(57)【要約】【課題】接合部材の応力によって生じる反りに起因して、櫛歯状に配置されている可動電極指と固定電極指との間のギャップの変化による検出精度の低下を減少させる。【解決手段】長手方向が第１の方向に沿っている櫛歯状の固定電極指、および長手方向が前記第１の方向に沿い、前記第１の方向と直交する前記第２の方向に前記固定電極指と間隙を介して対向している櫛歯状の可動電極指を含むセンサー素子と、前記センサー素子が収容されている容器と、前記容器が接合されている基体と、を含み、前記容器は、前記第１の方向および前記第２の方向を含む面と並行な前記容器の外側の面が、前記第１の方向に沿って帯状に設けられた接合材によって前記基体に接合されている物理量センサー。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向が第１の方向に沿っている櫛歯状の固定電極指、および長手方向が第１の方向に沿い、前記第１の方向と直交する前記第２の方向に前記固定電極指と間隙を介して対向している櫛歯状の可動電極指を含むセンサー素子と、
前記センサー素子が収容されている容器と、
前記容器が接合されている基体と、を含み、
前記第１の方向および前記第２の方向を含む面と並行な前記容器の外側の面が、前記第１の方向に沿って帯状に設けられている接合材によって前記基体に接合されている、物理量センサー。
【請求項２】
長手方向が第２の方向に沿っている櫛歯状の第１の固定電極指、および長手方向が前記第２の方向に沿い、前記第２の方向と直交する第１の方向に前記第１の固定電極指と間隙を介して対向している櫛歯状の第１の可動電極指を含む第１のセンサー素子と、
長手方向が前記第１の方向に沿っている櫛歯状の第２の固定電極指、および長手方向が前記第１の方向に沿い、前記第２の方向に前記第２の固定電極指と間隙を介して対向している櫛歯状の第２の可動電極指を含む第２のセンサー素子と、
前記第１のセンサー素子、および前記第２のセンサー素子が収容されている容器と、
前記容器が接合されている基体と、を含み、
前記第１の方向および前記第２の方向とを含む面と並行な前記容器の外側の面が、前記外側の面の法線方向からの平面視で、前記第２のセンサー素子の輪郭の外側に位置し、且つ前記第２の方向に沿って帯状に設けられている接合材によって前記基体に接合されている、物理量センサー。
【請求項３】
請求項２において、
前記第１のセンサー素子、および前記第２のセンサー素子は、
前記第１の方向、または前記第２の方向に沿って並んで配置されている、物理量センサー。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項において、
前記接合材は、接着剤または粘着剤である、物理量センサー。
【請求項５】
請求項２ないし４のいずれか一項において、
ベース基板を含み、
前記第１のセンサー素子は、
前記ベース基板に取り付けられている第１の支持部および第２の支持部と、
平面視で、前記第１の支持部と前記第２の支持部との間に配置されている第１の可動部と、
前記第１の可動部の一方側と前記第１の支持部とが連結されている第１の連結部と、
前記第１の可動部の他方側と前記第２の支持部とが連結されている第２の連結部と、
を含み、
前記第１の可動部は、平面視で、前記第１の連結部と前記第２の連結部の間に配置されている第１の基部を含み、
前記櫛歯状の第１の可動電極指は、前記第１の基部に設けられ、
前記櫛歯状の第１の固定電極指は、前記ベース基板に固定され、
前記第２のセンサー素子は、
前記ベース基板に取り付けられている第３の支持部及び第４の支持部と、
平面視で、前記第３の支持部と前記第４の支持部の間に配置されている第２の可動部と、
前記第２の可動部の一方側と前記第３の支持部とが連結されている第３の連結部と、
前記第２の可動部の他方側と前記第４の支持部とが連結されている第４の連結部と、
を含み、
前記第２の可動部は、平面視で、前記第３の連結部と前記第４の連結部の間に配置されている第２の基部を含み、
前記櫛歯状の第２の可動電極指は、前記第２の基部に設けられ、
前記櫛歯状の第２の固定電極指は、前記ベース基板に固定されている、物理量センサー。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項において、
前記容器の外側の面を含むベース基板は、ガラスである、物理量センサー。
【請求項７】
請求項１または２において、
前記容器の前記外側の面に設けられている金属電極と、
前記基体に設けられている金属層と、を備え、
前記容器および前記基体は、前記金属電極と前記金属層との少なくともいずれかを前記接合材として接合されている、物理量センサー。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか一項において、
前記センサー素子、前記第１のセンサー素子、および前記第２のセンサー素子を制御する処理回路を備えている、物理量センサー。
【請求項９】
請求項１ないし７のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
角速度センサーと、
前記物理量センサーおよび前記角速度センサーを制御する制御部と、
を備えている、慣性計測装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の慣性計測装置と、
測位用衛星から、位置情報が重畳された衛星信号を受信する受信部と、
受信した前記衛星信号に基づいて、前記受信部の位置情報を取得する取得部と、
前記慣性計測装置から出力された慣性データに基づいて、姿勢を演算する演算部と、
算出された前記姿勢に基づいて前記位置情報を補正することにより、移動体の位置を算出する算出部と、
を備えている、移動体測位装置。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含む、携帯型電子機器。
【請求項１２】
請求項１ないし７のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
を備えている、電子機器。
【請求項１３】
請求項１ないし７のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて姿勢の制御を行う姿勢制御部と、
を備えている、移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、物理量を検出する物理量センサーとして、櫛歯状をなして対向配置されている可動電極および固定電極を有するセンサー素子を有し、これら二つの電極間の静電容量に基づいて物理量を検出する静電容量型のセンサーが提案されている。
【０００３】
このようなセンサーとしては、例えば、特許文献１には、センサー素子として櫛歯状の可動電極指と固定電極指とが間隙を有して対向するように配置されているＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）センサーが記載されている。また、特許文献２には、櫛歯状の可動電極指と固定電極指とが間隙を有して対向するように配置されているセンサー素子を備えている加速度センサーが記載されている。また、特許文献３には、センサー素子として櫛歯状の可動電極指と固定電極指とが間隙を有して対向するように配置されている力学量センサーが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２３８９２１号公報
【特許文献２】米国特許第８５１６８９０号明細書
【特許文献３】特開２０００−２８６４３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述のような物理量センサーをパッケージや基板などに接着材などの接合部材を用いて接合（マウント）したとき、接合部材の応力（マウント応力）によってセンサー素子に反りが発生し、この反りに起因して櫛歯状に配置されている電極指が変形し、可動電極指と固定電極指との間のギャップが変化してしまうことにより、検出された静電容量に不要な変動が生じ、検出精度が低下してしまうという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る物理量センサーは、長手方向が第１の方向に沿っている櫛歯状の固定電極指、および長手方向が第１の方向に沿い、前記第１の方向と直交する前記第２の方向に前記固定電極指と間隙を介して対向している櫛歯状の可動電極指を含むセンサー素子と、前記センサー素子が収容されている容器と、前記容器が接合されている基体と、を含み、前記第１の方向および前記第２の方向を含む面と並行な前記容器の外側の面が、前記第１の方向に沿って帯状に設けられている接合材によって前記基体に接合されている。
【０００８】
本適用例に係る物理量センサーによれば、容器を基体に接合する接合材が第２の方向に沿って帯状に設けられているため、接合材の接合応力は第２の方向に強く作用するので容器は第２の方向に大きく変形し、第１の方向の変形は小さくなる。センサー素子の固定電極指および可動電極指は、長手方向が第１の方向に沿って櫛歯状に配列されているため、第１の方向の二つの電極間のギャップの変化による静電容量の変化を検出して物理量を検出するが、第２の方向に沿って帯状に設けられている接合材の接合応力による容器の変形は、第２の方向に大きく変形し、第１の方向の変形は小さいため、ギャップの変化による静電容量の変化に対する影響を受け難くなる。したがって、接合材の応力による容器の変形によって、検出された静電容量に生じる不要な変動に起因する検出精度の低下を低減することができる。
【０００９】
［適用例２］本適用例に係る物理量センサーは、長手方向が第２の方向に沿っている櫛歯状の第１の固定電極指、および長手方向が前記第２の方向に沿い、前記第２の方向と直交する第１の方向に前記第１の固定電極指と間隙を介して対向している櫛歯状の第１の可動電極指を含む第１のセンサー素子と、長手方向が前記第１の方向に沿っている櫛歯状の第２の固定電極指、および長手方向が前記第１の方向に沿い、前記第２の方向に前記第２の固定電極指と間隙を介して対向している櫛歯状の第２の可動電極指を含む第２のセンサー素子と、前記第１のセンサー素子、および前記第２のセンサー素子が収容されている容器と、前記容器が接合されている基体と、を含み、前記第１の方向および前記第２の方向とを含む面と並行な前記容器の外側の面が、前記外側の面の法線方向からの平面視で、前記第２のセンサー素子の輪郭の外側に位置し、且つ前記第２の方向に沿って帯状に設けられている接合材によって前記基体に接合されている。
【００１０】
本適用例に係る物理量センサーによれば、容器を基体に接合する接合材が、容器の外側の面の法線方向からの平面視で、第２のセンサー素子の輪郭の外側に位置し、且つ第２の方向に沿って帯状に設けられているため、接合材の接合応力は第２の方向に強く作用することになり、容器は第２の方向に大きく変形し、第１の方向の変形は小さい。したがって、長手方向が第２の方向に沿って櫛歯状に第２の固定電極指や第２の可動電極指が配列されている第２のセンサー素子は、第２の方向の変形による静電容量の変化の影響を大きく受けることになるが、接合材が第２のセンサー素子の輪郭の外側に位置するため、第２のセンサー素子は容器の変形領域から外れることになり、静電容量の変化の影響を小さくすることができる。また、長手方向が第１の方向に沿って櫛歯状に第１の固定電極指や第１の可動電極指が配列されている第１のセンサー素子は、容器の変形の小さな第１の方向の静電容量の変化を検出するため、影響を受け難い。これらにより、異なる方向の物理量を検出する二つのセンサー素子（第１のセンサー素子および第２のセンサー素子）を備えていても、接合材の応力による容器の変形によって、検出された静電容量に生じる不要な変動に起因する検出精度の低下を低減することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例に記載の物理量センサーにおいて、前記第１のセンサー素子、および前記第２のセンサー素子は、前記第１の方向、または前記第２の方向に沿って並んで配置されていることが好ましい。
【００１２】
本適用例によれば、第１のセンサー素子、および第２のセンサー素子の配置を効率よく行うことができ、容器の外形形状を小型にすることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例に記載の物理量センサーにおいて、前記接合材は、接着剤または粘着剤であることが好ましい。
【００１４】
本適用例によれば、容器と基体との接合を入手の容易な接着剤または粘着剤によって行なうことができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例に記載の物理量センサーにおいて、ベース基板を含み、前記第１のセンサー素子は、前記ベース基板に取り付けられている第１の支持部および第２の支持部と、平面視で、前記第１の支持部と前記第２の支持部との間に配置されている第１の可動部と、前記第１の可動部の一方側と前記第１の支持部とが連結されている第１の連結部と、前記第１の可動部の他方側と前記第２の支持部とが連結されている第２の連結部と、を含み、前記第１の可動部は、平面視で、前記第１の連結部と前記第２の連結部の間に配置されている第１の基部を含み、前記櫛歯状の第１の可動電極指は、前記第１の基部に設けられ、前記櫛歯状の第１の固定電極指は、前記ベース基板に固定され、前記第２のセンサー素子は、前記ベース基板に取り付けられている第３の支持部及び第４の支持部と、平面視で、前記第３の支持部と前記第４の支持部の間に配置されている第２の可動部と、前記第２の可動部の一方側と前記第３の支持部とが連結されている第３の連結部と、前記第２の可動部の他方側と前記第４の支持部とが連結されている第４の連結部と、を含み、前記第２の可動部は、平面視で、前記第３の連結部と前記第４の連結部の間に配置されている第２の基部を含み、前記櫛歯状の第２の可動電極指は、前記第２の基部に設けられ、前記櫛歯状の第２の固定電極指は、前記ベース基板に固定されていることが好ましい。
【００１６】
本適用例によれば、第１のセンサー素子は、二つの支持部である第１の支持部および第２の支持部に、第１の連結部および第２の連結部を介して第１の基部を含む第１の可動部が連結されている。また、第２のセンサー素子は、二つの支持部である第３の支持部および第４の支持部に、第３の連結部および第４の連結部を介して第２の基部を含む第２の可動部が連結されている。このような構成により、第１の基部に設けられている櫛歯状の第１の可動電極指および第２の基部に設けられている第２の可動電極指は、二つの固定部の間において安定的に変位することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例に記載の物理量センサーにおいて、前記容器の外側の面を含むベース基板は、ガラスであることが好ましい。
【００１８】
本適用例によれば、第１のセンサー素子、および前記第２のセンサー素子を含むセンサー素子と基体との接合を、例えば陽極接合などで強固に行なうことができる。また、基板に光透過性を付与することができるため、基板を介して容器の内部を観察することができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例に記載の物理量センサーにおいて、前記容器の前記外側の面に設けられている金属電極と、前記基体に設けられている金属層と、を備え、前記容器および前記基体は、前記金属電極と前記金属層との少なくともいずれかを前記接合材として接合されていることが好ましい。
【００２０】
本適用例によれば、容器と基板の接合において、金属電極と金属層との少なくともいずれかを接合材として、例えばフリップチップボンディングなどの接合法を用いることができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例に記載の物理量センサーにおいて、前記センサー素子、前記第１のセンサー素子、および前記第２のセンサー素子を制御する処理回路を備えていることが好ましい。
【００２２】
本適用例によれば、センサー素子、第１のセンサー素子、および第２のセンサー素子を制御する処理回路によって、接合材の応力による容器の変形によって生じる物理量の検出精度の低下を防止した検出信号を出力することができる。
【００２３】
［適用例９］本適用例に係る慣性計測装置は、上記適用例に記載の物理量センサーと、角速度センサーと、前記物理量センサーおよび前記角速度センサーを制御する制御部と、を備えている。
【００２４】
本適用例に係る慣性計測装置によれば、接合材の応力による容器の変形によって生じる物理量の検出精度の低下を防止した物理量センサーにより、高信頼の物理量データを通信可能な慣性計測装置を提供することができる。
【００２５】
［適用例１０］本適用例に係る移動体測位装置は、上記適用例に記載の慣性計測装置と、測位用衛星から、位置情報が重畳された衛星信号を受信する受信部と、受信した前記衛星信号に基づいて、前記受信部の位置情報を取得する取得部と、前記慣性計測装置から出力された慣性データに基づいて、姿勢を演算する演算部と、算出された前記姿勢に基づいて前記位置情報を補正することにより、移動体の位置を算出する算出部と、を備えている。
【００２６】
本適用例に係る移動体測位装置によれば、受信部が受信した衛星信号から取得した当該受信部の位置情報を、慣性計測装置から出力された慣性データに基づいて算出された姿勢に基づいて補正することによって移動体の位置を求めるため、移動体が傾斜しているなどの、より実際の状態に近い移動体の位置を求めることができる。
【００２７】
［適用例１１］本適用例に係る携帯型電子機器は、上記適用例に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーが収容されているケースと、前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、前記ケースに収容されている表示部と、前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、を含む。
【００２８】
本適用例によれば、接合材の応力による容器の変形によって生じる物理量の検出精度の低下を防止した物理量センサーの出力データにより、さらに制御の信頼性を高めた高信頼性の携帯型電子機器を提供することができる。
【００２９】
［適用例１２］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を備えている。
【００３０】
本適用例によれば、接合材の応力による容器の変形によって生じる物理量の検出精度の低下を防止した物理量センサーの検出信号により、さらに制御の信頼性を高めた高信頼性の電子機器を提供することができる。
【００３１】
［適用例１３］本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて姿勢の制御を行う姿勢制御部と、を備えている。
【００３２】
本適用例によれば、接合材の応力による容器の変形によって生じる物理量の検出精度の低下を防止した物理量センサーの検出信号により、さらに姿勢制御の信頼性を高めた高信頼性の移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】第１実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示す斜視図。
【図２Ａ】物理量センサーの概略構成を示す図１のＡ−Ａ断面図。
【図２Ｂ】センサー素子を取り付ける接着剤の塗布例を示す平面図。
【図３】物理量センサーの機能ブロック図。
【図４】物理量センサーに用いられているセンサー素子の配置例を示す平面図。
【図５】センサー素子の概略構成を示す断面図。
【図６Ａ】センサー素子のセンサー部（Ｘ軸方向検出）の概略構成を示す斜視図。
【図６Ｂ】センサー素子のセンサー部（Ｙ軸方向検出）の概略構成を示す斜視図。
【図６Ｃ】センサー素子のセンサー部（Ｚ軸方向検出）の概略構成を示す斜視図。
【図７】応力印加試験方法の一例を示す概略図。
【図８】Ｘ軸方向への応力印加と各センサー素子の容量変化との相関を示すグラフ。
【図９】Ｙ軸方向への応力印加と各センサー素子の容量変化との相関を示すグラフ。
【図１０】センサー素子の応用例１を示す平面図。
【図１１】センサー素子の応用例２を示す平面図。
【図１２】センサー素子の応用例３を示す平面図。
【図１３】接合材の変形例を示す断面図。
【図１４】第２実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示す断面図。
【図１５Ａ】第３実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示す平面図。
【図１５Ｂ】第３実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示す断面図。
【図１６Ａ】第４実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示す平面図。
【図１６Ｂ】第４実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示す断面図。
【図１７Ａ】慣性計測ユニットなどに用いられる角速度センサー素子の一例を示す平面図。
【図１７Ｂ】角速度センサー素子の一例を示す図１７Ａの断面図。
【図１８】慣性計測ユニットの概略構成を示す分解斜視図。
【図１９】慣性計測ユニットの慣性センサー素子の配置例を示す斜視図。
【図２０】移動体測位装置の構成例を示す機能ブロック図。
【図２１】携帯型電子機器の構成を模式的に示す平面図。
【図２２】携帯型電子機器の概略構成を示す機能ブロック図。
【図２３】電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図。
【図２４】電子機器の一例であるスマートフォン（携帯型電話機）の構成を模式的に示す斜視図。
【図２５】電子機器の一例であるディジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。
【図２６】移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明に係る物理量センサー、慣性計測ユニット、移動体測位装置、電子機器、および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、本実施形態で説明される構成の全てが、本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００３５】
＜第１実施形態＞
第１実施形態に係る物理量センサーを、図１、図２Ａ、図２Ｂ、図３、図４、図５、図６Ａ、図６Ｂ、および図６Ｃを参照して説明する。図１は、第１実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示す斜視図である。図２Ａは、物理量センサーの概略構成を示す図１のＡ−Ａ断面図である。図２Ｂは、センサー素子を取り付ける接着剤の塗布例を示す平面図である。図３は、物理量センサーの機能ブロック図である。図４は、物理量センサーに用いられているセンサー素子の配置例を示す平面図である。なお、説明の便宜上、図４では蓋部を省略した状態を示している。図５は、センサー素子の概略構成を示す断面図である。図６Ａは、センサー素子のセンサー部（Ｘ軸方向検出）の概略構成を示す斜視図である。図６Ｂは、センサー部（Ｙ軸方向検出）の概略構成を示す斜視図である。図６Ｃは、センサー部（Ｚ軸方向検出）の概略構成を示す斜視図である。
【００３６】
なお、以下では、各図面に記載されているように、互いに直交する三つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸として説明する。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」または「第２の方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」または「第１の方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」または「第３の方向」とも言う。また、三つのセンサー部が配置される方向に沿ったＸ軸とＹ軸とを含む面を「ＸＹ面」とも言う。また、Ｚ軸方向は、パッケージを構成するベース基板と蓋部の積層（配置）方向に沿った方向、換言すればセンサー素子とベース基板との取り付け方向に沿った方向をＺ軸方向とする。さらに、説明の便宜上、Ｚ軸方向から視たときの平面視において、蓋部側である＋Ｚ軸方向側の面を上面、これと反対側となる−Ｚ軸方向側の面を下面として説明することがある。
【００３７】
図１、図２Ａ、図２Ｂ、および図３に示す物理量センサー１は、Ｘ軸方向（第２の方向）、Ｙ軸方向（第１の方向）およびＺ軸方向（第３の方向）のそれぞれの加速度を独立して検知することのできる３軸加速度センサーとして利用可能である。このような物理量センサー１は、パッケージ７と、パッケージ７内に収容された構造体５と、を有している。なお、構造体５は、センサー素子としての加速度センサー素子２０と、加速度センサー素子２０上に配置された回路素子としてのＩＣ（integrated circuit）４０と、を含み、接合材としての接着剤１８によって、加速度センサー素子２０の下面２０ｒがパッケージ７の内側（収容空間１７）の内底面１０ｆに接合されている。
【００３８】
図３に示すように、加速度センサー素子２０には、第１のセンサー素子としてのＹ軸センサー部２１ｙと、第２のセンサー素子としてのＸ軸センサー部２１ｘと、Ｚ軸センサー部２１ｚと、を含む。また、ＩＣ４０には、加速度センサー素子２０を制御する処理回路（不図示）、加速度センサー素子２０からの信号に基づいてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の加速度を検出する検出回路（信号処理部４５）、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路（出力部４６）等を含む。
【００３９】
（パッケージ７）
図１、図２Ａ、および図２Ｂに示すように、構造体５を収容するパッケージ７は、加速度センサー素子２０とパッケージ７とが重なる方向（＋Ｚ軸方向）からの平面視で外縁が四角形状であり、第１の基材１１、第２の基材１２、および第３の基材１３で構成されているベース部１０と、封止部材１４を介して第３の基材１３に接続されている蓋体としての蓋部１５とを含み構成されている。なお、第１の基材１１、第２の基材１２、および第３の基材１３は、この順で積層されてベース部１０が構成される。第１の基材１１は、平板状であり、第２の基材１２、および第３の基材１３は、中央部が除去された環状体であり、第３の基材１３の上面の周縁にシールリングや低融点ガラス等の封止部材１４が形成されている。なお、ベース部１０を構成する第１の基材１１が、基体に相当する。
【００４０】
パッケージ７は、中央部が除去された環状体である第２の基材１２と第３の基材１３とにより、構造体５を収容する凹陥部（キャビティー）が形成される。そして、パッケージ７は、この凹陥部（キャビティー）の開口部が蓋体としての蓋部（リッド）１５によって塞がれる、換言すれば封止されることによって閉空間（密閉空間）である収容空間（内部空間）１７が設けられ、この収容空間１７に構造体５を収容することができる。このように、パッケージ７と蓋部１５との間に設けられている収容空間１７に、加速度センサー素子２０およびＩＣ４０で構成される構造体５が収納されていることにより、構造体５をパッケージ７の外側の雰囲気から遮断でき、コンパクトで高性能な物理量センサー１とすることができる。なお、第１の基材１１や第２の基材１２を含むベース部１０に形成された配線パターンや電極パッド（端子電極）の一部は図示を省略してある。なお、パッケージ７の収容空間１７は、大気圧よりも低い減圧雰囲気、または窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性気体雰囲気に気密封止されている。
【００４１】
また、第２の基材１２の上面には複数の内部端子１９が配置されており、第１の基材１１の下面であるパッケージ７の外底面１０ｒには複数の外部端子１６が配置されている。また、パッケージ７の外側面には、それぞれ三つのキャスタレーション２８ｂが設けられている。また、パッケージ７の外側の四隅には、それぞれキャスタレーション２８ａが設けられている。キャスタレーション２８ａ，２８ｂには、配線電極（不図示）を設けることができる。各内部端子１９は、ベース部１０に形成された図示しない内部配線やキャスタレーション２８ａ，２８ｂの設けられた配線電極を介して対応する外部端子１６に電気的に接続されている。
【００４２】
第１の基材１１、第２の基材１２、および第３の基材１３の構成材料には、セラミックなどが好適に用いられる。なお、第１の基材１１、第２の基材１２、および第３の基材１３の構成材料は、セラミック以外に、ガラス、樹脂、金属等を用いてもよい。また、蓋部１５の構成材料には、例えば、コバールなどの金属材料、ガラス材料、シリコン材料、セラミック材料などを用いることができる。
【００４３】
（構造体５）
構造体５は、加速度センサー素子２０と、加速度センサー素子２０と電気的に接続され、接着層４１によって加速度センサー素子２０上に接続されている回路素子としてのＩＣ４０を含む。換言すれば、ＩＣ４０は、加速度センサー素子２０の、パッケージ７を構成する第１の基材１１側の面である下面２０ｒと反対側の面に取り付けられている。このように、パッケージ７と加速度センサー素子２０とＩＣ４０とを積層することにより、平面方向の配置効率を高め、物理量センサー１の平面視における面積を小さくすることができる。
【００４４】
加速度センサー素子２０は、後段にて詳述するが、第１のセンサー素子としてのＹ軸センサー部２１ｙと、第２のセンサー素子としてのＸ軸センサー部２１ｘと、Ｚ軸センサー部２１ｚと、を含む。Ｙ軸センサー部２１ｙおよびＸ軸センサー部２１ｘは、Ｘ−Ｙ平面方向の２軸（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）の加速度を検知し、Ｚ軸センサー部２１ｚは、Ｘ−Ｙ平面に直交するＺ軸方向の加速度を検知する。
【００４５】
加速度センサー素子２０およびＩＣ４０は、ボンディングワイヤー４３によって電気的に接続されている。また、ＩＣ４０は、ボンディングワイヤー４２によってパッケージ７（第２の基材１２の上面）に設けられている内部端子１９に電気的に接続されている。なお、内部端子１９、および外部端子１６は、例えばタングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）等の金属配線材料を、所定の位置にスクリーン印刷して焼成し、その上にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）等のめっきを施す方法などによって形成することができる。
【００４６】
構造体５は、図２Ａに示すように、接合材としての、例えば樹脂などを基材とする接着剤１８によって、基体としてのベース部１０を構成する第１の基材１１の上面に、すなわちパッケージ７の内側（収容空間１７）の内底面１０ｆに、加速度センサー素子２０の下面２０ｒが接合され、パッケージ７の収容空間１７に収納されている。なお、加速度センサー素子２０の下面２０ｒは、Ｙ軸方向（第１の方向）およびＸ軸方向（第２の方向）を含む面と並行である、後述する加速度センサー素子２０の容器２５の外側の面と言い換えることができる。このように、ベース部１０と容器２５との接合を入手の容易な接着剤１８によって行なうことができる。なお、接合材としては、上述した接着剤に替えて粘着剤を用いることも可能である。
【００４７】
なお、図２Ｂに示すように、接合材としての接着剤１８は、加速度センサー素子２０の下面２０ｒの法線方向からの平面視で、第２のセンサー素子としてのＸ軸センサー部２１ｘの輪郭の外側に位置し、且つＸ軸方向（第２の方向）に沿って帯状に配設されている。そして、構造体５は、このように配置された接着剤１８によって、パッケージ７の第１の基材１１（基体）に接合されている。なお、第１のセンサー素子としてのＹ軸センサー部２１ｙや第２のセンサー素子としてのＸ軸センサー部２１ｘと接合材としての接着剤１８の配置との関係は、後段にて詳述する。
【００４８】
（加速度センサー素子２０）
加速度センサー素子２０は、図４、および図５に示すように、ベース基板２２およびキャップ部２３を有する容器２５を有し、容器２５内に第１のセンサー素子としてのＹ軸センサー部２１ｙと、第２のセンサー素子としてのＸ軸センサー部２１ｘと、Ｚ軸センサー部２１ｚと、が収容されている。本形態では、Ｙ軸センサー部２１ｙと、Ｘ軸センサー部２１ｘとが、Ｙ軸方向（第１の方向）に沿って並んで配置されている。このような配置により、Ｙ軸センサー部２１ｙと、Ｘ軸センサー部２１ｘとの配置を効率よく行うことができ、容器２５の外形形状を小型にすることができる。なお、説明の便宜上、図５には、Ｚ軸センサー部２１ｚのみを示している。Ｙ軸センサー部２１ｙ、Ｘ軸センサー部２１ｘ、およびＺ軸センサー部２１ｚは、Ｙ軸方向、Ｘ軸方向、およびＺ軸方向のそれぞれの加速度を独立して検知することができる。なお、Ｙ軸センサー部２１ｙおよびＸ軸センサー部２１ｘは、Ｘ−Ｙ平面方向の２軸（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）の加速度を検知し、Ｚ軸センサー部２１ｚは、Ｘ−Ｙ平面に直交するＺ軸方向の加速度を検知する。
【００４９】
ベース基板２２には上側に開口する凹部２１１，２１２，２１３が形成されている。これらのうち、凹部２１１は、その上方に配置されているＸ軸センサー部２１ｘとベース基板２２との接触を防止するための逃げ部として機能する。同様に、凹部２１２は、その上方に配置されているＹ軸センサー部２１ｙとベース基板２２との接触を防止するための逃げ部として機能する。また、凹部２１３は、その上方に配置されているＺ軸センサー部２１ｚとベース基板２２との接触を防止するための逃げ部として機能する。
【００５０】
また、ベース基板２２には上面に開口する凹部２１１ａ，２１１ｂ，２１１ｃ、凹部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃおよび凹部２１３ａ，２１３ｂ，２１３ｃが形成されている。これらのうち、凹部２１１ａ，２１１ｂ，２１１ｃは、凹部２１１の周囲に配置されており、これら凹部２１１ａ，２１１ｂ，２１１ｃ内にはＸ軸センサー部２１ｘ用の配線２７１，２７２，２７３が配置されている。また、凹部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃは、凹部２１２の周囲に配置されており、凹部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ内にはＹ軸センサー部２１ｙ用の配線２８１，２８２，２８３が配置されている。また、凹部２１３ａ，２１３ｂ，２１３ｃは、凹部２１３の周囲に配置されており、凹部２１３ａ，２１３ｂ，２１３ｃ内にはＺ軸センサー部２１ｚ用の配線２９１，２９２，２９３が配置されている。また、これら各配線２７１，２７２，２７３，２８１，２８２，２８３，２９１，２９２，２９３の端部は、容器２５の外部に露出しており、露出した部分が接続端子２９となっている。そして、この各接続端子２９がボンディングワイヤー４３を介してＩＣ４０の電極パッド（不図示）と電気的に接続されている。
【００５１】
このようなベース基板２２は、例えば、アルカリ金属イオン（可動イオン）を含むガラス材料（例えば、パイレックス（登録商標）ガラスのような硼珪酸ガラス）から形成されている。これにより、シリコン基板から形成されているＸ軸センサー部２１ｘ、Ｙ軸センサー部２１ｙ、およびＺ軸センサー部２１ｚをベース基板２２に対して陽極接合により強固に接合することができる。また、ベース基板２２に光透過性を付与することができるため、ベース基板２２を介して容器２５の内部を観察することができる。ただし、ベース基板２２の構成材料としては、ガラス材料に限定されず、例えば、高抵抗なシリコン材料を用いることができる。この場合、Ｘ軸センサー部２１ｘ、Ｙ軸センサー部２１ｙ、およびＺ軸センサー部２１ｚとの接合は、例えば、樹脂系接着剤、ガラスペースト、金属層等を介して行うことができる。
【００５２】
第２のセンサー素子としてのＸ軸センサー部２１ｘは、Ｘ軸方向の加速度を検出するセンサー部である。このようなＸ軸センサー部２１ｘは、図６Ａに示すように、第３の支持部６１１および第４の支持部６１２と、第２の可動部６２と、第３の連結部６３１および第４の連結部６３２と、複数の第２の固定電極指６４，６５と、を有している。また、第２の可動部６２は、第２の基部６２１と、長手方向がＹ軸方向（第１の方向）に沿って配置されるように第２の基部６２１からＹ軸方向両側に突出している複数の第２の可動電極指６２２と、を有している。このようなＸ軸センサー部２１ｘは、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされたシリコン基板から形成されている。
【００５３】
第３の支持部６１１および第４の支持部６１２は、二つの固定部としてベース基板２２の上面２２ｆに陽極接合され、第３の支持部６１１が導電性バンプ（不図示）を介して配線２７１と電気的に接続されている。そして、第３の支持部６１１と第４の支持部６１２との間に第２の可動部６２が設けられている。第２の可動部６２は、第３の連結部６３１および第４の連結部６３２を介して第３の支持部６１１および第４の支持部６１２に連結されている。第３の連結部６３１および第４の連結部６３２は、バネのようにＸ軸方向に弾性変形可能であるため、第２の可動部６２が第３の支持部６１１および第４の支持部６１２に対して矢印ａで示すようにＸ軸方向に変位可能となる。
【００５４】
複数の第２の固定電極指６４は、Ｘ軸方向（第２の方向）に沿って櫛歯状に配列され、長手方向がＹ軸方向（第１の方向）に沿って配置されている。換言すれば、複数の第２の固定電極指６４は、第２の可動電極指６２２のＹ軸方向一方側に配置され、対応する第２の可動電極指６２２に対してＸ軸方向に間隔を隔てて対向する櫛歯状をなして並んでいる。このような複数の第２の固定電極指６４は、その基端部にてベース基板２２の凹部２１１の上面に陽極接合され、導電性バンプＢ１２を介して配線２７２に電気的に接続されている。
【００５５】
これに対して、他の複数の第２の固定電極指６５は、第２の可動電極指６２２のＹ軸方向他方側に配置され、対応する第２の可動電極指６２２に対してＸ軸方向に間隔を隔てて対向する櫛歯状をなして並んでいる。換言すれば、他の複数の第２の固定電極指６５は、Ｘ軸方向に沿って櫛歯状に配列され、長手方向がＹ軸方向に沿って配置されている。このような複数の第２の固定電極指６５は、その基端部にて、ベース基板２２の上面２２ｆに陽極接合され、導電性バンプＢ１３を介して配線２７３に電気的に接続されている。
【００５６】
このようなＸ軸センサー部２１ｘを用いて、次のようにしてＸ軸方向の加速度を検知する。すなわち、Ｘ軸方向の加速度が加わると、その加速度の大きさに基づいて、第２の可動部６２が、第３の連結部６３１および第４の連結部６３２を弾性変形させながら、Ｘ軸方向に変位する。当該変位に伴って、第２の可動電極指６２２と第２の固定電極指６４との間の静電容量、および第２の可動電極指６２２と第２の固定電極指６５との間の静電容量の大きさがそれぞれ変化する。そして、当該静電容量の変化に基づいてＩＣ４０にて加速度が求められる。
【００５７】
第１のセンサー素子としてのＹ軸センサー部２１ｙは、Ｙ軸方向の加速度を検出するセンサー部である。このようなＹ軸センサー部２１ｙは、平面視で９０°回転した状態で配置されている以外は、Ｘ軸センサー部２１ｘと同様の構成である。Ｙ軸センサー部２１ｙは、図６Ｂに示すように、第１の支持部７１１および第２の支持部７１２と、第１の可動部７２と、第１の連結部７３１および第２の連結部７３２と、複数の第１の固定電極指７４，７５と、を有している。また、第１の可動部７２は、第１の基部６２１と、長手方向がＺ軸方向（第２の方向）となるように第１の基部６２１からＸ軸方向両側に突出している複数の第１の可動電極指７２２と、を有している。このようなＹ軸センサー部２１ｙは、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされたシリコン基板から形成されている。
【００５８】
第１の支持部７１１および第２の支持部７１２は、ベース基板２２の上面２２ｆに陽極接合され、第１の支持部７１１が導電性バンプ（不図示）を介して配線２８１と電気的に接続されている。そして、これら第１の支持部７１１と第２の支持部７１２との間に第１の可動部７２が設けられている。第１の可動部７２は、第１の連結部７３１および第２の連結部７３２を介して第１の支持部７１１および第２の支持部７１２に連結されている。第１の連結部７３１および第２の連結部７３２は、バネのようにＹ軸方向に弾性変形可能であるため、第１の可動部７２が第１の支持部７１１および第２の支持部７１２に対して矢印ｂで示すようにＹ軸方向に変位可能となる。
【００５９】
複数の第１の固定電極指７４は、Ｙ軸方向（第１の方向）に沿って櫛歯状に配列され、長手方向がＸ軸方向（第２の方向）に沿って配置されている。換言すれば、第１の固定電極指７４は、第１の可動電極指７２２のＸ軸方向一方側に配置され、対応する第１の可動電極指７２２に対してＹ軸方向に間隔を隔てて対向する櫛歯状をなして並んでいる。このような複数の第１の固定電極指７４は、その基端部にてベース基板２２の凹部２１２の上面に陽極接合され、導電性バンプＢ２２を介して配線２８２に電気的に接続されている。
【００６０】
これに対して、他の複数の第１の固定電極指７５は、第１の可動電極指７２２のＸ軸方向他方側に配置され、対応する第１の可動電極指７２２に対してＹ軸方向に間隔を隔てて対向する櫛歯状をなして並んでいる。換言すれば、他の複数の第１の固定電極指７５は、Ｙ軸方向に沿って櫛歯状に配列され、長手方向がＸ軸方向に沿って配置されている。このような複数の第１の固定電極指７５は、その基端部にて、ベース基板２２の上面２２ｆに陽極接合され、導電性バンプＢ２３を介して配線２８３に電気的に接続されている。
【００６１】
このようなＹ軸センサー部２１ｙを用いて、次のようにしてＹ軸方向の加速度を検知する。すなわち、Ｙ軸方向の加速度が加わると、その加速度の大きさに基づいて、第１の可動部７２が、第１の連結部７３１および第２の連結部７３２を弾性変形させながら、Ｙ軸方向に変位する。当該変位に伴って、第１の可動電極指７２２と第１の固定電極指７４との間の静電容量、および第１の可動電極指７２２と第１の固定電極指７５との間の静電容量の大きさがそれぞれ変化する。そして、当該静電容量の変化に基づいてＩＣ４０にて加速度が求められる。
【００６２】
センサー素子の一つであるＺ軸センサー部２１ｚは、Ｚ軸方向（鉛直方向）の加速度を検出する部分である。このようなＺ軸センサー部２１ｚは、図６Ｃに示すように、支持部８１１と、可動部８２と、可動部８２を支持部８１１に対して揺動可能に連結する一対の連結部８３１，８３２と、を有し、連結部８３１，８３２を軸Ｊとして、可動部８２が支持部８１１に対してシーソー揺動する。このようなＺ軸センサー部２１ｚは、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされたシリコン基板から形成されている。
【００６３】
支持部８１１は、ベース基板２２の上面２２ｆに陽極接合され、支持部８１１が導電性バンプ（不図示）を介して配線２９１と電気的に接続されている。そして、支持部８１１のＹ軸方向の両側に可動部８２が設けられている。可動部８２は、軸Ｊよりも＋Ｙ方向側に位置する第１可動部８２１と、軸Ｊよりも−Ｙ方向側に位置し、第１可動部８２１よりも大きい第２可動部８２２とを有している。第１可動部８２１および第２可動部８２２は、鉛直方向（Ｚ軸方向）の加速度が加わったときの回転モーメントが異なっており、加速度に応じて可動部８２に所定の傾きが生じるように設計されている。これにより、Ｚ軸方向の加速度が生じると、可動部８２が軸Ｊまわりにシーソー揺動する。
【００６４】
また、凹部２１３の底面の第１可動部８２１と対向する位置には配線２９２に電気的に接続された第１検出電極２１１ｇが配置されており、第２可動部８２２と対向する位置には配線２９３に電気的に接続された第２検出電極２１１ｈが配置されている。そのため、第１可動部８２１と第１検出電極２１１ｇとの間に静電容量が形成され、第２可動部８２２と第２検出電極２１１ｈとの間に静電容量が形成されている。なお、第２可動部８２２と対向する位置にあって、第２検出電極２１１ｈよりも−Ｙ軸側には、ダミー電極２１１ｉを設けることができる。なお、第１検出電極２１１ｇ、第２検出電極２１１ｈ、およびダミー電極２１１ｉは、例えば、ＩＴＯ等の透明な導電性材料で構成されていることが好ましい。
【００６５】
このようなＺ軸センサー部２１ｚを用いて、次のようにしてＺ軸方向の加速度を検出する。すなわち、Ｚ軸方向の加速度が加わると、可動部８２は、軸Ｊまわりにシーソー揺動する。このような可動部８２のシーソー揺動によって、第１可動部８２１と第１検出電極２１１ｇとの離間距離、および第２可動部８２２と第２検出電極２１１ｈとの離間距離が変化し、これに応じてこれらの間の静電容量が変化する。そして、当該静電容量の変化に基づいてＩＣ４０にて加速度が求められる。
【００６６】
キャップ部２３は、図５に示すように、下面に開口する凹部２２３を有し、凹部２２３が凹部２１１，２１２，２１３とで収容空間（内部空間）Ｓ２を形成するようにベース基板２２に接合されている。このようなキャップ部２３は、本実施形態ではシリコン基板で形成されている。キャップ部２３とベース基板２２とはガラスフリット２４を用いて気密に接合されている。なお、キャップ部２３をベース基板２２に接合した状態では、ベース基板２２に形成されている凹部２１１ａ〜２１１ｃ，２１２ａ〜２１２ｃ，２１３ａ〜２１３ｃを介して収容空間Ｓ２の内外が連通されている。そのため、例えば、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）を用いたＣＶＤ法等で形成されたＳｉＯ2膜（不図示）によって凹部２１１ａ〜２１１ｃ，２１２ａ〜２１２ｃ，２１３ａ〜２１３ｃを塞いでいる。また、キャップ部２３には、凹部２２３から外部に貫通する段付きの封止孔２７が設けられている。封止孔２７は、収容空間Ｓ２を窒素（Ｎ2）雰囲気とした状態で、溶融金属２６、例えば溶融させた金ゲルマニウム合金（ＡｕＧｅ）を用いて封止されている。
【００６７】
（ＩＣ４０）
図２Ａに示すように、ＩＣ４０は、接着層４１を介して加速度センサー素子２０の上面（キャップ部２３上）に配置されている。なお、接着層４１としては、加速度センサー素子２０上にＩＣ４０を固定することができれば、特に限定されず、例えば、半田、銀ペースト、樹脂系接着剤（ダイアタッチ剤）等を用いることができる。
【００６８】
ＩＣ４０には、例えば、加速度センサー素子２０を駆動する駆動回路や、加速度センサー素子２０からの信号に基づいてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の加速度を検出する検出回路（信号処理部４５）や、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路（出力部４６）等が含まれている。また、ＩＣ４０は、上面に複数の電極パッド（不図示）を有し、各電極パッドがボンディングワイヤー４２を介して第２の基材１２の内部端子１９に電気的に接続され、各電極パッドがボンディングワイヤー４３を介して加速度センサー素子２０の接続端子２９に電気的に接続されている。これにより、加速度センサー素子２０を制御することができる。
【００６９】
（接合材の配置）
構造体５をベース部１０に接合する接合材としての接着剤１８は、硬化時や硬化後熱ストレスなどによって生じる応力が、加速度センサー素子２０の出力特性に対して影響を与えることがある。ここで、図７、図８、および図９を参照して、容器２５に加わる応力によるＹ軸センサー部２１ｙ、およびＸ軸センサー部２１ｘの出力特性（容量変化量）に対する影響について説明する。図７は、加速度センサー素子２０に対して応力を印加し、その特性変化を確認するための応力印加試験方法の一例を示す概略図である。図８は、Ｘ軸方向（第２の方向）への応力印加と各センサー素子の容量変化との相関を示すグラフである。図９は、Ｙ軸方向（第１の方向）への応力印加と各センサー素子の容量変化との相関を示すグラフである。
【００７０】
この評価では、図７に示すような応力印加試験方法を用い、加速度センサー素子２０に対して応力が加わったときの特性変化を確認した。この応力印加試験方法では、図７に示すように、試験台ＢＰ上に二つの支持材Ｆｕを介して載置された板材ＰＬを用意する。そして二つの支持材Ｆｕの間の板材ＰＬ上に構造体５を接着剤（不図示）によって固定する。なお、接着剤は、構造体５の接合面全体に塗布される。この状態で板材ＰＬが、二つの支持材Ｆｕを作用点として試験台ＢＰの方向に変形するような矢印Ｆの力を加える。板材ＰＬの変形によって、板材ＰＬに固定されている構造体５には、二つの支持材Ｆｕの方向に力が加わる（変形する）ような応力を生じさせることができる。なお、板材ＰＬへの構造体５の固定する向きによって構造体５に対する応力方向を変えることができる。
【００７１】
先ず、Ｙ軸方向（第１の方向）に並んでＹ軸センサー部２１ｙ、およびＸ軸センサー部２１ｘが配置されている構造体５に対して、Ｘ軸方向（第２の方向）への応力を印加したときの加速度センサー素子２０を構成するＹ軸センサー部２１ｙ、およびＸ軸センサー部２１ｘの容量変化について検証した結果を図８のグラフに示す。
【００７２】
図８のグラフに示されているように、Ｘ軸方向への応力を印加したときは、Ｘ軸方向に配列された第２の固定電極指６４および他の第２の固定電極指６５と、第２の可動電極指６２２とを有するＸ軸センサー部２１ｘの容量変化が大きくなる。これに対し、Ｙ軸方向に配列された第１の固定電極指７４および他の第１の固定電極指７５と、第１の可動電極指７２２とを有するＹ軸センサー部２１ｙの容量変化は殆んど出現しないことが解る。
【００７３】
次に、Ｙ軸方向（第１の方向）に並んでＹ軸センサー部２１ｙ、およびＸ軸センサー部２１ｘが配置されている構造体５に対して、Ｙ軸方向への応力を印加したときの加速度センサー素子２０を構成するＹ軸センサー部２１ｙ、およびＸ軸センサー部２１ｘの容量変化について検証した結果を図９のグラフに示す。
【００７４】
図９のグラフに示されているように、Ｙ軸方向への応力を印加したときは、Ｘ軸方向に配列された第２の固定電極指６４，６５と、第２の可動電極指６２２とを有するＸ軸センサー部２１ｘの容量変化は殆んど出現しない。これに対し、Ｙ軸方向に配列された第１の固定電極指７４，７５と、第１の可動電極指７２２とを有するＹ軸センサー部２１ｙに容量変化が出現することが解る。
【００７５】
上述のように、加速度センサー素子２０の接合面全体に接着剤１８が塗布されて固定されている場合に、一方向に応力が印加されると、応力の印加される方向に第２の固定電極指６４，６５と、第２の可動電極指６２２とが配列、または第１の固定電極指７４，７５と第１の可動電極指７２２とが配列されていることにより、応力印加方向（変形方向）と容量変化の検出方向とが一致し、容量変化に対する影響が大きくなる。
【００７６】
発明者は、このような検証結果から、接着剤１８の塗布配置により、接着剤１８の硬化時や硬化後熱ストレスなどによって生じる応力による構造体５（加速度センサー素子２０）の検出精度に対する影響を減少させることが可能であることを見出した。以下、接着剤１８の塗布配置の具体的な構成について、図２Ｂを参照して説明する。
【００７７】
図２Ｂに示すように、接合材としての接着剤１８は、加速度センサー素子２０の下面２０ｒの法線方向からの平面視で、第２のセンサー素子としてのＸ軸センサー部２１ｘの輪郭の外側、本形態ではＹ軸方向の外側にあって、第１のセンサー素子としてのＹ軸センサー部２１ｙと重なる位置に配置され、且つＸ軸方向（第２の方向）に沿って加速度センサー素子２０を横断する帯状に配設されている。なお、ここでの帯状の接着剤１８とは、延在方向（本構成ではＸ軸方向）に直交する方向（本構成ではＹ軸方向）に幅寸法を有して延在している状態をいう。そして、構造体５（加速度センサー素子２０）は、このように配置された接着剤１８によって、パッケージ７の第１の基材１１（基体）に接合されている。
【００７８】
このように、加速度センサー素子２０の容器２５を基体に接合する接着剤１８が、容器２５の外側の面（加速度センサー素子２０の下面２０ｒ）の法線方向からの平面視で、第２のセンサー素子（Ｘ軸センサー部２１ｘ）の輪郭の外側に位置し、且つＸ軸方向（第２の方向）に沿って帯状に設けられているため、接着剤１８の接合応力はＸ軸方向に強く作用することになり、接着剤１８の配置されている部分の容器２５はＸ軸方向に大きく変形し、Ｙ軸方向（第１の方向）の変形は小さい。
【００７９】
したがって、Ｘ軸方向に沿って櫛歯状に第２の固定電極指６４，６５や第２の可動電極指６２２が配列されているＸ軸センサー部２１ｘは、Ｘ軸方向の変形による静電容量の変化の影響を受け易いが、接着剤１８がＸ軸センサー部２１ｘの輪郭の外側に位置するため、Ｘ軸センサー部２１ｘは接着剤１８の応力による容器２５の変形領域から外れることになり、静電容量の変化の影響を小さくすることができる。
【００８０】
また、Ｙ軸方向に沿って櫛歯状に第１の固定電極指７４，７５や第１の可動電極指７２２が配列されているＹ軸センサー部２１ｙは、接着剤１８の応力による容器２５のＸ軸方向の変形領域にあるものの、静電容量を検出する方向がＹ軸方向であるため、Ｘ軸方向に容器２５が変形してもその影響を受け難い。換言すれば、Ｙ軸センサー部２１ｙは、容器２５の変形の小さなＹ軸方向の静電容量の変化を検出するため、影響を受け難い。
【００８１】
これらにより、異なる方向（Ｙ軸方向およびＸ軸方向）の加速度を検出する二つのセンサー素子（Ｙ軸センサー部２１ｙおよびＸ軸センサー部２１ｘ）を備えていても、接着剤１８の応力による容器２５の変形によって、検出された静電容量に生じる不要な変動に起因する検出精度の低下を低減することができる。また、接着剤１８の配置を、容器２５の外側の面である外面の法線方向からの平面視でＹ軸センサー部２１ｙと重なる位置とすることができるため、容器２５の該平面視での大きさを大きくすることなく、二つのセンサー素子（Ｙ軸センサー部２１ｙおよびＸ軸センサー部２１ｘ）を収容することができる。
【００８２】
以上説明したような第１実施形態に係る物理量センサー１によれば、加速度を検出する二つのセンサー素子（Ｙ軸センサー部２１ｙおよびＸ軸センサー部２１ｘ）、および接着剤１８を上述のように配置することにより、接着剤１８の応力による容器２５の変形によって生じる不要な変動に起因する検出精度の低下を低減することができる。
【００８３】
なお、上述した第１実施形態では、加速度センサー素子２０において、容器２５内に三つのセンサー素子（Ｘ軸センサー部２１ｘ、Ｙ軸センサー部２１ｙ、およびＺ軸センサー部２１ｚ）を収納した構成を一例に説明したが、加速度センサー素子は、必ずしも三つのセンサー部が収納されなくてもよく、用途に応じて必要な１軸、もしくは２軸を検出可能な加速度センサー素子とすることができる。以下、図１０、図１１、および図１２を参照して、加速度センサー素子の応用例１、応用例２、および応用例３として説明する。
【００８４】
（応用例１）
先ず、図１０を参照して、加速度センサー素子の応用例１を説明する。図１０は、センサー素子の応用例１を示す平面図である。なお、本応用例１では、Ｙ軸方向を第１の方向とし、Ｘ軸方向を第２の方向とする。
【００８５】
応用例１に係る加速度センサー素子２０１は、図１０に示すように、一つのセンサー部２ｘを有している。センサー部２ｘは、一つの軸方向の加速度を検出する部分である。このようなセンサー部２ｘは、図４および図６Ａを示して説明したＸ軸センサー部２１ｘの構成と同様の構成をなしている。したがって詳細な説明は省略するが、センサー部２ｘは、Ｘ軸方向（第２の方向）に配列され、Ｙ軸方向（第１の方向）に長手方向を有する固定電極指や可動電極指を備え、Ｘ軸方向の加速度を検出することができる。そして、センサー部２ｘは、第１実施形態と同様な、ベース基板２２１およびキャップ部２３１を有する容器２５１に気密に収容されている。このような加速度センサー素子２０１では、一つの軸方向（本例ではＸ軸方向）の加速度を検出することができる。
【００８６】
加速度センサー素子２０１の容器２５１は、ベース基板２２１の下面（裏面）において、接合材としての接着剤１８ａによって、図２Ａに示すようなパッケージ７の第１の基材１１（基体）に接合されている。接着剤１８ａは、加速度センサー素子２０１の下面（不図示）の法線方向からの平面視で、センサー部２ｘと重なる位置に配置され、且つＹ軸方向（第１の方向）に沿って加速度センサー素子２０１を横切る帯状に配設されている。
【００８７】
このように配設された接着剤１８ａにより、加速度センサー素子２０１がパッケージ７の第１の基材１１（基体）に接合されていることにより、Ｘ軸方向（第２の方向）に沿って櫛歯状に固定電極指や可動電極指が配列されているセンサー部２ｘは、接着剤１８ａの応力による容器２５１のＹ軸方向（第１の方向）の変形領域にあるものの、静電容量を検出する方向がＸ軸方向であるため、Ｙ軸方向に容器２５１が変形することによるギャップの変化により生じる静電容量の変化の影響を受け難い。換言すれば、センサー部２ｘは、容器２５１の変形の小さなＸ軸方向の静電容量の変化を検出するため、影響を受け難い。したがって、接着剤１８ａの応力による容器２５１の変形によって、検出された静電容量に生じる不要な変動に起因する検出精度の低下を低減することができる。
【００８８】
なお、加速度センサー素子２０１では、Ｘ軸センサー部２１ｘと同様な構成のセンサー部２ｘを用いて説明したが、Ｙ軸センサー部２１ｙと同様なセンサー部が、容器２５１に気密に収容されている構成であってもよい。この場合、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」または「第２の方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」または「第１の方向」とし、センサー部２ｙは、Ｙ軸方向（第１の方向）に配列され、Ｘ軸方向（第２の方向）に長手方向を有する固定電極指や可動電極指を備え、Ｙ軸方向（第２の方向）の加速度を検出することができる。
そして、接着剤１８ａは、加速度センサー素子２０１の下面（不図示）の法線方向からの平面視で、センサー部２ｙと重なる位置に配置され、且つＸ軸方向（第２の方向）に沿って加速度センサー素子２０１を横切る帯状に配設される。
【００８９】
（応用例２）
次に、図１１を参照して、加速度センサー素子の応用例２を説明する。図１１は、センサー素子の応用例２を示す平面図である。なお、本応用例２では、Ｙ軸方向を第１の方向とし、Ｘ軸方向を第２の方向とする。
【００９０】
応用例２に係る加速度センサー素子２０２は、図１１に示すように、Ｙ軸方向（第１の方向）に並んで配置された二つのセンサー部２ｘ（第２のセンサー素子），２ｙ（第１のセンサー素子）を有している。センサー部２ｘ（第２のセンサー素子）は、一つの軸方向（本例ではＸ軸方向）の加速度を検出する部分である。このようなセンサー部２ｘは、図４および図６Ａを示して説明したＸ軸センサー部２１ｘの構成と同様の構成をなしており、詳細な説明は省略するが、Ｘ軸方向（第２の方向）に配列され、Ｙ軸方向に延在された固定電極指や可動電極指を備え、Ｘ軸方向の加速度を検出することができる。また、センサー部２ｙ（第１のセンサー素子）は、一つの軸方向（本例ではＹ軸方向）の加速度を検出する部分である。このようなセンサー部２ｙは、図４および図６Ｂを示して説明したＹ軸センサー部２１ｙの構成と同様の構成をなしており、詳細な説明は省略するが、Ｙ軸方向に配列され、Ｘ軸方向に延在された固定電極指や可動電極指を備え、Ｙ軸方向の加速度を検出することができる。そして、センサー部２ｘおよびセンサー部２ｙは、第１実施形態と同様な構成の、ベース基板２２２およびキャップ部２３２を有する容器２５２に気密に収容されている。このような加速度センサー素子２０２では、二つの軸方向（本例では、Ｘ軸方向およびＹ軸方向）の加速度を検出することができる。
【００９１】
加速度センサー素子２０２の容器２５２は、ベース基板２２２の下面（裏面）において、接合材としての接着剤１８ｂによって、図２Ａに示すようなパッケージ７の第１の基材１１（基体）に接続されている。接着剤１８ｂは、加速度センサー素子２０２の下面（不図示）の法線方向からの平面視で、センサー部２ｘの輪郭の外側、本形態ではＹ軸方向の外側にあって、センサー部２ｙと重なる位置に配置され、且つＸ軸方向（第２の方向）に沿って加速度センサー素子２０２を横切る帯状に配設されている。
【００９２】
このように、加速度センサー素子２０２の容器２５２を基体に接合する接着剤１８ｂが、容器２５２の外面の法線方向からの平面視で、センサー部２ｘの輪郭の外側に位置し、且つＸ軸方向（第２の方向）に沿って帯状に設けられているため、接着剤１８ｂの接合応力はＸ軸方向に強く作用することになり、接着剤１８ｂの配置されている部分の容器２５２はＸ軸方向に大きく変形し、Ｙ軸方向（第１の方向）の変形は小さい。
【００９３】
したがって、Ｘ軸方向に沿って櫛歯状に固定電極指や可動電極指が配列されているセンサー部２ｘは、Ｘ軸方向の変形による静電容量の変化の影響を受け易いが、接着剤１８ｂがセンサー部２ｘの輪郭の外側に位置するため、センサー部２ｘは接着剤１８ｂの応力による容器２５２の変形領域から外れることになり、静電容量の変化の影響を小さくすることができる。
【００９４】
また、Ｙ軸方向に沿って櫛歯状に固定電極指や可動電極指が配列されているセンサー部２ｙは、接着剤１８ｂの応力による容器２５２のＸ軸方向の変形領域にあるものの、静電容量を検出する方向がＹ軸方向であるため、Ｘ軸方向に容器２５２が変形してもその影響を受け難い。換言すれば、センサー部２ｙは、容器２５２の変形の小さなＹ軸方向の静電容量の変化を検出するため、影響を受け難い。
【００９５】
このような構成によれば、加速度を検出する二つのセンサー素子（センサー部２ｙおよびセンサー部２ｘ）、および接着剤１８ｂを上述のように配置することにより、接着剤１８ｂの応力による容器２５２の変形によって生じる不要な変動に起因する検出精度の低下を低減することができる。また、二つのセンサー素子（センサー部２ｙおよびセンサー部２ｘ）の配置を効率よく行うことができ、容器２５２の外形形状を小型にすることができる。
【００９６】
（応用例３）
次に、図１２を参照して、加速度センサー素子の応用例３を説明する。図１２は、センサー素子の応用例３を示す平面図である。なお、本応用例３では、Ｙ軸方向を第１の方向とし、Ｘ軸方向を第２の方向とする。
【００９７】
応用例３に係る加速度センサー素子２０３は、図１２に示すように、Ｘ軸方向（第２の方向）に並んで配置された二つのセンサー部２ｘ（第２のセンサー素子），２ｙ（第１のセンサー素子）を有している。センサー部２ｘは、一つの軸方向（本例ではＸ軸方向）の加速度を検出する部分である。このようなセンサー部２ｘ（第２のセンサー素子）は、図４および図６Ａを示して説明したＸ軸センサー部２１ｘの構成と同様の構成をなしており、詳細な説明は省略するが、Ｘ軸方向に配列され、Ｙ軸方向（第１の方向）に延在された固定電極指や可動電極指を備え、Ｘ軸方向の加速度を検出することができる。また、センサー部２ｙ（第１のセンサー素子）は、一つの軸方向（本例ではＹ軸方向）の加速度を検出する部分である。このようなセンサー部２ｙは、図４および図６Ｂを示して説明したＹ軸センサー部２１ｙの構成と同様の構成をなしており、詳細な説明は省略するが、Ｙ軸方向に配列され、Ｘ軸方向に延在された固定電極指や可動電極指を備え、Ｙ軸方向の加速度を検出することができる。そして、センサー部２ｘおよびセンサー部２ｙは、第１実施形態と同様な構成の、ベース基板２２５およびキャップ部２３３を有する容器２５３に気密に収容されている。このような加速度センサー素子２０３では、二つの軸方向（本例では、Ｘ軸方向およびＹ軸方向）の加速度を検出することができる。
【００９８】
加速度センサー素子２０３の容器２５３は、ベース基板２２５の裏面において、接合材としての接着剤１８ｃによって、図２Ａに示すようなパッケージ７の第１の基材１１（基体）に接合されている。接着剤１８ｃは、加速度センサー素子２０３の下面（不図示）の法線方向からの平面視で、センサー部２ｙの輪郭の外側、本形態ではＸ軸方向の外側にあって、センサー部２ｘと重なる位置に配置され、且つＹ軸方向（第１の方向）に沿って加速度センサー素子２０３を横切る帯状に配設されている。
【００９９】
このように、加速度センサー素子２０３の容器２５３を基体に接合する接着剤１８ｃが、容器２５３の外側の面の法線方向からの平面視で、センサー部２ｙの輪郭の外側に位置し、且つＹ軸方向（第１の方向）に沿って帯状に設けられているため、接着剤１８ｃの接合応力はＹ軸方向に強く作用することになり、接着剤１８ｃの配置されている部分の容器２５３はＹ軸方向に大きく変形し、Ｘ軸方向（第２の方向）の変形は小さい。
【０１００】
したがって、Ｙ軸方向に沿って櫛歯状に固定電極指や可動電極指が配列されているセンサー部２ｙは、Ｙ軸方向の変形による静電容量の変化の影響を受け易いが、接着剤１８ｃがセンサー部２ｙの輪郭の外側に位置するため、センサー部２ｙは接着剤１８ｃの応力による容器２５３の変形領域から外れることになり、静電容量の変化の影響を小さくすることができる。
【０１０１】
また、Ｘ軸方向に沿って櫛歯状に固定電極指や可動電極指が配列されているセンサー部２ｘは、接着剤１８ｃの応力による容器２５３のＹ軸方向の変形領域にあるものの、静電容量を検出する方向がＸ軸方向であるため、Ｙ軸方向に容器２５３が変形してもその影響を受け難い。換言すれば、センサー部２ｘは、容器２５３の変形の小さなＸ軸方向の静電容量の変化を検出するため、影響を受け難い。
【０１０２】
このような構成によれば、加速度を検出する二つのセンサー素子（センサー部２ｙおよびセンサー部２ｘ）、および接着剤１８ｃを上述のように配置することにより、接着剤１８ｃの応力による容器２５３の変形によって生じる不要な変動に起因する検出精度の低下を低減することができる。また、二つのセンサー素子（センサー部２ｙおよびセンサー部２ｘ）の配置を効率よく行うことができ、容器２５３の外形形状を小型にすることができる。
【０１０３】
（接合材の変形例）
次に、図１３を参照して、接合材の変形例を説明する。図１３は、接合材の変形例を示す断面図である。本変形例は、接合材の構成が第１実施形態と異なる。以下、接合材の構成について中心に説明する。
【０１０４】
変形例に係る物理量センサー１００は、図１３に示すように、Ｘ軸方向（第２の方向）、Ｙ軸方向（第１の方向）およびＺ軸方向（第３の方向）のそれぞれの加速度を独立して検知することのできる３軸加速度センサーとして利用可能である。このような物理量センサー１００は、第１実施形態と同様に、パッケージ７と、パッケージ７内に収容された構造体５と、を有している。
【０１０５】
なお、構造体５は、センサー素子としての加速度センサー素子２０と、加速度センサー素子２０上に配置された回路素子としてのＩＣ（integrated circuit）４０と、を含み、容器の下面としての加速度センサー素子２０の下面２０ｒに設けられた金属電極１８８と、基体としての第１の基材１１の上面（内底面１０ｆ）に設けられている金属層１８９との少なくともいずれかを接合材として、加速度センサー素子２０がパッケージ７の内側（収容空間１７）の内底面１０ｆに接合されている。なお、本変形例では、加速度センサー素子２０の下面２０ｒに設けられた金属電極１８８を突起電極（金属バンプ）として構成し、フリップチップボンディングなどの接合法を用いて加速度センサー素子２０をパッケージ７の内側（収容空間１７）の内底面１０ｆに接合する。接合材は、上述した第１実施形態、および応用例１〜応用例３と同様に配置することができる。
【０１０６】
このような構成の接合材を用いれば、加速度センサー素子２０（構造体５）の容器２５と基体としての第１の基材１１の接合において、金属電極１８８と金属層１８９との少なくともいずれかを接合材として、例えばフリップチップボンディングなど、普及されている接合法を用いることができる。
【０１０７】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態に係る物理量センサーを、図１４を参照して説明する。図１４は、第２実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示す断面図である。なお、以下では、第１実施形態と同様の、互いに直交する三つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を用いて説明する。また、説明の便宜上、Ｚ軸方向から視たときの平面視において、蓋部側である＋Ｚ軸方向側の面を上面、これと反対側となる−Ｚ軸方向側の面を下面として説明することがある。また、以下の説明では、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１０８】
図１４に示すように、第２実施形態に係る物理量センサー１Ａは、第１実施形態と同様に、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向のそれぞれの加速度を独立して検知することのできる３軸加速度センサーとして利用可能である。このような物理量センサー１Ａは、パッケージ７Ａと、パッケージ７Ａ内に収容された構造体５Ａと、を有している。なお、構造体５Ａは、回路素子としてのＩＣ（integrated circuit）４０Ａと、ＩＣ４０Ａ上に配置されたセンサー素子としての加速度センサー素子２０と、を含み、接着層４１によってＩＣ４０Ａの下面４０ｒがパッケージ７Ａの内側（収容空間１７Ａ）に接合されている。
【０１０９】
（パッケージ７Ａ）
パッケージ７Ａは、第１の基材１１Ａ、第２の基材１２Ａ、および第３の基材１３Ａで構成されているベース部１０Ａと、封止部材１４を介して第３の基材１３Ａに接続されている蓋体としての蓋部１５とを含み構成されている。なお、パッケージ７Ａの構成は、第１実施形態と同様であるので詳細な説明は省略する。
【０１１０】
パッケージ７Ａは、中央部が除去された環状体である第２の基材１２Ａと第３の基材１３Ａとにより、構造体５Ａを収容する凹部（キャビティー）が形成される。そして、パッケージ７Ａは、これらの凹部（キャビティー）の開口が蓋体としての蓋部１５によって塞がれることによって密閉空間である収容空間（内部空間）１７Ａが設けられ、この収容空間１７Ａに構造体５Ａを収容することができる。このような収容空間１７Ａに、構造体５Ａが収納されていることにより、コンパクトで高性能な物理量センサー１Ａとすることができる。なお、第１の基材１１Ａや第２の基材１２Ａを含むベース部１０Ａに形成された配線パターンや電極パッド（端子電極）の一部は図示を省略してある。また、第１の基材１１Ａは、一つの基板で構成された例を示しているが、第１実施形態で示したように、複数の基板を積層した積層基板を適用することもできる。この場合、第１実施形態と同様に、それぞれの基板間に配線パターンを設けることができる。
【０１１１】
第１の基材１１Ａ、第２の基材１２Ａ、第３の基材１３Ａ、および蓋部１５の構成材料は、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。なお、第２の基材１２Ａの上面には複数の内部端子１９Ａが配置されており、第１の基材１１Ａの下面であるパッケージ７Ａの外底面１０ｒには複数の外部端子１６Ａが配置されている。また、各内部端子１９Ａは、ベース部１０Ａに形成された図示しない内部配線などを介して対応する外部端子１６Ａに電気的に接続されている。
【０１１２】
（構造体５Ａ）
構造体５Ａは、回路素子としてのＩＣ４０Ａと、ＩＣ４０Ａ上に配置されたセンサー素子としての加速度センサー素子２０と、を含む。ＩＣ４０Ａは、接着層４１を介して下面４０ｒ側がパッケージ７Ａに接続されている。加速度センサー素子２０は、ＩＣ４０Ａの上面４０ｆに、接合材としての接着剤１８を介して取り付けられている。
【０１１３】
なお、加速度センサー素子２０をＩＣ４０Ａに取り付ける接着剤１８は、第１実施形態と同様な構成で配置されている。このような接着剤１８は、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。また、物理量センサー１Ａの機能構成、および加速度センサー素子２０の構成は、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
【０１１４】
構造体５Ａを構成する加速度センサー素子２０およびＩＣ４０Ａは、ボンディングワイヤー４３Ａによって電気的に接続されている。また、ＩＣ４０Ａは、ボンディングワイヤー４２Ａによってパッケージ７Ａ（第２の基材１２Ａの上面）に設けられている内部端子１９Ａに電気的に接続されている。なお、内部端子１９Ａ、および外部端子１６Ａは、例えばタングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）等の金属配線材料を、所定の位置にスクリーン印刷して焼成し、その上にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）等のめっきを施す方法などによって形成することができる。
【０１１５】
ＩＣ４０Ａには、例えば、加速度センサー素子２０を駆動する駆動回路や、加速度センサー素子２０からの信号に基づいてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の加速度を検出する検出回路（信号処理部４５）や、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路（出力部４６）等が含まれている。また、ＩＣ４０Ａは、上面４０ｆに複数の電極パッド（不図示）を有し、各電極パッドがボンディングワイヤー４２Ａを介して第２の基材１２Ａの内部端子１９Ａに電気的に接続され、各電極パッドがボンディングワイヤー４３Ａを介して加速度センサー素子２０の接続端子２９に電気的に接続されている。これにより、加速度センサー素子２０を制御することができる。
【０１１６】
以上説明した第２実施形態に係る物理量センサー１Ａによれば、接着層４１によってＩＣ４０Ａの下面４０ｒがパッケージ７Ａの内側（収容空間１７Ａ）に接続されている。このように、パッケージ７Ａの第１の基材１１ＡとＩＣ４０Ａとを積層することにより、平面方向の配置効率を高め、物理量センサー１Ａの平面視における面積を小さくすることができる。また、加速度を検出する二つのセンサー素子、および接着剤１８を第１実施形態と同様な配置で設けることにより、接着剤１８の応力による容器２５の変形によって生じる不要な変動に起因する検出精度の低下を低減することができる。
【０１１７】
＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態に係る物理量センサーを、図１５Ａ、および図１５Ｂを参照して説明する。図１５Ａは、第３実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１５Ａでは蓋部を省略した状態を示している。図１５Ｂは、第３実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示す断面図である。なお、以下では、第１実施形態と同様の、互いに直交する三つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を用いて説明する。また、説明の便宜上、Ｚ軸方向から視たときの平面視において、センサー素子側である＋Ｚ軸方向側の面を上面、これと反対側となる−Ｚ軸方向側の面を下面として説明することがある。また、以下の説明では、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１１８】
図１５Ａおよび図１５Ｂに示すように、第３実施形態に係る物理量センサー１Ｂは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向のそれぞれの加速度を独立して検知することのできる３軸加速度センサーと、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向のそれぞれの角速度を独立して検知することのできる３軸角速度センサーとを加えた複合センサー（６軸センサー）として利用可能である。
【０１１９】
このような物理量センサー１Ｂは、パッケージ７Ｂと、パッケージ７Ｂ内に収容されている回路素子としてのＩＣ（integrated circuit）４０Ｂと、ＩＣ４０Ｂの上面に接着剤１８Ｂを介して取り付けられているセンサー素子としての加速度センサー素子２０Ｂおよび角速度センサー素子３００Ｂと、を含み、ＩＣ４０Ｂの下面がパッケージ７Ｂの内側（収容空間Ｓ３）に接合されている。
【０１２０】
パッケージ７Ｂは、ベース基板１６１およびベース基板１６１上に積層された環状の壁部１６２によって構成されているベース部１０Ｂと、封止部材１６０を介して壁部１６２に接続されている蓋体としての蓋部１６９とを含み構成されている。なお、パッケージ７Ｂの構成は、第１実施形態と同様であるので詳細な説明は省略する。
【０１２１】
パッケージ７Ｂは、ベース基板１６１と、中央部が除去された環状体である壁部１６２とにより、加速度センサー素子２０Ｂや角速度センサー素子３００Ｂなどを収容する凹陥部（キャビティー）が形成される。そして、パッケージ７Ｂは、この凹陥部の開口が蓋部１６９によって塞がれることによって密閉空間である収容空間（内部空間）Ｓ３が設けられ、この収容空間Ｓ３に、ＩＣ４０Ｂと、ＩＣ４０Ｂの上面に接着剤１８Ｂを介して取り付けられている加速度センサー素子２０Ｂおよび角速度センサー素子３００Ｂとを収容することができる。ここで、接着剤１８Ｂは、第１実施形態と同様な構成で配置されている。
【０１２２】
なお、ベース基板１６１や壁部１６２を含むベース部１０Ｂに形成された配線パターンや電極パッド（端子電極）の一部は図示を省略してある。また、ベース基板１６１は、一つの基板で構成された例を示しているが、第１実施形態で示したように、複数の基板を積層した積層基板を適用することもできる。この場合、第１実施形態と同様に、それぞれの基板間に配線パターンを設けることができる。なお、ベース基板１６１、壁部１６２、封止部材１６０、および蓋部１６９の構成材料は、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
【０１２３】
ＩＣ４０Ｂは、例えば、加速度センサー素子２０Ｂや角速度センサー素子３００Ｂを駆動する駆動回路や、加速度センサー素子２０Ｂからの信号に基づいてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の加速度を検出する検出回路、角速度センサー素子３００Ｂからの信号に基づいてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の角速度を検出する検出回路、およびそれぞれの検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等が含まれている。
【０１２４】
また、ＩＣ４０Ｂは、上面に複数の電極パッド１４５Ｂを有し、各電極パッド１４５Ｂがボンディングワイヤー１６４を介してベース基板１６１に設けられている接続端子１６５に電気的に接続されている。また、各電極パッド１４５Ｂがボンディングワイヤー１６７を介して加速度センサー素子２０Ｂの接続端子２９Ｂに電気的に接続されている。また、各電極パッド１４５Ｂがボンディングワイヤー１６８を介して角速度センサー素子３００Ｂの端子３１０Ｂに電気的に接続されている。これらにより、ＩＣ４０Ｂは、加速度センサー素子２０Ｂや角速度センサー素子３００Ｂを制御することができる。
【０１２５】
なお、加速度センサー素子２０Ｂの構成は、第１実施形態の加速度センサー素子２０と同様であるので説明を省略する。また、加速度センサー素子２０Ｂは、必ずしも３軸方向の検出が可能な角速度センサー素子３００Ｂに限らず、用途に応じて必要な２軸、もしくは１軸を検出可能な加速度センサー素子（図１０に示す加速度センサー素子２０１または図１１および図１２に示す加速度センサー素子２０２，２０３を参照）を用いることができる。
【０１２６】
角速度センサー素子３００Ｂは、パッケージに収容された、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向のそれぞれの角速度を１軸ずつ検出する三つのセンサー部（不図示）を備えている。三つのセンサー部は、例えば水晶を振動子として用い、振動する物体に加わるコリオリの力から角速度を検出する振動ジャイロセンサーを用いてもよいし、振動子としてセラミックやシリコンを用いたジャイロセンサーを用いてもよい。なお、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向のそれぞれの角速度を１軸ずつ検出する三つのセンサー部は、一つのセンサー部が一つのパッケージに収容されている構成（後段にて図１７Ａ、図１７Ｂを用いて説明する角速度センサー素子３００）、もしくは三つのセンサー部が一つのパッケージに収容されている構成のいずれであってもよい。また、角速度センサー素子３００Ｂは、必ずしも３軸に限らず、用途に応じて必要な２軸、もしくは１軸を検出可能な角速度センサー素子を用いることができる。
【０１２７】
ベース基板１６１の下面には、複数の外部端子１６３が設けられている。複数の外部端子１６３は、外部端子１６３のそれぞれと対応し、ベース基板１６１の上面に設けられている接続端子１６５と図示しない内部配線などを介して電気的に接続されている。
【０１２８】
以上説明した第３実施形態に係る物理量センサー１Ｂによれば、加速度を検出するセンサー素子、および接着剤１８Ｂを第１実施形態と同様な配置で設けることにより、接着剤１８Ｂの応力によるパッケージ７Ｂ（ベース基板１６１）の変形によって生じる不要な変動に起因する検出精度の低下を低減することができる。また、加速度センサー素子２０Ｂと角速度センサー素子３００Ｂとを備えた複合慣性センサーを容易に構成することができ、加速度データに加えて、角速度データを取得することができる。
【０１２９】
＜第４実施形態＞
次に、第４実施形態に係る物理量センサーを、図１６Ａ、および図１６Ｂを参照して説明する。図１６Ａは、第４実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１６Ａでは蓋部を省略した状態を示している。図１６Ｂは、第４実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示す断面図である。なお、以下では、第１実施形態と同様の、互いに直交する三つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を用いて説明する。また、説明の便宜上、Ｚ軸方向から視たときの平面視において、センサー素子側である＋Ｚ軸方向側の面を上面、これと反対側となる−Ｚ軸方向側の面を下面として説明することがある。また、以下の説明では、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１３０】
図１６Ａおよび図１６Ｂに示すように、第４実施形態に係る物理量センサー１Ｃは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向のそれぞれの加速度を独立して検知することのできる３軸加速度センサーと、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向のそれぞれの角速度を独立して検知することのできる３軸角速度センサーとを加えた複合センサー（６軸センサー）として利用可能である。
【０１３１】
このような物理量センサー１Ｃは、パッケージ７Ｃと、パッケージ７Ｃ内に収容されているフレーム１７１と、回路素子としてのＩＣ（integrated circuit）４０Ｃと、センサー素子としての加速度センサー素子２０Ｃおよび角速度センサー素子３００Ｃと、を含む。なお、フレーム１７１は、図示しない接合部材を介してベース基板１７２に取り付けられている。また、加速度センサー素子２０Ｃおよび角速度センサー素子３００Ｃは、フレーム１７１の上面に、接合材としての接着剤１８Ｃを介して取り付けられている。ここで、接着剤１８Ｃは、第１実施形態と同様な構成で配置されている。また、ＩＣ４０Ｃは、フレーム１７１の上面に、接着層４１Ｃを介して取り付けられている。
【０１３２】
パッケージ７Ｃは、ベース基板１７２およびベース基板１７２上に積層された環状の壁部１７３によって構成されているベース部１０Ｃと、封止部材１８４を介して壁部１７３に接続されている蓋体としての蓋部１８６とを含み構成されている。なお、パッケージ７Ｃの構成は、第１実施形態と同様であるので詳細な説明は省略する。
【０１３３】
パッケージ７Ｃは、ベース基板１７２と、中央部が除去された環状体である壁部１７３とにより、加速度センサー素子２０Ｃや角速度センサー素子３００Ｃなどを収容する凹陥部（キャビティー）が形成される。そして、パッケージ７Ｃは、この凹陥部の開口が蓋部１８６によって塞がれることによって密閉空間である収容空間（内部空間）Ｓ４が設けられ、この収容空間Ｓ４に、フレーム１７１と、ＩＣ４０Ｃと、加速度センサー素子２０Ｃおよび角速度センサー素子３００Ｃとを収容することができる。本実施形態では、フレーム１７１が、加速度センサー素子２０Ｃおよび角速度センサー素子３００Ｃが取り付けられている基体に相当する。
【０１３４】
なお、ベース基板１７２や壁部１７３を含むベース部１０Ｃに形成された配線パターンや電極パッド（端子電極）の一部は図示を省略してある。また、ベース基板１７２は、一つの基板で構成された例を示しているが、第１実施形態で示したように、複数の基板を積層した積層基板を適用することもできる。この場合、第１実施形態と同様に、それぞれの基板間に配線パターンを設けることができる。なお、ベース基板１７２、壁部１７３、封止部材１８４、および蓋部１８６の構成材料は、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
【０１３５】
ＩＣ４０Ｃは、例えば、加速度センサー素子２０Ｃや角速度センサー素子３００Ｃを駆動する駆動回路や、加速度センサー素子２０Ｃからの信号に基づいてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の加速度を検出する検出回路、角速度センサー素子３００Ｃからの信号に基づいてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の角速度を検出する検出回路、およびそれぞれの検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等が含まれている。
【０１３６】
また、ＩＣ４０Ｃは、上面に複数の電極パッド（不図示）を有し、各電極パッドがボンディングワイヤー１７４，１７６を介してベース基板１７２に設けられている接続端子１７５，１７７に電気的に接続されている。また、他の各電極パッドがボンディングワイヤー１７９を介して加速度センサー素子２０Ｃの端子１７８に電気的に接続されている。また、他の各電極パッドがボンディングワイヤー１８２を介して角速度センサー素子３００Ｃの端子１８１に電気的に接続されている。これらにより、ＩＣ４０Ｃは、加速度センサー素子２０Ｃや角速度センサー素子３００Ｃを制御することができる。
【０１３７】
なお、加速度センサー素子２０Ｃの構成は、第１実施形態の加速度センサー素子２０と同様であるので説明を省略する。また、加速度センサー素子２０Ｃは、必ずしも３軸方向の検出が可能な角速度センサー素子３００Ｃに限らず、用途に応じて必要な２軸、もしくは１軸を検出可能な加速度センサー素子（図１０に示す加速度センサー素子２０１または図１１および図１２に示す加速度センサー素子２０２，２０３を参照）を用いることができる。
【０１３８】
角速度センサー素子３００Ｃは、パッケージに収容された、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向のそれぞれの角速度を１軸ずつ検出する三つのセンサー部（不図示）を備えている。三つのセンサー部は、例えば水晶を振動子として用い、振動する物体に加わるコリオリの力から角速度を検出する振動ジャイロセンサーを用いてもよいし、振動子としてセラミックやシリコンを用いたジャイロセンサーを用いてもよい。なお、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向のそれぞれの角速度を１軸ずつ検出する三つのセンサー部は、一つのセンサー部が一つのパッケージに収容されている構成（後段にて図１７Ａ、図１７Ｂを用いて説明する）であってもよく、もしくは三つのセンサー部が一つのパッケージに収容されている構成であってもよい。また、角速度センサー素子３００Ｃは、必ずしも３軸に限らず、用途に応じて必要な２軸、もしくは１軸を検出可能な角速度センサー素子を用いることができる。
【０１３９】
ベース基板１７２の下面には、複数の外部端子１８５が設けられている。複数の外部端子１８５は、ベース基板１７２の上面に設けられている接続端子１７５，１７７のそれぞれと対応し、図示しない内部配線などを介して電気的に接続されている。
【０１４０】
以上説明した第４実施形態に係る物理量センサー１Ｃによれば、第１実施形態と同様に、外周各辺の長さが規定されているパッケージ７Ｃの底板（ベース基板１７２）の厚みを最適化することにより、パッケージ７Ｃの組み立て時における加熱溶融や物理量センサー１Ｃを回路基板などへ実装するときの加熱などによって生じる応力を低減することができ、この応力に起因して生じる物理量センサー１Ｃの出力電圧の温度ヒステリシスを低減させることができる。また、加速度センサー素子２０Ｃと角速度センサー素子３００Ｃとを備えた複合慣性センサーを容易に構成することができ、加速度データに加えて、角速度データを取得することができる。
【０１４１】
（角速度センサー素子）
ここで、図１７Ａ、および図１７Ｂを参照して、角速度センサー素子の一例を説明する。図１７Ａは、慣性計測ユニットなどに用いられる角速度センサー素子の一例を示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１７Ａではリッド（蓋体）を省略している。図１７Ｂは、角速度センサー素子の一例を示す図１７Ａの断面図である。なお、図１７Ａ、および図１７Ｂでは、互いに直交する３軸を、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸とし、ｚ軸は、振動デバイスの厚み方向と一致する。また、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向」と言い、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向）」と言い、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」と言う。
【０１４２】
図１７Ａおよび図１７Ｂに示す角速度センサー素子３００は、ジャイロ素子３４２と、ジャイロ素子３４２を収納するパッケージ３４９とを有している。以下、ジャイロ素子３４２およびパッケージ３４９について順次詳細に説明する。
【０１４３】
図１７Ａは、上側（リッド３４３側）から見たジャイロ素子３４２を示している。なお、ジャイロ素子３４２には、検出信号電極、検出信号配線、検出信号端子、検出接地電極、検出接地配線、検出接地端子、駆動信号電極、駆動信号配線、駆動信号端子、駆動接地電極、駆動接地配線および駆動接地端子などが設けられているが、同図においては省略している。
【０１４４】
ジャイロ素子３４２は、ｚ軸まわりの角速度を検出する「面外検出型」のセンサーであって、図示しないが、基材と、基材の表面に設けられている複数の電極、配線および端子とで構成されている。ジャイロ素子３４２は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料で構成することができるが、これらの中でも、水晶で構成するのが好ましい。これにより、優れた振動特性（周波数特性）を発揮することのできるジャイロ素子３４２が得られる。
【０１４５】
このようなジャイロ素子３４２は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体３４４と、振動体３４４を支持する支持部としての第１支持部３５１および第２支持部３５２と、振動体３４４と第１支持部３５１とを連結する第１連結梁３７１および第２連結梁３７２と、振動体３４４と第２支持部３５２とを連結する第３連結梁３７３および第４連結梁３７４とを有している。
【０１４６】
振動体３４４は、ｘｙ平面に拡がりを有し、ｚ軸方向に厚みを有している。このような振動体３４４は、中央に位置する基部４１０と、基部４１０からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１検出振動腕４２１、第２検出振動腕４２２と、基部４１０からｘ軸方向に沿って両側に延出している第１連結腕４３１、第２連結腕４３２と、第１連結腕４３１の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１駆動振動腕４４１、および第３駆動振動腕４４２と、第２連結腕４３２の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第２駆動振動腕４４３、および第４駆動振動腕４４４とを有している。
【０１４７】
なお、第１駆動振動腕４４１、第３駆動振動腕４４２は、第１連結腕４３１の延在方向の途中から延出してもよく、同様に、第２駆動振動腕４４３、第４駆動振動腕４４４は、第２連結腕４３２の延在方向の途中から延出してもよい。また、本形態では、基部４１０から延出している第１連結腕４３１、第２連結腕４３２から第１駆動振動腕４４１、第３駆動振動腕４４２、第２駆動振動腕４４３、および第４駆動振動腕４４４が延出している構成で説明したが、基部４１０と第１連結腕４３１と第２連結腕４３２とを含めて基部とすることも可能である。即ち、基部から第１駆動振動腕、第２駆動振動腕、第３駆動振動腕、および第４駆動振動腕が延出している構成も可能である。
【０１４８】
上述のような構成のジャイロ素子３４２は、次のようにしてｚ軸まわりの角速度ωを検出する。ジャイロ素子３４２は、角速度ωが加わらない状態において、駆動信号電極（図示せず）および駆動接地電極（図示せず）の間に電界が生じると、各駆動振動腕４４１，４４３，４４２，４４４がｘ軸方向に屈曲振動を行う。この駆動振動を行っている状態にて、ジャイロ素子３４２にｚ軸まわりに角速度が加わると、ｙ軸方向の振動が発生する。即ち、駆動振動腕４４１，４４３，４４２，４４４および連結腕４３１，４３２にｙ軸方向のコリオリの力が働き、この振動に呼応して、検出振動腕４２１，４２２のｘ軸方向の検出振動が励起される。そして、この振動により発生した検出振動腕４２１，４２２の歪みを検出信号電極（図示せず）および検出接地電極（図示せず）が検出して角速度を求めることができる。
【０１４９】
ジャイロ素子３４２を収容しているパッケージ３４９について説明する。パッケージ３４９は、ジャイロ素子３４２を収納するものである。なお、パッケージ３４９には、ジャイロ素子３４２の他に、ジャイロ素子３４２の駆動等を行うＩＣチップ等が収納されていてもよい。このようなパッケージ３４９は、その平面視（ｘｙ平面視）にて、略矩形状をなしている。
【０１５０】
パッケージ３４９は、上面に開放する凹部を有するベース３４１と、凹部の開口を塞ぐようにベースに接合されているリッド（蓋体）３４３とを有している。また、ベース３４１は、板状の底板３６１と、底板３６１の上面周縁部に設けられている枠状の側壁３６２とを有している。このようなパッケージ３４９は、その内側に収納空間を有しており、この収納空間内に、ジャイロ素子３４２が気密的に収納、設置されている。
【０１５１】
ジャイロ素子３４２は、第１支持部３５１、第２支持部３５２にて、半田、導電性接着剤（樹脂材料中に例えば銀の金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤）などの導電性固定部材３５８を介して底板３６１の上面に固定されている。第１支持部３５１、第２支持部３５２は、ジャイロ素子３４２のｙ軸方向の両端部に位置するため、このような部分を底板３６１に固定することにより、ジャイロ素子３４２の振動体３４４が両持ち支持され、ジャイロ素子３４２を底板３６１に対して安定的に固定することができる。
【０１５２】
また、導電性固定部材３５８は、第１支持部３５１、第２支持部３５２に設けられている２つの検出信号端子３６４、二つの検出接地端子３５４、駆動信号端子３８４および駆動接地端子３９４に対応（接触）して、かつ互いに離間して六つ設けられている。また、底板３６１の上面には、二つの検出信号端子３６４、二つの検出接地端子３５４、駆動信号端子３８４および駆動接地端子３９４に対応する六つの接続パッド３５０が設けられており、導電性固定部材３５８を介して、これら各接続パッド３５０とそれと対応するいずれかの端子とが電気的に接続されている。また、接続パッド３５０は、図示しない内部配線や貫通電極などを介して外部端子３８０に電気的に接続されている。
【０１５３】
このような構成のジャイロ素子３４２によれば、必要とする１軸方向の角速度を効率よく且つ高精度に検出することができる。
【０１５４】
（慣性計測ユニット）
次に、図１８および図１９を参照して、慣性計測装置としての慣性計測ユニット（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）について説明する。図１８は、慣性計測ユニットの概略構成を示す分解斜視図である。図１９は、慣性計測ユニットの慣性センサー素子の配置例を示す斜視図である。
【０１５５】
図１８に示すように、慣性計測装置としての慣性計測ユニット３０００は、アウターケース３０１、接合部材３１０、慣性センサー素子を含むセンサーモジュール３２５などから構成されている。換言すれば、アウターケース３０１の内部３０３に、接合部材３１０を介在させて、センサーモジュール３２５を篏合（挿入）した構成となっている。センサーモジュール３２５は、インナーケース３２０と、基板３１５とから構成されている。なお、説明を解り易くするために、部位名をアウターケース、インナーケースとしているが、第１ケース、第２ケースと呼び換えても良い。
【０１５６】
アウターケース３０１は、アルミニウムを箱状に削り出した台座である。材質は、アルミニウムに限定するものではなく、亜鉛やステンレスなど他の金属や、樹脂、または、金属と樹脂の複合材などを用いても良い。アウターケース３０１の外形は、前述した慣性計測ユニット３０００の全体形状と同様に、平面形状が略正方形の直方体であり、正方形の対角線方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に、それぞれ通し孔（馬鹿孔）３０２が形成されている。なお、通し孔（馬鹿孔）３０２に限定するものではなく、例えば、ネジによりネジ止めすることが可能な切り欠き（通し孔（馬鹿孔）３０２の位置するアウターケース３０１のコーナー部に切り欠きを形成する構造）を形成してネジ止めする構成としてもよいし、あるいは、アウターケース３０１の側面にフランジ（耳）を形成して、フランジ部分をネジ止めする構成としても良い。
【０１５７】
アウターケース３０１は、外形が直方体で蓋のない箱状であり、その内部３０３（内側）は、底壁３０５と側壁３０４とで囲まれた内部空間（パッケージ）となっている。換言すれば、アウターケース３０１は、底壁３０５と対向する一面を開口面とする箱状をなしており、その開口面の開口部のほとんどを覆うように（開口部を塞ぐように）センサーモジュール３２５が収納され、センサーモジュール３２５が開口部から露出した状態となる（不図示）。ここで、底壁３０５と対向する開口面とは、アウターケース３０１の上面３０７と同一面である。また、アウターケース３０１の内部３０３の平面形状は、正方形の二つの頂点部分の角を面取りした六角形であり、面取りされた二つの頂点部分は通し孔（馬鹿孔）３０２の位置に対応している。また、内部３０３の断面形状（厚み方向）において、底壁３０５には、内部３０３、即ち内部空間における周縁部に中央部よりも一段高い底壁としての第１接合面３０６が形成されている。即ち、第１接合面３０６は、底壁３０５の一部であり、平面的に底壁３０５の中央部を囲ってリング状に形成された一段の階段状の部位であり、底壁３０５よりも開口面（上面３０７と同一面）からの距離が小さい面である。
【０１５８】
なお、アウターケース３０１の外形が、平面形状が略正方形の直方体で蓋のない箱状である一例について説明したが、これに限らず、アウターケース３０１の外形の平面形状は、例えば六角形や八角形などの多角形であってもよいし、その多角形の頂点部分の角が面取りされていたり、各辺が曲線である平面形状であったりしてもよい。また、アウターケース３０１の内部３０３（内側）の平面形状も、上述した六角形に限らず、正方形などの方形（四角形）や、八角形などの他の多角形状であってもよい。また、アウターケース３０１の外形と内部３０３の平面形状とは相似形であってもよいし、相似形でなくてもよい。
【０１５９】
インナーケース３２０は、基板３１５を支持する部材であり、アウターケース３０１の内部３０３に収まる形状となっている。詳しくは、平面的には、正方形の二つの頂点部分の角を面取りした六角形であり、その中に長方形の貫通穴である開口部３２１と、基板３１５を支持する側の面に設けられた凹部３３１とが形成されている。面取りされた二つの頂点部分はアウターケース３０１の通し孔（馬鹿孔）３０２の位置に対応している。厚み方向（Ｚ軸方向）の高さは、アウターケース３０１の上面３０７から第１接合面３０６までの高さよりも、低くなっている。好適例では、インナーケース３２０もアルミニウムを削り出して形成しているが、アウターケース３０１と同様に他の材質を用いても良い。
【０１６０】
インナーケース３２０の裏面（アウターケース３０１側の面）には、基板３１５を位置決めするための案内ピンや、支持面（いずれも図示せず）が形成されている。基板３１５は、当該案内ピンや、支持面にセット（位置決め搭載）されてインナーケース３２０の裏面に接着される。なお、基板３１５の詳細については後述する。インナーケース３２０の裏面の周縁部は、リング状の平面からなる第２接合面３２２となっている。第２接合面３２２は、平面的にアウターケース３０１の第１接合面３０６と略同様な形状であり、インナーケース３２０をアウターケース３０１にセットした際には、接合部材３１０を挟持した状態で二つの面が向い合うことになる。なお、アウターケース３０１およびインナーケース３２０の構造については、一実施例であり、この構造に限定されるものではない。
【０１６１】
図１９を参照して、慣性センサーが実装された基板３１５の構成について説明する。図１９に示すように、基板３１５は、複数のスルーホールが形成された多層基板であり、ガラスエポキシ基板（ガラエポ基板）を用いている。なお、ガラエポ基板に限定するものではなく、複数の慣性センサーや、電子部品、コネクターなどを実装可能なリジット基板であれば良い。例えば、コンポジット基板や、セラミック基板を用いても良い。
【０１６２】
基板３１５の表面（インナーケース３２０側の面）には、コネクター３１６、角速度センサー３１７ｚ、加速度センサーとしての物理量センサー１などが実装されている。コネクター３１６は、プラグ型（オス）のコネクターであり、Ｘ軸方向に等ピッチで配置された二列の接続端子を備えている。好適には、一列を１０ピンとして合計２０ピンの接続端子としているが、端子数は、設計仕様に応じて適宜変更しても良い。
【０１６３】
慣性センサーとしての角速度センサー３１７ｚは、Ｚ軸方向における１軸の角速度を検出するジャイロセンサーである。好適例として、水晶を振動子として用い、振動する物体に加わるコリオリの力から角速度を検出する振動ジャイロセンサーを用いている。なお、振動ジャイロセンサーに限定するものではなく、角速度を検出可能なセンサーで有れば良い。例えば、振動子としてセラミックや、シリコンを用いたセンサーを用いても良い。
【０１６４】
また、基板３１５のＸ軸方向の側面には、実装面（搭載面）がＸ軸と直交するように、Ｘ軸方向における１軸の角速度を検出する角速度センサー３１７ｘが実装されている。同様に、基板３１５のＹ軸方向の側面には、実装面（搭載面）がＹ軸と直交するように、Ｙ軸方向における１軸の角速度を検出する角速度センサー３１７ｙが実装されている。
【０１６５】
なお、角速度センサー３１７ｘ，３１７ｙ，３１７ｚは、前述にて図１７Ａおよび図１７Ｂを参照して説明した角速度センサー素子３００を用いることができる。また、軸ごとの三つの角速度センサーを用いる構成に限定するものではなく、３軸の角速度が検出可能なセンサーであれば良く、例えば、後述する物理量センサー１のように、一つのデバイス（パッケージ）で３軸の角速度が検出（検知）可能なセンサーデバイスを用いても良い。
【０１６６】
第１実施形態で説明したと同様な物理量センサー１は、一つのデバイスでＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の三方向（３軸）の加速度を検出（検知）可能な、例えばシリコン基板をＭＥＭＳ技術で加工した静電容量型の加速度センサー素子２０（例えば図５参照）を用い、接着剤１８（図２Ａおよび図２Ｂ参照）を用いてパッケージ７（図２Ａおよび図２Ｂ参照）に接合された構成を有している。なお、必要に応じて、Ｘ軸、Ｙ軸の２軸方向の加速度を検出可能な加速度センサー素子２０２、もしくは１軸方向の加速度を検出可能な加速度センサー素子２０１を適用した物理量センサーとすることができる。
【０１６７】
基板３１５の裏面（アウターケース３０１側の面）には、制御回路としての制御ＩＣ３１９が実装されている。制御ＩＣ３１９は、ＭＣＵ（Micro Controller Unit）であり、不揮発性メモリーを含む記憶部や、Ａ／Ｄコンバーターなどを内蔵しており、慣性計測ユニット３０００の各部を制御したり、物理量センサー１からの出力信号を制御したりする。記憶部には、加速度、および角速度を検出するための順序と内容を規定したプログラムや、検出データをデジタル化してパケットデータに組込むプログラム、付随するデータなどが記憶されている。なお、基板３１５には、その他にも通信回路を構成する回路部品など複数の電子部品が実装されている。
【０１６８】
このような慣性計測ユニット３０００によれば、パッケージ７（図２Ａ参照）に接着剤１８（図２Ａおよび図２Ｂ参照）を介して接合された加速度センサー素子２０を用いた第１実施形態の物理量センサー１を用いているため、慣性計測ユニット３０００を実装する場合などの熱処理に起因して生じるパッケージ７の変形による加速度データの出力における検出精度の低下を減少させることができる。したがって、信頼性を高めた慣性計測ユニット３０００を提供することができる。
【０１６９】
（移動体測位装置）
次に、物理量センサー１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃを用いた移動体測位装置について、図２０を参照して詳細に説明する。なお、以下では、物理量センサー１を用いた例を示して説明する。図２０は、移動体測位装置の構成例を示す機能ブロック図である。
【０１７０】
図２０に示すように、移動体測位装置５０００は、上述した慣性計測装置としての慣性計測ユニット（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）３０００と、受信部としてのＧＰＳ（Global Positioning System）受信部５２０と、ＧＰＳ受信部５２０の位置情報を取得する取得部５３０と、移動体の姿勢を演算する演算部５１０と、現在の状態を加味した移動体の位置を算出する算出部５４０と、算出した移動体の位置を処理し、表示部５６０に表示を行ったり、通信部５７０に通信を指示したりする制御部５５０と、を備えている。
【０１７１】
移動体測位装置５０００は、例えば、自動車、建設機械、農業機械などの移動体に搭載され、演算部５１０により算出される移動体の傾斜状態などの姿勢を加味した、より実際の状態に近い移動体の位置を求めることができる。このようにして求められた実際の状態に近い位置（位置情報）は、この位置情報に基づく移動体の自動運転制御などの精度向上に寄与することができる。
【０１７２】
移動体測位装置５０００は、例えばＧＰＳ衛星などの測位用衛星から、ＧＰＳアンテナ５２１を介してＧＰＳ受信部５２０の受信した位置情報が重畳された衛星信号に基づいて、ＧＰＳ受信部５２０の位置情報を取得部５３０が取得する。また、移動体測位装置５０００は、演算部５１０によって、慣性計測ユニット（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）３０００に含まれている物理量センサー（加速度センサー）１や角速度センサー３１７ｘ，３１７ｙ，３１７ｚが検出し、慣性計測ユニット３０００から出力された加速度データや角速度データなどの慣性データに基づいて、姿勢を演算する。そして、移動体測位装置５０００は、算出部５４０によって、演算部５１０によって算出された姿勢に基づいて、取得部５３０が取得した位置情報を補正することにより、移動体の位置を算出（測位）する。
【０１７３】
慣性計測ユニット（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）３０００は、物理量センサー（加速度センサー）１や角速度センサー３１７ｘ，３１７ｙ，３１７ｚを含む。前述したように、慣性計測ユニット３０００は、使用している物理量センサー（加速度センサー）１において、熱処理などに起因して生じるパッケージの変形による加速度データの出力における検出精度の低下を減少させることができ、信頼性を高めたものである。
【０１７４】
演算部５１０は、慣性計測ユニット３０００から出力された加速度データや角速度データなどの慣性データに基づいて、慣性計測ユニット３０００の置かれている姿勢データを取得、換言すれば、移動体測位装置５０００の搭載されている移動体の姿勢を演算する。そして、演算部５１０は、演算した姿勢データを算出部５４０に出力する。
【０１７５】
受信部としてのＧＰＳ受信部５２０は、ＧＰＳアンテナ５２１を介して位置情報が重畳された衛星信号を受信する。そして、ＧＰＳ受信部５２０は、受信した衛星信号を取得部５３０に出力する。
【０１７６】
取得部５３０は、送信された衛星信号に基づいて、ＧＰＳ受信部５２０の置かれている現在位置の位置情報を取得、換言すれば、移動体測位装置５０００の搭載されている移動体の位置情報を取得し、取得した位置情報を算出部５４０に出力する。
【０１７７】
算出部５４０は、演算部５１０に演算された移動体の傾斜などの姿勢データに基づいて、取得部５３０によって求められた算出された移動体の位置情報を補正することにより、移動体の傾斜状態などの姿勢を加味した、より実際の状態に近い移動体の位置（位置情報）を算出する。
【０１７８】
制御部５５０は、算出部５４０の算出した移動体の位置（位置情報）を処理し、表示部５６０に対する表示指示を行ったり、通信部５７０に対して、他の電子機器への通信を指示したりする。
【０１７９】
このような、移動体測位装置５０００によれば、ＧＰＳ受信部５２０の受信した衛星信号から取得した当該ＧＰＳ受信部５２０の位置情報を、熱処理などに起因して生じるパッケージの変形による加速度データの出力における検出精度の低下を減少させることができ信頼性を高めた慣性計測ユニット３０００から出力された慣性データに基づいて算出された姿勢に基づいて補正することによって移動体の位置を求めるため、移動体が傾斜しているなどの、より実際の状態に近い移動体の細密な位置情報を求める（測位する）ことができる。
【０１８０】
（携帯型電子機器）
次に、物理量センサー１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃを用いた携帯型電子機器について、図２１および図２２に基づき、詳細に説明する。図２１は、携帯型電子機器の構成を模式的に示す平面図である。図２２は、携帯型電子機器の概略構成を示す機能ブロック図である。なお、以下では、物理量センサー１を用いた例を示して説明する。また、以下では、携帯型電子機器の一例として、腕時計型の活動計（アクティブトラッカー）を示して説明する。
【０１８１】
腕時計型の活動計（アクティブトラッカー）であるリスト機器１０００は、図１９に示すように、バンド３２，３７等によってユーザーの手首等の部位（被検体）に装着され、デジタル表示の表示部１５０を備えるとともに無線通信が可能である。上述した本発明に係る物理量センサー１は、加速度を測定するセンサーや角速度を計測するセンサーとしてリスト機器１０００に組込まれている。
【０１８２】
リスト機器１０００は、少なくとも物理量センサー１が収容されているケース３０と、ケース３０に収容され、物理量センサー１からの出力データを処理する処理部１００（図２０参照）と、ケース３０に収容されている表示部１５０と、ケース３０の開口部を塞いでいる透光性カバー７１と、を備えている。ケース３０の透光性カバー７１のケース３０の外側には、ベゼル７８が設けられている。ケース３０の側面には、複数の操作ボタン８０，８１が設けられている。以下、図２０も併せて参照しながら、さらに詳細に説明する。
【０１８３】
物理量センサー１としての加速度センサー１１３は、互いに交差する（理想的には直交する）３軸方向の各々の加速度を検出し、検出した３軸加速度の大きさ、および向きに応じた信号（加速度信号）を出力する。また、角速度センサー１１４は、互いに交差する（理想的には直交する）３軸方向の各々の角速度を検出し、検出した３軸角速度の大きさ及び向きに応じた信号（角速度信号）を出力する。
【０１８４】
表示部１５０を構成する液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）では、種々の検出モードに応じて、例えば、ＧＰＳセンサー１１０や地磁気センサー１１１を用いた位置情報、移動量や物理量センサー１に含まれる加速度センサー１１３や角速度センサー１１４などを用いた運動量などの運動情報、脈拍センサー１１５などを用いた脈拍数などの生体情報、もしくは現在時刻などの時刻情報などが表示される。なお、温度センサー１１６を用いた環境温度を表示することもできる。
【０１８５】
通信部１７０は、ユーザー端末と図示しない情報端末との間の通信を成立させるための各種制御を行う。通信部１７０は、例えば、Bluetooth（登録商標）（BTLE：Bluetooth Low Energyを含む）、Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）（Wireless Fidelity）、Ｚｉｇｂｅｅ（登録商標）、ＮＦＣ（Near field communication）、ＡＮＴ＋（登録商標）等の近距離無線通信規格に対応した送受信機や通信部１７０はＵＳＢ（Universal Serial Bus）等の通信バス規格に対応したコネクターを含んで構成される。
【０１８６】
処理部１００（プロセッサー）は、例えば、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等により構成される。処理部１００は、記憶部１４０に格納されたプログラムと、操作部１２０（例えば操作ボタン８０，８１）から入力された信号とに基づき、各種の処理を実行する。処理部１００による処理には、ＧＰＳセンサー１１０、地磁気センサー１１１、圧力センサー１１２、加速度センサー１１３、角速度センサー１１４、脈拍センサー１１５、温度センサー１１６、計時部１３０の各出力信号に対するデータ処理、表示部１５０に画像を表示させる表示処理、音出力部１６０に音を出力させる音出力処理、通信部１７０を介して情報端末と通信を行う通信処理、バッテリー１８０からの電力を各部へ供給する電力制御処理などが含まれる。
【０１８７】
このようなリスト機器１０００では、少なくとも以下のような機能を有することができる。
１．距離：高精度のＧＰＳ機能により計測開始からの合計距離を計測する。
２．ペース：ペース距離計測から、現在の走行ペースを表示する。
３．平均スピード：平均スピード走行開始から現在までの平均スピードを算出し表示する。
４．標高：ＧＰＳ機能により、標高を計測し表示する。
５．ストライド：ＧＰＳ電波が届かないトンネル内などでも歩幅を計測し表示する。
６．ピッチ：１分あたりの歩数を計測し表示する。
７．心拍数：脈拍センサーにより心拍数を計測し表示する。
８．勾配：山間部でのトレーニングやトレイルランにおいて、地面の勾配を計測し表示する。
９．オートラップ：事前に設定した一定距離や一定時間を走った時に、自動でラップ計測を行う。
１０．運動消費カロリー：消費カロリーを表示する。
１１．歩数：運動開始からの歩数の合計を表示する。
【０１８８】
なお、リスト機器１０００は、ランニングウォッチ、ランナーズウォッチ、デュアスロンやトライアスロン等マルチスポーツ対応のランナーズウォッチ、アウトドアウォッチ、および衛星測位システム、例えばＧＰＳを搭載したＧＰＳウォッチ、等に広く適用できる。
【０１８９】
また、上述では、衛星測位システムとしてＧＰＳ（Global Positioning System）を用いて説明したが、他の全地球航法衛星システム（ＧＮＳＳ：Global Navigation Satellite System）を利用してもよい。例えば、ＥＧＮＯＳ(European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service)、ＱＺＳＳ（Quasi Zenith Satellite System）、ＧＬＯＮＡＳＳ（GLObal NAvigation Satellite System）、ＧＡＬＩＬＥＯ、ＢｅｉＤｏｕ（BeiDou Navigation Satellite System）、等の衛星測位システムのうち１又は２以上を利用してもよい。また、衛星測位システムの少なくとも１つにＷＡＡＳ（Wide Area Augmentation System）、ＥＧＮＯＳ（European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service）等の静止衛星型衛星航法補強システム（ＳＢＡＳ：Satellite-based Augmentation System）を利用してもよい。
【０１９０】
このような携帯型電子機器は、物理量センサー１、および処理部１００を備えているので、優れた信頼性を有している。
【０１９１】
（電子機器）
次に、物理量センサー１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃを用いた電子機器について、図２３〜図２５に基づき、詳細に説明する。なお、以下では、物理量センサー１を用いた例を示して説明する。
【０１９２】
先ず、図２３を参照して、電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターについて説明する。図２３は、電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図である。
【０１９３】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されており、物理量センサー１の検出データなどの出力信号に基づいて制御部１１１０が、例えば姿勢制御などの制御を行なうことができる。
【０１９４】
図２４は、電子機器の一例であるスマートフォン（携帯型電話機）の構成を模式的に示す斜視図である。
【０１９５】
この図において、スマートフォン１２００は、上述した物理量センサー１が組込まれている。物理量センサー１によって検出された検出データ（加速度データ）などの出力信号は、スマートフォン１２００の制御部１２０１に送信される。制御部１２０１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を含んで構成されており、受信した検出データからスマートフォン１２００の姿勢や、挙動を認識して、表示部１２０８に表示されている表示画像を変化させたり、警告音や、効果音を鳴らしたり、振動モーターを駆動して本体を振動させることができる。換言すれば、スマートフォン１２００のモーションセンシングを行い、計測された姿勢や、挙動から、表示内容を変えたり、音や、振動などを発生させたりすることができる。特に、ゲームのアプリケーションを実行する場合には、現実に近い臨場感を味わうことができる。
【０１９６】
図２５は、電子機器の一例であるディジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
【０１９７】
ディジタルスチールカメラ１３００のケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとしても機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１９８】
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチールカメラ１３００では、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチールカメラ１３００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されており、物理量センサー１のなどの出力信号検出データに基づいて制御部１３１６が、例えば手振れ補正などの制御を行なうことができる。
【０１９９】
このような電子機器は、物理量センサー１、および制御部（不図示）を備えているので、優れた信頼性を有している。
【０２００】
なお、物理量センサー１を備える電子機器は、図２３のパーソナルコンピューター１１００、図２４のスマートフォン（携帯電話機）１２００、図２５のディジタルスチールカメラ１３００の他にも、例えば、タブレット端末、時計、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、地震計、歩数計、傾斜計、ハードディスクの振動を計測する振動計、ロボットやドローンなど飛行体の姿勢制御装置、自動車の自動運転用慣性航法に使用される制御機器等に適用することができる。
【０２０１】
（移動体）
次に、物理量センサー１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃを用いた移動体について、代表例として物理量センサー１を用いた例を図２６に示し、詳細に説明する。図２６は、移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。
【０２０２】
図２６に示すように、自動車１５００には物理量センサー１が内蔵されており、例えば、物理量センサー１によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。物理量センサー１の検出信号などを含む出力信号は、制御部としての車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。また、物理量センサー１は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、自動運転用慣性航法の制御機器、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【０２０３】
また、移動体に適用される物理量センサー１は、上記の例示の他にも、例えば、二足歩行ロボットや電車などの姿勢制御、ラジコン飛行機、ラジコンヘリコプター、およびドローンなどの遠隔操縦あるいは自律式の飛行体の姿勢制御、農業機械（農機）、もしくは建設機械（建機）などの姿勢制御（自動運転制御）において利用することができる。以上のように、各種移動体の姿勢制御の実現にあたって、物理量センサー１、およびそれぞれの制御部（不図示）が組み込まれる。
【０２０４】
このような移動体は、物理量センサー１、および制御部（不図示）を備えているので、優れた信頼性を有している。
【０２０５】
以上、物理量センサー、慣性計測システム、移動体測位装置、電子機器、および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０２０６】
また、前述した実施形態では、加速度センサー素子が三つのセンサー部を有している構成について説明したが、センサー部の数としては、これに限定されず、一つまたは二つであってもよいし、四つ以上であってもよい。また、前述した実施形態では、物理量センサーのセンサー素子として加速度センサー素子を用いているが、物理量センサーとしては、加速度センサー素子に限定されず、例えば、圧力センサー素子であってもよいし、角速度センサー素子であってもよい。また、例えば、加速度および角速度等の異なる物理量を同時に検出することのできる複合センサーであってもよい。
【符号の説明】
【０２０７】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…物理量センサー、５…構造体、７…パッケージ、１０…ベース部、１０ｆ…内底面、１０ｒ…外底面、１１…第１の基材、１２…第２の基材、１３…第３の基材、１４…封止部材、１５…蓋体としての蓋部、１６…外部端子、１７…収容空間、１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ…接合材としての接着剤、１９…内部端子、２０…加速度センサー素子、２０ｒ…下面、２１ｘ…Ｘ軸センサー部、２１ｙ…Ｙ軸センサー部、２１ｚ…Ｚ軸センサー部、２２…ベース基板、２２ｆ…上面、２３…キャップ部、２４…ガラスフリット、２５…容器、２６…溶融金属、２７…封止孔、２８ａ，２８ｂ…キャスタレーション、２９…接続端子、４０…回路素子としてのＩＣ、４１…接着層、４２，４３…ボンディングワイヤー、４５…信号処理部、４６…出力部、６２…第２の可動部、６４，６５…第２の固定電極指、７２…第１の可動部、７４，７５…第１の固定電極指、１００…物理量センサー、２１１，２１２，２１３…凹部、２１１ｇ…第１検出電極、２１１ｈ…第２検出電極、２２３…凹部、２９１…配線、３００…角速度センサー素子、６１１…第３の支持部、６１２…第４の支持部、６２１…第２の基部、６２２…第２の可動電極指、６３１…第３の連結部、６３２…第４の連結部、７１１…第１の支持部、７１２…第２の支持部、７２１…第１の基部、７２２…第１の可動電極指、７３１…第１の連結部、７３２…第２の連結部、１１００…パーソナルコンピューター、１２００…スマートフォン（携帯電話機）、１３００…ディジタルスチールカメラ、１５００…自動車、３０００…慣性計測装置としての慣性計測ユニット、５０００…移動体測位装置、Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４…収容空間（内部空間）。
【図１】
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【図２Ａ】
2019045168.tif 000004
【図２Ｂ】
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【図３】
2019045168.tif 000006
【図４】
2019045168.tif 000007
【図５】
2019045168.tif 000008
【図６Ａ】
2019045168.tif 000009
【図６Ｂ】
2019045168.tif 000010
【図６Ｃ】
2019045168.tif 000011
【図７】
2019045168.tif 000012
【図８】
2019045168.tif 000013
【図９】
2019045168.tif 000014
【図１０】
2019045168.tif 000015
【図１１】
2019045168.tif 000016
【図１２】
2019045168.tif 000017
【図１３】
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【図１４】
2019045168.tif 000019
【図１５Ａ】
2019045168.tif 000020
【図１５Ｂ】
2019045168.tif 000021
【図１６Ａ】
2019045168.tif 000022
【図１６Ｂ】
2019045168.tif 000023
【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１８】
2019045168.tif 000026
【図１９】
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【図２０】
2019045168.tif 000028
【図２１】
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【図２２】
2019045168.tif 000030
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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