(57)【要約】【課題】めっき装置及びその圧力室を提供する。【解決手段】めっき装置１０は、圧力室１００を備える。圧力室１００はカバー１１０及び台座１２０を含む。カバー１１０は複数の第一スルーホール１１３及び複数の第二スルーホール１１４を有する。台座１２０はキャビン１２３と、複数の伝導管１２４と、複数の第三スルーホール１２５とを有し、これら伝導管１２４及び第三スルーホール１２５はキャビン１２３中に設置される。各伝導管１２４は各第三スルーホール１２５に各々連接されるビア１２４ａを有する。カバー１１０によりキャビン１２３が被覆され、第一スルーホールはキャビン１２３に連通し、めっき液がキャビン１２３から被めっき物に向けて噴射される。各第二スルーホール１１４からは各ビア１２４ａが露出し、めっき液が各ビア及び各第三スルーホールに充填されると、相互に連接される各ビア及び各第三スルーホールが電力線通路として形成される。【選択図】図３
2019108605.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき液が充填されるめっきタンク中に設置され、被めっき物に対する電気めっきプロセスを行うためのめっき装置の圧力室であって、
第一表面と、第二表面と、複数の第一スルーホールと、複数の第二スルーホールとを有し、前記第一表面は前記被めっき物に向けられ、前記第一スルーホール及び前記第二スルーホールは前記第一表面及び前記第二表面にそれぞれ連通するカバーと、
第三表面と、前記第三表面に凹設されるキャビンと、複数の伝導管と、複数の第三スルーホールとを有する台座であって、前記第三スルーホールは前記キャビン中に設置されると共に前記台座を貫通し、前記キャビンは開口部を有し、前記伝導管は前記キャビン中に設置され、各前記伝導管は各前記第三スルーホールに各々接続されるビアを有する台座と、
を含み、
前記カバーにより前記開口部が被覆され、且つ前記第一スルーホールは前記キャビンに連通し、
前記めっき液が前記キャビンに充填されると、前記キャビン中の前記めっき液が前記第一スルーホールを経由して前記被めっき物に向けて噴射され、各前記第二スルーホールからは各前記ビアが露出し、
前記めっき液が各前記ビア及び各前記第三スルーホールに充填されると、相互に接続される各前記ビア及び各前記第三スルーホールが電力線通路として形成されることを特徴とするめっき装置の圧力室。
【請求項２】
各前記伝導管はベース及び結合部を有し、各前記ビアは前記ベース及び前記結合部に設置され、各前記ベースは前記キャビンの底部に結合され、前記第三スルーホールは前記底部に設置され、各前記結合部が前記第三表面より高くなり、且つ各前記結合部は各前記第二スルーホール中に挿設されることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置の圧力室。
【請求項３】
前記ベースと前記結合部との間には前記カバーの支持に用いられる支持部を有することを特徴とする請求項２に記載のめっき装置の圧力室。
【請求項４】
各前記第一スルーホールの孔径は各前記第二スルーホールの孔径より大きくないことを特徴とする請求項１に記載のめっき装置の圧力室。
【請求項５】
各前記第一スルーホールの孔径は各前記ビアの孔径より大きくないことを特徴とする請求項１に記載のめっき装置の圧力室。
【請求項６】
前記キャビンに連通し前記めっき液を前記キャビンまで輸送させる少なくとも１つの液体供給管を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置の圧力室。
【請求項７】
前記第一スルーホールは前記カバーに放射状に配列されることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置の圧力室。
【請求項８】
前記第二スルーホールは前記カバーに放射状に配列されることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置の圧力室。
【請求項９】
めっき液が充填されるめっきタンク中に設置され、被めっき物に対する電気めっきプロセスを行うためのめっき装置であって、圧力室及びアノード部材を備え、
前記圧力室は、
第一表面と、第二表面と、複数の第一スルーホールと、複数の第二スルーホールとを有し、前記第一表面は前記被めっき物に向けられ、前記第一スルーホール及び前記第二スルーホールは前記第一表面及び前記第二表面にそれぞれ連通するカバーと、
第三表面と、前記第三表面に凹設されるキャビンと、複数の伝導管と、複数の第三スルーホールとを有する台座であって、前記第三スルーホールは前記キャビン中に設置されると共に前記台座を貫通させ、前記キャビンは開口部を有し、前記伝導管は前記キャビン中に設置され、各前記伝導管は各前記第三スルーホールに各々接続されるビアを有する台座と、
を含み、
前記カバーにより前記開口部が被覆され、且つ前記第一スルーホールは前記キャビンに連通し、
前記めっき液が前記キャビンに充填されると、前記キャビン中の前記めっき液が前記第一スルーホールを経由して前記被めっき物に向けて噴射され、各前記第二スルーホールからは各前記ビアが露出し、
前記めっき液が各前記ビア及び各前記第三スルーホールに充填されると、相互に接続される各前記ビア及び各前記第三スルーホールが電力線通路として形成され、
前記アノード部材は、前記圧力室の外に設置され、且つ前記被めっき物は前記電力線通路の第一端の外に位置し、前記アノード部材は前記電力線通路の第二端の外に位置することを特徴とするめっき装置。
【請求項１０】
前記アノード部材はチタンバスケットであることを特徴とする請求項９に記載のめっき装置。
【請求項１１】
前記圧力室が結合され収容空間を有する載置台を更に備え、前記アノード部材は前記収容空間中に設置されることを特徴とする請求項９に記載のめっき装置。
【請求項１２】
前記圧力室が結合され収容空間を有する載置台、及び、前記アノード部材が設置されるホルダーを更に備え、前記ホルダーは前記収容空間中に設置されることを特徴とする請求項９に記載のめっき装置。
【請求項１３】
各前記伝導管はベース及び結合部を有し、各前記ビアは前記ベース及び前記結合部に設置され、各前記ベースは前記キャビンの底部に結合され、前記第三スルーホールは前記底部に設置され、各前記結合部が前記第三表面より高くなり、且つ各前記結合部は各前記第二スルーホール中に挿設されることを特徴とする請求項９に記載のめっき装置。
【請求項１４】
前記ベースと前記結合部との間には前記カバーの支持に用いられる支持部を有することを特徴とする請求項１３に記載のめっき装置。
【請求項１５】
各前記第一スルーホールの孔径は各前記第二スルーホールの孔径より大きくないことを特徴とする請求項９に記載のめっき装置。
【請求項１６】
各前記第一スルーホールの孔径は各前記ビアの孔径より大きくないことを特徴とする請求項９に記載のめっき装置。
【請求項１７】
前記圧力室は、前記キャビンに連通し前記めっき液を前記キャビンに輸送させる少なくとも１つの液体供給管を更に備えることを特徴とする請求項９に記載のめっき装置。
【請求項１８】
前記第一スルーホールは前記カバーに放射状に配列されることを特徴とする請求項９に記載のめっき装置。
【請求項１９】
前記第二スルーホールは前記カバーに放射状に配列されることを特徴とする請求項９に記載のめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、めっき装置及びその圧力室に関し、すなわち、めっき液が充填されるめっきタンク中に設置され、被めっき物に対する電気めっきプロセスを行う。
【背景技術】
【０００２】
従来の電気めっきプロセスでは、めっきタンク中に被めっき物及び金属アノード部材が設置され、被めっき物が陰極に電気的に接続され、金属アノード部材が陽極に電気的に接続され、且つめっきタンク中に充填されるめっき液により電気めっきプロセスが行われる。例えば、被めっき物はウェハーまたは回路基板から選択され、金属アノード部材は銅板から選択され、めっき液は硫酸銅(II)（ＣｕＳＯ4）液から選択され、直流電流が流された後、被めっき物の表面に銅層或いは銅回路が形成される。
なお、めっき装置として、例えば特許文献１のものが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１８３１０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の電気めっきプロセスは電気めっきの速度が遅く、且つウェハーまたは回路基板が微細な回路や盲孔を有する場合、電気めっき過程中に気泡や不純物が微細な回路や盲孔に残留し、微細な回路や盲孔が回路層を形成不能になり、被めっき物が不良品となった。
そこで、本発明者は上記の欠点が改善可能と考え、鋭意検討を重ねた結果、合理的設計で上記の課題を効果的に改善する本発明の提案に到った。
【０００５】
かかる従来の実情に鑑みて、本発明は、めっき装置及びその圧力室を提供することを目的とする。すなわち、被めっき物が電気めっき層を形成不能になることを回避させ、不良品を発生させず、電気めっきの効率を高める。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るめっき装置の圧力室の特徴は、めっき液が充填されるめっきタンク中に設置され、被めっき物に対する電気めっきプロセスを行う。前記めっき装置は圧力室及びアノード部材を備え、前記圧力室はカバー及び台座を含む。
前記カバーは、第一表面と、第二表面と、複数の第一スルーホールと、複数の第二スルーホールとを有する。前記第一表面は前記被めっき物に向けられ、前記第一スルーホール及び前記第二スルーホールは前記第一表面及び前記第二表面にそれぞれ連通する。
前記台座は、第三表面と、前記第三表面に凹設されるキャビンと、複数の伝導管と、複数の第三スルーホールとを有する。前記第三スルーホールは前記キャビン中に設置されると共に前記台座を貫通する。前記キャビンは開口部を有し、前記伝導管は前記キャビン中に設置され、各前記伝導管は各前記第三スルーホールに各々接続されるビアを有する。
前記カバーにより前記開口部が被覆され、且つ前記第一スルーホールは前記キャビンに連通する。
前記めっき液が前記キャビンに充填されると、前記キャビン中の前記めっき液が前記第一スルーホールを経由して前記被めっき物に向けて噴射され、各前記第二スルーホールからは各前記ビアが露出する。
前記めっき液が各前記ビア及び各前記第三スルーホールに充填されると、相互に接続される各前記ビア及び各前記第三スルーホールが電力線通路として形成される。
前記アノード部材は前記圧力室の外に設置され、且つ前記被めっき物は前記電力線通路の第一端の外に位置し、前記アノード部材は前記電力線通路の第二端の外に位置する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明はめっき液が充填されると共にキャビン内で加圧され、めっき液が第一スルーホールを通過して被めっき物に向けて噴射される。被めっき物に残留する気泡や不純物がキャビンから噴出されるめっき液により被めっき物から吹き飛ばされ、被めっき物が電気めっきプロセス完了後に不良品にならなくなり、且つ電気めっきの効率も向上する。また、ビア及び各第三スルーホールが電力線通路として形成され、被めっき物に対する電気めっきプロセスを行う。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係るめっき装置を示す外観斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るめっき装置及び被めっき物がめっきタンクに設置される概略図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るめっき装置を示す展開図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る圧力室のカバーを示す正面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る圧力室を示す断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るめっき装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係るめっき装置及びその圧力室について具体的に説明する。尚、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を限定するものではない。また、以下に説明される構成の全てが、本発明の必須要件であるとは限らない。
【００１０】
（実施形態）
以下、図１〜６を参照しながら、本発明をさらに詳しく説明する。図１及び図２に示されるように、本発明のめっき装置１０は、めっき液３０が充填されるめっきタンク２０中に設置され、被めっき物４０に対する電気めっきプロセスを行う。被めっき物４０はウェハーまたは回路基板から選択されるが、但しこの限りではない。
【００１１】
また、図１乃至図３に示されるように、めっき装置１０は圧力室１００及びアノード部材２００を少なくとも備える。アノード部材２００は圧力室１００の外に設置され、好ましくは、アノード部材２００はチタンバスケットであり、チタンバスケット中には金属部材が設置される。
【００１２】
なお、図１乃至図４に示されるように、本実施形態のめっき装置１０は、載置台３００を更に備え、圧力室１００は載置台３００に結合される。載置台３００は収容空間３１０を有し、アノード部材２００は収容空間３１０中に設置される。好ましくは、めっき装置１０はホルダー４００を更に備え、アノード部材２００はホルダー４００に設置され、ホルダー４００は収容空間３１０中に設置される。必要であれば、アノード部材２００(例えばチタンバスケット)またはホルダー４００を置き換えても良い。
【００１３】
さらに、図２乃至図６に示されるように、圧力室１００はカバー１１０及び台座１２０を備え、カバー１１０は第一表面１１１と、第二表面１１２と、複数の第一スルーホール１１３と、複数の第二スルーホール１１４とを有する。めっき液３０が充填されるめっきタンク２０中にめっき装置１０が設置されると、第一表面１１１が被めっき物４０に向けられる。
図３乃至図５を参照する。第一スルーホール１１３及び第二スルーホール１１４は第一表面１１１及び第二表面１１２にそれぞれ連通する。好ましくは、第一スルーホール１１３はカバー１１０に放射状に配列され、第二スルーホール１１４はカバー１１０に放射状に配列され、各第一スルーホール１１３の孔径は各第二スルーホール１１４の孔径より大きくない。
【００１４】
図３及び図５に示されるように、台座１２０は第三表面１２１と、第四表面１２２と、第三表面１２１に凹設されるキャビン１２３と、複数の伝導管１２４と、複数の第三スルーホール１２５とを有する。第三スルーホール１２５はキャビン１２３中に設置されると共に台座１２０を貫通する。本実施形態では、第三スルーホール１２５は第四表面１２２まで貫通する。キャビン１２３は開口部１２３ａを有し、伝導管１２４はキャビン１２３中に設置され、各伝導管１２４はビア１２４ａを有する。好ましくは、各第一スルーホール１１３の孔径は各ビア１２４ａの孔径より大きくなく、各ビア１２４ａは各第三スルーホール１２５に接続される。
【００１５】
なお、図３及び図５を参照すると、本実施形態では、各伝導管１２４はベース１２４ｂ及び結合部１２４ｃを有し、各ビア１２４ａはベース１２４ｂ及び結合部１２４ｃに設置され、各ベース１２４ｂはキャビン１２３の底部１２３ｂに結合される。第三スルーホール１２５は底部１２３ｂに設置され、且つ第四表面１２２に連通し、各結合部１２４ｃが第三表面１２１より高くなる。
【００１６】
図３、図５及び図６に示されるように、カバー１１０により開口部１２３ａが被覆され、且つ第一スルーホール１１３はキャビン１２３に連通し、各第二スルーホール１１４からは各ビア１２４ａが露出する。本実施形態では、各結合部１２４ｃは各第二スルーホール１１４中に挿設され、且つ相互に接続される各ビア１２４ａ及び各第三スルーホール１２５が第一表面１１１及び第四表面１２２に連通する。本実施形態では、ベース１２４ｂと結合部１２４ｃとの間には支持部１２４ｄを有し、カバー１１０により開口部１２３ａが被覆されると、支持部１２４ｄによりカバー１１０が支持されるため、カバー１１０が変形しない。
【００１７】
図３及び図６に示されるように、本実施形態では、圧力室１００は少なくとも１つの液体供給管１３０を更に備え、液体供給管１３０はキャビン１２３に連通する。カバー１１０によりキャビン１２３の開口部１２３ａが被覆されると、液体供給管１３０によりめっき液３０がキャビン１２３に輸送される。本実施形態では、モーターによりめっきタンク２０中のめっき液３０が液体供給管１３０まで輸送され、且つ液体供給管１３０によりめっき液３０がキャビン１２３に輸送される。
【００１８】
図４、図５及び図６を参照する。カバー１１０によりキャビン１２３の開口部１２３ａが被覆され、且つ各伝導管１２４の各結合部１２４ｃが各第二スルーホール１１４中に挿設され、液体供給管１３０によりキャビン１２３に輸送されるめっき液３０が各第一スルーホール１１３から噴出される。また、液体供給管１３０によりキャビン１２３まで輸送されるめっき液３０の流量または流速が増えるほど各第一スルーホール１１３から噴出されるめっき液３０の衝撃力が大きくなり、或いは各第一スルーホール１１３の孔径が小さいほど各第一スルーホール１１３から噴出されるめっき液３０の衝撃力が大きくなる。
【００１９】
続いて、図２及び図６を参照する。めっき液３０が充填されるめっきタンク２０中にめっき装置１０及び被めっき物４０が設置され、且つめっき液３０が各ビア１２４ａ及び各第三スルーホール１２５に充填されると、被めっき物４０が直流電流の陰極に電気的に接続され、アノード部材２００が直流電流の陽極に電気的に接続され、相互に接続される各ビア１２４ａ及び各第三スルーホール１２５が電力線通路Ｐとして形成される。且つ被めっき物４０が電力線通路Ｐの第一端Ｐ１の外に位置し、アノード部材２００が電力線通路Ｐの第二端Ｐ２の外に位置し、被めっき物４０に対する電気めっきプロセスが行われる。
また、液体供給管１３０によりめっき液３０が輸送されると共にキャビン１２３に充填されると、第一スルーホール１１３によりキャビン１２３中に充填されるめっき液３０がキャビン１２３から被めっき物４０に向けて噴射され、電気めっきの効率が向上する。
なお、各第一スルーホール１１３から噴出されるめっき液３０が被めっき物４０に吹き付けられることにより、被めっき物４０に残留する気泡や不純物が被めっき物４０から吹き飛ばされ、被めっき物４０が電気めっきプロセス完了後に不良品とならなくなる。
【００２０】
上述の実施形態は本発明の技術思想及び特徴を説明するためのものにすぎず、当該技術分野を熟知する者に本発明の内容を理解させると共にこれをもって実施させることを目的とし、本発明の特許請求の範囲を限定するものではない。従って、本発明の精神を逸脱せずに行う各種の同様の効果をもつ改良又は変更は、特許請求の範囲に含まれるものとする。
【符号の説明】
【００２１】
１０  めっき装置、２０  めっきタンク、３０  めっき液、４０  被めっき物、
１００  圧力室、
１１０  カバー、１１１  第一表面、１１２  第二表面、１１３  第一スルーホール、１１４  第二スルーホール、
１２０  台座、１２１  第三表面、１２２  第四表面、１２３  キャビン、１２３ａ  開口部、１２３ｂ  底部、１２４  伝導管、１２４ａ  ビア、１２４ｂ  ベース、１２４ｃ  結合部、１２４ｄ  支持部、１２５  第三スルーホール、
１３０  液体供給管、
２００  アノード部材、
３００  載置台、３１０  収容空間、
４００  ホルダー、
Ｐ  電力線通路、Ｐ１  第一端、  Ｐ２  第二端
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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