(57)【要約】【課題】専用設備を用いず、かつ二次加工（後加工）を施すことなく、寸法精度の高い焼結ギアを製造し得る焼結体の製造方法を提供することにある。【解決手段】  本発明の焼結体の製造方法は、原料粒子を含む原料粉末を成形型で圧縮成形して、成形体を得る工程と、成形体を焼成して、焼結体を得る工程とを有し、成形体を得る工程において、成形型内の原料粉末に対して振動と鉛直方向への衝撃力とを付与する。また、振動を付与する時間が０．１〜５秒間であり、衝撃力を付与する回数が１〜５回であることが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
原料粒子を含む原料粉末を成形型で圧縮成形して、成形体を得る工程と、
前記成形体を焼成して、焼結体を得る工程とを有し、
前記成形体を得る工程において、前記成形型内の前記原料粉末に対して振動と鉛直方向への衝撃力とを付与することを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項２】
前記振動を付与する時間が、０．１〜５秒間である請求項１に記載の焼結体の製造方法。
【請求項３】
前記衝撃力を付与する回数が、１〜５回である請求項１または２に記載の焼結体の製造方法。
【請求項４】
前記成形型が、ダイと、該ダイに挿入される上パンチおよび下パンチとを有し、
前記成形体を得る工程が、前記原料粉末を収容したフィーダーで前記ダイと前記下パンチとで形成される空間を覆った状態とし、前記フィーダーから前記原料粉末を前記空間に充填するステップと、
前記空間内の前記原料粉末に対して前記下パンチを介して前記振動を付与するステップと、
鉛直上方に持ち上げた前記ダイおよび前記下パンチを落下させて、前記空間内の前記原料粉末に対して前記衝撃力を付与するステップと、
前記空間内の前記原料粉体を前記下パンチと前記上パンチとで圧縮して、前記成形体を得るステップとを有する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の焼結体の製造方法。
【請求項５】
前記成形体を得る工程が、さらに、前記原料粉末を充填するステップと前記振動を付与するステップとの間に、前記空間の容積を減少させて、前記原料粉末の一部を前記フィーダーに戻すステップを有する請求項４に記載の焼結体の製造方法。
【請求項６】
前記焼結体が、焼結ギアであり、
前記原料粒子が、前記焼結ギアのモジュール［ｍｍ］以下の粒径を有し、
前記原料粒子の最小粒径をＡ［ｍｍ］とし、最大粒径をＢ［ｍｍ］としたとき、Ｂ／Ａが１０以下である請求項１ないし５のいずれか１項に記載の焼結体の製造方法。
【請求項７】
前記焼結ギアの前記モジュールが、０．１５〜０．３ｍｍである請求項６に記載の焼結体の製造方法。
【請求項８】
前記焼結体を得た後、前記焼結体に対して二次加工を施すことなく、前記焼結体を前記焼結ギアとする請求項６または７に記載の焼結体の製造方法。
【請求項９】
製造予定の前記焼結ギアの径方向における寸法と得られた前記焼結体の径方向における寸法との誤差が、６σで０．０２ｍｍ以下である請求項６ないし８のいずれか１項に記載の焼結体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焼結体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、焼結ギア（焼結体）は、原料粉末を圧縮成形（圧粉成形）して成形体を得、この成形体をサイジング加工した後、焼成することにより製造される。この方法で製造される焼結ギアは、製造予定の焼結ギアとの寸法誤差が０．０３ｍｍ程度となる。
しかしながら、ロボットハンド等に用いられる高精度の焼結ギアでは、切削加工に匹敵する程度の寸法誤差（０．０１ｍｍ程度）に仕上げる必要がある。
【０００３】
かかる要求を満たすために、成形体を成形する際に、熱間成形、熱間等方圧成形（ＨＩＰ）、冷間等方圧成形（ＣＩＰ）等の特殊成形を行うこと、あるいは焼結体に対して鍛造（例えば、特許文献１参照）、切削等の二次加工を施すことが検討されている。
ところが、これらの方法では、特殊設備、付帯設備等の専用設備が必要となったり、二次加工のための後工程を追加せざるを得ず、焼結ギアの大量生産には不向きである。また、焼結体には、多数の巣が存在するため、二次加工（特に切削）を行うと、表面に巣が表れ、焼結ギアの機械的強度が低下するおそれもある。
【０００４】
これに対して、安価な圧縮成形で成形体を形成する場合には、成形体の寸法精度をより高める必要がある。具体的には、原料粉末の成形型への充填性を改善する必要がある。通常、成形型へ原料粉末を充填する場合、原料粉末をフィーダーから自由落下で成形型に充填される。このため、原料粉末の成形型への充填性が安定しないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１３７０３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、専用設備を用いず、かつ二次加工（後加工）を施すことなく、寸法精度の高い焼結ギアを製造し得る焼結体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願の例示的な発明は、原料粒子を含む原料粉末を成形型で圧縮成形して、成形体を得る工程と、成形体を焼成して、焼結体を得る工程とを有し、成形体を得る工程において、成形型内の原料粉末に対して振動と鉛直方向への衝撃力とを付与することを特徴とする焼結体の製造方法である。
【発明の効果】
【０００８】
本願の例示的な発明によれば、寸法精度の高い焼結体を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係る焼結体の構成（焼結ギア）を模式的に示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。
【図２】焼結ギアを製造するのに用いる成形装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の焼結体の製造方法を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る焼結体の構成（焼結ギア）を模式的に示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）、図２は、焼結ギアを製造するのに用いる成形装置の概略構成を示す図である。
【００１１】
以下では、焼結体を焼結ギアとする場合を代表に説明する。
なお、焼結ギアの中心軸に平行な方向（図１（ａ）の紙面に垂直な方向）を「軸方向」、中心軸に直交する方向を「径方向」、中心軸を中心とする軸周りの方向を「周方向」と言う。
図１に示す焼結ギア１は、円盤状のギア本体２と、ギア本体２の周方向に沿って配置され、径方向外側に突出する複数の歯３とを有している。複数の歯３は、ほぼ等間隔で設けられている。
【００１２】
この焼結ギア１は、原料粉末の焼結体で構成されている。なお、原料粉末の構成については、後に詳述する。
焼結ギア１のサイズは、使用する用途に応じて設計されるため、特に限定されないが、焼結ギア１を、例えばロボットハンド用のギア（高精度のギア）とする場合には、次のように設計される。
焼結ギア１の歯先円直径（図１中「Ｄ」で示す。）は、３〜１５ｍｍ程度であることが好ましく、５〜１０ｍｍ程度であることがより好ましい。また、焼結ギア１の歯数は、１５〜４０枚程度であることが好ましく、２０〜３５枚程度であることがより好ましい。
【００１３】
したがって、歯１２の大きさ（歯厚）の程度を示すモジュールは、０．１５〜０．３ｍｍ程度であることが好ましく、０．１５〜０．２５ｍｍ程度であることがより好ましい。このような小型（高精度）の焼結ギア１であっても、本発明の原料粉末を用いれば、高い寸法精度で製造することができる。
なお、歯１２の歯幅（図１中「Ｗ」で示す。）は、１〜１０ｍｍ程度であることが好ましく、２〜５ｍｍ程度であることがより好ましい。
【００１４】
なお、図１に示す焼結ギア１は、いわゆる平歯車であるが、本発明はこれに限定されず、例えば、ねじ歯車、かさ歯車、ウォームギア、ハイポイドギア等であってもよい。
このような焼結ギア１は、次のようにして製造される。
以下、焼結ギア１を製造する方法（焼結ギアの製造方法）について説明する。
【００１５】
本実施形態の焼結ギアの製造方法は、［１］原料粉末を圧縮成形して、焼結ギア１に対応する形状を有する成形体を得る成形工程と、［２］成形体を焼成して、焼結体を得る焼成工程と、［３］焼結体を熱処理して、その表面を被覆する酸化膜を形成する表面処理工程とを有する。以下、各工程について順次説明する。
【００１６】
［１］成形工程
まず、成形装置と、原料粉末とを用意する。
図２に示す成形装置１０は、成形型２０と、原料粉末を収容したフィーダー３０とを備えている。
また、成形型２０は、厚さ方向に貫通する貫通孔２１１を備えるダイ２１と、このダイ２１の貫通孔２１１内に挿入される上パンチ２２および下パンチ２３とを有している。そして、貫通孔２１１を規定するダイ２１の内周面の形状が、製造すべき焼結ギア１の外周面の形状（凹凸形状）に対応している。
【００１７】
本実施形態では、下パンチ２３の内部には、軸方向に沿って延びるコアピン２３１と、このコアピン２３１に振動を付与する振動体２３２とが配置されている。
また、成形装置１０は、図示しないが、ダイ２１および下パンチ２３を鉛直上方に持ち上げた後、落下させる機構を有している。
かかる構成により、成形型２０内の原料粉末に対して振動と、鉛直方向への衝撃力とを付与することができる。
【００１８】
かかる成形装置１０では、次のステップに従って、成形体を形成する。
［１−１］第１ステップ
まず、ダイ２１の貫通孔２１１の下部に下パンチ２３の先端部を挿入して、ダイ２１と下パンチ２３とでキャビティー（空間）２１２を形成する（図２（ａ）参照）。次に、ダイ２１上でフィーダー３０をスライドさせ、フィーダー３０でキャビティー２１２を覆った状態とし、フィーダー３０から原料粉末をキャビティー２１２に充填する（図２（ｂ）参照）。
【００１９】
焼結ギア１を製造するのに用いられる原料粉末は、次のような構成であることが好ましい。
原料粉末は、焼結ギア１のモジュール［ｍｍ］以下の粒径を有する原料粒子を含んでいる。かかる構成により、原料粒子をキャビティー２１２の歯元部のみならず歯先部にまで必要かつ十分に充填することができる。
特に、本実施形態では、原料粒子の最小粒径をＡ［ｍｍ］とし、最大粒径をＢ［ｍｍ］としたとき、Ｂ／Ａが１０以下となるように、原料粒子の粒径が調整されている。すなわち、原料粉末中に含まれる原料粒子の粒径の差が大きくならないように調整されている。
【００２０】
Ｂ／Ａは、７以下であることが好ましく、２〜４程度であることがより好ましい。Ｂ／Ａを上記範囲に調整することにより、原料粉末の流動性の著しい低下を防止することができる。これにより、原料粉末をキャビティー２１２に安定的に供給して、高密度で充填することができる。また、この場合、廃棄する原料粒子の量が多くなり過ぎることを防止して、原料粉末のコスト、ひいては焼結ギア１の製造コストの増大を抑制し得る。
原料粒子の最大粒径Ｂは、焼結ギア１のモジュールの半分以下であることが好ましく、モジュールの０．３５〜０．４５倍程度であることがより好ましい。これにより、原料粒子のキャビティー２１２の歯先部への充填密度をより高めることができる。
【００２１】
前述したような高精度（小型）の焼結ギア１を製造する場合、原料粒子の最大粒径Ｂの具体的な値は、０．１〜０．２５ｍｍ程度であることが好ましく、０．１２〜０．２ｍｍ程度であることがより好ましい。この場合、原料粒子の最小粒径Ａの具体的な値は、０．０２〜０．０５ｍｍ程度であることが好ましく、０．０２５〜０．０４ｍｍ程度であることがより好ましい。
原料粒子の最小粒径Ａおよび最大粒径Ｂを前記範囲とすることにより、高精度の焼結ギア１を製造する場合であっても、原料粉末の流動性を低下させることなく、原料粒子をキャビティー２１２の歯先部にまで十分に充填することができる。
ここで、原料粒子の粒径は、例えば、レーザーによる投影像から測定することができる。
【００２２】
原料粒子は、例えば、粉砕法、水アトマイズ法、ガスアトマイズ法のようなアトマイズ法、還元法、カルボニル法等を用いて製造することができる。
また、原料粒子の構成材料としては、Ｆｅ（鉄）単体、主成分のＦｅと任意の元素とを含む合金のような各種金属材料、アパタイト系セラミックスのような各種セラミックス材料等が挙げられる。なお、合金に添加される元素としては、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｍｎ（マンガン）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｃｕ（銅）、Ｗ（タングステン）、Ｖ（バナジウム）、Ｃｏ（コバルト）、Ｓｉ（珪素）、Ｃ（炭素）等のうちの少なくとも１種が挙げられる。
【００２３】
このような原料粉末は、滑剤を含有してもよい。これにより、原料粉末の流動性をより高めることができる。
滑剤としては、例えば、ステアリン酸のような脂肪酸、その金属塩、その誘導体（例えば、アミド、エステル等）、フッ素系樹脂等が挙げられる。これらの化合物は、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて用いることができる。
この場合、原料粉末中に含まれる滑剤の量は、特に限定されないが、５質量％以下であることが好ましく、０．１〜３質量％程度であることがより好ましい。
【００２４】
なお、本実施形態では、粒径が相対的に小さい原料粒子を取り除いているため、滑剤を含まない原料粉末自体の流動性が高い。このため、少量（０．１〜０．５質量％程度）の滑剤を含有することで、原料粉末の流動度を十分に高い値に調整することができる。
原料粉末の具体的な流動度は、２５〜５０ｓｅｃ／５０ｇ程度であることが好ましく、３０〜４０ｓｅｃ／５０ｇ程度であることがより好ましい。このような流動度を有する原料粉末であれば、高い安定性でキャビティー２１２へ供給することができる。ここで、流動度は、ＪＩＳ  Ｚ  ２５０２（２０１２年）に規定された金属粉−流動度測定法に準拠して測定することができる。
【００２５】
［１−２］第２ステップ（オーバーフィルステップ）
次に、ダイ２１と下パンチ２３とを相対的に接近させることにより、キャビティー２１２（空間２１１）の容積を減少させて、原料粉末の一部をフィーダー３０に戻す。これにより、原料粉末の充填密度をより高めることができる。
［１−３］第３ステップ
その後、ダイ２１上でフィーダー３０をスライドさせ、キャビティー２１２から後退させた状態とする。この際、余剰の原料粉末の摺り切りが行われる。
【００２６】
［１−４］第４ステップ
次に、振動体２３２を作動させ、コアピン２３１を振動させる。これにより、キャビティー２１２内の原料粉末に対して下パンチ２３を介して振動が付与される。このとき、キャビティー２１２内の原料粒子が再配列され、原料粉末の充填密度を高めることができる。
振動を付与する時間は、０．１〜５秒間程度であることが好ましく、０．５〜３秒間程度であることがより好ましい。比較的短時間で振動を原料粉末に付与することにより、原料粉末の飛散を防止しつつ、充填密度をより高めることができる。
振動の周波数は、特に限定されず、原料粒子の粒径、原料粉末の流動度等に応じて、原料粉末のキャビティー２１２内への充填密度を高めるべく、適宜設定される。
【００２７】
［１−５］第５ステップ
次に、ダイ２１および下パンチ２３を鉛直上方に持ち上げた後、落下させる。以下、この動作を「タップ」とも記載する。これにより、キャビティー２１２内の原料粉末に対して鉛直方向への衝撃力を付与することができる。これにより、キャビティー２１２内の原料粒子の充填密度をより高めることができる。
衝撃力を付与する回数（タップ回数）は、１〜５回程度であることが好ましく、２〜３回程度であることがより好ましい。タップ回数を前記範囲とすれば、キャビティー２１２内で再配列された原料粒子の配置を乱すことなく、原料粉末の密度をより高めることができる。
また、ダイ２１および下パンチ２３を持ち上げる高さは、特に限定されないが、１〜１０ｍｍ程度であることが好ましく、３〜７ｍｍ程度であることがより好ましい。これにより、適度な衝撃力を原料粉末に付与することができる。
【００２８】
［１−６］第６ステップ
その後、キャビティー２１２に上パンチ２２の先端部を挿入して、下パンチ２３と上パンチ２２とで原料粉末を圧縮する（図３（ｃ）参照）。
原料粉末を圧縮する際の圧力（成形圧力）は、特に限定されないが、０．５〜３ｔｏｎ程度であることが好ましく、１〜２ｔｏｎ程度であることがより好ましい。
以上のようにして、キャビティー２１２内に、焼結ギアに対応する形状を有する成形体１１が得られる。
［１−７］第７ステップ
その後、ダイ２１と下パンチ２３とを相対的に接近させ、キャビティー２１２から成形体１１を排出する。
【００２９】
［２］焼成工程
次に、得られた成形体１１を、焼成して焼結体を得る。
この焼結により、成形体１１では、原料粒子同士の界面で拡散が生じて焼結に至る。この際、成形体１１は、全体的に収縮して高密度の焼結体が得られる。本発明では、前述したような原料粉末を用いるため、その効果が特に高い。
焼成温度は、成形体１１の製造に用いた原料粉末の組成や粒径等によって、設定されるため特に限定されないが、９５０〜１３００℃程度であることが好ましく、１０００〜１２００℃程度であることがより好ましい。
【００３０】
焼成時間は、０．２〜３時間程度であることが好ましく、０．５〜２時間程度であることがより好ましい。
また、焼成の際の雰囲気は、特に限定されないが、大気雰囲気、酸化性雰囲気、還元性雰囲気、不活性ガス雰囲気またはこれらの雰囲気を減圧した減圧雰囲気等が挙げられる。
このようにして得られた焼結体は、寸法精度が極めて高いため、鍛造、切削のような二次加工を施すことなく、焼結ギア１とすることができる。なお、二次加工とは、機械的に焼結体の形状を変化させる加工を言い、二次加工には、後述する表面処理（加熱処理）は含まれない。
【００３１】
なお、製造予定の焼結ギア１の径方向における寸法と得られた焼結体の径方向における寸法との誤差は、６σで好ましくは０．０２ｍｍ以下であり、より好ましくは０．００５〜０．０１５ｍｍ程度である。前述したような粒径を有する原料粒子を用いることにより、かかる寸法精度の高い焼結ギア１を得ることができる。
【００３２】
［３］表面処理工程
次に、焼結体には、その表面に酸化膜を形成するための表面処理を行う。
この表面処理により、焼結ギア１の表面の平滑性が高まる。また、表面に酸化膜が形成されることにより、酸化膜付き焼結ギア１は、製造予定の焼結ギア１との寸法誤差をより小さくすることができる。
表面処理の温度は、特に限定されないが、５００〜１０００℃程度であることが好ましく、７００〜９５０℃程度であることがより好ましい。
【００３３】
また、表面処理の時間は、０．５分間〜１時間程度であることが好ましく、１〜４５分間程度であることがより好ましい。
表面処理の雰囲気は、特に限定されないが、水蒸気雰囲気、酸化性雰囲気、不活性ガス雰囲気、またはこれらの雰囲気を減圧した減圧雰囲気等が挙げられる。
なお、［３］表面処理工程は、必要に応じて行うようにすればよく、省略してもよい。
【００３４】
以上、本発明の焼結体の製造方法について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
また、焼結ギア１は、ロボットハンドのような産業機械用部品の他、例えば、自動車用部品、自転車用部品、鉄道車両用部品、船舶用部品、航空機用部品、宇宙輸送機用部品のような輸送機器用部品、パソコン用部品、携帯端末用部品のような電子機器用部品、冷蔵庫、洗濯機、冷暖房機のような電気機器用部品、プラント用部品、時計用部品等に用いられる。
【００３５】
さらに、焼結体は、焼結ギア１に限らず、例えば、軸受け、シリンダ等とすることもできる。
【実施例】
【００３６】
次に、本発明の実施例について説明する。
１．酸化膜付き焼結ギアの製造
【００３７】
（実施例１）
［Ａ］まず、Ｆｅを主成分とする原料粒子（最大粒径Ｂ：０．２１２ｍｍ、ヘガネス社製）を用意した。
［Ｂ］次に、篩を用いて、原料粒子から０．０３２ｍｍ未満の粒径を有する粒子を取り除いた。したがってＢ／Ａは６．６である。
【００３８】
［Ｃ］次に、原料粒子と、滑剤としてＮ，Ｎ’−エチレンビスステアラミド（花王株式会社製、「ＫＡＯ  ＷＡＸ  ＥＢ−ＦＦ」）とを、Ｖ型混合機で３０分間混合して、原料粉末を得た。なお、原料粉末中に含まれるＮ，Ｎ’−エチレンビスステアラミドの量が０．２質量％となるように調製した。また、得られた原料粉末の流動度を、流動度測定装置（自社製、ＪＩＳ  Ｚ  ２５０２（２０１２年）に準拠）を用いて測定しところ、３０ｓｅｃ／５０ｇであった。
【００３９】
次に、この原料粉末を、図２に示す成形装置を用いて圧縮成形し、成形体を得た。
まず、フィーダーから原料粉末をキャビティーに充填した。キャビティー内の原料粉末に対して、振動を１秒間付与した後、２回のタップ操作により衝撃力を付与した。その後、フィーダーにより原料粉末を摺り切った後、上パンチと下パンチとで圧縮した。なお、圧縮成形の際の圧力を１．１ｔｏｎとし、温度を室温とした。
【００４０】
［Ｄ］次に、得られた成形体を、大気雰囲気中、１２００℃で１時間焼成して、焼結ギア（焼結体）を得た。なお、焼結ギアの形状は、歯先円直径９ｍｍ、モジュール０．３ｍｍ、歯数２７枚とした。
［Ｅ］次に、得られた焼結ギアを、大気雰囲気中、７５０℃で１分間熱処理することにより、焼結ギアの表面に、平均厚さ０．０１ｍｍの酸化膜を形成した。これにより、酸化膜付き焼結ギアを得た。なお、酸化膜の平均厚さは、断面観察法により測定した。
【００４１】
（実施例２）
原料粉末に対して振動を付与する前に、オーバーフィル操作を行った以外は、前記実施例１と同様にして、酸化膜付き焼結ギアを得た。
（実施例３）
振動を付与する時間およびタップ回数を変更した以外は、前記実施例１と同様にして、酸化膜付き焼結ギアを得た。
（実施例４）
焼結ギアの形状を、歯先円直径６ｍｍ、モジュール０．２ｍｍ、歯数２８枚とした以外は、前記実施例１と同様にして、酸化膜付き焼結ギアを得た。
【００４２】
（比較例１）
キャビティー内の原料粉末に対する振動の付与を省略した以外は、前記実施例１と同様にして、酸化膜付き焼結ギアを得た。
（比較例２）
キャビティー内の原料粉末に対するタップ操作による衝撃力の付与を省略した以外は、前記実施例１と同様にして、酸化膜付き焼結ギアを得た。
【００４３】
２．寸法誤差の測定
各実施例および各比較例で得られた成形体および焼結ギアの寸法誤差６σは、工場顕微鏡（測定顕微鏡）により測定した。なお、成形体では、厚さ方向の寸法誤差を、焼結ギアでは、厚さ方向または径方向の寸法誤差を測定した。
この測定結果を、原料粉末の構成と併せて、以下の表１に示す。
【００４４】
【表１】
2019167566.tif 000003
【００４５】
以上のように、キャビティー内の原料粉末に対して振動および衝撃力を付与することにより、成形体の厚さ方向における寸法誤差６σを小さくすること、すなわち成形体の密度を高めることができた。かかる成形体を焼成して得られた各実施例の焼結ギアは、高い寸法精度を有していた。
また、オーバーフィル操作を追加することにより、上記効果が向上する傾向を示した。
これに対して、キャビティー内の原料粉末に対する振動または衝撃力の付与を省略すると、成形体の密度を高めることができなかった。かかる成形体を焼成して得られた各比較例の焼結ギアは、寸法精度に劣るものであった。
【符号の説明】
【００４６】
１…焼結ギア
１１…成形体
２…ギア本体
３…歯
１０…成形装置
２０…成形型
２１…ダイ
２１１…貫通孔
２１２…キャビティー
２２…上パンチ
２３…下パンチ
２３１…コアピン
２３２…振動体
３０…フィーダー
【図１】
2019167566.tif 000004
【図２】
2019167566.tif 000005