(57)【要約】      （修正有）【課題】基材の表面をコーティングする、構造が簡単で低製造コストのコーティング設備を提供する。【解決手段】当該コーティング設備は、複数の隔離キャビティ３、複数のターゲットコーティングキャビティ１、２を備える。隣り合う２つのターゲットコーティングキャビティ１、２の間には、少なくとも１つの隔離キャビティ３が設けられる。当該コーティング設備は、複数の仕切り板５、６とパージ装置８、１８をさらに備える。複数の仕切り板５、６は、当該コーティング設備の内部を、隔離キャビティ３と複数のターゲットコーティングキャビティ１、２に仕切り、各々の仕切り板５、６にはスリットが設けられ、基材は、スリットを介して、ターゲットコーティングキャビティ１、２と隔離キャビティ３の間で移動し、パージ装置８、１８は、隔離キャビティ３内に設けられ、スリットを介して、ターゲットコーティングキャビティ１、２に向けて送気する。【選択図】図２
2019098332.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の表面をコーティングする、コーティング設備であって、
前記コーティング設備は、複数の隔離キャビティと、複数のターゲットコーティングキャビティと、複数の仕切り板と、パージ装置と、を備え、
隣り合う２つの前記ターゲットコーティングキャビティの間には、少なくとも１つの前記隔離キャビティが設けられ、
複数の前記仕切り板は、前記コーティング設備の内部を、複数の前記隔離キャビティと複数の前記ターゲットコーティングキャビティに仕切り、前記仕切り板にはスリットが設けられ、前記基材は、前記スリットを介して、前記ターゲットコーティングキャビティと前記隔離キャビティとの間で移動し、
前記パージ装置は、前記隔離キャビティ内に設けられ、前記スリットを介して、当該スリットに隣り合う前記ターゲットコーティングキャビティに向けて送気する、コーティング設備。
【請求項２】
前記隣り合う２つのターゲットコーティングキャビティは、第１のターゲットコーティングキャビティと、第２のターゲットコーティングキャビティとを備え、前記仕切り板は、第１の仕切り板と、第２の仕切り板とを備え、前記スリットは、第１のスリットと、第２のスリットとを備え、前記パージ装置は、第１のパージ装置と、第２のパージ装置とを備え、
前記第１の仕切り板は、前記第１のターゲットコーティングキャビティと、前記第１のターゲットコーティングキャビティに隣り合う前記隔離キャビティとの間に設けられ、前記第１の仕切り板の上には前記第１のスリットが設けられ、
前記第２の仕切り板は、前記第２のターゲットコーティングキャビティと、前記第２のターゲットコーティングキャビティに隣り合う前記隔離キャビティとの間に設けられ、前記第２の仕切り板の上には前記第２のスリットが設けられ、
前記第１のパージ装置は、前記第１のスリットを介して、前記第１のターゲットコーティングキャビティに向けて送気し、
前記第２のパージ装置は、前記第２のスリットを介して、前記第２のターゲットコーティングキャビティに向けて送気する、請求項１に記載のコーティング設備。
【請求項３】
前記コーティング設備は、
前記第１のターゲットコーティングキャビティ内に設けられるとともに、前記第１の仕切り板に接近するように設けられる、第１のポンプキャビティと、
前記第２のターゲットコーティングキャビティ内に設けられるとともに、前記第２の仕切り板に接近するように設けられる、第２のポンプキャビティと、をさらに備え、
前記第１のポンプキャビティと前記第２のポンプキャビティの内には、それぞれ分子ポンプが設けられ、前記第１のポンプキャビティ内の前記分子ポンプは、前記第１のパージ装置が前記第１のスリットから吹き回すガスを吸収し、前記第２のポンプキャビティ内の前記分子ポンプは、前記第２のパージ装置が前記第２のスリットから吹き回すガスを吸収する、請求項２に記載のコーティング設備。
【請求項４】
前記隔離キャビティ内には、前記隔離キャビティ内のガスを吸収する分子ポンプが設けられる、請求項３に記載のコーティング設備。
【請求項５】
前記第１のパージ装置は、前記第１の仕切り板の、前記隔離キャビティに向いた面に設けられ、前記第２のパージ装置は、前記第２の仕切り板の、前記隔離キャビティに向いた面に設けられる、請求項２に記載のコーティング設備。
【請求項６】
前記第１のパージ装置と前記第２のパージ装置は、
前記スリットに固定される端板と、
前記端板に固定され、対応する前記スリットの長さ方向に沿って延伸するガスパイプと、
前記ガスパイプに設けられるノズルと、
前記ガスパイプとガスソースを連通するパイプラインと、
前記パイプラインに設けられる流量制御バルブと、を備え
前記第１のパージ装置に対して、それと対応する前記スリットは前記第１のスリットであり、前記第２のパージ装置に対して、それと対応する前記スリットは前記第２のスリットである、請求項２に記載のコーティング設備。
【請求項７】
前記ガスパイプは、前記スリットの縁部を取り囲んで設けられる、請求項６に記載のコーティング設備。
【請求項８】
前記スリットは矩形形状または円形形状である、請求項７に記載のコーティング設備。
【請求項９】
前記スリットは円形形状であり、
前記ガスパイプは、
円形の前記スリットの内側に位置するインナーガスパイプと、
円形の前記スリットの外側に位置するアウターガスパイプと、を備える、請求項８に記載のコーティング設備。
【請求項１０】
前記第１のパージ装置の前記ノズルは、前記第１のスリットに向けて送気し、前記第１のパージ装置の前記ノズルの中心軸線は、前記第１の仕切り板の板面と第１の傾斜角を成し、前記第１の傾斜角は３０〜６０度であり、また、前記第１のパージ装置の前記ノズルの出口は、それに隣り合う前記第１のポンプキャビティ内の前記分子ポンプが位置する方向に向かう、請求項６に記載のコーティング設備。
【請求項１１】
前記第１の傾斜角は４５度である、請求項１０に記載のコーティング設備。
【請求項１２】
前記第２のパージ装置の前記ノズルは、前記第２のスリットに向けて送気し、前記第２のパージ装置の前記ノズルの中心軸線は、前記第２の仕切り板の板面と第２の傾斜角を成し、前記第２の傾斜角は３０〜６０度であり、また、前記第２のパージ装置の前記ノズルの出口は、それに隣り合う前記第２のポンプキャビティ内の前記分子ポンプが位置する方向に向かう、請求項６に記載のコーティング設備。
【請求項１３】
前記第２の傾斜角は４５度である、請求項１２に記載のコーティング設備。
【請求項１４】
前記ノズルは複数あり、複数の前記ノズルは前記ガスパイプの延伸方向に沿って均一に分布される、請求項６に記載のコーティング設備。
【請求項１５】
前記端板は、前記スリットの少なくとも一端に位置され、前記端板は、前記スリットを覆う面積を調整できるように、前記スリットの長さ方向に沿って伸縮する、請求項６に記載のコーティング設備。
【請求項１６】
前記ガスパイプは、前記端板から取り外しできるように前記端板と接続される、請求項６に記載のコーティング設備。
【請求項１７】
前記第１のスリットの内壁面と前記第２のスリットの内壁面は粗面であり、前記粗面の粗さ（Ｒａ）は６．３以上である、請求項２に記載のコーティング設備。
【請求項１８】
前記第１のポンプキャビティ内の前記分子ポンプの数量は、前記第２のポンプキャビティ内の前記分子ポンプの数量と等しく、前記第１のポンプキャビティ内の前記分子ポンプの数量と前記第２のポンプキャビティ内の前記分子ポンプの数量との合計を第１の値とし、前記隔離キャビティ内の前記分子ポンプの数量を第２の値とする場合、前記第１の値は前記第２の値と等しい、請求項４に記載のコーティング設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コーティング設備分野に関し、特に、ガスの漏れ防止機能を有するコーティング設備に関する。
（関連出願と優先権主張の相互参照）
本願は、出願日を２０１７年１２月６日とし、出願番号を２０１７２１６８７０２１．０とし、発明名称を「ガスの漏れ防止機能を有する基板のコーティング設備」とする中国実用新案登録を優先権として主張し、その出願のすべての内容は参照により本願に援用される。
【背景技術】
【０００２】
コーティング設備において、基材膜層の製造工程の要求が異なることに応じて、基材は順に複数のコーティング製造キャビティを通過することによって、相応する需給を満たす膜層を順に製造することが求められる。各々の膜層の製造要求が異なることに応じて、相応的に各ターゲットのコーティングキャビティにおけるスパッタリング気分を調整し、マスタスパッタリングガスがある場合、需要に応じて異なるサブスパッタリングガスを入れることができる。異なるキャビティのコーティング工程の需要に合わせて、例えば、O2、H2、N2等のガスを入れることによって、各ターゲットコーティングキャビティのターゲットおよびスパッタリング気分も異なる。基材をコーティングする際、隣り合うターゲットコーティングキャビティのガスが基材の伝送通路を介して散逸し、膜層の質に影響を与えることを防止するために、異なるターゲットコーティングキャビティにおける気分を切り分け、コーティングの質を保証する必要がある。
【０００３】
図１は、従来技術における、コーティング設備を示す平面図である。図１に示すように、コーティング設備において、異なるターゲットのスパッタリング工程のニーズに応じて、当該コーティング設備には２つの互いに連通する加工キャビティ１００が設けられている。隣り合う２つの加工キャビティ１００の間には、隔離キャビティ２００が設けられ、隔離キャビティ２００内には分子ポンプ３００が配置されている。分子ポンプ３００は、隔離キャビティ２００内に散逸するガスを吸出する。キャビティ間の戸板の代わりに、隔離キャビティ２００の両側にはそれぞれ１つのフラップバルブ４００を取り付けることによって、異なる工程における、キャビティ中のガスの隔離を実現している。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明では、関連技術における、少なくとも一部の技術課題を解決する。本発明にて提供されるコーティング設備は、コーティング設備における各々のキャビティを効率的に仕切り、キャビティ間のガスの散逸を防止することによって、コーティングの質を保証し、構造が簡単で製造コストを低下させる利点を有する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明では、基材の表面をコーティングする、コーティング設備を提供する。
【０００６】
前記コーティング設備は、複数の隔離キャビティおよび複数のターゲットコーティングキャビティを備える。隣り合う２つの前記ターゲットコーティングキャビティの間には、少なくとも１つの前記隔離キャビティが設けられる。
【０００７】
前記コーティング設備は、前記コーティング設備の内部を、複数の前記隔離キャビティと複数の前記ターゲットコーティングキャビティに仕切る、複数の仕切り板を備える。前記仕切り板にはスリットが設けられ、前記基材は、前記スリットを介して前記ターゲットコーティングキャビティと前記隔離キャビティとの間で移動する。
【０００８】
前記コーティング設備は、前記隔離キャビティ内に設けられ、前記スリットを介して、当該スリットに隣り合う前記ターゲットコーティングに向けて送気する、パージ装置を備える。
【０００９】
実施例において、当該コーティング設備における、隣り合う２つのターゲットコーティングキャビティは、第１のターゲットコーティングキャビティと第２のターゲットコーティングキャビティとを備え、前記仕切り板は、第１の仕切り板と第２の仕切り板とを備え、前記スリットは、第１のスリットと第２のスリットとを備え、前記パージ装置は、第１のパージ装置と第２のパージ装置とを備える。
【００１０】
前記第１の仕切り板は、前記第１のターゲットコーティングキャビティと、前記第１のターゲットコーティングキャビティに隣り合う前記隔離キャビティの間に設けられ、前記第１の仕切り板の上には前記第１のスリットが設けられる。
【００１１】
前記第２の仕切り板は、前記第２のターゲットコーティングキャビティと、前記第２のターゲットコーティングキャビティに隣り合う前記隔離キャビティの間に設けられ、前記第２の仕切り板の上には前記第２のスリットが設けられる。
【００１２】
前記第１のパージ装置は、前記第１のスリットを介して、前記第１のターゲットコーティングキャビティに向けて送気し、前記第２のパージ装置は、前記第２のスリットを介して、前記第２のターゲットコーティングキャビティに向けて送気する。
【００１３】
実施例において、前記コーティング設備は、
【００１４】
前記第１のターゲットコーティングキャビティ内に設けられると共に、前記第１の仕切り板に接近するように設けられる、第１のポンプキャビティと、
【００１５】
前記第２のターゲットコーティングキャビティ内に設けられると共に、前記第２の仕切り板に接近するように設けられる、第２のポンプキャビティと、をさらに備える。
【００１６】
前記第１のポンプキャビティと前記第２のポンプキャビティの内には分子ポンプが設けられ、前記第１のポンプキャビティ内の前記分子ポンプは、前記第１のパージ装置が前記第１のスリットから吹き回すガスを吸収し、前記第２のポンプキャビティ内の前記分子ポンプは、前記第２のパージ装置が前記第２のスリットから吹き回すガスを吸収する。
【００１７】
実施例において、前記隔離キャビティ内には、前記隔離キャビティ内のガスを吸収する分子ポンプが設けられる。
【００１８】
実施例において、前記第１のパージ装置は、前記第１の仕切り板の、前記隔離キャビティに向いた面に設けられ、前記第２のパージ装置は、前記第２の仕切り板の、前記隔離キャビティに向いた面に設けられる。
【００１９】
実施例において、前記第１のパージ装置と前記第２のパージ装置は、
【００２０】
前記スリットに固定される端板と、
【００２１】
前記端板に固定され、対応する前記スリットの長さ方向に沿って延伸するガスパイプと、
【００２２】
前記ガスパイプに設けられるノズルと、
【００２３】
前記ガスパイプとガスソースを連通するパイプラインと、
【００２４】
前記パイプラインに設けられる流量制御バルブと、を備える。
【００２５】
前記第１のパージ装置において、それと対応する前記スリットは前記第１のスリットで、前記第２のパージ装置において、それと対応する前記スリットは前記第２のスリットである。
【００２６】
実施例において、前記ガスパイプは、前記スリットの縁部を取り囲んで設けられる。
【００２７】
実施例において、前記スリットは矩形形状または円形形状である。
【００２８】
実施例において、前記スリットは円形形状であり、前記ガスパイプは、
【００２９】
円形の前記スリットの内側に位置する、インナーガスパイプと、
【００３０】
円形の前記スリットの外側に位置する、アウターガスパイプと、を備える。
【００３１】
実施例において、前記第１のパージ装置の前記ノズルは、前記第１のスリットに向けて送気し、前記第１のパージ装置の前記ノズルの中心軸線は、前記第１の仕切り板の板面と第１の傾斜角を成し、前記第１の傾斜角は３０〜６０度で、また、前記第１のパージ装置の前記ノズルの出口は、それに隣り合う前記第１のポンプキャビティ内の前記分子ポンプが位置する方向に向かう。
【００３２】
実施例において、好ましくは、前記第１の傾斜角は４５度である。
【００３３】
実施例において、前記第２のパージ装置の前記ノズルは、前記第２のスリットに向けて送気し、前記第２のパージ装置の前記ノズルの中心軸線は、前記第２の仕切り板の板面と第２の傾斜角を成し、前記第２の傾斜角は３０〜６０度である。また、前記第２のパージ装置の前記ノズルの出口は、それに隣り合う前記第２のポンプキャビティ内の前記分子ポンプが位置する方向に向かう。
【００３４】
実施例において、好ましくは、前記第２の傾斜角は４５度である。
【００３５】
実施例において、前記ノズルは複数あり、複数の前記ノズルは前記ガスパイプの延伸方向に沿って均一に分布される。
【００３６】
実施例において、前記端板は、前記スリットの少なくとも一端に位置され、前記スリットを覆う面積を調整できるように、前記スリットの長さ方向に沿って伸縮可能である。
【００３７】
実施例において、前記ガスパイプは前記端板から取り外しできるように接続される。
【００３８】
実施例において、前記第１のスリットの内壁面と、前記第２のスリットの内壁面は粗面であり、前記粗面の粗さＲａは６．３以上である。
【００３９】
実施例において、前記第１のポンプキャビティ内の前記分子ポンプの数量は、前記第２のポンプキャビティ内の前記分子ポンプの数量と等しく、前記第１のポンプキャビティ内の前記分子ポンプの数量と、前記第２のポンプキャビティ内の前記分子ポンプの数量との合計は第１の値とし、前記隔離キャビティ内の前記分子ポンプの数量は第２の値であり、前記第１の値は前記第２の値と等しい。本発明の第１の実施例において、コーティング設備の隣り合うターゲットコーティングキャビティの間に隔離キャビティを設けることを介して、隔離キャビティ内にパージ装置を設置する。当該パージ装置のパージを介して、スリットのところに気圧障壁を形成する一方、ターゲットコーティングキャビティからスリット内に散逸するガスを、ターゲットコーティングキャビティ内に吹き回すことができる。従って、コーティング設備における、各々のターゲットコーティングキャビティを効率的に切り分けることによって、ターゲットコーティングキャビティの間でガスの散逸現象の発生を低下させ、コーティングの質を向上させる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】従来技術における、コーティング設備を示す平面図である。
【図２】本発明の一つの実施例における、コーティング設備を示す平面図である。
【図３】本発明の一つの実施例における、第１のパージ装置の構造および配置位置を示す斜視図である。
【図４】本発明の一つの実施例における、第２のパージ装置の構造および配置位置を示す斜視図である。
【図５】本発明の一つの実施例における、ノズルと第１の仕切り板の板面間の夾角を示す模式図である。
【図６】本発明の一つの実施例における、ガスパイプとスリットの構造を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
下記、図面を参照しながら本発明の実施例を詳細に説明する。図面において、同様または類似する符号は、同様または類似する部品、或いは、同様または類似する機能を有する部品を示す。なお、下記の図面を参照しながら説明される実施例は例示的なもので、本発明を解釈することのみに使用され、本発明を制限するように解釈されてはいけない。
【００４２】
図２は、本発明の一つの実施例における、コーティング設備を示す平面図である。図２に示すように、本発明では、隣り合うコーティングキャビティの間で、ガスが互いに散逸する現象の発生を低下させる、一つのコーティング設備を提供する。当該コーティング設備は、複数の隔離キャビティ３、および複数のターゲットコーティングキャビティを備える。隣り合う２つのターゲットコーティングキャビティの間には、少なくとも１つの隔離キャビティ３が設けられる。例えば、１つまたは２つの隔離キャビティ３を設けることによって、隣り合うターゲットコーティングキャビティの間で、異なる等級でガスを隔離する要求を満たす。当該コーティング設備は、複数の仕切り板をさらに備える。複数の仕切り板は、コーティング設備の内部を複数の隔離キャビティ３、および複数のターゲットコーティングキャビティに切り分ける。また、各々の仕切り板の上には、基材がターゲットコーティングキャビティと隔離キャビティ３との間で移動することに使用されるスリットが設けられる。当該コーティング設備は、隔離キャビティ３の内側に設けられるパージ装置をさらに備える。当該パージ装置は、スリットを介して、当該スリットに隣り合うターゲットコーティングキャビティに向けて送気する。なお、ここの「当該スリットに隣り合うターゲットコーティングキャビティ」は、当該スリットが位置する仕切り板と直接隣接するターゲットコーティングキャビティを指す。
【００４３】
本発明の例示的の実施例において、図２に示すように、当該コーティング設備における、隣り合う２つのターゲットコーティングキャビティは、第１のターゲットコーティングキャビティ１と、第２のターゲットコーティングキャビティ２とを備え、仕切り板は、第１の仕切り板５と第２の仕切り板６とを備え、スリットは、第１のスリット７と第２のスリット１７とを備える。第１の仕切り板５は、第１のターゲットコーティングキャビティ１と、それに隣り合う隔離キャビティ３との間に設けられる。第１の仕切り板５の上には、第１のスリット７（図３を参照）が設けられる。第２の仕切り板６は、第２のターゲットコーティングキャビティ２と、それに隣り合う隔離キャビティ３との間に設けられる。第２の仕切り板６の上には、第２のスリット１７（図４を参照）が設けられる。第１のスリット７と第２のスリット１７は、基材において、第１のターゲットコーティングキャビティ１と第２のターゲットコーティングキャビティ２との間で伝送通路として用いられる。第１のパージ装置８は、第１のスリット７を介して、当該スリットに隣り合う第１のターゲットコーティングキャビティ１に向けて送気する。第２のパージ装置１８は、第２のスリット１７を介して、当該スリットに隣り合う第２のターゲットコーティングキャビティ２に向けて送気する。
【００４４】
本発明の例示的の実施例において、第１のパージ装置８から噴き出されるガスの組成は、第１のターゲットコーティングキャビティ１内のガスの組成と同様で、第２のパージ装置１８から噴き出されるガスの組成は、第２のターゲットコーティングキャビティ２内のガスの組成と同様である。実施例において、第１のパージ装置８と第２のパージ装置１８から噴き出されるガスの、第１のターゲットコーティングキャビティ１と第２のターゲットコーティングキャビティ２内のガスに対する汚染を減少するために、好ましくは、第１のターゲットコーティングキャビティ１内のマスタスパッタリングガスと同様のガスを第１のパージ装置８に投入し、第２のターゲットコーティングキャビティ２内のマスタスパッタリングガスと同様のガスを第２のパージ装置１８に投入するように設ける。また、第１の仕切り板５と第２の仕切り板６は同様の構造を有することによって、製造を便利にする。
【００４５】
本発明の例示的の実施例において、図２に示すように、コーティング設備は、第１のポンプキャビティ１３、第２のポンプキャビティ１４および分子ポンプ４をさらに備える。第１のポンプキャビティ１３は、第１のターゲットコーティングキャビティ内に設けられると共に、第１の仕切り板５に接近するように設けられる。第２のポンプキャビティ１４は、第２のターゲットコーティングキャビティ２内に設けられると共に、第２の仕切り板６に接近するように設けられる。第１のポンプキャビティ１３と第２のポンプキャビティ１４の内には、分子ポンプ４が設けられる。第１のポンプキャビティ１３内の分子ポンプ４は、第１のパージ装置８が第１のスリット７から吹き回すガスを吸収し、第２のポンプキャビティ１４内の分子ポンプ４は、第２のパージ装置１８が第２のスリット１７から吹き回すガスを吸収する。分子ポンプ４を設け、第１のパージ装置８と第２のパージ装置１８がそれぞれ吹き回すガスを吸収することによって、吹き回されるガスがターゲットコーティングキャビティ内のガスと混合することを回避する。また、隣り合う第１のターゲットコーティングキャビティ１と第２のターゲットコーティングキャビティ２の間で、ガスが互いに散逸する現象の発生を低下させる。
【００４６】
また、基材をターゲットコーティングキャビティと隔離キャビティ３との間で移動させるために、第１のポンプキャビティ１３と隔離キャビティ３の間にスリットを設け、第２ポンプキャビティ１４と隔離キャビティ３との間にもスリットを設ける。本発明の実施例において、第１のパージ装置８を設けることによって、第１のパージ装置８から噴き出すガスと、第１のポンプキャビティ１３から第１のスリット７に散逸するガスは、いずれも第１のポンプキャビティ１３内に吹き入れられると共に、第１のポンプキャビティ１３内の分子ポンプ４により抽出される。他の一方、第１のパージ装置８のガス抜きは、第１のスリット７の周囲で１つの相対的に高圧のブラインドゾーンを形成することによって、第１のポンプキャビティ１３が位置する側のガスが、第１のスリット７を介して隣り合う隔離キャビティ３内に散逸されることを回避する。なお、第２パージ装置１８は第１のパージ装置８と同様の構造を有し、第２のパージ装置の作用は第１のパージ装置の作用と同様であることによって、製造を便利にする。
【００４７】
また、実施例において、好ましくは、図２に示すように、隔離キャビティ３内にも分子ポンプ４を設ける。隔離キャビティ３の分子ポンプ４は、極端な条件下で、第１のターゲットコーティングキャビティ１と第２のターゲットコーティングキャビティ２から隔離キャビティ３内に散逸する少量のガスを吸収する。
【００４８】
本発明の実施例において、図２に示すように、第１のパージ装置８は第１の仕切り板５の隔離キャビティ３に向いた面に位置され、第２のパージ装置１８は第２仕切り板６の隔離キャビティ３に向いた面に位置される。好ましくは、第１のパージ装置８は第１のスリット７に隣接して設けられ（図３を参照）、第２のパージ装置１８は第２のスリット１７に隣接して設けられる（図４を参照）。このように設置することによって、第１のパージ装置８のパージ範囲は、第１のポンプキャビティ１３内の分子ポンプ４の吸収範囲を完全にカバーし、第２のパージ装置１８のパージ範囲は、第２のポンプキャビティ１４内の分子ポンプ４の吸収範囲を完全にカバーすることができる。また、第１のパージ装置８は、隔離キャビティ３内のガスを第１のポンプキャビティ１３以外の領域内にパージせず、第２のパージ装置１８は、隔離キャビティ３内のガスを第２のポンプキャビティ１４以外の領域にパージしない。なお、第１のパージ装置８は、締結部材またはマグネット部材によって、第１の仕切り板５に固定され、第２のパージ装置１８は、締結部材またはマグネット部材によって、第２の仕切り板６に固定される。従って、第１のパージ装置８と第２のパージ装置１８は、それぞれ単独部材として取り外しと取り付けることができる。当然、本発明にて提供される第１のパージ装置８と第２のパージ装置１８の固定方法はこれらに限られず、隔離キャビティ３の内側にフレームを余分に設け、フレームを介して第１のパージ装置８と第２のパージ装置１８を支持することができる。フレームの具体的な設置位置と高さは、当業者の経験に応じて設定することができる。第１のパージ装置８が第１のスリット７に対応して配置され、第２のパージ装置１８が第２のスリット１７に対応して設置される条件を満たすように、フレームを設置すれば良い。
【００４９】
本発明の実施例において、第１のパージ装置８と第２のパージ装置１８は、吹き付け機能を有するいかなる装置を使用することができる。本実施例では、隔離効果を保証するために、図３に示す構造を有する第１のパージ装置８と、図４に示す構造を有する第２のパージ装置１８を提供する。図３に示すように、第１のパージ装置８は、端板１０、ガスパイプ９、パイプライン１５、ノズル１２および流量制御バルブ１１を備える。端板１０は第１のスリット７に固定され、ガスパイプ９は、端板１０に固定されると共に、第１のスリット７の長さ方向に沿って延伸し、ノズル１２はガスパイプ９に設けられる。パイプライン１５はガスパイプ９とガスソース１６を連通し、流量制御バルブ１１はパイプライン１５に設けられる。流量制御バルブ１１は大きさを調節することによって、輸入ガスの量を調節し、コーティング工程の要求に適応することができる。なお、製造を便利にするために、第１のパージ装置８と第２のパージ装置１８は同様の構造を有することができる。上記では第１のパージ装置８のみを例として、本発明にて提供されるパージ装置とコーティング設備について説明した。当然、異なる機能を実現するために、第１のパージ装置８と第２のパージ装置１８は異なる構造を有することもできる。
【００５０】
本発明の実施例において、図３に示すように、端板１０の数量は２つで、それぞれの端板１０はねじを介して第１のスリット７の長さ方向ａの両端に固定される。ガスパイプ９は２つの端板１０に固定され、ガスパイプ９の吸気端と流量制御バルブ１１の排気端は接続され、流量制御バルブ１１の吸気端はパイプライン１５を介してガスソース１６と接続される。よって、流量制御バルブ１１を介してガスパイプ９へのガス供給量を制御し、比較的に良い送気効果を実現する。
【００５１】
上記のように、端板１０の数量は２つであり、かつ、それぞれの端板１０は第１のスリット７の両端に固定されており、本発明ではこれに限られない。端板１０の数量は１つまたは３つ以上であってもよく、例えば、端板１０の数量が１つである場合、ガスパイプ９の一端はぶら下げて設置されるか、端板１０はガスパイプ９の底部からガスパイプ９を支持し、よって、第１のパージ装置８で使用される部材の数量を減少させ、コストを低下する。
【００５２】
本発明の実施例において、端板１０は、スリットの長さ方向ａに沿って伸縮でき、需要に応じて第１のスリット７を覆う面積を調整することができる。このような構造の端板１０は、ガスをポンプキャビティに吹き入れる際、少量のガスが第１のスリット７の端部から隔離キャビティ３に入る現象の発生を低下させる。よって、隣り合うターゲットコーティングキャビティの間で、ガスが互いに散逸する現象を有効的に低下させる。好ましくは、端板は伸縮のシリンダ構造になすことによって、伸縮が実現される。本発明の実施例において、ガスパイプ９は取り外しできるように、端板１０に挿入される。従って、ガスパイプ９と端板１０は単独の部材として分けて製造、分けて交換することができ、製造および交換の複雑さを低下させ、輸送または保存する際、ガスパイプ９と端板１０を分離することによって、占用空間を減少することができる。
【００５３】
本発明の実施例において、ガスパイプ９は第１のスリット７を取り囲んで設けられる。図３に示すように、好ましくは、ガスパイプ９は第１のスリット７の縁部に沿って周回して布設され、かつ閉合の形状に形成される。すなわち、ガスパイプ９は第１のスリット７の周りに配置され、かつリング形状を有する。当該ガスパイプ９の設置軌跡は第１のスリット７の縁部の軌跡と重なることによって、比較的に良い送気効果を実現する。また、ガスパイプ９には複数のノズル１２が設けられ、複数のノズル１２はスリットの長さ方向に沿って配置される。また、複数のノズルは等間隔に配置されることによって、一部ガスの散逸を回避する。
【００５４】
本発明の実施例において、リング状のガスパイプ９は複数段落のガスパイプが接合して形成される。図３に示すように、リング状のガスパイプ９は矩形の第１のスリット７の周りに沿って配置される。この状況において、リング状のガスパイプ９は、例えば、矩形の第１のスリット７の４つの辺に対応して、４つの段落のサブガスパイプが接合して形成される。接合構造を有するガスパイプ９において、各々の段落のサブガスパイプは単独で回転することによって、ノズル１２の排気方向が調節できる。このことから分かるように、接合構造を有するガスパイプ９は色んな工程状況に適応でき、比較的に良い送気効果を実現する。なお、製造、取り付けの便利、かつ、比較的に良い送気効果を実現できれば、リング状のガスパイプ９のサブガスパイプの段落数は、実際の応用に応じて任意に設置することができる。
【００５５】
本発明の実施例において、図５に示すように、第１の仕切り板５に対応する第１のパージ装置のノズル１２は第１のスリット７に向けて送気する。当該ノズル１２の中心軸線は第１の仕切り板５の板面と第１の傾斜角（夾角）αを成し、第１の傾斜角αは３０〜６０度で、好ましくは４５度である。なお、できる限り早く、第１のスリット７から吹き回されるガスを分子ポンプ４で抽出するために、ノズル１２の排気口は第１のポンプキャビティ１３の内側の分子ポンプ４が位置する方向に向かう。従って、当該ノズル１２は、第１のスリット７に向けて、直方向と水平方向に均一に送気することによって、最も優れた送気効果を実現する。同様に、第２の仕切り板６と対応するノズル１２は第２のスリット１７に向けて送気する。ノズル１２の中心軸線は第２の仕切り板６の板面と第２の傾斜角を成し、第２の傾斜角は３０〜６０度で、好ましくは４５度である。なお、第２の仕切り板６と対応する第２のパージ装置のノズル１２の排気口は第２のポンプキャビティ１４の内側の分子ポンプ４に向かう。
【００５６】
本発明の実施例において、図３に示すように、ガスパイプ９は第１のスリット７の長さ方向に沿って、均一に配置される複数のノズル１２を有する。均一に配置されるノズル１２は、気流のデッドスペースの形成を回避し、ターゲットコーティングキャビティ内のガスの散逸を回避する。このような構造のガスパイプ９は、製造が簡単で、コストが低く、かつ、隣り合うターゲットコーティングキャビティの間で、ガスの散逸の現象を効率的に減少し、コーティングの質を向上させる。
【００５７】
また、本発明の実施例において、ブラストプロセスを介して第１のスリット７の内壁面に粗面を作ることによって、ある程度に気分の散逸を緩める作用を果す。好ましくは、当該粗面の粗さＲａは６．３以上である。Ｒａは表面粗さの計測ユニットで、輪郭の算数平均偏差または中心線の平均値である。Ｒａは、輪郭上の各スポットの高さが測定長さ範囲内の算数平均値である。Ｒａを用いて粗さの等級を示すことは、国際的に通用する表面粗さの計測方法である。
【００５８】
本発明の実施例において、図３に示すように、第１のスリット７は矩形形状である。矩形形状のスリットは基板のコーティングに用いられており、本発明はこれに限られない。第１のスリット７はいかなる他の適切な形状を有することができる。例えば、図６に示すように、第１のスリット７は円形であり、第１のスリット７の延伸方向に沿ってガスパイプ９が２周巻いて配置され、よって、円柱形のターゲットに適応する。この場合、ガスパイプ９は、インナーガスパイプ９１とアウターガスパイプ９２を含む、2周巻きで設置される。インナーガスパイプ９１は円形第１のスリット７の内側に位置し、アウターガスパイプ９２は円形第１のスリット７の外側に位置する。アウターガスパイプには、さらに２周のノズルを設けることによって、円形のスリットで生じる散逸ガスが比較的に多くて、所要の噴出ガス量が多い状況に適応する。なお、図６において、ガスパイプ９のインナーガスパイプ９１とアウターガスパイプ９２をより明確に示すために、インナーガスパイプ９１とアウターガスパイプ９２に均一に配置される複数のノズル１２は省略する。
【００５９】
本発明の実施例において、上記のように、第１のポンプキャビティ１３、第２のポンプキャビティ１４、隔離キャビティ３は、それぞれ、それらの内側に設けられる分子ポンプ４を介して、内部のガスを抽出する。隔離効果を保証するために、好ましくは、図２に示すように、隔離キャビティ３の内には４つの分子ポンプ４を設け、第１のポンプキャビティ１３と第２のポンプキャビティ１４の内には、いずれも２つの分子ポンプ４を設ける。その内、１つの実施例において、隔離キャビティ３の内には２つの分子ポンプ４を設け、第１のポンプキャビティ１３と第２のポンプキャビティ１４の内には、いずれも１つの分子ポンプ４を設ける。なお、隔離効果を保証するために、前記分子ポンプ４の数は、ターゲットコーティングキャビティの幅に応じて相応的に調整することができる。他の１つの実施例において、前記隔離キャビティ３の内には６つの分子ポンプを設け、第１のポンプキャビティ１３と第２のポンプキャビティ１４の内にはいずれも３つの分子ポンプ４を設ける。隔離キャビティとスリット、仕切り板の間の気圧バランスを取るために、好ましくは、第１のポンプキャビティ１３と第２のポンプキャビティ１４の内に同量の分子ポンプを設け、かつ、二者の合計は隔離キャビティ内の分子ポンプの数と等しい。このような構造に設計することを通じて、隣り合うターゲットコーティングキャビティの間で、ガスが互いに散逸する現象を効率的に低下し、コーティングの質を向上させる。
【００６０】
なお、上記の実施の形態は、本発明の原理を説明するために採用した例示的の実施の形態であって、本発明はこれに限られない。本発明の思想と実質を逸脱しない状況下で、当業者は様々な変形および改良を行うことができ、これらの変形および改良は本発明の保護範囲に属すると見なす。
【符号の説明】
【００６１】
１  第１のターゲットコーティングキャビティ
２  第１のターゲットコーティングキャビティ
３  隔離キャビティ
４  分子ポンプ
５  第１の仕切り板
６  第２の仕切り板
７  第１のスリット
８  第１のパージ装置
９  ガスパイプ
１０  端板
１１  流量制御バルブ
１２  ノズル
１３  第１のポンプキャビティ
１４  第２のポンプキャビティ
１５  パイプライン
１６  ガスソース
１７  第２のスリット
１８  第２のパージ装置
９１  インナーガスパイプ
９２  アウターガスパイプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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