(57)【要約】【課題】吸着ヘッドに装着されるエアフィルタを簡単に交換することができる吸着ヘッドを提供する。【解決手段】吸着ヘッド５は、内部に空気吸引路（保持部吸引孔１４ｂ）が形成されると共に、側面に開口１４ｅが形成されたノズルシャフト７と、開口１４ｅを介して空気吸引路中に着脱可能に配置されるエアフィルタ２６と、ノズルシャフト７の外周に設けられると共に開口１４ｅを開閉するスライダ１５を有し、吸着ノズル２０を用いて部品を吸着する。【選択図】図５
2019155567.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着ノズルを用いて部品を吸着する吸着ヘッドであって、
内部に空気吸引路が形成されると共に、側面に開口が形成されたノズルシャフトと、
前記開口を介して、前記空気吸引路中に着脱可能に配置されるエアフィルタと、
前記ノズルシャフトの外周に設けられると共に、前記開口を開閉するスライダと、を有する、吸着ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の吸着ヘッドであって、さらに、
前記ノズルシャフトの外周面から延伸して設けられると共に、前記スライダの一端を係止して前記スライダを閉位置に固定するストッパーと、
前記ノズルシャフトの外周に設けられると共に、前記スライダの他端を前記ストッパーの方向へ付勢する弾性体と、を有する、吸着ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載の吸着ヘッドであって、
前記スライダは、前記ノズルシャフトの外周に沿って摺動する管状体である、吸着ヘッド。
【請求項４】
請求項２または３に記載の吸着ヘッドであって、
前記吸着ノズルは、側面上にピンを有し、
前記ノズルシャフトは、その端部に装着された前記吸着ノズルの前記ピンと係合して前記吸着ノズルが前記ノズルシャフトの軸方向に対して回転することを規制する被係合部を有し、
さらに、前記弾性体によって前記ノズルシャフトに装着された前記吸着ノズルの方向に付勢されると共に、前記ピンを押さえて前記吸着ノズルが前記ノズルシャフトの軸方向に動くことを規制する規制部と有する、吸着ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４いずれか一項に記載の吸着ヘッドであって、さらに、
前記開口を覆うと共に、着脱可能なカバーを有する、吸着ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着ノズルを用いて部品を吸着する吸着ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
部品を基板に実装する部品装着装置が備える吸着ヘッドは、吸着ノズルを用いて部品を吸着する。このような吸着ヘッドにおいて、吸着ノズルが部品を吸着する際に吸着ノズルの先端から吸い込んだ微小なゴミが吸着ヘッドの内部まで侵入しないように、吸着ノズルの先端から吸着ヘッドの内部に向かって空気が吸引される空気吸引経路の途中にゴミなどを吸着するエアフィルタを備える吸着ヘッドが知られている（例えば、特許文献１）。特許文献１に記載の吸着ヘッド（装着ヘッド）は、吸着ヘッドに着脱可能な吸着ノズルの側部にエアフィルタを挿入するための挿入部が開口しており、挿入部からエアフィルタを挿入した吸着ノズルが吸着ヘッドに装着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０―１７７５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の吸着ヘッドでは、エアフィルタを交換する毎に吸着ノズルを吸着ヘッドから取り外す必要があり、さらに、取り外した吸着ノズルに挿入されたエアフィルタを交換するためには専用の治具を用いる必要があり、エアフィルタの交換に手間とコストを要するという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、吸着ヘッドに装着されるエアフィルタを簡単に交換することができる吸着ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の吸着ヘッドは、吸着ノズルを用いて部品を吸着する吸着ヘッドであって、内部に空気吸引路が形成されると共に、側面に開口が形成されたノズルシャフトと、前記開口を介して、前記空気吸引路中に着脱可能に配置されるエアフィルタと、前記ノズルシャフトの外周に設けられると共に、前記開口を開閉するスライダと、を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、吸着ヘッドに装着されるエアフィルタを簡単に交換することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施の形態の部品実装装置の構成説明図
【図２】本発明の一実施の形態の吸着ノズルをノズル保持部に装着した状態の説明図
【図３】本発明の一実施の形態の吸着ノズルをノズル保持部から取り外した状態の説明図
【図４】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態の吸着ノズルを装着したノズル保持部の外形を示す３面図
【図５】本発明の一実施の形態の吸着ノズルを装着したノズル保持部の断面図
【図６】本発明の一実施の形態の吸着ノズルを装着したノズル保持部の断面図
【図７】本発明の一実施の形態の吸着ノズルを装着したノズル保持部の断面図
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態のノズル保持部の組み立て手順を示す図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態のノズル保持部に吸着ノズルを装着する手順を示す図
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態のノズル保持部にエアフィルタを装着する手順を示す図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態のノズル保持部に他のエアフィルタを装着する手順を示す図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品実装装置、吸着ヘッド、吸着ノズルなどの仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図１、及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する２軸方向として、基板搬送方向のＸ方向（図１における紙面垂直方向）、基板搬送方向に直交するＹ方向（図１における左右方向）が示される。また、水平面と直交する高さ方向としてＺ方向（図１における上下方向）が示される。
【００１０】
まず図１を参照して、部品実装装置１の構成を説明する。部品実装装置１は、基板に部品を搭載した実装基板を製造する機能を有している。基台１ａの上面に設けられた基板搬送機構２は、基板３をＸ方向に搬送して位置決めして保持する。基板搬送機構２の上方には、ヘッド移動機構４によって水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動する吸着ヘッド５が設置されている。
【００１１】
吸着ヘッド５は、複数のノズルユニット６を備えている。それぞれのノズルユニット６は、機構部６ａからノズルシャフト７を下方に延出させた構成となっている。ノズルシャフト７の下端部に設置されたノズル保持部８には、吸着ノズル２０が着脱自在に装着される。吸着ノズル２０は、部品Ｐを負圧発生源１９（図２参照）で発生させた吸引力を利用して保持する機能を有する。それぞれの機構部６ａには、ノズルシャフト７を昇降させる昇降機構が内蔵されている。この昇降機構を駆動することにより、ノズル保持部８に装着された吸着ノズル２０は個別に昇降する。
【００１２】
図１において、基板搬送機構２の側方において基台１ａに結合された台車９の上部には、複数のテープフィーダ１０がＸ方向に並んで取り付けられている。台車９においてテープフィーダ１０の下方には、部品Ｐを収納したキャリアテープ１１を巻回して収納した部品リール１２が保持されている。テープフィーダ１０は、部品リール１２から引き出されたキャリアテープ１１をテープ送り方向に搬送して、部品取り出し位置に部品Ｐを供給する。
【００１３】
吸着ヘッド５は、部品取り出し位置に供給された部品Ｐを吸着ノズル２０によって取り出し、基板搬送機構２に保持させた基板３の実装位置に移送搭載する。このように、吸着ヘッド５は、吸着ノズル２０を用いて部品Ｐを吸着する。台車９の上方には、作業者が可動中の吸着ヘッド５などに触れないようにカバーする開閉自在の本体カバー１３が設置されている。
【００１４】
次に図２、図３を参照して、ノズル保持部８、吸着ノズル２０の構成および機能を説明する。前述のようにノズルユニット６毎にノズルシャフト７の下端部に設置されたノズル保持部８には、吸着ノズル２０が着脱自在に装着される。図２は、ノズル保持部８に吸着ノズル２０を装着した状態を、また図３は、ノズル保持部８から吸着ノズル２０を取り外した状態を、それぞれ示している。
【００１５】
図２、図３に示すように、吸着ノズル２０は、ノズル本体２１とノズル本体保持部２２を含んで構成されている。ノズル本体保持部２２には、中央より下側の外周に円板状の鍔部２２ａが形成され、内部に上下に貫通する嵌合孔２２ｂが形成されている。ノズル本体２１は、基端部２３と下端部２４を含んで構成されている。基端部２３の内部には、上下に貫通する上部吸引孔２３ａが形成されている。下端部２４の内部には上下に貫通する下部吸引孔２４ａが形成されており、下端には下部吸引孔２４ａが開口した部品吸着口２４ｂが形成されている。
【００１６】
下端部２４の上部は基端部２３の上部吸引孔２３ａの下部に挿入されて、基端部２３に結合されている（図５、図６も参照）。基端部２３の上部は嵌合孔２２ｂに下方から挿入され、ノズル本体２１は嵌合孔２２ｂに摺動可能に嵌合する（図５、図６も参照）。ノズル本体２１が挿入されたノズル本体保持部２２には、円柱状のピン２５が嵌合孔２２ｂの径方向（上下方向に直交する左右方向）に突出して装着されている。ピン２５はノズル本体２１に挿入されたノズル本体２１の基端部２３を貫通し、ピン２５はノズル本体保持部２２に結合されている（図５、図６も参照）。
【００１７】
図２、図３において、ノズル保持部８は、ノズルシャフト７の下端部に形成された略円筒形の保持部本体１４、保持部本体１４の外周に下方からこの順番で装着された円筒形のスライダ１５、弾性体であるコイルバネ１６、ノズル保持部材１７を含んで構成されている。保持部本体１４の上部であって保持部本体１４に装着されたスライダ１５の上方には、フランジ１４ａが保持部本体１４の外周面から延伸して形成されている。保持部本体１４に装着されたコイルバネ１６は、スライダ１５を上方（フランジ１４ａ側）に付勢すると共に、ノズル保持部材１７を下方に付勢する。
【００１８】
保持部本体１４の内部には、上下に貫通する保持部吸引孔１４ｂが形成されている。保持部本体１４の下端部の外周面の対向する位置には、スリット幅がピン２５の直径よりやや広く、倒立したＪ字型のノズル係止スリット１８がそれぞれ形成されている。ノズル係止スリット１８は、保持部吸引孔１４ｂまで貫通している。このように、保持部本体１４には、外周の対向する位置に２つのノズル係止スリット１８が形成されている。吸着ノズル２０は、保持部本体１４の保持部吸引孔１４ｂに下方から挿入され、ノズル本体保持部２２から延出しているピン２５をノズル係止スリット１８に係合させることでノズル保持部８に保持される。
【００１９】
図２に示すように、ノズルシャフト７内の真空経路は負圧発生源１９に接続されている。吸着ノズル２０をノズル保持部８に装着すると、ノズルシャフト７内の空気吸引路、保持部吸引孔１４ｂ、嵌合孔２２ｂ、上部吸引孔２３ａ、下部吸引孔２４ａは連通した空気吸引路を形成する。この状態で負圧発生源１９を作動させると、空気吸引路が排気されて吸引力が発生し、吸着ノズル２０の部品吸着口２４ｂに部品Ｐを吸着して保持することができる。
【００２０】
なお負圧発生源１９としては、工場設備として設けられた真空給引源を用いてもよく、また部品実装装置１に組み込まれた真空ポンプ、エジェクタ装置などの真空発生装置を用いてもよい。また、部品吸着口２４ｂから吸引された空気が負圧発生源１９に向かって流れる空気吸引路の一部である保持部吸引孔１４ｂには、エアフィルタ２６が配置されている。エアフィルタ２６は、部品吸着口２４ｂから空気とともに吸引された小さなゴミや粉塵などを吸着して、故障の原因となるゴミが吸着ヘッド５など装置内部に侵入することを防止する。
【００２１】
次に図４〜図７を参照して、吸着ノズル２０を保持するノズル保持部８の詳細構成について説明する。図４は、吸着ノズル２０を保持するノズル保持部８の３面図を示している。図４（ａ）、図４（ｂ）は、吸着ノズル２０を保持するノズル保持部８の正面および側面をそれぞれ示しており、図４（ｃ）は、図４（ａ）に示す吸着ノズル２０を保持するノズル保持部８を下方から見た下面を示している。以下に説明する図５、図６、図７は、図４におけるＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面、Ｃ−Ｃ断面をそれぞれ示している。
【００２２】
図５、図６において、ノズル本体２１の基端部２３の外周の対向する位置には、それぞれノズル本体２１が摺動する方向（上下方向）に長い長孔２３ｂが上部吸引孔２３ａまで貫通して形成されている。ノズル本体保持部２２に装着されたピン２５は、２つの長孔２３ｂを貫通している。長孔２３ｂを貫通するピン２５が長孔２３ｂに沿って相対的に上下に移動することにより、ノズル本体２１はノズル本体保持部２２の嵌合孔２２ｂに沿って上下に摺動する。
【００２３】
保持部吸引孔１４ｂの内部には、弾性体である荷重制御バネ３０が設置されている。荷重制御バネ３０の上部は、保持部吸引孔１４ｂに設置されたバネ留め３１に接続されている。吸着ノズル２０がノズル保持部８に装着されると、基端部２３の上面が荷重制御バネ３０によって下方に付勢される。これによって、ノズル本体２１はピン２５が長孔２３ｂの上面に当接する下方規制位置で停止する。部品Ｐを保持した吸着ノズル２０が基板３に着地する際は、ノズル本体２１がノズル本体保持部２２の内部に押されることで、部品Ｐに加わる荷重（衝撃）が緩和される。
【００２４】
図５、図６において、ノズル保持部材１７は円筒形の円筒部１７ａ、バネ受け１７ｂ、係止部１７ｃを含んで形成されている。バネ受け１７ｂは、円筒部１７ａの下端に円筒部１７ａの外周より外側に延伸して形成されている。係止部１７ｃは、円筒部１７ａの上端の対向する２箇所に円筒部１７ａの中空に延出するように形成されている。円筒部１７ａの外周は、コイルバネ１６の内径より小さい。バネ受け１７ｂは、コイルバネ１６の外径より大きい。
【００２５】
図６において、係止部１７ｃは、ノズル保持部材１７が保持部本体１４の外周に装着された状態で、保持部本体１４の外周の対向する２箇所に外周に沿って形成された突起部１４ｃに上方から当接する。これにより、ノズル保持部材１７の下方への移動が規制される。保持部本体１４の外周に装着されたコイルバネ１６の下端はノズル保持部材１７のバネ受け１７ｂに上方から当接し、ノズル保持部材１７を下方に付勢する。また、コイルバネ１６の上端は保持部本体１４の外周に装着されたスライダ１５の下端面に当接し、スライダ１５を上方に付勢する。上方に付勢されたスライダ１５は、その上端面がフランジ１４ａの下面に当接することで、上方への移動が規制される。
【００２６】
このように、スライダは、ノズルシャフト７の下端部に形成された保持部本体１４の外周に沿って摺動する管状体である。また、保持部本体１４の外周面から延伸して設けられたフランジ１４ａは、スライダ１５の一端（上端面）を係止してスライダ１５を閉位置に固定するストッパーである。また、保持部本体１４の外周に設けられたコイルバネ１６はスライダ１５の他端（下端面）をストッパー（フランジ１４ａ）の方向へ付勢する弾性体である。
【００２７】
図５、図６、図７において、エアフィルタ２６は、略円筒形のフィルタカセット３２の中央に保持されている。フィルタカセット３２は、保持部吸引孔１４ｂに形成されたカセット保持部１４ｄに保持されている。この状態で、エアフィルタ２６は保持部吸引孔１４ｂの中央に位置する。保持部本体１４の側面（外周面）には、カセット保持部１４ｄの横の位置に側面の一部を切り欠いた開口１４ｅが形成されている（図８（ａ）も参照）。後述するように、フィルタカセット３２は、開口１４ｅを介してカセット保持部１４ｄに着脱される。
【００２８】
保持部本体１４の開口１４ｅには、開口１４ｅの形状と一致するカバー３３が装着されている。開口１４ｅにカバー３３を装着すると、カバー３３と保持部本体１４の外周は一体化する。フランジ１４ａに当接しているスライダ１５は、保持部本体１４の外周を囲んで開口１４ｅを覆う。スライダ１５を下方に移動させることで、開口１４ｅが露出される。以下、スライダ１５がフランジ１４ａに当接して上方への移動が規制されている位置を「閉位置」、スライダ１５を下方に移動させて、開口１４ｅが露出している位置を「開位置」と称する。
【００２９】
図５、図６において、保持部本体１４の外周であって閉位置にあるスライダ１５の上部と下部が位置する位置には、それぞれ保持部本体１４の外周を一周して囲むＯリング３４，３５が装着されている（図８も参照）。２本のＯリング３４，３５は、閉位置にあるスライダ１５の内周面と保持部本体１４の外周の間の気密を保つ。エアフィルタ２６の上面には、エアフィルタ２６と保持部吸引孔１４ｂの間の気密を保つＯリング３６が装着されている。保持部吸引孔１４ｂの内周で、ノズル保持部８に装着された吸着ノズル２０のノズル本体保持部２２の外周と重なる位置に、保持部吸引孔１４ｂとノズル本体保持部２２との間の気密を保つＯリング３７が装着されている。
【００３０】
次に図８を参照して、保持部本体１４にスライダ１５、コイルバネ１６、ノズル保持部材１７を装着してノズル保持部８を組み立てる手順について説明する。図８（ａ）において、まず、保持部本体１４に下方からスライダ１５を挿入し（矢印ａ）、次いでコイルバネ１６を挿入する（矢印ｂ）。次いでノズル保持部材１７を、ノズルシャフト７の軸方向に対する回転角度を係止部１７ｃが保持部本体１４の外周の突起部１４ｃに干渉しない角度に合わせて保持部本体１４に挿入する（矢印ｃ）。
【００３１】
図８（ｂ）において、次いでノズル保持部材１７を、係止部１７ｃが保持部本体１４の外周において突起部１４ｃより上方に形成された溝１４ｆに入る高さ位置まで押し上げる。この状態で、係止部１７ｃが溝１４ｆの中を通過するようにノズル保持部材１７をノズルシャフト７の軸方向に対して９０°回転させる（矢印ｄ）。図８（ｃ）において、次いでノズル保持部材１７を保持部本体１４の外周に沿って下降させ（矢印ｅ）、係止部１７ｃを突起部１４ｃに当接させる。これにより、ノズル保持部８の組み立てが完了する。
【００３２】
次に図９を参照して、ノズル保持部８に吸着ノズル２０を装着する手順について説明する。図９（ａ）において、保持部本体１４の下端部に形成された２つのノズル係止スリット１８は、縦スリット１８ａ、横スリット１８ｂ、ピン受け１８ｃを含んでいる。縦スリット１８ａは、保持部本体１４の下端からノズルシャフト７の軸方向（縦方向）に形成されており、下端が開放されている。横スリット１８ｂは、縦スリット１８ａの上端から外周に沿って形成されている。ピン受け１８ｃは、横スリット１８ｂの縦スリット１８ａとは反対側の端部から下方に延伸して形成されている。
【００３３】
図９（ａ）において、吸着ノズル２０は保持部本体１４の下方から保持部吸引孔１４ｂに挿入し、さらにノズル本体保持部２２の側面から左右に突き出たピン２５をノズル係止スリット１８の縦スリット１８ａにそれぞれ挿入する（矢印ｆ）。図９（ｂ）において、次いでピン２５によってノズル保持部材１７を押し上げて（矢印ｇ）、横スリット１８ｂを露出させる。図９（ｃ）において、次いでピン２５が横スリット１８ｂに沿って移動するように吸着ノズル２０をノズルシャフト７の軸方向に対して回転させる（矢印ｈ）。
【００３４】
図９（ｄ）において、次いでピン２５がピン受け１８ｃに収まるように吸着ノズル２０を下降させる（矢印ｉ）。これにより、コイルバネ１６によって下方に付勢されているノズル保持部材１７によってピン２５がピン受け１８ｃに押さえつけられて、吸着ノズル２０がノズル保持部８に保持されるとともに、回転が規制される。
【００３５】
このように、吸着ノズル２０は、側面上にピン２５を有している。ノズルシャフト７の下端部に形成された保持部本体１４に形成されたノズル係止スリット１８は、装着された吸着ノズル２０のピン２５と係合して吸着ノズル２０がノズルシャフト７の軸方向に対して回転することを規制する被係合部である。そして、ノズル保持部材１７は、弾性体（コイルバネ１６）によってノズルシャフト７に装着された吸着ノズル２０の方向に付勢されると共に、ピン２５を押さえて吸着ノズル２０がノズルシャフト７の軸方向に動くことを規制する規制部である。
【００３６】
次に図１０を参照して、ノズル保持部８にエアフィルタ２６を装着する手順について説明する。図１０（ａ）において、内部に空気吸引路である保持部吸引孔１４ｂが形成された保持部本体１４の側面に形成された開口１４ｅは、上部開口１４ｅ１と下部開口１４ｅ２を含んでいる。下部開口１４ｅ２は、上部開口１４ｅ１の下方で上部開口１４ｅ１より保持部本体１４の外周方向に長く切り欠かれている。開口１４ｅは、エアフィルタ２６を保持するフィルタカセット３２より大きく開口している。図１０（ｂ）において、カバー３３は、上部開口１４ｅ１を覆う上部カバー３３ａと、下部開口１４ｅ２を覆う下部カバー３３ｂを含んで形成されている。
【００３７】
図１０（ａ）において、まずスライダ１５を開位置まで下方に押し下げて、開口１４ｅを露出させる（矢印ｊ）。次いで、開口１４ｅを通じてフィルタカセット３２を保持部本体１４のカセット保持部１４ｄに装着する（矢印ｋ）。図１０（ｂ）において、次いでカバー３３を開口１４ｅに合わせて保持部本体１４に装着する（矢印ｍ）。これにより、上部カバー３３ａは上部開口１４ｅ１に係合し、下部カバー３３ｂは下部開口１４ｅ２に係合して、カバー３３が保持部本体１４と一体化する（図１０（ｃ））。図１０（ｄ）において、次いでスライダ１５を閉位置まで上昇させる（矢印ｎ）。
【００３８】
このように、ノズルシャフト７の下端部に形成された保持部本体１４には、内部に空気吸引路（保持部吸引孔１４ｂ）が形成されると共に、側面に開口１４ｅが形成されている。そして、エアフィルタ２６は開口１４ｅを介して空気吸引路中に着脱可能に配置され、スライダ１５はノズルシャフト７の外周に設けられると共に開口１４ｅを開閉し、カバー３３は開口１４ｅを覆うと共に着脱可能である。また、上記とは逆の手順でエアフィルタ２６が取り外される。なお、図１０に示すノズル保持部８は吸着ノズル２０を外した状態であるが、ノズル保持部８に吸着ノズル２０を装着した状態でも上記の手順でエアフィルタ２６の装着を行うことができる。
【００３９】
上記説明したように、本実施の形態の吸着ヘッド５は、内部に空気吸引路（保持部吸引孔１４ｂ）が形成されると共に、側面に開口１４ｅが形成されたノズルシャフト７と、開口１４ｅを介して空気吸引路中に着脱可能に配置されるエアフィルタ２６と、ノズルシャフト７の外周に設けられると共に開口１４ｅを開閉するスライダ１５を有し、吸着ノズル２０を用いて部品Ｐを吸着する。これによって、吸着ヘッド５に装着されるエアフィルタ２６を専用の治具を用いることなく簡単に交換することができる。
【００４０】
次に図１１を参照して、他のフィルタカセットであるカバー付きフィルタカセット４０の構成について説明する。図１１（ａ）において、カバー付きフィルタカセット４０は、中央にエアフィルタ２６を保持するカセット部４０ａと、カセット部４０ａに接合されたカバー部４０ｂを含んで構成されている。カセット部４０ａは図１０（ａ）に示すフィルタカセット３２と同じ形状であり、カバー部４０ｂは図１０（ｂ）に示すカバー３３と同じ形状である。
【００４１】
図１１（ａ）において、エアフィルタ２６を保持するカバー付きフィルタカセット４０をノズル保持部８に装着する際は、スライダ１５を開位置まで押し下げて開口１４ｅを露出させた状態で、カバー付きフィルタカセット４０を開口１４ｅより装着する。これにより、カバー部４０ｂが保持部本体１４と一体化する（図１１（ｂ））。次いで、スライダ１５を閉位置まで上昇させる（図示省略）。カバー付きフィルタカセット４０は、ノズル保持部８に装着させた後にカバー３３を装着する必要がなく、エアフィルタ２６をより簡単に交換することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明の吸着ヘッドは、吸着ヘッドに装着されるエアフィルタを簡単に交換することができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。
【符号の説明】
【００４３】
５  吸着ヘッド
７  ノズルシャフト
１４ａ  フランジ（ストッパー）
１４ｂ  保持部吸引孔（空気吸引路）
１４ｅ  開口
１５  スライダ（管状体）
１６  コイルバネ（弾性体）
１７  ノズル保持部材（規制部）
１８  ノズル係止スリット（被係合部）
２０  吸着ノズル
２５  ピン
２６  エアフィルタ
３３  カバー
Ｐ  部品
【図１】
2019155567.tif 000003
【図２】
2019155567.tif 000004
【図３】
2019155567.tif 000005
【図４】
2019155567.tif 000006
【図５】
2019155567.tif 000007
【図６】
2019155567.tif 000008
【図７】
2019155567.tif 000009
【図８】
2019155567.tif 000010
【図９】
2019155567.tif 000011
【図１０】
2019155567.tif 000012
【図１１】
2019155567.tif 000013