(57)【要約】【課題】熱膨張係数が小さく、歪点が高く、光弾性定数が低く、ヤング率が高く、熱収縮率が小さい無アルカリガラスの提供。【解決手段】歪点が６９５℃以上であって、５０〜３５０℃での平均熱膨張係数が４３×１０-7／℃以下であって、光弾性定数が３１ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ以下、ヤング率が７８ＧＰａ以上、熱収縮率が２００ｐｐｍ以下であって、酸化物基準のモル％表示でＳｉＯ2  ６４．９〜７０、Ａｌ2Ｏ3  ８〜１６、Ｂ2Ｏ3  ２．７以上、ＭｇＯ  ０〜７．５、ＣａＯ  ３〜２０、ＳｒＯ  １．５〜１０を含有し、ＭｇＯ＋ＣａＯが０〜２８であり、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯが１２〜３０であり、ＳｒＯ／ＣａＯが０．５８〜０．７４であり、（２３．５×［ＳｉＯ2］＋３．５×［Ａｌ2Ｏ3]−５×［Ｂ2Ｏ3］）／（２．１×［ＭｇＯ］＋４．２×［ＣａＯ］＋１０×［ＳｒＯ］＋１２×［ＢａＯ］）が１７以上である、ディスプレイ用無アルカリガラス。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
歪点が６９５℃以上であって、５０〜３５０℃での平均熱膨張係数が４３×１０-7／℃以下であって、光弾性定数が３１ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ以下、ヤング率が７８ＧＰａ以上、熱収縮率が２００ｐｐｍ以下であって、
酸化物基準のモル％表示で、ＳｉＯ2  ６４．９〜７０、Ａｌ2Ｏ3  ８〜１６、Ｂ2Ｏ3  ２．７以上、ＭｇＯ  ０〜７．５、ＣａＯ  ３〜２０、ＳｒＯ  １．５〜１０を含有し、
ＭｇＯ＋ＣａＯが０〜２８であり、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯが１２〜３０であり、ＳｒＯ／ＣａＯが０．５８〜０．７４であり、
（２３．５×［ＳｉＯ2］＋３．５×［Ａｌ2Ｏ3]−５×［Ｂ2Ｏ3］）／（２．１×［ＭｇＯ］＋４．２×［ＣａＯ］＋１０×［ＳｒＯ］＋１２×［ＢａＯ］）が１７以上である、ディスプレイ用無アルカリガラス。
【請求項２】
ＳｒＯ／（ＭｇＯ＋ＣａＯ）が０．０５〜４．０である、請求項１に記載のディスプレイ用無アルカリガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種ディスプレイ用基板ガラスやフォトマスク用基板ガラスとして好適な、アルカリ金属酸化物を実質上含有せず、フロート成形が可能な、無アルカリガラスに関する。本発明における無アルカリガラスは、実質的に（即ち不可避的不純物を除き）アルカリ成分を含有しない。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種ディスプレイ用基板ガラス、特に表面に金属ないし酸化物薄膜等を形成するものでは、以下に示す特性が要求されてきた。（１）アルカリ金属酸化物を含有していると、アルカリ金属イオンが薄膜中に拡散して膜特性を劣化させるため、実質的にアルカリ金属イオンを含まないこと。（２）薄膜形成工程で高温にさらされる際に、ガラスの変形およびガラスの構造安定化に伴う収縮（熱収縮）を最小限に抑えうるように、歪点が高いこと。
【０００３】
（３）半導体形成に用いる各種薬品に対して充分な化学耐久性を有すること。特にＳｉＯxやＳｉＮxのエッチングのためのバッファードフッ酸（ＢＨＦ：フッ酸とフッ化アンモニウムの混合液）、およびＩＴＯのエッチングに用いる塩酸を含有する薬液、金属電極のエッチングに用いる各種の酸（硝酸、硫酸等）、レジスト剥離液のアルカリに対して耐久性のあること。（４）内部および表面に欠点（泡、脈理、インクルージョン、ピット、キズ等）がないこと。
【０００４】
上記の要求に加えて、近年では、以下のような状況にある。
（５）ディスプレイの軽量化が要求され、ガラス自身も密度の小さいガラスが望まれる。（６）ディスプレイの軽量化が要求され、基板ガラスの薄板化が望まれる。
【０００５】
（７）これまでのアモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）タイプの液晶ディスプレイに加え、若干熱処理温度の高い多結晶シリコン（ｐ−Ｓｉ）タイプの液晶ディスプレイが作製されるようになってきた（ａ−Ｓｉ：約３５０℃→ｐ−Ｓｉ：３５０〜５５０℃）。（８）液晶ディスプレイ作製熱処理の昇降温速度を速くして、生産性を上げたり耐熱衝撃性を上げるために、ガラスの平均熱膨張係数の小さいガラスが求められる。
【０００６】
一方、エッチングのドライ化が進み、耐ＢＨＦ性に対する要求が弱くなってきている。これまでのガラスは、耐ＢＨＦ性を良くするために、Ｂ2Ｏ3を６〜１０モル％含有するガラスが多く用いられてきた。しかし、Ｂ2Ｏ3は歪点を下げる傾向がある。Ｂ2Ｏ3を含有しないまたは含有量の少ない無アルカリガラスの例としては以下のようなものがある。
【０００７】
特許文献１にはＢ2Ｏ3を０〜３重量％含有するガラスが開示されているが、実施例の歪点が６９０℃以下である。
【０００８】
特許文献２にはＢ2Ｏ3を０〜５モル％含有するガラスが開示されているが、５０〜３５０℃での平均熱膨張係数が５０×１０-7／℃を超える。
【０００９】
特許文献１、２に記載のガラスにおける問題点を解決するため、特許文献３に記載の無アルカリガラスが提案されている。特許文献３に記載の無アルカリガラスは、歪点が高く、フロート法による成形ができ、ディスプレイ用基板、フォトマスク用基板等の用途に好適であるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平４−３２５４３５号公報
【特許文献２】特開平５−２３２４５８号公報
【特許文献３】特開平９−２６３４２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
近年、スマートフォンのような携帯用端末などの高精細小型ディスプレイでは、高品質のｐ−Ｓｉ  ＴＦＴの製造方法としてレーザーアニールによる方法が採用されているが、さらに熱収縮率を小さくするために歪点の高いガラスが求められている。また、ガラス基板の大板化、薄板化に伴い、ヤング率が高く、比弾性率（ヤング率／密度）が高いガラスが求められている。
一方、ガラス製造プロセスにおける要請から、歪点を過度に上げ過ぎないことが求められている。
【００１２】
本発明の目的は、上記欠点を解決し、熱膨張係数が小さく、歪点が高く、光弾性定数が低く、ヤング率が高く、熱収縮率が小さい無アルカリガラスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、歪点が６９５℃以上であって、５０〜３５０℃での平均熱膨張係数が４３×１０-7／℃以下であって、光弾性定数が３１ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ以下、ヤング率が７８ＧＰａ以上、熱収縮率が２００ｐｐｍ以下であって、
酸化物基準のモル％表示で、ＳｉＯ2  ６４．９〜７０、Ａｌ2Ｏ3  ８〜１６、Ｂ2Ｏ3  ２．７以上、ＭｇＯ  ０〜７．５、ＣａＯ  ３〜２０、ＳｒＯ  １．５〜１０を含有し、
ＭｇＯ＋ＣａＯが０〜２８であり、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯが１２〜３０であり、ＳｒＯ／ＣａＯが０．５８〜０．７４であり、
（２３．５×［ＳｉＯ2］＋３．５×［Ａｌ2Ｏ3]−５×［Ｂ2Ｏ3］）／（２．１×［ＭｇＯ］＋４．２×［ＣａＯ］＋１０×［ＳｒＯ］＋１２×［ＢａＯ］）が１７以上である、ディスプレイ用無アルカリガラスを提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の無アルカリガラスは、特に高歪点用途のディスプレイ用基板、フォトマスク用基板等に好適であり、また、フロート成形が容易なガラスである。本発明の無アルカリガラスは、磁気ディスク用ガラス基板としても使用できる。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に各成分の組成範囲について説明する。ＳｉＯ2は６３％（モル％、以下特記しないかぎり同じ）未満では、歪点が充分に上がらず、かつ、熱膨張係数が増大し、密度が上昇する。そのため、ＳｉＯ2は６３％以上である。６４％以上が好ましく、６５％以上がより好ましく、６６％以上がさらに好ましい。７０％超では、溶解性が低下し、ガラス粘度が１０2ｄＰａ・ｓとなる温度Ｔ2や１０4ｄＰａ・ｓとなる温度Ｔ4が上昇し、失透温度が上昇する。そのため、ＳｉＯ2は７０％以下である。６９．５％以下が好ましく、６９％以下がより好ましく、６８．５％以下がさらに好ましい。
【００１６】
Ａｌ2Ｏ3はガラスの分相性を抑制し、熱膨脹係数を下げ、歪点を上げるが、８％未満ではこの効果があらわれず、また、ほかの膨張を上げる成分を増加させることになるため、結果的に熱膨張が大きくなる。そのため、Ａｌ2Ｏ3は８％以上である。９％以上、１０％以上、さらに１１．１％以上が好ましい。１６％超ではガラスの溶解性が悪くなったり、失透温度を上昇させるおそれがある。そのため、Ａｌ2Ｏ3は１６％以下である。１５％以下が好ましく、１４．５％以下がより好ましく、１４％以下がさらに好ましい。
【００１７】
Ｂ2Ｏ3は、ガラスの溶解反応性をよくし、また、失透温度を低下させるため１．５％以上４％未満含有する。上記の効果を得るためには、１．６％以上含有することが好ましく、１．７％以上がより好ましく、１．８％以上がさらに好ましい。しかし、多すぎると歪点が低くなり、ヤング率が小さくなるので４％未満とする。３．５％以下が好ましく、３％以下がより好ましく、２．８％以下がさらに好ましく、２．６％以下がよりさらに好ましく、２．５％以下が特に好ましい。
【００１８】
ＭｇＯは、アルカリ土類の中では膨張を高くせず、かつ密度を低く維持したままヤング率を上げるという特徴を有し、溶解性も向上させるため含有できる。上記の効果を得るため、含有量は好ましくは０．１％以上、より好ましくは１％以上、さらに好ましくは２％以上、特に好ましくは３％以上である。しかし、多すぎると失透温度が上昇するので８％以下とする。８％未満が好ましく、７．５％以下が好ましく、７％以下がより好ましく、６．５％以下、６％以下がさらに好ましい。
【００１９】
ＣａＯは、アルカリ土類中では膨張を高くせず、かつ密度を低く維持したままヤング率を上げるという特徴を有し、溶解性も向上させるため含有できる。上記の効果を得るため、含有量は好ましくは０．１％以上、より好ましくは１％以上、さらに好ましくは３％以上、特に好ましくは５％以上である。しかし、多すぎると失透温度が上昇したり、ＣａＯ原料である石灰石（ＣａＣＯ3）中の不純物であるリンが、多く混入するおそれがあるので２０％以下とする。１５％以下が好ましく、１２％以下がより好ましく、１０％以下がさらに好ましい。
【００２０】
ＳｒＯは、ガラスの失透温度を上昇させず溶解性を向上させるが、１．５％未満ではこの効果が十分あらわれない。そのため、ＳｒＯは１．５％以上である。２％以上が好ましく、２．５％以上がより好ましく、３％以上がさらに好ましい。しかし、１０％を超えると膨脹係数が増大するおそれがある。そのため、ＳｒＯは１０％以下である。８％以下が好ましく、６％以下がより好ましく、５％以下がさらに好ましい。
【００２１】
ＢａＯは溶解性向上のために含有できる。しかし、多すぎるとガラスの膨張と密度を過大に増加させるので０．５％以下とする。ＢａＯは環境負荷を考慮すると、実質的に（即ち不可避的不純物を除き）、含有しないことが好ましい。
【００２２】
ＭｇＯ、および、ＣａＯは失透温度を低下させる効果がある。ＭｇＯとＣａＯの合量は２％以上が好ましく、５％以上がより好ましく、８％以上がさらに好ましく、１０％以上が特に好ましい。２８％よりも多いと、熱膨張係数および比重が大きくなる。そのため、２８％以下とする。２４％以下が好ましく、２０％以下がより好ましく、１６％以下がさらに好ましい。
【００２３】
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯは、ガラス粘度が１０2ｄＰａ・ｓとなる温度Ｔ2を高くし過ぎないため、合量で１２％以上とする。１４％以上が好ましく、１６％以上がより好ましく、１７％以上がさらに好ましい。３０％より多いと、歪点が低くなりやすい。そのため、合量で３０％以下とする。２５％以下が好ましく、２２％以下がより好ましく、２０％以下がさらに好ましい。
【００２４】
ＳｒＯ／ＣａＯが０．３３よりも小さいと、失透温度が上昇する。そのため、ＳｒＯ／ＣａＯは０．３３以上とする。０．３６以上が好ましく、０．４以上がより好ましく、０．４５以上がさらに好ましい。０．８５よりも大きいと、熱膨張係数および比重が大きくなる。そのため、ＳｒＯ／ＣａＯは０．８５以下とする。０．８以下が好ましく、０．７５以下がより好ましく、０．７以下がさらに好ましい。
ＳｒＯ／（ＭｇＯ＋ＣａＯ）が０．０５よりも小さいと、失透温度が上昇しやすい。０．０５以上が好ましく、０．１以上がより好ましく、０．１４以上がさらに好ましく、０．１８以上がよりさらに好ましい。４．０よりも大きいと、熱膨張係数および比重が大きくなりやすい。４．０以下が好ましく、３．０以下がより好ましく、２．０以下がさらに好ましく、１．０以下がよりさらに好ましく、０．７以下が特に好ましい。
【００２５】
（２３．５×［ＳｉＯ2］＋３．５×［Ａｌ2Ｏ3]−５×［Ｂ2Ｏ3］）／（２．１×［ＭｇＯ］＋４．２×［ＣａＯ］＋１０×［ＳｒＯ］＋１２×［ＢａＯ］）が１７以上であることにより、高歪点でありながら、ガラス粘度が１０2ｄＰａ・ｓとなる温度Ｔ2を高くし過ぎず、熱膨張を大きくし過ぎない。１７．５以上が好ましく、１８以上がより好ましく、１８．５以上がさらに好ましい。
【００２６】
なお、本発明のガラスは、パネル製造時にガラス表面に設ける金属ないし酸化物薄膜の特性劣化を生じさせないために、アルカリ金属酸化物を不純物レベルを超えて（すなわち実質的に）含有しない。また、ガラスのリサイクルを容易にするため、ＰｂＯ、Ａｓ2Ｏ3、Ｓｂ2Ｏ3は実質的に含有しないことが好ましい。
【００２７】
さらに同様の理由で、Ｐ2Ｏ5は実質的に含有しないことが好ましい。不純物としての混入量は２３モルｐｐｍ以下が好ましく、１８モルｐｐｍ以下がより好ましく、１１モルｐｐｍ以下がさらに好ましく、５モルｐｐｍ以下が特に好ましい。
【００２８】
本発明の無アルカリガラスは上記成分以外にガラスの溶解性、清澄性、成形性（フロート成形性）を改善するため、ＺｎＯ、Ｆｅ2Ｏ3、ＳＯ3、Ｆ、Ｃｌ、ＳｎＯ2を総量で１％以下、好ましくは０．９％以下、より好ましくは０．８％以下、さらに好ましくは０．７％以下含有できる。ＺｎＯは実質的に含有しないことが好ましい。
【００２９】
本発明の無アルカリガラスは上記成分以外に、ガラス溶融温度を低下させるために、またはヤング率を向上させるために、ＺｒＯ2を１％まで含有してもよい。１％超では失透温度が上昇する。０．７％以下が好ましく、０．５％以下がより好ましく、０．３％以下がさらに好ましく、実質的に含有しないことが特に好ましい。
【００３０】
本発明の無アルカリガラスは、歪点が６９５℃以上である。
本発明の無アルカリガラスは、歪点が６９５℃以上であるため、パネル製造時の熱収縮を抑えられる。また、ｐ−Ｓｉ  ＴＦＴの製造方法としてレーザーアニールによる方法を適用することができる。７００℃以上が好ましく、７０５℃以上がより好ましく、７１０℃以上がさらに好ましい。
本発明の無アルカリガラスは、歪点が６９５℃以上であるため、高歪点用途（例えば、板厚０．７ｍｍ以下、好ましくは０．５ｍｍ以下、より好ましくは０．３ｍｍ以下、さらに好ましくは０．１ｍｍ以下の薄板のディスプレイ用基板または照明用基板等に適している。
板厚０．７ｍｍ以下、さらには０．５ｍｍ以下、さらには０．３ｍｍ以下、さらには０．１ｍｍ以下の板ガラスの成形では、成形時の引き出し速度が速くなる傾向があるため、ガラスの仮想温度が上昇し、ガラスの熱収縮率が増大しやすい。この場合、高歪点ガラスであると、熱収縮率を抑制することができる。
【００３１】
また本発明の無アルカリガラスは、歪点と同様の理由で、ガラス転移点が好ましくは７３０℃以上であり、より好ましくは７４０℃以上であり、さらに好ましくは７５０℃以上である。
【００３２】
また本発明の無アルカリガラスは、５０〜３５０℃での平均熱膨張係数が４３×１０-7／℃以下であり、耐熱衝撃性が大きく、パネル製造時の生産性を高くできる。本発明の無アルカリガラスにおいて、５０〜３５０℃での平均熱膨張係数は好ましくは４２×１０-7／℃以下、より好ましくは４１×１０-7／℃以下、さらに好ましくは４０×１０-7／℃以下、よりさらに好ましくは３９．５×１０-7／℃以下、特に好ましくは３９×１０-7／℃以下である。
【００３３】
さらに、本発明の無アルカリガラスは、比重が好ましくは２．６２以下であり、より好ましくは２．６０以下、さらに好ましくは２．５８以下、よりさらに好ましくは２．５５以下である。
【００３４】
また、本発明の無アルカリガラスは、粘度ηが１０2ポイズ（ｄＰａ・ｓ）となる温度Ｔ2が１６９０℃以下であり、好ましくは１６８０℃以下、より好ましくは１６７５℃以下、さらに好ましくは１６７０℃以下、よりさらに好ましくは１６６５℃以下になっているため溶解が比較的容易である。
【００３５】
さらに、本発明の無アルカリガラスは粘度ηが１０4ポイズとなる温度Ｔ4が１３１０℃以下、好ましくは１３０５℃以下、より好ましくは１３００℃以下、さらに好ましくは１３００℃未満、１２９５℃以下、１２９０℃以下であり、フロート成形に適している。
また、本発明の無アルカリガラスは失透温度が、１３１５℃以下であることがフロート法による成形が容易となることから好ましい。好ましくは１３００℃以下、１３００℃未満、１２９０℃以下、より好ましくは１２８０℃以下である。また、フロート成形性やフュージョン成形性の目安となる温度Ｔ4（ガラス粘度ηが１０4ポイズとなる温度、単位：℃）と失透温度との差（Ｔ4−失透温度）は、好ましくは−２０℃以上、−１０℃以上、さらには０℃以上、より好ましくは１０℃以上、さらに好ましくは２０℃以上、特に好ましくは３０℃以上である。
本明細書における失透温度は、白金製の皿に粉砕されたガラス粒子を入れ、一定温度に制御された電気炉中で１７時間熱処理を行い、熱処理後の光学顕微鏡観察によって、ガラスの表面及び内部に結晶が析出する最高温度と結晶が析出しない最低温度との平均値である。
【００３６】
また、本発明の無アルカリガラスは、ヤング率は７８ＧＰａ以上が好ましく、７９ＧＰａ以上、８０ＧＰａ以上、さらに８１ＧＰａ以上がより好ましく、８２ＧＰａ以上がさらに好ましい。
【００３７】
また、本発明の無アルカリガラスは、光弾性定数が３１ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ以下であることが好ましい。
液晶ディスプレイパネル製造工程や液晶ディスプレイ装置使用時に発生した応力によってガラス基板が複屈折性を有することにより、黒の表示がグレーになり、液晶ディスプレイのコントラストが低下する現象が認められることがある。光弾性定数を３１ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ以下とすることにより、この現象を小さく抑えることができる。好ましくは３０ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ以下、より好ましくは２９ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ以下、さらに好ましくは２８．５ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ以下、特に好ましくは２８ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ以下である。
また、本発明の無アルカリガラスは、他の物性確保の容易性を考慮すると、光弾性定数が好ましくは２３ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ以上、より好ましくは２５ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ以上である。
なお、光弾性定数は円板圧縮法により測定波長５４６ｎｍにて測定できる。
【００３８】
また、本発明の無アルカリガラスは、熱処理時の収縮量が小さいことが好ましい。液晶パネル製造においては、アレイ側とカラーフィルター側では熱処理工程が異なる。そのため、特に高精細パネルにおいて、ガラスの熱収縮率が大きい場合、嵌合時にドットのずれが生じるという問題がある。なお、熱収縮率の評価は次の手順で測定できる。試料をガラス転移点＋１００℃の温度で１０分間保持した後、毎分４０℃で室温まで冷却する。ここで試料の全長を計測する。その後、毎時１００℃の昇温速度で６００℃まで加熱し、６００℃で８０分間保持し、毎時１００℃の降温速度で室温まで冷却し、再度試料の全長を計測する。６００℃での熱処理前後での試料の収縮量と、６００℃での熱処理前の試料全長との比を熱収縮率とする。上記評価方法において、熱収縮率は好ましくは２００ｐｐｍ以下、より好ましくは１５０ｐｐｍ以下、さらに好ましくは１００ｐｐｍ以下さらには８０ｐｐｍ以下、特に好ましくは６０ｐｐｍ以下である。
【実施例】
【００３９】
以下において例７、１９、２１〜２３、２５〜２８は実施例、例１〜６、８〜１８、２０、２４は比較例である。各成分の原料を目標組成になるように調合し、白金坩堝を用いて１５５０〜１６５０℃の温度で溶解した。原料中の珪砂の粒度は、メディアン粒径Ｄ50が２６μｍ、粒径２μｍ以下の粒子の割合が０．１体積％未満、粒径１００μｍ以上の粒子の割合が０．１体積％未満であった。溶解にあたっては、白金スターラを用い撹拌しガラスの均質化を行った。次いで溶解ガラスを流し出し、板状に成形後徐冷した。
【００４０】
表１〜４には、ガラス組成（単位：モル％）と５０〜３５０℃での熱膨脹係数（単位：×１０-7／℃）、歪点（単位：℃）、ガラス転移点（単位：℃）、比重、ヤング率（ＧＰａ）（超音波法により測定）、高温粘性値として、溶解性の目安となる温度Ｔ2（ガラス粘度ηが１０2ポイズとなる温度、単位：℃）、とフロート成形性およびフュージョン成形性の目安となる温度Ｔ4（ガラス粘度ηが１０4ポイズとなる温度、単位：℃）、失透温度（単位：℃）、光弾性定数（単位：ｎｍ／ＭＰａ／ｃｍ）（円板圧縮法により測定波長５４６ｎｍにて測定）、および、熱収縮率（単位：ｐｐｍ）を示す。熱収縮率の評価は次の手順で行った。ガラス板試料（酸化セリウムで鏡面研磨した長さ１００ｍｍ×幅１０ｍｍ×厚さ１ｍｍの試料）をガラス転移点＋１００℃の温度で１０分間保持した後、毎分４０℃で室温まで冷却する。ここで試料の全長（長さ方向）Ｌ１を計測する。その後、毎時１００℃で６００℃まで加熱し、６００℃で８０分間保持し、毎時１００℃で室温まで冷却し、再度試料の全長Ｌ２を計測した。６００℃での熱処理前後での全長の差（Ｌ１−Ｌ２）と、６００℃での熱処理前の試料全長Ｌ１と、の比（Ｌ１−Ｌ２）／Ｌ１×１０6を熱収縮率とした。
なお、表１〜４中、括弧書で示した値は計算値である。
【００４１】
【表１】
2019167293.tif 000002
【００４２】
【表２】
2019167293.tif 000003
【００４３】
【表３】
2019167293.tif 000004
【００４４】
【表４】
2019167293.tif 000005
【００４５】
表から明らかなように、実施例のガラスはいずれも、歪点が６９５℃以上と高く、熱膨脹係数は４３×１０-7／℃以下と低く、ガラス粘度が１０2ｄＰａ・ｓとなる温度Ｔ2が１６９０℃以下であることから、ガラス製造時において、溶解性に優れる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明の無アルカリガラスは、歪点が高く、フロート法による成形ができ、ディスプレイ用基板、フォトマスク用基板等の用途に好適である。また、情報記録媒体用基板、太陽電池用基板等の用途にも好適である。