(57)【要約】【課題】駆動周波数によらず容易に検出信号の測定が可能な圧電駆動装置の駆動装置および圧電駆動装置の駆動方法を提供する。【解決手段】圧電駆動装置の駆動装置では、検出パルス信号生成部は、検出信号の振幅の間にある電圧値である第１閾値に基づいて第１検出パルス信号を生成し、電圧値測定部は、第１検出パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での検出信号の電圧値を第１検出信号電圧値として測定し、検出パルス信号生成部は、第１閾値と第１検出信号電圧値との間にある電圧値である更新閾値に基づいて更新検出パルス信号を生成し、電圧値測定部は、更新検出パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での検出信号の電圧値を更新検出信号電圧値として測定し、駆動制御部は、更新検出信号電圧値に基づいて駆動用圧電素子に印加する駆動信号を制御する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動用圧電素子および検出用圧電素子を備え、前記駆動用圧電素子の駆動によって振動し、前記検出用圧電素子から前記振動に応じた検出信号が出力される振動体を有する圧電駆動装置の駆動装置であって、
前記検出信号の振幅の間にある電圧値である閾値に基づいて前記検出信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した検出パルス信号を生成する検出パルス信号生成部と、
前記検出パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記検出信号の電圧値を検出信号電圧値として測定する電圧値測定部と、
前記検出信号電圧値に基づいて前記駆動用圧電素子に印加する駆動信号を制御する駆動制御部と、を有し、
前記検出パルス信号生成部は、前記検出信号の振幅の間にある電圧値である第１閾値に基づいて第１検出パルス信号を生成し、
前記電圧値測定部は、前記第１検出パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記検出信号の電圧値を第１検出信号電圧値として測定し、
前記検出パルス信号生成部は、前記第１閾値と前記第１検出信号電圧値との間にある電圧値である更新閾値に基づいて更新検出パルス信号を生成し、
前記電圧値測定部は、前記更新検出パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記検出信号の電圧値を更新検出信号電圧値として測定し、
前記駆動制御部は、前記更新検出信号電圧値に基づいて前記駆動用圧電素子に印加する駆動信号を制御することを特徴とする圧電駆動装置の駆動装置。
【請求項２】
前記更新閾値は、前記第１閾値と前記第１検出信号電圧値との平均値よりも大きい請求項１に記載の圧電駆動装置の駆動装置。
【請求項３】
駆動用圧電素子および検出用圧電素子を備え、前記駆動用圧電素子の駆動によって振動し、前記検出用圧電素子から前記振動に応じた検出信号が出力される振動体を有する圧電駆動装置の駆動装置であって、
前記検出信号の振幅の間にある電圧値である閾値に基づいて前記検出信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した検出パルス信号を生成する検出パルス信号生成部と、
前記検出パルス信号のＬｏｗ区間の中央での前記検出信号の電圧値を検出信号電圧値として測定する電圧値測定部と、
前記検出信号電圧値に基づいて前記駆動用圧電素子に印加する駆動信号を制御する駆動制御部と、を有し、
前記検出パルス信号生成部は、前記検出信号の振幅の間にある電圧値である第１閾値に基づいて第１検出パルス信号を生成し、
前記電圧値測定部は、前記第１検出パルス信号のＬｏｗ区間の中央での前記検出信号の電圧値を第１検出信号電圧値として測定し、
前記検出パルス信号生成部は、前記第１閾値と前記第１検出信号電圧値との間にある電圧値である更新閾値に基づいて更新検出パルス信号を生成し、
前記電圧値測定部は、前記更新検出パルス信号のＬｏｗ区間の中央での前記検出信号の電圧値を更新検出信号電圧値として測定し、
前記駆動制御部は、前記更新検出信号電圧値に基づいて前記駆動用圧電素子に印加する駆動信号を制御することを特徴とする圧電駆動装置の駆動装置。
【請求項４】
前記更新閾値は、前記第１閾値と前記第１検出信号電圧値との平均値よりも小さい請求項３に記載の圧電駆動装置の駆動装置。
【請求項５】
前記更新閾値の設定と前記更新検出信号電圧値の測定とを複数回繰り返し、
最新の前記更新検出信号電圧値に基づいて前記駆動信号を制御する請求項１ないし４のいずれか１項に記載の圧電駆動装置の駆動装置。
【請求項６】
駆動用圧電素子を備え、前記駆動用圧電素子に駆動信号を印加することにより振動する振動体を有する圧電駆動装置の駆動装置であって、
前記駆動信号の振幅の間にある電圧値である閾値に基づいて前記駆動信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化したパルス信号を生成するパルス信号生成部と、
前記パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記駆動信号の電圧値を駆動信号電圧値として測定する電圧値測定部と、
前記駆動信号電圧値に基づいて前記駆動信号を制御する駆動制御部と、を有し、
前記パルス信号生成部は、前記駆動信号の振幅の間にある電圧値である第１閾値に基づいて第１パルス信号を生成し、
前記電圧値測定部は、前記第１パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記駆動信号の電圧値を第１駆動信号電圧値として測定し、
前記パルス信号生成部は、前記第１閾値と前記第１駆動信号電圧値との間にある電圧値である更新閾値に基づいて更新パルス信号を生成し、
前記電圧値測定部は、前記更新パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記駆動信号の電圧値を更新駆動信号電圧値として測定し、
前記駆動制御部は、前記更新駆動信号電圧値に基づいて前記駆動信号を制御することを特徴とする圧電駆動装置の駆動装置。
【請求項７】
前記更新閾値は、前記第１閾値と前記第１駆動信号電圧値との平均値よりも大きい請求項６に記載の圧電駆動装置の駆動装置。
【請求項８】
駆動用圧電素子を備え、前記駆動用圧電素子に駆動信号を印加することにより振動する振動体を有する圧電駆動装置の駆動装置であって、
前記駆動信号の振幅の間にある電圧値である閾値に基づいて前記駆動信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化したパルス信号を生成するパルス信号生成部と、
前記パルス信号のＬｏｗ区間の中央での前記駆動信号の電圧値を駆動信号電圧値として測定する電圧値測定部と、
前記駆動信号電圧値に基づいて前記駆動信号を制御する駆動制御部と、を有し、
前記パルス信号生成部は、前記駆動信号の振幅の間にある電圧値である第１閾値に基づいて第１パルス信号を生成し、
前記電圧値測定部は、前記第１パルス信号のＬｏｗ区間の中央での前記駆動信号の電圧値を第１駆動信号電圧値として測定し、
前記パルス信号生成部は、前記第１閾値と前記第１駆動信号電圧値との間にある電圧値である更新閾値に基づいて更新パルス信号を生成し、
前記電圧値測定部は、前記更新パルス信号のＬｏｗ区間の中央での前記駆動信号の電圧値を更新駆動信号電圧値として測定し、
前記駆動制御部は、前記更新駆動信号電圧値に基づいて前記駆動信号を制御することを特徴とする圧電駆動装置の駆動装置。
【請求項９】
前記更新閾値は、前記第１閾値と前記第１駆動信号電圧値との平均値よりも小さい請求項８に記載の圧電駆動装置の駆動装置。
【請求項１０】
前記更新閾値の設定と前記更新駆動信号電圧値の測定とを複数回繰り返し、
最新の前記更新駆動信号電圧値に基づいて前記駆動信号を制御する請求項６ないし９のいずれか１項に記載の圧電駆動装置の駆動装置。
【請求項１１】
駆動用圧電素子および検出用圧電素子を備え、前記駆動用圧電素子の駆動によって振動し、前記検出用圧電素子から前記振動に応じた検出信号が出力される振動体を有する圧電駆動装置の駆動方法であって、
前記検出信号の振幅の間にある電圧値である閾値に基づいて前記検出信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した検出パルス信号を生成し、
前記検出パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記検出信号の電圧値を検出信号電圧値として測定し、
前記閾値と前記検出信号電圧値との間にある電圧値を更新閾値とし、前記更新閾値に基づいて前記検出信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新検出パルス信号を生成し、
前記更新検出パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記検出信号の電圧値を更新検出信号電圧値として測定し、
前記更新検出信号電圧値に基づいて前記駆動用圧電素子に印加する駆動信号を制御することを特徴とする圧電駆動装置の駆動方法。
【請求項１２】
駆動用圧電素子および検出用圧電素子を備え、前記駆動用圧電素子の駆動によって振動し、前記検出用圧電素子から前記振動に応じた検出信号が出力される振動体を有する圧電駆動装置の駆動方法であって、
前記検出信号の振幅の間にある電圧値である閾値に基づいて前記検出信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した検出パルス信号を生成し、
前記検出パルス信号のＬｏｗ区間の中央での前記検出信号の電圧値を検出信号電圧値として測定し、
前記閾値と前記検出信号電圧値との間にある電圧値を更新閾値とし、前記更新閾値に基づいて前記検出信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新検出パルス信号を生成し、
前記更新検出パルス信号のＬｏｗ区間の中央での前記検出信号の電圧値を更新検出信号電圧値として測定し、
前記更新検出信号電圧値に基づいて前記駆動用圧電素子に印加する駆動信号を制御することを特徴とする圧電駆動装置の駆動方法。
【請求項１３】
駆動用圧電素子を備え、前記駆動用圧電素子に駆動信号を印加することにより振動する振動体を有する圧電駆動装置の駆動方法であって、
前記駆動信号の振幅の間にある電圧値である閾値に基づいて前記駆動信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化したパルス信号を生成し、
前記パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記駆動信号の電圧値を駆動信号電圧値として測定し、
前記閾値と前記駆動信号電圧値との間にある電圧値を更新閾値とし、前記更新閾値に基づいて前記駆動信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新パルス信号を生成し、
前記更新パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記駆動信号の電圧値を更新駆動信号電圧値として測定し、
前記更新駆動信号電圧値に基づいて前記駆動信号を制御することを特徴とする圧電駆動装置の駆動方法。
【請求項１４】
駆動用圧電素子を備え、前記駆動用圧電素子に駆動信号を印加することにより振動する振動体を有する圧電駆動装置の駆動方法であって、
前記駆動信号の振幅の間にある電圧値である閾値に基づいて前記駆動信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化したパルス信号を生成し、
前記パルス信号のＬｏｗ区間の中央での前記駆動信号の電圧値を駆動信号電圧値として測定し、
前記閾値と前記駆動信号電圧値との間にある電圧値を更新閾値とし、前記更新閾値に基づいて前記駆動信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新パルス信号を生成し、
前記更新パルス信号のＬｏｗ区間の中央での前記駆動信号の電圧値を更新駆動信号電圧値として測定し、
前記更新駆動信号電圧値に基づいて前記駆動信号を制御することを特徴とする圧電駆動装置の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電駆動装置の駆動装置および圧電駆動装置の駆動方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、圧電アクチュエーターと、圧電アクチュエーターに印加する駆動信号を生成する駆動信号生成部と、圧電アクチュエーターから出力される検出モニター信号と駆動信号との位相差を検出する位相差検出部と、位相差に基づき駆動信号の周波数を制御する周波数制御部と、を有する圧電駆動装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１６／１６６９６０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
また、特許文献１の圧電駆動装置では、駆動周波数よりも十分に高いサンプリング周波数で検出モニター信号の電圧値をモニターし、その中から最大電圧値を抽出し、抽出した最大電圧値と目標駆動電圧Ｖｐｐとを比較することでフィードバック制御を行うことができる。しかしながら、駆動周波数が十分に低い場合には、それよりも十分に高いサンプリング周波数で検出モニター信号の電圧値をモニターすることが容易であるが、駆動周波数が高くなると、それに合わせてサンプリング周波数も高くしなければならず、電圧値のモニターが困難となる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の適用例に係る圧電駆動装置の駆動装置は、駆動用圧電素子および検出用圧電素子を備え、前記駆動用圧電素子の駆動によって振動し、前記検出用圧電素子から前記振動に応じた検出信号が出力される振動体を有する圧電駆動装置の駆動装置であって、
前記検出信号の振幅の間にある電圧値である閾値に基づいて前記検出信号をＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した検出パルス信号を生成する検出パルス信号生成部と、
前記検出パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記検出信号の電圧値を検出信号電圧値として測定する電圧値測定部と、
前記検出信号電圧値に基づいて前記駆動用圧電素子に印加する駆動信号を制御する駆動制御部と、を有し、
前記検出パルス信号生成部は、前記検出信号の振幅の間にある電圧値である第１閾値に基づいて第１検出パルス信号を生成し、
前記電圧値測定部は、前記第１検出パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記検出信号の電圧値を第１検出信号電圧値として測定し、
前記検出パルス信号生成部は、前記第１閾値と前記第１検出信号電圧値との間にある電圧値である更新閾値に基づいて更新検出パルス信号を生成し、
前記電圧値測定部は、前記更新検出パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での前記検出信号の電圧値を更新検出信号電圧値として測定し、
前記駆動制御部は、前記更新検出信号電圧値に基づいて前記駆動用圧電素子に印加する駆動信号を制御することを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】圧電モーターの全体構成を示す斜視図である。
【図２】圧電駆動装置の分解斜視図である。
【図３】圧電駆動装置に印加する駆動信号および圧電駆動装置から出力される検出信号を示す図である。
【図４】図３に示す駆動信号を印加したときの圧電駆動装置の駆動を示す図である。
【図５】圧電駆動装置に印加する駆動信号および圧電駆動装置から出力される検出信号を示す図である。
【図６】図５に示す駆動信号を印加したときの圧電駆動装置の駆動を示す図である。
【図７】図１に示す圧電モーターが有する駆動装置の回路図である。
【図８】検出信号の電圧値の測定方法を示すグラフである。
【図９】検出信号の電圧値の測定方法を示すグラフである。
【図１０】検出信号の電圧値の測定方法を示すグラフである。
【図１１】駆動信号の電圧値の測定方法を示すグラフである。
【図１２】駆動信号の電圧値の測定方法を示すグラフである。
【図１３】駆動信号の電圧値の測定方法を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の圧電駆動装置の駆動方法および圧電駆動装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【０００８】
図１は、圧電モーターの全体構成を示す斜視図である。図２は、圧電駆動装置の分解斜視図である。図３は、圧電駆動装置に印加する駆動信号および圧電駆動装置から出力される検出信号を示す図である。図４は、図３に示す駆動信号を印加したときの圧電駆動装置の駆動を示す図である。図５は、圧電駆動装置に印加する駆動信号および圧電駆動装置から出力される検出信号を示す図である。図６は、図５に示す駆動信号を印加したときの圧電駆動装置の駆動を示す図である。図７は、図１に示す圧電モーターが有する駆動装置の回路図である。図８ないし図１０は、それぞれ、検出信号の電圧値の測定方法を示すグラフである。図１１ないし図１３は、それぞれ、駆動信号の電圧値の測定方法を示すグラフである。なお、以下では、説明の便宜上、圧電駆動装置１のローター１１０側を「先端側」とも言い、ローター１１０と反対側を「基端側」とも言う。
【０００９】
図１に示す圧電モーター１００（超音波モーター）は、回動軸Ｊまわりに回転可能な被駆動部としてのローター１１０と、ローター１１０の外周面１１１に当接する圧電駆動装置１と、圧電駆動装置１の駆動を制御する駆動装置９と、を有する。このような圧電モーター１００では、駆動装置９の制御によって圧電駆動装置１を屈曲振動させることにより、ローター１１０を回動軸Ｊまわりに回転させることができる。
【００１０】
なお、圧電モーター１００の構成としては図１の構成に限定されない。例えば、ローター１１０の周方向に沿って複数の圧電駆動装置１を配置し、複数の圧電駆動装置１の駆動によってローター１１０を回転させてもよい。このような構成によれば、より大きい駆動力（トルク）、より速い回転速度でローター１１０を回転可能な圧電モーター１００となる。また、圧電駆動装置１は、伝達部１４がローター１１０の主面（対向する一対の平坦面）に当接していてもよい。また、被駆動部は、ローター１１０のような回転体に限定されず、例えば、直線移動する移動体であってもよい。
【００１１】
図１に示すように、圧電駆動装置１は、振動体１１と、振動体１１を支持する支持部１２と、振動体１１と支持部１２とを接続する接続部１３と、振動体１１に設けられ、振動体１１の振動をローター１１０に伝達する伝達部１４と、を有する。
【００１２】
振動体１１は、屈曲振動する部分であって、圧電駆動装置１の厚さ方向からの平面視で、長方形状である。支持部１２は、振動体１１を支持すると共に、圧電駆動装置１をステージ等に固定する固定部として機能する。また、支持部１２は、圧電駆動装置１の厚さ方向からの平面視で、振動体１１の基端側を囲むＵ字形状となっている。また、接続部１３は、振動体１１の屈曲振動の節となる部分（長手方向の中央部）と支持部１２とを接続している。ただし、振動体１１、支持部１２および接続部１３の形状や配置としては、その機能を発揮することができる限り、それぞれ、特に限定されない。
【００１３】
伝達部１４は、振動体１１の先端側であって幅方向の中央部から突出して設けられている。また、伝達部１４の先端部は、ローター１１０と接触している。そのため、振動体１１の振動が伝達部１４を介してローター１１０に伝達され、これにより、ローター１１０が回転する。伝達部１４の構成材料としては、特に限定されないが、硬質な材料であることが好ましい。このような材料としては、例えば、ジルコニア、アルミナ、チタニア等の各種セラミックスが挙げられる。これにより、耐久性の高い伝達部１４となると共に、伝達部１４の変形が抑えられ、振動体１１の振動を効率的にローター１１０に伝達することができる。
【００１４】
このような圧電駆動装置１は、対向配置された第１基板３および第２基板４と、第１基板３と第２基板４との間に位置している圧電素子５および間座６と、から形成されている。
【００１５】
図２に示すように、第１基板３は、振動部３１と、振動部３１を支持する支持部３２と、振動部３１と支持部３２とを接続する接続部３３と、を有する。同様に、第２基板４は、振動部４１と、振動部４１を支持する支持部４２と、振動部４１と支持部４２とを接続する接続部４３と、を有する。第１基板３および第２基板４は、同じ形状および大きさであり、圧電素子５を挟んで振動部３１、４１が対向配置され、間座６を挟んで支持部３２、４２が対向配置されている。そして、振動部３１、圧電素子５および振動部４１の積層体で振動体１１が構成され、支持部３２、間座６および支持部４２の積層体で支持部１２が構成され、接続部３３、４３で接続部１３が構成されている。
【００１６】
第１基板３および第２基板４としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板を用いることができる。これにより、例えば、エッチング等によって、高い寸法精度で第１基板３および第２基板４を形成することができる。
【００１７】
圧電素子５は、振動部３１、４１の間に位置しており、図示しない接着剤を介して振動部３１、４１のそれぞれと接合されている。また、圧電素子５は、駆動用の５つの圧電素子５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅ（駆動用圧電素子）と、検出用の圧電素子５Ｆ（検出用圧電素子）と、を有する。圧電素子５Ｃは、振動体１１の幅方向の中央部において、振動体１１の長手方向に沿って配置されている。この圧電素子５Ｃに対して振動体１１の幅方向の一方側には圧電素子５Ａ、５Ｂが振動体１１の長手方向に並んで配置され、他方側には圧電素子５Ｄ、５Ｅが振動体１１の長手方向に並んで配置されている。また、圧電素子５Ｃの先端側に圧電素子５Ｆが配置されている。
【００１８】
圧電素子５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅ、５Ｆは、圧電体５１を一対の電極５２、５３で挟み込んだ構成となっている。駆動用の圧電素子５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅは、それぞれ、電極５２、５３間に電圧を印加することにより、振動体１１の長手方向に沿った方向に伸縮する。一方、検出用の圧電素子５Ｆは、振動体１１の変形に応じて電荷を発生させる。
【００１９】
本実施形態では、圧電体５１は、圧電素子５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅ、５Ｆで共通化されている。また、電極５２も、圧電素子５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅ、５Ｆで共通化されており、例えば、ＧＮＤ（グランド）に接続されている。一方、電極５３は、圧電素子５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅ、５Ｆで個別に形成され、それぞれ、個別の駆動信号が印加される。ただし、圧電素子５の構成は、これに限定されず、例えば、圧電体５１および電極５２の両方または一方が圧電素子５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅ、５Ｆで個別に（別体として）形成されていてもよい。また、駆動用の圧電素子の数や配置は、振動体１１に所望の振動を励振させることができれば、特に限定されず、例えば、圧電素子５Ｃを省略してもよい。また、検出用の圧電素子の数や配置は、振動体１１の振動に応じた電荷を取り出すことができれば、特に限定されない。
【００２０】
圧電体５１の構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスを用いることができる。圧電セラミックスで構成された圧電体は、例えば、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて形成してもよいが、バルク材料から形成することが好ましい。これにより、圧電素子５の製造が容易となる。なお、圧電体５１の構成材料としては、上述した圧電セラミックスの他にも、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。
【００２１】
間座６は、支持部３２、４２の間に位置しており、図示しない絶縁性接着剤を介して支持部３２、４２のそれぞれと接合されている。間座６の厚さは、圧電素子５の厚さとほぼ等しくなっており、第１基板３および第２基板４の撓みが抑制されている。
【００２２】
間座６としては、特に限定されず、例えば、ジルコニア、アルミナ、チタニア等の各種セラミックス、各種金属材料、シリコン、各種樹脂材料等を用いることができる。これらの中でも、各種セラミックス、各種金属材料、シリコンを用いることが好ましく、これにより、硬質な間座６が得られる。ただし、金属材料を用いる場合には、間座６に絶縁性を付与するために、例えば、その表面に絶縁処理を施す等の加工が必要となる。
【００２３】
例えば、図３中の駆動信号Ｖ１を圧電素子５Ａ、５Ｅに印加し、駆動信号Ｖ２を圧電素子５Ｃに印加し、駆動信号Ｖ３を圧電素子５Ｂ、５Ｄに印加すると、図４に示すように、振動体１１がＳ字状に屈曲振動し、これに伴って、伝達部１４が図中反時計回りに楕円運動する。このような伝達部１４の楕円運動によってローター１１０が送り出され、ローター１１０が時計回りに回転する。駆動信号Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３は、互いに同じ波形（同じ周波数および同じ振幅）を有し、位相だけが異なっている。
【００２４】
また、例えば、図５中の駆動信号Ｖ１’を圧電素子５Ａ、５Ｅに印加し、駆動信号Ｖ２’を圧電素子５Ｃに印加し、駆動信号Ｖ３’を圧電素子５Ｂ、５Ｄに印加すると、図６に示すように、振動体１１がＳ字状に屈曲振動し、これに伴って、伝達部１４が図中時計回りに楕円運動する。このような伝達部１４の楕円運動によってローター１１０が送り出され、ローター１１０が反時計回りに回転する。駆動信号Ｖ１’、Ｖ２’、Ｖ３’は、互いに同じ波形（同じ周波数および同じ振幅）を有し、位相だけが異なっている。
【００２５】
なお、伝達部１４を時計回りまたは反時計回りに楕円運動させることができれば、圧電駆動装置１に印加する駆動信号のパターンは、特に限定されない。以下では、説明の便宜上、駆動信号Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３（駆動信号Ｖ１’、Ｖ２’、Ｖ３’）を総称して「駆動信号Ｓｄ」とも言う。
【００２６】
振動体１１が上述のように振動すると、圧電素子５Ｆが撓み、この撓みによって圧電体５１から発生した電荷が圧電素子５Ｆ（電極５２、５３の間）から検出信号Ｓｓとして出力される（図３および図５参照）。なお、検出信号Ｓｓは、駆動信号Ｓｄと実質的に同じ周波数を有し、駆動信号Ｓｄと位相がずれている。駆動装置９は、検出信号Ｓｓを用いて圧電駆動装置１の駆動を制御（フィードバック制御）する。
【００２７】
次に、駆動装置９について説明する。図７に示すように、駆動装置９は、駆動パルス信号Ｐを生成する駆動パルス信号生成部９１と、駆動パルス信号Ｐから圧電素子５Ａ〜５Ｅに印加する駆動信号Ｓｄを生成する駆動信号生成部９２と、圧電素子５Ｆから出力される検出信号Ｓｓを２値化して検出パルス信号Ｐｓを生成する検出パルス信号生成部９３と、駆動信号生成部９２により生成された駆動信号Ｓｄからパルス信号Ｐｄを生成するモニターパルス信号生成部９６と、パルス信号Ｐｄと検出パルス信号Ｐｓとの位相差θ２を取得する位相差取得部９４と、駆動信号Ｓｄおよび検出信号Ｓｓの電圧値を測定する電圧値測定部９７と、位相差θ２や駆動信号Ｓｄおよび検出信号Ｓｓの電圧値に基づいて駆動パルス信号生成部９１の駆動を制御する駆動制御部９５と、を有する。
【００２８】
駆動パルス信号生成部９１は、駆動信号Ｓｄを生成するための駆動パルス信号Ｐ（デジタル信号）を生成する回路である。図７に示すように、駆動パルス信号生成部９１で生成される駆動パルス信号Ｐは、Ｈｉｇｔ／Ｌｏｗに２値化された矩形波（方形波）である。駆動パルス信号生成部９１は、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙ（デューティー）を変化させることができる。駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙを変更することで、駆動信号Ｓｄの振幅（最大電圧値）を変更することができ、Ｄｕｔｙを５０％（Ｈｉｇｔ：Ｌｏｗ＝１：１）とすれば、駆動信号Ｓｄの振幅が最大となり、Ｄｕｔｙを０％に近づけるに連れて、駆動信号Ｓｄの振幅が減少する。
【００２９】
なお、駆動パルス信号生成部９１の構成は、上述した駆動パルス信号Ｐを生成することができ、かつ、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙを変更することができれば、特に限定されない。本実施形態の駆動パルス信号生成部９１は、図７に示すように、Ｌｏｗの電位となっている第１電極９１Ａと、Ｈｉｇｈの電位となっている第２電極９１Ｂと、スイッチング素子９１Ｃと、を有し、第１電極９１Ａとスイッチング素子９１Ｃとが接続されている状態と、第２電極９１Ｂとスイッチング素子９１Ｃとが接続されている状態と、を交互に切り替えることで駆動パルス信号Ｐを生成する構成となっている。
【００３０】
また、本実施形態では、駆動パルス信号生成部９１は、異なる３つの駆動信号（駆動信号Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３や駆動信号Ｖ１’、Ｖ２’、Ｖ３’）を生成するために、第１駆動パルス信号生成部９１１、第２駆動パルス信号生成部９１２および第３駆動パルス信号生成部９１３を有する。
【００３１】
駆動信号生成部９２は、駆動パルス信号生成部９１で生成された駆動パルス信号Ｐから駆動信号Ｓｄ（アナログ信号）を生成する回路である。図７に示すように、駆動信号生成部９２で生成される駆動信号Ｓｄは、略正弦波状のアナログ信号である。
【００３２】
なお、駆動信号生成部９２の構成は、上述した駆動信号Ｓｄを生成することができれば、特に限定されない。本実施形態の駆動信号生成部９２は、図７に示すように、主に、バッファ９２Ａとコイル９２Ｂとを備えた構成となっている。また、本実施形態では、駆動信号生成部９２は、異なる３つの駆動信号（駆動信号Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３や駆動信号Ｖ１’、Ｖ２’、Ｖ３’）を生成するために、第１駆動パルス信号生成部９１１と接続された第１駆動信号生成部９２１と、第２駆動パルス信号生成部９１２と接続された第２駆動信号生成部９２２と、第３駆動パルス信号生成部９１３と接続された第３駆動信号生成部９２３と、を有する。
【００３３】
駆動信号生成部９２によって生成された３つの駆動信号（例えば、駆動信号Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３や駆動信号Ｖ１’、Ｖ２’、Ｖ３’）を圧電素子５Ａ〜５Ｅに印加することで、前述したように、振動体１１が屈曲振動し、ローター１１０が回転する。
【００３４】
検出パルス信号生成部９３は、振動体１１の屈曲振動に伴って圧電素子５Ｆから出力される検出信号Ｓｓ（アナログ信号）を２値化して検出パルス信号Ｐｓ（デジタル信号）を生成する回路である。図７に示すように、圧電素子５Ｆから出力される検出信号Ｓｓは、振動体１１の振動周波数および振幅に対応した略正弦波状の信号であり、検出パルス信号Ｐｓは、検出信号ＳｓをＨｉｇｔ／Ｌｏｗに２値化した矩形波（方形波）状の信号である。なお、検出パルス信号生成部９３の構成は、上述した検出パルス信号Ｐｓを生成することができれば、特に限定されない。本実施形態の検出パルス信号生成部９３は、図７に示すように、コンパレータ９３Ａを有する構成となっている。
【００３５】
モニターパルス信号生成部９６は、駆動信号生成部９２（第２駆動信号生成部９２２）により生成された駆動信号Ｓｄからパルス信号Ｐｄを生成する回路である。図７に示すように、モニターパルス信号生成部９６により生成されるパルス信号Ｐｄは、駆動信号ＳｄをＨｉｇｔ／Ｌｏｗに２値化した矩形波（方形波）状の信号である。なお、モニターパルス信号生成部９６の構成は、上述したパルス信号Ｐｄを生成することができれば、特に限定されない。本実施形態のモニターパルス信号生成部９６は、コンパレータ９６Ａを有する構成となっている。
【００３６】
なお、モニターパルス信号生成部９６は、第１駆動信号生成部９２１で生成された駆動信号Ｓｄからパルス信号Ｐｄを生成してもよく、第２駆動信号生成部９２２で生成された駆動信号Ｓｄからパルス信号Ｐｄを生成してもよく、第３駆動信号生成部９２３で生成された駆動信号Ｓｄからパルス信号Ｐｄを生成してもよい。本実施形態では、モニターパルス信号生成部９６は、第２駆動信号生成部９２２で生成された駆動信号Ｓｄからパルス信号Ｐｄを生成している。
【００３７】
位相差取得部９４は、パルス信号Ｐｄと検出パルス信号Ｐｓとの位相差θ２を取得する回路である。このように、位相差θ２を取得することで、振動体１１の振動状態をモニターすることができる。
【００３８】
電圧値測定部９７は、駆動信号Ｓｄおよび検出信号Ｓｓの電圧値を測定する回路である。より具体的には、電圧値測定部９７は、駆動信号Ｓｄの最大電圧値Ｖｄｈおよび最小電圧値Ｖｄｌと、検出信号Ｓｓの最大電圧値Ｖｓｈおよび最小電圧値Ｖｓｌとを測定する回路である。
【００３９】
［最大電圧値Ｖｓｈの測定方法］
まず、検出信号Ｓｓの最大電圧値Ｖｓｈを測定する方法について説明する。図８に示すように、検出パルス信号生成部９３は、検出信号Ｓｓの振幅の間（最大値と最小値との間）にある電圧値を閾値Ｑｓ０とし、閾値Ｑｓ０に基づいて検出信号ＳｓをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した検出パルス信号Ｐｓ０を生成する。すなわち、閾値Ｑｓ０以上の電圧値の場合にＨｉｇｈとなり、閾値Ｑｓ０未満の電圧値の場合にＬｏｗとなる検出パルス信号Ｐｓ０を生成する。なお、閾値Ｑｓ０の設定の仕方としては、特に限定されない。例えば、圧電素子５Ｆから電圧が発生したことを検出する回路を用意し、その回路が検出した電圧値よりも若干低い電圧値を閾値Ｑｓ０としてもよい。また、例えば、駆動信号Ｓｄの振幅に基づいて検出信号Ｓｓの振幅を予測し、予測した振幅に含まれる電圧値を閾値Ｑｓ０としてもよい。
【００４０】
次に、電圧値測定部９７は、検出パルス信号生成部９３によって生成された検出パルス信号Ｐｓ０のＨｉｇｈ区間の時間Ｔｓｈ０を測定し、その結果を図示しないメモリー（記憶装置）に記録する。なお、時間Ｔｓｈ０は、検出パルス信号Ｐｓ０の立ち上がりから立ち下がりまでの時間である。また、時間Ｔｓｈ０は、駆動装置９に備えられたクロックのサイクル数（周期）をカウントすることによって測定することができる。なお、時間Ｔｓｈ０としては、時間Ｔｓｈ０を複数回測定し、その平均値を用いることが好ましい。これにより、より正確な時間Ｔｓｈ０が得られる。
【００４１】
次に、電圧値測定部９７は、時間Ｔｓｈ０の中央Ｔｓｈ０’を検出し、その結果を図示しないメモリー（記憶装置）に記録する。中央Ｔｓｈ０’は、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の半分として求めることができる。なお、中央Ｔｓｈ０’は、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の半分と一致していることが好ましいが、これに限定されず、サイクル数の半分から若干（例えば、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の５％以下程度）ずれていてもよい。次に、電圧値測定部９７は、中央Ｔｓｈ０’における検出信号Ｓｓの電圧値を、例えば、ＡＤコンバータ等を用いて検出する。そして、電圧値測定部９７は、中央Ｔｓｈ０’で測定した検出信号Ｓｓの電圧値を検出信号電圧値Ｖｓｈ０として図示しないメモリー（記憶装置）に記録する。
【００４２】
次に、検出パルス信号生成部９３は、電圧値測定部９７が測定した検出信号電圧値Ｖｓｈ０と閾値Ｑｓ０とに基づいて、更新閾値Ｑｓ１を設定する。更新閾値Ｑｓ１は、検出信号電圧値Ｖｓｈ０と閾値Ｑｓ０との間の電圧値として設定される。すなわち、Ｑｓ０＜Ｑｓ１＜Ｖｓｈ０の関係を満足している。次に、検出パルス信号生成部９３は、更新閾値Ｑｓ１に基づいて検出信号ＳｓをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新検出パルス信号Ｐｓ１を生成する。すなわち、更新閾値Ｑｓ１以上の電圧値の場合にＨｉｇｈとなり、更新閾値Ｑｓ１未満の電圧値の場合にＬｏｗとなる更新検出パルス信号Ｐｓ１を生成する。
【００４３】
次に、電圧値測定部９７は、検出パルス信号生成部９３によって生成された更新検出パルス信号Ｐｓ１のＨｉｇｈ区間の時間Ｔｓｈ１を測定し、その結果を図示しないメモリー（記憶装置）に記録する。なお、時間Ｔｓｈ１は、更新検出パルス信号Ｐｓ１の立ち上がりから立ち下がりまでの時間である。また、時間Ｔｓｈ１は、駆動装置９に備えられたクロックのサイクル数（周期）をカウントすることによって測定することができる。なお、時間Ｔｓｈ１としては、時間Ｔｓｈ１を複数回測定し、その平均値を用いることが好ましい。これにより、より正確な時間Ｔｓｈ１が得られる。
【００４４】
次に、電圧値測定部９７は、時間Ｔｓｈ１の中央Ｔｓｈ１’を検出し、その結果を図示しないメモリー（記憶装置）に記録する。中央Ｔｓｈ１’は、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の半分として求めることができる。なお、中央Ｔｓｈ１’は、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の半分と一致していることが好ましいが、これに限定されず、サイクル数の半分から若干（例えば、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の５％以下程度）ずれていてもよい。次に、電圧値測定部９７は、中央Ｔｓｈ１’における検出信号Ｓｓの電圧値を、例えば、ＡＤコンバータ等を用いて検出する。そして、電圧値測定部９７は、中央Ｔｓｈ１’で測定した検出信号Ｓｓの電圧値を更新検出信号電圧値Ｖｓｈ１として図示しないメモリー（記憶装置）に記録する。
【００４５】
次に、検出パルス信号生成部９３は、電圧値測定部９７が測定した更新検出信号電圧値Ｖｓｈ１と更新閾値Ｑｓ１とに基づいて、新たな更新閾値Ｑｓ２（更新閾値）を設定する。更新閾値Ｑｓ２は、更新検出信号電圧値Ｖｓｈ１と更新閾値Ｑｓ１との間の電圧値として設定される。すなわち、Ｑｓ１＜Ｑｓ２＜Ｖｓｈ１の関係を満足している。次に、検出パルス信号生成部９３は、更新閾値Ｑｓ２に基づいて検出信号ＳｓをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新検出パルス信号Ｐｓ２を生成する。すなわち、更新閾値Ｑｓ２以上の電圧値の場合にＨｉｇｈとなり、更新閾値Ｑｓ２未満の電圧値の場合にＬｏｗとなる更新検出パルス信号Ｐｓ２を生成する。
【００４６】
次に、電圧値測定部９７は、検出パルス信号生成部９３によって生成された更新検出パルス信号Ｐｓ２のＨｉｇｈ区間の時間Ｔｓｈ２を測定し、その結果を図示しないメモリー（記憶装置）に記録する。なお、時間Ｔｓｈ２は、更新検出パルス信号Ｐｓ２の立ち上がりから立ち下がりまでの時間である。また、時間Ｔｓｈ２は、駆動装置９に備えられたクロックのサイクル数（周期）をカウントすることによって測定することができる。なお、時間Ｔｓｈ２としては、時間Ｔｓｈ２を複数回測定し、その平均値を用いることが好ましい。これにより、より正確な時間Ｔｓｈ２が得られる。
【００４７】
次に、電圧値測定部９７は、時間Ｔｓｈ２の中央Ｔｓｈ２’を検出し、その結果を図示しないメモリー（記憶装置）に記録する。中央Ｔｓｈ２’は、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の半分として求めることができる。なお、中央Ｔｓｈ２’は、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の半分と一致していることが好ましいが、これに限定されず、サイクル数の半分から若干（例えば、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の５％以下程度）ずれていてもよい。次に、電圧値測定部９７は、中央Ｔｓｈ２’における検出信号Ｓｓの電圧値を、例えば、ＡＤコンバータ等を用いて検出する。そして、電圧値測定部９７は、中央Ｔｓｈ２’で測定した検出信号Ｓｓの電圧値を更新検出信号電圧値Ｖｓｈ２として図示しないメモリー（記憶装置）に記録する。
【００４８】
電圧値測定部９７は、以上のような手順によって更新検出信号電圧値を少なくとも１回以上、好ましくは複数回測定し、最新の更新検出信号電圧値（すなわち、最大の更新検出信号電圧値）を検出信号Ｓｓの最大電圧値Ｖｓｈとして抽出する。このような最大電圧値Ｖｓｈの測定方法によれば、検出信号Ｓｓの実際の最大値と、電圧値測定部９７が測定する最大電圧値Ｖｓｈとの乖離が抑制され、精度よく、最大電圧値Ｖｓｈを検出することができる。以下、この理由について簡単に説明する。
【００４９】
例えば、図８に示すように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙが５０％のときの検出信号Ｓｓは、比較的整った正弦波となっているが、図９に示すように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙを小さくするに連れて（図示では１０％）、検出信号Ｓｓの波形が正弦波から崩れてしまう。そのため、例えば、検出信号電圧値Ｖｓｈ０を最大電圧値Ｖｓｈとしてしまうと、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙが５０％の時には精度よく最大電圧値Ｖｓｈを測定することができるが、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙが小さくなると、最大電圧値Ｖｓｈが検出信号Ｓｓの実際の最大値から大きくずれてしまう。すなわち、最大電圧値Ｖｓｈと検出信号Ｓｓの実際の最大値との差ΔＶｓｈが大きくなってしまう。
【００５０】
これに対して、本実施形態のように、更新検出信号電圧値を少なくとも１回以上測定し、最新の更新検出信号電圧値（本実施形態では更新検出信号電圧値Ｖｓｈ２）を最大電圧値Ｖｓｈとすれば、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙが５０％の時にはもちろん精度よく最大電圧値Ｖｓｈを測定することができ、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙが小さい場合でも、差ΔＶｓｈを小さく抑えることができる。そのため、本実施形態によれば、最大電圧値Ｖｓｈを精度よく測定することができる。
【００５１】
なお、本実施形態では、更新閾値を２回設定し、それに合わせて更新検出信号電圧値を２回測定しているが、更新閾値の設定および更新検出信号電圧値の測定回数としては、特に限定されず、１回であってもよいし、３回以上であってもよい。更新閾値の設定および更新検出信号電圧値の測定回数が多くなる程（更新検出信号電圧値の測定を繰り返す程）、差ΔＶｓｈが小さくなり、より精度よく、最大電圧値Ｖｓｈを測定することができる。しかしながら、更新閾値の設定および更新検出信号電圧値の測定回数が多くなれば、その分、最大電圧値Ｖｓｈの測定時間が長くなる。そのため、圧電モーター１００に求められる特性、性能等を考慮して、更新閾値の設定および更新検出信号電圧値の測定回数を適宜設定すればよい。更新検出信号電圧値の測定回数としては、特に限定されないが、例えば、測定精度と測定時間とのトレードオフの観点から、２回以上２０回以下であることが好ましく、５回以上１０回以下であることがより好ましい。
【００５２】
また、前述したように、検出パルス信号生成部９３は、閾値Ｑｓ０と検出信号電圧値Ｖｓｈ０との間の電圧値となるようにして更新閾値Ｑｓ１を設定する。この際、検出パルス信号生成部９３は、閾値Ｑｓ０と検出信号電圧値Ｖｓｈ０との平均値よりも大きくなるように更新閾値Ｑｓ１を設定することが好ましい。すなわち、Ｑｓ１≧（１／２）×（Ｑｓ０＋Ｖｓｈ０）の関係を満足することが好ましい。また、Ｑｓ１≧（２／３）×（Ｑｓ０＋Ｖｓｈ０）の関係を満足することがより好ましく、Ｑｓ１≧（３／４）×（Ｑｓ０＋Ｖｓｈ０）の関係を満足することがさらに好ましい。これにより、更新閾値Ｑｓ１を効率的に大きくすることができ、少ない繰り返し回数で、より精度よく、最大電圧値Ｖｓｈを測定することができる。
【００５３】
同様に、検出パルス信号生成部９３は、更新検出信号電圧値Ｖｓｈ１と更新閾値Ｑｓ１との間の電圧値となるようにして更新閾値Ｑｓ２を設定する。この際、検出パルス信号生成部９３は、更新検出信号電圧値Ｖｓｈ１と更新閾値Ｑｓ１との平均値よりも大きくなるように更新閾値Ｑｓ２を設定することが好ましい。すなわち、Ｑｓ２≧（１／２）×（Ｑｓ１＋Ｖｓｈ１）の関係を満足することが好ましい。また、Ｑｓ２≧（２／３）×（Ｑｓ１＋Ｖｓｈ１）の関係を満足することがより好ましく、Ｑｓ２≧（３／４）×（Ｑｓ１＋Ｖｓｈ１）の関係を満足することがさらに好ましい。これにより、更新閾値Ｑｓ２を効率的に大きくすることができ、少ない繰り返し回数で、より精度よく、最大電圧値Ｖｓｈを測定することができる。
【００５４】
［最小電圧値Ｖｓｌの測定方法］
次に、検出信号Ｓｓの最小電圧値Ｖｓｌを測定する方法について説明する。なお、最小電圧値Ｖｓｌの測定方法は、前述した最大電圧値Ｖｓｈの測定方法と同様であるため、同様の構成については、その説明を省略する。図１０に示すように、検出パルス信号生成部９３は、検出信号Ｓｓの振幅の間（最大値と最小値との間）にある電圧値を閾値Ｑｓ０とし、閾値Ｑｓ０に基づいて検出信号ＳｓをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した検出パルス信号Ｐｓ０を生成する。ここで、本実施形態では、最小電圧値Ｖｓｌを測定するための閾値Ｑｓ０と、最大電圧値Ｖｓｈを測定するための閾値Ｑｓ０とが同じであるが、これに限定されず、最小電圧値Ｖｓｌを測定するための閾値Ｑｓ０と、最大電圧値Ｖｓｈを測定するための閾値Ｑｓ０とを異なる電圧値としてもよい。
【００５５】
次に、電圧値測定部９７は、検出パルス信号生成部９３によって生成された検出パルス信号Ｐｓ０のＬｏｗ区間の時間Ｔｓｌ０を測定し、その結果を図示しないメモリーに記録する。次に、電圧値測定部９７は、時間Ｔｓｌ０の中央Ｔｓｌ０’を検出し、その結果を図示しないメモリーに記録する。なお、中央Ｔｓｌ０’は、Ｌｏｗ区間のサイクル数の半分と一致していることが好ましいが、これに限定されず、サイクル数の半分から若干（例えば、Ｌｏｗ区間のサイクル数の５％以下程度）ずれていてもよい。次に、電圧値測定部９７は、中央Ｔｓｌ０’における検出信号Ｓｓの電圧値を、例えば、ＡＤコンバータ等を用いて検出する。そして、電圧値測定部９７は、中央Ｔｓｌ０’で測定した検出信号Ｓｓの電圧値を検出信号電圧値Ｖｓｌ０として図示しないメモリーに記録する。
【００５６】
次に、検出パルス信号生成部９３は、電圧値測定部９７が測定した検出信号電圧値Ｖｓｌ０と閾値Ｑｓ０とに基づいて、更新閾値Ｑｓ１’を設定する。更新閾値Ｑｓ１’は、検出信号電圧値Ｖｓｌ０と閾値Ｑｓ０との間の電圧値として設定される。すなわち、Ｑｓ０＞Ｑｓ１’＞Ｖｓｈ０の関係を満足している。次に、検出パルス信号生成部９３は、更新閾値Ｑｓ１’に基づいて検出信号ＳｓをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新検出パルス信号Ｐｓ１’を生成する。
【００５７】
次に、電圧値測定部９７は、検出パルス信号生成部９３によって生成された更新検出パルス信号Ｐｓ１’のＬｏｗ区間の時間Ｔｓｌ１を測定し、その結果を図示しないメモリーに記録する。次に、電圧値測定部９７は、時間Ｔｓｌ１の中央Ｔｓｌ１’を検出し、その結果を図示しないメモリーに記録する。なお、中央Ｔｓｌ１’は、Ｌｏｗ区間のサイクル数の半分と一致していることが好ましいが、これに限定されず、サイクル数の半分から若干（例えば、Ｌｏｗ区間のサイクル数の５％以下程度）ずれていてもよい。次に、電圧値測定部９７は、中央Ｔｓｌ１’における検出信号Ｓｓの電圧値を、例えば、ＡＤコンバータ等を用いて検出する。そして、電圧値測定部９７は、中央Ｔｓｌ１’で測定した検出信号Ｓｓの電圧値を更新検出信号電圧値Ｖｓｌ１として図示しないメモリーに記録する。
【００５８】
次に、検出パルス信号生成部９３は、電圧値測定部９７が測定した更新検出信号電圧値Ｖｓｌ１と更新閾値Ｑｓ１’とに基づいて、新たな更新閾値Ｑｓ２’を設定する。更新閾値Ｑｓ２’は、更新検出信号電圧値Ｖｓｌ１と更新閾値Ｑｓ１’との間の電圧値として設定される。すなわち、Ｑｓ１’＞Ｑｓ２’＞Ｖｓｌ１の関係を満足している。次に、検出パルス信号生成部９３は、更新閾値Ｑｓ２’に基づいて検出信号ＳｓをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新検出パルス信号Ｐｓ２’を生成する。
【００５９】
次に、電圧値測定部９７は、検出パルス信号生成部９３によって生成された更新検出パルス信号Ｐｓ２’のＬｏｗ区間の時間Ｔｓｌ２を測定し、その結果を図示しないメモリーに記録する。次に、電圧値測定部９７は、時間Ｔｓｌ２の中央Ｔｓｌ２’を検出し、その結果を図示しないメモリーに記録する。なお、中央Ｔｓｌ２’は、Ｌｏｗ区間のサイクル数の半分と一致していることが好ましいが、これに限定されず、サイクル数の半分から若干（例えば、Ｌｏｗ区間のサイクル数の５％以下程度）ずれていてもよい。次に、電圧値測定部９７は、中央Ｔｓｌ２’における検出信号Ｓｓの電圧値を、例えば、ＡＤコンバータ等を用いて検出する。そして、電圧値測定部９７は、中央Ｔｓｌ２’で測定した検出信号Ｓｓの電圧値を更新検出信号電圧値Ｖｓｌ２として図示しないメモリーに記録する。
【００６０】
電圧値測定部９７は、以上のような手順によって更新検出信号電圧値を少なくとも１回以上、好ましくは複数回測定し、最新の更新検出信号電圧値（すなわち、最小の更新検出信号電圧値）を検出信号Ｓｓの最小電圧値Ｖｓｌとして抽出する。このような最小電圧値Ｖｓｌの測定方法によれば、前述した最大電圧値Ｖｓｈの測定方法で説明した理由と同様の理由から、最小電圧値Ｖｓｌを精度よく検出することができる。
【００６１】
なお、本実施形態では、更新閾値を２回設定し、それに合わせて、更新検出信号電圧値を２回測定しているが、更新閾値の設定および更新検出信号電圧値の測定回数としては、特に限定されず、１回であってもよいし、３回以上であってもよい。更新閾値の設定および更新検出信号電圧値の測定回数が多くなる程（更新検出信号電圧値の測定を繰り返す程）、精度よく最小電圧値Ｖｓｌを測定することができる。しかしながら、更新閾値の設定および更新検出信号電圧値の測定回数が多くなれば、その分、最小電圧値Ｖｓｌの測定時間が長くなる。そのため、圧電モーター１００に求められる特性、性能等を考慮して、更新閾値の設定および更新検出信号電圧値の測定回数を適宜設定すればよい。更新閾値の設定および更新検出信号電圧値の測定回数としては、特に限定されないが、例えば、測定精度と測定時間とのトレードオフの観点から、２回以上２０回以下であることが好ましく、５回以上１０回以下であることがより好ましい。
【００６２】
また、前述したように、検出パルス信号生成部９３は、閾値Ｑｓ０と検出信号電圧値Ｖｓｌ０との間の電圧値となるようにして更新閾値Ｑｓ１’を設定する。この際、検出パルス信号生成部９３は、閾値Ｑｓ０と検出信号電圧値Ｖｓｌ０との平均値よりも小さくなるように更新閾値Ｑｓ１’を設定することが好ましい。すなわち、Ｑｓ１’≦（１／２）×（Ｑｓ０＋Ｖｓｌ０）の関係を満足することが好ましい。また、Ｑｓ１’≦（１／３）×（Ｑｓ０＋Ｖｓｌ０）の関係を満足することがより好ましく、Ｑｓ１’≦（１／４）×（Ｑｓ０＋Ｖｓｌ０）の関係を満足することがさらに好ましい。これにより、更新閾値Ｑｓ１’を効率的に小さくすることができ、少ない繰り返し回数で、より精度よく、最小電圧値Ｖｓｌを測定することができる。
【００６３】
同様に、検出パルス信号生成部９３は、更新検出信号電圧値Ｖｓｌ１と更新閾値Ｑｓ１’との間の電圧値となるようにして更新閾値Ｑｓ２’を設定する。この際、検出パルス信号生成部９３は、更新検出信号電圧値Ｖｓｌ１と更新閾値Ｑｓ１’との平均値よりも小さくなるように更新閾値Ｑｓ２’を設定することが好ましい。すなわち、Ｑｓ２’≦（１／２）×（Ｑｓ１’＋Ｖｓｌ１）の関係を満足することが好ましい。また、Ｑｓ２’≦（１／３）×（Ｑｓ１’＋Ｖｓｌ１）の関係を満足することがより好ましく、Ｑｓ２’≦（１／４）×（Ｑｓ１’＋Ｖｓｌ１）の関係を満足することがさらに好ましい。これにより、更新閾値Ｑｓ２’を効率的に小さくすることができ、少ない繰り返し回数で、より精度よく、最小電圧値Ｖｓｌを測定することができる。
【００６４】
［最大電圧値Ｖｄｈの測定方法］
次に、駆動信号Ｓｄの最大電圧値Ｖｄｈを測定する方法について説明する。図１１に示すように、モニターパルス信号生成部９６は、駆動信号Ｓｄの振幅の間（最大値と最小値との間）にある電圧値を閾値Ｑｄ０とし、閾値Ｑｄ０に基づいて駆動信号ＳｄをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化したパルス信号Ｐｄ０を生成する。すなわち、閾値Ｑｄ０以上の電圧値の場合にＨｉｇｈとなり、閾値Ｑｄ０未満の電圧値の場合にＬｏｗとなるパルス信号Ｐｄ０を生成する。なお、閾値Ｑｄ０の設定の方法としては、特に限定されない。例えば、駆動パルス信号Ｐの振幅に基づいて駆動信号Ｓｄの振幅を予測し、予測した振幅に含まれる電圧値を閾値Ｑｄ０としてもよい。
【００６５】
次に、電圧値測定部９７は、モニターパルス信号生成部９６によって生成されたパルス信号Ｐｄ０のＨｉｇｈ区間の時間Ｔｄｈ０を測定し、その結果を図示しないメモリーに記録する。なお、時間Ｔｄｈ０は、パルス信号Ｐｄ０の立ち上がりから立ち下がりまでの時間である。また、時間Ｔｄｈ０は、駆動装置９に備えられたクロックのサイクル数（周期）をカウントすることによって測定することができる。なお、時間Ｔｄｈ０としては、時間Ｔｄｈ０を複数回測定し、その平均値を用いることが好ましい。これにより、より正確な時間Ｔｄｈ０が得られる。
【００６６】
次に、電圧値測定部９７は、時間Ｔｄｈ０の中央Ｔｄｈ０’を検出し、その結果を図示しないメモリーに記録する。中央Ｔｄｈ０’は、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の半分として求めることができる。なお、中央Ｔｄｈ０’は、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の半分と一致していることが好ましいが、これに限定されず、サイクル数の半分から若干（例えば、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の５％以下程度）ずれていてもよい。次に、電圧値測定部９７は、中央Ｔｄｈ０’における駆動信号Ｓｄの電圧値を、例えば、ＡＤコンバータ等を用いて検出する。そして、電圧値測定部９７は、中央Ｔｄｈ０’で測定した駆動信号Ｓｄの電圧値を駆動信号電圧値Ｖｄｈ０として図示しないメモリーに記録する。
【００６７】
次に、モニターパルス信号生成部９６は、電圧値測定部９７が測定した駆動信号電圧値Ｖｄｈ０と閾値Ｑｄ０とに基づいて、更新閾値Ｑｄ１を設定する。更新閾値Ｑｄ１は、駆動信号電圧値Ｖｄｈ０と閾値Ｑｄ０との間の電圧値として設定される。すなわち、Ｑｄ０＜Ｑｄ１＜Ｖｄｈ０の関係を満足している。次に、モニターパルス信号生成部９６は、更新閾値Ｑｄ１に基づいて駆動信号ＳｄをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新パルス信号Ｐｄ１を生成する。すなわち、更新閾値Ｑｄ１以上の電圧値の場合にＨｉｇｈとなり、更新閾値Ｑｄ１未満の電圧値の場合にＬｏｗとなる更新パルス信号Ｐｄ１を生成する。
【００６８】
次に、電圧値測定部９７は、モニターパルス信号生成部９６によって生成された更新パルス信号Ｐｄ１のＨｉｇｈ区間の時間Ｔｄｈ１を測定し、その結果を図示しないメモリーに記録する。なお、時間Ｔｄｈ１は、更新パルス信号Ｐｄ１の立ち上がりから立ち下がりまでの時間である。また、時間Ｔｄｈ１は、駆動装置９に備えられたクロックのサイクル数（周期）をカウントすることによって測定することができる。なお、時間Ｔｄｈ１としては、時間Ｔｄｈ１を複数回測定し、その平均値を用いることが好ましい。これにより、より正確な時間Ｔｄｈ１が得られる。
【００６９】
次に、電圧値測定部９７は、時間Ｔｄｈ１の中央Ｔｄｈ１’を検出し、その結果を図示しないメモリーに記録する。中央Ｔｄｈ１’は、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の半分として求めることができる。なお、中央Ｔｄｈ１’は、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の半分と一致していることが好ましいが、これに限定されず、サイクル数の半分から若干（例えば、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の５％以下程度）ずれていてもよい。次に、電圧値測定部９７は、中央Ｔｄｈ１’における駆動信号Ｓｄの電圧値を、例えば、ＡＤコンバータ等を用いて検出する。そして、電圧値測定部９７は、中央Ｔｄｈ１’で測定した駆動信号Ｓｄの電圧値を更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ１として図示しないメモリーに記録する。
【００７０】
次に、モニターパルス信号生成部９６は、電圧値測定部９７が測定した更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ１と更新閾値Ｑｄ１とに基づいて、新たな更新閾値Ｑｄ２を設定する。更新閾値Ｑｄ２は、更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ１と更新閾値Ｑｄ１との間の電圧値として設定される。すなわち、Ｑｄ１＜Ｑｄ２＜Ｖｄｈ１の関係を満足している。次に、モニターパルス信号生成部９６は、更新閾値Ｑｄ２に基づいて駆動信号ＳｄをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新パルス信号Ｐｄ２（更新パルス信号）を生成する。すなわち、更新閾値Ｑｄ２以上の電圧値の場合にＨｉｇｈとなり、更新閾値Ｑｄ２未満の電圧値の場合にＬｏｗとなる更新パルス信号Ｐｄ２を生成する。
【００７１】
次に、電圧値測定部９７は、モニターパルス信号生成部９６によって生成された更新パルス信号Ｐｄ２のＨｉｇｈ区間の時間Ｔｄｈ２を測定し、その結果を図示しないメモリーに記録する。なお、時間Ｔｄｈ２は、更新パルス信号Ｐｄ２の立ち上がりから立ち下がりまでの時間である。また、時間Ｔｄｈ２は、駆動装置９に備えられたクロックのサイクル数（周期）をカウントすることによって測定することができる。なお、時間Ｔｄｈ２としては、時間Ｔｄｈ２を複数回測定し、その平均値を用いることが好ましい。これにより、より正確な時間Ｔｄｈ２が得られる。
【００７２】
次に、電圧値測定部９７は、時間Ｔｄｈ２の中央Ｔｄｈ２’を検出し、その結果を図示しないメモリーに記録する。中央Ｔｄｈ２’は、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の半分として求めることができる。なお、中央Ｔｄｈ２’は、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の半分と一致していることが好ましいが、これに限定されず、サイクル数の半分から若干（例えば、Ｈｉｇｈ区間のサイクル数の５％以下程度）ずれていてもよい。次に、電圧値測定部９７は、中央Ｔｄｈ２’における駆動信号Ｓｄの電圧値を、例えば、ＡＤコンバータ等を用いて検出する。そして、電圧値測定部９７は、中央Ｔｄｈ２’で測定した駆動信号Ｓｄの電圧値を更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ２として図示しないメモリーに記録する。
【００７３】
電圧値測定部９７は、以上のような手順によって更新駆動信号電圧値を少なくとも１回以上、好ましくは複数回測定し、最新の更新駆動信号電圧値（すなわち、最大の更新駆動信号電圧値）を駆動信号Ｓｄの最大電圧値Ｖｄｈとして抽出する。このような最大電圧値Ｖｄｈの測定方法によれば、駆動信号Ｓｄの実際の最大値と、電圧値測定部９７が測定する最大電圧値Ｖｄｈとの乖離が抑制され、最大電圧値Ｖｄｈを精度よく検出することができる。以下、この理由について簡単に説明する。
【００７４】
例えば、図１１に示すように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙが５０％のときの駆動信号Ｓｄは、比較的整った正弦波となっているが、図１２に示すように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙを小さくするに連れて（図示では１０％）、駆動信号Ｓｄの波形が正弦波から崩れてしまう。そのため、例えば、駆動信号電圧値Ｖｄｈ０を最大電圧値Ｖｄｈとしてしまうと、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙが５０％の時には精度よく最大電圧値Ｖｄｈを測定することができるが、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙが小さくなると、最大電圧値Ｖｄｈが駆動信号Ｓｄの実際の最大値から大きくずれてしまう。すなわち、最大電圧値Ｖｄｈと駆動信号Ｓｄの実際の最大値との差ΔＶｄｈが大きくなってしまう。
【００７５】
これに対して、本実施形態のように、更新駆動信号電圧値を少なくとも１回以上測定し、最新のＨｉｇｈ更新駆動信号電圧値（本実施形態では更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ２）を最大電圧値Ｖｄｈとすれば、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙが５０％の時にはもちろん精度よく最大電圧値Ｖｄｈを測定することができ、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙが小さい場合でも、差ΔＶｄｈを小さく抑えることができる。そのため、本実施形態によれば、最大電圧値Ｖｄｈを精度よく測定することができる。
【００７６】
なお、本実施形態では、更新閾値を２回設定し、それに合わせて、更新駆動信号電圧値を２回測定しているが、更新閾値の設定および更新駆動信号電圧値の測定回数としては、特に限定されず、１回であってもよいし、３回以上であってもよい。更新閾値の設定および更新駆動信号電圧値の測定回数が多くなる程（更新駆動信号電圧値の測定を繰り返す程）、差ΔＶｄｈが小さくなり、より精度よく、最大電圧値Ｖｄｈを測定することができる。しかしながら、更新閾値の設定および更新駆動信号電圧値の測定回数が多くなれば、その分、最大電圧値Ｖｄｈの測定時間が長くなる。そのため、圧電モーター１００に求められる特性、性能等を考慮して、更新閾値の設定および更新駆動信号電圧値の測定回数を適宜設定すればよい。更新閾値の設定および更新駆動信号電圧値の測定回数としては、特に限定されないが、例えば、測定精度と測定時間とのトレードオフの観点から、２回以上２０回以下であることが好ましく、５回以上１０回以下であることがより好ましい。
【００７７】
また、前述したように、モニターパルス信号生成部９６は、閾値Ｑｄ０と駆動信号電圧値Ｖｄｈ０との間の電圧値となるようにして更新閾値Ｑｄ１を設定する。この際、モニターパルス信号生成部９６は、閾値Ｑｄ０と駆動信号電圧値Ｖｄｈ０との平均値よりも大きくなるように更新閾値Ｑｄ１を設定することが好ましい。すなわち、Ｑｄ１≧（１／２）×（Ｑｄ０＋Ｖｄｈ０）の関係を満足することが好ましい。また、Ｑｄ１≧（２／３）×（Ｑｄ０＋Ｖｄｈ０）の関係を満足することがより好ましく、Ｑｄ１≧（３／４）×（Ｑｄ０＋Ｖｄｈ０）の関係を満足することがさらに好ましい。これにより、更新閾値Ｑｄ１を効率的に大きくすることができ、少ない繰り返し回数で、より精度よく、最大電圧値Ｖｄｈを測定することができる。
【００７８】
同様に、モニターパルス信号生成部９６は、更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ１と更新閾値Ｑｄ１との間の電圧値となるようにして更新閾値Ｑｄ２を設定する。この際、モニターパルス信号生成部９６は、更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ１と更新閾値Ｑｄ１との平均値よりも大きくなるように更新閾値Ｑｄ２を設定することが好ましい。すなわち、Ｑｄ２≧（１／２）×（Ｑｄ１＋Ｖｄｈ１）の関係を満足することが好ましい。また、Ｑｄ２≧（２／３）×（Ｑｄ１＋Ｖｄｈ１）の関係を満足することがより好ましく、Ｑｄ２≧（３／４）×（Ｑｄ１＋Ｖｄｈ１）の関係を満足することがさらに好ましい。これにより、更新閾値Ｑｄ２を効率的に大きくすることができ、少ない繰り返し回数で、より精度よく、最大電圧値Ｖｄｈを測定することができる。
【００７９】
［最小電圧値Ｖｄｌの測定方法］
次に、駆動信号Ｓｄの最小電圧値Ｖｄｌを測定する方法について説明する。なお、最小電圧値Ｖｄｌの測定方法は、前述した最大電圧値Ｖｄｈの測定方法と同様であるため、同様の構成については、その説明を省略する。図１３に示すように、モニターパルス信号生成部９６は、駆動信号Ｓｄの振幅の間（最大値と最小値との間）にある電圧値を閾値Ｑｄ０とし、閾値Ｑｄ０に基づいて駆動信号ＳｄをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化したパルス信号Ｐｄ０を生成する。ここで、本実施形態では、最小電圧値Ｖｄｌを測定するための閾値Ｑｄ０と、最大電圧値Ｖｄｈを測定するための閾値Ｑｄ０とが同じであるが、これに限定されず、最小電圧値Ｖｄｌを測定するための閾値Ｑｄ０と、最大電圧値Ｖｄｈを測定するための閾値Ｑｄ０とを異なる電圧値としてもよい。
【００８０】
次に、電圧値測定部９７は、モニターパルス信号生成部９６によって生成されたパルス信号Ｐｄ０のＬｏｗ区間の時間Ｔｄｌ０を測定し、その結果を図示しないメモリーに記録する。次に、電圧値測定部９７は、時間Ｔｄｌ０の中央Ｔｄｌ０’を検出し、その結果を図示しないメモリーに記録する。なお、中央Ｔｄｈ０’は、Ｌｏｗ区間のサイクル数の半分と一致していることが好ましいが、これに限定されず、サイクル数の半分から若干（例えば、Ｌｏｗ区間のサイクル数の５％以下程度）ずれていてもよい。次に、電圧値測定部９７は、中央Ｔｄｌ０’における駆動信号Ｓｄの電圧値を、例えば、ＡＤコンバータ等を用いて検出する。そして、電圧値測定部９７は、中央Ｔｄｌ０’で測定した駆動信号Ｓｄの電圧値を駆動信号電圧値Ｖｄｌ０として図示しないメモリーに記録する。
【００８１】
次に、モニターパルス信号生成部９６は、電圧値測定部９７が測定した駆動信号電圧値Ｖｄｌ０と閾値Ｑｄ０とに基づいて、更新閾値Ｑｄ１’を設定する。更新閾値Ｑｄ１’は、駆動信号電圧値Ｖｄｌ０と閾値Ｑｄ０との間の電圧値として設定される。すなわち、Ｑｄ０＞Ｑｄ１’＞Ｖｄｌ０の関係を満足している。次に、モニターパルス信号生成部９６は、更新閾値Ｑｄ１’に基づいて駆動信号ＳｄをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新パルス信号Ｐｄ１’を生成する。
【００８２】
次に、電圧値測定部９７は、モニターパルス信号生成部９６によって生成された更新パルス信号Ｐｄ１’のＬｏｗ区間の時間Ｔｄｌ１を測定し、その結果を図示しないメモリーに記録する。次に、電圧値測定部９７は、時間Ｔｄｌ１の中央Ｔｄｌ１’を検出し、その結果を図示しないメモリーに記録する。なお、中央Ｔｄｌ１’は、Ｌｏｗ区間のサイクル数の半分と一致していることが好ましいが、これに限定されず、サイクル数の半分から若干（例えば、Ｌｏｗ区間のサイクル数の５％以下程度）ずれていてもよい。次に、電圧値測定部９７は、中央Ｔｄｌ１’における駆動信号Ｓｄの電圧値を、例えば、ＡＤコンバータ等を用いて検出する。そして、電圧値測定部９７は、中央Ｔｄｌ１’で測定した駆動信号Ｓｄの電圧値を更新駆動信号電圧値Ｖｄｌ１として図示しないメモリーに記録する。
【００８３】
次に、モニターパルス信号生成部９６は、電圧値測定部９７が測定した更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ１と更新閾値Ｑｄ１’とに基づいて、新たな更新閾値Ｑｄ２’を設定する。更新閾値Ｑｄ２’は、更新駆動信号電圧値Ｖｄｌ１と更新閾値Ｑｄ１’との間の電圧値として設定される。すなわち、Ｑｄ１’＞Ｑｄ２’＞Ｖｄｌ１の関係を満足している。次に、モニターパルス信号生成部９６は、更新閾値Ｑｄ２’に基づいて駆動信号ＳｄをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新パルス信号Ｐｄ２’を生成する。
【００８４】
次に、電圧値測定部９７は、モニターパルス信号生成部９６によって生成された更新パルス信号Ｐｄ２’のＬｏｗ区間の時間Ｔｄｌ２を測定し、その結果を図示しないメモリーに記録する。次に、電圧値測定部９７は、時間Ｔｄｌ２の中央Ｔｄｌ２’を検出し、その結果を図示しないメモリーに記録する。なお、中央Ｔｄｌ２’は、Ｌｏｗ区間のサイクル数の半分と一致していることが好ましいが、これに限定されず、サイクル数の半分から若干（例えば、Ｌｏｗ区間のサイクル数の５％以下程度）ずれていてもよい。次に、電圧値測定部９７は、中央Ｔｄｌ２’における駆動信号Ｓｄの電圧値を、例えば、ＡＤコンバータ等を用いて検出する。そして、電圧値測定部９７は、中央Ｔｄｌ２’で測定した駆動信号Ｓｄの電圧値を更新駆動信号電圧値Ｖｄｌ２として図示しないメモリーに記録する。
【００８５】
電圧値測定部９７は、以上のような手順によって更新駆動信号電圧値を少なくとも１回以上、好ましくは複数回測定し、最新の更新駆動信号電圧値（すなわち、最小の更新駆動信号電圧値）を駆動信号Ｓｄの最小電圧値Ｖｄｌとして抽出する。このような最小電圧値Ｖｄｌの測定方法によれば、前述した最大電圧値Ｖｄｈの測定方法で説明した理由と同様の理由により、最小電圧値Ｖｄｌを精度よく検出することができる。
【００８６】
なお、本実施形態では、更新閾値を２回設定し、それに合わせて、更新駆動信号電圧値を２回測定しているが、更新閾値の設定および更新駆動信号電圧値の測定回数としては、特に限定されず、１回であってもよいし、３回以上であってもよい。更新閾値の設定および更新駆動信号電圧値の測定回数が多くなる程（更新駆動信号電圧値の測定を繰り返す程）、精度よく最小電圧値Ｖｄｌを測定することができる。しかしながら、更新閾値の設定および更新駆動信号電圧値の測定回数が多くなれば、その分、最小電圧値Ｖｄｌの測定時間が長くなる。そのため、圧電モーター１００に求められる特性、性能等を考慮して、更新閾値の設定および更新駆動信号電圧値の測定回数を適宜設定すればよい。更新閾値の設定および更新駆動信号電圧値の測定回数としては、特に限定されないが、例えば、測定精度と測定時間とのトレードオフの観点から、２回以上２０回以下であることが好ましく、５回以上１０回以下であることがより好ましい。
【００８７】
また、前述したように、モニターパルス信号生成部９６は、閾値Ｑｄ０と駆動信号電圧値Ｖｄｌ０との間の電圧値となるようにして更新閾値Ｑｄ１’を設定する。この際、モニターパルス信号生成部９６は、閾値Ｑｄ０と駆動信号電圧値Ｖｄｌ０との平均値よりも小さくなるように更新閾値Ｑｄ１’を設定することが好ましい。すなわち、Ｑｄ１’≦（１／２）×（Ｑｄ０＋Ｖｄｌ０）の関係を満足することが好ましい。また、Ｑｄ１’≦（１／３）×（Ｑｄ０＋Ｖｄｌ０）の関係を満足することがより好ましく、Ｑｄ１’≦（１／４）×（Ｑｄ０＋Ｖｄｌ０）の関係を満足することがさらに好ましい。これにより、更新閾値Ｑｄ１’を効率的に小さくすることができ、少ない繰り返し回数で、より精度よく、最小電圧値Ｖｄｌを測定することができる。
【００８８】
同様に、モニターパルス信号生成部９６は、更新駆動信号電圧値Ｖｄｌ１と更新閾値Ｑｄ１’との間の電圧値となるようにして更新閾値Ｑｄ２’を設定する。この際、モニターパルス信号生成部９６は、更新駆動信号電圧値Ｖｄｌ１と更新閾値Ｑｄ１’との平均値よりも小さくなるように更新閾値Ｑｄ２’を設定することが好ましい。すなわち、Ｑｄ２’≦（１／２）×（Ｑｄ１’＋Ｖｄｌ１）の関係を満足することが好ましい。また、Ｑｄ２’≦（１／３）×（Ｑｄ１’＋Ｖｄｌ１）の関係を満足することがより好ましく、Ｑｄ２’≦（１／４）×（Ｑｄ１’＋Ｖｄｌ１）の関係を満足することがさらに好ましい。これにより、更新閾値Ｑｄ２’を効率的に小さくすることができ、少ない繰り返し回数で、より精度よく、最小電圧値Ｖｄｌを測定することができる。
【００８９】
駆動制御部９５は、位相差取得部９４が取得した位相差θ２、電圧値測定部９７が取得した駆動信号Ｓｄの最大電圧値Ｖｄｈおよび最小電圧値Ｖｄｌ、電圧値測定部９７が取得した検出信号Ｓｓの最大電圧値Ｖｓｈおよび最小電圧値Ｖｓｌに基づいて駆動パルス信号生成部９１の駆動を制御する回路である。
【００９０】
駆動制御部９５は、例えば、最大電圧値Ｖｄｈが所定値となるように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙを変化させる。また、駆動制御部９５は、例えば、最小電圧値Ｖｄｌが所定値となるように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙを変化させる。また、駆動制御部９５は、例えば、駆動信号Ｓｄの振幅、すなわち最大電圧値Ｖｄｈと最小電圧値Ｖｄｌの差ΔＶｄ（Ｖｄｈ−Ｖｄｌ）が所定値となるように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙを変化させる。最大電圧値Ｖｄｈ、最小電圧値Ｖｄｌ、振幅（差ΔＶｄ）は、振動体１１の振幅と相関関係を有するため、これらパラメータを所定値に合わせ込むことで、ローター１１０を所定の速度で回転させることができる。
【００９１】
また、駆動制御部９５は、例えば、最大電圧値Ｖｓｈが所定値となるように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙを変化させる。また、駆動制御部９５は、例えば、最小電圧値Ｖｓｌが所定値となるように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙを変化させる。また、駆動制御部９５は、例えば、検出信号Ｓｓの振幅、すなわち最大電圧値Ｖｓｈと最小電圧値Ｖｓｌの差ΔＶｓ（Ｖｓｈ−Ｖｓｌ）が所定値となるように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙを変化させる。最大電圧値Ｖｓｈ、最小電圧値Ｖｓｌ、振幅（差ΔＶｓ）は、振動体１１の振幅と相関関係を有するため、これらパラメータを所定値に合わせ込むことで、ローター１１０を所定の速度で回転させることができる。
【００９２】
また、駆動制御部９５は、例えば、位相差θ２が所定値を追尾するように駆動パルス信号Ｐの周波数を随時変化させる。振動体１１の振幅と位相差θ２には相関関係があるため、位相差θ２を振動体１１の振幅が最大値となる値に合わせ込むことで、ローター１１０をより高速で回転させることができる。
【００９３】
以上、駆動装置９について説明した。このような駆動装置９は、圧電素子５Ａ〜５Ｅ（駆動用圧電素子）および圧電素子５Ｆ（検出用圧電素子）を備え、圧電素子５Ａ〜５Ｅの駆動によって振動し、圧電素子５Ｆから振動に応じた検出信号Ｓｓが出力される振動体１１を有する圧電駆動装置１の駆動装置である。また、駆動装置９は、検出信号Ｓｓの振幅の間にある電圧値である閾値に基づいて検出信号ＳｓをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した検出パルス信号を生成する検出パルス信号生成部９３と、検出パルス信号Ｐｓ０のＨｉｇｈ区間の中央での検出信号Ｓｓの電圧値を検出信号電圧値として測定する電圧値測定部９７と、検出信号電圧値に基づいて圧電素子５Ａ〜５Ｅに印加する駆動信号Ｓｄを制御する駆動制御部９５と、を有する。また、検出パルス信号生成部９３は、検出信号Ｓｓの振幅の間にある電圧値である閾値Ｑｓ０（第１閾値）に基づいて検出パルス信号Ｐｓ０（第１検出パルス信号）を生成し、電圧値測定部９７は、検出パルス信号Ｐｓ０のＨｉｇｈ区間の中央での検出信号Ｓｓの電圧値を検出信号電圧値Ｖｓｈ０（第１検出信号電圧値）として測定する。また、検出パルス信号生成部９３は、閾値Ｑｓ０と検出信号電圧値Ｖｓｈ０との間にある電圧値である更新閾値Ｑｓ１に基づいて更新検出パルス信号Ｐｓ１を生成し、電圧値測定部９７は、更新検出パルス信号Ｐｓ１のＨｉｇｈ区間の中央での検出信号Ｓｓの電圧値を更新検出信号電圧値Ｖｓｈ１として測定する。そして、駆動制御部９５は、更新検出信号電圧値Ｖｓｈ１に基づいて圧電素子５Ａ〜５Ｅに印加する駆動信号Ｓｄを制御する。
【００９４】
また、前述したように、圧電駆動装置１の駆動方法は、検出信号Ｓｓの振幅の間にある電圧値である閾値Ｑｓ０に基づいて検出信号ＳｓをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した検出パルス信号Ｐｓ０を生成し、検出パルス信号Ｐｓ０のＨｉｇｈ区間の中央Ｔｓｈ０’での検出信号Ｓｓの電圧値を検出信号電圧値Ｖｓｈ０として測定し、閾値Ｑｓ０と検出信号電圧値Ｖｓｈ０との間にある電圧値を更新閾値Ｑｓ１とし、更新閾値Ｑｓ１に基づいて検出信号ＳｓをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新検出パルス信号Ｐｓ１を生成し、更新検出パルス信号Ｐｓ１のＨｉｇｈ区間の中央Ｔｓｈ０’での検出信号Ｓｓの電圧値を更新検出信号電圧値Ｖｓｈ１として測定し、更新検出信号電圧値Ｖｓｈ１に基づいて圧電素子５Ａ〜５Ｅに印加する駆動信号Ｓｄを制御する。
【００９５】
このような構成の駆動装置９および駆動方法によれば、前述したように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙによらずに、電圧値測定部９７で測定される検出信号Ｓｓの最大電圧値Ｖｓｈ（更新検出信号電圧値Ｖｓｈ１）と検出信号Ｓｓの実際の最大値との差ΔＶｓｈを小さく抑えることができる。そのため、最大電圧値Ｖｓｈを精度よく測定することができる。したがって、電圧値測定部９７が測定した更新検出信号電圧値Ｖｓｈ１に基づいて駆動信号Ｓｄを制御することにより、より精度よく圧電駆動装置１の駆動を制御することができる。
【００９６】
また、前述したように、駆動装置９は、検出信号Ｓｓの振幅の間にある電圧値である閾値Ｑｓ０に基づいて検出信号ＳｓをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した検出パルス信号を生成する検出パルス信号生成部９３と、検出パルス信号のＬｏｗ区間の中央での検出信号Ｓｓの電圧値を検出信号電圧値として測定する電圧値測定部９７と、検出信号電圧値に基づいて圧電素子５Ａ〜５Ｅに印加する駆動信号Ｓｄを制御する駆動制御部９５と、を有する。また、検出パルス信号生成部９３は、検出信号Ｓｓの振幅の間にある電圧値である閾値Ｑｓ０（第１閾値）に基づいて検出パルス信号Ｐｓ０（第１検出パルス信号）を生成し、電圧値測定部９７は、検出パルス信号Ｐｓ０のＬｏｗ区間の中央での検出信号Ｓｓの電圧値を検出信号電圧値Ｖｓｌ０（第１検出信号電圧値）として測定する。また、検出パルス信号生成部９３は、閾値Ｑｓ０と検出信号電圧値Ｖｓｌ０との間にある電圧値である更新閾値Ｑｓ１’に基づいて更新検出パルス信号Ｐｓ１’を生成し、電圧値測定部９７は、更新検出パルス信号Ｐｓ１’のＬｏｗ区間の中央での検出信号Ｓｓの電圧値を更新検出信号電圧値Ｖｓｌ１として測定する。そして、駆動制御部９５は、更新検出信号電圧値Ｖｓｌ１に基づいて圧電素子５Ａ〜５Ｅに印加する駆動信号Ｓｄを制御する。
【００９７】
また、前述したように、圧電駆動装置１の駆動方法は、検出信号Ｓｓの振幅の間にある電圧値である閾値Ｑｓ０に基づいて検出信号ＳｓをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した検出パルス信号Ｐｓ０を生成し、検出パルス信号Ｐｓ０のＬｏｗ区間の中央Ｔｓｌ０’での検出信号Ｓｓの電圧値を検出信号電圧値Ｖｓｈ０として測定し、閾値Ｑｓ０と検出信号電圧値Ｖｓｈ０との間にある電圧値を更新閾値Ｑｓ１’とし、更新閾値Ｑｓ１’に基づいて検出信号ＳｓをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新検出パルス信号Ｐｓ１’を生成し、更新検出パルス信号Ｐｓ１’のＬｏｗ区間の中央Ｔｓｌ１’での検出信号Ｓｓの電圧値を更新検出信号電圧値Ｖｓｌ１として測定し、更新検出信号電圧値Ｖｓｌ１に基づいて圧電素子５Ａ〜５Ｅに印加する駆動信号Ｓｄを制御する。
【００９８】
このような構成の駆動装置９および駆動方法によれば、前述したように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙによらずに、電圧値測定部９７で測定される検出信号Ｓｓの最小電圧値Ｖｓｌ（更新検出信号電圧値Ｖｓｌ１）と検出信号Ｓｓの実際の最大値との差を小さく抑えることができる。そのため、最小電圧値Ｖｓｌを精度よく測定することができる。したがって、電圧値測定部９７が測定した更新検出信号電圧値Ｖｓｌ１に基づいて駆動信号Ｓｄを制御することにより、より精度よく圧電駆動装置１の駆動を制御することができる。
【００９９】
また、前述したように、駆動装置９は、更新閾値の設定と更新検出信号電圧値の測定とを複数回繰り返し、最新の更新検出信号電圧値に基づいて駆動信号Ｓｄを制御する。これにより、より精度よく最大電圧値Ｖｓｈおよび最小電圧値Ｖｓｌを測定することができる。
【０１００】
また、前述したように、更新閾値Ｑｓ１は、閾値Ｑｓ０と検出信号電圧値Ｖｓｈ０との平均値よりも大きい。これにより、更新閾値Ｑｓ１を効率的に大きくすることができ、少ない繰り返し回数で、より精度よく、最大電圧値Ｖｓｈを測定することができる。
【０１０１】
また、前述したように、更新閾値Ｑｓ１’は、閾値Ｑｓ０と検出信号電圧値Ｖｓｌ０との平均値よりも小さい。これにより、更新閾値Ｑｓ１’を効率的に小さくすることができ、少ない繰り返し回数で、より精度よく、最小電圧値Ｖｓｌを測定することができる。
【０１０２】
また、前述したように、駆動装置９は、圧電素子５Ａ〜５Ｅ（駆動用圧電素子）を備え、圧電素子５Ａ〜５Ｅに駆動信号Ｓｄを印加することにより振動する振動体１１を有する圧電駆動装置１の駆動装置である。また、駆動装置９は、駆動信号Ｓｄの振幅の間にある電圧値である閾値に基づいて駆動信号ＳｄをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化したパルス信号を生成するモニターパルス信号生成部９６（パルス信号生成部）と、パルス信号のＨｉｇｈ区間の中央での駆動信号Ｓｄの電圧値を駆動信号電圧値として測定する電圧値測定部９７と、駆動信号電圧値に基づいて駆動信号Ｓｄを制御する駆動制御部９５と、を有する。また、モニターパルス信号生成部９６は、駆動信号Ｓｄの振幅の間にある電圧値である閾値Ｑｄ０（第１閾値）に基づいてパルス信号Ｐｄ０（第１パルス信号）を生成し、電圧値測定部９７は、パルス信号Ｐｄ０のＨｉｇｈ区間の中央Ｔｄｈ０’での駆動信号Ｓｄの電圧値を駆動信号電圧値Ｖｄｈ０（第１駆動信号電圧値）として測定する。また、モニターパルス信号生成部９６は、閾値Ｑｄ０と駆動信号電圧値Ｖｄｈ０との間にある電圧値である更新閾値Ｑｄ１に基づいて更新パルス信号Ｐｄ１を生成し、電圧値測定部９７は、更新パルス信号Ｐｄ１のＨｉｇｈ区間の中央Ｔｄｈ１’での駆動信号Ｓｄの電圧値を更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ１として測定する。そして、駆動制御部９５は、更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ１に基づいて駆動信号Ｓｄを制御する。
【０１０３】
また、前述したように、圧電駆動装置１の駆動方法は、駆動信号Ｓｄの振幅の間にある電圧値である閾値Ｑｄ０に基づいて駆動信号ＳｄをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化したパルス信号Ｐｄ０を生成し、パルス信号Ｐｄ０のＨｉｇｈ区間の中央Ｔｄｈ０’での駆動信号Ｓｄの電圧値を駆動信号電圧値Ｖｄｈ０として測定し、閾値Ｑｄ０と駆動信号電圧値Ｖｄｈ０との間にある電圧値を更新閾値Ｑｄ１とし、更新閾値Ｑｄ１に基づいて駆動信号ＳｄをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新パルス信号Ｐｄ１を生成し、更新パルス信号Ｐｄ１のＨｉｇｈ区間の中央Ｔｄｈ１’での駆動信号Ｓｄの電圧値を更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ１として測定し、更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ１に基づいて駆動信号Ｓｄを制御する。
【０１０４】
このような構成の駆動装置９および駆動方法によれば、前述したように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙによらずに、電圧値測定部９７で測定される駆動信号Ｓｄの最大電圧値Ｖｄｈ（更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ１）と駆動信号Ｓｄの実際の最大値との差ΔＶｄｈを小さく抑えることができる。そのため、最大電圧値Ｖｄｈを精度よく測定することができる。したがって、電圧値測定部９７が測定した更新駆動信号電圧値Ｖｄｈ１に基づいて駆動信号Ｓｄを制御することにより、より精度よく圧電駆動装置１の駆動を制御することができる。
【０１０５】
また、前述したように、駆動装置９は、駆動信号Ｓｄの振幅の間にある電圧値である閾値に基づいて駆動信号ＳｄをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化したパルス信号を生成するモニターパルス信号生成部９６（パルス信号生成部）と、パルス信号のＬｏｗ区間の中央での駆動信号Ｓｄの電圧値を駆動信号電圧値として測定する電圧値測定部９７と、駆動信号電圧値に基づいて駆動信号Ｓｄを制御する駆動制御部９５と、を有する。また、モニターパルス信号生成部９６は、駆動信号Ｓｄの振幅の間にある電圧値である閾値Ｑｄ０（第１閾値）に基づいてパルス信号Ｐｄ０（第１パルス信号）を生成し、電圧値測定部９７は、パルス信号Ｐｄ０のＬｏｗ区間の中央Ｔｄｌ０’での駆動信号Ｓｄの電圧値を駆動信号電圧値Ｖｄｌ０（第１駆動信号電圧値）として測定する。また、モニターパルス信号生成部９６は、閾値Ｑｄ０と駆動信号電圧値Ｖｄｌ０との間にある電圧値である更新閾値Ｑｄ１’に基づいて更新パルス信号Ｐｄ１’を生成し、電圧値測定部９７は、更新パルス信号Ｐｄ１’のＬｏｗ区間の中央Ｔｄｌ１’での駆動信号Ｓｄの電圧値を更新駆動信号電圧値Ｖｄｌ１として測定する。そして、駆動制御部９５は、更新駆動信号電圧値Ｖｄｌ１に基づいて駆動信号Ｓｄを制御する。
【０１０６】
また、前述したように、圧電駆動装置１の駆動方法は、駆動信号Ｓｄの振幅の間にある電圧値である閾値Ｑｄ０に基づいて駆動信号ＳｄをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化したパルス信号Ｐｄ０を生成し、パルス信号Ｐｄ０のＬｏｗ区間の中央Ｔｄｌ０’での駆動信号Ｓｄの電圧値を駆動信号電圧値Ｖｄｌ０として測定し、閾値Ｑｄ０と駆動信号電圧値Ｖｄｌ０との間にある電圧値を更新閾値Ｑｄ１’とし、更新閾値Ｑｄ１’に基づいて駆動信号ＳｄをＨｉｇｈ／Ｌｏｗに２値化した更新パルス信号Ｐｄ１’を生成し、更新パルス信号Ｐｄ１’のＬｏｗ区間の中央Ｔｄｌ１’での駆動信号Ｓｄの電圧値を更新駆動信号電圧値Ｖｄｌ１として測定し、更新駆動信号電圧値Ｖｄｌ１に基づいて駆動信号Ｓｄを制御する。
【０１０７】
このような構成の駆動装置９および駆動方法によれば、前述したように、駆動パルス信号ＰのＤｕｔｙによらずに、電圧値測定部９７で測定される駆動信号Ｓｄの最小電圧値Ｖｄｌ（更新駆動信号電圧値Ｖｄｌ１）と駆動信号Ｓｄの実際の最小値との差ΔＶｄｌを小さく抑えることができる。そのため、最小電圧値Ｖｄｌを精度よく測定することができる。したがって、電圧値測定部９７が測定した更新駆動信号電圧値Ｖｄｌ１に基づいて駆動信号Ｓｄを制御することにより、より精度よく圧電駆動装置１の駆動を制御することができる。
【０１０８】
また、前述したように、駆動装置９は、更新閾値の設定と更新駆動信号電圧値の測定とを複数回繰り返し、最新の更新駆動信号電圧値に基づいて駆動信号Ｓｄを制御する。これにより、より精度よく最大電圧値Ｖｄｈおよび最小電圧値Ｖｄｌを測定することができる。
【０１０９】
また、前述したように、更新閾値Ｑｄ１は、閾値Ｑｄ０と駆動信号電圧値Ｖｄｈ０との平均値よりも大きい。これにより、更新閾値Ｑｄ１を効率的に大きくすることができ、少ない繰り返し回数で、より精度よく、最大電圧値Ｖｄｈを測定することができる。
【０１１０】
また、前述したように、更新閾値Ｑｄ１’は、閾値Ｑｄ０と駆動信号電圧値Ｖｄｌ０との平均値よりも小さい。これにより、更新閾値Ｑｄ１’を効率的に小さくすることができ、少ない繰り返し回数で、より精度よく、最小電圧値Ｖｄｌを測定することができる。
【０１１１】
以上、本発明の圧電駆動装置の駆動装置および圧電駆動装置の駆動方法を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。なお、前述した圧電モーターは、例えば、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター等の各種電子デバイスの駆動源として搭載することができる。
【符号の説明】
【０１１２】
１…圧電駆動装置、１１…振動体、１２…支持部、１３…接続部、１４…伝達部、３…第１基板、３１…振動部、３２…支持部、３３…接続部、４…第２基板、４１…振動部、４２…支持部、４３…接続部、５、５Ａ〜５Ｆ…圧電素子、５１…圧電体、５２、５３…電極、６…間座、９…駆動装置、９１…駆動パルス信号生成部、９１Ａ…第１電極、９１Ｂ…第２電極、９１Ｃ…スイッチング素子、９１１…第１駆動パルス信号生成部、９１２…第２駆動パルス信号生成部、９１３…第３駆動パルス信号生成部、９２…駆動信号生成部、９２Ａ…バッファ、９２Ｂ…コイル、９２１…第１駆動信号生成部、９２２…第２駆動信号生成部、９２３…第３駆動信号生成部、９３…検出パルス信号生成部、９３Ａ…コンパレータ、９４…位相差取得部、９５…駆動制御部、９６…モニターパルス信号生成部、９６Ａ…コンパレータ、９７…電圧値測定部、１００…圧電モーター、１１０…ローター、１１１…外周面、Ｊ…回動軸、Ｐ…駆動パルス信号、Ｐｄ…パルス信号、Ｐｄ０…パルス信号、Ｐｄ１、Ｐｄ１’、Ｐｄ２、Ｐｄ２’…更新パルス信号、Ｐｓ…検出パルス信号、Ｐｓ０…検出パルス信号、Ｐｓ１、Ｐｓ１’、Ｐｓ２、Ｐｓ２’…更新検出パルス信号、Ｑｄ０…閾値、Ｑｄ１、Ｑｄ１’、Ｑｄ２、Ｑｄ２’…更新閾値、Ｑｓ０…閾値、Ｑｓ１、Ｑｓ１’、Ｑｓ２、Ｑｓ２’…更新閾値、Ｓｄ…駆動信号、Ｓｓ…検出信号、Ｔｄｈ０’、Ｔｄｈ１’、Ｔｄｈ２’、Ｔｄｌ０’、Ｔｄｌ１’、Ｔｄｌ２’、Ｔｓｈ０’、Ｔｓｈ１’、Ｔｓｈ２’、Ｔｓｌ０’、Ｔｓｌ１’、Ｔｓｌ２’…中央、Ｖ１、Ｖ１’、Ｖ２、Ｖ２’、Ｖ３、Ｖ３’…駆動信号、Ｖｄｈ０…駆動信号電圧値、Ｖｄｈ１、Ｖｄｈ２…更新駆動信号電圧値、Ｖｄｌ０…駆動信号電圧値、Ｖｄｌ１、Ｖｄｌ２…更新駆動信号電圧値、Ｖｓｈ０…検出信号電圧値、Ｖｓｈ１、Ｖｓｈ２…更新検出信号電圧値、Ｖｓｌ０…検出信号電圧値、Ｖｓｌ１、Ｖｓｌ２…更新検出信号電圧値、Ｔｓｈ１、Ｔｓｈ２、Ｔｓｈ３、Ｔｓｌ１、Ｔｓｌ２、Ｔｓｌ３、Ｔｄｈ１、Ｔｄｈ２、Ｔｄｈ３、Ｔｄｌ１、Ｔｄｌ２、Ｔｄｌ３…時間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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