(57)【要約】【課題】電子工業用薬液などの微粒子の混入を抑制する必要のある液体用容器を保管、運搬する工程で容器内を清浄に保った状態に維持する。【解決手段】容器を保管及び／又は運搬するに当たり、保管及び／又は運搬に先立ち、容器内に静電気を抑制できる液体を充填しておく容器の保管及び／又は運搬方法。充填する液体としては、アルコール、及び／又は除電効果を有するイオン性の溶液、例えば、炭酸水、アンモニア水、塩酸溶液、硫酸溶液、又は硝酸溶液が好ましい。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器を保管及び／又は運搬する方法であって、保管及び／又は運搬に先立ち、該容器内に静電気を抑制できる液体を充填することを特徴とする容器の保管及び／又は運搬方法。
【請求項２】
前記液体が、アルコール、及び／又は除電効果を有するイオン性の溶液である請求項１に記載の容器の保管及び／又は運搬方法。
【請求項３】
前記除電効果を有するイオン性の溶液が、炭酸水、アンモニア水、塩酸溶液、硫酸溶液、及び硝酸溶液から選ばれる１種又は２種以上である請求項２に記載の容器の保管及び／又は運搬方法。
【請求項４】
前記容器がフッ素系樹脂製容器である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の容器の保管及び／又は運搬方法。
【請求項５】
前記容器が電子工業用薬液用容器である請求項１ないし４のいずれか１項に記載の容器の保管及び／又は運搬方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容器の保管及び／又は運搬方法に係り、特に、電子工業用薬液などの微粒子の混入を抑制する必要のある液体用容器を保管、運搬する工程で容器内を清浄に保った状態にしておく技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子工業用薬液を入れる容器を製造するメーカーでは、容器の使用目的に応じて容器の構成材料として純度の高い材料を用いたり、製造方法を工夫したりして容器の製造工程での汚染を防止し、更に、製造された容器は、最終工程で超純水、その他の薬液で洗浄し、容器内を高清浄化して製品として出荷している。この洗浄工程では、洗浄後乾燥が行われる。よって、容器は乾燥状態で保管、運搬されている。
【０００３】
従来、内容物への金属の溶出を防止するために、樹脂製容器が用いられており、例えば、ＰＦＡ（パーフルオロアルコキシアルカン）やＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製のフッ素系樹脂製容器が提供されている。また、このようなフッ素系樹脂製容器の洗浄方法として、特許文献１には、フッ素置換溶媒を含む洗浄剤を用いて洗浄を行う方法が提案されている。この方法はフッ素系樹脂成形品の表面に付着したパーティクルを洗浄除去するための洗浄方法であるが、この特許文献１の方法でも洗浄後は乾燥が行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−４０２７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、電子工業の分野では微細化が進み、薬液の不純物として金属のみならず、微粒子による汚染も以前にもまして重視されている。しかし、洗浄後乾燥を行う従来法では、容器を乾燥状態で保管ないしは運搬した後、これを使用する際には、容器内面に微粒子が付着しており、高清浄な状態で使用することができなかった。即ち、保管ないし運搬後の製品容器を使用するために取り出した時には既に容器内は微粒子汚染されており、このような容器に電子工業用薬液を投入すると、投入した薬液は微粒子汚染を受け、近年の厳しい微粒子基準をクリアできないおそれがある。これは、洗浄により高清浄化しても、容器の保管、運搬中に発生する微粒子が容器内に付着すること、使用時に容器の蓋を開けたときに発生する微粒子が容器内に付着することなどによると考えられる。
【０００６】
本発明は、電子工業用薬液などの微粒子の混入を抑制する必要のある液体用容器を保管、運搬する工程で容器内を清浄に保った状態に維持することができる容器の保管及び／又は運搬方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上記課題を解決すべく検討を重ね、洗浄後の清浄な容器内に、保管及び／又は運搬に先立ち、静電気を抑制できる液体を充填しておくことで、上記課題を解決することができることを見出した。
即ち、本発明は以下を要旨とする。
【０００８】
［１］  容器を保管及び／又は運搬する方法であって、保管及び／又は運搬に先立ち、該容器内に静電気を抑制できる液体を充填することを特徴とする容器の保管及び／又は運搬方法。
【０００９】
［２］  前記液体が、アルコール、及び／又は除電効果を有するイオン性の溶液である［１］に記載の容器の保管及び／又は運搬方法。
【００１０】
［３］  前記除電効果を有するイオン性の溶液が、炭酸水、アンモニア水、塩酸溶液、硫酸溶液、及び硝酸溶液から選ばれる１種又は２種以上である［２］に記載の容器の保管及び／又は運搬方法。
【００１１】
［４］  前記容器がフッ素系樹脂製容器である［１］ないし［３］のいずれかに記載の容器の保管及び／又は運搬方法。
【００１２】
［５］  前記容器が電子工業用薬液用容器である［１］ないし［４］のいずれかに記載の容器の保管及び／又は運搬方法。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、容器を保管、運搬する際などに発生する微粒子が容器内に付着することによる微粒子汚染を抑制して、該容器を使用する際の容器内の微粒子数を低減し、高清浄な状態に維持したまま使用に供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明するが、本発明は何ら以下の説明に限定されるものではない。
【００１５】
本発明の容器の保管及び／又は運搬方法は、容器の保管及び／又は運搬に先立ち、容器内に静電気を抑制できる液体（以下、「充填液体」と称す場合がある。）を充填しておくことを特徴とする。
【００１６】
＜メカニズム＞
本発明者らは、前述の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、
（１）  ＰＦＡ等のフッ素系樹脂製の容器などは特に静電気を帯びやすく、容器内を薬液等で高清浄に洗浄しても容器を乾燥する際の空気やリンス水として用いられる超純水を通すと摩擦により容器内部が帯電すること、
（２）  上記（１）より、容器内部を帯電した状態にして保管や運搬を行うと、振動などで容器内部で発生した微粒子が容器内面に静電気で強く付着し、その後超純水等を投入して洗浄しても容易に除去することができないこと、
（３）  蓋の開閉で発生する微粒子も、帯電している容器内部に引き寄せられて吸着することで微粒子量が多くなること
が、保管、運搬後、使用に供される、容器の微粒子汚染の要因であることを見出した。
【００１７】
そこで、本発明では、洗浄後の、蓋を含む容器内部を乾燥させないこと、そして、保管、運搬中に容器内部が帯電しないようにするために、容器内に除電効果のある液体を充填した状態で保管、運搬する。このようにすることで、保管、運搬中に発生する微粒子は容器内表面には付着することがなく、また、次工程で蓋の開閉を行っても発生した微粒子は容器内部に吸い寄せられて吸着することもなくなる。
このようなことから、本発明によれば、保管、運搬後、使用に供される容器の微粒子汚染を抑制し、高清浄な状態を維持したまま使用することができる。
【００１８】
＜容器＞
本発明で対象とする容器の種類は特に限定されないが、特に静電気を帯びやすいパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）やポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素系樹脂製の容器に対して、本発明の効果が有効に発揮される。
【００１９】
これらの容器は、常法に従って洗浄、乾燥を行って高清浄なものとした後、充填液体を充填する。
この洗浄及び乾燥は、当該容器の製造工程における仕上げ洗浄及び乾燥をそのまま適用することができる。ただし、乾燥は必ずしも必要とされず、充填液体と同種の洗浄液で洗浄した場合は、乾燥を行わずに、充填液体を充填してもよい。
【００２０】
＜充填液体＞
充填液体としては、除電効果のあるイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）等のアルコールや、イオン性の溶液、界面活性剤溶液等が挙げられる。イオン性の溶液としては、電子工業用として一般に用いられる清浄なアンモニア水や硝酸、硫酸、塩酸、炭酸等の水溶液が好ましい。これらの充填液体は１種のみを用いてもよく、２種以上を混合して用いてもよい。
【００２１】
充填液体の薬剤濃度は、本発明の効果が得られる程度であればよく、特に制限はないが、ＩＰＡであれば、１０重量％以上、特に５０重量％以上であることが微粒子汚染抑制効果の面から好ましい。ＩＰＡ濃度の上限には特に制限はなく、９９．８％程度の、一般的に純ＩＰＡとして市販されるものであってもよい。
【００２２】
炭酸水の場合、炭酸濃度は１ｍｇ／Ｌ以上、特に５ｍｇ／Ｌ以上であることが微粒子汚染抑制効果の面から好ましい。炭酸濃度の上限には特に制限はないが、通常、炭酸濃度は１００ｍｇ／Ｌ以下である。
【００２３】
アンモニア水の場合、アンモニア濃度は０．１ｍｇ／Ｌ以上、特に１ｍｇ／Ｌ以上であることが微粒子汚染抑制効果の面から好ましい。アンモニア水の濃度の上限には特に制限はないが、通常、アンモニア水の濃度は１０００ｍｇ／Ｌ以下である。
【００２４】
硝酸溶液の場合、硝酸濃度は０．１ｍｇ／Ｌ以上、特に１ｍｇ／Ｌ以上であることが微粒子汚染抑制効果の面から好ましい。硝酸濃度の上限には特に制限はないが、通常、取り扱い性の面から硝酸濃度は１０００ｍｇ／Ｌ以下である。
【００２５】
硫酸溶液の場合、硫酸濃度は１ｍｇ／Ｌ以上、特に１０ｍｇ／Ｌ以上であることが微粒子汚染抑制効果の面から好ましい。硫酸濃度の上限には特に制限はないが、通常、取り扱い性の面から硫酸濃度は１０００ｍｇ／Ｌ以下である。
【００２６】
塩酸溶液の場合、塩酸濃度は０．１ｍｇ／Ｌ以上、特に１０ｍｇ／Ｌ以上であることが微粒子汚染抑制効果の面から好ましい。塩酸濃度の上限には特に制限はないが、通常、取り扱い性の面から塩酸濃度は１０００ｍｇ／Ｌ以下である。
【００２７】
なお、用いる充填液体は、電子工業製品製造に用いられる、微粒子を高度に除去した高清浄品であることが好ましい。
上記の充填液体は、容器内を満たすように充填され、通常は、当該容器の蓋で充填液体を封入した状態で保管、運搬に供される。
【００２８】
本発明によれば、充填液体を充填した状態で容器を保管、運搬するため、容器の製造工程や洗浄工程で帯電した静電気も除電されると共に、保管、運搬中の静電気の帯電も防止されるため、保管、運搬中の微粒子汚染、保管、運搬後に容器を使用に供する際の微粒子汚染も防止される。
保管、運搬した後の容器に電子工業用薬液を投入して使用する際は、内部に充填された充填液体を排出し、その後は超純水等でリンスし、乾燥した後各種の電子工業用薬液を投入すればよいが、この容器に収容する電子工業用薬液が充填液体と同種の薬液である場合は、このようなリンスや乾燥を行うことなく、単に充填液体を排出するのみで、そのまま電子工業用薬液を投入して使用できる場合もある。
【００２９】
本発明において、保管、運搬前の容器の洗浄或いは洗浄及び乾燥と、容器への充填液体の充填、保管、運搬後の容器使用時の充填液体の排出、電子工業用薬液の投入は、いずれも高清浄のクリーンルーム内で行うことが好ましい。
【実施例】
【００３０】
以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。
【００３１】
＜比較例１＞
５０ｍＬ容の容器と蓋を用いて微粒子汚染を評価する試験を行った。評価に用いた容器は、ＰＦＡ製、ＰＴＦＥ製、又はＰＥ（ポリエチレン）製の容器内を１重量％硝酸で洗浄した後、清浄なガスでブロー乾燥させたものである。
乾燥後、容器に蓋をしてクリーンルーム内に２４時間静置した。静置後、容器内の微粒子数を測定するために、容器内を超純水で満たし、予め表面に付着している微粒子数を欠陥測定装置（トプコン社製ＭＷ−１５００、測定粒子径＞０．１μｍ）で計測しておいた８インチのシリコンウエハ上に容器内の超純水を塗布した。塗布後シリコンウエハを１５００ｒｐｍで回転させることで振り切り乾燥を行った後、再び欠陥検査装置でシリコンウエハ上に付着した微粒子数を測定した。容器内の超純水を塗布する前と後のシリコンウエハ上の微粒子数の差で求められる微粒子数の増加量を容器内の微粒子数として求めた。
結果を表１に示す。
【００３２】
＜比較例２＞
比較例１と同様に５０ｍＬ容の容器を洗浄、乾燥させた後、容器内に超純水を充填してクリーンルーム内で２４時間静置した。静置後の容器内の微粒子数を比較例１と同様の方法で測定した。結果を表１に示す。
【００３３】
【表１】
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【００３４】
表１より、容器内を超純水で満たした場合の方が容器内を空にしておくよりも、保管中の微粒子汚染を防止することができるが、超純水を充填したのみでは、微粒子汚染の抑制効果は十分ではないことが分かる。
【００３５】
＜実施例１＞
比較例１と同様に５０ｍＬ容の容器を洗浄、乾燥させた後、容器内に所定濃度のＩＰＡ水溶液を充填してクリーンルーム内で２４時間静置した。静置後の容器内の微粒子数を比較例１と同様の方法で測定した。結果を表２に示す。
【００３６】
【表２】
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【００３７】
＜実施例２〜６＞
ＩＰＡ水溶液の代りに、所定濃度の炭酸水（実施例２）、アンモニア水（実施例３）、硝酸水溶液（実施例４）、硫酸水溶液（実施例５）、塩酸水溶液（実施例６）を用いたこと以外は実施例１と同様に行って、静置後の容器内の微粒子数を測定し、結果を表３〜７に示した。
【００３８】
【表３】
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【００３９】
【表４】
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【００４０】
【表５】
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【００４１】
【表６】
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【００４２】
【表７】
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【００４３】
表２〜７より、洗浄後の容器内に除電効果を持つ液体を充填することで、保管ないし運搬中、その後の使用開始時の容器内の微粒子汚染を抑制して、高清浄な状態で使用に供することができることが分かる。