(57)【要約】【課題】プローブカードを用いて精度良く抵抗値を測定することのできる抵抗値測定方法を提供する。【解決手段】プローブカード１は、矩形状の開口２ａを有する支持体２と、支持体２に固定されて開口２ａ内に突出する複数対の測定端子３と、開口２ａ内に露出するように支持体２に搭載された一対の圧力センサ４とを備えており、このプローブカード１を用いて集合基板５の上面に形成された抵抗体８の抵抗値を測定する。この場合、プローブカード１が集合基板５の上面に対し傾斜した姿勢で近接されると、駆動機構９は一対の圧力センサ４の出力値が同じになるようにプローブカード１を傾倒動作し、集合基板５の上面に対してプローブカード１が平行になるように姿勢補正するため、各測定端子３を集合基板５上の対応する電極７に対して同じような接触抵抗で当接させることができる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極間に抵抗体を接続した構成を一組とする素子が絶縁基板の上面に列状に多数形成されており、前記各素子の前記電極に対応する位置に一対の測定端子を一列に固定したプローブカードを準備し、前記各測定端子を前記電極にそれぞれ当接させて前記抵抗体の抵抗値を測定する抵抗値測定方法であって、
前記プローブカードに前記絶縁基板の上面に対する平行度を検出可能な検出素子が搭載されており、前記検出素子の検出値に基づいて、前記プローブカードに一列に固定された前記測定端子と前記絶縁基板上に一列に配置された前記電極とが平行に接触するように当接させ、この状態で前記抵抗体の抵抗値を測定することを特徴とする抵抗値測定方法。
【請求項２】
請求項１の記載において、前記検出素子は配列方向の両端に位置する前記測定端子の外側にそれぞれ搭載されており、これら２つの前記検出素子の出力値に基づいて前記平行度が検出されることを特徴とする抵抗値測定方法。
【請求項３】
請求項２の記載において、前記検出素子が圧力センサまたは距離センサであることを特徴とする抵抗値測定方法。
【請求項４】
一対の電極間に抵抗体を接続した構成を一組とする素子が絶縁基板の上面に列状に多数形成されており、前記各素子の前記電極に対応する位置に一対の測定端子を一列に固定したプローブカードを準備し、前記各測定端子を前記電極にそれぞれ当接させて前記抵抗体の抵抗値を測定する抵抗値測定方法であって、
前記プローブカードにおける前記測定端子の配列方向の両端部に一対のスペーサが配設されており、前記プローブカードと前記絶縁基板を近接方向へ相対移動したとき、一対の前記スペーサが前記絶縁基板の上面に当接するように前記プローブカードを揺動させることにより、一列に整列された前記測定端子と一列に整列された前記電極が平行に接触するようにしたことを特徴とする抵抗値測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブカードに列状に固定された複数の測定端子を絶縁基板上の対応する電極に接触させることにより、一対の電極間に接続された抵抗体の抵抗値を測定する抵抗値測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
チップ抵抗器を製造する場合、通常は、大判の絶縁基板（集合基板）に対して多数個分の電極や抵抗体および保護層等を一括して形成した後、この集合基板を格子状の分割ラインに沿って分割してチップ抵抗器を多数個取りするようにしている。このようなチップ抵抗器の製造過程では、集合基板の表面に電極ペーストと抵抗ペーストとを印刷して乾燥・焼成することにより、複数対の電極とそれに接続される複数の抵抗体とを形成するが、印刷ばらつきや焼成時の焼きむら等により各抵抗体の大きさや膜厚および電極間距離にばらつきが生じて各抵抗体の抵抗値が不均一となりやすいため、各抵抗体にトリミング溝を形成して抵抗値を調整するようにしている。
【０００３】
この場合、生産効率の向上や機構の簡略化を図るために、一対の測定端子を列状に固定したプローブカードを準備しておき、これら測定端子を集合基板上に形成された複数対の電極にそれぞれ接触させた状態で、一対の測定端子間の抵抗値を測定しながら、抵抗体にレーザー光を照射してトリミング溝を形成するようにした抵抗値測定方法が広く採用されている。しかし、抵抗値測定の際に電極に接触させる測定端子の当接位置にばらつきが生じると、測定端子の当接位置から抵抗体までの電極の抵抗が影響してしまい、精度良く抵抗値の測定を行うことができなくなる。
【０００４】
そこで従来、精度良く抵抗値の測定を行うために、測定端子の当接位置を安定させるようにしたチップ抵抗器の製造方法が提案されている（特許文献１）。特許文献１に記載のチップ抵抗器では、抵抗体の両端部に接続する一対の電極の一部が切欠かれており、この電極の切欠かれた内壁面に測定端子を当接させて抵抗値を測定する構成になっている。特許文献１の記載によると、電極の切欠かれた内壁面に測定端子を当接させることで、測定端子の当接位置を安定させることができるため、精度良く抵抗値の測定を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−２２２９１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載のように、測定端子を電極の切欠かれた内壁面に当接させて抵抗値を測定する場合、大判の集合基板上に整列配置された各電極に対して、測定端子をパラレルに移動して切欠きの内壁面に当接できれば問題ないが、複数の測定端子が一列に固定されたプローブカードを使用し、このプローブカードごと動かして一列ずつ一括で測定端子を電極に当接させようとすると、以下のような問題が発生する。すなわち、集合基板の上面に対してプローブカードが平行に保たれていない状態で測定端子を電極に当接させると、それぞれの測定端子で電極との接触抵抗が相違してしまい、正確な抵抗値測定ができなくなる。また、集合基板に対してプローブカードが傾斜した姿勢で押し付けられると、プローブカードの各測定端子を対応する電極の切欠き内壁面に当接させるとき、集合基板に近い方の両端側の測定端子が電極の切欠きを乗り越えて滑ってしまうことがある。
【０００７】
本発明は、上記した従来技術の実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、プローブカードを用いて精度良く抵抗値を測定することのできる抵抗値測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための一手段として、本発明は、一対の電極間に抵抗体を接続した構成を一組とする素子が絶縁基板の上面に列状に多数形成されており、前記各素子の前記電極に対応する位置に一対の測定端子を一列に固定したプローブカードを準備し、前記各測定端子を前記電極にそれぞれ当接させて前記抵抗体の抵抗値を測定する抵抗値測定方法であって、前記プローブカードに前記絶縁基板の上面に対する平行度を検出可能な検出素子が搭載されており、前記検出素子の検出値に基づいて、前記プローブカードに一列に固定された前記測定端子と前記絶縁基板上に一列に配置された前記電極とが平行に接触するように当接させ、この状態で前記抵抗体の抵抗値を測定することを特徴としている。
【０００９】
本発明によると、プローブカードに一列に固定された複数の測定端子を絶縁基板上の対応する電極に当接させるとき、プローブカードに搭載した検出素子の検出値に基づいて、絶縁基板の上面に対してプローブカードを平行に保ったまま近接させることができるため、各測定端子それぞれの接触抵抗が同じようになり、複数の抵抗体の抵抗値を一括して高精度に測定することができる。
【００１０】
上記構成において、検出素子は配列方向の両端に位置する測定端子の外側にそれぞれ搭載されており、これら２つの検出素子の出力値に基づいて絶縁基板の上面に対するプローブカードの平行度が検出されることが好ましい。
【００１１】
また、上記構成において、プローブカードに搭載された検出素子は圧力センサまたは距離センサであることが好ましい。
【００１２】
また、上記目的を達成するための他の手段として、本発明は、一対の電極間に抵抗体を接続した構成を一組とする素子が絶縁基板の上面に列状に多数形成されており、前記各素子の前記電極に対応する位置に一対の測定端子を一列に固定したプローブカードを準備し、前記各測定端子を前記電極にそれぞれ当接させて前記抵抗体の抵抗値を測定する抵抗値測定方法であって、前記プローブカードにおける前記測定端子の配列方向の両端部に一対のスペーサが配設されており、前記プローブカードと前記絶縁基板を近接方向へ相対移動したとき、一対の前記スペーサが前記絶縁基板の上面に当接するように前記プローブカードを揺動させることにより、一列に整列された前記測定端子と一列に整列された前記電極が平行に接触するようにしたことを特徴としている。
【００１３】
本発明によると、プローブカードに一列に固定された複数の測定端子を絶縁基板上の対応する電極に当接させるとき、絶縁基板の上面に対してプローブカードが傾斜姿勢で押し付けられたとしても、一方のスペーサが絶縁基板の上面に当接した後に、プローブカードが揺動回転して他方のスペーサも絶縁基板の上面に当接するため、絶縁基板とプローブカードを平行に保った状態で各測定端子を対応する電極に接触させることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の抵抗値測定方法によれば、プローブカードを用いて精度良く抵抗値を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態例に係る抵抗値測定方法に用いられるプローブカードの平面図である。
【図２】該プローブカードの側面図である。
【図３】図１のIII−III線に沿う断面図である。
【図４】第１実施形態例に係る抵抗値測定方法を模式的に示す平面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】第１実施形態例に係る抵抗値測定方法の説明図である。
【図７】本発明の第２実施形態例に係る抵抗値測定方法に用いられるプローブカードの側面図である。
【図８】第２実施形態例に係る抵抗値測定方法の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明の第１実施形態例に係る抵抗値測定方法に用いられるプローブカード１の平面図、図２は該プローブカード１の側面図、図３は図１のIII−III線に沿う断面図である。
【００１７】
図１〜図３に示すように、プローブカード１は、矩形状の開口２ａを有する支持体２と、支持体２に固定されて開口２ａ内に突出する複数対の測定端子３と、開口２ａ内に露出するように支持体２に搭載された一対の圧力センサ４とを備えて構成されている。複数の測定端子３はタングステン等の弾性に富んだ導電性金属材料で形成されており、これら測定端子３は開口２ａの相対向する内壁面にそれぞれ一列に対向配置されている。一対の圧力センサ４は開口２ａの長手方向に沿う両端側に支持されており、これら圧力センサ４は下方に突出する検出ピン４ａを有している。
【００１８】
このように構成されたプローブカード１はチップ抵抗器に備えられる抵抗体の抵抗値を測定するものであり、以下、このプローブカード１を用いた第１実施形態例に係る抵抗値測定方法について、図４〜図６を参照しつつ詳細に説明する。
【００１９】
図４は第１実施形態例に係る抵抗値測定方法を模式的に示す平面図、図５は図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図であり、本実施形態例では、測定対象となる集合基板５がテーブル６上に載置されている。
【００２０】
集合基板５は大判の絶縁基板であり、図示省略されているが、この集合基板５には予め１次分割溝と２次分割溝が格子状に設けられており、これら両分割溝によって区切られたマス目の１つ１つが１個分のチップ形成領域となる。図５に示す集合基板５は１つのチップ形成領域を示したものであり、各チップ形成領域の基板表面に所定間隔を存して対向配置された一対の電極７と、一対の電極７に接続する抵抗体８とが形成されている。すなわち、一対の電極７と抵抗体８を一組とする素子が集合基板５の表面に一列に整列した状態で多数形成されている。
【００２１】
プローブカード１は集合基板５の上方に配置され、モータを駆動源とする駆動機構９により昇降可能および傾動可能となっている。そして、プローブカード１を集合基板５の上面に向けて下降動作し、プローブカード１に一列に固定された複数の測定端子３を集合基板５上の対応する電極７にそれぞれ当接させた後、この状態で一対の電極７に接続する抵抗体８の抵抗値を測定しながら、抵抗体８に抵抗値調整用の図示せぬトリミング溝を形成するようになっている。
【００２２】
かかる抵抗値の測定に際し、プローブカード１が集合基板５の上面に対して平行に保たれていれば、それぞれの測定端子３で電極７との接触抵抗が同じようになるため、複数の抵抗体８の抵抗値を一括して高精度に測定することができる。しかしながら、集合基板５の裏面には表面の電極７と対応する位置に図示せぬ裏面電極が形成されており、これら裏面電極の膜厚が集合基板５の各部でばらつくことがあり、また、集合基板５厚みが全体的に同じにならないこともあり、そのような集合基板５がテーブル６上に載置されると、集合基板５の上面に対するプローブカード１の平行度が維持されなくなってしまう。
【００２３】
ここで、第１実施形態例に係る抵抗値測定方法においては、図６（ａ）に示すように、駆動機構９（図４，５参照）の下降動作によりプローブカード１が集合基板５の上面に対し傾斜姿勢（例えば右下がり）で近接した場合、プローブカード１と集合基板５間の距離が左側よりも右側が短くなるため、プローブカード１の左右両端側に搭載した一対の圧力センサ４から異なる検出信号が出力される。この場合、駆動機構９は一対の圧力センサ４の出力値が同じになるようにプローブカード１を傾倒動作し、図６（ｂ）に示すように、集合基板５の上面に対してプローブカード１が平行になるように姿勢補正する。その結果、プローブカード１と集合基板５間の距離が各測定端子３の配列方向に沿って均一化され、各測定端子３を対応する電極７に対して同じような接触抵抗で当接させることができるため、この状態で複数の抵抗体８の抵抗値を一括して高精度に測定することができる。
【００２４】
以上説明したように、本発明の第１実施形態例に係る抵抗値測定方法では、プローブカード１に一列に固定された複数の測定端子３を集合基板５上の対応する電極７に当接させるとき、プローブカード１に搭載した一対の圧力センサ４の検出値に基づいて、集合基板５の上面に対してプローブカード１を平行に保ったまま近接させることができるため、各測定端子３それぞれの接触抵抗が同じようになり、複数の抵抗体８の抵抗値を一括して高精度に測定することができる。
【００２５】
なお、第１実施形態例では、プローブカード１の開口２ａに沿った両端側に検出素子として一対の圧力センサ４を搭載し、これら圧力センサ４の検出ピン４ａを集合基板５の上面に押し当てることにより、集合基板５の上面に対するプローブカード１の平行度を検出するようにしているが、検出素子として圧力センサ４の代わりに非接触タイプの距離センサを用いることも可能である。
【００２６】
次に、本発明の第２実施形態例に係る抵抗値測定方法について説明する。図７は第２実施形態例に係る抵抗値測定方法で用いられるプローブカード１０の側面図であり、このプローブカード１０では、支持体２が中央部の支軸Ｐを中心に揺動可能であると共に、支持体２の長手方向両端側の下面に一対のスペーサ１１が取り付けられており、それ以外の構成は第１実施形態例で用いられるプローブカード１と基本的に同様である。
【００２７】
すなわち、支持体２には矩形状の開口（図示せず）が設けられており、この開口の相対向する内壁面に複数対の測定端子３がそれぞれ一列に対向配置されている。一対のスペーサ１１は硬質ゴムやプラスチック等からなり、これらスペーサ１１は支持体２の開口を挟んだ両側部の下面に接着剤やねじ等を用いて固定されている。一対のスペーサ１１の厚み寸法は同じに設定されており、両スペーサ１１の下面を繋ぐ仮想平面Ｓに対して各測定端子３の下端（先端）が下方へ突出するようになっている。なお、支持体２とスペーサ１１は別体でなくても良く、プラスチック等を用いて支持体２とスペーサ１１を一体形成することも可能である。さらに、度重なる測定による測定端子３の摩耗など考慮し、一対のスペーサ１１の厚み寸法を容易に変更できるようにしておくと、継続的に安定した測定が可能となる。
【００２８】
このように構成されたプローブカード１０を用いて抵抗体の抵抗値を測定する場合、プローブカード１０を集合基板５の上面に向けて下降動作し、プローブカード１０に一列に固定された複数の測定端子３を集合基板５上の対応する電極にそれぞれ当接させた後、この状態で一対の電極に接続する抵抗体の抵抗値を測定しながら、抵抗体に抵抗値調整用の図示せぬトリミング溝を形成するようになっている。
【００２９】
ここで、第２実施形態例に係る抵抗値測定方法においては、図８（ａ）に示すように、プローブカード１０が集合基板５の上面に対して傾斜姿勢（例えば右下がり）で近接すると、図示右側のスペーサ１１が集合基板５の上面に当接した後に、プローブカード１０が支軸Ｐを中心に図中の反時計回りに揺動することにより、図８（ｂ）に示すように、左右両方のスペーサ１１が集合基板５の上面に当接するため、集合基板５の上面に対してプローブカード１０が平行になるように姿勢補正される。このとき、各測定端子３は両スペーサ１１の下面を繋ぐ仮想平面Ｓの位置まで押し込まれ、各測定端子３が集合基板５上の対応する電極に対して同じような接触抵抗で当接されるため、この状態で複数の抵抗体の抵抗値を一括して高精度に測定することができる。
【００３０】
以上説明したように、本発明の第２実施形態例に係る抵抗値測定方法では、プローブカード１０に一列に固定された複数の測定端子３を集合基板５上の対応する電極に当接させるとき、集合基板５の上面に対してプローブカード１０が傾斜姿勢で押し付けられたとしても、一方のスペーサ１１が集合基板５の上面に当接した後に、プローブカード１０が揺動回転して他方のスペーサ１１も集合基板５の上面に当接するため、集合基板５とプローブカード１０を平行に保った状態で各測定端子３を対応する電極に接触させることができる。
【００３１】
なお、上記各実施形態例では、テーブル６上に載置された集合基板５に対してプローブカード１，１０を移動可能とする構成になっているが、この構成に限られず、プローブカード１，１０の代わりにテーブル６を移動可能としたり、プローブカード１，１０とテーブル６の双方を移動可能とする構成であっても良い。
【符号の説明】
【００３２】
１，１０  プローブカード
２  支持体
２ａ  開口
３  測定端子
４  圧力センサ（検出素子）
４ａ  検出ピン
５  集合基板（絶縁基板）
６  テーブル
７  電極
８  抵抗体
９  駆動機構
１１  スペーサ
Ｐ  支軸
Ｓ  仮想平面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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