(57)【要約】【課題】振動腕部の両側面における、２系統の電極の電気的な切り離しを容易にする。【解決手段】双音叉型圧電振動片１０は、１対の振動腕部４０、５０における長手方向の２箇所の両側面に、厚さ方向に延びる凸部４１、４２、５１、５２と、この凸部４１等の両側の隅部に、主面に対して傾斜した残渣部４１ａ〜５２ｂが形成されている。そして、振動腕部４０、５０の表面に形成された、異なる２系統の第１電極９１と第２電極９２は、振動腕部４０、５０の両側側面において、凸部４１等と、残渣部４１ａ、４１ｂ、…５２ｂ部分で分割（分離）されている。残渣部は、主面側から見た場合に投影される傾斜面で形成されているため、主面側から傾斜面を露光することで、両側面における第１電極９１と第２電極９２との分割が可能になり、斜め方向からの露光や、９０度回転しての露光が不要になり、工数を削減することができる。【選択図】図１
2019165357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１対の基部と、
前記両基部間に延在し、一方の前記基部から他方の前記基部の間に３箇所の振動領域を有する、１対の振動腕部と、
前記１対の振動腕部の両側面に、２つの前記振動領域の間に形成された厚さ方向に延び、主面に対して傾斜した残渣部を有する残渣形成部と、
前記１対の基部から前記１対の振動腕部にかけて一体的に形成された第１電極と、
前記第１電極とは電気的に切り離された状態で、前記１対の基部から前記１対の振動腕部にかけて一体的に形成され、前記第１電極と共に前記３箇所の振動領域を振動させる第２電極と、を備え、
前記１対の振動腕部の両側面において、前記第１電極と前記第２電極とは、前記残渣部で電気的に切り離されている、
ことを特徴とする双音叉型圧電振動片。
【請求項２】
前記残渣形成部は、前記１対の振動腕部の両側面に、２つの前記振動領域の間に形成された厚さ方向に延びる凸部であり、
前記残渣部は、前記振動腕部の側面と前記凸部の両側面との隅に形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の双音叉型圧電振動片。
【請求項３】
前記残渣形成部は、前記１対の振動腕部の両側面に、２つの前記振動領域の間に形成された厚さ方向に延びる凹部であり、
前記残渣部は、前記凹部の内側両側面と底面との隅に形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の双音叉型圧電振動片。
【請求項４】
前記残渣部は、前記振動腕部の主面と側面の境界部よりも僅かに厚さ方向の中心側から形成されている、
ことを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載の双音叉型圧電振動片。
【請求項５】
前記１対の振動腕部の、前記３箇所の各振動領域における対向する両主面には、長手方向の溝が形成されている、
ことを特徴とする請求項１、請求項２、又は、請求項３に記載の双音叉型圧電振動片。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、双音叉型圧電振動片に関する。
【背景技術】
【０００２】
双音叉型圧電振動片は、外力による変形を周波数の変化により検出可能な素子として、例えば、ダイヤフラム等の各種機器に使用されている（例えば特許文献１）。
図７は、従来の双音叉型圧電振動片の外観形状を表した斜視図である。
図７に示すように、双音叉型圧電振動片は、対向する２つの基部２００、３００の間に１対の並行な振動腕部４００、５００が配設され、振動腕部４００、５００にはそれぞれ異なる２系統の第１電極９１０と第２電極９２０が形成されている。
振動腕部４００、５００には、第１電極９１０、第２電極９２０により、３箇所の振動領域６００ａ〜６００ｃが形成される。各振動領域６００ａ〜６００ｃでは、第１電極９１０と第２電極９２０のうちの一方が対向する両主面に形成され、他方が対向する両側面に形成されることで振動するようになっている。
【０００３】
そして、図７に示されるように、両主面に形成される第１電極９１０、第２電極９２０と、両側面に形成される第１電極９１０、第２電極９２０は、同じ振動領域６００ａ〜６００ｃでは、振動腕部４００と振動腕部５００とで逆になっている。また、同じ振動腕部４００、５００では、隣あう振動領域６００ａと振動領域６００ｂ、振動領域６００ｂと振動領域６００ｃで逆になっている。
すなわち、図７に符号７００示すように、双音叉型圧電振動片では、必ず振動腕部４００、５００の両主面だけでなく、両側面においても第１電極９１０と、第２電極９２０とが電気的に分離（分割）されている必要がある。
【０００４】
従来の双音叉型圧電振動片では、全体に励振電極になる金属層を形成した後、第１電極９１０と第２電極９２０間の金属層を除去することで両者を分割（分断）している。そして、電極の分割は主面だけでなく、側面の電極も分割をする必要がある。
このため、従来の双音叉型圧電振動片では、金属層を除去するためのフォトリソ工程において、除去箇所のレジスト膜を露光するために、両主面に対する露光処理に加え、更に双音叉型圧電振動片を９０度回転した後、両側面に対する露光が必要になり、工程数が多くなっていた。
【０００５】
主面からの露光時に斜めから露光することで双音叉型圧電振動片の回転を省略することも可能であるが、斜めから露光するプロセスが必要になる。
また、双音叉型圧電振動片が小型化するに伴い、両振動腕部４００、５００の間が狭くなることで、一方の振動腕部の内側面を斜めから露光する際に他方の振動腕部の陰になり、十分に露光できなくなるか、又は露光時間が長くなるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−４２２４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、振動腕部の両側面における第１電極と第２電極との電気的な切り離しが容易な構造の双音叉型圧電振動片を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）請求項１に記載の発明では、１対の基部と、前記両基部間に延在し、一方の前記基部から他方の前記基部の間に３箇所の振動領域を有する、１対の振動腕部と、前記１対の振動腕部の両側面に、２つの前記振動領域の間に形成された厚さ方向に延び、主面に対して傾斜した残渣部を有する残渣形成部と、前記１対の基部から前記１対の振動腕部にかけて一体的に形成された第１電極と、前記第１電極とは電気的に切り離された状態で、前記１対の基部から前記１対の振動腕部にかけて一体的に形成され、前記第１電極と共に前記３箇所の振動領域を振動させる第２電極と、を備え、前記１対の振動腕部の両側面において、前記第１電極と前記第２電極とは、前記残渣部で電気的に切り離されている、ことを特徴とする双音叉型圧電振動片を提供する。
（２）請求項２に記載の発明では、前記残渣形成部は、前記１対の振動腕部の両側面に、２つの前記振動領域の間に形成された厚さ方向に延びる凸部であり、前記残渣部は、前記振動腕部の側面と前記凸部の両側面との隅に形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の双音叉型圧電振動片を提供する。
（３）請求項３に記載の発明では、前記残渣形成部は、前記１対の振動腕部の両側面に、２つの前記振動領域の間に形成された厚さ方向に延びる凹部であり、前記残渣部は、前記凹部の内側両側面と底面との隅に形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の双音叉型圧電振動片を提供する。
（４）請求項４に記載の発明では、前記残渣部は、前記振動腕部の主面と側面の境界部よりも僅かに厚さ方向の中心側から形成されている、ことを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載の双音叉型圧電振動片を提供する。
（５）請求項５に記載の発明では、前記１対の振動腕部の、前記３箇所の各振動領域における対向する両主面には、長手方向の溝が形成されている、ことを特徴とする請求項１、請求項２、又は、請求項３に記載の双音叉型圧電振動片を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、１対の振動腕部の両側面に主面に対して残渣部を有する残渣形成部によって、振動腕部の両側面における第１電極と第２電極との電気的な切り離しが容易である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態における双音叉型圧電振動片の外観斜視状態と断面を表した図である。
【図２】振動腕部の凸部に形成される残渣部の形状説明図である。
【図３】双音叉型圧電振動片に形成した電極配置を表した説明図である。
【図４】振動腕部の側面における、残渣部を利用した側面分割領域の形成方法についての説明図である。
【図５】第２実施形態における双音叉型圧電振動片の外観斜視状態と断面を表した図である。
【図６】振動腕部の凹部に形成される残渣部の形状と、残渣部を利用した側面分割領域についての説明図である。
【図７】従来の双音叉型圧電振動片の外観説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の双音叉型圧電振動片における好適な実施形態について、図１から図６を参照して詳細に説明する。
（１）実施形態の概要
本実施形態の双音叉型圧電振動片１０は、２つの音叉型の圧電振動片における振動腕部の開放端側を接続した形状をしており、水晶等の圧電振動片で形成したものである。
第１実施形態の双音叉型圧電振動片１０は、１対の振動腕部４０、５０における長手方向の２箇所の両側面に、厚さ方向に延びる凸部４１、４２、５１、５２と、この凸部４１、４２、５１、５２の両側の隅部に、主面に対して傾斜した残渣部（エッチング残り部）４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂ、５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂが形成されている。この凸部４１、４２…は、残渣形成部として機能している。
そして、振動腕部４０、５０の表面には、異なる２系統の第１電極９１と第２電極９２が形成され、両第１電極９１、第２電極９２は、振動腕部４０、５０の両側側面において、凸部４１、４２、５１、５２と、残渣部４１ａ、４１ｂ、…５２ｂ部分で分割（分離）されている。
残渣部は、主面側から見た場合に投影される傾斜面によって形成されているため、主面側からの露光プロセスにおいて傾斜面を露光することで、両側面における第１電極９１と第２電極９２との分割が可能になる。すなわち、斜め方向からの露光や、９０度回転しての露光が不要になり、工数を削減することができる。
振動腕部４０、５０の凸部に代えて、残渣形成部として機能する凹部を形成し、凹部内の両隅部に残渣部を形成するようにしてもよい。
【００１２】
（２）実施形態の詳細
図１は、双音叉型圧電振動片１０の外観形状を表した斜視図（ａ）と、凸部周辺を主面側から見た状態を表す拡大図である。なお、図１において、表面に形成される電極は後述することとし、図面が複雑化することを避けるために省略してある。
本実施形態の双音叉型圧電振動片１０は、水晶で形成されている。
双音叉型圧電振動片１０は、図１に示すように、対向する２つの基部２０、３０と、両基部２０、３０と連接された１対の振動腕部４０、５０を備えている。
振動腕部４０、５０には、基部２０側から基部３０方向に向かって振動領域６０ａ、振動領域６０ｂ、振動領域６０ｃからなる３箇所の振動領域が形成されている。
【００１３】
なお、以下の説明では、３箇所の振動領域の１つを特定して説明する場合には、振動領域６０ａ、振動領域６０ｂ、振動領域６０ｃというように符号にａ〜ｃを付けて説明し、各振動領域に共通する内容については、各振動領域６０というように符号ａ〜ｃを省略して説明することとする。
また、振動領域６０に形成される各部についても同様に、例えば、各振動領域６０ａ〜６０ｃに対応して個別に表す場合には、励振電極９１ａ〜９１ｃ、励振電極９２ａ〜９２ｃとし、共通する内容については纏めて励振電極９１ａ等と表す。
さらに、後述する凸部５１や凹部５５に形成される残渣部５１について、どの振動領域６０ａ、６０ｂ側に形成されているかを示し、例えば残渣部５１ａは振動領域６０ａ側に形成されていることを示す。
【００１４】
振動腕部４０、５０の対向する両側面には、振動領域６０ａと振動領域６０ｂとの間、及び、振動領域６０ｂと振動領域６０ｃとの間に、厚さ方向に延びる凸部４１、４２、５１、５２（以下、纏めて凸部５１等という）が形成されている。
図１（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ凸部５１、４１と、凸部５２、４２周辺を主面側から見た状態を表す拡大図である。
各凸部４１、４２、５１、５２における両側面と、それぞれ振動腕部４０、５０の側面との隅部には、双音叉型圧電振動片の外形形状を形成する際のエッチング残りである残渣部が形成されている。
すなわち、図１（ｂ）に示すように、振動腕部５０、４０の側面と、凸部５１、４１における基部２０側（振動領域６０ａ側）の側面とによる隅部に残渣部４１ａ、５１ａが形成され、基部３０側（振動領域６０ｂ側）の側面とによる隅部に残渣部４１ｂ、５１ｂが形成されている。
また図１（ｃ）に示すように、振動腕部５０、４０の側面と、凸部４２、５２における基部２０側（振動領域６０ｂ側）の側面とによる隅部に残渣部４２ｂ、５２ｂが形成され、基部３０側（振動領域６０ｃ側）の側面とによる隅部に残渣部４２ｃ、５２ｃが形成されている。
なお、両振動腕部４０、５０が基部２０、基部３０と接続する叉部にも、残渣部２１、３１が形成されている。
以下、残渣部（残渣部２１、３１を除く）を纏めて残渣部５１ａ等という。
【００１５】
図２は、残渣部周辺の斜視図（ａ）と、各方向から視た状態を表した図（ｂ）〜（ｄ）である。図２（ｂ）〜（ｃ）は図２（ａ）に表した矢印ｂ〜ｃの方向に視た図である。
この図２では、振動腕部５０の凸部５１に形成される残渣部５１ａ、５１ｂを代表的に表しているが、他の各部の残渣部も同様に形成されている。
残渣部５１ａ、５１ｂは、凸部５１を有する双音叉型圧電振動片１０の外形形状を形成する際に、水晶のエッチング異方性によるエッチング残渣として必ず形成されるものである。
そして、この残渣部５１ａ、５１ｂは、図２に示されるように、振動腕部５０の側面と凸部５１の側面との交線（隅部）Ｐ上の点ｐ１と、振動腕部５０側面上の点ｐ２、及び、凸部５１ａ、５１ｂの側面上の点ｐ３の３点を通る三角形状の２つの傾斜面ｑ１、ｑ２で構成されている。
【００１６】
残渣部５１ａ、５１ｂを形成する三角形状の傾斜面ｑ１、ｑ２における、交線Ｐ上の両交点ｐ１、ｐ１は、振動腕部５０の両主面よりも僅かに下側（他の主面側）に位置している。
そして、両傾斜面ｑ１、ｑ２は、図２（ａ）に示すように、点ｐ１から外側に向かって傾斜しているので、同図（ｂ）に示すように、主面と直交方向から視た場合に、斜面が投影される形状になっている。
このため、後述するように、露光プロセスにおいて、主面側からの露光が傾斜面ｑ１、ｑ２に照射されるので、残渣部５１ａ等における励振電極９１と励振電極９２との分割が可能になる。
【００１７】
次に、双音叉型圧電振動片１０に形成される電極について説明する。
図３は、双音叉型圧電振動片１０における、第１電極９１と第２電極９２の配設状態を表した説明図である。図３（ａ）は、双音叉型圧電振動片１０の平面図、（ｂ）（ｃ）は振動腕部５０における凸部５１、５２周辺を拡大した平面図と、振動腕部４０に対向していない側の側面図である。
本実施形態の第１電極９１、第２電極９２は、水晶で形成した双音叉型圧電振動片１０の表面にクロム（Ｃｒ）層が形成され、その上に金（Ａｕ）層の２層の金属層で形成されている。
【００１８】
図３に示すように、双音叉型圧電振動片１０の基部２０、３０と振動腕部４０、５０の外表面上（外周面）には、１対（２系統の）の第１電極９１と第２電極９２が形成されている。
第１電極９１、第２電極９２は、電圧が印加されたことで、振動腕部４０、５０を振動領域６０ａ、振動領域６０ｂ、振動領域６０ｃ毎に、近接又は離間する方向に所定周波数で振動させるための電極である。
第１電極９１と第２電極９２のそれぞれは全体として一体的に（電気的に）繋がった状態で、第１電極９１と第２電極９２とは電気的に切り離された状態で、振動腕部４０、５０上にパターニングされて形成されている。
【００１９】
第１電極９１と第２電極９２は、それぞれ、基部２０に形成されるマウント電極９１ｍ、９２ｍ、振動腕部４０、５０の３領域に形成される励振電極９１、９２、及び、各電極間を接続する接続電極９１、９２から構成されている。
マウント電極９１ｍとマウント電極９２ｍは、双音叉型圧電振動片１０を設置する際に、２系統の外部電極の各々と接続される電極で、基部２０の一方の主面に形成されている。
【００２０】
励振電極９１と励振電極９２は、振動腕部４０に対しては、一方が両主面に対向配置され、他方が両側面（外側面と内側面）に対向配置されることで振動腕部４０を振動させ、振動腕部５０に対しては、一方が両側面に対向配置され、他方が両主面に対向配置されることで振動腕部５０を振動させる。
なお、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、振動腕部４０、５０に形成される側面の励振電極９１と励振電極９２は、振動腕部４０、５０の側面にだけでなく、主面にも形成されている。これは、励振電極９１と励振電極９２とを主面上で分割することで、電界分布に寄与する電極面積を増やすためである。
【００２１】
各振動領域における具体的な配置は次の通りである。
すなわち、図３（ａ）に示すように、第１電極９１は、マウント電極９１ｍ、接続電極９１ｍａ、励振電極９１ａ、接続電極９１ａｂ、励振電極９１ｂ、接続電極９１ｂｃ、励振電極９１ｃ、接続電極９１ｃｃを備えている。
第２電極９２は、マウント電極９２ｍ、接続電極９２ｍａ、励振電極９２ａ、接続電極９２ａｂ、励振電極９２ｂ、接続電極９２ｂｃ、励振電極９２ｃ、接続電極９２ｃｃを備えている。
【００２２】
そして、図３（ａ）に示すように、振動領域６０ａでは、振動腕部４０の両主面に励振電極９１ａ、両側面に励振電極９２ａがそれぞれ対向配置され、振動腕部５０の両主面に励振電極９２ａ、両側面に励振電極９１ａがそれぞれ対向配置されている。
一方、振動領域６０ｂでは、振動腕部４０の両主面に励振電極９２ｂ、両側面に励振電極９１ｂがそれぞれ対向配置され、振動腕部５０の両主面に励振電極９１ｂ、両側面に励振電極９２ｂがそれぞれ対向配置されている。
また励振領域６０ｃでは、振動腕部４０の両主面に励振電極９１ｃ、両側面に励振電極９２ｃがそれぞれ対向配置され、振動腕部５０の両主面に励振電極９２ｃ、両側面に励振電極９１ｃがそれぞれ対向配置されている。
【００２３】
このように、同一の振動領域では、振動腕部４０と振動腕部５０における励振電極９１と励振電極９２との配置関係が逆になっている。
また、同一の振動腕部４０、５０では、振動領域６０ａと振動領域６０ｂ、振動領域６０ｂと振動領域６０ｃとで、励振電極９１と励振電極９２との配置関係が逆になっている。
【００２４】
一方、図３に示すように、基部２０、３０と、振動腕部４０、５０において、各接続電極９１、９２は次のように接続されている。
すなわち、接続電極９１ｍａは、マウント電極９１ｍと励振電極９１ａを接続し、接続電極９２ｍａは、マウント電極９２ｍと励振電極９２ａとを接続している。接続電極９１ａｂは、励振電極９１ａと励振電極９１ｂとを接続し、接続電極９２ａｂは、励振電極９２ａと励振電極９２ｂとを接続している。接続電極９１ｂｃは、励振電極９１ｂと励振電極９１ｃとを接続し、接続電極９２ｂｃは、励振電極９２ｂと励振電極９２ｃとを接続している。
接続電極９１ｃｃは、振動腕部４０の励振電極９１ｃと振動腕部５０の励振電極９１ｃとを接続し、接続電極９２ｃｃは、振動腕部４０の励振電極９２ｃと振動腕部５０の励振電極９２ｃとを接続している。
【００２５】
図３（ｃ）は、同図（ｂ）に対応する振動腕部５０の側面に形成される励振電極９１と励振電極９２の分割状態を表したものである。
接続電極９１ａｂは上述したように、励振電極９１ａと励振電極９１ｂとを接続するが、図３（ｃ）に表した側面において、励振電極９１ａと厚さ方向の全体で接続されている。励振電極９１ｂとは、図３（ｃ）における図面下側を通り、図３（ｂ）と反対側の主面に形成されている接続電極９１ａｂで接続されている。
接続電極９２ａｂは、図３（ｃ）に表すように励振電極９２ｂと厚さ方向全体で接続され、励振電極９２ａとは、同図上側を通り、図３（ｂ）に示す接続電極９２ａｂで接続されている。
接続電極９２ｂｃは、図３（ｃ）に表すように励振電極９２ｂと厚さ方向全体で接続され、励振電極９２ｃとは同図上側を通り、図３（ｂ）に示す接続電極９２ｂｃで接続されている。
接続電極９１ｂｃは、図３（ｃ）に表した側面において励振電極９１ｃと厚さ方向の全体で接続され、励振電極９１ｂとは、同図面下側を通り、図３（ｂ）と反対側の主面に形成されている接続電極９１ｂｃで接続されている。
【００２６】
そして、図３（ｃ）に示すように、振動腕部５０の側面に形成される第１電極９１、及び第２電極９２（接続電極９１と接続電極９２）は、側面分割領域７０で分割（電気的に分離）されている。
すなわち、凸部５１の残渣部５１ａ、５１ｂを含む側面分割領域７０によって、接続電極９１ａｂと接続電極９２ａｂとが分割され、凸部５２の残渣部５２ｂ、５２ｃを含む側面分割領域７０によって、接続電極９２ｂｃと接続電極９１ｂｃとが分割されている。
【００２７】
次に、振動腕部４０、５０における、第１電極９１と第２電極９２の側面分割領域の形成を含め、双音叉型圧電振動片１０の製造方法について説明する。
図４は、振動腕部の側面における、残渣部を利用した分割領域の形成方法についての説明図である。
まず、水晶板に対してエッチング処理を行い、凸部５１等と残渣部５１ａ等を備えた双音叉型圧電振動片の外形形状（図１参照）を形成し、その後水晶の表面に、第１電極９１、第２電極９２となる金属層を蒸着や金属スパッタリングにより成膜する。
【００２８】
そして、フォトリソグラフィー工程（レジスト膜塗布、マスクパターンによる露光・現像、メタルエッチング、レジスト膜剥離の各工程）により、第１電極９１と第２電極９２との分割と回路パターンを形成する。
すなわち、形成した金属膜の表面にレジスト膜を塗布した後、図４（ａ）に格子模様で示したように主面全体と凸部５１の周辺領域８６に対し、マスクパターンを使用して主面側から照射し、その後現像を行う。これにより、主面における、マスクパターンに対応した領域８０（図４（ａ）では接続電極９１ａｂ、９２ａｂ）部分のレジスト膜が残り、マスクパターンがない領域８５と残渣部（５１ａ、５１ｂ）のレジスト膜が除去される。以上の露光・現像は両主面に対して行う。
次にエッチング液に浸けて露光箇所の金属層を除去した後、第１電極９１と第２電極９２の表面に塗布されているレジスト膜を除去する。
【００２９】
以上の各工程によって、図４（ｂ）に示すように、振動腕部５０の側面の第１電極９１と第２電極９２が、凸部５１とその両側の残渣部５１ａ、５１ｂを含む分割領域７０で分割される。
すなわち、矢印Ｚ１方向からの露光による分割領域（図面上側）７０は、通常露光による残渣部５１ａ、５１ｂ（傾斜面）の通常露光部７１と、更に、振動腕部５０と凸部５１の側面上部のオーバー露光部７２により形成される。
一方、反対側の矢印Ｚ２方向からの露光による分割領域（図面下側）７０は、通常露光による残渣部５１ａ、５１ｂ（傾斜面）の通常露光部７３と、更に、振動腕部５０と凸部５１の側面下部のオーバー露光部７４により形成される。
【００３０】
このようにオーバー露光によって、振動腕部４０、５０の側面のうち主面に近い領域（オーバー露光部７１）も露光される。このため、上述したように残渣部５１ａ、５１ｂの３角形状の点ｐ１が、主面より僅かに下側（他の主面側）に位置していたとしても（図４（ｂ）参照）、残渣部５１ａ、５１ｂの通常露光部７１、７３と、オーバー露光部７２、７４とが繋がった状態となり、第１電極９１（接続電極９１ａｂ）と第２電極９２（接続電極９２ａｂ）が分割されている。
なお図４（ｂ）に示すように、凸部５１の上面（振動腕部５０の側面と平行な面）の、厚さ方向の中央部には金属スパッタリングで形成した金属層９０が残っている。この金属層９０は、側面分割領域７０、７０に囲まれることで、第１電極９１でも第２電極９２から切り離されている。
【００３１】
このように本実施形態の双音叉型圧電振動片１０では、凸部の両側に形成される残渣部（の傾斜面）を利用して主面側からだけの露光（通常露光とオーバー露光）によって、第１電極９１と第２電極９２とを分割することができるので、斜め露光や、双音叉型圧電振動片を９０度回転させた後の露光が不要になる。
また、第１実施形態の双音叉型圧電振動片１０では、振動腕部４０、５０の両側面に、振動領域６０ａと振動領域６０ｂとの間、及び、振動領域６０ｂと振動領域６０ｃとの間に凸部５１等を形成している。この凸部５１等は、振動腕部４０、５０が振動する際の節になる部分である。このため、第１実施形態によれば、振動の節部分の両側面に凸部を設けることで、振動に対する強度を高めることができる。
【００３２】
なお、第１電極９１、第２電極９２の構成材料としては、実質的に導電性を有していれば特に限定されず、例えば、金、銀、銅、クロム、アルミニウム、又はこれらを含む合金等の金属材料、カーボンブラック等の炭素系材料、電子導電性高分子材料、イオン導電性高分子材料、導電性酸化物材料等の各種導電性材料が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３３】
次に第２実施形態について説明する。
説明した第１実施形態では、振動腕部４０、５０の両側側面に形成した凸部５１等と、残渣部５１ａ等を利用することで、主面側からの露光により、側面における第１電極９１と第２電極９２との分割を可能にしている。
これに対して、第２実施形態の双音叉型圧電振動片１０では、振動腕部４０、５０の両側側面に厚さ方向の凹部を設け、この凹部の側面と底面との隅部に形成される残渣部の主面を利用して第１電極９１と第２電極９２との分割を可能にするものである。
【００３４】
図５は、第２実施形態における双音叉型圧電振動片１０の外観斜視状態と断面を表した図である。
第２実施形態の双音叉型圧電振動片１０では、凹部５５等周辺が第１実施形態の凸部５１等周辺以外と異なる点を除き第１実施形態と同一であるので、同一部分については同一符号を付してその説明を省略し、異なる箇所を中心に説明することとする。
図５に示すように、第２実施形態の双音叉型圧電振動片１０では、振動腕部４０、５０の対向する両側面に、振動領域６０ａと振動領域６０ｂとの間、及び、振動領域６０ｂと振動領域６０ｃとの間に、厚さ方向に延びる凹部４５、４６、５５、５６（以下、纏めて凹部５５等という）が形成されている。
【００３５】
図５（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ凹部５５（４５）と、凹部５６（４６）の周辺を主面側から視た状態を表す拡大図である。
各凹部４５、４６、５５、５６（以下纏めて凹部５５等という）の内側両側面と底面との隅部には、双音叉型圧電振動片の外形形状を形成する際のエッチング残りである残渣部４５ａ、４５ｂ、４６ｂ、４６ｃ、５５ａ、５５ｂ、５６ｂ、５６ｃ（以下纏めて残渣部５５ａ等という）が形成されている。
【００３６】
図６は、残渣部周辺の状態を表したものである。（ａ）は斜視図、（ｂ）〜（ｄ）は矢印ｂ〜ｄの各方向から見た状態を表した図、（ｅ）は第１電極９１と第２電極９２の側面における分割状態を表した図である。図６は振動腕部５０の凹部５５に形成される残渣部５５ａ、５５ｂを代表的に表しているが、他の各部の残渣部も同様に形成されている。
残渣部５５ａ、５５ｂは、凹部５５の側面と底面との交線（隅部）Ｐ上の点ｐ１と、凹部５５の底面上の点ｐ２、及び、凹部５５ａ、５５ｂの側面上の点ｐ３の３点を通る三角形状の２つの傾斜面ｑ１、ｑ２で構成されている。
【００３７】
残渣部５５ａ、５５ｂを形成する三角形状の傾斜面ｑ１、ｑ２は、図６（ａ）に示すように、交線Ｐ上の点ｐ１から外側に向かって傾斜しているので、同図（ｂ）に示すように、主面と直交方向から視た場合に、斜面が投影される形状になっている。
このため第２実施形態の双音叉型圧電振動片１０においても、図６（ｅ）に示されるように、露光によって、残渣部５５ａ、５５ｂの通常露光部７６、７８と、オーバー露光部７７、７９とが繋がった状態で形成され、第１電極９１（接続電極９１ａｂ）と第２電極９２（接続電極９２ａｂ）が分割される。
【００３８】
このように第２実施形態の双音叉型圧電振動片１０においても、凹部の内側両側面に形成される残渣部（の傾斜面）を利用して主面側からだけの露光（通常露光とオーバー露光）によって、第１電極９１と第２電極９２とを分割することができる。
そして第２実施形態の双音叉型圧電振動片１０では、振動腕部４０、５０の両側面に、振動領域６０ａと振動領域６０ｂとの間、及び、振動領域６０ｂと振動領域６０ｃとの間に凹部５５等を形成している。この凹部５５等は、振動腕部４０、５０が振動する際の節になる部分である。このため、第２実施形態によれば、振動の節部分の両側面に凹部を設けることで、振動し易くなる。
【００３９】
なお、説明した第１、第２実施形態の双音叉型圧電振動片１０の両主面は平面状に形成されているが、両主面の各振動領域６０ａ〜６０ｃに対応する各位置に長手方向の溝を形成するようにしてもよい。
この場合の両振動腕部４０、５０の、長手方向と直交する平面による断面の形状は、幅方向の中央に凹部が形成されたＨ形になる。
そして、この溝を両主面に形成した双音叉型圧電振動片１０において、振動腕部４０、５０の両主面に形成される励振電極９１、励振電極９２は、溝内（溝側面と溝底面）にも形成される。
一方、振動腕部４０、５０の両側面に形成される励振電極９１は、振動腕部５０の側面に加えて、当該側面と溝との間の土手部分の先端面（主面）にも形成される。これは、励振電極９１と励振電極９２とを主面上で分割することで、電界分布に寄与する電極面積を増やすためである。
また、振動領域６０ａ〜ｃの両主面に形成する溝の数は１本だけで無く、各領域の両主面に溝を２本ずつ形成するようにしてもよい。溝を２本ずつ形成すことで、両溝間に土手部が形成され、この土手部により強度を向上させることが可能になる。
【符号の説明】
【００４０】
１０  双音叉型圧電振動片
２０、３０  基部
２１、３１  残渣部
４０、５０  振動腕部
４１、４２、５１、５２  凸部
４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂ、５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂ  残渣部
５５、５６  凹部
４５ａ、４５ｂ、４６ａ、４６ｂ、５５ａ、５５ｂ、５６ａ、５６ｂ  残渣部
６０ａ、６０ｂ、６０ｃ  振動領域
７０  分割領域
７１、７２  露光部（表）
７３、７４  露光部（裏）
８０  マスクパターン
８５  露光エリア（主面分割用）
８６  露光エリア（側面分割用）
９０  金属層
９１  第１電極
９１ｍ  マウント電極
９１ａ、９１ｂ、９１ｃ  励振電極
９１ｍａ、９１ａｂ、９１ｂｃ、９１ｃｃ  接続電極
９２  第２電極
９２ｍ  マウント電極
９２ａ、９２ｂ、９２ｃ  励振電極
９２ｍａ、９２ａｂ、９２ｂｃ、９２ｃｃ  接続電極
Ｚ１、Ｚ２  露光方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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