(57)【要約】【課題】部品を基板に固定する際に発生する、基板面内の二軸の回転成分を含む、基板に対する電子部品の傾きのずれを緩和し得る、調整装置等の提供。【解決手段】調整装置は、基板における未固化の接着剤が供給された接着位置に設置された電子部品の、前記基板に対する、前記基板の上面内の第一の直線を軸とする第一回転方向の傾き及び前記上面内の第二の直線を軸とする第二回転方向の傾きに係る測定情報を導出する導出部と、前記測定情報を、前記第一回転方向の傾き及び前記第二回転方向の傾きに係る設定情報に近づける調整を、前記設置の後の所定の期間行う傾き調整部と、を備える。【選択図】      図１
2019160933.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板における未固化の接着剤が供給された接着位置に設置された電子部品の、前記基板に対する、前記基板の上面内の第一の直線を軸とする第一回転方向の傾き及び前記上面内の第二の直線を軸とする第二回転方向の傾きに係る測定情報を導出する導出部と、
前記測定情報を、前記第一回転方向の傾き及び前記第二回転方向の傾きに係る設定情報に近づける調整を、前記設置の後の所定の期間行う傾き調整部と、
を備える、調整装置。
【請求項２】
前記期間が、前記接着剤の固化が完了する以前の所定の時点までの間である、請求項１に記載された調整装置。
【請求項３】
前記設定情報が、前記第一回転方向に係る第一の設定値と前記第二回転方向に係る第二の設定値とからなり、前記測定情報が、前記第一回転方向に係る第一の測定値と前記第二回転方向に係る第二の測定値とからなり、前記傾き調整部は、前記第一の測定値を前記第一の設定値に、前記第二の測定値を前記第二の設定値に、それぞれ、近づける、請求項１又は請求項２に記載された調整装置。
【請求項４】
前記第一の直線と前記第二の直線とが直交する、請求項１乃至請求項３のうちのいずれか一に記載された調整装置。
【請求項５】
前記電子部品を把持するための把持部をさらに備え、前記傾き調整部は、前記把持部を、前記第一回転方向及び前記第二回転方向のうちの少なくともいずれかに傾ける、請求項１乃至請求項４のうちのいずれか一に記載された調整装置。
【請求項６】
前記把持部を移動させる第二移動部をさらに備える、請求項５に記載された調整装置。
【請求項７】
前記設置を行うために前記基板を保持する保持部を移動させる第一移動部と、前記設置を行うために前記把持部を移動させる第二移動部を、さらに備え、前記保持部の移動方向が、前記第一の直線の表す第一方向、前記第二の直線の表す第二方向、及び、前記第一の直線及び前記第二の直線に垂直な第三方向、のうちの少なくともいずれかを含み、前記保持部の移動方向が、前記第一の直線の表す第一方向、前記第二の直線の表す第二方向、及び、前記第一の直線及び前記第二の直線に垂直な第三方向のうちのその他のもの含む、請求項５に記載された調整装置。
【請求項８】
前記基板及び前記電子部品を撮像する撮像部をさらに備え、前記撮像に係る画像情報から、前記電子部品の移動及び前記基板の移動のうち少なくとも一方を行う、請求項１乃至請求項７のうちのいずれか一に記載された調整装置。
【請求項９】
電子部品を基板における未固化の接着剤が供給された接着位置に設置し、
前記電子部品の前記基板に対する、前記基板の上面内の第一の直線を軸とする第一回転方向の傾き及び前記上面内の第二の直線を軸とする第二回転方向の傾きに係る測定情報を導出し、
前記測定情報を、前記第一回転方向の傾き及び前記第二回転方向の傾きに係る設定情報に近づける調整を、前記設置の後の所定の期間行う、
調整方法。
【請求項１０】
電子部品を基板における未固化の接着剤が供給された接着位置に設置する処理と、
前記電子部品の前記基板に対する、前記基板の上面内の第一の直線を軸とする第一回転方向の傾き及び前記上面内の第二の直線を軸とする第二回転方向の傾きに係る測定情報を導出する処理と、
前記測定情報を、前記第一回転方向の傾き及び前記第二回転方向の傾きに係る設定情報に近づける調整を、前記設置の後の所定の期間行う処理と、
を、コンピュータに実行させる、調整プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品の設置状態を調整する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を基板に固定する場合に、上面に未固化の接着剤を供給した基板上に電子部品を設置し、接着剤を固化する方法が一般的に用いられている。
【０００３】
電子部品を基板上に接着剤により固定する場合に、電子部品の上面が基板となす角度を所定の角度にする必要がある場合がある。その場合、電子部品を基板等へ搭載する前に、電子部品の上面の傾きを測定し、所定の範囲内になるように傾きを設定した後に基板に設置する。そして、その後の接着剤の固化により、電子部品を基板に固定する。
【０００４】
ここで、特許文献１は、熱硬化性接着剤を基板の部品搭載位置に塗布し、吸着ヘッドで吸着した部品を基板の部品搭載位置に載置し、熱硬化性接着剤を加熱して硬化させる実装方法を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−００９６５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、傾きを設定した後に基板に設置し、その後の接着剤の固化により、電子部品を基板に固定する方法では、接着剤の硬化中の収縮により、電子部品の上面の傾きが設定値からずれる場合がある。当該ずれには、基板面内の二軸についての回転成分を含む傾きのずれが含まれ得る。
【０００７】
本発明は、電子部品を基板に固定する際に発生する、基板面内の二軸の回転成分を含む、基板に対する電子部品の傾きのずれを緩和し得る、調整装置等の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の調整装置は、基板における未固化の接着剤が供給された接着位置に設置された電子部品の、前記基板に対する、前記基板の上面内の第一の直線を軸とする第一回転方向の傾き及び前記上面内の第二の直線を軸とする第二回転方向の傾きに係る測定情報を導出する導出部と、前記測定情報を、前記第一回転方向の傾き及び前記第二回転方向の傾きに係る設定情報に近づける調整を、前記設置の後の所定の期間行う傾き調整部と、を備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の調整装置等は、電子部品を基板に固定する際に発生する、基板面内の二軸の回転成分を含む、基板に対する電子部品の傾きのずれを緩和し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施形態の調整装置の構成例を表すブロック図である。
【図２】動作部の構成例を表す概念図である。
【図３】処理部が行う処理の処理フロー例を表す概念図である。
【図４】実施形態の調整装置の最小限の構成を表すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
［構成と動作］
図１は、本実施形態の調整装置の例である調整装置１０１の構成を表すブロック図である。
【００１２】
調整装置１０１は、動作部２０１と処理部４０１とを備える。なお、動作部２０１の具体例は、図２を参照して後述する。
【００１３】
動作部２０１は、測定部２０２と、移動部２０３と、調整部２０４と、把持部２０５とを備える。
【００１４】
把持部２０５は、図示しない電子部品を把持する。
【００１５】
移動部２０３は、処理部４０１からの指示により、把持部２０５を、図示しない基板に対する所定の相対的位置に移動させる。把持部２０５の当該移動により、把持部２０５により把持された前記電子部品は、前記基板に対し、相対的に移動する。前記移動は、把持部２０５を移動させるものであっても、前記基板を移動させるものであっても構わない。
【００１６】
測定部２０２は、処理部４０１からの指示に従い、前記電子部品の傾きを表す傾き情報を測定する。当該傾き情報は、傾きそのものであっても構わない。そして、測定部２０２は、測定した傾き情報を処理部４０１に送付する。
【００１７】
調整部２０４は、処理部４０１からの指示により、前記電子部品の傾きを調整する。
【００１８】
処理部４０１は、例えば、図示しない、中央演算装置と、メモリやハードディスク等の記録部と、を備える。
【００１９】
処理部４０１は、前記記録部に、前記傾き情報の許容範囲を表す許容範囲情報を予め保持している。
【００２０】
処理部４０１は、前記基板上に未固化の接着剤が供給されると、移動部２０３に、把持部２０５が把持している電子部品を、前記接着剤が供給されている所定の位置に設置させる。
【００２１】
そして、処理部４０１は、測定部２０２に、前記傾き情報の取得を行わせる。
【００２２】
処理部４０１は、測定部２０２から前記傾き情報が送付されると、その傾き情報が前記許容範囲に含まれるかについての判定を行う。
【００２３】
そして、処理部４０１は、その傾き情報が前記許容範囲に含まれないことを判定した場合には、調整部２０４に、前記傾き情報を前記許容範囲に含まれる所定の値（例えば中心値）に近づく方向の前記電子部品の傾き調整を行わせる。
【００２４】
処理部４０１は、前記接着剤がある程度固まるまでの所定の期間、測定部２０２への前記取得指示、前記判定及び調整部２０４への前記調整指示を繰り返す。
【００２５】
なお、調整装置１０１が前記基板の傾きを取得する方法としては、例えば、次に説明する、間接角度測定法や直接角度測定法を用いることができる。
【００２６】
調整装置１０１は、間接角度測定法を用いる場合は、まず、測定部２０２が備える図示しないレーザ変位計等の変位センサで、前記電子部品の上面と前記変位センサの基準面との距離を、３点以上の測定点において測定する。当該変位センサには、例えば、キーエンス社製のＬＫ−Ｇ５０００シリーズを用いることができる。
【００２７】
そして、処理部４０１は、前記測定点の位置と測定値から前記電子部品の上面の平面を表す平面式を算出する。ここで、前記測定点は平面上にあることを前提としている。処理部４０１は、前記測定点が４点以上の場合は、前記平面式最小二乗法等により近似する。そして、処理部４０１は、前記平面式から、前記平面の所定の方向（Ｘ方向）とその方向に垂直な方向（Ｙ方向）の傾きを算出する。
【００２８】
動作部２０１は、電子部品に対して変位センサをＸＹ方向に移動させるため変位センサ駆動ＸＹステージを備えていても構わない。
【００２９】
一方、調整装置１０１は、直接角度測定法を用いる場合は、測定部２０２は、市販のオートコリメータを備える。そして、動作部２０１は、前記オートコリメータにより、前記電子部品の上面の角度を、直接測定する。その場合、前記オートコリメータは、前記電子部品の上面に対し、レーザ光を照射する。当該レーザ光は、例えば、半導体レーザによるものである。当該レーザ光の前記上面での反射光は、前記オートコリメータのＣＣＤ等に入射される。ここで、ＣＣＤは、Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅの略である。前記オートコリメータは、前記反射光の受光位置により電子部品上面の傾きを導出する。
【００３０】
前記直接角度測定法は、レーザ光を良好に反射する鏡面状の上面を持つ電子部品の傾き検出に有効である。
【００３１】
また、把持部２０５による前記電子部品の把持には、例えば、周辺部吸着方式や側面把持方式を用いることができる。前記周辺部吸着方式は、前記電子部品における、前記傾き情報を取得する位置以外の部分である周辺部を真空吸着する方式である。また、前記側面把持方式は、電子部品の側面を、エア式又は電動式チャックにより挟み込み把持する方式である。
【００３２】
また、移動部２０３は、例えば、把持部２０５を前記基板に対してＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に相対的に移動させるための移動ステージを備える。ここで、Ｘ方向は、前記基板上面内のある方向である。また、Ｙ方向は、Ｘ方向に対直な前記上面内の方向である。また、Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に垂直な方向である。
【００３３】
前記移動ステージは、図２を参照して後述するように、例えば、ＸステージとＹステージとＺステージとを組み合わせることにより構成し得る。
【００３４】
前記移動ステージは、前記把持部２０５を移動させる第一移動ステージと、前記基板を移動させる第二移動ステージとの組合せであっても構わない。また、前記移動ステージは、前記Ｘステージ、前記Ｙステージ及び前記Ｚステージの各々を複数備えても構わない。
【００３５】
また、調整部２０４は、例えば、把持部２０５を、前記Ｘ方向、前記Ｙ方向及び前記Ｚ方向の各々軸を中心に回転し得る、θＸステージ、θＹステージ及びθＺステージを組み合わせた回転ステージを備える。前記θＸステージ及び前記θＹステージの各々としては、例えば、神津精機社製の自動スイベルステージＳＡシリーズを用いることができる。また、前記θＺステージ２１１としては、例えば、神津精機社製の自動回転ステージＲＡシリーズを用いることができる。
【００３６】
図２は、図１に表す動作部２０１の例である動作部２０１ａの構成を表す概念図である。
【００３７】
図２には、動作部２０１ａの他に、基板７０６と電子部品７０１とを表してある。
【００３８】
図２は、基板固定部２１６上に基板７０６が設置され、基板７０６上の接着剤供給箇所（接着箇所）に、電子部品７０１が設置された状態を表す。動作部２０１ａは、基板７０６上に前記接着剤が供給される前は、図２に表す位置とは異なる図示しない別の位置にある。
【００３９】
動作部２０１ａは、傾きセンサ３０１と、カメラ３０６と、Ｙステージ２０７と、Ｘステージ２０６と、θＺステージと、基板固定部２１６とを備える。動作部２０１ａは、さらに、部材２５１と、Ｚステージ２５６と、θＹステージ２６１と、θＸステージ２６６と、部材２７１と、把持部２７６ａ及び２７６ｂとを備える。
【００４０】
基体７１１ａの上面である面９０３上に、Ｙステージ２０７の下面である面９０１ａが固定されている。Ｙステージ２０７は、図１に表す処理部４０１から送付される制御信号により、Ｙステージ２０７の上面である面９０１ｂを、図２に表すＹ方向に移動する。当該移動により、面９０１ｂに固定されたＸステージ２０６は、Ｙ方向に移動する。
【００４１】
Ｘステージ２０６は、図１に表す処理部４０１から送付される制御信号により、Ｘステージ２０６の上面である面９０１ｄを、図２に表すＸ方向に移動する。当該移動により、面９０１ｄに固定されたθＺステージ２１１は、Ｘ方向に移動する。
【００４２】
θＺステージ２１１は、図１に表す処理部４０１から送付される制御信号により、θＺステージ２１１の上面である面９０１ｆを、図２に表すθＺ方向に回転する。当該回転により、面９０１ｆに固定された基板固定部２１６及び基板固定部２１６に固定された基板７０６は、θＺ方向に回転する。
【００４３】
上記により、Ｙステージ２０７、Ｘステージ２０６、θＺステージ２１１及び基板固定部２１６の組合せは、処理部４０１からの制御信号により、基板７０６を、Ｘ方向及びＹ方向に移動し、θＺ方向に回転させ得る。
【００４４】
部材２５１は、図示しない部材により、基体７１１ａに固定されている。部材２５１の面９０２ａは、Ｘ−Ｚ面に平行である。
【００４５】
部材２５１の面９０２ａには、Ｚステージ２５６の面９０２ｂが固定されている。
【００４６】
Ｚステージ２５６は、図１に表す処理部４０１から送付される制御信号により、面９０２ｃに面９０２ｄが固定されたθＹステージ２６１を、図２に表すＺ方向に移動する。
【００４７】
θＹステージ２６１は、図１に表す処理部４０１から送付される制御信号により、面９０２ｅに面９０２ｆが固定されたθＸステージ２６６を、図２に表すθＹ方向に傾ける。
【００４８】
θＸステージ２６６は、図１に表す処理部４０１から送付される制御信号により、面９０２ｇに面９０２ｈが固定された部材２７１及び、部材２７１に各端部の一方が固定された把持部２７６ａ及び２７６ｂを、図２に表すθＸ方向に傾ける。なお、図２においては、把持部２７６ａ及び２７６ｂに電子部品７０１の把持を行わせるためのエア供給装置等は図示を省略してある。
【００４９】
上記により、部材２５１、Ｚステージ２５６、θＹステージ２６１、θＸステージ２６６及び部材２７１の組合せは、処理部４０１からの制御信号により、把持部２７６ａ及び２７６ｂを、Ｚ方向に移動し、θＸ方向及びθＹ方向に傾け得る。
【００５０】
傾きセンサ３０１は、前述の直接角度測定法により傾きを測定する傾きセンサである。傾きセンサ３０１は、処理部４０１からの制御情報により、傾きセンサ３０１の下部にある図示しない発光部により、レーザ光８０１を、電子部品７０１の上面である面９０１ｌの測定点ａに照射する。レーザ光８０１の図示しない反射光は、傾きセンサ３０１が下部に備える図示しないＣＣＤセンサに入射する。傾きセンサ３０１は、当該入射位置により、測定点ａにおける面９０１ｌの傾きを表す、θＸ及びθＹ方向の各角度を導出し、図１に表す処理部４０１に送付する。
【００５１】
カメラ３０６は、図１に表す処理部４０１からの指示に従い、電子部品７０１を撮影する。当該撮影に係る撮影対象には、電子部品７０１の面９０１ｌに設けられた位置特定用のマークＡ及びＢ、及び、基板７０６の面９０１ｊに設けられた位置特定用のマークＣ及びＤが含まれる。カメラ３０６は、当該撮影に係る画像情報を、図１に表す処理部４０１へ送付する。
【００５２】
当該画像情報を受けた処理部４０１は、当該画像情報が表す画像に含まれるマークＡ乃至Ｄから、電子部品７０１の位置とθＺ方向の傾きとを導出する。
［処理フロー］
図３は、図１に表す処理部４０１が行う処理の処理フロー例を表す概念図である。なお、以下の説明においては、図１に表す動作部２０１は図２に表す動作部２０１ａであるものとする。
【００５３】
処理部４０１は、例えば、外部からの開始情報の入力により、図３に表す処理を開始する。
【００５４】
そして、処理部４０１は、Ｓ１０１の処理として、基板７０６上の把持部２７６ａと２７６ｂとの間の位置に電子部品７０１が設置されたかについての判定を行う。処理部４０１は当該判定を、例えば、外部からの設置完了情報の入力の有無を判定することにより行う。
【００５５】
処理部４０１は、Ｓ１０１の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、Ｓ１０２の処理を行う。
【００５６】
一方、処理部４０１は、Ｓ１０１の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ１０１の処理を再度行う。
【００５７】
処理部４０１は、Ｓ１０２の処理を行う場合は、同処理として、把持部２７６ａ及び２７６ｂに、電子部品７０１を把持させる。
【００５８】
そして、処理部４０１は、図２に表す電子部品７０１上面の位置決めマークであるマークＡ及びＢ及び基板７０６上面の位置決めマークであるマークＣ及びＤの各々の位置を特定する。処理部４０１は、当該特定を、カメラ３０６に撮像させ、送付させた画像情報により行う。
【００５９】
そして、処理部４０１は、Ｓ１０４の処理として、電子部品７０１が基板７０６の接着位置の上方に位置するように、基板７０６をＸ−Ｙ平面内での移動させるべき向きと距離とを導出する。ここで、接着位置は、電子部品７０１の基板７０６への接着材による接着を行うべき位置である。処理部４０１は、電子部品７０１が前記接着位置の上方になる場合における、マークＡ及びＢとマークＣ及びＤとの位置関係を表す情報を予め保持しているものとする。そして、処理部４０１は、当該位置関係になるように基板７０６を移動させる向きと距離とを導出する。
【００６０】
そして、処理部４０１は、前記接着位置に未固化の接着剤が供給されたかについての判定を行う。処理部４０１は、当該判定を、例えば、図示しない接着剤供給装置から送付された、供給完了を表す通知情報の入力の有無を判定することにより行う。
【００６１】
処理部４０１は、Ｓ１０５の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、Ｓ１０６の処理を行う。
【００６２】
一方、処理部４０１は、Ｓ１０５の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ１０５の処理を再度行う。
【００６３】
処理部４０１は、Ｓ１０６の処理を行う場合は、同処理として、電子部品７０１が前記接着位置上方になるように基板７０６を移動させるよう動作部２０１ａに指示する。処理部４０１は、当該指示を、図２に表すＹステージ２０７、Ｘステージ２０６及びθＺステージ２１１の各々に移動の向きと距離とを指定した制御信号を送ることにより行う。
【００６４】
そして、処理部４０１は、Ｓ１０７の処理として、電子部品７０１のＺ方向の位置を特定する。処理部４０１は当該特定を傾きセンサ３０１に当該位置を特定させることにより行う。ここで、傾きセンサ３０１は、レーザ変位計の機能を備えていることを前提とする。
【００６５】
そして、処理部４０１は、Ｓ１０８の処理として、Ｓ１０７の処理により特定したＺ方向位置が許容範囲であるかについての判定を行う。ここで、処理部４０１は、Ｚ方向位置の許容範囲の情報を予め保持しているものとする。
【００６６】
そして、処理部４０１は、Ｓ１０９の処理により、電子部品７０１のＺ方向の位置の調整を動作部２０１ａに行わせる。処理部４０１は、当該指示を行う際に、まず、電子部品７０１をＺ方向に下降させるべき距離を導出する。処理部４０１は、電子部品７０１を基板７０６に接着させる際の、電子部品７０１のＺ方向位置を予め保持している。当該Ｚ方向位置は、前述のＺ方向位置の許容範囲に含まれる。そして、処理部４０１は、そのＺ方向位置と、Ｓ１０７の処理により導出したＺ方向位置とから、前記距離を導出する。そして、処理部４０１は、前記距離と移動の向きとを含む制御情報を、Ｚステージ２５６へ送付する。
【００６７】
そして、処理部４０１は、Ｓ１１０の処理として、電子部品７０１の上面の傾きを特定する。処理部４０１は、当該特定を、傾きセンサ３０１に前記傾きを測定させることにより行う。処理部４０１は、傾きセンサ３０１が送付する傾き情報から、前記上面の、θＺ方向の傾き角とθＹ方向の傾き角とを導出する。
【００６８】
そして、処理部４０１は、Ｓ１１１の処理として、Ｓ１１０の処理により導出したθＺ方向の傾き角とθＹ方向の傾き角との各々が許容範囲かについての判定を行う。ここで、処理部４０１は、θＺ方向の傾き角とθＹ方向の傾き角との各々についての許容範囲の情報を予め保持しているものとする。
【００６９】
処理部４０１は、Ｓ１１１の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、Ｓ１１２の処理を行う。
【００７０】
一方、処理部４０１は、Ｓ１１１の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ１１３の処理を行う。
【００７１】
処理部４０１は、Ｓ１１２の処理を行う場合は、同処理として、動作部２０１ａに、把持部２０７ａ及び２７６ｂの傾きの調整を行わせる。処理部４０１は、当該調整を行わせる際に、θｘ方向の傾き角とθＹ方向の傾き角との各々についての傾き調整角を導出する。処理部４０１は、θＸ方向の傾き角とθＹ方向の傾き角との各々についての設定値を予め保持している。そして、Ｓ１１０の処理により特定したＸ方向の傾き角とθＹ方向の傾き角との各々と前記設定値の各々との差を導出することにより、前記調整角を導出する。そして、処理部４０１は、θＹ方向の調整角を含む制御情報をθＹステージ２６１に送付する。処理部４０１は、また、θＸ方向の調整角を含む制御情報をθＸステージ２６６に送付する。
【００７２】
そして、処理部４０１は、Ｓ２１２の処理として、Ｓ１０６の処理が完了した時刻から時間Ｔが経過したかについての判定を行う。ここで、時間Ｔは、前記接着剤の固化が進んだことを想定できるとして予め設定された時間である。処理部４０１はタイマーを利用できる環境にあることを前提とする。
【００７３】
処理部４０１は、Ｓ１１３の処理による判定結果がｙｅｓの場合は、図３に表す処理を終了する。
【００７４】
一方、処理部４０１は、Ｓ１１３の処理による判定結果がｎｏの場合は、Ｓ１０７の処理を再度行う。
［効果］
本実施形態の調整装置は、電子部品を基板上に接着剤で固定する際に、当該固化の過程において前記電子部品の前記基板に対する傾き角が変化すると、当該傾き角を修正する。前記調整装置が調整する前記傾き角は、前記電子部品の上面の面内のＸ方向の直線を軸とする回転に係る第一回転方向と、前記面内のＹ方向の直線を軸とする回転に係る第二回転方向との両方である。前記調整装置は、当該調整により、前記過程において、前記第一回転方向及び前記第二回転方向のうちの少なくともいずれかを含む回転方向の傾きが生じた場合に、その傾きを調整し得る。
【００７５】
なお、実施形態の調整装置が特定する電子部品の傾きのずれに係る回転方向の軸は、基板の上面内の二軸であれば構わない。また、前記調整装置が調整する電子部品の傾きのずれに係る回転方向の軸は、前記上面内の二軸であれば構わない。
【００７６】
図４は、実施形態の調整装置の最小限の構成である調整装置１０１ｘの構成を表すブロック図である。
【００７７】
調整装置１０１ｘは、導出部４０１ｘと傾き調整部２０１ｘとを備える。
【００７８】
導出部４０１ｘは、第一回転方向の傾き及び第二回転方向の傾きに係る測定情報を導出する。ここで、前記第一回転方向は、基板における未固化の接着剤が供給された接着位置に設置された電子部品の、前記基板に対する、前記基板の上面内の第一の直線を軸とする回転方向である。また、前記第二回転方向は、前記上面内の第二の直線を軸とする回転方向である。
【００７９】
傾き調整部２０１ｘは、前記測定情報を、前記第一回転方向の傾き及び前記第二回転方向の傾きに係る設定情報に近づける調整を、前記設置の後の所定の期間行う。
【００８０】
上記により、調整装置１０１ｘは、電子部品を接着剤により基板に固定する際に発生する、基板面内の二軸の回転成分を含む、基板に対する電子部品の傾きのずれを緩和し得る。
【００８１】
そのため、調整装置１０１ｘは、前記構成により、［発明の効果］の項に記載した効果を奏する。
【００８２】
図４に表す導出部４０１ｘは、例えば、図２に表す、測定部２０２と、処理部４０１における前記測定情報の導出に係る処理を行う部分との組合せである。また、傾き調整部２０１ｘは、例えば、図１に表す調整部２０４や、図２に表すθＹステージ２６１とθＸステージ２６６との組合せである。
【００８３】
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は、前記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の基本的技術的思想を逸脱しない範囲で更なる変形、置換、調整を加えることができる。例えば、各図面に示した要素の構成は、本発明の理解を助けるための一例であり、これらの図面に示した構成に限定されるものではない。
【００８４】
また、前記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記述され得るが、以下には限られない。
（付記１）
基板における未固化の接着剤が供給された接着位置に設置された電子部品の、前記基板に対する、前記基板の上面内の第一の直線を軸とする第一回転方向の傾き及び前記上面内の第二の直線を軸とする第二回転方向の傾きに係る測定情報を導出する導出部と、
前記測定情報を、前記第一回転方向の傾き及び前記第二回転方向の傾きに係る設定情報に近づける調整を、前記設置の後の所定の期間行う傾き調整部と、
を備える、調整装置。
（付記２）
前記期間が、前記接着剤の固化が完了する以前の所定の時点までの間である、付記１に記載された調整装置。
（付記３）
前記設定情報が、前記第一回転方向に係る第一の設定値と前記第二回転方向に係る第二の設定値とからなり、前記測定情報が、前記第一回転方向に係る第一の測定値と前記第二回転方向に係る第二の測定値とからなり、前記傾き調整部は、前記第一の測定値を前記第一の設定値に、前記第二の測定値を前記第二の設定値に、それぞれ、近づける、付記１又は付記２に記載された調整装置。
（付記４）
前記第一の直線と前記第二の直線とが直交する、付記１乃至付記３のうちのいずれか一に記載された調整装置。
（付記５）
前記電子部品を把持するための把持部をさらに備え、前記傾き調整部は、前記把持部を、前記第一回転方向及び前記第二回転方向のうちの少なくともいずれかに傾ける、付記１乃至付記４のうちのいずれか一に記載された調整装置。
（付記６）
前記把持部を移動させる第二移動部をさらに備える、付記５に記載された調整装置。
（付記７）
前記把持部の移動方向が、前記第一の直線の表す第一方向、前記第二の直線の表す第二方向、及び、前記第一の直線及び前記第二の直線に垂直な第三方向である、付記６に記載された調整装置。
（付記８）
前記設置を行うために、前記基板を保持する保持部を移動させる第一移動部をさらに備える、付記１乃至付記６のうちのいずれか一に記載された調整装置。
（付記９）
前記保持部の移動方向が、前記第一の直線の表す第一方向、前記第二の直線の表す第二方向、及び、前記第一の直線及び前記第二の直線に垂直な第三方向である、付記８に記載された調整装置。
（付記１０）
前記設置を行うために前記基板を保持する保持部を移動させる第一移動部と、前記設置を行うために前記電子部品を把持する把持部を移動させる第二移動部を、さらに備える、付記１乃至付記４のうちのいずれか一に記載された調整装置。
（付記１１）
前記保持部の移動方向が、前記第一の直線の表す第一方向、前記第二の直線の表す第二方向、及び、前記第一の直線及び前記第二の直線に垂直な第三方向、のうちの少なくともいずれかを含み、前記保持部の移動方向が、前記第一の直線の表す第一方向、前記第二の直線の表す第二方向、及び、前記第一の直線及び前記第二の直線に垂直な第三方向のうちのその他のもの含む、付記１０に記載された調整装置。
（付記１２）
前記基板及び前記電子部品を撮像する撮像部をさらに備え、前記撮像に係る画像情報から、前記電子部品の移動及び前記基板の移動のうち少なくとも一方を行う、付記１乃至付記１１のうちのいずれか一に記載された調整装置。
（付記１３）
電子部品を基板における未固化の接着剤が供給された接着位置に設置し、
前記電子部品の前記基板に対する、前記基板の上面内の第一の直線を軸とする第一回転方向の傾き及び前記上面内の第二の直線を軸とする第二回転方向の傾きに係る測定情報を導出し、
前記測定情報を、前記第一回転方向の傾き及び前記第二回転方向の傾きに係る設定情報に近づける調整を、前記設置の後の所定の期間行う、
調整方法。
（付記１４）
電子部品を基板における未固化の接着剤が供給された接着位置に設置する処理と、
前記電子部品の前記基板に対する、前記基板の上面内の第一の直線を軸とする第一回転方向の傾き及び前記上面内の第二の直線を軸とする第二回転方向の傾きに係る測定情報を導出する処理と、
前記測定情報を、前記第一回転方向の傾き及び前記第二回転方向の傾きに係る設定情報に近づける調整を、前記設置の後の所定の期間行う処理と、
を、コンピュータに実行させる、調整プログラム。
【符号の説明】
【００８５】
１０１、１０１ｘ    調整装置
２０１、２０１ａ    動作部
２０１ｘ    傾き調整部
２０２    測定部
２０３    移動部
２０４    調整部
２０５、２７６ａ、２７６ｂ    把持部
２０６    Ｘステージ
２０７    Ｙステージ
２１１    θＺステージ
２１６    基板固定部
２５１    部材
２５６    Ｚステージ
２６１    θＹステージ
２６６    θＸステージ
２７１    部材
３０１    傾きセンサ
３０６    カメラ
４０１    処理部
４０１ｘ    導出部
７０１    電子部品
７０６    基板
７１１ａ    基体
８０１    レーザ光
９０１ａ、９０１ｂ、９０１ｃ、９０１ｄ、９０１ｅ、９０１ｆ、９０１ｇ、９０１ｈ、９０１ｉ、９０１ｈ、９０１ｋ、９０１ｌ、９０２ａ、９０２ｂ、９０２ｃ、９０２ｄ、９０２ｅ、９０２ｆ、９０２ｇ、９０２ｈ、９０２ｉ    面
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ    マーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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