(57)【要約】【課題】着磁装置に関し、着磁の際に隣接するトラック間で磁気干渉が起きることを抑制しつつ複数のトラックを適切に形成する。【解決手段】着磁装置１は、複数のトラックＴｒを含んだ磁気スケールＷの各トラックＴｒに対応する部分を磁化するものである。着磁装置１は、磁気ヘッド４と、磁気スケールＷを保持し、当該磁気スケールＷを磁気ヘッド４に対して相対的にＸ方向に移動させるワーク案内機構６及び駆動機構８とを備える。磁気ヘッド４は、磁気スケールＷの各トラックＴｒそれぞれに対応する位置に配置されて各々トラックＴｒに対応する部分を磁化する複数の着磁ヘッド３２を含む。これら複数の着磁ヘッド３２のうち、隣接するトラックＴｒに対応する着磁ヘッド３２は、互いにＹ方向にオフセットされている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性部材を磁化することにより、当該磁性部材に、各々第１方向に延在しかつ第１方向と直交する第２方向に並ぶ複数のトラックを形成する着磁装置であって、
前記磁性部材を磁化するための磁気ヘッドと、
前記磁性部材を保持し、当該磁性部材を前記磁気ヘッドに対して相対的に前記第１方向に移動させる移動装置と、を備え、
前記磁気ヘッドは、前記各トラックそれぞれに対応する位置に配置されて各々磁性部材を磁化する複数の着磁ヘッドを含み、
前記複数の着磁ヘッドのうち、隣接するトラックに対応する着磁ヘッドは、互いに前記第１方向にオフセットされている、ことを特徴とする着磁装置。
【請求項２】
請求項１に記載の着磁装置において、
第２方向における末端に位置するトラックから順番に第１、第２……第ｎトラックと定義したときに、
奇数番のトラックに対応する複数の着磁ヘッドは、第１の直線上に一列に配置され、偶数番のトラックに対応する複数の着磁ヘッドは、前記第１の直線とは異なる第２の直線上に一列に配置されている、ことを特徴とする着磁装置。
【請求項３】
請求項２に記載の着磁装置において、
前記第１の直線と前記第２の直線とは平行である、ことを特徴とする着磁装置。
【請求項４】
請求項３に記載の着磁装置において、
前記第１の直線及び前記第２の直線は、共に前記第２方向に延びる直線である、ことを特徴とする着磁装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項に記載の着磁装置において、
前記磁気ヘッドは、前記磁性部材に着磁可能な作動位置とこの作動位置から待避した待避位置とに亘って各着磁ヘッドを変位可能に支持する支持部と、各着磁ヘッドを個別に作動位置と待避位置とに変位させる駆動部と、を含み、
当該着磁装置は、さらに、各着磁ヘッドを作動位置と待避位置とに変位させるべく前記駆動部を制御する制御部を含む、ことを特徴とする着磁装置。
【請求項６】
請求項５に記載の着磁装置において、
前記着磁ヘッドは、前記磁性部材に接触した状態で着磁を行うものであり、
前記駆動部は、前記作動位置において、前記相対移動方向と直交する方向に弾性的に変位可能な状態で前記磁性部材に着磁ヘッドを接触させる、ことを特徴とする着磁装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンコーダの磁気スケールなどの多磁極化体の生産に使用される着磁装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エンコーダの磁気スケールなどの多磁極化体の生産に使用される着磁装置として、例えば、特許文献１に開示される着磁装置が公知である。この着磁装置は、円環状の磁性部材の周上に着磁を行うものである。着磁装置は、磁性部材を保持して回転させるスピンドル装置と、着磁ヘッド（着磁ヨーク）と、着磁ヘッド内のコイルに電流を印加する電源部とを備えており、着磁ヘッドに対して磁性部材を回転させながら、前記コイルに電流を印加するとともにその電流の方向を切り替えることで、磁性部材に対してＮ極、Ｓ極を交互に形成するように構成されている。
【０００３】
特許文献１の着磁装置は、磁性部材を着磁することにより一つのトラックを形成するものである。この特許文献１には、同心円上に並ぶ互いに独立した複数のトラックを形成するための構成についての言及はないが、その場合には、磁性部材の径方向に複数の着磁ヘッドが一列に並んだマルチトラック磁気ヘッドを適用することが考えられる。具体的な構造は異なるが、例えば、特許文献２にはマルチトラック磁気ヘッドの一例が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−９５５４４号公報
【特許文献２】特開平２−１７２００７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、エンコーダの小型化の要請から磁気スケールについてもより一層の小型化が求められている。このような状況においては、狭ピッチで配列される複数のトラックを形成することが求められる。しかし、磁性部材の径方向に複数の着磁ヘッドが一列に並んだマルチトラック磁気ヘッドを適用する場合には、隣接する着磁ヘッドの間隔が非常に狭くなる。そのため、隣接するトラックを形成する際にこれらの間で磁気干渉を起こすおそれがあり、この点を解決することが望まれる。
【０００６】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、着磁装置に関し、着磁の際に隣接するトラックの間で磁気干渉が起きることを抑制しつつ複数のトラックを適切に形成する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一局面に係る着磁装置は、磁性部材を磁化することにより、当該磁性部材に、各々第１方向に延在しかつ第１方向と直交する第２方向に並ぶ複数のトラックを形成する着磁装置であって、前記磁性部材を磁化するための磁気ヘッドと、前記磁性部材を保持し、当該磁性部材を前記磁気ヘッドに対して相対的に前記第１方向に移動させる移動装置と、を備え、前記磁気ヘッドは、前記各トラックそれぞれに対応する位置に配置されて各々磁性部材を磁化する複数の着磁ヘッドを含み、前記複数の着磁ヘッドのうち、隣接するトラックに対応する着磁ヘッドは、互いに前記第１方向にオフセットされているものである。
【０００８】
この構成によれば、隣接するトラックに対応する着磁ヘッドが互いに第１方向にオフセットされているので、隣接するトラックの間隔が狭い場合でも、着磁の際に当該隣接するトラック間で磁気干渉が起きることが抑制される。
【０００９】
上記着磁装置において、第２方向における末端に位置するトラックから順番に第１、第２……第ｎトラックと定義したときに、奇数番のトラックに対応する複数の着磁ヘッドは第１の直線上に一列に配置され、偶数番のトラックに対応する複数の着磁ヘッドは、前記第１の直線とは異なる第２の直線上に一列に配置されているのが好適である。
【００１０】
この構成によれば、各着磁ヘッドが規則的に配列されるため、各着磁ヘッドによる着磁タイミングなどの制御が行い易いものとなる。
【００１１】
この場合、前記第１の直線と前記第２の直線とは平行であるのが好適であり、前記第１の直線及び前記第２の直線は、共に前記第２方向に延びる直線であるのがより好適である。
【００１２】
これらの構成によれば、奇数番のトラックに対応する複数の着磁ヘッドと、偶数番のトラックに対応する複数の着磁ヘッドとを第１方向（すなわち磁気ヘッドに対する磁性部材の相対移動方向）により集約して配置することが可能となる。そのため、磁気ヘッドのコンパクト化に寄与するものとなる。
【００１３】
なお、上記着磁装置においてより具体的には、前記磁気ヘッドは、前記磁性部材に着磁可能な作動位置とこの作動位置から待避した待避位置とに亘って各着磁ヘッドを変位可能に支持する支持部と、各着磁ヘッドを個別に作動位置と待避位置とに変位させる駆動部と、を含み、当該着磁装置は、さらに、各着磁ヘッドを作動位置と待避位置とに変位させるべく前記駆動部を制御する制御部を含む。
【００１４】
この構成では、磁気ヘッドに対する磁性部材の相対移動中、着磁の際にのみ、各着磁ヘッドそれぞれを作動位置に配置し、それ以外は、待避位置に配置することが可能となる。そのため、磁性部材に対して着磁が可能な位置に常に着磁ヘッドが固定的に設けられている構成のような不都合、例えば磁性部材との衝突による着磁ヘッドの破損や、トラックに対応する部分以外の部分に着磁ヘッドが摺接することによる当該着磁ヘッドの過剰な摩耗などの不都合が生じることが抑制される。
【００１５】
この場合、前記着磁ヘッドが、前記磁性部材に接触した状態で着磁を行うものである場合には、前記駆動部は、前記作動位置において、前記相対移動方向と直交する方向に弾性的に変位可能な状態で前記磁性部材に着磁ヘッドを接触させるのが好適である。
【００１６】
この構成によれば、磁気ヘッドに対する磁性部材の相対移動中、着磁ヘッドをより確実にかつ安定的に磁性部材に接触させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
上記の各態様に係る着磁装置によれば、着磁の際に隣接するトラックの間で磁気干渉が起きることを抑制しつつ複数のトラックを適切に形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る着磁装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】移動テーブルの側面概略図である。
【図３】磁気スケール（ワーク）の平面図である。
【図４】磁気ヘッドの平面図である。
【図５】磁気ヘッドの側面図である。
【図６】着磁ヘッドとトラックとの位置関係を示す平面模式図である。
【図７】着磁ヘッドを示す着磁装置の要部拡大側面図である。
【図８】着磁ヘッドを示す着磁装置の要部拡大側面図である。
【図９】変形例に係る磁気ヘッドの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００２０】
［着磁装置の構成］
図１は、本発明に係る着磁装置１の全体構成を示す平面図である。なお、図中には、方向関係を明確にするためにＸＹＺ直角座標軸が示してある。当例で、Ｘ方向及びＹ方向は水平面上で互いに直交する方向であり、Ｚ方向は鉛直方向である。但し、Ｚ方向については、適宜上下方向と称する場合がある。
【００２１】
着磁装置１は、リニアエンコーダの磁気スケールの製造に使用されるものであり、長手方向にＮ極、Ｓ極が交互に並んだ直線状のトラックを形成する、いわゆるリニア多極着磁装置である。
【００２２】
着磁装置１は、基台２と、この基台２上に固定された磁気ヘッド４と、着磁前の磁気スケールＷ（以下、適宜ワークＷと称する）を磁気ヘッド４に対して案内するワーク案内機構６と、ワークＷを移動させるための駆動機構８と、を含む。
【００２３】
基台２は、平坦かつＸ方向に細長い平面視長方形の上面２ａを有する。磁気ヘッド４は、基台２の上面２ａの長手方向中央部よりもやや＋Ｘ側の位置に配置されている。この磁気ヘッド４の構成については後に詳述する。
【００２４】
ワーク案内機構６は、ワークＷを保持するワークテーブル１０と、このワークテーブル１０を案内する一対の固定レール１２、１２とを含む。一対の固定レール１２、１２は、磁気ヘッド４のＹ方向両側の位置で各々Ｘ方向に延在しており、各々基台２に固定されている。ワークテーブル１０は、Ｘ方向に細長い平面矩形のプレート状であり、図外のスライダを介して固定レール１２、１２に移動自在に装着されている。なお、当該固定レール１２、１２およびスライダは、周知のリニアガイド装置により構成されている。
【００２５】
図２に示すように、ワークテーブル１０の下面（−Ｚ側の面）１０ａにはワーク保持部１１が設けられている。ワークＷは、このワーク保持部１１によって保持される。詳細図を省略するが、ワーク保持部１１は、例えばバキュームチャックからなり、負圧によりワークを吸着、保持するように構成されている。
【００２６】
ここで、ワークＷは、上記の通り磁気スケール（着磁前の磁気スケール／本発明の磁性部材に相当する）である。図３は、磁気スケールＷの平面図である。この図に示すように、磁気スケールＷは、平面視長方形の硬質磁性体からなる可撓性を有したプレート状の部材であり、その片面を被着磁面として、着磁装置１によって着磁が行われることにより、当該被着磁面に長手方向（本発明の第１方向に相当する）に延在しかつ短手方向（本発明の第２方向に相当する）に互いに平行に並ぶ複数のトラックＴｒが形成される。当例では、６つのトラックＴｒが形成される。なお、図３では、便宜上、トラックＴｒが形成された状態の磁気スケールＷを模式的に示している。各トラックＴｒは、磁気スケールＷの長手方向に細長い平面視長方形の同一形状であり、磁気スケールＷの短手方向に一定のピッチＰで形成される。
【００２７】
磁気スケールＷは、被着磁面が下を向く状態でワーク保持部１１によりワークテーブル１０の下面１０ａに保持される。ワーク保持部１１には、Ｘ方向、及びＹ方向にワークＷを位置決めする図外の位置決め部が設けられており、これにより、ワークＷは、その長手方向がＸ方向に延在する状態でワークテーブル１０に保持される。なお、以下の説明において各トラックＴｒを区別する場合には、ワーク保持部１１に磁気スケールＷが保持された状態を基準として、−Ｙ側から順に第１トラックＴｒ１、第２トラックＴｒ２……第６トラックＴｒ６と称することにする。
【００２８】
前記駆動機構８は、固定レール１２、１２に沿ってワークテーブル１０を移動させるものである。この駆動機構８は、移動テーブル１６と、この移動テーブル１６をＸ方向に移動させるためのねじ送り機構１８とを含む。
【００２９】
移動テーブル１６は、平面視矩形のプレート状である。この移動テーブル１６は、前記固定レール１２、１２のＹ方向両側に各々配置された、Ｘ方向に延在する一対の固定レール２０、２０に図外のスライダを介して移動自在に装着されている。なお、当該固定レール２０、２０およびスライダは、周知のリニアガイド装置により構成されている。
【００３０】
図２に示すように、移動テーブル１６は、ワークテーブル１０よりも上方に位置しており、よって、移動テーブル１６は、ワークテーブル１０の制約を受けることなくＸ方向に移動自在となっている。
【００３１】
ねじ送り機構１８は、図１に示すように、前記一対の固定レール２０、２０と、これらと平行に延在し、移動テーブル１６に設けられたナット部材１６ａに螺合挿入されたボールねじ軸２２と、このボールねじ軸２２を回転駆動するサーボモータ２４とを含む。つまり、ねじ送り機構１８は、サーボモータ２４によりボールねじ軸２２を正回転又逆回転させることで、移動テーブル１６をＸ方向に移動させるように構成されている。
【００３２】
移動テーブル１６には、ワークテーブル１０を保持するための一対のクランプ機構２６、２６が備えられている。これらのクランプ機構２６、２６はそれぞれ、ワークテーブル１０のＸ方向両端に配置されている。
【００３３】
クランプ機構２６は、移動テーブル１６に回動可能に支持されたアーム２７ａと、これを駆動するエアシリンダ等のアクチュエータ２７ｂとを含む。
【００３４】
アーム２７ａは、図２中の実線に示すように、移動テーブル１６の下方に突出するクランプ位置Ｃｐ１と、図２中の二点鎖線に示すように、移動テーブル１６に対してＸ方向外側に待避したクランプ解除位置Ｃｐ２とに変位（回動）可能となるように移動テーブル１６に支持されており、アクチュエータ２７ｂにより駆動される。つまり、移動テーブル１６がワークテーブル１０の上方に配置され、かつ、両クランプ機構２６のアーム２７ａがクランプ位置Ｃｐ１に配置されると、各アーム２７ａによりワークテーブル１０がＸ方向両外側から拘束され、これにより、ワークテーブル１０が移動テーブル１６によって保持される。従って、ワークテーブル１０がＸ方向に移動すると、当該ワークテーブル１０と共に移動テーブル１６が移動することとなる。一方、両クランプ機構２６のアーム２７ａがクランプ解除位置Ｃｐ２に配置されると、移動テーブル１６の上記保持状態が解除され、これにより、移動テーブル１６のみが固定レール２０、２０に沿って移動することとなる。
【００３５】
図４は、磁気ヘッド４の平面図であり、図５は、磁気ヘッド４の側面図である。
【００３６】
磁気ヘッド４は、基台２に固定されたベース部３０と、このベース部３０に各々支持され、ワークＷのトラックＴｒそれぞれに対応する部分を磁化するための６つの着磁ヘッド３２と、これら着磁ヘッド３２を個別に進退駆動するための６つの電磁ソレノイド３４とを備えている。
【００３７】
各着磁ヘッド３２は同一の構成である。着磁ヘッド３２は、側面視で山型を成すように所定間隔を隔ててＸ方向に並ぶ一対のヨーク部４０、４０と、これらヨーク部４０、４０それぞれに巻回されたコイル部４２、４２とを含む。各コイル部４２、４２は、図外の電源部に接続されている。そして、着磁ヘッド３２は、その先端、すなわち各ヨーク部４０、４０の先端をワークＷの被着磁面に接触させた状態で、各コイル部４２、４２に対して電流が印加されることにより当該被着磁面を磁化するとともに、当該電流の方向が切り替えられることにより磁極（Ｎ極、Ｓ極）の切り替えが行われるようになっている。
【００３８】
上記６つの着磁ヘッド３２は、図６に示すように、ワークテーブル１０に保持された状態のワークＷ（磁気スケールＷ）の各トラックＴｒに対向し得る位置に配置されるとともに、Ｘ方向に相互にオフセットされている。
【００３９】
詳しくは、図４に示すように、−Ｙ方向の末端に位置する着磁ヘッド３２から順番に第１着磁ヘッド３２ａ、第２着磁ヘッド３２ｂ、第３着磁ヘッド３２ｃ……第６着磁ヘッド３２ｆと称すると、第１着磁ヘッド３２ａに対して第２着磁ヘッド３２ｂは、＋Ｘ側に一定距離Ｘａだけオフセットされ、第３着磁ヘッド３２ｃに対して第４着磁ヘッド３２ｄも、＋Ｘ側に同距離Ｘａだけオフセットされ、第５着磁ヘッド３２ｅに対して第６着磁ヘッド３２ｆも、＋Ｘ側に同距離Ｘａだけオフセットされている。また、第１着磁ヘッド３２ａに対して第３着磁ヘッド３２ｃが＋Ｘ側に一定距離Ｘｂ（Ｘｂ＜Ｘａ）だけオフセットされ、第３着磁ヘッド３２ｃに対して第５着磁ヘッド３２ｅも＋Ｘ側に同距離Ｘｂだけオフセットされている。これにより、奇数番の着磁ヘッド３２ａ、３２ｃ、３２ｅは、それらの中心が、Ｘ方向に延在する直線に対して所定角度θで交わる直線Ｘ１（本発明の第１の直線に相当する）上に位置するように一列に配置され、偶数番の着磁ヘッド３２ｂ、３２ｄ、３２ｆは、それらの中心が、直線Ｘ１から＋Ｘ側に離間した位置で当該直線Ｘ１と平行に延びる直線Ｘ２（本発明の第２の直線に相当する）上に一列に配置されている。
【００４０】
当例では、上記所定角度θは例えば３５°〜４５°の範囲内で設定されており、従って、奇数番の着磁ヘッド３２ａ、３２ｃ、３２ｅ、および偶数番の着磁ヘッド３２ｂ、３２ｄ、３２ｆのそれぞれは、Ｘ方向に延在する直線に対して傾斜した直線Ｘ１，Ｘ２上に配置されている。
【００４１】
各着磁ヘッド３２は、前記電磁ソレノイド３４及びリニアブッシュ等の図外の軸受を介してベース部３０に支持されている。電磁ソレノイド３４は、図５に示すように、コイルを備えたソレノイド本体部３５ａと、このソレノイド本体部３５ａに対して上下方向に出没可能に保持されたプランジャ３５ｂと、このプランジャ３５ｂの外周面上に装着されて、当該プランジャ３５ｂをソレノイド本体部３５ａに対して突出方向（図５では上方）に付勢するスプリング３５ｃとを備えている。そして、着磁ヘッド３２がプランジャ３５ｂの先端（上端）に連結されている。
【００４２】
この構成により、ソレノイド本体部３５ａ（コイル）への非通電状態では、図７の二点鎖線に示すように、スプリング３５ｃの付勢力により、着磁ヘッド３２がベース部３０から上方に押し上げられた位置、すなわちワークＷ（被着磁面）に対して着磁が可能となる作動位置Ｏｐに着磁ヘッド３２が配置される、一方、ソレノイド本体部３５ａへの通電状態では、図５及び図７の実線に示すように、スプリング３５ｃの付勢力に抗してプランジャ３５ｂがソレノイド本体部３５ａ内に引き込まれ、着磁ヘッド３２が作動位置Ｏｐから下降した待避位置Ｅｐに配置されるようになっている。
【００４３】
ここで、着磁ヘッド３２の進退（昇降）ストロークは、図７に示すように、作動位置Ｏｐにおいて、ワークテーブル１０に保持されたワークＷの下面（被着磁面）の高さＨ１よりも上方に着磁ヘッド３２の先端部が位置し、待避位置Ｅｐにおいて、前記高さＨ１よりも下方に着磁ヘッド３２の先端部が位置するように設定されている。つまり、各着磁ヘッド３２は、上記作動位置Ｏｐにおいて、上下方向に弾性的に変位可能な状態で被着磁面に接触するように、電磁ソレノイド３４に支持されている。なお、当例では、電磁ソレノイド３４及び図外の軸受が、本発明の「支持部」及び「駆動部」に相当する。
【００４４】
着磁装置１は、その動作を制御するコントローラ５０（本発明の制御部に相当する）をさらに有している。コントローラ５０は、周知のマイクロコンピュータをベースとするコントローラであって、プログラムを実行する中央演算処理装置（ＣＰＵ）、ＲＡＭやＲＯＭにより構成されてプログラム及び各種データを格納するメモリ、及び電気信号の入出力をする入出力（Ｉ／Ｏ）バス等を備えており、上記移動テーブル１６（サーボモータ２４）、クランプ機構２６及び磁気ヘッド４等は、全てこのコントローラ５０に電気的に接続されており、当該コントローラ５０により統括的に制御されるようになっている。
【００４５】
次に、この着磁装置１によるワークＷの着磁動作について説明する。
【００４６】
まず、ワークＷを保持したワークテーブル１０を固定レール１２、１２に装着し、当該固定レール１２、１２の−Ｘ側の端部に設定されたワーク搬入位置Ｉｐにワークテーブル１０を配置する。固定レール１２、１２へのワークテーブル１０の装着は、ワークテーブル１０の下面に固定されている図外のスライダを、固定レール１２、１２の−Ｘ側の端部か当該固定レール１２、１２にスライドさせながら嵌め合させることにより行う。また、ワークＷは、トラックＴｒが下を向く状態でワークテーブル１０に保持させる。ここまでの作業は、オペレータによる手作業である。
【００４７】
ワーク搬入位置Ｉｐにワークテーブル１０を配置した後、コントローラ５０に接続された図外の操作部のスタートボタンをオペレータが操作すると、これに以降の作業はコントローラ５０の制御により自動的に進行する。
【００４８】
まず、ねじ送り機構１８の作動により、移動テーブル１６がワーク搬入位置Ｉｐに移動する。この際、アーム２７ａがクランプ解除位置Ｃｐ２に配置されるように各クランプ機構２６が制御される。なお、サーボモータ２４にはアブソリュート型のエンコーダ２５が内蔵されており、コントローラ５０による移動テーブル１６の位置制御は、このエンコーダ２５から出力される位置情報に基づき行われる。
【００４９】
ワーク搬入位置Ｉｐに移動テーブル１６が配置されると、アーム２７ａがクランプ位置Ｃｐ１に配置されるように各クランプ機構２６が制御される。これにより、ワークテーブル１０がＸ方向両側からアーム２７ａにより拘束され、当該ワークテーブル１０が移動テーブル１６によって保持される。
【００５０】
そして、移動テーブル１６が＋Ｘ方向に一定速度で移動を開始する。この移動により、ワークＷがワークテーブル１０と共に磁気ヘッド４の上方を通過し、この通過中に、磁気ヘッド４の各着磁ヘッド３２によって被着磁面が着磁されて各トラックＴｒが形成される。詳しくは、ワークＷの移動に伴い、まず、被着磁面のうち第１トラックＴｒ１に対応する部分の先端部（＋Ｘ側の端部）が、当該第１トラックＴｒ１に対応する第１着磁ヘッド３２ａの上方に達すると、第１着磁ヘッド３２ａが待避位置Ｅｐから作動位置Ｏｐに変位し、図８に示すように、その先端部が被着磁面に押し付けられるとともに、第１着磁ヘッド３２ａ（コイル部４２）に対して電流が印加される。これにより、第１トラックＴｒ１に対応する部分の磁化が開始される。そして、ワークＷの＋Ｘ側への移動に伴い、所定のタイミングで第１着磁ヘッド３２に印加される電流の方向が切り替えられることにより、第１トラックＴｒ１に対応する部分においてその長手方向に亘ってＮ極とＳ極とが交互に形成される。そして、ワークＷの移動により、第１トラックＴｒ１に対応する部分の後端部（−Ｘ側の端部）が第１着磁ヘッド３２の位置に達すると、当該第１着磁ヘッド３２が作動位置Ｏｐから待避位置Ｅｐに変位し、第１着磁ヘッド３２の着磁動作が終了する。これにより、第１トラックＴｒ１が形成される。
【００５１】
ここでは、第１トラックＴｒ１に対する第１着磁ヘッド３２ａの着磁動作について説明したが、第２〜第６の各トラックＴｒ２〜Ｔｒ３に対する第２〜第６の各着磁ヘッド３２ｂ〜３２ｆの着時動作も同様である。なお、当例では、図４に示すような配置で各着磁ヘッド３２ａ〜３２ｆが設けられているため、当該着磁ヘッド３２ａ〜３２ｆは、ワークＷの移動に伴い、第１→第３→第５→第２→第４→第６の順番で作動位置Ｏｐに配置され、同じ順番で待避位置Ｅｐにリセットされる。つまり、第１→第３→第５→第２→第４→第６の順番で各トラックＴｒ１〜Ｔｒ６の着磁が開始され、同じ順番で各トラックＴｒ１〜Ｔｒ６の着磁が終了することとなる。
【００５２】
固定レール１２、１２の＋Ｘ側の端部に設定されたワーク搬出位置Ｄｐに移動テーブル１６が到達すると、当該移動テーブル１６が停止し、アーム２７ａがクランプ解除位置Ｃｐ２に配置されるように各クランプ機構２６が制御される。これにより、移動テーブル１６によるワークテーブル１０の保持状態が解除され、着磁装置１によるワークＷの着磁動作が終了する。
【００５３】
この後、オペレータがワークテーブル１０を固定レール１２、１２から取り外し、さらにワークテーブル１０からワークＷを取り外すことで、ワークＷに対する着磁作業が終了する。なお、固定レール１２、１２からのワークテーブル１０の取り外しは、ワークテーブル１０を＋Ｘ方向に移動させつつ固定レール１２、１２から抜き取ることにより行う。
【００５４】
［着磁装置の効果等］
上述した着磁装置１によると、図４及び図６に示すように、隣接するトラックＴｒに対応する着磁ヘッド３２が互いにＸ方向にオフセットされているので、隣接するトラックＴｒの間隔が狭い場合でも、着磁の際に当該隣接するトラックＴｒ間において磁気干渉が起きることが効果的に抑制される。換言すれば、隣接するトラックＴｒの間隔が狭い場合でも、磁気干渉を誘発することなく適切にワークＷを着磁することができる。
【００５５】
特に、この着磁装置１では、全ての着磁ヘッド３２が相互にＸ方向にオフセットされるため、Ｙ方向における各着磁ヘッド３２の配列ピッチＰをより小さく設定することが可能である。従って、この点でも、隣接するトラックＴｒの間隔が狭いワークＷを着磁する上で有利な構造となっている。
【００５６】
しかも、図４及び図６に示すように、奇数番の着磁ヘッド３２ａ、３２ｃ、３２ｅ（奇数番のトラックＴｒ１、Ｔｒ３、Ｔｒ５に対応する複数の着磁ヘッド３２）は、平面視で同一の直線Ｘ１上に一列に配置され、偶数番の着磁ヘッド３２ｂ、３２ｄ、３２ｆ（偶数番のトラックＴｒ２、Ｔｒ４、Ｔｒ６に対応する複数の着磁ヘッド３２）は、平面視で、前記直線Ｘ１と平行な直線Ｘ２上に一列に配置されている。このような構成によれば、奇数番の着磁ヘッド３２ａ、３２ｃ、３２ｅと、偶数番の着磁ヘッド３２ｂ、３２ｄ、３２ｆと、をＸ方向に近接して配置することが可能となる。そのため、全ての着磁ヘッド３２ａ〜３２ｆを相互にＸ方向にオフセットしながらも、これら着磁ヘッド３２ａ〜３２ｆをＸ方向により集約して配置することができる。よって、上述のような作用効果を享受しつつ、磁気ヘッド４のコンパクト化に寄与するものとなる。
【００５７】
また、各着磁ヘッド３２ａ〜３２ｆが規則的に整列して配列されるため、各着磁ヘッド３２ａ〜３２ｆによる着磁タイミング（電流の印加タイミングや電流の方向の切り替えタイミング）などの制御が行い易い、すなわち、制御プログラムの設定が容易なものになるという利点もある。
【００５８】
また、上記着磁装置１によれば、各着磁ヘッド３２は、ワークＷの被着磁面に接触可能な作動位置Ｏｐとこの位置から下方に待避した待避位置Ｅｐとに亘って変位可能に設けられており、それぞれ、対応するトラックＴｒにのみ接触し得るようにコントローラ５０により制御される。すなわち、各着磁ヘッド３２は、ワークＷのうちトラックＴｒに対応する部分以外の部分に接触することがない。そのため、着磁ヘッド３２の先端部（各ヨーク部４０、４０）の摩耗を必要最小限に抑えることが可能であり、磁気ヘッド４（着磁ヘッド３２）のメンテナンスの機会を低減することができるという利点もある。
【００５９】
しかも、被着磁面への接触の際には、各着磁ヘッド３２は上下方向に弾性的に変位可能な状態で被着磁面に接触する。そのため、厚み寸法の誤差などによってワークＷの下面（被着磁面）の位置が上下方向に多少ずれている場合や、移動中にワークＷが上下方向に変位した場合でも、被着磁面に対してより確実にかつ安定的に着磁ヘッド３２を接触させることができるという利点もある。
【００６０】
［変形例など］
以上、本発明の実施形態にかかる着磁装置１について説明したが、上記着磁装置１は、本発明にかかる着磁装置の好ましい実施形態の例示であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。例えば、以下のような構成も採用することが可能である。
【００６１】
（１）実施形態では、奇数番の着磁ヘッド３２ａ、３２ｃ、３２ｅは、Ｘ方向に延びる直線に対して所定角度θで交わる直線Ｘ１上に位置するように一列に配置され、偶数番の着磁ヘッド３２ｂ、３２ｄ、３２ｆは、直線Ｘ１と平行な直線Ｘ２上に一列に配置されており、上記所定角度θは例えば３５°〜４５°とされている。しかし、各着磁ヘッド３２の配置は、これに限定されるものではない。要は隣接する着磁ヘッド３２同士がＸ方向にオフセットされていればよい。従って、例えば図９に示すように、上記所定角度θは９０°であってもよい。すなわち、奇数番の着磁ヘッド３２ａ、３２ｃ、３２ｅ、および偶数番の着磁ヘッド３２ｂ、３２ｄ、３２ｆのそれぞれは、Ｙ方向に延在する直線Ｘ１，Ｘ２上に配置されていてもよい。この構成によれば、第１〜第６の各着磁ヘッド３２ａ〜３２ｆをＸ方向により一層集約して配置することが可能となり、磁気ヘッド４のコンパクト化に寄与するものとなる。
【００６２】
（２）実施形態では、駆動機構８は、ねじ送り機構１８によって移動テーブル１６を移動させるように構成されている。しかし、移動テーブル１６を移動させる機構は、ねじ送り機構１８に限定されるものではない。例えば、ねじ送り機構１８の代わりにリニアモータを適用し、移動テーブル１６を可動子として直接この移動テーブル１６を移動させる構成を採用することもできる。
【００６３】
（３）実施形態では、サーボモータ２４によって駆動される移動テーブル１６を介してワークテーブル１０を保持して移動させる構成である。しかし、ワークテーブル１０を駆動するための構成はこれに限定されるものではない。例えば、移動テーブル１６と同様に、ワークテーブル１０をねじ送り機構やリニアモータによって直接駆動する構成でもよい。
【００６４】
（４）実施形態では、基台２上に磁気ヘッド４が固定され、当該磁気ヘッド４に対してワークＷが保持されたワークテーブル１０を移動させる構成である。しかし、これとは逆の構成、すなわち、基台２上にワークＷを固定的に配置し、このワークＷに対して磁気ヘッドを移動させる構成であってもよい。
【００６５】
（５）実施形態では、各着磁ヘッド３２はワークＷに接触した状態で当該ワークＷを着磁するものである。しかし、各着磁ヘッド３２は、非接触状態でワークＷを着磁するものであってもよい。この場合には、電磁ソレノイド３４に代えて、例えばサーボモータを駆動源して着磁ヘッド３２を昇降可能に支持する昇降機構と、ワークＷと着磁ヘッド３２との間隔（ギャップ）を検出可能なセンサとが設けられ、当該センサからの出力情報に基づいて、コントローラ５０が昇降機構を介して着磁ヘッド３２の位置（Ｚ方向の位置）が制御される。
【００６６】
（６）実施形態では、ワークテーブル１０にワーク保持部１１が備えられ、当該ワーク保持部１１によってワークＷが保持される構成である。しかし、ワークＷは、接着等により、ワークテーブル１０に一体に固定されていてもよい。例えば、モータを駆動源として一軸方向にスライダ（可動テーブル）を移動させる所謂単軸ロボットであってかつリニアエンコーダを備えるものでは、スライダに磁気スケールが固定される。つまり、このような単軸ロボットを製造する場合、着磁前の磁気スケールＷが固定されたスライダを上記ワークテーブル１０として固定レール１２、１２に装着し、着磁装置１により磁気スケールＷを着磁した後、当該スライダをそのまま単軸ロボットに組み込むようにしてもよい。
【００６７】
（７）実施形態では、着磁装置１は、リニアエンコーダの磁気スケールを着磁するものであるが、ワークの種類はこれに限定されるものではない。磁気スケール以外のワークについても、複数のトラックが形成されるものであれば、上記着磁装置１は適用可能である。
【００６８】
この場合、本発明の着磁装置は、同心円上に複数のトラックを備えた円盤状のもの、すなわち各々周方向（第１方向）に延在しかつ径方向（第２方向）に並ぶ複数のトラックを含むものの各トラックを形成するための着磁装置としても適用可能である。この場合には、複数の着磁ヘッドのうち、隣接するトラックに対応する着磁ヘッドが互いに周方向にオフセットされた構成とすればよい。
【符号の説明】
【００６９】
１  着磁装置
４  磁気ヘッド
１０  ワークテーブル
１６  移動テーブル
３２（３２ａ〜３２ｆ）  着磁ヘッド（第１着磁ヘッド〜第６着磁ヘッド）
３４  電磁ソレノイド（支持部、駆動部）
４０  ヨーク部
４２  コイル部
５０  コントローラ
Ｗ  磁気スケール（ワーク／磁性部材）
Ｔｒ（Ｔｒ１〜Ｔｒ６）  トラック（第１トラック〜第６トラック）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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