(57)【要約】【課題】クロストークによる吐出不良を検査できるインクジェットの吐出検査方法とインクジェット塗布方法を提供すること。【解決手段】複数のノズルから、インク液を吐出し、上記インク液のドットにより構成される検査パターンを形成する形成工程と、上記検査パターンを撮像する撮像する撮像工程と、上記撮像工程により取得した上記検査パターンの画像データを評価する評価工程と、上記評価工程で不良とされた上記ノズルに対して、塗布条件を補正する補正工程と、を有するインクジェットの吐出検査方法を用いる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルから、インク液を吐出し、前記インク液のドットにより構成される検査パターンを形成する形成工程と、
前記検査パターンを撮像する撮像する撮像工程と、
前記撮像工程により取得した前記検査パターンの画像データを評価する評価工程と、
前記評価工程で不良とされた前記ノズルに対して、塗布条件を補正する補正工程と、
を有するインクジェットの吐出検査方法。
【請求項２】
前記評価工程では、
ドット位置検査と、ドット形状検査と、サテライト形状検査を行なう請求項１記載のインクジェットの吐出検査方法。
【請求項３】
前記ドット位置検査では、前記ドットの位置と理想のドットの位置との位置ずれ量を算出することで、良否を判断し、
前記ドット形状検査では、前記ドットの面積と理想のドットの面積との差を算出し、良否を判断する請求項２記載のインクジェットの吐出検査方法。
【請求項４】
前記サテライト形状検査では、前記ドットの面積が基準値Ｂ以下であり、前記ドットと最も近い他の前記ドットとの距離が、理想の前記ドット間距離より小さい場合、サテライトと判断し不良とする請求項２または３記載のインクジェットの吐出検査方法。
【請求項５】
前記サテライト形状検査では、同一の前記ノズルからの吐出された前記ドットにおいて、前記サテライトが複数個ある場合をサテライトと判断する請求項２から４のいずれか１校に記載のインクジェットの吐出検査方法。
【請求項６】
前記ドット形状検査では、前記ドットを５つの分類に分け判断する請求項２〜５のいずれか１項に記載のインクジェットの吐出検査方法。
【請求項７】
前記分類は、第１補正不可領域の領域と、第１補正可能領域と、良品領域と、第２補正可能領域と、第２補正不可領域とである請求項６に記載のインクジェットの吐出検査方法。
【請求項８】
前記ドット位置検査で不良とされた場合、前記インク液の塗布タイミングを補正し、
前記ドット形状検査で不良とされた場合、前記インク液の吐出量を補正する請求項２〜７のいずれか１項に記載のインクジェットの吐出検査方法。
【請求項９】
前記検査パターンは、
前記インクジェットの同一ヘッド内の隣接するノズルから吐出され、かつ、前記ドットが結合しない間隔で連続して配置されるような検査パターンである請求項１〜８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの吐出検査方法。
【請求項１０】
前記検査パターンは、
１０個以上の連続する前記ノズルから液滴を吐出させ、各前記ノズルから７回連続して吐出させる請求項１〜９のいずれか１項に記載のインクジェットの吐出検査方法。
【請求項１１】
インクジェット塗布装置で、インクジェット塗布を行なう工程と、
前記インクジェット塗布装置において、請求項１〜１０のいずれか１項に記載のインクジェットの吐出検査方法で、インクジェットの吐出検査を行なう工程と、を含むインクジェット塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットの吐出検査方法とインクジェット塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイのカラーフィルターや、有機ＥＬディスプレイ等のデバイスを製造する方法として、例えば機能性材料を含む液状体をインクジェット法により複数のノズルから液滴として吐出し、被吐出体に機能性材料の膜を形成する方法が知られている。
【０００３】
このインクジェット方式は、簡便でコストが安く、インクの使用量が少ない等のメリットがある。しかし、その反面、インクジェットヘッドのノズルから吐出されるインク滴の体積が小さく、表面積も大きいため、インクを構成する溶剤が蒸発しやすい。
【０００４】
このため、インクに含まれる成分がノズル表面で析出し、ノズルが詰まってインクが出なくなる等の問題や、ノズル周辺へのごみの付着や析出物の発生などで、インクの吐出タイミングのズレなどによる要因でインク液滴のドット位置に異常が発生する問題が存在している。
【０００５】
そこで、例えば特許文献１のように、デバイスの製作時に発生する不良を最小限に抑えるために、インクジェットヘッドから吐出されるインクが異常な吐出をしたり、吐出しなかったりする不良ノズルを検出する方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２０１０／０９００８０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ドット位置の異常が発生する要因は、上記要因で発生する以外でも起こりうる場合がある。その発生要因として、インクジェットヘッドは、駆動によって各インクジェットノズルに繋がっているインク室内に発生する圧力波が原因で射出性能が不均一になることがある。
【０００８】
駆動によってインク室内に発生した圧力波が、共通インク室によって連通している他のインク室に伝播し、その圧力波が伝播したインク室の射出特性に変動を生じさせてしまうためである。この現象は、いわゆるクロストークと呼ばれる現象である。
【０００９】
このクロストークの現象は、他のインクジェットノズルに対応するインク室の挙動によって発生するため、上記のような従来の単一ドットでのドット形態情報を用いたインクジェットヘッドの吐出状態検出方法では検出できない。
【００１０】
本発明の目的は、クロストークによる吐出不良を検査できるインクジェットの吐出検査方法とインクジェット塗布方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、複数のノズルから、インク液を吐出し、上記インク液のドットにより構成される検査パターンを形成する形成工程と、上記検査パターンを撮像する撮像する撮像工程と、上記撮像工程により取得した上記検査パターンの画像データを評価する評価工程と、上記評価工程で不良とされた上記ノズルに対して、塗布条件を補正する補正工程と、を有するインクジェットの吐出検査方法を用いる。
を用いる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のインクジェットヘッドの吐出状態検査方法によれば、クロストークが要因で発生するインク液のドット形状異常を検出できる。また、単一のドット形状情報を用いたインクジェットヘッドの吐出状態検出方法では発見できない不良を発見できる。結果、この不良を設備へフィードバックすることで、クロストークが要因で発生する混色ＮＧを事前に抑え込むことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施の形態であるインクジェットヘッドの吐出状態検査方法を搭載したインクジェット装置の構成を示す説明図
【図２】インクジェットヘッドをＸＺ面で切断した際の概略構成を示す断面図
【図３】インクジェットヘッドをＸＹ面で切断した際の概略構成を示す断面図
【図４】インクジェットヘッドの吐出状態検査方法を示す概略の工程図
【図５】（ａ）インクジェットヘッド内で隣接するノズルを同時吐出する実験形態を示す図、（ｂ）インクジェットヘッド内で隣接するノズルを同時吐出することで発生する、速度低下を示すグラフ
【図６】実施の形態の検査パターンである、複数個のドットを連続で吐出して、格子状に前記ドットが配置される撮像パターンの一例を示す写真の図
【図７】実施の形態の検査パターンである、複数個のドットを連続で吐出して、格子状に前記ドットが配置される撮像パターンの一例を示す写真の図
【図８】実施の形態の検査パターンである、複数個のドットを連続で吐出して、格子状に前記ドットが配置される撮像パターンの一例を示す説明図
【図９】従来の先行文献１内で示される、単一ドットによる検査用パターンを示す説明図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
＜インクジェット装置の構成＞
図１は、実施の形態のインクジェットヘッドの吐出状態検査機構を搭載したインクジェット装置の構成を示す説明図である。図１のインクジェット装置１００は、基台１０１と、ガイドレール１０２と、ステージ１０３と、インクジェットヘッド支持構造１０４と、インクジェットヘッド１０５とを備える。
【００１５】
ガイドレール１０２は、基台１０１上にｘ方向に沿って設けられている。
【００１６】
ステージ１０３は、ガイドレール１０２に沿ってｘ方向にスライド自在に取り付けられている。
【００１７】
インクジェットヘッド支持構造１０４は、基台１０１上にガイドレール１０２を挟んで立てられた２本の脚部と、ガイドレール１０２を跨いで２本の脚部を連結する梁部とを備える。
【００１８】
インクジェットヘッド１０５は、インクジェットヘッド支持構造１０４の梁部に固定されている。
【００１９】
基板１０６は、ステージ１０３上に載置される。基板１０６は、インクジェット装置１００によりインクが塗布される対象であれば、どのようなものでも構わない。例えば、基板１０６が、有機ＥＬ表示パネルを製造するための基板であってもよい。
【００２０】
インクジェット装置１００は、ステージ１０３をガイドレール１０２に沿ってスライドさせながら、適切なタイミングでインクジェットヘッド１０５からインクを吐出させる。これにより、基板１０６上の適切な位置にインクを着弾させることができる。
【００２１】
インクジェット装置１００は、インクジェットヘッド１０５と、インクジェットヘッド１０５にインクを供給するためのインク供給系１０７と、インクジェットヘッド１０５からインクを排出するためのインク排出系１０８とを備える。
【００２２】
インクジェット装置１００は、インクジェットヘッド１０５と、撮像装置支持構造１０９と撮像装置１１０とを備える。撮像装置支持構造１０９は、撮像装置１１０をｙ方向に沿ってスライド可能な構造となっている。撮像装置１１０は、ステージ１０３上の基板１０６上の全体を撮像できる構造になっている。インクジェット装置１００はインクジェットヘッド１０５から基板１０６へインク液を吐出させインク液のドット画像を撮像装置１１０にて撮影を行いインク液の吐出状態を検査する。
【００２３】
なお、図示しないが、各構成要素を制御する制御部がある。
【００２４】
＜インクジェットヘッド１０５＞
図２、図３はインクジェットヘッドを模式的に示した断面図とである。図２は、鉛直方向の断面図、図３は、水平方向の断面図である。
【００２５】
インクジェットヘッド１０５は、外枠１３０と、天板１３９と、ノズル板１４０とを備える。天板１３９およびノズル板１４０は、略同寸法の長尺矩形状の形状を有している。外枠１３０は、ノズル板１４０と天板１３９との間に存在している。インクジェットヘッド１０５は、さらに、図２の断面図に示す通り、外枠１３０で囲まれた空間を仕切る仕切壁１３２を備える。インク供給室１３５及びインク排出室１３６は、外枠１３０の一部と仕切壁１３２とで構成される。インク室１３３は仕切壁１３２で構成され、複数のインク室１３３が、ｘ方向に並んでいる。インク供給室１３５及びインク排出室１３６は、複数のインク室１３３をｙ方向に挟んで互いに反対に存在する。
【００２６】
図２の断面図に示すように、各インク室には、インク室１３３内のインクに圧力変動を付与するアクチュエータ１３１を備えている。アクチュエータ１３１は天板１３９の下面に固定されている。アクチュエータ１３１としては、例えば、ピエゾ素子を利用することが可能である。アクチュエータ１３１はインク室１３３内のインクに圧力を付与することにより、インク室１３３内のインクがノズル１３４を通して外部に排出される。
【００２７】
また、図３の断面図に示しように、各々のインク室１３３は、インク供給孔１３７、インク排出孔１３８を有する。インク供給室１３５内のインクは、インク供給孔１３７を通ってインク室１３３に供給される。インク室１３３内のインクは、インク排出孔を通ってインク排出室１３６へ排出される。各インクジェットヘッドのインク供給室１３５は、天板１３９に設けられたインク供給口１４１を通じて、インク供給系１０７へ接続されている。インク排出室１３６は、天板１３９に設けられたインク排出口１４２へ接続されている。これにより、インクジェットヘッド１０５内のインクを流動させることが出来る。
【００２８】
＜検査方法＞
図４は、本実施の形態の吐出状態検査方法を説明する概略の工程図である。本実施の形態の吐出状態検査方法は、パターン形成工程２０１と、撮像工程２０２と、評価工程２０３と、補正工程２０４とを備えている。
【００２９】
パターン形成工程２０１は、インク液をインクジェットヘッド１０５の評価対象の各々のノズル１３４から、基板１０６に向けて液滴を吐出し、基板１０６上に検査用パターンを形成する工程である。
【００３０】
撮像工程２０２は、基板１０６状に掲載された前記検査用パターンをカメラにより撮像する工程である。
【００３１】
評価工程２０３は、撮像工程２０２で取得した前記検査用パターンの画像データを用いて、画像評価装置により、塗布されたドッドと、理想ドット状態との比較を実施し、予め設定された閾値との差異を検査する工程である。
【００３２】
評価工程２０３において正常と判定されたインクジェットヘッドのノズル１３４と、及び異常（不良）と判定されたインクジェットヘッドのノズル１３４のうち、補正による正常化が不可能であると判断されたノズル１３４とは、評価が完了する。
【００３３】
補正工程２０４は、評価工程２０３において前記異常（不良）と判定されたインクジェットヘッドのノズル１３４のうち、補正による正常化が可能であると判断されたノズル１３４に対して、評価工程２０３により決定した補正値を投入する。このことで、検査用パターンの最適化を実施し、再度のパターン形成工程２０１から検査が開始される。
【００３４】
＜検査条件＞
図５（ａ）は、インクジェットヘッド内で隣接するノズル１３４を同時吐出する実験形態を示す。７つの連続するノズル１３４から液滴が、同時に塗布される状態である。
【００３５】
図５（ｂ）は、前記実験結果である中央のノズル１３４での速度低下を示すグラフである。この速度低下は、いわゆるクロストークと呼ばれる現象により発生している。
【００３６】
前記クロストークが発生する要因として、図２、図３で、インクジェットヘッド１０５は、駆動によって各々のインク室１３３内に発生する圧力波が原因で射出性能が不均一になることがある。駆動によって各々のインク室１３３内に発生した圧力波が、インク供給室１３５、及びインク排出室１３６を通じて、隣接及び近傍に存在している他のインク室１３３に伝播し、その圧力波が伝播したインク室の射出特性に変動を生じさせてしまう。特にインク液滴の射出速度特性に大きく影響していく。
【００３７】
この前記クロストークの影響は、近傍で駆動するアクチュエータ１３１が存在するインク室１３３の数が多いほど影響が大きくなることが確認できた。その実験データが図５（ｂ）で示されている実験形態と、インク液滴の吐出速度と、同時に吐出させるノズル１３４吐出数との相関を示すグラフとなっている。
【００３８】
図５（ｂ）のデータより、検査用パターンとして、吐出されるインク液のドットの吐出において、ノズル１３４間距離が、クロストークの影響で吐出速度低下が大きく顕在化する。
【００３９】
このため、インクジェットヘッドのノズル１３４の同時吐出が１０ノズル１３４以上の検査パターンを用いる必要がある。
【００４０】
また、隣接のノズル１３４のスキャン方向（塗布方向）の間隔をＡとして、少なくともＡ×９［ｍｍ］以上の前記インク液のドットが連続配置されるような検査パターンを用いる必要がある。
【００４１】
図５（ｂ）のデータより、前記インクジェットヘッドのノズル１３４の同時吐出が３つノズル１３４以上から、クロストークの影響による吐出速度低下が発生し始める。
【００４２】
このことを考慮して、Ａ×９［ｍｍ］以上連続配置された前記インク液のドットの中で、少なくともＡ×２［ｍｍ］以上長さで連続している複数の前記インク液のドットを検査範囲と定める。
【００４３】
連続して１０個のノズルからインク液を吐出させて必要がある。
【００４４】
この範囲を前記ドット形態情報に基づいて、該当ドット形態情報と予め設定された閾値と比較することで、クロストークの影響を含む、単体のインク液のドットでは確認できない、吐出異常のノズル１３４を発見することが可能になる。
【００４５】
例えば、インクのドット径２０ｕｍ，スキャン方向ピッチ５０ｕｍ，隣接のノズル１３４のスキャン方向間隔０．１６９ｍｍの場合、スキャン方向に少なくとも３１ドット以上吐出し、そのうちの７ドット以上を観察すれば判定を行うことが出来る。少なくとも７つ液滴を吐出させる必要がある。
【００４６】
なお、ノズルの設計事項で上記値が変化するが、液晶ディスプレイのカラーフィルターや、有機ＥＬディスプレイ等のデバイスを製造する場合のノズルでは、上記値が必要である。
【００４７】
＜検査パターン＞
図６は実施の形態の正常なヘッドの検査パターンである複数個の連続するノズル１３４からインクのドットを連続で吐出して、格子状に前記ドットが配置される撮像パターンの一例を示す写真である。クロストークにより発生する吐出異常の検出は、特許文献１の図９で示されるような従来の単一ドットでのドット形態情報を用いたインクジェットヘッドの吐出状態検出方法では検出できない。そのため、図６のような、連続で吐出を実施することで近傍のインク室１３３より圧力波を発生させ、クロストークの影響をあえて顕著に発生させる。
【００４８】
＜検査１＞
図７は実施の形態の異常のノズル１３４を有するヘッドの検査パターンである、複数個のドットを連続で吐出して、格子状に前記ドットが配置される撮像パターンの一例を示す写真である。図７のように近傍に存在するインク室１３３内に存在するアクチュエータ１３１を連続で駆動させることで作成した検査パターンにおいては、クロストークの影響によりドット位置が１液滴目から徐々に理想位置からズレていくことが確認できる。実施の形態は、この図７のような挙動を示す異常吐出を検出するために前記検査パターンを印字していく。
【００４９】
＜検査２＞
図８は、異常のノズル１３４を有するヘッドの実施の形態の検査パターンである。複数個のドットを連続で吐出して、格子状に前記ドットが配置される撮像パターンの一例を示す図である。図８に示すように着弾したインクドットはそれぞれ、径や面積、形状などが異なっている。
【００５０】
＜評価工程２０３＞
評価工程２０３では、ドットの位置や面積などを、ノズル１３４ごとに連続で着弾された液滴ドットを指定個数分、ドット形態情報として取得する。ドット形態情報に基づき連続で着弾されたドットの指定個数分のそれぞれについて、（１）ドット位置検査、（２）ドット形状検査及び、（３）サテライト形状検査を実施する。この結果に基づいて、吐出不良のノズル１３４の特定を行う。
【００５１】
（１）ドット位置検査では、検査に必要な指定された複数個の連続ドットに対して、重心位置を算出する。そして、各液滴ドットに対して、あらかじめ設定しておいた理想ドットとの差をノズル１３４列方向及びスキャン方向ついて算出を行う。
【００５２】
このドット位置検査では、理想ドット位置との差（ズレ量）が、予め設定しておいた許容値内に収まっているか否かが判断され、許容値内の場合は「良」、許容値外の場合は「不良」と判定される。また、理想ドット位置とのズレ量から、インク液の吐出タイミングに関する必要補正量を算出する。
【００５３】
（２）ドット形状検査では、検査に必要な指定された複数個の連続ドットに対して、それらの面積を算出する。そして、各液滴ドットに対して、あらかじめ設定しておいた理想面積との差の算出を行う。
【００５４】
このドット形状検査では、理想ドット形状（面積）との差が、予め設定しておいた許容値内に収まっているか否かが判断され、許容値内の場合は「良」、許容値外の場合は「不良」と判定される。
【００５５】
この許容値外であると判定された液滴ドットのうち、ドット面積の値がある閾値Ａよりも大きな場合、２つ以上の液滴がくっ付いていると判断する。逆にある閾値Ｂよりも小さな場合、それは液滴ではなく基板上のチリ、もしくはサテライトであると判断する。
【００５６】
更に、許容値外ではあるが、その面積値がＡ，Ｂの閾値内に入っている場合、理想ドット形状の面積値とのズレ量が算出される。このズレ量から、インクの吐出量のズレ量も算出され、それによりインク吐出量の必要補正量も算出される。判断とその内容を表１に示す。５つの領域に分け判断する。
【００５７】
【表１】
2019155307.tif 000003
【００５８】
（３）サテライト形状検査では、検査に必要な指定された複数個の連続ドットに対して、サテライトの面積、位置を算出する。ここで「サテライト」とは、インクの粘度やノズル１３４からの吐出圧力の不良などによって生じるドッドから分かれた液滴である。インク滴の液離れに起因する規則的な汚れを示している。
【００５９】
このサテライトの検出方法としては、例えば、ある液滴ドットのドット位置から最も近傍にある液滴との距離を算出する。その距離が理想の液滴ドット間隔よりも近接している場合で、かつ、その近接している液滴のドット形状が、閾値Ｂ以下であった場合、その液滴はサテライトであると判断する。
【００６０】
また、サテライトは規則的な汚れを示しているため、検査パターン内の複数個の連続ドットに対して２カ所以上で発生する場合をサテライトと判定する。１か所の場合はごみ等の場合があるので、サテライトとは判定しない。
【００６１】
ここで、サテライトについては、その吐出量（面積）や、メインドットと距離、形状不良に関して、それぞれに設定した閾値との比較を行い、各々のノズル１３４の合否判定を行う。
【００６２】
＜結果＞
このような各検査を図８の検査用パターンにて実施すると、例えば、次のような判断結果が得られる。
【００６３】
１番：理想的なドットであり合格
枠内のすべての液滴ドットの位置、及びドット形状がすべて「良」判定であっため合格とする。
【００６４】
２番：不吐出で不合格
理想ドット位置に、まったく液滴ドットが存在していないため不吐出と判定。不合格とする。
【００６５】
３番：位置ズレで補正実施
理想ドット位置と比較を行い、液滴ドットの位置が「不良」となっているため不合格と判定。ただし、ドット理想位置とのズレ量が各液滴で大きな差異が無い場合、インク液の吐出タイミング補正量を算出して、補正を行う。
再度、検査を実施して、すべての検査に「良」判定の場合は合格と判断する。
【００６６】
４番：位置ズレで不合格
理想ドット位置と比較を行い、液滴ドットの位置が「不良」となっているため不合格と判定。また、ドット理想位置とのズレ量が各液滴で差異がある場合は、吐出タイミングでは補正できない、クロストークによる影響と判断して、補正を実施しない。
【００６７】
５番：ドット形状で補正実施
理想ドット形状との比較を行い、面積が「不良」となっているため不合格と判定。ただし、理想形状の面積とのズレ量が各液滴で大きな差異が無い場合、インク吐出量の補正値を算出して、補正を行う。再度検査を実施して、すべての検査に「良」判定の場合は合格と判定。
【００６８】
６番：位置ズレで不合格
理想ドット位置と比較を行い、液滴ドットの位置が「不良」となっているため不合格と判定。
【００６９】
７番：隣接のノズル１３４の影響考慮し再測定
理想ドット形状との比較を行い、面積が「不良」となっているため不合格と判定する。しかし、一部の液滴ドットが面積値の閾値がＡ以上で、２つの液滴がくっ付いている状態のものが存在しているが、液滴の数が理想ドット時の数から減少していない場合、隣接のノズル１３４のズレの影響を受けている可能性がある。
【００７０】
ここで、隣接のノズル１３４に不合格が発生している場合は、その隣接のノズル１３４を補正、もしくは止めた状態にして、再度検査を実施する。再度検査を実施して、すべての検査に「良」判定の場合は合格と判定。
８番：ドット形状で不合格
理想ドット形状との比較を行い、面積が「不良」となっているため不合格と判定とする。一部の液滴ドットが面積値の閾値がＡ以上で、２つの液滴がくっ付いている状態のものが存在しており、液滴の数が理想ドット時の数から減少している場合、液滴ごとに吐出速度が変動していると考える。これは、クロストークの影響があると判断して、補正を実施しない。
【００７１】
９番：サテライトの発生で不合格
サテライト発生の検証を行い、２か所以上でのサテライト判定が確認できるため不合格と判定する。
【００７２】
１０番：基板上のごみ判定で合格
サテライト発生の検証を行い、１か所のみでしかサテライト判定が確認できないため、合格であると判定。
【００７３】
このように、実施の形態における吐出状態検査方法は、インク液滴の吐出不良に関して複数の情報を取得することが可能であるため、不良のノズル１３４を高精度で特定することが可能である。また、どのノズル１３４が不良のノズル１３４であるかを把握できるとともに、不良要因も把握することが可能であるため、不良要因に応じて、理想ドット位置からの位置補正、異常吐出のノズル１３４の未使用化など、適宜対応することにより、高品質な電子デバイスを製造することが可能となる。
【００７４】
（全体として）
インクジェット塗布装置で、インクジェット塗布を行なう工程ととともに、同じインクジェット塗布装置において、実施の形態のインクジェットの吐出検査方法で、インクジェットの吐出検査を行なう工程とを含むインクジェット塗布方法とすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本願インク塗布評価方法は、インクジェットのインク吐出の評価だけでなく、広く塗布装置の液滴塗布の評価ができる。
【符号の説明】
【００７６】
１００  インクジェット装置
１０１  基台
１０２  ガイドレール
１０３  ステージ
１０４  インクジェットヘッド支持構造
１０５  インクジェットヘッド
１０６  基板
１０７  インク供給系
１０８  インク排出系
１０９  撮像装置支持構造
１１０  撮像装置
１３０  外枠
１３１  アクチュエータ
１３２  仕切壁
１３３  インク室
１３４  ノズル
１３５  インク供給室
１３６  インク排出室
１３７  インク供給孔
１３８  インク排出孔
１３９  天板
１４０  ノズル板
１４１  インク供給口
１４２  インク排出口
２０１  パターン形成工程
２０２  撮像工程
２０３  評価工程
２０４  補正工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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