(57)【要約】【課題】端材除去専用の駆動装置を設けることなく、基板から端材を除去する。【解決手段】ピックアップ装置１は、ベルトコンベヤ装置３と、プッシャーバー１１と、吸着搬送装置５と、敷板２１とを備えている。ベルトコンベヤ装置３は、本体１０６と端材１０７との間にスクライブラインＳが形成された基板１０１を搬送する。プッシャーバー１１は、ベルトコンベヤ装置３の上方に配置され、下降して基板１０１に衝突することでスクライブラインＳを分断する。吸着搬送装置５は、基板１０１の本体１０６を吸着して搬送する。敷板２１は、基板１０１の端材１０７に対応する位置においてベルトコンベヤ装置３の上側搬送部３ａの下面に当接又は近接して配置されることで、上側搬送部３ａの下方に隙間２１ｂを確保する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と端材との間にスクライブラインが形成された基板を搬送するベルトコンベヤ装置と、
前記ベルトコンベヤ装置の上方に配置され、下降して前記基板に衝突することで前記スクライブラインを分断するためのプッシャーバーと、
前記基板の前記本体を吸着して搬送する吸着搬送装置と、
前記基板の前記端材に対応する位置において前記ベルトコンベヤ装置の上側搬送部の下面に当接又は近接して配置されることで、前記上側搬送部の下方に隙間を確保する敷板と、
を備えたピックアップ装置。
【請求項２】
前記敷板は、前記スクライブラインに平行な直線状端面を有する、請求項１に記載のピックアップ装置。
【請求項３】
前記吸着搬送装置と前記プッシャーバーは上下方向に一体に動作可能に連結されており、前記プッシャーバーによる前記スクライブラインの分断動作と前記吸着搬送装置による前記本体の吸着動作とは同時に又は連続して行われる、請求項１又は２に記載のピックアップ装置。
【請求項４】
前記吸着搬送装置は、前記プッシャーバーが前記スクライブラインを分断してその後に前記端材に当接した状態で、前記本体を前記ベルトコンベヤ装置から持ち上げる、請求項１〜３のいずれかに記載のピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピックアップ装置に関し、特に、基板をベルトコンベヤからピックアップするピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に液晶パネルの製造工程では、製造単位となる複数の単位表示パネル（単位基板）がパターニングされた大面積の貼り合わせガラス基板（マザー基板）を製造し、次にそれを単位表示パネルごとに分割する。具体的には、上下一対のカッターホイールを用いて、マザー基板に対して上下方向から２面同時にスクライブを行い、次に２面同時に分離することで、単位表示パネルごとに分割する。単位表示パネル同士の間には余分な部分が設けられており、これらが分断後には端材となる。
【０００３】
端材の処理としては、チャック部材で端材を把持し、引き離す方向にチャックを移動させて、端材を下方に設けた端材集積容器に落下させる方法が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２００２／０５７１９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年では、基板をベルトコンベヤの上で分割することが行われている。しかし、端材を分断するに当たってブレイクバーが基板に衝突すると、基板がベルトとともに撓んでしまい、そのためスクライブラインの分断の精度が低下することが考えられる。
しかし、従来では、そのような問題を解決するための技術は提案されていない。
【０００６】
本発明の目的は、ベルトコンベヤの上の基板の端材の分断を精度良く行うことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。
【０００８】
本発明の一見地に係るピックアップ装置は、ベルトコンベヤ装置と、プッシャーバーと、吸着搬送装置と、敷板とを備えている。
ベルトコンベヤ装置は、本体と端材との間にスクライブラインが形成された基板を搬送する。
プッシャーバーは、ベルトコンベヤ装置の上方に配置され、下降して基板に衝突することでスクライブラインを分断する。
吸着搬送装置は、基板の本体を吸着して搬送する。
敷板は、基板の端材に対応する位置においてベルトコンベヤ装置の上側搬送部の下面に当接又は近接して配置されることで、上側搬送部の下方に隙間を確保する。
この装置では、敷板によってベルトコンベヤ装置の上側搬送部の下方に隙間が確保されるので、ベルトコンベヤ装置上に配置された基板に対してプッシャーバーが下降して衝突すると、スクライブライン周辺に大きな応力が発生して、その結果、スクライブラインが精度良く分断される。
また、端材分断後に吸着搬送装置が本体を吸着して他の装置に搬送できる。このように、端材除去専用の駆動装置を設けることなく、基板から端材を除去できる。
なお、本発明とは異なり敷板がなければ、プッシャーバーが下降して端材を押し下げたとしても、スクライブライン周辺には十分に大きな曲げ応力が発生せず、したがってスクライブラインが精度良く分断されない可能性がある。
【０００９】
敷板は、スクライブラインに平行な直線状端面を有していてもよい。
この装置では、プッシャーバーが端材を押し下げると、スクライブライン全体に均等に曲げ応力が作用する。
【００１０】
吸着搬送装置とプッシャーバーは上下方向に一体に動作可能に連結されており、プッシャーバーによるスクライブラインの分断動作と吸着搬送装置による本体の吸着動作とは同時に又は連続して行われてもよい。
この装置では、スクライブラインの分断と基板の本体の吸着が同時に又は連続して行われるので、加工効率が良い。
【００１１】
吸着搬送装置は、プッシャーバーがスクライブラインを分断してその後に端材に当接した状態で、本体をベルトコンベヤ装置から持ち上げてもよい。
この装置では、基板の本体が端材から確実に離れる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るピックアップ装置では、ベルトコンベヤの上の基板の端材の分断を精度良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態におけるピックアップ装置の一状態を示す側面図。
【図２】ピックアップ装置の制御構成を示すブロック図。
【図３】ピックアップ装置の動作の一状態を示す側面図。
【図４】ピックアップ装置の動作の一状態を示す側面図。
【図５】図４の部分拡大図。
【図６】ピックアップ装置の動作の一状態を示す側面図。
【図７】ピックアップ装置の動作の一状態を示す側面図。
【図８】ピックアップ装置の動作の一状態を示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
１．第１実施形態
（１）ピックアップ装置の構造
図１を用いて、ピックアップ装置１の構造を説明する。図１は、第１実施形態におけるピックアップ装置の一状態を示す側面図である。
なお、図１において、紙面直交方向が第１水平方向であり、矢印Ｙが第１水平方向に直交する第２水平方向である。
【００１５】
ピックアップ装置１は、基板分断動作と基板吸着搬送動作を行う装置である。
ピックアップ装置１は、ベルトコンベヤ装置３を有している。ベルトコンベヤ装置３は、基板１０１を搬送するための装置である。具体的には、ベルトコンベヤ装置３は、基板１０１を第２方向に搬送する。基板１０１は、２枚の基板からなる貼り合わせガラスであり、基板１０１は、本体１０６と、端材１０７とを有している。本体１０６と端材１０７との間には、スクライブラインＳが形成されている。端材１０７は、本体１０６の下側に潜り込んだ部分を有している。
ピックアップ装置１は、吸着搬送装置５（吸着搬送装置の一例）を有している。吸着搬送装置５は、基板１０１の本体１０６を吸着して搬送する装置である。吸着搬送装置５は、吸着部本体７と、その下部に設けられた複数の吸着盤９を有している。吸着部本体７は、図示しない真空ポンプ等の負圧発生装置２５（図２）に接続されている。
【００１６】
吸着搬送装置５は、移動装置２７（図２）を有している。移動装置２７は、吸着搬送装置５を昇降、側方への移動を可能である。
ピックアップ装置１は、プッシャーバー１１を有している。プッシャーバー１１は、吸着部本体７に対して上下方向に一体に動作可能に連結されている。プッシャーバー１１は、ベルトコンベヤ装置３の上方に配置され、下降して基板１０１に衝突することでスクライブラインを分断する。図１では、一対のプッシャーバー１１が示されている。一対のプッシャーバー１１は、紙面直交方向に長く延びている。
ピックアップ装置１は、昇降装置１３を有している。昇降装置１３は、プッシャーバー１１を吸着部本体７に対して昇降させる装置である。
【００１７】
ピックアップ装置１は、敷板２１を有している。ベルトコンベヤ装置３の上側搬送部３ａの下方において、支持部材２２の上面の上に配置されている。敷板２１は、基板１０１の端材１０７に対応する位置においてベルトコンベヤ装置３の上側搬送部３ａの下面に当接又は近接して配置された端面２１ａを有している。そのため、上側搬送部３ａの下方に隙間２１ｂが確保されている。
端面２１ａは、基板１０１のスクライブラインＳに平行な直線状である。つまり、端面２１ａは、第１水平方向に延びている。端面２１ａは、第２水平方向において端材１０７に対応する位置に配置されている。より具体的には、端面２１ａの第２方向位置は、スクライブラインＳの上側部分に一致又は近接している。
ピックアップ装置１は、敷板２１を図１の位置と他の位置との間で移動させる移動機構を有していてもよい。
【００１８】
（２）ピックアップ装置の制御構成
図２を用いて、ピックアップ装置１の制御構成を説明する。図２は、ピックアップ装置の制御構成を示すブロック図である。
ピックアップ装置１は、コントローラ５０を有している。
コントローラ５０は、プロセッサ（例えば、ＣＰＵ）と、記憶装置（例えば、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ、ＳＳＤなど）と、各種インターフェース（例えば、Ａ／Ｄコンバータ、Ｄ／Ａコンバータ、通信インターフェースなど）を有するコンピュータシステムである。コントローラ５０は、記憶部（記憶装置の記憶領域の一部又は全部に対応）に保存されたプログラムを実行することで、各種制御動作を行う。
【００１９】
コントローラ５０は、単一のプロセッサで構成されていてもよいが、各制御のために独立した複数のプロセッサから構成されていてもよい。
コントローラ５０の各要素の機能は、一部又は全てが、コントローラ５０を構成するコンピュータシステムにて実行可能なプログラムとして実現されてもよい。その他、コントローラ５０の各要素の機能の一部は、カスタムＩＣにより構成されていてもよい。
【００２０】
コントローラ５０には、ベルトコンベヤ装置３、負圧発生装置２５，移動装置２７，昇降装置１３が配置されている。
コントローラ５０には、図示しないが、基板の大きさ、形状及び位置検出するセンサ、各装置の状態を検出するためのセンサ及びスイッチ、並びに情報入力装置が接続されている。
【００２１】
（３）ピックアップ装置のピックアップ及び基板分断動作
図３〜図８を用いて、ピックアップ装置のピックアップ及び基板分断動作を説明する。図３〜４、図６〜８は、ピックアップ装置の動作の一状態を示す側面図である。図５は、図４の部分拡大図である。
なお、以下の制御動作はコントローラ５０の各種装置への指令によって実現される。
【００２２】
図３では、移動装置２７によって、吸着搬送装置５の吸着部本体７が下降して、複数の吸着盤９が基板１０１の本体１０６に当接する。この状態で、プッシャーバー１１は基板１０１の上方に離れた位置にある。
続いて、負圧発生装置２５によって、複数の吸着盤９が基板１０１の本体１０６を吸着する。
【００２３】
図４では、昇降装置１３によって、一対のプッシャーバー１１が吸着部本体７に対する下側位置に移動して、ベルトコンベヤ装置３の上側搬送部３ａ上に配置された基板１０１に対して衝突する。具体的には、図５に示すように、一方のプッシャーバー１１は、端材１０７の上面に当接して、基板１０１を下方に撓ませる。この場合、敷板２１によってベルトコンベヤ装置３の上側搬送部３ａの下方に隙間２１ｂが確保されているので、スクライブラインＳが精度良く分断される。なお、本実施形態とは異なり敷板がなければ、プッシャーバーが下降して端材を押し下げたとしても、スクライブライン周辺には十分に大きな力が作用せず、したがってスクライブラインが精度良く分断されない可能性がある。
さらに、端面２１ａがスクライブラインＳに平行なので、プッシャーバー１１が端材１０７を押し下げると、曲げ応力がスクライブラインＳ全体に均等に作用する。
【００２４】
図６に示すように、次に、吸着部本体７が上方に移動して、吸着盤９が基板１０１の本体１０６をベルトコンベヤ装置３の上側搬送部３ａから持ち上げる。このとき、一対のプッシャーバー１１は、基板１０１の端材１０７を上方から押さえたままである。したがって、本体１０６は端材１０７から確実に切り離される。また、端材１０７はベルトコンベヤ装置３の上に確実に残る。
図７に示すように、次に、吸着部本体７がさらに上方に移動して、吸着盤９が基板１０１の本体１０６をさらに上昇させる。このとき一対のプッシャーバー１１は、吸着部本体７と共に上昇し、端材１０７から上方に離れる。
図８に示すように、次に、昇降装置１３によって、プッシャーバー１１が吸着部本体７に対する上側位置に移動する。
【００２５】
以上に述べたように、端材１０７の分断後に、吸着搬送装置５が基板１０１の本体１０６を吸着して他の装置に搬送できる。つまり、端材除去専用の駆動装置を設けることなく、基板１０１から端材１０７を除去できる。
さらに、以上述べたように、プッシャーバー１１によるスクライブラインＳの分断動作と吸着搬送装置５による本体１０６の吸着動作とは同時に又は連続して行われる。したがって、加工効率が良い。
【００２６】
２．他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
（１）敷板の変形例
敷板の平面形状、断面形状、厚み等は第１実施形態に限定されない。
（２）ピックアップ装置の変形例
吸着盤の数、形状及び位置、並びにプッシャーバーの数、形状及び位置は第１実施形態に限定されない。
【００２７】
（３）基板の変形例
２枚の脆性材料基板を貼り合せた貼り合せ脆性材料基板には、ガラス基板を貼り合わせた液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、有機ＥＬディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルと、シリコン基板、サファイヤ基板等をガラス基板に貼り合わせた半導体基板とが含まれる。
基板の種類は特に限定されない。基板は、単板のガラス、半導体ウエハ、セラミック基板を含んでいる。
【００２８】
（４）スクライブラインの変形例
スクライブラインの形状は限定されない。前記実施形態ではスクライブラインは直線であったが、曲線を一部又は全てに有していてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明は、基板をベルトコンベヤからピックアップするピックアップ装置に広く適用できる。
【符号の説明】
【００３０】
１      ：ピックアップ装置
３      ：ベルトコンベヤ装置
３ａ    ：上側搬送部
５      ：吸着搬送装置
７      ：吸着部本体
９      ：吸着盤
１１    ：プッシャーバー
１３    ：昇降装置
２１    ：敷板
２１ａ  ：直線状端面
２１ｂ  ：隙間
２５    ：負圧発生装置
２７    ：移動装置
５０    ：コントローラ
１０１  ：基板
１０６  ：本体
１０７  ：端材
Ｓ      ：スクライブライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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