(57)【要約】【課題】  超小型であっても容器と圧電振動板との接続信頼性が高く、良好な特性を有する圧電振動デバイスを提供することを目的とする。【解決手段】  水晶振動板２の表裏主面の各中央側には一対の励振電極２２ａ，２２ｂが形成されており、水晶振動板２の一端側２Ａには一対の励振電極２２ａ，２２ｂから引き出された接続電極２４１，２４２が形成されている。水晶振動板２の一端側２Ａの側面には、水晶振動板の素地が露出した露出部２８と、露出部２８に隣接し接続電極２４１，２４２に連続した第１の側面電極２４１ｃ，２４２ｃとが形成されている。水晶振動板２は、導電性接着剤Ｓ，Ｓが露出部２８，２８と第１の側面電極２４１ｃ，２４２ｃのいずれにも及んだ状態で電極パッド６，６上に導電接合されている。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動板が、容器に設けられた電極パッドに導電性接着剤を介して接合された圧電振動デバイスであって、
前記圧電振動板は平面視略矩形であり、その表裏主面の各中央側には互いに対向する一対の励振電極が形成され、当該一対の励振電極の各々から圧電振動板の少なくとも一短辺側に引き出される接続電極が形成されてなり、
圧電振動板の前記一短辺側の側面には、圧電振動板の素地が露出した露出部と、当該露出部に隣接し前記接続電極に連続した第１の側面電極とが設けられ、
前記圧電振動板が、前記導電性接着剤が前記露出部と前記第１の側面電極のいずれにも及んだ状態で前記電極パッド上に導電接合されていることを特徴とする圧電振動デバイス。
【請求項２】
圧電振動板が、容器に設けられた電極パッドに導電性接着剤を介して接合された圧電振動デバイスであって、
前記圧電振動板は平面視略矩形であり、その表裏主面の各中央側には互いに対向する一対の励振電極が形成され、当該一対の励振電極の各々から圧電振動板の少なくとも一短辺側に引き出される接続電極が形成されてなり、
圧電振動板の前記一短辺側の側面には、圧電振動板の素地が露出した露出部が設けられ、圧電振動板の一組の長辺側の側面には、前記露出部に隣接し前記接続電極に連続した第２の側面電極が設けられてなり、
前記圧電振動板が、前記導電性接着剤が前記露出部と前記第２の側面電極のいずれにも及んだ状態で前記電極パッド上に導電接合されていることを特徴とする圧電振動デバイス。
【請求項３】
前記圧電振動板の前記短辺側および前記長辺側の各側面に傾斜面が含まれ、前記第１の側面電極および／または前記第２の側面電極が前記接続電極から前記傾斜面に及ぶように形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧電振動デバイス。
【請求項４】
前記露出部が、前記圧電振動板と一体で成形され当該圧電振動板から突出するブリッジの折り取り後の破断痕であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電振動デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器のタイミングデバイスとして用いられる圧電振動デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、通信機器等に用いられる水晶振動子や水晶発振器等の圧電振動デバイスは超小型化が進んでいる。例えば、平面視略矩形の表面実装型の水晶振動子の外形寸法は、その長辺が１．０ｍｍ以下で、その短辺が０．８ｍｍ以下にまで小さくなってきている。
【０００３】
前記水晶振動子は、上方に開口した凹部を有する容器と、前記凹部の内部に導電性接着剤等を介して接合される平面視矩形状の水晶振動板と、前記凹部を覆うように容器に接合される蓋によって構成されている。超小型の上記構成の水晶振動子に用いられる水晶振動板では、フォトリソグラフイ技術やウエットエッチング（エッチング液への水晶ウエハの浸漬よる化学的溶解によるエッチング）を用いることによって、その外形を高精度で効率的に成形することができる。
【０００４】
前記水晶振動板は、１枚の人工水晶のウエハ（例えばＡＴカット水晶）からフォトリソグラフイ技術およびウエットエッチングによって一括で多数個が成形される。水晶振動板の外形の周囲はウエットエッチングによって貫通するため、水晶振動板の周囲の枠部と一体的に形成された支持部と、水晶振動板本体とを接続するための「ブリッジ」と呼ばれる接続部が設けられる。
【０００５】
ＡＴカット水晶は異方性材料であるため、平面視矩形に開口した金属パターンでウエットエッチングを行っても、ウエットエッチング後の水晶振動板の平面視形状が矩形にならないことがある。これを防止してウエットエッチング後の水晶振動板の平面視形状を矩形に近づけるために、前記ブリッジを水晶振動板の一短辺側の側面の両端部に設けることがある。水晶振動板本体は前記ブリッジから折り取られることによって、水晶ウエハから分割されることになる。このような形態の水晶振動板は、例えば特許文献１乃至３に開示されている。
【０００６】
前記水晶振動板の一短辺側の側面であって、当該側面の両端部に対して内側の領域には、前述した容器の凹部内に設けられた電極パッド上に導電性接着剤を介して接合される一対の側面電極が形成される。この側面電極は本来、接続信頼性確保のため、一短辺側の側面の両端部から当該両端部に対して内側の領域にまで及ぶように設けられるべきであるが、前記両端部にはブリッジが設けられているため、ブリッジから分割された水晶振動板の前記側面電極の形成領域は微小領域となってしまう。
【０００７】
前記水晶振動板を、前記電極パッド上に導電性接着剤を介して接合する際には、水晶振動板の側面においては微小な前記側面電極のみに導電性接着剤が及ぶ。さらに、金属膜からなる前記側面電極自体が導電性接着剤との密着力は良好ではないことから、導電性接着剤と側面電極との密着力が不充分となって超小型水晶振動子の特性に悪影響を及ぼす虞がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−９２５０５号
【特許文献２】特許第４８３００６９号
【特許文献３】特許第５１５２５４２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、超小型であっても容器と圧電振動板との接続信頼性が高く、良好な特性を有する圧電振動デバイスを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、圧電振動板が、容器に設けられた電極パッドに導電性接着剤を介して接合された圧電振動デバイスであって、前記圧電振動板は平面視略矩形であり、その表裏主面の各中央側には互いに対向する一対の励振電極が形成され、当該一対の励振電極の各々から圧電振動板の少なくとも一短辺側に引き出される接続電極が形成されてなり、圧電振動板の前記一短辺側の側面には、圧電振動板の素地が露出した露出部と、当該露出部に隣接し前記接続電極に連続した第１の側面電極とが設けられ、前記圧電振動板が、前記導電性接着剤が前記露出部と前記第１の側面電極のいずれにも及んだ状態で前記電極パッド上に導電接合されている。
【００１１】
上記発明によれば、導電性接着剤が第１の側面電極だけでなく、露出部にも及んだ状態で圧電振動板が電極パッド上に導電接合されるため、圧電振動板と導電性接着剤との密着力を向上させることができる。これは導電性接着剤との密着力に優れた圧電振動板の素地で接合力を補うことができるからである。
【００１２】
また、上記目的を達成するために請求項２の発明は、圧電振動板が、容器に設けられた電極パッドに導電性接着剤を介して接合された圧電振動デバイスであって、前記圧電振動板は平面視略矩形であり、その表裏主面の各中央側には互いに対向する一対の励振電極が形成され、当該一対の励振電極の各々から圧電振動板の少なくとも一短辺側に引き出される接続電極が形成されてなり、圧電振動板の前記一短辺側の側面には、圧電振動板の素地が露出した露出部が設けられ、圧電振動板の一組の長辺側の側面には、前記露出部に隣接し前記接続電極に連続した第２の側面電極が設けられてなり、前記圧電振動板が、前記導電性接着剤が前記露出部と前記第２の側面電極のいずれにも及んだ状態で前記電極パッド上に導電接合されている。
【００１３】
上記発明によれば、導電性接着剤が、圧電振動板の前記一短辺側の側面の露出部と、当該露出部に隣接する圧電振動板の一組の長辺側の側面の第２の側面電極のいずれにも及んだ状態で圧電振動板が電極パッド上に導電接合される。つまり、導電性接着剤が、圧電振動板の隣接する２つの側面に及んでいるため、圧電振動板と電極パッドとの接合力をより高めることができる。
【００１４】
また、上記目的を達成するために請求項３の発明は、前記圧電振動板の前記短辺側および前記長辺側の各側面に傾斜面が含まれ、前記第１の側面電極および／または前記第２の側面電極が前記接続電極から前記傾斜面に及ぶように形成されている。
【００１５】
上記発明によれば、圧電振動板と導電性接着剤との密着力を高めることができるとともに、接続信頼性を向上させることができる。これは圧電振動板の短辺側および長辺側の各側面に傾斜面が含まれており、第１の側面電極および／または第２の側面電極が前記接続電極から前記傾斜面に及ぶように形成されているため、圧電振動板の側面が圧電振動板の主面に対して垂直になっている構成に比べて、複数の面の成す角度を緩やかにできるからである。これにより、側面電極の断線を防止することができる。
【００１６】
また、上記目的を達成するために請求項４の発明は、前記露出部が、前記圧電振動板と一体で成形され当該圧電振動板から突出するブリッジの折り取り後の破断痕となっている。
【００１７】
上記発明によれば、圧電振動板と導電性接着剤との密着力を向上させることができる。これは導電性接着剤との密着力に優れた圧電振動板の素地が前記ブリッジの折り取り後の破断痕であるため、ブリッジ以外の圧電振動板の側面に比べてその表面が粗面となり、導電性接着剤との密着力がより向上（所謂、「アンカー効果」）するからである。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように、本発明によれば、超小型であっても容器と圧電振動板との接続信頼性が高く、良好な特性を有する圧電振動デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係る水晶振動子の断面模式図
【図２】本発明の実施形態に係る水晶振動子の蓋を除いた上面模式図
【図３】本発明の実施形態に係る水晶振動板の折り取り前の部分拡大図
【図４】本発明の実施形態に係る水晶振動板の折り取り後の拡大模式図
【図５】図４のＢ部の拡大斜視図
【図６】本発明の他の実施形態に係る水晶振動板の拡大斜視図
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイスとして水晶振動子を例に挙げ、図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施形態に係る水晶振動子の図２のＡ−Ａ線における断面模式図である。まず水晶振動子を構成する各部材の概要について説明した後、水晶振動板の詳細について述べる。
【００２１】
本実施形態における水晶振動子１は、略直方体状のパッケージからなる表面実装型の圧電振動デバイスであり、その平面視形状は略矩形となっている。本実施形態では水晶振動子１の平面視の外形寸法は、長辺が約１．０ｍｍ、短辺が約０．８ｍｍとなっている。なお、前記外形寸法は一例であり、他の外形寸法であっても本発明は適用可能である。
【００２２】
図１に示すように水晶振動子１は、容器３の凹部９の内底面９０から突出する一対の突出部５，５の上に、水晶振動板２が導電性接着剤Ｓ，Ｓを介して片持ち支持接合された構成となっている。水晶振動板２は、容器３の凹部９を構成する枠状の側壁３０の上面３００に、蓋４が封止材（図示省略）を介して接合されることによってパッケージ内に気密封止されている。
【００２３】
容器３は絶縁材料を基材とする平面視矩形状の容器体である。容器３は、下層と上層の２層から成るセラミックグリーンシートの焼成体となっている。前記上層は枠状の側壁３０を備えており、側壁３０の上面３００には図示しない金属膜が枠状に形成されている。
【００２４】
容器３の凹部９の内底面９０には、上方に突出する突出部５が、側壁３０の内壁面から内側に離間した位置に一対で形成されている。この一対の突出部５，５は平面視矩形状であり、図２に示すように平面視矩形状の容器３の短辺方向（図２における上下方向）に対して、その長辺側が平行となるように互いに離間した状態で整列して形成されている。
【００２５】
突出部５は容器３の基材と同じ絶縁材料から成り、その上面には導体膜が形成されている。この導体膜は、水晶振動板２と導電性接着剤Ｓを介して導電接合される電極パッド６となっている。本実施形態では電極パッド６は、モリブデンのメタライズ層の上に電解ニッケルめっき層が形成され、さらにその上に電解金めっき層が形成された積層構成となっている。
【００２６】
一対の電極パッド６，６は、絶縁材料からなる突出部５，５の内部を厚さ方向に貫通する貫通孔の内部に導体が充填されたビア（図示省略）や、積層間の内部配線（図示省略）を経由して容器３の外底面に設けられた４つの外部接続端子８，８，８，８のうちの２つと各々電気的に接続されている。この外部接続端子８および、前述した側壁３０の上面３００の金属膜も、モリブデンのメタライズ層の上に、ニッケルめっき層、金めっき層の順で積層された構成となっている。前記メタライズ層には、モリブデンの以外に、タングステン（Ｗ）やチタン（Ｔｉ）を用いてもよい。
【００２７】
凹部９の内底面９０の領域のうち、水晶振動板の他端側２Ｂの下方に対応する位置には枕部７が形成されている。枕部７は突起部５と同様に絶縁材料となっており、その上面に導体膜は形成されていない。
【００２８】
蓋４は、コバールを基材として、その外周面にニッケルめっき層、金めっき層の順でめっき層が積層された構成となっている。蓋４の容器３と接合される側の面の外周部には、金錫合金（ＡｕＳｎ）が枠状に被着されている。この金錫合金が封止材となっており、当該金錫合金と、容器３の側壁３０の上面３００の金属膜とが接触した状態で所定温度に加熱されることによって容器３と蓋４とが溶着される。
【００２９】
図２に示す水晶振動板２はＡＴカット水晶振動板であり、平面視では矩形状となっている。水晶振動板２は、励振電極（後述）が形成される厚肉領域の振動部２０と、振動部２０の周囲に振動部２０よりも薄肉の薄肉部２１とによって構成されている。振動部２０は、平面視で薄肉部２１に比べて一回り小さく成形されている。このような水晶振動板２の断面視形状は、水晶振動板の表裏主面の各々の中央部分がその厚み方向に突出した所謂、「バイメサ形状」となっている。なお、水晶振動板の形状は当該「バイメサ形状」に限定されるものではない。例えば、平板状や、中央側の振動部よりも厚肉に成形された外周部とからなる所謂、「逆メサ形状」などであってもよい。また、水晶振動板の一方の主面側のみが薄肉化された構造であってもよい。このような水晶振動板の外形は、ＡＴカット水晶ウエハをフォトリソグラフィ技術およびウエットエッチングを用いることによって成形される。
【００３０】
水晶振動板２の一主面（図１における表面）と、当該一主面に対向する他主面（図１における裏面）の各々の中央側には、水晶振動板を駆動させるための励振電極２２ａ，２２ｂが互いに対向するように一対で形成されている。なお、図１乃至６において、水晶振動板２の一主面側における各種電極については符号の末尾にａを付し、水晶振動板２の他主面側における各種電極については符号の末尾にｂを付して水晶振動板の表裏の電極を区別している。
【００３１】
前記一対の励振電極２２ａ，２２ｂの各々からは、同一方向に引き出される引出電極２３ａ，２３ｂが形成されている。そして水晶振動板２の一端側２Ａには、引出電極２３ａ，２３ｂの各終端と接続され、前述した容器３の一対の電極パッド６，６と各々導電接合される一対の接続電極２４１，２４２が形成されている。
【００３２】
一方の接続電極２４１は、その一部が水晶振動板２の他主面の接続電極２４１ｂ（図１参照）から水晶振動板２の一端側２Ａの短辺側面を経由して、一主面の接続電極２４１ａに接続されている。同様に、他方の接続電極２４２は、その一部が水晶振動板２の一主面の接続電極２４２ａから水晶振動板２の一端側２Ａの前記短辺側面を経由して、他主面の接続電極２４２ｂ（図２において符号の記載省略）に接続されている。一対の接続電極２４１，２４２は互いに異極となっている。
【００３３】
容器３の一対の電極パッド６，６と、水晶振動板２の他主面の接続電極２４１ｂ，２４２ｂとの電気機械的接続は導電性接合材Ｓ，Ｓを介して行われる。本実施形態では、導電性接合材Ｓとしてシリコーン系の樹脂接着剤が使用されている。この導電性接合材Ｓは、シリコーン樹脂に金属フィラーが含有された接着剤であり、塗布後に所定の温度プロファイルに管理された乾燥炉内で硬化処理が行われる。なお、本発明への適用はシリコーン系の樹脂接着剤に限定されるものではない。
【００３４】
前記導電性接着剤Ｓ，Ｓは、一対の電極パッド６，６の上面に画像認識手段を用いてディスペンサから吐出塗布される。そして、一対の電極パッド６，６の各上面に塗布された導電性接着剤Ｓ，Ｓに対して、水晶振動板２が位置決め載置される。導電性接着剤Ｓ，Ｓの上に水晶振動板２が位置決め載置された後、水晶振動板２の自重および鉛直下方への押込み動作によって導電性接着剤Ｓ，Ｓが押し拡げられる。
【００３５】
図２に示すように、導電性接着剤Ｓ，Ｓの水晶振動板２の短辺の伸長方向（図２における上下方向）における各外縁は、平面視で水晶振動板２の一端側２Ａの一短辺の両角部Ｃ１，Ｃ１よりも内側（図２における一短辺の中央方向）に位置するようになっている。
【００３６】
このように、導電性接着剤Ｓ，Ｓが水晶振動板２の一短辺の両角部Ｃ１，Ｃ１よりも内側に位置していることによって、外部基板に接合された容器３から伝わる応力が水晶振動板２に伝わる影響を抑制することができる。これにより、水晶振動子１の発振周波数の安定性を高めることができる。なお、本発明における水晶振動板に対する導電性接着剤の平面視の塗布位置は、水晶振動板の一短辺の両角部に対して内側に限定されるものではない。すなわち、導電性接着剤の外縁が、水晶振動板の一短辺の両角部を超えて外側に及んでいてもよい。
【００３７】
次に、本発明の実施形態に係る水晶振動板の詳細について説明する。水晶振動板２は、１枚のＡＴカット水晶振動板のウエハ（以下、水晶ウエハと略）から、フォトリソグラフィ技術およびウエットエッチングを用いることによって一括で多数個が得られる。
【００３８】
図３は水晶ウエハから、その外形が成形された一単位の水晶振動板を含んだ領域を拡大した上面模式図である。図３および後述する図４乃至６には、ＡＴカット水晶振動板の結晶軸の方向を矢印で表示している。一単位の水晶振動板２の一短辺の両端部分からは、一対のブリッジ（連結部）２５，２５が、水晶ウエハ内の直線状の支持部２９に向かって突出して形成されている。このように、一対のブリッジを水晶振動板２の一短辺の両端部分から突出形成することによって、ウエットエッチング後における水晶振動板の平面視形状を略矩形に近づけることができる。前記ブリッジを水晶振動板の一短辺であって当該一短辺の両端部分を含まない位置（例えば一短辺の中央部分）に形成した場合、ＡＴカット水晶の結晶異方性によって、ウエットエッチング後の水晶振動板の形状が矩形にならないことがある。これは、ＡＴカット水晶のＸ軸方向（長辺方向）において、ブリッジが形成されている側の端部に近づくにつれて水晶振動板の幅（短辺長）が漸次縮幅する現象（所謂、「サイドエッチング」）によるものである。これに対して、ブリッジを水晶振動板の一短辺の両端部分から突出するように形成することによって、水晶振動板の平面視形状を略矩形に近づけることができる。
【００３９】
図３に示すブリッジ２５および支持部２９を含めた水晶振動板の外形は、所定領域が金属膜でマスキングされた水晶ウエハをエッチング液中に浸漬（ウエットエッチング）することによって、水晶ウエハの前記所定領域以外の領域が貫通することで成形される。そして、一対のブリッジ２５，２５から水晶振動板が折り取られることによって、個片状態の水晶振動板２が得られる。
【００４０】
図３における支持部２９は、１枚の水晶ウエハから水晶振動板２と一対のブリッジ２５，２５とともに一体で成形されている。支持部２９は、平面視矩形状の水晶ウエハの外枠を構成する一組の対向辺を接続するように平面視矩形状の水晶振動板２の短辺と平行に伸長して複数形成されている。複数の支持部２９，２９，・・・，２９は、所定の間隔を空けて互いに平行となるように水晶ウエハ内に整列して形成されている。
【００４１】
一対のブリッジ２５，２５の水晶振動板２との接続部分には、ブリッジからの水晶振動板の折り取りを容易にするためのスリット２６、２６が形成されている。一対のスリット２６，２６は、平面視においては一対のブリッジ２５，２５の内側面から外側面に向かって、水晶振動板の短辺方向（図３におけるＺ´軸方向）と平行に設けられている。スリット２６は、ブリッジ２５の幅方向（Ｚ´軸方向）において、ブリッジの内側面から外側面まで至らない長さで形成されている。また、スリット２６は、断面視においてはブリッジ２５の厚みに対して約半分の深さまで薄肉化されている。なお、本発明の実施形態ではスリットはブリッジの片面のみに形成されていたが、スリットをブリッジの両面（両主面）に形成してもよい。ブリッジの両面にスリットを形成する場合、ブリッジの表裏間でスリットの形成深さを異ならせるようにしてもよい。
【００４２】
ブリッジ２５の表裏主面には、一対の接続電極２４１，２４２の各々から引き出された一対の導出電極（符号省略）が形成されている。一対の導出電極の終端は、支持部２９の表裏主面に形成された一対の測定パッド（電極）にそれぞれ接続されている。この一対の測定パッドは、水晶ウエハ内の各水晶振動板の周波数を測定するための電極となっている。
【００４３】
前記導出電極および一対の測定パッドは、水晶振動板の一対の励振電極２２ａ，２２ｂや引出電極２３ａ，２３ｂ、一対の接続電極２４１，２４２とともに、スパッタリングによって一括で成膜される。具体的には、これらの電極は、クロム（Ｃｒ）やチタン（Ｔｉ）を下地層として、その上層に金（Ａｕ）が成膜された膜構成となっている。なお、これらの電極の下地層およびその上層の材料は、クロムや金に限定されるものではない。前記スパッタリングの際には、ターゲットからはじき出されたＣｒおよびＡｕが一対のスリット２６，２６の内部に進入するため、スリット内金属膜２７（２７１，２７２）が一対の接続電極２４１，２４２に連続して形成される。
【００４４】
図４は、図３に示す水晶振動板が一対のブリッジ２５，２５から折り取られた後の状態を示す拡大模式図となっている。一対のブリッジ２５，２５からの水晶振動板２の分割は、スリット２６，２６が形成された面が下面になるようにした状態で、水晶振動板２の自由端側(図３におけるＸ軸方向の終端付近)の下面の下方から上方に向かって機械的な応力を加えることで行われる。なお、前記分割の形態は一例であり、水晶振動板のスリットが形成されていない面の自由端側に、機械的な応力を加えて水晶振動板を分割してもよい。
【００４５】
図５は図４のＢ部の拡大斜視図であり、ブリッジから折り取られた後の水晶振動板２の接続電極２４２を含む周辺領域のみを拡大した斜視図となっている。図５に示すように、接続電極２４２を構成する接続電極２４２ａ，２４２ｂは水晶振動板の表裏で対向しており、同じ大きさとなっている。なお、導電性接着剤の塗布状態の説明の便宜上、導電性接着剤の塗布位置を破線で表示している（容器の電極パッド６の図示は省略）。
【００４６】
平面視矩形状の水晶振動板２の一短辺側の側面の両端寄りには、第１の側面電極２４１ｃ，２４２ｃが形成されている。第１の側面電極２４１ｃ，２４２ｃは、水晶振動板２の一短辺側の側面の厚み方向全体に及んでいる。すなわち、第１の側面電極２４１ｃは、接続電極２４１（２４１ａ，２４１ｂ）に連続して形成されており、第１の側面電極２４２ｃは、接続電極２４２（２４２ａ，２４２ｂ）に連続して形成されている。
【００４７】
ブリッジ２５，２５から折り取られた跡の折り取り痕（破断面）２８，２８は、水晶振動板の一短辺側の側面のブリッジが形成されていない領域に比べて粗面となっている。水晶振動板の一短辺側の側面の折り取り痕２８以外の部分は、ウエットエッチングによって現れたＡＴカット水晶の結晶面であり、化学的な浸食によってその表面は平滑面となっている。一方、前記折り取り痕２８は機械的な応力によってブリッジが破断した劈開面となっている。そのため、折り取り痕２８の面の平滑度は、前記一短辺側の側面の折り取り痕２８以外の部分に比べて相対的に粗くなっている。この折り取り痕２８は、水晶振動板の素地が露出した「露出部」となっている。
【００４８】
前記露出部が、水晶振動板２と一体で成形され水晶振動板２から突出するブリッジ２５，２５の折り取り後の破断痕であることによって、水晶振動板２と導電性接着剤Ｓとの密着力を向上させることができる。これは導電性接着剤Ｓとの密着力に優れた水晶振動板２の素地がブリッジ２５の折り取り後の破断痕であるため、ブリッジ以外の水晶振動板の側面に比べてその表面が粗面となり、導電性接着剤Ｓとの密着力がより向上するからである（アンカー効果）。
【００４９】
本発明の実施形態において水晶振動板２は、図５に示すように導電性接着剤Ｓ，Ｓが露出部（折り取り痕２８）と、第１の側面電極２４２ｃのいずれにも及んだ状態で電極パッド（図示省略）上に導電接合されている。具体的には、本発明の実施形態では、水晶振動板２は、導電性接着剤Ｓ，Ｓが露出部（２８，２８）と、第１の側面電極２４１ｃ，２４２ｃと、スリット内金属膜２７１，２７２にも及んだ状態で電極パッド６，６上に導電接合されている。
【００５０】
上記構成によれば、導電性接着剤Ｓが第１の側面電極２４１ｃ，２４２ｃだけでなく、露出部（２８）にも及んだ状態で、水晶振動板２が一対の電極パッド６，６の上に導電接合されるため、水晶振動板２と導電性接着剤Ｓとの密着力を向上させることができる。これは導電性接着剤Ｓとの密着力に優れた水晶振動板２の素地で接合力を補うことができるからである。
【００５１】
−本発明の他の実施形態−
次に、本発明の他の実施形態について図６を参照しながら説明する。図６は、ブリッジから折り取られた後の水晶振動板１０の接続電極１３２を含む周辺領域のみを拡大した斜視図となっている。なお、前述した本発明の実施形態と同様の構成については同一の符号を用いて、その説明を割愛する。以下、前述した本発明の実施形態との相違点を中心に説明する。
【００５２】
本発明の他の実施形態では、水晶振動板の形状と導電性接着剤の塗布形態が前述した本発明の実施形態と異なっている。まず水晶振動板の形状については、図６に示すように水晶振動板１０の一組の長辺側の側面の各々に傾斜面１１（１１ａ，１１ｂ）が現れている。また、水晶振動板１０の一組の短辺側の側面の各々にも傾斜面１２（１２ａ，１２ｂ）が現れている。水晶振動板１０の長辺側の側面の傾斜面１１については、傾斜面１１ａは、水晶振動板１０の一主面（図６における下側の主面）との間の成す角度αが鈍角となっている。また、傾斜面１１ａと傾斜面１１ｂとの間の成す角度βも鈍角となっている。一方、水晶振動板１０の短辺側の側面の傾斜面１２については、傾斜面１２ａが水晶振動板１０の一主面（図６における下側の主面）との間の成す角度γと、傾斜面１２ａと傾斜面１２ｂとの間の成す角度δと、傾斜面１２ｂと水晶振動板１０の他主面（図６における上側の主面）との間の成す角度εは全て鈍角となっている。なお、水晶振動板の長辺側の側面および短辺側の側面の傾斜面に関し、水晶振動板の主面とこれに連続する傾斜面との間の成す角度や、複数の傾斜面間の成す角度はエッチング条件によって変化するため、これらの全ての角度が鈍角になるとは限らず、鈍角と鋭角とが混在することもある。
【００５３】
傾斜面１１ａ，１１ｂおよび傾斜面１２ａ，１２ｂはウエットエッチングによって現れたＡＴカット水晶の結晶面であり、エッチング条件に応じてその出現数や複数の傾斜面間の成す角度が変化するため水晶振動板の形状が変化し得る。したがって、図６に示す水晶振動板の傾斜面の現れ方は一例に過ぎず、本発明の適用は、図６に示す水晶振動板の傾斜面の出現数や側面形状に限定されるものではない。
【００５４】
また、ＡＴカット水晶はその異方性により、平面視矩形状の水晶振動板の長辺方向の両端部および短辺方向の両端部の各々において、その断面形状に差異が生じる。特に、図５乃至６のように平面視矩形状の水晶振動板の長辺にＡＴカット水晶のＸ軸が設定され、短辺にＡＴカット水晶のＺ´軸が設定された場合、長辺方向の両端部における断面形状はエッチング条件の如何によっては差異が大きくなる。ＡＴカット水晶はこのような性質を有するが、本発明の適用は図５乃至６に示す結晶軸方向に限定されるものではなく、平面視矩形状の水晶振動板の長辺にＺ´軸が、短辺にＸ軸が設定されていてもよい。
【００５５】
水晶振動板１０の一組の長辺側の側面の傾斜面１１，１１には、第２の側面電極１４１（図６では図示せず），１４２が形成されている。具体的には、第２の側面電極１４１は、露出部１６（一対の露出部１６，１６の一方）に隣接しており、接続電極１３１（１３１ａ，１３１ｂ。図６では図示せず）に連続して形成されている。同様に、第２の側面電極１４２は、露出部１６（一対の露出部１６，１６の他方）に隣接しており、接続電極１３２（１３２ａ，１３２ｂ）に連続して形成されている。また、水晶振動板１０の一方の短辺側の側面の傾斜面１２（１２ａ，１２ｂ）には、第１の側面電極１３１ｃ（図６では図示せず），１３２ｃが形成されている。
【００５６】
本発明の他の実施形態では、前述した本発明の実施形態と同様に、ブリッジの折り取り前の状態において、一対のブリッジの各々にスリットが形成されている。そのため、前記一対のスリットの各々の内部にスリット内金属膜１５（１５１（図６では図示せず），１５２）が被着している。このスリット内金属膜１５（１５１，１５２）は、一対の接続電極１３１ａ，１３２ａに各々連続して形成されているとともに、隣接する第１の側面電極１３１ｃ，１３２ｃにも連続して形成されている。
【００５７】
次に導電性接着剤の塗布形態については、図６に示すように導電性接着剤Ｓは、第２の側面電極（１４１，１４２）と、露出部１６，１６と、スリット内金属膜１５（１５１，１５２）に及ぶように塗布されている。
【００５８】
上記構成によれば、水晶振動板１０と導電性接着剤Ｓとの密着力を高めることができるとともに、接続信頼性を向上させることができる。水晶振動板１０の一組の長辺側の側面には傾斜面１１，１１が含まれている。そして、第２の側面電極１４１は接続電極１３１（１３１ａ，１３１ｂ）から傾斜面１１（１１ａ，１１ｂ）に及ぶように形成されている。同様に、第２の側面電極１４２は接続電極１３２（１３２ａ，１３２ｂ）から傾斜面１１（１１ａ，１１ｂ）に及ぶように形成されている。このような構成により、水晶振動板の側面が水晶振動板の主面に対して垂直になっている構成に比べて、複数の面の成す角度を緩やかにできる。これにより、側面電極の断線を防止することができる。
【００５９】
また上記構成によれば、水晶振動板１０と導電性接着剤Ｓとの密着力を向上させることができる。これは導電性接着剤Ｓとの密着力に優れた水晶振動板１０の素地がブリッジの折り取り後の破断痕（１６）であるため、ブリッジ以外の水晶振動板の側面に比べて粗面となって導電性接着剤Ｓとの密着力がより向上するからである。
【００６０】
前述した本発明の実施形態および他の実施形態では、導電性接着剤Ｓは一対の電極パッド６，６の平面視における領域内に収まるように塗布されている。しかしながら、導電性接着剤の電極パッドに対する塗布領域は、一対の電極パッドの平面視の領域内だけでなく、当該領域からはみ出していてもよい。この場合、導電性接着剤が一対の電極パッドの各外縁から容器の長辺側の側壁に向かう側にはみ出して、突出部の外側面および／または容器の凹部の内底面（素地）と容器の長辺側の側壁との間の領域に及んでいてもよい。このような導電性接着剤の塗布形態の場合、導電性接着剤の一部が、絶縁材料である突起部の側面および／または絶縁材料である凹部の内底面に接しているため接合強度を更に向上させることができる。これにより、超小型の水晶振動子における容器と水晶振動板との接続信頼性を更に向上させることができる。
【００６１】
前述した本発明の実施形態および他の実施形態では、水晶振動板は片持ち状態で突起部上面の電極パッド上に導電接合されていたが、水晶振動板の自由端側にも突起部や段部を形成して両持ち状態で導電接合するようにしてもよい。また、前述した本発明の実施形態および他の実施形態では、水晶振動板と容器とを導電接合する接続数は２つとなっていたが、当該接続数は２つに限定されるものではなく、２つ以上であってもよい。また、１つの水晶振動板に形成されるブリッジの個数は２つに限定されるものではなく、例えば２つ以上形成してもよい。
【００６２】
前述した本発明の実施形態および他の実施形態では、導電性接着剤は一対の電極パッドの上面と、露出部と、第１の側面電極または第２の側面電極に跨るように塗布されていたが、導電性接着剤が一対の電極パッドの上面と、露出部を挟んで第１の側面電極と第２の側面電極の両方に跨るように塗布されていてもよい。
【００６３】
また、前述した本発明の実施形態および他の実施形態では、導電性接着剤は一対の電極パッドの上面に１回だけ塗布されていたが（いわゆる「下塗り」）、このように下塗りされた導電性接着剤の上に、更に導電性接着剤を重ね塗りしてもよい（いわゆる「上塗り」）。
【００６４】
水晶振動板の電極パッドに接合される主面は、図５乃至６に示した水晶振動板の一主面（下面）に限定されるものではなく、当該水晶振動板の他主面（上面）側であってもよい。
【００６５】
前述した本発明の実施形態では圧電振動デバイスとして、容器に水晶振動板のみが収容された水晶振動子を例に挙げたが、本発明は当該構成の水晶振動子に限らず、容器に温度センサが内蔵された水晶振動子や、水晶発振器にも適用可能である。
【００６６】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
圧電振動デバイスの量産に適用できる。
【符号の説明】
【００６８】
１    水晶振動子
２、１０    水晶振動板
３    容器
４    蓋
６    電極パッド
１１、１２    傾斜面
１３１ｃ，１３２ｃ、２４１ｃ，２４２ｃ    第１の側面電極
１４１，１４２    第２の側面電極
１６、２８    露出部
２５    ブリッジ
Ｓ    導電性接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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