(57)【要約】【課題】リアクトルやコンデンサ等の部品を追加することなく、また出力周波数を変化させることなく高調波電流を抑制する。【解決手段】多段構成した複数のインバータの各出力を合成した交流出力電力を共振負荷に供給する高周波電源装置と、前記複数のインバータの出力指令値と互いに異なる複数の閾値を各々比較して前記各インバータのＰＷＭ信号を生成するＰＷＭ信号生成部４０と、前記ＰＷＭ信号生成部４０の出力指令値およびＰＷＭ信号を基に、前記高周波電源装置の高調波成分を基準値以下に抑制できる前記各インバータの出力電圧幅となるように、前記各ＰＷＭ信号のゲート幅を決定する高調波対策部７０と、前記高調波対策部７０により決定されたゲート幅のゲート信号により前記各インバータの各スイッチング素子を制御するゲート制御部８０と、を備えた。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多段構成した複数のインバータの各出力を合成した交流出力電力を共振負荷に供給する高周波電源装置と、
前記複数のインバータの出力指令値と互いに異なる複数の閾値を各々比較して前記各インバータのＰＷＭ信号を生成するＰＷＭ信号生成部と、
前記ＰＷＭ信号生成部の出力指令値およびＰＷＭ信号を基に、前記高周波電源装置の高調波成分を基準値以下に抑制できる前記各インバータの出力電圧幅となるように、前記各ＰＷＭ信号のゲート幅を決定する高調波対策部と、
前記高調波対策部により決定されたゲート幅のゲート信号により前記各インバータの各スイッチング素子を制御するゲート制御部と、
を備えたことを特徴とする高周波電源装置における高調波抑制装置。
【請求項２】
前記高調波対策部は、
前記複数のインバータの合成出力電圧の実効値を変えずにゲート幅を変化させて設定した、複数のインバータ用のＰＷＭ信号の各ゲート幅と、それら設定されたゲート幅のゲート信号によって前記複数のインバータを制御したときの高周波電源装置の各次数における高調波含有率とを、出力指令値毎に対応づけたテーブルを備え、
前記高周波電源装置の出力電流の特定次数の高調波が基準値を超える場合に、前記特定次数の高調波が基準値以下となるゲート幅を前記テーブルから選択することを特徴とする請求項１に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置。
【請求項３】
前記高調波対策部は、
前記複数のインバータの合成出力電圧の実効値を変えずに複数のインバータの各出力電圧の幅が変更されるように前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させて、前記複数のインバータを制御したときの、複数のインバータの合成出力電圧の各次数における高調波値を求め、該高調波値が最小となる前記ゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定することを特徴とする請求項１に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置。
【請求項４】
前記高調波対策部は、
前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させる毎に、求められた高調波値が減少するか否かを判定し、前記高調波値が最初に極小値となったときのゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定することを特徴とする請求項３に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置。
【請求項５】
前記高調波対策部は、
前記求められた高調波値が最小値となるか否かの判定を、前記複数のインバータの各出力電圧の幅が最大幅となるまで、前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させる毎に実行し、その結果高調波値が最小値となったときのゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定することを特徴とする請求項３に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置。
【請求項６】
前記高周波電源装置の複数のインバータは、入力変圧器により絶縁して多段構成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置。
【請求項７】
前記高周波電源装置の複数のインバータは、出力変圧器により絶縁して多段構成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置。
【請求項８】
多段構成した複数のインバータの各出力を合成した交流出力電力を共振負荷に供給する高周波電源装置における高調波抑制方法であって、
ＰＷＭ信号生成部が、前記複数のインバータの出力指令値と互いに異なる複数の閾値を各々比較して前記各インバータのＰＷＭ信号を生成するＰＷＭ信号生成ステップと、
高調波対策部が、前記ＰＷＭ信号生成部の出力指令値およびＰＷＭ信号を基に、前記高周波電源装置の高調波成分を基準値以下に抑制できる前記各インバータの出力電圧幅となるように、前記各ＰＷＭ信号のゲート幅を決定する高調波対策ステップと、
ゲート制御部が、前記高調波対策ステップにより決定されたゲート幅のゲート信号により前記各インバータの各スイッチング素子を制御するゲート制御ステップと、
を備えたことを特徴とする高周波電源装置における高調波抑制方法。
【請求項９】
前記高調波対策ステップは、
前記複数のインバータの合成出力電圧の実効値を変えずにゲート幅を変化させて設定した、複数のインバータ用のＰＷＭ信号の各ゲート幅と、それら設定されたゲート幅のゲート信号によって前記複数のインバータを制御したときの高周波電源装置の各次数における高調波含有率とを、出力指令値毎に対応づけたテーブルを生成するステップと、
前記高周波電源装置の出力電流の特定次数の高調波が基準値を超える場合に、前記特定次数の高調波が基準値以下となるゲート幅を前記テーブルから選択するステップとを有していることを特徴とする請求項８に記載の高周波電源装置における高調波抑制方法。
【請求項１０】
前記高調波対策ステップは、
前記複数のインバータの合成出力電圧の実効値を変えずに複数のインバータの各出力電圧の幅が変更されるように前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させて、前記複数のインバータを制御したときの、複数のインバータの合成出力電圧の各次数における高調波値を求めるステップと、
前記求められた高調波値が最小となる前記ゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定するステップとを有していることを特徴とする請求項８に記載の高周波電源装置における高調波抑制方法。
【請求項１１】
前記高調波対策ステップは、
前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させる毎に、前記求められた高調波値が減少するか否かを判定するステップと、
前記高調波値が最初に極小値となったときのゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定するステップとを有していることを特徴とする請求項１０に記載の高周波電源装置における高調波抑制方法。
【請求項１２】
前記高調波対策ステップは、
前記求められた高調波値が最小値となるか否かの判定を、前記複数のインバータの各出力電圧の幅が最大幅となるまで、前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させる毎に実行するステップと、
前記求められた高調波値が最小値となったときのゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定するステップとを有していることを特徴とする請求項１０に記載の高周波電源装置における高調波抑制方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、負荷の共振周波数とほぼ同じ出力周波数で動作する高周波電源装置における高調波抑制技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
高周波電源装置では、負荷の共振周波数と同じ基本波で出力する。負荷は共振回路であるため基本波が主成分で９９％超となるが、まれに高調波（基本波のＮ倍の周波数、Ｎは２以上の整数）による共振も発生し、高調波電流が数％含まれる場合がある。
【０００３】
高調波を抑制する対策として、負荷回路にリアクトルやコンデンサを追加し、高調波の共振点をずらし、高調波のインピーダンスを大きくして高調波電流を減らす必要がある。
【０００４】
尚、特許文献１には、多重接続した複数の電力変換部を有した電力変換装置において、各電力変換部の出力電圧の位相をずらして高調波成分を低減することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−２００２６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記のように高調波抑制対策としてリアクトルやコンデンサを追加した場合、追加のリアクトルやコンデンサにより基本波周波数から少々ずれるため、高周波電源装置は出力周波数を変更するか、あるいは周波数を変更しない場合は力率が変化することになる。
【０００７】
したがって、部品（リアクトルやコンデンサ）を追加することなく、高調波の共振電流を抑制する方法が求められる。
【０００８】
本発明は上記課題を解決するものであり、その目的は、リアクトルやコンデンサ等の部品を追加することなく、また出力周波数を変化させることなく高調波電流を抑制することができる高周波電源装置における高調波抑制装置および高調波抑制方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための請求項１に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置は、
多段構成した複数のインバータの各出力を合成した交流出力電力を共振負荷に供給する高周波電源装置と、
前記複数のインバータの出力指令値と互いに異なる複数の閾値を各々比較して前記各インバータのＰＷＭ信号を生成するＰＷＭ信号生成部と、
前記ＰＷＭ信号生成部の出力指令値およびＰＷＭ信号を基に、前記高周波電源装置の高調波成分を基準値以下に抑制できる前記各インバータの出力電圧幅となるように、前記各ＰＷＭ信号のゲート幅を決定する高調波対策部と、
前記高調波対策部により決定されたゲート幅のゲート信号により前記各インバータの各スイッチング素子を制御するゲート制御部と、
を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置は、請求項１において、
前記高調波対策部は、
前記複数のインバータの合成出力電圧の実効値を変えずにゲート幅を変化させて設定した、複数のインバータ用のＰＷＭ信号の各ゲート幅と、それら設定されたゲート幅のゲート信号によって前記複数のインバータを制御したときの高周波電源装置の各次数における高調波含有率とを、出力指令値毎に対応づけたテーブルを備え、
前記高周波電源装置の出力電流の特定次数の高調波が基準値を超える場合に、前記特定次数の高調波が基準値以下となるゲート幅を前記テーブルから選択することを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置は、請求項１において、
前記高調波対策部は、
前記複数のインバータの合成出力電圧の実効値を変えずに複数のインバータの各出力電圧の幅が変更されるように前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させて、前記複数のインバータを制御したときの、複数のインバータの合成出力電圧の各次数における高調波値を求め、該高調波値が最小となる前記ゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定することを特徴としている。
【００１２】
請求項４に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置は、請求項３において、
前記高調波対策部は、
前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させる毎に、求められた高調波値が減少するか否かを判定し、前記高調波値が最初に極小値となったときのゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定することを特徴としている。
【００１３】
請求項５に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置は、請求項３において、
前記高調波対策部は、
前記求められた高調波値が最小値となるか否かの判定を、前記複数のインバータの各出力電圧の幅が最大幅となるまで、前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させる毎に実行し、その結果高調波値が最小値となったときのゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定することを特徴としている。
【００１４】
請求項６に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置は、請求項１ないし５のいずれか１項において、
前記高周波電源装置の複数のインバータは、入力変圧器により絶縁して多段構成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項７に記載の高周波電源装置における高調波抑制装置は、請求項１ないし５のいずれか１項において、
前記高周波電源装置の複数のインバータは、出力変圧器により絶縁して多段構成されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項８に記載の高周波電源装置における高調波抑制方法は、
多段構成した複数のインバータの各出力を合成した交流出力電力を共振負荷に供給する高周波電源装置における高調波抑制方法であって、
ＰＷＭ信号生成部が、前記複数のインバータの出力指令値と互いに異なる複数の閾値を各々比較して前記各インバータのＰＷＭ信号を生成するＰＷＭ信号生成ステップと、
高調波対策部が、前記ＰＷＭ信号生成部の出力指令値およびＰＷＭ信号を基に、前記高周波電源装置の高調波成分を基準値以下に抑制できる前記各インバータの出力電圧幅となるように、前記各ＰＷＭ信号のゲート幅を決定する高調波対策ステップと、
ゲート制御部が、前記高調波対策ステップにより決定されたゲート幅のゲート信号により前記各インバータの各スイッチング素子を制御するゲート制御ステップと、
を備えたことを特徴とする。
【００１７】
請求項９に記載の高周波電源装置における高調波抑制方法は、請求項８において、
前記高調波対策ステップは、
前記複数のインバータの合成出力電圧の実効値を変えずにゲート幅を変化させて設定した、複数のインバータ用のＰＷＭ信号の各ゲート幅と、それら設定されたゲート幅のゲート信号によって前記複数のインバータを制御したときの高周波電源装置の各次数における高調波含有率とを、出力指令値毎に対応づけたテーブルを生成するステップと、
前記高周波電源装置の出力電流の特定次数の高調波が基準値を超える場合に、前記特定次数の高調波が基準値以下となるゲート幅を前記テーブルから選択するステップとを有していることを特徴とする。
【００１８】
請求項１０に記載の高周波電源装置における高調波抑制方法は、請求項８において、
前記高調波対策ステップは、
前記複数のインバータの合成出力電圧の実効値を変えずに複数のインバータの各出力電圧の幅が変更されるように前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させて、前記複数のインバータを制御したときの、複数のインバータの合成出力電圧の各次数における高調波値を求めるステップと、
前記求められた高調波値が最小となる前記ゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定するステップとを有していることを特徴とする。
【００１９】
請求項１１に記載の高周波電源装置における高調波抑制方法は、請求項１０において、
前記高調波対策ステップは、
前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させる毎に、前記求められた高調波値が減少するか否かを判定するステップと、
前記高調波値が最初に極小値となったときのゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定するステップとを有していることを特徴とする。
【００２０】
請求項１２に記載の高周波電源装置における高調波抑制方法は、請求項１０において、
前記高調波対策ステップは、
前記求められた高調波値が最小値となるか否かの判定を、前記複数のインバータの各出力電圧の幅が最大幅となるまで、前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させる毎に実行するステップと、
前記求められた高調波値が最小値となったときのゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定するステップとを有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
（１）請求項１〜１２に記載の発明によれば、リアクトルやコンデンサ等の部品を追加することなく、また出力周波数を変化させることなく高周波電源装置における高調波電流を抑制することができる
（２）請求項２、９に記載の発明によれば、予めＰＷＭ信号の各ゲート幅と高調波含有率とを出力指令値毎に対応づけたテーブルを用意しておくことで、特定次数の高調波が基準値以下となるゲート幅を前記テーブルから選択するだけで、高調波成分を基準値以下に抑制できるゲート幅を決定することができる。
（３）請求項３、１０に記載の発明によれば、ＰＷＭ信号のゲート幅と高調波含有率を対応づけたテーブルを用意しなくても、高調波値が最小となるゲート幅を演算によって求めることができる。
（４）請求項４、１１に記載の発明によれば、高調波値が最小となるゲート幅を短時間で求めることができる。
（５）請求項５、１２に記載の発明によれば、高調波値が最小となるゲート幅を、複数のインバータの各出力電圧の幅が最大幅となるまでの広い範囲で探索して求めることができる。
（６）請求項６に記載の発明によれば、複数のインバータが、入力変圧器により絶縁して多段構成された高周波電源装置において、前記（１）〜（５）と同様の効果が得られる。
（７）請求項７に記載の発明によれば、複数のインバータが、出力変圧器により絶縁して多段構成された高周波電源装置において、前記（１）〜（５）と同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態例による、複数のインバータを入力変圧器で絶縁した高周波電源装置の全体構成図。
【図２】本発明の実施形態例による、複数のインバータを出力変圧器で絶縁した高周波電源装置の全体構成図。
【図３】図１、図２の高周波電源装置におけるフィルタ回路と共振負荷回路の概略インピーダンスを示す説明図。
【図４】本発明を出力電圧一定制御方式に適用した実施形態例の構成図。
【図５】本発明を出力電流一定制御方式に適用した実施形態例の構成図。
【図６】本発明を出力電力一定制御方式に適用した実施形態例の構成図。
【図７】本発明の実施形態例におけるＰＷＭ信号作成のようすを表し、正弦波指令値とインバータの出力電圧の波形図。
【図８】本発明の実施形態例におけるＰＷＭ信号作成のようすを表し、三角波指令値とインバータの出力電圧の波形図。
【図９】本発明の実施形態例における各インバータの出力電圧幅の変更のようすを示す波形図。
【図１０】本発明の実施例１における高調波対策処理の一例を示すフローチャート。
【図１１】本発明の実施例２における高調波対策処理の一例を示すフローチャート。
【図１２】本発明の実施例２における高調波対策処理の他の例を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明するが、本発明は下記の実施形態例に限定されるものではない。本発明の高周波電源装置は、多段構成した複数のインバータを備えているが、以下の実施形態例では２台のインバータを備えた例を説明する。
【００２４】
図１は、２台のインバータを入力変圧器で絶縁して多段に構成した高周波電源装置の全体構成を示している。図１において、交流電源１００の出力側は３巻線を有した入力変圧器１１１の入力側の１次巻線１１１-1に接続されている。
【００２５】
入力変圧器１１１は、出力側に互いに絶縁された２次巻線１１１-2および３次巻線１１１-3を有している。２次巻線１１１-2の出力電力は整流器１２０-1によって直流電力に変換され、３次巻線１１１-3の出力電力は整流器１２０-2によって直流電力に変換される。
【００２６】
１３０-1および１３０-2は、各々オン、オフ制御されるスイッチング素子を有し、整流器１２０-1、１２０-2の各直流出力電力を交流電力に変換するインバータ（ＩＮＶ１，ＩＮＶ２）である。
【００２７】
各インバータ１３０-1、１３０-2の出力側は直列接続されることにより、２段のインバータの出力が合成され（合成出力電圧ＶINV）、フィルタ回路１４０を介して共振負荷１５０に供給される。
【００２８】
前記フィルタ回路１４０は例えばリアクトルＬ、コンデンサＣ、抵抗Ｒ、出力変圧器などで構成され、共振負荷１５０の共振周波数はｆである。
【００２９】
図２は２台のインバータを出力変圧器で絶縁して多段に構成した高周波電源装置の全体構成を示している。図２において図１と同一部分は同一符号をもって示している。
【００３０】
図２において、交流電源１００の出力側は２巻線を有した入力変圧器１１２の１次巻線１１２-1に接続されている。入力変圧器１１２の２次巻線の出力電力は整流器１２０-1、１２０-2によって各々直流電力に変換される。
【００３１】
整流器１２０-1、１２０-2の各直流出力電力は、インバータ１３０-1、１３０-2によって交流電力に変換された後、前記フィルタ回路１４０と同様に構成されたフィルタ回路１４１、１４２に入力される。
【００３２】
フィルタ回路１４１、１４２の各出力側は、３巻線を有した出力変圧器１１３の、入力側で互いに絶縁された１次巻線１１３-1および２次巻線１１３-2に各々接続されている。
【００３３】
各インバータ１３０-1、１３０-2の出力（フィルタ回路１４１、１４２の出力）は、出力変圧器１１３の１次巻線１１３-1、２次巻線１１３-2に入力されることにより、２段のインバータの出力（ＶINV1とＶINV2）が合成され（ＶINV＝ＶINV1＋ＶINV2）、３次巻線１１３-3を介して共振負荷１５０に供給される。
【００３４】
尚、図２では、フィルタ回路（１４１、１４２）を出力変圧器１１３の入力側に設けているが、これに限らずインバータ１３０-1、１３０-2の各出力を出力変圧器１１３の１次巻線１１３-1、２次巻線１１３-2に各々直接入力して合成し、３次巻線１１３-3の出力側にフィルタ回路を設けるように構成してもよい。
【００３５】
図１、図２におけるフィルタ回路（１４０、１４１、１４２）と共振負荷回路１５０の各インピーダンスの概略を図３に示す。図３は図１における各インピーダンスを表しており、ＶINVは出力側が直列接続された（多段構成された）２台のインバータ１３０-1、１３０-2の合成出力電圧、Ｚsはフィルタ回路１４０の直列インピーダンス、Ｚpはフィルタ回路１４０の並列インピーダンス、Ｉoutはフィルタ回路１４０（高周波電源装置）の出力電流、Ｖoutはフィルタ回路１４０（高周波電源装置）の出力電圧、Ｚoutは共振負荷回路１５０のインピーダンスを各々示している。
【００３６】
図３において、出力電圧Ｖoutは、
Ｖout＝Ｚout×Ｉout…（１）である。
【００３７】
出力電流（実効値）ＩoutのＮ次高調波成分Ｉout(N)は、出力電圧（実効値）のＮ次高調波Ｖout(N)と共振負荷回路１５０のＮ次高調波成分Ｚout(N)から下記のように表すことができる。
【００３８】
Ｉout(N)＝Ｖout(N)／Ｚout(N)…（２）
また、フィルタ回路１４０、共振負荷回路１５０とも変更が無ければＮ次高調波電圧の利得Ｇv(N)は、
Ｇv(N)＝Ｖout(N)／ＶINV(N)…（３）
Ｇv＝Ｖout／ＶINV＝{Ｚp‖Ｚout}／{Ｚs＋（Ｚp‖Ｚout）}…（４）
つまり、
Ｇv(N)＝Ｖout(N)／ＶINV(N)＝{Ｚp(N)‖Ｚout(N)}／{Ｚs(N)＋（Ｚp(N)‖Ｚout(N)）}…（５）
である。
【００３９】
図３の回路インピーダンスに変化が無ければゲインＧv(N)は変化しない。
【００４０】
そこで出力電流のＮ次高調波成分は下記のように表せる。
【００４１】
Ｉout(N)＝{Ｇv(N)×ＶINV(N)}／Ｚout(N)…（６）
これはＶINV(N)を小さくするとＩout(N)が小さく出来ることを表している。つまり、高周波電源装置の出力電流の高調波成分Ｉout(N)を小さくするためには、２台のインバータの合成出力電圧の高調波成分ＶINV(N)を小さくすればよいことになる。
【００４２】
そこで本実施形態例では、多段構成したインバータの制御率（ＯＮ時間）を、実効値が変化しないように変化させることでインバータの合成出力電圧ＶINVに含まれる高調波の成分を変化させ、高調波共振電圧を減少させ、その結果、高周波電源装置の高調波電流を抑制する方式とした。
【００４３】
すなわち、高周波電源装置の出力電流ＩoutをＤＦＴ（Ｄｉｓｃｒｅｔｅ  Ｆｏｕｒｉｅｒ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ  ：離散フーリエ変換）又はＦＦＴ（Ｆａｓｔ  Ｆｏｕｒｉｅｒ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ  ：フーリエ変換）で変換して各次高調波を求め、該高調波が基準値に収まるかどうかを調べ、ある次数の高調波が基準値を超過した場合は、同じ指令値に対してインバータ１３０-1、１３０-2の出力電圧の幅を変化させてその高調波成分を変化させる。別の高調波成分が増加する可能性はあるが、２台のインバータの合成出力電圧ＶINVの当該高調波成分を減らすことで、高周波電源装置から出力される高調波電流を減少させることができる。
【００４４】
上記高調波抑制方式を達成するための、図１、図２の高周波電源装置における高調波抑制装置の構成例を図４〜図６に示す。
【００４５】
図４は、本発明を出力電圧一定制御方式に適用した実施形態例の高調波抑制装置の構成を示している。図４において、出力電圧実効値検出部１１で検出された高周波電源装置の出力電圧（Ｖout）の実効値と、出力電圧目標値設定部１２で設定された高周波電源装置の出力電圧目標値との偏差が減算器２１によってとられる。
【００４６】
減算器２１の偏差出力はＰＩＤ（比例・積分・微分）演算を行う制御器３１に入力され、制御器３１は減算器２１の偏差が零になるようにする出力指令値（出力電圧指令値）を求める。
【００４７】
４０は、制御器３１で求められた出力指令値と、後述する互いに異なる２つの閾値とを各々比較して、図１、図２の各インバータ１３０-1、１３０-2のＰＷＭ信号を生成するＰＷＭ信号生成部である。
【００４８】
５０は高周波電源装置の出力電流Ｉoutを検出する出力電流検出部であり、その検出電流はフーリエ変換部６０においてＤＦＴ又はＦＦＴのフーリエ変換が施され、各次の高調波が算出される。
【００４９】
７０は、フーリエ変換部６０で算出された各次の高調波を入力とし、ＰＷＭ信号生成部４０へ導入される出力指令値および生成されたＰＷＭ信号を基に、高周波電源装置の高調波成分を基準値以下に抑制できる前記各インバータ１３０-1、１３０-2の出力電圧幅となるように、前記各ＰＷＭ信号のゲート幅を決定（変更）する高調波対策部である。
【００５０】
８０は、高調波対策部７０により決定されたゲート幅のゲート信号により各インバータ１３０-1、１３０-2の各スイッチング素子を制御するゲート制御部である。
【００５１】
図５は、本発明を出力電流一定制御方式に適用した実施形態例の高調波抑制装置の構成を示している。図５において図４と同一部分は同一符号をもって示している。
【００５２】
図５において図４と異なる点は、前記出力電圧実効値検出１１、出力電圧目標値設定部１２、減算器２１および制御器３１に代えて、高周波電源装置の出力電流（Ｉout）の実効値を検出する出力電流実効値検出部１３と、高周波電源装置の出力電流目標値を設定する出力電流目標値設定部１４と、前記検出された出力電流実効値と設定された出力電流目標値の偏差をとる減算器２２と、減算器２２の出力に対してＰＩＤ演算を施すことによって、減算器２２の偏差が零になるようにする出力指令値（出力電流指令値）を求める制御器３２とを設けた点にあり、その他の部分は図４と同一に構成されている。
【００５３】
図６は、本発明を出力電力一定制御方式に適用した実施形態例の高調波抑制装置の構成を示している。図６において図４と同一部分は同一符号をもって示している。
【００５４】
図６において図４と異なる点は、前記出力電圧実効値検出１１、出力電圧目標値設定部１２、減算器２１および制御器３１に代えて、高周波電源装置の出力電力（Ｐout）を検出する出力電力検出部１５と、高周波電源装置の出力電力目標値を設定する出力電力目標値設定部１６と、前記検出された出力電力と設定された出力電力目標値の偏差をとる減算器２３と、減算器２３の出力に対してＰＩＤ演算を施すことによって、減算器２３の偏差が零になるようにする出力指令値（出力電力指令値）を求める制御器３３とを設けた点にあり、その他の部分は図４と同一に構成されている。
【００５５】
図４〜図６におけるＰＷＭ信号生成部４０および高調波対策部７０の動作はいずれも同様の動作を行うものであり、ここでは代表して図４の出力電圧一定制御方式での動作を説明する。
【００５６】
図４のＰＷＭ信号生成部４０において、出力指令値と互いに異なる２つの閾値の比較により作成される２つのインバータ１３０-1、１３０-2（ＩＮＶ１，ＩＮＶ２）のＰＷＭ信号の例を図７、図８に示す。
【００５７】
図７は、指令値として正弦波を用いた例を表し、図７（ａ）は指令値正弦波と、所定の絶対値を有する閾値１（例えば＋０．５、−０．５）と、閾値１の絶対値よりも大きい絶対値を有する閾値２（例えば＋１．５、−１．５）との関係を示している。
【００５８】
図７（ｂ）は、指令値正弦波が閾値２を超えたときに１、−１を出力するインバータ１３０-2（ＩＮＶ２）の出力電圧波形を示し、図７（ｃ）は、指令値正弦波が閾値１を超えたときに１、−１を出力するインバータ１３０-1（ＩＮＶ１）の出力電圧波形を示し、図７（ｄ）は、図７（ｂ）、（ｃ）の波形を合成加算した、２つのインバータの合成出力電圧ＶINVの波形を示している。
【００５９】
図８は、指令値として三角波を用いた例を表し、図８（ａ）は指令値三角波と、所定の絶対値を有する閾値１（例えば＋０．５、−０．５）と、閾値１の絶対値よりも大きい絶対値を有する閾値２（例えば＋１．５、−１．５）との関係を示している。
【００６０】
図８（ｂ）は、指令値三角波が閾値２を超えたときに１、−１を出力するインバータ１３０-2（ＩＮＶ２）の出力電圧波形を示し、図８（ｃ）は、指令値三角波が閾値１を超えたときに１、−１を出力するインバータ１３０-1（ＩＮＶ１）の出力電圧波形を示し、図８（ｄ）は、図８（ｂ）、（ｃ）の波形を合成加算した、２つのインバータの合成出力電圧ＶINVの波形を示している。
【００６１】
図４の高調波対策部７０が行う各ＰＷＭ信号のゲート幅の決定、すなわち各インバータの出力電圧幅の変更の様子を図９に示す。図９（ａ）は、図４のＰＷＭ信号生成部４０において指令値により作成された波形、すなわち図７（ｄ）に示す２つのインバータの合成出力電圧ＶINVの波形（ＶINV波形１）であり、このＶINV波形１をＦｂａｓｅと称する。
【００６２】
図９（ａ）の波形において、１段目がインバータ１３０-1（ＩＮＶ１）の出力電圧に相当し、２段目がインバータ１３０-2（ＩＮＶ２）の出力電圧に相当する。
【００６３】
図９（ｂ）は、高周波電源装置の出力電流（Ｉout）の特定次数の高調波が基準値を超える場合に、図９（ａ）のＶINV波形１に対して後述の実施例２で述べる、「ＶINVの実効値を変えずに波形の２段目を狭め１段目を拡げる動作」を行って得られるＶINV波形２を示し、このＶINV波形２をＦｗ１ｎ２と称する。
【００６４】
図９（ｃ）は、高周波電源装置の出力電流（Ｉout）の特定次数の高調波が基準値を超える場合に、図９（ａ）のＶINV波形１に対して後述の実施例２で述べる、「ＶINVの実効値を変えずに波形の２段目を拡げ１段目を狭める動作」を行って得られるＶINV波形３を示し、このＶINV波形３をＦｎ１ｗ２と称する。
【００６５】
図９（ａ）〜（ｃ）のＶINV波形１〜３（Ｆｂａｓｅ、Ｆｗ１ｎ２、Ｆｎ１ｗ２）の各実効値は変えないので次の（７）式が成立する。
【００６６】
【数１】
2019154104.tif 000003
【００６７】
また、図９（ａ）〜（ｃ）の各波形の高調波含有率（ＶINV(N)／ＶINV）は次の表１のとおりである。
【００６８】
【表１】
2019154104.tif 000004
【００６９】
上記表１において、波形１は、正弦波指令値と閾値を比較して作成された２つのインバータの合成出力電圧ＶINVの波形（図９（ａ）の波形）であり、波形２は、ＶINV実効値を変えずにインバータ１３０-1（ＩＮＶ１）の出力電圧幅を拡げ、インバータ１３０-2（ＩＮＶ２）の出力電圧幅を狭くした波形（図９（ｂ）の波形）であり、波形３は、ＶINV実効値を変えずにインバータ１３０-1（ＩＮＶ１）の出力電圧幅を狭め、インバータ１３０-2（ＩＮＶ２）の出力電圧幅を拡げた波形（図９（ｃ）の波形）である。
【００７０】
前記のように高調波対策部７０がインバータ１３０-1、１３０-2（ＩＮＶ１、２）のＰＷＭ信号のゲート幅を決定する（ゲート幅を変化させる）方式として、以下の実施例１、２に示す方式がある。
【実施例１】
【００７１】
本実施例１では、２つのインバータ１３０-1、１３０-2（ＩＮＶ１、２）の合成出力電圧の実効値を変えずにゲート幅を変化させて設定した、２つのインバータ用のＰＷＭ信号の各ゲート幅（各インバータの制御率）と、それら設定されたゲート幅のゲート信号によって前記２つのインバータを制御したときの高周波電源装置の各次数における高調波含有率（出力電圧の波高値比ＶINV(N)／ＶINV）とを、出力指令値毎に対応づけてテーブル（後述する表２〜表４に示す、指令値に対応する表）を事前に作成しておく。
【００７２】
そして、高周波電源装置の出力電流の特定次数の高調波が基準値を超える場合に、前記特定次数の高調波が基準値以下となるゲート幅（インバータの制御率）を前記テーブルから選択する。
【００７３】
前記高周波電源装置の各次数における高調波含有率は、事前に、検出した２つのインバータ１３０-1、１３０-2の合成出力電圧ＶINVにフーリエ変換を施して求める。
【００７４】
次に、本実施例１における高調波対策部７０が行う高調波対策処理（高調波対策１）の処理フローを図１０とともに説明する。まずステップＳ１では、ＰＷＭ信号生成部４０から指令値およびＰＷＭ信号を取り込む。
【００７５】
次にステップＳ２において、高周波電源装置の出力電流Ｉoutをフーリエ変換部６０によりフーリエ変換して求められた特定次数（Ｎ）の高調波が、基準値を超えるか否かを判定する。前記高調波が基準値を超える場合は、ステップＳ３において、事前に作成しておいた指令値毎に対応する表（テーブル）から、２つのインバータの合成出力電圧ＶINVのＮ次高調波ＶINV(N)が最小となるゲート幅（各インバータの制御率）を選択する。
【００７６】
そしてステップＳ４では前記選択されたゲート幅のゲート信号をゲート制御部８０に出力し、ゲート制御部８０によって各インバータ１３０-1、１３０-2が制御される。
【００７７】
尚、ステップＳ３では前記高調波が最小となるゲート幅を選択するに限らず、基準値を下回るゲート幅を選択するものである。
【００７８】
前記事前に作成される、２つのインバータのＰＷＭ信号の各ゲート幅（各インバータの制御率）と各次数における高調波含有率（出力電圧の波高値比ＶINV(N)／ＶINV）を、出力指令値毎に対応づけたテーブル（表）の例を次の表２に示す。
【００７９】
【表２】
2019154104.tif 000005
【００８０】
表２は指令値が０．４０ｐｕ（ｐｅｒ  ｕｎｉｔ）である場合の表（テーブル）であり、項番４に示すように、１段目（インバータＩＮＶ１）の制御率を８０％ＯＮ、２段目（インバータＩＮＶ２）の制御率を２１％ＯＮとしたときの、２つのインバータの合成出力電圧ＶINVの実効値が同値になるように１段目と２段目の幅を変化させている。この例では１段目閾値を１％ずつ変化させ、実効値を変えないように２段目を変化させることで制御率を変化させた。
【００８１】
この表２（テーブル）を利用して高調波対策を行ったときの動作は、後述の表３における動作説明と同様となる。
【００８２】
また、指令値が０．４５ｐｕである場合の表（テーブル）の例は次の表３となる。
【００８３】
【表３】
2019154104.tif 000006
【００８４】
この表３の例では、項番６に示すように、１段目（インバータＩＮＶ１）の制御率を８２％ＯＮ、２段目（インバータＩＮＶ２）の制御率を３８％ＯＮとしたときの、２つのインバータの合成出力電圧ＶINVの実効値が同値になるように１段目と２段目の幅を変化させている。前記表２と同様に１段目閾値を１％ずつ変化させ、実効値を変えないように２段目を変化させることで制御率を変化させた。
【００８５】
この表（テーブル）を利用して高調波対策を行ったときの動作例は次のとおりである。すなわち、３次高調波を減らす場合は項番２を選択すると３次高調波は０．０６／６．６≒０．００９となり、項番６の３次高調波実効値を１／１００程度低減することが期待できる。
【００８６】
５次高調波を減らす場合は項番７を選択すると５次高調波は１．３／４．３≒０．３０となり、項番６の５次高調波実効値を３／１０程度低減することが期待できる。
【００８７】
７次高調波を減らす場合は項番９を選択すると７次高調波は０．１／４．４≒０．０２となり、項番６の７次高調波実効値を２／１００程度低減することが期待できる。
【００８８】
同様に９次、１１次の高調波で利用する。
【００８９】
ただし、高調波の基準値を下回れば良いため、最小値を選ばなくても良い。
【００９０】
また、指令値が０．５０ｐｕである場合の表（テーブル）の例は次の表４となる。
【００９１】
【表４】
2019154104.tif 000007
【００９２】
この表４の例では、項番６に示すように、１段目（インバータＩＮＶ１）の制御率を８４％ＯＮ、２段目（インバータＩＮＶ２）の制御率を４６％ＯＮとしたときの、２つのインバータの合成出力電圧ＶINVの実効値が同値になるように１段目と２段目の幅を変化させている。前記表２と同様に１段目閾値を１％ずつ変化させ、実効値を変えないように２段目を変化させることで制御率を変化させた。
【００９３】
この表４（テーブル）を利用して高調波対策を行ったときの動作は前記表３の場合と同様である。
【００９４】
以上のように本実施例１によれば、予めＰＷＭ信号の各ゲート幅と高調波含有率とを出力指令値毎に対応づけたテーブルを用意しておくことで、特定次数の高調波が基準値以下となるゲート幅を前記テーブルから選択するだけで、高調波成分を基準値以下に抑制できるゲート幅を決定することができる。
【実施例２】
【００９５】
本実施例２では、高調波対策部７０において、２つのインバータ（ＩＮＶ１、ＩＮＶ２）の合成出力電圧の実効値を変えずに各インバータの各出力電圧の幅が変更されるように前記ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させて、前記２つのインバータを制御したときの、２つのインバータの合成出力電圧の各次数における高調波値を求め、該高調波値が最小となる前記ゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定するように構成した。
【００９６】
本実施例２における高調波対策部７０が行う高調波対策処理の一例（高調波対策２−１：最初の極小値利用）の処理フローを図１１とともに説明する。
【００９７】
図１１の処理フローは、ＰＷＭ信号のゲート幅を変化させる毎に、求められた高調波値が減少するか否かを判定し、前記高調波値が最初に極小値となったときのゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定することを特徴としている。
【００９８】
まず図１１（ａ）のステップＳ１１では、ＰＷＭ信号生成部４０から指令値およびＰＷＭ信号を取り込む。次にステップＳ１２において、高周波電源装置の出力電流Ｉoutをフーリエ変換部６０によりフーリエ変換して求められた特定次数（Ｎ）の高調波が、基準値を超えるか否かを判定する。
【００９９】
前記高調波が基準値を超える場合は、ステップＳ１３において、２段目狭幅、１段目拡幅による高調波ＶINV(N)の最小波形探索を最初の極小値となるまで行う（波形探索１）。
【０１００】
すなわち、指令値により作成された図９（ａ）に示す、２つのインバータの合成出力電圧波形Ｆｂａｓｅに対して、図９（ｂ）に示すような「ＶINVの実効値を変えずに２段目を狭め１段目を拡げる動作」を行って高調波の最小波形探索を行うものであり、その詳細は図１１（ｂ）の処理を実行するものである。
【０１０１】
図１１（ｂ）において、ステップＳ１３１では、図９（ａ）の波形の１段目を拡幅できるか否かを判定する。拡幅できない場合は処理を終了するが、拡幅可能な場合はステップＳ１３２において図９（ｂ）に示すような２段目狭幅、１段目拡幅の処理を行う。
【０１０２】
次にステップＳ１３３において、ステップＳ１３２のように波形の幅を変化させた２つのインバータの合成出力電圧ＶINV（想定値）をフーリエ変換して、合成出力電圧ＶINVの特定次数の高調波値ＶINV(N)を求める。
【０１０３】
次にステップＳ１３４において、前記求められた高調波値ＶINV(N)が減少したか否かを判定し、減少した場合はその減少が続くかぎりステップＳ１３１〜Ｓ１３４の処理を繰り返し実行する。
【０１０４】
そしてステップＳ１３４において高調波値ＶINV(N)が減少しないと判定されたらステップＳ１３５において図９（ｂ）の波形幅を１つ前（前回）の幅に戻し処理を終了する。
【０１０５】
このステップＳ１３５の処理により、１段目の波形の幅を最大幅まで拡幅させる以前に最初に高調波が極小値となったときのゲート幅を探索することができ、処理時間が短縮される。
【０１０６】
次に図１１（ａ）のステップＳ１４において、２段目拡幅、１段目狭幅による高調波ＶINV(N)の最小波形探索を最初の極小値となるまで行う（波形探索２）。
【０１０７】
すなわち、指令値により作成された図９（ａ）に示す、２つのインバータの合成出力電圧波形Ｆｂａｓｅに対して、図９（ｃ）に示すような「ＶINVの実効値を変えずに２段目を拡げ１段目を狭める動作」を行って高調波の最小波形探索を行うものであり、その詳細は図１１（ｃ）の処理を実行するものである。
【０１０８】
図１１（ｃ）において、ステップＳ１４１では、図９（ａ）の波形の２段目を拡幅できるか否かを判定する。拡幅できない場合は処理を終了するが、拡幅可能な場合はステップＳ１４２において図９（ｃ）に示すような２段目拡幅、１段目狭幅の処理を行う。
【０１０９】
次にステップＳ１４３において、ステップＳ１４２のように波形の幅を変化させた２つのインバータの合成出力電圧ＶINV（想定値）をフーリエ変換して、合成出力電圧ＶINVの特定次数の高調波値ＶINV(N)を求める。
【０１１０】
次にステップＳ１４４において、前記求められた高調波値ＶINV(N)が減少したか否かを判定し、減少した場合はその減少が続くかぎりステップＳ１４１〜Ｓ１４４の処理を繰り返し実行する。
【０１１１】
そしてステップＳ１４４において高調波値ＶINV(N)が減少しないと判定されたらステップＳ１４５において図９（ｃ）の波形幅を１つ前（前回）の幅に戻し処理を終了する。
【０１１２】
このステップＳ１４５の処理により、２段目の波形の幅を最大幅まで拡幅させる以前に最初に高調波が極小値となったときのゲート幅を探索することができ、処理時間が短縮される。
【０１１３】
次に図１１（ａ）のステップＳ１５において、前記波形探索１と２（ステップＳ１３、Ｓ１４）により探索された高調波ＶINV(N)のうち小さいほうのＶINV波形を選択する。
【０１１４】
そしてステップＳ１６では、前記選択されたＶINV波形のゲート幅のゲート信号をゲート制御部８０に出力し、ゲート制御部８０によって各インバータ１３０-1、１３０-2が制御される。
【０１１５】
この図１１に示す高調波対策２−１は（後述する図１２の高調波対策２−２も同様）、負荷が共振回路の場合、基本波以外の高調波共振点のインピーダンスは基本波に比べて桁違いに大きいため電圧を少し下げれば電流が減ることを利用している。
【０１１６】
次に、本実施例２における高調波対策部７０が行う高調波対策処理の他の例（高調波対策２−２：最小値探索）の処理フローを図１２とともに説明する。
【０１１７】
図１２の処理フローは、ゲート幅を変化させたときの２つのインバータの合成出力電圧の高調波値ＶINV(N)が最小値となるか否かの判定を、前記２つのインバータの各出力電圧の幅が最大幅となるまで、ゲート幅を変化させる毎に実行し、その結果高調波値が最小値となったときのゲート幅を前記各ＰＷＭ信号のゲート幅に決定することを特徴としている。
【０１１８】
まず図１２（ａ）のステップＳ２１では、ＰＷＭ信号生成部４０から指令値およびＰＷＭ信号を取り込む。次にステップＳ２２において、高周波電源装置の出力電流Ｉoutをフーリエ変換部６０によりフーリエ変換して求められた特定次数（Ｎ）の高調波が、基準値を超えるか否かを判定する。
【０１１９】
前記高調波が基準値を超える場合は、ステップＳ２３において、２段目狭幅、１段目拡幅による高調波ＶINV(N)の最小波形探索を１段目が最大幅となるまで行う（波形探索１）。
【０１２０】
すなわち、指令値により作成された図９（ａ）に示す、２つのインバータの合成出力電圧波形Ｆｂａｓｅに対して、図９（ｂ）に示すような「ＶINVの実効値を変えずに２段目を狭め１段目を拡げる動作」を行って高調波の最小波形探索を行うものであり、その詳細は図１２（ｂ）の処理を実行するものである。
【０１２１】
図１２（ｂ）において、ステップＳ２３１では、図９（ａ）の波形の１段目を拡幅できるか否かを判定する。拡幅できない場合は処理を終了するが、拡幅可能な場合はステップＳ２３２において図９（ｂ）に示すような２段目狭幅、１段目拡幅の処理を行う。
【０１２２】
次にステップＳ２３３において、ステップＳ２３２のように波形の幅を変化させた２つのインバータの合成出力電圧ＶINV（想定値）をフーリエ変換して、合成出力電圧ＶINVの特定次数の高調波値ＶINV(N)を求める。
【０１２３】
次にステップＳ２３４において、前記求められた高調波値ＶINV(N)が現時点での最小値内か否かを判定し、最小値内でない、すなわち新たな最小値となった場合はステップＳ２３５において最小値の更新がなされる。
【０１２４】
ステップＳ２３５の処理後と、ステップＳ２３４で最小値内であると判定された場合はステップＳ２３１〜Ｓ２３５の処理を繰り返し実行する。
【０１２５】
そしてステップＳ２３１において１段目の波形の拡幅ができないと判定されたら処理を終了する。
【０１２６】
次に図１２（ａ）のステップＳ２４において、２段目拡幅、１段目狭幅による高調波ＶINV(N)の最小波形探索を１段目幅≒２段目幅となるまで行う（波形探索２）。
【０１２７】
すなわち、指令値により作成された図９（ａ）に示す、２つのインバータの合成出力電圧波形Ｆｂａｓｅに対して、図９（ｃ）に示すような「ＶINVの実効値を変えずに２段目を拡げ１段目を狭める動作」を行って高調波の最小波形探索を行うものであり、その詳細は図１２（ｃ）の処理を実行するものである。
【０１２８】
図１２（ｃ）において、ステップＳ２４１では、図９（ａ）の波形の２段目を拡幅できるか否かを判定する。拡幅できない場合は処理を終了するが、拡幅可能な場合はステップＳ２４２において図９（ｃ）に示すような２段目拡幅、１段目狭幅の処理を行う。
【０１２９】
次にステップＳ２４３において、ステップＳ２４２のように波形の幅を変化させた２つのインバータの合成出力電圧ＶINV（想定値）をフーリエ変換して、合成出力電圧ＶINVの特定次数の高調波値ＶINV(N)を求める。
【０１３０】
次にステップＳ２４４において、前記求められた高調波値ＶINV(N)が現時点での最小値内か否かを判定し、最小値内でない、すなわち新たな最小値となった場合はステップＳ２４５において最小値の更新がなされる。
【０１３１】
ステップＳ２４５の処理後と、ステップＳ２４４で最小値内であると判定された場合はステップＳ２４１〜Ｓ２４５の処理を繰り返し実行する。
【０１３２】
そしてステップＳ２４１において２段目の波形の拡幅ができないと判定されたら処理を終了する。
【０１３３】
次に図１２（ａ）のステップＳ２５において、前記波形探索１と２（ステップＳ２３、Ｓ２４）により探索された高調波ＶINV(N)のうち小さいほうのＶINV波形を選択する。
【０１３４】
そしてステップＳ２６では、前記選択されたＶINV波形のゲート幅のゲート信号をゲート制御部８０に出力し、ゲート制御部８０によって各インバータ１３０-1、１３０-2が制御される。
【０１３５】
図１２（ｂ）、（ｃ）の処理により、高調波値（ＶINV(N)）が最小となるゲート幅を１段目、２段目の幅が最大幅となるまでの広い範囲で探索して求めることができる。
【０１３６】
以上のように本実施例２によれば、ＰＷＭ信号のゲート幅と高調波含有率を対応づけたテーブルを用意しなくても、高調波値が最小となるゲート幅を演算によって求めることができる。
【０１３７】
尚、上記の実施形態例の高周波電源装置は、２台のインバータ１３０-1、１３０-2を備えていたが、本発明は３台以上のインバータを多段構成した高周波電源装置にも適用することができる。その場合も、前記と同様の作用、効果が得られる。
【符号の説明】
【０１３８】
１１…出力電圧実効値検出部
１２…出力電圧目標値設定部
１３…出力電流実効値検出部
１４…出力電流目標値設定部
１５…出力電力検出部
１６…出力電力目標値設定部
２１〜２３…減算器
３１〜３３…制御器
４０…ＰＷＭ信号生成部
５０…出力電流検出部
６０…フーリエ変換部
７０…高調波対策部
８０…ゲート制御部
１００…交流電源
１１１、１１２…入力変圧器
１１３…出力変圧器
１２０-1、１２０-2…整流器
１３０-1、１３０-2…インバータ
１４０、１４１、１４２…フィルタ回路
１５０…共振負荷回路
【図１】
2019154104.tif 000008
【図２】
2019154104.tif 000009
【図３】
2019154104.tif 000010
【図４】
2019154104.tif 000011
【図５】
2019154104.tif 000012
【図６】
2019154104.tif 000013
【図７】
2019154104.tif 000014
【図８】
2019154104.tif 000015
【図９】
2019154104.tif 000016
【図１０】
2019154104.tif 000017
【図１１】
2019154104.tif 000018
【図１２】
2019154104.tif 000019