(57)【要約】【課題】個々の永久磁石を吸着状態と非吸着状態とに流体圧シリンダで切換え可能にしたクランプ装置を提供する。【解決手段】このクランプ装置(1)は、永久磁石(5)の磁力でワークピース(W)をクランプ可能なクランプ装置であって、上端にワークピース(W)を固定する為の固定面(6)を有する本体部材(2)と、本体部材(2)に組込んだ鉛直軸心を有する油圧シリンダ(3)と、油圧シリンダ(3)のピストンロッド(4b)に付設された永久磁石(5)であって、ワークピース(W)を磁力により固定面(6)に固定する進出位置と、この進出位置から下降してワークピース(W)の固定を解除する後退位置とに亙って油圧シリンダ(3)により切換え可能な永久磁石(5)とを備えている。【選択図】図２
2019198920.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
永久磁石の磁力でワークピースをクランプ可能なクランプ装置において、
上端にワークピースを固定する為の固定面を有する本体部材と、
前記本体部材に組込んだ鉛直軸心を有する流体圧シリンダと、
前記流体圧シリンダのピストンロッドに付設された永久磁石であって、前記ワークピースを磁力により前記固定面に固定する進出位置と、この進出位置から下降してワークピースの固定を解除する後退位置とに亙って前記流体圧シリンダにより切換え可能な永久磁石とを備えたことを特徴とするクランプ装置。
【請求項２】
前記流体圧シリンダは、複動型の流体圧シリンダであることを特徴とする請求項１に記載のクランプ装置。
【請求項３】
前記流体圧シリンダは、圧縮スプリングの弾性力で前記ピストンロッドを進出駆動し且つ流体圧で前記ピストンロッドを後退駆動するように構成されたことを特徴とする請求項１に記載のクランプ装置。
【請求項４】
前記本体部材が矩形又は円形盤状の板部材で構成され、
前記本体部材に複数行複数列に配置した複数の流体圧シリンダが組み込まれ、
複数の流体圧シリンダの各々のピストンロッドに前記永久磁石が付設され、１又は複数のワークピースを前記固定面に固定可能なワークパレットに構成されたことを特徴とする請求項２又は３に記載のクランプ装置。
【請求項５】
前記複数行複数列に配置した複数の流体圧シリンダにおける同一機能の複数の流体室を連通する連通流体路を設け、この連通流体路に連なる流体圧給排ポートを設けたことを特徴とする請求項４に記載のクランプ装置。
【請求項６】
前記本体部材が矩形又は円形盤状の板部材で構成され、
前記本体部材に前後方向に延びる細長い複数の帯状領域であって左右方向に所定間隔おきに配列された複数の帯状領域が設定され、
前記各帯状領域の前端寄り部位と後端寄り部位に、夫々、第１，第２の前記流体圧シリンダと第１，第２の前記永久磁石とが設けられ、
前記第１，第２の流体圧シリンダのピストンロッドに架着された連結板に、前記第１，第２の流体圧シリンダの間において複数の副永久磁石が設定間隔おきに付設され、
前記第１，第２の流体圧シリンダにより前記連結板を介して前記複数の副永久磁石をワークピースを固定可能な進出位置と固定解除可能な後退位置とに亙って切換え可能に構成したことを特徴とする請求項１に記載のクランプ装置。
【請求項７】
前記複数の第１の流体圧シリンダにおける同一機能の複数の流体室を連通する第１の連通流体路を設け、この第１の連通流体路に連なる第１の流体圧給排ポートを設け、
前記複数の第２の流体圧シリンダにおける同一機能の複数の流体室を連通する第２の連通流体路を設け、この第２の連通流体路に連なる第２の流体圧給排ポートを設けたことを特徴とする請求項６に記載のクランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、永久磁石の磁力でワークピースをクランプ可能なクランプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
永久磁石の磁力でワークピース等をクランプするクランプ装置としては種々のクランプ装置が実用に供されている。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載の型吸着装置５は、射出成形機の固定盤１に固定側金型を固定する型吸着装置５および可動盤２に可動側金型を固定する型吸着装置５である。
上記の型吸着装置５は、固定盤１または可動盤２に付設した型吸着盤４に形成した環状溝に電磁コイル１１を装着し、この電磁コイル１１の内側空間にロッド状の複数のアルニコ磁石１２を配置し、これらアルニコ磁石１２の外面側に環状の鉄心１３を配置した構造のものである。前記電磁コイル１１に通電して複数のアルニコ磁石１２を励磁し、これらアルニコ磁石１２の磁力により可動型または固定型を型吸着盤４に吸着する。
【０００４】
特許文献２に記載の永久磁石チャック１０は、ベース板１４と、このベース板１４の上に配置された磁性体製の短絡板３０と、この短絡板３０の上に配置された可動板３４と、この可動板３４に複数行複数列に配置された複数の可動永久磁石１６と、可動板３４の上に配置された非磁性の板状体２０と、この板状体２０に複数列に形成された長穴２２に装着された複数の磁極片２４と、上記の可動板３４と複数の可動永久磁石１６を小距離（列間ピッチの１／２だけ）移動可能な移動手段とを備えている。
【０００５】
前記の移動手段による移動を介して複数列の可動永久磁石１６を複数の磁極片２４に対向させると、板状体２０の上面に載置されたワークを貫く複数のループ状の磁路が形成されてワークが吸着され、また、複数列の可動永久磁石１６を複数の磁極片２４同士間の部位に対向させると、前記の磁路が遮断されてワークの吸着が解除される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−８８１３３号公報
【特許文献２】特開２００３−１１７７５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記特許文献１の型吸着装置５は、電磁コイルを採用するため給電駆動部及び給電ラインが必要であるため複雑で高価な装置となり、小型のワークのクランプ等に適さない。
前記特許文献２の永久磁石チャックは、複数の永久磁石が協働して吸着状態と非吸着状態とを構成するため、各々の個別の永久磁石を単独で吸着状態と非吸着状態とに切換えることはできないため、永久磁石チャックの用途が限定される。
【０００８】
本発明の目的は、個々の永久磁石を吸着状態と非吸着状態とに流体圧シリンダで切換え可能にしたクランプ装置、１対の流体圧シリンダで３以上の永久磁石を吸着状態と非吸着状態とに切換え可能にしたクランプ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１のクランプ装置は、永久磁石の磁力でワークをクランプ可能なクランプ装置において、上端にワークを固定する為の固定面を有する本体部材と、前記本体部材に組込んだ鉛直軸心を有する流体圧シリンダと、前記流体圧シリンダのピストンロッドに付設された永久磁石であって、前記ワークを磁力により前記固定面に固定する進出位置と、この進出位置から下降してワークの固定を解除する後退位置とに亙って前記流体圧シリンダにより切換え可能な永久磁石とを備えたことを特徴としている。
【００１０】
上記の構成によれば、流体圧シリンダのピストンロッドに永久磁石が付設され、流体圧シリンダにより永久磁石をワーク固定用の進出位置と後退位置とに切換可能にしたため、
個々の永久磁石を流体圧シリンダにより位置切換可能であるから、汎用性に優れる。
また、流体圧シリンダに給排する流体圧を介してクランプ装置を制御可能であるため、
自動化に適したクランプ装置となる。
【００１１】
請求項２のクランプ装置は、請求項１の発明において、前記流体圧シリンダは、複動型の流体圧シリンダであることを特徴としている。上記の構成によれば、永久磁石を流体圧シリンダにより進出位置と後退位置に切換え可能である。
【００１２】
請求項３のクランプ装置は、請求項１の発明において、前記流体圧シリンダは、圧縮スプリングの弾性力で前記ピストンロッドを進出駆動し且つ流体圧で前記ピストンロッドを後退駆動するように構成されたことを特徴としている。
上記の構成によれば、圧縮スプリングの弾性力で前記ピストンロッドを進出駆動するため、省エネルギー型のクランプ装置とすることができる。
【００１３】
請求項４のクランプ装置は、請求項２又は３の発明において、前記本体部材が矩形又は円形盤状の板部材で構成され、前記本体部材に複数行複数列に配置した複数の流体圧シリンダが組み込まれ、複数の流体圧シリンダの各々のピストンロッドに前記永久磁石が付設され、１又は複数のワークを前記固定面に固定可能なワークパレットに構成されたことを特徴としている。
上記の構成によれば、複数行複数列に配置した複数の永久磁石を個別に流体圧シリンダにより進出位置と後退位置に切換え可能であるため、クランプ対象物のサイズや形状に応じて、所望の１または複数の永久磁石のみを進出位置にすることができる。
【００１４】
請求項５のクランプ装置は、請求項４の発明において、前記複数行複数列に配置した複数の流体圧シリンダにおける同一機能の複数の流体室を連通する連通流体路を設け、この連通流体路に連なる流体圧給排ポートを設けたことを特徴としている。
上記の構成によれば、複数の流体圧シリンダに流体圧を供給する流体圧供給系の構成を簡単化することできる。
【００１５】
請求項６のクランプ装置は、請求項１の発明において、前記本体部材が矩形又は円形盤状の板部材で構成され、前記本体部材に前後方向に延びる細長い複数の帯状領域であって左右方向に所定間隔おきに配列された複数の帯状領域が設定され、前記各帯状領域の前端寄り部位と後端寄り部位に、夫々、第１，第２の前記流体圧シリンダと第１，第２の前記永久磁石とが設けられ、前記第１，第２の流体圧シリンダのピストンロッドに架着された連結板に、第１，第２の流体圧シリンダの間において複数の副永久磁石が設定間隔おきに付設され、前記第１，第２の流体圧シリンダにより前記連結板を介して前記複数の副永久磁石をワークピースを固定可能な進出位置と固定解除可能な後退位置とに亙って切換え可能に構成したことを特徴としている。
【００１６】
上記の構成によれば、前記第１，第２の流体圧シリンダにより前記連結板を介して第１，第２の永久磁石と複数の副永久磁石の位置を切換えるため、複数の副永久磁石を個別に昇降駆動する流体圧シリンダを省略できるから流体圧シリンダの数を少なくし、製作費を低減することができる。
【００１７】
請求項７のクランプ装置は、請求項６の発明において、前記複数の第１の流体圧シリンダにおける同一機能の複数の流体室を連通する第１の連通流体路を設け、この第１の連通流体路に連なる第１の流体圧給排ポートを設け、前記複数の第２の流体圧シリンダにおける同一機能の複数の流体室を連通する第２の連通流体路を設け、この第２の連通流体路に連なる第２の流体圧給排ポートを設けたことを特徴としている。
【００１８】
上記の構成によれば、複数の第１，第２の流体圧シリンダに流体圧を供給する流体圧供給系の構成を簡単化することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、上記のような種々の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施例１に係るクランプ装置（クランプ解除状態）の断面図である。
【図２】図１のクランプ装置（クランプ状態）の断面図である。
【図３】実施例２に係るクランプ装置（クランプ解除状態）の断面図である。
【図４】図３のクランプ装置（クランプ状態）の断面図である。
【図５】実施例３に係るクランプ装置の平面図である。
【図６】実施例４に係るクランプ装置の平面図である。
【図７】図６の連結板と第１の永久磁石と３つの副永久磁石の斜視図である。
【図８】クランプ解除状態のときの図６のVIII−VIII線断面拡大図である。
【図９】クランプ状態のときの図６のVIII−VIII線断面拡大図である。
【図１０】クランプ解除状態のときの図６のＸ−Ｘ線断面拡大図である。
【図１１】クランプ状態のときの図６のＸ−Ｘ線断面拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための形態について実施例に基づいて説明する。
【実施例１】
【００２２】
この実施例１のクランプ装置１について図１、図２に基づいて説明する。
このクランプ装置１は、永久磁石５の磁力でワークピースＷをクランプ可能なクランプ装置であり、このクランプ装置１は、本体部材２と、この本体部材２に組み込まれた油圧シリンダ３と、油圧シリンダ３のピストン部材４のピストンロッド４ｂの上端部に付設された永久磁石５とを備えている。
【００２３】
本体部材２は、直方体状または円柱状の鋼製のブロック体で構成され、この本体部材２の上端面にワークピースＷを固定するための水平な固定面６が形成されている。
前記油圧シリンダ３は鉛直軸心を有する複動型の油圧シリンダである。ピストン部材４はピストン部４ａとこのピストン部４ａから上方へ延びるピストンロッド４ｂとを有する。
【００２４】
ピストン部４ａは、本体部材２に形成したシリンダ孔７ａに油密に摺動自在に収容され、ピストンロッド４ｂは、シリンダ孔７ａから上方へ延びるロッド孔７ｂに摺動自在に装着されている。シリンダ孔７ａにおいてピストン部４ａの下側にはクランプ用油室８が形成され、ピストン部４ａの上側にはクランプ解除用油室９が形成されている。
【００２５】
尚、図示省略したが、ピストン部材４のシリンダ孔７ａとロッド孔７ｂ内への組み込みを可能にするため、本体部材２のうちのシリンダ孔７ａの下端側壁部を分割部材に形成し、この分割部材を螺合にて本体部材２に固定する構造にしてもよい。
クランプ用油室８に油圧を給排（供給／排出）するための油路１０及び油圧給排ポート  １０ａが本体部材２に形成されている。また、クランプ解除用油室９に油圧を給排するための油路１１及び油圧給排ポート１１ａが本体部材２に形成され、油圧給排ポート１０ａ，１１ａは油圧供給源（図示外）に夫々接続されている。
【００２６】
ピストン部４ａの外周部には油圧をシールするシール部材１２が装着され、ロッド孔７ｂの内周部には油圧をシールするシール部材１３が装着されている。
尚、本実施例では、流体圧シリンダとしての油圧シリンダ３を例として説明するが、油圧シリンダ３の代わりにエアシリンダを採用してもよい。また、本実施例において油圧は「圧縮油」（加圧油）を意味する。
【００２７】
前記永久磁石５は、ピストンロッド４ｂの上部に形成した円柱状の凹部１４に装着された円柱状の永久磁石であり、磁化の方向は鉛直向きで、例えば上端がＮ極、下端がＳ極である。ピストンロッド４ｂの上端面と永久磁石５の上端面とは同一水平面をなす。永久磁石５は、鉛直の固定ボルト１５によりピストンロッド４ｂに固定されており、固定ボルト  １５の頭部１５ａは永久磁石５の上端面外へ突出しないように頭部収容穴に収容されている。
【００２８】
ピストンロッド４ｂは、磁性体製（本実施例では鋼製）のロッド本体部１６と、このロッド本体部１６の上端面に複数の小径ボルト（図示略）にて固定され且つ収容穴１４を形成する非磁性体製の筒部材１７とで構成されている。筒部材１７は、例えばほぼ非磁性のオーステナイト系のステンレス材料で構成されている。
【００２９】
永久磁石５は、ワークピースＷを磁力により固定面６に吸着固定する図２に示す進出位置（クランプ位置）と、この進出位置から下降してワークピースＷの固定を解除する図１に示す後退位置（クランプ解除位置）とに亙って油圧シリンダ３により切換え可能に構成されている。
【００３０】
以上説明したクランプ装置１の作用、効果について説明する。
図２に示すように、ピストン部材４を最大限上昇させると、永久磁石５が進出位置になり、ピストンロッド４ｂと永久磁石５の共通の上端面が、本体部材２の固定面６と面一状態になって、ワークピースＷの下端面に吸着し、ワークピースＷを固定面６に吸着固定するクランプ状態になる。このクランプ状態のとき、ワークピースＷ内の磁路を含む閉ループ状の磁路１８が形成されるため、ワークピースＷを固定面６に強力に固定することができる。
【００３１】
図１に示すように、ピストン部材４を最大限下降させると、永久磁石５が後退位置になり、クランプ解除状態になる。このクランプ解除状態のとき、固定面６と永久磁石５の上端との間に大きな空間があるため、閉ループ状の磁路が形成されにくく、ワークピースＷを吸着する吸着力が著しく低下し、クランプ解除状態になる。
【００３２】
このクランプ装置１においては、個々の永久磁石５を油圧シリンダ３により位置切換可能であるから、汎用性に優れる。また、油圧シリンダ３に給排する油圧を介してクランプ装置１を制御可能であるため、自動化に適したクランプ装置となる。
【実施例２】
【００３３】
この実施例２の図３、図４に示すクランプ装置１Ａは、実施例１のクランプ装置１と略同様の構造のものであるから、同様の構成要素には同様の符号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ説明する。このクランプ装置１Ａの油圧シリンダ３Ａは、圧縮スプリング２１の弾性力でピストンロッド４ｂを進出駆動し且つ油圧でピストンロッド４ｂを後退駆動するように構成されている。そのため、前記のクランプ用油室８、油路１０、油圧給排ポート１０ａが省略されている。
【００３４】
圧縮スプリング２１は、ピストン部材４Ａに下端開放状に形成されたスプリング収容穴  ２０に圧縮状態にして収容され、圧縮スプリング２１の上端はスプリング収容穴２０の上端壁で受け止められ、圧縮スプリング２１の下端はシリンダ孔７ａの下端壁で受け止められている。
【００３５】
クランプ状態に切換える際には、クランプ解除用油室９と油圧給排ポート１１ａから油圧を排出すると、図４に示すように、圧縮スプリング２１の弾性力でピストン部材４Ａが最大限上昇してクランプ状態になる。油圧給排ポート１１ａとクランプ解除用油室９に油圧を供給すると、図３に示すようにピストン部材４Ａが最大限下降してクランプ解除状態になる。このクランプ装置１Ａにおいては、圧縮スプリング２１の弾性力でピストンロッド４ｂを進出駆動するため、省エネルギーのクランプ装置とすることできる。
【実施例３】
【００３６】
この実施例３のクランプ装置１Ｂは、図５に示すように１または複数のワークピースＷ  を固定可能なワークパレットに構成されている。このクランプ装置１Ｂの本体部材２Ｂが矩形盤状の鋼製の板部材で構成され、この本体部材２Ｂの上端にワークピースＷを固定可能な固定面６Ｂが形成されている。
本体部材２Ｂに複数行複数列（本実施例では５行８列）に配置した複数の油圧シリンダー３Ａが組み込まれ、複数の油圧シリンダ３Ａの各々のピストンロッド４ｂに永久磁石５が付設され、１又は複数のワークピースを固定面６Ｂに固定可能に構成されている。
【００３７】
前記油圧シリンダ３Ａは、実施例２の油圧シリンダ３Ａと同様のものであるので、油圧シリンダ３Ａについての説明は省略する。複数行複数列に配置した複数の油圧シリンダ３Ａにおける同一機能の複数の油室（クランプ解除用油室９）を連通する連通油路３０が設けられ、この連通油路３０に連なる油圧給排ポート３２ａが設けられている。
【００３８】
上記同一機能とは、クランプ用機能かクランプ解除用機能かを意味するが、このワークパレットの場合は、クランプ解除用油室９しか設けられていないため、全部のクランプ解除用油室９が同一機能の複数の油室に該当する。
連通油路３０は、各列の５つのクランプ解除用油室９を連通する列用連通油路３１と、８本の列用連通油路３１を連通する共通連通油路３２とを有する。共通連通油路３２の一端部は、油圧給排ポート３２ａに接続され、油圧給排ポート３２ａは油圧供給源（図示略）に接続されている。
【００３９】
上記のクランプ装置１Ｂによれば、複数の油圧シリンダ３Ａに油圧を供給する油圧供給系の構成を簡単化できる。また、複数行複数列に配置した複数の永久磁石を個別に油圧シリンダ３により進出位置と後退位置に切換え可能であるため、ワークピースＷのサイズや形状に応じて、所望の１または複数の永久磁石のみを進出位置にすることができる。
尚、共通連通油路３２はその両側のクランプ解除用油室９に連通されている。また、共通連通油路３２は、列用連通油路３１よりも大径の油路であるため、全部の油室への油圧給排の応答性を高めることができる。また、複数の油圧シリンダ３Ａに油圧を供給する油圧供給系の構成を簡単化することができる。
【実施例４】
【００４０】
この実施例４のクランプ装置１Ｃについて図６〜図１１に基づいて説明する。
このクランプ装置１Ｃは、１または複数のワークピースＷを固定可能なワークパレットに構成されている。
上端にワークピースＷを固定する固定面６Ｃを有する本体部材２Ｃが矩形盤状の鋼製の板部材で構成されている。本体部材２Ｃに前後方向に延びる細長い複数の帯状領域４０であって左右方向に所定間隔おきに配列された複数の帯状領域４０が設定され、本体部材２Ｃの上部のうち各帯状領域４０に対応する部分には断面矩形の角溝４０ａが形成されている。
【００４１】
各帯状領域４０の前端寄り部位と後端寄り部位に、夫々、第１，第２の油圧シリンダ３Ａａ，３Ａｂと第１，第２の永久磁石５ａ，５ｂとが設けられている。第１，第２の油圧シリンダ３Ａａ，３Ａｂのピストンロッド４ｂのロッド本体部１６Ｃの上端に鋼製の連結板４１が架着され、第１，第２の油圧シリンダ３Ａａ，３Ａｂの間において、上記の連結板４１の上面に複数（本実施例では３つ）の副永久磁石５ｃが設定間隔おきに付設されている。連結板４１は対応する角溝４０ａの底部付近に昇降可能に配置されている。
【００４２】
第１，第２の油圧シリンダ３Ａａ，３Ａｂは、実施例２の油圧シリンダ３Ａと同様のものであるので、同様の構成要素に同様の符号を付して説明を省略する。ピストンロッド  ４ｂのロッド本体部１６Ｃの上端に連結板４１が載置され、この連結板４１の上面に永久磁石５ａ（又は５ｂ）と筒部材１７とが固定されている。永久磁石５ａ（又は５ｂ）と連結板４１は固定ボルト１５によりロッド本体部１６Ｃに共締めにて固定され、筒部材１７  は複数の小径ボルト（図示略）により連結板４１に固定されている。
【００４３】
連結板４１の上面には非磁性の補助連結板４２が図示外の複数のボルトにて固定され、この補助連結板４２は連結板４１と共に角溝４０ａに昇降可能に収容されている。補助連結板４２は例えばほぼ非磁性のオーステナイト系のステンレス材料で構成されている。
この補助連結板４２には、複数の副永久磁石５ｃを内嵌状に収容する複数の副収容孔４３と、両端付近の筒部材１７及び永久磁石５ａ（又は５ｂ）を内嵌状に収容する主収容孔４４とが形成されている。複数の副永久磁石５ｃは、夫々、固定ボルト４７で連結板４１に固定されている。補助連結板４２は連結板４１の厚さの約２，３倍の厚さの鋼製部材で構成され、連結板４１の剛性を高めるように補強している。
【００４４】
第１，第２の油圧シリンダ３Ａａ，３Ａｂにより連結板４１及び補助連結板４２と共に１対の永久磁石５ａ，５ｂをワークピースＷを固定可能な進出位置と固定解除可能な後退位置とに亙って切換え可能に構成され、また、第１，第２の油圧シリンダ３Ａａ，３Ａｂにより連結板４１及び補助連結板４２を介して複数の副永久磁石５ｃをワークピースＷを固定可能な進出位置と固定解除可能な後退位置とに亙って切換え可能に構成されている。
【００４５】
上記の進出位置に切換えた状態では、図９、図１１に示すように、１対の永久磁石５ａ，５ｂの上端面と、複数の副永久磁石５ｃの上端面と、補助連結板４２の上端面と、筒部材１７の上端面とが固定面６Ｃと面一状態になってワークピースＷを効果的に吸着固定し支持することができる。尚、１８は閉ループ状の磁路を示す。
【００４６】
複数の第１の油圧シリンダ３Ａａにおける同一機能の複数の油室（クランプ解除用油室９）を連通する第１の連通油路４５とこの第１の連通油路４５に連なる第１の油圧給排ポート４５ａとが設けられている。
複数の第２の油圧シリンダ３Ａｂにおける同一機能の複数の油室（クランプ解除用油室９）を連通する第２の連通油路４６とこの第２の連通油路４６に連なる第２の油圧給排ポート４６ａが設けられている。
【００４７】
上記のクランプ装置１Ｃによれば、第１，第２の油圧シリンダ３Ａａ，３Ａｂにより連結板４１を介して第１，第２の永久磁石５ａ，５ｂと複数の副永久磁石５ｃの位置を切換えるため、複数の副永久磁石５ｃを個別に昇降駆動する油圧シリンダを省略して油圧シリンダの数を少なくし、製作費を低減することができる。また、複数の第１，第２の油圧シリンダに油圧を供給する油圧供給系の構成を簡単化することできる。
【００４８】
次に、前記実施例１〜４を部分的に変更する例について説明する。
１）前記油圧シリンダ３，３Ａ，３Ａａ，３Ａｂに代えてエアシリンダを採用してもよい。つまり、本発明のクランプ装置には油圧シリンダやエアシリンダ等の流体圧シリンダが採用される。
【００４９】
２）前記実施例３の油圧シリンダ３Ａとして、実施例１の油圧シリンダ３と同様のものを採用することも可能である。この場合、複数行複数列に配置した複数の油圧シリンダ３における同一機能の複数の油室を連通する連通油路を設け、この連通油路に連なる流体圧給排ポートが設けられる。
【００５０】
３）前記実施例４の第１，第２の油圧シリンダ３Ａａ，３Ａｂとして、実施例１の油圧シリンダ３と同様のものを採用することも可能である。この場合、複数の第１，第２の油圧シリンダ３Ａａ，３Ａｂにおける同一機能の複数の油室を連通する連通油路を設け、この連通油路に連なる流体圧給排ポートが設けられる。
【００５１】
４）永久磁石５，５ａ，５ｂ，５ｃの磁界の方向は、上端がＳ極で、下端がＮ極であってもよい。
５）その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で前記実施例に種々の変更を付加した形態で実施可能であり、本発明はそのような変更形態も包含するものである。
【符号の説明】
【００５２】
Ｗ        ワークピース
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ      クランプ装置
２，２Ｂ，２Ｃ            本体部材
３，３Ａ，３Ａａ，３Ａｂ    油圧シリンダ
４，４Ａ        ピストン部材
４ｂ            ピストンロッド
５，５ａ，５ｂ  永久磁石
５ｃ            副永久磁石
６，６Ｂ，６Ｃ  固定面
８              クランプ用油圧
９              クランプ解除用油圧
１０，１１      油路
１０ａ，１１ａ  油圧給排ポート
１６，１６Ｃ    ロッド本体部
１７            筒部材
２１      圧縮スプリング
３０      連通油路
３２      共通連通油路
３２ａ    油圧給排ポート
４０      帯状領域
４１      連結板
４２        補助連結板
４５，４６        第１，第２の連通油路
４５ａ，４６ａ    第１，第２の油圧給排ポート
【図１】
2019198920.tif 000003
【図２】
2019198920.tif 000004
【図３】
2019198920.tif 000005
【図４】
2019198920.tif 000006
【図５】
2019198920.tif 000007
【図６】
2019198920.tif 000008
【図７】
2019198920.tif 000009
【図８】
2019198920.tif 000010
【図９】
2019198920.tif 000011
【図１０】
2019198920.tif 000012
【図１１】
2019198920.tif 000013