(57)【要約】【課題】紫外線照射装置の稼働効率を高める。【解決手段】紫外線の照射によって粘着層が硬化する粘着テープと、該粘着テープに貼着された被貼着物と、を含むフレームユニットに紫外線を照射する紫外線照射装置であって、紫外線が透過する透過領域を備え、該フレームユニットが搬入される第１の部屋と、該第１の部屋の下方の第２の部屋と、に筐体の内部の空間を隔てる仕切り板と、該仕切り板上に置かれた該フレームユニットに対して該透過領域を通して紫外線を照射する紫外線光源と、該第２の部屋に窒素ガスを供給して該窒素ガスにより該紫外線光源を冷却する冷却機構と、該第２の部屋から該第１の部屋への窒素ガスの移動経路となる窒素ガス供給路と、を備え、該紫外線光源を冷却した窒素ガスが該窒素ガス供給路を経て第２の部屋から第１の部屋に移動でき、第１の部屋に搬入された該フレームユニットの表面に該窒素ガスを供給する機能を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状のフレームと、該環状のフレームに張られ紫外線の照射によって粘着層が硬化する粘着テープと、該粘着テープに貼着された被貼着物と、を含むフレームユニットの該粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射装置であって、
側面に該フレームユニットの搬出入口を備える筐体と、
紫外線が透過する透過領域と、紫外線を透過させない遮蔽領域と、を備え、該搬出入口を通じて該フレームユニットが搬入される第１の部屋と、該第１の部屋の下方の第２の部屋と、に該筐体の内部の空間を隔てる仕切り板と、
該第２の部屋に設置され、該仕切り板上に置かれた該フレームユニットに対して該透過領域を通して紫外線を照射する紫外線光源と、
該第２の部屋に窒素ガスを供給して該窒素ガスにより該紫外線光源を冷却する冷却機構と、
該第２の部屋から該第１の部屋への窒素ガスの移動経路となる窒素ガス供給路と、を備え、
該紫外線光源を冷却した窒素ガスが該窒素ガス供給路を経て第２の部屋から第１の部屋に移動でき、第１の部屋に搬入された該フレームユニットの表面に該窒素ガスを供給する機能を有することを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】
該紫外線光源は、
紫外線が透過するケースと、
該ケースに収容され、被貼着物の直径より長い範囲で直線状に並ぶ複数の紫外線発光ダイオードと、
複数の該紫外線発光ダイオードが並ぶ方向と直交する方向に該ケースを移動させる移動ユニットと、を備え、
該冷却機構は、該ケースの内部に窒素ガスを供給し、
該窒素ガス供給路は、該ケースの内部と、該第１の部屋と、を連通させることを特徴とする請求項１記載の紫外線照射装置。
【請求項３】
複数の該フレームユニットを収容するカセットが載置されるカセット載置部と、
該フレームユニットを保持するチャックテーブルと、
チャックテーブルに保持された該フレームユニットの該被貼着物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、
請求項１又は請求項２記載の紫外線照射装置と、
該カセット載置部に載置された該カセットと、該チャックテーブルと、該紫外線照射装置と、の間で該フレームユニットを搬送する搬送ユニットと、を備えることを特徴とする切削装置。
【請求項４】
該搬送ユニットによって該フレームユニットが該搬出入口を通して該紫外線照射装置の該筐体に搬入される際に、該紫外線光源が点灯することを特徴とする請求項３記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線照射装置及び該紫外線照射装置を備える切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話やパソコン等の電子機器に使用されるデバイスチップの製造工程では、まず、半導体等の材料からなるウェーハの表面に複数の交差する分割予定ラインを設定する。そして、該分割予定ラインで区画される各領域にＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスを形成する。その後、該ウェーハの裏面にダイシングテープを貼着し、該ウェーハを該分割予定ライン（ストリート）に沿って分割する。すると、該ダイシングテープ上に個々のデバイスチップが形成される。
【０００３】
デバイスチップの製造工程で使用されるダイシングテープ等のテープは、例えば、紫外線硬化型の樹脂を含む粘着層を含む。該粘着層は、ウェーハに対して強力な粘着力を発揮する一方で、紫外線が照射されると硬化して粘着力が低下する。そして、ウェーハに貼られたテープを剥離する際には、テープに紫外線を照射して粘着層の粘着力を低下させる。
【０００４】
テープへの紫外線の照射には、例えば、紫外線を発する発光ダイオード（以下、紫外線ＬＥＤという）等の光源を備える紫外線照射装置が用いられる（特許文献１参照）。該紫外線照射装置は、例えば、搬出入口が形成された箱型の筐体と、該筐体の内部に該光源と、を備える。該紫外線照射装置では、該光源を作動させた状態で、該搬出入口から該テープを含む被照射物を筐体内に搬入することで該テープに紫外線を照射できる。
【０００５】
紫外線を発する光源を作動させると該光源から熱が発生する。そのため、該紫外線照射装置では、光源の近傍に該光源を空冷するためのファン等の冷却機構が配設される。光源の作動に合わせて該冷却機構を作動させると、光源が冷却される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−３２９３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、テープに紫外線を照射して粘着層を硬化させる際、大気中の酸素により該粘着層の硬化が阻害される。粘着層の硬化が不十分であると、テープの剥離に過大な力が必要となりデバイスに損傷を与える恐れがある。また、テープを適切に剥離できずにデバイスチップに該粘着層の断片が残留してしまう場合がある。
【０００８】
その一方で、粘着層を確実に硬化させるために紫外線を強い強度で照射すると、紫外線の照射や光源の冷却に費やされる電力が増大し、紫外線照射装置の稼働効率が低下してデバイスチップの製造コストが上昇する。
【０００９】
また、紫外線の照射時間を増やす場合、デバイスチップの製造効率が悪化する。さらに、光源が寿命を迎えるまでの時間が短くなり、光源の頻繁な交換作業が必要となる。光源の交換作業を実施する間は紫外線照射装置を使用できないため、やはり紫外線照射装置の稼働効率やデバイスチップの製造効率が悪化する。
【００１０】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、稼働効率の高い紫外線照射装置及び該紫外線照射装置を備える切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様によると、環状のフレームと、該環状のフレームに張られ紫外線の照射によって粘着層が硬化する粘着テープと、該粘着テープに貼着された被貼着物と、を含むフレームユニットの該粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射装置であって、側面に該フレームユニットの搬出入口を備える筐体と、紫外線が透過する透過領域と、紫外線を透過させない遮蔽領域と、を備え、該搬出入口を通じて該フレームユニットが搬入される第１の部屋と、該第１の部屋の下方の第２の部屋と、に該筐体の内部の空間を隔てる仕切り板と、該第２の部屋に設置され、該仕切り板上に置かれた該フレームユニットに対して該透過領域を通して紫外線を照射する紫外線光源と、該第２の部屋に窒素ガスを供給して該窒素ガスにより該紫外線光源を冷却する冷却機構と、該第２の部屋から該第１の部屋への窒素ガスの移動経路となる窒素ガス供給路と、を備え、該紫外線光源を冷却した窒素ガスが該窒素ガス供給路を経て第２の部屋から第１の部屋に移動でき、第１の部屋に搬入された該フレームユニットの表面に該窒素ガスを供給する機能を有することを特徴とする紫外線照射装置が提供される。
【００１２】
好ましくは、該紫外線照射装置において、該紫外線光源は、紫外線が透過するケースと、該ケースに収容され、被貼着物の直径より長い範囲で直線状に並ぶ複数の紫外線発光ダイオードと、複数の該紫外線発光ダイオードが並ぶ方向と直交する方向に該ケースを移動させる移動ユニットと、を備え、該冷却機構は、該ケースの内部に窒素ガスを供給し、該窒素ガス供給路は、該ケースの内部と、該第１の部屋と、を連通させる。
【００１３】
なお、複数の該フレームユニットを収容するカセットが載置されるカセット載置部と、該フレームユニットを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された該フレームユニットの該貼着物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、上述の紫外線照射装置と、該カセット載置部に載置された該カセットと、該チャックテーブルと、該紫外線照射装置と、の間で該フレームユニットを搬送する搬送ユニットと、を備えることを特徴とする切削装置もまた本発明の一態様である。
【００１４】
好ましくは、該搬送ユニットによって該フレームユニットが該搬出入口を通して該紫外線照射装置の該筐体に搬入される際に、該紫外線光源が点灯する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の一態様に係る紫外線照射装置の筐体は、フレームユニットが搬入される第１の部屋と、紫外線光源が配設される第２の部屋と、を有する。そして、該紫外線照射装置は、紫外線光源を窒素ガスで冷却する冷却機構と、第２の部屋から第１の部屋への窒素ガスの移動経路となる窒素ガス供給路と、を備える。
【００１６】
該紫外線照射装置では、窒素ガスで紫外線光源を冷却させつつフレームユニットに紫外線を照射する。第１の部屋に置かれたフレームユニットは、酸素が排除された窒素雰囲気下で紫外線が照射されるため、紫外線を高い強度でテープに照射しなくても粘着層を適切に硬化できる。そのため、該紫外線照射装置の稼働効率が高くなる。
【００１７】
ここで、本発明の一態様に係る紫外線照射装置は、酸素を排除するために第１の部屋に供給される窒素ガスを紫外線光源の冷却にも使用する。すなわち、第２の部屋を経由させて第１の部屋に窒素ガスを供給することで紫外線光源を冷却できる。これにより、紫外線照射装置の構成が簡略化され、光源の冷却に要するコストも削減されるため、やはり該紫外線照射装置の稼働効率が高くなる。
【００１８】
したがって、本発明の一態様によると、稼働効率の高い紫外線照射装置及び該紫外線照射装置を備える切削装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】紫外線照射装置と、フレームユニットと、を模式的に示す分解斜視図である。
【図２】図２（Ａ）は、紫外線光源を拡大して模式的に示す斜視図であり、図２（Ｂ）は、紫外線照射装置の内部を模式的に示す断面図である。
【図３】紫外線照射装置の内部を模式的に示す断面図である。
【図４】切削装置を模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。まず、本実施形態に係る紫外線照射装置により紫外線が照射されるフレームユニットについて説明する。図１に、裏面側にテープ３が貼着された被貼着物１を含むフレームユニット７の斜視図を模式的に示す。フレームユニット７は、環状のフレーム５に張られたテープ３に被貼着物１を貼着することで形成される。
【００２１】
被貼着物１は、例えば、シリコン、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、若しくは、その他の半導体等の材料でなるウェーハ、または、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる円板状の基板である。図１に示す通り、該被貼着物１の表面には、互いに交差する複数のストリートと呼ばれる分割予定ラインが設定されている。分割予定ラインにより区画された各領域にそれぞれＩＣ（Integrated circuit）やＬＥＤ（Light emitting diode）等のデバイスが形成されている。
【００２２】
該分割予定ラインに沿って被貼着物１を分割すると、デバイスチップが形成される。形成された個々のデバイスチップは、被貼着物１の裏面に貼着されるダイシングテープと呼ばれるテープ３により支持される。
【００２３】
テープ３は、例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、合成ゴム、ポリイミド等からなる基材（不図示）と、該基材上には紫外線硬化型の樹脂を含む粘着層（不図示）と、を含む。該粘着層は、被貼着物１に対して強力な粘着力を発揮する一方で、紫外線が照射されると硬化して粘着力が低下する。そして、被貼着物１に貼られたテープ３を剥離する際には、テープ３に紫外線を照射して粘着層の粘着力を低下させる。テープ３の外周部には、金属等で形成された環状のフレーム５が貼着される。
【００２４】
被貼着物１は、テープ３と、フレーム５と、と一体となったフレームユニット７の状態で切削装置に搬入され、切削装置に装着された切削ブレードにより切削される。その後、切削により形成されたデバイスチップの裏面側からテープ３を剥離させる。
【００２５】
デバイスチップの裏面側からテープ３を剥離する際には、フレームユニット７に紫外線を照射して、テープ３の粘着層を硬化させて粘着力を低下させる。フレームユニット７への紫外線の照射には、例えば、図１に分解斜視図が示された紫外線照射装置２が使用される。次に、本実施形態に係る紫外線照射装置２について説明する。
【００２６】
紫外線照射装置２は、フレームユニット７の径よりも大きな幅を有する箱型の筐体４を備える。該筐体４の一側面には、筐体４の内部の空間と、外部と、の間のフレームユニット７の移動経路となる搬出入口６が形成されており、フレームユニット７は、該搬出入口６を経て筐体４の内部の空間に搬入される。なお、搬出入口６には、筐体４の外部と、内部の空間と、を隔てる開閉可能な扉（シャッター）が備えられてもよい。
【００２７】
筐体４の内部の空間は、後述の図２（Ｂ）に示す通り、フレームユニット７が搬入される第１の部屋４ａと、該第１の部屋４ａの下方に位置し紫外線光源１４が配設される第２の部屋４ｂと、に隔てられている。第１の部屋４ａと、第２の部屋４ｂと、の間には、仕切り板８が配設される。
【００２８】
筐体４の搬出入口６が形成された側面に隣接する一対の側面の内壁には、仕切り板８を支持する仕切り板支持枠８ａが形成されている。仕切り板８は、例えば、搬出入口６を経て筐体４の内部に挿入され、仕切り板支持枠８ａ上に載せられる。
【００２９】
仕切り板８は、被貼着物１の径よりも大きく、かつフレーム５の内径よりも小さい径の透過領域１０と、該透過領域１０の周辺の遮蔽領域１２と、を備える。該透過領域１０には、紫外線を透過する樹脂等で形成された板が配設される。フレームユニット７が紫外線照射装置２の筐体４に搬入される際には、該透過領域１０と、被貼着物１と、が重なる位置で該仕切り板８の上にフレームユニット７が載せられる。
【００３０】
なお、仕切り板８は交換可能であり、被貼着物１の径やフレーム５の形状等に対応して適切な大きさの透過領域１０を有する仕切り板８が仕切り板支持枠８ａ上に配設される。
【００３１】
筐体４の第２の部屋４ｂには、フレームユニット７に紫外線を照射する紫外線光源１４と、該紫外線光源１４を移動させる移動機構１６と、該紫外線光源１４を冷却する冷却機構２４と、が配設される。
【００３２】
紫外線光源１４と、移動機構１６と、について図２（Ａ）を用いて詳述する。図２（Ａ）は、紫外線光源１４を拡大して模式的に示す斜視図である。図２（Ａ）に示す通り、紫外線光源１４は、例えば、直線状に並ぶ複数の紫外線ＬＥＤ（light emitting diode）１４ａと、該複数の紫外線ＬＥＤ１４ａを覆うケース３６と、を備える。複数の紫外線ＬＥＤ１４ａは、被貼着物１の径よりも長い範囲で直線状に並ぶ。該ケース３６には、紫外線ＬＥＤ１４ａから発せられる紫外線に対して透過性を有する材料が使用される。
【００３３】
紫外線ＬＥＤ１４ａは、紫外線を発することができるＬＥＤであり、特に、テープ３の粘着層を硬化させる波長の紫外線を発する機能を有する。紫外線ＬＥＤ１４ａは、テープ３への紫外線の照射が必要となるときに瞬時に所定の照度で紫外線を出力できる。そのため、紫外線光源１４に紫外線ＬＥＤ１４ａが使用されると、紫外線光源１４の稼働時間は比較的短時間で済む。温度の上昇も比較的少ないため、出力の高い高価な冷却装置は不要である。
【００３４】
ケース３６の内部の紫外線ＬＥＤ１４ａの下方には、例えば、複数の薄板状の冷却フィン３８が配されており、複数の該冷却フィン３８の間に気体を流すと紫外線ＬＥＤ１４ａが冷却される。該ケース３６の後部には、複数の冷却フィン３８間に流す気体の流路となる背部通気路４０が配設される。
【００３５】
紫外線光源１４の下部には、仕切り板８と平行で、かつ紫外線ＬＥＤ１４ａが並ぶ方向に垂直な方向に紫外線光源１４を移動させる移動機構１６が配設されている。移動機構１６は、該方向に沿って伸長する一対のガイドレール１６ａを備え、紫外線光源１４は、ガイドレール１６ａに対してスライド可能に装着されている。紫外線光源１４には、ベルト式アクチュエータ１６ｂ（図３参照）が接続さており、ベルト式アクチュエータ１６ｂにより該方向に沿って移動できる。
【００３６】
図２（Ｂ）は、該方向を含み、仕切り板８に垂直な面で切断した紫外線照射装置２を模式的に示す断面図である。紫外線照射装置２の筐体４の底板には、例えば、開口が形成されており、紫外線光源１４には該開口を通して冷却機構２４が接続されている。
【００３７】
冷却機構２４について説明する。冷却機構２４は、紫外線光源１４のケース３６の内部に窒素ガスを導入し、該窒素ガスにより紫外線光源１４を冷却する機能を備える。冷却機構２４は、窒素ガス源４４と、一端が該窒素ガス源４４に接続されるパイプ状の窒素ガス導入路１８と、を備える。
【００３８】
図３は、該方向と、紫外線ＬＥＤ１４ａが並ぶ方向と、を含む水平面で切断した紫外線照射装置２を模式的に示す断面図である。図３に示す通り、紫外線光源１４の背部通気路４０の底部には、窒素ガス導入口１８ａが形成されており、該窒素ガス導入路１８の他端は該窒素ガス導入口１８ａに接続されている。
【００３９】
窒素ガス導入口１８ａから導入された窒素ガス４２は、背部通気路４０の一端からケース３６の内部の一端側に流れる。そして、冷却フィン３８間を流れて該冷却フィン３８から熱を吸収しつつ、ケース３６の内部の他端側に到達して背部通気路４０の他端に流れる。
【００４０】
背部通気路４０の底部には、さらに、窒素ガス排出口２０ａが形成されており、窒素ガス排出口２０ａにはパイプ状の窒素ガス排出路２０の一端が接続される。冷却フィン３８から熱を吸収した窒素ガス４２は、窒素ガス排出口２０ａから窒素ガス排出路２０に排出される。
【００４１】
なお、窒素ガス導入路１８と、窒素ガス排出路２０と、は、例えば、シート２２（図１参照）に固定されている。シート２２は、紫外線光源１４の移動に伴って変形し、紫外線光源１４の移動を妨げないように窒素ガス導入路１８と、窒素ガス排出路２０と、を適切に変形させる機能を有する。紫外線光源１４が移動しても、シート２２により窒素ガス導入路１８及び窒素ガス排出路２０と、紫外線光源１４と、の間の接続が維持される。
【００４２】
窒素ガス排出路２０の他端側は、筐体４の底板に形成された該開口を経て、パイプ状の窒素ガス供給路２６の底部側に接続される。該窒素ガス供給路２６は、例えば、筐体４の内部の側壁に沿って筐体４の底部から上部に伸長する。該窒素ガス供給路２６は、筐体４の第２の部屋４ｂから第１の部屋４ａへ移動する窒素ガスの移動経路となる。
【００４３】
図１に示す通り、紫外線光源１４の筐体４の上には天板２８が配設さる。天板２８の窒素ガス供給路２６に対応する位置には、上下方向に通じる貫通孔が形成されており、該貫通孔は窒素ガス分配部３０に覆われている。天板２８に載る窒素ガス分配部３０には、該天板２８上に配された複数の窒素ガス供給路３２のそれぞれの一端が接続されている。
【００４４】
窒素ガス供給路２６及び該貫通孔を経て窒素ガス分配部３０に到達した窒素ガスは、窒素ガス分配部３０により各窒素ガス供給路３２に分配される。天板２８には、複数の窒素ガス噴出部３４が配設されており、各窒素ガス供給路３２の他端側には窒素ガス噴出部３４が接続される。天板２８は、各窒素ガス噴出部３４に対応する位置に上下方向に貫通する貫通孔を備え、各窒素ガス噴出部３４に到達した窒素ガスは、該貫通孔を通じて筐体４の内部の第１の部屋４ａ（図２（Ｂ）参照）に導入される。
【００４５】
次に、図１及び図２（Ｂ）を参照して紫外線照射装置２によるフレームユニット７に対する紫外線の照射について説明する。まず、搬出入口６を経て筐体４の内部にフレームユニット７を搬入し、仕切り板８の上にフレームユニット７を載せる。このとき、仕切り板８の透過領域１０と、被貼着物１と、が重なるようにフレームユニット７を所定の位置に配設する。
【００４６】
次に、窒素ガス源４４から紫外線光源１４に窒素ガスを供給して該窒素ガスにより紫外線光源１４を冷却しつつ、紫外線ＬＥＤ１４ａを作動させて該透過領域１０を通して紫外線４６をテープ３に照射する。このとき、移動機構１６を作動させて紫外線光源１４を移動させ、テープ３に一様に紫外線を照射する。テープ３に紫外線が照射されると、テープ３の粘着層が硬化し、被貼着物１に対する貼着力が低下する。すると、被貼着物１からのテープ３の剥離が容易となる。
【００４７】
その一方で、テープ３の外周部は、仕切り板８の遮蔽領域１２により遮られるため、紫外線が照射されない。例えば、テープ３の外周部に紫外線が照射されると、フレーム５に対するテープ３の粘着力が低下してフレーム５からテープ３が剥離しやすくなる。本実施形態に係る紫外線照射装置２では、仕切り板８に遮蔽領域１２が設けられているため、被貼着物１からのテープ３の剥離が容易となる一方で、フレーム５と、テープ３と、は剥離しにくい。
【００４８】
紫外線光源１４を作動させる間、冷却機構２４を作動させて、紫外線光源１４に窒素ガスを供給して該窒素ガスにより紫外線光源１４を冷却する。紫外線光源１４の冷却に使用された窒素ガスは、窒素ガス供給路２６を経て第２の部屋４ｂから第１の部屋４ａに移動する。そして、窒素ガスは、第１の部屋４ａに配設されたフレームユニット７の表面に窒素ガス噴出部３４から供給される。
【００４９】
例えば、テープ３に紫外線を照射して粘着層を硬化させる際、雰囲気中に酸素が存在すると硬化が抑制される。これに対して本実施形態に係る紫外線照射装置２では、紫外線光源１４の冷却に使用された窒素ガスがフレームユニット７の表面に供給され雰囲気中の酸素が排除されるため、テープ３の粘着層が適切に硬化する。
【００５０】
したがって、紫外線光源１４の出力を過度に上げることなくテープ３の粘着層を硬化できるため、紫外線照射装置２の稼働効率が高くなる。また、第１の部屋４ａからの排除に使用される窒素ガスを使用して紫外線光源１４を冷却できるため、冷却機構２４の構成が単純化され、紫外線照射装置２のコストを低減できる。
【００５１】
次に、本実施形態に係る紫外線照射装置２が組み込まれた切削装置について説明する。図４は、該切削装置の一例を模式的に示す斜視図である。切削装置４８は、上面に開口４８ｂを有する装置基台４８ａを備える。該開口４８ｂの内部には、被貼着物１等の被加工物を含むフレームユニット７を保持するチャックテーブル５４が水平方向に移動可能に配設されている。チャックテーブル５４の上面は、フレームユニット７を保持する保持面となる。
【００５２】
チャックテーブル５４は、一端が該チャックテーブル５４の該保持面に通じ、他端が図示しない吸引源に接続された吸引路（不図示）を内部に備える。該吸引源を作動させると、該保持面上に載せられたフレームユニット７に負圧が作用して、フレームユニット７はチャックテーブル５４に吸引保持される。また、チャックテーブル５４は該保持面に垂直な軸の周りに回転できる。
【００５３】
装置基台４８ａの上面の角部には、フレームユニット７を収容できるカセット５２が載せられるカセット載置部５０が配設される。該カセット載置部５０は図示しない昇降装置により昇降が可能である。カセット５２の高さ位置を変化させると、切削装置４８の図示しない搬送ユニットによるカセット５２内の所望のフレームユニット７の搬出入が実施可能となる。
【００５４】
カセット載置部５０の下部には、上述の紫外線照射装置２が組み込まれる。紫外線照射装置２には、切削装置４８により切削加工が実施された被貼着物１を含むフレームユニット７が搬入される。
【００５５】
チャックテーブル５４の上方には、被貼着物１等の被加工物を切削する切削ユニット５６が配設される。切削ユニット５６は、開口４８ｂの上方に突出する支持部６０と、該支持部６０の前面に配設された切削ユニット移動機構６２と、により支持される。切削ユニット５６は、切削ユニット移動機構６２によりチャックテーブル５４の保持面に垂直な方向と、支持部６０の突出方向と、に移動可能である。
【００５６】
切削ユニット５６には、円環状の切削ブレード５６ａが装着されている。該搬送ユニットによりフレームユニット７をチャックテーブル５４上に搬送し、チャックテーブル５４に該フレームユニット７を保持させる。そして、該切削ブレード５６ａを回転させ、切削ユニット５４を所定の高さ位置に位置づけ、チャックテーブル５４を移動させることで切削ブレード５６ａを被貼着物１に切り込ませる。すると、被貼着物１が切削される。
【００５７】
このとき、切削ユニット５６は、切削ブレード５６ａの下端が被貼着物１の下端の高さ位置よりも低く、テープ３の下端の高さ位置よりも高い高さ位置に位置付けられるように、所定の高さ位置に位置付けられる。。被貼着物１が切削されて形成された個々のチップは、テープ３に引き続き支持される。
【００５８】
切削ユニット５６の近傍には、さらに、カメラユニット５８が配設される。カメラユニット５８は、被貼着物１の切削加工時に被加工箇所を撮影する。撮影により得られた画像は、例えば、被貼着物１の分割予定ラインを適切に切削できるように切削ユニット５６と、チャックテーブル５４と、の位置を調整するアライメントに使用される。
【００５９】
装置基台４８ａの上面の開口４８ｂの近傍には、さらに、切削後の被貼着物１を洗浄するための洗浄装置６４が配設されている。切削後の被貼着物１を含むフレームユニット７を該搬送ユニットにより洗浄装置６４に搬送し、洗浄装置６４の洗浄テーブルの上にフレームユニット７を載せる。そして、洗浄テーブルを回転させながら被貼着物１に洗浄液を供給すると、被貼着物１が洗浄される。
【００６０】
洗浄ユニット６４による洗浄を実施した後、フレームユニット７を該搬送ユニットにより紫外線照射装置２に搬送する。そして、紫外線照射装置２によりフレームユニット７に紫外線を照射すると、テープ３の粘着層が硬化される。その後、搬送ユニットによりフレームユニット７を紫外線照射装置２から搬出し、カセット５２に搬入する。
【００６１】
紫外線照射装置２では、フレームユニット７に窒素ガスが供給され、雰囲気中に含まれる酸素が排除されるため、酸素によるテープ３の硬化の阻害が抑制される。したがって、紫外線光源１４による紫外線照射の強度を過度に高めることなくテープ３を適切に硬化できる。そして、フレームユニット７に供給される窒素ガスが紫外線光源１４の冷却にも使用される。したがって、紫外線照射装置２及び該紫外線照射装置２を搭載した切削装置４８の稼働効率が高くなる。
【００６２】
なお、本発明は、上記の実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、本発明の一態様に係る紫外線照射装置２は、搬出入口６からフレームユニット７が搬入されたことを検知する検知ユニットを備えても良い。そして、該検知ユニットによりフレームユニット７の搬入が検出されたときに、紫外線光源１４の紫外線ＬＥＤ１４ａが点灯するとともに、冷却機構２４による紫外線光源１４の冷却が開始されてもよい。
【００６３】
この場合、紫外線照射装置２にフレームユニット７が搬入されていないときには各機構が稼働せず、フレームユニット７が搬入されると同時にフレームユニット７に紫外線が照射されテープ３の硬化が開始される。したがって、紫外線光源１４の稼働時間は最小限で済み、紫外線照射装置２及び該紫外線照射装置２を搭載した切削装置４８の稼働効率はさらに高くなる。
【００６４】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００６５】
１  被貼着物
３  テープ
５  フレーム
７  フレームユニット
２  紫外線照射装置
４  筐体
４ａ  第１の部屋
４ｂ  第２の部屋
６  搬出入口
８  仕切り板
８ａ  仕切り板支持枠
１０  透過領域
１２  遮蔽領域
１４  紫外線光源
１４ａ  紫外線ＬＥＤ
１６  移動機構
１６ａ  ガイドレール
１６ｂ  ベルト式アクチュエータ
１８  窒素ガス導入路
１８ａ  窒素ガス導入口
２０  窒素ガス排出路
２０ａ  窒素ガス排出口
２２  シート
２４  冷却機構
２６  窒素ガス供給路
２８  天板
３０  窒素ガス分配部
３２  窒素ガス供給路
３４  窒素ガス噴出部
３６  ケース
３８  冷却フィン
４０  背部通気路
４２  窒素ガス
４４  窒素ガス源
４６  紫外線
４８  切削装置
４８ａ  装置基台
４８ｂ  開口
５０  カセット載置部
５２  カセット
５４  チャックテーブル
５６  切削ユニット
５６ａ  切削ブレード
５８  カメラユニット
６０  支持部
６２  切削ユニット移動機構
６４  洗浄装置
【図１】
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【図２】
2019162581.tif 000004
【図３】
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【図４】
2019162581.tif 000006