(57)【要約】【課題】異物の再付着を防止することができるワークの部分洗浄方法を提供する。【解決手段】ワーク２００の洗浄領域をハウジング１０１によって覆う被覆工程と、ハウジング１０１に設けられた洗浄液噴出口１０１Ａを介して、洗浄領域に対して少なくとも洗浄液を噴出するとともに、ハウジング１０１に設けられた吸引口１０１Ｃを介して洗浄液を吸引する洗浄工程と、ハウジング１０１に設けられた乾燥エア噴出口１０１Ｂを介して、洗浄領域に対して乾燥エアを噴出するとともに、吸引口１０１Ｃを介して乾燥エアを吸引する乾燥工程と、を備え、少なくとも洗浄工程及び乾燥工程において、ハウジング１０１内が負圧環境となるように吸引口１０１Ｃから洗浄液及び乾燥エアが吸引される、ワーク２００の部分洗浄方法。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの洗浄領域をハウジングによって覆う被覆工程と、
前記ハウジングに設けられた洗浄液噴出口を介して、前記洗浄領域に対して少なくとも洗浄液を噴出するとともに、前記ハウジングに設けられた吸引口を介して前記洗浄液を吸引する洗浄工程と、
前記ハウジングに設けられた乾燥エア噴出口を介して、前記洗浄領域に対して乾燥エアを噴出するとともに、前記吸引口を介して前記乾燥エアを吸引する乾燥工程と、
を備え、
少なくとも前記洗浄工程及び前記乾燥工程において、前記ハウジング内が負圧環境となるように前記吸引口から前記洗浄液及び前記乾燥エアが吸引される、ワークの部分洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの部分洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、シール性を有する覆いによって被洗浄体上の洗浄領域を覆い、真空ポンプによって当該覆い内を真空にすることによって、覆いに設けられた洗浄液噴出口から洗浄液を被洗浄体上に噴出させた後、覆いに設けられたガス噴出口からガスを被洗浄体上に吹き付けて洗浄領域を乾燥することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−０７７９３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、ガス噴出口から被洗浄体上にガスを吹き付ける際に浮遊した異物が、ガスの吹付後に被洗浄物に再付着する可能性がある。
【０００５】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、異物の再付着を防止することができるワークの部分洗浄方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るワークの部分洗浄方法は、ワークの洗浄領域をハウジングによって覆う被覆工程と、前記ハウジングに設けられた洗浄液噴出口を介して、前記洗浄領域に対して少なくとも洗浄液を噴出するとともに、前記ハウジングに設けられた吸引口を介して前記洗浄液を吸引する洗浄工程と、前記ハウジングに設けられた乾燥エア噴出口を介して、前記洗浄領域に対して乾燥エアを噴出するとともに、前記吸引口を介して前記乾燥エアを吸引する乾燥工程と、を備える。また、少なくとも前記洗浄工程及び前記乾燥工程において、前記ハウジング内が負圧環境となるように前記吸引口から前記洗浄液及び前記乾燥エアが吸引される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係るワークの部分洗浄方法においては、乾燥工程において、前記乾燥エアが吸引されるため、乾燥エアをワークの洗浄領域に吹き付けることによって浮遊した異物を吸引することができ、ワークへの異物の再付着を防止することができる。また、洗浄工程と乾燥工程においてハウジング内が負圧環境となるように洗浄液及び乾燥エアが吸引されているため、大気圧によってハウジングがワークに向かって押圧される。これにより、ハウジングとワークとの間の気密性を保つことができ、異物の混入を防ぐことができる。これにより、異物の再付着を防止することができるワークの部分洗浄方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態１に係るワークの部分洗浄方法を説明する部分断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係るワークの部分洗浄方法を説明する部分断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係るワークの部分洗浄方法を説明する部分断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係るワークの部分洗浄方法を説明する部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
実施の形態１
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図４は、本発明の実施の形態１に係るワークの部分洗浄方法を説明する部分断面図である。なお、図１乃至図４において、ハウジング１０１、シール部材１０２、ワーク２００については断面を示し、洗浄ノズル１０３、乾燥エアノズル１０４、吸引ノズル１０５については側面を示している。
【００１０】
図１乃至図４に示すように、本実施の形態１に係る部分洗浄装置１００は、ハウジング１０１、シール部材１０２、洗浄ノズル１０３、乾燥エアノズル１０４、吸引ノズル１０５等を備える。そして、部分洗浄装置１００は、ワーク２００の所望する洗浄領域を洗浄する。
【００１１】
ハウジング１０１は、ワーク２００の洗浄領域を囲うのに十分な大きさを有する枠体と、当該枠体の上面を覆う天面部と、が一体的に形成されたものである。すなわち、ハウジング１０１は、底面の無い箱形状を有する。また、ハウジング１０１の下端（ワーク２００に対向する端部）は、シール部材１０２に当接する。
また、ハウジング１０１には、洗浄ノズル１０３から供給される洗浄液及びエアが通るための洗浄液噴出口１０１Ａが設けられている。また、ハウジング１０１には、乾燥エアノズル１０４から供給される乾燥エアが通るための乾燥エア噴出口１０１Ｂが設けられている。また、ハウジング１０１には、吸引ノズル１０５によって、ハウジング１０１内の洗浄液、エア、乾燥エアが吸引されるための吸引口１０１Ｃが設けられている。
【００１２】
シール部材１０２は、ハウジング１０１の下端とワーク２００との間に配置される。なお、シール部材１０２は、ハウジング１０１の下端に着脱可能に接続されていてもよい。そして、吸引ノズル１０５（後述）がハウジング１０１とワーク２００との間の空間内のエア（気体）を吸引することにより、大気圧によってハウジング１０１がワーク２００に向かって押圧され、シール部材１０２がハウジング１０１に押されて圧縮される。これにより、ハウジング１０１とシール部材１０２との間及びシール部材１０２とワーク２００との間が密着し、ハウジング１０１とワーク２００との間の気密性が形成される。
【００１３】
シール部材１０２は、少なくとも気密性及び柔軟性を有する素材から形成される。ここで、「シール部材１０２が柔軟性を有する」とは、シール部材１０２が収縮可能であること、及び／又は、シール部材１０２が可撓性を有すること等を意味する。
例えば、シール部材１０２は、内部に多数の小さな気泡が形成されたスポンジ状の素材から形成されてもよい。具体的には、シール部材１０２は、当該シール部材１０２の内部の小さな気泡が部分的に連続しているが、すべての気泡が連続していない、半独立半連続気泡型のスポンジ状の素材から形成されてもよい。また、シール部材１０２は、当該シール部材１０２の内部の小さな気泡が互いに連続していない独立気泡型のスポンジ状の素材から形成されてもよい。シール部材１０２として、半独立半連続気泡型のスポンジ状の素材、独立気泡型のスポンジ状の素材を用いるシール部材１０２では、当該シール部材１０２を貫通する気泡がないため、ハウジング１０１とワーク２００との間の気密性を確保することができる。
また、シール部材１０２として、気密性を有するスポンジ状の素材を用いることにより、シール部材１０２は、ハウジング１０１がワーク２００に向かって押圧されることによって圧縮可能な柔軟性を備えることができる。これにより、ハウジング１０１とシール部材１０２との間及びシール部材１０２とワーク２００との間が密着し、ハウジング１０１とワーク２００との間の気密性が形成される。
また、シール部材１０２が柔軟性を有することにより、異なる形状のワーク２００に対しても、シール部材１０２が密着することができ、ハウジング１０１とワーク２００との間の気密性を確保することができる。
より具体的には、シール部材１０２としては、例えば、独立気泡型のエプトシーラー（登録商標）、半独立半連続気泡型のエプトシーラー（登録商標）等を用いることができる。なお、シール部材１０２として用いられる素材は、気密性及び柔軟性（収縮可能性及び／又は可撓性）を有するものであれば、前述の素材に限定されるものではない。
【００１４】
洗浄ノズル１０３は、ハウジング１０１の洗浄液噴出口１０１Ａに連結される。そして、洗浄液ノズル１０３から供給される洗浄液及びエアは、洗浄液噴出口１０１Ａを通って、ハウジング１０１内の洗浄領域に到達する。また、洗浄ノズル１０３は、洗浄液とエアとを混合して噴射する二流体ノズルである。なお、洗浄ノズル１０３は、洗浄液のみを噴射するノズルであってもよい。しかし、洗浄ノズル１０３が、洗浄液とエアとを混合して噴射する二流体ノズルである場合、洗浄液の量を低減することができる。また、洗浄液とエアとを別々のノズルで噴射する場合、２つのノズルが洗浄領域を狙って流体を噴射するが、洗浄ノズル１０３として二流体ノズルを用いる場合、１つのノズルで洗浄領域を狙って流体を噴射する。そのため、洗浄ノズル１０３として二流体ノズルを用いる場合、洗浄液とエアとを別々のノズルで噴射する場合に比べて、ワーク２００の洗浄領域に対して近距離から洗浄液及びエアを噴射することができ、洗浄効率を向上することができる。また、洗浄ノズル１０３が当該二流体ノズルである場合、洗浄液のノズルとエアのノズルを一体化することができ、ハウジング１０１に連結されるノズルの本数を減らすことができる。これにより、ハウジング１０１の小型化が可能になる。
【００１５】
乾燥エアノズル１０４は、ハウジング１０１の乾燥エア噴出口１０１Ｂに連結される。そして、乾燥エアノズル１０４から供給される乾燥エアは、乾燥エア噴出口１０１Ｂを通って、ハウジング１０１内の洗浄領域に到達する。なお、乾燥エアノズル１０４は、例えば、加熱処理された外気を乾燥エアとして、ハウジング１０１内に供給する。
【００１６】
吸引ノズル１０５は、ハウジング１０１の吸引口１０１Ｃに連結される。そして、吸引ノズル１０５は、ハウジング１０１内の洗浄液、エア、乾燥エアを、吸引口１０１Ｃを介して吸引する。
【００１７】
次に、本実施の形態１に係る部分洗浄方法について、図１乃至図４を参照しながら説明する。
まず、図１に示すように、ワーク２００の所望する洗浄領域を覆うように、ハウジング１０１及びシール部材１０２が配置される（被覆工程）。このとき、洗浄ノズル１０３、乾燥エアノズル１０４、吸引ノズル１０５は、ハウジング１０１に連結されていてもよい。
次に、図２に示すように、吸引ノズル１０５によって、ハウジング１０１内のエア（気体）を吸引することにより、ハウジング１０１とワーク２００との間の空間が負圧環境となる。これにより、大気圧によってハウジング１０１がワーク２００に向かって押圧されるとともに、シール部材１０２がハウジング１０１に押されて圧縮される。そして、ハウジング１０１の下端とシール部材１０２とが密着するとともに、シール部材１０２とワーク２００とが密着し、ハウジング１０１とワーク２００との間の気密性が形成される（被覆工程）。
【００１８】
次に、図３に示すように、ハウジング１０１に設けられた洗浄液噴出口１０１Ａを介して、洗浄ノズル１０３がワーク２００の洗浄領域に対して、洗浄液とエアとを混合して噴出する。同時に、ハウジング１０１に設けられた吸引口１０１Ｃを介して、吸引ノズル１０５がハウジング１０１内から当該洗浄液及びエアを吸引する（洗浄工程）。
【００１９】
次に、図４に示すように、ハウジング１０１に設けられた乾燥エア噴出口１０１Ｂを介して、乾燥エアノズル１０４がワーク２００の洗浄領域に対して乾燥エアを噴出する。同時に、ハウジング１０１に設けられた吸引口１０１Ｃを介して、吸引ノズル１０５がハウジング１０１内から当該乾燥エアを吸引する（乾燥工程）。
【００２０】
そして、少なくとも、上記の洗浄工程及び乾燥工程において、ハウジング１０１内が負圧環境となるように、吸引ノズル１０５は、吸引口１０１Ｃから上記洗浄液及びエア、並びに、上記乾燥エアを吸引する。具体的には、上記の洗浄工程において、洗浄ノズル１０３から供給される洗浄液及びエアの体積流量より吸引ノズル１０５が吸引する洗浄液及びエアの体積流量が大きくなるように、吸引ノズル１０５は、ハウジング１０１内から洗浄液及びエアを吸引する。同様に、上記の乾燥工程において、乾燥エアノズル１０４から供給される乾燥エアの体積流量より吸引ノズル１０５が吸引する乾燥エアの体積流量が大きくなるように、吸引ノズル１０５は、ハウジング１０１内から乾燥エアを吸引する。
【００２１】
以上に説明した、実施の形態１に係る部分洗浄方法においては、乾燥工程において、吸引ノズル１０５によって乾燥エアが吸引されるため、乾燥エアをワーク２００の洗浄領域に吹き付けることによって浮遊した異物を吸引することができ、ワーク２００への異物の再付着を防止することができる。また、洗浄工程と乾燥工程において、吸引ノズル１０５によって、ハウジング１０１内が負圧環境となるように洗浄液及び乾燥エアが吸引されているため、大気圧によってハウジング１０１がワーク２００に向かって押圧される。これにより、ハウジング１０１とワーク２００との間の気密性を保つことができ、異物の混入を防ぐことができる。これにより、異物の再付着を防止することができるワークの部分洗浄方法を提供することができる。
【００２２】
また、シール部材１０２として、例えば、半独立半連続気泡型のスポンジ状の素材、独立気泡型のスポンジ状の素材を用いるシール部材１０２では、当該シール部材１０２を貫通する気泡がないため、ハウジング１０１とワーク２００との間の気密性を確保することができる。
また、シール部材１０２として、気密性を有するスポンジ状の素材を用いることにより、シール部材１０２は、ハウジング１０１がワーク２００に向かって押圧されることによって圧縮可能な柔軟性を備えることができる。これにより、ハウジング１０１とシール部材１０２との間及びシール部材１０２とワーク２００との間が密着し、ハウジング１０１とワーク２００との間の気密性が形成される。
また、シール部材１０２が柔軟性を有することにより、異なる形状のワーク２００に対しても、シール部材１０２が密着することができ、ハウジング１０１とワーク２００との間の気密性を確保することができる。
【００２３】
また、洗浄ノズル１０３が、洗浄液とエアとを混合して噴射する二流体ノズルである場合、洗浄液の量を低減することができる。また、洗浄ノズル１０３が当該二流体ノズルである場合、ワーク２００の洗浄領域に対して近距離から洗浄液及びエアを噴射することができ、洗浄効率を向上することができる。また、洗浄ノズル１０３が当該二流体ノズルである場合、洗浄液のノズルとエアのノズルを一体化することができ、ハウジング１０１に連結されるノズルの本数を減らすことができる。これにより、ハウジング１０１の小型化が可能になる。
【００２４】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、上記の実施の形態１では、吸引ノズル１０５によってハウジング１０１内の流体を吸引することによって、ハウジング１０１がワーク２００に向かって押圧されていたが、電動シリンダがハウジング１０１に対してワーク２００へ向かう推力を付与することにより、ハウジング１０１とシール部材１０２とを密着させ、シール部材１０２とワーク２００とを密着させてもよい。この場合、吸引ノズル１０５によって吸引する体積流量を減らすことができるため、吸引ノズル１０５に連結される吸引タンク（図示省略）を小型化することができる。また、被覆工程において、ハウジング１０１とワーク２００との間の空間が負圧環境とするために要する時間が不要になり、全体の洗浄時間を短縮することができる。
また、洗浄ノズル１０３、乾燥エアノズル１０４、吸引ノズル１０５がハウジング１０１に連結される位置は、図１乃至図４に示す位置に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００２５】
１００  部分洗浄装置
１０１  ハウジング
１０１Ａ  洗浄液噴出口
１０１Ｂ  乾燥エア噴出口
１０１Ｃ  吸引口
１０２  シール部材
１０３  洗浄ノズル
１０４  乾燥エアノズル
１０５  吸引ノズル
２００  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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