(57)【要約】【課題】実際のテープを拡張する条件下でのテープ特性を測定することができること。【解決手段】テープ特性の評価方法は、保持ユニットでテープを保持する保持ステップＳＴ２と、モーターを駆動しテープを拡張する拡張ステップＳＴ３と、拡張ステップＳＴ３の実施中に制御ユニットによってモーターの出力トルクを測定しテープの伸縮性を評価する評価ステップＳＴ４と、を含む。評価ステップＳＴ４において、モーターの出力トルクの変化からテープが降伏点に至る拡張ユニットの移動量を算出する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ特性の評価方法であって、
保持手段でテープを保持する保持ステップと、
モーターを駆動しテープを拡張する拡張ステップと、
該拡張ステップの実施中に制御手段によってモーターにかかるトルク値を測定しテープの伸縮性を評価する評価ステップと、
を含むことを特徴とするテープ特性の評価方法。
【請求項２】
該拡張ステップにおいては、第一方向と第一方向に直交する第二方向だけでなく、第一方向と第二方向との間の斜め方向も含めた全方位にテープを拡張することを特徴とする、請求項１に記載のテープ特性の評価方法。
【請求項３】
該評価ステップにおいて、
該トルク値の変化から該テープが降伏点に至る拡張量に応じた値を算出することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のテープ特性の評価方法。
【請求項４】
環状フレームを保持する保持手段と、
該環状フレームの開口に支持されたテープより小さい外径を有する拡張手段と、
該拡張手段と該保持手段とを相対移動するモーターを有する移動手段と、
該モーターを制御する制御手段と、を備えた拡張装置によって、テープを評価する方法であって、
テープを該環状フレームの開口で支持するフレーム装着ステップと、
該保持手段によって該環状フレームを保持する保持ステップと、
該モーターを駆動し該拡張手段を一定量移動させてテープを拡張する拡張ステップと、
該拡張ステップの実施中に該制御手段によって該モーターにかかるトルク値を測定しテープの伸縮性を評価する評価ステップと、
を含むことを特徴とするテープ特性の評価方法。
【請求項５】
第一方向において拡張する対象物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ該対象物を保持する第一保持手段と、第二保持手段と、
該第一方向に直交する第二方向において該対象物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ該対象物を保持する第三保持手段と、第四保持手段と、
該第一保持手段と該第二保持手段を該第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに該第三保持手段と該第四保持手段とを該第二方向において互いに離反する向きに移動可能とするモーターを有する移動手段と、
該モーターを制御する制御手段と、を備えた拡張装置によって、テープを評価する方法であって、
該第一から該第四保持手段でテープを保持する保持ステップと、
該モーターを駆動し、該第一保持手段と該第二保持手段とを互いに離反する向きに一定量移動させるとともに該第三保持手段と該第四保持手段とを互いに離反する向きに一定量移動させてテープを拡張する拡張ステップと、
該拡張ステップの実施中に該制御手段によって該モーターにかかるトルク値を測定しテープの伸縮性を評価する評価ステップと、
を含むことを特徴とするテープ特性の評価方法。
【請求項６】
環状フレームを保持する保持手段と、
該環状フレームの開口に支持されたテープより小さい外径を有する拡張手段と、
該拡張手段と該保持手段とを相対移動するモーターを有する移動手段と、
該モーターを制御する制御手段と、を備えた拡張装置であって、
該制御手段は、
該保持手段に環状フレームを保持した状態で、該モーターを駆動し該拡張手段を一定量移動させてテープを拡張させる拡張部と、
該拡張部の該テープの拡張中に該モーターにかかるトルク値を測定し、テープの伸縮性を評価する評価部と、
を備えることを特徴とする拡張装置。
【請求項７】
第一方向において拡張する対象物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ該対象物を保持する第一保持手段と、第二保持手段と、
該第一方向に直交する第二方向において該対象物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ該対象物を保持する第三保持手段と、第四保持手段と、
該第一保持手段と該第二保持手段を該第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに該第三保持手段と該第四保持手段とを該第二方向において互いに離反する向きに移動可能とするモーターを有する移動手段と、
該モーターを制御する制御手段と、を備えた拡張装置であって、
該制御手段は、
該第一から該第四保持手段でテープを保持した状態で、該モーターを駆動し、該第一保持手段と該第二保持手段とを互いに離反する向きに一定量移動させるとともに該第三保持手段と該第四保持手段とを互いに離反する向きに一定量移動させてテープを拡張させる拡張部と、
該拡張部の該テープの拡張中に該モーターにかかるトルク値を測定しテープの伸縮性を評価する評価部と、
を備えることを特徴とする拡張装置。
【請求項８】
該制御手段は、該評価部が評価したテープの伸縮性に基づいて、該テープの降伏点を算出する算出部を備えることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の拡張装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープ特性を評価するテープ特性の評価方法及び拡張装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
テープに貼着された被加工物を切断ラインに沿って複数のチップに分割する装置として、テープを拡張する拡張装置が用いられている（例えば、特許文献１、及び特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３３４８５２号公報
【特許文献２】特開２０１４−１４３２９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１及び特許文献２に記載された拡張装置は、ダイシングテープやＢＧ（Back  Grind）テープなどに貼着されたウエーハ等の被加工物を加工する際には、テープの特性によって、加工品質が異なることがある。例えば内部に改質層が形成されたウエーハに貼着されたテープを拡張してチップに分割する場合、チップ化される分割率は、テープ特性である伸縮性によって異なる。このため、特許文献１及び特許文献２に記載された拡張装置は、テープ毎に拡張の強度や量を最適化する必要がある。このために、特許文献１及び特許文献２に記載された拡張装置は、従来、テープを製造するメーカーが開示した特性や、専用のテープ引っ張り測定専用機械を用いて測定した特性を用いている。
【０００５】
しかしながら、テープの製法上、流れ方向と垂直方向とでテープ特性である伸縮性が異なることが多く、テープを引っ張る方向によって伸縮性が変わってくることと、実際のテープ拡張の条件下では流れ方向と垂直方向との伸縮性が混在している流れ方向と垂直方向との間の４５度方向にもテープを引っ張ることとにより、通常の引っ張り測定専用機械では、テープ拡張時の条件下での伸縮性を測定することが困難である。そのために、実際にテープを拡張する条件下でテープ特定を測定することが望まれている。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、実際のテープを拡張する条件下でのテープ特性を測定することができるテープ特性の評価方法及び拡張装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のテープ特性の評価方法は、テープ特性の評価方法であって、保持手段でテープを保持する保持ステップと、モーターを駆動しテープを拡張する拡張ステップと、該拡張ステップの実施中に制御手段によってモーターにかかるトルク値を測定しテープの伸縮性を評価する評価ステップと、を含むことを特徴とする。
【０００８】
前記テープ特性の評価方法において、該拡張ステップにおいては、第一方向と第一方向に直交する第二方向だけでなく、第一方向と第二方向との間の斜め方向も含めた全方位にテープを拡張しても良い。
【０００９】
前記テープ特性の評価方法において、該評価ステップにおいて、該トルク値の変化から該テープが降伏点に至る拡張量に応じた値を算出しても良い。
【００１０】
また、本発明のテープ特性の評価方法は、環状フレームを保持する保持手段と、該環状フレームの開口に支持されたテープより小さい外径を有する拡張手段と、該拡張手段と該保持手段とを相対移動するモーターを有する移動手段と、該モーターを制御する制御手段と、を備えた拡張装置によって、テープを評価する方法であって、テープを該環状フレームの開口で支持するフレーム装着ステップと、該保持手段によって該環状フレームを保持する保持ステップと、該モーターを駆動し該拡張手段を一定量移動させてテープを拡張する拡張ステップと、該拡張ステップの実施中に該制御手段によって該モーターにかかるトルク値を測定しテープの伸縮性を評価する評価ステップと、を含むことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明のテープ特性の評価方法は、第一方向において拡張する対象物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ該対象物を保持する第一保持手段と、第二保持手段と、該第一方向に直交する第二方向において該対象物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ該対象物を保持する第三保持手段と、第四保持手段と、該第一保持手段と該第二保持手段を該第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに該第三保持手段と該第四保持手段とを該第二方向において互いに離反する向きに移動可能とするモーターを有する移動手段と、該モーターを制御する制御手段と、を備えた拡張装置によって、テープを評価する方法であって、該第一から該第四保持手段でテープを保持する保持ステップと、該モーターを駆動し、該第一保持手段と該第二保持手段とを互いに離反する向きに一定量移動させるとともに該第三保持手段と該第四保持手段とを互いに離反する向きに一定量移動させてテープを拡張する拡張ステップと、該拡張ステップの実施中に該制御手段によって該モーターにかかるトルク値を測定しテープの伸縮性を評価する評価ステップと、を含むことを特徴とする。
【００１２】
本発明の拡張装置は、環状フレームを保持する保持手段と、該環状フレームの開口に支持されたテープより小さい外径を有する拡張手段と、該拡張手段と該保持手段とを相対移動するモーターを有する移動手段と、該モーターを制御する制御手段と、を備えた拡張装置であって、該制御手段は、該保持手段に環状フレームを保持した状態で、該モーターを駆動し該拡張手段を一定量移動させてテープを拡張させる拡張部と、該拡張部の該テープの拡張中に該モーターにかかるトルク値を測定し、テープの伸縮性を評価する評価部と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明の拡張装置は、第一方向において拡張する対象物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ該対象物を保持する第一保持手段と、第二保持手段と、該第一方向に直交する第二方向において該対象物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ該対象物を保持する第三保持手段と、第四保持手段と、該第一保持手段と該第二保持手段を該第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに該第三保持手段と該第四保持手段とを該第二方向において互いに離反する向きに移動可能とするモーターを有する移動手段と、該モーターを制御する制御手段と、を備えた拡張装置であって、該制御手段は、該第一から該第四保持手段でテープを保持した状態で、該モーターを駆動し、該第一保持手段と該第二保持手段とを互いに離反する向きに一定量移動させるとともに該第三保持手段と該第四保持手段とを互いに離反する向きに一定量移動させてテープを拡張させる拡張部と、該拡張部の該テープの拡張中に該モーターにかかるトルク値を測定しテープの伸縮性を評価する評価部と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
前記拡張装置において、該評価部が評価したテープの伸縮性に基づいて、該テープの降伏点を算出する算出部を備えても良い。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、実際のテープを拡張する条件下でのテープ特性を測定することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、実施形態１に係るテープ特性の評価方法及び拡張装置の評価対象のテープを示す斜視図である。
【図２】図２は、実施形態１に係るテープ特性の評価方法及び拡張装置の評価対象のテープが貼着された被加工物の一例を示す斜視図である。
【図３】図３は、実施形態１に係る拡張装置を備えるレーザー加工装置の要部を示す斜視図である。
【図４】図４は、図３に示されたレーザー加工装置を構成する拡張装置が測定したテープ特性であるテープの伸縮性の一例を示す図である。
【図５】図５は、実施形態１に係るテープ特性の評価方法の流れを示すフローチャートである。
【図６】図６は、図５に示されたテープ特性の評価方法のフレーム装着ステップ後のテープ等を示す斜視図である。
【図７】図７は、図５に示されたテープ特性の評価方法の保持ステップを示す拡張装置の要部の断面図である。
【図８】図８は、図５に示されたテープ特性の評価方法の拡張ステップを示す拡張装置の要部の断面図である。
【図９】図９は、図５に示されたテープ特性の評価方法の評価ステップで測定したテープの伸縮性の一例を示す図である。
【図１０】図１０は、図５に示されたテープ特性の評価方法の評価ステップで測定したテープの伸縮性の他の例を示す図である。
【図１１】図１１は、図５に示されたテープ特性の評価方法の評価ステップで測定したテープの伸縮性の更に他の例示す図である。
【図１２】図１２は、図５に示されたテープ特性の評価方法の評価ステップで測定したテープの伸縮性の別の他の例を示す図である。
【図１３】図１３は、実施形態２に係るテープ特性の評価方法が実施される拡張装置の構成を示す斜視図である。
【図１４】図１４は、実施形態２に係るテープ特性の評価方法の流れを示すフローチャートである。
【図１５】図１５は、図１４に示されたテープ特性の評価方法の保持ステップを模式的に示す拡張装置の平面図である。
【図１６】図１６は、図１４に示されたテープ特性の評価方法の拡張ステップを模式的に示す拡張装置の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１８】
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るテープ特性の評価方法及び拡張装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るテープ特性の評価方法及び拡張装置の評価対象のテープを示す斜視図である。図２は、実施形態１に係るテープ特性の評価方法及び拡張装置の評価対象のテープが貼着された被加工物の一例を示す斜視図である。
【００１９】
実施形態１に係るテープ特性の評価方法は、図１に示すテープ１を少なくとも第一方向１１と第二方向１２との双方に沿って拡張させて、拡張量に応じた値と、拡張に抗して縮小しようとする力に応じた値との関係を測定し、テープ特性であるテープの伸縮性１００を評価する方法である。図１に示すテープ１は、ロール２の外周面３に巻き付けられており、例えば、加熱された樹脂が第一方向１１に沿って移動されながら第一方向１１と第一方向１１に対して直交する第二方向１２とに延伸されて、ロール２の外周面３に巻き付けられる。なお、実施形態１では、第一方向１１は、所謂流れ方向（ＭＤ：Machine  Direction方向）であり、第二方向１２は、所謂垂直方向（ＴＤ：Transverse  Direction方向）である。
【００２０】
実施形態１において、テープ１は、第一方向１１が第二方向１２よりも拡張しやすい（伸びやすい）。また、実施形態１において、テープ１は、加熱されると収縮する熱収縮性を有する。また、実施形態１において、テープ１は、合成樹脂で構成された樹脂層と、樹脂層に積層されかつ図２に示す被加工物４に貼着可能な粘着層とを備えるが、本発明では、粘着層を備えていない所謂シート状又はフィルム状のものでも良い。
【００２１】
実施形態１において、テープ１は、図２に示すように、ロール２から送り出されて、粘着層が環状フレーム５及び被加工物４の表面６に貼着されて、環状フレーム５の外縁部に沿って切断されて、被加工物４を環状フレーム５の開口７の内側に支持する。実施形態１では、被加工物４は、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素又はＳｉＣ（炭化ケイ素）などを基板とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物４は、図２に示すように、互いに交差する複数の直線状の分割予定ライン８で区画された各領域にそれぞれデバイス９が形成された表面６を有する。実施形態１において、被加工物４は、表面６の裏側の裏面１０側から透過性を有する波長のレーザー光線が分割予定ライン８に沿って照射されて、内部に分割予定ライン８に沿った破断起点となる改質層が形成される。被加工物４は、第一方向１１と第二方向１２との双方を含む環状フレーム５の外周方向にテープ１が拡張されて、個々のデバイス９に分割される。
【００２２】
なお、改質層とは、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。このように、実施形態１に係るテープ１は、被加工物４に貼着された状態で拡張されて、改質層を起点に被加工物４を個々のデバイス９に分割するために好適なものである。また、実施形態１において、被加工物４は、内部に破断起点となる改質層が形成されるが、本発明では、表面６側から切削加工を施されて破断起点となる切削溝が形成されても良く、表面６側からレーザーアブレーション加工が施されて破断起点となるレーザー加工溝が形成されても良い。
【００２３】
実施形態１に係るテープ特性の評価方法は、図３に示す加工装置であるレーザー加工装置２０を構成する拡張装置３０により実施される。次に、図３に示すレーザー加工装置２０を図面に基づいて説明する。図３は、実施形態１に係る拡張装置を備えるレーザー加工装置の要部を示す斜視図である。図４は、図３に示されたレーザー加工装置を構成する拡張装置が測定したテープ特性であるテープの伸縮性の一例を示す図である。
【００２４】
図３に示すレーザー加工装置２０は、テープ１によって環状フレーム５の開口７の内側に支持された被加工物４に分割予定ライン８に沿った改質層を形成した後、被加工物４を個々のデバイス９に分割する装置である。レーザー加工装置２０は、被加工物４を保持する図示しないチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物４にレーザー光線を照射する図示しないレーザー光線照射ユニットと、被加工物４を収容するカセット２１が設置されかつカセット２１を鉛直方向に沿って昇降させるカセットエレベータ２２とを備える。また、レーザー加工装置２０は、カセット２１に被加工物４を出し入れする搬出入ユニット２３と、搬出入ユニット２３とチャックテーブルとの間で被加工物４を搬送する図示しない第１の搬送ユニットと、改質層が形成された被加工物４に貼着されたテープ１を拡張する拡張装置３０と、搬出入ユニット２３と拡張装置３０との間で被加工物４を搬送する第２の搬送ユニット２４とを備える。
【００２５】
レーザー加工装置２０は、カセット２１内の被加工物４を搬出入ユニット２３がカセット２１外に搬出し、第１の搬送ユニットがカセット２１外に搬出された被加工物４をチャックテーブルに搬送する。レーザー加工装置２０は、チャックテーブルが被加工物４を保持した後、レーザー光線照射ユニットが被加工物４にレーザー光線を照射して改質層を形成する。レーザー加工装置２０は、改質層が形成された被加工物４を第１の搬送ユニットがチャックテーブルから搬出入ユニット２３に搬送し、改質層が形成された被加工物４を第２の搬送ユニット２４が搬出入ユニット２３から拡張装置３０に搬送する。レーザー加工装置２０は、拡張装置３０がテープ１を拡張して、改質層を起点に分割予定ライン８に沿って被加工物４を個々のデバイス９に分割する。レーザー加工装置２０は、個々のデバイス９に分割された被加工物４を第２の搬送ユニット２４及び搬出入ユニット２３が順に拡張装置３０からカセット２１内に搬送する。また、レーザー加工装置２０は、拡張装置３０がテープ１を拡張する際に、少なくともテープ１を冷却する図示しない冷却装置を備える。冷却装置は、テープ１の周囲の雰囲気を例えば−１５℃から０℃までの範囲内に冷却する。
【００２６】
拡張装置３０は、改質層が形成された被加工物４に貼着されたテープ１を拡張して、被加工物４を個々のデバイス９に分割する装置である。拡張装置３０は、図３に示すように、保持手段である保持ユニット３１と、拡張手段である拡張ユニット３２と、移動手段である移動ユニット３３と、制御手段である制御ユニット４０とを備える。
【００２７】
保持ユニット３１は、環状フレーム５を保持する手段である。保持ユニット３１は、レーザー加工装置２０の装置本体２５に取り付けられた円筒状のベース３４と、複数のクランプ部３５とを備える。ベース３４は、内外径が環状フレーム５の内外径と略等しく形成され、上面３６が水平方向と平行に平坦に形成されている。ベース３４は、上面３６に環状フレーム５が載置される。
【００２８】
複数のクランプ部３５は、ベース３４の周方向に等間隔に配置され、ベース３４の外周面に取り付けられている。クランプ部３５は、ベース３４の上面３６に載置された環状フレーム５をベース３４との間に挟んで、環状フレーム５を保持する。
【００２９】
拡張ユニット３２は、環状フレーム５の開口７に支持されたテープ１より小さい外径を有する円筒状に形成された手段である。拡張ユニット３２は、円筒状に形成され、外径がベース３４及び環状フレーム５の内径よりも小さく、内径がテープ１に貼着される被加工物４の外径よりも大きく形成されている。拡張ユニット３２は、ベース３４の内周側に配置され、ベース３４と同軸となる位置に配置されている。
【００３０】
移動ユニット３３は、拡張ユニット３２と保持ユニット３１とを鉛直方向に沿って相対移動するモーター３７を有する。実施形態１において、移動ユニット３３は、拡張ユニット３２を鉛直方向に移動させて、保持ユニット３１のベース３４に対して拡張ユニット３２を鉛直方向に相対的に移動させる。また、実施形態１において、移動ユニット３３は、拡張ユニット３２の上端がベース３４の上面３６と同一平面上となる位置と、拡張ユニット３２の上端がベース３４の上面３６よりも上方となる位置とに亘って拡張ユニット３２を鉛直方向に沿って移動する。
【００３１】
移動ユニット３３は、モーター３７により軸心回りに回転され、軸心回りに回転されることで拡張ユニット３２を鉛直方向に移動させるボールねじ３８と、拡張ユニット３２の上端の予め設定された基準位置からの鉛直方向の位置を検出する検出ユニット３９とを備える。検出ユニット３９は、検出結果を制御ユニット４０に出力する。
【００３２】
制御ユニット４０は、ドライバ４１を介してモーター３７に接続しているとともにモーター３７を制御して、拡張装置３０にテープ１の拡張動作を実施させるものである。また、制御ユニット４０は、レーザー加工装置２０の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物４に対する加工動作をレーザー加工装置２０に実施させるものである。なお、制御ユニット４０は、ＣＰＵ（central  processing  unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read  only  memory）又はＲＡＭ（random  access  memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット４０の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、レーザー加工装置２０を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介してレーザー加工装置２０の各構成要素に出力する。
【００３３】
制御ユニット４０は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット４２と、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニット４３とが接続されている。入力ユニット４３は、表示ユニット４２に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。
【００３４】
また、拡張装置３０は、テープ１の拡張後に、テープ１の被加工物４と環状フレーム５との間を加熱するヒータ４４をベース３４の内周側でかつ拡張ユニット３２の外周側に備えている。
【００３５】
前述した拡張装置３０は、周囲が冷却装置により冷却され、かつ拡張ユニット３２の上端がベース３４の上面３６と同一平面上に位置した状態で、第２の搬送ユニット２４によりベース３４の上面３６に改質層が形成された被加工物４を開口７に支持した環状フレーム５が載置される。拡張装置３０の制御ユニット４０は、クランプ部３５が環状フレーム５をベース３４の上面３６との間に挟んで、環状フレーム５を保持する。このとき、拡張装置３０の拡張ユニット３２の上端がテープ１に当接している。
【００３６】
拡張装置３０の制御ユニット４０は、モーター３７を駆動させて拡張ユニット３２を上方に移動させる。すると、テープ１が拡張ユニット３２の上端に当接しているために、拡張ユニット３２の移動とともにテープ１が第一方向１１と第二方向１２との双方と第一方向１１と第二方向１２との間の斜め方向である第三方向１３（図２に示す）も含めた全方位に外周方向に向かって放射状に拡張される。テープ１の拡張の結果、テープ１に放射状に引張力が作用する。このように被加工物４の表面６に貼着されたテープ１に放射状に引張力が作用すると、被加工物４は、分割予定ライン８に沿って改質層が形成されているので、改質層を基点として分割予定ライン８に沿って個々のデバイス９に分割されるとともに、デバイス９間が広がり、デバイス９間に間隔が形成される。
【００３７】
拡張装置３０の制御ユニット４０は、テープ１を拡張した後、ヒータ４４によりテープ１の被加工物４と環状フレーム５との間の加熱を開始して、モーター３７に拡張ユニット３２を下降させて拡張ユニット３２の上端をベース３４の上面３６と同一平面上に位置付ける。こうして、拡張装置３０の制御ユニット４０は、テープ１の被加工物４と環状フレーム５との間を収縮させて、拡張ユニット３２の上端がベース３４の上面３６と同一平面上に位置付けられた後もデバイス９間の間隔を維持する。拡張装置３０の制御ユニット４０は、テープ１の拡張、加熱後、クランプ部３５の環状フレーム５の保持を解除し、第２の搬送ユニット２４によりベース３４の上面３６上の環状フレーム５の開口７に支持された被加工物４を搬出入ユニット２３に搬送する。
【００３８】
なお、拡張装置３０の制御ユニット４０は、被加工物４を個々のデバイスに分割する際の拡張ユニット３２の移動速度、移動距離、冷却装置のテープ１を冷却する温度が設定されている。前述した拡張装置３０は、被加工物４を個々のデバイス９に分割する際の拡張ユニット３２の移動速度、移動距離、冷却装置のテープ１を冷却する温度を設定するために、実際に、テープ１を第一方向１１と第二方向１２との双方と第三方向１３も含めた全方位に外周方向に放射状に拡張して、テープ１の特性である図４に示すテープの伸縮性１００を測定し、評価する。
【００３９】
図４に示すテープの伸縮性１００は、環状フレーム５に貼着されたテープ１を保持してからの経過時間に対するモーター３７にかかるトルク値であるモーター３７の出力トルク及び拡張ユニット３２の上端の鉛直方向の基準位置からの距離を示している。図４の横軸は、経過時間を示し、左側の縦軸は、定格トルクを１００％としたときのモーター３７の出力トルクを示し、右側の縦軸は、拡張ユニット３２の上端の鉛直方向の基準位置からの距離を示している。
【００４０】
モーター３７の出力トルクは、テープ１の拡張に抗して縮小しようとする力に応じた値であり、図４中に実線で示す。拡張ユニット３２の上端の鉛直方向の基準位置からの距離は、テープ１の拡張量に応じた値であり、図４中に一点鎖線で示す。なお、テープ１の拡張を開始してからモーター３７の出力トルクと拡張ユニット３２の上端の基準位置からの距離とが比例する範囲は、テープ１の弾性領域１０１であり、テープ１の拡張を開始してからモーター３７の出力トルクと拡張ユニット３２の上端の基準位置からの距離とが比例しなくなる範囲は、テープ１の塑性領域１０２であり、モーター３７の出力トルクの弾性領域１０１と塑性領域１０２との間の境界は、テープ１の降伏点１０３である。
【００４１】
実施形態１において、拡張装置３０が図４に示すテープの伸縮性１００を測定する際には、被加工物４が貼着されていなくかつ外周縁が環状フレーム５に貼着されたテープ１を用意し、このテープ１に貼着された環状フレーム５を保持ユニット３１に保持して、降伏点１０３を超えてテープ１を第一方向１１と第二方向１２との双方を含む外周方向に放射状に拡張する。
【００４２】
拡張装置３０の制御ユニット４０は、図４に示すテープの伸縮性１００を測定し、評価するために、図３に示すように、拡張部４５と、評価部４６と、算出部４７とを備える。
【００４３】
拡張部４５は、保持ユニット３１に環状フレーム５を保持した状態で、モーター３７を駆動して拡張ユニット３２を上端がベース３４の上面３６と同一平面上に位置した状態から上方に向けて一定量移動させて、テープ１を第一方向１１と第二方向１２との双方を含む外周方向に放射状に拡張するものである。拡張部４５は、保持ユニット３１がテープ１に貼着された環状フレーム５を保持した後に、入力ユニット４３から設定された移動速度で拡張ユニット３２を上端がベース３４の上面３６と同一平面上に位置した状態から上方に向かって一定量移動させる。なお、一定量は、入力ユニット４３から設定され、降伏点１０３を超える値である。
【００４４】
評価部４６は、拡張部４５のテープ１の拡張中にモーター３７の出力トルクを測定し、テープの伸縮性１００を測定し、評価するものである。評価部４６は、拡張部４５のテープ１の拡張中にドライバ４１がモーター３７に印加する電圧値とモーター３７に流す電流値との少なくとも一方を参照して、モーター３７の出力トルクを算出し、算出したモーター３７の出力トルクを経過時間に対応して記憶する。また、評価部４６は、拡張部４５のテープ１の拡張中に検出ユニット３９の検出結果に基づいて拡張ユニット３２の上端の基準位置からの距離を算出し、算出した拡張ユニット３２の上端の基準位置からの距離を経過時間に対応して記憶する。こうして、評価部４６は、図４に一例を示すテープの伸縮性１００を算出し、記憶する。なお、実施形態１において、評価部４６は、拡張部４５がテープ１を拡張する際に設定された拡張ユニット３２の移動速度及び冷却装置がテープ１を冷却する温度と対応付けて、図４に一例を示すテープの伸縮性１００を記憶する。
【００４５】
算出部４７は、評価部４６が測定し、評価したテープの伸縮性１００に基づいて、テープ１の降伏点１０３を算出する。実施形態１では、算出部４７は、図４に一例を示すテープの伸縮性１００即ちモーター３７の出力トルクの変化などからテープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの拡張ユニット３２の移動距離１０４を算出する。なお、テープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの拡張ユニット３２の移動距離１０４は、テープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでのテープ１の拡張量に応じた値である。算出部４７は、算出したテープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの拡張ユニット３２の移動距離１０４を図４に一例を示すテープの伸縮性１００に対応させて記憶する。
【００４６】
実施形態１において、拡張装置３０の制御ユニット４０は、評価部４６が測定し、評価したテープの伸縮性１００及び算出部４７が算出したテープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの拡張ユニット３２の移動距離１０４を表示ユニット４２に表示するが、本発明では、制御ユニット４０に接続した外部出力装置に出力しても良い。
【００４７】
なお、拡張部４５の機能は、制御ユニット４０の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。評価部４６の機能は、制御ユニット４０の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施し、算出したテープの伸縮性１００を記憶装置に記憶することにより実現される。算出部４７の機能は、制御ユニット４０の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施し、算出したテープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの拡張ユニット３２の移動距離１０４を記憶装置に記憶することにより実現される。
【００４８】
次に、実施形態１に係るテープ特性の評価方法を説明する。図５は、実施形態１に係るテープ特性の評価方法の流れを示すフローチャートである。図６は、図５に示されたテープ特性の評価方法のフレーム装着ステップ後のテープ等を示す斜視図である。図７は、図５に示されたテープ特性の評価方法の保持ステップを示す拡張装置の要部の断面図である。図８は、図５に示されたテープ特性の評価方法の拡張ステップを示す拡張装置の要部の断面図である。図９は、図５に示されたテープ特性の評価方法の評価ステップで測定したテープの伸縮性の一例を示す図である。図１０は、図５に示されたテープ特性の評価方法の評価ステップで測定したテープの伸縮性の他の例を示す図である。図１１は、図５に示されたテープ特性の評価方法の評価ステップで測定したテープの伸縮性の更に他の例示す図である。図１２は、図５に示されたテープ特性の評価方法の評価ステップで測定したテープの伸縮性の別の他の例を示す図である。
【００４９】
実施形態１に係るテープ特性の評価方法は、実施形態１に係るレーザー加工装置２０の拡張装置３０によってテープ特性であるテープの伸縮性１００を評価する方法である。実施形態１に係るテープ特性の評価方法は、図５に示すように、フレーム装着ステップＳＴ１と、保持ステップＳＴ２と、拡張ステップＳＴ３と、評価ステップＳＴ４とを含む。
【００５０】
フレーム装着ステップＳＴ１は、テープ１を環状フレーム５の開口７で支持するステップである。フレーム装着ステップＳＴ１は、周知のマウント装置などがロール２から送り出されたテープ１を環状フレーム５に貼着し、図６に示すように、テープ１が開口７を塞ぐように、環状フレーム５の外縁部に沿ってテープ１を切断する。そして、フレーム装着ステップＳＴ１は、図６に示すように、外縁部が環状フレーム５に貼着され、かつ開口７を塞いだテープ１をレーザー加工装置２０のカセット２１内に収容して、保持ステップＳＴ２に進む。
【００５１】
保持ステップＳＴ２は、保持ユニット３１でテープ１を保持するステップである。実施形態１では、保持ステップＳＴ２では、レーザー加工装置２０のオペレータが入力ユニット４３を操作して、制御ユニット４０がカセット２１内の環状フレーム５に外縁部が貼着されたテープ１を取り出し、拡張装置３０のベース３４の上面３６に環状フレーム５を載置する。保持ステップＳＴ２では、制御ユニット４０が、図７に示すように、保持ユニット３１のクランプ部３５によって環状フレーム５をベース３４に保持して、拡張ステップＳＴ３及び評価ステップＳＴ４に進む。
【００５２】
拡張ステップＳＴ３は、モーター３７を駆動して、第一方向１１と第二方向１２との双方と第一方向１１と第二方向１２との間の斜め方向である第三方向１３（図２に示す）も含めた全方位にテープ１を放射状に拡張するステップである。拡張ステップＳＴ３では、オペレータが入力ユニット４３を操作して、テープの伸縮性１００を測定し、評価する際の冷却装置がテープ１を冷却する温度、拡張ユニット３２の移動距離（前述の一定量の相当）、及び拡張ユニット３２の移動速度を設定する。拡張ステップＳＴ３では、オペレータの温度、移動距離及び移動速度の設定が完了すると、制御ユニット４０の拡張部４５が、モーター３７を駆動し、図８に示すように、拡張ユニット３２を設定された移動速度で、上端がベース３４の上面３６と同一平面上に位置した状態から上方に向かって設定された一定量である移動距離移動させて、テープ１を第一方向１１と第二方向１２との双方を含む外周方向に放射状に拡張する。
【００５３】
評価ステップＳＴ４は、拡張ステップＳＴ３の実施中に制御ユニット４０によってモーター３７の出力トルクを測定し、テープの伸縮性１００を評価するステップである。評価ステップＳＴ４では、制御ユニット４０の評価部４６が、一定時間毎にモーター３７の出力トルクと、拡張ユニット３２の基準位置からの距離とを算出して、経過時間と対応付けて、図９、図１０、図１１及び図１２に示すテープの伸縮性１００−１，１００−２，１００−３，１００−４として記憶する。
【００５４】
なお、図９、図１０、図１１及び図１２の横軸は、経過時間を示し、縦軸の零よりも下側は、定格トルクを１００％としたときのモーター３７の出力トルクを示し、縦軸の零よりも上側は、拡張ユニット３２の上端の鉛直方向の基準位置からの距離を示している。図９、図１０、図１１及び図１２は、モーター３７の出力トルクを実線で示し、拡張ユニット３２の上端の鉛直方向の基準位置からの距離を一点鎖線で示す。図９、図１０、図１１及び図１２に示すテープの伸縮性１００−１，１００−２，１００−３，１００−４は
図４に示すテープの伸縮性１００と対応する部分に同一符号を付す。
【００５５】
図９及び図１０は、冷却装置がテープ１を冷却する温度を０℃とした時のテープの伸縮性１００−１，１００−２を示し、図１１及び図１２は、冷却装置がテープ１を冷却する温度を−１５℃とした時のテープの伸縮性１００−３，１００−４を示している。図９及び図１１は、拡張ユニット３２の移動速度を０．５ｍｍ／ｓｅｃとした時のテープの伸縮性１００−１，１００−３を示し、図１０及び図１２は、拡張ユニット３２の移動速度を１．０ｍｍ／ｓｅｃとした時のテープの伸縮性１００−２，１００−４を示している。
【００５６】
評価ステップＳＴ４では、拡張ステップＳＴ３において拡張ユニット３２の一定量の移動が完了し、テープの伸縮性１００の測定が完了すると、制御ユニット４０の算出部４７がテープの伸縮性１００即ちモーター３７の出力トルクの変化などからテープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの拡張ユニット３２の移動距離１０４を算出し、記憶するとともに、制御ユニット４０が、測定し、評価したテープの伸縮性１００及びテープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの拡張ユニット３２の移動距離１０４を表示ユニット４２に表示する。テープ特性の評価方法は、評価ステップＳＴ４において、テープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの拡張ユニット３２の移動距離１０４の算出、記憶等を完了すると終了する。
【００５７】
実施形態１に係るテープ特性の評価方法は、テープ１を拡張する拡張ステップＳＴ３の実施中にモーター３７の出力トルク等を測定するので、テープの伸縮性１００を容易に測定し、評価することができる。
【００５８】
また、実施形態１に係るテープ特性の評価方法は、拡張ステップＳＴ３において、テープ１を第一方向１１と第二方向１２との双方を含む外周方向に放射状に拡張するので、一方向のみ拡張してテープ特性を測定する従来の方法よりも被加工物４を個々のデバイス９に分割する際に実際のテープ１を拡張する条件下でのテープの伸縮性１００を測定し、評価することができる。
【００５９】
また、実施形態１に係るテープ特性の評価方法は、拡張ステップＳＴ３において降伏点１０３を超えてテープ１を拡張するので、テープ１の降伏点１０３を把握することができ、被加工物４を個々のデバイス９に分割する際のテープ１の拡張量に対応する拡張ユニット３２の移動距離を降伏点１０３に至らない値に設定し易くなる。その結果、テープ特性の評価方法は、環状フレーム５と被加工物４の間の被加工物４が貼着されていないテープ１の余剰部分が拡張後に加熱されて収縮する際に被加工物４に貼着された部分のテープ１もつられて引っ張られてデバイス９間の間隔が開き、個々に分割されたデバイス９同士が接触することを抑制することができる。
【００６０】
また、実施形態１に係るテープ特性の評価方法は、被加工物４を個々のデバイス９に分割する拡張装置３０によって実施されるので、被加工物４を個々のデバイス９に分割する条件に近い状態でテープの伸縮性１００を測定することができる。
【００６１】
また、実施形態１に係るテープ特性の評価方法は、冷却装置がテープ１を冷却する温度、拡張ユニット３２の移動速度に対応して、テープの伸縮性１００を測定するので、被加工物４を個々のデバイス９に分割する条件に近い状態で測定したテープの伸縮性１００に基づいて、実際に被加工物４を個々のデバイス９に分割する際の拡張ユニット３２の移動距離及び移動速度および冷却温度を設定することができる。
【００６２】
また、実施形態１に係るテープ特性の評価方法は、被加工物４を個々のデバイス９に分割する拡張装置３０によって実施されるので、テープの伸縮性１００を測定する専用の装置を用いることなく、テープの伸縮性１００を測定し、評価することができる。
【００６３】
なお、実施形態１に係る拡張装置３０は、レーザー加工装置２０を構成しているが、本発明では、レーザー加工装置２０と別体に設けられても良い。
【００６４】
〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係るテープ特性の評価方法及び拡張装置を図面に基づいて説明する。図１３は、実施形態２に係るテープ特性の評価方法が実施される拡張装置の構成を示す斜視図である。図１４は、実施形態２に係るテープ特性の評価方法の流れを示すフローチャートである。図１５は、図１４に示されたテープ特性の評価方法の保持ステップを模式的に示す拡張装置の平面図である。図１６は、図１４に示されたテープ特性の評価方法の拡張ステップを模式的に示す拡張装置の平面図である。なお、図１３、図１４、図１５及び図１６は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００６５】
実施形態２に係る拡張装置３０−２は、改質層が形成された被加工物４が貼着された対象物であるテープ１を第一方向１１と第二方向１２とに拡張して、被加工物４を個々のデバイス９に分割する装置である。拡張装置３０−２は、図１３に示すように、固定基台５０と、固定基台５０の中央に設けられた保持テーブル５１と、第一保持手段である第一保持ユニット３１−１と、第二保持手段である第二保持ユニット３１−２と、第三保持手段である第三保持ユニット３１−３と、第四保持手段である第四保持ユニット３１−４と、移動手段である第一移動ユニット３３−１と、移動手段である第二移動ユニット３３−２と、移動手段である第三移動ユニット３３−３と、移動手段である第四移動ユニット３３−４と、制御手段である制御ユニット４０−２とを備える。
【００６６】
保持テーブル５１は、円板状に上面５２が水平方向に沿って平坦に形成され、上面５２にテープ１が載置される。第一保持ユニット３１−１と第二保持ユニット３１−２は、第一方向１１において拡張するテープ１が載置される保持テーブル５１を挟んで互いに対向して配設されている。即ち、第一保持ユニット３１−１と第二保持ユニット３１−２とは、第一方向１１に沿って互いに対向し、互いの間に保持テーブル５１を位置付けている。
【００６７】
第三保持ユニット３１−３と第四保持ユニット３１−４は、第二方向１２において拡張するテープ１が載置される保持テーブル５１を挟んで互いに対向して配設されている。即ち、第三保持ユニット３１−３と第四保持ユニット３１−４は、第二方向１２に沿って互いに対向し、互いの間に保持テーブル５１を位置付けている。
【００６８】
第一保持ユニット３１−１、第二保持ユニット３１−２、第三保持ユニット３１−３及び第四保持ユニット３１−４は、それぞれテープ１を挟んで保持する。第一保持ユニット３１−１、第二保持ユニット３１−２、第三保持ユニット３１−３及び第四保持ユニット３１−４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。
【００６９】
第一保持ユニット３１−１、第二保持ユニット３１−２、第三保持ユニット３１−３及び第四保持ユニット３１−４は、固定基台５０上に設けられた柱状の移動基台５３に鉛直方向に移動自在に設けられた一対の挟持部材５４と、一対の挟持部材５４を互いに近づく方向及び互いに離れる方向に移動する移動機構５５と、備える。一対の挟持部材５４は、互いに鉛直方向に間隔をあけて配置され、移動機構５５により互いに近づけられて互いの間にテープ１を挟んで保持する。移動機構５５は、移動基台５３に設けられている。また、各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の一対の挟持部材５４及び移動機構５５を設けた移動基台５３は、固定基台５０に第一方向１１又は第二方向１２に移動自在に設けられている。
【００７０】
第一移動ユニット３３−１と第二移動ユニット３３−２は、第一保持ユニット３１−１と第二保持ユニット３１−２を第一方向１１において互いに離反する向きに移動可能とするものである。実施形態１において、第一移動ユニット３３−１は、第一保持ユニット３１−１が設けられた移動基台５３を固定基台５０に対して第一方向１１に移動させる。実施形態１において、第二移動ユニット３３−２は、第二保持ユニット３１−２が設けられた移動基台５３を固定基台５０に対して第一方向１１に移動させる。
【００７１】
第三移動ユニット３３−３と第四移動ユニット３３−４は、第三保持ユニット３１−３と第四保持ユニット３１−４を第二方向１２において互いに離反する向きに移動可能とするものである。実施形態１において、第三移動ユニット３３−３は、第三保持ユニット３１−３が設けられた移動基台５３を固定基台５０に対して第二方向１２に移動させる。実施形態１において、第四移動ユニット３３−４は、第四保持ユニット３１−４が設けられた移動基台５３を固定基台５０に対して第二方向１２に移動させる。
【００７２】
第一移動ユニット３３−１、第二移動ユニット３３−２、第三移動ユニット３３−３及び第四移動ユニット３３−４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。
【００７３】
第一移動ユニット３３−１、第二移動ユニット３３−２、第三移動ユニット３３−３及び第四移動ユニット３３−４は、ドライバ４１を介して制御ユニット４０−２に接続され、かつ保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４を第一方向１１又は第二方向１２に移動可能とするモーター３７−２と、モーター３７−２により軸心回りに回転されて移動基台５３を第一方向１１又は第二方向１２に移動させるボールねじ３８−２と、保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の予め設定された基準位置からの第一方向１１又は第二方向１２の位置を検出する検出ユニット３９−２とを有する。検出ユニット３９−２は、検出結果を制御ユニット４０−２に出力する。また、拡張装置３０−２は、テープ１を冷却する図示しない冷却装置を備える。
【００７４】
制御ユニット４０−２は、ドライバ４１を介してモーター３７−２に接続しているとともにモーター３７−２を制御して、拡張装置３０−２にテープ１の拡張動作を実施させるものである。また、制御ユニット４０−２は、拡張装置３０−２の各構成要素をそれぞれ制御するものである。なお、制御ユニット４０−２は、ＣＰＵ（central  processing  unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read  only  memory）又はＲＡＭ（random  access  memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット４０−２の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、拡張装置３０−２を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して拡張装置３０−２の各構成要素に出力する。
【００７５】
制御ユニット４０−２は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット４２と、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニット４３とが接続されている。入力ユニット４３は、表示ユニット４２に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。
【００７６】
前述した拡張装置３０−２は、周囲が冷却装置により冷却された状態で、保持テーブル５１の上面５２に改質層が形成された被加工物４が貼着されたテープ１が載置される。拡張装置３０−２の制御ユニット４０−２は、保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の移動機構５５を制御して一対の挟持部材５４間にテープ１を挟んで保持する。
【００７７】
拡張装置３０−２の制御ユニット４０−２は、モーター３７−２を駆動させて移動ユニット３３−１，３３−２，３３−３，３３−４に保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４を第一方向１１又は第二方向１２に離反する方向に移動させる。すると、保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の移動とともにテープ１が第一方向１１と第二方向１２との双方に拡張される。テープ１の拡張の結果、テープ１に第一方向１１と第二方向１２の引張力が作用する。このように被加工物４が貼着されたテープ１に第一方向１１と第二方向１２の引張力が作用すると、被加工物４は、分割予定ライン８に沿って改質層が形成されているので、改質層を基点として分割予定ライン８に沿って個々のデバイス９に分割される。
【００７８】
拡張装置３０−２の制御ユニット４０−２は、テープ１を拡張した後、モーター３７−２に保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４を拡張前の位置に移動させて、保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４のテープ１の保持を解除する。
【００７９】
実施形態２に係る拡張装置３０−２は、被加工物４を個々のデバイス９に分割する際の保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の第一方向１１及び第二方向１２に沿った移動速度、移動距離、冷却装置のテープ１を冷却する温度が設定されている。拡張装置３０−２は、被加工物４を個々のデバイス９に分割する際の保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の第一方向１１及び第二方向１２に沿った移動速度、移動距離、冷却装置のテープ１を冷却する温度を設定するために、実際に、テープ１を第一方向１１と第二方向１２との双方に拡張して、実施形態１と同様に第一方向１１及び第二方向１２それぞれのテープの伸縮性１００を測定し、評価する。
【００８０】
実施形態２において、拡張装置３０−２がテープの伸縮性１００を測定する際には、被加工物４が貼着されていないテープ１を保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４に保持して、降伏点１０３を超えてテープ１を第一方向１１と第二方向１２との双方に拡張する。
【００８１】
拡張装置３０−２の制御ユニット４０−２は、テープの伸縮性１００を測定し、評価するために、図１３に示すように、拡張部４５−２と、評価部４６−２と、算出部４７−２とを備える。
【００８２】
拡張部４５−２は、第一から第四保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４でテープ１を保持した状態で、各移動ユニット３３−１，３３−２，３３−３，３３−４のモーター３７−２を駆動して、第一保持ユニット３１−１と第二保持ユニット３１−２とを互いに離反する向きに一定量移動させるとともに、第三保持ユニット３１−３と該第四保持ユニット３１−４とを互いに離反する向きに一定量移動させてテープ１を第一方向１１と第二方向１２との双方に拡張するものである。拡張部４５−２は、保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４がテープ１を保持した後に、入力ユニット４３から設定された移動速度で第一保持ユニット３１−１と第二保持ユニット３１−２とが互いに離反する向きでかつ第三保持ユニット３１−３と該第四保持ユニット３１−４とが互いに離反する向きに一定量移動させる。なお、一定量は、入力ユニット４３から設定され、降伏点１０３を超える値である。
【００８３】
評価部４６−２は、拡張部４５−２のテープ１の拡張中に各移動ユニット３３−１，３３−２，３３−３，３３−４のモーター３７−２の出力トルクを測定し、テープの伸縮性１００を測定し、評価するものである。評価部４６−２は、拡張部４５−２のテープ１の拡張中に各ドライバ４１が各モーター３７−２に印加する電圧値とモーター３７−２に流す電流値との少なくとも一方を参照して、各モーター３７−２の出力トルクを算出し、算出した各モーター３７−２の出力トルクを経過時間に対応して記憶する。また、評価部４６−２は、拡張部４５−２のテープ１の拡張中に検出ユニット３９−２の検出結果に基づいて各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離を算出し、算出した各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離を経過時間に対応して記憶する。こうして、評価部４６−２は、第一方向１１と第二方向１２それぞれのテープの伸縮性１００を記憶する。なお、実施形態２において、評価部４６−２は、拡張部４５−２がテープ１を拡張する際に設定された保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の移動速度及び冷却装置がテープ１を冷却する温度と対応付けて、テープの伸縮性１００を記憶する。
【００８４】
算出部４７−２は、評価部４６−２が測定し、評価したテープの伸縮性１００に基づいて、テープ１の降伏点１０３を算出する。実施形態２では、算出部４７−２は、テープの伸縮性１００即ちモーター３７−２の出力トルクの変化などから第一方向１１及び第二方向１２それぞれのテープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離を算出する。なお、テープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離は、テープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでのテープ１の拡張量に応じた値である。算出部４７−２は、算出したテープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離をテープの伸縮性１００に対応させて記憶する。
【００８５】
実施形態１において、拡張装置３０−２の制御ユニット４０−２は、評価部４６−２が測定し、評価したテープの伸縮性１００及び算出部４７−２が算出したテープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離を表示ユニット４２に表示するが、本発明では、制御ユニット４０に接続した外部出力装置に出力しても良い。
【００８６】
なお、拡張部４５−２の機能は、制御ユニット４０−２の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。評価部４６−２の機能は、制御ユニット４０−２の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施し、算出したテープの伸縮性１００を記憶装置に記憶することにより実現される。算出部４７−２の機能は、制御ユニット４０の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施し、算出したテープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離を記憶装置に記憶することにより実現される。
【００８７】
実施形態２に係るテープ特性の評価方法は、実施形態２に係る拡張装置３０−２によってテープ特性であるテープの伸縮性１００を評価する方法である。実施形態２に係るテープ特性の評価方法は、図１４に示すように、保持ステップＳＴ２−２と、拡張ステップＳＴ３−２と、評価ステップＳＴ４−２とを含む。
【００８８】
保持ステップＳＴ２−２は、第一から第四保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４でテープ１を保持するステップである。実施形態２では、保持ステップＳＴ２では、保持テーブル５１の上面５２に被加工物４が貼着されていないテープ１を載置する。保持ステップＳＴ２−２では、制御ユニット４０−２が、図１５に示すように、保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の一対の挟持部材５４間にテープ１を挟んで、保持し、拡張ステップＳＴ３−２及び評価ステップＳＴ４−２に進む。
【００８９】
拡張ステップＳＴ３−２は、各移動ユニット３３−１，３３−２，３３−３，３３−４のモーター３７−２を駆動し、第一保持ユニット３１−１と第二保持ユニット３１−２とを互いに離反する向きに一定量移動させるとともに、第三保持ユニット３１−３と第四保持ユニット３１−４とを互いに離反する向きに一定量移動させて、第一方向１１と第二方向１２との双方にテープ１を拡張するステップである。拡張ステップＳＴ３−２では、オペレータが入力ユニット４３を操作して、テープの伸縮性１００を測定し、評価する際の冷却装置がテープ１を冷却する温度、各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離（前述の一定量の相当）、及び各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動速度を設定する。拡張ステップＳＴ３−２では、オペレータの温度、移動距離及び移動速度の設定が完了すると、制御ユニット４０−２の拡張部４５−２が、各移動ユニット３３−１，３３−２，３３−３，３３−４のモーター３７−２を駆動し、図１６に示すように、各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４を設定された移動速度で、設定された一定量の移動距離移動させて、テープ１を第一方向１１と第二方向１２との双方に拡張する。
【００９０】
評価ステップＳＴ４−２は、拡張ステップＳＴ３−２の実施中に制御ユニット４０−２によって、各移動ユニット３３−１，３３−２，３３−３，３３−４のモーター３７−２の出力トルクを測定し、テープの伸縮性１００を評価するステップである。評価ステップＳＴ４−２では、制御ユニット４０−２の評価部４６−２が、一定時間毎に各モーター３７−２の出力トルクと、各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離とを算出して、経過時間と対応付けて、第一方向１１と第二方向１２それぞれのテープの伸縮性１００として、実施形態１と同様に記憶する。
【００９１】
評価ステップＳＴ４−２では、拡張ステップＳＴ３−２において各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の一定量の移動が完了し、テープの伸縮性１００の測定が完了すると、制御ユニット４０−２の算出部４７−２が測定したテープの伸縮性１００即ちモーター３７−２の出力トルクの変化などからテープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離を算出し、記憶するとともに、制御ユニット４０−２が、測定し、評価したテープの伸縮性１００及びテープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離を表示ユニット４２に表示する。テープ特性の評価方法は、評価ステップＳＴ４−２において、テープ１の拡張開始から降伏点１０３に至るまでの各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離の算出、記憶等を完了すると終了する。
【００９２】
実施形態２に係るテープ特性の評価方法は、実施形態１と同様に、テープ１を拡張する拡張ステップＳＴ３−２の実施中にモーター３７−２の出力トルク等を測定するので、テープの伸縮性１００を容易に測定し、評価することができる。
【００９３】
また、実施形態２に係るテープ特性の評価方法は、拡張ステップＳＴ３−２において、テープ１を第一方向１１と第二方向１２との双方に拡張するので、一方向のみ拡張する従来の方法よりも被加工物４を個々のデバイス９に分割する際に実際のテープ１を拡張する条件下でのテープの伸縮性１００を測定し、評価することができる。
【００９４】
また、実施形態２に係るテープ特性の評価方法は、拡張ステップＳＴ３−２において降伏点１０３を超えてテープ１を拡張するので、テープ１の降伏点１０３を把握することができ、被加工物４を個々のデバイス９に分割する際のテープ１の拡張量に対応する各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離を降伏点１０３に至らない値に設定し易くなる。その結果、テープ特性の評価方法は、個々に分割されたデバイス９同士が接触することを抑制することができる。
【００９５】
また、実施形態２に係るテープ特性の評価方法は、被加工物４を個々のデバイス９に分割する拡張装置３０−２によって実施されるので、被加工物４を個々のデバイス９に分割する条件に近い状態でテープの伸縮性１００を測定することができる。
【００９６】
また、実施形態２に係るテープ特性の評価方法は、冷却装置がテープ１を冷却する温度、各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動速度に対応して、テープの伸縮性１００を測定するので、被加工物４を個々のデバイス９に分割する条件に近い状態で測定したテープの伸縮性１００に基づいて、実際に被加工物４を個々のデバイス９に分割する際の各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離及び移動速度を設定することができる。
【００９７】
また、実施形態２に係るテープ特性の評価方法は、被加工物４を個々のデバイス９に分割する拡張装置３０−２によって実施されるので、テープの伸縮性１００を測定する専用の装置を用いることなく、テープの伸縮性１００を測定し、評価することができる。
【００９８】
また、実施形態２に係るテープ特性の評価方法は、第一方向１１と第二方向１２それぞれのテープの伸縮性１００を測定し、評価するので、実際に被加工物４を個々のデバイス９に分割する際の各保持ユニット３１−１，３１−２，３１−３，３１−４の挟持部材５４の移動距離及び移動速度を設定することができる。
【００９９】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、実施形態１及び実施形態２では、制御ユニット４０，４０−２が、テープの伸縮性１００，１００−１，１００−２，１００−３，１００−４に基づいて降伏点１０３を算出したが、本発明では、制御ユニット４０，４０−２が、降伏点１０３を算出することなく、測定したテープの伸縮性１００，１００−１，１００−２，１００−３，１００−４を表示ユニット４２に表示しても良い。この場合、オペレータが、降伏点１０３を算出したり、降伏点１０３を算出することなく、テープ１同士のテープの伸縮性１００，１００−１，１００−２，１００−３，１００−４の差などからデバイス９に分割する際の移動距離、移動速度、及び温度等を設定しても良い。
【符号の説明】
【０１００】
１  テープ（対象物）
５  環状フレーム
７  開口
１１  第一方向
１２  第二方向
１３  第三方向（斜め方向）
３０，３０−２  拡張装置
３１  保持ユニット（保持手段）
３１−１  第一保持ユニット（第一保持手段、保持手段）
３１−２  第二保持ユニット（第二保持手段、保持手段）
３１−３  第三保持ユニット（第三保持手段、保持手段）
３１−４  第四保持ユニット（第四保持手段、保持手段）
３２  拡張ユニット（拡張手段）
３３  移動ユニット（移動手段）
３３−１  第一移動ユニット（移動手段）
３３−２  第二移動ユニット（移動手段）
３３−３  第三移動ユニット（移動手段）
３３−４  第四移動ユニット（移動手段）
３７，３７−２  モーター
４０，４０−２  制御ユニット（制御手段）
４５，４５−２  拡張部
４６，４６−２  評価部
４７，４７−２  算出部
１００，１００−１，１００−２，１００−３，１００−４  テープの伸縮性（テープ特性）
１０３  降伏点
１０４  移動距離（降伏点に至る拡張量に応じた値）
ＳＴ１  フレーム装着ステップ
ＳＴ２，ＳＴ２−２  保持ステップ
ＳＴ３，ＳＴ３−２  拡張ステップ
ＳＴ４，ＳＴ４−２  評価ステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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