(57)【要約】【課題】点火、燃焼、及び消火が適切にできないおそれを抑制することのできる水素ガスバーナー装置の提供。【解決手段】水素ガスバーナー装置（１００、２００）は、水素ガス及び酸素含有ガスを燃焼室（Ｃ１）に供給する管（３、４）に設けられ、水素ガス及び酸素含有ガスの供給量を調整するバルブ（６、７）と、バルブ（６、７）を駆動する駆動手段（６１、７１）と、燃焼室（Ｃ１）内において点火して、燃焼火炎（Ｆ１）を発生させる点火装置（１０）と、燃焼室（Ｃ１）内において燃焼火炎（Ｆ１）よりも下流側に設けられた酸素濃度センサ（１１）と、水素濃度センサ（１２）とを備える。水素濃度センサ（１２）が測定した水素濃度の測定値が第１の設定値以下に減じるまで、酸素含有ガスを燃焼室（Ｃ１）に供給した後、水素ガスに点火する点火処理（ＳＴ１１〜ＳＴ１７）を実施する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水素ガス及び酸素含有ガスを燃焼室に供給する管に設けられており、当該水素ガス及び当該酸素含有ガスの供給量を調整するバルブと、
当該バルブを駆動する駆動手段と、
当該燃焼室内において点火して、燃焼火炎を発生させる点火装置と、
当該燃焼室内において当該燃焼火炎よりも下流側に設けられた酸素濃度センサと、水素濃度センサとを備える水素ガスバーナー装置であって、
前記水素濃度センサが測定した水素濃度の測定値が第１の設定値以下に減じるまで、前記酸素含有ガスを前記燃焼室に供給した後、前記水素ガスに点火する点火処理を実施し、
前記点火処理を実施した後、前記酸素濃度センサと前記水素濃度センサとの測定値に基づき、酸素濃度と水素濃度との比が所定の範囲内にあるように、前記バルブを制御して、前記燃焼火炎を継続して発生させる燃焼処理を実施し、
前記燃焼処理では、前記水素濃度センサによる水素濃度の測定値が第２の設定値を超えた場合、前記酸素含有ガスを供給し続けつつ前記水素ガスの供給を停止する消火処理を実施する、
水素ガスバーナー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水素ガスバーナー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、排ガスに含まれる酸素、ＮＯｘ、一酸化炭素濃度をそれぞれガス濃度センサを用いて測定し、それぞれの測定値に基づいて、燃料ガスと空気との比を調整するガスバーナー装置が開示されている。このガスバーナー装置は、酸素濃度の測定値が規定値を下回った場合、異常燃焼が発生したと判定し、この判定結果をユーザに報知する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２１１７６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、燃焼ガスとして水素ガスを用いる場合が有る。このような場合、酸素濃度の測定値だけに基づいて、燃焼状態を判定しても、点火、燃焼、及び消火が適切にできないおそれがある。
【０００５】
本発明は、点火、燃焼、及び消火が適切にできないおそれを抑制するものとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る水素ガスバーナー装置は、
水素ガス及び酸素含有ガスを燃焼室に供給する管に設けられており、当該水素ガス及び当該酸素含有ガスの供給量を調整するバルブと、
当該バルブを駆動する駆動手段と、
当該燃焼室内において点火して、燃焼火炎を発生させる点火装置と、
当該燃焼室内において当該燃焼火炎よりも下流側に設けられた酸素濃度センサと、水素濃度センサとを備える水素ガスバーナー装置であって、
前記水素濃度センサが測定した水素濃度の測定値が第１の設定値以下に減じるまで、前記酸素含有ガスを前記燃焼室に供給した後、前記水素ガスに点火する点火処理を実施し、
前記点火処理を実施した後、前記酸素濃度センサと前記水素濃度センサとの測定値に基づき、酸素濃度と水素濃度との比が所定の範囲内にあるように、前記バルブを制御して、前記燃焼火炎を継続して発生させる燃焼処理を実施し、
前記燃焼処理では、前記水素濃度センサによる水素濃度の測定値が第２の設定値を超えた場合、前記酸素含有ガスを供給し続けつつ前記水素ガスの供給を停止する消火処理を実施する。
このような構成によれば、点火処理では、水素濃度が第１の設定値以下である。そのため、燃焼室内に滞留した水素ガスが急に燃焼することを抑制して、点火することができる。また、燃焼処理では、バルブを制御し、酸素濃度と水素濃度との比が所定の範囲内に維持される。そのため、酸素濃度と水素濃度との比が所定の範囲内に維持されたまま、燃焼を継続して実施することができる。さらに、燃焼処理では、水素濃度の測定値が第２の設定値を超えると、消火処理が開始される。すなわち、燃焼室内に残留した水素ガスがユーザの意図しないまま異常に燃焼することを抑制しながら、消火することができる。従って、点火、燃焼、及び消火が適切にできないおそれを抑制することができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は、点火、燃焼、及び消火が適切にできないおそれを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の形態１に係る水素ガスバーナー装置の構成を示す概略図である。
【図２】実施の形態１に係る水素ガスバーナー装置を用いた点火処理方法のフローチャートである。
【図３】実施の形態１に係る水素ガスバーナー装置を用いた消火処理方法のフローチャートである。
【図４】実施の形態１に係る水素ガスバーナー装置を用いた燃焼処理方法のフローチャートである。
【図５】実施の形態１に係る水素ガスバーナー装置の一変形例の構成を示す概略図である。
【図６】実施の形態１に係る水素ガスバーナー装置の一変形例を用いた消火処理方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を適用した具体的な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。ただし、本発明が以下の実施形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。
【００１０】
（実施の形態１）
図１〜図４を参照して実施の形態１に係る水素ガスバーナー装置について説明する。
【００１１】
図１に示すように、水素ガスバーナー装置１００は、バーナー本体１と、ラジアントチューブ２と、酸素含有ガス供給管３と、水素ガス供給管４と、不活性ガス供給管５と、火炎監視装置９と、点火装置１０と、酸素濃度測定器１１と、水素濃度測定器１２と、制御装置１３とを備える。
【００１２】
バーナー本体１は、ラジアントチューブ２を保持する。バーナー本体１とラジアントチューブ２とが囲む空間は、燃焼火炎Ｆ１が生じる燃焼室Ｃ１である。バーナー本体１は、酸素含有ガス供給管３及び水素ガス供給管４に接続されて、燃焼室Ｃ１は、バーナー本体１を介して、酸素含有ガスと水素ガスとを供給される。図１に示す一例では、酸素含有ガスとして空気を用いたが、空気に限定されず、酸素を含むガスを用いればよい。また、酸素含有ガスは、水素を実質的に含まないと好ましい。酸素含有ガスは、公知の方法を用いて水素を除去する工程を含む製造方法を用いて生成してもよい。
【００１３】
ラジアントチューブ２は、内側から熱を与えられて、外側へ輻射熱を発する材料からなる筒状部を含む。ラジアントチューブ２は、バーナー本体１側の一端部２ａと、他端部２ｂとを含む。一端部２ａ及び他端部２ｂは、いずれも開口している。図１に示すラジアントチューブ２の一例は、軸Ｙ１に沿って略直線状に延びる円筒状であるが、これに限定されず、例えば、Ｕ字状やＭ字状に曲線上に曲がって延びる円筒状であってもよい。
【００１４】
酸素含有ガス供給管３は、酸素含有ガスの供給源、例えば、タンク、エアブロワ等（図示略）と、バーナー本体１とを、酸素含有ガスが流通可能に接続する。酸素含有ガス供給管３は、酸素含有ガスを酸素含有ガスの供給源からバーナー本体１へ供給するように導く。酸素含有ガス供給管３の中途には、酸素含有ガスバルブ６が設けられている。酸素含有ガスバルブ６は、バルブ駆動部６１に駆動されることによって、開閉して、酸素含有ガスのへの供給量を調整することができる。バルブ駆動部６１は、制御装置１３から駆動信号に基づいて駆動力を酸素含有ガスバルブ６へ伝える技術的な手段であればよい。バルブ駆動部６１は、例えば、モータと、モータの駆動力を伝えるギヤ群とを備える。
【００１５】
水素ガス供給管４は、水素ガスの供給源、例えば、タンク等（図示略）と、バーナー本体１とを、水素ガスが流通可能に接続する。水素ガス供給管４は、水素ガスを水素ガスの供給源からバーナー本体１へ供給するように導く。水素ガス供給管４の中途には、水素ガスバルブ７が設けられている。水素ガスバルブ７は、バルブ駆動部７１に駆動されることによって、開閉して、水素ガスのへの供給量を調整することができる。バルブ駆動部７１は、制御装置１３から駆動信号に基づいて駆動力を水素ガスバルブ７へ伝える技術的な手段であればよい。バルブ駆動部７１は、例えば、モータと、モータの駆動力を伝えるギヤ群とを備える。
【００１６】
不活性ガス供給管５は、不活性ガスの供給源、例えば、窒素ガス発生装置や、不活性ガスを貯蔵するタンク等（図示略）と、水素ガス供給管４とを、不活性ガスが流通可能に接続する。具体的には、不活性ガス供給管５は、水素ガス供給管４における水素ガスバルブ７から下流側に接続されている。不活性ガスは、例えば、窒素、アルゴンなどが挙げられる。不活性ガス供給管５は、不活性ガスを不活性ガスの供給源から水素ガス供給管４を介してバーナー本体１へ供給するように導く。不活性ガス供給管５の中途には、不活性ガスバルブ８が設けられている。不活性ガスバルブ８は、バルブ駆動部８１に駆動されることによって、開閉して、不活性ガスのへの供給量を調整することができる。バルブ駆動部８１は、制御装置１３から駆動信号に基づいて駆動力を不活性ガスバルブ８へ伝える技術的な手段であればよい。バルブ駆動部８１は、例えば、モータと、モータの駆動力を伝えるギヤ群とを備える。
【００１７】
火炎監視装置９は、燃焼室Ｃ１に設けられており、制御装置１３に電気的に接続されている。火炎監視装置９は、燃焼室Ｃ１における火炎の発生の有無、温度等を時々刻々と検知し、検知した結果を示す信号を時々刻々と制御装置１３に送る。火炎監視装置９は、水素による燃焼炎を検知することができる炎センサを備えるとよい。このような炎センサとして、例えば、紫外線や熱電対を用いたセンサが挙げられる。
【００１８】
点火装置１０は、燃焼室Ｃ１に設けられており、制御装置１３に電気的に接続されている。点火装置１０は、燃焼室Ｃ１における水素ガスを点火する。点火装置１０として、例えば、スパークプラグを利用することができる。点火装置１０が点火すると、燃焼火炎Ｆ１が燃焼室Ｃ１において発生し、バーナー本体１からラジアントチューブ２の他端部２ｂ側へ延びる。
【００１９】
酸素濃度測定器１１は、周辺雰囲気の酸素濃度を時々刻々と測定する酸素濃度センサを備える。酸素濃度測定器１１は、ラジアントチューブ２の内側において、燃焼火炎Ｆ１の先端よりも下流側に設けられている。具体的には、酸素濃度測定器１１は、ラジアントチューブ２の他端部２ｂ近傍に設けられている。
【００２０】
水素濃度測定器１２は、周辺雰囲気の水素濃度を時々刻々と測定する水素濃度センサを備える。水素濃度測定器１２は、酸素濃度測定器１１と同様に、ラジアントチューブ２の内側において、燃焼火炎Ｆ１の先端よりも下流側に設けられている。具体的には、水素濃度測定器１２は、ラジアントチューブ２の他端部２ｂ近傍に設けられている。
【００２１】
制御装置１３は、バルブ駆動部６１、７１、８１と、火炎監視装置９と、点火装置１０と、酸素濃度測定器１１と、水素濃度測定器１２とに、電気的に接続されており、それぞれ電気的な信号を授受することができる。また、制御装置１３は、バルブ駆動部６１と、バルブ駆動部７１と、バルブ駆動部８１とにそれぞれ駆動信号を送り、酸素含有ガスバルブ６と、水素ガスバルブ７と、不活性ガスバルブ８とをそれぞれ駆動させる。制御装置１３は、点火装置１０に点火指令信号を送り、所定の時点に点火させる、又は、所定の時間点火させる。制御装置１３は、火炎監視装置９と、酸素濃度測定器１１と、水素濃度測定器１２とのそれぞれから、燃焼室Ｃ１における燃焼火炎Ｆ１の有無、温度等を示す信号、酸素濃度の測定値を示す信号、水素濃度の測定値を示す信号をそれぞれ時々刻々と受ける。また、制御装置１３は、燃焼室Ｃ１における燃焼火炎Ｆ１の有無、温度等に基づいて、燃焼火炎Ｆ１の燃焼状態が正常、異常、又は消火済みであるかを判定するプログラムを備える。制御装置１３は、ハードウェア構成として、例えば、シーケンス制御装置、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を有する演算回路と、プログラムメモリやデータメモリその他のＲＡＭ（Random Access Memory）やＲＯＭ（Read Only Memory）等を有する記憶装置等を備える。
【００２２】
（使用方法）
次に、図２〜図４を参照して水素ガスバーナー装置１００の使用方法について説明する。この使用方法は、点火処理、燃焼処理、及び消火処理を備える。
【００２３】
（点火処理）
図２を参照して、点火処理について説明する。
【００２４】
まず、酸素含有ガスと不活性ガスとを用いてプレパージする（プレパージステップＳＴ１１）。具体的には、酸素含有ガスバルブ６を開いて、酸素含有ガスを供給し、燃焼室Ｃ１内に残留した水素ガス等をパージする。また、水素ガスバルブ７を閉めたまま不活性ガスバルブ８を開いて、不活性ガスを供給して、水素ガス供給管４、バーナー本体１及び燃焼室Ｃ１内に残留した水素ガス等をパージする。なお、本ステップＳＴ１１において、この酸素含有ガスの供給と、この不活性ガスの供給とは、同時に開始してもよいし、一方が、先に開始してもよい。
【００２５】
続いて、水素濃度を測定し（水素濃度測定ステップＳＴ１２）、測定した水素濃度の測定値が第１の設定値以下か否かを判定する（水素濃度判定ステップＳＴ１３）。第１の設定値は、点火してもユーザの意図しない、水素ガスによる急激な燃焼が生じないような大きさを有する水素濃度の値である。
【００２６】
続いて、測定した水素濃度の測定値が第１の設定値以下である場合（水素濃度判定ステップＳＴ１３：ＹＥＳ）、点火装置１０に点火させる（点火装置ＯＮステップＳＴ１４）。測定した水素濃度の測定値が、第１の設定値以下であるため、点火しても、ユーザの意図しない、水素ガスによる急激な燃焼が生じ難い。なお、測定した水素濃度の測定値が第１の設定値を超過した場合（水素濃度判定ステップＳＴ１３：ＮＯ）、プレパージステップＳＴ１１に戻る。
【００２７】
続いて、点火装置１０の点火動作を継続したまま、設定空気比になる所定の流量で酸素含有ガスと水素ガスとを流入させる（燃料ガス流入ステップＳＴ１５）。具体的には、酸素含有ガスバルブ６を開いたまま、酸素含有ガスを燃焼室Ｃ１に供給しつつ、不活性ガスバルブ８を閉めつつ水素ガスバルブ７を開いて、水素ガスを燃焼室Ｃ１に供給する。さらに、酸素含有ガスバルブ６と水素ガスバルブ７との開度は、酸素含有ガスと水素ガスとの流量が設定空気比になるように、調整する。なお、設定空気比は、特に所定の範囲に限定されないが、例えば、１.０以上１.５以下の範囲を採り得る。また、本ステップにおいて、この酸素含有ガスの供給と、この水素ガスの供給とは、同時に開始してもよいし、一方が、先に開始してもよい。点火すると、水素ガスと、酸素含有ガスに含まれる酸素とが反応し、燃焼火炎Ｆ１が発生する。ユーザが意図した燃焼火炎Ｆ１を発生させる。
【００２８】
続いて、燃焼火炎Ｆ１の燃焼状態が正常であるか否かを確認する（火炎確認ステップＳＴ１６）。
【００２９】
続いて、燃焼火炎Ｆ１の燃焼状態が正常であることを確認した場合（火炎確認ステップＳＴ１６：ＹＥＳ）、引き続き、燃焼を継続し（燃焼継続ステップＳＴ１７）、後述する燃焼処理（図４のＡ２参照）に進む。すなわち、点火処理を実施することができる。なお、燃焼火炎Ｆ１の燃焼状態が正常でないことを確認した場合（火炎確認ステップＳＴ１６：ＮＯ）、後述する消火処理（図３のＡ１参照）に進む。
【００３０】
以上より、水素濃度が第１の設定値以下である場合に、点火する。そのため、燃焼室Ｃ１内に滞留した水素ガスが急に燃焼することを抑制される。すなわち、適切に点火を行うことができる。
【００３１】
（消火処理）
次に、図３を参照して、消火処理について説明する。なお、消火処理は、点火処理（図２参照）において燃焼火炎Ｆ１の燃焼状態が正常でないことを確認した場合（火炎確認ステップＳＴ１６：ＮＯ）、後述する燃焼処理（図４参照）において、水素濃度が第２の設定値以下でない場合（水素濃度判定ステップＳＴ３４：ＮＯ）、及び、酸素含有ガス流量が調整範囲内でない場合（酸素含有ガス流量判定ステップＳＴ３５：ＮＯ）に実施される。
【００３２】
まず、酸素含有ガスを供給し続けたまま、水素ガスとの供給を停止しつつ不活性ガスを供給して、消火する（消火開始ステップＳＴ２１）。具体的には、酸素含有ガスバルブ６を開いたまま、酸素含有ガスの燃焼室Ｃ１への供給を継続する。また、不活性ガスバルブ８を開く一方で水素ガスバルブ７を閉めて、水素ガスの燃焼室Ｃ１への供給を停止しつつ、不活性ガスを、水素ガス供給管４を通過させて燃焼室Ｃ１へ供給する。水素ガスの供給を停止するため、燃焼に必要な水素ガスが燃焼室Ｃ１から欠乏して、燃焼火炎Ｆ１を継続して発生し難くなる。なお、本ステップにおいて、この不活性ガスの供給と、この水素ガスの供給の停止とは、同時に開始してもよいし、一方が、先に開始してもよい。
【００３３】
続いて、燃焼火炎Ｆ１が正常に消火されているか否かを判定する（消火判定ステップＳＴ２２）。
【００３４】
続いて、燃焼火炎Ｆ１が正常に消火されていると判定した場合（消火判定ステップＳＴ２２：ＹＥＳ）、酸素含有ガスをラジアントチューブ２内）に供給する（アフターパージステップＳＴ２３）。さらに、不活性ガスの供給を停止する（不活性ガス供給停止ステップＳＴ２４）。なお、燃焼火炎Ｆ１が正常に消火されていないことを確認した場合（消火判定ステップＳＴ２２：ＮＯ）、消火開始ステップＳＴ２１に戻る。なお、アフターパージステップＳＴ２３と、不活性ガス供給停止ステップＳＴ２４とは、この順に開始したが、同時に開始してもよいし、一方が、先に開始してもよい。
【００３５】
以上より、燃焼火炎Ｆ１が正常に消火されていないと判定した後、消火開始ステップＳＴ２１に戻って、消火開始ステップＳＴ２１を実施する。そのため、燃焼火炎Ｆ１が正常に消火されていないと判定するまで、不活性ガスを、水素ガス供給管４を通過させてラジアントチューブ２等に供給し続ける。そのため、消火し損なった燃焼火炎Ｆ１が水素ガスを急激に燃焼させることを抑制する。従って、適切に燃焼火炎Ｆ１を消火することができる。
【００３６】
（燃焼処理）
図４を参照して、燃焼処理について説明する。なお、燃焼処理は、燃焼を継続した場合（燃焼継続ステップＳＴ１７）に実施される。
【００３７】
まず、水素を検知しないか否かどうかについて判定する（水素検知ステップＳＴ３１）。具体的には、水素濃度の測定値が、規定値以下であるか否かどうかを判定する。この規定値以下である場合、水素を検知しないと判定し、規定値を超過した場合、水素を検知したと判定する。この規定値は、水素が実質的に存在すると認定できる大きさであればよく、上記した第１の設定値、及び第２の設定値（後述）よりも低い値である。
【００３８】
水素を検知しないと判定した場合（水素検知ステップＳＴ３１：ＮＯ）、さらに、水素濃度が第２の設定値以下であるか否かを判定する（水素濃度判定ステップＳＴ３４）。水素濃度が第２の設定値以下と判定した場合（水素濃度判定ステップＳＴ３４：ＹＥＳ）、酸素含有ガス流量判定ステップＳＴ３５（後述）に進む。なお、水素濃度が第２の設定値を超過したと判定した場合（水素濃度判定ステップＳＴ３４：ＮＯ）、消火処理（図３のＡ１参照）に進む。
【００３９】
一方、水素を検知しないと判定した場合（水素検知ステップＳＴ３１：ＹＥＳ）、さらに、酸素濃度が第３の設定値の範囲内にあるか否かを判定する（酸素濃度判定ステップＳＴ３２）。
【００４０】
酸素濃度が第３の設定値の範囲内にあると判定した場合（酸素濃度判定ステップＳＴ３２：ＹＥＳ）、燃焼を継続する（燃焼継続ステップＳＴ３３）。燃焼継続ステップＳＴ３３では、ユーザの判断によって、適宜、消火処理に進んでもよい。
【００４１】
一方、酸素濃度が第３の設定値の範囲外にあると判定した場合（酸素濃度判定ステップＳＴ３２：ＮＯ）、酸素含有ガス流量が調整範囲内にあるか否かを判定する（酸素含有ガス流量判定ステップＳＴ３５）。この調整範囲は、酸素含有ガス流量を調整することによって、設定空気比に到達することができる範囲である。設定空気比を維持したまま燃焼する場合、ガスを効率良く燃焼し、省エネルギー化に寄与する。また、このような場合、ＮＯｘの発生量を低減し得る。
【００４２】
酸素含有ガス流量が調整範囲外にあると判定した場合（酸素含有ガス流量判定ステップＳＴ３５：ＮＯ）、消火処理（図３のＡ１参照）に進む。
【００４３】
一方、酸素含有ガス流量が調整範囲内にあると判定した場合（酸素含有ガス流量判定ステップＳＴ３５：ＹＥＳ）、酸素含有ガス流量を調整する（酸素含有ガス流量調整ステップＳＴ３６）。その後、水素検知ステップＳＴ３１に戻る。なお、燃焼処理では、水素検知ステップＳＴ３１と、酸素濃度判定ステップＳＴ３２とは、この順に開始したが、同時に開始してもよいし、逆の順に開始してもよい。
【００４４】
以上より、酸素濃度と水素濃度との測定値に基づいてバルブ６、７を制御することによって、酸素濃度と水素濃度との比が所定の範囲内に維持される。そのため、酸素濃度と水素濃度との比が所定の範囲内に維持されたまま、燃焼を継続して実施することができる。適切に燃焼処理を実施することができる。
【００４５】
また、水素濃度の測定値が第２の設定値を超えると、消火処理が開始される。すなわち、燃焼室内に残留した水素ガスがユーザの意図しないまま異常に燃焼することを抑制しながら、消火することができる。
【００４６】
また、水素ガスバーナー装置１００は、ラジアントチューブ２を備えており、ラジアントチューブ２は、被加熱物と、燃焼火炎Ｆ１と燃焼火炎Ｆ１による生成ガスとを隔てるため、直接接触させない。よって、水素ガスバーナー装置１００は、多くの炉の熱源として利用することができる。
【００４７】
（一変形例）
次に、図５を参照して、水素ガスバーナー装置１００（図１参照）の一変形例である水素ガスバーナー装置２００について説明する。
【００４８】
図５に示すように、水素ガスバーナー装置２００は、水分量測定器１４を含むところを除いて、水素ガスバーナー装置１００と同じ構成を備える。他の構成についての説明は省略し、水分量測定器１４について説明する。
【００４９】
水分量測定器１４は、燃焼室Ｃ１内の水蒸気量を計測すればよく、例えば、水分計や湿度計等である。水分量測定器１４は、ラジアントチューブ２の内側において、燃焼火炎Ｆ１の先端よりも下流側に設けられている。具体的には、水分量測定器１４は、ラジアントチューブ２の他端部２ｂ近傍に設けられている。水分量測定器１４は、制御装置１３と電気的に接続されており、計測した水分量の測定値を制御装置１３に送る。
【００５０】
（一変形例の消火処理）
次に、図６を参照して水素ガスバーナー装置２００の使用方法（図２〜図４参照）について説明する。この使用方法は、消火処理を除いて、水素ガスバーナー装置２００の使用方法と同じである。よって、他の処理についての説明は省略し、消火処理のみ説明する。
【００５１】
本消火処理は、水素ガスバーナー装置２００の使用方法の消火処理（図３参照）と同様に、消火開始ステップＳＴ２１と、消火判定ステップＳＴ２２とを実施する。
【００５２】
続いて、燃焼火炎Ｆ１が正常に消火されていることを確認した場合（消火判定ステップＳＴ２２：ＹＥＳ）、酸素含有ガスをラジアントチューブ２内に供給する（アフターパージステップＳＴ２２３）。なお、燃焼火炎Ｆ１が正常に消火されていないことを確認した場合（消火判定ステップＳＴ２２：ＮＯ）、消火開始ステップＳＴ２１に戻る。
【００５３】
続いて、アフターパージステップＳＴ２２３を実施した後、設定時間が経過した後、水素濃度を測定し（水素濃度測定ステップＳＴ２２４）、水素濃度の測定値が第４の設定値以下であるか否かを判定する（水素濃度判定ステップＳＴ２２５）。
【００５４】
続いて、水素濃度の測定値が、第４の設定値以下である場合（水素濃度判定ステップＳＴ２２５：ＹＥＳ）、燃焼室Ｃ１内の水分量を測定し（水分量測定ステップＳＴ２２６）、水分量が第５の設定値以下であるか否かを判定する（水分量判定ステップＳＴ２２７）。なお、水素濃度の測定値が、第４の設定値を超過した場合（水素濃度判定ステップＳＴ２２５：ＮＯ）、アフターパージステップＳＴ２２３に戻る。
【００５５】
続いて、水分量が第５の設定値以下である場合（水分量判定ステップＳＴ２２７：ＹＥＳ）、不活性ガスの供給を停止する（不活性ガス供給停止ステップＳＴ２２８）。なお、水分量が第５の設定値を超過した場合（水分量判定ステップＳＴ２２７：ＮＯ）、酸素含有ガスをラジアントチューブ２内に供給してパージして、ラジアントチューブ２内の水分を除去する（水分除去アフターパージステップＳＴ２２７１）。ラジアントチューブ２内の内周面に局所的に微小な水滴ができる場合が有り得る。このような場合、水滴を除去するため、酸素含有ガスをラジアントチューブ２内の内周面に吹き付けるように供給するとよい。その後、水分量測定ステップＳＴ２２６に戻る。
【００５６】
以上より、ラジアントチューブ２内の水分を十分に除去して、燃焼火炎Ｆ１を消火することができる。すなわち、より適切に消火処理を実施することができる。
【００５７】
なお、アフターパージステップＳＴ２２３〜ＳＴ２２７と、不活性ガス供給停止ステップＳＴ２２８とは、この順に開始したが、同時に開始してもよいし、一方が、先に開始してもよい。
【００５８】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１００、２００  水素ガスバーナー装置
１  バーナー本体                              ２  ラジアントチューブ
３  酸素含有ガス供給管                        ４  水素ガス供給管
６  酸素含有ガスバルブ                        ７  水素ガスバルブ
９  火炎監視装置                              １０  点火装置
１１  酸素濃度測定器                          １２  水素濃度測定器
１３  制御装置                                １４  水分量測定器
６１、７１、８１  バルブ駆動部
Ｃ１  燃焼室                                  Ｆ１  燃焼火炎
ＳＴ１１  プレパージステップ                  ＳＴ１２  水素濃度測定ステップ
ＳＴ１３  水素濃度判定ステップ                ＳＴ１４  点火装置ＯＮステップ
ＳＴ１５  燃料ガス流入ステップ                ＳＴ１６  火炎確認ステップ
ＳＴ１７  燃焼継続ステップ
ＳＴ２１  消火開始ステップ                    ＳＴ２２  消火判定ステップ
ＳＴ２３、ＳＴ２２３  アフターパージステップ  ＳＴ２２４  水素濃度測定ステップ
ＳＴ２２５  水素濃度判定ステップ              ＳＴ２２６  水分量測定ステップ
ＳＴ２２７  水分量判定ステップ                
ＳＴ２４、ＳＴ２２８  不活性ガス供給停止ステップ
ＳＴ２２７１  水分除去アフターパージステップ
ＳＴ３１  水素検知ステップ                    ＳＴ３２  酸素濃度判定ステップ
ＳＴ３３  燃焼継続ステップ                    ＳＴ３４  水素濃度確認ステップ
ＳＴ３５  酸素含有ガス流量判定ステップ        
ＳＴ３６  酸素含有ガス流量調整ステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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