(57)【要約】【課題】テンプレートのパターンを被転写部材に精度よく転写させる。【解決手段】インプリント装置は、基板保持機構と、テンプレート保持部と、複数の加圧部材と、を備える。基板保持機構は、被転写部材が設けられた基板を保持する。テンプレート保持部は、前記被転写部材に転写させるパターンが形成されたテンプレートを一方の側で保持する。複数の加圧部材は、前記テンプレート保持部の他方の側の複数の異なる位置に配置され、前記テンプレート保持部とともに前記テンプレートを前記被転写部材へと加圧する。【選択図】図１
2019050315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被転写部材が設けられた基板を保持する基板保持機構と、
前記被転写部材に転写させるパターンが形成されたテンプレートを一方の側で保持するテンプレート保持部と、
前記テンプレート保持部の他方の側の複数の異なる位置に配置され、前記テンプレート保持部とともに前記テンプレートを前記被転写部材へと加圧する複数の加圧部材と、
を備えるインプリント装置。
【請求項２】
前記テンプレート保持部は、加圧する方向と交差する面内に配置された複数の保持部材を有し、
前記複数の加圧部材のそれぞれは、対応付けられた前記複数の保持部材のいずれかを保持する
請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項３】
前記テンプレート保持部は、加圧する方向と交差する面内に配置され、前記テンプレートを吸着する複数のテンプレートチャックを有し、
前記複数の加圧部材は、前記複数のテンプレートチャックのいずれかと対応付けて設置されている
請求項１または請求項２に記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記テンプレート保持部は、前記複数のテンプレートチャックを保持し、弾性変形する保持部材を有する
請求項３に記載のインプリント装置。
【請求項５】
前記複数の加圧部材は、第１方向に配列された複数の第１加圧部材と、前記第１方向と交差する第２方向に配列された複数の第２加圧部材とを含み、
前記複数の第１加圧部材は、第１加圧力を前記テンプレート保持部に作用させ、
前記複数の第２加圧部材は、前記第１加圧力と異なる第２加圧力を前記テンプレート保持部に作用させる
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項６】
被転写部材が設けられた基板を保持し、
前記被転写部材に転写させるパターンが形成されたテンプレートをテンプレート保持部が一方の側で保持し、
前記テンプレート保持部の他方の側の複数の異なる位置に配置された複数の加圧部材が、前記テンプレート保持部とともに前記テンプレートを前記被転写部材へと加圧する
インプリント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
実施形態は、インプリント装置及びインプリント方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レジスト等の被転写部材にパターンを転写するインプリント装置が知られている。このようなインプリント装置は、パターンが予め形成されたテンプレートを基板上の被転写部材に重ね合わせて加圧した状態で、光等によって被転写部材を硬化させることにより、パターンを被転写部材に転写する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許５８７５２５０号公報
【特許文献２】特開２０１６−２５１２６号公報
【特許文献３】特開２０１５−２３２１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のインプリント装置では、加圧によってテンプレートの歪みが大きくなる場合があり、テンプレートのパターンを被転写部材に精度よく転写させることが難しい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決するために、実施形態のインプリント装置は、基板保持機構と、テンプレート保持部と、複数の加圧部材と、を備える。基板保持機構は、被転写部材が設けられた基板を保持する。テンプレート保持部は、前記被転写部材に転写させるパターンが形成されたテンプレートを一方の側で保持する。複数の加圧部材は、前記テンプレート保持部の他方の側の複数の異なる位置に配置され、前記テンプレート保持部とともに前記テンプレートを前記被転写部材へと加圧する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１は、第１実施形態のインプリント装置の全体構成を示す図である。
【図２】図２は、テンプレート保持機構の近傍の拡大側面図である。
【図３】図３は、テンプレート保持機構の上面図である。
【図４】図４は、コントローラが実行するインプリント処理のフローチャートである。
【図５】図５は、第２実施形態のテンプレート保持機構の上面図である。
【図６】図６は、第３実施形態のテンプレート保持機構の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下の例示的な実施形態や変形例には、同様の構成要素が含まれている。よって、以下では、同様の構成要素には共通の符号が付されるとともに、重複する説明が部分的に省略される。実施形態や変形例に含まれる部分は、他の実施形態や変形例の対応する部分と置き換えて構成されることができる。また、実施形態や変形例に含まれる部分の構成や位置等は、特に言及しない限りは、他の実施形態や変形例と同様である。
【０００８】
＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態のインプリント装置１０の全体構成を示す図である。図２は、テンプレート保持機構１４の近傍の拡大側面図である。図３は、テンプレート保持機構１４の上面図である。図１に矢印で示す方向をインプリント装置１０のＸＹＺ方向とする。ＸＹ面は、例えば、水平面である。Ｚ方向は、例えば、鉛直方向であって、後述する加圧部材４４の加圧方向である。図１は、基板９０上のレジスト９０ｄとテンプレート９２とが接触する前の状態である。図２は、基板９０上のレジスト９０ｄとテンプレート９２とが接触している状態である。レジスト９０ｄは、被転写部材の一例である。
【０００９】
インプリント装置１０は、基板９０上にテンプレート９２のパターン（例えば、ナノスケールのパターン）を転写する装置である。例えば、インプリント装置１０は、光ナノインプリントリソグラフィー方法等のインプリント方法を用いて基板９０上のレジスト９０ｄにパターンを形成する。図１、図２及び図３に示すように、インプリント装置１０は、基板保持機構１２と、テンプレート保持機構１４と、基準マーク１６と、複数のアライメント光源１７と、複数の検出部１８と、供給部２０と、露光光源２２と、アパーチャー２３と、コントローラ２４とを備える。
【００１０】
基板保持機構１２は、レジスト９０ｄ等が設けられた基板９０を保持するとともに、基板９０を水平面内で移動させる。基板保持機構１２は、ステージ定盤３０と、駆動機構３２と、基板ステージ３４と、基板チャック３６とを有する。
【００１１】
ステージ定盤３０は、床または装置用の台等に固定されている。
【００１２】
駆動機構３２は、ステージ定盤３０の上面に固定されている。駆動機構３２は、基板ステージ３４を保持しつつ移動させる。駆動機構３２は、互いに交差する水平面内の２方向で基板ステージ３４を移動させる。駆動機構３２は、例えば、水平面内のＸ方向及びＹ方向で基板ステージ３４を移動させる。駆動機構３２は、鉛直方向の周りの回転方向、及び、鉛直方向に基板ステージ３４を移動可能に構成してもよい。
【００１３】
基板ステージ３４は、板状の部材である。基板ステージ３４は、駆動機構３２の上面に水平面に沿って設置されている。基板ステージ３４は、基板チャック３６を保持する。
【００１４】
基板チャック３６は、基板ステージ３４の上面に保持されている。基板チャック３６は、パターンが形成される基板９０を保持する。基板チャック３６は、例えば、真空吸着によって基板９０を保持する。
【００１５】
ここで、基板９０について説明する。基板９０は、ウェーハ９０ａと、下地パターン９０ｂと、被加工レイヤ９０ｃとを含む。ウェーハ９０ａは、例えば、半導体ウェーハまたは絶縁性のウェーハであってよい。ウェーハ９０ａには、アライメント用の基板マーク９０ｅが形成されている。ウェーハ９０ａの上面には、下地パターン９０ｂが形成される。下地パターン９０ｂの上面には、供給部２０から滴下されたレジスト９０ｄが塗布される被加工レイヤ９０ｃが形成される。被加工レイヤ９０ｃは、例えば、金属膜等の導電膜、半導体膜、及び、絶縁膜等であってよい。
【００１６】
テンプレート保持機構１４は、テンプレート９２を保持しつつ鉛直方向に移動させて基板９０へと加圧する。テンプレート保持機構１４は、テンプレートチャック４０及び複数のチャック保持部材４２を有するテンプレート保持部４３と、複数の加圧部材４４１、４４２、・・とを有する。チャック保持部材４２は、保持部材の一例である。複数の加圧部材４４１、４４２、・・のそれぞれを区別する必要がない場合、加圧部材４４と記載する。
【００１７】
テンプレートチャック４０は、平面視において、テンプレート９２に形成されたザグリ９２ｃを囲むようにリング状に形成されている。テンプレートチャック４０の下面側は、基板９０に転写させるパターンが形成されたテンプレート９２を保持する。テンプレートチャック４０の下面側は、テンプレート保持部４３の一方の側の一例である。テンプレートチャック４０は、例えば、真空吸着によってザグリ９２ｃの周りのテンプレート９２の上面を保持する。
【００１８】
複数のチャック保持部材４２は、板状の部材である。複数のチャック保持部材４２は、互いに同じ形状であることが好ましい。複数のチャック保持部材４２は、例えば、平面視において、正方形を対角線で分割したほぼ直角二等辺三角形状である。この場合、チャック保持部材４２の個数は、例えば、４個になる。複数のチャック保持部材４２は、加圧方向と交差（例えば、直交）する面内（例えば、水平面内）に配置されている。複数のチャック保持部材４２は、鉛直方向の周りにおいて、等角度間隔で配置されていることが好ましい。複数のチャック保持部材４２は、例えば、９０°間隔で鉛直方向の周りに配置されている。チャック保持部材４２の下面には、テンプレートチャック４０が固定されている。これにより、チャック保持部材４２は、テンプレートチャック４０を保持する。
【００１９】
複数の加圧部材４４は、インプリント装置１０の天板または天井等に直接または間接的に固定されている。加圧部材４４の個数は、チャック保持部材４２の個数と同じであることが好ましい。加圧部材４４の個数は、例えば、４個である。加圧部材４４は、例えば、鉛直方向に沿って加圧力を生じさせるアクチュエータである。加圧部材４４は、テンプレートチャック４０及びチャック保持部材４２とともにテンプレート９２を基板９０上のレジスト９０ｄへと加圧する。複数の加圧部材４４の下端部は、加圧方向と交差（例えば、直交）する面内（例えば、水平面内）に配置されている。複数の加圧部材４４は、チャック保持部材４２の上面側の複数の異なる位置に配置されている。チャック保持部材４２の上面側は、テンプレート保持部４３の他方の側の一例である。複数の加圧部材４４は、鉛直方向の周りの周方向において、等角度間隔（例えば、９０°間隔）で配置されている。例えば、加圧部材４４１、４４２は、Ｙ方向に沿って配列されている。加圧部材４４３、４４４は、Ｘ方向に沿って配列されている。従って、加圧部材４４１、４４２の配列方向は、加圧部材４４３、４４４の配列方向と交差（ここでは、直交）する。複数の加圧部材４４のそれぞれは、対応付けられた複数のチャック保持部材４２のいずれかを保持する。この場合、１個の加圧部材４４が、１個のチャック保持部材４２を保持することが好ましい。従って、複数の加圧部材４４は、互いに独立して異なる加圧力を各チャック保持部材４２に作用させて、テンプレート９２を基板９０に向けて加圧する。例えば、加圧部材４４１、４４２は、予め定められた第１加圧力をチャック保持部材４２に作用させ、加圧部材４４３、４４４は、予め定められた第１加圧力と異なる第２加圧力をチャック保持部材４２に作用させる。
【００２０】
ここで、テンプレート９２について説明する。テンプレート９２は、テンプレート基板９２ａと、メサ部９２ｂとを有する。テンプレート基板９２ａは、例えば、板状の部材であって、平面視において、複数のチャック保持部材４２を合わせた四角形よりも小さい四角形状（例えば、正方形状）である。テンプレート９２は、レジスト９０ｄを硬化させるための光を透過可能な石英ガラス等によって形成されている。テンプレート基板９２ａの上面には、凹状のザグリ９２ｃが形成されている。ザグリ９２ｃは、例えば、平面視においてメサ部９２ｂよりも大きい円形状である。メサ部９２ｂは、テンプレート基板９２ａの下面に一体的に設けられている。メサ部９２ｂは、例えば、テンプレート基板９２ａと同じ材料で形成されている。メサ部９２ｂの下面には、アライメント用のテンプレートマーク９２ｄ、及び、基板９０のレジスト９０ｄに形成する凹凸状の回路パターン等のパターン９２ｅが形成されている。メサ部９２ｂの大きさは、パターン９２ｅを一度に転写するショット領域とほぼ同じである。
【００２１】
基準マーク１６は、基板９０の位置を示すマークである。基準マーク１６は、例えば、基板ステージ３４の上面に固定されている。これにより、基準マーク１６と、基板ステージ３４に設置された基板チャック３６に吸着されている基板９０との相対位置が固定される。基準マーク１６は、テンプレート９２が基板９０のレジスト９０ｄと接触する前の段階における基板９０とテンプレート９２のアライメントにおいて、基板９０の基準位置を設定するために使用される。
【００２２】
複数のアライメント光源１７は、テンプレート保持機構１４の上方であって、チャック保持部材４２及びテンプレート９２の中心を囲むように配置されている。アライメント光源１７は、基板マーク９０ｅ及びテンプレートマーク９２ｄに、アライメント用の光を照射する。例えば、アライメント光源１７は、レジスト９０ｄとメサ部９２ｂとが重ね合されて、テンプレートマーク９２ｄ及び基板マーク９０ｅがほぼ重なった状態で、図２に一点鎖線で示すように、両マーク９２ｄ、９０ｅを貫くようにアライメント用の光を照射する。
【００２３】
複数の検出部１８は、テンプレート保持機構１４の上方であって、チャック保持部材４２及びテンプレート９２の中心を囲むように配置されている。各検出部１８は、アライメント光源１７のいずれかと対応付けて配置されている。検出部１８の個数は、例えば、基板マーク９０ｅ及びテンプレートマーク９２ｄの個数と同じであることが好ましい。検出部１８は、例えば、基板マーク９０ｅ及びテンプレートマーク９２ｄの位置に応じて配置されている。検出部１８は、アライメント光源１７から光が照射されている基板マーク９０ｅ及びテンプレートマーク９２ｄを検出するアライメントスコープとして機能する。検出部１８は、例えば、デジタルカメラ等の撮像装置を含む光学観察装置である。検出部１８は、基板マーク９０ｅ及びテンプレートマーク９２ｄを撮像して、コントローラ２４へ出力する。
【００２４】
供給部２０は、基板９０及び基板保持機構１２の上方に設置されている。供給部２０は、パターン９２ｅが転写される基板９０の上面のショット領域に、液滴状のレジスト９０ｄを供給して塗布する。レジスト９０ｄは、例えば、光硬化性樹脂である。
【００２５】
露光光源２２は、チャック保持部材４２及びテンプレート９２の中心の上方に配置されている。露光光源２２は、例えば、レジスト９０ｄを硬化可能な紫外線等を照射する紫外線照射ランプである。露光光源２２は、基板９０上のレジスト９０ｄに接触しているテンプレート９２を介して、硬化用の光をレジスト９０ｄに照射して露光する。これにより、露光光源２２は、レジスト９０ｄを硬化させる。
【００２６】
アパーチャー２３は、露光光源２２とチャック保持部材４２との間に設置されている。アパーチャー２３は、露光光源２２からの光の一部をチャック保持部材４２へと透過し、残りの光を遮る。
【００２７】
コントローラ２４は、例えば、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）等のハードウェアプロセッサ、メモリ、及び、ＨＤＤ（Hard  Disk  Drive）等を有するコンピュータである。コントローラ２４は、インプリント装置１０の制御全般を司る。例えば、コントローラ２４は、駆動機構３２、アライメント光源１７、検出部１８、供給部２０、加圧部材４４、露光光源２２、及び、アパーチャー２３を制御する。
【００２８】
例えば、コントローラ２４は、基準マーク１６を検出して、基板９０の基準位置を設定する。コントローラ２４は、駆動機構３２を制御して、基板９０を移動させる。コントローラ２４は、供給部２０を制御して、レジスト９０ｄを基板９０のショット領域に滴下して塗布する。コントローラ２４は、アライメント光源１７に光を照射させた状態で、基板マーク９０ｅ及びテンプレートマーク９２ｄの撮像画像を検出部１８から取得して、基板９０とテンプレート９２の位置をアライメントする。コントローラ２４は、複数の加圧部材４４を制御して、テンプレート９２をレジスト９０ｄが塗布された基板９０へと加圧する。ここで、コントローラ２４は、加圧部材４４に印加する電圧等によって、複数の加圧部材４４を個別に制御して、チャック保持部材４２及びテンプレート９２に作用させる加圧部材４４の加圧力を異ならせてよい。コントローラ２４は、アパーチャー２３の絞り、及び、露光光源２２のオンとオフとを制御して、レジスト９０ｄが塗布された基板９０上のショット領域に露光用の光を照射させる。
【００２９】
次に、インプリント装置１０のインプリント方法について説明する。図４は、コントローラ２４が実行するインプリント処理のフローチャートである。
【００３０】
インプリント処理では、コントローラ２４は、基板９０上のショット領域にレジスト９０ｄを滴下して塗布する（Ｓ１０２）。例えば、コントローラ２４は、基準マーク１６の位置に基づいて基板９０の基準位置を設定する。コントローラ２４は、基板９０の基準位置に基づいて、次に転写するショット領域が供給部２０の下方となるように、駆動機構３２を制御して基板９０を移動させる。コントローラ２４は、供給部２０を制御してレジスト９０ｄをショット領域へと滴下して塗布する。
【００３１】
コントローラ２４は、図１に示すように、基板９０の基準位置に基づいて、駆動機構３２を制御して基板９０を移動させることにより、レジスト９０ｄが塗布された基板９０のショット領域とメサ部９２ｂがほぼ対向するように基板９０の位置をアライメントする（Ｓ１０４）。
【００３２】
コントローラ２４は、図２に示すように、加圧部材４４を制御して、メサ部９２ｂをレジスト９０ｄに接触させつつテンプレート９２を加圧して、メサ部９２ｂのパターン９２ｅをレジスト９０ｄに押印する（Ｓ１０６）。ここで、コントローラ２４は、加圧部材４４を個別に制御して、異なる加圧力でテンプレート９２を加圧する。例えば、コントローラ２４は、Ｙ方向に配列された加圧部材４４１、４４２がチャック保持部材４２に作用させる第１加圧力と、Ｘ方向に配列された加圧部材４４３、４４４がチャック保持部材４２に作用させる第２加圧力とを異ならせてよい。これにより、テンプレート９２のＸ方向に沿った形状及びＹ方向に沿った形状が異なって変形する。従って、全ての加圧部材４４の加圧力を同じにした場合の球面状に変形するテンプレート９２に比べて、テンプレート９２は、平面に近い状態でレジスト９０ｄに接触してパターン９２ｅを押印することができる。
【００３３】
コントローラ２４は、メサ部９２ｂをレジスト９０ｄに接触させつつ加圧した状態で、基板９０とテンプレート９２とをアライメントする（Ｓ１０８）。例えば、コントローラ２４は、アライメント光源１７をオン状態にして光を照射させた状態で、検出部１８から基板マーク９０ｅ及びテンプレートマーク９２ｄの撮像画像を取得する。コントローラ２４は、撮像画像に基づいて、駆動機構３２を制御して基板９０を移動させて、基板９０とテンプレート９２とをアライメントする。
【００３４】
コントローラ２４は、露光光源２２をオン状態にして照射させた露光用の光によりレジスト９０ｄを露光して硬化させる（Ｓ１１０）。これにより、メサ部９２ｂのパターン９２ｅが、レジスト９０ｄに転写されて形成される。
【００３５】
コントローラ２４は、加圧部材４４を制御して、レジスト９０ｄからメサ部９２ｂを離型させる（Ｓ１１２）。
【００３６】
この後、コントローラ２４は、ステップＳ１０２以降の処理を繰り返して、基板９０上の全てのショット領域にパターン９２ｅを形成する。これにより、インプリント処理が終了する。
【００３７】
上述したように第１実施形態のインプリント装置１０は、複数の加圧部材４４を有する。これにより、インプリント装置１０は、複数の加圧部材４４の加圧力を異ならせることにより、適切に加圧してテンプレート９２の歪みを抑制できる。この結果、インプリント装置１０は、３次倍率成分の２方向（例えば、Ｘ方向及びＹ方向）のオーバーレイ誤差の差異を低減して、テンプレート９２のパターン９２ｅを精度よくレジスト９０ｄに転写して形成することができる。従って、インプリント装置１０は、パターン形成後に製造される半導体デバイスの歩留まり向上及び製造コストの低減を実現できる。
【００３８】
インプリント装置１０では、複数の加圧部材４４のいずれかに対応付けられた複数のチャック保持部材４２を有する。これにより、インプリント装置１０は、いずれかの加圧部材４４の加圧力を対応する下方のチャック保持部材４２に伝え、対応付けられていない他のチャック保持部材４２に加圧力が伝わることを抑制できる。この結果、インプリント装置１０は、複数の加圧部材４４の加圧力を所望の領域により適切に伝えることができる。
【００３９】
インプリント装置１０では、Ｙ方向に配列された加圧部材４４１、４４２の第１加圧力と、Ｘ方向に配列された加圧部材４４３、４４４の第２加圧力とを異ならせている。これにより、インプリント装置１０は、チャック保持部材４２、テンプレートチャック４０及びテンプレート９２のＸ方向の形状とＹ方向の形状とを異なる方向に反らすことができる。従って、インプリント装置１０は、全ての加圧力を均等にしてテンプレートを部分球面状に反らす場合に比べて、平面に近い状態のテンプレート９２でレジスト９０ｄを加圧することができる。この結果、インプリント装置１０は、歪みが抑制されたメサ部９２ｂによってパターン９２ｅを精度よく転写できる。
【００４０】
＜第２実施形態＞
次に、上述のテンプレート保持機構１４の一部を変更した第２実施形態について説明する。図５は、第２実施形態のテンプレート保持機構１４Ａの上面図である。第２実施形態のテンプレート保持機構１４Ａは、複数のテンプレートチャック４０Ａ及び複数のチャック保持部材４２を有するテンプレート保持部４３Ａと、複数の加圧部材４４とを有する。
【００４１】
各テンプレートチャック４０Ａは、例えば、部分円形状に形成されている。複数のテンプレートチャック４０Ａは、加圧方向と交差（例えば、直交）する面内（例えば、水平面内）に配置されている。複数のテンプレートチャック４０Ａは、鉛直方向の周りの周方向に等角度間隔（例えば、９０°間隔）で配置されている。テンプレートチャック４０Ａの個数は、例えば、４個であって、チャック保持部材４２及び加圧部材４４の個数と同じである。各テンプレートチャック４０Ａは、チャック保持部材４２及び加圧部材４４のいずれかと対応付けて配置されている。これにより、各テンプレートチャック４０Ａは、対応付けられたいずれかの加圧部材４４によって、チャック保持部材４２とともに加圧される。この結果、第２実施形態のインプリント装置１０では、各テンプレートチャック４０Ａは、自身の上方に設けられた加圧部材４４以外の加圧部材４４の加圧力の影響を低減できる。
【００４２】
＜第３実施形態＞
次に、上述のテンプレート保持機構１４、１４Ａの一部を変更した第３実施形態について説明する。図６は、第３実施形態のテンプレート保持機構１４Ｂの上面図である。第３実施形態のテンプレート保持機構１４Ｂは、複数のテンプレートチャック４０Ａ及び１個のチャック保持部材４２Ｂを有するテンプレート保持部４３Ｂと、複数の加圧部材４４とを有する。
【００４３】
チャック保持部材４２Ｂは、平面視において、正方形等の四角形状に形成されている。チャック保持部材４２Ｂは、複数のテンプレートチャック４０Ａを保持する。チャック保持部材４２Ｂは、弾性材料で構成され、弾性変形する。これにより、チャック保持部材４２Ｂは、加圧部材４４からの加圧力を、当該加圧部材４４に対応付けられた下方のテンプレートチャック４０Ａに伝えるとともに、他のテンプレートチャック４０Ａに伝わることを抑制できる。
【００４４】
上述した各実施形態の構成の配置、機能、個数、形状等は適宜変更してよい。各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【００４５】
例えば、上述の実施形態では、コントローラ２４によって加圧部材４４の加圧力が異なるようにチャック保持部材４２等に作用する例を挙げたが、加圧力についてはこれに限定されない。例えば、各加圧部材４４の機能を異ならせて、加圧部材４４の加圧力を異ならせてもよい。この場合であっても、第１方向（例えば、Ｙ方向）に配列された複数の加圧部材４４の第１加圧力を同じに設定し、第１方向と交差する第２方向（例えば、Ｘ方向）に配列された複数の加圧部材４４の第２加圧力を同じに設定し、第１加圧力と第２加圧力とを異ならせることが好ましい。
【００４６】
（付記）
［付記１］
被転写部材が設けられた基板を保持する基板保持機構と、
前記被転写部材に転写させるパターンが形成されたテンプレートを一方の側で保持するテンプレート保持部と、
前記テンプレート保持部の他方の側の複数の異なる位置に配置され、前記テンプレート保持部とともに前記テンプレートを前記被転写部材へと加圧する複数の加圧部材と、
を備えるインプリント装置。
［付記２］
前記テンプレート保持部は、加圧する方向と交差する面内に配置された複数の保持部材を有し、
前記複数の加圧部材のそれぞれは、対応付けられた前記複数の保持部材のいずれかを保持する
付記１に記載のインプリント装置。
［付記３］
前記テンプレート保持部は、加圧する方向と交差する面内に配置され、前記テンプレートを吸着する複数のテンプレートチャックを有し、
前記複数の加圧部材は、前記複数のテンプレートチャックのいずれかと対応付けて設置されている
付記１または付記２に記載のインプリント装置。
［付記４］
前記テンプレート保持部は、前記複数のテンプレートチャックを保持し、弾性変形する保持部材を有する
付記３に記載のインプリント装置。
［付記５］
前記複数の加圧部材は、第１方向に配列された複数の第１加圧部材と、前記第１方向と交差する第２方向に配列された複数の第２加圧部材とを含み、
前記複数の第１加圧部材は、第１加圧力を前記テンプレート保持部に作用させ、
前記複数の第２加圧部材は、前記第１加圧力と異なる第２加圧力を前記テンプレート保持部に作用させる
付記１から付記４のいずれかに記載のインプリント装置。
［付記６］
被転写部材が設けられた基板を保持し、
前記被転写部材に転写させるパターンが形成されたテンプレートをテンプレート保持部が一方の側で保持し、
前記テンプレート保持部の他方の側の複数の異なる位置に配置された複数の加圧部材が、前記テンプレート保持部とともに前記テンプレートを前記被転写部材へと加圧する
インプリント方法。
［付記７］
前記複数の加圧部材のそれぞれは、加圧する方向と交差する面内に配置された前記テンプレート保持部の複数の保持部材のいずれかを保持して加圧する
付記６に記載のインプリント方法。
［付記８］
加圧する方向と交差する面内に配置された前記テンプレート保持部の複数のテンプレートチャックが前記テンプレートを吸着し、
前記複数の加圧部材のそれぞれは、対応付けられた前記複数のテンプレートチャックのいずれかを加圧する
付記６または付記７のいずれかに記載のインプリント方法。
［付記９］
前記複数の加圧部材は、前記複数のテンプレートチャックを保持しつつ弾性変形する保持部材を加圧する
付記８に記載のインプリント方法。
［付記１０］
前記複数の加圧部材のうち、第１方向に配列された複数の第１加圧部材は第１加圧力を前記テンプレート保持部に作用させ、
前記複数の加圧部材のうち、前記第１方向と交差する第２方向に配列された複数の第２加圧部材は前記第１加圧力と異なる第２加圧力を前記テンプレート保持部に作用させる
付記６から付記９のいずれかに記載のインプリント方法。
［付記１１］
前記複数の保持部材は、加圧方向の周りの周方向において等角度間隔で配置されている
付記２に記載のインプリント装置。
［付記１２］
前記複数のテンプレートチャックは、加圧方向の周りの周方向において等角度間隔で配置されている
付記２または付記３に記載のインプリント装置。
［付記１３］
前記複数の加圧部材は、加圧方向の周りの周方向において等角度間隔で配置されている
付記１から付記５、付記１１及び付記１２のいずれかに記載のインプリント装置。
【００４７】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４８】
１０…インプリント装置、１２…基板保持機構、１４、１４Ａ、１４Ｂ…テンプレート保持機構、２４…コントローラ、４０、４０Ａ…テンプレートチャック、４２、４２Ｂ…チャック保持部材、４３、４３Ａ、４３Ｂ…テンプレート保持部、４４、４４１、４４２、４４３、４４４…加圧部材、９０…基板、９０ｄ…レジスト（被転写部材）、９２…テンプレート、９２ｅ…パターン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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