(57)【要約】【課題】真空ポンプシステムにおけるセンサの異常を検出する。【解決手段】真空ポンプシステムは、第１の真空ポンプに設けられた第１のセンサ群と、第１のセンサ群と同一のセンサ群であって第２の真空ポンプに設けられた第２のセンサ群と、第１及び第２のセンサ群と同一のセンサ群であって第３の真空ポンプに設けられた第３のセンサ群と、を備える。さらに、真空ポンプシステムは、第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて第１、第２、及び第３の真空ポンプのそれぞれの運転を制御する制御部を備える。そして、制御部は、第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、第１のセンサ群における第１センサの推定測定値を算出し、第１のセンサ群における第１センサによる測定値と推定測定値とを比較することにより、第１のセンサ群における前記第１センサの異常を検出する。【選択図】図３
2019148176.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の真空チャンバに接続された第１の真空ポンプと、
第２の真空チャンバに接続された第２の真空ポンプと、
第３の真空チャンバに接続された第３の真空ポンプと、
前記第１の真空ポンプに設けられた第１のセンサ群と、
前記第１のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第２の真空ポンプに設けられた第２のセンサ群と、
前記第１及び第２のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第３の真空ポンプに設けられた第３のセンサ群と、
前記第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて前記第１、第２、及び第３の真空ポンプのそれぞれの運転を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第１のセンサ群における第１センサの推定測定値を算出し、前記第１のセンサ群における前記第１センサによる測定値と前記推定測定値とを比較することにより、前記第１のセンサ群における前記第１センサの異常を検出する、
真空ポンプシステム。
【請求項２】
前記制御部は、前記第１のセンサ群における前記第１センサの異常を検出したときには、前記第１の真空ポンプの運転を前記推定測定値に基づいて制御する、
請求項１に記載の真空ポンプシステム。
【請求項３】
前記第１、第２、及び第３のセンサ群のそれぞれは、前記第１、第２、及び第３の真空ポンプの第１状態値を測定する第１センサと、当該第１、第２、及び第３の真空ポンプの第２状態値を測定する第２センサと、を含み、
前記制御部は、前記第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第１のセンサ群における前記第１センサの推定測定値と前記第２センサの推定測定値とを算出し、前記第１のセンサ群における前記第１センサによる測定値と当該第１センサの推定測定値との差が第１閾値以上であり、且つ、前記第１センサ群における前記第２センサによる測定値と当該第２センサの推定測定値との差が第２閾値未満であるときに、前記第１センサ群における前記第１センサの異常を検出する、
請求項１または２に記載の真空ポンプシステム。
【請求項４】
前記第１、第２、及び第３のセンサ群のそれぞれは、前記第１、第２、及び第３の真空ポンプの第１状態値を測定する第１センサと、当該第１、第２、及び第３の真空ポンプの第２状態値を測定する第２センサと、を含み、
前記制御部は、前記第１、第２、及び第３のセンサ群における前記第１センサによる測定値に基づいて前記第１のセンサ群における前記第１センサの推定測定値を算出するとともに、前記第１、第２、及び第３のセンサ群における前記第２センサによる測定値に基づいて前記第１センサ群における前記第１センサの推定測定値を補正する、
請求項１から３の何れか１項に記載の真空ポンプシステム。
【請求項５】
前記第１、第２、及び第３の真空ポンプは、所定の繰り返しパターンでそれぞれに運転し、
前記制御部は、前記第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて前記第１、第２、及び第３の真空ポンプごとの前記繰り返しパターンにおける特定タイミングを特定し、前記第１、第２、及び第３のセンサ群のそれぞれによる前記特定タイミングからの測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第１のセンサ群における前記第１センサの前記特定タイミングからの推定測定値を算出する、
請求項１から４の何れか１項に記載の真空ポンプシステム。
【請求項６】
前記第１、第２、及び第３のセンサ群のそれぞれは、真空ポンプの本体を駆動するモータに流れる電流を測定する電流センサと、前記真空ポンプまたは当該真空ポンプに接続される配管の振動を測定する振動センサと、前記真空ポンプの本体、前記モータ、または前記真空ポンプを冷却する冷却媒体の温度を測定する第１温度センサと、前記真空ポンプに吸い込まれる流体の温度を測定する第２温度センサと、前記真空ポンプに吸い込まれる流体の流量を測定する第１流量センサと、前記真空ポンプに吸い込まれる流体の圧力を測定する圧力センサと、前記冷却媒体の温度を測定する第３温度センサと、前記冷却媒体の流量を測定する第２流量センサと、前記制御部または前記モータに印加される電圧を測定する電圧センサと、の少なくとも１つを含む、
請求項１から５の何れか１項に記載の真空ポンプシステム。
【請求項７】
前記第１、第２、及び第３の真空ポンプのそれぞれは、封止のために窒素が供給されるドライ真空ポンプであり、
前記第１、第２、及び第３のセンサ群のそれぞれは、前記窒素の供給流量を測定する窒素流量センサと、前記窒素の圧力を測定する窒素圧力センサと、の少なくとも１つを含む、
請求項１から６の何れか１項に記載の真空ポンプシステム。
【請求項８】
前記制御部は、前記第１、第２、及び第３の真空ポンプのそれぞれに対応して設けられている第１、第２、及び第３の制御ユニットと、前記第１、第２、及び第３の制御ユニットと通信可能に構成された制御装置と、を備える、
請求項１から７の何れか１項に記載の真空ポンプシステム。
【請求項９】
前記制御部は、前記第１センサの異常を検出したときに当該異常を外部に報知する、
請求項１から８の何れか１項に記載の真空ポンプシステム。
【請求項１０】
真空ポンプシステムにおける制御方法であって、
前記真空ポンプシステムは、
第１の真空チャンバに接続された第１の真空ポンプと、
第２の真空チャンバに接続された第２の真空ポンプと、
第３の真空チャンバに接続された第３の真空ポンプと、
前記第１の真空ポンプに設けられた第１のセンサ群と、
前記第１のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第２の真空ポンプに設けられた第２のセンサ群と、
前記第１及び第２のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第３の真空ポンプに設けられた第３のセンサ群と、を備えており、
前記制御方法は、
前記第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて前記第１、第２、及び第３の真空ポンプのそれぞれの運転を制御する制御ステップと、
前記第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第１のセンサ群における第１センサの推定測定値を算出し、前記第１のセンサ群における前記第１センサによる測定値と前記推定測定値とを比較することにより、前記第１のセンサ群における前記第１センサの異常を検出する異常検出ステップと、
を含む真空ポンプシステムの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプシステム、および真空ポンプシステムの制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空ポンプシステムは、例えば、半導体、液晶ディスプレイ、太陽光パネル、およびＬＥＤ等の製造設備の一つとして広く使用されている。また、従来、真空ポンプシステムでは、複数の対象物を並列して処理できるように、複数の処理チャンバに複数の真空ポンプがそれぞれに接続された構成が採用される（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
一般的に、それぞれの真空ポンプには各種センサが具備され、各種センサによって測定された測定値を制御部が監視する。制御部は、各種センサによる測定値に異常が認められた場合には、表示または信号等によって異常を外部に報知し、さらに、測定値の異常が真空ポンプの運転を停止すべきものと判断したときには、真空ポンプを強制停止させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−２２７６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記したように、真空ポンプの異常は、各種センサによる測定値に基づいて判断される。このため、センサ、またはセンサから制御部への配線等に異常が生じた場合には、真空ポンプが適正に運転されていても、真空ポンプの異常が報知されたり、真空ポンプの運転が強制停止されたりしてしまう。真空ポンプは、製造設備の一部として構成されており、真空ポンプが強制停止して排気が停止してしまうと、製造製品に損傷が生じ、莫大な費用と時間の損失となる。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、真空ポンプシステムにおけるセンサの異常を検出することを目的の１つとする。また、本発明は、センサの異常が検出された場合にも真空ポンプの運転を適切に継続させることを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（形態１）形態１によれば、真空ポンプシステムが提案され、前記真空ポンプシステムは、第１の真空チャンバに接続された第１の真空ポンプと、第２の真空チャンバに接続された第２の真空ポンプと、第３の真空チャンバに接続された第３の真空ポンプと、前記第１の真空ポンプに設けられた第１のセンサ群と、前記第１のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第２の真空ポンプに設けられた第２のセンサ群と、前記第１及び第２のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第３の真空ポンプに設けられた第３のセンサ群と、前記第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて前記第１、第２、及び第３の真空ポンプのそれぞれの運転を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第１のセンサ群における第１センサの推定測定値を算出し、前記第１のセンサ群における前記第１センサによる測定値と前記推定測定値とを比較することにより、前記第１のセンサ群における前記第１センサの異常を検出。形態１によれば、複数の真空ポンプのそれぞれに設けられた複数のセンサ群による測定値に基づいて第１センサの異常を検出することができる。
【０００８】
（形態２）形態２によれば、形態１による真空ポンプシステムにおいて、前記制御部は、前記第１のセンサ群における前記第１センサの異常を検出したときには、前記第１の真空ポンプの運転を前記推定測定値に基づいて制御する。形態２によれば、第１センサの異常が検出された場合にも、真空ポンプの運転を適切に継続させることができる。
【０００９】
（形態３）形態３によれば、形態１または２による真空ポンプシステムにおいて、前記第１、第２、及び第３のセンサ群のそれぞれは、前記第１、第２、及び第３の真空ポンプの第１状態値を測定する第１センサと、当該第１、第２、及び第３の真空ポンプの第２状態値を測定する第２センサと、を含み、前記制御部は、前記第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第１のセンサ群における前記第１センサの推定測定値と前記第２センサの推定測定値とを算出し、前記第１のセンサ群における前記第１センサによる測定値と当該第１センサの推定測定値との差が第１閾値以上であり、且つ、前記第１センサ群における前記第２センサによる測定値と当該第２センサの推定測定値との差が第２閾値未満であるときに、前記第１センサ群における前記第１センサの異常を検出する。
【００１０】
（形態４）形態４によれば、形態１から３の何れか１つによる真空ポンプシステムにおいて、前記第１、第２、及び第３のセンサ群のそれぞれは、前記第１、第２、及び第３の真空ポンプの第１状態値を測定する第１センサと、当該第１、第２、及び第３の真空ポンプの第２状態値を測定する第２センサと、を含み、前記制御部は、前記第１、第２、及び第３のセンサ群における前記第１センサによる測定値に基づいて前記第１のセンサ群における前記第１センサの推定測定値を算出するとともに、前記第１、第２、及び第３のセンサ群における前記第２センサによる測定値に基づいて前記第１センサ群における前記第１センサの推定測定値を補正する。形態４によれば、第１センサの推定測定値をより適正に算出することができ、第１センサの異常をより適正に検出することができる。
【００１１】
（形態５）形態５によれば、形態１から４の何れか１つによる真空ポンプシステムにおいて、前記第１、第２、及び第３の真空ポンプは、所定の繰り返しパターンでそれぞれに運転し、前記制御部は、前記第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて前記第１、第２、及び第３の真空ポンプごとの前記繰り返しパターンにおける特定タイミングを特定し、前記第１、第２、及び第３のセンサ群のそれぞれによる前記特定タイミングからの測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第１のセンサ群における前記第１センサの前記特定タイミングからの推定測定値を算出する。形態５によれば、複数の真空ポンプが独立して運転されている場合に、より適正に特定センサの異常を検出することができる。
【００１２】
（形態６）形態６によれば、形態１から５の何れか１つによる真空ポンプシステムにおいて、前記第１、第２、及び第３のセンサ群のそれぞれは、真空ポンプの本体を駆動するモータに流れる電流を測定する電流センサと、前記真空ポンプまたは当該真空ポンプに接続される配管の振動を測定する振動センサと、前記真空ポンプの本体、前記モータ、または前記真空ポンプを冷却する冷却媒体の温度を測定する第１温度センサと、前記真空ポンプに吸い込まれる流体の温度を測定する第２温度センサと、前記真空ポンプに吸い込まれる流体の流量を測定する第１流量センサと、前記真空ポンプに吸い込まれる流体の圧力を測定する圧力センサと、前記冷却媒体の温度を測定する第３温度センサと、前記冷却媒体の流量を測定する第２流量センサと、前記制御部または前記モータに印加される電圧を測定する電圧センサと、の少なくとも１つを含む。
【００１３】
（形態７）形態７によれば、形態１から６の何れか１つによる真空ポンプシステムにおいて、前記第１、第２、及び第３の真空ポンプのそれぞれは、封止のために窒素が供給され
るドライ真空ポンプであり、前記第１、第２、及び第３のセンサ群のそれぞれは、前記窒素の供給流量を測定する窒素流量センサと、前記窒素の圧力を測定する窒素圧力センサと、の少なくとも１つを含む。
【００１４】
（形態８）形態８によれば、形態１から７の何れか１つによる真空ポンプシステムにおいて、前記制御部は、前記第１、第２、及び第３の真空ポンプのそれぞれに対応して設けられている第１、第２、及び第３の制御ユニットと、前記第１、第２、及び第３の制御ユニットと通信可能に構成された制御装置と、を備える。
【００１５】
（形態９）形態９によれば、形態１から８の何れか１つによる真空ポンプシステムにおいて、前記制御部は、前記第１センサの異常を検出したときに報知する。
【００１６】
（形態１０）請求項１０によれば、真空ポンプシステムにおける制御方法が提案され、前記真空ポンプシステムは、第１の真空チャンバに接続された第１の真空ポンプと、第２の真空チャンバに接続された第２の真空ポンプと、第３の真空チャンバに接続された第３の真空ポンプと、前記第１の真空ポンプに設けられた第１のセンサ群と、前記第１のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第２の真空ポンプに設けられた第２のセンサ群と、前記第１及び第２のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第３の真空ポンプに設けられた第３のセンサ群と、を備えており、前記制御方法は、前記第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて前記第１、第２、及び第３の真空ポンプのそれぞれの運転を制御する制御ステップと、前記第１、第２、及び第３のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第１のセンサ群における第１センサの推定測定値を算出し、前記第１のセンサ群における前記第１センサによる測定値と前記推定測定値とを比較することにより、前記第１のセンサ群における前記第１センサの異常を検出する異常検出ステップと、を含む。形態１０によれば、形態１による真空ポンプシステムと同様の効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係る真空ポンプシステムの構成の一例を示す図である。
【図２】図１の真空ポンプ装置の具体的な構成の一例を示す図である。
【図３】制御部によって実行される真空ポンプ制御処理の一例を示すフローチャートである。
【図４】製造装置によって処理チャンバに供給されるガス（ＧＡＳ１〜ＧＡＳ３）、モータに流れる電流（Ｃ１）、モータ温度（Ｔ２）、及び、真空ポンプ本体温度（Ｔ３）の変化の一例を示すタイムチャートである。
【図５】変形例における制御部によって実行される第１センサアラーム判定処理の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一の又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態に係る真空ポンプシステムの構成の一例を示す図である。この真空ポンプシステムは、一例として、ＣＶＤ装置、エッチング装置などの半導体デバイス製造装置に使用される複数（図１の例では３つ）の処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃ（第１〜第３の真空チャンバに相当する。）から処理ガスを排気するために使用される。処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃのそれぞれは、独立した空間を画定しており、それぞれ異なる処理を施すことができるように構成されている。
【００２０】
本実施形態では、真空ポンプ装置１０Ａ〜１０Ｃのそれぞれは、処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃに接続された真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃ（第１〜第３の真空ポンプに相当する。）を備えている。また、真空ポンプ装置１０Ａ〜１０Ｃは、真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃのそれぞれの状態を測定するセンサ群１４Ａ〜１４Ｃ（第１〜第３のセンサ群に相当する。）、及び、真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃのそれぞれの運転を制御する制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃ（第１〜第３の制御ユニットに相当する。）を備える。また、真空ポンプシステム１００は、制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃのそれぞれに無線または有線によって通信可能に接続された制御装置３０を備える。なお、本実施形態では、制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃ、及び制御装置３０が、制御部４０を構成する。
【００２１】
本実施形態では真空ポンプ装置１０Ａ〜１０Ｃのそれぞれは同一の構成である。以下、代表として真空ポンプ装置１０Ａについて詳細に説明する。図２は、図１の真空ポンプ装置１０Ａの具体的な構成の一例を模式的に示す図である。真空ポンプ装置１０Ａは、処理チャンバ２０Ａに接続された真空ポンプ１２Ａを備えている。真空ポンプ１２Ａは、真空ポンプ本体１２２と、真空ポンプ本体１２２に動力を提供するモータ１２４と、を備える。真空ポンプ装置１０Ａは、モータ１２４を制御するモータドライバ１８と、真空ポンプ装置１０Ａ全体を制御する制御ユニット１６Ａと、を備える。モータドライバ１８、及び制御ユニット１６Ａには、商用電源などの外部電源５０から電力が供給される（図２中、太い破線参照）。モータドライバ１８は、制御ユニット１６Ａからの制御指令に応じてモータ１２４に流れる電流を制御する。つまり、制御ユニット１６Ａは、モータドライバ１８を介して真空ポンプ１２Ａの運転を制御する。真空ポンプ１２Ａが運転されることによって処理チャンバ２０Ａから処理ガスが排気される（図２中、太線矢印）。
【００２２】
真空ポンプ１２Ａには、真空ポンプ１２Ａの冷却のために、外部の冷却媒体供給部５２から冷却媒体が供給されている（図２中、太線一点鎖線）。また、本実施形態では真空ポンプ１２Ａとしてドライ真空ポンプが採用されており、真空ポンプ１２Ａには、軸受け等の封止を確保するために、外部の窒素ガス供給部５４から窒素ガスが供給されている（図２中、太線二点鎖線）。ただし、こうした例に限定されず、真空ポンプ１２Ａとして種々の真空ポンプが採用されればよい。
【００２３】
真空ポンプ装置１０Ａには、真空ポンプ１２Ａの状態を測定するためのセンサ群（図１中、センサ群１４Ａ）が設けられている。本実施形態では、図２に示すように、真空ポンプ装置１０Ａは、真空ポンプ１２Ａのモータ１２４に流れる電流を測定する電流センサ１４１、及び真空ポンプ１２Ａに接続される配管（不図示）の振動を測定する振動センサ１４２、１４５を備えている。なお、振動センサ１４２、１４５は、真空ポンプ１２Ａの吸気側および排気側に接続される配管の振動を測定するものとしたが、真空ポンプ１２Ａの振動を測定するものでもよい。また、真空ポンプ装置１０Ａは、真空ポンプ本体１２２の温度を測定する温度センサ（第１温度センサ）１４３、モータ１２４の温度を測定する温度センサ（第１温度センサ）１４４、及び冷却媒体の温度を測定する温度センサ（第１温度センサ）１４９を備えている。さらに、真空ポンプ装置１０Ａは、真空ポンプ１２Ａに吸い込まれる気体（流体）の温度を測定する温度センサ（第２温度センサ）１４６、真空ポンプ１２Ａに吸い込まれる気体の流量を測定する流量センサ（第１流量センサ）１４７、及び真空ポンプ１２Ａに吸い込まれる気体の圧力を測定する圧力センサ１４８を備えている。また、真空ポンプ装置１０Ａは、冷却媒体の流量を測定する流量センサ（第２流量センサ）１５０、及び、制御ユニット１６Ａ又はモータ１２４に供給される電圧を測定する電圧センサ１５１を備える。さらに、真空ポンプ装置１０Ａは、窒素ガス供給部５２からの窒素ガスの供給流量を測定する流量センサ（窒素流量センサ）１５２、及び窒素ガスの圧力を測定する圧力センサ（窒素圧力センサ）１５３を備えている。これらのセンサ１４１〜１５３（センサ群１４Ａ）としては、公知のセンサが用いられればよい。センサ１
４１〜１５３による測定値は、制御ユニット１６Ａに入力される。
【００２４】
なお、図２に示すセンサ１４１〜１５３は一例であり、真空ポンプ１２Ａの状態を測定するセンサであれば如何なるものでもよい。つまり、真空ポンプ装置１０Ａは、センサ１４１〜１５３のうち、一部のセンサのみを有してもよいし、センサ１４１〜１５３に代えて、または加えて、他のセンサを備えていてもよい。
【００２５】
こうした真空ポンプシステム１００は、真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃを運転させることにより、処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃに負圧を提供して真空引きを行う。一例として、処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃが、図示しないＬＰ−ＣＶＤ装置にて使用される場合について説明する。この場合、ＬＰ−ＣＶＤ装置によって、ウエハ投入、真空引き、昇温、成膜（プロセスガス供給）、降温、大気圧復帰、ウエハ取り出しの各運転工程が処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃのそれぞれにおいて順次行われ、これらの運転工程が繰り返される。また、ＬＰ−ＣＶＤ装置は、処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃ内に付着した固形物を除去するために、定期的にクリーニングガスを処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃに供給する。ＬＰ−ＣＶＤ装置は、各運転工程の所定のタイミングで処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃに対応する制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃ、又は制御装置３０に信号を送信する。そして、制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃは、ＬＰ−ＣＶＤ装置、又は制御装置３０から信号が入力されると、真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃを起動し、センサ群１４Ａ〜１４Ｃ（センサ１４１〜１５３）による測定値に基づいて、真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃの運転を制御する。
【００２６】
次に、制御部４０（制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃ、及び制御装置３０）による真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃの運転制御についてより詳細に説明する。図３は、制御部４０によって実行される真空ポンプ制御処理の一例を示すフローチャートである。この真空ポンプ制御処理は、所定時間（例えば数秒など）ごとに繰り返し実行される。なお、図３では、代表として真空ポンプ１２Ａの運転を制御する場合の処理について示しているが、真空ポンプ１２Ｂ，１２Ｃの運転を制御する場合についても同様の処理が行われる。また、図３では、代表として、真空ポンプ１２Ａに設けられている或るセンサ（第１センサ）に異常が生じていないか否かが判定されているが、同様の処理によって任意のセンサに対して異常が生じていないか否かが判定されればよい。以下の説明では、真空ポンプ１２Ａを「第１の真空ポンプ」とし、第１の真空ポンプに設けられているセンサ群を「第１のセンサ群」として説明する。
【００２７】
真空ポンプ制御処理では、まず、制御装置３０が、複数の真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃのそれぞれに設けられたセンサ群１４Ａ〜１４Ｃによる測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣを取得する（Ｓ１０）。ここで、本実施形態では各センサ群１４Ａ〜１４Ｃは、複数のセンサ１４１〜１５３を備えており、測定値ＭｖＡのそれぞれは、複数のセンサ１４１〜１５３による測定値を含むものとする。つまり、例えば測定値ＭｖＡには、複数の測定値ＭｖＡ１，ＭｖＡ２…が含まれる。ただし、測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣには、真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃに設けられたセンサ群１４Ａ〜１４Ｃによる測定値がすべて含まれなくてもよく、一部のセンサによる測定値のみが含まれてもよい。Ｓ１０の処理は、一例として、制御装置３０が制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃへ測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣを送信するように要求信号を送信し、要求信号を受信した制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃが制御装置３０へ測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣを送信することにより実現することができる。ただし、こうした例に限定されず、制御装置３０は、制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃの図示しない記憶部にアクセスすることにより測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣを取得するものとしてもよい。また、制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃが所定期間（例えば数秒など）ごとに制御装置３０へ測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣを送信するものとしてもよい。
【００２８】
続いて、制御装置３０は、取得した測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣに基づいて、真空ポンプ１２
Ａ（第１の真空ポンプ）のセンサ群１４Ａ（第１のセンサ群）における推定測定値ＥＭｖＡを算出する（Ｓ１２）。ここで、上記したように、センサ群１４Ａは複数のセンサ１４１〜１５３を含んでおり、Ｓ１２の処理では、センサ群１４Ａの少なくとも１つのセンサにおける推定測定値が算出される。ただし、本実施形態では、センサ１４Ａのうちの第１センサに異常が生じているか否かを判定するために、センサ１４Ａのうちの第１センサの推定測定値ＥＭｖ１と、センサ１４Ａのうちの第２センサの推定測定値とが算出される。
【００２９】
一例として、真空ポンプ１２Ａに設けられた電流センサ１４１における推定測定値を算出する場合について説明する。本実施形態では、複数の処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃにて同様の製造装置による運転工程が行われることが想定されている。この場合、処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃに接続されている真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃは、同様の運転状態で運転される。つまり、第１の真空ポンプ１２Ａにおける第１のセンサ群１４Ａによる測定値ＭｖＡは、他の真空ポンプ１２Ｂ，１２Ｃのセンサ群１４Ｂ，１４Ｃによる測定値ＭｖＢ，ＭｖＣによる測定値と近い値を示す。このため、Ｓ１２の処理では、制御装置３０は、センサ群１４Ａ〜１４Ｃによる測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣに基づいて、第１のセンサ群１４Ａの推定測定値ＥＭｖＡを算出するのである。
【００３０】
第１のセンサ群１４Ａにおける第１センサとして、真空ポンプ１２Ａに設けられた電流センサ１４１の推定測定値ＥＭｖＡ１を算出する例を説明する。この場合には、一例として、真空ポンプ１２Ｂ，１２Ｃに設けられている電流センサ１４１による測定値ＭｖＢ１，ＭｖＣ１の平均値を、推定測定値ＥＭｖＡ１とすることができる。このように、第１のセンサ群１４Ａを除いたセンサ群１４Ｂ，１４Ｃによる測定値ＭｖＢ，ＭｖＣに基づいて第１のセンサ群１４Ａの推定測定値ＥＭｖＡを算出することにより、第１のセンサ群１４Ａに異常が生じている場合に異常な検出値が算出に反映されるのを防止することができ、適正に推定測定値ＥＭｖＡを算出することができる。ただし、こうした例に限定されず、第１のセンサ群１４Ａによる測定値ＭｖＡ１を含めて推定測定値ＥＭｖＡ１を算出してもよい。なお、推定測定値ＥＭｖＡ１の算出としては、ある時刻におけるセンサ群１４Ｂ，１４Ｃによる測定値ＭｖＢ，ＭｖＣを平均するものに限定されず、所定期間（例えば数秒など）の測定値ＭｖＢ，ＭｖＣの平均値を平均するなどとしてもよい。
【００３１】
また、複数の処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃにて同様の製造装置による運転工程が行われているものの、処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃによって開始時間がずらされて運転工程が行われる場合がある。こうした場合には、制御装置３０は、第１のセンサ群１４Ａの推定測定値ＥＭｖＡを算出するために、他のセンサ群１４Ａ〜１４Ｃによる測定値ＭｖＡ，ＭｖＢ，ＭｖＣのうち、それぞれの運転工程における同一タイミングの測定値を用いてもよい。たとえば、製造装置からの外部入力によって真空ポンプ１２Ａの運転・停止が制御されるような場合には、制御装置３０は、製造装置からの外部入力がなされるタイミングに基づいて、推定測定値ＥＭｖＡを算出するのに用いるタイミングを特定してもよい。
【００３２】
さらに、複数の処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃのそれぞれにて、同一の運転工程が繰り返し行われる場合には、真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃそれぞれ所定の繰り返しパターンで運転されることになる。こうした場合には、制御装置３０は、センサ群１４Ａ〜１４Ｃによる測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣに基づいて、繰り返しパターンにおける特定タイミングを特定してもよい。そして、特定したタイミングからのセンサ群１４Ａ〜１４Ｃによる測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣに基づいて、第１のセンサ群１４Ａによる特定タイミングからの推定測定値ＥＭｖＡを算出してもよい。
【００３３】
具体的な一例を説明する。図４は、製造装置によって処理チャンバに供給されるガス（ＧＡＳ１〜ＧＡＳ３）、モータに流れる電流（Ｃ１）、モータ温度（Ｔ２）、及び、真空ポンプ本体温度（Ｔ３）の変化の一例を示すタイムチャートである。なお、図４では、処
理チャンバ２０Ａ及び真空ポンプ１２Ａにおけるデータが上段に示され、処理チャンバ２０Ｂ及び真空ポンプ１２Ｂにおけるデータが中断に示され、処理チャンバ２０Ｃ及び真空ポンプ１２Ｃにおけるデータが下段に示されている。図示するように、処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃには、所定の繰り返しパターンでガスＧＡＳ１〜ＧＡＳ３が供給され、真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃの運転も所定の繰り返しパターンとなっている。ただし、処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃでは、所定の繰り返しパターンの開始タイミングが異なっている。こうした場合には、制御装置３０は、センサ群１４Ａ〜１４Ｃのそれぞれによる測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣ（Ｃ１，Ｔ２）に基づいて、繰り返しパターンにおける特定タイミングを特定する（図４に示す例では、時刻ｔｍＡ，ｔｍＢ，ｔｍＣ）。特定タイミングの特定としては、種々の方法が採用されればよく、例えば、何れかの測定値が所定値を超える、または下回るタイミングとすることができる。また、測定値に代えて、測定値の導関数が所定値を超える、または下回るタイミングを特定タイミングとして特定してもよい。さらに、２つ以上の測定値に基づいて特定タイミングを特定してもよい。なお、繰り返しパターンにおける特定タイミングを特定する場合、処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃに供給されるガスの流量に応じて、真空ポンプ１２Ａに吸い込まれる気体の流量が変化するため、流量センサ１４７による測定値に基づいて特定タイミングを特定することが好ましい。また、同様に、流量センサ１４７による測定値に代えて、または加えて、モータ１２４に流れる電流を測定する電流センサ１４１による測定値に基づいて特定タイミングを特定することが好ましい。
【００３４】
さらに、第１センサの推定測定値ＥＭｖＡ１を算出する際には、第１の真空ポンプ１２Ａのセンサ群１４Ａにおける他のセンサ（例えば、第２センサ）による測定値に基づいて推定測定値ＥＭｖＡ１を補正してもよい。これは、第１の真空ポンプ１２Ａの第１センサによる測定値ＭｖＡ１と第２センサによる測定値ＭｖＡ２とに相関が認められる場合に特に有効と考えられる。たとえば、窒素ガス５４から供給される窒素ガスは、圧力が小さいほど流量が小さくなり、圧力が大きいほど流量が大きくなる傾向がある。このため、真空ポンプ１２Ａの窒素ガス流量センサ１５２（第１センサ）の推定測定値ＥＭｖＡ１を算出する場合、制御装置３０は、まず、真空ポンプ１２Ｂ，１２Ｃの流量センサ１５２（第１センサ）による測定値ＭｖＢ１，ＭｖＣ１に基づいて、推定測定値ＥＭｖＡ１を算出する。そして、制御装置３０は、真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃの窒素ガス圧力センサ１５３（第２センサ）による測定値ＭｖＡ２〜ＭｖＣ２に基づいて、流量センサ１５２の推定測定値ＥＭｖＡ１を補正する。このときには、ＭｖＡ２が、ＭｖＢ２及びＭｖＣ２より小さいほど、推定測定値ＥＭｖＡ１が小さくなるように補正し、ＭｖＡ２が、ＭｖＢ２及びＭｖＣ２より大きいほど、推定測定値ＥＭｖＡ１が大きくなるように補正すればよい。この推定測定値ＥＭｖＡ１の補正については、予め実験等により定められた関係式などに基づいて行われればよい。また、第１センサの推定測定値ＥＭｖＡ１は、第２センサの推定測定値ＥＭｖＡ２と第１の真空ポンプ１２Ａの第２センサによる測定値との差に基づいて行われてもよい。このように、第１センサの推定測定値ＥＭｖＡ１を、第２センサによる測定値に基づいて補正することにより、第１センサの推定測定値ＥＭｖＡ１をより正確に算出することができる。
【００３５】
第１センサによる測定値ＭｖＡ１と第２センサによる測定値ＭｖＡ２とに相関が認められる例としては、窒素ガスの流量センサ１５２及び圧力センサ１５３に限定されるものではない。例えば、冷却媒体についても窒素ガスと同様に、圧力が小さいほど流量が小さくなり、圧力が大きいほど流量が大きくなる傾向がある。また、モータ１２４に流れる電流が大きいほど、冷却媒体、真空ポンプ本体１２２、及びモータ１２４の温度は高くなる傾向がある。さらに、真空ポンプ１２Ａが真空引きする気体の流量、真空ポンプ１２Ａの吸気側の振動、および、真空ポンプ１２Ａの吸気側の圧力は、何れか１つが小さいほど他の２つも小さく、何れか１つが大きいほど他の２つも大きい傾向がある。また、真空ポンプ１２Ａが真空引きする気体の流量が大きいほど、モータ１２４に流れる電流が大きくなる
傾向がある。ただし、こうした例に限定されず、第１センサの推定測定値ＥＭｖＡ１が、第２センサによる測定値に基づいて補正されればよい。
【００３６】
制御装置３０は、第１のセンサ群１４Ａの推定測定値ＥＭｖＡを算出すると、次に推定測定値ＥＭｖＡと第１のセンサ群１４Ａによる測定値とを比較することにより、第１のセンサ群１４Ａに異常が生じているか否かを判定する（Ｓ１４、Ｓ１５）。具体的には、第１のセンサ群１４Ａのうち、第１センサについて推定測定値ＥＭｖＡ１と測定値ＭｖＡ１との差が第１閾値α１未満であるときには（Ｓ１４：Ｙｅｓ）、制御装置３０は、第１センサが正常であると判断する。この場合には、制御ユニット１６Ａは、測定値ＭｖＡ１を含めた第１のセンサ群１４による測定値ＭｖＡに基づいて第１の真空ポンプ１２Ａの運転を制御する（Ｓ１６）。ここで、第１閾値α１は、第１センサとして採用されたセンサごとに定められればよく、実験等により予め定めた値が用いられればよい。
【００３７】
一方、第１センサについて推定測定値ＥＭｖＡ１と測定値ＭｖＡ１との差が第１閾値α１以上であるときには（Ｓ１４：Ｎｏ）、続いて第２センサの推定測定値ＥＭｖＡ２と測定値ＭｖＡ２とを比較する（Ｓ１５）。ここで、第２センサは、第１センサと測定値に相関が認められるセンサなど、予め定められたセンサが採用されることが好ましい。また、第２閾値α２についても、第１閾値α１と同様に、第２センサとして採用されたセンサごとに定められればよく、実験などにより予め定められた値が用いられればよい。そして、第２センサの推定測定値ＥＭｖＡ２と測定値ＭｖＡとの差が第２閾値α２以上であるときには（Ｓ１５：Ｙｅｓ）、制御装置３０は、第１センサが正常であると判断する。この場合にも、制御ユニット１６Ａは、測定値ＭｖＡ１を含めた第１のセンサ群１４Ａによる測定値ＭｖＡに基づいて第１の真空ポンプ１２Ａの運転を制御する（Ｓ１６）。ただし、いまは、第１の真空ポンプ１２Ａの第１センサ及び第２センサにて推定測定値と異なる測定値が得られているため、制御ユニット１６Ａは、処理チャンバ２０Ａまたは真空ポンプ装置１０Ａの異常を報知し、必要に応じて真空ポンプ１２Ａの運転を強制停止することが好ましい。
【００３８】
第１センサについて推定測定値ＥＭｖＡ１と測定値ＭｖＡ１との差が第１閾値α１以上であり（Ｓ１４：Ｎｏ）、且つ、第２センサについて推定測定値ＥＭｖＡ２と測定値ＭｖＡ２との差が第２閾値α２未満であるときには（Ｓ１５：Ｙｅｓ）、制御装置３０は、第１のセンサ群１４Ａにおける第１センサの異常を検出する。このときには、制御装置３０は、第１センサに異常が生じていることを、図示しない画面への表示、ブザーの吹鳴、または、外部に信号を送信することなどによって外部に報知する（Ｓ１８）。これにより、ユーザーは、真空ポンプ装置１０Ａのセンサ群１４Ａ（第１センサ）に異常が生じていることを認識できる。そして、この場合には、制御ユニット１６Ａは、第１センサについては測定値ＭｖＡ１に代えて推定測定値ＥＭｖＡ１を用いて、第１の真空ポンプ１２Ａの運転を制御する。なお、この場合には、第１のセンサ群１４Ａのうち第１センサ以外の他のセンサについても推定測定値ＥＭｖＡを使用して、第１の真空ポンプ１２Ａの運転を制御してもよい。
【００３９】
このように本実施形態の真空ポンプシステム１０では、複数の真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃのそれぞれに設けられているセンサ群１４Ａ〜１４Ｃの測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣに基づいて、第１の真空ポンプの第１センサの推定測定値を算出する。そして、第１センサによる測定値と推定測定値とが比較されることにより第１センサの異常が検出されるため、第１センサに異常が生じたために真空ポンプが強制停止されることを抑制できる。しかも、実施形態の真空ポンプシステム１０は、第１センサの異常を検出したときには第１の真空ポンプの運転を推定測定値に基づいて制御する。これにより、対象真空ポンプの運転をより適性に制御することができる。
【００４０】
また、本実施形態では、複数のドライ真空ポンプより、実測定値と、他のセンサ測定値からの推定値を算出し、この差異が大きいポンプを発見することで異常と判定するが、この判定は、ポンプが２台である場合いずれのデータが正であるか判断できない。そこで３台以上のポンプにより判定を行っている。これにより、対象真空ポンプの運転をより適性に制御することができる。
お手数ですが、添付の図を参考に実施例を一つ増やしてください。
これは、本システムでは各センサがそれぞれアラーム値を持っており、そのアラーム値を超えた場合にポンプまたはセンサの異常と判断するものです。
【００４１】
（変形例）
図５は、変形例における制御部によって実行される第１センサアラーム判定処理の一例を示すフローチャートである。この処理は、実施形態で説明した真空ポンプ制御処理に代えて制御部４０により所定時間毎に実行される。第１センサアラーム判定処理は、第１の真空ポンプにおける第１センサのアラーム（異常）を判定する処理であり、当該判定に基づいた第１の真空ポンプの制御については省略している。なお、図５では、代表として、真空ポンプ１２Ａ（第１の真空ポンプ）に設けられている或るセンサ（第１センサ）のアラームが判定されているが、同様の処理によって任意のセンサのアラームが判定されればよい。
【００４２】
第１センサアラーム判定処理では、制御部４０は、まず、上記した図３の真空ポンプ制御処理と同様に、センサ群１４Ａ〜１４Ｃによる測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣを取得し（Ｓ１０）、測定値ＭｖＡ〜ＭｖＣに基づいて第１のセンサ群１４Ａにおけるセンサの推定測定値ＭｖＡを算出する（Ｓ１２）。続いて、制御部４０は、第１センサによる測定値ＭｖＡ１をアラーム閾値ＳｖＡ１と比較する（Ｓ２４）。ここで、アラーム閾値ＳｖＡ１は、第１の真空ポンプ装置１０Ａの運転における不具合を判定するために予め定められた閾値であり、第１センサとして採用されたセンサごとに実験等により予め定めた値が用いられればよい。
【００４３】
第１センサによる測定値ＭｖＡ１がアラーム閾値ＳｖＡ１より大きいときには（Ｓ２４：Ｙｅｓ）、制御部４０は、第１センサによる測定に異常が生じていると判断し、第１センサのアラームを検出して、（Ｓ２６）、第１センサアラーム判定処理を終了する。このときには、制御部４０は、第１センサのアラームを図示しない画面への表示、ブザーの吹鳴、または、外部に信号を送信することなどによって外部に報知してもよい。なお、図５に示す例では、第１センサによる測定値ＭｖＡ１がアラーム閾値ＳｖＡ１より大きいときに、第１センサのアラームが検出されるものとしているが、こうした例には限定されない。つまり、第１センサとして採用されたセンサによっては、測定値ＭｖＡ１がアラーム閾値ＳｖＡ１より小さいときに第１センサのアラームが検出されるものとしてもよいし、測定値ＭｖＡ１が所定の領域に含まれていない場合に第１センサのアラームが検出されるものとしてもよい。
【００４４】
第１センサによる測定値ＭｖＡ１がアラーム閾値ＳｖＡ１以下であるときには（Ｓ２４：Ｎｏ）、制御部４０は、第１センサの推定測定値ＥＭｖＡ１をアラーム閾値ＳｖＡ１ａと比較する（Ｓ２５）。なお、アラーム閾値ＳｖＡ１ａは、アラーム閾値ＳｖＡ１と同一としてもよいし、アラーム閾値Ｓｖａ１よりも若干大きいまたは小さい値を用いてもよい。
【００４５】
第１センサの推定測定値ＥＭｖＡ１がアラーム閾値ＳｖＡ１ａよりも大きいときには（Ｓ２５：Ｙｅｓ）、制御部４０は、第１センサによる測定に異常が生じていると判断し、第１センサのアラームを検出して（Ｓ２６）、第１センサアラーム判定処理を終了する。
このときには、Ｓ２４，Ｓ２５のどちらの処理によって第１センサのアラームが判定されるか認識できるように、第１センサのアラームを図示しない画面への表示、ブザーの吹鳴、または、外部に信号を送信することなどによって外部に報知してもよい。
【００４６】
第１センサによる測定値ＭｖＡ１がアラーム閾値ＳｖＡ１以下であり（Ｓ２４：Ｎｏ）、且つ、第１センサの推定測定値ＥＭｖＡ１がアラーム閾値ＳｖＡ１ａ以下であるときには（Ｓ２５：Ｎｏ）、制御部４０は、第１センサのアラームを報知することなく（Ｓ２８）、第１センサアラーム判定処理を終了する。
【００４７】
以上説明したように、第１センサアラーム判定処理では、制御部４０は、第１センサの測定値ＭｖＡ１と推定測定値ＥＭｖＡ１との双方を用いて第１センサのアラームを判定する。これにより、第１センサのアラームをより確実に判定することができる。
【００４８】
（その他の変形例）
上記した真空ポンプシステム１００は、３つの独立した処理チャンバ２０Ａ〜２０Ｃのそれぞれに対応して３つの真空ポンプ装置１０Ａ〜１０Ｃを備えるものとした。しかし、真空ポンプシステム１００は、３台以上の真空ポンプを備えるものであればよく、たとえば４つ以上の真空ポンプ装置を備えてもよい。また、複数の真空ポンプは、独立した処理チャンバのそれぞれに対応して接続されるものに限定されず、１つの処理チャンバに対して２以上の真空ポンプが接続されてもよい。
【００４９】
上記した真空ポンプシステム１００は、制御部４０として、真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃの運転をそれぞれに制御する制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃと、制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃと通信可能に構成された制御装置３０と、を備えるものとした。しかし、制御部４０は、制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃが無線または有線によって互いに通信可能に接続されることにより構成されてもよく、制御装置３０を備えないものとしてもよい。この場合には、各制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃのそれぞれが、対応する真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃの図３に例示する真空ポンプ制御処理を実行するものとしてもよいし、一部の制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃが代表して制御装置３０の機能を果たすものとしてもよい。さらに、制御ユニット１６Ａ〜１６Ｃを備えずに、制御装置３０がセンサ１４Ａ〜１４Ｃによる測定値を直接に受信し、制御装置３０が真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃの運転を直接に制御するものとしてもよい。この場合には、制御装置３０が、制御部４０として、各真空ポンプ１２Ａ〜１２Ｃに対して図３に例示する真空ポンプ制御処理を実行すればよい。
【００５０】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、実施形態および変形例の任意の組み合わせが可能であり、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０Ａ〜１０Ｃ…真空ポンプ装置
１２Ａ〜１２Ｃ…真空ポンプ
１４Ａ〜１４Ｃ…センサ群
１６Ａ〜１６Ｃ…制御ユニット
２０Ａ〜２０Ｃ…処理チャンバ
３０…制御装置
４０…制御部
１４１…電流センサ
１４２…振動センサ
１４３…温度センサ（第１温度センサ）
１４４…温度センサ（第１温度センサ）
１４５…振動センサ
１４６…温度センサ（第２温度センサ）
１４７…流量センサ（第１流量センサ）
１４８…圧力センサ
１５０…流量センサ（第２流量センサ）
１５１…電圧センサ
１５２…流量センサ（窒素流量センサ）
１５３…圧力センサ（窒素圧力センサ）
【図１】
2019148176.tif 000003
【図２】
2019148176.tif 000004
【図３】
2019148176.tif 000005
【図４】
2019148176.tif 000006
【図５】
2019148176.tif 000007