(57)【要約】【課題】通信タイミングごとに、第１の通信部から第２の通信部へデータを送信すること。【解決手段】スレーブ側の第１の通信部は、通信タイミングで、ＣＬＫＯＵＴおよびメモリ１１０に蓄積されたサンプリングデータを含んだ第１のデータをマスタ側の第２の通信部へ送信する。第１の通信部は、第２の通信部から受信される第２のデータに含まれる、ＣＬＫＩＮの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、ＣＬＫＯＵＴの状態を異なる状態に変更すると共に、メモリ１１０に蓄積されたサンプリングデータを消去する。第２の通信部は、第１の通信部から受信される第１のデータに含まれるＣＬＫＯＵＴの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、サンプリングデータを取り込むと共に、ＣＬＫＩＮの状態を異なる状態に変更する。第２の通信部は、通信タイミングで、ＣＬＫＩＮを含んだ第２のデータを第１の通信部へ送信する。【選択図】図５
2019125137.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周期的な通信タイミングで第１の通信部と第２の通信部とがデータ通信を行う基板処理装置の通信方法であって、
前記第１の通信部は、
送信対象のデータを記憶部に蓄積し、
前記通信タイミングで、２以上の状態のうち何れかの状態とされた第１のフラグおよび前記記憶部に蓄積されたデータを含んだ第１のデータを前記第２の通信部へ送信し、
前記第２の通信部から受信される第２のデータに含まれる、２以上の状態のうち何れかの状態とされた第２のフラグの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、前記第１のフラグの状態を前回のデータ通信の状態とは異なる状態に変更すると共に、前記記憶部に蓄積されたデータを消去し、
前記第２の通信部は、
前記第１の通信部から受信される前記第１のデータに含まれる前記第１のフラグの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、前記第１のデータに含まれるデータを取り込むと共に、前記第２のフラグの状態を前回のデータ通信の状態とは異なる状態に変更し、
前記通信タイミングで、前記第２のフラグを含んだ前記第２のデータを前記第１の通信部へ送信する
ことを特徴とする基板処理装置の通信方法。
【請求項２】
前記第１の通信部は、
前記第２のデータに含まれる前記第２のフラグの状態を監視し、第２のフラグの状態が変化した場合、前記第１のフラグおよび前記記憶部に蓄積されたデータを含んだ第１のデータを前記第２の通信部へ送信し、
前記第１のデータの送信完了後に、前記記憶部に蓄積されたデータを消去すると共に、第１のフラグの状態を変更し、
前記第２の通信部は、
前記第１の通信部から受信される前記第１のデータに含まれる前記第１のフラグの状態を監視し、第１のフラグの状態が変化した場合、前記第１のデータに含まれるデータを取り込み、
データの取り込み後に、前記第２のフラグの状態を前回のデータ通信の状態とは異なる状態に変更する
ことを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置の通信方法。
【請求項３】
前記送信対象のデータは、周期的にサンプリングされるサンプリングデータである
ことを特徴とする請求項１または２に記載の基板処理装置の通信方法。
【請求項４】
前記第１の通信部および前記第２の通信部は、リモートＩ／Ｏによりデータ通信を行う
ことを特徴とする請求項１から３の何れか１つに記載の基板処理装置の通信方法。
【請求項５】
周期的な通信タイミングで第１の通信部と第２の通信部とがデータ通信を行う基板処理装置であって、
前記第１の通信部は、
送信対象のデータを蓄積する記憶部と、
前記通信タイミングで、２以上の状態のうち何れかの状態とされた第１のフラグおよび前記記憶部に蓄積されたデータを含んだ第１のデータを前記第２の通信部へ送信する第１の送信部と、
前記第２の通信部から受信される第２のデータに含まれる、２以上の状態のうち何れかの状態とされた第２のフラグの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、前記第１のフラグの状態を前回のデータ通信の状態とは異なる状態に変更する第１の変更部と、
前記第２のフラグの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、前記記憶部に蓄積されたデータを消去する消去部と、を有し、
前記第２の通信部は、
前記第１の通信部から受信される前記第１のデータに含まれる前記第１のフラグの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、前記第１のデータに含まれるデータを取り込む取込部と、
前記第２のフラグの状態を前回のデータ通信の状態とは異なる状態に変更する第２の変更部と、
前記通信タイミングで、前記第２のフラグを含んだ前記第２のデータを前記第１の通信部へ送信する第２の送信部と、を有する
ことを特徴とする基板処理装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の種々の側面及び実施形態は、基板処理装置の通信方法および基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体ウエハなどの基板に対して基板処理を行う基板処理装置が知られている。このような基板処理装置としては、例えば、プラズマ処理装置が知られている。
【０００３】
ところで、基板処理装置では、装置自体や基板に異常が発生していないかを監視している。例えば、基板処理装置では、装置自体や基板の状態を各種のセンサによってサンプリングし、サンプリングデータを、データ通信により、装置を制御するコントローラに送信する。コントローラは、データ通信により受信したサンプリングデータに基づき、装置や基板に異常が発生していないかを監視する。このようなデータ通信には、例えば、リモートＩ／Ｏのように、センサ側の通信部とコントローラ側の通信部とが周期的にデータ通信を行うものがある。
【０００４】
このようなデータ通信において、同じデータの重複取り込みやデータ抜けを防止する従来技術がある（例えば、特許文献１）。例えば、従来技術では、リモート子局とリモート親局とがデータ通信を行う際に、リモート親局にデータを取込まれた事をリモート子局に通知することで、リモート子局側でのデータ更新を適切なタイミングで行う事ができる。例えば、リモート子局は、送信対象のデータを更新し、通信タイミングでリモート親局へデータを送信する（第１の通信）。リモート親局は、次の通信タイミングで、データを取込んだことをリモート子局へ通知する受信トリガを送信する（第２の通信）。リモート子局は、受信トリガを受信した後に送信対象のデータを更新し、次の通信タイミングでデータをリモート親局へ送信する（第１の通信）。特許文献１では、このように通信タイミングごとに、第１の通信と第２の通信を交互に行うことで、同じデータの重複取り込みやデータ抜けを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−３３８５１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来技術では、１サイクルの通信ごとに、一方ずつ交互に送信データの更新を行う事となり、１回のデータ取り込み毎に２サイクルの通信が必要となる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
開示する基板処理装置の通信方法は、１つの実施態様において、周期的な通信タイミングで第１の通信部と第２の通信部とがデータ通信を行う。第１の通信部は、送信対象のデータを記憶部に蓄積する。第１の通信部は、通信タイミングで、２以上の状態のうち何れかの状態とされた第１のフラグおよび記憶部に蓄積されたデータを含んだ第１のデータを第２の通信部へ送信する。第１の通信部は、第２の通信部から受信される第２のデータに含まれる、２以上の状態のうち何れかの状態とされた第２のフラグの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、第１のフラグの状態を前回のデータ通信の状態とは異なる状態に変更すると共に、記憶部に蓄積されたデータを消去する。第２の通信部は、第１の通信部から受信される第１のデータに含まれる第１のフラグの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、第１のデータに含まれるデータを取り込むと共に、第２のフラグの状態を前回のデータ通信の状態とは異なる状態に変更する。第２の通信部は、通信タイミングで、第２のフラグを含んだ第２のデータを第１の通信部へ送信する。
【発明の効果】
【０００８】
開示する基板処理装置の通信方法の１つの態様によれば、通信タイミングごとに、第１の通信部から第２の通信部へデータを送信できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、実施形態に係るプラズマ処理装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】図２は、データ通信を行う構成を概略的に示したブロック図である。
【図３】図３は、スレーブ側のメモリに記憶されるデータを模式的に示す図である。
【図４】図４は、マスタ側のメモリに記憶されるデータを模式的に示す図である。
【図５】図５は、データ通信の流れを説明するタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本願の開示する基板処理装置の通信方法および基板処理装置の実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を付すこととする。また、本実施形態により開示する発明が限定されるものではない。各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。
【００１１】
［装置構成］
基板処理装置は、基板に対して所定の基板処理を行う装置である。このような基板処理装置としては、例えば、プラズマ処理装置が知られている。本実施形態では、基板処理装置を、基板に対してプラズマエッチングを行うプラズマ処理装置とした場合を例に説明する。プラズマ処理装置は、半導体ウエハ（以下、ウエハと言う）等の被処理体に対してプラズマ処理を行うシステムである。本実施形態では、プラズマ処理として、プラズマエッチングを行う場合を例に説明する。図１は、実施形態に係るプラズマ処理装置の概略構成を示す断面図である。
【００１２】
プラズマ処理装置１は、金属製、例えば、アルミニウム又はステンレス鋼製の電気的に接地された密閉構造の円筒型をした処理室１０を有している。この処理室１０内に、被処理基板としてのウエハＷを載置させる円柱形状の載置台（下部電極）１１が配設されている。この載置台１１は、例えばアルミニウム等の導電性材料からなる載置台本体１２と、載置台本体１２の上部に配置された、ウエハＷを吸着するための例えばＡｌ２Ｏ３等の絶縁材料からなる静電チャック１３を備えている。載置台１１と静電チャック１３とは、接合層７０によって接合されている。載置台本体１２は、絶縁材を介して、処理室１０の底から垂直上方に延びる筒状支持部１５に支持されている。
【００１３】
処理室１０の側壁と筒状支持部１５との間には、排気路１６が形成されている。排気路１６の底部には、排気管１７を介して排気装置１８が接続されている。排気装置１８は、真空ポンプを有し、処理室１０内を所定の真空度まで減圧する。また、排気管１７は、可変式バタフライバルブである自動圧力制御弁（automatic  pressure  control  valve）１９を有し、その自動圧力制御弁１９によって処理室１０内の圧力が制御されている。
【００１４】
載置台本体１２には、プラズマ生成およびイオン引き込み用の高周波電圧を印加する高周波電源２１が、整合器２２および給電棒２３を介して電気的に接続されている。高周波電源２１は、所定の高周波、例えば、６０ＭＨｚの高周波電力を載置台１１に印加する。なお、高周波電源２１は、複数設けられ、周波数の異なる複数の高周波を載置台１１へ供給してもよい。例えば、高周波電源２１は、複数設けられ、プラズマ生成用の高周波電力と、ウエハＷへイオンを引き込むための高周波電力とを載置台１１へ供給してもよい。
【００１５】
処理室１０の天井部には、接地電極としてのシャワーヘッド２４が配設されている。載置台１１とシャワーヘッド２４との間には、高周波電源２１から高周波電圧が印加される。シャワーヘッド２４は、多数のガス通気孔２５を有する下面の電極板２６と、電極板２６を着脱可能に支持する電極支持体２７とを有する。電極支持体２７の内部には、バッファ室２８が設けられている。バッファ室２８のガス導入口２９には、処理ガス供給部３０からのガス供給配管３１が接続されている。
【００１６】
載置台本体１２の内部には、例えば、円周方向に配置される環状の冷媒室３５が設けられている。この冷媒室３５には、チラーユニット３６から配管３７、３８を介して所定温度の冷媒、例えば、冷却水が循環供給される。これにより、載置台本体１２は所定の温度に冷却される。
【００１７】
載置台本体１２の上部に配置された静電チャック１３は、所定の厚さを持ち、ウエハＷに対応したサイズの円板形状に形成されている。静電チャック１３の内部には、タングステン等の導電材料からなる電極板４０が埋め込まれている。電極板４０には、直流電源４１が電気的に接続されている。静電チャック１３は、直流電源４１から電極板４０に直流電圧を印加することにより、クーロン力でウエハＷを吸着保持することができる。
【００１８】
上述のように所定の温度に冷却された載置台本体１２の熱は、静電チャック１３を介して、静電チャック１３上面に吸着したウエハＷに伝達される。静電チャック１３上面には、処理室１０内が減圧されても熱を効率よくウエハＷに伝達させるために、第１ガス供給ライン４６を介して、第１の熱伝達用ガス供給部５２からＨｅなどの熱伝達用ガスが供給される。
【００１９】
載置台１１は、静電チャック１３を取り囲むように、環状のフォーカスリング６０が上部に配置されている。また、処理室１０の側壁には、ウエハＷの搬入出口６２を開閉するゲートバルブ６３が取り付けられている。また、処理室１０の周囲には、環状又は同心状に延びる磁石６４が配置されている。
【００２０】
また、載置台１１を構成する載置台本体１２と接合層７０と静電チャック１３には、貫通穴６５が設けられる。貫通穴６５の内部には、抵抗又はインダクタンスを介して電気的に接地されたプッシャーピン６６が設けられる。なお、図１では、貫通穴６５およびプッシャーピン６６を１つ図示したが、貫通穴６５およびプッシャーピン６６は、載置台１１の周方向に均等な間隔で、３つ以上設けられる。プッシャーピン６６は、処理室１０を気密にするとともに伸縮可能とした伸縮機構６７にそれぞれ接続される。伸縮機構６７は、駆動モータ６８の駆動力により、伸縮し、プッシャーピン６６を上下移動させる。プッシャーピン６６は、ロードロック室の搬送装置よりウエハＷの受け渡しを行い、静電チャック１３にウエハＷを接離する際に、上下移動する。
【００２１】
ここで、ウエハＷを処理室１０内に受け渡す場合の搬入動作を簡単に説明する。ゲートバルブ６３が開き、搬入出口６２より搬送装置が、ウエハＷを処理室１０内に搬入する。次に、プッシャーピン６６が貫通穴６５を介して上昇しウエハＷの裏面を支持し、搬送装置からウエハＷを持ち上げる。その後、搬送装置は、搬入出口６２よりロードロック室へ戻る。プッシャーピン６６は、貫通穴６５を介して下降する。これにより、ウエハＷは、静電チャック１３上に載置される。最後に、ゲートバルブ６３が閉まることでウエハＷが処理室１０内に受け渡される。
【００２２】
次に、ウエハＷを処理室１０内から取り出す際の搬出動作を簡単に説明する。プッシャーピン６６が貫通穴６５を介して上昇することでウエハＷが静電チャック１３上から持ち上げられる。次に、ゲートバルブ６３が開き、搬入出口６２から搬送装置が処理室１０内に入り、プッシャーピン６６上に支持されているウエハＷの下側まで来る。次に、プッシャーピン６６が貫通穴６５を介して下降し、ウエハＷが搬送装置に載置される。その後、搬送装置は搬入出口６２よりロードロック室へ戻り、ウエハＷがチャンバー内から搬出される。
【００２３】
プラズマ処理装置の処理室１０内では、磁石６４によって一方向に向かう水平磁界が形成されると共に、載置台１１とシャワーヘッド２４との間に印加された高周波電圧によって鉛直方向のＲＦ電界が形成され、これにより、処理室１０内において処理ガスを介したマグネトロン放電が行われ、載置台１１の表面近傍において処理ガスから高密度のプラズマが生成される。
【００２４】
上記のように構成されたプラズマ処理装置１は、制御部８０によって、その動作が統括的に制御される。この制御部８０は、例えば、コンピュータであり、プラズマ処理装置１の各部を制御する。プラズマ処理装置１は、制御部８０によって、その動作が統括的に制御される。
【００２５】
ところで、プラズマ処理装置１は、装置自体やウエハＷに異常が発生していないかを監視している。例えば、プラズマ処理装置１では、装置自体や基板の状態を各種のセンサによって周期的にサンプリングし、サンプリングデータを、データ通信により、装置を制御する制御部８０に送信する。制御部８０は、データ通信により受信したサンプリングデータに基づき、装置や基板に異常が発生していないかを監視する。
【００２６】
例えば、本実施形態に係るプラズマ処理装置１は、駆動モータ６８に駆動トルクを検出するセンサ６８ａを設け、センサ６８ａにより、１０ｍｓｅｃの周期で駆動モータ６８に駆動トルクをサンプリングする。プラズマ処理装置１では、サンプリングデータのデータ通信をリモートＩ／Ｏにより行っている。サンプリングされた駆動トルクのサンプリングデータは、リモートＩ／Ｏによるデータ通信により、制御部８０に送信される。
【００２７】
制御部８０は、受信したサンプリングデータに基づき、ウエハＷに不要な負荷がかかっていないかを監視する。例えば、制御部８０は、ウエハＷを搬入、搬出した際のサンプリングデータに所定値以上の駆動トルクが記録されている場合、ウエハＷに不要な負荷がかかっていると判定する。
【００２８】
このようにプラズマ処理装置１は、サンプリングデータのデータ通信をリモートＩ／Ｏにより行っている。リモートＩ／Ｏに対応する接続方式である、例えばデバイスネット（ＤｅｖｉｃｅＮｅｔ）は、枝状分岐のバス接続や、分岐タップを使用したスター型接続などのネットワークに対応しており、ネットワークに接続されたマスタ通信部とスレーブ通信部とがデータ通信を行うマスタ・スレーブ方式の通信方式である。マスタ通信部は、複数のスレーブ通信部とデータ通信が可能である。これにより、プラズマ処理装置１は、センサ６８ａなどの各種のデータの出力元ごとに、データを入出力するためのインターフェースを制御部８０に設ける必要が無くなる。これにより、プラズマ処理装置１は、制御部８０のインターフェースの構成を簡略化できる。また、プラズマ処理装置１は、センサ６８ａなどの各種のデータの出力元からの配線を制御部８０に直接接続する必要が無くなる。このため、プラズマ処理装置１は、制御部８０を物理的により離れた位置に配置可能となる。また、１つの制御部８０が複数のプラズマ処理装置１を制御する構成とすることも可能となる。
【００２９】
［データ通信］
次に、サンプリングデータのデータ通信について説明する。図２は、データ通信を行う構成を概略的に示したブロック図である。
【００３０】
センサ６８ａには、スレーブ通信部１００が接続されている。制御部８０には、マスタ通信部１０１が接続されている。スレーブ通信部１００には、センサ６８ａから１０ｍｓｅｃの周期で駆動モータ６８の駆動トルクを示すサンプリングデータが入力する。スレーブ通信部１００とマスタ通信部１０１とは、リモートＩ／Ｏに対応したネットワーク１０２に接続されており、周期的な通信タイミングでネットワーク１０２を介してデータ通信を行う。例えば、スレーブ通信部１００とマスタ通信部１０１とは、マスタ通信部１０１の制御の元、１００ｍｓｅｃの周期でデータ通信を行い、互いのデータを交換する。本実施形態では、スレーブ通信部１００が本発明の第１の通信部に対応し、マスタ通信部１０１が本発明の第２の通信部に対応する。なお、図２では、説明を簡略化するため、ネットワーク１０２にスレーブ通信部１００とマスタ通信部１０１のみが接続されているものとしたが、他のセンサのサンプリングデータを送信するデータ通信部など、その他の通信部が接続されていてもよい。
【００３１】
スレーブ通信部１００は、メモリ１１０と、通信ユニット１１１と、制御ユニット１１２とを有する。
【００３２】
マスタ通信部１０１も、スレーブ通信部１００と同様に構成されており、メモリ１２０と、通信ユニット１２１と、制御ユニット１２２とを有する。なお、マスタ通信部１０１は、制御部８０によって実現されてもよい。すなわち、制御部８０がマスタ通信部１０１の機能を有してもよい。
【００３３】
メモリ１１０は、各種のデータを記憶する。例えば、メモリ１１０は、マスタ通信部１０１へ送信する送信対象のデータを記憶する。例えば、メモリ１１０は、センサ６８ａから入力したサンプリングデータを記憶する。また、メモリ１１０は、マスタ通信部１０１から受信したデータを記憶する。
【００３４】
図３は、スレーブ側のメモリに記憶されるデータを模式的に示す図である。図３は、送信対象のデータと、受信したデータとを左右に分けて示している。左側の「スレーブＯＵＴ」に示される各データが送信対象のデータである。右側の「スレーブＩＮ」に示される各データがマスタ通信部１０１から受信したデータである。
【００３５】
メモリ１１０には、左側の「スレーブＯＵＴ」に示すように、サンプリングデータが記憶される。本実施形態では、サンプリングデータを１６ビットのデータとしており、サンプリングデータ１〜ＮのＮ個のサンプリングデータが示されている。また、メモリ１１０には、１ビットのＣＬＫＯＵＴと、１５ビットの記憶領域にサンプリングデータのデータ格納数や補足情報を記憶する。ＣＬＫＯＵＴは、「０」と「１」の２つの状態に変更可能とされたフラグである。本実施形態では、ＣＬＫＯＵＴが本発明の第１のフラグに対応する。補足情報には、スレーブ側からマスタ側への指示情報やスレーブ側の状態を示す状態情報などの各種の情報が格納される。
【００３６】
また、メモリ１１０には、右側の「スレーブＩＮ」に示すように、１ビットのＣＬＫＩＮと、１５ビットの記憶領域に補足情報を記憶する。ＣＬＫＩＮは、「０」と「１」の２つの状態に変更可能とされたフラグである。本実施形態では、ＣＬＫＯＵＴが本発明の第２のフラグに対応する。補足情報には、マスタ側からスレーブ側への指示情報やマスタ側の状態を示す状態情報などの各種の情報が格納される。
【００３７】
図２に戻る。通信ユニット１１１は、リモートＩ／Ｏに対応した通信を行う。通信ユニット１１１には、後述する第１の送信データ制御部１３２から送信対象のデータが格納される。通信ユニット１１１は、格納された送信対象のデータを、周期的な通信タイミングで、マスタ通信部１０１の通信ユニット１２１へ送信する。また、通信ユニット１１１は、周期的な通信タイミングで、マスタ通信部１０１の通信ユニット１２１からデータを受信する。通信ユニット１１１は、受信したデータをメモリ１１０に格納する。例えば、通信ユニット１１１は、図３の右側の「スレーブＩＮ」のデータをマスタ通信部１０１の通信ユニット１２１から受信し、メモリ１１０に格納する。「スレーブＩＮ」のデータは、通信タイミングごとに、マスタ通信部１０１から受信される。メモリ１１０の「スレーブＩＮ」のデータは、マスタ通信部１０１が送信するデータを変更された場合、通信タイミングでデータの変更が反映される。
【００３８】
制御ユニット１１２は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）、ＭＰＵ（Micro  Processing  Unit）等の電子回路や、ＰＬＣ（Programmable  Logic  Controller）、ＡＳＩＣ（Application  Specific  Integrated  Circuit）、ＦＰＧＡ（Field  Programmable  Gate  Array）等の集積回路を備えた構成とされており、通信ユニット１１１により送受信するデータの制御を行う。制御ユニット１１２は、各種の処理手順を規定したプログラムや制御データを格納するための内部メモリを有し、これらによって種々の処理を実行する。制御ユニット１１２は、各種のプログラムが動作することにより各種の処理部として機能する。例えば、制御ユニット１１２は、蓄積部１３０と、第１の変更部１３１と、第１の送信データ制御部１３２と、消去部１３３とを有する。本実施形態では、メモリ１１０が本発明の記憶部に対応し、通信ユニット１１１が本発明の送信部に対応する。
【００３９】
蓄積部１３０は、送信対象のデータをメモリ１１０に蓄積する。例えば、蓄積部１３０は、１０ｍｓｅｃの周期でセンサ６８ａから入力するサンプリングデータをメモリ１１０に順次格納する。また、蓄積部１３０は、メモリ１１０のデータ格納数の値を、現在、メモリ１１０に蓄積されたサンプリングデータの数に更新する。
【００４０】
第１の変更部１３１は、通信タイミングに対応したタイミングで、メモリ１１０に記憶されたＣＬＫＯＵＴの状態を異なる状態に変更する。例えば、第１の変更部１３１は、ＣＬＫＩＮの状態を周期的に監視する。第１の変更部１３１は、ＣＬＫＩＮの状態が変化した場合、メモリ１１０に記憶されたＣＬＫＯＵＴの状態を異なる状態に変更する。なお、第１の変更部１３１は、第１の送信データ制御部１３２または消去部１３３がＣＬＫＩＮの状態の変化を検出した場合に、メモリ１１０に記憶されたＣＬＫＯＵＴの状態を異なる状態に変更してもよい。
【００４１】
第１の送信データ制御部１３２は、マスタ通信部１０１へ送信するデータを制御する。例えば、第１の送信データ制御部１３２は、通信タイミングに対応したタイミングで、送信対象のデータを通信ユニット１１１に格納する。例えば、第１の送信データ制御部１３２は、第１の変更部１３１によるＣＬＫＯＵＴの状態の変更が完了した場合、次の通信タイミングまでに、図３の「スレーブＯＵＴ」に示したＣＬＫＯＵＴ、格納数、補足情報およびサンプリングデータを通信ユニット１１１に格納する。例えば、第１の送信データ制御部１３２は、第１の変更部１３１によるＣＬＫＯＵＴの状態の変更が完了すると、メモリ１１０に記憶されたＣＬＫＯＵＴ、データ格納数、補足情報およびサンプリングデータを通信ユニット１１１に格納する。
【００４２】
消去部１３３は、通信タイミングに対応したタイミングで、メモリ１１０に記憶された送信対象のデータを消去する。例えば、消去部１３３は、第１の送信データ制御部１３２による送信対象のデータの通信ユニット１１１への格納が完了した場合、メモリ１１０から、図３の「スレーブＯＵＴ」に示したサンプリングデータを消去する。例えば、消去部１３３は、第１の送信データ制御部１３２による送信対象のデータの通信ユニット１１１への格納が完了すると、メモリ１１０に記憶されたサンプリングデータを消去する。
【００４３】
マスタ通信部１０１のメモリ１２０は、各種のデータを記憶する。例えば、メモリ１２０は、スレーブ通信部１００から受信したデータを記憶する。また、メモリ１２０は、スレーブ通信部１００へ送信する送信対象のデータを記憶する。
【００４４】
図４は、マスタ側のメモリに記憶されるデータを模式的に示す図である。図４は、送信対象のデータと、受信したデータとを左右に分けて示している。左側の「マスタＩＮ」に示される各データがスレーブ通信部１００から受信したデータである。「マスタＩＮ」のデータは、図３の「スレーブＯＵＴ」のデータと同一である。右側の「マスタＯＵＴ」に示される各データが送信対象のデータである。「マスタＯＵＴ」のデータは、図３の「スレーブＩＮ」のデータと同一である。
【００４５】
図２に戻る。通信ユニット１２１は、リモートＩ／Ｏに対応した通信を行う。通信ユニット１２１には、後述する第２の送信データ制御部１４１から送信対象のデータが格納される。通信ユニット１２１は、格納された送信対象のデータを、周期的な通信タイミングで、通信ユニット１１１へ送信する。また、通信ユニット１２１は、周期的な通信タイミングで、通信ユニット１１１からデータを受信する。通信ユニット１２１は、受信したデータをメモリ１２０に格納する。例えば、通信ユニット１２１は、図４の左側の「マスタＩＮ」のデータをスレーブ通信部１００の通信ユニット１１１から受信し、メモリ１２０に格納する。「マスタＩＮ」のデータは、通信タイミングごとにスレーブ通信部１００から受信される。メモリ１２０の「マスタＩＮ」のデータは、スレーブ通信部１００が送信するデータを変更された場合、通信タイミングでデータの変更が反映される。
【００４６】
制御ユニット１２２は、制御ユニット１１２と同様の構成とされており、各種のプログラムが動作することにより各種の処理部として機能する。例えば、制御ユニット１２２は、取込部１４０と、第２の送信データ制御部１４１と、第２の変更部１４２とを有する。
【００４７】
取込部１４０は、通信タイミングに対応したタイミングで、メモリ１２０から受信したデータを取り込む。例えば、取込部１４０は、ＣＬＫＯＵＴの状態を周期的に監視する。取込部１４０は、ＣＬＫＯＵＴの状態が変化した場合、メモリ１２０から、図４の「マスタＩＮ」に示したデータ格納数、補足情報および各サンプリングデータを取り込む。取込部１４０は、取り込んだデータ格納数、補足情報および各サンプリングデータを制御部８０へ出力する。
【００４８】
これにより、各サンプリングデータが制御部８０へ伝送される。制御部８０は、各サンプリングデータにより示される駆動モータ６８の駆動トルクに基づき、ウエハＷに不要な負荷がかかっていないかを監視する。例えば、制御部８０は、所定値以上の駆動トルクが記録されている場合、ウエハＷに不要な負荷がかかっていると判定する。
【００４９】
第２の変更部１４２は、通信タイミングに対応したタイミングで、メモリ１２０に記憶されたＣＬＫＩＮの状態を異なる状態に変更する。例えば、第２の変更部１４２は、取込部１４０によるデータの取り込みが完了した場合、次の通信タイミングまでに、メモリ１２０に記憶されたＣＬＫＩＮの状態を異なる状態に変更する。例えば、第２の変更部１４２は、取込部１４０によるデータの取り込みが完了すると、メモリ１２０に記憶されたＣＬＫＩＮの状態を異なる状態に変更する。
【００５０】
第２の送信データ制御部１４１は、スレーブ通信部１００へ送信するデータを制御する。例えば、第２の送信データ制御部１４１は、通信タイミングに対応したタイミングで、送信対象のデータを通信ユニット１２１に格納する。例えば、第２の送信データ制御部１４１は、第２の変更部１４２によるＣＬＫＩＮの状態の変更が完了した場合、次の通信タイミングまでに、図４の「マスタＯＵＴ」に示したＣＬＫＩＮおよび補足情報を通信ユニット１２１に格納する。例えば、第２の送信データ制御部１４１は、第２の変更部１４２によるＣＬＫＩＮの状態の変更が完了すると、メモリ１２０に記憶されたＣＬＫＩＮおよび補足情報を通信ユニット１２１に格納する。
【００５１】
次に、データ通信の流れを説明する。図５は、データ通信の流れを説明するタイミングチャートである。図５には、上部に、センサ６８ａでのサンプリングデータのサンプリングの周期が示されている。サンプリングの周期は、例えば、１０ｍｓｅｃとする。
【００５２】
また、図５には、スレーブ側として、スレーブ通信部１００のメモリ１１０に蓄積されたサンプリングデータのデータ量と、メモリ１１０に記憶されたＣＬＫＯＵＴおよびＣＬＫＩＮの状態とが示されている。ＣＬＫＯＵＴおよびＣＬＫＩＮは、「０」と「１」の２つの状態に変更可能とされている。
【００５３】
また、図５には、マスタ側として、リモートＩ/Ｏ通信のタイミングと、マスタ通信部１０１のメモリ１２０に記憶されたＣＬＫＯＵＴおよびＣＬＫＩＮの状態とが示されている。リモートＩ/Ｏ通信のタイミングは、通信ユニット１１１と通信ユニット１２１とが通信を行う通信タイミングである。図５の例では、通信タイミングＴ１、Ｔ２、Ｔ３が示されている。通信タイミングの周期は、例えば、１００ｍｓｅｃとする。
【００５４】
図５の例では、最初、スレーブ側のＣＬＫＩＮが「１」の状態であり、スレーブ側のＣＬＫＯＵＴが「０」の状態であり、マスタ側のＣＬＫＯＵＴが「１」の状態であり、マスタ側のＣＬＫＩＮが「０」の状態であるものとする。
【００５５】
スレーブ通信部１００には、サンプリングの周期ごとに、センサ６８ａからのサンプリングデータが入力する。これにより、スレーブ側のメモリ１１０には、サンプリングデータが蓄積され、サンプリングデータのデータ量が増加する。
【００５６】
通信タイミングとなると、通信ユニット１１１と通信ユニット１２１とは、通信を行い、互いのデータを交換する。これにより、マスタ側のＣＬＫＩＮがスレーブ側へ送信され、スレーブ側のＣＬＫＩＮの状態が更新される。また、スレーブ側のＣＬＫＯＵＴがマスタ側へ送信され、マスタ側のＣＬＫＯＵＴの状態が更新される。
【００５７】
図５に示した通信タイミングＴ１では、通信ユニット１１１に、ＣＬＫＯＵＴの状態が「０」としたデータが格納されており、通信ユニット１２１に、ＣＬＫＩＮの状態が「０」としたデータが格納されているものとする。通信タイミングＴ１では、マスタ側のＣＬＫＩＮの状態が「０」であるため、スレーブ側のＣＬＫＩＮの状態が「１」から「０」へ更新される。また、スレーブ側のＣＬＫＯＵＴの状態が「０」であるため、マスタ側のＣＬＫＯＵＴの状態が「１」から「０」へ更新される。
【００５８】
通信ユニット１１１では、第１の変更部１３１が、ＣＬＫＩＮの状態を周期的に監視している。第１の変更部１３１は、ＣＬＫＩＮの状態が変化した場合、メモリ１１０に記憶されたＣＬＫＯＵＴの状態を異なる状態に変更する。例えば、第１の変更部１３１は、ＣＬＫＯＵＴの状態が「０」である場合、ＣＬＫＯＵＴの状態を「１」に変更し、ＣＬＫＯＵＴの状態が「１」である場合、ＣＬＫＯＵＴの状態を「０」に変更する。例えば、第１の変更部１３１は、通信タイミングＴ１の場合、ＣＬＫＯＵＴの状態を「１」に変更し、通信タイミングＴ２の場合、ＣＬＫＯＵＴの状態を「０」に変更する。
【００５９】
第１の送信データ制御部１３２は、第１の変更部１３１によるＣＬＫＯＵＴの状態の変更が完了すると、メモリ１１０に記憶されたＣＬＫＯＵＴ、データ格納数およびサンプリングデータを通信ユニット１１１に格納する。これにより、通信ユニット１１１には、次の通信タイミングで送信されるデータが記憶される。
【００６０】
ここで、何らかの原因でメモリ１１０に１度の送信タイミングで送信できない過剰な数のサンプリングデータが蓄積された場合、第１の送信データ制御部１３２は、複数の送信タイミングに分けて、通常より多くデータを送信することで、サンプリングデータの過剰な蓄積を解消できる。例えば、第１の送信データ制御部１３２は、通信ユニット１１１への通常のデータ格納数Ｎが１０（１００ｍｓｅｃ毎に１０個のサンプリングデータ)である場合、複数の送信サイクルについて、データ格納数Ｎ＞１０とすることで、サンプリングデータの過剰な蓄積を解消する。
【００６１】
消去部１３３は、第１の送信データ制御部１３２による通信ユニット１１１へのデータの格納が完了すると、メモリ１１０からサンプリングデータを消去する。これにより、メモリ１１０は、通信ユニット１１１に格納したサンプリングデータがメモリ１１０から消去され、以降サンプリングされたサンプリングデータが蓄積される。
【００６２】
一方、マスタ通信部１０１では、取込部１４０が、ＣＬＫＯＵＴの状態を周期的に監視している。取込部１４０は、ＣＬＫＯＵＴの状態が変化した場合、メモリ１２０に記憶されたデータ格納数およびサンプリングデータを取り込む。そして、取込部１４０は、取り込んだデータ格納数および各サンプリングデータを制御部８０へ出力する。これにより、各サンプリングデータが制御部８０へ伝送される。
【００６３】
第２の変更部１４２は、取込部１４０によるデータの取り込みが完了すると、メモリ１２０に記憶されたＣＬＫＩＮの状態を異なる状態に変更する。例えば、第２の変更部１４２は、ＣＬＫＩＮの状態が「０」である場合、ＣＬＫＩＮの状態を「１」に変更し、ＣＬＫＩＮの状態が「１」である場合、ＣＬＫＩＮの状態を「０」に変更する。例えば、第１の変更部１３１は、通信タイミングＴ１の場合、ＣＬＫＩＮの状態を「１」に変更し、通信タイミングＴ２の場合、ＣＬＫＩＮの状態を「０」に変更する。
【００６４】
第２の送信データ制御部１４１は、第２の変更部１４２によるＣＬＫＩＮの状態の変更が完了すると、メモリ１２０に記憶されたＣＬＫＩＮ、補足情報のデータを通信ユニット１２１に格納する。これにより、通信ユニット１２１には、次の通信タイミングで送信されるデータが記憶される。
【００６５】
このように、スレーブ通信部１００は、通信タイミングで、ＣＬＫＯＵＴおよびメモリ１１０に蓄積されたサンプリングデータを含んだデータをマスタ通信部１０１へ送信する。スレーブ通信部１００は、マスタ通信部１０１から受信されるデータに含まれる、ＣＬＫＩＮの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、ＣＬＫＯＵＴの状態を前回のデータ通信の状態とは異なる状態に変更すると共に、メモリ１１０に蓄積されたデータを消去する。マスタ通信部１０１は、スレーブ通信部１００から受信されるデータに含まれるＣＬＫＯＵＴの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、受信したデータに含まれるサンプリングデータを取り込むと共に、ＣＬＫＩＮの状態を前回のデータ通信の状態とは異なる状態に変更する。マスタ通信部１０１は、通信タイミングで、ＣＬＫＩＮを含んだデータをスレーブ通信部１００へ送信する。これにより、プラズマ処理装置１は、通信タイミングごとに、スレーブ通信部１００からマスタ通信部１０１へデータを送信できる。
【００６６】
また、マスタ通信部１０１は、受信したデータに含まれるサンプリングデータの取り込みが完了すると、ＣＬＫＩＮの状態を異なる状態に変更する。ＣＬＫＩＮの状態は、通信タイミングでマスタ通信部１０１からスレーブ通信部１００へ送信される。ＣＬＫＩＮは、状態が変更されることで、マスタ通信部１０１でサンプリングデータの取り込みが完了したことを示すフラグとして機能する。スレーブ通信部１００は、マスタ通信部１０１から受信したＣＬＫＩＮの状態が異なる状態に変更されていると、ＣＬＫＯＵＴの状態を異なる状態に変更する。また、スレーブ通信部１００は、ＣＬＫＯＵＴの状態とメモリ１１０に蓄積されたサンプリングデータを送信対象データとして通信ユニット１１１に格納する。また、スレーブ通信部１００は、メモリ１１０に蓄積されたサンプリングデータを消去する。ＣＬＫＯＵＴは、状態が変更されることで、データを更新したことを示すフラグとして機能する。通信ユニット１１１は、格納された送信対象データを通信タイミングでマスタ通信部１０１へ送信する。マスタ通信部１０１は、スレーブ通信部１００から受信したＣＬＫＯＵＴの状態が異なる状態に変更されていると、受信したデータに含まれるサンプリングデータを取り込み。また、マスタ通信部１０１は、ＣＬＫＩＮの状態を異なる状態に変更する。これにより、スレーブ通信部１００は、マスタ通信部１０１で取り込みが成功したサンプリングデータをマスタ通信部１０１へ重複して送信することが無くなるため、同じサンプリングデータの重複送信の発生を抑制できる。
【００６７】
また、マスタ通信部１０１でデータの取り込みが失敗して、ＣＬＫＩＮの状態が異なる状態に変更されない場合、スレーブ通信部１００は、ＣＬＫＩＮの状態が異なる状態に変更されるまで、通信ユニット１１１のデータを更新しない。これにより、スレーブ通信部１００は、前回と同じサンプリングデータをマスタ通信部１０１へ送信できる。これにより、マスタ通信部１０１でサンプリングデータの取り込みが失敗した場合でも、スレーブ通信部１００は、取り込みが失敗したサンプリングデータを再度送信でき、サンプリングデータにデータ抜けが発生することを抑制できる。
【００６８】
［効果］
以上のように、本実施形態に係るプラズマ処理装置１は、周期的な通信タイミングでスレーブ通信部１００とマスタ通信部１０１とがデータ通信を行う。スレーブ通信部１００は、サンプリングデータをメモリ１１０に蓄積する。スレーブ通信部１００は、通信タイミングで、ＣＬＫＯＵＴおよびメモリ１１０に蓄積されたサンプリングデータを含んだ第１のデータをマスタ通信部１０１へ送信する。スレーブ通信部１００は、マスタ通信部１０１から受信される第２のデータに含まれる、２以上の状態のうち何れかの状態とされたＣＬＫＩＮの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、ＣＬＫＯＵＴの状態を前回のデータ通信の状態とは異なる状態に変更すると共に、メモリ１１０に蓄積されたサンプリングデータを消去する。マスタ通信部１０１は、スレーブ通信部１００から受信される第１のデータに含まれるＣＬＫＯＵＴの状態が前回のデータ通信の状態から変更されている場合、第１のデータに含まれるサンプリングデータを取り込むと共に、ＣＬＫＩＮの状態を前回のデータ通信の状態とは異なる状態に変更する。マスタ通信部１０１は、通信タイミングで、ＣＬＫＩＮを含んだ第２のデータをスレーブ通信部１００へ送信する。これにより、プラズマ処理装置１は、通信タイミングごとに、スレーブ通信部１００からマスタ通信部１０１へサンプリングデータを送信できる。この結果、プラズマ処理装置１は、従来技術のように２回の通信タイミングごとでしかデータを通信相手へ送信できない場合と比較して、１回の通信で送信するデータ量を減らすことができるため、通信負荷を減らすことができる。また、プラズマ処理装置１は、サンプリングデータをよりリアルタイムに制御部８０へ伝送できる。
【００６９】
また、本実施形態に係るプラズマ処理装置１では、スレーブ通信部１００が、第２のデータに含まれるＣＬＫＩＮの状態を監視し、ＣＬＫＩＮの状態が変化した場合、ＣＬＫＯＵＴおよびメモリ１１０に蓄積されたサンプリングデータを含んだ第１のデータをマスタ通信部１０１へ送信する。スレーブ通信部１００は、第１のデータの送信完了後に、記憶部に蓄積されたデータを消去すると共に、ＣＬＫＯＵＴの状態を変更する。マスタ通信部１０１は、スレーブ通信部１００から受信される第１のデータに含まれるＣＬＫＯＵＴの状態を監視し、ＣＬＫＯＵＴの状態が変化した場合、第１のデータに含まれるサンプリングデータを取り込む。マスタ通信部１０１は、サンプリングデータの取り込み後に、ＣＬＫＩＮの状態を前回のデータ通信の状態とは異なる状態に変更する。これにより、プラズマ処理装置１では、スレーブ通信部１００がＣＬＫＩＮの状態を監視し、マスタ通信部１０１がＣＬＫＯＵＴの状態を監視することで、通信タイミングごとに、スレーブ通信部１００からマスタ通信部１０１へサンプリングデータを送信できる。
【００７０】
（その他の実施形態）
以上、実施形態に係るプラズマ処理装置及び制御方法について説明したが、これに限定されるものではない。以下では、他の実施形態について説明する。
【００７１】
例えば、上記の実施形態では、基板処理装置をプラズマ処理装置１とする場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。基板処理装置は、基板に対して基板処理を行う装置であり、例えば、リモートＩ／Ｏのように、複数の通信部が周期的にデータ通信を行うものであれば、何れであってもよい。
【００７２】
また、上記の実施形態では、送信対象のデータを、周期的にサンプリングされるサンプリングデータとする場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。送信対象のデータは、どのようなデータであってもよい。
【００７３】
また、上記の実施形態では、ＣＬＫＯＵＴおよびＣＬＫＩＮを１ビットとして２つの状態を表すフラグとして用いる場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。ＣＬＫＯＵＴおよびＣＬＫＩＮを複数ビットとして、３以上の状態を表せるものとしてもよい。
【符号の説明】
【００７４】
１  プラズマ処理装置
８０  制御部
１００  スレーブ通信部
１０１  マスタ通信部
１１０  メモリ
１１１  通信ユニット
１１２  制御ユニット
１２０  メモリ
１２１  通信ユニット
１２２  制御ユニット
１３０  蓄積部
１３１  第１の変更部
１３２  第１の送信データ制御部
１３３  消去部
１４０  取込部
１４１  第２の送信データ制御部
１４２  第２の変更部 
【図１】
2019125137.tif 000003
【図２】
2019125137.tif 000004
【図３】
2019125137.tif 000005
【図４】
2019125137.tif 000006
【図５】
2019125137.tif 000007