(57)【要約】【課題】設備が簡便かつ小さくまとめられる。【解決手段】洗浄装置１０は、被洗浄物を所定方向に搬送する搬送ユニット２０と、搬送ユニット２０により被洗浄物が搬入される箱状の洗浄室１３ａと、洗浄室１３ａ内に搬入された被洗浄物に洗浄液を噴射する洗浄ノズルを備えた洗浄部３０と、を有する洗浄処理ユニット１３と、洗浄室１３ａに対して所定方向の下流側に設置され、洗浄室１３ａで洗浄された被洗浄物が搬送ユニット２０により搬入される箱状の乾燥室１４ａと、乾燥室１４ａ内に搬入された被洗浄物のおもて面及び裏面にそれぞれ対向する円板の面に配置され、円板の回転による遠心力で円板の半径方向に移動しながらおもて面及び裏面に圧縮空気をそれぞれ吹き付ける吹付ノズルをそれぞれ備えた一対の乾燥部５０を有する乾燥処理ユニット１４と、を有する。【選択図】図２
2019155212.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を所定方向に搬送する搬送ユニットと、
前記搬送ユニットにより前記被洗浄物が搬入される箱状の洗浄室と、前記洗浄室内に搬入された前記被洗浄物に洗浄液を噴射する洗浄ノズルを備えた洗浄部と、を有する洗浄処理ユニットと、
前記洗浄室に対して前記所定方向の下流側に設置され、前記洗浄室で洗浄された前記被洗浄物が前記搬送ユニットにより搬入される箱状の乾燥室と、前記乾燥室内に搬入された前記被洗浄物のおもて面及び裏面にそれぞれ対向する第１円板の面に配置され、前記第１円板の回転による遠心力で前記第１円板の半径方向に移動しながら前記おもて面及び前記裏面に圧縮空気をそれぞれ吹き付ける吹付ノズルをそれぞれ備えた一対の乾燥部と、を有する乾燥処理ユニットと、
を有する洗浄装置。
【請求項２】
前記第１円板は、前記遠心力により前記第１円板の前記半径方向に移動した前記吹付ノズルを前記第１円板の中心部に付勢する第１付勢部が設置されている、
請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記吹付ノズルは、前記第１円板に前記第１円板の回転方向の逆方向に傾いて配置され、
前記第１円板は前記吹付ノズルから吹き付けられる前記圧縮空気による反動で回転する、
請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記吹付ノズルは、前記遠心力により前記第１円板の前記半径方向に移動した後、前記第１付勢部により、前記第１円板の前記半径方向に沿って前記中心部側に移動するように前記第１円板の前記半径方向に対して往復動作を行う、
請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記吹付ノズルは、前記被洗浄物の前記おもて面及び前記裏面に対して垂直に前記第１円板に配置され、
前記乾燥部は、前記第１円板を回転させる回転部を有する、
請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記乾燥部は、前記圧縮空気を加熱する第１加熱部を備え、
前記吹付ノズルから、前記第１加熱部で加熱された前記圧縮空気を吹き付ける、
請求項１乃至５のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記第１加熱部は、誘導加熱式である、
請求項６に記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記洗浄処理ユニットは、前記洗浄部を一対備え、
前記洗浄ノズルが、前記被洗浄物の前記おもて面及び前記裏面にそれぞれ対向する第２円板の面に配置され、前記第２円板の回転による遠心力で前記第２円板の半径方向に移動しながら前記おもて面及び前記裏面に前記洗浄液をそれぞれ噴射する、
請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項９】
前記第２円板は、前記遠心力により前記第２円板の前記半径方向に移動した前記洗浄ノズルを前記第２円板の中心部に付勢する第２付勢部が設置されている、
請求項８に記載の洗浄装置。
【請求項１０】
前記洗浄ノズルは、前記遠心力により前記第２円板の前記半径方向に移動した後、前記第２付勢部により、前記第２円板の前記半径方向に沿って前記中心部側に移動するように前記第２円板の前記半径方向に対して往復動作を行う、
請求項９に記載の洗浄装置。
【請求項１１】
前記洗浄部は、前記第２円板を回転させる回転部を備える、
請求項８に記載の洗浄装置。
【請求項１２】
前記洗浄部は、前記洗浄液を加熱する第２加熱部を備え、
前記洗浄ノズルから、前記第２加熱部で加熱された前記洗浄液を噴射する、
請求項９に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
洗浄装置では、複数の治具に被洗浄物を収納して、このような被洗浄物を、洗浄液を貯留した洗浄槽に浸漬させる浸漬工程、洗浄槽から取り出した被洗浄物に圧縮空気を吹き付ける水切り（乾燥）工程を経て、被洗浄物の洗浄が行われていた。
【０００３】
近年、１つの被洗浄物を閉鎖空間で洗浄するような洗浄装置の要求が高まっている。例えば、有底筒状の筐体の内部空間に被洗浄物を収納し、内部空間に洗浄液、乾燥用の圧縮空気を吹き付けることで、被洗浄物の洗浄が行われている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１６９２１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記文献の洗浄装置では、有底筒状の筐体の内部空間に被洗浄物を収納して、洗浄液、乾燥用の圧縮空気の吹き付けをそれぞれ行うための切り替えを要し、そのための複雑な機構を要する。また、このような筐体を複数用意することで複数の被洗浄物の洗浄を行うことができるものの、そのためのスペース等を必要とする。また、被洗浄物の全面を清浄にすることも課題の一つである。特に、洗浄する表面に凹凸を有する被洗浄物の場合は、シミや異物等の洗浄残差の低減が重要である。
【０００６】
したがって、本発明は、設備が簡便かつ小さくまとまった洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一観点によれば、被洗浄物を所定方向に搬送する搬送ユニットと、前記搬送ユニットにより前記被洗浄物が搬入される箱状の洗浄室と、前記洗浄室内に搬入された前記被洗浄物に洗浄液を噴射する洗浄ノズルを備えた洗浄部と、を有する洗浄処理ユニットと、前記洗浄室に対して前記所定方向の下流側に設置され、前記洗浄室で洗浄された前記被洗浄物が前記搬送ユニットにより搬入される箱状の乾燥室と、前記乾燥室内に搬入された前記被洗浄物のおもて面及び裏面にそれぞれ対向する第１円板の面に配置され、前記第１円板の回転による遠心力で前記第１円板の半径方向に移動しながら前記おもて面及び前記裏面に圧縮空気をそれぞれ吹き付ける吹付ノズルをそれぞれ備えた一対の乾燥部と、を有する乾燥処理ユニットと、を有する洗浄装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
上記構成の洗浄装置は、設備が簡便で小さくまとまり、効率よく洗浄することができる。これにより、洗浄の高速化を図ることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施の形態の洗浄システムのハードウェア構成の一例を示す図である。
【図２】実施の形態の洗浄装置の側面図である。
【図３】実施の形態の洗浄装置の上面図である。
【図４】実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄液の噴射を説明するための図である。
【図５】実施の形態の洗浄装置が有する乾燥室内の圧縮空気の吹き付けを説明するための図である。
【図６】実施の形態の洗浄装置における被洗浄物の搬送方法を説明するための側面図（その１）である。
【図７】実施の形態の洗浄装置における被洗浄物の搬送方法を説明するための上面図（その１）である。
【図８】実施の形態の洗浄装置における被洗浄物の搬送方法を説明するための側面図（その２）である。
【図９】実施の形態の洗浄装置における被洗浄物の搬送方法を説明するための上面図（その２）である。
【図１０】実施の形態の洗浄装置における被洗浄物の搬送方法を説明するための側面図（その３）である。
【図１１】実施の形態の洗浄装置における被洗浄物の搬送方法を説明するための上面図（その３）である。
【図１２】実施の形態の洗浄装置における被洗浄物の搬送方法を説明するための側面図（その４）である。
【図１３】実施の形態の洗浄装置における被洗浄物の搬送方法を説明するための上面図（その４）である。
【図１４】実施の形態の洗浄装置における被洗浄物の搬送方法を説明するための側面図（その５）である。
【図１５】実施の形態の洗浄装置における被洗浄物の搬送方法を説明するための上面図（その５）である。
【図１６】実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄部の洗浄ノズル側から見た側面図である。
【図１７】実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄部の断面図（その１）である。
【図１８】実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄部の断面図（その２）である。
【図１９】実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄部の洗浄ノズルに取り付けられた付勢部を説明するための図である。
【図２０】実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄部の円板が回転している場合を説明するための図（その１）である。
【図２１】実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄部の円板が回転している場合を説明するための図（その２）である。
【図２２】実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄部の断面図（その３）である。
【図２３】実施の形態の洗浄装置が有する乾燥室内の乾燥部の吹付ノズル側から見た側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
なお、以下の説明において、同一または均等の構成要素については、同じ符号を付している。
【００１２】
また、本発明は、下記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲内で適宜変形して実施することができるものである。
【００１３】
まず、実施の形態の洗浄システムについて図１を用いて説明する。
【００１４】
図１は、実施の形態の洗浄システムのハードウェア構成の一例を示す図である。
【００１５】
洗浄システム７０は、洗浄装置１０と洗浄装置１０を制御する制御ユニット６０とを含んでいる。
【００１６】
洗浄装置１０は、被洗浄物がセットされると制御ユニット６０の制御に基づき、被洗浄物に洗浄液を噴射並びに乾燥を自動的に行うことができる。このような洗浄装置１０の詳細については後述する。
【００１７】
制御ユニット６０は、例えば、コンピュータであって、プロセッサ６０ａとＲＡＭ（Random Access Memory）６０ｂとＨＤＤ（Hard Disk Drive）６０ｃと入出力信号インタフェース６０ｄと記憶媒体インタフェース６０ｆとを含み、これがバス６０ｈを介して接続されている。
【００１８】
プロセッサ６０ａは、制御ユニット６０全体を制御する。プロセッサ６０ａは、マルチプロセッサであってもよい。プロセッサ６０ａは、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、または、ＰＬＤ（Programmable Logic Device）である。また、プロセッサ６０ａは、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＤＳＰ、ＡＳＩＣ、ＰＬＤのうちの２以上の要素の組み合わせであってもよい。
【００１９】
ＲＡＭ６０ｂは、制御ユニット６０の主記憶装置として使用される。ＲＡＭ６０ｂには、プロセッサ６０ａに実行させるＯＳ（Operating System）のプログラム、アプリケーションプログラムの少なくとも一部が一時的に記憶される。また、ＲＡＭ６０ｂには、プロセッサ６０ａによる処理に必要な各種データが記憶される。
【００２０】
ＨＤＤ６０ｃは、内蔵したディスクに対して、磁気的にデータの書き込み及び読み出しを行う。ＨＤＤ６０ｃは、制御ユニット６０の補助記憶装置として使用される。ＨＤＤ６０ｃには、ＯＳのプログラム、アプリケーションプログラム、各種データが記憶される。なお、ＨＤＤ６０ｃに限らず、ＳＳＤ（Solid State Drive）等の他の種類の記憶装置を使用することもできる。なお、補助記憶装置としては、フラッシュメモリ等の半導体記憶装置を使用することもできる。
【００２１】
入出力信号インタフェース６０ｄには、入出力デバイスが接続されている。入出力デバイスは、入力デバイスと出力デバイスとを含む。入力デバイスの一例として、キーボード６２、マウス６３がある。この他にも、タッチパネルを適用することができる。また、出力デバイスの一例として、モニタ６１がある。この他にも、液晶表示や、各種パネル表示装置、音声出力装置等がある。入出力信号インタフェース６０ｄは、キーボード６２やマウス６３から送られてくる信号をプロセッサ６０ａに送信する。なお、マウス６３は、ポインティングデバイスの一例であり、他のポインティングデバイスを使用することもできる。他のポインティングデバイスとしては、タッチパネル、タッチパッド、トラックボール等がある。入出力信号インタフェース６０ｄは、プロセッサ６０ａからの命令に従って、画像をモニタ６１に表示させる。モニタ６１としては、液晶ディスプレイや有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイを用いた表示装置等がある。さらに、入出力信号インタフェース６０ｄには、洗浄装置１０が接続されている。洗浄装置１０は、プロセッサ６０ａからの制御信号を入出力信号インタフェース６０ｄを介して受信して、制御信号に基づく洗浄処理、乾燥処理等を実行する。
【００２２】
記憶媒体インタフェース６０ｆは、磁気やレーザ等を利用して記憶媒体６４に記録されたデータの読み取りや書き込みを行う。また、記憶媒体インタフェース６０ｆは、半導体メモリ等の記憶媒体に記録されたデータの読み取りを行うものであってもよい。記憶媒体６４とは、例えば、光ディスクや、フラッシュメモリ等の半導体メモリ等を含む。光ディスクは、光の反射によって読み取り可能なようにデータが記録された可搬型の記録媒体である。光ディスクには、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc − Read Only Memory）、ＣＤ−Ｒ（Recordable）／ＲＷ（ReWritable）等がある。
【００２３】
記憶媒体インタフェース６０ｆは、制御ユニット６０に周辺機器を接続するための通信インタフェースとしても用いることができる。例えば、記憶媒体インタフェース６０ｆには、メモリ装置やメモリリーダライタを接続することができる。メモリ装置は、記憶媒体インタフェース６０ｆとの通信機能を搭載した記録媒体である。メモリリーダライタは、メモリカードへのデータの書き込み、または、メモリカードからのデータの読み出しを行う装置である。メモリカードは、カード型の記録媒体である。
【００２４】
このような構成を有する制御ユニット６０は、予め導入された洗浄プログラムに基づいて、洗浄装置１０を制御させることができる。
【００２５】
次に、洗浄装置１０について図２及び図３を用いて説明する。
【００２６】
図２は、実施の形態の洗浄装置の側面図であり、図３は、実施の形態の洗浄装置の上面図である。
【００２７】
なお、以下では、被洗浄物は特に限定しない場合には被洗浄物Ｗと表す。但し、必要に応じて、被洗浄物Ｗ１，Ｗ２……等と表す。また、被洗浄物Ｗは、洗浄したいものであればどのようなものでも構わない。但し、ここでの被洗浄物Ｗは、例えば、半導体ウェハ、半導体チップの搬送に用いるテーブル等の板状のような形状であるとする。
【００２８】
また、図２及び図３に示す矢印方向を前方とし、矢印の逆方向を後方とする。
【００２９】
洗浄装置１０は、筐体１１内に、処理待ち用置台１２と、洗浄処理ユニット１３と、乾燥処理ユニット１４と、処理済み用置台１５とが前方に向かってそれぞれ直線状に配列されて含まれている。さらに洗浄装置１０は、筐体１１に対して搬送ユニット２０が設置されている。
【００３０】
筐体１１は、例えば、有底の角柱または円柱であり、内部に洗浄装置１０の構成要素が収納されている。
【００３１】
処理待ち用置台１２は、これから洗浄処理が行われる被洗浄物Ｗ（図２及び図３では被洗浄物Ｗ４）が設置される。このような処理待ち用置台１２は、図３に示されるように、上面に凹部の溝部１２ａが形成されている。被洗浄物Ｗは処理待ち用置台１２の溝部１２ａに対して人手または所定の搬送装置によりセットされる。
【００３２】
洗浄処理ユニット１３は、処理待ち用置台１２にセットされた被洗浄物Ｗが搬送ユニット２０により搬入されて、被洗浄物Ｗに洗浄液を噴射して被洗浄物Ｗに付着している粉塵等の汚れを流し落とす。このような洗浄処理ユニット１３は、洗浄室１３ａとシャッター１３ｂと洗浄用置台１３ｃと洗浄部３０とを含んでいる。
【００３３】
洗浄室１３ａは、有底の箱状を成している。箱状とは、直方体、立方体または円筒等の形状である。このような洗浄室１３ａは、例えば、樹脂、カーボン等で構成されているが、洗浄に用いる洗浄液と反応を起こさないような材質で構成され、また、そのような材質が内壁に塗布されている。
【００３４】
シャッター１３ｂは、洗浄室１３ａの上面開口に設置されて、洗浄室１３ａに対する被洗浄物Ｗの搬入時及び搬出時に開閉する。シャッター１３ｂにより洗浄室１３ａが密閉される。但し、密閉された洗浄室１３ａは内部に排水溝が形成されており、洗浄液が排水溝により外部に排出される。シャッター１３ｂもまた洗浄室１３ａと同様に、例えば、樹脂、カーボン等で構成されているが、洗浄に用いる洗浄液と反応を起こさないような材質で構成され、また、そのような材質が内壁に塗布されている。なお、図３には、シャッター１３ｂの図示を省略している。
【００３５】
洗浄用置台１３ｃは、処理待ち用置台１２と同様に、図３に示されるように、上面に凹部の溝部１３ｃ１が形成されており、洗浄室１３ａの中央部に配置されている。なお、この際、洗浄用置台１３ｃの溝部１３ｃ１は、処理待ち用置台１２の溝部１２ａに対して直線上に配置されている。このような洗浄用置台１３ｃの溝部１３ｃ１に、処理待ち用置台１２から搬送ユニット２０により搬送された被洗浄物Ｗが配置される。また、洗浄用置台１３ｃは、必要に応じて、洗浄室１３ａ内を前方及び後方に所定の周期で往復するように移動することができる。なお、洗浄用置台１３ｃは、洗浄室１３ａと同様に、例えば、樹脂、カーボン等で構成されているが、洗浄に用いる洗浄液と反応を起こさないような材質で構成され、また、そのような材質が表面に塗布されている。
【００３６】
洗浄部３０は、洗浄用置台１３ｃに配置された被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面にそれぞれ対向するように洗浄室１３ａ内にそれぞれ配置されている。このような洗浄部３０は、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面にそれぞれ洗浄液を噴射して、被洗浄物Ｗに付着している粉塵等を流し落とす。また、洗浄部３０は、必要に応じて、制御ユニット６０からの制御に基づき、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面に対する距離が制御される。なお、このような洗浄部３０としては、例えば、複数の洗浄ノズルを備えるシャワー等でも構わない。但し、本実施の形態の洗浄部３０の詳細については後述する。
【００３７】
なお、このような洗浄処理ユニット１３は、１組に限らず、例えば、十分に洗浄を行いたい場合には複数組を（前方方向に沿って、洗浄用置台１３ｃの溝部１３ｃ１が直線状になるように）設けることができる。また、洗浄処理ユニット１３で使用される洗浄液は通常の洗剤が用いられる。また、例えば、洗浄処理ユニット１３を前方方向に沿って２組設ける場合には、前段の洗浄処理ユニット１３で被洗浄物Ｗを洗浄液で洗浄した後に、後段の洗浄処理ユニット１３で当該被洗浄物Ｗに対して純水を用いて、洗浄液を洗い流す（リンス）ことも好ましい。このようにすることで、被洗浄物Ｗに対する洗浄染み等を低減することができる。
【００３８】
乾燥処理ユニット１４は、洗浄用置台１３ｃにセットされた被洗浄物Ｗが搬送ユニット２０により搬入されて、被洗浄物Ｗに圧縮空気を吹き付けて被洗浄物Ｗに付着している洗浄液を吹き飛ばして乾燥させる。このような乾燥処理ユニット１４は、乾燥室１４ａとシャッター１４ｂと乾燥用置台１４ｃと乾燥部５０とを含んでいる。
【００３９】
乾燥室１４ａは、有底の箱状を成している。箱状とは、直方体、立方体または円筒等の形状である。このような乾燥室１４ａは、例えば、樹脂、カーボン等で構成されているが、被洗浄物Ｗに付着した洗浄液と反応を起こさないような材質で構成され、また、そのような材質が内壁に塗布されている。
【００４０】
シャッター１４ｂは、乾燥室１４ａの上面開口に設置されて、乾燥室１４ａに対する被洗浄物Ｗの搬入時及び搬出時に開閉する。シャッター１４ｂにより乾燥室１４ａが密閉される。但し、乾燥室１４ａは内部が排気されて減圧されている。シャッター１４ｂもまた乾燥室１４ａと同様に、例えば、樹脂、カーボン等で構成されているが、洗浄に用いる洗浄液と反応を起こさないような材質で構成され、また、そのような材質が内壁に塗布されている。なお、図３には、シャッター１４ｂの図示を省略している。
【００４１】
乾燥用置台１４ｃは、処理待ち用置台１２及び洗浄用置台１３ｃと同様に、図３に示されるように、上面に凹部の溝部１４ｃ１が形成されており、乾燥室１４ａの中央部に配置されている。また、乾燥用置台１４ｃの溝部１４ｃ１は、処理待ち用置台１２の溝部１２ａ及び洗浄用置台１３ｃの溝部１３ｃ１に対して直線上に配置されている。このような乾燥用置台１４ｃの溝部１４ｃ１に、洗浄用置台１３ｃから搬送ユニット２０により搬送された被洗浄物Ｗが配置される。また、乾燥用置台１４ｃは、乾燥室１４ａ内を前方及び後方に所定の周期で往復するように移動することができる。なお、乾燥用置台１４ｃもまた、乾燥室１４ａと同様に、例えば、樹脂、カーボン等で構成されているが、被洗浄物Ｗに付着した洗浄液と反応を起こさないような材質で構成され、また、そのような材質が表面に塗布されている。
【００４２】
乾燥部５０は、乾燥用置台１４ｃに配置された被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面にそれぞれ対向するように乾燥室１４ａ内にそれぞれ配置されている。このような乾燥部５０は、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面にそれぞれ圧縮空気を吹き付けて、被洗浄物Ｗに付着している洗浄液を吹き飛ばして乾燥させる。また、乾燥部５０は、必要に応じて、制御ユニット６０からの制御に基づき、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面に対する距離が制御される。なお、乾燥部５０の詳細については後述する。
【００４３】
なお、このような乾燥処理ユニット１４は、１組に限らず、例えば、十分に乾燥を行いたい場合には複数組を（前方方向に沿って、乾燥用置台１４ｃの溝部１４ｃ１が直線状になるように）設けることができる。複数組の乾燥処理ユニット１４により、被洗浄物Ｗをより確実に乾燥させることができる。
【００４４】
処理済み用置台１５は、このようにして洗浄処理が完了した被洗浄物Ｗが乾燥用置台１４ｃから搬送ユニット２０により搬送されてセットされる。このような処理済み用置台１５は、図３に示されるように、上面に凹部の溝部１５ａが形成されている。また、処理済み用置台１５の溝部１５ａは、処理待ち用置台１２の溝部１２ａ、洗浄用置台１３ｃの溝部１３ｃ１及び乾燥用置台１４ｃの溝部１４ｃ１に対して直線上に配置されている。このようにして処理済み用置台１５に配置された被洗浄物Ｗは、人手または所定の搬送装置により取り出されて、洗浄処理が完了する。
【００４５】
搬送ユニット２０は、２組のアーム部２１ａ，２１ｂ及び移動部２２ａ，２２ｂとガイド部２３とを含んでいる。
【００４６】
アーム部２１ａ，２１ｂは、例えば、図２中上下方向に延伸して、一方の先端部で被洗浄物Ｗを掴んで持ち上げ、また、降下させることができる。
【００４７】
移動部２２ａ，２２ｂは、アーム部２１ａ，２１ｂの他方の先端部が接続されて、後述するガイド部２３に沿って（前方または後方）に移動することができる。
【００４８】
ガイド部２３は、筐体１１の長手方向に沿って筐体１１の上面に設置されている。ガイド部２３には、移動部２２ａ，２２ｂがガイド部２３に沿って移動可能に取り付けられている。
【００４９】
なお、搬送ユニット２０は、一例として、２組のアーム部２１ａ，２１ｂ及び移動部２２ａ，２２ｂを含んでいる。搬送ユニット２０は、２組に限らず、１組でも、３組以上でも構わない。但し、アーム部２１ａ，２１ｂ及び移動部２２ａ，２２ｂの組数は、洗浄処理ユニット１３及び乾燥処理ユニット１４の数に対応させることが好ましい。
【００５０】
次に、洗浄処理ユニット１３による洗浄液加熱系統及び乾燥処理ユニット１４の圧縮空気加熱系統について図４及び図５を用いて説明する。
【００５１】
図４は、実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄液の噴射を説明するための図であり、図５は、実施の形態の洗浄装置が有する乾燥室内の圧縮空気の吹き付けを説明するための図である。
【００５２】
なお、図４の洗浄処理ユニット１３及び図５の乾燥処理ユニット１４は、それぞれ洗浄装置１０の前方側（または後方側）から見た場合を模式的に表している。
【００５３】
洗浄処理ユニット１３の洗浄室１３ａの一対の洗浄部３０には、図４に示されるように、洗浄液注入口１３ｅを備える洗浄用配管１３ｄがそれぞれ接続されている。また、洗浄用配管１３ｄには加熱部１３ｆが設けられている。なお、加熱部１３ｆは、例えば、誘導加熱式であり、洗浄用配管１３ｄに洗浄液を流しながら加熱することができる。このようにして加熱された洗浄液の温度は、例えば、８０℃以下である。
【００５４】
したがって、洗浄処理ユニット１３では、洗浄液注入口１３ｅから洗浄液が注入されると加熱部１３ｆで加熱された洗浄液が洗浄用配管１３ｄを通って一対の洗浄部３０にそれぞれ注入される。一対の洗浄部３０は、加熱された洗浄液を被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面にそれぞれ噴射する。
【００５５】
乾燥処理ユニット１４の乾燥室１４ａの一対の乾燥部５０には、図５に示されるように、エアコンプレッサが接続される圧縮空気注入口１４ｅを備える乾燥用配管１４ｄがそれぞれ接続されている。また、乾燥用配管１４ｄには加熱部１４ｆが設けられている。加熱部１４ｆは、乾燥用配管１４ｄに圧縮空気を流しながら加熱することができる。このようにして加熱された圧縮空気の温度は、例えば、５０℃以上、６０℃以下である。
【００５６】
したがって、乾燥処理ユニット１４では、圧縮空気注入口１４ｅから圧縮空気が注入されると加熱部１４ｆで加熱された圧縮空気が乾燥用配管１４ｄを通って一対の乾燥部５０にそれぞれ注入される。一対の乾燥部５０は、加熱された圧縮空気を被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面にそれぞれ吹き付ける。
【００５７】
次に、洗浄装置１０の搬送ユニット２０による被洗浄物Ｗの搬送方法について図６〜図１５を用いて説明する。
【００５８】
図６，８，１０，１２，１４は、実施の形態の洗浄装置における被洗浄物の搬送方法を説明するための側面図である。
【００５９】
図７，９，１１，１３，１５は、実施の形態の洗浄装置における被洗浄物の搬送方法を説明するための上面図である。なお、ここでもシャッター１３ｂ，１４ｂの図示を省略している。
【００６０】
まず、利用者は、制御ユニット６０を操作して、洗浄装置１０を初期状態にセットする。洗浄装置１０の初期状態では、移動部２２ａ，２２ｂが処理待ち用置台１２及び洗浄用置台１３ｃにそれぞれ対向する位置に配置される。そして、利用者は、洗浄装置１０の処理待ち用置台１２に被洗浄物Ｗ１をセットする。
【００６１】
利用者は制御ユニット６０を操作して、洗浄装置１０による洗浄処理を実行させる。
【００６２】
すると、洗浄装置１０では、図６及び図７に示されるように、アーム部２１ａが図６中下方向に伸びて被洗浄物Ｗ１の端部を掴む。
【００６３】
そして、洗浄装置１０では、アーム部２１ａが被洗浄物Ｗ１を掴んで上昇して、図８及び図９に示されるように、移動部２２ａ，２２ｂが前方に移動する。そして、移動部２２ａ，２２ｂが洗浄用置台１３ｃ及び乾燥用置台１４ｃにそれぞれ対向する位置に移動する。
【００６４】
すると、洗浄処理ユニット１３の洗浄室１３ａのシャッター１３ｂが開き、アーム部２１ａが被洗浄物Ｗ１を降下させて、図１０及び図１１に示されるように、被洗浄物Ｗ１を洗浄用置台１３ｃに配置させる。また、利用者は、処理待ち用置台１２に新たな被洗浄物Ｗ２を設置する。
【００６５】
洗浄装置１０では、アーム部２１ａを元の位置に上昇させて、シャッター１３ｂを閉じると、一対の洗浄部３０により被洗浄物Ｗ１のおもて面及び裏面に加熱部１３ｆで加熱された洗浄液を所定の時間噴射して被洗浄物Ｗ１に付着した汚れを流し落とす。
【００６６】
そして、洗浄装置１０では、再び、移動部２２ａ，２２ｂが処理待ち用置台１２及び洗浄用置台１３ｃにそれぞれ対向する位置に配置される。アーム部２１ａ，２１ｂが下降して、それぞれ被洗浄物Ｗ２，Ｗ１を掴んで上昇して、前方に移動する。
【００６７】
洗浄処理ユニット１３の洗浄室１３ａのシャッター１３ｂ及び乾燥室１４ａのシャッター１４ｂがそれぞれ開き、アーム部２１ａ，２１ｂが被洗浄物Ｗ２，Ｗ１を降下させて、被洗浄物Ｗ２，Ｗ１を洗浄用置台１３ｃ及び乾燥用置台１４ｃにそれぞれ配置させる。また、利用者は、図１２及び図１３に示されるように、処理待ち用置台１２に新たな被洗浄物Ｗ３を設置する。
【００６８】
洗浄装置１０では、アーム部２１ａを元の位置に上昇させて、シャッター１３ｂを閉じると、一対の洗浄部３０により被洗浄物Ｗ２のおもて面及び裏面に洗浄液を所定の時間噴射して被洗浄物Ｗ２に付着した汚れを流し落とす。また、アーム部２１ｂを元の位置に上昇させて、シャッター１４ｂを閉じると、一対の乾燥部５０により被洗浄物Ｗ１のおもて面及び裏面に圧縮空気を所定の時間吹き付けて被洗浄物Ｗ１に付着した洗浄液を吹き飛ばす。
【００６９】
そして、洗浄装置１０では、再び、移動部２２ａ，２２ｂが乾燥用置台１４ｃ及び処理待ち用置台１２にそれぞれ対向する位置に配置される。アーム部２１ａ，２１ｂが下降して、それぞれ被洗浄物Ｗ２，Ｗ１を掴んで上昇して、前方に移動する。
【００７０】
乾燥処理ユニット１４の乾燥室１４ａのシャッター１４ｂを開き、アーム部２１ａ，２１ｂが被洗浄物Ｗ２，Ｗ１を降下させて、図１４及び図１５に示されるように、被洗浄物Ｗ２，Ｗ１を乾燥用置台１４ｃ及び処理済み用置台１５にそれぞれ配置させる。
【００７１】
同様にして、洗浄装置１０では、再び、移動部２２ａ，２２ｂが処理待ち用置台１２及び洗浄用置台１３ｃにそれぞれ対向する位置に配置される。アーム部２１ａが下降して、被洗浄物Ｗ３を掴んで上昇して、前方に移動する。
【００７２】
そして、移動部２２ａ，２２ｂが洗浄用置台１３ｃ及び乾燥用置台１４ｃにそれぞれ対向する位置に移動する。すると、洗浄処理ユニット１３の洗浄室１３ａのシャッター１３ｂが開き、アーム部２１ａが被洗浄物Ｗ２を降下させて、被洗浄物Ｗ２を洗浄用置台１３ｃに配置させる。また、利用者は、図１４及び図１５に示されるように、処理待ち用置台１２に新たな被洗浄物Ｗ４を設置する。
【００７３】
このような搬送ユニット２０により被洗浄物Ｗが洗浄処理ユニット１３及び乾燥処理ユニット１４に順に搬送されることで、被洗浄物Ｗの洗浄処理及び乾燥処理がそれぞれ実行される。
【００７４】
次に、洗浄処理ユニット１３に含まれる洗浄部３０と乾燥処理ユニット１４に含まれる乾燥部５０とについて図１６〜図１８を用いて説明する。
【００７５】
図１６は、実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄部の洗浄ノズル側から見た側面図である。図１７及び図１８は、実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄部の断面図である。なお、図１７は、図１６のＹ１−Ｙ１矢視断面図、図１８は、図１６のＹ２−Ｙ２矢視断面図をそれぞれ表している。
【００７６】
洗浄部３０は、中空円筒状の固定ハウジング３１を有している。この固定ハウジング３１には、中空円筒状の回転筒体３２ａが同心配置され、その回転筒体３２ａは、固定ハウジング３１に軸方向に離間して内設された２つの軸受３３によって回転自在に支持されている。
【００７７】
回転筒体３２ａは、一端が開放され、他端が一体に形成された閉止部材３４によって閉止されている。さらに、回転筒体３２ａの他端に、一体に回転軸体３２ｂが形成されている。
【００７８】
閉止部材３４によって閉止された側の回転筒体３２ａには、管継手部３５ａ，３５ｂが形成されている。この管継手部３５ａ，３５ｂは、回転筒体３２ａの軸対称となる位置（図１６では上下の位置）にて半径方向に貫通して内部に連通するように形成されている。この管継手部３５ａ，３５ｂの先には中継管部３６ａ，３６ｂ、可撓性のホース部３７ａ，３７ｂがそれぞれ内部に連通するように形成されている。さらに、ホース部３７ａ，３７ｂの他端には内部が貫通しているコマ部３８ａ，３８ｂを挟んで洗浄ノズル３９ａ，３９ｂの一端が接続されている。
【００７９】
回転筒体３２ａの他端に一体的に形成された回転軸体３２ｂの先端付近には円板４０が嵌合され、回転軸体３２ｂの先端部には、円板４０に対向して円板４１が締結部材４２によりに固定されている。さらに、円板４０，４１により、図１６，１８に示されるように、スペーサ４３が挟持されて、円板４０，４１の間隙が一定に保たれている。また、円板４１は、図１６に示されるように、締結部材４２を挟んだ両側に一対のスリット４１ａ，４１ｂがそれぞれ形成されている。したがって、一対のコマ部３８ａ，３８ｂは円板４０，４１に挟持されて、スリット４１ａ，４１ｂから円板４１に対して洗浄ノズル３９ａ，３９ｂを垂直に突出した状態でスリット４１ａ，４１ｂに沿ってそれぞれ自由に移動することができる。つまり、洗浄ノズル３９ａ，３９ｂが垂直に突出してそれぞれ形成されたコマ部３８ａ，３８ｂは、円板４０，４１に対して、円板４０，４１の半径方向に自由に移動可能に取り付けられる。
【００８０】
なお、ここでは、洗浄ノズル３９ａ，３９ｂを２つ設けた備えた場合を例に示したが、この洗浄ノズル３９ａ，３９ｂの数は、任意でよい。洗浄ノズル３９ａ，３９ｂは、１つの場合でも可能であるが、好ましくは２つ以上がよく、その場合の洗浄ノズル３９ａ，３９ｂは、周方向に等間隔に配置することで回転動作時の重量バランスを均等にすることができる。したがって、中心の締結部材４２から洗浄ノズル３９ａ，３９ｂまでのそれぞれの距離は等しいことが好ましい。
【００８１】
また、洗浄ノズル３９ａ，３９ｂの噴射方向は、円板４１に対して垂直方向に向くように設定しているが、これに限定されるものではない。例えば、洗浄ノズル３９ａ，３９ｂの噴射方向は、スペーサ４３の中心を通る仮想円の接線方向に向くように設定してもよく、また、仮想円の接線方向に対してその仮想円の内周側または外周側に傾けることができる。その接線方向に対する噴射方向の傾きは、接線方向に対して±２０度未満が好ましい。
【００８２】
洗浄部３０は、また、洗浄ノズル３９ａ，３９ｂ及び円板４０，４１を覆うように固定ハウジング３１に固定された保護カバー４４を有している。
【００８３】
以上の構成の洗浄部３０では、回転筒体３２ａを回転させるための図示しない回転部を備えている。回転部は、モータ及びモータの回転を回転筐体３２ａに伝導させて、回転筐体３２ａを回転させる回転機構を含んでいる。このように、モータ等の外部の動力を利用して回転筐体３２ａを回転させる方式を外部駆動方式と呼ぶ。以降では外部駆動方式について説明する。なお、モータの回転は、制御ユニット６０の回転制御に基づくものである。また、回転筐体３２ａには、洗浄用配管１３ｄ（図４）が連通するように接続されて、管継手部３５ａ，３５ｂ、中継管部３６ａ，３６ｂ、ホース部３７ａ，３７ｂ及びコマ部３８ａ，３８ｂを介して洗浄ノズル３９ａ，３９ｂから洗浄液が噴射される。
【００８４】
一方、モータ等の外部の動力を用いずに、洗浄液等の噴射による圧力で回転させる方式（自転式）であってもよい。この自転式については、後段の乾燥部５０の場合で詳しく説明する。
【００８５】
このような洗浄部３０は、制御ユニット６０からの制御に基づき、回転部のモータが回転する。これにより、回転筒体３２ａと回転筒体３２ａに一体的に形成された回転軸体３２ｂが回転するに伴って、円板４０，４１も回転する。
【００８６】
ここで、洗浄ノズル３９ａ，３９ｂが設置されているコマ部３８ａ，３８ｂに取り付けられている付勢部について図１９を用いて説明する。
【００８７】
図１９は、実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄部の洗浄ノズルに取り付けられた付勢部を説明するための図である。なお、図１９は、円板４１側から洗浄部３０を透視的に見た場合の図を示している。
【００８８】
洗浄部３０の円板４０，４１の間に、さらに、コマ部３８ａ，３８ｂに対して付勢部４５ａ，４５ｂがそれぞれ配置されている。
【００８９】
付勢部４５ａは、固定部４６ａ１が円板４０のおもて面側に形成されており、固定部４６ａ１とコマ部３８ａとの間に弾性部材であるバネ４７ａ１が設けられている。また、付勢部４５ａは、固定部４６ａ２が円板４０のおもて面側に形成されており、固定部４６ａ２とコマ部３８ｂとの間に弾性部材であるバネ４７ａ２が設けられている。
【００９０】
付勢部４５ｂもまた、固定部４６ｂ１が円板４０のおもて面側に形成されており、固定部４６ｂ１とコマ部３８ａとの間に弾性部材であるバネ４７ｂ１が設けられている。また、付勢部４５ｂは、固定部４６ｂ２が円板４０のおもて面側に形成されており、固定部４６ｂ２とコマ部３８ｂとの間に弾性部材であるバネ４７ｂ２が設けられている。
【００９１】
このように付勢部４５ａ，４５ｂは、スリット４１ａ，４１ｂを通る直線に対して、垂直二等分線上に線対称に設定されており、コマ部３８ａ，３８ｂをスリット４１ａ，４１ｂに沿って円板４１の中心部である締結部材４２側に付勢している。なお、この付勢部４５ａ，４５ｂは、洗浄ノズル３９ａ，３９ｂに、円板４１のこの中心方向の力を働かせる機能を有するものである。また、この中心方向に付勢する力は、円板４１の中心に対して対称的であり、同じ力であることが好ましい。
【００９２】
なお、このような付勢部４５ａ，４５ｂの取り付けは一例である。コマ部３８ａ，３８ｂをスリット４１ａ，４１ｂに沿って円板４１の中心部である締結部材４２側に付勢できれば、どのような付勢の方法であっても構わない。したがって、洗浄ノズル３９ａ，３９ｂを例えば、モータ等の外部の駆動力によって付勢してもよい。しかし、バネ４７ａ１，４７ａ２，４７ｂ１，４７ｂ２のように弾性部材を使った付勢部４５ａ，４５ｂの場合は、構成が簡易であり、製造コストを抑えることができる。この付勢部４５ａ，４５ｂは、洗浄ノズル３９ａ，３９ｂを中心方向（内周側）に引き戻す力（付勢力）を有する機構である。後述するように、洗浄ノズル３９ａ，３９ｂは円板４１の回転による遠心力によって外周側に移動する。つまり、付勢力より遠心力が大きいと洗浄ノズル３９ａ，３９ｂは外周側に移動し、回転が減少し遠心力が弱まり、付勢力が大きくなると、中心方向に移動する。この付勢部４５ａ，４５ｂの付勢力は上述の通り弾性部材に起因したものである。より具体的には、付勢力は弾性部材の弾性定数で調整される。洗浄性を向上させるために洗浄ノズル３９ａ，３９ｂの回転数を可変する場合は、この弾性定数を適宜調整すればよい。したがって、弾性部材がバネ材ならば、異なるバネ定数のバネ材を容易に準備し、交換できる点で優れている。また、弾性部材としてゴム材であれば、腐食などの耐久性の点で優れている。
【００９３】
次に、このような構成を有する洗浄部３０による洗浄処理時の動作について図１９並びに図２０〜図２２を用いて説明する。
【００９４】
図２０及び図２１は、実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄部の円板が回転している場合を説明するための図である。
【００９５】
図２２は、実施の形態の洗浄装置が有する洗浄室内の洗浄部の断面図である。なお、図２２は、図２１のＹ１−Ｙ１矢視断面図である。
【００９６】
洗浄部３０は、洗浄用置台１３ｃにセットされた被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面に円板４１がそれぞれ対向するように、洗浄室１３ａにそれぞれ配置されている。洗浄部３０は、制御ユニット６０の噴射制御に基づき、加熱部１３ｆで加熱された洗浄液が洗浄用配管１３ｄを通って導入される。そして、導入された洗浄液は、管継手部３５ａ，３５ｂ、中継管部３６ａ，３６ｂ、ホース部３７ａ，３７ｂ及びコマ部３８ａ，３８ｂを介して洗浄ノズル３９ａ，３９ｂから円板４１に対して垂直に噴射される。なお、この際、洗浄ノズル３９ａ，３９ｂから噴射される洗浄液の単位時間当たりの量は一定であるとする。
【００９７】
さらに、洗浄部３０は、制御ユニット６０の回転制御に基づき、回転部により、回転筒体３２ａが回転する。これにより、回転筒体３２ａに一体的に形成された回転軸体３２ｂが回転するに伴って、回転軸体３２ｂに取り付けられた円板４０，４１も回転する（例えば、図２１の破線矢印方向）。
【００９８】
円板４０，４１が回転し始めて、円板４０，４１の回転速度が速くなるにつれて、コマ部３８ａ，３８ｂ（洗浄ノズル３９ａ，３９ｂ）が受ける円板４１の円周方向外側に遠心力も増加する。遠心力がコマ部３８ａ，３８ｂに対する付勢部４５ａ，４５ｂによる付勢力を超えると、図２０に示されるように、コマ部３８ａ，３８ｂはスリット４１ａ，４１ｂに沿って円板４１の半径方向外側に移動し始める。
【００９９】
円板４０，４１の回転速度がさらに速くなると、コマ部３８ａ，３８ｂ（洗浄ノズル３９ａ，３９ｂ）が受ける遠心力もさらに増加して、図２１及び図２２に示されるように、コマ部３８ａ，３８ｂはスリット４１ａ，４１ｂの半径方向最外部に達する。
【０１００】
一方、円板４０，４１の回転速度を遅くしていくと、コマ部３８ａ，３８ｂ（洗浄ノズル３９ａ，３９ｂ）が受ける遠心力も減少していく。これに伴い、遠心力がコマ部３８ａ，３８ｂに対する付勢部４５ａ，４５ｂによる付勢力に近づき、さらに、付勢力より小さくなる。図１９に示されるように、コマ部３８ａ，３８ｂはスリット４１ａ，４１ｂに沿って円板４１の半径方向中心側に移動する（図２１→図２０→図１９）。
【０１０１】
したがって、上記構成を有する洗浄処理ユニット１３では、洗浄室１３ａ内の洗浄用置台１３ｃに被洗浄物Ｗがセットされると、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面に円板４１がそれぞれ対向配置された一対の洗浄部３０が被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面に洗浄液を噴射する。この際、洗浄部３０では、回転部により回転筒体３２ａ及び回転軸体３２ｂに伴って円板４０，４１の回転速度が速くなるにつれて、洗浄液を噴射する洗浄ノズル３９ａ，３９ｂが設けられたコマ部３８ａ，３８ｂが遠心力により円板４１のスリット４１ａ，４１ｂに沿って半径方向外側に移動する。これにより、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面の内周側から外周側に洗浄液をスリット４１ａ，４１ｂに沿って、半径方向に往復動作をしつつ、波動状（周期的、間欠的）に噴射することができる。このため、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面の全面に洗浄液等を当てて洗浄することができる。したがって、被洗浄物Ｗに対するそれぞれの内周側から外周側の洗浄性の低下を抑制することができるようになる。洗浄液は、被洗浄物Ｗに対して回転しながら、中心側から外周側に移動し、往復移動する。洗浄液は、洗浄ノズル３９ａ，３９ｂが最初の位置である最中心部に位置するとき、すなわち回転が停止している時から噴射することが好ましい。回転するにしたがって、洗浄液は円滑に外周側に広がってゆき、飛散することが抑制されるからである。洗浄ノズル３９ａ，３９ｂが最内周側（中心側）に位置したときに、洗浄液を停止させることが好ましい。外周側で洗浄液が停止すると、洗浄液が回転によって飛散して、被洗浄物Ｗの表面が乾燥してしまうからである。
【０１０２】
また、洗浄する面に０．５ｍｍ以上の段差の凹凸を有する被洗浄物Ｗの場合に、特に有効である。洗浄液が凹凸部の隅にまでいきわたり、異物等を洗い流すことができるからである。
【０１０３】
一方、乾燥部５０もまた、図１６〜図２２で説明した洗浄部３０と同様の構成を有している。なお、乾燥部５０では、洗浄部３０の回転部は必ずしも必須の構成ではない。以下では、回転部を含まない場合（自転式）を例に挙げて説明する。そして、乾燥部５０の洗浄部３０と異なる点について、図２３を用いて説明する。なお、乾燥部５０では、洗浄部３０で説明した回転部を有してもよい（外部駆動式）。
【０１０４】
図２３は、実施の形態の洗浄装置が有する乾燥室内の乾燥部の吹付ノズル側から見た側面図である。
【０１０５】
乾燥部５０は、洗浄部３０の洗浄ノズル３９ａ，３９ｂに代わって、吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂの一端がコマ部３８ａ，３８ｂに連通するように接続されている。この吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂの数は、任意でよい。吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂは、１つの場合でも可能であるが、好ましくは２つ以上がよい。この場合の吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂは、周方向に等間隔に配置することで回転動作時の重量バランスを均等にすることができる。また、吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂは、中心（締結部材４２）からの距離は同じであることが好ましい。これは、円板４１の回転がスムーズに行われるためである。また、吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂは洗浄ノズル３９ａ，３９ｂと同様に半径方向に自由に移動可能に取り付けられる。
【０１０６】
この吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂは、図２３に示されるように、円板４１の面に対して傾斜した状態で取り付けられている。具体的には、円板４１の面に垂直方向から１０度から６０度傾けた角度（傾斜角）が好ましく、より好ましくは２０度から４５度である。この範囲であれば、円板４１に対して効率よく回転力が得られ、かつ被洗浄物Ｗに対する乾燥性もよい。また、吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂは、円板４１の締結部材４２を中心とし、吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂの中心を通る仮想円の接線方向に向くように設定してあるが、これに限定されるものではない。この仮想円の接線方向に対して、仮想円の内周側または外周側に傾けることができる。具体的には、その接線方向に対する吹付方向の傾き（吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂの傾き）は、接線方向に対して±２０度未満が望ましい。特に好ましくは、この仮想円の接線方向に対して、その仮想円の外周側に２０度未満傾けることである。このように傾かせた吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂから圧縮空気が吹き付けられた被洗浄物Ｗから水滴等が外周方向に飛散しやすくなる。なお、外部駆動方式で回転させる場合も、吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂの設置個数や取り付け位置は上記の自転式と同様である。
【０１０７】
また、洗浄部３０と同様に、乾燥部５０の回転筐体３２ａには、乾燥用配管１４ｄ（図５）が連通するように接続されて、管継手部３５ａ，３５ｂ、中継管部３６ａ，３６ｂ、ホース部３７ａ，３７ｂ及びコマ部３８ａ，３８ｂを介して吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂから圧縮空気が吹き付けられる。
【０１０８】
なお、この乾燥部５０に供給される流体は、圧縮空気のみならず、窒素等の他の不活性ガスであってもよい。また、乾燥部５０に供給される流体は、流体中に含まれるパーティクルを除去するためにフィルタを通すことが好ましい。本実施の形態では、例えば、１０マイクロメートル（μｍ）以上のパーティクルを除去できるフィルタが、乾燥部５０の手前に設置されている。
【０１０９】
このような構成の乾燥部５０は、制御ユニット６０からの制御に基づき、搬送ユニット２０により被洗浄物Ｗが乾燥用置台１４ｃに搬入されると、エアコンプレッサを起動して、加熱部１４ｆで加熱された圧縮空気が供給される。乾燥部５０の回転筐体３２ａに圧縮空気が供給されると、圧縮空気は、回転筒体３２ａの管継手部３５ａ，３５ｂ、中継管部３６ａ，３６ｂ、ホース部３７ａ，３７ｂ及びコマ部３８ａ，３８ｂを通過して、吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂから外部へ吹き付けられる。
【０１１０】
このとき、回転筒体３２ａが軸受３３に回転自在に支持されており、吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂからは、圧縮空気が回転中心の軸方向に対して斜め方向に吹き付けられる。すなわち、図２３に示す乾燥部５０では、円板４１の回転中心（締結部材４２）よりも図２３の上方に設置された吹付ノズル１３９ａは、矢印Ｘ１で示す左側方向に圧縮空気を吹き付けて、円板４１の回転中心よりも図２３の下方に設置された吹付ノズル１３９ｂは、矢印Ｘ２で示す右方向に圧縮空気を吹き付ける。
【０１１１】
これにより、円板４１は、圧縮空気の吹付が推力となって圧縮空気が吹き付けられる方向と逆方向（図２３に破線矢印で示す時計回りの方向）に回転し始める。このようにして、乾燥部５０は、圧縮空気を吹き付けながら円板４０，４１並びに吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂの自転を行う。
【０１１２】
そして、乾燥部５０では、圧縮空気の単位時間当たりの吹付量を増加すると、円板４０，４１の回転速度が速くなるにつれて、コマ部３８ａ，３８ｂ（吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂ）が受ける遠心力も増加する。遠心力がコマ部３８ａ，３８ｂに対する付勢部４５ａ，４５ｂによる付勢力を超えると、コマ部３８ａ，３８ｂはスリット４１ａ，４１ｂに沿って円板４１の半径方向外側に移動し始める（図２０を参照）。
【０１１３】
円板４０，４１の回転速度がさらに速くなると、コマ部３８ａ，３８ｂ（吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂ）が受ける遠心力もさらに増加して、コマ部３８ａ，３８ｂはスリット４１ａ，４１ｂの半径方向最外部に達する（図２１及び図２２を参照）。
【０１１４】
また、乾燥部５０では、圧縮空気の単位時間当たりの吹付量を減少すると、吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂからの圧縮空気による推力も弱まり、円板４０，４１の回転速度が遅くなっていく。すると、コマ部３８ａ，３８ｂ（吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂ）が受ける遠心力も減少していく。これに伴い、円板４１の半径方向外側の遠心力がコマ部３８ａ，３８ｂに対する付勢部４５ａ，４５ｂによる付勢力に近づき、さらに、付勢力より小さくなる。したがって、コマ部３８ａ，３８ｂはスリット４１ａ，４１ｂに沿って円板４１の半径方向中心側に移動する（図２１→図２０→図２３）。
【０１１５】
したがって、上記構成を有する乾燥処理ユニット１４では、乾燥室１４ａ内の乾燥用置台１４ｃに洗浄処理ユニット１３で洗浄された被洗浄物Ｗがセットされると、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面に円板４１がそれぞれ対向配置された一対の乾燥部５０が被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面に圧縮空気を吹き付ける。この際、乾燥部５０では、圧縮空気の単位時間当たりの吹付量が増加するにつれて、回転筒体３２ａ及び回転軸体３２ｂに伴って円板４０，４１の回転速度が速くなり、自転が始まる。圧縮空気を吹き付ける吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂが設けられたコマ部３８ａ，３８ｂが遠心力により円板４１のスリット４１ａ，４１ｂに沿って半径方向外側に移動する。これにより、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面の内周側から外周側に圧縮空気をスリット４１ａ，４１ｂに沿った往復動作をしつつ、波動状（周期的、間欠的）に吹き付けることができる。このため、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面のそれぞれの内周側から外周側の乾燥性能を向上させることができるようになる。
【０１１６】
また、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面に吹き付ける圧縮空気は、加熱部１４ｆで瞬時に加熱されたものである。このため、被洗浄物Ｗに対する乾燥性能を向上させることができるようになる。
【０１１７】
さらに、乾燥部５０は、このような回転波動を伴った圧縮空気を吹き付けるので、一定の圧縮空気を連続的に噴射するエアガンに比較して、液滴が被洗浄物Ｗのおもて面を這ったり裏面に回り込んだりすることなく吹き飛ばすことができ、乾燥性能を向上させることができる。
【０１１８】
なお、上記乾燥処理ユニット１４では、吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂからの圧縮空気の反動による自転に限らず、洗浄処理ユニット１３と同様に回転部により回転させることも可能である。この場合は、吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂは、円板４１の面に対して垂直の状態で取り付けても構わない。
【０１１９】
このように上記の洗浄装置１０は、被洗浄物Ｗを所定方向に搬送する搬送ユニット２０と、搬送ユニット２０により被洗浄物Ｗが搬入される箱状の洗浄室１３ａと、洗浄室１３ａ内に搬入された被洗浄物Ｗに洗浄液を噴射する洗浄ノズル３９ａ，３９ｂを備えた洗浄部３０と、を有する洗浄処理ユニット１３とを有する。さらに、洗浄装置１０は、洗浄室１３ａに対して所定方向の下流側に設置され、洗浄室１３ａで洗浄された被洗浄物Ｗが搬送ユニット２０により搬入される箱状の乾燥室１４ａと、乾燥室１４ａ内に搬入された被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面にそれぞれ対向する円板の面に配置され、円板の回転による遠心力で円板の半径方向に移動しながらおもて面及び裏面に圧縮空気をそれぞれ吹き付ける吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂをそれぞれ備えた一対の乾燥部５０を有する乾燥処理ユニット１４を有する。
【０１２０】
このような洗浄装置１０は、被洗浄物Ｗの洗浄及び乾燥を行うために、洗浄液及び圧縮空気を噴射するための繰り替えを必要とせずに、被洗浄物Ｗの搬入先を直線的に入れ替えるだけで、洗浄及び乾燥を行うことができる。すなわち、洗浄装置１０は、設備が簡便かつ小さくまとまった構成が実現される。
【０１２１】
また、このような洗浄装置１０の乾燥処理ユニット１４では、一対の乾燥部５０が被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面にそれぞれ対向して配置され、乾燥部５０の円板４１の回転による遠心力で円板４１の半径方向に移動しながら被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面に圧縮空気をそれぞれ吹き付ける吹付ノズル１３９ａ，１３９ｂをそれぞれ備えている。このため、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面の内周側から外周側に圧縮空気をスリット４１ａ，４１ｂに沿った往復動作をしつつ、波動状（周期的、間欠的）に吹き付けることができる。このため、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面のそれぞれの内周側から外周側の乾燥性能が向上して、乾燥時間を短縮することができる。
【０１２２】
同様に、このような洗浄装置１０の洗浄処理ユニット１３でも、一対の洗浄部３０が被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面にそれぞれ対向して配置され、洗浄部３０の円板４１の回転による遠心力で円板４１の半径方向に移動しながら被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面に洗浄液をそれぞれ噴出する洗浄ノズル３９ａ，３９ｂをそれぞれ備えている。このため、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面の内周側から外周側に洗浄液をスリット４１ａ，４１ｂに沿った往復動作をしつつ、波動状（周期的、間欠的）に吹き付けることができる。このため、被洗浄物Ｗのおもて面及び裏面のそれぞれの内周側から外周側の洗浄性能が向上して、洗浄時間を短縮することができる。
【符号の説明】
【０１２３】
１０  洗浄装置
１１  筐体
１２  処理待ち用置台
１２ａ，１３ｃ１，１４ｃ１，１５ａ  溝部
１３  洗浄処理ユニット
１３ａ  洗浄室
１３ｂ，１４ｂ  シャッター
１３ｃ  洗浄用置台
１３ｄ  洗浄用配管
１３ｅ  洗浄液注入口
１３ｆ，１４ｆ  加熱部
１４  乾燥処理ユニット
１４ａ  乾燥室
１４ｃ  乾燥用置台
１４ｄ  乾燥用配管
１４ｅ  圧縮空気注入口
１５  処理済み用置台
２０  搬送ユニット
２１ａ，２１ｂ  アーム部
２２ａ，２２ｂ  移動部
２３  ガイド部
３０  洗浄部
３１  固定ハウジング
３２ａ  回転筒体
３２ｂ  回転軸体
３３  軸受
３４  閉止部材
３５ａ，３５ｂ  管継手部
３６ａ，３６ｂ  中継管部
３７ａ，３７ｂ  ホース部
３８ａ，３８ｂ  コマ部
３９ａ，３９ｂ  洗浄ノズル
４０，４１  円板
４１ａ，４１ｂ  スリット
４２  締結部材
４３  スペーサ
４４  保護カバー
４５ａ，４５ｂ  付勢部
４６ａ１，４６ａ２，４６ｂ１，４６ｂ２  固定部
４７ａ１，４７ａ２，４７ｂ１，４７ｂ２  バネ
５０  乾燥部
６０  制御ユニット
６０ａ  プロセッサ
６０ｂ  ＲＡＭ
６０ｃ  ＨＤＤ
６０ｄ  入出力信号インタフェース
６０ｆ  記憶媒体インタフェース
６０ｈ  バス
６１  モニタ
６２  キーボード
６３  マウス
６４  記憶媒体
７０  洗浄システム
１３９ａ，１３９ｂ  吹付ノズル
Ｗ，Ｗ１〜Ｗ４  被洗浄物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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