(57)【要約】【課題】ガスの流量を測定する機能を備えた微粒子数検出器を提供する。【解決手段】微粒子数検出器に備えられた制御部は、ピトー管部を利用してガスの流量を求め、帯電微粒子捕集電極に捕集された帯電微粒子の電荷量に応じて変化する物理量とガスの流量とに基づいてガス中の単位体積当たりの微粒子の数を求める。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１通気路を有する筐体と、
前記第１通気路内で気中放電により電荷を発生し、前記第１通気路内を通過するガス中の微粒子に前記電荷を付加して帯電微粒子にする電荷発生部と、
前記帯電微粒子を捕集する帯電微粒子捕集電極と、
前記筐体に設けられたピトー管部と、
前記ピトー管部を利用して前記ガスの流量を求め、前記帯電微粒子捕集電極に捕集された前記帯電微粒子の電荷量に応じて変化する物理量と前記ガスの流量とに基づいて前記ガス中の単位体積当たりの前記微粒子の数を求める制御部と、
を備えた微粒子数検出器。
【請求項２】
前記筐体は、セラミック製である、
請求項１に記載の微粒子数検出器。
【請求項３】
前記ピトー管部は、前記筐体に設けられた孔によって構成されている、
請求項１又は２に記載の微粒子数検出器。
【請求項４】
前記ピトー管部は、前記ガスの流れに対して開口面が平行な静圧孔と、前記ガスの流れに対して開口面が垂直な第１孔及び前記ガスの流れに対して開口面が平行であり前記第１孔と連通する第２孔とを備えた全圧孔と、を有し、
前記制御部は、前記静圧孔に掛かる静圧と、前記全圧孔に掛かる全圧と、前記ガスの密度とに基づいて前記ガスの流量を求める、
請求項３に記載の微粒子数検出器。
【請求項５】
前記筐体は、前記第１通気路とは別の第２通気路を有し、
前記物理量は、前記第１通気路を通過するガスを利用して求められ、
前記ガスの流量は、前記第２通気路を通過するガスを利用して求められる、
請求項４に記載の微粒子数検出器。
【請求項６】
前記第２通気路は、前記ガスの流れを二手に分ける仕切り板を有し、前記第１孔の開口面は、前記仕切り板のうち前記ガスの流れに垂直な面に設けられている、
請求項５に記載の微粒子数検出器。
【請求項７】
前記ピトー管部は、複数設けられており、
各ピトー管部は、前記第１孔の開口面積が異なる、
請求項４〜６のいずれか１項に記載の微粒子数検出器。
【請求項８】
前記筐体は、前記帯電微粒子捕集電極及び前記ピトー管部に堆積した堆積物を焼失させる共通のヒータを有している、
請求項１〜７のいずれか１項に記載の微粒子数検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微粒子数検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
微粒子数検出器としては、電荷発生素子でコロナ放電によりイオンを発生させ、そのイオンにより被測定ガス中の微粒子を帯電し、帯電した微粒子を捕集し、捕集された微粒子の電荷の量に基づいて微粒子の個数を測定するものが知られている。また、こうした微粒子数検出器において、捕集された微粒子をヒータで加熱して焼却したり、ガスの流入孔や排出孔に溜まった微粒子をヒータで加熱して焼却したりすることが提案されている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１５／１４６４５６号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、被測定ガス中の単位体積当たりの微粒子の数を求めるには、被測定ガスの流量を用いる必要がある。しかしながら、特許文献１の微粒子数検出器は、被測定ガスの流量を測定する機能を備えていないため、被測定ガス中の単位体積当たりの微粒子の数を求めることができなかった。
【０００５】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、ガス中の単位体積当たりの微粒子の数を求めることを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の微粒子数検出器は、
第１通気路を有する筐体と、
前記第１通気路内で気中放電により電荷を発生し、前記第１通気路内を通過するガス中の微粒子に前記電荷を付加して帯電微粒子にする電荷発生部と、
前記帯電微粒子を捕集する帯電微粒子捕集電極と、
前記筐体に設けられたピトー管部と、
前記ピトー管部を利用して前記ガスの流量を求め、前記帯電微粒子捕集電極に捕集された前記帯電微粒子の電荷量に応じて変化する物理量と前記ガスの流量とに基づいて前記ガス中の単位体積当たりの前記微粒子の数を求める制御部と、
を備えたものである。
【０００７】
この微粒子数検出器は、帯電微粒子捕集電極に捕集された帯電微粒子の電荷量に応じて変化する物理量とピトー管部を利用して求めたガスの流量とに基づいて、ガス中の単位体積当たりの微粒子の数を求める。本発明の微粒子数検出器は、ガスの流量を測定する機能を備えているため、別途流量計を用意しなくても、ガス中の単位体積当たりの微粒子の数を求めることができる。
【０００８】
なお、本明細書において、「電荷」とは、正電荷や負電荷のほかイオンを含むものとする。「物理量」とは、電荷量に応じて変化するパラメータであればよく、例えば電流などが挙げられる。
【０００９】
本発明の微粒子数検出器において、前記筐体は、セラミック製であってもよい。こうすれば、セラミックは耐熱性に優れるため、筐体の耐熱性が向上する。なお、セラミックとしては、例えばアルミナや窒化アルミニウムなどが挙げられる。
【００１０】
本発明の微粒子数検出器において、前記ピトー管部は、前記筐体に設けられた孔によって構成されていてもよい。こうすれば、ピトー管部を容易に製造することができる。
【００１１】
本発明の微粒子数検出器において、前記ピトー管部が前記筐体に設けられた孔によって構成されている場合、前記ピトー管部は、前記ガスの流れに対して開口面が平行な静圧孔と、前記ガスの流れに対して開口面が垂直な第１孔及び前記ガスの流れに対して開口面が平行であり前記第１孔と連通する第２孔とを備えた全圧孔と、を有し、前記制御部は、前記静圧孔に掛かる静圧と、前記全圧孔に掛かる全圧と、前記ガスの密度とに基づいて前記ガスの流量を求めてもよい。例えば、ガスの流速をベルヌイの定理により求め、ガスの流量（体積流量）をガスの流速に基づいて求めてもよい。
【００１２】
ここで、前記筐体は、前記第１通気路とは別の第２通気路を有し、前記物理量は前記第１通気路を通過するガスを利用して求められ、前記ガスの流量は前記第２通気路を通過するガスを利用して求められるようにしてもよい。こうすれば、帯電微粒子捕集電極に捕集された帯電微粒子の電荷量に応じて変化する物理量とガスの流量とをそれぞれ別の通気路を用いて求めるため、これらをより正確に求めることができる。
【００１３】
また、前記第２通気路は、前記ガスの流れを二手に分ける仕切り板を有し、前記第１孔の開口面は、前記仕切り板のうち前記ガスの流れに垂直な面に設けられていてもよい。こうすれば、第２通気路に流入したガスは、仕切り板によって二手に分かれて通り抜けていくため、全圧孔の第１孔にガスの動圧が掛かりやすい。そのため、ピトー管部によるガスの流量の測定を比較的精度よく行うことができる。
【００１４】
更に、前記ピトー管部は、複数設けられており、各ピトー管部は、前記第１孔の開口面積が異なっていてもよい。こうすれば、ガスの流量の測定範囲を広くすることができる。例えば、第１孔の開口面積の小さいピトー管部と大きいピトー管部とを備えている場合、前者はガスの流量の小さい範囲をカバーし、後者はガスの流量の大きい範囲をカバーすることができる。
【００１５】
本発明の微粒子数検出器において、前記筐体は、前記帯電微粒子捕集電極及び前記ピトー管部に堆積した堆積物を焼失させる共通のヒータを有していてもよい。こうすれば、共通のヒータを用いて帯電微粒子捕集電極の堆積物とピトー管部の堆積物の両方を一度に焼失させることができる。これにより、帯電微粒子捕集電極とピトー管部とを一度にリフレッシュすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】微粒子数検出器１０の斜視図。
【図２】図１のＡ−Ａ断面斜視図。
【図３】図１のＡ−Ａ断面側面図。
【図４】図１のＢ視図（正面図）。
【図５】図１のＣ−Ｃ断面図。
【図６】ピトー管部５０，１５０を備えた実施形態の正面図。
【図７】ヒータ７０を備えた実施形態の正面図。
【図８】電界発生電極３４，３６，４４，４６を備えた実施形態の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１は微粒子数検出器１０の斜視図、図２は図１のＡ−Ａ断面斜視図、図３は図１のＡ−Ａ断面正面図、図４は図１のＢ視図、図５は図１のＣ−Ｃ断面図である。以下の説明において、上下、左右、前後は図１に示す通りとする。なお、上下、左右、前後は、相対的な位置関係に過ぎない。
【００１８】
微粒子数検出器１０は、ガス（例えば自動車の排ガス）に含まれる微粒子の数を計測するものである。微粒子数検出器１０は、図２及び図３に示すように、筐体１２と、電荷発生部２０と、余剰電荷捕集電極３０と、帯電微粒子捕集電極４０と、ピトー管部５０とを備えている。また、微粒子数検出器１０は、図５に示すように、制御部６０も備えている。
【００１９】
筐体１２は、絶縁材料からなり、互いに平行な第１及び第２通気路１３，１４を有している。第１及び第２通気路１３，１４は、筐体１２に上下二段に設けられ、いずれも筐体１２を前後方向に貫通している。絶縁材料としては、例えばセラミック材料が挙げられる。セラミック材料の種類は、特に限定するものではないが、例えばアルミナや窒化アルミニウム、炭化珪素、ムライト、ジルコニア、チタニア、窒化珪素、マグネシア、ガラス、またはこれらの混合物などが挙げられる。第１通気路１３内には、ガスの流れの上流側から下流側に向かって（ここでは前方から後方に向かって）、電荷発生部２０、余剰電荷捕集電極３０及び帯電微粒子捕集電極４０がこの順に並ぶように設けられている。第２通気路１４内には、図４に示すように、第２通気路１４を２つに仕切る仕切り板１５が設けられている。仕切り板１５は、第２通気路１４を左方通気路１４ａと右方通気路１４ｂとに分割している。
【００２０】
電荷発生部２０は、第１通気路１３内に電荷を発生するように設けられている。電荷発生部２０は、放電電極２２と２つの誘導電極２４，２４とを有している。放電電極２２は、第１通気路１３の内面に沿って設けられ、図２及び図３に示すように、矩形の周囲に複数の微細突起を有している。２つの誘導電極２４，２４は、矩形電極であり、第１通気路１３の壁（筐体１２）に間隔をあけて放電電極２２と平行となるように埋設されている。電荷発生部２０では、放電電極２２と２つの誘導電極２４，２４との間に放電用電源２６（図５参照）の高周波高電圧（例えばパルス電圧等）が印加されることで、両電極間の電位差による気中放電が発生する。このとき、筐体１２のうち放電電極２２と誘導電極２４，２４との間の部分が誘電体層の役割を果たす。この気中放電によって、放電電極２２の周囲に存在するガスがイオン化されて正又は負の電荷１８が発生する。放電電極２２に用いられる材料としては、放電時の耐熱性の点から融点が１５００℃以上の金属が好ましい。こうした金属としては、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、ニオブ、モリブデン、タンタル、タングステン、イリジウム、パラジウム、白金、金またはそれらの合金を挙げることができる。中でも、耐腐食性の点から、イオン化傾向が小さい白金と金が好ましい。放電電極２２は、無機材料ペースト（例えばガラスペースト）を介して第１通気路１３の内面に接合されていてもよいし、第１通気路１３の内面にスクリーン印刷した金属ペーストを焼成して燒結金属として形成されていてもよい。誘導電極２４，２４も、放電電極２２と同様の材料を用いることができる。
【００２１】
ガスに含まれる微粒子１６は、第１通気路１３の前方から第１通気路１３内に入り、電荷発生部２０を通過する際に電荷発生部２０の気中放電によって発生した電荷１８が付加されて帯電微粒子Ｐとなったあと後方に移動する。また、発生した電荷１８のうち微粒子１６に付加されなかったものは、電荷１８のまま後方に移動する。
【００２２】
余剰電荷捕集電極３０は、第１通気路１３の内面に沿って設けられている。余剰電荷捕集電極３０は、図５に示すように、微粒子１６に付加されなかった電荷１８を除去する。第１通気路１３のうち余剰電荷捕集電極３０と対向する位置には、余剰電荷捕集用の電界発生電極３２が設けられている。この電界発生電極３２も、第１通気路１３の内面に沿って設けられている。電界発生電極３２と余剰電荷捕集電極３０との間に図示しない電界発生用電源の電圧が印加されると、電界発生電極３２と余剰電荷捕集電極３０との間（余剰電荷捕集電極３０上）に電界が発生する。電荷発生部２０の気中放電によって発生した電荷１８のうち微粒子１６に付加されなかったものは、この電界によって余剰電荷捕集電極３０に引き寄せられて捕集され、ＧＮＤ（グランド）に捨てられる。
【００２３】
帯電微粒子捕集電極４０は、第１通気路１３の内面に沿って設けられている。帯電微粒子捕集電極４０は、図５に示すように、帯電微粒子Ｐを捕集する。第１通気路１３のうち帯電微粒子捕集電極４０と対向する位置には、帯電微粒子捕集用の電界発生電極４２が設けられている。この電界発生電極４２も、第１通気路１３の内面に沿って設けられている。電界発生電極４２と帯電微粒子捕集電極４０との間に図示しない電界発生用電源の電圧が印加されると、電界発生電極４２と帯電微粒子捕集電極４０との間（帯電微粒子捕集電極４０上）に電界が発生する。帯電微粒子Ｐは、この電界によって帯電微粒子捕集電極４０に引き寄せられて捕集される。帯電微粒子捕集電極４０には、電流計４８が接続されている。この電流計４８は、帯電微粒子捕集電極４０を流れる電流を検出して制御部６０に出力する。
【００２４】
各捕集電極３０，４０のサイズや各捕集電極３０，４０上の電界の強さは、帯電微粒子Ｐが余剰電荷捕集電極３０に捕集されることなく帯電微粒子捕集電極４０に捕集されるように、また、微粒子１６に付着しなかった電荷１８が余剰電荷捕集電極３０に捕集されるように、設定されている。
【００２５】
ピトー管部５０は、図２及び図３に示すように、筐体１２に設けられた孔によって構成されている。ピトー管部５０は、静圧孔５２と全圧孔５４とを有している。静圧孔５２は、仕切り板１５よりも前方の第２通気路１４の上部壁面に設けられた開口面５２ａから筐体１２を上下方向に貫通する孔である。開口面５２ａは、第２通気路１４に流入したガスの流れに対して平行になっている。静圧孔５２には、圧力センサ５３が接続されている。圧力センサ５３は、静圧孔５２にかかる静圧Ｐｓを測定する。全圧孔５４は、第１孔５６と第２孔５８とで構成されている。第１孔５６は、仕切り板１５の前面に設けられた開口面５６ａから後方に延びたあと屈曲して上方向に延びて筐体１２の上面に達している。開口面５６ａは、第２通気路１４に流入したガスの流れに対して垂直になっている。第２孔５８は、仕切り板１５よりも前方の第２通気路１４の上部壁面に設けた開口面５８ａから上方向に延びたあと屈曲して第１孔５６に連通している。開口面５８ａは、第２通気路１４に流入したガスの流れに対して平行になっている。全圧孔５４には、圧力センサ５５が接続されている。圧力センサ５５は、全圧孔５４にかかる全圧Ｐｔを測定する。静圧孔５２及び全圧孔５４の内壁は、表面粗さＲａが０．５μｍ以下であることが好ましい。こうすれば、圧力損失が小さくなるからである。
【００２６】
制御部６０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどからなる周知のマイクロコンピュータによって構成されている。制御部６０は、図５に示すように、放電用電源２６の電圧を調整すると共に、圧力センサ５３，５５からピトー管部５０の静圧Ｐｓ及び全圧Ｐｔをそれぞれ入力したり、電流計４８から帯電微粒子捕集電極４０を流れる電流を入力したりする。制御部６０は、第１通気路１３を通過するガス中の単位体積当たりの微粒子数を求め、ディスプレイ６２に表示する。
【００２７】
次に、微粒子数検出器１０の製造例について説明する。微粒子数検出器１０のうち、各種電極２２，２４，３０，３２，４０，４２及びピトー管部５０を備えた筐体１２は、複数枚のセラミックグリーンシートを用いて作製することができる。具体的には、複数枚のセラミックグリーンシートの各々について、必要に応じて切欠や貫通孔や溝を設けたり電極や配線パターンをスクリーン印刷したりした後、それらを積層して焼成する。なお、切欠や貫通孔や溝については、焼成時に焼失するような材料（例えば有機材料）で充填しておいてもよい。こうして、各種電極２２，２４，３０，３２，４０，４２及びピトー管部５０を備えた筐体１２を得る。続いて、放電用電源２６を放電電極２２と誘導電極２４，２４に接続し、電流計４８を帯電微粒子捕集電極４０に接続し、圧力センサ５３，５５をピトー管部５０に接続する。また、制御部６０を放電用電源２６、電流計４８、圧力センサ５３，５５及びディスプレイ６２に接続する。こうすることにより、微粒子数検出器１０を作製することができる。
【００２８】
次に、微粒子数検出器１０の使用例について説明する。自動車の排ガスに含まれる微粒子１６の数を検出する場合、エンジンの排気管内に微粒子数検出器１０を取り付ける。このとき、排ガスが微粒子数検出器１０の第１及び第２通気路１３，１４の前方から後方へ排ガスが流れるように、微粒子数検出器１０を取り付ける。
【００２９】
制御部６０は、まず、ピトー管部５０を利用してガスの流量を求める。具体的には、制御部６０は、静圧孔５２に掛かる静圧Ｐｓと、全圧孔５４に掛かる全圧Ｐｔと、ガスの密度ρとに基づいて、ガスの流量Ｑを求める。ガスの流速Ｖはベルヌイの定理により下記式（１）で表される。ここで、Ｐｔ−Ｐｓは動圧である。Ｃはピトー管係数と呼ばれるピトー管部の形状によって定まる定数である。ガスの密度ρは、ガスの密度によって共振周波数が変化する原理を用いたガス密度計（横河電機製）を使用することにより、予め測定しておくことができる。ガスの流量Ｑ（体積流量）は、下記式（２）のように、ガスの流速Ｖに第２通気路１４の断面積Ｓを乗じることにより求めることができる。
Ｖ＝Ｃ｛２（Ｐｔ−Ｐｓ）／ρ｝1/2   …（１）
Ｑ＝Ｖ×Ｓ  …（２）
【００３０】
続いて、制御部６０は、帯電微粒子捕集電極４０に流れる電流とガスの流量Ｑとに基づいてガス中の単位体積当たりの微粒子の数を求める。まず、制御部６０は、電荷発生部２０の気中放電によって発生される電荷１８の数がガス中に含まれると予想される微粒子１６の数を上回るように、放電電極２２と誘導電極２４との間に印加される放電用電源２６の電圧を調整する。第１通気路１３内に流入したガス中の微粒子１６は、電荷発生部２０を通過する際に電荷１８を帯びて帯電微粒子Ｐになる。帯電微粒子Ｐは、余剰電荷捕集電極３０に捕集されることなくガスの流れに沿って移動し、その後、帯電微粒子捕集電極４０に捕集される。一方、電荷発生部２０で発生した電荷１８のうち微粒子１６に付加しなかったものは、余剰電荷捕集電極３０に捕集されてＧＮＤに捨てられる。
【００３１】
制御部６０は、帯電微粒子捕集電極４０に接続された電流計４８から入力した検出電流とガスの流量Ｑとに基づいて単位体積当たりの微粒子数を求め、その数をディスプレイ６２に表示する。ガス中の単位体積当たりの微粒子数（単位：個／ｃｃ）は、下記式（３）により算出される。式（３）中、検出電流（単位：Ａ（＝Ｃ／ｓ））は、電流計４８から入力した電流である。平均帯電数（単位：個）は、１つの微粒子１６に付着する電荷１８の平均値であり、予め微小電流計と粒子数カウンタの測定値から算出可能な値である。素電荷量（単位：Ｃ）は、電荷素量とも呼ばれる定数である。流量（単位：ｃｃ／ｓ）は、上述したように算出されるガスの流量Ｑである。
微粒子数＝（検出電流）／｛（平均帯電数）×（素電荷量）×（流量）｝…（３）
【００３２】
以上説明した微粒子数検出器１０では、帯電微粒子捕集電極４０に流れる電流とピトー管部５０を利用して求めたガスの流量Ｑとに基づいて、ガス中の単位体積当たりの微粒子１６の数を求める。この微粒子数検出器１０は、ガスの流量を測定する機能を備えているため、別途流量計を用意しなくても、ガス中の単位体積当たりの微粒子１６の数を求めることができる。
【００３３】
また、筐体１２は、第１通気路１３とは別の第２通気路１４を有し、帯電微粒子捕集電極４０に流れる電流は、第１通気路１３を通過するガスを利用して求められ、ガスの流量Ｑは、第２通気路１４を通過するガスを利用して求められる。このように、帯電微粒子Ｐに流れる電流とガスの流量Ｑとをそれぞれ別の通気路を用いて求めるため、帯電微粒子Ｐに流れる電流とガスの流量Ｑとをより正確に求めることができる。
【００３４】
更に、筐体１２はセラミック製であるため、筐体１２の耐熱性が向上する。
【００３５】
更にまた、ピトー管部５０は筐体１２に設けられた孔（静圧孔５２と全圧孔５４）によって構成されているため、ピトー管部５０を容易に製造することができる。
【００３６】
そしてまた、第２通気路１４は、ガスの流れを二手に分ける仕切り板１５を有し、ピトー管部５０の第１孔５６の開口面５６ａは、仕切り板１５のうちガスの流れの垂直な面に設けられている。第２通気路１４に流入したガスは、仕切り板１５によって二手（左方及び右方通気路１４ａ，１４ｂ）に分かれて通り抜けていくため、全圧孔５４の第１孔５６にガスの動圧が掛かりやすい。そのため、ピトー管部５０によるガスの流量の測定を比較的精度よく行うことができる。
【００３７】
そして更に、帯電微粒子捕集電極４０は電界を利用して帯電微粒子Ｐを捕集するため、帯電微粒子捕集電極４０に帯電微粒子Ｐを効率よく捕集することができる。
【００３８】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００３９】
例えば、上述した実施形態において、ピトー管部５０に加えて、図６に示すように、ピトー管部１５０を設けてもよい。なお、図６には、上述した実施形態と同じ構成要素については同じ符号を付した。ピトー管部１５０は、ピトー管部５０と同様、静圧孔と全圧孔（第１孔と第２孔を有する）とを筐体１２内に有している。ピトー管部１５０の第１孔の開口面１５６ａの面積は、ピトー管部５０の第１孔の開口面５６ａの面積よりも大きい。ここで、ガスの流量を所定の閾値を境界にして低流量範囲と高流量範囲に分ける。そして、ガスの流量が低流量範囲の場合には、開口面積の小さなピトー管部１５０の静圧Ｐｓ及び全圧Ｐｔを利用し、ガスの流量が高流量範囲の場合には開口面積の大きなピトー管部５０の静圧Ｐｓ及び全圧Ｐｔを利用する。こうすることにより、ガスの流量の測定範囲を広くすることができる。なお、更に他の開口面積を持つピトー管部を追加してもよい。
【００４０】
上述した実施形態において、図８に示すように、筐体１２にヒータ７０を埋設してもよい。図８には、上述した実施形態と同じ構成要素については同じ符号を付した。ヒータ７０は、筐体１２のうちピトー管部５０及び第２通気路１４と対向する部分（筐体１２の左壁）に埋設されている。こうしたヒータ７０を加熱することにより、帯電微粒子捕集電極４０に堆積した微粒子１６やピトー部５０に堆積した微粒子１６を一度に焼却して帯電微粒子捕集電極４０やピトー管部５０をリフレッシュすることができる。なお、ヒータ７０に代えて又は加えて、筐体１２の右壁にヒータを埋設してもよい。
【００４１】
上述した実施形態では、電界発生電極３２，４２を第１通気路１３の内面に沿って設けたが、第１通気路１３の壁（筐体１２）に埋設してもよい。また、図９に示すように、電界発生電極３２の代わりに、余剰電荷捕集電極３０を挟むように一対の電界発生電極３４，３６を第１通気路１３の壁に埋設し、電界発生電極４２の代わりに、帯電微粒子捕集電極４０を挟むように一対の電界発生電極４４，４６を第１通気路１３の壁に埋設してもよい。この場合、一対の電界発生電極３４，３６に電圧を印加して余剰電荷捕集電極３０上に電界を発生させると、余剰電荷捕集電極３０に電荷１８が捕集される。また、一対の電界発生電極４４，４６に電圧を印加して帯電微粒子捕集電極４０上に電界を発生させると、帯電微粒子捕集電極４０に帯電微粒子Ｐが捕集される。
【００４２】
上述した実施形態では、電荷発生部２０として、通気路１３の内面に沿って設けられた放電電極２２と筐体１２に埋設された２つの誘導電極２４，２４とにより構成したが、気中放電により電荷を発生するものであれば特にどのような構成でも構わない。例えば、誘導電極２４，２４を通気路１３の壁に埋設する代わりに、通気路１３の内面に沿って設けてもよい。その場合、誘導電極２４は、ガラスペーストを介して通気路１３の内面に接合してもよいし、通気路１３の内面にスクリーン印刷した金属ペーストを焼成して燒結金属として形成してもよい。あるいは、国際公開第２０１５／１４６４５６号パンフレットに記載されているように、電荷発生部を針状電極と対向電極とで構成してもよい。
【００４３】
上述した実施形態では、帯電微粒子捕集電極４０上に電界を発生させたが、電界を発生させない場合でも、通気路１３のうち帯電微粒子捕集電極４０が設けられている部分の間隔（流路厚）を微小な値（例えば０．０１ｍｍ以上０．２ｍｍ未満）に調整すれば、帯電微粒子捕集電極４０に帯電微粒子Ｐを捕集することは可能である。すなわち、帯電微粒子Ｐはブラウン運動が激しいため、流路厚を微小な値にすることで帯電微粒子Ｐを帯電微粒子捕集電極４０に衝突させて捕集することができる。この場合、電界発生電極４２を備えなくてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１０  微粒子数検出器、１２  筐体、１３  第１通気路、１４  第２通気路、１４ａ  左方通気路、１４ｂ  右方通気路、１５  仕切り板、１６  微粒子、１８  電荷、２０  電荷発生部、２２  放電電極、２４  誘導電極、２６  放電用電源、３０  余剰電荷捕集電極、３２，３４  電界発生電極、４０  帯電微粒子捕集電極、４２，４４  電界発生電極、４８  電流計、５０  ピトー管部、５２  静圧孔、５２ａ  開口面、５３  圧力センサ、５４  全圧孔、５５  圧力センサ、５６  第１孔、５６ａ  開口面、５８  第２孔、５８ａ  開口面、６０  制御部、６２  ディスプレイ、１５０  ピトー管部、１５６ａ  開口面、Ｐ  帯電微粒子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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