(57)【要約】【課題】本発明の目的は、センサの清掃を容易にする機構を備えるＸ線検査装置を提供することである。【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、搬送ユニット１２と、Ｘ線照射部２０と、Ｘ線検出部３０と、検査部６１とを備える。搬送ユニットは、被検査物Ａを搬送方向に搬送する。Ｘ線照射部は、被検査物にＸ線を照射する。Ｘ線検出部は、被検査物を透過した透過Ｘ線を検出する。検査部は、透過Ｘ線に基づき被検査物を検査する。搬送ユニットは、第１コンベア１３と、第２コンベア１４と、支持部１２ｄとを有する。第１コンベアおよび第２コンベアは、搬送方向において隙間１５を開けて配置されている。支持部は、第１コンベアおよび第２コンベアの少なくとも一方を支持する。支持部は、第１位置と第２位置との間を、第１コンベアおよび第２コンベアの少なくとも一方が移動可能なように設けられている。第２位置は、第１位置と比べてＸ線検出部からより離れている位置である。【選択図】図１１
2019020341.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体フレームと
前記本体フレームに取り付けられ、被検査物を搬送方向に搬送する搬送ユニットと、
前記搬送ユニットによって搬送されている前記被検査物にＸ線を照射するＸ線照射部と、
前記被検査物を透過した前記Ｘ線である透過Ｘ線を検出するＸ線検出部と、
前記透過Ｘ線に基づき前記被検査物を検査する検査部と、
を備え、
前記搬送ユニットは、
前記搬送方向において隙間を開けて配置されている第１コンベアおよび第２コンベアと、
前記第１コンベアおよび前記第２コンベアの少なくとも一方を支持する支持部と、
を有し、
前記Ｘ線検出部は、前記隙間を通過した前記透過Ｘ線を検出可能な位置に配置され、
前記支持部は、第１位置と、前記第１位置と比べて前記Ｘ線検出部からより離れている第２位置との間を、前記第１コンベアおよび前記第２コンベアの少なくとも一方が移動可能なように設けられている、
Ｘ線検査装置。
【請求項２】
前記支持部は、前記本体フレームに対して回転可能に設けられている、
請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記支持部は、前記搬送方向に直交する方向における両端部の一方を支点にして、前記両端部の他方を持ち上げることができるように、前記本体フレームに対して回転可能に設けられている、
請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記第１コンベアおよび前記第２コンベアは、前記搬送方向における端部であって、前記隙間に近い方の前記端部である隙間側端部を有し、
前記支持部は、前記第１コンベアの前記隙間側端部、および、前記第２コンベアの前記隙間側端部の少なくとも一方を持ち上げることができるように、前記本体フレームに対して回転可能に設けられている、
請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記支持部は、前記本体フレームに対して平行移動可能に設けられている、
請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記支持部は、前記本体フレームに対して鉛直方向に移動可能に設けられている、
請求項５に記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記Ｘ線検出部は、前記搬送方向に直交する方向に延びている、
請求項１から６のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項８】
前記支持部は、前記第１コンベアおよび前記第２コンベアの両方を支持する、
請求項１から７のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項９】
前記搬送ユニットは、前記第１コンベアおよび前記第２コンベアが前記第１位置にある場合に、前記被検査物を搬送可能であり、
前記第１コンベアおよび前記第２コンベアの少なくとも一方が前記第１位置にない場合に、前記Ｘ線照射部が前記被検査物にＸ線を照射することを禁止する禁止部をさらに備える、
請求項１から８のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項１０】
前記Ｘ線検出部の清掃の要否を判定する判定部と、
前記判定部が前記Ｘ線検出部の清掃が必要であると判定した場合に、その旨を報知する報知部と、
をさらに備える、
請求項１から９のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物にＸ線を照射して、被検査物の検査を行うＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
小型荷物の検査に用いられるＸ線検査装置は、低エネルギーのＸ線を用いて被検査物を検査することがある。このようなＸ線検査装置では、特許文献１（特開２０１２−１６３４８５号公報）に開示されるように、被検査物の搬送方向において分割されている２つのコンベアを用いて、被検査物を搬送する。上流側のコンベアと下流側のコンベアとの間には隙間が開いており、当該隙間の上方にＸ線源が設けられ、当該隙間の下方に被検査物を透過したＸ線を検出するセンサが設けられている。コンベア間に隙間を設けることで、被検査物を透過したＸ線がコンベアに吸収されることが防止される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、このようなＸ線検査装置では、コンベア間の隙間からセンサの上に埃等の異物が落下すると、センサの出力に悪影響を与えるおそれがあるため、定期的にセンサに付着した異物を除去する必要がある。そのため、センサを清掃しやすい機構を備えるＸ線検査装置が求められている。
【０００４】
本発明の目的は、センサの清掃を容易にする機構を備えるＸ線検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るＸ線検査装置は、本体フレームと、搬送ユニットと、Ｘ線照射部と、Ｘ線検出部と、検査部とを備える。搬送ユニットは、本体フレームに取り付けられ、被検査物を搬送方向に搬送する。Ｘ線照射部は、搬送ユニットによって搬送されている被検査物にＸ線を照射する。Ｘ線検出部は、被検査物を透過したＸ線である透過Ｘ線を検出する。検査部は、透過Ｘ線に基づき被検査物を検査する。搬送ユニットは、第１コンベアと、第２コンベアと、支持部とを有する。第１コンベアおよび第２コンベアは、搬送方向において隙間を開けて配置されている。支持部は、第１コンベアおよび第２コンベアの少なくとも一方を支持する。Ｘ線検出部は、第１コンベアと第２コンベアとの間の隙間を通過した透過Ｘ線を検出可能な位置に配置される。支持部は、第１位置と第２位置との間を、第１コンベアおよび第２コンベアの少なくとも一方が移動可能なように設けられている。第２位置は、第１位置と比べてＸ線検出部からより離れている位置である。
【０００６】
本発明に係るＸ線検査装置は、被検査物を透過したＸ線を検出するセンサ（Ｘ線検出部）を清掃する際に、センサの近傍に配置されているコンベアを、センサから一時的に離すための機構を備える。従って、本発明に係るＸ線検査装置は、センサの清掃を容易にする機構を備える。
【０００７】
また、支持部は、本体フレームに対して回転可能に設けられていることが好ましい。この場合、本体フレームからコンベアを取り外すことなくセンサを清掃できるので、安全性および保守性が向上する。
【０００８】
また、支持部は、搬送方向に直交する方向における両端部の一方を支点にして、両端部の他方を持ち上げることができるように、本体フレームに対して回転可能に設けられていることが好ましい。この場合、本体フレームからコンベアを取り外すことなくセンサを清掃できるので、安全性および保守性が向上する。
【０００９】
また、支持部は、第１コンベアの隙間側端部、および、第２コンベアの隙間側端部の少なくとも一方を持ち上げることができるように、本体フレームに対して回転可能に設けられていることが好ましい。隙間側端部は、第１コンベアおよび第２コンベアの搬送方向における端部であって、第１コンベアと第２コンベアとの間の隙間に近い方の端部である。この場合、センサを清掃する際に、センサの上部に、清掃に適した広い空間を確保することができるので、センサの清掃を効率的に行うことができる。
【００１０】
また、支持部は、本体フレームに対して平行移動可能に設けられていることが好ましい。この場合、本体フレームからコンベアを取り外すことなくセンサを清掃できるので、安全性および保守性が向上する。
【００１１】
また、支持部は、本体フレームに対して鉛直方向に移動可能に設けられていることが好ましい。この場合、センサを清掃する際に、センサの上部に、清掃に適した広い空間を確保することができるので、センサの清掃を効率的に行うことができる。
【００１２】
また、Ｘ線検出部は、搬送方向に直交する方向に延びていることが好ましい。この場合、コンベア間の隙間に沿ってセンサが延びているので、コンベアを移動させた後のセンサの清掃が容易である。
【００１３】
また、支持部は、第１コンベアおよび第２コンベアの両方を支持することが好ましい。この場合、センサを清掃する際に、センサの近傍に配置されている両方のコンベアをセンサから一時的に離すことができる。そのため、センサを清掃する際に、センサの上部に、清掃に適した広い空間を確保することができるので、センサの清掃を効率的に行うことができる。
【００１４】
また、Ｘ線検査装置は、禁止部をさらに備えることが好ましい。禁止部は、第１コンベアおよび第２コンベアの少なくとも一方が第１位置にない場合に、Ｘ線照射部が被検査物にＸ線を照射することを禁止する。この場合、搬送ユニットは、第１コンベアおよび第２コンベアが第１位置にある場合に、被検査物を搬送可能である。この場合、センサの清掃中にＸ線源（Ｘ線照射部）からセンサに向かってＸ線が照射されることが防止されるので、安全性が向上する。
【００１５】
また、Ｘ線検査装置は、判定部と、報知部とをさらに備えることが好ましい。判定部は、Ｘ線検出部の清掃の要否を判定する。報知部は、判定部がＸ線検出部の清掃が必要であると判定した場合に、その旨を報知する。この場合、Ｘ線検査装置は、必要な時にセンサの清掃を使用者に促すことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係るＸ線検査装置は、センサの清掃を容易にする機構を備える。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態であるＸ線検査装置１０の外観を示す斜視図である。
【図２】Ｘ線検査装置１０が組み込まれる検査ライン１００の概略図である。
【図３】搬送ユニット１２の概略的な側面図である。
【図４】搬送ユニット１２の概略的な上面図である。
【図５】Ｘ線検査装置１０のシールドボックス１１の内部の概略図である。
【図６】ラインセンサ３０によって検出される透過Ｘ線の強度の例を示すグラフである。
【図７】制御装置５０のブロック図である。
【図８】本体フレーム１０ａおよび支持フレーム１２ｄを露出させた状態の外観図を示す。
【図９】本体フレーム１０ａおよび支持フレーム１２ｄの概略的な側面図である。
【図１０】図９の矢印Ｘから視た側面図である。通常時の支持フレーム１２ｄを示す図である。
【図１１】図１０と同様の側面図であって、支持フレーム１２ｄの正面側が持ち上げられた状態を示す図である。保守時の支持フレーム１２ｄを示す図である。
【図１２】変形例Ａにおける、支持フレーム１２ｄの回転機構を示す図である。通常時の支持フレーム１２ｄを示す図である。
【図１３】変形例Ａにおける、支持フレーム１２ｄの回転機構を示す図である。保守時の支持フレーム１２ｄを示す図である。
【図１４】変形例Ｂにおける、支持フレーム１２ｄの平行移動機構を示す図である。通常時の支持フレーム１２ｄを示す図である。
【図１５】変形例Ｂにおける、支持フレーム１２ｄの平行移動機構を示す図である。保守時の支持フレーム１２ｄを示す図である。
【図１６】変形例Ｃにおける、制御装置５０のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。以下に説明される実施形態は、本発明の具体例の一つであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１９】
（１）Ｘ線検査装置の全体構成
図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置１０の外観を示す斜視図である。図２は、Ｘ線検査装置１０が組み込まれる検査ライン１００の概略図である。検査ライン１００は、被検査物Ａの検査を行う。被検査物Ａは、例えば、包装された食品である。検査ライン１００において、被検査物Ａは、前段コンベア６０によってＸ線検査装置１０まで搬送される。図２において、被検査物Ａの搬送方向は、矢印で示されている。
【００２０】
Ｘ線検査装置１０は、前段コンベア６０によって連続的に搬送されてくる被検査物ＡにＸ線を照射することにより、被検査物Ａの良否判断を行う。具体的には、Ｘ線検査装置１０は、被検査物Ａの異物混入検査を行い、検査結果に基づいて被検査物Ａを良品または不良品に分類する。Ｘ線検査装置１０による検査結果は、Ｘ線検査装置１０の下流側に配置されている振り分け機構７０に送られる。振り分け機構７０は、Ｘ線検査装置１０において良品と判断された被検査物Ａを、良品を排出する後段コンベア８０へ送る。振り分け機構７０は、Ｘ線検査装置１０において不良品と判断された被検査物Ａを、不良品排出方向９０，９１に振分けて検査ライン１００から排出する。
【００２１】
（２）Ｘ線検査装置の詳細説明
Ｘ線検査装置１０は、主として、シールドボックス１１と、搬送ユニット１２と、Ｘ線照射器２０と、ラインセンサ３０と、モニタ４０と、制御装置５０とから構成される。
【００２２】
（２−１）シールドボックス
シールドボックス１１は、Ｘ線検査装置１０のケーシングである。図１に示されるように、シールドボックス１１の両側面には、被検査物Ａを搬出入するための開口１１ａが形成されている。開口１１ａは、シールドボックス１１の外部から内部に被検査物Ａを搬入するため、または、シールドボックス１１の内部から外部に被検査物Ａを搬出するために用いられる。開口１１ａは、遮蔽のれん１９により塞がれている。遮蔽のれん１９は、シールドボックス１１の内部から外部へのＸ線の漏洩を抑える。遮蔽のれん１９は、タングステンシートから成形される。遮蔽のれん１９は、被検査物Ａが搬出入される時に被検査物Ａによって押しのけられる。
【００２３】
シールドボックス１１の内部には、搬送ユニット１２、Ｘ線照射器２０、ラインセンサ３０および制御装置５０等が収容されている。シールドボックス１１の正面上部には、モニタ４０、入力用のキー、および、電源スイッチ等が配置されている。シールドボックス１１の一部は、取り外し可能である。
【００２４】
（２−２）搬送ユニット
搬送ユニット１２は、シールドボックス１１の内部を通過するように被検査物Ａを搬送する。図１に示されるように、搬送ユニット１２は、シールドボックス１１の両側面に形成された開口１１ａを貫通するように配置されている。搬送ユニット１２は、Ｘ線検査装置１０の本体フレーム１０ａに取り付けられている。
【００２５】
図３は、搬送ユニット１２の概略的な側面図である。図４は、搬送ユニット１２の概略的な上面図である。図３および図４には、被検査物Ａの搬送方向が矢印で示されている。
【００２６】
搬送ユニット１２は、主として、コンベアモータ１２ａと、エンコーダ１２ｂと、タイミングベルト１２ｃと、支持フレーム１２ｄと、第１コンベア１３と、第２コンベア１４とから構成される。第１コンベア１３および第２コンベア１４は、共に、被検査物Ａを搬送方向に搬送するベルトコンベアである。第１コンベア１３は、搬送方向の上流側に設置され、第２コンベア１４は、搬送方向の下流側に設置される。第１コンベア１３と第２コンベア１４との間には、隙間が形成されている。以下、この隙間を、コンベア間隙間１５と呼ぶ。また、第１コンベア１３のコンベア間隙間１５側（下流側）の端部を、第１隙間側端部１６と呼び、第２コンベア１４のコンベア間隙間１５側（上流側）の端部を、第２隙間側端部１７と呼ぶ。
【００２７】
第１コンベア１３によって上流側の開口１１ａから第１隙間側端部１６まで搬送された被検査物Ａは、図３および図４に示されるように、コンベア間隙間１５を跨ぐように第１コンベア１３および第２コンベア１４の両方に同時に載せられている状態になる。その後、被検査物Ａは、第２コンベア１４によって第２隙間側端部１７から下流側の開口１１ａに向かって搬送される。コンベア間隙間１５の搬送方向の寸法は、被検査物Ａがコンベア間隙間１５から落下しない程度に設定されている。
【００２８】
第１コンベア１３は、主として、第１上流側コンベアローラ１３ａと、第１下流側コンベアローラ１３ｂと、第１無端状ベルト１３ｃとから構成されている。第１上流側コンベアローラ１３ａは、第１下流側コンベアローラ１３ｂよりも上流側に配置される。第１無端状ベルト１３ｃは、第１上流側コンベアローラ１３ａおよび第１下流側コンベアローラ１３ｂに掛け渡されている。
【００２９】
第２コンベア１４は、主として、第２上流側コンベアローラ１４ａと、第２下流側コンベアローラ１４ｂと、第２無端状ベルト１４ｃと、駆動ローラ１４ｄと、従動ローラ１４ｅとから構成されている。第２上流側コンベアローラ１４ａは、第２下流側コンベアローラ１４ｂよりも上流側に配置される。第２無端状ベルト１４ｃは、図３に示されるように、第２上流側コンベアローラ１４ａ、第２下流側コンベアローラ１４ｂ、駆動ローラ１４ｄおよび従動ローラ１４ｅに掛け渡されている。駆動ローラ１４ｄは、コンベアモータ１２ａによって駆動される。駆動ローラ１４ｄの駆動により、第２無端状ベルト１４ｃが回転し、第２無端状ベルト１４ｃ上の被検査物Ａが搬送される。
【００３０】
第１下流側コンベアローラ１３ｂおよび第２上流側コンベアローラ１４ａは、一対のタイミングベルト１２ｃで連結されている。一対のタイミングベルト１２ｃは、図４に示されるように、第１下流側コンベアローラ１３ｂおよび第２上流側コンベアローラ１４ａの両端部において掛け渡されている。一対のタイミングベルト１２ｃにより、第２無端状ベルト１４ｃの回転運動が第１無端状ベルト１３ｃに伝達される。そのため、駆動ローラ１４ｄの駆動により、第２無端状ベルト１４ｃが回転すると、第１無端状ベルト１３ｃも回転し、第１無端状ベルト１３ｃ上の被検査物Ａが搬送される。
【００３１】
搬送ユニット１２による被検査物Ａの搬送速度は、Ｘ線検査装置１０の操作者によって入力された設定速度に応じて変動する。制御装置５０は、設定速度に基づいてコンベアモータ１２ａをインバータ制御し、被検査物Ａの搬送速度を細かく制御する。搬送ユニット１２のエンコーダ１２ｂは、被検査物Ａの搬送速度を検出して制御装置５０に送信する。
【００３２】
なお、搬送ユニット１２は、搬送機構としてベルトコンベアを用いているが、ベルトコンベアの代わりにトップチェーンコンベア等を搬送機構として用いてもよい。
【００３３】
支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の両方を支持する部材である。支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに取り付けられている。支持フレーム１２ｄの詳細な構成については後述する。
【００３４】
（２−３）Ｘ線照射器
図５は、Ｘ線検査装置１０のシールドボックス１１の内部の概略図である。Ｘ線照射器２０は、シールドボックス１１内部の所定の位置まで搬送ユニット１２によって搬送された被検査物ＡにＸ線を照射する。所定の位置とは、図３および図４に示されるように、被検査物Ａの搬送方向においてコンベア間隙間１５の位置である。すなわち、Ｘ線照射器２０は、コンベア間隙間１５の上にある被検査物ＡにＸ線を照射する。
【００３５】
図５に示されるように、Ｘ線照射器２０は、搬送ユニット１２の上方に配置されている。Ｘ線照射器２０は、搬送ユニット１２の下方に配置されるラインセンサ３０に向けて扇状のＸ線（放射光）を照射する。Ｘ線の照射範囲Ｘは、図５に示されるように、搬送ユニット１２の搬送面に対して垂直であり、かつ、搬送ユニット１２による被検査物Ａの搬送方向に対して直交する方向に広がる。すなわち、Ｘ線照射器２０から照射されるＸ線は、ベルト１３ｃ，１４ｃの幅方向（コンベア間隙間１５の長手方向）に広がる。
【００３６】
（２−４）ラインセンサ
ラインセンサ３０は、Ｘ線照射器２０から照射されたＸ線を検出するセンサである。具体的には、ラインセンサ３０は、搬送ユニット１２によって搬送された被検査物Ａを透過したＸ線である透過Ｘ線を検出する。透過Ｘ線は、コンベア間隙間１５を通過してラインセンサ３０に到達する。すなわち、透過Ｘ線は、第１コンベア１３および第２コンベア１４と衝突しないので、第１コンベア１３および第２コンベア１４に吸収されない。
【００３７】
図５に示されるように、ラインセンサ３０は、搬送ユニット１２の下方に配置されている。ラインセンサ３０は、複数のＸ線検出素子から構成されている。複数のＸ線検出素子は、搬送ユニット１２による被検査物Ａの搬送方向に直交する方向（ベルト１３ｃ，１４ｃの幅方向）に沿って一直線に水平に配置されている。
【００３８】
ラインセンサ３０は、透過Ｘ線を検出し、検出された透過Ｘ線の強度に応じた電圧を示すＸ線透過信号を出力する。Ｘ線透過信号は、後述するように、被検査物Ａの透過画像の生成に用いられる。図６は、ラインセンサ３０によって検出される透過Ｘ線の強度の例を示すグラフである。グラフの横軸は、ラインセンサ３０上の位置を表す。グラフの縦軸は、ラインセンサ３０が検出した透過Ｘ線の強度を表す。被検査物Ａの透過画像では、透過Ｘ線の検出量の多いところが明るく（輝度が高く）表示され、透過Ｘ線の検出量が少ないところが暗く（輝度が低く）表示される。すなわち、被検査物Ａの透過画像の明暗（輝度値）は、透過Ｘ線の検出量に依存する。図６に示されるように、被検査物Ａを透過したＸ線の検出量は、被検査物Ａを透過しなかったＸ線の検出量より低い。
【００３９】
また、ラインセンサ３０は、被検査物ＡがＸ線の扇状の照射範囲Ｘ（図５参照）を通過するタイミングを検知するためのセンサとしても機能する。すなわち、ラインセンサ３０は、搬送ユニット１２によって搬送される被検査物Ａがラインセンサ３０の上方の位置（照射範囲Ｘと重なる位置）に来たとき、所定の閾値以下の電圧を示すＸ線透過信号（第１信号）を出力する。一方、ラインセンサ３０は、被検査物Ａが照射範囲Ｘを通過すると、所定の閾値を上回る電圧を示すＸ線透過信号（第２信号）を出力する。第１信号および第２信号が制御装置５０に送られることにより、照射範囲Ｘにおける被検査物Ａの有無が検出される。
【００４０】
（２−５）モニタ
モニタ４０は、タッチパネル機能付きの液晶ディスプレイである。モニタ４０は、Ｘ線検査装置１０の表示部および入力部として機能する。モニタ４０には、被検査物Ａの検査結果等が表示される。また、モニタ４０には、初期設定、および、被検査物Ａの良否判断に関するパラメータを入力するための画面等が表示される。
【００４１】
Ｘ線検査装置１０の操作者は、モニタ４０を操作して、検査パラメータおよび動作設定情報等を入力することができる。検査パラメータとは、被検査物Ａの良否を判定するために必要なパラメータである。具体的には、検査パラメータは、被検査物Ａに含まれる異物の有無を判定するために用いられる透過Ｘ線の強度の閾値等である。動作設定情報とは、被検査物Ａの検査速度、および、搬送ユニット１２の搬送方向等の情報である。
【００４２】
モニタ４０は、制御装置５０に接続されており、制御装置５０と信号の送受信を行う。モニタ４０によって入力された検査パラメータおよび動作設定情報は、制御装置５０の記憶部５２に記憶される。
【００４３】
（２−６）制御装置
制御装置５０は、主として、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭおよびＨＤＤ（ハードディスクドライブ）等によって構成されている。なお、ＨＤＤの代わりにＳＳＤ（ソリッドステートドライブ）が用いられてもよい。制御装置５０は、図示されない表示制御回路、入力回路および通信ポート等も備えている。表示制御回路は、モニタ４０の表示を制御する回路である。入力回路は、モニタ４０のタッチパネルおよび入力キーを介して操作者によって入力された入力データを取り込む回路である。通信ポートは、プリンタ等の外部機器、および、ＬＡＮ等のネットワークとの接続を可能にするポートである。
【００４４】
図７は、制御装置５０のブロック図である。制御装置５０は、主として、制御部５１と、記憶部５２とを有する。制御装置５０は、コンベアモータ１２ａ、エンコーダ１２ｂ、Ｘ線照射器２０、ラインセンサ３０およびモニタ４０等に電気的に接続されている。制御装置５０は、エンコーダ１２ｂからコンベアモータ１２ａの回転数に関するデータを取得し、そのデータに基づいて被検査物Ａの移動距離を算出する。制御装置５０は、ラインセンサ３０から出力されたＸ線透過信号を受信し、搬送ユニット１２によって搬送されている被検査物ＡがＸ線の照射範囲Ｘに到達したタイミングを検出する。制御装置５０は、透過Ｘ線の強度に基づいて、被検査物Ａに含まれる異物の有無を判定して、被検査物Ａの良否を判定する。
【００４５】
（２−６−１）制御部
制御部５１は、記憶部５２に記憶されている各種プログラムを実行することにより、様々な機能を実現する。制御部５１は、主として、検査部６１を有する。
【００４６】
検査部６１は、ラインセンサ３０が出力したＸ線透過信号に基づいて、被検査物Ａの透過画像を生成し、その透過画像に対して各種の画像処理を施し、最終画像を生成する。検査部６１は、生成された最終画像を解析して、被検査物Ａに関する良品／不良品の判定を行う。検査部６１は、被検査物Ａに異物が含まれていないと判断した場合に、被検査物Ａを良品と判定する。一方、検査部６１は、被検査物Ａに異物が含まれていると判断した場合に、被検査物Ａを不良品と判定する。検査部６１は、例えば、輝度値が所定の値以下である画素領域（異物を表す画素領域）が、最終画像に含まれている場合に、被検査物Ａに異物が含まれていると判断する。
【００４７】
検査部６１は、被検査物Ａの良品／不良品を判定すると、被検査物Ａが良品／不良品のいずれかであるのかに関する信号を出力する。検査部６１によって出力された信号は、振り分け機構７０に送られる。振り分け機構７０は、検査部６１による判定結果に基づき、良品である被検査物Ａを後段コンベア８０へ送り、または、不良品である被検査物Ａを不良品排出方向９０，９１に振り分ける。
【００４８】
（２−６−２）記憶部
記憶部５２は、検査パラメータ、動作設定情報、および、制御部５１が実行する各種プログラムを記憶する。検査パラメータおよび動作設定情報は、モニタ４０のタッチパネル機等を用いて操作者によって入力される。
【００４９】
また、記憶部５２は、検査部６１が生成、取得または使用する様々なデータを記憶する。記憶部５２は、例えば、検査部６１が生成した被検査物Ａの透過画像および最終画像を記憶する。
【００５０】
（３）支持フレーム
次に、支持フレーム１２ｄの詳細な構成について説明する。図８は、Ｘ線検査装置１０からシールドボックス１１の一部を取り外して、本体フレーム１０ａおよび支持フレーム１２ｄを露出させた状態の外観図を示す。図９は、図８の状態における、本体フレーム１０ａおよび支持フレーム１２ｄの概略的な側面図である。図９は、図３と同じ方向から視た側面図である。図９では、分かりやすくするために、図３に示されるコンベアモータ１２ａ、タイミングベルト１２ｃおよびＸ線照射器２０は省略されている。図１０は、図９の矢印Ｘから視た側面図である。以下において、正面側とは、図１においてＸ線検査装置１０のモニタ４０が存在する側を意味する。Ｘ線検査装置１０の使用者は、Ｘ線検査装置１０の正面側からモニタ４０を操作する。また、背面側とは、搬送ユニット１２を挟んで正面側の反対側を意味する。
【００５１】
支持フレーム１２ｄは、第１・第２コンベア１３，１４を正面側および背面側で支持する。支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して回転可能に設けられている。具体的には、Ｘ線検査装置１０の使用者は、図９および図１０に示される回転軸Ｒの周りに、支持フレーム１２ｄを回転させることができる。回転軸Ｒは、被検査物Ａの搬送方向に平行である。回転軸Ｒは、Ｘ線検査装置１０の背面側における、支持フレーム１２ｄの幅方向の端部に位置している。支持フレーム１２の正面側には、持ち手１２ｅが取り付けられている。Ｘ線検査装置１０の使用者は、持ち手１２ｅを掴み、図１０に示される矢印の方向に向かって持ち手１２ｅを持ち上げることで、支持フレーム１２ｄを回転軸Ｒ周りに回転させて、支持フレーム１２ｄの正面側を持ち上げることができる。支持フレーム１２ｄの正面側が持ち上げられた状態において、支持フレーム１２ｄの背面側は、本体フレーム１０ａに連結されている。
【００５２】
図１１は、図１０と同様の側面図であって、支持フレーム１２ｄの正面側が持ち上げられた状態を示す図である。図８に示されるように、本体フレーム１０ａには、引っ掛け部材１２ｆが取り付けられている。引っ掛け部材１２ｆは、正面側が持ち上げられた支持フレーム１２ｄの持ち手１２ｅを一時的に引っ掛けておくための部材である。言い換えると、引っ掛け部材１２ｆは、正面側が持ち上げられた状態に支持フレーム１２ｄを一時的に維持しておくための部材である。
【００５３】
図１１に示されるように、支持フレーム１２ｄの正面側が持ち上げられた状態では、ラインセンサ３０と支持フレーム１２ｄ（第１・第２コンベア１３，１４）との間に、比較的広い空間が形成されている。そのため、後述するように、この状態は、ラインセンサ３０の清掃に適している。以下、図１０に示される支持フレーム１２ｄの状態を「通常時」と呼び、図１１に示される支持フレーム１２ｄの状態を「保守時」と呼ぶ。
【００５４】
支持フレーム１２ｄが通常時の状態における第１・第２コンベア１３，１４の位置を「第１位置」とし、支持フレーム１２ｄが保守時の状態における第１・第２コンベア１３，１４の位置を「第２位置」とする。第２位置は、第１位置と比べてラインセンサ３０からより離れている。支持フレーム１２ｄは、第１位置と第２位置との間を、第１コンベア１３および第２コンベア１４の少なくとも一方が移動可能なように設けられている。
【００５５】
（４）特徴
（４−１）
Ｘ線検査装置１０の搬送ユニット１２は、第１コンベア１３および第２コンベア１４を駆動させて被検査物Ａを搬送する。Ｘ線照射器２０から照射されたＸ線が搬送ユニット１２に吸収されることを防止するために、第１コンベア１３と第２コンベア１４との間には、Ｘ線照射器２０から照射されたＸ線が通過するためのコンベア間隙間１５が形成されている。しかし、コンベア間隙間１５からラインセンサ３０の上に埃等の異物が落下すると、ラインセンサ３０の出力に悪影響を与え、被検査物Ａが正常に検査されないおそれがある。そのため、ラインセンサ３０を定期的に清掃して、ラインセンサ３０に付着した異物を除去する必要がある。
【００５６】
本実施形態のＸ線検査装置１０は、被検査物Ａを透過したＸ線を検出するラインセンサ３０を清掃する際に、ラインセンサ３０の近傍に配置されている第１コンベア１３および第２コンベア１４を、ラインセンサ３０から一時的に離すための機構を備える。具体的には、Ｘ線検査装置１０の使用者は、ラインセンサ３０を清掃する際に、図１０に示される通常時の支持フレーム１２ｄの正面側を持ち上げて、図１１に示される保守時の支持フレーム１２ｄとすることで、ラインセンサ３０と第１・第２コンベア１３，１４との間に比較的広い空間を確保することができる。そのため、Ｘ線検査装置１０の使用者は、支持フレーム１２ｄが保守時の状態において、ラインセンサ３０の清掃を効率的に行うことができる。一方、支持フレーム１２ｄが通常時の状態では、ラインセンサ３０と第１・第２コンベア１３，１４との間の空間が狭いので、ラインセンサ３０の清掃は困難である。従って、Ｘ線検査装置１０は、ラインセンサ３０の清掃を容易にする機構を備える。
【００５７】
（４−２）
Ｘ線検査装置１０では、支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して回転可能に設けられている。具体的には、図１０および図１１に示されるように、支持フレーム１２ｄは、背面側において搬送方向に沿って延びている回転軸Ｒを中心にして、正面側を持ち上げることができるように、本体フレーム１０ａに取り付けられている。そのため、支持フレーム１２ｄの状態を通常時から保守時に移行させる際に、本体フレーム１０ａから第１・第２コンベア１３，１４を取り外すことなく、第１・第２コンベア１３，１４をラインセンサ３０から一時的に離すことができる。従って、ラインセンサ３０の清掃時における安全性および保守性が向上する。
【００５８】
（４−３）
Ｘ線検査装置１０では、ラインセンサ３０は、被検査物Ａの搬送方向に直交する方向に延びている。すなわち、ラインセンサ３０は、コンベア間隙間１５の長手方向に沿って延びている。そのため、支持フレーム１２ｄの状態を通常時から保守時に移行させた後において、ラインセンサ３０と第１・第２コンベア１３，１４との間には比較的広い空間が確保される。従って、Ｘ線検査装置１０の使用者は、ラインセンサ３０の各Ｘ線検出素子の上面であるＸ線検出面の清掃を容易に行うことができる。
【００５９】
（４−４）
Ｘ線検査装置１０では、支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の両方を支持する。そのため、ラインセンサ３０を清掃する際に、ラインセンサ３０の近傍に配置されている第１・第２コンベア１３，１４の両方を、ラインセンサ３０から一時的に離すことができる。そのため、ラインセンサ３０の清掃時において、ラインセンサ３０の周囲に、清掃の障害となる物体が存在しない空間を大きく確保することができる。従って、Ｘ線検査装置１０の使用者は、ラインセンサ３０の清掃を効率的に行うことができる。
【００６０】
（５）変形例
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００６１】
（５−１）変形例Ａ
実施形態では、図１０および図１１に示されるように、支持フレーム１２ｄは、背面側において搬送方向に沿って延びる回転軸Ｒを中心にして、正面側を持ち上げることができる。しかし、ラインセンサ３０の清掃時に第１・第２コンベア１３，１４をラインセンサ３０から一時的に離すことができれば、支持フレーム１２ｄは、他の機構によって、本体フレーム１０ａに対して回転可能に設けられてもよい。
【００６２】
図１２および図１３は、本変形例における、支持フレーム１２ｄの回転機構を示す図である。図１２および図１３は、図９と同じ方向から視た側面図である。図１２は、通常時の支持フレーム１２ｄを示し、図１３は、保守時の支持フレーム１２ｄを示す。
【００６３】
本変形例の支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３の第１隙間側端部１６、および、第２コンベア１４の第２隙間側端部１７の両方を持ち上げることができるように、本体フレーム１０ａに対して回転可能に設けられている。本変形例では、支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３を支持する第１支持部１２ｄ１と、第２コンベア１４を支持する第２支持部１２ｄ２とから構成されている。第１支持部１２ｄ１および第２支持部１２ｄ２は、それぞれ独立して、本体フレーム１０ａに対して回転可能に設けられている。第１支持部１２ｄ１は、第１隙間側端部１６の側に第１持ち手１２ｅ１を有する。第２支持部１２ｄ２は、第２隙間側端部１７の側に第２持ち手１２ｅ２を有する。
【００６４】
図１２および図１３に示されるように、第１コンベア１３は、第１回転軸Ｒ１を中心にして、第１隙間側端部１６の側を持ち上げることができ、第２コンベア１４は、第２回転軸Ｒ２を中心にして、第２隙間側端部１７の側を持ち上げることができる。第１回転軸Ｒ１は、搬送方向において第１隙間側端部１６の反対側の端部に位置し、かつ、第１コンベア１３の幅方向に平行な軸である。第２回転軸Ｒ２は、搬送方向において第２隙間側端部１７の反対側の端部に位置し、かつ、第２コンベア１４の幅方向に平行な軸である。
【００６５】
これにより、Ｘ線検査装置１０の使用者は、第１持ち手１２ｅ１を掴み、図１２に示される矢印の方向に向かって第１持ち手１２ｅ１を持ち上げることで、第１支持部１２ｄ１を第１回転軸Ｒ１周りに回転させて、第１隙間側端部１６の側を持ち上げることができる。また、Ｘ線検査装置１０の使用者は、第２持ち手１２ｅ２を掴み、図１２に示される矢印の方向に向かって第２持ち手１２ｅ２を持ち上げることで、第２支持部１２ｄ２を第２回転軸Ｒ２周りに回転させて、第２隙間側端部１７の側を持ち上げることができる。以上の２つの動作によって、Ｘ線検査装置１０の使用者は、支持フレーム１２ｄを通常時（図１２）から保守時（図１３）に移行させることができる。支持フレーム１２ｄが保守時の状態において、第１支持部１２ｄ１は、第１隙間側端部１６の搬送方向反対側において本体フレーム１０ａに連結され、第２支持部１２ｄ２は、第２隙間側端部１７の搬送方向反対側において本体フレーム１０ａに連結されている。なお、支持フレーム１２ｄが保守時の状態の間、タイミングベルト１２ｃは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の少なくとも一方から取り外されている。
【００６６】
Ｘ線検査装置１０の使用者は、ラインセンサ３０を清掃する際に、図１２に示される通常時の支持フレーム１２ｄの第１・第２コンベア１３，１４の第１・第２隙間側端部１６，１７側を持ち上げて、図１３に示される保守時の支持フレーム１２ｄとすることで、ラインセンサ３０と第１・第２コンベア１３，１４との間に比較的広い空間を確保することができる。そのため、Ｘ線検査装置１０の使用者は、支持フレーム１２ｄが保守時の状態で、ラインセンサ３０の清掃を効率的に行うことができる。
【００６７】
なお、本変形例では、実施形態の引っ掛け部材１２ｆと同様に、支持フレーム１２ｄが保守時の状態において、第１支持部１２ｄ１の第１持ち手１２ｅ１、および、第２支持部１２ｄ２の第２持ち手１２ｅ２を一時的に引っ掛けておくための部材を、本体フレーム１０ａが有してもよい。
【００６８】
（５−２）変形例Ｂ
実施形態では、支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して回転可能に設けられている。しかし、支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して平行移動可能に設けられてもよい。例えば、支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して鉛直方向に平行移動可能に設けられてもよい。
【００６９】
図１４および図１５は、本変形例における、支持フレーム１２ｄの平行移動機構を示す図である。図１４および図１５は、図９と同じ方向から視た側面図である。図１４は、通常時の支持フレーム１２ｄを示し、図１５は、保守時の支持フレーム１２ｄを示す。
【００７０】
本変形例の支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３全体、および、第２コンベア１４全体を鉛直方向に持ち上げることができるように、本体フレーム１０ａに対して平行移動可能に設けられている。例えば、支持フレーム１２ｄは、支持レール（図示せず）を介して本体フレーム１０ａに取り付けられている。支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａから取り外すことはできない。しかし、Ｘ線検査装置１０の使用者は、支持フレーム１２ｄを通常時から保守時に移行させる際に、支持フレーム１２ｄを、支持レールに沿って鉛直方向上方に向かって移動させることができる。また、支持フレーム１２ｄは、第１持ち手１２ｅ１と第２持ち手１２ｅ２とを有する。第１持ち手１２ｅ１は、第１コンベア１３の側に設けられ、第２持ち手１２ｅ２は、第２コンベア１４の側に設けられている。
【００７１】
これにより、Ｘ線検査装置１０の使用者は、第１持ち手１２ｅ１および第２持ち手１２ｅ２を両手で掴み、図１４に示される矢印の方向に向かって第１持ち手１２ｅ１および第２持ち手１２ｅ２を持ち上げることで、図１５に示されるように、支持フレーム１２ｄ全体を鉛直方向上方に移動させることができる。
【００７２】
Ｘ線検査装置１０の使用者は、ラインセンサ３０を清掃する際に、図１４に示される通常時の支持フレーム１２ｄを持ち上げて、図１５に示される保守時の支持フレーム１２ｄとすることで、ラインセンサ３０と第１・第２コンベア１３，１４との間に比較的広い空間を確保することができる。そのため、Ｘ線検査装置１０の使用者は、支持フレーム１２ｄが保守時の状態で、ラインセンサ３０の清掃を効率的に行うことができる。
【００７３】
なお、本変形例では、実施形態の引っ掛け部材１２ｆと同様に、支持フレーム１２ｄが保守時の状態において、支持フレーム１２ｄの第１持ち手１２ｅ１および第２持ち手１２ｅ２を一時的に引っ掛けておくための部材を、本体フレーム１０ａが有してもよい。
【００７４】
また、本変形例では、支持フレーム１２ｄが保守時の状態において、ラインセンサ３０と第１・第２コンベア１３，１４との間に比較的広い空間を確保することができるのであれば、支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して任意の方向に平行移動可能に設けられてもよく、また、支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して任意の方向に平行移動可能、かつ、回転可能に設けられてもよい。
【００７５】
（５−３）変形例Ｃ
実施形態では、制御装置５０の制御部５１は、主として、検査部６１を有する。しかし、制御部５１は、さらに、禁止部６２、判定部６３および報知部６４の少なくとも一つを有してもよい。
【００７６】
図１６は、本変形例における制御装置５０のブロック図である。図１６では、制御部５１は、検査部６１と、禁止部６２と、判定部６３と、報知部６４とを有する。検査部６１の機能は、実施形態のものと同じである。
【００７７】
禁止部６２は、第１コンベア１３および第２コンベア１４の少なくとも一方が所定の位置にない場合に、Ｘ線照射器２０が被検査物ＡにＸ線を照射することを禁止する。ここで、所定の位置とは、支持フレーム１２ｄが通常時の状態（図１０）における、第１・第２コンベア１３，１４の位置を意味する。この場合、搬送ユニット１２は、第１コンベア１３および第２コンベア１４の両方が所定の位置にある場合に、被検査物Ａを搬送可能である。言い換えると、禁止部６２は、支持フレーム１２ｄが保守時の状態の間、Ｘ線照射器２０が被検査物ＡにＸ線を照射することを禁止する。支持フレーム１２ｄが保守時の状態の間に、Ｘ線照射器２０がＸ線を照射すると、ラインセンサ３０を清掃している作業者が、Ｘ線照射器２０から照射されるＸ線に曝されるおそれがある。そのため、禁止部６２は、ラインセンサ３０の清掃中にＸ線照射器２０からＸ線が照射されることが防止されるので、安全性を向上させることができる。
【００７８】
判定部６３は、ラインセンサ３０の清掃の要否を判定する。判定部６３は、例えば、ラインセンサ３０の出力の低下を監視して、ラインセンサ３０の出力が所定の値以下になった場合に、ラインセンサ３０のＸ線検出素子の上面に異物が付着したと判定する。そのため、Ｘ線検査装置１０の使用者は、ラインセンサ３０の清掃の要否を判断するために、ラインセンサ３０の状態を目視で確認する必要がない。
【００７９】
報知部６４は、ラインセンサ３０の清掃が必要であることを、Ｘ線検査装置１０の使用者に報知する。報知部６４は、例えば、判定部６３がラインセンサ３０の清掃が必要であると判定した場合に、その旨をモニタ４０に表示する。これにより、Ｘ線検査装置１０は、必要な時にラインセンサ３０の清掃を使用者に促すことができる。
【００８０】
（５−４）変形例Ｄ
実施形態では、支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の両方を支持する。しかし、支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の一方のみを支持してもよい。すなわち、ラインセンサ３０を清掃する際に、第１コンベア１３および第２コンベア１４の一方のみを、ラインセンサ３０から一時的に離すことができてもよい。この場合、他方のコンベアは、被検査物Ａを搬送可能な時と同じ位置にある。なお、本変形例では、支持フレーム１２ｄが保守時の状態の間、タイミングベルト１２ｃは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の少なくとも一方から取り外されている。
【００８１】
なお、変形例Ａおよび変形例Ｂにおいても、支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の一方のみを支持してもよい。すなわち、ラインセンサ３０を清掃する際に、第１コンベア１３および第２コンベア１４の一方のみを、ラインセンサ３０から一時的に離すことができてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明に係るＸ線検査装置は、センサの清掃を容易にする機構を備えるので、保守作業を効率的に行うことができる点で有用である。
【符号の説明】
【００８３】
１０    Ｘ線検査装置
１０ａ  本体フレーム
１２    搬送ユニット
１２ｄ  支持フレーム（支持部）
１３    第１コンベア
１４    第２コンベア
１５    コンベア間隙間（隙間）
１６    第１隙間側端部（隙間側端部）
１７    第２隙間側端部（隙間側端部）
２０    Ｘ線照射器（Ｘ線照射部）
３０    ラインセンサ（Ｘ線検出部）
６１    検査部
６２    禁止部
６３    判定部
６４    報知部
Ａ    被検査物
【先行技術文献】
【特許文献】
【００８４】
【特許文献１】特開２０１２−１６３４８５号公報
【図１】
2019020341.tif 000003
【図２】
2019020341.tif 000004
【図３】
2019020341.tif 000005
【図４】
2019020341.tif 000006
【図５】
2019020341.tif 000007
【図６】
2019020341.tif 000008
【図７】
2019020341.tif 000009
【図８】
2019020341.tif 000010
【図９】
2019020341.tif 000011
【図１０】
2019020341.tif 000012
【図１１】
2019020341.tif 000013
【図１２】
2019020341.tif 000014
【図１３】
2019020341.tif 000015
【図１４】
2019020341.tif 000016
【図１５】
2019020341.tif 000017
【図１６】
2019020341.tif 000018