(57)【要約】【課題】浸透量を増加させることができるスクライビングホイールを提供する。【解決手段】スクライビングホイール１は、外周部に形成された刃先部２０を有する。刃先部２０は、周方向に間隔をおいて形成された複数の溝２４と、周方向において隣り合う溝２４の間に形成された稜線部２３とを含む。溝２４は、稜線部２３よりも刃先角が小さい部分を含む。【選択図】図４
2019098605.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周部に形成された刃先部を有するスクライビングホイールであって、
前記刃先部は、周方向に間隔をおいて形成された複数の溝と、前記周方向において隣り合う前記溝の間に形成された稜線部とを含み、
前記溝は、前記稜線部よりも刃先角が小さい部分を含む
スクライビングホイール。
【請求項２】
前記溝の深さは、前記周方向における前記溝の端部から前記溝の中央部に向けて深くなる部分を含み、
少なくとも前記溝の端部の刃先角は、前記稜線部の刃先角よりも小さい
請求項１に記載のスクライビングホイール。
【請求項３】
前記溝の端部の刃先角は、前記溝の中央部の刃先角よりも小さい
請求項２に記載のスクライビングホイール。
【請求項４】
前記溝の端部から前記溝の中央部に向けて前記溝の刃先角が小さくなる
請求項２に記載のスクライビングホイール。
【請求項５】
前記溝の中央部の刃先角は、前記稜線部の刃先角以上である
請求項２に記載のスクライビングホイール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクライビングホイールに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板等の脆性材料基板を切断するためのスクライブラインを形成するためにスクライビングホイールが用いられることが知られている。例えば特許文献１のスクライビングホイールは、その外周部に形成された刃先部において円周方向に互いに離間して形成された多数の溝を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１３２５４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
スクライビングホイールでは、脆性材料基板の基板厚さに対する垂直クラックの深さの比で示される浸透量が増加することが好ましい。
本発明の目的は、浸透量を増加させることができるスクライビングホイールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）本発明に関するスクライビングホイールは、外周部に形成された刃先部を有するスクライビングホイールであって、前記刃先部は、周方向に間隔をおいて形成された複数の溝と、前記周方向において隣り合う前記溝の間に形成された稜線部とを含み、前記溝は、前記稜線部よりも刃先角が小さい部分を含む。
【０００６】
本願発明者は、溝の刃先角と稜線部の刃先角との関係に着目し、溝の刃先角を変更した場合において、スクライビングホイールが切断する脆性材料基板の厚さに対する垂直クラックの深さの比で示される浸透量の変化について試験した。その結果、溝が稜線部の刃先角よりも小さい部分を含む場合、浸透量が大きくなる知見を得た。そこで、本スクライビングホイールでは、溝が稜線部の刃先角よりも小さい部分を含む構成としている。したがって、浸透量を増加させることができる。
【０００７】
（２）好ましい例では、（１）に記載のスクライビングホイールにおいて、前記溝の深さは、前記周方向における前記溝の端部から前記溝の中央部に向けて深くなる部分を含み、少なくとも前記溝の端部の刃先角は、前記稜線部の刃先角よりも小さい。
【０００８】
周方向における溝の端部が脆性材料基板に接触する場合、周方向における溝の中央部が脆性材料基板に接触する場合よりも垂直クラックを形成しやすい。また、刃先角が小さい場合、刃先角が大きい場合に比べ、垂直クラックを広げる応力が発生しやすい。そこで、本スクライビングホイールでは、周方向における溝の端部の刃先角を稜線部の刃先角よりも小さくすることにより、垂直クラックを広げる応力を効果的に大きくすることができるため、浸透量をより増加させることができる。
【０００９】
（３）好ましい例では、（２）に記載のスクライビングホイールにおいて、前記溝の端部の刃先角は、前記溝の中央部の刃先角よりも小さい。
周方向における溝の端部が脆性材料基板に接触する場合、周方向における溝の中央部が脆性材料基板に接触する場合よりも垂直クラックを形成しやすい。また、刃先角が小さい場合、刃先角が大きい場合に比べ、垂直クラックを広げる応力が発生しやすい。そこで、本スクライビングホイールでは、周方向における溝の端部の刃先角を周方向における溝の中央部の刃先角よりも小さくすることにより、垂直クラックを広げる応力を効果的に大きくすることができるため、浸透量をより増加させることができる。
【００１０】
（４）好ましい例では、（２）に記載のスクライビングホイールにおいて、前記溝の端部から前記溝の中央部に向けて前記溝の刃先角が小さくなる。
このため、上記（３）と同様の効果が得られる。
【００１１】
（５）好ましい例では、（２）に記載のスクライビングホイールにおいて、前記溝の中央部の刃先角は、前記稜線部の刃先角以上である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のスクライビングホイールは、浸透量を増加させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態のスクライビングホイールについて、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）の１ｂ−１ｂ線の断面図。
【図２】図１のスクライビングホイールの刃先部の一部を拡大した図であって、（ａ）は斜視図、（ｂ）は側面図。
【図３】刃先部の一部の平面図。
【図４】刃先部の溝の端部の断面図。
【図５】刃先部の溝の中央部の断面図。
【図６】刃先部の溝における位置と、その位置に対応する溝の刃先角と刃先部の稜線部における刃先角と角度差との関係を示すグラフ。
【図７】スクライブ荷重と浸透量との関係を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１〜図７を参照して、本実施形態のスクライビングホイール１について説明する。スクライビングホイール１は、例えばガラス基板またはセラミックス基板等の脆性材料で形成された基板である脆性材料基板を分断するために用いられる。スクライビングホイール１は、脆性材料基板の表面を、所定の荷重で押圧しながら転動させられることにより、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成する。
【００１５】
スクライビングホイール１は、焼結ダイヤモンド（Poly Crystalline Diamond）、超硬合金、単結晶ダイヤモンド、多結晶ダイヤモンド等から形成されている。スクライビングホイール１は、超硬合金等の基材にダイヤモンド等の硬質材料の膜をコーティングしたものを用いることもできる。
【００１６】
図１（ａ）に示されるように、スクライビングホイール１は、円板状の本体部１０と、断面Ｖ字状の刃先部２０とを有する。刃先部２０は、スクライビングホイール１の外周部に形成されている。本体部１０は、スクライビングホイール１において刃先部２０よりも径方向内側の部分である。本体部１０と刃先部２０とは一体に形成されている。なお、断面Ｖ字状とは、スクライビングホイール１の厚さ方向（以下、「厚さ方向ＤＴ」）に沿う平面でスクライビングホイール１を切った断面において、スクライビングホイール１の外周縁に向けて先細る形状である（図１（ｂ）参照）。スクライビングホイール１の外径は、φ１ｍｍ以上かつφ２０ｍｍ以下の範囲である。本実施形態のスクライビングホイール１の外径は、φ２ｍｍである。またスクライビングホイール１の厚さの一例は、０．６４ｍｍである。
【００１７】
本体部１０の中心部には、本体部１０を厚さ方向ＤＴに貫通する挿入孔１３が形成されている。挿入孔１３には、スクライビングホイール１を回転可能に支持する支持ピン（図示略）が挿入される。図１（ｂ）に示されるように、本体部１０は、挿入孔１３の一端が形成される第１側面１１と、挿入孔１３の他端が形成される第２側面１２とを有する。
【００１８】
刃先部２０は、断面Ｖ字状を形成する２つの斜面である第１斜面２１および第２斜面２２を有する。第１斜面２１は第１側面１１と刃先部２０の先端とを繋ぎ、第２斜面２２は第２側面１２と刃先部２０の先端とを繋いでいる。言い換えれば、第１斜面２１と第２斜面２２との交線が刃先部２０の先端において稜線を形成している。
【００１９】
図１（ｂ）に示されるとおり、厚さ方向ＤＴにおいて、スクライビングホイール１の厚さ方向ＤＴの中心位置と、刃先部２０の先端位置とが互いに等しい。スクライビングホイール１の断面視において、厚さ方向ＤＴと直交する方向に沿う線分ＣＬと第１斜面２１との成す第１角度θ１と、線分ＣＬと第２斜面２２との成す第２角度θ２とは互いに等しい。
【００２０】
図２（ａ）に示されるように、スクライビングホイール１は、刃先部２０の先端部においてスクライビングホイール１の円周方向（以下、「周方向ＤＣ」）に沿って互いに離間して形成された多数の溝２４を有する。溝２４の個数は任意に設定可能である。本実施形態の溝２４の数は、１５０である。周方向ＤＣに隣り合う溝２４の間には、第１斜面２１と第２斜面２２およびその交線である稜線部２３が形成されている。稜線部２３の外周縁と、溝２４の外周縁とが刃先２５を形成する。刃先部２０は、稜線部２３と溝２４とが交互に等ピッチで形成されている。稜線部２３における第１斜面２１と第２斜面２２との成す角である刃先角θｒは、９０°以上かつ１６０°以下の範囲、好ましくは１００°以上かつ１５０°以下であることが好ましい。刃先角θｒが９０°以上であれば、脆性材料基板に表面剥離や先走りが発生しにくくなり、１６０°以下であれば、かかり不良が生じにくくなる。本実施形態の刃先角θｒは、１２０°である（図４参照）。
【００２１】
図２（ｂ）に示されるように、溝２４は、刃先部２０の外周部から湾曲状に凹む形状を有する。また溝２４は、第１斜面２１に対応する第１溝斜面２１Ａと、第２斜面２２に対応する第２溝斜面２２Ａとを有し、第１溝斜面２１Ａと第２溝斜面２２Ａとの交差する外周縁に稜線部２３から連続する刃先２５を含む。溝２４は、周方向ＤＣにおける溝２４の端部から溝２４の中央部に向けて深くなる部分を有する。本実施形態の溝２４は、周方向ＤＣにおける溝２４の端部から溝２４の中央部に向けて深くなる。溝２４の深さＨは、スクライビングホイール１の径方向における稜線部２３と溝２４の最深部との間の距離として規定される。稜線部２３における溝２４の幅ＷＤは、周方向ＤＣにおける溝２４の両端縁の間の距離として規定される。稜線部２３における溝２４の深さＨは、脆性材料基板をスクライブする場合に脆性材料基板の材質および厚さ、さらにはスクライビングホイール１を脆性材料基板に押し付ける荷重（以下、「スクライブ荷重」）、および、スクライブによって形成されるスクライブラインおよび分断後の脆性材料基板の品質等を考慮して選択され、例えば０．５μｍ以上かつ６．０μｍ以下である。本実施形態の刃先部２０における溝２４の深さは、５．５μｍである。周方向ＤＣにおける溝２４の幅ＷＤは、２．０μｍ以上かつ３５μｍ以下である。脆性材料基板の板厚が０．７ｍｍ以下の場合、刃先２５における溝２４の幅ＷＤは２．０μｍ以上かつ１５μｍ以下であることが好ましく、脆性材料基板の板厚が１．１ｍｍ程度の場合、稜線部２３における溝２４の幅ＷＤは１０μｍ以上かつ３０μｍ以下であることが好ましい。本実施形態の刃先２５における溝２４の幅ＷＤは、２４μｍである。
【００２２】
このような溝２４は、スクライビングホイール１の挿入孔１３が図示しないモータの回転軸に装着された状態で、レーザ照射装置からレーザ光が照射されることにより形成される。レーザ光の照射方向は、スクライビングホイール１の径方向である。レーザ光は、スクライビングホイール１の稜線部２３よりもレーザ照射装置側において焦点が形成される。レーザ照射装置においてレーザ光を照射する照射部は、厚さ方向ＤＴにおいてスクライビングホイール１に対して移動可能である。一方、照射部は、スクライビングホイール１の径方向において、刃先部２０との間の距離は変更しない。このため、スクライビングホイール１の厚さ方向ＤＴの中心位置において照射部と刃先部２０との間の距離が最小となり、スクライビングホイール１の厚さ方向ＤＴの中心位置から厚さ方向ＤＴに離れるにつれて照射部と刃先部２０との間の距離が長くなる。
【００２３】
このように溝２４が形成される場合、スクライビングホイール１の稜線部２３にレーザ光が照射される面積が最小となり、厚さ方向ＤＴにおいて刃先部２０の先端位置から離れるにつれてレーザ光が照射される面積が増加する。このため、図３に示されるように、溝２４の幅ＷＤは、刃先部２０の先端位置、すなわち刃先２５における溝２４で最小となり、厚さ方向ＤＴにおいて刃先２５から離れるにつれて大きくなる。
【００２４】
図４および図５に示されるように、周方向ＤＣにおける溝２４の端部（以下、単に、溝２４の端部と称する）の形状と、周方向ＤＣにおける溝２４の中央部（以下、単に、溝２４の中央部と称する）の形状とは互いに異なる。
【００２５】
図４に示されるように、溝２４の端部の刃先角である第１溝刃先角θｇ１は、刃先角θｒよりも小さい。第１溝刃先角θｇ１は、刃先角θｒよりも２〜１０°程度小さくされることが好ましい。一方、図５に示されるように、溝２４の中央部の刃先角である第２溝刃先角θｇ２は、刃先角θｒよりも大きい。すなわち、第１溝刃先角θｇ１は、第２溝刃先角θｇ２よりも小さい。
【００２６】
ここで、溝２４の端部は、周方向ＤＣにおいて稜線部２３と隣り合う部分である。周方向ＤＣにおける溝２４の一方の端部は、稜線部２３における溝２４の溝開始点（図３の線分Ｃの位置）から溝開始点から溝２４の内方に所定距離に亘り離れた位置（図３の線分Ｅの位置）までの部分と規定される。なお、周方向ＤＣにおける溝２４の他方の端部についても同様に規定される。このように、第１溝刃先角θｇ１は、溝２４における線分Ｃの位置から線分Ｅの位置までの部分における刃先角として規定される。本実施形態では、周方向ＤＣにおける線分Ｃと線分Ｅとの間の距離は５．０μｍである。第１溝刃先角θｇ１が規定される溝２４の端部からの距離は、溝２４の幅ＷＤに対し、片側で１０〜３０％程度とすることが好ましい。溝刃先角θｇは、第１斜面２１における溝２４に対応する部分である第１溝斜面２１Ａと、第２斜面２２における溝２４に対応する部分である第２溝斜面２２Ａとの成す角により規定される。第１溝刃先角θｇ１は、溝２４の端部における第１溝斜面２１Ａと溝２４の端部における第２溝斜面２２Ａとの成す角により規定される。第２溝刃先角θｇ２は、溝２４の中央部における第１溝斜面２１Ａと溝２４の中央部における第２溝斜面２２Ａとの成す角により規定される。
【００２７】
なお、第１溝刃先角θｇ１および第２溝刃先角θｇ２は任意に変更可能である。一例では、第２溝刃先角θｇ２は、刃先角θｒと等しい、または刃先角θｒよりも小さくてもよい。
【００２８】
（実施例）
スクライビングホイール１の性能を評価するためにスクライブ荷重と浸透量との関係について実施例１および実施例２のスクライビングホイールと、比較例１および比較例２のスクライビングホイールとを用いて確認した。なお、浸透量は、脆性材料基板の厚さに対する垂直クラックの深さの比を百分率（％）で示すものである。
【００２９】
実施例１、実施例２、比較例１、および、比較例２のスクライビングホイールのそれぞれについて、溝２４の開始位置を基準として、２．５μｍごとの測定位置における刃先角度差θｄを測定した。具体的には、図３の線分Ａ〜線分Ｈに対応する位置を測定位置としている。線分Ａは、溝２４の開始位置から稜線部２３側に５μｍ離れた位置であり、線分Ｂは、溝２４の開始位置から刃先２５側に２．５μｍ離れた位置である。線分Ａおよび線分Ｂはともに稜線部２３を通過する線分である。線分Ｃは溝２４の開始位置であり、線分Ｄは溝２４の開始位置から溝２４側に２．５μｍ離れた位置であり、線分Ｅは溝２４の開始位置から溝２４側に５．０μｍ離れた位置であり、線分Ｆは溝２４の開始位置から溝２４側に７．５μｍ離れた位置であり、線分Ｇは溝２４の開始位置から溝２４側に１０．０μｍ離れた位置であり、線分Ｈは溝２４の開始位置から溝２４側に１２．５μｍ離れた位置である。線分Ｃ〜線分Ｈはいずれも溝２４の外周縁を通過する線分である。図６は、実施例１、実施例２、比較例１、および、比較例２のスクライビングホイールにおける測定位置である線分Ａと、線分Ｂ〜線分Ｈにおける刃先角度差θｄとの関係を示すグラフである。
【００３０】
また、実施例１、実施例２、比較例１、および、比較例２のスクライビングホイールはそれぞれ、外径φ２ｍｍ、刃先角θｒが１２０°、溝の数が１５０個、溝の深さＨが５．５μｍのものを用いた。実施例１、実施例２、比較例１、および、比較例２のスクライビングホイールの具体的な溝形状について、図６を用いて説明する。
【００３１】
図６は、線分Ａの位置の刃先角θｒを基準として、実施例１、実施例２、比較例１、および、比較例２のスクライビングホイールにおける各測定箇所の刃先角度差θｄを示すグラフである。線分Ｃ〜線分Ｅの位置では、実施例１および実施例２のスクライビングホイールの刃先角度差θｄが負の値になる一方、比較例１および比較例２のスクライビングホイールの刃先角度差θｄが正の値になる。詳述すると、線分Ｃの位置において、実施例１のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約３°小さく、実施例２のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約２．５°小さい。比較例１のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約０．２°大きく、比較例２のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約０．１°大きい。線分Ｄの位置において、実施例１のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約５．５°小さく、実施例２のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約４．５°小さい。実施例１および実施例２のスクライビングホイールでは、線分Ｄの位置において溝刃先角θｇが刃先角θｒに対して最も小さくなる。また比較例１のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約１°大きく、比較例２のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約０．８°大きい。線分Ｅの位置において、実施例１のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約０．５°小さく、実施例２のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約１°小さい。比較例１のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約３°大きく、比較例２のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約３．５°大きい。
【００３２】
線分Ｆの位置では、実施例２のスクライビングホイールの刃先角度差θｄが負の値になる一方、実施例１、比較例１、および、比較例２のスクライビングホイールの刃先角度差θｄが正の値になる。詳述すると、線分Ｆの位置において、実施例１のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約０．１°大きく、実施例２のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約１°小さい。比較例１のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約８°大きく、比較例２のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約７．５°大きい。
【００３３】
線分Ｇの位置では、実施例２のスクライビングホイールの刃先角度差θｄが負の値になる一方、比較例１および比較例２のスクライビングホイールの刃先角度差θｄが正の値になる。また実施例１のスクライビングホイールの刃先角度差θｄが０°になる。詳述すると、実施例２のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約０．２°小さい。比較例１のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約８°大きく、比較例２のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約１０°大きい。
【００３４】
線分Ｈの位置では、実施例１、実施例２、比較例１、および、比較例２のスクライビングホイールの刃先角度差θｄが正の値になる。実施例１のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約２°大きく、実施例２のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約１°大きく、比較例１のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約９°大きく、比較例２のスクライビングホイールの溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも約８°大きい。
【００３５】
また、溝２４における刃先角である溝刃先角θｇには、例えばレーザ顕微鏡を用いて次のように演算される。すなわちレーザ顕微鏡は、スクライビングホイール１の径方向にレーザを照射し、レーザ顕微鏡とスクライビングホイール１との間の距離を計測することにより、刃先部２０に沿う方向と直交する方向の溝２４のプロファイルを取得する。そして取得された溝２４の第１溝斜面２１Ａおよび第２溝斜面２２Ａのそれぞれプロファイルから溝刃先角θｇが演算される。本実施例では、レーザ顕微鏡として、ＫＥＹＥＮＣＥ社のＶＫ−Ｘ１００を用いた。
【００３６】
スクライブ荷重と浸透量との関係では、スクライブ荷重を０．０９ＭＰａ、０．１０ＭＰａ、０．１１ＭＰａ、０．１３ＭＰａ、０．１５ＭＰａ、０．１７ＭＰａ、０．１９ＭＰａ、０．２１ＭＰａ、および、０．２３ＭＰａと変化させたときの浸透量を測定した。
【００３７】
図７に示されるように、スクライブ荷重が０．０９ＭＰａの場合、実施例１のスクライビングホイールの浸透量は約７５％であり、実施例２のスクライビングホイールの浸透量は約７６％であり、比較例１のスクライビングホイールの浸透量は約６４％であり、比較例２のスクライビングホイールの浸透量は約６６％である。スクライブ荷重が０．１０ＭＰａの場合、実施例１および実施例２のスクライビングホイールの浸透量はそれぞれ約７８％であり、比較例１のスクライビングホイールの浸透量は約６０％であり、比較例２のスクライビングホイールの浸透量は約７４％である。スクライブ荷重が０．１１ＭＰａの場合、実施例１のスクライビングホイールの浸透量は約８２％であり、実施例２のスクライビングホイールの浸透量は約８１％であり、比較例１のスクライビングホイールの浸透量は約７７％であり、比較例２のスクライビングホイールの浸透量は約７４％である。スクライブ荷重が０．１３ＭＰａの場合、実施例１および実施例２のスクライビングホイールの浸透量は約８４％であり、比較例１のスクライビングホイールの浸透量は約７９％であり、比較例２のスクライビングホイールの浸透量は約７７％である。スクライブ荷重が０．１５ＭＰａの場合、実施例１および実施例２のスクライビングホイールの浸透量は約８６％であり、比較例１のスクライビングホイールの浸透量は約８１％であり、比較例２のスクライビングホイールの浸透量は約８３％である。スクライブ荷重が０．１７ＭＰａの場合、実施例１および実施例２のスクライビングホイールの浸透量は約８７％であり、比較例１および比較例２のスクライビングホイールの浸透量は約８５％である。スクライブ荷重が０．１９ＭＰａの場合、実施例１、実施例２、および、比較例２のスクライビングホイールの浸透量は約９０％であり、比較例１のスクライビングホイールの浸透量は約８６％である。スクライブ荷重が０．２１ＭＰａの場合、実施例１のスクライビングホイールの浸透量は約９２％であり、実施例２のスクライビングホイールの浸透量は約９３％であり、比較例１および比較例２のスクライビングホイールの浸透量は約９０％である。スクライブ荷重が０．２３ＭＰａの場合、実施例１および実施例２のスクライビングホイールの浸透量は約９５％であり、比較例１および比較例２のスクライビングホイールの浸透量は約９３％である。
【００３８】
図７に示されるように、実施例１および実施例２のスクライビングホイールは、比較例１および比較例２のスクライビングホイールよりも浸透量が５〜１０％大きくなることが確認された。特に、低いスクライブ荷重の範囲において、実施例１および実施例２のスクライビングホイールによる浸透量が比較例１および比較例２のスクライビングホイールによる浸透量よりも顕著に大きくなることが確認された。
【００３９】
本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）溝刃先角θｇが刃先角θｒよりも小さいことにより、脆性材料基板の浸透量が増加する。これにより、脆性材料基板を容易に分断できる。また、所望の垂直クラックの深さを得るためのスクライブ荷重を小さくすることができるため、スクライブ荷重が大きくなることに起因する先走り等の脆性材料基板のスクライブ時の不良の発生を抑制できる。
【００４０】
（２）溝２４の端部が脆性材料基板に接触する場合、溝２４の中央部が脆性材料基板に接触する場合よりも垂直クラックを形成しやすい。また、溝刃先角θｇが小さい場合、溝刃先角θｇが大きい場合に比べ、垂直クラックを広げる応力が発生しやすい。そこで、本実施形態では、第１溝刃先角θｇ１を第２溝刃先角θｇ２よりも小さくする。これにより、垂直クラックを広げる応力を効果的に大きくすることができるため、浸透量をより増加させることができる。
【００４１】
（変形例）
上記実施形態に関する説明は、本発明に従うスクライビングホイールが取り得る形態の例示であり、その形態を制限することを意図していない。本発明に従うスクライビングホイールは、例えば以下に示される上記実施形態の変形例、および、相互に矛盾しない少なくとも２つの変形例が組み合わせられた形態を取り得る。以下の変形例において、上記実施形態の形態と共通する部分については、上記実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４２】
・スクライビングホイール１の溝２４の端部から溝２４の中央部に向かうにつれて溝刃先角θｇが徐々に小さくなるように溝２４が設けられてもよい。この構成によっても上記実施形態の効果が得られる。
【００４３】
・溝２４の端部において、溝開始点（図３の線分Ｃの位置）から図３の線分Ｅの位置に向かうにつれて溝刃先角θｇが徐々に小さくなるように溝２４が設けられてもよい。この構成によっても上記実施形態の効果が得られる。
【００４４】
・溝２４の端部以外の溝２４の溝刃先角θｇが刃先角θｒ以上であってもよい。すなわち溝２４の端部の第１溝刃先角θｇ１のみが刃先角θｒよりも小さくなるように形成されてもよい。この構成によっても上記実施形態の効果が得られる。
【００４５】
・溝２４の深さ方向の形状は、任意に変更可能である。一例では、溝２４は、その底部が平坦部を含む形状であってもよい。
・刃先部２０の形状は、任意に変更可能である。一例では、厚さ方向ＤＴにおいて、稜線部２３の位置とスクライビングホイール１の厚さ方向ＤＴの中心位置とが互いに異なってもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１    ：スクライビングホイール
１０  ：本体部
２０  ：刃先部
２１  ：第１斜面
２２  ：第２斜面
２３  ：稜線部
２４  ：溝
θｒ  ：刃先角
θｇ  ：溝刃先角
θｇ１：第１溝刃先角
θｇ２：第２溝刃先角
ＤＣ  ：周方向
【図１】
2019098605.tif 000003
【図２】
2019098605.tif 000004
【図３】
2019098605.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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