(57)【要約】【課題】周囲の温度等の条件に変化があった場合でも、液体を均一な層厚で塗布することができるロボットシステム、およびロボットの制御方法を提供すること。【解決手段】ロボット１０と、ロボット１０に設けられた液体塗布部２４と、液体塗布部２４により塗布された液体の塗布厚を計測する塗布厚計測部２２ｂと、塗布厚計測部２２ｂから塗布対象までの第１の距離Ｄ１を計測する距離計測部２２ａと、液体塗布部２４から塗布対象までの第２の距離Ｄ２が一定になるように、第１の距離Ｄ１に基づいてロボット１０を制御する制御部７３ａと、塗布厚計測部２２ｂで計測された塗布厚に応じて、塗布対象への液体の供給量を調整する供給量調整部７３ｂとを備え、距離計測部２２ａ、液体塗布部２４、および塗布厚計測部２２ｂは、液体の塗布方向に向かって、距離計測部２２ａ、液体塗布部２４、および塗布厚計測部２２ｂの順で配置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットと、
前記ロボットに設けられた液体塗布部と、
前記液体塗布部により塗布された液体の塗布厚を計測する塗布厚計測部と、
前記塗布厚計測部から塗布対象までの第１の距離を計測する距離計測部と、
前記液体塗布部から前記塗布対象までの第２の距離が一定になるように、前記第１の距離に基づいて前記ロボットを制御する制御部と、
前記塗布厚計測部で計測された塗布厚に応じて、前記塗布対象への前記液体の供給量を調整する供給量調整部と、を備え、
前記距離計測部、前記液体塗布部、および前記塗布厚計測部は、前記液体の塗布方向に向かって、前記距離計測部、前記液体塗布部、および前記塗布厚計測部の順で配置されている、
ロボットシステム。
【請求項２】
前記制御部は、前記距離計測部により前記第１の距離を計測した前記塗布対象上のポイントに、前記液体塗布部が到達した時、前記第１の距離に基づいて、前記液体塗布部から前記塗布対象までの第２の距離が一定になるように前記ロボットを制御し、
前記塗布厚計測部は、前記距離計測部により前記第１の距離を計測した前記塗布対象上のポイントに、前記塗布厚計測部が到達した時に、前記塗布厚計測部から塗布面までの距離と、前記第１の距離に基づいて、前記液体の前記塗布厚を計測する、
請求項１に記載のロボットシステム。
【請求項３】
前記液体塗布部は、シリンジと、ノズルとを備え、前記ノズルは前記液体の吐出口の絞り手段を備え、
前記供給量調整部は、前記絞り手段を駆動することにより、前記塗布対象への前記液体の供給量を調整する、
請求項１または請求項２に記載のロボットシステム。
【請求項４】
前記液体塗布部は、シリンジと、ノズルとを備え、前記シリンジ内を負圧にすることで液体の吐出を抑え、シリンジ内を大気圧もしくは正圧にすることで液体の吐出を行い、
前記供給量調整部は、前記ノズルと前記塗布対象との距離を調整することにより、前記塗布対象への前記液体の供給量を調整する、
請求項１ないし請求項３のいずれか一に記載のロボットシステム。
【請求項５】
ロボットに設けられた液体塗布部により塗布された液体の塗布厚を計測するステップと、
塗布厚計測部から塗布対象までの第１の距離を計測するステップと、
前記液体塗布部から前記塗布対象までの第２の距離が一定になるように、前記第１の距離に基づいて前記ロボットを制御するステップと、
計測された塗布厚に応じて、前記塗布対象への前記液体の供給量を調整するステップと、を備え、
前記塗布対象までの距離を計測するステップ、前記液体塗布部により前記液体を塗布するステップ、および前記塗布厚を計測するステップの順で処理を行う、
ロボットの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ロボットシステム、およびロボットの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、上下動するアクチュエータにダイヘッドを取り付け、ダイヘッドに備えた距離測定センサによりダイヘッドと基板表面との距離を測定し、ダイヘッドと基板表面との距離を設定距離に維持する技術が開示されている。特許文献１によれば、基板のうねりに追従させて基板上に均一な塗布膜が形成される。
【０００３】
特許文献２には、溶液の粘度に応じて、基盤に対する薬液ノズルの位置を設定する技術が開示されている。特許文献２によれば、高粘度の溶液が基盤表面に均一な膜厚で塗布される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２９８６９７号公報
【特許文献２】特開２０１０−０４２３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ロボットを用いて基板等に液体を塗布する場合には、液体の塗布厚は、基板のうねりだけでなく、周囲の温度、液体塗布部における液体の残量、あるいは液体塗布部内の圧力等によって影響を受ける。この点において、特許文献１および特許文献２に記載の技術では、周囲の温度変化等にリアルタイムで追従して液体の塗布量を制御できず、液体を均一な層厚で塗布することはできない。
【０００６】
そこで、この発明の課題は、周囲の温度等の条件に変化があった場合でも、液体を均一な層厚で塗布することができるロボットシステム、およびロボットの制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、この開示のロボットシステムは、
ロボットと、
前記ロボットに設けられた液体塗布部と、
前記液体塗布部により塗布された液体の塗布厚を計測する塗布厚計測部と、
前記塗布厚計測部から塗布対象までの第１の距離を計測する距離計測部と、
前記液体塗布部から前記塗布対象までの第２の距離が一定になるように、前記第１の距離に基づいて前記ロボットを制御する制御部と、
前記塗布厚計測部で計測された塗布厚に応じて、前記塗布対象への前記液体の供給量を調整する供給量調整部と、を備え、
前記距離計測部、前記液体塗布部、および前記塗布厚計測部は、前記液体の塗布方向に向かって、前記距離計測部、前記液体塗布部、および前記塗布厚計測部の順で配置されている。
【０００８】
上述のロボットシステムでは、ロボットに設けられた液体塗布部により液体が塗布され、液体の塗布厚は、塗布厚計測部により計測される。距離計測部は、塗布厚計測部から塗布対象までの第１の距離を計測する。制御部は、液体塗布部から塗布対象までの第２の距離が一定になるように、第１の距離に基づいてロボットを制御する。供給量調整部は、塗布厚計測部で計測された塗布厚に応じて、塗布対象への液体の供給量を調整する。
【０００９】
以上のようなロボットシステムにおいて、距離計測部、液体塗布部、および塗布厚計測部は、液体の塗布方向に向かって、距離計測部、液体塗布部、および塗布厚計測部の順で配置されている。
【００１０】
したがって、上述のロボットシステムによれば、距離計測部と塗布厚計測部とを用いて液体の塗布厚を計測しつつ、塗布厚に応じて液体の供給量をリニアにリアルタイムで制御するので、周囲の温度等の条件に変化があった場合でも、液体を均一な層厚で塗布することができる。
【００１１】
また、上述のロボットシステムによれば、距離計測部、液体塗布部、および塗布厚計測部が、液体の塗布方向に向かってこの順で配置されているので、時間差演算による塗布厚保の計測が可能である。
【００１２】
一実施形態の制御装置は、
前記制御部は、前記距離計測部により前記第１の距離を計測した前記塗布対象上のポイントに、前記液体塗布部が到達した時、前記第１の距離に基づいて、前記液体塗布部から前記塗布対象までの第２の距離が一定になるように前記ロボットを制御し、
前記塗布厚計測部は、前記距離計測部により前記第１の距離を計測した前記塗布対象上のポイントに、前記塗布厚計測部が到達した時に、前記塗布厚計測部から塗布面までの距離と、前記第１の距離に基づいて、前記液体の前記塗布厚を計測する。
【００１３】
この一実施形態のロボットシステムでは、上述のような順で配置した距離計測部、液体塗布部、および塗布厚計測部により、時間差演算による塗布厚保の計測と液体の供給量の調整とが可能である。
【００１４】
一実施形態の制御装置は、
前記液体塗布部は、シリンジと、ノズルとを備え、前記ノズルは前記液体の吐出口の絞り手段を備え、
前記供給量調整部は、前記絞り手段を駆動することにより、前記塗布対象への前記液体の供給量を調整する、
【００１５】
この一実施形態のロボットシステムでは、液体の供給量は、ノズルの絞り手段を駆動することにより調整される。そして、供給された液体の塗布厚は上述のように計測され、塗布厚に応じて液体塗布部と塗布対象との距離がリニアにリアルタイムで制御される。したがって、周囲の温度等の条件に変化があった場合でも、液体を均一な層厚で塗布することができる。
【００１６】
一実施形態の制御装置は、
前記液体塗布部は、シリンジと、ノズルとを備え、前記シリンジ内を負圧にすることで液体の吐出を抑え、シリンジ内を大気圧もしくは正圧にすることで液体の吐出を行い、
前記供給量調整部は、前記ノズルと前記塗布対象との距離を調整することにより、前記塗布対象への前記液体の供給量を調整する。
【００１７】
この一実施形態のロボットシステムでは、シリンジ内の圧力が正圧にされた場合の液体の吐出量は、ノズルと塗布対象との距離によって変わる。吐出された液体の塗布厚は計測され、塗布厚に応じて液体塗布部と塗布対象との距離がリニアにリアルタイムで制御される。したがって、周囲の温度等の条件に変化があった場合でも、液体を均一な層厚で塗布することができる。
【００１８】
上記課題を解決するため、この開示のロボットの制御方法は、
ロボットに設けられた液体塗布部により塗布された液体の塗布厚を計測するステップと、
塗布厚計測部から塗布対象までの第１の距離を計測するステップと、
前記液体塗布部から前記塗布対象までの第２の距離が一定になるように、前記第１の距離に基づいて前記ロボットを制御するステップと、
計測された塗布厚に応じて、前記塗布対象への前記液体の供給量を調整するステップと、を備え、
前記塗布対象までの距離を計測するステップ、前記液体塗布部により前記液体を塗布するステップ、および前記塗布厚を計測するステップの順で処理を行う。
【００１９】
この開示の制御方法によれば、距離計測部と塗布厚計測部とを用いて液体の塗布厚を計測しつつ、塗布厚に応じて液体の供給量をリニアにリアルタイムで制御するので、周囲の温度等の条件に変化があった場合でも、液体を均一な層厚で塗布することができる。
【００２０】
また、上述の制御方法によれば、塗布対象までの距離を計測するステップ、液体塗布部により液体を塗布するステップ、および塗布厚を計測するステップの順で処理を行うので、時間差演算による塗布厚保の計測が可能である。
【発明の効果】
【００２１】
以上より明らかなように、この開示のロボットシステム、およびロボットの制御方法によれば、周囲の温度等の条件に変化があった場合でも、液体を均一な層厚で塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】一実施形態におけるロボットシステムを示す上面図である。
【図２】ディスペンサヘッドの構成を示す側面図である。
【図３】ディスペンサコントローラのハードウエア構成を示すブロック図である。
【図４】ディスペンサコントローラの機能ブロック図である。
【図５】（Ａ）はワークとノズルが離れている場合の塗布液の吐出を説明する図であり、（Ｂ）はワークとノズルが（Ａ）よりも離れていない場合の塗布液の吐出を説明する図である。
【図６】（Ａ），（Ｂ）は、ノズル・ワーク間距離の制御方法を説明するための図である。
【図７】（Ａ），（Ｂ）は、塗布厚計測方法を説明するための図である。
【図８】ノズル・ワーク間距離の制御の制御ループを示すブロック線図である。
【図９】ディスペンサヘッドのＺ軸（上下方向）制御の制御ループを示すブロック線図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、この発明の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２４】
（ロボットシステム）
図１は、本開示の一実施形態におけるロボットシステム１００を示す上面図である。図１に示すように、本実施形態におけるロボットシステム１００は、ロボット１０と、ディスペンサヘッド２０と、ロボット１０の制御装置としてのディスペンサコントローラ３０と、塗布対象としてのワーク４０とを備える。
【００２５】
ロボット１０は、例えば、アーム型の６軸の垂直多関節ロボットである。アーム型の６軸の垂直多関節ロボットは、サーボモータ等の動力源を備えており、ロボット制御プログラムに基づいてディスペンサコントローラ３０から出力される制御信号によりサーボモータを駆動し、各関節軸を動作させる。
【００２６】
ディスペンサヘッド２０は、液体をワーク４０に塗布する。液体としては、例えば、シーラー材、水性印刷用のインク、エンジンオイル、オリーブオイル等の低粘度から中粘度の液体が用いられる。
【００２７】
図２は、ディスペンサヘッド２０の構成を示す側面図である。図２に示すように、ディスペンサヘッド２０は、ホルダ２１と、距離計測センサ２２ａと、塗布厚計測センサ２２ｂと、シリンジ２３と、液体塗布部としてのノズル２４とを備える。ホルダ２１は、距離計測センサ２２ａ、塗布厚計測センサ２２ｂ、およびシリンジ２３を保持する。
【００２８】
距離計測センサ２２ａは、距離計測センサ２２ａからワーク４０までの第１の距離を測定するためのセンサであり、一例として反射型センサが用いられる。塗布厚計測センサ２２ｂは、ワーク４０に塗布された液体の塗布厚ｄを検知するためのセンサであり、一例として、反射型センサが用いられる。
【００２９】
シリンジ２３は、塗布する液体を収容する容器である。ノズル２４は、シリンジ２３の先端に取り付けられ、液体を吐出する管である。
【００３０】
距離計測センサ２２ａ、ノズル２４、および塗布厚計測センサ２２ｂは、図２に示すように、矢印Ｆで示す液体の塗布方向に向かって、距離計測センサ２２ａ、ノズル２４、および塗布厚計測センサ２２ｂの順で配置されている。
【００３１】
ディスペンサコントローラ３０は、ロボット１０を制御して、ノズル２４とワーク４０との距離を一定に保ち、また、液体の塗布量を調整する制御装置である。図３に、ディスペンサコントローラ３０のハードウエア構成を示す。ディスペンサコントローラ３０は、図３に示すように、入力装置３１と、表示装置３２と、中央演算装置３３と、記憶装置３４と、通信Ｉ／Ｆ３５とを備えている。入力装置３１は、一例として、キーボード等から構成される。表示装置３２は、一例として、ディスプレイから構成される。中央演算装置３３は、一例として、ＣＰＵから構成される。記憶装置３４は、不揮発性記憶装置と揮発性記憶装置とを備えており、不揮発性記憶装置は、ロボット制御プログラムおよびシーケンス制御プログラム等を記憶する。また中央演算装置３３の実行時のワークメモリとして揮発性記憶装置が適宜使用される。通信Ｉ／Ｆ３５は、例えば、ＲＳ２３２Ｃ等のシリアル回線のインタフェースであり、センサ２２の出力値の入力、およびロボット１０との通信を行う。通信Ｉ／Ｆ３５他の通信回線のインタフェースでもよい。
【００３２】
図４は、本実施形態におけるディスペンサコントローラ３０の機能ブロック図である。ディスペンサコントローラ３０は、入力処理部７１、表示処理部７２、演算部７３、記憶部７４、および通信処理部７５として機能する。入力処理部７１は、入力装置３１からの入力を処理する。表示処理部７２は、表示装置３２に出力する表示データを作成する。演算部７３は、制御部７３ａと、供給量調整部７３ｂとを含む。制御部７３ａは、ノズル２４からワーク４０までの第２の距離が一定になるように、上述した第１の距離に基づいてロボット１０を制御する。供給量調整部７３ｂは、塗布厚計測センサ２２ｂで計測された塗布厚に応じて、ワーク４０への液体の供給量を調整する。制御部７３ａと供給量調整部７３ｂの機能の詳細については後述する。記憶部７４は、ロボット制御プログラムおよびシーケンス制御プログラム等を記憶する。
【００３３】
（塗布量の制御方法）
図５は、本実施形態における塗布液Ｌｑのワーク４０における塗布量の調整方法を説明するための図である。ディスペンサヘッド２０は、塗布液Ｌｑが重力で下に垂れるのを、シリンジ２３内を負圧にすることで抑えている。そして、シリンジ２３内負圧を大気圧もしくは正圧にすることで、塗布液Ｌｑを吐出する。
【００３４】
この時、図５（Ａ）に示すように塗布対象のワーク４０とノズル２４の距離Ｃが離れていると、ノズル２４から出る塗布液Ｌｑの重力によって、図５（Ｂ）に示すように距離Ｃが離れていない場合に比べて、より多くの塗布液Ｌｑが吐出される。本実施形態では、この作用を利用して、供給量調整部７３ｂによってロボット１０を制御し、塗布対象のワーク４０とノズル２４との距離を変えることで塗布量の調整を行っている。
【００３５】
（ノズル・ワーク間距離の制御方法）
次に、本実施形態のロボットシステム１００におけるノズル２４とワーク４０との間の距離を一定に保つ制御方法について説明する。図６は、本実施形態におけるノズル・ワーク間距離の制御方法を説明するための図である。
【００３６】
図６（Ａ）に示すように、制御部７３ａは、距離計測センサ２２ａにより、ある時点のワーク４０上のポイントＰにおいて、ノズル２４とワーク４０との第１の距離Ｄ１を計測する。そして、制御部７３ａは、ディスペンサヘッド２０が矢印Ｆで示す液体の塗布方向に移動し、図６（Ｂ）に示すように、ノズル２４がポイントＰに到達した際に、ノズル２４とワーク４０との第２の距離Ｄ２が一定になるように、前記第１の距離Ｄ１に基づいてディスペンサヘッド２０を駆動する。距離計測センサ２２ａとノズル２４との距離は、予め分かっているので、第１の距離Ｄ１を前もって計測しておくことにより、ノズル２４がポイントＰに到達した際にはノズル２４とワーク４０との第２の距離Ｄ２を一定に保つことができる。したがって、ワーク４０の表面にうねりがある場合でも、ノズル２４とワーク４０との距離を一定に保ち、塗布厚を一定することができる。
【００３７】
（塗布厚計測方法）
次に、本実施形態のロボットシステム１００における塗布厚計測方法について説明する。図７は、本実施形態における塗布厚計測方法を説明するための図である。
【００３８】
図７（Ａ）に示すように、制御部７３ａは、距離計測センサ２２ａにより、ある時点のワーク４０上のポイントＰにおいて、ノズル２４とワーク４０との第１の距離Ｄ１を計測する。そして、制御部７３ａは、上述したように、ノズル２４とワーク４０との第２の距離Ｄ２を一定に保つ。次に、供給量調整部７３ｂは、供給量調整部７３ｂから塗布液Ｌｑの塗布面までの距離Ｄ３を測定し、上述した第１の距離Ｄ１から、距離Ｄ３を差し引くことにより、塗布厚ｄを測定する。このように、本実施形態においては、距離計測センサ２２ａと、塗布厚計測センサ２２ｂとの２つのセンサを用いて、時間差演算により、液体の塗布厚を計測している。
【００３９】
次に、図８および図９を参照しつつ、本実施形態におけるノズル・ワーク間距離の制御方法と、塗布量の調整方法をより具体的に説明する。図８は、本実施形態におけるノズル・ワーク間距離の制御の制御ループを示すブロック線図である。ディスペンサコントローラ３０の制御部７３ａは、図８に示すように、距離計測センサ２２ａにより、距離計測センサ２２ａとワーク４０との第１の距離Ｄ１を計測する。次に、制御部７３ａは、第１の距離Ｄ１と、予め分かっている距離計測センサ２２ａとノズル２４との距離から、ノズル２４とワーク４０との第２の距離Ｄ２を算出する。そして、制御部７３ａは、時間遅延処理機能８１により、第２の距離Ｄ２のフィードバックを遅延させる。遅延させる時間は、例えば、ポイントＰにおいて第１の距離Ｄ１を計測した時点から、ポイントＰにノズル２４が到達するまでの時間に設定される。
【００４０】
ノズル２４とワーク４０との距離には、予め目標値が定められている。制御部７３ａは、この目標値と、遅延されたフィードバックされた第２の距離Ｄ２とから、目標値に対するノズル２４の高さの変動値を算出する。次に、制御部７３ａは、ノズル２４の高さの変動値を、変動値−指令変換機能８２に入力する。変動値−指令変換機能８２は、ノズル２４の高さの変動値が目標値よりも大きい場合、ディスペンサヘッド２０をＺ軸のマイナス方向（下方向）に移動させる指令を出力する。また、変動値−指令変換機能８２は、ノズル２４の高さの変動値が目標値よりも小さい場合、ディスペンサヘッド２０をＺ軸のプラス方向（上方向）に移動させる指令を出力する。
【００４１】
変動値−指令変換機能８２から出力されるＺ軸方向の動作指令は、Ｚ軸制御機能８３に入力される。Ｚ軸制御機能８３は、入力された動作指令に従い、ディスペンサヘッド２０を移動させる。本実施形態では、以上のような制御ループにより、ノズル２４とワーク４０との距離を一定に保っている。
【００４２】
次に、図９を参照しつつ、本実施形態における塗布厚制御方法について、より具体的に説明する。図９は、本実施形態におけるディスペンサヘッドのＺ軸（上下方向）制御の制御ループを示すブロック線図である。ディスペンサコントローラ３０の制御部７３ａは、図９に示すように、センサ２２ａにより上述した第１の距離Ｄ１を計測する。
【００４３】
そして、制御部７３ａは、時間遅延処理機能９０により、第１の距離Ｄ１のフィードバックを遅延させる。遅延させる時間は、例えば、ポイントＰにおいて第１の距離Ｄ１を計測した時点から、ポイントＰに塗布厚計測センサ２２ｂが到達するまでの時間に設定される。
【００４４】
一方、ポイントＰに塗布厚計測センサ２２ｂが到達すると、供給量調整部７３ｂは、供給量調整部７３ｂから塗布面までの距離Ｄ３を計測する。そして、上述のように遅延されてフィードバックされた第１の距離Ｄ１から距離Ｄ３を差し引くことにより、塗布厚ｄを算出する。
【００４５】
次に、供給量調整部７３ｂは、高さ−容量変換機能９１により、塗布厚ｄを塗布液容量へ変換する。その結果、塗布液容量の現在値がわかるので、供給量調整部７３ｂは、その値をフィードバックする。
【００４６】
塗布液Ｌｑを塗布する際には、予め塗布液容量の目標値が定められている。供給量調整部７３ｂは、この塗布液容量の目標値と、塗布液容量の現在値のフィードバックとから、塗布液容量の目標値に対する変動値を算出する。次に、供給量調整部７３ｂは、塗布液容量の変動値を、変動値−指令変換機能９２に入力する。変動値−指令変換機能９２は、塗布液容量の変動値が目標値よりも大きい場合、つまり、塗布量が多い場合には、ディスペンサヘッド２０をＺ軸のマイナス方向（下方向）に移動させる指令を出力する。また、変動値−指令変換機能９２は、塗布液容量の変動値が目標値よりも小さい場合、つまり、塗布量が少ない場合には、ディスペンサヘッド２０をＺ軸のプラス方向（上方向）に移動させる指令を出力する。
【００４７】
変動値−指令変換機能９２から出力されるＺ軸方向の動作指令は、Ｚ軸制御機能９３に入力される。Ｚ軸制御機能９３は、入力された動作指令に従い、ディスペンサヘッド２０を移動させる。本実施形態では、以上のような制御ループにより、塗布量の制御を行っている。
【００４８】
本実施形態では、図８に示す              ノズル・ワーク間距離の制御と、図９に示す塗布厚制御とを並行して行うことにより、ノズル・ワーク間距離を一定に保ちつつ、ディスペンサヘッド２０をＺ軸方向に移動させて、ノズル２４とワーク４０上の塗布液Ｌｑの塗布面との距離を一定に保つように、リニアに制御する。その結果、温度、塗布液Ｌｑの残量、ディスペンサヘッド２０のシリンジ２３内の圧力の変化により、ノズル２４からの塗布液Ｌｑの吐出量に変動がある場合であっても、ワーク４０上の塗布液Ｌｑの塗布厚を一定に保つことができる。
【００４９】
また、本実施形態によれば、ワーク４０の表面にうねりがある場合であっても、距離計測センサ２２ａにより、距離計測センサ２２ａからワーク４０までの第１の距離Ｄ１を測定できるため、塗布対象のワーク４０の表面が平坦ではなく、うねりを有している場合でも、それに追従して塗布厚ｄを的確に測定することができる。その結果、ワーク４０の表面にうねりがある場合でも、ワーク４０上の塗布液Ｌｑの塗布厚を一定に保つことができる。
【００５０】
また、本実施形態では、距離計測センサ２２ａと塗布厚計測センサ２２ｂの２つのセンサを用いたので、レーザセンサのような高価なセンサを用いない場合でも、塗布厚を一定保つ制御が可能になっている。したがって、本実施形態によれば、コストの削減を図ることができる。
【００５１】
上述した実施形態では、液体の供給量の調整方法として、ディスペンサヘッド２０とワーク４０との距離を調整する例について説明した。しかし、本開示は、このような態様に限定される訳ではない。例えば、ノズル２４に絞り手段を設け、絞り手段を駆動することにより、液体の供給量を調整するようにしてもよい。
【００５２】
以上の実施形態は例示であり、この発明の範囲から離れることなく様々な変形が可能である。上述した複数の実施の形態は、それぞれ単独で成立し得るものであるが、実施の形態同士の組みあわせも可能である。また、異なる実施の形態の中の種々の特徴も、それぞれ単独で成立し得るものであるが、異なる実施の形態の中の特徴同士の組みあわせも可能である。
【符号の説明】
【００５３】
２２ａ    距離計測センサ（距離計測部）
２２ｂ    塗布厚計測センサ（塗布厚計測部）
２４    ノズル（液体塗布部）
３０    制御装置
７３ａ  制御部
７３ｂ  供給量調整部
１００  ロボットシステム
【図１】
2019155318.tif 000003
【図２】
2019155318.tif 000004
【図３】
2019155318.tif 000005
【図４】
2019155318.tif 000006
【図５】
2019155318.tif 000007
【図６】
2019155318.tif 000008
【図７】
2019155318.tif 000009
【図８】
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【図９】
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