(57)【要約】      （修正有）【課題】インク等の液体を吐出口から吐出可能な液体吐出装置に用いる流路部材において、流路抵抗が比較的低い流路部材を提供する。【解決手段】開口１を有する流路２を備える基体３と、開口を塞ぐように基体と接合した蓋体４とを有し、蓋体は、開口を通過する液体を外部に吐出する貫通孔５を備え、蓋体は流路に面した第１対向面６を有し、基体は流路に面し第１対向面に対向する第２対向面７を有し、第１対向面の中心線平均粗さＲａが、第２対向面の中心線平均粗さＲａよりも小さい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有する流路を備える基体と、
前記開口を塞ぐように前記基体と接合した蓋体とを有し、
前記蓋体は、前記開口を通過する液体を外部に吐出する貫通孔を備え、
前記蓋体は前記流路に面した第１対向面を有し、前記基体は前記流路に面し前記第１対向面に対向する第２対向面を有し、
前記第１対向面の中心線平均粗さＲａが、前記第２対向面の中心線平均粗さＲａよりも小さい流路部材。
【請求項２】
前記第１対向面の中心線平均粗さＲａと、前記第２対向面の中心線平均粗さＲａとの差は０．４μｍ以上である、請求項１に記載の流路部材。
【請求項３】
前記第１対向面の中心線平均粗さＲａは、前記第２対向面を含む仮想面と交わる、前記流路の側面の中心線平均粗さＲａよりも小さい、請求項１または請求項２に記載の流路部材。
【請求項４】
前記第１対向面の中心線平均粗さＲａと、前記第２対向面を含む仮想面と交わる、前記流路の側面の中心線平均粗さＲａとの差は０．４μｍ以上である、請求項３に記載の流路部材。
【請求項５】
少なくともいずれかの前記側面の中心線平均粗さＲａは、前記第２対向面の中心線平均粗さＲａよりも小さい、請求項３または請求項４に記載の流路部材。
【請求項６】
前記側面の中心線平均粗さＲａと、前記第２対向面の中心線平均粗さＲａとの差は０．４μｍ以上である、請求項３乃至請求項５のいずれかに記載の流路部材。
【請求項７】
前記蓋体と前記基体との接合領域に隣接して、前記第１対向面と、前記流路の前記側面とを被覆する第１の被覆部を備えてなる請求項３乃至請求項６のいずれかに記載の流路部材。
【請求項８】
前記基体、前記蓋体および前記第１の被覆部がセラミックスからなり、前記第１の被覆部の閉気孔の平均径が、前記基体および前記蓋体のそれぞれの閉気孔の平均径の０．８倍以上１．５倍以下である、請求項７に記載の流路部材。
【請求項９】
前記第１の被覆部は、前記流路の前記側面から離れるに従って薄くなる、請求項７または請求項８に記載の流路部材。
【請求項１０】
前記基体の前記側面と、前記蓋体の側面とを被覆する第２の被覆部を備えてなる請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の流路部材。
【請求項１１】
前記第２の被覆部がセラミックスからなり、前記第２の被覆部の閉気孔の平均径が、前記基体および前記蓋体のそれぞれの閉気孔の平均径の０．８倍以上１．５倍以下である、請求項１０に記載の流路部材。
【請求項１２】
前記第２の被覆部は、前記基体の前記側面から離れるに従って薄くなる、請求項１０または請求項１１に記載の流路部材。
【請求項１３】
前記第２対向面と、前記流路の前記側面との当接部は、断面視において所定の曲率を有する、請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載の流路部材。
【請求項１４】
前記第２対向面は、前記第１対向面から離れる方向に凸状の曲面である、請求項１乃至請求項１３のいずれかに記載の流路部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、インク等の液体を吐出口から吐出可能な液体吐出装置に用いる流路部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体収容容器と液体吐出ヘッドとの間でインクを循環させるインクジェット記録装置等の循環型液体吐出装置が用いられている。循環型液体吐出装置の一例として、複数の記録素子基板（以下、記録素子基板を単に素子基板という。）が印刷用紙の幅方向に渡って配置された、ライン型（ページワイド型）の液体吐出ヘッドを搭載した装置がある。
【０００３】
この装置に搭載される液体吐出ヘッド（全体）として、特許文献１では、図５に示すように、液体を吐出する吐出口１０１と、吐出口１０１に対応して設けられ、吐出口１０１から液体を吐出するためのエネルギーを発生する素子（図示しない）と、素子を内部に備える圧力室１０２と、を備えた素子基板２０１と、素子基板２０１の裏面側で、供給開口から供給された液体を圧力室１０２に供給する供給路５１および圧力室１０２から回収された液体を回収開口に回収するための回収路（図示しない）を有する第１流路部材２０５とを備えた液体吐出ヘッドが記載されている。
【０００４】
この液体吐出ヘッドでは、素子基板２０１は、支持部材２０３によって支持されており、支持部材２０３の液体連通口３１は、素子基板２０１に設けられた吐出口１０１に向って開口している。
【０００５】
また、第１流路部材２０５の背面には第２流路部材２０６が接続されている。第２流路部材２０６内には、液体吐出ヘッドの長手方向に延びる一組の共通供給流路２２１および共通回収流路２２２が設けられている。第２流路部材２０６の連通口６１は第１流路部材２０５の個別連通口５３に接続されており、第２流路部材２０６の共通供給流路２２１から連通口６１を介して第１流路部材２０５の供給路５１に連通しており、液体が供給されるようになっている。
【０００６】
なお、図５には図示していないが、液体吐出ヘッドの長手方向に垂直な別の断面では共通回収流路２２２の連通口６２を介して第１流路部材２０５の回収路に連通しており、液体が回収されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１７−１２４６１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
素子基板２０１の吐出口１０１が高密度に配置される昨今、第２流路部材２０６の共通供給流路２２１で生じる流路抵抗が吐出口１０１から吐出される液体の流路抵抗（圧力損失）に与える影響が相対的に大きくなっている。そのため、共通供給流路２２１で生じる流路抵抗を比較的低くすることが求められるようになっている。本開示は、共通供給流路で生じる流路抵抗が比較的低い流路部材を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の流路部材は、開口を有する流路を備える基体と、前記開口を塞ぐように前記基
体と接合した蓋体とを有し、前記蓋体は、前記開口を通過する液体を外部に吐出する貫通孔を備え、前記蓋体は前記流路に面した第１対向面を有し、前記基体は前記流路に面し前記第１対向面に対向する第２対向面を有し、前記第１対向面の中心線平均粗さＲａが、前記第２対向面の中心線平均粗さＲａよりも小さい。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、流路抵抗が比較的低い流路部材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本開示の流路部材の一例を示す（ａ）は斜視図、（ｂ）はＸＸ‘線における断面図、（ｃ）はＡ部を拡大した一例、（ｄ）はＡ部を拡大した他の例をそれぞれ示す拡大図である。
【図２】本開示の流路部材の他の例を示す断面図である。
【図３】本開示の流路部材の他の例を示す断面図である。
【図４】本開示の流路部材の他の例を示す（ａ）は断面図、（ｂ）はＢ部を拡大した一例、（ｃ）はＢ部を拡大した他の例をそれぞれ示す拡大図である。
【図５】従来の流路部材の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本開示の流路部材について詳細に説明する。
【００１３】
図１は、本開示の流路部材の一例を示す（ａ）は斜視図、（ｂ）はＸＸ‘線における断面図、（ｃ）はＡ部を拡大した一例、（ｄ）はＡ部を拡大した他の例をそれぞれ示す拡大図である。
【００１４】
図１に示す流路部材３０は、開口１を有する流路２を備える基体３と、開口１を塞ぐように基体３と接合した蓋体４とを有し、蓋体４は、開口１を通過する液体Ｌを外部に吐出する貫通孔５を備え、蓋体４は流路２に面した第１対向面６を有し、基体３は流路２に面し第１対向面６に対向する第２対向面７を有する。貫通孔５は、流路２の長手方向（紙面手前から奥に向かう方向）に沿って所定間隔で複数配置され、その断面形状は円状である。液体Ｌは、例えば、インクであり、外部から流路２に供給されると、流路２に沿って流れ、所定流量の液体Ｌが開口１を通過して、蓋体４に備えられた貫通孔５から外部に吐出する。
【００１５】
基体３および蓋体４は、いずれも酸化アルミニウム、窒化アルミニウムまたは炭化珪素を主成分とするセラミックスからなる。
【００１６】
本開示における主成分とは、セラミックスを構成する成分の合計１００質量％のうち、９０質量％以上の成分をいう。基体３および蓋体４が酸化アルミニウムを主成分とするセラミックスからなる場合、マグネシウム、珪素およびカルシウムの少なくともいずれかを酸化物として含んでいてもよい。
【００１７】
ここで、セラミックスを構成する成分は、ＣｕＫα線を用いたＸ線回折装置によって同定することができ、各成分の含有量は、例えばＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）発光分光分析装置または蛍光Ｘ線分析装置により求めることができる。
【００１８】
図１に示す流路部材３０は、第１対向面６の中心線平均粗さＲａが、第２対向面７の中心線平均粗さＲａよりも小さい。
【００１９】
このような構成であると、第１対向面６付近に沿って流れる液体Ｌの流路抵抗を第２対向面７付近に沿って流れる液体Ｌの流路抵抗よりも下げることができるので、貫通孔５に向う液体Ｌの吐出効率を高くすることができる。
【００２０】
ここで、第２対向面７の中心線平均粗さＲａは、第１対向面６の中心線平均粗さＲａよりも大きいと、第２対向面７から第１対向面６に向かう流れが生じて、開口１付近における液体Ｌの増粘を抑制することができるので、液体Ｌの品質を安定化させることができる。液体Ｌがインクである場合には、インクの増粘が抑制されるので、高画質の画像を得ることができる。
【００２１】
特に、第１対向面６の中心線平均粗さＲａと、第２対向面７の中心線平均粗さＲａとの差は０．４μｍ以上であるとよい。
【００２２】
また、第１対向面６の中心線平均粗さＲａは、第２対向面７を含む仮想面Ｖと交わる、流路２の側面８の中心線平均粗さＲａよりも小さくてもよい。
【００２３】
このような構成であると、第１対向面６付近に沿って流れる液体Ｌの流路抵抗を第１対向面６よりも中心線平均粗さＲａの大きい側面８付近に沿って流れる液体Ｌの流路抵抗よりも下げることができるので、流路２に向う液体Ｌの吐出効率をさらに高くすることができる。
【００２４】
特に、第１対向面６の中心線平均粗さＲａと、第２対向面７を含む仮想面Ｖと交わる、流路２の側面８の中心線平均粗さＲａとの差は０．４μｍ以上であるとよい。
【００２５】
また、少なくともいずれかの側面８の中心線平均粗さＲａは、第２対向面７の中心線平均粗さＲａよりも小さくてもよい。
【００２６】
このような構成であると、側面８付近に沿って流れる液体Ｌの流路抵抗を第２対向面７付近に沿って流れる液体Ｌの流路抵抗よりも下げることができるので、流路２に向う液体の吐出効率をさらに高くすることができる。
【００２７】
特に、側面８の中心線平均粗さＲａと、第２対向面７の中心線平均粗さＲａとの差は０．４μｍ以上であるとよい。
【００２８】
なお、中心線平均粗さＲａは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−１９８２に準拠し、表面粗さ測定機（(株)小坂研究所製、サーフコーダ（ＳＥ５００Ａまたはその後継機種））を用いて測定することができる。測定条件としては、触針の半径を５μｍ、触針の材質をダイヤモンド、測定長さを０．５ｍｍ（蓋体４および基体３の長手方向）、カットオフ値を０．８ｍｍ、走査速度を０．１ｍｍ／秒とすればよい。
【００２９】
上記表面粗さ測定機および測定条件で測定した場合、例えば、第１対向面６の中心線平均粗さＲａは、０．８μｍ以上１．５μｍ以下、第２対向面７の中心線平均粗さＲａは２．０μｍ以上６．３μｍ以下、側面８の中心線平均粗さＲａは１．２μｍ以上３．２μｍ以下である。
【００３０】
また、図１（ｃ）に示すように、蓋体４と基体３との接合領域に隣接して、第１対向面６と、流路２の側面８とを被覆する第１の被覆部９を備えていてもよい。
【００３１】
接合領域とは、接合層をいい、このような構成であると、接合領域における剛性が高くなるため、蓋体４および基体３の長手方向およびこの長手方向に垂直な方向に生じるたわ
みを低減することができる。
【００３２】
なお、第１の被覆部９は、第１対向面６の少なくとも一部および側面８の少なくとも一部を被覆していればよい。
【００３３】
また、基体３、蓋体４および第１の被覆部９がセラミックスからなり、第１の被覆部９の閉気孔の平均径が、基体３および蓋体４のそれぞれの閉気孔の平均径の０．８倍以上１．５倍以下であってもよい。
【００３４】
第１の被覆部９の閉気孔の平均径が、基体３および蓋体４の閉気孔の平均径の１．５倍以下であると、破壊源となる第１の被覆部９の閉気孔が十分小さいので、第１の被覆部９の閉気孔を起点とする流路部材３０の破壊を抑制することができる。
【００３５】
第１の被覆部９、基体３および蓋体４のそれぞれの閉気孔の平均径は、以下の手法により測定する。
【００３６】
まず、第１の被覆部９、基体３および蓋体４の断面を鏡面加工し、各部材の断面を、走査型電子顕微鏡を用いて倍率を５００倍として、例えば、横方向の長さを２５６μｍ、縦方向の長さを１９２μｍとする観察範囲を設定する。
【００３７】
この観察範囲を観察の対象として、画像解析ソフト「Ａ像くん(Ｖｅｒ２．５２)」（登録商標、旭化成エンジニアリング（株）製、以下、単に画像解析ソフトと記載する。）の粒子解析という手法を適用して、閉気孔の平均径を求めることができる。なお、閉気孔の平均径は円相当径の平均値である。
【００３８】
解析に際し、粒子解析の設定条件である粒子の明度を暗、２値化の方法を手動、しきい値を７０〜１００、小図形除去面積を０．３μｍ２および雑音除去フィルタを有とする。
【００３９】
なお、上述の測定に際し、しきい値は７０〜１００としたが、観察範囲である画像の明るさに応じて、しきい値を調整すればよく、粒子の明度を暗、２値化の方法を手動とし、小図形除去面積を０．３μｍ２および雑音除去フィルタを有とした上で、画像に現れるマーカーが閉気孔の形状と一致するように、しきい値を調整すればよい。
【００４０】
また、図１（ｄ）に示すように、第１の被覆部９は、流路２の側面８から離れるに従って薄くなっていてもよい。
【００４１】
このような構成であると、第１の被覆部９の表面に沿って流れる液体Ｌは層流になるので、流路抵抗を下げることができる。
【００４２】
図２は、本開示の流路部材の他の例を示す断面図である。
【００４３】
図２に示すように、第２対向面７と、流路２の側面８との当接部は、断面視において所定の曲率を有していてもよい。
【００４４】
このような構成であると、図１に示すように側面８が第２対向面７含む仮想面Ｖと略直角の状態で交わる場合よりも当接部からクラックが発生しにくくなる。
【００４５】
図３は、本開示の流路部材の他の例を示す断面図である。
【００４６】
図３に示すように、第２対向面７は、第１対向面６から離れる方向に凸状の曲面であっ
てもよい。
【００４７】
このような構成であると、クラックが発生しにくくなるとともに、基体３の剛性が高くなるため、基体３に生じるたわみを低減することができる。
【００４８】
図４は、本開示の流路部材の他の例を示す、（ａ）は断面図、（ｂ）、（ｃ）はＢ部を拡大した断面図である。
【００４９】
図４に示す流路部材４０は、液体吐出ヘッドであり、液体を吐出する吐出口１０と、吐出口１０に対応して設けられ、吐出口１０から液体を吐出するためのエネルギーを発生する素子（図示しない）と、素子を内部に備える圧力室１１と、を備えた素子基板１２と、素子基板１２を支持し、吐出口１０に向って開口する連通口１３を有する支持基板１４と、支持基板１４の裏側に配置され、液体を連通口１３に個別供給口１５を介して供給する供給路１６および液体の個別回収口（図示しない）を介して回収する回収路（図示しない）を備えた液体供給／回収部材１７と、液体を外部に吐出する複数の第１貫通孔１８および外部から液体を回収する複数の第２貫通孔１９がそれぞれ長手方向に配列された長尺状の蓋体２０と、第１貫通孔１８に連通して液体を第１貫通孔１８に供給する第１流路２１および第２貫通孔１９と連通して液体を第２貫通孔１９から回収する第２流路２２を備えてなる長尺状の基体２３とを備え、蓋体２０と基体２３とが上下方向に接合されてなる。
【００５０】
ここで、液体は、例えば、インクであり、エネルギーを発生する素子は、例えば、電気熱変換素子やピエゾ素子である。また、外部とは、図４に示す例では、液体供給／回収部材１７、支持基板１４および素子基板１２であるが、単に外部空間を言う場合もある。
【００５１】
蓋体２０および基体２３は、いずれも酸化アルミニウム、窒化アルミニウムまたは炭化珪素を主成分とするセラミックスからなる。
【００５２】
図４に示す流路部材４０の第１貫通孔１８が図１に示す貫通孔５に、第１流路２１が図１に示す流路２に相当し、流路部材４０においても、第１対向面２４の中心線平均粗さＲａが、第２対向面２５の中心線平均粗さＲａよりも小さい。
【００５３】
このような構成であると、図１に示す流路部材３０で得られた効果と同じ効果を得ることができる。
【００５４】
なお、この流路部材４０では、第１流路２１に面する、基体２３側の一方の側面２６と、蓋体２０側の側面２７とが一平面状に接続しており、側面２６と、側面２７とを被覆する第２の被覆部２８を備えていてもよい。
【００５５】
このような構成であると、側面２６と側面２７との接続部における剛性が高くなるため、蓋体２０および基体２３の長手方向およびこの長手方向に垂直な方向に生じるたわみを低減することができる。
【００５６】
第２の被覆部２８がセラミックスからなり、第２の被覆部２８の閉気孔の平均径が、基体２３および蓋体２０のそれぞれの閉気孔の平均径の０．８倍以上１．５倍以下であってもよい。
【００５７】
第２の被覆部２８の閉気孔の平均径が、基体２３および蓋体２０の閉気孔の平均径の１．５倍以下であると、破壊源となる第２の被覆部２８の閉気孔が十分小さいので、第２の被覆部２８の閉気孔を起点とする流路部材４０の破壊を抑制することができる。
【００５８】
第２の被覆部２８、基体２３および蓋体２０のそれぞれの閉気孔の平均径も、上述した手法と同様の手法によって求めればよい。
【００５９】
また、第２の被覆部２８は、基体２３側の側面２６から離れるに従って薄くなっていてもよい。
【００６０】
このような構成であると、第２の被覆部２８の表面に沿って流れる液体Ｌは層流になるので、流路抵抗を下げることができる。
【００６１】
次に、本開示の流路部材の製造方法について説明する。
【００６２】
まず、蓋体の前駆体である第１成形体および基体の前駆体である第２成形体の製造方法について説明する。
【００６３】
まず、主成分である酸化アルミニウム粉末と、水酸化マグネシウム、酸化珪素および炭酸カルシウムの各粉末と、必要に応じて酸化アルミニウム粉末を分散させる分散剤と、有機結合剤とをボールミル、ビーズミルまたは振動ミルにより湿式混合してスラリーとする。
【００６４】
ここで、水酸化マグネシウムを酸化物（ＭｇＯ）に換算して０．３質量％以上０．４質量％以下、酸化珪素（ＳｉＯ２）を０．０４質量％以上０．０５質量％以下、炭酸カルシウムを酸化物（ＣａＯ）に換算して０．０１質量％以上０．０２質量％以下、残部が酸化アルミニウムからなる粉末となるように秤量した混合粉末を水などの溶媒とともに回転ミルに投入して、純度が９９．５％以上９９．９９％以下の酸化アルミニウムからなるセラミックスボールで混合する。
【００６５】
湿式混合する時間は、例えば、４０〜５０時間である。また、有機結合剤は、例えば、パラフィンワックス、ワックスエマルジョン（ワックス＋乳化剤）、ＰＶＡ（ポリビニールアルコール）、ＰＥＧ（ポリエチレングリコール）、ＰＥＯ（ポリエチレンオキサイド）等である。ここで、有機結合剤の添加量は混合粉末１００質量部に対して合計２質量部以上１０質量部以下とする。
【００６６】
次に、上述した方法によって得たスラリーを噴霧造粒して顆粒を得た後、この顆粒を、例えば、圧力を８０ＭＰａ以上１２０ＭＰａとして、粉末プレス成形法や冷間静水圧成形法（ラバープレス法）等により、成形することで、長尺平板状の成形体と長尺柱状の成形体とを得る。
【００６７】
長尺平板状の成形体は、長手方向に沿って、後の焼成で第１対向面となる面を、コンパックスダイヤモンドまたは超硬合金からなる切削バイトをマシニングセンタに取り付け、長手方向に沿ってトラバース加工によって形成して、第１成形体とする。なお、この際に第１対向面となる面は平面度を可能な限り低いものとなるよう、０カットを２回以上６回以下行う。
【００６８】
なお、トラバース加工による切削バイトの幅方向への１パスごとの移動距離は、切削バイトの幅よりも狭くなるようにする。
【００６９】
第１対向面の中心線平均粗さＲａと、第２対向面の中心線平均粗さＲａとの差は０．４μｍ以上である流路部材を得るには、例えば、トラバース加工による切削バイトの幅方向への１パスごとの移動距離が切削バイトの幅の８０％以下になるようにする。
【００７０】
また、長尺柱状の成形体は、長手方向に沿って、後の焼成で流路となる溝を、超硬合金からなる切削バイトをマシニングセンタに取り付け、長手方向に沿って溝入れ加工によって形成して、第２成形体とする。
【００７１】
また、第１対向面の中心線平均粗さＲａが第２対向面を含む仮想面と交わる、前記流路の側面の中心線平均粗さＲａよりも小さい流路部材を得るには、第１対向面を得るためのマシニングセンタの主軸の回転数を、例えば、Ｓ８００以上Ｓ２０００以下とし、側面を得るためのマシニングセンタの主軸の回転数を、例えば、Ｓ１０００以上Ｓ２３００以下とすればよい。
【００７２】
第１対向面の中心線平均粗さＲａと、第２対向面を含む仮想面と交わる、前記流路の側面の中心線平均粗さＲａとの差は０．４μｍ以上である流路部材を得るには、第１対向面を得るためのマシニングセンタの主軸の回転数を、例えば、Ｓ８００以上Ｓ１５００以下とし、側面を得るためのマシニングセンタの主軸の回転数を、例えば、Ｓ１５００以上Ｓ２３００以下とすればよい。
【００７３】
少なくともいずれかの前記側面の中心線平均粗さＲａが第２対向面の中心線平均粗さＲａよりも小さい流路部材を得るには、切削バイトを数回に分けて深さ方向に移動して溝入れ加工すればよい。
【００７４】
側面の中心線平均粗さＲａと、前記第２対向面の中心線平均粗さＲａとの差は０．４μｍ以上である流路部材を得るには、切削バイトを、例えば、５回以上に分けて深さ方向に移動して溝入れ加工すればよい。
【００７５】
ここで、第２対向面と、流路の側面との当接部は、断面視において所定の曲率を有する流路部材を得るには、先端部の形状が所定の曲率を有する切削バイトをマシニングセンタに取り付け、長尺柱状の成形体の長手方向に沿って、溝入れ加工をすればよい。
【００７６】
また、第２対向面は、第１対向面から離れる方向に凸状の曲面である流路部材を得るには、先端部の形状が凸状の曲面である切削バイトをマシニングセンタに取り付け、長尺柱状の成形体の長手方向に沿って、溝入れ加工をすればよい。
【００７７】
次に、蓋体と基体とを接合するペーストの製造方法について説明する。
【００７８】
成形体の製造方法で説明した混合粉末に対して、水などの溶媒を、体積比で、混合粉末：溶媒＝５５〜６０：４０〜４５となるように加え、この溶媒と混合粉末との合計を１００質量部とする。この１００質量部に対し、８質量部以上２０質量部以下のセルロース系多糖類を加え、これらを撹拌装置内の収納容器に入れ、混合・撹拌して、ペーストを得る。
【００７９】
ここで、セルロース系多糖類は、例えば、メチルセルロース、エチルセルロース、エチルメチルセルロース、ヒドロキシメチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、ヒドロキシエチルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、カルボキシメチルエチルセルロースおよびカルボキシエチルセルロースの少なくともいずれかである。
【００８０】
そして、上記ペーストを第２成形体の接合面に塗布した後、第１成形体および第２成形体の各接合面同士を向き合った状態にして、第１成形体および第２成形体を重ねて、例えば圧力を０．０１ＭＰａ以上１ＭＰａ以下の範囲で加圧することにより、複合成形体を得ることができる。
【００８１】
ここで、第１の被覆部を備えた流路部材を得るには、第２成形体の接合面およびこの接合面に交差する第１成形体の側面に上記ペーストを塗布した後、上記方法と同じ方法を用いて加圧すればよい。
【００８２】
第１の被覆部あるいは第２の被覆部のそれぞれの閉気孔の平均径が、基体および蓋体のそれぞれの閉気孔の平均径の０．８倍以上１．５倍以下である流路部材を得るには、撹拌装置の自転回転数を１２００ｒｐｍ以上１６００ｒｐｍ以下とし、回転時間を５分以上１５分以下とするとよい。
【００８３】
また、第２の被覆部を備えた流路部材を得るには、第２成形体の側面およびこの側面に接続する第１成形体の側面に上記ペーストを塗布した後、上記方法と同じ方法を用いて加圧すればよい。
【００８４】
また、第１の被覆部および第２の被覆部の少なくともいずれかが、基体の側面から離れるに従って薄くなる流路部材を得るには、成形体の側面にペーストを塗布した後、成形体の側面から離れるに従って薄くなるように形状を整えればよい。
【００８５】
次に、常温で、湿度を４０％以上に維持しながら１２時間以上４８時間以下保持することによりペーストを乾燥させる。
【００８６】
しかる後、大気雰囲気中で、１５００℃以上１７００℃以下の温度で、５時間以上８時間以下保持して複合成形体を焼成することにより、流路部材を得ることができる。
【００８７】
このような製造方法で得られた流路部材は、第１対向面の中心線平均粗さＲａは、第２対向面の中心線平均粗さＲａよりも小さくできるので、第１対向面付近に沿って流れる液体の流路抵抗を第２対向面付近に沿って流れる液体の流路抵抗よりも下げることが可能となり、吐出効率を高くすることができる。
【符号の説明】
【００８８】
１  ：開口
２  ：流路
３  ：基体
４  ：蓋体
５  ：貫通孔
６  ：第１対向面
７  ：第２対向面
８  ：側面
９  ：第１の被覆部
１０：吐出口
１１：圧力室
１２：素子基板
１３：連通口
１４：支持基板
１５：個別供給口
１６：供給路
１７：液体供給／回収部材
１８：第１貫通孔
１９：第２貫通孔
２０：蓋体
２１：第１流路
２２：第２流路
２３：基体
２４：第１対向面
２５：第２対向面
２６、２７：側面
２８：第２の被覆部
３０，４０：流路部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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