(57)【要約】【課題】種々のワークを容易に吸着することができる吸着装置及び産業用ロボットを提供する。【解決手段】掌部３３と、前記掌部３３の周囲に突出して設けられ、前記掌部３３を厚さ方向に変形させることにより前記掌部３３に向かって倒れる複数の指部３４とを有する袋状のハンド本体３２と、前記掌部３３の外周の収縮を防ぐ形状保持部４６とを備え、前記複数の指部３４は、開口を有する吸引口５２と、前記吸引口５２に配置された吸着パッド５０とが設けられたことを特徴とする。【選択図】図３
2019072779.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
掌部と、
前記掌部の周囲に突出して設けられ、前記掌部を厚さ方向に変形させることにより前記掌部に向かって倒れる複数の指部と
を有する袋状のハンド本体と、
前記掌部の外周の収縮を防ぐ形状保持部と
を備え、
前記複数の指部は、開口を有する吸引口と、前記吸引口に配置された吸着パッドとが設けられたことを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
前記ハンド本体はケースに固定されており、
前記ケースは、前記ハンド本体内に通じる第１配管と、前記吸引口に通じる複数の第２配管とが保持されていることを特徴とする請求項１記載の吸着装置。
【請求項３】
前記複数の第２配管は、バルブを介して集合配管に接続されていることを特徴とする請求項１又は２記載の吸着装置。
【請求項４】
前記吸着パッドは、ワークに接触する接触面に対し、垂直方向に伸縮可能な変形部を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の吸着装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項記載の吸着装置を設けたことを特徴とする産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着装置及び産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークを把持することを目的としたロボットハンドとして、人間の手の形状に近い機構を有する５指型の把持装置の検討がされている（例えば、特許文献１）。ところが、５指型の把持装置は、人間の手に近い複雑な動作を実現する為に、動作や制御機構が非常に複雑なため、これらの複雑さが導入を困難にする要因となっている。
【０００３】
これに対し、２指型グリッパ（例えば、特許文献２）や吸着ハンドは、動作が比較的単純であるため、産業用ロボットとして用いられている。
【０００４】
例えば、食品工場内では、主に吸着パッドを備えた吸着ハンドとして、ロボットアームに配置され、ワークを吸着して保持する吸着パッドを備え、粉体や粒状物を内包する袋状のワークを吸着する吸着装置が開示されている（例えば、特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１９２４９６号公報
【特許文献２】特開２００９−１２５８５１号公報
【特許文献３】特開２０１３−１０７１７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献２，３の場合、機構上、サイズや形状が異なるワークを汎用的に吸着することができない場合がある。そのため、多品種少量生産のように、ワークの種類が多い作業現場においては、人やツールチェンジャーによる取り替え作業が必要となってしまうため、生産効率が低下してしまう、という問題があった。
【０００７】
本発明は、種々のワークを容易に吸着することができる吸着装置及び産業用ロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る吸着装置は、掌部と、前記掌部の周囲に突出して設けられ、前記掌部を厚さ方向に変形させることにより前記掌部に向かって倒れる複数の指部とを有する袋状のハンド本体と、前記掌部の外周の収縮を防ぐ形状保持部とを備え、前記複数の指部は、開口を有する吸引口と、前記吸引口に配置された吸着パッドとが設けられたことを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る産業用ロボットは、上記吸着装置を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、掌部へ向かって指部を基端から倒れるように変形させ、吸着パッドをワーク表面に確実に接触させることができるので、種々のワークを容易に吸着することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】吸着装置を適用した産業用ロボットの例を示す模式図である。
【図２】吸着装置を示す斜視図である。
【図３】吸着装置を示す部分端面図である。
【図４】吸着装置の使用状態を示す部分端面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００１３】
（全体構成）
図１に、本実施形態に係る吸着装置１０を適用した産業用ロボット１２の構成を示す。産業用ロボット１２は、直交ロボットであって、レール１４と、レール１４に沿って移動する移動体１６と、移動体１６に固定されたエアシリンダ１８とを備える。レール１４は、図中Ｙ軸方向に移動可能に設けられている。
【００１４】
エアシリンダ１８は、シリンダーチューブ１９と、シリンダーチューブ１９に対し進退可能に設けられたピストンロッド２０とを有する。シリンダーチューブ１９には、エアシリンダ用配管２１、２２が設けられている。当該エアシリンダ用配管２１、２２を通じて気体が給排気されることにより、ピストンロッド２０がシリンダーチューブ１９に対し進退可能となっている。ピストンロッド２０の先端に吸着装置１０が取り付けられている。
【００１５】
産業用ロボット１２は、水平な基台２３上に置かれたワークＷを、吸着装置１０で吸着すると共に、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸方向に移動することができる。ワークＷは、特に限定されるものではないが、本図では、粉体や粒状物を内包する袋体を示している。
【００１６】
吸着装置１０は、ピストンロッド２０に連結されたケース３０と、ケース３０に固定されたハンド本体３２とを備える。ケース３０側が上側（図中Ｚ方向側）であり、ハンド本体３２側が下側（図中Ｚ方向とは反対側）である。ハンド本体３２は、複数の指部３４を有する。各指部３４には、吸着パッド５０が設けられている。吸着装置１０の詳細は別の図面を用いて後述する。
【００１７】
ケース３０には、ハンド本体３２の内部と通じる第１配管２４の一端と、吸着パッド５０に通じる第２配管２５とが接続されている。第１配管２４の他端は、図示しないが例えば切換弁を介して、加圧ポンプと三方弁に接続されている。第２配管２５は、各指部３４の吸着パッド５０に対応して、指部３４と同数個、設けられている。本図においては、図面簡略化のために１つの第２配管２５のみ図示し、その他の第２配管２５は省略している。第２配管２５は、一端が吸着パッド５０に接続され、他端がバルブ２７を介してマニホールド２９に接続されている。バルブ２７は、開閉バルブ、流量制御バルブなどを用いることができる。マニホールド２９は、各第２配管２５をまとめて、集合配管３１に接続する。集合配管３１は、図示しないが例えば三方弁に接続されている。第１配管２４に接続される三方弁と集合配管３１に接続される三方弁は別個のものである。
【００１８】
各三方弁は、真空ポート、給排気ポート、大気解放ポートを有し（いずれも図示なし）、真空ポートが真空ポンプに、給排気ポートが吸着装置１０に、大気解放ポートが外部に接続される。加圧ポンプ、真空ポンプ、三方弁、及び切換弁は、図示しないが例えばコントローラと電気的に接続しており、このコントローラにより制御される。第１配管２４内に気体が流通することにより後述する掌部３３が変形する。第２配管２５を通じて気体を排気することにより、吸着パッド５０でワークＷを吸着する。
【００１９】
ハンド本体３２は、ケース３０の下方に設けられている。ハンド本体３２は、気密性と弾性とを有する材料で形成されている。ハンド本体３２は、復元力を有する材料で形成されることが好ましい。ハンド本体３２の材料としては、例えば、天然ゴムや合成ゴムなどが用いられる。ハンド本体３２の硬度は、用途に応じて適宜設計してよい。ハンド本体３２の硬度は、日本工業規格ＪＩＳ  Ｋ６２５３に準拠し、タイプＡデュロメーターで測定される。本実施形態では、ハンド本体３２の硬度は６０である。
【００２０】
図２に示すように、ハンド本体３２は、掌部３３と、掌部３３の周囲に突出して設けられた複数の指部３４とを有する。掌部３３は、円盤状である。指部３４は、柱状である。指部３４は、掌部３３と一体に形成されている。指部３４同士の間には、所定の間隔が設けられている。本実施形態では、５つの指部３４が設けられている。指部３４の外形形状は、適宜選択することができ、例えば、円柱、三角柱、四角柱、円錐、三角錐、四角錐、円錐台、四角錐台、板状などでもよい。各指部３４の外径形状は、全て同一でもよいし、一部または全てが異なってもよい。
【００２１】
吸着装置１０について、図３を参照しながら具体的に説明する。図３は、説明の都合上、指部３４が上下方向に伸びた状態を示している。ハンド本体３２は、上側が開口した袋状をしており、この開口がケース３０により塞がれている。ハンド本体３２の厚みは、本実施形態では１ｍｍとしているが、適宜設計してよい。
【００２２】
ケース３０は、ピストンロッド２０に連結されており、支持体３８と一体化されている。図３に示すケース３０は一例であり、適宜設計してよい。
【００２３】
ケース３０は、ケース本体３６と、支持体３８とを有する。ケース本体３６は、円盤状であって、第１配管２４が接続される第１継手部４２と、第２配管２５が挿入される第２継手部４３とを有する。第１継手部４２と第２継手部４３は、ケース本体３６に形成された複数の貫通穴（図示なし）にそれぞれ設けられる。第１継手部４２は、第１配管２４の一端が接続されている。本実施形態では、図示しないが、上記第１継手部４２と、５つの第２継手部４３とがピストンロッド２０を囲むように設けられている。
【００２４】
支持体３８は、ハンド本体３２を支持する支持部３８ａと、支持部３８ａの上端に設けられたフランジ部３８ｂと、支持部３８ａの下端に設けられた円盤部３８ｃとを有する。本実施形態では、支持体３８は、支持部３８ａとフランジ部３８ｂと円盤部３８ｃが一体に形成されたものである。支持体３８は、別体で作られた支持部３８ａとフランジ部３８ｂと円盤部３８ｃを、接着剤などを用いて接着することにより形成してもよい。支持体３８は、加圧または減圧により変形しない程度の硬質な材料で形成される。支持体３８の材料としては、例えば硬質な樹脂や金属などが用いられる。
【００２５】
支持部３８ａは、ハンド本体３２内に収容され、外周面でハンド本体３２を支持する。支持部３８ａに対するハンド本体３２の取り付け方法としては、例えば、支持部３８ａの外周面の周方向全域に接着剤を塗布し、この接着剤を介して、ハンド本体３２を支持部３８ａに接着させる方法が用いられる。これにより、ハンド本体３２の支持部３８ａからの脱落と、支持部３８ａの外周面とハンド本体３２の内面の間での気体の流通とが防止される。支持部３８ａの外径をハンド本体３２の開口径よりも若干大きくし、ハンド本体３２の弾性を利用して、支持部３８ａの外周面とハンド本体３２の内面が密着するように取り付けてもよい。支持部３８ａの形状は、本実施形態では円筒状であるが、これに限られず適宜設計してよい。上記ハンド本体３２の弾性を利用した取り付け方法を用いる場合は、支持部３８ａが円筒状に形成されていることが好ましい。
【００２６】
フランジ部３８ｂは、支持部３８ａの径方向の外側に向けて突出しており、図示しないパッキンを介してケース本体３６の下面に、図示しない締結手段、例えばねじを用いて固定される。
【００２７】
円盤部３８ｃの中央には開口部４１が形成されている。開口部４１は、支持部３８ａとハンド本体３２の間で気体を流通させるためのものである。開口部４１には、第２配管２５が通される。開口部４１を形成する位置は、円盤部３８ｃの中央に限られず適宜設計してよい。
【００２８】
ケース３０の下方には、掌部３３の外周の形状を保持する形状保持部４６が設けられている。形状保持部４６は、円盤部３８ｃと掌部３３の間に形成された内部空間４４に配置されている。この形状保持部４６により、掌部３３の厚み方向（図３における上下方向）への変形が許容され、かつ、掌部３３の厚み方向と直交する方向への変形が規制される。形状保持部４６は、加圧または減圧により変形しない程度に硬質な材料で形成される。形状保持部４６の材料としては、例えば硬質な樹脂や金属などが用いられる。形状保持部４６の材料としては、必ずしも一種の材料である必要はなく、異種材料を組み合わせた複合材料でもよい。
【００２９】
形状保持部４６は、上方に変形した掌部３３を受け入れるガイド穴４８を有する枠状部材である。ガイド穴４８は、掌部３３に対応する、形状保持部４６の中央に設けられる。ガイド穴４８の大きさは、適宜設計してよいが、掌部３３と略同じ大きさであることが好ましい。本実施形態の場合、形状保持部４６は、掌部３３の外周面を保持する保持面４９を有する円筒状部材である。保持面４９は、形状保持部４６の外周面である。保持面４９は、掌部３３の外周面を保持できる大きさに形成される。保持面４９は、形状保持部４６の軸方向の指部３４側先端に向けて先細りで、外側に凸となるように湾曲している。形状保持部４６の先端は、例えば面取り加工により曲面が形成されている。
【００３０】
形状保持部４６は、同心円状に配置された複数のリング体を有する。複数のリング体は、軸方向に移動可能、かつ、着脱自在である。複数のリング体のうち、最も内側に配置されたリング体の穴がガイド穴４８である。形状保持部４６は、複数のリング体を適宜組み合わせることにより、ガイド穴４８の大きさや、外形の大きさを変更することができる。したがって、リング体を適宜選択することにより、ハンド本体３２の外周面の大きさや掌部３３の大きさを、目的とする大きさに調整することができる。本実施形態では、形状保持部４６は、２個のリング体４６ａ，４６ｂを有し、リング体４６ａがリング体４６ｂよりも内側に配置されている。図３ではリング体４６ａの先端に曲面が形成されているが、これに加え、リング体４６ｂの先端に曲面を形成してもよい。
【００３１】
指部３４内には、弾性部３５が設けられている。弾性部３５の材質は、樹脂またはゴムであるのが好ましい。弾性部３５の材質は、必ずしも均一である必要はなく、異種材料を組み合わせた複合材でもよい。弾性部３５は、フィラーなどの添加物を含んでもよい。弾性部３５は、指部３４の内面との間に、隙間がないように配置されるのが好ましい。第２配管２５は、弾性部３５内を長手方向に貫通している。弾性部３５の基端の形状は、例えば曲面形状や平面形状など適宜設計することができ、本実施形態では形状保持部４６の曲面に合わせた形状としている。弾性部３５の基端は、保持面４９と面接触し得る。このため、ハンド本体３２内を減圧したときに形状保持部４６とハンド本体３２の内面の間には空間が生じない。
【００３２】
吸着パッド５０は、指部３４に設けられた吸引口５２に配置されている。本図の場合、吸引口５２は、指部３４の先端に設けられている。吸引口５２は、開口を有する筒状の部材であり、指部３４の厚さ方向に貫通した穴に嵌め込まれている。吸引口５２は、樹脂製又は金属製の部材であり、指部３４の穴との間の気密が保持され、一端が指部３４の外側に、他端が指部３４の内側に配置された状態で、穴に固定されている。吸引口５２の他端は、第２配管２５の一端が接続される。
【００３３】
吸着パッド５０は、ワークＷに接触する接触面５５を有する変形部５４と、当該変形部５４と一体的に形成された固定部５６とを備える。変形部５４は、樹脂製の筒状部材であり、接触面５５に垂直方向に伸縮可能である。本図の場合、変形部５４は、蛇腹状のチューブであり、接触面５５に垂直方向に伸縮可能であると共に、半径方向に弾性変形可能である。固定部５６は、締結手段により、吸引口５２の一端側に固定される。締結手段は、例えば、固定部５６に設けられた雌ねじと、吸引口５２の一端側に設けられた雄ねじである。固定部５６は、吸引口５２にねじ込むことにより、吸引口５２を介して指部３４の先端に固定される。
【００３４】
（動作及び効果）
上記のように構成された吸着装置１０が設けられた産業用ロボット１２の動作及び効果について説明する。産業用ロボット１２は、ピストンロッド２０がシリンダーチューブ１９内に退避し、エアシリンダ１８が収縮した状態を原点とする。吸着装置１０は、初期状態では、第１配管２４と第２配管２５が各三方弁を介して大気解放ポートに接続され、ハンド本体３２の内部空間４４の圧力が大気圧である。
【００３５】
産業用ロボット１２は、移動体１６がレール１４に沿って移動することで、基台２３上に置かれたワークＷの鉛直線上に吸着装置１０を位置決めする（図１）。次いで、産業用ロボット１２は、シリンダーチューブ１９からピストンロッド２０が進出することにより、指部３４がワークＷの側面に到達するまで、エアシリンダ１８を伸長させる。
【００３６】
次いで各三方弁は、大気解放ポートが遮断され、給排気ポートが真空ポートと繋がった状態に切り替えられる。吸着装置１０は、第１配管２４を介して内部空間４４の気体が吸引され、内部空間４４の圧力が例えば−０．０３ＭＰａ以下に減圧される。
【００３７】
ハンド本体３２は、形状保持部４６により掌部３３の外周面の形状が保持された状態を維持する。そうすると、図４に示すように、掌部３３は、形状保持部４６のガイド穴４８に吸い込まれるようにして、厚み方向に変形する。指部３４は、掌部３３の中心へ引っ張られ、形状保持部４６の先端と指部３４の基端との接触部分を起点として、掌部３３へ向かって基端から倒れるように変形する。
【００３８】
吸着装置１０は、第２配管２５を通じて吸着パッド５０の接触面近傍の気体が吸引される。そうすると、接触面５５及びワークＷ表面が互いに引き寄せられ、接触面５５とワークＷ表面が密着し、吸着パッド５０内の圧力が真空になることで、吸着パッド５０がワークＷを吸着する。本実施形態の場合、５つの指部３４が袋状のワークＷの表面に密着することにより、ワークＷが吸着される。
【００３９】
次いで、産業用ロボット１２は、ピストンロッド２０をシリンダーチューブ１９内に退避させてエアシリンダ１８を収縮することにより、ワークＷを基台２３から持ち上げる。さらに、産業用ロボット１２は、移動体１６の移動とレール１４の移動により、ワークＷを水平方向へ移動させる。
【００４０】
その後、産業用ロボット１２は、シリンダーチューブ１９からピストンロッド２０が進出することにより、ワークＷが基台２３に接触するまでエアシリンダ１８を伸長させる。次いで、各三方弁は、真空ポートが遮断され、給排気ポートが大気解放ポートと繋がった状態に切り替えられる。第１配管２４を介して内部空間４４へ気体が流入し、内部空間４４の圧力が大気圧に戻る。掌部３３は、ガイド穴４８から押し出され元の状態に戻る。掌部３３が元の状態に戻るのに伴い、指部３４は、基端から起き上がる。
【００４１】
第２配管２５を介して吸着パッド５０へ気体が流入し、吸着パッド５０内の圧力が大気圧に戻る。そうすると接触面５５とワークＷ表面が離れ、結果として、指部３４がワークＷを手放す。
【００４２】
次いで、産業用ロボット１２は、ピストンロッド２０をシリンダーチューブ１９内に退避させ、エアシリンダ１８を収縮することにより、吸着装置１０をワークＷから離す。以上のようにして、産業用ロボット１２は、基台２３上に置かれたワークＷを吸着装置１０で吸着し、所望の位置へ移動することができる。
【００４３】
上記のように、ハンド本体３２内を真空にして掌部３３へ向かって指部３４を基端から倒れるように変形させることにより、吸着パッド５０はワークＷ表面に確実に接触することができる。すなわち、吸着装置１０は、吸着パッド５０をワークＷにより確実に接触させることができるので、より種々のワークＷを容易に吸着することができる。
【００４４】
バルブ２７を適宜閉じることにより、吸引する吸着パッド５０が選択される。したがって吸着装置１０は、ワークＷの大きさに合わせて吸引する吸着パッド５０を選択することにより、大きさの異なるワークＷを容易に吸着することができる。
【００４５】
例えば、吸着装置１０は、形や大きさが異なる種々のワークが、同一ライン上に混在する場合でも、各ワークに合わせて、指部３４を変形させたり、吸引する吸着パッド５０を選択したりすることにより、適切に吸着することができる。
【００４６】
バルブ２７は、吸着パッド５０から吸引する気体の流れによって流量を調整する調整弁を用いてもよい。例えばバルブ２７は、図示しないが常時開であるオリフィスと開閉バルブとを有する。開閉バルブは、スプリングによって通常開である。吸着パッド５０がワークＷに密着していない場合、気体の流れによって開閉バルブが閉じるので、流量はオリフィスを通過する分だけに絞られる。吸着パッド５０がワークＷに密着している場合、スプリングによって開閉バルブが開く。調整弁を用いることにより、異なるワークＷに合わせてバルブ２７を切り替える作業を省略することができる。複数の吸着パッド５０のうち、ワークＷに密着していない吸着パッドがあっても、真空圧力の低下を防ぐことができるので、ワークＷを確実に吸着することができる。
【００４７】
吸着装置１０は、第１配管２４が切換弁を介して加圧ポンプに接続されている場合は、内部空間４４が加圧される。この場合は、ハンド本体３２は、掌部３３が周縁方向、すなわち、掌部３３の外側へ向かって引っ張られ、各々の指部３４が掌部３３の外側へ向かって基端から倒れるように弾性変形する。このように、吸着装置１０は、ワークＷの大きさに合わせて指部３４を開くことができるので、汎用性をより向上することができる。
【００４８】
吸着装置１０は、内部空間４４の圧力を変えるタイミングと吸着パッド５０から吸引するタイミングを制御することにより、指部の変形と、吸着を段階的に行うことができるので、汎用性により優れる。
【００４９】
吸着装置１０は、指部３４の先端が下向きの状態だけでなく、横向きや上向きの状態であってもよい。したがって、吸着装置１０は、基台２３上のワークＷを持ち上げるだけでなく、垂直な壁面や、天井に吊り下げられたワークＷを吸着することができるので、汎用性により優れる。
【００５０】
指部３４は、形状保持部４６の先端が湾曲していることにより、掌部３０が形状保持部４６の先端に接触しながら厚さ方向に変形するので、指部３４が連続的、かつ、ゆるやかに変形する。したがって吸着装置１０は、ワークＷの形状に合わせて指部３４を変形することにより、吸着パッド５０をワークＷにより確実に接触させることができる。因みに形状保持部に湾曲部が形成されていない把持装置では、指部は座屈するように変形する。
【００５１】
弾性部３５の基端で形状保持部４６とハンド本体３２の内面の間を埋めることにより、減圧時におけるハンド本体３２の部分的な凹みを防止することができる。したがって、吸着装置１０は、より安定的に指部３４を弾性変形させることができると共に、ハンド本体３２の耐久性を向上することができる。
【００５２】
（変形例）
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。
【００５３】
吸引口５２は、指部３４の先端に設けられている場合に限らず、指部３４の内側又は外側に設けてもよい。
【００５４】
ケース３０には、ワークＷを撮影するカメラ、把持したワークＷの重量を測定する重量計、ワークＷとハンド本体３２の間の距離を測定する近接センサなどを設けてもよい。
【００５５】
掌部３３の大きさ、指部３４の長さや数などは、用途に合わせ適宜変えてもよい。
【００５６】
形状保持部４６は、１個のリング体を有するものでもよいし、３個以上のリング体を有するものでもよい。形状保持部４６は、円筒状部材に限られず、ガイド穴４８を有する多角柱でもよい。
【００５７】
上記実施形態の場合、形状保持部４６は円筒状部材である場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば、平面視において長円形状、多角形や、楕円形などの枠状部材としてもよい。形状保持部は、ハンド本体の形状に合わせて、外形形状を適宜変更することができる。形状保持部のガイド穴は、円形状に限らず、多角形状であってもよい。
【００５８】
形状保持部４６は、外径と前記ガイド穴４８の内径の比が１．０：０．９８〜１．０：０．６であるのが好ましい。例えば、形状保持部４６の外径が８０ｍｍの場合、内径が４８〜７８ｍｍの範囲であれば、指部３４は掌部３３の中心に向かってより確実に弾性変形する。
【００５９】
平面視における弾性部３５の中心位置よりも半径方向の外側に、形状保持部４６の指部側先端が位置するのが好ましい。これにより、形状保持部４６の先端と弾性部３５の基端との接触部分は、形状保持部４６の径方向における弾性部３５の基端の中心位置よりも外側に位置する。この結果、指部３４は、上記の接触部分を支点として、掌部３３の中心に向かって容易に弾性変形する。形状保持部４６の指部３４側先端が、弾性部３５の中心位置よりも半径方向の内側で弾性部３５の基端に接触した場合、指部３４は、掌部３３の中心に向かって弾性変形しにくくなる。
【００６０】
上記実施形態では、産業用ロボット１２として直交ロボットの例を示したが、本発明はこれに限らず、スカラロボット、垂直多関節ロボットなどに適用することができる。すなわち吸着装置１０は、産業用ロボットによってＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を中心に回転しても、ワークＷを把持すると共に、把持した状態を維持することができる。
【符号の説明】
【００６１】
１０  吸着装置
１２  産業用ロボット
２４  第１配管
２５  第２配管
２７  バルブ
３０  ケース
３１  集合配管
３２  ハンド本体
３３  掌部
３４  指部
４６  形状保持部
５０  吸着パッド
５２  吸引口
５４  変形部
５５  接触面
Ｗ  ワーク
【図１】
2019072779.tif 000003
【図２】
2019072779.tif 000004
【図３】
2019072779.tif 000005
【図４】
2019072779.tif 000006