(57)【要約】【課題】微細な粒子を含む少量のスラリーから粒子形状を保ったまま粒子を分離する分離装置および分離方法を提供すること。【解決手段】分離装置１０が、スラリーを通過させる管１０１と、管１０１に向けて弾性波を照射して管１０１の内部に定在波を励起させる振動子１０２と、定在波の節１１０に対応する位置に一方の端部が配置され、節１１０に対応する位置からスラリーに含まれる粒子を分離する濃縮液排出管１０４と、を備える。【選択図】図２Ｂ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スラリーを通過させる管と、
前記管に向けて弾性波を照射して前記管の内部に定在波を励起させる振動子と、
前記定在波の節に対応する位置に一方の端部が配置され、前記節に対応する位置から前記スラリーに含まれる粒子を分離する濃縮液排出管と、
を備えることを特徴とする分離装置。
【請求項２】
前記粒子の直径は、１μｍ以上、１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の分離装置。
【請求項３】
前記粒子は、金属であることを特徴とする請求項１または２に記載の分離装置。
【請求項４】
前記金属には、Ｂｉ、Ｓｎ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、または、Ａｕの少なくとも何れかの元素が含まれることを特徴とする請求項３に記載の分離装置。
【請求項５】
前記節は複数あり、該複数の前記節に対応する位置にそれぞれ前記濃縮液排出管の前記一方の端部が配置されることを特徴とする請求項１〜４に記載の分離装置。
【請求項６】
管にスラリーを流すステップと、
前記管に向けて弾性波を照射して前記管の内部に定在波を励起させるステップと、
前記定在波の節に対応する位置から前記スラリーに含まれる粒子を分離するステップと、
を含む分離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体と粒子とのスラリーから粒子を取り出す分離装置および分離方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子回路基板の高密度化に対応するために、はんだ粒子の微細化が進んでいる。微細なはんだ粒子は、比表面積が飛躍的に増加するため、空気と触れることにより酸化しやすい。これを防ぐため、特に、粒子径が１μｍ以上、１０μｍ以下の微細なはんだ粒子は、液中で生成される。生成されたはんだ粒子は、粒度分布のばらつきを小さくするために分級処理される。
【０００３】
従来、液中から１μｍ以上、１０μｍ以下の粒子を取り出す分級処理を行う場合、液体サイクロンが用いられている（特許文献１参照）。
【０００４】
図６は、従来の液体サイクロンの内部構造を示す模式図である。なお、ここでは、図６の矢印で示される方向を便宜的に上または下として説明する。
【０００５】
円筒部１の側面には液流入口２が設けられ、液流入口２から投入されたスラリーは円筒部１の内壁に沿って旋回しながら下降し逆円錐台部３に達する。
【０００６】
円筒部１の内壁に沿って旋回する下降流の一部は、上方に向きを変え本体中心軸に沿って旋回する上昇流となり、円筒部１の上端に達すると上部排出口４から排出される。金属粒子などの比重の大きい物質は、上昇することなく沈殿部５に向かって流れ落ち、懸濁粒子排出口６から排出される。
【０００７】
また、上昇流に巻き込まれた金属粒子は、逆円錐台部３の内部に設置された障害物７に衝突することによって、再び、逆円錐台部３の内壁に沿って旋回しながら下降することになる。これにより、スラリーから金属粒子を効率よく分離することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第５７３２６３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来の液体サイクロンは、液体との比重の差が大きい粒子を簡単に分離することはできるものの、液体との比重差が小さい粒子を分離することは困難であった。
【００１０】
また、従来の液体サイクロンは、強力な遠心力を利用して比重の異なる液体と金属粒子とを分離しているため、分離装置に２０００ｍｌ／ｍｉｎ以上のスラリーを流し続けなければならならない。そのため、スラリーが少量の場合には従来の分離装置を利用することができない。
【００１１】
また、従来の液体サイクロンでは、装置内部ではんだ粒子が旋回している間に内壁あるいは障害物へ衝突することにより、はんだ粒子の形状が変化する恐れがある。この場合、はんだ粒子の基板への転写性が悪化し、電子部品と基板との接合不良を起こす可能性がある。
【００１２】
本発明は、微細な粒子を含む少量のスラリーから粒子形状を保ったまま粒子を分離する分離装置および分離方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の分離装置は、スラリーを通過させる管と、管に向けて弾性波を照射して管の内部に定在波を励起させる振動子と、定在波の節に対応する位置に一方の端部が配置され、節に対応する位置からスラリーに含まれる粒子を分離する濃縮液排出管と、を備える。
【００１４】
また、本発明の分離方法は、管にスラリーを流すステップと、管に向けて弾性波を照射して管の内部に定在波を励起させるステップと、定在波の節に対応する位置からスラリーに含まれる粒子を分離するステップと、を含む。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の分離装置および分離方法によれば微細な粒子を含む少量のスラリーから粒子形状を保ったまま粒子を分離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１Ａ】実施の形態１に係る分離装置を説明する図
【図１Ｂ】図１ＡにおけるＡ−Ａ矢視断面図
【図２Ａ】粒子がスラリーから分離するメカニズムを説明する図
【図２Ｂ】粒子がスラリーから分離するメカニズムを説明する図
【図３】弾性波の照射時間とスラリーの透過率比との関係を示す図
【図４】スラリーに照射する弾性波の出力と照射時間との関係を示す図
【図５】実施の形態２に係る分離装置を説明する図
【図６】従来の液体サイクロンの内部構造を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、同じ構成要素には同じ符号を付している。また、図面は、理解しやすくするためにそれぞれの構成要素を模式的に示している。また、本明細書では、図１Ａ〜２Ｂ，５の矢印で示される方向を便宜的に上または下として説明する。
【００１８】
（実施の形態１）
＜分離装置＞
図１Ａは、実施の形態１に係る分離装置１０を説明する図である。図１Ｂは、図１ＡにおけるＡ−Ａ矢視断面図である。
【００１９】
分離装置１０は、微細な粒子を含むスラリーから微細な粒子を分離処理する装置である。分離装置１０が分離する微細な粒子の粒径は、例えば、１μｍ以上、１０μｍ以下である。また、分離装置１０が分離する微細な粒子は、例えば、はんだ粒子である。また、スラリー中の液体は、例えば、シリコーンオイルである。
【００２０】
分離装置１０は、分離管１０１と、振動子１０２と、濃縮液排出管１０４とを有する。
【００２１】
分離管１０１は、微細な粒子を含むスラリーを流すための配管である。分離管１０１は、スラリーが投入される液流入口１０３と、分離処理が行われたスラリーを排出する排出口１０８とを備えている。
【００２２】
分離管１０１は、上部に配置された分離管上壁１１１と下部に配置された分離管下壁１１２と側部に配置された一対の分離管側壁１１３とを有する。分離管１０１の断面は、矩形状に形成されている。また、分離管１０１は、石英ガラスなどの材料で形成されている。
【００２３】
振動子１０２は、分離管１０１の内部を流れるスラリーに振動を与える部材である。振動子１０２は、分離管１０１に向けて弾性波を照射し、分離管１０１内を流れるスラリーに振動を与える。弾性波は、例えば、超音波である。
【００２４】
振動子１０２は、スラリーに振動を与えることによって、スラリーから粒子を分離することができる。これについては、後に詳しく説明する。
【００２５】
振動子１０２は、分離管１０１に近接する位置に配置されている。また、振動子１０２は、分離管１０１が延在する方向に沿って配置されている。振動子１０２は、スラリーから粒子を分離するために必要な時間に応じてその長さが設定される。
【００２６】
例えば、スラリーの粘度が高く、スラリーから粒子を分離する時間が長くなる場合、分離管１０１が延在する方向の長さの長い振動子１０２が用いられる。
【００２７】
一方、スラリーの粘度が低く、スラリーから粒子を分離する時間が短い場合、分離管１０１が延在する方向の長さの短い振動子１０２が用いられる。
【００２８】
濃縮液排出管１０４は、スラリーから分離した粒子を取り出すための配管である。濃縮液排出管１０４の一端側は、分離管１０１の内部において、分離管上壁１１１と分離管下壁１１２との中間位置に配置されている。また、濃縮液排出管１０４の幅は、分離管１０１の幅と同じである。
【００２９】
＜分離メカニズム＞
図２Ａおよび図２Ｂは、粒子がスラリーから分離するメカニズムを説明する図である。図２Ａは、振動子１０２が分離管１０１に向けて弾性波を照射した際のスラリーの状態を示している。
【００３０】
振動子１０２が分離管１０１に向けて弾性波を照射すると、分離管１０１内を流れるスラリー中を縦波の弾性波が伝播する。
【００３１】
弾性波は音響インピーダンスの異なる物質の境界面に達すると反射するため、分離管上壁１１１に向かう進行波と分離管下壁１１２に向かう反射波とが重なることによって定在波が励起する。この定在波の腹１０９の位置が最も振動の大きい位置であり、節１１０の位置が最も振動の小さい位置である。スラリー中で定在波が励起すると最も振動の小さい節１１０の位置に粒子が集まる。
【００３２】
実施の形態１では、図２Ｂに示すように、分離管１０１内に一波長分の定在波が励起するように、分離管１０１の上壁１１１と下壁１１２との距離が設定されている。
【００３３】
具体的には、実施の形態１では、振動子１０２の周波数は２６ｋＨｚに設定されている。また、スラリーの液体は、シリコーンオイルであり、シリコーンオイル中を振動が伝わる速さは、９６６ｍ／ｓである。したがって、波長λは、３７．２ｍｍとなり、分離管上壁１１１と分離管下壁１１２の間の距離は３７．２ｍｍに設定される。
【００３４】
なお、スラリーの液体は、シリコーンオイルに限らず、エチレングリコール、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、エタノールなどの液体を用いても良い。また、本実施の形態１では周波数２６ｋＨｚの振動子１０２を用いているが、４４ｋＨｚ、７８ｋＨｚ、９７ｋＨｚ、１３０ｋＨｚなど任意の周波数を選ぶことができる。
【００３５】
図２Ｂに示すように、液流入口１０３から投入されたスラリーは、振動子１０２から照射された弾性波の作用により、節１１０の位置に粒子が集められる。これにより、節１１０部分を流れるスラリーは、粒子濃度が高まった濃縮液となる。
【００３６】
濃縮液は、濃縮液排出管１０４により、原料液のスラリーから分離して取り出される。一方、粒子濃度が低くなったスラリーは、排出口１０８から排出される。
【００３７】
なお、分離管１０１の高さに対する濃縮液排出管１０４の高さの割合は、実験の結果から１５％程度が適切であることが判明した。この割合を１５％よりも大きくすると、スラリーの回収量が増加するのに伴い、粒子濃度の低いスラリーも回収されてしまい、回収された濃縮液の粒子濃度が低下してしまう。
【００３８】
一方、節１１０付近を流れるスラリーの粒子濃度も位置によって若干のばらつきが生じる場合がある。そのため、分離管１０１の高さに対する濃縮液排出管１０４の高さを１５％よりも小さくした場合は、粒子濃度の高い濃縮液よりも粒子濃度の低い濃縮液の方が多く濃縮液排出管１０４から回収され濃縮液の粒子濃度が低下する恐れがある。
【００３９】
また、分離管１０１の高さに対する濃縮液排出管１０４の高さが１０％以上、２５％以下の範囲であれば、高さが１５％の時と比較して８０％以上の粒子濃度の濃縮液を回収することができることが判明した。
【００４０】
次に、スラリーに弾性波が照射される時間について説明する。図３は、弾性波の照射時間とスラリーの透過率比との関係を示す図である。
【００４１】
図３中、照射時間は、分離管１０１を流れるスラリーに１Ｗの弾性波を照射した時間を示す。照射時間は、弾性波が照射される分離管１０１が延在する方向の長さＳを、分離管１０１内を流れるスラリーの速さＶで割った値である。すなわち、分離管１０１が延在する方向の振動子１０２の長さ変えることで、照射時間を変化させた。
【００４２】
また、図３中、透過率比は、所定の照射時間の経過後の節１１０を流れるスラリーの光の透過率を、弾性波を照射する前の節１１０を流れるスラリーの光の透過率で割った数値である。なお、スラリーの光の透過率は波長６００ｎｍの分光光度計を用いて測定した。
【００４３】
上述したように、振動子１０２によってスラリーに弾性波が照射されると、粒子が節１１０に集められ、節１１０を流れるスラリーの粒子濃度が高くなる。このとき、節１１０部分を流れるスラリーの透過率は初期と比較して低くなるため透過率比は小さくなる。
【００４４】
透過率比は、照射時間が０．５ｓｅｃで０．７５となり、照射時間が１ｓｅｃで０．５９となり、照射時間が２ｓｅｃで０．４となった。これ以降、透過率比は０．４近傍で安定している。したがって、弾性波の照射時間は２ｓｅｃ以内とするのが好ましい。
【００４５】
＜弾性波の出力＞
弾性波の出力を変化させると弾性波の振幅の大きさが変化する。そのため、粒子を定在波の腹１０９の位置から節１１０の位置に移動させる力の作用が強くなり、透過率比が０．４に到達する時間が変化する。
【００４６】
図４は、スラリーに照射する弾性波の出力と弾性波の照射時間との関係を示す図である。なお、照射時間は、透過率比が０．４になるまでの時間である。
【００４７】
上述したように、弾性波の出力が１Ｗの時、２ｓｅｃで透過率比０．４に到達する。弾性波の出力をこれよりも大きくすると、透過率比０．４に到達するまでの弾性波の照射時間は短くなる。
【００４８】
具体的には、出力を５Ｗまで上げると透過率比が０．４まで到達する照射時間は１ｓｅｃまで短縮される。ただし、これ以上に出力を上げても透過率比が０．４まで到達する弾性波の照射時間は短くならない。
【００４９】
一方、出力を０．５Ｗまで下げると透過率比が０．４に到達するまでの照射時間は３ｓｅｃまで延びた。さらに、出力を０．２５Ｗまで下げると照射時間を６０ｓｅｃにしても透過率比は０．４まで到達しなかった。
【００５０】
以上の結果から、透過率比を０．４まで下げるためには、弾性波出力を０．５Ｗ以上、５Ｗ以下、これに対応させて、照射時間を３ｓｅｃ以下、１ｓｅｃ以上にすることが好ましい。
【００５１】
＜分離性能＞
実施の形態１の分離装置１０を用いて粒子濃度１０質量％のスラリーから粒子の分離を行った。粒子は、５５質量％のＢｉおよび４５質量％のＩｎ粒子から構成される。また、スラリーの液体はシリコーンオイルである。
【００５２】
なお、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置を用いてスラリーに含まれる粒子の粒子径を測定したところ、平均粒子径４．４μｍ、２５％累積粒子径２．５μｍ、７５％累積粒子径６．９μｍであった。
【００５３】
分離管上壁１１１と分離管下壁１１２の間の高さは３７．２ｍｍである。また、分離管の幅１０５は上記の高さの約１／２である１５ｍｍとしているため、分離管１０１の断面積は５５８ｍｍ２となる。
【００５４】
また、分離管１０１の内部にポンプを用いて１Ｌ／ｍｉｎの速さでスラリーを流した。このとき、スラリーの流速は２９．９ｍｍ／ｓとなるため、スラリーに対する弾性波の照射時間を３ｓｅｃ以上確保するために、振動子１０２の長さを１００ｍｍとした。
【００５５】
表１（ａ）は、スラリー１０００ｇを分離装置１０に５回通した時の１パスごとの粒子量の変化を示している。
【００５６】
【表１】
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【００５７】
初期のスラリー（原料液）中の粒子量は１００ｇであったが、スラリーが分離装置１０を１回通過したときに排出口１０８から排出されたスラリー中の粒子量は６３ｇに減り、濃縮液排出管１０４から排出された濃縮液中の粒子量は３７ｇとなった。この動作を繰り返すと濃縮液排出管１０４から排出された粒子量の積算値は徐々に増加し、５パスの時点で８９ｇに到達した。すなわち、初期のスラリーに含まれていた８９％の粒子を分離することができた。
【００５８】
表１（ｂ）は、表１（ａ）に示した結果を粒子濃度に換算した数値を示している。初期のスラリーの粒子濃度は１０％であったが、スラリーが分離装置１０を１回通過したときに排出口１０８から排出されたスラリーの粒子濃度は７．４％に低下し、濃縮液排出管１０４から排出された濃縮液の粒子濃度は２４．７％に上昇した。この動作を繰り返すと濃縮液排出管１０４から排出された濃縮液の粒子濃度は徐々に低下し、５パスの時点で１６．０％に到達した。
【００５９】
また、スラリーから分離された粒子の形状を電子顕微鏡で観察したところ、粒子の形状は変形することなく初期のスラリーに含まれる粒子の形状と同じ形状であった。
【００６０】
なお、スラリーに含まれる粒子は、５５質量％Ｂｉおよび４５質量％Ｉｎの粒子に限らず、Ｓｎ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｕから選ばれた少なくとも１種類の元素を含む金属であればよい。また、スラリーに含まれる粒子は、これらの金属からなる金属酸化物でもあってもよい。
【００６１】
実施の形態１に係る分離装置１０は、粒子径が１μｍ以上、１０μｍ以下の粒子を効率的に分離することができるが、１μｍ未満のサブミクロン粒子あるいはナノ粒子でも良く、１０μｍを超える粒子でもあってもよい。
【００６２】
以上説明したように、実施の形態１に係る分離装置１０によれば、微細な粒子を含む少量のスラリーから粒子の形状を保ったまま粒子を分離することができる。
【００６３】
また、従来の分離装置のように、２０００ｍｌ／ｍｉｎ以上の流量を流し続ける必要はなく、１０００ｍｌ／ｍｉｎ程度の流量で粒子を分離することができる。そのため、スラリーの量が少ない場合や、ポンプの出力が小さい場合であってもスラリーから粒子を分離することができる。
【００６４】
また、実施の形態１の分離装置１０では、分離管１０１と濃縮液排出管１０４の幅を広くすることによって、多量のスラリーの分離を行うことができる。このとき、分離管１０１に向けて照射する弾性波の照射時間を長くするか、出力値の大きい弾性波を照射することにより、確実にスラリーの分離を行うことができる。
【００６５】
また、粒子がはんだ粒子である場合、実施の形態１の分離装置は、粒子の形状に変化を生じさせることなくスラリーから粒子を分離することができるため、電子部品と基板との接続不良が生じる可能性を低減することができる。
【００６６】
（実施の形態２）
＜分離装置＞
図５は、実施の形態２に係る分離装置を説明する図である。
【００６７】
実施の形態２の分離装置２０は、複数の濃縮液排出管１０４，１１４，１１５を有する。すなわち、分離管上壁１１１と分離管下壁１１２との中間位置に配置された濃縮液排出管１０４、分離管上壁１１１とともに配管を構成する上部濃縮液排出管１１４、および、分離管下壁１１２とともに配管を構成する下部濃縮液排出管１１５とを有する。
【００６８】
濃縮液排出管１０４、上部濃縮液排出管１１４、および、下部濃縮液排出管１１５は、粒子濃度を高めた濃縮液を原料液のスラリーから分離して取り出すための配管である。これらの配管は、例えば、石英ガラスで形成される。
【００６９】
分離管１０１、濃縮液排出管１０４、上部濃縮液排出管１１４、および、下部濃縮液排出管１１５の幅は同じである。濃縮液排出管１０４の高さは分離管１０１の高さの１５％に設定され、上部濃縮液排出管１１４、下部濃縮液排出管１１５の高さは分離管１０１の高さの７％に設定されている。実施の形態２の分離装置２０のこれらの排出管以外の構成は実施の形態１と同様である。
【００７０】
＜分離性能＞
実施の形態２の分離装置２０を用いて、粒子濃度１０質量％のスラリーから粒子の分離を行った。粒子は、５５質量％のＢｉおよび４５質量％のＩｎ粒子から構成される。また、スラリーの液体はシリコーンオイルである。
【００７１】
なお、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置を用いてスラリーに含まれる粒子の粒子径を測定したところ、平均粒子径４．４μｍ、２５％累積粒子径２．５μｍ、７５％累積粒子径６．９μｍであった。
【００７２】
分離管１０１の分離管上壁１１１と分離管１０１の分離管下壁１１２の間の高さは３７．２ｍｍである。また、分離管１０１の幅は上記の高さの約１／２である１５ｍｍとしているため、分離管１０１の断面積は５５８ｍｍ２となる。
【００７３】
また、分離管１０１の内部にポンプを用いて１Ｌ／ｍｉｎの速度でスラリーを流した。このとき、スラリーの流速は２９．９ｍｍ／ｓとなるため、スラリーに対する弾性波の照射時間を３ｓｅｃ以上確保するために、振動子１０２の長さを１００ｍｍとした。
【００７４】
表２（ａ）は、スラリー１０００ｇを分離装置２０に５回通した時の１パスごとの粒子量の変化を示している。
【００７５】
【表２】
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【００７６】
初期のスラリー（原料液）中の粒子量は１００ｇであったが、スラリーが分離装置２０を１回通過したときに排出口１０８から排出されたスラリー中の粒子量は５７ｇに減り、濃縮液排出管１０４から排出された濃縮液中の粒子量は４３ｇとなった。この動作を繰り返すと濃縮液排出管１０４から排出された粒子量の積算値は徐々に増加し、５パスの時点で９４ｇに到達した。すなわち、初期のスラリーに含まれていた９４％の粒子を分離することができた。
【００７７】
表２（ｂ）は、表２（ａ）に示した結果を粒子濃度に換算した数値を示している。初期のスラリーの粒子濃度は１０％であったが、スラリーが分離装置２０を１回通過したときに排出口１０８から排出されたスラリーの粒子濃度は８．０％に低下し、濃縮液排出管１０４、上部濃縮液排出管１１４、および、下部濃縮液排出管１１５から排出された濃縮液の粒子濃度は１４．８％に上昇した。この動作を繰り返すと濃縮液排出管１０４、上部濃縮液排出管１１４、および、下部濃縮液排出管１１５から排出された濃縮液の粒子濃度は、徐々に低下し、５パスの時点で１１．４％に到達した。
【００７８】
また、スラリーから分離された粒子の形状を電子顕微鏡で観察したところ、粒子の形状は変形することなく初期のスラリーに含まれる粒子の形状と同じ形状であった。
【００７９】
実施の形態２に係る分離装置２０は、分離管上壁１１１側および分離管下壁１１２側に移動する粒子を排出することができるため、さらに、粒子を効率的に分離させることが可能である。
【００８０】
また、従来の分離装置のように、２０００ｍｌ／ｍｉｎ以上の流量を流し続ける必要はなく、１０００ｍｌ／ｍｉｎ程度の流量で粒子分離することができる。そのため、スラリーの量が少ない場合や、ポンプの出力が小さい場合であってもスラリーから粒子を分離することができる。
【００８１】
また、本実施の形態２の分離装置２０では、分離管１０１と濃縮液排出管１０４の幅を広くすることによって、多量のスラリーの分離を行うことができる。このとき、分離管１０１に向けて照射する弾性波の照射時間を長くするか、出力値の大きい弾性波を照射することにより、確実にスラリーの分離を行うことができる。
【００８２】
また、粒子がはんだ粒子である場合、実施の形態２の分離装置２０は、粒子の形状に変化を生じさせることなくスラリーから粒子を分離することができるため、電子部品と基板との接続不良が生じる可能性を低減することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明は、スラリーから粒子を分離する分離装置および分離方法に広く適用できる。
【符号の説明】
【００８４】
１  円筒部
２  液流入口
３  逆円錐台部
４  上部排出口
５  沈殿部
６  懸濁粒子排出口
７  障害物
１０  分離装置
２０  分離装置
１０１  分離管
１０２  振動子
１０３  液流入口
１０４  濃縮液排出管
１０８  排出口
１０９  腹
１１０  節
１１１  分離管上壁
１１２  分離管下壁
１１３  分離管側壁
１１４  上部濃縮液排出管
１１５  下部濃縮液排出管
【図１Ａ】
2019155274.tif 000005
【図１Ｂ】
2019155274.tif 000006
【図２Ａ】
2019155274.tif 000007
【図２Ｂ】
2019155274.tif 000008
【図３】
2019155274.tif 000009
【図４】
2019155274.tif 000010
【図５】
2019155274.tif 000011
【図６】
2019155274.tif 000012