(57)【要約】【課題】リードフレームの反りを抑制すること。【解決手段】本リードフレームは、表層に加工変質層が形成された加工変質層形成領域と、表層に加工変質層が形成されていない加工変質層非形成領域と、を有するリードフレームであって、板状部と、前記板状部と一体に形成され、前記板状部の一の面から突起する突起部と、を有し、前記突起部の先端面は、前記加工変質層形成領域であり、前記板状部の前記一の面の前記突起部が形成されていない領域は、前記加工変質層非形成領域であり、前記板状部の一の面と対向する他の面は、前記加工変質層非形成領域を有する。【選択図】図２
2019047064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表層に加工変質層が形成された加工変質層形成領域と、表層に加工変質層が形成されていない加工変質層非形成領域と、を有するリードフレームであって、
板状部と、
前記板状部と一体に形成され、前記板状部の一の面から突起する突起部と、を有し、
前記突起部の先端面は、前記加工変質層形成領域であり、
前記板状部の前記一の面の前記突起部が形成されていない領域は、前記加工変質層非形成領域であり、
前記板状部の一の面と対向する他の面は、前記加工変質層非形成領域を有するリードフレーム。
【請求項２】
前記突起部の前記加工変質層形成領域に形成された第１金属膜と、
前記板状部の前記他の面に形成された第２金属膜と、を有する請求項１に記載のリードフレーム。
【請求項３】
前記第２金属膜は、前記板状部の前記他の面の、前記第１金属膜と平面視で重複する領域に形成されている請求項２に記載のリードフレーム。
【請求項４】
前記板状部の前記他の面の全面は、前記加工変質層非形成領域である請求項１乃至３の何れか一項に記載のリードフレーム。
【請求項５】
前記第２金属膜は、前記加工変質層形成領域に形成されている請求項２又は３に記載のリードフレーム。
【請求項６】
前記板状部の前記他の面の前記第２金属膜が形成されていない領域は、前記加工変質層非形成領域である請求項５に記載のリードフレーム。
【請求項７】
両面側の表層に加工変質層が形成された金属板をエッチングし、板状部、及び前記板状部の一の面から突起する突起部、を形成する工程と、
前記板状部の他の面をエッチングし、前記他の面側の表層に形成されている前記加工変質層を除去する工程と、を有し、
前記突起部の先端面は、表層に加工変質層が形成された加工変質層形成領域となり、
前記板状部の前記一の面の前記突起部が形成されていない領域は、表層に加工変質層が形成されていない加工変質層非形成領域となるリードフレームの製造方法。
【請求項８】
前記加工変質層を除去する工程では、前記板状部の前記他の面側の全面の表層に形成されている前記加工変質層を除去し、
前記加工変質層を除去する工程よりも後に、
前記突起部の前記加工変質層形成領域に第１金属膜を形成する工程と、
前記板状部の前記他の面の前記加工変質層非形成領域に第２金属膜を形成する工程と、を有する請求項７に記載のリードフレームの製造方法。
【請求項９】
前記突起部の前記加工変質層形成領域に第１金属膜を形成する工程と、
前記板状部の前記他の面の前記加工変質層形成領域に第２金属膜を形成する工程と、を有し、
前記第１金属膜を形成する工程及び前記第２金属膜を形成する工程よりも後に、前記加工変質層を除去する工程を実行し、前記板状部の前記他の面の前記第２金属膜が形成されていない領域の前記加工変質層を除去する請求項７に記載のリードフレームの製造方法。
【請求項１０】
前記第２金属膜は、前記板状部の前記他の面の、前記第１金属膜と平面視で重複する領域に形成される請求項８又は９に記載のリードフレームの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレーム及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧延合金銅等の圧延金属材においては、その加工工程で圧延ロールによる表面への強い応力が加えられることで、表層に加工変質層（内部に比べて金属結晶粒が微細化された層）が形成され、この加工変質層に内部応力による歪みの多くが残留応力として蓄積される。
【０００３】
残留応力が蓄積された加工変質層は、金属材の両面に同等に存在することで板材料としての平坦性を保っているが、その片側を部分的又は全面的に除去する加工を施した場合には、残留応力のバランスが崩れて金属材に反りが生じ、リードフレーム製造の際に障害となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−０３９８０４号公報
【特許文献２】特開平７−１７６６６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、リードフレームの反りを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本リードフレームは、表層に加工変質層が形成された加工変質層形成領域と、表層に加工変質層が形成されていない加工変質層非形成領域と、を有するリードフレームであって、板状部と、前記板状部と一体に形成され、前記板状部の一の面から突起する突起部と、を有し、前記突起部の先端面は、前記加工変質層形成領域であり、前記板状部の前記一の面の前記突起部が形成されていない領域は、前記加工変質層非形成領域であり、前記板状部の一の面と対向する他の面は、前記加工変質層非形成領域を有することを要件とする。
【発明の効果】
【０００７】
開示の技術によれば、リードフレームの反りを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施の形態に係るリードフレームを例示する平面図である。
【図２】第１の実施の形態に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する図である。
【図３】加工変質層について説明する図である。
【図４】第１の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その１）である。
【図５】第１の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その２）である。
【図６】第１の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その３）である。
【図７】第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を例示する図である。
【図８】第１の実施の形態の変形例１に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する図である。
【図９】第１の実施の形態の変形例１に係るリードフレームの製造工程を例示する図である。
【図１０】第１の実施の形態の変形例１に係る半導体装置の製造工程を例示する図（その１）である。
【図１１】第１の実施の形態の変形例１に係る半導体装置の製造工程を例示する図（その２）である。
【図１２】第１の実施の形態の変形例２に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その１）である。
【図１３】第１の実施の形態の変形例２に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その２）である。
【図１４】第２の実施の形態に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する図（その１）である。
【図１５】第２の実施の形態に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する図（その２）である。
【図１６】第２の実施の形態に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する図（その３）である。
【図１７】第２の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その１）である。
【図１８】第２の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その２）である。
【図１９】第２の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その３）である。
【図２０】第２の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その４）である。
【図２１】第２の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その５）である。
【図２２】第２の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図（その６）である。
【図２３】第２の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を例示する図（その１）である。
【図２４】第２の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を例示する図（その２）である。
【図２５】第２の実施の形態の変形例に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１０】
〈第１の実施の形態〉
［リードフレームの構造］
図１は、第１の実施の形態に係るリードフレームを例示する平面図である。図１を参照するに、リードフレーム１は、平面視略矩形状の基板フレーム１０に、複数の単位リードフレーム群２０が離間して配列された構造を有している。
【００１１】
なお、図１の例では、３つの単位リードフレーム群２０を１列に配列しているが、配列する単位リードフレーム群２０の数は任意に決定することができる。又、単位リードフレーム群２０を複数列に配列しても構わない。又、図１の例では、隣接する単位リードフレーム群２０間にスリット１０ｘを設けているが、これは必須ではない。
【００１２】
リードフレーム１の材料としては、例えば、銅（Ｃｕ）、Ｃｕをベースにした合金、鉄−ニッケル（Ｆｅ−Ｎｉ）、Ｆｅ−Ｎｉをベースにした合金、又はステンレス等を用いることができる。
【００１３】
単位リードフレーム群２０には、複数の単位リードフレーム３０がマトリクス状に配列されている。単位リードフレーム３０は、最終的に半導体チップが搭載され、切断位置Ｃで切断されて、個々の半導体装置の一部となる領域である。なお、図１の例では、単位リードフレーム群２０が６行６列に配列された単位リードフレーム３０から構成されているが、単位リードフレーム群２０を構成する単位リードフレーム３０の数は任意に決定することができる。
【００１４】
図２は、第１の実施の形態に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する図であり、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【００１５】
図２を参照するに、単位リードフレーム３０は、板状部３１と、板状部３１と一体に形成された突起部３２とを有している。板状部３１は、単位リードフレーム３０に半導体チップを搭載後に個片化された半導体装置において、半導体チップが搭載されるダイパッドとなるチップ搭載部３１１を備えている。板状部３１の厚さは、例えば、２０〜６０μｍ程度とすることができる。又、突起部３２の高さ（板状部３１の上面からの突出量）は、例えば、６０〜９０μｍ程度とすることができる。単位リードフレーム３０は、柱状の接続端子を有する片面ハーフエッチングタイプのリードフレームである。
【００１６】
なお、本実施の形態では、便宜上、単位リードフレーム３０の突起部３２が形成されている側を上側又は一方の側、突起部３２が形成されていない側を下側又は他方の側とする。又、各部位の突起部３２が形成されている側の面を一方の面又は上面、突起部３２が形成されていない側の面を他方の面又は下面とする。但し、単位リードフレーム３０は天地逆の状態で用いることができ、又は任意の角度で配置することができる。又、平面視とは対象物を板状部３１の一方の面の法線方向から視ることを指し、平面形状とは対象物を板状部３１の一方の面の法線方向から視た形状を指すものとする。
【００１７】
突起部３２は、板状部３１の上面に、例えば、円柱状に突起するように形成されている。但し、突起部３２は、四角柱や六角柱等の角柱状としてもよい。突起部３２は、例えば、平面視において、チップ搭載部３１１の周囲に所定のピッチで複数個設けられている。但し、突起部３２は必ずしもチップ搭載部３１１の周囲に２列に設ける必要はなく、１列でも３列以上でもよい。又、突起部３２は、チップ搭載部３１１の両側のみに設けてもよい。
【００１８】
突起部３２、及び突起部３２と平面視で重複する部分の板状部３１は、接続端子３２１を構成している。接続端子３２１は、単位リードフレーム３０に半導体チップを搭載後に個片化された半導体装置において、チップ搭載部３１１と電気的に独立し、半導体チップと電気的に接続されると共に、半導体装置の外部と接続可能となる部分である。
【００１９】
チップ搭載部３１１の下面には、金属膜３３が形成されている。接続端子３２１の上面には金属膜３４が形成され、下面には金属膜３５が形成されている。つまり、金属膜３５は、板状部３１の下面の、金属膜３４と平面視で重複する領域に形成されている。
【００２０】
金属膜３５の下面は、金属膜３３の下面と略面一とすることができる。金属膜３３、３４、及び３５としては、例えば、Ａｇ膜、Ａｕ膜、Ｎｉ／Ａｕ膜（Ｎｉ膜とＡｕ膜をこの順番で積膜した金属膜）、Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕ膜（Ｎｉ膜とＰｄ膜とＡｕ膜をこの順番で積膜した金属膜）等を用いることができる。
【００２１】
図３は、加工変質層について説明する図であり、図３（ａ）は本実施の形態に係るリードフレーム１に関する図、図３（ｂ）は比較例に係るリードフレーム１Ｘに関する図である。
【００２２】
図３（ａ）及び図３（ｂ）に示す加工変質層２００は、リードフレームの製造工程で用いる板材１０Ａ（後述）が鋳造、熱間圧延、冷間圧延、バフ研磨処理、焼鈍等の工程を適宜組み合わせて製造される過程において、様々な塑性加工を受けた結果、板材１０Ａの両面側の表層に形成される層である。加工変質層２００は、ベイルビー層２１０（上層）と微細結晶層２２０（下層）とを含む。ベイルビー層２１０は非晶質組織からなり、微細結晶層２２０は極微細な結晶集合組織からなる。
【００２３】
図３（ａ）に示すリードフレーム１は、その製造工程（後述）で加工変質層２００の一部が除去された結果、表層に加工変質層２００が形成された加工変質層形成領域と、表層に加工変質層２００が形成されていない加工変質層非形成領域とを有する。リードフレーム１では、突起部３２の先端面側（上端面側）の表層には加工変質層２００が形成され、板状部３１の上面の突起部３２が形成されていない領域の表層には加工変質層２００が形成されていない。つまり、突起部３２の先端面は加工変質層形成領域であり、板状部３１の上面の突起部３２が形成されていない領域は加工変質層非形成領域である。又、リードフレーム１では、板状部３１の下面の全面は、表層に加工変質層２００が形成されていない加工変質層非形成領域である。
【００２４】
一方、図３（ｂ）に示す比較例に係るリードフレーム１Ｘも、加工変質層形成領域と加工変質層非形成領域とを有する。リードフレーム１Ｘでは、リードフレーム１と同様に、突起部３２の先端面側（上端面側）の表層には加工変質層２００が形成され、板状部３１の上面の突起部３２が形成されていない領域の表層には加工変質層２００が形成されていない。つまり、突起部３２の先端面は加工変質層形成領域であり、板状部３１の上面の突起部３２が形成されていない領域は加工変質層非形成領域である。又、リードフレーム１Ｘでは、リードフレーム１とは異なり、板状部３１の下面の全面は、表層に加工変質層２００が形成された加工変質層形成領域である。
【００２５】
このように、リードフレーム１Ｘでは、板状部３１の上面側と下面側とで加工変質層形成領域の面積が大きく異なるため、板状部３１の上面側と下面側に存在する加工変質層２００の残留応力のバランスが崩れ、反りが発生する。これに対して、リードフレーム１では、板状部３１の上面側と下面側とで加工変質層形成領域の面積が近似する。若しくは、加工変質層非形成領域の面積が近似する。よって、加工変質層２００の残留応力のバランスが保たれ、リードフレーム１Ｘと比較して反りを抑制することができる。
【００２６】
［リードフレームの製造方法］
次に、第１の実施の形態に係るリードフレームの製造方法について、単位リードフレーム３０を図示しながら説明する。図４〜図６は、第１の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図であり、図２（ｂ）に対応する断面を示している。
【００２７】
まず、図４（ａ）に示す工程では、図１に示す基板フレーム１０と同形状の金属製の板材１０Ａ（金属板）を準備する。板材１０Ａの材料としては、例えば、銅（Ｃｕ）、Ｃｕをベースにした合金、鉄−ニッケル（Ｆｅ−Ｎｉ）、Ｆｅ−Ｎｉをベースにした合金、又はステンレス等を用いることができる。板材１０Ａの厚さは、例えば、１００〜２００μｍ程度とすることができる。板材１０Ａの上面の全面及び下面の全面には、加工変質層２００が存在している。加工変質層２００の厚さは、例えば、数μｍ程度である。
【００２８】
次に、図４（ｂ）に示す工程では、板材１０Ａの上面の全面に感光性のレジスト３００を形成し、板材１０Ａの下面の全面に感光性のレジスト３１０を形成する。レジスト３００及び３１０としては、例えば、ドライフィルムレジストや電着レジスト等を用いることができる。そして、レジスト３００を露光及び現像し、図４（ｃ）のようにパターニングする。レジスト３００は、突起部３２を形成したい部分のみを被覆するようにパターニングされる。なお、レジスト３１０は、板材１０Ａの下面の全面を被覆したままである。
【００２９】
次に、図４（ｄ）に示す工程では、レジスト３００及び３１０をエッチングマスクとして板材１０Ａをハーフエッチングする。レジスト３００に被覆されてない領域が板材１０Ａの上面側からハーフエッチングされ、板状部３１及び突起部３２が形成される。板材１０Ａが銅である場合には、例えば、塩化第二銅水溶液を用いたウェットエッチングにより、チップ搭載部３１１を備えた板状部３１及び突起部３２を形成することができる。突起部３２、及び突起部３２と平面視で重複する部分の板状部３１は、接続端子３２１を構成する。ハーフエッチングされた領域は、加工変質層２００が除去された加工変質層非形成領域となる。つまり、板状部３１の上面の突起部３２が形成されていない領域は、加工変質層非形成領域となる。
【００３０】
次に、図５（ａ）に示す工程では、図４（ｄ）に示すレジスト３００及び３１０を除去する。次に、図５（ｂ）に示す工程では、板状部３１の上面側を被覆するレジスト３２０を形成する。レジスト３２０としては、例えば、ドライフィルムレジストや電着レジスト等を用いることができる。次に、図５（ｃ）に示す工程では、板状部３１の下面をソフトエッチングし、板状部３１の下面側の表層に形成されている加工変質層２００を除去する。例えば、板状部３１の下面から１〜２μｍ程度エッチングすることができる。ここで、ソフトエッチングとは、電気化学的な方法により、加工変質層２００を除去できる程度に、板状部３１の下面を数μｍ程度均一にエッチングすることである。ソフトエッチングは、例えば、塩化第二銅水溶液を用いたウェットエッチングにより行うことができる。次に、図５（ｄ）に示す工程では、図５（ｃ）に示すレジスト３２０を除去する。
【００３１】
なお、例えば、図４（ａ）よりも前の段階で板材１０Ａの上面及び下面をソフトエッチングし、板材１０Ａの上面及び下面に存在する加工変質層２００を除去する方法も考えられる。しかし、加工変質層２００は板材１０Ａの表面品質保護の機能を有している。そのため、板材１０Ａの表面品質保護の観点から、必要以上に早い段階で加工変質層２００を除去することは好ましくなく、リードフレーム１の製造工程の中で加工変質層２００を除去することが好ましい。
【００３２】
次に、図６（ａ）に示す工程では、板状部３１の上面並びに突起部３２の上面及び側面に感光性のレジスト３３０を形成し、板状部３１の下面に感光性のレジスト３４０を形成する。レジスト３３０及び３４０としては、例えば、ドライフィルムレジストや電着レジスト等を用いることができる。そして、図６（ｂ）に示す工程では、レジスト３３０及び３４０を露光及び現像し、開口部３３０ｘ、３４０ｘ、及び３４０ｙを形成する。開口部３３０ｘは、突起部３２の上面（接続端子３２１の上面）を露出するように形成する。又、開口部３４０ｘは、接続端子３２１の下面を露出するように形成する。開口部３４０ｙは、チップ搭載部３１１の下面を露出するように形成する。
【００３３】
次に、図６（ｃ）に示す工程では、開口部３３０ｘ内に露出する突起部３２の上面（接続端子３２１の上面）に金属膜３４を、開口部３４０ｘ内に露出する接続端子３２１の下面に金属膜３５を形成する。金属膜３５は、板状部３１の下面の、金属膜３４と平面視で重複する領域に形成される。又、開口部３４０ｙ内に露出するチップ搭載部３１１の下面に金属膜３３を形成する。
【００３４】
金属膜３３、３４、及び３５の材料は、前述の通りである。金属膜３３、３４、及び３５は、例えば、板状部３１を給電経路とする電解めっき法により形成できる。なお、板状部３１の下面は加工変質層２００が存在していない加工変質層非形成領域であるため、良好に電解めっき膜を形成することができる。
【００３５】
次に、図６（ｄ）に示す工程では、図６（ｃ）に示すレジスト３３０及び３４０を除去する。これにより、単位リードフレーム３０が行列状に配置されたリードフレーム１（図１参照）が完成する。
【００３６】
引き続き、単位リードフレーム３０に半導体チップを搭載して半導体装置を作製する工程について説明する。まず、図７（ａ）に示す工程では、各単位リードフレーム３０のチップ搭載部３１１の上面に半導体チップ４０をフェイスアップ状態で搭載する。半導体チップ４０は、例えば、ダイアタッチフィルム等の接着材５０を介してチップ搭載部３１１の上面に搭載（ダイボンディング）することができる。この場合、所定の温度に加熱してダイアタッチフィルムを硬化させる。接着材５０として、ダイアタッチフィルム等のフィルム状の接着材に代えて、ペースト状の接着材を用いてもよい。そして、半導体チップ４０の回路形成面側に形成された電極端子４１を、金線や銅線等である金属線６０を介して、金属膜３４と電気的に接続する。金属線６０は、例えば、ワイヤボンディング法により、半導体チップ４０の電極端子４１及び金属膜３４と接続できる。
【００３７】
なお、加工変質層２００が存在している加工変質層形成領域は、加工変質層２００が存在していない加工変質層非形成領域よりも硬度が高い。そのため、ワイヤボンディングする金属膜３４の下層に加工変質層２００が存在していることにより、突起部３２の先端側の硬度が高くなるため、ワイヤボンディングを行う際にワイヤボンディング性を維持できる点で有利である。
【００３８】
次に、図７（ｂ）に示す工程では、各単位リードフレーム３０、半導体チップ４０、及び金属線６０を封止する樹脂部７０を形成する。樹脂部７０としては、例えば、エポキシ樹脂にフィラーを含有させた所謂モールド樹脂等を用いることができる。樹脂部７０は、例えば、トランスファーモールド法やコンプレッションモールド法等により形成できる。
【００３９】
次に、図７（ｃ）に示す工程では、各単位リードフレーム３０を下面側からエッチング（例えば、ウェットエッチング）する。この時、金属膜３３及び３５（Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕめっき膜等）に対して板状部３１（Ｃｕ等）を選択的に除去できるエッチング液を選択することにより、金属膜３３及び３５がエッチングマスクとして機能する。そのため、金属膜３３及び３５が形成されていない領域の板状部３１のみがエッチングされ、チップ搭載部３１１（ダイパッド）と複数の接続端子３２１（リード）が独立すると共に樹脂部７０の下面から突出する（エッチバック工程）。
【００４０】
次に、図７（ｄ）に示す工程では、図７（ｃ）に示す構造体を切断位置Ｃで切断して個片化することにより、複数の半導体装置２が完成する。切断は、例えば、スライサー等により実行できる。
【００４１】
なお、半導体装置２を１つの製品として出荷してもよいし、図１及び図２に示した個片化前のリードフレーム１を１つの製品として出荷してもよい。後者の場合には、リードフレーム１を製品として入手した者が図７に示す各工程を実行し、複数の半導体装置２を作製することができる。
【００４２】
〈第１の実施の形態の変形例１〉
第１の実施の形態の変形例１では、第１の実施の形態とは金属膜の形成領域が異なるリードフレームの例を示す。なお、第１の実施の形態の変形例１において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００４３】
図８は、第１の実施の形態の変形例１に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する図であり、図８（ａ）は平面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【００４４】
図８を参照するに、単位リードフレーム３０Ａは、チップ搭載部３１１の下面に金属膜３３が形成されていない点が単位リードフレーム３０（図２参照）と相違する。
【００４５】
図９は、第１の実施の形態の変形例１に係るリードフレームの製造工程を例示する図であり、図８（ｂ）に対応する断面を示している。単位リードフレーム３０Ａが行列状に配置されたリードフレーム１を作製するには、まず、第１の実施の形態の図４（ａ）〜図６（ａ）と同様の工程を実行する。
【００４６】
次に、図９（ａ）に示す工程では、レジスト３３０及び３４０を露光及び現像し、開口部３３０ｘ及び３４０ｘを形成する（図６（ｂ）に示す開口部３４０ｙは形成しない）。開口部３３０ｘは、突起部３２の上面（接続端子３２１の上面）を露出するように形成する。又、開口部３４０ｘは、接続端子３２１の下面を露出するように形成する。
【００４７】
次に、図９（ｂ）に示す工程では、開口部３３０ｘ内に露出する突起部３２の上面（接続端子３２１の上面）に金属膜３４を、開口部３４０ｘ内に露出する接続端子３２１の下面に金属膜３５を形成する。金属膜３４及び３５の材料や形成方法は、例えば、第１の実施の形態と同様とすることができる。
【００４８】
次に、図９（ｃ）に示す工程では、図９（ｂ）に示すレジスト３３０及び３４０を除去する。これにより、単位リードフレーム３０Ａが行列状に配置されたリードフレーム１（図１参照）が完成する。
【００４９】
引き続き、単位リードフレーム３０Ａに半導体チップを搭載して半導体装置を作製する工程について説明する。まず、第１の実施の形態の図７（ａ）と同様の工程を実行後、図１０（ａ）に示す工程では、各単位リードフレーム３０Ａ、半導体チップ４０、及び金属線６０を封止する樹脂部７０を形成する。樹脂部７０としては、例えば、エポキシ樹脂にフィラーを含有させた所謂モールド樹脂等を用いることができる。樹脂部７０は、例えば、トランスファーモールド法やコンプレッションモールド法等により形成できる。
【００５０】
次に、図１０（ｂ）に示す工程では、各単位リードフレーム３０Ａを下面側からエッチング（例えば、ウェットエッチング）する。この時、金属膜３５（Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕめっき膜等）に対して板状部３１（Ｃｕ等）を選択的に除去できるエッチング液を選択することにより、金属膜３５がエッチングマスクとして機能する。そのため、金属膜３５が形成されていない領域の板状部３１のみがエッチングされ、複数の接続端子３２１（リード）が独立すると共に樹脂部７０の下面から突出する（エッチバック工程）。なお、チップ搭載部３１１の下面に金属膜３３が形成されていないため、チップ搭載部３１１もエッチングにより除去され、接着材５０の下面が樹脂部７０から露出する。接着材５０の下面と樹脂部７０の下面は、例えば、面一とすることができる。
【００５１】
次に、図１０（ｃ）に示す工程では、図１０（ｂ）に示す構造体を切断位置Ｃで切断して個片化することにより、複数の半導体装置２Ａが完成する。切断は、例えば、スライサー等により実行できる。
【００５２】
なお、単位リードフレーム３０Ａに半導体チップを搭載して下記のような半導体装置を作製してもよい。
【００５３】
まず、図１１（ａ）に示す工程では、各単位リードフレーム３０Ａ上に半導体チップ４０をフェイスダウン状態で搭載する。具体的には、半導体チップ４０の回路形成面側に形成された電極端子４１を、はんだバンプ８０を介して、接続端子３２１の上面に形成された金属膜３４と電気的に接続する。
【００５４】
次に、図１１（ｂ）に示す工程では、各単位リードフレーム３０Ａ、半導体チップ４０、及びはんだバンプ８０を封止する樹脂部７０を形成する。樹脂部７０としては、例えば、エポキシ樹脂にフィラーを含有させた所謂モールド樹脂等を用いることができる。樹脂部７０は、例えば、トランスファーモールド法やコンプレッションモールド法等により形成できる。なお、樹脂部７０は、半導体チップ４０の裏面全面を露出するように形成してもよいし、半導体チップ４０の裏面の一部又は全部を被覆するように形成してもよい。
【００５５】
次に、図１１（ｃ）に示す工程では、各単位リードフレーム３０Ａを下面側からエッチング（例えば、ウェットエッチング）する。この時、金属膜３５（Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕめっき膜等）に対して板状部３１（Ｃｕ等）を選択的に除去できるエッチング液を選択することにより、金属膜３５がエッチングマスクとして機能する。そのため、金属膜３５が形成されていない領域の板状部３１のみがエッチングされ、複数の接続端子３２１（リード）が独立すると共に樹脂部７０の下面から突出する（エッチバック工程）。なお、チップ搭載部３１１の下面に金属膜３３が形成されていないため、チップ搭載部３１１もエッチングにより除去される。
【００５６】
次に、図１１（ｄ）に示す工程では、図１１（ｃ）に示す構造体を切断位置Ｃで切断して個片化することにより、複数の半導体装置２Ｂが完成する。切断は、例えば、スライサー等により実行できる。
【００５７】
このように、単位リードフレーム３０Ａに半導体チップ４０をフリップチップ実装した半導体装置２Ｂを実現できる。
【００５８】
〈第１の実施の形態の変形例２〉
第１の実施の形態の変形例２では、第１の実施の形態の変形例１の製造工程の順番を変更する例を示す。なお、第１の実施の形態の変形例２において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００５９】
図１２及び図１３は、第１の実施の形態の変形例２に係るリードフレームの製造工程を例示する図であり、図８（ｂ）に対応する断面を示している。
【００６０】
まず、図１２（ａ）に示す工程では、図５（ａ）に示す工程と同様に、図４（ｄ）に示すレジスト３００及び３１０を除去する。次に、図１２（ｂ）に示す工程では、図６（ａ）に示す工程と同様にして、板状部３１の上面並びに突起部３２の上面及び側面に感光性のレジスト３３０を形成し、板状部３１の下面に感光性のレジスト３４０を形成する。レジスト３３０及び３４０としては、例えば、ドライフィルムレジストや電着レジスト等を用いることができる。
【００６１】
次に、図１２（ｃ）に示す工程では、図９（ａ）に示す工程と同様にして、レジスト３３０及び３４０を露光及び現像し、開口部３３０ｘ及び３４０ｘを形成する（図６（ｂ）に示す開口部３４０ｙは形成しない）。開口部３３０ｘは、突起部３２の上面（接続端子３２１の上面）を露出するように形成する。又、開口部３４０ｘは、接続端子３２１の下面を露出するように形成する。
【００６２】
次に、図１２（ｄ）に示す工程では、図９（ｂ）に示す工程と同様にして、開口部３３０ｘ内に露出する突起部３２の上面（接続端子３２１の上面）に金属膜３４を、開口部３４０ｘ内に露出する接続端子３２１の下面に金属膜３５を形成する。金属膜３４及び３５の材料や形成方法は、例えば、第１の実施の形態と同様とすることができる。次に、図１３（ａ）に示す工程では、図９（ｃ）に示す工程と同様にして、図１２（ｄ）に示すレジスト３３０及び３４０を除去する。
【００６３】
次に、図１３（ｂ）に示す工程では、図５（ｂ）に示す工程と同様にして、板状部３１の上面側を被覆するレジスト３２０を形成する。レジスト３２０としては、例えば、ドライフィルムレジストや電着レジスト等を用いることができる。次に、図１３（ｃ）に示す工程では、図５（ｃ）に示す工程と同様にして、板状部３１の下面をソフトエッチングし、板状部３１の下面の金属膜３５に被覆されていない領域に存在する加工変質層２００を除去する。次に、図１３（ｄ）に示す工程では、レジスト３２０を除去する。これにより、単位リードフレーム３０Ａが行列状に配置されたリードフレーム１（図１参照）が完成する。
【００６４】
このように、金属膜３４及び３５を形成する工程よりも後に、加工変質層２００を除去する工程を実行し、板状部３１の下面の金属膜３５が形成されていない領域の加工変質層２００を除去してもよい。このように、加工変質層２００を除去する工程の順番を変えることで、製造工程の選択幅を広げることができる。この工程順を採用した場合にも、板状部３１の上面側と下面側とで加工変質層形成領域の面積が近似するため、加工変質層２００の残留応力のバランスが保たれ、リードフレーム１の反りを抑制することができる。
【００６５】
〈第２の実施の形態〉
第２の実施の形態では、第１の実施の形態とはタイプの異なるリードフレームの例を示す。なお、第２の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００６６】
図１４〜図１６は、第２の実施の形態に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する図であり、図１４（ａ）は平面図、図１４（ｂ）は底面図である。又、図１５（ａ）は図１４（ａ）のＸ１−Ｘ１断面図、図１５（ｂ）は図１４（ａ）のＸ２−Ｘ２断面図である。又、図１６（ａ）は図１４（ａ）のＹ１−Ｙ１断面図、図１６（ｂ）は図１４（ａ）のＹ２−Ｙ２断面図、図１６（ｃ）は図１４（ａ）のＹ３−Ｙ３断面図、図１６（ｄ）は図１４（ａ）のＹ４−Ｙ４断面図、図１６（ｅ）は図１４（ａ）のＹ５−Ｙ５断面図である。なお、リードフレームの全体構造は図１と同様であるため、図示は省略する。
【００６７】
図１４〜図１６を参照するに、単位リードフレーム９０は、枠部９１と、第１リード９２と、第１接続端子９３と、第２リード９４と、第２接続端子９５とを有している。単位リードフレーム９０は、所謂ＤＲ−ＱＦＮ（Dual Raw Quad Flat Non-leaded Package）であり、接続端子を２列に配列して多ピン化に対応させたパッケージである。なお、第１リード９２及び第２リード９４は本発明に係る板状部の代表的な一例であり、第１接続端子９３及び第２接続端子９５は本発明に係る突起部の代表的な一例である。
【００６８】
枠部９１は例えば額縁状に形成されており、平面視において、枠部９１の内側の所定領域から枠部９１の中心部に向かって、細長状の第１リード９２及び第２リード９４が交互に設けられている。なお、隣接する第１リード９２と第２リード９４とは、半導体装置（後述）の製造工程において枠部９１に近い側で切断され、互いに電気的に絶縁される。
【００６９】
第１リード９２及び第２リード９４の下面側の所定領域は、ハーフエッチングされている（図１４（ｂ）の梨地模様で示した領域）。言い換えれば、第１リード９２の下面のハーフエッチングされていない領域には第１接続端子９３が突起し、第２リード９４の下面のハーフエッチングされていない領域には第２接続端子９５が突起している。第１接続端子９３と第２接続端子９５は、枠部９１に近い側と遠い側に位置するように、全周にわたって千鳥状に配置されている。
【００７０】
第１リード９２及び第２リード９４の上面の先端側には、金属膜９６が形成されている。金属膜９６は、半導体装置の製造工程において、ボンディングワイヤが接続される領域、又はフリップチップ接続される領域となる。第１接続端子９３と第２接続端子９５の下面には、金属膜９７が形成されている。金属膜９６及び９７としては、例えば、金属膜３３〜３５として例示した膜を用いることができる。
【００７１】
第１リード９２及び第２リード９４の上面の全面、及び第１リード９２及び第２リード９４の下面のハーフエッチングされた領域は、表層に加工変質層２００が形成されていない加工変質層非形成領域である。一方、枠部９１の下面、第１接続端子９３の下面、及び第２接続端子９５の下面は、表層に加工変質層２００が形成された加工変質層形成領域である。
【００７２】
単位リードフレーム９０では、枠部９１、第１リード９２及び第２リード９４、並びに第１接続端子９３及び第２接続端子９５の上面側と下面側とで加工変質層形成領域の面積が近似するため、加工変質層２００の残留応力のバランスが保たれ、反りを抑制することができる。
【００７３】
［リードフレームの製造方法］
次に、第２の実施の形態に係るリードフレームの製造方法について、単位リードフレーム９０を図示しながら説明する。図１７〜図２２は、第２の実施の形態に係るリードフレームの製造工程を例示する図である。
【００７４】
なお、図１７（ａ）及び図１７（ｂ）、図１７（ｃ）及び図１７（ｄ）、図１９（ａ）及び図１９（ｂ）、図１９（ｃ）及び図１９（ｄ）、図２０（ａ）及び図２０（ｂ）、図２０（ｃ）及び図２０（ｄ）、図２１（ａ）及び図２１（ｂ）、並びに図２２（ｃ）及び図２２（ｄ）は、図１５（ａ）及び図１５（ｂ）に対応する断面を示している。又、図１８（ａ）〜図１８（ｅ）は、図１６（ａ）〜図１６（ｅ）に対応する断面を示している。
【００７５】
まず、図１７（ａ）及び図１７（ｂ）に示す工程では、所定形状の金属製の板材１０Ｂを準備する。板材１０Ｂの材料としては、例えば、銅（Ｃｕ）、Ｃｕをベースにした合金、鉄−ニッケル（Ｆｅ−Ｎｉ）、Ｆｅ−Ｎｉをベースにした合金、又はステンレス等を用いることができる。板材１０Ｂの厚さは、例えば、１００〜２００μｍ程度とすることができる。板材１０Ｂの上面の全面及び下面の全面には、加工変質層２００が存在している。加工変質層２００の厚さは、例えば、数μｍ程度である。
【００７６】
そして、板材１０Ｂの上面の全面に感光性のレジスト３５０を形成し、板材１０Ｂの下面の全面に感光性のレジスト３６０を形成し、レジスト３５０及び３６０を露光及び現像して図１７（ａ）及び図１７（ｂ）に示すようにパターニングする。レジスト３５０及び３６０としては、例えば、ドライフィルムレジストや電着レジスト等を用いることができる。Ｈは、ハーフエッチングされる領域を示している。
【００７７】
次に、図１７（ｃ）及び図１７（ｄ）並びに図１８（ａ）〜図１８（ｅ）に示す工程では、レジスト３５０及び３６０をエッチングマスクとして板材１０Ｂを両面側からハーフエッチングする。レジスト３５０及び３６０が共に形成されない領域は、両面側からハーフエッチングされて貫通する。又、レジスト３５０に被覆されレジスト３６０に被覆されてない領域（Ｈで示す領域）が板材１０Ｂの下面側からハーフエッチングされ、枠部９１、第１リード９２、第１接続端子９３、第２リード９４、及び第２接続端子９５が形成される。
【００７８】
次に、図１９（ａ）及び図１９（ｂ）に示す工程では、図１７（ｃ）及び図１７（ｄ）並びに図１８（ａ）〜図１８（ｅ）に示すレジスト３５０及び３６０を除去する。次に、図１９（ｃ）及び図１９（ｄ）に示す工程では、枠部９１、第１リード９２、第１接続端子９３、第２リード９４、及び第２接続端子９５の下面側を被覆するレジスト３７０を形成する。レジスト３７０としては、例えば、ドライフィルムレジストや電着レジスト等を用いることができる。
【００７９】
次に、図２０（ａ）及び図２０（ｂ）に示す工程では、枠部９１、第１リード９２、第１接続端子９３、第２リード９４、及び第２接続端子９５の上面をソフトエッチングし、枠部９１、第１リード９２、第１接続端子９３、第２リード９４、及び第２接続端子９５の上面に存在する加工変質層２００を除去する。ソフトエッチングは、例えば、塩化第二銅水溶液を用いたウェットエッチングにより行うことができる。次に、図２０（ｃ）及び図２０（ｄ）では、図２０（ａ）及び図２０（ｂ）に示すレジスト３７０を除去する。
【００８０】
次に、図２１（ａ）及び図２１（ｂ）に示す工程では、枠部９１、第１リード９２、第１接続端子９３、第２リード９４、及び第２接続端子９５の表面（上面、側面、及び下面）に感光性のレジスト３８０を形成する。レジスト３８０としては、例えば、ドライフィルムレジストや電着レジスト等を用いることができる。そして、図２１（ｃ）及び図２１（ｄ）に示す工程では、レジスト３８０を露光及び現像し、開口部３８０ｘ及び３８０ｙを形成する。開口部３８０ｘは、第１リード９２、及び第２リード９４の上面の金属膜９６を形成する領域を露出するように形成する。又、開口部３８０ｙは、第１接続端子９３及び第２接続端子９５の下面の金属膜９７を形成する領域を露出するように形成する。
【００８１】
次に、図２２（ａ）及び図２２（ｂ）に示す工程では、開口部３８０ｘ内に露出する第１リード９２、及び第２リード９４の上面に金属膜９６を、開口部３８０ｙ内に露出する第１接続端子９３及び第２接続端子９５の下面に金属膜９７を形成する。金属膜９６及び９７としては、例えば、金属膜３３〜３５として例示した膜を用いることができる。金属膜９６及び９７は、例えば、枠部９１、第１リード９２、第１接続端子９３、第２リード９４、及び第２接続端子９５を給電経路とする電解めっき法により形成できる。
【００８２】
次に、図２２（ｃ）及び図２２（ｄ）に示す工程では、図２２（ａ）及び図２２（ｂ）に示すレジスト３８０を除去する。これにより、単位リードフレーム９０が行列状に配置されたリードフレーム１が完成する。
【００８３】
引き続き、単位リードフレーム９０に半導体チップを搭載して半導体装置を作製する工程について説明する。なお、図２３（ａ）〜図２３（ｃ）は図１５（ａ）に対応する断面を示しており、図２３（ｄ）は図１５（ｂ）に対応する断面を示している。
【００８４】
まず、図２３（ａ）に示す工程では、各単位リードフレーム９０上に半導体チップ４０をフェイスダウン状態で搭載する。具体的には、半導体チップ４０の回路形成面側に形成された電極端子４１を、はんだバンプ８０を介して、第１リード９２及び第２リード９４の上面に形成された金属膜９６と電気的に接続する。
【００８５】
次に、図２３（ｂ）に示す工程では、各単位リードフレーム９０、半導体チップ４０、及びはんだバンプ８０を封止する樹脂部７０を形成する。樹脂部７０としては、例えば、エポキシ樹脂にフィラーを含有させた所謂モールド樹脂等を用いることができる。樹脂部７０は、例えば、トランスファーモールド法やコンプレッションモールド法等により形成できる。なお、樹脂部７０は、半導体チップ４０の裏面全面を露出するように形成してもよいし、半導体チップ４０の裏面の一部又は全部を被覆するように形成してもよい。
【００８６】
次に、図２３（ｃ）及び図２３（ｄ）に示す工程では、図２３（ｂ）に示す構造体を切断位置Ｃで切断して個片化することにより、複数の半導体装置２Ｃが完成する。切断は、例えば、スライサー等により実行できる。
【００８７】
このように、単位リードフレーム９０に半導体チップ４０をフリップチップ実装した半導体装置２Ｃを実現できる。図２４に示すように、半導体装置２Ｃの下面において、樹脂部７０の下面から第１接続端子９３及び第２接続端子９５の下面に形成された金属膜９７が露出する。金属膜９７は、外部接続端子として用いることができる。
【００８８】
〈第２の実施の形態の変形例〉
第２の実施の形態の変形例では、枠部９１の下面側をハーフエッチングしたリードフレームの例を示す。なお、第２の実施の形態の変形例において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００８９】
図２５は、第２の実施の形態の変形例に係るリードフレームを構成する単位リードフレームを例示する図であり、図１５に対応する断面を示している。なお、平面図は図１４と同様であり、Ｙ１−Ｙ１〜Ｙ５−Ｙ５断面図は図１６と同様であるため、図示は省略する。
【００９０】
図２５を参照するに、単位リードフレーム９０Ａは、枠部９１の下面側がハーフエッチングされている点が、単位リードフレーム９０（図１５等参照）と相違する。
【００９１】
枠部９１の下面側は、図１７（ａ）及び図１７（ｂ）に示す工程において、枠部９１の下面側も露出するようにレジスト３６０をパターニングし、図１７（ｃ）及び図１７（ｄ）並びに図１８（ａ）〜図１８（ｅ）に示す工程でハーフエッチングすることができる。
【００９２】
単位リードフレーム９０Ａでは、枠部９１の下面側がハーフエッチングされていることで、枠部９１が薄くなると共に、枠部９１の下面に形成されていた加工変質層２００（図１５等参照）も除去される。そのため、枠部９１、第１リード９２及び第２リード９４、並びに第１接続端子９３及び第２接続端子９５の上面側と下面側とで、より一層加工変質層形成領域の面積が近似するため、加工変質層２００の残留応力のバランスがより一層保たれ、反りをより一層抑制することができる。
【００９３】
［実施例］
Ｃ１９４材で作製された縦８０ｍｍ×横２５０ｍｍ×厚さ０．１２７ｍｍの板材を準備し、第１の実施の形態の図４（ａ）〜図５（ｂ）の工程を実行した。そして、図５（ｃ）の工程として、図５（ｂ）に示す構造体を常温において塩化第二銅水溶液からなる化学研磨液に２０秒浸漬させ、板状部３１の下面側の表層に形成された加工変質層２００を除去した。その後、塩酸洗浄及び水洗を実施し、レジスト３２０を剥離した。更に、硫酸洗浄及び水洗を実施後、乾燥させて、図５（ｄ）に示す構造体を得た。なお、図５（ｄ）に示す構造体は、６個作製した。
【００９４】
又、比較例として、６個のサンプルを作製した。比較例の各サンプルは、図５（ｃ）の工程（板状部３１下面側の加工変質層２００の除去）を実行しなかった以外は、実施例と同様の工程を実行して作製した。
【００９５】
実施例及び比較例の各サンプルを、凸側を下にして順番に定盤上に配置し、端部の反り量（定盤からの浮き量）を非接触段差測定器（光学式焦点位置検出方式の顕微鏡）を用いて測定した。結果を表１に示す。
【００９６】
【表１】
2019047064.tif 000003
表１に示すように、実施例の６サンプルでは、反り量の最大値が１．０ｍｍ、最小値が０ｍｍ、平均値が０．２５ｍｍであった。これに対して、比較例の６サンプルでは、反り量の最大値が３．５ｍｍ、最小値が１．０ｍｍ、平均値が１．７５ｍｍであった。
【００９７】
実施例では、板状部３１下面側の加工変質層２００の除去を行ったことにより、板状部３１の上面側と下面側とで加工変質層形成領域の面積が近似し、加工変質層２００の残留応力のバランスが保たれ、比較例よりも反りを抑制できたと考えられる。
【００９８】
以上、好ましい実施の形態等について詳説したが、上述した実施の形態等に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態等に種々の変形及び置換を加えることができる。
【符号の説明】
【００９９】
１  リードフレーム
２、２Ａ、２Ｂ、２Ｃ  半導体装置
１０  基板フレーム
１０ｘ  スリット
２０  単位リードフレーム群
３０、３０Ａ、９０、９０Ａ  単位リードフレーム
３１  板状部
３２  突起部
３３、３４、３５、９６、９７  金属膜
４０  半導体チップ
４１  電極端子
５０  接着材
６０  金属線
７０  樹脂部
８０  はんだバンプ
９１  枠部
９２  第１リード
９３  第１接続端子
９４  第２リード
９５  第２接続端子
２００  加工変質層
２１０  ベイルビー層
２２０  微細結晶層
３１１  チップ搭載部
３２１  接続端子
【図１】
2019047064.tif 000004
【図２】
2019047064.tif 000005
【図３】
2019047064.tif 000006
【図４】
2019047064.tif 000007
【図５】
2019047064.tif 000008
【図６】
2019047064.tif 000009
【図７】
2019047064.tif 000010
【図８】
2019047064.tif 000011
【図９】
2019047064.tif 000012
【図１０】
2019047064.tif 000013
【図１１】
2019047064.tif 000014
【図１２】
2019047064.tif 000015
【図１３】
2019047064.tif 000016
【図１４】
2019047064.tif 000017
【図１５】
2019047064.tif 000018
【図１６】
2019047064.tif 000019
【図１７】
2019047064.tif 000020
【図１８】
2019047064.tif 000021
【図１９】
2019047064.tif 000022
【図２０】
2019047064.tif 000023
【図２１】
2019047064.tif 000024
【図２２】
2019047064.tif 000025
【図２３】
2019047064.tif 000026
【図２４】
2019047064.tif 000027
【図２５】
2019047064.tif 000028