(57)【要約】【課題】マイグレーションによるショートや硫化による断線を抑制することができる圧電素子ユニットを提供する。【解決手段】圧電素子ユニット１は、力を電圧に変換する機能及び電圧を力に変換する機能を有する圧電素子２と、圧電素子２と電気的に接合された配線基板３とを備えている。圧電素子２は、複数の面を有し、且つ導電性を有するシム板６と、シム板６のひとつの面である第１の面に接触された圧電体４と、圧電体４の第１の面に接触するように配置された表面電極５と、表面電極５に接合された配線基板３と、表面電極５及び配線基板３が接合する接合領域の周囲を覆う接着部材８と、を備えて構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の面を有し、且つ導電性を有するシム板と、
前記シム板のひとつの面である第１の面に接触された圧電体と、
前記圧電体の第１の面に接触するように配置された表面電極と、
前記表面電極に接合された配線基板と、
前記表面電極及び前記配線基板が接合する接合領域の周囲を覆う接着部材と、
を備える圧電素子ユニット。
【請求項２】
前記接着部材は、前記接合領域の全周を覆う、請求項１に記載の圧電素子ユニット。
【請求項３】
前記接着部材は、前記表面電極の空気と触れる部位を覆う、請求項１又は２に記載の圧電素子ユニット。
【請求項４】
前記接着部材は、絶縁性を有する、請求項１から３のいずれか１項に記載の圧電素子ユニット。
【請求項５】
前記接着部材は、前記圧電体の空気と触れる部位を覆う、請求項１から４のいずれか１項に記載の圧電素子ユニット。
【請求項６】
前記接着部材は、前記シム板の前記第１の面を覆う、請求項１から５のいずれか１項に記載の圧電素子ユニット。
【請求項７】
前記接着部材は嫌気性接着剤からなる、請求項１から６のいずれか１項に記載の圧電素子ユニット。
【請求項８】
前記配線基板は、本体部の途中から分岐した分岐部を有する１枚のフレキシブル配線基板からなり、
前記本体部は、前記表面電極又は前記シム材の一方に接合される第１パターン電極を有し、
前記分岐部は、前記シム材又は前記表面電極の他方に接合される第２パターン電極を有してなる、請求項１に記載の圧電素子ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック素体である圧電素子を有するセラミック電子部品が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１に記載されたセラミック電子部品は、圧電素子の両平面に銀を主体とした電極と、圧電素子の片面に接着材等により張り合わせ固定された振動板と、圧電素子の電極の表面に錫を主体とした半田材による半田層と、半田層により電極に電気的に接続される出力端子とで構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−４５０４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
圧電素子の電極として用いられる金属電極、特に、銀を主体とした電極は、マイグレーションや硫化を起こしやすい特性を有している。そのため、マイグレーションによるショートや硫化による断線を抑制することが望まれる。
【０００６】
従って、本発明の目的は、マイグレーションによるショートや硫化による断線を抑制することができる圧電素子ユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、複数の面を有し、且つ導電性を有するシム板と、前記シム板のひとつの面である第１の面に接触された圧電体と、前記圧電体の第１の面に接触するように配置された表面電極と、前記表面電極に接合された配線基板と、前記表面電極及び前記配線基板が接合する接合領域の周囲を覆う接着部材と、を備える圧電素子ユニットを主要な構成としている。
【０００８】
本発明に係る圧電素子ユニットにおいて、前記接着部材は、前記接合領域の全周を覆うことが好ましい。
【０００９】
更に、本発明に係る圧電素子ユニットにおいて、前記接着部材は、前記表面電極の空気と触れる部位を覆うことが好ましい。
【００１０】
更にまた、本発明に係る圧電素子ユニットにおいて、前記接着部材は、絶縁性を有することが好ましい。
【００１１】
更にまた、本発明に係る圧電素子ユニットにおいて、前記接着部材は、前記圧電体の空気と触れる部位を覆うことが好ましい。
【００１２】
更にまた、本発明に係る圧電素子ユニットにおいて、前記接着部材は、前記シム板の第１の面を覆うことが好ましい。
【００１３】
更にまた、本発明に係る圧電素子ユニットにおいて、前記接着部材は嫌気性接着剤からなることが好ましい。
【００１４】
更にまた、本発明に係る圧電素子ユニットにおいて、前記配線基板は、本体部の途中から分岐した分岐部を有する１枚のフレキシブル配線基板からなり、前記本体部は、前記表面電極又は前記シム材の一方に接合される第１パターン電極を有し、前記分岐部は、前記シム材又は前記表面電極の他方に接合される第２パターン電極を有してなることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、マイグレーションによるショートの発生、金属の硫化による断線の発生を抑制することを可能とした圧電素子ユニットが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態に係る圧電素子ユニットを概略的に示す要部断面図である。
【図２】圧電素子ユニットの製造工程の一例を説明するための概略説明図であり、（ａ）は準備した圧電素子の図、（ｂ）は配線基板の接合工程を説明する図であり、（ｃ）は接着部材の形成工程を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の圧電素子ユニット及び圧電素子ユニットの製造方法に係る実施の形態について、以下に添付図面を参照して説明する。なお、実施の形態の説明に用いる図において、各部材を説明し易くするため、各部材の縦横比や間隔等を誇張して示している。
【００１８】
（圧電素子ユニットの全体構成）
図１において、圧電素子ユニット１は、力を電圧に変換する機能及び電圧を力に変換する機能を有する圧電素子２と、圧電素子２と電気的に接合された配線基板３とを備えている。
【００１９】
圧電素子２は、板状の圧電体４と、圧電体４の表面に設けられた表面電極５と、圧電体４の裏面に設けられたシム板６とを有している。圧電素子２は、複数の面を有し、且つ導電性を有するシム板６と、シム板６のひとつの面である第１の面に接触された圧電体４と、圧電体４の第１の面に接触するように配置された表面電極５と、表面電極５に接合された配線基板３と、表面電極５及び配線基板３が接合する接合領域の周囲を覆う接着部材８と、を備えて構成されている。これにより、シム板６と圧電体４、圧電体４と表面電極５は電気的に接続される。
【００２０】
圧電体４は、強誘電体の部材が分極されて形成され、電圧の印加により伸縮することで変位、振動等を発生させることができるアクチュエータである。圧電体４の第１の面には、表面電極５が接合され、第１の面と反対側の第２の面は、シム板６と接触している。圧電体４の材料については、任意の公知の圧電材料を特に制限なく用いることができる。本実施の形態では、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）あるいはチタン酸バリウムなどのセラミックス材料が用いられる。
【００２１】
表面電極５の材料については、任意の公知の導電材料を特に制限なく用いることができる。本実施の形態では、銀ペースト材料による表面電極５が形成されている。
【００２２】
シム板６は、複数の面を有し、且つ導電性を有する板状の部材である。シム板６のひとつの面である第１の面には、圧電体４が接触される。図１等に示すように、第１の面と反対側の第２の面には、本実施の形態では、部材等は配置されない。シム板６の材料については、弾性及び可撓性を有する任意の公知の導電性を有する金属材料を特に制限なく用いることができる。
【００２３】
圧電素子２に給電するための配線基板３の基材には、任意の公知の絶縁材料を特に制限なく用いることができる。本実施の形態では、可撓性を有する長尺帯状のポリイミド樹脂等からなる絶縁フィルムが用いられる。
【００２４】
図示例による配線基板３は、絶縁フィルムの片面に導電材料からなる配線パターンが形成された本体部３ａと、本体部３ａの途中から分岐した分岐部３ｂとを有する１枚のフレキシブル配線基板からなる。導電材料については、任意の公知の導電材料を特に制限なく用いることができる。
【００２５】
配線基板３の本体部３ａは、図示しない導電性接着剤を介して圧電素子２の表面電極５と接合することで電気的に接続される第１パターン電極７ａを有している。一方の分岐部３ｂは、図示しない導電性接着剤を介してシム板６の表面接合部と接合することにより電気的に接続される第２パターン電極７ｂを有している。
【００２６】
配線基板３の本体部３ａ及び分岐部３ｂは、圧電素子２の表面電極５及びシム板６に対応して段差をもって形成されている。１枚のフレキシブル配線基板によって圧電素子２に給電することができるため、部品点数の低減や配線の効率化等を図ることができる。なお、配線基板３の本体部３ａをシム板６の表面接合部と電気的に接合して使用し、配線基板３の分岐部３ｂを表面電極５と電気的に接合して使用することができるのは勿論である。
【００２７】
（圧電素子ユニットの保護構造）
上記のように構成された圧電素子ユニット１は、圧電体４の電気接合部の周囲を絶縁性の接着部材８により覆うことで、硫化しにくい電極材料を用いた場合でも、空気中に含まれる水分、硫化水素等の硫黄成分から保護する構造となっている。また、接着部材８は、絶縁性を有してもよい。絶縁性を有する場合、第１パターン電極７ａとシム板６の間が接着部材８で覆われても、ショートの発生を抑制することができる。
【００２８】
配線基板３及びシム板６の対向面間に形成された隙間には、マイグレーションによるショートや断線を抑制するための接着部材８が設けられている。接着部材８としては、絶縁性を有する任意の公知の接着材料を特に制限なく用いることができる。本実施の形態では、液状アクリル系などの嫌気性接着剤が用いられる。
【００２９】
図示例のように、接着部材８は、配線基板３の第１パターン電極７ａ及び表面電極５が接合する接合領域９ａの周囲に設けられてもよい。また、接着部材８は、接合領域９ａの全周に設けられてもよい。さらに、接着部材８は、表面電極５の空気と触れる部位に設けられてもよい。
【００３０】
このような接着部材８の配置により、配線や電極に用いた金属が空気中に含まれる硫化水素等の硫黄成分と反応して生成される金属硫化物の発生が抑えられ、圧電素子２のマイグレーションによるショートの発生や金属の硫化による断線の発生が抑制される。
【００３１】
マイグレーションは、特に、銀ペースト材料からなる表面電極５で生じ易いことから、表面電極５と配線基板３の第１パターン電極７ａとが接合する接合領域９ａの周囲を少なくとも覆うように配線基板３の裏面から圧電体４の側面に至るまでの配置領域に接着部材８を塗布して形成された構成を採用することができる。この接合領域９ａ以外の表面電極５の露出した側面が接着部材８によって覆われるため、圧電素子２のマイグレーションによるショートや圧電素子２及び配線基板３間の断線を抑制することができる。
【００３２】
接着部材８は、配線基板３の裏面から圧電体４の側面だけでなく、圧電体４及びシム板６が接合する接合領域９ｂの周囲と、シム板６及び配線基板３が接合する接合領域９ｃの周囲とを不連続に覆うように設けても構わない。
【００３３】
（圧電素子ユニットの製造方法）
図２（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）を参照すると、これらの図には、圧電素子ユニット１の製造工程の一例が示されている。
【００３４】
圧電素子ユニット１を製造する方法は、図２（ａ）に示すように、圧電素子２を準備する工程と、図２（ｂ）に示すように、圧電素子２に配線基板３を電気的に接合する工程と、図２（ｃ）に示すように、接着部材８を塗布して形成する工程とを含む一連の工程により達成される。
【００３５】
図２（ａ）において、圧電素子２の準備工程は、定法に従い、加工で得られた圧電体４の一方の面に表面電極５を有するとともに、圧電体４の他方の面にシム板６を有している圧電素子２を形成して準備する工程である。
【００３６】
図２（ｂ）において、配線基板３の接合工程は、定法に従い、準備した圧電素子２に配線基板３を接合する。圧電素子２の表面電極５に配線基板３の第１パターン電極７ａを導電性接着剤で接着固定し、圧電素子２のシム板６の表面接合部に配線基板３の第２パターン電極７ｂを導電性接着剤で接着固定することにより、表面電極５及びシム板６が電気的に接続される。
【００３７】
導電性接着剤を用いて、配線基板３を圧電体４及びシム板６に接着固定する場合は、例えば圧電体４及びシム板６の所定の位置に導電性接着剤用ペーストを塗布した後、配線基板３を当接させた状態で導電性接着剤用ペーストを硬化させることで配線基板３が圧電体４及びシム板６に接着固定される。なお、導電性接着剤用ペーストは、配線基板３の第１及び第２パターン電極７ａ，７ｂに塗布してもよい。
【００３８】
図２（ｃ）に示すように、接着部材８の形成工程は、定法に従い、配線基板３及びシム板６の対向面間の隙間に接着部材８を塗布する。接着部材８は、配線基板３及び表面電極５が接合する接合領域９ａの周囲から圧電体４及びシム板６が接合する接合領域９ｂの周囲を経て、シム板６及び配線基板３が接合する接合領域９ｃの周囲に至るまでの配置領域に連続的に形成される。すなわち、接着部材８は、接合領域９ａの周囲を覆うことができ、また、接合領域９ａの全周を覆うことができる。また、接着部材８は、接合領域９ｂの周囲を経て、シム板６及び配線基板３が接合する接合領域９ｃの周囲に至るまでの領域を覆うことができる。
【００３９】
また、図２（ｃ）に示すように、接着部材８は、表面電極の空気と触れる部位１０ａ、圧電体の空気と触れる部位１０ｂに塗布され、それぞれの空気と触れる部位を覆うことができる。
【００４０】
接合領域９ａ、接合領域９ｂ、及び接合領域９ｃの周囲に形成された接着部材８の接着力により、配線基板３、圧電体４、及びシム板６が固定される。接着部材８は絶縁性を有しているため、接合領域９ａの周囲、接合領域９ｂの周囲、及び接合領域９ｃの周囲の絶縁性は保たれる。
【００４１】
以上の一連の工程によって、圧電素子２と配線基板３とが電気的かつ機械的に接合され、所要の圧電素子ユニット１が完成する。
【００４２】
（実施の形態の効果）
以上のように構成された実施の形態に係る圧電素子ユニット１及びその製造方法によれば、配線や電極に用いた金属の周囲に接着部材８を配置しているので、上記効果に加えて、次の効果が得られる。
【００４３】
配線基板３及び表面電極５が接合する接合領域９ａ、圧電体４及びシム板６が接合する接合領域９ｂ、並びにシム板６及び配線基板３が接合する接合領域９ｃが接着部材８によって補強されることになる。これにより、電気的接続を維持することが可能となり、接着等の強度や防水を維持することができる。
【００４４】
接着部材８として、空気を遮断することにより硬化する嫌気性接着剤を用いるため、加熱焼成は不要である。圧電素子２全体を空気中に含まれる水分、硫化水素等の硫黄成分から保護する構造を有する圧電素子ユニット１を簡単にかつ容易に製造することができる。
【００４５】
マイグレーションによるショートや断線の抑制と接着等の強度や防水の向上とを同時に達成することができる。
【００４６】
なお、圧電素子として、１枚の圧電体４からなるモノモルフ型の圧電素子２の一例を例示したが、２枚の圧電体からなるバイモルフ型の圧電素子、又は複数枚の圧電素子を積層することによって構成される積層モノモルフ型の圧電素子などの公知の任意の圧電素子を用いることができる。
【００４７】
以上の説明からも明らかなように、本発明に係る実施の形態、変形例、及び図示例は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。従って、上記実施の形態、変形例、及び図示例の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。
【符号の説明】
【００４８】
１…圧電素子ユニット、２…圧電素子、３…配線基板、３ａ…本体部、３ｂ…分岐部、４…圧電体、５…表面電極、６…シム板、７ａ…第１パターン電極、７ｂ…第２パターン電極、８…接着部材、９ａ，９ｂ，９ｃ…接合領域、１０ａ，１０ｂ…空気と触れる部位
【図１】
2019125777.tif 000003
【図２】
2019125777.tif 000004