(57)【要約】【課題】隔壁の隔壁先端と接合層との間に電気泳動粒子が入り込んでいたとしても、この電気泳動粒子に起因する接合層の破断が的確に抑制または防止された電気泳動表示装置、かかる電気泳動表示装置を製造し得る電気泳動表示装置の製造方法、および信頼性に優れた電子機器を提供すること。【解決手段】電気泳動表示装置は、第１基板と、第１基板に対向する第２基板と、第２基板の第１基板に対向する側に設けられ、第１基板との間の空間を複数のセルに区切る隔壁と、複数のセル内に充填され、電気泳動粒子と分散媒とを含有する電気泳動分散液と、第２基板の第１基板と対向する側に設けられ、セルを封止する接合層と、を有し、接合層は、隔壁の第２基板側の隔壁先端と対向する位置に、隔壁先端が食い込む薄膜部を有し、隔壁先端と、薄膜部との間に、少なくとも分散媒が充填された充填部を備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、
前記第１基板に対向する第２基板と、
前記第２基板の前記第１基板に対向する側に設けられ、前記第１基板との間の空間を複数のセルに区切る隔壁と、
複数の前記セル内に充填され、電気泳動粒子と分散媒とを含有する電気泳動分散液と、
前記第２基板の前記第１基板と対向する側に設けられ、前記セルを封止する接合層と、を有し、
前記接合層は、前記隔壁の前記第２基板側の隔壁先端と対向する位置に、前記隔壁先端が食い込む薄膜部を有し、前記隔壁先端と、前記薄膜部との間に、少なくとも前記分散媒が充填された充填部を備えることを特徴とする電気泳動表示装置。
【請求項２】
前記接合層は、第１接合層と第２接合層とが前記第２基板側からこの順で積層された積層体であり、前記第１接合層は、前記第２接合層よりも柔軟である請求項１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項３】
前記第２接合層は、平均厚さが２００ｎｍ以上６００ｎｍ以下である請求項２に記載の電気泳動表示装置。
【請求項４】
前記薄膜部は、断面視で湾曲している請求項１ないし３のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項５】
前記接合層は、弾性率が５ＭＰａ以上２９ＭＰａ以下である請求項１ないし４のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項６】
前記薄膜部における、前記隔壁先端の前記接合層への食い込み量は、２μｍ以上１０μｍ以下である請求項１ないし５のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項７】
分散媒と電気泳動粒子とを含む電気泳動分散液を充填する複数のセルに区切るための隔壁を第１基板上に形成する工程と、
第２基板に接合層を形成する工程と、
前記電気泳動分散液を前記セル内に注入する工程と、
前記隔壁と前記第２基板とを、前記接合層を介在させ、前記隔壁の隔壁先端を前記接合層に食い込ませた状態で接合することで、前記隔壁先端と、前記接合層との間に、少なくとも前記分散媒が充填された充填部を形成する工程とを有することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示装置、電気泳動表示装置の製造方法および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、粒子の電気泳動を利用した電気泳動表示装置が知られており、この電気泳動表示装置は、可搬性および省電力性を有している点で優れている。
【０００３】
この電気泳動表示装置では、電気泳動粒子を含む電気泳動分散液を挟んで対向する画素電極と共通電極との間に電圧を印加して、帯電した黒粒子や白粒子等の電気泳動粒子を空間的に移動させることで表示領域に画像を形成している。電気泳動表示装置としては、例えば、対をなす画素基板と対向基板との間を隔壁によって複数の空間に区画し、各空間内に電気泳動粒子および分散媒を含む電気泳動分散液を封入した構成のものが知られている。
【０００４】
このような電気泳動表示装置は、例えば、特許文献１に記載のように、電気泳動分散液（電気泳動インク）を空間（セル）の内部に隙間なく封止するために、画素基板上に設けられた隔壁の頂部（隔壁先端）と、対向基板に形成された封止層とを接合する技術が開示されている。
【０００５】
かかる構成の電気泳動表示装置は、隔壁が設けられた画素基板を用意し、その後、画素基板上の隔壁により区画された空間内に電気泳動分散液を充填させた後に、封止層が設けられた対向基板を接合することにより製造される。
【０００６】
ところが、このような電気泳動表示装置では、隔壁の頂部が封止層に食い込むことで、空間（セル）の内部に電気泳動分散液が封止されることとなるが、この封止の際に、隔壁の頂部（隔壁先端）と封止層との間に、電気泳動分散液に含まれる電気泳動粒子が入ってしまい、この電気泳動粒子により封止層（接合層）の破断（膜破壊）が生じるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１５−１３８２２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、隔壁の隔壁先端と接合層との間に電気泳動粒子が入り込んでいたとしても、この電気泳動粒子に起因する接合層の破断が的確に抑制または防止された電気泳動表示装置、かかる電気泳動表示装置を製造し得る電気泳動表示装置の製造方法、および信頼性に優れた電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような目的は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、下記の本発明により達成される。
【００１０】
本発明の電気泳動表示装置は、第１基板と、
前記第１基板に対向する第２基板と、
前記第２基板の前記第１基板に対向する側に設けられ、前記第１基板との間の空間を複数のセルに区切る隔壁と、
複数の前記セル内に充填され、電気泳動粒子と分散媒とを含有する電気泳動分散液と、
前記第２基板の前記第１基板と対向する側に設けられ、前記セルを封止する接合層と、を有し、
前記接合層は、前記隔壁の前記第２基板側の隔壁先端と対向する位置に、前記隔壁先端が食い込む薄膜部を有し、前記隔壁先端と、前記薄膜部との間に、少なくとも前記分散媒が充填された充填部を備えることを特徴とする。
【００１１】
これにより、隔壁の隔壁先端と接合層との間に電気泳動粒子が入り込んでいたとしても、この電気泳動粒子に起因する接合層の破断を的確に抑制または防止することができる。
【００１２】
本発明の電気泳動表示装置では、前記接合層は、第１接合層と第２接合層とが前記第２基板側からこの順で積層された積層体であり、前記第１接合層は、前記第２接合層よりも柔軟であることが好ましい。
【００１３】
このような接合層に対して、隔壁の隔壁先端を食い込ませることにより、形成される薄膜部を、断面視で湾曲した形状をなすものとすることができる。
【００１４】
本発明の電気泳動表示装置では、前記第２接合層は、平均厚さが２００ｎｍ以上６００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００１５】
これにより、接合層に対して、隔壁の隔壁先端を食い込ませることで、断面視で湾曲している形状をなす薄膜部を接合層に、より確実に形成することができる。
【００１６】
本発明の電気泳動表示装置では、前記薄膜部は、断面視で湾曲していることが好ましい。
【００１７】
このように、薄膜部が湾曲していることで、この薄膜部が湾曲している領域において、接合層と隔壁先端とが接触するのを確実に防止することができる。そのため、接合層と隔壁先端とにより画成される充填部を確実に形成することができる。
【００１８】
本発明の電気泳動表示装置では、前記接合層は、弾性率が５ＭＰａ以上２９ＭＰａ以下であることが好ましい。
【００１９】
これにより、接合層に対して、隔壁の隔壁先端を食い込ませることで、断面視で湾曲している形状をなす薄膜部を接合層に、より確実に形成することができる。
【００２０】
本発明の電気泳動表示装置では、前記薄膜部における、前記隔壁先端の前記接合層への食い込み量は、２μｍ以上１０μｍ以下であることが好ましい。
【００２１】
これにより、充填部において、十分量の分散媒を充填することができるスペースを確保することができる。そのため、たとえ、充填部内に分散媒の他に電気泳動粒子が残存したとしても、この電気泳動粒子により接合層が破断するのをより的確に抑制または防止することができる。
【００２２】
本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、分散媒と電気泳動粒子とを含む電気泳動分散液を充填する複数のセルに区切るための隔壁を第１基板上に形成する工程と、
第２基板に接合層を形成する工程と、
前記電気泳動分散液を前記セル内に注入する工程と、
前記隔壁と前記第２基板とを、前記接合層を介在させ、前記隔壁の隔壁先端を前記接合層に食い込ませた状態で接合することで、前記隔壁先端と、前記接合層との間に、少なくとも前記分散媒が充填された充填部を形成する工程とを有することを特徴とする。
【００２３】
これにより、隔壁の隔壁先端と接合層との間に電気泳動粒子が入り込んでいたとしても、この電気泳動粒子に起因する接合層の破断が的確に抑制または防止された、電気泳動表示装置を製造することができる。
【００２４】
本発明の電子機器は、本発明の電気泳動表示装置を備えることを特徴とする。
これにより、電子機器は、優れた信頼性を備えるものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の電気泳動表示装置が搭載された電子機器の実施形態を示す斜視図である。
【図２】本発明の電気泳動表示装置の電気的な構成の実施形態を示す等価回路図である。
【図３】本発明の電気泳動表示装置の構造の実施形態を示す模式平面図である。
【図４】図３に示す電気泳動表示装置のＡ−Ａ’線断面図である。
【図５】図３に示す電気泳動表示装置のうち封止層、およびシール部周辺の構造を示す模式平面図である。
【図６】図５に示す電気泳動表示装置のＢ−Ｂ’線断面図である。
【図７】図５に示す電気泳動表示装置のＣ部を拡大して示す拡大平面図である。
【図８】図６に示す電気泳動表示装置のＦ部を拡大して示す拡大断面図である。
【図９】本発明の電気泳動表示装置の製造方法を工程順に示すフローチャートである。
【図１０】本発明の電気泳動表示装置の製造方法を説明するための図である。
【図１１】本発明の電気泳動表示装置の製造方法を説明するための図である。
【図１２】本発明の電気泳動表示装置の製造方法を説明するための図である。
【図１３】本発明の電気泳動表示装置の製造方法を説明するための図である。
【図１４】本発明の電気泳動表示装置の製造方法を説明するための図である。
【図１５】本発明の電気泳動表示装置の製造方法を説明するための図である。
【図１６】本発明の電気泳動表示装置の製造方法を説明するための図である。
【図１７】本発明の電気泳動表示装置の製造方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の電気泳動表示装置、電気泳動表示装置の製造方法および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２７】
なお、以下の形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を含むものとする。
【００２８】
＜電子機器＞
まず、本発明の電気泳動表示装置および電気泳動表示装置の製造方法を説明するのに先立って、本発明の電気泳動表示装置を備える電子機器について説明する。
【００２９】
図１は、本発明の電気泳動表示装置が搭載された電子機器の実施形態を示す斜視図である。なお、使用する図面（図１および以下で示す図を含む）は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
【００３０】
図１に示すように、電子機器１００は、電気泳動表示装置１０と、電子機器１００を操作するためのインターフェイスとを備えている。このインターフェイスは、具体的には、例えば、操作部１１０であり、スイッチ等から構成される。
【００３１】
電気泳動表示装置１０は、本発明の電気泳動表示装置で構成され、表示領域Ｅを有するディスプレイモジュールである。表示領域Ｅは複数の画素から成り、これらの画素が電気的に制御されることで表示領域Ｅに画像が表示される。そのため、かかる電気泳動表示装置１０を備える電子機器１００は、優れた信頼性を備えるものとなる。
【００３２】
なお、電気泳動表示装置１０を備えた電子機器１００として、図１に示す、電子ペーパー（ＥＰＤ：Electronic Paper Display）の他、ウォッチ、リスタブル機器、スマートフォン、タブレット端末、テレビ、ビューファインダー型、モニター直視型のビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、電子新聞、ワードプロセッサー、パーソナルコンピューター、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネル等に適用することができる。
【００３３】
＜電気泳動表示装置＞
次に、かかる電子機器１００が備える電気泳動表示装置１０（本発明の電気泳動表示装置）について説明する。
【００３４】
図２は、本発明の電気泳動表示装置の電気的な構成の実施形態を示す等価回路図、図３は、本発明の電気泳動表示装置の構造の実施形態を示す模式平面図、図４は、図３に示す電気泳動表示装置のＡ−Ａ’線断面図、図５は、図３に示す電気泳動表示装置のうち封止層、およびシール部周辺の構造を示す模式平面図、図６は、図５に示す電気泳動表示装置のＢ−Ｂ’線断面図、図７は、図５に示す電気泳動表示装置のＣ部を拡大して示す拡大平面図、図８は、図６に示す電気泳動表示装置のＦ部を拡大して示す拡大断面図である。なお、図５〜図８においては、絶縁層や配線、電極等の図示は省略する。
【００３５】
図２に示すように、電気泳動表示装置１０は、複数のデータ線１２と、複数の走査線１３とを有し、データ線１２と走査線１３とが交差する部分に画素１１が配置される。具体的には、電気泳動表示装置１０は、データ線１２と走査線１３とに沿ってマトリクス状に配置された複数の画素１１を有している。各画素１１は、画素電極２１と共通電極２２との間に配置された分散媒１５と電気泳動粒子３４とを含む電気泳動分散液３７を有する。
【００３６】
画素電極２１は、トランジスター１６（ＴＦＴ１６）を介してデータ線１２に接続されている。また、ＴＦＴ１６のゲート電極は、走査線１３に接続されている。なお、図２は、例示であり、必要に応じて保持容量等の他の素子が組み込まれてもよい。
【００３７】
また、図３および図４に示すように、電気泳動表示装置１０は、素子基板５１と、素子基板５１に対向する対向基板５２と、素子基板５１の対向基板５２に対向する側に設けられ、素子基板５１との間の空間を複数のセル３６に区切る隔壁３５と、複数のセル３６内に配置（充填）され、電気泳動粒子３４と分散媒１５とを含有する電気泳動分散液３７で構成される電気泳動層３３と、対向基板５２の素子基板５１と対向する側に設けられ、セル３６を封止する封止層４２（接合層）とを有する。
【００３８】
本実施形態では、本発明における第１基板として素子基板５１が適用され、本発明における第２基板として対向基板５２が適用される。
【００３９】
素子基板５１が備える、例えば、透光性を有するガラス基板からなる第１基材３１上には、各画素１１に対応して画素電極２１が配置されている。
【００４０】
詳述すると、図３および図４に示すように、画素１１（画素電極２１）は、例えば、平面視でマトリクス状に形成されている。画素電極２１の材料としては、例えば、ＩＴＯ（錫を添加した酸化インジウム：Indium Tin Oxide）等の光透過性材料が用いられる。
【００４１】
第１基材３１と画素電極２１との間には、図示しない回路部が設けられており、回路部の中にＴＦＴ１６等が形成されている。ＴＦＴ１６は、図示しないコンタクト部を介して、各画素電極２１と電気的に接続されている。なお、図示しないが、回路部の中には、ＴＦＴ１６の他、各種配線（例えば、データ線１２や走査線１３等）や素子（例えば、容量素子）等が配置されている。画素電極２１上を含む第１基材３１上の全面には、第１絶縁層３２が形成されている。なお、第１絶縁層３２を設けない構成でもよい。
【００４２】
対向基板５２は、素子基板５１と対向して配置されるものであり、この対向基板５２が備える、例えば、透光性を有するガラス基板からなる第２基材４１上（図４における分散媒１５側）には、複数の画素１１に対応して共通に設けられた共通電極２２が形成されている。共通電極２２としては、例えば、ＩＴＯ等の光透過性材料が用いられる。
【００４３】
また、対向基板５２が備える共通電極２２上（図４における分散媒１５側）には、本実施形態では、第１封止層４２ａが形成されている。さらに、第１封止層４２ａの上には、第２封止層４２ｂが形成されている。なお、第１封止層４２ａと第２封止層４２ｂとを合せて封止層４２と称する。なお、この封止層４２については、後に詳述する。
【００４４】
第１絶縁層３２と封止層４２との間には、電気泳動層３３が設けられている。
電気泳動層３３は、少なくとも１以上の電気泳動粒子３４と、電気泳動粒子３４が分散された分散媒１５とを含む電気泳動分散液３７で構成され、この電気泳動分散液３７（分散媒１５および電気泳動粒子３４）が、第１絶縁層３２と、第２封止層４２ｂと、第１基材３１上に設けられた隔壁３５（リブ）と、により仕切られた（分割された）空間（領域）であるセル３６内に充填されることで形成される。
【００４５】
隔壁３５は、図３に示すように、素子基板５１と対向基板５２との間に配置（介挿）され、碁盤目状に形成されている。なお、隔壁３５は、アクリル樹脂やエポキシ樹脂等の透光性材料であることが好ましい。このような透光性材料で構成することにより、表示領域Ｅに表示された画像に隔壁３５が映り込むのを的確に抑制または防止することができる。さらに、これらの透光性材料は、吸湿性または吸着性の低い材料であることから、隔壁３５に吸着された水分がセル３６内において、電気泳動分散液３７中に移行するのを的確に抑制または防止することができる。
【００４６】
また、隔壁３５の幅は、好ましくは３μｍ以上１０μｍ以下、より好ましくは５μｍ程度に設定される。
【００４７】
なお、本実施形態では、各画素１１に画素電極２１が配置され、各画素電極２１に前記隔壁３５（リブ）が配置されている構成としたが、これに限定されず、複数の画素毎（例えば２〜２０画素毎）に、隔壁３５（リブ）が形成されても良い。
【００４８】
また、素子基板５１と対向基板５２とを貼り合せた際、隔壁３５の頂部（隔壁先端）が対向基板５２（具体的には、封止層４２）に入り込むことにより、セル３６内が封止されるが、隔壁３５の高さ（実際には、図６に示す額縁隔壁６１）および隔壁３５の頂部３５’の食い込み量を規定することで、素子基板５１と対向基板５２との間のセルギャップを決めることができる。
【００４９】
なお、以下では、隔壁３５によって囲まれて区切られた領域をセル３６と言う。一つのセル３６は、隔壁３５と、画素電極２１と、共通電極２２（封止層４２）と、電気泳動層３３とを含む。
【００５０】
さらに、隔壁３５の平均高さは、この隔壁３５により区画される電気泳動層３３の平均厚さとほぼ等しく設定され、例えば、１０μｍ以上１５０μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以上１００μｍ以下であることがより好ましく、特に好ましくは３０μｍ程度に設定される。これにより、電気泳動粒子３４の移動による白色表示と黒色表示とを優れたコントラストで表示することが可能となる。
【００５１】
また、本実施形態では、図４に示すように、電気泳動粒子３４として、白色粒子と黒色粒子とを示している。
【００５２】
例えば、画素電極２１と共通電極２２との間に電圧を印加すると、これらの間に生じる電界にしたがって、電気泳動粒子３４は、いずれかの電極（画素電極２１、共通電極２２）に向かって電気泳動する。例えば、白色粒子が正荷電を有する場合、画素電極２１を負電位とすると、白色粒子は、画素電極２１側（下側）に移動して集まり、黒色表示となる。逆に、画素電極２１を正電位とすると、白色粒子は、共通電極２２側（上側）に移動して集まり、白色表示となる。このように、表示側の電極に集合する白色粒子の有無や数等に応じて、所望の情報（画像）が表示される。なお、ここでは、電気泳動粒子３４として白色粒子や黒色粒子を用いたが、他の有色粒子を用いてもよい。
【００５３】
また、電気泳動粒子３４としては、無機顔料系の粒子、有機顔料系の粒子または高分子微粒子等を用いることができ、各種粒子を２種以上混合して用いてもよい。また、電気泳動粒子３４の平均粒子径は、例えば、１００ｎｍ以上４００ｎｍ以下程度のものが用いられ、好ましくは、１５０ｎｍ以上３００ｎｍ以下程度のものが用いられる。なお、本明細書中では、電気泳動粒子３４の粒子径は、母粒子の表面に、ポリマー等で構成される被覆層が形成されている構成をなす場合には、母粒子の粒子径のことを言うこととする。
【００５４】
また、白色粒子の含有量は、分散媒１５、白色粒子および黒色粒子の全重量、すなわち電気泳動分散液３７に対して３０％以内であり、黒色粒子の含有量は、分散媒１５、白色粒子、黒色粒子の全重量、すなわち電気泳動分散液３７に対して１０％以内である。このように配分することにより、反射率が４０％以上、および黒色反射率が２％以下になり、表示性能を高くすることができる。
【００５５】
また、本実施形態では、電気泳動粒子３４を分散させた電気泳動分散液３７とするための分散媒１５として、沸点が１００℃以上であり、比較的高い絶縁性を有するものが好ましく用いられる。
【００５６】
かかる分散媒１５としては、例えば、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類、酢酸ブチル、高級脂肪酸エステル等のエステル類、ジブチルケトン等のケトン類、ペンタン等の脂肪族炭化水素類（流動パラフィン）、シクロヘキサン等の脂環式炭化水素類、キシレン等の芳香族炭化水素類、塩化メチレン等のハロゲン化炭化水素類、ピリジン等の芳香族複素環類、アセトニトリル等のニトリル類、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等のアミド類のような有機溶媒またはシリコーンオイル等が挙げられ、これらを単独または混合物として用いることができる。
【００５７】
中でも、分散媒１５としては、シリコーンオイルを主成分とするものが好ましい。シリコーンオイルを主成分とする分散媒１５は、電気泳動粒子３４の凝集抑制効果が高いことから、図３に示す電気泳動表示装置１０の表示性能が経時的に劣化するのを抑制することができる。また、シリコーンオイルは、不飽和結合を有しないため耐候性に優れ、さらに安全性も高いという利点を有している。
【００５８】
なお、分散媒１５に分散される電気泳動粒子３４は、上記の通り、いずれかの電極に向かって電気泳動し得るように、正または負の荷電を有するが、その帯電量は、通常、電気泳動粒子３４が取り込む、分散媒１５中に含まれる水分の取り込み量によって規定される。そのため、分散媒１５中に含まれる水分量は、好ましくは３００ｐｐｍ以上１０００ｐｐｍ以下程度、より好ましくは４００ｐｐｍ以上７００ｐｐｍ以下程度に設定される。
【００５９】
また、分散媒１５中には、必要に応じて、例えば、電解質、界面活性剤（アニオン性またはカチオン性）、金属石鹸、樹脂材料、ゴム材料、油類、ワニス、コンパウンド等の粒子からなる荷電制御剤、潤滑剤、安定化剤、各種染料等の各種添加剤を添加するようにしてもよい。
【００６０】
また、図５および図６に示すように、電気泳動表示装置１０は、表示領域Ｅと、この表示領域Ｅを囲む額縁領域Ｅ１（外周領域）とを有する。この額縁領域Ｅ１には、電気泳動層３３のうち表示に寄与しない領域であるダミー画素領域Ｄと、ダミー画素領域Ｄの外側に配置された額縁隔壁６１（外周隔壁）と、額縁隔壁６１の上側および外側に配置されたシール部１４とを含む。
【００６１】
なお、額縁領域Ｅ１の幅は、例えば、１ｍｍ程度である。また、ダミー画素領域Ｄの幅は、例えば、８０μｍである。ダミー画素領域Ｄの表示領域Ｅ側には、表示領域Ｅに配置された隔壁３５と同じ形状で形成された隔壁３５ａが設けられている。隔壁のリブ幅（頂部３５’の幅）は、３μｍ以上１０μｍ以下程度（特に、５μｍ程度）であるのが好ましい。また、隣り合う隔壁３５と隔壁３５との距離は、好ましくは１００μｍ以上３００μｍ以下程度に設定される。
【００６２】
ダミー画素領域Ｄの外側には、額縁隔壁６１が設けられている。額縁隔壁６１は、分散媒１５が外側に流れ出ないように堰き止めることができると共に、セルギャップを調整するために用いられており、ダミー画素領域Ｄを囲むように配置されている。なお、額縁隔壁６１は、通常、表示領域Ｅの隔壁３５と同じ材料で構成されている。
【００６３】
額縁隔壁６１の幅Ｗ１は、好ましくは１００μｍ以上３００μｍ以下程度に設定される。また、額縁隔壁６１の高さは、通常、隔壁３５の高さと、ほぼ等しく設定される。
【００６４】
なお、額縁隔壁６１は、隣接して配置される第１シール材１４ａが表示領域Ｅにはみ出さないようにするためにも用いられる。
【００６５】
シール部１４は、本実施形態では、図６に示すように、第１シール材１４ａと、第２シール材１４ｂとを有する。第１シール材１４ａは、素子基板５１と対向基板５２とを貼り合わせる際に接着するために用いられ、額縁隔壁６１の上面（頂部）を覆うように配置されている。
【００６６】
また、第１シール材１４ａの粘度は、例えば、３０万Ｐａ・ｓ以上１００万Ｐａ・ｓ以下であり、好ましくは、４０万Ｐａ・ｓ程度である。このような粘度の第１シール材１４ａを用い、素子基板５１と対向基板５２との間に介在することで、これら同士をより良好に接合することができる。
【００６７】
また、第２シール材１４ｂは、素子基板５１と対向基板５２との間を封止するために用いられ、額縁隔壁６１を囲むように設けられている。
【００６８】
第２シール材１４ｂの幅Ｗ２は、好ましくは１５０μｍ以上６００μｍ以下程度に設定される。また、第２シール材１４ｂの粘度は、例えば、１００Ｐａ・ｓ以上５００Ｐａ・ｓ以下であり、好ましくは、４００Ｐａ・ｓ程度である。このような粘度の第２シール材１４ｂを用いることにより、額縁隔壁６１と第１シール材１４ａとの積層体の周囲の素子基板５１と対向基板５２との間に、第２シール材１４ｂを入り込ませることが可能となる。そのため、第２シール材１４ｂの接着強度を向上させることができる。また、外部から第２シール材１４ｂおよび第１シール材１４ａを介して内部に水分が侵入することを抑えることが可能となり、信頼性の高いシール構造を得ることができる。
【００６９】
以上のようなシール部１４において、第１シール材１４ａは、紫外線硬化型樹脂、熱硬化型樹脂のような各種硬化型樹脂で構成されることが好ましい。これにより、素子基板５１と対向基板５２とを確実かつ強固に接合することができる。
【００７０】
また、第２シール材１４ｂの構成材料としては、アクリル樹脂やエポキシ樹脂のうちの少なくとも１種が好ましく用いられる。かかる樹脂材料で構成される第２シール材１４ｂは、吸湿性または吸着性の低い材料であることから、電気泳動表示装置１０の外側から、第２シール材１４ｂを介して、電気泳動分散液３７側に、水分が移行するのを的確に抑制または防止することができる。
【００７１】
図６および図８に示すように、表示領域Ｅにおいて、対向基板５２には、素子基板５１と対向する側に、封止層４２が設けられ、これにより、封止層４２（接合層）は、隔壁３５の頂部３５’（隔壁先端）と対向基板５２との間に配置されている。
【００７２】
これにより、封止層４２と、第１絶縁層３２と、隔壁３５（リブ）とにより区画された空間（閉空間）がセル３６に形成され、この空間に分散媒１５と電気泳動粒子３４とを含む電気泳動分散液３７が充填されることで、分散媒１５および電気泳動粒子３４を含む電気泳動分散液３７が隣接するセル３６同士の間で、行き来できないようになっている。すなわち、電気泳動表示装置１０において、封止層４２によりセル３６が封止され、これにより、セル３６同士の間で、セル３６内に充填された電気泳動分散液３７が行き来できないようになっている。
【００７３】
この際、図６、図８に示すように、本発明では、封止層４２と電気泳動層３３との接触面のうち、隔壁３５と平面視で重なる部分は、隔壁３５と平面視で重ならない部分よりも断面視において第２基材４１（対向基板５２）側に位置している。これにより、封止層４２（接合層）は、隔壁３５の対向基板５２側の頂部３５’（隔壁先端）と対向する位置に、頂部３５’が封止層４２に食い込む（埋入する）薄膜部４５を有することとなる。このように、頂部３５’を封止層４２に食い込ませることで、封止層４２と、隔壁３５とにより区画された閉空間すなわちセル３６内に充填された電気泳動分散液３７が、隣接するセル３６同士の間で、行き来するのを的確に抑制または防止することができる。
【００７４】
さらに、本発明では、電気泳動表示装置１０は、この封止層４２の薄膜部４５と、隔壁３５の頂部３５’との間に、少なくとも分散媒１５が充填された充填部４３を備えている。このような充填部４３を備えることで、充填部４３内に、分散媒１５の他に、さらに、電気泳動分散液３７中に含まれる電気泳動粒子３４がたとえ入り込んでいたとしても、充填部４３に含まれる分散媒１５が緩衝材としての機能を発揮して、この電気泳動粒子３４により封止層４２（特に、後述する第２封止層４２ｂ）が破断するのを的確に抑制または防止することができる。なお、充填部４３内に、電気泳動粒子３４以外にガラス粉のような他の異物が入り込んだ場合においても、充填部４３において分散媒１５が緩衝材としての機能を発揮することから、上記と同様の効果が得られる。
【００７５】
このような封止層４２は、本実施形態では、図４でも説明したように、第１封止層４２ａ（第１接合層）と第２封止層４２ｂ（第２接合層）とが、対向基板５２（第２基板）側からこの順に積層された積層体で構成されている。すなわち、封止層４２は、素子基板５１側において、第１封止層４２ａの表面が第２封止層４２ｂで被覆された積層体からなる構成をなしている。そして、このような積層体において、第１封止層４２ａは、第２封止層４２ｂよりも柔軟であり、その弾性率が第２封止層４２ｂの弾性率よりも小さくなっている。
【００７６】
このような封止層４２（積層体）に対して、隔壁３５の頂部３５’（隔壁先端）を食い込ませることにより、形成される薄膜部４５が、断面視で湾曲したアーチ状をなすものとなる。このように、薄膜部４５が湾曲（カーブ）していることで、この薄膜部４５が湾曲している領域において、封止層４２と頂部３５’とが接触するのを確実に防止することができる。そのため、封止層４２（薄膜部４５）と頂部３５’とにより画成される充填部４３を確実に形成することができる。また、凸条をなす頂部３５’の縁部と薄膜部４５とが線接触により接触することで、セル３６内が封止され、隣接するセル３６同士間において、封止された電気泳動分散液３７が行き来するのを的確に抑制または防止することができる。
【００７７】
この際、隔壁３５の頂部３５’（隔壁先端）の封止層４２への食い込み量ｔ、すなわち第２封止層４２ｂの電気泳動層３３側の面のうち、頂部３５’が食い込んでいない部分と頂部３５’との間の距離である薄膜部４５の深さは、例えば、好ましくは２μｍ以上１０μｍ以下、より好ましくは５μｍ程度に設定される。これにより、充填部４３において、十分量の分散媒１５を充填することができるスペースを確保することができる。そのため、たとえ、充填部４３内に分散媒１５の他に電気泳動粒子３４が残存したとしても、この電気泳動粒子３４により封止層４２が破断するのをより的確に抑制または防止することができる。また、頂部３５’の縁部と封止層４２とによりセル３６内をより確実に封止することができるため、封止層４２と、隔壁３５とにより区画された閉空間すなわちセル３６内に充填された電気泳動分散液３７が、隣接するセル３６同士の間で、行き来するのを的確に抑制または防止することができる。
【００７８】
さらに、前述のような、第１封止層４２ａと第２封止層４２ｂとの積層体からなる封止層４２において、第１封止層４２ａの弾性率は、１ＭＰａ以上１０ＭＰａ以下であることが好ましい。また、第２封止層４２ｂの弾性率は、０．５ＧＰａ以上５ＧＰａ以下であることが好ましい。第１封止層４２ａと、第２封止層４２ｂとを、上記のような弾性率を有するものとすることにより、積層体、すなわち、封止層４２全体としての弾性率を、好ましくは５ＭＰａ以上２９ＭＰａ以下、より好ましくは８ＭＰａ以上１５ＭＰａ以下の範囲内に容易に設定することができる。そして、かかる弾性率の関係を満足する封止層４２（第１封止層４２ａおよび第２封止層４２ｂ）に対して、隔壁３５の頂部３５’を食い込ませることで、断面視で湾曲している形状をなす薄膜部４５を封止層４２に、より確実に形成することができる。また、封止層４２全体としての弾性率を前記範囲内に設定することで、封止層４２は適度な伸縮性を発揮するものとなる。そのため、たとえ、充填部４３内において、電気泳動粒子３４やガラス粉と、封止層４２とが接触したとしても、この接触により封止層４２にクラックが発生するのを的確に抑制または防止することができる。
【００７９】
なお、第１封止層４２ａ、第２封止層４２ｂおよび封止層４２の弾性率は、それぞれ、２５℃において、圧子先端直径１０μｍの上部圧盤（圧子）を備える微小圧縮試験機（島津製作所社製、「ＭＣＴ−５１０」）を用いて測定される。
【００８０】
さらに、第１封止層４２ａの平均厚さは、５μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましく、１５μｍ程度であることがより好ましい。また、第２封止層４２ｂの平均厚さは、２００ｎｍ以上６００ｎｍ以下であることが好ましく、４００ｎｍ程度であることがより好ましい。これにより、第１封止層４２ａと、第２封止層４２ｂとの積層体、すなわち、封止層４２全体としての弾性率を、５ＭＰａ以上２９ＭＰａ以下の範囲内に比較的容易に設定することができる。そのため、封止層４２に対して、隔壁３５の頂部３５’を食い込ませることで、断面視で湾曲している形状をなす薄膜部４５を封止層４２に、より確実に形成することができる。また、前述の通り、電気泳動粒子３４の平均粒子径は、好ましくは１００ｎｍ以上４００ｎｍ以下、より好ましくは１５０ｎｍ以上３００ｎｍ以下の大きさに設定されるが、第２封止層４２ｂの平均厚さを前記範囲内に設定すること、特に好ましくは、電気泳動粒子３４の平均粒子径に対して第２封止層４２ｂの平均厚さを２倍程度に設定することにより、充填部４３における分散媒１５の充填量が少なくなった場合においても、第２封止層４２ｂに電気泳動粒子３４が接触することに起因する第２封止層４２ｂの破断を的確に抑制することができる。
【００８１】
さらに、第１封止層４２ａおよび第２封止層４２ｂの弾性率および平均厚さが、それぞれ、前記範囲内であることにより、−３０℃〜＋３０℃程度の使用環境に起因する温度変化により、電気泳動分散液３７（分散媒１５）に膨張・収縮の体積変化が生じたとしても、この体積変化を第１封止層４２ａと第２封止層４２ｂとの積層体からなる封止層４２によって吸収することができる。そのため、頂部３５’の縁部と封止層４２とによるセル３６内の封止が確実に維持されることから、セル３６内に充填された電気泳動分散液３７が隣接するセル３６同士の間で行き来するのがより的確に抑制または防止される。さらに、セル３６内に充填された電気泳動分散液３７における気泡の発生を、より的確に抑制または防止することができる。
【００８２】
また、第１封止層４２ａの体積抵抗率は、１×１０7Ω・ｃｍ以上５×１０10Ω・ｃｍ以下であることが好ましく、第２封止層４２ｂの体積抵抗率は１×１０7Ω・ｃｍ以上２×１０11Ω・ｃｍ以下であることが好ましい。第１封止層４２ａと、第２封止層４２ｂとを、上記のような体積抵抗率を有するものとすることにより、積層体、すなわち、封止層４２全体としての体積抵抗率を、１×１０7Ω・ｃｍ以上１×１０1２Ω・ｃｍ以下の範囲内に容易に設定することができることから、画素電極２１と共通電極２２との間に封止層４２が介在することに起因して、電気泳動粒子３４の移動度が低下するのを的確に抑制または防止することができる。
【００８３】
以上のような封止層４２（積層体）において、第１封止層４２ａは、第２封止層４２ｂよりも柔軟であり隔壁３５の頂部３５’が、より食い込みやすい材料が好ましく用いられ、具体的には、第１封止層４２ａの構成材料としては、例えば、ＮＢＲ（アクリロニトリル・ブタジエンゴム）、ウレタンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、ヒドリンゴム、ニトリルゴム等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。中でも、ＮＢＲまたはヒドリンゴムであることが好ましい。ＮＢＲおよびヒドリンゴムによれば、その加硫条件の変更、および、第１封止層４２ａへのフィラーの添加により、第１封止層４２ａの弾性率を前述した範囲内に容易に調整することができる。
【００８４】
なお、第１封止層４２ａに添加するフィラーとしては、例えば、シリカ、マイカ、アルミナ、酸化チタン、窒化珪素等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００８５】
また、第２封止層４２ｂは、例えば、第１封止層４２ａが分散媒１５に溶出しないようにするための封止層としての機能、さらには、その弾性率が前述した範囲内に設定し得るように第２封止層４２ｂの構成材料が選択され、具体的には、第２封止層４２ｂの構成材料としては、例えば、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）の他、ポリエチレン、ポリプロピレンのような非極性ポリマー等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。中でも、ＰＶＡであることが好ましい。これらの材料（特に、ＰＶＡ）は、分散媒１５に溶出するおそれが少ないことから、電気泳動表示装置１０の不具合を好適に軽減することができる。また、ＰＶＡは、接着性が低い材料であるため、第２封止層４２ｂに電気泳動粒子３４が固着することを防止することができる。
【００８６】
なお、第２封止層４２ｂには、第２封止層４２ｂの材料を柔らかくするための添加剤が含まれていてもよい。この添加剤としては、例えば、グリセリンが挙げられる。添加剤は、ＰＶＡの固形分に対して５ｗｔ％以上５０ｗｔ％以下程度添加されることが好ましい。これにより、第２封止層４２ｂの弾性率を前述した数値範囲内に比較的容易に設定することができる。
【００８７】
また、添加剤は、グリセリンに限定されず、例えば、ポリエチレングリコール、グリセリン、尿素、ポリエチレンオキサイド、ポリプロピレングリコールから選択される１種または２種以上を混合したものを用いてもよい。
【００８８】
なお、第１封止層４２ａ、第２封止層４２ｂひいては封止層４２の弾性率の前述した数値範囲内への設定は、封止層４２（第１封止層４２ａ、第２封止層４２ｂ）中に含まれる水分量を制御して適宜変化させることによっても行うことができる。
また、封止層４２の光線透過率は、ＰＶＡが９９％であり、ＮＢＲも９９％である。
【００８９】
なお、封止層４２は、第１封止層４２ａと、第２封止層４２ｂとの積層体として設ける場合の他、第２封止層４２ｂの構成材料によっては、第１封止層４２ａを省略して、第２封止層４２ｂの単層で構成されるものであってもよいし、さらには、３層以上の積層体で構成されていてもよい。
【００９０】
ただし、封止層４２を形成する材料として接着剤を用いた場合、接着剤に含まれる例えば、完全に硬化しない反応性モノマー等の不純物が分散液の中に溶出することにより、この接着剤が電気泳動分散液３７に含まれる電気泳動粒子３４に付着して、電気泳動粒子３４の泳動性に影響を与えるおそれがある。しかしながら、本実施形態においては、封止層４２を、第１封止層４２ａと第２封止層４２ｂとを有するものとし、電気泳動粒子３４と接触する部分に第２封止層４２ｂを配置している。そのため、このような不具合も軽減することができる。
【００９１】
次に、かかる構成の電気泳動表示装置１０を製造するための製造方法（本発明の電気泳動表示装置の製造方法）を説明する。
【００９２】
＜電気泳動表示装置の製造方法＞
図９は、本発明の電気泳動表示装置の製造方法を工程順に示すフローチャートである。図１０〜図１７は、本発明の電気泳動表示装置の製造方法を説明するための図である。
【００９３】
以下、電気泳動表示装置の製造方法を、図９〜図１７を参照しながら説明する。
［１］まず、素子基板５１（第１基板）を用意し、その後、この素子基板５１上に、電気泳動分散液３７を充填する複数のセル３６に区切る（設ける）ための隔壁３５を形成する。なお、電気泳動分散液３７としては、分散媒１５と、電気泳動粒子３４とを含むものがセル３６内に充填される。
【００９４】
［１−１］まず、ガラス等の透光性材料からなる第１基材３１上に、ＴＦＴ１６や、ＩＴＯ等の光透過性材料からなる画素電極２１等を形成する（ステップＳ１１）。
【００９５】
具体的には、周知の成膜技術、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて、第１基材３１上にＴＦＴ１６および画素電極２１等を形成する。なお、以降の断面図を用いた説明においては、画素電極２１を除く、ＴＦＴ１６等の説明および図示を省略する。
【００９６】
［１−２］次いで、第１基材３１上に第１絶縁層３２を形成する（ステップＳ１２）。
第１絶縁層３２の製造方法としては、特に限定されず、例えば、第１基材３１上に絶縁性材料を、スピンコート法等を用いて塗布し、その後、絶縁性材料を乾燥させることにより形成することができる。
以上により、素子基板５１（第１基板）が完成する。
【００９７】
［１−３］次いで、素子基板５１（具体的には、第１絶縁層３２）上に、隔壁３５を形成する（ステップＳ１３）。
【００９８】
より具体的には、図１０に示すように、隔壁３５と、隔壁３５ａと、額縁隔壁６１と、を含む各種隔壁を同時に形成する。
【００９９】
隔壁３５、３５ａ、額縁隔壁６１は、例えば、周知の成膜技術、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて一括して形成することができる。
【０１００】
このように、隔壁３５、３５ａ、額縁隔壁６１を、同じ材料で同時に形成することにより、これらを、効率よく製造することができる。
【０１０１】
なお、隔壁３５は、分散媒１５に溶解しない材質からなり、その材質は有機物か無機物かは問われない。具体的に、有機物材料の例としては、ウレタン樹脂、ウレア樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、アクリルシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、スチレンアクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ブチラール樹脂、塩化ビニリデン樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂等が挙げられる。これらの樹脂単体または二種類以上の複合剤を使用する。
以上により、隔壁３５が設けられた素子基板５１（第１基板）が完成する。
【０１０２】
［２］次に、図１１に示すように、対向基板５２を用意し、その後、この対向基板５２（第２基板）上に、電気泳動分散液３７をセル３６内に封止するための封止層４２（接合層）を形成する。
【０１０３】
［２−１］まず、第２基材４１上に共通電極２２を形成する（ステップＳ２１）。
具体的には、ガラス基板等の透光性材料からなる第２基材４１上の全面に、周知の成膜技術を用いて共通電極２２を形成する。
以上により、対向基板５２（第２基板）が完成する。
【０１０４】
［２−２］次いで、共通電極２２上に封止層４２、すなわち第１封止層４２ａおよび第２封止層４２ｂを形成する（ステップＳ２２、ステップＳ２３）。
【０１０５】
第１封止層４２ａおよび第２封止層４２ｂの形成方法としては、図１１に示すように、例えば、対向基板５２上にＮＢＲ（アクリロニトリルブタジエンゴム）をスピンコート等の塗布法で成膜し、その後、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を同様に塗布法で成膜する。ＰＶＡには、上記したように、グリセリン等の添加剤が添加されている。
【０１０６】
さらに、エッチング法を用いて、形成すべき第１封止層４２ａおよび第２封止層４２ｂの形状に対応して、ＰＶＡおよびＮＢＲをパターニングすることで、第１封止層４２ａおよび第２封止層４２ｂを得る。なお、塗布法に限定されず、印刷法を用いて形成するようにしてもよい。
【０１０７】
また、第１封止層４２ａおよび第２封止層４２ｂを備える封止層４２の形成の後、この封止層４２を焼成する。第１封止層４２ａおよび第２封止層４２ｂに含まれる構成材料を前述したようなものとした場合、これらは比較的吸湿性または吸着性の高い材料である。そのため、封止層４２に含まれる水分量を調整することを目的に、封止層４２を焼成する。
【０１０８】
この封止層４２を焼成する際の温度は、封止層４２の構成材料によっても若干異なるが、７０℃以上１５０℃以下であることが好ましく、８０℃以上１１０℃以下であることがより好ましい。また、焼成する時間は、特に限定されないが、例えば、０．５時間以上１０時間以下であることが好ましく、１時間以上３時間以下であることがより好ましい。
【０１０９】
以上の工程［２−１］〜工程［２−２］を経ることで、封止層４２が形成された対向基板５２（第２基板）が完成する。
【０１１０】
［３］次に、図９、図１２〜図１７を参照しながら、素子基板５１と対向基板５２とを貼り合わせることで電気泳動表示装置１０を得る。以下、この方法について説明する。
【０１１１】
［３−１］まず、図１２に示すように、大気中において、額縁隔壁６１の上面に第１シール材１４ａを塗布する（ステップＳ３１）。
【０１１２】
第１シール材１４ａの材料は、例えば、比較的粘度の高い紫外線硬化型樹脂および熱硬化型樹脂（カヤトロン）等の液性硬化型樹脂が用いられる。第１シール材１４ａの粘度は、例えば、３０万Ｐａ・ｓ〜１００万Ｐａ・ｓであり、好ましくは４０万Ｐａ・ｓである。塗布したときの第１シール材１４ａの高さは、例えば、５μｍ以上２０μｍ以下程度である。
【０１１３】
［３−２］次いで、素子基板５１上の表示領域Ｅ、すなわち、図１３に示すように、額縁隔壁６１で囲まれた領域内に、白色粒子および黒色粒子を含む電気泳動粒子３４と、分散媒１５とを含有する電気泳動分散液３７を塗布する（ステップＳ３２）。
【０１１４】
これにより、素子基板５１と隔壁３５とで区画されたセル３６内に、電気泳動分散液３７が注入される。
【０１１５】
塗布方法としては、例えば、ディスペンサーを用いる。また、ダイコーター等も適用することができる。なお、第１材料およびこの第１材料を含有する分散媒１５として、シリコーンオイルを用いる場合、このシリコーンオイルの粘度は、例えば、２ｍＰａ・ｓ以上１０Ｐａ・ｓ以下である。第１材料の量としては、素子基板５１と対向基板５２とを貼り合せたときに、第１材料と、第２材料が主材料として含まれる水分封止層４４との合計が、額縁隔壁６１で囲まれた中を満たすような液量である。本実施形態において額縁隔壁６１の高さは、例えば、１５μｍ以上４５μｍ以下程度である。
【０１１６】
なお、額縁隔壁６１が形成されていることにより、第１シール材１４ａが表示領域Ｅ側に入り込んで広がることを防ぐことができる。また、第１シール材１４ａの幅が所定の幅より広がらないように規制することができる。これにより、第１シール材１４ａの強度を十分に確保することができる。
【０１１７】
［３−３］次いで、図１４に示すように、対向基板５２に設けられた封止層４２と、素子基板５１に設けられた隔壁３５が対向するように配置した後、図１５に示すように、素子基板５１と対向基板５２との間に、電気泳動分散液３７と、封止層４２とを封止する（第１封止；ステップＳ３３）。
【０１１８】
すなわち、封止層４２が介在するように、隔壁３５と対向基板５２とを接合する。
このとき、封止層４２に隔壁３５の頂部３５’（隔壁先端）が食い込む（埋没する）状態となるように、素子基板５１と対向基板５２とを接近させる。換言すれば、封止層４２において、隔壁３５と平面視で重なる部分と、隔壁３５と平面視で重ならない部分とを断面視で比較した際に、封止層４２の素子基板５１側の面における、隔壁３５と平面視で重なる部分がそうでない部分よりも対向基板５２側に位置するまで、対向基板５２を素子基板５１に圧力Ｘを付与することで押圧していく。
【０１１９】
この際、額縁隔壁６１と第１封止層４２ａとの積層体が素子基板５１と対向基板５２との間のセルギャップを規定するスペーサーとしても機能する。また、この際、第１封止層４２ａを、ギャップ材を含むものとすることで、前記スペーサーによる、セルギャップの規定精度の向上が図られる。
【０１２０】
上記の通り、素子基板５１に対向基板５２を押圧していくと、第１シール材１４ａが潰されると共に、電気泳動分散液３７が額縁隔壁６１および第１シール材１４ａよりも内側に押され充填される。このとき、表示領域Ｅに設けられた隔壁３５の頂部３５’は、対向基板５２側に設けられた封止層４２に食い込む薄膜部４５が形成される。これにより、各セル３６内に、電気泳動分散液３７が封止される。
【０１２１】
さらに、本実施形態では、形成される薄膜部４５が、断面視で湾曲したアーチ状をなし、この封止層４２の薄膜部４５と、隔壁３５の頂部３５’との間に、少なくとも分散媒１５が充填された充填部４３が形成されるが、この際、かかる形状の薄膜部４５と、凸条をなす頂部３５’の縁部と薄膜部４５とが線接触により接触することで、セル３６内が封止される。そのため、前記工程［３−２］において、表示領域Ｅに電気泳動分散液３７を塗布した際に、仮に、各セル３６内に供給された電気泳動分散液３７の供給量にバラツキが生じていたとしても、素子基板５１に対する対向基板５２の押圧の際には、隣接するセル３６間における充填部４３を介した分散媒１５の受け渡しを、小さい排出抵抗により実施できる。よって、各セル３６内において電気泳動分散液３７をより均一な充填量で封止することができる。したがって、得られる電気泳動表示装置１０は、表示領域Ｅ内における、表示斑や応答遅れ発生が解消された、優れた表示特性を有するものとなる。
【０１２２】
以上のようにして、対向基板５２に設けられた封止層４２に、隔壁３５の頂部３５’を食い込ませることで、素子基板５１と対向基板５２とが接合される。
【０１２３】
その後、図１６に示すように、第１シール材１４ａが紫外線硬化型樹脂であれば紫外線Ｙを照射して、第１シール材１４ａを硬化させる。また、熱硬化型樹脂であれば、加熱することにより硬化させる。
【０１２４】
素子基板５１と対向基板５２とを貼り合せたときのセルギャップは、２０μｍ以上５０μｍ以下程度である。
【０１２５】
［３−４］次いで、図１７に示すように、大気中において、額縁隔壁６１と第１シール材１４ａとの積層体の外周に第２シール材１４ｂを塗布して接着する（第２封止；ステップＳ３４）。
これにより、素子基板５１と対向基板５２とを強固に接着固定することができる。
【０１２６】
具体的には、第２シール材１４ｂは、水分が入らず比較的低い粘度であり、隙間に入り込むことが重要であり、例えば、アクリル樹脂やエポキシ樹脂等である。なお、第２シール材１４ｂの粘度は、第１シール材１４ａの粘度よりも低く、例えば、１００Ｐａ・ｓ以上５００Ｐａ・ｓ以下であり、好ましくは、４００Ｐａ・ｓ程度である。第２シール材１４ｂの幅は、例えば、３００μｍ以上５００μｍ以下程度である。
【０１２７】
第２シール材１４ｂを塗布する方法としては、例えば、ディスペンサーやダイコーター等が用いられる。以上により、図１７に示すように、素子基板５１と対向基板５２とによって挟持された空間が封止される。その後、必要に応じて、製品の形状に切断する。
以上のような工程を経ることで、電気泳動表示装置１０が得られる。
【０１２８】
以上、本発明の電気泳動表示装置、電気泳動表示装置の製造方法および電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明の電気泳動表示装置は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１２９】
また、前述した実施形態では、隔壁３５が格子状をなしていたが、隔壁３５の平面視形状としては、特に限定されない。例えば、ハニカム状、多角形状、丸形状、三角形状等に構成されていてもよい。
【０１３０】
さらに、薄膜部４５が、断面視で湾曲したアーチ状をなしていたが、薄膜部４５の断面視における形状は、これに限定されず、例えば、鋭角をなす角部を備えるものであってもよい。
【０１３１】
また、素子基板５１側に隔壁３５や額縁隔壁６１を配置することに限定されず、対向基板５２側に隔壁３５や額縁隔壁６１を配置するようにしてもよい。
【０１３２】
また、第１基材３１および第２基材４１は、表示側に光透過性を有する材料を用いればよく、ガラス基板の他、プラスチック基板を用いるようにしてもよい。
【０１３３】
さらに、額縁隔壁６１をスペーサーとして利用することに限定されない。素子基板５１と対向基板５２との間のセルギャップを規定するために、例えば別の部材をスペーサーとして設ける場合は、額縁隔壁６１の高さは隔壁３５の高さと等しくてもよい。
【０１３４】
また、本発明の電気泳動表示装置の製造方法では、任意の目的で、工程［１］の前工程、工程［１］と工程［２］との間、工程［２］と工程［３］との間に存在する中間工程、または工程[３] の後工程を追加するようにしてもよい。
【０１３５】
また、隔壁３５を、フォトリソグラフィ法を用いて形成することに限定されず、例えば、ナノインプリント法やスクリーン印刷法、凸版印刷法、グラビア印刷法等の印刷プロセスで形成するようにしてもよい。
【実施例】
【０１３６】
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
１．評価用サンプルの製造
（サンプルＮｏ．１；実施例相当）
＜１＞まず、平均厚さ０．５ｍｍのガラス基板を第１基材３１として備え、その下面側に平板電極を備えるものを用意した。次に、この第１基材３１上に、エポキシ樹脂で構成される樹脂層（３１μｍ）を形成した後、この樹脂層をエッチングすることにより、幅５μｍ・高さ３１μｍの隔壁３５を格子状に形成した。
【０１３７】
＜２＞次いで、平均厚さ０．５ｍｍのガラス基板を第２基材４１として備え、その下面側に平板電極を備えるものを用意した。次に、この第２基材４１上に、第１封止層４２ａおよび第２封止層４２ｂを成膜することで封止層４２を形成した。その後、この封止層４２を、１００℃×２時間の条件で焼成した。
【０１３８】
なお、第１封止層４２ａおよび第２封止層４２ｂの成膜は、第２基材４１上にヒドリンゴムをスピンコート法で成膜し、その後、ＰＶＡをスピンコート法で成膜することにより行った。なお、この際に得られた、第１封止層４２ａおよび第２封止層４２ｂの厚さは、それぞれ、１５μｍおよび４００ｎｍであった。また、第１封止層４２ａおよび第２封止層４２ｂの２５℃における弾性率は、それぞれ、２ＭＰａおよび１ＧＰａであり、これらの積層体である封止層４２の２５℃における弾性率は１２ＭＰａであった。
【０１３９】
＜３＞次いで、第１基材３１上の隔壁３５の外周に、紫外線硬化性エポキシ樹脂を第１シール材１４ａとして塗布した。その後、第１基材３１と隔壁３５とで形成された凹部内に電気泳動粒子３４と、分散媒１５としてのシリコーンオイル（粘度：２ｍＰａ・ｓ）とを含有する電気泳動分散液３７を塗布することで注入した。なお、電気泳動粒子３４として含まれる、白色粒子の平均粒子径は２５０ｎｍであり、黒色粒子の平均粒子径は１８０ｎｍであった。
【０１４０】
＜４＞次いで、前記工程＜３＞において、第１基材３１と隔壁３５により形成された凹部内に電気泳動分散液３７が充填された第１基材３１に対して、前記工程＜２＞において、封止層４２が形成された第２基材４１を、隔壁３５と封止層４２とが対向するようにして、第１基材３１と第２基材４１とを貼り合わせた。
【０１４１】
なお、この貼り合わせは、５００Ｐａの真空負圧環境下で、封止層４２に隔壁３５の頂部３５’が食い込むまで、素子基板５１に対向基板５２を押圧した後に、第１シール材１４ａに紫外線を照射して硬化させることにより行った。なお、封止層４２に隔壁３５の頂部３５’が食い込むことで形成された電気泳動層３３の厚さは、２５μｍであった。
以上のような工程を経ることで、サンプルＮｏ．１の評価用サンプルを製造した。
【０１４２】
（サンプルＮｏ．２；比較例相当）
前記工程＜２＞において形成する、第２封止層４２ｂの厚さを１００ｎｍとしたこと以外は、前記サンプルＮｏ．１と同様にしてサンプルＮｏ．２の評価用サンプルを製造した。
【０１４３】
なお、サンプルＮｏ．２の評価用サンプルが備える封止層４２の２５℃における弾性率は４ＭＰａであった。
【０１４４】
（サンプルＮｏ．３；比較例相当）
前記工程＜２＞において形成する、第２封止層４２ｂの厚さを７００ｎｍとしたこと以外は、前記サンプルＮｏ．１と同様にしてサンプルＮｏ．３の評価用サンプルを製造した。
【０１４５】
なお、サンプルＮｏ．３の評価用サンプルが備える封止層４２の２５℃における弾性率は３０ＭＰａであった。
【０１４６】
（サンプルＮｏ．４；比較例相当）
前記工程＜２＞において、第２封止層４２ｂの成膜時の成膜条件を変更することで、２５℃における弾性率が０．３ＧＰａの第２封止層４２ｂを成膜したこと以外は、前記サンプルＮｏ．１と同様にしてサンプルＮｏ．４の評価用サンプルを製造した。
【０１４７】
なお、サンプルＮｏ．４の評価用サンプルが備える封止層４２の２５℃における弾性率は２ＭＰａであった。
【０１４８】
（サンプルＮｏ．５；比較例相当）
前記工程＜２＞において、第２封止層４２ｂの成膜時の成膜条件を変更することで、２５℃における弾性率が６ＧＰａの第２封止層４２ｂを成膜したこと以外は、前記サンプルＮｏ．１と同様にしてサンプルＮｏ．５の評価用サンプルを製造した。
【０１４９】
なお、サンプルＮｏ．５の評価用サンプルが備える封止層４２の２５℃における弾性率は８０ＭＰａであった。
【０１５０】
２．評価
サンプルＮｏ．１の評価用サンプル〜サンプルＮｏ．５の評価用サンプルについて、それぞれ、白色表示した際および黒色表示した際の表示斑の有無を目視にて観察した。
【０１５１】
その結果、サンプルＮｏ．１の評価用サンプルでは、表示斑が認められないのに対して、サンプルＮｏ．２〜５の評価用サンプルでは、明らかな表示斑が認められた。
【０１５２】
また、サンプルＮｏ．１〜５の評価用サンプルについて、それぞれ、分解し、封止層４２の頂部３５’を食い込ませた領域を観察したところ、サンプルＮｏ．１の評価用サンプルでは、断面視で湾曲したアーチ状をなす薄膜部４５が形成され、この薄膜部４５と頂部３５’との間に、電気泳動分散液３７が充填された充填部４３が認められた。これに対して、サンプルＮｏ．２、４の評価用サンプルでは、封止層４２の弾性率が低過ぎるため、薄膜部４５が形成されるものの、薄膜部４５が頂部３５’の形状に追従し、充填部４３が認められず、さらに、サンプルＮｏ．３、５の評価用サンプルでは、封止層４２の弾性率が高過ぎるため、封止層４２に頂部３５’を食い込ませることができず、薄膜部４５および充填部４３が認められない結果を示した。
【０１５３】
これらのことから、サンプルＮｏ．１の評価用サンプルでは、封止層４２の薄膜部４５と、隔壁３５の頂部３５’との間に、電気泳動分散液３７が充填された充填部４３が形成されることで、サンプルＮｏ．１の評価用サンプルが優れた表示品質を示す結果が得られた。これに対して、サンプルＮｏ．２〜５の評価用サンプルでは、封止層４２の薄膜部４５と、隔壁３５の頂部３５’との間に、電気泳動分散液３７が充填された充填部４３が形成されず、これにより、封止層４２の頂部３５’と接触する領域において、第２封止層４２ｂに破断が生じたり、隣接するセル３６間において充填される電気泳動分散液３７の充填量にバラツキが生じたことに起因して、サンプルＮｏ．２〜５の評価用サンプルの表示品質が損ねられていると推察される結果が得られた。
【符号の説明】
【０１５４】
１０…電気泳動表示装置、１１…画素、１２…データ線、１３…走査線、１４…シール部、１４ａ…第１シール材、１４ｂ…第２シール材、１５…分散媒、１６…トランジスター、２１…画素電極、２２…共通電極、３１…第１基材、３２…第１絶縁層、３３…電気泳動層、３４…電気泳動粒子、３５…隔壁、３５'…頂部、３５ａ…隔壁、３６…セル、３７…電気泳動分散液、４１…第２基材、４２…封止層、４２ａ…第１封止層、４２ｂ…第２封止層、４３…充填部、４４…水分封止層、４５…薄膜部、５１…素子基板、５２…対向基板、６１…額縁隔壁、１００…電子機器、１１０…操作部、Ｄ…ダミー画素領域、Ｅ…表示領域、Ｅ１…額縁領域、Ｗ１…額縁隔壁の幅、Ｗ２…第２シール材の幅、Ｘ…圧力、Ｙ…紫外線、ｔ…食い込み量
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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