(57)【要約】【課題】  共振周波数差Δｆのばらつきが低減された振動子等を提供する。【解決手段】  電気−機械エネルギ変換素子と、一方の面に前記電気−機械エネルギ変換素子が接合され、他方の面に、頭頂部と側壁部を有する突起部が設けられた板状の弾性体と、を有する振動子であって、前記側壁部は、前記側壁部の他の部分よりも厚さが薄い薄肉部を有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気−機械エネルギ変換素子と、一方の面に前記電気−機械エネルギ変換素子が接合され、他方の面に、頭頂部と側壁部を有する突起部が設けられた板状の弾性体と、を有する振動子であって、
前記側壁部は、前記側壁部の他の部分よりも厚さが薄い薄肉部を有する、ことを特徴とする振動子。
【請求項２】
前記薄肉部は、前記振動子に励振された振動モードである第１の振動モードの振動における腹と重なる、ことを特徴とする請求項１に記載の振動子。
【請求項３】
前記薄肉部は、前記第１の振動モードとは異なる第２の振動モードの振動における節とは重ならず、かつ、前記第２の振動モードの振動における、自由端に最も近い側の節とその自由端の間の領域内にある、ことを特徴とする請求項２に記載の振動子。
【請求項４】
前記薄肉部は、前記第１の振動モードとは異なる第２の振動モードの振動における節と重なる、ことを特徴とする請求項１に記載の振動子。
【請求項５】
前記薄肉部は、前記第１の振動モードの振動における節とは重ならず、かつ、前記第１の振動モードの振動における、自由端に最も近い側の節とその自由端の間の領域内にはない、ことを特徴とする請求項４に記載の振動子。
【請求項６】
前記弾性体には、前記第１の振動モードの振動における腹の方向に、前記突起部が複数、設けられている、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項７】
前記弾性体には、前記第１の振動モードの振動における腹の方向に、前記突起部が複数、設けられ、
前記薄肉部は、前記第１の振動モードとは異なる第２の振動モードの振動における節とは重ならず、かつ、前記第２の振動モードの振動における、自由端に最も近い側の節とその自由端の間の領域内にはない、ことを特徴とする請求項２に記載の振動子。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動子と、
前記突起部から加圧される接触体と、を有し、
前記振動子に励振された複数の振動モードにより、前記振動子と前記接触体が相対的に移動可能なことを特徴とする振動型アクチュエータ。
【請求項９】
請求項８に記載の振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータにより移動可能な光学部材と、を有する、ことを特徴とする撮像装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の光学部材は、１枚以上のレンズを含むレンズ群であること、を特徴とする撮像装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の光学部材は、撮像素子であること、を特徴とする撮像装置。
【請求項１２】
電気−機械エネルギ変換素子と、一方の面に前記電気−機械エネルギ変換素子が接合され、他方の面に、頭頂部と側壁部を有する突起部が設けられた板状の弾性体と、を有する振動子の製造方法であって、
振動モード毎の共振周波数を測定する測定工程と、
前記測定工程において測定された前記振動モード毎の共振周波数に基づき、前記側壁部に薄肉部を形成するか否かを判定する判定工程と、
前記判定工程の判定に基づき、前記側壁部に前記薄肉部を形成する形成工程と、を有する、ことを特徴とする振動子の製造方法。
【請求項１３】
前記測定工程と、前記判定工程と、前記形成工程とを、前記判定工程において、前記薄肉部を形成しないと判定されるまで繰り返すことを特徴とする請求項１２に記載の振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気−機械エネルギ変換素子と、一方の面に前記電気−機械エネルギ変換素子が接合され、他方の面に突起部が設けられた板状の弾性体と、を有する振動子及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動型アクチュエータにおける振動子は、当該振動子に接触される接触体にばね性を持たせることで、滑らかな接触状態を実現することができる。これにより、振動型アクチュエータは、良好な駆動性能を得ることができる（下記特許文献１参照）。
【０００３】
図８は、弾性体２１３に設けられた突起部２１２にばね性を持たせた振動子２１０の概略構造を示す斜視図及び斜視断面図である。振動子２１０は、弾性体２１３と、弾性体２１３の一方の面（図８では下面）に接合された圧電素子２１４と、弾性体２１３の他方の面（図８では上面）における２カ所において弾性体２１３と一体的に形成された突起部２１２とで構成されている。２カ所の突起部２１２はそれぞれ、円筒状の側壁部２１７、図８では不図示の接触体との接触面２１８ａを有する接触部（頭頂部）２１８、及び、側壁部２１７と接触部２１８とを連結する連結部２１９からなる。
【０００４】
連結部２１９と接触部２１８との間には、接触体が連結部２１９と接触しないように、接触部２１８と連結部２１９の間に段差（高低の差）が設けられている。また、連結部２１９は、接触部２１８よりも厚さが薄くされることによって、突き上げ方向（Ｚ方向）の剛性を下げて、接触部２１８にばね性を持たせることができる。
【０００５】
なお、弾性体２１３には、突起部２１２との接続部に、溝部２１６が形成されている。弾性体２１３をプレス加工して突起部２１２を一体成型する際に溝部２１６を形成することで、この部分において厚さが薄くされた分を側壁部２１７に流動させて、側壁部２１７の厚みを確保して、剛性を確保することができる。
【０００６】
（図８では不図示の）接触体を送り方向（Ｘ方向）に駆動する速度は、楕円運動のＸ方向成分すなわちモードＢの振動におけるＸ方向の振動振幅に依存し、楕円運動のＺ方向成分すなわちモードＡの振動におけるＺ方向の振動振幅にはあまり依存しない。振動型アクチュエータの駆動は、駆動周波数を高周波数側から低周波数側へ掃引することで速度を目標速度まで持っていく。
【０００７】
このとき、モードＡの共振周波数がモードＢの共振周波数より大きいならば、モードＢの周波数がモードＢの共振周波数に達するより先に、モードＡの共振周波数がモードＡの共振周波数を超えて、モードＡの振動における振動数が急激に減少する。その結果、速度により関係するモードＢの振動における振幅が十分大きくなる前に、振動型アクチュエータが駆動不能状態になる。よって、突起部２１２と（図８では不図示の）接触体が加圧接触している状態では、モードＢの共振周波数≧モードＡの共振周波数でなければいけない。
【０００８】
一方、モードＡの振動における腹近傍、かつ、モードＢの振動における節近傍に突起部２１２が配置されているため、加圧すると、モードＡの共振周波数の増加量の方が、モードＢの共振周波数の増加量よりも大きくなる。その結果、モードＢの共振周波数−モードＡの共振周波数（モードＢの共振周波数からモードＡの共振周波数を引いた値）により定義される、共振周波数差Δｆが小さくなる。
【０００９】
振動子の設計は振動子単体で行われる。具体的には、無加圧状態のΔｆに許容される数値範囲（許容範囲）内に収まるように、弾性体２１３のＸ方向およびＹ方向の長さを決定する。許容範囲は、加圧状態のΔｆと無加圧状態のΔｆの関係から導き出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１１−２３４６０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、図８に示すような振動子２１０を大量に生産すると、各寸法のばらつきによりΔｆがばらつき、その結果、許容範囲から外れる振動子２１０が発生し、歩留りの低下を招く可能性がある。
【００１２】
本発明は、共振周波数差Δｆのばらつきが低減された振動子等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る振動子は、電気−機械エネルギ変換素子と、一方の面に前記電気−機械エネルギ変換素子が接合され、他方の面に、頭頂部と側壁部を有する突起部が設けられた板状の弾性体と、を有する振動子であって、前記側壁部は、前記側壁部の他の部分よりも厚さが薄い薄肉部を有する、ことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係る振動子の製造方法は、電気−機械エネルギ変換素子と、一方の面に前記電気−機械エネルギ変換素子が接合され、他方の面に、頭頂部と側壁部を有する突起部が設けられた板状の弾性体と、を有する振動子の製造方法であって、振動モード毎の共振周波数を測定する測定工程と、前記測定工程において測定された前記振動モード毎の共振周波数に基づき、前記側壁部に薄肉部を形成するか否かを判定する判定工程と、前記判定工程の判定に基づき、前記側壁部に前記薄肉部を形成する形成工程と、を有する、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る振動子や振動子の製造方法によれば、共振周波数差Δｆを調整するための調整部として薄肉部（側壁部、突起部）を利用することで、Ｑ値の低下が低く抑えつつ、共振周波数差Δｆのばらつきが低減された振動子等を提供することができる。なぜならば、突起部（側壁部）は、電気−機械エネルギ変換素子と弾性体の接合面から離れているので、加工により、Δｆを変化させる（調整する）ために薄肉部を設けても、電気−機械エネルギ変換素子と弾性体の接合状態の悪化によるＱ値の低下が低く抑えられるからである。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動子の（ａ）斜視図、（ｂ）上面図、及び（ｃ）突起部近傍の斜視断面図、（ｂ）突起部近傍の斜視断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る振動子の、２つの振動モードの振動における節を表す図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る振動子の上面図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る振動子の上面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る振動子の製造方法のフロー図である。
【図６】本発明の実施形態に係る振動型アクチュエータを備える撮像装置の概略構成を示す（ａ）上面図及び（ｂ）ブロック図である。
【図７】振動子及びそれを有する振動型アクチュエータの概略構造と駆動原理について説明する図である。
【図８】突起部にばね性を持たせた振動子の概略構造を示す（ａ）斜視図及び（ｂ）斜視断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。なお、本実施形態では、振動型アクチュエータとは、駆動振動が励振される振動子と、振動子に加圧接触する接触体とを備え、駆動振動により振動子と接触体が相対的に移動可能な構成を有するものを指すこととする。つまり、振動子の駆動出力を、振動子と接触体との相対的な移動によって取り出すことができる構成となっているものを指すものとする。
【００１８】
振動型アクチュエータ１００の駆動原理について、詳細に説明する。
【００１９】
図７は、リニア駆動型の振動型アクチュエータ１００の概略構造と駆動原理（振動モード）について説明する図である。図７（ａ）は、振動型アクチュエータ１００の概略構造について説明する斜視図である。図７（ｂ）は、振動型アクチュエータ１００の構成部品である電気−機械エネルギ変換素子（圧電素子）１１４の概略構造について説明する上面図である。図７（ｃ）は、振動型アクチュエータ１００を構成する振動子１１５に励振される第１の振動モード（以下「モードＡ」と称呼する）について説明する斜視図である。図７（ｄ）は、振動型アクチュエータ１００を構成する振動子１１５に励振される第２の振動モード（以下「モードＢ」と称呼する）について説明する斜視図である。
【００２０】
振動型アクチュエータ１００は、接触体１１１及び振動子１１５を備える。振動子１１５は、概ね、略矩形で板状の弾性体１１３と、弾性体１１３の一方の面に接合された、略矩形で板状の電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子１１４と、弾性体１１３の他方の面に設けられた２つの突起部１１２から構成される。接触体１１１は、振動子１１５が加圧接触されるように構成される。なお、接触体は、振動子から加圧され、振動子と相対的に移動可能な部材であればよく、振動子と直接的に接するものに限られず、（他の部材を介し）振動子と間接的に接するものであってもよい。
【００２１】
振動型アクチュエータ１００においては、圧電素子１１４に特定の周波数の電圧が印加されることで、振動子１１５に所望の振動モードの振動が複数励振される。これら複数の振動モードの振動が重ね合わせられることにより、接触体１１１が駆動されるための振動が形成される。例えば、振動子１１５に２つの振動モードの振動が励振されることで、接触体１１１が駆動される。
【００２２】
圧電素子１１４には、図７（ｂ）に示すように、例えば、長手方向で２等分された電極領域１１４Ａ，１１４Ｂが形成されており、各電極領域における分極方向は同一方向（＋）である。圧電素子１１４の電極領域１１４Ａ、１１４Ｂのうち、電極領域１１４Ａに交番電圧ＶＡが印加され、電極領域１１４Ｂに交番電圧ＶＢが印加される。
【００２３】
交番電圧ＶＡ，ＶＢを、共にモードＡの共振周波数付近の周波数であり、且つ、共に同位相の交番電圧とすると、圧電素子１１４の全体が、ある瞬間には、分極方向に伸び、また、別の瞬間には、分極方向に縮む。その結果、振動子１１５には、図７（ｃ）に示される、モードＡの振動（第１の振動）が発生する。
【００２４】
また、交番電圧ＶＡ，ＶＢを、共にモードＢの共振周波数付近の周波数であり、且つ、互いに位相が１８０°ずれた交番電圧とすると、ある瞬間には、圧電素子１１４の一部（電極領域１１４Ａが形成された部分）が分極方向に縮む。それと共に、他の一部（電極領域１１４Ｂが形成された部分）が分極方向に伸びる。また、別の瞬間には、圧電素子１１４の一部（電極領域１１４Ａが形成された部分）が分極方向に伸びる。それと共に、他の一部（電極領域１１４Ｂが形成された部分）が分極方向に縮む。その結果、振動子１１５には、図７（ｄ）に示される、モードＢの振動（第２の振動）が発生する。
【００２５】
振動型アクチュエータ１００では、重ね合わされたモードＡとモードＢの振動により、振動子１１５が励振される。モードＡとモードＢはどちらも、板状の振動子１１５の面外方向の振動モード（面外振動モード）である。モードＡは、振動子１１５の長辺と略平行に２つの節（振幅が最小となるところ）が現れる一次の面外振動モードである。モードＢは、振動子１１５の短辺に略平行に３つの節が現れる二次の面外振動モードである。
【００２６】
突起部１１２は、モードＡの振動において腹（振幅が最大となるところ）となる位置の近傍、且つ、モードＢの振動において振動の節となる位置の近傍に配置されている。そのため、突起部１１２の先端面は、モードＢの振動の節を支点として振り子運動を行って、Ｘ方向に往復運動すると共に、モードＡの振動によってＺ方向に往復運動する。
【００２７】
ここで、Ｚ方向は、振動子を、接触体に対して加圧する方向（モードＡの振動において突起部が伸縮する方向）である。また、Ｘ方向は、振動子と接触体が相対的に移動する方向（モードＡの振動における腹の方向）である。また、Ｙ方向は、ＸＺ面（Ｘ方向とＺ方向を含む平面）に垂直な方向である。
【００２８】
よって、モードＡ，Ｂ間における交番電圧ＶＡの振動位相差が±π／２近傍となるように、モードＡ，Ｂが重ね合わされることで、突起部１１２の先端面にＸＺ面内の楕円運動を発生させることができる。また、突起部１１２と接触体１１１との間には、加圧接触による摩擦力が働くため、突起部１１２の楕円運動によって、接触体１１１をＸ方向に駆動する駆動力（推力）を発生させることができる。
【実施例１】
【００２９】
＜第１実施形態＞
振動型アクチュエータの実施形態について、詳細に説明する。
【００３０】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る図であり、リニア駆動型の振動型アクチュエータが有する振動子の構造を説明する図である。なお、以下の実施形態における振動子をそれぞれ有する振動型アクチュエータはいずれも、既述の駆動原理によって駆動される。よって、以下では、駆動原理についての説明は省略する。
【００３１】
図１（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、振動子３１０の斜視図、振動子３１０の上面図である。図８で説明したように振動子３１０は、弾性体３１３と電気−機械エネルギ変換素子（圧電素子）３１４を有し、弾性体３１３の両端に支持部３２０、さらに固定部３２１が設けられている。
【００３２】
この弾性体３１３には、中空の突起部３１２が複数（図１では２つ）設けられている。突起部３１２、弾性体３１３、圧電素子３１４を総称して、振動子本体部３１５という。突起部３１２の断面（図１（ａ）のＡ−Ａ断面）は、図１（ｃ）のように側壁部３１７、（図１では不図示の）接触体との接触面３１８ａを有する頭頂部（接触部）３１８、側壁部３１７と接触部３１８を連結する連結部３１９からなる。
【００３３】
連結部３１９は、接触部３１８より厚さが薄くされており、それにより、Ｚ方向の剛性が下がり所定のバネ性が持たされている。そのため、振動子３１０と（図１では不図示の）接触体は、なめらかに接触している。なお、図１（ｄ）のように、接触部をさらに絞り加工して、連結部３１９と厚さが略同じにされた頭頂部（接触部）３２８を形成してもよい。
【００３４】
支持部３２０は、弾性体３１３の両端から一体的に延設されるもので、溶接や接合等により固定部３２１が不図示の固定部材に接合される。２つの穴３２２ａ、３２２ｂは振動子を所定の位置に配置し固定するための位置決め穴である。支持部３２０は弾性体３１３の振動が固定部３２１に伝わらないように一部板厚を小さくして剛性を下げている。支持部３２０、固定部３２１を総称して、振動体付属部３２２という。
【００３５】
本実施例では、Δｆ（モードＢの共振周波数からモードＡの共振周波数を引いた値）が、許容範囲より小さい値から許容範囲内の値に調整された振動子を示す。その調整を行う方法として、側壁部３１７の一部に、（厚さが薄い部分である）薄肉部３１７ａを形成する（側壁部を調整部として用いる）方法を採る。突起部（側壁部）は、電気−機械エネルギ変換素子と弾性体の接合面から離れているので、加工により、Δｆを変化させる（調整する）ために薄肉部を設けても、電気−機械エネルギ変換素子と弾性体の接合状態の悪化によるＱ値の低下が低く抑えられる。
【００３６】
ここで、Δｆを調整するための調整部としての薄肉部３１７ａは、モードＡの振動における腹と重なる。薄肉部３１７ａは、レーザによる加工により（側壁部３１７の一部を除去することにより）形成している。このとき、所定以上の精度により加工できるならば、レーザによる加工以外の方法を用いてもよい。以下、第２実施形態以下においても同様である。
【００３７】
図２（ａ）は、図７（ｃ）で説明したモードＡの振動における節を破線１０ａで、モードＡの振動における腹を一点鎖線２０ａで示したものである。また、図２（ｂ）は、図７（ｄ）で説明したモードＢの振動における節を破線１０ｂ、１１ｂ、モードＢの振動における腹を一点鎖線２０ｂで示したものである。
【００３８】
薄肉部３１７ａは、モードＡの振動における腹２０ａと重なるので、側壁部３１７の根元（に形成された溝部３１６）におけるＹ方向の引張応力は大きい。よって、側壁部３１７の一部に（Ｄカットを施して）薄肉部３１７ａを形成することにより、当該Ｙ方向の引張応力に対して発生する抗力が弱められる。その結果、モードＡの共振周波数が下がる。
【００３９】
また、薄肉部３１７ａは、モードＢにおける節１０ｂ、１１ｂからずれている（節１０ｂ、１１ｂとは重ならない）。また、薄肉部３１７ａは、モードＢの振動における、自由端に最も近い側の節１１ｂとその自由端の間の領域内（領域Ｂ内）にある。そのため、側壁部３１７の根元（に形成された溝部３１６）におけるＸ方向の引張応力は小さい。よって、側壁部３１７の一部に薄肉部３１７ａを形成しても、当該Ｘ方向の引張応力に対して発生する抗力が弱められる程度は小さい。その結果、モードＢの共振周波数は、既述のモードＡの共振周波数ほどには下がらない。
【００４０】
このような作用により、Δｆは大きくなり、許容範囲内の値に調整することができる。
【００４１】
なお、薄肉部の厚さと側壁部における薄肉部以外の部分の厚さの比Ｄ（薄肉部の厚さ／側壁部における薄肉部以外の部分の厚さ）は、０．２≦Ｄ≦０．８が好ましい。当該比Ｄが０．２未満だと、薄肉される厚さあたりのΔｆの変化量が大きすぎるので、Δｆを適切に調整することが難しくなる。また、この場合には、強度不足の問題が顕在化する。また、当該比Ｄが０．８より大きいと、薄肉される厚さ（加工量）あたりのΔｆの変化量が小さすぎるので、この場合もまた、Δｆを適切に調整することが難しくなる。
【実施例２】
【００４２】
＜第２実施形態＞
図３は、本発明の第２実施形態に係る振動子４１０の上面図である。なお、振動子４１０の全体的な構造は、図１に示した振動子３１０の全体的な構造に準ずる。つまり、振動子４１０は、弾性体４１３と、弾性体４１３の一方の面（下面）に接合された、図３では不図示の圧電素子と、弾性体４１３の他方の面（上面）の２カ所に形成された、弾性体４１３と一体的に形成された突起部４１２を有する。
【００４３】
本実施例では、Δｆが、許容範囲より大きい値から許容範囲内の値に調整された振動子を示す。その調整を行う方法として、側壁部４１７の一部に、（厚さが薄い部分である）薄肉部４１７ａを形成する方法を採る。突起部（側壁部）は、電気−機械エネルギ変換素子と弾性体の接合面から離れているので、加工により、Δｆを変化させる（調整する）ために薄肉部を設けても、電気−機械エネルギ変換素子と弾性体の接合状態の悪化によるＱ値の低下が低く抑えられる。
【００４４】
ここで、Δｆを調整するための調整部としての薄肉部４１７ａは、モードＡの振動における腹２０ａと重なる（２０ａについては、図２参照）。
【００４５】
薄肉部４１７ａは、モードＡの振動における腹２０ａと重なるので、側壁部４１７の根元（に形成された溝部４１６）におけるＹ方向の引張応力は大きい。よって、側壁部４１７の一部に薄肉部４１７ａを形成することにより、当該Ｙ方向の引張応力に対して発生する抗力が弱められる。その結果、モードＡの共振周波数が下がる。
【００４６】
また、薄肉部４１７ａは、モードＢの振動における腹２０ｂに近い（節１０ｂ、１１ｂからずれている。節１０ｂ、１１ｂとは重ならない）（２０ｂ、１０ｂ、１１ｂについては、図２参照）。また、薄肉部４１７ａは、モードＢの振動における、自由端に最も近い側の節１１ｂとその自由端の間の領域内（領域Ｂ内）にはない（１１ｂ、領域Ｂについては、図２参照）。そのため、側壁部４１７の根元（に形成された溝部４１６）におけるＸ方向の引張応力は大きい。よって、側壁部４１７の一部に薄肉部４１７ａを形成することにより、当該Ｘ方向の引張応力に対して発生する抗力が弱められる。その結果、モードＢの共振周波数が下がる。
【００４７】
ここで、本実施例では、モードＡの振動によるＹ方向の引張応力よりもモードＢの振動によるＸ方向の引張応力の方が大きい。そのため、モードＡの共振周波数よりもモードＢの共振周波数の方が、より大きく下がる。
【００４８】
このような作用により、Δｆは小さくなり、許容範囲内の値に調整することができる。
【実施例３】
【００４９】
＜第３実施形態＞
図４は、本発明の第３実施形態に係る振動子５１０の上面図である。なお、振動子５１０の全体的な構造は、図１に示した振動子３１０の全体的な構造に準ずる。つまり、振動子５１０は、弾性体５１３と、弾性体５１３の一方の面（下面）に接合された、図４では不図示の圧電素子と、弾性体５１３の他方の面（上面）の２カ所に形成された、弾性体５１３と一体的に形成された突起部５１２を有する。
【００５０】
本実施例は、Δｆが、許容範囲より小さい値から許容範囲内の値に調整された振動子を示す。その調整を行う方法として、側壁部５１７の一部に、（厚さが薄い部分である）薄肉部５１７ａを形成する方法を採る。突起部（側壁部）は、電気−機械エネルギ変換素子と弾性体の接合面から離れているので、加工により、Δｆを変化させる（調整する）ために薄肉部を設けても、電気−機械エネルギ変換素子と弾性体の接合状態の悪化によるＱ値の低下が低く抑えられる。
【００５１】
ここで、Δｆを調整するための調整部としての薄肉部５１７ａは、モードＢの振動における節１１ｂと重なる（１１ｂについては、図２参照）。
【００５２】
薄肉部５１７ａは、モードＢの振動における節１１ｂと重なるので、側壁部５１７の根元（に形成された溝部５１６）におけるＸ方向の引張応力は小さい。よって、側壁部５１７の一部に薄肉部５１７ａを形成することにより、当該Ｘ方向の引張応力に対して発生する抗力が弱められる程度は小さい。その結果、モードＢの共振周波数は、後述するモードＡの共振周波数ほどには下がらない。
【００５３】
また、薄肉部５１７ａは、モードＡの振動における節１０ａからずれている（節１０ａとは重ならない）。また、薄肉部５１７ａは、モードＡの振動における（、自由端に最も近い側の）節１０ａとその自由端の間の領域内（領域Ａ内）にはない（１０ａ、領域Ａについては、図２参照）。そのため、側壁部５１７の根元（に形成された溝５１６）におけるＹ方向の引張応力は大きい。よって、側壁部５１７の一部に薄肉部５１７ａを形成することにより、当該Ｙ方向の引張応力に対して発生する抗力が弱められる。その結果、モードＡの共振周波数が下がる。なお、本実施例では、モードＡの振動における節が、節１０ａのみなので、モードＡの振動における全ての節が自由端に最も近い側の節になる。
【００５４】
このような作用により、Δｆは大きくなり、許容範囲内の値に調整することができる。
【実施例４】
【００５５】
＜第４実施形態＞
図５は、本発明の第４実施形態に係る振動子の製造方法に係るフローチャートである。図５に示すように、まずは測定工程６１において、振動モード毎の共振周波数をインピーダンス・アナライザなどによって測定する。次に、判定工程６２において、測定工程６１おける測定結果（振動モード毎の共振周波数）に基づいて、共振周波数調整の要否判定（側壁部に薄肉部を形成するか否かの判定）を行う。ここでは、当該要否判定を、共振周波数差Δｆが許容範囲内か否かに基づいて行っている。
【００５６】
次に、判定工程６２において、共振周波数調整が要（共振周波数差Δｆが許容範囲内ではない）と判定された場合には、調整工程６３へ進み、薄肉部を形成する際に、側壁部上のどの位置（加工位置）にどれくらいの量（加工量）の加工を施すかを決定する。調整工程の詳細については後述する。
【００５７】
次に、再度、測定工程６１において共振周波数の測定を行い、再度、判定工程６２において要否判定を行う。もし、判定工程６２において、再び共振周波数調整が要と判定された場合には、再度、調整工程６３を行う。
【００５８】
ここで、調整工程について詳述する。調整工程６３では、２つの共振周波数の差Δｆの、許容範囲からの逸脱量から、側壁部上のどの位置（加工位置）にどれくらいの量（加工量）の加工を施すかを決定する。加工位置や加工量は、振動モードの振動における節や腹の位置と突起部の位置との関係に依存しており、本発明の第１実施形態乃至第３実施形態で示した場所に限定されるわけではない。加工位置や加工量は、予め作成しておいた対応表に基づいて決定（導出）してもよいし、それ以外の方法（たとえば、計算式など）により決定（算出）してもよい。対応表とは、シミュレーションや、実際に作成した試料に対する加工・測定結果などによって得られた、Δｆと、加工位置及び加工量との対応関係を明らかにしたものである。
【００５９】
判定工程６２において、共振周波数調整が否（共振周波数差Δｆが許容範囲内である）と判定された場合には、一連の工程を終了する。
【実施例５】
【００６０】
＜その他の実施形態＞
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。例えば、本発明に係る振動子は、図７（ａ）に示したリニア型の振動型アクチュエータに限って適用されるものではなく、回転型の振動型アクチュエータや、多自由度を有する振動型アクチュエータにも適用が可能である。
【００６１】
また、振動子が有する突起部３１２等の形状も、円筒状に限定されるものではなく、突起部が中空であればよい。さらに、既述の各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
【００６２】
また、本発明の振動型アクチュエータを撮像装置（光学機器）のレンズ駆動用途や、複写機の感光ドラムの回転駆動用途や、ステージの駆動用途等の様々な用途に用いることができる。ここでは、一例として、振動子３１０等を円環状に配置しリング状の接触体を回転駆動する振動型アクチュエータをレンズ鏡筒に配置し、光学部材としての（１枚以上のレンズを含む）レンズ群の駆動に用いた撮像装置（光学機器）について説明する。なお、駆動される光学部材は、レンズ群の他に、撮像素子であってもよい。
【００６３】
図６（ａ）は、撮像装置（カメラ）７００の概略構成を示す上面図である。撮像装置７００は、撮像素子７１０及び電源ボタン７２０を搭載したカメラ本体部７３０を備える。また、撮像装置７００は、第１レンズ群（不図示）、第２レンズ群８２０、第３レンズ群（不図示）、第４レンズ群８４０、振動型アクチュエータ６２０，６４０を備えるレンズ鏡筒７４０を備える。レンズ鏡筒７４０は、交換レンズとしてカメラ本体部７３０に対して着脱自在である。
【００６４】
撮像装置７００では、振動型アクチュエータ（振動型駆動装置）６２０によって第２レンズ群８２０の、振動型アクチュエータ６４０によって第４レンズ群８４０の駆動がそれぞれ行われる。振動型アクチュエータ６２０，６４０には、図１乃至図５を参照して説明した振動子が用いられる。例えば、振動型アクチュエータ６２０を構成する接触体の回転をギア等により光軸方向の直進運動に変換し、第２レンズ群８２０の光軸方向における位置を調整する。振動型アクチュエータ６４０についても同様の構成とすることができる。
【００６５】
図６（ｂ）は、撮像装置７００の概略構成を示すブロック図である。第１レンズ群８１０、第２レンズ群８２０、第３レンズ群８３０、第４レンズ群８４０及び光量調節ユニット（絞り）８５０が、レンズ鏡筒７４０内部の光軸上の所定位置に配置される。第１レンズ群８１０〜第４レンズ群８４０と光量調節ユニット８５０とを通過した光は、撮像素子７１０に結像する。撮像素子７１０は、光学像を電気信号に変換して出力し、その出力は、カメラ処理回路７５０へ送られる。
【００６６】
カメラ処理回路７５０は、撮像素子７１０からの出力信号に対して増幅やガンマ補正等を施す。カメラ処理回路７５０は、ＡＥゲート７５５を介してＣＰＵ７９０に接続されると共に、ＡＦゲート７６０とＡＦ信号処理回路７６５とを介してＣＰＵ７９０に接続されている。カメラ処理回路７５０において所定の処理が施された映像信号は、ＡＥゲート７５５と、ＡＦゲート７６０及びＡＦ信号処理回路７６５を通じてＣＰＵ７９０へ送られる。なお、ＡＦ信号処理回路７６５は、映像信号の高周波成分を抽出して、オートフォーカス（ＡＦ）のための評価値信号を生成し、生成した評価値をＣＰＵ７９０へ供給する。
【００６７】
ＣＰＵ７９０は、撮像装置７００の全体的な動作を制御する制御回路であり、取得した映像信号から、露出決定やピント合わせのための制御信号を生成する。ＣＰＵ７９０は、決定した露出と適切なフォーカス状態が得られるように、振動型アクチュエータ６２０，６４０及びメータ６３０の駆動を制御することによって、第２レンズ群８２０、第４レンズ群８４０及び光量調節ユニット８５０の光軸方向位置を調整する。ＣＰＵ７９０による制御下において、振動型アクチュエータ６２０は第２レンズ群８２０を光軸方向に移動させ、振動型アクチュエータ６４０は第４レンズ群８４０を光軸方向に移動させ、光量調節ユニット８５０はメータ６３０により駆動制御される。
【００６８】
振動型アクチュエータ６２０により駆動される第２レンズ群８２０の光軸方向位置は第１リニアエンコーダ７７０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで、振動型アクチュエータ６２０の駆動にフィードバックされる。同様に、振動型アクチュエータ６４０により駆動される第４レンズ群８４０の光軸方向位置は第２リニアエンコーダ７７５により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで、振動型アクチュエータ６４０の駆動にフィードバックされる。光量調節ユニット８５０の光軸方向位置は、絞りエンコーダ７８０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０へ通知されることで、メータ６３０の駆動にフィードバックされる。
【００６９】
なお、振動型アクチュエータ６２０，６４０は、撮像装置において、レンズ群を光軸方向で駆動する（移動可能にする）用途に限定されない。像ぶれを補正するために像ぶれ補正レンズ或いは撮像素子を光軸と直交する方向で駆動する用途等にも用いることができる。
【符号の説明】
【００７０】
２１０，３１０，４１０，５１０  振動子
２１４，３１４  電気−機械エネルギ変換素子（圧電素子）
２１３，３１３，４１３，５１３  弾性体
２１２，３１２，４１２，５１２  突起部
２１７，３１７，４１７，５１７  側壁部
３１７ａ，４１７ａ，５１７ａ  薄肉部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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