(57)【要約】      （修正有）【課題】合分波過程を経て出力される光の出力導波路位置による光損失の差を抑制することにより、光出力が均等化される光波長合分波器を提供する。【解決手段】周波数間隔Δｆを有する波長のｎ個の信号光を波長多重化した多重化信号光を周波数ごとに分波する光波長合分波器１０であって、多重化信号光を波長順番に交互に多重化された２つの多重化信号光に分波して出力するＭＺＩ１と、２つの出力にそれぞれ接続され、２つの多重化信号光をそれぞれ２分波する２つのアレイ導波路格子２、３を備え、マハツェンダ干渉計のＦＳＲが２×Δｆで、２つのアレイ導波路格子のＦＳＲはそれぞれ４×Δｆであり、２つのアレイ導波路格子のそれぞれの中心周波数に対応する出力導波路２ｗ２out、３ｗ３outを挟んだ両側の２つの出力導波路２ｗ１outと２ｗ３out、３ｗ２outと３ｗ４outから分波された信号光が出力されるように設定にされている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の周波数間隔Δｆを有する波長λ１、λ２、λ３・・・λｎのｎ個の信号光を波長多重化した多重化信号光を周波数ごとの信号光に分波する光波長合分波器であって、
前記多重化信号光を入力し、前記多重化信号光を波長順番に交互に多重化された２つの多重化信号光に分波して出力する、１入力２出力のマハツェンダ干渉計と、
前記マハツェンダ干渉計の２つの出力にそれぞれ接続され、前記２つの多重化信号光をそれぞれ２分波し、一方の入出力端面に均等に配置された４つの入出力導波路位置の内の２つの入出力導波路位置に配置された２つの入出力導波路から出力する、それぞれ１入力２出力の２つのアレイ導波路格子とを備え、
前記マハツェンダ干渉計のＦＳＲが２×Δｆで、前記２つのアレイ導波路格子のＦＳＲはそれぞれ４×Δｆであり、２つの前記アレイ導波路格子のそれぞれの中心周波数に対応する入出力導波路位置を挟んだ両側の２つの入出力導波路位置の入出力導波路から分波された前記信号光が出力されるように設定されていることを特徴とする光波長合分波器。
【請求項２】
所定の周波数間隔Δｆを有する波長λ１、λ２、λ３・・・λｎのｎ個の信号光を波長多重化した多重化信号光に合波する光波長合分波器であって、
一方の入出力端面に均等に配置された４つの入出力導波路位置の内の２つの入出力導波路位置に配置された２つの入出力導波路から入力された２つの信号光を合波して、他方の入出力端面に設けられた１つの入出力導波路から出力する、それぞれ２入力１出力の２つのアレイ導波路格子と、
前記２つのアレイ導波路格子に接続され、２つの合波された信号光をさらに前記多重化信号光に合波して出力する、２入力１出力のマハツェンダ干渉計とを備え、
前記マハツェンダ干渉計のＦＳＲが２×Δｆで、前記２つのアレイ導波路格子のＦＳＲはそれぞれ４×Δｆであり、２つの前記アレイ導波路格子のそれぞれの中心周波数に対応する入出力導波路位置を挟んだ両側の２つの入出力導波路位置の入出力導波路から合波する前記信号光が入力されるように設定されていることを特徴とする光波長合分波器。
【請求項３】
前記２つのアレイ導波路格子の中心周波数はΔｆ異なっていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光波長合分波器。
【請求項４】
前記２つのアレイ導波路格子は４つの入出力導波路がΔｆ離れた前記信号光に対応して形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光波長合分波器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光波長合分波器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年においては、通信トラヒックは増大の一歩をたどっており、より狭い周波数範囲での光波長多重化を利用した通信がすすめられている。光波長多重化通信において、多数の光信号を一括に伝送する光波長多重（ＷＤＭ：Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ    Ｄｉｖｉｓｉｏｎ    Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ）伝送は、ネットワークの伝送容量を飛躍的に増大させる技術として重要である。
【０００３】
このようなＷＤＭ伝送を実現する手段として、アレイ導波路回折格子（ＡＷＧ：Ａｒｒａｙｅｄ  Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ  Ｇｒａｔｉｎｇ）を用いた光波長合分波器が知られている。ＡＷＧは、シリコン等の基板上に形成した石英系ガラス光導波路であるプレーナ光波回路（ＰＬＣ：Ｐｌａｎａｒ  Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）を利用して構成される光学素子である。
【０００４】
ＡＷＧは、入力導波路に接続された第１のスラブ型光導波路と出力導波路に接続された第２のスラブ型光導波路との間を長さの異なる複数の光導波路で接続した構成を備えており、２つのスラブ型光導波路で互いに波長が異なる複数の光を干渉させて光の合波または分波を行なう受動素子である。
【０００５】
ＡＷＧは、１つの素子で非常に多くの信号を一括多重できるため、多くの信号の処理が必要な合分波器にも利用されている。図９に従来のＡＷＧ型光波長合分波器２００による信号処理の例を示す。従来は図９に示すように、複数の波長の光が多重化された光信号が入出力導波路２０１からＡＷＧ２００に入力されると、２つのスラブ導波路２０２、２０４および長さの異なる複数の導波路が並列したアレイ導波路２０３を経由することにより、異なる波長の光信号に分波されて複数の各入出力導波路２０５に所定の周波数間隔で複数の波長の光が周期的に出力される。以上のように、ＡＷＧ型光波長合分波器２００は分波器として機能する。一方、光信号が入出力光導波路２０５側から入力し、入出力光導波路２０１から出力される場合は、ＡＷＧ型光波長合分波器２００は合波器として機能する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表２０１４−５３４４７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図１０はＡＷＧ２００（図９）に等波長間隔の複数の光信号を多重化した多重化信号光を入力した場合に出力される信号の波長と透過率との関係を示す図である。図１０から明らかなように、従来のＡＷＧ型の光波長合分波器２００（図９）は、配列された複数の出力導波路の中央に比べて両端の出力導波路における光損失が多いという問題がある。
【０００８】
上記問題を解決するために図１１のＡＷＧ型光波長合分波器３００が提案された（特許文献１）。図１１のＡＷＧ型光波長合分波器３００は、両端の光損失の問題を解決するために、ＡＷＧ型光波長合分波器３００の出力導波路３０３の数を１本増やして従来のｎ本からｎ＋１本とし、両端の出力導波路３０３ａ、３０３ｂに同じ周波数の光信号を分波して、その後、カプラ（ＣＰＬ：Ｃｏｕｐｌｅｒ）３０４で合波することで両端における光損失を補償する構成を提案している。
【０００９】
しかしながら、図１１の構成では、両端の出力導波路３０３ａ、３０３ｂに複数の同じ周波数の光信号λ１、λ５、λ９が出力される場合、これらの複数の波長λ１、λ５、λ９の光信号間の位相調整が困難で、結果として損失が増大するという問題があった。
【００１０】
本発明は上記従来の問題に鑑みなされたものであって、本発明の課題は、合分波過程を経て出力される光の出力導波路位置による光損失の差を抑制することにより、光出力が均等化される光波長合分波器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、一実施形態に記載の発明は、所定の周波数間隔Δｆを有する波長λ１、λ２、λ３・・・λｎのｎ個の信号光を波長多重化した多重化信号光を周波数ごとの信号光に分波する光波長合分波器であって、前記多重化信号光を入力し、前記多重化信号光を波長順番に交互に多重化された２つの多重化信号光に分波して出力する、１入力２出力のマハツェンダ干渉計と、前記マハツェンダ干渉計の２つの出力にそれぞれ接続され、前記２つの多重化信号光をそれぞれ２分波し、一方の入出力端面に均等に配置された４つの入出力導波路位置の内の２つの入出力導波路位置に配置された２つの入出力導波路から出力する、それぞれ１入力２出力の２つのアレイ導波路格子とを備え、前記マハツェンダ干渉計のＦＳＲが２×Δｆで、前記２つのアレイ導波路格子のＦＳＲはそれぞれ４×Δｆであり、２つの前記アレイ導波路格子のそれぞれの中心周波数に対応する入出力導波路位置を挟んだ両側の２つの入出力導波路位置の入出力導波路から分波された前記信号光が出力されるように設定されていることを特徴とする光波長合分波器。である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１の実施形態の光波長合分波器の概略構成を示す図である。
【図２】第１の実施形態の光波長合分波器に用いられるＡＷＧの構成を示す図である。
【図３】第１の実施形態のＡＷＧのそれぞれにおいて出力される光信号の光損失を示す図である。
【図４】第１の実施形態において出力される光信号の波長と透過率との関係を示す図である。
【図５】第１の実施形態の光波長合分波器の出力波形を示す図である。
【図６】第２の実施形態において出力される光信号の波長と透過率との関係を示す図である。
【図７】第２の実施形態の光波長合分波器における出力を説明する図である。
【図８】本実施形態の２つのＡＷＧのそれぞれの出力導波路から出力される光信号の光損失を示す図である。
【図９】従来のＡＷＧ型光波長合分波器を示す図である。
【図１０】従来のＡＷＧ型光波長合分波器における光出力の光損失を示す図である。
【図１１】従来のＡＷＧ型光波長合分波器を改良した例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
【００１４】
（第１の実施形態）
図１は、本実施形態の光波長合分波器の概略構成を示す図である。図１に示すように、本実施形態の光波長合分波器１０は、１入力２出力のマハツェンダ干渉計（ＭＺＩ）型導波路１と、ＭＺＩ１の２つの出力４ａ、４ｂにそれぞれ接続される２つのアレイ導波路型回折格子（ＡＷＧ）２、３とを備えて構成される。
【００１５】
ＭＺＩ１は、１つの入出力導波路と２つの入出力導波路４ａ、４ｂとの間に並列して設けられた２つのアーム導波路が２つの光カプラを介して接続されて構成されており、入力された光信号を周波数（波長）の大きさの順（波長順番）に交互に２つの入出力導波路４ａ、４ｂに分配する。すなわち、ＭＺＩ１は、多重化信号光を、重複のない２つの異なる周波数の組に分波して出力する。
【００１６】
２つの入出力導波路４ａ、４ｂには、２つのＡＷＧ２、３が接続されており、ＭＺＩ１で交互に分配された光信号がＡＷＧ２またはＡＷＧ３に入力される。
【００１７】
図２は図１のＡＷＧ２、３の概略構成を示す図である。ＡＷＧ２、３は、それぞれ、１本の導波路で構成される入出力導波路４（４ａ又は４ｂ）と、周波数間隔Δｆに形成された複数の入出力導波路５（５ａ又は５ｂ）と、互いに長さの異なる並列した複数の導波路からなる光導波路アレイ６と、入出力導波路４と光導波路アレイ６とを接続する第１のスラブ導波路７と、光導波路アレイ６と入出力導波路５とを接続する第２のスラブ導波路８とを備えて構成されている。それぞれのＡＷＧ２、３における入出力導波路５（５ａ、５ｂ）の本数は、少なくとも分波する信号光の数に等しく設定される。また、入出力導波路５（５ａ、５ｂ）を配置可能な位置である入出力導波路位置は、それぞれのＡＷＧ２、３における入出力端面に均等に配置されることができる。
【００１８】
本実施形態では、ＡＷＧ２、３は、中心周波数（中心波長）の導波路（中心周波数導波路）の両側に信号光を出力する導波路を配置する構成である。図１ではＡＷＧの入出力導波路数５（５ａ、５ｂ）は４本形成されているが、それぞれ少なくとも２本（実線）形成されていればよい。図１のＡＷＧ２、３の入出力導波路５（５ａ、５ｂ）は周波数間隔Δｆの等間隔に４つ形成されている。ここで、中心周波数とは、ＡＷＧにおいて分波できる複数の光信号の中で、出力の最も大きい光信号の周波数である。中心周波数導波路とは、実際に分波しようとする信号光に中心周波数の光が含まれている場合、中心周波数の光が出力される導波路である。ＡＷＧ２、３のそれぞれの中心周波数（中心波長）から等周波数間隔離れた２つの信号光は、中心周波数導波路の両側の入出力導波路から出力される。信号光の出力される２つの導波路は中心周波数導波路の両側の直近の入出力導波路が最適で、中心周波数から離れる程光出力は低下する。信号光が出力される導波路は中心周波数導波路に対し等位置にあるため、損失も同程度とすることができる。
【００１９】
本実施形態の光波長合分波器１０では、１入力２出力のＭＺＩ１と、ＭＺＩ１からの２つの出力にそれぞれ接続される２つのＡＷＧ２、３の分波間隔を光信号の周波数間隔Δｆと同一に設定し、ＭＺＩ１のＦＳＲ（Ｆｒｅｅ  Ｓｐｅｃｔｒａｌ  Ｒａｎｇｅ： 光学的特性の周期間隔）は２×Δｆ、ＡＷＧ２、３のＦＳＲは４×Δｆと設定することで、中心周波数導波路に隣接する両側の２つの入出力導波路から信号光が出力される構成とすることができる。
【００２０】
さらに、本実施形態の光波長合分波器１０では、２つのＡＷＧ２、３における中心周波数がΔｆ異なるように設定されている。ちなみに、ＭＺＩの代わりに光スプリッタを用いても光出力は均等化され出力されるが、ＭＺＩを用いる構成に比べ光出力が１／２となり、クロストークなどの光信号の特性も劣化する。
【００２１】
ＭＺＩの分波間隔（ＦＳＲ）はアーム導波路の長さ、ＡＷＧ分波間隔、ＦＳＲ、中心周波数はアレイ導波路の長さ、をそれぞれ調整することによって設定できる。
【００２２】
本実施形態では、上記構成の光波長合分波器１０に、等周波数間隔のスキップレス光信号が多重化された多重化信号光が入力される。周波数間隔（Δｆ）が１００ＧＨｚ間隔のｎ個のスキップレス光信号λ１、λ２、λ３、λ４、λ５・・・λｎが多重化された多重化信号光を入力する場合を例に挙げて説明する。本実施形態では、図１に示すように、１００ＧＨｚの等間隔で多重化された多重化信号光は、光波長合分波器１０に入力されると、周波数に応じて、ｎ個の異なる信号光として異なる出力に分波される。
【００２３】
ＭＺＩ１のＦＳＲは２００ＧＨｚに設定されているので、信号光は波長順番で交互に２分波される。すなわち、光信号λ１、λ２、λ３、λ４、λ５・・・λｎがＭＺＩ１で波長順番で交互に分波され、ＡＷＧ２にはλ１、λ３、λ５・・・の信号光が入力し、ＡＷＧ３にはλ２、λ４、λ６・・・の信号光が入力する。
【００２４】
ＡＷＧ２、３の入出力導波路は１００ＧＨｚの等間隔に４つ形成されている。ＡＷＧ２の中心周波数はλ２に設定されており、ＡＷＧ３の中心周波数はλ３に設定されている。さらにＭＺＩ１に接続する２つのＡＷＧ２、３のＦＳＲはそれぞれ４００ＧＨｚに設定されているので、ＡＷＧ２、３にそれぞれに入力した信号光はそれぞれのＡＷＧ２、３において波長順番に２つに分波される。
【００２５】
ＡＷＧ２の４つの入出力導波路５ａの１番目から４番目の導波路を２ｗ１out、２ｗ２out、２ｗ３out、２ｗ４outとすると、ＡＷＧ２は入出力導波路２ｗ２outが中心周波数（λ２）となるように設定されており、２ｗ２outの両側の入出力導波路２ｗ１outと入出力導波路２ｗ３outから信号光はそれぞれ出力される。ＡＷＧ２の入出力導波路２ｗ１outからλ１、λ５、λ９・・・の信号光が出力し、入出力導波路２ｗ３outからλ３、λ７、λ１１・・・の信号光が出力する。
【００２６】
同様に、ＡＷＧ３の４つの入出力導波路５ｂの１番目から４番目の導波路を３ｗ１out、３ｗ２out、３ｗ３out、３ｗ４outとすると、ＡＷＧ３は入出力導波路３ｗ３outが中心周波数（λ３）となるように設定されており、３ｗ３outの両側の入出力導波路３ｗ２outと入出力導波路３ｗ４outから信号光はそれぞれ出力される。ＡＷＧ３の入出力導波路３ｗ２outからλ２、λ６、λ１０・・・の信号光が出力し、入出力導波路３ｗ４outからλ４、λ８、λ１２・・・の信号光が出力する。
【００２７】
以上は光波長合分波器１０の分波器としての説明であるが、信号光をＡＷＧ２、３の入出力導波路５側から入力し、ＭＺＩ１の１本の導波路側へ出力させれば、光波長合分波器１０は合波器として機能する。
【００２８】
図３は光波長合分波器１０のＡＷＧ２、３からそれぞれ出力される信号光の光出力を表す図であり、図４は本実施形態の光波長合分波器から出力される信号光の波長ごとの透過率を示す図である。図３に示すようにＡＷＧの中心周波数から離れるほど信号光の損失（中心周波数に比べた透過率の減少）は大きくなるが、本実施形態の光波長合分波器１０では、中心周波数導波路に対し等間隔の２つの導波路から信号光が出力される構成であるため、図４に示すように、透過損失は各波長の信号光で同程度となり、光出力は均等化される。
【００２９】
また、光波長合分波器１０の出力波形は図５に示すように、ＭＺＩのみの場合やＡＷＧのみの場合に比べて、本実施形態の光波長合分波器１０のようにＭＺＩとＡＷＧとを組み合わせた構成では、ＭＺＩ１とＡＷＧ２またはＡＷＧ３により２回分波されるため、図５に示すように出力信号の広がり幅が狭く絞られるので、より低クロストークとなる。
【００３０】
（第２の実施形態）
第１の実施形態では、等間隔のスキップレス光信号が多重化された多重化信号光を入力する態様について説明したが、第２の実施形態では、第１の実施形態と同様の構成の光波長合分波器を用いて、スキップレスではない光信号が多重化された多重化信号光を入力する。第１の実施形態と同様の部分については説明を省略する。
【００３１】
本実施形態では、具体的には、図６に示すように、１００ＧＨｚ間隔の４チャネルの信号光からなる２つの信号光群が１０００ＧＨｚの間隔をおいて離散しているスキップ有りの光信号が多重化された多重化信号光を用いる。このスキップ有りの光信号のＦＳＲは１３００ＧＨｚである。この場合、信号光の周波数間隔は１００ＧＨｚ間隔であるため、光波長合分波器は第１の実施形態と同じ構成の光波長合分波器１０が利用できる。ＭＺＩ１のＦＳＲは２００ＧＨｚで、ＭＺＩ１に接続する２つのＡＷＧ２、３のＦＳＲはそれぞれ４００ＧＨｚである。
【００３２】
図７は、第２の実施形態の光波長合分波器における出力を説明する図である。出力信号の出力される入出力導波路は第１の実施形態とは異なり、図７に示すように、ＡＷＧ２の一方の入出力導波路からは、λ１、λ６、λ９、λ１４、・・・、他方からλ３、λ８、λ１１、λ１６、・・・が出力され、ＡＷＧ３の一方の入出力導波路からは、λ２、λ５、λ１０、λ１３、・・・、他方からλ４、λ７、λ１２、λ１５、・・・が出力される。ちなみに、１００ＧＨｚ間隔の４チャネルの信号光群が９００ＧＨｚ離散している場合では、第１の実施形態と同様に、ＡＷＧ２の一方の入出力導波路からは、λ１、λ５、λ９・・・、他方からλ３、λ７、λ１１・・・が出力され、ＡＷＧ３の一方の入出力導波路からは、λ２、λ６、λ１０・・・、他方からλ４、λ８、λ１２・・・が出力される。
【００３３】
本実施形態の光波長合分波器でも、中心周波数導波路から等間隔の位置にある２つの導波路から信号光が出力される構成であるため、透過損失は同程度となり、光出力は均等化される。
【００３４】
また、入出力導波路５（５ａ、５ｂ）は少なくとも出力分だけ形成されていればよい。以上の実施形態では、ＡＷＧ２、３それぞれ２つ出力があるので、それぞれに最低２本あればよい。中心導波路を含む信号光が出力されない部分に導波路を形成するかどうかは自由に設計可能である。
【００３５】
以上の実施形態では、光波長合分波器のＭＺＩ１の１つの入出力導波路４ａ、４ｂから入力された多重化信号光が、分波されて複数の入出力導波路５ａ、５ｂから出力される場合を例に挙げて説明したが、受動素子で構成された光波長合分波器はこの逆の動作も可能である。すなわち、光信号の経路上の素子が光導波路や分波素子などのパッシブ（受動的）な素子のみで構成されているので、光信号の伝搬方向は可逆となり、入力ポートと出力ポートを入れ替えて使用することができる。したがって、複数の入出力導波路５ａ、５ｂから入力された複数の信号光が合波されてＭＺＩ１の１つの入出力導波路から出力されるように動作することも可能である。
【００３６】
（実施例）
次に、上記の実施形態に基づいて光波長合分波器１０を作成し、効果を例証した。
【００３７】
まず、以下の方法により図１と同様の構成の光波長合分波器１０を作製した。シリコン（Ｓｉ）基板上に火炎堆積法によって二酸化シリコン（ＳｉＯ2）を主成分とする下部クラッド層を堆積して、二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2）をドーパントとして添加した二酸化シリコン（ＳｉＯ2）を主成分とするコア層を堆積した後に、電気炉で透明ガラス化する。
【００３８】
さらに、再び二酸化シリコン（ＳｉＯ2）を主成分とする上部クラッド層を堆積した。光導波路のコア層のサイズは、６μｍ×６μｍで、コア層とクラッド層との比屈折率差Δは０．７５％とした。
【００３９】
なお、出来上がった導波路は、ダイシングソーにより端面を切り出し、日本国内で通常伝送路に用いられているシングルモードファイバを、入出力部にとりつけて評価した。
【００４０】
本実施例では、１００ＧＨｚで多重化された４つの光信号（λ１〜λ４）を分波することとした。したがって、ＭＺＩパラメータとして、ＦＳＲ＝２００ＧＨｚ、中心周波数＝１９５．２ＴＨｚと設定し、ＡＷＧパラメータとして、出力導波路数＝４、ＦＳＲ＝４００ＧＨｚ、周波数間隔１００ＧＨｚ、ＡＷＧ２中心周波数＝１９５．３ＴＨｚ、ＡＷＧ３中心周波数１９５．２ＴＨｚと設定した。
【００４１】
以上のように作製した光波長合分波器１０に、１００ＧＨｚの周波数間隔で波長多重化された光波長λ１、λ２、λ３、λ４・・・の光信号を入力した。多重化された光信号は、ＦＳＲが２００ＧＨｚのＭＺＩ１において、周波数間隔２００ＧＨｚの２つに波長多重化信号光（［λ１、λ３・・・］、［λ２、λ４・・・］に分波される。
【００４２】
そして、それぞれの多重化信号光は、分波間隔が１００ＧＨｚの２つのＡＷＧ２、３（２，３）を通過することにより、ＡＷＧ２からはλ１、λ３・・・が、ＡＷＧ３からはλ２、λ４・・・がそれぞれの出力導波路に分波されて出力される。この際、４つの導波路（ｗ１〜ｗ４）が形成されるＡＷＧ２の導波路ｗ１、ｗ２、ｗ３、ｗ４の内、λ１はｗ１をλ３はｗ３に分波され、ｗ２，ｗ４に信号は分波されない。同様に、ＡＷＧ３の導波路ｗ１、ｗ２、ｗ３、ｗ４の内、λ２はｗ２をλ４はｗ４に分波され、ｗ１，ｗ３に信号は分波されない。
【００４３】
図８はＡＷＧ２の出力導波路ｗ３、ＡＷＧ３の出力導波路ｗ２のそれぞれにおいて出力される光信号の光損失を示す図である。図８からも明らかなように、所定の分波間隔に等しい周波数間隔ごとに損失が低減していることが判る。すなわち、これらの導波路には、所定の周波数間隔ごとに光信号が出力されるといえる。
【００４４】
以上の実施形態では、複数の周波数の信号光が多重化された１つの光信号を複数の光信号に分波する構成を説明したが、入力と出力を逆の構成とすることによって、複数の周波数の光信号を１つの光信号に合波（多重化）する構成とすることができる。
【符号の説明】
【００４５】
１      ＭＺＩ
２、３、  ＡＷＧ
４（４ａ、４ｂ）  入出力導波路
５（５ａ、５ｂ）  入出力導波路
６  光導波路アレイ
７  第１のスラブ導波路
８  第２のスラブ導波路
１０  光波長合分波器
２００  ＡＷＧ型光波長合分波器
２０１  入出力導波路
２０２、２０４  スラブ導波路
２０３  アレイ導波路
２０５  入出力光導波路
３００  ＡＷＧ型光波長合分波器
３０３（３０３ａ、３０３ｂ）  出力導波路
３０４  カプラ
【図１】
2019015853.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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