(57)【要約】  【課題】スリットからの流体の噴出分布を柔軟かつ簡易に調整することができる流体スリットノズルを提供する。  【解決手段】流体スリットノズル１は、流体をスリット２３から噴射するものであり、上面にチャンバ２２が長手方向に沿って形成され、下面にチャンバ２２に繋がるスリット２３が長手方向に沿って形成されたノズル本体２と、ノズル本体２の上面に配置されてチャンバ２２を塞ぐとともに、チャンバ２２に流体を供給する流体供給口３１が形成された蓋３と、を備えている。ノズル本体２のチャンバ２２の両側面には、スリット２３を横切るように配置されてチャンバ２２を長手方向に仕切る仕切り板５を装着するための複数組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃが、長手方向に配列されている。【選択図】図１
2019051456.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体をスリットから噴射する流体スリットノズルであって、
上面にチャンバが長手方向に沿って形成され、下面に前記チャンバに繋がる前記スリットが長手方向に沿って形成されたノズル本体と、
前記ノズル本体の上面に配置されて前記チャンバを塞ぐとともに、前記チャンバに流体を供給する流体供給口が形成された蓋と、を備え、
前記ノズル本体は、
前記チャンバの両側面に形成され、前記スリットを横切る位置に配置されて前記チャンバを仕切る仕切り板を装着するための仕切り板装着溝を有する
ことを特徴とする流体スリットノズル。
【請求項２】
請求項１に記載の流体スリットノズルであって、
前記仕切り板装着溝は、長手方向における前記チャンバの両側面の複数位置に形成されている
ことを特徴する流体スリットノズル。
【請求項３】
請求項１または２に記載の流体スリットノズルであって、
前記流体供給口は、
前記蓋の長手方向における一方の端部に形成されている
ことを特徴する流体スリットノズル。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の流体スリットノズルであって、
前記仕切り板をさらに備える
ことを特徴とする流体スリットノズル。
【請求項５】
請求項４に記載の流体スリットノズルであって、
前記仕切り板は、
当該仕切り板によって仕切られた前記チャンバの２つのエリアを繋ぐ連通路として機能するオリフィスを有する
ことを特徴とする流体スリットノズル。
【請求項６】
請求項４に記載の流体スリットノズルであって、
前記仕切り板の高さは、前記チャンバの深さより低く、
前記仕切り板と前記蓋との間に形成される隙間が、当該仕切り板によって仕切られた前記チャンバの２つのエリアを繋ぐ連通路として機能する
ことを特徴とする流体スリットノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体をスリットから噴射する流体スリットノズルに関し、特に、半導体、液晶等の製造プロセスにおいて、気体、流体、それらの混合流体を処理対象に吹き付けるのに好適な流体スリットノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体をスリットからライン状に噴射する流体スリットノズルとして、スリットが設けられた外側パイプの内部に、スリットが設けられた内側パイプを収容し、内側パイプに供給された流体を、内側パイプのスリットから噴出して外側パイプに供給し、さらに外側パイプのスリットから噴出するタイプ（例えば特許文献１）、および、２枚のプレートの合わせ面の少なくとも一方を加工して、両者の合わせ面を突き合わせて接合することにより、チャンバおよびチャンバに繋がるスリットを形成し、チャンバに供給された流体をスリットから噴出するタイプ（例えば特許文献２）が知られている。以下において、前者タイプを二重パイプ方式と呼び、後者タイプを合わせプレート方式と呼ぶ。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−３３４３３４号公報
【特許文献２】特開２０００−７０８１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、流体を吹き付ける処理対象のサイズあるいは処理対象と流体スリットノズルとの位置関係等に応じて、流体スリットノズルのスリットからの流体の噴出分布を調整したい場合がある。しかしながら、従来の流体スリットノズルは、二重パイプ方式および合わせプレート方式のいずれも、スリット全長にわたり噴出流体の流速分布が均等となるように設計されており、作製後に、例えば処理対象に合わせて、スリットからの流体の噴出分布を柔軟に調整することが困難であった。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、スリットからの流体の噴出分布を柔軟かつ簡単に調整することができる流体スリットノズルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、上面にチャンバが長手方向に沿って形成され、下面にこのチャンバに繋がるスリットが長手方向に沿って形成されたノズル本体と、ノズル本体の上面に取り外し可能に配置されて、ノズル本体のチャンバを塞ぐ蓋と、を有する。蓋には、ノズル本体のチャンバに繋がる流体供給口が形成されており、この流体供給口を介してチャンバに供給された流体がスリットから外部に噴出する。チャンバの両側面には、スリットを横切るようにチャンバ内に配置される仕切り板が着脱可能に装着される仕切り板装着溝が形成されており、この仕切り板装着溝に仕切り板を装着することにより、流体が供給されるチャンバ内のエリアを制限することができる。ここで、オリフィスが形成された仕切り板、および／または、チャンバの深さより低い高さの仕切り板を用意し、所望の仕切り板を仕切り板装着溝に装着することにより、スリットからの流体の噴出し流量を調節することができる。
【０００７】
例えば、本発明は、
流体をスリットから噴射する流体スリットノズルであって、
上面にチャンバが長手方向に沿って形成され、下面に前記チャンバに繋がる前記スリットが長手方向に沿って形成されたノズル本体と、
前記ノズル本体の上面に取り外し可能に配置されて、前記チャンバを塞ぐとともに、前記チャンバに流体を供給する供給口が形成された蓋と、を備え、
前記ノズル本体は、
前記チャンバの両側面に形成され、前記スリットを横切る位置に配置されて前記チャンバを仕切る仕切り板を装着するための仕切り板装着溝を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、ノズル本体のチャンバの両側面に形成された仕切り板装着溝に仕切り板を装着して、流体が供給されるチャンバのエリアを限定することにより、スリットが流体を噴出するエリアを限定して、スリットからの流体の噴出分布を調整することができる。あるいは、オリフィスが形成された仕切り板、および／または、チャンバの深さより低い高さの仕切り板を用意し、所望の仕切り板を仕切り板装着溝に装着することにより、スリットからの流体の噴出し流量を調整することができる。また、ノズル完成後であっても、ノズル本体の上面から蓋を取り外して仕切り板を交換あるいは仕切り板の位置を変更する簡易な作業により、スリットからの流体の噴出分布を簡単に調整することもできる。したがって、本発明によれば、スリットからの流体の噴出分布を柔軟かつ簡易に調整することができる流体スリットノズルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１（Ａ）および図１（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１の上面図および底面図であり、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）に示す流体スリットノズル１のＡ−Ａ断面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１の部品展開図である。
【図３】図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１のノズル本体２の上面図および下面図であり、図３（Ｃ）は、図３（Ａ）に示すノズル本体２のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】図４（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１の蓋３の上面図であり、図４（Ｂ）および図４（Ｃ）は、図４（Ａ）に示す蓋３のＣ−Ｃ断面図およびＤ−Ｄ断面図である。
【図５】図５（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１の供給パイプ４の正面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）に示す供給パイプ４のＥ−Ｅ断面図である。
【図６】図６（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１に使用可能な第１タイプの仕切り板５ａの正面図であり、図６（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１に使用可能な第２タイプの仕切り板５ｂの正面図であり、図６（Ｃ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１に使用可能な第３タイプの仕切り板５ｃの正面図である。
【図７】図７（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１のいずれの装着溝２４ａ〜２４ｃにも仕切り板５が装着されていない場合におけるスリット２３からの流体の噴出分布を説明するための図であり、図７（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１の装着溝２４ｂに第１タイプの仕切り板５ａが装着されている場合におけるスリット２３からの流体の噴出分布を説明するための図である。
【図８】図８（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１の装着溝２４ａに第１タイプの仕切り板５ａが装着されている場合におけるスリット２３からの流体の噴出分布を説明するための図であり、図８（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１の装着溝２４ｃに第１タイプの仕切り板５ａが装着されている場合におけるスリット２３からの流体の噴出分布を説明するための図である。
【図９】図９（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１の装着溝２４ｂに第２タイプの仕切り板５ｂが装着されている場合におけるスリット２３からの流体の噴出分布を説明するための図であり、図９（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１のすべての装着溝２４ａ〜２４ｂに第２タイプの仕切り板５ｂが装着されている場合におけるスリット２３からの流体の噴出分布を説明するための図である。
【図１０】図１０（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１の装着溝２４ｂに第３タイプの仕切り板５ｃが装着されている場合におけるスリット２３からの流体の噴出分布を説明するための図であり、図１０（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１のすべての装着溝２４ａ〜２４ｂに第３タイプの仕切り板５ｃが装着されている場合におけるスリット２３からの流体の噴出分布を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施の形態について説明する。
【００１１】
図１（Ａ）および図１（Ｂ）は、本実施の形態に係る流体スリットノズル１の上面図および底面図であり、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）に示す流体スリットノズル１のＡ−Ａ断面図である。また、図２は、本実施の形態に係る流体スリットノズル１の部品展開図である。
【００１２】
図示するように、本実施の形態に係る流体スリットノズル１は、ノズル本体２と、ノズル本体２の上面２０に装着された蓋３と、蓋３に取り付けられた供給パイプ４と、ノズル本体２内部に着脱可能に取り付けられた仕切り板５と、蓋３をノズル本体２に固定するための複数のネジ６と、を備えている。なお、図１および図２では、一部のネジ６にのみ符号を付している。
【００１３】
図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、流体スリットノズル１のノズル本体２の上面図および下面図であり、図３（Ｃ）は、図３（Ａ）に示すノズル本体２のＢ−Ｂ断面図である。
【００１４】
図示するように、ノズル本体２は、上面２０に長手方向に沿って溝状に形成されたチャンバ２２と、下面２１に長手方向に沿ってライン状に形成され、チャンバ２２に繋がるスリット２３と、チャンバ２２の両側面２２０ａ、２２０ｂの対向位置にそれぞれ形成された仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃと、上面２０に蓋３をネジ止めするための複数のネジ穴２５と、を備えている。
【００１５】
複数組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃは、ノズル本体２の長手方向に所定の間隔で配列されている。各仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃは、ノズル本体２の上面２０側からチャンバ２２の底面まで形成されており、必要に応じて、いずれか一組以上の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃに、ノズル本体２の上面２０側から挿入された仕切り板５が収容される。各ネジ穴２５には、蓋３に設けられた後述の座繰り付き貫通穴３２に挿入されたネジ６がねじ込まれる。なお、図３では、一部のネジ穴２５にのみ符号を付している。
【００１６】
図４（Ａ）は、流体スリットノズル１の蓋３の上面図であり、図４（Ｂ）および図４（Ｃ）は、図４（Ａ）に示す蓋３のＣ−Ｃ断面図およびＤ−Ｄ断面図である。
【００１７】
蓋３は、ノズル本体２のチャンバ２２を塞ぐようにノズル本体２の上面２０に取り外し可能に装着される。図示するように、この蓋３の上面３０には、長手方向の一方の端部３３側に形成され、チャンバ２２に繋がる貫通穴（流体供給口）３１と、蓋３をノズル本体２の上面２０に配置した場合にノズル本体２のネジ穴２５と対応する位置に配された座繰り付き貫通穴３２と、が形成されている。後述するように、蓋３の流体供給口３１には供給パイプ４が接合され、ノズル本体２のチャンバ２２には、蓋３の供給パイプ４および流体供給口３１を介して流体が供給される。また、蓋３の各座繰り付き貫通穴３２には、前述したように、ノズル本体２の上面２０に蓋３を固定するためのネジ６が挿入される。なお、図４では、一部の座繰り付き貫通穴３２にのみ符号を付している。
【００１８】
図５（Ａ）は、流体スリットノズル１の供給パイプ４の正面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）に示す供給パイプ４のＥ−Ｅ断面図である。
【００１９】
図示するように、供給パイプ４は、蓋３の流体供給口３１の直径Ｒ１（図４（Ｂ）参照）と略同じ内径Ｒ２を有する円筒形状部材であり、流体供給口３１と連通するように、蓋３の上面３０に溶接またはロウ付けにより接合される。なお、供給パイプ４の端部には、流体供給管を接続するための継ぎ手が設けられていてもよい。
【００２０】
図６は、流体スリットノズル１に使用可能な仕切り板５の形状例を示した図であり、図６（Ａ）は、第１タイプの仕切り板５ａの正面図であり、図６（Ｂ）は、第２タイプの仕切り板５ｂの正面図であり、図６（Ｃ）は、第３タイプの仕切り板５ｃの正面図である。
【００２１】
仕切り板５は、ノズル本体２のチャンバ２２内に設けられた任意の組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃに着脱可能に装着され、スリット２３を横切るようにノズル本体２のチャンバ２２の長手方向に対して垂直に配置されることにより、ノズル本体２のチャンバ２２を、長手方向に並んだ複数エリアに仕切るものである。このような仕切り板５の例としては、図６（Ａ）に示すように、チャンバ２２の深さＨ１（チャンバ２２の底面から蓋３の裏面までの距離、図３（Ｃ）参照）とほぼ同じ高さＨ２を有し、チャンバ２２内のエリア間の流体の移動を遮断する第１タイプの仕切り板５ａと、図６（Ｂ）に示すように、チャンバ２２の深さＨ１より低い高さＨ３を有し、チャンバ２２内のエリア間の流体移動を許容する隙間を蓋３との間に形成する第２タイプの仕切り板５ｂと、図６（Ｃ）に示すように、チャンバ２２の深さＨ１とほぼ同じ高さＨ２を有し、チャンバ２２内のエリア間の流体移動を許容するオリフィス５０が例えば中央付近に形成された第３タイプの仕切り板５ｃと、が挙げられる。必要に応じて、任意のタイプの仕切り板５ａ〜５ｃが装着溝２４ａ〜２４ｃに装着される。なお、図１では、第１タイプの仕切り板５ａが一組の装着溝２４ｂに装着された場合を例示している。
【００２２】
つぎに、上記構成を有する流体スリットノズル１の作製方法について説明する。
【００２３】
まず、供給パイプ４を、蓋３の上面３０の流体供給口３１に位置付けて、溶接またはロウ付けにより接合する。これより、供給パイプ４を蓋３の流体供給口３１に取り付ける。また、必要に応じて、任意のタイプの仕切り板５ａ〜５ｃを、ノズル本体２のチャンバ２２内に設けられた任意の組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃに装着する。
【００２４】
つぎに、蓋３の流体供給口３１に供給パイプ４が取り付けられた蓋３を、ノズル本体２の上面２０に配置する。それから、ネジ６を、蓋３の複数の座繰り付き貫通穴３２のそれぞれに挿入して、ノズル本体２のネジ穴２５に螺合させる。以上により流体スリットノズル１を組み立てる。
【００２５】
上記構成を有する流体スリットノズル１において、供給パイプ４に供給された流体は、蓋３の流体供給口３１を介して、ノズル本体２のチャンバ２２に供給される。そして、スリット２３から外部に噴出する。この際、ノズル本体２のチャンバ２２内に設けられたいずれの仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃにも仕切り板５が装着されていなければ、所定の流速分布で流体がスリット２３から噴出する。一方、ノズル本体２のチャンバ２２内に設けられたいずれかの組の装着溝２４ａ〜２４ｃに仕切り板５が装着されているならば、装着された仕切り板５のタイプ、および、仕切り板５が装着された仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃの位置に応じて、スリット２３からの流体の噴出分布が調整される。以下、これについて説明する。
【００２６】
図７（Ａ）は、本実施の形態に係る流体スリットノズル１のいずれの装着溝２４ａ〜２４ｃにも仕切り板５が装着されていない場合におけるスリット２３からの流体の噴出分布を説明するための図である。
【００２７】
供給パイプ４および蓋３の流体供給口３１を介して、チャンバ２２の長手方向の一方の端部２２１ａ側に供給された流体Ｆは、チャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂ側（チャンバ２２の末端側）に向かって移動しつつスリット２３から外部に噴出する。この際、チャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂにおける行き止りにより、チャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂ側において、スリット２３から噴出する流体Ｆの圧力が上昇する。このため、図７（Ａ）に示すように、チャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂに近づくほど、スリット２３から噴出する流体Ｆの流速が速くなる。
【００２８】
図７（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１において、配列された三組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃのうち、真ん中に位置する一組の仕切り板装着溝２４ｂに第１タイプの仕切り板５ａが装着されている場合におけるスリット２３からの流体の噴出分布を説明するための図である。
【００２９】
供給パイプ４および蓋３の流体供給口３１を介して、チャンバ２２の長手方向の一方の端部２２１ａに供給された流体Ｆは、チャンバ２２内部を、仕切り板装着溝２４ｂに装着された第１タイプの仕切り板５ａに向かって移動しつつスリット２３から外部に噴出する。この際、仕切り板装着溝２４ｂに装着された第１タイプの仕切り板５ａでチャンバ２２が仕切られて、蓋３の流体供給口３１からの流路が第１タイプの仕切り板５ａで行き止りとなるため、第１タイプの仕切り板５ａ近傍において流体Ｆの圧力が上昇する。
【００３０】
このため、図７（Ｂ）に示すように、第１タイプの仕切り板５ａに近づくほど、スリット２３から噴出する流体Ｆの流速が速くなる。一方、第１タイプの仕切り板５ａによってチャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂ側のエリアへの流体Ｆの移動が遮断されるため、仕切り板装着溝２４ｂよりもチャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂ側においては、スリット２３から流体Ｆが噴出しない。
【００３１】
ここでは、第１タイプの仕切り板５ａを真ん中の仕切り板装着溝２４ｂに装着しているが、第１タイプの仕切り板５ａをいずれの位置の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃに装着するかによって、スリット２３から流体Ｆが噴出するエリアおよびスリット２３から流体Ｆを最も強く噴出するポイントを容易に変更することができる。
【００３２】
例えば、図８（Ａ）に示すように、第１タイプの仕切り板５ａを、三組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃのうち、最も蓋３の流体供給口３１に近い一組の仕切り板装着溝２４ａに装着することにより、第１タイプの仕切り板５ａを真ん中の仕切り板装着溝２４ｂに装着した場合よりも、スリット２３から流体Ｆを噴出するエリアおよびスリット２３から流体Ｆが最も強く噴出するポイントを、チャンバ２２の長手方向の一方の端部２２１ａ側に設定することができる。また、図８（Ｂ）に示すように、第１タイプの仕切り板５ａを、三組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃのうち、最も蓋３の流体供給口３１から遠い一組の仕切り板装着溝２４ｃに装着することにより、第１タイプの仕切り板５ａを真ん中の仕切り板装着溝２４ｂに装着した場合よりも、スリット２３から流体Ｆを噴出するエリアおよびスリット２３から流体Ｆが最も強く噴出するポイントを、チャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂ側に設定することができる。
【００３３】
図９（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１において、配列された三組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃのうち、真ん中に位置する一組の仕切り板装着溝２４ｂに第２タイプの仕切り板５ｂが装着されている場合におけるスリット２３からの流体の噴出分布を説明するための図である。
【００３４】
供給パイプ４および蓋３の流体供給口３１を介して、チャンバ２２の長手方向の一方の端部２２１ａに供給された流体Ｆは、チャンバ２２内部を、仕切り板装着溝２４ｂに装着された第２タイプの仕切り板５ｂに向かって移動しつつ、その一部がスリット２３から外部に噴出する。この際、仕切り板装着溝２４ｂに装着された第２タイプの仕切り板５ｂでチャンバ２２が仕切られて、蓋３の流体供給口３１からの流路が第２タイプの仕切り板５ｂでほぼ行き止まり状態となり、第２タイプの仕切り板５ｂ近傍において流体Ｆの圧力が高まる。しかし、第２タイプの仕切り板５ｂと蓋３の裏面との間には隙間ｔが形成されているので、流体Ｆの残部がこの隙間ｔを通過して、チャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂ側に移動しつつスリット２３から外部に噴出する。第２タイプの仕切り板５ｂよりもチャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂ側のエリアにおいては、チャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂでチャンバ２２内の流路が完全に行き止りとなり、チャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂ近傍で流体Ｆの圧力が高まる。
【００３５】
このため、図９（Ａ）に示すように、チャンバ２２の長手方向の一方の端部２２１ａから第２タイプの仕切り板５ｂまでのエリアにおいては第２タイプの仕切り板５ｂに近づくほど、第２タイプの仕切り板５ｂからチャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂまでのエリアにおいてはチャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂに近づくほど、スリット２３から噴出する流体Ｆの流速が速くなるが、いずれの組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃにも仕切り板５が装着されていない場合（図７（Ａ）参照）に比べて、スリット２３から噴出する流体Ｆの流速差が小さくなる。また、スリット２３から噴出する流体Ｆの流速差は、第２タイプの仕切り板５ｂの高さＨ３を変更することによって第２タイプの仕切り板５ｂと蓋３の裏面との隙間ｔの幅を変えて、この隙間ｔを通過する流体Ｆの流量を調節することにより調整することができる。
【００３６】
ここでは、三組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃのうち、真ん中に位置する一組の仕切り板装着溝２４ｂにだけ第２タイプの仕切り板５ｂを装着しているが、第２タイプの仕切り板５ｂを仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃの複数組に装着することによって、スリット２３から流体Ｆが強く噴出するポイントの数を増加させるとともに、スリット２３から噴出する流体Ｆの流速差をさらに小さくすることができる。
【００３７】
例えば、図９（Ｂ）に示すように、第２タイプの仕切り板５ｂをすべての組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃに装着することにより、第２タイプの仕切り板５ｂを三組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃのいずれか一組の仕切り板装着溝にのみ装着した場合よりも、スリット２３から噴出する流体Ｆの流速差をさらに小さくして、スリット２３からの流体Ｆの噴出分布をさらに均一にすることができる。
【００３８】
図１０（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係る流体スリットノズル１において、第３タイプの仕切り板５ｃが、三組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃのうち、真ん中に位置する一組の仕切り板装着溝２４ｂに装着されている場合におけるスリット２３からの流体の噴出分布を説明するための図である。
【００３９】
供給パイプ４および蓋３の流体供給口３１を介して、チャンバ２２の長手方向の一方の端部２２１ａに供給された流体Ｆは、チャンバ２２の内部を、仕切り板装着溝２４ｂに装着された第３タイプの仕切り板５ｃに向かって移動しつつ、その一部がスリット２３から外部に噴出する。この際、仕切り板装着溝２４ｂに装着された第３タイプの仕切り板５ｃでチャンバ２２が仕切られて、蓋３の流体供給口３１からの流路が第３タイプの仕切り板５ｃでほぼ行き止り状態となり、第３タイプの仕切り板５ｃ近傍において、流体Ｆの圧力が高まる。しかし、第３タイプの仕切り板５ｃにはオリフィス５０が設けられているので、流体Ｆの残部がこのオリフィス５０を通過して、チャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂ側に移動しつつ、スリット２３から外部に噴出する。第３タイプの仕切り板５ｃよりもチャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂ側のエリアにおいては、チャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂでチャンバ２２内の流路が完全に行き止りとなり、チャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂの近傍で流体Ｆの圧力が高まる。
【００４０】
このため、図１０（Ａ）に示すように、チャンバ２２の長手方向の一方の端部２２１ａから第３タイプの仕切り板５ｃまでのエリアにおいては第３タイプの仕切り板５ｃに近づくほど、第３タイプの仕切り板５ｃからチャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂまでのエリアにおいてはチャンバ２２の長手方向の他方の端部２２１ｂに近づくほど、スリット２３から噴出する流体Ｆの流速が速くなるが、いずれの組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃにも仕切り板５が装着されていない場合（図７（図７（Ａ）参照）に比べて、スリット２３から噴出する流体Ｆの流速差が小さくなる。また、このスリット２３から噴出する流体Ｆの流速差は、第３タイプの仕切り板５ｃのオリフィス５０の開口面積を変更して、このオリフィス５０を通過する流体Ｆの流量を調節することにより調整できる。
【００４１】
ここでは、三組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃのうち、真ん中に位置する一組の仕切り板装着溝２４ｂにのみ第３タイプの仕切り板５ｃを装着しているが、第３タイプの仕切り板５ｃを仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃの複数組に装着することによって、スリット２３から流体Ｆが強く噴出するポイントの数を増加させるとともに、スリット２３から噴出する流体Ｆの流速差をさらに小さくすることができる。
【００４２】
例えば、図１０（Ｂ）に示すように、第３タイプの仕切り板５ｃをすべての組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃに装着することにより、第３タイプの仕切り板５ｃを、三組の仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃのいずれか一組の仕切り板装着溝にのみ装着した場合よりも、スリット２３から噴出する流体Ｆの流速差をさらに小さくして、スリット２３からの流体Ｆの噴出分布をさらに均一にすることができる。また、第２タイプの仕切り板５ｂおよび第３タイプの仕切り板５ｃを、それぞれ、少なくとも１枚ずつ、いずれかの仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃに装着することによって、スリット２３から噴出する流体Ｆの流速差を小さくすることもできる。
【００４３】
以上、本発明の一実施の形態について説明した。
【００４４】
本実施の形態に係る流体スリットノズル１では、ノズル本体２のチャンバ２２の両側面２２０ａ、２２０ｂに形成された仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｂに、チャンバ２２内での流体の移動を妨げる仕切り板５を装着するだけで、スリット２３からの流体の噴出分布を調整することができる。
【００４５】
例えば、チャンバ２２の深さＨ１と同じ高さＨ２を有する第１タイプの仕切り板５ａをいずれかの仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｂに装着して、流体が供給されるチャンバ２２内のエリアを限定することにより、チャンバ２２に繋がるスリット２３から流体が噴出するエリアを制限することができる。
【００４６】
あるいは、チャンバ２２の深さＨ１より低い高さＨ３を有する第２タイプの仕切り板５ｂ、および／または、オリフィス５０を有する第３タイプの仕切り板５ｃをいずれかの仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｂに装着することにより、スリット２３からの流体の噴出分布を均一化することができる。
【００４７】
また、本実施の形態に係る流体スリットノズル１では、ノズル完成後であっても、ネジ６を取り外して、蓋３をノズル本体２の上面２０から取り外すことにより、仕切り板５を装着する仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃを変更したり、あるいは、仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃに装着されている仕切り板５を交換したりすることができ、このような簡単な作業でスリット２３からの流体の噴出分布を調整することができる。ここで、第１タイプの仕切り板５ａ、高さの異なる複数種類の第２タイプの仕切り板５ｂ、径の異なるオリフィス５０を有する複数種類の第３タイプの仕切り板５ｃを準備しておけば、これらの仕切り板を適宜に組み合わせることによって、スリット２３からの流体の噴出分布をより柔軟に調整することができる。
【００４８】
したがって、本実施の形態に係る流体スリットノズル１によれば、スリット２３からの流体の噴出分布を柔軟に調整することができる。また、本実施の形態に係る流体スリットノズル１は、上面２０に溝状のチャンバ２２が形成されたノズル本体２、ノズル本体２にネジ止めで固定される板状の蓋３、板状の仕切り板５等、機械加工により容易に作製可能な部品の簡易な組み付け作製可能であるため、ノズル製作コストを低減することができる。
【００４９】
なお、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形は可能である。
【００５０】
例えば、上記の実施の形態では、ノズル本体２のチャンバ２２の両側面２２０ａ、２２０ｂに、仕切り板５を装着するための仕切り板装着溝が三組の（仕切り板装着溝２４ａ〜２４ｃ）設けられている場合を例に取り説明したが、本発明はこれに限定されない。仕切り板装着溝は一組だけ設けられていてもよいし、二組あるいは四組以上設けられていてもよい。
【００５１】
また、上記の実施の形態では、第３タイプの仕切り板５ｃの中央付近にオリフィス５０が１つ設けられているが、オリフィス５０の数および位置は適宜に変更可能である。また、上記の実施の形態では、第２タイプの仕切り板５ｂの上面全域と蓋３の裏面との間に隙間を設けているが、第２タイプの仕切り板５ｂの上面と蓋３の裏面との間に部分的に隙間が設けられてもよい。
【００５２】
また、上記実施の形態では、蓋３をネジ６によりノズル本体２の上面２０に取り付けているが、本発明はこれに限定されない。蓋３は、ノズル本体２の上面２０に取り外し可能に取り付けられていればよい。
【００５３】
本発明は、気体、液体、それらの混合流体等の流体をスリットから噴出する様々な流体スリットノズルに適用可能であり、例えば、半導体、液晶等の製造プロセスにおいて、乾燥したクリーンな気体を処理対象に吹き付けて、処理対象を乾燥させる流体スリットノズルにも好適である。
【符号の説明】
【００５４】
１：流体スリットノズル、  ２：ノズル本体、  ３：蓋、  ４：供給パイプ、  ５、５ａ〜５ｃ：仕切り板、  ６：ネジ、  ２０：ノズル本体２の上面、  ２１：ノズル本体２の下面、  ２２：チャンバ、  ２３：スリット、  ２４ａ〜２４ｃ：仕切り板装着溝、  ２５：ネジ穴、  ３０：蓋３の上面、  ３１：流体供給口、  ３２：座繰り付き貫通穴、  ３３：蓋３の長手方向の端部、  ５０：オリフィス、  ２２０ａ、２２０ｂ：チャンバ２２の側面、  ２２１ａ、２２１ｂ: チャンバ２２の端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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