(57)【要約】【課題】焼結体層と不要層とを有する積層板における不要層を安定して剥離することを可能にした焼結体の製造方法及び焼結体の製造装置を提供する。【解決手段】焼結体の製造方法は、焼結体層ＳＡと不要層ＳＢとを有する積層板Ｓ１から焼結体Ｓ２を製造する。焼結体の製造方法は、剥離液で湿らせた状態の不要層ＳＢにブラシ体１４を摺接することで焼結体層ＳＡから不要層ＳＢを剥離する剥離工程を備える。剥離工程において、積層板Ｓ１の一方の主面を吸引する保持プレート１２により積層板Ｓ１を保持した状態で積層板Ｓ１の他方の主面側に設けられた不要層ＳＢを剥離する。焼結体の製造装置１１における剥離部Ｐ２は、保持プレート１２と、保持プレート１２に保持された積層板Ｓ１の他方の主面側に設けられた不要層ＳＢに剥離液を供給する剥離液供給部１３と、剥離液が供給された不要層ＳＢに摺接されるブラシ体１４とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
焼結体層と不要層とを有する積層板から焼結体を製造する焼結体の製造方法であって、
剥離液で湿らせた状態の前記不要層にブラシ体を摺接することで前記焼結体層から前記不要層を剥離する剥離工程を備え、
前記剥離工程において、前記積層板の一方の主面を吸引する保持プレートにより前記積層板を保持した状態で前記積層板の他方の主面側に設けられた前記不要層を剥離することを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項２】
前記保持プレートは、前記積層板の一方の主面における外周縁の全周にわたって接触する外周接触面を有することを特徴とする請求項１に記載の焼結体の製造方法。
【請求項３】
前記保持プレートは、前記外周接触面よりも内周側に位置するとともに前記積層板の一方の主面に接触する内周接触面をさらに有することを特徴とする請求項２に記載の焼結体の製造方法。
【請求項４】
前記保持プレートは、前記外周接触面と連続した平坦面であり、かつ前記積層板と非接触となる非接触面を有し、
前記非接触面は、前記外周接触面を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の焼結体の製造方法。
【請求項５】
前記ブラシ体は、回転駆動されるロールブラシであり、
前記保持プレートと前記ロールブラシとを相対移動させることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の焼結体の製造方法。
【請求項６】
前記相対移動において規定される前記積層板の移動方向に逆らって前記ロールブラシを回転させることを特徴とする請求項５に記載の焼結体の製造方法。
【請求項７】
前記積層板は、前記焼結体層の両面にそれぞれ不要層を有し、
前記剥離工程は、一方の前記不要層を剥離する第１段階と、他方の前記不要層を剥離する第２段階とを備え、
前記第１段階及び前記第２段階で用いる前記ブラシ体は、共通の前記ロールブラシであり、前記第１段階及び前記第２段階の前記相対移動において規定される前記積層板の移動方向は、互いに同一の移動方向であることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の焼結体の製造方法。
【請求項８】
前記ブラシ体のブラシの材質は、ポリアミド系樹脂であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の焼結体の製造方法。
【請求項９】
前記積層板は、未焼結体層と前記未焼結体層を拘束する拘束層とが積層された未焼結積層板の前記未焼結体層を焼成することで得られ、前記積層板の前記不要層は、前記拘束層であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の焼結体の製造方法。
【請求項１０】
前記積層板の厚さは、５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の焼結体の製造方法。
【請求項１１】
焼結体層と不要層とを有する積層板から焼結体を製造する焼結体の製造装置であって、
前記焼結体層から前記不要層を剥離する剥離部を備え、
前記剥離部は、前記積層板の一方の主面を吸引して前記積層板を保持する保持プレートと、前記保持プレートに保持された前記積層板の他方の主面側に設けられた前記不要層に剥離液を供給する剥離液供給部と、前記剥離液が供給された前記不要層に摺接されるブラシ体と、を備えることを特徴とする焼結体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焼結体の製造方法及び焼結体の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミックス基板等の焼結体は、例えば、グリーンシートと呼ばれる未焼結体を焼成することで得られる。近年、未焼結体の焼成法の一種として、無収縮焼成法が知られている（例えば、特許文献１参照）。無収縮焼成法では、未焼結体層と、未焼結体層を拘束する拘束層とを積層した未焼結積層板を焼成工程に供する方法である。この無収縮焼成法では、未焼結体層の焼成に伴う面内の収縮が拘束層により抑制されるため、寸法精度を高めた焼結体を製造することが可能となる。ここで、無収縮焼成法において、未焼結積層板の拘束層については、焼成工程の後に不要な不要層となる。このように焼結体に積層されている不要層を剥離する方法としては、例えば、特許文献１に開示されるように水等の剥離液とブラシ体とを用いる方法が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２５３４９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のように焼結体層と不要層とを有する積層板において、不要層を剥離するためにブラシ体を用いた場合、ブラシ体の摺接により積層板の位置が所定の位置からずれることで、不要層の剥離力が不安定となるおそれがあった。
【０００５】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、焼結体層と不要層とを有する積層板における不要層を安定して剥離することを可能にした焼結体の製造方法及び焼結体の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決する焼結体の製造方法は、焼結体層と不要層とを有する積層板から焼結体を製造する焼結体の製造方法であって、剥離液で湿らせた状態の前記不要層にブラシ体を摺接することで前記焼結体層から前記不要層を剥離する剥離工程を備え、前記剥離工程において、前記積層板の一方の主面を吸引する保持プレートにより前記積層板を保持した状態で前記積層板の他方の主面側に設けられた前記不要層を剥離する。
【０００７】
この方法によれば、積層板の不要層にブラシ体を摺接する際に、上記のように保持プレートで保持することで積層板の位置が安定するため、ブラシ体の摺接力を積層板の不要層に安定して得ることができる。
【０００８】
上記焼結体の製造方法において、前記保持プレートは、前記積層板の一方の主面における外周縁の全周にわたって接触する外周接触面を有することが好ましい。
この方法によれば、ブラシ体の摺接力を積層板の不要層の外周縁に伝え易くなる。
【０００９】
上記焼結体の製造方法において、前記保持プレートは、前記外周接触面よりも内周側に位置するとともに前記積層板の一方の主面に接触する内周接触面をさらに有することが好ましい。
【００１０】
この方法によれば、保持プレートと積層板との接触面積を増大することができるため、積層板をより安定して保持することができる。これにより、積層板の不要層にブラシ体の摺接力をより伝え易くなる。
【００１１】
上記焼結体の製造方法において、前記保持プレートは、前記外周接触面と連続した平坦面を形成し、かつ前記積層板と非接触となる非接触面を有し、前記非接触面は、前記外周接触面を取り囲むように配置されていることが好ましい。
【００１２】
この方法によれば、保持プレートの外周接触面の変形を抑えることができるため、外周接触面と積層板との密着性を高めることができる。これにより、積層板を吸引する保持プレートの吸引力が十分に発揮されることで、ブラシ体から比較的強い摺接力が積層板の不要層に加わったとしても、積層板の位置ずれを防止することが可能となる。
【００１３】
上記焼結体の製造方法において、前記ブラシ体は、回転駆動されるロールブラシであり、前記保持プレートと前記ロールブラシとを相対移動させることが好ましい。
この方法によれば、例えば、剥離工程を効率的に行うことができるとともに、剥離工程で剥離された不要層の排出が容易となる。
【００１４】
上記焼結体の製造方法において、前記相対移動において規定される前記積層板の移動方向に逆らって前記ロールブラシを回転させることが好ましい。
この方法によれば、積層板の不要層を剥離する剥離力をより高めることができる。
【００１５】
上記焼結体の製造方法において、前記積層板は、前記焼結体層の両面にそれぞれ不要層を有し、前記剥離工程は、一方の前記不要層を剥離する第１段階と、他方の前記不要層を剥離する第２段階とを備え、前記第１段階及び前記第２段階で用いる前記ブラシ体は、共通の前記ロールブラシであり、前記第１段階及び前記第２段階の前記相対移動において規定される前記積層板の移動方向は、互いに同一の移動方向であることが好ましい。
【００１６】
この方法によれば、積層板の搬入、及び焼結体の搬出のスペースの確保が容易であり、また製造設備を小型化することが可能となる。
上記焼結体の製造方法において、前記ブラシ体のブラシの材質は、ポリアミド系樹脂であることが好ましい。
【００１７】
この方法によれば、積層板の焼結体層の主面に傷が生じ難く、かつ不要層の剥離力を十分に得ることができる。
上記焼結体の製造方法において、前記積層板は、未焼結体層と前記未焼結体層を拘束する拘束層とが積層された未焼結積層板の前記未焼結体層を焼成することで得られ、前記積層板の前記不要層は、前記拘束層であることが好ましい。
【００１８】
この方法によれば、寸法精度の高い焼結体を得ることができる。
上記焼結体の製造方法において、前記積層板の厚さは、５ｍｍ以下であってもよい。
積層板は、その厚さが薄くなるほど変形や破損が発生し易い。このように厚さの薄い積層板であっても、上記焼結体の製造方法のように保持プレートを用いることで、積層板を保護しつつ、ブラシ体からの摺接力を積層板の不要層に十分に伝えることができる。
【００１９】
上記課題を解決する焼結体の製造装置の一態様は、焼結体層と不要層とを有する積層板から焼結体を製造する焼結体の製造装置であって、前記焼結体層から前記不要層を剥離する剥離部を備え、前記剥離部は、前記積層板の一方の主面を吸引して前記積層板を保持する保持プレートと、前記保持プレートに保持された前記積層板の他方の主面側に設けられた前記不要層に剥離液を供給する剥離液供給部と、前記剥離液が供給された前記不要層に摺接されるブラシ体と、を備える。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、焼結体層と不要層とを有する積層板における不要層を安定して剥離することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施形態における焼結体の製造装置を示す概略正面図である。
【図２】（ａ）は、保持プレートを示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の２ｂ−２ｂ線に沿った断面図である。
【図３】焼結体の製造装置の一部を示す概略正面図である。
【図４】焼結体の製造装置の一部を示す概略正面図である。
【図５】焼結体の製造装置の一部を示す概略正面図である。
【図６】焼結体の製造装置の一部を示す概略正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、焼結体の製造方法及び焼結体の製造装置の実施形態について図面を参照して説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張又は簡略化して示す場合がある。また、各部分の寸法比率についても、実際と異なる場合がある。まず、焼結体の製造装置について説明する。
【００２３】
＜焼結体の製造装置の概要＞
図１に示すように、本実施形態における焼結体の製造装置１１は、積層板Ｓ１から焼結体Ｓ２を製造する装置である。積層板Ｓ１は、焼結体層ＳＡと、不要層ＳＢとを有している。焼結体の製造装置１１に搬入される積層板Ｓ１は、焼結体層ＳＡの両面にそれぞれ不要層ＳＢを有している。
【００２４】
焼結体の製造装置１１は、積層板Ｓ１の搬入部Ｐ１と、積層板Ｓ１の焼結体層ＳＡから不要層ＳＢを剥離する剥離部Ｐ２と、不要層ＳＢを剥離した焼結体層ＳＡの主面を後処理する後処理部Ｐ３と、積層板Ｓ１を反転させる反転部Ｐ４と、焼結体Ｓ２を搬出する搬出部Ｐ５とを備えている。
【００２５】
焼結体の製造装置１１は、積層板Ｓ１の一方の主面（本実施形態では下面）を吸引して積層板Ｓ１を保持する保持プレート１２を備えている。焼結体の製造装置１１における剥離部Ｐ２は、積層板Ｓ１の不要層ＳＢの他方の主面側に設けられた不要層ＳＢに剥離液を供給する剥離液供給部１３と、剥離液が供給された不要層ＳＢに摺接されるブラシ体１４とを備えている。本実施形態の焼結体の製造装置１１は、保持プレート１２をブラシ体１４に対して相対移動させる移動機構１５と、反転部Ｐ４において積層板Ｓ１を反転させる反転機構１６とをさらに備えている。
【００２６】
＜保持プレート＞
図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、焼結体の製造装置１１における保持プレート１２は、積層板Ｓ１の一方の主面に接触する接触面１７を有している。保持プレート１２の接触面１７は、積層板Ｓ１の一方の主面における外周縁の全周にわたって接触する外周接触面１７ａと、外周接触面１７ａよりも内周側に位置する内周接触面１７ｂとを有している。内周接触面１７ｂは、保持プレート１２の面内方向において互いに離間した複数から構成されている。
【００２７】
本実施形態の保持プレート１２は、４つの内周接触面１７ｂを有しているが、内周接触面１７ｂは、単数であってもよいし、４つ以外の複数であってもよい。
保持プレート１２は、外周接触面１７ａの内縁に沿って連続した環状の外周凹溝１８ａを有している。本実施形態の保持プレート１２は、隣り合う内周接触面１７ｂの間に形成され、外周凹溝１８ａに連続した内側凹溝１８ｂを有している。
【００２８】
保持プレート１２は、外周接触面１７ａと連続した平坦面であり、かつ積層板Ｓ１と非接触となる非接触面１９を有している。非接触面１９は、外周接触面１７ａを取り囲むように配置されている。
【００２９】
保持プレート１２は、外周接触面１７ａよりも内周側であり、平面視で内周接触面１７ｂと重ならない位置に開口する吸引孔２０を有している。吸引孔２０には、吸引装置２１が接続されている。吸引装置２１としては、減圧ポンプ等を用いることができる。なお、吸引孔２０は、単数であってもよいし、複数であってもよい。
【００３０】
このように構成された保持プレート１２に積層板Ｓ１を載置した状態で、吸引孔２０を通じた吸引を行うことで、外周凹溝１８ａ及び内側凹溝１８ｂが減圧されるため、積層板Ｓ１の一方の主面が吸引される。これにより、積層板Ｓ１は、保持プレート１２の接触面１７に密着した状態に維持することができる。
【００３１】
保持プレート１２の外周接触面１７ａの形状や寸法は、積層板Ｓ１の外形に応じて変更することができる。保持プレート１２の外周接触面１７ａの幅寸法は、５ｍｍ以上であることが好ましい。すなわち、積層板Ｓ１の主面は、外縁から５ｍｍ以上の幅で保持プレート１２の外周接触面１７ａに接触していることが好ましい。保持プレート１２の内周接触面１７ｂの形状や寸法についても、変更することができる。保持プレート１２の接触面１７の面積は、積層板Ｓ１の主面の面積を１００％としたとき、６０％以上であることが好ましく、より好ましくは７０％以上である。保持プレート１２の接触面１７の面積をより広くすることで、積層板Ｓ１を安定して保持することができる。
【００３２】
保持プレート１２の接触面１７は、緩衝性や積層板Ｓ１との密着性の高い材料から構成することが好ましい。詳述すると、本実施形態の保持プレート１２は、プレート基体１２ａと、プレート基体１２ａに積層されたパッド部１２ｂとを備えている。プレート基体１２ａには、上記吸引孔２０が貫設されている。パッド部１２ｂは、上述した接触面１７及び非接触面１９を有している。パッド部１２ｂは、プレート基体１２ａよりも軟質な材料から形成されている。プレート基体１２ａは、例えば、金属材料から構成されることが好ましい。パッド部１２ｂは、例えば、ゴム系材料又は樹脂系材料から構成されることが好ましく、独立気泡構造を有する発泡体から構成されることがより好ましく、独立気泡構造を有するエステル系ポリウレタン発泡体から構成されることがさらに好ましい。パッド部１２ｂの硬度は、タイプＡデュロメータで測定されるＡ硬度（ＪＩＳ  Ｋ６２５３−３：２０１２）において、Ａ５０以上、Ａ８０以下であることが好ましい。
【００３３】
＜ブラシ体＞
焼結体の製造装置１１におけるブラシ体１４は、回転駆動されるロールブラシである。ブラシ体１４には、モーター等の回転駆動部２２が連結されている。ブラシ体１４は、積層板Ｓ１の板面に沿って延在する回転軸を中心に回転駆動される。ブラシ体１４と保持プレート１２との間隔は、周知のねじ機構や流体圧シリンダ等の位置調整機構を用いて調整することができる。
【００３４】
ブラシ体１４のブラシの材質は、ポリアミド系樹脂であることが好ましい。ブラシの繊維には、研磨材が含まれていてもよい。ブラシの毛丈は、１０ｍｍ以上、３０ｍｍ以下であることが好ましい。ブラシの毛丈が１０ｍｍ以上の場合、焼結体層ＳＡに過剰な負荷がかかり難くなるため、焼結体層ＳＡの破損を抑えることができる。ブラシの毛丈が３０ｍｍ以下の場合、不要層ＳＢの剥離力を高めることができる。ブラシの線径は、０．１ｍｍ以上、０．５ｍｍ以下であることが好ましい。ブラシの線径が０．１ｍｍ以上の場合、不要層ＳＢの剥離力を高めることができる。ブラシの線径が０．５ｍｍ以下の場合、焼結体層ＳＡに過剰な負荷がかかり難くなるため、焼結体層ＳＡの破損を抑えることができる。
【００３５】
＜剥離液供給部＞
焼結体の製造装置１１における剥離液供給部１３は、剥離液を保持プレート１２に保持された積層板Ｓ１に向けて噴射する。剥離液供給部１３は、剥離液を噴射するノズルを備えている。剥離液は、焼結体層ＳＡからの不要層ＳＢの剥離を促進し得る液体であれば特に限定されない。剥離液としては、取扱いが容易であることから、水が好適に用いられる。
【００３６】
＜移動機構＞
焼結体の製造装置１１における移動機構１５は、搬入部Ｐ１から反転部Ｐ４まで保持プレート１２を往復移動可能に構成されている。移動機構１５は、例えば、保持プレート１２を搬送するコンベア部と、コンベア部を移動させる駆動部とから構成することができる。移動機構１５のコンベア部は、保持プレート１２をコンベア部に対して位置決めする周知のチャック機構を備えている。
【００３７】
＜反転機構＞
焼結体の製造装置１１における反転機構１６は、例えば、積層板Ｓ１の両端部を保持し、積層板Ｓ１の表裏を反転させた後に保持プレート１２に載置するように構成されている。詳述すると、反転機構１６は、積層板Ｓ１を保持する保持部と、保持部を昇降する昇降機構と、積層板Ｓ１を反転させるように保持部を回転させる回転機構とを備えている。
【００３８】
＜洗浄及び乾燥＞
焼結体の製造装置１１は、剥離部Ｐ２の後工程において、さらに洗浄液を供給する洗浄液供給部２３を備えた後処理部Ｐ３を備えている。洗浄液供給部２３は、ブラシ体１４と反転機構１６との間において保持プレート１２の移動経路に洗浄液を供給するように配置されている。洗浄液供給部２３は、洗浄液を噴射するノズルを備えている。洗浄液としては、水が好適に用いられる。
【００３９】
本実施形態における焼結体の製造装置１１の後処理部Ｐ３は、さらに不要層ＳＢが剥離されることで露出した焼結体層ＳＡ（焼結体Ｓ２）の主面を乾燥する乾燥装置２４を備えている。乾燥装置２４は、洗浄液で洗い流された焼結体層ＳＡの主面を乾燥するように配置されている。乾燥装置２４としては、例えば、温風を焼結体層ＳＡの主面に吹き付ける送風装置を用いることができる。なお、乾燥装置２４は、赤外線ヒーター等の加熱装置であってもよい。
【００４０】
＜焼結体の製造方法＞
次に、焼結体の製造方法を説明する。
焼結体の製造方法は、積層板Ｓ１から焼結体Ｓ２を製造する方法である。積層板Ｓ１は、未焼結体層と、この未焼結体層を拘束する拘束層とが積層された未焼結積層板の未焼結体層を焼成することで得られる。未焼結体層としては、周知のグリーンシートを用いることができる。グリーンシートとしては、例えば、多層セラミックス基板形成用グリーンシート、波長変換部材形成用のグリーンシート等が挙げられる。未焼結体層は、単層構造を有していてもよいし、多層構造を有していてもよい。未焼結体層（グリーンシート）は、例えば、ガラス粉末及びバインダーを含有する。
【００４１】
拘束層は、未焼結体層の焼成温度では焼結しない材料から構成される。拘束層は、例えば、無機粉体及びバインダーを含有する。無機粉体としては、例えば、金属酸化物の粉体であり、酸化アルミニウムの粉体を好適に用いることができる。
【００４２】
未焼結積層板は、未焼結体層と拘束層とを圧着することで形成することができる。未焼結積層板の未焼結体層を焼成する焼成工程は、未焼結積層板を厚み方向に加圧した状態で行ってもよいし、加圧せずに行ってもよい。
【００４３】
このように構成された未焼結積層板を焼成する無収縮焼成法では、未焼結体層の焼成に伴う面内の収縮が拘束層により抑制されるため、寸法精度を高めた焼結体Ｓ２を製造することが可能となる。未焼結積層板の拘束層は、未焼結体層を焼成した後に不要となる。すなわち、未焼結積層板の拘束層は、焼成工程後の積層板Ｓ１において不要となった不要層ＳＢである。積層板Ｓ１は、例えば、５ｍｍ以下の厚さを有している。積層板Ｓ１の厚さは、例えば、０．５ｍｍ以上である。
【００４４】
焼結体の製造方法は、剥離液で湿らせた状態の不要層ＳＢにブラシ体１４を摺接することで焼結体層ＳＡから不要層ＳＢを剥離する剥離工程を備えている。本実施形態の剥離工程は、積層板Ｓ１の一方の不要層ＳＢを剥離する第１段階と、積層板Ｓ１の他方の不要層ＳＢを剥離する第２段階とを備えている。
【００４５】
図３に示すように、剥離工程の第１段階は、積層板Ｓ１の一方の主面を吸引する保持プレート１２により積層板Ｓ１を保持した状態で行われる。剥離工程の第１段階では、積層板Ｓ１の他方の主面側に設けられた不要層ＳＢを剥離する。この第１段階では、保持プレート１２を移動機構１５により第１移動方向Ｄ１に移動させる。これにより、保持プレート１２と、ロールブラシ（ブラシ体１４）とを相対移動させることができる。このとき、不要層ＳＢの剥離力を高めるという観点から、ロールブラシ（ブラシ体１４）は、第１移動方向Ｄ１に逆らって回転させることが好ましい。
【００４６】
図４に示すように、焼結体の製造方法では、剥離工程の第１段階の後、洗浄工程と乾燥工程が行われる。洗浄工程では、第１段階において不要層ＳＢが剥離されることで露出した焼結体層ＳＡの主面を洗浄液供給部２３から供給される洗浄液により洗浄する。乾燥工程では、洗浄液により洗浄された焼結体層ＳＡの主面を乾燥する。洗浄工程及び乾燥工程は、上述した焼結体の製造装置１１における後処理部Ｐ３に保持プレート１２を移動させることで行うことができる。
【００４７】
次に、焼結体の製造装置１１における反転部Ｐ４に保持プレート１２を移動させる。このとき、積層板Ｓ１の他方の主面（上面）は、焼結体層ＳＡが露出した露出面となっている。
【００４８】
続いて、図５に示すように、焼結体の製造方法では、反転部Ｐ４において反転工程が行われる。反転工程では、積層板Ｓ１の不要層ＳＢが上面となるように積層板Ｓ１を反転機構１６により反転させる。このように反転工程で反転された積層板Ｓ１を保持プレート１２に保持させる。すなわち、反転工程後の積層板Ｓ１では、焼結体層ＳＡが露出した主面（下面）を保持プレート１２により吸引することで保持プレート１２に保持する。次に、保持プレート１２を第１移動方向Ｄ１とは反対の第２移動方向Ｄ２に移動させる。
【００４９】
続いて、図６に示すように、剥離工程の第１段階と同様に、剥離部Ｐ２において剥離工程の第２段階が行われる。すなわち、剥離工程の第１段階及び第２段階では、共通のブラシ体１４（ロールブラシ）を用いる。また、剥離工程の第１段階及び第２段階において、積層板Ｓ１の移動方向は、互いに同一の第１移動方向Ｄ１である。なお、本実施形態では、剥離工程の第２段階の後においても、洗浄工程及び乾燥工程を行った後、得られた焼結体Ｓ２を搬出部Ｐ５に搬出する。
【００５０】
得られた焼結体Ｓ２には、必要に応じて表面研磨等の後加工が施される。焼結体Ｓ２としては、例えば、多層セラミックス基板、入射した励起光とは異なる波長の蛍光を出射する波長変換部材等が挙げられる。
【００５１】
以上詳述した実施形態によれば、次のような作用効果が発揮される。
（１）焼結体の製造方法は、焼結体層ＳＡと不要層ＳＢとを有する積層板Ｓ１から焼結体Ｓ２を製造する方法である。焼結体の製造方法は、剥離液で湿らせた状態の不要層ＳＢにブラシ体１４を摺接することで積層板Ｓ１の焼結体層ＳＡから不要層ＳＢを剥離する剥離工程を備えている。剥離工程では、積層板Ｓ１の一方の主面を吸引する保持プレート１２により積層板Ｓ１を保持した状態で積層板Ｓ１の他方の主面側に設けられた不要層ＳＢを剥離する。
【００５２】
この方法によれば、積層板Ｓ１の不要層ＳＢにブラシ体１４を摺接する際に、上記のように保持プレート１２で保持することで積層板Ｓ１の位置が安定するため、ブラシ体１４の摺接力を積層板Ｓ１の不要層ＳＢに安定して伝えることができる。従って、焼結体層ＳＡと不要層ＳＢとを有する積層板Ｓ１における不要層ＳＢを安定して剥離することが可能となる。
【００５３】
（２）焼結体の製造方法において、保持プレート１２は、積層板Ｓ１の一方の主面における外周縁の全周にわたって接触する外周接触面１７ａを有している。この場合、ブラシ体１４の摺接力を積層板Ｓ１の不要層ＳＢの外周縁に伝え易くなる。従って、積層板Ｓ１の不要層ＳＢを剥離する剥離力を高めることができる。
【００５４】
（３）焼結体の製造方法において、保持プレート１２は、外周接触面１７ａよりも内周側に位置するとともに積層板Ｓ１の一方の主面に接触する内周接触面１７ｂをさらに有している。この場合、保持プレート１２と積層板Ｓ１との接触面積を増大することができるため、積層板Ｓ１をより安定して保持することができる。これにより、ブラシ体１４の摺接力を積層板Ｓ１の不要層ＳＢにより伝え易くなる。従って、積層板Ｓ１の不要層ＳＢを剥離する剥離力をより高めることができる。
【００５５】
（４）焼結体の製造方法において、保持プレート１２は、外周接触面１７ａと連続した平坦面であり、かつ積層板Ｓ１と非接触となる非接触面１９を有している。保持プレート１２の非接触面１９は、外周接触面１７ａを取り囲むように配置されている。
【００５６】
この場合、保持プレート１２の外周接触面１７ａの変形を抑えることができるため、外周接触面１７ａと積層板Ｓ１との密着性を高めることができる。これにより、積層板Ｓ１を吸引する保持プレート１２の吸引力が十分に発揮されることで、ブラシ体１４から比較的強い摺接力が積層板Ｓ１の不要層ＳＢに加わったとしても、積層板Ｓ１の位置ずれを防止することが可能となる。従って、積層板Ｓ１の不要層ＳＢを剥離する剥離力をより高めることができる。
【００５７】
（５）焼結体の製造方法において、ブラシ体１４は、回転駆動されるロールブラシであり、保持プレート１２とロールブラシとを相対移動させている。この場合、剥離工程を効率的に行うことができるとともに、剥離工程で剥離された不要層ＳＢの排出が容易となる。従って、焼結体Ｓ２の生産性を容易に高めることができる。
【００５８】
（６）焼結体の製造方法では、保持プレート１２とロールブラシとの相対移動において規定される積層板Ｓ１の移動方向（第１移動方向Ｄ１）に逆らってロールブラシを回転させている。すなわち、本実施形態では、ロールブラシを積層板Ｓ１の移動方向に向かう正回転に対して逆回転させている。この場合、積層板Ｓ１の不要層ＳＢを剥離する剥離力をより高めることができる。これにより、例えば、ブラシ体１４の数を削減することで、製造設備を小型化することが可能となる。また、例えば、焼結体Ｓ２の製造効率を高めることが可能となる。
【００５９】
（７）積層板Ｓ１は、焼結体層ＳＡの両面にそれぞれ不要層ＳＢを有している。焼結体の製造方法における剥離工程は、一方の不要層ＳＢを剥離する第１段階と、他方の不要層ＳＢを剥離する第２段階とを備えている。剥離工程において、第１段階及び第２段階で用いるブラシ体１４は、共通のロールブラシであり、第１段階及び第２段階の相対移動において規定される積層板Ｓ１の移動方向は、互いに同一の移動方向（第１移動方向Ｄ１）である。
【００６０】
この場合、積層板Ｓ１の搬入、及び焼結体Ｓ２の搬出のスペースの確保が容易であり、また製造設備を小型化することが可能となる。
（８）焼結体の製造方法において、ブラシ体１４のブラシの材質は、ポリアミド系樹脂であることが好ましい。この場合、積層板Ｓ１の焼結体層ＳＡの主面に傷が生じ難く、かつ不要層ＳＢの剥離力を十分に得ることができる。従って、焼結体Ｓ２の歩留まりを向上したり、焼結体Ｓ２の生産効率を高めたりすることが可能となる。
【００６１】
（９）積層板Ｓ１は、未焼結体層と未焼結体層を拘束する拘束層とが積層された未焼結積層板の未焼結体層を焼成することで得られる。積層板Ｓ１の不要層ＳＢは、拘束層である。この場合、寸法精度の高い焼結体Ｓ２を得ることができる。
【００６２】
（１０）積層板Ｓ１は、その厚さが薄くなるほど変形や破損が発生し易い。このように厚さの薄い積層板Ｓ１であっても、上記焼結体の製造方法のように保持プレート１２を用いることで、積層板Ｓ１を保護しつつ、ブラシ体１４からの摺接力を積層板Ｓ１の不要層ＳＢに十分に伝えることができる。従って、本実施形態の焼結体の製造方法は、厚さが５ｍｍ以下の積層板Ｓ１から焼結体Ｓ２を製造する方法として好適に用いることができる。
【００６３】
（１１）焼結体の製造装置１１は、焼結体層ＳＡと不要層ＳＢとを有する積層板Ｓ１から焼結体Ｓ２を製造する装置である。焼結体の製造装置１１は、積層板Ｓ１の焼結体層ＳＡから不要層ＳＢを剥離する剥離部Ｐ２を備えている。剥離部Ｐ２は、積層板Ｓ１の一方の主面を吸引して積層板Ｓ１を保持する保持プレート１２と、保持プレート１２に保持された積層板Ｓ１の他方の主面側に設けられた不要層ＳＢに剥離液を供給する剥離液供給部１３と、剥離液が供給された不要層ＳＢに摺接されるブラシ体１４とを備えている。
【００６４】
この構成によれば、上記（１）欄で述べた作用効果と同様の作用効果が得られる。
（変更例）
上記実施形態を次のように変更してもよい。
【００６５】
・焼結体の製造方法で用いる保持プレート１２の構成としては、例えば、積層板Ｓ１の一方の主面の外周縁よりも内側のみに接触面を有する構成、内周接触面１７ｂを省略した構成、外周接触面１７ａを取り囲む非接触面１９を省略した構成等を採用してもよい。
【００６６】
・上記焼結体の製造方法において、剥離工程の第１段階及び第２段階の少なくとも一方の段階を、複数のブラシ体を用いて行ってもよい。
・上記焼結体の製造方法において、ブラシ体１４としてロールブラシを用いているが、例えば、積層板Ｓ１の板面に直交する回転軸を中心に回転される円盤ブラシを用いてもよい。この場合、積層板Ｓ１の外形よりも大きい外形を有する円盤ブラシを用いることで、ブラシ体と積層板Ｓ１とを相対移動させずに剥離工程を行うこともできる。また、ブラシ体を回転不能な板ブラシに変更することもできる。
【００６７】
・焼結体の製造方法において、ブラシ体１４（ロールブラシ）を積層板Ｓ１の移動速度よりも周速を速めた回転駆動により積層板Ｓ１の移動方向に向かって回転（正回転）させてもよい。
【００６８】
・焼結体の製造方法において、剥離工程の第１段階及び第２段階では、保持プレート１２（積層板Ｓ１）を移動させているが、保持プレート１２を移動させずにブラシ体１４（ロールブラシ）を移動させてもよい。この場合であっても、上記（５）欄で述べた作用効果と同様の作用効果を得ることができる。なお、ブラシ体１４を移動させる場合、保持プレート１２（積層板Ｓ１）とロールブラシとの相対移動において規定される積層板Ｓ１の移動方向は、ブラシ体１４の移動方向と反対の方向となる。
【００６９】
・焼結体の製造方法において、剥離工程の第１段階及び第２段階では、共通のブラシ体１４を用いているが、第１段階で用いるブラシ体と異なるブラシ体を第２段階で用いてもよい。例えば、剥離工程の第１段階を行うラインと、剥離工程の第２段階を行うラインとを直列、又は並列させて配置することで、剥離工程の第１段階及び第２段階を行うこともできる。
【００７０】
・焼結体の製造方法において、剥離工程の第１段階及び第２段階では、積層板Ｓ１の移動方向は、互いに同一の第１移動方向Ｄ１であるが、第２段階は、第１移動方向Ｄ１と反対の第２移動方向Ｄ２に積層板Ｓ１を移動して行うこともできる。また、第２段階において、上記のように第１段階と異なるブラシ体を用いた場合、第１移動方向Ｄ１及び第２移動方向Ｄ２のいずれの方向とも異なる方向に積層板Ｓ１を移動して行うこともできる。
【００７１】
・上記焼結体の製造方法において、積層板Ｓ１を保持プレート１２に保持した後に、積層板Ｓ１の不要層ＳＢを剥離液で湿らせた状態としているが、積層板Ｓ１の不要層ＳＢを剥離液で湿らせた状態とした後に、積層板Ｓ１を保持プレート１２に保持させてもよい。
【００７２】
・上記積層板Ｓ１は、焼結体層ＳＡの両面にそれぞれ不要層ＳＢを有しているが、焼結体層ＳＡの片面に不要層ＳＢを有する積層板であってもよい。すなわち、焼結体の製造方法において、反転工程、及び剥離工程の第２段階を省略してもよい。
【００７３】
・上記積層板Ｓ１の不要層ＳＢは、未焼結積層板に積層された拘束層であるが、不要層ＳＢは拘束層に限らず、例えば、焼結の過程で焼結体層ＳＡの主面に析出した不純物層であってもよい。
【００７４】
・上記積層板Ｓ１は、平面視で四角形状であるが、例えば、四角形状以外の多角形状や円形状等の他の形状の積層板に変更してもよい。
・焼結体の製造方法において、洗浄液供給部２３を用いた洗浄工程、及び乾燥装置２４を用いた乾燥工程の少なくとも一方の工程を省略することもできる。例えば、焼結体Ｓ２を後工程で洗浄したり、自然乾燥したりすることもできる。
【符号の説明】
【００７５】
１１…焼結体の製造装置、１２…保持プレート、１３…剥離液供給部、１４…ブラシ体、１７ａ…外周接触面、１７ｂ…内周接触面、１９…非接触面、Ｄ１…第１移動方向、Ｐ２…剥離部、Ｓ１…積層板、Ｓ２…焼結体、ＳＡ…焼結体層、ＳＢ…不要層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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