実施形態の基板収納容器１であっても、金属性の部材を用いないバルブ体４０を備えているため、収納する基板Ｗに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体４０が作動しないようなことが起こり難い。
【００７２】
（第２実施形態の変形例）
さらに、上記実施形態において、保持筒４８は、貫通孔１８に嵌められた固定筒４６の内側に組み合わされたが、逆に、固定筒４６が、貫通孔１８に嵌められた保持筒４８の内側に組み合わされてもよい。また、上記実施形態において、バルブ体４０は中蓋筒４９を有したが、中蓋筒４９を有さず、第２連通孔４１７が保持筒４８に連通してもよい。この場合、フィルタ４４は、保持筒４８に直接接着又は溶着されるとよい。
【符号の説明】
【００７３】
１        基板収納容器
１０      容器本体、１１  開口、１２  シール面、１３  支持体、１４  ロボティックフランジ、１５  マニュアルハンドル、１６  給気部、１７  排気部、１８  貫通孔、１０１  内側底面部、１０２  外側底板、１８０  リブ、１０１１押さえ部
２０      蓋体、２１  取付溝、２２  凸部
３０      パッキン
４０      バルブ体
４１    筒体、４１１  開放端部、４１２  内部空間、４１３  第１空間、４１４  第２空間、４１５  フランジ、４１６  第１連通孔、４１７  第２連通孔、４１８  壁面
４２    栓部、４２１  先端
４３    弾性体、４３１  ベース
４４    フィルタ、４５    シール部材、４７  シール部材
４６    固定筒、４６１  通気口、４６２  螺子溝、４６３  フランジ
４８    保持筒、４８２  螺子溝、４８３  フランジ
４９    中蓋筒、４９１  通気口
５０      気体導入部
５１      気体排出部
６０      給気流路、６１  第１給気流路、６２  第２給気流路
７０      排気流路、７１  第１排気流路、７２  第２排気流路
Ｗ        基板
Ｃ        隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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