(57)【要約】【課題】使用中に対象物の重量が変化する場合でも、移動体ひいては対象物の位置を的確に制御できるアクチュエータ装置を提供する。【解決手段】アクチュエータ装置１００は、対象物３を支持する移動体と、移動体を昇降可能に支持する支持機構と、支持機構の動作を制御する制御システム１６と、を備える。支持機構は、移動体に昇降方向の力を付与する第１、第２力付与手段を含む。制御システム１６は、移動体が目標位置に追従するための力を移動体に付与するよう第１力付与手段を制御する第１制御部６４と、移動体および対象物を支持するための力を移動体に付与するよう第２力付与手段を制御する第２制御部６６と、目標位置に応じた対象物の重量に関する情報を取得する取得手段と、を含む。第２制御部６６は、対象物の重量が変化した場合、その変化を補償するように第２力付与手段を制御する。【選択図】図１
2019071013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を支持する移動体と、
前記移動体を昇降可能に支持する支持機構と、
前記支持機構の動作を制御する制御システムと、を備え、
前記支持機構は、前記移動体に昇降方向の力を付与する第１、第２力付与手段を含み、
前記制御システムは、
前記移動体が目標位置に追従するための力を前記移動体に付与するよう前記第１力付与手段を制御する第１制御部と、
前記移動体および対象物を支持するための力を前記移動体に付与するよう前記第２力付与手段を制御する第２制御部と、
目標位置に応じた対象物の重量に関する情報を取得する取得手段と、を含み、
前記第２制御部は、対象物の重量が変化した場合、その変化を補償するように前記第２力付与手段を制御することを特徴とする昇降用アクチュエータ装置。
【請求項２】
前記第２制御部による制御の応答時間は、前記第１制御部による制御の応答時間よりも遅いことを特徴とする請求項１に記載の昇降用アクチュエータ装置。
【請求項３】
前記移動体は、作動ガスの給排によりシリンダ内を移動するよう構成されたピストンと、一端が前記ピストンに連結され、他端が前記シリンダの外部に突出するロッドと、を含み、
前記第１力付与手段は、前記ピストンにより区画される前記シリンダの第１室と、前記第１室の圧力を調整するための第１圧力調整手段と、を含み、
前記第２力付与手段は、前記ピストンにより区画される前記シリンダの第２室と、前記第２室に圧力を調整するための第２圧力調整手段と、を含み、
前記第１制御部は、前記第１圧力調整手段を制御し、
前記第２制御部は、前記第２圧力調整手段を制御することを特徴とする請求項１または２に記載の昇降用アクチュエータ装置。
【請求項４】
前記取得手段は、前記第１室の圧力について、所定の基準圧力からの変化を検出する検出手段を含み、
前記第２制御部は、前記第１室の圧力が所定の基準圧力に維持されるように前記第２圧力調整手段を制御することを特徴とする請求項３に記載の昇降用アクチュエータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、昇降用アクチュエータ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物を支持する移動体と、移動体を昇降可能に支持する支持機構と、支持機構の動作を制御する制御システムと、を備えるアクチュエータ装置が知られている。従来では例えば、特許文献１に記載されるようなアクチュエータ装置が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−７１５０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されるような従来のアクチュエータ装置は、そのアクチュエータ本体を縦置きにして昇降用アクチュエータ装置として使用することができる。昇降用アクチュエータ装置では、対象物の重量を考慮して支持機構の動作を制御する必要がある。
【０００５】
ところで、アクチュエータ装置の使用中に対象物の重量を変化させる場合がある。しかしながら、従来のアクチュエータ装置は、対象物の重量が変化することを想定していない。このため、移動体ひいては対象物の位置を的確に制御できないおそれがある。
【０００６】
本発明は、こうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、使用中に対象物の重量が変化する場合でも、移動体ひいては対象物の位置を的確に制御できるアクチュエータ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のある態様の昇降用アクチュエータ装置は、対象物を支持する移動体と、移動体を昇降可能に支持する支持機構と、支持機構の動作を制御する制御システムと、を備える。支持機構は、移動体に昇降方向の力を付与する第１、第２力付与手段を含む。制御システムは、移動体が目標位置に追従するための力を移動体に付与するよう第１力付与手段を制御する第１制御部と、移動体および対象物を支持するための力を移動体に付与するよう第２力付与手段を制御する第２制御部と、目標位置に応じた対象物の重量に関する情報を取得する取得手段と、を含む。第２制御部は、対象物の重量が変化した場合、その変化を補償するように第２力付与手段を制御する。
【０００８】
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや、本発明の構成要素や表現を方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、使用中に対象物の重量が変化する場合でも、移動体ひいては対象物の位置を的確に制御できるアクチュエータ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施の形態に係るアクチュエータ装置を示す模式図である。
【図２】変形例に係るアクチュエータ装置を示す模式図である。
【図３】別の変形例に係るアクチュエータ装置を示す模式図である。
【図４】さらに別の変形例に係るアクチュエータ装置を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、工程には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。
【００１２】
図１は、アクチュエータ装置１００を示す模式図である。アクチュエータ装置１００は、昇降用アクチュエータ装置であり、対象物３が載置されたテーブル２を昇降させる。アクチュエータ装置１００は、アクチュエータ本体１０と、第１供給源１１と、第２供給源１２と、サーボ弁（圧力調整手段）１３と、レギュレータ（圧力調整手段）１４と、制御システム１６と、を備える。図１では、アクチュエータ本体１０は断面で示されている。
【００１３】
第１供給源１１は、アクチュエータ本体１０を駆動するための作動ガスである圧縮気体（例えば圧縮空気）を、サーボ弁１３を介して第１シリンダ室３８（後述）に供給する。第２供給源１２は、作動ガスである圧縮気体を、レギュレータ１４を介して第２シリンダ室４０（後述）に供給する。
【００１４】
サーボ弁１３は、第１シリンダ室３８内の圧力を調整する。なお、サーボ弁１３は、本実施の形態では、第１供給源１１の供給圧の半分の圧力が当該サーボ弁１３の平衡圧力となるよう構成される。
【００１５】
レギュレータ１４は、第２シリンダ室４０内の圧力を調整する。
【００１６】
アクチュエータ本体１０は、シリンダ２０と、ピストン２２と、ロッド２４と、を含む。シリンダ２０は、筒部３０と、底部３２と、カバー部３４と、を含む。筒部３０は、本実施の形態では、略四角筒状に形成される。底部３２は筒部３０の下端を閉塞し、カバー部３４は筒部３０の上端を閉塞する。カバー部３４には、カバー部３４を貫通するロッド挿通孔３６が形成されている。
【００１７】
ロッド２４は、直線状に延びる長尺状の部材であり、下端はピストン２２に連結され、上端はロッド挿通孔３６を通ってシリンダ２０の外部に突出してテーブル２に連結されている。ロッド２４は、本実施の形態では、延在方向に直交する断面が矩形状である。なおロッド２４は、断面が円形状であっても、その他の形状であってもよい。
【００１８】
ピストン２２は、略四角柱状に形成され、シリンダ２０に収容される。シリンダ２０内の空間は、ピストン２２により、上側に位置する第１シリンダ室３８と、下側に位置する第２シリンダ室４０とに区画される。
【００１９】
ピストン２２には、次式で求まる力Ｆが作用する。ここでは上向きの力を正とする。
Ｆ＝Ｆ２−（Ｆ１＋Ｍ）  ・・・式（１）
Ｆ１＝Ｐ１×Ａ１
Ｆ２＝Ｐ２×Ａ２
ここで、Ｆ１は第１シリンダ室３８内の圧縮気体がピストン２２に作用する力であり、Ｐ１は第１シリンダ室３８内の圧力であり、Ａ１はピストン２２の第１シリンダ室３８側の受圧面（すなわち圧力を受ける面）の面積であり、Ｆ２は第２シリンダ室４０内の圧縮気体がピストン２２に作用する力であり、Ｐ２は第２シリンダ室４０内の圧力であり、Ａ２はピストン２２の第２シリンダ室４０側の受圧面の面積であり、Ｍはピストン２２、ロッド２４およびテーブル２（以下、これらをまとめて「移動体」ともよぶ）と、テーブル２すなわち移動体に載置されている対象物３との合計の重量である。なお、ピストン２２の第２シリンダ室４０側の受圧面の面積Ａ２は、ロッド２４が存在しない分だけ、ピストン２２の第１シリンダ室３８側の受圧面の面積Ａ１よりも大きい。
【００２０】
移動体が停止しているときはＦ＝０となる。言い換えると、Ｆ＝０のときに移動体が停止する。サーボ弁１３を制御して第１シリンダ室３８内の圧力Ｐ１を低くすると、力Ｆ１が小さくなり、その結果、Ｆ＞０となって移動体および対象物３が上方に移動する。サーボ弁１３を制御して第１シリンダ室３８の圧力Ｐ１を高くすると、力Ｆ１が大きくなり、その結果、Ｆ＜０となって移動体および対象物３が下方に移動する。
【００２１】
制御システム１６は、位置検出装置５０と、圧力センサ５２と、制御装置５４と、を含む。圧力センサ５２は、第１シリンダ室３８内の圧力Ｐ１を検出する。圧力センサ５２は、検出値を制御装置５４に送信する。
【００２２】
位置検出装置５０は、シリンダ２０に対するロッド２４の相対位置を検出する。位置検出装置５０は、被検出部５６と、検出部５８と、を含む。位置検出装置５０は、本実施の形態では光学式のリニアエンコーダであり、被検出部５６はリニアスケール、検出部５８はリニアセンサである。被検出部５６は、例えば板状の部材であり、ロッド２４に固定される。被検出部５６の表面には、光学的に読み取り可能な目盛り（例えばスリットや縞模様）が軸方向に連続するように設けられている。検出部５８は、被検出部５６に対向するように筒部３０に固定されている。検出部５８は、所定の周期（例えばマイクロ秒オーダーまたはミリ秒オーダの周期）で、シリンダ２０に対するロッド２４の相対移動量を検出する。より具体的には、検出部５８は、発光部と受光部とを備え（いずれも不図示）、発光部および受光部により光学的に被検出部５６の目盛りを読み取ることにより、検出部５８に対する被検出部５６の相対移動量、ひいてはシリンダ２０に対するロッド２４の相対移動量を検出する。検出部５８は、検出値を制御装置５４に送信する。
【００２３】
制御装置５４は、受信部６０と、位置特定部６２と、第１制御部６４と、第２制御部６６と、を含む。受信部６０は、位置検出装置５０および圧力センサ５２のそれぞれから検出値を受信する。
【００２４】
位置特定部６２は、位置検出装置５０からの検出値すなわちすなわちシリンダ２０に対するロッド２４の相対移動量に基づき、シリンダ２０に対するロッド２４の相対位置を特定する。
【００２５】
第１制御部６４は、サーボ弁１３を制御することにより、不図示の外部コントローラから入力される位置指令に応じた位置（以下、目標位置という）に移動体を移動または維持（すなわち追従）させるための力を移動体に付与する。具体的には、第１制御部６４は、サーボ弁１３を制御して第１シリンダ室３８内の圧力Ｐ１を調整することにより、力Ｆ１ひいては力Ｆを調整し、目標位置に移動体を移動または維持させるための力を移動体に付与する。この際、第１制御部６４は、位置検出装置５０からの検出値に基づきフィードバック補正しながらサーボ弁を制御する。
【００２６】
第２制御部６６は、レギュレータ１４を制御することにより、移動体および対象物３を支持する（すなわち自重補償する）ための力を移動体に付与する。具体的には、第２制御部６６は、レギュレータ１４を制御して第２シリンダ室４０内の圧力Ｐ２を調整することにより、力Ｆ２ひいては力Ｆを調整し、移動体および対象物３を支持するための力を移動体に付与する。
【００２７】
また、第２制御部６６は特に、使用中に対象物３の重量Ｍが変化する場合には、その変化を補償するようにレギュレータ１４を制御する。すなわち、第２制御部６６は、対象物３の重量Ｍが増加した場合はその増加量に応じた分だけ力Ｆ２が増加する（すなわち圧力Ｐ２が上がる）ように、対象物３の重量Ｍが減少した場合はその減少量に応じた分だけＦ２が減少する（すなわち圧力Ｐ２が下がる）ように、つまり対象物３の重量Ｍの変化に応じた分だけ力Ｆ２が変化する（すなわち圧力Ｐ２が変化する）ように、レギュレータ１４を制御する。具体的には、第２制御部６６は、第１シリンダ室３８内の圧力Ｐ１が、対象物３の重量Ｍが変化する前の平衡状態での第１シリンダ室３８内の圧力であって予め定められた所定の基準圧力（本実施の形態ではサーボ弁１３の平衡圧力）で一定となるように、レギュレータ１４を制御する。この際、第２制御部６６は、圧力センサ５２からの検出値に基づきフィードバック補正しながらレギュレータ１４を制御する。圧力Ｐ１が対象物３の重量Ｍが変化する前後で同じであれば、力Ｆ１も対象物３の重量Ｍが変化する前後で同じであるため、式（１）より明らかなように、対象物３の重量Ｍが変化した分だけ力Ｆ２が変化したことになる。
【００２８】
また、第２制御部６６は、第１制御部６４による制御と第２制御部６６による制御とが干渉しないように、その制御の応答時間が、好ましくは第１制御部６４による制御の応答時間よりも遅くなるよう構成される。第２制御部６６は、より好ましくは、その制御の応答時間が第１制御部６４による制御の応答時間の２倍以上、さらに好ましくは、１０倍以上となるよう構成される。したがって、対象物３の重量Ｍが変化した場合、第１制御部６４による制御により比較的早い応答時間で第１シリンダ室３８内の圧力を変化させて移動体を目標位置に維持し、第２制御部６６による制御により比較的遅い応答時間で第２シリンダ室４０内の圧力を変化させて対象物３の重量Ｍの変化を補償し、第１シリンダ室３８内の圧力が基準圧力に戻るのを許容する。
【００２９】
以上のように構成されたアクチュエータ装置１００の動作を説明する。
移動体が停止している状態において、サーボ弁１３を制御して第１シリンダ室３８内の圧力Ｐ１を低くし、上向きの（すなわち正の）力Ｆを移動体に作用させると、移動体および対象物３が上方に移動する。一方、サーボ弁１３を制御して第１シリンダ室３８内の圧力Ｐ１を高くし、下向きの（すなわち負の）力Ｆを移動体に作用させると、移動体および対象物３が下方に移動する。
【００３０】
また、移動体が停止している状態において対象物３の重量Ｍが増加した場合、増加した分だけ力Ｆ１が大きくなり、下向きの（すなわち負の）力Ｆが移動体に作用し、移動体および対象物３が下方に移動する。一方、対象物３の重量Ｍが減少した場合、減少した分だけ力Ｆ１が小さくなり、上向きの（すなわち正の）力Ｆが移動体に作用し、移動体および対象物３が上方に移動する。いずれにしろ、対象物３の重量Ｍが変化すると、移動体および対象物３が移動する。第１制御部６４は、位置検出装置５０からの検出値に基づいてサーボ弁１３を制御して第１シリンダ室３８内の圧力Ｐ１を調整し、移動体および対象物３を目標位置に維持（追従）させる。一方、第２制御部６６は、圧力センサ５２からの検出値に基づきフィードバック補正しながらレギュレータ１４を制御して第２シリンダ室４０内の圧力Ｐ２を調整し、第１シリンダ室３８の圧力Ｐ１を基準圧力に維持しようと（戻そうと）する、別の言い方をすると、対象物３の変化した分だけ力Ｆ２を変化させようとする。結果的に、移動体および対象物３は目標位置に維持（追従）され、第１シリンダ室３８の圧力Ｐ１は基準圧力に維持される。
【００３１】
以上説明した本実施の形態に係るアクチュエータ装置１００によると、第２制御部６６は、第１シリンダ室３８の圧力Ｐ１が基準圧力に維持されるように第２シリンダ室４０内の圧力Ｐ２を調整する。これにより、対象物３の重量Ｍが増加した場合、その増加量に応じた分だけ力Ｆ２が大きくなる。つまり、対象物３の増加量が不明であっても、増加量に応じた分だけ力Ｆ２を大きくできる。その結果、対象物３の重量変化が補償され、第１シリンダ室３８内の圧力Ｐ１は基準圧力に維持される。したがって、対象物３の重量Ｍが増えても、第１シリンダ室３８の圧力Ｐ１を調整して移動体を移動させる力を生じさせることができる。
【００３２】
また、本実施の形態に係るアクチュエータ装置１００によると、第２制御部６６による制御の応答時間は、第１制御部６４による制御の応答時間よりも遅くされる。これにより、移動体が目標位置の近くを上下するハンチングが起こるのが抑止される。
【００３３】
以上、実施の形態に係るアクチュエータ装置について説明した。この実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組合せにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。以下変形例を示す。
【００３４】
（変形例１）
実施の形態では、圧力センサ５２により第１シリンダ室３８内の圧力を検出することで基準圧力からの変化を直接的に検出する場合について説明したが、これに限られず、第１シリンダ室３８内の圧力の基準圧力からの変化を間接的に検出してもよい。
【００３５】
実施の形態では特に言及しなかったが、サーボ弁１３は、第１シリンダ室３８内の圧力を、サーボ弁１３内のスプールの位置（すなわち弁の開度）に応じた圧力に調整するよう構成されている。そしてサーボ弁１３は、スプールの位置を特定するための位置センサを有する。第１シリンダ室３８内の圧力の基準圧力の変化は、この位置センサの検出値に基づいて間接的に検出されてもよい。以下、具体的に説明する。対象物Ｍの重量が変化すると、移動体および対象物３が移動する。実施の形態で述べたように、第１制御部６４は、位置検出装置５０からの検出値に基づいてサーボ弁１３を制御して第１シリンダ室３８内の圧力Ｐ１を変化させ、移動体および対象物３を目標位置に維持（追従）させる。具体的には、第１制御部６４は、移動体および対象物３が目標位置に維持されるようにサーボ弁１３のスプールを移動させる。なお、第１シリンダ室３８内の圧力がスプールの位置に応じた圧力に調整されることから明らかなように、目標位置に維持されるようにスプールを移動させた際の移動量が、第１シリンダ室３８内の圧力の基準圧力からの変化に相当する。第２制御部６６は、サーボ弁１３のスプールが対象物３の重量Ｍが変化する前の平衡状態での位置に戻るように、すなわち第１シリンダ室３８内の圧力が基準圧力に維持されるように、対象物３が変化した分だけ力Ｆ２を変化させる（すなわち圧力Ｐ２を変化させる）べくレギュレータ１４を制御する。本変形例の場合、第１シリンダ室３８内の圧力を検出するための圧力センサが不要となる。
【００３６】
また、アクチュエータ装置１００が、第１シリンダ室３８内の圧力を調整する弁として、サーボ弁１３の代わりに、ノズルフラッパ弁を備えてもよい。ノズルフラッパ弁は、第１シリンダ室３８内の圧力を、フラッパの位置に応じた圧力に調整する。フラッパは、ボイスコイルモータなどの駆動装置により駆動される。第１シリンダ室３８内の基準圧力は、このフラッパの移動量、すなわち駆動装置に供給される電流値に基づいて間接的に検出されてもよい。駆動装置に供給される電流値は、電流計を用いて計測されてもよい。あるいは、制御装置５４が、駆動装置を制御する制御部から電流指令値を取得する取得部を備えていてもよい。
【００３７】
（変形例２）
図２は、変形例に係るアクチュエータ装置２００を示す。図２は図１に対応する。以下、実施の形態に係るアクチュエータ装置１００との相違点を中心に説明する。アクチュエータ装置２００は、アクチュエータ本体１０と、第１供給源１１と、第２供給源１２と、サーボ弁１３と、レギュレータ１４と、制御システム１１６と、を備える。
【００３８】
制御システム１１６は、位置検出装置５０と、制御装置１５４と、を含む。すなわち、制御システム１１６は、実施の形態に係るアクチュエータ装置１００と異なり、第１シリンダ室３８内の圧力Ｐ１を検出する圧力センサを含まない。
【００３９】
制御装置１５４は、受信部６０と、位置特定部６２と、第１制御部６４と、第２制御部１６６と、対応関係保持部１６８と、を含む。対応関係保持部１６８は、移動体の位置と、移動体がその位置にあるときの対象物３の重量Ｍと、を対応付けて保持する。つまり、本変形例では、移動体が各位置にあるときの対象物３の重量Ｍがあらかじめ分かっている。
【００４０】
第２制御部１６６は、実施の形態の制御システム１６と同様に、レギュレータ１４を制御して第２シリンダ室４０内の圧力Ｐ２を調整することにより、力Ｆ２を調整し、移動体および対象物３を支持するための力を移動体に付与する。
【００４１】
また、第２制御部１６６は特に、移動体の位置によって対象物３の重量Ｍが変化する場合には、その変化を補償するように、すなわち対象物３の重量Ｍの変化に応じた分だけ力Ｆ２が変化するように、レギュレータ１４を制御する。具体的には本変形例では、第２制御部１６６は、対応関係保持部１６８を参照して対象物３の重量Ｍを特定し、直前の移動体の位置における対象物３の重量Ｍからの変化量を特定する。第２制御部１６６は、特定した変化量に応じた分だけ力Ｆ２が変化するようにレギュレータ１４を制御する。
【００４２】
本変形例に係るアクチュエータ装置２００によれば、実施の形態に係るアクチュエータ装置１００によって奏される作用効果と同様の作用効果を奏することができる。
【００４３】
（変形例３）
実施の形態および上述の変形例では、アクチュエータ装置が圧縮気体を作動ガスとするエアアクチュエータ装置であり、圧縮気体の圧力により移動体および対象物３を支持するための力を移動体に付与し、対象物３の重量Ｍが変化した場合にはその変化を補償し、同じく圧縮気体の圧力により目標位置に追従するための力を移動体に付与する場合について説明した。しかしながら、アクチュエータ装置は、移動体および対象物３を支持するための力を移動体に付与し、対象物３の重量Ｍが変化した場合にはその変化を補償し、かつ、移動体を目標位置に追従するための力を付与しうるものであれば、実施の形態および上述の変形例には特に限定されない。
【００４４】
図３は、別の変形例に係るアクチュエータ装置３００を示す。図３は図２に対応する。以下、アクチュエータ装置２００との相違点を中心に説明する。アクチュエータ装置３００は、アクチュエータ本体２１０と、第２供給源１２と、ボイスコイルモータ２１３と、レギュレータ１４と、制御システム２１６と、を備える。
【００４５】
アクチュエータ本体２１０のロッド２２４は、外部に突出した突出部２２４ａを有する。突出部２２４ａの端部は、ボイスコイルモータ２１３からの力を受けるように構成されている。ボイスコイルモータ２１３は、そのコイルに供給される電流に応じて、突出部２２４ａひいては移動体に上向きまたは下向きの力を付与する。
【００４６】
制御システム２１６は、位置検出装置５０と、制御装置２５４と、を含む。制御装置２５４は、受信部６０と、位置特定部６２と、第１制御部２６４と、第２制御部１６６と、対応関係保持部１６８と、を含む。
【００４７】
第１制御部２６４は、ボイスコイルモータ２１３を制御することにより、目標位置に移動体および対象物３を追従させるための上向きまたは下向きの力を移動体に付与する。この際、第１制御部６４は、位置検出装置５０からの検出値に基づきフィードバック補正しながらボイスコイルモータ２１３を制御する。
【００４８】
本変形例に係るアクチュエータ装置３００によれば、アクチュエータ装置２００によって奏される作用効果と同様の作用効果を奏することができる。
【００４９】
（変形例４）
図４は、さらに別の変形例に係るアクチュエータ装置４００を示す。図４は図１に対応する。以下、アクチュエータ装置１００との相違点を中心に説明する。アクチュエータ装置４００は、アクチュエータ装置１００と同様に、アクチュエータ本体１０と、第１供給源１１と、第２供給源１２と、サーボ弁１３と、レギュレータ１４と、制御システム１６と、を備える。
【００５０】
本変形例では、アクチュエータ本体１０は、アクチュエータ装置１００とは上下が逆さまに設置され、シリンダ２０に対象物３が載置され、シリンダ２０がロッド２４に対して昇降する。つまり、本変形例では、シリンダ２０が移動体となる。この場合、実施の形態における力Ｆ１を、第１シリンダ室３８内の圧縮気体がシリンダ２０（特にカバー部３４）に作用する力と読み替え、力Ｆ２を、第２シリンダ室４０内の圧縮気体がシリンダ２０（特に底部３２）に作用する力と読み替えればよい。
【００５１】
本変形例に係るアクチュエータ装置４００によれば、アクチュエータ装置１００によって奏される作用効果と同様の作用効果を奏することができる。
【００５２】
上述した前提技術と実施の形態と変形例の任意の組み合わせもまた本発明の実施の形態として有用である。組み合わせによって生じる新たな実施の形態は、組み合わされる実施の形態および変形例それぞれの効果をあわせもつ。
【符号の説明】
【００５３】
１３  サーボ弁、  １４  レギュレータ、  １６  制御システム、２０  シリンダ、  ２２  ピストン、  ２４  ロッド、  ３８  第１シリンダ室、  ４０  第２シリンダ室、  ５４  制御装置、  ６４  第１制御部、  ６６  第２制御部、  １００  アクチュエータ装置。
【図１】
2019071013.tif 000003
【図２】
2019071013.tif 000004
【図３】
2019071013.tif 000005
【図４】
2019071013.tif 000006