(57)【要約】【課題】フレキシブルシャフトを用い、作業性、操作性に優れ、しかも精密な締付トルク管理が可能な工具を提供する。【解決手段】先端部３ａにおいてビット１０を保持しつつ基端部３ｂに入力される回転を先端部３ａに伝達するフレキシブルシャフト３と、コイル１１０を保持しつつビット１０の外周を包囲するようにフレキシブルシャフト３の先端部３ｂに設けられたコイル保持部１００と、コイル保持部１００とは別個にフレキシブルシャフト３以外の箇所に配置され、コイル１１０で検出された信号に基づいてビット１０に作用するトルクを検出可能な処理部２００とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端部においてビットを保持しつつ基端部の回転を前記先端部に伝達するフレキシブルシャフトと、
コイルを保持しつつ前記ビットの外周を包囲するように前記フレキシブルシャフトの先端部に設けられたコイル保持部と、
前記コイル保持部とは別個に前記フレキシブルシャフト以外の箇所に配置され、前記コイルで検出された信号に基づいて前記ビットに作用するトルクを検出する処理部と、を有する工具。
【請求項２】
前記コイル保持部は、前記ビットが前記フレキシブルシャフトに保持された状態で、前記フレキシブルシャフトの先端部に着脱可能に形成されている、請求項１に記載の工具。
【請求項３】
前記コイルと前記処理部とは、配線により電気的に接続され、
前記配線は、一部が前記フレキシブルシャフトに沿って設けられている、請求項１または２に記載の工具。
【請求項４】
前記配線の途中には、前記フレキシブルシャフトの回転による当該配線の撚れを防ぐためのコネクタが介在している、請求項１ないし３のいずれかに記載の工具。
【請求項５】
前記処理部は、ケーシングに収容され、当該ケーシングが前記グリップに設けられている、請求項１ないし３のいずれかに記載の工具。
【請求項６】
前記ビットは、締結部材と係合可能な先端部と、前記ビット保持部に装着される基端部と、前記先端部と前記基端部との間で延びる軸部とを有し、
前記コイルは、前記軸部の一部を被検出部として当該被検出部の周囲に配置される、請求項１ないし５のいずれかに記載の工具。
【請求項７】
前記ビットは、前記被検出部の断面が多角形状に形成されている、
請求項６に記載の工具。
【請求項８】
前記ビットは、前記被検出部が当該被検出部を除く前記軸部の断面積以上の断面積をもつように形成されている、請求項６又は７に記載の工具。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかの工具に適用されるトルクセンサであって、
コイルを保持するコイル保持部と、
前記コイルと配線を介して電気的に接続され、前記コイル保持部とは別個独立に形成された処理部とを有するトルクセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トルクセンサ付きの工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセス等の各種製造プロセスにおいては、正確に計量したプロセスガスをプロセスチャンバに供給するために、開閉バルブ、レギュレータ、マスフローコントローラ等の各種の流体機器を集積化した流体制御装置（例えば、特許文献１参照）が用いられている。
上記のような流体制御装置の組立工程においては、膨大な数の六角穴付きボルトなどのボルトの締め付け作業が必要である一方で、高い組立品質が求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2016-050635号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
締め付け作業におけるトルク管理は組立品質を維持管理する上で不可欠であり、ドライバやレンチ等を用いたボルトの締付け作業等に適し、精密なトルク管理が可能で作業性、操作性に優れた工具に対する要求が存在する。
また、締め付け作業には、グリップとビットからなる工具が用いられるのが一般的であるが、締め付けるべきボルトが装置の奥まった場所にある、当該ボルトへ最短距離でアクセスできるアクセス経路に障害物が存在するなどの状況においては、長尺のビットを用いても締め付けが困難な場合がある。このような場合には、グリップとビットの間にフレキシブルシャフトを挿入し、フレキシブルシャフトをボルトの配置状況に応じて撓ませつつボルトを締め付けることが行われている。このようにフレキシブルシャフトをボルトの締め付け作業に用いた場合においても、精密なトルク管理が要求されている。
【０００５】
本発明の一の目的は、フレキシブルシャフトを用い、作業性、操作性に優れ、しかも精密な締付トルク管理が可能な工具を提供することにある。
本発明の他の目的は、上記の工具に適したトルクセンサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る工具は、先端部においてビットを保持しつつ基端部に入力される回転を前記先端部に伝達するフレキシブルシャフトと、
コイルを保持しつつ前記ビットの外周を包囲するように前記フレキシブルシャフトの先端部に設けられたコイル保持部と、
前記コイル保持部とは別個に前記フレキシブルシャフト以外の箇所に配置され、前記コイルで検出された信号に基づいて前記ビットに作用するトルクを検出可能な処理部と、を有する。
【０００７】
好適には、前記コイル保持部は、前記ビットが前記フレキシブルシャフトに保持された状態で、前記フレキシブルシャフトの先端部に着脱可能に形成されている、構成を採用できる。
【０００８】
さらに好適には、前記コイルと前記処理部とは、配線により電気的に接続され、
前記配線は、一部が前記フレキシブルシャフトに沿って設けられている、構成を採用できる。
【０００９】
本発明に係るトルクセンサは、上記構成の工具に適用されるトルクセンサであって、
コイルを保持するコイル保持部と、
前記コイルと配線を介して電気的に接続され、前記コイル保持部とは別個独立に形成された処理部とを有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フレキシブルシャフトを用い、作業性、操作性に優れ、しかも精密な締付トルク管理が可能な工具が得られる。加えて、この工具に適したトルク装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る工具の概略構成図。
【図２】ビットの斜視図。
【図３】コイル保持部の断面図。
【図４】処理装置の機能ブロック図。
【図５】本発明の一実施形態に係る工具の締付作業の一例を示す図。
【図６】ビットの他の例（丸型）を示す図。
【図７】本実施形態に係るトルクセンサのトルクと検出電圧との関係の一例を示すグラフ。
【図８】トルクセンサの動作原理の説明図。
【図９】磁歪膜の磁化に及ぼす磁気異方性の影響を説明する図。
【図１０】電圧とトルクの関係図。
【図１１】本発明の他の実施形態に係る工具の概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書および図面においては、機能が実質的に同様の構成要素には、同じ符号を使用することにより重複した説明を省略する。
第1実施形態
図１に第1実施形態に係る工具を示す。
工具１は、グリップ２、フレキシブルシャフト３、ビット１０、コイル保持部１００および処理部としての処理装置２００を有する。工具１は六角穴付きのボルト（締結部材）の締結に用いられ、最大締付トルクが１０Ｎ・ｍ以下の範囲で用いられるが、これに限定されるわけではない。締結部材は、六角穴付きボルト、六角ボルト、十字穴付きネジなどが用いられるが、これらに限られない。
【００１３】
グリップ２は、金属や樹脂等の材料からなる円柱状の部材であり、外周面に滑り止め用の複数条の溝が形成された本体部２ａと、先端部に形成された円筒状の保持部２ｂとを有する。
フレキシブルシャフト３は、グリップ２の保持部２ｂに接続されている。このフレキシブルシャフト３は、可撓性を有しており、自在に撓みつつグリップ２側の基端部３ｂにグリップ２から入力される回転を先端部３ａに伝達する。フレキシブルシャフト３として、例えば、国際公開2008-015985、特開2011-230235、特開平9-49517、特開平10-267026等に開示された構造のものを採用できるが、これらに限定されるわけではなく、撓んだ状態でもトルクを伝達可能なものであればよい。
【００１４】
ビット１０は、フレキシブルシャフト３の先端部３ａに形成された保持穴３ｈに挿入されている。なお、ビット１０をフレキシブルシャフト３に保持させるために別途保持部材をフレキシブルシャフト３の先端部に設けることも可能である。ビット１０は、図２に示すように、保持穴３ｈに挿入保持される断面が正六角形状の基端部１２と、基端部１２とは反対側の先端部１１と、基端部１２と先端部１１との間で延びる軸部１３とを有する。基端部１２の、軸部１３寄りの部分１４は、断面形状が基端部１２と共通の正六角形状に形成されている。軸部１３の、先端部１１寄りの部分は先端部１１も含めて断面形状が正六角形状に形成されているが、断面積は部分１４よりも小さくなっている。先端部１１が六角穴付きボルトの六角穴に係合する。後述するように、基端部１２の軸部１３寄りの部分１４は、コイル１１０によりトルクが検出される被検出部となっている（以下、この部分を被検出部１４とも言う）。
ビット１０は、具体的には、炭素鋼、ニッケルクロムモリブデン鋼、クロムバナジウム鋼等の合金鋼で形成されている。
被検出部１４には、磁歪材料が形成されており、検出感度を高めるために、例えば、Ni(40%)-Fe(60%)のメッキが施されている。
ビット１０の寸法は、例えば、基端部１２の断面に内接する円の直径が１０ｍｍ以下で、軸部１３の断面積が相対的に小さい部分の断面に内接する円の直径が４ｍｍ程度であり、全長は５０ｍｍ程度であるが、これに限定されるわけではなく、作業性、操作性を考慮して適宜選択される。
ビット１０は、基端部１２から先端部１１まで一体的に形成されているが、軸部１３と被検出部１４が分割できるようになっていても良い。
【００１５】
コイル保持部１００は、樹脂材料等で一体的に形成され、コイル１１０を保持しており、フレキシブルシャフト３の先端部３ａに保持されている。図３に示すように、コイル保持部１００は、その中心部に貫通孔１００ａが形成され、この貫通孔１００ａ内をビット１０が貫通する。コイル保持部１００の内部には、貫通孔１００aの一部を画定するように円筒状の保持部１００ｂが形成され、コイル１１０が設けられている。図１に示したように、コイル保持部１００を貫通するビット１０の被検出部１４はコイル１１０によって外周が包囲される。
【００１６】
コイル１１０は、図１に示すように、配線Ｗによって処理装置２００に電気的に接続されており、コイル１１０と処理装置２００により、磁歪式のトルクセンサが構成される。
配線Ｗは、図３に示すように、コイル保持部１００に埋められた配線ＷＡと、フレキシブルシャフト３内に設けられた配線ＷＢと、グリップ２の中心部に形成された貫通孔２ｈに設けられた配線ＷＣと、グリップ２と処理装置２００との間を結ぶ配線ＷＤとからなる。配線ＷＣと配線ＷＤとの間には、コネクタＣＮが介在している。コネクタＣＮは、グリップ２の端面に固定され配線ＷＣと電気的に接続された固定部ＣＮａと、固定部ＣＮａに対して回転自在に設けられかつ固定部ＣＮａと電気的に接続された回転部ＣＮｂとを有する。これにより、配線ＷＡ，ＷＢ，ＷＣをグリップ２とともに回転させても、配線ＷＤは回転させないようにすることができ、配線ＷＣと配線ＷＤとの間で撚れが発生するのを防止できる。なお、コネクタＣＮとしてはスリップリング等を用いることができるが、これに限定されるわけではない。
【００１７】
また、配線ＷＡと配線ＷＢとの間、および、配線ＷＢと配線ＷＣとの間に電気的接続のためのコネクタを設けることができる。配線ＷＡと配線ＷＢとの間にコネクタを設けると、コイル保持部１００をフレキシブルシャフト３の先端部３ａに対して着脱自在とすることができる。同様に、配線ＷＢと配線ＷＣとの間にコネクタを設けると、フレキシブルシャフト３の基端部３ｂをグリップ２に対して着脱自在にすることができる。
なお、本実施形態では、配線ＷＢをフレキシブルシャフト３、配線ＷＣをグリップ２に内蔵する構成としているが、これに限定されるわけではなく、配線ＷＢをフレキシブルシャフト３の外周面に這わせ、配線ＷＣをグリップ２の外周面に這わせることも可能である。すなわち、配線Ｗの構成は、グリップ２およびフレキシブルシャフト３の回転を受容できるものであればよい。
【００１８】
図４は、処理装置２００の電気系の一例を示す機能ブロック図である。
本発明において、コイル１１０は１つでも良いが、励磁コイル１１０ａと検出コイル１１０ｂとの２つを使用しても良い。
本実施形態では、コイル１１０が励磁コイル１１０ａと検出コイル１１０ｂの２つからなる場合を説明する。
処理装置２００の電気系は、発振回路２１０、バッファーアンプ２２０、位相調整回路２３０、Ｖ−Ｉコンバータ２４０、インバータ２６０、同期検波回路２７０、および、反転増幅器２８０を有する。
（励磁側）
発振回路２１０は、励磁コイル１１０ａを励磁する基準周波数信号（１００ｋＨｚ）を生成する。
発振回路２１０から励磁側回路には正弦波として信号が出力されるが、発振回路２１０を安定動作させるため、バッファーアンプ２２０を経由して位相調整回路２３０に出力される。
位相調整回路２３０は、波形の位相を調整し、Ｖ−Ｉコンバータ２４０に出力する。
Ｖ−Ｉコンバータ２４０は、入力電圧を電流に変換し、励磁コイル１１０ａに出力する。
（検出側）
検出コイル１１０ｂは、逆磁歪効果により発生した誘起電圧を同期検波回路２７０に出力する。
発振回路２１０から検出側へは、参照信号として矩形波が出力される。この矩形波の周波数は、励磁側へ出力される正弦波と同じである。出力された矩形波は２つに分岐され、一方はそのまま同期検波回路２７０へ出力され、他方はインバータ２６０で位相を反転され同期検波回路２７０へ出力される。
同期検波回路２７０は、参照信号を参照して、検出コイル１１０ｂからの誘起電圧を同期検波し、反転増幅器２８０へ出力する。
反転増幅器２８０は、同期検波回路２７０からの出力を平均化し、オフセット調整、ゲイン調整を行い、トルク信号ＳＧとして出力する。トルク信号ＳＧは、図示しないメモリ部に記憶され、あるいは、図示しない表示部にトルク値が表示される。
なお、本実施形態では、位相調整回路２３０をバッファーアンプ２２０の下流、Ｖ−Ｉコンバータ２４０の上流に設置したが、検出コイル１１０ｂと同期検波回路２７０の間に設置することも可能である。
処理装置２００では、ビット１０の被検出部１４に作用するトルク変化を、ビット１０を形成する磁歪材料の透磁率の変化としてコイル１１０で検出する。
【００１９】
工具１を用いた作業例について図５を参照して説明する。
図５に示すガスボックス５００は、ベースＢＳ上に設置されているボックス５０１に流体制御装置が収容されており、半導体製造装置等の処理チャンバへ各種のガスを供給するために使用される。流体制御装置は、ベース板金ＢＰ上に長手方向に沿って配置された自動バルブやマスフローコントローラからなる各種流体機器５０２〜５０８を含む。ベース板金ＢＰ上に設けられた複数の継手ブロックＪＢは各種流体機器間を接続する流路を備えている。流体機器の５０２〜５０８ボディと継手ブロックＪＢとは、六角穴付きボルトＢＴで連結される。
ガスボックス５００の上方に障害物６００が存在するような場合ガスボックス５００の上方から六角穴付きボルトＢＴに鉛直上方向から最短距離でアクセスすることが難しい。
このような状況で、工具１のグリップ２を水平方向に保ち、フレキシブルシャフト３を鉛直下方向に向かうように湾曲させ、ビット１０の先端部を六角穴付きボルトＢＴに嵌合させる。そして、グリップ２の回転を、フレキシブルシャフト３を通じてビット１０に伝達させて六角穴付きボルトＢＴを締め付ける。
処理装置２００では、ビット１０に作用するトルク、すなわち、六角穴付きボルトＢＴに作用する締付トルクが検出される。これにより、ビット１０の精密なトルク管理が可能となる。
【００２０】
図６は、ビットの他の例を示す図である。
図６に示すビット１０Ａ、先端部１１Ａは断面が正六角形状に形成され、内接円の直径が３ｍｍとなっている。
軸部１３Ａは、直径４ｍｍの丸棒である。軸部１３Ａの根元部分に位置する被検出部１４Ａは、軸部１３Ａよりも大径（１０ｍｍ）の丸型である。
【００２１】
ビットで、締結部材を締め付けているトルクを測定するには、ビットに作用するトルクを検出すれば良い。
ビットに作用するトルクを検出するには、逆磁歪効果を利用するが、印加トルクによる軸（被検出部)表面の透磁率変化を、軸（被検出部）を取りまくソレノイドコイルのインピーダンス変化に換算し、ブリッジ回路の非平衡電圧として検出する必要がある。
軸（被検出部）の表面に作用する応力（歪み）と、軸（被検出部）の直径との関係は以下の式で表わされる。
σ＝１６Ｔ／（πＤ３）
ここで、σは軸（被検出部）表面の応力（歪み）、Ｔは軸（被検出部）に作用するトルク、Ｄは軸（被検出部）の直径である。
すなわち、軸（被検出部）の径の異なるビットに同じトルクが印加された場合、軸（被検出部）の径が小さなビットの方が、軸（被検出部）表面の応力（歪み）は著しく大きくなる。
軸（被検出部）表面の応力（歪み）は、軸（被検出部）表面の透磁率を変化させる。
透磁率の変化は、外部からの力に応じ、原子サイズで構成されている微小磁石の向きが変化することで起こるが、微小磁石の向きが揃い切ってしまうとそれ以上は変化しない（飽和状態）。
ビット（軸）に印加されたトルクを精密に検出するには、印加されるトルクの範囲で、透磁率の変化がリニアであることが望ましい。
軸（被検出部）表層の微小磁石の向きが揃い切ってしまう応力（歪み）は一定であるため、同じトルクを印加しようとする場合、軸（被検出部）の径が小さいほど、印加しようとするトルクに達する前に、透磁率の変化が無くなってしまう（飽和する）。
通常使用されるφ4のビットでは、磁歪トルクセンサのトルクに応じた電圧変化がすぐに飽和してしまう。例えば、通常使用されるφ4のビット（被検出部の直径：４ｍｍ）を使用して、３Ｎ・ｍのトルクで締結部材を締め付けようとすると、トルクが３Ｎ・ｍに達する前に、トルクセンサからの出力（電圧）が一定になってしまう。
このため、被検出部１４Ａの断面積を軸部１３Ａよりも拡大した。
同じトルクを印加しようとする場合、軸（被検出部）の径を大きくするほど、軸表面の応力（歪み）は小さくなる。そのため、トルクの印加が完了した状態においても、軸（被検出部）表層の微小磁石の向きが揃い切っていない状態にすることが可能である。このような状態であれば、印加されるトルクの範囲で、透磁率の変化がリニアとなる。
しかし、ビット（被検出部）の外径を拡大するには限界がある。
このため、ビットの被検出部の断面形状を非円形状にしてもよい。この構成により、トルクセンサからの出力の飽和をさらに遅らせることができる。軸表面の応力（歪み）の大きさは、直径に依るため、同じ断面積であっても非円形状にすることにより、応力（歪み）の分布ができるためである。
具体的には、被検出部を、図２に示したように、正六角形型（内接円が１０ｍｍ）とする。
また、被検出部の断面形状としては、四角形（正方形）型、正三角形型、二面割型、星形等の形状も採用可能である。
【００２２】
図７に、本実施形態に係るトルクセンサのトルクと検出電圧との関係の一例を示す。
なお、ビット１０の被検出部１４は、平行な2面の間隔が6.35mm (1/4インチ)の六角形である。
【００２３】
ここで、トルクセンサの動作原理について補足を行う。
例えば図８は、６５％Ｎｉ３５％Ｆｅ組成のパーマロイ磁歪膜メッキが施された軸で、それを取り囲むようにソレノイドコイルが配置されている場合である。ソレノイドコイルは例えば、直径０．２〜０．３ｍｍの銅線で、巻き数は１４０ターンである。交流励磁電源から抵抗Ｒを介して電流ｉが供給されている。コイルのインダクタンスをＬとした場合、コイル両端にはコイルインピーダンスに比例する電圧  ｉ×（Ｒ＋ｊωＬ）  が発生している。ここで、ωは交流励磁電流の角周波数、jは虚数単位である。図８のように軸トルク（ねじる力）Ｔが加わると、軸の表面には、軸方向に対して４５度方向に主応力σと−４５度方向に−σが対になって発生する。そしてこの応力は軸にメッキされた磁歪膜に伝達される。
軸の外径をＤ[ｍ]、トルクＴ[Ｎ・ｍ]とすると主応力σ[Ｎ／ｍ２]は次式で与えられる。
【００２４】
2019168401.tif 000003
【００２５】
これによって、磁歪膜には磁気異方性（Ｋｕとする）が誘導される。磁歪膜の飽和磁歪定数をλsとすれば（簡単のためλs＞０と仮定する）、Ｋｕは図９のように正の主応力方向に現れる。この大きさは、
【００２６】
2019168401.tif 000004
【００２７】
で与えられる。
磁気異方性Ｋｕが磁歪膜の磁化Ｊに及ぼす影響は、Ｊの方向をＫｕの方向にとどめておこうとする。一方励磁磁界Ｈは、磁化Ｊをその方向に引き寄せようとする。Ｊcosθの時間変化に磁歪膜断面積およびコイルの巻き数をかけたものがコイルの誘起電圧となる。（Ｈは交番する磁界であるので、θはその周波数で大きさが変動する）Ｋｕが大きくなると図９のθの振れ幅は小さくなり、一方、Ｋｕが小さくなるとその振れ幅は大きくなる。つまり、トルクＴが大きくなるとθの振れ幅が小さくなりコイルの誘起電圧は減少し、トルクＴが小さくなるとその逆となる。
電圧ｖは、トルクＴに対して図１０のように単調減少する。
これから電圧ｖの変化からトルクＴを検出できる。このとき軸の外径Ｄが大きければこのカーブがより直線的になり、ダイナミックレンジの大きいトルクセンサを得ることができる。
なお、図８では、１つのコイルを用いているが、第２のコイルを第１のコイルと同じように施し、第２のコイルから出力電圧を得ることもできる。こうすれば第１のコイルの抵抗分に発生するトルクに無関係な電圧降下を排除することができ、より精度の高い検出が可能となる。また、第１のコイルの巻き数を調整することで必要な励磁電流ｉを調整することができて、電力損失を軽減するような設計を容易にする。
【００２８】
図１１に第２の実施形態に係る工具１Ａを示す。
工具１Ａは、グリップ２の端面に処理装置２００Ａのケーシング２００ｃが設けられている。ケーシング２００ｃは、グリップ２に対して着脱自在とすることも可能である。また、ケーシング２００ｃをグリップ２の一部として機能させることも可能である。
配線ＷＢ，ＷＣをフレキシブルシャフト３およびグリップ２の外周面を這わせて処理装置２００Ａに電気的に接続することも可能である。この場合には、グリップ２、フレキシブルシャフト３およびビット１０からなる工具に、コイル保持部１００と処理装置２００Ａの回路を内蔵するケーシング２００ｃを追加的に装着すればよいので、汎用性がさらに高まる。
【００２９】
上述した各実施形態では、コイル１１０を保持するコイル保持部１００を、トルクを検出するための各種処理回路と分離することで、フレキシブルシャフト３の先端部３ａにコイル１００のみを設けることが可能となる。この結果、フレキシブルシャフト３を用いた工具１，１Ａにおいても締結部材の締め付けトルクを精密に管理することが可能となる。
【符号の説明】
【００３０】
１，１Ａ  工具
２  グリップ
３  フレキシブルシャフト
３ａ  先端部
３ｂ  基端部
１０，１０Ａ  ビット
１１，１１Ａ  先端部
１２，１２Ａ  基端部
１３，１３Ａ  軸部
１４，１４Ａ  被検出部
１００  コイル保持部
１１０  コイル
１１０ａ  励磁コイル
１１０ｂ  検出コイル
２００，２００Ａ  処理装置（処理部）
２１０  発振回路
２２０  バッファーアンプ
２３０  位相調整回路
２４０  Ｖ−Ｉコンバータ
２６０  インバータ
２７０  同期検波回路
２８０  反転増幅器
５００  ガスボックス
ＳＧ  トルク信号
ＢＴ  六角穴付きボルト
【図１】
2019168401.tif 000005
【図２】
2019168401.tif 000006
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2019168401.tif 000013
【図１０】
2019168401.tif 000014
【図１１】
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