(57)【要約】【課題】シール箇所からの漏液を抑制できるドレイン装置、液処理装置およびドレインポッドを提供する。【解決手段】ドレイン装置１０は、液受け部１１および取付け部１２を有するドレインパン１と、液を受けるドレインポッド２と、シール部材３と、を備える。ドレインポッド２は、取付け部１２の取付け面１２ｄに対面する主面２５ｃを有する本体部２１と、主面２５ｃから突出する周壁部２２とを備える。シール部材３は、取付け面１２ｄと主面２５ｃとの間に設けられる。周壁部２２は、取付け部１２の突出方向と平行に見て、取付け部１２の外周縁１２ｇより外周側に位置する。周壁部２２には、外部から取付け面１２ｄと主面２５ｃとの対面箇所を視認可能な切欠き２９が形成されている。【選択図】図１５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液が導入される液受け部、および前記液受け部の外面から突出する取付け部を有するドレインパンと、
前記取付け部に取り付けられて、前記液受け部から導出された液を受けるドレインポッドと、
前記ドレインパンと前記ドレインポッドとの隙間をシールするシール部材と、を備え、
前記ドレインポッドは、前記取付け部の取付け面に対面する主面を有する本体部と、前記主面から前記液受け部に近づく方向に突出する周壁部とを備え、
前記シール部材は、前記取付け面と前記主面との間に設けられ、
前記周壁部は、前記取付け部の突出方向と平行に見て、前記取付け部の外周縁より外周側に位置し、
前記周壁部には、外部から前記取付け面と前記主面との対面箇所を視認可能な切欠きが形成されている、ドレイン装置。
【請求項２】
前記主面に、前記シール部材の少なくとも一部が収容されるアリ溝状の保持溝が形成されている、請求項１記載のドレイン装置。
【請求項３】
前記取付け部に、前記ドレインポッドを固定する固定具が螺着されるインサートナットが埋設され、
前記インサートナットの外周面は、ネジの形成方向が互いに異なる第１ネジ部および第２ネジ部を有する、請求項１または２に記載のドレイン装置。
【請求項４】
前記ドレインパンと前記ドレインポッドのうち少なくともいずれか一方の内部に、液を検出する液センサが設けられている、請求項１〜３のうちいずれか１項に記載のドレイン装置。
【請求項５】
前記ドレインポッドは、前記取付け部に着脱自在に取り付けられる、請求項１〜４のうちいずれか１項に記載のドレイン装置。
【請求項６】
請求項１〜５のうちいずれか１項に記載のドレイン装置を備えた液処理装置。
【請求項７】
請求項１〜５のうちいずれか１項に記載のドレイン装置を備えた研磨装置。
【請求項８】
請求項１〜５のうちいずれか１項に記載のドレイン装置に用いられ、
前記取付け部の取付け面に対面する主面を有する本体部と、前記主面から前記液受け部に近づく方向に突出する周壁部とを備え、
前記シール部材は、前記取付け面と前記主面との間に設けられ、
前記周壁部は、前記取付け部の突出方向と平行に見て、前記取付け部の外周縁より外周側に位置し、
前記周壁部には、外部から前記取付け面と前記主面との対面箇所を視認可能な切欠きが形成されている、ドレインポッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドレイン装置、液処理装置およびドレインポッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体ウェハ等の基板を研磨する装置は、基板を研磨する研磨部、基板を洗浄する洗浄部などを備える。研磨部、洗浄部などでは、基板の研磨、洗浄などのために水などの液が用いられる。研磨部、洗浄部などから排出された使用済みの液は、それぞれの排液部を介して装置の外部に隔離回収される。排液部が故障した場合には、装置の内部から外部に直接、漏液が発生してしまい、装置を設置している半導体工場までも被害が生じてしまう。これを未然に防ぐために、排液部とその周辺全体より下方に配置したドレイン装置を通して漏液は隔離回収される（例えば、特許文献１および特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−２１２２８８号公報
【特許文献２】特開平１０−４４０４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ドレイン装置は、例えば、液が導入されるドレインパンと、ドレインパンから導出された液を受けるドレインポッドと、これらの隙間をシールするシール部材とを備える。ドレイン装置は、シール箇所からの漏液が生じないように組み立てる必要がある。
【０００５】
本発明の一態様は、シール箇所からの漏液を抑制できるドレイン装置、液処理装置およびドレインポッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、液が導入される液受け部、および前記液受け部の外面から突出する取付け部を有するドレインパンと、前記取付け部に取り付けられて、前記液受け部から導出された液を受けるドレインポッドと、前記ドレインパンと前記ドレインポッドとの隙間をシールするシール部材と、を備え、前記ドレインポッドは、前記取付け部の取付け面に対面する主面を有する本体部と、前記主面から前記液受け部に近づく方向に突出する周壁部とを備え、前記シール部材は、前記取付け面と前記主面との間に設けられ、前記周壁部は、前記取付け部の突出方向と平行に見て、前記取付け部の外周縁より外周側に位置し、前記周壁部には、外部から前記取付け面と前記主面との対面箇所を視認可能な切欠きが形成されているドレイン装置を提供する。
【０００７】
前記主面には、前記シール部材の少なくとも一部が収容されるアリ溝状の保持溝が形成されていることが好ましい。
【０００８】
前記取付け部に、前記ドレインポッドを固定する固定具が螺着されるインサートナットが埋設され、
前記インサートナットの外周面は、ネジの形成方向が互いに異なる第１ネジ部および第２ネジ部を有することが好ましい。
【０００９】
前記ドレインパンと前記ドレインポッドのうち少なくともいずれか一方の内部に、液を検出する液センサが設けられていることが好ましい。
【００１０】
前記ドレインポッドは、前記取付け部に着脱自在に取り付けられることが好ましい。
【００１１】
本発明の一態様は、前記ドレイン装置を備えた液処理装置を提供する。
【００１２】
本発明の一態様は、前記ドレイン装置に用いられ、前記取付け部の取付け面に対面する主面を有する本体部と、前記主面から前記液受け部に近づく方向に突出する周壁部とを備え、前記シール部材は、前記取付け面と前記主面との間に設けられ、前記周壁部は、前記取付け部の突出方向と平行に見て、前記取付け部の外周縁より外周側に位置し、前記周壁部には、外部から前記取付け面と前記主面との対面箇所を視認可能な切欠きが形成されているドレインポッドを提供する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の一態様によれば、ドレインポッドの周壁部に切欠きが形成されているため、外部から切欠きを通して取付け面と主面との対面箇所を視認できる。そのため、組み立て時において、シール部材の装着状態の確認が容易である。従って、ドレインパンとドレインポッドとの隙間におけるシール性を確保し、漏液を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態のドレイン装置を用いた基板処理装置の平面図である。
【図２】図１の基板処理装置の第１および第２研磨部のドレイン装置と、第１および第２搬送部のドレイン装置との概略を示す平面図である。
【図３】図２のドレイン装置の側断面図である。
【図４】実施形態のドレイン装置のドレインパンの平面図である。
【図５】図４のドレインパンの正面図である。
【図６】図４のＩ−Ｉ断面図である。
【図７】図６のドレインパンの一部の平面図である。
【図８】図７に示すＩＩ−ＩＩ断面図である。
【図９】図８に示すインサートナットの正面図である。
【図１０】実施形態のドレイン装置のドレインポッドの斜視図である。
【図１１】図１０のドレインポッドの平面図である。
【図１２】図１１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。
【図１３】実施形態のドレイン装置の一部を拡大した断面図である。
【図１４】図１３のドレインポッドの一部を拡大した断面図である。
【図１５】図１３のドレイン装置の正面図である。
【図１６】図１の基板処理装置の洗浄部のドレイン装置と、制御部のドレイン装置との平面図である。
【図１７】図１６のドレイン装置の側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
図１は、実施形態のドレイン装置１０（図２参照）を用いた基板処理装置１００の平面図である。
図１に示すように、基板処理装置１００（液処理装置）は、ロード／アンロード部１０１と、研磨部１０２と、搬送部１０３と、洗浄部１０４と、制御部１０５（電源部）と、ドレイン装置１０（図２参照）を備える。基板処理装置１００は、ウェハを研磨する研磨装置である。
【００１６】
ロード／アンロード部１０１は、多数のウェハ（基板）をストックするウェハカセットが載置される複数（本実施形態では４つ）のフロントロード部１２０を備えている。ロード／アンロード部１０１には、フロントロード部１２０の並びに沿って走行機構１２１が敷設されている。ロード／アンロード部１０１には、走行機構１２１上を移動可能な２台の搬送ロボット（ローダー）１２２が設置されている。搬送ロボット１２２は走行機構１２１上を移動することによってフロントロード部１２０に搭載されたウェハカセットにアクセスできる。
【００１７】
研磨部１０２は、ウェハの研磨（平坦化）が行われる領域である。研磨部１０２は、第１研磨ユニット１０２Ａ、第２研磨ユニット１０２Ｂ、第３研磨ユニット１０２Ｃ、および第４研磨ユニット１０２Ｄを備えている。
第１研磨ユニット１０２Ａは、研磨テーブル１３０と、トップリング１３１と、研磨液供給ノズル１３２と、ドレッサ１３３と、アトマイザ１３４とを備えている。研磨テーブル１３０は、研磨パッド１１０を備える。トップリング１３１は、ウェハを保持しかつウェハを研磨パッド１１０に押圧しながら研磨する。研磨液供給ノズル１３２は、研磨パッド１１０に研磨液、ドレッシング液等の液（例えば、純水）を供給する。ドレッサ１３３は、研磨パッド１１０の研磨面のドレッシングを行う。アトマイザ１３４は、液等（例えば純水）等を霧状にして研磨面に噴射する。研磨ユニット１０２Ｂ〜１０２Ｄは、第１研磨ユニット１０２Ａと同様の構成を有する。
【００１８】
第１研磨ユニット１０２Ａおよび第２研磨ユニット１０２Ｂは、第１研磨部１０２ａを構成する。第３研磨ユニット１０２Ｃおよび第４研磨ユニット１０２Ｄは、第２研磨部１０２ｂを構成する。
【００１９】
搬送部１０３は、ウェハを搬送する。搬送部１０３は、第１搬送部１０３ａ（リニアトランスポータ）、および第２搬送部１０３ｂ（リニアトランスポータ）を備えている。第１搬送部１０３ａは、第１研磨部１０２ａに隣接して設けられている。第２搬送部１０３ｂは、第２研磨部１０２ｂに隣接して設けられている。
【００２０】
洗浄部１０４は、洗浄液によってウェハを洗浄する。洗浄部１０４は、第１洗浄ユニット１９０、第２洗浄ユニット１９２、乾燥ユニット１９４、第１搬送ユニット１９１、および第２搬送ユニット１９３を備えている。第１洗浄ユニット１９０および第２洗浄ユニット１９２はウェハを洗浄する。乾燥ユニット１９４は、洗浄後のウェハを乾燥する。第１搬送ユニット１９１は、第１洗浄ユニット１９０と第２洗浄ユニット１９２との間でウェハを搬送する。第２搬送ユニット１９３は、第２洗浄ユニット１９２と乾燥ユニット１９４との間でウェハを搬送する。
制御部１０５は、ロード／アンロード部１０１、研磨部１０２、搬送部１０３および洗浄部１０４等の動作を制御する。
【００２１】
図２は、ドレイン装置１０の概略を示す平面図である。図３は、ドレイン装置１０Ａ，１０Ｃの側断面図である。ドレイン装置１０Ｂ，１０Ｄはドレイン装置１０Ａ，１０Ｃと同様の構成であるため図示は省略する。図４は、ドレイン装置１０のドレインパン１の平面図である。図５は、ドレインパン１の正面図である。
【００２２】
図２および図３に示すように、第１および第２研磨部１０２ａ，１０２ｂ（図１参照）のドレイン装置１０をそれぞれドレイン装置１０Ａ，１０Ｂという。ドレイン装置１０Ａ，１０Ｂは、それぞれ第１および第２研磨部１０２ａ，１０２ｂ（図１参照）の下方に設けられ、第１および第２研磨部１０２ａ，１０２ｂから排出された液が導入される。ドレイン装置１０Ａ，１０Ｂのドレインポッド２，２は、それぞれ排液管５１，５２に連結されている。ドレイン装置１０Ａ，１０Ｂから導出された液は、それぞれ排液管５１，５２を通して排出される。
【００２３】
図２に示すように、第１および第２搬送部１０３ａ，１０３ｂ（図１参照）のドレイン装置１０を、それぞれドレイン装置１０Ｃ，１０Ｄという。ドレイン装置１０Ｃ，１０Ｄは、それぞれ第１および第２搬送部１０３ａ，１０３ｂ（図１参照）の下方に設けられ、第１および第２搬送部１０３ａ，１０３ｂから排出された液が導入される。ドレイン装置１０Ｃ，１０Ｄのドレインポッド２は、それぞれ排液管５１，５２に連結されている。ドレイン装置１０Ｃ，１０Ｄから導出された液は、それぞれ排液管５１，５２を通して排出される。
【００２４】
図３に示すように、ドレイン装置１０は、ドレインパン１と、ドレインポッド２と、シール部材３（図１３参照）とを備える。
図４および図５に示すように、ドレインパン１は、液受け部１１と、取付け部１２とを備える。
液受け部１１は、受け板１１ａと、フランジ板１１ｂと、延出筒部１１ｃと、を備える。
受け板１１ａは、上面１１ｄが凹状となるように形成されている。凹状の上面１１ｄの内部空間Ｓ１（液受け空間Ｓ１）は、液を受け入れ可能である。受け板１１ａのうち最も低い部位である底部１１ｅには、液排出孔１１ｆが形成されている。液排出孔１１ｆは、例えば、平面視において円形状である。受け板１１ａは、平面視において、例えば矩形状に形成されている。なお、底部１１ｅの厚さ方向は上下方向である。平面視とは、上下方向から見ることをいう。
【００２５】
受け板１１ａのうち底部１１ｅ以外の部分は、傾斜部１１ｇである。傾斜部１１ｇは、底部１１ｅを囲んで形成されている。傾斜部１１ｇは、底部１１ｅに近づくほど徐々に低くなるように傾斜している。傾斜部１１ｇは、受け板１１ａに導入された液を底部１１ｅに導く。フランジ板１１ｂは、受け板１１ａの周縁から外方に延出している。
【００２６】
図６は、図４のＩ−Ｉ断面図である。図７は、ドレインパン１の一部の平面図である。
図６および図７に示すように、延出筒部１１ｃは、液排出孔１１ｆの周縁から下方（上面１１ｄ側とは反対の方向。すなわち外方）に突出している。延出筒部１１ｃは、上下方向に沿う中心軸を有する円筒状である。
液受け部１１は、例えばステンレス鋼などの金属、あるいはポリ塩化ビニルなどの樹脂で形成されている。
【００２７】
図３に示すように、液受け部１１の液受け空間Ｓ１（図５参照）には、第１液センサ４１が設けられていてもよい。第１液センサ４１は、例えばフロートセンサである。液受け部１１に液が溜まると、第１液センサ４１のフロート部が浮かぶことによって液受け部１１内に液が溜まったことを検知できる。
【００２８】
第１液センサ４１としては、フロートセンサに限らず、静電容量センサ、光センサ、超音波センサ、リボンセンサなどを用いてもよい。静電容量センサは、静電容量の変化により液の存在を検知する。光センサは、光の反射または透過量の変化により液の存在を検知する。超音波センサは、超音波の反射距離によって液の存在を検知する。リボンセンサは、リボン状の布に埋め込まれた２本の電極が液に浸ることによる導通の変化により液の存在を検知する。第１液センサ４１を設置することによって、液の流れの不具合を直ちに検知できる。
【００２９】
図６および図７に示すように、取付け部１２は、基台部１２ａと、突出筒部１２ｂとを備える。取付け部１２は、液受け部１１の下面１１ｈ（外面）から下方に突出して設けられる。
基台部１２ａは、例えば、中央に挿通孔１２ｈを有する円板状に形成されている。挿通孔１２ｈは、例えば、平面視において円形状である。挿通孔１２ｈには、延出筒部１１ｃが挿通する。基台部１２ａの上面１２ｃは、液受け部１１の下面１１ｈに当接している。基台部１２ａは、上下方向に沿う中心軸を有する円板状である。
【００３０】
基台部１２ａの下面１２ｄ（以下、取付け面１２ｄという）には、環状の挿入溝１２ｅが形成されている。挿入溝１２ｅは、基台部１２ａと同心の円形状である。挿入溝１２ｅは、平面視において、突出筒部１２ｂの外周側に隣接する位置に形成されている。挿入溝１２ｅの内周面と、突出筒部１２ｂの外周面とは段差なく連続している。
【００３１】
突出筒部１２ｂは、基台部１２ａの内周縁から取付け面１２ｄに対して下方に突出している。突出筒部１２ｂは、円筒状である。突出筒部１２ｂの内周面は延出筒部１１ｃの外周面に当接している。
取付け部１２は、例えばポリ塩化ビニルなどの樹脂等で形成されている。液受け部１１と取付け部１２とは溶接等により接合している。
【００３２】
図８は、図７に示すＩＩ−ＩＩ断面図である。
図７および図８に示すように、基台部１２ａには、複数の収容孔１２ｆが形成されている。複数の収容孔１２ｆは、貫通孔（または有底の孔）であって、基台部１２ａの周方向に間隔をおいて形成されている。複数の収容孔１２ｆには、それぞれインサートナット１３が埋設されている。図４および図７に示すように、基台部１２ａには、例えば、４つの収容孔１２ｆが基台部１２ａの周方向に等間隔に形成され、それぞれにインサートナット１３が埋設されている。
【００３３】
図９は、インサートナット１３の正面図である。図９に示すように、インサートナット１３の外周面は、ネジの形成方向が互いに異なる第１ネジ部１３ａおよび第２ネジ部１３ｂを有する。図８に示すように、インサートナット１３の外周面は、例えば、熱溶着、超音波溶着などにより収容孔１２ｆの内周面が溶着している。図９に示すように、第１ネジ部１３ａと第２ネジ部１３ｂとは、インサートナット１３の中心軸方向の位置を違えて形成されている。図９では、第１ネジ部１３ａは、第２ネジ部１３ｂに対して上方に位置する。
【００３４】
インサートナット１３は、第１ネジ部１３ａと第２ネジ部１３ｂとのネジの形成方向が互いに異なるため、第１ネジ部１３ａと第２ネジ部１３ｂのうち一方のネジ部に沿う回転が他方のネジ部により妨げられる。そのため、インサートナット１３は、中心軸周りのいずれの方向にも回転しにくく、取付け部１２から脱落しにくい。よって、後述するように（図１３参照）固定具２７で固定した場合に、ドレインポッド２は取付け部１２から外れにくい。
【００３５】
図１０は、ドレインポッド２の斜視図である。図１１は、ドレインポッド２の平面図である。図１２は、図１１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。図１３は、ドレイン装置１０の一部を拡大した断面図である。図１４は、図１３のドレインポッド２の一部を拡大した断面図である。図１５は、ドレイン装置１０の正面図である。
【００３６】
図１０〜図１２に示すように、ドレインポッド２は、本体部２１と、周壁部２２と、導出管２３とを備える。図１３に示すように、ドレインポッド２は、液受け部１１から導出された液を受ける機能を有する。
【００３７】
図１０および図１１に示すように、本体部２１は、底壁部２４と、環状壁部２５とを備える。底壁部２４は、例えば円板状である。
環状壁部２５は、壁部本体２５ａと、挿入凸部２５ｂとを備える。
壁部本体２５ａは、底壁部２４の周縁部から上方に突出して形成されている。壁部本体２５ａは、例えば、平面視において円形状である。環状壁部２５の内部空間Ｓ２（液導入空間Ｓ２）には、取付け部１２の突出筒部１２ｂ（図１３参照）が挿入される。
壁部本体２５ａの上面２５ｃ（以下、主面２５ｃという）は、取付け部１２の取付け面１２ｄ（図１３参照）に対面する。なお、底壁部２４の厚さ方向は上下方向である。
【００３８】
図１０および図１３に示すように、壁部本体２５ａの主面２５ｃには、環状の保持溝２６が形成されている。保持溝２６は、壁部本体２５ａと同心の円形状である。保持溝２６は、平面視において、壁部本体２５ａの外周縁よりも内周側であって、挿入凸部２５ｂより外周側に形成されている。保持溝２６には、シール部材３（図１３参照）が嵌合する。
【００３９】
図１４に示すように、保持溝２６は、底面２６ａと、内側面２６ｂ，２６ｂとを有する。保持溝２６は、アリ溝状に形成されている。内側面２６ｂ，２６ｂは、底面２６ａから離れるほど互いの距離（溝幅）が小さくなるように傾斜して形成されている。底面２６ａと内側面２６ｂとがなす角度は、９０°以下（好ましくは９０°未満）が好適である。保持溝２６は、深さ方向に溝幅が大きくなる形状である。そのため、保持溝２６の開口幅より太径のシール部材３を収容できる。よって、シール部材３は保持溝２６から外れにくくなる。
【００４０】
図１３に示すように、壁部本体２５ａには、平面視において、取付け部１２のインサートナット１３と重なる位置に、固定具２７が挿通可能な複数の挿通孔２５ｄが形成されている。挿通孔２５ｄに挿通された固定具２７（例えばボルト）の先端部がインサートナット１３に螺着することによって、ドレインポッド２は取付け部１２に固定される。固定具２７の外周面には、インサートナット１３の内周面のネジ部に螺合するネジ部が形成されている。固定具２７は、インサートナット１３に対して螺着されるため、ドレインポッド２は取付け部１２に対して着脱自在である。
【００４１】
挿入凸部２５ｂは、壁部本体２５ａの内周縁から主面２５ｃに対して上方に突出している。挿入凸部２５ｂは、円環状である。  挿入凸部２５ｂは、取付け部１２の挿入溝１２ｅに挿入される。挿入凸部２５ｂが挿入溝１２ｅに挿入されることによって、ドレインポッド２は、図１３における左右方向（上下方向に対して直交する方向）の移動が規制される。そのため、ドレインポッド２は、取付け部１２に対して位置決めされる。
【００４２】
図１２に示すように、壁部本体２５ａには、内周面２５ａ１と外周面２５ａ２との間を貫通する導出孔２５ｅが形成されている。導出孔２５ｅは、壁部本体２５ａの径方向に沿って形成されている。導出孔２５ｅは、液導入空間Ｓ２内の液を導出管２３内に導く。
【００４３】
図１０に示すように、周壁部２２は、壁部本体２５ａの外周縁部から、主面２５ｃに対して上方（液受け部１１に近づく方向）に突出している。周壁部２２は、壁部本体２５ａの外周縁に沿って周方向に延在する。
【００４４】
周壁部２２は、ドレインポッド２を取付け部１２に取り付けた状態で、平面視において、取付け部１２の外周縁１２ｇより外周側（すなわち、径方向外方）に位置する。周壁部２２は、取付け部１２の外周面から離れていてもよい。周壁部２２の上端は、取付け部１２の取付け面１２ｄより高い位置に達している。そのため、本体部２１の径方向外方から見て、周壁部２２は、取付け面１２ｄおよび主面２５ｃを隠蔽し得る（図１５参照）。
【００４５】
周壁部２２には、複数の切欠き２９が形成されている。切欠き２９は、壁部本体２５ａの周方向の所定範囲にわたって周壁部２２が形成されていない箇所である。複数の切欠き２９は、壁部本体２５ａの周方向に間隔をおいて形成されている。
【００４６】
複数の切欠き２９の周方向の寸法は、取付け面１２ｄと主面２５ｃとの対面箇所が外部から視認できるように選択される。前記対面箇所とは、取付け面１２ｄと主面２５ｃとが対面する箇所である。図１１に示すように、切欠き２９の周方向長さは、平面視において、底壁部２４の中心Ｏと、切欠き２９が形成された範囲の壁部本体２５ａの外周縁とによって形成される扇形の中心角θが、例えば５〜４５°となる長さであることが好ましい。切欠き２９によって複数に分割された周壁部２２の部分を分割周壁部３０という。
【００４７】
複数の切欠き２９の相対位置は特に限定されないが、例えば中心Ｏを軸として回転対称となる位置が好ましい。図１０〜図１３に示す例では、切欠き２９の数は４であり、これらの切欠き２９は、壁部本体２５ａの周方向に等間隔に形成されている。そのため、分割周壁部３０の数は４であり、４つの分割周壁部３０の周方向の長さは互いに等しい。
なお、切欠き２９の数は４に限らず、１であってもよいし、２以上の任意の数（複数）であってもよい。複数の切欠き２９は、中心Ｏに対してｎ回対称（ｎは２以上の整数）の回転対称位置に形成することができる。
【００４８】
図１３に示すように、環状壁部２５の液導入空間Ｓ２には、第２液センサ４２（図３参照）が設けられていてもよい。第２液センサ４２は、フロートセンサであってもよいし、固定センサ（静電容量センサ、光センサ、超音波センサ、リボンセンサなど）であってもよい。第２液センサ４２を設置することによって、液の流れの不具合を直ちに検知できる。
【００４９】
例えば、液受け空間Ｓ１に設けられた第１液センサ４１がフロートセンサであり、液導入空間Ｓ２に設けられた第２液センサ４２が固定センサである場合を想定する。この場合、ドレイン装置１０内の液が少ない場合には、２つのセンサ４１，４２のうち第２液センサ４２のみで液が検知される。ドレイン装置１０内の液が多い場合には、２つのセンサ４１，４２で液が検知される。そのため、液量に応じた対応をとることができる。例えば、液が少ない場合には警報を発するのみの対応とし、液が多い場合には液供給停止機構（図示略）を作動させる対応をとることができる。
【００５０】
なお、液センサは、ドレインパン１とドレインポッド２のうち少なくともいずれか一方の内部に設けることができる。例えば、第１液センサ４１と第２液センサ４２のうちいずれか一方のみを使用することもできる。
【００５１】
図１２に示すように、導出管２３の先端は、壁部本体２５ａの外周面に接続されている。導出管２３の先端開口は、導出孔２５ｅの外部開口と重なる位置にある。導出管２３は、導出孔２５ｅを通して導出された液を導くことができる。
【００５２】
シール部材３は、軟質樹脂、ゴムなどで形成されている。シール部材３の長さ方向に直交する断面は、例えば円形状である。シール部材３は、環状に形成されている。ドレインポッド２を取付け部１２に取り付けた状態で、シール部材３は、取付け面１２ｄと主面２５ｃとの間に設けられて、ドレインパン１とドレインポッド２との隙間をシールする。詳しくは、シール部材３は、保持溝２６に収容される。
【００５３】
シール部材３は、保持溝２６の底面２６ａと取付け面１２ｄとによって弾性的に圧縮変形した状態となるのが好ましい。これによって、底面２６ａおよび取付け面１２ｄに対するシール部材３の当接箇所におけるシール性が高められる。
【００５４】
ドレイン装置１０を組み立てる際には、シール部材３を保持溝２６内に配置したドレインポッド２を、主面２５ｃが取付け部１２の取付け面１２ｄに対面するように配置する。周壁部２２は、主面２５ｃおよび取付け面１２ｄに沿う方向のドレインポッド２の移動を規制できるため、取付け部１２に対するドレインポッド２の大まかな位置決めは容易になる。
【００５５】
挿通孔２５ｄに挿通した固定具２７をインサートナット１３に螺着させることによって、ドレインポッド２を取付け部１２に取り付ける。シール部材３は、保持溝２６の内面と取付け面１２ｄに当接することによって、ドレインパン１とドレインポッド２との隙間をシールする。
【００５６】
分割周壁部３０は、取付け部１２より外周側にあって主面２５ｃから上方に突出している。分割周壁部３０の上端は、取付け面１２ｄおよび主面２５ｃより高い位置に達している。しかし、周壁部２２には切欠き２９が形成されているため、外部から切欠き２９を通して取付け面１２ｄと主面２５ｃとの対面箇所を視認できる。
【００５７】
本体部２１および周壁部２２は、例えばポリ塩化ビニルなどの樹脂等で形成されている。本体部２１および周壁部２２は、一体に形成することができる。導出管２３は、例えばポリ塩化ビニルなどの樹脂等で形成されている。
【００５８】
ドレイン装置１０は、基板処理装置１００の下部に組み付けられるため、作業者が確認しにくい位置にある。ドレイン装置１０の組み立て時において、シール部材３の装着状態を確認するにあたっては、作業者は、基板処理装置１００の下部を覗きこんでドレイン装置１０の側方から切欠き２９を通して前記対面箇所を確認する。
【００５９】
図１６は、基板処理装置１００の制御部１０５（電源部）および洗浄部１０４（図１参照）のドレイン装置１０の平面図である。図１７は、ドレイン装置１０の側断面図である。
図１６に示すように、制御部１０５（図１参照）の下方にはドレイン装置１０（１０Ｅ）が設けられている。第１搬送ユニット１９１を含み第１洗浄ユニット１９０から第２洗浄ユニット１９２をカバーする領域（図１参照）の下方にはドレイン装置１０（１０Ｆ）が設けられている。第２搬送ユニット１９３から乾燥ユニット１９４をカバーする領域（図１参照）の下方にはドレイン装置１０（１０Ｇ）が設けられている。
図１７に示すように、ドレイン装置１０は、図２の例と同様な構成であり、ドレインパン１と、ドレインポッド２と、シール部材３（図１３参照）、第１液センサ４１、第２液センサ４２とを備える。
【００６０】
ドレイン装置１０では、ドレインポッド２の周壁部２２には切欠き２９が形成されているため、外部から切欠き２９を通して取付け面１２ｄと主面２５ｃとの対面箇所を視認できる（図１５参照）。そのため、組み立て時において、シール部材３の装着状態の確認が容易である。例えば、シール部材３の一部が保持溝２６から外れている場合には、そのことを容易に確認できる。従って、シール部材３を保持溝２６に正常に嵌合させたうえでドレインポッド２の取付けをやり直すことができる。よって、ドレインパン１とドレインポッド２との隙間におけるシール性を確保し、漏液を防ぐことができる。
【００６１】
ドレイン装置１０では、組み立て後の漏液試験において、切欠き２９を通して漏液の有無を容易に確認できる。漏液が生じた場合には、ドレインポッド２の取付けをやり直すことができる。従って、ドレインパン１とドレインポッド２との隙間におけるシール性を確保し、漏液を防ぐことができる。
【００６２】
ドレインポッド２は、取付け部１２に対して着脱自在に取り付けられる。そのため、例えば、ドレイン装置１０の組み立て時に、シール部材３の一部が保持溝２６から外れていることが確認できた場合には、シール部材３を保持溝２６に正常に嵌合させたうえでドレインポッド２の取付けをやり直すことができる。よって、作業性を高めることができる。
【００６３】
本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。例えば、上述の実施形態では、基板処理装置は、ウェハを研磨する研磨装置であるが、複数の研磨ユニットを他の基板処理ユニットに置き換えることによって、別の基板処理装置を構成してもよい。「他の基板処理ユニット」としては、例えば、成膜処理ユニット（めっき処理ユニット、ＣＶＤユニットなど）、ウェットエッチングユニット、ドライエッチングユニットなどが挙げられる。また、異なる複数の基板処理ユニットを組み合わせてもよい。
【００６４】
ドレイン装置は、ドレインポッドの周壁部の切欠きを通して前記対面箇所が目視により確認可能であればよい。そのため、周壁部の切欠きに、可視光が透過可能な透明材料（樹脂、ガラスなど）からなる透明壁部が形成されていてもよい。この構成のドレイン装置は、透明壁部を通して前記対面箇所を目視により確認できる。なお、ドレインポッドの周壁部の少なくとも一部が、可視光が透過可能な透明材料（樹脂、ガラスなど）で構成されている場合は、切欠きがなくても前記対面箇所を目視により確認できる。
【符号の説明】
【００６５】
１…ドレインパン、２…ドレインポッド、３…シール部材、１０…ドレイン装置、１１…液受け部、１１ｈ…下面（外面）、１２…取付け部、１２ｄ…取付け面、１２ｇ…外周縁、１３…インサートナット、１３ａ…第１ネジ部、１３ｂ…第２ネジ部、２１…本体部、２２…周壁部、２５ｃ…主面、２６…保持溝、２７…固定具、２９…切欠き、４１…第１液センサ、４２…第２液センサ、１００…基板処理装置（液処理装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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