(57)【要約】【課題】振動板のクラックを抑制する。【解決手段】振動板と、前記振動板を振動させる第１圧電素子および第２圧電素子とを具備し、前記第１圧電素子および前記第２圧電素子は、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とにわたる圧電体層を含み、前記圧電体層のうち前記第１圧電素子と前記第２圧電素子との間の領域には、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とが配列する第１方向に交差する第２方向に、当該圧電体層の一部である振動抑制部を挟んで配列する第１開口部および第２開口部が形成される圧電デバイス。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板と、
前記振動板を振動させる第１圧電素子および第２圧電素子を具備し、
前記第１圧電素子および前記第２圧電素子は、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とにわたる圧電体層を含み、
前記圧電体層のうち前記第１圧電素子と前記第２圧電素子との間の領域には、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とが配列する第１方向に交差する第２方向に、当該圧電体層の一部である振動抑制部を挟んで配列する第１開口部および第２開口部が形成される
圧電デバイス。
【請求項２】
前記振動抑制部は、前記振動板のうち前記第１圧電素子および前記第２圧電素子の各々が振動させる振動領域における前記第２方向の中央に対応した位置に形成される
請求項１の圧電デバイス。
【請求項３】
前記振動抑制部は、前記振動板における特定の振動モードの振動の腹に対応する位置に形成される
請求項１の圧電デバイス。
【請求項４】
前記振動抑制部のうち前記第１方向の中央の幅は、前記振動抑制部のうち前記第１方向の両端における幅を下回る
請求項１から請求項３の何れかの圧電デバイス。
【請求項５】
前記第１開口部および前記第２開口部の各々における前記第２方向の端部の内壁面は、前記第２方向の中央に近い位置ほど前記圧電体層の厚さが減少するように傾斜した傾斜面を含む
請求項１から請求項４の何れかの圧電デバイス。
【請求項６】
前記振動板を挟んで前記第１圧電素子とは反対側に位置する第１空間と、
前記振動板を挟んで前記第２圧電素子とは反対側に位置する第２空間とを具備し、
前記振動抑制部は、前記第１空間と前記第２空間との間の隔壁部に平面視で重なる
請求項１から請求項５の何れかの圧電デバイス。
【請求項７】
液体を収容する圧力室と、
前記圧力室から液体を噴射させる圧電デバイスと
を具備する液体噴射ヘッドであって、
前記圧電デバイスは、
前記圧力室の壁面を構成する振動板と、
前記振動板を振動させる第１圧電素子および第２圧電素子を具備し、
前記第１圧電素子および前記第２圧電素子は、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とにわたる圧電体層を含み、
前記圧電体層のうち前記第１圧電素子と前記第２圧電素子との間の領域には、
前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とが配列する第１方向に交差する第２方向に配列する第１開口部および第２開口部と、
前記第１開口部と前記第２開口部との間において前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とを連結する振動抑制部とが形成される
液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項７の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液体噴射ヘッドに好適に利用される圧電デバイスの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力室の壁面を構成する振動板を圧電素子により振動させることで圧力室内の液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッドが、従来から提案されている。例えば特許文献１には、複数の圧電素子にわたり圧電体層を連続させた構成が開示されている。圧電体層のうち相互に隣合う２個の圧電素子の間には単一の開口部（スリット）が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−１３２２６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
振動板のうち圧電素子間の開口部に対応する領域には、例えば過剰な振動が反復されることでクラック（ひび割れ）が発生する可能性がある。振動板のクラックを効果的に抑制するという観点から、特許文献１の技術には、更なる改善の余地がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る圧電デバイスは、振動板と、前記振動板を振動させる第１圧電素子および第２圧電素子を具備し、前記第１圧電素子および前記第２圧電素子は、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とにわたる圧電体層を含み、前記圧電体層のうち前記第１圧電素子と前記第２圧電素子との間の領域には、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とが配列する第１方向に交差する第２方向に、当該圧電体層の一部である振動抑制部を挟んで配列する第１開口部および第２開口部が形成される。
【０００６】
本発明の好適な態様に係る液体噴射ヘッドは、液体を収容する圧力室と、前記圧力室から液体を噴射させる圧電デバイスとを具備する液体噴射ヘッドであって、前記圧電デバイスは、前記圧力室の壁面を構成する振動板と、前記振動板を振動させる第１圧電素子および第２圧電素子を具備し、前記第１圧電素子および前記第２圧電素子は、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とにわたる圧電体層を含み、前記圧電体層のうち前記第１圧電素子と前記第２圧電素子との間の領域には、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とが配列する第１方向に交差する第２方向に配列する第１開口部および第２開口部と、前記第１開口部と前記第２開口部との間において前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とを連結する振動抑制部とが形成される。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１実施形態に係る液体噴射装置の構成図である。
【図２】液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図３】液体噴射ヘッドの断面図（図２のIII-III線の断面図）である。
【図４】複数の圧電素子の平面図である。
【図５】図４におけるＶ-Ｖ線の断面図である。
【図６】図４におけるVI-VI線の断面図である。
【図７】図４におけるVII-VII線の断面図である。
【図８】第２実施形態における圧電体層の平面図である。
【図９】第２実施形態の他例における圧電体層の平面図である。
【図１０】第３実施形態における圧電体層の断面図である。
【図１１】第４実施形態における圧電体層の平面図である。
【図１２】変形例における複数の圧電素子の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体噴射装置１００を例示する構成図である。第１実施形態の液体噴射装置１００は、液体の例示であるインクを媒体（噴射対象）１２に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体１２として利用される。図１に例示される通り、液体噴射装置１００には、インクを貯留する液体容器１４が設置される。例えば液体噴射装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンクが液体容器１４として利用される。
【０００９】
図１に例示される通り、液体噴射装置１００は、制御ユニット２０と搬送機構２２と移動機構２４と液体噴射ヘッド２６とを具備する。制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field
Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体噴射装置１００の各要素を統括的に制御する。搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ方向（第１方向の例示）に搬送する。
【００１０】
移動機構２４は、制御ユニット２０による制御のもとで液体噴射ヘッド２６をＸ方向（第２方向の例示）に往復させる。Ｘ方向は、媒体１２が搬送されるＹ方向に交差（典型的には直交）する方向である。第１実施形態の移動機構２４は、液体噴射ヘッド２６を収容する略箱型の搬送体２４２（キャリッジ）と、搬送体２４２が固定された搬送ベルト２４４とを具備する。なお、複数の液体噴射ヘッド２６を搬送体２４２に搭載した構成、または、液体容器１４を液体噴射ヘッド２６とともに搬送体２４２に搭載した構成も採用され得る。
【００１１】
液体噴射ヘッド２６は、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで複数のノズル（噴射孔）から媒体１２に噴射する。搬送機構２２による媒体１２の搬送と搬送体２４２の反復的な往復とに並行して各液体噴射ヘッド２６が媒体１２にインクを噴射することで、媒体１２の表面に所望の画像が形成される。
【００１２】
図２は、液体噴射ヘッド２６の分解斜視図であり、図３は、図２におけるIII-III線の断面図（Ｘ-Ｚ平面に平行な断面）である。図２に例示される通り、Ｘ-Ｙ平面（例えば媒体１２の表面に平行な平面）に垂直な方向を以下ではＺ方向と表記する。各液体噴射ヘッド２６によるインクの噴射方向（典型的には鉛直方向）がＺ方向に相当する。
【００１３】
図２および図３に例示される通り、液体噴射ヘッド２６は、Ｙ方向に長尺な略矩形状の流路基板３２を具備する。流路基板３２のうちＺ方向における負側の面上には、圧力室基板３４と振動板３６と複数の圧電素子３８と筐体部４２と封止体４４とが設置される。他方、流路基板３２のうちＺ方向における正側の面上には、ノズル板４６と吸振体４８とが設置される。液体噴射ヘッド２６の各要素は、概略的には流路基板３２と同様にＹ方向に長尺な板状部材であり、例えば接着剤を利用して相互に接合される。
【００１４】
図２に例示される通り、ノズル板４６は、Ｙ方向に配列する複数のノズルＮが形成された板状部材である。各ノズルＮは、インクが通過する貫通孔である。なお、流路基板３２と圧力室基板３４とノズル板４６とは、例えばシリコン（Ｓi）の単結晶基板をエッチング等の半導体製造技術により加工することで形成される。ただし、液体噴射ヘッド２６の各要素の材料や製法は任意である。Ｙ方向は、複数のノズルＮが配列する方向とも換言され得る。
【００１５】
流路基板３２は、インクの流路を形成するための板状部材である。図２および図３に例示される通り、流路基板３２には、開口部３２２と供給流路３２４と連通流路３２６とが形成される。開口部３２２は、複数のノズルＮにわたり連続するように平面視で（すなわちＺ方向からみて）Ｙ方向に沿う長尺状に形成された貫通孔である。他方、供給流路３２４および連通流路３２６は、ノズルＮ毎に個別に形成された貫通孔である。また、図３に例示される通り、流路基板３２のうちＺ方向における正側の表面には、複数の供給流路３２４にわたる中継流路３２８が形成される。中継流路３２８は、開口部３２２と複数の供給流路３２４とを連通させる流路である。
【００１６】
筐体部４２は、例えば樹脂材料の射出成形で製造された構造体であり、流路基板３２のうちＺ方向における負側の表面に固定される。図３に例示される通り、筐体部４２には収容部４２２と導入口４２４とが形成される。収容部４２２は、流路基板３２の開口部３２２に対応した外形の凹部であり、導入口４２４は、収容部４２２に連通する貫通孔である。図３から理解される通り、流路基板３２の開口部３２２と筐体部４２の収容部４２２とを相互に連通させた空間が液体貯留室（リザーバー）Ｒとして機能する。液体容器１４から供給されて導入口４２４を通過したインクが液体貯留室Ｒに貯留される。
【００１７】
吸振体４８は、液体貯留室Ｒ内の圧力変動を吸収するための要素であり、例えば弾性変形が可能な可撓性のシート部材（コンプライアンス基板）を含んで構成される。具体的には、流路基板３２の開口部３２２と中継流路３２８と複数の供給流路３２４とを閉塞して液体貯留室Ｒの底面を構成するように、流路基板３２のうちＺ方向における正側の表面に吸振体４８が設置される。
【００１８】
図２および図３に例示される通り、圧力室基板３４は、相異なるノズルＮに対応する複数の圧力室Ｃが形成された板状部材である。複数の圧力室Ｃは、Ｙ方向に沿って配列する。各圧力室Ｃ（キャビティ）は、平面視でＸ方向に沿う長尺状の開口である。Ｘ方向の正側における圧力室Ｃの端部は平面視で流路基板３２の１個の供給流路３２４に重なり、Ｘ方向の負側における圧力室Ｃの端部は平面視で流路基板３２の１個の連通流路３２６に重なる。
【００１９】
圧力室基板３４のうち流路基板３２とは反対側の表面には振動板３６が設置される。振動板３６は、弾性的に変形可能な板状部材である。図３に例示される通り、第１実施形態の振動板３６は、第１層３６１と第２層３６２との積層で構成される。第２層３６２は、第１層３６１からみて圧力室基板３４とは反対側に位置する。第１層３６１は、酸化シリコン（ＳiＯ２）等の弾性材料で形成された弾性膜であり、第２層３６２は、酸化ジルコニウム（ＺrＯ２）等の絶縁材料で形成された絶縁膜である。なお、所定の板厚の板状部材のうち圧力室Ｃに対応する領域について板厚方向の一部を選択的に除去することで、圧力室基板３４と振動板３６の一部または全部とを一体に形成することも可能である。
【００２０】
図３から理解される通り、流路基板３２と振動板３６とは、各圧力室Ｃの内側で相互に間隔をあけて対向する。圧力室Ｃは、流路基板３２と振動板３６との間に位置し、当該圧力室Ｃ内に充填されたインクに圧力を付与するための空間である。液体貯留室Ｒに貯留されたインクは、中継流路３２８から各供給流路３２４に分岐して複数の圧力室Ｃに並列に供給および充填される。以上の説明から理解される通り、振動板３６は、圧力室Ｃの壁面（具体的には、圧力室Ｃの一面である上面）を構成する。
【００２１】
図２および図３に例示される通り、振動板３６のうち圧力室Ｃとは反対側の表面（すなわち第２層３６２の表面）には、相異なるノズルＮ（または圧力室Ｃ）に対応する複数の圧電素子３８が設置される。各圧電素子３８は、駆動信号の供給により変形するアクチュエーターであり、平面視でＸ方向に沿う長尺状に形成される。複数の圧電素子３８は、複数の圧力室Ｃに対応するようにＹ方向に配列する。圧電素子３８の変形に連動して振動板３６が振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動することで、圧力室Ｃに充填されたインクが連通流路３２６とノズルＮとを通過して噴射される。
【００２２】
図２および図３の封止体４４は、複数の圧電素子３８を保護するとともに圧力室基板３４および振動板３６の機械的な強度を補強する構造体であり、振動板３６の表面に例えば接着剤で固定される。封止体４４のうち振動板３６との対向面に形成された凹部の内側に複数の圧電素子３８が収容される。
【００２３】
図３に例示される通り、振動板３６の表面（または圧力室基板３４の表面）には、例えば配線基板５０が接合される。配線基板５０は、制御ユニット２０または電源回路（図示略）と液体噴射ヘッド２６とを電気的に接続するための複数の配線（図示略）が形成された実装部品である。例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）やＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板５０が好適に採用される。圧電素子３８を駆動するための駆動信号が配線基板５０から各圧電素子３８に供給される。
【００２４】
各圧電素子３８の具体的な構成を以下に詳述する。図４は、複数の圧電素子３８の平面図である。なお、図４では、任意の１個の要素の奥側に位置する要素の周縁（本来は手前側の要素に隠れる部位）も便宜的に実線で図示されている。また、図５は、図４におけるＶ-Ｖ線の断面図（圧電素子３８の長手方向に沿う断面）である。
【００２５】
図４および図５に例示される通り、圧電素子３８は、第１電極５１と圧電体層５２と第２電極５３との積層で構成される。なお、本明細書において「要素Ａと要素Ｂとが積層される」という表現は、要素Ａと要素Ｂとが直接的に接触する構成に限定する趣旨ではない。すなわち、要素Ａと要素Ｂとの間に他の要素Ｃが介在する構成も、「要素Ａと要素Ｂとが積層される」という概念に包含される。また、「要素Ａの面上に要素Ｂが形成される」という表現も同様に、要素Ａと要素Ｂとが直接的に接触する構成には限定されない。すなわち、要素Ａの表面に要素Ｃが形成され、要素Ｃの表面に要素Ｂが形成された構成でも、要素Ａと要素Ｂとの少なくとも一部が平面視で重なる構成であれば、「要素Ａの面上に要素Ｂが形成される」という概念に包含される。
【００２６】
第１電極５１は、振動板３６の面上（具体的には第２層３６２の表面）に形成される。第１電極５１は、圧電素子３８毎に相互に離間して形成された個別電極である。具体的には、Ｘ方向に延在する複数の第１電極５１が、相互に間隔をあけてＹ方向に配列する。第１電極５１の材料または製法は任意である。例えば、各種の導電材料の薄膜をスパッタリング等の公知の成膜技術により形成し、フォトリソグラフィ等の公知の加工技術により当該薄膜を選択的に除去することで、第１電極５１を形成することが可能である。各圧電素子３８の第１電極５１には、当該圧電素子３８に対応するノズルＮからの液体の噴射を制御するための駆動信号が印加される。
【００２７】
圧電体層５２は、第１電極５１の面上に形成される。なお、図４においては圧電体層５２に便宜的に網掛が付加されている。圧電体層５２は、複数の圧電素子３８にわたり連続するようにＹ方向に延在する帯状の誘電膜である。圧電体層５２の材料または製法は任意である。例えば、チタン酸ジルコン酸鉛等の圧電材料の薄膜をスパッタリング等の公知の成膜技術により形成し、フォトリソグラフィ等の公知の加工技術により当該薄膜を選択的に除去することで、圧電体層５２を形成することが可能である。
【００２８】
第２電極５３は、圧電体層５２の面上に形成される。具体的には、第２電極５３は、複数の圧電素子３８（または複数の圧力室Ｃ）にわたり連続するようにＹ方向に延在する帯状の共通電極である。第２電極５３には所定の基準電圧が印加される。例えば、各種の導電材料の薄膜をスパッタリング等の公知の成膜技術により形成し、フォトリソグラフィ等の公知の加工技術により当該薄膜を選択的に除去することで、第２電極５３を形成することが可能である。
【００２９】
第１電極５１と圧電体層５２と第２電極５３との積層により圧電素子３８が構成される。圧力室Ｃ毎（またはノズルＮ毎）に圧電素子３８が個別に形成される。Ｘ方向に長尺な複数の圧電素子３８が、相互に間隔をあけてＹ方向に配列する。各圧電素子３８のＹ方向の寸法（すなわち幅）は、圧力室ＣのＹ方向の寸法を下回る。圧電体層５２のうち第１電極５１と第２電極５３とで挟まれた部分（いわゆる能動部）が、第１電極５１に印加される基準電圧と第２電極５３に供給される駆動信号との電圧差に応じて変形する。
【００３０】
第２電極５３の面上には第１導電体５５と第２導電体５６とが形成される。第１導電体５５は、第２電極５３におけるＸ方向の負側の縁辺に沿ってＹ方向に延在する帯状の導電膜である。第２導電体５６は、第２電極５３におけるＸ方向の正側の縁辺に沿ってＹ方向に延在する帯状の導電膜である。第１導電体５５と第２導電体５６とは、例えば金等の低抵抗な導電材料を利用して同層で形成される。第１導電体５５と第２導電体５６とを形成することで、第２電極５３における基準電圧の電圧降下が抑制される。また、第１導電体５５および第２導電体５６は、振動板３６の振動を抑制するための錘としても機能する。すなわち、振動板３６のうち第１導電体５５と第２導電体５６との間の領域が、圧電素子３８に連動して振動する振動領域Ｖである。
【００３１】
振動板３６と圧電素子３８とは、駆動信号の供給により振動する圧電デバイスとして機能する。液体噴射ヘッド２６は、インクを収容する圧力室Ｃと、圧力室Ｃからインクを噴射させる圧電デバイスとを具備する。
【００３２】
図６は、図４におけるVI−VI線の断面図であり、図７は、図４におけるVII−VII線の断面図である。図６および図７に図示される通り、Ｙ方向に相互に隣合う任意の２個の圧電素子３８を、第１圧電素子３８Aおよび第２圧電素子３８Bと便宜的に表記する。
【００３３】
図４および図６には、圧電体層５２のうち平面視で第１圧電素子３８Aと第２圧電素子３８Bとの間に位置する領域（以下「素子間領域」という）Ｇが図示されている。素子間領域Ｇは、第１圧電素子３８Aと第２圧電素子３８Bとの間でＸ方向に直線状に延在する長尺状の領域である。図４および図６に例示される通り、圧電体層５２の素子間領域Ｇには、第１開口部Ｓ1と第２開口部Ｓ2とが形成される。第１開口部Ｓ1および第２開口部Ｓ2の各々は、Ｘ方向に直線状に延在する長尺状の貫通孔（すなわちスリット）である。第１実施形態における第１開口部Ｓ1および第２開口部Ｓ2の平面形状は長方形である。なお、以下の説明においては、第１開口部Ｓ1および第２開口部Ｓ2の各々を区別する必要がない場合には単に「開口部Ｓ」と表記する。
【００３４】
第１開口部Ｓ1と第２開口部Ｓ2とは、第１圧電素子３８Aと第２圧電素子３８Bとが配列するＹ方向に交差するＸ方向に配列する。第１開口部Ｓ1と第２開口部Ｓ2とは、相互に間隔をあけてＸ方向に配列する。したがって、図４および図７に例示される通り、第１開口部Ｓ1と第２開口部Ｓ2との間には圧電体層５２の一部（以下「振動抑制部」という）５２３が存在する。振動抑制部５２３は、第１圧電素子３８Aと第２圧電素子３８Bとを相互に連結するようにＹ方向に延在する部分である。以上の説明から理解される通り、圧電体層５２のうち第１圧電素子３８Aと第２圧電素子３８Bとの間の素子間領域Ｇには、第１開口部Ｓ1と第２開口部Ｓ2と振動抑制部５２３とが形成される。各開口部Ｓの平面形状は長方形であるから、振動抑制部５２３の幅（Ｘ方向の寸法）は、Ｙ方向の全体にわたり一定である。
【００３５】
以上の通り、素子間領域Ｇ内に第１開口部Ｓ1および第２開口部Ｓ2を形成した構成によれば、第１圧電素子３８Aと第２圧電素子３８Bとの相互間における振動の伝播が抑制される。したがって、各ノズルＮによるインクの噴射特性（例えば噴射量，噴射方向または噴射速度）を高精度に制御することが可能である。
【００３６】
振動抑制部５２３は、振動板３６の振動領域ＶにおけるＸ方向の中央に対応した位置に形成される。具体的には、Ｘ方向において振動領域Ｖの中点を含む所定の範囲内に振動抑制部５２３が位置する。第１実施形態では、各圧電素子３８がＸ方向において振動領域Ｖの全体にわたり形成されるから、圧電素子３８におけるＸ方向の中央に対応した位置に振動抑制部５２３が位置する、とも換言される。
【００３７】
図６および図７には、複数の圧力室Ｃのうち、第１圧電素子３８Aに対応する圧力室ＣAと、第２圧電素子３８Bに対応する圧力室ＣBとが図示されている。圧力室ＣA（第１空間の例示）は、振動板３６を挟んで第１圧電素子３８Aとは反対側に位置する空間であり、圧力室ＣB（第２空間の例示）は、振動板３６を挟んで第２圧電素子３８Bとは反対側に位置する空間である。
【００３８】
圧力室ＣAと圧力室ＣBとの間には隔壁部３４２が形成される。隔壁部３４２は、流路基板３２のうちＸ方向に延在する壁状の部分である。図４および図７から理解される通り、振動抑制部５２３は、圧力室ＣAと圧力室ＣBとの間の隔壁部３４２に平面視で重なる。具体的には、図７に例示される通り、振動抑制部５２３は、第１圧電素子３８Aに連結される第１部分Ｐ1と、第２圧電素子３８Bに連結される第２部分Ｐ2と、第１部分Ｐ1と第２部分Ｐ2との間に位置する第３部分Ｐ3とを含んで構成される。第１部分Ｐ1は平面視で圧力室ＣAに重なり、第２部分Ｐ2は平面視で圧力室ＣBに重なる。振動抑制部５２３の第３部分Ｐ3が平面視で隔壁部３４２に重なる。
【００３９】
以上に説明した通り、第１実施形態では、相互に隣合う２個の圧電素子３８の間の素子間領域Ｇにおける第１開口部Ｓ1と第２開口部Ｓ2との間に振動抑制部５２３が形成される。振動抑制部５２３により振動板３６の振動が抑制されるから、振動板３６（特に開口部Ｓが形成された領域内の部分）のクラックを抑制することが可能である。振動領域ＶにおけるＸ方向の中央の近傍では振動板３６に発生する応力が顕著となる。第１実施形態では、振動領域ＶにおけるＸ方向の中央に対応した位置に振動抑制部５２３が形成されるから、振動板３６のクラックを抑制できるという前述の効果を向上させることが可能である。
【００４０】
また、第１実施形態では、圧力室ＣAと圧力室ＣBとの間の隔壁部３４２に振動抑制部５２３が平面視で重なる。すなわち、隔壁部３４２の機械的な強度が振動抑制部５２３により補強される。したがって、隔壁部３４２の変形（ひいては倒壊）を抑制できるという利点がある。
【００４１】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態を説明する。なお、以下に説明する各例示において機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
【００４２】
図８は、第２実施形態における複数の圧電素子３８の平面図である。第１実施形態では、各開口部Ｓの平面形状が長方形である構成を例示した。第２実施形態では、図８に例示される通り、各開口部Ｓにおける両端部の近傍が平面視で円弧状に形成される。すなわち、各開口部Ｓは、両端部に近い位置ほどＹ方向の寸法（すなわち幅）が小さい平面形状に形成される。したがって、図８に例示される通り、振動抑制部５２３のうちＹ方向の中央における幅Ｗ1は、Ｙ方向の両端における幅Ｗ2を下回る（Ｗ1＜Ｗ2）。
【００４３】
第２実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。なお、第１実施形態では、圧電体層５２のうち各開口部Ｓの四隅の近傍に応力が集中する可能性がある。第２実施形態では、振動抑制部５２３のうちＹ方向の中央における幅Ｗ1が両端における幅Ｗ2を下回るから、第１実施形態と比較して各開口部Ｓの周囲における応力の集中が緩和される。したがって、振動抑制部５２３の幅が全体にわたり一定である第１実施形態と比較して、開口部Ｓが形成された領域における振動板３６に、応力の集中に起因したクラックが発生する可能性を低減できるという利点がある。
【００４４】
なお、各開口部Ｓの平面形状は以上の例示に限定されない。例えば、図９に例示される通り、各開口部Ｓの平面形状を多角形状（例えば六角形状）としてもよい。図９の構成においても、第２実施形態（図８）と同様に、各開口部Ｓが、両端部に近い位置ほどＹ方向の寸法（すなわち幅）が小さい平面形状に形成される。すなわち、振動抑制部５２３のうちＹ方向の中央における幅Ｗ1が、Ｙ方向の両端における幅Ｗ2を下回る（Ｗ1＜Ｗ2）。したがって、図９の構成においても第２実施形態と同様の効果が実現される。
【００４５】
＜第３実施形態＞
図１０は、第３実施形態における圧電体層５２の断面図である。図１０においては、素子間領域Ｇ内でＹ-Ｚ平面に平行な断面の構成が図示されている。図１０に例示される通り、各開口部ＳにおけるＸ方向の両端部の内壁面は、振動板３６の表面に対して傾斜した傾斜面５２５である。傾斜面５２５は、各開口部ＳにおけるＸ方向の中央に近い位置ほど圧電体層５２の厚さが減少するように傾斜した平面である。振動抑制部５２３に着目すると、振動抑制部５２３の側面が、振動板３６の表面に対して傾斜した傾斜面５２５であると表現することもできる。
【００４６】
第３実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。また、第３実施形態によれば、各開口部Ｓにおける端部の内壁面が振動板３６に垂直な平面である構成と比較して、開口部Ｓが形成された領域における振動板３６のクラックを有効に抑制できるという利点がある。
【００４７】
＜第４実施形態＞
振動板３６は、駆動信号のノイズ等の高周波な電圧が印加されることで瞬間的に共振する場合がある。第４実施形態では、共振時の特定の振動モードにおける振動の腹に対応した位置に振動抑制部５２３が形成される。
【００４８】
図１１は、第４実施形態における圧電体層５２の平面図である。図１１には、振動領域Ｖに発生する２次の振動モードが併記されている。図１１に例示される通り、第４実施形態では、圧電体層５２の素子間領域Ｇのうち、２次の振動モードにおける振動の腹に対応する位置に振動抑制部５２３が形成される。具体的には、振動領域Ｖの左端ＶLから振動領域Ｖの１/４だけＸ方向の正側に離間した位置に振動抑制部５２３が形成され、振動領域Ｖの右端ＶRから振動領域Ｖの１/４だけＸ方向の負側に離間した位置に振動抑制部５２３が形成される。具体的には、素子間領域Ｇ内に第１開口部Ｓ1と第２開口部Ｓ2と第３開口部Ｓ3とが形成され、各開口部Ｓの間に振動抑制部５２３が形成される。以上の説明から理解される通り、第４実施形態では、振動領域Ｖの左端ＶLおよび右端ＶRから等距離だけ離間した位置に振動抑制部５２３が形成される。
【００４９】
第４実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。また、第４実施形態においては、振動板３６における特定の振動モードの振動の腹に対応する位置に振動抑制部５２３が形成されるから、振動板３６の振動が効果的に抑制される。なお、図１１においては２次の振動モードを例示したが、３次以上の振動モードにおける振動の腹に対応した位置に振動抑制部５２３を形成してもよい。また、振動領域Ｖの中点に振動抑制部５２３を形成した第１実施形態の構成は、１次の振動モードにおける振動の腹に対応した位置に振動抑制部５２３を形成した構成とも表現できる。
【００５０】
＜変形例＞
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。なお、以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
【００５１】
（１）前述の各形態では、圧電体層５２に形成された貫通孔を開口部Ｓとして例示したが、開口部Ｓが圧電体層５２を貫通する構成は必須ではない。例えば図１２に例示される通り、圧電体層５２のうち膜厚方向の一部を除去した凹部（すなわち有底孔）を開口部Ｓとして形成してもよい。
【００５２】
（２）前述の各形態では、第１電極５１が個別電極であり第２電極５３が共通電極である構成を例示したが、第１電極５１を、複数の圧電素子３８にわたり連続する共通電極とし、第２電極５３を圧電素子３８毎に個別の個別電極としてもよい。また、第１電極５１および第２電極５３の双方を個別電極としてもよい。
【００５３】
（３）前述の各形態では、液体噴射ヘッド２６を搭載した搬送体２４２を往復させるシリアル方式の液体噴射装置１００を例示したが、複数のノズルＮが媒体１２の全幅にわたり分布するライン方式の液体噴射装置にも本発明を適用することが可能である。
【００５４】
（４）前述の各形態で例示した液体噴射装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。
【００５５】
（５）振動板３６と圧電素子３８とを具備する圧電デバイスは、液体噴射ヘッド２６以外にも、超音波センサー、超音波トランスデューサーまたは超音波モーター等の他の装置にも適用することができる。
【符号の説明】
【００５６】
１００…液体噴射装置、１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２４…移動機構、２６…液体噴射ヘッド、３２……流路基板、３４……圧力室基板、３４２…除去部、３６……振動板、３８……圧電素子、３８A…第１圧電素子、３８B…第２圧電素子、４２……筐体部、４４……封止体、４６……ノズル板、Ｎ……ノズル、４８……吸振体、５０……配線基板、５１…第１電極、５２…圧電体層、５２３…振動抑制部、５２５…傾斜面、５３…第２電極、Ｃ…圧力室、Ｒ…液体貯留室、Ｓ…開口部、Ｓ1…第１開口部、Ｓ2…第２開口部、Ｓ3…第３開口部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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