(57)【要約】【課題】カラーフィルタの着色部や色変換部を形成する塗布液の塗布状態に起因する最終製品の点灯検査での不良を低減し、歩留まりを向上させるカラーフィルタの製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】貫通孔に第１塗布液を塗布し、着色部を形成する着色部形成工程と、着色部が設けられた貫通孔に第２塗布液を塗布し、色変換部を形成する色変換部形成工程と、着色部および前記色変換部に第２の波長帯域の光を色変換部側から当てて検査する検査工程と、検査工程で不良と判断された貫通孔に第２塗布液を塗布し、色変換部を再形成するリペア工程と、を有し、検査工程は、少なくとも色変換部形成工程またはリペア工程における基板が把持される装置と同じ装置に基板が把持されたまま、行う。【選択図】図４
2019015845.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性の基板と、
前記基板に積層され厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する隔壁部と、
前記基板上における前記隔壁部に設けられた前記貫通孔の総数以下の複数の貫通孔の内側に設けられ、第１の波長帯域の光を選択的に透過させる着色部と、
前記基板上における、前記着色部が設けられた貫通孔の内側に設けられ、第２の波長帯域の光を第１の波長帯域の光に変換する色変換部と、を備える、
カラーフィルタの製造方法において、
前記貫通孔に第１塗布液を塗布し、前記着色部を形成する着色部形成工程と、
前記着色部が設けられた前記貫通孔に第２塗布液を塗布し、前記色変換部を形成する色変換部形成工程と、
前記着色部および前記色変換部に第２の波長帯域の光を前記色変換部側から当てて検査する検査工程と、
前記検査工程で不良と判断された前記貫通孔に前記第２塗布液を塗布し、前記色変換部を再形成するリペア工程と、を有し、
前記検査工程は、少なくとも、前記色変換部形成工程または前記リペア工程における前記基板が把持される装置と同じ装置に前記基板が把持されたまま、行うことを特徴とする、
カラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記検査工程は、前記色変換部形成工程における前記基板が把持される装置に把持されたまま、前記色変換部形成工程の実行中に開始することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項３】
前記リペア工程は、前記検査工程における前記基板が把持される装置に把持されたまま、前記検査工程の実行中に開始することを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項４】
透光性の基板と、
前記基板に積層され厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する隔壁部と、
前記基板上における前記隔壁部に設けられた前記貫通孔の総数以下の複数の貫通孔の内側に設けられ、第１の波長帯域の光を選択的に透過させる色素と、第２の波長帯域の光を第１の波長帯域の光に変換する色変換物質とが混在する変換部と、を備える、
カラーフィルタの製造方法において、
前記貫通孔に前記色素と前記色変換物質を含む塗布液を塗布し、前記変換部を形成する変換部形成工程と、
前記変換部に前記第２の波長帯域の光を当てて検査する検査工程と、
前記検査工程で不良と判断された前記貫通孔に前記塗布液を塗布し、前記変換部を再形成するリペア工程と、を有し、
前記検査工程は、少なくとも、前記変換部形成工程または前記リペア工程における前記基板が把持される装置と同じ装置に前記基板が把持されたまま行うことを特徴とする、
カラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記検査工程は、前記変換部形成工程における前記基板が把持される装置に把持されたまま、前記変換部形成工程の実行中に開始することを特徴とする請求項４に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項６】
前記リペア工程は、前記検査工程における前記基板が把持される装置に把持されたまま、前記検査工程の実行中に開始することを特徴とする請求項４または５に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項７】
透光性の基板と、
前記基板に積層され厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する隔壁部と、
前記基板上における前記隔壁部に設けられた前記貫通孔の総数以下の複数の貫通孔の内側に設けられ、
第１の波長帯域の光を選択的に透過させる着色部と、
前記基板上における、前記着色部が設けられた貫通孔の内側に設けられ、第２の波長帯域の光を第１の波長帯域の光に変換する色変換部と、を備える、
カラーフィルタの製造装置において、
前記着色部が設けられた前記貫通孔に前記第２の波長帯域の光を前記第１の波長帯域の光に変換する物質を含む塗布液を塗布する塗布部と、
前記着色部および前記色変換部に前記第２の波長帯域の光を前記色変換部側から当てて前記着色部から出力する光の強度を測定し色むらを検査する検査部と、
前記検査部による検査で不良と判断された前記貫通孔に前記塗布液を塗布し前記色変換部を再形成するリペア部と、
前記検査部による検査時に前記基板を把持する把持部と、を有し、
前記把持部は、少なくとも、前記塗布部による前記貫通孔への前記塗布液の塗布から前記検査部による前記貫通孔の検査まで、または前記検査部による前記貫通孔の検査から前記リペア部による前記貫通孔への前記塗布液の塗布まで、前記基板を把持しつづけることを特徴とする、カラーフィルタの製造装置。
【請求項８】
透光性の基板と、
前記基板に積層され厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する隔壁部と、
前記基板上における前記隔壁部に設けられた前記貫通孔の総数以下の複数の貫通孔の内側に設けられ、第１の波長帯域の光を選択的に透過させる色素と、第２の波長帯域の光を第１の波長帯域の光に変換する色変換物質とが混在する変換部と、を備える、
カラーフィルタの製造装置において、
前記隔壁部に設けられた前記貫通孔に前記色素と前記色変換物質を含む塗布液を塗布する塗布部と、
前記変換部に前記第２の波長帯域の光を当てて前記変換部から出力する光の強度を測定し色むらを検査する検査部と、
前記検査部による検査で不良と判断された前記貫通孔に前記塗布液を塗布し、前記変換部を再形成するリペア部と、
前記検査部による検査時に前記基板を把持する把持部と、を有し、
前記把持部は、少なくとも、前記塗布部による前記貫通孔への前記塗布液の塗布から前記検査部による前記貫通孔の検査まで、または前記検査部による前記貫通孔の検査から前記リペア部による前記貫通孔への前記塗布液の塗布まで、前記基板を把持しつづけることを特徴とする、カラーフィルタの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置のバックライト装置から放射される白色光を着色部で赤色、緑色、青色の光に選択透過するカラーフィルタが提案されている（例えば特許文献１参照）。この種のカラーフィルタの製造工程には、着色部形成用の塗布液を塗布する工程が含まれてる。塗布液の塗布方法には、たとえば、ダイコーターやインクジェットによる塗布方法が用いられるが、塗布状態に欠陥があった場合は、カラーフィルタが組み込まれた表示装置等の最終製品での点灯検査時に色むら等の不良により不良品となってしまう。最終製品での不良品を低減し、歩留まりを向上させる方法として、たとえば、特許文献２では、インクジェット方式で着色部を形成する塗布液を塗布し液滴状のインクが乾燥する前に、一つの区画領域が納まる程度の照射領域を有する光を区画領域内のインクに照射しながら走査させ、液滴状のインクの液面から基板表面に対して所定角度をなす方向へ反射する反射光の強さを検出することで、インクの付着の不良または混色による不良の有無を検査し、修正する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２３６９８２号公報
【特許文献２】特開２００６−１７１４５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一方、ＬＥＤ等を光源に用いて着色部を透過する光の量を増加させることにより、カラーフィルタにおける着色部の占める割合を小さくしつつ表示画像の輝度の低下を抑制した表示装置が提案されている。このような表示装置には、着色部の色に応じて光源から入射する光を光源の色と異なる色の光に変換する色変換部が着色部に積層されたカラーフィルタを備えたものが提案されている。着色部に上記のような色変換部を積層させるには、色変換部形成用塗布液を着色部の上に塗布する方法が用いられる。この色変換部も着色部と同様に塗布状態に欠陥があった場合には、カラーフィルタが組み込まれた表示装置等の最終製品での点灯検査で不良品となってしまう。これに対して、特許文献２で開示されたような液滴状のインクに照射し反射する反射光の強さを検出するような検査を色変換部形成工程の直後に実施した場合、判別できるインクの付着の不良または混色による不良の有無と最終製品の点灯検査で判別される色変換された光での色斑等の不良は完全に一致してはいないため、塗布状態の不良に起因する問題が点灯検査時まで残る可能性がある。
【０００５】
本発明は上記のような課題を鑑み、カラーフィルタの着色部や色変換部を形成する塗布液の塗布状態に起因する最終製品の点灯検査での不良を低減し、歩留まりを向上させるカラーフィルタの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために本発明のカラーフィルタの製造方法は、透光性の基板と、前記基板に積層され厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する隔壁部と、前記基板上における前記隔壁部に設けられた前記貫通孔の総数以下の複数の貫通孔の内側に設けられ、第１の波長帯域の光を選択的に透過させる着色部と、前記基板上における、前記着色部が設けられた貫通孔の内側に設けられ、第２の波長帯域の光を第１の波長帯域の光に変換する色変換部と、を備える、カラーフィルタの製造方法において、前記貫通孔に第１塗布液を塗布し、前記着色部を形成する着色部形成工程と、前記着色部が設けられた前記貫通孔に第２塗布液を塗布し、前記色変換部を形成する色変換部形成工程と、前記着色部および前記色変換部に第２の波長帯域の光を前記色変換部側から当てて検査する検査工程と、前記検査工程で不良と判断された前記貫通孔に前記第２塗布液を塗布し、前記色変換部を再形成するリペア工程と、を有し、前記検査工程は、少なくとも、前記色変換部形成工程または前記リペア工程における前記基板が把持される装置と同じ装置に前記基板が把持されたまま、行うことを特徴とする。
【０００７】
最終検査前に、最終製品と同じ方向から最終製品と同じ波長帯域の光を当てることにより、最終製品と同じ色変換された光を検出する検査ができるので、最終製品での不良を低減できる。また、基板が同じ装置に把持された状態で検査と塗布またはリペアを実施するので、塗布欠陥を最終検査で発見しリペアするよりも最終製品の歩留まりが向上する。
【０００８】
前記検査工程は、前記色変換部形成工程における前記基板が把持される装置に把持されたまま、前記色変換部形成工程の実行中に開始してもよい。
【０００９】
こうすることで、塗布が終わった箇所から検査できるので、塗布と検査を平行して実施できる。これにより生産時間の短縮が図れる。
【００１０】
前記リペア工程は、前記検査工程における前記基板が把持される装置に把持されたまま、前記検査工程の実行中に開始してもよい。
【００１１】
こうすることで、検査が終わった箇所からリペアできるので、塗布と検査を平行して実施できる。これにより生産時間の短縮が図れる。
【００１２】
上記課題を解決するために本発明のカラーフィルタの製造方法は、透光性の基板と、前記基板に積層され厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する隔壁部と、前記基板上における前記隔壁部に設けられた前記貫通孔の総数以下の複数の貫通孔の内側に設けられ、第１の波長帯域の光を選択的に透過させる色素と、第２の波長帯域の光を第１の波長帯域の光に変換する色変換物質とが混在する変換部と、を備える、カラーフィルタの製造方法において、前記貫通孔に前記色素と前記色変換物質を含む塗布液を塗布し、前記変換部を形成する変換部形成工程と、前記変換部に前記第２の波長帯域の光を当てて検査する検査工程と、前記検査工程で不良と判断された前記貫通孔に前記塗布液を塗布し、前記変換部を再形成するリペア工程と、を有し、前記検査工程は、少なくとも、前記変換部形成工程または前記リペア工程における前記基板が把持される装置と同じ装置に前記基板が把持されたまま行うことを特徴とする。
【００１３】
最終検査前に、最終製品と同じ波長帯域の光を当てることにより、最終製品と同じ色変換された光を検出する検査ができるので、最終製品での不良を低減できる。また、基板が同じ装置に把持された状態で塗布と検査またはリペアを実施するので、塗布欠陥を最終検査で発見しリペアするよりも最終製品の歩留まりが向上する。
【００１４】
前記検査工程は、前記変換部形成工程における前記基板が把持される装置に把持されたまま、前記変換部形成工程の実行中に開始してもよい。
【００１５】
こうすることで、塗布が終わった箇所から検査できるので、塗布と検査を平行して実施できる。これにより生産時間の短縮が図れる。
【００１６】
前記リペア工程は、前記検査工程における前記基板が把持される装置に把持されたまま、前記検査工程の実行中に開始してもよい。
【００１７】
こうすることで、検査が終わった箇所からリペアできるので、塗布と検査を平行して実施できる。これにより生産時間の短縮が図れる。
【００１８】
また、上記課題を解決するために本発明のカラーフィルタの製造装置は、透光性の基板と、前記基板に積層され厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する隔壁部と、前記基板上における前記隔壁部に設けられた前記貫通孔の総数以下の複数の貫通孔の内側に設けられ、第１の波長帯域の光を選択的に透過させる着色部と、前記基板上における、前記着色部が設けられた貫通孔の内側に設けられ、第２の波長帯域の光を第１の波長帯域の光に変換する色変換部と、を備える、カラーフィルタの製造装置において、前記着色部が設けられた前記貫通孔に前記第２の波長帯域の光を前記第１の波長帯域の光に変換する物質を含む塗布液を塗布する塗布部と、前記着色部および前記色変換部に前記第２の波長帯域の光を前記色変換部側から当てて前記着色部から出力する光の強度を測定し色むらを検査する検査部と、前記検査部による検査で不良と判断された前記貫通孔に前記塗布液を塗布し前記色変換部を再形成するリペア部と、前記検査部による検査時に前記基板を把持する把持部と、を有し、前記把持部は、少なくとも、前記塗布部による前記貫通孔への前記塗布液の塗布から前記検査部による前記貫通孔の検査まで、または前記検査部による前記貫通孔の検査から前記リペア部による前記貫通孔への前記塗布液の塗布まで、前記基板を把持しつづけることを特徴とする。
【００１９】
本装置を用いることで、最終検査前に、最終製品と同じ波長帯域の光を当てることにより、最終製品と同じ色変換された光を検出する検査ができるので、最終製品での不良を低減できる。また、基板が同じ装置に把持された状態で塗布と検査またはリペアを実施するので、塗布欠陥を最終検査で発見しリペアするよりも最終製品の歩留まりが向上する。また、塗布が終わった箇所から検査することや検査が終わった箇所からリペアをすることもできるので、生産時間の短縮が図れる。
【００２０】
また、上記課題を解決するために本発明のカラーフィルタの製造装置は、透光性の基板と、前記基板に積層され厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する隔壁部と、前記基板上における前記隔壁部に設けられた前記貫通孔の総数以下の複数の貫通孔の内側に設けられ、第１の波長帯域の光を選択的に透過させる色素と、第２の波長帯域の光を第１の波長帯域の光に変換する色変換物質とが混在する変換部と、を備える、カラーフィルタの製造装置において、前記隔壁部に設けられた前記貫通孔に前記色素と前記色変換物質を含む塗布液を塗布する塗布部と、前記変換部に前記第２の波長帯域の光を当てて前記変換部から出力する光の強度を測定し色むらを検査する検査部と、前記検査部による検査で不良と判断された前記貫通孔に前記塗布液を塗布し、前記変換部を再形成するリペア部と、前記検査部による検査時に前記基板を把持する把持部と、を有し、前記把持部は、少なくとも、前記塗布部による前記貫通孔への前記塗布液の塗布から前記検査部による前記貫通孔の検査まで、または前記検査部による前記貫通孔の検査から前記リペア部による前記貫通孔への前記塗布液の塗布まで、前記基板を把持しつづけることを特徴とする。
【００２１】
本装置を用いることで、最終検査前に、最終製品と同じ波長帯域の光を当てることにより、最終製品と同じ色変換された光を検出する検査ができるので、最終製品での不良を低減できる。また、基板が同じ装置に把持された状態で塗布と検査またはリペアを実施するので、塗布欠陥を最終検査で発見しリペアするよりも最終製品の歩留まりが向上する。また、塗布が終わった箇所から検査することや検査が終わった箇所からリペアをすることもできるので、生産時間の短縮が図れる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、着色部の色に応じて光源から入射する光を光源の色と異なる色の光に変換する色変換部が着色部に積層されたカラーフィルタや変換部の色に応じて光源から入射する光を光源の色と異なる色の光に変換する物質を含んだ変換部を有するカラーフィルタに対して、着色部や色変換部または変換部の塗布状態に起因する最終製品の点灯検査での不良を低減し、歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施例１に適用されるカラーフィルタの一例の概略図である。
【図２】本発明の実施例１のカラーフィルタの製造方法の流れを示した図である。
【図３】本発明の実施例１のカラーフィルタの製造装置の概略を示した平面図である。
【図４】本発明の実施例１のカラーフィルタの製造装置の概略を示した立面図である。
【図５】本発明の実施例２に適用されるカラーフィルタの一例の概略図である。
【図６】本発明の実施例２のカラーフィルタの製造方法の流れを示した図である。
【図７】本発明の実施例２の変形例のカラーフィルタの製造装置の検査部の概略を示した立面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法および製造装置について図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００２５】
最初に、本発明の実施例１のカラーフィルタの製造方法および製造装置を適用するカラーフィルタの一例を図１を用いて説明する。
【００２６】
図１のカラーフィルタ１０は、透光性の基板１１と、赤色着色部１３１Ｒ、緑色着色部１３１Ｇおよび青色着色部１３１Ｂと、ブラックマトリクス部１２と、赤色変換部１３２Ｒと、緑色変換部１３２Ｇと、透過部１３４と、を備える。基板１１は透明なガラスまたは透明な樹脂から形成されている。なお、基板１１は透光性を有するフレキシブル基板であってもよい。
【００２７】
ブラックマトリクス部１２は、遮光性を有する樹脂から形成され、基板１１の第１主面１１ａに積層されており、厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通する複数の貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂを有する隔壁部である。ここで、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂは、Ｚ軸方向の基板１１側の一端が基板１１で閉塞されている。ブラックマトリクス部１２の厚みは、たとえば１０μｍ程度であり、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの孔は、たとえば、直径がφ５０μｍ程度の平面視円形状の孔である。
【００２８】
赤色着色部１３１Ｒは、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｒの内側に設けられている。赤色着色部１３１Ｒは、赤色の波長帯域の光を選択的に透過させる赤色色素を含む樹脂から形成されている。
【００２９】
緑色着色部１３１Ｇは、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｒの内側に設けられている。緑色着色部１３１Ｇは、緑色の波長帯域の光を選択的に透過させる緑色色素を含む樹脂から形成されている。
【００３０】
青色着色部１３１Ｂは、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｂの内側に設けられている。青色着色部１３１Ｂは、青色の波長帯域の光を選択的に透過させる青色色素を含む樹脂から形成されている。
【００３１】
赤色変換部１３２Ｒは、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｒの内側に設けられた赤色着色部１３１Ｒに積層される形で赤色貫通孔１２１Ｒの内側に設けられ、青色の波長帯域の光を赤色の波長帯域の光に変換する赤色量子ドットを含む透光性を有する樹脂から形成されている。赤色変換部１３２Ｒは、赤色貫通孔１２１Ｒの基板１１と接する側と反対側に位置する図示しない光源から入射する青色の波長帯域の光を、赤色の波長帯域の光に変換して、赤色着色部１３１Ｒに放射する。
【００３２】
緑色変換部１３２Ｇは、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の緑色貫通孔１２１Ｇの内側に設けられた緑色着色部１３１Ｇに積層される形で貫通孔１２１Ｇの内側に設けられ、青色の波長帯域の光を緑色の波長帯域の光に変換する緑色量子ドットを含む透光性を有する樹脂から形成されている。緑色変換部１３２Ｇは、緑色貫通孔１２１Ｇの基板１１と接する側と反対側に位置する図示しない光源から入射する青色の波長帯域の光を、緑色の波長帯域に変換して、緑色着色部１３１Ｇに放射する。
【００３３】
透過部１３４は、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の青色貫通孔１２１Ｂの内側に設けられた青色着色部１３１Ｂに積層される形で青色貫通孔１２１Ｂの内側に設けられ、透光性を有する樹脂から形成されている。
【００３４】
本説明では赤色貫通孔１２１Ｒにおいては赤色の波長帯域の光を、緑色貫通孔１２１Ｇにおいては、緑色の波長帯域の光をそれぞれ第１の波長帯域の光と呼ぶ。赤色貫通孔１２１Ｒでは、第２の波長帯域の光である青色の波長帯域の光を赤色変換部１３２Ｒが第１の波長帯域の光である赤色の波長帯域の光に変換し、この光を赤色着色部１３１Ｒが選択的に透過する。緑色貫通孔１２１Ｇでは、第２の波長帯域の光である青色の波長帯域の光を緑色変換部１３２Ｇが第１の波長帯域の光である緑色の波長帯域の光に変換し、この光を緑色着色部１３１Ｇが選択的に透過する。
【００３５】
次に本発明の実施例１のカラーフィルタ１０の製造方法について図２を用いて説明する。このカラーフィルタ１０の製造方法では、ブラックマトリクス部形成工程（Ｓ１０１）、赤色着色部形成工程（Ｓ１０２）、緑色着色部形成工程（Ｓ１０３）、青色着色部形成工程（Ｓ１０４）、透過部形成工程（Ｓ１０５）、赤色変換部形成工程（Ｓ１０６）、緑色変換部形成工程（Ｓ１０７）、検査工程（Ｓ１０８）、リペア工程（Ｓ１０９）、加熱工程（Ｓ１１０）を順に行う。
【００３６】
最初に、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、紫外線が照射されることにより硬化する黒色感光性樹脂組成物を、乾燥および焼成後の膜厚が１０μｍ程度となるように基板１１に塗布する。次に加熱乾燥、減圧乾燥等により、基板１１に塗布された黒色感光性樹脂組成物に含まれる有機溶媒を除去することにより黒色感光性樹脂層を形成する。続いて黒色感光性樹脂層上にフォトマスクを配置した状態で、露光装置を用いて紫外線を照射した後、たとえばアルカリ性現像液を用いて現像を行うことによりブラックマトリクス部１２を形成する。
【００３７】
次に、赤色着色部形成工程（Ｓ１０２）では、赤色貫通孔１２１Ｒの内側にインクジェット塗布方法を用いて、赤色色素を含む熱硬化性樹脂組成物からなる第１塗布液を塗布し加熱することで、赤色着色部１３１Ｒを基板１１の第１主面１１ａ側に形成する。
【００３８】
続いて、緑色着色部形成工程（Ｓ１０３）では、緑色貫通孔１２１Ｇの内側にインクジェット塗布方法を用いて、緑色色素を含む熱硬化性樹脂組成物からなる第１塗布液を塗布し加熱することで、緑色着色部１３１Ｇを基板１１の第１主面１１ａ側に形成する。
【００３９】
同様に、青色着色部形成工程（Ｓ１０４）では、青色貫通孔１２１Ｂの内側にインクジェット塗布方法を用いて、青色色素を含む熱硬化性樹脂組成物からなる第１塗布液を塗布し加熱することで、青色着色部１３１Ｂを基板１１の第１主面１１ａ側に形成する。
【００４０】
ここで、赤色着色部形成工程（Ｓ１０２）、緑色着色部形成工程（Ｓ１０３）、青色着色部形成工程（Ｓ１０４）は、順序が入れ替わってよい。
【００４１】
次に、透過部形成工程（Ｓ１０５）では、インクジェット塗布方法を用いて、熱硬化性樹脂組成物からなる塗布液を青色着色部１３１Ｂが設けられた青色貫通孔１２１Ｂの内側に塗布し透過部１３４を形成する。
【００４２】
次に、赤色変換部形成工程（Ｓ１０６）では、インクジェット塗布方法を用いて、赤色量子ドットを含む熱硬化性樹脂組成物からなる第２塗布液を赤色着色部１３１Ｒが設けられた赤色貫通孔１２１Ｒの内側に塗布し赤色変換部１３２Ｒを形成する。
【００４３】
次に、緑色変換部形成工程（Ｓ１０７）では、インクジェット塗布方法を用いて、緑色量子ドットを含む熱硬化性樹脂組成物からなる第２塗布液を緑色着色部１３１Ｇが設けられた緑色貫通孔１２１Ｇの内側に塗布し緑色変換部１３２Ｇを形成する。
【００４４】
ここで、透過部形成工程（Ｓ１０５）、赤色変換部形成工程（Ｓ１０６）、緑色変換部形成工程（Ｓ１０７）は、順序が入れ替わってもよい。
【００４５】
続いて、検査工程（Ｓ１０８）では、たとえば、青色ＬＥＤのようにカラーフィルタ１０が組み込まれる表示装置等に用いられる光源と同じ青色の波長帯域の光を放出する光源を用い、赤色変換部１３２Ｒ、緑色変換部１３２Ｇ、透過部１３４を形成する塗布液を塗布する側から、青色の波長帯域の光をカラーフィルタ１０の所定の範囲に照射し、それにより基板１１の第２主面１１ｂに放射される光の波長帯域毎の光の強度を、たとえばＣＣＤカメラ等を用いて測定し、貫通孔１２１Ｒ，１２１Ｇ，１２１Ｂへの塗布液の塗布状態による色むらを検査する。
【００４６】
続いて、リペア工程（Ｓ１０９）では、検査工程（Ｓ１０８）で不良と判断された貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ，１２１Ｂについて、インクジェット塗布方法を用いて、その貫通孔に対して、赤色変換部形成工程（Ｓ１０６）、緑色変換部形成工程（Ｓ１０７）と同じようにして、赤色変換部１３２Ｒ、緑色変換部１３２Ｇを形成し、補修する。もしくは、検査工程（Ｓ１０８）で不良と判断された貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇについて、たとえば、吸引ノズルやレーザー照射等を用いて赤色変換部１３２Ｒ、緑色変換部１３２Ｇを除去してから、インクジェット塗布方法を用いて、その貫通孔に対して、透過部形成工程（Ｓ１０５）、赤色変換部形成工程（Ｓ１０６）、緑色変換部形成工程（Ｓ１０７）と同じようにして、透過部１３４、赤色変換部１３２Ｒ、緑色変換部１３２Ｇを形成し、補修する。
【００４７】
続いて、加熱工程（Ｓ１１０）では、赤色変換部１３２Ｒ、緑色変換部１３２Ｇ、透過部１３４に塗布された熱硬化性樹脂組成物を、たとえば、加熱オーブン等を用いてカラーフィルタ１０を加熱し、赤色変換部１３２Ｒ、緑色変換部１３２Ｇ、透過部１３４に塗布された熱硬化性樹脂組成物を硬化させる。
【００４８】
以上のように、カラーフィルタ１０が組み込まれた最終製品と同じ波長帯域の色の光を照射し検査することにより、最終検査前に、最終製品と同じ色変換された光を検出する検査ができるので、最終製品での不良を低減できる。また、基板が同じ装置に把持された状態で塗布と検査またはリペアを実施するので、塗布欠陥を最終検査で発見しリペアするよりも最終製品の歩留まりが向上する。
【００４９】
本実施例では、透過部形成工程（Ｓ１０５）、色変換部形成工程である赤色変換部形成工程（Ｓ１０６）および緑色変換部形成工程（Ｓ１０７）、検査工程（Ｓ１０８）、リペア工程（Ｓ１０９）の各工程において、基板１１は同じ把持装置に把持されたままの状態で行う。このため、色変換部形成工程である赤色変換部形成工程（Ｓ１０６）および緑色変換部形成工程（Ｓ１０７）の実行中に、赤色変換部１３２Ｒが形成された貫通孔１２１Ｒ、緑色変換部１３２Ｇが形成された貫通孔１２１Ｇに対して、検査工程（Ｓ１０８）を開始することが可能となる。または検査工程（Ｓ１０８）の実行中にリペア工程（Ｓ１０９）を開始することが可能となる。こうすることで生産時間の短縮が図れる。
【００５０】
次に本発明の実施例１のカラーフィルタの製造方法の赤色変換部形成工程（Ｓ１０６）および緑色変換部形成工程（Ｓ１０７）、検査工程（Ｓ１０８）、リペア工程（Ｓ１０９）に用いるカラーフィルタの製造装置について、図３および図４を用いて説明する。図３は平面図で、図４は図３のａ矢視の立面図である。
【００５１】
図３および図４に示すカラーフィルタ製造装置１は、矩形の基板１１を枠２に入れて取り扱う。ここで、枠２は、たとえば、金属やプラスチック等のたわみにくい材料からなり、基板１１の外周に渡って基板１１の第１主面１１ａおよび第２主面１１ｂの縁を挟み、第１主面１１ａおよび第２主面１１ｂの縁を挟んでいる領域以外は、第１主面１１ａおよび第２主面１１ｂまたは第２主面１１ｂ上に設けられたブラックマトリクス部１２が露出するような開口を有する額縁状の形状を有している。また、 基板１１の厚さ方向（Ｚ軸方向）の枠２の断面は凹型の形状を有し、枠２の対向する２辺において枠２の凹部のくぼみが対向する形で基板１１を挟みこんでいる。枠２は基板１１を枠２にいれるための分割構造を有し、基板１１をこの枠２に入れることにより、基板１１のカラーフィルタ製造装置１への固定時のダメージや 基板１１のたわみによるカラーフィルタの製造装置での処理への悪影響をなくしている。
【００５２】
実施例１のカラーフィルタ製造装置１は、枠２に入れられた基板１１を把持する把持装置３、基板１１の赤色貫通孔１２１Ｒに赤色変換部１３２Ｒを、緑色貫通孔１２１Ｇに緑色変換部１３２Ｇを、青色貫通孔１２１Ｂに透過部１３４を、それぞれ形成する塗布液を塗布する塗布部４、赤色変換部１３２Ｒが形成された赤色貫通孔１２１Ｒ、、緑色変換部１３２Ｇが形成された緑色貫通孔１２１Ｒ、透過部１３４が形成された青色貫通孔１２１Ｂを検査する検査部５とを有している。
【００５３】
把持装置３は、枠２を把持することで基板１１を把持する把持部３１と、把持部３１を基板１１の搬送方向（Ｘ軸方向）に移動させる把持部移動機構３２とを有する。ここで把持部３１と把持部移動機構３２は、基板１１の厚み方向（Ｚ軸方向）において、枠２の基板１１の第１主面１１ａおよび第２主面１１ｂまたは第２主面１１ｂに設けられたブラックマトリクス部１２を露出させる開口領域に干渉しないように設けられている。把持部３１は、たとえば、枠２をＺ軸方向にボルト等で固定するものであってもよいし、Ｚ軸方向に２枚の板で枠２を挟みこむような他の構造であってもよい。把持部移動機構３２は、たとえば、直動ガイド＋ボールネジ＋サーボモータ＋制御装置のような直動システムであり、把持部３１をＸ軸方向の任意の位置に移動させることができる。
【００５４】
塗布部４は、赤色変換部１３２Ｒを形成する熱硬化性樹脂組成物を含んだ塗布液を基板１１の赤貫通孔１２１Ｒに、緑色変換部１３２Ｇを形成する熱硬化性樹脂組成物を含んだ塗布液を基板１１の緑貫通孔１２１Ｇに、透過部１３４を形成する熱硬化性樹脂組成物を含んだ塗布液を基板１１の青貫通孔１２１Ｂに、それぞれインクジェット塗布方式で塗布する塗布ヘッド４１と基板１１の塗布ヘッド４１を基板１１の搬送方向（Ｘ軸方向）と基板１１の厚み方向（Ｚ軸方向）とに直交する方向（Ｙ軸方向）の任意の位置に移動させる塗布ヘッド移動機構４２とを有する。塗布ヘッド移動機構４２は、たとえば、上述の把持部移動機構３２と同様な直動システムであり、枠２に入れられた基板１１が把持装置３によって移動する領域の両外側からＺ軸方向に立つ２本の脚部を枠２に入れられた基板１１が移動する面から十分に距離が離れた上部でＹ軸方向につなぐ部材に設けられており、Ｚ軸方向下向きに塗布ヘッド移動機構４２に取り付けられた塗布ヘッド４１をＹ軸方向の任意の位置に移動させることができる。塗布ヘッド４１はＹ軸方向の任意の位置でＺ軸方向下向きに塗布液をインクジェット方式で滴下することで、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに塗布液を塗布することができる。
【００５５】
ここで塗布部４は、検査部５で不良と判断された貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに再び赤色変換部１３２Ｒ、緑色変換部１３２Ｇ、透過部１３４を形成するための塗布液を塗布するリペア部としての機能も兼ねている。
【００５６】
検査部５は、カラーフィルタ１０の基板１１の第１主面１１ａ側の面をＺ軸方向上方から照らす光源５１と光源５１から照射された光が貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに設けられた色変換部１３２Ｒ、１３２Ｇ、透過部１３４、および着色部１３１Ｒ、１３１Ｇ、１３１Ｂを通過して、基板１１の第２主面１１ｂから放射される光の各波長帯域毎の光の強度を測定する受光部５２を有している。ここで光源５１は、たとえば青色ＬＥＤのようなカラーフィルタ１０が組み込まれる図示しない表示装置等に用いられるものと同じ青色の波長帯域の光を放出する光源であり、基板１１の厚み方向（Ｚ軸方向）に基板１１から十分な距離をおいた上方に位置し、基板１１の搬送方向（Ｘ軸方向）と基板１１の厚み方向（Ｚ軸方向）とに直交する方向（Ｙ軸方向）に基板１１にむらなく青色の波長帯域の光を照射できるように配置されている。また、受光部５２は、たとえば、ＣＣＤカメラのような任意の範囲に届いた各波長帯域毎の光の強度を測定できるセンサーであり、基板１１を挟んで光源５１と対向している。
【００５７】
把持装置３にて枠２に入れた基板１１を基板１１の搬送方向（Ｘ軸方向）の任意の位置に移動し、塗布部４にて塗布ヘッド４１をＹ軸方向の任意の位置に移動させることにより、基板１１の任意の位置の貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに塗布ヘッドを移動させ塗布液を塗布できる。こうすることで、検査部５で不良と判断された貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに対しても、同様に塗布部４にて塗布液を塗布し、赤色変換部１３２Ｒ、緑色変換部１３２Ｇ、透過部１３４を再形成させることができる。
【００５８】
塗布部４および検査部５は、それぞれ別個に作動させることができるので、塗布部４による塗布液の塗布中でも検査部５による検査ができる。また、検査部５による検査中でも塗布部４による塗布液の塗布をさせることはできるので、検査中のリペアもできる。
【実施例２】
【００５９】
本発明の実施例２のカラーフィルタの製造方法および製造装置を適用するカラーフィルタの一例を図５を用いて説明する。図５では実施例１のカラーフィルタと同じ箇所には同じ符号を付している。
【００６０】
図５のカラーフィルタ２０は、図１で説明した実施例１のカラーフィルタ１０の着色部１３１Ｒ、１３１Ｇおよび色変換部１３２Ｒ、１３２Ｇの代わりに変換部１３３Ｒ、１３３Ｇを有している。また、着色部１３１Ｂおよび透過部１３４の代わりに青色透過部１３５を有している。
【００６１】
赤色変換部１３３Ｒは、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｒの内側に設けられている。赤色変換部１３３Ｒは、赤色の波長帯域の光を選択的に透過させる赤色色素と、青色の波長帯域の光を赤色の波長帯域の光に変換する赤色量子ドットと、が樹脂中に分散された状態で形成されている。赤色変換部１３３Ｒは、カラーフィルタ２０が組み込まれるような図示しない表示装置等に組み込まれた際に、ブラックマトリクス部１２の基板１１側と反対側の面で図示しない光源から入射する青色の波長帯域の光を、赤色の波長帯域の光に変換すると共に、赤色色素により赤色以外の波長帯域の光を選択的に透過し、赤色の波長帯域の光を基板１１の第１主面１１ｂに放射する。
【００６２】
本説明では赤色貫通孔１２１Ｒにおいて、赤色の波長帯域の光を第１の波長帯域の光と呼ぶ。赤色貫通孔１２１Ｒでは、第２の波長帯域の光である青色の波長帯域の光を赤色変換部１３３Ｒが第１の波長帯域の光である赤色の波長帯域の光に変換すると共に選択的に透過する。
【００６３】
緑色変換部１３３Ｇは、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｇの内側に設けられている。緑色変換部１３３Ｇは、緑色の波長帯域の光を選択的に透過させる緑色色素と、青色の波長帯域の光を緑色の波長帯域の光に変換する緑色量子ドットと、が樹脂中に分散された状態で形成されている。緑色変換部１３３Ｇは、カラーフィルタ２０が組み込まれるような図示しない表示装置等に組み込まれた際に、ブラックマトリクス部１２の基板１１側と反対側の面で図示しない光源から入射する青色の波長帯域の光を、緑色の波長帯域の光に変換すると共に、緑色色素により緑色以外の波長帯域の光を選択的に透過し、緑色の波長帯域の光を基板１１の第１主面１１ｂに放射する。
【００６４】
本説明では緑色貫通孔１２１Ｇにおいて、緑色の波長帯域の光を第１の波長帯域の光と呼ぶ。緑色貫通孔１２１Ｇでは、第２の波長帯域の光である青色の波長帯域の光を緑色変換部１３３Ｇが第１の波長帯域の光である緑色の波長帯域の光に変換すると共に選択的に透過する。
【００６５】
青色透過部１３５は、基板１１上におけるブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｂの内側に設けられている。青色透過部１３５は、青色の波長帯域の光を選択的に透過させる青色色素が樹脂中に分散された状態で形成されている。青色透過部１３５は、カラーフィルタ２０が組み込まれるような図示しない表示装置等に組み込まれた際に、ブラックマトリクス部１２の基板１１側と反対側の面で図示しない光源から入射する青色の波長帯域の光を選択的に透過し、基板１１の第１主面１１ｂに放射する。
【００６６】
次に本発明の実施例２のカラーフィルタ２０の製造方法について図６を用いて説明する。図６では、実施例１のカラーフィルタと同じ工程には同じ符号を付している。このカラーフィルタ２０の製造方法では、ブラックマトリクス部形成工程（Ｓ１０１）、青色透過部形成工程（Ｓ２０２）、赤色変換部形成工程（Ｓ２０３）、緑色変換部形成工程（Ｓ２０４）、検査工程（Ｓ１０８）、リペア工程（Ｓ１０９）、加熱工程（Ｓ１１０）を順に行う。ここで、ブラックマトリクス部形成工程（Ｓ１０１）、検査工程（Ｓ１０８）、リペア工程（Ｓ１０９）、加熱工程（Ｓ１１０）は、実施例１の図２で説明した製造方法と同じである。
【００６７】
青色透過部形成工程（Ｓ２０２）では、青色貫通孔１２１Ｂの内側にインクジェット塗布方法を用いて、青色色素を含む熱硬化性樹脂組成物からなる塗布液を塗布することで、青色透過部１３５を青色貫通孔１２１Ｒの内側に形成する。
【００６８】
赤色変換部形成工程（Ｓ２０３）では、赤色貫通孔１２１Ｒの内側にインクジェット塗布方法を用いて、赤色色素と、赤色量子ドットと、を含む熱硬化性樹脂組成物からなる塗布液を塗布することで、赤色変換部１３３Ｒを赤色貫通孔１２１Ｒの内側に形成する。
【００６９】
緑色変換部形成工程（Ｓ２０４）では、緑色貫通孔１２１Ｇの内側にインクジェット塗布方法を用いて、緑色色素と、緑色量子ドットと、を含む熱硬化性樹脂組成物からなる塗布液を塗布することで、緑色変換部１３３Ｇを緑色貫通孔１２１Ｒの内側に形成する。
【００７０】
ここで、青色透過部形成工程（Ｓ２０２）、赤色変換部形成工程（Ｓ２０３）、緑色変換部形成工程（Ｓ２０４）は、順序が入れ替わってよい。
【００７１】
実施例１のカラーフィルタの製造方法と同様に、カラーフィルタ２０が組み込まれた最終製品と同じ波長帯域の色の光を照射し検査することにより、最終検査前に、最終製品と同じ色変換された光を検出する検査ができるので、最終製品での不良を低減できる。また、基板が同じ装置に把持された状態で塗布と検査またはリペアを実施するので、塗布欠陥を最終検査で発見しリペアするよりも最終製品の歩留まりが向上する。
【００７２】
ここで、本実施例では、実施例１のカラーフィルタの製造方法と同様に青色透過部形成工程（Ｓ２０２）、変換部形成工程（Ｓ２０３、Ｓ２０４）、検査工程（Ｓ１０８）、リペア工程（Ｓ１０９）の各工程において、基板１１は同じ把持装置に把持されたままの状態で行う。このため、青色透過部形成工程（Ｓ２０２）、変換部形成工程（Ｓ２０３、Ｓ２０４）の実行中に、赤色変換部１３３Ｒ、緑色変換部１３３Ｇ、青色透過部１３５が形成された貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ，１２１Ｂに対して、検査工程（Ｓ１０８）を開始することが可能となる。または検査工程（Ｓ１０８）の実行中にリペア工程（Ｓ１０９）を開始することが可能となる。こうすることで生産時間の短縮が図れる。
【００７３】
本発明の実施例２のカラーフィルタ２０の製造方法の青色透過部形成工程（Ｓ２０２）、変換部形成工程（Ｓ２０３、Ｓ２０４）、検査工程（Ｓ１０８）、リペア工程（Ｓ１０９）に用いるカラーフィルタの製造装置は、実施例１で説明したカラーフィルタの製造装置と同じである。
【００７４】
実施例２のカラーフィルタの製造装置の変形例として、検査工程（Ｓ１０６）に用いられる検査部の一例を図７を用いて説明する。図７では実施例１で説明したカラーフィルタ製造装置１と同じ構造の箇所には同じ符号を付している。
【００７５】
実施例２のカラーフィルタの製造装置の変形例の検査部５は、光源５１と受光部５２が共に、基板１１に対してブラックマトリクス部１２の貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂへの塗布液の塗布側のＺ軸方向上方に設けられ、光源５１から貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂに入射する青色の波長帯域の光が赤色変換部１３３Ｒにて赤色の波長帯域の光に変換され、緑色変換部１３３Ｇにて緑色の波長帯域の光に変換され、青色透過部１３５にてそのまま透過され、貫通孔１２１Ｒ、１２１Ｇ、１２１Ｂの基板１１側と反対側から放射される光の各波長帯域の光の強度を受光部５２にて測定する。このような構造を有することにより、基板１１を枠２に入れずに、図示しないテーブル上に載置して、青色透過部形成工程（Ｓ２０２）、変換部形成工程（Ｓ２０３、Ｓ２０４）、検査工程（Ｓ１０８）、リペア工程（Ｓ１０９）を実施することができる。
【００７６】
以上、本発明の実施例および変形例について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００７７】
たとえば、第２の波長帯域の光は青色の波長帯域の光でなくてもよい。たとえば、第２の波長帯域の光が緑色の波長帯域の光であり、色変換部によって、緑色の波長帯域の光を赤色や青色の波長帯域の光に変換するものであってもよい。
【００７８】
たとえば、本発明の製造方法に適用されるカラーフィルタは、実施例１の赤色変換部１３２Ｒおよび緑色変換部１３２Ｇの代わりに赤色量子ドットおよび緑色量子ドットを含む色変換部を用いてもよい。また、青色貫通孔にも透過部１３４の代わりに赤色量子ドットおよび緑色量子ドットの両方の量子ドットを含む色変換部を用いてもよい。また、透過部１３４を設けず、青色着色部１３１Ｂのみ設けてもよい。
【００７９】
たとえば、本発明の製造方法に適用されるカラーフィルタは、実施例２の赤色変換部１３３Ｒおよび緑色変換部１３３Ｇは、赤色量子ドットおよび緑色量子ドットの両方の量子ドットを含んでいてもよい。また、青色透過部も赤色量子ドットおよび緑色量子ドットの両方の量子ドットを含んでいてもよい。
【００８０】
また、量子ドットの代わりに、たとえば、蛍光体のような他の入射する光を入射する光の色の波長帯域と異なる色の波長帯域の光に変換する物質を用いてもよい。
【００８１】
また、着色部形成工程（Ｓ１０２、Ｓ１０３、Ｓ１０４）は、たとえば、フォトリソ法等のインクジェット塗布方法以外の方法で着色部を形成してもよい。
【００８２】
また、リペア工程（Ｓ１０９）時に、色変換部（１３２Ｒ，１３２Ｇ）、透過部１３４または変換部（１３３Ｒ、１３３Ｇ）青色透過部１３５を除去してからリペアしてもよい。
【００８３】
また、加熱工程（Ｓ１１０）を実施してからリペア工程（Ｓ１０９）を実施してもよい。
【００８４】
また、実施例１において、赤色着色部形成工程（Ｓ１０２）、緑色着色部形成工程（Ｓ１０３）、青色着色部形成工程（Ｓ１０４）についても同じ把持装置に基板を把持したまま実施してもよい。
【００８５】
また、リペア工程（Ｓ１０９）を別の製造装置で実施してもよい。
【００８６】
実施例１，２のカラーフィルタの製造装置において、塗布ヘッド移動機構は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動できるものであってもよい。また、把持部移動機構３２についても、Ｙ軸方向に移動できてもよい。また、検査部５の光源５１または受光部５２は複数設けられていてもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１    カラーフィルタ製造装置
２    枠
３    把持装置
４    塗布部
５    検査部
１０    カラーフィルタ
１１    基板
１２    ブラックマトリクス部
２０    カラーフィルタ
３１    把持部
３２    把持部移動機構
４１    塗布ヘッド
４２    塗布ヘッド移動機構
５１    光源
５２    受光部
１１ａ    第１主面
１１ｂ    第２主面
１２１Ｂ    青色貫通孔
１２１Ｇ    緑色貫通孔
１２１Ｒ    赤色貫通孔
１３１Ｂ    青色着色部
１３１Ｇ    緑色着色部
１３１Ｒ    赤色着色部
１３２Ｒ    赤色変換部
１３２Ｇ    緑色変換部
１３３Ｇ    緑色変換部
１３３Ｒ    赤色変換部
１３４    透過部
１３５    青色透過部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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