(57)【要約】【課題】要求される強度を維持しつつ、施工スペースの確保を可能とする小型のねじ込み継手、及びそれを用いて高度に集積化した流体供給システムを提供する。【解決手段】ねじ込み継手１、５０は、雄ねじ部１４を有する第１継手部材１６と、雌ねじ部１８を有する第２継手部材２０と、雄ねじ部１４と雌ねじ部１８とが螺合することにより形成される螺合部２２と、第１及び第２継手部材１６、２０の少なくとも何れか一方に形成され、螺合部２２の形成に際して回転トルクが付与されるトルク付与部４６、５４とを備え、トルク付与部４６、５４の外形は、第１及び第２継手部材１６、２０における最大外径部４４よりも小径である。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
雄ねじ部を有する第１継手部材と、
雌ねじ部を有する第２継手部材と、
前記雄ねじ部と前記雌ねじ部とが螺合することにより形成される螺合部と、
前記第１及び第２継手部材の少なくとも何れか一方に形成され、前記螺合部の形成に際して回転トルクが付与されるトルク付与部と
を備え、
前記トルク付与部の外形は、前記第１及び第２継手部材における最大外径部よりも小径である、ねじ込み継手。
【請求項２】
前記トルク付与部は、前記螺合部よりも小径である、請求項１に記載のねじ込み継手。
【請求項３】
前記トルク付与部は、前記第１及び第２継手部材の軸線方向において前記螺合部とずれた位置に形成される、請求項１又は２に記載のねじ込み継手。
【請求項４】
前記最大外径部は、前記第１及び第２継手部材の径方向において前記螺合部と少なくとも一部が重なる位置に形成され、
前記最大外径部の外周面は、平面視円形状の外縁を有する、請求項１から３の何れか一項に記載のねじ込み継手。
【請求項５】
前記第２継手部材は、前記雌ねじ部が内周面に形成された雌ナットであり、
前記トルク付与部は、前記雌ナットに形成される、請求項１から４の何れか一項に記載のねじ込み継手。
【請求項６】
前記雌ナットは、
その内周面に形成され、前記螺合部の内径よりも小径となる内フランジ部と、
前記内フランジ部の前記螺合部の反対側に形成され、前記内フランジ部よりも小径となる配管挿通部と
を有し、
前記配管挿通部の外形部分が前記トルク付与部を構成する、請求項５に記載のねじ込み継手。
【請求項７】
請求項１から６の何れか一項に記載のねじ込み継手を流路の接続に複数使用する流体供給システムであって、
隣り合う前記ねじ込み継手の少なくとも一組は、前記第１及び第２継手部材の径方向において前記トルク付与部が互いに重なる位置に配列される、流体供給システム。
【請求項８】
請求項１から６の何れか一項に記載のねじ込み継手を流路の接続に複数使用する流体供給システムであって、
隣り合う前記ねじ込み継手の少なくとも一組は、前記第１及び第２継手部材の径方向において前記トルク付与部が互いにずれた位置に配列される、流体供給システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ねじ込み継手、及びそれを用いた流体供給システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、流体制御装置に使用される配管同士を接続する管継手が開示されている。この管継手は、ねじ込み継手であって、雄ねじ部を有する雄ナットと、雌ねじ部を有する雌ナットとをねじ込むことにより接続対象である配管同士を接続する。このねじ込みにより雄ねじ部及び雌ねじ部において螺合部が形成される。
【０００３】
また、雌ナットの外周面は平面視六角形状の外縁を有し、螺合部の形成に際し、回動用スパナ等の工具を雌ナットの外周面に係合して回動させることにより、雌ナットに回転トルクが付与される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３６７５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のような一般的なねじ込み継手においては、回転トルクが付与される雌ナットにねじ込み継手の最大外径部が位置付けられる。従って、ねじ込み継手が使用される装置やシステムが高度に集積化されていたり、或いは、施工エリアが狭小であったりする場合には、工具を回動するための施工スペースの確保が困難な場合がある。
【０００６】
そこで、雌ナットを薄肉化して施工スペースを確保することが考えられる。しかし、雌ナットには、螺合部に発生する応力に耐えうる強度を確保する必要があるため、雌ナットの薄肉化ひいては小型化を実現するのは困難である。
【０００７】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、要求される強度を維持しつつ、施工スペースの確保を可能とする小型のねじ込み継手、及びそれを用いて小型且つ高度に集積化した流体供給システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は以下の態様として実現することができる。
本態様に係るねじ込み継手は、雄ねじ部を有する第１継手部材と、雌ねじ部を有する第２継手部材と、雄ねじ部と雌ねじ部とが螺合することにより形成される螺合部と、第１及び第２継手部材の少なくとも何れか一方に形成され、螺合部の形成に際して回転トルクが付与されるトルク付与部とを備え、トルク付与部の外形は、第１及び第２継手部材における最大外径部よりも小径である。
【０００９】
また、本態様に係る前述したねじ込み継手において、トルク付与部は、螺合部よりも小径である。
また、本態様に係る前述したねじ込み継手において、トルク付与部は、第１及び第２継手部材の軸線方向において螺合部とずれた位置に形成される。
また、本態様に係る前述したねじ込み継手において、最大外径部は、第１及び第２継手部材の径方向において螺合部と少なくとも一部が重なる位置に形成され、最大外径部の外周面は、平面視円形状の外縁を有する。
【００１０】
また、本態様に係る前述したねじ込み継手において、第２継手部材は、雌ねじ部が内周面に形成された雌ナットであり、トルク付与部は、雌ナットに形成される。
また、本態様に係る前述したねじ込み継手において、雌ナットは、その内周面に形成され、螺合部の内径よりも小径となる内フランジ部と、内フランジ部の螺合部の反対側に形成され、内フランジ部よりも小径となる配管挿通部とを有し、配管挿通部の外形部分がトルク付与部を構成する。
【００１１】
一方、本態様に係る流体供給システムは、前述したねじ込み継手を流路の接続に複数使用する流体供給システムであって、隣り合うねじ込み継手の少なくとも一組は、第１及び第２継手部材の径方向においてトルク付与部が互いに重なる位置に配列される。
【００１２】
また、本態様に係る別の流体供給システムは、前述したねじ込み継手を流路の接続に複数使用する流体供給システムであって、隣り合うねじ込み継手の少なくとも一組は、第１及び第２継手部材の径方向においてトルク付与部が互いにずれた位置に配列される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の前述した態様によれば、要求される強度を維持しつつ、施工スペースの確保を可能とする小型のねじ込み継手、及びそれを用いて小型且つ高度に集積化した流体供給システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係るねじ込み継手を用いた流体供給システムの側面図である。
【図２】図１の流体供給システムの上面図である。
【図３】図１のねじ込み継手の断面図である。
【図４】図３のねじ込み継手の分解図である。
【図５】図３のねじ込み継手の上面図である。
【図６】図５のねじ込み継手を図５のＡ−Ａ方向矢視から見た図である。
【図７】図２の流体供給システムを組み立てる際のねじ込み継手における締結作業を図２のＢ−Ｂ方向矢視から見たときの説明図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係るねじ込み継手の上面図である。
【図９】図８のねじ込み継手を用いた流体供給システムの上面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態に係る流体供給システムの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面に基づき本発明の各実施形態に係るねじ込み継手、及びそれを用いた流体供給システムについて説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本実施形態に係るねじ込み継手１を使用した流体供給システム２の側面図を示し、また、図２は、図１の流体供給システム２の上面図を示す。
【００１６】
流体供給システム２は、例えば３つのガス供給ライン４を備えたガス供給システムであって、各ガス供給ライン４の出口にそれぞれねじ込み継手１が設けられている。流体供給システム２は、３つのガス供給ライン４がそれぞれねじ込み継手１を介して、例えば、図示しない半導体製造プロセスの作業チャンバに直結される。
【００１７】
流体供給システム２は、従来と同様の構成機器からなる各ガス供給ライン４を有するものの、従来より小型化され、高度に集積化したシステムであり、半導体製造プロセス等に各種ガスを供給する。
【００１８】
流体供給システム２では、流路を内設した多数のベースブロック８をパネル６に固定し、各ベースブロック８の上部に各構成機器が固定されている。各構成機器には、例えば、エア駆動式のバルブの他、手動バルブ、ブロックバルブ、チャッキバルブ等のバルブ１０や、マスフローコントローラ１２等が含まれる。
【００１９】
図３は、ねじ込み継手１の断面図を示し、また、図４は、ねじ込み継手１の分解図を示す。また、図５は、ねじ込み継手１の側面図を示す。ねじ込み継手１は、雄ねじ部１４を外周面に有する雄ナット（第１継手部材）１６と、雌ねじ部１８を内周面に有する雌ナット（第２継手部材）２０とを備えている。ねじ込み継手１は、雄ナット１６と雌ナット２０とをねじ込むことにより、接続対象である配管同士を接続する管継手である。このねじ込みにより雄ねじ部１４と雌ねじ部１８とが螺合して図３に示す螺合部２２が形成される。
【００２０】
螺合部２２の形成に際し、本実施形態の場合には、雄ナット１６及び雌ナット２０のうちの雌ナット２０に回動用スパナ等の工具を係合して回動させることにより回転トルクが付与される。雄ナット１６には、雄ねじ部１４の軸線方向の外端側に固定部２４が形成されている。固定部２４の外周面は平面視六角形状の外縁を有し、雌ナット２０への回転トルク付与に際し、固定部２４に別の固定用スパナ等の工具を係合して固定させることにより雄ナット１６の空回りが阻止される。なお、ここでいう平面視とは、部材を軸方向から見たときであり、以下同様とする。
【００２１】
ねじ込み継手１は、管部材であって図示しない配管に溶接される第１スリーブ２６と、管部材であって配管２８に溶接される第２スリーブ（スリーブ）３０とを備えている。第１スリーブ２６と第２スリーブ３０とを突き合わせてシール接続することにより、配管２８に連通する気密な流路３２が形成される。第１スリーブ２６は、雄ナット１６に挿通され、その軸線方向における図示しない配管の溶接側とは反対側に第１フランジ部３４を有する。第１フランジ部３４は、ねじ込み継手１の組み立ての際に、雄ナット１６に抜け止めされながら回転自在に係止される。
【００２２】
第２スリーブ３０は、雌ナット２０に挿通され、その軸線方向における配管２８の溶接側とは反対側に第２フランジ部（フランジ部）３６を有する。また、雌ナット２０の内周面には内径が螺合部２２の内径よりも小径となる内フランジ部３８が形成されている。第２フランジ部３６は、ねじ込み継手１の組み立ての際に、雌ナット２０の内フランジ部３８にスラストベアリング４０を介して抜け止めされながら回転自在に係止される。そして、雌ナット２０の内フランジ部３８の奥側（螺合部２２の反対側）には、配管２８の外径に合わせ、内フランジ部３６の内径よりもさらに小径の配管挿通部３９が形成されている。
【００２３】
スラストベアリング４０は、雌ナット２０内において内フランジ部３８と第２フランジ部３６との間に配置される。雌ナット２０に回転トルクを付与して螺合部２２を形成し、ねじ込み継手１が締結される過程において、スラストベアリング４０はスラスト方向の締結力で雌ナット２０に押圧される。しかし、スラストベアリング４０において雌ナット２０の回転が許容されることにより、第２スリーブ３０と雌ナット２０との共回りと、これらの互いの摺動とが防止される。
【００２４】
また、本実施形態のねじ込み継手１は、いわゆる面シール継手であって、第１スリーブ２６と第２スリーブ３０とはガスケット４２を介して突き合わされる。ガスケット４２は、ステンレス鋼等から形成された環板状のメタルガスケットであり、第１及び第２スリーブ２６、３０に作用する締結力によって潰され、突き合わされた第１及び第２スリーブ２６、３０を好適にシール接続する。
【００２５】
ここで、図５に示すように、ねじ込み継手１には、雄ナット１６及び雌ナット２０における最大外径部４４と、螺合部２２の形成に際して回転トルクが付与される第１トルク付与部（トルク付与部）４６とを備えている。第１トルク付与部４６は、雌ナット２０の最大外径部４４と一体に形成された筒状をなし、雌ナット２０の軸線方向において最大外径部４４よりもねじ込み継手１の外端側にずれた位置に形成される。この位置は、配管挿通部３９と合致する位置であり、トルクが付与される箇所として十分な肉厚を確保することができる。
【００２６】
最大外径部４４は、外径Ｄ１（例えば１７．５ｍｍ）を有し、外周面が平面視円形状の外縁を有している。また、第１トルク付与部４６は、最大外径部４４の外径Ｄ１よりも小径となる二面幅Ｄ２（例えば１４ｍｍ）を有し、外周面が平面視六角形状の外縁を有している。また、雄ナット１６の固定部２４は最大外径部４４よりも小径となる二面幅Ｄ３（例えば１７ｍｍ）を有している。なお、六角部をなす第１トルク付与部４６及び固定部２４の対角幅も外径Ｄ１よりも小径である。
【００２７】
また、第１トルク付与部４６の二面幅Ｄ２は、図３に示す螺合部２２の内径Ｄ４よりも小径であり、より具体的には螺合部２２を構成する雌ねじ部１８のねじの谷の径よりも小径である。図３に示すように、第１トルク付与部４６は、雄ナット１６及び雌ナット２０の軸線方向において螺合部２２よりもねじ込み継手１の外端側にずれた位置に形成されている。また、最大外径部４４は、雄ナット１６及び雌ナット２０の径方向において螺合部２２と少なくとも一部が重なる位置に形成されている。最大外径部４４の肉厚ｔ１は、螺合部２２に発生する応力に雌ナット２０が耐えうる強度を確保した値に設定されている。
【００２８】
図６は、雌ナット２０を図５のＡ−Ａ方向矢視から見た図を示す。前述したように、第１トルク付与部４６には平面視六角形状の外縁を有する外周面４６ａが形成され、一方、最大外径部４４には平面視円形状の外縁を有する外周面４４ａが形成されている。ここで、従来の一般的なねじ込み継手においては、最大外径部４４が第１トルク付与部４６として兼用されていたため、従来の最大外径部４４の外周面４４ｂは破線で示すように平面視六角形状の外縁を有していた。
【００２９】
これに対し本実施形態の最大外径部４４の外周面４４ａの外縁は、少なくとも従来の外周面４４ｂの平面視六角形状の外縁に内接する図６に示すような円形、或いは、従来の外周面４４ｂの平面視六角形状の外縁内に収まる円形をなしている。このため、最大外径部４４は、その肉厚ｔ１を変えないまま、従来の対角幅Ｄ５（例えば１９ｍｍ）よりも前述した外径Ｄ１（例えば１７．５ｍｍ）に小径化されている。
【００３０】
図７は、流体供給システム２を組み立てる際のねじ込み継手１における締結作業を図２のＢ−Ｂ方向矢視から見たときの説明図を示す。ねじ込み継手１における締結作業は、先ず、図示しない固定用スパナを雄ナット１６の固定部２４の外周面に係合させた状態で、図７に示す別の回動用スパナ４８を第１トルク付与部４６の外周面に係合させる。次に、ねじ込み継手１に所望の締結力を発生させるべく、回動用スパナ４８を所定の回動角度θ（例えば６０°）で回動し、雌ナット２０に回転トルクを付与し、締結作業を終了する。
【００３１】
ここで、図２に示すように、本実施形態の流体供給システム２において、隣り合うねじ込み継手１は、雄ナット１６及び雌ナット２０の径方向において第１トルク付与部４６が互いに重なる位置に配列されている。前述したように、第１トルク付与部４６の二面幅Ｄ２は、最大外径部４４の外径Ｄ１よりも小径であり、また、螺合部２２の内径Ｄ４よりも小径である。
【００３２】
従って、図７に示すように、隣り合うねじ込み継手１の中心間の距離を従来よりも短い間隔Ｌ１（例えば３０ｍｍ）にしたとしても、隣り合う第１トルク付与部４６の離間距離は、従来と同様に回動用スパナ４８が回動可能な間隔Ｌ２（例えば１６ｍｍ）に維持される。
【００３３】
以上のように、本実施形態のねじ込み継手１は、第１トルク付与部４６が雄ナット１６及び雌ナット２０における最大外径部４４よりも小径であることにより、最大外径部４４において要求される強度を維持しつつ、第１トルク付与部４６においてねじ込み継手１の施工スペースを確保することができる。
【００３４】
ところで、昨今、小型集積化したガス供給システムが開発されている。このようなガス供給システムは、できるだけ配管レスとして小型化することにより、微量ガスを供給する際のタイムラグが低減される。これにより、半導体製造プロセスチャンバ等に各種ガス等の流体を供給するにあたり、作業チャンバへの直結設置が可能となるため、微細加工の歩留まり改善や、より精密なプロセス管理が可能となる。従って、流体供給システム２の構成部品の一つであるねじ込み継手１も小型化の推進が今まで以上に望まれている。
【００３５】
そこで、本実施形態のねじ込み継手１を流体供給システム２に使用することにより、隣り合う第１トルク付与部４６の離間距離を回動用スパナ４８が回動可能な間隔Ｌ２に維持しつつ、隣り合うねじ込み継手１の中心間の距離を従来よりも短い間隔Ｌ１にすることができる。従って、ガス供給ライン４当たりの幅をさらに低減することができ、流体供給システム２のさらなる小型化と、さらなる高度な集積化とを図ることができる。
【００３６】
また、第１トルク付与部４６が螺合部２２よりも小径であることにより、第１トルク付与部４６のさらなる小径化を実現することができるため、第１トルク付与部４６においてさらに十分な施工スペースを確保することができる。
【００３７】
また、最大外径部４４は、雄ナット１６及び雌ナット２０の径方向において螺合部２２と少なくとも一部が重なる位置に形成される。これにより、螺合部２２に発生する応力を最大外径部４４において効率的に受けることができ、最大外径部４４において要求される強度を確実に維持することができる。
【００３８】
また、最大外径部４４の外周面は、平面視円形状の外縁を有することにより、最大外径部４４の肉厚ｔ１を変えないまま、最大外径部４４を小径化することができる。従って、最大外径部４４において要求される強度を維持しつつ、第１トルク付与部４６においてねじ込み継手１の施工スペースを確保可能となるのみならず、ねじ込み継手１の全体の小径化、ひいては小型化を実現することができる。
【００３９】
＜第２実施形態＞
以下、図８及び図９を参照して、本発明の第２実施形態に係るねじ込み継手５０及びそれを用いた流体供給システム５２について、第１実施形態の構成を前提に、主として第１実施形態と異なる構成について説明する。なお、第１実施形態と同様の構成については、図面に同符号を付して説明を省略することがある。
【００４０】
図８は、本実施形態に係るねじ込み継手５０の側面図を示す。ねじ込み継手５０は、雌ナット２０の第１トルク付与部４６に加え、雄ナット１６に第２トルク付与部５４を備えている。第２トルク付与部５４は、第１実施形態の雄ナット１６の固定部２４と同位置に形成され、その外周面は固定部２４と同様に平面視六角形状の外縁を有する。しかし、第２トルク付与部５４は、最大外径部４４のＤ１（例えば１７．５ｍｍ）よりも小径となる外径Ｄ６（例えば１４ｍｍ）を有する。
【００４１】
また、第２トルク付与部５４の外径Ｄ６は、螺合部２２の内径Ｄ４よりも小径であり、より具体的には螺合部２２を構成する雄ねじ部１４のねじの山の外径よりも小径である。
図９は、本実施形態に係る流体供給システム５２の上面図である。隣り合うねじ込み継手５０は、雄ナット１６及び雌ナット２０の径方向において、第１トルク付与部４６が互いに重なる位置に配列され、さらに第２トルク付与部５４も互いに重なる位置に配列されている。
【００４２】
この場合において、隣り合うねじ込み継手５０の中心間の距離を図７に示すような従来よりも短い間隔Ｌ１（例えば３０ｍｍ）にしたとしても、隣り合う第２トルク付与部５４の離間距離は、従来と同様に回動用スパナ４８が回動可能な間隔Ｌ３（例えば１６ｍｍ）に維持される。なお、第２トルク付与部５４に回転トルクを付与する場合、第１トルク付与部４６は空回りを阻止するべく工具で固定される。
【００４３】
以上のように、本実施形態のねじ込み継手５０は、第２トルク付与部５４が最大外径部４４よりも小径であり、さらには螺合部２２よりも小径である。これにより、最大外径部４４において要求される強度を維持しつつ、第１トルク付与部４６のみならず、第２トルク付与部５４においても、ねじ込み継手５０の施工スペースを確保することができる。
【００４４】
また、流体供給システム５２において、隣り合う第２トルク付与部５４の離間距離を回動用スパナ４８が回動可能な間隔Ｌ３に維持しつつ、隣り合うねじ込み継手５０の中心間の距離を従来よりも短い間隔Ｌ１にすることができる。従って、本実施形態の場合であっても、ガス供給ライン４当たりの幅をさらに低減することができ、流体供給システム５２のさらなる小型化、ひいてはさらに高度な集積化を図ることができる。
【００４５】
＜第３実施形態＞
以下、図１０を参照して、本発明の第３実施形態に係る流体供給システム５６について、第２実施形態を前提に、主として第２実施形態と異なる構成について説明する。なお、第２実施形態と同様の構成については、図面に同符号を付して説明を省略することがある。
【００４６】
図１０は、本実施形態に係る流体供給システム５６の上面図である。流体供給システム５６は、３つのねじ込み継手５０のうちの中間のねじ込み継手５０Ａの配管２８を長めに延設している。これにより、流体供給システム５６では、隣り合うねじ込み継手５０は、雄ナット１６及び雌ナット２０の径方向において、第１トルク付与部４６が互いにずれた位置に配列され、さらに第２トルク付与部５４も互いにずれた位置に配列されている。
【００４７】
この結果、３つのねじ込み継手５０のうちの両端のねじ込み継手５０Ｂ、５０Ｃの第１トルク付与部４６は、その径方向において、ねじ込み継手５０Ａの配管２８と間隔Ｌ４の距離で離間する。また、ねじ込み継手５０Ａの第２トルク付与部５４は、その径方向において、ねじ込み継手５０Ｂ、５０Ｃのそれぞれの第１スリーブ２６に溶接される配管５８と、間隔Ｌ５の距離でそれぞれ離間する。
【００４８】
間隔Ｌ４、Ｌ５が第１実施形態で説明した間隔Ｌ２、第１実施形態で説明した間隔Ｌ３よりも長いことは明らかである。これにより、間隔Ｌ４、Ｌ５の存在するエリアをねじ込み継手５０の施工スペースとして使用することにより、隣り合うねじ込み継手５０の中心間の間隔Ｌ１をより一層短くすることができる。
【００４９】
一方、ねじ込み継手５０Ａの第１トルク付与部４６は、その径方向において、ねじ込み継手５０Ｂ、５０Ｃのそれぞれの最大外径部４４と間隔Ｌ６の距離で離間する。また、ねじ込み継手５０Ｂ、５０Ｃの第２トルク付与部５４は、その径方向において、ねじ込み継手５０Ａの最大外径部４４と間隔Ｌ７の距離でそれぞれ離間する。
【００５０】
前述したように、最大外径部４４は、外周面を平面視円形状の外縁にしたことにより従来よりも小径化され、しかも、第１及び第２トルク付与部４６、５４は双方とも少なくとも最大外径部４４よりも小径である。従って、隣り合う最大外径部４４の間隔Ｌ８よりも間隔Ｌ６、Ｌ７が長いことは明らかである。これにより、間隔Ｌ６、Ｌ７の存在するエリアをねじ込み継手５０の施工スペースとして使用した場合であっても、隣り合うねじ込み継手５０の中心間の間隔Ｌ１を少なくとも従来よりは短くすることが可能である。
【００５１】
従って、本実施形態の場合であっても、ガス供給ライン４当たりの幅をさらに低減することができ、流体供給システム２のさらなる小型化、ひいてはさらに高度な集積化を図ることができる。なお、流体供給システム５６の構成に第１実施形態のねじ込み継手１を適用しても良く、この場合であっても同様の効果を得ることができる。
【００５２】
以上で本発明の各実施形態についての説明を終えるが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更ができるものである。
例えば、上記実施形態では、各ねじ込み継手１、５０は、雄ナット１６の雄ねじ部１４と、雌ナット２０の雌ねじ部１８とにより螺合部２２が形成されている。しかし、これに限らず、ねじ込み継手１、５０は、雄ねじ部１４、雌ねじ部１８をそれぞれ有する各継手部材を備えていれば良く、これら各締結継手は、説明した雄ナット１６及び雌ナット２０の形状に厳密に限定されない。
【００５３】
また、ねじ込み継手１、５０は、少なくとも雄ナット１６及び雌ナット２０を備えていれば良く、継手形式も面シール継手に限定されない。すなわち、ねじ込み継手１、５０は、接続対象によっては、雄ナット１６及び雌ナット２０以外の構成部材、つまり、第１及び第２スリーブ２６、３０、スラストベアリング４０、ガスケット４２が不要の場合もあり得る。
【００５４】
また、流体供給システム２、５２、５６は、ガス供給ライン４等が複数設けられ、ねじ込み継手１、５０を流路の接続に複数使用する流体供給システムであれば良く、隣り合うねじ込み継手１、５０が少なくとも一組存在していれば良い。
【００５５】
また、ねじ込み継手１、５０は、ガス供給システムである流体供給システム２、５２、５６に限らず、液体も含む流体供給システムに広く適用可能であり、また、流体供給システム２、５２、５６は半導体製造プロセスに限らず、種々のプロセスに適用することも可能である。
【符号の説明】
【００５６】
１、５０  ねじ込み継手
２、５２、５６  流体供給システム
１４  雄ねじ部
１６  雄ナット（第１継手部材）
１８  雌ねじ部
２０  雌ナット（第２継手部材）
２２  螺合部
３０  第２スリーブ（スリーブ）
３６  第２フランジ部（フランジ部）
３８  内フランジ部
４０  スラストベアリング
４４  最大外径部
４６  第１トルク付与部（トルク付与部）
５４  第２トルク付与部（トルク付与部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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