(57)【要約】【課題】反りのある板状ワークをチャックテーブルで吸引保持できるようにする。【解決手段】チャックテーブル１は、ポーラス部材で円板状に形成され一方の面を保持面２０とするポーラス板２と、ポーラス板２の保持面２０を露出させポーラス板２を収容する凹部３１を有し凹部３１の底面３２に吸引溝３３を備えるとともに吸引溝３３から下面３４を貫通して吸引源５に連通する吸引路３５を備える枠体３とを備え、ポーラス板２は、吸引溝３３の外周側に吸引抵抗低減部４を備えるため、ポーラス板２の中心側の保持面２０で作用する吸引力よりも吸引抵抗低減部４を通じてポーラス板２の外周側の保持面２０で作用する吸引力を大きくすることができ、外周部に反りのある板状ワークであっても、ポーラス板２の保持面２０で板状ワークを確実に吸引保持できる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状の板状ワークを保持する円形の保持面を有するチャックテーブルであって、
ポーラス部材で円板状に形成され一方の面を保持面とするポーラス板と、
該ポーラス板の該保持面を露出させ該ポーラス板を収容する凹部を有し該凹部の底面に吸引溝を備えるとともに該吸引溝から下面を貫通して吸引源に連通する吸引路を備える枠体とを備え、
該ポーラス板は、該吸引溝の外周側に吸引抵抗低減部を備えるチャックテーブル。
【請求項２】
前記吸引抵抗低減部は、前記ポーラス板の中心を中心としたリング状の凹み部を含んで構成される請求項１記載のチャックテーブル。
【請求項３】
前記ポーラス板は、円板状の中央ポーラス板と、該中央ポーラス板を囲繞するリングポーラス板とにより構成され、
該リングポーラス板は、該中央ポーラス板の空隙率よりも大きい空隙率を有し、
該リングポーラス板が前記吸引抵抗低減部となる請求項１記載のチャックテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを保持するチャックテーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
円板状の基板の表面に電極を備える板状ワークは、例えば、加熱して軟らかくなった樹脂を基板の表面に広げ、冷却して固めることで電極を覆う樹脂層が形成される。この冷却による樹脂の収縮作用によって樹脂層側が凹み、板状ワークに反りが発生することがある。反りが発生した板状ワークは、例えば、研削砥石で樹脂層を研削して表面を均一な平面にするとともにその表面に電極を表出させている（例えば、下記の特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１３６６３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、板状ワークに反りが形成されている部分は、板状ワークの外周部分となるため、外周部分とチャックテーブルの保持面との間に隙間が生じやすく、反りが発生していない板状ワークを吸引保持する場合と比較して吸引力が小さくなる。そして、反りが発生した板状ワークをチャックテーブルの保持面で吸引保持し、樹脂層に研削砥石を接触させて研削を行うと、板状ワークをチャックテーブルの保持面から引きはがそうとする力が働き、その力と反った板状ワークの応力とによってチャックテーブルにおいて板状ワークを吸引保持できなくなるという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたもので、反りのある板状ワークをチャックテーブルで吸引保持できるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、円板状の板状ワークを保持する円形の保持面を有するチャックテーブルであって、円板状に形成され一方の面を保持面とする多孔質材からなるポーラス板と、該ポーラス板の該保持面を露出させ該ポーラス板を収容する凹部を有し該凹部の底面に吸引溝を備えるとともに該吸引溝から下面を貫通して吸引源に連通する吸引路を備える枠体とを備え、該ポーラス板は、該吸引溝の外周側に吸引抵抗低減部を備えている。
【０００７】
上記吸引抵抗低減部は、上記ポーラス板の中心を中心としたリング状の凹み部を含んだ構成が好ましい。
【０００８】
上記ポーラス板は、円板状の中央ポーラス板と、該中央ポーラス板を囲繞するリングポーラス板とにより構成され、該リングポーラス板は、該中央ポーラス板の空隙率よりも大きい空隙率を有し、該リングポーラス板が上記吸引抵抗低減部として構成されることが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るチャックテーブルは、ポーラス部材で円板状に形成され一方の面を保持面とするポーラス板と、ポーラス板の保持面を露出させポーラス板を収容する凹部を有し凹部の底面に吸引溝を備えるとともに吸引溝から下面を貫通して吸引源に連通する吸引路を備える枠体とを備え、ポーラス板は、吸引溝の外周側に吸引抵抗低減部を備えるため、ポーラス板の中心側の保持面で作用する吸引力よりも吸引抵抗低減部を通じてポーラス板の外周側の保持面で作用する吸引力を大きくすることができ、外周部に反りのある板状ワークであっても、ポーラス板の保持面で板状ワークを確実に吸引保持することができる。
【００１０】
上記吸引抵抗低減部は、上記ポーラス板の中心を中心としたリング状の凹み部を含んだ構成としたため、ポーラス板の中心の吸引抵抗より外周側の吸引抵抗を小さくでき、ポーラス板の外周側の保持面における吸引作用を強くすることができる。
【００１１】
上記ポーラス板は、円板状の中央ポーラス板と、中央ポーラス板を囲繞するリングポーラス板とにより構成され、リングポーラス板は、中央ポーラス板の空隙率よりも大きい空隙率を有し、リングポーラス板が上記吸引抵抗低減部として構成されるため、中央ポーラス板の保持面よりもリングポーラス板の保持面において吸引作用をより強くすることが可能となり、外周部に反りのある板状ワークを確実に吸引保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】チャックテーブルの第１例の構成を示す分解斜視図である。
【図２】ポーラス板を下側から視た斜視図である。
【図３】チャックテーブルの第１例の構成を示す断面図である。
【図４】チャックテーブルの第２例の構成を示す断面図である。
【図５】（ａ）は、チャックテーブルの第２例のポーラス板を上から視た平面図である。（ｂ）は、図４のポーラス板の変形例を上から視た平面図である。
【図６】チャックテーブルの第３例の構成を示す断面図である。
【図７】（ａ）は、チャックテーブルの第３例のポーラス板を上から視た平面図である。（ｂ）は、図６のポーラス板の変形例を上から視た平面図である。
【図８】チャックテーブルの第４例の構成を示す断面図である。
【図９】チャックテーブルの第５例の構成を示す断面図である。
【図１０】チャックテーブルの第６例の構成を示す断面図である。
【図１１】チャックテーブルの第７例の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１に示すチャックテーブル１は、円板状の板状ワークを吸引保持するためのチャックテーブルの第１例である。チャックテーブル１は、ポーラス部材で円板状に形成され一方の面を保持面２０とするポーラス板２と、ポーラス板２の保持面２０を露出させポーラス板２を収容する凹部３１を有する枠体３とを備えている。
【００１４】
枠体３は、ポーラス板２の外周面２１を隙間無く嵌合するためのリング状の凸部３６を有する。凸部３６の内側の領域がポーラス板２の形状に応じて形成された凹部３１となっている。つまり、枠体３の凹部３１の内径は、ポーラス板２の外径よりも僅かに大きく形成され、凹部３１にポーラス板２を嵌め込むことが可能となっている。凹部３１の底面３２は、ポーラス板２の下面２２を水平に固定するために、平坦面に形成されている。
【００１５】
枠体３は、凹部３１の底面３２に形成された吸引溝３３と、吸引溝３３から下面３４に貫通して吸引源５（図３において図示）に連通する吸引路３５とを備えている。本実施形態に示す吸引溝３３は、リング状の凸部３６と同心円状に形成されている。吸引路３５を通じて吸引溝３３に負圧を発生させることで、凹部３１に嵌合されたポーラス板２に吸引力を伝達し保持面２０において吸引作用を発揮させることができる。なお、吸引路３５の数や位置は本実施形態に示す構成に限られない。
【００１６】
ポーラス板２の保持面２０は、板状ワークと相似形に形成され、かつ、板状ワークと略同一の面積を有している。図２に示すように、ポーラス板２の下面２２には、円形の吸引溝３３の外周側に吸引抵抗低減部４を備えている。吸引抵抗低減部４は、ポーラス板２の中心を中心としたリング状の凹み部４０を含んで構成されている。図示の例に示す凹み部４０は、空洞によって構成されている。吸引抵抗低減部４の位置は、吸引溝３３よりも外側であり、ポーラス板２の保持面２０に保持される板状ワークの外周部の位置に対応している。吸引抵抗低減部４は、図１に示したポーラス板２の中心部分の吸引抵抗より外周部分の吸引抵抗を小さくでき、ポーラス板２の外周側の保持面２０において吸引作用を強めることができる。
【００１７】
ポーラス板２を枠体３に収容する場合は、凹部３１の底面３２に例えば接着材を塗布してから、ポーラス板２を凹部３１に嵌め込んで底面３２においてポーラス板２の下面２２を接着固定させる。これにより、図３に示すように、ポーラス板２と枠体３とが一体となったチャックテーブル１が形成される。チャックテーブル１は、例えば、図示しない研削装置に搭載される。
【００１８】
チャックテーブル１で板状ワークを吸引保持する際には、吸引路３５を通じてポーラス板２に吸引源５の吸引力を伝達する。このとき、ポーラス板２に伝達され保持面２０で作用する吸引力のうち、ポーラス板２の中心側の保持面２０で作用する吸引力よりも吸引抵抗低減部４を通じてポーラス板２の外周側の保持面２０で作用する吸引力が大きくなる。そのため、チャックテーブル１で吸引保持しようとする板状ワークの外周部に反りあっても、ポーラス板２の外周側の保持面２０に板状ワークの反りによる応力よりも大きな吸引力を働かせることが可能となり、保持面２０で板状ワークを確実に吸引保持することが可能となる。これにより、チャックテーブル１に保持された板状ワークを例えば研削砥石によって研削する際に、チャックテーブル１から板状ワークが外れて吸引保持ができなくなるおそれがない。
【００１９】
以下に、その他の実施形態について説明する。なお、上記チャックテーブル１と同じ構成部分については、共通の符号を付して説明を省略する。
【００２０】
図４に示すチャックテーブル１Ａは、チャックテーブルの第２例であり、円板状のポーラス板２Ａを備え、ポーラス板２Ａの外周側の保持面２０に吸引抵抗低減部４ａを備えている。図５（ａ）に示すポーラス板２Ａのように、吸引抵抗低減部４ａは、ポーラス板２Ａの中心を中心としたリング状の凹み部４１（網掛けを施して図示）を含んで構成され、上記のチャックテーブル１と同様に、ポーラス板２Ａの中心の吸引抵抗より外周側の吸引抵抗を小さくでき、ポーラス板２Ａの外周側の保持面２０における吸引作用を強くすることができる。
【００２１】
吸引抵抗低減部４ａは、一連のリング形状の凹み部４１を含む構成としたが、かかる構成に限られない。例えば、図５（ｂ）に示すポーラス板２Ａのように、吸引抵抗低減部４ａ’は、ポーラス板２Ａの周縁に沿って全体としてリング状となるように配列された複数の穴４２（網掛けを施して図示）を含む構成としてもよい。
【００２２】
図６に示すチャックテーブル１Ｂは、チャックテーブルの第３例であり、円板状のポーラス板２Ｂを備え、ポーラス板２Ｂの外周側の保持面２０に吸引抵抗低減部４ｂを備えている。吸引抵抗低減部４ｂは、図７（ａ）に示すように、ポーラス板２Ｂの中心を中心としたリング状の凹み部４１と、凹み部４１の内側に形成されたリング状の内側凹み部４３とを含んで構成されている。図示の例における内側凹み部４３の幅は、凹み部４１の幅よりも狭くなっている。また、内側凹み部４３の深さは、凹み部４１の深さよりも浅くなっている。
【００２３】
チャックテーブル１Ｂでは、ポーラス板２Ｂの外周側の保持面２０に大小の空洞を２重に形成することにより、保持面２０のうち、その中心から外周側にかけて吸引抵抗を段階的に小さくすることができる。すなわち、保持面２０の中心よりも内側凹み部４３が形成された部分の吸引抵抗を小さくでき、さらに、内側凹み部４３が形成された部分よりも凹み部４１が形成された部分の吸引抵抗を小さくでき、ポーラス板２Ｂの最外周側の保持面２０における吸引作用をもっとも強くすることができる。
【００２４】
吸引抵抗低減部４ｂは、一連のリング形状の凹み部４１，内側凹み部４３を含む構成としたが、かかる構成に限られない。例えば、図７（ｂ）に示すポーラス板２Ｂのように、吸引抵抗低減部４ｂ’は、ポーラス板２Ｂの周縁に沿って全体としてリング状となるように配列された複数の複数の大穴４４（網掛けを施して図示）と複数の大穴４４の内側に全体としてリング状となるように配列された複数の小穴４５（網掛けを施して図示）とを含む構成としてもよい。第３例では、ポーラス板２Ｂの外周側の保持面２０において大小の空洞や大小の穴を２重にリング状に形成したが、特に本実施形態の構成に限定されるものではなく、３重以上に形成してもよい。
【００２５】
図８に示すチャックテーブル１Ｃは、チャックテーブルの第４例であり、円板状のポーラス板２Ｃを備え、ポーラス板２Ｃの外周側の保持面２０に吸引抵抗低減部４ｃを備えている。吸引抵抗低減部４ｃは、ポーラス板２Ｃの下面２２に形成された断面略Ｌ字型の凹み部６を含んで構成されている。凹み部６は、リング状の外側凹部６ａと、外側凹部６ａの内側に連通するリング状の内側凹部６ｂとにより構成されている。内側凹部６ｂは、外側凹部６ａよりも低い高さを有し、内側凹部６ｂの一端が枠体３の吸引溝３３に連通した構成となっている。チャックテーブル１Ｃでは、吸引抵抗低減部４ｃと吸引溝３３とが連通しているため、吸引抵抗低減部４ｃによって吸引抵抗を効果的に小さくすることができ、ポーラス板２Ｃの外周側の保持面２０における吸引作用を強くすることができる。
【００２６】
図９に示すチャックテーブル１Ｄは、チャックテーブルの第５例であり、逆円錐形状のポーラス板２Ｄを備え、ポーラス板２Ｄの外周側の保持面２０に吸引抵抗低減部４ｄを備えている。ポーラス板２Ｄは、その外周面２１から下面２２にかけて逆円錐面２３を有している。吸引抵抗低減部４ｄは、逆円錐面２３と凹部３１の底面３２との間に形成される凹み部７を含んで構成されている。凹み部７は、枠体３の吸引溝３３に連通している。この構成によれば、上記同様に、吸引抵抗低減部４ｄによって吸引抵抗を効果的に小さくすることができ、ポーラス板２Ｄの外周側の保持面２０における吸引作用を強くすることができる。
【００２７】
図１０に示すチャックテーブル１Ｅは、チャックテーブルの第６例であり、円板状のポーラス板Ｅを備え、ポーラス板２Ｅの外周側の保持面２０に吸引抵抗低減部４ｅを備えている。吸引抵抗低減部４ｅは、ポーラス板２Ｅの中心を中心としたリング状に厚み方向に上下面を貫通した外側貫通孔８ａと、外側貫通孔８ａの内側において厚み方向に上下面を貫通した内側貫通孔８ｂとを含んで構成されている。図示の例における内側貫通孔８ｂの幅は、外側貫通孔８ａの幅よりも狭くなっている。チャックテーブル１Ｅでは、上記同様に、吸引抵抗低減部４ｅにより吸引抵抗を効果的に小さくすることができ、ポーラス板２Ｅの外周側の保持面２０における吸引作用を強くすることができる。図示の例では、ポーラス板２Ｅの外周側の保持面２０において大小のリング状の貫通孔を２重に形成したが、本実施形態に示した構成に限定されるものではなく、３重以上に形成してもよい。
【００２８】
図１１に示すチャックテーブル１Ｆは、チャックテーブルの第７例であり、２種類のポーラス部材からなるポーラス板９を備えている。ポーラス板９は、円板状の中央ポーラス板９０と、中央ポーラス板９０を囲繞するリングポーラス板９１とにより構成されている。中央ポーラス板９０の保持面９０ａとリングポーラス板９１の保持面９１ａとは面一に構成されている。リングポーラス板９１は、中央ポーラス板９０の空隙率（多孔度）よりも大きい空隙率（多孔度）を有している。つまり、リングポーラス板９１は、中央ポーラス板９０に比べてポーラスが粗く通気性がよい構成となっている。図示の例では、リングポーラス板９１の厚みは中央ポーラス板９０の厚みの略１／２程度に設定されており、リングポーラス板９１の下面９１ｂと凹部３１の底面３２との間にリング状の凹み部１０が形成され、リングポーラス板９１が吸引抵抗低減部として構成されている。凹み部１０は凹部３１の吸引溝３３に連通している。このように、チャックテーブル１Ｆでは、中央ポーラス板９０の保持面９０ａよりもリングポーラス板９１の保持面９１ａにおいて吸引作用をより強くすることが可能となり、外周部に反りのある板状ワークを確実に吸引保持することができる。本実施形態では、ポーラス板９のリングポーラス板９１の下側にリング状の凹み部１０を形成したが、凹み部１０を省略して外周部全体をリングポーラス板９１で構成してもよい。
【００２９】
なお、本発明の実施形態は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更されてもよい。
【符号の説明】
【００３０】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ：チャックテーブル
２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ，２Ｅ：ポーラス板
２０：保持面  ２１：外周面  ２２：下面  ２３：逆円錐面  ３：枠体  ３１：凹部
３２：底面  ３３：吸引溝  ３４：下面  ３５：吸引路  ３６：凸部
４，４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ：吸引抵抗低減部  ４０，４１：凹み部  ４２：穴
４３：内側凹み部  ４４：大穴  ４５：小穴  ５：吸引源
６：凹み部  ６ａ：外側凹部  ６ｂ：内側凹部  ７：凹み部
８ａ：外側貫通孔  ８ｂ：外側貫通孔  ９：ポーラス板  ９０：中央ポーラス板
９１：リングポーラス板
１０：凹み部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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