(57)【要約】【課題】吸着対象物の吸着を迅速に解除させる。【解決手段】吸着パッド２０は、中空のパッド本体３２と、パッド本体３２に設けられ、パッド本体３２の内部に気体を供給するための吸気孔４０と、パッド本体３２において吸着対象物Ｗと対向する側の底壁部３２ａに設けられ、吸気孔４０から流入する気体を噴出することで底壁部３２ａと吸着対象物Ｗとの間に負圧を発生させるための負圧発生孔４２と、底壁部３２ａに設けられ、負圧を破壊するための負圧破壊孔４４と、負圧破壊孔４４を塞ぐ蓋部３４と、吸着対象物Ｗの吸着を解除するときに、負圧破壊孔４４が開くように蓋部３４を移動させる駆動部３６と、を備える。【選択図】図２
2019141948.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空のパッド本体と、
前記パッド本体に設けられ、前記パッド本体の内部に気体を供給するための吸気孔と、
前記パッド本体において吸着対象物と対向する側の底壁部に設けられ、前記吸気孔から流入する前記気体を噴出することで前記底壁部と前記吸着対象物との間に負圧を発生させるための負圧発生孔と、
前記底壁部に設けられ、前記負圧を破壊するための負圧破壊孔と、
前記負圧破壊孔を塞ぐ蓋部と、
前記吸着対象物の吸着を解除するときに、前記負圧破壊孔が開くように前記蓋部を移動させる駆動部と、
を備える吸着パッド。
【請求項２】
請求項１に記載の吸着パッドであって、
前記負圧破壊孔における最小の断面積は、前記負圧発生孔の断面積よりも大きい、吸着パッド。
【請求項３】
請求項１または２に記載の吸着パッドであって、
前記駆動部は、前記底壁部から離間する方向に沿って前記蓋部を移動させる、吸着パッド。
【請求項４】
請求項１または２に記載の吸着パッドであって、
前記駆動部は、前記底壁部に沿って前記蓋部を移動させる、吸着パッド。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の吸着パッドであって、
前記蓋部は、複数の可動片を有し、
前記駆動部は、前記複数の可動片が互いに分割して前記負圧破壊孔が開くように前記複数の可動片を移動させる、吸着パッド。
【請求項６】
請求項１または２に記載の吸着パッドであって、
前記蓋部は、複数の可動片を有し、
前記駆動部は、前記底壁部に沿って、前記複数の可動片が互いに分割して前記負圧破壊孔が開くように前記複数の可動片を所定の位置まで移動させ、
前記所定の位置まで移動された前記複数の可動片は、前記負圧発生孔の少なくとも一部を塞ぐ、吸着パッド。
【請求項７】
請求項６に記載の吸着パッドであって、
前記負圧発生孔は、前記負圧破壊孔の周囲に複数有し、
複数の前記負圧発生孔は、複数の前記可動片に塞がれる、吸着パッド。
【請求項８】
吸着対象物の吸着を解除する吸着パッドの吸着解除方法であって、
前記吸着パッドは、
中空のパッド本体と、
前記パッド本体に設けられ、前記パッド本体の内部に気体を供給するための吸気孔と、
前記パッド本体において前記吸着対象物と対向する側の底壁部に設けられ、前記吸気孔から流入する前記気体を噴出することで前記底壁部と前記吸着対象物との間に負圧を発生させるための負圧発生孔と、
前記底壁部に設けられ、前記負圧を破壊するための負圧破壊孔と、
前記負圧破壊孔を塞ぐ蓋部と、
を有し、
前記吸着対象物の吸着を解除するときに、前記負圧破壊孔が開くように前記蓋部を移動させる、吸着パッドの吸着解除方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着対象物を負圧により吸着し、その負圧を破壊することで吸着パッドの吸着を解除する吸着パッドおよび吸着パッドの吸着解除方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１には、吸着パッドの下部に環状のベルヌーイ噴出部を有し、ベルヌーイ噴出部の内側に負圧を形成し、その負圧の周囲に正圧を形成して吸着パッドの下部との間に隙間を開けて板状の吸着対象物を吸着する吸着パッドが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２３４００９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、吸着対象物の吸着を解除する場合、吸着対象物が重いほど、吸着パッドの下部と吸着対象物との間に形成された負圧が破壊されて大気圧に戻るまでの間に、自重により吸着パッドから吸着対象物が速やかに離れ易い。これに対し、吸着対象物が軽いほど吸着パッドから吸着対象物が離れるまでの時間が長くなる傾向にある。したがって、吸着対象物の吸着を迅速に解除させることが要請されている。
【０００５】
そこで、本発明は、吸着対象物の吸着を迅速に解除させ得る吸着パッドおよび吸着パッドの吸着解除方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様は、吸着パッドであって、中空のパッド本体と、前記パッド本体に設けられ、前記パッド本体の内部に気体を供給するための吸気孔と、前記パッド本体において吸着対象物と対向する側の底壁部に設けられ、前記吸気孔から流入する前記気体を噴出することで前記底壁部と前記吸着対象物との間に負圧を発生させるための負圧発生孔と、
前記底壁部に設けられ、前記負圧を破壊するための負圧破壊孔と、前記負圧破壊孔を塞ぐ蓋部と、前記吸着対象物の吸着を解除するときに、前記負圧破壊孔が開くように前記蓋部を移動させる駆動部と、を備える。
【０００７】
本発明の第２の態様は、吸着対象物の吸着を解除する吸着パッドの吸着解除方法であって、前記吸着パッドは、中空のパッド本体と、前記パッド本体に設けられ、前記パッド本体の内部に気体を供給するための吸気孔と、前記パッド本体において前記吸着対象物と対向する側の底壁部に設けられ、前記吸気孔から流入する前記気体を噴出することで前記底壁部と前記吸着対象物との間に負圧を発生させるための負圧発生孔と、前記底壁部に設けられ、前記負圧を破壊するための負圧破壊孔と、前記負圧破壊孔を塞ぐ蓋部と、を有し、前記吸着対象物の吸着を解除するときに、前記負圧破壊孔が開くように前記蓋部を移動させる。
【発明の効果】
【０００８】
上記の第１および第２の態様では、負圧破壊孔が開くと、パッド本体の内部の空気が負圧破壊孔から外部に流れ込むことで、パッド本体の底壁部と吸着対象物との間に発生していた負圧が破壊される。したがって、単に、負圧発生孔からの気体の噴出を停止するだけの場合に比べて、吸着対象物の吸着を迅速に解除させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】パラレルリンクロボットの概略構成を示す図である。
【図２】図１の吸着パッドを示す断面図である。
【図３】図１の吸着パッドの底面側を正面視した図である。
【図４】図１の吸着パッドの負圧発生の様子を示す断面図である。
【図５】図１の吸着パッドの負圧破壊の様子を示す断面図である。
【図６】変形例１の吸着パッドを示す断面図である。
【図７】変形例２の吸着パッドを示す断面図である。
【図８】変形例２の吸着パッドの底面側を正面視した図である。
【図９】負圧を解除するときの可動片の様子を図８と同じ視点で示す図である。
【図１０】変形例３の吸着パッドを示す断面図である。
【図１１】変形例４の吸着パッドの底面側を正面視した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明に係る吸着パッドについて、好適な実施の形態を掲げ、添付の図面を参照しながら以下、詳細に説明する。
【００１１】
〔実施の形態〕
図１は、パラレルリンクロボット１０の概略構成を示す図である。パラレルリンクロボット１０は、基礎部１２と、基礎部１２から離隔して配置された可動部１４と、基礎部１２および可動部１４を連結する複数のリンク部１６とを有する。なお、本実施の形態では、可動部１４は、基礎部１２から下方向に離隔しているものとする。下方向は、重力が働く方向である。
【００１２】
複数のリンク部１６の各々は、基礎部１２に対して１自由度を有する構造である。本実施の形態では、複数のリンク部１６は、第１のリンク部１６ａと第２のリンク部１６ｂと第３のリンク部１６ｃとの３つとする。第１のリンク部１６ａと第２のリンク部１６ｂと第３のリンク部１６ｃとは互いに同様の構造であるため、第２のリンク部１６ｂおよび第３のリンク部１６ｃの説明は省略する。
【００１３】
第１のリンク部１６ａは、駆動リンク２２と、互いに平行な状態で上下方向に延びる一対の受動リンク２４とを有する。駆動リンク２２は、基礎部１２から外側に向かって延びており、図示しないアクチュエータに接続されている。なお、アクチュエータは、基礎部１２に設けられる。
【００１４】
各々の受動リンク２４の上側の端部は、ボールジョイント２６により駆動リンク２２に連結されており、各々の受動リンク２４の下側の端部は、他のボールジョイント２８により可動部１４に連結されている。
【００１５】
また、パラレルリンクロボット１０は、コンプレッサー１８および吸着パッド２０を有する。コンプレッサー１８は、気体を圧縮し、圧縮した気体を送り出すものである。このコンプレッサー１８は、例えば、基礎部１２に設けられており、コンプレッサー１８と吸着パッド２０とはチューブＴで接続される。コンプレッサー１８が送り出した気体はチューブＴを介して吸着パッド２０に供給される。
【００１６】
吸着パッド２０は、吸着対象物Ｗを負圧により吸着し、その負圧を破壊して吸着対象物Ｗの吸着を解除するものである。吸着対象物Ｗとしては、例えば、せんべい、天ぷらなどが挙げられる。
【００１７】
この吸着パッド２０は、可動部１４の底部位に連結ユニット３０を介して吸着パッド２０が交換可能に取り付けられる。可動部１４の底部位は、可動部１４において基礎部１２側とは反対側の部位である。
【００１８】
連結ユニット３０は、可動部１４と吸着パッド２０とを連結するユニットであり、可動部１４の底部位から延びる回転軸Ａｘに取り付けられる。この連結ユニット３０は、可動部１４の回転軸Ａｘから取り外すことができる。なお、連結ユニット３０はなくてもよい。連結ユニット３０がない場合、吸着パッド２０は、可動部１４の回転軸Ａｘに固定されることで取り付けられる。
【００１９】
パラレルリンクロボット１０は、第１〜第３のリンク部１６ａ〜１６ｃにおける駆動リンク２２に接続されたアクチュエータを個別に制御することで、当該第１〜第３のリンク部１６ａ〜１６ｃに連結された可動部１４を３自由度で所望の位置に配置する。
【００２０】
パラレルリンクロボット１０は、吸着対象物Ｗを吸着する場合には、コンプレッサー１８を駆動して吸着パッド２０に気体を供給する。この場合、吸着パッド２０は、コンプレッサー１８から供給される気体を噴出することで吸着対象物Ｗとの間に負圧を発生させる。これにより、吸着対象物Ｗが吸着パッド２０に吸着する。
【００２１】
一方、吸着パッド２０は、吸着対象物Ｗの吸着を解除する場合には、吸着対象物Ｗとの間に生じる負圧を破壊する。これにより、吸着対象物Ｗの吸着が解除され、吸着対象物Ｗが吸着パッド２０から離れる。なお、負圧を破壊するときに、コンプレッサー１８から吸着パッド２０に気体が供給されていてもよく、供給されていなくてもよい。
【００２２】
図２は、吸着パッド２０を示す断面図である。図３は、吸着パッド２０の底面側を正面視した図である。なお、図２は、図３のＩＩ−ＩＩを通る断面を示している。吸着パッド２０は、パッド本体３２、蓋部３４、駆動部３６および駆動制御部３８を有する。
【００２３】
パッド本体３２は、中空の箱体である。本実施の形態では、パッド本体３２の形状は、中空の円柱形状とする。このパッド本体３２には、吸気孔４０、負圧発生孔４２、負圧破壊孔４４および枠部４６が設けられる。
【００２４】
吸気孔４０は、パッド本体３２の内部に気体を供給するための孔であり、パッド本体３２の底壁部３２ａとは反対側の頂壁部３２ｂに設けられる。パッド本体３２の底壁部３２ａは、パッド本体３２においての吸着対象物Ｗと対向する側の壁部である。
【００２５】
吸気孔４０には、コンプレッサー１８（図１）に一端側が接続されるチューブＴ（図１）の他端側が接続される。コンプレッサー１８（図１）からチューブＴ（図１）を介して供給される気体は、吸気孔４０からパッド本体３２の内部に流入する。
【００２６】
負圧発生孔４２は、吸気孔４０から流入する気体を噴出することで底壁部３２ａと吸着対象物Ｗとの間に負圧を発生させるための孔であり、底壁部３２ａに設けられる。本実施の形態の負圧発生孔４２は、負圧破壊孔４４の周囲に複数設けられている。
【００２７】
複数の負圧発生孔４２は、同程度の間隔をあけて負圧破壊孔４４の周囲に配置される。各々の負圧発生孔４２は、互いに概ね同形同大であり、パッド本体３２の内部から外部に向かうほど、底壁部３２ａの周縁側に近づくように傾斜している。つまり、各々の負圧発生孔４２は、下方向に向かうほど底壁部３２ａの周縁側に広がるように傾斜している。したがって、負圧発生孔４２から噴出する気体に乱流が生じ難く、負圧効果が増し易い。この結果、吸着対象物Ｗを安定して保持することができる。
【００２８】
なお、負圧発生孔４２が設けられる底壁部３２ａとは反対側の頂壁部３２ｂに吸気孔４０が配置されているが、底壁部３２ａあるいは側壁部３２ｃに吸気孔４０が設けられていてもよい。ただし、パッド本体３２の内部に流入する気体を負圧発生孔４２に導き易くするためには、頂壁部３２ｂに吸気孔４０が設けられていることが好ましい。
【００２９】
負圧破壊孔４４は、負圧を破壊するための孔であり、底壁部３２ａに設けられる。本実施の形態の負圧破壊孔４４は、底壁部３２ａの中央に配置されており、負圧破壊孔４４における最小の断面積は、負圧発生孔４２の断面積よりも大きい。
【００３０】
負圧破壊孔４４における最小の断面積は、負圧破壊孔４４のなかで最も狭い部分の断面積である。なお、負圧破壊孔４４が例えば円柱状の孔である場合には断面積は変化せず１つとなるが、その１つの断面積が最小の断面積である。また、本実施の形態の負圧発生孔４２のように、負圧発生孔４２の数が複数である場合、負圧破壊孔４４における最小の断面積は、各々の負圧発生孔４２の断面積の合計値よりも大きくされる。
【００３１】
枠部４６は、吸着状態にある吸着対象物Ｗが底壁部３２ａに沿った方向に滑ることを抑制するものであり、底壁部３２ａの周縁から下方向に沿って概ね真っ直ぐ延びている。なお、枠部４６はなくてもよい。
【００３２】
蓋部３４は、負圧破壊孔４４を塞ぐものである。本実施の形態の蓋部３４は、金属製であり、パッド本体３２の内部に配置され、自重により底壁部３２ａを下方向に押し付けて負圧破壊孔４４を塞いでいる。また、本実施の形態の蓋部３４は、上側におおむね真っ直ぐに延びる突起３４ａを有している。
【００３３】
駆動部３６は、吸着対象物Ｗの吸着を解除するときに、負圧破壊孔４４が開くように蓋部３４を移動させるものである。本実施の形態の駆動部３６は、電磁石であり、吸着対象物Ｗの吸着を解除するときに通電されることで磁力を発生する。これにより、駆動部３６は、底壁部３２ａから離れる方向（上方向）に沿って蓋部３４を移動させる。この結果、蓋部３４が塞いでいた負圧破壊孔４４が開く。
【００３４】
なお、開いた状態にある負圧破壊孔４４を再び塞ぐ場合、駆動部３６（電磁石）では通電が遮断される。これにより、駆動部３６（電磁石）の磁力が消失し、蓋部３４は、自重により底壁部３２ａに近づく方向（下方向）に沿って移動する。この結果、負圧破壊孔４４が蓋部３４によって塞がれる。なお、本実施の形態の駆動部３６（電磁石）は、環状であり、環内に蓋部３４の突起３４ａが挿通されることで蓋部３４を支えている。
【００３５】
駆動制御部３８は、駆動部３６を制御するものである。本実施の形態の駆動制御部３８には、吸着対象物Ｗの吸着を解除するときに、パラレルリンクロボット１０（図１）から駆動指令が与えられる。駆動制御部３８は、この駆動指令を受けると、駆動部３６（電磁石）を通電する。
【００３６】
なお、吸着対象物Ｗの吸着を解除するとき以外は、パラレルリンクロボット１０（図１）から駆動制御部３８に駆動指令が与えられない。したがって、駆動制御部３８は、吸着対象物Ｗの吸着を解除するとき以外には駆動部３６（電磁石）を通電しない。
【００３７】
次に、吸着対象物Ｗを吸着する吸着パッド２０の動作を説明する。図４は、吸着パッド２０の負圧発生の様子を示す断面図である。吸着対象物Ｗを吸着するときには、コンプレッサー１８（図１）からチューブＴ（図１）を介して、吸着パッド２０におけるパッド本体３２の内部に気体が流入する。吸着パッド２０は、パッド本体３２の内部に流入した気体を負圧発生孔４２から噴出する。
【００３８】
負圧発生孔４２から気体が噴出すると、その噴出した気体は底壁部３２ａと吸着対象物Ｗとの隙間から大気に放出される。このとき、底壁部３２ａと吸着対象物Ｗとの間の空気が外周方向に引っ張られることで負圧破壊孔４４の下部に負圧が発生する。この負圧によって、吸着対象物Ｗは、底壁部３２ａと非接触の状態で吸着され保持される。なお、吸着対象物Ｗと底壁部３２ａとは接触していてもよい。
【００３９】
このように吸着パッド２０は、パッド本体３２の内部に流入した気体を負圧発生孔４２から噴出することで発生する負圧により吸着対象物Ｗを吸着する。
【００４０】
なお、吸着対象物Ｗを吸着するときには、パラレルリンクロボット１０（図１）から駆動制御部３８には駆動指令が与えられないため、駆動制御部３８によって駆動部３６（電磁石）に通電されることはない。したがって、吸着対象物Ｗを吸着するときに、吸着パッド２０の蓋部３４は、自重により底壁部３２ａを下方向に押し付けて負圧破壊孔４４を塞いでいる。このため、負圧破壊孔４４の下部に発生している負圧に影響はない。
【００４１】
次に、吸着対象物Ｗの吸着を解除する吸着パッド２０の動作を説明する。図５は、吸着パッド２０の負圧破壊の様子を示す断面図である。吸着対象物Ｗの吸着を解除するときに、パラレルリンクロボット１０（図１）から駆動制御部３８に駆動指令が与えられる。この駆動指令が与えられることで駆動制御部３８が駆動部３６（電磁石）を通電する。
【００４２】
駆動部３６（電磁石）が通電されると、駆動部３６（電磁石）が磁力を発生することで蓋部３４が底壁部３２ａから離れる方向（上方向）に沿って駆動部３６（電磁石）に移動する。これにより、負圧破壊孔４４が開く。この負圧破壊孔４４における最小の断面積は、上記のように、負圧発生孔４２の断面積よりも大きい。したがって、負圧破壊孔４４が開くと、パッド本体３２の内部の空気が負圧破壊孔４４から外部に流れ込む。これにより、負圧破壊孔４４の下部に発生していた負圧が破壊される。
【００４３】
このように吸着パッド２０は、吸着対象物Ｗの吸着を解除するときに負圧破壊孔４４を開けることで、単に、負圧発生孔４２からの気体の噴出を停止するだけの場合に比べて、吸着対象物Ｗの吸着を迅速に解除させることができる。
【００４４】
〔変形例〕
以上、本発明の一例として上記実施の形態が説明されたが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることはもちろんである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００４５】
なお、変更または改良を加えた形態の一部は変形例として以下に説明する。ただし、上記実施の形態において説明した構成と同等の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００４６】
［変形例１］
図６は、変形例１の吸着パッド２０を示す断面図である。変形例１の吸着パッド２０は、底壁部３２ａに押し付けるように蓋部３４を付勢する付勢部５０を新たに備える点で、上記実施の形態の吸着パッド２０とは異なる。
【００４７】
図６に示す例では、付勢部５０は、蓋部３４の突起３４ａの周囲に巻回される１つのばねである。なお、付勢部５０は、例えば、蓋部３４の突起３４ａの周囲に間隔をあけて配置される複数のばねであってもよく、突起３４ａの周囲に配置される管状のゴムであってもよい。
【００４８】
このように、底壁部３２ａに押し付けるように蓋部３４を付勢する付勢部５０が備えられることで、蓋部３４が軽量であったとしても、負圧破壊孔４４を安定して塞ぐことができる。
【００４９】
［変形例２］
図７は変形例２の吸着パッド２０を示す断面図であり、図８は変形例２の吸着パッド２０の底面側を正面視した図である。変形例２の吸着パッド２０は、上記実施の形態の蓋部３４に代えて蓋部５４を備え、上記実施の形態の駆動部３６に代えて駆動部５６を備える点で、上記実施の形態の吸着パッド２０とは異なる。
【００５０】
蓋部５４は、複数の可動片５４ａを有する。複数の可動片５４ａは、分割して動くことが可能なものであり、吸着対象物Ｗを吸着するときには、互いに隙間なく集合することで負圧破壊孔４４を塞いでいる。図７および図８に示す例では、可動片５４ａの数は、負圧発生孔４２の数と同じであり、複数の可動片５４ａと複数の負圧発生孔４２とは一対一で対応する。
【００５１】
駆動部５６は、複数の可動片５４ａが互いに分割して負圧破壊孔４４が開くように複数の可動片５４ａを移動させる。図９は、負圧を解除するときの可動片５４ａの様子を図８と同じ視点で示す図である。
【００５２】
図９に示す例では、駆動部５６は、駆動制御部３８から駆動指令を受けると、底壁部３２ａに沿って、各々の可動片５４ａが負圧破壊孔４４から離間するように所定の位置まで移動させることで、複数の可動片５４ａを互いに分割させる。これにより、負圧破壊孔４４が開く。
【００５３】
ここで、所定の位置まで移動された各々の可動片５４ａは、対応する負圧発生孔４２を塞ぐことで、複数の負圧発生孔４２のすべてが塞がれる。これにより、負圧破壊孔４４における最小の断面積が負圧発生孔４２の断面積より小さくても、パッド本体３２の内部の空気が負圧破壊孔４４から外部に流れ込むため、負圧破壊孔４４の下部の負圧を破壊することができる。
【００５４】
なお、負圧破壊孔４４における最小の断面積が負圧発生孔４２の断面積よりも大きい場合には、上記実施の形態に比べて、負圧破壊孔４４の下部の負圧をより迅速に破壊することができる。
【００５５】
開いた状態にある負圧破壊孔４４を再び塞ぐ場合、駆動部５６は、底壁部３２ａに沿って、各々の可動片５４ａが負圧破壊孔４４に近づくように移動させることで、複数の可動片５４ａを互いに隙間なく集合させる。これにより、負圧破壊孔４４が塞がれる。
【００５６】
なお、変形例２では、複数の可動片５４ａと複数の負圧発生孔４２とが一対一で対応したが、複数の可動片５４ａと複数の負圧発生孔４２とは一対一で対応していなくてもよい。具体的には、所定の位置まで移動された複数の可動片５４ａが負圧発生孔４２のすべてを塞ぐが、可動片５４ａに塞がれない負圧発生孔４２があってもよい。また、所定の位置まで移動された複数の可動片５４ａの一部は複数の負圧発生孔４２のすべてを塞ぐが、負圧発生孔４２を塞いでいない可動片５４ａがあってもよい。また、所定の位置まで移動された複数の可動片５４ａの一部が複数の負圧発生孔４２の一部を塞いでもよい。
【００５７】
［変形例３］
図１０は、変形例３の吸着パッド２０を示す断面図である。変形例３の吸着パッド２０は、複数の負圧破壊孔４４を有する点で、上記変形例２の吸着パッド２０とは異なる。負圧破壊孔４４が複数である場合、負圧破壊孔４４における最小の断面積は、各々の負圧破壊孔４４の最小の断面積の合計値である。このように負圧破壊孔４４が複数であっても、上記変形例２と同様の効果を有する。
【００５８】
なお、上記実施の形態の負圧破壊孔４４が複数であってもよい。上記実施の形態の負圧破壊孔４４を複数にしても、上記実施の形態と同様の効果を有する。
【００５９】
［変形例４］
図１１は、変形例４の吸着パッド２０の底面側を正面視した図である。変形例４の吸着パッド２０は、環状の負圧発生孔４２ａを有する点で、上記実施の形態の吸着パッド２０とは異なる。このような環状の負圧発生孔４２ａであっても、上記実施の形態と同様に、負圧を発生させることができる。なお、環状の負圧発生孔４２ａは、輪のような形で延在する限り、１箇所または断続的に途切れている場合も含まれる。
【００６０】
なお、変形例２の複数の負圧発生孔４２に代えて、環状の負圧発生孔４２ａが適用されてもよい。この場合、所定の位置まで移動された各々の可動片５４ａが、環状の負圧発生孔４２ａの一部を塞いでもよい。
【００６１】
［変形例５］
上記実施の形態の蓋部３４、駆動部３６および駆動制御部３８がパッド本体３２の内部に設けられたが、パッド本体３２の外部に設けられてもよい。また、上記変形例２の蓋部５４および駆動部５６がパッド本体３２の内部に設けられたが、パッド本体３２の外部に設けられてもよい。
【００６２】
［変形例６］
上記実施の形態および上記変形例１〜５は、矛盾の生じない範囲で任意に組み合わされてもよい。
【００６３】
〔技術的思想〕
上記実施の形態および変形例から把握し得る技術的思想について、以下に記載する。
【００６４】
吸着パッド（２０）は、中空のパッド本体（３２）と、パッド本体（３２）に設けられ、パッド本体（３２）の内部に気体を供給するための吸気孔（４０）と、パッド本体（３２）において吸着対象物（Ｗ）と対向する側の底壁部（３２ａ）に設けられ、吸気孔（４０）から流入する気体を噴出することで底壁部（３２ａ）と吸着対象物（Ｗ）との間に負圧を発生させるための負圧発生孔（４２、４２ａ）と、底壁部（３２ａ）に設けられ、負圧を破壊するための負圧破壊孔（４４）と、負圧破壊孔（４４）を塞ぐ蓋部（３４、５４）と、吸着対象物（Ｗ）の吸着を解除するときに、負圧破壊孔（４４）が開くように蓋部（３４、５４）を移動させる駆動部（３６、５６）と、を備える。
【００６５】
この吸着パッド（２０）では、負圧破壊孔（４４）が開くと、パッド本体（３２）の内部の空気が負圧破壊孔（４４）から外部に流れ込むことで、パッド本体（３２）の底壁部（３２ａ）と吸着対象物（Ｗ）との間に発生していた負圧が破壊される。したがって、単に、負圧破壊孔（４４）からの気体の噴出を停止するだけの場合に比べて、吸着対象物（Ｗ）の吸着を迅速に解除させることができる。
【００６６】
負圧破壊孔（４４）における最小の断面積は、負圧発生孔（４２）の断面積よりも大きくするようにしてもよい。このようにすれば、吸着対象物（Ｗ）の吸着を解除するときに負圧発生孔（４２、４２ａ）を塞がなくても、負圧破壊孔（４４）が開くことでパッド本体（３２）の内部の空気を負圧破壊孔（４４）から外部に流すことができる。
【００６７】
駆動部（３６）は、底壁部（３２ａ）から離間する方向に沿って蓋部（３４）を移動させるようにしてもよい。このようにすれば、吸着パッド（２０）の幅を狭くし易くなる。
【００６８】
駆動部（５６）は、底壁部（３２ａ）に沿って蓋部（５４）を移動させるようにしてもよい。このようにすれば、吸着パッド（２０）を薄型化し易くなる。
【００６９】
蓋部（５４）は、複数の可動片（５４ａ）を有し、駆動部（５６）は、複数の可動片（５４ａ）が互いに分割して負圧破壊孔（４４）が開くように複数の可動片（５４ａ）を移動させるようにしてもよい。
【００７０】
蓋部（５４）は、複数の可動片（５４ａ）を有し、駆動部（５６）は、底壁部（３２ａ）に沿って、複数の可動片（５４ａ）が互いに分割して負圧破壊孔（４４）が開くように複数の可動片（５４ａ）を所定の位置まで移動させ、所定の位置まで移動された複数の可動片（５４ａ）は、負圧発生孔（４２、４２ａ）の少なくとも一部を塞ぐようにしてもよい。このようにすれば、負圧破壊孔（４４）を負圧発生孔（４２、４２ａ）より小さくしても、パッド本体（３２）の内部の空気を負圧破壊孔（４４）から外部に流し易い。また、負圧破壊孔（４４）が負圧発生孔（４２、４２ａ）より大きい場合には、より迅速に負圧を破壊することができる。
【００７１】
負圧発生孔（４２）は、負圧破壊孔（４４）の周囲に複数有し、複数の負圧発生孔（４２）は、複数の可動片（５４ａ）に塞がれるようにしてもよい。このようにすれば、負圧破壊孔（４４）を負圧発生孔（４２、４２ａ）より小さくしても、パッド本体（３２）の内部の空気を負圧破壊孔（４４）から外部に流すことができる。また、負圧破壊孔（４４）が負圧発生孔（４２、４２ａ）より大きい場合には、より迅速に負圧を破壊することができる。
【００７２】
吸着解除方法は、吸着対象物（Ｗ）の吸着を解除する吸着パッド（２０）の吸着解除方法である。吸着パッド（２０）は、中空のパッド本体（３２）と、パッド本体（３２）に設けられ、パッド本体（３２）の内部に気体を供給するための吸気孔（４０）と、パッド本体（３２）において吸着対象物（Ｗ）と対向する側の底壁部（３２ａ）に設けられ、吸気孔（４０）から流入する気体を噴出することで底壁部（３２ａ）と吸着対象物（Ｗ）との間に負圧を発生させるための負圧発生孔（４２、４２ａ）と、底壁部（３２ａ）に設けられ、負圧を破壊するための負圧破壊孔（４４）と、負圧破壊孔（４４）を塞ぐ蓋部（３４、５４）とを有する。吸着解除方法は、吸着対象物（Ｗ）の吸着を解除するときに、負圧破壊孔（４４）が開くように蓋部（３４、５４）を移動させる。
【００７３】
この吸着解除方法では、負圧破壊孔（４４）が開くと、パッド本体（３２）の内部の空気が負圧破壊孔（４４）から外部に流れ込むことで、パッド本体（３２）の底壁部（３２ａ）と吸着対象物（Ｗ）との間に発生していた負圧が破壊される。したがって、単に、負圧破壊孔（４４）からの気体の噴出を停止するだけの場合に比べて、吸着対象物（Ｗ）の吸着を迅速に解除させることができる。
【符号の説明】
【００７４】
１０…パラレルリンクロボット            １８…コンプレッサー
２０…吸着パッド                        ３２…パッド本体
３４、５４…蓋部                        ３６、５６…駆動部
３８…駆動制御部                        ４０…吸気孔
４２、４２ａ…負圧発生孔                ４４…負圧破壊孔
５０…付勢部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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