(57)【要約】      （修正有）【課題】良好なインピーダンス特性を備えたＴＯパッケージを提供する。【解決手段】ＴＯパッケージ１は、オプトエレクトロニクス素子用の台座２を備える。台座は、電気的なフィードスルーを含む。フィードスルーは、封止用コンパウンド５内に埋設されている接続ピン３ａ、３ｂとして形成されている。台座は凹部１０を含む。凹部内で、接続ピンの少なくとも１つが、フィードスルーの１つにおいて、台座の下面１１から引き出されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
オプトエレクトロニクス素子用の台座を備え、
前記台座は、封止用コンパウンド、特にガラスから成る封止用コンパウンド内に埋設された接続ピンとして形成された少なくとも１つの電気的なフィードスルーを有しており、
前記台座は、好ましくは下面に凹部を有し、前記凹部内で前記接続ピンの少なくとも１つは、前記フィードスルーの１つにおいて、前記台座の前記下面から引き出されている、
ことを特徴とするＴＯパッケージ。
【請求項２】
２つの、特に厳密に２つのコンタクトピンが、厳密に１つの凹部において、前記下面から引き出されている、請求項１記載のＴＯパッケージ。
【請求項３】
前記凹部は、中空空間を形成する、または前記封止用コンパウンドの誘電率よりも低い誘電率を有する材料によって充填されている、請求項１または２記載のＴＯパッケージ。
【請求項４】
前記凹部は、横断面において、実質的に円形または長孔の形状で形成されている、請求項１から３までのいずれか１項記載のＴＯパッケージ。
【請求項５】
前記凹部は、１〜５ｍｍ、好ましくは１．２〜２．７５ｍｍの長さｌｃを有しており、かつ０．３〜３ｍｍ、好ましくは０．７〜１．８ｍｍの幅ｄｃを有しており、または０．３〜３ｍｍ、好ましくは０．７〜１．８ｍｍの直径を有しており、かつ／または０．１〜１．５ｍｍ、好ましくは０．４〜０．８ｍｍの深さを有しており、かつ／または
前記フィードスルーは、０．７〜１．４ｍｍの幅または直径ｄｇおよび／または１．４５〜２．３５ｍｍの長さｌｇを有しており、かつ／または
１つのフィードスルー内に配置されている２つの接続ピンは、０．５〜０．９５ｍｍの間隔ｐを有しており、かつ／または
前記フィードスルーにおける少なくとも１つの接続ピンの直径は、０．２〜０．５ｍｍであり、かつ／または
前記凹部は、前記フィードスルーの１．２〜５倍、好ましくは１．５〜２倍の幅／直径を有している、請求項１から４までのいずれか１項記載のＴＯパッケージ。
【請求項６】
前記凹部は、前記台座の高さの２０〜５０％、好ましくは３５〜４５％を、少なくとも、前記凹部に接している領域において占めている、請求項１から５までのいずれか１項記載のＴＯパッケージ。
【請求項７】
前記凹部内に配置された導体路区間は、前記電気的なフィードスルー内に配置されている導体路区間と比べて１．２〜４倍、好ましくは１．６〜２．７倍高いインピーダンスを有している、請求項１から６までのいずれか１項記載のＴＯパッケージ。
【請求項８】
ＴＯパッケージにオプトエレクトロニクス素子が実装されており、かつＴＯパッケージは、導体路に接続されており、前記導体路の接続点と前記オプトエレクトロニクス素子の接続点との間に延在している信号経路のインピーダンスは、１０〜１５０Ωであり、好ましくは４０〜６０Ωである、または２０〜３０Ωである、または９０〜１１０Ωである、請求項１から７までのいずれか１項記載のＴＯパッケージ。
【請求項９】
前記接続ピンは、プリント回路基板、特にフレキシブルプリント回路基板に接続されており、
プリント回路基板の少なくとも１つの接続点と接続ピンは、ほぼ前記台座の前記下面の高さに位置している、請求項１から８までのいずれか１項記載のＴＯパッケージ。
【請求項１０】
前記凹部は、前記電気的なフィードスルーの直径の１．０〜４．０倍、好ましくは１．０〜３．０倍、特に有利には１．２〜２．５倍の大きさの幅または直径を有している、請求項１から９までのいずれか１項記載のＴＯパッケージ。
【請求項１１】
前記凹部は、前記電気的なフィードスルー内に配置されている、前記接続ピンの区間の直径の１．５〜５．０倍、好ましくは２．０〜３．０倍の大きさの幅または直径を有している、請求項１から１０までのいずれか１項記載のＴＯパッケージ。
【請求項１２】
前記台座は、単層であり、特にワンピースに形成されている、請求項１から１１までのいずれか１項記載のＴＯパッケージ。
【請求項１３】
前記パッケージの信号経路の反射減衰量は、１０〜２０ＧＨｚの範囲において平坦部を形成し、前記平坦部内で、前記反射減衰量は、１０〜３５ｄＢであり、好ましくは１５〜２０ｄＢであり、かつ／または
１０〜２０ＧＨｚの範囲において、前記パッケージの信号経路の前記反射減衰量は、±２．５ｄＢの間の範囲内にある、請求項１から１２までのいずれか１項記載のＴＯパッケージ。
【請求項１４】
前記ＴＯパッケージの前記台座を打ち抜き加工し、前記凹部をエンボス加工する、請求項１から１３までのいずれか１項記載のＴＯパッケージを製造する方法。
【請求項１５】
前記凹部を、打ち抜き時にエンボス加工する、請求項１４記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
発明の分野
本発明は、オプトエレクトロニクス素子用のＴＯパッケージに関する。特に、本発明は、データ伝送のための受信側レーザーダイオードまたは送信側レーザーダイオード用のＴＯパッケージに関する。さらに本発明は、ＴＯパッケージを製造する方法に関する。
【０００２】
発明の背景
オプトエレクトロニクス素子用のＴＯ（Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ−Ｏｕｔｌｉｎｅ）パッケージが公知である。この種のパッケージは、送信側または受信側のレーザーダイオードに対して、特にデータ信号の伝送の領域において使用される。
【０００３】
特に、公知のパッケージは、金属の台座から成り、この金属の台座は、接続ピンを含んでいるガラスフィードスルーを有しており、これによってデータ信号が伝送される。プリント回路基板の接続点からオプトエレクトロニクス素子まで達する信号経路のインピーダンスは、ここで、オプトエレクトロニクス素子のインピーダンスおよび／またはオプトエレクトロニクス素子を駆動制御する、動作させるまたはオプトエレクトロニクス素子に給電する電子回路にマッチングされるべきである。１つの信号線路を有するオプトエレクトロニクス素子であるか、または２つの信号線路を有するオプトエレクトロニクス素子であるかに応じて、ここでは実際には、２５、５０または１００Ωのインピーダンスが一般に使用されている。
【０００４】
ガラスフィードスルー内の信号線路の区間を、高周波領域において、キャパシタンスとしてみなすことができ、この場合には、信号線路の接続ピンをオプトエレクトロニクス素子と接続するボンディングワイヤをインダクタンスとしてみなすことができる。
【０００５】
信号経路のインピーダンスマッチングのために、公開文献、独国特許出願公開第１０２０１３１１４５４７号明細書（DE102013114547A1）（Ｓｃｈｏｔｔ  ＡＧ）は、プリント回路基板の接続点を、ＴＯパッケージの台座の下面から間隔を空けて配置することを提示する。
【０００６】
接続ピンが、空気またはフィードスルーの封止用コンパウンドよりも低い誘電率εｒを有する封止用コンパウンドによって包囲されているこのような間隔を空けることによって、接続側で、付加的なインダクタンスが形成され、これを介して、信号経路のインピーダンスをマッチングさせることができる。
【０００７】
少なくとも、多くの適用ケースにおいて、プリント回路基板とＴＯパッケージの下面との間に所望の間隔を正確に保持することが困難であることが判明している。
【０００８】
発明の課題
これに対して、本発明の課題は、良好なインピーダンス特性を備えたＴＯパッケージを提供することであり、ここでは上述した、従来技術の欠点が、少なくとも低減されている。
【０００９】
特に、インピーダンス特性がさらに改善され、プリント回路基板上へのＴＯパッケージの実装がより容易にされるべきである。
【００１０】
発明の要約
本発明の課題は既に、請求項１記載のＴＯパッケージならびにこのＴＯパッケージを製造するための方法によって解決される。
【００１１】
本発明の有利な実施形態および発展形態は、従属請求項の構成要件、明細書ならびに図面から読み取れる。
【００１２】
本発明は、オプトエレクトロニクス素子用の台座を備えるＴＯパッケージに関する。この台座は、特に金属から形成されており、オプトエレクトロニクス素子用の実装領域を提供している。
【００１３】
好ましくは、台座上には、ウィンドウを備えたキャップ、特にレンズとして形成されているウィンドウを備えたキャップが載置されている。このウィンドウを通じて、データ伝送のために利用される電磁ビームが、パッケージ内部に入る、かつ／またはパッケージから出ることができる。
【００１４】
台座は、少なくとも１つの電気的なフィードスルーを有しており、この電気的なフィードスルーは、封止用コンパウンド内に埋設されている少なくとも１つの接続ピンとして形成されている。好ましくは、台座は、複数のフィードスルーを有しており、ここで少なくとも１つのフィードスルーは、信号伝送経路として用いられる。
【００１５】
好ましくは、無機封止用コンパウンド、特にガラスが使用される。
【００１６】
封止用コンパウンドの誘電率εr（＝ε／ε0）は、好ましくは４．５よりも低く、特に有利には４．０よりも低い。
【００１７】
封止用コンパウンドは、接続ピンと台座の機械的な接続にも、パッケージの密閉シーリングにも、台座に対する接続ピンの電気的な絶縁にも用いられる。
【００１８】
本発明では、台座は、凹部を有しており、ここで接続ピンは、この凹部の領域において、ＴＯパッケージから引き出されている。
【００１９】
凹部とは、台座の全体的な面積にわたって延在しておらず、その内部では、好ましくはプレート状の台座の厚さが低減されている、制限された領域のことである。
【００２０】
凹部は、好ましくは、台座の下面に配置されている。
【００２１】
別の実施形態では、台座の上面に、すなわちパッケージの内面側に、凹部が設けられていてもよい。上面にも下面にも、反対側に位置している凹部が設けられていてもよい。
【００２２】
接続ピンの少なくとも１つは、フィードスルーの１つにおいて、台座の下面から、凹部内で、引き出されている。封止用コンパウンドとその中に埋設されている、接続ピンの区間とから成るフィードスルーは、好ましくは、凹部の底面において終了する。
【００２３】
すなわち、凹部に基づいて、フィードスルーの出口箇所は、台座の、接している下面から、間隔を空けて配置されている。
【００２４】
プリント回路基板は、ここで直接的に、台座の下面に接して実装および接続され得る。下面に配置されている凹部に基づいて、フィードスルーから間隔を空けて配置されている接続点が得られ、これは、フィードスルーの下方での付加的なインダクタンス、ひいては改善されたインピーダンス特性を生じさせる。
【００２５】
凹部は、このために中空空間を形成する、またはフィードスルーの封止用コンパウンドの誘電率よりも低い誘電率εrを有する材料、特にプラスチック材料によって充填されていてもよく、特に、封止用コンパウンドの誘電率よりも少なくとも１．０低い誘電率εrを有する材料によって充填されていてもよい。
【００２６】
好ましくは、パッケージの台座は、単層であり、特にワンピースに形成されている。特に、台座内に凹部がエンボス加工されている。このようにして凹部は、特に容易に提供される。
【００２７】
別の実施形態では、台座は、複数の層から形成されており、この場合には、下方のパッケージ層がスルーホールを有している。上方のパッケージ層の下面は、この実施形態では、凹部の底面を形成している。
【００２８】
本発明の発展形態では、２つの、特に厳密に２つのコンタクトピンが、厳密に１つの凹部において、下面から引き出されている。本発明のこの実施形態は、特に、対称的な、場合によっては対称的な差動信号伝送（差動信号）のためのオプトエレクトロニクス素子用のＴＯパッケージのために、使用可能である。
【００２９】
しかし、ＴＯパッケージが３つ以上のフィードスルーを１つの信号線路に対して有していること、および／または各信号線路に対する少なくとも２つの接続ピンが、各唯一の凹部、特に円柱状の凹部内に設けられていることも可能である、ということを理解されたい。
【００３０】
好ましくは、ＴＯパッケージは、さらに、更なる接続ピンを含んでおり、これらの更なる接続ピンは、信号線路の接続に用いられない。これらの接続ピン用のフィードスルーは、好ましくは、凹部内に配置されていない。むしろ、オプトエレクトロニクス素子の電流供給および／または制御に用いられる接続ピンは、台座の下面まで達する封止用コンパウンド内に配置されている。
【００３１】
個々の接続ピンのフィードスルーにとって好ましくは、凹部は、平面視において実質的に円形であり、特に凹部は、円柱状に形成されている。特に、円形から僅かに相違している形状の場合、最大直径と最小直径の比は、最大で１．２である。
【００３２】
２つの接続ピンを備えるフィードスルーにとって好ましくは、凹部は、実質的に長孔の形状で形成されている。しかしこのフィードスルーは、楕円形に形成されていてもよい。
【００３３】
基礎の少なくとも１つの面から始まる少なくとも１つの凹部の深さ、もしくは凹部が２つの場合には２つの凹部の総体的な深さは、好ましくは、基礎の厚さの１〜８０％であり、有利には４〜６５％であり、特に有利には１５〜３０％である。凹部は、上述のように、１つの面からまたは２つの面から始まっていてよい。ここで両面に凹部がある場合には、個々の深さは異なっていてよい。
【００３４】
有利な実施形態では、インピーダンス特性の調整のために、凹部は、特に台座の高さの２０〜５０％、好ましくは３５〜４５％を、台座の、少なくとも、凹部に接している領域において占めている。すなわち凹部は、凹部の領域における台座の厚さの２０〜５０％の深さである。
【００３５】
好ましくは、凹部内に配置された、フィードスルーの下方終端部からプリント回路基板への接続点まで達する導体路区間は、電気的なフィードスルー内に配置されている、台座の下面から上面まで達しており、したがって封止用コンパウンドによって包囲されている導体路区間と比べて１．２〜４倍、好ましくは１．６〜２．７倍高いインピーダンスを有している。
【００３６】
本発明では、インピーダンスとは、線路の特性インピーダンスのことである。
【００３７】
電流と電圧の比は、波が伝播している場合には、出力の特性インピーダンスである。特性インピーダンスは、線路にとって特徴的である。特性インピーダンスは、横断面寸法と材料定数とから得られる。したがって、特性インピーダンスは、線路定数である。特性インピーダンスは、（線路が変化しない限りは）場所に関連しておらず、周波数が高い場合には、特にここで重要な周波数が５ＧＨｚを超えている場合には、周波数に関連していない。
【００３８】
本発明によって、２０ＧＨｚの場合には、１２ｄＢを超える、好ましくは１５ｄＢを超える反射減衰量が得ることができた。
【００３９】
特に１０〜２０ＧＨｚの範囲の反射減衰量が平坦部を形成するＴＯパッケージを提供することにとりわけ成功した。この平坦部内で、反射減衰量は、１０〜３５ｄＢであり、好ましくは１５〜２０ｄＢである。パッケージの幾何学的形状および／または材料を設計することによって、少なくとも高い周波数へのインターバルのシフトおよび／または拡張が実現可能である。
【００４０】
好ましくは、１０〜２０ＧＨｚの範囲において、パッケージの信号経路の反射減衰量は、±２．５ｄＢの間の範囲、すなわち５ｄＢのウィンドウ内にある。
【００４１】
挿入減衰（挿入損失）量は、好ましくは、１０〜２０ＧＨｚの範囲において、０．５ｄＢよりも低い。
【００４２】
ＴＯパッケージにオプトエレクトロニクス素子が実装されており、ＴＯパッケージが導体路、特に柔軟な導体路に接続されている場合、信号経路のインピーダンスは、特に１０〜１５０Ωであり、好ましくは４０〜６０Ωである、または２０〜３０Ωである、または９０〜１１０Ωである。
【００４３】
ＴＯパッケージが、電子回路を備えたプリント回路基板に接続されている場合、プリント回路基板上のこの電子回路は、好ましくは信号経路のインピーダンス±５Ωを有している。
【００４４】
すなわち、電子回路のインピーダンスは、信号経路のインピーダンスに少なくともほぼ相当する。電子回路のインピーダンスとオプトエレクトロニクス素子のインピーダンスは、信号伝送経路のインピーダンスに関して、ひいては特に凹部の設計に関して、ＴＯパッケージの設計を特定する。
【００４５】
信号経路はここで、導体路での接続点からオプトエレクトロニクス素子の接続点まで達する。したがって、信号経路は、凹部の領域内のインダクタンスと、フィードスルーの領域の容量と、ボンディングワイヤによって形成されたインダクタンスとから成る。
【００４６】
凹部は、好ましくは、接続ピンと封止用コンパウンドから形成されている電気的なフィードスルーの直径もしくは幅の１．０〜４．０倍、好ましくは１．０〜３．０倍、特に有利には１．２〜２．５倍の大きさの幅または直径を有する。
【００４７】
好ましくは、凹部は、電気的なフィードスルー内に配置されている、接続ピンの区間の直径の１．５〜５．０倍、好ましくは２．０〜３．０倍の大きさの幅または直径を有している。凹部の深さは、好ましくは０．１〜１．５ｍｍ、特に有利には０．４〜０．８ｍｍである。平らではない底面を有している凹部の場合、深さとは最大深さである。しかし好ましくは、凹部の底面は平らである。
【００４８】
本発明のＴＯパッケージは、好ましくは打ち抜かれた台座を有しており、ここで凹部はエンボス加工され、特に打ち抜き時に、エンボス加工される。
【００４９】
このようにＴＯパッケージの台座は、容易に製造可能である。使用目的に応じて、異なる深さの凹部を備えた台座を容易に製造することができる。幾何学的形状、特に凹部の深さを介して、信号経路のインピーダンスを各適用ケースに容易に合わせることができる。
【００５０】
以下に、本発明の構成要件を、図１〜図９を参照して、実施例に基づいて説明する。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】既にオプトエレクトロニクス素子が実装されている、本発明のＴＯパッケージのある実施例の台座の上面の平面図である。
【図２】図１に示されているＴＯパッケージの下面の斜視図である。
【図３】２つの別個の接続ピンが、それぞれ１つのフィードスルー内に配置されている、ＴＯパッケージの択一的な実施形態の下面の斜視図である。
【図４】フィードスルーならびに凹部の寸法を詳細に説明するための、少なくとも１つの接続ピンを備えたフィードスルーならびに凹部の詳細図である。
【図５】本発明のＴＯパッケージの概略的な側面図である。
【図６】図５に示されたＴＯパッケージをプリント回路基板に接続する方法を示す図である。
【図７】本発明のＴＯパッケージの、周波数に関連する反射減衰量のグラフである。
【図８】本発明のＴＯパッケージの、挿入減衰量のグラフである。
【図９】上面にも凹部が設けられているＴＯパッケージの別の実施形態の概略的な断面図である。
【００５２】
図面の詳細な説明
図１は、本発明のＴＯパッケージ１の台座２の上面の平面図を示している。完全なＴＯパッケージ１は、この台座２の上に載置されている、ウィンドウを備えたキャップを含んでいてよい（図示されていない）。
【００５３】
台座２は、この実施例では、円柱状に形成されており、特に打ち抜かれた金属部分から成っていてよい。
【００５４】
特に台座２は、鋼から成っていてよい。さらに、台座は、コーティング、特に、金を含有したコーティングを有していてよい。
【００５５】
台座２により、オプトエレクトロニクス素子６用の実装領域が形成されている。
【００５６】
オプトエレクトロニクス素子６は、この実施例では、増幅器８上に実装されているフォトダイオード７を含んでいる。
【００５７】
この実施例では、ＴＯパッケージ１は、入力信号および出力信号用の信号伝送接続ピンとして形成されている接続ピン３ａおよび３ｂを含んでいる。
【００５８】
接続ピン３ａおよび３ｂは、封止用コンパウンド５内に、特にガラスから成る封止用コンパウンド５内に埋設されており、これによって、電気的なフィードスルーが形成される。
【００５９】
ボンディングワイヤ９ａ、９ｂを介して、ＴＯパッケージ内の接続ピン３ａおよび３ｂは、オプトエレクトロニクス素子６と接続されている。
【００６０】
この種のＴＯパッケージ１は、通常、更なる接続ピン４を含んでいる、ということを理解されたい。これらは同様に、封止用コンパウンド、特にガラスから成る封止用コンパウンド内に埋設されていてよい。
【００６１】
しかし、接続ピン３ａおよび３ｂとは異なり、これらの接続ピン４は、入力信号または出力信号の伝達のために用いられるのではなく、電流供給のために用いられる、またはオプトエレクトロニクス素子６用の制御線路として用いられる。したがって、接続ピン４を通って案内される信号経路のインピーダンス特性には、通常、それほど高い要求は課せられない。
【００６２】
図２は、図１に示されたＴＯパッケージ１を、下面１１からの斜視図で示している。封止用コンパウンド５ならびに接続ピン３ａ、３ｂを含んでいる、接続ピン３ａ、３ｂを備えるフィードスルーが、凹部１０内に配置されていることが見て取れる。この実施例では、２つの接続ピン３ａ、３ｂが、唯一のフィードスルー内に配置されている。
【００６３】
凹部１０は、長孔状に形成されており、これによって、接続ピン３ａ、３ｂが、下面１１の高さではなく、ここから間隔を空けて、詳細には、ほぼ凹部１０の底面の高さで、台座２から突出するようになる。
【００６４】
信号線路として用いられるのではない更なる接続ピン（図１における４）は、この図では、分かり易くするために、記入されていない。
【００６５】
台座２は、好ましくはワンピースに形成されており、特に、凹部１０はエンボス加工されている。
【００６６】
図３は、ＴＯパッケージ１の図１／図２に対する択一的な実施形態を示している。この実施形態では、各個々の接続ピン３ａ、３ｂは、個々のフィードスルー内に配置されている。ここでこのフィードスルーは、それぞれ、個々の接続ピン３ａ、３ｂと、接続ピン３、３ｂが埋設されている封止用コンパウンド５とから成る。
【００６７】
この実施例では、２つの別個の凹部１０が設けられており、したがって、各接続ピン３ａ、３ｂのフィードスルーは、固有の凹部１０内に配置されている。
【００６８】
したがって各凹部１０は、この実施例では、円柱状に形成されている。
【００６９】
台座２は、ここに示されている実施例では、二層で形成されている。しかし、２つの別個のフィードスルーを備える、図３に示されている実施形態も、一層で設計されていてよい、ということに留意されたい。
【００７０】
その他の点でも、図３に示されている実施例は、図１／図２において先に示された実施例に相応していてよい。
【００７１】
図４を参照して、凹部およびフィードスルーの有利な寸法が、実施例に基づいて、より詳細に説明される。しかしこれは、本発明の全ての実施形態に対して有効であり、先行する図面に示された実施形態に対してのみ、有効なのではない。
【００７２】
ここに示されているように、２つの接続ピン３ａ、３ｂが１つのフィードスルー１４内に配置されている場合には、凹部１０は、１〜５ｍｍ、好ましくは１．２〜２．７５ｍｍの長さｌｃを有している。さらに凹部は、好ましくは、０．３〜３ｍｍ、特に有利には０．７〜１．８ｍｍの幅ｄｃを有している。
【００７３】
個々の接続ピンを備えたフィードスルーに対する円柱状の凹部１０（ここには図示されていない）の場合には、その直径ｄｃは、０．３〜３ｍｍ、好ましくは０．７〜１．８ｍｍである。
【００７４】
凹部１０は、好ましくは、０．１〜１．５ｍｍ、特に有利には０．４〜０．８ｍｍの深さを有している。
【００７５】
封止用コンパウンド５は、０．７〜１．４ｍｍの幅、もしくは個々の接続ピンに対する円柱状の設計の場合には直径ｄｇ、および／または１．４５〜２．３５ｍｍの長さｌｇを有している。
【００７６】
相互に間隔の空いた２つの接続ピン３ａ、３ｂを備えるフィードスルー１４の場合には、間隔ｐは、０．５〜０．９５ｍｍである。
【００７７】
フィードスルー１４における個々の接続ピン３ａ、３ｂの直径は、好ましくは０．２〜０．５ｍｍである。
【００７８】
接続ピン３ａ、３ｂは、厚みを持たせたヘッドを有していてよく、またはパッケージ内側へ曲げられて形成されていてよく、これは特に、ボンディングワイヤ（図１の９ａ，９ｂ）の長さを低減するために用いられ得る。
【００７９】
好ましくは、凹部は、フィードスルー１４の１．２〜１．５倍、好ましくは１．５〜２倍の幅もしくは１．２〜５倍、好ましくは１．５〜２倍の直径を有している。
【００８０】
図５は、図１／図２に示されたＴＯパッケージ１を概略的な断面図で示している。
【００８１】
封止用コンパウンド５および封止用コンパウンド５内に配置されている、接続ピン３ａの区間によって形成されているフィードスルー１４が、台座２を通って延在していることが見て取れる。
【００８２】
この実施例では、接続ピン３ａは（好ましくは接続ピン３ｂも）厚みを持たせたヘッド１２を有している。これによって、ボンディングワイヤ９ａの長さを低減することができる。このボンディングワイヤ９ａによって、接続ピン３ａは、オプトエレクトロニクス素子６と接続されている。
【００８３】
フィードスルーの下に、凹部１０が配置されている。この凹部によって、封止用コンパウンド５ひいてはフィードスルーが、台座２の下面１１の上方で、特に、ほぼ凹部１０の底面の高さで終了する。
【００８４】
図６は、ここでプリント回路基板１３、特にフレキシブルプリント回路基板１３が、ＴＯパッケージ１にどのように接続されているのかを示している。プリント回路基板１３は、台座２の下面（図５における１１）上に被着されており、すなわち、少なくとも自身の上面で、台座２の下面の高さレベルに位置している。
【００８５】
凹部１０に基づいて、プリント回路基板１３のコンタクト領域１５および接続ピン３ａは、フィードスルー１４から間隔を空けて配置されている。
【００８６】
コンタクト領域１５とフィードスルー１４との間の間隔は、ここで実質的に凹部１０の深さｔに相当する。
【００８７】
凹部１０が、中空空間として形成されていることによって、または封止用コンパウンド５よりも低い誘電率を有する材料によって充填されていることによって、インダクタンスが生じる。
【００８８】
プリント回路基板１３の接続およびフィードスルー１４からのコンタクト領域１５の所定の間隔の保持を容易に行うことが可能である。
【００８９】
接続のために、プリント回路基板１３のコンタクト路に孔が開けられてよい。このような場合には、プリント回路基板１３が台座２の下面に載置されるまで、接続ピン３ａ、３ｂが各孔を通して案内され、コンタクト領域１５を容易にはんだ付けすることができる。
【００９０】
更なる接続ピン４が同じ様に接触接続されてよく、ここでこれらの接続ピン４のフィードスルーの下方に凹部は設けられておらず、したがってプリント回路基板１３が直接的に、これらの接続ピン４のうちの１つの接続ピンの各フィードスルーに接する。
【００９１】
さらに、フィードスルー１４の出口領域１６において、溶解時に、封止用コンパウンド５が接続ピン３ａで引き上げられ得ることが見て取れる。接続ピン３ａはこの場合には、凹部１０の底面の上方でも、封止用コンパウンド５の区間によって包囲されている。これは場合によっては、相応に深い凹部１０によって補償される。
【００９２】
図７に示されているグラフは、ＴＯパッケージの本発明の実施例の反射減衰量（ｒｅｔｕｒｎ  ｌｏｓｓ）（実線）を、凹部の無いＴＯパッケージの反射減衰量（破線）と比べてｄＢで示している。
【００９３】
ｘ軸上には周波数がＧＨｚで示されており、ｙ軸上には反射減衰量がｄＢで示されている。
【００９４】
反射減衰量は、反射された信号と入力信号との間の対数的な比である。反射減衰量が大きくなるほど、コンポーネントのインピーダンスマッチングがより良好になる。たとえば、反射減衰量が−３ｄＢの場合には、信号の５０％だけが伝送され、反射減衰量が−１０ｄＢの場合には依然として９０％が伝送される。
【００９５】
１０〜２０ＧＨｚの周波数範囲において、平坦部が形成され、反射減衰量は既に、１０ＧＨｚにおいて、約５ｄＢ高いことが見て取れる。
【００９６】
凹部の無いＴＯパッケージの場合、適用ケースに対して好適に設定された１０〜２０ＧＨｚの範囲においても、反射減衰量は連続的に上昇する。
【００９７】
２０ＧＨｚでは、ＴＯパッケージの本発明の設計によって、５ｄＢ以上高い反射減衰量が得ることができた。
【００９８】
特に、１０〜２０ＧＨｚの全体的な範囲において、反射減衰量が、−１５ｄＢ〜−２０ｄＢにあるＴＯパッケージが得ることができた。
【００９９】
２０ＧＨｚを上回ると、本発明のＴＯパッケージでも、反射減衰量が連続的に低下し、むしろ３０ＧＨｚを超えると、凹部の無いＴＯパッケージの場合よりも、反射減衰量が低くなってしまう。したがって本発明のＴＯパッケージは、１０ＧＨｚを超えるが２０ＧＨｚを下回る適用ケースに対して特に適している。
【０１００】
図８は、同じ図で、本発明のＴＯパッケージの挿入減衰量（ｉｎｓｅｒｔｉｏｎ  ｌｏｓｓ）（実線）を、凹部の無いＴＯパッケージの挿入減衰量（破線）と比べて示している。
【０１０１】
本発明のＴＯパッケージが、改善された挿入減衰量も有していることが見て取れる。たとえば挿入減衰量は、１０〜２０ＧＨｚの全体的な周波数範囲において、低くなっている。
【０１０２】
各適用ケースに対して使用される周波数範囲において、できるだけ高い反射減衰量と、できるだけ低い挿入減衰量が得られるべきである、ということを理解されたい。
【０１０３】
本発明によって、幅広い周波数範囲において近似的に一定の反射減衰量を得ることができるのは特に有利である。
【０１０４】
図９は、ＴＯパッケージ１の別の実施形態の概略的な断面図を示しており、ここでは台座２は、上面にも下面にもそれぞれ凹部１０ａ、１０ｂを有している。
【０１０５】
接続ピン３ａは、凹部１０ａ、１０ｂ内で、フィードスルー１４において、台座２を通って案内されている。
【０１０６】
その他の点では、ＴＯパッケージは、上述したＴＯパッケージに相応していてよい。
【０１０７】
別の、図示されていない実施形態では、上面にのみ、凹部が設けられていてもよい。
【符号の説明】
【０１０８】
１  ＴＯパッケージ、  ２  台座、  ３ａ，３ｂ  接続ピン、  ４  接続ピン、  ５  封止用コンパウンド、  ６  オプトエレクトロニクス素子、  ７  フォトダイオード、  ８  増幅器、  ９ａ，９ｂ  ボンディングワイヤ、  １０，１０ａ，１０ｂ  凹部、  １１  下面、  １２  ヘッド、  １３  プリント回路基板、  １４  フィードスルー、  １５  コンタクト領域、  １６  出口領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【外国語明細書】
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