(57)【要約】【課題】液体噴射装置において、スライド部と液室との摺動部にて生じる摩擦による発熱を低減する。【解決手段】液体噴射装置は、液体を吐出するノズル孔に連通する圧力室と、圧力室に連通する第１開口を有する液室と、液室内に配置され、第１開口に対応する位置に第１貫通孔を有する第１スライド部と、第１スライド部を予め定められた方向に沿って駆動させる駆動装置とを備える。第１スライド部は、駆動装置による駆動により、液室の第１開口を有する内壁面の上を予め定められた方向に沿って摺動し、第１開口と第１貫通孔とが重なる面積を変化させることにより、第１開口の開度を変化させ、第１スライド部は、第１開口を有する内壁面と予め定められた方向に沿って線接触する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体噴射装置であって、
液体を吐出するノズル孔に連通する圧力室と、
前記圧力室に連通する第１開口を有する液室と、
前記液室内に配置され、前記第１開口に対応する位置に第１貫通孔を有する第１スライド部と、
前記第１スライド部を予め定められた方向に沿って駆動させる駆動装置と、
を備え、
前記第１スライド部は、前記駆動装置による駆動により、前記液室の前記第１開口を有する内壁面の上を前記方向に沿って摺動し、前記第１開口と前記第１貫通孔とが重なる面積を変化させることにより、前記第１開口の開度を変化させ、
前記第１スライド部は、前記第１開口を有する前記内壁面と前記方向に沿って線接触する、
液体噴射装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射装置であって、
前記液室の前記内壁面は、前記方向に沿って延伸する溝状の凹部を有し、
前記第１開口は前記凹部に形成されている、
液体噴射装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射装置であって、
前記第１スライド部の前記方向に垂直な断面は円弧状である、
液体噴射装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射装置であって、
前記第１スライド部の前記内壁面と線接触する側に対して反対側の面は平面である、
液体噴射装置。
【請求項５】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射装置であって、
前記第１スライド部の前記方向に垂直な断面は中空であり、
前記第１スライド部の前記中空の内部空間が、前記液室の一部を形成する、
液体噴射装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の液体噴射装置であって、
複数の前記圧力室を備え、
前記液室は、それぞれの前記圧力室と前記液室とを連通する複数の前記第１開口を有し、
複数の前記第１開口は、前記方向に沿って配列しており、
前記第１スライド部は、複数の前記第１開口に対応する位置に複数の前記第１貫通孔を有する、
液体噴射装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の液体噴射装置であって、
前記液室の第２開口に連通し、前記液室内の前記液体を液体供給源に循環させるための循環流路と、
前記液室内に配置され、前記第２開口に対応する位置に第２貫通孔を有する第２スライド部と、
を備え、
前記液室は、供給流路を介して前記液体供給源と連通し、
前記第２スライド部は、前記駆動装置による駆動により、前記液室の前記第２開口を有する内壁面の上を前記方向に沿って摺動し、前記第２開口と前記第２貫通孔とが重なる面積を変化させることにより、前記第２開口の開度を変化させ、
前記第２スライド部は、前記第２開口を有する前記内壁面と前記方向に沿って線接触する、
液体噴射装置。
【請求項８】
請求項７に記載の液体噴射装置であって、
前記第１スライド部と前記第２スライド部とが一体に形成されている、
液体噴射装置。
【請求項９】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の液体噴射装置であって、
前記液室は、供給流路を介して液体供給源と連通し、
前記圧力室には、前記第１開口を介して前記液室内の前記液体が流入し、
前記圧力室は、前記圧力室内の前記液体を前記液体供給源に循環させるための循環流路と連通する、
液体噴射装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の液体噴射装置であって、
前記圧力室は、供給流路を介して液体供給源と連通し、
前記液室には、前記第１開口を介して前記圧力室内の前記液体が流入し、
前記液室は、前記液室内の前記液体を前記液体供給源に循環させるための循環流路と連通する、
液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置に関して、例えば、特許文献１には、液室内の壁面上にプレートが設けられ、プレートは壁面上をスライドするように駆動される液体噴射装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３２００４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された液体噴射装置では、スライド部（プレート）の摺動（スライド）に伴い、スライド部と液室との摺動部において摩擦による発熱が起こる。この発熱が大きい場合、液室内の液体の粘度が低下し、ノズル孔からの液体の吐出安定性が低下する可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００６】
（１）本発明の一形態によれば、液体噴射装置が提供される。この液体噴射装置は、液体を吐出するノズル孔に連通する圧力室と；前記圧力室に連通する第１開口を有する液室と；前記液室内に配置され、前記第１開口に対応する位置に第１貫通孔を有する第１スライド部と；前記第１スライド部を予め定められた方向に沿って駆動させる駆動装置と；を備える。前記第１スライド部は、前記駆動装置による駆動により、前記液室の前記第１開口を有する内壁面の上を前記方向に沿って摺動し、前記第１開口と前記第１貫通孔とが重なる面積を変化させることにより、前記第１開口の開度を変化させ；前記第１スライド部は、前記第１開口を有する前記内壁面と前記方向に沿って線接触する。この形態の液体噴射装置によれば、第１スライド部と液室の内壁面との摺動部における接触面積を小さくでき、摺動部における摩擦による発熱を低減できる。このため、液室内の液体の粘度の低下を抑制でき、ノズル孔からの液体の吐出安定性の低下を抑制できる。
【０００７】
（２）上記形態の液体噴射装置において、前記液室の前記内壁面は、前記方向に沿って延伸する溝状の凹部を有し、前記第１開口は前記凹部に形成されてもよい。この形態の液体噴射装置によれば、第１スライド部の駆動が液室の溝状の凹部によって案内されるため、液室内における第１スライド部の位置決め精度を向上させることができる。
【０００８】
（３）上記形態の液体噴射装置において、前記第１スライド部の前記方向に垂直な断面は円弧状であってもよい。この形態の液体噴射装置によれば、第１スライド部を同一直径の円柱で形成した場合に比べて、第１スライド部の体積を小さくできるため、液室の容積を確保することができ、液室を小型化できる。
【０００９】
（４）上記形態の液体噴射装置において、前記第１スライド部の前記内壁面と線接触する側に対して反対側の面は平面であってもよい。この形態の液体噴射装置によれば、第１スライド部の平面部分を、第１スライド部の回転抑制機構とすることができ、液室内における第１スライド部の位置決め精度を向上させることができる。
【００１０】
（５）上記形態の液体噴射装置において、前記第１スライド部の前記方向に垂直な断面は中空であり、前記第１スライド部の前記中空の内部空間が、前記液室の一部を形成してもよい。この形態の液体噴射装置によれば、第１スライド部の内部に液室の一部を設けることができるため、液室を小型化できる。
【００１１】
（６）上記形態の液体噴射装置は、複数の前記圧力室を備え、前記液室は、それぞれの前記圧力室と前記液室とを連通する複数の前記第１開口を有し、複数の前記第１開口は、前記方向に沿って配列しており、前記第１スライド部は、複数の前記第１開口に対応する位置に複数の前記第１貫通孔を有してもよい。この形態の液体噴射装置によれば、一組の第１スライド部と駆動装置とによって、複数の第１開口を開閉できるため、複数の第１開口のそれぞれに第１スライド部と駆動装置とを設けた場合に比べて、液体噴射装置を小型化できる。
【００１２】
（７）上記形態の液体噴射装置は、前記液室の第２開口に連通し、前記液室内の前記液体を前記液体供給源に循環させるための循環流路と、前記液室内に配置され、前記第２開口に対応する位置に第２貫通孔を有する第２スライド部とを備え、前記液室は、供給流路を介して液体供給源と連通し、前記第２スライド部は、前記駆動装置による駆動により、前記液室の前記第２開口を有する内壁面の上を前記方向に沿って摺動し、前記第２開口と前記第２貫通孔とが重なる面積を変化させることにより、前記第２開口の開度を変化させ、前記第２スライド部は、前記第２開口を有する前記内壁面と前記方向に沿って線接触してもよい。この形態の液体噴射装置によれば、第２スライド部と液室の内壁面との摺動部における接触面積を小さくでき、摺動部における摩擦による発熱を低減できる。このため、循環流路に連通する第２開口を開閉するための第２スライド部を液室内に設けた場合においても、液室内の液体の粘度の低下を抑制でき、ノズル孔からの液体の吐出安定性の低下を抑制できる。
【００１３】
（８）上記形態の液体噴射装置において、前記第１スライド部と前記第２スライド部とが一体に形成されてもよい。この形態の液体噴射装置によれば、一組のスライド部と駆動装置とによって、圧力室に連通する第１開口と、循環流路に連通する第２開口とを開閉することができるため、液体噴射装置を小型化できる。
【００１４】
（９）上記形態の液体噴射装置において、前記液室は、供給流路を介して液体供給源と連通し、前記圧力室には、前記第１開口を介して前記液室内の前記液体が流入し、前記圧力室は、前記圧力室内の前記液体を前記液体供給源に循環させるための循環流路と連通してもよい。この形態の液体噴射装置によっても、第１スライド部と液室の内壁面との摺動部における接触面積を小さくでき、摺動部における摩擦による発熱を低減できる。このため、液室内の液体の粘度の低下を抑制でき、ノズル孔からの液体の吐出安定性の低下を抑制できる。
【００１５】
（１０）上記形態の液体噴射装置において、前記圧力室は、供給流路を介して液体供給源と連通し、前記液室には、前記第１開口を介して前記圧力室内の前記液体が流入し、前記液室は、前記液室内の前記液体を前記液体供給源に循環させるための循環流路と連通してもよい。この形態の液体噴射装置によっても、第１スライド部と液室の内壁面との摺動部における接触面積を小さくでき、摺動部における摩擦による発熱を低減できる。このため、液室内の液体の粘度の低下を抑制でき、ノズル孔からの液体の吐出安定性の低下を抑制できる。
【００１６】
本発明は、液体噴射装置以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、抵抗可変機構、シャッター構造等の形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１実施形態における液体噴射装置の概略構成を示す説明図。
【図２】第１実施形態における第１スライド部と駆動装置との構成を示す説明図。
【図３】第１実施形態における第１スライド部と駆動装置との動作を示す説明図。
【図４】第１実施形態における液室と圧力室との断面を示す断面模式図。
【図５】第１実施形態における液室と圧力室との構成を示す正面図。
【図６】第１実施形態における液室と圧力室との構成を示す上面図。
【図７】ノズル孔からの液体の吐出動作シーケンスを示すタイミングチャート。
【図８】第２実施形態における第１開口を示す断面模式図。
【図９】第３実施形態における第１スライド部の断面形状を示す断面模式図。
【図１０】第４実施形態における第１スライド部の断面形状を示す断面模式図。
【図１１】第５実施形態における第１スライド部の断面形状を示す断面模式図。
【図１２】第６実施形態における各スライド部の断面形状を示す断面模式図。
【図１３】第７実施形態における第１スライド部の断面形状を示す断面模式図。
【図１４】第８実施形態における第１スライド部の断面形状を示す断面模式図。
【図１５】第９実施形態における第１スライド部の断面形状を示す断面模式図。
【図１６】第１０実施形態における第１スライド部の断面形状を示す断面模式図。
【図１７】第１１実施形態における液体噴射装置の概略構成を示す説明図。
【図１８】第１２実施形態における液体噴射装置の概略構成を示す説明図。
【図１９】第１３実施形態における第１開口と第２開口との配置を示す正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
Ａ．第１実施形態
図１は、第１実施形態における液体噴射装置５の概略構成を示す説明図である。液体噴射装置５は、液体供給源１０と、加圧装置２０と、液室３０と、第１スライド部４０と、駆動装置５０と、圧力室６０と、ノズル孔７０と、循環装置８０と、供給流路１０１と、圧力室連通流路１０２と、循環流路１０３と、制御部９０とを備える。
【００１９】
液体供給源１０には、液体が収容されている。液体供給源１０は、例えば、タンクによって構成される。加圧装置２０は、液体を加圧により液室３０に供給するための装置である。加圧装置２０は、例えば、ポンプによって構成される。液体供給源１０内の液体は、加圧装置２０の発生させる圧力によって、供給流路１０１を通じて液室３０内へと流れる。
【００２０】
液室３０は、複数の圧力室６０と接続されている。液室３０の内壁面には、圧力室６０の数に対応する数の第１開口３１が形成されており、それぞれの第１開口３１には、圧力室６０に通じる圧力室連通流路１０２が接続されている。液室３０内の液体は、それぞれの圧力室連通流路１０２を通じて、圧力室６０内へと流れ、後述する吐出動作シーケンスによって、ノズル孔７０から吐出される。尚、本実施形態では、液室３０は、３つの圧力室６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃと接続されている。液室３０の内壁面には、圧力室６０の数に対応する数である３つの第１開口３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃが形成されており、それぞれの第１開口３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃには、圧力室６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃに通じる圧力室連通流路１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃが接続されている。液室３０内の液体は、それぞれの圧力室連通流路１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃを通じて、圧力室６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ内へと流れ、ノズル孔７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃから吐出される。
【００２１】
第１スライド部４０は、第１開口３１が形成された液室３０の内壁面の上に配置されている。第１スライド部４０は、それぞれの第１開口３１に対応する位置に、第１貫通孔４１を有する。第１スライド部４０は、駆動装置５０によって、予め定められた方向に沿って駆動される。本実施形態における「予め定められた方向」とは、液室３０の内部空間の長手方向（図１における左右方向）と一致しており、この方向は、それぞれの第１開口３１の配列方向とも一致している。第１スライド部４０は、駆動装置５０による駆動により、液室３０の第１開口３１を有する内壁面の上を、第１開口３１の配列方向に沿って摺動し、第１開口３１と第１貫通孔４１とが重なる面積を変化させることにより、第１開口３１の開度を変化させる。尚、本実施形態では、第１スライド部４０は、３つの第１開口３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃに対応する位置に、第１貫通孔４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃを有する。第１スライド部４０は、第１開口３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃと第１貫通孔４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃとが重なる面積を変化させることにより、第１開口３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃの開度を変化させる。
【００２２】
また、液室３０の内壁面には、それぞれの第１開口３１に隣接する位置に、第２開口３２が形成されており、それぞれの第２開口３２には、液体供給源１０に通じる循環流路１０３が接続されている。循環流路１０３には、循環装置８０が設けられている。循環装置８０は、例えば、ポンプによって構成される。液室３０内の液体は、循環装置８０の発生させる圧力によって、循環流路１０３を通じて液体供給源１０へと循環する。尚、本実施形態では、３つの第１開口３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃに隣接する位置に、第２開口３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃが形成されており、それぞれに循環流路１０３が接続されている。
【００２３】
制御部９０は、ＣＰＵと、メモリーと、各部品が接続されるインターフェース回路とを備えたコンピューターとして構成されている。ＣＰＵは、メモリーに記憶された制御プログラムを実行することにより、駆動装置５０の駆動を制御する。また、本実施形態では、制御部９０は、後述する圧力室アクチュエーター６２の駆動を制御して、ノズル孔７０から液体を吐出するための吐出動作シーケンスを実行する。
【００２４】
図２は、第１実施形態における第１スライド部４０と駆動装置５０との構成を示す説明図である。図２を用いて、液室３０内に配置された第１スライド部４０と、駆動装置５０とについての具体的な構成を説明する。
【００２５】
液室３０内には、上述したとおり、それぞれの圧力室６０Ａ〜６０Ｃに連通する第１開口３１Ａ〜３１Ｃが形成されている。液室３０内の第１開口３１Ａ〜３１Ｃに隣接する位置には、循環流路１０３に連通する第２開口３２Ａ〜３２Ｃが形成されている。それぞれの第１開口３１Ａ〜３１Ｃは、所定の間隔で、液室３０の内部空間の長手方向に沿って一直線状に配列されている。それぞれの第２開口３２Ａ〜３２Ｃは、第１開口３１Ａ〜３１Ｃの配列間隔と同じ間隔で、液室３０の内部空間の長手方向に沿って一直線状に配列されている。
【００２６】
第１スライド部４０は、液室３０内に配置されており、第１スライド部４０には、第１貫通孔４１Ａ〜４１Ｃが形成されている。第１貫通孔４１Ａ〜４１Ｃは、第１開口３１Ａ〜３１Ｃの配列間隔と同じ間隔で、液室３０の内部空間の長手方向に沿って一直線状に配列されている。
【００２７】
駆動装置５０は、駆動装置用圧電素子５１と、拡大変位機構５２と、弾性部材５３と、第１位置調整機構５４と、第２位置調整機構５５と、第１Ｏリング５６と、第２Ｏリング５７とによって構成されている。駆動装置用圧電素子５１は、印加される電圧に応じて伸縮する。駆動装置用圧電素子５１に印加される電圧は、制御部９０によって制御される。拡大変位機構５２は、梃子によって構成されており、駆動装置用圧電素子５１の伸縮による変位を拡大し、第１スライド部４０の一方の端部側から第１スライド部４０を押す。弾性部材５３は、コイルばねによって構成されており、拡大変位機構５２とは他方の第１スライド部４０の端部側に配置されている。第１位置調整機構５４は、調整ねじによって構成されており、拡大変位機構５２の位置を調整する。第２位置調整機構５５は、調整ねじによって構成されており、駆動装置用圧電素子５１の位置を調整する。第１Ｏリング５６と、第２Ｏリング５７とは、液室３０の端部に配置されており、液室３０内の液体が外部に漏洩しないように液室３０の端部をシールする。
【００２８】
図３は、第１実施形態における第１スライド部４０と駆動装置５０との動作を示す説明図である。図２と図３とを用いて、第１スライド部４０が駆動装置５０によって駆動される動作を説明する。図２では、第１スライド部４０は、第１貫通孔４１Ａ〜４１Ｃと第１開口３１Ａ〜３１Ｃとが紙面垂直方向から見て重なる位置に配置されている。この状態では、第１開口３１Ａ〜３１Ｃは開状態となっており、液室３０と圧力室６０Ａ〜６０Ｃとは連通状態となっている。第２開口３２Ａ〜３２Ｃは閉状態となっており、液室３０と循環流路１０３とは非連通状態となっている。駆動装置用圧電素子５１が伸びると、駆動装置用圧電素子５１の変位は、拡大変位機構５２によって拡大され、第１スライド部４０に伝達される。第１スライド部４０は、拡大変位機構５２によって、図２における左方向に向かって押されて、図３に示す位置まで、液室３０の内壁面を摺動する。
【００２９】
図３では、第１スライド部４０は、第１貫通孔４１Ａ〜４１Ｃと第２開口３２Ａ〜３２Ｃとが紙面垂直方向から見て重なる位置に移動している。この状態では、第２開口３２Ａ〜３２Ｃは開状態となっており、液室３０と循環流路１０３とは連通状態となっている。第１開口３１Ａ〜３１Ｃは閉状態となっており、液室３０と圧力室６０Ａ〜６０Ｃとは非連通状態となっている。また、弾性部材５３は、第１スライド部４０と拡大変位機構５２とを介して駆動装置用圧電素子５１に押されて縮んでいる。そのため、第１スライド部４０には、弾性部材５３によって押し戻される力が働いており、駆動装置用圧電素子５１が縮むと、第１スライド部４０は、図３における右方向に向かって押し戻され、図２に示す位置まで、液室３０の内壁面を摺動する。
【００３０】
図４は、第１実施形態における液室３０と圧力室６０との断面を示す断面模式図である。図５は、第１実施形態における液室３０と圧力室６０との構成を示す正面図である。図６は、第１実施形態における液室３０と圧力室６０との構成を示す上面図である。図４から図６を用いて、液室３０と圧力室６０とについての具体的な構成を説明する。尚、図４から図６は、一の圧力室６０のみを示しているが、本実施形態では、他の圧力室６０も同様の構成となっている。
【００３１】
図４を用いて、液室３０の構成を説明する。液室３０は、円柱形状の内部空間を有している。図４においては、液室３０の内部空間は、円形形状として表されており、図４における紙面垂直方向にわたる空間を有している。液室３０には、供給流路１０１が接続されており、液体供給源１０から供給された液体が液室３０内に流入する。液室３０の圧力室６０側の内壁面には、圧力室６０に連通する第１開口３１が形成されている。尚、第１開口３１の直径は、例えば、１００〜３００μｍ程度である。
【００３２】
液室３０内には、上述したとおり、第１スライド部４０が配置されており、第１スライド部４０は、第１開口３１に対応する位置に第１貫通孔４１を有する。本実施形態の第１スライド部４０は、円柱形状を有しており、第１スライド部４０の直径は、液室３０の内部空間の直径よりも小さい。また、第１スライド部４０の円柱の軸方向は、液室３０の円柱の軸方向に対して平行であり、第１スライド部４０は、第１開口３１を有する液室３０の内壁面と接している。そのため、第１スライド部４０は、第１開口３１を有する液室３０の内壁面と、第１開口３１の配列方向に沿って線接触している。尚、本明細書において、「線接触」とは、第１開口３１の直径（１００〜３００μｍ）と同等以下の幅で接触することをいう。尚、第１開口３１と第１貫通孔４１とは、若干の隙間を空けて連通していてもよい。この場合、当該隙間ではなく第１開口３１へ液体が流れるように、当該隙間における流路抵抗が、第１開口３１の流路抵抗よりも大きくされることが好ましい。
【００３３】
圧力室６０は、液体を吐出するノズル孔７０に連通する。圧力室６０の一方の壁面には、弾性体ブッシュ６３を介して振動板６１が取り付けられており、振動板６１には、圧力室アクチュエーター６２が取り付けられている。圧力室アクチュエーター６２は、例えば、圧電素子によって構成されており、印加される電圧に応じて伸縮する。圧力室アクチュエーター６２に印加される電圧は、制御部９０によって制御される。圧力室アクチュエーター６２が伸びると、振動板６１が押されて、圧力室６０内の容積は縮小される。圧力室アクチュエーター６２が縮むと、振動板６１が引張られて、圧力室６０内の容積は拡大される。圧力室６０内の容積の変化に伴い、圧力室６０内の圧力は変化する。圧力室６０内の圧力が、ノズル孔７０のメニスカス耐圧を超えると、ノズル孔７０から液体が吐出される。尚、本明細書において、「メニスカス耐圧」とは、液体のメニスカスが破壊されない（つまり、メニスカスが耐え得る）最大の圧力のことをいう。
【００３４】
図５を用いて、第２開口３２の配置について説明する。液室３０の内壁面には、液室３０内の液体を液体供給源１０に循環させるための循環流路１０３と連通する第２開口３２が形成されている。第２開口３２は、第１開口３１の配列方向に沿って、第１開口３１に対して隣り合う位置に形成されている。
【００３５】
図６を用いて、第１スライド部４０の第１貫通孔４１と、第１開口３１と、第２開口３２との位置関係について説明する。駆動装置５０は、上述したとおり、第１スライド部４０を第１開口３１の配列方向に沿って駆動させる。第１スライド部４０は、駆動装置５０による駆動により、液室３０の第１開口３１を有する内壁面の上を第１開口３１の配列方向に沿って摺動し、第１開口３１と第１貫通孔４１とが重なる面積を変化させることにより、第１開口３１の開度を変化させる。また、同様にして、第１スライド部４０は、第２開口３２と第１貫通孔４１とが重なる面積を変化させることにより、第２開口３２の開度を変化させる。第１スライド部４０が、第１開口３１の開度を変更することにより、液室３０と圧力室６０との間の流路抵抗が変化させられる。また、第１スライド部４０が、第２開口３２の開度を変更することにより、液室３０と循環流路１０３との間の流路抵抗が変化させられる。
【００３６】
図７は、制御部９０が圧力室アクチュエーター６２と、駆動装置５０の駆動装置用圧電素子５１とを制御することによって実行される、ノズル孔７０からの液体の吐出動作シーケンスの一例を示すタイミングチャートである。横軸は、吐出動作１サイクルにおける時間を示している。縦軸は、第１開口３１の開度と、噴射ノズルの圧力室６０の容積と、非噴射ノズルの圧力室６０の容積とを示している。ここで、「噴射ノズル」とは、当該サイクルにおいて、液体の吐出を行うノズル孔７０を指す。また、「非噴射ノズル」とは、当該サイクルにおいて、液体の吐出を行わないノズル孔７０を指す。当該サイクルにおいて、噴射ノズルとされるか、非噴射ノズルとされるかは、印刷パターンに応じて制御される。
【００３７】
まず、噴射ノズルの圧力室６０内の容積と第１開口３１の開度との関係について説明する。初期状態である時刻ｔ０において、噴射ノズルの圧力室６０内には、液体が充満している。この際、第１開口３１は閉状態となっている。時刻ｔ１から時刻ｔ２の間に、噴射ノズルの圧力室６０内の容積は縮小されていく。時刻ｔ２から時刻ｔ３の間は、噴射ノズルの圧力室６０内は、所定の容積まで縮小されて、圧力室６０内の圧力はノズル孔７０のメニスカス耐圧を超える。これによって、ノズル孔７０から、液体が吐出される。時刻ｔ３から時刻ｔ４の間に、噴射ノズルの圧力室６０内の容積は、初期状態まで戻されていく。時刻ｔ４から時刻ｔ５の間に、第１スライド部４０が駆動され、第１開口３１の開度は徐々に大きくされる。時刻ｔ５から時刻ｔ７の間に、第１開口３１は、所定の開度まで開かれており、圧力室６０内には、液室３０から液体が供給される。時刻ｔ７から時刻ｔ８の間に、第１スライド部４０が駆動され、第１開口３１の開度は徐々に小さくされる。時刻ｔ８において、第１開口３１は、再度、閉状態とされ、１サイクルが終了する。
【００３８】
次に、非噴射ノズルの圧力室６０内の容積と第１開口３１の開度との関係について説明する。初期状態である時刻ｔ０において、非噴射ノズルの圧力室６０内には、液体が充満している。この際、第１開口３１は閉状態となっている。本実施形態の液体噴射装置５では、１つの第１スライド部４０によって、すべての第１開口３１の開閉が行われるため、噴射ノズルであるか、非噴射ノズルであるかを問わずに、時刻ｔ４から時刻ｔ５の間に、第１スライド部４０が駆動され、第１開口３１の開度は徐々に大きくされる。また、非噴射ノズルは液体の吐出を行わないため、非噴射ノズルの圧力室６０内には、液体が充満している。そのため、非噴射ノズルの圧力室６０内の容積が初期状態のまま、第１開口３１が開状態とされると、液体が充満したままの非噴射ノズルの圧力室６０内に、さらに液体が供給され、ノズル孔７０から液体が漏洩する可能性がある。そこで、第１開口３１が開状態にされるのに先立ち、時刻ｔ１から時刻ｔ２の間に、非噴射ノズルの圧力室６０内の容積は拡大される。その後、第１開口３１が開状態となった後である時刻ｔ５から時刻ｔ６にかけて、非噴射ノズルの圧力室６０内の容積は初期状態に戻されていく。これによって、非噴射ノズルの圧力室６０内の液体が、第１開口３１を介して液室３０に送られ、ノズル孔７０からの液体の漏洩は抑制される。時刻ｔ７から時刻ｔ８の間に、第１スライド部４０が駆動され、第１開口３１の開度は徐々に小さくされる。時刻ｔ８において、第１開口３１は、再度、閉状態とされ、１サイクルが終了する。
【００３９】
尚、本実施形態では、第１開口３１が開状態となっている場合には、第２開口３２は閉状態となっている。つまり、液室３０が圧力室６０と連通している場合には、液室３０は循環流路１０３とは連通していない。また、第２開口３２が開状態となっている場合には、第１開口３１は閉状態となっている。つまり、液室３０が循環流路１０３と連通している際には、液室３０は圧力室６０とは連通していない。
【００４０】
以上で説明した本実施形態の液体噴射装置５によれば、第１スライド部４０と液室３０の内壁面とが線接触するため、第１スライド部４０と液室３０の内壁面とが面接触する場合に比べて、第１スライド部４０と液室３０の内壁面との摺動部における接触面積を小さくでき、摺動部における摩擦による発熱を低減できる。このため、液室３０内の液体の粘度の低下を抑制でき、ノズル孔７０からの液体の吐出安定性の低下を抑制できる。
【００４１】
また、本実施形態では、１つの第１スライド部４０と駆動装置５０とによって、複数の第１開口３１を開閉できるため、複数の第１開口３１のそれぞれに第１スライド部４０と駆動装置５０とを個別に設けた場合に比べて、液体噴射装置５を小型化できる。
【００４２】
Ｂ．第２実施形態
図８は、第２実施形態の液体噴射装置５ｂにおける、第１開口３１を示す断面模式図である。以下の説明では、第１実施形態と同じ機能を果たす要素については、同じ参照符号を用いて説明する。第２実施形態の液体噴射装置５ｂでは、液室３０の内壁面は、液室３０の内部空間の長手方向に沿って延伸する溝状の凹部３３を有しており、第１開口３１は凹部３３に形成されていることが第１実施形態（図４）と異なる。本実施形態では、第１スライド部４０と液室３０の内壁面とは、凹部３３の角部において線接触する。
【００４３】
この形態の液体噴射装置５ｂによれば、第１スライド部４０の駆動が液室３０に設けられた溝状の凹部３３によって案内されるため、液室３０内における第１スライド部４０の位置決め精度を向上させることができる。尚、第１開口３１と第１スライド部４０との間に、隙間が生じているが、当該隙間は第１開口３１や、第１貫通孔４１や、第２開口３２に比べて流路抵抗が大きいため、いわゆるクロストークについては問題ない。
【００４４】
Ｃ．第３実施形態
図９は、第３実施形態の液体噴射装置５ｃにおける、第１スライド部４０の断面模式図である。第３実施形態の液体噴射装置５ｃでは、第１スライド部４０の長手方向に垂直な断面は、円弧状であることが第１実施形態（図４）と異なる。
【００４５】
この形態の液体噴射装置５ｃによれば、第１スライド部４０を同一直径の円柱で形成した場合に比べて、第１スライド部４０の体積を小さくできるため、液室３０の容積を確保することができ、液室３０を小型化できる。
【００４６】
Ｄ．第４実施形態
図１０は、第４実施形態の液体噴射装置５ｄにおける、第１スライド部４０の断面模式図である。第４実施形態の液体噴射装置５ｄでは、第１スライド部４０における液室３０の内壁面と線接触する側に対して反対側の面は平面であることが第１実施形態（図４）と異なる。具体的には、第１スライド部４０は、円柱を、当該円柱の軸方向に平行な断面で分割した形状を有している。また、第１スライド部４０の平面部分の一部には、液室３０から突き出したピン３４が当接している。第１スライド部４０の平面部分と、ピン３４とは、第１スライド部４０の長手方向に平行な軸を回転軸とする、第１スライド部４０の回転を抑制するための回転抑制機構を構成する。
【００４７】
この形態の液体噴射装置５ｄによれば、第１スライド部４０の長手方向に平行な軸を回転軸とした第１スライド部４０の回転が抑制されるため、液室３０内における第１スライド部４０の位置決め精度を向上させることができる。
【００４８】
Ｅ．第５実施形態
図１１は、第５実施形態の液体噴射装置５ｅにおける、第１スライド部４０の断面模式図である。第５実施形態の液体噴射装置５ｅでは、第１スライド部４０の長手方向に垂直な断面は中空であり、第１スライド部４０の中空の内部空間が、液室３０の一部を形成していることが第１実施形態（図４）と異なる。具体的には、第１スライド部４０は、少なくとも一方の端部が開口したパイプ状の形態を有しており、液室３０内の液体は、第１スライド部４０の開口した端部から第１スライド部４０内に流入する。第１スライド部４０内の液体は、第１貫通孔４１を介して、圧力室６０や循環流路１０３へと流れる。
【００４９】
この形態の液体噴射装置５ｅによれば、第１スライド部４０の内部に液室３０の一部を設けることができるため、液室３０を小型化できる。尚、第１スライド部４０の端部が開口しておらず、第１スライド部４０の側面に貫通孔が形成されていてもよい。この場合、液室３０内の液体は、当該貫通孔を介して第１スライド部４０内へと流入する。
【００５０】
Ｆ．第６実施形態
図１２は、第６実施形態の液体噴射装置５ｆにおける、第１スライド部４０と第２スライド部４２の断面模式図である。第６実施形態の液体噴射装置５ｆでは、液室３０内の第２開口３２の配置が第１実施形態（図４）と異なる。また、液室３０内の第２開口３２に対応する位置に第２貫通孔４３を有する第２スライド部４２が配置されていることが第１実施形態（図４）と異なる。具体的には、第２開口３２は、第１スライド部４０と液室３０とが線接触する直線上（図１２における紙面垂直方向）において、第１開口３１と並んで形成されておらず、液室３０の上部に形成されている。第２スライド部４２は、駆動装置５０による駆動により、液室３０の第２開口３２を有する内壁面の上を、液室３０の内部空間の長手方向に沿って摺動し、第２開口３２と第２貫通孔４３とが重なる面積を変化させることにより、第２開口３２の開度を変化させる。第２スライド部４２は、第２開口３２を有する液室３０の内壁面と、液室３０の内部空間の長手方向に沿って線接触する。
【００５１】
この形態の液体噴射装置５ｆによれば、第２スライド部４２と液室３０の内壁面との摺動部における接触面積を小さくでき、摺動部における摩擦による発熱を低減できる。このため、循環流路１０３に連通する第２開口３２を開閉するための第２スライド部４２を液室３０内に設けた場合においても、液室３０内の液体の粘度の低下を抑制でき、ノズル孔７０からの液体の吐出安定性の低下を抑制できる。また、液室３０において、第１開口３１と第２開口３２とが、同一直線上に配置されていないため、第１開口３１同士の間隔を小さくできる。このため、ノズル孔７０同士の間隔を小さくでき、ノズル孔７０の高密度化を図ることができる。尚、第２スライド部４２を駆動させるための駆動装置５０は、第１スライド部４０を駆動させるための駆動装置５０と一体であってもよいし、第１スライド部４０を駆動させるための駆動装置５０とは別個に設けられてもよい。
【００５２】
Ｇ．第７実施形態
図１３は、第７実施形態の液体噴射装置５ｇにおける、第１スライド部４０の断面模式図である。第７実施形態の液体噴射装置５ｇでは、第１スライド部４０と第２スライド部４２とが一体に形成されていることが第６実施形態（図１２）と異なる。また、本実施形態では、液室３０の内部空間が円柱形状ではなく、四角柱形状であることも第６実施形態（図１２）と異なる。具体的には、第１スライド部４０（第２スライド部４２）は、円柱形状を有している。第１スライド部４０は、第１開口３１に対応する位置に第１貫通孔４１を有しているとともに、第２開口３２に対応する位置に第２貫通孔４３を有している。第１開口３１と第２開口３２との開度は、第１スライド部４０の駆動によって変化させられる。また、第１スライド部４０は円柱形状であるのに対して、液室３０の内部空間は、四角柱形状であるため、第１スライド部４０は、第１開口３１を有する液室３０の内壁面と液室３０の内部空間の長手方向に沿って線接触するとともに、第２開口３２を有する液室３０の内壁面と液室３０の内部空間の長手方向に沿って線接触する。
【００５３】
この形態の液体噴射装置５ｇによれば、一組の第１スライド部４０と駆動装置５０とによって、圧力室６０に連通する第１開口３１と、循環流路１０３に連通する第２開口３２とを開閉することができるため、液体噴射装置５ｇを小型化できる。
【００５４】
Ｈ．第８実施形態
図１４は、第８実施形態の液体噴射装置５ｈにおける、第１スライド部４０の断面模式図である。第８実施形態の液体噴射装置５ｈでは、第１スライド部４０の長手方向に垂直な断面は円弧状であることが第７実施形態（図１３）と異なる。
【００５５】
この形態の液体噴射装置５ｈによれば、第１スライド部４０を同一直径の円柱で形成した場合に比べて、第１スライド部４０の体積を小さくできるため、液室３０の容積を確保することができ、液室３０を小型化できる。
【００５６】
Ｉ．第９実施形態
図１５は、第９実施形態の液体噴射装置５ｉにおける、第１スライド部４０の断面模式図である。第９実施形態の液体噴射装置５ｉでは、第１スライド部４０における液室３０の内壁面と線接触する側に対して反対側の面は平面であることが第７実施形態（図１３）と異なる。具体的には、第１スライド部４０は、円柱を、当該円柱の軸方向に平行な断面で分割した形状を有している。また、第１スライド部４０の平面部分の一部には、液室３０から突き出したピン３４が当接している。第１スライド部４０の平面部分と、ピン３４とは、第１スライド部４０の長手方向に平行な軸を回転軸とする、第１スライド部４０の回転を抑制するための回転抑制機構を構成する。
【００５７】
この形態の液体噴射装置５ｉによれば、第１スライド部４０の長手方向に平行な軸を回転軸とした第１スライド部４０の回転が抑制されるため、液室３０内における第１スライド部４０の位置決め精度を向上させることができる。
【００５８】
Ｊ．第１０実施形態
図１６は、第１０実施形態の液体噴射装置５ｊにおける、第１スライド部４０の断面模式図である。第１０実施形態の液体噴射装置５ｊでは、第１スライド部４０の長手方向に垂直な断面は中空であり、第１スライド部４０の中空の内部空間が、液室３０の一部を形成していることが第７実施形態（図１３）と異なる。具体的には、第１スライド部４０は、少なくとも一方の端部が開口したパイプ状の形態を有しており、液室３０内の液体は、第１スライド部４０の開口した端部から第１スライド部４０内に流入する。第１スライド部４０内の液体は、第１貫通孔４１を介して圧力室６０へ流れ、第２貫通孔４３を介して循環流路１０３へと流れる。
【００５９】
この形態の液体噴射装置５ｊによれば、第１スライド部４０の内部に液室３０の一部を形成することができるため、液室３０を小型化できる。尚、第１スライド部４０の端部が開口しておらず、第１スライド部４０の側面に貫通孔が形成されていてもよい。この場合、液室３０内の液体は、当該貫通孔を介して第１スライド部４０内へと流入する。
【００６０】
Ｋ．第１１実施形態
図１７は、第１１実施形態における液体噴射装置５ｋの概略構成を示す説明図である。第１１実施形態における液体噴射装置５ｋでは、圧力室６０は、圧力室６０内の液体を液体供給源１０に循環させるための循環流路１０３と連通していることが第１実施形態（図１）と異なる。具体的には、第１スライド部４０が駆動することによって、液室３０と圧力室６０とが連通状態になると、圧力室６０には、液室３０内の液体が流入する。ノズル孔７０から吐出されなかった圧力室６０内の液体は、循環流路１０３を通じて液体供給源１０に循環する。循環流路１０３内は、循環装置８０によって、ノズル孔７０のメニスカス耐圧以下の圧力となるよう調整されている。
【００６１】
この形態の液体噴射装置５ｋによっても、第１スライド部４０と液室３０の内壁面との摺動部における接触面積を小さくでき、摺動部における摩擦による発熱を低減できる。また、循環流路１０３は液室３０ではなく圧力室６０に接続されるため、液室３０内に配置された第１スライド部４０の駆動によって、液室３０と圧力室６０とが連通する状態から、液室３０と循環流路１０３とが連通する状態への切替えを行う必要がない。このため、液体噴射装置５が循環流路１０３を有する場合においても、第１スライド部４０のストローク量（移動量）を小さくでき、第１スライド部４０と液室３０の内壁面との摺動部における摩擦による発熱を低減できる。
【００６２】
Ｌ．第１２実施形態
図１８は、第１２実施形態における液体噴射装置５ｌの概略構成を示す説明図である。第１２実施形態における液体噴射装置５ｌでは、圧力室６０は、供給流路１０１を介して液体供給源１０と連通し、液室３０には、第１開口３１を介して圧力室６０内の液体が流入し、液室３０は、液室３０内の液体を液体供給源１０に循環させるための循環流路１０３と連通していることが第１実施形態（図１）と異なる。具体的には、圧力室６０内には、供給流路１０１から液体が供給される。第１スライド部４０が駆動することによって、液室３０と圧力室６０とが連通状態となると、ノズル孔７０から吐出されなかった圧力室６０内の液体は、圧力室連通流路１０２を通じて液室３０内に流入する。液室３０内の液体は、循環装置８０によって、循環流路１０３を通じて液体供給源１０に循環する。ノズル孔７０から液体が漏洩しないように、圧力室６０内の圧力がノズル孔７０のメニスカス耐圧を超える可能性が生じた場合には、第１スライド部４０を駆動させ、液室３０と圧力室６０とを連通させ、圧力室６０内の液体を液室３０に流通させてもよい。供給流路１０１内は、圧力室連通流路１０２よりも流路抵抗が大きくなるよう設計されることが好ましい。加圧装置２０の加圧力が調整されてもよい。また、第１スライド部４０は、液体の流れによって、液室３０の内壁面から離間する方向に圧力を受けるため、第１スライド部４０は、例えば、ばね等によって、液室３０の内壁面に押しつけられていることが好ましい。
【００６３】
この形態の液体噴射装置５ｌによっても、第１スライド部４０と液室３０の内壁面との摺動部における接触面積を小さくでき、摺動部における摩擦による発熱を低減できる。また、第１スライド部４０が液室３０の内壁面に押しつけられている場合、第１スライド部４０と液室３０の内壁面との摺動部の摩擦が大きくなるが、この場合であっても、摺動部の接触面積を小さくすることで、摩擦による発熱を抑制できる。
【００６４】
Ｍ．第１３実施形態
図１９は、第１３実施形態における液体噴射装置５ｍにおける、第１開口３１と第２開口３２との配置を示す正面図である。第１３実施形態における液体噴射装置５ｍは、第２開口３２の配置と、第１スライド部４０に第２貫通孔４３が形成されていることが第１実施形態（図５）と異なる。具体的には、第２開口３２は、第１開口３１に対して液室３０の内部空間の長手方向に沿って隣接する位置ではなく、第１開口３１に対して図１９における左上に配置されている。また、第１スライド部４０の第２開口３２に対応する位置には、第２貫通孔４３が形成されている。
【００６５】
この形態の液体噴射装置５ｍによれば、第１開口３１や第２開口３２を形成する際に必要な間隔を維持しつつ、液室３０の内部空間の長手方向における第１開口３１と第２開口３２との間隔が小さくでき、第１スライド部４０のストローク量を、圧力室連通流路１０２や循環流路１０３の流路の直径よりやや大きい程度とすることができる。このため、摺動部における摩擦による発熱を低減できる。
【００６６】
Ｎ．他の実施形態
（Ｎ−１）図１に示した液体噴射装置５は、３つの圧力室６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃを備えている。これに対して、圧力室６０の数は、１つであってもよいし、２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。図１７に示した液体噴射装置５ｋと、図１８に示した液体噴射装置５ｌとにおける圧力室６０の数についても同様である。
【００６７】
（Ｎ−２）図１に示した液体噴射装置５は、循環装置８０と、循環流路１０３とを備えており、液室３０の内壁面には、第２開口３２が形成されている。これに対して、液体噴射装置５は、循環装置８０と、循環流路１０３とを備えていなくてもよく、液室３０の内壁面には、第２開口３２が形成されていなくてもよい。つまり、液体噴射装置５は、液体を液室３０から液体供給源１０に循環させない構成であってもよい。
【００６８】
（Ｎ−３）図２から図３に示した駆動装置５０は、駆動装置用圧電素子５１と拡大変位機構５２とを有している。これに対して、駆動装置５０は、駆動装置用圧電素子５１ではなく、例えば、エアシリンダーや、ソレノイドや、磁歪素子によって構成されていてもよく、駆動装置５０は、拡大変位機構５２を有していなくてもよい。
【００６９】
（Ｎ−４）図４と、図８から図１２に示した液室３０の内部空間は、円柱形状を有している。これに対して、液室３０の内部空間は、例えば、四角柱形状であってもよいし、四角柱形状以外の角柱形状であってもよい。また、図１３から図１６に示した液室３０の内部空間は、四角柱形状を有している。これに対して、液室３０の内部空間は、例えば、円柱形状であってもよいし、四角柱形状以外の角柱形状であってもよい。つまり、液室３０の内壁面と第１スライド部４０とが線接触することによって少ない接触面積となる形態であればよい。
【００７０】
（Ｎ−５）図４と、図８に示した第１スライド部４０は、円柱形状を有している。これに対して、第１スライド部４０は、例えば、四角柱形状であってもよいし、四角柱形状以外の角柱形状であってもよい。また、中実断面であってもよいし、中空断面であってもよい。つまり、液室３０の内壁面と第１スライド部４０とが線接触することによって少ない接触面積となる形態であればよい。
【００７１】
（Ｎ−６）図１２から図１６に示した液室３０は、図８に示したように、第１開口３１側の内壁面に溝状の凹部３３を有してもよい。また、第１開口３１側だけでなく、第２開口３２側にも凹部３３を有してもよい。尚、凹部３３と液室３０との境界には、面取りが施されていてもよい。
【００７２】
（Ｎ−７）本発明は、インクを吐出する液体噴射装置に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置に本発明は適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置。
【００７３】
なお、「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であればよい。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。液体の代表的な例としてはインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物を包含するものとする。
【００７４】
本発明は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【００７５】
５，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆ，５ｇ，５ｈ，５ｉ，５ｊ，５ｋ，５ｌ，５ｍ…液体噴射装置、１０…液体供給源、２０…加圧装置、３０…液室、３１，３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ…第１開口、３２，３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ…第２開口、３３…凹部、３４…ピン、４０…第１スライド部、４１，４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ…第１貫通孔、４２…第２スライド部、４３…第２貫通孔、５０…駆動装置、５１…駆動装置用圧電素子、５２…拡大変位機構、５３…弾性部材、５４…第１位置調整機構、５５…第２位置調整機構、５６…第１Ｏリング、５７…第２Ｏリング、６０，６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃ…圧力室、６１…振動板、６２…圧力室アクチュエーター、６３…弾性体ブッシュ、７０，７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃ…ノズル孔、８０…循環装置、９０…制御部、１０１…供給流路、１０２，１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃ…圧力室連通流路、１０３…循環流路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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