(57)【要約】【課題】ノズルと圧力室との間の液体の循環効率を高める。【解決手段】液体が供給される圧力室と、液体を吐出するノズルと、ノズルに連通する連通流路と、圧力室を連通流路に接続する第１流路と、第１流路とは異なる位置で、圧力室を連通流路に接続する第２流路と、圧力室の圧力を変化させる駆動素子と、を備え、第１流路と第２流路とでは、互いに流路断面積が異なる部分がある液体吐出ヘッド。【選択図】図５
2019142142.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が供給される圧力室と、
前記液体を吐出するノズルと、
前記ノズルに連通する連通流路と、
前記圧力室を前記連通流路に接続する第１流路と、
前記第１流路とは異なる位置で、前記圧力室を前記連通流路に接続する第２流路と、
前記圧力室の圧力を変化させる駆動素子と、を備え、
前記第１流路と前記第２流路とでは、互いに流路断面積が異なる部分がある
液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１流路と前記第２流路とでは、前記圧力室に接続する圧力室側流路口の流路断面積が異なる
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１流路の方が前記第２流路よりも前記ノズルに近い位置にあり、
前記圧力室側流路口の流路断面積は、前記第１流路の方が前記第２流路よりも大きい
請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１流路においては、前記圧力室側流路口の流路断面積の方が、前記連通流路に接続する連通流路側流路口の流路断面積よりも大きい
前記第２流路においては、前記圧力室側流路口の流路断面積の方が、前記連通流路に接続する連通流路側流路口の流路断面積よりも小さい
請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第１流路は、前記圧力室側流路口から前記連通流路側流路口に向けて流路断面積が小さくなるテーパー形状であり、
前記第２流路は、前記圧力室側流路口から前記連通流路側流路口に向けて流路断面積が大きくなるテーパー形状である
請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１流路のうち前記連通流路側には、前記圧力室側流路口よりも流路径が小さい絞り部があり、
前記第２流路のうち前記圧力室側には、前記連通流路側流路口よりも流路径が小さい絞り部がある
請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第１流路は、平面視で前記ノズルに重なる
請求項１から請求項６の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記駆動素子は、前記第１流路に平面視で重なり、前記第２流路に平面視で重なる部分と重ならない部分がある
請求項１から請求項７の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
複数の第１吐出部と、
複数の第２吐出部と、を具備し、
前記第１吐出部は、前記圧力室と前記ノズルと前記連通流路と前記第１流路と前記第２流路とを備え、前記第１流路と前記第２流路とが第１方向に並べて配置され、前記第１流路に近い方にノズルが配置され、
前記第２吐出部は、前記圧力室と前記ノズルと前記連通流路と前記第１流路と前記第２流路とを備え、前記第１流路と前記第２流路とが前記第１方向に並べて配置され、前記第２流路に近い方にノズルが配置され、
前記第１方向に交差する第２方向に、前記第１吐出部と前記第２吐出部とが交互に配列される
請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項１から請求項９の何れかに記載の液体吐出ヘッドを備える
液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子などの駆動素子によって圧力室内のインクなどの液体をノズルから吐出させる液体吐出ヘッドが知られている。例えば特許文献１では、複数の圧電素子が配列する方向に各圧電素子に対応して複数の圧力室を配列し、複数の圧力室を２つの循環用共通流路（第１流路および第２流路）に連通するヘッドが開示されている。このヘッドでは、２つの循環用共通流路同士が連通されることで、複数の圧力室と２つの循環用共通流路との間で液体が循環する流れを形成できる。２つの循環用共通流路を連通する部分にフィルターを設けることで、循環する液体に混入する気泡や異物をフィルターで除去することによって、ノズルの吐出不良を抑制する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１１７９４７公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、特許文献１の構成では、複数の圧力室内の液体が２つの循環用共通流路を介して循環させるため、液体が循環する流路が長くなるから循環効率が低下する。循環効率が低下するほど、圧力室に連通するノズル内のメニスカス（ノズル内で露出している液体の自由表面）で乾燥が進み、液体の増粘が進行してしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、液体が供給される圧力室と、液体を吐出するノズルと、ノズルに連通する連通流路と、圧力室を連通流路に接続する第１流路と、第１流路とは異なる位置で、圧力室を連通流路に接続する第２流路と、圧力室の圧力を変化させる駆動素子と、を備え、第１流路と第２流路とでは、互いに流路断面積が異なる部分がある。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置の構成図である。
【図２】液体吐出装置の機能的な構成図である。
【図３】液体吐出部の流路構成の模式図である。
【図４】液体吐出部の断面図である。
【図５】圧電素子の平面図と吐出部の断面図である。
【図６】吐出用駆動パルスを示す図である。
【図７】循環用駆動パルスを示す図である。
【図８】循環用駆動パルスによる振動板の変位を示す図である。
【図９】吐出用駆動パルスの印加による吐出部の作用説明図である。
【図１０】循環用駆動パルスの印加による吐出部の作用説明図である。
【図１１】第１変形例に係る吐出部の構成を示す断面図である。
【図１２】第２変形例に係る吐出部の構成を示す断面図である。
【図１３】第２実施形態に係る液体吐出装置の構成図である。
【図１４】第２実施形態に係る液体吐出部の流路構成の模式図である。
【図１５】図１４の吐出部２６６Ａの構成を示す断面図である。
【図１６】図１４の吐出部２６６Ｂの構成を示す断面図である。
【図１７】吐出用駆動パルスの印加による吐出部２６６Ｂの作用説明図である。
【図１８】循環用駆動パルスの印加による吐出部２６６Ｂの作用説明図である。
【図１９】第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの液体吐出部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置１０の部分的な構成図である。本実施形態の液体吐出装置１０は、液体の例示であるインクを媒体１２に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象を媒体１２とすることもできる。図１に示す液体吐出装置１０は、制御ユニット２０と搬送機構２２とキャリッジ２４と液体吐出ヘッド２６とを具備する。図１では、１個の液体吐出ヘッド２６をキャリッジ２４に搭載した場合を例示しているが、これに限られず、複数個の液体吐出ヘッド２６をキャリッジ２４に搭載してもよい。液体吐出装置１０にはインクを貯留する液体容器１４（カートリッジ）が装着される。
【０００８】
液体容器１４は、液体吐出装置１０の本体に着脱可能な箱状の容器からなるインクタンクタイプのカートリッジである。なお、液体容器１４は、箱状の容器に限られず、袋状の容器からなるインクパックタイプのカートリッジであってもよい。また、インクを補充可能なインクタンクを液体容器１４とすることもできる。液体容器１４に貯留されるインクは、黒色インクであってもよく、カラーインクであってもよい。液体容器１４のインクは、ポンプ（図示略）によって液体吐出ヘッド２６に供給（圧送）される。
【０００９】
制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）またはＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）等の制御装置２０２と半導体メモリー等の記憶装置２０３とを含んで構成され、記憶装置２０３に記憶された制御プログラムを制御装置２０２が実行することで液体吐出装置１０の各要素を統括的に制御する。図１に示すように、媒体１２に形成すべき画像を表す印刷データＧがホストコンピューター等の外部装置（図示略）から制御ユニット２０に供給される。制御ユニット２０は、印刷データＧで指定された画像が媒体１２に形成されるように液体吐出装置１０の各要素を制御する。
【００１０】
搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ方向に搬送する。液体吐出ヘッド２６は、略箱状のキャリッジ２４に搭載され、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２に吐出する。制御ユニット２０は、Ｙ方向に交差するＸ方向に沿ってキャリッジ２４を往復させる。搬送機構２２による媒体１２の搬送とキャリッジ２４の反復的な往復とに並行して液体吐出ヘッド２６が媒体１２にインクを吐出することで媒体１２の表面に所望の画像が形成される。なお、液体容器１４を液体吐出ヘッド２６とともにキャリッジ２４に搭載することも可能である。
【００１１】
液体吐出ヘッド２６の吐出面２６０（媒体１２との対向面）には、ノズル列が配置される。ノズル列は、Ｙ方向に沿って直線状に配列された複数のノズルＮの集合である。ノズルＮからは、液体容器１４から供給されるインクが吐出される。なお、ノズル列の数や配置は、例示したものに限られず、液体吐出ヘッド２６の吐出面２６０に、２つ以上のノズル列を配置してもよく、複数のノズル列を例えば千鳥配列またはスタガ配列とすることも可能である。Ｘ−Ｙ平面（媒体１２の表面に平行な平面）に垂直な方向をＺ方向と表記する。
【００１２】
図２は、液体吐出装置１０の機能的な構成図である。図２では、搬送機構２２やキャリッジ２４等の図示を便宜的に省略している。制御装置２０２が制御プログラムを実行することで、制御装置２０２が駆動信号生成部４０と制御部５０として機能する。制御部５０は、駆動信号生成部４０を制御する。記憶装置２０３には、データテーブルＣが記憶されている。
【００１３】
駆動信号生成部４０は、駆動信号ＣＯＭを生成する。駆動信号ＣＯＭは、所定の周期ごとに駆動パルス（駆動波形）を含む電圧信号である。すなわち駆動信号ＣＯＭは、例えば後述する図６や図７に示すように、基準電位ＶＭに対して電位差を有する電位を含む電圧信号である。駆動パルスの波形形状は任意である。例えば駆動パルスの波形形状を変えることでノズルＮから吐出されるインクの吐出重量を変えることができる。また、駆動信号ＣＯＭの１周期Ｔに複数の駆動パルスを含む構成や、波形が相違する複数の駆動信号ＣＯＭを利用する構成も採用され得る。駆動信号ＣＯＭを生成するためのデータ（例えば電位データ）は、データテーブルＣに記憶されている。制御部５０は、各駆動信号ＣＯＭを生成する場合には、駆動信号ＣＯＭの波形に対応するデータをデータテーブルＣから読み出して、駆動信号生成部４０によって駆動信号ＣＯＭを生成する。
【００１４】
図２に示すように、液体吐出ヘッド２６は、駆動部２６２と液体吐出部２６４を具備する。駆動部２６２は、制御ユニット２０による制御のもとで液体吐出部２６４を駆動する。液体吐出部２６４は、液体容器１４から供給されるインクを複数のノズルＮから媒体１２に吐出する。液体吐出部２６４は、複数のノズルＮに対応する複数の吐出部２６６（吐出セグメント）を包含する。各吐出部２６６は、駆動部２６２から供給される駆動信号Ｖに応じてノズルＮからインクを吐出したり、インクを吐出しない程度に吐出部２６６のインクを微振動させたりすることができる。
【００１５】
制御ユニット２０が受信した印刷データＧに応じてインクを吐出する場合は、印刷データＧに応じて駆動信号生成部４０が生成した駆動信号ＣＯＭと、印刷データＧに応じてインクの吐出の有無を指示する選択信号ＳＩとが制御ユニット２０から駆動部２６２に供給される。駆動部２６２は、駆動信号ＣＯＭと選択信号ＳＩとに応じた駆動信号Ｖを吐出部２６６ごとに生成して複数の吐出部２６６に並列に出力する。具体的には、駆動部２６２は、複数の吐出部２６６のうち選択信号ＳＩがインクの吐出を指示する吐出部２６６には駆動信号ＣＯＭを駆動信号Ｖとして供給し、選択信号ＳＩがインクの非吐出を指示する吐出部２６６には基準電位ＶＭを駆動信号Ｖとして供給する。
【００１６】
図３は、液体吐出ヘッド２６をＺ方向の負側（媒体１２とは反対側）からみた場合の液体吐出部２６４の流路構成の模式図である。図４は、任意の１個の吐出部２６６（吐出セグメント）に着目した液体吐出部２６４の断面図であり、液体吐出部２６４をＸ−Ｚ平面で切断した場合の断面図である。図５は、吐出部２６６を拡大した断面図と圧電素子７４の平面図である。図５の平面図（図５の上側の図）は、圧電素子７４をＺ方向から見たものであり、図５の断面図（図５の下側の図）は、吐出部２６６をＸ−Ｚ平面で切断したものである。
【００１７】
図３および図４に示すように液体吐出部２６４は、一方向（Ｙ方向）に配列した複数の吐出部２６６を備える。１個の吐出部２６６は、圧電素子７４と振動板７３と圧力室ＳＣと連通流路７７２と第１流路７１６と第２流路７１８とノズルＮとを包含する部分で構成される。
【００１８】
図４に示すように、液体吐出部２６４は、流路基板７１の一方側に圧力室基板７２と振動板７３と圧電素子７４と支持体７５とが配置されるとともに、他方側に連通板７７とノズル板７６が配置された構造体である。流路基板７１と圧力室基板７２と連通板７７とノズル板７６とは例えばシリコンの平板材で形成され、支持体７５は例えば樹脂材料の射出成形で形成される。複数のノズルＮはノズル板７６に形成される。ノズル板７６のうち媒体１２に対向する面が、液体吐出ヘッドの吐出面２６０を構成する。
【００１９】
支持体７５には、共通液室ＳＲ（リザーバー）を構成する凹部７５２が形成される。具体的には、凹部７５２と流路基板７１とで囲まれる空間が、導入流路７５４を介して液体容器１４から供給されるインクを貯留する共通液室ＳＲとして機能する。
【００２０】
圧力室基板７２には、圧力室ＳＣ（キャビティ）を構成する開口部７２２と分岐流路７１４とがノズルＮごとに形成される。分岐流路７１４は、共通液室ＳＲから分岐して、共通液室ＳＲを各開口部７２２に連通する。図３および図４では、分岐流路７１４を、圧力室ＳＣよりもＹ−Ｚ平面の流路面積積が小さい絞り流路として構成した場合を例示する。ただし、分岐流路７１４を絞り流路とせずに、圧力室ＳＣのＹ−Ｚ平面の流路面積積と同等になるようにしてもよい。インクは共通液室ＳＲから圧力室ＳＣへ圧送されるので、圧力室ＳＣから共通液室ＳＲへインクが逆流し難い構成であるが、分岐流路７１４を絞り流路とすることで、共通液室ＳＲへのインクの逆流抑制効果を高めることができる。
【００２１】
振動板７３は、圧力室基板７２のうち流路基板７１とは反対側の表面に設置された弾性的に振動可能な板状部材である。振動板７３は、圧力室基板７２に積層して接合され、圧力室ＳＣの壁面の一部（典型的には上面）を構成する。なお、本実施形態では、圧力室基板７２と振動板７３とを別々に形成する場合を例示するが、圧力室基板７２と振動板７３とを一体に形成してもよい。例えば所定の厚みの板状部材のうち開口部７２２に対応する領域について厚み方向の一部を選択的に除去することで、圧力室基板７２と振動板７３とを一体に形成することが可能である。
【００２２】
以上の構成によれば、圧力室基板７２の各開口部７２２の内側で振動板７３と流路基板７１とに挟まれた空間が、共通液室ＳＲから分岐流路７１４を介して供給されるインクが充填される圧力室ＳＣとして機能する。
【００２３】
連通板７７には、ノズルＮに連通する連通流路７７２がノズルＮごとに形成される。流路基板７１には、圧力室ＳＣを連通流路７７２に接続する第１流路７１６と、第１流路７１６とは異なる位置で圧力室ＳＣを連通流路７７２に接続する第２流路７１８とが形成される。第１流路７１６と第２流路７１８は、圧力室ＳＣごとに形成された一対の貫通孔である。本実施形態の連通流路７７２は、圧力室ＳＣとほぼ同様の形状であり、Ｘ方向に長尺である。平面視において圧力室ＳＣに一部または全部が重なるように配置される。本実施形態の圧力室ＳＣと連通流路７７２の形状は、平面視で（Ｚ方向からみて）矩形（長方形、正方形など）である。ただし、圧力室ＳＣと連通流路７７２の形状は、例示したものに限られず、平行四辺形、楕円形、円形などの形状であってもよい。
【００２４】
第１流路７１６と第２流路７１８とはそれぞれ、連通流路７７２または圧力室ＳＣの延在方向であるＸ方向に交差するＺ方向に延出し、連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間に配置される。このような第１流路７１６と第２流路７１８によって、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で循環するインクの流れを形成できる。なお、第１流路７１６と第２流路７１８は、Ｚ方向に交差する方向に傾斜していてもよく、また平面視において連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間から一部がはみ出て配置されていてもよい。
【００２５】
振動板７３のうち圧力室基板７２とは反対側の表面にはノズルＮごとに圧電素子７４が形成される。本実施形態の圧力室ＳＣは、その配列方向であるＹ方向（第２方向の例示）の長さよりも配列方向に交差するＸ方向（第１方向の例示）の長さの方が長い。このような圧力室ＳＣの形状に合わせて、圧電素子７４も圧力室ＳＣの配列方向であるＹ方向の長さよりも圧力室ＳＣの配列方向に交差するＸ方向の長さの方が長い。
【００２６】
図５に示すように、圧電素子７４は、相互に対向する第１電極７４２と第２電極７４６との間に圧電体層７４４を介在させた積層体である。圧電素子７４は、圧力室ＳＣの圧力を変化させる駆動素子の例示である。第１電極７４２および第２電極７４６の一方に駆動信号Ｖが供給され、所定の基準電位ＶＭが他方に供給されることで、第１電極７４２と第２電極７４６と圧電体層７４４とが平面視で（Ｚ方向から見て）重なる能動領域が変形して振動する。この能動領域が圧電素子７４として機能する。
【００２７】
具体的には図５の平面図に示すように、本実施形態の第１電極７４２は、複数の圧電素子７４に渡って連続するように振動板７３の表面に形成され、複数の圧電素子７４の共通電極になっている。第１電極７４２の表面（振動板７３とは反対側の表面）には、圧電素子７４ごとに個別に、圧電体層７４４と第２電極７４６とが形成される。各第２電極７４６は、第１電極７４２に対して振動板７３とは反対側に積層され、各圧電体層７４４は、第１電極７４２と第２電極７４６とに挟まれるように積層される。
【００２８】
各第２電極７４６は、Ｙ方向に沿って延在する電極である。圧電体層７４４と第２電極７４６とは、圧力室ＳＣごとに形成される。第１電極７４２と各第２電極７４６はそれぞれ、リード電極（図示略）を介して駆動部２６２に電気的に接続される。このような構成の本実施形態の圧電素子７４では、共通電極である第１電極７４２に基準電位ＶＭが供給され、個別電極である第２電極７４６に駆動信号Ｖが供給される。
【００２９】
なお、本実施形態の圧電素子７４では、第１電極７４２を複数の圧電素子７４の共通電極にして、第２電極７４６を複数の圧電素子７４に対応する個別電極にした場合を例示したが、この構成に限られず、第２電極７４６を複数の圧電素子７４の共通電極にして、第１電極７４２を複数の圧電素子７４に対応する個別電極にしてもよい。
【００３０】
図６および図７は、本実施形態の圧電素子７４を駆動する駆動パルスの具体例を示す図である。図６は、インクをノズルＮから吐出させるための吐出用駆動パルスＷ１の例示であり、図７は、インクをノズルＮから吐出させずに循環させるための循環用駆動パルスＷ２の例示である。図８は、循環用駆動パルスＷ２による振動板７３の変位の例示である。図９は、図６の吐出用駆動パルスＷ１で圧電素子７４を駆動した場合の吐出部２６６の作用説明図である。図１０は、図７の循環用駆動パルスＷ２で圧電素子７４を駆動した場合の吐出部２６６の作用説明図である。
【００３１】
図６の吐出用駆動パルスＷ１は、媒体１２への印刷時にインクをノズルＮから吐出する動作、液体吐出ヘッド２６のメンテナンス時にインクをノズルＮから吐出して増粘インクや付着物を除去するフラッシング動作を行う場合などに用いられる。図６の吐出用駆動パルスＷ１は、基準電位ＶＭに対する高位側電位ＶＨおよび低位側電位ＶＬを有する。
【００３２】
吐出用駆動パルスＷ１によれば、基準電位をＶＭとすると、基準電位ＶＭよりも電位を低くすることで、ノズルＮ内のメニスカスを圧力室ＳＣ側へ引き込むことができる。逆に、基準電位ＶＭよりも電位を高くすることで、ノズルＮ内のメニスカスを圧力室ＳＣとは反対側のノズルＮの開口部（インクが吐出されるノズルＮの開口部）側に押し出してインクを吐出できる。なお、吐出用駆動パルスＷ１の波形は図６に示すものに限られない。吐出用駆動パルスＷ１ａ、Ｗ１ｂの波形は、例えばノズルＮ内のメニスカスを圧力室ＳＣ側へ引き込む場合には基準電位ＶＭよりも電位が高く、逆にノズルＮ内のメニスカスをノズルＮの開口部側に押し出す場合には基準電位ＶＭよりも電位が低い形状であってもよい。
【００３３】
吐出用駆動パルスＷ１による駆動信号Ｖの供給により圧電素子７４が変形することで振動板７３が振動し、圧力室ＳＣの圧力が変化する。すると、図９の矢印に示すように、圧力室ＳＣのインクは、第１流路７１６および第２流路７１８から連通流路７７２に流れ、ノズルＮから吐出される。吐出用駆動パルスＷ１の場合には、ノズルＮからインクが吐出されるので、第１流路７１６および第２流路７１８には、圧力室ＳＣに戻って循環する流れよりも、ノズルＮに向かう流れが発生し易い。このため、連通流路７７２には、第１流路７１６と第２流路７１８の両方からノズルＮに向かう流れが生じ易くなるので、第１流路７１６および第２流路７１８の一方のみを備える場合に比較して、インクの吐出量を増大できる。
【００３４】
なお、吐出用駆動パルスＷ１は、図６に例示したものに限られない。例えば吐出用駆動パルスＷ１の波形の傾き、電位の最大値、電位の最小値、波形の振幅、波形の周波数の少なくとも１つ以上を変えることによって、ノズルＮから吐出されるインクの吐出量を変えることができる。例えば波形の振幅を大きくすることで、インクの吐出量を増大できる。また、１周期Ｔに含まれる吐出用駆動パルスＷ１の数や波形の形状を変えることによって、媒体１２に着弾されるインクのドットサイズを変えることもできる。
【００３５】
図７の循環用駆動パルスＷ２は、インクをノズルＮから吐出させずに各吐出部２６６内で循環させる場合に用いられる。例えば液体吐出ヘッド２６をＸ方向に移動させながら、１パスごとにインクの吐出を行う場合に、パスとパスとの間で循環用駆動パルスＷ２により圧力室ＳＣを振動させてインクを循環させる。また、印刷ジョブと印刷ジョブとの間でインクを循環させるようにしてもよく、メンテナンス時にインクを循環させてもよい。
【００３６】
ノズルＮ内に形成されるメニスカスは、インクと空気との気液界面である。そのため、メニスカスでは乾燥により水分などの溶媒の蒸発が進み、インクに含まれる溶媒と溶質とのバランスが崩れ、インクの増粘や溶質の析出などが進行し易い。インクの増粘や溶質の析出などが進むと、インクがノズルＮから吐出され難くなり、吐出不良やノズルＮの目詰まりの原因となる虞がある。本実施形態では、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で、すなわちノズルＮの近傍でインクを循環させることができるので、ノズルＮのメニスカスにおけるインクの乾燥と増粘を効果的に抑制できる。また、上記フラッシング動作によって増粘インクをノズルＮから排出させる場合に比較してインクの無駄な消費を抑制できる。
【００３７】
循環用駆動パルスＷ２は、基準電位ＶＭに対する高位側電位ＶＨおよび低位側電位ＶＬを有する。循環用駆動パルスＷ２は、吐出用駆動パルスＷ１よりも振幅が小さい波形である。このような波形によれば、周期Ｔを繰り返して複数の循環用駆動パルスＷ２を印加することで圧力室ＳＣを微振動させることができるので、ノズルＮからインクが吐出されずに循環する流れが形成され易くなる。図７は、１周期Ｔに１つの循環用駆動パルスＷ２を含む場合を例示しているが、１周期Ｔに複数の循環用駆動パルスＷ２を含むようにしてもよい。
【００３８】
循環用駆動パルスＷ２を圧電素子７４に印加することによって圧電素子７４が変形し微振動することで、図８に示すように振動板７３が微振動するので、圧力室ＳＣの圧力を微振動させることができる。すると、図１０の矢印に示すように、例えば圧力室ＳＣのインクが第１流路７１６を通って連通流路７７２に流れると、ノズルＮからインクが吐出されないので、第２流路７１８を通って圧力室ＳＣに戻るというインクの流れ（Ｙ方向を中心とする反時計回りの流れ）が発生する。これにより、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で循環するインクの流れを形成できるので、インクの乾燥と増粘を抑制できる。
【００３９】
なお、循環用駆動パルスＷ２は、図７に例示したものに限られない。例えば図７では、高位側電位ＶＨおよび低位側電位ＶＬの間の電位を基準電位ＶＭとした場合を例示したが、図７の低位側電位ＶＬを基準電位ＶＭとしてもよい。また、循環用駆動パルスＷ２の波形の傾き、電位の最大値、電位の最小値、波形の振幅、波形の周波数の少なくとも１つ以上を変えたり、１周期Ｔに含まれる循環用駆動パルスＷ２の数や波形の形状を変えたりすることによって、循環するインクの流れの流速やインクの振動周波数を変えることもできる。またインクの種類に応じて、循環用駆動パルスＷ２の波形や１周期Ｔに含まれる循環用駆動パルスＷ２の数を変えることもできる。例えば顔料系インクのような凝集性の高いインクの方が、染料系インクのような凝集性の低いインクよりも、ノズルＮのメニスカス近傍で増粘し易い。したがって、高凝集性のインクの場合の方が、低凝集性のインクの場合よりも循環効率が高くなるように、循環用駆動パルスＷ２の波形の形状や１周期Ｔに含まれる循環用駆動パルスＷ２の数を変えるようにしてもよい。
【００４０】
このように、本実施形態によれば、第１流路７１６と第２流路７１８によって、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で、循環するインクの流れを形成できる。したがって、１つの吐出セグメントである吐出部２６６の中、すなわち圧力室ＳＣごとの個別流路の中で循環するインクの流れを形成できる。このような本実施形態によれば、上述した特許文献１のように圧力室ＳＣごとではなく、複数の圧力室ＳＣに連通する循環用共通流路を介してインクを循環させる場合に比較して、インクが循環する流路の長さを極めて短くできるので、インクを循環させる際には流路抵抗が低減されるから、インクの循環効率を高めることができる。
【００４１】
しかも本実施形態ではノズルＮのメニスカスに近い連通流路７７２において吐出部２６６ごとに循環するインクの流れを形成できるので、ノズルＮのメニスカスから遠い循環用共通流路を介してインクを循環させる場合に比較して、メニスカスからのインクの乾燥とそれによる増粘を抑制する効果が極めて高い。また、本実施形態では、複数の圧力室ＳＣを連通する循環用共通流路を備えなくても、圧力室ＳＣごとに吐出部２６６の個別流路の中でインクを循環させることができる。したがって、インクをノズルＮから吐出する際に、圧力室ＳＣのインクの一部が循環用共通流路に排出されてしまうということもないので、循環用共通流路を備える場合に比較して、ノズルＮからのインクの吐出量の低減を抑制できる。
【００４２】
本実施形態のような構成の液体吐出ヘッド２６では、圧力室ＳＣの配列方向であるＹ方向における圧力室ＳＣの長さを短くするほど、圧力室ＳＣの配列方向に液体吐出ヘッド２６を小型化できる。ところが、圧力室ＳＣの長さを短くするほど、圧力室ＳＣの容量も小さくなる。そのため、もし圧力室ＳＣとノズルＮとを第１流路７１６と第２流路７１８の一方だけで接続して圧力室ＳＣを微振動させる場合には、圧力室ＳＣの微振動がノズルＮまで伝わり難くなってしまう。これに対して、本実施形態では、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間を第１流路７１６と第２流路７１８によって接続するので、圧力室ＳＣの容量を小さくしても、ノズルＮの近傍で循環するインクの流れを形成し易い。したがって、本実施形態の構成によれば、圧力室ＳＣの配列方向の長さを短くしても、ノズルＮの近傍でインクを循環させることができるので、インクの増粘を抑制しつつ、液体吐出ヘッド２６を圧力室ＳＣの配列方向に小型化できる。
【００４３】
ところで、もし圧力室ＳＣ側から連通流路７７２側に渡って、第１流路７１６と第２流路７１８の流路断面積が同等の場合には、図１０の矢印とは逆向きの流れ（Ｙ方向を中心とする時計回りの流れ）、すなわち圧力室ＳＣのインクが第２流路７１８を通って連通流路７７２に流れ、第２流路７１８を通って圧力室ＳＣに戻るというインクの流れも発生し得る。このような流れによるインクの循環でもインクの増粘を抑制できるが、連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で逆向きに循環するインクの流れが発生し得る構成よりも、一方向に循環するインクの流れが形成され易い構成の方が、短時間で効率よく循環するインクの流れを形成できる。
【００４４】
そこで、本実施形態では、例えば図５に示すように、第１流路７１６と第２流路７１８とでは、互いに流路断面積が異なる部分があるように構成することで、一方向に循環するインクの流れが形成され易くなるようにしている。ここでの流路断面積は、第１流路７１６と第２流路７１８とのそれぞれが延びる方向に交差する流路断面の断面積であり、第１流路７１６と第２流路７１８とをそれぞれ、Ｘ−Ｙ平面で切断した場合の流路断面の断面積である。
【００４５】
このように、第１流路７１６と第２流路７１８とで、互いに流路断面積が異なる部分があると、圧電素子７４による圧力室ＳＣの振動の伝わり方を異ならせることができる。そして、圧力室ＳＣのインクは、第１流路７１６と第２流路７１８とのうち圧力室ＳＣの振動が伝わり易い方に流れ易くなる。したがって、圧力室ＳＣのインクは、第１流路７１６と第２流路７１８のうち、振動が伝わり易い方から連通流路７７２に流れ、他方から圧力室ＳＣにインクが戻るという流れが形成され易くなる。このように、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で一方向に循環するインクの流れが形成され易くなる。したがって、第１流路７１６と第２流路７１８とで流路断面積が同等の場合に比較して、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で循環するインクの流れを短時間で効率よく形成でき、インクの循環効率を高めることができる。
【００４６】
具体的には図５に示すように、第１流路７１６のうち圧力室ＳＣに接続する圧力室側流路口７１６ａの流路断面積Ａ１は、第２流路７１８のうち圧力室ＳＣに接続する圧力室側流路口７１８ａの流路断面積Ａ２よりも大きい。このように、第１流路７１６と第２流路７１８とで圧力室ＳＣに接続する圧力室側流路口の流路断面積が異なるようにすることで、インクを循環させる際に、圧力室ＳＣのインクは、流路断面積が大きい第１流路７１６に流れ出し易く、流路断面積の小さい第２流路７１８から圧力室ＳＣにインクが流れ込み易くなる。したがって、第１流路７１６が往路で第２流路７１８が復路となって、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で一方向に循環するインクの流れを生じさせ易い。
【００４７】
また、本実施形態の吐出部２６６では、第１流路７１６の方が第２流路７１８よりもノズルＮに近い位置にある。図５では、第１流路７１６が平面視でノズルＮに重なる場合を例示する。このように、ノズルＮに近い第１流路７１６の方が第２流路７１８よりも圧力室側流路口の流路断面積が大きいから、ノズルＮからインクを吐出する際に、圧力室ＳＣからのインクは、ノズルＮに近い第１流路７１６の方に流れ込み易くなるので、ノズルＮからのインクの吐出量を増大できる。なお、ノズルＮの位置は、図５の例示に限られず、連通流路７７２に対してどの位置にノズルＮが連通していてもよい。例えば平面視で第２流路７１８に重なるようにノズルＮが配置されていてもよく、平面視で連通流路７７２の中央にノズルＮが連通されていてもよい。本実施形態によれば、連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間でインクを循環させることができるから、連通流路７７２に対してどの位置にノズルＮが連通していても、ノズルＮのメニスカスにおけるインクの乾燥と増粘を効果的に抑制できる。
【００４８】
図５の第１流路７１６と第１流路７１８とはそれぞれ、圧力室ＳＣに接続する圧力室側流路口７１６ａから連通流路７７２に接続する連通流路側流路口７１６ｂまで流路断面積が変わらない。このような構成に限られず、例えば図１１の第１変形例に係る吐出部２６６または図１２の第２変形例に係る吐出部２６６に示すように、第１流路７１６および第２流路７１８のそれぞれについて、圧力室側流路口と連通流路側流路口とで流路断面積が異なるようにしてもよい。
【００４９】
図１１の吐出部２６６または図１２の吐出部２６６では、第１流路７１６のうち圧力室側流路口７１６ａの流路断面積Ａ１の方が、連通流路７７２に接続する連通流路側流路口７１６ｂの流路断面積Ｂ１よりも大きい。これにより、圧力室ＳＣのインクは第１流路７１６を通って連通流路７７２に流れ易くなる。他方、第２流路７１８は、圧力室側流路口７１８ａの流路断面積Ａ２の方が、連通流路７７２に接続する連通流路側流路口７１８ｂの流路断面積Ｂ２よりも小さい。これにより、連通流路７７２のインクは第２流路７１８を通って圧力室ＳＣに戻り易くなる。
【００５０】
図１１または図１２の構成によれば、インクを循環させる際には、圧力室ＳＣのインクは第１流路７１６を通って連通流路７７２に流れ、連通流路７７２のインクは第２流路７１８を通って圧力室ＳＣに戻るという一方向に循環するインクの流れが形成され易くなるので、インクの循環効率を高めることができる。
【００５１】
なお、図１１の第１流路７１６は、圧力室側流路口７１６ａから連通流路側流路口７１６ｂに向けて流路断面積が小さくなるテーパー形状である。これにより、圧力室ＳＣから第１流路７１６を通る液体の流速を高めることができる。第２流路７１８は、圧力室側流路口７１８ａから連通流路側流路口７１８ｂに向けて流路断面積が大きくなるテーパー形状である。これにより、連通流路７７２から第２流路７１８を通るインクの流速を高めることができる。したがって、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で循環するインクの流速を高めることができるので、循環効率を高めることができる。
【００５２】
また、図１２は、第１流路７１６のうち連通流路７７２側には、圧力室側流路口７１６ａよりも流路径が小さい絞り部７１６ｃがあるから、圧力室ＳＣから第１流路７１６を通るインクの流速を高めることができる。他方、第２流路７１８のうち圧力室ＳＣ側には、連通流路側流路口７１８ｂよりも流路径が小さい絞り部７１８ｃがあるから、連通流路７７２から第２流路７１８を通るインクの流速を高めることができる。したがって、循環するインクの流速を高めることができるので、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で循環効率を高めることができる。
【００５３】
また、本実施形態では、圧電素子７４が第１流路７１６と第２流路７１８に平面視で重なる場合を例示したが、これに限られるものではない。例えば圧電素子７４は、第１流路７１６に平面視で重なり、第２流路７１８に平面視で重なる部分と重ならない部分があるように構成してもよい。例えば平面視において圧電素子７４が第１流路７１６から第２流路７１８の途中まで延在するように構成してもよい。このような構成によれば、圧電素子７４による圧力室ＳＣの振動が第２流路７１８よりも第１流路７１６に大きく伝わり易い。そのため、圧力室ＳＣのインクは、第１流路７１６と第２流路７１８のうち圧力室ＳＣの振動が伝わり易い第１流路７１６の方に流れ易くなる。したがって、インクを循環させる際には、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で循環するインクの流れが形成され易いため、循環効率を高めることができる。また、インクを吐出させる際には、圧力室ＳＣから第１流路７１６を通るインクの量を増やすことができるので、ノズルＮからのインクの吐出量を増大させることができる。
【００５４】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態について説明する。以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。図１３は、本発明の第２実施形態に係る液体吐出装置１０の部分的な構成図であり、図１に対応する。図１４は、第２実施形態に係る液体吐出ヘッド２６における液体吐出部２６４の流路構成の模式図であり、図３に対応する。図１５は、図１４の吐出部２６６Ａの構成を示す断面図であり、図１６は、図１４の吐出部２６６Ｂの構成を示す断面図である。
【００５５】
第２実施形態では、第１流路７１６に近い方にノズルＮが配置される吐出部２６６Ａ（第１吐出部の例示）と、第２流路７１８に近い方にノズルＮが配置される吐出部２６６Ｂ（第２吐出部の例示）を用いた液体吐出ヘッド２６を例示する。具体的には図１４に示す液体吐出部２６４は、圧力室ＳＣの配列方向であるＹ方向（第２方向の例示）に吐出部２６６Ａと吐出部２６６Ｂとが交互に配置され、各吐出部２６６Ａおよび各吐出部２６６Ｂはそれぞれ、分岐流路７１４を介して共通液室ＳＲに連通する。
【００５６】
図１５に示す吐出部２６６Ａは、図５の吐出部２６６と同様の構成である。吐出部２６６Ａは、図５の吐出部２６６と同様に、圧力室ＳＣとノズルＮと連通流路７７２と第１流路７１６と第２流路７１８とを備える。吐出部２６６Ａの第１流路７１６と第２流路７１８とは、Ｙ方向に交差するＸ方向（第１方向の例示）に並べて配置される。吐出部２６６Ａは、第１流路７１６の方が第２流路７１８よりも圧力室側流路口の流路断面積が大きく、ノズルＮは第１流路７１６に平面視で重なる。
【００５７】
他方、図１６に示す吐出部２６６Ｂは、図５の吐出部２６６とは異なる構成部分がある。吐出部２６６Ｂは、図５の吐出部２６６と同様に、圧力室ＳＣとノズルＮと連通流路７７２と第１流路７１６と第２流路７１８とを備える。吐出部２６６Ａの第１流路７１６と第２流路７１８とは、Ｘ方向に並べて配置される。ただし、吐出部２６６Ｂは、第２流路７１８の方が第１流路７１６よりも圧力室側流路口の流路断面積が大きく、ノズルＮは第２流路７１８に平面視で重なる点で、図５の吐出部２６６の構成と異なる。すなわち、第２流路７１８のうち圧力室側流路口７１８ａの流路断面積Ａ２は、第１流路７１６のうち圧力室側流路口７１６ａの流路断面積Ａ１よりも大きい。
【００５８】
このような構成の吐出部２６６Ａと吐出部２６６Ｂとを、圧力室ＳＣの配列方向であるＸ方向に交互に配置することによって、図１３および図１４に示すようにノズルＮを千鳥配列にすることができる。具体的にはノズルＮは、圧力室ＳＣの配列方向に沿う２列のノズル列になり、その２列のノズル列のそれぞれのノズルＮは、圧力室ＳＣの配列方向において１つの圧力室ＳＣ置きに配列される。しかも、各ノズル列は、圧力室ＳＣの配列方向にずれるので、２列の各ノズルＮは、図１３および図１４に示すような千鳥配列（またはスタガ配列）になる。
【００５９】
ここで、吐出部２６６Ａおよび吐出部２６６Ｂによるインクの流れについて説明する。図１７および図１８は、図１６の吐出部２６６Ｂのインクの流れを示す作用説明図である。図１７は、ノズルＮからインクを吐出する場合であり、図１８は、ノズルＮからインクを吐出せずにインクを循環させる場合である。なお、吐出部２６６ＡでノズルＮからインクを吐出する場合のインクの流れは図９と同様であり、吐出部２６６ＡでノズルＮからインクを吐出せずに循環させるインクの流れは図１０と同様である。
【００６０】
各吐出部２６６Ａからインクを吐出する場合には、図６の吐出用駆動パルスＷ１で圧電素子７４を駆動して圧力室ＳＣを振動させる。すると、図９の矢印に示すように、圧力室ＳＣのインクは、第１流路７１６および第２流路７１８から連通流路７７２に流れ、ノズルＮから吐出される。各吐出部２６６Ａでインクを循環させる場合には、図７の循環用駆動パルスＷ２で圧電素子７４を駆動して圧力室ＳＣを微振動させる。すると、図１０の矢印に示すように、圧力室ＳＣのインクは、第２流路７１８よりも流路断面積が大きい第１流路７１６に流れ易くなるので、圧力室ＳＣのインクは第１流路２１６を通って連通流路７７２に流れ、第２流路７１８を通って圧力室ＳＣに戻る流れが発生し易い。このように、各吐出部２６６Ａでは、第１流路２１６が往路で第２流路７１８が復路となって、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で循環するインクの流れ（Ｙ方向を中心とする反時計回りの流れ）が発生し易い。
【００６１】
他方、各吐出部２６６Ｂからインクを吐出する場合には、図６の吐出用駆動パルスＷ１で圧電素子７４を駆動して圧力室ＳＣを振動させる。すると、図１７の矢印に示すように、圧力室ＳＣのインクは、第１流路７１６および第２流路７１８から連通流路７７２に流れ、ノズルＮから吐出される。各吐出部２６６Ｂでインクを循環させる場合には、図７の循環用駆動パルスＷ２で圧電素子７４を駆動して圧力室ＳＣを微振動させる。すると、図１８の矢印に示すように、圧力室ＳＣのインクは、第１流路７１６よりも流路断面積が大きい第２流路７１８に流れ易くなるので、圧力室ＳＣのインクは第２流路２１８を通って連通流路７７２に流れ、第１流路７１６を通って圧力室ＳＣに戻る流れが発生し易い。このように、各吐出部２６６Ｂでは、第２流路２１８が往路で第１流路７１６が復路となって、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で循環するインクの流れ（Ｙ方向を中心とする時計回りの流れ）が発生し易い。
【００６２】
このように、吐出部２６６Ａと吐出部２６６Ｂとは、ノズルＮの連通流路７７２と圧力室ＳＣとの間で第１流路７１６と第２流路７１８とを介して、Ｙ方向を中心に互いに逆回りに循環するインクの流れが発生する。いずれの方向にインクが循環しても、吐出部２６６Ａの中または吐出部２６６Ｂの中でインクを循環できるので、第１実施形態と同様に循環流路を短くできるから、循環効率を高めることができる。
【００６３】
第２実施形態の構成によれば、圧力室ＳＣの配列方向であるＸ方向に吐出部２６６Ａと吐出部２６６Ｂとを交互に配置することによって、圧力室ＳＣの配列方向に隣り合うノズルＮ同士は、平面視で１つの圧力室ＳＣを挟んで圧力室ＳＣの配列方向の両側に配列される。したがって、各ノズルＮは、圧力室ＳＣの配列方向において１つの圧力室ＳＣ置きに配置される。これにより、圧力室ＳＣの配列方向に圧力室ＳＣ同士の間隔を広げなくても、圧力室ＳＣの配列方向に隣り合うノズルＮ同士の間隔Ｍ’を広げることができる。この構成によれば、例えばＸ方向に液体吐出ヘッド２６が移動することで、各ノズルＮから吐出されるインクの液滴間を流れる気流が発生しても、Ｙ方向に隣り合うノズルＮ同士の間隔Ｍ’が広くなるので、Ｘ方向の気流による液滴の飛行方向のずれを抑制しがら、各ノズルＮからのインクの吐出量を増大できる。また、隣り合うノズルＮ同士の間隔Ｍ’が広くなるので、各ノズルＮからインクの液滴を、隣のノズルＮからインクが吐出されることによる噴流の影響を受けずに飛行させることができる。
【００６４】
また、図１４の構成と図３の構成を比べれば、図１４の構成における圧力室ＳＣの配列方向に隣り合う圧力室ＳＣ同士が、図３の構成と同じのピッチで配列されていても、図１４の圧力室ＳＣの配列方向であるＹ方向に隣り合うノズルＮ同士の間隔Ｍ’は、図３のＹ方向に隣り合うノズルＮ同士の間隔Ｍよりも広くなる。したがって、圧力室ＳＣの配列方向に隣り合う圧力室ＳＣ同士の間隔を広げなくても、隣り合うノズルＮ同士の間隔Ｍを広くすることができるので、液体吐出ヘッド２６が圧力室ＳＣの配列方向に大型化することを避けながら、気流などによる液滴の飛行方向のずれを抑制できる。
【００６５】
＜第３実施形態＞
本発明の第３実施形態について説明する。第１実施形態および第２実施形態の液体吐出部２６４では、共通液室ＳＲからのインクがＸ方向から分岐流路７１４に供給される場合を例示したが、第３実施形態では、共通液室ＳＲからのインクがＹ方向から分岐流路７１４に供給される場合を例示する。
【００６６】
図１９は、第３実施形態に係る液体吐出ヘッド２６の液体吐出部２６４の断面図であり、図４に対応する。図１９の液体吐出部２６４では、支持体７５に形成される凹部７５２と流路基板７１に形成される開口部７１２とで構成される空間が共通液室ＳＲとして機能する。図１９の分岐流路７１４は、Ｙ方向に延在する接続流路７１３によって開口部７１２に連通することで、共通液室ＳＲに接続される。接続流路７１３は、分岐流路７１４ごとに形成された貫通孔であり、開口部７１２は複数の分岐流路７１４にわたり連続する開口である。
【００６７】
このような第３実施形態によれば、接続流路７１３を介してＹ方向から共通液室ＳＲからのインクを分岐流路７１４に供給するように液体吐出部２６４を構成することで、図４の構成に比較して、流路基板７１に形成される開口部７１２まで共通液室ＳＲの容量を増やすことができる。また、図１９に示すように、圧電素子７４を分岐流路７１４に平面視で重なる程度まで延在するように配置してもよい。この構成によれば、圧力室ＳＣが延在するＸ方向に圧電素子７４を長くすることができるので、圧電素子７４の変位を大きくすることができる。したがって、圧電素子７４の駆動による圧力室ＳＣの振動も大きくできるので、インクを循環させる場合には循環効率を高めることができ、インクを吐出する場合には吐出量を増大することができる。
【００６８】
＜変形例＞
以上に例示した態様および実施形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示や上述の態様から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
【００６９】
（１）上述した実施形態では、液体吐出ヘッド２６を搭載したキャリッジ２４をＸ方向に沿って反復的に往復させるシリアルヘッドを例示したが、液体吐出ヘッド２６を媒体１２の全幅にわたり配列したラインヘッドにも本発明を適用可能である。
【００７０】
（２）上述した実施形態では、圧力室に機械的な振動を付与する圧電素子を利用した圧電方式の液体吐出ヘッド２６を例示したが、加熱により圧力室の内部に気泡を発生させる発熱素子を利用した熱方式の液体吐出ヘッドを採用することも可能である。
【００７１】
（３）上述した実施形態で例示した液体吐出装置１０は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置１０の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等を形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、液体の一種として生体有機物の溶液を吐出するチップ製造装置としても利用される。
【符号の説明】
【００７２】
１０…液体吐出装置、１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２０２…制御装置、２０３…記憶装置、２１６…第１流路、２１８…第２流路、２２…搬送機構、２４…キャリッジ、２６…液体吐出ヘッド、２６０…吐出面、２６２…駆動部、２６４…液体吐出部、２６６…吐出部、２６６Ａ…吐出部、２６６Ｂ…吐出部、４０…駆動信号生成部、５０…制御部、７１…流路基板、７１２…開口部、７１３…接続流路、７１４…分岐流路、７１６…第１流路、７１６ａ…圧力室側流路口、７１６ｂ…連通流路側流路口、７１６ｃ…絞り部、７１８…第２流路、７１８ａ…圧力室側流路口、７１８ｂ…連通流路側流路口、７１８ｃ…絞り部、７２…圧力室基板、７２２…開口部、７３…振動板、７４…圧電素子、７４２…第１電極、７４４…圧電体層、７４６…第２電極、７５…支持体、７５２…凹部、７５４…導入流路、７６…ノズル板、７７…連通板、７７２…連通流路、Ａ１、Ａ２…流路断面積、Ｂ１、Ｂ２…流路断面積、Ｃ…データテーブル、ＣＯＭ…駆動信号、Ｇ…印刷データ、Ｍ、Ｍ’…間隔、Ｎ…ノズル、ＳＣ…圧力室、ＳＩ…選択信号、ＳＲ…共通流路、Ｔ…周期、Ｖ…駆動信号、ＶＨ…高位側電位、ＶＬ…低位側電位、ＶＭ…基準電位、Ｗ１…吐出用駆動パルス、Ｗ２…循環用駆動パルス。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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