(57)【要約】【課題】  非接触で基板表面の粉じんを除去する技術を提供する。【解決手段】  基板は、ベルトコンベヤ１３によって矢印Ａの方向に搬送される。搬送部の上部には、フード１００が取り付けられている。フード１００内は内壁１０１によって入口側の吸込室１０２、出口側の吹出室１０３に分離されている。吸込室１０２には吸入用のパイプ１５、吹出室１０３には吹出用のパイプ１６が取り付けられている。吸込室１０２の入口側には傾斜した形状の吸込口１０２ａが設けられ、基板上の粉じんを斜めに吸い込むようになっている。吹出室１０３の下面は、ほぼ全面が開口しており、基板表面に向けて空気が吹き出す。こうすることにより、舞い上がった粉じんがフード１００の外部に漏れることを抑制しつつ基板表面の粉じんを非接触で吸込口１０２ａから吸入除去することができる。【選択図】  図２
2019098250.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面の粉塵を除去する非接触型基板クリーナーであって、
内部をそれぞれ少なくとも一つの吸込室および吹出室に分離されたフードと、
前記基板を、前記フードに対面した状態で、入口側から出口側に搬送する搬送部と、
前記吸込室に連結され、該吸込室から空気を吸い込むための空気吸込装置と、
前記吹出室に連結され、該吹出室に空気を送り込む空気吹出装置とを備え、
前記吸込室は、前記入口側において該基板の表面に対向する位置に、前記搬送方向に交差する方向に細長いスリット形状の吸込口を有し、
前記吹出室は、前記吸込口よりも出口側において該基板の表面に対向する位置に吹出口を有する非接触型基板クリーナー。
【請求項２】
請求項１記載の非接触型基板クリーナーであって、
前記吸込口は、前記吸込室から前記搬送部に向かって突出するとともに、その先端が前記入口側よりも前記フードの内部方向に傾斜している形状である非接触型基板クリーナー。
【請求項３】
請求項１または２記載の非接触型基板クリーナーであって、
前記吸込室は、前記フードの出口側にも、該基板の表面に対向する位置に出口側吸込口を有する非接触型基板クリーナー。
【請求項４】
請求項１〜３いずれか記載の非接触型基板クリーナーであって、
前記吹出口の面積は、前記吸込口の面積よりも広い非接触型基板クリーナー。
【請求項５】
請求項１〜３いずれか記載の非接触型基板クリーナーであって、
前記吹出口は、複数の孔またはノズルを配列して形成されている非接触型基板クリーナー。
【請求項６】
請求項５記載の非接触型基板クリーナーであって、
前記孔またはノズルは、前記基板に対して斜め方向にあたる空気流を吹き出す形状をなしている非接触型基板クリーナー。
【請求項７】
請求項１〜６いずれか記載の非接触型基板クリーナーであって、
前記搬送部は、搬送される前記基板の前記吸込口方向への動きを規制する規制機構を有する非接触型基板クリーナー。
【請求項８】
請求項１〜６いずれか記載の非接触型基板クリーナーであって、さらに、
前記搬送部と前記フードを相対的に移動させることによって、搬送される前記基板と前記吸込口との間隔を調整する調整機構を備える非接触型基板クリーナー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非接触で基板の表面の粉じんを除去する非接触型基板クリーナーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板の表面の粉じんは、ブラシを利用した清掃装置により除去されていた。かかる方法では、基板にブラシが接触するため、基板を損傷するおそれがあること、ブラシの定期的な交換が必要になること、などの課題が存在していた。こうした課題を解決する方法として、基板表面に空気を吹き付けて粉じんを吹き飛ばす非接触のクリーナーが考えられる。
例えば、特許文献１は、基板用の装置ではないが、非接触の清掃機を開示している。同文献によれば、エアーブロー用のノズルパイプを先端吸入管内に設けることにより、エアーブロー用ノズルパイプから空気を吐出しつつ、粉じんを吸入回収する手持ち式の清掃機が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４-２４３２０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、基板表面に空気を吹き付けた場合、比較的粉じんが舞いあがり易く、吹き飛ばしたはずの粉じんが、再び清掃中の基板上に舞い落ちたり、清掃処理済みの基板に舞い落ちたりする課題があった。また、特許文献１のように、先端吸入管内にエアーブロー用ノズルを設けた装置では、ノズルを移動させながら基板を部分ごとに清掃することになり清掃ムラが生じるおそれがある、基板とノズルとの間隔が変化するため清掃状況が安定しない、などの課題が生じ得た。さらに、特許文献１の構造では、基板のある部分を清掃している時に舞い上がった粉塵の回収漏れが生じると、その周囲の清掃済みの部分に、再び粉じんが舞い降りてしまうおそれもあった。
本発明は、これらの課題に鑑み、非接触で基板表面の粉じんを除去する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、
基板の表面の粉塵を除去する非接触型基板クリーナーであって、
内部をそれぞれ少なくとも一つの吸込室および吹出室に分離されたフードと、
前記基板を、前記フードに対面した状態で、入口側から出口側に搬送する搬送部と、
前記吸込室に連結され、該吸込室から空気を吸い込むための空気吸込装置と、
前記吹出室に連結され、該吹出室に空気を送り込む空気吹出装置とを備え、
前記吸込室は、前記入口側において該基板の表面に対向する位置に、前記搬送方向に交差する方向に細長いスリット形状の吸込口を有し、
前記吹出室は、前記吸込口よりも出口側において該基板の表面に対向する位置に吹出口を有する非接触型基板クリーナーのように構成することができる。
【０００６】
本発明の非接触型基板クリーナーによれば、基板を搬送しながら、吹出口から基板に空気を吹き付け、吸込口で粉じんを吸入することができる。この清掃過程においてフードと搬送部との間隔は、一定であるため、基板をムラなく清掃することが可能である。
また、吸込口がフードの入口側に設けられているため、次の作用によって清掃効果を高めることができる。第１に、基板が搬送されると、吹出口から空気をふきつける前に、第１次清掃として入口側の吸込口で表面付近の粉じんを吸入することができ、この第１次清掃によって、基板投入側（入口側）への粉じんの舞い上がる量を抑制することができる。
第２に、空気の吹きつけによって舞い上がる粉じんは、基板の清掃済み部分が排出される直前の出口側よりも入口側に比較的多く分布する。従って、吸込口を入口側に設けることにより、これらの粉じんを効率的に吸入することができる。
第３に、仮に吸込口を出口側に設けた場合、舞い上がった粉じんを出口側に誘引する結果となり、吸入仕切れなかった粉じんが基板の清掃済みの部分に再度、舞い降りる可能性もあるが、入口側に吸込口を設けることにより、こうした弊害を回避することができる。
以上の作用に基づき、本発明によれば、非接触で、基板表面の粉じんを効果的に除去することが可能となる。なお、本発明において、吸込口から吸入した空気を、ＨＥＰＡフィルター（High Efficiency Particulate Air Filter）で粉じんを濾過し、清浄した後、吹出口から吹き付けるようにしてもよい。
【０００７】
本発明において、フード内に吸込室と吹出室を形成する方法は、種々の方法をとり得る。例えば、一つのフード内を壁などで仕切ることによって、両者を形成してもよい。また、吸込室、吹出室を別体で形成した後、両者を結合して一つのフードとしてもよい。吸込室、吹出室は、２以上を設けても良い。
空気吸込装置と空気吹出装置とは、別の装置としてもよいし、一つの装置で両者の機能を兼用しても良い。かかる装置として、例えば、ルーツ式ブロアなどを利用することができる。
吸込口は、基板表面をムラなく清掃可能とするため、清掃対象となる基板の全幅にわたる寸法とすることが好ましい。また、搬送部の全幅にわたる寸法としておけば、搬送部による基板の搬送機能を最も有効活用できる点でより好ましいと言える。
吸込口は、搬送方向に直交する方向に細長い形状が好ましいが、搬送方向に斜めに交差する方向に細長い形状としてもよい。
また、吸込口は、必ずしも一列のスリット形状である必要はなく、搬送方向に２列以上を配列してもよい。
搬送部とフードの位置関係は、種々の態様をとり得る。例えば、基板を水平に載置して水平方向に搬送する搬送部の場合、フードは、搬送部の上側に配置させてもよいし、下側に配置させてもよい。また、基板を立てて水平または垂直方向に搬送する搬送部の場合、フードは、搬送部の側方に基板面に対面する形で配置してもよい。
【０００８】
本発明の非接触型基板クリーナーにおいては、
前記吸込口は、前記吸込室から前記搬送部に向かって突出するとともに、その先端が前記入口側よりも前記フードの内部方向に傾斜している形状としてもよい。
こうすることにより、フード内に舞い上がった粉じんをより効果的に吸い込むことができる。
傾斜の角度は、任意に設定可能であるが、搬送されている基板に対して垂直よりも４５度傾けた角度とすることができる。また、吸込口は先端にいくほど断面積が小さくなるようにしてもよい。こうすることにより、基板表面付近の吸引力を向上させることができる。
【０００９】
本発明の非接触型基板クリーナーにおいては、
前記吸込室は、前記フードの出口側にも、該基板の表面に対向する位置に出口側吸込口を有するものとしてもよい。
こうすることにより、フードの出口側から粉じんが外部に漏れ出ることを回避できる利点がある。
出口側吸込口の形状等は、任意に設定可能であるが、入口側に設けられた吸込口と同様、スリット形状としてもよいし、また、搬送部に向かって突出するとともに、その先端が前記入口側よりも前記フードの内部方向に傾斜している形状としてもよい。
出口側吸込口のサイズは、入口側に設けられた吸込口と同じにする必要はない。
また、吸込室を、出口側吸込口と、入口側に設けられた吸込口とで分けてもよい。
【００１０】
本発明において、吹出口は、種々の形状等とすることができる。
例えば、
前記吹出口の面積は、前記吸込口の面積よりも広いものとしてもよい。
本発明は、基板表面の粉じんの清掃を目的とするものであるが、これらの粉じんは、それほど強固に基板表面に付着している訳ではなく、比較的容易に吹き飛ばすことが可能である。従って、粉じんの清掃のためには、それほど強い空気をあてる必要はないと共に、過度に強い空気をあてると、吸込口で吸入できないほど粉じんが舞い上がるおそれもある。上記態様では、吹出口の面積を大きくするため、吹出口から基板表面に吹き付けられる空気を比較的緩やかなものとすることができ、これらの問題を抑制でき、清掃効率を向上させることができる。
【００１１】
また別の態様として、
前記吹出口は、複数の孔またはノズルを配列して形成されているものとしてもよい。
こうすることにより、空気吹出装置による送出圧力が比較的低くても、基板表面の粉じんを吹き飛ばす効果を得やすくなる利点がある。
孔またはノズルは、種々の位置および配置をとることが可能であるが、フードの搬送方孔中央よりも入口側に近い位置に配置し、吸込口に平行に配置することが効果的である。
【００１２】
後者の態様の場合、
前記孔またはノズルは、前記基板に対して斜め方向にあたる空気流を吹き出す形状をなしているものとしてもよい。
このように斜め方向から空気を吹き出すことにより、粉じんを効果的に吹き飛ばすことが可能となる。
吹き出す方向は任意に設定可能であるが、例えば、基板表面に対して４５度とすることができる。また、粉じんを吸込口から効率的に吸入させるためには、搬送方向に平行に入口方向に向けることが好ましいが、搬送方向に直交する方向または斜めに交差する方向に吹き出してもよい。
【００１３】
本発明の非接触型基板クリーナーにおいては、
前記搬送部は、搬送される前記基板の前記吸込口方向への動きを規制する規制機構を有するものとしてもよい。
こうすることにより、基板が吸入口に吸着することを抑制できる。規制機構としては、例えば、搬送部との間で挟み込むように基板の両端を保持する機構としてもよい。また、搬送部に基板を吸着させる吸盤または粘着機構としてもよい。
【００１４】
本発明の非接触型基板クリーナーにおいては、さらに、
前記搬送部と前記フードを相対的に移動させることによって、搬送される前記基板と前記吸込口との間隔を調整する調整機構を備えるものとしてもよい。
こうすることにより、基板の厚さに応じて、吸込口の吸引力を調整することができる。調整機構としては、搬送部およびフードの少なくとも一方を移動させ得る周知の種々の機構を適用できる。
【００１５】
上述した種々の特徴は、必ずしも全てを備えている必要はなく、適宜、一部を省略したり組み合わせたりしてもよい。また、本発明は、上述した非接触型基板クリーナーとしての構成だけでなく、以下に示すような非接触型基板クリーニング方法として構成することもできる。即ち、
基板の表面の粉塵を除去する非接触型基板クリーニング方法であって、
内部をそれぞれ少なくとも一つの吸込室および吹出室に分離されたフードに対面した状態で、前記基板を入口側から出口側に搬送する工程と、
前記吸込室に連結された空気吸込装置によって、該吸込室から空気を吸い込む工程と、
前記吹出室に連結された空気吹出装置によって、該吹出室に空気を送り込む工程とを備え、
前記吹出室において、前記吸込口よりも出口側において該基板の表面に対向する位置に形成された吹出口から前記基板に対して空気を吹き付ける工程と、
前記吸込室において、前記入口側において該基板の表面に対向する位置に、前記搬送方向に交差する方向に形成された細長いスリット形状の吸込口から、前記基板の表面の粉じんを吸入する工程とを有する非接触型基板クリーニング方法である。
上記方法においても、先に説明した種々の特徴を適用することが可能である。
本発明は、基板の清掃に限らず、搬送可能な種々の物品、特に薄板形状の物品の清掃に活用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施例における非接触型基板クリーナーの全体概要を示す斜視図である。
【図２】第１実施例における非接触型基板クリーナーの側面図である。
【図３】第１実施例におけるフードの構造を示す説明図である。
【図４】第２実施例におけるフードの構造を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１７】
図１は、第１実施例における非接触型基板クリーナー（以下、単に「基板クリーナー」と呼ぶこともある）の全体概要を示す斜視図である。
実施例の基板クリーナーは、ガイドレール１１に沿って、基板を水平に図中の左から右方向（図中の矢印Ａ）に搬送しながら、空気の吹きつけおよび吸引によって基板表面の粉じんを除去する装置である。図１では表れていないが、基板を搬送する機構は、左右に設けられたガイドレール１１間に取り付けられたベルトコンベヤを利用した。ガイドレール１１には、基板の両端をガイドレールと挟み込むように保持する規制板１２が取り付けられている。基板は、ガイドレール１１と規制板１２の隙間に、その両端を挟まれた状態で移動するため、清掃中に清掃用の吸込口に吸着することなく搬送される。
【００１８】
フード１００の下面、即ち搬送される基板に対面する部分には、清掃用の空気を吹き出すための吹出口、および粉じんを吸入するための吸込口が設けられている。その形状および部位等は、後述する。フード１００には、吸込用のパイプ１５、および空気吹き出しようのパイプ１６が接続されている。
フード１００およびガイドレール１１は、それぞれ支柱１０に取り付けられている。両者は、支柱１０に固定してもよいが、本実施例では、フード１００の位置を矢印Ｂのように支柱１０に沿って上下動する調整機構を設けた。このように部品の取付位置を支柱１０に沿って移動させるための機構は、種々の周知技術が存在し、調整機構は、これらを適宜、利用可能であるため詳細な説明は省略する。調整機構によって、フード１００の高さを調整することにより、基板の種類等に応じて、粉じんの清掃が適切に行われるよう吸入力を調整することが可能となる。調整機構は、フード１００に代えてガイドレール１１の高さを調整可能な機構としてもよいし、フード１００およびガイドレール１１の双方を調整可能な機構としてもよい。
【００１９】
図２は、第１実施例における非接触型基板クリーナーの側面図である。全体の構造を模式的に示した。
基板クリーナー全体は、支柱１０によって支持されている。
基板を搬送するための搬送部は、支柱１０に取り付けられたガイドレール１１に組み付けられたベルトコンベヤ１３である。ベルトコンベヤ１３は、駆動用モータ１４によって矢印Ａの方向に駆動される。ガイドレール１１の上面には、規制板１２が取り付けられている。
【００２０】
搬送部の上部には、フード１００が取り付けられている。基板が図中の矢印Ａのように搬送されることから、図中においてフード１００の右側を入口側、左側を出口側と呼ぶ。
フード１００の内部には、ほぼＬ字形状の内壁１０１が取り付けられており、内壁１０１によって、その右側（入口側）が吸込室１０２、左側（出口側）が吹出室１０３に分離されている。吸込室１０２には吸入用のパイプ１５が取り付けられ、吹出室１０３には、吹出用のパイプ１６が取り付けられている。吸込室１０２の入口側には吸込口１０２ａが設けられている。吸込口１０２ａは、吸込室１０２からベルトコンベヤ１３側に突出するとともにその先端が出口方向に傾斜した形状となっている。吸込用パイプ１５から空気を吸い込むことにより、吸込口からは、基板上の粉じんが、斜めに吸い込まれることになる。一方、吹出室１０３の下面は、ほぼ全面が開口となっており、吹出用のパイプ１６から空気が送り込まれると、図示するように基板表面に向けて空気が吹き出すようになっている。
【００２１】
実施例の基板クリーナーは、ベルトコンベヤ１３の下側にも、清掃用のフード１２０を設置した。フード１２０の内部は、やはり内壁１２１で仕切られ、その右側（入口側）が吸込室１２２、左側（出口側）が吹出室１２３となっている。吸込室１２２には吸込用のパイプ１５Ａが接続され、吹出室１２３には吹出用のパイプ１６Ａが接続されている。設置場所の都合上、フード１２０はフード１００と異なる形状となっているが、フード１００と同一形状としてもよい。このようにベルトコンベヤ１３の下側にもフード１２０を設けることにより、基板の上下面を一度に清掃できる利点がある。もっとも、必ずしも上下双方にフード１００、１２０を設ける必要はなく、両者のいずれか一方を省略しても差し支えない。
【００２２】
本実施例では、装置の下部にブロア３０を設置し、これにパイプ１５、１５Ａ、１６、１６Ａを接続した。ブロア３０は、種々のものを利用可能であるが、本実施例では、ルーツ式ブロアを利用した。ルーツ式とは、内部に設けられた複数のロータの回転によって、空気の吸入、吐出を行うブロアである。吸込用のパイプ１５、１５Ａはルーツ式ブロアの吸入側に接続され、吹出用のパイプ１６、１６Ａは吐出側に接続される。こうすることにより、一台で、吸込、吹出の双方を行うことができる。もっとも、吸込用および吹出用で個別のブロアを用意してもよい。
【００２３】
図３は、第１実施例におけるフード１００の構造を示す説明図である。図３（ａ）は平面図を示している。図示するように、フード１００は、矩形の平面形状をなしており、パイプ１５、１６が接続されている。
図３（ｂ）は、側面図である。フード１００は、図中右上および左上が斜辺の台形に類似した側面形状となっている。左右の上部を斜めにしているのは、空気が淀みなく流れるよう考慮したものである。側面形状は、必ずしも台形に類似の形状とする必要はなく、矩形形状にしてもよいし、左右上を円弧状の形状としてもよい。
【００２４】
フード１００の内部には、先にも説明した通り、ほぼＬ字形状の内壁１０１が取り付けられており、内壁１０１によって、図３内の右側（入口側）が吸込室１０２、左側（出口側）が吹出室１０３となっている。吸込室１０２に接続された吸入用のパイプ１５と、吹出室１０３に接続された吹出用のパイプ１６の位置は、本実施例では高さが異なっているが、両者の高さをそろえてもよいし、パイプ１６をパイプ１５よりも高くしてもよい。本実施例における基板クリーナーの作用は、空気の吹出よりも、粉じんの吸入作用の方が重要であるため、まず吸込室１０２内で円滑な空気流が実現されるようパイプ１５の位置を決め、その後、パイプ１５、１６の干渉、フード１００の強度、取付の容易性、吹出室１０３内の空気流などを考慮してパイプ１６の取付位置を決定すればよい。本実施例では、パイプ１５、１６をほぼ同じ太さとしているが、両者を異なる太さとしても差し支えない。
【００２５】
フード１００の下面１００ａは開口しており、吸込室１０２の入口側には吸込口１０２ａが設けられている。吸込口１０２ａは、吸込室１０２からベルトコンベヤ１３側に突出するとともにその先端が出口方向に傾斜した形状となっている。傾斜の角度αは任意に設定可能であるが、本実施例では４５度とした。傾斜角αが０度（鉛直方向）に近くなると、フード１００の内部で舞い上がった粉じんを、入口側からはみ出さずに吸入しづらくなる。一方、傾斜角αが９０度（水平方向）に近くなると、粉じんの吸入効果が低減する。吸込口１０２ａの傾斜角αはこれらの効果を踏まえ、解析的または実験的に設定することができる。
吸込口１０２ａの形状も任意に設定可能である。搬送される基板全体をムラなく清掃するため、吸込口１０２ａは、清掃対象となる基板の全幅以上にわたるスリット状の形状とすることが好ましい。特に、ベルトコンベヤ１３の幅以上とすれば、ベルトコンベヤ１３の全体を無駄なく基板の搬送に利用できることとなる利点がある。また、本実施例では、図３（ｂ）に示すように吸込口１０２ａは、吸込の力が強く得られるように、先端に行くほど断面積が狭くなるようテーパ形状としたが、一定の断面積としても構わない。
【００２６】
吹出室１０３の下面は、ほぼ全面が開口となっており、空気が吹き出すための吹出口となっている。即ち、空気の吹出口の面積は、吸込口１０２ａよりも大きくなっている。こうすることにより、基板表面の粉じんに当たる空気を比較的ゆるくすることができる。一般に基板表面の粉じんは、それほど強固に基板表面に付着している訳ではないため、過度に強い空気をあてると、吸込口１０２ａで吸入できないほど粉じんが舞い上がるおそれもあるのである。本実施例では、吹出口の面積を広くすることで、これらの問題を抑制することができる。また、開口部をそのまま吹出口として利用するため、フード１００の構造を簡易なものとすることができる利点もある。もっとも、吹出口は、必ずしも開口部全体を利用しなくてはならないものではなく、吸込口１０２ａと同様のスリット形状のノズルや、孔、円形状のノズルなどを用いるようにしてもよい。一例として、パイプ１６の先端を、吹出室１０３の下端まで延ばすことによって、そのまま吹出口として利用することもできる。
【００２７】
以上で説明した、実施例の非接触型基板クリーナーによれば、基板を搬送しながら、吹出口から基板に空気を吹き付け、吸込口１０２ａで粉じんを吸入することができ、基板をムラなく清掃することができる。また、吸込口１０２ａがフードの入口側に設けられているため、粉じんを効率的に吸入することができる。
【実施例２】
【００２８】
次に、第２実施例としての非接触型基板クリーナーについて説明する。装置全体の構成は、第１実施例（図１）と同様である。第２実施例では、フードの構造が異なる。
図４は、第２実施例におけるフード１１０の構造を示す説明図である。図４（ａ）は下面、即ちベルトコンベヤに対面する側の状態を示した。図示する通り、フード１１０は矩形の平面形状をなしている。そして、吸込用のパイプ１５Ｂ、吹出用のパイプ１６Ｂがそれぞれ接続されている。パイプ１５Ｂ、１６Ｂの先端は、第１実施例と同様、ブロアに接続される。
基板は、図４（ａ）の右側から左側に搬送されることになる。従って、図４（ａ）中の右側がフード１１０の入口側、左側が出口側となる。
第２実施例のフード１１０では、入口側および出口側の双方に、吸込口１１２ａ、１１２ｂが形成されている。吸込口１１２ａ、１１２ｂは、フード１１０の全幅にわたってスリット状に形成されている。本実施例では、吸込口１１２ａ、１１２ｂの開口面積は同等としたが、異なる面積としてもよい。
【００２９】
フード１１０では、吸込口１１２ａ、１１２ｂの間は、全体が開口になっている訳ではなく平板で塞がれている。そして、フード１１０の左右中央（入口側と出口側の中央）よりも入口側に、空気を吹き出すための多数のノズル１１４が配列されている。図の煩雑化を回避するため、図中では一部にのみノズル１１４としての符号を付した。吹出用のパイプ１６Ｂから吹き込まれた空気は、図中の矢印ａ１、ａ２に示すようにパイプ１６Ｂ、流路１１３Ｂを通り、マニホールド１１３Ｃに流入し、各ノズル１１４から吹き出すことになる。
吸込口１１２ａ、１１２ｂとパイプ１５Ｂとを結ぶ流路は、パイプ１６Ｂ、パイプ１６Ｂ、流路１１３Ｂを回避して形成されている。吸込口１１２ａからパイプ１５Ｂには、マニホールド１１３Ｃの上側を通って空気が吸い込まれる。吸込口１１２ｂからパイプ１５Ｂには、パイプ１６Ｂの下側を通る流路１１２Ｃが形成されており、矢印ｂ１、ｂ２に示すように、この流路１１２Ｃを通って空気が吸い込まれる。
各流路の位置関係は、Ａ−Ａ断面、およびＢ−Ｂ断面を用いて以下に説明する。なお、本実施例では、吸込口１１２ａ、１１２ｂの双方がパイプ１５Ｂに接続されているが、それぞれの吸込口に個別の吸込用パイプを設けても良い。
【００３０】
図４（ｂ）は、Ｂ−Ｂ断面図である。フード１１０は、図示するように、基板の搬送方向に長い矩形の上に、短い矩形を積み重ねた全体形状をなしている。
フード１１０の内部には、Ｌ字形状の内壁１１１ａ、１１１ｂが取り付けられており、これによって吹出室１１３Ａ、吸込室１１２に分けられる。もっとも、本実施例では、吹出室１１３Ａ内をパイプ１６Ｂが貫通しており、吹出室１１３Ａ内に空気が吹き出す構造とはなっていない。
また、フード１１０の下方には、水平方向に板状の内壁１１１ｃが取り付けられており、吸込室１１２の下面を形成している。ノズル１１４が形成されたマニホールド１１３Ｃは、内壁１１１ｃの下面に取り付けられている。内壁１１１ｃは、入口側、出口側でそれぞれ下方に折り曲げられ、吸込口１１２ａ、１１２ｂの内側を形成する役目も果たしている。
こうして形成される吸込室１１２は、断面Ｂ−Ｂにおいては、吹出室１１３Ａの下側を通る流路１１２Ｃを併せて形成し、出口側の吸込口１１２ｂとパイプ１５Ｂとを接続する機能も果たしている。
【００３１】
図４（ｃ）は、Ａ−Ａ断面図である。同断面においては、吹出用のパイプ１６Ｂに接続された縦方向の円筒状の配管１６Ｃが設けられ、配管１６Ｃは、内壁１１１ｃの下面に内壁１１１ｄを取り付けることで形成された流路１１３Ｂに接続されている。内壁１１１ｃには、配管１６Ｃに対応する部位に開口が形成されており、空気は配管１６Ｃからこの開口を通って流路１１３Ｂに流入することになる。流路１１３Ｂの先端は、内壁１１１ｃの下面に取り付けられたマニホールド１１３Ｃに接続されている。マニホールド１１３Ｃには、ノズル１１４が形成されている。
ノズル１１４は、空気を鉛直下方に吹き出すように形成してもよいが、本実施例では、図示するようにフード１１０の入口側方向に斜めに空気を吹き出すような形状とした。こうすることにより基板表面の粉じんを、入口側に吹き飛ばすことができ、吸込口１１２ａで吸入しやすくなる利点がある。ノズル１１４から空気を吹き出す方向は、任意に設定可能である。鉛直下方に近づければ、入口方向に粉じんを吹き飛ばす効果が弱くなり、水平方向に近づければ、粉じんを吹き飛ばす作用自体が弱くなる。ノズル１１４の形状は、両者を考慮して決めればよい。ノズル１１４の吹出方向を調整可能としてもよい。
本実施例では、ノズル１１４は、いずれも基板の搬送方向に平行に空気を吹き出す形状となっているが、搬送方向に交差する方向に吹き出す形状としてもよい。
以上で説明した第２実施例のフード１１０を用いた非接触型基板クリーナーによれば、第１実施例と同様の効果に加えて、出口側に吸込口１１２ｂを有するため、フード１１０の出口側から粉じんが外部に漏れ出ることを回避できる利点がある。特に、基板の出口側に粉じんが吹き出すことで、清浄後の基板に粉じんが降りかかり、次工程に影響を与える懸念がある場合には、より有用性が高い。
【００３２】
第１実施例、第２実施例で説明した種々の特徴は、必ずしも全てを備えている必要はなく、適宜、その一部を省略したり組み合わせたりしてもよい。また、本発明は、これらの実施例に限らず、種々の変形例を構成可能である。
例えば、第１実施例および第２実施例において、空気の吹出口は省略しても差し支えない。
第１実施例、第２実施例は、基板を水平方向に搬送する例を示したが、基板を立てて垂直方向に搬送する構成としてもよい。この場合は、第１実施例、第２実施例で説明したフード１００、１１０を基板の搬送面に対面するよう、立てて配置すればよい。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明は、非接触で基板表面の粉じんを除去するために利用できる。
【符号の説明】
【００３４】
１０      ：支柱
１１      ：ガイドレール
１２      ：規制板
１３      ：ベルトコンベヤ
１４      ：駆動用モータ
１５      ：パイプ
１５Ａ    ：パイプ
１５Ｂ    ：パイプ
１６      ：パイプ
１６Ａ    ：パイプ
１６Ｂ    ：パイプ
１６Ｃ    ：配管
３０      ：ブロア
１００    ：フード
１００ａ  ：下面
１０１    ：内壁
１０２    ：吸込室
１０２ａ  ：吸込口
１０３    ：吹出室
１１０    ：フード
１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ  ：内壁
１１２    ：吸込室
１１２Ｃ  ：流路
１１２ａ  ：吸込口
１１２ｂ  ：吸込口
１１３Ａ  ：吹出室
１１３Ｂ  ：流路
１１３Ｃ  ：マニホールド
１１４    ：ノズル
１２０    ：フード
１２１    ：内壁
１２２    ：吸込室
１２３    ：吹出室
【図１】
2019098250.tif 000003
【図２】
2019098250.tif 000004
【図３】
2019098250.tif 000005
【図４】
2019098250.tif 000006