(57)【要約】【課題】本発明の目的は、露光マージンが満足に得られる感光性組成物を提供することにある。【解決手段】上記目的を達成するため、本発明は、下記一般式（Ｉ）で表されるオキシムエステル化合物を含有する重合開始剤、重合性化合物、並びに不飽和多塩基酸及び不飽和多塩基酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位と、炭素原子数２〜４の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体に由来する構造単位とを有する重合体を含有する感光性組成物、着色感光性組成物並びにそれらの硬化物を提供する。本発明の感光性組成物は、露光マージンが十分であり、透明絶縁膜等として有用である。    【化１】2019168654.tif 000055（式中、Ｒ1〜Ｒ８の定義は明細書を参照。ｎは、０又は１を表す。）【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（Ｉ）で表されるオキシムエステル化合物を含有する重合開始剤、重合性化合物並びに、不飽和多塩基酸及び不飽和多塩基酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位と、炭素原子数２〜４の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体に由来する構造単位とを有する重合体を含有する感光性組成物。
【化１】
2019168654.tif 000051
（式中、Ｒ1及びＲ2は、それぞれ独立に、Ｒ11、ＯＲ11、ＣＯＲ11、ＳＲ11、ＣＯＮＲ12Ｒ13又はＣＮを表し、
Ｒ11、Ｒ12及びＲ13は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数６〜３０のアリール基、炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、
Ｒ11、Ｒ12及びＲ13で表わされる基の水素原子は、更にＲ２1、ＯＲ21、ＣＯＲ21、ＳＲ21、ＮＲ22Ｒ23、ＣＯＮＲ22Ｒ23、−ＮＲ22−ＯＲ23、−ＮＣＯＲ22−ＯＣＯＲ23、ＮＲ22ＣＯＲ21、ＯＣＯＲ21、ＣＯＯＲ21、ＳＣＯＲ21、ＯＣＳＲ21、ＣＯＳＲ21、ＣＳＯＲ21、水酸基、ニトロ基、ＣＮ、ハロゲン原子、又はＣＯＯＲ21で置換されていてもよく、
Ｒ21、Ｒ22及びＲ23は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数６〜３０のアリール基、炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、
Ｒ21、Ｒ22及びＲ23で表される基の水素原子は、更に水酸基、ニトロ基、ＣＮ、ハロゲン原子、水酸基又はカルボキシル基で置換されていてもよく、
Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ21、Ｒ22及びＲ23で表される基のアルキレン部分は、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＲ24−、−ＮＲ24ＣＯ−、−ＮＲ24ＣＯＯ−、−ＯＣＯＮＲ24−、−ＳＣＯ−、−ＣＯＳ−、−ＯＣＳ−又は−ＣＳＯ−により酸素原子が隣り合わない条件で１〜５回中断されていてもよく、
Ｒ24は、水素原子、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数６〜３０のアリール基、炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、
Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ21、Ｒ22、Ｒ23及びＲ24で表される基のアルキル部分は、分岐側鎖があってもよく、環状アルキルであってもよく、
Ｒ3は、水素原子、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数６〜３０のアリール基、炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、Ｒ３で表される基のアルキル部分は、分岐側鎖があってもよく、環状アルキルであってもよく、また、Ｒ３とＲ７、Ｒ３とＲ８、Ｒ４とＲ５、Ｒ５とＲ６及びＲ６とＲ７はそれぞれ一緒になって環を形成していてもよく、
Ｒ３で表わされる基の水素原子は、更にＲ２1、ＯＲ21、ＣＯＲ21、ＳＲ21、ＮＲ22Ｒ23、ＣＯＮＲ22Ｒ23、−ＮＲ22−ＯＲ23、−ＮＣＯＲ22−ＯＣＯＲ23、ＮＲ22ＣＯＲ21、ＯＣＯＲ21、ＣＯＯＲ21、ＳＣＯＲ21、ＯＣＳＲ21、ＣＯＳＲ21、ＣＳＯＲ21、水酸基、ニトロ基、ＣＮ、ハロゲン原子、又はＣＯＯＲ21で置換されていてもよく、
Ｒ4、Ｒ５、Ｒ６及びＲ７は、それぞれ独立に、Ｒ11、ＯＲ11、ＳＲ11、ＣＯＲ14、ＣＯＮＲ15Ｒ16、ＮＲ12ＣＯＲ11、ＯＣＯＲ11、ＣＯＯＲ14、ＳＣＯＲ11、ＯＣＳＲ11、ＣＯＳＲ14、ＣＳＯＲ11、水酸基、ＣＮ又はハロゲン原子を表し、Ｒ４とＲ５、Ｒ５とＲ６及びＲ６とＲ７はそれぞれ一緒になって環を形成していてもよく、
Ｒ14、Ｒ15及びＲ16は、水素原子又は炭素原子数１〜２０のアルキル基を表し、Ｒ１４、Ｒ１５及びＲ１６で表される基のアルキル部分は、分岐側鎖があってもよく、環状アルキルであってもよく、Ｒ８は、Ｒ11、ＯＲ11、ＳＲ11、ＣＯＲ11、ＣＯＮＲ12Ｒ13、ＮＲ12ＣＯＲ11、ＯＣＯＲ11、ＣＯＯＲ11、ＳＣＯＲ11、ＯＣＳＲ11、ＣＯＳＲ11、ＣＳＯＲ11、水酸基、ＣＮ又はハロゲン原子を表し、
ｎは、０又は１を表す。）
【請求項２】
上記重合開始剤が下記一般式（ＩＩ）で表される、請求項１に記載の感光性組成物。
【化２】
2019168654.tif 000052
（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８及びｎは、上記一般式（Ｉ）と同じであり、Ｒ31、Ｒ32、Ｒ33、Ｒ34及びＲ35は、それぞれ独立に、Ｒ11、ＯＲ11、ＳＲ11、ＣＯＲ11、ＣＯＮＲ15Ｒ16、ＮＲ12ＣＯＲ11、ＯＣＯＲ11、ＣＯＯＲ14、ＳＣＯＲ11、ＯＣＳＲ11、ＣＯＳＲ14、ＣＳＯＲ11、水酸基、ニトロ基、ＣＮ又はハロゲン原子を表し、Ｒ３１とＲ３２、Ｒ３２とＲ３３、Ｒ３３とＲ３４及びＲ３４とＲ３５はそれぞれ一緒になって環を形成していてもよい。）
【請求項３】
上記重合体における炭素原子数２〜４の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体に由来する構造単位が、下記一般式（ＩＩＩ）又は下記一般式（ＩＶ）で表される化合物に由来する構造単位である、請求項１又は２に記載の感光性組成物。
【化３】
2019168654.tif 000053
【化４】
2019168654.tif 000054
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性組成物に、更に色材を含有させてなる着色感光性組成物。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性組成物。
【請求項６】
請求項４に記載の着色感光性組成物にエネルギー線を照射してなる硬化物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定の構造を有する重合開始剤、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物及び特定の構造を有する重合体を含有する感光性組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
感光性組成物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物に光重合開始剤を加えたものであり、エネルギー線（光）を照射することによって重合硬化させることができるため、光硬化性インキ、感光性印刷版、各種フォトレジスト等に用いられている。
【０００３】
上記感光性組成物に用いられる光重合開始剤として、下記特許文献１〜３には、オキシムエステル化合物を用いることが提案されている。しかし、下記特許文献に記載のオキシムエステル化合物は、満足できる感度を有するものではなかった。
【０００４】
また、カラーフィルタ等の色材を含有する着色アルカリ現像性感光性組成物は、高感度であることが求められ、レジスト中における光重合開始剤を高濃度にする必要が有る。しかし、高濃度の光重合開始剤は、現像性の悪化による残渣の発生や、昇華物によるフォトマスクや加熱炉の汚染等の原因となっていた。また、フォトスペーサや透明絶縁膜を形成するために用いられる透明アルカリ現像性感光性組成物は、得られるパターンの幅の露光マージンが満足に得られないため、歩留まり悪化の原因となっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第６５９６４４５号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２００６／２４１２５９号明細書
【特許文献３】国際公開２０１３／００８６５２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
解決しようとする問題点は、露光マージンが満足に得られる感光性組成物がこれまでなかったということである。
【０００７】
従って、本発明の目的は、露光マージンが満足に得られる感光性組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、下記一般式（Ｉ）で表される新規なオキシムエステル化合物を含有する重合開始剤、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物並びに、不飽和多塩基酸及び不飽和多塩基酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位と、炭素原子数２〜４の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体に由来する構造単位とを有する重合体を含有する感光性組成物を提供することにより、上記目的を達成したものである。
【０００９】
【化１】
2019168654.tif 000002
【００１０】
（式中、Ｒ1及びＲ2は、それぞれ独立に、Ｒ11、ＯＲ11、ＣＯＲ11、ＳＲ11、ＣＯＮＲ12Ｒ13又はＣＮを表し、
Ｒ11、Ｒ12及びＲ13は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数６〜３０のアリール基、炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、
Ｒ11、Ｒ12及びＲ13で表わされる基の水素原子は、更にＲ２1、ＯＲ21、ＣＯＲ21、ＳＲ21、ＮＲ22Ｒ23、ＣＯＮＲ22Ｒ23、−ＮＲ22−ＯＲ23、−ＮＣＯＲ22−ＯＣＯＲ23、ＮＲ22ＣＯＲ21、ＯＣＯＲ21、ＣＯＯＲ21、ＳＣＯＲ21、ＯＣＳＲ21、ＣＯＳＲ21、ＣＳＯＲ21、水酸基、ニトロ基、ＣＮ、ハロゲン原子、又はＣＯＯＲ21で置換されていてもよく、
Ｒ21、Ｒ22及びＲ23は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数６〜３０のアリール基、炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、
Ｒ21、Ｒ22及びＲ23で表される基の水素原子は、更に水酸基、ニトロ基、ＣＮ、ハロゲン原子、水酸基又はカルボキシル基で置換されていてもよく、
Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ21、Ｒ22及びＲ23で表される基のアルキレン部分は、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＲ24−、−ＮＲ24ＣＯ−、−ＮＲ24ＣＯＯ−、−ＯＣＯＮＲ24−、−ＳＣＯ−、−ＣＯＳ−、−ＯＣＳ−又は−ＣＳＯ−により酸素原子が隣り合わない条件で１〜５回中断されていてもよく、
Ｒ24は、水素原子、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数６〜３０のアリール基、炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、
Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ21、Ｒ22、Ｒ23及びＲ24で表される基のアルキル部分は、分岐側鎖があってもよく、環状アルキルであってもよく、
Ｒ3は、水素原子、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数６〜３０のアリール基、炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、Ｒ３で表される基のアルキル部分は、分岐側鎖があってもよく、環状アルキルであってもよく、また、Ｒ３とＲ７、Ｒ３とＲ８、Ｒ４とＲ５、Ｒ５とＲ６及びＲ６とＲ７はそれぞれ一緒になって環を形成していてもよく、
Ｒ３で表わされる基の水素原子は、更にＲ２1、ＯＲ21、ＣＯＲ21、ＳＲ21、ＮＲ22Ｒ23、ＣＯＮＲ22Ｒ23、−ＮＲ22−ＯＲ23、−ＮＣＯＲ22−ＯＣＯＲ23、ＮＲ22ＣＯＲ21、ＯＣＯＲ21、ＣＯＯＲ21、ＳＣＯＲ21、ＯＣＳＲ21、ＣＯＳＲ21、ＣＳＯＲ21、水酸基、ニトロ基、ＣＮ、ハロゲン原子、又はＣＯＯＲ21で置換されていてもよく、
Ｒ4、Ｒ５、Ｒ６及びＲ７は、それぞれ独立に、Ｒ11、ＯＲ11、ＳＲ11、ＣＯＲ14、ＣＯＮＲ15Ｒ16、ＮＲ12ＣＯＲ11、ＯＣＯＲ11、ＣＯＯＲ14、ＳＣＯＲ11、ＯＣＳＲ11、ＣＯＳＲ14、ＣＳＯＲ11、水酸基、ＣＮ又はハロゲン原子を表し、Ｒ４とＲ５、Ｒ５とＲ６及びＲ６とＲ７はそれぞれ一緒になって環を形成していてもよく、
Ｒ14、Ｒ15及びＲ16は、水素原子又は炭素原子数１〜２０のアルキル基を表し、
Ｒ１４、Ｒ１５及びＲ１６で表される基のアルキル部分は、分岐側鎖があってもよく、環状アルキルであってもよく、
Ｒ８は、Ｒ11、ＯＲ11、ＳＲ11、ＣＯＲ11、ＣＯＮＲ12Ｒ13、ＮＲ12ＣＯＲ11、ＯＣＯＲ11、ＣＯＯＲ11、ＳＣＯＲ11、ＯＣＳＲ11、ＣＯＳＲ11、ＣＳＯＲ11、水酸基、ＣＮ又はハロゲン原子を表し、
ｎは、０又は１を表す。）
【００１１】
また、本発明は、上記感光性組成物に、更に色材を含有させてなる着色感光性組成物を提供するものである。
【００１２】
また、本発明は、上記感光性組成物、又は着色感光性組成物にエネルギー線を照射してなる硬化物を提供するものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の感光性組成物は、露光マージンが十分であり、透明絶縁膜等として有用なものである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の感光性組成物について好ましい実施形態に基づき詳細に説明する。
【００１５】
本発明の感光性組成物の必須成分である重合開始剤に含有される上記一般式（Ｉ）で表わされるオキシムエステル化合物には、オキシムの二重結合による幾何異性体が存在するが、これらを区別するものではない。
即ち、本明細書において、上記一般式（Ｉ）で表わされる化合物、並びに後述する該化合物の好ましい形態である下記一般式（ＩＩ）で表わされる化合物及びその例示化合物は、両方の混合物又はどちらか一方を表すものであり、異性体を示した構造に限定するものではない。
【００１６】
上記一般式（Ｉ）中の、Ｒ３、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14、Ｒ15、Ｒ16、Ｒ21、Ｒ22、Ｒ23及びＲ24で表される炭素原子数１〜２０のアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、ｓ−ブチル、ｔ−ブチル、アミル、イソアミル、ｔ−アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、２−エチルヘキシル、ｔ−オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ウンデシル、ドデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、イコシル、シクロペンチル、シクロペンチルメチル、シクロペンチルエチル、シクロヘキシル、シクロヘキシルメチル、シクロヘキシルエチル等が挙げられる。
【００１７】
上記一般式（Ｉ）中の、Ｒ３、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ21、Ｒ22、Ｒ23及びＲ24で表される炭素原子数６〜３０のアリール基としては、例えば、フェニル、トリル、キシリル、エチルフェニル、ナフチル、アンスリル、フェナンスレニル、上記アルキル基で１つ以上置換されたフェニル、ビフェニリル、ナフチル、アンスリル等が挙げられる。
【００１８】
上記一般式（Ｉ）中の、Ｒ３、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ21、Ｒ22、Ｒ23及びＲ24で表される炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基としては、例えば、ベンジル、α−メチルベンジル、α、α−ジメチルベンジル、フェニルエチル等が挙げられる。
【００１９】
上記一般式（Ｉ）中の、Ｒ３、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ21、Ｒ22、Ｒ23、及びＲ24で表される炭素原子数２〜２０の複素環基としては、例えば、ピリジル、ピリミジル、フリル、チエニル、テトラヒドロフリル、ジオキソラニル、ベンゾオキサゾール−２−イル、テトラヒドロピラニル、ピロリジル、イミダゾリジル、ピラゾリジル、チアゾリジル、イソチアゾリジル、オキサゾリジル、イソオキサゾリジル、ピペリジル、ピペラジル、モルホリニル等の５〜７員複素環が挙げられる。
【００２０】
上記一般式（Ｉ）中の、Ｒ４とＲ５、Ｒ５とＲ６及びＲ６とＲ７並びにＲ３とＲ７及びＲ３とＲ８が一緒になって形成し得る環としては、例えば、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロペンテン環、ベンゼン環、ピペリジン環、モルホリン環、ラクトン環、ラクタム環等の５〜７員環が好ましく挙げられる。
【００２１】
また、上記一般式（Ｉ）中の、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７及びＲ８で表されるハロゲン原子、並びに上記一般式（Ｉ）中の、Ｒ３、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ21、Ｒ22及びＲ23を置換してもよいハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。
【００２２】
上記一般式（Ｉ）中の、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ21、Ｒ22及びＲ23で表される基のアルキレン部分は、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＲ24−、−ＮＲ24ＣＯ−、−ＮＲ24ＣＯＯ−、−ＯＣＯＮＲ24−、−ＳＣＯ−、−ＣＯＳ−、−ＯＣＳ−又は−ＣＳＯ−により酸素原子が隣合わない条件で１〜５回中断されていてもよく、この時中断する結合基は１種又は２種以上の基でもよく、連続して中断し得る基の場合は２つ以上連続して中断してもよい。
また、上記一般式（Ｉ）中の、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ21、Ｒ22、Ｒ23及びＲ24で表される基のアルキル（アルキレン）部分は、分岐側鎖があってもよく、環状アルキルであってもよい。
【００２３】
上記オキシムエステル化合物の中でも、Ｒ３が縮合していてもよい芳香族環であるもの、あるいは下記一般式（ＩＩ）で表される化合物は、感度が高く、製造が容易であるため好ましい。
【００２４】
【化２】
2019168654.tif 000003
【００２５】
（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８及びｎは、上記一般式（Ｉ）と同じであり、Ｒ31、Ｒ32、Ｒ33、Ｒ34及びＲ35は、それぞれ独立に、Ｒ11、ＯＲ11、ＳＲ11、ＣＯＲ11、ＣＯＮＲ15Ｒ16、ＮＲ12ＣＯＲ11、ＯＣＯＲ11、ＣＯＯＲ14、ＳＣＯＲ11、ＯＣＳＲ11、ＣＯＳＲ14、ＣＳＯＲ11、水酸基、ニトロ基、ＣＮ又はハロゲン原子を表し、Ｒ３１とＲ３２、Ｒ３２とＲ３３、Ｒ３３とＲ３４及びＲ３４とＲ３５はそれぞれ一緒になって環を形成していてもよい。）
【００２６】
Ｒ３１とＲ３２、Ｒ３２とＲ３３、Ｒ３３とＲ３４及びＲ３４とＲ３５が一緒になって形成する環の例としては、Ｒ４とＲ５、Ｒ５とＲ６及びＲ６とＲ７並びにＲ３とＲ７及びＲ３とＲ８が一緒になって形成し得る環の例として上記で挙げたものと同様の環が挙げられる。
【００２７】
上記一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）において、Ｒ１として炭素原子数１〜１２のアルキル基又は炭素原子数７〜１５のアリールアルキル基、Ｒ１１が炭素原子数６〜１２のアリール基、炭素原子数１〜８のアルキル基であるものが溶媒溶解性が高いので好ましく、Ｒ２としてメチル基、エチル基又はフェニル基であるものが反応性が高いので好ましく、Ｒ４〜Ｒ７として水素原子又はシアノ基、特に水素原子であるものが合成が容易なので好ましく、Ｒ８として水素原子であるものが合成が容易なので好ましく、ｎは１であるのが、感度が高いので好ましく、上記一般式（II）において、Ｒ３１〜Ｒ３５のうち少なくとも１つがニトロ基、ＣＮ、ハロゲン原子、ＣＯＲ11であり、Ｒ１１が炭素原子数６〜１２のアリール基、炭素原子数１〜８のアルキル基であるものが感度が高いので好ましく、Ｒ３１〜Ｒ３５のうち少なくとも１つがニトロ基、ＣＮ又はハロゲン原子であるものがより好ましく、Ｒ３３がニトロ基、ＣＮ又はハロゲン原子であるものが特に好ましい。
【００２８】
従って、上記一般式（Ｉ）で表されるオキシムエステル化合物の好ましい具体例としては、以下の化合物Ｎｏ．１〜Ｎｏ．２１２が挙げられる。但し、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。
【００２９】
【化３】
2019168654.tif 000004
【００３０】
【化４】
2019168654.tif 000005
【００３１】
【化５】
2019168654.tif 000006
【００３２】
【化６】
2019168654.tif 000007
【００３３】
【化７】
2019168654.tif 000008
【００３４】
【化８】
2019168654.tif 000009
【００３５】
【化９】
2019168654.tif 000010
【００３６】
【化１０】
2019168654.tif 000011
【００３７】
【化１１】
2019168654.tif 000012
【００３８】
【化１２】
2019168654.tif 000013
【００３９】
【化１３】
2019168654.tif 000014
【００４０】
【化１４】
2019168654.tif 000015
【００４１】
【化１５】
2019168654.tif 000016
【００４２】
【化１６】
2019168654.tif 000017
【００４３】
【化１７】
2019168654.tif 000018
【００４４】
【化１８】
2019168654.tif 000019
【００４５】
上記一般式（Ｉ）で表されるオキシムエステル化合物は、特に限定されないが、例えば、特開２０００−８００６８号公報に記載の方法で製造できる。方法の一つとしては、ｎ＝０の場合、下記＜例１＞に示す反応式に従って、以下の方法により製造する方法が挙げられる。
即ち、ケトン体１とハロゲン化物を反応させることによりケトン体２を得、ケトン体２と塩酸ヒドロキシルアミンを反応させることにより、オキシム化合物３を得る。続いて、該オキシム化合物３に、酸無水物４、酸クロリド４’又はカルボン酸塩４”を反応させることにより、上記一般式（Ｉ）で表される本発明のオキシムエステル化合物を得る。ｎ＝１の場合も、常法に従い、ｎ＝０の場合に準じ、例えば＜例２＞に示す反応式に従って、製造することができる。
【００４６】
【化１９】
2019168654.tif 000020
（式中、Ｒ1、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ5、Ｒ６、Ｒ７及びＲ８は上記一般式（Ｉ）と同じである。）
【００４７】
【化２０】
2019168654.tif 000021
（式中、Ｒ1、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ5、Ｒ６、Ｒ７及びＲ８は上記一般式（Ｉ）と同じである。）
【００４８】
本発明に係る重合開始剤中における上記一般式（Ｉ）で表されるオキシムエステル化合物の含有量は、好ましくは３０〜１００質量％、より好ましくは５０〜１００質量％である。
【００４９】
本発明の感光性組成物の必須成分である重合性化合物としては、特に限定されず、従来、感光性組成物に用いられているものを用いることができるが、例えば、エチレン、プロピレン、ブチレン、イソブチレン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン等の不飽和脂肪族炭化水素；(メタ)アクリル酸、α―クロルアクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、シトラコン酸、フマル酸、ハイミック酸、クロトン酸、イソクロトン酸、ビニル酢酸、アリル酢酸、桂皮酸、ソルビン酸、メサコン酸、コハク酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ（メタ）アクリレート；ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート・マレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート或いは1個のカルボキシル基と２個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能（メタ）アクリレート等の不飽和多塩基酸；(メタ)アクリル酸−２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸−２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸グリシジル、下記化合物Ｎｏ．Ａ１〜Ｎｏ．Ａ４、（メタ）アクリル酸メチル、 （メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸−ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸ｎ−オクチル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸ステアリル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノメチル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸アミノプロピル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノプロピル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル、（メタ）アクリル酸ポリ（エトキシ）エチル、（メタ）アクリル酸ブトキシエトキシエチル、（メタ）アクリル酸エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸フェノキシエチル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフリル、（メタ）アクリル酸ビニル、（メタ）アクリル酸アリル、（メタ）アクリル酸ベンジル、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメチロールジ（メタ）アクリレート、トリ〔（メタ）アクリロイルエチル〕イソシアヌレート、ポリエステル（メタ）アクリレートオリゴマー等の不飽和一塩基酸及び多価アルコール又は多価フェノールのエステル；（メタ）アクリル酸亜鉛、（メタ）アクリル酸マグネシウム等の不飽和多塩基酸の金属塩；マレイン酸無水物、イタコン酸無水物、シトラコン酸無水物、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、５−（２，５−ジオキソテトラヒドロフリル）−３−メチル−３−シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等の不飽和多塩基酸の酸無水物；（メタ）アクリルアミド、メチレンビス−（メタ）アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス（メタ）アクリルアミド、キシリレンビス（メタ）アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミド等の不飽和一塩基酸及び多価アミンのアミド；アクロレイン等の不飽和アルデヒド；（メタ）アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン、シアン化アリル等の不飽和ニトリル；スチレン、４−メチルスチレン、４−エチルスチレン、４−メトキシスチレン、４−ヒドロキシスチレン、４−クロロスチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン、ビニル安息香酸、ビニルフェノール、ビニルスルホン酸、４−ビニルベンゼンスルホン酸、ビニルベンジルメチルエーテル、ビニルベンジルグリシジルエーテル等の不飽和芳香族化合物；メチルビニルケトン等の不飽和ケトン；ビニルアミン、アリルアミン、Ｎ−ビニルピロリドン、ビニルピペリジン等の不飽和アミン化合物；アリルアルコール、クロチルアルコール等のビニルアルコール；ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ｎ−ブチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、アリルグリシジルエーテル等のビニルエーテル；マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類；インデン、１−メチルインデン等のインデン類；１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類；ポリスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリ−ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ（メタ）アクリロイル基を有するマクロモノマー類；ビニルクロリド、ビニリデンクロリド、ジビニルスクシナート、ジアリルフタラート、トリアリルホスファート、トリアリルイソシアヌラート、ビニルチオエーテル、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾリン、ビニルカルバゾール、ビニルピロリドン、ビニルピリジン、水酸基含有ビニルモノマー及びポリイソシアネート化合物のビニルウレタン化合物、水酸基含有ビニルモノマー及びポリエポキシ化合物のビニルエポキシ化合物が挙げられる。
【００５０】
これらの中でも、両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ（メタ）アクリレート、１個のカルボキシ基と２個以上の（メタ）アクリロイル基とを有する多官能（メタ）アクリレート、不飽和一塩基酸及び多価アルコール又は多価フェノールのエステルに、上記一般式（Ｉ）で表されるオキシムエステル化合物を含有する重合開始剤は好適である。
これらの重合性化合物は、単独で又は２種以上を混合して使用することができ、また２種以上を混合して使用する場合には、それらを予め共重合して共重合体として使用してもよい。
【００５１】
化合物Ｎｏ．Ａ１
【化２１】
2019168654.tif 000022
【００５２】
化合物Ｎｏ．Ａ２
【化２２】
2019168654.tif 000023
【００５３】
化合物Ｎｏ．Ａ３
【化２３】
2019168654.tif 000024
【００５４】
化合物Ｎｏ．Ａ４
【化２４】
2019168654.tif 000025
【００５５】
上記重合性化合物としては、エチレン性不飽和基を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物を用いてもよく、エチレン性不飽和基を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物としては、アルカリ水溶液に可溶であれば特に限定されないが、例えば、特開２００４−２６４４１４号公報に記載の樹脂等が挙げられる。
【００５６】
また、上記エチレン性不飽和基を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物としては、アクリル酸エステルの共重合体や、フェノール及び／又はクレゾールノボラックエポキシ樹脂、多官能エポキシ基を有するポリフェニルメタン型エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、下記一般式（ＩＩＩ）で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物のエポキシ基に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂を用いることができる。ここでいうエポキシアクリレート樹脂とは、上記エポキシ化合物に（メタ）アクリル酸を作用させたものであり、その例としては、Ｒｉｐｏｘｙ  ＳＰＣ−２０００、ＤＩＣ社製のディックライトＵＥ−７７７、日本ユピカ社製ユピカ４０１５等を挙げることができる。
これらの中でも、エポキシアクリレート樹脂、及び、下記一般式（ＩＩＩ）で表されるエポキシ化合物のエポキシ基に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂が好ましい。
また、上記エチレン性不飽和結合を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物は、不飽和基を０．２〜１．０当量含有していることが好ましい。
【００５７】
【化２５】
2019168654.tif 000026
【００５８】
（式中、Ｘ1は直接結合、メチレン基、炭素原子数１〜４のアルキリデン基、炭素原子数３〜２０の脂環式炭化水素基、Ｏ、Ｓ、ＳＯ2、ＳＳ、ＳＯ、ＣＯ、ＯＣＯ又は下記部分構造式（イ）、（ロ）若しくは（ハ）で表される基を表し、上記アルキリデン基はハロゲン原子で置換されていてもよく、Ｒ51、Ｒ52、Ｒ53及びＲ54は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１〜５のアルキル基、炭素原子数１〜８のアルコキシ基、炭素原子数２〜５のアルケニル基又はハロゲン原子を表し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原子で置換されていてもよく、ｍは０〜１０の整数であり、ｍが０で無いときに存在する光学異性体は、どの異性体でもよい。）
【００５９】
【化２６】
2019168654.tif 000027
【００６０】
（式中、Ｚ3は水素原子、炭素原子数１〜１０のアルキル基若しくは炭素原子数１〜１０のアルコキシ基により置換されていてもよいフェニル基、又は炭素原子数１〜１０のアルキル基若しくは炭素原子数１〜１０のアルコキシ基により置換されていてもよい炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基を示し、Ｙ1は炭素原子数１〜１０のアルキル基、炭素原子数１〜１０のアルコキシ基、炭素原子数２〜１０のアルケニル基又はハロゲン原子を示し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原子で置換されていてもよく、ｄは０〜５の整数である。）
【００６１】
【化２７】
2019168654.tif 000028
【００６２】
【化２８】
2019168654.tif 000029
【００６３】
（式中、Ｙ2及びＺ4は、それぞれ独立して、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数１〜１０のアルキル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数６〜２０のアリール基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数６〜２０のアリールオキシ基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数６〜２０のアリールチオ基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数６〜２０のアリールアルケニル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数２〜２０の複素環基、又はハロゲン原子を表し、上記アルキル基及びアリールアルキル基中のアルキレン部分は、不飽和結合、−Ｏ−又は−Ｓ−で中断されていてもよく、Ｚ4は、隣接するＺ4同士で環を形成していてもよく、ｐは０〜４の整数を表し、ｑは０〜８の整数を表し、ｒは０〜４の整数を表し、ｓは０〜４の整数を表し、ｒとｓの数の合計は２〜４の整数である。）
【００６４】
上記エポキシ化合物に作用させる上記不飽和一塩基酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、ヒドロキシエチルメタクリレート・マレート、ヒドロキシエチルアクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルアクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート等が挙げられる。
【００６５】
また、上記不飽和一塩基酸を作用させた後に作用させる上記多塩基酸無水物としては、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、テトラヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、ビフタル酸無水物、無水マレイン酸、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、２，２’−３，３’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセロールトリスアンヒドロトリメリテート、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ナジック酸無水物、メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、５−（２，５−ジオキソテトラヒドロフリル）−３−メチル−３−シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等が挙げられる。
【００６６】
上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応モル比は、以下の通りとすることが好ましい。
即ち、上記エポキシ化合物のエポキシ基1個に対し、上記不飽和一塩基酸のカルボキシル基が０．１〜１．０個で付加させた構造を有するエポキシ付加物において、該エポキシ付加物の水酸基1個に対し、上記多塩基酸無水物の酸無水物構造が０．１〜１．０個となる比率となるようにするのが好ましい。
上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応は、常法に従って行なうことができる。
【００６７】
本発明の感光性組成物の実施態様の一つであるアルカリ現像性感光性組成物は、必須成分として、本発明に係る重合開始剤と、重合性化合物と、エチレン性不飽和基を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物とを含有し、任意成分として、無機化合物、色材、溶媒等の成分を組み合わせて含有するものである。尚、本発明のアルカリ現像性感光性組成物のうち、色材を含有するものを、特に、本発明の着色アルカリ現像性感光性組成物ともいう。
上記の重合性化合物と、上記のエチレン性不飽和基を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物とは同一の化合物であってもよく、異なっていてもよく、また、単独であっても２種以上を併用してもよい。
【００６８】
酸価調整して本発明の（着色）アルカリ現像性感光性組成物の現像性を改良するため、上記エチレン性不飽和結合を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物と共に、更に単官能又は多官能エポキシ化合物を用いることができる。上記エチレン性不飽和結合を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物は、固形分の酸価が５〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲であることが好ましく、単官能又は多官能エポキシ化合物の使用量は、上記酸価を満たすように選択するのが好ましい。
【００６９】
上記単官能エポキシ化合物としては、グリシジルメタクリレート、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル、イソプロピルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、イソブチルグリシジルエーテル、ｔ−ブチルグリシジルエーテル、ペンチルグリシジルエーテル、ヘキシルグリシジルエーテル、ヘプチルグリシジルエーテル、オクチルグリシジルエーテル、ノニルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテル、ウンデシルグリシジルエーテル、ドデシルグリシジルエーテル、トリデシルグリシジルエーテル、テトラデシルグリシジルエーテル、ペンタデシルグリシジルエーテル、ヘキサデシルグリシジルエーテル、２−エチルヘキシルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、プロパルギルグリシジルエーテル、p−メトキシエチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、ｐ−メトキシグリシジルエーテル、ｐ−ブチルフェノールグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテル、２−メチルクレジルグリシジルエーテル、４−ノニルフェニルグリシジルエーテル、ベンジルグリシジルエーテル、ｐ−クミルフェニルグリシジルエーテル、トリチルグリシジルエーテル、２，３−エポキシプロピルメタクリレート、エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油、グリシジルブチレート、ビニルシクロヘキサンモノオキシド、１，２−エポキシ−４−ビニルシクロヘキサン、スチレンオキシド、ピネンオキシド、メチルスチレンオキシド、シクロヘキセンオキシド、プロピレンオキシド、上記化合物Ｎｏ．Ａ２、Ｎｏ．Ａ３等が挙げられる。
【００７０】
上記多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノール型エポキシ化合物及びグリシジルエーテル類からなる群から選択される一種以上の化合物を用いると、特性の一層良好な（着色）アルカリ現像性感光性組成物を得ることができるので好ましい。
上記ビスフェノール型エポキシ化合物としては、上記一般式（ＩＩＩ）で表されるエポキシ化合物を用いることができる他、例えば、水添ビスフェノール型エポキシ化合物等のビスフェノール型エポキシ化合物も用いることができる。
また上記グリシジルエーテル類としては、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、１，４−ブタンジオールジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、１，８−オクタンジオールジグリシジルエーテル、１，１０−デカンジオールジグリシジルエーテル、２，２−ジメチル−１，３−プロパンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサエチレングリコールジグリシジルエーテル、１，４−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、１，１，１−トリ（グリシジルオキシメチル）プロパン、１，１，１−トリ（グリシジルオキシメチル）エタン、１，１，１−トリ（グリシジルオキシメチル）メタン、１，１，１，１−テトラ（グリシジルオキシメチル）メタン等を用いることができる。
【００７１】
その他、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールＡノボラック型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合物；３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、１−エポキシエチル−３，４−エポキシシクロヘキサン等の脂環式エポキシ化合物；フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステル等のグリシジルエステル類；テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルＰ−アミノフェノール、Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン等のグリシジルアミン類；１，３−ジグリシジル−５，５−ジメチルヒダントイン、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ化合物；ジシクロペンタジエンジオキシド等のジオキシド化合物；ナフタレン型エポキシ化合物；トリフェニルメタン型エポキシ化合物；ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物等を用いることもできる。
【００７２】
本発明の感光性組成物の必須成分である不飽和多塩基酸及び不飽和多塩基酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位と、炭素原子数２〜４の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体に由来する構造単位とを有する重合体としては、不飽和多塩基酸及び不飽和多塩基酸無水物（ａ）、オキシラニル基、オキセタニル基又はテトラヒドロフリル基を有するエチレン性不飽和結合化合物（ｂ）及び（ａ）及び（ｂ）に該当しないエチレン性不飽和結合化合物（ｃ）を用いて得ることができる。
（ａ）及び（ｂ）を共重合させてもよいし、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）を共重合させてもよいし、（ａ）及び（ｃ）の共重合体に（ｂ）を反応させてもよいし、（ｂ）と（ｃ）の共重合体に（ａ）を反応させてもよいし、（ｂ）と（ｃ）の共重合体に（ａ）を反応させた後、さらに多塩基酸無水物を反応させてもよい。
【００７３】
不飽和多塩基酸及び不飽和多塩基酸無水物（ａ）としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、ｏ−、ｍ−、ｐ−ビニル安息香酸等の不飽和一塩基酸；
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、３−ビニルフタル酸、４−ビニルフタル酸、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸、ジメチルテトラヒドロフタル酸、１、４−シクロヘキセンジカルボン酸等の不飽和多塩基酸；
メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸、５−カルボキシビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキシビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−メチルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−エチルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−メチルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−エチルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン等のカルボキシ基を含有するビシクロ不飽和化合物類；
無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、３−ビニルフタル酸無水物、４−ビニルフタル酸無水物、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸無水物、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、５，６−ジカルボキシビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン無水物（ハイミック酸無水物）等の不飽和多塩基酸類無水物；
こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔（メタ）アクリロイルオキシアルキル〕エステル類；
α−（ヒドロキシメチル）アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシ基を含有する不飽和アクリレート類等が挙げられる。
これらのうち、共重合反応性の点やアルカリ水溶液への溶解性の点から、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸等が好ましい。
【００７４】
オキシラニル基、オキセタニル基又はテトラヒドロフリル基を有するエチレン性不飽和結合化合物（ｂ）として、オキシラニル基を有するエチレン性不飽和化合物としては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、β−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、グリシジルビニルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、２，３−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，４−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，５−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，６−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，４−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，５−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，６−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、３，４，５−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，４，６−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、ビニルシクロヘキセンモノオキサイド、１，２−エポキシ−４−ビニルシクロヘキサン（例えば、セロキサイド２０００；ダイセル社製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート（例えば、サイクロマーＡ４００；ダイセル社製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート（例えば、サイクロマーＭ１００；ダイセル社製）、式（Ｉ）で表される化合物及び式（ＩＩ）で表される化合物等が挙げられる。
【００７５】
【化２９】
2019168654.tif 000030
【００７６】
（式（Ｉ）及び式（ＩＩ）中、Ｒ101及びＲ102は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素原子数１〜４のアルキル基を表し、
Ｘ11及びＸ12は、それぞれ独立に、単結合又はアルキレン基を表し、該アルキレン基中のメチレン基は、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＮＨ−で置き換えられている場合もある。）
【００７７】
上記式（Ｉ）で表される化合物及び式（ＩＩ）で表される化合物は、単独又は複数種を混合して用いることができる。混合して用いる場合、その混合割合はモル比で、式（Ｉ）：式（ＩＩ）が５：９５〜９５：５であるのが好ましく、１０：９０〜９０：１０であるのがより好ましく、２０：８０〜８０：２０であるのがさらに好ましい。
【００７８】
オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体としては、オキセタニル基と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体が好ましく、例えば、３−メチル−３−メタクリルロイルオキシメチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロイルオキシメチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロイルオキシメチルオキセタン、３−エチル−３−アクリロイルオキシメチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロイルオキシエチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロイルオキシエチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロイルオキシエチルオキセタン、３−エチル−３−アクリロイルオキシエチルオキセタン等が挙げられる。
【００７９】
テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和結合を有する化合物としては、テトラヒドロフリル基と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体が好ましく、例えば、テトラヒドロフルフリルアクリレート（例えば、ビスコートＶ＃１５０、大阪有機化学工業（株）製）、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等が挙げられる。
【００８０】
（ａ）及び（ｂ）に該当しないエチレン性不飽和結合化合物（ｃ）としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デカン−８−イル（メタ）アクリレート（慣用名としてジシクロペンタニル（メタ）アクリレートといわれている。また、「トリシクロデシル（メタ）アクリレート」という場合がある。）、トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デセン−８−イル（メタ）アクリレート（慣用名として「ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート」といわれている。）、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、プロパルギル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステル類；
２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等のヒドロキシ基含有（メタ）アクリル酸エステル類；
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル；
ビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−メチルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−エチルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−メトキシビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−エトキシビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキシビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５，６−ジ（ヒドロキシメチル）ビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５，６−ジ（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５，６−ジメトキシビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５，６−ジエトキシビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−メチルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−エチルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−５−メチルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５−フェノキシカルボニルビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５，６−ビス（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）ビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン、５，６−ビス（シクロヘキシルオキシカルボニル）ビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン等のビシクロ不飽和化合物類；
Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドベンゾエート、Ｎ−スクシンイミジル−４−マレイミドブチレート、Ｎ−スクシンイミジル−６−マレイミドカプロエート、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドプロピオネート、Ｎ−（９−アクリジニル）マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類；
スチレン、α−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエン等が挙げられる。
【００８１】
上記（ａ）及び（ｂ）の共重合体において、それぞれに由来する構造単位の比率は、重合体を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；５〜６０モル％、より好ましくは１０〜５０モル％。
（ｂ）に由来する構造単位；４０〜９５モル％、より好ましくは５０〜９０モル％。
上記（ａ）及び（ｂ）の共重合体の構造単位の比率が上記の範囲にあると、感光性組成物の保存安定性、感光性組成物からパターンを形成する際の現像性、並びに、得られるパターンの耐溶剤性、耐熱性及び機械強度に優れる傾向がある。
上記（ａ）及び（ｂ）の共重合体としては、（ｂ）が直鎖又は分岐の不飽和脂肪族炭化水素をエポキシ化した構造を有する単量体が好ましく、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート等がさらに好ましい。
【００８２】
上記（ａ）及び（ｂ）の共重合体は、例えば、文献「高分子合成の実験法」（大津隆行著  発行所（株）化学同人  第１版第１刷  １９７２年３月１日発行）に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。
【００８３】
具体的には、（ａ）及び（ｂ）の所定量、重合開始剤及び溶剤等を反応容器中に入れて、例えば、脱酸素雰囲気下で、攪拌しながら、加熱及び保温する方法が挙げられる。なお、ここで用いられる重合開始剤及び溶剤等は、特に限定されず、当該分野で通常使用されているもののいずれをも使用することができ、例えば、重合開始剤としては、アゾ化合物（２，２′−アゾビスイソブチロニトリル、２，２′−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）等）や有機過酸化物（ベンゾイルペルオキシド等）が挙げられ、溶剤としては、各モノマーを溶解するものであればよく、感光性組成物の溶剤として後述する溶剤等を用いることができる。
【００８４】
なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。特に、この重合の際に溶剤として、後述する溶剤を使用することにより、反応後の溶液をそのまま使用することができ、製造工程を簡略化することができる。
【００８５】
上記（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の共重合体において、それぞれに由来する構造単位の比率は、重合体を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；４〜４５モル％、より好ましくは１０〜３０モル％。
（ｂ）に由来する構造単位；２〜９５モル％、より好ましくは５〜８０モル％。
（ｃ）に由来する構造単位；１〜６５モル％、より好ましくは５〜６０モル％。
上記（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の共重合体の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性、得られるパターンの耐溶剤性、耐熱性及び機械強度に優れる傾向がある。
上記（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の共重合体としては、（ｂ）が直鎖又は分岐の不飽和脂肪族炭化水素をエポキシ化した構造を有する単量体が好ましく、上記一般式（Ｉ）又は（ＩＩ）で表される化合物がさらに好ましい。
【００８６】
上記（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の共重合体としては、例えば、上記（ａ）及び（ｂ）の共重合体の製造方法として記載した方法と同様に製造することができる。
具体的には、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の所定量、重合開始剤及び溶剤を反応容器中に仕込んで、脱酸素雰囲気下で攪拌、加熱、保温する方法が挙げられる。得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。
【００８７】
上記（ａ）と（ｃ）の共重合体に（ｂ）を反応させて得られる重合体としては、（ａ）と（ｃ）との共重合体を得て、（ｂ）が有する炭素原子数２〜４の環状エーテルを（ａ）が有する不飽和多塩基酸及び／又は不飽和多塩基酸無水物に付加させることにより製造することができる。
まず（ａ）と（ｃ）との共重合体を、上記（ａ）及び（ｂ）の共重合体の製造方法として記載した方法と同様に製造する。この場合、それぞれに由来する構造単位の比率は、（ａ）と（ｃ）との共重合体を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）５〜５０モル％、より好ましくは１０〜４５モル％
（ｃ）５０〜９５モル％、より好ましくは５５〜９０モル％
【００８８】
次に、前記共重合体中の（ａ）に由来する不飽和多塩基酸及び／又は不飽和多塩基酸無水物の一部に、（ｂ）が有する炭素原子数２〜４の環状エーテルを反応させる。
（ａ）と（ｃ）との共重合体の製造に引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、（ｂ）、不飽和多塩基酸又は不飽和多塩基酸無水物と環状エーテルとの反応触媒（例えばトリス（ジメチルアミノメチル）フェノール等）及び重合禁止剤（例えばハイドロキノン等）等をフラスコ内に入れて、例えば、６０〜１３０℃で、１〜１０時間反応することにより、上記（ａ）と（ｃ）の共重合体に（ｂ）を反応させて得られる重合体を得ることができる。
（ｂ）の使用量は、（ａ）１００モルに対して、５〜８０モルが好ましく、より好ましくは１０〜７５モルである。この範囲とすることにより、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性、機械強度及び感度のバランスが良好になる傾向がある。環状エーテルの反応性が高く、未反応の（ｂ）が残存しにくいことから、上記（ａ）と（ｃ）の共重合体に（ｂ）を反応させて得られる重合体に用いる（ｂ）としては直鎖又は分岐の不飽和脂肪族炭化水素をエポキシ化した構造を有する単量体が好ましく、（ｂ１）が好ましく、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート等がさらに好ましい。
前記反応触媒の使用量は、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の合計量に対して０．００１〜５質量％が好ましい。前記重合禁止剤の使用量は、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の合計量に対して０．００１〜５質量％が好ましい。
仕込方法、反応温度及び時間等の反応条件は、製造設備や重合による発熱量等を考慮して適宜調整することができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等を考慮し、仕込方法や反応温度を適宜調整することができる。
【００８９】
上記（ｂ）と（ｃ）の共重合体に（ａ）を反応させて得られる重合体は、第一段階として、上述した（ａ）及び（ｂ）の共重合体の製造方法と同様にして、（ｂ）と（ｃ）との共重合体を得る。上記と同様に、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。
（ｂ）及び（ｃ）に由来する構造単位の比率は、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
（ｂ）に由来する構造単位；５〜９５モル％、より好ましくは１０〜９０モル％。
（ｃ）に由来する構造単位；５〜９５モル％、より好ましくは１０〜９０モル％。
【００９０】
さらに、上記（ａ）と（ｃ）の共重合体に（ｂ）を反応させて得られる重合体の製造方法と同様の条件で、（ｂ）と（ｃ）との共重合体が有する（ｂ）に由来する環状エーテルに、（ａ）が有する不飽和多塩基酸又は不飽和多塩基酸無水物を反応させることにより、上記（ｂ）と（ｃ）の共重合体に（ａ）を反応させて得られる重合体を得ることができる。
前記の共重合体に反応させる（ａ）の使用量は、（ｂ）１００モルに対して、５〜８０モルが好ましい。環状エーテルの反応性が高く、未反応の（ｂ）が残存しにくいことから、上記（ｂ）と（ｃ）の共重合体に（ａ）を反応させて得られる重合体に用いる（ｂ）としては（ｂ１）が好ましく、さらに（ｂ１−１）が好ましい。
【００９１】
上記（ｂ）と（ｃ）の共重合体に（ａ）を反応させ、さらに多塩基酸無水物を反応させて得られる重合体は、上記（ｂ）と（ｃ）の共重合体に（ａ）を反応させて得られる重合体に、さらに不飽和多塩基酸無水物を反応させた樹脂である。
環状エーテルと不飽和多塩基酸又は不飽和多塩基酸無水物との反応により発生するヒドロキシ基に、多塩基酸無水物を反応させる。
不飽和多塩基酸無水物としては、無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、３−ビニルフタル酸無水物、４−ビニルフタル酸無水物、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸無水物、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、５，６−ジカルボキシビシクロ〔２．２．１〕ヘプト−２−エン無水物（ハイミック酸無水物）等が挙げられる。不飽和多塩基酸無水物の使用量は、（ａ）の使用量１モルに対して、０．５〜１モルが好ましい。
【００９２】
上記重合体としては、具体的に、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体、３，４−エポキシトリシクロ〔５．２．１．０２．６〕デシルアクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体等の樹脂（上記（ａ）及び（ｂ）の共重合体）；グリシジル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体、グリシジル（メタ）アクリレート／スチレン／（メタ）アクリル酸共重合体、３，４−エポキシトリシクロ〔５．２．１．０２．６〕デシルアクリレート／（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体、３−メチル−３−（メタ）アクリルロイルオキシメチルオキセタン／（メタ）アクリル酸／スチレン共重合体等の樹脂（上記（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の共重合体；ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを付加させた樹脂、トリシクロデシル（メタ）アクリレート／スチレン／（メタ）アクリル酸共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを付加させた樹脂、トリシクロデシル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを付加させた樹脂等の樹脂（上記（ａ）と（ｃ）の共重合体に（ｂ）を反応させて得られる重合体）；トリシクロデシル（メタ）アクリレート／グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、トリシクロデシル（メタ）アクリレート／スチレン／グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂等の樹脂（上記（ｂ）と（ｃ）の重合体に（ａ）を反応させて得られる重合体）；トリシクロデシル（メタ）アクリレート／グリシジル（メタ）アクリレートの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂にさらにテトラヒドロフタル酸無水物を反応させた樹脂等の樹脂（上記（ｂ）と（ｃ）の重合体に（ａ）を反応させ、さらに多塩基酸無水物を反応させて得られる重合体）等が挙げられる。
これらの樹脂は、単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００９３】
中でも、上記重合体としては、不飽和多塩基酸及び不飽和多塩基酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位と、炭素原子数２〜４の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体に由来する構造単位とを有する共重合体である、上記（ａ）及び（ｂ）の共重合体及び上記（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の共重合体が好ましく、炭素原子数２〜４の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体に由来する構造単位が、それぞれ、３，４−エポキシトリシクロ〔５．２．１．０２．６〕デシルアクリレートに由来する構造単位である重合体がより好ましい。
【００９４】
上記重合体のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜１００，０００であり、より好ましくは５，０００〜５０，０００である。重合体の重量平均分子量が上記の範囲にあると、感光性組成物は塗布性に優れる傾向があり、またパターンを形成する際の現像時に未硬化塗膜の画素部分の膜減りが生じにくく、さらに現像時に未硬化塗膜の非画素部分の現像液への溶解性に優れる傾向がある。
上記重合体の分子量分布〔重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）〕は、好ましくは１．１〜６であり、より好ましくは１．２〜４である。
重合体の酸価は、好ましくは２０〜１５０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであり、好ましくは４０〜１３５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ、より好ましくは５０〜１３５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇである。ここで酸価は重合体１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、例えば水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【００９５】
重合体の含有量は、重合体及び重合性化合物（Ｂ）の合計量に対して、好ましくは５〜９５質量％、より好ましくは２０〜８０質量％であり、さらに好ましくは４０〜６０質量％である。重合体の含有量が、上記の範囲にあると、現像性、密着性、耐溶剤性及び機械特性に優れる傾向がある。
【００９６】
本発明の感光性組成物は、重合性化合物（Ｂ）を含む。
重合性化合物（Ｂ）は、重合開始剤（Ｃ）から発生した活性ラジカルによって重合しうる化合物であって、例えば、重合性のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物等であり、好ましくは（メタ）アクリル酸エステル化合物が挙げられる。
【００９７】
エチレン性不飽和二重結合を１つ有する重合性化合物（Ｂ）としては、前記（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）として挙げた化合物が挙げられ、中でも、（メタ）アクリル酸エステル類が好ましい。
【００９８】
エチレン性不飽和二重結合を２つ有する重合性化合物（Ｂ）としては、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオール（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ビスフェノールＡのビス（アクリロイロキシエチル）エーテル、エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、３−メチルペンタンジオールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００９９】
エチレン性不飽和二重結合を３つ以上有する重合性化合物（Ｂ）としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレートと酸無水物カプロラクトン変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレートと酸無水物等が挙げられる。中でも、３官能以上のモノマーが好ましく、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートがより好ましい。
【０１００】
重合性化合物（Ｂ）の含有量は、重合体及び重合性化合物（Ｂ）の合計量に対して、好ましくは５〜９５質量％、より好ましくは２０〜８０質量％である。重合性化合物（Ｂ）の含有量が、前記の範囲にあると、感度や、硬化されたパターンの強度や平滑性、信頼性、機械強度が良好になる傾向がある。
【０１０１】
本発明の感光性組成物において、本発明に係る重合開始剤の含有量は特に限定されるものではないが、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物１００質量部に対して、好ましくは１〜７０質量部、より好ましくは１〜５０質量部、最も好ましくは５〜３０質量部である。
【０１０２】
特に、本発明の感光性組成物を（着色）アルカリ現像性感光性組成物とする場合、上記エチレン性不飽和結合を有してもよいアルカリ現像性を有する化合物の含有量は、本発明の（着色）アルカリ現像型感光性組成物中、１〜２０質量％、特に３〜１２質量％が好ましい。
【０１０３】
本発明の感光性組成物には、更に溶媒を加えることができる。該溶媒としては、通常、必要に応じて上記の各成分（本発明に係る重合開始剤、重合性化合物及び重合体等）を溶解又は分散しえる溶媒、例えば、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、ジエチルケトン、アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン等のケトン類；エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、１，２−ジメトキシエタン、１，２−ジエトキシエタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶媒；酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸−ｎ−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸シクロヘキシル、乳酸エチル、コハク酸ジメチル、テキサノール等のエステル系溶媒；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のセロソルブ系溶媒；メタノール、エタノール、イソ−又はｎ−プロパノール、イソ−又はｎ−ブタノール、アミルアルコール等のアルコール系溶媒；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルエーテルアセテート、エトキシエチルエーテルプロピオネート等のエーテルエステル系溶媒；ベンゼン、トルエン、キシレン等のＢＴＸ系溶媒；ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒；テレピン油、Ｄ−リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油；ミネラルスピリット、スワゾール＃３１０（コスモ松山石油社）、ソルベッソ＃１００（エクソン化学社）等のパラフィン系溶媒；四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン、１，２−ジクロロエタン等のハロゲン化脂肪族炭化水素系溶媒；クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素系溶媒；カルビトール系溶媒；アニリン；トリエチルアミン；ピリジン；酢酸；アセトニトリル；二硫化炭素；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド；Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド；Ｎ−メチルピロリドン；ジメチルスルホキシド；水等が挙げられ、これらの溶媒は１種又は２種以上の混合溶媒として使用することができる。
これらの中でも、ケトン類、エーテルエステル系溶媒等、特にプロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート、シクロヘキサノン等が、感光性組成物において、レジストと重合開始剤の相溶性がよいので好ましい。
【０１０４】
また、本発明の感光性組成物には、更に色材を含有させて着色感光性組成物としてもよい。該色材としては、顔料、染料、天然色素等が挙げられる。これらの色材は、単独で又は２種以上を混合して用いることができる。
【０１０５】
上記顔料としては、例えば、ニトロソ化合物；ニトロ化合物；アゾ化合物；ジアゾ化合物；キサンテン化合物；キノリン化合物；アントラキノン化合物；クマリン化合物；フタロシアニン化合物；イソインドリノン化合物；イソインドリン化合物；キナクリドン化合物；アンタンスロン化合物；ペリノン化合物；ペリレン化合物；ジケトピロロピロール化合物；チオインジゴ化合物；ジオキサジン化合物；トリフェニルメタン化合物；キノフタロン化合物；ナフタレンテトラカルボン酸；アゾ染料、シアニン染料の金属錯体化合物；レーキ顔料；ファーネス法、チャンネル法又はサーマル法によって得られるカーボンブラック、或いはアセチレンブラック、ケッチェンブラック又はランプブラック等のカーボンブラック；上記カーボンブラックをエポキシ樹脂で調整又は被覆したもの、上記カーボンブラックを予め溶媒中で樹脂で分散処理し、２０〜２００ｍｇ／ｇの樹脂を吸着させたもの、上記カーボンブラックを酸性又はアルカリ性表面処理したもの、平均粒径が８ｎｍ以上でＤＢＰ吸油量が９０ｍｌ／１００ｇ以下のもの、９５０℃における揮発分中のＣＯ及びＣＯ2から算出した全酸素量が、カーボンブラックの表面積１００ｍ2当たり９ｍｇ以上であるもの；黒鉛、黒鉛化カーボンブラック、活性炭、炭素繊維、カーボンナノチューブ、カーボンマイクロコイル、カーボンナノホーン、カーボンエアロゲル、フラーレン；アニリンブラック、ピグメントブラック７、チタンブラック；酸化クロム緑、ミロリブルー、コバルト緑、コバルト青、マンガン系、フェロシアン化物、リン酸塩群青、紺青、ウルトラマリン、セルリアンブルー、ピリジアン、エメラルドグリーン、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄(III)）、カドミウム赤、合成鉄黒、アンバー等の有機又は
無機顔料を用いることができる。これらの顔料は単独で、或いは複数を混合して用いることができる。
【０１０６】
上記顔料としては、市販の顔料を用いることもでき、例えば、ピグメントレッド１、２、３、９、１０、１４、１７、２２、２３、３１、３８、４１、４８、４９、８８、９０、９７、１１２、１１９、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１６９、１７０、１７１、１７７、１７９、１８０、１８４、１８５、１９２、２００、２０２、２０９、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、２５４；ピグメントオレンジ１３、３１、３４、３６、３８、４３、４６、４８、４９、５１、５２、５５、５９、６０、６１、６２、６４、６５、７１；ピグメントイエロー１、３、１２、１３、１４、１６、１７、２０、２４、５５、６０、７３、８１、８３、８６、９３、９５、９７、９８、１００、１０９、１１０、１１３、１１４、１１７、１２０、１２５、１２６、１２７、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１６６、１６８、１７５、１８０、１８５；ピグメントグリ−ン７、１０、３６；ピグメントブルー１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：５、１５：６、２２、２４、５６、６０、６１、６２、６４；ピグメントバイオレット１、１９、２３、２７、２９、３０、３２、３７、４０、５０等が挙げられる。
【０１０７】
上記染料としては、アゾ染料、アントラキノン染料、インジゴイド染料、トリアリールメタン染料、キサンテン染料、アリザリン染料、アクリジン染料スチルベン染料、チアゾール染料、ナフトール染料、キノリン染料、ニトロ染料、インダミン染料、オキサジン染料、フタロシアニン染料、シアニン染料等の染料等が挙げられ、これらは複数を混合して用いてもよい。
【０１０８】
本発明の感光性組成物において、上記色材の含有量は、上記重合性化合物１００質量部に対して、好ましくは５０〜３５０質量部、より好ましくは１００〜２５０質量部である。
【０１０９】
本発明の感光性組成物には、更に無機化合物を含有させることができる。該無機化合物としては、例えば、酸化ニッケル、酸化鉄、酸化イリジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化カリウム、シリカ、アルミナ等の金属酸化物；層状粘土鉱物、ミロリブルー、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、コバルト系、マンガン系、ガラス粉末（特にガラスフリット）、マイカ、タルク、カオリン、フェロシアン化物、各種金属硫酸塩、硫化物、セレン化物、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、水酸化アルミニウム、白金、金、銀、銅等が挙げられる。
これらの中でも、ガラスフリット、酸化チタン、シリカ、層状粘土鉱物、銀等が好ましい。本発明の感光性組成物において、上記無機化合物の含有量は、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物１００質量部に対して、好ましくは０．１〜１０００質量部、より好ましくは１０〜８００質量部である。尚、これらの無機化合物は１種又は２種以上を使用することができる。
【０１１０】
これら無機化合物は、例えば、充填剤、反射防止剤、導電剤、安定剤、難燃剤、機械的強度向上剤、特殊波長吸収剤、撥インク剤等として用いられる。
【０１１１】
本発明の感光性組成物には、色材及び／又は無機化合物を分散させる分散剤を加えることができる。該分散剤としては、色材又は無機化合物を分散、安定化できるものであれば制限されず、市販の分散剤、例えば、ビックケミー社製のＢＹＫシリーズ等を用いることができる。特に、塩基性官能基を有するポリエステル、ポリエーテル、又はポリウレタンからなる高分子分散剤、塩基性官能基として窒素原子を有し、窒素原子を有する官能基がアミン、及び／又はその四級塩であり、アミン価が1〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇのものが好適に用いられる。
【０１１２】
本発明の感光性組成物では、上記一般式（I）で表されるオキシムエステル化合物と共に他の重合開始剤を併用することができる。併用できる他の重合開始剤としては、従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、ベンゾフェノン、フェニルビフェニルケトン、１−ヒドロキシ−１−ベンゾイルシクロヘキサン、ベンゾイン、ベンジルジメチルケタール、１−ベンジル−１−ジメチルアミノ−１−（４'−モルホリノベンゾイル）プロパン、２−モルホリル−２−（４'−メチルメルカプト）ベンゾイルプロパン、チオキサントン、１−クロル−４−プロポキシチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、エチルアントラキノン、４−ベンゾイル−４'−メチルジフェニルスルフィド、ベンゾインブチルエーテル、２−ヒドロキシ−２−ベンゾイルプロパン、２−ヒドロキシ−２−（４'−イソプロピル）ベンゾイルプロパン、４−ブチルベンゾイルトリクロロメタン、４−フェノキシベンゾイルジクロロメタン、ベンゾイル蟻酸メチル、１，７−ビス（９'−アクリジニル）ヘプタン、９−ｎ−ブチル−３，６−ビス（２'−モルホリノイソブチロイル）カルバゾール、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ナフチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，２−ビス（２−クロロフェニル）−４，５，４’，５’−テトラフェニル−１−２’−ビイミダゾール、４、４−アゾビスイソブチロニトリル、トリフェニルホスフィン、カンファーキノン、Ｎ−１４１４、Ｎ−１７１７、Ｎ−１９１９、ＮＣＩ−８３１、ＮＣＩ−９３０（ＡＤＥＫＡ社製）、ＩＲＧＡＣＵＲＥ３６９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ  ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ  ０２（ＢＡＳＦ社製）、過酸化ベンゾイル、下記一般式（ＩＶ）で表される化合物等が挙げられ、これらの他の重合開始剤を使用する場合、その使用量は、好ましくは上記一般式（Ｉ）で表されるオキシムエステル化合物の使用量の１質量倍以下とする。尚、これらの重合開始剤は、１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１１３】
【化３０】
2019168654.tif 000031
【０１１４】
（式中、Ｒ２１及びＲ２２は、それぞれ独立に、水素原子、シアノ基、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数６〜３０のアリール基、炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、
Ｒ２３及びＲ２４は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、カルボキシル基、Ｒ２５、ＯＲ２６、ＳＲ２７、ＮＲ２８Ｒ２９、ＣＯＲ３０、ＳＯＲ３１、ＳＯ２Ｒ３２又はＣＯＮＲ３３Ｒ３４を表し、Ｒ２３及びＲ２４は、互いに結合して環を形成していてもよく、
Ｒ２５、Ｒ２６、Ｒ２７、Ｒ２８、Ｒ２９、Ｒ３０、Ｒ３１、Ｒ３２、Ｒ３３及びＲ３４は、それぞれ独立に、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数６〜３０のアリール基、炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、
Ｘ２は、酸素原子、硫黄原子、セレン原子、ＣＲ３５Ｒ３６、ＣＯ、ＮＲ３７又はＰＲ３８を表し、
Ｘ３は、単結合又はＣＯを表し、
Ｒ２１、Ｒ２２、Ｒ２５、Ｒ２６、Ｒ２７、Ｒ２８、Ｒ２９、Ｒ３０、Ｒ３５、Ｒ３６、Ｒ３７及びＲ３８中の炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数６〜３０のアリール基又は炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基を表し、該アルキル基又はアリールアルキル基中のメチレン基は、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、カルボキシル基又は複素環基で置換されていてもよく、−Ｏ−で中断されていてもよく、
Ｒ３９、Ｒ４０、Ｒ４１及びＲ４２は、それぞれ独立に、隣接するどちらかのベンゼン環と一緒になって環を形成していてもよく、
ａは、０〜４の整数を表し、
ｂは、０〜５の整数を表す。）
【０１１５】
本発明の感光性組成物には、下記一般式（Ａ）〜（Ｃ）で表される潜在性添加剤を加えることができる。
【０１１６】
【化３１】
2019168654.tif 000032
【０１１７】
（式中、環Ａ１は、六員環の脂環、芳香環又は複素環であり、Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３、Ｒ６４及びＲ６５は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、水酸基、ニトロ基、カルボキシル基、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜４０のアルキル基、炭素原子数６〜２０のアリール基、炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基、炭素原子数２〜２０の複素環含有基又は−Ｏ−Ｒ６６を表し、Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３、Ｒ６４及びＲ６５のうち少なくとも１つは水素原子でなく、Ｒ６６は、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数２〜２０のアルケニル基、炭素原子数６〜２０のアリール基、炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基、炭素原子数２〜２０の複素環含有基又はトリアルキルシリル基を表す。）
【０１１８】
【化３２】
2019168654.tif 000033
【０１１９】
（式中、Ｘ１０は、下記一般式（１）で表される基であり、Ｒ６７、Ｒ６８、Ｒ６９及びＲ７０は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、水酸基、ニトロ基、カルボキシル基、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜４０のアルキル基、炭素原子数６〜２０のアリール基、炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環含有基を表し、Ｒ６７、Ｒ６８、Ｒ６９及びＲ７０のうち少なくとも１つは水素原子でなく、環Ａ１及びＲ６６は、上記一般式（Ａ）と同じである。）
【０１２０】
*―Z11―X11―Z12―*  (１)
（上記一般式（１）中、Ｘ11は、−ＣＲ７１Ｒ７２−、−ＮＲ７３−、二価の炭素原子数１〜３５の脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基若しくは炭素原子数２〜３５の複素環基、又は、下記部分構造式（i）〜（iii）で表されるいずれかの置換基を表し、該脂肪族炭化水素基は、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−又は−ＮＨ−、あるいは酸素原子が隣り合うことなしにこれらを組み合わせた結合基で中断されていてもよく、Ｒ３０及びＲ３１は、水素原子、炭素原子数１〜８のアルキル基、炭素原子数６〜２０のアリール基又は炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基を表し、Ｚ11及びＺ12は、それぞれ独立に、直接結合、−Ｏ−、−Ｓ−、＞ＣＯ、−ＣＯ−Ｏ−、−Ｏ−ＣＯ−、−ＳＯ2−、−ＳＳ−、−ＳＯ−又は＞ＮＲ７４を表し、Ｒ７３及びＲ７４は、水素原子、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜３５の脂肪族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素原子数２〜３５の複素環基を表す。）
【０１２１】
【化３３】
2019168654.tif 000034
【０１２２】
（上記式中、Ｒ１０１は水素原子、置換基を有していてもよいフェニル基、又は炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基を表し、Ｒ１０２は炭素原子数１〜１０のアルキル基、炭素原子数１〜１０のアルコキシ基、炭素原子数２〜１０のアルケニル基又はハロゲン原子を表し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基は置換基を有していてもよく、ｆは０〜５の整数である。）
【０１２３】
【化３４】
2019168654.tif 000035
【０１２４】
【化３５】
2019168654.tif 000036
【０１２５】
（上記式中、Ｒ１０３及びＲ１０４は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜１０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜２０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜２０のアリールオキシ基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜２０のアリールチオ基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜２０のアリールアルケニル基、置換基を有していてもよい炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数２〜２０の複素環基又はハロゲン原子を表し、該アルキル基及びアリールアルキル基中のメチレン基は不飽和結合、−Ｏ−又は−Ｓ−で中断されていてもよく、Ｒ１０３は、隣接するＲ１０３同士で環を形成していてもよく、ｂは０〜４の数を表し、ｃは０〜８の数を表し、ｇは０〜４の数を表し、ｈは０〜４の数を表し、ｇとｈの数の合計は２〜４である。）
【０１２６】
【化３６】
2019168654.tif 000037
【０１２７】
（式中、ｍ＝２〜６であり、Ｘ１２は、ｍ＝２のとき上記一般式（２）で表される基であり、ｍ＝３のとき下記一般式（３）で表される基であり、ｍ＝４のとき下記一般式（４）で表される基であり、ｍ＝５のとき下記一般式（５）であり、ｍ＝６のとき下記一般式（６）であり、Ｒ７５、Ｒ７６、Ｒ７７及びＲ７８は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、水酸基、ニトロ基、カルボキシル基、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜４０のアルキル基、炭素原子数６〜２０のアリール基、炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基又は炭素原子数２〜２０の複素環含有基を表し、Ｒ７５、Ｒ７６、Ｒ７７及びＲ７８のうち少なくとも１つは水素原子でなく、環Ａ１及びＲ６６は、上記一般式（Ａ）と同じである。）
【０１２８】
【化３７】
2019168654.tif 000038
【０１２９】
（上記一般式（２）中、Ｙ１１は、三価の炭素原子数３〜３５の脂肪族炭化水素基、炭素原子数３〜３５の脂環族炭化水素基、炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基若しくは炭素原子数２〜３５の複素環基を表し、Ｚ11、Ｚ12及びＺ13は、それぞれ独立に、直接結合、−Ｏ−、−Ｓ−、＞ＣＯ、−ＣＯ−Ｏ−、−Ｏ−ＣＯ−、−ＳＯ2−、−ＳＳ−、−ＳＯ−、＞ＮＲ７９、＞ＰＲ７９又は置換基を有していてもよい炭素原子数１〜３５の脂肪族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素原子数２〜３５の複素環基を表し、Ｒ７９は、水素原子、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜３５の脂肪族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素原子数２〜３５の複素環基を表し、該脂肪族炭化水素基は、炭素一炭素二重結合、−Ｏ−、−ＣＯ−、−Ｏ−ＣＯ−、−ＣＯ−Ｏ−又は−ＳＯ２−で中断されていてもよい。）
【０１３０】
【化３８】
2019168654.tif 000039
【０１３１】
（上記一般式（３）中、Ｙ１２は、炭素原子、又は、四価の炭素原子数１〜３５の脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基若しくは炭素原子数２〜３５の複素環基を表し、該脂肪族炭化水素基は、−ＣＯＯ−、−Ｏ−、−ＯＣＯ−、−ＮＨＣＯ−、−ＮＨ−又は−ＣＯＮＨ−で中断されていてもよく、Ｚ11〜Ｚ14は、それぞれ独立に、上記一般式（１）におけるＺ11〜Ｚ13で表される基と同じ範囲の基である。）
【０１３２】
【化３９】
2019168654.tif 000040
【０１３３】
（上記一般式（４）中、Ｙ１３は、五価の炭素原子数２〜３５の脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜３０の芳香族炭化水素基又は炭素原子数２〜３０の複素環基を表し、該脂肪族炭化水素基は、−ＣＯＯ−、−Ｏ−、−ＯＣＯ−、−ＮＨＣＯ−、−ＮＨ−又は−ＣＯＮＨ−で中断されていてもよく、Ｚ11〜Ｚ15は、それぞれ独立に、上記一般式（１）におけるＺ11〜Ｚ13で表される基と同じ範囲の基である。）
【０１３４】
【化４０】
2019168654.tif 000041
【０１３５】
（上記一般式（５）中、Ｙ１４は、六価の炭素原子数２〜３５の脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜３５の芳香族炭化水素基又は炭素原子数２〜３５の複素環基を表し、該脂肪族炭化水素基は、−ＣＯＯ−、−Ｏ−、−ＯＣＯ−、−ＮＨＣＯ−、−ＮＨ−又は−ＣＯＮＨ−で中断されていてもよく、Ｚ11〜Ｚ16は、それぞれ独立に、上記一般式（１）におけるＺ11〜Ｚ13で表される基と同じ範囲の基である。
【０１３６】
また、本発明の感光性組成物には、必要に応じて、ｐ−アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール、ｔ−ブチルカテコール、フェノチアジン等の熱重合抑制剤；可塑剤；接着促進剤；充填剤；消泡剤；レベリング剤；表面調整剤；酸化防止剤；紫外線吸収剤；分散助剤；凝集防止剤；触媒；効果促進剤；架橋剤；増粘剤等の慣用の添加物を加えることができる。
【０１３７】
本発明の感光性組成物において、上記重合性化合物、重合体及び上記一般式（Ｉ）で表されるオキシムエステル化合物以外の任意成分（但し、上記の他の重合開始剤、エチレン性不飽和基を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物、無機化合物（充填剤）、色材及び溶媒は除く）の使用量は、その使用目的に応じて適宜選択され特に制限されないが、好ましくは、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物１００質量部に対して合計で５０質量部以下とする。
【０１３８】
また、本発明の感光性組成物には、上記重合性化合物と共に、他の有機重合体を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該有機重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、メチルメタクリレート−エチルアクリレート共重合体、ポリ（メタ）アクリル酸、スチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、（メタ）アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレン−ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１２、ウレタン樹脂、ポリカーボネートポリビニルブチラール、セルロースエステル、ポリアクリルアミド、飽和ポリエステル、フェノール樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられ、これらの中でも、ポリスチレン、（メタ）アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、エポキシ樹脂が好ましい。
他の有機重合体を使用する場合、その使用量は、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物１００質量部に対して、好ましくは１０〜５００質量部である。
【０１３９】
本発明の感光性組成物には、更に、連鎖移動剤、増感剤、界面活性剤、シランカプリング剤、メラミン等を併用することができる。
【０１４０】
上記連鎖移動剤又は増感剤としては、一般的に硫黄原子含有化合物が用いられる。例えばチオグリコール酸、チオリンゴ酸、チオサリチル酸、２−メルカプトプロピオン酸、３−メルカプトプロピオン酸、３−メルカプト酪酸、Ｎ−（２−メルカプトプロピオニル）グリシン、２−メルカプトニコチン酸、３−〔Ｎ−（２−メルカプトエチル）カルバモイル〕プロピオン酸、３−〔Ｎ−（２−メルカプトエチル）アミノ〕プロピオン酸、Ｎ−（３−メルカプトプロピオニル）アラニン、２−メルカプトエタンスルホン酸、３−メルカプトプロパンスルホン酸、４−メルカプトブタンスルホン酸、ドデシル（４−メチルチオ）フェニルエーテル、２−メルカプトエタノール、３−メルカプト−１，２−プロパンジオール、１−メルカプト−２−プロパノール、３−メルカプト−２−ブタノール、メルカプトフェノール、２−メルカプトエチルアミン、２−メルカプトイミダゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプト−３−ピリジノール、２−メルカプトベンゾチアゾール、メルカプト酢酸、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）等のメルカプト化合物、該メルカプト化合物を酸化して得られるジスルフィド化合物、ヨード酢酸、ヨードプロピオン酸、２−ヨードエタノール、２−ヨードエタンスルホン酸、３−ヨードプロパンスルホン酸等のヨード化アルキル化合物、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトイソブチレート）、ブタンジオールビス（３−メルカプトイソブチレート）、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ジエチルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、下記化合物Ｎｏ．Ｃ１、トリメルカプトプロピオン酸トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレート等の脂肪族多官能チオール化合物、昭和電工社製カレンズＭＴ  ＢＤ１、ＰＥ１、ＮＲ１等が挙げられる。
【０１４１】
【化４１】
2019168654.tif 000042
【０１４２】
上記界面活性剤としては、パーフルオロアルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルカルボン酸塩等のフッ素界面活性剤；高級脂肪酸アルカリ塩、アルキルスルホン酸塩、アルキル硫酸塩等のアニオン系界面活性剤；高級アミンハロゲン酸塩、第四級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤；ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド等の非イオン界面活性剤；両性界面活性剤；シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤を用いることができ、これらは組み合わせて用いてもよい。
【０１４３】
上記シランカップリング剤としては、例えば信越化学社製シランカップリング剤を用いることができ、その中でも、ＫＢＥ−９００７、ＫＢＭ−５０２、ＫＢＥ−４０３等の、イソシアネート基、メタクリロイル基又はエポキシ基を有するシランカップリング剤が好適に用いられる。
【０１４４】
上記メラミン化合物としては、（ポリ）メチロールメラミン、（ポリ）メチロールグリコールウリル、（ポリ）メチロールベンゾグアナミン、（ポリ）メチロールウレア等の窒素化合物中の活性メチロール基（ＣＨ2ＯＨ基）の全部又は一部（少なくとも２つ）がア
ルキルエーテル化された化合物等を挙げることができる。
ここで、アルキルエーテルを構成するアルキル基としては、メチル基、エチル基又はブチル基が挙げられ、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、アルキルエーテル化されていないメチロール基は、一分子内で自己縮合していてもよく、二分子間で縮合して、その結果オリゴマー成分が形成されていてもよい。
具体的には、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラブトキシメチルグリコールウリル等を用いることができる。
これらの中でも、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン等のアルキルエーテル化されたメラミンが好ましい。
【０１４５】
本発明の感光性組成物は、スピンコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、ソーダガラス、石英ガラス、半導体基板、金属、紙、プラスチック等の支持基体上に適用することができる。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。
【０１４６】
また、本発明の感光性組成物を硬化させる際に用いられるエネルギー線の光源としては、超高圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、キセノンアーク灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプ、蛍光灯、タングステンランプ、エキシマーランプ、殺菌灯、発光ダイオード、ＣＲＴ光源等から得られる２０００オングストロームから７０００オングストロームの波長を有する電磁波エネルギーや電子線、Ｘ線、放射線等の高エネルギー線を利用することができるが、好ましくは、波長３００〜４５０ｎｍの光を発光する超高圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、カーボンアーク灯、キセノンアーク灯等が挙げられる。
【０１４７】
更に、露光光源にレーザー光を用いることにより、マスクを用いずに、コンピューター等のデジタル情報から直接画像を形成するレーザー直接描画法が、生産性のみならず、解像性や位置精度等の向上も図れることから有用であり、そのレーザー光としては、３４０〜４３０ｎｍの波長の光が好適に使用されるが、エキシマーレーザー、窒素レーザー、アルゴンイオンレーザー、ヘリウムカドミウムレーザー、ヘリウムネオンレーザー、クリプトンイオンレーザー、各種半導体レーザー及びＹＡＧレーザー等の可視から赤外領域の光を発するものも用いられる。これらのレーザーを使用する場合には、可視から赤外の当該領域を吸収する増感色素が加えられる。
【０１４８】
本発明の感光性組成物は、光硬化性塗料又はワニス；光硬化性接着剤；プリント基板；カラーテレビ、ＰＣモニタ、携帯情報端末、デジタルカメラ等のカラー表示の液晶表示素子におけるカラーフィルター；ＣＣＤイメージセンサのカラーフィルター；プラズマ表示パネル用の電極材料；粉末コーティング；印刷インク；印刷版；接着剤；歯科用組成物；ゲルコート；電子工学用のフォトレジスト；電気メッキレジスト；エッチングレジスト；ドライフィルム；はんだレジスト；種々の表示用途用のカラーフィルターを製造するための或いはプラズマ表示パネル、電気発光表示装置、及びＬＣＤの製造工程において構造を形成するためのレジスト；電気及び電子部品を封入するための組成物；ソルダーレジスト；磁気記録材料；微小機械部品；導波路；光スイッチ；めっき用マスク；エッチングマスク；カラー試験系；ガラス繊維ケーブルコーティング；スクリーン印刷用ステンシル；ステレオリトグラフィによって三次元物体を製造するための材料；ホログラフィ記録用材料；画像記録材料；微細電子回路；脱色材料；画像記録材料のための脱色材料；マイクロカプセルを使用する画像記録材料用の脱色材料；印刷配線板用フォトレジスト材料；ＵＶ及び可視レーザー直接画像系用のフォトレジスト材料；プリント回路基板の逐次積層における誘電体層形成に使用するフォトレジスト材料又は保護膜等の各種の用途に使用することができ、その用途に特に制限はない。
【０１４９】
本発明の感光性組成物は、液晶表示パネル用のスペーサーを形成する目的及び垂直配向型液晶表示素子用突起を形成する目的で使用することもできる。特に垂直配向型液晶表示素子用の突起とスペーサーを同時に形成するための感光性組成物として有用である。
【０１５０】
上記の液晶表示パネル用スペーサーは、（１）本発明の感光性組成物の塗膜を基板上に形成する工程、（２）該塗膜に所定のパターン形状を有するマスクを介して放射線を照射する工程、（３）露光後のベーク工程、（４）露光後の該被膜を現像する工程、（５）現像後の該被膜を加熱する工程により好ましく形成される。
【０１５１】
撥インク剤を添加した本発明の（着色）感光性組成物は、インクジェット方式用隔壁形成樹脂組成物として有用であり、該組成物はカラーフィルター用として用いられ、特にプロファイル角が５０°以上であるインクジェット方式カラーフィルター用隔壁に好ましく用いられる。該撥インク剤としては、フッ素系界面活性剤及びフッ素系界面活性剤からなる組成物が好適に用いられる。
【０１５２】
本発明の感光性組成物から形成された隔壁が被転写体上を区画し、区画された被転写体上の凹部にインクジェット法により液滴を付与して画像領域を形成する方法により光学素子が製造される。この際、上記液滴が着色剤を含有し、上記画像領域が着色されているのが好ましく、基板上に複数の着色領域からなる画素群と上記画素群の各着色領域を離隔する隔壁を少なくとも有し、上記の光学素子の製造方法により作製された光学素子が好ましく用いられる。
【０１５３】
本発明の感光性組成物は、保護膜又は絶縁膜用組成物としても用いられ、紫外線吸収剤、アルキル化変性メラミン及び／又はアクリル変性メラミン、分子中にアルコール性水酸基を含有する１又は２官能の（メタ）アクリレートモノマー及び／又はシリカゾルを含有することができる。
【０１５４】
上記保護膜、絶縁膜用の感光性組成物としては、
（Ａ）ジオ−ル化合物と多価カルボン酸類とを反応させて得られ、重量平均分子量が２，０００〜４０，０００、酸価が５０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであるカルボキシル基含有重合体、
（Ｂ）光重合可能なエチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも１つ以上含む不飽和化合物、
（Ｃ）エポキシ化合物、及び
（Ｄ）重合開始剤、
を主成分とする樹脂組成物であって、
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計１００重量部に対して、（Ｃ）成分が１０〜４０重量部、（Ｄ）成分が０．０１〜２．０重量部含有され、且つ、（Ｄ）成分の重合開始剤として上記一般式（Ｉ）で表される化合物を含有するものが好ましい。
【０１５５】
上記絶縁膜は、剥離可能な支持基材上に絶縁樹脂層が設けられた積層体における該絶縁樹脂層に用いられ、該積層体は、アルカリ水溶液による現像が可能なものであり、絶縁樹脂層の膜厚が１０〜１００μｍであることが好ましい。
【０１５６】
本発明の感光性組成物は、無機材料（無機化合物）を含有させることで、感光性ペースト組成物として用いることができる。該感光性ペースト組成物は、プラズマディスプレイパネルの隔壁パターン、誘電体パターン、電極パターン及びブラックマトリックスパターン等の焼成物パターンを形成するために用いられる。
【実施例】
【０１５７】
以下、実施例及び比較例を挙げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例等に限定されるものではない。
【０１５８】
〔製造例１−１〜１−８〕化合物Ｎｏ．１、３、５、４２、７１、７３、７７及び１３１の製造
【０１５９】
＜ステップ１＞
ケトン体１（又はケトン体１’）の１．０ｅｑ．、ハロゲン化アルキル又はハロゲン化アリール１．２ｅｑ．、炭酸カリウム３．０ｅｑ．及びジメチルスルホキシドを理論収量の５倍量入れ、窒素雰囲気下１３０℃で３時間加熱撹拌した。室温まで冷却後、イオン交換水を加えて析出した固体をろ取した。十分に洗浄及び乾燥し、ケトン体２（又はケトン体２’）をそれぞれ得た。
【０１６０】
＜ステップ２＞
（化合物Ｎｏ．１、３、５、４２）
ステップ１で得られたケトン体２の１．０ｅｑ．、塩酸ヒドロキシルアミン１．５ｅｑ．及びジメチルホルムアミドを理論収量の２倍量入れ、窒素雰囲気下８０℃で１時間加熱撹拌した。室温まで冷却後、イオン交換水にあけ油水分離した。脱溶媒してオキシム化合物３をそれぞれ得た。
（化合物Ｎｏ．７１、７３、７７、１３１）
ステップ１で得られたケトン体２’の１．０ｅｑ．、ジメチルホルムアミドを理論収量の３倍量入れ、窒素雰囲気下５℃で撹拌しながら、３５％塩酸１．０ｅｑ．及び亜硝酸イソブチル１．５ｅｑ．を滴下し、室温で３０時間撹拌した。酢酸エチルと水を加え、油水分離し、有機層を水で洗浄した。有機層を脱溶媒し、オキシム化合物３’をそれぞれ得た。
【０１６１】
＜ステップ３＞
ステップ２で得られたオキシム化合物３（又はオキシム化合物３’）の１．０ｅｑ．及びジメチルホルムアミドを理論収量の５倍量入れ、窒素雰囲気下室温で撹拌しながら、無水酢酸１．２ｅｑ．を滴下し室温で３時間撹拌した。析出物をろ取し、十分に洗浄及び乾燥し、オキシムエステル化合物をそれぞれ得た。分析結果を〔表１〕〜〔表３〕に示す。
【０１６２】
【表１】
2019168654.tif 000043
【０１６３】
【表２】
2019168654.tif 000044
【０１６４】
【表３】
2019168654.tif 000045
【０１６５】
〔実施例１〜７及び比較例１〜３〕感光性組成物Ｎｏ．１〜Ｎｏ．７及び比較感光性組成物Ｎｏ．１〜Ｎｏ．３の製造
＜ステップ１＞アルカリ現像性樹脂の調整
アルカリ現像性樹脂Ａ−１の調製
反応容器に、グリシジルメタクリレート１４２ｇ、スチレン８．３ｇ、ベンジルメタクリレート３．５ｇ、アゾビスイソブチロニトリル１．０ｇ及びＰＧＭＥＡ３８．５ｇを仕込み、８０℃で９時間攪拌した。その後、反応液を室温まで冷却し、ＰＧＭＥＡ１５０ｇ、アクリル酸７２ｇ、及びテトラ−ｎ−ブチルアンモニウムブロミド０．２４ｇを加えて、１２０℃で４時間攪拌した。更に、テトラヒドロ無水フタル酸９９．６ｇを加え、１００℃で４時間、６０℃で６時間、撹拌した後、ＰＧＭＥＡ４１５ｇを加えて、ＰＧＭＥＡ溶液として目的物の重合体Ｂ−３を得た（Ｍｗ＝２２０００、Ｍｎ＝６０００、酸価（固形分）１０１ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分３５質量％）。
【０１６６】
アルカリ現像性樹脂Ａ−２の調製
反応容器に、グリシジルメタクリレート４ ０ 重量部、メタクリル酸１ ８ 重量部、スチレン５ 重量部、メタクリル酸トリシクロ[ ５ ． ２ ． １ ． ０ 2 , 6 ] デカン− ８ − イル３ ２ 重量部、１ ， ３ − ブタジエン５ 重量部、ＰＧＭＥＡ１９５重量部及びアゾビスイソブチロニトリル５重量部を仕込み、窒素置換を行い、７０℃で５時間攪拌した。その後、反応液を室温まで冷却し、ＰＧＭＥＡ溶液として目的物の重合体Ａ−１を得た（Ｍｗ＝１００００、固形分濃度＝３３．０重量％）、酸価（固形分）１１０ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分３５質量％）。
【０１６７】
アルカリ現像性樹脂Ａ−３の調製
反応容器に、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシルアクリレート（式（Ｉ）で表される化合物及び式（ＩＩ）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合。）２４０ 重量部とメタクリル酸６０ 重量部を、ＰＧＭＥＡ４７０重量部に溶解させた。窒素フローを行いながら、アゾビスイソブチロニトリル３０重量部をＰＧＭＥＡ１５０重量部に溶解させた溶液を、４時間かけて滴下した。その後、７０℃で４時間攪拌した。その後、反応液を室温まで冷却し、ＰＧＭＥＡ溶液として目的物の重合体Ａ−１を得た（Ｍｗ＝１４０００、固形分濃度＝３３．０重量％）、酸価（固形分）１１０ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分３５質量％）。
【０１６８】
【化４２】
2019168654.tif 000046
【０１６９】
＜ステップ２＞アルカリ現像性感光性組成物Ｎｏ．１〜Ｎｏ．７の調製
〔表４〕及び〔表５〕に記載の通り、＜ステップ１＞で得られたアルカリ現像性樹脂２２．０ｇ、ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート（アロニックスＭ−４０２；東亜合成（株）製）４．３ｇ、界面活性剤ＦＺ−２１２２（日本ユニカー（株）製）のシクロヘキサノン１％溶液１．８ｇ、プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート５．０ｇ、並びにシクロヘキサノン１６ｇを混合し、実施例１−３で得られた化合物Ｎｏ．５、実施例１−５で得られた化合物Ｎｏ．７１、実施例１−６で得られた化合物Ｎｏ．７３及び実施例１−８で得られた化合物Ｎｏ．１３１のそれぞれ０．１ｇを添加してよく攪拌し、本発明の感光性組成物である感光性組成物Ｎｏ．１〜Ｎｏ．７を得た。
【０１７０】
【表４】
2019168654.tif 000047
【０１７１】
【表５】
2019168654.tif 000048
【０１７２】
〔比較例１〜３〕比較感光性組成物Ｎｏ．１〜Ｎｏ．３の製造
＜ステップ１＞比較例アルカリ現像性樹脂Ｂ−１の調製
反応容器に、上記一般式（ＩＩＩ）で表されるエポキシ化合物であるビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂（エポキシ当量２３１）１００ｇ、アクリル酸３１ｇ、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール０．２６ｇ、テトラ−ｎ−ブチルアンモニウムブロミド０．１１ｇ及びプロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート３３ｇを仕込み、１２０℃で１６時間攪拌した。反応液を室温まで冷却し、プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート４２ｇ、ビフタル酸無水物３３ｇ及びテトラ−ｎ−ブチルアンモニウムブロミド０．２４ｇを加えて、１２０℃で４時間攪拌した。更に、テトラヒドロ無水フタル酸１０ｇを加え、１２０℃で４時間、１００℃で３時間、８０℃で４時間、６０℃で６時間、４０℃で１１時間攪拌した後、プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート１３８ｇを加えて、プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート溶液として目的物のアルカリ現像性樹脂を得た（Ｍｗ＝５０００、Ｍｎ＝２１００、酸価（固形分）９２．７ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分３５質量％）。
【０１７３】
＜ステップ２＞比較感光性組成物Ｎｏ．１〜３の製造
上記製造例３で得られた化合物Ｎｏ．５をＯＸＥ−０２（重合開始剤；ＢＡＳＦ社製）に替えた以外は実施例１と同様の手法で、比較感光性組成物Ｎｏ．１を得た。
【０１７４】
〔評価例１−１〜１−７及び比較評価例１−１〜１−３〕
＜線幅感度評価＞
得られた感光性組成物Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４及び比較感光性組成物Ｎｏ．１の感度評価を以下のようにして行った。
即ち、縦１００ｍｍ×横１００ｍｍ×厚さ０．７ｍｍのガラス基板の表面に、感光性組成物を２．０ｍｌ滴下し、スピンコーターを用いて８００ｒｐｍ、８秒の条件で塗布し、５分間静置した。ホットプレートを用いて９０秒間９０℃で加熱した後、２５℃で３０秒冷やしたものに対して、開口部を２０μｍとしたマスクを用いて、光照射装置を使用して２３ｍＷ／ｃｍ２の高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ２及び７０ｍＪ／ｃｍ２の露光量となるようにそれぞれ照射してパターニング露光を行った。現像液として２．５質量％炭酸ナトリウム水溶液を用い、スピン現像機で５０秒間現像後、よく水洗した後、オーブンで２３０℃３０分間加熱することで、基板表面に硬化物が形成された評価基板を得た。得られた各基板の表面をレーザー顕微鏡（キーエンス社製）で観察することで、各基板表面に形成された硬化物の幅を測定した。結果を表２に示す。
【０１７５】
＜露光量依存性＞
上記で得られたパターン幅について、下記式により算出した値を露光量依存性とした。結果を表２に示す。
（露光量依存性）＝
（（パターン幅（７０ｍＪ照射時））−（パターン幅（５０ｍＪ照射時））／（７０−５０）
＜塗膜の透過率＞
２インチ角のガラス基板を、中性洗剤、水およびアルコールで順次洗浄してから乾燥した。このガラス基板上に、上記で得られた感光性組成物を、ポストベーク後の膜厚が３．０μｍになるようにスピンコートし、次にクリーンオーブン中、９０℃で３分間プリベークした。その後、２３０℃で２０分加熱して塗膜を得た。
得られた塗膜について、顕微分光測光装置を用いて、４００ｎｍにおける透過率（％）を測定した。結果を〔表６〕及び〔表７〕に示す。
【０１７６】
【表６】
2019168654.tif 000049
【０１７７】
【表７】
2019168654.tif 000050
【０１７８】
上記〔表６〕及び〔表７〕より、上記一般式（Ｉ）で表されるオキシムエステル化合物を含有する重合開始剤を含む本発明の感光性組成物は、比較例１で用いた化合物を含有する比較感光性組成物と比較して、露光量が小さい、すなわち線幅感度に優れ、また露光量依存性が小さい、すなわち露光マージンが広いことは明らかである。更に、透明性に優れていることも明らかである。
【０１７９】
よって、本発明の感光性組成物は、フォトリソグラフィー性に優れているため、液晶表示装置におけるカラーフィルターや透明絶縁膜等として有用なものである。