(57)【要約】【課題】異なる部材に搭載された光学素子の光軸と撮像素子の中心とを一致させ、撮像素子への異物の付着を抑制できる振れ補正機能付き光学ユニットを提供すること。【解決手段】光学ユニット１においてアパーチャ５１および筒部５３を備えるカバー部材４３は、枠部５４の第１内壁面５５ａと第２内壁面５５ｂとを撮像素子４１に当接させた状態で撮像素子４１に固定されている。撮像素子４１を搭載する基板４２は、カバー部材４３の筒部５３の中心と回転支持機構５に支持された回転台座６の回転中心とを一致させて回転台座６に固定されている。レンズ１５を同軸に保持するレンズホルダ３は、そのホルダ筒部２１と筒部５３とが同軸に位置する状態で固定部材４に固定されている。カバー部材４３の筒部５３の外周面とホルダ筒部２１との間の隙間およびカバー部材４３の端板部５２とレンズホルダ３のホルダ板部２２との間にラビリンスシールが構成される。【選択図】図３
2019012117.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像素子と、
前記撮像素子を搭載する基板と、
前記撮像素子の被写体側に配置された光学素子と、
前記光学素子を保持するホルダ部材と、
前記撮像素子への光入射領域を規定するアパーチャが形成された端板部と、前記アパーチャの外周側において前記端板部から前記被写体側へ立ち上がる筒部と、前記撮像素子に光軸と交差する方向から当接する当接部と、を備えるカバー部材と、
前記基板が固定された回転部材と、
前記回転部材を前記光学素子の光軸回りに回転可能に支持する回転支持機構と、
前記回転支持機構を介して前記回転部材を支持する固定部材と、
前記回転部材を回転させるローリング用磁気駆動機構と、
を有し、
前記カバー部材は、前記当接部を前記撮像素子に当接させた状態で当該撮像素子に固定されており、
前記基板は、前記回転支持機構によって支持された前記回転部材の回転中心と前記カバー部材の前記筒部の軸線とを一致させて前記回転部材に固定されており、
前記ホルダ部材は、前記筒部の外周面と隙間を隔てて対向するホルダ筒部、および、前記筒部の外周側において前記端板部と隙間を隔てて対向するホルダ板部と、を備え、
前記光学素子は、前記ホルダ筒部に同軸に保持されており、
前記固定部材には、前記筒部と前記ホルダ筒部とを同軸に位置させた状態で前記ホルダ部材が固定されていることを特徴とする振れ補正機能付き光学ユニット。
【請求項２】
前記端板部は、前記被写体側から前記撮像素子に当接していることを特徴とする請求項１に記載の振れ補正機能付き光学ユニット。
【請求項３】
前記カバー部材は、前記端板部の前記筒部とは反対側に正方形または長方形の開口を備える枠部を備え、
前記当接部は、前記枠部において前記開口の各辺を規定する４つの内壁面のうち互いに直交して隣り合う第１内壁面および第２内壁面にそれぞれ設けられており、
前記撮像素子は、前記枠部の内側に挿入されていることを特徴とする請求項１または２に記載の振れ補正機能付き光学ユニット。
【請求項４】
前記カバー部材は、その表面が黒色の非光沢面であることを特徴とする請求項１から３のうちのいずれか一項に記載の振れ補正機能付き光学ユニット。
【請求項５】
前記端板部を前記光軸方向から見た場合の輪郭形状は、正方形または長方形であることを特徴とする請求項１から４のうちのいずれか一項に記載の振れ補正機能付き光学ユニット。
【請求項６】
前記端板部を前記光軸方向から見た場合の輪郭形状は、円形であることを特徴とする請求項１から４のうちのいずれか一項に記載の振れ補正機能付き光学ユニット。
【請求項７】
請求項１から６のうちのいずれか一項に記載の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法において、
前記カバー部材の前記当接部に前記撮像素子を当接させて当該カバー部材を前記撮像素子に固定するカバー部材固定工程と、
前記カバー部材の前記筒部の軸線と前記回転支持機構によって回転可能に支持された前
記回転部材の回転中心とを一致させて、前記回転部材に前記基板を固定する基板固定工程と、
前記ホルダ部材の前記ホルダ筒部と前記カバー部材の前記筒部とを同軸に配置する配置工程と、
前記ホルダ部材と前記固定部材とを固定する固定工程と、
を備えることを特徴とする振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。
【請求項８】
前記配置工程では、前記光軸方向から前記ホルダ部材のホルダ筒部と前記カバー部材の前記筒部とを観察して前記ホルダ筒部と前記筒部との中心を合わせることを特徴とする請求項７に記載の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。
【請求項９】
前記回転支持機構として、前記回転部材に回転軸を設けるとともに、前記固定部材に前記回転軸を支持する軸受部を設けておき、
前記基板固定工程では、前記カバー部材の前記筒部と前記回転軸とを同軸に配置して前記回転部材に前記基板を固定し、
前記配置工程では、前記回転軸と前記ホルダ筒部とを同軸に配置することを特徴とする請求項７に記載の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。
【請求項１０】
前記配置工程では、前記カバー部材の前記筒部の内径と、前記ホルダ部材の前記ホルダ筒部とを同軸に配置することを特徴とする請求項７に記載の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光軸回りの振れを補正するローリング補正を行う光学ユニットに関する。また、このような振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯端末や移動体に搭載される光学ユニットの中には、携帯端末や移動体の移動時の撮影画像の乱れを抑制するための振れを補正機能を備えるものがある。特許文献１には、光学素子（レンズ）に対して撮像素子を回転させることにより、光軸回りの振れを補正するローリング補正を行う振れ補正機能付き光学ユニットが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−２１０３９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光学素子に対して撮像素子を回転させる振れ補正機能付き光学ユニットでは、光学素子と撮像素子とが異なる部材に搭載されるので、光学素子の光軸と撮像素子の中心とを一致させることが容易ではないという問題がある。また、光学素子と撮像素子とが異なる部材に搭載されるので、光学素子が搭載される部材と、撮像素子が搭載された部材との間から、塵埃などの異物が侵入して、撮像素子に付着する恐れがある。
【０００５】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、異なる部材に搭載された光学素子の光軸と撮像素子の中心とを一致させることが容易であり、撮像素子への異物の付着を抑制できる振れ補正機能付き光学ユニットを提供することにある。また、かかる振れ補正機能付光学ユニットの製造方法を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の振れ補正機能付き光学ユニットは、撮像素子と、前記撮像素子を搭載する基板と、前記撮像素子の被写体側に配置された光学素子と、前記光学素子を保持するホルダ部材と、前記撮像素子への光入射領域を規定するアパーチャが形成された端板部と、前記アパーチャの外周側において前記端板部から前記被写体側へ立ち上がる筒部と、前記撮像素子に光軸と交差する方向から当接する当接部と、を備えるカバー部材と、前記基板が固定された回転部材と、前記回転部材を前記光学素子の光軸回りに回転可能に支持する回転支持機構と、前記回転支持機構を介して前記回転部材を支持する固定部材と、前記回転部材を回転させるローリング用磁気駆動機構と、を有し、前記カバー部材は、前記当接部を前記撮像素子に当接させた状態で当該撮像素子に固定されており、前記基板は、前記回転支持機構によって支持された前記回転部材の回転中心と前記カバー部材の前記筒部の軸線とを一致させて当該回転部材に固定されており、前記ホルダ部材は、前記筒部の外周面と隙間を隔てて対向するホルダ筒部、および、前記筒部の外周側において前記端板部と隙間を隔てて対向するホルダ板部と、を備え、前記光学素子は、前記ホルダ筒部に同軸に保持されており、前記固定部材には、前記筒部と前記ホルダ筒部とを同軸に位置させた状態で前記ホルダ部材が固定されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、アパーチャおよび筒部を備えるカバー部材は、撮像素子に光軸と交差する方向から当接する当接部とを備え、この当接部を撮像素子に当接させた状態で撮像素
子に固定される。これにより、カバー部材と撮像素子とは光軸と交差する方向で位置決めされているので、撮像素子の中心と、アパーチャの中心と筒部の中心とを一致させることができる。また、基板は、カバー部材の筒部の軸線と回転支持機構により回転可能に支持された回転部材の回転中心とを一致させて回転部材に固定されているので、回転部材の回転中心と撮像素子の中心とを一致させることができる。さらに、光学素子を同軸に保持するホルダ筒部とカバー部材の筒部とを同軸に位置させた状態でホルダ部材が固定部材に固定されているので、光学素子の中心と撮像素子の中心とを一致させることができる。また、カバー部材の筒部とホルダ部材のホルダ筒部とを同軸に配置しているので、カバー部材の筒部の外周面とホルダ筒部との間の隙間を微細な寸法に管理できる。これにより、カバー部材の筒部の外周面とホルダ筒部との間の隙間およびカバー部材の端板部とホルダ板部との間にラビリンスシールを構成できるので、カバー部材とホルダ部材との間に塵埃などの異物が侵入して、撮像素子に付着することを防止あるいは抑制できる。
【０００８】
本発明において、前記端板部は、前記被写体側から前記撮像素子に当接していることが望ましい。このようにすれば、撮像素子と端板部との間に隙間が形成されないので、異物がこれらの間に進入することがない。また、端板部と撮像素子とが当接すれば、カバー部材と撮像素子との位置精度が向上するので、アパーチャと撮像素子との位置精度が出しやすい。
【０００９】
本発明において、前記カバー部材は、前記端板部の前記筒部とは反対側に正方形または長方形の開口を備える枠部を備え、前記当接部は、前記枠部において前記開口の各辺を規定する４つの内壁面のうち互いに直交して隣り合う第１内壁面および第２内壁面にそれぞれ設けられており、前記撮像素子は、前記枠部の内側に挿入されているものとすることができる。このようにすれば、枠部の内側において撮像素子の位置と光軸回りの姿勢を規定できる。
【００１０】
本発明において、前記カバー部材は、その表面が黒色の非光沢面であることが望ましい。このようにすれば、カバー部材で反射して撮像素子に入射する不要な光を抑制できる。
【００１１】
本発明において、前記端板部を前記光軸方向から見た場合の輪郭形状は、正方形または長方形であるものとすることができる。例えば、端板部の輪郭形状が正方形の場合には、２辺が対向する２方向で、カバー部材の端板部とホルダ板部との間に形成される隙間（ラビリンスシールの一部分）の長さを、同一とすることができる。これにより、ラビリンスシールの長さの差に起因して、異物の侵入を抑制する効果が低下することを抑制できる。また、例えば、端板部の輪郭形状が長方形の場合には、対向する２方向で形成される隙間の長さに差があるが、長さの短い方の隙間を必要とする長さ以上に設定しておけば、ラビリンスシールの長さの差に起因して、異物の侵入を抑制する効果が低下することを抑制できる。
【００１２】
本発明において、前記端板部を前記光軸方向から見た場合の輪郭形状は、円形であるものとすることができる。このようにすれば、光軸と直交する方向で、カバー部材の端板部とホルダ板部との間に形成される隙間（ラビリンスシールの一部分）の長さを、同一とすることができる。これにより、ラビリンスシールの長さの差に起因して、異物の侵入を抑制する効果が低下することを抑制できる。
【００１３】
次に、本発明は、上記の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法において、前記カバー部材の前記当接部に前記撮像素子を当接させて当該カバー部材を前記撮像素子に固定するカバー部材固定工程と、前記カバー部材の前記筒部の軸線と前記回転支持機構により回転可能に支持された前記回転部材の回転中心とを一致させて、前記回転部材に前記基板を固定する基板固定工程と、前記ホルダ部材の前記ホルダ筒部と前記カバー部材の前記筒部
とを同軸に配置する配置工程と、前記ホルダ部材と前記固定部材とを固定する固定工程と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明では、アパーチャおよび筒部を備えるカバー部材は、撮像素子に光軸と交差する方向から当接する当接部とを備えており、当接部を撮像素子に当接させた状態で撮像素子に固定される。これにより、カバー部材と撮像素子とが光軸と交差する方向で位置決めされるので、撮像素子の中心と、アパーチャの中心と筒部の中心とを一致させることができる。また、撮像素子を搭載する基板を回転部材に固定する際には、回転支持機構により回転可能に支持された回転部材の回転中心とカバー部材の筒部の軸線とを一致させるので、回転部材の回転中心と撮像素子の中心とを一致させることができる。さらに、ホルダ部材を固定部材に固定する前に、ホルダ部材のホルダ筒部とカバー部材の筒部とを同軸に配置するので、ホルダ部材が光学素子を同軸に保持したときに光学素子の光軸と撮像素子の中心とを一致させることができる。また、ホルダ部材のホルダ筒部とカバー部材の筒部とを同軸に配置しているので、カバー部材の筒部の外周面とホルダ筒部との間の隙間を微細な寸法に管理できる。これにより、カバー部材の筒部の外周面とホルダ筒部との間の隙間およびカバー部材の端板部とホルダ板部との間にラビリンスシールを構成できるので、カバー部材とホルダ部材との間に異物が侵入して、撮像素子に付着することを防止あるいは抑制できる。
【００１５】
本発明において、ホルダ部材のホルダ筒部とカバー部材の筒部とを同軸に配置するためには、前記配置工程では、前記光軸方向から前記ホルダ部材のホルダ筒部と前記カバー部材の前記筒部とを観察して前記ホルダ筒部と前記筒部との中心を合わせるものとすることができる。
【００１６】
本発明において、前記回転支持機構として、前記回転部材に回転軸を設けるとともに、前記固定部材に前記回転軸を支持する軸受部を設けておき、前記基板固定工程では、前記カバー部材の前記筒部と前記回転軸とを同軸に配置して前記回転部材に前記基板を固定し、前記配置工程では、前記回転軸と前記ホルダ筒部とを同軸に配置するものとすることができる。このようにすれば、回転支持機構の回転中心となる回転部材の回転軸を基準として、カバー部材の筒部およびホルダ筒部を同軸に配置できる。
【００１７】
本発明において、前記配置工程では、前記カバー部材の前記筒部の内径と、前記ホルダ部材の前記ホルダ筒部とを同軸に配置するものとすることができる。このようにすれば、カバー部材の筒部の内側に治具を嵌合させて、当該治具とホルダ筒部との位置合わせを行うことにより、カバー部材の筒部とホルダ筒部を同軸に配置することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の振れ補正機能付き光学ユニットによれば、アパーチャおよび筒部を備えるカバー部材は、撮像素子と位置決めされた状態で当該撮像素子に固定されるので、撮像素子の中心と、アパーチャの中心と筒部の中心とを一致させることができる。また、基板は、カバー部材の筒部と回転支持機構により回転可能に支持された回転部材の回転中心とを一致させて回転部材に固定されているので、回転部材の回転中心と、撮像素子の中心とを一致させることができる。さらに、カバー部材の筒部と光学素子を同軸に保持するホルダ筒部とを同軸に位置させた状態でホルダ部材が固定部材に固定されているので、光学素子の中心と撮像素子の中心とを一致させることができる。また、カバー部材の筒部とホルダ部材のホルダ筒部とを同軸に配置しているので、カバー部材の筒部の外周面とホルダ筒部との間の隙間を微細な寸法に管理できる。これにより、カバー部材の筒部の外周面とホルダ筒部との間の隙間およびカバー部材の端板部とホルダ板部との間にラビリンスシールを構成できるので、カバー部材とホルダ部材との間に異物が侵入して、撮像素子に付着することを防止あるいは抑制できる。
【００１９】
本発明の振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法によれば、アパーチャおよび筒部を備えるカバー部材は、撮像素子と位置決めされた状態で当該撮像素子に固定されるので、撮像素子の中心と、アパーチャの中心と筒部の中心とを一致させることができる。また、回転支持機構により回転可能に支持された回転部材の回転中心とカバー部材の筒部の軸線とを一致させて撮像素子を搭載する基板を回転部材に固定するので、回転部材の回転中心と撮像素子の中心とを一致させることができる。さらに、ホルダ部材を固定部材に固定する前に、ホルダ部材のホルダ筒部とカバー部材の筒部とを同軸に配置するので、ホルダ部材が光学素子を保持したときに光学素子の光軸と撮像素子の中心とを一致させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明を適用した光学ユニットを被写体側から見た場合の斜視図である。
【図２】図１の光学ユニットを反被写体側から見た場合の斜視図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線における光学ユニットの断面図である。
【図４】光学ユニットを被写体側から見た場合の分解斜視図である。
【図５】光学ユニットを反被写体側から見た場合の分解斜視図である。
【図６】撮像ユニット、回転台座、回転支持機構および固定部材を被写体側から見た場合の斜視図である。
【図７】撮像ユニット、回転台座、回転支持機構および固定部材を反被写体側から見た場合の斜視図である。
【図８】撮像ユニットを被写体側から見た場合の斜視図である。
【図９】撮像ユニットを反被写体側から見た場合の斜視図である。
【図１０】ローリング用磁気駆動機構および姿勢復帰機構と、回転支持機構の一部を示す平面図および断面図である。
【図１１】光学ユニットの組み立て動作のフローチャートである。
【図１２】光学ユニットの組み立て動作の説明図である。
【図１３】変形例１、２の光学ユニットの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットの実施形態を説明する。本明細書において、光軸を光学ユニットの軸線Ｌとする。Ｌ１方向は軸線Ｌ方向の被写体側であり、Ｌ２方向は軸線Ｌ方向の反被写体側である。
【００２２】
図１は本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットを被写体側から見た場合の斜視図である。図２は、図１の振れ補正機能付き光学ユニットを反被写体側から見た場合の斜視図である。図３は図１のＡ−Ａ線における振れ補正機能付き光学ユニットの断面図である。図４は振れ補正機能付き光学ユニットを被写体側から見た場合の分解斜視図である。図５は振れ補正機能付き光学ユニットを反被写体側から見た場合の分解斜視図である。
【００２３】
図１、図２に示すように、本例の振れ補正機能付き光学ユニット１（以下、光学ユニット１という）は、レンズユニット２と、レンズユニット２を保持するレンズホルダ３（ホルダ部材）と、レンズホルダ３の反被写体側Ｌ２の端部に固定される固定部材４と、を備える。また、図３に示すように、光学ユニット１は、回転支持機構５を介して固定部材４に回転可能に支持された回転台座６（回転部材）と、回転台座６に固定されて当該回転台座６と一体に回転する撮像ユニット７と、を備える。回転台座６および撮像ユニット７はレンズホルダ３と固定部材４とによって区画された空間内に位置する。さらに、光学ユニット１は、回転台座６および撮像ユニット７を軸線Ｌ回りに回転させるローリング用磁気駆動機構８と、回転台座６を予め定めた基準回転位置に復帰させるための姿勢復帰機構９と、を備える。ここで、レンズユニット２、レンズホルダ３および固定部材４は固定体１
１を構成し、回転台座６および撮像ユニット７は固定体に対して可動する可動体１２を構成する。
【００２４】
（固定体）
図３、図４および図５に示すように、レンズユニット２は、レンズ１５（光学素子）を鏡筒１６に組み付けて構成されている。鏡筒１６の被写体側Ｌ１の先端には、円筒状のキャップ１７およびカバーガラス１８が取り付けられる。鏡筒１６およびキャップ１７は樹脂製であり、黒色の非光沢樹脂材料から形成されている。従って、鏡筒１６およびキャップ１７の表面は黒色の非光沢面となっている。
【００２５】
図４および図５に示すように、レンズホルダ３は、円筒状のホルダ筒部２１と、ホルダ筒部２１の反被写体側Ｌ２の端部から径方向外側に拡がるホルダ板部２２と、ホルダ板部２２の外周縁から反被写体側Ｌ２に筒状に延びる側板部２３を備える。レンズホルダ３は、樹脂製であり、黒色の非光沢樹脂材料から形成されている。従って、レンズホルダ３の表面は黒色の非光沢面となっている。レンズホルダ３は、ホルダ筒部２１の内周側にレンズユニット２の鏡筒１６を保持する。レンズユニット２がホルダ筒部２１に保持された状態では、レンズユニット２の軸線Ｌは、レンズホルダ３のホルダ筒部２１の中心軸線と一致する。従って、レンズ１５はホルダ筒部２１に同軸に保持される。
【００２６】
ホルダ板部２２は、軸線Ｌ方向から見た場合の形状が、正方形の４箇所の角部が切り欠かれた形状である。側板部２３には、一方の側面およびその両側の角部に設けられた面取り面の反被写体側Ｌ２の縁を所定の高さで切り欠いた切り欠き部２４が形成されている。また、側板部２３には、切り欠き部２４が形成された側面を除く他の３方向の側面にそれぞれ１箇所ずつボス部２５が設けられている。レンズホルダ３は、固定部材４との間にシート状の弾性部材２６を挟み込んだ状態で、ねじ２７によって固定部材４にねじ止めされる。
【００２７】
固定部材４は全体として板状であり、軸線Ｌ方向に対して垂直に配置される。図５に示すように、固定部材４は、側板部２３を軸線Ｌ方向から見た形状の一方側（切り欠き部２４の側）の縁を切り欠いた形状である。従って、図２に示すように、側板部２３の反被写体側Ｌ２の端部に固定部材４が固定されると、切り欠き部２４と固定部材４との間に軸線Ｌ方向の反被写体側Ｌ２および軸線Ｌ方向と直交する方向に開口する開口３１が形成される。この開口３１から、後述するフレキシブルプリント基板３２、３３が光学ユニット１の外部へ取り出される。
【００２８】
固定部材４の外周縁は、切り欠き部２４の側の縁を除き、レンズホルダ３の側板部２３の反被写体側Ｌ２の端面と軸線Ｌ方向で対向する。図３に示すように、固定部材４の外周縁と、側板部２３の端面との間には弾性部材２６が挟まれている。図４に示すように、弾性部材２６は、開口３１が形成された範囲を除く周方向の全範囲に配置されている。従って、開口３１が形成された範囲を除き、弾性部材２６によって側板部２３と固定部材４との隙間がシールされる。
【００２９】
固定部材４には、外周縁の３箇所に径方向外側に突出する突出部３４が形成されている。突出部３４は、レンズホルダ３の側板部２３に形成されたボス部２５と軸線Ｌ方向で対向する。固定部材４とレンズホルダ３に固定するねじ２７は、突出部３４に形成された貫通穴３４ａに通されてボス部２５に設けられたネジ穴にねじ止めされる。ねじ２７による固定箇所は、弾性部材２６が挟まれた位置より径方向外側である。
【００３０】
ここで、貫通穴３４ａの内径寸法は、ねじ２７の軸部の外径寸法よりも大きい。従って、固定部材４とレンズホルダ３とを締結する際に、軸線Ｌと直交する方向において、固定
部材４とレンズホルダ３との相対位置を調節できる。また、固定部材４とレンズホルダ３との間には、弾性部材２６が介在するので、３箇所のねじ２７のねじ締め状態を調節することにより、固定部材４に対するレンズホルダ３（レンズユニット２）の軸線Ｌの傾きを調節することができる。
【００３１】
（可動体）
図６は撮像ユニット７、回転台座６、回転支持機構５および固定部材４を被写体側Ｌ１から見た場合の分解斜視図である。図７は撮像ユニット７、回転台座６、回転支持機構５および固定部材４を反被写体側Ｌ２から見た場合の分解斜視図である。図８は撮像ユニット７を被写体側Ｌ１から見た場合の分解斜視図である。図９は撮像ユニット７を反被写体側Ｌ２から見た場合の分解斜視図である。図３に示すように、レンズユニット２の反被写体側Ｌ２には、被写体側Ｌ１から反被写体側Ｌ２に向かって、撮像ユニット７と回転台座６とがこの順に配置されている。図８に示すように、撮像ユニット７は、撮像素子４１と、撮像素子４１が搭載された基板４２と、撮像素子４１を被写体側Ｌ１から覆うように被せられたカバー部材４３と、を備える。図４に示すように、撮像ユニット７は、基板４２が回転台座６に固定されることにより、回転台座６に固定される。これにより、撮像ユニット７は回転台座６と一体に回転する。図３に示すように、回転台座６と固定部材４との間には、ローリング用磁気駆動機構８が設けられている。
【００３２】
図８に示すように、撮像素子４１は軸線Ｌ方向から見た場合の形状が長方形である。撮像素子４１は被写体側Ｌ１から反被写体側Ｌ２に向かってカバーガラス４５、センサー受光部４６、基板部４７がこの順に積層されている。センサー受光部４６の４つの側面４６ａ〜４６ｄにおいて互い直交して交わる２つの側面４６ａ、４６ｂには、センサー受光部４６の受光面と直交する基準面４８が設けられている。基準面４８は、２つの側面４６ａ、４６ｂのうちの一方の側面４６ａに２つ、他方の側面４６ｂに１つ設けられている。一方の側面４６ａに設けられた２つの基準面４８は、軸線Ｌ回りの周方向で互いに離間している。他方の側面４６ｂに設けられた１つの基準面４８は、２つの側面４６ａ、４６ｂの間の角部から離間する位置に設けられている。
【００３３】
カバー部材４３は樹脂製であり、黒色の非光沢樹脂材料から形成されている。従って、カバー部材４３の表面は黒色の非光沢面である。カバー部材４３は、撮像素子４１への光入射領域を規定するアパーチャ５１が形成された端板部５２と、アパーチャ５１の外周側において端板部５２から被写体側Ｌ１へ立ち上がる筒部５３と、端板部５２の外周縁から反被写体側Ｌ２に延びる角筒状の枠部５４と、を備える。アパーチャ５１は、端板部５２に設けられた長方形の開口である。端板部５２を軸線Ｌ方向から見た場合の形状は長方形である。枠部５４は、軸線Ｌ方向から見た場合に端板部５２と同一の輪郭形状を備えており、図９に示すように、内側に長方形の開口５５を備える。ここで、撮像素子４１を軸線Ｌ方向から見たときの形状が正方形の場合には、枠部５４の内側の開口５５を正方形としてもよい。なお、撮像素子４１の形状に拘わらず端板部５２の形状を正方形としてもよく、内側の開口５５の形状に拘わらず、軸線Ｌ方向から見た場合の枠部５４の輪郭形状を端板部５２と同一の正方形としてもよい。
【００３４】
枠部５４の長方形の開口５５には、基板４２に固定された撮像素子４１が反被写体側Ｌ２から挿入される。カバー部材４３は、接着剤によって、撮像素子４１に固定される。ここで、枠部５４において長方形の開口５５の各辺を規定する４つの内壁面５５ａ〜５５ｄのうち互いに直交して隣り合う第１内壁面５５ａおよび第２内壁面５５ｂは、撮像素子４１の基準面４８に軸線Ｌと直交する方向から当接する当接部である。撮像素子４１は、当接部（第１内壁面５５ａおよび第２内壁面５５ｂ）に基準面４８を当接させることにより、カバー部材４３に対する姿勢が軸線Ｌ回りで規定される。また、撮像素子４１は、当接部（第１内壁面５５ａおよび第２内壁面５５ｂ）に基準面４８を当接させることにより、
カバー部材４３における軸線Ｌと直交する方向の位置が規定される。さらに、枠部５４に挿入された撮像素子４１は、端板部５２に反被写体側Ｌ２から当接した状態とされる。これにより、カバー部材４３における撮像素子４１の軸線Ｌ方向の位置が規定される。
【００３５】
図７に示すように、回転台座６は、軸線Ｌに対して垂直な板状の基板支持部６１と、基板支持部６１の中央から反被写体側Ｌ２に突出する回転軸６２と、を備える。図６に示すように、基板支持部６１の被写体側Ｌ１の面には、基板４２より１回り小さい凹部６３が形成されている。凹部６３の底面には板状の放熱部材６４が固定され、放熱部材６４の基板４２の側の面には熱伝導性シート６５が貼り付けられている。放熱部材６４は、アルミや銅などの金属製の板材である。ここで、基板４２は基板支持部６１の被写体側Ｌ１の面に固定される。基板４２が基板支持部６１に固定されると、基板４２は、熱伝導性シート６５と接触する。従って、撮像素子４１による発熱は、基板４２から熱伝導性シート６５を経由して放熱部材６４に伝達され、回転台座６を介して外部に放出される。
【００３６】
基板４２が基板支持部６１に固定された状態では、図３に示すように、基板４２上の撮像素子４１に固定されたカバー部材４３の筒部５３と、回転軸６２とが同軸に位置している。また、カバー部材４３の筒部５３の外周面は、ホルダ筒部２１の内周面と軸線Ｌと直交する径方向で所定の隙間を隔てて対向する。さらに、カバー部材４３の端板部５２は、筒部５３の外周側において、レンズホルダ３のホルダ板部２２と軸線Ｌ方向で所定の隙間を隔てて対向する。これにより、レンズホルダ３とカバー部材４３との間には、屈曲した狭い隙間６７（ラビリンスシール）が形成される。
【００３７】
なお、本例では、レンズホルダ３のホルダ板部２２の形状が正方形の４箇所の角部を切り欠いた形状であるのに対して、カバー部材４３の端板部５２を軸線Ｌ方向から見た場合の形状は長方形である。従って、端板部５２の長方形の２つの長辺が対向する方向と、端板部５２の長方形の２つの短辺が対向する方向とでは、隙間６７（ラビリンスシール）の長さに差が生じている。すなわち、端板部５２の２つの長辺が対向する方向では、端板部５２とホルダ板部２２との間の隙間（ラビリンスシールの一部分）の長さは、短辺の長さに対応するものとなる。一方、２つの短辺が対向する方向における端板部５２とホルダ板部２２との間の隙間（ラビリンスシールの一部分）の長さは、長辺の長さに対応するものとなる。従って、端板部５２の２つの長辺が対向する方向の隙間６７（ラビリンスシール）の長さは、端板部５２の２つの短辺が対向する方向の隙間６７（ラビリンスシール）の長さよりも短い。このため、本例では、端板部５２の２つの長辺が対向する方向の隙間６７（ラビリンスシール）の長さを、カバー部材４３とレンズホルダ３との間に塵埃などの異物が侵入することを防止するのに必要な長さに設定している。
【００３８】
ここで、図８に示すように、撮像素子４１が搭載された基板４２には、撮像素子４１用のフレキシブルプリント基板３２が接続されている。フレキシブルプリント基板３２が接続される基板４２の縁は、図２に示すように、レンズホルダ３の切り欠き部２４と固定部材４との間に形成される開口３１に面している。フレキシブルプリント基板３２は、基板４２から開口３１を通って径方向外側へ引き出された後、Ｕ字状に折り返されて固定部材４の反被写体側Ｌ２に引き回される。フレキシブルプリント基板３２は、開口３１の外側で、Ｕ字状に折り返された直後の部分が回転台座６に固定されている。図６および図７に示すように、回転台座６には、基板支持部６１の開口３１側の縁から反被写体側Ｌ２に突出する突出部６８が形成されており、突出部６８の反被写体側Ｌ２の端面は、フレキシブルプリント基板３２を固定する固定面となっている。
【００３９】
（回転支持機構）
図６に示すように、固定部材４には、軸受保持部７１が形成されている。軸受保持部７１は、固定部材４を軸線Ｌ方向に貫通する保持孔７２を備える。固定部材４の反被写体側
Ｌ２の面には、図７に示すように、保持孔７２を囲んで反被写体側Ｌ２に突出する環状突出部７３が形成されている。ここで、回転支持機構５は、図３に示すように、軸受保持部７１に保持される軸受部７５と、軸受部７５の径方向外側で固定部材４と回転台座６との間に構成される回転支持部７６を備える。すなわち、回転支持機構５は、軸受部７５および回転支持部７６の２組の回転支持部によって構成されている。
【００４０】
軸受部７５は、保持孔７２の内周面に固定される外輪７８と、回転軸６２の外周面に固定される内輪７９と、外輪７８と内輪７９との間に配置されるボール８０と、を備える。回転軸６２の軸線Ｌ方向の先端は、固定部材４の反被写体側Ｌ２に露出している。より詳細には、回転軸６２は、軸受部７５の内輪７９から反被写体側Ｌ２に突出しており、固定部材４に形成された環状突出部７３より反被写体側Ｌ２に突出している。
【００４１】
図６、図７に示すように、回転支持部７６は、固定部材４の被写体側Ｌ１の面に形成された固定部材側環状溝８２と、回転台座６の基板支持部６１の反被写体側Ｌ２の面に形成された回転台座側環状溝８３と、固定部材側環状溝８２と回転台座側環状溝８３との間に配置された転動体８４と、固定部材側環状溝８２と回転台座側環状溝８３との間で転動体８４を保持するリテーナ８５を備える。固定部材側環状溝８２は、軸受部７５の外輪７８の外周面より径方向外側に形成されている。
【００４２】
（ローリング用磁気駆動機構）
図１０はローリング用磁気駆動機構８および姿勢復帰機構９と、回転支持機構５の一部を示す平面図および断面図である。図１０（ａ）は軸線Ｌ方向の被写体側Ｌ１から見た平面図であり、回転台座６が基準回転位置にある場合の平面図である。また、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＢ−Ｂ線における断面図である。回転台座６の回転軸６２が軸受保持部７１に取り付けられた軸受部７５を介して回転可能に保持されると、回転台座６の基板支持部６１と固定部材４との間にローリング用磁気駆動機構８が構成される。ローリング用磁気駆動機構８は、回転台座６の回転軸６２を間に挟んで径方向の両側に配置された一対のコイル９１と、固定部材４の軸受保持部７１を間に挟んで径方向の両側に配置された一対の磁石９２と、を備える。コイル９１と磁石９２とは、軸線Ｌ方向で所定のギャップを空けて対向する。
【００４３】
図１０（ａ）に示すように、磁石９２は周方向に２分割されており、コイル９１と対向する面の磁極が径方向に延びる着磁分極線９３を境にして異なるように着磁されている。コイル９１は空芯コイルであり、径方向に延びる部分が有効辺として利用される。一方のコイル９１の内側にはホール素子９４が配置される。ホール素子９４は、コイル９１への給電用のフレキシブルプリント基板３３に固定される。ホール素子９４は、回転台座６が予め定めた基準回転位置にあるときに、磁石９２の着磁分極線９３と対向する。ローリング用磁気駆動機構８は、ホール素子９４の信号に基づいて検出されたローリング方向の原点位置に基づいて制御され、回転台座６に撮像素子４１および基板４２を固定した可動体１２を軸線Ｌ回りに回転させてローリング補正を行う。
【００４４】
ローリング用磁気駆動機構８のフレキシブルプリント基板３３は、撮像素子４１用のフレキシブルプリント基板３２と同様に、Ｕ字状に折り返されて固定部材４の反被写体側Ｌ２に引き回される。フレキシブルプリント基板３３は、開口３１の外側で、Ｕ字状に折り返された直後の部分が回転台座６から突出する突出部６８に設けられた固定面に固定されている。従って、図５に示すように、突出部６８には、フレキシブルプリント基板３２、３３が重なった状態でまとめて固定される。
【００４５】
ここで、図７に示すように、回転台座６には、基板支持部６１から固定部材４に向けて突出する回転規制用凸部９５が形成されている。また、固定部材４には、図６に示すよう
に、回転規制用凸部９５の先端が挿入される回転規制用凹部９６が形成されている。回転規制用凹部９６は周方向に所定の角度範囲にわたって延在する。回転規制用凸部９５および回転規制用凹部９６は、固定部材４に対する回転台座６の回転範囲（ローリング補正の回転範囲）を規制する回転規制部を構成する。
【００４６】
（姿勢復帰機構）
姿勢復帰機構９は、回転台座６に固定された一対の磁性部材９８と、ローリング用磁気駆動機構８を構成する２個の磁石９２によって構成される２組の磁気バネである。図６に示すように、各磁性部材９８は、基板支持部６１の被写体側Ｌ１の面において凹部６３を間に挟んだ両側に形成された一対の凹部９９に固定されている。各磁性部材９８は、軸線Ｌ方向でコイル９１を間に挟んで磁石９２と反対側に位置する。図１０（ａ）に示すように、磁性部材９８は周方向の寸法が径方向の寸法より大きい長方形である。回転台座６が基準回転位置に位置するとき、磁性部材９８の周方向の中心９８ａは、軸線Ｌ方向から見て、磁石９２の着磁分極線９３と重なる位置にある。
【００４７】
回転台座６が基準回転位置から回転すると、磁性部材９８の中心９８ａが、磁石９２の着磁分極線９３から周方向にずれるので、磁性部材９８と磁石９２との間には、磁性部材９８の中心９８ａと、磁石９２の着磁分極線９３の角度位置を一致させる方向の磁気吸引力が働く。すなわち、回転台座６が基準回転位置からずれると、姿勢復帰機構９は、回転台座６を基準回転位置に復帰させる方向の磁気吸引力が働く。なお、本形態では、磁性部材９８と磁石９２からなる磁気バネを２組用いているが、磁気バネは１組であってもよい。すなわち、磁性部材９８は１個のみであってもよい。また、ローリング用磁気駆動機構８は、コイル９１と磁石９２を少なくとも１組備えていればよい。
【００４８】
（光学ユニットの製造方法）
図１１は光学ユニット１の製造方法のフローチャートである。図１２は光学ユニット１の製造方法の説明図である。図１１に示すように、光学ユニット１の組み立て動作は、カバー部材固定工程ＳＴ１、基板固定工程ＳＴ２、レンズホルダ配置工程ＳＴ３（配置工程）、レンズホルダ固定工程ＳＴ４、レンズユニット保持工程ＳＴ５を備える。
【００４９】
カバー部材固定工程ＳＴ１では、カバー部材４３の枠部５４の開口５５に、基板４２に固定された撮像素子４１を挿入する。そして、図１２に示すように、当接部（第１内壁面５５ａおよび第２内壁面５５ｂ）に撮像素子４１の基準面４８を当接させる。また、カバー部材４３の端板部５２の反被写体側Ｌ２の面を撮像素子４１のカバーガラス４５に当接させる。そして、接着剤により、カバー部材４３を撮像素子４１に固定する。
【００５０】
基板固定工程ＳＴ２では、カバー部材４３の筒部５３の軸線と回転支持機構５による回転台座６の回転中心とを一致させて、回転台座６に基板４２を固定する。なお、基板固定工程ＳＴ２では、回転台座６は、既に、回転支持機構５を介して固定部材４に回転可能に支持された状態とされている。また、固定部材４と回転台座６との間には、ローリング用磁気駆動機構８および姿勢復帰機構９が構成されている。ここで、本例では、カバー部材４３の筒部５３と回転軸６２とを同軸に位置させることにより、カバー部材４３の筒部５３の軸線と回転支持機構５により回転可能に支持された回転台座６の回転中心とを一致させて、回転台座６に基板４２を固定する。すなわち、基板固定工程ＳＴ２では、回転軸６２とカバー部材４３の筒部５３とを基準に、撮像ユニット７を回転台座６に固定する。
【００５１】
レンズホルダ配置工程ＳＴ３では、レンズホルダ３のホルダ筒部２１とカバー部材４３の筒部５３とを同軸に配置する。本例では、回転軸６２とホルダ筒部２１とを同軸に配置することによって、レンズホルダ３のホルダ筒部２１とカバー部材４３の筒部５３とを同軸に配置する。すなわち、回転軸６２を基準にホルダ筒部２１を位置決めする。
【００５２】
レンズホルダ固定工程ＳＴ４では、回転軸６２を基準にホルダ筒部２１を位置決めした状態で、レンズホルダ３と固定部材４とを固定する。すなわち、ねじ２７を固定部材４の貫通穴３４ａに貫通させて、レンズホルダ３のボス部２５に設けられたネジ穴に捩じ込み、レンズホルダ３と固定部材４とを締結する。ここで、貫通穴３４ａの内径寸法は、ねじ２７の軸部の外径寸法よりも大きい。従って、回転軸６２を基準にホルダ筒部２１を位置決めした状態で、レンズホルダ３を固定部材４に固定できる。
【００５３】
レンズユニット保持工程ＳＴ５では、レンズホルダ３にレンズユニット２を固定する。本例では、レンズユニット２の鏡筒１６の反被写体側の部分がレンズホルダ３のホルダ筒部２１の内周側に挿入され、レンズユニット２がホルダ筒部２１に同軸に保持される。ここで、レンズ１５はホルダ筒部２１に同軸に保持される。すなわち、レンズ１５の光軸とホルダ筒部２１の軸線とが一致した状態とされる。これにより、光学ユニット１の組み立てが完成する。
【００５４】
このような製造方法によれば、カバー部材固定工程ＳＴ１において、カバー部材４３と撮像素子４１とが軸線Ｌと交差する方向で位置決めされるので、撮像素子４１の中心と、アパーチャ５１の中心と筒部５３の中心とを一致させることができる。また、基板固定工程ＳＴ２において、回転支持機構５により回転可能に支持された回転台座６の回転中心（回転軸６２の回転中心線）とカバー部材４３の筒部５３の軸線とを一致させるので、回転台座６の回転中心と撮像素子４１の中心とを一致させることができる。さらに、レンズホルダ配置工程ＳＴ３において、レンズホルダ３のホルダ筒部２１とカバー部材４３の筒部５３とを同軸に配置するので、レンズユニット保持工程ＳＴ５においてレンズホルダ３にレンズユニット２（レンズ１５）を同軸に保持させたときに、レンズ１５の光軸と撮像素子４１の中心とを一致させることができる。また、レンズホルダ３のホルダ筒部２１とカバー部材４３の筒部５３とを同軸に配置するので、カバー部材４３の筒部５３の外周面とホルダ筒部２１との間の隙間６７を微細な寸法に管理でき、ラビリンスシールを構成できる。
【００５５】
なお、レンズホルダ配置工程ＳＴ３では、軸線Ｌ方向からレンズホルダ３のホルダ筒部２１とカバー部材４３の筒部５３とを観察して、ホルダ筒部２１の中心と筒部５３との中心とを、位置合わせしてもよい。
【００５６】
また、レンズホルダ配置工程ＳＴ３では、カバー部材４３の筒部５３の内径と、レンズホルダ３のホルダ筒部２１とを同軸に配置してもよい。この場合には、カバー部材４３の筒部５３の内側に治具を嵌合させて、当該治具とホルダ筒部２１との位置合わせを行うことにより、カバー部材４３の筒部５３とホルダ筒部２１を同軸に配置することができる。
【００５７】
（作用効果）
本例によれば、アパーチャ５１および筒部５３を備えるカバー部材４３は、撮像素子４１に光軸と一致する軸線Ｌと交差する方向から当接する当接部（第１内壁面５５ａおよび第２内壁面５５ｂ）を備え、この当接部を撮像素子４１に当接させた状態で撮像素子４１に固定される。これにより、カバー部材４３と撮像素子４１とは軸線Ｌと交差する方向で位置決めされているので、撮像素子４１の中心と、アパーチャ５１の中心と筒部５３の中心とを一致させることができる。また、基板４２は、カバー部材４３の筒部５３の軸線と回転台座６の回転中心とを一致させて回転台座６に固定されているので、回転台座６の回転中心と撮像素子４１の中心とを一致させることができる。さらに、光学素子を同軸に保持するホルダ筒部２１とカバー部材４３の筒部５３とを同軸に位置させた状態でレンズホルダ３が固定部材４に固定されているので、レンズ１５（レンズユニット２）の中心と撮像素子４１の中心とを一致させることができる。
【００５８】
また、カバー部材４３の筒部５３とレンズホルダ３のホルダ筒部２１を同軸に配置しているので、カバー部材４３の筒部５３の外周面とホルダ筒部２１との間の隙間６７を微細な寸法に管理できる。これにより、カバー部材４３の筒部５３の外周面とホルダ筒部２１との間の隙間およびカバー部材４３の端板部５２とホルダ板部２２との間にラビリンスシールを構成できる。よって、カバー部材４３とレンズホルダ３との間に塵埃などの異物が侵入して、撮像素子４１に付着することを防止あるいは抑制できる。
【００５９】
さらに、本例では、カバー部材４３の端板部５２は、被写体側Ｌ１から撮像素子４１に当接している。これにより、撮像素子４１と端板部５２との間に隙間が形成されないので、異物がこれらの間に進入することがない。また、端板部５２と撮像素子４１とが当接すれば、カバー部材４３と撮像素子４１との位置精度が向上するので、アパーチャ５１と撮像素子４１との位置精度が出しやすい。
【００６０】
また、カバー部材４３は、その表面が黒色の非光沢面である。すなわち、カバー部材４３の表面は低反射面とされている。従って、カバー部材４３で反射して撮像素子４１に入射する迷光を抑制できる。
【００６１】
（変形例）
図１３は変形例１、２の光学ユニットの説明図である。図１３（ａ）は、変形例１の光学ユニット１Ａのレンズホルダ３およびカバー部材４３を被写体側Ｌ１から見た場合の平面図である。図１３（ｂ）は、変形例２の光学ユニット１Ｂのレンズホルダ３およびカバー部材４３を被写体側Ｌ１から見た場合の平面図である。上記の光学ユニット１では、カバー部材４３の端板部５２を軸線Ｌ方向から見た場合の輪郭形状は長方形であるが、変形例１の光学ユニット１Ａでは、図１３（ａ）に示すように、カバー部材４３の端板部５２を軸線Ｌ方向から見た場合の輪郭形状が正方形である。なお、変形例１の光学ユニット１Ａは、端板部５２の輪郭形状を除き、他の部分の構成は上記の光学ユニット１と同一である。このようにすれば、正方形の２辺が対向する２方向で、カバー部材４３の端板部５２とホルダ板部２２との間に形成される隙間６７（ラビリンスシールの一部分）の長さＤ１を、同一とすることができる。これにより、ラビリンスシールの長さの差に起因して、異物の侵入を抑制する効果が低下することを抑制できる。
【００６２】
変形例２の光学ユニット１Ｂでは、図１３（ｂ）に示すように、カバー部材４３の端板部５２を軸線Ｌ方向から見た場合の輪郭形状が筒部５３と同心の円形である。なお、変形例２の光学ユニット１Ｂは、端板部５２の輪郭形状を除き、他の部分の構成は上記の光学ユニット１と同一である。このようにすれば、軸線Ｌと直交する方向で、カバー部材４３の端板部５２とホルダ板部２２との間に形成される隙間（ラビリンスシールの一部分）の長さＤ２を、同一とすることができる。これにより、ラビリンスシールの長さの差に起因して、異物の侵入を抑制する効果が低下することを抑制できる。
【符号の説明】
【００６３】
１・１Ａ・１Ｂ…光学ユニット（振れ補正機能付き光学ユニット）、２…レンズユニット、３…レンズホルダ（ホルダ部材）、４…固定部材、５…回転支持機構、６…回転台座、７…撮像ユニット、８…ローリング用磁気駆動機構、９…姿勢復帰機構、１１…固定体、１２…可動体、１５…レンズ（光学素子）、１６…鏡筒、１７…キャップ、２１…ホルダ筒部、２２…ホルダ板部、２３…側板部、２４…切欠き部、２５…ボス部、２６…弾性部材、３１…開口、３２…フレキシブルプリント基板、３３…フレキシブルプリント基板、３４…突出部、３４ａ…貫通穴、４１…撮像素子、４２…基板、４３…カバー部材、４５…カバーガラス、４６…センサー受光部、４６ａ〜４６ｄ…側面、４７…基板部、４８…基準面、５１…アパーチャ、５２…端板部、５３…筒部、５４…枠部、５５…開口、５５
ａ〜５５ｄ…内壁面、６１…基板支持部、６２…回転軸、６３…凹部、６４…放熱部材、６５…熱伝導性シート、６７…隙間、６８…突出部、７１…軸受保持部、７２…保持孔、７３…環状突出部、７５…軸受部、７６…回転支持部、７８…外輪、７９…内輪、８０…ボール、８２…固定部材側環状溝、８３…回転台座側環状溝、８４…転動体、８５…リテーナ、９１…コイル、９２…磁石、９３…着磁分極線、９４…ホール素子、９５…回転規制用凸部、９６…回転規制用凹部、９８…磁性部材、９８ａ…中心、９９…凹部、Ｌ…軸線（光軸）、Ｌ１…被写体側、Ｌ２…反被写体側、ＳＴ１…カバー部材固定工程、ＳＴ２…基板固定工程、ＳＴ３…レンズホルダ配置工程、ＳＴ４…レンズホルダ固定工程、ＳＴ５…レンズユニット保持工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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