(57)【要約】【課題】軸方向の寸法を小さくできる流体圧シリンダを提供する。【解決手段】内部に摺動孔１３を有するシリンダチューブ１２と、摺動孔１３に沿って往復移動可能に配置されたピストンユニット１８と、ピストンユニット１８から軸方向に突出したピストンロッド２０と、を備えた流体圧シリンダ１０において、ピストンユニット１８は、ピストン本体４０の外周部に取り付けるリング状のマグネット４６の外周部にウエアリング４４を装着することにより、ピストン本体４０の軸方向の寸法の短縮化を図る。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に摺動孔を有するシリンダチューブと、
前記摺動孔に沿って往復移動可能に配置されたピストンユニットと、
前記ピストンユニットから軸方向に突出したピストンロッドと、を備え、
前記ピストンユニットは、前記ピストンロッドから径方向外方に突出したピストン本体と、
前記ピストン本体の外周部に装着されたパッキンと、
前記ピストン本体の外周部に装着されたリング状のマグネットと、
前記リング状のマグネットの外周部に装着されたウエアリングと、
を有していることを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項２】
請求項１記載の流体圧シリンダであって、前記ウエアリングの軸方向の範囲内に、前記マグネットが配置されていることを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項３】
請求項１又は２記載の流体圧シリンダであって、前記マグネットの中心位置と、前記ウエアリングの軸方向の中心位置とが一致していることを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の流体圧シリンダであって、前記ウエアリングの外周部には周方向に離間した複数の開口部が設けられており、前記マグネットの外周部には径方向外方に突出するとともに前記ウエアリングの前記開口部に挿入された凸部が周方向に間隔をおいて複数が形成されていることを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項５】
請求項４記載の流体圧シリンダであって、前記ウエアリングの軸方向の一方の端部に周方向に延在する周方向部が形成されていることを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項６】
請求項４記載の流体圧シリンダであって、前記ウエアリングの軸方向の両方の端部に周方向に延在する周方向部が形成されていることを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれか１項に記載の流体圧シリンダであって、前記マグネットの凸部の外周面は、前記ピストン本体の外周面と径方向に同じ位置又はこれよりも径方向外方に突出した位置に形成されていることを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項８】
請求項７記載の流体圧シリンダであって、前記マグネットの凸部の高さは前記ウエアリングの厚みの範囲内であることを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項９】
請求項４〜８のいずれか１項に記載の流体圧シリンダであって、前記マグネットの前記凸部の周方向の幅が凹部の周方向の幅よりも大きいことを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の流体圧シリンダであって、前記ウエアリングは、前記マグネットの軸方向の一方の端面と当接する第１の爪部と、前記マグネットの軸方向の他方の端面と当接する第２の爪部とを有することを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の流体圧シリンダであって、前記ピストン本体は、前記ピストン本体の外周部に円形リング状に形成されたパッキン装着溝、マグネット配置溝及びウエアリング配置溝を有し、前記ウエアリング配置溝は前記マグネット配置溝よりも軸方向に幅広に且つ浅く形成されており、前記マグネット配置溝は前記ウエアリング配置溝の軸方向の幅の範囲内に形成されていることを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項１２】
請求項１１に記載の流体圧シリンダであって、マグネット配置溝の軸方向の中心位置と前記ウエアリング配置溝の軸方向の中心位置とが同じであることを特徴とする流体圧シリンダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピストンにマグネットが配置された流体圧シリンダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、ワークなどの搬送手段（アクチュエータ）として、圧力流体の供給に伴って変位するピストンを備えた流体圧シリンダは公知である。一般に、流体圧シリンダは、シリンダチューブと、シリンダチューブ内に軸方向に移動可能に配置されたピストンと、ピストンに連結されたピストンロッドとを有する。
【０００３】
また、ピストンの位置を検出するために、ピストンにマグネットを装着する流体圧シリンダも知られている。例えば、特許文献１には、ピストンの外周部にリング状のマグネットが装着されるとともに、シリンダチューブの外側に磁気センサが配置された流体圧シリンダが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１３３９２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
マグネットが装着されたピストンは、マグネットが装着されていないピストンよりも軸方向の寸法が大きくなりやすい。ピストンの軸方向の寸法が大きくなると、その分、流体圧シリンダの全長が大きくなるという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、軸方向の寸法を小さくできる流体圧シリンダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明の流体圧シリンダによれば、内部に摺動孔を有するシリンダチューブと、前記摺動孔に沿って往復移動可能に配置されたピストンユニットと、前記ピストンユニットから軸方向に突出したピストンロッドと、を備え、前記ピストンユニットは、前記ピストンロッドから径方向外方に突出したピストン本体と、前記ピストン本体の外周部に装着されたパッキンと、前記ピストン本体の外周部に装着されたリング状のマグネットと、前記リング状のマグネットの外周部に装着されたウエアリングと、を有していることを特徴とする。
【０００８】
上記の流体圧シリンダによれば、リング状のマグネットの外周部にウエアリングを装着することにより、ウエアリングとマグネットを軸方向の異なる位置に設ける場合よりも、ピストン本体の軸方向の寸法を小さくできる。
【０００９】
上記の流体圧シリンダにおいて、前記ウエアリングの軸方向の範囲内に、前記マグネットが配置されていてもよい。
【００１０】
上記のように構成することにより、ウエアリングの軸方向の寸法を小さくすることができ、ピストン本体の軸方向の寸法を小さくできる。
【００１１】
上記の流体圧シリンダにおいて、前記マグネットの中心位置と、前記ウエアリングの軸方向の中心位置とが一致していてもよい。
【００１２】
上記のように構成することにより、マグネットの外周部を覆うようにウエアリングを取り付けることができ、ウエアリングのマグネットの外周への装着が容易となるとともに、ウエアリングの軸方向の寸法を小型化できる。
【００１３】
上記の流体圧シリンダにおいて、前記ウエアリングの外周部には周方向に離間した複数の開口部が設けられており、前記マグネットの外周部には径方向外方に突出するとともに前記ウエアリングの前記開口部に挿入された凸部が周方向に間隔をおいて複数が形成されていてもよい。
【００１４】
上記のように構成することにより、ウエアリングの開口部にマグネットを突出させることができ、マグネットを磁気センサにより接近させることができる。その結果、マグネットの磁力が弱くて済み、より小型で軸方向に薄いマグネットを使用できるので、ピストン本体の軸方向の寸法を更に小さくできる。
【００１５】
上記の流体圧シリンダにおいて、前記ウエアリングの軸方向の一方の端部に周方向に延在する周方向部が形成されていてもよい。
【００１６】
上記のように構成することにより、ウエアリングに開口部を設けた場合であっても、リング状の形状を保つことができる。
【００１７】
上記の流体圧シリンダにおいて、前記ウエアリングの軸方向の両方の端部に周方向に延在する周方向部が形成されていてもよい。
【００１８】
上記のように構成することにより、ウエアリングの軸方向の両端部を周方向部で支持できるので、ウエアリングの機械的な強度が高まる。
【００１９】
上記の流体圧シリンダにおいて、前記マグネットの凸部の外周面は、前記ピストン本体の外周面と径方向に同じ位置又はこれよりも径方向外方に突出した位置に形成されていてもよい。
【００２０】
上記のように構成することにより、マグネットの凸部を更に磁気センサに接近させることができる。その結果、マグネットの軸方向の寸法をさらに小さくすることができ、ピストン本体の軸方向の寸法を短くできる。
【００２１】
上記の流体圧シリンダにおいて、前記マグネットの凸部の高さは前記ウエアリングの厚みの範囲内としてもよい。
【００２２】
上記のように構成することにより、マグネットの凸部と摺動孔との接触を防ぐことができる。
【００２３】
上記の流体圧シリンダにおいて、前記マグネットの前記凸部の周方向の幅が凹部の周方向の幅よりも大きくてもよい。
【００２４】
上記のように構成することにより、磁気センサを取り付け可能な周方向の位置を増大させることができる。
【００２５】
上記の流体圧シリンダにおいて、前記ウエアリングは、前記マグネットの軸方向の一方の端面と当接する第１の爪部と、前記マグネットの軸方向の他方の端面と当接する第２の爪部とを有していてもよい。
【００２６】
上記のように構成することにより、ウエアリングをマグネットの外周部に確実に装着することができる。
【００２７】
上記の流体圧シリンダにおいて、前記ピストン本体は、前記ピストン本体の外周部に円形リング状に形成されたパッキン装着溝、マグネット配置溝及びウエアリング配置溝を有し、前記ウエアリング配置溝は前記マグネット配置溝よりも軸方向に幅広に且つ浅く形成されており、前記マグネット配置溝は前記ウエアリング配置溝の軸方向の幅の範囲内に形成されていてもよい。
【００２８】
上記のように構成することにより、ウエアリングをマグネットの外周部に装着することができる。
【００２９】
上記の流体圧シリンダにおいて、マグネット配置溝の軸方向の中心位置と前記ウエアリング配置溝の軸方向の中心位置とが同じであってもよい。
【００３０】
上記のように構成することにより、マグネットの軸方向の両端から挟み込むようにウエアリングを装着することが可能となり、ウエアリングの軸方向の寸法を小型化できる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明に係る流体圧シリンダによれば、軸方向の寸法を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る流体圧シリンダの斜視図である。
【図２】図１の流体圧シリンダの断面図である。
【図３】図１の流体圧シリンダのピストンユニットの斜視図である。
【図４】図３のピストンユニットの分解斜視図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係るピストンユニットの斜視図である。
【図６】図５のピストンユニットの分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明の好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照して詳細に説明する。なお、図面の寸法比率は、説明の都合上、誇張されて実際の比率とは異なる場合がある。また、以下の説明において、シリンダチューブの中心の軸線の方向を軸方向（Ｘ方向）とよぶものとする。
【００３４】
（第１の実施形態）
図１に示す第１実施形態に係る流体圧シリンダ１０は、内部に円形の摺動孔１３（シリンダ室）を有する中空円筒状のシリンダチューブ１２と、シリンダチューブ１２の一端部に配置されたロッドカバー１４と、シリンダチューブ１２の他端部に配置されたヘッドカバー１６とを備える。また、図２及び図３に示すように、流体圧シリンダ１０は、シリンダチューブ１２内の軸方向（Ｘ方向）に移動可能に配置されたピストンユニット１８と、ピストンユニット１８に連結されたピストンロッド２０とを備える。この流体圧シリンダ１０は、例えば、ワークの搬送などのためのアクチュエータとして用いられる。
【００３５】
シリンダチューブ１２は、例えば、アルミニウム合金などの金属材料により構成され、軸方向に沿って延在した筒体からなる。第１実施形態では、シリンダチューブ１２は、中空円筒形に形成されている。
【００３６】
図１及び図２に示すように、ロッドカバー１４は、シリンダチューブ１２の一端部（矢印Ｘ１方向側の端部）を閉塞するように設けられており、例えば、シリンダチューブ１２と同様の金属材料により構成された部材である。ロッドカバー１４には、第１ポート１５ａが設けられている。図２に示すように、ロッドカバー１４に設けられた環状突出部１４ｂがシリンダチューブ１２の一端部に挿入されている。
【００３７】
ロッドカバー１４とシリンダチューブ１２の間には、円形リング状のパッキン２３が配置されている。ロッドカバー１４の内周部には、円形リング状のブッシュ２５及びパッキン２７が配置されている。ロッドカバー１４の内周部には、円形リング状の第１クッションパッキン６８ａが配置されている。
【００３８】
ヘッドカバー１６は、例えば、シリンダチューブ１２と同様の金属材料で構成された部材であり、シリンダチューブ１２の他端部（矢印Ｘ２方向側の端部）を閉塞するように設けられている。ヘッドカバー１６により、シリンダチューブ１２の他端部が気密に閉じられている。ヘッドカバー１６には、第２ポート１５ｂが設けられている。
【００３９】
ヘッドカバー１６に設けられた環状突出部１６ｂがシリンダチューブ１２の他端部に挿入されている。ヘッドカバー１６とシリンダチューブ１２との間には、円形リング状のパッキン３１が配置されている。ヘッドカバー１６の内周部には、円形リング状の第２クッションパッキン６８ｂが配置されている。
【００４０】
図１に示すように、シリンダチューブ１２、ロッドカバー１４及びヘッドカバー１６は、複数の連結ロッド３２及びナット３４によって、軸方向に締結されている。複数組の連結ロッド３２及びナット３４が周方向に間隔を置いて設けられている。このため、シリンダチューブ１２は、ヘッドカバー１６及びロッドカバー１４の間に挟持された状態で固定されている。
【００４１】
図２に示すように、ピストンユニット１８は、シリンダチューブ１２内（摺動孔１３）に軸方向に摺動可能に収容され、摺動孔１３内を第１ポート１５ａ側の第１圧力室１３ａと第２ポート１５ｂ側の第２圧力室１３ｂとに仕切っている。本実施形態において、ピストンユニット１８は、ピストンロッド２０の基端部２０ａに連結されている。
【００４２】
図４に示すように、ピストンユニット１８は、ピストンロッド２０から径方向外方に突出した円形のピストン本体４０と、ピストン本体４０の外周部に装着された円形リング状のパッキン４２と、ピストン本体４０の外周部に装着されたリング状のマグネット４６と、マグネット４６の外周部に装着されたウエアリング４４とを有する。
【００４３】
ピストン本体４０の外周面には、パッキン装着溝５０と、マグネット配置溝５２と、ウエアリング配置溝５４とが設けられている。パッキン装着溝５０とマグネット配置溝５２とは、軸方向に異なる位置に配置されている。ウエアリング配置溝５４は、マグネット配置溝５２の両側部を外周側から浅く切り欠いた溝として形成されており、その軸方向の中心位置はマグネット配置溝５２の軸方向の中心位置と一致している。パッキン装着溝５０、マグネット配置溝５２、及びウエアリング配置溝５４は、いずれも、周方向の全周に亘って延在する円形リング状に形成されている。
【００４４】
ピストン本体４０の構成材料としては、例えば、炭素鋼、ステンレス鋼、アルミニウム合金などの金属材料や、硬質樹脂などが挙げられる。
【００４５】
パッキン４２は、ゴム材やエラストマー材などの弾性材料からなるリング状のシール部材（例えば、Ｏリング）である。パッキン４２は、パッキン装着溝５０に装着されている。
【００４６】
パッキン４２は、シリンダチューブ１２の内周面に摺動可能に接触している。具体的に、パッキン４２の外周部は、全周に亘ってピストン本体４０の外周面と気密又は液密に密着している。パッキン４２によりピストンユニット１８の外周面と摺動孔１３の内周面との間がシールされ、摺動孔１３内の第１圧力室１３ａと第２圧力室１３ｂとが気密又は液密に仕切られる。
【００４７】
なお、パッキン４２に回り止め用凸部を設けるとともに、シリンダチューブ１２にその周り止め用突部と係合する回り止め用溝を設けることで、ピストンユニット１８の回転を規制するように構成してもよい。
【００４８】
ウエアリング４４は、ピストン本体４０の外周部に取り付けられたリング状のマグネット４６の外周に装着されている。ウエアリング４４は、周方向に延在して形成された周方向部５７と、マグネット４６の外周を覆う摺動部５８と、周方向に間隔をあけて配置された複数の開口部５９とを備えている。周方向部５７はウエアリング４４の他端部（Ｘ２側の端部）に形成されており、周方向に延在している。この周方向部５７は摺動部５８と一体的に形成されており、周方向部５７が摺動部５８を支持する。すなわち、開口部５９によって分断された複数の摺動部５８は、周方向部５７によってリング状の形状に保たれる。
【００４９】
摺動部５８は、ウエアリング４４の外周を構成する外周面５８ｂを有しており、その外周面５８ｂにおいて、シリンダチューブ１２の摺動孔１３の内面と接触する。摺動部５８の軸方向の幅は、マグネット４６の軸方向の幅よりも大きく形成されている。摺動部５８の内周面５８ａは、マグネット４６の凹部４６ｂの外周面４６ｂ１と対向する。なお、ウエアリング４４の荷重がマグネット４６に加わるのを避けるために、マグネット４６の凹部４６ｂの外周面４６ｂ１と摺動部５８の内周面５８ａとの間に僅かな隙間を設けておくと好適である。
【００５０】
開口部５９は、ウエアリング４４の摺動部５８を切り欠いて形成された部分であり、開口部５９において、マグネット４６の外周部分が露出するように形成されている。本実施形態においては、開口部５９は、ウエアリング４４の一端部（Ｘ１側の端部）にまで伸びている。すなわち、ウエアリング４４の他端部は、開口部５９によって切り欠かれて分断されている。摺動部５８と開口部５９とは、周方向に交互に配置されており、それらの周方向の幅（角度範囲）は、例えば摺動部５８が１０°程度、開口部５９が２０°程度とすることができる。このように、摺動部５８の周方向の幅よりも開口部５９の周方向の幅よりも大きくすることで、磁気センサ６４の取り付け可能範囲が拡大して好適である。なお、摺動部５８の周方向の幅を開口部５９の周方向の幅よりも大きくしてもよい。
【００５１】
摺動部５８及び周方向部５７を合わせた軸方向の寸法は、マグネット４６の軸方向の寸法よりも大きく形成されており、図２及び図３に示すように、ウエアリング４４は、その軸方向の中心位置がマグネット４６の軸方向の中心位置と同じ位置となるように装着される。周方向部５７は、マグネット４６よりも他端側（Ｘ２方向側）に伸び出るとともに、摺動部５８の一端側（Ｘ１方向側）がマグネット４６の一端側に伸び出ている。
【００５２】
周方向部５７の内周側には、摺動部５８の内周面５８ａよりも内方に伸び出た第１の爪部６０ａが形成されている。摺動部５８の一端側の端部には、内周面５８ａよりも内方に伸び出た第２の爪部６０ｂが形成される。第１の爪部６０ａは、マグネット４６の他端側の端面４６ｄと当接し、第２の爪部６０ｂはマグネット４６の一端側の端面４６ｃと当接している。すなわち、ウエアリング４４は、第１の爪部６０ａ及び第２の爪部６０ｂでマグネット４６の軸方向の両端から挟持するようにしてマグネット４６に取り付けられている。これらの第１の爪部６０ａ及び第２の爪部６０ｂは、ピストン本体４０のウエアリング配置溝５４（図２参照）に挿入される。なお、図４では、第１の爪部６０ａは、開口部５９に隣接する部分のみに形成された例を示すが、本実施形態はこれに限定されるものではなく、第１の爪部６０ａを周方向の全域に形成してもよい。
【００５３】
ウエアリング４４は、低摩擦材料からなる。ウエアリング４４と摺動孔１３との間の摩擦係数は、パッキン４２と摺動孔１３との間の摩擦係数よりも小さい。このような低摩擦材料としては、例えば、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）のような低摩擦性と耐摩耗性とを兼ね備えた合成樹脂材料や、金属材料（例えば、軸受鋼）などが挙げられる。
【００５４】
マグネット４６は、リング状に形成されており、その外周部には、径方向外方に突出した凸部４６ａと、凸部４６ａの間に配置された凹部４６ｂとが形成されている。凸部４６ａと凹部４６ｂとは、周方向に所定のピッチで交互に配置されている。凸部４６ａは、ウエアリング４４の開口部５９に対応する部分に設けられており、その外周面４６ａ１は、ウエアリング４４の摺動部５８の内周面５８ａよりも径方向外方に突出している。ただし、摺動孔１３との接触を防ぐべく、凸部４６ａの外周面４６ａ１は、摺動部５８の外周面５８ｂよりも径方向内方に形成されている。すなわち、凸部４６ａの高さは、ウエアリング４４の摺動部５８の厚みの範囲内に形成される。なお、凸部４６ａの外周面４６ａ１は、ピストン本体４０の外周面と径方向に同等の位置に形成してもよい。また、凸部４６ａの外周面４６ａ１は、ピストン本体４０の外周面よりも径方向外方に突出していてもよい。
【００５５】
一方、マグネット４６の凹部４６ｂは、ウエアリング４４の摺動部５８に対応する部分に設けられており、凹部４６ｂの外周面４６ｂ１は摺動部５８によって覆われている。マグネット４６は、例えば、フェライト磁石又は希土類磁石などで形成できる。
【００５６】
図１に示すように、シリンダチューブ１２の外側には、磁気センサ６４が取り付けられている。具体的には、連結ロッド３２にセンサ用ブラケット６６が取り付けられている。センサ用ブラケット６６には磁気センサ６４が保持されている。これにより、磁気センサ６４は、センサ用ブラケット６６及び連結ロッド３２を介して、ヘッドカバー１６及びロッドカバー１４に対して位置が固定されている。マグネット４６の発生する磁気を磁気センサ６４によって検知することで、ピストンユニット１８の動作位置が検出される。
【００５７】
ピストンロッド２０は、摺動孔１３の軸方向に沿って延在する柱状（円柱状）の部材である。図２に示すように、ピストンロッド２０は、ロッドカバー１４を貫通している。ピストンロッド２０の先端部２０ｂは、摺動孔１３の外周に露出している。ピストン本体４０のロッドカバー１４側に隣接する位置で、ピストンロッド２０の外周部には、第１クッションリング６９ａが固定されている。ピストン本体４０を挟んで第１クッションリング６９ａとは反対側には、第２クッションリング６９ｂが、ピストンロッド２０に固定されている。ピストンロッド２０の基端部２０ａは、ピストン本体４０に加締めにより固定されている。
【００５８】
第１クッションパッキン６８ａ、第２クッションパッキン６８ｂ、第１クッションリング６９ａ及び第２クッションリング６９ｂにより、ストロークエンドでの衝撃を緩和するエアクッション機構が構成されている。なお、このようなエアクッション機構に代えて、あるいは、当該エアクッション機構に加えて、ゴム材などの弾性材料からなるダンパが、例えば、ロッドカバー１４の内壁面１４ａ及びヘッドカバー１６の内壁面１６ａにそれぞれ取り付けられてもよい。
【００５９】
上記のように構成された流体圧シリンダ１０は、以下のように動作する。なお、以下の説明では、圧力流体として、エア（圧縮空気）を用いる場合を説明するが、エア以外の気体を用いてもよい。
【００６０】
図２において、流体圧シリンダ１０は、第１ポート１５ａ及び第２ポート１５ｂを介して導入される圧力流体であるエアの作用によって、ピストンユニット１８を摺動孔１３内で軸方向に移動させる。これにより、当該ピストンユニット１８に連結されたピストンロッド２０が進退移動する。
【００６１】
具体的には、ピストンユニット１８をロッドカバー１４側へと変位（前進）させるには、第１ポート１５ａを大気開放状態とし、図示しない圧力流体供給源から第２ポート１５ｂを介して圧力流体を第２圧力室１３ｂへと供給する。そうすると、圧力流体によってピストンユニット１８がロッドカバー１４側へと押される。これにより、ピストンユニット１８がピストンロッド２０とともにロッドカバー１４側へと変位（前進）する。
【００６２】
ピストンユニット１８がロッドカバー１４に当接することで、ピストンユニット１８の前進動作が停止する。ピストンユニット１８が前進位置へ近づく際、第１クッションリング６９ａは、第１クッションパッキン６８ａの内周面に接触して、この接触部分に気密シールが形成され、第１圧力室１３ａにエアクッションが形成される。これにより、ロッドカバー１４側のストロークエンド付近でピストンユニット１８の変位が減速するため、ストロークエンド到達時の衝撃が緩和される。
【００６３】
一方、ピストン本体４０をヘッドカバー１６側へと変位（後退）させるには、第２ポート１５ｂを大気開放状態とし、図示しない圧力供給源から第１ポート１５ａを介して圧力流体を第１圧力室１３ａへ供給する。そうすると、圧力流体によってピストン本体４０がヘッドカバー１６側へと押される。これにより、ピストンユニット１８がヘッドカバー１６側へと変位する。
【００６４】
そして、ピストンユニット１８がヘッドカバー１６に当接することで、ピストンユニット１８の後退動作が停止する。ピストンユニット１８が後退位置へと近づく際、第２クッションリング６９ｂは、第２クッションパッキン６８ｂの内周面に接触して、この接触部分に気密シールが形成され、第２圧力室１３ｂにエアクッションが形成される。これにより、ヘッドカバー１６側のストロークエンド付近でピストンユニット１８の変位が減速するため、ストロークエンド到達時の衝撃が緩和される。
【００６５】
この場合、第１実施形態に係る流体圧シリンダ１０は、以下の効果を奏する。
【００６６】
流体圧シリンダ１０によれば、ウエアリング４４とマグネット４６とが軸方向の同じ位置に配置されるため、ピストン本体４０の軸方向の寸法が短縮化される。その結果、流体圧シリンダ１０の全長の短縮化が図られる。
【００６７】
マグネット４６は、ウエアリング４４の軸方向寸法の範囲内に設けられる。この構成により、ウエアリング４４の軸方向寸法を小さくすることができる。
【００６８】
さらに、ウエアリング４４は、摺動部５８を周方向に切り欠いてなる開口部５９を備えており、その開口部５９においてマグネット４６をシリンダチューブ１２の内周面に近い位置に配置することができる。これにより、シリンダチューブ１２の外側に取り付けられる磁気センサ６４と、シリンダチューブ１２の内側に配置されたマグネット４６との距離を小さくできるため、マグネット４６に要求される磁力を小さくできる。このため、マグネット４６の軸方向の厚みを小さくすることができる。したがって、ピストン本体４０の軸方向寸法の短縮化が可能となり、これにより流体圧シリンダ１０の全長の短縮化が図られる。
【００６９】
マグネット４６の凸部４６ａは、ウエアリング４４の開口部５９に配置されている。この構成により、マグネット４６をシリンダチューブ１２の内周面に一層近づけることができるため、マグネット４６の軸方向の厚みを効果的に小さくすることができる。
【００７０】
（第２の実施形態）
上述した流体圧シリンダ１０において、ピストンユニット１８の代わりに、図５に示すピストンユニット１８Ａが採用されてもよい。このピストンユニット１８Ａは、ウエアリング４４Ａの形状が、図３のウエアリング４４の形状と異なっている。その他の構成は同様である。
【００７１】
本実施形態のウエアリング４４Ａは、図５に示すように、周方向に延在する周方向部５７が、ウエアリング４４Ａの軸方向の一端部（Ｘ１側の端部）と、他端部（Ｘ２側の端部）とに形成されている。摺動部５８は、軸方向の両端から、周方向部５７によって支持されている。開口部５９は、軸方向の両端に形成された周方向部５７の間に形成される。
【００７２】
図６に示すように、それぞれの周方向部５７の内周側には、摺動部５８の内周面５８ａよりも軸方向内方に突出した第１の爪部６０ａ及び第２の爪部６０ｂが形成されている。ウエアリング４４Ａは、第１の爪部６０ａ及び第２の爪部６０ｂがマグネット４６の軸方向の一方の端面４６ｃ及び他方の端面４６ｄを挟持するようにしてマグネット４６に装着される。これらの第１の爪部６０ａ及び第２の爪部６０ｂは、図２に示すように、ピストン本体４０のウエアリング配置溝５４に収容される。
【００７３】
流体圧シリンダ１０において、第２の実施形態に係るウエアリング４４Ａを用いた場合であっても、第１の実施形態と同様の効果が得られる。また、ウエアリング４４Ａには、軸方向の一端及び他端に周方向部５７が形成されており、それらの周方向部５７によってリング状の形状が保たれるため、強度に優れる。そのため、周方向部５７の軸方向の寸法を小さくでき、ピストン本体４０の軸方向の寸法の更なる短縮化が可能となる。その他、第２の実施形態のうち、第１の実施形態と共通する部分については、第１の実施形態と同一又は同様の効果が得られる。
【００７４】
上記において、本発明について好適な実施形態を挙げて説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改変が可能なことは言うまでもない。
【符号の説明】
【００７５】
１０…流体圧シリンダ              １２…シリンダチューブ
１３…摺動孔                      １８、１８Ａ…ピストンユニット
２０…ピストンロッド              ４０…ピストン本体
４２…パッキン                    ４４、４４Ａ…ウエアリング
４６…マグネット                  ６４…磁気センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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