(57)【要約】【課題】にじみなどの印刷不良の発生を少なくできるスクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】スクリーン印刷機は、ペーストＰｓｔを印刷するための複数の開口が形成されたパターン形成領域Ｒを備えたマスク７と、マスク７の下方に設けられた基板保持部４と、基板保持部４を移動させて基板保持部４に保持された基板６をパターン形成領域Ｒに位置合わせする基板位置決め機構と、パターン形成領域Ｒを往復することによりマスク７上のペーストＰｓｔを複数の開口を通じて基板６に印刷する印刷ヘッド２０を備えている。そして、印刷ヘッド２０は、往路と復路とで複数の開口にペーストＰｓｔを押し込むときの圧力を異ならせる。【選択図】図６
2019014179.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペーストを印刷するための複数の開口が形成されたパターン形成領域を備えたマスクと、
前記マスクの下方に設けられた基板保持部と、
基板保持部を移動させて前記基板保持部に保持された基板を前記パターン形成領域に位置合わせする基板位置決め機構と、
前記パターン形成領域を往復することにより前記マスク上のペーストを前記複数の開口を通じて基板に印刷する印刷ヘッドと、を備え、
前記印刷ヘッドは、前記往復の往路と復路とで前記複数の開口にペーストを押し込むときの圧力を異ならせるスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記印刷ヘッドは、前記往路と前記復路とで移動速度を異ならせることにより、前記圧力を異ならせる請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
前記印刷ヘッドは、
前記印刷ヘッドが前記往路を移動するときに前記マスクの上面に当接して前記複数の開口にペーストを押し込む第１のスキージと、
前記印刷ヘッドが前記復路を移動するときに前記マスクの上面に当接して前記複数の開口にペーストを押し込む第２のスキージと、を有し、
前記第１のスキージを前記マスクに当接させる力と前記第２のスキージを前記マスクに当接させる力とを異ならせることにより、前記圧力を異ならせる請求項１または２に記載のスクリーン印刷機。
【請求項４】
前記印刷ヘッドは、
前記印刷ヘッドが前記往路を移動するときに前記マスクの上面に当接して前記複数の開口にペーストを押し込む第１のスキージと、
前記印刷ヘッドが前記復路を移動するときに前記マスクの上面に当接して前記複数の開口にペーストを押し込む第２のスキージと、を有し、
前記第１のスキージが前記マスクに当接したときの傾きと前記第２のスキージが前記マスクに当接したときの傾きとを異ならせることにより、前記圧力を異ならせる請求項１または２に記載のスクリーン印刷機。
【請求項５】
前記印刷ヘッドは、貯留室のペーストを前記マスクに押し出す加圧部を有し、
前記往路と前記復路とで前記加圧部が前記貯留室のペーストに加える力を変更することにより、前記圧力を異ならせる請求項１または２に記載のスクリーン印刷機。
【請求項６】
基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、
基板を複数の開口が形成されたパターン形成領域に位置合わせした状態でマスクの下面に接触させる基板接触工程と、
印刷ヘッドを一方向に移動させて前記パターン形成領域内の前記複数の開口にペーストを押し込む往路移動工程と、
前記往路移動工程の後、印刷ヘッドを前記一方向とは逆の方向に移動させて前記パターン形成領域内の前記複数の開口にペーストを押し込む復路移動工程とを含み、
前記往路移動工程と前記復路移動工程とで前記複数の開口にペーストを押し込むときの圧力が異なるスクリーン印刷方法。
【請求項７】
前記往路移動工程と前記復路移動工程とで、前記印刷ヘッドの移動速度を異ならせることにより、前記圧力を異ならせる請求項６に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項８】
前記印刷ヘッドは、
前記往路移動工程で前記マスク上に当接して前記複数の開口にペーストを押し込む第１のスキージと、
前記復路移動工程で前記マスク上に当接して前記複数の開口にペーストを押し込む第２のスキージと、有し、
前記第１のスキージを前記マスク上に当接させる力と前記第２のスキージを前記マスク上に当接させる力とを異ならせることにより、前記圧力を異ならせる請求項６または７に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項９】
前記印刷ヘッドは、
前記印刷ヘッドが前記往路を移動するときに前記マスクの上面に当接して前記複数の開口にペーストを押し込む第１のスキージと、
前記印刷ヘッドが前記復路を移動するときに前記マスクの上面に当接して前記複数の開口にペーストを押し込む第２のスキージと、を有し、
前記第１のスキージが前記マスクに当接したときの傾きと前記第２のスキージが前記マスクに当接したときの傾きとを異ならせることにより、前記圧力を異ならせる請求項６または７に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項１０】
前記印刷ヘッドは、貯留室のペーストを前記マスクに押し出す加圧部を有し、
前記往路移動工程と前記復路移動工程とで前記加圧部が前記貯留室のペーストに加える力を変更することにより、前記圧力を異ならせる請求項６または７に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の開口が形成されたマスクを用いて基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機およびスクリーン方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、２つのパターン形成領域（第１のパターン形成領域と第２のパターン形成領域）が並んで設けられたマスクを使用して、２つの異なる機種の基板に半田等のペーストをそれぞれ印刷するスクリーン印刷作業を実行するスクリーン印刷機が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
特許文献１に記載のスクリーン印刷機は、基板を保持してマスクの下方を移動自在な一つの基板保持部と、マスク上のペーストを移動させる一つの印刷ヘッドを備えている。そして、基板保持部は基板を保持した後、その基板に対応するパターン形成領域に保持した基板を位置合わせする。印刷ヘッドは、基板が位置合わせされた方のパターン形成領域側のマスク上を往復移動してペーストを印刷する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−８３３６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１では、印刷ヘッドがパターン形成領域上を往復するのでマスクに形成されたパターン孔へのペーストの充填が２回行われる。このため、ペーストがパターン孔に過剰に充填されて、にじみなどの印刷不良が発生しやすいという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、にじみなどの印刷不良の発生を少なくできるスクリーン印刷機およびスクリーン方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のスクリーン印刷機は、ペーストを印刷するための複数の開口が形成されたパターン形成領域を備えたマスクと、前記マスクの下方に設けられた基板保持部と、基板保持部を移動させて前記基板保持部に保持された基板を前記パターン形成領域に位置合わせする基板位置決め機構と、前記パターン形成領域を往復することにより前記マスク上のペーストを前記複数の開口を通じて基板に印刷する印刷ヘッドと、を備え、前記印刷ヘッドは、前記往復の往路と復路とで前記複数の開口にペーストを押し込むときの圧力を異ならせる。
【０００８】
本発明のスクリーン印刷方法は、基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、基板を複数の開口が形成されたパターン形成領域に位置合わせした状態でマスクの下面に接触させる基板接触工程と、印刷ヘッドを一方向に移動させて前記パターン形成領域内の前記複数の開口にペーストを押し込む往路移動工程と、前記往路移動工程の後、印刷ヘッドを前記一方向とは逆の方向に移動させて前記パターン形成領域内の前記複数の開口にペーストを押し込む復路移動工程とを含み、前記往路移動工程と前記復路移動工程とで前記複数の開口にペーストを押し込むときの圧力が異なる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、にじみなどの印刷不良を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷機の構造を示す平面図
【図２】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷機の構造を示す側面図
【図３】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷機が備えるマスクの平面図
【図４】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷機が備える印刷ヘッドの機能説明図
【図５】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷機におけるスクリーン印刷のフロー図
【図６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態のスクリーン印刷機における印刷動作の説明図
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態のスクリーン印刷機における印刷動作の第２変形例の説明図
【図８】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷機における印刷動作の第３変形例での印刷ヘッドの設定の説明図
【図９】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態のスクリーン印刷機における印刷動作の第３変形例の説明図
【図１０】本発明の他の形態のスクリーン印刷機が備える加圧型印刷ヘッドの説明図
【図１１】本発明の他の実施の形態のスクリーン印刷機におけるスクリーン印刷のフロー図
【図１２】（ａ）（ｂ）本発明の他の実施の形態のスクリーン印刷機における印刷動作の説明図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、スクリーン印刷機の仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。以下、基板の搬送方向（図１における左右方向）をＸ方向、Ｘ方向と水平面内において直交する方向（図１における上下方向）をＹ方向、水平面に直交する方向（図２における上下方向）をＺ方向と定義する。
【００１２】
まず図１、図２を参照して、スクリーン印刷機１の構造を説明する。スクリーン印刷機１は、基台２上に搬入コンベア３、基板保持部４、搬出コンベア５をＸ方向に並べて備えている。搬入コンベア３は、スクリーン印刷機１の上流側（Ｘ方向の左側）から受け取った基板６をＸ方向に搬送して、基板保持部４に受け渡す。基板保持部４は、受け取った基板６を所定のクランプ位置に保持する。搬出コンベア５は、基板保持部４から受け取った基板６をＸ方向に搬送してスクリーン印刷機１の下流側（Ｘ方向の右側）に搬出する。基板保持部４の上方には、基板６にペーストを印刷するための複数の開口が形成されたパターン形成領域（第１のパターン形成領域Ｒ１及び第２のパターン形成領域Ｒ２）を備えたマスク７が設置されている。
【００１３】
ここで、図３を参照して、マスク７の構造を説明する。マスク７はＸＹ平面に広がって延びた矩形平板形状を有しており、その外周は枠部材７ｗによって支持されている。マスク７には、２種類の基板６に対応したスクリーン印刷ができるように、第１のパターン形成領域Ｒ１と第２のパターン形成領域Ｒ２がＹ方向に並んで配置されている。ここでは、Ｙ方向の前側を第１のパターン形成領域Ｒ１、Ｙ方向の後側を第２のパターン形成領域Ｒ２とする。
【００１４】
第１のパターン形成領域Ｒ１には、第１の複数の開口ＰＴ１と２つ一組のマスク側マーク７ｍが形成されている。第２のパターン形成領域Ｒ２には、第２の複数の開口ＰＴ２と２つ一組のマスク側マーク７ｍが形成されている。以下、区別が不要な場合は、区別が不要な場合は、第１のパターン形成領域Ｒ１と第２のパターン形成領域Ｒ２を単に「パターン形成領域Ｒ」と称す。また、第１の複数の開口ＰＴ１と第２の複数の開口ＰＴ２を単に「複数の開口ＰＴ」と称す。
【００１５】
図２において、基台２上には、ＸＹテーブル８、θテーブル９、基板昇降機構１０が下方から順に設けられている。ＸＹテーブル８は、θテーブル９を水平面内（Ｘ方向、Ｙ方向）で移動させる。θテーブル９は、基板昇降機構１０をＺ軸周りにθ回転させる。基板昇降機構１０は、基板保持部４を下方から支持して昇降させる。基台２には、制御部Ｃが設けられている。制御部Ｃは、搬入コンベア３、基板保持部４、搬出コンベア５、ＸＹテーブル８、θテーブル９、基板昇降機構１０を制御する。
【００１６】
図２において、マスク７の下方には、基板認識用のカメラとマスク認識用のカメラを内蔵するカメラユニット１１が備えられている。カメラユニット１１は、制御部Ｃによって制御されるカメラユニット移動機構（図示省略）によって水平面内を移動する。カメラユニット１１は基板６とマスク７の間に移動して、基板６に形成された位置合わせ用の基板側マークもしくはマスク７に形成された位置合わせ用のマスク側マーク７ｍを撮像する。制御部Ｃは、カメラユニット１１で撮像された画像に基づいてマスク側マーク７ｍと位置合わせ用の基板側マークの位置を認識する。そして制御部Ｃは認識結果（マスク側マーク７ｍの位置と位置合わせ用の基板側マークの位置）より基板６とマスク７のＸＹ方向における相対的な位置関係、すなわち位置ずれを演算する。
【００１７】
さらに制御部Ｃは、演算で得られた位置ずれに基づいてＸＹテーブル８、θテーブル９、基板昇降機構１０を制御して、第１のパターン形成領域Ｒ１または第２のパターン形成領域Ｒ２のいずれかの複数の開口ＰＴと、基板保持部４が保持する基板６上に形成された電極が一致するように位置と向きを合わせる。次いで制御部Ｃは基板保持部４を上昇させて、基板６を下方からマスク７に接触させる。すなわち、ＸＹテーブル８、θテーブル９、基板昇降機構１０は、マスク７の下方に設けられた基板保持部４を移動させて基板保持部４に保持された基板６をパターン形成領域Ｒに位置合わせ（基板アライメント）する基板位置決め機構１２となる。
【００１８】
図１、図２において、マスク７の上方には、印刷ヘッド移動機構（図示省略）によってＹ方向に移動する印刷ヘッド２０が備えられている。印刷ヘッド２０は、印刷ヘッド移動機構によって水平面内を移動する移動ベース２１を備えている。移動ベース２１には、後側の第１のスキージ保持部２２Ａと前側の第２のスキージ保持部２２ＢがＹ方向に並んで配置されている。
【００１９】
第１のスキージ保持部２２Ａは、Ｘ方向に延びた第１のスキージ２３Ａを下端に保持し、移動ベース２１に設けられた第１の昇降機構２４Ａによって昇降する。第１のスキージ保持部２２Ａは、第１のスキージ２３Ａがマスク７に当接したときの傾きであるアタック角度θ（図４参照）を調整する第１のアタック角度調整部２５Ａを内蔵している。第２のスキージ保持部２２Ｂは、Ｘ方向に延びた第２のスキージ２３Ｂを下端に保持し、移動ベース２１に設けられた第２の昇降機構２４Ｂによって昇降する。第２のスキージ保持部２２Ｂは、第２のスキージ２３Ｂがマスク７に当接するアタック角度θを調整する第２のアタック角度調整部２５Ｂを内蔵している。
【００２０】
次に図４を参照して、印刷ヘッド２０のよる移動動作について説明する。ここでは、第１のスキージ２３Ａによる往路移動動作について説明する。往路移動動作は、基板保持部４が保持する基板６をマスク７のパターン形成領域Ｒ（ここでは第１のパターン形成領域Ｒ１）に位置合わせした状態で実行される。制御部Ｃは、第１のアタック角度調整部２５Ａを制御して、第１のスキージ２３Ａを所定のアタック角度θに設定する。次いで制御部Ｃは第１の昇降機構２４Ａを制御して、第１のスキージ２３Ａを下降（矢印ａ）させて第１のパターン形成領域Ｒ１の後側に当接させる。
【００２１】
この時、制御部Ｃは第１のスキージ２３Ａの下降量によって、第１のスキージ２３Ａをマスク７の上面に当接させる当接力Ｆを調整する。次いで制御部Ｃは印刷ヘッド移動機構を制御して、第１のスキージ２３Ａを往路方向（Ｙ方向の前側）に移動速度Ｖで移動させる。第１のスキージ２３Ａが複数の開口ＰＴ上を移動する際に、マスク７の上面に供給されているペーストＰｓｔが複数の開口ＰＴに所定の圧力で押し込まれる。複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込むときの圧力は、第１のスキージ２３Ａのアタック角度θ、当接力Ｆ、移動速度Ｖによって調整することができる。
【００２２】
具体的には、アタック角度θを小さくすること、当接力Ｆを大きくすること、移動速度Ｖを大きくすること、の少なくともいずれかによって、押し込むときの圧力を大きくすることができる。アタック角度θを大きくすること、当接力Ｆを小さくすること、移動速度Ｖを小さくすること、の少なくともいずれかによって、押し込むときの圧力を小さくすることができる。
【００２３】
第１のスキージ２３Ａが第１のパターン形成領域Ｒ１の外側まで移動すると（図６（ａ）参照）、制御部Ｃは第１のスキージ２３Ａを上昇させる。次いで制御部Ｃは第２のスキージ２３Ｂを下降させてマスク７に当接させ、第２のスキージ２３Ｂを復路方向（Ｙ方向の後側）に移動させて複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込む復路移動動作を実行させる。第２のスキージ２３Ｂが第１のパターン形成領域Ｒ１の外側まで移動すると（図６（ｂ）参照）、制御部Ｃは第２のスキージ２３Ｂを上昇させる。
【００２４】
このように、往路移動動作では、第１のスキージ２３Ａは、印刷ヘッド２０が往路を移動するときにマスク７の上面に当接して複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込んでいる。また復路移動動作では、第２のスキージ２３Ｂは、印刷ヘッド２０が復路を移動するときにマスク７の上面に当接して複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込んでいる。このように、印刷ヘッド２０は、往路移動動作と復路移動動作によってパターン形成領域Ｒを往復することによりマスク７上のペーストＰｓｔを複数の開口ＰＴを通じて基板６に印刷する。
【００２５】
次に図５のフローに沿って、図６を参照しながらスクリーン印刷機１によって基板６にペーストＰｓｔを印刷するスクリーン印刷方法について説明する。図５において、搬入コンベア３は、上流側から受け取った基板６を基板保持部４まで搬入する（ＳＴ１：基板搬入工程）。次いで基板保持部４は、基板６をクランプ位置に保持する（ＳＴ２：基板保持工程）。次いでカメラユニット１１がマスク７と基板６の間に移動し、基板６に形成された基板側マークとマスク７に形成されたマスク側マーク７ｍを認識する（ＳＴ３：基板認識工程）。
【００２６】
次いで基板位置決め機構１２は、認識結果に基づいて、基板６を複数の開口ＰＴが形成されたパターン形成領域Ｒに位置合わせ（基板アライメント）した状態でマスク７の下面に接触させる（ＳＴ４：基板接触工程）。次いで印刷ヘッド２０は、第１のスキージ２３Ａを下降させてマスク７上に当接させる（ＳＴ５：第１のスキージ下降工程）。次いで印刷ヘッド２０は、第１の移動速度Ｖ１で一方向（Ｙ方向の前側の方向）に移動してパターン形成領域Ｒ内の複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込む（ＳＴ６：往路移動工程）（図６（ａ）参照）。
【００２７】
図５において、第１のスキージ２３Ａがパターン形成領域Ｒ外まで移動すると、印刷ヘッド２０は第１のスキージ２３Ａを元の高さまで上昇させる（ＳＴ７：第１のスキージ上昇工程）。次いで印刷ヘッド２０は、第２のスキージ２３Ｂを下降させてマスク７上に当接させる（ＳＴ８：第２のスキージ下降工程）。次いで印刷ヘッド２０は、第１の移動速度Ｖ１より速い第２の移動速度Ｖ２で一方向とは逆の方向（Ｙ方向の後側の方向）に移動してパターン形成領域Ｒ内の複数の開口ＰＴにペーストを押し込む（ＳＴ９：復路移動工程）（図６（ｂ）参照）。
【００２８】
第２のスキージ２３Ｂがパターン形成領域Ｒ外まで移動すると、印刷ヘッド２０は第２のスキージ２３Ｂを元の高さまで上昇させる（ＳＴ１０：第２のスキージ上昇工程）。次いで基板位置決め機構１２は基板保持部４を下降させ、ペーストＰｓｔを複数の開口ＰＴから引き抜いて基板６の上面に転写させる版離れ動作を実行させる（ＳＴ１１：版離れ工程）。次いで基板保持部４は、保持する基板６を解放させる（ＳＴ１２：基板保持解放工程）。次いで搬入コンベア３は、基板保持部４から基板６を受け取って下流側に搬出させる（ＳＴ１３：基板搬出工程）。
【００２９】
このように、復路移動工程（ＳＴ９）では、第１の移動速度Ｖ１よりも速い第２の移動速度Ｖ２で第２のスキージ２３Ｂを移動させることにより、往路移動工程（ＳＴ６）よりも大きな圧力で複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込んでいる。すなわち、スクリーン印刷機１は、往路移動工程（ＳＴ６）と復路移動工程（ＳＴ９）とで、印刷ヘッド２０の移動速度Ｖを異ならせることにより、複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込むときの圧力を異ならせている。
【００３０】
上記説明したように、本実施の形態のスクリーン印刷機１は、ペーストＰｓｔを印刷するための複数の開口ＰＴが形成されたパターン形成領域Ｒを備えたマスク７と、マスク７の下方に設けられた基板保持部４と、基板保持部４を移動させて基板保持部４に保持された基板６をパターン形成領域Ｒに位置合わせする基板位置決め機構１２と、パターン形成領域Ｒを往復することによりマスク７上のペーストＰｓｔを複数の開口ＰＴを通じて基板６に印刷する印刷ヘッド２０と、を備えている。そして、印刷ヘッド２０は、往路と復路とで複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込むときの圧力を異ならせている。これによって、往復印刷におけるにじみなどの印刷不良の発生を少なくすることができる。
【００３１】
次に図７を参照して、スクリーン印刷機１によるスクリーン印刷方法の第２変形例について説明する。第２変形例は、上記のスクリーン印刷方法（以下「第１変形例」と称す。）とは往路と復路で複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込むときの圧力を異ならせる方法が異なる。具体的には、第１のスキージ２３Ａをマスク７に当接させる第１の当接力Ｆ１と、第２のスキージ２３Ｂをマスク７に当接させる第２の当接力Ｆ２を異ならせている。
【００３２】
図７（ａ）に示す往路移動動作（往路移動工程（ＳＴ６））では、第１のスキージ２３Ａを第１の当接力Ｆ１でマスク７に当接させて移動速度Ｖで往路方向に移動させている。図７（ｂ）に示す復路移動動作（復路移動工程（ＳＴ９））では、第２のスキージ２３Ｂを第１の当接力Ｆ１より大きな第２の当接力Ｆ２でマスク７に当接させて移動速度Ｖで復路方向に移動させている。これにより、復路移動工程（ＳＴ９）では、往路移動工程（ＳＴ６）よりも大きな圧力で複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込むことができる。
【００３３】
次に図８、図９を参照して、スクリーン印刷機１によるスクリーン印刷方法の第３変形例について説明する。第３変形例は、第１変形例とは往路と復路で複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込むときの圧力を異ならせる方法が異なる。具体的には、第１のスキージ２３Ａがマスク７に当接したときの傾きである第１のアタック角度θ１と、第２のスキージ２３Ｂがマスク７に当接したときの第２のアタック角度θ２を異ならせている（図８参照）。
【００３４】
図９（ａ）に示す往路移動動作（往路移動工程（ＳＴ６））では、第１のアタック角度θ１に設定した第１のスキージ２３Ａをマスク７に当接させて移動速度Ｖで往路方向に移動させている。図９（ｂ）に示す復路移動動作（復路移動工程（ＳＴ９））では、第１のアタック角度θ１より小さな第２のアタック角度θ２に設定した第２のスキージ２３Ｂをマスク７に当接させて移動速度Ｖで復路方向に移動させている。これにより、復路移動工程（ＳＴ９）では、往路移動工程（ＳＴ６）よりも大きな圧力で複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込むことができる。
【００３５】
次に図１０を参照して、本発明の他の実施の形態のスクリーン印刷機３０について説明する。スクリーン印刷機３０は、図１、図２に示す第１のスキージ２３Ａと第２のスキージ２３Ｂを有する印刷ヘッド２０に代わり、加圧型印刷ヘッド３１（印刷ヘッド）を備えている。加圧型印刷ヘッド３１は、Ｘ方向に延びたペースト貯留容器３２の内側の貯留室３２ａに貯留したペーストＰｓｔをマスク７に押し出す加圧部３３を有している。以下、印刷ヘッド２０を備えるスクリーン印刷機１と同じ部分には同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
【００３６】
図１０において、加圧型印刷ヘッド３１は、印刷ヘッド移動機構（図示省略）によってＹ方向に移動する移動ベース３４を備えている。ペースト貯留容器３２と加圧部３３は支持部材３５に取り付けられている。支持部材３５は、移動ベース３４に設けられた昇降機構３６によって昇降する。加圧部３３の下方にはピストン３７が取り付けられている。ピストン３７は、加圧部３３によって貯留室３２ａの内壁に沿って昇降する。
【００３７】
次に加圧型印刷ヘッド３１による移動動作について説明する。まず制御部Ｃは印刷ヘッド移動機構を制御して、加圧型印刷ヘッド３１をパターン形成領域Ｒ外に移動させる。次いで制御部Ｃは昇降機構３６を制御して、ペースト貯留容器３２を下降（矢印ｂ）させてペースト貯留容器３２の下部に設けられた開口３２ｂをマスク７上に当接させる。次いで制御部Ｃは加圧部３３を制御してピストン３７を押し下げて、貯留室３２ａのペーストＰｓｔに加圧力Ｇを加える。加圧力Ｇは、加圧部３３がピストン３７を押し下げる量で調整することができる。次いで制御部Ｃは印刷ヘッド移動機構を制御して、加圧型印刷ヘッド３１を（往路方向または復路方向）に移動させる。これにより、複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔが押し込まれる。
【００３８】
次に図１１のフローに沿って、図１２を参照しながら加圧型印刷ヘッド３１を備えるスクリーン印刷機３０によって基板６にペーストＰｓｔを印刷するスクリーン印刷方法について説明する。以下、第１変形例と同じ工程には同じ符号を付して詳細な説明は省略する。図１１において、基板搬入工程（ＳＴ１）、基板保持工程（ＳＴ２）、基板認識工程（ＳＴ３）、基板接触工程（ＳＴ４）が実行される。これにより、基板６が位置合わせ（基板アライメント）された状態でマスク７の下面に接触する。
【００３９】
次いで加圧型印刷ヘッド３１は、ペースト貯留容器３２を下降させて開口３２ｂをパターン形成領域Ｒの外側でマスク７に当接させる（ＳＴ２１：ペースト貯留容器下降工程）。次いで加圧型印刷ヘッド３１は、加圧部３３が貯留室３２ａのペーストＰｓｔに加える力を初期加圧力Ｇ０から第１の加圧力Ｇ１に変更する（ＳＴ２２：第１の加圧力変更工程）。次いで加圧型印刷ヘッド３１は、移動速度Ｖで一方向（往路方向）に移動しながらパターン形成領域Ｒ内の複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込む（ＳＴ２３：往路移動工程）（図１２（ａ）参照）。
【００４０】
図１１において、開口３２ｂがパターン形成領域Ｒ外まで移動すると、次いで加圧型印刷ヘッド３１は、加圧部３３が貯留室３２ａのペーストＰｓｔに加える力を第１の加圧力Ｇ１より大きな第２の加圧力Ｇ２に変更する（ＳＴ２４：第２の加圧力変更工程）。次いで加圧型印刷ヘッド３１は、移動速度Ｖで一方向とは逆の方向（復路方向）に移動しながらパターン形成領域Ｒ内の複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込む（ＳＴ２５：復路移動工程）（図１２（ｂ）参照）。
【００４１】
開口３２ｂがパターン形成領域Ｒ外まで移動すると、次いで加圧型印刷ヘッド３１は、加圧部３３が貯留室３２ａのペーストＰｓｔに加える力を開口３２ｂからペーストＰｓｔが吐出しない初期加圧力Ｇ０に変更する（ＳＴ２６：初期加圧力変更工程）。次いで加圧型印刷ヘッド３１は、ペースト貯留容器３２を上昇させて開口３２ｂをマスク７から分離させる（ＳＴ２７：ペースト貯留容器上昇工程）。次いで版離れ工程（ＳＴ１１）、基板保持解放工程（ＳＴ１２）、基板搬出工程（ＳＴ１３）が実行される。これにより、上面にペーストＰｓｔが転写された基板６が下流側に搬出される。
【００４２】
このように、復路移動工程（ＳＴ２５）では、第１の加圧力Ｇ１より大きな第２の加圧力Ｇ２を貯留室３２ａのペーストＰｓｔに加えることにより、往路移動工程（ＳＴ２３）よりも大きな圧力で複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込んでいる。すなわち、スクリーン印刷機３０は、往路移動工程（ＳＴ２３）と復路移動工程（ＳＴ２５）とで、加圧部３３が貯留室３２ａのペーストＰｓｔに加える力（加圧力Ｇ）を変更することにより、複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込むときの圧力を異ならせている。これによって、往復印刷におけるにじみなどの印刷不良の発生を少なくすることができる。
【００４３】
なお上記の説明では、往路（往路移動工程（ＳＴ６、ＳＴ２３））よりも復路（復路移動工程（ＳＴ９、ＳＴ２５））の方が複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込むときの圧力が大きい例で説明したが、実施の形態はこれに限定されることはない。すなわち、往路より復路の方が複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込むときの圧力が小さくてもよい。つまり、印刷ヘッド２０および加圧型印刷ヘッド３１は、往路と復路とで複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込むときの圧力が異なればよい。複数の開口ＰＴにペーストＰｓｔを押し込むときの圧力は、実験などによって往路と復路の条件が決定される。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明のスクリーン印刷機およびスクリーン方法は、にじみなどの印刷不良の発生を少なくできるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。
【符号の説明】
【００４５】
１、３０  スクリーン印刷機
４  基板保持部
１２  基板位置決め機構
６  基板
７  マスク
２０  印刷ヘッド
２３Ａ  第１のスキージ
２３Ｂ  第２のスキージ
３１  加圧型印刷ヘッド（印刷ヘッド）
３２ａ  貯留室
３３  加圧部
Ｆ  当接力（マスクに当接させる力）
Ｇ  加圧力（ペーストに加える力）
ＰＴ  複数の開口
Ｐｓｔ  ペースト
Ｒ  パターン形成領域
Ｖ  移動速度
θ  アタック角度（マスクに当接したときの傾き）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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