(57)【要約】【課題】液体吐出ヘッドが備えるノズル面とノズルカバーとの公差を緩和することができる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液滴を吐出する複数のノズルで構成されたノズル面を有するヘッド本体部と、ヘッド本体部に装着され、ノズル面に対向する位置に開口部を備えるノズルカバーと、を有する液体吐出ヘッドであって、ヘッド本体部は、ノズル面に対し直交する面を形成するフレームにノズルカバーを係合する第一係合部が形成され、ノズルカバーは、可撓性を有し、第一係合部に対して係合する第二係合部が形成され、第一係合部と第二係合部との係合位置は面の高さ方向において複数ある、液体吐出ヘッドによる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルで構成されたノズル面を有するヘッド本体部と、
前記ヘッド本体部に装着され、前記ノズル面に対向する位置に開口部を備えるノズルカバーと、
を有する液体吐出ヘッドであって、
前記ヘッド本体部は、前記ノズル面に対し直交する面を形成するフレームに前記ノズルカバーを係合する第一係合部が形成され、
前記ノズルカバーは、可撓性を有し、前記第一係合部に対して係合する第二係合部が形成され、
前記第一係合部と前記第二係合部との係合位置は前記面の高さ方向において複数ある、
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第一係合部は、前記面の高さ方向に間隔を空けて形成され前記面から突出する複数の凸部であり、
前記第二係合部は、前記凸部に係合可能な穴部である、
請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第一係合部は、前記面の高さ方向に間隔を空けて形成され前記面の内側に凹んだ複数の凹部とともに形成された複数の凸部であり、
前記第二係合部は、前記凸部に係合可能な穴部である、
請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第一係合部の凸部は、断面形状が鋸歯状である、
請求項２または３記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第一係合部は、前記面に形成された凸部であり、
前記第二係合部は、前記面の高さ方向に沿って間隔を空けて形成された複数の穴部である、
請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記穴部は、前記面の高さ方向と直交する方向に沿う長尺なスリット形状である、
請求項５記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第一係合部は、前記面の高さ方向と直交する方向の両端にそれぞれ形成されている、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記ノズルカバーは金属製の薄板から一体に形成された部材である、
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンクと、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジと、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構と、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構と、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構と、の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化し、
前記液体吐出ヘッドは、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項１０】
液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出する装置であって、
前記液体吐出ヘッドは、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニットおよび液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドが吐出する液体インクにより画像等を形成する画像形成装置が知られている。このような装置は液体吐出ヘッドを含む液体吐出ユニットを備える「液体を吐出する装置」の一種である。当該装置が備える液体吐出ヘッドは、より高品質の画像形成と、より高速の画像形成への要求を実現するために、液体の吐出口（ノズル）を複数備え、これらノズルの密度が高密度に配列されている。
【０００３】
液体吐出ヘッドは、ノズル板と、ノズル板に形成される吐出口までのインク供給構造を構成するヘッド構成部材を備える。そして、ノズル板やヘッド構成部材への記録媒体の衝突や、ノズルを清掃するためのワイパー部材の衝突などから、ノズル板やヘッド構成部材を保護するための、ノズルカバーが取り付けられる。ノズルカバーは、ノズルから吐出された液体インクが記録媒体に向かう様に、ノズルに対応する部分は開口部になっていて、液体吐出ヘッドの筐体フレームに係合する構造を有する。このノズルカバーと、ノズルが配列されている面（ノズル面）との隙間が大きいと、隙間に記録媒体が入り込んでしまい媒体詰まり（ジャム）の原因になったり、ノズルを損傷させる原因になったり、などが生ずる。そこで、ノズルカバーとノズル面との隙間は記録媒体の厚さ以下に設定する必要がある。
【０００４】
従来の液体吐出ヘッドにおいて、筐体フレームの外側に突起部を備え、ノズルカバーには当該突起部が嵌合できるような穴部を設けることで、ノズルカバーを簡易な構造で取り付ける構造が開示されている（例えば、特許文献１を参照）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のように、筐体フレームにノズルカバーを嵌合させるとすると、嵌合部となる突起部と穴部の位置や大きさの公差によって、筐体フレームにノズルカバーを嵌合したときのノズル面とノズルカバーとの隙間が、必ずしも所定の設定（記録媒体の厚さ以下）にならない場合がある。この場合、ノズルカバーとノズル面との間に媒体が詰まってジャム状態になることを避けられなくなる。
【０００６】
また、ノズル面を含む液体吐出ヘッドは、フレームと個別液室基板とノズル板とからなるヘッド構成部材を接着剤により積層することで構成されるので、ノズル面からフレームの穴部（嵌合部）までの公差が大きくなる。公差を考慮して、ノズルカバーを設ける目的を達するには、ノズルカバーやヘッド構成部材の精度を高めるか、部品を選別して用いるか、等の工夫が必要となる。そうすると、ノズルカバーを含む液体吐出ヘッドの製造コストが高くなる、という課題が生ずる。一方、ノズルカバーやヘッド構成部材の選別を行わずに済むようにするには、ノズルカバー側の突起部の位置（高さ）をフレーム側の穴部の公差範囲にすればよいが、この場合は、ノズルカバーとノズル面との隙間が記録媒体の厚さ以下にならなくなる。すなわち、ノズルカバーとノズル面との隙間を記録媒体の厚さ以下に設定することと、液体吐出ヘッドの製造コストとはトレードオフの関係になる。
【０００７】
本発明は、液体吐出ヘッドが備えるノズル面とノズルカバーとの公差を緩和することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明は、液滴を吐出する複数のノズルで構成されたノズル面を有するヘッド本体部と、前記ヘッド本体部に装着され、前記ノズル面に対向する位置に開口部を備えるノズルカバーと、を有する液体吐出ヘッドであって、前記ヘッド本体部は、前記ノズル面に対し直交する面を形成するフレームに前記ノズルカバーを係合する第一係合部が形成され、前記ノズルカバーは、可撓性を有し、前記第一係合部に対して係合する第二係合部が形成され、前記第一係合部と前記第二係合部との係合位置は前記面の高さ方向において複数ある、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、液体吐出ヘッドが備えるノズル面とノズルカバーとの公差を緩和することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る液体を吐出する装置の斜視図。
【図２】本実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面図。
【図３】図３の一部領域の（ａ）拡大断面図、（ｂ）拡大平面図。
【図４】本実施形態に係る液体吐出ヘッドの（ａ）短手方向の断面図、（ｂ）長手方向の断面図。
【図５】本実施形態に係るノズルカバーの特性を説明する（ａ）初期状態を示す図、（ｂ）係合時の状態を示す図。
【図６】別の実施形態に係る液体吐出ヘッドの（ａ）短手方向の断面図、（ｂ）長手方向の断面図。
【図７】さらに別の実施形態に係る液体吐出ヘッドの（ａ）短手方向の断面図、（ｂ）長手方向の断面図。
【図８】本実施形態に係るノズルカバーの外観を示す斜視図。
【図９】別の実施形態に係るノズルカバーの外観を示す斜視図。
【図１０】本発明に係る液体を吐出する装置の一例を示す要部平面説明図。
【図１１】本発明に係る液体を吐出する装置の他の一例を示す要部側面説明図。
【図１２】本発明に係る液体吐出ユニットの一例を示す要部平面説明図。
【図１３】本発明に係る液体吐出ユニットの他の一例を示す正面説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明に係る液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、および液体を吐出する装置の実施形態について図面を参照しながら説明する。本発明の主な特徴は、液体吐出ヘッドの構造にある。すなわち、本発明に係る液体吐出ヘッドは、フレームとヘッドカバーの係合部分に特徴を有する。その要旨は、フレームとヘッドカバーの係合部において、互いの位置関係の公差を吸収できるように、フレーム側の係合部またはヘッドカバーの係合部、もしくはこれら両方の係合部の係合位置が複数ある構造を備えることにある。例えば、フレーム側の係合部は、高さ方向に複数並んだ突起部が鋸歯状になっていることで、ノズルカバーを任意の高さで止めることができる。これにより、ヘッド（フレーム）やノズルカバーの公差を緩和しつつ、ノズル面との隙間を用紙厚さ以下にすることと、フレームにノズルカバーと取り付ける構造に要するコストを低減することを両立させることができる。なお、ノズルカバー側の係合部は、フレーム側の係合部に係合できる形状であれば、穴であってもスリットであってもよく、その形状にも様々なものを採用できる。以上の特徴を備える本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、フレームとノズルカバーとの組み付け精度への要求が緩和され、また部品選別も不要となるため、コストダウンを達成することもできる。
【００１２】
まず、本発明に係る液体を吐出する装置の実施形態について図１を用いて説明する。本実施形態に係る画像形成装置１０は、図１に示すように、装置本体１１の内部に液体吐出ヘッドの実施形態であるインクジェットヘッド１００を備える機構部１２などが収納されている。この機構部１２は、図１中の矢印Ａにて示す走査方向に移動可能なキャリッジ１３にインクジェットヘッド１００を備えるインクカートリッジ１４が搭載されている。
【００１３】
次に、インクジェットヘッド１００の基本的な構成について、図２を用いて説明する。図２は、外形が略長方体からなるインクジェットヘッド１００における長手方向の断面図である。図２に示すようにインクジェットヘッド１００は、下から順に、ノズルカバー３０１と、複数の部品が積層されて構成される構造体２５と、共通液室１０５と、ダンパー１０６と、プレート１０７と、バッファ室１０８と、フレーム２２と、供給口２４と、を備えている。供給口２４は、供給部品２０１を通して共通液室と個別液室に液体が供給する開口である。構造体２５と、ダンパー１０６と、プレート１０７と、フレーム２２と、から形成される構造体をヘッド本体部とする。
【００１４】
ノズルカバー３０１には、後述するノズル１０２ａに対応する開口部３０４と、フレーム２２に係合するカバー側係合部３０２である角穴が設けられている。
【００１５】
フレーム２２は、インクジェットヘッド１００の筐体を構成する部品であって、インクジェットヘッド１００が備える他の部品を保持する役割を有し、共通液室１０５と一体的に形成されている。フレーム２２の材料は必要な剛性や加工性から任意のものを用いることができる。フレーム２２に用いることができる素材としては、例えば、炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）などの鉄、ステンレス鋼材（ＳＵＳ）等の合金やシリコン、セラミックス等の無機材料、エポキシやＰＰＳなどの樹脂材料を挙げることができる。耐腐食性があり、発塵性が低いものが好ましい。
【００１６】
フレーム２２の加工方法としては、素材に応じてエッチング、プレス加工、レーザー加工、フォトリソグラフィ法、射出成形などを用いることができる。エポキシやＰＰＳなど樹脂材料を用いる場合は、他部品との接合時に、熱収縮による寸法誤差を防ぐためにガラス繊維を３０％〜５０％含有しているものを用いることが好ましい。フレーム２２のダンパー１０６との接合面には、ダンパー１０６の面積を確保するために、接着剤の逃げ溝が設けてもよい。
【００１７】
フレーム２２には、ノズルカバー３０１が係合するフレーム側係合部３０３が形成されている。フレーム側係合部３０３は、フレーム２２の外側表面の一部を突出させた凸形状からなる部分である。フレーム側係合部３０３の詳細については、後述する。
【００１８】
フレーム２２と後述する保持基板１０４との接合には、弾性接着剤が用いられる。弾性接着剤は、個別液室基板１０３、共通液室１０５、個別液室１０３ａに関連する構造振動、圧力変動を吸収するためのものである。この弾性接着剤は、その材料として、シリコン系、ウレタン系、バイオマス資源を用いたものなどから任意のものを選択できる。なお、弾性接着剤の弾性率は、数十ＭＰａ以下が望ましい。また、硬化時間短縮のため加熱硬化できる素材が望ましい。
【００１９】
ダンパー１０６は、共通液室１０５の一部を形成する部品である。ダンパー１０６に用いる材料は、必要な剛性や加工性から任意のものを用いることができる。ダンパー１０６に用いることができる素材としては、例えば、ステンレス鋼材（ＳＵＳ）等の合金やニッケル（Ｎｉ）などの金属材料、シリコン、セラミックス等の無機材料、エポキシ、ＰＰＳ、熱可塑性エラストマー、熱硬化性エラストマー、シリコーンゴムなどの樹脂材料を挙げることができる。
【００２０】
ダンパー１０６は、薄く、かつ、剛性が低いものが望ましい。また、透気・透湿の観点からは、樹脂よりも金属の方が好ましい。金属の場合、例えば電鋳で作成すると、共通液室１０５に隣接する部分の厚みは１μｍから７μｍ程度、その他の部分の厚みは１０μｍ〜３０μｍ程度とする。これによって、ダンパー１０６の取り扱いが容易になる。
【００２１】
プレート１０７は、ダンパー１０６とフレーム２２を接合する際のダンパー取扱い性向上のため、ダンパー１０６を確実に加圧してフレーム２２とダンパー１０６の封止性向上のために設ける部品である。
【００２２】
プレート１０７の材料としては、必要な剛性や加工性から任意のものを用いることができる。例えば、炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）の鉄、ステンレス鋼材（ＳＵＳ）の合金やシリコン、セラミックス等の無機材料、エポキシやＰＰＳなどの樹脂材料を挙げることができる。その性質として、耐腐食性があり、発塵性が低いものが好ましい。プレート１０７を得るための加工方法としては、その材料の種類に応じてエッチング、プレス加工、レーザー加工、フォトリソグラフィ法、射出成形などにより加工方法を採用することができる。また、エポキシやＰＰＳなど樹脂材料を用いる場合、他の部品との接合時に熱収縮による寸法誤差が問題になる可能性があるため、ガラス繊維を３０％〜５０％含有しているものが好ましい。
【００２３】
ノズルカバー３０１は、ノズル基板１０２などのインクジェットヘッド１００を構成する構成部品を、記録媒体との衝突やワイパーとの衝突から保護するための部材である。ノズルカバー３０１の材料は、必要な剛性や加工性から任意のものを用いることができる。ノズルカバー３０１に用いることができる素材としては、例えば、炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）などの鉄、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の合金やシリコン、セラミックス等の無機材料、エポキシやＰＰＳなどの樹脂材料などである。ノズルカバー３０１に用いる材料は、耐腐食性があり、発塵性が低い材質のものが好ましい。また、ノズルカバー３０１に用いられる材料は、バネ性を発揮するものが望ましい。したがって、インクジェットヘッド１００の筐体やノズル面に密着させるために必要なバネ性を発揮できる、炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）などの鉄や、ステンレス鋼材（ＳＵＳ）等の合金などの金属が望ましい。
【００２４】
ノズルカバー３０１は、インク堆積を防止するために、撥水膜処理がされているものが好ましい。ノズルカバー３０１の加工方法としては、材料に応じてエッチング、プレス加工、レーザー加工、フォトリソグラフィ法、射出成形などを採用できる。例えば、金属のプレス加工による場合、板厚が０．１ｍｍ〜１．５ｍｍ程度が望ましい。ノズルカバー３０１の底面には、ノズル面から吐出されるインク滴が記録媒体に向かうように、ノズル面を露出させる開口部３０４が形成されている。また、ノズルカバー３０１には、フレーム２２に嵌着させるための第二係合部を構成するカバー側係合部３０２が形成されている。カバー側係合部３０２は、例えば角穴であるが、スリット形状でもよい。カバー側係合部３０２の詳細は後述する。
【００２５】
図３（ａ）は、図２において示した構造体２５に含まれる１つの個別液室１０３ａの長手方向断面図である。図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。図３（ａ）において下から順に、ノズル基板１０２と、個別液室基板１０３と、振動板１１１と、圧電素子１１２と、駆動回路部材１１３と、保持基板１０４と、が積層されている。
【００２６】
ノズル基板１０２は、液体インクが吐出される吐出口となるノズル１０２ａが複数配列されている基板である。ノズル基板１０２を形成する素材（材料）には、必要な剛性や加工性から任意のものを用いることができる。ノズル基板１０２に用いることができる素材としては、例えば、ステンレス鋼材（ＳＵＳ）やニッケル（Ｎｉ）などの金属または合金、シリコンやセラミックス等の無機材料、ポリイミド等の樹脂材料などがある。ノズル１０２ａを形成するための加工方法としては、材料の特性と要求される精度・加工性から任意のものを選ぶことができる。例えば、電鋳メッキ法、エッチング法、プレス加工法、レーザー加工法、フォトリソグラフィ法等である。ノズル１０２ａの開口径、配列数、配列密度は、インクジェットヘッド１００に要求される仕様に合わせて最適な組み合わせを設定することができる。
【００２７】
個別液室基板１０３は、ノズル基板１０２の上面に積層される基板である。個別液室基板１０３には、複数の個別液室１０３ａ、流体抵抗部１０３ｂ、液体供給口１０３ｃが形成されている。個別液室１０３ａは、ノズル１０２ａに対応して複数形成されている。個別液室１０３ａのそれぞれの上壁部分は、振動板１１１により形成されている。個別液室基板１０３には、流体抵抗部１０３ｂが形成されている。流体抵抗部１０３ｂは、個別液室１０３ａに共通液室１０５（図２参照）からインクが供給される入り口となる液体供給口１０３ｃと個別液室１０３ａとを連通させるものであって、インクを個別液室１０３ａにインクを供給する機能を有する。
【００２８】
また、流体抵抗部１０３ｂは、圧電素子１１２が駆動することで個別液室１０３ａに発生する圧力によるインクの逆流を防止してノズル１０２ａからのみインクが吐出されるようにする。そのため、個別液室１０３ａのインク流動方向の断面積が小さくなるように形成されていて、流体抵抗を高くすることでインクの逆流を防ぐ構造を備えている。個別液室基板１０３にシリコンを用いて、個別液室１０３ａと流体抵抗部１０３ｂをフォトリソグラフィ法とエッチング法を用いて形成した場合、個別液室１０３ａと同一の条件で加工できる。
【００２９】
個別液室１０３ａは隔壁により区画されており、それぞれに対応する圧電素子１１２が形成される。個別液室１０３ａの高さは、ヘッド特性から任意に設定できる。この場合、２０μｍ〜１００μｍの範囲とすることが好ましい。また、個別液室１０３ａの隔壁は、配列密度に合わせて任意に設定することが可能であるが、例えば、インクジェットヘッド１００を用いて形成される画像が３００ｄｐｉ（約８５μｍピッチ）の場合は、隔壁幅は１０μｍ〜３０μｍとすることが好ましい。また、隔壁幅が狭い場合は隣接する個別液室１０３ａの圧電素子１１２を駆動した場合に隣接液室間の相互干渉が発生する可能性がある。相互完了が発生すると、吐出ばらつきが大きくなる。隔壁幅を狭くする場合は、液室高さを低くすることで相互干渉を防ぐことができる。
【００３０】
個別液室基板１０３は、その素材（材料）として、所定の加工性や物性を備える任意のものを用いることができる。個別液室基板１０３に用いることができる素材としては、例えば、インクジェットヘッド１００を用いて形成される画像が３００ｄｐｉ（約８５μｍピッチ）以上のものとするならば、フォトリソグラフィ法を用いることができるシリコン基板が好ましい。個別液室１０３ａの加工は任意のものを用いることができるが、前述のフォトリソグラフィ法を用いる場合は、ウェットエッチング法、ドライエッチング法のいずれかを用いることができる。いずれの手法を用いても振動板１１１の個別液室１０３ａ側を二酸化シリコン膜等とすることで、エッチストップ層とできるため、液室高さを高精度に制御することができる。
【００３１】
個別液室１０３ａは、液体インクに圧力を加えることで、ノズル１０２ａからインクを液滴として吐出させる機能を有する。個別液室１０３ａの上壁部を形成する振動板１１１の上部には、圧電素子１１２が積層されている。圧電素子１１２は、下部電極１１５と圧電体と上部電極１１４が積層されて構成される。振動板１１１は任意のものを用いることができるが、シリコンや窒化物、酸化物、炭化物等の剛性の高い材料とすることが好ましい。また、これらの材料の積層構造としてもよい。積層膜とする場合は、引張応力となる窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）と圧縮応力となる二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を交互に積層し、応力緩和する構成が例として挙げられる。
【００３２】
また、下部電極１１５と上部電極１１４は、導電性のある任意の材料を用いることができる。これらに用いることができる素材は、例として、金属、合金、導電性化合物がある。これらの素材を単層膜とするもの、積層膜とするもの、いずれであっても、下部電極１１５と上部電極１１４に用いることができる。また、圧電素子１１２と反応したり、拡散したり、などが生じない材料を選定する必要があるため、安定性の高い材料を選定する必要がある。また、必要に応じて圧電素子１１２と振動板１１１との密着性を考慮して、密着層を形成してもよい。下部電極１１５と上部電極１１４の材料の例としては、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、イリジウム酸化物、パラジウム（Ｐｄ）、パラジウム酸化物等が安定性の高い材料として挙げられる。また、振動板１１１との密着層としては、チタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）、タングステン（Ｗ）、クロム（Ｃｒ）等が挙げられる。
【００３３】
圧電素子１１２に用いる圧電体の材料としては、圧電性を示す強誘電体材料を用いることができる。例えば、チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸バリウムが一般的である。圧電体の成膜方法は任意の手法を用いることができる。例えば、スパッタリング法、ゾルゲル法などがある。その中で、成膜温度の低さからゾルゲル法が好ましい。上部電極１１４と圧電体は個別液室１０３ａごとにパターニングする必要がある。パターニングは通常のフォトリソグラフィ法を用いることができる。また、圧電体の成膜をゾルゲル法にて行う場合は、スピンコーティング法や印刷法を用いることもできる。圧電素子１１２は個別液室１０３ａの上部に形成される必要がある。
【００３４】
配列した圧電素子１１２に駆動信号を入力するための配線は、上部電極１１４から個別配線を引き出して、下部電極１１５から配線を引き出すように構成する。上部電極１１４は配線層の一部である個別配線を介して接続パッドに接続される。駆動信号を制御するための駆動ＩＣは、駆動回路部材１１３の回路基板上に配置され、接続パッドに接続される。したがって、接続パッドを介して駆動ＩＣから上部電極１１４まで配線される。配線は、同一材料、同一工程で形成することが望ましい。配線材料としては、抵抗値の低い金属、合金、導電性材料を用いることができる。また、上部電極１１４や下部電極１１５とコンタクト抵抗が低い材料を用いることが必要である。例えば、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）、銅（Ｃｕ）、クロム（Ｃｒ）などである。
【００３５】
なお、コンタクト抵抗を低減するために、これらの材料の積層構造としてもよい。コンタクト抵抗を下げる材料としては、任意の導電性化合物を用いてもよい。例えば、五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、窒化チタン（ＴｉＮ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化インジウム（ＩＩＩ）（Ｉｎ２Ｏ３）、酸化スズ（ＩＩ）（ＳｎＯ）など酸化物，窒化物およびその複合化合物が挙げられる。膜厚は任意に設定できるが、３μｍ以下とすることが好ましい。また、成膜には真空成膜法等の膜厚均一性が高い成膜方法を採用することが好ましい。  
【００３６】
保持基板１０４は、個別液室基板１０３の上面に配置されている。この保持基板１０４には、圧電素子１１２に対応する位置に凹部１０４ａが形成されている。この凹部１０４ａは圧電素子１１２を囲う位置に形成されている。保持基板１０４はフレーム２２（図２参照）へ液体供給口を連通する保持基板開口部１１６が形成されている。凹部１０４ａは、圧電素子１１２を駆動により振動板１１１が変位できる空間を確保するためものである。
【００３７】
個別液室基板１０３は、その厚みは２０μｍ〜１００μｍと薄いため、個別液室基板１０３の剛性を確保するために保持基板１０４をノズル基板１０２と対向する側に接合する。保持基板１０４の材料は、任意の材料を用いることができるが、個別液室基板１０３の反りを防止するために熱膨張係数の近い材料を選定する。そのためガラス、シリコン、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、ジルコニア（ＺｒＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）等のセラミックス材料とすることが好ましい。保持基板１０４は、個別液室１０３ａの配列方向に連通した開口部を有している。この開口部が、共通液室１０５の一部となる。
【００３８】
保持基板１０４の凹部１０４ａは、個別液室１０３ａごとに区画して形成され、個別液室１０３ａの隔壁上で接合されることが好ましい。凹部１０４ａの接合により、板厚の薄い個別液室基板１０３の剛性を高めることができる。これによって、圧電素子１１２を駆動した際の隣接液室間の相互干渉を低減できる。そのためには、保持基板１０４は樹脂などの低剛性材料ではなく、シリコンなどの高剛性材料が好ましい。また、保持基板１０４の凹部１０４ａは、個別液室１０３ａごとに区画されるため、高密度化のためには高度な加工精度が要求される。そこで、３００ｄｐｉヘッドにおいては、保持基板１０４の隔壁幅を５〜２０μｍとすることが望ましい。
【００３９】
次に、インクジェットヘッド１００が備えるノズルカバー３０１とフレーム２２との係合構造について、より詳細に説明する。図４は、本実施形態に係るインクジェットヘッド１００の断面図であって、（ａ）はフレーム２２の短手方向に沿う断面図、（ｂ）はフレーム２２の長手方向に沿う断面図である。なお、図４は、インクジェットヘッド１００の内部構造の詳細を省略し、外形を形成する輪郭部分のみを図示している。
【００４０】
図４（ａ）に示すように、フレーム２２は、長手方向の壁面に、第一係合部を構成するフレーム側係合部３０５が形成されている。本実施形態に係るフレーム側係合部３０５は、複数の凸部からなり、その形状は、壁面の高さ方向において鋸歯状になっている。この鋸歯状の凸部である突起は、数μｍ〜数百μｍ間隔で形成されている。
【００４１】
図４（ｂ）に示すように、フレーム側係合部３０５は、フレーム２２の長手方向の両端の付近において、高さ方向に複数並んで形成されている。この長手方向における長さが、１ｍｍ〜数ｍｍの範囲であることが望ましい。なお、図４（ｂ）では、フレーム２２の長手方向の端部のそれぞれにおいて計二カ所にフレーム側係合部３０５が形成されているが、長手方向の中間位置にも形成されてもよい。その場合、後述するように、ノズルカバー側の係合部もフレーム側係合部３０５の位置に合うように形成されればよい。
【００４２】
ノズルカバー３０１には、第二係合部を構成するカバー側係合部３０２が形成されている。カバー側係合部３０２は、例えば、フレーム側係合部３０５の突起が引っかかるように形成された角穴である。カバー側係合部３０２は、フレーム側係合部３０５の形成位置に合致する位置に形成されている。
【００４３】
ノズルカバー３０１には、フレーム２２に嵌着されたときノズル１０２ａに対向する面に、開口部３０４が形成されている。開口部３０４によって、ノズル１０２ａは露出する。
【００４４】
本実施形態に係るノズルカバー３０１の外形を図９に示す。ノズルカバー３０１は、一枚の金属製の薄板を部材として一体に形成された部材であって、薄板の端部が折り曲げられた状態になっていて、ノズルカバー３０１の上方に開口部を形成している。ノズルカバー３０１の各側面は、底面から略鉛直方向に立っていて、開口部を形成する端部に至る途中でノズルカバー３０１の内側に向けて折り曲げられている。この折り曲げ部よりも上方であって底面から所定の高さ方向にある部分は、ノズルカバー３０１の外側に向けて折り曲げられている。その結果、各側面（壁面）の上方の端部は、それぞれがノズルカバー３０１の外側に向かうようになっていて、上部の開口が広がった状態になっている。すなわち、ノズルカバー３０１の壁面の一部であって、上部開口に近い部分は、縦断面形状が略Ｖ字状であって、略Ｖ字状の頂点はノズルカバー３０１の内側に凹んだ部分に相当する。図９に示すように、このＶ字形状になっている部分の近傍に第二係合部が形成されている。
【００４５】
ノズルカバー３０１の底面部には、既に説明したとおり、ノズル１０２ａに対向する開口部３０４が形成されている。ノズルカバー３０１には、カバー側係合部３０２が形成されている。カバー側係合部３０２は、フレーム側係合部３０５の断面形状が鋸歯状の突起に係合可能なように、角穴の穴部として形成されている。カバー側係合部３０２は、一側面の複数箇所、例えば長手方向の端部付近のそれぞれ二箇所に形成されている。なお、カバー側係合部３０２は、ノズルカバー３０１の両側面に形成されている。ノズルカバー３０１の上部の開口部分の面積は、フレーム２２の底面の面積と略同等か、これよりも狭くなっている。ノズルカバー３０１をフレーム２２の底面側から上方に向けて押し込むように被せると、フレーム側係合部３０５に沿って外側に開口寸法が拡張される。その後、所定の位置でフレーム２２に係合する。
【００４６】
ノズルカバー３０１をフレーム２２に係合させるときの状態の変化について、図５を用いて説明する。図５（ａ）は、フレーム２２に嵌合する前のノズルカバー３０１の初期状態を例示している。図５（ｂ）は、フレーム２２に嵌合するときのノズルカバー３０１の反り状態を例示している。図５（ｂ）に示すようにノズルカバー３０１は、上部の開口部分の開口寸法がフレーム２２の外周寸法に応じて広がるように弾性を有する部品である。ノズルカバー３０１の側面の一部はＶ字状になっていて、上方の開口部分よりも内側に凹んでいるので、この凹み部分がフレームの外壁に当たって、ノズルカバー３０１の上部の開口部分を外側に押し広げて拡張される。ノズルカバー３０１は長方体の上面が開口している略箱体として一体に形成されていて、素材は、可撓性を有する金属である。そのため、上面の開口部分を拡張するように変化させると、底面にある開口部３０４が上方に反る状態になる。開口部３０４の対向する位置にはインクジェットヘッド１００のノズル面がある。ノズルカバー３０１の反りによって、ノズルカバー３０１とノズル面がより密着するようになる。
【００４７】
図４に戻る。フレーム側係合部３０５を構成する各突起は、下方から上方に向かって外側への突出量が増加する傾斜部分と、外側に向かって一定の長さをもって突出した部分を頂点としてフレーム２２の壁面に連なる平面部分からなる。したがって、ノズルカバー３０１を下方から上方に押し込むと、カバー側係合部３０２の形成位置よりも更に上部の部分がフレーム側係合部３０５の斜め方向上方に向かう面に沿いながら外側に向かうので、ノズルカバー３０１の上部の開口は外側に向かって拡張される。一定の高さまで押し込まれると、フレーム側係合部３０５の平面部に沿ってフレーム２２の外壁方向にカバー側係合部３０２が移動する。このとき、フレーム側係合部３０５の突起の一つにカバー側係合部３０２が引っかかる状態になり係合する。その後更にノズルカバー３０１をフレーム２２に押し込むと、より高い位置にあるフレーム側係合部３０５にカバー側係合部３０２が係合する。これによって、インクジェットヘッド１００のノズル面とノズルカバー３０１との隙間が小さくなっている状態でノズルカバー３０１を固定することができる。
【００４８】
以上の構成を備えるインクジェットヘッド１００によれば、ノズルカバー３０１をフレーム２２に確実に装着でき、かつノズル面とノズルカバー３０１との間の隙間を、所望の記録媒体の厚さ以下に設定することができる。
【００４９】
次に、インクジェットヘッド１００が備えるノズルカバー３０１とフレーム２２との係合構造の別の実施形態について説明する。図６も、本実施形態に係るインクジェットヘッド１００の断面図であって、フレーム２２とノズルカバー３０１の輪郭を図示し、詳細な内部構造は省略している。図６（ａ）はフレーム２２の短手方向に沿う断面図、図６（ｂ）はフレーム２２の長手方向に沿う断面図である。本実施形態に係るフレーム２２は、壁面の一部に形成される第一係合部としてのフレーム側係合部３０６が、フレーム２２の壁面を内側に凹ませた凹部として形成されている。フレーム側係合部３０６を構成する凹部は複数形成されていて、全体的に鋸状の部分を形成している。
【００５０】
図６（ａ）に示すように、フレーム側係合部３０６は、フレーム２２の外面に形成されていて、高さ方向において鋸歯状の形状を有する複数の突起である。この突起は、数μｍ〜数百μｍ間隔で形成されている。なお、フレーム側係合部３０５は、１ｍｍ〜数ｍｍの範囲にわたって設けられていることが望ましい。
【００５１】
図６（ｂ）に示すように、フレーム側係合部３０６は、フレーム２２の長手方向の端部付近において、高さ方向に複数並んで形成されている。この長手方向における長さは、１ｍｍ〜数ｍｍの範囲であることが望ましい。なお、図６（ｂ）では、フレーム２２の長手方向の端部のそれぞれにおいて計二カ所にフレーム側係合部３０６が形成されているが、長手方向の中間位置にも形成されてもよい。その場合、ヘッドカバー側の係合部もフレーム側係合部３０６の位置に合うように形成されればよい。
【００５２】
先に説明をしたフレーム側係合部３０５との違いは、フレーム２２の壁面の一部を内側に複数凹ませて、凹みと凹みの間を鋸歯状の突起として形成していることである。この突起は、フレーム２２の外壁面よりも外側には及ばないように形成されている。したがって、ノズルカバー３０１を下方から上方に荷押し上げて嵌合させるときに、ノズルカバー３０１の上方の開口が拡張されることなく、嵌合した後においてもノズルカバー３０１の周壁が外側に拡張されることがない。したがって、インクジェットヘッド１００の外形を小さくすることができ、複数のインクジェットヘッド１００を並べて用いるときの組み付け性が向上できる。また、そのユニット全体を小型にできる。
【００５３】
次に、インクジェットヘッド１００が備えるノズルカバー３０１とフレーム２２との係合構造について、別の実施形態について説明する。図７も、本実施形態に係るインクジェットヘッド１００の断面図であって、フレーム２２とノズルカバー３０１の輪郭を図示し、詳細な内部構造は省略している。本実施形態は、フレーム２２が備えるフレーム側係合部３０３が、フレーム２２の外壁の一部を外側に突出させた一つの突起（爪）から形成されている。
【００５４】
また、本実施形態に係るカバー側係合部３０７は、ノズルカバー３０１の所定の高さ位置に形成される角穴ではなく、高さ方向の異なる位置に形成された長尺かつ複数のスリット状部によって形成されている。
【００５５】
ノズルカバー３０１をフレーム２２の底面側から上部の開口部を押し込むように被せると、フレーム側係合部３０３の突起に沿ってノズルカバー３０１のＶ字形状部分が外側に押されて、ノズルカバー３０１の上面の開口が拡張される。ノズルカバー３０１が上方に押し込まれると、所定の位置にあるカバー側係合部３０７のいずれかのスリットのうち、より低い位置にあるスリット（カバー側係合部３０７）にフレーム側係合部３０５が係合する。これによって、インクジェットヘッド１００のノズル面とノズルカバー３０１との隙間が小さくなっている状態でノズルカバー３０１を固定することができる。本実施形態に係るノズルカバー３０１が備えるカバー側係合部３０７は、ノズルカバー３０１の長手方向の両側に形成されている。
【００５６】
カバー側係合部３０７は、フレーム２２のフレーム側係合部３０３といずれかの位置で係合できるものであればよいので、ノズルカバー３０１の長手方向の全長に至るぐらいの長さをもって形成されてもよい。また、カバー側係合部３０７は、図８に示すように、長手方向の一部であってフレーム側係合部３０３が形成されている位置に対向する位置に形成されればよい。カバー側係合部３０７は、複数のスリット状の部分から形成されている。このスリットのいずれかにフレーム側係合部３０３が入れば、ノズルカバー３０１とフレーム２２は係合される。複数のスリットは高さ方向に並んで複数形成されているので、いずれかの高さ位置にあるスリットにフレーム側係合部３０３が係合することで、ノズルカバー３０１の高さ調整が容易にできる。
【００５７】
以上の構成を備えるインクジェットヘッド１００によれば、ノズルカバー３０１をフレーム２２に確実に嵌着でき、かつノズル面とノズルカバー３０１との間の隙間を、所望の記録媒体の厚さ以下に設定し、またはノズル面とノズルカバー３０１とを密着させることができる。
【００５８】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１０及び図１１を参照して説明する。図１０は同装置の要部平面説明図、図１１は同装置の要部側面説明図である。
【００５９】
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【００６０】
このキャリッジ４０３には、本発明の実施形態に係るインクジェットヘッド１００及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０のインクジェットヘッド１００は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、インクジェットヘッド１００は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【００６１】
インクジェットヘッド１００の外部に貯留されている液体をインクジェットヘッド１００に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
【００６２】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
【００６３】
この装置は、記録媒体としての用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【００６４】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着してインクジェットヘッド１００に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【００６５】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【００６６】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方にインクジェットヘッド１００の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【００６７】
維持回復機構４２０は、例えばインクジェットヘッド１００のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパー部材４２２などで構成されている。
【００６８】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【００６９】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【００７０】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じてインクジェットヘッド１００を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。
【００７１】
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【００７２】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの実施形態について図１２を参照して説明する。図１２は同ユニットの要部平面説明図である。
【００７３】
この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、インクジェットヘッド１００で構成されている。
【００７４】
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【００７５】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１３を参照して説明する。図１３は同ユニットの正面説明図である。
【００７６】
この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられたインクジェットヘッド１００と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【００７７】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部にはインクジェットヘッド１００と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【００７８】
本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【００７９】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【００８０】
例えば、「液体を吐出する装置」として、液体を吐出させて媒体に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【００８１】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【００８２】
上記「液体が付着可能もの」とは液体が一時的にでも付着可能なものを意味する。「液体が付着するもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【００８３】
また、「液体」は、インク、処理液、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液なども含まれる。
【００８４】
また、「液体を吐出する装置」には、特に限定しない限り、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置のいずれも含まれる。
【００８５】
また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズル１０２ａを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【００８６】
「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【００８７】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていてもよい。
【００８８】
例えば、液体吐出ユニットとして、図１１で示した液体吐出ユニット４４０のように、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【００８９】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【００９０】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、図１２で示したように、液体吐出ユニットとして、インクジェットヘッド１００とキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【００９１】
また、液体吐出ユニットとして、インクジェットヘッド１００が取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、インクジェットヘッド１００とキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【００９２】
また、液体吐出ユニットとして、図１３で示したように、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。
【００９３】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【００９４】
また、「液体吐出ヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ（積層型圧電素子を使用するものでもよい。）以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。
【００９５】
また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【００９６】
１０      ：画像形成装置
１１      ：装置本体
１２      ：機構部
１３      ：キャリッジ
１４      ：インクカートリッジ
２２      ：フレーム
２４      ：供給口
２５      ：個別液室形成基板
１００    ：インクジェットヘッド
１０２    ：ノズル基板
１０２ａ  ：ノズル
１０３    ：個別液室基板
１０３ａ  ：個別液室
１０３ｂ  ：流体抵抗部
１０３ｃ  ：液体供給口
１０４    ：保持基板
１０４ａ  ：凹部
１０５    ：共通液室
１０６    ：ダンパー
１０７    ：プレート
１０８    ：バッファ室
１１１    ：振動板
１１２    ：圧電素子
１１３    ：駆動回路部材
１１４    ：上部電極
１１５    ：下部電極
１１６    ：保持基板開口部
２０１    ：供給部品
３０１    ：ノズルカバー
３０２    ：カバー側係合部
３０３    ：フレーム側係合部
３０４    ：開口部
３０５    ：フレーム側係合部
３０６    ：フレーム側係合部
３０７    ：カバー側係合部
【先行技術文献】
【特許文献】
【００９７】
【特許文献１】特開２０１５−１５０６８７号公報
【図１】
2019142097.tif 000003
【図２】
2019142097.tif 000004
【図３】
2019142097.tif 000005
【図４】
2019142097.tif 000006
【図５】
2019142097.tif 000007
【図６】
2019142097.tif 000008
【図７】
2019142097.tif 000009
【図８】
2019142097.tif 000010
【図９】
2019142097.tif 000011
【図１０】
2019142097.tif 000012
【図１１】
2019142097.tif 000013
【図１２】
2019142097.tif 000014
【図１３】
2019142097.tif 000015