(57)【要約】【課題】産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりしたときの、産業用ロボットの再教示作業を不要とすることが可能になる産業用ロボットの補正値算出方法を提供する。【解決手段】この産業用ロボットの補正値算出方法では、座標特定工程において、カメラ３６、３７によって、検知用治具３５の角部３５ａの座標と、検知用治具３５の角部３５ｂの座標とを特定している。また、補正値算出工程において、座標特定工程で特定された角部３５ａ、３５ｂの座標に基づいて、本体部に対して第１アーム部を回動させる第１モータを制御するための第１エンコーダの補正値と、第１アーム部に対して第２アーム部を回動させる第２モータを制御するための第２エンコーダの補正値と、第２アーム部に対してハンド基部を回動させる第３モータを制御するための第３エンコーダの補正値とを算出している。【選択図】図４
2019141921.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
産業用ロボットの動作を補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法であって、
前記産業用ロボットは、本体部と、前記本体部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と前記第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部とを有するアームと、前記第２アーム部の先端側に回動可能に連結されるハンド基部と前記ハンド基部から水平方向の一方向に伸びるとともに搬送対象物が搭載されるハンドフォークとを有するハンドと、前記本体部に対して前記第１アーム部を回動させるための第１モータと、前記第１アーム部に対して前記第２アーム部を回動させるための第２モータと、前記第２アーム部に対して前記ハンド基部を回動させるための第３モータと、前記第１モータの回転量を検知するための第１エンコーダと、前記第２モータの回転量を検知するための第２エンコーダと、前記第３モータの回転量を検知するための第３エンコーダとを備え、
前記産業用ロボットの補正値算出方法は、
前記ハンドフォークに検知用治具を搭載する治具搭載工程と、
前記産業用ロボットを動作させて所定の基準姿勢にするロボット動作工程と、
前記治具搭載工程および前記ロボット動作工程後に、前記産業用ロボットを動作させて前記搬送対象物の受渡し位置に前記ハンドフォークを移動させるハンド移動工程と、
前記ハンド移動工程後に、前記受渡し位置に配置される前記ハンドフォークの長手方向および前記ハンドフォークの長手方向に直交する方向の少なくともいずれか一方にずれた状態で配置される第１カメラおよび第２カメラによって、前記検知用治具に形成されるとともに前記第１カメラの視野内に配置される第１角部の座標と、前記検知用治具に形成されるとともに前記第２カメラの視野内に配置される第２角部の座標とを特定する座標特定工程と、
前記座標特定工程で特定された前記第１角部の座標と前記第２角部の座標とに基づいて、前記第１モータを制御するための前記第１エンコーダの補正値、前記第２モータを制御するための前記第２エンコーダの補正値および前記第３モータを制御するための前記第３エンコーダの補正値を算出する補正値算出工程とを備えることを特徴とする産業用ロボットの補正値算出方法。
【請求項２】
前記第１カメラと前記第２カメラとは、前記受渡し位置に配置される前記ハンドフォークの長手方向および前記ハンドフォークの長手方向に直交する方向にずれた状態で配置されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボットの補正値算出方法。
【請求項３】
前記第１カメラの視野内に配置され前記第１カメラに撮影される第１基準マークと、前記第２カメラの視野内に配置され前記第２カメラに撮影される第２基準マークとが設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボットの補正値算出方法。
【請求項４】
前記第１カメラと前記第２カメラと前記第１基準マークと前記第２基準マークとは、前記受渡し位置に配置された前記ハンドフォークに搭載される前記搬送対象物の位置確認にも使用されることを特徴とする請求項３記載の産業用ロボットの補正値算出方法。
【請求項５】
前記産業用ロボットは、前記搬送対象物に対して所定の処理を行うための複数の処理部を有する処理システムに組み込まれて使用されるとともに、前記処理システムの一部を構成する前記搬送対象物の供給部と前記処理システムの一部を構成する前記搬送対象物の排出部と複数の前記処理部との間で前記搬送対象物を搬送し、
前記第１カメラおよび前記第２カメラは、前記供給部または前記排出部の内部に設置されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボットの補正値算出方法。
【請求項６】
前記第１カメラおよび前記第２カメラは、前記供給部の内部に設置されていることを特徴とする請求項５記載の産業用ロボットの補正値算出方法。
【請求項７】
産業用ロボットの動作を補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法であって、
前記産業用ロボットは、本体部と、前記本体部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と前記第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部とを有するアームと、前記第２アーム部の先端側に回動可能に連結されるハンド基部と前記ハンド基部から水平方向の一方向に伸びるとともに搬送対象物が搭載されるハンドフォークとを有するハンドと、前記本体部に対して前記第１アーム部を回動させるための第１モータと、前記第１アーム部に対して前記第２アーム部を回動させるための第２モータと、前記第２アーム部に対して前記ハンド基部を回動させるための第３モータと、前記第１モータの回転量を検知するための第１エンコーダと、前記第２モータの回転量を検知するための第２エンコーダと、前記第３モータの回転量を検知するための第３エンコーダとを備え、
前記産業用ロボットの補正値算出方法は、
前記ハンドフォークに検知用治具を搭載する治具搭載工程と、
前記産業用ロボットを動作させて所定の基準姿勢にするロボット動作工程と、
前記治具搭載工程および前記ロボット動作工程後に、前記産業用ロボットを動作させて前記搬送対象物の受渡し位置に前記ハンドフォークを移動させるハンド移動工程と、
前記ハンド移動工程後に、前記受渡し位置に配置される前記ハンドフォークの長手方向および前記ハンドフォークの長手方向に直交する方向の少なくともいずれか一方に互いにずれた状態で配置される３個のセンサのそれぞれによって前記検知用治具のエッジが検知されるまで前記産業用ロボットを動作させるとともに、３個の前記センサのそれぞれによって前記検知用治具のエッジが検知されたときの前記産業用ロボットの座標を特定する座標特定工程と、
前記座標特定工程で特定された前記産業用ロボットの座標に基づいて、前記第１モータを制御するための前記第１エンコーダの補正値、前記第２モータを制御するための前記第２エンコーダの補正値および前記第３モータを制御するための前記第３エンコーダの補正値を算出する補正値算出工程とを備えることを特徴とする産業用ロボットの補正値算出方法。
【請求項８】
前記産業用ロボットは、前記本体部に対する前記第１アーム部の回動方向における前記第１アーム部の原点位置を検知するための第１原点センサと、前記第１アーム部に対する前記第２アーム部の回動方向における前記第２アーム部の原点位置を検知するための第２原点センサと、前記第２アーム部に対する前記ハンド基部の回動方向における前記ハンド基部の原点位置を検知するための第３原点センサとを備え、
前記ロボット動作工程では、前記第１原点センサの検知結果に基づいてまたは前記第１原点センサの検知結果と前記第１エンコーダの検知結果とに基づいて前記第１モータを駆動制御し、前記第２原点センサの検知結果に基づいてまたは前記第２原点センサの検知結果と前記第２エンコーダの検知結果とに基づいて前記第２モータを駆動制御するとともに、前記第３原点センサの検知結果に基づいてまたは前記第３原点センサの検知結果と前記第３エンコーダの検知結果とに基づいて前記第３モータを駆動制御して、前記産業用ロボットを前記基準姿勢にすることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の産業用ロボットの補正置算出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用ロボットの動作を補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイの製造システムに組み込まれて使用される水平多関節ロボットであり、ガラス基板が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。
【０００３】
アームは、基端側が本体部に回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部とを備えている。ハンドは、第２アーム部の先端側に回動可能に連結されるハンド基部と、ハンド基部に固定されるとともにガラス基板が搭載されるハンドフォークとを備えている。また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、本体部に対して第１アーム部を回動させるためのモータと、第１アーム部に対して第２アーム部を回動させるためのモータと、第２アーム部に対してハンド基部を回動させるためのモータとを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１３９８５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の産業用ロボットが有機ＥＬディスプレイ等の製造システムに設置されると、産業用ロボットの動作プログラムを作成するために、一般に、産業用ロボットの教示作業が行われている。また、たとえば、製造システムに設置される産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりすると、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対して、交換後の産業用ロボットのロボット座標系がずれる。
【０００６】
そのため、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりした場合にも、一般に、産業用ロボットの教示作業が再度行われている。しかしながら、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりした場合に、産業用ロボットの教示作業が再度行われると、産業用ロボットの交換等のために停止している製造システムが再稼働するまでに時間がかかる。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりしたときの、産業用ロボットの再教示作業を不要とすることが可能になる産業用ロボットの補正値算出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの補正値算出方法は、産業用ロボットの動作を補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法であって、産業用ロボットは、本体部と、本体部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部とを有するアームと、第２アーム部の先端側に回動可能に連結されるハンド基部とハンド基部から水平方向の一方向に伸びるとともに搬送対象物が搭載されるハンドフォークとを有するハンドと、本体部に対して第１アーム部を回動させるための第１モータと、第１アーム部に対して第２アーム部を回動させるための第２モータと、第２アーム部に対してハンド基部を回動させるための第３モータと、第１モータの回転量を検知するための第１エンコーダと、第２モータの回転量を検知するための第２エンコーダと、第３モータの回転量を検知するための第３エンコーダとを備え、産業用ロボットの補正値算出方法は、ハンドフォークに検知用治具を搭載する治具搭載工程と、産業用ロボットを動作させて所定の基準姿勢にするロボット動作工程と、治具搭載工程およびロボット動作工程後に、産業用ロボットを動作させて搬送対象物の受渡し位置にハンドフォークを移動させるハンド移動工程と、ハンド移動工程後に、受渡し位置に配置されるハンドフォークの長手方向およびハンドフォークの長手方向に直交する方向の少なくともいずれか一方にずれた状態で配置される第１カメラおよび第２カメラによって、検知用治具に形成されるとともに第１カメラの視野内に配置される第１角部の座標と、検知用治具に形成されるとともに第２カメラの視野内に配置される第２角部の座標とを特定する座標特定工程と、座標特定工程で特定された第１角部の座標と第２角部の座標とに基づいて、第１モータを制御するための第１エンコーダの補正値、第２モータを制御するための第２エンコーダの補正値および第３モータを制御するための第３エンコーダの補正値を算出する補正値算出工程とを備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明の産業用ロボットの補正値算出方法では、ハンド移動工程において、所定の基準姿勢となっている産業用ロボットを動作させて搬送対象物の受渡し位置にハンドフォークを移動させ、ハンド移動工程後の座標特定工程において、受渡し位置に配置されるハンドフォークの長手方向およびハンドフォークの長手方向に直交する方向の少なくともいずれか一方にずれた状態で配置される第１カメラおよび第２カメラによって、第１カメラの視野内に配置される検知用治具の第１角部の座標と、第２カメラの視野内に配置される検知用治具の第２角部の座標とを特定している。また、本発明では、補正値算出工程において、座標特定工程で特定された第１角部の座標と第２角部の座標とに基づいて、本体部に対して第１アーム部を回動させる第１モータを制御するための第１エンコーダの補正値と、第１アーム部に対して第２アーム部を回動させる第２モータを制御するための第２エンコーダの補正値と、第２アーム部に対してハンド基部を回動させる第３モータを制御するための第３エンコーダの補正値とを算出している。
【００１０】
そのため、本発明では、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりする前の交換前の産業用ロボットのハンドフォークが搬送対象物の受渡し位置に移動したときの、交換前の産業用ロボットのハンドフォークに搭載された検知用治具の第１角部の座標と第２角部の座標とが予め記憶されていて、補正値算出工程において、交換前の産業用ロボットのハンドフォークに搭載された検知用治具の第１角部の座標および第２角部の座標と、座標特定工程で特定された第１角部の座標および第２角部の座標とに基づいて補正値を算出することで、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりしても、補正値算出工程で算出された補正値に基づいて、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後の産業用ロボットのロボット座標系のずれを補正することが可能になる。
【００１１】
また、本発明では、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後の産業用ロボットのロボット座標系のずれを補正することで、産業用ロボットの再教示作業を不要とすることが可能になる。すなわち、本発明では、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりしたときの、産業用ロボットの再教示作業を不要とすることが可能になる。
【００１２】
本発明において、第１カメラと第２カメラとは、受渡し位置に配置されるハンドフォークの長手方向およびハンドフォークの長手方向に直交する方向にずれた状態で配置されていることが好ましい。このように構成すると、第１カメラと第２カメラとがハンドフォークの長手方向にのみずれている場合や、ハンドフォークの長手方向に直交する方向にのみずれている場合と比較して、座標特定工程で特定された第１角部の座標と第２角部の座標とに基づいて、補正値算出工程において、補正値を精度良く算出することが可能になる。
【００１３】
本発明において、第１カメラの視野内に配置され第１カメラに撮影される第１基準マークと、第２カメラの視野内に配置され第２カメラに撮影される第２基準マークとが設けられていることが好ましい。このように構成すると、たとえば、第１カメラや第２カメラが交換されたときや、何らかの原因で第１カメラや第２カメラの位置がずれたときに、第１カメラや第２カメラの位置調整を行わなくても、第１基準マークを基準にして第１角部の座標を精度良く特定することが可能になるとともに、第２基準マークを基準にして第２角部の座標を精度良く特定することが可能になる。
【００１４】
本発明において、第１カメラと第２カメラと第１基準マークと第２基準マークとは、受渡し位置に配置されたハンドフォークに搭載される搬送対象物の位置確認にも使用されることが好ましい。このように構成すると、受渡し位置に配置されたハンドフォークに搭載される搬送対象物の位置確認を行うためのカメラや基準マークを別途設ける必要がなくなる。
【００１５】
本発明において、産業用ロボットは、搬送対象物に対して所定の処理を行うための複数の処理部を有する処理システムに組み込まれて使用されるとともに、処理システムの一部を構成する搬送対象物の供給部と処理システムの一部を構成する搬送対象物の排出部と複数の処理部との間で搬送対象物を搬送し、第１カメラおよび第２カメラは、供給部または排出部の内部に設置されていることが好ましい。一般に、搬送対象物に対して所定の処理を行うための処理部の内部には、比較的多くの機器が設置されるのに対して、供給部および排出部の内部に設置される機器は多くない。そのため、このように構成すると、処理部の内部に第１カメラおよび第２カメラが設置されている場合と比較して、第１カメラおよび第２カメラを設置しやすくなる。
【００１６】
本発明において、第１カメラおよび第２カメラは、供給部の内部に設置されていることが好ましい。このように構成すると、供給部において特定された第１角部の座標と第２角部の座標とに基づいて補正値が算出されるとともに、算出された補正値に基づいて、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後の産業用ロボットのロボット座標系のずれが補正される。したがって、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりしても、処理システムに供給される搬送対象物を供給部においてハンドフォークに精度良く搭載することが可能になる。その結果、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりした後であっても、処理部に対して搬送対象物を精度良く搬送することが可能になる。
【００１７】
また、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの補正値算出方法は、産業用ロボットの動作を補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法であって、産業用ロボットは、本体部と、本体部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部とを有するアームと、第２アーム部の先端側に回動可能に連結されるハンド基部とハンド基部から水平方向の一方向に伸びるとともに搬送対象物が搭載されるハンドフォークとを有するハンドと、本体部に対して第１アーム部を回動させるための第１モータと、第１アーム部に対して第２アーム部を回動させるための第２モータと、第２アーム部に対してハンド基部を回動させるための第３モータと、第１モータの回転量を検知するための第１エンコーダと、第２モータの回転量を検知するための第２エンコーダと、第３モータの回転量を検知するための第３エンコーダとを備え、産業用ロボットの補正値算出方法は、ハンドフォークに検知用治具を搭載する治具搭載工程と、産業用ロボットを動作させて所定の基準姿勢にするロボット動作工程と、治具搭載工程およびロボット動作工程後に、産業用ロボットを動作させて搬送対象物の受渡し位置にハンドフォークを移動させるハンド移動工程と、ハンド移動工程後に、受渡し位置に配置されるハンドフォークの長手方向およびハンドフォークの長手方向に直交する方向の少なくともいずれか一方に互いにずれた状態で配置される３個のセンサのそれぞれによって検知用治具のエッジが検知されるまで産業用ロボットを動作させるとともに、３個のセンサのそれぞれによって検知用治具のエッジが検知されたときの産業用ロボットの座標を特定する座標特定工程と、座標特定工程で特定された産業用ロボットの座標に基づいて、第１モータを制御するための第１エンコーダの補正値、第２モータを制御するための第２エンコーダの補正値および第３モータを制御するための第３エンコーダの補正値を算出する補正値算出工程とを備えることを特徴とする。
【００１８】
本発明の産業用ロボットの補正値算出方法では、ハンド移動工程において、所定の基準姿勢となっている産業用ロボットを動作させて搬送対象物の受渡し位置にハンドフォークを移動させ、ハンド移動工程後の座標特定工程において、受渡し位置に配置されるハンドフォークの長手方向およびハンドフォークの長手方向に直交する方向の少なくともいずれか一方に互いにずれた状態で配置される３個のセンサのそれぞれによって検知用治具のエッジが検知されるまで産業用ロボットを動作させるとともに、３個のセンサのそれぞれによって検知用治具のエッジが検知されたときの産業用ロボットの座標を特定している。また、本発明では、補正値算出工程において、座標特定工程で特定された産業用ロボットの座標に基づいて、本体部に対して第１アーム部を回動させる第１モータを制御するための第１エンコーダの補正値と、第１アーム部に対して第２アーム部を回動させる第２モータを制御するための第２エンコーダの補正値と、第２アーム部に対してハンド基部を回動させる第３モータを制御するための第３エンコーダの補正値とを算出している。
【００１９】
そのため、本発明では、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりする前の交換前の産業用ロボットのハンドフォークに搭載された検知用治具のエッジが３個のセンサのそれぞれによって検知されるときの産業用ロボットの座標が予め記憶されていて、補正値算出工程において、交換前の産業用ロボットのハンドフォークに搭載された検知用治具のエッジが３個のセンサのそれぞれによって検知されるときの産業用ロボットの座標と、座標特定工程で特定された産業用ロボットの座標とに基づいて補正値を算出することで、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりしても、補正値算出工程で算出された補正値に基づいて、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後の産業用ロボットのロボット座標系のずれを補正することが可能になる。
【００２０】
また、本発明では、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後の産業用ロボットのロボット座標系のずれを補正することで、産業用ロボットの再教示作業を不要とすることが可能になる。すなわち、本発明では、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりしたときの、産業用ロボットの再教示作業を不要とすることが可能になる。
【００２１】
本発明において、たとえば、産業用ロボットは、本体部に対する第１アーム部の回動方向における第１アーム部の原点位置を検知するための第１原点センサと、第１アーム部に対する第２アーム部の回動方向における第２アーム部の原点位置を検知するための第２原点センサと、第２アーム部に対するハンド基部の回動方向におけるハンド基部の原点位置を検知するための第３原点センサとを備え、ロボット動作工程では、第１原点センサの検知結果に基づいてまたは第１原点センサの検知結果と第１エンコーダの検知結果とに基づいて第１モータを駆動制御し、第２原点センサの検知結果に基づいてまたは第２原点センサの検知結果と第２エンコーダの検知結果とに基づいて第２モータを駆動制御するとともに、第３原点センサの検知結果に基づいてまたは第３原点センサの検知結果と第３エンコーダの検知結果とに基づいて第３モータを駆動制御して、産業用ロボットを基準姿勢にする。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように、本発明の産業用ロボットの補正値算出方法によって補正値を算出すれば、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりしたときの、産業用ロボットの再教示作業を不要とすることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの補正値算出方法によって補正値が算出される産業用ロボットの図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図２】図１に示す産業用ロボットが有機ＥＬディスプレイの製造システムに組み込まれた状態を示す平面図である。
【図３】図１に示す産業用ロボットの構成を説明するためのブロック図である。
【図４】図２に示す供給部の内部の構成を説明するための拡大図である。
【図５】本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの補正値算出方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００２５】
（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの補正値算出方法によって補正値が算出される産業用ロボット１の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１が有機ＥＬディスプレイの製造システム３に組み込まれた状態を示す平面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するためのブロック図である。
【００２６】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である有機ＥＬディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。基板２は、長方形の平板状に形成されている。このロボット１は、図２に示すように、有機ＥＬディスプレイの製造システム３に組み込まれて使用される水平多関節ロボットである。製造システム３は、中心に配置されるトランスファーチャンバー４（以下、「チャンバー４」とする。）と、チャンバー４を囲むように配置される複数のチャンバー５〜７とを備えている。
【００２７】
チャンバー５は、基板２に対して所定の処理を行うためのプロセスチャンバーである。また、チャンバー６は、製造システム３に供給される基板２が収容される供給用のチャンバー（ローダ）であり、チャンバー７は、製造システム３から排出される基板２が収容される排出用のチャンバー（アンローダ）である。チャンバー４〜７の内部は、真空になっている。チャンバー４の内部には、ロボット１の一部が配置されている。ロボット１を構成する後述のハンドフォーク１８、１９がチャンバー５〜７の中に入り込むことで、ロボット１は、複数のチャンバー５〜７の間で基板２を搬送する。
【００２８】
本形態のチャンバー５は、基板２に対して所定の処理を行うための処理部である。また、本形態の製造システム３は、複数の処理部を備える処理システムである。また、本形態のチャンバー６は、処理システムである製造システム３の一部を構成する基板２の供給部であり、チャンバー７は、処理システムである製造システム３の一部を構成する基板２の排出部である。
【００２９】
図１に示すように、ロボット１は、基板２が搭載されるハンド８と、ハンド８が先端側に回動可能に連結されるアーム９と、アーム９の基端側が回動可能に連結される本体部１０とを備えている。ハンド８およびアーム９は、本体部１０の上側に配置されている。本体部１０は、アーム９を昇降させる昇降機構と、昇降機構が収容されるケース体１３とを備えている。ケース体１３は、略有底円筒状に形成されている。ケース体１３の上端には、円板状に形成されたフランジ１４が固定されている。
【００３０】
上述のように、ロボット１の一部は、チャンバー４の内部に配置されている。具体的には、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分がチャンバー４の内部に配置されている。すなわち、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分は、真空領域ＶＲの中に配置されており、ハンド８およびアーム９は、真空チャンバー内（真空中）に配置されている。一方、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。
【００３１】
アーム９は、互いに回動可能に連結される第１アーム部１５と第２アーム部１６とを備えている。本形態のアーム９は、第１アーム部１５と第２アーム部１６との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１５の基端側は、本体部１０に回動可能に連結されている。第１アーム部１５の先端側には、第２アーム部１６の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１６の先端側には、ハンド８が回動可能に連結されている。
【００３２】
第２アーム部１６は、第１アーム部１５よりも上側に配置されている。また、ハンド８は、第２アーム部１６よりも上側に配置されている。本体部１０に対する第１アーム部１５の回動中心と第１アーム部１５に対する第２アーム部１６の回動中心との距離は、第１アーム部１５に対する第２アーム部１６の回動中心と第２アーム部１６に対するハンド８の回動中心との距離と等しくなっている。
【００３３】
ハンド８は、第２アーム部１６の先端側に回動可能に連結されるハンド基部１７と、基板２が搭載されるハンドフォーク１８、１９とを備えている。本形態のハンド８は、２本のハンドフォーク１８と、２本のハンドフォーク１９とを備えている。ハンドフォーク１８、１９は、直線状に形成されている。ハンドフォーク１８とハンドフォーク１９とは同形状に形成されている。２本のハンドフォーク１８は、互いに所定の間隔をあけた状態で平行に配置されている。ハンドフォーク１８は、ハンド基部１７から水平方向の一方向へ伸びている。２本のハンドフォーク１９は、互いに所定の間隔をあけた状態で平行に配置されている。ハンドフォーク１９は、ハンド基部１７からハンドフォーク１８と逆方向に伸びている。
【００３４】
ハンドフォーク１８、１９は、ハンド基部１７に固定されている。具体的には、ハンドフォーク１８、１９は、固定用のネジによってハンド基部１７に固定されている。ハンドフォーク１８、１９には、固定用のネジが挿通される挿通穴が形成されている。この挿通穴は、ハンドフォーク１８、１９の長手方向に直交する方向を長手方向とする長穴であり、ハンドフォーク１８、１９の長手方向に直交する方向において、ハンド基部１７に対するハンドフォーク１８、１９の固定位置を調整することが可能となっている。
【００３５】
本形態では、１枚の基板２が２本のハンドフォーク１８に搭載される。また、１枚の基板２が２本のハンドフォーク１９に搭載される。ハンドフォーク１８の上面には、搭載される基板２を位置決めするための位置決め部材が取り付けられている。ハンドフォーク１９の上面にも、搭載される基板２を位置決めするための位置決め部材が取り付けられている。
【００３６】
また、ロボット１は、本体部１０に対して第１アーム部１５を回動させるためのモータ２１と、第１アーム部１５に対して第２アーム部１６を回動させるためのモータ２２と、第２アーム部１６に対してハンド基部１７を回動させるためのモータ２３と、モータ２１の回転量を検知するためのエンコーダ２４と、モータ２２の回転量を検知するためのエンコーダ２５と、モータ２３の回転量を検知するためのエンコーダ２６とを備えている（図３参照）。
【００３７】
エンコーダ２４は、モータ２１に取り付けられている。エンコーダ２５は、モータ２２に取り付けられ、エンコーダ２６は、モータ２３に取り付けられている。モータ２１およびエンコーダ２４は、たとえば、本体部１０の内部に配置されている。また、モータ２２、２３およびエンコーダ２５、２６は、たとえば、第１アーム部１５の内部に配置されている。モータ２１〜２３は、ロボット１の制御部２７に電気的に接続されている。エンコーダ２４〜２６も、制御部２７に電気的に接続されている。本形態のモータ２１は第１モータであり、モータ２２は第２モータであり、モータ２３は第３モータである。また、エンコーダ２４は第１エンコーダであり、エンコーダ２５は第２エンコーダであり、エンコーダ２６は第３エンコーダである。
【００３８】
さらに、ロボット１は、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向における第１アーム部１５の原点位置を検知するための原点センサ３１と、第１アーム部１５に対する第２アーム部１６の回動方向における第２アーム部１６の原点位置を検知するための原点センサ３２と、第２アーム部１６に対するハンド基部１７の回動方向におけるハンド基部１７の原点位置を検知するための原点センサ３３とを備えている。本形態の原点センサ３１は第１原点センサであり、原点センサ３２は第２原点センサであり、原点センサ３３は第３原点センサである。
【００３９】
原点センサ３１〜３３は、たとえば、近接センサである。あるいは、原点センサ３１〜３３は、たとえば、発光素子と受光素子とを有する光学式のセンサである。原点センサ３１〜３３は、制御部２７に電気的に接続されている。本体部１０と第１アーム部１５との連結部である関節部において、原点センサ３１は、本体部１０および第１アーム部１５のいずれか一方に固定され、本体部１０および第１アーム１５のいずれか他方には、第１アーム部１５が原点位置にあるときに原点センサ３１に検知される検知部材が固定されている。
【００４０】
同様に、第１アーム部１５と第２アーム部１６との連結部である関節部において、原点センサ３２は、第１アーム部１５および第２アーム部１６のいずれか一方に固定され、第１アーム部１５および第２アーム１６のいずれか他方には、第２アーム部１６が原点位置にあるときに原点センサ３２に検知される検知部材が固定されている。また、第２アーム部１６とハンド基部１７との連結部である関節部において、原点センサ３３は、第２アーム部１６およびハンド基部１７のいずれか一方に固定され、第２アーム部１６およびハンド基部１７のいずれか他方には、ハンド基部１７が原点位置にあるときに原点センサ３３に検知される検知部材が固定されている。
【００４１】
本形態では、第２アーム部１６が原点位置にあるときには、上下方向から見たときに第１アーム部１５の長手方向と第２アーム部１６の長手方向とが一致するように、第１アーム部１５と第２アーム部１６とが上下方向で重なっている。また、ハンド基部１７が原点位置にあるときには、上下方向から見たときに第２アーム部１６の長手方向とハンドフォーク１８、１９の長手方向とが直交している。
【００４２】
（産業用ロボットの補正値の算出方法）
図４は、図２に示すチャンバー６の内部の構成を説明するための拡大図である。
【００４３】
ロボット１が製造システム３に設置されると、ロボット１の動作プログラムを作成するために、ロボット１の教示作業が行われる。また、たとえば、製造システム３に設置されるロボット１が交換されたり、ロボット１のモータ２１〜２３が交換されたりすると、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対して交換後のロボット１のロボット座標系がずれるため、ロボット１の教示作業を再度行う必要が生じる。
【００４４】
一方で、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後のロボット１のロボット座標系のずれを補正すれば、煩雑な教示作業を再度行う必要がなくなる。本形態では、ロボット１を交換したり、モータ２１〜２３を交換したりした後に煩雑な教示作業を再度行わなくても良いように、製造システム３に設置されるロボット１が交換されたり、モータ２１〜２３が交換されたりすると、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後のロボット１のロボット座標系のずれを補正するための補正値を算出する。すなわち、交換後のロボット１の動作を補正するための補正値を算出する。以下、この補正値の算出方法を説明する。
【００４５】
ロボット１の動作を補正するための補正値を算出するときには、ハンドフォーク１８に検知用治具３５が搭載される。検知用治具３５は、長方形の平板状に形成されている。本形態の検知用治具３５は、基板２と同形状に形成されている。検知用治具３５は、ハンドフォーク１８の上面に取り付けられた位置決め部材によって位置決めされた状態で、２本のハンドフォーク１８に搭載される。すなわち、検知用治具３５は、ハンドフォーク１８の、基板２が搭載される箇所と同じ箇所に、基板２と同じ向きで搭載される。なお、検知用治具３５は、ハンドフォーク１９に搭載されても良い。
【００４６】
また、ロボット１の動作を補正するための補正値を算出するときには、２個のカメラ３６、３７が使用される。カメラ３６、３７は、チャンバー６の内部に設置されている。また、カメラ３６、３７は、チャンバー６の中の基板２の受渡し位置（図２においてハンドフォーク１８が配置されている位置）に配置されるハンドフォーク１８、１９の長手方向およびハンドフォーク１８、１９の長手方向に直交する方向にずれた状態で配置されている。カメラ３６、３７は、受渡し位置に配置されるハンドフォーク１８、１９の上方に設置されている。
【００４７】
長方形の平板状に形成される検知用治具３５の一方の対角線上に配置される２個の角部のそれぞれを角部３５ａ、３５ｂ（図４参照）とすると、カメラ３６は、受渡し位置に配置されたハンドフォーク１８に搭載される検知用治具３５の角部３５ａがカメラ３６の視野内に配置されるように設置され、カメラ３７は、受渡し位置に配置されたハンドフォーク１８に搭載される検知用治具３５の角部３５ｂがカメラ３７の視野内に配置されるように設置されている。
【００４８】
すなわち、検知用治具３５には、受渡し位置にハンドフォーク１８が配置されているときに、カメラ３６の視野内に配置される角部３５ａと、カメラ３７の視野内に配置される角部３５ｂとを含む４個の角部が形成されている。本形態のカメラ３６は、第１カメラであり、カメラ３７は、第２カメラである。また、本形態の角部３５ａは、第１角部であり、角部３５ｂは、第２角部である。
【００４９】
また、チャンバー６の内部には、２個の基準マーク３８、３９（図４参照）が設けられている。基準マーク３８、３９は、たとえば、図示を省略する基準マーク形成部材に形成された貫通穴である。基準マーク形成部材は、受渡し位置に配置されるハンドフォーク１８、１９の下方に設置されており、基準マーク３８、３９は、ハンドフォーク１８、１９の下方に配置されている。基準マーク３８は、カメラ３６の視野内に配置されており、カメラ３６に撮影される。基準マーク３９は、カメラ３７の視野内に配置されており、カメラ３７に撮影される。
【００５０】
上下方向から見たときに、基準マーク３８は、受渡し位置に配置されたハンドフォーク１８に搭載される検知用治具３５の角部３５ａとずれた位置に配置されている。また、上下方向から見たときに、基準マーク３９は、受渡し位置に配置されたハンドフォーク１８に搭載される検知用治具３５の角部３５ｂとずれた位置に配置されている。本形態の基準マーク３８は、第１基準マークであり、基準マーク３９は、第２基準マークである。
【００５１】
たとえば、製造システム３に設置されるロボット１が交換されると、２本のハンドフォーク１８に検知用治具３５を搭載する（治具搭載工程）。検知用治具３５は、ハンドフォーク１８の上面に取り付けられた位置決め部材によって位置決めされた状態で、２本のハンドフォーク１８に搭載される。また、ロボット１を動作させてロボット１を所定の基準姿勢にする（ロボット動作工程）。
【００５２】
ロボット動作工程では、原点センサ３１の検知結果に基づいてまたは原点センサ３１の検知結果とエンコーダ２４の検知結果とに基づいてモータ２１を駆動制御し、原点センサ３２の検知結果に基づいてまたは原点センサ３２の検知結果とエンコーダ２５の検知結果とに基づいてモータ２２を駆動制御するとともに、原点センサ３３の検知結果に基づいてまたは原点センサ３３の検知結果とエンコーダ２６の検知結果とに基づいてモータ２３を駆動制御して、ロボット１を基準姿勢にする。具体的には、ロボット動作工程において、モータ２１〜２３を駆動制御して、ロボット１を仮の動作開始位置まで動作させる。
【００５３】
その後（すなわち、治具搭載工程およびロボット動作工程後に）、ロボット１を動作させて基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８を移動させる（ハンド移動工程）。具体的には、アーム９を伸ばして、チャンバー６の中の基板２の受渡し位置（図４の実線で示す位置）にハンドフォーク１８を移動させる。
【００５４】
その後、カメラ３６、３７によって、検知用治具３５の角部３５ａ、３５ｂの座標を特定する（座標特定工程）。すなわち、カメラ３６によって検知用治具３５の角部３５ａの座標を特定し、カメラ３７によって検知用治具３５の角部３５ｂの座標を特定する。本形態では、基準マーク３８の座標を基準にして角部３５ａの座標が特定されている。また、基準マーク３９の座標を基準にして角部３５ｂの座標が特定されている。
【００５５】
なお、本形態では、ハンドフォーク１８に検知用治具３５が搭載された交換前のロボット１を動作させてチャンバー６の中の基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８を移動させたとき（図４の二点鎖線参照）の、検知用治具３５の角部３５ａの座標と角部３５ｂの座標とが予め特定されて記憶されている。交換前のロボット１において角部３５ａ、３５ｂの座標を特定するときにも、基準マーク３８の座標を基準にして角部３５ａの座標が特定され、基準マーク３９の座標を基準にして角部３５ｂの座標が特定されている。
【００５６】
その後、座標特定工程で特定された角部３５ａの座標と角部３５ｂの座標とに基づいて、モータ２１を制御するためのエンコーダ２４の補正値、モータ２２を制御するためのエンコーダ２５の補正値およびモータ２３を制御するためのエンコーダ２６の補正値を算出する（補正値算出工程）。
【００５７】
具体的には、補正値算出工程では、まず、座標特定工程で特定された角部３５ａの座標と角部３５ｂの座標とに基づいて特定される角部３５ａと角部３５ｂとを結ぶ線分の中点の座標と、交換前のロボット１において予め特定されて記憶された角部３５ａの座標と角部３５ｂの座標とに基づいて特定される角部３５ａと角部３５ｂとを結ぶ線分の中点の座標とのずれに基づいて、交換前のロボット１の座標系と交換後のロボット１の座標系との水平方向（ＸＹ方向）のずれを求める。
【００５８】
また、座標特定工程で特定された角部３５ａの座標と角部３５ｂの座標とに基づいて特定される角部３５ａと角部３５ｂとを結ぶ直線と、交換前のロボット１において予め特定されて記憶された角部３５ａの座標と角部３５ｂの座標とに基づいて特定される角部３５ａと角部３５ｂとを結ぶ直線とがなす角度に基づいて、交換前のロボット１の座標系と交換後のロボット１の座標系との、鉛直方向を回動の軸方向とする回動方向（θ方向）のずれを求める。
【００５９】
また、補正値算出工程では、交換前のロボット１の座標系と交換後のロボット１の座標系とのＸＹ方向およびθ方向のずれ（ＸＹθ方向のずれ）に基づく所定の演算を行って、エンコーダ２４〜２６の補正値を算出する。その後、補正値算出工程で算出された補正値を反映させてモータ２１〜２３を駆動制御して、ロボット１を正規の動作開始位置に戻す。
【００６０】
なお、本形態では、ロボット１の動作開始位置とロボット１のホームポジションとが一致しているが、ロボット１の動作開始位置とロボット１のホームポジションとがずれていても良い。また、本形態では、ロボット１が動作開始位置まで動作して所定の基準姿勢となっているときには、第１アーム部１５、第２アーム部１６およびハンド基部１７は、原点位置にある。また、本形態では、カメラ３６、３７および基準マーク３８、３９は、チャンバー６の受渡し位置に配置されたハンドフォーク１８、１９に搭載される基板２の位置確認にも使用されている。
【００６１】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ハンド移動工程後の座標特定工程において、カメラ３６、３７によって、検知用治具３５の角部３５ａ、３５ｂの座標を特定している。また、本形態では、補正値算出工程において、座標特定工程で特定された角部３５ａ、３５ｂの座標と、交換前のロボット１において予め特定されて記憶された角部３５ａ、３５ｂの座標とに基づいて、交換前のロボット１の座標系と交換後のロボット１の座標系とのＸＹθ方向のずれ求めるとともに、求めたＸＹθ方向のずれに基づく所定の演算を行って、エンコーダ２４〜２６の補正値を算出している。
【００６２】
そのため、本形態では、ロボット１が交換されたり、ロボット１のモータ２１〜２３が交換されたりしても、補正値算出工程で算出された補正値に基づいて、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後のロボット１のロボット座標系のずれを補正することが可能になる。また、本形態では、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後のロボット１のロボット座標系のずれを補正することで、ロボット１が交換されたり、モータ２１〜２３が交換されたりしても、ロボット１の再教示作業を不要とすることができる。
【００６３】
本形態では、カメラ３６とカメラ３７とが、受渡し位置に配置されるハンドフォーク１８の長手方向およびハンドフォーク１８の長手方向に直交する方向にずれた状態で配置されている。そのため、本形態では、カメラ３６とカメラ３７とがハンドフォーク１８の長手方向にのみずれている場合や、ハンドフォーク１８の長手方向に直交する方向にのみずれている場合と比較して、座標特定工程で特定された角部３５ａ、３５ｂの座標に基づいて、交換前のロボット１の座標系と交換後のロボット１の座標系とのＸ方向、Ｙ方向およびθ方向の全てのずれを精度良く求めることが可能になる。したがって、本形態では、補正値算出工程において補正値を精度良く算出することが可能になる。
【００６４】
本形態では、チャンバー６の内部に基準マーク３８、３９が設けられており、基準マーク３８の座標を基準にして角部３５ａの座標が特定され、基準マーク３９の座標を基準にして角部３５ｂの座標が特定されている。そのため、本形態では、たとえば、カメラ３６、３７が交換されたときや、何らかの原因でカメラ３６、３７の位置がずれたときに、カメラ３６、３７の位置調整を行わなくても、基準マーク３８を基準にして角部３５ａの座標を精度良く特定することが可能になるとともに、基準マーク３９を基準にして角部３５ｂの座標を精度良く特定することが可能になる。
【００６５】
本形態では、カメラ３６、３７および基準マーク３８、３９は、チャンバー６の受渡し位置に配置されたハンドフォーク１８、１９に搭載される基板２の位置確認にも使用されている。そのため、本形態では、チャンバー６の受渡し位置に配置されたハンドフォーク１８、１９に搭載される基板２の位置確認を行うためのカメラや基準マークをチャンバー６に別途設ける必要がない。したがって、本形態では、チャンバー６の構成を簡素化することが可能になる。
【００６６】
本形態では、カメラ３６、３７は、供給用のチャンバーであるチャンバー６の内部に設置されている。プロセスチャンバーであるチャンバー５の内部には、比較的多くの機器が設置されるのに対して、供給用のチャンバーであるチャンバー６の内部に設置される機器は多くない。そのため、本形態では、チャンバー５の内部にカメラ３６、３７が設置されている場合と比較して、カメラ３６、３７を設置しやすくなる。
【００６７】
また、本形態では、カメラ３６、３７がチャンバー６の内部に設置されており、チャンバー６において特定された角部３５ａ、３５ｂの座標に基づいて補正値が算出されるとともに、算出された補正値に基づいて、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後のロボット１のロボット座標系のずれが補正されている。そのため、本形態では、ロボット１が交換されたり、モータ２１〜２３が交換されたりしても、製造システム３に供給される基板２をチャンバー６においてハンドフォーク１８、１９に精度良く搭載することが可能になる。したがって、本形態では、ロボット１が交換されたり、モータ２１〜２３が交換されたりした後であっても、チャンバー５に対して基板２を精度良く搬送することが可能になる。
【００６８】
（補正値算出方法の変形例）
図５は、本発明の他の実施の形態にかかるロボット１の補正値算出方法を説明するための図である。
【００６９】
上述した形態において、カメラ３６、３７に代えて、チャンバー６の内部に３個のセンサ４１〜４３が配置されていても良い。センサ４１〜４３は、たとえば、近接センサまたは光学式センサである。センサ４１〜４３は、チャンバー６の中の基板２の受渡し位置に配置されるハンドフォーク１８、１９の長手方向およびハンドフォーク１８、１９の長手方向に直交する方向の少なくともいずれか一方に互いにずれた状態で配置されている。たとえば、センサ４１〜４３は、チャンバー６の中の基板２の受渡し位置に配置されるハンドフォーク１８、１９の長手方向およびハンドフォーク１８、１９の長手方向に直交する方向に互いにずれた状態で配置されている。なお、この場合には、基準マーク３８、３９は不要になる。
【００７０】
センサ４１は、長方形の平板状に形成される検知用治具３５の短手方向の一方のエッジ（端面）を検知可能な位置に配置され、センサ４２は、検知用治具３５の短手方向の他方のエッジ（端面）を検知可能な位置に配置されている。また、センサ４１は、検知用治具３５の長手方向の一端側（ハンドフォーク１８、１９の基端側）に配置され、センサ４２は、検知用治具３５の長手方向の他端側（ハンドフォーク１８、１９の先端側）に配置されている。センサ４３は、検知用治具３５の長手方向のエッジ（端面）であって、ハンドフォーク１８、１９の先端側に配置される検知用治具３５のエッジを検知可能な位置に配置されている。
【００７１】
この変形例では、ハンド移動工程後の座標特定工程において、３個のセンサ４１〜４３のそれぞれによって検知用治具３５のエッジが検知されるまでロボット１を動作させるとともに、３個のセンサ４１〜４３のそれぞれによって検知用治具３５のエッジが検知されたときのロボット１の座標を特定する。
【００７２】
たとえば、ハンド移動工程において、図５（Ａ）に示す位置にハンドフォーク１８が移動すると、座標特定工程において、図５（Ｂ）に示すように、センサ４１によって検知用治具３５のエッジが検知されるまでロボット１を動作させるとともに、センサ４１によって検知用治具３５のエッジが検知されたときのロボット１の座標を特定する。また、座標特定工程において、図５（Ｃ）に示すように、センサ４２によって検知用治具３５のエッジが検知されるまでロボット１を動作させるとともに、センサ４２によって検知用治具３５のエッジが検知されたときのロボット１の座標を特定し、図５（Ｄ）に示すように、センサ４３によって検知用治具３５のエッジが検知されるまでロボット１を動作させるとともに、センサ４３によって検知用治具３５のエッジが検知されたときのロボット１の座標を特定する。
【００７３】
また、その後の補正値算出工程において、座標特定工程で特定されたロボット１の座標に基づいて、エンコーダ２４〜２５の補正値を算出する。この変形例では、交換前のロボット１のハンドフォーク１８に搭載された検知用治具３５のエッジが３個のセンサ４１〜４３のそれぞれによって検知されるときのロボット１の座標が予め特定されて記憶されている。補正値算出工程では、座標特定工程で特定されたロボット１の座標と、交換前のロボット１において予め特定されて記憶されたロボット１の座標とに基づいて、交換前のロボット１の座標系と交換後のロボット１の座標系とのＸＹθ方向のずれを求める。また、補正値算出工程では、交換前のロボット１の座標系と交換後のロボット１の座標系とのＸＹθ方向のずれに基づく所定の演算を行って、エンコーダ２４〜２６の補正値を算出する。
【００７４】
この変形例では、補正値算出工程において、座標特定工程で特定されたロボット１の座標と、交換前のロボット１において予め特定されて記憶されたロボット１の座標とに基づいて、交換前のロボット１の座標系と交換後のロボット１の座標系とのＸＹθ方向のずれを求めるとともに、求めたＸＹθ方向のずれに基づく所定の演算を行って、エンコーダ２４〜２６の補正値を算出している。
【００７５】
そのため、この変形例でも、上述した形態と同様に、ロボット１が交換されたり、ロボット１のモータ２１〜２３が交換されたりしても、補正値算出工程で算出された補正値に基づいて、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後のロボット１のロボット座標系のずれを補正することが可能になる。また、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後のロボット１のロボット座標系のずれを補正することで、ロボット１が交換されたり、モータ２１〜２３が交換されたりしても、ロボット１の再教示作業を不要とすることができる。また、この変形例では、カメラ３６、３７に比べて安価なセンサ４１〜４３を使用しているため、低コストで補正値を算出することが可能になる。
【００７６】
なお、センサ４１〜４３は、ロボット１の補正値の算出が終わってチャンバー６の中で実際に基板２の受渡しを行うときに、ハンドフォーク１８、１９および基板２等と、センサ４１〜４３とが干渉しないように、チャンバー６の中の基板２の受渡し位置と上下方向でずれた位置に配置されている。
【００７７】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００７８】
上述した形態において、カメラ３６、３７は、チャンバー６の中の基板２の受渡し位置に配置されるハンドフォーク１８、１９の長手方向にのみずれた状態で配置されていても良い。この場合には、図４に示すように、検知用治具３５の、角部３５ａ、３５ｂを除いた２個の角部のそれぞれを角部３５ｃ、３５ｄとすると、カメラ３６は、角部３５ａがカメラ３６の視野内に配置されるように設置され、カメラ３７は、角部３５ｃがカメラ３７の視野内に配置されるように設置されている。あるいは、カメラ３６は、角部３５ｄがカメラ３６の視野内に配置されるように設置され、カメラ３７は、角部３５ｂがカメラ３７の視野内に配置されるように設置されている。
【００７９】
また、カメラ３６、３７は、チャンバー６の中の基板２の受渡し位置に配置されるハンドフォーク１８、１９の長手方向に直交する方向にのみずれた状態で配置されていても良い。この場合には、カメラ３６は、角部３５ａがカメラ３６の視野内に配置されるように設置され、カメラ３７は、角部３５ｄがカメラ３７の視野内に配置されるように設置されている。あるいは、カメラ３６は、角部３５ｃがカメラ３６の視野内に配置されるように設置され、カメラ３７は、角部３５ｂがカメラ３７の視野内に配置されるように設置されている。
【００８０】
上述した形態において、カメラ３６、３７は、チャンバー７の内部に設置されていても良い。この場合であっても、排出用のチャンバーであるチャンバー７の内部に設置される機器は多くないため、チャンバー５の内部にカメラ３６、３７が設置されている場合と比較して、カメラ３６、３７を設置しやすくなる。
【００８１】
また、上述した形態において、カメラ３６、３７は、チャンバー５の内部に配置されていても良い。ただし、この場合には、カメラ３６、３７が配置しにくくなる。また、チャンバー５の中で基板２に対して所定の処理を行う際の温度環境等の安定性を考慮して、一般に、チャンバー５の中の基板２の受渡し位置は、チャンバー６、７の中の基板２の受渡し位置によりも奥になる。そのため、チャンバー６、７の中の基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８、１９が移動したときよりも、チャンバー５の中の基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８、１９が移動したときの方が、アーム９が伸びた状態となる。したがって、カメラ３６、３７は、チャンバー５の内部に配置されている場合には、補正値算出工程において、ハンドフォーク１８、１９の長手方向のずれを精度良く求めにくくなる。
【００８２】
上述した形態において、ロボット１は、原点センサ３１〜３３を備えていなくも良い。この場合には、所定の治具を用いて、第１アーム部１５、第２アーム部１６およびハンド基部１７を原点位置に合わせれば良い。また、この場合には、ロボット動作工程において、エンコーダ２４〜２６の検知結果に基づいてモータ２１〜２３を駆動制御して、ロボット１を基準姿勢にする。
【００８３】
上述した形態において、基準マーク３８、３９は、貫通穴でなくても良い。たとえば、基準マーク３８、３９は、基準マーク形成部材に形成された突起であっても良い。また、上述した形態において、チャンバー６の内部に、基準マーク３８、３９が設けられていなくても良い。この場合には、たとえば、カメラ３６、３７の内部で記憶されている原点位置を基準にして角部３５ａ、３５ｂの座標が特定される。
【００８４】
上述した形態において、検知用治具３５は、長方形以外の平板状に形成されていても良い。また、上述した形態において、ハンド８は、ハンドフォーク１９を備えていなくても良い。さらに、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は有機ＥＬディスプレイ用の基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、半導体ウエハ等であっても良い。すなわち、ロボット１は、有機ＥＬディスプレイの製造システム３以外の製造システムに組み込まれても良いし、製造システム以外の所定の処理システムに組み込まれても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、大気圧となっている空間の中に配置されていても良い。
【符号の説明】
【００８５】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  基板（搬送対象物）
３  製造システム（処理システム）
５  チャンバー（処理部）
６  チャンバー（供給部）
７  チャンバー（排出部）
８  ハンド
９  アーム
１０  本体部
１５  第１アーム部
１６  第２アーム部
１７  ハンド基部
１８  ハンドフォーク
２１  モータ（第１モータ）
２２  モータ（第２モータ）
２３  モータ（第３モータ）
２４  エンコーダ（第１エンコーダ）
２５  エンコーダ（第２エンコーダ）
２６  エンコーダ（第３エンコーダ）
３１  原点センサ（第１原点センサ）
３２  原点センサ（第２原点センサ）
３３  原点センサ（第３原点センサ）
３５  検知用治具
３５ａ  角部（第１角部）
３５ｂ  角部（第２角部）
３６  カメラ（第１カメラ）
３７  カメラ（第２カメラ）
３８  基準マーク（第１基準マーク）
３９  基準マーク（第２基準マーク）
４１〜４３  センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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