(57)【要約】【課題】縦長の加工装置を２台以上を並べて設置床に設置する際に、各加工装置の転倒防止を容易に行う。【解決手段】前方２つの前脚１１と後方２つの後脚１２との少なくとも４つの脚を備え、幅方向より奥行き方向が大きく、奥行き方向より高さ方向が大きい加工装置１を２台以上を並べて設置床Ｆに設置する際に使用する装置設置具２であって、少なくとも２台並べた加工装置１の幅より長く延在し上面２１ａに前脚１１が載置される第１の四角柱２１と、第１の四角柱２１と同じ長さで第１の四角柱２１の延在方向に平行に延在し、上面２２ａに後脚１２が載置される第２の四角柱２２と、加工装置１の奥行き方向に延在し、第１の四角柱２１と第２の四角柱２２とを連結する連結部２３と、前脚１１を第１の四角柱２１に、後脚１２を第２の四角柱２２に、それぞれ固定する固定具２５と、を備える装置設置具２である。【選択図】図２
2019155562.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前方２つの前脚と後方２つの後脚との少なくとも４つの脚を備え、
幅方向より奥行き方向が大きく、該奥行き方向より高さ方向が大きい加工装置を２台以上を並べて設置床に設置する際に使用する装置設置具であって、
少なくとも２台並べた該加工装置の幅より長く延在し上面に該前脚が載置される第１の四角柱と、
該第１の四角柱と同じ長さで該第１の四角柱の延在方向に平行に延在し、上面に該後脚が載置される第２の四角柱と、
該加工装置の奥行き方向に延在し、該第１の四角柱と該第２の四角柱とを連結する連結部と、
該前脚を該第１の四角柱に、該後脚を該第２の四角柱に、それぞれ固定する固定具と、を備える装置設置具。
【請求項２】
前記第１の四角柱及び前記第２の四角柱の厚さを利用して前記加工装置に電気を供給する電源ケーブル又はエアを供給するエア配管等の用力供給部材を配設する請求項１記載の装置設置具。
【請求項３】
前記設置床には床面から立設するアンカーボルトを備え、
該アンカーボルトで前記第１の四角柱、前記第２の四角柱、前記連結部のうち少なくとも１つを該床面に固定する請求項１記載の装置設置具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置を２台以上を並べて設置床に設置する際に使用する装置設置具に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置（マニュアルダイサー等）は、少なくとも４つの脚を備え、該４つの脚で工場の設置床に立設している。そして、地震で加工装置が転倒しないように、転倒防止金具で設置床に加工装置は固定されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１８３２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
転倒防止金具で設置床と加工装置に取り付けられた治具とを固定するため、複数台の加工装置を設置床に固定する場合には、多くの転倒防止金具を加工装置に取り付けられた治具と設置床とに取り付ける必要があるため、設置作業が大変になるという問題がある。
よって、加工装置を２台以上を並べて設置床に設置する際には、複数台の加工装置の転倒防止を容易に行うという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するための本発明は、前方２つの前脚と後方２つの後脚との少なくとも４つの脚を備え、幅方向より奥行き方向が大きく、該奥行き方向より高さ方向が大きい加工装置を２台以上を並べて設置床に設置する際に使用する装置設置具であって、少なくとも２台並べた該加工装置の幅より長く延在し上面に該前脚が載置される第１の四角柱と、該第１の四角柱と同じ長さで該第１の四角柱の延在方向に平行に延在し、上面に該後脚が載置される第２の四角柱と、該加工装置の奥行き方向に延在し、該第１の四角柱と該第２の四角柱とを連結する連結部と、該前脚を該第１の四角柱に、該後脚を該第２の四角柱に、それぞれ固定する固定具と、を備える装置設置具である。
【０００６】
前記第１の四角柱及び前記第２の四角柱の厚さを利用して前記加工装置に電気を供給する電源ケーブル又はエアを供給するエア配管等の用力供給部材を配設すると好ましい。
【０００７】
前記設置床には床面から立設するアンカーボルトを備え、該アンカーボルトで前記第１の四角柱、前記第２の四角柱、前記連結部のうち少なくとも１つを該床面に固定すると好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
前方２つの前脚と後方２つの後脚との少なくとも４つの脚を備え、幅方向より奥行き方向が大きく、奥行き方向より高さ方向が大きい加工装置を２台以上を並べて設置床に設置する際に使用する本発明に係る装置設置具は、少なくとも２台並べた加工装置の幅より長く延在し上面に前脚が載置される第１の四角柱と、第１の四角柱と同じ長さで第１の四角柱の延在方向に平行に延在し、上面に後脚が載置される第２の四角柱と、加工装置の奥行き方向に延在し、第１の四角柱と第２の四角柱とを連結する連結部と、前脚を第１の四角柱に、後脚を該第２の四角柱に、それぞれ固定する固定具と、を備えるため、倒れやすい細高い形状の加工装置を少なくとも２台以上並べて設置床に設置するときに、加工装置の転倒防止を容易に行うことが可能となる。
【０００９】
第１の四角柱及び第２の四角柱の厚さを利用して加工装置に電気を供給する電源ケーブル又はエアを供給するエア配管等の用力供給部材を配設することで、加工装置に接続された用力供給部材をコンパクトに整理した状態にすることが可能となる。
【００１０】
設置床には床面から立設するアンカーボルトを備え、アンカーボルトで第１の四角柱、第２の四角柱、連結部のうち少なくとも１つを床面に固定することで、加工装置を２台以上を並べて設置床に装置設置具を介して設置した際に、加工装置を地震等の揺れに対してより転倒しにくくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】装置設置具と加工装置との一例を示す斜視図である。
【図２】装置設置具と２つ以上並べられて設置された加工装置との一例を示す斜視図である。
【図３】装置設置具と２つ以上Ｌ字状に並べられて設置された加工装置との一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１の破線で示す加工装置１は、半導体デバイスの製造過程で用いられ、例えば、縦長の筐体を有し、マニュアルにて被加工物を保持テーブルにセットして切削加工を行っていくマニュアルダイサーである。加工装置１は、幅方向（Ｙ軸方向）より奥行き方向（Ｘ軸方向）が大きく、奥行き方向より高さ方向（Ｚ軸方向）が大きくなっており、本発明に係る装置設置具２によって平坦な設置床Ｆの床面に固定され、地震等の揺れが起こった際の転倒が防止される。
なお、加工装置１はマニュアルダイサーに限定されるものではなく、フルオートダイサーや研削装置等であってもよい。
【００１３】
図１、２に示すように、加工装置１は、装置の筐体底面の前方側（＋Ｘ方向側）の２隅に２つの前脚１１を備えている。前脚１１は、装置の筐体底面から下方に延在する足首部１１０と、足首部１１０の下端に接続された円形板状のベース部１１１とを備えている。
加工装置１の筐体底面の後方側（−Ｘ方向側）の２隅には、前脚１１と同様の構成の足首部１２０とベース部１２１とからなる後脚１２がそれぞれ配設されている。
例えば、前脚１１及び後脚１２は、ジャッキベースでありその長さが可変となっていてもよい。また、前脚１１及び後脚１２の配設個数は、前方後方にそれぞれ２つに限定されるものではなく、それぞれ３つ以上配設されていてもよい。
【００１４】
加工装置１を図２に示すように２台以上を並べて設置床Ｆに設置する際に使用する装置設置具２は、少なくとも２台並べた加工装置１の幅より長く延在し上面２１ａに各前脚１１が載置される第１の四角柱２１と、第１の四角柱２１と同じ長さで第１の四角柱２１の延在方向（Ｙ軸方向）に平行に延在し、上面２２ａに後脚１２が載置される第２の四角柱２２と、加工装置１の奥行き方向（Ｘ軸方向）に延在し、第１の四角柱２１と第２の四角柱２２とを連結する連結部２３と、前脚１１を第１の四角柱２１に、後脚１２を第２の四角柱２２に、それぞれ固定する固定具２５とを備える。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態における連結部２３は、長尺の平板状の外形を備えており、加工装置１の奥行き方向（Ｘ軸方向）に延在すると共に、加工装置１の幅方向（Ｙ軸方向）にも第１の四角柱２１と同じ長さで延在している。例えば、連結部２３は、設置床Ｆの床面に床面から立設するアンカーボルト２７によって固定されている。例えば、アンカーボルト２７は、Ｙ軸方向に所定の間隔を空けて複数（例えば、設置する加工装置１の数と同数）立設している。
【００１６】
アンカーボルト２７は、図１に示す例においては、Ｊ型のアンカーボルトであるが、Ｌ型のアンカーボルト等であってもよい。アンカーボルト２７は、そのネジ頭２７０より下の部分が設置床Ｆに打ち込まれている。アンカーボルト２７のネジ頭２７０は、連結部２３を厚み方向に貫通して連結部２３の上面から突出しており、固定ナット２８をネジ頭２７０に螺合させて締め付けることにより、連結部２３が設置床Ｆの床面に固定された状態になっている。
【００１７】
例えば、第１の四角柱２１及び第２の四角柱２２は、加工装置１の重みに耐えられ変形しない強度の鉄鋼等からなり、連結部２３の上面にＸ軸方向に所定の間隔を空けて配設され、それぞれ加工装置１の幅方向に平行に延在している。例えば、第１の四角柱２１の上面２１ａ及び第２の四角柱２２の上面２２ａには、加工装置１を載置する際に各前脚１１又は後脚１２を位置合わせするための目印が形成されている。また、第１の四角柱２１の上面２１ａ（第２の四角柱２２の上面２２ａ）には、図示しないボルト孔が延在方向に加工装置１の２つの前脚１１間（２つの後脚１２間）の間隔に合わせた所定間隔を空けて複数形成されている。
【００１８】
第１の四角柱２１及び第２の四角柱２２は、例えば、図１に示す用力供給部材３０、３１の管径以上の厚さ（高さ）を備えており、第１の四角柱２１の内側面、第２の四角柱２２の内側面、及び連結部２３の上面とで囲まれる隙間Ｖに用力供給部材３０、３１を這わせて、各加工装置１に用力供給部材３０、３１を接続させることができる。
用力供給部材３０は、例えば、加工装置１に電力を供給する電力ケーブルであり、用力供給部材３１は、例えば、加工装置１にエアを供給又は加工装置１からエアを吸引するエア管である。
【００１９】
連結部２３は、例えば、第１の四角柱２１の内側面と第２の四角柱２２の内側面とを繋ぐ連結棒をであってもよいし、アンカーボルト２７は、第１の四角柱２１又は第２の四角柱２２を設置床Ｆの床面に固定していてもよい。
【００２０】
固定具２５は、略Ｕ字の平板状に形成された固定板２５０と、固定板２５０と一体的に形成され固定ボルト２６が挿通される図示しない挿通孔を備える台部２５１と、を備えている。なお、固定具２５の形状は、図１に示す例に限定されるものではない。
【００２１】
以下に、上述した装置設置具２を用いて加工装置１を２台以上並べて設置床Ｆに設置する場合について説明する。
例えば、加工装置１は、図示しない装置移設用のリフター又は作業者の手により、設置床Ｆの床面上に固定されている装置設置具２の上方へと持ち上げられた状態で運ばれる。そして、２つの前脚１１が第１の四角柱２１の上面の目印上におおよそ位置し、かつ、２つの後脚１１が第２の四角柱２２の上面の目印上におおよそ位置するように、加工装置１の位置の調整が行われる。
【００２２】
加工装置１が下降して、第１の四角柱２１の上面に２つの前脚１１がそれぞれ載置され、第２の四角柱２２の上面に２つの後脚１２がそれぞれ載置された後、図示しないリフターが加工装置１から離脱する。次いで、２つ前脚１１を第１の四角柱２１に、２つの後脚１２を第２の四角柱２２に、作業者が固定具２５を用いてそれぞれ固定する。
【００２３】
例えば、固定具２５の固定板２５０のＵ字の凹み部分に前脚１１の足首部１１０を側方（＋Ｙ方向側）から入れ込むことで、固定具２５の台部２５１の図示しない挿通孔と第１の四角柱２１の上面２１ａの図示しないボルト孔とは重なり合った状態となる。そして、固定ボルト２６を挿通孔に通してボルト孔に螺合させることにより、ベース部１１１が固定板２５０と第１の四角柱２１の上面２１ａとで挟持固定された状態になる。また、前脚１１の水平方向の移動も固定板２５０で規制された状態になる。
【００２４】
もう１つの前脚１１も固定具２５で固定されるが、固定具２５のＵ字の凹み部分は、片方の前脚１１を固定した固定具２５のＵ字の凹み部分とはＹ軸方向において反対側を向けた状態とする。そのため、地震等の揺れがあっても２つの前脚１１が第１の四角柱２１の上面２１ａで水平方向においてずれることが無くなる。
同様に、作業者が２つの後脚１２を第２の四角柱２２に固定具２５を用いて固定することで、加工装置１は装置設置具２上に固定されて、設置床Ｆに設置された状態になる。
【００２５】
上記と同様に複数（図２においては４つ）の加工装置１を幅方向に所定間隔空けて、装置設置具２を介して設置床Ｆに設置する。また、隙間Ｖに用力供給部材３０、３１を這わせて、各加工装置１に用力供給部材３０、３１を接続させる。
各加工装置１間において装置設置具２の連結部２３上で用力供給部材３０、３１が露出したままの状態では、作業者が作業を行う時に用力供給部材３０、３１を踏みつけて断線させてしまうことがあるし、また、加工装置１の下方の隙間Ｖにも埃等が溜まりやすくなる。これを防ぐために、図２に示す平面視矩形状のカバー３２を装置設置具２上の各加工装置１間に取り外し可能に被せておく。
さらに、図３に示すように、上記と同様に複数の加工装置１をＸ軸方向に所定間隔空けて、全体的にＬ字になるように装置設置具２を介して設置床Ｆに設置してもよい。
【００２６】
上記のように、前方２つの前脚１１と後方２つの後脚１２との少なくとも４つの脚を備え、幅方向より奥行き方向が大きく、奥行き方向より高さ方向が大きい加工装置１を２台以上を並べて設置床Ｆに設置する際に使用する本発明に係る装置設置具２は、少なくとも２台並べた加工装置１の幅より長く延在し上面２１ａに前脚１１が載置される第１の四角柱２１と、第１の四角柱２１と同じ長さで第１の四角柱２１の延在方向に平行に延在し、上面２２ａに後脚１２が載置される第２の四角柱２２と、加工装置１の奥行き方向に延在し、第１の四角柱２１と第２の四角柱２２とを連結する連結部２３と、前脚１１を第１の四角柱２１に、後脚１２を該第２の四角柱２２に、それぞれ固定する固定具２５と、を備えるため、倒れやすい細高い形状の加工装置１を少なくとも２台以上並べて設置床Ｆに設置するときに、従来のような転倒防止金具で設置床と加工装置に取り付けられた治具と接続するといった細かな作業を行う必要が無くなり、加工装置１を転倒防止を容易に行い設置床Ｆに設置することが可能となる。
【００２７】
第１の四角柱２１及び第２の四角柱２２の厚さを利用して加工装置１に用力供給部材３０、３１を配設することで、加工装置１に接続された用力供給部材３０、３１をコンパクトに整理した状態にすることが可能となる。
【００２８】
設置床Ｆには床面から立設するアンカーボルト２７を備え、アンカーボルト２７で第１の四角柱２１、第２の四角柱２２、連結部２３のうち少なくとも１つ（本実施形態においては、連結部２３）を床面に固定することで、加工装置１を２台以上を並べて設置床Ｆに装置設置具２を介して設置した際に、加工装置１を地震等の揺れに対してより転倒しにくくい状態にすることができる。
【符号の説明】
【００２９】
１：加工装置  １１：前脚  １１０：足首部  １１１：ベース部  １２：後脚
２：装置設置具  ２１：第１の四角柱  ２２：第２の四角柱  ２３：連結部
２５：固定具  ２６：固定ボルト
２７：アンカーボルト  ２７０：ネジ頭  ２８：固定ナット
３０、３１：用力供給部材  
【図１】
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【図２】
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【図３】
2019155562.tif 000005