(57)【要約】      （修正有）【課題】シリコーン系粘着剤を使用せず、シロキサン等の低分子シリコーン成分による製造物の障害を発生させないワーク吸着装置を提供する。【解決手段】ワーク吸着冶具１は、耐熱性プラスチック板のベース部１１と、銅箔よりなる電極層１２、ポリイミドシートよりなる吸着層１３から構成され、電極層１２と吸着層１３は一体的に形成されている。吸着層１３は、その外周の全部または一部がベース部１１に、内周にゆとりを持った状態で固定されている。ワーク吸着装置から発生した３００Ｖ以上の電圧を装置側電極２２、装置側負極と端子部１５を通じて電極層１２に印加し、吸着層１３に静電気を、電極層１２とワークとの間にクーロン引力を発生させ、ワークを吸着させる。吸着力は、通電を終了した後も相当の時間継続し、ワークを保持し続けることが可能であるので、ワーク吸着冶具１は独立してリフロー工程などに投入することが可能である。【選択図】図１
2019047643.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、
前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、
前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の耐熱性絶縁材料板で形成され、
前記電極層は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の２枚の金属箔を有する薄膜で形成され、
前記吸着層は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、
前記電極層と前記吸着層は一体的に形成されており、
前記吸着層または前記電極層は、その外周部の一部または全部が前記ベース部に固定されている、
ことを特徴とする、ワーク吸着冶具。
【請求項２】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、
前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、
前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の耐熱性絶縁材料板で形成され、
前記電極層は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の２枚の金属箔を有する薄膜で形成され、
前記吸着層は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、
前記電極層は、その外周部の全部若しくは一部が前記ベース部または前記吸着層に固定され、
前記吸着層は、その外周部の全部若しくは一部が前記ベース部または前記電極層に固定されている、
ことを特徴とする、ワーク吸着冶具。
【請求項３】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、
前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、
前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の耐熱性絶縁材料板で形成され、
前記電極層は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の２枚の金属箔を有する薄膜で形成され、
前記吸着層は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、
前記吸着層は、その外周部の全部若しくは一部が前記ベース部に固定され、
前記電極層は、前記ベース部または前記吸着層のいずれにも固定されていない、
ことを特徴とする、ワーク吸着冶具。
【請求項４】
前記電極層は、耐熱性絶縁シート層と、その上に一体的に形成された前記金属箔の２層構造をなしており、
前記耐熱性絶縁シート層が前記ベース部に対向している、
ことを特徴とする、請求項２または３のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具。
【請求項５】
前記端子部は、前記電極層の一部である、
ことを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具。
【請求項６】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャック型のワーク吸着装置であって、
電池を電源として３００Ｖ以上の電圧を発生させる電圧発生回路と、
該電圧を出力するための装置側正極と装置側負極を有する電圧発生装置と、
前記電圧発生装置の前記装置側正極と前記装置側負極に電気的に接続可能な請求項１から４のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具と、
を備えることを特徴とする、ワーク吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に薄型プリント基板・フレキシブル基板上への電子部品の実装工程や、半導体製造工程において、プリント基板やシリコーンウエハーなどのワークを保持して、自動工程に搬送したり、次工程に運んだりするためのワーク吸着冶具とワーク吸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子回路実装工程や半導体製造工程において、薄型プリント基板・フレキシブル基板などのワークに電子部品を実装する場合、ワークが撓んだりずれたりせず、形状や位置を一定に保持するために、従来はガラスエポキシ樹脂製のベースにシリコーン系粘着剤を塗布した基板搬送治具にワークを貼りつけて、はんだ印刷工程、部品搭載工程、リフロー工程などの自動工程に搬送していた（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、シリコーン系粘着剤は、熱に強い、貼り剥がしが可能であり繰り返し使用できるといった利点がある反面、粘着剤に含まれるシロキサン等の低分子シリコーン成分が基板や部品に転写してはんだ印刷不良を引き起こしたり、ガス化して二酸化ケイ素に分解し、導通不良を引き起こしたりなど、障害の原因になることが問題となっている。
【０００４】
また、ワークがシリコーンウェハーのような脆いものの場合、容易に破損するため、半導体製造工程や太陽電池製造工程において取り扱うときは注意が必要であったが、取り外しに力を必要とする粘着剤による固定方法では、脱着時に割れてしまう危険性があるので、その意味でもこの方法を用いることには弊害が伴った。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−５９７９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明の目的は、上記事情に鑑み、シリコーン系粘着剤にワークを直接貼付しない方法で、さらに安全に保持することができる、ワーク吸着冶具とワーク吸着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の耐熱性絶縁材料板で形成され、前記電極層は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の２枚の金属箔を有する薄膜で形成され、前記吸着層は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、前記電極層と前記吸着層は一体的に形成されており、前記吸着層または前記電極層は、その外周部の一部または全部が前記ベース部に固定されている、ことを特徴とする。
また、請求項２に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の耐熱性絶縁材料板で形成され、前記電極層は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の２枚の金属箔を有する薄膜で形成され、前記吸着層は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、前記電極層は、その外周部の全部若しくは一部が前記ベース部または前記吸着層に固定され、前記吸着層は、その外周部の全部若しくは一部が前記ベース部または前記電極層に固定されている、ことを特徴とする。
また、請求項３に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の耐熱性絶縁材料板で形成され、前記電極層は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の２枚の金属箔を有する薄膜で形成され、前記吸着層は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、前記吸着層は、その外周部の全部若しくは一部が前記ベース部に固定され、前記電極層は、前記ベース部または前記吸着層のいずれにも固定されていない、ことを特徴とする。
また、請求項４に記載の発明は、請求項２または３のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具であって、前記電極層は、耐熱性絶縁シート層と、その上に一体的に形成された前記金属箔の２層構造をなしており、前記耐熱性絶縁シート層が前記ベース部に対向している、ことを特徴とする。
また、請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具であって、前記端子部は、前記電極層の一部である、
ことを特徴とする。
また、請求項６に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャック型のワーク吸着装置であって、電池を電源として３００Ｖ以上の電圧を発生させる電圧発生回路と、該電圧を出力するための装置側正極と装置側負極を有する電圧発生装置と、前記電圧発生装置の前記装置側正極と前記装置側負極に電気的に接続可能な請求項１から５のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具と、を備えることを特徴とする。
これによれば、電池から供給された電圧が、電圧発生回路で３００Ｖ以上に昇圧され、装置側正極、装置側負極から端子部を通じてワーク吸着冶具の電極層に印加され、吸着層に静電気を発生させ、この静電力によりワークを吸着させる。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１、６に記載の発明によれば、ワークを治具にシリコーン系粘着剤で直接貼りつけない為、シリコーンによるワークの汚染を防止し、不具合をなくすことが可能となる。また、吸着層をシリコーン系粘着剤や耐熱性粘着テープでベース部に貼付するため、吸着層や電極層の貼り剥がしが自在でベース部を繰り返し使用する事ができるので、製造コストの削減が可能となる。また、電極層と吸着層が一体的に形成されているため、取り扱いが容易であるとともに、電極層と吸着層に隙間が生じたときの吸着力の低下を防ぐことが可能である。また、吸着層と電極層の外周のみがベース部に固定されており、適度なゆとりがある為、吸着層がワークの凹凸やたわみに追従して、吸着能力を維持・向上させることが可能になる。
【０００９】
請求項２から４、６に記載の発明によれば、電極層と吸着層はもともと別個独立した物を使用するため、これらが一体的に形成されたものを作製したり調達したりする必要がなく、材質や寸法の選択の自由度が向上し、製造コストの削減や生産性向上に資することが可能になる。
【００１０】
請求項５、６に記載の発明によれば、電極層の一部を端子部として使用するため、別途端子となる部品を用意して取り付ける必要がなく、ワーク吸着冶具をリフロー炉中のような高温下にさらした場合でも、端子が破損したり外れたりせずに、繰り返し使用する事が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態１に係る、ワーク吸着冶具の概略正面図（ａ）と側面断面図（ｂ）とＡ部拡大図（ｃ）である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る、シリコーン系粘着剤が塗布されたベース部の概略正面図（ａ）と側面断面図（ｂ）である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る、ワーク吸着装置の概略構成ブロック図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係る、ワーク吸着冶具の概略正面図（ａ）と側面断面図（ｂ）である。
【図５】本発明の他の実施の形態に係る、ワーク吸着冶具の概略正面図（ａ）と側面断面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施の形態について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、図面において、図面中の各部の構成の大きさ、間隔、数、その他詳細は、視認と理解の助けのために、実際の物に比べて大幅に簡略化・省略化して表現している。
【００１３】
実施の形態１
図１は、本実施の形態１に係る、ワーク吸着冶具１であり、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用される。
【００１４】
ワーク吸着冶具１は、平板状のベース部１１と、ベース部１１上に正極または負極として設置された２枚のシート状の電極層１２と、電極層１２上に設置されたシート状の吸着層１３からなる積層構造と、ベース部１１と電極層１２、吸着層１３を固定する固定手段１４と、吸着層１３上に形成され、電極層１２の正極または負極それぞれに電気的に接続した端子部１５を備えた構成をしている。
【００１５】
ベース部１１は、長方形状をした耐熱性と電気絶縁性を有する材料からなる平板（以下、「耐熱性絶縁材料板」という。）であり、本実施の形態１では、１ｍｍ厚のガラスエポキシ樹脂板を使用している。厚さは、０．５ｍｍより薄いと、ベース部１１が容易に湾曲して、吸着能力を低下させるので、０．５ｍｍ以上にすることが好ましい。辺の長さは、ワークの大きさに応じて適当な寸法に設定可能であるが、概ね□５０ｍｍ〜□３００ｍｍが一般的である。本実施の形態１では、横幅（長手）が２５０ｍｍ、縦幅（短手方向）が１８０ｍｍである。
【００１６】
電極層１２は、一定の間隔をおいて水平に配置された、矩形の２枚の導電性薄膜で形成されている。導電性薄膜は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下であり、本実施の形態１では、電気伝導性や加工性を考慮して、８μｍ厚の銅箔が使用されている。銅箔は、２枚で１組の正極と負極を構成する。厚さは、薄すぎると耐久性が低下するので、５μｍ以上であることが望ましく、８μｍ以上であることが好ましい。一方、厚すぎると、柔軟性が低下して、後述するような吸着力の低下が懸念されるので、５０μｍ以下であることが望ましく、３０μｍ以下であるとさらに好ましい。また、縦幅と横幅は、ベース部１１と同様に、ワークの大きさに応じて適宜調整するが、本実施の形態では、縦幅（短手方向）はベース部１１の半分弱、横幅（長手）はベース部１１より１０ｍｍ短く設定されている。
【００１７】
吸着層１３は、厚さが５μｍ以上５０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、本実施の形態１では、耐熱性や柔軟性、絶縁性、及び吸着力を考慮して、３８μｍ厚のポリイミドシートが使用されている。ここで、吸着層の厚さは、理論上は薄いほど静電気による吸着力が高まるが、あまり薄いと破けやすくなるため、強度を確保する観点から、５μｍ以上あることが望ましく、７μｍ以上であるとさらに好ましい。一方、厚すぎると柔軟性が低下して後述するような吸着力の低下が懸念されるので、５０μｍ以下であることが望ましく、４０μｍ以下であるとさらに好ましい。また、縦幅と横幅は、ベース部１１の大きさに応じて適宜調整するが、本実施の形態では、縦幅（短手方向）横幅（長手）とも、ベース部１１と同じ大きさに設定されている。
【００１８】
ここで、本実施の形態１では、電極層１２は、吸着層１３であるポリイミドシートの片面にスパッタリングまたは無電解めっきにより厚さ５〜５０μｍで銅箔を形成した積層シートに対して、フォトリソグラフィ法によりレジストでパターン形成をし、エッチング法により銅箔を溶かして、電極層１２の形状に加工したものであり、吸着層１３の外周から５〜１０ｍｍの余白の内側にある。両電極間の間隔は両電極間の絶縁が保持されるように、印加する電圧により異なる距離をとる。ここで、空気の絶縁耐力は、約３０００Ｖ／ｍｍといわれているので、例えば印加電圧が３０００Ｖの場合には、少なくとも１ｍｍ以上の間隔をとる必要がある。本実施の形態１では、余裕を持って、２ｍｍの間隔を確保している。
【００１９】
吸着層１３は、電極層１２がベース部１１の側に向くようにして、固定手段１４によりベース部１１に固定されている。固定手段１４には、熱硬化型接着剤やシリコーン系の粘着剤、耐熱性粘着テープなどが使用されるが、本実施の形態１では、剥離と貼り合せを繰り返し行える点で、シリコーン系粘着剤を使用している。
【００２０】
この場合、電極層１２または吸着層１３の全面を完全にベース部１１に固定せずに多少のゆとりを持たせることで、電極層１２及び吸着層１３がワークの凹凸や歪みに追従してワークを確りと保持することで吸着能力が向上する（グラップリング効果）。そこで、本実施の形態１では、吸着層１３と電極層１２は、その外周部の一部または全部がベース部１１に固定されている。すなわち、図２に示すように、シリコーン系粘着剤は、ベース部１１の全面ではなく、外周部にのみ塗布され、吸着層１３の余白部がその場所に固定されるような形態をしている。
【００２１】
また、前述したように、電極層１２と吸着層１３は、厚くなりすぎると柔軟性が低下してワークへの追従性が低下するため、グラップリング効果が有効に発揮できるような適正なものに設定されている。
【００２２】
吸着層１３には、吸着層１３と電極層１２の面内の一部に略コの字型に切り込みを入れ、電極層１２の銅箔が表を向くように、吸着層１３側に折り曲げた端子部１５が、正極負極それぞれに形成されている。すなわち、端子部１５は、電極層１２の一部であり、端子部１５に電圧を印加することで、電極層１２に直接電荷を発生することができる。
【００２３】
この端子部１５は、電圧印加時や除電時など、必要な時以外は、感電防止のために閉じられており、耐熱性のテープ（ポリイミドテープなど）で開かないようにされている。
【００２４】
次に、本実施の形態１に係るワーク吸着装置２について、図面に基づいて説明する。図３は、ワーク吸着装置２の概略構成ブロック図である。ワーク吸着装置２は、ワーク吸着冶具１と、ワーク吸着冶具に電気的に接続可能な電圧発生装置３から構成されている。
【００２５】
電圧発生装置３は、プラスチック製の筐体の中に組み込まれた、装置側正極３１と、装置側負極３２と、電圧発生回路３３と、電圧発生回路３３に電力を供給する電池３４と制御スイッチ類（図示略）から構成されている。
【００２６】
電圧発生回路３３は、ブロッキング発振回路３３１と、コッククロフト・ウォルトン回路（以下「ＣＷ回路」という）３３２から成り立っている。
【００２７】
ブロッキング発振回路３３１は、トランスとトランジスタと抵抗から構成される回路であり、電池３４から入力された直流電圧を、交流電圧に変換すると同時に昇圧する。本実施の形態１では、電池３４から印加された１．５Ｖの電圧を３００Ｖの交流電圧に変換・昇圧し、ＣＷ回路３３２に送る。
【００２８】
ＣＷ回路３３２は、複数のコンデンサとダイオードから構成される回路であり、交流電圧を、直流電圧に変換すると共に昇圧する回路であり、２個のダイオードと２個のコンデンサで１組の最小回路単位をつくり、この最小回路単位毎に電圧を２倍に昇圧する。本実施の形態１では、５組の最小回路単位を組み、１０倍に昇圧させる。すなわち、ブロッキング発振回路３３１から入力された交流電圧を、ＣＷ回路３３２で直流３０００Ｖに昇圧している。電圧は、低すぎると吸着力が弱くなり、ワークを確りと保持できなる一方、高すぎると吸着層１３を絶縁破壊してリーク電流を起こしたり、電極層１２の２枚の電極間で放電を起こしたりするので、吸着層１３の材料の絶縁破壊厚さを考慮して、適正な範囲に設定する。具体的には３００Ｖ以上３０００Ｖ以下が好ましく、６００Ｖ以上であるとさらに好ましい。本実施の形態１で使用しているポリイミドの絶縁破壊電圧は、約４００ｋＶ／ｍであるので、３８μｍ厚では理論上約１５ｋＶまで耐えられる。
【００２９】
装置側正極３１と、装置側負極３２は、電圧発生回路３３で発生した電圧を、外部へ出力するために、ワーク吸着冶具１の端子部１５と電圧発生回路３３を電気的に接続するための電極であり、それぞれ電圧発生装置３の筐体の外壁に取り付けられた端子から構成されている。
【００３０】
次に、本実施の形態１に係る、ワーク吸着装置２の使用方法について説明する。初めに、前述の通り、電圧発生装置３の装置側正極３１、装置側負極３２を、ワーク吸着冶具１の端子部１５に直接接触させて、両者を電気的に接続する。
【００３１】
続いて、ワークとなる基板やシリコーンウエハーなどを、ワーク吸着冶具１の吸着層１３上に載置する。
【００３２】
次に、電圧発生装置３の電源スイッチ（図示略）を操作して電圧発生回路３３に３０００Ｖの電圧を発生させ、電極層１２に印加すると、電極層１２において、装置側正極３１が接触した銅箔はプラスに、装置側負極３２が接触した銅箔はマイナスに帯電する。ワークが電気伝導性を有する場合、ワークの内部は、静電誘導により電極層１２のプラスに対向する部分は電子が引き寄せられてマイナスに、マイナスに対向する部分は電子が遠ざかってプラスに帯電するので、ワークと電極層１２の間には、互いに引き寄せあう力（クーロン引力）が働く。このとき、ワークのマイナス（プラス）帯電側と電極層１２のプラス（マイナス）帯電側は、それぞれ吸着層１２を誘電体とするコンデンサを構成しており、全体として２個のコンデンサを直列に接続した形態となっていると見ることができる。従って、ワークのマイナス（プラス）帯電側と電極層１２のプラス（マイナス）帯電側の間には、それぞれ電圧発生装置３から印加された電圧（本実施の形態１では３０００Ｖ）の半分ずつが印加されていると考えられる。
【００３３】
さらに、電気的絶縁体である吸着層１３の内部に電場が通過することで、吸着層１３には誘電分極による静電気も発生する。この静電気による力（静電気力）によってもワークはワーク吸着冶具１に吸着される。
【００３４】
これらの静電気力、クーロン引力により、ワークが吸着層１３に吸着される。
【００３５】
ワーク搬送冶具１を実装工程に投入してワークを搬送するときは、電源スイッチを開放して通電を止め、電圧発生装置３とワーク吸着冶具１を物理的・電気的に切断する。
【００３６】
ワークと電極層１２の間のクーロン引力、吸着層１３による静電気力は、時間の経過とともに減衰していくが、吸着層１３がポリイミドの場合は、通電終了後も、常温で数時間、１５０℃以上の高温でも数十分間は引力が持続ずるので、ワーク吸着冶具１は、ワークを保持しながら、はんだ印刷工程、部品搭載工程、リフロー工程などに投入することができる。
【００３７】
この発明によれば、ワークを治具にシリコーン系粘着剤で直接貼りつけない為、シリコーンによるワークの汚染を防止し、不具合をなくすことが可能となる。また、吸着層をシリコーン系粘着剤でベース部に貼付するため、吸着層や電極層の貼り剥がしが可能でベース部を繰り返し使用する事ができるので、製造コストを低減することが可能となる。また、電極層と吸着層が一体的に形成されているため、取り扱いが容易であるとともに、電極層と吸着層が剥離して隙間が生じることによる吸着力の低下を防ぐことが可能である。また、吸着層と電極層の外周のみがベース部に固定されており、ある程度のゆとりがある為、吸着層がワークの凹凸やたわみに追従して、吸着能力を向上させることが可能になる。
【００３８】
また、電極層の一部を端子部として使用するため、別途端子となる部品を用意して取り付ける必要がなく、ワーク吸着冶具部をリフロー炉中のような高温下にさらした場合でも、端子が破損したり外れたりせずに、繰り返し使用する事が可能になる。
【００３９】
実施の形態２
図４は、本実施の形態２に係る、ワーク吸着冶具４であり、実施の形態１と同様の構成については、説明を省略する。
【００４０】
ワーク吸着冶具４を構成する電極層４２と吸着層４３は、それぞれ独立した２枚の金属箔と一枚の耐熱性絶縁シートであり、寸法や材質については、実施の形態１と同様である。これらは一体的に形成されておらず、固定手段４４で外周を固定されている。本実施の形態２では、取り扱いや加工の容易な耐熱性粘着テープを使用している。また、電極層４２と吸着層４３の固定は、外周全部を固定しているが、必ずしもこれに限られず、一部のみの固定でもよい。この場合、電極層４２と吸着層４３の間に隙間があると、ワークと電極層４３の間の距離が開き、吸着力の低下の原因となるので、一部固定の場合は、少なくとも四隅や対向する２辺のような、すべての角が固定され、剥離が生じにくい形態が好ましい。
【００４１】
電極層４２を固定した吸着層４３は、その外周がベース部４１に固定されている。本実施の形態２では、外周全部を固定しているが、必ずしもこれに限られず、一部のみの固定でもよい。ここで、前述のように電極層４２と吸着層４３のベース部４１への固定は、一部固定の場合は、四隅や対向する２辺のみを固定することで、より適度なゆとりを与えることができ、さらにグラップリング効果を発揮することができる。
【００４２】
端子部４５は、吸着層４３の２か所を矩形状に切り抜いて、電極層４２における異なる金属箔の一部を露出させたものである。
【００４３】
実施の形態２によれば、ワークを治具にシリコーン系粘着剤で直接貼りつけない為、シリコーンによるワークの汚染を防止し、不具合をなくすことが可能となる。また、吸着層を耐熱性粘着テープでベース部に貼付するため、吸着層や電極層の貼り剥がしが自在でベース部を繰り返し使用する事ができるので、製造コストを低減することが可能となる。また、吸着層と電極層の外周のみがベース部に固定されており、ある程度のゆとりがある為、吸着層がワークの凹凸やたわみに追従して、吸着能力を向上させることが可能になる。
【００４４】
また、電極層と吸着層は別個独立した物であるため、これらが一体的に形成されたものを作製したり調達したりする必要がなく、材質や寸法の選択の自由度が向上し、製造コストの削減や生産性向上に資することが可能になる。
【００４５】
また、電極層の一部を端子部として使用するため、別途端子となる部品を用意して取り付ける必要がなく、ワーク吸着冶具部をリフロー炉中のような高温下にさらした場合でも、端子が破損したり外れたりせずに、繰り返し使用する事が可能になる。
【００４６】
以上、本発明の実施の形態１、２について説明したが、本願発明の範囲は以上の実施の形態に限られるものではなく、これと同視しうる他の形態に対しても及ぶ。例えば、実施の形態２において、電極層４２の金属箔は必ずしも銅箔である必要はなく、アルミ箔のように廉価で容易に入手できるものを使用してもよい。また、吸着層４３の耐熱性絶縁シートも必ずしもポリイミドシートである必要はなく、使用条件（温度、印加電圧など）によっては、ガラス繊維シートや耐熱プラスチックシート、例えばポリ塩化ビニリデンフィルムのような、食品用ラップフィルムに使われており比較的廉価で入手が容易なものを使用しても、吸着能力を発揮することができる。
【００４７】
電極層４２は、必ずしも吸着層４３に固定される必要はなく、その外周の一部または全部をベース部４１に固定されてもよいし、外周部の一部を吸着層４３に、外周部のうち他の部分をベース部４１に固定しても吸着能力を得ることができる。さらに、２枚の金属箔がずれたり、接触したりしないように注意すれば、吸着層４３、ベース部４１のいずれにも固定しないことも可能である。この様な簡易的な構造にすることで、製作工程を大幅に簡略化することができ、製造コスト削減にも資する。
【００４８】
また、実施の形態２において、電極層４２は、単一素材からなる銅箔である必要はなく、実施の形態１において使用したポリイミドシートと、その上に一体的に形成された銅箔の２層構造をなす複合シートであってもよい。これにより、金属箔の取り扱い性が向上するので、製作工程の簡略化に資することが可能となる。この場合は、ポリイミドシートがベース部４１に対向するように配置する。
【００４９】
また、本実施の形態１、２では、端子部１５（４５）は電極層１５（４５）の一部を使用したが、図５のように、導電性の粘着テープを折り曲げて、電極層５２と吸着層５３を挟持するように貼付することで端子部５５として使用することも可能である。
【００５０】
ワーク吸着冶具１（４）をリフロー炉に送り流す必要がなく、常温下での使用を目的とする場合は、端子部品を取り付けて端子部１５（４５）としてもよい。
【００５１】
ワークを吸着したワーク吸着冶具１は、自動工程に投入されることを前提としていたため、電圧発生装置３と独立に作られていたが、自動工程投入を想定せず、ワークの把持と移動することだけを目的とする場合、必ずしもこのようにする必要はなく、装置側正極３１、装置側負極３２と端子部１５をコードなどでつないで一体的に接合してもよい。
【００５２】
電極層４２は金属箔を使用せずに、ベース部４１上に無電解めっき法やスパッタ法で銅箔を形成し、これをエッチングで形状を形成し、その上から吸着層４３の外周の一部または全部をベース部４１に固定しても、ある程度の吸着能力を得ることは可能である。
【００５３】
電圧発生回路３３において、ブロッキング発信回路３３１のみで所望の電圧が得られる場合は、コッククロフト・ウォルトン回路３３２は必ずしも必要ではない。この場合、コッククロフト・ウォルトン回路３３２の代わりにダイオードを使用して、ブロッキング発信回路３３１から出力される交流電圧を直流電圧に変えることができる。なお、ブロッキング発信回路３３１の出力電圧を高くするためには、コイルの巻き数を変えて、トランスの昇圧性能を高くしたり、電池３４の出力を高くする方法がある。
【００５４】
さらに、電極層１２は、矩形だけでなく、様々な形状に形成可能である。例えば、グラジエント式と言われる静電チャックは、櫛型に形成した一対の櫛型電極の歯を互い違いに並べて配置するが、本実施の形態でもこれを用いてもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１、４、５          ワーク吸着冶具
１１、４１、５１    ベース部
１２、４２、５２    電極層
１３、４３、５３    吸着層
１４、４４、５４    固定手段
１５、４５、５５    端子部
２                  ワーク吸着装置
３                  電圧発生装置
３１                装置側正極
３２                装置側負極
３３                電圧発生回路
３３１              ブロッキング発振回路
３３２              コッククロフト・ウォルトン回路
３４                電池
【図１】
2019047643.tif 000003
【図２】
2019047643.tif 000004
【図３】
2019047643.tif 000005
【図４】
2019047643.tif 000006
【図５】
2019047643.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成30年2月26日(2018.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、
前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、
前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の耐熱性絶縁材料板で形成され、
前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚の金属箔を有する薄膜で形成され、
前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上４０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、
前記電極層と前記吸着層は一体的に形成されており、
前記吸着層または前記電極層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部が適度なゆとりを持って前記ベース部に固定されている、
ことを特徴とする、ワーク吸着冶具。
【請求項２】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、
前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、
前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の耐熱性絶縁材料板で形成され、
前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚の金属箔を有する薄膜で形成され、
前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上４０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、
前記電極層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部が適度なゆとりを持って前記ベース部または前記吸着層に固定され、
前記吸着層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部が適度なゆとりを持って前記ベース部または前記電極層に固定されている、
ことを特徴とする、ワーク吸着冶具。
【請求項３】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、
前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、
前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の耐熱性絶縁材料板で形成され、
前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚の金属箔を有する薄膜で形成され、
前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上４０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、
前記吸着層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部が適度なゆとりを持って前記ベース部に固定され、
前記電極層は、前記ベース部または前記吸着層のいずれにも固定されていない、
ことを特徴とする、ワーク吸着冶具。
【請求項４】
前記電極層は、耐熱性絶縁シート層と、その上に一体的に形成された前記金属箔の２層構造をなしており、
前記耐熱性絶縁シート層が前記ベース部に対向している、
ことを特徴とする、請求項２または３のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具。
【請求項５】
前記端子部は、前記電極層の一部である、
ことを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具。
【請求項６】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャック型のワーク吸着装置であって、
電池を電源として３００Ｖ以上の電圧を発生させる電圧発生回路と、
該電圧を出力するための装置側正極と装置側負極を有する電圧発生装置と、
前記電圧発生装置の前記装置側正極と前記装置側負極に電気的に接続可能な請求項１から５のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具と、
を備えることを特徴とする、ワーク吸着装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の耐熱性絶縁材料板で形成され、前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚の金属箔を有する薄膜で形成され、前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上４０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、前記電極層と前記吸着層は一体的に形成されており、前記吸着層または前記電極層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部が適度なゆとりを持って前記ベース部に固定されている、ことを特徴とする。
また、請求項２に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の耐熱性絶縁材料板で形成され、前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚の金属箔を有する薄膜で形成され、前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上４０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、前記電極層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部が適度なゆとりを持って前記吸着層に固定され、前記吸着層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部が適度なゆとりを持って前記電極層に固定されている、ことを特徴とする。
また、請求項３に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上の耐熱性絶縁材料板で形成され、前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚の金属箔を有する薄膜で形成され、前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上４０μｍ以下の耐熱性絶縁シートで形成されており、前記吸着層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部が適度なゆとりを持って前記ベース部に固定され、前記電極層は、前記ベース部または前記吸着層のいずれにも固定されていない、ことを特徴とする。
また、請求項４に記載の発明は、請求項２または３のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具であって、前記電極層は、耐熱性絶縁シート層と、その上に一体的に形成された前記金属箔の２層構造をなしており、前記耐熱性絶縁シート層が前記ベース部に対向している、ことを特徴とする。
また、請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具であって、前記端子部は、前記電極層の一部である、
ことを特徴とする。
また、請求項６に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャック型のワーク吸着装置であって、電池を電源として３００Ｖ以上の電圧を発生させる電圧発生回路と、該電圧を出力するための装置側正極と装置側負極を有する電圧発生装置と、前記電圧発生装置の前記装置側正極と前記装置側負極に電気的に接続可能な請求項１から５のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具と、を備えることを特徴とする。
これによれば、電池から供給された電圧が、電圧発生回路で３００Ｖ以上に昇圧され、装置側正極、装置側負極から端子部を通じてワーク吸着冶具の電極層に印加され、吸着層に静電気を発生させ、この静電力によりワークを吸着させる。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月10日(2018.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、
前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、
前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上のガラスエポキシ樹脂板で形成され、
前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚の銅箔を有する薄膜で形成され、
前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上４０μｍ以下のポリイミドシートで形成されており、
前記電極層と前記吸着層は一体的に形成されており、
前記吸着層または前記電極層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部がワークの歪みや凹凸に追従可能なゆとりを持って前記ベース部に貼り剥がし自在に固定されている、
ことを特徴とする、ワーク吸着冶具。
【請求項２】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、
前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、
前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上のガラスエポキシ樹脂板で形成され、
前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚の銅箔を有する薄膜で形成され、
前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上４０μｍ以下のポリイミドシートで形成されており、
前記電極層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部がワークの歪みや凹凸に追従可能なゆとりを持って前記ベース部または前記吸着層に固定され、
前記吸着層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部がワークの歪みや凹凸に追従可能なゆとりを持って前記ベース部または前記電極層に貼り剥がし自在に固定されている、
ことを特徴とする、ワーク吸着冶具。
【請求項３】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、
前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、
前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上のガラスエポキシ樹脂板で形成され、
前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚の銅箔を有する薄膜で形成され、
前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上４０μｍ以下のポリイミドシートで形成されており、
前記吸着層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部がワークの歪みや凹凸に追従可能なゆとりを持って前記ベース部に貼り剥がし自在に固定され、
前記電極層は、前記ベース部または前記吸着層のいずれにも固定されていない、
ことを特徴とする、ワーク吸着冶具。
【請求項４】
前記電極層は、ポリイミドシート層と、その上に一体的に形成された前記銅箔の２層構造をなしており、
前記ポリイミドシート層が前記ベース部に対向している、
ことを特徴とする、請求項２または３のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具。
【請求項５】
前記端子部は、前記電極層の一部である、
ことを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具。
【請求項６】
印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャック型のワーク吸着装置であって、
電池を電源として３００Ｖ以上の電圧を発生させる電圧発生回路と、
該電圧を出力するための装置側正極と装置側負極を有する電圧発生装置と、
前記電圧発生装置の前記装置側正極と前記装置側負極に電気的に接続可能な請求項１から５のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具と、
を備えることを特徴とする、ワーク吸着装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上のガラスエポキシ樹脂板で形成され、前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚の銅箔を有する薄膜で形成され、前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上４０μｍ以下のポリイミドシートで形成されており、前記電極層と前記吸着層は一体的に形成されており、前記吸着層または前記電極層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部が適度なゆとりを持って前記ベース部に固定されている、ことを特徴とする。
また、請求項２に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上のガラスエポキシ樹脂板で形成され、前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚の銅箔を有する薄膜で形成され、前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上４０μｍ以下のポリイミドシートで形成されており、前記電極層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部がワークの歪みや凹凸に追従可能なゆとりを持って前記吸着層に固定され、前記吸着層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部がワークの歪みや凹凸に追従可能なゆとりを持って前記電極層に固定されている、ことを特徴とする。
また、請求項３に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャックに使用されるワーク吸着冶具であって、前記ワーク吸着冶具は、平板状のベース部と、前記ベース部上に正極または負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層上に設置されたシート状の吸着層からなる積層構造と、前記正極または負極それぞれに電気的に接続された端子部と、を備え、前記ベース部は、厚さが０．５ｍｍ以上のガラスエポキシ樹脂板で形成され、前記電極層は、柔軟性を有する厚さが８μｍ以上３０μｍ以下の２枚の銅箔を有する薄膜で形成され、前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが７μｍ以上４０μｍ以下のポリイミドシートで形成されており、前記吸着層は、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の四隅または対向する二辺、または全部がワークの歪みや凹凸に追従可能なゆとりを持って前記ベース部に固定され、前記電極層は、前記ベース部または前記吸着層のいずれにも固定されていない、ことを特徴とする。
また、請求項４に記載の発明は、請求項２または３のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具であって、前記電極層は、ポリイミドシート層と、その上に一体的に形成された前記銅箔の２層構造をなしており、前記ポリイミドシート層が前記ベース部に対向している、ことを特徴とする。
また、請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具であって、前記端子部は、前記電極層の一部である、ことを特徴とする。
また、請求項６に記載の発明は、印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャック型のワーク吸着装置であって、電池を電源として３００Ｖ以上の電圧を発生させる電圧発生回路と、該電圧を出力するための装置側正極と装置側負極を有する電圧発生装置と、前記電圧発生装置の前記装置側正極と前記装置側負極に電気的に接続可能な請求項１から５のいずれか１項に記載のワーク吸着冶具と、を備えることを特徴とする。
これによれば、電池から供給された電圧が、電圧発生回路で３００Ｖ以上に昇圧され、装置側正極、装置側負極から端子部を通じてワーク吸着冶具の電極層に印加され、吸着層に静電気を発生させ、この静電力によりワークを吸着させる。