(57)【要約】【課題】保持面と研削面との平行度を測定するまでの時間を短縮化しうる測定治具を提供する。【解決手段】測定治具１０は、保持テーブル２０の保持面高さを測定するゲージ１４を備え、測定治具２０がホイールマウント４０に固定されてゲージ１４の先端１４０が研削砥石５６の研削面５６ａの直下に位置づけられ、研削砥石５６の回転軌道１００に沿って研削面５６ａの直下の保持面高さを測定するため、保持テーブル２０と研削ホイール５５との傾きを確認する際に、ホイールマウント４０から研削ホイール５５を取り外すことなく、測定治具１０によって研削砥石５６の回転軌道１００上の保持面高さを測定することができる。したがって、研削ホイール５５がホイールマウント４０に装着された状態のまま、装置の機械精度が変化した否かを素早く確認することが可能となる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを保持面において保持する保持テーブルと、環状に研削砥石を配設した研削ホイールを装着する装着面を下面に備えるホイールマウントと、該ホイールマウントの中心を軸に該ホイールマウントの上面に接続して回転させるスピンドルユニットを有し該保持テーブルが保持した板状ワークを研削する研削手段と、を備える研削装置において、該ホイールマウントに装着して該軸を回転させ該保持面上における該研削砥石の回転軌道での保持面高さを測定する測定治具であって、
該測定治具は、該保持面高さを測定するゲージを備え、
該測定治具が該ホイールマウントに固定されて該ゲージの先端が該研削砥石の研削面の直下に位置づけられ、該研削砥石の回転軌道に沿って該研削面の直下の該保持面高さを測定する測定治具。
【請求項２】
前記研削ホイールは、前記ホイールマウントの該装着面に接する被装着面に開口し、該研削ホイールの中心を中心とし円周方向に等間隔で配設される複数の雌ねじ孔を備え、
該ホイールマウントは、上面と下面とを貫通し、該研削ホイールの該雌ねじ孔に対応して円周方向に等間隔で配設され該装着面に該研削ホイールをネジ固定する複数の貫通孔を備え、
前記測定治具は、上面と下面とを貫通する第２の貫通孔を有する上板と、前記ゲージが配設される下板と、該上板と該下板とを接続する接続部とを備え、
該ホイールマウントに該研削ホイールをネジ固定している複数の該ネジのいずれか１本を外し、外した該ネジより長いネジを該第２の貫通孔と該貫通孔とに貫通させるとともに該研削ホイールの該雌ねじ孔に螺入させて、該研削ホイールと該上板とで該ホイールマウントを挟んで該上板を固定し、該研削ホイールの側方側を迂回して該研削面の直下に該ゲージが位置づけられる請求項１記載の測定治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削装置の保持テーブルと研削ホイールとの傾きを確認する際に用いられる測定治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状ワークを研削する研削装置は、板状ワークを保持する保持面を有する保持テーブルと、研削砥石を環状に配設した研削ホイールをホイールマウントに装着しホイールマウントの中心を軸にした回転軸を回転させ保持テーブルが保持した板状ワークを研削する研削手段とを備えており、保持テーブルの保持面と研削砥石の研削面との傾きを平行に調整してから、板状ワークを研削している。保持面と研削面とが平行となっているかどうかを測定する場合、例えば、保持面と研削面との距離を測定している。また、ホイールマウントに測定器を装着して、測定器の下端を保持テーブルの保持面に接触させた状態で研削手段の回転軸を回転させて、測定器を円運動させ、保持面の外周から中心までが同じ値であるか測定するとともに、中心から反対側の外周が徐々に値が大きくなっているかを測定している（例えば、下記の特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１４１７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記したような測定器をホイールマウントに装着する場合、研削ホイールをホイールマウントから取り外す必要がある。研削した板状ワークの厚みが均等にならないという問題が発生したときは、保持面と研削面との平行度が変化している可能性が高いが、このような場合に、ホイールマウントから研削ホイールを取り外してから測定器をホイールマウントに装着しているため、保持面と研削面との平行度を測定するまでに時間がかかっている。
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、保持面と研削面との平行度を測定するまでの時間を短縮化しうる測定治具に発明の解決すべき課題を有している。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、板状ワークを保持面において保持する保持テーブルと、環状に研削砥石を配設した研削ホイールを装着する装着面を下面に備えるホイールマウントと、該ホイールマウントの中心を軸に該ホイールマウントの上面に接続して回転させるスピンドルユニットを有し該保持テーブルが保持した板状ワークを研削する研削手段と、を備える研削装置において、該ホイールマウントに装着して該軸を回転させ該保持面上における該研削砥石の回転軌道での保持面高さを測定する測定治具であって、該測定治具は、該保持面高さを測定するゲージを備え、該測定治具が該ホイールマウントに固定されて該ゲージの先端が該研削砥石の研削面の直下に位置づけられ、該研削砥石の回転軌道に沿って該研削面の直下の該保持面高さを測定する。
【０００７】
上記研削ホイールは、上記ホイールマウントの該装着面に接する被装着面に開口し、該研削ホイールの中心を中心とし円周方向に等間隔で配設される複数の雌ねじ孔を備え、該ホイールマウントは、上面と下面とを貫通し、該研削ホイールの該雌ねじ孔に対応して円周方向に等間隔で配設され該装着面に該研削ホイールをネジ固定する複数の貫通孔を備え、上記測定治具は、上面と下面とを貫通する第２の貫通孔を有する上板と、上記ゲージが配設される下板と、該上板と該下板とを接続する接続部とを備え、該ホイールマウントに該研削ホイールをネジ固定している複数の該ネジのいずれか１本を外し、外した該ネジより長いネジを該第２の貫通孔と該貫通孔とに貫通させるとともに該研削ホイールの該雌ねじ孔に螺入させて、該研削ホイールと該上板とで該ホイールマウントを挟んで該上板を固定し、該研削ホイールの側方側を迂回して該研削面の直下に該ゲージが位置づけられるように構成されることが好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る測定治具は、保持テーブルの保持面高さを測定するゲージを備え、測定治具がホイールマウントに固定されてゲージの先端が研削砥石の研削面の直下に位置づけられ、研削砥石の回転軌道に沿って研削面の直下の保持面高さを測定するため、保持テーブルと研削ホイールとの傾きを確認する際に、ホイールマウントから研削ホイールを取り外すことなく、測定治具によって研削砥石の回転軌道上の保持面高さを測定することができる。したがって、本発明によれば、研削ホイールがホイールマウントに装着された状態のまま、装置の機械精度が変化した否かを素早く確認することが可能となる。
【０００９】
また、上記測定治具は、上面と下面とを貫通する第２の貫通孔を有する上板と、ゲージが配設される下板と、上板と下板とを接続する接続部とを備え、ホイールマウントに研削ホイールをネジ固定している複数のネジのいずれか１本を外し、外したネジより長いネジを第２の貫通孔と貫通孔とに貫通させるとともに研削ホイールの雌ねじ孔に螺入させて、研削ホイールと上板とでホイールマウントを挟んで上板を固定し、研削ホイールの側方側を迂回して研削面の直下にゲージが位置づけられるように構成したため、ホイールマウントから研削ホイールを取り外すことなく、測定治具をホイールマウントに容易に固定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】研削装置の構成を示す斜視図である。
【図２】ホイールマウントに研削ホイールが装着される前の状態を示す研削手段の分解斜視図である。
【図３】測定治具の構成を示す斜視図である。
【図４】研削ホイールが装着されたホイールマウントに測定治具が固定された状態を示す斜視図である。
【図５】研削ホイールが装着されたホイールマウントに測定治具が固定された状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
［研削装置］
図１に示す研削装置１は、板状ワークに研削を施す研削装置の一形態である。研削装置１は、Ｙ軸方向に延在する装置ベース２と、装置ベース２のＹ軸方向後部側に立設されたコラム３とを有している。装置ベース２には、板状ワークを保持面２１ａにおいて保持する保持テーブル２０と、保持テーブル２０に吸引保持された板状ワークの厚みを測定する厚み測定手段３０とを備えている。
【００１２】
保持テーブル２０は、板状ワークを吸引保持する保持面２１ａを有するポーラス板２１と、ポーラス板２１を収容する枠体２２とを備えている。保持テーブル２０の周囲はカバー４によって覆われている。枠体２２には、リング状の凸部が形成されており、凸部の内側の領域がポーラス板２１の形状に応じて形成された凹部となっている。凸部上面は、ポーラス板２１の保持面２１ａと同じ高さを有する基準面２２ａとなっている。保持テーブル２０の下方には、図示していないが、保持テーブル２０を回転させる回転手段と、保持テーブル２０をカバー４とともにＹ軸方向に移動させる移動手段とが接続されている。
【００１３】
厚み測定手段３０は、例えば接触式の第１のゲージ３１と第２のゲージ３２とを備えている。第１のゲージ３１及び第２のゲージ３２は、装置ベース２の上面に立設されたブラケット５の端部に接続されている。第１のゲージ３１の測定子は、保持テーブル２０の保持面２１ａの位置に対応している。第２のゲージ３２の測定子は、枠体２２の基準面２２ａの位置に対応している。そして、第１のゲージ３１で保持テーブル２０の上面高さを測定するとともに、第２のゲージ３２で保持テーブル２０に保持される板状ワークの上面高さを測定して、それぞれの測定値の差を板状ワークの厚みとして算出することができる。
【００１４】
研削装置１は、環状に研削砥石５６を配設した研削ホイール５５を装着する装着面４０ｂを下面に備えるホイールマウント４０と、ホイールマウント４０の中心を軸にホイールマウント４０の上面４０ａに接続して回転させるスピンドルユニット５１を有し保持テーブル２０が保持した板状ワークを研削する研削手段５０と、研削手段５０を保持テーブル２０に対して接近及び離反する方向（Ｚ軸方向）に研削送りする研削送り手段６０とを備えている。
【００１５】
研削送り手段６０は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ６１と、ボールネジ６１の一端に接続されたモータ６２と、ボールネジ６１と平行に延在しコラム３に配設された一対のガイドレール６３と、一方の面が研削手段５０に連結された昇降板６４とを備えている。昇降板６４の他方の面に一対のガイドレール６３が摺接し、昇降板６４の中央部に形成されたナットにはボールネジ６１が螺合している。モータ６２がボールネジ６１を駆動することにより、昇降板６４とともに研削手段５０をＺ軸方向に昇降させることができる。
【００１６】
研削手段５０は、Ｚ軸方向の軸心を有する軸（回転軸）を有するスピンドルユニット５１と、スピンドルユニット５１が回転可能に囲繞して支持されたスピンドルハウジング５２と、スピンドルユニット５１の一端に接続されたモータ５３と、スピンドルハウジング５２を保持するホルダ５４と、スピンドルユニット５１の下端においてホイールマウント４０を介して着脱自在に装着された研削ホイール５５と、研削ホイール５５の自由端５５ｂに環状に固着された研削砥石５６とを備えている。そして、モータ５３が駆動されてスピンドルユニット５１が回転することにより、研削ホイール５５を所定の回転速度で回転させることができる。
【００１７】
図２に示すように、研削ホイール５５は、ホイールマウント４０の装着面４０ｂに接する被装着面５５ａにおいて開口した開口５５０と、研削ホイール５５の中心を中心とし円周方向に等間隔で配設されネジ６が螺合するための複数（図示の例では６つ）の雌ねじ孔５５１とを備えている。被装着面５５ａは、鉛直方向と直交する水平方向に平行な平坦面となっている。研削ホイール５５の外径はホイールマウント４０の外径と略同径に形成されている。研削砥石５６は、研削ホイール５５の自由端５５ｂにおいて円周方向に等間隔をあけて複数配設され、例えば接着材によって接着固定されている。
【００１８】
ホイールマウント４０は、円盤状に形成されており、スピンドルユニット５１の先端に固定されている。ホイールマウント４０の装着面４０ｂは、被装着面５５ａと平行な平坦面となっている。ホイールマウント４０には、上面４０ａと下面（装着面４０ｂ）とを貫通し、研削ホイール５５の雌ねじ孔５５１に対応して円周方向に等間隔で離間して配設され装着面４０ｂに研削ホイール５５をネジ固定する複数の貫通孔４１を備えている。貫通孔４１の数は、研削ホイール５５の雌ねじ孔５５１の数に対応しており、例えば６つ形成されている。
【００１９】
研削ホイール５５をホイールマウント４０に装着する場合は、ホイールマウント４０の貫通孔４１と研削ホイール５５の雌ねじ孔５５１とを一致させるとともに、ホイールマウント４０の被装着面５５ａとホイールマウント４０の装着面４０ｂとを密着させた状態で、ホイールマウント４０の６つの貫通孔４１にネジ６をそれぞれ貫通させるとともに雌ねじ孔５５１に螺入させて締結することによってネジ固定する。一方、ホイールマウント４０から研削ホイール５５を取り外す場合は、６つの雌ねじ孔５５１および貫通孔４１から全てのネジ６を取り外してから、ホイールマウント４０の装着面４０ｂと研削ホイール５５の被装着面５５ａとを離間させればよい。
【００２０】
［測定治具］
図３に示す測定治具１０は、上記した研削装置１において、ホイールマウント４０に装着して軸を回転させ保持面２１ａ上における研削砥石５６の回転軌道１００での保持面高さを測定する測定治具の一形態である。測定治具１０は、保持面２１ａの保持面高さを測定するゲージ１４を備え、ホイールマウント４０に固定されてゲージ１４の先端１４０が研削砥石５６の研削面５６ｂの直下に位置づけられ、研削砥石５６の回転軌道１００に沿って研削面５６ｂの直下の保持面高さを測定する構成となっている。
【００２１】
本実施形態に示す測定治具１０は、上面１１ａと下面１１ｂとを貫通する第２の貫通孔１１０を有する上板１１と、ゲージ１４が配設される下板１２と、上板１１と下板１２とを接続する接続部１３とを備えている。上板１１は、例えば矩形板状に形成され、上面１１ａ及び下面１１ｂは、鉛直方向と直交する水平方向に平行な平坦面となっている。図示の例では、下面１１ｂがホイールマウント４０の上面４０ａに固定される面となっている。ホイールマウント４０に測定治具１０を固定する際には、第２の貫通孔１１０を図２に示した複数の貫通孔４１のいずれか１つに位置を合わせ、ネジ６よりも長い長ネジ７を第２の貫通孔１１０から貫通させる構成となっている。
【００２２】
下板１２は、上板１１と同様の構成であり、上面１２ａ及び下面１２ｂは鉛直方向と直交する水平方向に平行な平坦面となっている。ゲージ１４は、下板１２の上面１２ａと下面１２ｂとを貫通して配設されており、ゲージ１４の先端１４０が下板１２の下面１２ｂから下方に突出している。本実施形態に示すゲージ１４は、接触式のハイトゲージによって構成したが、かかる構成に限られず、非接触式で光学式の測定器で構成してもよい。
【００２３】
接続部１３は、鉛直方向に延在した板状部材である。図示の例では、上板１１と下板１２とが対面するように、接続部１３の上端に上板１１が接続され、接続部１３の下端に下板１２が接続されている。これにより、測定治具１０が例えばコの字形状に形成されている。接続部１３の鉛直方向の長さは、特に限定されないが、少なくともホイールマウント４０に研削ホイール５５が装着された状態のホイールマウント４０の上面４０ａから研削砥石５６の研削面５６ａまでの高さ以上に設定されていることが好ましい。なお、本実施形態に示した測定治具１０は、コの字形状に形成されているが、かかる形状に限定されるものではない。
【００２４】
このように構成される測定治具１０をホイールマウント４０に固定する場合は、まず、ホイールマウント４０の貫通孔４１に貫通させ雌ねじ孔５５１にネジ６を螺入させホイールマウント４０に研削ホイール５５をネジ固定している複数のネジ６のいずれか１本を外してから、１本のネジ６が外された貫通孔４１と上板１１の第２の貫通孔１１０とを一致させ、上板１１の下面１１ｂをホイールマウント４０の上面４０ａに接触させる。つまり、図４に示すように、ホイールマウント４０から研削ホイール５５を取り外さないで、測定治具１０の上板１１をホイールマウント４０の上面４０ａに載せる。
【００２５】
次いで、図５に示すように、ネジ６よりも長い長ネジ７を第２の貫通孔１１０と貫通孔４１とに貫通させるとともに研削ホイール５５の雌ねじ孔５５１に螺入させ、研削ホイール５５と上板１１とでホイールマウント４０を挟んで上板１１を固定する。上板１１がホイールマウント４０に固定されると、接続部１３によって研削ホイール５５の側方側を迂回して下板１２が研削砥石５６の下方に位置づけられ、研削面５６ａの直下にゲージ１４が位置づけられる。このようにして、ホイールマウント４０に研削ホイール５５が装着された状態のまま、測定治具１０を研削ホイール５５に固定する。
【００２６】
研削ホイール５５に固定された測定治具１０で図１に示した保持テーブル２０の保持面２１ａの保持面高さを測定する際には、ゲージ１４の先端１４０を保持面２１ａに接触させた状態で、研削ホイール５５を回転させることにより、研削砥石５６の回転軌道１００に沿って走査させ、保持面高さを測定する。そして、ゲージ１４の先端１４０の上下方向の位置の変化に基づいて、保持テーブル２０と研削ホイール５５との傾きを確認する。そして、必要に応じて保持テーブル２０の保持面２１ａと研削砥石５６の研削面５６ａとが平行となるように保持テーブル２０または研削手段５０を傾けて調整する。
【００２７】
このように、本発明に係る測定治具１０は、保持テーブル２０の保持面高さを測定するゲージ１４を備え、測定治具１０がホイールマウント４０に固定されてゲージ１４の先端１４０が研削砥石５６の研削面５６ａの直下に位置づけられ、研削砥石５６の回転軌道１００に沿って研削面５６ａの直下の保持面高さを測定するため、保持テーブル２０と研削ホイール５５との傾きを確認する際に、ホイールマウント４０から研削ホイール５５を取り外す必要がない。したがって、本発明によれば、研削ホイール５５がホイールマウント４０に装着された状態のまま、保持面２１ａと研削面５６ａとの平行度が変化した否かを素早く確認することが可能となる。
また、測定治具１０は、上面１１ａと下面１１ｂとを貫通する第２の貫通孔１１０を有する上板１１と、ゲージ１４が配設される下板１２と、上板１１と下板１２とを接続する接続部１３とを備え、ホイールマウント４０に研削ホイール５５をネジ固定している複数のネジ６のいずれか１本を外し、外したネジ６より上板１１の厚みと同じ長さ長い長ネジ７を第２の貫通孔１１０と貫通孔４１とに貫通させるとともに研削ホイール５５の雌ねじ孔５５１に螺入させて、研削ホイール５５と上板１１とでホイールマウント４０を挟んで上板１１を固定し、研削ホイール５５の側方側を迂回して研削面５６ａの直下にゲージ１４が位置づけられるように構成したため、ホイールマウント４０から研削ホイール５５を取り外すことなく、測定治具１０をホイールマウント４０に容易に固定することができる。
【符号の説明】
【００２８】
１：研削装置  ２：装置ベース  ３：コラム  ４：カバー  ５：ブラケット
６：ネジ  ７：長ネジ
１０：測定治具  １１  上板  １１０：第２の貫通孔
１２：下板  １３：接続部  １４：ゲージ  １４０：先端
２０：保持テーブル  ２１：ポーラス板  ２２：枠体
３０：厚み測定手段  ３１：第１のゲージ  ３２：第２のゲージ
４０：ホイールマウント  ４１：貫通孔
５０：研削手段  ５１：スピンドルユニット  ５２：スピンドルハウジング
５３：モータ  ５４：ホルダ  ５５：研削ホイール  ５５０：開口  ５５１：雌ねじ孔
５６：研削砥石
６０：研削送り手段  ６１：ボールネジ  ６２：モータ  ６３：ガイドレール
６４：昇降板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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