(57)【要約】【課題】  簡単な構造で基板を挟んで保持する力を付与することができるクランプ機構を提供する。【解決手段】  基板を挟んで保持するクランプ機構であって、前記基板が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記基板を当該載置台との間で挟むように開閉するクランプ片と、前記載置台に対して前記クランプ片を閉じた状態に保持するクランプ保持機構とを備え、前記クランプ保持機構が、前記載置台又は前記クランプ片のいずれか一方に設けられた磁石と他方に設けられた磁性体とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を挟んで保持するクランプ機構であって、
前記基板が載置される載置台と、
前記載置台に載置された前記基板を当該載置台との間で挟むように開閉するクランプ片と、
前記載置台に対して前記クランプ片を閉じた状態に保持するクランプ保持機構とを備え、
前記クランプ保持機構が、前記載置台又は前記クランプ片のいずれか一方に設けられた磁石と他方に設けられた磁性体とを備えるクランプ機構。
【請求項２】
前記クランプ保持機構が、前記載置台に対して前記クランプ片が閉じた状態における前記磁石及び前記磁性体の間の距離を調節する距離調節機構を備える請求項１記載のクランプ機構。
【請求項３】
前記距離調節機構が、前記載置台又は前記クランプ片の少なくとも一方に設けられ、前記磁石又は前記磁性体の一方が他方に対して進退できるように挿入される挿入孔を有している請求項２記載のクランプ機構。
【請求項４】
前記距離調節機構が、
前記磁石又は前記磁性体の外面に設けられた雄ネジ部と、
前記挿入孔の内面に設けられた雌ネジ部とを備える請求項３記載のクランプ機構。
【請求項５】
前記載置台又は前記クランプ片の少なくとも一方が、前記基板の片面と当接する当接面と、当該当接面から立ち上がって当該基板の端面と対向する対向面とを有している請求項１乃至４のいずれかに記載のクランプ機構。
【請求項６】
前記クランプ片が、前記基板と当接する面と反対面に先端に向かって傾斜する傾斜面を有している請求項１乃至５のいずれかに記載のクランプ機構。
【請求項７】
前記載置台に対して前記クランプ片が閉じた状態を解除するクランプ解除機構をさらに備える請求項１乃至６のいずれかに記載のクランプ機構。
【請求項８】
前記載置台に貫通孔が設けられており、
前記クランプ解除機構が、前記貫通孔に差し込まれ、前記載置台に対して前記クランプ片を押し上げて開いた状態にする押上ピンを備えている請求項７記載のクランプ機構。
【請求項９】
前記クランプ解除機構が、前記クランプ片に対して前記押上ピンを移動させる押上ピン移動機構をさらに備え、
前記押上ピン移動機構が、前記押上ピンを、前記貫通孔に差し込み前記クランプ片を押し上げるように上昇させたクランプ解除位置と、前記貫通孔から引き抜くように下降させた押上ピン待機位置と、前記クランプ片及び前記載置台によって保持された前記基板の動きを妨げない押上ピン退避位置との間で移動させる請求項８記載のクランプ機構。
【請求項１０】
前記請求項１乃至９のいずれかに記載のクランプ機構と、搬送装置によって搬送される前記基板を前記クランプ機構へ受け渡す基板受渡機構とを備える基板保持装置。
【請求項１１】
前記載置台が、枠状のものであり、
前記基板受渡機構が、前記搬送装置によって前記載置台の上方へ搬送された前記基板を、前記載置台の枠内に下側から通されて支持する支持ピンと、前記載置台に対して前記支持ピンを移動させる支持ピン移動機構とを備え、
前記支持ピン移動機構が、前記支持ピンを、前記載置台の枠内に下側から通して前記基板を支持するように上昇させた基板支持位置と、前記載置台の下側へ下降させた支持ピン待機位置と、前記クランプ片及び前記載置台によって挟まれた前記基板の動きを妨げない支持ピン退避位置との間で移動させる請求項１０記載の基板保持装置。
【請求項１２】
前記押上ピンを前記クランプ解除位置へ移動させ、前記支持ピンを前記基板支持位置へ移動させた後、前記支持ピンを前記支持ピン待機位置へ移動させる途中で、前記支持ピンによって支持された前記基板を前記クランプ機構に受け渡すと共に、前記押上ピンを前記押上ピン待機位置へ移動させ、その後、前記押上ピンを前記押上ピン退避位置へ移動させると共に、前記支持ピンを前記支持ピン退避位置へ移動させる請求項１１記載の基板保持装置。
【請求項１３】
前記クランプ機構が多段状に配置されており、前記各段のクランプ機構に対応するように前記基板受渡機構が設置されている請求項１０乃至１２のいずれかに記載の基板保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クランプ機構及び当該クランプ機構を備える基板保持装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来からディスプレイに用いられる基板を保持して搬送する基板保持装置としては、例えば、特許文献１には、基板を挟んで保持する一対のクランプ片を備えたクランプ機構を複数設置したものが開示されている。
【０００３】
ところで、前記従来の基板保持装置に用いられるクランプ機構は、弾性体を利用して一対のクランプ片に対し、基板を挟んで保持する力を付与する構造になっている。このため、クランプ機構に対し、弾性体を組み込む必要があることから構造が複雑になり、生産性が悪いという問題点があった。また、一対のクランプ片の基板を挟んで保持する力を調節しようとすると、弾性体を交換するために、クランプ機構を分解・組立する必要が生じ、非常に手間が掛るという問題点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４８８８９１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は、簡単な構造で基板を挟んで保持する力を付与することができるクランプ機構を提供することを主な課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち、本発明に係るクランプ機構は、基板を挟んで保持するクランプ機構であって、前記基板が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記基板を当該載置台との間で挟むように開閉するクランプ片と、前記載置台に対して前記クランプ片を閉じた状態に保持するクランプ保持機構とを備え前記クランプ保持機構が、前記載置台又は前記クランプ片のいずれか一方に設けられた磁石と他方に設けられた磁性体とを備えるものである。
【０００７】
このようなものであれば、載置台に対してクランプ片を閉じた状態に保持する力を磁力による吸着によって付与する構造にしたので、その構造を簡素化でき、クランプ機構の組立てが容易となって生産性が向上する。
【０００８】
また、前記クランプ保持機構が備える磁石は、経年劣化によって磁力が弱まることがあることから、クランプ保持機構に対し、前記載置台に対して前記クランプ片が閉じた状態における前記磁石及び前記磁性体の間の距離を調節する距離調節機構をさらに備えることが望ましい。
【０００９】
このようなものであれば、磁力が弱まった磁石及び磁性体の間の距離を短く調節することができるようになり、載置台に対してクランプ片を閉じた状態に保持する力を元に戻すことができるようになる。これにより、磁石の磁力が極端に弱まるような事態が生じない限り、磁石を交換する必要がなくなる。
【００１０】
なお、前記距離調節機構は、具体的には、前記載置台又は前記クランプ片の少なくとも一方に設けられ、前記磁石又は前記磁性体の一方が他方に対して進退できるように挿入される挿入孔を有するように構成すればよく、より具体的には、前記距離調節機構が、前記磁石又は前記磁性体の外面に設けられた雄ネジ部と、前記挿入孔の内面に設けられた雌ネジ部とを備えるように構成すればよい。
【００１１】
このようなものであれば、挿入孔に対して磁石又は磁性体を移動させるだけで、載置台に対してクランプ片を閉じた状態に保持する力を調節することができるようになる。また、挿入孔に対して磁石又は磁性体を螺合させる構造にすることにより、磁石又は磁性体を回転させるだけで、磁石又は磁性体を挿入孔に対して移動させることができるようになる。
【００１２】
また、前記クランプ機構として、前記載置台又は前記クランプ片の少なくとも一方が、前記基板の片面と当接する当接面と、当該当接面から立ち上がって当該基板の端面と対向する対向面とを有するように構成してもよい。
【００１３】
このようなものであれば、対向面によって載置台に対する基板の位置ズレを規制することができるようになる。
【００１４】
また、前記クランプ機構として、前記クランプ片が、前記基板と当接する面と反対面に先端に向かって傾斜する傾斜面を有するように構成してもよい。
【００１５】
このようなものであれば、クランプ片が当接する基板の面に対して処理が施される場合に、当該面にクランプ片による影が形成され難くなり、当該面のクランプ機構周辺に処理ムラができ難くなる。
【００１６】
また、前記クランプ機構として、前記載置台に対して前記クランプ片が閉じた状態を解除するクランプ解除機構をさらに備えるものであってもよく、この場合、前記載置台に貫通孔が設けられており、前記クランプ解除機構が、前記貫通孔に差し込まれ、前記載置台に対して前記クランプ片を押し上げて開いた状態にする押上ピンを備えているように構成すればよい。
【００１７】
このようなものであれば、載置台に対して磁性体又は磁石を挿入するために設けた挿入孔を、載置台に対して押上ピンを挿通するための貫通孔としても利用できるようになる。これにより、載置台に対して押上ピンを挿通するための貫通孔を挿通孔とは別に設ける必要がなくなり、載置台の強度を高く保つことができる。また、載置台の加工作業を簡略化することができる。
【００１８】
また、前記クランプ解除機構が、前記押上ピンを前記クランプ片に対して移動させる押上ピン移動機構をさらに備え、前記押上ピン移動機構が、前記押上ピンを、前記貫通孔に差し込み前記クランプ片を押し上げるように上昇させたクランプ解除位置と、前記貫通孔から引き抜くように下降させた押上ピン待機位置と、前記クランプ片及び前記載置台によって保持された前記基板の動きを妨げない押上ピン退避位置との間で移動させるようにしてもよい。
【００１９】
クランプ機構によって保持された基板は、その後処理室へと搬送されて処理されるが、この処理中に基板に対して埃等が付着し難いように、このクランプ機構によって保持された基板を垂直に立てる場合があるが、このような構成であれば、クランプ機構によって保持された基板を垂直に立てる際に、押上ピンを押上ピン退避位置へ移動させることにより、押上ピンが基板と干渉しなくなる。
【００２０】
また、本発明に係る基板保持装置は、前記いずれかのクランプ機構と、搬送装置によって搬送される前記基板を前記クランプ機構へ受け渡す基板受渡機構とを備えるものである。
【００２１】
この場合、前記載置台が、枠状のものであり、前記基板受渡機構が、前記搬送装置によって前記載置台の上方へ搬送された前記基板を、前記載置台の枠内に下側から通されて支持する支持ピンと、前記載置台に対して前記支持ピンを移動させる支持ピン移動機構とを備え、前記支持ピン移動機構が、前記支持ピンを、前記載置台の枠内に下側から通して前記基板を支持するように上昇させた基板支持位置と、前記載置台の下側へ下降させた支持ピン待機位置と、前記クランプ片及び前記載置台によって挟まれた前記基板の動きを妨げない支持ピン退避位置との間で移動させるように構成すればよく、より具体的には、前記押上ピンを前記クランプ解除位置へ移動させ、前記支持ピンを前記基板支持位置へ移動させた後、前記支持ピンを前記支持ピン待機位置へ移動させる途中で、前記支持ピンによって支持された前記基板を前記クランプ機構に受け渡すと共に、前記押上ピンを前記押上ピン待機位置へ移動させ、その後、前記押上ピンを前記押上ピン退避位置へ移動させると共に、前記支持ピンを前記支持ピン退避位置へ移動させるように構成すればよい。
【００２２】
このような構成であれば、基板保持装置において、クランプ機構が多段状に配置され、当該各段のクランプ機構に対応するように基板受渡機構が設置されるような場合であっても、基板受渡機構からクランプ機構に対して基板が受け渡された後、その基板を垂直に立てる際に、押上ピンを押上ピン退避位置へ移動させると共に、支持ピンを支持ピン退避位置へ移動させれば、当該押上ピン及び当該支持ピンが基板と干渉しなくなる。これにより、搬送装置によって搬送される基板を複数枚一度に基板保持装置へ受け渡すことができるようになり、基板搬送作業の効率が向上する。
【発明の効果】
【００２３】
このような構成のクランプ機構によれば、簡単な構造で基板を挟んで保持する力を付与することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本実施形態に係る基板保持装置を示す模式図である。
【図２】同実施形態に係るクランプ機構のＡ−Ａ断面を示す模式図である。
【図３】同実施形態に係るクランプ機構のＡ−Ａ断面を示す模式図である。
【図４】同実施形態に係るクランプ機構のＢ−Ｂ断面を示す模式図である。
【図５】同実施形態に係る基板保持装置を示す模式図である。
【図６】同実施形態に係る基板保持装置の動作を示す模式図である。
【図７】同実施形態に係る基板保持装置の動作を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下に、本発明に係るクランプ機構及び当該クランプ機構を備えた基板保持装置を図面に基づいて説明する。
【００２６】
本発明に係る基板保持装置は、例えば、ディスプレイに用いられる基板に対して処理を施す場合に、その基板を処理室内へ搬送するために使用されるものである。
【００２７】
＜実施形態＞  本実施形態に係る基板保持装置Ｍは、図１に示すように、基板Ｓの保持するクランプ機構１００と、搬送装置によって搬送される基板Ｓをクランプ機構１００へ受け渡す基板受渡機構２００と、を備えている。
【００２８】
前記クランプ機構１００は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、基板Ｓが載置される載置台１０と、載置台１０に載置された基板Ｓを挟むように開閉するクランプ片２０と、載置台１０に対してクランプ片２０を閉じた状態に保持するクランプ保持機構３０と、載置台１０に対してクランプ片２０が閉じた状態を解除するクランプ解除機構４０と、を備えている。本実施形態のクランプ機構１００は、基板Ｓの各辺を保持するように四つ設けられている。
【００２９】
前記載置台１０には、図３及び図４に示すように、その上面１１（クランプ片２０側を向く面）に、基板Ｓの一方面Ｓ１が当接する当接面１１ａと、当接面１１ａから立ち上がって当接面１１ａに載置された基板Ｓの端面Ｓ２と対向する対向面１１ｂと、対向面１１ｂから当接面１１ａと反対側へ延びる延設面１１ｃと、が設けられている。なお、対向面１１ｂは、当接面１１ａに載置された基板Ｓの位置ズレを規制する役割を果たしている。また、延設面１１ｃは、基板Ｓが当接されない面であり、その端側にクランプ片２０を回転可能に軸支するヒンジ部１２が設けられている。
【００３０】
また、前記載置台１０には、その両端側にクランプ片１２と対向する面からその反対面へ貫通する貫通孔１４ａが設けられていると共に、その中央寄りにクランプ片１２と対向する面からその反対面へ貫通する挿入孔１４ｂが設けられている。具体的には、貫通孔１４ａ及び挿入孔１４ｂは、いずれも延設面１１ｃからその反対面へ貫通している。挿入孔１４ｂは、載置台１０の長手方向に沿って間欠的に複数設けられている。
【００３１】
なお、本実施形態における載置台１０は、図１に示すように、枠状のものであり、基板Ｓに合わせて矩形状になっている。すなわち、各クランプ機構１００を構成する載置台１０は、互いに繋がって枠状をなしている。よって、載置台１１は、その内側に当接面１１ａが設けられ、その外側に延設面１１ｃが設けられた構造になっており、当接面１１ａが設けられた内側よりも延設面１１ｃが設けられた外側の方が対向面１１ｂの高さの分だけ分厚くなっている。
【００３２】
前記クランプ片２０は、載置台１０のヒンジ部１２に軸支され、その軸１３を支点として当該載置台１０に対して開閉するものである。なお、クランプ片２０は、その下面２１（載置台１０側を向く面）が、載置台１０の当接面１１ａと対向する位置まで延びており、その当接面１１ａと対向する先端側が基板Ｓの他方面Ｓ３と当接する当接面２１ａとなっている。また、クランプ片２０には、当接面２１ａと反対面に先端に向かって傾斜する傾斜面２２が設けられている。なお、クランプ片２０は、基板Ｓ上に乗った状態になるため、比較的軽い材料によって形成されており、例えば、アルミニウムによって形成されている。
【００３３】
前記クランプ保持機構３０は、図４に示すように、載置台１０及びクランプ片２０を磁力によって互いに吸着させることにより、載置台１０に対してクランプ片２０を閉じた状態に保持するものである。具体的には、クランプ保持機構３０は、載置台２０に設けられた磁石３１と、クランプ片２０に設けられた磁性体３２と、を備えている。なお、磁石３１は、載置台１０の当接面１１ａを避けて基板Ｓと当接しない延設面１１ｃ側に設けられた挿入孔１４ｂに挿入して保持されており、磁性体３２は、クランプ片２０の下面２１に磁石３１と対向するように設けられている。
【００３４】
また、前記クランプ保持機構３０は、載置台１０に対してクランプ片２０が閉じた状態における磁石３１及び磁性体３２の間の距離を調節する距離調節機構５０を備えている。具体的には、距離調節機構５０は、載置台１０に設けられた挿入孔１４ｂを構成の一部としており、その挿入孔１４ｂに磁石３１が磁性体３２に対して進退できるように挿入される。より具体的には、距離調節機構５０は、磁石３１の外面に設けられた雄ネジ部３１ａと、挿入孔１４ｂの内面に設けられた雌ネジ部５１ａと、を備えており、磁石３１を挿入孔１４ｂに対して回転させることにより、磁石３１が挿入孔１４ｂ内を移動できるようになっている。
【００３５】
前記クランプ解除機構４０は、図２に示すように、載置台１０に対して閉じた状態のクランプ片２０を開いた状態にするものである。具体的には、載置台１０に形成された貫通孔１４ａに挿通される押上ピン４１と、押上ピン４１を移動させる押上ピン移動機構４２と、を備えている。
【００３６】
前記押上ピン移動機構４２は、載置台１０の枠外（外側）に設置され、貫通孔１４ａの貫通方向に沿って延びる軸体４２ａと、軸体４２ａから直交方向へ延びる支持片４２ｂと、を備えており、支持片４２ｂの先端側に、押上ピン４１が設けられている。そして、押上ピン移動機構４２は、軸体４２ａを上下に移動させることにより、押上ピン４１を貫通孔１４ａに抜き差しするように移動させる。また、押上ピン移動機構４２は、軸体４２ａを旋回（回転）させることにより、押上ピン４１を載置台１０の枠内外へ移動させる（図５参照）。
【００３７】
なお、本実施形態のクランプ解除機構４０は、軸体４２ａから二つの支持片４２ｂが延びており、それぞれの支持片４２ｂに押上ピン４１が設けられている。そして、各押上ピン４１は、隣接する二つの載置台１０に設けられた貫通孔１４ａにそれぞれ抜き差しされるようになっている。
【００３８】
前記基板受渡機構２００は、搬送装置から搬送される基板Ｓをクランプ機構１００に受け渡すものである。具体的には、基板受渡装置２００は、基板Ｓを支持する支持ピン２１０と、支持ピン２１０を移動させる支持ピン移動機構２２０と、を備えている。
【００３９】
前記支持ピン移動機構２２０は、載置台１０の枠外に設置され、押上ピン移動機構４２の軸体４２ａと平行に延びる軸体２２０ａと、軸体２２０ａから直交方向へ延びる支持片２２０ｂと、を備えており、支持片２２０ｂの先端側に、支持ピン２１０が設けられている。そして、基板受渡機構２００は、軸体２２０ａを上下に移動させることにより、支持ピン２１０を載置台１０の下側からその枠内に通し、搬送装置によって搬送される基板Ｓに当接するように移動させる。また、基板受渡機構２００は、軸体２２０ａを旋回（回転）させることにより、支持ピン２１０を載置台１０の枠内外へ移動させる（図５参照）。
【００４０】
また、前記基板保持装置Ｍは、図示しない制御部をさらに有している。なお、制御部は、ＣＰＵ、メモリ、Ａ／Ｄ・Ｄ／Ａコンバータ等を備えた所謂コンピュータを有し、前記メモリに格納されているプログラムが実行され、各種機器が協働することによって各機能が実現されるようにしてある。具体的には、制御部は、クランプ解除機構４０及び基板受渡機構２００を協働させることにより、搬送装置によって搬送される基板Ｓをクランプ機構１００へ受け渡し、そのクランプ機構１００によって基板Ｓを挟んで保持する機能を発揮させる。
【００４１】
次に、本発明に係る基板保持装置Ｍにおける基板Ｓの載置動作を図６及び図７に基づいて説明する。なお、図６及び図７においては、図面を簡略化するため、基板Ｓに対し、左側に基板受渡機構２００の動作を図示し、右側にクランプ解除機構４０の動作を図示している。
【００４２】
先ず、図６（ａ）に示すように、搬送装置Ｔによって載置台２０の上方に基板Ｓが搬送されると、制御部は、押上ピン４１を載置台１０の貫通孔１４ａ下側である押上ピン待機位置ｘｐ１へ移動させると共に、支持ピン２１０を載置台１０の枠内下側である支持ピン待機位置ｘｐ２へ移動させる。なお、この状態で、クランプ片２０は、自重によって載置台１０に対して閉じた状態になっている。
【００４３】
次に、制御部は、図６（ｂ）に示すように、押上ピン４１を貫通孔１４ａに差し込みクランプ片２０を押し上げるように上昇させたクランプ解除位置ｙｐ１へ移動させると共に、支持ピン２１０を載置台１０の枠内に下側から通して基板Ｓを支持するように上昇させた基板支持位置ｙｐ２へ移動させる。これにより、クランプ片４０は、押上ピン４１によって押し上げられて載置台１０に対して開いた状態となり、また、基板Ｓは、支持ピン２１０によって下側から支持された状態となる。そして、基板Ｓが、搬送装置Ｔから基板受渡機構２００へ受け渡される。
【００４４】
次に、制御部は、図６（ｃ）に示すように、押上ピン４１をクランプ解除位置ｙｐ１に留めた状態で、支持ピン２１０を載置台１０の枠内下側へ下降させて支持ピン待機位置ｘｐ２へ移動させる。これにより、支持ピン２１０が下降する途中で、基板Ｓが、基板受渡機構２００からクランプ機構１００へ受け渡される。
【００４５】
次に、制御部は、図７（ｄ）に示すように、押上ピン４１を貫通孔１４ａから引き抜くように下降させて押上ピン待機位置ｘｐ１へ移動させる。これにより、クランプ片２０は、再び自重によって載置台１０に対して閉じた状態となる。なお、この状態で、載置台１０及びクランプ片２０は、クランプ保持機構３０によって互いに磁力によって吸着されるため、各クランプ機構１００によって基板Ｓが適切な力で挟まれ保持された状態となる。
【００４６】
そして、制御部は、図７（ｅ）に示すように、押上ピン４１を旋回し、載置台１０及びクランプ片２０によって挟まれた基板Ｓのその後の動きを妨げない押上ピン退避位置ｚｐ１へ移動させると共に、支持ピン２１０を旋回し、載置台１０及びクランプ片２０によって挟まれた基板Ｓのその後の動きを妨げない支持ピン退避位置ｚｐ２へ移動させる（図５参照）。なお、本実施形態の押上ピン退避位置ｚｐ１及び支持ピン退避位置ｚｐ２は、載置台１０の枠外である。これにより、基板Ｓに対するその後の処理を考慮し、その基板Ｓをその場で垂直に立てる場合であっても、クランプ解除機構４０及び基板受渡機構２００が基板Ｓに干渉しなくなる。
【００４７】
なお、クランプ解除機構４０は、押上ピン４１を押上ピン退避位置ｚｐ１へ移動させた後、載置台１０に対してさらに下降するように構成してもよく、基板受渡機構２００は、支持ピン２１０を支持ピン退避位置ｚｐ２へ移動させた後、載置台１０に対してさらに下降するように構成してもよい。このようにすれば、その場で基板Ｓを垂直に立てる場合に、基板Ｓの可動スペースをより広く取ることができる。
【００４８】
また、クランプ機構１００による基板Ｓを挟む力を調節する場合には、図３に示すように、距離調節機構５０によって、載置台１０に対してクランプ片２０を閉じた状態における磁性体３２に対する磁石３１の距離を変更する。なお、磁性体３２に対する磁石３１の距離を長くするように調節した場合には、磁力による吸着力が低下するため、クランプ機構１００による基板Ｓを挟む力を低下させることができ、逆に、磁性体３２に対する磁石３１の距離を短くするように調節した場合には、磁力による吸着力が上昇するため、クランプ機構１００による基板Ｓを挟む力を増加させることができる。
【００４９】
＜その他の実施形態＞  前記実施形態においては、クランプ保持機構３０として、載置台１０側に磁石３１を設ける構成としたが、これに限定されることなく、クランプ片２０側に磁石３１を設ける構成としてもよい。また、載置台１０及びクランプ片２０の両方に磁石を設ける構成としてもよい。この場合、載置台１０に設けられた磁石３１とクランプ片２０に設けられた磁石３１とが互いに吸着するように異なる極性が向かい合うように配置する必要がある。また、載置台１０又はクランプ片２０の全体を、磁石３１又は磁性体３２によって形成してもよい。
【００５０】
また、前記実施形態においては、距離調節機構５０として、載置台１０側に挿入孔１４ｂを設けたが、これに限定されることなく、クランプ片２０側に挿入孔１４ｂを設けてもよく、また、載置台１０及びクランプ片２０の両方に挿入孔１４ｂを設けてもよい。なお、前記実施形態においては、挿入孔１４ｂとして載置台１０を貫通する孔を採用しているが、載置台１０を貫通しない孔であってもよい。
【００５１】
また、前記実施形態においては、距離調節機構５０として、磁石３１の雄ネジ部３１ａと挿入孔１４ｂの雌ネジ部５１ａとの螺合によって、挿入孔１４ｂに対して磁石３１を移動できるように構成したが、挿入孔１４ｂに対して磁石３１を摺動によって移動できるように構成してもよい。
【００５２】
また、前記実施形態においては、載置台１０を枠状にしたが、これに限定されず、基板Ｓを載置できるような構成であればよい。例えば、別体からなるクランプ機構１００で基板の四隅を支持するような構成にしてもよい。
【００５３】
また、基板Ｓは、基板保持装置Ｍに保持された状態で処理が施されるが、この時、基板Ｓの処理面（前記実施形態では他方面Ｓ３）に対して埃等が付着しないように基板Ｓを垂直に立てた状態で処理が実施されることがある。そこで、基板保持装置Ｍを水平状態又は垂直状態にする可動台（図示せず）に接続してもよい。因みに、前記実施形態に係る基板保持装置Ｍによれば、垂直状態にしても、クランプ保持機構３０によって載置台１０に対してクランプ片２０が閉じた状態に保持されるため、基板Ｓが載置台１０から脱落することを防止できる。また、基板保持装置Ｍを垂直状態にした場合に、載置台１０の対向面１１ｂに基板Ｓの端面Ｓ２が引っ掛かり、載置台１０に対する基板Ｓの位置ズレが規制される。さらに、クランプ解除機構４０を押上ピン退避位置へ移動させると共に、基板受渡機構２００を支持ピン退避位置へ移動させることにより、これらの機構が基板Ｓへ干渉しなくなる。
【００５４】
また、前記実施形態においては、基板保持装置Ｍとしてクランプ機構１００を一段だけ設置した態様を示しているが、クランプ機構１００を二段以上設置した態様であってもよい。具体的には、クランプ機構１００を上下方向に二段以上配置した態様であってもよい。なお、この場合、各クランプ機構１００に対応させて基板受渡機構２００も設置する。このような態様であっても、前記実施形態のようにクランプ解除機構４０によって押上ピン４１を載置台１０の枠内外へ旋回する構成を採用すると共に、基板受渡機構２００によって支持ピン２１０を載置台１０の枠内外へ旋回する構成を採用することにより、これらの機構が、基板Ｓのその後の動きの妨げにならなくなる。
【００５５】
また、前記実施形態においては、クランプ解除機構４０として押上ピン４１を載置台１０の枠内外へ旋回させる構成を採用しているが、押上ピン４１を載置台１０の枠内外へ平行移動させる構成を採用してもよく、同様に基板受渡機構２００として支持ピン２１０を載置台１０の枠内外へ平行移動させる構成を採用してもよい。
【００５６】
その他、本発明は前記各実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５７】
Ｍ  基板保持装置
１００  クランプ機構
１０  載置台
１１ａ  当接面
１１ｂ  対向面
１１ｃ  延設面
１４ａ  貫通孔
１４ｂ  挿入孔
２０  クランプ片
２１ａ  当接面
２２  傾斜面
３０  クランプ保持機構
３１  磁石
３１ａ  雄ネジ部
３２  磁性体
４０  クランプ解除機構
４１  押上ピン
４２  押上ピン移動機構
ｘｐ１  押上ピン待機位置
ｙｐ１  クランプ解除位置
ｚｐ１  押上ピン退避位置
５０  距離調節機構
５１ａ  雌ネジ部
２００  基板受渡機構
２１０  支持ピン
２２０  支持ピン移動機構
ｘｐ２  支持ピン待機位置
ｙｐ２  基板支持位置
ｚｐ２  支持ピン退避位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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