(57)【要約】【課題】保管設備において、各収納部に対する不活性ガスの供給量を適切に制御できると共に、流量制御装置の設置数を収納部の数よりも少なくする。【解決手段】保管設備１は、Ｎ個（Ｎ：自然数）の収納部２１と、不活性ガスが通流するＭ本（Ｍ：２≦Ｍ＜Ｎである自然数）の主配管ＭＰと、Ｍ個の流量制御装置Ｃと、Ｍ組の分岐配管群ＢＧと、複数の切換弁Ｖと、を備えている。分岐配管群ＢＧのそれぞれは、Ｎ本の分岐配管ＢＰを含み、切換弁Ｖは、少なくとも（Ｍ−１）組の分岐配管群ＢＧに含まれる分岐配管ＢＰのそれぞれに設けられている。流量制御装置Ｃは、当該流量制御装置Ｃが接続された主配管ＭＰに対応する分岐配管群ＢＧのＮ本の分岐配管ＢＰのうち、切換弁Ｖによって不活性ガスの通流が遮断されていない分岐配管ＢＰの数である通流管数Ｘ、Ｙに応じて、主配管ＭＰを通流する不活性ガスの流量を制御する。【選択図】図２
2019108220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を収納するための収納部をＮ個（Ｎ：自然数）備えて、Ｎ個の前記収納部のそれぞれに対して不活性ガスを供給する保管設備であって、
前記不活性ガスが通流するＭ本（Ｍ：２≦Ｍ＜Ｎである自然数）の主配管と、
Ｍ本の前記主配管のそれぞれに接続されて、前記主配管を通流する前記不活性ガスの流量を制御するＭ個の流量制御装置と、
Ｍ本の前記主配管のそれぞれに対応して設けられたＭ組の分岐配管群と、
複数の切換弁と、を備え、
前記分岐配管群のそれぞれは、前記主配管から分岐してＮ個の前記収納部のそれぞれに連通するＮ本の分岐配管を含み、
前記切換弁は、少なくとも（Ｍ−１）組の前記分岐配管群に含まれる前記分岐配管のそれぞれに設けられ、前記分岐配管における前記不活性ガスの通流を選択的に遮断し、
前記流量制御装置は、当該流量制御装置が接続された前記主配管に対応する前記分岐配管群のＮ本の前記分岐配管のうち、前記切換弁によって前記不活性ガスの通流が遮断されていない前記分岐配管の数である通流管数に応じて、前記主配管を通流する前記不活性ガスの流量を制御する、保管設備。
【請求項２】
前記切換弁は、Ｍ組の前記分岐配管群に含まれる全ての前記分岐配管のそれぞれに設けられている、請求項１に記載の保管設備。
【請求項３】
前記流量制御装置は、当該流量制御装置が接続された前記主配管である対象主配管を通流する前記不活性ガスの流量を、前記対象主配管から分岐する前記分岐配管のそれぞれについて予め設定された基準流量に、前記対象主配管に対応する前記分岐配管群における前記通流管数を乗算した流量とするように制御する、請求項１又は２に記載の保管設備。
【請求項４】
Ｍ個の前記流量制御装置には、第１流量制御装置と第２流量制御装置とが含まれ、
前記第１流量制御装置が接続された前記主配管から分岐する前記分岐配管のそれぞれについての前記基準流量が第１基準流量であり、
前記第２流量制御装置が接続された前記主配管から分岐する前記分岐配管のそれぞれについての前記基準流量が第２基準流量であり、
前記第１基準流量と前記第２基準流量とが、異なる流量に設定されている請求項３に記載の保管設備。
【請求項５】
前記収納部に収納される物品は、前記不活性ガスが内部に供給される容器であり、
Ｎ個の前記収納部のそれぞれに供給する前記不活性ガスの流量として、前記容器の内部に前記不活性ガスを充填する場合の流量である第１流量と、当該第１流量よりも低い流量であって前記容器の内部に前記不活性ガスが充填された後に前記不活性ガスを継続的に供給する場合の流量である第２流量と、が設定され、
前記第１基準流量が、前記第１流量に対応し、
前記第２基準流量が、前記第２流量に対応している請求項４に記載の保管設備。
【請求項６】
同じ前記収納部に連通するＭ本の前記分岐配管が、合流して１つの供給配管に接続され、当該供給配管を介して前記収納部に接続され、
前記供給配管を通流する前記不活性ガスから不純物を除去するフィルタが、当該供給配管に設けられている請求項１から５のいずれか一項に記載の保管設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品を収納するための複数の収納部に不活性ガスを供給する保管設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような保管設備の一例が、特許文献１（特開２０１３−１３９３１９号公報）に開示されている。特許文献１の保管設備は、物品としてのＦＯＵＰ〔５０〕を収納するための収納部〔１０Ｓ〕を複数備えている。ＦＯＵＰ〔５０〕の内部には半導体ウェハ〔Ｗ〕が収容されている。特許文献１の保管設備では、収納部〔１０Ｓ〕に収納されたＦＯＵＰ〔５０〕の内部に不活性ガスを供給することで、半導体ウェハ〔Ｗ〕の酸化を抑えると共にＦＯＵＰ〔５０〕の内部を清浄に保ち、ＦＯＵＰ〔５０〕の内部に収容された半導体ウェハ〔Ｗ〕の保管状態を良好に保っている。
【０００３】
また、特許文献１の保管設備では、マスフローコントローラ等の流量制御装置〔４０〕を複数の収納部〔１０Ｓ〕のそれぞれに設け、これら各々の流量制御装置〔４０〕によって、各収納部〔１０Ｓ〕に供給される不活性ガスの流量を適切に制御している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１３９３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述のような保管設備では、収納部毎に不活性ガスの供給量を適切に制御することが容易である一方、収納部と同数の流量制御装置を設ける必要がある。そのため、収納部の数が多い大規模な保管設備においては、流量制御装置の数も多くなり、スペース効率の低下やコスト上昇の要因となっていた。
【０００６】
上記実情に鑑みて、保管設備において、各収納部に対する不活性ガスの供給量を適切に制御できると共に、流量制御装置の設置数を収納部の数よりも少なくすることができる技術の実現が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示に係る保管設備は、
物品を収納するための収納部をＮ個（Ｎ：自然数）備えて、Ｎ個の前記収納部のそれぞれに対して不活性ガスを供給する保管設備であって、
前記不活性ガスが通流するＭ本（Ｍ：２≦Ｍ＜Ｎである自然数）の主配管と、
Ｍ本の前記主配管のそれぞれに接続されて、前記主配管を通流する前記不活性ガスの流量を制御するＭ個の流量制御装置と、
Ｍ本の前記主配管のそれぞれに対応して設けられたＭ組の分岐配管群と、
複数の切換弁と、を備え、
前記分岐配管群のそれぞれは、前記主配管から分岐してＮ個の前記収納部のそれぞれに連通するＮ本の分岐配管を含み、
前記切換弁は、少なくとも（Ｍ−１）組の前記分岐配管群に含まれる前記分岐配管のそれぞれに設けられ、前記分岐配管における前記不活性ガスの通流を選択的に遮断し、
前記流量制御装置は、当該流量制御装置が接続された前記主配管に対応する前記分岐配管群のＮ本の前記分岐配管のうち、前記切換弁によって前記不活性ガスの通流が遮断されていない前記分岐配管の数である通流管数に応じて、前記主配管を通流する前記不活性ガスの流量を制御する。
【０００８】
本構成によれば、流量制御装置が、分岐配管群における通流管数に応じて、当該分岐配管群が接続された主配管を通流する不活性ガスの流量を制御することで、切換弁による不活性ガスの通流の遮断状況に応じた適切な量の不活性ガスを主配管に供給できる。それにより、不活性ガスの通流が遮断されていない分岐配管のそれぞれ、ひいては、これらの分岐配管のそれぞれに連通する収納部に対して適切な量の不活性ガスを供給することができる。また、Ｍ個の流量制御装置により、当該Ｍ個より多いＮ個の収納部のそれぞれに対して不活性ガスを供給することができる。従って、流量制御装置の設置数を収納部の数よりも少なくすることができる。
【０００９】
本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】保管設備の縦断側面図
【図２】保管設備の概念図
【図３】保管設備の制御ブロック図
【図４】保管設備の制御手順を示すフローチャート
【図５】第１流量制御装置の制御手順を示すフローチャート
【図６】第２流量制御装置の制御手順を示すフローチャート
【図７】第２実施形態に係る保管設備の概念図
【図８】第２実施形態に係る保管設備の制御手順を示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１１】
１．第１実施形態
保管設備の第１実施形態について、図面を参照して説明する。図１に示すように、保管設備１は、物品９を収納するための収納部２１をＮ個（Ｎ：自然数）備えている。保管設備１は、Ｎ個の収納部２１のそれぞれに対して不活性ガスを供給するものである。
【００１２】
本実施形態では、収納部２１に収納される物品９は、不活性ガスが内部に供給される容器である。例えば、物品９は、半導体ウェハが収容されるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）である。但し、これに限定されることなく、物品９は、レチクルが収容されるレチクルポッドであっても良い。すなわち、収納部２１には、ＦＯＵＰやレチクルポッドのような容器から成る物品９が収納される。
【００１３】
物品９としてのＦＯＵＰに収容される半導体ウェハや、レチクルポッドに収容されるレチクルなどの酸化を抑制すると共に、ＦＯＵＰの内部を清浄な状態に保つために、物品９の内部に不活性ガスを供給する処理が行われる。このような処理は、パージ処理と呼ばれる。パージ処理により、物品９の内部を保管に適切な環境下に保つことができる。不活性ガスとしては、例えば、窒素ガスが用いられる。
【００１４】
本実施形態では、Ｎ個の収納部２１のそれぞれに供給する不活性ガスの流量として、物品９の内部に不活性ガスを充填する場合の流量である第１流量Ａ１と、当該第１流量Ａ１よりも低い流量であって物品９の内部に不活性ガスが充填された後に不活性ガスを継続的に供給する場合の流量である第２流量Ａ２と、が設定されている。
【００１５】
ここでは、第１流量Ａ１で物品９の内部に不活性ガスを供給することによって行うパージ処理を、第１パージ処理という。第１パージ処理は、比較的高い流量で物品９の内部に不活性ガスを供給することで、物品９の内部に早期に不活性ガスを充填するために行われる。これにより、物品９の内部が早期に望ましい状態にされる。また、ここでは、第２流量Ａ２で物品９の内部に不活性ガスを供給することによって行うパージ処理を、第２パージ処理という。第２パージ処理は、第１パージ処理の後、第１流量Ａ１よりも低い流量で物品９の内部へ継続的に不活性ガスを供給するために行われる。これにより、物品９の内部への外気や塵埃の侵入が抑制される。このような第１パージ処理はイニシャルパージと呼ばれることがあり、第２パージ処理はメンテナンスパージと呼ばれることがある。第１パージ処理の第１流量Ａ１は、例えば、４０〔ｌ／ｍｉｎ〕に設定され、第２パージ処理の第２流量Ａ２は、例えば、５〔ｌ／ｍｉｎ〕に設定される。
【００１６】
保管設備１では、収納部２１に収納された物品９にパージ処理を行うことで、物品９（容器）の内部の酸素濃度や湿度を低く抑えると共に塵埃の侵入を抑制して清浄な状態に保つことができる。これにより、例えば物品９に収容される半導体ウェハやレチクルなどを良好な状態で保管することが可能となっている。
【００１７】
本実施形態では、保管設備１は、Ｎ個の収納部２１を有する収納部群２１Ｇを複数組有する保管棚２と、物品９を保管棚２へ搬送する搬送装置Ｔと、を備えている。なお、搬送装置Ｔは、物品９を保管棚２へ搬送する（入庫する）ことの他、保管棚２から物品９を搬送する（出庫する）ことも行う。
【００１８】
保管棚２は、複数組の収納部群２１Ｇを覆う壁体２２を有している。複数組の収納部群２１Ｇを構成する複数の収納部２１は、上下方向および左右方向（水平方向）に沿って並んでいる。各収納部２１には、物品９が、載置される状態で収納される。本例では、１個の収納部２１に、１個の物品９が収納される。
【００１９】
搬送装置Ｔには、他の場所から保管棚２の外部近傍まで物品９を搬送する第１搬送装置Ｔ１と、保管棚２の外部近傍から保管棚２の内部に物品９を搬送する第２搬送装置Ｔ２と、保管棚２の内部において収納部２１に物品９を搬送する第３搬送装置Ｔ３と、が含まれている。なお、これら第１搬送装置Ｔ１、第２搬送装置Ｔ２、及び第３搬送装置Ｔ３は、上記とは逆方向の搬送も行う。
【００２０】
第１搬送装置Ｔ１は、例えば、物品９を保持しながら天井に設けられたレールＲに沿って走行する天井搬送車として構成されている。また、この第１搬送装置Ｔ１は、昇降機構を有し、物品９を昇降可能に構成されている。つまり、第１搬送装置Ｔ１は、他の場所から保管棚２の外部近傍まで物品９を搬送して、当該第１搬送装置Ｔ１よりも下方に配置された第２搬送装置Ｔ２に当該物品９を引き渡す。また、第１搬送装置Ｔ１は、第２搬送装置Ｔ２から物品９を受け取り、保管棚２の外部近傍から他の場所に物品９を搬送する。
【００２１】
第２搬送装置Ｔ２は、例えば、物品９をその底面を支持しながら搬送するコンベアとして構成されている。第２搬送装置Ｔ２としては、ベルトコンベア、ローラコンベア、又はチェーンコンベア等とすることができる。第２搬送装置Ｔ２は、保管棚２の外部と保管棚２の内部とに亘って設けられている。そして、第２搬送装置Ｔ２は、保管棚２の外部領域において第１搬送装置Ｔ１から物品９を受け取り、当該物品９を、保管棚２の内部領域に搬送すると共に当該内部領域において第３搬送装置Ｔ３に引き渡す。また、第２搬送装置Ｔ２は、保管棚２の内部領域において第３搬送装置Ｔ３から物品９を受け取り、当該物品９を、保管棚２の外部領域に搬送すると共に第１搬送装置Ｔ１に引き渡す。
【００２２】
第３搬送装置Ｔ３は、保管棚２の内部に配置され、例えば、上下方向の昇降機構および左右方向の走行機構を有するスタッカークレーンとして構成されている。第３搬送装置Ｔ３は、物品９を保持した状態で、上下方向および左右方向に移動し、上下方向および左右方向に並ぶ複数の収納部２１のいずれかに物品９を搬送する。第３搬送装置Ｔ３は、保管棚２の内部領域において第２搬送装置Ｔ２から物品９を受け取り、当該物品９を収納部２１に搬送する。また、第３搬送装置Ｔ３は、収納部２１に収納されている物品９を搬送し、当該物品９を、保管棚２の内部領域において第２搬送装置Ｔ２に引き渡す。
【００２３】
次に、収納部２１に不活性ガスを供給するための構成について説明する。図２は、Ｎ個の収納部２１に不活性ガスを供給するための保管設備１の構成を概念的に示す図である。以下では、Ｎ個の収納部２１を有する１組の収納部群２１Ｇを基準に説明する。より具体的には、以下において説明される各構成要素の数は、Ｎ個の収納部２１を有する１組の収納部群２１Ｇを基準とするものである。
【００２４】
図２に示すように、保管設備１は、不活性ガスが通流するＭ本（Ｍ：２≦Ｍ＜Ｎである自然数）の主配管ＭＰを備えている。本実施形態では、「Ｍ」が「２」である例、すなわち、Ｎ個の収納部２１に対して２本（Ｍ本）の主配管ＭＰが備えられている例について説明する。また、上記「Ｍ」と、例えば収納部群２１Ｇが有する収納部２１の数である「Ｎ」と、の関係は、「Ｍ＜Ｎ」である。上述のように本例では「Ｍ」が「２」であるため、「Ｎ」は、「２よりも大きな自然数」となる。従って、本実施形態においては、１組の収納部群２１Ｇは、少なくとも３個以上の収納部２１を有している。なお、本例では、２本の主配管ＭＰのうち、一方を第１主配管ＭＰ１とし、他方を第２主配管ＭＰ２とする。
【００２５】
図２に示すように、保管設備１は、２本（Ｍ本）の主配管ＭＰのそれぞれに対応して設けられた２組（Ｍ組）の分岐配管群ＢＧを備えている。本例では、第１主配管ＭＰ１に対応して設けられた分岐配管群ＢＧを第１分岐配管群ＢＧ１とし、第２主配管ＭＰ２に対応して設けられた分岐配管群ＢＧを第２分岐配管群ＢＧ２とする。
【００２６】
２組（Ｍ組）の分岐配管群ＢＧのそれぞれは、主配管ＭＰから分岐してＮ個の収納部２１のそれぞれに連通するＮ本の分岐配管ＢＰを含んでいる。本例では、第１分岐配管群ＢＧ１は、第１主配管ＭＰ１から分岐するＮ本の第１分岐配管ＢＰ１を含んでいる。そして、第２分岐配管群ＢＧ２は、第２主配管ＭＰ２から分岐するＮ本の第２分岐配管ＢＰ２を含んでいる。第１主配管ＭＰ１から分岐する第１分岐配管ＢＰ１の数と、第２主配管ＭＰ２から分岐する第２分岐配管ＢＰ２の数とは、同じに設定されている。
【００２７】
本実施形態では、Ｎ個の収納部２１のうち同じ収納部２１に連通する２本（Ｍ本）の分岐配管ＢＰが、合流して１つの供給配管ＳＰに接続され、当該供給配管ＳＰを介して当該収納部２１に接続されている。本例では、同じ収納部２１に連通する第１分岐配管ＢＰ１と第２分岐配管ＢＰ２とが合流して、１つの供給配管ＳＰに接続されている。そして、供給配管ＳＰは、Ｎ個の収納部２１及びＮ本の分岐配管ＢＰに対応して、Ｎ本設けられている。
【００２８】
図示の例では、不活性ガスから不純物を除去するフィルタＦが、不活性ガスの通流方向を基準として、収納部２１の上流側に設けられている。これにより、不純物が除去された後の不活性ガスを収納部２１に供給することが可能となる。本実施形態では、フィルタＦは、供給配管ＳＰに設けられており、供給配管ＳＰを通流する不活性ガスから不純物を除去する。これにより、各分岐配管ＢＰにフィルタを設ける場合に比べてフィルタＦの数を少なくすることができると共に、切換弁Ｖ等で発生したパーティクルが収納部２１に到達することを抑制することが可能となる。
【００２９】
図２に示すように、保管設備１は、２本（Ｍ本）の主配管ＭＰのそれぞれに接続されて、主配管ＭＰを通流する不活性ガスの流量を制御する２個（Ｍ個）の流量制御装置Ｃを備えている。換言すれば、保管設備１は、収納部２１の数よりも少ない数の流量制御装置Ｃを備えており、本実施形態では、３個以上の収納部２１に対して２個の流量制御装置Ｃを備えている。図示の例では、２個（Ｍ個）の流量制御装置Ｃには、第１流量制御装置Ｃ１と第２流量制御装置Ｃ２とが含まれている。そして、第１主配管ＭＰ１に第１流量制御装置Ｃ１が接続されており、第２主配管ＭＰ２に第２流量制御装置Ｃ２が接続されている。
【００３０】
流量制御装置Ｃは、不活性ガスの流量を制御して、設定流量の不活性ガスを主配管ＭＰに供給するように構成されている。流量制御装置Ｃは、例えば、マスフローコントローラとして構成されている。但し、これに限定されず、流量制御装置Ｃは、不活性ガスの流量の制御と、当該不活性ガスの供給と、を行えるものであれば、体積流量を制御するもの等、他の形式の流量制御装置であっても良い。
【００３１】
図２に示すように、保管設備１は、複数の切換弁Ｖを備えている。切換弁Ｖは、少なくとも（Ｍ−１）組の分岐配管群ＢＧに含まれるＮ本の分岐配管ＢＰのそれぞれに設けられ、分岐配管ＢＰにおける不活性ガスの通流を選択的に遮断するように構成されている。本実施形態では、切換弁Ｖは、２組（Ｍ組）の分岐配管群ＢＧに含まれる全ての分岐配管ＢＰのそれぞれに設けられている。本例では、第１分岐配管ＢＰ１に設けられている切換弁Ｖを、第１切換弁Ｖ１とする。また、第２分岐配管ＢＰ２に設けられている切換弁Ｖを、第２切換弁Ｖ２とする。
【００３２】
切換弁Ｖは、開閉可能に構成されており、開状態において分岐配管ＢＰにおける不活性ガスの通流を許容し、閉状態において分岐配管ＢＰにおける不活性ガスの通流を遮断する。本実施形態では、切換弁Ｖは、駆動部ＡＣによって駆動されて、開閉するように構成されている。本例では、第１切換弁Ｖ１が第１駆動部ＡＣ１によって駆動され、第２切換弁Ｖ２が第２駆動部ＡＣ２によって駆動される。
【００３３】
駆動部ＡＣは、例えば、ソレノイドを用いて構成されており、通電状態によって切換弁Ｖを開閉駆動する。この場合、駆動部ＡＣと切換弁Ｖとを合わせて、ソレノイドバルブとして構成することもできる。
【００３４】
以上のように構成された保管設備１では、流量制御装置Ｃによって流量が調節された不活性ガスが主配管ＭＰに供給される。そして、不活性ガスは、分岐配管ＢＰに設けられている切換弁Ｖが開状態である場合には、主配管ＭＰから当該分岐配管ＢＰに通流する。その後、不活性ガスは、供給配管ＳＰを通流し、フィルタＦによって不純物を除去された後で収納部２１へと供給される。
【００３５】
流量制御装置Ｃは、当該流量制御装置Ｃが接続された主配管ＭＰに対応する分岐配管群ＢＧのＮ本の分岐配管ＢＰのうち、切換弁Ｖによって不活性ガスの通流が遮断されていない分岐配管ＢＰの数である通流管数に応じて、主配管ＭＰを通流する不活性ガスの流量（以下、主配管流量ＭＡという。）を制御する。本例では、第１流量制御装置Ｃ１が、第１切換弁Ｖ１によって不活性ガスの通流が遮断されていない第１分岐配管ＢＰ１の数である通流管数に応じて、第１主配管ＭＰ１を通流する不活性ガスの流量（以下、第１主配管流量ＭＡ１という。）を制御する。そして、第２流量制御装置Ｃ２が、第２切換弁Ｖ２によって不活性ガスの通流が遮断されていない第２分岐配管ＢＰ２の数である通流管数に応じて、第２主配管ＭＰ２を通流する不活性ガスの流量（以下、第２主配管流量ＭＡ２という。）を制御する。
【００３６】
本実施形態では、流量制御装置Ｃは、当該流量制御装置Ｃが接続された主配管ＭＰである対象主配管を通流する不活性ガスの流量（主配管流量ＭＡ）を、対象主配管から分岐する分岐配管ＢＰのそれぞれについて予め設定された基準流量ＢＳＡに、対象主配管に対応する分岐配管群ＢＧにおける通流管数を乗算した流量とするように制御する。ここでは、第１流量制御装置Ｃ１が接続された第１主配管ＭＰ１から分岐する第１分岐配管ＢＰ１のそれぞれについての基準流量ＢＳＡが第１基準流量ＢＳＡ１であり、第２流量制御装置Ｃ２が接続された第２主配管ＭＰ２から分岐する第２分岐配管ＢＰ２のそれぞれについての基準流量ＢＳＡが第２基準流量ＢＳＡ２である。
【００３７】
そして、第１流量制御装置Ｃ１は、第１基準流量ＢＳＡ１に基づいて算出された第１主配管流量ＭＡ１の不活性ガスを、第１主配管ＭＰ１に供給する。また、第２流量制御装置Ｃ２は、第２基準流量ＢＳＡ２に基づいて算出された第２主配管流量ＭＡ２の不活性ガスを、第２主配管ＭＰ２に供給する。
【００３８】
本実施形態では、第１基準流量ＢＳＡ１と第２基準流量ＢＳＡ２とが、異なる流量に設定されている。ここでは、第１基準流量ＢＳＡ１が、上述の第１流量Ａ１に対応し、第２基準流量ＢＳＡ２が、上述の第２流量Ａ２に対応している。換言すれば、第１基準流量ＢＳＡ１は、第１パージ処理が行われる際の物品９に供給される第１流量Ａ１に設定されている。また、第２基準流量ＢＳＡ２は、第２パージ処理が行われる際の物品９に供給される第２流量Ａ２（Ａ２＜Ａ１）に設定されている。
【００３９】
例えば、１つの収納部２１に着目して、当該収納部２１に収納された物品９に対してパージ処理を行う場合を考える。この場合、第１パージ処理では、第２駆動部ＡＣ２によって第２切換弁Ｖ２を閉状態として第２分岐配管ＢＰ２における不活性ガスの通流を遮断すると共に、第１駆動部ＡＣ１によって第１切換弁Ｖ１を開状態として、第１基準流量ＢＳＡ１で第１分岐配管ＢＰ１に不活性ガスを通流させる。これにより、第１基準流量ＢＳＡ１（＝第１流量Ａ１）の不活性ガスが、供給配管ＳＰ及びこれに設けられたフィルタＦを通過して、収納部２１に供給される。
【００４０】
そして、第１パージ処理が終了した後、同じ収納部２１に収納された物品９に対して第２パージ処理を行う。この場合、第２パージ処理では、第１駆動部ＡＣ１によって第１切換弁Ｖ１を閉状態として第１分岐配管ＢＰ１における不活性ガスの通流を遮断すると共に、第２駆動部ＡＣ２によって第２切換弁Ｖ２を開状態として、第２基準流量ＢＳＡ２で第２分岐配管ＢＰ２に不活性ガスを通流させる。これにより、第２基準流量ＢＳＡ２（＝第２流量Ａ２）の不活性ガスが、供給配管ＳＰ及びこれに設けられたフィルタＦを通過して、収納部２１に供給される。
【００４１】
このようにして、１つの収納部２１に対して第１パージ処理および第２パージ処理が行われる。ここで、上述のように、流量制御装置Ｃは、分岐配管群ＢＧにおける通流管数に応じた流量、より詳細には、基準流量ＢＳＡに通流管数を乗算した流量を主配管ＭＰに供給する。そのため、保管設備１は、通流管数に等しい数の収納部２１のそれぞれに対して、第１パージ処理および第２パージ処理のそれぞれにおいて設定された基準流量に近い流量の不活性ガスを供給することができる。
【００４２】
次に、保管設備１の制御構成について説明する。図３は、保管設備１の制御構成を示すブロック図である。
【００４３】
図３に示すように、保管設備１は、設備全体の制御を行う統括制御装置Ｈを備えている。統括制御装置Ｈは、例えば、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアと、コンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムと、の協働により、統括制御装置Ｈが有する各機能が実現される。
【００４４】
統括制御装置Ｈは、各収納部２１に設けられたセンサ２１Ｓ（図２も参照）からの信号を受信可能に構成されている。ここで、センサ２１Ｓは、収納部２１に収納された物品９を検出するためのものである。換言すれば、センサ２１Ｓは、収納部２１における在荷の有無を検出する。センサ２１Ｓとしては、例えば、物品９による光の遮断に基づいて在荷の有無を検出する光学式センサであっても良いし、物品９による接触や押下に基づいて在荷の有無を検出する接触式センサであっても良い。その他の公知の検出手段を用いてセンサ２１Ｓが構成されても良い。
【００４５】
統括制御装置Ｈは、複数の第１駆動部ＡＣ１及び複数の第２駆動部ＡＣ２のそれぞれとの間で、信号の送受信が可能に構成されている。統括制御装置Ｈは、複数の第１駆動部ＡＣ１及び複数の第２駆動部ＡＣ２のそれぞれに指令することで、複数の第１切換弁Ｖ１及び複数の第２切換弁Ｖ２（図２も参照）のそれぞれの開閉状態を制御する。また、統括制御装置Ｈは、自身による複数の第１切換弁Ｖ１及び複数の第２切換弁Ｖ２のそれぞれの制御状態或いは制御指令に基づいて、開状態である第１切換弁Ｖ１の数、閉状態である第１切換弁Ｖ１の数、及び、開状態である第２切換弁Ｖ２の数、閉状態である第２切換弁Ｖ２の数を把握可能である。
【００４６】
そして、統括制御装置Ｈは、開状態となっている第１切換弁Ｖ１の数に基づいて、不活性ガスの通流が遮断されていない第１分岐配管ＢＰ１の数である第１通流管数を取得する。ここでは、開状態となっている第１切換弁Ｖ１の数が第１通流管数である。また、統括制御装置Ｈは、開状態となっている第２切換弁Ｖ２の数に基づいて、不活性ガスの通流が遮断されていない第２分岐配管ＢＰ２の数である第２通流管数を取得する。ここでは、開状態となっている第２切換弁Ｖ２の数が第２通流管数である。そして、統括制御装置Ｈは、第１基準流量ＢＳＡ１に第１通流管数を乗算して第１主配管流量ＭＡ１を算出する。また、統括制御装置Ｈは、第２基準流量ＢＳＡ２に第２通流管数を乗算して第２主配管流量ＭＡ２を算出する。
【００４７】
更に、統括制御装置Ｈは、第１流量制御装置Ｃ１及び第２流量制御装置Ｃ２のそれぞれとの間で、信号の送受信が可能に構成されている。そして、統括制御装置Ｈは、第１パージ処理を行う場合には、全ての第２切換弁Ｖ２を閉状態とすると共に必要数の第１切換弁Ｖ１を開状態とする。そして、開状態となっている第１切換弁Ｖ１の数に基づいて算出した第１主配管流量ＭＡ１の指令を第１流量制御装置Ｃ１に送信する。これに応じて、第１流量制御装置Ｃ１は、第１主配管ＭＰ１に供給する不活性ガスの流量を第１主配管流量ＭＡ１とする制御を行う。以上により、各収納部２１において、第１パージ処理が行われる。また、統括制御装置Ｈは、第１パージ処理の後、第２パージ処理を行う場合には、全ての第１切換弁Ｖ１を閉状態とすると共に必要数の第２切換弁Ｖ２を開状態とする。そして、開状態となっている第２切換弁Ｖ２の数に基づいて算出した第２主配管流量ＭＡ２の指令を第２流量制御装置Ｃ２に送信する。これに応じて、第２流量制御装置Ｃ２は、第２主配管ＭＰ２に供給する不活性ガスの流量を第２主配管流量ＭＡ２とする制御を行う。以上により、各収納部２１において、第２パージ処理が行われる。
【００４８】
ここで、統括制御装置Ｈは、上述のように、第１パージ処理によって物品９の内部に不活性ガスを充填した後、適切な時期に第１パージ処理を終了して第２パージ処理を開始する。そのため、本実施形態では、統括制御装置Ｈは、タイマーＴＭを備えている。統括制御装置Ｈは、タイマーＴＭによって、第１パージ処理の開始からの経過時間を計測する。本例では、統括制御装置Ｈは、第１パージ処理が開始されている収納部２１に関して、第１パージ処理の開始から設定時間経過後に、第１パージ処理を終了すると共に、第２パージ処理を実行する。より詳細には、統括制御装置Ｈは、物品９が収納されていなかった収納部２１に物品９が収納された場合、まず、第１パージ処理を開始するため、当該収納部２１に接続された第１切換弁Ｖ１を開状態とするように、対応する第１駆動部ＡＣ１に指令を出す。その後、統括制御装置Ｈは、設定時間経過が経過するまで第１パージ処理を継続する。そして、設定時間経過が経過したら、統括制御装置Ｈは、第１パージ処理を終了して第２パージ処理を開始するため、同じ収納部２１に接続された第１切換弁Ｖ１を閉状態とするように第１駆動部ＡＣ１に指令を出すと共に、第２切換弁Ｖ２を開状態とするように、対応する第２駆動部ＡＣ２に指令を出す。そして、統括制御装置Ｈは、第１パージ処理及び第２パージ処理のそれぞれにおいて、上述したような、第１流量制御装置Ｃ１及び第２流量制御装置Ｃ２に対する流量の指令を出す。これにより、第１パージ処理と第２パージ処理とが順次実行される。なお、このような統括制御装置Ｈによる制御は、複数の収納部２１のそれぞれに対して個別に実行される。
【００４９】
次に、保管設備１において行われる制御の手順について説明する。図４は、保管設備１の全体において行われる制御の手順を示すフローチャートである。
【００５０】
図４に示すように、まず、統括制御装置Ｈは、収納部２１に設けられたセンサ２１Ｓによる在荷検出の情報を取得する（＃１）。収納部２１に物品９が収納された場合には、センサ２１Ｓにより在荷が検出される。在荷の検出があった場合（＃１：Ｙｅｓ）、統括制御装置Ｈは、第１パージ処理を開始する（＃２）。統括制御装置Ｈは、１つの収納部２１における第１パージ処理の開始によって、収納部群２１Ｇにおいて行われている第１パージ処理の総数である第１パージ処理数Ｘに、「１」を加算する（＃３）。例えば、第１パージ処理数Ｘが「２」である状態で、他の空の収納部２１に物品９が収納されることにより、当該他の収納部２１において新たに第１パージ処理が開始された場合、第１パージ処理数Ｘは、「１」が加算されて「３」となる。
【００５１】
次に、統括制御装置Ｈは、第１パージ処理の開始から設定時間が経過したか否かを判断する（＃４）。統括制御装置Ｈは、設定時間が経過したと判断した場合（＃４：Ｙｅｓ）、第１パージ処理を終了し（＃５）、第１パージ処理を終了する前における第１パージ処理数Ｘから「１」を減算する（＃６）。そして、統括制御装置Ｈは、第２パージ処理を開始する（＃７）。統括制御装置Ｈは、１つの収納部２１における第２パージ処理の開始によって、収納部群２１Ｇにおいて行われている第２パージ処理の総数である第２パージ処理数Ｙに「１」を加算する（＃８）。例えば、第２パージ処理数Ｙが「４」である状態で、第１パージ処理が継続されている他の収納部２１において、当該第１パージ処理が終了すると共に新たに第２パージ処理が開始された場合、第２パージ処理数Ｙは、「１」が加算されて「５」となる。
【００５２】
その後、統括制御装置Ｈは、第２パージ処理が実行されている収納部２１において、センサ２１Ｓによる在荷検出の情報を継続的に取得する（＃９）。そして、在荷の検出がなくなった場合（＃９：Ｎｏ）、統括制御装置Ｈは、第２パージ処理を終了し（＃１０）、第２パージ処理を終了する前における第２パージ処理数Ｙから「１」を減算する（＃１１）。
【００５３】
次に、統括制御装置Ｈによる第１流量制御装置Ｃ１に対する制御の手順について、図５を参照して説明する。統括制御装置Ｈは、第１分岐配管群ＢＧ１における第１パージ処理数Ｘを取得する（＃１０）。ここで、第１パージ処理は、対象となる収納部２１に連通する第１分岐配管ＢＰ１に設けられた第１切換弁Ｖ１を開状態とすることによって行われる。従って、第１分岐配管群ＢＧ１における第１パージ処理数Ｘは第１通流管数と等しくなる。統括制御装置Ｈは、第１パージ処理数Ｘ（第１通流管数）の取得後、第１基準流量ＢＳＡ１に第１パージ処理数Ｘを乗算することで、第１主配管流量ＭＡ１を演算する（＃１１）。そして、演算された第１主配管流量ＭＡ１の指令を第１流量制御装置Ｃ１に対して出力し、第１流量制御装置Ｃ１により第１主配管ＭＰ１を通流する不活性ガスの流量を第１主配管流量ＭＡ１とするように制御する（＃１２）。これにより、第１パージ処理数Ｘに対応した数の第１分岐配管ＢＰ１のそれぞれに、第１基準流量ＢＳＡ１の不活性ガスが通流し、対象の収納部２１に、第１流量Ａ１（＝第１基準流量ＢＳＡ１）の不活性ガスが供給される（＃１３）。
【００５４】
次に、統括制御装置Ｈによる第２流量制御装置Ｃ２に対する制御の手順について、図６を参照して説明する。統括制御装置Ｈは、第２分岐配管群ＢＧ２における第２パージ処理数Ｙを取得する（＃２０）。ここで、第２パージ処理は、対象となる収納部２１に連通する第２分岐配管ＢＰ２に設けられた第２切換弁Ｖ２を開状態とすることによって行われる。従って、第２分岐配管群ＢＧ２における第２パージ処理数Ｙは第２通流管数と等しくなる。統括制御装置Ｈは、第２パージ処理数Ｙ（第２通流管数）の取得後、第２基準流量ＢＳＡ２に第２パージ処理数Ｙを乗算することで、第２主配管流量ＭＡ２を演算する（＃２１）。そして、演算された第２主配管流量ＭＡ２の指令を第２流量制御装置Ｃ２に対して出力し、第２流量制御装置Ｃ２により第２主配管ＭＰ２を通流する不活性ガスの流量を第２主配管流量ＭＡ２とするように制御する（＃２２）。これにより、第２パージ処理数Ｙに対応した数の第２分岐配管ＢＰ２のそれぞれに、第２基準流量ＢＳＡ２の不活性ガスが通流し、対象の収納部２１に、第２流量Ａ２（＝第２基準流量ＢＳＡ２）の不活性ガスが供給される（＃２３）。
【００５５】
以上の構成では、第１流量制御装置Ｃ１及び第２流量制御装置Ｃ２による制御の他、第１切換弁Ｖ１及び第２切換弁Ｖ２のいずれか一方のみを開状態とするように制御することによって、第１流量Ａ１及び第２流量Ａ２を制御していた。但し、このような構成に限定されることなく、例えば、第１切換弁Ｖ１及び第２切換弁Ｖ２を共に開状態とすることで、収納部２１に対して、第１基準流量ＢＳＡ１と第２基準流量ＢＳＡ２との和に相当する流量（例えば、第３流量Ａ３：ＢＳＡ１＋ＢＳＡ２）で不活性ガスを供給することもできる。この場合、用途に応じて、第１流量Ａ１、第２流量Ａ２、及び第３流量Ａ３を使い分けると良い。
【００５６】
２．第２実施形態
次に、保管設備１の第２実施形態について説明する。以下では、上記の第１実施形態と異なる点を主として説明する。特に説明しない点については、第１実施形態と同様である。
【００５７】
図７に示すように、本実施形態では、切換弁Ｖが、（Ｍ−１）組、ここでは、１組の分岐配管群ＢＧに含まれるＮ本の分岐配管ＢＰのそれぞれに設けられている。図示の例では、第１分岐配管群ＢＧ１におけるＮ本の第１分岐配管ＢＰ１のそれぞれについて第１切換弁Ｖ１（切換弁Ｖ）が設けられ、第２分岐配管群ＢＧ２におけるＮ本の第２分岐配管ＢＰ２には切換弁Ｖが設けられていない。そのため、本実施形態では、Ｎ本の第１分岐配管ＢＰ１のそれぞれを通流する不活性ガスを選択的に遮断可能に構成されているが、Ｎ本の第２分岐配管ＢＰ２のそれぞれを通流する不活性ガスは常時通流する構成となっている。
【００５８】
本実施形態では、第１分岐配管ＢＰ１のそれぞれについての基準流量ＢＳＡである第１基準流量ＢＳＡ１´と第２分岐配管ＢＰ２のそれぞれについての基準流量ＢＳＡである第２基準流量ＢＳＡ２との合計が、物品９の内部に不活性ガスを充填する場合の流量である第１流量Ａ１（例えば、４０〔ｌ／ｍｉｎ〕）に対応する流量となるように設定されている。そして、第２基準流量ＢＳＡ２が、物品９の内部に不活性ガスが充填された後に不活性ガスを継続的に供給する場合の流量である第２流量Ａ２（例えば、５〔ｌ／ｍｉｎ〕）に対応する流量となるように設定されている。本実施形態では、収納部２１に対して第１分岐配管ＢＰ１からの不活性ガスと第２分岐配管ＢＰ２からの不活性ガスとを合せて供給することで、収納部２１に第１流量Ａ１（第１基準流量ＢＳＡ１´＋第２基準流量ＢＳＡ２）の不活性ガスを供給する第１パージ処理が行われる。また、収納部２１に対して第２分岐配管ＢＰ２からの不活性ガスを供給することで、収納部２１に第２流量Ａ２（第２基準流量ＢＳＡ２）の不活性ガスを供給する第２パージ処理が行われる。
【００５９】
例えば、１つの収納部２１に着目して、当該収納部２１に収納された物品９に対してパージ処理を行う場合を考える。この場合、第１パージ処理では、第１駆動部ＡＣ１によって第１切換弁Ｖ１を開状態として、第１基準流量ＢＳＡ１´で第１分岐配管ＢＰ１に不活性ガスを通流させる。この際、第２分岐配管ＢＰ２においては、常に第２基準流量ＢＳＡ２で不活性ガスが通流している。これにより、供給配管ＳＰにおいて、第１基準流量ＢＳＡ１´と第２基準流量ＢＳＡ２との和に相当する流量（第１流量Ａ１）で不活性ガスが通流する。従って、第１流量Ａ１の不活性ガスが、供給配管ＳＰ及びこれに設けられたフィルタＦを通過して、収納部２１に供給される。
【００６０】
そして、第１パージ処理が終了した後、同じ収納部２１に収納された物品９に対して第２パージ処理を行う。この場合、第２パージ処理では、第１駆動部ＡＣ１によって第１切換弁Ｖ１を閉状態として第１分岐配管ＢＰ１における不活性ガスの通流を遮断する。この際、第２分岐配管ＢＰ２においては、常に第２基準流量ＢＳＡ２で不活性ガスが通流している。これにより、供給配管ＳＰにおいて、第２基準流量ＢＳＡ２に相当する流量（第２流量Ａ２）で不活性ガスが通流する。従って、第２流量Ａ２の不活性ガスが、供給配管ＳＰ及びこれに設けられたフィルタＦを通過して、収納部２１に供給される。
【００６１】
次に、第２実施形態に係る保管設備１において行われる制御の手順について説明する。図８は、保管設備１の全体において行われる制御の手順を示すフローチャートである。
【００６２】
本実施形態では、第２分岐配管ＢＰ２には切換弁Ｖは設けられていないため、第２分岐配管ＢＰ２及びこれに連通する収納部２１には、常に第２基準流量ＢＳＡ２の不活性ガスが供給されている（＃３０）。統括制御装置Ｈは、収納部２１に設けられたセンサ２１Ｓによる在荷検出の情報を取得する（＃３１）。在荷の検出があった場合（＃３１：Ｙｅｓ）、統括制御装置Ｈは、第１パージ処理を開始する（＃３２）。統括制御装置Ｈは、１つの収納部２１における第１パージ処理の開始によって、第１パージ処理数Ｘに、「１」を加算する（＃３３）。そして、第１分岐配管ＢＰ１において第１切換弁Ｖ１が開状態に駆動され、第１分岐配管ＢＰ１に、第１基準流量ＢＳＡ１´で不活性ガスが供給される。これにより、第１基準流量ＢＳＡ１´と第２基準流量ＢＳＡ２との和に相当する第１流量Ａ１の不活性ガスが、収納部２１に供給される（＃３４）。
【００６３】
次に、統括制御装置Ｈは、第１パージ処理の開始から設定時間が経過したか否かを判断する（＃３５）。統括制御装置Ｈは、設定時間が経過したと判断した場合（＃３５：Ｙｅｓ）、第１パージ処理を終了して、第２パージ処理を開始する（＃３６）。そして、統括制御装置Ｈは、第１パージ処理の終了前の第１パージ処理数Ｘから「１」を減算すると共に、第２パージ処理の開始前の第２パージ処理数Ｙに「１」を加算する（＃３７）。これにより、第１分岐配管ＢＰ１において第１切換弁Ｖ１が閉状態に駆動され、第１基準流量ＢＳＡ１´に相当する流量の不活性ガスの供給が停止され、第２基準流量ＢＳＡ２に相当する第２流量Ａ２の不活性ガスが、収納部２１に供給される（＃３８）。
【００６４】
その後、統括制御装置Ｈは、第２パージ処理が実行されている収納部２１において、センサ２１Ｓによる在荷検出の情報を継続的に取得する（＃３９）。そして、在荷の検出がなくなった場合（＃３９：Ｎｏ）、統括制御装置Ｈは、第２パージ処理を終了し（＃４０）、第２パージ処理を終了する前における第２パージ処理数Ｙから「１」を減算する（＃４１）。
【００６５】
３．その他の実施形態
次に、保管設備のその他の実施形態について説明する。
【００６６】
（１）上記の実施形態では、２本（Ｍ本）の主配管ＭＰが備えられ、２個（Ｍ本）の流量制御装置Ｃが設けられている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、３本以上の主配管ＭＰが備えられ、当該主配管ＭＰと同数の流量制御装置Ｃと、当該主配管ＭＰと同数組の分岐配管群ＢＧが備えられていても良い。例えば、第１〜第３主配管ＭＰ１〜ＭＰ３と、これらの主配管ＭＰに対応して、第１〜第３流量制御装置Ｃ１〜Ｃ３と、第１〜第３分岐配管ＢＰ１〜ＢＰ３と、が備えられている場合には、第３分岐配管ＢＰ３を通流する不活性ガスの流量として、第１基準流量ＢＳＡ１又は第２基準流量ＢＳＡ２と同じ又は異なる流量の第３基準流量ＢＳＡ３が設定される。この場合、収納部２１に供給される不活性ガスの流量を、第１基準流量ＢＳＡ１、第２基準流量ＢＳＡ２、及び第３基準流量ＢＳＡ３のそれぞれ、及びこれらの組み合わせによって実現可能な複数の流量の不活性ガスを、収納部２１に供給することができる。従って、不活性ガスの供給流量の段階を多くしたい場合に、このような構成は有効である。
【００６７】
（２）上記の実施形態では、同じ収納部２１に連通する２本（Ｍ本）の分岐配管ＢＰが、合流して１つの供給配管ＳＰに接続され、当該供給配管ＳＰを介して当該収納部２１に接続されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、同じ収納部２１に連通するＭ本の分岐配管ＢＰは、供給配管ＳＰを介することなく、直接的に収納部２１に接続されていても良い。また、上記の実施形態では、供給配管ＳＰにフィルタＦが設けられている例について説明したが、供給配管ＳＰの有無に関わらず、フィルタＦをＭ本の分岐配管ＢＰのそれぞれに設けても良い。また、フィルタＦは切換弁Ｖよりも下流側に配置することが好ましいが、フィルタＦを切換弁Ｖよりも上流側に配置することも排除されない。
【００６８】
（３）上記の実施形態では、第１基準流量ＢＳＡ１と第２基準流量ＢＳＡ２とが、異なる流量に設定されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、第１基準流量ＢＳＡ１と第２基準流量ＢＳＡ２とは、等しい流量に設定されていても良い。このような場合、例えば、第１基準流量ＢＳＡ１と第２基準流量ＢＳＡ２との合計が、第１パージ処理を行う場合の第１流量Ａ１に相当する流量となるように設定しても良い（ＢＳＡ１＋ＢＳＡ２＝Ａ１）。そして、第１基準流量ＢＳＡ１及び第２基準流量ＢＳＡ２が、第２パージ処理を行う場合の第２流量Ａ２に相当する流量となるように設定しても良い（Ａ２＝ＢＳＡ１又はＢＳＡ２）。このように、第１基準流量ＢＳＡ１と第２基準流量ＢＳＡ２とが等しい場合であっても、第１流量Ａ１と第２流量Ａ２とを異なる流量に設定することが可能である。
【００６９】
（４）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【００７０】
４．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した保管設備の概要について説明する。
【００７１】
物品を収納するための収納部をＮ個（Ｎ：自然数）備えて、Ｎ個の前記収納部のそれぞれに対して不活性ガスを供給する保管設備であって、
前記不活性ガスが通流するＭ本（Ｍ：２≦Ｍ＜Ｎである自然数）の主配管と、
Ｍ本の前記主配管のそれぞれに接続されて、前記主配管を通流する前記不活性ガスの流量を制御するＭ個の流量制御装置と、
Ｍ本の前記主配管のそれぞれに対応して設けられたＭ組の分岐配管群と、
複数の切換弁と、を備え、
前記分岐配管群のそれぞれは、前記主配管から分岐してＮ個の前記収納部のそれぞれに連通するＮ本の分岐配管を含み、
前記切換弁は、少なくとも（Ｍ−１）組の前記分岐配管群に含まれる前記分岐配管のそれぞれに設けられ、前記分岐配管における前記不活性ガスの通流を選択的に遮断し、
前記流量制御装置は、当該流量制御装置が接続された前記主配管に対応する前記分岐配管群のＮ本の前記分岐配管のうち、前記切換弁によって前記不活性ガスの通流が遮断されていない前記分岐配管の数である通流管数に応じて、前記主配管を通流する前記不活性ガスの流量を制御する。
【００７２】
本構成によれば、流量制御装置が、分岐配管群における通流管数に応じて、当該分岐配管群が接続された主配管を通流する不活性ガスの流量を制御することで、切換弁による不活性ガスの通流の遮断状況に応じた適切な量の不活性ガスを主配管に供給できる。それにより、不活性ガスの通流が遮断されていない分岐配管のそれぞれ、ひいては、これらの分岐配管のそれぞれに連通する収納部に対して適切な量の不活性ガスを供給することができる。また、Ｍ個の流量制御装置により、当該Ｍ個より多いＮ個の収納部のそれぞれに対して不活性ガスを供給することができる。従って、流量制御装置の設置数を収納部の数よりも少なくすることができる。
【００７３】
ここで、
前記切換弁は、Ｍ組の前記分岐配管群に含まれる全ての前記分岐配管のそれぞれに設けられていると好適である。
【００７４】
本構成によれば、Ｍ組の分岐配管群に含まれる全ての分岐配管のそれぞれについて、不活性ガスの通流が遮断された状態と遮断されていない状態とを切り換えることができる。従って、不必要な不活性ガスの通流を抑制して不活性ガスを効率的に用いることが可能となる。
【００７５】
また、
前記流量制御装置は、当該流量制御装置が接続された前記主配管である対象主配管を通流する前記不活性ガスの流量を、前記対象主配管から分岐する前記分岐配管のそれぞれについて予め設定された基準流量に、前記対象主配管に対応する前記分岐配管群における前記通流管数を乗算した流量とするように制御すると好適である。
【００７６】
本構成によれば、対象主配管に接続された流量制御装置によって、当該対象主配管から分岐するＮ本の分岐配管のうち不活性ガスの通流が遮断されていない分岐配管のそれぞれに対して、基準流量に近い流量の不活性ガスを通流させることができる。
【００７７】
また、
Ｍ個の前記流量制御装置には、第１流量制御装置と第２流量制御装置とが含まれ、
前記第１流量制御装置が接続された前記主配管から分岐する前記分岐配管のそれぞれについての前記基準流量が第１基準流量であり、
前記第２流量制御装置が接続された前記主配管から分岐する前記分岐配管のそれぞれについての前記基準流量が第２基準流量であり、
前記第１基準流量と前記第２基準流量とが、異なる流量に設定されていると好適である。
【００７８】
本構成によれば、収納部に対して、複数の異なる流量の不活性ガスを供給することが容易となる。これにより、収納部に供給される不活性ガスの流量を、用途に応じて切り換えることが可能となる。
【００７９】
また、
前記収納部に収納される物品は、前記不活性ガスが内部に供給される容器であり、
Ｎ個の前記収納部のそれぞれに供給する前記不活性ガスの流量として、前記容器の内部に前記不活性ガスを充填する場合の流量である第１流量と、当該第１流量よりも低い流量であって前記容器の内部に前記不活性ガスが充填された後に前記不活性ガスを継続的に供給する場合の流量である第２流量と、が設定され、
前記第１基準流量が、前記第１流量に対応し、
前記第２基準流量が、前記第２流量に対応していると好適である。
【００８０】
本構成によれば、第１流量制御装置によって、各収納部に対して第１流量で不活性ガスを供給することができると共に、第２流量制御装置によって、各収納部に対して第２流量で不活性ガスを供給することができる。従って、本構成によれば、容器の内部に不活性ガスを充填する場合と、容器の内部に不活性ガスが充填された後に不活性ガスを継続的に供給する場合とのそれぞれにおいて、適切な流量の不活性ガスを各収納部に供給することができる。
【００８１】
また、
同じ前記収納部に連通するＭ本の前記分岐配管が、合流して１つの供給配管に接続され、当該供給配管を介して前記収納部に接続され、
前記供給配管を通流する前記不活性ガスから不純物を除去するフィルタが、当該供給配管に設けられていると好適である。
【００８２】
本構成によれば、フィルタによって不純物が除去された後の不活性ガスを収納部に供給することができる。また、このようなフィルタを、Ｍ本の分岐配管が合流した１つの供給配管に設けることで、設備内に設けられるフィルタの数を少なく抑えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本開示に係る技術は、物品を収納するための複数の収納部に不活性ガスを供給する保管設備に利用することができる。
【符号の説明】
【００８４】
１          ：保管設備
９          ：物品
２１        ：収納部
Ａ１        ：第１流量
Ａ２        ：第２流量
ＢＧ        ：分岐配管群
ＢＧ１      ：第１分岐配管群
ＢＧ２      ：第２分岐配管群
ＢＰ        ：分岐配管
ＢＰ１      ：第１分岐配管
ＢＰ２      ：第２分岐配管
ＢＳＡ      ：基準流量
ＢＳＡ１    ：第１基準流量
ＢＳＡ２    ：第２基準流量
Ｃ          ：流量制御装置
Ｃ１        ：第１流量制御装置
Ｃ２        ：第２流量制御装置
Ｆ          ：フィルタ
ＭＡ        ：主配管流量
ＭＡ１      ：第１主配管流量
ＭＡ２      ：第２主配管流量
ＭＰ        ：主配管
ＭＰ１      ：第１主配管
ＭＰ２      ：第２主配管
ＳＰ        ：供給配管
Ｖ          ：切換弁
Ｖ１        ：第１切換弁
Ｖ２        ：第２切換弁
Ｘ          ：第１パージ処理数（第１通流管数）
Ｙ          ：第２パージ処理数（第２通流管数）
【図１】
2019108220.tif 000003
【図２】
2019108220.tif 000004
【図３】
2019108220.tif 000005
【図４】
2019108220.tif 000006
【図５】
2019108220.tif 000007
【図６】
2019108220.tif 000008
【図７】
2019108220.tif 000009
【図８】
2019108220.tif 000010