(57)【要約】【課題】スライド部のスライド移動により発熱した熱を放出する技術を提供する。【解決手段】液体吐出装置は、液室に対してスライド移動可能なスライド部と、スライド部を液室に対してスライド移動させる駆動機構と、を備え、記駆動機構は、スライド部と接し、第１の流体を収容する第１の流体室と、第１の流体室へ第１の流体を供給する第１の流体供給流路と、第１の流体供給流路とは異なる流路であって、第１の流体室から第１の流体を排出する第１の流体排出流路と、第１の流体供給流路に設けられた第１の供給弁と、第１の流体排出流路に設けられた第１の排出弁と、を備え、第１の供給弁と第１の排出弁とを制御することによって、第１の流体室内の第１の流体を供給もしくは排出させることにより、スライド部を液室に対してスライド移動させる。【選択図】図２
2019081316.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体吐出装置であって、
液体を吐出するためのノズルに連通するとともに、前記液体を流入させる流入孔を備える液室と、
前記液室に前記液体を供給する供給流路と、
前記液室と前記供給流路との間に設けられており、前記流入孔と前記供給流路とを連通可能な連通孔を備え、前記液室に対してスライド移動可能なスライド部と、
前記スライド部を前記液室に対してスライド移動させる駆動機構と、
前記駆動機構を制御する制御部と、を備え、
前記駆動機構は、
前記スライド部と接し、第１の流体を収容する第１の流体室と、
前記第１の流体室へ前記第１の流体を供給する第１の流体供給流路と、
前記第１の流体供給流路とは異なる流路であって、前記第１の流体室から前記第１の流体を排出する第１の流体排出流路と、
前記第１の流体供給流路に設けられた第１の供給弁と、
前記第１の流体排出流路に設けられた第１の排出弁と、を備え、
前記制御部は、前記第１の供給弁と前記第１の排出弁とを制御することによって、前記第１の流体室内の前記第１の流体を供給もしくは排出させることにより、前記スライド部を前記液室に対してスライド移動させる、液体吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出装置であって、
前記第１の供給弁と前記第１の排出弁とは、ピエゾアクチュエーターを備える、液体吐出装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体吐出装置であって、
前記駆動機構は、さらに、
前記スライド部に対して前記第１の流体室とは反対側に設けられており、前記スライド部と接し、第２の流体を収容する第２の流体室と、
前記第２の流体室へ前記第２の流体を供給する第２の流体供給流路と、
前記第２の流体室から前記第２の流体を排出する第２の流体排出流路と、を備える、液体吐出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の液体吐出装置であって、
前記第２の流体室内には、前記スライド部をスライド移動させる弾性部材が設けられている、液体吐出装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の液体吐出装置であって、
前記第１の流体室及び前記第２の流体室の前記スライド部と接する壁面は、それぞれダイアフラムにより形成されている、液体吐出装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の液体吐出装置であって、さらに、
前記スライド部が前記液室に対してスライド移動した量を検知するセンサーを備える、液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出装置に関し、例えば、特許文献１には、液室に液体を供給する供給流路の流路抵抗を変更するために、供給流路に対応する位置に貫通孔が形成された平板状のプレートを、供給流路の開口面に沿わせてスライドさせる構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３２００４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、例えば、プレートを高速に往復移動させた場合には、プレートが発熱する虞があった。また、プレートが発熱すると、その熱によって液体の特性が変化する虞があるとともに、この結果として、安定した吐出を行うことが困難になる虞があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００６】
（１）本発明の一形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、液体を吐出するためのノズルに連通するとともに、前記液体を流入させる流入孔を備える液室と、前記液室に前記液体を供給する供給流路と、前記液室と前記供給流路との間に設けられており、前記流入孔と前記供給流路とを連通可能な連通孔を備え、前記液室に対してスライド移動可能なスライド部と、前記スライド部を前記液室に対してスライド移動させる駆動機構と、前記駆動機構を制御する制御部と、を備え、記駆動機構は、前記スライド部と接し、第１の流体を収容する第１の流体室と、前記第１の流体室へ前記第１の流体を供給する第１の流体供給流路と、前記第１の流体供給流路とは異なる流路であって、前記第１の流体室から前記第１の流体を排出する第１の流体排出流路と、前記第１の流体供給流路に設けられた第１の供給弁と、前記第１の流体排出流路に設けられた第１の排出弁と、を備え、前記制御部は、前記第１の供給弁と前記第１の排出弁とを制御することによって、前記第１の流体室内の前記第１の流体を供給もしくは排出させることにより、前記スライド部を前記液室に対してスライド移動させる。このような形態の液体吐出装置によれば、スライド部のスライド移動により発熱したとしても、第１の流体室内の第１の流体により放熱できる。
【０００７】
（２）上記形態の液体吐出装置において、前記第１の供給弁と前記第１の排出弁とは、ピエゾアクチュエーターを備えもよい。このような液体吐出装置によれば、第１の流体室内の第１の流体の供給及び排出を迅速に行うことができる結果として、迅速にスライド部を液室に対してスライド移動させることができる。
【０００８】
（３）上記形態の液体吐出装置において、前記駆動機構は、さらに、前記スライド部に対して前記第１の流体室とは反対側に設けられており、前記スライド部と接し、第２の流体を収容する第２の流体室と、前記第２の流体室へ前記第２の流体を供給する第２の流体供給流路と、前記第２の流体室から前記第２の流体を排出する第２の流体排出流路と、を備えてもよい。このような形態の液体吐出装置によれば、スライド部のスライド移動により発熱したとしても、第２の流体室内の第２の流体により放熱できる。
【０００９】
（４）上記形態の液体吐出装置において、前記第２の流体室内には、前記スライド部をスライド移動させる弾性部材が設けられていてもよい。このような形態の液体吐出装置によれば、弾性部材により、スライド部をスライド移動させることができる。
【００１０】
（５）上記形態の液体吐出装置において、前記第１の流体室及び前記第２の流体室の前記スライド部と接する壁面は、それぞれダイアフラムにより形成されていてもよい。このような形態の液体吐出装置によれば、第１の流体が第１の流体室から漏れ出ることを抑制できるとともに、第２の流体が第２の流体室から漏れ出ることを抑制できる。
【００１１】
（６）上記形態の液体吐出装置において、さらに、前記スライド部が前記液室に対してスライド移動した量を検知するセンサーを備えてもよい。このような形態の液体吐出装置によれば、センサーによりスライド部が液室に対してスライド移動した量を検知することができる。
【００１２】
本発明は、上述した液体吐出装置としての形態以外にも、種々の形態で実現することが可能である。例えば、液体吐出装置によって実行される液体吐出方法や、液体吐出装置を制御するためのコンピュータープログラム、そのコンピュータープログラムが記録された一時的でない有形な記録媒体等の形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態における液体吐出装置の概略構成を示す説明図。
【図２】ヘッド部の概略構成を示す断面図。
【図３】液室への液体の供給を遮断した状態を示す図。
【図４】第２実施形態のヘッド部の概略構成を示す断面図。
【図５】第３実施形態のヘッド部の概略構成を示す断面図。
【図６】液室への液体の供給を遮断した状態を示す図。
【図７】第４実施形態のヘッド部の概略構成を示す断面図。
【図８】第５実施形態のヘッド部の概略構成を示す断面図。
【図９】第６実施形態のヘッド部の概略構成を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
Ａ．第１実施形態：
Ａ１．液体吐出装置の構成：
図１は、本発明の第１実施形態における液体吐出装置１００の概略構成を示す説明図である。液体吐出装置１００は、タンク１０と、加圧ポンプ２０と、供給流路３０と、ヘッド部２００と、制御部４０と、排出流路５０と、液体貯留部６０と、負圧発生源７０と、循環流路８０と、を備える。
【００１５】
タンク１０には液体が収容されている。液体としては、例えば、所定の粘度を有するインクが例示できる。所定の粘度としては、室温（２５℃）にて５０ｍＰａ・ｓ以上４０，０００ｍＰａ・ｓ以下が例示できる。タンク１０内の液体は、加圧ポンプ２０により供給流路３０を通じてヘッド部２００に供給される。加圧ポンプ２０は、例えば、１０ｋＰａから１０ＭＰａの圧力を液体に付与する。ヘッド部２００に供給された液体は、ヘッド部２００により吐出される。ヘッド部２００の動作は、制御部４０により制御される。
【００１６】
制御部４０は、ＣＰＵやメモリーを備えたコンピューターとして構成されており、メモリーに記憶された制御プログラムを実行することにより、種々の処理を実現する。制御プログラムは、一時的でない有形な種々の記録媒体に記録されていてもよい。
【００１７】
排出流路５０は、ヘッド部２００の液室２１０に接続されている。本実施形態では、液室２１０から吐出されなかった液体は、排出流路５０を通じて液体貯留部６０に排出される。液体貯留部６０には、負圧発生源７０が接続されている。負圧発生源７０は、液体貯留部６０内を負圧にすることにより、排出流路５０を通じてヘッド部２００から液体を吸引する。負圧発生源７０は、例えば、ポンプを用いて構成可能である。本実施形態において、加圧ポンプ２０および負圧発生源７０は、供給流路３０と排出流路５０とに差圧を発生させて供給流路３０に液体を供給する液体供給部として機能する。なお、加圧ポンプ２０および負圧発生源７０のいずれか一方を省略して、加圧ポンプ２０または負圧発生源７０のいずれか単体で液体供給部を構成してもよい。
【００１８】
本実施形態では、液体貯留部６０とタンク１０とは、循環流路８０によって接続されている。液体貯留部６０に貯留された液体は、循環流路８０を通じてタンク１０に戻され、再び、加圧ポンプ２０によってヘッド部２００に供給される。つまり、循環流路８０は、排出流路５０から排出された液体を、供給流路３０に再供給する機能を有する。循環流路８０には、液体貯留部６０から液体を吸引するためのポンプが備えられていてもよい。また、循環流路８０には、異物除去フィルターや脱気モジュールが備えられていてもよい。なお、循環流路８０を省略し、液体吐出装置１００を、液体を循環させない構成とすることも可能である。
【００１９】
図２は、ヘッド部２００の概略構成を示す断面図である。ヘッド部２００は、ノズル２１１と、液室２１０と、容積変更部２２０と、スライド部２５０と、駆動機構２６０を備える。
【００２０】
液室２１０は、液体が供給される部屋である。液室２１０は、液滴を外部に吐出するためのノズル２１１に連通しており、液体を流入させる流入孔２１２を備える。
【００２１】
図２に示すように液室２１０の一壁面は、容積変更部２２０により構成されている。容積変更部２２０は、液室２１０の容積を変更する部材である。本実施形態では、容積変更部２２０は、振動板２２２と、アクチュエーター２２４とを備える。容積変更部２２０は、制御部４０により制御されている。制御部４０は、アクチュエーター２２４を伸長させることによって振動板２２２を液室２１０内へ押し込み、液室２１０の容積を小さくした後、アクチュエーター２２４を縮ませることにより、液室２１０の圧力を緩和させることにより、ノズル２１１から液滴を吐出させる。
【００２２】
液室２１０は、スライド部２５０を介して供給流路３０から液体が供給される。スライド部２５０は、液室２１０と供給流路３０との間に設けられており、液室２１０に対してスライド移動可能な部材である。スライド部２５０は、液室２１０の流入孔２１２と連通可能な連通孔２５６を備えるとともに、本実施形態では、排出流路５０と連通可能な排出孔２５８を備える。ここで、「連通」とは「流体が流通できるように連なっていること」を示す。本実施形態では、スライド部２５０と、液室２１０を構成する本体部材とは、金属により形成されている。
【００２３】
駆動機構２６０は、スライド部２５０を液室２１０に対してスライド移動させる機構である。駆動機構２６０は、制御部４０により制御されている。本実施形態では、駆動機構２６０は、第１の流体室２７０と、第１の流体供給流路２７２と、第１の供給弁２７３と、第１の流体排出流路２７４と、第１の排出弁２７５と、第２の流体室２８０と、を備える。
【００２４】
第１の流体室２７０は、スライド部２５０と接し、第１の流体を収容する部屋である。本実施形態では、第１の流体室２７０に収容される第１の流体として気体を使用するが、液体でもよい。第１の流体として気体を用いることにより、第１の流体室２７０内の第１の流体の供給及び排出を迅速に行うことができる。また、第１の流体として液体を用いた場合、スライド部２５０に発生した熱を第１の流体としての液体により効率的に放出することができる。
【００２５】
本実施形態では、第１の流体室２７０には、スライド部２５０のスライド移動を係止するための突起部２７９を備えるが、これに限られない。第１の流体室２７０は突起部２７９を備えず、第１の流体室２７０のスライド部２５０と対向する壁面によりスライド部２５０のスライド移動を係止させてもよい。本実施形態では、スライド部２５０の第１の流体室２７０側の端部には、流体の漏洩を抑制する観点から、シール部材２５４が設けられている。
【００２６】
第１の流体供給流路２７２は、第１の流体室２７０へ第１の流体を供給する流路である。本実施形態では、圧縮された空気が、第１の流体供給流路２７２から第１の流体室２７０へ供給される。第１の流体供給流路２７２には、第１の供給弁２７３が設けられている。第１の供給弁２７３は、第１の流体供給流路２７２から第１の流体室２７０への第１の流体の供給を遮断可能な弁である。本実施形態では、第１の供給弁２７３は、ピエゾアクチュエーターを備える。このようにすることにより、第１の流体供給流路２７２から第１の流体室２７０への第１の流体の供給及び供給の停止を迅速に変更することができる。
【００２７】
第１の流体排出流路２７４は、第１の流体供給流路２７２とは異なる流路であり、第１の流体室２７０から第１の流体を排出する流路である。第１の流体排出流路２７４には、第１の排出弁２７５が設けられている。第１の排出弁２７５は、第１の流体室２７０から第１の流体排出流路２７４への第１の流体の排出を遮断可能な弁である。本実施形態では、第１の排出弁２７５は、ピエゾアクチュエーターを備える。このようにすることにより、第１の流体室２７０から第１の流体排出流路２７４への第１の流体の排出及び排出の停止を迅速に変更することができる。
【００２８】
第２の流体室２８０は、スライド部２５０と接し、第２の流体を収容する部屋である。第２の流体室２８０は、スライド部２５０に対して第１の流体室２７０とは反対側に設けられている。本実施形態では、第２の流体室２８０に収容される第２の流体として気体を使用するが、液体でもよい。
【００２９】
本実施形態では、第２の流体室２８０には、スライド部２５０のスライド移動を係止するための突起部２８９を備えるが、これに限られない。第２の流体室２８０は突起部２８９を備えず、第２の流体室２８０のスライド部２５０と対向する壁面によりスライド部２５０のスライド移動を係止させてもよい。本実施形態では、スライド部２５０の第２の流体室２８０側の端部には、流体の漏洩を抑制する観点から、シール部材２５２が設けられている。本実施形態において、第２の流体室２８０内の圧力は、第１の流体供給流路２７２の第１の供給弁２７３よりも上流側の圧力よりも低く、第１の流体排出流路２７４の第１の排出弁２７５よりも下流側の圧力よりも高い。
【００３０】
図２は、液室２１０と供給流路３０とが連通している状態を示す。つまり、液室２１０の流入孔２１２とスライド部２５０の連通孔２５６とが連通している状態を示す。本実施形態では、この状態において、供給流路３０と排出流路５０との連通は遮断された状態となっている。つまり、排出流路５０とスライド部２５０の排出孔２５８との連通が遮断された状態となっている。このようにすることにより、供給流路３０から液室２１０への液体の供給を迅速に行うことができる。
【００３１】
本実施形態では、液室２１０への液体の供給を遮断した状態において、容積変更部２２０を制御して、ノズル２１１から液体を吐出させる。このようにすることにより、容積変更部２２０から液室２１０への力を効率的に液体吐出に利用できる。
【００３２】
一方、図３は、液室２１０への液体の供給を遮断した状態を示す図である。制御部４０は、第１の供給弁２７３を制御することにより第１の流体供給流路２７２を連通させた状態とし、第１の排出弁２７５を制御することにより第１の流体排出流路２７４の連通を遮断した状態とする。このようにすることにより、第１の流体室２７０内の圧力が上昇し、第２の流体室２８０内の圧力と比べて第１の流体室２７０内の圧力が大きくなることにより、スライド部２５０が第２の流体室２８０側へ移動する。本実施形態では、第２の流体室２８０側へ移動したスライド部２５０は、第２の流体室２８０内の突起部２８９と接触することにより停止する。
【００３３】
本実施形態では、液室２１０への液体の供給遮断時において、供給流路３０は、スライド部２５０の排出孔２５８を介して排出流路５０と連通可能な状態となる。このようにすることにより、液体を効率的に循環させることができる。この結果として、沈降性の顔料や金属粒子、フィラー等の材料を含む液体の時間経過に対する成分沈降を抑制しながら吐出することもできるとともに、液体を効率的に利用することができる。
【００３４】
ノズル２１１から液体を吐出させた後は、制御部４０は、第１の供給弁２７３を制御することにより第１の流体供給流路２７２の連通を遮断させた状態とし、第１の排出弁２７５を制御することにより第１の流体排出流路２７４を連通させた状態とする（図２参照）。このようにすることにより、第１の流体室２７０内の圧力が低下し、第２の流体室２８０内の圧力と比べて第１の流体室２７０内の圧力が小さくなることにより、スライド部２５０が第１の流体室２７０側へ移動する。本実施形態では、第１の流体室２７０側へ移動したスライド部２５０は、第１の流体室２７０内の突起部２７９と接触することにより停止する。
【００３５】
以上で説明した本実施形態の液体吐出装置１００によれば、スライド部２５０が液室２１０に対してスライド移動することに伴って摩擦による熱が発生したとしても、その熱の一部は、スライド部２５０と接する第１の流体室２７０内の第１の流体に伝達される。このため、本実施形態の液体吐出装置１００によれば、熱をスライド部２５０から放出することができる。このため、本実施形態の液体吐出装置１００によれば、液体の特性が熱によって変化することを抑制することができるとともに、安定した液体の吐出をさせることができる。特に、本実施形態では、液体を吐出するごとに、スライド部２５０をスライド移動させる。このため、スライド部２５０において摩擦熱が発生する可能性が高い。しかし、本実施形態の液体吐出装置１００によれば、効率的にこの熱を放出できる。
【００３６】
また、本実施形態では、第１の供給弁２７３及び第１の排出弁２７５は、ピエゾアクチュエーターを備える。このため、第１の供給弁２７３及び第１の排出弁２７５の駆動を迅速に行えることができる結果として、スライド部２５０を液室２１０に対して迅速にスライド移動させることができる。
【００３７】
Ｂ．第２実施形態
図４は、第２実施形態のヘッド部２００ｂの概略構成を示す断面図である。第２実施形態は、第１実施形態と比較して、駆動機構２６０ｂとして、さらに、第２の流体室２８０内の第２の流体を供給及び排出する流路２８１を備える点が異なるが、それ以外は同じである。
【００３８】
第２実施形態によれば、第２の流体室２８０内の容積によらず圧力を一定に保つことができる。この結果として、第１の流体室２７０の圧力が大きくなったとき、スライド部２５０は第２の流体室２８０側へ迅速に移動し、第１の流体室２７０の圧力が小さくなったとき、スライド部２５０は第１の流体室２７０側へ迅速に移動する。つまり、第２実施形態によれば、スライド部２５０を液室２１０に対して迅速にスライド移動させることができる。
【００３９】
Ｃ．第３実施形態
図５は、第３実施形態のヘッド部２００ｃの概略構成を示す断面図である。第３実施形態は、第１実施形態と比較して、駆動機構２６０ｃとして、さらに、第２の流体供給流路２８２と、第２の供給弁２８３と、第２の流体排出流路２８４と、第２の排出弁２８５と、を備える点が異なるが、それ以外は同じである。
【００４０】
第２の流体供給流路２８２は、第２の流体室２８０内の第２の流体を供給する流路である。第２の流体供給流路２８２には、第２の流体供給流路２８２から第２の流体室２８０への第２の流体の供給を遮断可能な第２の供給弁２８３が設けられている。本実施形態では、第２の供給弁２８３は、ピエゾアクチュエーターを備える。このようにすることにより、第２の流体供給流路２８２から第２の流体室２８０への第２の流体の供給及び供給の停止を迅速に変更することができる。
【００４１】
第２の流体排出流路２８４は、第２の流体室２８０から第２の流体を排出する流路である。第２の流体排出流路２８４には、第２の流体室２８０から第２の流体排出流路２８４への第２の流体の排出を遮断可能な第２の排出弁２８５が設けられている。本実施形態では、第２の排出弁２８５は、ピエゾアクチュエーターを備える。このようにすることにより、第２の流体室２８０から第２の流体排出流路２８４への第２の流体の排出及び排出の停止を迅速に変更することができる。
【００４２】
本実施形態では、制御部４０によりスライド部２５０を第２の流体室２８０側へスライド移動させる際、制御部４０は、第１実施形態と同じように第１の流体室２７０内の圧力を制御することに加え、さらに、第２の流体室２８０内の圧力の制御についても行う。
【００４３】
図５は、液室２１０と供給流路３０とが連通している状態を示す。この状態とするため、制御部４０は、以下のような制御を行う。具体的には、制御部４０は、第１の供給弁２７３を制御することにより第１の流体供給流路２７２の連通を遮断させた状態とし、第１の排出弁２７５を制御することにより第１の流体排出流路２７４を連通させた状態とする。さらに、制御部４０は、第２の供給弁２８３を制御することにより第２の流体供給流路２８２を連通させた状態とし、第２の排出弁２８５を制御することにより第２の流体排出流路２８４の連通を遮断させた状態とする。このようにすることにより、第１の流体室２７０内の圧力が低下するとともに、第２の流体室２８０内の圧力が上昇し、第２の流体室２８０内の圧力と比べて第１の流体室２７０内の圧力が小さくなることにより、スライド部２５０が第１の流体室２７０側へ移動する。
【００４４】
図６は、液室２１０への液体の供給を遮断した状態を示す図である。この状態とするため、制御部４０は、以下のような制御を行う。制御部４０は、第１の供給弁２７３を制御することにより第１の流体供給流路２７２を連通させた状態とし、第１の排出弁２７５を制御することにより第１の流体排出流路２７４の連通を遮断した状態とする。さらに、制御部４０は、第２の供給弁２８３を制御することにより第２の流体供給流路２８２の連通を遮断させた状態とし、第２の排出弁２８５を制御することにより第２の流体排出流路２８４を連通させた状態とする。このようにすることにより、第１の流体室２７０内の圧力が上昇するとともに、第２の流体室２８０内の圧力が低下し、第２の流体室２８０内の圧力と比べて第１の流体室２７０内の圧力が大きくなることにより、スライド部２５０が第２の流体室２８０側へ移動する。
【００４５】
本実施形態によれば、スライド部２５０を液室２１０に対してスライド移動させる際における第２の流体室２８０内の圧力と第１の流体室２７０内の圧力との差を大きくすることができる。この結果として、スライド部２５０を液室２１０に対して迅速にスライド移動させることができるとともに、スライド移動の変位量を大きくすることができる。
【００４６】
Ｄ．第４実施形態
図７は、第４実施形態のヘッド部２００ｄの概略構成を示す断面図である。第４実施形態は、第１実施形態と比較して、駆動機構２６０ｄとして、さらに、第２の流体室２８０内には、スライド部２５０を液室２１０に対してスライド移動させる弾性部材２９０が設けられているが、それ以外は同じである。本実施形態では、弾性部材２９０は、スライド部２５０を第１の流体室２７０側へ押す力を付与するが、これに限られず、弾性部材２９０は、スライド部２５０を第２の流体室２８０側へ引く力を付与してもよい。また、弾性部材２９０は、第１の流体室２７０内に設けられていてもよい。
【００４７】
本実施形態によれば、スライド部２５０を液室２１０に対してスライド移動させる際に、弾性部材２９０による力を用いることができる。本実施形態では、弾性部材２９０としてバネを用いるが、これに限られず、例えば、合成ゴムや天然ゴムを用いてもよい。合成ゴムとしては、例えば、シリコンゴムを挙げることができる。
【００４８】
Ｅ．第５実施形態
図８は、第５実施形態のヘッド部２００ｅの概略構成を示す断面図である。第５実施形態は、第１実施形態と比較して、駆動機構２６０ｅとして、さらに、ダイアフラム２３２，２３４を備える点が異なるが、それ以外は同じである。本実施形態では、第１の流体室２７０及び第２の流体室２８０のスライド部２５０と接する壁面が、それぞれダイアフラム２３２，２３４により形成されている。なお、第１の流体室２７０と第２の流体室２８０とのどちらか一方のスライド部２５０と接する壁面が、ダイアフラムにより形成されていてもよい。
【００４９】
本実施形態によれば、第１の流体が第１の流体室２７０から漏れ出ることを抑制できるとともに、第２の流体が第２の流体室２８０から漏れでることを抑制できる。
【００５０】
Ｆ．第６実施形態
図９は、第６実施形態のヘッド部２００ｆの概略構成を示す断面図である。第６実施形態は、第４実施形態と比較して、スライド部２５０が液室２１０に対してスライド移動した変位量を検知するセンサー２３６を備える点が異なるが、それ以外は同じである。本実施形態では、センサー２３６は、第１の流体室２７０内に設けられているが、第２の流体室２８０内に設けられていてもよい。また、本実施形態では、センサー２３６として、マイクロ変位センサーを用いるが、これに限定されない。例えば、センサー２３６として、弾性部材２９０に加わる圧力を検知する圧力センサーを設けることによって、センサー２３６により得られた圧力からスライド移動の変位量を算出してもよい。また、センサー２３６として、第２の流体室２８０内に温度センサーと圧力センサーとを設けることにより、それぞれのセンサー２３６により得られた温度と圧力とボイル・シャルルの法則とを用いてスライド移動の変位量を算出してもよい。
【００５１】
本実施形態によれば、スライド部２５０が液室２１０に対してスライド移動した変位量を検知することができる。このため、本実施形態によれば、制御部４０による制御どおりにスライド部２５０が移動しているか判定できる。
【００５２】
Ｇ．その他の実施形態：
上述の実施形態では、スライド部２５０によって供給流路３０と液室２１０とが連通している場合と連通が遮断されている場合との説明を行ったが、これに限られない。例えば、スライド部２５０によって、供給流路３０と液室２１０との完全な遮断は行わず、供給流路３０から液室２１０へ供給される液体の供給量を制御してもよい。
【００５３】
上述の実施形態では、スライド部２５０を第２の流体室２８０側へスライド移動させる際、第１の排出弁２７５により第１の流体排出流路２７４の連通が遮断されているが、第１の流体排出流路２７４を連通させていてもよい。このようにすることにより、スライド部２５０により発生した熱を効率的に循環できる。また、第１の流体排出流路２７４から排出された第１の流体を、第１の流体供給流路２７２に循環させてもよい。同様に、スライド部２５０を第１の流体室２７０側へスライドさせる際、第２の排出弁２８５により第２の流体排出流路２８４の連通が遮断されているが、第２の流体排出流路２８４を連通させてもよい。このようにすることにより、スライド部２５０により発生した熱を効率的に循環できる。また、第２の流体排出流路２８４から排出された第２の流体を、第２の流体供給流路２８２に循環させてもよい。
【００５４】
上述の実施形態におけるピエゾアクチュエーターの代わりに、ソレノイドや磁歪素子など、種々のアクチュエーターを用いてもよく、さらに、伸長する量を拡大させるために拡大変位機構を備えていてもよい。
【００５５】
上述の実施形態では、駆動機構２６０として、第２の流体室２８０を備えるが、これに限られず、駆動機構２６０として、第２の流体室２８０を備えなくてもよい。
【００５６】
本発明は、インクを吐出する液体吐出装置１００に用いることができるが、これに限らず、インク以外の他の液滴を吐出する任意の液体吐出装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置に本発明は適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置。
【００５７】
なお、「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であればよい。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。液体の代表的な例としてはインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物を包含するものとする。
【００５８】
また、本発明は、３Ｄプリンターに用いてもよい。
【００５９】
本発明は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【００６０】
１０…タンク、２０…加圧ポンプ、３０…供給流路、４０…制御部、５０…排出流路、６０…液体貯留部、７０…負圧発生源、８０…循環流路、１００…液体吐出装置、２００、２００ｂ、２００ｃ、２００ｄ、２００ｅ、２００ｆ…ヘッド部、２１０…液室、２１１…ノズル、２１２…流入孔、２２０…容積変更部、２２２…振動板、２２４…アクチュエーター、２３２、２３４…ダイアフラム、２３６…センサー、２５０…スライド部、２５２、２５４…シール部材、２５６…連通孔、２５８…排出孔、２６０、２６０ｂ、２６０ｃ、２６０ｄ、２６０ｅ…駆動機構、２７０…第１の流体室、２７２…第１の流体供給流路、２７３…第１の供給弁、２７４…第１の流体排出流路、２７５…第１の排出弁、２７９…突起部、２８０…第２の流体室、２８１…流路、２８２…第２の流体供給流路、２８３…第２の供給弁、２８４…第２の流体排出流路、２８５…第２の排出弁、２８９…突起部、２９０…弾性部材、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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