(57)【要約】      （修正有）【課題】ペーストの掻き取り残しを少量に抑えてクリーニング品質を向上させることができるスクリーン印刷装置を提供する。【解決手段】マスククリーナ１６が、ベース体６１と、複数のブレード６２とを備える。複数のブレード６２は、ベース体６１に取り付けられてベース体６１の長手方向に延びるとともにペースト掻取り方向に平行に並んで配置される。吸出し機構は、ブレード６２がマスク１３の下面に当接した状態で複数のブレード６２で挟まれた複数の空間から空気を吸引し、複数の空間のうち少なくともマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置する空間には吸出し機構の吸引力が及ばない。【選択図】図２１
2019155676.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクを介して基板にペーストを印刷する印刷ヘッドと、前記マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースと、前記移動ベースに取り付けられて前記移動ベースと一体に前記マスクの下方を移動し、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナと、前記マスククリーナがペーストを掻き取る際に前記マスクの下面のペーストを吸い出す吸出し機構とを備えたスクリーン印刷装置であって、
前記マスククリーナは、
前記移動ベースに取り付けられて前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体と、
前記ベース体に取り付けられて前記長手方向に延びるとともに前記ペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、前記ベース体の上方に突出させたペースト掻取りエッジを前記マスクの下面に当接させる複数のブレードとを有し、
前記吸出し機構は、前記複数のブレードが前記マスクの下面に当接した状態で前記複数のブレードで挟まれた複数の空間から空気を吸引し、
前記複数の空間のうち少なくとも前記マスククリーナの進行方向の最も後側に位置する空間には前記吸出し機構の吸引力が及ばないスクリーン印刷装置。
【請求項２】
マスクを介して基板にペーストを印刷する印刷ヘッドと、前記マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースと、前記移動ベースに取り付けられて前記移動ベースと一体に前記マスクの下方を移動し、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナと、前記マスククリーナがペーストを掻き取る際に前記マスクの下面のペーストを吸い出す吸出し機構とを備えたスクリーン印刷装置であって、
前記マスククリーナは、
前記移動ベースに取り付けられて前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体と、
前記ベース体に取り付けられて前記長手方向に延びるとともに前記ペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、前記ベース体の上方に突出させたペースト掻取りエッジを前記マスクの下面に当接させる複数のブレードとを有し、
前記ベース体は、上方に開放した開口を有するフレーム及び前記開口において前記複数のブレードを保持するブレード保持部を有し、
前記吸出し機構は、前記複数のブレードが前記マスクの下面に当接した状態で前記開口を通じて空気を吸引し、
前記ブレードで挟まれた複数の空間のうち、少なくともペーストの掻取り時の前記マスククリーナの進行方向の最も後側に位置する空間は前記開口から遮断されているスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記ブレード保持部に前記複数のブレードが挿入される複数列の溝部が設けられた請求項１又は２に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記ブレード保持部は前記フレームに着脱自在に取り付けられる複数のブロック部材から構成されている請求項１〜３のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
前記複数のブロック部材は互いに同一形状である請求項４に記載のスクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷装置は、マスクを基板に接触させ、マスクに形成されたパターン孔を通じて基板にペーストを印刷する。このようなスクリーン印刷装置では定期的にマスクの下面からペーストを掻き取ってクリーニングすることにより、後続の基板に対する印刷品質を低下させないようにする必要がある。マスクのクリーニングに用いられるマスククリーナは、マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースに取り付けられて移動ベースと一体にマスクの下方を移動するベース体と、ベース体に取り付けられたクリーニング部材とを備えており、クリーニング部材をマスクの下面に当接させた状態でベース体が移動することでマスクの下面に付着したペーストを掻き取る構成となっている。クリーニング部材は従来、紙製の部材（クリーニングペーパー）であったが、クリーニングペーパーに変えて、ＳＵＳ等の金属で成形された薄い「へら」状のペースト掻取り具（ブレード）を用いるようにしたものも知られている（例えば、下記の特許文献１）。
【０００３】
上記のようにクリーニングペーパーに替えてブレードを用いたマスククリーナでは、ベース体は、上方に開放した開口を有するフレームと、フレームの開口に装着されてベース体の長手方向に間隔を空けて並ぶ複数の梁部を備えたブレード保持部を有している。ブレード保持部は複数のブレードを保持し、複数の梁部はブレードの長手方向の中間部を支持するようになっている。複数のブレードはそれぞれ、ブレード保持部に形成された複数列の溝部のそれぞれに上方から挿入して取り付けられる。ブレード保持部に保持されたブレードは、長手方向の両端部がブレード押さえ部材によって押さえることでベース体に固定され、この状態でベース体の上方に突出したエッジが、マスクの下面に当接されてペーストを掻き取るペースト掻取りエッジとして使用される。
【０００４】
また、マスククリーナでは従来、ペーストの掻取り効率を高めるために、ペーストの掻取り時にクリーニングペーパーを介して空気を吸引しており、クリーニングペーパーに変えてブレードを使用した場合であっても、開口を通じて隣接するブレード同士の間から空気を吸引するようにすることで、クリーニングペーパーを用いた構成の場合と同様の効果を得ることができる。この場合、各ブレードは、ペースト掻取り時のマスククリーナの進行方向の前方に位置するペーストを掻き取るほか、その前方に位置するブレードが通過した後にパターン孔から吸い出されたペーストも掻き取る。このため各ブレードが掻き取るペーストは多く、掻取り容量を上回って掻き取りきれなかったペーストはそのブレードの背後に残ることになるが、その残ったペーストは後続のブレードによって掻き取ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１６−１９６１０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に示されたスクリーン印刷装置のように、複数のブレードのいずれもがその前方に位置するブレードの通過後にパターン孔から吸い出されたペーストを掻き取るようになっていると、ペーストの掻取り方向の最後尾に位置するブレードが掻き取り残したペーストがマスクの下面に残存することになり、クリーニング品質が低下するおそれがあるという問題点があった。
【０００７】
そこで本発明は、ペーストの掻き取り残しを少量に抑えてクリーニング品質を向上させることができるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のスクリーン印刷装置は、マスクを介して基板にペーストを印刷する印刷ヘッドと、前記マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースと、前記移動ベースに取り付けられて前記移動ベースと一体に前記マスクの下方を移動し、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナと、前記マスククリーナがペーストを掻き取る際に前記マスクの下面のペーストを吸い出す吸出し機構とを備えたスクリーン印刷装置であって、前記マスククリーナは、前記移動ベースに取り付けられて前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体と、前記ベース体に取り付けられて前記長手方向に延びるとともに前記ペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、前記ベース体の上方に突出させたペースト掻取りエッジを前記マスクの下面に当接させる複数のブレードとを有し、前記吸出し機構は、前記複数のブレードが前記マスクの下面に当接した状態で前記複数のブレードで挟まれた複数の空間から空気を吸引し、前記複数の空間のうち少なくとも前記マスククリーナの進行方向の最も後側に位置する空間には前記吸出し機構の吸引力が及ばない。
【０００９】
本発明のスクリーン印刷装置はまた、マスクを介して基板にペーストを印刷する印刷ヘッドと、前記マスクの下方を水平なペースト掻取り方向に移動する移動ベースと、前記移動ベースに取り付けられて前記移動ベースと一体に前記マスクの下方を移動し、前記マスクの下面に付着したペーストを掻き取るマスククリーナと、前記マスククリーナがペーストを掻き取る際に前記マスクの下面のペーストを吸い出す吸出し機構とを備えたスクリーン印刷装置であって、前記マスククリーナは、前記移動ベースに取り付けられて前記ペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体と、前記ベース体に取り付けられて前記長手方向に延びるとともに前記ペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、前記ベース体の上方に突出させたペースト掻取りエッジを前記マスクの下面に当接させる複数のブレードとを有し、前記ベース体は、上方に開放した開口を有するフレーム及び前記開口において前記複数のブレードを保持するブレード保持部を有し、前記吸出し機構は、前記複数のブレードが前記マスクの下面に当接した状態で前記開口を通じて空気を吸引し、前記ブレードで挟まれた複数の空間のうち、少なくともペーストの掻取り時の前記マスククリーナの進行方向の最も後側に位置する空間は前記開口から遮断されている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ペーストの掻き取り残しを少量に抑えてクリーニング品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナをマスクとともに示す側面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの斜視図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの（ａ）平面図（ｂ）側面図（ｃ）下面図
【図６】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナ及び移動ベースの分解斜視図
【図７】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの一部の平面図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの断面図
【図９】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのベース部の斜視図
【図１０】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのベース部を構成するブロック部材の平面図
【図１１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのベース部を構成するブロック部材の斜視図
【図１２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのベース部の一部の斜視図
【図１３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのブレードの側面図
【図１４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの一部の斜視図
【図１５】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナのブレードの一部の拡大側面図
【図１６】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナの一部の斜視図
【図１７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナを移動ベースに取り付ける手順を説明する図
【図１８】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナ及び移動ベースの側断面図
【図１９】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作を説明する図
【図２０】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナによりマスクの下面をクリーニングしている状態を示す図
【図２１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるマスククリーナによりマスクの下面をクリーニングしている状態を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置１を示している。スクリーン印刷装置１は上流工程側から供給された基板ＫＢを搬入し、その基板ＫＢの表面に設けられた複数のランドＬＤのそれぞれに半田等のペーストＰｓｔを印刷して下流工程側に搬出する装置である。ここでは説明の便宜上、作業者ＯＰから見たスクリーン印刷装置１の前後方向をＹ軸方向とし、作業者ＯＰから見た左右方向（基板ＫＢの搬送方向）をＸ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。また、Ｙ軸方向のうち、作業者ＯＰから見た手前側を前方、作業者ＯＰから見た奥側を後方とする。
【００１３】
図１及び図２において、スクリーン印刷装置１は基台１１上に基板ステージ１２を備えている。基板ステージ１２の上方にはマスク１３が配置され、マスク１３の上方には印刷ヘッド１４が設置されている。基板ステージ１２とマスク１３の間にはカメラ１５とマスククリーナ１６が備えられている。基台１１の内側には、プログラムを実行する演算装置や記憶部等を有する制御部２０が収納されている。制御部２０はスクリーン印刷装置１を制御し、スクリーン印刷装置１にスクリーン印刷作業やマスク１３のクリーニング作業等を実行させる。
【００１４】
図２において、基板ステージ１２は基板保持部２１と基板保持部移動機構２２から構成されている。基板保持部２１はＹ軸方向に平行に並んで設けられた基板搬送用の一対の搬送コンベア３１と、一対の搬送コンベア３１によって搬送されてきた基板ＫＢを下方から支持する下受け部３２と、一対の搬送コンベア３１の上部に設けられてＹ軸方向に開閉自在な一対のクランパ３３を備えている。基板保持部２１は一対の搬送コンベア３１が受け取った基板ＫＢを下受け部３２によって下受けし、一対のクランパ３３によってクランプしてその基板ＫＢを保持する。基板保持部移動機構２２は直交座標テーブル機構等によって構成されており、基板保持部２１をＸＹ面内方向、Ｚ軸方向及びＺ軸回り方向に移動させて基板保持部２１が保持した基板ＫＢを移動させる。
【００１５】
図１及び図２において、マスク１３はＸＹ平面に広がった矩形形状を有している。マスク１３は金属製の板状部材から構成されており、四辺が枠部材１３Ｗによって支持されている。マスク１３の中央部には、基板ＫＢのランドＬＤの配置に対応して形成されたパターン孔１３Ｈが設けられている。
【００１６】
図１及び図２において、印刷ヘッド１４は、Ｘ軸方向に延びた形状のヘッドベース４１の下方に２つのスキージ４２を備えた構成を有している。２つのスキージ４２はＸ軸方向に延びた「へら」状の部材から成り、Ｙ軸方向に対向して配置されている。ヘッドベース４１の上面には２つのスキージ４２を個別に昇降させるスキージ昇降駆動部４３が設けられている。ヘッドベース４１はＹ軸方向に移動自在であり、印刷ヘッド移動機構４４（図２）によって駆動されてマスク１３の上方をＹ軸方向に移動する。
【００１７】
図１及び図２において、マスク１３の下方にはＸ軸方向に延びた移動ビーム５１が配置されており、カメラ１５は移動ビーム５１の前側に取り付けられている。移動ビーム５１はＹ軸方向に移動自在であり、Ｙ軸方向移動機構５２（図２）によって駆動されてマスク１３の下方をＹ軸方向に移動する。また、カメラ１５は移動ビーム５１に設けられたＸ軸方向移動機構５３（図３）によって移動ビーム５１に沿ってＸ軸方向に移動する。
【００１８】
カメラ１５は上方と下方の双方を撮像する機能を有している。カメラ１５は、カメラ１５自身のＸ軸方向への移動と移動ビーム５１のＹ軸方向への移動とによってマスク１３の下方を水平面内（ＸＹ面内）で移動し、基板保持部２１に保持された基板ＫＢを上方から撮像するとともに、マスク１３を下方から撮像する。
【００１９】
図１及び図２において、移動ビーム５１の後方にはＸ軸方向に延びたクリーナ取付け部５４が装着されている。クリーナ取付け部５４は移動ビーム５１とともにＹ軸方向に移動する。クリーナ取付け部５４の後側には移動ベース５５が昇降自在に設けられており、マスククリーナ１６は移動ベース５５に取り付けられている（図３も参照）。
【００２０】
図３において、クリーナ取付け部５４には昇降機構５４Ｋが設けられており、移動ベース５５は昇降機構５４Ｋによって昇降される。昇降機構５４Ｋはエアや油圧によって駆動されるアクチュエータで構成されている。昇降機構５４Ｋが移動ベース５５を昇降させると、マスククリーナ１６が移動ビーム５１に対して昇降する（図３中に示す矢印Ａ）。
【００２１】
図４及び図５（ａ），（ｂ），（ｃ）において、マスククリーナ１６は全体としてＸ軸方向に延びた形状を有している。マスククリーナ１６は、図６、図７及び図８（ａ），（ｂ）にも示すように、ベース体６１、複数（ここでは６枚）のブレード６２、一対のエンド部材６３、整流板６４等を備えている。ここで、図８（ａ）は図７における矢視Ｖ１−Ｖ１から見た断面図（ひとつの梁部７３の全部を横断する断面図）であり、図８（ｂ）は図７における矢視Ｖ２−Ｖ２から見た断面図（梁部７３を横断しない断面図）である。
【００２２】
図５（ａ）、図６及び図９において、ベース体６１はマスククリーナ１６によるペーストＰｓｔの掻取り方向であるＹ軸方向（ペースト掻取り方向とする）と交差する水平方向を長手方向（Ｘ軸方向に相当）として延びており、フレーム７１とブレード保持部７２を有して構成されている。フレーム７１はベース体６１の長手方向に延びた矩形枠体状の部材であり、中央部に上下方向に貫通して上方に開放した開口７１Ｓを有している。ブレード保持部７２はフレーム７１の開口７１Ｓに装着され、ベース体６１の長手方向（Ｘ軸方向）に間隔を空けて並ぶ複数の梁部７３を備えている。
【００２３】
本実施の形態では、ブレード保持部７２はフレーム７１に着脱自在に取り付けられる複数（ここでは７個）のブロック部材７２Ｂから構成されている（図５（ａ）、図６及び図９）。これら複数のブロック部材７２Ｂは互いに同一形状を有している。
【００２４】
図１０，図１１及び図１２において、ブレード保持部７２（各ブロック部材７２Ｂ）は、ベース体６１の長手方向（Ｘ軸方向）に延びてペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に対向する平行な一対の縁部７４を有しており、複数の梁部７３はこれら一対の縁部７４の間に掛け渡されて延びている。ブレード保持部７２は（すなわち各ブロック部材７２Ｂは）、一対の縁部７４をフレーム７１の開口７１Ｓ内に形成された一対のブロック支持部７１Ｂに載置されてフレーム７１に取り付けられている（図８（ａ），（ｂ））。
【００２５】
ブレード保持部７２（７個のブロック部材７２Ｂ）がフレーム７１に取り付けられている状態では、複数の梁部７３は、ベース体６１の長手方向（Ｘ軸方向）に等間隔（各梁部７３のペースト掻取り方向の中間位置を基準に見た場合に等間隔）に位置している（図６及び図９）。また、複数の梁部７３はそれぞれ、ペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に対して水平面内で斜めに交差して（ベース体６１の長手方向に対して直交姿勢からやや傾いて）いる（図５（ａ）及び図１０）。このため複数のブレード６２は互いに異なる長手方向の箇所が梁部７３によって支持されることとなり、マスククリーナ１６をペースト掻取り方向から見た場合、各ブレード６２の梁部７３によって支持されている箇所と梁部７３によって支持されない箇所はブレード６２の長手方向にほぼ均等に分散された状態となる。
【００２６】
図１０，図１１及び図１２において、ブレード保持部７２には、複数のブレード６２を挿入するための複数列（ここでは６列）の溝部７５がそれぞれベース体６１の長手方向に延びて設けられている。本実施の形態では、ペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向（ここでは前方）の前後の２つの縁部７４には溝部７５がひとつ（１列）ずつ設けられており、複数の梁部７３には４列の溝部７５が設けられている。これら４列の溝部７５は、ベース体６１の長手方向に間隔を空けて並ぶ複数の梁部７３にわたって設けられている（図１０及び図１１）。
【００２７】
図１０，図１１及び図１２において、各溝部７５は上方に開口している。ブレード保持部７２が備える複数列（６列）の溝部７５は互いに平行であり、それぞれ上端側をペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向とは反対の方向（すなわち後方）に傾斜させている。
【００２８】
図６及び図１３において、各ブレード６２はベース体６１の長手方向に延びた薄板状の部材であり、樹脂から構成されている。６枚のブレード６２は、図１４に示すように、ブレード保持部７２に設けられた６列の溝部７５に上方から挿入されている。このため、ブレード保持部７２に支持された複数のブレード６２は、ペースト掻取り方向に互いに平行に並んだ状態となる（図４、図５（ａ）及び図１４）。
【００２９】
図８（ａ），（ｂ）において、６枚のブレード６２のうちの２枚は、ペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向（図８（ａ），（ｂ）における紙面右方）の前後両端に位置する２列の溝部７５によって支持されており、６枚のブレード６２のうちの他の４枚は、ブレード保持部７２に設けられた４列の溝部７５によって支持されている。すなわち、進行方向から見て先頭と最後尾に位置する２枚のブレード６２は縁部７４に設けられた溝部７５によって支持されており、それらの中間に位置する４枚は、梁部７３に設けられた溝部７５によって支持されている。前述したように各溝部７５は上端側が後方に傾斜しているので、溝部７５に挿入された各ブレード６２は、開口７１Ｓ内で上端側を後方に傾斜させた姿勢となる。
【００３０】
ここで、上記中間の４枚のブレード６２のうち最も後側に位置するブレード６２（図８（ａ），（ｂ）において符号６２Ｔで示す）が挿入される溝部７５Ｔは、後側の縁部７４の上面に開口されている。これにより、溝部７５Ｔの上端には縁部７４に沿ってブレード６２とほぼ同じ長さの傾斜したシール面７５Ｓが形成されている。図１２に明瞭に示すように、このシール面７５Ｓは梁部７３のない縁部７４の上部にも形成されている。このため、溝部７５Ｔに挿入されたブレード６２Ｔの後面はシール面７５Ｓに当接する。
【００３１】
図８（ａ），（ｂ）において、上記中間の４枚のブレード６２はそれぞれ長手方向の中間の一部が複数の梁部７３によって部分的に支持されているため梁部７３からはみ出した部分は開口７１Ｓ内に位置した状態となる。このため、先頭のブレード６２並びに中間の４枚のブレード６２で挟まれた空間６２Ｓは開口７１Ｓに通じている。これに対し、マスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置するブレード６２は、その長手方向の全体がブレード保持部７２によって支持されているうえ、そのひとつ前側に位置するブレード６２Ｔの後面がシール面７５Ｓに当接しているので、進行方向の最も後側に位置するブレード６２とそのひとつ前側に位置するブレード６２Ｔに挟まれた空間６２ＳＴは開口７１Ｓから遮断されている。マスククリーナ１６の進行方向の最も前側に位置するブレード６２も開口７１Ｓの外部に位置しているので、そのペースト掻取り面の側の空間は開口７１Ｓから遮断されている。
【００３２】
このように本実施の形態のマスククリーナ１６は、移動ベース５５に取り付けられてペースト掻取り方向と交差する水平方向を長手方向として延びるベース体６１と、ベース体６１に着脱自在に取り付けられて長手方向に延びるとともにペースト掻取り方向に平行に並んで配置され、ベース体６１の上方に突出させたペースト掻取りエッジ６２Ｅを備えた構成となっている。そして、ベース体６１は、上方に開放した開口７１Ｓを有するフレーム７１と、フレーム７１の開口７１Ｓに装着されて長手方向に間隔を空けて並ぶ複数の梁部７３を備えたブレード保持部７２を有しており、ブレード保持部７２は複数（６枚）のブレード６２を保持し、複数の梁部７３はブレード６２（６枚のブレード６２のうち、マスククリーナ１６の進行方向の最も前側と最も後側に位置する２枚のブレード６２を除く４枚のブレード６２）の長手方向の中間部を部分的に支持する構成となっている。
【００３３】
また、本実施の形態のマスククリーナ１６では、ブレード６２で挟まれた複数の空間６２Ｓのうち、少なくともペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置する空間６２ＳＴは開口７１Ｓに通じていない構成となっている。
【００３４】
図４、図５（ａ），（ｂ），（ｃ）、図６及び図９において、一対のエンド部材６３はベース体６１の長手方向（Ｙ軸方向）の両端部に取り付けられている。各エンド部材６３はそれぞれ樹脂から構成されており、ペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に並んで形成された２つの螺子孔６３Ｈを有している。各エンド部材６３は、２つの螺子孔６３Ｈに挿通された２つの螺子６３Ｓがベース体６１の長手方向の両端部に設けられた螺子取付け穴６１Ｈ（図６）に螺入されることによって、ベース体６１に着脱自在に装着される。エンド部材６３はＸＹ方向に広がった平らな上面６３Ｆを備えている。
【００３５】
図１３において、各ブレード６２の長手方向の両端部には被押さえ部６２Ｈが形成されている。被押さえ部６２Ｈは、ブレード６２の長手方向の外側に突出した上下に対称な半円形状を有している。一対のエンド部材６３がベース体６１の両端部に取り付けられると、複数のブレード６２それぞれの被押さえ部６２Ｈの傾斜面（ここでは円弧面）にエンド部材６３の突起部６３Ｔ（図１５（ａ），（ｂ））が上方から当接し、複数のブレード６２がフレーム７１に固定される。
【００３６】
このように本実施の形態では、複数のブレード６２はそれぞれ長手方向の両端部か長手方向の外側に突出して形成された一対の被押さえ部６２Ｈを有し、複数のブレード６２それぞれが有する一対の被押さえ部６２Ｈはベース体６１に着脱自在に取り付けられる一対のエンド部材６３によって上方から押さえられるようになっている。
【００３７】
ベース体６１に装着された一対のエンド部材６３は、複数のブレード６２の被押さえ部６２Ｈの両端部に接触することによって、ペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に隣接するブレード６２同士の間に側壁を形成する。このため、後述する空気吸引時において、ブレード６２で挟まれた空間６２Ｓの側方からのエアの流入が防止される。なお、ブレード６２の被押さえ部６２Ｈの形状は、図１３に示したような上下方向に対称な半円形状に限られず、上下方向に対称な半楕円形状や三角形形状、台形形状等であってもよい。
【００３８】
複数のブレード６２が一対のエンド部材６３によってフレーム７１に固定された状態では、複数のブレード６２それぞれの上縁は各エンド部材６３の上面よりも上方に突出している（図８（ａ），（ｂ）及び図１５（ａ），（ｂ））。すなわち、ベース体６１に取り付けられた各エンド部材６３の上面は、複数のブレード６２の上縁よりも低い位置に位置している。ベース体６１の上方に突出した上縁は、マスク１３のクリーニングの際、マスク１３の下面に当接されてペーストＰｓｔを掻き取るエッジ（ペースト掻取りエッジ６２Ｅ）となる（図１３）。
【００３９】
図１３において、各ブレード６２は上下方向に対称な形状を有しており、上下方向に対向する２つのエッジ（第１のエッジ６２ａ及び第２のエッジ６２ｂ）を有している。このため各ブレード６２は任意の一方のエッジ（第１のエッジ６２ａ又は第２のエッジ６２ｂ）がペースト掻取りエッジ６２Ｅとなるようにベース体６１に取り付けることができる（図１５（ａ），（ｂ））。
【００４０】
図１５（ａ），（ｂ）に示すように、各ブレード６２の端部には、第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂを識別するための識別マーク６２Ｍ（識別表示）が付されている（図１３及び図１６も参照）。識別マーク６２Ｍは、ブレード６２がベース体６１に取り付けられている状態で外部から視認することができる（図１６）。このため作業者は、ベース体６１からブレード６２を取り外すことなく、そのブレード６２の第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂのどちらがペースト掻取りエッジ６２Ｅとなっているかを知ることができる。
【００４１】
図５（ｃ）、図６及び図１４において、整流板６４はベース体６１の下面側に位置して設けられている。整流板６４はベース体６１の長手方向に並んで設けられた複数の整流孔６４Ｈを有しており、複数の整流板装着螺子６４Ｓによってベース体６１に着脱自在に装着されている（図６及び図８（ａ），（ｂ））。
【００４２】
図６において、移動ベース５５の上面のベース体６１の下面と接触する部分には、複数（ここでは２つ）の位置決め孔５５Ｈが設けられている。一方、ベース体６１を構成するフレーム７１の下面には、複数の位置決め孔５５Ｈに対応して配置された複数（ここでは２つ）の位置決めピン６１Ｐが下方に延びて設けられている（図５（ｂ），（ｃ））。これら複数の位置決めピン６１Ｐは、移動ベース５５に対してベース体６１を位置決めするために設けられている。
【００４３】
マスククリーナ１６を移動ベース５５に取り付けるときは、マスククリーナ１６のベース体６１に設けられた複数の位置決めピン６１Ｐを移動ベース５５に設けられた複数の位置決め孔５５Ｈに上方から挿入させる（図１７（ａ）中に示す矢印Ｂ）これによりマスククリーナ１６は移動ベース５５上の規定の位置に取り付けられる（図１７（ｂ））。
【００４４】
図５（ｂ），（ｃ）及び図８（ａ），（ｂ）において、ベース体６１には下面に表面を露出させた複数の磁石６１Ｍが埋設されている。一方、移動ベース５５は磁性体材料から構成されている。このためマスククリーナ１６が移動ベース５５上の規定の位置に取り付けられると、フレーム７１に埋設された複数の磁石６１Ｍがそれぞれ移動ベース５５の上面に磁力で吸着し、マスククリーナ１６が移動ベース５５に固定される（図１７（ｂ））。
【００４５】
図１８（図１７（ｂ）における矢視Ｖ３−Ｖ３から見た断面図）において、マスククリーナ１６が移動ベース５５に取り付けられた状態では、マスククリーナ１６の開口７１Ｓが移動ベース５５に形成された内部空間５５Ｓ（図６も参照）と連通する。移動ベース５５には内部空間５５Ｓに設けられた空気通路５５Ｒ（図６も参照）を通じて外部に延びる真空吸引管路５５Ｔが設けられている（図３及び図１８）。この真空吸引管路５５Ｔには吸出し機構８０が接続されており（図３及び図１８）、吸出し機構８０が真空吸引管路５５Ｔを介して空気を吸引すると、マスククリーナ１６の上方の空気が開口７１Ｓ及び整流板６４に設けられた整流孔６４Ｈを通じて内部空間５５Ｓ側に引き込まれ、マスク１３の下面やパターン孔１３Ｈ内に付着したペーストＰｓｔがマスククリーナ１６側に吸い出される。
【００４６】
スクリーン印刷装置１がスクリーン印刷作業を行う場合には、先ず、スクリーン印刷装置１の外部から供給された基板ＫＢを搬送コンベア３１が受け取って所定の位置まで搬入する。そして、下受け部３２が上昇して基板ＫＢを下方から支持し、更にクランパ３３が作動して基板ＫＢをＹ軸方向からクランプする。クランパ３３が基板ＫＢをクランプしたらカメラ１５がＹ軸方向移動機構５２とＸ軸方向移動機構５３の作動によって水平方向に移動しつつ、マスク１３と基板ＫＢを撮像する。制御部２０はカメラ１５が撮像した基板ＫＢとマスク１３の画像データから得られる基板ＫＢとマスク１３との相対位置関係を算出し、基板ＫＢの各ランドＬＤとマスク１３のパターン孔１３Ｈとが上下に重なるように基板保持部移動機構２２を作動させて、基板ＫＢをマスク１３に接触させる。
【００４７】
基板ＫＢがマスク１３に接触したら、スキージ昇降駆動部４３が作動して２つのスキージ４２のうちの一方をマスク１３の上面に当接させる。スキージ４２がマスク１３の上面に当接したら印刷ヘッド移動機構４４がヘッドベース４１をＹ軸方向に移動させる。これによりマスク１３上に供給されたペーストＰｓｔがスキージ４２によってマスク１３上で掻き寄せられ（図２）、マスク１３のパターン孔１３Ｈを通じて基板ＫＢの各ランドＬＤにペーストＰｓｔが塗布される。
【００４８】
基板ＫＢの各ランドＬＤにペーストＰｓｔが塗布されたら、基板保持部移動機構２２が基板保持部２１を下降させて基板ＫＢをマスク１３から分離（版離れ）させる。これにより基板ＫＢへのペーストＰｓｔの印刷が終了する。基板ＫＢへのペーストＰｓｔの印刷が終了したら搬送コンベア３１が作動し、基板ＫＢをスクリーン印刷装置１の外部に搬出する。
【００４９】
搬送コンベア３１によって基板ＫＢがスクリーン印刷装置１の外部に搬出されたら、マスククリーナ１６によるマスククリーニング作業が実行される。マスククリーニング作業では、Ｙ軸方向移動機構５２が移動ビーム５１をＹ軸方向に移動させ、マスククリーナ１６をマスク１３の後下方に位置させる。マスククリーナ１６がマスク１３の後下方に位置したら、昇降機構５４Ｋが作動してマスククリーナ１６を上昇させ、マスククリーナ１６を（詳細には６枚のブレード６２のペースト掻取りエッジ６２Ｅを）マスク１３の下面に当接させる（図１９（ａ））。
【００５０】
マスククリーナ１６がマスク１３の下面に当接したら、Ｙ軸方向移動機構５２が作動して移動ビーム５１を前方に移動させる。これによりマスククリーナ１６が備える６枚のブレード６２がマスク１３の下面を摺動し、各ブレード６２のペースト掻取りエッジ６２Ｅによってマスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔが掻き取られていく（図１９（ｂ）及び図２０）。また、６枚のブレード６２がマスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔを掻き取っている間、吸出し機構８０は空気を吸引する。これによりマスク１３に付着しているペーストＰｓｔがマスククリーナ１６の開口７１Ｓ及びブレード６２で挟まれた複数の空間６２Ｓを通じて吸出し機構８０によって強制的に吸い出されるので、ペーストＰｓｔの掻取り効率が向上する。
【００５１】
このようにブレード６２がマスク１３の下面を摺動してマスククリーニングが実行されているときには、ベース体６１に取り付けられた一対のエンド部材６３は、図２０中に示す領域Ｒａの拡大図である図２１に示すように、マスク１３の下面に下方から当接するようになっている。このためマスククリーニング中に、ブレード６２で挟まれた空間６２Ｓの側方から開口７１Ｓにエアが流入するのを防止する。これにより、クリーニングに寄与しない箇所から流入するエアによってマスククリーナ１６の吸引力が損なわれないようにすることができる。
【００５２】
図２１において、マスククリーニングにおけるペーストＰｓｔの掻取りでは、ペースト掻取り方向に並んで配置された６枚のブレード６２のうちペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も前側に位置するブレード６２は、他のブレード６２よりも先に、マスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔを掻き取ることになる。このためペーストＰｓｔの掻取り量はペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も前側に位置するブレード６２が最も多く、それ以外の５枚のブレード６２は後方に位置するものほど掻取り量が少なくなっていく。
【００５３】
また、ペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も前側に位置するブレード６２よりも後方に位置する各ブレード６２は、そのブレード６２が通過する直前のパターン孔１３Ｈから吸出し機構８０によって吸い出されたペーストＰｓｔも掻き取る。そして、そのブレード６２で掻き取り切れなかったペーストＰｓｔは、そのブレード６２の後方に位置するブレード６２が掻き取る。
【００５４】
マスククリーニングを繰り返すと、ブレード６２に付着する掻き取られたペーストＰｓｔの量が次第に増加し、ブレード６２がペーストＰｓｔを掻き取る性能も付着するペーストＰｓｔの量が増えるに従って低下する。このため、複数枚のブレード６２を使用することによってできるだけ長くクリーニング性能を維持するようにしている。これに加え、本実施の形態ではマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置するブレード６２に付着するペーストＰｓｔの量を少なくすることでより長くクリーニング性能を維持する工夫がなされている。
【００５５】
本実施の形態では、前述したように、ペースト掻取り方向に並んで配置された６枚のブレード６２のうち、ペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置するブレード６２とその１つ前方に位置するブレード６２Ｔとの間の空間６２ＳＴは開口７１Ｓから遮断されており、吸出し機構８０の吸引力はほとんど及ばない。よって、空間６２ＳＴではパターン孔１３Ｈの内部に残存しているペーストＰｓｔをマスク１３の下面に移動させる空気の流れが発生しない。
【００５６】
このため、６枚のブレード６２のうち進行方向の最も後側に位置するブレード６２のペースト掻取り面には吸出し機構８０によって強制的に吸い出されたペーストＰｓｔが流入せず、最も後側に位置するブレード６２が掻き取るペーストＰｓｔの量は他のブレード６２よりも少なくなる。別の言い方をすれば、進行方向の最も後側に位置する空間６２ＳＴにはパターン孔１３Ｈの内部に残存しているペーストＰｓｔが流入しないので、最も後側に位置するブレード６２はその前のブレード６２Ｔが掻き取れなかったわずかなペーストＰｓｔのみを掻き取るだけで済む。よって、最も後側に位置するブレード６２はその前方に位置する他のブレード６２よりもペーストＰｓｔで汚れていない状態を保つことができ、前方のブレード６２が掻き取り残したペーストＰｓｔを確実に掻き取ることができる。これによりクリーニング性能を長期間維持することが可能であり、クリーニングユニットの清掃等回数やそれに伴うクリーニング印刷装置の稼働停止時間を従来よりも少なくすることができる。
【００５７】
このようなスクリーン印刷装置１において、各ブレード６２はペーストＰｓｔの掻取りによって汚れるため、所定のタイミングで清掃を行う必要がある。ブレード６２はベース体６１から取り外して清掃するが、本実施の形態では、前述したようにブレード６２は樹脂から構成されているため、ブレード６２を清掃する際、誤ってブレード６２を大きく曲げてしまったとしても塑性変形することがなく、清掃後（ベース体６１に取り付けた後）にペースト掻取りエッジ６２Ｅがマスク１３の下面に面当りしなくなるようなことがない。このためブレード６２の清掃時等においてブレード６２を変形させてしまうことに起因するクリーニング品質の低下を防止できる。なお、ブレード６２の清掃にはペーストＰｓｔを溶解させ得るアルコール系の溶剤が用いられるため、ブレード６２は樹脂の中でも、アルコール系の溶剤に対する耐用性を有するものが用いられることが好ましい。
【００５８】
また、本実施の形態では、ブレード６２が上下方向に対称な形状となっており、上下方向に対向して位置する２つのエッジ（第１のエッジ６２ａ及び第２のエッジ６２ｂ）のうちの任意の一方をペースト掻取りエッジ６２Ｅとして使用できる。このため第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂのうちの一方がペーストＰｓｔの掻取りの耐用限度に達したときはブレード６２をベース体６１から取り外し、上下を反転させてベース体６１に取り付けなおすことで、ブレード６２を再度耐用限度まで使用できす。このように本実施の形態におけるマスククリーナ１６ではブレード６２の耐用期間を増大（倍増）させることができ、コストの低減を図ることができる。
【００５９】
ここで、前述したように、各ブレード６２に第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂを識別するための識別表示としての識別マーク６２Ｍが付されているので、作業者は、予め定めておいた第１のエッジ６２ａと第２のエッジ６２ｂの使用順序と照らし合わせることで、ブレード６２の状況（ブレード６２の上下を反転させる前なのか反転させた後なのか）を的確に知ることができる。なお、本実施の形態では、識別マーク６２Ｍは、第１のエッジ６２ａの側に頂角を向けた三角形の図形を例示したが（図１５（ａ），（ｂ））、これは一例に過ぎず、識別マーク６２Ｍの形態は限定されない。
【００６０】
また、マスククリーナ１６のブレード保持部７２が備える複数の梁部７３はそれぞれペースト掻取り方向（Ｙ軸方向）に対して水平面内で斜めに延びており、複数のブレード６２は互いに異なる長手方向の箇所が梁部７３によって支持されている。このためマスク１３のクリーニング時には、各ブレード６２の梁部７３によって支持されている箇所と梁部７３によって支持されない箇所はブレード６２の長手方向に分散されることになり、マスク１３に対するブレード６２の当たり具合がマスククリーナ１６全体として均一化される。これによりマスク１３の下面に梁部７３の位置に対応した筋が残るようなことがなくなり、クリーニング品質を向上させることができる。
【００６１】
また、本実施の形態では、ブレード保持部７２はフレーム７１に着脱自在に取り付けられる同一形状の複数のブロック部材７２Ｂから構成されているため、ブレード６２の清掃時に併せて行うベース体６１の清掃において、ブレード保持部７２の清掃が極めて容易となる。ブレード保持部７２は超音波洗浄機等を用いて清掃することが多いが、この場合、洗浄槽は少なくともひとつのブロック部材７２Ｂが入る大きさを有していればよいので超音波洗浄機は小型のものでよく、清掃に要するコストを低減することができる。
【００６２】
また、前述したように、最も後側に位置するブレード６２が掻き取るペーストＰｓｔの量は他のブレード６２よりも少なく、その前方に位置する他のブレード６２が掻き取り残したペーストＰｓｔを確実に掻き取ることができるので、マスク１３のクリーニング品質を向上させることができる。更には、最も後側に位置するブレード６２そのものもペーストＰｓｔの掻き取り残しを生じにくくなるので、マスク１３の下面に残留するペーストＰｓｔを極めて少量に抑えることができ、この面からもマスク１３のクリーニング品質を向上させることができる。
【００６３】
また、マスククリーナ１６が取り付けられる移動ベース５５が磁性体材料から構成される一方、マスククリーナ１６のベース体６１には、移動ベース５５の上面に磁力で吸着する磁石６１Ｍが備えられている。このためマスククリーナ１６をワンタッチで移動ベース５５に着脱させることができ、メンテナンス時等における作業性を向上させることができる。
【００６４】
また、前述したように、マスククリーニングが実行されている間、ベース体６１に取り付けられた一対のエンド部材６３の上面６３Ｆはマスク１３の下面に下方から当接することで、ブレード６２で挟まれた空間６２Ｓの側方からのエアの流入が防止されるので、マスククリーニングの際にペーストＰｓｔを効率よく吸い出すことができる。よって、この面からもクリーニング品質を向上させることができる。また、エンド部材６３は過剰な力でブレード６２をマスク１３に押し当てないようにするためのストッパとして機能する。すなわち、エンド部材６３の上面６３Ｆとマスク１３の下面が接触することでブレード６２の変形が一定範囲に保たれ、ブレード６２の摩耗の進行を想定の範囲内にコントロールする。
【００６５】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１では、複数（６枚）のブレード６２のうちペースト掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置するブレード６２のペースト掻取り面には吸出し機構８０によって強制的に吸い出されたペーストＰｓｔが流入せず、最も後側に位置するブレード６２が掻き取るペーストＰｓｔの量は他のブレード６２よりも少なくなる。このため、ペースト掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置するブレード６２によってその前方に位置する他のブレード６２が掻き取り残したペーストＰｓｔを確実に掻き取ることができるうえ、掻き取り残してマスク１３の下面に残留させるペーストＰｓｔを極めて少量に抑えることができるので、クリーニング品質を向上させることができる。
【００６６】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、マスククリーナ１６が備えるブレード６２の数は６枚であったが、これは一例であり、ブレード６２の数は特に限定されない。また、マスク１３を介して基板ＫＢにペーストＰｓｔを印刷する印刷ヘッド１４はマスク１３上でスキージ４２を摺動させる構成を有するものであったが、カートリッジに封入したペーストＰｓｔをマスク１３上に圧出する構成のもの等であってもよい。
【００６７】
また、上述の実施の形態では、ブレード保持部７２に支持された複数（６枚）のブレード６２のうち、ペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も前方に位置するブレード６２と最も後方に位置するブレード６２が開口７１Ｓの外側に位置するようになっていたが、最も前方に位置するブレード６２は開口７１Ｓの内側に位置するようになっていても構わない。すなわち、ブレード６２で挟まれた複数の空間６２Ｓのうち、少なくともペーストＰｓｔの掻取り時のマスククリーナ１６の進行方向の最も後側に位置する空間６２Ｓが開口７１Ｓから遮断されるような構成であればよい。
【００６８】
また、上述の実施の形態では、移動ベース５５の全体が磁性体材料から構成されるとしていたが、これは、ベース体６１に埋設された複数の磁石６１Ｍにより磁力で吸着されればよいので、移動ベース５５の少なくとも上面を含む部分が磁性体材料から構成されていればよい。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
ペーストの掻き取り残しを少量に抑えてクリーニング品質を向上させることができるスクリーン印刷装置を提供する。
【符号の説明】
【００７０】
１  スクリーン印刷装置
１３  マスク
１４  印刷ヘッド
１６  マスククリーナ
６１  ベース体
６２，６２Ｔ  ブレード
６２Ｅ  ペースト掻取りエッジ
７１  フレーム
７１Ｓ  開口
７２  ブレード保持部
７２Ｂ  ブロック部材
７３  梁部
７５，７５Ｔ  溝部
８０  吸出し機構
ＫＢ  基板
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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