(57)【要約】【課題】複数枚の透光性板材の配置角度を正確に検査することを可能にする光学素子の検査方法を提供する。【解決手段】光学素子として機能させる際の入射光Ｌ0に対して所定の角度で傾斜させ、かつ間隔を空けて配置された、複数枚の平行な２つの平面２ａ、２ａを有する透光性板材２を備える光学素子１を検査する方法であって、検査対象の透光性板材２の２つの平面２ａ、２ｂのうちの一方の平面２ｂ側に遮光部材７を配置し、他方の平面２ａ側から光学センサ６を用いて、透光性板材２の配置角度を検査する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子として機能させる際の入射光に対して所定の角度で傾斜させ、かつ間隔を空けて配置された、複数枚の平行な２つの平面を有する透光性板材を備える光学素子を検査する方法であって、
検査対象の前記透光性板材の前記２つの平面のうちの一方の平面側に遮光部材を配置し、他方の平面側から光学センサを用いて、前記透光性板材の配置角度を検査する工程を具備する光学素子の検査方法。
【請求項２】
前記検査する工程で、前記複数枚の透光性板材を直立状態にした場合の仮想水平面に対する前記平面の仰俯角、および前記平面の入射光に対する角度から選ばれる少なくとも１つを前記透光性板材の配置角度として測定する、請求項１に記載の光学素子の検査方法。
【請求項３】
前記複数枚の透光性板材の隣接する前記透光性板材より順に突出する一方の端部の、前記一方の平面側が遮光部材で遮られた前記他方の平面に、前記光学センサから測定光を順に照射することによって、前記複数枚の透光性板材の配置角度を順に検査する、請求項１または請求項２に記載の光学素子の検査方法。
【請求項４】
前記遮光部材は、前記検査対象の透光性板材と前記一方の平面側に隣接する前記透光性板材との間に差し込まれる、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の光学素子の検査方法。
【請求項５】
前記複数枚の透光性板材は、前記２つの平面のうちの少なくとも一方の平面に設けられた機能性光学膜を有する、請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の光学素子の検査方法。
【請求項６】
前記光学センサとして、レーザオートコリメータを用いる、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の光学素子の検査方法。
【請求項７】
複数枚の平行な２つの平面を有する透光性板材を用意する工程と、
前記複数枚の透光性板材を、光学素子として機能させる際の入射光に対して所定の角度で傾斜させ、かつ間隔を空けて整列させる工程と、
前記整列させた複数枚の透光性板材を固定する工程と、
前記固定された複数枚の透光性板材のうち、検査対象の前記透光性板材の前記２つの平面のうちの一方の平面側に遮光部材を配置し、他方の平面側から光学センサを用いて、前記透光性板材の配置角度を検査する工程と
を具備する光学素子の製造方法。
【請求項８】
複数枚の平行な２つの平面を有する透光性板材を用意する工程と、
前記複数枚の透光性板材を、光学素子として機能させる際の入射光に対して所定の角度で傾斜させ、かつ間隔を空けて整列させる工程と、
前記整列された複数枚の透光性板材のうち、検査対象の前記透光性板材の前記２つの平面のうちの一方の平面側に遮光部材を配置し、他方の平面側から光学センサを用いて、前記透光性板材の配置角度を検査する工程と、
前記検査する工程で良品と判断された前記複数枚の透光性板材を固定する工程と
を具備する光学素子の製造方法。
【請求項９】
前記検査する工程で、前記複数枚の透光性板材を直立状態にした場合の仮想水平面に対する前記平面の仰俯角、および前記平面の入射光に対する角度から選ばれる少なくとも１つを前記透光性板材の配置角度として測定する、請求項７または請求項８に記載の光学素子の製造方法。
【請求項１０】
前記検査する工程で、前記複数枚の透光性板材の隣接する前記透光性板材より順に突出する一方の端部の、前記一方の平面側が遮光部材で遮られた前記他方の平面に、前記光学センサから測定光を順に照射することによって、前記複数枚の透光性板材の配置角度を順に検査する、請求項７ないし請求項９のいずれか１項に記載の光学素子の製造方法。
【請求項１１】
前記検査する工程で、前記光学センサとしてレーザオートコリメータを用いる、請求項７ないし請求項１０のいずれか１項に記載の光学素子の製造方法。
【請求項１２】
前記複数枚の透光性板材は、前記２つの平面のうちの少なくとも一方の平面に設けられた機能性光学膜を有する、請求項７ないし請求項１１のいずれか１項に記載の光学素子の製造方法。
【請求項１３】
前記検査する工程または前記固定する工程を経た前記複数枚の透光性板材を切断する工程を、さらに具備する請求項７ないし請求項１２のいずれか１項に記載の光学素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子の検査方法および光学素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、入射光に対して所定の角度をなすように配置された、複数枚の透光性板材を備える光学素子が知られている。例えば、液晶プロジェクタ等の投影型映像装置の光学エンジン内には、光源から出射されたランダムな偏光を有する光（入射光）を分割や偏光等することによって、１種類の直線偏光光を出射光として出射するために、入射光に対して所定の角度をなすように複数枚の透光性板材を配置すると共に、複数枚の透光性板材の入射面や出射面となる平行な２つの平面もしくはそのうちの１つの平面に、偏光分離膜や反射膜等を形成した偏光変換素子が搭載されている（特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１には、複数の透光性板材を接着剤により貼り合せた偏光変換素子において、接着剤の劣化により寿命特性に悪影響を及ぼしたり、また劣化を抑制した接着剤を使用した場合においても、接着面への塵やゴミ等の付着により光学特性や接合信頼性等が低下するという問題が生じることから、偏光分離膜や反射膜等を形成した複数の透光性板材を基材上に離間させて配置した偏光変換素子が記載されている。複数の透光性板材は、例えば基材の表面に設けられた凹部に嵌合したり、また基材の表面に設けられたガイド溝に沿って差し込むことによって、基材に取り付けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２４７７０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した偏光変換素子のような光学素子においては、複数の透光性板材の入射光に対して配置された角度や複数の透光性板材の入射面や出射面となる平面の基材表面に対する角度（傾斜角）等の配置角度がずれると、出射光の角度が想定からずれることによって、所望の特性が得られないことがある。複数の透光性板材の基材に対する取り付け方法としては、上述したように凹部への嵌合やガイド溝への差し込み等が考えられるが、いずれの取り付け方法を適用した場合においても、全ての透光性板材が所望の精度で取り付けられる補償はない。そこで、入射光に対して所定の角度をなすように配置された、複数枚の透光性板材を備える光学素子を検査するにあたって、複数枚の透光性板材の配置角度を正確に検査することを可能にする検査方法が求められている。
【０００６】
本発明は、複数枚の透光性板材の配置角度を正確に検査することを可能にする光学素子の検査方法、および複数枚の透光性板材を正確な配置角度で配置することを可能にする光学素子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、以下に示す［１］〜［６］の構成を有する光学素子の検査方法、および［７］〜［１３］の構成を有する光学素子の製造方法を提供するものである。
【０００８】
［１］  光学素子として機能させる際の入射光に対して所定の角度で傾斜させ、かつ間隔を空けて配置された、複数枚の平行な２つの平面を有する透光性板材を備える光学素子を検査する方法であって、
検査対象の前記透光性板材の前記２つの平面のうちの一方の平面側に遮光部材を配置し、他方の平面側から光学センサを用いて、前記透光性板材の配置角度を検査する工程を具備する光学素子の検査方法。
［２］  前記検査する工程で、前記複数枚の透光性板材を直立状態にした場合の仮想水平面に対する前記平面の仰俯角、および前記平面の入射光に対する角度から選ばれる少なくとも１つを前記透光性板材の配置角度として測定する、［１］に記載の光学素子の検査方法。
［３］  前記複数枚の透光性板材の隣接する前記透光性板材より順に突出する一方の端部の、前記一方の平面側が遮光部材で遮られた前記他方の平面に、前記光学センサから測定光を順に照射することによって、前記複数枚の透光性板材の配置角度を順に検査する、［１］または［２］に記載の光学素子の検査方法。
［４］  前記遮光部材は、前記検査対象の透光性板材と前記一方の平面側に隣接する前記透光性板材との間に差し込まれる、［１］〜［３］のいずれかに記載の光学素子の検査方法。
［５］  前記複数枚の透光性板材は、前記２つの平面のうちの少なくとも一方の平面に設けられた機能性光学膜を有する、［１］〜［４］のいずれかに記載の光学素子の検査方法。
［６］  前記光学センサとして、レーザオートコリメータを用いる、［１］〜［５］のいずれかに記載の光学素子の検査方法。
【０００９】
［７］  複数枚の平行な２つの平面を有する透光性板材を用意する工程と、
前記複数枚の透光性板材を、光学素子として機能させる際の入射光に対して所定の角度で傾斜させ、かつ間隔を空けて整列させる工程と、
前記整列させた複数枚の透光性板材を固定する工程と、
前記固定された複数枚の透光性板材のうち、検査対象の前記透光性板材の前記２つの平面のうちの一方の平面側に遮光部材を配置し、他方の平面側から光学センサを用いて、前記透光性板材の配置角度を検査する工程と
を具備する光学素子の製造方法。
［８］  複数枚の平行な２つの平面を有する透光性板材を用意する工程と、
前記複数枚の透光性板材を、光学素子として機能させる際の入射光に対して所定の角度で傾斜させ、かつ間隔を空けて整列させる工程と、
前記整列された複数枚の透光性板材のうち、検査対象の前記透光性板材の前記２つの平面のうちの一方の平面側に遮光部材を配置し、他方の平面側から光学センサを用いて、前記透光性板材の配置角度を検査する工程と、
前記検査する工程で良品と判断された前記複数枚の透光性板材を固定する工程と
を具備する光学素子の製造方法。
［９］  前記検査する工程で、前記複数枚の透光性板材を直立状態にした場合の仮想水平面に対する前記平面の仰俯角、および前記平面の入射光に対する角度から選ばれる少なくとも１つを前記透光性板材の配置角度として測定する、［７］または［８］に記載の光学素子の製造方法。
［１０］  前記検査する工程で、前記複数枚の透光性板材の隣接する前記透光性板材より順に突出する一方の端部の、前記一方の平面側が遮光部材で遮られた前記他方の平面に、前記光学センサから測定光を順に照射することによって、前記複数枚の透光性板材の配置角度を順に検査する、［７］〜［９］のいずれかに記載の光学素子の製造方法。
［１１］  前記検査する工程で、前記光学センサとしてレーザオートコリメータを用いる、［７］〜［１０］のいずれかに記載の光学素子の製造方法。
［１２］  前記複数枚の透光性板材は、前記２つの平面のうちの少なくとも一方の平面に設けられた機能性光学膜を有する、［７］〜［１１］のいずれかに記載の光学素子の製造方法。
［１３］  前記検査する工程または前記固定する工程を経た前記複数枚の透光性板材を切断する工程を、さらに具備する［７］〜［１２］のいずれかに記載の光学素子の製造方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の光学素子の検査方法によれば、複数枚の透光性板材の配置角度を正確に検査することができる。また、そのような検査方法を適用した光学素子の製造方法によれば、複数枚の透光性板材を正確な配置角度で配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態の光学素子の検査方法を説明するための平面図である。
【図２】図１に示す光学素子の検査方法で検査する透光性板材の配置角度の一例を示す断面図である。
【図３】図１に示す光学素子の検査方法で検査する透光性板材の配置角度の他の例を示す平面図である。
【図４】第２の実施形態の光学素子の製造方法を説明するための平面図である。
【図５】第３の実施形態の光学素子の製造方法を説明するための平面図である。
【図６】第４の実施形態の光学素子の製造方法を説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の光学素子の検査方法および製造方法の実施形態について説明する。
【００１３】
（第１の実施形態）
まず、本発明の光学素子の検査方法の実施形態について、図１ないし図３を参照して説明する。図１は実施形態の光学素子の検査方法に基づいて、光学素子１の検査を実施している状態を示す平面図である。図１に示す光学素子１は、複数枚の透光性板材２、２…を備えている。検査対象の光学素子１は、Ｘ−Ｙ方向に移動可能なステージ３上に載置されている。複数枚の透光性板材２は、それぞれ平行な２つの平面２ａ、２ｂを有している。これら２つの平面２ａ、２ｂは、複数枚の透光性板材２を光学素子１として機能させる際の入射光の入射面や出射光の出射面として機能するものである。
【００１４】
透光性板材２としては、例えばソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス等のガラス材が用いられるが、これに限られるものではない。透光性板材２は、透明な樹脂材等であってもよい。図１に示す透光性板材２は、平面２ａに設けられた機能性光学膜４を有しているが、これに限られるものではない。機能性光学膜４としては、例えば反射膜、偏光膜、選択的透過膜、分離膜、フィルタ膜等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。光学素子１としては、反射素子、偏光素子、選択的透過素子、分離素子、フィルタ素子、これらを組み合わせた素子等が例示されるが、これらに限定されない。
【００１５】
複数枚の透光性板材２は、光学素子１として機能させる際に想定される入射光Ｌ0に対して所定の角度Ａで傾斜させ、かつ間隔を空けて平行に配置されている。図１に示す光学素子１において、複数枚の透光性板材２は基板５上に配置されている。基板５としては、例えば光学素子１を構成する際に複数枚の透光性板材２を支持するガラス基板のような支持基板が挙げられるが、これに限定されるものではない。基板５としては、ガラス基板以外に、金属板、樹脂板、これらの複合材を用いることができる。また、基板５の形状は、複数枚の透光性板材２を配置できるようであれば、板状に限定されるものではない。後述する光学素子の製造方法の実施形態に示すように、光学素子１の製造工程において、複数枚の透光性板材２を仮固定する仮固定基板であってもよい。すなわち、複数枚の透光性板材２を仮固定基板５上に整列させ、その際の整列状態を検査した後に、検査した状態の複数枚の透光性板材２を支持基板上に固定することによって、複数枚の透光性板材２を備える光学素子を製造することができる。検査対象の光学素子１は、複数枚の透光性板材２を具備するものであればよい。
【００１６】
複数枚の透光性板材２は、平面２ａ、２ｂが想定入射光Ｌ0に対して入射面や出射面として機能するように、２つの平行な平面２ａ、２ｂを入射光Ｌ0に対して所定の角度Ａで傾斜させつつ、仮想水平面に対して直交させて配置される。平面２ａ、２ｂの入射光Ｌ0に対する角度Ａは、特に限定されるものではなく、光学素子１の構成や機能に応じて適宜に設定されるものである。また、上述したように基板５が光学素子１を構成する際の支持基板５である場合には、支持基板５の表面５ａが複数枚の透光性板材２の設置面となるため、仮想水平面は支持基板５の表面５ａとなる。従って、複数枚の透光性板材２は、平面２ａ、２ｂが支持基板５の表面５ａに対して直交するように、支持基板５上に直立させた状態で設置される。基板５が複数枚の透光性板材２の仮固定基板５である場合には、複数枚の透光性板材２は別途支持基板に固定されるため、仮固定基板５の表面５ａは複数枚の透光性板材３を直立状態にした場合の仮想水平面となり、この仮想水平面５ａに対して平面２ａ、２ｂが直交するように、複数枚の透光性板材２が配置される。
【００１７】
光学素子１の検査工程は、以下のようにして実施される。光学素子１の検査工程においては、複数枚の透光性板材２の配置角度が検査される。透光性板材２の配置角度としては、図２に示すように、透光性板材２の平面２ａ、２ｂの基板５の表面５ａに対する角度Ｂや、図３に示すように、透光性板材２の平面２ａ、２ｂの入射光Ｌ0に対する角度Ａが挙げられる。これらの角度Ａ、Ｂが想定される角度がずれていると、光学素子１として所望の特性が得られなくなる。このため、角度Ａ、Ｂが想定される角度になっているか、もしくは想定角度の許容範囲内に入っているかどうかを検査する。
【００１８】
角度Ｂに関しては、透光性板材２は平面２ａ、２ｂが支持基板の表面に対して直交するように設置させるため、基板５が光学素子１を構成する際の支持基板５である場合には、基板５の表面５ａに対する平面２ａ、２ｂの角度（仰俯角）が９０°もしくはその許容範囲内であるかどうかを検査する。また、基板５が透光性板材２の仮固定基板５である場合においても、複数の透光性板材２は基板５に対して直立した状態を維持して支持基板に固定されるため、基板５の表面５ａを仮想水平面と仮定して、基板５の表面５ａに対する平面２ａ、２ｂの角度（仰俯角）が９０°もしくはその許容範囲内であるかどうかを検査する。角度Ａに関しては、想定入射光Ｌ0に対する平面２ａ、２ｂの角度が想定角度もしくはその許容範囲内であるかどうかを検査する。
【００１９】
上記した角度Ａ、Ｂの検査を実施するにあたって、複数の透光性板材２は間隔を空けて傾斜して配置されているため、検査対象となる透光性板材２の少なくとも一方の端部は隣接する透光性板材２より突出している。すなわち、検査対象となる透光性板材２の平面２ａの一部は、隣接する透光性板材２に遮られることなく露出している。このため、隣接する透光性板材２から露出する検査対象の透光性板材２の平面２ａを利用し、この露出した平面に検査光（測定光）を照射することによって、光学的に角度Ａ、Ｂを検査することができる。具体的には、図１に示すように、隣接する透光性板材２から露出する検査対象の透光性板材２の平面２ａに対して、光学センサ６から測定光Ｌ1を照射することによって、平面２ａの角度Ａ、Ｂの検査等を実施する。
【００２０】
光学センサ６としては、例えばレーザオートコリメータが挙げられる。レーザオートコリメータ６は、所定の波長を有する測定光（測定ビーム）Ｌ1を検査対象物に照射し、検査対象物からの反射光Ｌ2の角度から検査対象物の傾き等を検査するものである。角度Ｂを検査する場合には、図２に示すように、レーザオートコリメータ６から測定光（測定ビーム）Ｌ1を透光性板材２の平面２ａに照射し、平面２ａからの反射光Ｌ2の垂直方向（上下方向）の角度を測定することによって、透光性板材２の基板５の表面５ａに対する仰俯角を求めることができる。また、角度Ａを検査する場合には、図３に示すように、レーザオートコリメータ６から測定光（測定ビーム）Ｌ1を透光性板材２の平面２ａに照射し、平面２ａからの反射光Ｌ2の平面方向（左右方向）の角度を測定することによって、透光性板材２の想定入射光Ｌ0に対する角度を求めることができる。光学センサ６は、基板５等が載置される検査ステージに位置や角度が補償された状態で固定される。
【００２１】
上述した角度Ａ、Ｂの検査工程において、複数の透光性板材２は間隔を空けて配置されているため、検査対象の透光性板材２の背面側には隣接する透光性板材２が存在する。検査対象の透光性板材２に単にレーザオートコリメータ６から測定光Ｌ1を照射しただけでは、背面側に隣接する透光性板材２からの反射光がノイズとなり、正確な測定を実施することができない。そこで、角度Ａ、Ｂの検査工程は、検査対象の透光性板材２の背面側に、具体的には検査対象の透光性板材２と背面側に隣接する透光性板材２との間に、遮光部材７を差し込んだ状態で、検査対象の透光性板材２にレーザオートコリメータ６から測定光Ｌ1を照射して実施する。隣接する透光性板材２からの反射光によるノイズを遮光部材７で遮断することができるため、検査対象の透光性板材２の角度Ａや角度Ｂをより正確に検査することができる。遮光部材７には、レーザオートコリメータ６から照射される測定光Ｌ1の反射を防いで吸光するような表面を有する部材を用いることが好ましい。
【００２２】
複数の透光性板材２の角度Ａ、Ｂの検査を実施するにあたっては、光学素子１が載置されたステージ３または光学センサ６をＸ−Ｙ方向に動かすと共に、ステージ３または光学センサ６の動作に連動させて遮光部材７を移動させる。すなわち、複数の透光性板材２の背面側に遮光部材７を順に移動させ、遮光部材７が背面側に移動された透光性板材２に対して光学センサ６から測定光Ｌ1を照射することによって、複数の透光性板材２の角度Ａや角度Ｂを順に測定する。ステージ３または光学センサ６の移動と遮光部材７の移動を連動させることによって、光学素子１における複数の透光性板材２の検査を自動的に実施することができる。このような複数の透光性板材２の検査工程において、角度Ａおよび角度Ｂの測定はレーザオートコリメータ等の光学センサ６の構成等に基づいて、同時に実施してもよいし、別々に実施してもよい。
【００２３】
角度Ａ、Ｂの検査工程を実施するにあたって、透光性板材２が機能性光学膜４を有する場合には、レーザオートコリメータ６から照射される測定光Ｌ1として、機能性光学膜４の反射率が０．５％以上になる波長を有するレーザ光を使用することが好ましい。これによって、角度Ａ、Ｂの測定をより正確に実施することができる。反射率が０．５％未満になる波長を有するレーザ光を使用すると、光学センサ６にて受光する光の強度が弱く、信号が微弱となるため、正確な測定ができないおそれがある。また、機能性光学膜４として特定の波長の光の反射を抑制する反射防止膜を用いることがあるが、この際にも反射率が０．５％以上になる波長を有するレーザ光を使用することで、角度Ａ、Ｂの測定をより正確に実施することができる。ただし、複数の透光性板材２の検査工程は、機能性光学膜４を有する透光性板材２の検査に限られるものではない。複数の透光性板材２が機能性光学膜４を有しない場合であっても、透光性板材２の平面２ａで測定光Ｌ1をある程度の反射率で反射させることができるため、角度Ａ、Ｂの検査工程を実施することができる。この場合、透光性板材２の表面（平面２ａ）での反射率を考慮して、測定光Ｌ1としてのレーザ光等の波長を選択することが好ましい。
【００２４】
上述したように、実施形態の検査方法においては、複数枚の透光性板材２を備える光学素子を検査するにあたって、検査対象の透光性板材２の背面側に遮光部材７を配置した状態で、検査対象の透光性板材２にレーザオートコリメータ等の光学センサ６から測定光Ｌ1を照射して、透光性板材２の配置角度の検査を実施している。従って、隣接する透光性板材２からの反射光によるノイズの影響を受けることなく、検査対象の透光性板材２の配置角度、具体的には仮想水平面に対する平面２ａ、２ｂの仰俯角Ａや想定入射光Ｌ0に対する平面２ａ、２ｂの角度Ａを正確にかつ迅速に測定することができる。このようにして、透光性板材２の配置角度が想定する角度内である光学素子１を良品として判定することによって、所望の特性を有する光学素子１を確実に提供することができる。
【００２５】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態として、光学素子の製造方法の一実施形態について図４を参照して説明する。第２の実施形態による光学素子の製造方法においては、図４に示すように、光学素子１を構成する支持基板５上に複数の透光性板材２を所定の位置に固定した後に、前述した透光性板材２の検査工程を実施する。すなわち、まず複数枚の平行な２つの平面２ａ、２ｂを有する透光性板材２を用意する。透光性板材２の構成は、前述した通りであり、２つの平面２ａ、２ｂの少なくとも一方に機能性光学膜が設けられていてもよい。複数枚の透光性板材２を支持基板５の表面５ａ上に想定入射光Ｌ0に対して所定の角度Ａで傾斜させ、かつ間隔を空けて整列し、整列させた複数枚の透光性板材２を支持基板５に固定する。透光性板材２の固定には、例えば光硬化型接着剤のような接着剤を用いたり、支持基板５に設けられた凹部への嵌合やガイド溝への差し込み等が適用される。
【００２６】
支持基板５の表面５ａ上に固定された複数枚の透光性板材２に対して、支持基板５の表面５ａに対する平面２ａ、２ｂの仰俯角Ｂや想定入射光Ｌ0に対する平面２ａ、２ｂの角度Ａ等の配置角度の検査工程を実施する。透光性板材２の検査工程は、前述した第１の実施形態で詳述したように、検査対象の透光性板材２の背面側に遮光部材を配置した状態で、検査対象の透光性板材２に光学センサから測定光を照射することにより実施する。具体的な検査工程は、第１の実施形態で詳述した通りである。支持基板５の表面５ａ上に固定された複数枚の透光性板材２の検査を実施し、複数枚の透光性板材２が正確な位置や角度で固定されている光学素子１を良品として判断することによって、所望の特性を有する光学素子１を確実に提供することができる。検査後の光学素子１は、最終的な素子形状を有するものに限らず、複数個の素子に対応する素子形状を有していてもよい。このような場合、検査後に必要形状に切断や加工を施して光学素子１を製造することができる。
【００２７】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態として、光学素子の製造方法の他の実施形態について図５を参照して説明する。第３の実施形態による光学素子の製造方法においては、図５に示すように、仮固定基板１１上に複数枚の透光性板材２を所定の位置に整列させ、この状態の透光性板材２の検査工程を実施した後に、正確な位置や角度で整列されている複数枚の透光性板材２をその状態を維持したまま支持基板に固定する。すなわち、まず第２の実施形態と同様に、複数枚の平行な２つの平面２ａ、２ｂを有する透光性板材２を用意する。透光性板材２の構成は、前述した通りであり、２つの平面２ａ、２ｂの少なくとも一方に機能性光学膜が設けられていてもよい。
【００２８】
複数枚の透光性板材２を仮固定基板１１上に整列させる。図５に示す仮固定基板１１は、表面１１ａに設けられた透光性板材２の仮固定具を有している。すなわち、仮固定基板１１の表面１１ａには、複数枚の透光性板材２の整列形状に応じて設けられた複数の押し当てピン１２と、押し当てピン１２に押し当てられた透光性板材２に押圧力を加えて直立させる板バネ等の押圧部材１３とを備えている。これら押し当てピン１２と押圧部材１３との組み合わせは、仮固定基板１１上に整列させる透光性板材２の枚数に応じて配置されており、また複数枚の透光性板材２の整列形状、すなわち配置間隔や配置角度に応じて設けられている。このような仮固定基板１１上に複数枚の透光性板材２を整列させ、押し当てピン１２と押圧部材１３とにより仮固定する。仮固定された透光性板材２は、押し当てピン１２と押圧部材１３とによって、所望の配置間隔や配置角度で整列されるが、仮固定具の精度等により多少の配置誤差の発生は避けられない。
【００２９】
そこで、図５に示すように、仮固定基板１１上に整列された複数の透光性板材２の検査を実施し、複数枚の透光性板材２が正確な位置や角度で整列されているかどうかを判定する。すなわち、前述した第１の実施形態で説明した検査工程と同様に、検査対象となる透光性板材２の平面２ａの一部は、隣接する透光性板材２に遮られることなく露出しているため、検査対象の透光性板材２と背面側に隣接する透光性板材２との間に遮光部材７を差し込んだ状態で、隣接する透光性板材２から露出する検査対象の透光性板材２の平面２ａに対して光学センサ６から測定光Ｌ1を照射し、平面２ａからの反射光Ｌ2の角度を測定することによって、透光性板材２の仮固定基板１１の表面（仮想水平面）１１ａに対する仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度の検査等を実施する。
【００３０】
上記した検査工程において、複数の透光性板材２の仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度が想定する角度範囲内であるものは良品と判定され、その後の支持基板への固定工程に送られる。また、複数の透光性板材２の仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度が想定する角度範囲から外れたものであっても、複数の透光性板材２は仮固定されているだけであるため、透光性板材２の仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度を再調整することができる。これらの角度が再調整された複数の透光性板材２は、再度検査工程が実施され、良品と判定されたものは、その後の支持基板への固定工程に送られる。
【００３１】
複数の透光性板材２の支持基板への固定工程においては、検査工程で良品と判定された複数の透光性板材２の配置角度や直立状態を維持しつつ、複数の透光性板材２の上方に支持基板を接着する。これによって、複数の透光性板材２の仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度が想定する角度範囲内である光学素子１、すなわち所望の特性を有する光学素子１をより確実に製造することができる。また、支持基板に固定された複数の透光性板材２の形状が複数個の素子に対応している場合には、支持基板への固定後に必要形状に切断や加工を施して光学素子１を製造する。
【００３２】
第３の実施形態においては、複数の透光性板材２を仮固定した状態で検査しているため、良品のみを支持基板への固定工程に送ることができる。さらに、複数の透光性板材２の仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度が不良と判定されたものについては、透光性板材２の仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度を再調整し、不良品の発生を抑制することができる。従って、光学素子１の歩留まりを高めることができ、所望の特性を有する光学素子１を低コストで製造することができる。
【００３３】
（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態として、光学素子の製造方法の他の実施形態について図６を参照して説明する。第４の実施形態による光学素子の製造方法においては、第３の実施形態と同様に、仮固定基板１１上に複数枚の透光性板材２を所定の位置に整列させ、この状態の透光性板材２の検査工程を実施した後に、正確な位置や角度で整列されている複数枚の透光性板材２をその状態を維持したまま支持基板に固定する。すなわち、まず第２の実施形態と同様に、複数枚の平行な２つの平面２ａ、２ｂを有する透光性板材２を用意する。透光性板材２の構成は、前述した通りであり、２つの平面２ａ、２ｂの少なくとも一方に機能性光学膜が設けられていてもよい。
【００３４】
複数枚の透光性板材２を仮固定基板１１上に整列させる。複数枚の透光性板材２は、仮固定基板１１に対してワックスのような位置修正が可能な仮固定材を用いて仮固定される。次いで、図６に示すように、仮固定基板１１上に整列された複数の透光性板材２の検査を実施し、複数枚の透光性板材２が正確な位置や角度で整列されているかどうかを判定する。すなわち、前述した第１の実施形態で説明した検査工程と同様に、検査対象となる透光性板材２の平面２ａの一部は、隣接する透光性板材２に遮られることなく露出しているため、検査対象の透光性板材２と背面側に隣接する透光性板材２との間に遮光部材７を差し込んだ状態で、隣接する透光性板材２から露出する検査対象の透光性板材２の平面２ａに対して光学センサ６から測定光Ｌ1を照射し、平面２ａからの反射光Ｌ2の角度を測定することによって、透光性板材２の仮固定基板５の表面（仮想水平面）５ａに対する仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度の検査等を実施する。
【００３５】
上記した検査工程において、複数の透光性板材２の仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度が想定する角度範囲内であるものは良品と判定され、その後の支持基板への固定工程に送られる。また、複数の透光性板材２の仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度が想定する角度範囲から外れたものであっても、複数の透光性板材２は仮固定されているだけであるため、透光性板材２の仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度を再調整することができる。これらの角度が再調整された複数の透光性板材２は、再度検査工程が実施され、良品と判定されたものは、その後の支持基板への固定工程に送られる。
【００３６】
複数の透光性板材２の支持基板への固定工程においては、検査工程で良品と判定された複数の透光性板材２の配置角度や直立状態を維持しつつ、複数の透光性板材２の上方に支持基板を接着する。これによって、複数の透光性板材２の仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度が想定する角度範囲内である光学素子１、すなわち所望の特性を有する光学素子１をより確実に製造することができる。また、支持基板に固定された複数の透光性板材２の形状が複数個の素子に対応している場合には、支持基板への固定後に必要形状に切断や加工を施して光学素子１を製造する。
【００３７】
第４の実施形態においては、第３の実施形態と同様に、複数の透光性板材２を仮固定した状態で検査しているため、良品のみを支持基板への固定工程に送ることができる。さらに、複数の透光性板材２の仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度が不良と判定されたものについては、透光性板材２の仰俯角や想定入射光Ｌ0に対する角度を再調整し、不良品の発生を抑制することができる。従って、光学素子１の歩留まりを高めることができ、所望の特性を有する光学素子１を低コストで製造することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明の光学素子の検査方法は、各種光学素子の複数枚の透光性板材の配置角度の検査に有用であり、光学素子が所望の特性を有しているかどうかを正確に検査することができる。また、本発明の光学素子の製造方法は、複数枚の透光性板材を正確な配置角度で配置することができるため、各種光学素子の製造に有用である。
【符号の説明】
【００３９】
１…光学素子、２…透光性板材、２ａ，２ｂ…平面、４…機能性光学膜、５…基板、５ａ…表面、６…光学センサ、７…遮光部材、Ｌ0…入射光、Ｌ1…測定光、Ｌ2…反射光。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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