(57)【要約】【課題】  振動子を交換する際に容易に給電手段を脱着できる振動アクチュエータを提供する。【解決手段】  振動アクチュエータ１１０は、平板部１ｃと平板部１ｃに設けられた突起部（１ａ、１ｂ）とを有する振動板１と、振動板１に固定され振動する圧電素子２と、振動板１を保持する保持部材３と、圧電素子２に設けられた少なくとも第一の電極２ｃ及び第二の電極（２ａ、２ｂ）と、第一の電極２ｃより面積が広い可撓性の導電性シート５と、可撓性の絶縁性シート４と、を有し、圧電素子２、絶縁性シート４、導電性シート５の順に重畳し、導電性シート５は、第一の電極２ｃの少なくとも一部と重畳するように位置規制され、絶縁性シート４は、第二の電極（２ａ、２ｂ）及び導電性シート５が重畳する領域の全てと重畳するように位置規制されることを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板部と前記平板部に設けられた突起部とを有する振動板と、
前記振動板に固定され振動する圧電素子と、
前記振動板を保持する保持部材と、
前記圧電素子に設けられた少なくとも第一の電極及び第二の電極と、
前記第一の電極より面積が広い可撓性の導電性シートと、
可撓性の絶縁性シートと、
を有し、
前記圧電素子、前記絶縁性シート、前記導電性シートの順に重畳し、
前記導電性シートは、前記第一の電極の少なくとも一部と重畳するように位置規制され、
前記絶縁性シートは、前記第二の電極及び前記導電性シートが重畳する領域の全てと重畳するように位置規制されることを特徴とする、振動アクチュエータ。
【請求項２】
前記絶縁性シート及び前記導電性シートは、前記振動板を保持する前記保持部材に位置規制されることを特徴とする、請求項１に記載の振動アクチュエータ。
【請求項３】
前記第一の電極は、折返電極であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の振動アクチュエータ。
【請求項４】
前記絶縁性シートは、前記振動板及び前記圧電素子に対して固定されていないことを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ。
【請求項５】
前記導電性シートは、前記振動板及び前記圧電素子に対して固定されていないことを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ。
【請求項６】
前記振動板に対向する前記圧電素子の面に設けられた第三の電極及び前記圧電素子の側面に設けられた第四の電極をさらに有し、
前記第一の電極は、前記第三の電極に、前記第四の電極を経由して導通していることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ。
【請求項７】
前記絶縁性シート、前記導電性シート、前記振動板、前記圧電素子、前記保持部材が交換可能に構成されていることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ。
【請求項８】
前記振動は、超音波領域の周波数の高周波振動であることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動アクチュエータと、
前記圧電素子と前記振動板からなる振動子と、
前記振動子を付勢する加圧手段と、
前記振動子が前記加圧手段により付勢され当接する摩擦部材と、
前記圧電素子に給電するための給電手段と、
前記第一の電極に導通し前記給電手段に設けられた第一の給電電極と、
前記第二の電極に導通し前記給電手段に設けられた第二の給電電極と、
を有し、
前記圧電素子、前記絶縁性シート、前記導電性シート、前記給電手段、前記加圧手段の順に重畳し、
前記給電手段は、前記第一の給電電極が、前記絶縁性シート又は前記導電性シートが重畳する領域内に重畳するように位置規制され、
前記振動子は、前記圧電素子の前記振動により前記摩擦部材と相対的に移動することを特徴とする、リニアアクチュエータ装置。
【請求項１０】
前記加圧手段と前記給電手段とは、前記圧電素子と前記絶縁性シートと前記導電性シートとは互いに離間が可能であることを特徴とする、請求項９に記載のリニアアクチュエータ装置。
【請求項１１】
前記給電手段は、前記圧電素子に対して脱着が可能に位置決めされていることを特徴とする、請求項９又は１０に記載のリニアアクチュエータ装置。
【請求項１２】
前記摩擦部材は摩擦部材基部に固定され、前記摩擦部材基部は、駆動伝達部を有することを特徴とする、請求項９乃至１１のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動アクチュエータ及びリニアアクチュエータ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から小型軽量、高速駆動、かつ、静音駆動を特徴とする振動アクチュエータは、撮像装置のレンズ鏡筒等に採用されている。この振動アクチュエータの一例として特許文献１にリニア型超音波モータが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２０１８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１では、振動子にＦＰＣが接着により固定されている。このため、振動子を交換する際、ＦＰＣを接続する装置側でＦＰＣを脱着できる構成にしなければならず、コネクタの配置や交換スペースの確保などにより装置が大型化している。
【０００５】
そこで本発明の目的は、振動子を交換する際に容易にＦＰＣを脱着できる振動アクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は、平板部と前記平板部に設けられた突起部とを有する振動板と、前記振動板に固定され振動する圧電素子と、前記振動板を保持する保持部材と、前記圧電素子に設けられた少なくとも第一の電極及び第二の電極と、前記第一の電極より面積が広い可撓性の導電性シートと、可撓性の絶縁性シートと、を有し、前記圧電素子、前記絶縁性シート、前記導電性シートの順に重畳し、前記導電性シートは、前記第一の電極の少なくとも一部と重畳するように位置規制され、前記絶縁性シートは、前記第二の電極及び前記導電性シートが重畳する領域の全てと重畳するように位置規制されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、振動子を交換する際に容易にＦＰＣを脱着できる振動アクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）実施例１の振動アクチュエータ１１０の平面図である。（Ｂ）図１（Ａ）に示す断面線ＩＢ−ＩＢにおける断面図である。（Ｃ）振動アクチュエータ１１０から絶縁性シート４と導電性シート５を取り除いた状態の平面図である。（Ｄ）絶縁性シート４の平面図である。（Ｅ）導電性シート５の平面図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）実施例１の振動アクチュエータ１１０の分解斜視図である。
【図３】実施例１のリニアアクチュエータ装置１００の分解斜視図である。
【図４】（Ａ）実施例１の振動アクチュエータ１１０とＦＰＣ６が重畳している状態の平面図である。（Ｂ）ＦＰＣ６の平面図である。
【図５】（Ａ）実施例１の振動アクチュエータ１１０の斜視図である。（Ｂ）加圧手段１２０のカバー１１が開かれた状態の斜視図である。（Ｃ）図５（Ｂ）の状態の正面図である。（Ｄ）図５（Ａ）に示す平面ＶＤ-ＶＤにおける断面図である。
【図６】（Ａ）実施例２の振動アクチュエータ２１０の平面図である。（Ｂ）振動アクチュエータ２１０から絶縁性シート４、導電性シート５、第二の導電性シート５Ａ、第三の導電性シート５Ｂを取り除いた状態の平面図である。（Ｃ）絶縁性シート４の平面図である。（Ｄ）導電性シート５の平面図である。
【図７】実施例２の振動アクチュエータ２１０の分解斜視図である。
【図８】実施例２の振動アクチュエータ２１０とＦＰＣ６が重畳している状態の平面図である。
【図９】実施例１の適用例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本発明の好ましい各実施例を添付の図面に基づいて詳細に説明する。図面において、後述の可動部１３０の移動方向をＸ軸方向、加圧手段１２０の加圧方向をＺ軸方向、Ｘ軸方向とＺ軸方向に直交する方向をＹ軸方向と規定する。Ｚ軸方向に関しては、図面の上方向を＋Ｚ軸方向、図面の下方向を−Ｚ軸方向と規定する。
【００１０】
（実施例１）
本発明の実施例１のリニアアクチュエータ装置１００は、振動アクチュエータ１１０から構成される。まず振動アクチュエータ１１０について説明する。図１（Ａ）は、振動アクチュエータ１１０の平面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）の断面線ＩＢ−ＩＢにおける断面図である。図１（Ｃ）は振動アクチュエータ１１０から絶縁性シート４と導電性シート５を取り除いた状態の平面図、図１（Ｄ）は絶縁性シート４の平面図、図１（Ｅ）は導電性シート５の平面図である。図２（Ａ）は、振動アクチュエータ１１０を−Ｚ軸方向から見た場合の分解斜視図、図２（Ｂ）は図１で示される振動アクチュエータ１１０を＋Ｚ軸方向から見た場合の分解斜視図である。
【００１１】
図２（Ａ）、（Ｂ）を参照すると、振動板１は、矩形状の平板部１ｃ及び該平板部１ｃに設けられた突起部１ａ、１ｂを有する。振動板１には、高周波振動（超音波領域の周波数で振動）する圧電素子２が例えば接着などの手段を用いて固定されている。振動板１と圧電素子２により振動子が構成される。
【００１２】
圧電素子２は、一方の面に分極された２か所の領域に圧電素子電極２ａ、２ｂ（いずれも本発明の第二の電極に相当する。）を備えている。また、圧電素子２は、同一の面に分極されていない領域に圧電素子電極２ｃ（本発明の第一の電極に相当する。）を備えている。圧電素子２は、振動板１に対向する面に圧電素子電極２ｄ（本発明の第三の電極に相当する。）を備え、圧電素子電極２ｃは、圧電素子電極２ｄに、圧電素子２の側面に備えられている圧電素子電極２ｅ（本発明の第四の電極に相当する。）を経由して導通している。すなわち、圧電素子電極２ｃ（圧電素子電極２ｅを含む。）は、圧電素子２の縁で折り返されているので、折返電極の形状をしている。圧電素子２は、位相差を持たせた交流電圧を圧電素子電極２ａ、２ｂに印加し、圧電素子電極２ｃをグランド電極として使用することによって、高周波振動を発生する。本実施例１では、圧電素子電極２ｃが圧電素子電極２ｅを経由して圧電素子電極２ｄに導通しているが、別の形態として圧電素子電極２ｃと圧電素子電極２ｄがスルーホールを経由して導通する方法なども選択可能である。
【００１３】
保持部材３は、振動板１を保持する。このとき、保持部材３は、圧電素子２で発生する高周波振動によって励起される振動板１の固有振動モードの変位の少ない位置で、振動板１を例えば接着などの手段で固定する。したがって、保持部材３は、振動板１の固有振動にほとんど影響を与えない。
【００１４】
次に図１（Ａ）〜（Ｅ）を参照して、絶縁性シート４、導電性シート５について説明する。絶縁性シート４は可撓性を有する。また、導電性シート５は、圧電素子電極２ｃより面積が広く可撓性を有する。なお、絶縁性シート４と導電性シート５の厚さは誇張して図示されており、実際の厚さは十数〜数十μｍである。絶縁性シート４と導電性シート５は、図１（Ｂ）に示すように圧電素子２、絶縁性シート４、導電性シート５の順に重畳されている。
【００１５】
図１（Ｄ）を参照すると、絶縁性シート４は、略Ｕ字型の形状をしており、すなわち略中央部にＹ軸方向にくぼむ凹部４ａが形成されている。そして、絶縁性シート４は、圧電素子電極２ｃ以外の圧電素子電極２ａ、２ｂと重畳し、かつ導電性シート５が重畳する領域の全てと重畳するように保持部材３に設けられた位置規制部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄによって位置規制される。そして、絶縁性シート４は、保持部材３に対して例えば接着などの手段で固定される。絶縁性シート４の凹部４ａにより、圧電素子電極２ａ、２ｂが導電性シート５に対して絶縁されるとともに、圧電素子電極２ｃが導電性シート５に導通される。また位置規制の別の形態として、絶縁性シート４に設けられた穴と保持部材３に設けられた突起によって位置決めされる形態が用いられてもよい。また、絶縁性シート４は、圧電素子２に例えば接着などの手段によって固定されていない。これは、もし圧電素子２に絶縁性シート４が固定されていると、圧電素子２の高周波振動に励起される振動板１の振動が減衰してしまう。しかしながら、上記固定をしないことにより振動板１の振動の減衰が起こらないので、振動アクチュエータ１１０の動特性の低下を防ぐことができる。
【００１６】
導電性シート５は、図１（Ａ）を参照すると、圧電素子電極２ｃと重畳するように保持部材３に設けられた位置規制部３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄによって位置規制されるとともに、保持部材３に対して例えば接着などの手段で固定される。この構成により、導電性シート５は、圧電素子電極２ｃと導通する。本実施例１では、導電性シート５は、圧電素子電極２ｃの全てと重畳している。しかしながら、導電性シート５は圧電素子電極２ｃの少なくとも一部と重畳していれば、導電性シート５と圧電素子電極２ｃにおける導通が得られるので、一部でも重畳するように位置規制されていればよい。位置規制の別の形態として、導電性シート５に設けられた穴と保持部材３に設けられた突起により位置決めされる形態が用いられてもよい。また、導電性シート５は、圧電素子２に例えば接着などの手段によって固定されていない。これは、もし圧電素子２に導電性シート５が固定されていると、圧電素子２の高周波振動に励起される振動板１の振動が減衰してしまう。しかしながら、上記固定をしないことにより振動板１の振動の減衰が起こらないので、振動アクチュエータ１１０の動特性の低下を防ぐことができる。
【００１７】
次にリニアアクチュエータ装置１００について説明する。図３は、リニアアクチュエータ装置１００を−Ｚ軸方向から見た場合の分解斜視図である。リニアアクチュエータ装置１００は、振動アクチュエータ１１０に給電するための給電手段としてフレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣ６と略す。）を有する。本実施例１では、給電手段としてＦＰＣ６を用いているが、別の形態の給電手段として、線材などを用いてもよい。リニアアクチュエータ装置１００では、ＦＰＣ６を経由して交流電圧を圧電素子２に印加することによって、高周波振動を圧電素子２及び振動板１に発生させることができる。振動発生の原理は、特許文献１に記載されているためここでの記載を省略する。
【００１８】
リニアアクチュエータ装置１００は、振動アクチュエータ１１０と相対的に移動可能な可動部１３０と、可動部１３０に振動アクチュエータ１１０を付勢する手段として加圧手段１２０を有する。可動部１３０は、摩擦部材１２と摩擦部材基部１３から構成され、加圧手段１２０は、緩衝部材７と加圧板８、ばね９、ばね押え１０、カバー１１から構成される。
【００１９】
加圧手段１２０は、ばね９の力によって振動板１（振動子）を−Ｚ軸方向に付勢し、振動板１の突起部１ａ、１ｂが摩擦部材１２に当接する。緩衝部材７は、一方の面で圧電素子２に接触し、他方の面で加圧板８に接触しており、圧電素子２の高周波振動を減衰することなくばね９の力を振動板１に伝達する。加圧板８は、ばね９の力を受けるとともに、加圧板８に設けられた突起８ａ、８ｂがカバー１１に設けられた穴部１1ａ、１１ｂに係合することよって、Ｚ軸方向に案内される。
【００２０】
摩擦部材基部１３には、基台１４と対向する面にＸ軸方向に延在する溝形状の可動案内部１３a、１３ｂ、１３ｃが設けられ、基台１４も摩擦部材基部１３に対抗する面にＸ軸方向に延在する溝形状の固定案内部１４ａ、１４ｂ、１４ｃが設けられている。そして、可動案内部１３a、１３ｂ、１３ｃと固定案内部１４ａ、１４ｂ、１４ｃとの間に挟持された複数の転動ボール１５によって、摩擦部材１２と摩擦部材基部１３から構成される可動部１３０は、基台１４に対してＸ軸方向に移動可能に案内される。
【００２１】
リニアアクチュエータ装置１００に内包される振動アクチュエータ１１０は、２つの転動ローラ１８と転動ローラ用ばね１９を介して、支持部材１６に支持される。支持部材１６は基台１４に固定された本体カバー１７に４つのねじ１６ｓｃを用いて固定される。この構成により、振動アクチュエータ１１０は、支持部材１６に対して加圧手段１２０による付勢方向であるＺ軸方向に移動可能で、リニアアクチュエータ装置１００に対してＸ軸方向にガタなく保持される。
【００２２】
図４（Ａ）は、振動アクチュエータ１１０とＦＰＣ６が重畳している状態を示す平面図である。図４（Ｂ）はＦＰＣ６の平面図である。図５（Ａ）は、加圧手段１２０が配置され、加圧手段１２０により振動アクチュエータ１１０が加圧された状態の斜視図を示し、図５（Ｂ）は本体カバー１７に開閉可能に固定された加圧手段１２０のカバー１１が開かれている状態の斜視図を示す。図５（Ｃ）は図５（Ｂ）の状態における正面図である。図５（Ｄ）は図５（Ａ）の平面ＶＤ−ＶＤにおける断面図である。
【００２３】
リニアアクチュエータ装置１００では、図５（Ｂ）を参照すると、振動アクチュエータ１１０、ＦＰＣ６、加圧手段１２０の順に重畳するように部材が構成されている。ＦＰＣ６は、それぞれの圧電素子電極２ａ、２ｂに給電する給電電極６ａ、６ｂ（本発明の第二の給電電極に相当する。）、圧電素子２の圧電素子電極２ｃに給電する給電電極６ｃ（本発明の第一の給電電極に相当する。）を有している。図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に図示する給電電極６ａ、６ｂ、６ｃは、図面において裏面に備えられているため点線で図示されている。圧電素子電極２ｃに導通するＦＰＣ６の給電電極６ｃは、絶縁性シート４又は導電性シート５が重畳する領域内に重畳するように、ＦＰＣ６は位置規制される。絶縁性シート４により給電電極６ｃは、圧電素子電極２ａ、２ｂと導通することなく、導電性シート５を介して圧電素子電極２ｃと導通することになる。さらに、給電電極６ａ、６ｂがそれぞれ圧電素子電極２ａ、２ｂの領域内に重畳し、かつ導電性シート５とは重畳しない位置に、位置規制部１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆによりＦＰＣ６が位置規制されている（図５（Ｃ）参照）。この構成により、給電電極６ａ、６ｂがそれぞれ圧電素子電極２ａ、２ｂとだけ導通を得られるようになる。位置規制部１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆに位置規制されたＦＰＣ６は、接着などの手段でカバー１１に固定される。位置規制の別の形態として、ＦＰＣ６に設けられた穴とカバー１１に設けられた突起により位置決めされる形態が用いられてもよい。
【００２４】
上記の構成によって、給電電極６ｃが接触する面積が圧電素子電極２ｃの面積から、導電性シート５の面積に拡大され、そして圧電素子２は加圧手段１２０による加圧のみでＦＰＣ６と信頼性の高い導通を得られる。もし、圧電素子電極２ｃの面積を大きくした構成を用いた場合であっても、加圧手段１２０の加圧のみで導通を得られ、振動子からＦＰＣ６を脱着でき、装置を小型化することができる。ところが、圧電素子電極２ｃの面積を大きくした分だけ、分極された圧電素子電極２ａ、２ｂの面積が小さくなるため、圧電素子２の動特性が低下してしまう。さらに、いわゆるグランド電極である圧電素子電極２ｃの面積が小さく設けられてしまい、そのため、圧電素子電極２ｃの面積が小さいため、加圧による接触だけでは信頼性の高い導通を得られないことがある。しかしながら、本実施例１により、分極された圧電素子電極２ａ、２ｂの面積を小さくすることなく、圧電素子電極２ｃの面積を導電性シート５の面積に拡大できるので、圧電素子２の分極領域が狭くなり動特性が低下することなく信頼性の高い導通を得られる。
【００２５】
図５（Ｂ）に示すように、加圧手段１２０とリニアアクチュエータ装置１００の本体カバー１７は、ヒンジ２０で連結されている。このとき、ＦＰＣ６は、図５（Ｃ）に示すように、位置規制部１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆによって規制されているので、加圧手段１２０が開くと、ＦＰＣ６が圧電素子２、絶縁性シート４、導電性シート５と離間された状態となる。なお、ＦＰＣ６は、緩衝部材７に例えば接着などの手段で固定されてもよい。
【００２６】
図５（Ａ）に示すように、加圧手段１２０のカバー１１が閉じた状態では、本体カバー１７に加圧手段１２０のカバー１１を図５（Ｄ）に図示するねじ１１ｓｃで固定することによって、振動板１が摩擦部材１２に付勢される。そして、ＦＰＣ６と圧電素子２が、位置ずれすることなく加圧手段１２０の加圧力のみで信頼性の高い導通を得られる。
【００２７】
また、加圧手段１２０とＦＰＣ６が、圧電素子２、絶縁性シート４、導電性シート５のそれぞれに離間が可能なため、振動アクチュエータ１１０をリニアアクチュエータ装置１００から取り外して交換することが可能である。振動アクチュエータ１１０を交換する別の形態として、支持部材１６の４つのねじ１６ｓｃを外し、振動アクチュエータ１１０、転動ローラ１８及び転動ローラ用ばね１９を支持部材１６とともに一体として交換することも可能である。
【００２８】
以上の構成から、リニアアクチュエータ装置１００において、ＦＰＣ６を脱着可能な構成にする必要がなくなり、リニアアクチュエータ装置１００の小型化が可能になる。そして、本実施例１によれば、圧電素子２の分極領域が狭くなり動特性が低下することがない。また、振動子を交換する際にリニアアクチュエータ装置１００側でＦＰＣ６を脱着する構成を省略して装置を小型化することが可能になる。その結果、容易にＦＰＣ６を脱着できる振動アクチュエータ１１０を提供することができる。
【００２９】
（実施例２）
以下に、本発明の実施例２について説明する。なお、実施例１と同一部材のものは、同一記号で指示する。また実施例１と同じ形態のところは説明を省略し、実施例１と異なるところだけを説明する。
【００３０】
図６（Ａ）は、実施例２の振動アクチュエータ２１０の平面図、図６（Ｂ）は振動アクチュエータ２１０から絶縁性シート４、導電性シート５、第二の導電性シート５Ａ、第三の導電性シート５Ｂを取り除いた状態の平面図である。図６（Ｃ）は絶縁性シート４の平面図である。図６（Ｄ）は導電性シート５と第二の導電性シート５Ａと第三の導電性シート５Ｂの平面図である。図７は、振動アクチュエータ２１０を−Ｚ軸方向から見た場合の分解斜視図である。
【００３１】
実施例２の振動アクチュエータ２１０は、実施例１の振動アクチュエータ１１０に対して、可撓性の第二の導電性シート５Ａ及び第三の導電性シート５Ｂがさらに追加されている。第二の導電性シート５Ａは、少なくとも圧電素子電極２ａの領域の一部で重畳し、保持部材２３に位置決めされている。第二の導電性シート５Ａの位置は、保持部材２３に設けられた位置規制部２３ｅ、２３ｆ、２３ｇ、２３ｈにより規制され、そして例えば接着などの手段で第二の導電性シート５Ａは保持部材２３に固定されている。第三の導電性シート５Ｂも同様に、少なくとも圧電素子電極２ｂの領域の一部で重畳し、保持部材２３に位置決めされている。第三の導電性シート５Ｂの位置は、保持部材２３に設けられた位置規制部２３ｉ、２３ｊ、２３ｋ、２３ｌにより規制され、そして例えば接着などの手段で第三の導電性シート５Ｂは保持部材２３に固定されている。絶縁性シート４は、保持部材２３に設けられた位置規制部２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄによって位置規制され、保持部材２３に対して例えば接着などの手段で固定される。
【００３２】
図８は、振動アクチュエータ２１０とＦＰＣ６が重畳している状態を示す平面図である。給電電極６ａと給電電極６ｂがそれぞれ第二の導電性シート５Ａと第三の導電性シート５Ｂに重畳するように、かつ給電電極６ｃが絶縁性シート４又は導電性シート５が重畳する領域内に重畳するように、ＦＰＣ６は位置規制される。この構成により、給電電極６ｃは、絶縁性シート４により圧電素子電極２ａ、２ｂと導通することなく、導電性シート５を介して圧電素子電極２ａと導通することになる。さらに、給電電極６ａが第二の導電性シート５Ａを介して圧電素子電極２ａのみと導通を得られ、また給電電極６ｂが第三の導電性シート５Ｂを介して圧電素子電極２ｂのみと導通を得られる。
【００３３】
リニアアクチュエータ装置２００において、給電電極６ａ、６ｂと圧電素子電極２ａ、２ｂの導通の際に、それぞれ可撓性の第二の導電性シート５Ａと可撓性の第三の導電性シート５Ｂを介すことによって電極の密着性が高まり、信頼性の高い導通を得られる。さらに別の形態として、不図示の第二の絶縁性シートと第三の絶縁性シートを設ける。第二の絶縁性シートを、圧電素子電極２ａ、第二の絶縁性シート、第二の導電性シート５Ａ、給電電極６ａの順に重畳させる。また、第三の絶縁性シートを、圧電素子電極２ｂ、第三の絶縁性シート、第三の導電性シート５Ｂ、給電電極６ｂの順に重畳させる。この構成により、導電性シート５と第二の導電性シート５Ａと第三の導電性シート５Ｂの高さを同一にすることができる。このとき、少なくとも圧電素子電極２ａの一部と重畳するように第二の絶縁性シートと第二の導電性シート５Ａを位置決めし、例えば接着などの手段で保持部材２３に固定する。また、少なくとも圧電素子電極２ｂの一部と重畳するように第三の絶縁性シートと第三の導電性シート５Ｂを位置決めし、例えば接着などの手段で保持部材２３に固定する。この構成により、圧電素子電極２ａが第二の導電性シート５Ａを介して給電電極６ａと導通を得られる。また、圧電素子電極２ｂが第三の導電性シート５Ｂを介して給電電極６ｂと導通を得られる。
【００３４】
上記の構成を用いることによって、導電性シート５と第二の導電性シート５Ａと第三の導電性シート５Ｂの高さが同一な状態でＦＰＣ６と導通するので、より信頼性の高い導通を得られる。さらに、各導電性シートの高さが同一になったことにより、ＦＰＣ６と振動アクチュエータ２１０が傾くことなく接触することができるので、振動アクチュエータ２１０の姿勢が安定し、振動アクチュエータ２１０のより高い動特性が得られる。
【００３５】
（適用例）
以下に、本発明の実施例１の振動アクチュエータ１１０を適用した適用例を説明する。図９は、実施例１の振動アクチュエータ１１０を適用したリニアアクチュエータ装置１００の一例の斜視図である。
【００３６】
摩擦部材基部１３は、例えば半球形状をした駆動伝達部１３ｄを有し、ステージ２１には、駆動伝達部１３ｄと連結する溝部２１ａを設けることにより、各軸の回転とＹ軸方向には自由で、Ｘ軸方向はガタなく支持されてステージ２１と連結されている。
【００３７】
ステージ２１には穴部２１ｂ、２１ｃ、２１ｄが設けられ、複数のガイドバー２２によりＸ軸方向に移動可能に案内されている。上記の構成を用いることにより、振動アクチュエータ１１０の駆動力がステージ２１に伝達され、ガイドバー２２に案内されてＸ軸方向にステージ２１を相対移動することが可能となる。
【００３８】
本適用例において、ガイドバー２２の固定方法は図示されていないが、基台１４に固定する形態や不図示の外部装置に固定される形態などが選択可能である。また、ステージ２１の案内方法について、穴部２１ｂ、２１ｃ、２１ｄとガイドバー２２の構成を用いたが、直動案内機構を限定するものではない。さらに、本適用例では、摩擦部材基部１３に連結し駆動される駆動対象をステージ２１としたが、レンズやレンズ鏡筒などを連結し駆動する形態としてもよく、駆動する対象を限定するものではない。
【００３９】
本適用例のリニアアクチュエータ装置１００では、加圧手段１２０のカバー１１を開くと、振動アクチュエータ１１０とＦＰＣ６が離間されるため、振動アクチュエータ１１０が交換可能となっている。ＦＰＣ６は、カバー１１に設けられた位置規制部１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆに位置規制され固定されるため、加圧手段１２０を閉じると、ＦＰＣ６と圧電素子２が位置ずれすることなく加圧のみで信頼性の高い導通を得られる。また、リニアアクチュエータ装置１００は、加圧手段１２０の開閉のみで交換作業ができるので、ステージ２１と摩擦部材基部１３が連結したままの状態で振動アクチュエータ１１０が交換できる。
【００４０】
以上、本発明の好ましい実施例１、２及び適用例について説明したが、本発明はこれらの各例に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【符号の説明】
【００４１】
１                      振動板
１ａ、１ｂ              突起部
１ｃ                    平板部
２                      圧電素子
２ａ、２ｂ              圧電素子電極（第二の電極）
２ｃ                    圧電素子電極（第一の電極）
２ｄ                    圧電素子電極（第三の電極）
２ｅ                    圧電素子電極（第四の電極）
３                      保持部材
３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ  位置規制部
４                      絶縁性シート
５                      導電性シート
６ｃ                    給電電極（第一の給電電極）
６ａ、６ｂ              給電電極（第二の給電電極）
１２                    摩擦部材
１３                    摩擦部材基部
１００、２００          リニアアクチュエータ装置
１１０、２１０          振動アクチュエータ
１２０                  加圧手段
ＦＰＣ６                給電手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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