(57)【要約】【課題】本発明は、サージやＥＳＤ等の高電圧が印加されても抵抗値が変動するのを防止できるチップ抵抗器を提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明のチップ抵抗器の製造法は、抵抗体１３に抵抗体１３の一対の上面電極１２ａ、１２ｂが向かい合う方向に沿った一方の側面１３ａを始点１７ａ、１８ａとし、前記一対の上面電極１２ａ、１２ｂが向かい合う方向と直角の垂直部１７ｂ、１８ｂと、前記垂直部１７ｂ、１８ｂの先端部から連続して形成された前記一対の上面電極１２ａ、１２ｂが向かい合う方向と平行の水平部１７ｃ、１８ｃとで構成される第１、第２のトリミング溝１７、１８を形成する工程とを備え、前記第１、第２のトリミング溝１７、１８は、同時に同じ強さのレーザを照射し、互いに線対称となるように同時に同じ速さでレーザの照射箇所を動かすようにしたものである。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板の上面の両端部に一対の上面電極を形成し、前記絶縁基板の上面において前記一対の上面電極間に抵抗体を形成する工程と、前記抵抗体に前記抵抗体の前記一対の上面電極が向かい合う方向に沿った一方の側面を始点とし、前記一対の上面電極が向かい合う方向と直角の垂直部と、前記垂直部の先端部から連続して形成された前記一対の上面電極が向かい合う方向と平行の水平部とで構成される第１、第２のトリミング溝を形成する工程とを備え、前記第１、第２のトリミング溝は互いに線対称となるように同時にレーザを照射して形成するようにしたチップ抵抗器の製造方法。
【請求項２】
前記第１のトリミング溝、第２のトリミング溝は、略同じ強さのレーザを照射して形成するようにした請求項１に記載のチップ抵抗器の製造方法。
【請求項３】
前記第１のトリミング溝、第２のトリミング溝は、略同じ速さでレーザを照射して形成するようにした請求項１に記載のチップ抵抗器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器に使用されるチップ抵抗器の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種のチップ抵抗器は、図３に示すように、絶縁基板１と、この絶縁基板１の上面の両端部に設けられた一対の上面電極２と、絶縁基板１の上面に設けられ、かつ一対の上面電極２間に形成された矩形状の抵抗体３とを備え、抵抗体３には、レーザで切削してＬ字状のトリミング溝４が形成されている。また、トリミング溝４は、一対の上面電極２が向かい合う方向に沿った抵抗体３の一方の側面に始点を有し、一対の上面電極２が向かい合う方向と直角の垂直部４ａと、垂直部４ａの先端部から連続して形成され一対の上面電極２が向かい合う方向と平行の水平部４ｂで構成され、このトリミング溝４によって抵抗値を所定の値になるように調整していた。
【０００３】
さらに、より多くの抵抗値調整するために、他方の側面に始点を有した他のＬ字状のトリミング溝４を形成する場合もあった。
【０００４】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−３３８４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した従来のチップ抵抗器においては、サージやＥＳＤ等の高電圧が一対の上面電極２間に印加されたとき、抵抗体３のトリミング溝４の垂直部４ａを挟んで位置する部分３ａ、３ｂ間の電位差が大きくなるため、トリミング溝４の垂直部４ａが絶縁破壊される場合があり、これにより、抵抗値が変動する可能性があるという課題を有していた。
【０００７】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、サージやＥＳＤ等の高電圧が印加されても抵抗値が変動するのを防止できるチップ抵抗器の製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の態様に係るチップ抵抗器の製造方法は、絶縁基板の上面の両端部に一対の上面電極を形成し、前記絶縁基板の上面において前記一対の上面電極間に抵抗体を形成する工程と、前記抵抗体に前記抵抗体の前記一対の上面電極が向かい合う方向に沿った一方の側面を始点とし、前記一対の上面電極が向かい合う方向と直角の垂直部と、前記垂直部の先端部から連続して形成された前記一対の上面電極が向かい合う方向と平行の水平部とで構成される第１、第２のトリミング溝を形成する工程とを備え、前記第１、第２のトリミング溝は互いに線対称となるように同時にレーザを照射して形成するようにした。
【０００９】
第２の態様に係るチップ抵抗器の製造方法は、第１の態様において、前記第１のトリミング溝、第２のトリミング溝は、略同じ強さのレーザを照射して形成するようにした。
【００１０】
第３の態様に係るチップ抵抗器の製造方法は、第１の態様において、前記第１のトリミング溝、第２のトリミング溝は、略同じ速さでレーザを照射して形成するようにした。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように本発明のチップ抵抗器の製造方法は、Ｌ字状の２つのトリミング溝を、互いに線対称となるように形成し、それぞれの先端部が互いに対向するように位置させているため、２つのトリミング溝と抵抗体の一方の側面とで囲まれた抵抗体の部分の電位を、一方の上面電極の電位と他方の上面電極の電位との間の中間の電位にすることができ、これにより、高電圧が一対の上面電極間に印加されても、第１、第２のトリミング溝の垂直部を挟んで位置する部分間の電位差を小さくすることができるため、第１、第２のトリミング溝の垂直部が絶縁破壊される可能性を低減でき、この結果、抵抗値が変動するのを防止することができるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施の形態におけるチップ抵抗器の断面図
【図２】同チップ抵抗器の主要部の上面図
【図３】従来のチップ抵抗器の主要部の上面図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施の形態におけるチップ抵抗器について、図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１は本発明の一実施の形態におけるチップ抵抗器の断面図、図２は同チップ抵抗器の主要部の上面図である。
【００１５】
本発明の一実施の形態におけるチップ抵抗器は、図１、図２に示すように、絶縁基板１１と、この絶縁基板１１の上面の両端部に設けられた一対の上面電極１２ａ、１２ｂと、前記絶縁基板１１の上面に設けられ、かつ前記一対の上面電極１２ａ、１２ｂ間に形成された抵抗体１３と、少なくとも前記抵抗体１３を覆うように設けられた保護膜１４と、前記一対の上面電極１２ａ、１２ｂと電気的に接続されるように前記絶縁基板１１の両端面に設けられた一対の端面電極１５と、前記上面電極１２の一部と前記一対の端面電極１５の表面に形成されためっき層１６とを備えた構成としている。
【００１６】
そして、抵抗体１３にはＬ字状の第１のトリミング溝１７、第２のトリミング溝１８の２つのトリミング溝が形成され、この２つのトリミング溝１７、１８はそれぞれ、抵抗体１３の一対の上面電極１２ａ、１２ｂが向かい合う方向に沿った一方の側面１３ａに始点１７ａ、１８ａを有し、一対の上面電極１２ａ、１２ｂが向かい合う方向と直角の垂直部１７ｂ、１８ｂと、この垂直部１７ｂ、１８ｂの先端部から連続して形成された一対の上面電極１２ａ、１２ｂが向かい合う方向と平行の水平部１７ｃ、１８ｃとで構成されている。
【００１７】
なお、図２では、保護膜１４、一対の端面電極１５、めっき層１６を省略している。
【００１８】
上記構成において、前記絶縁基板１１は、Ａｌ２Ｏ３を９６％含有するアルミナで構成され、その形状は矩形状（上面視にて長方形）となっている。
【００１９】
また、前記一対の上面電極１２ａ、１２ｂは、絶縁基板１１の上面の両端部に設けられ、Ａｇ系厚膜材料を印刷することによって形成されている。
【００２０】
さらに、前記抵抗体１３は、一対の上面電極１２ａ、１２ｂ間を電気的に接続するように方形状に設けられ、ＲｕＯ２、ＡｇＰｄ、ＣｕＮｉ等によって形成されている。なお、この抵抗体１３の上面はプリコートガラス（図示せず）で覆われている。
【００２１】
そして、前記保護膜１４は、少なくとも上面電極１２の一部が露出し、かつ抵抗体１３および第１、第２のトリミング溝１７、１８を覆うように、ガラスまたはエポキシ樹脂により形成されている。
【００２２】
そしてまた、前記一対の端面電極１５は、絶縁基板１１の両端部に露出した一対の上面電極１２ａ、１２ｂと電気的に接続されるようにＡｇによって形成される。また、この一対の端面電極１５の表面には、Ｎｉめっき層と、このＮｉめっき層を覆うＳｎめっき層とからなるめっき層１６が形成されている。
【００２３】
さらに、前記第１のトリミング溝１７、第２のトリミング溝１８は、それぞれ抵抗体１３にＬ字状に設けられ、抵抗体１３にレーザを照射することにより形成されている。第１のトリミング溝１７、第２のトリミング溝１８によって抵抗値を調整できる。
【００２４】
そして、第１のトリミング溝１７は、抵抗体１３の一対の上面電極１２ａ、１２ｂが向かい合う方向（図１では抵抗体１３の長さ方向Ｘ）に沿った一方の側面１３ａに始点１７ａを有し、長さ方向Ｘと直角の垂直部１７ｂと、この垂直部１７ｂの先端部から連続して形成された長さ方向Ｘと平行の水平部１７ｃとで構成されている。
【００２５】
また、第２のトリミング溝１８は、第１のトリミング溝１７の始点１７ａが形成された同じ側面１３ａに始点１８ａを有しており、さらに、長さ方向Ｘと直角の垂直部１８ｂと、この垂直部１８ｂの先端部から連続して形成された長さ方向Ｘと平行の水平部１８ｃとで構成されている。
【００２６】
そして、第１のトリミング溝１７の水平部１７ｃの先端部と第２のトリミング溝１８の水平部１８ｃの先端部が互いに向き合うように位置している。
【００２７】
すなわち、第１のトリミング溝１７の水平部１７ｃの先端部が向く方向は、第２のトリミング溝１８を介して反対側の上面電極１２ｂ、第２のトリミング溝１８の水平部１８ｃの先端部が向く方向は、第１のトリミング溝１７を介してもう反対側の上面電極１２ａとなるように構成されている。
【００２８】
そしてまた、第１のトリミング溝１７の垂直部１７ｂの長さと、第２のトリミング溝１８の垂直部１８ｂの長さが略同一になっている。そしてさらに、第１のトリミング溝１７の水平部１７ｃの長さと、第２のトリミング溝１８の水平部１８ｃの長さとが略同一になっており、かつ第１のトリミング溝１７と第２のトリミング溝１８を、一対の上面電極１２ａ、１２ｂが向かい合う方向の抵抗体１３の中心線、すなわち、抵抗体１３の長さ方向Ｘの中心線に対して線対称に配置している。
【００２９】
さらに、第１、第２のトリミング溝１７、１８の垂直部１７ｂ、１８ｂと水平部１７ｃ、１８ｃとの接続部を円弧状にしている。
【００３０】
また、第１、第２のトリミング溝１７、１８の水平部１７ｃ、１８ｃの長さＬ１は、一対の上面電極１２ａ、１２ｂ間の長さＬの１／６〜１／３となっている。長さＬ１を長さＬの１／３以下とすることによって、高電力化が可能になる。
【００３１】
すなわち、第１、第２のトリミング溝１７、１８の水平部１７ｃ、１８ｃと抵抗体１３の他方の側面１３ｂとの間は発熱部となるため、長さＬ１を長さＬの１／３以下とすることによって、一対の上面電極１２ａ、１２ｂとこの発熱部との間の距離を短くすれば、一対の上面電極１２ａ、１２ｂへの放熱性が高くなり、高電力化が可能となる。
【００３２】
一方、１／６以下とすれば、第１、第２のトリミング溝１７、１８の水平部１７ｃ、１８ｃの長さＬ１が短くなりすぎて、抵抗値の微調整が難しくなる。
【００３３】
次に、第１のトリミング溝１７、第２のトリミング溝１８をレーザで形成する方法について説明する。
【００３４】
図２において、まず、始点１７ａとなる箇所と、始点１８ａとなる箇所にそれぞれ、同時に略同じ強さのレーザを照射する。
【００３５】
次に、２つのレーザ照射を同期させながら、同じ強さのまま同時に略同じ速さでレーザの照射箇所を動かす。このとき、図２に示すように互いに線対称となるように設定する。
【００３６】
その後、所定の抵抗値に辿り着いたら、レーザの照射を止める。
【００３７】
なお、上記２つのレーザを照射する方法は、２つのレーザ源でそれぞれ同じ強さになるように調整する方法、あるいは、１つのレーザ源をレーザ分岐装置で５０％ずつの強さの２本のビームに分岐させる方法などがある。
【００３８】
この方法により、第１のトリミング溝１７と第２のトリミング溝１８との形状を容易に実質的に同じ形状にしかつ確実に線対称に形成することができる。
【００３９】
なお、第１のトリミング溝１７、第２のトリミング溝１８を形成する際のレーザは、異なる強さとしてもよい。また、第１のトリミング溝１７、第２のトリミング溝１８を形成する際のレーザのＱレート、バイトサイズの一方または両方を変えて、形成する速さが異なるようにしてもよい。
【００４０】
上記したように本発明の一実施の形態においては、Ｌ字状の２つのトリミング溝１７、１８を、互いに線対称となるように形成し、それぞれの先端部が互いに対向するように位置させているため、２つのトリミング溝１７、１８と抵抗体１３の一方の側面１３ａとで囲まれた抵抗体１３の閉塞部１９の電位を、一方の上面電極１２ａの電位と他方の上面電極１２ｂの電位との間の中間の電位にすることができ、これにより、高電圧が一対の上面電極１２ａ、１２ｂ間に印加されても、第１、第２のトリミング溝１７、１８の垂直部１７ｂ、１８ｂを挟んで位置する部分間の電位差を小さくすることができるため、第１、第２のトリミング溝１７、１８の垂直部１７ｂ、１８ｂが絶縁破壊される可能性を低減でき、この結果、抵抗値が変動するのを防止することができるという効果が得られる。
【００４１】
さらに、２つのトリミング溝１７、１８を、同時に形成しているため、抵抗値調整の時間を短縮でき、生産性が向上する。また、確実に互いに線対称となるようにすることができるため、閉塞部１９の電位を、一方の上面電極１２ａの電位と他方の上面電極１２ｂの電位との間のちょうど中間の電位にすることが可能となる。
【００４２】
また、第１、第２のトリミング溝１７、１８の垂直部１７ｂ、１８ｂと水平部１７ｃ、１８ｃとの接続部への電流集中を防ぐことができるため、この接続部周辺での負荷集中を抑制することができ、これにより、負荷特性を向上させることができる。
【００４３】
そして、一方のトリミング溝１７の水平部１７ｃの先端部周辺に流れる電流は、他方のトリミング溝１８の存在によってその流れが阻害されるため、レーザ照射によるマイクロクラックが発生した第１、第２のトリミング溝１７、１８の水平部１７ｃ、１８ｃの先端部周辺にはほとんど電流が集中せず、これにより、電流ノイズ特性が悪化するのを防止できるという効果も得られる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明に係るチップ抵抗器の製造方法は、サージやＥＳＤ等の高電圧が印加されても抵抗値が変動するのを防止できるという効果を有するものであり、特に、各種電子機器に使用されるチップ抵抗器等において有用となるものである。
【符号の説明】
【００４５】
１１  絶縁基板
１２ａ、１２ｂ  一対の上面電極
１３  抵抗体
１３ａ  抵抗体の一方の側面
１７  第１のトリミング溝
１７ａ  第１のトリミング溝の始点
１７ｂ  第１のトリミング溝の垂直部
１７ｃ  第１のトリミング溝の水平部
１８  第２のトリミング溝
１８ａ  第２のトリミング溝の始点
１８ｂ  第２のトリミング溝の垂直部
１８ｃ  第２のトリミング溝の水平部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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