(57)【要約】      （修正有）【課題】シワや撓みの発生を抑制することができる可撓性部材の製造方法の提供。【解決手段】流体を収容可能な収容空間の開口周縁部に設けられた封止部材に当接することで収容空間を覆う可撓性部材の製造方法であって、前記可撓性部材は、前記封止部材に当接する領域と、前記封止部材に当接する領域とは異なる領域であって前記収容空間を覆う部分に変形可能な凸部を有する領域とを有し、前記可撓性部材は、成形型３３の上でフィルム３６を成形することで製造され、前記フィルム３６を成形する工程において、前記フィルム３６の前記封止部材に当接する領域に対応する第１領域を前記成形型３３で保持する第１領域成形工程と、前記フィルムと前記成形型との間の領域を吸引することで前記フィルムに前記凸部を有する領域に対応する第２領域を形成する第２領域成形工程と、を有する製造方法。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を収容可能な収容空間の開口周縁部に設けられた封止部材に当接することで前記収容空間を覆う可撓性部材を製造する、可撓性部材の製造方法であって、
前記可撓性部材は、前記封止部材に当接する領域と、前記封止部材に当接する領域とは異なる領域であって前記収容空間を覆う部分に変形可能な凸部を有する領域とを有し、
前記可撓性部材は、成形型の上でフィルムを成形することで製造され、
前記フィルムを成形する工程において、前記フィルムの前記封止部材に当接する領域に対応する第１領域を前記成形型で保持する第１領域成形工程と、前記フィルムと前記成形型との間の領域を吸引することで前記フィルムに前記凸部を有する領域に対応する第２領域を形成する第２領域成形工程と、
を有することを特徴とする可撓性部材の製造方法。
【請求項２】
前記第１領域成形工程における保持を吸引によって行うための吸引系統を有し、前記第２領域成形工程における吸引系統とは、同時に吸引を行う請求項１に記載の可撓性部材の製造方法。
【請求項３】
前記第１領域成形工程における保持を吸引によって行うための吸引系統を有し、前記第２領域成形工程における吸引系統とは、時間的にずれて吸引を行う請求項１に記載の可撓性部材の製造方法。
【請求項４】
前記第１領域成形工程では、前記第１領域を成形する前記成形型の第１部分に設けられた吸引口によって前記第１領域を吸引する請求項２または請求項３に記載の可撓性部材の製造方法。
【請求項５】
前記第１部分では、第１面で前記フィルムの前記第１領域を支持し、前記吸引口で吸引することで、前記フィルムが、前記第１面と異なる前記吸引口を備えた第２面と当接して成形が行われる請求項４に記載の可撓性部材の製造方法。
【請求項６】
前記第１部分では、多孔質体によって前記フィルムを吸着保持する請求項４に記載の可撓性部材の製造方法。
【請求項７】
前記第１部分では、スリットによって前記フィルムを吸着保持する請求項４に記載の可撓性部材の製造方法。
【請求項８】
前記第１部分では、前記フィルムの前記第１領域を吸引すると共に加圧する請求項４に記載の可撓性部材の製造方法。
【請求項９】
前記第１部分では、前記フィルムの前記第１領域を吸引すると共に加圧する工程と、
前記フィルムの前記第２領域に、圧縮空気を導入する工程と、を有する請求項４に記載の可撓性部材の製造方法。
【請求項１０】
前記第１領域成形工程と前記第２領域成形工程とにおいて、前記フィルムはクランプによって保持されている請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の可撓性部材の製造方法。
【請求項１１】
前記第２領域成形工程において、加熱したプラグを前記フィルムへ押し付けて、フィルムを成形する請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の可撓性部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体収容容器等に用いられる可撓性部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体（レジスト）を基板上に吐出する液体吐出装置等は、液体を収容する液体収容容器を備えている。特許文献１には、液体収容容器の内部を可撓性部材によって２つの収容部に分け、一方の収容部によって他方の収容部内の圧力を調整することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−０９２５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のように、液体収容容器の内部を可撓性部材によって２つの収容部に分ける場合、収容容器と可撓性部材との接続部において液体が漏れないようにする必要がある。可撓性部材には、フッ素樹脂フィルムを真空成形して製造したもの等が用いられるが、一般的にフッ素樹脂は溶融粘度が高く成形性が悪いため、成形加工後の可撓性部材に部分的にシワや撓みが発生することがあった。可撓性部材に発生したシワや撓みが収容容器との接続部にあると、その部分で容器に隙間が生じて容器の密閉性が確保できず、容器から液体が漏れる虞があった。
【０００５】
よって本発明は、収容容器との接続部におけるシワや撓みの発生を抑制することができる可撓性部材の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そのため本発明の可撓性部材の製造方法は、流体を収容可能な収容空間の開口周縁部に設けられた封止部材に当接することで前記収容空間を覆う可撓性部材を製造する、可撓性部材の製造方法であって、前記可撓性部材は、前記封止部材に当接する領域と、前記封止部材に当接する領域とは異なる領域であって前記収容空間を覆う部分に変形可能な凸部を有する領域とを有し、前記可撓性部材は、成形型の上でフィルムを成形することで製造され、前記フィルムを成形する工程において、前記フィルムの前記封止部材に当接する領域に対応する第１領域を前記成形型で保持する第１領域成形工程と、前記フィルムと前記成形型との間の領域を吸引することで前記フィルムに前記凸部を有する領域に対応する第２領域を形成する第２領域成形工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、収容容器との接続部におけるシワや撓みの発生を抑制することができる可撓性部材の製造方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】吐出材吐出装置の要部を示した図である。
【図２】可撓性部材を示した斜視図である。
【図３】吐出材収容ユニットの分解斜視図である。
【図４】可撓性部材と凹型成形型、凸型成形型とを示した図である。
【図５】凸型成形型を用いた真空成形の工程を示した図である。
【図６】凸型成形型を用いた真空成形の工程を示した図である。
【図７】凸型成形型を用いた真空成形の工程を示した図である。
【図８】凸型成形型を用いた真空成形の工程を示した図である。
【図９】凸型成形型を用いた真空成形の工程を示した図である。
【図１０】真空成形の工程を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（第１の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第１の実施形態について説明する。
【００１０】
図１は、本実施形態を適用可能な吐出材吐出装置１の要部を示した図である。吐出材吐出装置１は、液体として作動液１１を貯留するメインタンク１９と、メインタンク１９から供給された作動液１１を貯留可能なサブタンク１２と、サブタンク１２から作動液１１が供給される吐出材収容ユニット４と媒体６を搬送する搬送部５を備えている。メインタンク１９は大気と連通する大気連通孔２０を備えており、メインタンク１９とサブタンク１２とは、流路１７で接続されている。流路１７はその途中にポンプ１８を備えている。サブタンク１２と吐出材収容ユニット４とは、流路１３で接続されている。
【００１１】
サブタンク１２は、上部液面センサ１４と下部液面センサ１５とを備えており、これらのセンサによってサブタンク１２内の作動液面の検出を行っている。上部液面センサ１４と下部液面センサ１５とは、サブタンク１２内の液面位置を検知可能なセンサであればよい。例えば、サブタンク１２内に電極を設けて、電極への接液による通電を検知してもよい。また、静電容量式センサにより、サブタンク１２内の液面位置を検知してもよい。メインタンク１９内に貯留された作動液１１は、ポンプ１８の作用によって流路１７を介してサブタンク１２に供給され、サブタンク１２から流路１３を介して吐出材収容ユニット４へ供給される。ポンプ１８の例として、シリンジポンプ、チューブポンプ、ダイアフラムポンプ、ギアポンプ等が挙げられる。ただし、ポンプ１８は送液手段の機能を有していればよいため、ポンプに限定されるわけではなく、吐出材吐出装置１に適した送液手段を選定することが可能である。
【００１２】
吐出材収容ユニット４は、密閉された筐体７と、筐体７の内部に設けられた可撓性部材８とを備えている。可撓性部材８は、筐体７の内部で第１収容空間２１と第２収容空間２２とを隔てている。また、吐出材収容ユニット４は、ヘッド（吐出ヘッド）３を備えている。ヘッド３の内部は、第１収容空間２１と連通している。第１収容空間２１と第２収容空間２２とは隣接しており、第１収容空間２１は吐出材を収容可能な空間である。また、第１収容空間２１と第２収容空間２２とは、可撓性部材８が結合されている面に対して面対称である。ヘッド３は、第１収容空間２１に収容された吐出材を、媒体６に対して吐出することができる。尚、ヘッド３は吐出材収容ユニット４と別体として設けられていてもよい。例えば、吐出材収容ユニットの外にヘッド３が設けられており、ヘッド３はチューブや筐体内の流路等を介して第１収容空間２１と連通していてもよい。
【００１３】
可撓性部材８の斜視図を、図２に示す。可撓性部材８は、少なくとも一部に形状が凹形状である凹形状部を有する。凹形状部は、第１収容空間２１が吐出材で満たされておらず、かつ第２収容空間２２が液体（作動液）で満たされていない状態において、凹形状である。成形した段階において既に凹形状であることが好ましく、例えば成形によって凹形状を形成することが好ましい。凹形状は、無負荷状態でも凹形状であることが好ましい。吐出材収容ユニットに組み付ける前に凹形状である凹形状部を有する可撓性部材を、吐出材収容ユニットに組み付けることになる。従って、第１収容空間２１や第２収容空間２２が吐出材や液体等で満たされておらず、可撓性部材８が空気のみに接触している部分を有する状態において、その部分が凹形状を有することになる。凹形状は、第１収容空間２１の側から第２収容空間２２の側に向かって凹んでいる。また、凹形状は、第２収容空間２２を形成する壁に沿う形状である。
【００１４】
凹形状である凹形状部は、第２収容空間２２を形成する筐体７の一部の壁に沿って第２収容空間２２に入り込むようにして、第１収容空間２１の一部を形成している。可撓性部材８は変形可能であり、第１収容空間２１を形成する筐体７の一部の壁に沿って変形し、第１収容空間２１に入り込むようにして第２収容空間２２を拡張することが可能である。例えば、可撓性部材８は、筐体７の形状に応じた凹形状である凹形状部を備えている。可撓性部材８の成形方法としては、加熱しながらの熱成形が挙げられる。例えば、加熱しながらの真空成形や、ブロー成形、金型成型等が挙げられる。しかし、これらに限定されるものではなく、可撓性部材８の材質及び必要形状に適した成形方法を選択することができる。可撓性部材８の角部、隅部に湾曲形状やテーパ形状の部分を設けてもよい。このようにすることで、可撓性部材８の変形を容易にすることが可能となる。この可撓性部材８の形状に沿う形状に、第１収容空間２１と第２収容空間２２の内面形状を加工してもよい。
【００１５】
第１収容空間２１に収容され、ヘッド３から吐出される流体である吐出材９の一例としては、インクが挙げられる。インクとしては、導電性インクやＵＶ硬化性インク等の多様なインクが挙げられる。また、半導体デバイス等の製造プロセスにおいて、基板上のインプリント材に対してパターンが形成されたモールドを接触させ、インプリント材にモールドの形状を転写してパターンを形成する、所謂インプリント技術がある。インプリント材としては光硬化型樹脂や熱硬化型樹脂等のレジストが用いられるが、吐出材９としてこのようなインプリント材も挙げられる。
【００１６】
第２収容空間２２に充填される液体である作動液１１は、気体に比べて、外的な温度および圧力の変化に対し、自身への体積に対する影響を受けにくい。したがって、吐出材吐出装置１の周辺の気温または気圧が変化しても、作動液１１の体積はほとんど変化せず、第１収容空間２１における吐出材９の圧力の変化が抑制される。
【００１７】
吐出材９の密度と作動液１１の密度との差は、吐出材９の密度と気体の密度との差に比べて通常小さくなる。第１収容空間２１に収容される物質の密度と第２収容空間２２に収容される物質の密度との差をより小さくすることで、筐体７に衝撃が加えられた際の可撓性部材８の揺動を抑制することが可能になる。一例として、筐体７の容量を５００ｍｌとし、吐出材９の初期量を約５００ｍｌとし、作動液１１の初期量を約０ｍｌとすることもできる。なお、本発明はこれに限らず、筐体７の容量、吐出材９の初期量および作動液１１の初期量を適宜決定することができる。
【００１８】
図３は、吐出材収容ユニット４の分解斜視図である。吐出材収容ユニット４は、筐体７（７ａ、７ｂ）で可撓性部材８を挟んで構成されている。筐体７（７ａ、７ｂ）と可撓性部材８との間は、筐体７（７ａ、７ｂ）の開口周縁部に設けられたシール部材（封止部材）であるＯリング２３、２４によって密閉されるように構成されている。このシール部材（封止部材）と可撓性部材８が当接することで、流体の収容空間が形成される。可撓性部材８は、収容空間を覆う部材である。なお、シール部材（封止部材）としては、Ｏリング、ガスケットなどの弾性部材が好適である。また、接着剤や液体のシール剤も適用可能である。可撓性部材８は、筐体７（７ａ、７ｂ）の凹部の形状に合うように、凸形状の凸部を有するように成形されている。可撓性部材８の厚みは１０μｍから２００μｍ程度である。凸部は、収容空間を覆う部分に形成され、変形可能な部分である。筐体７（７ａ、７ｂ）の開口周縁部には、Ｏリング２３、２４をはめ込む溝２５が設けられており、溝２５にＯリング２３、２４をはめ込んで可撓性部材８を挟んでねじ等で締結することで吐出材収容ユニット４の状態となる。
【００１９】
なお、本実施形態では２つのＯリング２３、２４を用いているが、可撓性部材８に弾性があるため、可撓性部材８の片側のみに配置する構成でもよい。また、本実施形態ではＯリング２３、２４を対向する同じ位置に設けているが、内側と外側となるように異なる位置に配置してもよい。
【００２０】
可撓性部材８は、接液性等の観点から吐出材９の特性に適した部材を選定することがより好ましい。本実施形態では、可撓性部材８は、フッ素樹脂材の薄膜フィルムを適用している。可撓性部材８の材質は、接触するレジストや作動液１１に対して耐性を有する材料で形成することが望まれる。例えばＰＦＡ、ＥＴＦＥ、ＰＴＦＥのようなフッ素樹脂材が好適である。その他には、例えばＰＥ（ポリエチレン）、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＶＡＬ（ポリビニルアルコール）、ＰＶＤＣ（ポリ塩化ビニリデン）、ナイロン等のポリアミド合成樹脂が挙げられる。フィルムはこれらの材料を複層に構成した多層膜としてもよいし、２枚のフィルムを溶着や接着で貼りあわせて形成したものでもよい。
【００２１】
図４（ａ）、（ｂ）は、成型によって形成した可撓性部材８、凹型成形型３２、凸型成形型３３を示した図である。可撓性部材８は薄膜フィルムであるため、真空成形で所望の形状を成形するのが最適である。そのため、凹型成形型３２、凸型成形型３３には、成形時に空気を抜くための吸引路３４が設けられている。可撓性部材８の成形には、図４（ａ）のような凹型成形型３２あるいは図４（ｂ）のような凸型成形型３３のどちらを用いてもよい。以下では、凸型成形型３３を用いた例について説明する。
【００２２】
図５（ａ）から（ｄ）は、本実施形態における凸型成形型３３を用いた真空成形の工程を示した図である。本実施形態では、フィルム３６を真空成形することで可撓性部材８を形成する。以下、各工程における処理を説明する。まず、図５（ａ）のように、成形前のシート状のフィルム３６を適切な大きさに切断し、クランプ３５でフィルム３６の全周を保持する。そして、フィルム３６をヒータ３７によって、フィルム３６を構成する樹脂が軟化する温度まで加熱する。この時、成形型３３も同様にヒータ等で加熱することが好ましい。その後、図５（ｂ）のように、ヒータ３７の熱で軟化したフィルム３６を成形型３３と接触させる。即ち、成形型３３の上でフィルム３６を成形する。このとき、圧縮空気でフィルム３６を膨らますように伸ばしてから成形型３３に接触させてもよい。
【００２３】
そして、図５（ｃ）のように、成形型３３の上でのフィルム３６の成形中に、成形型３３に複数設けた真空吸引口３８から真空吸引路である吸引路３４を経由して、フィルム３６と成形型３３との間の領域の空気を吸引、排出する。フィルム３６と成形型３３との間の領域の空気を吸引して排出することで、この領域（テント状の部分）は小さくなり、フィルム３６は、凸型成形型３３の凸部の形状にならうように成形される。この可撓性部材の凸部を有する領域に対応する、フィルム３６の領域は、後述する第１領域と異なる領域である第２領域である。即ち、この工程が、フィルムの第２領域を成形する工程である、第２領域成形工程である。フィルム３６は全体および局所的に伸ばされ樹脂が流動する。そのため、フィルム３６の厚みは均一ではなくなり、局所的にシワや撓みが生じることがある。しかし、本実施形態でフィルム３６を成形した可撓性部材８は、前述したように、シール部材（Ｏリング２３、２４）を用いて容器部材との間で流体の漏れがないように構成するには、シール部材が当接する部分にシワや撓みがなるべくないことが好ましい。
【００２４】
そこで本実施形態では、図５（ｄ）に示すように、真空吸引口３８の他に更に吸引口を設けている。成形型３３にはフィルム３６と成形型３３との間の領域の空気を吸引する真空吸引口３８と、フィルムの、可撓性部材８におけるフランジとなる部分を吸着保持する吸引口３９及び吸引口３９と連通した流路４０が設けられている。可撓性部材のフランジとなる部分（シール部材と当接する部分）に対応するフィルムの領域が、第１領域である。吸引口３９は、可撓性部材８となった際にシール部材と当接する部分と対応する成形型３３の部分に設けられており、成形加工中にフィルム３６を成形型３３に吸引保持する。このように、可撓性部材８におけるフランジとなる部分であるフィルム３６の第１領域を吸着保持して成形する（第１領域成形工程）ことで、成形加工完了品である可撓性部材８にシワや撓みが生じるのを防ぐことができる。尚、吸引口３９は必ずしも成形型３３に設けられていなくてもよいが、成形型に設けられていることが好ましい。
【００２５】
なお、真空吸引口３８と吸引路３４とに関する成形吸引系統と、吸引口３９と流路４０とに関する保持吸引系統とは、同じ配管系統として同時に吸引してもよい。また、各吸引系統を個別に制御し、成形吸引系統と保持吸引系統とは、時間的にずれて吸引を行う構成でもよい。真空成形では、成形したフィルム３６や成形型が冷却する過程でシワや撓みが生じる場合もある。そこで、冷却過程で保持吸引系統と成形吸引系統とを個別に制御して吸引力を変更してもよい。例えば、冷却過程でシール部材当接面３０のシワや撓みが生じるのを防ぐため、冷却過程のみで保持吸引系統でフィルムを保持してもよい。また、冷却過程では、保持吸引系統でフィルム３６を保持し、成形吸引系統を吸引しない過程を設けてもよい。それによってシール部材当接面３０以外のフィルム部分でシワや撓みが生じることで、フィルム内部のひずみが開放され、高精度の成形が必要なシール部材当接面の成形を良好にすることができる。
【００２６】
また、成形型３３に吸着したままの成形したフィルムに２次加工を行うことも可能である。例えば、成形したフィルムに別のフィルムなどの部材を溶着させる場合、成形を完了したフィルムのシール部材当接面を保持吸引系統で吸引したまま、溶着加工を行うとよい。成形完了後からフィルムのシール部材当接面は成形型に保持されたままなので、シール部材当接面の品質を保った状態で２次加工が可能である。
【００２７】
更に、本実施形態では、真空成形に用いる成形吸引系統（真空吸引口３８、吸引路３４）は、成形型３３の隅部だけにある構成を説明したが、更に、凸型成形型３３の角部稜線、天井面、側面に真空吸引口３８を設けてもよい。もちろん凹型成形型３２でも角部、隅部、底面、側面に真空吸引口３８を配置することができる。また、これら複数の組み合わせで真空吸引口３８を配置してもよい。吸引口は１か所に限定する必要はなく、均一に真空排気されるように、成形型に対して対称形となる位置に複数配置するとよい。同様に、フィルムの保持に用いる保持吸引系統（吸引口３９、流路４０）の吸引口３９も、フィルムが均一に真空吸着されるように、成形型に対して対称形となる位置に複数配置するとよい。
【００２８】
このように成形型に、可撓性部材８におけるフランジとなるフィルムの部分を吸引する吸引口を設ける。これによって、シワや撓みの発生を抑制することができる可撓性部材の製造方法を実現することができた。
【００２９】
（第２の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第２の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
【００３０】
図６（ａ）、（ｂ）は、本実施形態における真空成形の工程を示した図である。本実施形態では図６（ａ）のように、凸型成形型３３における可撓性部材８の封止部材に当接する領域（フランジ部）に対応する部分に凹部４５を備えている。本実施形態の凸型成形型３３における可撓性部材８の成形では、凸型成形型３３の第１面でフィルム３６の第１領域を支持し、第１領域を吸引口で吸引する。このようにすることで、フィルム３６が、第１面と異なる吸引口を備えた第２面と当接して成形が行われる。更に、図６（ｂ）のように凹部４５には吸引口３９および吸引口３９と連通した流路４０が設けられている。成形時に凹部４５でフィルム３６を吸引することで、フィルム３６を保持すると同時に凹形状に真空成形する。このように成形することで、凹形状に真空成形した部分がシール部材当接面となり、シール部材と当接する面をより平面度の高い面とすることができる。
【００３１】
（第３の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第３の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
【００３２】
図７は、本実施形態における真空成形の工程を示した図である。本実施形態も、凸型成形型３３における可撓性部材８の封止部材に当接する領域（フランジ部）に対応する部分で吸引を行うが、吸引する部分には多孔質体４１が設けられており、多孔質体４１でフィルム３６の吸引を行う。多孔質体４１は、金属粉末を焼結したものまたは発泡樹脂などがよい。多孔質体４１の表面は平面に加工してあるため、フィルム３６のシール部材当接面は多孔質体４１に吸着されながら平面に成形される。
【００３３】
多孔質体を用いることなく吸引口でフィルムを吸引する場合、吸引力の強さによっては吸引口の形状が成形後のフィルムに転写される場合がある。しかし、本実施形態のように、多孔質体４１を用いてフィルム３６を吸引することで、吸引力の強さにかかわらず、シール部材と当接するフィルムの面を平面度の高いものにすることができる。
【００３４】
なお、多孔質体以外でも、吸引力やフィルムの材質に応じて、吸引口にメッシュやスリットを設けてもよい。スリットの場合は、当接するシール部材（例えばＯリング）と平行になるようなスリットとすることが好ましい。
【００３５】
このように、多孔質体でフィルムを吸引することで、シール部材と当接する、より平面度の高いフィルム３６の面を成形することができる。
【００３６】
（第４の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第４の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
【００３７】
図８は、本実施形態における真空成形の工程を示した図である。本実施形態では、凸型成形型３３における可撓性部材８のフランジ部に対応する部分を吸引したうえで、成形型４２で加圧して加圧成形を行う。このように、吸引と加圧とを組み合わせることで、シール部材と当接する、より平面度の高いフィルム３６の面を成形することができる。
【００３８】
（第５の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第５の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
【００３９】
図９は、本実施形態における真空成形の工程を示した図である。本実施形態では、凸型成形型３３における可撓性部材８の封止部材に当接する領域（フランジ部）に対応する部分を吸引したうえで、成形型３３を覆う成形型４３で加圧して加圧成形を行う。成形型４３は、型を閉じた後の型内に圧縮空気を導入することができる加圧口４４を備えている。このような構成によって、フィルム３６を真空成形と加圧成形（ブロー成形）とを組み合わせた加工をすることで、シール部材と当接する、より平面度の高いフィルム３６の面を成形することができる。
【００４０】
なお、成形型４３を加熱し、常温の成形型３３に押し付けてもよい。
【００４１】
（第６の実施形態）
図１０は、本実施形態における真空成形の工程を示した図である。本実施形態では、予め、別の場所で、フィルムを加熱した後に、図１０の状態にフィルムをセットする。凹型成形型３２における可撓性部材８のフランジ部に対応する部分を吸引しつつ、常温の成形型４２でフィルムを加圧保持する。こうすることで、シール部材と当接する部分が高い平面度を保って、先に冷え、固めることができる。この時、フィルム成形開始直前のためフランジ部に対応する部分を吸引しても、しなくても大きな差はない。次に、常温に近い温度の凹型成形型３２での吸引と、加熱したプラグ４６をフィルム３６に押し付けることにより、成形を行う。タイミング的にはプラグ４６による押し付け動作のほうが早いほうが好ましく、フィルムを加熱変形させた状態で、凹型成形型３２で吸引し、フィルムを成形する。吸引動作を止めることなく、プラグ４６を持ち上げ、フィルムの温度が下がったところで、吸引動作を停止し、フィルムを形成する。こうすることで、シール部材と当接する、より平面度の高いフィルム３６の面を成形することができる。
【００４２】
（その他の実施形態）
上記で説明した各実施形態を適宜組み合わせて真空成形を行ってもよい。例えば、第２の実施形態と第３の実施形態とを組み合わせて、凹部における吸引口を多孔質体で形成してもよい。
【符号の説明】
【００４３】
８  可撓性部材
３６  フィルム
３８  真空吸引口
３９  吸引口
４０  流路
４１  多孔質体
【図１】
2019081349.tif 000003
【図２】
2019081349.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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