(57)【要約】      （修正有）【課題】電子機器の内部空間をより有効に利用するために、熱対策部材、具体的にはベーパーチャンバーに他の機能を持たせる。【解決手段】外縁部で接合された対向する金属製の上部筐体シート６と下部筐体シート７とを含み、内部空間を有する筐体２と、前記筐体２の内部空間に封入された作動液と、前記筐体２の内部空間に配置されたウィック４と、第一端子９ａおよび第二端子９ｂと、を有し、前記第一端子９ａおよび前記第二端子９ｂの間に、前記内部空間の温度変化または体積変化に応じて電気特性が変化する受動素子を有する、ベーパーチャンバー１ａ。【選択図】図１Ａ
2019020001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外縁部で接合された対向する金属製の上部筐体シートと下部筐体シートとを含み、内部空間を有する筐体と、
前記筐体の内部空間に封入された作動液と、
前記筐体の内部空間に配置されたウィックと、
第一端子および第二端子と、を有し、
前記第一端子および前記第二端子の間に、前記内部空間の温度変化または体積変化に応じて電気特性が変化する受動素子を有する、ベーパーチャンバー。
【請求項２】
前記受動素子は、キャパシタ、トランス、またはインピーダンス素子のいずれかである、請求項１に記載のベーパーチャンバー。
【請求項３】
前記ウィックが体積可変部材である、請求項１または２に記載のベーパーチャンバー。
【請求項４】
前記第一端子が前記上部筐体シートに電気的に接続され、前記第二端子が前記下部筐体シートに電気的に接続され、前記上部筐体シートと前記下部筐体シートとは電気的に絶縁されている、請求項１〜３のいずれか一項に記載のベーパーチャンバー。
【請求項５】
さらに上部電極を有し、
前記上部筐体シートが開口部を有し、
前記上部電極が前記開口部の内側に、前記上部筐体シートおよび前記下部筐体シートと電気的に絶縁された状態で配置され、
前記第一端子が前記上部電極に電気的に接続されている、請求項１〜３のいずれか一項に記載のベーパーチャンバー。
【請求項６】
さらに下部電極を有し、
前記下部筐体シートが開口部を有し、
前記下部電極が前記開口部の内側に、前記上部筐体シートおよび前記下部筐体シートと電気的に絶縁された状態で配置され、
前記第二端子が前記下部電極に電気的に接続されている、請求項１〜３または５に記載のベーパーチャンバー。
【請求項７】
さらに誘電体層を有し、
前記誘電体層が、前記第一端子が電気的に接続された上部筐体シートまたは上部電極と、前記第二端子が電気的に接続された下部筐体シートまたは下部電極との間に存在する、請求項１〜６のいずれか一項に記載のベーパーチャンバー。
【請求項８】
さらに上部コイル導体および下部コイル導体を有し、
前記上部筐体シートおよび前記下部筐体シートがそれぞれ開口部を有し、
前記上部コイル導体および前記下部コイル導体が、それぞれ、前記上部筐体シートおよび下部筐体シートの開口部の内側に、上部筐体シートおよび下部筐体シートと電気的に絶縁された状態で配置され、
前記第一端子が２つ存在し、それぞれ前記上部コイル導体の両端部に電気的に接続されており、
前記第二端子が２つ存在し、それぞれ前記下部コイル導体の両端部に電気的に接続されている、
請求項１〜３のいずれか一項に記載のベーパーチャンバー。
【請求項９】
外縁部で接合された対向する金属製の上部筐体シートと下部筐体シートとを含み、内部空間を有する筐体と、
前記筐体の内部空間に封入された作動液と、
前記筐体の内部空間に配置されたウィックと、
第一端子および第二端子と、を有し、
前記第一端子および前記第二端子の間に、前記内部空間の温度変化または体積変化に応じて電気特性が変化する受動素子を有するベーパーチャンバーと、
前記第一端子および前記第二端子に接続された検出回路と
を有する、温度補償デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ベーパーチャンバー（Vapor Chamber）に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、素子の高集積化、高性能化により製品内部における発熱量が増加している。また、製品の小型化が進むことで、発熱密度も増加するため、放熱対策が重要となってきた。この状況はスマートフォンやタブレットなどのモバイル端末の分野において特に顕著である。近年、熱対策部材としては、グラファイトシートなどが用いられることが多いが、その熱輸送量は十分ではないため、様々な熱対策部材の使用が検討されている。なかでも、非常に効果的に熱を拡散させることが可能であるとして、ベーパーチャンバーの使用の検討が進んでいる。
【０００３】
ベーパーチャンバーとは、ヒートスプレッダの一種であり、平板状の密閉容器内に揮発しやすい適量の作動液を封入したものである。作動液は熱源からの熱で気化し、内部空間内を移動した後、外部に熱を放出して液体に戻る。液体に戻った作動液はウィックと呼ばれる毛細管構造により再び熱源付近へ運ばれて、再び気化する。これを繰り返すことにより、ベーパーチャンバーは外部動力を有することなく自立的に作動し、作動液の蒸発潜熱および凝縮潜熱を利用して、二次元的に高速で熱を拡散することができる。
【０００４】
特許文献１には、上記熱対策部材として、作動液が凝集する凝集部と作動液が蒸発する蒸発部とを有するヒートパイプが記載されている。特許文献１において、ヒートパイプのコンテナの内部には作動液が封入され、下側コンテナの内壁と上側コンテナの内壁の両方にナノメートルオーダーの凹凸構造を有するウィック構造が形成されている。このような構成により、二次元的な熱の拡散が達成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−０５７８４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
スマートフォン等のモバイル端末では、各種電気回路が高密度に実装されているため、ベーパーチャンバーにより分散された熱が、ベーパーチャンバーの周囲に配置された各種電気回路に悪影響を与えてしまうおそれがある。このため、高温になったモバイル端末においては、熱源に供給する電流量を低減するなどの対処が必要となる。従って、モバイル端末が高温になった際にそれを検出する温度センサ、または不具合に対応するための部品等を設置する必要があった。しかしながら、スマートフォン等のモバイル端末の分野において、端末の内部に温度センサ等の追加の部品を設置することは、端末の小型化および薄型化の観点から好ましくない。
【０００７】
従って、本発明は、電子機器の内部空間をより有効に利用するために、熱対策部材、具体的にはベーバーチャンバーに他の機能を持たせることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明のある局面に係るベーパーチャンバーは、
外縁部で接合された対向する金属製の上部筐体シートと下部筐体シートとを含み、内部空間を有する筐体と、前記筐体の内部空間に封入された作動液と、前記筐体の内部空間に配置されたウィックと、第一端子および第二端子と、を有し、前記第一端子および前記第二端子の間に、前記内部空間の温度変化または体積変化に応じて電気特性が変化する受動素子を有する。
【０００９】
また、一実施形態のベーパーチャンバーにおいて、前記受動素子は、キャパシタ、トランス、またはインピーダンス素子のいずれかである。
【００１０】
また、一実施形態のベーパーチャンバーにおいて、前記ウィックは体積可変部材である。
【００１１】
また、一実施形態のベーパーチャンバーにおいて、前記第一端子が前記上部筐体シートに電気的に接続され、前記第二端子が前記下部筐体シートに電気的に接続され、前記上部筐体シートと前記下部筐体シートとは電気的に絶縁されている。
【００１２】
また、一実施形態のベーパーチャンバーは、さらに上部電極を有し、前記上部筐体シートが開口部を有し、前記上部電極が前記開口部の内側に、前記上部筐体シートおよび前記下部筐体シートと電気的に絶縁された状態で配置され、前記第一端子が前記上部電極に電気的に接続されている。
【００１３】
また、一実施形態のベーパーチャンバーは、さらに下部電極を有し、前記下部筐体シートが開口部を有し、前記下部電極が前記開口部の内側に、前記上部筐体シートおよび前記下部筐体シートと電気的に絶縁された状態で配置され、前記第二端子が前記下部電極に電気的に接続されている。
【００１４】
また、一実施形態のベーパーチャンバーは、さらに誘電体層を有し、前記誘電体層が、前記第一端子が電気的に接続された上部筐体シートまたは上部電極と、前記第二端子が電気的に接続された下部筐体シートまたは下部電極との間に存在する。
【００１５】
また、一実施形態のベーパーチャンバーは、さらに上部コイル導体および下部コイル導体を有し、前記上部筐体シートおよび前記下部筐体シートがそれぞれ開口部を有し、前記上部コイル導体および前記下部コイル導体が、それぞれ、前記上部筐体シートおよび下部筐体シートの開口部の内側に、上部筐体シートおよび下部筐体シートと電気的に絶縁された状態で配置され、前記第一端子が２つ存在し、それぞれ前記上部コイル導体の両端部に電気的に接続されており、前記第二端子が２つ存在し、それぞれ前記下部コイル導体の両端部に電気的に接続されている。
【００１６】
さらに、本発明によれば、外縁部で接合された対向する金属製の上部筐体シートと下部筐体シートとを含み、内部空間を有する筐体と、前記筐体の内部空間に封入された作動液と、前記筐体の内部空間に配置されたウィックと、第一端子および第二端子と、を有し、前記第一端子および前記第二端子の間に、前記内部空間の温度変化または体積変化に応じて電気特性が変化する受動素子を有するベーパーチャンバーと、第一端子および第二端子に接続された検出回路とを有する、温度補償デバイスが提供される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、電子機器の内部空間をより有効に利用するために放熱以外の機能を有するベーバーチャンバーが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１Ａ】本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ａの断面図である。
【図１Ｂ】本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ａの高温時における断面図である。
【図２Ａ】本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ｂの上面図である。
【図２Ｂ】図２Ａのベーパーチャンバー１ｂのＡ−Ａ断面図である。
【図２Ｃ】図２Ａのベーパーチャンバー１ｂの高温時におけるＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ｃの断面図である。
【図４】本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ｄの断面図である。
【図５】本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ｅの断面図である。
【図６】本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ｆの断面図である。
【図７Ａ】本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ｇの上面図である。
【図７Ｂ】図７Ａのベーパーチャンバー１ｇのＡ−Ａ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明者は、ベーパーチャンバーを使用する際に、内部の温度が上がり、気体の状態で存在する作動液の量が増加すると、ベーパーチャンバー内部の圧力（以下、単に「内圧」とも称する）が上昇してベーパーチャンバーの内部空間の体積が増加すること、および内部の温度が下がり、気体の状態で存在する作動液の量が減少すると、ベーパーチャンバーの内圧が低下してベーパーチャンバーの内部空間の体積が減少することに着目した。そしてこのような内部空間の温度変化に伴う体積変化を検出する手段について鋭意検討をしたところ、筐体に第一端子と第二端子とを設けることにより、ベーパーチャンバーの内部空間の体積変化を端子間の電気的特性または磁気的特性の変化として検出することに想到し、これにより、放熱と同時に温度変化の検出を行うことが可能なベーパーチャンバーの構成を新たに見出した。
【００２０】
本発明において、ベーパーチャンバーによる温度変化の検出は、第一端子と第二端子との間に設けられた、内部空間の温度変化または体積変化に応じて電気特性が変化する受動素子により達成される。内部空間の温度変化または体積変化に応じて電気特性が変化する受動素子には例えば、キャパシタ、トランス、およびインピーダンス素子が含まれる。
【００２１】
以下、本発明について図面を参照してより詳細に説明する。
【００２２】
図１Ａは、本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ａの断面図である。本発明のベーパーチャンバー１ａは、図１Ａに示されるように、外縁部で接合された対向する上部筐体シート６と下部筐体シート７とを含み、内部空間を有する筐体２と、筐体２の内部空間に配置されたウィック４と、第一端子９ａおよび第二端子９ｂとを有する。さらに、ベーパーチャンバー１ａは、筐体２を内側から支持するように筐体２の内部空間に配置される柱３と、筐体２の主内面に設けられた凸部５と、筐体シート同士を接合するための接合層８ａとを有している。図１には示されていないが、本発明のベーパーチャンバー１ａはさらに、筐体２の内部空間に封入された作動液を有する。
【００２３】
本発明のベーパーチャンバー１ａの筐体２は、対向する上部筐体シート６と下部筐体シート７とを含む。図１のベーパーチャンバー１ａは、１枚の導電性の金属箔から成る、金属製の上部筐体シート６と、１枚の導電性の金属箔から成る、金属製の下部筐体シート７とを有している。筐体シートの厚さは、例えば１０μｍ以上２００μｍ以下であってよく、好ましくは３０μｍ以上１５０μｍ以下の範囲にあり、より好ましくは３０μｍ以上１００μｍ以下の範囲にあり、さらに好ましくは４０μｍ以上６０μｍ以下の範囲にある。１枚の金属箔から形成される筐体シートの厚さが１０μｍ以上であることにより、外部からの圧力によって筐体２が変形することを効果的に防ぐことができる。また、１枚の金属箔から形成される筐体シートの厚さが２００μｍ以下であることにより、ベーパーチャンバー１ａを効果的に薄型化および軽量化することが可能となる。上述した厚さは筐体２のいかなる箇所においても一様であってよく、異なっていてもよい。例えば、上部筐体シート６の厚さと、下部筐体シート７の厚さとが異なっていてもよい。筐体シートを形成する材料は、特に限定されず、例えば銅、ニッケル、アルミ、マグネシウム、チタン、鉄およびそれらを主成分とする合金等を用いることができ、好ましくは銅が用いられる。また、上部筐体シート６を形成する材料と、下部筐体シート７を形成する材料とが異なっていてもよい。
【００２４】
上部筐体シート６は筐体２の上側の主内面を、下部筐体シート７は筐体２の下側の主内面を、それぞれ形成している。筐体２の主内面の形状は多角形であってもよく、円形であってもよい。本明細書において主内面とは、筐体２の内部空間を規定する面のうち、最も面積の大きい面と、その面に対向する面とをいう。
【００２５】
ウィック４は、筐体２の内部空間に配置され、作動液を還流させる役割を果たす。ウィック４の形状は、作動液を還流させる役割を果たすことができれば特に限定されず、例えばシート状の部材であってもよく、筐体２の主内面に設けられた凹凸等であってもよい。ウィック４の配置の態様は、特に限定されず、例えば、図１Ａに示されるように、シート状の部材を下部筐体シート７の主内面に設けられた凸部５と、柱３との間に挟持されるように配置してもよい。また、下部筐体シート７の主内面上に配置してもよい。
【００２６】
ウィック４の厚さは、例えば５μｍ以上２００μｍ以下の範囲にあってよく、好ましくは１０μｍ以上８０μｍ以下であり、より好ましくは３０μｍ以上５０μｍ以下である。ウィック４の厚さは、ウィック４のいかなる箇所においても一様であってよく、異なっていてもよい。また、ウィック４は必ずしも、ベーパーチャンバー１ａの筐体２の主内面全体に亘って形成される必要はなく、部分的に形成されていてもよい。
【００２７】
ウィック４の材料は、上部筐体シート６と下部筐体シート７間の電気的な絶縁が確保される限り特に限定されず、例えば、多孔体、メッシュ、焼結体、不織布、ワイヤー等を用いることができ、好ましくはメッシュ、不織布が用いられる。ベーパーチャンバー１ａにおいて、ウィック４は好ましくは絶縁性材料から形成される。これにより、柱３および凸部５が導電性材料から形成されていたとしても、上部筐体シート６と下部筐体シート７とは互いに電気的に絶縁される。
【００２８】
図１Ａには示されていないが、本発明のベーパーチャンバー１ａの筐体２内にはさらに作動液が封入されている。作動液は、発熱体からの熱により気化し、気体となる。その後、気体となった作動液は筐体２内を移動し、熱を放出して液体に戻る。液体に戻った作動液は、ウィック４による毛細管現象により再び熱源へ運ばれる。そして再び熱源からの熱により気化し、気体となる。これを繰り返すことにより、本発明のベーパーチャンバー１ａは、外部動力を要することなく自立的に作動し、作動液の蒸発・凝縮潜熱を利用して、二次元的に迅速に熱を拡散させることができる。
【００２９】
作動液の種類は特に限定されず、例えば、水、アルコール類、代替フロン類等を用いることができ、耐環境性に優れ、潜熱も大きいことから、好ましくは水が用いられる。
【００３０】
図１Ａに示されるように、筐体２は柱３を有していてもよい。柱３は、筐体２を内側から支持するように、筐体２の内部空間に配置される。柱３は、筐体２の内部空間に、筐体２と一体に形成されていてもよく、あるいは筐体２に接合されていてもよい。柱３が筐体２の内部空間に配置されることにより、筐体２に外部からの荷重が作用した際の筐体２の変形を低減することができる。
【００３１】
図１Ａに示されるように、筐体２の主内面には凸部５が形成されていてもよい。図１では凸部５は下部筐体シート７のみに形成されているが、凸部５は、上部筐体シート６のみに形成されていても、上部筐体シート６と下部筐体シート７との両方に形成されていてもよい。凸部５間の空間は作動液を還流させる役割を果たし得る。このため、凸部５を有する本発明のベーパーチャンバー１ａにおいて、作動液の還流はウィック４と凸部５間の空間の両方によって促進されるため、凸部５を有しないベーパーチャンバー１ａと比較して効率的な熱拡散が生じ得る。また、図１Ａに示されるように、凸部５が筐体２の主内面に直接形成されている場合、筐体２の内部空間に露出する筐体２の主内面の面積が増える。これにより、筐体２は熱拡散を効率的に行うことができるようになる。
【００３２】
凸部５を、図１Ａに示されるように筐体２の主内面に直接形成する代わりに、凸部５を有する金属箔を別途準備し、主内面の上に載置してもよい。上記のように凸部５を有する金属箔を筐体内に設置することにより、主内面に凸部５を形成した場合と同様の効果を得ることができる。
【００３３】
本明細書において凸部とは、筐体２の主内面のうち、隣接する部分よりも大きい高さを有している部分をいう。凸部は筐体２の主内面または金属箔に突出部を設けることにより形成されてよく、また例えば、筐体２の主内面または金属箔に複数の溝を設けることにより、設けた溝と溝との間に形成されてもよい。
【００３４】
筐体２の凸部５は、隣接する凸部５との間に、作動液を還流させることができる空間が形成されるような任意の形状に形成することができる。筐体２の凸部５は、好ましくは、互いに平行な対向する底面を有する柱状に形成される。筐体２の凸部５は、例えば、略四角柱形状、略円柱形状、錐台形状であってよい。筐体２の凸部５が略四角柱形状に形成される場合、凸部５の底面は、長辺の長さに対する短辺の長さの比が１に近い四角形であってよい。また、長辺の長さに対する短辺の長さの比が１を大きく下回っていてもよい。また、図示されていないが、長辺の長さに対する短辺の長さの比が１であってもよい。すなわち、凸部５の底面は正方形であってもよい。
【００３５】
凸部５の高さは、例えば１μｍ以上１００μｍ以下の範囲にあってよく、好ましくは、５μｍ以上５０μｍ以下の範囲にある。凸部５と、隣接する凸部５との間の距離は、例えば１μｍ以上５００μｍ以下の範囲にあってよく、好ましくは、５μｍ以上３００μｍ以下の範囲にあり、より好ましくは１５μｍ以上１５０μｍ以下の範囲にある。隣接する凸部５との間の距離がこのような範囲内にあることにより、作動液を効果的に還流させることができる。
【００３６】
ベーパーチャンバー１ａの筐体２は、上部筐体シート６と下部筐体シート７とを、内部空間が形成されるように外縁部で接合することによって形成される。上部筐体シート６および下部筐体シート７の外縁部とは、シートの端部から内側に所定距離の領域をいう。図１Ａのベーパーチャンバー１ａにおいて、上部筐体シート６と下部筐体シート７とは、互いの外縁部間に位置する接合層８ａによって、内部空間を形成しながら互いに接合されている。上部筐体シート６と下部筐体シート７とは、接合層８ａを筐体の全周に設けることによって封止されていてもよい。
【００３７】
図１ＡにおいてＨ１で示される筐体２の高さ（すなわち、ベーパーチャンバー１ａの厚さ）は、例えば１００μｍ以上６００μｍ以下であってよく、好ましくは２００μｍ以上５００μｍ以下の範囲にある。図１ＡにおいてＷで示される筐体２の幅（すなわち、ベーパーチャンバー１ａの幅）は、例えば５ｍｍ以上５００ｍｍ以下であってよく、好ましくは２０ｍｍ以上３００ｍｍ以下の範囲にある。また、図示されていないが、図１Ａにおいて筐体２の幅Ｗを示す矢印と直行する、紙面手前から奥に向かう筐体２の奥行きＤ（すなわち、ベーパーチャンバー１ａの奥行き）は、例えば５ｍｍ以上５００ｍｍ以下であってよく、好ましくは２０ｍｍ以上３００ｍｍ以下の範囲にある。上述した高さＨ１、幅Ｗおよび奥行きＤは筐体２のいかなる箇所においても一様であってもよく、異なっていてもよい。
【００３８】
図１Ａにおいて接合層８ａは絶縁性接合材から形成され得る。これにより、上部筐体シート６と下部筐体シート７とは互いに電気的に絶縁される。接合層８ａを形成する絶縁性接合材には例えばエポキシ樹脂等を使用することができる。図１Ａに示される形態において、上部筐体シート６と下部筐体シート７とは互いに電気的に絶縁されているため、図１のベーパーチャンバー１ａは、上部筐体シート６と下部筐体シート７とを電極とするキャパシタとして使用することができる。このキャパシタの静電容量Ｃ（Ｆ）は、キャパシタ電極として使用される上部筐体シート６と下部筐体シート７との距離（図１Ａにおいて高さＨ１で示される）と相関がある。図１のベーパーチャンバー１ａを、上部筐体シート６と下部筐体シート７とをキャパシタ電極として有するキャパシタとして使用する場合、上部筐体シート６と下部筐体シート７との距離が長いほど、ベーパーチャンバー１ａの静電容量Ｃは小さくなる。
【００３９】
本発明のベーパーチャンバー１ａは、電子機器の使用に伴って発生した熱を放散させるために使用される。このとき、ベーパーチャンバー１ａの温度が上がることで気体の状態で存在する作動液の量が増加し、ベーパーチャンバー１ａの内圧が大きくなると、筐体は、上部筐体シート６と下部筐体シート７とを互いに遠ざけるように膨らむ。このようなベーパーチャンバー１ａの内部空間の体積変化が始まる温度は、使用する作動液の種類、筐体内部の真空度、筐体シートの種類、厚み、形状等を変更することで所望の温度に調整することができる。図１Ｂは使用に際して、上部筐体シート６と下部筐体シート７とを互いに遠ざけるように膨らんだ状態のベーパーチャンバー１ａの断面図を示している。図１Ｂに示される筐体２の高さＨ２は、図１Ａに示される筐体の高さＨ１よりも大きい。ベーパーチャンバー１ａを、後述する方法で、上部筐体シート６と下部筐体シート７とを電極とするキャパシタとして使用する場合、図１Ｂに示されるようにベーパーチャンバー１ａは高温において上部筐体シート６と下部筐体シート７とを互いに遠ざけるように膨らむため、上部筐体シート６と下部筐体シート７との距離が長くなり、ベーパーチャンバー１ａの静電容量Ｃが小さくなる。このように、キャパシタとして使用されるベーパーチャンバー１ａの静電容量Ｃの変化は、ベーパーチャンバー１ａが設置される電子機器の温度の変化と相関がある。ベーパーチャンバー１ａが設置される電子機器の温度が上がることで、電子機器内部に設置される回路でインピーダンスの不整合が生じ得るが、同じく電子機器内部の温度に依存する本発明のベーパーチャンバー１ａの静電容量Ｃの変化を利用することにより、この不整合を解消することができる。本発明のベーパーチャンバー１ａは、放熱機能に加え、電子機器内部の高温における温度変化を検知する機能を有している。さらに、電子機器内部に本発明のベーパーチャンバー１ａが組み込まれた温度補償回路を設けることにより、上述したような電子機器内部の高温における不具合を解消することができる。
【００４０】
図１Ａのベーパーチャンバー１ａはさらに、第一端子９ａと第二端子９ｂとを有している。図１Ａにおいて、第一端子９ａは上部筐体シート６に電気的に接続され、第二端子９ｂは下部筐体シート７に電気的に接続され、上述したように、上部筐体シート６と下部筐体シート７とは電気的に絶縁されている。このとき、第一端子９ａと第二端子９ｂとの間には、上部筐体シート６と下部筐体シート７とを電極とするキャパシタが設けられているといえ、これにより、ベーパーチャンバー１ａを上部筐体シート６と下部筐体シート７とをキャパシタ電極として有するキャパシタとして、ベーパーチャンバー１ａを回路に組み込むことができる。図１において第一端子９ａと第二端子９ｂとは筐体の外縁部の外側に接するように配置されているが、第一端子９ａと第二端子９ｂとは任意の方法で配置することができる。例えば、外縁部の外側に延在するように配置されていてもよく、外縁部を形成するように配置されていてもよい。
【００４１】
ベーパーチャンバー１ａのウィック４は、図１Ｂに示されるように、ベーパーチャンバー１ａの温度が上がることで体積が増加する材料から形成される体積可変部材である。ウィック４が体積可変部材であることにより、高温におけるベーパーチャンバー１ａの内部空間の体積変化が、作動液の気化のみでなく、体積可変部材が上部筐体シート６を押し上げるように体積変化することによっても生じるようになる。固体の体積可変部材を用いることにより、ベーパーチャンバー１ａの内部空間の温度の変化の検出値を安定化できる。体積可変部材の材料には例えば樹脂製のメッシュ材が挙げられる。
【００４２】
以下、本発明の別の実施形態を示した図２Ａ〜７Ｂについて説明する。なお、図１Ａ〜７Ｂに示された各部分のうち、同一の符号が付された部分は同一の特徴を有し得る。
【００４３】
図２Ａは本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ｂの上面図であり、図２Ｂは、図２Ａのベーパーチャンバー１ｂのＡ−Ａ線断面図である。ベーパーチャンバー１ｂは、主に、上部筐体シートが開口部６０を有し、上部電極６１と上部保護シート１０とを含む点において、ベーパーチャンバー１ａと異なっている。図２Ａおよび図２Ｂのベーパーチャンバー１ｂにおいて、上部筐体シート６が開口部６０を有し、開口部６０の内側に上部筐体シート６と離隔して上部電極６１が存在し、上部筐体シート６および上部電極６１は、上部保護シート１０により覆われている。即ち、ベーパーチャンバー１ｂの内部空間は、上部筐体シート６、下部筐体シート７、および上部保護シート１０により密封されている。上部電極６１は上部筐体シート６および下部筐体シート７と電気的に絶縁されている。上部電極６１上の上部保護シート１０は、開口部１００を有している。第一端子９ａは開口部１００に配置され、上部電極６１に電気的に接続されている。即ち、第一端子９ａは、上部保護シート１０を貫通している。一方、第二端子９ｂは、下部筐体シート７と電気的に接続されている。ここに上記筐体シートの開口部の「内側」とは、上面図における開口部の内部を意味する。即ち、高さは問わない。
【００４４】
図２Ａおよび図２Ｂのベーパーチャンバー１ｂは、上部電極６１と下部筐体シート７とを一対のキャパシタ電極として有するキャパシタとして、種々の回路に組み込むことができる。上部電極６１は上部筐体シート６と離隔しており、上部筐体シート６から電気的に独立した島状の電極である。この上部電極６１は、上部筐体シート６よりも弾性変形しやすい上部保護シート１０の、開口部６０に重なる部分によって支持されている。上部電極６１は、平面状の電極である。ベーパーチャンバー１ｂの内部空間の気体が膨張する場合、図２Ｃに示されるように、上部保護シート１０の開口部６０に重なる部分は、他の上部保護シート１０の部分と比較して筐体の外側に向かって変形しやすい。そのため、ベーパーチャンバー１ｂを上部電極６１と下部筐体シート７とを一対のキャパシタ電極として有するキャパシタとして使用する場合、ベーパーチャンバー１ａと比べて、電極間の距離ｄの変化が大きくなりやすく、温度変化に伴う静電容量の変化が大きくなる。そのため、ベーパーチャンバーの内部空間の温度変化をより高精度に検出することができる。
【００４５】
上部電極６１は任意の導電性の材料から形成することができる。例えば、上部電極６１は、導電性の材料から形成される上部筐体シート６と同じ材料から形成される。上部電極６１は、上面から視て正方形、長方形、円形、楕円形等の任意の形状に形成され得る。
【００４６】
上部保護シート１０は、上部筐体シート６の開口部６０を完全に覆い、筐体の内部空間を密封していればよい。例えば、上部保護シート１０は、図２Ｂに示されるように、上部筐体シート６の外面（内部空間に露出しない面）全体を覆うように筐体の内部空間を密封していてもよく、あるいは上部筐体シートを部分的に覆うように筐体の内部空間を密封していてもよい。また、上部保護シート１０は、上部筐体シート６の主内面に対向する外面のみを覆い、外縁部を覆わないように内部空間を密封していてもよい。上部保護シート１０は、絶縁性の材料から形成されることが好ましい。上部保護シート１０が絶縁性の材料から形成されることにより、上部電極６１を、導電性の材料から形成された上部筐体シート６と電気的に絶縁された状態で配置することができる。上部保護シート１０には、上部筐体シート６よりも弾性変形しやすく、かつ塑性変形を生じない材料が好ましく使用され、例えばＰＥＮや液晶ポリマ等の耐熱性樹脂フィルムを使用することができる。これにより、ベーパーチャンバー１ｂの内部空間の気体が膨張する場合に、上部保護シート１０の開口部６０に重なる部分を、より外側に向かって変形しやすくすることができる。そのため、ベーパーチャンバー１ｂを上部電極６１と下部筐体シート７とをキャパシタ電極として有するキャパシタとして使用する場合の、電極間の距離の変化をより大きくすることができ、内部空間の温度変化に伴う静電容量の変化をより大きくすることができる。そのため、ベーパーチャンバーの内部空間の温度変化をより高精度に検出することができる。
【００４７】
ベーパーチャンバー１ｂの接合層８ｂは、図１Ａおよび１Ｂに示されるベーパーチャンバー１ａの接合層８ａと同様に絶縁性接合材から形成され得る。また、ベーパーチャンバー１ｂの接合層８ｂは、導電性接合材から形成されていてもよい。接合層８ｂを形成する導電性接合材には例えばはんだ材やろう材を使用することができる。また、接合層８ｂは、存在しなくてもよい。すなわち、接合層８ｂによって接合されている上部筐体シート６と下部筐体シート７とは、接合層を用いずに直接接合することができる。このとき、上部筐体シート６と下部筐体シート７とは、任意の方法で封止することができる。例えば、上部筐体シート６と下部筐体シート７とは、レーザー溶接、抵抗溶接、拡散接合等により封止することができる。
【００４８】
ベーパーチャンバー１ｂのウィック４は、図１Ａおよび図１Ｂに示されるベーパーチャンバー１ａのウィック４と同様の絶縁性材料から形成され得る。また、ベーパーチャンバー１ｂのウィック４は、図２Ｂに示されるように、上部電極６１と接触しないように設けられる場合、導電性材料から形成され得る。
【００４９】
上部筐体シート６が有する開口部６０は、本発明の目的を達成し得る限り、いずれの形状であってもよい。例えば、上部筐体シート６が有する開口部は、図２Ａに示されるような略四角形状であってもよい。また、上部筐体シート６が有する開口部は、上面から視て例えば、三角形、四角形、五角形などの多角形、楕円、あるいはこれらを組み合わせた形状であってもよい。また、開口部６０は、必ずしも、図２Ａに示されるように筐体２の中心部に存在する必要はない。また、開口部６０は、必ずしも、図２Ａに示されるように筐体２の中心部に存在する必要はない。また、開口部６０は、図２Ａのような上面図において、筐体２の四辺のいずれか１つ以上に開口した切り欠き形状を有していてもよい。
【００５０】
図３は本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ｃの断面図である。ベーパーチャンバー１ｃは、主に、下部電極７１と下部保護シート１１とをさらに含み、凸部５と柱３とを有しない点において、図２Ａ〜Ｃに示すベーパーチャンバー１ｂと異なっている。図３のベーパーチャンバー１ｃにおいて、上部筐体シート６が開口部６０を有し、開口部６０の内側に上部筐体シート６と離隔して上部電極６１が存在し、上部筐体シート６および上部電極６１は、上部保護シート１０により覆われている。上部電極６１は上部筐体シート６および下部筐体シート７と電気的に絶縁されている。上部電極６１上の上部保護シート１０は、開口部１００を有しており、そこに第一端子９ａが配置され、上部電極６１に電気的に接続されている。即ち、第一端子９ａは、上部保護シート１０を貫通している。また、下部筐体シート７が開口部７０を有し、開口部７０の内側に下部筐体シート７と離隔して下部電極７１が存在し、下部筐体シート７および下部電極７１は、下部保護シート１１により覆われている。下部電極７１は上部筐体シート６および下部筐体シート７と電気的に絶縁されている。下部電極７１は、下部筐体シート７から電気的に独立した島状の電極である。下部電極７１は、平面状の電極である。下部電極７１上の下部保護シート１１は、開口部１１０を有しており、そこに第二端子９ｂが配置される。第二端子２６は、下部電極７１に電気的に接続されている。即ち、第二端子９ｂは、上部保護シート１０を貫通している。
【００５１】
ベーパーチャンバー１ｂの内部空間の気体が膨張した場合を示す図２Ｃに示される上部保護シート１０と同様に、ベーパーチャンバー１ｃの下部電極７１を有する部分である、下部保護シート１１の開口部７０に重なる部分は、他の下部保護シート１１の部分と比較して筐体の外側に向かって変形しやすい。すなわち、図３のベーパーチャンバー１ｃは、上部電極６１を有する部分と、下部電極７１を有する部分の両方が、筐体の外側に向かって変形しやすくなるように形成されている。そのため、ベーパーチャンバー１ｃはベーパーチャンバー１ａと比べて、内部空間の気体の温度変化に伴う電極間の距離の変化が大きくなるため、キャパシタとして使用する場合、内部空間の温度変化に伴う静電容量の変化が大きくなる。そのため、ベーパーチャンバーの内部空間の温度変化をより高精度に検出することができる。
【００５２】
図４は本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ｄの断面図である。ベーパーチャンバー１ｄは、上部電極６１が上部保護シート１０の外側に、即ち内部空間外に設けられている点において、図２Ａ〜Ｃのベーパーチャンバー１ｂと異なっている。図４のベーパーチャンバー１ｄにおいて、上部筐体シート６が開口部６０を有し、開口部６０は上部保護シート１０により閉じられており、上部保護シート１０上の開口部６０の内側部分に上部電極６１が存在する。該上部電極６１は上部筐体シート６および下部筐体シート７と電気的に絶縁された状態で、第一端子９ａと接続されている。
【００５３】
図４のベーパーチャンバー１ｄは、上部電極６１と下部筐体シート７とをキャパシタ電極として有するキャパシタとして、種々の回路に組み込むことができる。上部電極６１は上部筐体シート６と離隔しており、上部筐体シート６よりも弾性変形しやすい上部保護シート１０の開口部６０に重なる部分によって支持されている。ベーパーチャンバー１ｄの内部空間の気体が膨張する場合、上部保護シート１０の開口部６０に重なる部分は、他の上部保護シート１０の部分と比較して筐体の外側に向かって変形しやすい。そのため、ベーパーチャンバー１ｄを上部電極６１と下部筐体シート７とをキャパシタ電極として有するキャパシタとして使用する場合、ベーパーチャンバー１ａと比べて、電極間の距離の変化が大きくなりやすく、温度変化に伴う静電容量の変化が大きくなる。そのため、ベーパーチャンバーの内部空間の温度変化をより高精度に検出することができる。
【００５４】
図５は本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ｅの断面図である。ベーパーチャンバー１ｅは、主に、下部筐体シート７に設けられた開口部７０と、下部電極７１と、下部保護シート１１とをさらに含み、この下部電極７１も上部電極６１のように、下部保護シート１１の外側に設けられている点において、図４に示されるベーパーチャンバー１ｄと異なっている。図５のベーパーチャンバー１ｅにおいて、上部筐体シート６が開口部６０を有し、開口部６０は上部保護シート１０により閉じられている。上部保護シート１０上の開口部６０の内側部分に上部電極６１が存在する。該上部電極６１は上部筐体シート６および下部筐体シート７と電気的に絶縁された状態で、第一端子９ａと接続されている。また、下部筐体シート７が開口部７０を有し、開口部７０は下部保護シート１１により閉じられている。下部保護シート１１上の開口部７０の内側部分に下部電極７１が存在する。該下部電極７１は上部筐体シート６および下部筐体シート７と電気的に絶縁された状態で、第二端子９ｂと接続されている。
【００５５】
図５のベーパーチャンバー１ｅは、上部電極６１と下部電極７１とをキャパシタ電極として有するキャパシタとして、種々の回路に組み込むことができる。上部電極６１は上部筐体シート６と離隔しており、下部電極７１は下部筐体シート７と離隔している。このため、上部電極６１は上部筐体シート６よりも弾性変形しやすい上部保護シート１０の開口部６０に重なる部分によって支持されており、下部電極７１は下部筐体シート７よりも弾性変形しやすい下部保護シート１１の開口部７０に重なる部分によって支持されている。ベーパーチャンバー１ｄの内部空間の気体が膨張する場合、上部および下部保護シート１０，１１の開口部６０、７０に重なる部分は、それぞれ他の上部および下部保護シート１０，１１の部分と比較して筐体の外側に向かって変形しやすい。そのため、ベーパーチャンバー１ｅを上部電極６１と下部電極７１とをキャパシタ電極として有するキャパシタとして使用する場合、ベーパーチャンバー１ａと比べて、電極間の距離の変化が大きくなりやすく、温度変化に伴う静電容量の変化が大きくなる。そのため、ベーパーチャンバーの内部空間の温度変化をより高精度に検出することができる。
【００５６】
図６は本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ｆの断面図である。ベーパーチャンバー１ｆは、主に、誘電体層１２を有する点において、図２Ａ〜Ｃのベーパーチャンバー１ｂと異なっている。図６のベーパーチャンバー１ｆにおいて、第一端子９ａが接続された上部電極６１と、第二端子９ｂが接続された下部筐体シート７との間に、誘電体層１２が存在する。誘電体層１２は、第一端子９ａが接続された上部電極６１と、第二端子９ｂが接続された下部筐体シート７とによって挟持されていてもよく、上部電極６１および下部筐体シート７に、またはこれらのいずれか一方に固定されていてもよい。誘電体層１２は内部空間の温度変化に伴い誘電率が変化する材料であって、上部電極６１と下部電極７１とを一対のキャパシタ電極として有するキャパシタの静電容量Ｃの増減を検出することができる。誘電体層１２には、温度特性を持つ任意の誘電性材料を使用することができ、例えばチタン酸バリウム等の誘電率の温度依存性（温度係数）の大きな材料を使用することができる。誘電体層１２には、正の温度係数を持つもの、負の温度係数を持つもののいずれも用いることができる。
【００５７】
例えば、誘電体層１２を形成する材料として正の温度係数を持つ誘電体材料を用いたベーパーチャンバー１ｆをキャパシタとして回路に組み込むことができる。このとき、ベーパーチャンバー１ｆの内部空間の温度が上昇すると、誘電体層１２の誘電率が増加し、これにより、キャパシタとしてのベーパーチャンバー１ｆの静電容量Ｃが増加する。すなわち、ベーパーチャンバー１ｆの第一端子９ａおよび第二端子９ｂの間に、内部空間の温度変化に応じて電気特性が変化するキャパシタが設けられているといえる。より温度変化による誘電率の変化の小さい誘電体層１２を用いることにより、ベーパーチャンバー１ａの内部空間の温度の変化の検出値を安定化できる。
【００５８】
図７Ａは本発明の一実施形態のベーパーチャンバー１ｇの透視上面図であり、図７Ｂは、高温における図７Ａのベーパーチャンバー１ｇのＡ−Ａ線断面図である。図３のベーパーチャンバー１ｃと異なる主な点として、ベーパーチャンバー１ｇは、上部電極６１および下部電極７１に代えて上部コイル導体６２と下部コイル導体７２とを含んでいる。また第一端子９ａが２つ存在し、それぞれ上部コイル導体６２の両端部に電気的に接続されている。また第二端子９ｂが２つ存在し、それぞれ下部コイル導体７２の両端部に電気的に接続されている。
【００５９】
ベーパーチャンバー１ｇは、上部コイル導体６２および下部コイル導体７２を有し、ベーパーチャンバー１ｇの上部筐体シート６および下部筐体シート７はそれぞれ開口部６０，７０を有する。上部コイル導体６２および下部コイル導体７２が、それぞれ、上部筐体シート６および下部筐体シート７の開口部６０、７０の内側に、上部筐体シート６および下部筐体シート７と電気的に絶縁された状態で配置されている。また、第一端子９ａが２つ存在し、それぞれ上部コイル導体６２の両端部に電気的に接続されている。また、第二端子９ｂが２つ存在し、それぞれ下部コイル導体７２の両端部に電気的に接続されている。このとき、第一端子９ａと第二端子９ｂとの間には、上部コイル導体６２と下部コイル導体７２とを有するトランスが設けられているといえ、上部コイル導体６２と下部コイル導体７２とは磁気結合している。上部コイル導体６２は上部筐体シート６と離隔しており、上部保護シート１０によって支持されている。また、下部コイル導体７２は下部筐体シート７と離隔しており、下部保護シート１１によって支持されている。このように、上部コイル導体６２と下部コイル導体７２とはそれぞれ筐体２に固定されていないため、ベーパーチャンバー１ｇの内部空間の気体が膨張した場合、上部保護シート１０および下部保護シート１１の開口部６０および開口部７０に重なる部分は、他の上部保護シート１０および下部保護シート１１の部分と比較して筐体の外側に向かって変形しやすい。上部保護シート１０および下部保護シート１１の開口部６０および開口部７０に重なる部分が外側に向かって変形することで、上部コイル導体６２と下部コイル導体７２との間の距離が長くなる。そのため、例えば上部コイル導体６２に電流を流して、上部コイル導体６２と下部コイル導体７２とを磁気結合させた状態でベーパーチャンバー１ｇの内部空間の気体が膨張すると、上部コイル導体６２と下部コイル導体７２との間の距離が長くなることでコイル同士の結合係数ｋが低下し、下部コイル導体７２に流れる電流の量が減る。
【００６０】
上述したように、例えば上部コイル導体６２に電流を流して、上部コイル導体６２と下部コイル導体７２とを磁気結合させたベーパーチャンバー１ｇにおける、上部コイル導体６２と下部コイル導体７２との結合係数ｋの変化は、ベーパーチャンバー１ｇが設置される電子機器の温度の変化と相関がある。ベーパーチャンバー１ｇが設置される電子機器の温度が上がることで、電子機器内部に設置される回路でインピーダンスの不整合が生じ得るが、同じく電子機器内部の温度に依存する本発明のベーパーチャンバー１ｇのコイル同士の結合係数ｋの変化を利用することにより、この不整合を解消することができる。本発明のベーパーチャンバー１ｇは、放熱機能に加え、電子機器内部の高温における温度変化を検知する機能を有している。さらに、電子機器内部に本発明のベーパーチャンバー１ｇが組み込まれた温度補償回路を設けることにより、上述したような電子機器内部の高温における不具合を解消することができる。例えば、本発明のベーパーチャンバー１ｇを、熱源付近に配置するだけでなく、アンテナに接続される方向性結合器にトランスとして組み込むことにより、方向性結合器の結合量を温度に依存させて変化させることができる。
【００６１】
上部コイル導体６２と下部コイル導体７２とは任意の巻き数および半径を有するように形成することができる。上部コイル導体６２と下部コイル導体７２の巻き数は、好ましくは１巻き以上１０巻き以下であり、より好ましくは２巻き以上５巻き以下である。また、上部コイル導体６２と下部コイル導体７２の半径は、好ましくは３００μｍ以上９００μｍ以下であり、より好ましくは５００μｍ以上７００μｍ以下である。上部コイル導体６２と下部コイル導体７２には任意の導電性の材料を使用することができ、例えば銅、銀等を使用することができる。
【００６２】
図１Ａ〜７Ｂを用いて、本発明のベーパーチャンバーの第一端子９ａと第二端子９ｂとの間を電気的に絶縁させて使用することについて述べたが、本発明のベーパーチャンバーにおいて、第一端子９ａと第二端子９ｂとの間に導通が生じていてもよい。例えば、図２Ａ〜２Ｃに示されるベーパーチャンバー１ｂにおいて、ウィック４が導電性材料から形成される体積可変部材であり、これにより、上部電極６１と下部筐体シート７とが互いに電気的に接続されていてもよい。また、図３に示されるベーパーチャンバー１ｃにおいて、ウィック４が導電性材料から形成される体積可変部材であり、これにより、上部電極６１と下部電極７１とが互いに電気的に接続されていてもよい。ここで、体積可変部材が、ベーパーチャンバーの内部空間の温度の上昇に伴い体積の増加を生じ、ベーパーチャンバーが上部筐体シート６と下部筐体シート７とを互いに遠ざけるように膨らんだ場合、第一端子９ａと第二端子９ｂとの間の線路長が増加する。これに伴いベーパーチャンバーにおける第一端子９ａと第二端子９ｂとの間のインピーダンスが変化する。このようにして生じ得る本発明のベーパーチャンバーにおける第一端子９ａと第二端子９ｂとの間のインピーダンスの変化は、ベーパーチャンバー１ｂの内部空間の温度の変化と相関がある。そのため、第一端子９ａと第二端子９ｂとの間に導通が生じている、本発明のベーパーチャンバーのインピーダンスの変化を、外部回路によって検出することによっても、本発明のベーパーチャンバーを用いて放熱と温度補償とを１つの部品で同時に行うことができるようになる。このとき、第一端子９ａと第二端子９ｂとの間には、温度変化によりインピーダンスが変化するインピーダンス素子が設けられているといえ、これにより、温度の変化の検出ならびに放熱を行うことができる。本明細書において、インピーダンス素子とは、第一端子９ａと第二端子９ｂとの間の線路である。本明細書におけるインピーダンス素子のインピーダンスは、ベーパーチャンバーの内部空間の温度変化または体積変化に応じて変化する線路長と相関がある。
【００６３】
本発明のベーパーチャンバーは、放熱と温度補償とを目的として電子機器に搭載され得る。従って、本発明は、本発明のベーパーチャンバーと、第一端子および第二端子に接続された検出回路とを有する、温度補償デバイスを提供する。本発明の電子機器としては、例えばスマートフォン、タブレット、ノートＰＣ等が挙げられる。本発明のベーパーチャンバーは上記のとおり、外部動力を必要とせず自立的に作動し、作動液の蒸発・凝縮潜熱を利用して、二次元的に高速で熱を拡散することができ、同時に、内部空間の体積変化を端子間の電気的特性または磁気的特性の変化として検出することができる。そのため、電子機器が本発明のベーパーチャンバーまたは放熱デバイスを備えることにより、電子機器内部の限られたスペースにおいて、放熱と温度補償とを効果的に実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明のベーパーチャンバー、放熱デバイスおよび電子機器は携帯情報端末等の分野において、広範な用途に使用できる。例えば、ＣＰＵ等の熱源の温度を下げ、電子機器の使用時間を延ばすために使用することができ、スマートフォン、タブレット、ノートＰＣ等に使用することができる。
【符号の説明】
【００６５】
１ａ  ベーパーチャンバー
１ｂ  ベーパーチャンバー
１ｃ  ベーパーチャンバー
１ｄ  ベーパーチャンバー
１ｅ  ベーパーチャンバー
１ｆ  ベーパーチャンバー
１ｇ  ベーパーチャンバー
２    筐体
３    柱
４    ウィック
５    凸部
６    上部筐体シート
６０  開口部
６１  上部電極
６２  上部コイル導体
７    下部筐体シート
７０  開口部
７１  下部電極
７２  下部コイル導体
８ａ  接合層
８ｂ  接合層
９ａ  第一端子
９ｂ  第二端子
１０    上部保護シート
１００  開口部
１１    下部保護シート
１１０  開口部
１２    誘電体層
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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