(57)【要約】【課題】移動体（振動ユニット）の移動距離が長い場合にも安定した駆動力を実現できると同時に、簡単な構造で安定した押圧力を実現でき、さらに駆動力に直接影響を与えない余分な振動を他の部材に伝搬させず異音の発生を抑える事も実現できるリニア型アクチュエータを提供する。【解決手段】伸縮振動および屈曲振動との合成振動を発生する積層構造の圧電素子からなる振動子１２を含み、一方向にのみ往復運動可能な移動体を有するリニア型アクチュエータ１０において、振動子一端部を摺動部材５２に当接させて加圧する加圧部材１３と、少なくとも振動子を含みハウジング１６に設置され水平面内で往復運動する移動体として機能する振動ユニット１１と、摺動部材の振動子が当接する面と対向する下面５２ｄに接するベアリング５３〜５５と、を備える。【選択図】図１
2019180175.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
伸縮振動および屈曲振動との合成振動を発生する積層構造の圧電素子からなる振動子を含み、一方向にのみ往復運動可能な移動体を有するリニア型アクチュエータにおいて、
前記振動子一端部を摺動部材に当接させて加圧する加圧部材と、
少なくとも前記振動子を含み支持部材に設置され水平面内で往復運動する前記移動体として機能する振動ユニットと、
前記摺動部材の前記振動子が当接する面と対向する面に接する転動部材と、を備える
リニア型アクチュエータ。
【請求項２】
前記転動部材は、前記振動ユニットを設置する支持部材に取り付けられ、
前記摺動部材の前記転動部材と接する面には、凸部もしくは凹部が形成され、
当該転動部材は、前記振動ユニットの移動方向に対し直交する方向で、かつ当該摺動部材の凸部もしくは凹部の一方の側に少なくとも１個配置し、当該転動部材の総数は３個である
請求項１に記載のリニア型アクチュエータ。
【請求項３】
前記支持部材は、前記転動部材が配置される第１部材と、前記振動ユニットが取り付けられる複数の第２部材とからなる
請求項１又は請求項２に記載のリニア型アクチュエータ。
【請求項４】
前記振動ユニットの少なくとも一部を構成する前記振動子は、屈曲振動の少なくとも２箇所の節部を囲むように配置される弾性部材を有する
請求項１乃至請求項３いずれか一項に記載のリニア型アクチュエータ。
【請求項５】
前記振動子の長さをＬ、幅をＷとしたとき
下記（１）式を満足する
０．２１＜Ｗ／Ｌ＜０．２６・・・・・・・（１）
請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のリニア型アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の圧電素子を積層したリニア型アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
リニア型アクチュエータは、振動体に１つの固有の超音波振動又は異なる２つの固有の超音波振動を所定の周波数及びタイミングで発生させることにより、振動体の振動出力部において、楕円等の回転運動や往復運動を発生させ、この運動を振動出力部に接触させたロータ等の被駆動体に伝達して、当該被駆動体を駆動するものである。このリニア型アクチュエータは、低速高トルクを実現可能であり、静粛性に優れ、小型軽量化に適しているといった特徴がある。このため、カメラのオートフォーカス機能や、走査型電子顕微鏡を始めとし、精密な位置決めが要求される様々な可動機構の駆動源として広く用いられている。
ところで、このようなリニア型アクチュエータでは、振動体として主に積層圧電素子が用いられている。この積層圧電素子によれば、例えば同じ厚さの単一の板状の圧電体と比較した場合、低い印加電圧で、より大きな変形歪や発生力を得ることができることが知られている。
【０００３】
たとえば、特許文献１には、振動子と一緒に動く移動部材に、転動部材を案内する案内部が３つ設けられ、３つの案内部に収容される転動部材を直線で結ぶ三角形内に、加圧される振動子の押圧中心が位置することで、出力、駆動効率を低下させることなく、ユニットの全長寸法の大型化を回避したリニア超音波モータが開示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、シャフトに支持された移動体と、移動体と当接するアクチュエータと、アクチュエータに対向する位置で移動体に当接するローラと、アクチュエータとローラを移動体に付勢する弾性体からなる連結部材とを備えることで、アクチュエータの形状誤差および取付誤差に起因する付勢方向への位置ずれを吸収でき、アクチュエータからの駆動力を移動体に効率よく伝達できるリニア型超音波モータが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−６５８０９号公報
【特許文献２】特開２０１２−３９８４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、リニア型アクチュエータにおいて、移動体が移動をしても、安定した駆動出力が得られること、および移動体が移動した位置においても、移動位置に係らず安定した駆動力が得られることが必要である。
【０００７】
しかしながら、特許文献１では、移動板およびカバープレートに、移動する振動子の最大移動量を規定するような案内部を形成し、移動板とカバープレートで転動部材を挟み込むことで、振動子を移動可能にしている。しかしながら、転動体案内部を形成しているカバープレート端部を地板にネジ止めしているために、案内部を形成しているカバープレート中央部に撓みが発生してしまい、結果として安定した駆動力が得られなくなる欠点を有する。特に、振動子の案内部方向の移動量を大きくするにつれて、案内部の撓みが大きくなり、一層安定した駆動力が得られなくなるという欠点を有する。
また、振動子を加圧するためのばねは、複数の部材を用いて支持されているため、振動子の移動量が大きくなるほど、安定した押圧力を加えることが難しく、安定した駆動力や振動子移動速度を得るのが難しいという欠点を有する。
【０００８】
また、特許文献２では、移動体を支持するシャフトは、移動体上面のローラと移動体下面方向からの２つの振動子で高さ方向のみを規制しており、シャフト回転方向の規制は弾性体からなる連結部材のみで行われているため、シャフトが回転しやすく、振動子と移動体の接触が不均一となり、駆動力が不安定になるという欠点を有する。さらに、この駆動力の不安定性は、移動体の移動距離が長くなるほど顕著になるという欠点を有する。
【０００９】
本発明によれば、移動体の移動距離が長い場合にも安定した駆動力を実現できると同時に、簡単な構造で安定した押圧力を実現でき、さらに駆動力に直接影響を与えない余分な振動を他の部材に伝搬させず異音の発生を抑える事も実現できるリニア型アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は以下を包含する。
［１］伸縮振動および屈曲振動との合成振動を発生する積層構造の圧電素子からなる振動子を含み、一方向にのみ往復運動可能な移動体を有するリニア型アクチュエータにおいて、前記振動子一端部を摺動部材に当接させて加圧する加圧部材と、少なくとも前記振動子を含み支持部材に設置され水平面内で往復運動する前記移動体として機能する振動ユニットと、前記摺動部材の前記振動子が当接する面と対向する面に接する転動部材と、を備えるリニア型アクチュエータ。
［２］前記転動部材は、前記振動ユニットを設置する支持部材に取り付けられ、前記摺動部材の前記転動部材と接する面には、凸部もしくは凹部が形成され、当該転動部材は、前記振動ユニットの移動方向に対し直交する方向で、かつ当該摺動部材の凸部もしくは凹部の一方の側に少なくとも１個配置し、当該転動部材の総数は３個である［１］に記載のリニア型アクチュエータ。
［３］前記支持部材は、前記転動部材が配置される第１部材と、前記振動ユニットが取り付けられる複数の第２部材とからなる［１］又は［２］に記載のリニア型アクチュエータ。
［４］前記振動ユニットの少なくとも一部を構成する前記振動子は、屈曲振動の少なくとも２箇所の節部を囲むように配置される弾性部材を有する［１］乃至［３］いずれかに記載のリニア型アクチュエータ。
［５］前記振動子の長さをＬ、幅をＷとしたとき下記（１）式を満足する
０．２１＜Ｗ／Ｌ＜０．２６・・・・・・・（１）
［１］乃至［４］のいずれかに記載のリニア型アクチュエータ。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、振動子を含む振動ユニットが支持部材に設置され、振動ユニットと３個の転動部材との間に摺動部材を挟み込むような構造を採用することで、移動体（振動ユニット）の移動距離が長い場合にも安定した駆動力を実現できると同時に、簡単な構造で安定した押圧力を実現でき、さらに駆動力に直接影響を与えない余分な振動を他の部材に伝搬させず異音の発生を抑える事も実現できるリニア型アクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明によるリニア型アクチュエータであり、（ａ）は正面図、（ｂ）は上面図、（ｃ）は（ａ）のＩｃ−Ｉｃ断面図。
【図２】本発明によるリニア型アクチュエータの分解斜視図。
【図３】振動子ＡＳＳＹの分解図。
【図４】圧電素子の電極形状パターン図。
【図５】振動子伸縮振動説明図であり、（ａ）初期状態、（ｂ）伸長時、（ｃ）縮小時。
【図６】振動子屈曲振動説明図であり、（ａ）初期状態、（ｂ）屈曲時（正転時）、（ｃ）屈曲時（反転時）。
【図７】ハウジング（支持部材）の構造の一実施例を示す図。
【図８】ハウジング（支持部材）の構造の他の実施例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。図１〜図７は本発明の一実施形態に係るリニア型アクチュエータの一例を示す図である。
【００１４】
図１および図２において、リニア型アクチュエータ１０は、振動ユニット１１（移動体）と、摺動部材（固定）５２と、を備えており、振動ユニット１１に搭載されている振動子１２が伸縮振動と屈曲振動とをすることにより、摺動部材５２に対して、振動ユニット１１が往復直線運動する。
【００１５】
また、図２に示すように、振動ユニット１１は、振動子１２、加圧部材１３、引張バネ１４、ハウジング（支持部材）１６から構成されている。
【００１６】
以下、＜＜機構系全体＞＞、＜＜積層型振動子＞＞、＜＜振動子を構成する圧電素子配線パターン＞＞、＜＜積層振動子の幅（Ｗ）／長さ（Ｌ）比＞＞の順で説明する。
【００１７】
＜＜機構系全体＞＞
以下機構系全体について説明する。
まず、図３および図６に示すように、振動子１２は、屈曲振動の節部１２ｅを囲むように弾性部材３５で支持され、さらに保持部材３２に支持されてハウジング１６内で長手方向に移動自在に支持されている。加圧部材１３は、棒状に形成されて両端部１３ａ、１３ｂそれぞれに設置される引張バネ１４により、振動子１２に押圧力を与える。
【００１８】
図１、図２に示すハウジング１６は、後述する振動子ＡＳＳＹ３１を保持する保持部材３２の突起３２ｐを上下方向に移動自在に収容するスライド溝１６ｄが両壁面部１６ｓに形成されている。また、ハウジング１６は、加圧部材１３を収納する天面部および溝１６ｅを備えている。このハウジング１６は、基底部１６ｂを備えており、その基底部１６ｂには、ベアリング５３〜５５を装着するシャフト（軸）を取り付ける軸受部６５、６６を有する。なお、ハウジング１６は、例えば、溶融樹脂の射出成形加工により所望の寸法形状に一体形成するなどされている。
【００１９】
また、加圧部材１３は、振動子１２の上側端面１２ｕに対面する部位に球形突起１３ｐが形成されている。（図１（ａ）（ｃ）参照。）
これにより、振動子１２が、多少傾いた姿勢であっても、加圧部材１３の球形突起１３ｐにより、引張バネ１４による押圧力を適切に接触子１９に伝達することができ、駆動効率の良いリニア型アクチュエータを実現できる。
【００２０】
ところで、図１、図２に示すように、摺動部材５２は、その上面５２ｕに振動子ＡＳＳＹ３１の振動子１２の接触子１９が接触して、振動子１２の伸縮振動と屈曲振動を合成した楕円振動により、振動ユニット１１が往復直線運動する。なお、図１に示すように、摺動部材凸部５２ａの一方の側面にベアリング５４、他方の側にベアリング５３、５５を配置し、摺動部材５２の上面５２ｕに接触子１９を当接させることで、図１の上下方向で摺動部材５２を支持する構造と採っている。
【００２１】
なお、摺動部材５２の下面５２ｄ側に配置されるベアリング５３〜５５は、後述するように、３個のベアリング５３〜５５の中心を結ぶ直線が三角形を形成し、この三角形の領域内に接触子１９が存在するように配置されている。
【００２２】
また、図１（ｂ）に示すように、ベアリング５４は、両端側のベアリング５３、５５の中央に位置するように配置されている。つまり、３個のベアリング５３〜５５は、三角形の各頂点にそれぞれ配置されている。
【００２３】
これらベアリング５３〜５５は、摺動部材５２長手方向に延在する摺動部材凸部５２ａの両側に配置されることで、振動ユニット１１の傾きや回転を抑制し、振動子１２による楕円振動を安定的に摺動部材５２に伝達することができる。なお、摺動部材凸部５２ａは、凸部に限定されることなく、摺動部材５２長手方向に形成される延在する凹部であっても凸部と同様な効果が得られることは勿論である。
【００２４】
ところで、摺動部材５２としては、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）セラミックスに代表されるような高強度で摺動性に優れていれば、いかなる材料を用いても良い。さらに、転動部材であるベアリングは、金属はもとより、例えば、摺動材入りの樹脂ローラタイプ等であってもよい。
【００２５】
さらに、摺動部材５２を長くして、振動ユニット１１の移動距離を長くしても、水平面内に配置された３個のベアリング５３〜５５が一緒に移動することで、振動ユニット１１の傾きや回転を抑制でき、安定した駆動出力が得られる。
【００２６】
＜＜積層型振動子＞＞
以下、積層型振動子について説明する。
ところで、振動子１２は、図３に示すように、矩形状の圧電素子１２Ｐを角柱形状に重ねた積層構造に形成され、保持部材３２内に保持される。この振動子１２は、矩形の枠形状に形成されている弾性部材３５が、図６に示すような振動子１２の節部１２ｅ周りに位置するように、弾性部材３５の一部を圧縮変形させて嵌め込まれており、さらに、保持部材３２の保持リブ３２ｒ間（凹部）に圧縮変形させて嵌め込むことで、弾性部材３５を保持している。
【００２７】
さらに、積層した振動子１２は、５０μｍ〜２００μｍの厚みのチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ、ビッカース硬度３５０〜３８０）である圧電材料を複数枚積層して形成される。また、圧電材料としては、機械的品質係数が１０００以上のチタン酸ジルコン酸鉛が好ましい。
ここで、機械的品質係数とは、振動による損失係数を表す数値であり、正確には弾性損失係数の逆数である。したがって、機械的品質係数が大きな材料は、弾性損失係数が小さいということになり、材料自体の内部損失が少ないために良好な振動を発生することができる。
【００２８】
また、弾性部材３５は、シリコーンゴムやエチレン・プロピレンゴム（ＥＰＴ、ＥＰＤＭ）等のゴム材料により作製されている。特に、ここで使用するゴム材料は、駆動力に直接寄与する振動子１２の振動以外の余計な振動を保持部材３２やケース３３に伝達させないことが、異音発生抑制には有効である。このためには、ゴム材料として、損失係数（ｔａｎδ）が、一定値以下が必要であることが実験により判明した。
具体的には＜表１＞に記載するシリコーンゴムあるいはエチレン・プロピレンゴムが優れていた。さらに、駆動力を得るためには、振動子１２に外部印加電圧を連続的に加えて微小振動させるため、振動子１２自体の温度が上昇してしまうことは避けられない。したがって、ゴム材料には一定以上の耐熱性も必要であることがわかった。この結果を
＜表１＞に示す。この表からわかるように、耐熱性の観点からは、エチレンプロピレンゴムの耐熱温度以上が必要であった。
【００２９】
＜表１＞
2019180175.tif 000003
なお、損失係数の測定は、基本的には、ＪＩＳ  Ｋ６３９４準拠して測定をおこなった。具体的測定方法を以下に記載する。
＜損失係数（ｔａｎδ）測定方法＞
・測定器：上島製作所製  粘弾性アナライザＹＲ−７１３０
・測定温度：室温
・変形方法：引張
・周波数：１００Ｈｚ
・振幅：±１％
・プレロード：４８０ｍＮ
・試験片形状：２０ｍｍ（つかみ間隔）×４ｍｍ（幅）×２ｍｍ（厚さ））の短冊形状片
また、＜表１＞における総合評価とは損失係数、耐熱温度、耐オゾン性、電気絶縁性をすべて満足するものを「○（丸）」、一つでも満足しない項目がある場合には「×（バツ）」とした。以上の結果から、弾性部材３５として使用可能なゴム（熱硬化性エラストマ）は、損失係数（ｔａｎδ）が０．１５以上で、かつ耐熱温度が１５０℃以上の物性値を有することが必要であることが判明した。
【００３０】
以下、弾性部材３５を振動子１２の屈曲振動の節部１２eを含み振動子１２の外周を覆うような形に配置する理由を詳細に説明する。
振動子１２は、屈曲振動および伸縮運動する際に、振動子１２の変位が小さい節部が形成される（図５および図６の１２ｅ、１２ｍ）。そして、節部を除く領域では、屈曲振動および伸縮運動で振動子１２が大きく変位する腹部が形成される。
【００３１】
このため、振動子１２は、振動子１２の変位が小さい箇所を押さえることを目的に、振動子１２の屈曲振動節部（１２ｅ）の外周に弾性部材３５が取り付けられ、保持部材３２の保持リブ３２ｒ間（凹部）に圧縮保持されている。すなわち、この弾性部材３５は、振動子１２の屈曲振動の節部（１２ｅ）を中心として、振動子１２の長さ（Ｌ）方向に均等な幅（厚み）を有する。この弾性部材３５の振動子１２の長さ方向の長さ（＝厚み）は０．５ｍｍより大きく、１．５ｍｍ未満である。この数値範囲とした理由は、弾性部材３５の厚みが、０．５ｍｍ以下では、振動子１２の姿勢を良好に保つことができず、１．５ｍｍ以上では、振動子１２の屈曲振動を過剰に抑えてしまい、十分な駆動力が得られないためである。さらに、このような厚みを有する弾性部材３５は、振動子１２外周よりも小さめの内周面を有することで、振動子１２を圧縮保持し、かつ、保持部材３２の内周面よりも大きな外径を有することで、保持部材３２に圧縮嵌合している。また、保持部材３２の保持リブ３２ｒ間（凹部）は、弾性部材３５を圧縮嵌合できるように、弾性部材３５の厚みよりも小さく形成されている。
【００３２】
このように、振動子１２は、弾性部材３５が寸法や組み付けの誤差を吸収しつつ、振動子１２の屈強振動の節部１２ｅ（図６参照。）を圧縮保持することができ、かつ、保持部材３２内３２ｒ間（凹部）に圧縮嵌合されているため、振動子１２の余分な振動を吸収できる。また、振動子１２が多少傾いた状態で組みつけられても、接触子１９の姿勢が悪化せず、安定して摺動部材２２に当接させることができる。このためアクチュエータの効率的な駆動が得られる。
【００３３】
以上記載したように、振動子１２は、屈曲振動の節部１２ｅを弾性部材３５により圧縮保持しているため、振動子１２が多少傾いた状態で組みつけられても、接触子の姿勢が悪化せず、安定して接触させることができる。このためアクチュエータの効率的かつ安定的な駆動が得られる。同時に、駆動力に直接影響を与えない余分な振動を他の部材に伝搬させず異音の発生を抑える事も実現できる圧電アクチュエータを提供することができる。
【００３４】
ところで、振動子１２は、複数の矩形状の圧電素子を複数積層させ、圧電素子表面に内部電極を有し、この内部電極は、屈曲振動用電極と伸縮用電極および接地電極として圧電素子表面に形成される。この屈曲振動用電極と伸縮用電極とは、それぞれ接地電極と一対で積層され、積層された圧電素子の側面には電圧供給用電極が設けられている。そして、これらの電極間に適宜に駆動電圧が印加されることで、所望の駆動動作をするようになっている。
【００３５】
＜＜振動子を構成する圧電素子配線パターン＞＞
以下、振動子を構成する圧電素子配線パターンについて、図４を用いて説明する。
まず、振動子を構成する積層構造の各圧電素子に形成された電極パターンについて説明する。図４に示す電極符号（＋、−）は、圧電素子内部の分極状態を示す。図４（ａ）は、圧電素子の表面に形成されて電源側に接続されて、駆動信号の入力パターンとして機能する。図４（ｂ）は、後述の伸縮動作用の駆動電極として機能する。図４（ｃ）は、後述の屈曲動作用の駆動信号の入力パターンとして機能する。図４（ｄ）は、アース接続される接地（Ｇ）パターンとして機能する。図４（ｅ）及び図４（ｆ）は、図４（ａ）〜図４（ｄ）の信号あるいは接地パターンを接続するための外部取出しパターンとして機能する。
【００３６】
上述した積層振動子１２に外部から信号を入力することで、振動子１２が伸縮、屈曲振動する様子を図５（ａ）〜（ｃ）及び図６（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。まず、振動子１２に伸縮動作用の駆動信号が入力されると、図５（ｂ）（ｃ）に示すように、振動子１２の長手方向に伸縮振動が行なわれる。さらに、振動子１２に屈曲動作用の駆動信号が入力されると、図６（ｂ）（ｃ）に示すように、振動子１２の屈曲振動が行なわれる。
【００３７】
このように、リニア型アクチュエータ１０は、振動子１２に伸縮振動させる駆動電力信号周波数と屈曲振動させる駆動電力信号周波数の位相を略９０°ずらすことで、楕円運動を生じさせ、摺動部材５２を動かす。なお、摺動部材の移動方向を反転させるには、入力信号の位相を反転させることで行われる。
【００３８】
＜＜＜＜積層振動子の幅（Ｗ）／長さ（Ｌ）比＞＞
以下、積層振動子の幅（Ｗ）と長さ（Ｌ）との比（Ｗ／Ｌ）について説明する。
振動子１２は、図３に示すように、長さＬと幅Ｗの比（Ｗ／Ｌ）が０．２１＜Ｗ／Ｌ＜０．２６であることが振動ユニット１１の移動速度と消費電力の観点から好ましく、さらに、０．２２≦Ｗ／Ｌ≦０．２５とすることが、より好ましい。
【００３９】
以下、＜表２＞を用いてその理由を説明する。＜表２＞は、振動子１２の長さ（Ｌ）と幅（Ｗ）の比（Ｗ／Ｌ）を変更して、摺動部材５２の移動速度（ｍｍ／ｓ）とその時の消費電力（Ｗ）を測定した。ここで、摺動部材５２の移動速度は、圧電アクチュエータの駆動効率を表し、さらに、消費電力は、その値が小さいほど効率的に駆動力が得られることを意味する。
【００４０】
＜表２＞
2019180175.tif 000004
＜測定条件＞
・負荷：５０ｇ 
・駆動電圧：３．５〜４．５Ｖｒｍｓ 
・駆動周波数 ：１５０〜１７０ＫＨｚ
【００４１】
なお、表中の評価結果に記載された「◎（二重丸）」、「○（丸）」、「△（三角）」、「×（バツ）」の意味を以下に記載する。
（移動体速度）
◎：７５mm/s以上、
○：５０ｍｍ/s/以上７５ｍｍ/s以下
△：３０ｍｍ/s以上５０ｍｍ/s未満
×：３０ｍｍ/s未満
（消費電力）                          
◎：１Ｗ未満                          
○：１Ｗ以上１．５Ｗ未満  
△：１．５Ｗ以上２Ｗ未満          
×：２Ｗ以上  
＜表２＞の評価結果から、移動体速度（ｍｍ／ｓ）と消費電力（Ｗ）の両方を満足するためには、振動子１１の幅（Ｗ）と長さ（Ｌ）の比（Ｗ／Ｌ）は、０．２１より大きく、０．２６より小さいことが必要であることがわかる。さらに、より好ましくは、０．２２以上、かつ０．２５以下であることもわかる。このように、振動子１１の形状を最適化することで、高効率な駆動力を得ることができる圧電アクチュエータが実現できる。
【００４２】
以下に本実施形態の他の態様を、図８を用いて説明する。本実施形態では、図７に示すように、ハウジング１６の基底部１６ｂおよび両壁面部１６ｓを、ベアリング５３〜５５を支持する軸受部６５、６６と共に、射出成形加工によって一体成形して作製しているがこれに限るものではない。例えば、図８に示すように、切削加工により切り出した金属製の部品を作製してネジ止め固定するなどしてよい。
【００４３】
具体的には、図８に示すように、ハウジング１６を基底部（第１部材）１６ｂと両壁面部（第２部材）１６ｓとの組み立て加工する２部品にして、位置決めピンＰにより位置決めしつつネジ止め固定する構造を採用することもできる。この場合には、金属製にすることによって、部品強度や加工精度を向上させることができ、また、加工費を抑えてコストを削減することができる。さらに、切削加工では、少量生産可能であることから、リニア型アクチュエータ１０を搭載する装置本体の寸法構造に応じて大きさ等を容易に変更するなど適用性を向上させることもできる。
【００４４】
本発明の範囲は、図示され記載された例示的な実施形態に限定されるものではなく、本発明が目的とするものと均等な効果をもたらすすべての実施形態をも含む。たとえば、円形運動するアクチュエータに適用しても同様な効果を奏することができることは勿論である。
【符号の説明】
【００４５】
１０……リニア型アクチュエータ
１１……振動ユニット
１２……振動子
１２ｅ……屈曲振動の節部
１２ｍ……伸縮振動の節部
１２Ｐ……圧電素子
１３……加圧部材
１４……引張バネ
１６……ハウジング
１６ｂ……基底部
１９……接触子
３１……振動子ＡＳＳＹ
３２……保持部材
３５……弾性部材
５２……摺動部材
５２ａ……摺動部材凸部
５３〜５５……ベアリング
１００……外装ケース
１０１……下ケース
１１１……上ケース
【図１】
2019180175.tif 000005
【図２】
2019180175.tif 000006
【図３】
2019180175.tif 000007
【図４】
2019180175.tif 000008
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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