(57)【要約】【課題】安定した駆動力と異音発生の抑制とを両立できる圧電アクチュエータを提供すること。【解決手段】伸縮振動および屈曲振動との合成振動を発生する積層構造の圧電素子からなる振動子１１を摺動部材に圧接させて当該摺動部材を移動させる圧電アクチュエータにおいて、振動子の一端部を摺動部材に当接させて加圧する加圧部材と、振動子の少なくとも２箇所の節部を囲むように配置される弾性部材３５と、弾性部材を保持するとともに振動子の姿勢を保持する保持部材３２と、を有する。【選択図】図３
2019180174.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
伸縮振動および屈曲振動との合成振動を発生する積層構造の圧電素子からなる振動子を摺動部材に圧接させて当該摺動部材を移動させる圧電アクチュエータにおいて、
前記振動子の一端部を前記摺動部材に当接させて加圧する加圧部材と、
前記振動子の少なくとも２箇所の節部を囲むように配置される弾性体と、
前記弾性体を保持するとともに前記振動子の姿勢を保持する保持部材と、
を有する圧電アクチュエータ。
【請求項２】
前記振動子の節部は、屈曲振動の節部である
請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
前記弾性体の耐熱温度が１５０℃以上、かつＪＩＳ  Ｋ６３９４準拠の
損失係数（ｔａｎδ）が０．１５以下
である請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
前記弾性体は、前記振動子の屈曲振動の少なくとも節部の領域を囲む大きさを有し、前記保持部材には当該弾性体の相対位置を移動不能に支持する凹部を有する請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項５】
前記弾性体は、前記振動子および前記保持部材の一方または双方との接触支持する凸部を有し、該凸部のみが当該振動子の前記節部を囲む請求項１乃至請求項４いずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項６】
前記振動子の長さをＬ、幅をＷとしたとき
下記（１）式を満足する
０．２１＜Ｗ／Ｌ＜０．２６・・・・・・・（１）
請求項１乃至請求項５いずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項７】
前記積層構造を有する圧電素子は、複数の矩形状の圧電素子表面に設けられた内部電極を有し、
前記内部電極は、屈曲振動用電極、伸縮用電極および接地電極が各々の前記圧電素子表面に形成され、当該屈曲振動用電極と当該伸縮用電極とは、それぞれ接地電極と一対で積層されており、
前記積層された圧電素子の側面には電圧供給用電極が設けられている
請求項１乃至請求項６いずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項８】
前記摺動部材が、長尺に形成され、長手方向に移動自在に支持されることにより当該長手方向に往復直線運動するようにリニア型アクチュエータとして構成されている請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の圧電素子を積層した圧電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電アクチュエータは、振動体に１つの固有の超音波振動又は異なる２つの固有の超音波振動を所定の周波数及びタイミングで発生させることにより、振動体の振動出力部において、楕円等の回転運動や往復運動を発生させ、この運動を振動出力部に接触させたロータ等の被駆動体に伝達して、当該被駆動体を駆動するものである。この圧電アクチュエータは、低速高トルクを実現可能であり、静粛性に優れ、小型軽量化に適しているといった特徴がある。このため、カメラのオートフォーカス機能や、走査型電子顕微鏡を始めとし、精密な位置決めが要求される様々な可動機構の駆動源として広く用いられている。
ところで、このような圧電アクチュエータでは、振動体として主に積層圧電素子が用いられている。この積層圧電素子によれば、例えば同じ厚さの単一の板状の圧電体と比較した場合、低い印加電圧で、より大きな変形歪や発生力を得ることができることが知られている。
【０００３】
たとえば、特許文献１には、圧電素子の節の発生箇所付近を板バネで直接支持固定することによって、振動子の滑りやガタを無くし、振動エネルギーの損失および振動特性を変化させることなく、高効率で安定的な出力が得られることが開示されている。
【０００４】
特許文献２には、圧電素子の節の発生箇所付近をケースと一体化された支持部材で支持することにより、振動子を加圧方向と垂直な方向に移動させず、加圧方向にのみ案内しているため、振動子に生ずる屈曲振動および伸縮振動が安定することで、大きくかつ安定した駆動力発生を実現できることが開示されている。
【０００５】
特許文献３には、振動子を収納する保持部材の収納部の一方の内壁面の凹部に円錐バネ材などの弾性部材を配し、他方の内壁面に転動体を配することで、収納部全体を円錐バネと転動体で保持して、振動体の振動が保持部材を介して周囲の部材に伝搬することを抑制することが開示されている。
【０００６】
特許文献４には、圧電振動子の中央をネジ止め固定することによって、位置ずれのない支持固定を実現できると同時に、駆動力に影響する振動を良好に伝達できることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−４１７７７号公報
【特許文献２】特開平１１−３４６４８６号公報
【特許文献３】特開２０１３−１７９７３３号公報
【特許文献４】特開平４−１４５８７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、圧電アクチュエータにおいては、振動子からの駆動力を低下させることなく、しかも、駆動力に影響を及ぼさない振動子からの余分な振動を周囲の部材に伝播させないことが必要である。
【０００９】
しかしながら、特許文献１では、圧電素子の節の発生箇所付近を板バネで直接支持固定しているため、振動子が斜めに組みつけられた場合には、接触子の姿勢が悪化して、正確に摺動部材に当たらなくなるためアクチュエータの効率的な駆動が得られないという欠点を有する。さらに、振動子からの駆動力に無関係な振動が周囲の部材に伝搬してしまい、異音の発生を抑制できない欠点を有する。
【００１０】
また、特許文献２では、圧電素子をプラスチックやゴム等からなるケースと一体化された４箇所の支持部で支持しているため、圧電素子自体の姿勢を加圧方向と同一となるように組み立てることが難しく、また、ゴム等からなる支持部が圧縮されて振動子側部を固定していないため、振動を安定的に伝達することが難しい、しかも、４箇所でのみ支持しているため、駆動力に影響を与えない余分な振動の他の部材への伝搬を抑制することが難しく、十分に異音を防止できない欠点を有する。
【００１１】
さらに、特許文献３では、振動子をバネ材と転動球体という金属材料からなる部材を用いて、点接触で挟み込む構造であることから、周囲の部材への振動伝搬を抑えることが難しく、異音の発生を抑制することができない欠点を有する。
【００１２】
加えて、特許文献４では、圧電振動子の中央部一点のみをネジ止めしているため、振動子と摺動部材間で発生する摩擦力により、振動子の姿勢が不安定になり、安定して高出力が得られない。さらに、ネジのような金属材料で圧電振動子を固定しているため、駆動力に影響しない余分な振動を吸収することができず異音が発生してしまう欠点を有する。
【００１３】
本発明によれば、振動子が不安定な姿勢となることを防止することで、安定した駆動力の実現と、駆動力に直接影響を与えない余分な振動を他の部材に伝搬させず異音発生抑制の２つを両立して解決できる圧電アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、以下を包含する。
［１］伸縮振動および屈曲振動との合成振動を発生する積層構造の圧電素子からなる振動子を摺動部材に圧接させて当該摺動部材を移動させる圧電アクチュエータにおいて、前記振動子の一端部を前記摺動部材に当接させて加圧する加圧部材と、前記振動子の少なくとも２箇所の節部を囲むように配置される弾性体と、前記弾性体を保持するとともに前記振動子の姿勢を保持する保持部材と、を有する圧電アクチュエータ。
［２］前記振動子の節部は、屈曲振動の節部である［１］記載の圧電アクチュエータ。
［３］前記弾性体の耐熱温度が１５０℃以上、かつＪＩＳ  Ｋ６３９４準拠の
損失係数（ｔａｎδ）が０．１５以下である［１］記載の圧電アクチュエータ。
［４］前記弾性体は、前記振動子の屈曲振動の少なくとも節部の領域を囲む大きさを有し、前記保持部材には当該弾性体の相対位置を移動不能に支持する凹部を有する［１］乃至［３］いずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
［５］前記弾性体は、前記振動子および前記保持部材の一方または双方との接触支持する凸部を有し、該凸部のみが当該振動子の前記節部を囲む［１］乃至［４］いずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
［６］前記振動子の長さをＬ、幅をＷとしたとき、下記（１）式を満足する
０．２１＜Ｗ／Ｌ＜０．２６・・・・・・・（１）
［１］乃至［５］いずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
［７］前記積層構造を有する圧電素子は、複数の矩形状の圧電素子表面に設けられた内部電極を有し、前記内部電極は、屈曲振動用電極、伸縮用電極および接地電極が各々の前記圧電素子表面に形成され、当該屈曲振動用電極と当該伸縮用電極とは、それぞれ接地電極と一対で積層されており、前記積層された圧電素子の側面には電圧供給用電極が設けられている［１］乃至［６］いずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
［８］前記摺動部材が、長尺に形成され、長手方向に移動自在に支持されることにより当該長手方向に往復直線運動するようにリニア型アクチュエータとして構成されている［１］乃至［７］いずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、振動子の屈曲振動節部付近の外周を囲む弾性体と、この弾性体の姿勢を保持するような保持部材を有することで、振動子の不安定な姿勢を防止し、かつ駆動力に直接影響を与えない余分な振動を他の部材に伝搬させず異音の発生を抑制した圧電アクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る圧電アクチュエータ全体図。
【図２】図１に示す圧電アクチュエータの分解斜視図。
【図３】振動子ＡＳＳＹの分解図。
【図４】圧電素子電極パターン図。
【図５】振動子伸縮振動説明図であり、（ａ）初期状態、（ｂ）伸長時、（ｃ）縮小時。
【図６】振動子屈曲振動説明図であり、（ａ）初期状態、（ｂ）屈曲時（正転時）、（ｃ）屈曲時（反転時）。
【図７】振動子保持構造の一実施例。
【図８】振動子保持構造の他の実施例。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。図１〜図７は本発明の一実施形態に係る圧電アクチュエータの一例を示す図である。
【００１８】
図１において、圧電アクチュエータ１０は、振動子１１と、移動ユニット２１と、を備えており、振動子１１の振動によって移動ユニット２１を往復直線運動させる。
【００１９】
図２および図３に示すように、振動子ＡＳＳＹ３１は、振動子１１と、振動子１１を保持する保持部材３２と、保持部材３２と嵌合し振動子１１を覆うケース３３、加圧部材１３および引張バネ１４により構成される。
【００２０】
さらに、振動子ＡＳＳＹ３１は、ハウジング１５内で上下方向に移動自在に支持されている。なお、加圧部材１３は、棒状に形成されて両端部１３ａ、１３ｂに引張バネ１４を装着し、この引張バネ１４により、振動子１１に押圧力を与える。
【００２１】
保持部材３２の両側面部３２ｓのそれぞれには、一対の突起３２ｐを備えており、この突起３２ｐをハウジング１５に形成されたスライド溝１５ｄに挿入することで、振動子ＡＳＳＹ３１を上下方向に移動可能としている。また、ハウジング１５は、加圧部材１３を収納する天井面部および溝１５ｅを備えている。このハウジング１５は、基底部１５ｂを備えており、その基底部１５ｂが後述のベース２４にネジ等を用いて固定される。
【００２２】
また、加圧部材１３は、振動子１１の上側端面１１ｕ（図２参照）に対面する部位に球形突起（図示せず）が形成されている。
この球状突起により、振動子１１は、少々倒れた姿勢でも、その上側端面１１ｕ（図２参照）に加圧部材１３の球形突起を確実に点接触させることで、引張バネ１４による押圧力を適切に接触子１９に伝え、駆動効率の良い圧電アクチュエータを実現できる。なお、接触子１９は振動子１１と一体となっている。
【００２３】
ここで、移動ユニット２１は、摺動部材２２およびスライダ２３から構成され、転動部材２５を介して、往復直線運動をするようになっている。
【００２４】
また、図２に示すように、ベース２４には、保持溝２４ｄが３箇所、およびスライダ２３背面にも保持溝が３箇所設けられ（図示せず）、２つの保持溝で形成される案内部（図示せず）に転動部材２５を収容することで、摺動部材２２と一体化されたスライダ２３を有する移動ユニット２１が、往復直線運動可能となっている。
【００２５】
ところで、振動子１１は、図３に示すように、矩形状の圧電素子１２を角柱形状に重ねた積層構造に形成され、保持部材３２内に収容保持される。この振動子１１は、矩形の枠形状に形成されている弾性部材（弾性体）３５が、図６に示すような振動子１１の節部１１ｅ周りに位置するように、弾性部材３５の一部を圧縮変形させて嵌め込まれており、さらに、保持部材３２の保持リブ３２ｒ間（凹部）にも圧縮変形させて嵌め込むことで、弾性部材３５を保持している。
【００２６】
なお、積層した振動子１１は、５０μｍ〜２００μmの厚みのチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ、ビッカース硬度３５０〜３８０）である圧電材料を複数枚積層して形成される。また、圧電材料としては、機械的品質係数が１０００以上のチタン酸ジルコン酸鉛が好ましい。
ここで、機械的品質係数とは、振動による損失係数を表す数値であり、正確には弾性損失係数の逆数である。したがって、機械的品質係数が大きな材料は、弾性損失係数が小さいということになり、材料自体の内部損失が少ないために良好な振動を発生することができる。
【００２７】
また、弾性部材３５は、シリコーンゴムやエチレン・プロピレンゴム（ＥＰＴ、ＥＰＤＭ）等のゴム材料により作製されている。特に、ここで使用するゴム材料は、駆動力に直接寄与する振動子１１の振動以外の余計な振動を保持部材３２やケース３３に伝達させないことが、異音発生抑制には有効である。このためには、ゴム材料として、損失係数（ｔａｎδ）が、一定値以下が必要であることが実験により判明した。
具体的には＜表１＞に記載するシリコーンゴムあるいはエチレン・プロピレンゴムが優れていた。さらに、駆動力を得るためには、振動子１１に外部印加電圧を連続的に加えて微小振動させるため、振動子１１自体の温度が上昇してしまうことは避けられない。したがって、ゴム材料には一定以上の耐熱性も必要であることがわかった。この結果を
＜表１＞に示す。この表からわかるように、耐熱性の観点からは、エチレンプロピレンゴムの耐熱温度以上が必要であった。
【００２８】
＜表１＞
2019180174.tif 000003
なお、損失係数の測定は、基本的には、ＪＩＳ  Ｋ６３９４準拠しておこなった。具体的測定方法を以下に記載する。
＜損失係数（ｔａｎδ）測定方法＞
・測定器：上島製作所製  粘弾性アナライザＹＲ−７１３０
・測定温度：室温
・変形方法：引張
・周波数：１００Ｈｚ
・振幅：±１％
・プレロード：４８０ｍＮ
・試験片形状：２０ｍｍ（つかみ間隔）×４ｍｍ（幅）×２ｍｍ（厚さ））の短冊形状片
また、＜表１＞における総合評価とは損失係数、耐熱温度、耐オゾン性、電気絶縁性をすべて満足するものを「○（丸）」、一つでも満足しない項目がある場合には「×（バツ）」とした。以上の結果から、弾性部材３５として使用可能なゴム（熱硬化性エラストマ）は、損失係数（ｔａｎδ）が０．１５以上で、かつ耐熱温度が１５０℃以上の物性値を有することが必要であることが判明した。
【００２９】
以下、弾性部材３５を振動子１１の節部を含み振動子１１の外周を覆うような形に配置する理由を詳細に説明する。後述する他の実施形態における弾性部材５５においても同様である。
まず、振動子１１は、屈曲振動および伸縮運動する際に、変位の小さい節部が形成される（図６の１１ｅ、１１ｍ）。そして、節部を除く領域では、屈曲振動および伸縮運動で振動子１１が大きく変位する腹部が形成される。
【００３０】
このため、振動子１１は、振動子１１の変位が小さい箇所を押さえることを目的に、振動子１１の屈曲振動節部（１１ｅ）の外周に弾性部材３５が取り付けられ、保持部材３２の保持リブ３２ｒ間（凹部）に圧縮支持されている。すなわち、この弾性部材３５は、振動子１１の屈曲振動の節部（１１ｅ）を中心として、振動子１１の長さ（Ｌ）方向に均等な幅（厚み）を有する。この弾性部材３５の振動子１１の長さ方向の長さ（＝厚み）は０．５ｍｍより大きく、１．５ｍｍ未満である。この理由は、弾性部材３５の厚みが、０．５ｍｍ以下では、振動子１１の姿勢を良好に保つことができず、１．５ｍｍ以上では、振動子１１の屈曲振動を過剰に抑えてしまい、十分な駆動力が得られないためである。さらに、このような厚みを有する弾性部材３５は、振動子１１外周よりも小さめの内周面を有することで、振動子１１を圧縮保持し、かつ、保持部材３２の内周面よりも大きな外径を有することで、保持部材３２に圧縮嵌合している 。また、保持部材３２の保持リブ３２ｒ間（凹部）は、弾性部材３５を圧縮嵌合できるように、弾性部材３５の厚みよりも小さく形成されている。なお、後述する他の実施形態の弾性部材５５については、図８に図示する。
【００３１】
このように、振動子１１は、弾性部材３５が寸法や組み付けの誤差を吸収しつつ、振動子１１の屈強振動の節部１１ｅ（図６参照。）を圧縮保持することができ、かつ、保持部材３２内３２ｒ間（凹部）に圧縮嵌合されているため、振動子１１の余分な振動を吸収できる。また、振動子１１が多少傾いた状態で組みつけられても、接触子１９の姿勢が悪化せず、安定して摺動部材２２に当接させることができる。このためアクチュエータの効率的な駆動が得られる。
【００３２】
以上記載したように、振動子１１は、屈曲振動の節部１１ｅを弾性部材３５により圧縮保持しているため、振動子１１が多少傾いた状態で組みつけられても、接触子の姿勢が悪化せず、安定して接触させることができる。このためアクチュエータの効率的かつ安定的な駆動が得られる。同時に、駆動力に直接影響を与えない余分な振動を他の部材に伝搬させず異音の発生を抑える事も実現できる圧電アクチュエータを提供することができる。
【００３３】
ところで、振動子１１は、複数の矩形状の圧電素子を複数積層させ、圧電素子表面に内部電極を有し、この内部電極は、屈曲振動用電極と伸縮用電極および接地電極として圧電素子表面に形成される。この屈曲振動用電極と伸縮用電極とは、それぞれ接地電極と一対で積層され、積層された圧電素子の側面には電圧供給用電極が設けられている。そして、これらの電極間に適宜駆動電圧が印加されることで、所望の駆動動作をするようになっている。
【００３４】
この振動子を構成する積層構造の各圧電素子に形成された電極パターンについて図４を用いて説明する。図４に示す電極符号（＋、−）は、圧電素子内部の分極状態を示す。図４（ａ）は、圧電素子の表面に形成され、電源側に接続されて、駆動信号の入力パターンとして機能する。図４（ｂ）は、後述の伸縮動作用の駆動電極として機能する。図４（ｃ）は、後述の屈曲動作用の駆動信号の入力パターンとして機能する。図４（ｄ）は、アース接続される接地（Ｇ）パターンとして機能する。図４（ｅ）及び図４（ｆ）は、図４（ａ）〜図４（ｄ）の信号あるいは接地パターンを接続するための外部取出しパターンとして機能する。
【００３５】
上述した積層振動子１１に外部から信号を入力することで、振動子１１が伸縮、屈曲振動する様子を図５（ａ）〜（ｃ）及び図６（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。振動子１１に伸縮動作用の駆動信号が入力されると、図５（ｂ）（ｃ）に示すように、振動子１１の長手方向に伸縮振動が行なわれる。さらに、振動子１１に屈曲動作用の駆動信号が入力されると、図６（ｂ）（ｃ）に示すように、振動子１１の屈曲振動が行なわれる。
【００３６】
このように、圧電アクチュエータ１０は、振動子１１に伸縮振動させる駆動電力信号周波数と屈曲振動させる駆動電力信号周波数の位相を略９０°ずらすことで、楕円運動を生じさせ、摺動部材２２を動かす。なお、摺動部材２２の移動方向を反転させるには、入力信号の位相を反転させることで行われる。
【００３７】
さらに、振動子１１は、図３に示すように、長さＬと幅Ｗの比（Ｗ／Ｌ）が０．２１＜Ｗ／Ｌ＜０．２６であることが、摺動部材２２の移動速度と消費電力の観点から好ましく、さらに、０．２２≦Ｗ／Ｌ≦０．２５とすることが、より好ましい。
【００３８】
以下、＜表２＞を用いてその理由を説明する。＜表２＞は圧電素子１２の長さ（Ｌ）と幅（Ｗ）の比（Ｗ／Ｌ）を変更して、摺動部材２２の移動速度（ｍｍ／ｓ）とその時の消費電力（Ｗ）を測定した。ここで、摺動部材２２の移動速度は、圧電アクチュエータの駆動効率を表し、さらに、消費電力は、その値が小さいほど効率的に駆動力が得られることを意味する。
【００３９】
＜表２＞
2019180174.tif 000004
＜測定条件＞
・負荷：５０ｇ 
・駆動電圧：３．５〜４．５Ｖｒｍｓ 
・駆動周波数 ：１５０〜１７０ＫＨｚ
【００４０】
なお、表中の評価結果に記載された「◎（二重丸）」、「○（丸）」、「△（三角）」、「×（バツ）」の意味を以下に記載する。
（移動体速度）
◎：７５mm/s以上、
○：５０ｍｍ/s/以上７５ｍｍ/s以下
△：３０ｍｍ/s以上５０ｍｍ/s未満
×：３０ｍｍ/s未満
（消費電力）                          
◎：１Ｗ未満                          
○：１Ｗ以上１．５Ｗ未満  
△：１．５Ｗ以上２Ｗ未満          
×：２Ｗ以上  
＜表２＞の評価結果から、移動体速度（ｍｍ／ｓ）と消費電力（Ｗ）の両方を満足するためには、振動子１１の幅（Ｗ）と長さ（Ｌ）の比（Ｗ／Ｌ）は、０．２１より大きく、０．２６より小さいことが必要であることがわかる。さらに、より好ましくは、０．２２以上、かつ０．２５以下であることもわかる。このように、振動子１１の形状を最適化することで、高効率な駆動力を得ることができる圧電アクチュエータが実現できる。
【００４１】
以下、本実施形態の他の態様を、図８を用いて説明する。図８に示すように、振動子１１を圧縮保持する弾性部材５５が、弾性部材５５の内周面全体を振動子１１に接触させず、一定空間が形成されるように、弾性部材５５の４つの支持凸部５５ｐを有している。この４つの支持凸部５５ｐは、既に図７を用いて説明したように、振動子１１の屈曲振動の節部１１ｅを囲み、圧縮保持するように形成されている。
【００４２】
これにより、振動子１１は、図７に示す実施形態の弾性部材３５よりも小さな面積で、振動子１１の節部１１ｅ外周を圧縮保持することができ、摺動部材２２の駆動力に直接影響を与える屈曲振動を妨げることなく、効率の良い駆動力を摺動部材２２に与えることができる。さらに、振動子１１は、弾性部材５５の支持凸部５５ｐのみで振動子１１を圧縮保持するため、支持凸部５５ｐの両側に形成された４つの空間５５ｓを利用して、振動子１１の駆動時に発生する熱を効果的に放熱することができる。
【００４３】
本発明の範囲は、図示され記載された例示的な実施形態に限定されるものではなく、本発明が目的とするものと均等な効果をもたらすすべての実施形態をも含む。たとえば、回転運動するアクチュエータに適用しても同様な効果を奏することができることは勿論である。
【符号の説明】
【００４４】
１０……圧電アクチュエータ
１１……振動子
１１ｅ……屈曲振動の節部
１１ｍ……伸縮振動の節部
１２……圧電素子
１３……加圧部材
１４……引張バネ
１５……ハウジング
１９……接触子
２１……移動ユニット
２２……摺動部材
２３……スライダ
２４……ベース
２４ｄ……保持溝
２５……転動部材
３１……振動子ＡＳＳＹ
３２……保持部材
３２ｒ……保持リブ（凹部）
３３……ケース
３５、５５……弾性部材
５５ｐ……支持凸部
５５ｓ……空間
【図１】
2019180174.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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