(57)【要約】【課題】生産性の低下を招くことなく、冷却効率を向上させる。【解決手段】積層された造形粉体２１の一部を固化させた後冷却することにより立体的な造形物１０を製造する造形物製造装置であって、冷却前の造形物１０の近傍に、固体からなり、造形粉体２１より高い熱伝導率を有する均熱体５０を配置する均熱体供給部１６を備える。均熱体５０は、造形粉体２１より密度と比熱の積が大きいことが好ましい。また、均熱体５０は、変形可能な連続体であることが好ましい。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層された造形粉体の一部を固化させた後冷却することにより立体的な造形物を製造する造形物製造装置であって、
冷却前の前記造形物の近傍に、固体からなり、前記造形粉体より高い熱伝導率を有する均熱体を配置する均熱体供給部、
を備える造形物製造装置。
【請求項２】
前記均熱体は、前記造形粉体より密度と比熱の積が大きい、
請求項１に記載の造形物製造装置。
【請求項３】
前記均熱体は、変形可能な連続体である、
請求項１又は２に記載の造形物製造装置。
【請求項４】
前記均熱体は、鎖状体である、
請求項３に記載の造形物製造装置。
【請求項５】
前記均熱体は、粉体である、
請求項１又は２に記載の造形物製造装置。
【請求項６】
前記造形粉体は、非磁性体であり、
前記均熱体は、磁性体である、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の造形物製造装置。
【請求項７】
前記造形粉体は、磁性体であり、
前記均熱体は、非磁性体である、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の造形物製造装置。
【請求項８】
前記均熱体を前記造形粉体上に配置する際に、前記均熱体の温度を前記造形粉体の温度との温度差が所定値以下となるように調温する調温部、
を更に備える請求項１〜７のいずれか１項に記載の造形物製造装置。
【請求項９】
積層された造形粉体の一部を固化させた後冷却することにより立体的な造形物を製造する造形物製造方法であって、
冷却前の前記造形物の近傍に、固体からなり、前記造形粉体より高い熱伝導率を有する均熱体を配置する工程、
を含む造形物製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、造形物製造装置及び造形物製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
立体的な造形物を製造する方法として、造形物の材料となる造形粉体の層を形成する工程と、各層にレーザ光（電磁波）を照射して造形粉体を固化（焼結）させる工程とを繰り返すことにより、固化された造形粉体の積層体である造形物を製造する粉体積層法が利用されている。このような粉体積層法においては、レーザ光の照射により加熱された造形物を冷却する工程が必要となる。
【０００３】
例えば、冷却効率を向上させることを目的として、造形粉体にレーザ光を照射する際に、冷却材として機能する流体（水を高い割合で含む液体等）をインクジェットヘッドにより造形粉体層に吐出する構成が開示されている（特許文献１）。また、造形粉体にレーザ光を照射して目的とする造形物を形成する際に、当該造形物の近傍に存在する造形粉体を固化させて中空状の冷却体を形成し、当該冷却体内に液体等からなる冷媒を充填させる構成が開示されている（特許文献２）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のように、造形物を冷却する際に、造形物の近傍に冷却体（冷却材）を供給することにより、冷却効率の向上を図ることができる。ここで、粉体積層法においては、未使用の造形粉体をできるだけ多く回収して再利用することが生産性を向上させる上で重要である。しかしながら、上記従来技術によると、造形粉体が冷却材で汚染されたり、造形粉体が目的とする造形物以外の物体（冷却体）の形成に使用されたりするため、造形粉体の回収率が低下し、生産性が低下するという問題が生ずる。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、生産性の低下を招くことなく、冷却効率を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、積層された造形粉体の一部を固化させた後冷却することにより立体的な造形物を製造する造形物製造装置であって、冷却前の前記造形物の近傍に、固体からなり、前記造形粉体より高い熱伝導率を有する均熱体を配置する均熱体供給部を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、生産性の低下を招くことなく、冷却効率を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、実施形態に係る造形物製造装置の構成例を示す図である。
【図２】図２は、実施形態に係る粉体供給工程の例を示す図である。
【図３】図３は、実施形態に係る層形成工程の例を示す図である。
【図４】図４は、実施形態に係る加熱工程の例を示す図である。
【図５】図５は、実施形態に係る下降工程の例を示す図である。
【図６】図６は、実施形態に係る均熱体供給工程の例を示す図である。
【図７】図７は、実施形態に係る均熱体の配置例を示す側面図である。
【図８】図８は、実施形態に係る均熱体の配置例を示す上面図である。
【図９】図９は、実施形態に係る均熱体の形状例を示す図である。
【図１０】図１０は、均熱体の効果を示す実験結果例を示すグラフである。
【図１１】図１１は、実験時における造形物及び均熱体状態例を示す側面図である。
【図１２】図１２は、実験時における造形物及び均熱体の状態例を示す上面図である。
【図１３】図１３は、実施形態の第１の変形例に係る均熱体の配置例を示す上面図である。
【図１４】図１４は、実施形態の第２の変形例に係る均熱体の配置例を示す側面図である。
【図１５】図１５は、実施形態の第２の変形例に係る均熱体の配置例を示す上面図である。
【図１６】図１６は、実施形態の第３の変形例に係る均熱体の配置例を示す側面図である。
【図１７】図１７は、実施形態の第３の変形例に係る均熱体の配置例を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に添付図面を参照して、造形物製造装置及び造形物製造方法の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態によって本発明が限定されるものではなく、以下の実施形態における構成要素には当業者が容易に想到できるもの、実質的に同一のもの、及びいわゆる均等の範囲のものが含まれる。以下の実施形態の要旨を逸脱しない範囲で構成要素の種々の省略、置換、変更、及び組み合わせを行うことができる。
【００１０】
図１は、実施形態に係る造形物製造装置１の構成例を示す図である。本実施形態に係る造形物製造装置１は、粉体積層法により立体的な造形物１０を製造する装置である。造形物製造装置１は、造形部１１、粉体供給部１２、加熱部１３、ガス供給部１４、排気部１５、及び均熱体供給部１６を含む。
【００１１】
造形部１１は、造形ステージ２５と側壁２６とにより区画された造形空間２７を有する。造形ステージ２５は、電動モータ等の駆動源２８と連結し、上下に変位する。造形ステージ２５が変位することにより、収容空間２７の容積が変化する。造形空間２７は、粉体供給部１２から供給された造形粉体２１を収容する。造形空間２７内に加熱部１３からのレーザ光３０が照射されることにより、造形粉体２１の一部が固化され、造形物１０が製造される。
【００１２】
粉体供給部１２は、造形空間２７に造形粉体２１を供給する機構である。粉体供給部１２の具体的構成例については後述する。
【００１３】
加熱部１３は、造形空間２７内の造形粉体２１を加熱して固化（焼結）させるレーザ光３０を射出する機構である。本例に係る加熱部１３は、光源３１、Ｘ軸ガルバノミラー３２、Ｙ軸ガルバノミラー３３、Ｘ軸走査制御部３４、Ｙ軸走査制御部３５、平行化光学系３６、及び集光光学系３７を含む。光源３１は、炭酸ガスレーザ等の発振器、発振器の出力を制御する制御機構等を用いて構成され、状況に応じたタイミング及び強度でレーザ光３０を射出する。光源３１から射出したレーザ光３０は、Ｘ軸ガルバノミラー３２及びＹ軸ガルバノミラー３３に反射され、平行化光学系３６に入光する。平行化光学系３６により平行化されたレーザ光３０は、集光光学系３７を通過して造形空間２７内で集光する。レーザ光３０は、Ｘ軸ガルバノミラー３２により図中左右方向に走査され、Ｙ軸ガルバノミラー３３により図中奥行方向に走査される。Ｘ軸ガルバノミラー３２の角度はＸ軸走査制御部３４からの制御信号に応じて変化し、Ｙ軸ガルバノミラー３３の角度はＹ軸走査制御部３５からの制御信号に応じて変化する。Ｘ軸走査制御部３４及びＹ軸走査制御部３５は、目的とする造形物１０の断面形状データ等に基づいて制御信号を生成する回路等を含んで構成される。
【００１４】
ガス供給部１４は、造形室３８内に窒素等のガスを供給する機構である。造形室３８は、造形部１１、粉体供給部１２、及び均熱体供給部１６を収容し、密閉された空間を形成することが可能なものである。造形物１０の製造は、ガス供給部１４から供給されたガスが充填され密閉された状態の造形室３８内で行われる。排気部１５は、造形室３８のガスを外部に排気する機構である。
【００１５】
均熱体供給部１６は、固化後冷却前の造形物１０の近傍に、均熱作用を有する均熱体を配置する機構である。均熱体供給部１６及び均熱体の具体的構成例については後述する。
【００１６】
図２は、実施形態に係る粉体供給工程の例を示す図である。図２において、粉体供給部１２の構成例が示されている。粉体供給部１２は、供給ステージ４１、側壁２６，４２、移動部４５、ガイドロッド４６、及びローラ４７を含む。供給ステージ４１と側壁２６，４２とにより区画された収容空間４３に、供給前の造形粉体２１が収容されている。供給ステージ４１は、適宜な駆動源により上下に変位し、収容空間４３の容積を変化させる。移動部４５は、収容空間４３及び造形空間２７の上部に水平方向（図中左右方向）に掛け渡されたガイドロッド４６と連結し、内蔵された電動モータ等の駆動源によりガイドロッド４６に沿って水平方向に移動可能である。ローラ４７は、移動部４５の下面部に回転可能に連結され、内蔵された電動モータ等の駆動源により回転する。
【００１７】
収容空間４３内の造形粉体２１を造形空間２７に供給する際には、供給ステージ４１を矢印Ｒ１の方向へ上昇させて収容空間４３内の造形粉体２１を押し上げ、移動部４５を矢印Ｒ２の方向へ移動させながら、ローラ４７を矢印Ｒ３の方向へ回転させる。これにより、押し上げられた造形粉体２１がローラ４７により造形空間２７に搬送される。このときの造形粉体２１の搬送量（供給量）は、供給ステージ４１の上昇量により調整することができる。
【００１８】
図３は、実施形態に係る層形成工程の例を示す図である。上記粉体供給工程の終了後、造形ステージ２５上（造形空間２７内）に造形粉体２１の層２２を形成する層形成工程が実行される。このとき、移動部４５を矢印Ｒ４の方向に移動させながら、ローラ４７を矢印Ｒ５の方向に回転させる。これにより、造形ステージ２５上の造形粉体２１の上面が擦り切られ、造形ステージ２５上に所定の厚さの層２２が形成（積層）される。
【００１９】
図４は、実施形態に係る加熱工程の例を示す図である。上記層形成工程の終了後、新たに形成された層２２にレーザ光３０を照射することにより造形粉体２１の一部を加熱して固化させる加熱工程が実行される。このとき、レーザ光３０は、造形物１０の断面形状データ等に基づいて矢印Ｒ６に例示すように走査される。レーザ光３０が照射された部分は、略瞬時に溶融して下層の固化部と一体となり、造形物１０の一部となる。
【００２０】
図５は、実施形態に係る下降工程の例を示す図である。上記加熱工程の終了後、固化された層２２を下降させる下降工程が実行される。このとき、造形ステージ２５は、矢印Ｒ７の方向に移動し、造形物１０の一部を含む層２２を下降させる。
【００２１】
図６は、実施形態に係る均熱体供給工程の例を示す図である。上記下降工程の終了後、均熱体供給部１６により造形物１０を均等に冷却するための均熱体５０を供給する均熱体供給工程が実行される。このとき、均熱体供給部１６は、最上部の層２２における造形物１０の形状に合わせて矢印Ｒ８で例示するように移動し、造形物１０の近傍に均熱体５０を配置する。
【００２２】
本例に係る均熱体供給部１６は、収納部５１、排出部５２、及び調温部５３を含む。収納部５１は、均熱体５０を収納する機構である。排出部５２は、収納部５１に収納された均熱体５０を最上部の層２２に向けて排出する機構である。排出部５２は、適宜な電子制御ユニットにより排出タイミング、排出量等が制御される。調温部５３は、収納部５１内の均熱体５０の温度を調節する機構である。調温部５１は、適宜な電子制御ユニットにより制御され、排出前の均熱体５０の温度を所定の温度に調節する。調温部５１による調温方法は、使用条件に応じて適宜設定されるべきものであるが、例えば、均熱体５０の温度と造形粉体２１の温度との差が所定値以下となるように均熱体５０の温度を調節することが好ましい。これにより、均熱体５０の供給時に生ずる温度分布を小さくすることができる。均熱体供給部１６全体は、適宜な駆動機構に連結されており、適宜な電子制御ユニットの制御により造形空間２７上の任意の位置に移動可能である。これにより、均熱体５０を層２２上の任意の位置に配置することができる。
【００２３】
上記均熱体供給工程の終了後、粉体供給工程、層形成工程、加熱工程、下降工程、及び均熱体供給工程を適宜繰り返すことにより、所望の形状の造形物１０を製造することができ、造形物１０の形状に合わせて均熱体５０を配置することができる。なお、均熱体供給工程は、必ずしも全ての層２２に対して行われなければならないものではなく、所定の層２２毎に行われてもよい。例えば、均熱体５０が複数の層２２分の厚さを有する場合には、均熱体５０の厚さに対応していくつかの層２２に対する均熱体供給工程を省くことができる。
【００２４】
図７は、実施形態に係る均熱体５０の配置例を示す側面図である。図８は、実施形態に係る均熱体５０の配置例を示す上面図である。均熱体５０は、造形物１０の形状に沿って、造形物１０から所定の距離Ｄを置いて配置されている。距離Ｄは、使用条件に応じて適宜設定されるべきものであるが、均熱体５０の作用により造形物１０の冷却時における温度分布を十分小さくできるように、すなわち温度分布による造形物１０の変形（反り、歪み等）を防ぐことができるように、設定される。
【００２５】
均熱体５０は、造形物１０の冷却効率を向上させる作用を有する物体であり、造形粉体２１より高い熱伝導率を有する。このような均熱体５０を造形物１０の近傍に配置することにより、造形物１０の近傍の温度分布を小さくし、熱の拡散効率（冷却効率）を向上させることができる。また、均熱体５０は、造形粉体２１より密度と比熱の積が大きいことが好ましい。密度と比熱の積が大きい程、隣接する物質（造形粉体２１）への温度影響が大きくなるため、均熱体１０の体積を小さくしても十分な均熱効果を得ることが可能となる。
【００２６】
また、均熱体５０は、最終的に残留した造形粉体２１から分離されなければならないため、造形粉体２１に対する分離性が高い性質を有することが好ましい。このような観点から、均熱体５０は、固体からなり、特に連続体であることが好ましい。また、均熱体５０は、造形物１０の様々な形状に対応できるように、変形可能な連続体であることが好ましい。そのため、均熱体５０は、鎖状体、線状体、箔状体等であることが好ましい。
【００２７】
図９は、実施形態に係る均熱体５０の形状例を示す図である。ここでは、鎖状体の均熱体５０を例示している。
【００２８】
また、均熱体５０は、造形粉体２１とは異なる磁性を有することが好ましい。具体的には、造形粉体２１が非磁性体である場合には均熱体５０は磁性体であることが好ましく、造形粉体２１が磁性体である場合には均熱体５０は非磁性体であることが好ましい。これにより、磁力を利用して造形粉体２１と均熱体５０とを分離することができる。
【００２９】
造形粉体２１は、目的とする造形物１０に応じて適宜選択されるべきものであるが、樹脂の場合には、例えば、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＡ１２（ポリアミド１２）、ＰＥＩ（ポリエーテルイミド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ＰＳＵ（ポリスルホン）、ＰＡ６６（ポリアミド６６）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＬＣＰ（液晶ポリマー）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＰＳＦ（ポリサルホン）、ＰＡ６（ポリアミド６）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等であり得る。造形粉体２１は、結晶性樹脂に限らず、結晶性及び非晶性の混合樹脂であってもよい。造形粉体２１は、金属の場合には、例えば、ステンレス、アルミ、鉄、チタン、炭化金属、窒化金属等であり得る。
【００３０】
均熱体５０の材質は、使用条件に応じて適宜選択されるべきものであるが、例えば、銅、アルミ、ステンレス（磁性又は非磁性）、銅鉄合金、フェライト等であり得る。銅、アルミ、及び銅鉄合金は、金属の中でも４００Ｗ／ｍＫ〜１００Ｗ／ｍＫと高熱伝導であり、均熱体５０として有用な材質であると言える。均熱体５０の形状は、上述したように変形可能の連続体であることが好ましいが、これに限られるものではなく、粒子状体等であってもよい。粒子状体であっても、磁力、遠心分離等を利用することにより、造形粉体２１から分離することが可能である。
【００３１】
上述したように、均熱体５０は、造形粉体２１よりも熱伝導率が高く、造形粉体２１とは異なる磁性を有することが好ましい。銅鉄合金は、高い熱伝導率及び磁性を有するため、非磁性の造形粉体２１を使用する場合には、均熱体５０として好適な材質として挙げられる。造形物１０（造形粉体２１）がフェライト等の磁性体を含有する樹脂である場合には、均熱体５０として非磁性のステンレス等を用いることが好ましい。フェライト等を充填材として含有した樹脂は、着磁しマグネットとなる成形物、着磁せず比重を増すための成形物等として用いられる。
【００３２】
また、上述したように、均熱体５０は、密度と比熱の積が大きい程、隣接する物質（造形粉体２１）への温度の影響が大きくなるため、有効である。下記表１は、均熱体５０及び造形粉体２１の代表的なものの密度と比熱の積を例示している。
【００３３】
【表１】
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【００３４】
図１０は、均熱体５０の効果を示す実験結果例を示すグラフである。図１１は、実験時における造形物１０及び均熱体５０状態例を示す側面図である。図１２は、実験時における造形物１０及び均熱体５０の状態例を示す上面図である。
【００３５】
本実験例では、平板状の造形物１０を製造し、均熱体５０を造形物１０から距離Ｄだけ離れた位置に配置し、造形物１０と均熱体５０との間に設けられた複数の測定点６１の温度をそれぞれ熱電対で測定し、各測定点６１間の温度差を測定した。各測定点６１の温度差は、造形物１０の冷却時における温度分布（熱拡散のばらつき）の大きさを示している。本実験例では、距離Ｄを３ｍｍ、５ｍｍ、１０ｍｍ、６０ｍｍ、及び１５０ｍｍに変化させたときの温度差と、造形物１０に反りが発生したか否かを測定した。また、当該測定結果を、鎖状の均熱体５０を用いた場合と、粒子状の均熱体５０を用いた場合とで比較した。本実験で用いた造形物１０のサイズは１００ｍｍ×２０ｍｍ×１ｍｍであり、鎖状の均熱体５０は鉄製ボールチェーン（図９の最上部に示すロジウムメッキされたボール直径３００μｍのもの）であり、粒子状の均熱体５０は粒子径１００μｍ程度の銅粒子であった。
【００３６】
図１０に示すように、距離Ｄが大きい程温度差が大きくなり、温度差が大きい程造形物１０に反りが発生しやすくなると言える。これは、距離Ｄが大きい程均熱体５０の均熱効果が小さくなり、造形物１０の冷却時における温度分布が大きくなるためである。本実験例では、温度差が５℃より大きくなると反りが発生する可能性が高くなることが確認された。従って、距離Ｄは、複数の測定点６１における温度差が５℃以下となるように設定されることが好ましい。また、鎖状の均熱体５０を用いた場合の温度差は、粒子状の均熱体５０を用いた場合の温度差より全体的に小さくなった。これは、鎖状の均熱体５０の方が粒子状の均熱体５０より熱流が確保されやすいため、均熱効果が大きいことを示している。また、鎖状の均熱体５０を用いた場合には、冷却後、均熱体５０を造形粉体２１から容易に分離することができた。粒子状の均熱体５０を用いた場合には、磁性の異なる均熱体５０と造形粉体２１とを磁石を利用して分離したり、比重の異なる均熱体５０と造形粉体２１とをサイクロン（遠心分離機）を利用して分離したりすることができた。
【００３７】
以上のように、本実施形態に係る造形物製造装置１によれば、造形粉体２１の積層時に造形物１０の近傍に、固体からなり、造形粉体１０より高い熱伝導率を有する均熱体５０が配置される。これにより、造形物１０の冷却時における温度分布の発生を最小限に抑えることが可能となる。また、変形可能な連続体（鎖状、線状、箔状等）の均熱体５０を用いることにより、造形物１０の形状に合わせて均熱体１０を適切に配置することが可能となり、残留した造形粉体２１から均熱体５０を容易に分離することが可能となる。また、粒子状の均熱体５０を用いる場合であっても、磁力や遠心分離を用いることにより比較的容易に分離することが可能となる。このように、本実施形態によれば、造形粉体２１の汚染や無駄な消費を招くことなく、造形物１０の冷却効果を向上させることが可能となる。
【００３８】
以下に、実施形態の変形例を示す。図１３は、実施形態の第１の変形例に係る均熱体５０の配置例を示す上面図である。本例に係る均熱体５０は、均熱体供給部１６の吐出部５２が排出された均熱体５０に接触することを避けるための開口部５５が形成されるように配置されている。均熱体５０が積層方向にある程度の厚みを有する場合には、このような開口部５５を通して均熱体供給部１６を移動させることが好ましい。
【００３９】
図１４は、実施形態の第２の変形例に係る均熱体５０の配置例を示す側面図である。図１５は、実施形態の第２の変形例に係る均熱体５０の配置例を示す上面図である。本例に係る造形物１０は中空部２０を有しており、均熱体５０は、造形物１０の周囲だけでなく、中空部２０内にも配置されている。このように、中空部２０を有する造形物１０を製造する場合には、中空部２０内にも均熱体５０を配置することにより、造形物１０全体に対して十分に均熱化を図ることが可能となる。
【００４０】
図１６は、実施形態の第３の変形例に係る均熱体５０の配置例を示す側面図である。図１７は、実施形態の第３の変形例に係る均熱体５０の配置例を示す上面図である。本例においては、造形空間２７内に２つの造形物１０が積層方向に並んで形成されており、２つの造形物１０間に均熱体５０が配置されている。このように、一度に複数の造形物１０を製造する場合には、造形物１０間にも均熱体５０を配置することにより、全ての造形物１０に対して十分に均熱化を図ることが可能となる。
【００４１】
以上、本発明の実施形態を説明したが、上記実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図するものではない。この新規な実施形態はその他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。この実施形態及びその変形は発明の範囲及び要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４２】
１  造形物製造装置
１０  造形物
１１  造形部
１２  粉体供給部
１３  加熱部
１４  ガス供給部
１５  排気部
１６  均熱体供給部
２０  中空部
２１  造形粉体
２２  層
２５  造形ステージ
２６  側壁
２７  造形空間
２８  駆動源
３０  レーザ光
３１  光源
３２  Ｘ軸ガルバノミラー
３３  Ｙ軸ガルバノミラー
３４  Ｘ軸走査制御部
３５  Ｙ軸走査制御部
３６  平行化光学系
３７  集光光学系
３８  造形室
４１  供給ステージ
４２  側壁
４３  供給空間
４５  移動部
４６  ガイドロッド
４７  ローラ
５０  均熱体
５１  収納部
５２  排出部
５３  調温部
５５  開口部
６１  測定点
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４３】
【特許文献１】特表２０１７−５０９５０９号公報
【特許文献２】特許第５６６９９０８号公報
【図１】
2019147291.tif 000004
【図２】
2019147291.tif 000005
【図３】
2019147291.tif 000006
【図４】
2019147291.tif 000007
【図５】
2019147291.tif 000008
【図６】
2019147291.tif 000009
【図７】
2019147291.tif 000010
【図８】
2019147291.tif 000011
【図９】
2019147291.tif 000012
【図１０】
2019147291.tif 000013
【図１１】
2019147291.tif 000014
【図１２】
2019147291.tif 000015
【図１３】
2019147291.tif 000016
【図１４】
2019147291.tif 000017
【図１５】
2019147291.tif 000018
【図１６】
2019147291.tif 000019
【図１７】
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