(57)【要約】【課題】フィルム状の部品の一部が外方へはみ出した状態で圧着された基板を、基板や部品の形状・サイズにかかわらず安定して保持することができる基板保持装置およびこの基板保持装置を備えた部品圧着機を提供する。【解決手段】基板保持装置５２はフィルム状の部品の一部が外方へはみ出した状態で圧着された基板を保持する機能を有し、基板２を保持する第１の吸着パッド６７（基板保持部材）と、第１の吸着パッド６７が装着された第１のアーム６１と、部品５を保持する第２の吸着パッド７６（部品保持部材）と、第２の吸着パッド７６が装着された第２のアーム７３を有している。第１の吸着パッド６７と第２の吸着パッド７６は、それぞれ第１のアーム６１と第２のアーム７３の長手方向に沿って移動自在である。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム状の部品の一部が外方へはみ出した状態で圧着された第１の基板と第２の基板を保持する基板保持装置であって、
前記第１の基板を保持する第１の基板保持部材と、
前記第１の基板保持部材が装着された第１のアームと、
前記第１の基板に圧着された第１の部品を保持する第１の部品保持部材と、
前記第１の部品保持部材が装着された第２のアームと、
前記第２の基板を保持する第２の基板保持部材と、
前記第２の基板保持部材が装着された第３のアームと、
前記第２の基板に圧着された第２の部品を保持する第２の部品保持部材と、
前記第２の部品保持部材が装着された第４のアームと、を備え、
前記第１の基板保持部材と第１の部品保持部材は、それぞれ前記第１のアームと前記第２のアームの長手方向に沿って移動自在であり、
前記第２の基板保持部材と第２の部品保持部材は、それぞれ前記第３のアームと前記第４のアームの長手方向に沿って移動自在である基板保持装置。
【請求項２】
前記第１のアーム及び第２のアーム及び第３のアーム及び第４のアームはそれぞれ長手方向に沿って開口部を有し、
前記第１の基板保持部材と前記第１の部品保持部材は前記開口部を介して前記第１のアーム及び第２のアームに取り付けられ、
前記第２の基板保持部材と前記第２の部品保持部材は前記開口部を介して前記第３のアーム及び第４のアームに取り付けられる請求項１に記載の基板保持装置。
【請求項３】
前記第１のアームと第２のアームと第３のアームと第４のアームを支持する支持部材をさらに備え、
前記第１のアームと第２のアームと第３のアームと第４のアームの少なくとも何れかは、前記支持部材に対して移動自在である請求項１又は２に記載の基板保持装置。
【請求項４】
前記支持部材は長手方向に延びた複数のガイド溝を有し、
前記支持部材に対して移動自在である前記第１のアームと第２のアームと第３のアームと第４のアームの少なくとも何れかは、複数の前記ガイド溝にそれぞれ嵌合するスライド部材を有する請求項３に記載の基板保持装置。
【請求項５】
前記第１のアームと第２のアームと第３のアームと第４のアームの少なくとも何れかは複数存在する請求項３又は４に記載の基板保持装置。
【請求項６】
前記支持部材には、当該支持部材に対する前記第１のアームと第２のアームと第３のアームと第４のアームの少なくとも何れかの位置を示す目盛りが設けられている請求項３乃至５の何れかに記載の基板保持装置。
【請求項７】
フィルム状の部品の一部が外方へはみ出した状態で当該部品を基板に圧着する圧着部と、
前記圧着部において部品が圧着された第１の基板と第２の基板を搬送する基板搬送部とを備え、
前記基板搬送部は、部品が圧着された前記第１の基板と前記第２の基板を保持する基板保持装置と、前記基板保持装置を基板搬送方向に移動させる基板保持装置移動手段を含み、
前記基板保持装置は、
前記第１の基板を保持する第１の基板保持部材と、
前記第１の基板保持部材が装着された第１のアームと、
前記第１の基板に圧着された第１の部品を保持する第１の部品保持部材と、
前記第１の部品保持部材が装着された第２のアームと、
前記第２の基板を保持する第２の基板保持部材と、
前記第２の基板保持部材が装着された第３のアームと、
前記第２の基板に圧着された第２の部品を保持する第２の部品保持部材と、
前記第２の部品保持部材が装着された第４のアームと、を備え、
前記第１の基板保持部材と第１の部品保持部材は、それぞれ前記第１のアームと前記第２のアームの長手方向に沿って移動自在であり、
前記第２の基板保持部材と第２の部品保持部材は、それぞれ前記第３のアームと前記第４のアームの長手方向に沿って移動自在である部品圧着機。
【請求項８】
前記第１のアーム及び第２のアーム及び第３のアーム及び第４のアームはそれぞれ長手方向に沿って開口部を有し、
前記第１の基板保持部材と前記第１の部品保持部材は前記開口部を介して前記第１のアーム及び第２のアームに取り付けられ、
前記第２の基板保持部材と前記第２の部品保持部材は前記開口部を介して前記第３のアーム及び第４のアームに取り付けられる請求項７に記載の部品圧着機。
【請求項９】
前記基板保持装置は前記第１のアームと第２のアームを支持する支持部材をさらに有し、
前記第１のアームと第２のアームと第３のアームと第４のアームの少なくとも何れかは、前記支持部材に対して移動自在である請求項７又は８に記載の部品圧着機。
【請求項１０】
前記支持部材は長手方向に延びた複数のガイド溝を有し、
前記支持部材に対して移動自在である前記第１のアームと第２のアームと第３のアームと第４のアームの少なくとも何れかは、複数の前記ガイド溝にそれぞれ嵌合するスライド部材を有する請求項９に記載の部品圧着機。
【請求項１１】
前記第１のアームと第２のアームと第３のアームと第４のアームの少なくとも何れかは複数存在する請求項９又は１０に記載の部品圧着機。
【請求項１２】
前記支持部材には、当該支持部材に対する前記第１のアームと第２のアームと第３のアームと第４のアームの少なくとも何れかの位置を示す目盛りが設けられている請求項９乃至１１の何れかに記載の部品圧着機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム状の部品が圧着された基板を保持する基板保持装置、およびフィルム状の部品を基板に圧着する部品圧着機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルなどの基板にＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔｓ）などのフィルム状の部品を圧着する部品圧着機として、予め接着テープが貼り付けられた基板の縁部に部品を搭載（仮圧着）する部品搭載部、搭載された部品を基板に圧着（本圧着）する部品圧着部を備えたものが知られている。これらの作業部間における基板の搬送は、２つのアームを有する基板保持装置（アームユニット）を用いて行われる（例えば特許文献１）。
【０００３】
特許文献１において示される各アームには複数の吸着パッドが設けられており、これらの吸着パッドを介して１枚の基板は真空吸着される。そして、基板を真空吸着した状態のアームユニットを基板搬送方向に移動させることにより、各作業部間において基板を搬送することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−４１８９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
フィルム状の部品はその一部が基板からはみ出した状態で圧着されるが、特許文献１を含む従来技術では、基板のみを吸着パッドで吸着するようにしていた。そのため、基板保持装置によって基板を保持したときに部品の一部は下方へ垂れ下がった状態となり、この状態で基板を搬送すると部品の垂れ下がり部分が部品圧着機を構成する他の要素と接触して損傷するおそれがあった。これを解消するため、アームに部品吸着用の吸着パッドを新たに装着したものが提案されているが、従来技術ではフィルム状の部品の形状・サイズによっては当該部品を適切に吸着することができない場合があった。
【０００６】
また、従来技術では基板吸着用の吸着パッドのアームに対する位置が固定されていたため、基板の形状・サイズによっては基板を適切に吸着することができない場合があった。このように従来技術においては、基板やフィルム状の部品の形状・サイズによって、フィルム状の部品の一部が外方へはみ出した状態で圧着された基板を安定して保持することができないという問題があった。
【０００７】
そこで本発明は、フィルム状の部品の一部が外方へはみ出した状態で圧着された基板を、基板や部品の形状・サイズにかかわらず安定して保持することができる基板保持装置およびこの基板保持装置を備えた部品圧着機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の基板保持装置は、フィルム状の部品の一部が外方へはみ出した状態で圧着された第１の基板と第２の基板を保持する基板保持装置であって、前記第１の基板を保持する第１の基板保持部材と、前記第１の基板保持部材が装着された第１のアームと、前記第１の基板に圧着された第１の部品を保持する第１の部品保持部材と、前記第１の部品保持部材が装着された第２のアームと、前記第２の基板を保持する第２の基板保持部材と、前記第２の基板保持部材が装着された第３のアームと、前記第２の基板に圧着された第２の部品を保持する第２の部品保持部材と、前記第２の部品保持部材が装着された第４のアームと、を備え、前記第１の基板保持部材と第１の部品保持部材は、それぞれ前記第１のアームと前記第２のアームの長手方向に沿って移動自在であり、前記第２の基板保持部材と第２の部品保持部材は、それぞれ前記第３のアームと前記第４のアームの長手方向に沿って移動自在である。
【０００９】
本発明の部品圧着機は、フィルム状の部品の一部が外方へはみ出した状態で当該部品を基板に圧着する圧着部と、前記圧着部において部品が圧着された第１の基板と第２の基板を搬送する基板搬送部とを備え、前記基板搬送部は、部品が圧着された前記第１の基板と前記第２の基板を保持する基板保持装置と、前記基板保持装置を基板搬送方向に移動させる基板保持装置移動手段を含み、前記基板保持装置は、前記第１の基板を保持する第１の基板保持部材と、前記第１の基板保持部材が装着された第１のアームと、前記第１の基板に圧着された第１の部品を保持する第１の部品保持部材と、前記第１の部品保持部材が装着された第２のアームと、前記第２の基板を保持する第２の基板保持部材と、前記第２の基板保持部材が装着された第３のアームと、前記第２の基板に圧着された第２の部品を保持する第２の部品保持部材と、前記第２の部品保持部材が装着された第４のアームと、を備え、前記第１の基板保持部材と第１の部品保持部材は、それぞれ前記第１のアームと前記第２のアームの長手方向に沿って移動自在であり、前記第２の基板保持部材と第２の部品保持部材は、それぞれ前記第３のアームと前記第４のアームの長手方向に沿って移動自在である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フィルム状の部品の一部が外方へはみ出した状態で圧着された基板を、基板や部品の形状・サイズにかかわらず安定して保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明一実施の形態における部品圧着機の平面図
【図２】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における基板および部品の斜視図
【図３】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品圧着機を構成する第１の圧着部の部分斜視図
【図４】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品圧着機を構成する第２の圧着部の部分斜視図
【図５】本発明の一実施の形態における部品圧着機が備える第１の基板搬送機構と第２の基板搬送機構の構造説明図
【図６】（ａ）本発明の一実施の形態における部品圧着機が備える第３の基板搬送機構と第４の基板搬送機構の斜視図（ｂ）本発明の一実施の形態における部品圧着機が備える第３の基板搬送機構と第４の基板搬送機構の部分斜視図
【図７】発明の一実施の形態における部品圧着機が備える第３の基板搬送機構と第４の基板搬送機構の平面図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品圧着機が備える第３の基板搬送機構と第４の基板搬送機構の平面図
【図９】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品圧着機が備える第３基板搬送機構を用いた基板の搬送動作の説明図
【図１０】本発明の一実施の形態における部品圧着機が備える第３基板搬送機構を用いた基板の搬送動作の説明図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
各図面を参照して、本発明の一実施の形態における部品圧着機について説明する。図１において、部品圧着機１は異方性導電フィルムをテープ状にしたＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）テープを基板に貼り付け、ＡＣＦテープの貼り付け位置にＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔｓ）などのフィルム状の部品を圧着して実装基板を製造する機能を有する。以下、基板の搬送方向をＸ方向、Ｘ方向と水平面内において直交する方向をＹ方向と定義する。さらに、ＸＹ平面に対して垂直な方向をＺ方向と定義する。
【００１３】
図２（ａ）において、基板２は２枚のガラス基板２Ａ，２Ｂを積層して構成される。下面側のガラス基板２Ａが部分的に露呈した側縁部２Ａａには、部品接続用の複数の端子より構成される電極部３が形成されている。ＡＣＦテープ４はこの電極部３に貼り付けられる。フィルム状の部品５（以下、単に「部品」と称する）の一端部５ａの下面には、複数の端子より構成される電極部６が形成されている。部品５の圧着時には、ＡＣＦテープ４を介して基板２の電極部３と部品５の電極部６を上下方向に一致させ、この状態で基板２に対して部品５の一端部５ａを上方から押圧する。したがって、図２（ｂ）に示すように、部品５はその一部が基板２からはみ出した状態で圧着される。
【００１４】
図１において、部品圧着機１はＸ方向において上流側（紙面左側）から順に並列した基板搬入部７、テープ貼り付け部８、第１の圧着部９、第２の圧着部１０、基板搬出部１１と、各部の前方側（紙面下側）に設けられた基板搬送部１２と、第１の圧着部９の後方側（紙面上側）に設けられた部品供給部１３を含んで構成される。基板搬入部７は基台１４ａに配置される。テープ貼り付け部８、第１の圧着部９、および第２の圧着部１０は基台１４ｂに配置される。基板搬出部１１は基台１４ｃに配置される。また、基板搬送部１２は基台１４ａ，１４ｂ，１４ｃにわたってＸ方向に延びた状態で配置される。
【００１５】
基板搬入部７は上流側に配置された外部設備から搬出された基板２を部品圧着機１に搬入する作業部であり、Ｘ方向に並列した複数（２個）の基板保持テーブル１５を備えている。基板保持テーブル１５は部品圧着機１に搬入された基板２を保持する。
【００１６】
テープ貼り付け部８は接着テープの一種であるＡＣＦテープ４を基板２に貼り付ける作業部であり、基板位置決め機構１６と、基板位置決め機構１６よりも後方側（紙面上側）に設けられた貼り付け機構１７を含んで構成される。基板位置決め機構１６は、Ｘ方向に並列した複数（２個）の基板保持テーブル１８を備えている。基板保持テーブル１８は、基板搬入部７から搬出された基板２を保持する。基板位置決め機構１６は、基板保持テーブル１８が保持する基板２を所定の方向に移動させ、ＡＣＦテープ４の貼り付けが行われるテープ貼り付け位置に位置決めする。貼り付け機構１７は複数（２個）の圧着ツールを備えており、圧着ツールは所定の長さ寸法に切断されたＡＣＦテープ４を基板２に圧着する。これにより、基板２にＡＣＦテープ４が貼り付けられる。
【００１７】
第１の圧着部９（部品搭載部）はＡＣＦテープ４を介して基板２に部品５を仮圧着する作業部であり、基板位置決め機構１９と、基板位置決め機構１９よりも後方側に設けられた部品搭載機構２０を含んで構成される。図３（ａ），（ｂ）において、基板位置決め機構１９はＸ軸テーブル２１ＸとＹ軸テーブル２１Ｙを段積みし、さらにＹ軸テーブル２１Ｙの上面に移動ステージ２２を設けて構成される。移動ステージ２２の上面には、複数（２個）の基板保持テーブル２３がＸ方向に並列して設けられている。基板保持テーブル２３は、テープ貼り付け部８から搬送された基板２を保持する。基板保持テーブル２３は、Ｘ軸テーブル２１Ｘ、Ｙ軸テーブル２１Ｙを駆動することにより、Ｘ方向およびＹ方向に移動する。これにより、基板位置決め機構１９は、基板保持テーブル２３に保持された基板２を仮圧着位置（図３（ｂ）に示す部品未圧着の基板２の位置）に位置決めすることができる。
【００１８】
基板保持テーブル２３には、その後方側でＸ方向に伸びた当接部２４ａを有する枠状部材２４が設けられている。枠状部材２４は、部品５を搭載するときに基板２からはみ出した部品５の他端部５ｂを当接部２４ａに当接させて下方から支持する。これにより、部品５の垂れ下がりが防止される。
【００１９】
図１および図３において、部品搭載機構２０は搭載ヘッド２５、ヘッド昇降機構２６、ヘッド移動機構２７を含んで構成される。搭載ヘッド２５は部品５を吸着して保持する吸着ノズルを有しており、後述する部品供給部１３から供給された部品５を吸着ノズルによって取り出して、仮圧着位置に位置決めされた基板２に搭載する。これにより、基板２に部品５が仮圧着された状態となる。このように、第１の圧着部９はフィルム状の部品５の一部が外方へはみ出した状態で当該部品５を基板２に圧着（仮圧着）する。
【００２０】
ヘッド昇降機構２６は搭載ヘッド２５の上方に設けられており、ヘッド昇降機構２６が有するロッド２６ａに搭載ヘッド２５が結合している。ヘッド昇降機構２６を駆動することにより、搭載ヘッド２５はＺ方向に昇降する。ヘッド移動機構２７は２つのＹ軸ビーム２７Ｙ（図１）と、Ｙ軸ビーム２７Ｙに架設されＹ方向に移動自在なＸ軸ビーム２７Ｘから構成される。搭載ヘッド２５はＸ軸ビーム２７Ｘに対してＸ方向に移動自在に取り付けられている。Ｙ軸ビーム２７ＹおよびＸ軸ビーム２７Ｘを駆動することで、搭載ヘッド２５はＸ方向およびＹ方向に移動する。
【００２１】
基板位置決め機構１９よりも後方側であって、搭載ヘッド２５の移動領域内における所定の位置には、水平な上面を有するバックアップステージ２８が配設されている。バックアップステージ２８は、仮圧着位置に位置めされた基板２の側縁部２Ａａを下方から支持する（図３（ｂ））。
【００２２】
図１において、部品供給部１３は第１の圧着部９に部品５を供給する作業部であり、部品５を複数収納したトレイ２９を段積みして保持するトレイ保持部３０を備えている。トレイ２９はトレイ移送機構（図示省略）によってトレイ保持部３０から取り出され、搭載ヘッド２５による部品供給位置まで送られる。
【００２３】
図１および図４において、第２の圧着部１０は基板２に仮圧着された部品５を圧着（本圧着）する作業部であり、基板位置決め機構３１と、基板位置決め機構３１よりも後方側に設けられた圧着機構３２を含んで構成される。図４（ａ），（ｂ）において、基板位置決め機構３１は前述した基板位置決め機構１９と同様に、Ｘ軸テーブル３３ＸとＹ軸テーブル３３Ｙを段積みし、さらにＹ軸テーブル３３Ｙ上に移動ステージ３４を設けて構成される。移動ステージ３４の上面には複数（２個）の基板保持テーブル３５がＸ方向に並列して設けられている。基板保持テーブル３５は、第１の圧着部９から搬送された部品仮圧着後の基板２を保持する。基板保持テーブル３５は、Ｘ軸テーブル３３Ｘ、Ｙ軸テーブル３３Ｙを駆動することで、Ｘ方向およびＹ方向に移動する。これにより、２個の基板保持テーブル３５に保持されたそれぞれの基板２を圧着位置に位置決めすることができる（図４（ｂ））。
【００２４】
基板保持テーブル３５には、その後方側でＸ方向に伸びた当接部３６ａを有する枠状部材３６が設けられている。枠状部材３６は、部品５が仮圧着された基板２を基板保持テーブル３５によって保持させた状態において、当該基板２からはみ出た部品５の他端部５ｂを当接部３６ａに当接させて下方から支持する。
【００２５】
圧着機構３２は、Ｘ方向に伸びるプレート部材３７の下方に複数（２個）の圧着ツール３８を昇降自在に配設して構成される。プレート部材３７の上面にはツール昇降機構３９が取り付けられており、このツール昇降機構３９が有するロッド３９ａに圧着ツール３８が結合している。ツール昇降機構３９を駆動することで、圧着ツール３８はＺ方向に昇降する。
【００２６】
圧着ツール３８の下方の位置には、水平な上面を有するバックアップステージ４０が配設されている。バックアップステージ４０は、圧着位置に位置決めされた基板２の側縁部２Ａａを下方から支持する（図４（ｂ））。２個の基板保持テーブル３５に保持された基板２をそれぞれ圧着位置に位置決めし、この状態で２個の圧着ツール３８が同時又は連続的に下降して部品５の電極部６を基板２に押し付けることで、それぞれの基板２に部品５が圧着（本圧着）される。このように、第２の圧着部１０は第１の圧着部９と同様に、フィルム状の部品５の一部が外方へはみ出した状態で当該部品を基板に圧着する。
【００２７】
基板搬出部１１は、第２の圧着部１０によって部品５が圧着された基板２を下流側に配置された外部設備へ搬出する作業部であり、Ｘ方向に並列した複数の基板保持テーブル４１を備えている。基板保持テーブル４１は、第２の圧着部１０から搬送された基板２を保持する。基板保持テーブル４１上の基板２は、アーム部材などから構成される搬出手段によって外部設備に搬出される。
【００２８】
基板搬送部１２は、隣接する作業部間で基板２の搬送（受け渡し）を行う作業部である。基板搬送部１２は、Ｘ軸ビーム４２と、第１の基板搬送機構４３Ａ、第２の基板搬送機構４３Ｂ、第３の基板搬送機構４３Ｃ、第４の基板搬送機構４３Ｄを含んで構成される。Ｘ軸ビーム４２はリニア駆動機構を備えている。Ｘ軸ビーム４２は、基台１４ａ，１４ｂ，１４ｃの前方領域に亘ってＸ方向に延出されている。第１の基板搬送機構４３Ａ、第２の基板搬送機構４３Ｂ、第３の基板搬送機構４３Ｃ、および第４の基板搬送機構４３Ｄは、それぞれＸ軸ビーム４２に対してＸ方向に移動自在に装着されている。第１の基板搬送機構４３Ａは、基板搬入部７から基板２を受け取ってテープ貼り付け部８の基板保持テーブル１８に載置する。第２の基板搬送機構４３Ｂは、テープ貼り付け部８から基板２を受け取って第１の圧着部９の基板保持テーブル２３に載置する。第３の基板搬送機構４３Ｃは、第１の圧着部９から基板２を受け取って第２の圧着部１０の基板保持テーブル３５に載置する。第４の基板搬送機構４３Ｄは、第２の圧着部１０から基板２を受け取って基板搬出部１１の基板保持テーブル４１に載置する。各基板搬送機構４３Ａ〜４３Ｄは、Ｘ軸ビーム４２の駆動によりＸ方向に同期して移動する。このように、基板搬送部１２は圧着部（第１の圧着部９、第２の圧着部１０）において部品５が圧着（仮圧着を含む）された基板２を搬送する機能を一部で有する。
【００２９】
図５において、第１の基板搬送機構４３Ａと第２の基板搬送機構４３Ｂは同一の構造を有し、Ｘ軸ビーム４２に対してＸ方向に移動自在に装着された基部４４と、基部４４上においてＸ方向に並列して設けられた複数（２個）のアームユニット４５を有する。アームユニット４５は、基部４４に固定されたアームベース４６と、アームベース４６から後方側に伸びた一対のアーム４７を備えている。アーム４７には吸着面を下方に向けた複数（２個）の吸着パッド４８が設けられており、一対のアーム４７の計４個の吸着パッド４８によって１枚の基板２を吸着する。なお、第１の基板搬送機構４３Ａと第２の基板搬送機構４３Ｂは２個のアームユニット４５を有しているため、２枚の基板２を同時に保持して所望の作業部に搬送することができる。
【００３０】
図６（ａ），（ｂ）および図７において、第３の基板搬送機構４３Ｃと第２の基板搬送機構４３Ｄは同一の構造を有し、Ｘ軸ビーム４２に対してＸ方向に移動自在に装着された基部５０と、枠状のブラケット５１を介して基部５０に固定された基板保持装置５２を含んで構成される。基板保持装置５２は基板２と当該基板２に圧着された部品５のそれぞれを保持するものであり、Ｘ軸ビーム４２の駆動によってＸ方向に移動する。すなわち、Ｘ軸ビーム４２は基板保持装置５２を基板搬送方向であるＸ方向に移動させる基板保持装置移動手段となっている。
【００３１】
基板保持装置５２はＸ方向に延びた支持部材５３を備えており、支持部材５３の下面に前述のブラケット５１が固着している。支持部材５３の上面５３ａには長手方向であるＸ方向に延びた第１のガイド溝５４が設けられている。また、支持部材５３の長手方向における一側面５３ｂと、一側面５３ｂとは反対側の他側面５３ｃ（図６（ｂ））にも、長手方向であるＸ方向に延びた第２のガイド溝５５、第３のガイド溝５６がそれぞれ設けられている。
【００３２】
支持部材５３には、第１の基板保持部５７Ａ、第２の基板保持部５７Ｂ、第１の部品保持部５８Ａ、第２の部品保持部５８Ｂが設けられている。第１の基板保持部５７Ａと第１の部品保持部５８Ａによって、部品５が圧着された１枚の基板２が保持される。また、第２の基板保持部５７Ｂと第２の部品保持部５８Ｂによって、部品５が圧着された１枚の基板２が保持される。
【００３３】
第１の基板保持部５７Ａと第２の基板保持部５７Ｂは、第１のガイド溝５４に対してＸ方向に移動自在に装着された２個のブロック体５９を備えている。ブロック体５９は略Ｌ字状に成形されており、支持部材５３の一側面５３ｂ側に張り出した張り出し部５９ａを有している。ブロック体５９には上下方向に貫通した貫通孔（図示省略）が形成されている。貫通孔に第１のネジ部材６０を挿入して支持部材５３に螺合させることで、支持部材５３に対してブロック体５９を固定することができる。
【００３４】
２個のブロック体５９の張り出し部５９ａの下方には、それぞれ第１のアーム６１が一側面５３ｂからＹ方向に延びた状態で取り付けられている。第１のアーム６１とブロック体５９は、第２のネジ部材６２によって締結固定されている。第１のアーム６１において、支持部材５３の一側面５３ｂと対向する面には第２のガイド溝５５に嵌合するスライド部材（図示省略）が設けられている。以上の構成により、第１のアーム６１は第１のガイド溝５４と第２のガイド溝５５の長手方向（Ｘ方向）に沿って支持部材５３に対して移動（スライド）自在となっている。
【００３５】
第１のアーム６１には、長手方向であるＹ方向に延びた開口部６３が形成されている。この開口部６３には、略Ｌ字状の第１のブラケット６４と矩形板状の第２のブラケット６５がＸ方向に移動自在に装着されている。第１のブラケット６４と第２のブラケット６５には、上下方向に貫通した貫通孔（図示省略）が形成されている。貫通孔に第３のネジ部材６６を挿入して第１のアーム６１に螺合させることで、第１のアーム６１に対して第１のブラケット６４と第２のブラケット６５をそれぞれ固定することができる。
【００３６】
第１のブラケット６４と第２のブラケット６５には、下方に吸着面を有する第１の吸着パッド６７がそれぞれパッドホルダ６８を介して取り付けられている。第１の吸着パッド６７はこのパッドホルダ６８により保持されている。第１の吸着パッド６７は、２個の第１のアーム６１が対向する側に張り出した状態で配置されており、それぞれ第１のブラケット６４と第２のブラケット６５を介して第１のアーム６１に対してＹ方向に移動する。
【００３７】
第１の吸着パッド６７は吸引管路６９（図７）を介して真空吸引源７０と接続されている。真空吸引源７０を駆動することで、第１の吸着パッド６７は基板２を吸着により保持する。このように、第１の吸着パッド６７は基板２を保持する基板保持部材となっている。また、第１のアーム６１には基板保持部材が装着されており、基板保持部材は第１のアーム６１の長手方向に沿って移動自在である。さらに、基板保持部材は開口部６３を介して第１のアーム６１に取り付けられている。なお、前述したブラケット５１には、第１のアーム６１の可動範囲に対応させて開口部５１ａが形成されており、第１の吸着パッド６７による基板２の吸着を妨げないように構成されている。
【００３８】
オペレータは、第１のアーム６１を第１の吸着パッド６７が移動するＹ方向と水平面内において直交するＸ方向に移動させることで、第１の吸着パッド６７のＸ方向における位置を調整することができる。また、オペレータは第１の吸着パッド６７を第１のアーム６１に対してＹ方向に移動させることで、第１の吸着パッド６７のＹ方向における位置を調整することができる。すなわち、オペレータは基板２のサイズや形状に応じて第１の吸着パッド６７の水平面内における位置を調整することができる。
【００３９】
第１のアーム６１の数は任意であり、１個又は２個以上でもよい。しかしながら、様々なサイズ・形状の基板２を安定して保持するためには、第１のアーム６１は２個以上が望ましい。また、２個の第１のアーム６１のうちの１個を支持部材５３に固定し、他方の第１のアーム６１のみを移動させて双方の間隔を調整するようにしてもよい。さらに、第１の吸着パッド６７の数も任意である。
【００４０】
支持部材の上面５３ａには、当該支持部材５３に対する第１のアーム６１の位置を示す目盛り７１が第１のガイド溝５４に沿って設けられている。また、第１のアーム６１の上面には、当該第１のアーム６１に対する第１の吸着パッド６７の位置を示す目盛り７２が開口部６３に沿って設けられている。オペレータは目盛り７１，７２を目視することで、第１のアーム６１、第１の吸着パッド６７の位置を数値的に把握して調整作業の便宜を図ることができる。
【００４１】
第１の部品保持部５８Ａと第２の部品保持部５８Ｂは、支持部材５３の他側面５３ｃからＹ方向に延びた状態で設けられた第２のアーム７３を備えている。第２のアーム７３において、支持部材５３の他側面５３ｃと対向する面にはスライド部材が設けられており、スライド部材は第３のガイド溝５６に嵌合している。したがって、第２のアーム７３は第３のガイド溝５６の長手方向（Ｘ方向）に沿って移動（スライド）する。
【００４２】
第２のアーム７３には長手方向であるＹ方向に延びた開口部７３ａが形成されている。また、第２のアーム７３の下面には矩形板状の第３のブラケット７４が装着されている。第３のブラケット７４にはネジ穴（図示省略）が形成されている。第４のネジ部材７５を開口部７３ａに対して上方から挿入して第３のブラケット７４のネジ穴に螺合させることで、第３のブラケット７４は第２のアーム７３に対してＹ方向に移動自在に装着された状態となる。
【００４３】
第３のブラケット７４には、下方に吸着面を有する第２の吸着パッド７６がパッドホルダ７７を介して取り付けられている。第２の吸着パッド７６はパッドホルダ７７によって保持されている。第２の吸着パッド７６は、２個の第２のアーム７３が対向する側に張り出した状態で配置されており、第３のブラケット７４を介して第２のアーム７３に対してＹ方向に移動することができる。
【００４４】
第２の吸着パッド７６は、図７に示す吸引管路７８を介して前述した真空吸引源７０と接続されている。真空吸引源７０を駆動することで、第２の吸着パッド７６は部品５を吸着して保持する。このように、第２の吸着パッド７６は、部品５を保持する部品保持部材となっている。また、第２のアーム７３には部品保持部材が装着されており、部品保持部材は第２のアーム７３の長手方向に沿って移動自在である。さらに、部品保持部材は開口部７３ａを介して第２のアーム７３に取り付けられている。なお、真空吸引源を別途設け、当該真空吸引源に吸引管路７８を介して第２の吸着パッド７６を接続させてもよい。
【００４５】
オペレータは、第２のアーム７３をＸ方向に移動させることで、第２の吸着パッド７６のＸ方向における位置を調整することができる。また、オペレータは第２の吸着パッド７６をＹ方向に移動させることで、第２の吸着パッド７６のＹ方向における位置を変更することができる。すなわち、オペレータは部品５のサイズや形状に応じて第２の吸着パッド７６の水平面内における位置を調整することができる。
【００４６】
第２のアーム７３の上面には、当該第２のアーム７３に対する第２の吸着パッド７６の位置を示す目盛り８１が開口部７３ａの長手方向（Ｙ方向）に沿って設けられている。オペレータは目盛り８１を目視することで、第２の吸着パッド７６の位置を数値的に把握して調整作業の便宜を図ることができる。なお、第２のアーム７３の位置の調整に際しては、支持部材５３の上面５３ａに設けられた前述の目盛り７１を利用できる。
【００４７】
以上説明したように、基板保持装置５２はフィルム状の部品５の一部が外方へはみ出した状態で圧着された基板２を保持する機能を有する。また、基板保持装置５２を構成する基板吸着用の第１の吸着パッド６７と部品吸着用の第２の吸着パッド７６は、水平面内における位置が変更可能となっている。したがって図８（ａ），（ｂ）に示すように、基板２や部品５のサイズ・形状に応じて第１の吸着パッド６７、第２の吸着パッド７６の位置を調整することで、基板２や部品５の形状・サイズにかかわらず安定して部品５が圧着された基板２を保持することができる。なお、図８（ｂ）に示すように、２個の第１のアーム６１のそれぞれに装着された第１の吸着パッド６７のＹ方向における位置を異ならせた状態で基板２を吸着してもよい。第２の吸着パッド７６においても同様である。
【００４８】
本実施の形態における部品圧着機１は以上のように構成される。次に図９および図１０を参照して、部品５が圧着された基板２の搬送方法について説明する。ここでは、第１の圧着部９と第２の圧着部１０との間における基板２の搬送を例示する。図９（ａ）は、第１の圧着部９において部品５を基板２に仮圧着した直後の状態を示している。この状態から図９（ｂ）に示すように、２個の基板保持テーブル２３は基板２を保持した状態で基板受け渡し位置［Ｐ１］へ移動する（矢印ａ）。次いで、第３の基板搬送機構４３Ｃは、２個の基板保持テーブル２３上の基板２と部品５を受け取る。このとき、第１の吸着パッド６７は基板２を吸着し、第２の吸着パッド７６は部品５を吸着する。
【００４９】
次いで図１０に示すように、第３の基板搬送機構４３Ｃは第２の圧着部１０が配置される下流に向かって移動し（矢印ｂ）、予め基板受け渡し位置［Ｐ２］まで移動した２個の基板保持テーブル３５に基板２を渡す。このとき、第１の吸着パッド６７は基板２の吸着を解除し、第２の吸着パッド７６は部品５の吸着を解除する。このように、本実施の形態における第３の基板搬送機構４３Ｃ（第４の基板搬送機構４３Ｄ）を用いることにより、部品５の下方への垂れ下がりを防止しながら隣接する作業部間で基板２を搬送することができる。
【００５０】
本発明の基板保持装置５２およびこの基板保持装置５２を備える部品圧着機１は本実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更することができる。例えば、第１の基板保持部５７Ａと第１の部品保持部５８Ａのみを支持部材５３に設け、部品５が圧着された１枚の基板２のみを基板保持装置５２によって保持するようにしてもよい。また、第１の吸着パッド６７と第２の吸着パッド７６に替えて、基板２を挟み込んで保持する構成のものを基板保持部材として採用してもよい。部品保持部材においても同様である。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明によれば、フィルム状の部品の一部が外方へはみ出した状態で圧着された基板を、基板や部品の形状・サイズにかかわらず安定して保持することができ、電子部品実装分野において有用である。
【符号の説明】
【００５２】
１  部品圧着機
２  基板
５  部品
９  第１の圧着部
１０  第２の圧着部
１２  基板搬送部
４２  Ｘ軸ビーム
５２  基板保持装置
５５  第２のガイド溝
５６  第３のガイド溝
６１  第１のアーム
６３，７３ａ  開口部
６７  第１の吸着パッド
７１  目盛り
７３  第２のアーム
７６  第２の吸着パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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