(57)【要約】【課題】洗浄液再生方法において、洗浄液を比重分離して再生を行う場合に、より正確かつ効率的な再生を行うことができるようにする。【解決手段】洗浄液再生方法は、繰り返し使用する第１液体と、第１液体から比重分離可能な第２液体と、を含む使用済み洗浄液を準備すること（ステップＳ１１）と、使用済み洗浄液を第１貯留槽に貯留して、使用済み洗浄液内の第１液体および第２液体を互いに静置分離すること（ステップＳ１２）と、静置分離された使用済み洗浄液を第１貯留槽の下部から、液種を検知しつつ排出することにより、使用済み洗浄液から第２液体を選択的に排除すること（ステップＳ１３）と、記第２液体が排除された使用済み洗浄液に、少なくとも補充用の第２液体を混合することによって再生洗浄液を調製すること（ステップＳ１４）と、を含む。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
繰り返し使用する第１液体と、前記第１液体から比重分離可能な第２液体と、を含む使用済み洗浄液を準備することと、
前記使用済み洗浄液を第１貯留槽に貯留して、前記使用済み洗浄液内の前記第１液体および前記第２液体を互いに静置分離することと、
静置分離された前記使用済み洗浄液を前記第１貯留槽の下部から、液種を検知しつつ排出することにより、前記使用済み洗浄液から前記第２液体を選択的に排除することと、
前記第２液体が排除された前記使用済み洗浄液に、少なくとも補充用の第２液体を混合することによって再生洗浄液を調製することと、
を含む、洗浄液再生方法。
【請求項２】
前記再生洗浄液を調製することは、
前記第２液体が排除された前記使用済み洗浄液に、補充用の第１液体を混合すること、
をさらに含む、請求項１に記載の洗浄液再生方法。
【請求項３】
繰り返し使用する第１液体と、前記第１液体から比重分離可能な前記第１液体よりも比重が大きい第２液体と、を含む使用済み洗浄液を再生する洗浄液再生装置であって、
前記使用済み洗浄液の前記第１液体および前記第２液体を互いに静置分離するために、前記使用済み洗浄液を貯留する第１貯留槽と、
前記第１貯留槽の下部から、前記第１貯留槽内で静置分離された前記第２液体を前記第１貯留槽の外部に排出する排出部と、
前記第１貯留槽の前記下部または前記排出部における所定位置にて前記使用済み洗浄液の液種を検出することによって、前記第２液体の排出状態の情報を取得する分離排出検出部と、
前記第１貯留槽における前記第１液体の残量を検出する残量検出部と、
前記第１貯留槽に補充用の第２液体を供給する第２液体供給部と、
を備える、洗浄液再生装置。
【請求項４】
前記排出部によって前記使用済み洗浄液の前記第２液体の排出を開始させ、
前記分離排出検出部からの情報に基づいて前記第１貯留槽から前記使用済み洗浄液の前記第２液体の排出が終了したと判定した後、前記排出部による排出を停止させ、
前記残量検出部によって検出された前記残量に基づいて、予め決められた配合比となるように、前記第２液体供給部によって前記補充用の第２液体を前記第１貯留槽に供給させる、
制御を行う制御部を、
さらに備える、請求項３に記載の洗浄液再生装置。
【請求項５】
前記第１貯留槽に補充用の第１液体を供給する第１液体供給部をさらに備え、
前記制御部は、
前記残量検出部によって検出された前記残量に基づいて、予め決められた配合比となるように、前記第１液体供給部および前記第２液体供給部によって前記補充用の第１液体および前記補充用の第２液体を前記第１貯留槽に供給させる制御を行う、
請求項４に記載の洗浄液再生装置。
【請求項６】
繰り返し使用する第１液体と、前記第１液体から比重分離可能な前記第１液体よりも比重が小さい第２液体と、を含む使用済み洗浄液を再生する洗浄液再生装置であって、
前記使用済み洗浄液の前記第１液体および前記第２液体を互いに静置分離するために、前記使用済み洗浄液を貯留する第１貯留槽と、
前記第１液体を貯留可能な第２貯留槽と、
前記使用済み洗浄液を、前記第１貯留槽の下部から、前記第２貯留槽と、前記第２貯留槽以外の前記第１貯留槽の外部と、のいずれかに選択的に排出する排出部と、
前記第１貯留槽の下部または前記排出部における前記使用済み洗浄液の液種を検知することによって、前記第１液体の排出状態の情報を取得する分離排出検出部と、
前記第２貯留槽に貯留された前記第１液体を前記第１貯留槽に移送する移送部と、
前記第１貯留槽に移送された前記第１液体の移送量を検出する移送量検出部と、
前記第１貯留槽に補充用の第２液体を供給する第２液体供給部と、
を備える、洗浄液再生装置。
【請求項７】
前記排出部によって前記第１貯留槽から前記第２貯留槽への前記使用済み洗浄液の前記第１液体の排出を開始させ、
前記分離排出検出部からの情報に基づいて前記第１貯留槽から前記使用済み洗浄液の前記第１液体の排出が終了したと判定した後、前記排出部によって前記使用済み洗浄液の前記第２液体を前記第１貯留槽の外部に排出させ、
前記使用済み洗浄液の前記第２液体の排出が終了した後、前記排出部による排出を停止させ、
前記移送部によって前記第２貯留槽に貯留された前記使用済み洗浄液の前記第１液体を前記第１貯留槽に移送させ、
前記移送量検出部によって検出された前記移送量に基づいて、予め決められた配合比となるように、前記第２液体供給部によって前記補充用の第２液体を前記第１貯留槽に供給させる制御を行う、
制御部を、
さらに備える、請求項６に記載の洗浄液再生装置。
【請求項８】
前記第１貯留槽に補充用の第１液体を供給する第１液体供給部をさらに備え、
前記制御部は、
前記移送量検出部によって検出された前記移送量に基づいて、予め決められた配合比となるように、前記第１液体供給部および前記第２液体供給部によって前記補充用の第１液体および前記補充用の第２液体を前記第１貯留槽に供給させる、
制御を行う、請求項７に記載の洗浄液再生装置。
【請求項９】
前記排出部は、
前記第１貯留槽の底面に開口し、排出方向に向かって内径が段階的または連続的に縮径する排出管路を有する、
請求項３〜８のいずれか１項に記載の洗浄液再生装置。
【請求項１０】
洗浄液を貯留する洗浄槽を有する洗浄装置と、
請求項３〜９のいずれか１項に記載の洗浄液再生装置と、
前記洗浄槽から前記洗浄液再生装置の前記第１貯留槽まで延びる第１移送管路を有し、前記第１移送管路を通して前記洗浄槽に貯留された使用済み洗浄液を前記第１貯留槽に移送する第１移送装置と、
前記洗浄液再生装置の前記排出部に設けられ、前記洗浄槽まで延びる第２移送管路を有し、前記第２移送管路を通して前記第１貯留槽に形成された再生洗浄液を前記洗浄槽に移送する第２移送装置と、
を備える、洗浄システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄液再生方法、洗浄液再生装置、および洗浄システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
被洗浄物を洗浄するため、種々の洗浄液が提案されている。例えば、炭化水素溶剤などの親油性の液体に、水、水性洗剤などの親水性の液体が混合されたエマルジョン洗浄液が知られている。
エマルジョン洗浄液において、親油性の液体と親水性の液体とはそれぞれの配合量および洗浄対象の汚れ成分が異なるため、それぞれの劣化速度も互いに異なる。このため、劣化が激しい方の液体を分離除去し、未使用の液体を補充する再生処理が行われる場合がある。
エマルジョン洗浄液は、静置しておくと親油性の液体と親水性の液体とに分離するため、比重差を利用した比重分離が可能である。例えば、特許文献１には、水が、水よりも比重が大きい有機溶剤に分散した分散液において、水と有機溶剤とを分離する水分離器が記載されている。特許文献１に記載の水分離器は、有機溶剤上に浮かんだ水を所定の高さに設けられた排水口から排出することによって、水のみを分離している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第２５３２８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような従来技術には、以下の問題がある。
特許文献１のように、比重分離した分散液の所定高さ以上の成分を排除する場合、分散液中の有機溶剤と水との混合比が変化すると、排出しきれない水が残留したり、有機溶剤の一部が水とともに排出されてしまったりするおそれがある。
例えば、特許文献１の水分離器を用いて、エマルジョン洗浄液の再生処理を行う場合、水が排出しきれない再生洗浄液に残留水に含まれる汚れ成分が残ってしまうため、再生洗浄液の洗浄能力が低下してしまうという問題がある。
有機溶剤は水よりも高価であるため、有機溶剤の一部が水とともに排出されてしまうと、エマルジョン洗浄液の再生コストが増大してしまうという問題がある。さらに、水とともに有機溶剤が排出されると、適切な排水処理が必要になるため、排水処理コストも増大してしまう。
このため、洗浄液の再生を行う場合に、より正確で効率的に排水できることが強く求められている。
【０００５】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、洗浄液を比重分離して再生を行う場合に、より正確かつ効率的な再生が可能となる洗浄液再生方法および洗浄液再生装置を提供することを目的とする。
さらに本発明は、必要に応じて洗浄液を再生することで安定した洗浄性能を持続することができる洗浄システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の第１の態様の洗浄液再生方法は、繰り返し使用する第１液体と、前記第１液体から比重分離可能な第２液体と、を含む使用済み洗浄液を準備することと、前記使用済み洗浄液を第１貯留槽に貯留して、前記使用済み洗浄液内の前記第１液体および前記第２液体を互いに静置分離することと、静置分離された前記使用済み洗浄液を前記第１貯留槽の下部から、液種を検知しつつ排出することにより、前記使用済み洗浄液から前記第２液体を選択的に排除することと、前記第２液体が排除された前記使用済み洗浄液に、少なくとも補充用の第２液体を混合することによって再生洗浄液を調製することと、を含む。
【０００７】
上記第１の態様の洗浄液再生方法では、前記再生洗浄液を調製することは、前記第２液体が排除された前記使用済み洗浄液に、補充用の第１液体を混合すること、をさらに含んでもよい。
【０００８】
本発明の第２の態様の洗浄液再生装置は、繰り返し使用する第１液体と、前記第１液体から比重分離可能な前記第１液体よりも比重が大きい第２液体と、を含む使用済み洗浄液を再生する洗浄液再生装置であって、前記使用済み洗浄液の前記第１液体および前記第２液体を互いに静置分離するために、前記使用済み洗浄液を貯留する第１貯留槽と、前記第１貯留槽の下部から、前記第１貯留槽内で静置分離された前記第２液体を前記第１貯留槽の外部に排出する排出部と、前記第１貯留槽の前記下部または前記排出部における所定位置にて前記使用済み洗浄液の液種を検出することによって、前記第２液体の排出状態の情報を取得する分離排出検出部と、前記第１貯留槽における前記第１液体の残量を検出する残量検出部と、前記第１貯留槽に補充用の第２液体を供給する第２液体供給部と、を備える。
【０００９】
上記第２の態様の洗浄液再生装置では、前記排出部によって前記使用済み洗浄液の前記第２液体の排出を開始させ、前記分離排出検出部からの情報に基づいて前記第１貯留槽から前記使用済み洗浄液の前記第２液体の排出が終了したと判定した後、前記排出部による排出を停止させ、前記残量検出部によって検出された前記残量に基づいて、予め決められた配合比となるように、前記第２液体供給部によって前記補充用の第２液体を前記第１貯留槽に供給させる、制御を行う制御部を、さらに備えてもよい。
【００１０】
上記第２の態様の洗浄液再生装置では、前記第１貯留槽に補充用の第１液体を供給する第１液体供給部をさらに備え、前記制御部は、前記残量検出部によって検出された前記残量に基づいて、予め決められた配合比となるように、前記第１液体供給部および前記第２液体供給部によって前記補充用の第１液体および前記補充用の第２液体を前記第１貯留槽に供給させる制御を行ってもよい。
【００１１】
本発明の第３の態様の洗浄液再生装置は、繰り返し使用する第１液体と、前記第１液体から比重分離可能な前記第１液体よりも比重が小さい第２液体と、を含む使用済み洗浄液を再生する洗浄液再生装置であって、前記使用済み洗浄液の前記第１液体および前記第２液体を互いに静置分離するために、前記使用済み洗浄液を貯留する第１貯留槽と、前記第１液体を貯留可能な第２貯留槽と、前記使用済み洗浄液を、前記第１貯留槽の下部から、前記第２貯留槽と、前記第２貯留槽以外の前記第１貯留槽の外部と、のいずれかに選択的に排出する排出部と、前記第１貯留槽の下部または前記排出部における前記使用済み洗浄液の液種を検知することによって、前記第１液体の排出状態の情報を取得する分離排出検出部と、前記第２貯留槽に貯留された前記第１液体を前記第１貯留槽に移送する移送部と、前記第１貯留槽に移送された前記第１液体の移送量を検出する移送量検出部と、前記第１貯留槽に補充用の第２液体を供給する第２液体供給部と、を備える。
【００１２】
上記第３の態様の洗浄液再生装置では、前記排出部によって前記第１貯留槽から前記第２貯留槽への前記使用済み洗浄液の前記第１液体の排出を開始させ、前記分離排出検出部からの情報に基づいて前記第１貯留槽から前記使用済み洗浄液の前記第１液体の排出が終了したと判定した後、前記排出部によって前記使用済み洗浄液の前記第２液体を前記第１貯留槽の外部に排出させ、前記使用済み洗浄液の前記第２液体の排出が終了した後、前記排出部による排出を停止させ、前記移送部によって前記第２貯留槽に貯留された前記使用済み洗浄液の前記第１液体を前記第１貯留槽に移送させ、前記移送量検出部によって検出された前記移送量に基づいて、予め決められた配合比となるように、前記第２液体供給部によって前記補充用の第２液体を前記第１貯留槽に供給させる制御を行う、制御部を、さらに備えてもよい。
【００１３】
上記第３の態様の洗浄液再生装置では、前記第１貯留槽に補充用の第１液体を供給する第１液体供給部をさらに備え、前記制御部は、前記移送量検出部によって検出された前記移送量に基づいて、予め決められた配合比となるように、前記第１液体供給部および前記第２液体供給部によって前記補充用の第１液体および前記補充用の第２液体を前記第１貯留槽に供給させる、制御を行ってもよい。
【００１４】
上記第２または第３の態様の洗浄液再生装置では、前記排出部は、前記第１貯留槽の底面に開口し、排出方向に向かって内径が段階的または連続的に縮径する排出管路を有してもよい。
【００１５】
本発明の第４の態様の洗浄システムは、洗浄液を貯留する洗浄槽を有する洗浄装置と、上記第２または第３の態様の洗浄液再生装置と、前記洗浄槽から前記洗浄液再生装置の前記第１貯留槽まで延びる第１移送管路を有し、前記第１移送管路を通して前記洗浄槽に貯留された使用済み洗浄液を前記第１貯留槽に移送する第１移送装置と、前記洗浄液再生装置の前記排出部に設けられ、前記洗浄槽まで延びる第２移送管路を有し、前記第２移送管路を通して前記第１貯留槽に形成された再生洗浄液を前記洗浄槽に移送する第２移送装置と、を備える。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の洗浄液再生方法および洗浄液再生装置は、洗浄液を比重分離して再生を行う場合に、より正確かつ効率的な再生を行うことができる。
本発明の洗浄システムは、必要に応じて洗浄液を再生することで安定した洗浄性能を持続することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態の洗浄液再生装置および洗浄システムの構成の一例を示すシステム構成図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の洗浄液再生装置および洗浄システムの制御系の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の洗浄液再生方法を示すフローチャートである。
【図４】本発明の第１の実施形態の洗浄液再生方法において、第２液体の排除方法を示すフローチャートである。
【図５】本発明の第１の実施形態の洗浄液再生装置の動作説明図である。
【図６】本発明の第１の実施形態の洗浄液再生装置の動作説明図である。
【図７】本発明の第１の実施形態の変形例の洗浄液再生装置および洗浄システムの主要部の構成を示す模式的な断面図およびそのＡ視図である。
【図８】本発明の第１の実施形態の変形例の洗浄液再生装置および洗浄システムの制御系の構成を示すブロック図である。
【図９】本発明の第２の実施形態の洗浄液再生装置および洗浄システムの構成の一例を示すシステム構成図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態の洗浄液再生装置および洗浄システムの制御系の構成を示すブロック図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態の洗浄液再生方法において、第２液体の排除方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
【００１９】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態の洗浄液再生装置および洗浄システムについて説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態の洗浄液再生装置および洗浄システムの構成の一例を示すシステム構成図である。図２は、本発明の第１の実施形態の洗浄液再生装置および洗浄システムの制御系の構成を示すブロック図である。
【００２０】
図１に示すように、本実施形態の洗浄システム１００は、洗浄装置１０と、本実施形態の洗浄液再生装置２０と、を備える。図２に示すように、本実施形態の洗浄システム１００は、洗浄装置１０および洗浄液再生装置２０の動作を制御する制御部５０をさらに備える。制御部５０は、図示略の操作部からの操作入力に応じて後述する種々の制御を行う。
【００２１】
図１に示すように、洗浄装置１０は、被洗浄物Ｏをエマルジョン洗浄液である洗浄液Ｅに浸漬することによって、被洗浄物Ｏを洗浄する。
被洗浄物Ｏは、洗浄液Ｅによって洗浄可能な物品であれば、特に限定されない。例えば、被洗浄物Ｏは、レンズ、プリズム、平板などの光学素子であってもよい。
洗浄液Ｅは、親油性を有する溶剤を主成分とする第１溶液Ｓ１（第１液体）と、水を主成分とする第２溶液Ｓ２（第２液体）と、が予め決められた配合比で混合して形成されている。第１溶液Ｓ１および第２溶液Ｓ２は互いに比重が異なる。本実施形態では、一例として、第２溶液Ｓ２の比重が第１溶液Ｓ１の比重よりも大きい。
このため、洗浄液Ｅは、例えば、洗浄開始前または洗浄後静置された状態では、第１溶液Ｓ１の下方に第２溶液Ｓ２が沈んだ状態で、第１溶液Ｓ１と第２溶液Ｓ２とが上下に分離している。
【００２２】
第１溶液Ｓ１は、親油性を有する１種類以上の溶剤で構成されてもよい。第１溶液Ｓ１は、溶剤に可溶な液体または固体が添加された溶剤系洗浄剤などによって構成されてもよい。
第１溶液Ｓ１に含まれる溶剤の具体例として、例えば、ノルマルパラフィン、イソパラフィン、ナフテン、芳香族化合物などの炭化水素化合物単体、もしくは、混合物である脂肪族系溶剤、芳香族系溶剤、ナフテン系溶剤、イソパラフィン系溶剤などの炭化水素溶剤が挙げられる。
第１溶液Ｓ１の溶剤に添加可能な成分としては、例えば、界面活性剤などが挙げられる。
【００２３】
第２溶液Ｓ２は、水のみで構成されてもよい。水に可溶な液体または固体が添加された水系洗浄剤などで構成されてもよい。
第２溶液Ｓ２に含まれる水の具体例として、例えば、純水、水道水、井戸水などが挙げられる。
第２溶液Ｓ２に添加可能な成分としては、例えば、界面活性剤、アルカリ調整剤、酸性調整剤などが挙げられる。
【００２４】
洗浄液Ｅにおける第１溶液Ｓ１および第２溶液Ｓ２は、例えば、配合比、被洗浄物Ｏの汚れ成分の種類、などによって、洗浄液としての寿命が異なる。
例えば、被洗浄物Ｏがガラスなどを含む光学素子の場合、第１溶液Ｓ１は、加工時に付着する油分等を除去する。第２溶液Ｓ２は、研磨くずなどを除去する。このような洗浄液Ｅは、第２溶液Ｓ２の配合比よりも第１溶液Ｓ１の配合比が大きいことがより好ましい。この理由は、洗浄液Ｅに水が多く含まれると、被洗浄物Ｏの表面からガラス成分が水に溶出して、ヤケが生じ易くなるためである。
このような洗浄液Ｅにおいては、配合比の高い第１溶液Ｓ１より第２溶液Ｓ２の方が、も洗浄性能の劣化が早くなる。
本実施形態では、後述する洗浄液再生装置２０によって、劣化した第２溶液Ｓ２を洗浄液Ｅから排除し、未使用状態の第２溶液Ｓ２と同様な組成で構成される補充用の第２溶液Ｓ２０が補充されることによって、洗浄液Ｅが再生される。第１溶液Ｓ１は、洗浄性能の限度に達するまでは繰り返し使用される。
ただし、例えば、洗浄システム１００において、さらに第１溶液Ｓ１を蒸留再生する再生装置が含まれてもよい。この場合、第１溶液Ｓ１は、再生装置によって適宜蒸留再生されてから繰り返し使用されてもよい。
【００２５】
洗浄装置１０としては、洗浄液Ｅを用いて被洗浄物Ｏを洗浄できる適宜の装置構成が用いられる。以下では、一例として、洗浄装置１０が単槽の超音波洗浄装置の場合の例で説明する。
洗浄装置１０は、洗浄槽１、超音波発振器２、および循環配管３を備える。
【００２６】
洗浄槽１は、洗浄液Ｅを貯留し、被洗浄物Ｏを洗浄液Ｅに浸漬するための装置部分である。洗浄槽１は、上方に開口を有する筐体からなる。
超音波発振器２は、超音波振動を発生し、洗浄槽１に貯留された洗浄液Ｅ内に超音波を伝搬させる装置部分である。超音波発振器２は、洗浄を行うために洗浄槽１内の必要な領域に超音波の定在波を形成できるように、洗浄槽１の適宜の部位に取り付けられている。図１に示す例では、超音波発振器２は洗浄槽１の底面部に設けられている。ただし、超音波発振器２は洗浄槽１の側面部など、底面部以外の部位に設けられていてもよい。
循環配管３は、洗浄槽１の内部に開口する吸引口３ａおよび戻し口３ｂを両端部に有する配管からなる。循環配管３の中間部には、ポンプ４と、フィルタ５と、が設けられている。
ポンプ４は、吸引口３ａから洗浄槽１内の洗浄液Ｅを吸引し、戻し口３ｂから洗浄液Ｅを排出することによって、洗浄槽１内の洗浄液Ｅを循環させる。ポンプ４の種類は特に限定されない。例えば、ポンプ４は、モーターポンプ、ダイヤフラムポンプなどが用いられてもよい。
フィルタ５は、循環配管３を通過する洗浄液Ｅを濾過する。
【００２７】
洗浄槽１の内部には、移送配管６（第１移送管路、第１移送装置）の一端部である吸引口６ａが開口している。移送配管６において、吸引口６ａと反対側の端部には、排出口６ｂが開口している。移送配管６の排出口６ｂは、洗浄液再生装置２０の後述する貯留槽２１の内部に配置されている。
移送配管６は、洗浄槽１における洗浄液Ｅを、必要に応じて洗浄液再生装置２０の後述する貯留槽２１に移送するために設けられる。移送配管６の中間部には、電磁弁Ｖ１（第１移送装置）が設けられている。
図２に示すように、電磁弁Ｖ１は、制御部５０と通信可能に接続されている。電磁弁Ｖ１は、制御部５０からの制御信号に基づいて移送配管６の流路を開閉する。
図１では、洗浄槽１の洗浄液Ｅが重力によって洗浄槽１の下部から洗浄液再生装置２０に移送される場合の構成が図示されている。この場合、移送配管６および電磁弁Ｖ１は、移送配管６を通して洗浄槽１の洗浄液Ｅを後述する貯留槽２１に移送する第１移送装置を構成する。
ただし、洗浄液Ｅが重力の作用のみで移送できない場合には、移送配管６の経路上に、第１移送装置の一部を構成する適宜のポンプが設けられていてもよい。
【００２８】
超音波発振器２およびポンプ４は、作動スイッチなどによって手動で駆動されてもよいが、以下では、制御部５０からの制御信号に基づいて駆動される場合の例で説明する。
【００２９】
このような構成により、洗浄装置１０では、電磁弁Ｖ１が閉じられた状態で洗浄液Ｅが貯留される。ポンプ４が駆動されると、洗浄槽１内の洗浄液Ｅが循環配管３を通して循環する。これにより、洗浄液Ｅが攪拌され、第１溶液Ｓ１および第２溶液Ｓ２が分散混合されていく。さらに、超音波発振器２によって、洗浄液Ｅに超音波振動が印加されると、超音波振動によって第２溶液Ｓ２が微粒子化される。このため、洗浄槽１内の洗浄液Ｅがエマルジョン状態になる。
【００３０】
次に、本実施形態の洗浄液再生装置２０の構成について説明する。
洗浄液再生装置２０は、貯留槽２１（第１貯留槽）、第１排出配管２２、液種検出器２３、第２排出配管２４、第３排出配管２５（第２移送管路、第２移送装置）、液面センサー２７（残量検出部）、液面センサー２８、第１溶液供給源２９、供給管３０、第２溶液供給源３１、供給管３２、および補給管３３を備える。
【００３１】
貯留槽２１は、洗浄液Ｅの第１溶液Ｓ１および第２溶液Ｓ２を互いに静置分離するために、洗浄液Ｅを貯留するための装置部分である。ただし、後述するように貯留槽２１は、静置分離された使用済みの洗浄液Ｅから、再生洗浄液Ｅ’を調製するための混合用容器にもなっている。
貯留槽２１の内側の上部には、移送配管６の端部が挿入され、移送配管６の排出口６ｂが開口している。
貯留槽２１の底面２１ａは水平方向に延びる平面からなる。底面２１ａの一部には、下方に陥没する凹部２１ｂ（排出管路）が形成されている。本実施形態では、凹部２１ｂは円筒穴からなる。凹部２１ｂの底部には、底面２１ａにおける凹部２１ｂの上部開口に比べて小さい排出口２１ｃが開口している。
排出口２１ｃには、洗浄液Ｅを貯留槽２１の外部に排出する第１排出配管２２が接続されている。
【００３２】
このため、凹部２１ｂは、貯留槽２１の底面２１ａに開口し、排出方向（図示下方向）に向かって内径が段階的に縮径する排出管路を構成している。本実施形態では、凹部２１ｂは、排出口２１ｃの開口径よりも大きい１種類の内径を有する例になっているが、凹部２１ｂの内径は、２段階以上にわたって段階的に縮径していてもよい。
【００３３】
底面２１ａに排出口２１ｃが開口していると、排出口２１ｃにおいて急激に洗浄液Ｅが排出速度に加速されるため、排出口２１ｃの近傍に乱流が生じやすい。排出口２１ｃの周辺の流れの乱れが大きくなると、例えば、第２溶液Ｓ２と第１溶液Ｓ１との界面にまで乱れが伝播することによって、分離した第１溶液Ｓ１および第２溶液Ｓ２の一部が攪拌されてしまうおそれがある。さらに、底面２１ａに沈殿した汚れ成分が舞い上がるおそれもある。
しかし、底面２１ａと排出口２１ｃの間に、凹部２１ｂが設けられることにより、凹部２１ｂを通して排出される洗浄液Ｅは、凹部２１ｂにおいて緩やかに加速された後、排出口２１ｃにおいてさらに増速されて第１排出配管２２に排出される。このため、底面２１ａに排出口２１ｃが開口している場合に比べると、底面２１ａにおける流れの乱れが低減される。さらに、凹部２１ｂの底部における排出口２１ｃの近傍における流れに乱れが生じても、乱れの影響が凹部２１ｂの内部に留まる。このため、底面２１ａよりも上方の洗浄液Ｅの流れへの影響が少ない状態で、洗浄液Ｅが排出される。
凹部２１ｂが多段階に縮径する構成とすれば、拡縮径部において洗浄液Ｅの流速がより滑らかに加速されるため、より好ましい。凹部２１ｂが多段階に縮径する構成とすれば、底面２１ａより上方の洗浄液Ｅへの影響がさらに低減される。
【００３４】
排出口２１ｃから延びる第１排出配管２２は、延出方向の端部において第２排出配管２４と第３排出配管２５とに分岐している。
【００３５】
第１排出配管２２の中間部には、第１排出配管２２の延出方向において、液種検出器２３（分離排出検出部）と、電磁弁Ｖ２と、がこの順に設けられている。
図２に示すように、電磁弁Ｖ２は、制御部５０と通信可能に接続されている。電磁弁Ｖ２は、制御部５０からの制御信号に基づいて第１排出配管２２の流路を開閉する。
【００３６】
液種検出器２３は、第１排出配管２２における予め決められた検出位置（所定位置）を流れる流体の液種を検出する。液種検出器２３は、電磁弁Ｖ２から離れすぎないように配置される。液種検出器２３と電磁弁Ｖ２とをある程度離す必要がある場合には、後述する検出閾値が設定される場合に、電磁弁Ｖ２と液種検出器２３との間の流路における流体の量が考慮される。
図２に示すように、液種検出器２３は、制御部５０と通信可能に接続されている。液種検出器２３が検出した液種に関する情報は、制御部５０に送出される。後述するように制御部５０は、液種検出器２３から送出される情報に基づいて、第１排出配管２２を通した第２溶液Ｓ２の排出状態の情報を取得する。
液種検出器２３の構成は、第１排出配管２２を流れる流体の液種が検出できれば特に限定されない。具体的には、液種検出器２３は、少なくとも第１排出配管２２を流れる流体が第２溶液Ｓ２かどうかを検出できればよい。液種検出器２３は、第１排出配管２２を流れる流体が第２溶液Ｓ２か第１溶液Ｓ１かを検出できてもよい。さらに、液種検出器２３は、第１排出配管２２を流れる流体が第２溶液Ｓ２および第１溶液Ｓ１の混合流体の場合に、第２溶液Ｓ２の濃度が検出できることがより好ましい。
液種検出器２３の検出位置は、第１排出配管２２の流路における予め決められた一定位置に設定される。
【００３７】
液種検出器２３における液種検出は、予め知られた流体に固有の物理量、例えば、誘電率、透過率、屈折率、比重、粘度などの測定などによって行われる。例示された物理量は、１種類が用いられてもよいし、複数種類の組み合わせが用いられてもよい。
液種検出器２３が測定した物理量に基づく情報は、制御部５０に送出されると、制御部５０によって予め制御部５０に記憶された検出閾値と比較されることによって、液種が判定される。
上述のような物理量は、電磁的手段あるいは光学的手段によって、流体が流れている状態でリアルタイムに測定できる。このため、流体の液種が急峻に変化する場合にも、液種の変化に応じた物理量の変化が迅速に検出される。
さらにこれらの物理量は、混合流体においては、混合成分の濃度比に応じて変化する。このため、予め混合成分の液種が知られている場合には、混合流体における測定対象の流体の濃度が測定できる。
制御部５０に設定される検出閾値は、第２溶液Ｓ２の濃度が１００％の状態から１００％未満に切り替わることを検知できるように設定されることが最も好ましい。しかし、第２溶液Ｓ２と第１溶液Ｓ１との界面の近くでは、流路中の流れにおいて、界面が保たれない可能性もあるため、検出閾値は、許容濃度以下の第１溶液Ｓ１が含まれるように設定されてもよい。
【００３８】
物理量の測定誤差としては、液種検出器２３自体の測定誤差と、測定対象の流体の特性バラツキによる測定誤差と、が考えられる。特に、測定対象の流体の特性バラツキによる測定誤差としては、洗浄液Ｅの汚れによる物理量の変化が挙げられる。
例えば、１００％の第２溶液Ｓ２であっても汚れの程度によっては、未使用の１００％第２溶液Ｓ２の場合の物理量との差が大きくなる可能性がある。この場合には、予め予想される汚れの程度に応じた物理量を測定しておき、検出閾値を補正しておくことがより好ましい。例えば、第２溶液Ｓ２に想定される汚れ成分が含まれた場合、純粋な１００％第２溶液Ｓ２の物理量Ｍが物理量Ｍ’（ただし、Ｍ’≠Ｍ）になることが分かっている場合には、検出閾値をＭ’に代えることで、使用済みのほぼ１００％第２溶液Ｓ２が検出可能になる。
【００３９】
本実施形態では、一例として、種々の測定誤差を考慮しても許容濃度を超えて第１溶液Ｓ１が含まれない検出閾値として、測定対象の流体における第２溶液Ｓ２の濃度が９９％となる値が採用されている。
【００４０】
液種検出器２３として使用可能な機器の具体例としては、例えば、濃度モニターＣＭ−ＩＮＴＡＮＫ（Ａ）（商品名；（株）アタゴ製）、プロセス屈折計ＰＲＭ−ＴＡＮＫα（商品名；（株）アタゴ製）、高分子式オイル中水分計ＥＥ３８１（商品名；（株）テクネ計測製）、インライン型油中水分モニター（商品名；（株）チヒロ製）などが挙げられる。
液種検出器２３として、このような計測器が用いられる場合、物理量に関する情報は、各機器の仕様に応じて、例えば、液体濃度、水分濃度などに換算されて出力される。このため、制御部５０に設定される検出閾値は、計測器から出力される濃度などの情報の種類に応じた値が用いられる。
以下では、一例として、液種検出器２３は、液種検出器２３を通過する流体中における第２溶液Ｓ２の濃度の情報を制御部５０に送出するものとして説明する。
【００４１】
図１に示すように、第２排出配管２４は、第２溶液Ｓ２を貯留槽２１の外部に排出するため、延出方向の先端に排出口２４ａを有する配管である。排出口２４ａは、第２排出配管２４を通して排出される第２溶液Ｓ２を受け入れるための図示略の排出タンクあるいは排水処理槽などに向かって開口している。
第２排出配管２４には、電磁弁Ｖ３が設けられている。
図２に示すように、電磁弁Ｖ３は、制御部５０と通信可能に接続されている。電磁弁Ｖ３は、制御部５０からの制御信号に基づいて第２排出配管２４の流路を開閉する。
【００４２】
図１に示すように、第３排出配管２５は、貯留槽２１で調製された後述する再生洗浄液Ｅ’を洗浄装置１０の洗浄槽１に導入するため、洗浄槽１の内部に向かって開口する導入口２５ａを有する配管である。
第３排出配管２５の中間部には、第３排出配管２５の延出方向において、電磁弁Ｖ４と、ポンプ２６と、がこの順に設けられている。
図２に示すように、電磁弁Ｖ４は、制御部５０と通信可能に接続されている。電磁弁Ｖ４は、制御部５０からの制御信号に基づいて第３排出配管２５の流路を開閉する。
図１に示すように、ポンプ２６は、第１排出配管２２を通して供給される再生洗浄液Ｅ’を、導入口２５ａに向けて圧送する。図１は模式図のため、第３排出配管２５の配置およびポンプ２６の配置位置は、図示の都合により誇張されている。ポンプ２６は、圧送方向の下流側の流体は、すべて導入口２５ａから排出できるように設けられている。
例えば、ポンプ２６は、ポンプ４と同様の構成が用いられてもよい。
【００４３】
液面センサー２７は、貯留槽２１内における第１溶液Ｓ１の液面Ｅ１の高さを検出する。液面センサー２７の構成は、液面Ｅ１の高さを検出できれば限定されない。例えば、図１に示すように、液面センサー２７として、第１溶液Ｓ１に浮かぶ浮き子によって液面Ｅ１の高さを検知する浮き子式センサーが用いられてもよい。例えば、液面センサー２７として、液面Ｅ１に検出光を照射して高さを検出する光学センサーが用いられてもよい。
液面センサー２７は、貯留槽２１において第２溶液Ｓ２が排出された後の液面Ｅ１の高さを検出することによって、貯留槽２１における第１溶液Ｓ１の残量を検出する残量検出部を構成している。
【００４４】
液面センサー２８は、貯留槽２１内における第２溶液Ｓ２の液面Ｅ２の高さを検出する。液面Ｅ２は、第２溶液Ｓ２と第１溶液Ｓ１との界面として形成されている。
液面センサー２８の構成は、液面Ｅ２の高さを検出できれば限定されない。例えば、図１に示すように、液面センサー２８として、第２溶液Ｓ２に浮かび第１溶液Ｓ１内で沈む浮き子によって液面Ｅ２の高さを検知する浮き子式センサーが用いられてもよい。例えば、液面センサー２８として、液面Ｅ２に検出光を照射して高さを検出する光学センサーが用いられてもよい。
【００４５】
図２に示すように、液面センサー２７、２８は、制御部５０と通信可能に接続されている。液面センサー２７、２８は、それぞれが検出した液面Ｅ１、Ｅ２の高さの情報を制御部５０に送出する。
【００４６】
図１に示すように、第１溶液供給源２９は、第１溶液Ｓ１０を収容する。第１溶液Ｓ１０は、未使用の第１溶液Ｓ１と同様の組成を有する。第１溶液Ｓ１０は再生洗浄液Ｅ’を形成するための補充用に用いられる。
第１溶液供給源２９には、第１溶液Ｓ１０が流通する供給管３０が接続されている。供給管３０における第１溶液供給源２９と反対側の端部は、後述する補給管３３と接続されている。
第２溶液供給源３１は、第２溶液Ｓ２０を収容する。第２溶液Ｓ２０は、未使用の第２溶液Ｓ２と同様の組成を有する。第２溶液Ｓ２０は再生洗浄液Ｅ’を形成するための補充用に用いられる。
第２溶液供給源３１には、第２溶液Ｓ２０が流通する供給管３２が接続されている。供給管３２における第２溶液供給源３１と反対側の端部は、後述する補給管３３と接続されている。
補給管３３は、供給管３０、３２から必要に応じて供給される第１溶液Ｓ１０および第２溶液Ｓ２０を貯留槽２１に補給するための管部材である。補給管３３の一方の端部は、貯留槽２１の内部に配置されている。補給管３３の他方の端部には、供給管３０、３２が連結されている。
【００４７】
供給管３０の中間部には電磁弁Ｖ５が設けられている。供給管３２の中間部には電磁弁Ｖ６が設けられている。
補給管３３において、供給管３０、３２の供給方向の下流側であって、貯留槽２１の外部となる中間部には、供給方向において、流量計３４、流量調整弁３５、および電磁弁Ｖ７がこの順に設けられている。
【００４８】
図２に示すように、電磁弁Ｖ５、Ｖ６、Ｖ７、流量計３４、および流量調整弁３５は、それぞれ制御部５０と通信可能に接続されている。
電磁弁Ｖ５、Ｖ６、Ｖ７は、制御部５０からの制御信号に基づいて、それぞれ、供給管３０、３２、補給管３３の流路を開閉する。
流量計３４は、補給管３３を流れる流体の流量を測定し、制御部５０に測定値を送出する。
流量調整弁３５は、制御部５０からの制御信号に基づいて、補給管３３を流れる流体の流量を調整する。
【００４９】
制御部５０は、ＣＰＵ、メモリ、入出力インターフェース、外部記憶装置などからなるコンピュータおよびその他のハードウェアの少なくとも一方で構成される。制御部５０が行う具体的な制御については、洗浄装置１０および洗浄液再生装置２０の動作説明とともに後述する。
制御部５０にコンピュータが用いられる場合、後述する制御機能は、コンピュータのメモリに記憶された制御プログラムが実行されることによって実現される。制御部５０によって実行される制御プログラムは、図示略のプログラム記憶媒体から読み出されてメモリに記憶されてもよいし、図示略の通信回線を介して読み出されてメモリに記憶されてもよい。
【００５０】
図１に示すように、凹部２１ｂ、第１排出配管２２、第２排出配管２４、第３排出配管２５、電磁弁Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、および制御部５０は排出部４０を構成する。
排出部４０は、後述するように、貯留槽２１の下部から、貯留槽２１内で静置分離された第２溶液Ｓ２を貯留槽２１の外部に排出する。
第３排出配管２５、電磁弁Ｖ４、ポンプ２６、および制御部５０は、洗浄液再生装置２０の排出部４０に設けられ、洗浄槽１まで延びる第２移送管路を有し、第２移送管路を通して貯留槽２１に形成された再生洗浄液を洗浄槽１に移送する第２移送装置を構成している。
【００５１】
次に、本実施形態の洗浄システム１００の動作について、本実施形態の洗浄液再生方法を中心として説明する。
図３は、本発明の第１の実施形態の洗浄液再生方法を示すフローチャートである。図４は、本発明の第１の実施形態の洗浄液再生方法において、第２液体の排除方法を示すフローチャートである。図５（ａ）、（ｂ）は、本発明の第１の実施形態の洗浄液再生装置の動作説明図である。図６（ａ）、（ｂ）は、本発明の第１の実施形態の洗浄液再生装置の動作説明図である。
【００５２】
洗浄システム１００の洗浄装置１０では、被洗浄物Ｏの洗浄が行われる。洗浄装置１０によって洗浄を行うには、図１において二点鎖線で示すように、洗浄槽１に洗浄液Ｅが満たされる。その後、制御部５０によって超音波発振器２およびポンプ４が駆動される。
洗浄液Ｅは、ポンプ４によって吸引口３ａから循環配管３に吸引される。吸引された洗浄液Ｅは、フィルタ５によって濾過された後、戻し口３ｂから洗浄槽１内に戻される。このように洗浄液Ｅが循環することによって、洗浄槽１内の洗浄液Ｅが攪拌され、第１溶液Ｓ１と第２溶液Ｓ２との混合が進む。
超音波発振器２が駆動されると、洗浄槽１内の洗浄液Ｅに超音波が印加される。洗浄槽１内の洗浄液Ｅには超音波の定在波が形成される。洗浄槽１において循環する洗浄液Ｅは超音波振動を受けることによって第２溶液Ｓ２が微細化し、第１溶液Ｓ１と混合してエマルジョン状態が形成される。
【００５３】
洗浄液Ｅがエマルジョン状態になったら、被洗浄物Ｏが超音波の印加された領域に浸漬される。これにより、被洗浄物Ｏの表面に、エマルジョン状態の洗浄液Ｅが接触した状態で超音波振動が作用する。このため、被洗浄物Ｏに付着した汚れ成分は、超音波振動によって剥離し、第１溶液Ｓ１または第２溶液Ｓ２の中に取り込まれる。この結果、被洗浄物Ｏが洗浄される。
洗浄液Ｅに取り込まれた汚れ成分のうち、フィルタ５によって濾過可能な成分は、洗浄液Ｅが循環配管３内に循環する過程で、フィルタ５に吸着して除去される。
ただし、フィルタ５で濾過できない微細な固形の汚れ成分や、第１溶液Ｓ１および第２溶液Ｓ２に相溶した液状の汚れ成分は、洗浄液Ｅに残留する。
安定した洗浄を継続するためには、汚れた洗浄液Ｅを適宜入れ替える必要がある。
【００５４】
洗浄液Ｅにおいては、第１溶液Ｓ１と第２溶液Ｓ２とでは、洗浄能力の劣化の速度が異なる。具体的には、第２溶液Ｓ２の方が第１溶液Ｓ１に比べて配合比が低いため、第１溶液Ｓ１に比べて格段に早く洗浄性能が劣化する。
このため、本実施形態では、洗浄液再生装置２０によって行われる本実施形態の洗浄液再生方法によって使用済みの洗浄液Ｅから再生洗浄液Ｅ’を形成する。具体的には、使用済みの洗浄液Ｅ中の第２溶液Ｓ２を補充用の第２溶液Ｓ２０に置き換えることによって再生洗浄液Ｅ’が形成される。再生洗浄液Ｅ’においては、洗浄液Ｅ中の第１溶液Ｓ１が再使用される。
再生洗浄液Ｅ’は、例えば、洗浄液Ｅの汚れの進行具合に応じて必要に応じて形成されてもよい。再生洗浄液Ｅ’は、例えば、予め決められた回数の洗浄が行われた後に形成されてもよい。
【００５５】
本実施形態の洗浄液再生方法は、図３に示すステップＳ１１〜Ｓ１５を、図３に示すフローにしたがって実行することによって行われる。
洗浄液再生装置２０の各装置部分は、ステップＳ１１が開始される前に予め初期化されている。例えば、電磁弁Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ５、Ｖ６、Ｖ７は、すべて閉じられている。
ステップＳ１１では、使用済み洗浄液である洗浄液Ｅが貯留槽２１に準備される。
例えば、図示略の操作部を通じて洗浄液Ｅを再生する操作入力が行われると、制御部５０は、洗浄装置１０の動作を停止し、電磁弁Ｖ１を開く制御を行う。これにより、洗浄槽１内の洗浄液Ｅは、移送配管６を通して貯留槽２１に移動する。貯留槽２１に移動した洗浄液Ｅは、貯留槽２１内に貯留される。
洗浄槽１内の洗浄液Ｅがすべて貯留槽２１に移動したら、制御部５０は電磁弁Ｖ１を閉じる制御を行う。以上で、ステップＳ１１が終了する。
ステップＳ１１が行われた後、洗浄槽１は、後述する再生洗浄液Ｅ’が供給されるまで使用停止される。
【００５６】
ステップＳ１１の後、ステップＳ１２が行われる。ステップＳ１２では、貯留槽２１において洗浄液Ｅが静置分離される。
貯留槽２１に移動した洗浄液Ｅは、攪拌や超音波振動を受けないため、放置されることによって、第１溶液Ｓ１と第２溶液Ｓ２とが互いに分離する。
第２溶液Ｓ２は第１溶液Ｓ１よりも比重が大きいため、図５（ａ）に示すように、第２溶液Ｓ２が貯留槽２１の底部に移動する。第１溶液Ｓ１は、第２溶液Ｓ２上に浮かんだ状態になる。
制御部５０は、洗浄液Ｅが移動されてから予め決められた時間が経過すると、液面センサー２７、２８から、それぞれ液面Ｅ１、Ｅ２の高さの情報を取得する。制御部５０は、取得した各高さの情報を記憶する。
以上でステップＳ１２が終了する。
【００５７】
ステップＳ１２の後、ステップＳ１３が行われる。ステップＳ１３では、貯留槽２１における洗浄液Ｅから、第２溶液Ｓ２が選択的に排除される。
本実施形態では、洗浄液Ｅの下層に分離した第２溶液Ｓ２が貯留槽２１の下部から排出されることによって、洗浄液Ｅから第２溶液Ｓ２が選択的に排除される。
具体的には、制御部５０は、図４に示すステップＳ２１〜Ｓ２５を図４に示すフローにしたがって行う。
【００５８】
ステップＳ２１では、制御部５０は、電磁弁Ｖ２、Ｖ３を開く（開放する）制御を行う。
電磁弁Ｖ２、Ｖ３が開かれることで、第１排出配管２２および第２排出配管２４の流路が開放される。貯留槽２１内の第２溶液Ｓ２は、自重と、上方の第１溶液Ｓ１による圧力と、によって、貯留槽２１の下部における凹部２１ｂを通して、排出口２１ｃから第１排出配管２２に流れ始める。
【００５９】
ステップＳ２１の後、ステップＳ２２が行われる。ステップＳ２２では、制御部５０は、液種検出器２３に制御信号を送出して液種検出を行わせる。
液種検出器２３は、第１排出配管２２を流れる流体における第２溶液Ｓ２の濃度を検出し、制御部５０に送出する。
【００６０】
ステップＳ２２の後、ステップＳ２３が行われる。ステップＳ２３では、制御部５０は、液種検出器２３からの情報に基づいて、第１排出配管２２を通過する流体の液種が第２溶液Ｓ２かどうかを判定する。例えば、制御部５０は、第２溶液Ｓ２の濃度が検出閾値の濃度以上であれば、流れている液種が第２溶液Ｓ２であると判定し、第２溶液Ｓ２の濃度が検出閾値の濃度未満であれば、流れている液種が第２溶液Ｓ２でないと判定する。
液種が第２溶液Ｓ２であると判定された場合、制御部５０は制御フローをステップＳ２２に移す。
液種が第２溶液Ｓ２でないと判定された場合、制御部５０はステップＳ２４を行う。
【００６１】
ステップＳ２４では、制御部５０は電磁弁Ｖ２を閉じる（閉止する）制御を行う。これにより、図５（ｂ）に示すように、電磁弁Ｖ２よりも上流側には第１溶液Ｓ１が残留する。このため、貯留槽２１からは第２溶液Ｓ２が排除された状態になっている。
電磁弁Ｖ２の下流側を流れる流体が第２排出配管２４から外部に排出される時間が経過したら、ステップＳ２５が行われる。
ステップＳ２５では、制御部５０は電磁弁Ｖ３を閉止する制御を行う。以上でステップＳ２５が終了し、図３におけるステップＳ１３が終了する。
【００６２】
このようにステップＳ１３には、静置分離された洗浄液Ｅを貯留槽２１の下部から、液種を検知しつつ排出することにより、洗浄液Ｅから第２溶液Ｓ２を選択的に排除することが含まれる。
洗浄液再生装置２０における液種検出器２３および制御部５０は、排出部４０における所定位置にて使用済みの洗浄液Ｅの液種を検出することによって、第２溶液Ｓ２の排出状態の情報を取得する分離排出検出部を構成する。
【００６３】
図３に示すように、ステップＳ１３の後、ステップＳ１４が行われる。ステップＳ１４では、第２溶液Ｓ２が排除された洗浄液Ｅに少なくとも補充用の第２溶液Ｓ２０を混合して再生洗浄液Ｅ’が調製される。
まず、制御部５０は、液面センサー２７から液面Ｅ１の高さの情報を取得する。貯留槽２１において、液面Ｅ１、Ｅ２の高さと液面Ｅ１、Ｅ２以下の流体の体積との関係は予め制御部５０の記憶部に記憶されている。このため、制御部５０は、第２溶液Ｓ２が選択的に排除された状態の液面Ｅ１の高さの情報から、貯留槽２１に残留する第１溶液Ｓ１の体積を算出できる。
第１溶液Ｓ１は、例えば、洗浄中に一部が蒸発するなどして、洗浄開始前の洗浄液Ｅに含有されている第１溶液Ｓ１よりも減少しているおそれがある。
洗浄液再生装置２０では、第１溶液Ｓ１の減少量が許容範囲であれば、第１溶液Ｓ１に第２溶液Ｓ２０が補充されるだけで、再生洗浄液Ｅ’が形成される。第１溶液Ｓ１の減少量が許容範囲を超える場合には、第１溶液Ｓ１に第１溶液Ｓ１０および第２溶液Ｓ２０が補充されることによって、再生洗浄液Ｅ’が形成される。
以下では、一例として、第１溶液Ｓ１の減少量が許容範囲を超えている場合の例で説明する。
【００６４】
制御部５０は、洗浄装置１０に用いる再生洗浄液Ｅ’に必要な配合比を得るために必要な第１溶液Ｓ１０および第２溶液Ｓ２０の必要補充量を算出する。
図６（ａ）に示すように、制御部５０は、補給管３３から必要補充量の第２溶液Ｓ２０を貯留槽２１内に供給させる。
具体的には、制御部５０は、電磁弁Ｖ６、Ｖ７を開く制御信号を電磁弁Ｖ６、Ｖ７に送出する。これにより、電磁弁Ｖ６、Ｖ７が開かれ、第２溶液供給源３１に収容された第２溶液Ｓ２０が、供給管３２および補給管３３を通して、貯留槽２１に供給される。
このとき、第２溶液Ｓ２０の流入によって、第２溶液Ｓ２０と第１溶液Ｓ１との間に混濁が生じないように、制御部５０は、流量計３４が計測する第２溶液Ｓ２０の流量に応じて流量調整弁３５の開度を調整する。このため、第２溶液Ｓ２０によって第１溶液Ｓ１との間に形成される液面Ｅ２０は、ほぼ水平を保って上昇する。
【００６５】
制御部５０は、液面センサー２７、２８から液面Ｅ１、Ｅ２０の情報を取得し、貯留槽２１に供給された第２溶液Ｓ２０の量を監視する。第１溶液Ｓ１および第２溶液Ｓ２０は相溶しないため、液面Ｅ１の高さの増加量は、第２溶液Ｓ２０の供給量に対応する。また液面Ｅ２０の高さに対応する流体の量も第２溶液Ｓ２０の供給量に対応する。
このため、制御部５０は、第２溶液Ｓ２０が必要補充量だけ供給されたかどうかを液面Ｅ１、Ｅ２０の一方または両方の高さに基づいて判定することができる。
以下では、一例として、制御部５０が、液面Ｅ２０の高さに基づいて第２溶液Ｓ２０が必要補充量だけ供給されたかどうかを判定する場合の例で説明する。
【００６６】
制御部５０は、液面Ｅ２０が第２溶液Ｓ２０の必要補充量に対応する高さになったら、電磁弁Ｖ６、Ｖ７を閉じる制御信号を電磁弁Ｖ６、Ｖ７に送出する。これにより、補給管３３からの第２溶液Ｓ２０の供給が停止される。
【００６７】
この後、図６（ｂ）に示すように、制御部５０は、補給管３３から必要補充量の第１溶液Ｓ１０を貯留槽２１内に供給する。
具体的には、制御部５０は、電磁弁Ｖ５、Ｖ７を開く制御信号を電磁弁Ｖ５、Ｖ７に送出する。これにより、電磁弁Ｖ５、Ｖ７が開かれ、第１溶液供給源２９に収容された第１溶液Ｓ１０が、供給管３２および補給管３３を通して、貯留槽２１に供給される。なお、図６（ｂ）では見易さのため、第１溶液Ｓ１と第１溶液Ｓ１０とが互いに分離しているかのように描かれている。しかし、第１溶液Ｓ１、Ｓ１０は同一の溶液であるため、互いに相溶し、第１溶液Ｓ１に含まれる汚れ成分による微差を除けば比重もほぼ同一であるため、図示のような界面は形成されない。
このとき、第１溶液Ｓ１０の流入によって、液面Ｅ１が波立たないように、制御部５０は、流量計３４が計測する第１溶液Ｓ１０の流量に応じて流量調整弁３５の開度を調整する。このため、液面Ｅ１は、ほぼ水平を保って上昇する。
【００６８】
制御部５０は、液面センサー２７から液面Ｅ１の情報を取得し、貯留槽２１に供給された第１溶液Ｓ１０の量を監視する。液面Ｅ１の高さの増加量は、第１溶液Ｓ１０の供給量に対応する。
制御部５０は、液面Ｅ１が第１溶液Ｓ１０の必要補充量に対応する高さになったら、電磁弁Ｖ５、Ｖ７を閉じる制御信号を電磁弁Ｖ５、Ｖ７に送出する。これにより、補給管３３からの第１溶液Ｓ１０の供給が停止される。
このようにして、貯留槽２１の内部には、使用前の洗浄液Ｅと同様な配合比を有し、使用前の洗浄液Ｅと同じ体積を有する再生洗浄液Ｅ’が調製される。
以上で、ステップＳ１４が終了する。
【００６９】
ステップＳ１４の後、ステップＳ１５が行われる。ステップＳ１５では、再生洗浄液Ｅ’が洗浄槽１に移送される。
制御部５０は、電磁弁Ｖ２、Ｖ４を開く制御信号を電磁弁Ｖ２、Ｖ４に送出する。これにより、再生洗浄液Ｅ’は、排出口２１ｃ、および第１排出配管２２を通して、第３排出配管２５に順次移動する。
さらに、制御部５０は、ポンプ２６の駆動を開始する制御信号をポンプ２６に送出する。これにより、第３排出配管２５内の再生洗浄液Ｅ’が導入口２５ａに向けて圧送され、導入口２５ａを通して洗浄槽１内に移送される（図１参照）。
本ステップにおいては、第１排出配管２２を流れる液種の検知は必要ないため、制御部５０は、液種検出器２３からの情報を取得しなくてもよい。ただし、制御部５０は、液種検出器２３の検出する情報を取得して、再生洗浄液Ｅ’の移送が終了したかどうかを判定してもよい。
貯留槽２１内の再生洗浄液Ｅ’がすべて洗浄槽１に移送されたら、制御部５０は、ポンプ２６の動作を停止する制御信号をポンプ２６に送出する。さらに、制御部５０は、電磁弁Ｖ２、Ｖ４を閉じる制御信号を、電磁弁Ｖ２、Ｖ４に送出する。
以上で、ステップＳ１５が終了する。
【００７０】
このようにして、洗浄槽１に再生洗浄液Ｅ’が満たされるため、洗浄装置１０は、エマルジョン状態とされた再生洗浄液Ｅ’に被洗浄物Ｏを浸漬することによって、被洗浄物Ｏの洗浄を行うことができる。
【００７１】
洗浄液再生装置２０では、第１溶液Ｓ１よりも比重が大きく、かつ第１溶液Ｓ１よりも配合比が低い第２溶液Ｓ２を貯留槽２１の下部から排出する。このため、第１溶液Ｓ１貯留槽２１の上部から外部に排出した後、貯留槽２１内の第２溶液Ｓ２を排除する場合とは異なり、貯留槽２１から排出された第１溶液Ｓ１を一時貯留する必要がない。このため、第２溶液Ｓ２が容易に排除される。
さらに、洗浄液再生装置２０では、第１排出配管２２の流路において第２溶液Ｓ２を排出しながら、第１排出配管２２における液種検出器２３によって排出される流体の液種がリアルタイムに検知される。第１排出配管２２の流路面積は貯留槽２１の開口面積よりも格段に小さいため、排除する必要のある液種の排出状態の情報が正確に取得される。このため、第２溶液Ｓ２を正確に排除することができる。
【００７２】
この点について、排出される液種を貯留槽２１内の液面Ｅ１、Ｅ２の高さの変化のみで検出する比較例と対比して説明する。液面Ｅ１、Ｅ２の面積は、第１排出配管２２の流路面積よりも格段に大きいため、第１排出配管２２における流体の排出量に関する比較例の検出感度は、本実施形態に比べて格段に低下する。このため、比較例では、本実施形態に比べて流体の排出誤差がより発生しやすい。
さらに、第２溶液Ｓ２の排出が開始されると、液面Ｅ１、Ｅ２が波打つおそれもある。このため、比較例では、液面Ｅ１、Ｅ２の高さの測定値自体にも測定誤差が生じるおそれがある。測定誤差を低減するためには、流体の排出を停止して液面の安定を待ってから高さを測定したり、液面の変動を抑制するために排出流量を少なくしたりする必要がある。このため、比較例では、第２溶液Ｓ２の排除に時間がかかるという問題がある。
これに対して、本実施形態では、第１排出配管２２における液種を検知するため、液面Ｅ１、Ｅ２の乱れが、ある程度生じても液種の正確な検知が可能である。さらに、液種検出器２３は、ある程度流速が大きくても正確に液種を検出できる。このため、本実施形態では、上述の比較例のような問題は生じない。
さらに、比較例において、液面Ｅ２の高さを浮き子式の液面センサーによって検出する場合、第２溶液Ｓ２が少なくなって浮き子に浮力が作用しなくなると、正確な高さ検出ができなくなる。このため、浮き子式の液面センサーでは、液面Ｅ２を検出することによって第２溶液Ｓ２の排出終了を正確には検知できないという問題もある。
【００７３】
このように、本実施形態の洗浄液再生装置２０および洗浄液再生装置２０を用いた洗浄液再生方法によれば、洗浄液を比重分離して再生を行う場合に、より正確かつ効率的な再生を行うことができる。
本実施形態の洗浄システム１００によれば、洗浄能力が劣化した第２溶液Ｓ２を洗浄液再生装置２０によって必要に応じて洗浄液Ｅを再生することで安定した洗浄性能を持続することができる。
【００７４】
［変形例］
次に、上記第１の実施形態の変形例について説明する。
図７（ａ）は、本発明の第１の実施形態の変形例の洗浄液再生装置および洗浄システムの主要部の構成を示す模式的な断面図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）におけるＡ視図である。図８は、本発明の第１の実施形態の変形例の洗浄液再生装置および洗浄システムの制御系の構成を示すブロック図である。
【００７５】
図７（ａ）、（ｂ）に主要部の構成を示すように、本変形例の洗浄システム１０１は、上記第１の実施形態の洗浄液再生装置２０に代えて本変形例の洗浄液再生装置６０を備える。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００７６】
本変形例の洗浄液再生装置６０は、上記第１の実施形態の洗浄液再生装置２０の貯留槽２１、第１排出配管２２、液種検出器２３に代えて、貯留槽６１（第１の貯留槽）、第１排出配管２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ、２２Ｅ、および液種検出器２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ、２３Ｄ、２３Ｅ（分離排出検出部）を備える。
以下では、簡単のため、数字および英文字の少なくても一方からなる符号Ｎの末尾に、英大文字の添字が付されている場合、アルファベット順に連続した英大文字の並びを「開始文字−終了文字」のように省略して示す場合がある。例えば「２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ、２２Ｅ」は、「２２」が符号Ｎ、開始文字が「Ａ」、終了文字が「Ｅ」であるため、「２２Ａ−Ｅ」のように略記される場合がある。同様に、例えば「２２Ｃ、２２Ｄ、２２Ｅ」は、「２２Ｃ−Ｅ」のように略記される。
図８に示すように、洗浄液再生装置６０は、上記第１の実施形態における制御部５０に代えて、制御部５１（分離排出検出部）を備える。制御部５１の装置構成は、制御部５０と同様な構成が用いられる。
【００７７】
図７（ｂ）に示すように、貯留槽６１は、上記第１の実施形態の貯留槽２１の凹部２１ｂに代えて、底面２１ａから下方に陥没する複数の凹部６１ｂ（排出管路）を備える。凹部６１ｂの個数は特に限定されないが、以下では、図７（ｂ）に示すように、凹部６１ｂが５個設けられている場合の例で説明する。
各凹部６１ｂは、底面２１ａにおける円開口が下方に向かって縮径するテーパ面６１ｄを有するテーパ穴からなる。各凹部６１ｂの下端部には、上記第１の実施形態と同様の排出口２１ｃが開口している。
このため、凹部６１ｂは、貯留槽６１の底面２１ａに開口し、排出方向に向かって内径が連続的に縮径する排出管路を構成している。
各凹部６１ｂの平面視の配置位置は特に限定されないが、各凹部６１ｂは底面２１ａにおいて、均等に分布するように配置されることがより好ましい。例えば、図７（ｂ）に示す例のように底面２１ａが平面視矩形状の場合、凹部６１ｂは、底面２１ａの中心に１個、この１個を挟んで、底面２１ａの各対角線上に２個ずつ配置されていてもよい。
【００７８】
各排出口２１ｃには、洗浄液Ｅを貯留槽６１の外部に排出する第１排出配管２２Ａ−Ｅが接続されている。図７（ｂ）に示す例では、第１排出配管２２Ａは、底面２１ａの中心部に配置された凹部６１ｂの排出口２１ｃに接続されている。第１排出配管２２Ｂ、２２Ｅは、図示右下がりの対角線上、第１排出配管２２Ｃ、２２Ｄは、図示右上がりの対角線上に配置された凹部６１ｂの排出口２１ｃにそれぞれ接続されている。
【００７９】
図７（ａ）に示すように、第１排出配管２２Ａ−Ｅは、いずれも第２排出配管２４に接続されている。
第１排出配管２２Ａ−Ｅのそれぞれの中間部には、それぞれの流路を開閉する電磁弁Ｖ２Ａ、Ｖ２Ｂ、Ｖ２Ｃ、Ｖ２Ｄ、Ｖ２Ｅが設けられている。ただし、図７（ａ）では、電磁弁Ｖ２Ｄ、Ｖ２Ｅは図示されていない。
第１排出配管２２Ａ−Ｅのそれぞれの中間部には、排出方向における電磁弁Ｖ２Ａ−Ｅの上流側に、それぞれの流路における液種を検出する液種検出器２３Ａ−Ｅが設けられている。ただし、図７（ａ）では、液種検出器２３Ｄ、２３Ｅ（図７（ｂ）参照）は図示されていない。
液種検出器２３Ａ−Ｅは、それぞれ第１排出配管２２Ａ−Ｅにおける予め決められた検出位置（所定位置）を流れる流体の液種を検出する。液種検出器２３Ａ−Ｅは、上記第１の実施形態と同様、それぞれが対応する電磁弁Ｖ２Ａ−Ｅから離れすぎないように配置される。
図６に示すように、液種検出器２３Ａ−Ｅは、制御部５１と通信可能に接続されている。液種検出器２３Ａ−Ｅが検出した液種に関する情報は、制御部５１に送出される。制御部５１は、液種検出器２３Ａ−Ｅから送出される情報に基づいて、第１排出配管２２Ａ−Ｅを通した第２溶液Ｓ２の排出状態の情報を取得する。
液種検出器２３Ａ−Ｅは、上記第１の実施形態の液種検出器２３と同様な構成が用いられる。
【００８０】
各凹部６１ｂ、第１排出配管２２Ａ−Ｅ、第２排出配管２４、第３排出配管２５、電磁弁Ｖ２Ａ−Ｅ、Ｖ３、Ｖ４、および制御部５１は排出部４１を構成する。
排出部４１は、後述するように、貯留槽２１の下部から、貯留槽６１内で静置分離された第２溶液Ｓ２を貯留槽６１の外部に排出する。
【００８１】
このような構成により、洗浄液再生装置６０は、複数の凹部６１ｂから第１排出配管２２Ａ−Ｅをそれぞれ通して、第２溶液Ｓ２を排出できる。さらに洗浄液再生装置６０は、液種検出器２３Ａ−Ｅによって、第１排出配管２２Ａ−Ｅを流れる流体の液種をそれぞれ独立に検出できる。
このため、洗浄液再生装置６０を用いた本変形例の洗浄液再生方法は、図３におけるステップＳ１３が異なる以外は、上記第１の実施形態と同様にして行われる。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に、洗浄液再生装置６０の動作および本変形例の洗浄液再生方法について説明する。
【００８２】
本変形例の洗浄液再生方法では、上記第１の実施形態とほぼ同様にして、図３におけるステップＳ１１、Ｓ１２が行われる。ただし、上述の電磁弁Ｖ２に関する動作は、電磁弁Ｖ２Ａ−Ｅに読み換える。
この後、上記ステップＳ１３に対応して、貯留槽６１における洗浄液Ｅから、第２溶液Ｓ２が選択的に排除される。
本実施形態では、洗浄液Ｅの下層に分離した第２溶液Ｓ２が貯留槽６１から排出されることによって、洗浄液Ｅから第２溶液Ｓ２が選択的に排除される。
具体的には、制御部５１は、図４に示すステップＳ３１〜Ｓ３５の制御動作を行う。
【００８３】
ステップＳ３１では、制御部５１が、電磁弁Ｖ２Ａ−Ｅ、Ｖ３を開く。
これにより、各凹部６１ｂおよび第１排出配管２２Ａ−Ｅを通して第２溶液Ｓ２の排出が開始される。
各凹部６１ｂは、平面視において均等に底面２１ａに配置されているため、第２溶液Ｓ２が各凹部６１ｂから分散して排出される。このため、第２溶液Ｓ２が１箇所の凹部２１ｂから集中的に排出される上記第１の実施形態に比べて、第２溶液Ｓ２の液面Ｅ２の動揺を抑制でき、液面Ｅ２の水平性、平面性が保たれやすい。このため、液面Ｅ２近傍における第１溶液Ｓ１と第２溶液Ｓ２との混濁が抑制される。
【００８４】
ステップＳ３１の後、ステップＳ３２、Ｓ３３、Ｓ３４がこの順に行われる。ただし、本変形例では、ステップＳ３２〜Ｓ３４は、第１排出配管２２Ａ−Ｅごとに並行して行われる。以下では、簡単のため、添字Ｘで、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅのいずれかの添字を表す。
ステップＳ３２では、制御部５１は、液種検出器２３Ｘに制御信号を送出して第１排出配管２２Ｘにおける液種検出を行わせる。
液種検出器２３Ｘは、第１排出配管２２Ｘを流れる流体における第２溶液Ｓ２の濃度を検出し、制御部５１に送出する。
ステップＳ３３では、制御部５１は、液種検出器２３Ｘからの情報に基づいて、第１排出配管２２Ｘを通過する流体の液種が第２溶液Ｓ２かどうか、上記第１の実施形態と同様にして判定する。
液種が第２溶液Ｓ２であると判定された場合、制御部５１は第１排出配管２２Ｘにおける制御フローをステップＳ３２に移す。
液種が第２溶液Ｓ２でないと判定された場合、制御部５１は第１排出配管２２ＸにおけるステップＳ３４を行う。
【００８５】
ステップＳ３４では、制御部５１は電磁弁Ｖ２Ｘを閉止する。
制御部５１は、電磁弁Ｖ２Ｘがすべて閉止され電磁弁Ｖ２Ａ−Ｅの下流を流れる流体が第２排出配管２４から外部に排出される時間が経過したら、ステップＳ３４を終了する。
このようにして、電磁弁Ｖ２Ａ−Ｅの上流側には第１溶液Ｓ１が残留する。このため、貯留槽２１からは第２溶液Ｓ２が排除された状態になっている。
ステップＳ３４の後、ステップＳ３５が行われる。ステップＳ３５は、上記第１の実施形態におけるステップＳ２５と同様のステップである。
以上でステップＳ３５が終了し、本変形例におけるステップＳ１３が終了する。
【００８６】
このように本変形例のステップＳ１３には、静置分離された洗浄液Ｅを貯留槽６１の下部から、液種を検知しつつ排出することにより、洗浄液Ｅから第２溶液Ｓ２を選択的に排除することが含まれる。
洗浄液再生装置６０における液種検出器２３Ａ−Ｅおよび制御部５１は、排出部４１における所定位置にて洗浄液Ｅの液種を検知することによって、第２溶液Ｓ２の排出状態の情報を取得する分離排出検出部を構成する。
【００８７】
本変形例のステップＳ１３の後、上記第１の実施形態におけると同様のステップＳ１４が行われる。本変形例におけるステップＳ１４は、同様の制御動作が制御部５１によって行われる点が異なる。
【００８８】
このように、本変形例の洗浄液再生装置６０および洗浄液再生装置６０を用いた洗浄液再生方法によれば、上記第１の実施形態と同様、洗浄液を比重分離して再生を行う場合に、より正確かつ効率的な再生を行うことができる。
本変形例の洗浄システム１０１によれば、洗浄能力が劣化した第２溶液Ｓ２を洗浄液再生装置６０によって必要に応じて洗浄液Ｅを再生することで安定した洗浄性能を持続することができる。
特に、洗浄液再生装置６０は、上記第１の実施形態の排出部４０に代えて、複数の流路で液種を判定できる排出部４１を備えるため、貯留槽６１からより高精度に第２溶液Ｓ２を排除することができる。このため、再生洗浄液Ｅ’の形成に際して、汚れ成分を含む第２溶液Ｓ２が残留したり、第２溶液Ｓ２とともに第１溶液Ｓ１が排出されたりする排出誤差がより低減される。
【００８９】
［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態の洗浄液再生装置および洗浄システムについて説明する。
図９は、本発明の第２の実施形態の洗浄液再生装置および洗浄システムの構成の一例を示すシステム構成図である。図１０は、本発明の第２の実施形態の洗浄液再生装置および洗浄システムの制御系の構成を示すブロック図である。
【００９０】
図９に示すように、本実施形態の洗浄システム１０２は、上記第１の実施形態の洗浄システム１００における洗浄液再生装置２０に代えて、洗浄液再生装置７０を備える。図１０に示すように、本実施形態の洗浄システム１０２は、上記第１の実施形態の制御部５０に代えて、洗浄装置１０および洗浄液再生装置７０の動作を制御する制御部５２（分離排出検出部）をさらに備える。制御部５２の装置構成は、制御部５０と同様な構成が用いられる。
以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００９１】
図９に示すように、本実施形態の洗浄装置１０は、上記第１の実施形態の洗浄装置１０と同様の構成を備える。ただし、本実施形態では、洗浄装置１０は、被洗浄物Ｏをエマルジョン洗浄液である洗浄液ｅに浸漬することによって、被洗浄物Ｏを洗浄する。
被洗浄物Ｏは、洗浄液ｅによって洗浄可能な物品であれば、特に限定されない。例えば、被洗浄物Ｏは、レンズ、プリズム、平板などの光学素子であってもよい。
洗浄液ｅは、親油性を有する溶剤を主成分とする第１溶液ｓ１（第１液体）と、水を主成分とする第２溶液ｓ２（第２液体）と、が予め決められた配合比で混合して形成されている。第１溶液ｓ１および第２溶液ｓ２は互いに比重が異なる。本実施形態では、一例として、第２溶液ｓ２の比重が第１溶液ｓ１の比重よりも小さい。
このため、洗浄液ｅは、例えば洗浄前後の静置状態では、第２溶液ｓ２の下方に第１溶液ｓ１が沈んだ状態で、第１溶液ｓ１と第２溶液ｓ２とが上下に分離している。
【００９２】
第１溶液ｓ１は、親油性を有する１種類以上の溶剤で構成されてもよい。第１溶液ｓ１は、溶剤に可溶な液体または固体が添加された溶剤系洗浄剤などによって構成されてもよい。
第１溶液ｓ１に含まれる溶剤の具体例として、例えば、ノルマルパラフィン、イソパラフィン、ナフテン、芳香族化合物などの炭化水素化合物単体、もしくは、混合物である脂肪族系溶剤、芳香族系溶剤、ナフテン系溶剤、イソパラフィン系溶剤などの炭化水素溶剤が挙げられる。
第１溶液ｓ１の溶剤に添加可能な成分としては、例えば、界面活性剤などが挙げられる。
【００９３】
第２溶液ｓ２は、上記第１の実施形態における第２溶液Ｓ２と同様な構成が用いられる。
本実施形態では、後述する洗浄液再生装置７０によって、劣化した第２溶液ｓ２を洗浄液ｅから排除し、補充用の第２溶液ｓ２０を補充することによって、洗浄液ｅが再生される。このため、第１溶液ｓ１は、洗浄液としての寿命が来るまでは繰り返し使用される。
【００９４】
洗浄液再生装置７０は、上記第１の実施形態の洗浄装置１０の第１溶液供給源２９、液面センサー２７、２８に代えて、第１溶液供給源３６、第２溶液供給源３７、液面センサー３８、液面センサー３９（移送量検出部）を備える。
ただし、本実施形態の貯留槽２１は、洗浄液ｅを貯留し、第１溶液ｓ１および第２溶液ｓ２を静置分離し、再生洗浄液ｅ’を調製するために用いられる。
洗浄液再生装置７０は、さらに、第１溶液貯留槽８１（第２貯留槽）、第４排出配管８２、液面センサー８３、移送管８４、およびポンプ８５を備える。
【００９５】
第１溶液供給源３６は、第１溶液ｓ１０を収容する。第１溶液ｓ１０は、未使用の第１溶液ｓ１と同様の組成を有する。第１溶液ｓ１０は再生洗浄液ｅ’を形成するための補充用に用いられる。
第１溶液供給源３６は、供給管３０を通して、補給管３３に第１溶液ｓ１０を供給することができる。
第２溶液供給源３７は、第２溶液ｓ２０を収容する。第２溶液ｓ２０は、未使用の第２溶液ｓ２と同様の組成を有する。第２溶液ｓ２０は再生洗浄液ｅ’を形成するための補充用に用いられる。
第２溶液供給源３７は、供給管３２を通して、補給管３３に第２溶液ｓ２０を供給することができる。
【００９６】
液面センサー３８は、貯留槽２１内における第２溶液ｓ２の液面ｅ１の高さを検出する。液面センサー３８の構成は、液面ｅ１の高さを検出できれば限定されない。例えば、液面センサー３８は浮き子式センサー、光学センサーなどが用いられてもよい。
液面センサー３９は、貯留槽２１内における第１溶液ｓ１の液面ｅ１の高さを検出する。液面ｅ１は、図９に示されるように貯留槽２１に第２溶液ｓ２が残留している場合には、第１溶液ｓ１と第２溶液ｓ２との界面として形成されている。
液面センサー３９は、後述するように貯留槽２１に移送された第１溶液ｓ１の移送量を検出するための移送量検出部として用いられる。
液面センサー３８の構成は、液面ｅ１の高さを検出できれば限定されない。例えば、図１に示すように、液面センサー３８として、第１溶液ｓ１に浮かび第２溶液ｓ２内で沈む浮き子によって液面ｅ１の高さを検知する浮き子式センサーが用いられてもよい。例えば、液面センサー２８として、光学センサーが用いられてもよい。
【００９７】
第１溶液貯留槽８１は、貯留槽２１から排出された洗浄液ｅの第１溶液ｓ１を貯留するための装置部分である。
第１溶液貯留槽８１の内側の上部には、第２排出配管２４から分岐した第４排出配管８２の排出口８２ａが開口している。第４排出配管８２の中間部には、電磁弁Ｖ８が設けられている。
図１０に示すように、電磁弁Ｖ８は、制御部５２と通信可能に接続されている。電磁弁Ｖ８は、制御部５２からの制御信号に基づいて第４排出配管８２の流路を開閉する。
【００９８】
図９に示すように、第１溶液貯留槽８１の内部には、液面センサー８３が配置されている。
液面センサー８３は、第１溶液貯留槽８１に貯留される第１溶液ｓ１の液面ｅ１１の高さを検出する。液面センサー８３は、液面ｅ１１の高さを検出することによって、第１溶液貯留槽８１における第１溶液ｓ１の残量を検出する。
液面センサー８３の構成は、液面ｅ１１の高さを検出できれば限定されない。例えば液面センサー８３として、浮き子式センサー、光学センサーなどが用いられてもよい。
図１０に示すように、液面センサー８３は、制御部５２と通信可能に接続されている。液面センサー８３は、液面ｅ１１の高さの情報を制御部５２に送出する。
【００９９】
移送管８４は、両端部に、吸引口８４ａと排出口８４ｂとを有する。吸引口８４ａは、第１溶液貯留槽８１の底部に開口している。排出口８４ｂは、貯留槽２１の下部に開口している。
移送管８４の中間部には、吸引口８４ａから排出口８４ｂに向かう方向において、電磁弁Ｖ９と、ポンプ８５と、がこの順に設けられている。
図１０に示すように、電磁弁Ｖ９は、制御部５２と通信可能に接続されている。電磁弁Ｖ９は、制御部５２からの制御信号に基づいて移送管８４の流路を開閉する。
ポンプ８５は、第１溶液貯留槽８１内の第１溶液ｓ１を吸引口８４ａから吸引し、排出口８４ｂから排出する。ポンプ８５は、第１溶液貯留槽８１内の第１溶液ｓ１をすべて排出口８４ｂから排出できるように構成されている。例えば、ポンプ８５は、ポンプ４と同様の構成が用いられてもよい。
【０１００】
移送管８４、電磁弁Ｖ９、ポンプ８５、および制御部５２は、第１溶液貯留槽８１に貯留された第１溶液ｓ１を貯留槽２１に移送する移送部８０を構成している。
【０１０１】
本実施形態における液種検出器２３は、上記第１の実施形態と同様の構成が用いられる。図１０に示すように、液種検出器２３は、制御部５２と通信可能に接続されている。液種検出器２３が検出した液種に関する情報は、制御部５２に送出される。
以下では、一例として、液種検出器２３は、洗浄液ｅにおける第２溶液ｓ２の濃度の情報を制御部５２に送出する場合の例で説明する。
制御部５２は、液種検出器２３から送出される情報に基づいて、第１排出配管２２を通して排出される液種を判定する。
具体的には、制御部５２は、第２溶液ｓ２の濃度が、例えば、１％などの検出閾値未満では、第１排出配管２２から排出される液種は第１溶液ｓ１であると判定する。第２溶液ｓ２の濃度が、検出閾値以上であれば、第１排出配管２２から排出される液種は第１溶液ｓ１でないと判定する。
ただし、液種検出器２３は、洗浄液ｅにおける第１溶液ｓ１の濃度の情報を制御部５２に送出できるようになっていてもよい。
【０１０２】
図９に示すように、本実施形態において、凹部２１ｂ、第１排出配管２２、第２排出配管２４、第３排出配管２５、第４排出配管８２、電磁弁Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ８、および制御部５２は排出部４２を構成する。
排出部４２は、後述するように、洗浄液ｅを、貯留槽２１の下部から、第１溶液貯留槽８１と、第１溶液貯留槽８１以外の貯留槽２１の外部と、のいずれかに選択的に排出する。
【０１０３】
次に、本実施形態の洗浄システム１０２の動作について、本実施形態の洗浄液再生方法とともに、上記第１の実施形態と異なる点を中心として説明する。
図１１は、本発明の第２の実施形態の洗浄液再生方法において、第２液体の排除方法を示すフローチャートである。
【０１０４】
洗浄システム１０２の洗浄装置１０では、洗浄液Ｅに代えて、洗浄液ｅが用いられる以外は、上記第１の実施形態と同様にして洗浄が行われる。
本実施形態では、洗浄液再生装置７０によって行われる本実施形態の洗浄液再生方法によって再生洗浄液ｅ’が形成される。具体的には、使用済みの洗浄液ｅ中の第２溶液ｓ２を補充用の第２溶液ｓ２０に置き換えることによって再生洗浄液ｅ’が形成される。
【０１０５】
本実施形態の洗浄液再生方法は、図３に示すステップＳ４１〜Ｓ４５を、図３に示すフローにしたがって実行することによって行われる。
洗浄液再生装置７０の各装置部分は、ステップＳ４１が開始される前に予め初期化されている。例えば、電磁弁Ｖ２〜Ｖ９は、すべて閉じられている。
ステップＳ４１では、使用済み洗浄液である洗浄液ｅが上記第１の実施形態におけるステップＳ１１と同様にして貯留槽２１に準備される。
【０１０６】
ステップＳ４１の後、ステップＳ４２が行われる。ステップＳ４２では、貯留槽２１において洗浄液ｅが静置分離される。
第２溶液ｓ２は第１溶液ｓ１よりも比重が小さいため、図９に示すように、第１溶液ｓ１が貯留槽２１の底部に移動する。第２溶液ｓ２は第１溶液ｓ１上に浮かんだ状態になる。
制御部５２は、洗浄液ｅが貯留槽２１に移動されてから予め決められた時間が経過すると、液面センサー３８、３９から、それぞれ液面ｅ２、ｅ１の高さの情報を取得する。制御部５２は、取得した各高さの情報を記憶する。
以上でステップＳ４２が終了する。
【０１０７】
ステップＳ４２の後、ステップＳ４３が行われる。ステップＳ４３では、貯留槽２１における洗浄液ｅから、第２溶液ｓ２が選択的に排除される。
本実施形態では、洗浄液ｅの下層に分離した第１溶液ｓ１が貯留槽２１の下部から第１溶液貯留槽８１に排出された後、貯留槽２１に残る第２溶液ｓ２が貯留槽２１から排出されることによって、洗浄液ｅから第２溶液ｓ２が選択的に排除される。
具体的には、制御部５２は、図１１に示すステップＳ５１〜Ｓ５７を図１１に示すフローにしたがって行う。
【０１０８】
ステップＳ５１では、制御部５２は、電磁弁Ｖ２、Ｖ８を開く（開放する）制御を行う。
電磁弁Ｖ２、Ｖ８が開かれることで、第１排出配管２２および第４排出配管８２の流路が開放される。貯留槽２１内の第１溶液ｓ１は、自重と、上方の第２溶液ｓ２による圧力と、によって、貯留槽２１の下部における凹部２１ｂを通して、排出口２１ｃから第１排出配管２２に流れ始める。
【０１０９】
ステップＳ５１の後、ステップＳ５２が行われる。ステップＳ５２では、制御部５２は、液種検出器２３に制御信号を送出して液種検出を行わせる。
液種検出器２３は、第１排出配管２２を流れる流体における第２溶液ｓ２の濃度を検出し、制御部５２に送出する。
【０１１０】
ステップＳ５２の後、ステップＳ５３が行われる。ステップＳ５３では、制御部５２は、液種検出器２３からの情報に基づいて、第１排出配管２２を通過する流体の液種が第１溶液ｓ１かどうかを判定する。例えば、制御部５２は、第２溶液ｓ２の濃度が検出閾値の濃度未満であれば、液種は第１溶液ｓ１であると判定し、第２溶液ｓ２の濃度が検出閾値の濃度以上であれば、液種は第１溶液ｓ１でないと判定する。
液種が第１溶液ｓ２であると判定された場合、制御部５２は制御フローをステップＳ５２に移す。
液種が第１溶液ｓ１でないと判定された場合、制御部５２はステップＳ５４を行う。
【０１１１】
ステップＳ５４では、制御部５２は電磁弁Ｖ２を閉じる制御信号を電磁弁Ｖ２に送出する。これにより、電磁弁Ｖ２よりも上流側には第２溶液ｓ２が残留する。
本ステップでは、電磁弁Ｖ８が開放されているため、電磁弁Ｖ２の下流側を流れる流体は、第４排出配管８２を通して第１溶液貯留槽８１に排出される。具体的には、洗浄液ｅのうち、貯留槽２１に残留する第２溶液ｓ２が除かれたほぼ第１溶液ｓ１からなる成分が第１溶液貯留槽８１に排出される。以下では、簡単のため、第１溶液貯留槽８１に移動した洗浄液ｅを単に、第１溶液ｓ１と称する。
第４排出配管８２から流体が排出される時間が経過したら、ステップＳ５５が行われる。
ステップＳ５５では、制御部５２は電磁弁Ｖ８を閉じる制御信号を電磁弁Ｖ８に送出する。これにより、第４排出配管８２の流路が閉止される。以上でステップＳ５５が終了する。
ステップＳ５５が終了したときには、電磁弁Ｖ２の上流側では、第１溶液ｓ１が排除され、第２溶液ｓ２が残留している。
【０１１２】
ステップＳ５５の後、ステップＳ５６が行われる。ステップＳ５６では、制御部５２は、電磁弁Ｖ２、Ｖ３を開く制御を行う。具体には、制御部５２は、電磁弁Ｖ２、Ｖ３を開く制御信号を電磁弁Ｖ２、Ｖ３に送出する。これにより、第１排出配管２２および第２排出配管２４の流路が開放される。
このため、貯留槽２１内の第２溶液ｓ２が、第１排出配管２２、第２排出配管２４を流れて、排出口２４ａから図示略の排出タンクあるいは排水処理槽などに排出される。
第２排出配管２４から流体が排出される時間が経過したら、ステップＳ５６が終了する。このようにして、貯留槽２１からすべての洗浄液ｅが排除される。
本ステップにおいては、第１排出配管２２を流れる液種の検知は必要ないため、制御部５２は、液種検出器２３からの情報を取得しなくてもよい。ただし、制御部５２は、液種検出器２３の検出する情報を取得して、第１溶液ｓ１の排出が終了したかどうかを判定してもよい。
【０１１３】
ステップＳ５６の後、ステップＳ５７が行われる。ステップＳ５７では、制御部５２は、電磁弁Ｖ２、Ｖ３を閉止する制御を行う。以上でステップＳ５７が終了し、図３におけるステップＳ４３が終了する。
【０１１４】
このようにステップＳ４３には、静置分離された洗浄液ｅを貯留槽２１の下部から、液種を検知しつつ第１溶液ｓ１を第１溶液貯留槽８１に排出し、その後、第２溶液ｓ２を第１溶液貯留槽８１と異なる貯留槽２１の外部に排出することにより、洗浄液ｅから第２溶液ｓ２を選択的に排除することが含まれる。
洗浄液再生装置７０における液種検出器２３および制御部５２は、排出部４２における所定位置にて洗浄液ｅの液種を検知することによって、第２溶液ｓ２の排出状態の情報を取得する分離排出検出部を構成する。
【０１１５】
図３に示すように、ステップＳ４３の後、ステップＳ４４が行われる。ステップＳ４４では、第２溶液ｓ２が排除された洗浄液ｅに少なくとも補充用の第２溶液ｓ２０を混合して再生洗浄液ｅ’が調整される。
まず、制御部５２は、電磁弁Ｖ９を開く制御信号を電磁弁Ｖ９に送出する。これにより、第１溶液貯留槽８１内の第１溶液ｓ１は、吸引口８４ａから移送管８４に移動する。
さらに、制御部５２は、ポンプ８５の駆動を開始する制御信号をポンプ８５に送出する。これにより、移送管８４内の第１溶液ｓ１が排出口８４ｂに向けて圧送され、排出口８４ｂを通して貯留槽２１内に移送される。
制御部５２は、液面センサー８３による第１溶液貯留槽８１内の第１溶液ｓ１の液面ｅ１１の高さの情報に基づいて、第１溶液ｓ１の移送が終了したかどうかを判定する。制御部５２は、第１溶液ｓ１の移送が終了したと判定すると、ポンプ８５を停止し、電磁弁Ｖ９を閉じる制御を行う。
これにより、貯留槽２１に第１溶液ｓ１が満たされる。このため、貯留槽２１は、上記第１の実施形態のステップＳ１４の開始時に貯留槽２１に洗浄液Ｅから第２溶液Ｓ２が排除されて第１溶液Ｓ１が満たされている状態と同様、第１溶液ｓ１が満たされている状態になっている。
本実施形態の第１溶液ｓ１は、例えば、蒸発したり、移送時に損失したりすることによって、未使用の洗浄液ｅ中の第１溶液ｓ１より少なくなっているおそれがある。
【０１１６】
この後、制御部５２は、上記第１の実施形態におけるステップＳ１４と同様にして、貯留槽２１において、再生洗浄液ｅ’を調製する制御を行う。具体的には、上記第１の実施形態のステップＳ１４における第１溶液Ｓ１、第２溶液Ｓ２、第１溶液供給源２９、および第２溶液供給源３１を、それぞれ、第１溶液ｓ１、第２溶液ｓ２、第１溶液供給源３６、および第２溶液供給源３７に読み換えればよいため、説明は省略する。
このようにして貯留槽２１に再生洗浄液ｅ’が調製される。
以上で、ステップＳ１４が終了する。
【０１１７】
ステップＳ４４の後、ステップＳ４５が行われる。ステップＳ４５では、上記第１の実施形態におけるステップＳ１５と同様にして、再生洗浄液ｅ’が洗浄槽１に移送される。
以上で、本実施形態の洗浄液再生方法が終了する。
【０１１８】
このように、洗浄液再生装置７０では、第１溶液ｓ１が、第２溶液ｓ２よりも比重が大きいため、洗浄液ｅのうち、第１溶液ｓ１を第１溶液貯留槽８１に移動してから、貯留槽２１から第２溶液ｓ２が排除される。そして、第１溶液貯留槽８１から貯留槽２１に第１溶液ｓ１を移送した後、貯留槽２１で再生洗浄液ｅ’が調製される。
しかし、貯留槽２１の下部から洗浄液ｅを排出しつつ、液種検出器２３によって液種を検知することによって、第２溶液ｓ２を選択的に排除することは、上記第１の実施形態と同様である。
このため、本実施形態の洗浄液再生装置７０および洗浄液再生装置７０を用いた洗浄液再生方法によれば、上記第１の実施形態と同様、洗浄液を比重分離して再生を行う場合に、より正確かつ効率的な再生を行うことができる。
本実施形態の洗浄システム１０２によれば、必要に応じて洗浄液を再生することで安定した洗浄性能を持続することができる。
【０１１９】
なお、上記の各実施形態、変形例の説明では、洗浄装置１０が単槽の洗浄装置の場合の例で説明した。しかし、洗浄装置１０は、エマルジョン洗浄液を用いる洗浄装置であれば、単槽の洗浄装置には限定されない。例えば、洗浄装置は、複数の洗浄槽を備えるカスケード方式の洗浄装置であってもよい。
また、洗浄装置１０は、超音波発振器２を備える洗浄装置には限定されない。例えば、洗浄装置１０は、超音波発振器２に代えて、ジェット噴流を被洗浄物に噴射できるジェット噴流洗浄装置であってもよい。
【０１２０】
上記の各実施形態、変形例の説明では、洗浄液再生装置２０（６０、７０）は、貯留槽２１に洗浄液を貯留して、再生洗浄液Ｅ’（ｅ’）を形成するために用いられる場合の例で説明した。しかし洗浄液再生装置２０（６０、７０）は、未使用の第１溶液Ｓ１０（第１溶液ｓ１０）および第２溶液Ｓ２０（第２溶液ｓ２０）を所定の配合比で混合して、未使用の洗浄液Ｅ（洗浄液ｅ）を調製するため用いられてもよい。
【０１２１】
上記の各実施形態、変形例の説明では、洗浄システムが、１つの洗浄装置と、１つの洗浄液再生装置と、からなる場合の例で説明した。しかし、洗浄システムは、複数の洗浄装置と、各洗浄装置との間で、使用済み洗浄液および再生洗浄液を移送できるように構成された少なくとも１つの洗浄液再生装置と、によって構成されてもよい。この場合、１つの洗浄装置における洗浄液が、洗浄液再生装置で再生される間に、他の洗浄装置を稼働させることで、洗浄システム全体としては、継続して洗浄が行える。
【０１２２】
上記の各実施形態、変形例の説明では、洗浄液再生装置が洗浄装置に併設されて、洗浄システムの一部を構成する場合の例で説明した。しかし、洗浄液再生装置は、洗浄装置とは独立した単体装置として設けられてもよい。例えば、洗浄再生装置は、移動可能に構成されてもよい。
【０１２３】
上記第１の実施形態の変形例の説明では、第１排出配管２２Ａ−Ｅの各所定位置における液種を独立に検出して、第１排出配管２２Ａ−Ｅの流路の開閉が制御される場合の例で説明した。このようにすれば、より正確に、第２溶液Ｓ２を排除することができる。
しかし、第１溶液Ｓ１中に残留する第２溶液Ｓ２が許容範囲にできる場合には、上述の制御以外の制御も可能である。
例えば、第１排出配管２２Ａ−Ｅの各所定位置における少なくとも１つの液種が第１溶液Ｓ１に変わったことが検出されたら、電磁弁Ｖ２Ａ−Ｅのすべてを閉じる制御が行われてもよい。
例えば、第１排出配管２２Ａ−Ｅの各所定位置で検出される流体の濃度の平均値が示す液種が、第１溶液Ｓ１に変わったことが検出されたら、電磁弁Ｖ２Ａ−Ｅのすべてを閉じる制御が行われてもよい。
【０１２４】
上記第１の実施形態の変形例の説明では、第１排出配管２２Ａ−Ｅがそれぞれ液種検出器２３を有する場合の例で説明した。しかし、底面２１ａに複数の凹部６１ｂが設けられている場合には、液面Ｅ２の水平性が安定する。このため、液種検出器２３は第１排出配管２２Ａ−Ｅの少なくとも１つに設けられていてもよい。
【０１２５】
上記の各実施形態、変形例の説明では、第１貯留槽に第１液体の液面の高さと、第２液体の液面の高さと、をそれぞれ測定する液面センサーが設けられている場合の例で説明した。しかし、再生洗浄液を調製する場合に、少なくとも第１貯留槽における最上の液面の高さが検出できれば、必要補充量が算出できる。このため、第１貯留槽には、最上の液面の高さを検出する１つの液面センサーが設けられた構成も可能である。
【０１２６】
上記第１の実施形態の説明では、液種検出器２３が、電磁弁Ｖ２の上流側に設けられる場合の例で説明した。この場合、電磁弁Ｖ２を閉止するタイミングが適正であれば、貯留槽２１から第１溶液Ｓ１が排出されることを確実に防止できる。
ただし、電磁弁Ｖ２から離れすぎない位置であれば、液種検出器２３は、電磁弁Ｖ２の下流側に設けられていてもよい。
この場合、電磁弁Ｖ２と液種検出器２３との間の溶液は貯留槽２１の外部に排出されるが、電磁弁Ｖ２と液種検出器２３との距離を適正化することにより、第１溶液Ｓ１の排出量が許容範囲に抑制される。
液種検出器２３が電磁弁Ｖ２の下流側に設けられる構成では、電磁弁Ｖ２を閉じて電磁弁Ｖ３を開くことにより液種検出器２３の内部の溶液が液種検出器２３の外部に排出されるため、液種検出器２３と溶液との接触時間が低減される。
【０１２７】
以上、本発明の好ましい各実施形態および変形例を説明したが、本発明はこのような各実施形態および変形例に限定されることはない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。
また、本発明は前述した説明によって限定されることはなく、添付の特許請求の範囲によってのみ限定される。
例えば、上記変形例における凹部６１ｂは、上記第１および上記第２の実施形態の凹部２１ｂに代えて用いられてもよい。
【符号の説明】
【０１２８】
１  洗浄槽
６  移送配管（第１移送管路、第１移送装置）
１０  洗浄装置
２０、６０、７０  洗浄液再生装置
２１、６１  貯留槽（第１貯留槽）
２１ａ  底面
２１ｂ、６１ｂ  凹部（排出管路）
２１ｃ  排出口
２２、２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ、２２Ｅ、２２Ｘ  排出配管
２３、２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ、２３Ｄ、２３Ｅ、２３Ｘ  液種検出器（分離排出検出部）
２５  第３排出配管（第２移送管路、第２移送装置）
２６  ポンプ（第２移送装置）
２７  液面センサー（残量検出部）
２８、３８  液面センサー
２９、３６  第１溶液供給源
３１、３７  第２溶液供給源
３９  液面センサー（移送量検出部）
４０、４１、４２  排出部
５０、５１、５２  制御部（分離排出検出部）
６１ｄ  テーパ面
８０  移送部
８１  第１溶液貯留槽（第２貯留槽）
１００、１０１、１０２  洗浄システム
Ｅ、ｅ  洗浄液（使用済み洗浄液）
Ｅ’、ｅ’  再生洗浄液
Ｅ１、Ｅ２、Ｅ２０、ｅ１、ｅ２、ｅ１１  液面
Ｏ  被洗浄物
Ｓ１、ｓ１、  第１溶液（第１液体）
Ｓ２、ｓ２  第２溶液（第２液体）
Ｓ１０、ｓ１０  第１溶液（補充用の第１液体）
Ｓ２０、ｓ２０  第２溶液（補充用の第２液体）
Ｖ１  電磁弁（第１移送装置）
Ｖ２、Ｖ２Ａ、Ｖ２Ｂ、Ｖ２Ｃ、Ｖ２Ｄ、Ｖ２Ｅ、Ｖ２Ｘ、Ｖ３、Ｖ５、Ｖ６、Ｖ７、Ｖ８、Ｖ９  電磁弁
Ｖ４  電磁弁（第２移送装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2019051453.tif 000009
【図８】
2019051453.tif 000010
【図９】
2019051453.tif 000011
【図１０】
2019051453.tif 000012
【図１１】
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