(57)【要約】【課題】位置認識センサ等が出力する位置などの検出データを、駆動部の駆動データに変換し、軌跡動作の実現を図る。【解決手段】変換システムは、対象物をＸ方向に動かすＸ駆動部及び対象物をＹ方向に動かすＹ駆動部を有する駆動装置と、対象物におけるターゲットの位置をＸ検出データ及びＹ検出データとして検出する位置認識センサと、Ｘ検出データ及びＹ検出データをＸ駆動データに変換するＸ変換テーブルを作成し、且つ、目標とするＸ検出データ及びＹ検出データをＹ駆動データに変換するＹ変換テーブル等を作成するテーブル作成部が駆動装置に設けられている。Ｘ駆動部は目標とするＸ検出データをＸ変換テーブルに基づいて変換されたＸ駆動データを用いて駆動され、Ｙ駆動部は目標とするＹ検出データをＹ変換テーブルに基づいて変換されたＹ駆動データを用いて駆動される。【選択図】図１
2019012484.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を駆動データを用いて動かす駆動部を有する駆動装置と、前記対象物におけるターゲットの位置を検出データとして検出する位置認識センサと、を備える変換システムであって、
前記駆動データと検出データの違いに基づいて、前記検出データを駆動データへ変換する変換テーブルを作成するテーブル作成部も有し、
目標とする検出データが入力されたときに、前記駆動部は前記変換テーブルに基づいて変換された前記駆動データを用いて駆動され、
前記テーブル作成部が、前記駆動装置に設けられていることを特徴とする変換システム。
【請求項２】
前記駆動装置は、前記対象物をＸ駆動データを用いてＸ方向に動かすＸ駆動部及び前記対象物をＹ駆動データを用いてＹ方向に動かすＹ駆動部を有し、
前記位置認識センサは、前記対象物におけるターゲットの位置をＸ検出データ及びＹ検出データとして検出し、
前記テーブル作成部は、ａ（ａは３以上の整数）個の各点におけるＸ駆動部のマップ用Ｘ駆動データとＹ駆動部のマップ用Ｙ駆動データとをマップ用駆動データとして取得し、且つ、前記位置認識センサにより検出される、前記マップ用駆動データに基づいて前記Ｘ駆動部及び前記Ｙ駆動部が駆動された後の前記ａ個の各点におけるターゲットのマップ用Ｘ検出データ及びマップ用Ｙ検出データをマップ用検出データとして取得し、前記ａ個のマップ用駆動データとそれぞれに対応する前記マップ用検出データとに基づいて、目標とするＸ検出データ及びセンサＹ検出データに前記対象物を動かした後のＸ検出データ及びＹ検出データが近づくように、前記目標とするＸ検出データ及びＹ検出データをＸ駆動データに変換するためのＸ変換テーブルを作成し、且つ、目標とするＸ検出データ及びＹ検出データをＹ駆動データに変換するためのＹ変換テーブルを作成し、
目標とするＸ検出データ及びＹ検出データが入力されたときに、前記Ｘ駆動部は前記Ｘ変換テーブルに基づいて変換された前記Ｘ駆動データを用いて駆動され、前記Ｙ駆動部は前記Ｙ変換テーブルに基づいて変換された前記Ｙ駆動データを用いて駆動されることを特徴とする請求項１に記載の変換システム。
【請求項３】
前記駆動装置は、前記対象物をＺ駆動データを用いてＺ方向に動かすＺ駆動部をさらに有し、
前記位置認識センサは、前記対象物におけるターゲットの位置をＺ検出データとしてもさらに検出し、
前記テーブル作成部は、前記ａ個の各点におけるＸ駆動部のマップ用Ｘ駆動データとＹ駆動部のマップ用Ｙ駆動データとをマップ用駆動データとして取得し、且つ、前記位置認識センサにより検出される、前記マップ用駆動データに基づいて前記Ｘ駆動部及び前記Ｙ駆動部が駆動された後の前記ａ個の各点におけるターゲットのマップ用Ｘ検出データ、マップ用Ｙ検出データ及びマップ用Ｚ検出データをマップ用検出データとして取得し、前記ａ個のマップ用駆動データとそれぞれに対応する前記マップ用検出データとに基づいて、目標とするＸ検出データ及びＹ検出データが与えられたときに、前記ターゲットが所望のＺ検出データとなるように、前記Ｘ検出データ及びＹ検出データをＺ駆動データに変換するためのＺ変換テーブルをさらに作成し、
目標とするＸ検出データ及びＹ検出データが入力されたときに、前記Ｚ駆動部は前記Ｚ変換テーブルに基づいて変換された前記Ｚ駆動データを用いて駆動されることを特徴とする請求項２に記載の変換システム。
【請求項４】
前記駆動装置は、前記対象物をθ駆動データで回転するθ駆動部をさらに含み、
前記位置認識センサは、前記対象物におけるターゲットの位置をθ検出データとしてもさらに検出し、
前記テーブル作成部は、
前記位置認識センサにより検出される、ｂ（ｂは２以上の整数）個のマップ用θ駆動データに基づいて前記θ駆動部が駆動された後のそれぞれのθ検出データをθマップ用入力データとして取得し、且つ、前記位置認識センサ上での回転中心とするＸ検出データと前記ｂ個の各点におけるターゲットのＸ検出データとの差分であるθΔＸ出力データ、及び、前記位置認識センサ上での回転中心とするＹ検出データと前記ｂ個の各点におけるターゲットのＹ検出データとの差分であるθΔＹ出力データをθマップ用出力データとして取得し、前記ｂ個のθマップ用入力データとそれぞれに対応する前記θマップ用出力データとに基づいて、目標とするθ検出データが与えられたときに、前記ターゲットのＸ検出データ及びＹ検出データが位置認識センサ上で前記回転中心を中心として回転するように、前記θ検出データをθΔＸ出力データに変換するためのθＸ変換テーブルと、前記θ検出データをθΔＹ出力データに変換するためのθＹ変換テーブルと、を作成し、
ｂ（ｂは２以上の整数）個の各点における前記θ駆動部のマップ用θ駆動データを取得し、且つ、前記位置認識センサにより検出される、前記マップ用θ駆動データに基づいて前記θ駆動部が駆動された後の前記ｂ個の各点におけるターゲットのマップ用θ検出データを取得し、前記ｂ個の前記マップ用θ駆動データとそれぞれに対応する前記マップ用θ検出データとに基づいて、目標とするθ検出データに前記対象物を動かした後のθ検出データが近づくように、前記目標とするθ検出データをθ駆動データに変換するためのθ変換テーブルを作成し、
目標とするθ検出データが入力されたときに、前記θ駆動部は前記θ変換テーブルに基づいて変換された前記θ駆動データを用いて駆動され、前記Ｘ駆動部は目標とするＸ検出データとθΔＸ出力データとに基づいた値が前記Ｘ変換テーブルとθＸ変換テーブルに入力されることにより前記Ｘ変換テーブルとθＸ変換テーブルに基づいて変換された前記Ｘ駆動データを用いて駆動され、前記Ｙ駆動部は目標とするＹ検出データとθΔＹ出力データとに基づいた値が前記Ｙ変換テーブルとθＹ変換テーブルに入力されることにより前記Ｙ変換テーブルとθＹ変換テーブルに基づいて変換された前記Ｙ駆動データを用いて駆動されることを特徴とする請求項２又は３に記載の変換システム。
【請求項５】
前記変換システムは、前記駆動部の温度データを検出する温度センサをさらに備え、
前記テーブル作成部は、ｃ（ｃは２以上の整数）個の各温度データに対応する温度それぞれにおいて、前記マップ用駆動データ及び前記マップ用検出データをそれぞれ取得し、前記ｃ個の各温度データに対応する温度それぞれにおけるＸ駆動データを温度データに応じて補間し、Ｘ補間駆動データとして出力するＸ補間変換テーブルを作成し、且つ、前記ｃ個の各温度データに対応する温度それぞれにおける前記Ｙ駆動データを温度データに応じて補間し、Ｙ補間駆動データとして出力するＹ補間変換テーブルを作成し、
所定の温度において対応する温度データと目標とするターゲットのＸ検出データ及びＹ検出データとが入力されたときに、前記Ｘ駆動部は、前記Ｘ変換テーブルの代わりに、前記Ｘ補間変換テーブルに基づいて変換された前記Ｘ補間駆動データを用いて駆動され、前記Ｙ駆動部は、前記Ｙ変換テーブルの代わりに、前記Ｙ補間変換テーブルに基づいて変換された前記Ｙ補間駆動データを用いて駆動されることを特徴とする請求項２〜４の何れか１項に記載の変換システム。
【請求項６】
前記Ｘ駆動部が前記Ｘ駆動データを用いて駆動される際に、前記Ｘ駆動部は、前記ターゲットが前記Ｘ駆動データに対応する位置に到達するまでの間、前記Ｘ変換テーブルから得られるＸ駆動データを用いて駆動され、
前記Ｙ駆動部が前記Ｙ駆動データを用いて駆動される際に、前記Ｙ駆動部は、前記ターゲットが前記Ｙ駆動データに対応する位置に到達するまでの間、前記Ｙ変換テーブルから得られるＹ駆動データを用いて駆動されることを特徴とする請求項２〜５の何れか１項に記載の変換システム。
【請求項７】
前記駆動装置は、前記対象物をＸ駆動データを用いてＸ方向に動かすＸ駆動部及び前記対象物をＹ駆動データを用いてＹ方向に動かすＹ駆動部を有し、
前記位置認識センサは、前記対象物におけるターゲットの位置をＸ検出データ及びＹ検出データとして検出し、
前記テーブル作成部は、
ｄ（ｄは２以上の整数）個の各点におけるＸ駆動部のマップ用Ｘ駆動データを取得し、且つ、前記位置認識センサにより検出される、前記マップ用Ｘ駆動データに基づいて前記Ｘ駆動部が駆動された後の前記ｄ個の各点におけるターゲットのマップ用Ｘ検出データ及び前記ｄ個の各点のうち基準となる基準Ｙ検出データと前記ｄ個の各点におけるマップ用Ｙ検出データとの差分であるＸΔＹ出力データを取得し、前記ｄ個のマップ用Ｘ駆動データとそれぞれに対応する前記マップ用Ｘ検出データとに基づいて、目標とするＸ検出データに前記対象物を動かした後のＸ検出データが近づくように、前記目標とするＸ検出データをＸ駆動データに変換するためのＸＸ変換テーブルを作成し、且つ、前記Ｘ駆動部が駆動される前のＹ検出データに前記対象物を動かした後のＹ検出データに近づくように、前記目標とするＸ検出データをＸΔＹ出力データに変換するためのＸＹ変換テーブルを作成し、
ｅ（ｅは２以上の整数）個の各点におけるＹ駆動部のマップ用Ｙ駆動データを取得し、且つ、前記位置認識センサにより検出される、前記マップ用Ｙ駆動データに基づいて前記Ｙ駆動部が駆動された後の前記ｅ個の各点におけるターゲットのマップ用Ｙ検出データ及び前記ｅ個の各点のうち基準となる基準Ｘ検出データと前記ｅ個の各点におけるマップ用Ｘ検出データとの差分であるＹΔＸ出力データを取得し、前記ｅ個のマップ用Ｙ駆動データとそれぞれに対応する前記マップ用Ｙ検出データとに基づいて、目標とするＹ検出データに前記対象物を動かした後のＹ検出データが近づくように、前記目標とするＹ検出データをＹ駆動データに変換するためのＹＹ変換テーブルを作成し、且つ、前記Ｙ駆動部が駆動される前のＸ検出データに前記対象物を動かした後のＸ検出データが近づくように、前記目標とするＹ検出データをＹΔＸ出力データに変換するためのＹＸ変換テーブルを作成し、
目標とするＸ検出データ及びＹ検出データが入力されたときに、前記Ｘ駆動部は目標とするＸ検出データとＹΔＸ出力データとに基づいた値が前記ＸＸ変換テーブルに入力されることにより前記ＸＸ変換テーブルに基づいて変換されたＸ駆動データを用いて駆動され、前記Ｙ駆動部は目標とするＹ検出データとＸΔＹ出力データとに基づいた値が前記ＹＹ変換テーブルに入力されることにより前記ＹＹ変換テーブルに基づいて変換されたＹ駆動データを用いて駆動されることを特徴とする請求項１に記載の変換システム。
【請求項８】
駆動装置の状況を検出する位置認識センサから出力される検出データと、前記駆動装置に設けられた駆動部を駆動させる駆動データの違いに基づいて、前記検出データを駆動データへ変換する変換テーブルを作成することを特徴とするインターフェイス装置。
【請求項９】
駆動装置の状況を検出する位置認識センサから出力される検出データと、前記駆動装置に設けられた駆動部を駆動させる駆動データの違いに基づいて、前記検出データを駆動データへ変換する変換テーブルを、前記駆動装置に設けられたテーブル作成部に作成させ、
この変換テーブルを用いて、前記検出データから変換させた駆動データで、前記駆動装置における駆動部を駆動させることを特徴とする変換制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、変換システム、インターフェイス装置、及び、変換制御プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プラント操業における品質監視システムが知られている（特許文献１参照）。
この品質監視システムは、プラント操業における複数の生産工程の入出力性状をオンラインで計測する複数の分析計手段と、これら分析計の計測データ並びに前記生産工程の運転データを収集するリモート集中管理手段とを具備し、このリモート集中管理手段により前記分析計手段の監視並びにキャリブレーションを実行する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−９１５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された品質監視システムは、リモート集中管理手段が「メーカー管理領域」に属しており、顧客側からの定周期又はオンデマンド要求にはよるものの、結局は、「メーカー側」からリモート集中管理手段によるサービスが有償で実施されるため、顧客側（ユーザー側）だけでは、監視並びにキャリブレーションが出来ず、メーカー側からのサービスを待つ時間や、当該サービスの有償分が、余計にかかる問題がある。
そして、特許文献１の品質監視システムを、一番把握しているのは、普段から使用しているユーザー側であるものの、監視並びにキャリブレーションのサービス権限を握っているのは「メーカー側」であるため、最適な品質監視システムを構築することが出来ない。
【０００５】
本発明は、このような点に鑑み、検出データと駆動データの違いに基づく変換テーブルそのものや、この変換テーブルを駆動装置に設けられたテーブル作成部で作成すること等によって、「ユーザー側だけでの監視・キャリブレーション」、「サービス待ち時間・コストの低減」及び「最適なシステムの構築」を同時に実現できる変換システム、インターフェイス装置、及び、変換制御プログラムを提供することも目的として良い。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様に係る変換システムは、対象物を駆動データを用いて動かす駆動部を有する駆動装置と、前記対象物のターゲットの位置を検出データとして検出する位置認識センサと、を備える変換システムであって、前記駆動データと検出データの違いに基づいて、前記検出データを駆動データへ変換する変換テーブルを作成するテーブル作成部も有し、目標とする検出データが入力されたときに、前記駆動部は前記変換テーブルに基づいて変換された前記駆動データを用いて駆動され、前記テーブル作成部が、前記駆動装置に設けられている。
尚、「テーブル作成部が、駆動装置に設けられる」とは、テーブル作成部が、物理的に駆動装置に取り付けられているだけではなく、ユーザー側だけでの監視・キャリブレーションが出来るように、駆動装置及びセンサと、テーブル作成部との間で、駆動データ及び検出データのやりとり可能に有線・無線を問わず接続されていることも含む。
【０００７】
本発明の第１の態様に係るインターフェイス装置は、駆動装置の状況を検出するセンサから出力される検出データと、前記駆動装置に設けられた駆動部を駆動させる駆動データの違いに基づいて、前記検出データを駆動データへ変換する変換テーブルを作成する。
【０００８】
本発明の第１の態様に係る変換制御プログラムは、駆動装置の状況を検出するセンサから出力される検出データと、前記駆動装置に設けられた駆動部を駆動させる駆動データの違いに基づいて、前記検出データを駆動データへ変換する変換テーブルを、前記駆動装置に設けられたテーブル作成部で作成させ、この変換テーブルを用いて、前記検出データから変換させた駆動データで、前記駆動装置における駆動部を駆動させる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る変換システム、インターフェイス装置、及び、変換制御プログラムによると、検出データと駆動データの違いに基づく変換テーブルや、変換テーブルを駆動装置に設けられたテーブル作成部で作成すること等により、「ユーザー側だけでの監視・キャリブレーション」と「サービス待ち時間・コストの低減」と「最適なシステムの構築」を同時に実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態に係る変換システムにて、Ｘ駆動部とＹ駆動部を有した駆動装置と、位置認識センサ（ビジョンセンサ等）用の変換テーブルを作成するマップ用データの取得例であり、（ａ）はビジョンセンサとＸ駆動部とＹ駆動部とステージの位置関係などの概要を示し、（ｂ）はマップ用データの取得例を示すものである。
【図２】第１実施形態に係る変換システムの概要図である。
【図３】変換テーブル作成時に用いるマップ用データを三次元グラフで表した概要図であり、（ａ）は三次元グラフで表した、マップ用データ取得時におけるＸ検出データ及びＹ検出データに対応した駆動データとＸ検出データ及びＹ検出データの最大値及び最小値を示すものであり、（ｂ）はマップ用データを用いた変換テーブルに、マップ用データ取得時のＸ検出データ及びＹ検出データの最大値を超過した目標値であるＸ検出データ及びＹ検出データを与えた場合の、駆動データの推移を示すものである。
【図４】変換システムにおけるマッピングの１例（３点マッピング）を示す概要図である。
【図５】変換システムにおけるマッピングの別の例（グリッドマッピング）を示す概要図である。
【図６】変換システムにおけるマッピングの更に別の例（３点マッピング＋グリッドマッピング）を示し、（ａ）は３点マッピング＋グリッドマッピングを示す概要図であり、（ｂ）は変換テーブル作成時に用いるマップ用データを三次元グラフで表した概要図である。
【図７】変換システムにおけるマッピングの事例を示す概要図である。
【図８】本発明に係るインターフェイス装置（テーブル作成部）を示す概要図であり、（ａ）は変換システムの作成画面を示し、（ｂ）は変換システムの動作確認画面を示す。
【図９】本発明に係る変換制御プログラムを示すフローチャートである。
【図１０】第２実施形態に係る変換システムの概要図であり、（ａ）はＸ検出データ及びＹ検出データとＸ駆動部の温度データをＸ補間変換テーブルに、Ｘ検出データ及びＹ検出データとＹ駆動部の温度データをＹ補間変換テーブルに与える場合の変換システムを示し、（ｂ）はＸ検出データ及びＹ検出データとＸ速度データをＸ補間変換テーブルに、Ｘ検出データ及びＹ検出データとＹ速度データをＹ補間変換テーブルに与える場合の変換システムを示す。
【図１１】第３実施形態に係る変換システムにて、Ｘ駆動部とＹ駆動部とθ駆動部を有した駆動装置と、位置認識センサ（ビジョンセンサ等）用の変換テーブルを作成するマップ用データの取得例を示し、（ａ）はビジョンセンサとＸ駆動部とＹ駆動部とθ駆動部とステージの位置関係などの概要を示し、（ｂ）、（ｃ）はθ駆動部によるステージ回転時に取得するマップ用データの取得例を示す。
【図１２】第３実施形態に係る変換システムの概要図である。
【図１３】第４実施形態に係る変換システム（塗布装置）とＣＡＤＣＡＭなどで取得するデータの概要図であり、（ａ）は塗布装置およびワークについての概要を示し、（ｂ）はＣＡＤＣＡＭなどで取得するデータを示す。
【図１４】第４実施形態に係る変換システムの概要図である。
【図１５】第５実施形態に係る変換システムにて、Ｘ駆動部とＹ駆動部を有した駆動装置と、位置認識センサ（Ｖ平面を撮像するビジョンセンサ）用の変換テーブルを作成するマップ用データの取得例を示し、（ａ）はＶ平面とＸ駆動部とＹ駆動部とステージの位置関係を示し、（ｂ）は各駆動部の動作時に取得するマップ用データの考え方を示し、（ｃ）は取得したマップ用データの例を示す。
【図１６】第５実施形態に係る変換システムの概要図である。
【図１７】テスト条件と、テスト条件の下で第１実施形態及び第５実施形態それぞれ動作を行い、Ｘ駆動部とＹ駆動部の目標位置到達後の検出データの結果を示し、（ａ）はテスト時のＶ平面とＳ平面の位置関係を示し、（ｂ）は理想目標位置と、第１実施形態及び第５実施形態それぞれにおいて、目標位置到達後におけるＸ駆動部とＹ駆動部それぞれの検出データの結果を示す。
【図１８】第６実施形態に係る変換システムの概要図であって、（ａ）は駆動装置の状況（機械ガタ）を示し、（ｂ）はフィードバックループを示す。
【図１９】第６実施形態に係る変換システムにおいて、取得したマップ用データの例を示す。
【図２０】図１９におけるマップ用データをグラフ化したものである。
【図２１】その他の実施形態に係る変換システムの概要図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明に係る変換システム１は、ビジョンセンサなどの位置認識センサ（センサ）Ｓとテーブル作成部３を接続するほか、駆動部（Ｘ駆動部とＹ駆動部）Ｋ’を含む駆動装置Ｋと前記テーブル作成部３を接続したものである。前記テーブル作成部３は、駆動部Ｋ’の移動速度を決定する速度データや、駆動部Ｋ’の位置を決定する駆動データＤ２などを有し、駆動部Ｋ’の速度や位置を調節し駆動させるほか、位置認識センサ等のセンサＳから得られる検出データＤ１を、Ｘ駆動部及びＹ駆動部の駆動データＤ２に変換し出力するものである。
尚、本発明における「変換システム１」とは、上述したように、駆動装置Ｋの駆動部Ｋ’の位置などを調節し駆動するものを含み、駆動部Ｋ’を用いて、電子機器の基板に電子部品を実装したり（駆動装置が基板実装装置（基板実装ロボット）であったり）、ウェハを搬送したり（駆動装置がウェハ搬送装置（ウェハ搬送ロボット）であったり）、塗布をしても（駆動装置が塗布装置（塗布ロボット）であっても）良い。
【００１２】
又、本発明における「テーブル作成部３」とは、上述したように、駆動部Ｋ’の移動速度を決定する速度データや駆動部Ｋ’の位置を決定する駆動データＤ２などを有し、駆動部Ｋ’の速度や位置を調節し駆動させる（動かす）ほか、位置認識センサ等のセンサＳから得られる検出データＤ１を、Ｘ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’の駆動データＤ２に変換し出力したり、所定個の各点におけるＸ駆動部Ｋ’のＸ駆動データＤ２とＹ駆動部Ｋ’のＹ駆動データＤ２とをマップ用駆動データＤ２として取得し、且つ、位置認識センサ等のセンサＳにより検出される、マップ用検出データＤ１に基づいてＸ駆動部Ｋ’及び前記Ｙ駆動部Ｋ’が駆動された後のａ個の各点における対象物ＴにおけるターゲットのＸ検出データＤ１及びＹ検出データＤ１をマップ用検出データＤ１として取得し、ａ個のマップ用駆動データＤ２とそれぞれに対応するマップ用検出データＤ１とに基づいて、目標とするＸ検出データＤ１及びＹ検出データＤ１に前記対象物Ｔを動かした後のＸ検出データＤ１及びＹ検出データＤ１が近づくように、目標とするＸ検出データＤ１及びＹ検出データＤ１をＸ駆動データＤ２に変換するためのＸ変換テーブル２を作成し、且つ、目標とするＸ検出データＤ１及びＹ検出データＤ１をＹ駆動データＤ２に変換するためのＹ変換テーブル２などを作成するものであっても良い。
更に、本発明における「ステージ」とは、ワーク（加工対象物、作業対象物など）を配置するもの（架台）だけではなく、ワークを把持するものなど、駆動装置Ｋの移動する部分（基板実装装置の把持部分や、ウェハ搬送装置のウェハ把持部分、塗布装置の塗料噴射部分（塗布部分））の他、センサＳが設置されたものであっても良い。
そこで、まずこの駆動装置Ｋについて詳解する。
【００１３】
＜駆動装置Ｋ＞
駆動装置Ｋは、少なくともＸ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’や、Ｘ駆動部Ｋ’及びＺ駆動部Ｋ’等を含む第２数ｎ２（このときｎ２は２以上の整数となる）個の駆動部Ｋ’により構成されていたり、１個の駆動部Ｋ’（Ｘ駆動部Ｋ’のみや、Ｙ駆動部Ｋ’のみ、Ｚ駆動部Ｋ’のみ、θ駆動部Ｋ’のみなどで、このときｎ２は１となる）でも良い。駆動部Ｋ’は、テーブル作成部３から出力される駆動データＤ２に応じて駆動する部分である。駆動装置Ｋに含まれる駆動部Ｋ’は、テーブル作成部３から出力された駆動データＤ２に応じて駆動できるものであれば、何れの構成でも良い。例えば、サーボモータ、ステッピングモータ（パルスモータ）、リニアモータなどを用いることができる。このうち、サーボモータ、ステッピングモータなど回転駆動するものについては、ボールネジ機構、ラック・ピニオン機構などの回転駆動力を直進駆動力に変換する機構も含む。
駆動装置Ｋに含まれるＸ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’は、ステージ等の対象物Ｔを縦（Ｙ方向（前後方向））・横方向（Ｘ方向（左右方向））に位置調整を行うものを指し、その他の駆動部Ｋ’は上述した変換システム１の移動する部分において直線的に移動するもの（例えば、高さ方向に位置調整を行うＺ駆動部Ｋ’）や、所定軸回りの回転を行うもの（θ駆動部Ｋ’）を指す。
これらｎ２個の駆動部Ｋ’により、Ｘ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’によるＸＹステージの平面動作や、Ｘ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’とＺ駆動部Ｋ’によるＸＹＺステージの立体動作、またはＸ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’とθ駆動部Ｋ’によるＸＹθステージの平面及び回転動作が行われる。
【００１４】
＜駆動装置Ｋの状況Ｊ＞
駆動装置Ｋの状況Ｊとは、上述した各駆動部Ｋ’が位置決めする各軸方向における現在の位置（例えば、各駆動部Ｋ’が位置決めするＸ方向（Ｘ軸方向）の位置（現在のＸ値）やＹ方向（Ｙ軸方向）の現在の位置（現在のＹ値）、Ｚ方向（Ｚ軸方向）の位置（現在のＺ値）など）、つまり、「駆動部Ｋ’における現在位置」を含むが、この駆動部Ｋ’における現在位置は、上述した駆動データＤ２となる。
又、駆動装置Ｋの状況Ｊは、後述するセンサＳがビジョンセンサ等であれば、当該センサＳと駆動装置Ｋの配置ズレ（例えば、ビジョンセンサにおけるＸ軸とＹ軸（後述するＶ平面におけるＸ軸とＹ軸）を、駆動装置Ｋ（上述したＳ平面）におけるＸ軸とＹ軸に重なるように配置したつもりが、実際には重なるように配置できていない（Ｖ平面におけるＸ軸とＹ軸に対して、Ｓ平面におけるＸ軸とＹ軸が回転していたり、平行移動している）状況）も含む。
その他、駆動装置Ｋの状況Ｊは、上述した基板などの対象物Ｔと駆動装置Ｋの配置ズレ（基板などの対象物ＴにおけるＸ軸とＹ軸等を、駆動装置Ｋにおいて上述したＳ平面（動作平面）のＸ軸とＹ軸等に対して平行に配置したつもりが、実際には平行に配置できていない状況）を含んでいたり、駆動装置Ｋにおける各軸の交差ズレ（上述した各駆動部Ｋ’が位置決めを行う各軸を互いに直交するように構成したつもりが、実際には各軸間の角度が正確に９０°とはなっていない状況）が含まれていても構わない。
これら以外にも、駆動装置Ｋの状況Ｊは、駆動装置Ｋ自体の傾き（駆動装置Ｋを水平に設置したつもりが、実際には何れかの方向に傾いている状況）や、駆動部Ｋ’そのものの機械ガタ（スライダとスライドレールとの隙間や、ギアのバックラッシュなど）、駆動装置Ｋが置かれている環境における温度、そして、駆動装置Ｋが置かれている環境における湿度、気圧、風速、風向きなどを含んでも構わない。
【００１５】
＜センサＳ＞
センサＳは、上述した駆動装置Ｋの状況Ｊを検出するものであって、後述する第１数（ｎ１）個の検出データＤ１を出力する。
センサＳそのものの構成は、駆動装置Ｋの状況Ｊを検出し、且つ、検出データＤ１（Ｘ検出データＤ１、Ｙ検出データＤ１、Ｚ検出データＤ１、θ検出データＤ１等）を出力するのであれば、何れでも良いが、例えば、ビジョンセンサ（カメラ）やステレオビジョンセンサ（複数のビジョンセンサを有するセンサ）など画像を撮像するセンサであったり、エンコーダやポテンショメータ、加速度センサ、ジャイロセンサ、傾斜角センサなど回転数や角度を検出するセンサであったり、レーザ距離センサ（レーザレンジファインダなど）、超音波距離センサなど距離を検出するセンサであっても構わない。
その他、センサＳは、温度センサや、湿度センサ、気圧センサ、風向風速センサなどであっても良く、センサＳは、ここまで述べた画像を撮像するセンサや、回転数や角度を検出するセンサ、距離を検出するセンサ、温度や湿度を検出するセンサを、複数及び／又は複数種を同時に含むものであっても構わない。
センサＳは、第１数個の検出データＤ１を出力するが、この第１数個（ｎ１個）に、特に限定はなく、例えば、２個であったり、３個、４個以上や、１個であっても構わない。
尚、第１数ｎ１は、上述した第２数ｎ２と同じ値であっても良いが、異なる値であっても良い。
【００１６】
本発明に関わる変換システム１は、位置認識センサ等のセンサＳから得られる検出データＤ１をテーブル作成部３にて変換し、前記テーブル作成部３により出力された駆動データＤ２に応じてＸ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’を駆動させるもの全般を指すが、最も基本的な形となる変換システム１を第１実施形態として以下に詳解する。
【００１７】
＜第１実施形態＞
図１〜９に示すように、本発明の第１実施形態に係る変換システム１は、第１数（ｎ１）個の検出データＤ１を第２数（ｎ２）個の駆動データＤ２へ変換する変換テーブル２を有したものである。
＜変換システム１＞
以下、本発明の第１実施形態に係る変換システム１を、図面を参照して説明する。
図１（ｂ）には第１実施形態に係る変換システム１にて、Ｘ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’を有した駆動装置Ｋと、位置認識センサ（ビジョンセンサ等）Ｓ用の変換テーブル２を作成するマップ用データの取得例が示されている。図２には第１実施形態に係る変換システム１の概要図が示されている。
【００１８】
図１（ａ）に示す変換システム１では、ビジョンセンサＳにて検出したターゲット（図１（ａ）中の「点１」）の検出データＤ１と、ビジョンセンサ座標系（Ｖ平面）での目標位置との位置差分データを、駆動部Ｋ’であるＸ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’に与えて駆動させる。しかしながら、ビジョンセンサＳで検出される検出データＤ１はビジョンセンサＳの認識する平面上のデータ（ＶＸ値及びＶＹ値からなるＶ平面。ＶＸ値はビジョンセンサＳにて撮像された画面におけるＸ方向の位置（Ｖ平面におけるＸ値）、ＶＹ値はビジョンセンサＳにて撮像された画面におけるＹ方向の位置（Ｖ平面におけるＹ値））であり、Ｘ方向及びＹ方向にＸＹステージが駆動する平面上の位置（ＳＸ値及びＳＹ値からなるＳ平面。ＳＸ値はＸ駆動部Ｋ’の位置（Ｓ平面におけるＸ値）、ＳＹ値はＹ駆動部Ｋ’の位置（Ｓ平面におけるＹ値））と異なるほか、ビジョンセンサＳとＸＹステージの設置時に発生するＺ方向（Ｚ軸）周りの回転ズレや、ビジョンセンサＳに使用するレンズの歪みなどを考慮するため、射影変換などの補正計算を行う必要がある。
一方、ターゲットが点１にあるときに、Ｖ平面上の点１であるＶ１点は、Ｓ平面上から見たＳ１点でしかあらわされない。そのため、Ｖ平面基準で求められた移動量をＳ平面での位置データに換算するためには、Ｖ平面上のＶＸ値及びＶＹ値に対応した、Ｓ平面上のＳＸ値及びＳＹ値（ＶＸ１値とＶＹ１値であれば、ＳＸ１値とＳＹ１値）に変換すれば良い。
つまり、３点以上の各点において、検出したターゲットのＶＸ値及びＶＹ値をマップ用検出データＤ１として取得し、且つ前記各点におけるＳＸ値及びＳＹ値をマップ用駆動データＤ２として取得することで、図１（ｂ）に示すようなＶＸ値及びＶＹ値とＳＸ値からなるＳＸデータ群をマップ用データとしたＸ変換テーブル２と、ＶＸ値及びＶＹ値とＳＹ値からなるＳＹデータ群をマップ用データとしたＹ変換テーブル２をテーブル作成部により作成する。なお、このＳＸデータ群とＳＹデータ群は三次元グラフで表現できるデータ群となる。
このＸ変換テーブル２及びＹ変換テーブル２と、Ｘ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’、ビジョンセンサＳを図２に示すように接続する。
Ｘ変換テーブル２は、マップ用データであるＳＸデータ群に基づいて、与えられたＶＸ値及びＶＹ値に対応したＳＸ値をＸ駆動データＤ２として出力し、Ｙ変換テーブル２はマップ用データであるＳＹデータ群に基づいて、与えられたＶＸ値及びＶＹ値に対応したＳＹ値をＹ駆動データＤ２として出力するため、Ｘ駆動データＤ２及びＹ駆動データＤ２は図１（ｂ）で示した三次元グラフで表現される面をなぞる形となり、このＸ駆動データＤ２をＸ駆動部Ｋ’に、且つＹ駆動データＤ２をＹ駆動部Ｋ’に与えることで、ビジョンセンサＳにて検出したターゲットの検出データＤ１が補正計算を行うことなくＸ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’の駆動データＤ２に変換され、Ｘ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’を駆動させることとなる。
また、ＶＸ値及びＶＹ値に対応するＳＸ値及びＳＹ値には、マップ用データを取得した時点で、ビジョンセンサＳと、ＸＹステージの位置関係を含み、多点取得することでビジョンセンサＳに使用するレンズの歪みの影響も含む形となるなど、変換精度を向上できる。
【００１９】
なお、本実施形態における変換テーブル２は、上述した通り検出データＤ１であるＶＸ値及びＶＹ値と、Ｘ駆動部Ｋ’またはＹ駆動部Ｋ’の駆動データＤ２とをそれぞれマップ用データとして用いて作成されるが、例えば変換テーブル２のマップ用データが図３（ａ）で示すような三次元グラフで表されるとき、マップ用データ取得時のＶＸ値及びＶＹ値の最大値を超過するＶＸ値及びＶＹ値を目標値として変換テーブル２に与えた場合、変換テーブル２が行う変換処理は、図３（ｂ）で示すように三次元グラフが描く面になぞった変換を継続する。
また駆動データＤ２が描く軌跡は、開始点から目標値であるＶＸ値及びＶＹ値が描く直線軌跡に応じて同様の直線軌跡となるように連続的に変換されるため、変換テーブル２が行う変換処理は、目標値であるＶＸ値及びＶＹ値に対応した駆動データＤ２へのデータ変換のみではなく、駆動部Ｋ’が目標値であるＶＸ値及びＶＹ値に対応した駆動データＤ２に到達するまでの間も連続的に駆動データＤ２へ変換されることとなり、軌跡動作を伴うデータ変換となる。
つまり、マップ用データを取得し変換テーブルを作成するのみで、Ｓ平面のような実際に動作を行う駆動平面のＸ値、Ｙ値（本例でのＳＸ値及びＳＹ値）を意識することなく、ビジョンセンサＳ上のＶ平面のような指令としたい平面でのＸ値、Ｙ値（本例でのＶＸ値、ＶＹ値）を指定するだけでよく、例えばＶ平面上でのターゲットが描く軌跡をＶＸ方向に水平となるように動作させる、といったことも容易に行うことが出来る。
【００２０】
＜変換テーブル２＞
変換テーブル２は、第１数（ｎ１）個の検出データＤ１を第２数（ｎ２）個の駆動データＤ２へ変換するものである。
この変換は、ｎ１個の検出データＤ１と、ｎ２個の駆動データＤ２の「違い」に基づいて行われる。
ここで、検出データＤ１と駆動データＤ２の「違い」とは、センサＳによって検出された駆動装置Ｋにおける移動する部分の位置（例えば、「Ｖ平面における位置」）と、各駆動部Ｋ’によって移動する、駆動装置Ｋにおける移動する部分の位置（「Ｓ平面における位置」）の違いを含む。
例えば、駆動装置Ｋの状況Ｊとして「センサＳと駆動装置Ｋの配置がズレ」ている場合（上述したＶ平面におけるＸ軸及びＹ軸に対して、Ｓ平面におけるＸ軸及びＹ軸が−３０°回転している場合）であれば、Ｖ平面（ビジョンセンサで撮像した２次元画像）における座標：点Ｐ１（ＶＸ，ＶＹ）＝（２．０ｍｍ，０．０ｍｍ）は、Ｓ平面（動作平面）における座標：点Ｐ１’（ＳＸ，ＳＹ）＝（１．７３２０５０８０８ｍｍ（＝√３），１．０００００００００ｍｍ）に対応する。
しかし、これら点Ｐ１と点Ｐ１’は、Ｘ値（ＶＸ値とＳＸ値）、Ｙ値（ＶＹ値とＳＹ値）が大きく違っている。
この大きな違いは、点Ｐ１及びＰ１’以外でも同様に生じており、例えば、Ｖ平面における座標：点Ｐ２（ＶＸ，ＶＹ）＝（０．０ｍｍ，２．０ｍｍ）は、Ｓ平面における座標：点Ｐ２’（ＳＸ，ＳＹ）＝（−１．０００００００００），１．７３２０５０８０８ｍｍ（＝√３））に対応する。
しかし、これら点Ｐ２と点Ｐ２’も、Ｘ値（ＶＸ値とＳＸ値）、Ｙ値（ＶＹ値とＳＹ値）が大きく違っている。
このような違いが生じていても、変換テーブル２が、上述したＳＸデータ群であるＸ変換テーブル２や、ＳＹデータ群であるＹ変換テーブル２を有することにより、Ｖ平面上の任意の点・位置（検出データＤ１の値）を、Ｓ平面上の適切な点・位置（駆動データＤ２の「適切な値」）に対応させることが可能となる。
【００２１】
図１（ｂ）に示したように、Ｘ変換テーブル２やＹ変換テーブル２は、ＶＸ値を０．０ｍｍから２．０ｍｍまで０．２ｍｍ間隔で変化させて横軸に表示し、ＶＹ値を同じく０．０ｍｍから２．０ｍｍまで０．２ｍｍ間隔で変化させて縦軸に表示し、所定のＶＸ値と所定のＶＹ値に対応するＳＸ値やＳＹ値を、当該ＶＸ値に相当する列（縦列）と当該ＶＹ値に相当する行（横行）が交差する欄（セル）に表示している。
例えば、Ｘ変換テーブル２において、（ＶＸ，ＶＹ）＝（０．０，０．０）に対応するＳＸ値は「０．００」であり、（ＶＸ，ＶＹ）＝（２．０，０．０）に対応するＳＸ値は「１．７３」であり、（ＶＸ，ＶＹ）＝（０．０，２．０）に対応するＳＸ値は「−１．００」であり、（ＶＸ，ＶＹ）＝（１．０，１．０）に対応するＳＸ値は「０．３７」であり、（ＶＸ，ＶＹ）＝（１．４，０．８）に対応するＳＸ値は「０．８１」であり、（ＶＸ，ＶＹ）＝（０．４，１．４）に対応するＳＸ値は「−０．３５」である。
同様に、Ｙ変換テーブル２において、（ＶＸ，ＶＹ）＝（０．０，０．０）に対応するＳＹ値は「０．００」であり、（ＶＸ，ＶＹ）＝（２．０，０．０）に対応するＳＹ値は「１．００」であり、（ＶＸ，ＶＹ）＝（０．０，２．０）に対応するＳＹ値は「１．７３」であり、（ＶＸ，ＶＹ）＝（１．０，１．０）に対応するＳＹ値は「１．３７」であり、（ＶＸ，ＶＹ）＝（１．４，０．８）に対応するＳＹ値は「１．３９」であり、（ＶＸ，ＶＹ）＝（０．４，１．４）に対応するＳＹ値は「１．４１」である。
【００２２】
これらＸ変換テーブル２やＹ変換テーブル２の作成は、予め「（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）」に対応づけられる点が少なくとも３つあれば可能であり、例えば、図１７（ａ）における｛（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）｝＝｛（０，０）→（０，０）｝、｛（２，０）→（√３，１）｝、｛（０，２）→（−１，√３）｝の３点を用いて、Ｘ変換テーブル２やＹ変換テーブル２における表中の左上、右上、左下の３セルを埋める。
その後、Ｘ変換テーブル２やＹ変換テーブル２のうちＸ変換テーブル２から述べれば、横軸方向は、右上セル中の値「１．７３（詳しくは、１．７３０５０８０８）」を１０等分した「０．１７（詳しくは、０．１７３２０５０８１）」を、左上セル「０．００」から右に１セルずつ順番に足して（直線補間して）、最も上の行を埋める。
一方、Ｘ変換テーブル２の縦軸方向は、左下セル中の値「−１．００」を１０等分した「−０．１０」を、左上セル「０．００」から下に１セルずつ順番に足して（直線補間して）、最も左の列を埋める。
これら以外のセルについては、例えば、上から２番目の行であれば、最も左端のセル中の値「−０．１０」から、最も上の行と同じ「０．１７（詳しくは、０．１７３２０５０８１）」を右に１セルずつ順番に足して（直線補間して）、上から２番目の行を埋め、以下同様にして、上から３番目の行から最も下の行を埋めることで、Ｘ変換テーブル２が作成できる。
【００２３】
又、Ｘ変換テーブル２において、（ＶＸ，ＶＹ）が（０．３，０．３）や（０．５，０．５）などのように、値がない場合であっても、ＶＸ値やＶＹ値を、０．２ｍｍと０．４ｍｍの間を再び１０等分した値を、１セルずつ順番に足す（直線補間する）ことによって、何れのＶＸ値やＶＹ値であっても、対応するＳＸ値やＳＹ値を出力することが可能となる。
更に、Ｘ変換テーブル２において、（ＶＸ，ＶＹ）が（３．０，３．０）や（−１．０，−１．０）などのように、横軸・縦軸の値の範囲（例えば、０．０から２．０など）を超えている場合であっても、横軸方向については、「０．１７（詳しくは、０．１７３２０５０８１）」を、最も右端のセルから右に１セルずつ順番に足したり、最も左端のセルから左に１セルずつ順番に引き、縦軸方向については、「−０．１０」を、最も下のセルから下に１セルずつ順番に足したり、最も上のセルから上に１セルずつ順番に引く（直線補間する）ことによって、ＶＸ値やＶＹ値が「２．０」より大きかったり、「０．０」より小さくとも、対応するＳＸ値やＳＹ値を出力することが可能となる。
尚、駆動装置Ｋの対象物Ｔが、マイクロチップやナノチップのように、微小なものであれば、ＶＸ値及びＶＹ値が０．０ｍｍから２．０ｍｍまで等の範囲で十分である。
【００２４】
又、もう１つの変換テーブルであるＹ変換テーブル２も、Ｘ変換テーブル２と同様に、作成可能である。
このようにして作成したＸ、Ｙ変換テーブル２、２は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸を有する３次元空間中に図示でき、Ｘ変換テーブル２であれば、ＶＸ値をＸ値に、ＶＹ値をＹ値に、ＳＸ値をＺ値に相当させることによって、３次元空間中の平面で表すことができる（図１（ｂ）参照）。
同様に、Ｙ変換テーブル２も、ＶＸ値をＸ値に、ＶＹ値をＹ値に、ＳＹ値をＺ値に相当させることによって、３次元空間中の平面で表すことができる（図１（ｂ）参照）。
この場合における変換テーブル２の作成は、「３次元（３Ｄ）グラフ化」とも言える。
【００２５】
尚、２つのＸ、Ｙ変換テーブル２、２は、ここまで述べたもの以外に、３元一次方程式（Ａ1 ・ＶＸ＋Ａ2 ・ＶＹ＋Ａ3 ・ＳＸ＋Ａ4 ＝０や、Ａ1 ’・ＶＸ＋Ａ2 ’・ＶＹ＋Ａ3 ’・ＳＹ＋Ａ4 ’＝０）に、上述した図１５における｛（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）｝＝｛（０，０）→（０，０）｝、｛（２，０）→（√３，１）｝、｛（０，２）→（−１，√３）｝の３点を代入して連立方程式を解くと、Ａ1 ＝−√３，Ａ2 ＝１，Ａ3 ＝２、Ａ4 ＝０であり、Ａ1 ’＝１，Ａ2 ’＝√３，Ａ3 ’＝−２、Ａ4 ’＝０であるため、ＳＸ＝（√３ＶＸ−ＶＹ）／２，ＳＹ＝（ＶＸ＋√３ＶＹ）／２となって、これらの式ＳＸ＝（√３ＶＸ−ＶＹ）／２がＸ変換テーブル２に相当し、式ＳＹ＝（ＶＸ＋√３ＶＹ）／２がＹ変換テーブル２に相当するとも言える。
又、上述した駆動装置Ｋの状況Ｊが、Ｖ平面におけるＸ軸とＹ軸に対して、Ｓ平面におけるＸ軸とＹ軸がθだけ回転し、且つ、Ｘ軸方向にｘ１、Ｙ軸方向にｙ１だけ平行移動している場合では、式ＳＸ＝ＶＸ・ｃｏｓθ＋ＶＹ・ｓｉｎθ−ｘ１がＸ変換テーブル２に相当し、式ＳＹ＝−ＶＸ・ｓｉｎθ＋ＶＹ・ｃｏｓθ−ｙ１がＹ変換テーブル２に相当するとも言える。
【００２６】
この他、駆動装置Ｋの状況Ｊが、対象物Ｔと駆動装置Ｋの配置ズレである（基板などの対象物ＴにおけるＸ軸とＹ軸に対して、Ｓ平面におけるＸ軸とＹ軸が平行になっていない（θ’だけ回転している））場合では、式ＳＸ＝ＶＸ・ｃｏｓθ’＋ＶＹ・ｓｉｎθ’がＸ変換テーブル２に相当し、式ＳＹ＝−ＶＸ・ｓｉｎθ’＋ＶＹ・ｃｏｓθ’がＹ変換テーブル２に相当するとも言える。
そして、駆動装置Ｋの状況Ｊが、駆動装置Ｋにおける各軸の交差ズレである（駆動装置ＫのＳ平面におけるＸ軸とＹ軸の間の角度が正確に９０°とはなっていない（９０°よりだけ小さい（９０°−εとなっている）））場合では、式ＳＸ＝ＶＸ−ＶＹ・（ｓｉｎε）／ｃｏｓε）がＸ変換テーブル２に相当し、式ＳＹ＝ＶＹ／ｃｏｓεがＹ変換テーブル２に相当するとも言える。
これら以外に、駆動装置Ｋの状況Ｊが、機械ガタの１つであるギアのバックラッシュ（隙間がζ）で、且つ、駆動部Ｋ’（サーボモータやステッピングモータなど）の回転方向が逆転した場合では、式ＳＸ＝ＶＸ＋ζη（η≦ζ）がＸ変換テーブル２に相当し、式ＳＹ＝ＶＹ＋ζη（η≦ζ）がＹ変換テーブル２に相当するとも言える。
又、このようなＸ、Ｙ変換テーブル２、２を有することで、２個のデータがそれぞれＸ軸・Ｙ軸方向の値で表され、且つ、これらに対応する１個のデータがＺ軸方向の値で表された３次元（３Ｄ）空間中の平面で表現（３Ｄグラフ化）でき、ｎ１個の検出データＤ１とｎ２個の駆動データＤ２の違いに応じた（例えば、検出データＤ１と駆動データＤ２の違いが大きくとも、その違いに応じた）変換テーブル２を作成可能となる。
【００２７】
＜テーブル作成部３＞
ここまで詳解したＸ、Ｙ変換テーブル２、２の作成について、上述では、例として、図１５における｛（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）｝＝｛（０，０）→（０，０）｝、｛（２，０）→（√３，１）｝、｛（０，２）→（−１，√３）｝の３点を用いたが、実際の駆動装置Ｋやセンサ（ビジョンセンサ）Ｓに応じて、Ｘ、Ｙ変換テーブル２、２等を作成する必要がある。
以下は、この作成を行うテーブル作成部３について述べる。
【００２８】
図４〜７、９に示したように、テーブル作成部３は、変換テーブル２を作成するものである。
テーブル作成部３の作成としては、＜１＞３点マッピング、＜２＞グリッドマッピング、＜３＞グリッドマッピングと３点マッピングの融合（グリッドマッピング＋３点マッピング）がある。
尚、本発明における「マッピング」とは、実際の駆動装置ＫやセンサＳに関するデータを採取（取得）して、当該駆動装置ＫやセンサＳに応じた変換テーブル２やその対応表４を、予め作成することを意味する。
【００２９】
＜１＞３点マッピング
図４に示したように、３点マッピングは、駆動装置Ｋの対象物Ｔにおける任意の３点に基づいて、変換テーブル２（１組のＸ、Ｙ変換テーブル２、２）を予め作成することである。
３点マッピングを詳解すれば、まず、駆動装置Ｋの対象物Ｔ（駆動装置Ｋが基板実装装置であれば基板、駆動装置Ｋがウェハ搬送装置であればウェハ、駆動装置Ｋが塗布装置であれば塗布対象物）と移動する部分を含む２次元画像（「Ｖ平面」、後述の図６（ａ）中で言及する仮想平面）において、このＶ平面内における対象物Ｔの全面を網目状に区域分けし（図６（ａ）であれば、３×３マス）、これらのマスの中から３つ（図６（ａ）であれば、（１，１）マス、（１，３）マス、（３，３）マス）を選ぶ。
【００３０】
選ばれた３マスそれぞれから、「Ｖ平面」上の点（ＶＸ，ＶＹ）を１つずつ選び、その３点（ＶＸ，ＶＹ）それぞれに相当する動作平面（「Ｓ平面」）上の点（ＳＸ，ＳＹ）の値（「（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）」）を３つ取得する。
取得した３つの「（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）」に基づいて、上述したように、ＸＸ変換テーブル２とＹ変換テーブル２を作成する。
又、３つの「（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）」から、Ｘ、Ｙ変換テーブル２、２に相当する２本の式を算出しても良い。
このような３点マッピングによって、取得する点のデータを少なくて済み、変換テーブル２作成の手間や負荷を抑制できる。
尚、上述の３点マッピングでは、対象物Ｔの全面を区域分けしたが、いきなり、Ｖ平面内における対象物Ｔ上の任意の３点を選んでも良い。
【００３１】
＜２＞グリッドマッピング
図５に示したように、グリッドマッピングは、駆動装置Ｋの対象物Ｔの全面における点に基づいて、変換テーブル２（１組のＸ、Ｙ変換テーブル２、２）を予め作成することである。尚、基づく点の数は、当然、４つ以上であり、この点の数が多いほど精度が上がる。
グリッドマッピングを詳解すれば、駆動装置Ｋの対象物Ｔと移動する部分を含む２次元画像（「Ｖ平面」）において、対象物Ｔの左下角近傍から、対象物Ｔ全面を所定間隔おきに一筆書きでなぞって行くように、「Ｖ平面」上の点（ＶＸ，ＶＹ）を選ぶ。
【００３２】
選んだ各点（ＶＸ，ＶＹ）それぞれに相当する動作平面（「Ｓ平面」）上の点（ＳＸ，ＳＹ）の値（「（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）」）を選んだ点の数だけ取得する。
取得した「（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）」全てに基づいて、Ｘ変換テーブル２とＹ変換テーブル２をセルに、対応するＳＸ値、ＳＹ値を１つ１つ入れることで、Ｘ、Ｙ変換テーブル２、２を作成する。
このように１つ１つの値をセルに入れるのは、＜１＞の３点マッピングでは、３Ｄグラフ化したＸ、Ｙ変換テーブル２、２が空間中で平面になると近似して作成したため、Ｘ、Ｙ変換テーブル２、２中の各セルは規則的に変化した（所定の値を加えたり、引いたりすれば、隣りのセルの値が導出できたした）ものの、実際の対象物Ｔでは、駆動装置Ｋの状況Ｊが複数同時に起こり得る（センサＳと駆動装置Ｋの配置ズレと、対象物Ｔと駆動装置Ｋの配置ズレが同時に起こったり、センサＳと駆動装置Ｋの配置ズレと、駆動装置Ｋにおける各軸の交差ズレや、センサＳと駆動装置Ｋの配置ズレと、機械ガタなどが同時に起こり得る）ため、３次元空間中で３Ｄグラフ化したＸ、Ｙ変換テーブル２、２の傾きが部分的に異なったり、３Ｄグラフ化したＸ、Ｙ変換テーブル２、２が３次元空間中の曲面である可能性があり（図５参照）、３つの点のデータを取得しただけでは、正確なＸ、Ｙ変換テーブル２、２を作成できない場合がある。
しかし、Ｘ、Ｙ変換テーブル２、２のセルに１つ１つの値を入れるグリッドマッピングであれば、傾きが部分的に異なったり、曲面である３Ｄグラフ化したＸ、Ｙ変換テーブル２、２に対しても、対応させる精度が上がり、駆動部Ｋ’による更に正確な位置調整が可能となる。又、グリッドマッピングであれば、センサＳであるビジョンセンサ（カメラ）が撮像する２次元画像に、レンズの魚眼効果などの歪みが生じていても、この歪みに応じたＸ、Ｙ変換テーブル２、２を作成できる。
【００３３】
尚、グリッドマッピングでは、３点マッピングのように、まず、Ｖ平面内における対象物Ｔの全面を網目状に区域分けし、これらの全てのマスそれぞれから、「Ｖ平面」上の点（ＶＸ，ＶＹ）を１つずつ選ぶ。
そして、選んだ点（ＶＸ，ＶＹ）それぞれに相当する動作平面（「Ｓ平面」）上の点（ＳＸ，ＳＹ）の値（「（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）」）を選んだ点の数だけ取得し、取得した「（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）」全てに基づいて、Ｘ変換テーブル２とＹ変換テーブル２をセルに、対応するＳＸ値、ＳＹ値を入れることで、Ｘ、Ｙ変換テーブル２、２を作成しても良い。
【００３４】
＜３＞グリッドマッピング＋３点マッピング
図６（ａ）に示したように、グリッドマッピング＋３点マッピングは、駆動装置Ｋの対象物Ｔの全面における全てのマスに関して、各マスごとにその内部の３点に基づいて、変換テーブル２（１組のＸ、Ｙ変換テーブル２、２）を予め作成することである。
グリッドマッピング（図６（ａ）中に示したグリッドマッピングによる機械動作の矯正）＋３点マッピング（図６（ａ）中に示した３点マッピングによる仮想平面）を詳解すれば、まず、Ｖ平面内における対象物Ｔの全面を網目状に区域分けし、これらの全てのマスそれぞれから、「Ｖ平面」上の点（ＶＸ，ＶＹ）を３つずつ選ぶ。
【００３５】
点（ＶＸ，ＶＹ）を３つ選んだ全てのマスのうち、ある１つのマスに着目すると、当該マスにおいて選んだ３つの点（ＶＸ，ＶＹ）それぞれに相当する動作平面（「Ｓ平面」）上の点（ＳＸ，ＳＹ）の値（「（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）」）を３つ取得し、取得した「（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）」に基づいて、当該マスにおけるＸ変換テーブル２とＹ変換テーブル２を作成する。
以下、他のマスでも同様で、各マスにおいて選んだ３つの点（ＶＸ，ＶＹ）それぞれに相当する動作平面（「Ｓ平面」）上の点（ＳＸ，ＳＹ）の値（「（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）」）を３つ取得し、取得した「（ＶＸ，ＶＹ）→（ＳＸ，ＳＹ）」に基づいて、各マスにおけるそれぞれ別のＸ変換テーブル２とＹ変換テーブル２を作成する。
【００３６】
ここで、グリッドマッピング＋３点マッピングで作成されるＸ、Ｙ変換テーブル２、２について述べると、グリッドマッピング＋３点マッピングでは、各マスにおけるＸ変換テーブル２とＹ変換テーブル２を作成することとなり、当然、マスの数だけ、Ｘ、Ｙ変換テーブル２、２の組が作成される。
尚、図６（ｂ）で示したように、このＸ、Ｙ変換テーブル２、２の組それぞれを、３次元（３Ｄ）空間中で表現すると、Ｘ変換テーブル２で１つの多面体（多胞体）を形成し、Ｙ変換テーブル２でまた別の多面体（多胞体）を形成しており、これら２つの多面体で変換テーブル２を作成しているとも言える。これは、グリッドマッピング＋３点マッピングの場合だけでなく、グリッドマッピングのみの場合でも、Ｘ、Ｙ変換テーブル２、２の組が３次元（３Ｄ）空間中の多面体で表現できる変換テーブル２であっても良い。
尚、上述した＜３＞グリッドマッピング＋３点マッピングでは、先にグリッドマッピングしてから、３点マッピングを行ったが、逆に、３点マッピングをしてから、グリッドマッピング（まず対象物の全面を区域分けし、その区域のうち３つだけをマッピングする３点マッピングを行い、その後に、当該３つの区域内それぞれをグリッドマッピング）しても良い。
又、＜３＞グリッドマッピング＋３点マッピングとして、一纏まりの変換テーブル２を作成する際には、グリッドマッピングによって作成されたＸ、Ｙ変換テーブル２、２（データ群である表）の各セルに、３点マッピングによって作成されたＸ、Ｙ変換テーブル２、２それぞれを入れ込むこととなり、「入れ子（ネスト）構造」となっているとも言えると共に、グリッドマッピングによって作成されたＸ、Ｙ変換テーブル２、２と、３点マッピングによって作成されたＸ、Ｙ変換テーブル２、２に基づいて、「連続変換」をしているとも言える。
尚、＜３＞グリッドマッピング＋３点マッピングにおいて、３点マッピングの代わりに、各マス（グリッド）におけるＸ変換テーブル２やＹ変換テーブル２変換式を、各マスを区分けする４点に基づいて作成しても良い（このとき、グリッドマッピング＋４点マッピングとも言える）。
【００３７】
＜マッピング事例＞
ここまで述べたテーブル作成部３におけるマッピング（＜２＞グリッドマッピング等）により、具体的に変換テーブル２を作成した事例を示す。
図７に示したように、このマッピング事例は、電子部品を実装する電子機器の基板が、対象物Ｔである。
【００３８】
この対象物Ｔの基板は、長尺状（又は、略矩形状）であり、その４つの角部のうちの１つ（例えば、左上の角部）をビジョンターゲット（基準マーク、原点）Ｇとし、その他、３つの角部のうち２つを角度（Ｖ平面におけるＸ軸及びＹ軸と、基板ＴにおけるＸ軸及びＹ軸との間の角度）を決めるためのマークＣとする。
又、電子部品を実装する位置（実装先Ｍ１、Ｍ’等）それぞれは、ビジョンターゲットＧに対する相対位置Ｐや、実装先Ｍ１、Ｍ’等同士の相対位置Ｐなどが予め特定できる。
このような基板Ｔを、実装ステーション（電子部品を実装させる場所）に移動させる際、Ｖ平面におけるＸ軸及びＹ軸に対してと、基板ＴにおけるＸ軸及びＹ軸との間の角度や位置にズレ（駆動装置Ｋの状況Ｊ）が生じる場合がある。
【００３９】
そこで、たとえ角度や位置にズレが生じても、例えば、上述した＜２＞のグリッドマッピングによって、ビジョンターゲットＧと、このビジョンターゲットＧに最も近い実装先（第１実装先）Ｍ１における変換テーブル２を作成する（図７中のＴ１参照）。
この変換テーブル２は、ビジョンターゲットＧと第１実装先Ｍ１だけでなく、事前に把握されている第１実装先Ｍ１とその他の実装先Ｍ’の相対位置Ｐや、角度を決めるためのマークＣから、基板Ｔ上の仮想平面におけるＸ値、Ｙ値を、駆動装置Ｋ（駆動部Ｋ’）のＳ平面におけるＸ値、Ｙ値に変換するものである（図７中のＴ２参照）。
この変換テーブル２を作成することで、基板Ｔ上の仮想平面におけるＸ軸及びＹ軸が、駆動装置Ｋ（駆動部Ｋ’）のＳ平面におけるＸ軸及びＹ軸に対して、何度回転し、いくら平行移動しているかわかる（つまり、基板Ｔ上の仮想平面と、Ｓ平面のズレが分かる）ため、このズレを解消するように、基板Ｔ上の仮想平面を、Ｓ平面と重なるように傾けた（補正した）とも言える（図７中のＴ３参照）。
この基板Ｔの例では、＜２＞のグリッドマッピングによって、変換テーブル２を作成して、補正を行ったが、＜１＞の３点マッピングや、＜３＞のグリッドマッピング＋３点マッピングによって、変換テーブル２の作成・補正をしても良い。
【００４０】
ここまで述べたマッピングにより、変換テーブル２（Ｘ、Ｙ変換テーブル２、２等）を作成するテーブル作成部３は、駆動装置Ｋに設けられている。
ここで、本発明における「テーブル作成部３が駆動装置Ｋに設けられている」とは、テーブル作成部３が駆動装置Ｋと一体化している場合や、テーブル作成部３が駆動装置Ｋを操作するモーションコントローラである場合、テーブル作成部３が駆動装置Ｋを操作可能に接続されたモーションコントローラやコンピュータ端末である場合など、とにかくテーブル作成部３が駆動装置Ｋに設けられていることを意味する。
このようなテーブル作成部３は、「メーカー側」からリモート集中管理手段によるサービスが有償で実施されることはなく、顧客側（ユーザー側）だけで監視・キャリブレーションが可能となり、メーカー側からのサービスを待つ時間や、有償分のサービスを低減できる（「ユーザー側だけでの監視・キャリブレーション」と「サービス待ち時間・コストの低減」）。
これと同時に、システムを一番把握している顧客側（ユーザー側）が、システムに応じたｎ１個の検出データＤ１と、ｎ２個の駆動データＤ２の違いに基づく変換テーブル２を作成できるため、最適なシステムを構築することが出来る（「最適なシステムの構築」）。
【００４１】
従って、テーブル作成部３は、ユーザー側だけで変換テーブル２を作成できるため、インターフェイス装置３０であるとも言える。
以下は、インターフェイス装置３０について述べる。
【００４２】
＜インターフェイス装置３０＞
図８等に示したように、インターフェイス装置３０は、ここまで述べてきた変換テーブル２を作成するものであって、上述したテーブル作成部３もインターフェイス装置３０であるとも言える。
インターフェイス装置３０は、変換テーブル２を作成できるのであれば、その構成に特に限定はないが、例えば、テーブル作成部３が駆動装置Ｋと一体化しているものや、テーブル作成部３が駆動装置Ｋを操作するモーションコントローラの他、コンピュータ端末によって、顧客側（ユーザー側）が変換テーブル２を作成できるＧＵＩ（Graphical User Interface）であっても良い（図８参照）。
インターフェイス装置３０であるＧＵＩは、＜Ａ＞変換システム１の作成と、＜Ｂ＞変換システム１の動作確認が可能な構成であっても良く、以下は、インターフェイス装置３０がＧＵＩである場合について述べる。
【００４３】
＜Ａ＞変換システム１の作成
図８（ａ）に示すように、インターフェイス装置３０は、変換システム１の作成を行うことから、変換テーブル２を作成できることは勿論、変換テーブル２以外に、センサＳからの検出データＤ１の個数（ｎ１個）や、駆動装置Ｋの駆動部Ｋ’（つまり、駆動データＤ２）の個数（ｎ２個）を決めたり、変換テーブル２の数や種類を決めたり、検出データＤ１それぞれが何れの変換テーブル２に入力され、何れの値を駆動データＤ２として出力するかの接続線を決めたり、検出データＤ１や駆動データＤ２の入力・出力を切り替えるクラッチを何れに付けるか等を決められる。
尚、図８において、センサＳからの検出データＤ１は、あくまでセンサＳが認識している駆動部Ｋ’（モータ）のＸ値やＹ値であることから、検出データＤ１は、仮想の駆動部Ｋ’（モータ）の値であるとも言える。
【００４４】
尚、インターフェイス装置３０は、ユーザーが変換システム１を作成している際には、接続線をドラッグ＆ドロップしたり、接続線の色設定が可能であっても良い。
又、インターフェイス装置３０は、ＧＵＩであり、ユーザーのために、パーツ名を欄外に自動採番で種別と番号を表示したり、パーツのプロパティシート（名称や番号（ＶＪ１、ＶＪ２・・・や、Ｊ１、Ｊ２・・・、Ｃａｍ１、Ｃａｍ２・・・））などの設定を示すシート）は作成画面中で選択しているパーツの設定のみを表示したり、モータや変換テーブル２には任意に名前を付けて表示できたり、作成画面を一画面表示としたり、その作成画面を拡大・縮小する機能を有していても良い。
【００４５】
＜Ｂ＞変換システム１の動作確認
図８（ｂ）に示すように、インターフェイス装置３０は、作成した変換システム１の動作確認も可能であり、この動作確認は、上述の作成画面と同じ画面上でモニター（視認）できることとしても良い。
又、インターフェイス装置３０は、動作確認画面上において、運転状態（変換テーブル２やモータが動いている様子）や、クラッチのＯＮ／ＯＦＦが確認できたり、変換テーブル２やモータの入力値や出力値が表示されるように構成されていても良い。
【００４６】
このようなインターフェイス装置３０によって、顧客側（ユーザー側）だけで監視・キャリブレーションが可能となり、メーカー側からのサービスを待つ時間や、有償分のサービスを低減できる（「ユーザー側だけでの監視・キャリブレーション」と「サービス待ち時間・コストの低減」）と同時に、システムを一番把握している顧客側（ユーザー側）が、システムに応じた変換テーブル２を作成できるため、最適なシステムを構築することが出来る（「最適なシステムの構築」）。
このようなインターフェイス装置３０が具体的に作成しているのは、実際の駆動装置Ｋを駆動させ、センサＳを制御する変換制御プログラムである。
次は、この変換制御プログラムについて述べる。
【００４７】
＜変換制御プログラム＞
変換制御プログラムは、作成した変換テーブル２を用いて、駆動装置Ｋを制御（駆動）するものであって、詳解すれば、第１数（ｎ１）個の検出データＤ１と、第２数（ｎ２）個の駆動データＤ２の違いに基づいて、変換テーブル２を作成し、この変換テーブル２を用いて変換させた駆動データＤ２で駆動装置Ｋの駆動部Ｋ’を駆動させるプログラムである。
上述の流れを換言すれば、図９で示した如く、変換制御プログラムの処理をスタートする（ステップＳ−０）、次に、センサＳから検出データＤ１を出力させる（ステップＳ−１）と同時に、駆動装置Ｋの駆動部Ｋ’から駆動データＤ２を出力させ（ステップＳ−２）、これら検出データＤ１と駆動データＤ２の違いに基づいて変換テーブル２を作成し（ステップＳ−３）、作成した変換テーブル２を用いてｎ１個の検出データＤ１から変換させた第２数個の駆動データで駆動装置Ｋにおける第２数個の駆動部Ｋ’を駆動させる（ステップＳ−４）。
【００４８】
尚、変換テーブル２による駆動装置Ｋの駆動を行うステップＳ−４は、更に細かいステップを有していても良く、具体的には、センサＳからの検出データＤ１で表現された目標点（Ｖ平面上の目標点など）を設定し（ステップＳ−４−１）、この目標点を、変換テーブル２を用いて、駆動装置Ｋ（駆動部Ｋ’）からの駆動データＤ２で表現された対応点（Ｓ平面上の対応点など）に変換し（ステップＳ−４−２）、変換により駆動データＤ２で表現された対応点へ移動するまで駆動装置Ｋ（駆動部Ｋ’）を駆動させた後、ステップＳ−４−１に戻る（ステップＳ−４−３）ものとしても良い。
ここまで述べた変換制御プログラムにより、「ユーザー側だけでの監視・キャリブレーション」や「サービス待ち時間・コストの低減」、「最適なシステムの構築」が可能となると共に、変換テーブル２を用いて駆動装置Ｋ（各駆動部Ｋ’）の駆動を制御できる。
又、このプログラムによって、制御される駆動装置やセンサは、以下の方法を行っていると言える。
変換制御方法は、作成した変換テーブル２を用いて、駆動装置Ｋを制御（駆動）するものであって、詳解すれば、第１数（ｎ１）個の検出データＤ１と、第２数（ｎ２）個の駆動データＤ２の違いに基づいて、検出データＤ１を駆動データＤ２へ変換する変換テーブル２を作成し、変換テーブル２を用いて、検出データＤ１から変換させた駆動データＤ２で、駆動装置Ｋにおける駆動部Ｋ’を駆動させる方法である。
この方法により、「ユーザー側だけでの監視・キャリブレーション」や「サービス待ち時間・コストの低減」、「最適なシステムの構築」が可能となると共に、変換テーブル２を用いて駆動装置Ｋ（各駆動部Ｋ’）の駆動を制御できる。
【００４９】
このような第１実施形態に係る変換システム１においても、当該システムの周囲温度、駆動部自体の発熱による温度変化に応じて、駆動部Ｋ’の動作部分、支持部分の形状変化が発生し、動作の変化が起きる。高精度動作を狙う場合、こういった変化に対応するために、射影変換などにより算出した値に係数を乗ずるなどの補正計算が行われるが、このような場合に対応する変換システム１について、第２実施形態として以下に詳解する。
【００５０】
＜第２実施形態＞
以下、本発明の第２実施形態に係る変換システム１を、図面を参照して説明する。
図１０には第２実施形態に係る変換システム１の概要図が示されており、Ｘ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’の温度データ（温度検出データＤ１）を検出する温度センサを、センサＳとしてさらに備える。
【００５１】
温度によって変換内容を変化させたい場合、つまり図１（ｂ）で示した変換テーブルのマップ用データ（ＶＸ値及びＶＹ値に対応したＳＸ値及びＳＹ値）を温度によって変化させたい場合、図１０（ａ）で示すように、２点以上の温度検出データＤ１（本例でいえばα、β）それぞれにおいて、ＳＸデータ群とＳＹデータ群をそれぞれ取得する（図１０（ａ）では図示上、各データ群を三次元グラフとして表記した）。そして、ＳＸデータ群ひとまとめをマップ用データとしたＸ補間変換テーブル２と、ＳＹデータ群ひとまとめをマップ用データとしたＹ補間変換テーブル２を作成し、ＶＸ値及びＶＹ値とＸ駆動部Ｋ’の温度検出データＤ１をＸ補間変換テーブル２に接続（入力）し、ＶＸ値及びＶＹ値とＹ駆動部Ｋ’の温度検出データＤ１をＹ補間変換テーブル２に接続（入力）する。
これらの補間変換テーブル２が行う変換内容をＸ補間変換テーブル２を例にして記載すると、目標値であるＶＸ値及びＶＹ値に対応したＳＸ値が、温度検出データＤ１＝α時のＸ駆動データα’として、且つ温度検出データＤ１＝β時のＸ駆動データβ’として一時的に変換され、Ｘ補間変換テーブル２に与えられる温度検出データＤ１がγ（α≦γ≦β）であるとき、Ｘ駆動データα’とＸ駆動データβ’がγの値に応じて一次補間され、Ｘ補間駆動データγ’としてＸ補間変換テーブル２より出力されることとなる。
つまり補間変換テーブル２は、三次元グラフで表記でき、変換テーブル２に与えるデータを一次元追加し、四次元構造とした変換テーブル２ともいえる。
また、取得する温度検出データＤ１の点数は２点以上あればよいが、データを取得する点数を増やすことにより、曲線的に変化するもの、またはある点で急激に変化するものに対応することができ、精度を向上させることができる。
【００５２】
なお、ＶＸ値及びＶＹ値に加えて補間変換テーブル２に与える検出データＤ１は、必ずしも温度検出データＤ１等の変換システム１やテーブル作成部３の外部にあるデータである必要はない。例えば、駆動装置Ｋ内の駆動部Ｋ’のバックラッシの影響で、駆動部Ｋ’の速度によって動作後の位置が変化する場合であれば、図１０（ｂ）に示すように、温度検出データＤ１の代わりに変換システム１やテーブル作成部３の内部にあるデータである速度データを、検出速度データＤ１とすることで対応できる。
その他の変換システム１、インターフェイス装置３０、変換制御プログラムの構成、作用効果及び使用態様は、第１実施形態と同様である。
尚、本実施形態に係る変換システム１は、位置認識センサＳから得られる検出データＤ１を、または、位置認識センサＳから得られる検出データＤ１に、温度センサＳから得られる温度検出データＤ１などの一次元データを追加したデータを、ｎ（ｎは、任意の正の整数）個の駆動部Ｋ’を駆動させる駆動データＤ２へ変換することから、「ｎ次元データ変換を行う変換システム１」であるとも言えるが、Ｘ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’に加えて別の駆動部Ｋ’を追加し、変換テーブル２により変換された駆動データＤ２に基づいて各駆動部Ｋ’を駆動させる変換システム１について、第３実施形態として以下に詳解する。
【００５３】
＜第３実施形態＞
以下、本発明の第３実施形態に係る変換システム１を、図面を参照して説明する。
図１１（ａ）には第３実施形態に係る変換システム１にて、Ｘ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’とθ駆動部Ｋ’を有した駆動装置Ｋと、位置認識センサＳ用の変換テーブル２を作成するマップ用データの取得例が示されている。この変換システム１は、図１に示したＸＹステージを、θ駆動部Ｋ’によっても動かされるようにしたものであり、θ駆動部Ｋ’により回転動作をするθステージ上に設置されたターゲット（点Ａ）の角度をビジョンセンサＳにてさらに検出し、ビジョンセンサＳにて検出したターゲットのθ検出データＤ１とＶ平面上での目標角度との差分を、θステージを回転させるθ駆動部Ｋ’に与えて駆動させる。図１２には第３実施形態に係る変換システム１の概要図が示されている。
【００５４】
図１１（ａ）に示したような変換システム１では、θ駆動部Ｋ’が回転動作する際に、θ駆動部Ｋ’における摺動部分のわずかな空隙の影響でブレが生じ、θ駆動部Ｋ’が描く軌跡は真円軌跡を描かず楕円に近似した軌跡を描き、また指令する角度に対して実際のθ駆動部Ｋ’が動作する角度にもわずかにズレが生じるため（図１８（ａ）も同様）、これらを考慮して楕円近似と線形補間などの補正計算を行う必要がある。本実施形態によれば、θステージ上に設置したターゲットである点Ａがθ駆動部Ｋ’による回転に伴い描く、Ｖ平面上の軌跡から得られるＸ、Ｙ検出データＤ１やθ検出データＤ１、θ駆動部Ｋ’の駆動データＤ２であるθ駆動データＤ２をマップ用データとした変換テーブル２を作成し、図２で示したＸ変換テーブル２及びＹ変換テーブル２と併用することで、θ駆動部Ｋ’が描く軌跡を真円に近づけるほか、指令に対してのθ駆動部Ｋ’の動作角度ズレも修正することが出来る。
【００５５】
図１１（ｂ）で示すような、θ駆動部Ｋ’を任意角度ピッチで回転動作を行った（θ駆動データＤ２（Ｓθ値）を用いて行っても良い）際の、Ｖ平面上での点Ａの軌跡（開始点点Ａから点Ａｎまでの一連）があったとき、２点以上の各点において、θ検出データＤ１であるＶθ値をθマップ用入力データとして取得し、且つ前記各点でのＶＸ値及びＶＹ値の符号を反転した差分（θΔＸ，θΔＹ）推移もθマップ用出力データとして取得することで、Ｖθ値とθΔＸ値からなるθΔＸデータ群をマップ用データとしたθΔＸ変換テーブル２と、Ｖθ値とθΔＹ値からなるθΔＹデータ群をマップ用データとしたθΔＹ変換テーブル２を作成する。二次元グラフで表現できるθΔＸデータ群及びθΔＹデータ群の推移は、Ｖ平面上でのターゲットである点Ａとθステージ中心（回転中心）点との距離となるＶＸ値及びＶＹ値と、各Ｖθ値におけるθ駆動部Ｋ’の摺動部分のわずかな空隙の影響によるブレを打ち消すのに必要なＶＸ値及びＶＹ値に基づいた値（例えば、Ｖ平面上でのターゲットである点Ａとθステージ中心（回転中心）点との距離となるＶＸ値及びＶＹ値と、各Ｖθ値におけるθ駆動部Ｋ’の摺動部分のわずかな空隙の影響によるブレを打ち消すのに必要なＶＸ値及びＶＹ値の合算値）を示す。
また同様に図１１（ｃ）で示すような、θ駆動部Ｋ’をθ駆動データＤ２（Ｓθ値）を用いて任意角度ピッチで回転動作を行った際のＶ平面上での点Ａの軌跡があったとき、２点以上の各点において、θ検出データＤ１であるＶθ値をマップ用θ検出データとして取得し、且つ、各点Ａ（点Ａ１〜Ａｎ）と点Ａとの２点間のθ駆動部Ｋ’のθ駆動データＤ２（Ｓθ値）を取得することで、Ｖθ値とＳθ値からなるＳθデータ群をマップ用データとしたθ変換テーブル２を作成する。二次元グラフで表現できるＳθデータ群の推移は、Ｖ平面上での各角度におけるθ検出データＤ１と実際のθ駆動部Ｋ’の動作角度の対比となる。
【００５６】
これらの作成した各θΔＸ、θΔＹ、θ変換テーブル２、２、２と図２で示したＸ変換テーブル２及びＹ変換テーブル２を用いて、図１２に示すように、ビジョンセンサＳから出力されるＸ検出データＤ１（ＶＸ値）とθΔＸ変換テーブル２のθΔＸ出力データであるθΔＸ値を合算した値（又は、に基づいた値）及びＹ検出データＤ１（ＶＹ値）とθΔＹ変換テーブル２のθΔＹ出力データであるθΔＹ値を合算した値（又は、に基づいた値）を、Ｘ変換テーブル２及びＹ変換テーブル２に与えるように接続し、θ駆動データＤ２をθ駆動部Ｋ’に与えるように接続する。
前述した通り従来の装置では、駆動部Ｋ’であるθ駆動部Ｋ’とＸ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’の駆動データＤ２を算出するにあたり、それぞれに個別の補正計算を行う必要があり煩雑であった。本実施形態によれば、ビジョンセンサＳから出力されるＶＸ値、ＶＹ値、Ｖθ値（つまりＶ平面上での移動させたい距離、角度）をＸ、Ｙ、θΔＸ、θΔＹ、θ変換テーブル２、２、２、２、２に与え（入力し）、各変換テーブル２を同時に動作させることにより、補正計算を行うことなく各駆動部Ｋ’の駆動データＤ２に変換されることとなるほか、Ｖθ値を与えるのみで、Ｘ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’及びθ駆動部Ｋ’が連動して駆動され、Ｖ平面上でのターゲットが描く軌跡は点Ａを中心とした回転軌跡を描くこととなる。またθΔＸ値、θΔＹ値の算出時に、点Ａではなく、Ｖ平面上での回転中心としたい点とターゲットのセンサＳの検出データＤ１の差分をとることで任意の点を回転中心とすることが出来、例えばθステージの中心を回転中心とした場合、当該θステージの描く動作軌跡は、データを取得する点を増やすことで真円に近づく軌跡となる。
【００５７】
本実施形態で詳解した変換テーブル２では、θΔＸ変換テーブル等のように二次元グラフで表現できるデータ群をマップ用データとして作成されるものを述べたが、このように、マップ用データとして用いるデータ群は必ずしも三次元グラフで表現できるデータ群である必要はなく、二次元グラフで表現できるデータ群であっても良い。
また変換テーブル２から出力される出力データは必ずしも駆動部Ｋ’へ与える必要はなく、別の変換テーブル２へ与えてもよく、同時に算出するのが煩雑な場合でも行いたいデータ変換に応じて変換テーブル２を作成し、必要に応じて変換テーブル２の連結を行うことで、データ変換の自由度を高めるほか、補正計算省略となり簡略化へと繋がる。
尚、前記テーブル作成部３は、少なくとも２個の各点における前記θ駆動部Ｋ’のθ駆動データＤ２を取得し、且つ、前記位置認識センサＳにより検出される、前記位置認識センサＳ上での回転中心とするＸ検出データＤ１と前記少なくとも２個の各点におけるターゲットのＸ検出データＤ１との差分であるθΔＸ出力データ、及び、前記位置認識センサＳ上での回転中心とするＹ検出データＤ１と前記少なくとも２個の各点におけるターゲットのＹ検出データＤ１との差分であるθΔＹ出力データをθマップ用出力データとして取得しても良い。
又、前記テーブル作成部３は、前記θ駆動データＤ２とそれぞれに対応する前記θマップ用出力データとに基づいて、目標とするθ検出データが与えられたときに、前記ターゲットのＸ検出データＤ１及びＹ検出データＤ１が位置認識センサＳ上で前記回転中心を中心として回転するように、前記θ駆動データＤ２をθΔＸ出力データに変換するためのθＸ変換テーブル２と、前記θ駆動データＤ２をθΔＹ出力データに変換するためのθＹ変換テーブル２と、を作成し、少なくとも２個の各点における前記θ駆動部Ｋ’のθ駆動データＤ２を取得し、且つ、前記位置認識センサＳにより検出される、前記θ駆動データＤ２に基づいて前記θ駆動部Ｋ’が駆動された後の前記少なくとも２個の各点におけるターゲットのθ検出データＤ１を取得し、前記θ駆動データＤ２とそれぞれに対応する前記θ検出データＤ１とに基づいて、目標とするθ検出データＤ１に前記対象物Ｔを動かした後のθ検出データＤ１が近づくように、前記目標とするθ検出データＤ１をθ駆動データＤ２に変換するためのθ変換テーブル２を作成しても良い。
前記変換システム１は、目標とするθ検出データＤ１が入力されたときに、前記θ駆動部Ｋ’は前記θ変換テーブル２に基づいて変換された前記θ駆動データＤ２を用いて駆動され、前記Ｘ駆動部Ｋ’は目標とするＸ検出データＤ１とθΔＸ出力データとに基づいた値が前記Ｘ変換テーブル２とθＸ変換テーブル２に入力されることにより前記Ｘ変換テーブル２とθＸ変換テーブル２に基づいて変換された前記Ｘ駆動データＤ２を用いて駆動され、前記Ｙ駆動部Ｋ’は目標とするＹ検出データＤ１とθΔＹ出力データとに基づいた値が前記Ｙ変換テーブル２とθＹ変換テーブル２に入力されることにより前記Ｙ変換テーブル２とθＹ変換テーブル２に基づいて変換された前記Ｙ駆動データＤ２を用いて駆動されることとしても良い。
又、図１１（ｂ）の二次元グラフで表したθΔＸデータ群、二次元グラフで表したθΔＹデータ群における横軸は、Ｓθであっても良い。
その他の変換システム１、インターフェイス装置３０、変換制御プログラムの構成、作用効果及び使用態様は、第１、２実施形態と同様である。  次に、駆動装置Ｋの形態を別とした、変換テーブル２を動作都度に変更（再作成）する用例について、第４実施形態として以下に詳解する。
【００５８】
＜第４実施形態＞
以下、本発明の第４実施形態に係る変換システム１を、図面を参照して説明する。
図１３（ａ）には第４実施形態に係る変換システム（塗布装置）とＣＡＤＣＡＭなどで取得するデータの概要図が示されている。この変換システム１は、Ｘ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’及びＺ駆動部Ｋ’にて動かされるＸＹＺステージと、当該ステージに固定されたビジョンセンサＳ及び塗布ヘッドと、を備え、塗布対象であるワークが搬送された後に、ビジョンセンサＳにてワークの位置となる３点のターゲットを検出し、各駆動部Ｋ’が駆動されることで、ワークの位置に応じた塗布開始地点へ塗布ヘッドが移動され、Ｘ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’が連動して駆動されることで、塗布ヘッドがワークの表面を所望する軌跡を走行し、塗布が行われる。図１４には第４実施形態に係る変換システム１の概要図が示されている。
尚、「ＣＡＤＣＡＭ（Computer Aided Design / Computer Aided(又は、Assisted）Manufacturing)」とは、コンピュータを利用し、設計・製造を一貫して行うことであり、ＣＡＤは、コンピュータ援用設計（機械や電気回路などの設計にコンピュータを用いることなど）、ＣＡＭはコンピュータ援用製造（設計した機械や電気回路などの製作にコンピュータを利用することなど）を言う。
又、センサＳは、Ｘ検出データＤ１、Ｙ検出データＤ１の他に、Ｚ検出データＤ１も出力できるように、ステージに固定されたビジョンセンサＳとは別に、ビジョンセンサ等の位置認識センサＳを有していても良い。
【００５９】
図１３（ｂ）に示すような任意の軌跡（本例では塗布ヘッドが描きたい軌跡）を複数の駆動部Ｋ’の動作により描く場合、寸法とマークの位置関係が記載されたＣＡＤデータなどに走行させたい軌跡を描き、ＣＡＤＣＡＭなどを利用することで、走行軌跡の線長と、前記線長に対応した駆動部Ｋ’の一連の駆動データのデータ群を取得する。
しかしながら本例では、ワークが搬送される毎にわずかな位置ズレ（ＸＹ方向やＺ方向の軸周りの回転）が発生するため、実際のワーク位置にあわせてＸ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’の位置データを変換しなおさなければならず、ビジョンセンサＳの出力する検出データＤ１を実際の駆動データＤ２の座標系にあわせるキャリブレーションなどを行った後、ビジョンセンサＳにて検出した検出データＤ１をもとに、ＣＡＤＣＡＭなどより取得したＸ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’の一連の駆動データＤ２群に対して、アフィン変換などで再計算する必要がある。
【００６０】
このような場合、まずＣＡＤＣＡＭなどで、塗布ヘッドが描きたい曲線を指令となる走行軌跡線長データ（ＣＳ値）及びＣＳ値に対応した理想座標系（搬送されてきたワーク上の座標系（Ｗ平面））におけるＸ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’の理想の駆動データＤ２のデータ群（又はＷ平面上のＣＸ値及びＣＹ値）を取得し、テーブル作成部３によりＣＳ値及びＣＸ値からなるＣＸデータ群をマップ用データとしたＣＸ変換テーブル２と、ＣＳ値及びＣＹ値からなるＣＹデータ群をマップ用データとしたＣＹ変換テーブル２を作成する。このとき、理想座標系での理想ターゲットである出力データ（ＣＴＸ値及びＣＴＹ値）をあわせて取得し、テーブル作成部３内に記録する。
次に、ワークを任意の場所に設置した状態で、ビジョンセンサＳにてワーク上の３点のターゲット位置（ＶＸ１〜３値等及びＶＹ１〜３値等）を検出した後、ワークを同じ位置にしたままで、塗布ヘッドを手動で操作するなどし、ワーク上の３点のターゲット位置と塗布ヘッドの先端を合わせ、そのときのＸ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’の駆動データＤ２（ＳＸ値及びＳＹ値）を取得し、ＶＸ値及びＶＹ値とＳＸ値からなるＸ駆動データＤ２群をマップ用データとしたＸ変換テーブル２と、ＶＸ値及びＶＹ値とＳＹ値からなるＹ駆動データＤ２群をマップ用データとしたＹ変換テーブル２を作成する。このＸ変換テーブル２及びＹ変換テーブル２は、ビジョンセンサＳが検出する検出データＤ１を、対応したＸ駆動部Ｋ’のＸ駆動データＤ２及びＹ駆動部Ｋ’のＹ駆動データＤ２に変換する変換テーブル２となる。
そして、Ｘ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’及びＺ駆動部Ｋ’にて動かされるＸＹＺステージに固定されたビジョンセンサＳが、当該ステージの動作都度にＶ平面とＷ平面の相対位置関係が変更するため、その変更をするごとに、Ｗ平面上のＣＸ値、ＣＹ値及び理想ターゲットのＣＴＸ値、ＣＴＹ値から、上述したＸ、Ｙ変換テーブル２、２に入力させるためのＶ平面上のＸ値を示す出力データ（ＶＸ値）を出力するＶＸ変換テーブル２や、同じくＷ平面上のＣＸ値、ＣＹ値及び理想ターゲットのＣＴＸ値、ＣＴＹ値から、上述したＸ、Ｙ変換テーブル２、２に入力させるためのＶ平面上のＹ値を示す出力データ（ＶＹ値）を出力するＶＹ変換テーブルを作成し、図１４で示すような各変換テーブル２を接続した変換システム１を構築する。
【００６１】
この変換システム１で行う変換の流れは、まずビジョンセンサＳで実際のワーク位置となる３点のターゲット位置を検出データＤ１であるＶＸ値及びＶＹ値として検出し、テーブル作成部３内に記録したＣＴＸ値及びＣＴＹ値とＶＸ値からなるＶＸデータ群をマップ用データとしたＶＸ変換テーブル２と、ＣＴＸ値及びＣＴＹ値とＶＹ値からなるＶＹデータ群をマップ用データとしたＶＹ変換テーブル２の変更を行う。その後、指令（ＣＳ値）をＣＸ変換テーブル２及びＣＹ変換テーブル２に与えることで、ＣＸ、ＣＹ変換テーブル２、２の出力データ（ＣＸ値、ＣＹ値）がＶＸ変換テーブル２へ、且つ、ＣＸ、ＣＹ変換テーブル２、２の出力データ（ＣＸ値、ＣＹ値）がＶＹ変換テーブル２へそれぞれ与えられ、これらＣＸ値、ＣＹ値をふまえて、ＶＸ変換テーブル２及びＶＹ変換テーブル２では、理想ターゲットの出力データであるＣＴＸ値及びＣＴＹ値を、実際の検出データＤ１（ＶＸ値及びＶＹ値）へ変換することで、実際のワーク位置へと変換を行うほか、理想座標系（Ｗ平面）がビジョンセンサ座標系（Ｖ平面）へと変換され、これらの変換された出力データ（ＶＸ値、ＶＹ値）がＸ変換テーブル２及びＹ変換テーブル２へと与えられる。
Ｘ変換テーブル２及びＹ変換テーブル２では、ワークがある任意の場所に設置されたときのビジョンセンサＳで検出したマップ用検出データＶＸ値及びＶＹ値を、同場所でのマップ用位置データにあたるＸ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’の駆動データＤ２であるＳＸ値及びＳＹ値に変換することで、ビジョンセンサＳで検出した検出データＤ１を、対応した各駆動部Ｋ’の駆動データＤ２へ変換されることとなる。
つまり、ＣＳ値の指令をテーブル作成部３に与えることで、理想座標系（Ｗ平面）がビジョンセンサＳの座標系であるＶ平面に変換され、Ｖ平面がＸ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’の座標系であるＳ平面に変換されるといった二段の座標系変換が行われ、結果的にＸ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’がワーク位置にあわせた理想位置データ群により駆動されることとなり、補正計算を行わずにデータ変換が行われるほか、塗布ヘッドはワークの位置にあわせて描きたい軌跡をなぞる軌跡動作を行うこととなる。
【００６２】
本実施形態で詳解した変換テーブル２では、検出データＤ１や駆動部Ｋ’の駆動データＤ２ではない仮想的なデータ（本例での理想座標系（Ｗ平面）でのデータであるＣＳ値やＣＸ値、ＣＹ値及びＣＴＸ値、ＣＴＹ値）をマップ用データとして作成するものを述べたが、このように、マップ用データとして用いるデータは必ずしも検出データＤ１や駆動部Ｋ’の駆動データＤ２である必要はなく、テーブル作成部３が取得または記録できる、若しくは内部で有するデータであれば良い。
また、複数の変換テーブル２を用いることでデータ変換を段階分け（又は、「連続変換」）することが出来、例えば描きたい軌跡を変更する際は、ＣＡＤＣＡＭなどで取得したデータをマップ用データとした変換テーブル（本例でいえばＣＸ変換テーブル２及びＣＹ変換テーブル２）のみ変更すれば良い、といった変更作業の簡略化へも繋がる。
【００６３】
尚、テーブル作成部３は、前記位置認識センサＳにて認識された少なくとも３個の各点におけるＸ駆動部Ｋ’のＸ検出データＤ１とＹ駆動部Ｋ’のＹ検出データＤ１とをマップ用入力データとして取得し、且つ、前記位置認識センサＳにより検出される、前記マップ用入力データに基づいて前記Ｘ駆動部Ｋ’及び前記Ｙ駆動部Ｋ’が駆動された後の前記ａ個の各点におけるターゲットのＸ検出データＤ１、Ｙ検出データＤ１及びＺ検出データＤ１をマップ用出力データとして取得し、前記マップ用入力データとそれぞれに対応する前記マップ用出力データとに基づいて、目標とするＸ検出データＤ１及びＹ検出データＤ１が与えられたときに、前記ターゲットが所望のＺ検出データＤ１となるように、前記Ｘ検出データＤ１及びＹ検出データＤ１をＺ駆動データＤ２に変換するためのＺ変換テーブル２をさらに作成し、変換システム１は、目標とするＸ検出データＤ１及びＹ検出データＤ１が入力されたときに、前記Ｚ駆動部Ｋ’は前記Ｚ変換テーブル２に基づいて変換された前記Ｚ駆動データＤ２を用いて駆動されることとしても良い。
又、前記テーブル作成部３は、少なくとも２個の各点における前記Ｚ駆動部Ｋ’のＺ駆動データＤ２を取得し、且つ、前記位置認識センサＳにより検出される、前記位置認識センサＳにてＸＹＺ空間中におけるＸＹ平面における原点Ｏに相当する検出データＤ１と前記少なくとも２個の各点におけるターゲットのＸ検出データＤ１との差分であるＺΔＸ出力データ、及び、前記位置認識センサＳにより検出される、前記位置認識センサＳにてＸＹＺ空間中におけるＸＹ平面における原点Ｏに相当する検出データＤ１と前記少なくとも２個の各点におけるターゲットのＹ検出データＤ１との差分であるＺΔＹ出力データをＺマップ用出力データとして取得しても良い。
そして、前記テーブル作成部３は、前記θ駆動データＤ２とそれぞれに対応する前記Ｚマップ用出力データとに基づいて、目標とするＺ検出データＤ１が与えられたときに、前記ターゲットのＸ検出データＤ１及びＹ検出データＤ１が位置認識センサＳ上で前記ＸＹ平面における原点Ｏに留まるように、前記Ｚ駆動データＤ２をＺΔＸ出力データに変換するためのＺＸ変換テーブル２と、前記Ｚ駆動データＤ２をＺΔＹ出力データに変換するためのＺＹ変換テーブル２と、を作成し、少なくとも２個の各点における前記Ｚ駆動部Ｋ’のＺ駆動データＤ２を取得し、且つ、前記位置認識センサＳにより検出される、前記Ｚ駆動データＤ２に基づいて前記Ｚ駆動部Ｋ’が駆動された後の前記少なくとも２個の各点におけるターゲットのＺ検出データＤ１を取得し、前記Ｚ駆動データＤ２とそれぞれに対応する前記Ｚ検出データＤ１とに基づいて、目標とするＺ検出データＤ１に前記対象物Ｔを動かした後のＺ検出データＤ１が近づくように、前記目標とするＺ検出データＤ１をＺ駆動データＤ２に変換するためのＺ変換テーブル２を作成しても良い。
前記変換システム１は、目標とするＺ検出データＤ１が入力されたときに、前記Ｚ駆動部Ｋ’は前記Ｚ変換テーブル２に基づいて変換された前記Ｚ駆動データＤ２を用いて駆動され、前記Ｘ駆動部Ｋ’は目標とするＸ検出データＤ１とＺΔＸ出力データとに基づいた値が前記Ｘ変換テーブル２とＺＸ変換テーブル２に入力されることにより前記Ｘ変換テーブル２とＺＸ変換テーブル２に基づいて変換された前記Ｘ駆動データＤ２を用いて駆動され、前記Ｙ駆動部Ｋ’は目標とするＹ検出データＤ１とＺΔＹ出力データとに基づいた値が前記Ｙ変換テーブル２とＺＹ変換テーブル２に入力されることにより前記Ｙ変換テーブル２とＺＹ変換テーブル２に基づいて変換された前記Ｙ駆動データＤ２を用いて駆動されることとしても良い。
その他の変換システム１、インターフェイス装置３０、変換制御プログラムの構成、作用効果及び使用態様は、第１〜３実施形態と同様である。
次に、第１実施形態に係る変換システム１と類似の動作を行うことを目的とした、異なる変換テーブル２の組み合わせにより構築した用例について、第５実施形態として以下に詳解する。
【００６４】
＜第５実施形態＞
以下、本発明の第５実施形態に係る変換システム１を、図面を参照して説明する。なお、駆動装置ＫやセンサＳは第１実施形態と同様のものである。
図１５（ｂ）には、第５実施形態に係る変換システム１にて、Ｘ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’にて動かされるＸＹステージとビジョンセンサＳにて捉えるＶ平面の位置関係が示されている。図１６には第５実施形態に係る変換システム１の概要図が示されている。
【００６５】
Ｖ平面に対してＸＹステージが図１５（ａ）で示すように設置されている場合、図１５（ｂ）で示すようにＸ駆動部Ｋ’のみを任意距離（ＳＸ１値）の量だけ駆動（移動）させると、Ｖ平面上ではＶＸ１値とマイナスＶＹ１値（符号を反転したＶＹ１値、又、Ｖ平面とＳ平面の角度ズレの向きによっては、プラスＶＹ１値）の値となる。このとき、点１をＶ平面上でＶＸ１値の量だけ移動したいならば、Ｘ駆動部Ｋ’をＳＸ１値の量だけ駆動させれば良いが、Ｘ駆動部Ｋ’を駆動させるとＶ平面上ではＶＹ方向（Ｖ平面におけるＹ軸方向）にずれていくため、ＶＹ１値の量だけ移動しなおさなければならない。
また一方、Ｙ駆動部Ｋ’のみを任意距離（ＳＹ１値）の量だけ駆動（移動）させると、Ｖ平面上ではマイナスＶＸ２値（符号を反転したＶＸ２値、又、Ｖ平面とＳ平面の角度ズレの向きによっては、プラスＶＸ２値）とＶＹ２値となる。このときＶ平面上でＶＹ２値の量だけ移動したいならば、Ｙ駆動部Ｋ’をＳＹ１値の量だけ駆動させれば良いが、Ｙ駆動部Ｋ’を駆動させるとＶ平面上ではＶＸ方向（Ｖ平面におけるＸ軸方向）にずれていくため、ＶＸ２値の量だけ移動しなおさなければならない。
このＸＹステージを、Ｖ平面基準での描きたい軌跡に応じて動作させる（Ｓ平面上の動作に置き換える）ために、図１５（ｂ）の詳解で述べた動作を２以上の点において繰り返し、図１５（ｃ）で示すように、ＶＸ１値（Ｘ１検出データＤ１）に対応したＳＸ１値（Ｘ１駆動データＤ２）からなるＳＸ１データ群（ＸＸ変換テーブル２）、ＳＸ１値（Ｘ１駆動データＤ２）に対応したＶＹ１値（Ｙ１出力データ）からなるＶＹ１データ群（ＸＹ変換テーブル２）、ＶＹ２値（Ｙ２検出データＤ１）に対応したＳＹ１値（Ｙ２駆動データＤ２）からなるＳＹ１データ群（ＹＹ変換テーブル２）、ＳＹ１値（Ｙ１駆動データＤ２）に対応したＶＸ２値（Ｘ２出力データ）からなるＶＸ２データ群（ＹＸ変換テーブル２）を取得することで、各データ群をマップ用データとした４つの変換テーブル２を作成し、図１６に示すように接続することで対応できる。
【００６６】
例えばＶ平面上でのＶＸ方向（Ｖ平面におけるＸ軸方向）にＸＹステージを直進動作させたいとして、ビジョンセンサＳからＶＸ方向の指令をＸＸ変換テーブル２に与えると、Ｖ平面上でのＶＸ値（Ｘ検出データＤ１）に対応したＳＸ値（Ｘ駆動データＤ２）がＸ駆動部Ｋ’およびＸＹ変換テーブル２に与えられる。ＸＹ変換テーブル２では、ＳＸ値（Ｘ駆動データＤ２）に対応したＶ平面上でのＶＹ方向へのズレを相殺するためのＶＹ値（Ｙ出力データ）がＹＹ変換テーブル２に与えられる。ＹＹ変換テーブル２では、Ｖ平面上でのＶＹ値（Ｙ検出データＤ１）に対応したＳＹ値（Ｙ駆動データＤ２）がＹ駆動部Ｋ’およびＹＸ変換テーブル２へ与えられ、ＹＸ変換テーブル２では、ＳＹ値（Ｙ駆動データＤ２）に対応したＶ平面上でのＶＸ方向へのズレを相殺するためのＶＸ値（Ｘ出力データ）がＸＸ変換テーブル２に与えられ、結果的にＸＹステージが描く動作軌跡は、Ｖ平面上から見るとＶＸ方向への直進動作となる。
【００６７】
つまりこの変換システム１は、Ｘ駆動部Ｋ’への指令に応じてＹ駆動部Ｋ’をも駆動し、Ｙ駆動部Ｋ’への指令に応じてＸ駆動部Ｋ’をも駆動させる、といったループ構造となり、無限ループの様相となるが、目標位置に到達するとズレを相殺するための値（ＸＹ変換テーブル２及びＸＹ変換テーブル２の出力データ）は極めて小さな値に収束するため、見かけ上停止する挙動（微細に震える挙動）となる。
この挙動が精度に与える影響を確認するために、図１７（ａ）に示すようなテスト条件を設定し、動作確認を行った。ここでは、０点を共有するＶ平面とＳ平面があり、Ｓ平面がＶ平面に対し時計回りに３０度回転していた場合として、Ｖ平面上での点１（点Ｖ１）をＶＸ＝０、ＶＹ＝２、Ｓ平面上での点１をＳＸ＝−１、ＳＹ＝√３、Ｖ平面上の点２（点Ｖ２）をＶＸ＝２、ＶＹ＝０とした（Ｓ平面上での点２はＳＸ＝√３、ＳＹ＝１となる）。
本第５実施形態に係る変換システム１と、比較対象として第１実施形態に係る変換システム１とを図１７（ａ）で示したテスト条件で動作させ、点Ｖ１と点Ｖ２のＸ値及びＹ値をそれぞれテーブル作成部３に与えた際の、目標位置到達後のＸ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’の駆動データＤ２のシミュレーション結果を図１７（ｂ）に示す。
第１実施形態では理想値通りの位置に到達しており、本第５実施形態では理想値である値に対して小数桁５桁の値が０〜１の範囲内で振れていることが見てとれるが、数値１あたりのおもみを１ミリメートルと仮定した場合でもわずか１０ナノメートルでの振れとなり、見かけ上の停止となる本第５実施形態においても高精度な変換が行われたことが分かる。
このように、駆動装置ＫやセンサＳの形態及び目的を問わず、制御設計における自由度が高い変換システム１と言える。
【００６８】
ここで、第５実施形態における変換テーブル２は、駆動装置Ｋ（駆動部Ｋ’）を駆動させる際に、変換テーブル２から出力される値を用いたフィードバックループを構成しているとも言え、一旦、ＸＸ、ＹＹ変換テーブル２、２から出力されたＸ、Ｙ駆動データＤ２を、ＸＹ、ＹＸ変換テーブル２、２の入力へフィードバックさせる点が、この第５実施形態の大きな特徴であり、このフィードバックの際には、Ｘ駆動データＤ２は、ＸＹ変換テーブル２を経て、Ｙ軸側にフィードバックする一方で、Ｙ駆動データＤ２は、ＹＸ変換テーブル２を経て、Ｘ軸側にフィードバック（つまり、タスキ掛け様のフィードバック）をしている。
このような、第５実施形態に係る変換システム１は、駆動装置Ｋの状況Ｊとして例えば、Ｖ平面におけるＸ軸（ビジョンＸ軸（ＶＸ軸））とＹ軸（ビジョンＹ軸（ＶＹ軸））に対して、Ｓ平面におけるＸ軸（サーボＸ軸（ＳＸ軸））とＹ軸（サーボＹ軸（ＳＹ軸））が回転していたり、Ｓ平面における各軸が正確に直交していない場合などに使用できる。
その他の変換システム１、インターフェイス装置３０、変換制御プログラムの構成、作用効果及び使用態様は、第１〜４実施形態と同様である。
【００６９】
＜第６実施形態＞
以下、本発明の第６実施形態に係る変換システム１を、図面を参照して説明する。なお、駆動装置ＫやセンサＳは第３実施形態と同様のものである。
図１８には第６実施形態に係る変換システム１の概要図が示され、７つの変換テーブル２−１〜２−７を有している。
【００７０】
図１８（ａ）に示したように、この変換システム１でも、第３実施形態と同様に、θ駆動部Ｋ’が回転動作する際に、θ駆動部Ｋ’における摺動部分のわずかな空隙の影響でブレが生じ、θ駆動部Ｋ’が描く軌跡は真円軌跡を描かず楕円に近似した軌跡を描き、また指令する角度に対して実際のθ駆動部Ｋ’が動作する角度にもわずかにズレが生じるため、これらを考慮して楕円近似と線形補間などの補正計算を行う必要がある。本実施形態によれば、θステージ上に設置したターゲットがθ駆動部Ｋ’による回転に伴い描く、Ｖ平面上の軌跡から得られるＸ、Ｙ検出データＤ１やθ検出データＤ１、θ駆動部Ｋ’の駆動データＤ２であるθ駆動データＤ２をマップ用データとした変換テーブル２を作成し、図１２で示したものと同様のＸＸ変換テーブル２（２−１）、ＹＹ変換テーブル２（２−２）、ＹＸ変換テーブル２（２−３）、及び、ＸＹ変換テーブル２（２−４）と併用することで、θ駆動部Ｋ’が描く軌跡を真円に近づけるほか、指令に対してのθ駆動部Ｋ’の動作角度ズレも修正することが出来る。
【００７１】
ＸＹθステージにおけるＸ駆動部Ｋ’のみを任意距離（ＳＸ１値）の量だけ駆動（移動）させると、Ｖ平面上ではＶＸ１値とマイナスＶＹ１値（符号を反転したＶＹ１値、又、Ｖ平面とＳ平面の角度ズレの向きによっては、プラスＶＹ１値）の値となる。
この取得例として、図１９（各変換テーブル２−１〜２−４の単位は０．１μｍ）に示したように、Ｘ駆動部Ｋ’のＸ駆動データＤ２（ＳＸ１値）のみを（Ｙ駆動部Ｋ’、θ駆動部Ｋ’は移動させずに）「０．０μｍ」から「１００．０μｍ（＝０．１ｍｍ）」ずつ「１３００．０μｍ（＝１．３ｍｍ）」まで増加させた１４個の値に対応させて、ビジョンセンサＳから出力したＸ検出データＤ１（ＶＸ１値）の１４個の値をＸＸ変換テーブル２−１とし、ビジョンセンサＳから出力したＹ検出データＤ１（ＶＹ１値）の１４個の値をＸＹ変換テーブル２−４とした。
このとき、点１をＶ平面上でＶＸ１値の量だけ移動したいならば、Ｘ駆動部Ｋ’をＳＸ１値の量だけ駆動させれば良いが、Ｘ駆動部Ｋ’を駆動させるとＶ平面上ではＶＹ方向（Ｖ平面におけるＹ軸方向）にずれていくため、ＶＹ１値の量だけ移動しなおさなければならない。
また一方、Ｙ駆動部Ｋ’のみを任意距離（ＳＹ１値）の量だけ駆動（移動）させると、Ｖ平面上ではマイナスＶＸ２値（符号を反転したＶＸ２値、又、Ｖ平面とＳ平面の角度ズレの向きによっては、プラスＶＸ２値）とＶＹ２値となる。
この取得例として、図１９（各変換テーブル２−１〜２−４の単位は０．１μｍ）に示したように、Ｙ駆動部Ｋ’のＹ駆動データＤ２（ＳＹ１値）のみを（Ｘ駆動部Ｋ’、θ駆動部Ｋ’は移動させずに）「０．０μｍ（＝０．０ｍｍ）」から「１００．０μｍ（＝０．１ｍｍ）」ずつ「１１００．０μｍ（＝１．１ｍｍ）」まで増加させた１２個の値に対応させて、ビジョンセンサＳから出力したＹ検出データＤ１（ＶＹ２値）の１２個の値をＹＹ変換テーブル２−２とし、ビジョンセンサＳから出力したＸ検出データＤ１（ＶＸ２値）の１２個の値をＹＸ変換テーブル２−３とした。
このときＶ平面上でＶＹ２値の量だけ移動したいならば、Ｙ駆動部Ｋ’をＳＹ１値の量だけ駆動させれば良いが、Ｙ駆動部Ｋ’を駆動させるとＶ平面上ではＶＸ方向（Ｖ平面におけるＸ軸方向）にずれていくため、ＶＸ２値の量だけ移動しなおさなければならない。
尚、図１９で示したＸＸ変換テーブル２−１、ＹＹ変換テーブル２−２、ＹＸ変換テーブル２−３、及び、ＸＹ変換テーブル２−４は、図２０において２次元グラフ化している。
【００７２】
このＸＹθステージのうち、Ｘ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’を、Ｖ平面基準での描きたい軌跡に応じて動作させる（Ｓ平面上の動作に置き換える）ために、上述では、２以上の点である１４点又は１２点において繰り返しており、ＶＸ１値（Ｘ１検出データＤ１）に対応したＳＸ１値（Ｘ１駆動データＤ２）からなるＳＸ１データ群（ＸＸ変換テーブル２−１）、ＳＸ１値（Ｘ１駆動データＤ２）に対応したＶＹ１値（Ｙ１出力データ）からなるＶＹ１データ群（ＸＹ変換テーブル２−４）、ＶＹ２値（Ｙ２検出データＤ１）に対応したＳＹ１値（Ｙ２駆動データＤ２）からなるＳＹ１データ群（ＹＹ変換テーブル２−２）、ＳＹ１値（Ｙ１駆動データＤ２）に対応したＶＸ２値（Ｘ２出力データ）からなるＶＸ２データ群（ＹＸ変換テーブル２−３）を取得することで、各データ群をマップ用データとした４つの変換テーブル２を作成し、接続することで対応できる。
【００７３】
例えばＶ平面上でのＶＸ方向（Ｖ平面におけるＸ軸方向）にＸＹステージを直進動作させたいとして、ビジョンセンサＳからＶＸ方向の指令をＸＸ変換テーブル２−１に与えると、Ｖ平面上でのＶＸ値（Ｘ検出データＤ１）に対応したＳＸ値（Ｘ駆動データＤ２）がＸ駆動部Ｋ’およびＸＹ変換テーブル２−４に与えられる。
ＸＹ変換テーブル２−４では、ＳＸ値（Ｘ駆動データＤ２）に対応したＶ平面上でのＶＹ方向へのズレを相殺するためのＶＹ値（Ｙ出力データ）がＹＹ変換テーブル２−２に与えられる。
ＹＹ変換テーブル２−２では、Ｖ平面上でのＶＹ値（Ｙ検出データＤ１）に対応したＳＹ値（Ｙ駆動データＤ２）がＹ駆動部Ｋ’およびＹＸ変換テーブル２−３へ与えられ、ＹＸ変換テーブル２−３では、ＳＹ値（Ｙ駆動データＤ２）に対応したＶ平面上でのＶＸ方向へのズレを相殺するためのＶＸ値（Ｘ出力データ）がＸＸ変換テーブル２−１に与えられ、結果的にＸＹステージが描く動作軌跡は、Ｖ平面上から見るとＶＸ方向への直進動作となる。
【００７４】
一方、ＸＹθステージのうち、θ駆動部Ｋ’をθ駆動データＤ２（Ｓθ値）を用いて任意角度ピッチで回転動作を行った際の、Ｖ平面上での点Ａの軌跡があったとき、２点以上の各点において、θ駆動データＤ２であるＳθ値をθマップ用駆動データとして取得し、且つ前記各点でのＶＸ値及びＶＹ値の符号を反転した差分（θΔＸ，θΔＹ）推移もθマップ用出力データとして取得することで、Ｓθ値とθΔＸ値からなるθΔＸデータ群をマップ用データとしたθΔＸ変換テーブル２（２−６）と、Ｓθ値とθΔＹ値からなるθΔＹデータ群をマップ用データとしたθΔＹ変換テーブル２（２−７）を作成する。
このような変換テーブル２−６、２−７の取得例として、図１９（各変換テーブル２−６、２−７の単位は０．０００００１°）に示したように、θ駆動部Ｋ’のθ駆動データＤ２（Ｓθ値）のみを（Ｘ駆動部Ｋ’、Ｙ駆動部Ｋ’は移動させずに）「０°」から「１°」ずつ「３６０°」まで増加させた３６１個の値に対応させて、ビジョンセンサＳから出力したθΔＸ出力データ（θΔＸ値）の３６１個の値をθΔＸ変換テーブル２−６とし、ビジョンセンサＳから出力したＹ検出データＤ１（ＶＹ値）の３６１個の値をθΔＹ変換テーブル２−７とした。
尚、図１９で示したθΔＸ変換テーブル２−６、θΔＹ変換テーブル２−７は、実際には３６１個のθ駆動データＤ２と、これらのθ駆動データＤ２に対応するθΔＸ出力データやθΔＹ出力データを取得したが、実際に図１９にて示すのは、「０°」から「１°」ずつ増やした「６０°」までと、「３６０°」での値とする。又、図２０では、図１９では示していない「６１°」から「３５９°」も含め、「０°」から「３６０°」までを２次元グラフ化している。
θΔＸデータ群及びθΔＹデータ群の推移は、Ｖ平面上でのターゲットである点Ａとθステージ中心（回転中心）点との距離となるＶＸ値及びＶＹ値と、各Ｖθ値におけるθ駆動部Ｋ’の摺動部分のわずかな空隙の影響によるブレを打ち消すのに必要なＶＸ値及びＶＹ値に基づいた値（例えば、Ｖ平面上でのターゲットである点Ａとθステージ中心（回転中心）点との距離となるＶＸ値及びＶＹ値と、各Ｖθ値におけるθ駆動部Ｋ’の摺動部分のわずかな空隙の影響によるブレを打ち消すのに必要なＶＸ値及びＶＹ値の合算値）を示す。
【００７５】
また同様に、θ駆動部Ｋ’をθ駆動データＤ２（Ｓθ値）を用いて任意角度ピッチで回転動作を行った際のＶ平面上での点Ａの軌跡があったとき、２点以上の各点において、θ検出データＤ１であるＶθ値をマップ用θ検出データとして取得し、且つ、各点Ａ（点Ａ１〜Ａｎ）と点Ａとの２点間のθ駆動部Ｋ’のθ駆動データＤ２（Ｓθ値）を取得することで、Ｖθ値とＳθ値からなるＳθデータ群をマップ用データとしたθ変換テーブル２（２−５）を作成する。
このような変換テーブル２−５の取得例として、図１９（変換テーブル２−５の単位は０．０００００１°）に示したように、θ駆動部Ｋ’のθ駆動データＤ２（Ｓθ値）のみを（Ｘ駆動部Ｋ’、Ｙ駆動部Ｋ’は移動させずに）「０°」から「１°」ずつ「３６０°」まで増加させた３６１個の値に対応させて、ビジョンセンサＳから出力したθ出力データ（Ｖθ値）の３６１個の値をθ変換テーブル２−５とした。
尚、図１９で示したθ変換テーブル２−５も、実際には３６１個のθ駆動データＤ２と、これらのθ駆動データＤ２に対応するθ検出データＤ１を取得したが、実際に図１９にて示すのは、「０°」から「１°」刻みの「６０°」までと、「３６０°」での値とする。又、図２０では、図１９では示していない「６１°」から「３５９°」も含め、「０°」から「３６０°」までを２次元グラフ化している。
【００７６】
これらの作成した各θΔＸ、θΔＹ、θ変換テーブル２−５〜２−７と、ＸＸ変換テーブル２−１、ＹＹ変換テーブル２−２、ＹＸ変換テーブル２−３、及び、ＸＹ変換テーブル２−４を用いて、ビジョンセンサＳから出力されるＸ検出データＤ１（ＶＸ値）とθＸ変換テーブル２−６のθΔＸ出力データであるθΔＸ値を合算した値（又は、に基づいて値）及びＹ検出データＤ１（ＶＹ値）とθΔＹ変換テーブル２−７のθΔＹ出力データであるθΔＹ値を合算した値（又は、に基づいて値）を、ＸＸ変換テーブル２−１及びＹＹ変換テーブル２−２に与えるように接続し、θ駆動データＤ２をθ駆動部Ｋ’に与えるように接続する。
前述した通り従来の装置では、駆動部Ｋ’であるθ駆動部Ｋ’とＸ駆動部Ｋ’及びＹ駆動部Ｋ’の駆動データＤ２を算出するにあたり、それぞれに個別の補正計算を行う必要があり煩雑であった。本実施形態によれば、ビジョンセンサＳから出力されるＶＸ値、ＶＹ値、Ｖθ値（つまりＶ平面上での移動させたい距離、角度）をＸＸ、ＹＹ、ＹＸ、ＸＹ、θΔＸ、θΔＹ、θ変換テーブル２−１〜２−７に与え（入力し）、各変換テーブル２を同時に動作させることにより、補正計算を行うことなく各駆動部Ｋ’の駆動データＤ２に変換されることとなるほか、Ｖθ値を与えるのみで、Ｘ駆動部Ｋ’とＹ駆動部Ｋ’及びθ駆動部Ｋ’が連動して駆動され、Ｖ平面上でのターゲットが描く軌跡は点Ａを中心とした回転軌跡を描くこととなる。またθΔＸ値、θΔＹ値の算出時に、点Ａではなく、Ｖ平面上での回転中心としたい点とターゲットのセンサＳの検出データＤ１の差分をとることで任意の点を回転中心とすることが出来、例えばθステージの中心を回転中心とした場合、当該θステージの描く動作軌跡は、データを取得する点を増やすことで真円に近づく軌跡となる。
又、第６実施形態で述べた駆動装置Ｋにおいて、θ駆動部Ｋ’の代わりに、Ｚ駆動部Ｋ’であっても良い。
【００７７】
このような第６実施形態に係る変換システム１も、第５実施形態と同様に、駆動装置Ｋの状況Ｊとして例えば、Ｖ平面におけるＸ軸（ビジョンＸ軸（ＶＸ軸））とＹ軸（ビジョンＹ軸（ＶＹ軸））に対して、Ｓ平面におけるＸ軸（サーボＸ軸（ＳＸ軸））とＹ軸（サーボＹ軸（ＳＹ軸））が回転していたり、Ｓ平面における各軸が正確に直交していない場合などに使用できる。
特に、図２０にて二次元グラフで示されたＹＸ変換テーブル２−３と、ＸＹ変換テーブル２−４を比較すると、ＹＸ変換テーブル２−３の縦軸には「０．０μｍ」から「−４．５μｍ」までの目盛が設けられているが、ＸＹ変換テーブル２−４の縦軸には「０．０μｍ」から「−０．８μｍ」までの目盛しか設けられていない。
これは、ＸＹθステージにおいて、Ｙ駆動部Ｋ’のみをＹ駆動データＤ２を用いて「０．０μｍ（＝０．０ｍｍ）」から「１１００．０μｍ（＝１．１ｍｍ）」まで動かした際には、ビジョンセンサＳではＶ平面におけるＸ軸方向（ＶＸ方向）に「０．０μｍ」から「３．９μｍ」動いたように見えるのに対して、Ｘ駆動部Ｋ’のみをＸ駆動データＤ２を用いて「０．０μｍ（＝０．０ｍｍ）」から「１３００．０μｍ（＝１．３ｍｍ）」まで動かした際は、ビジョンセンサＳではＶ平面におけるＹ軸方向（ＶＹ方向）に「０．０μｍ」から「０．８μｍ」しか動いていないように見えることを意味する。
つまり、Ｓ平面におけるＸ軸とＹ軸が正確に直交していない（より詳しく述べれば、ＶＸ軸（Ｖ平面におけるＸ軸）に対するＳＸ軸（Ｓ平面におけるＸ軸）のズレよりも、ＶＹ軸（Ｖ平面におけるＹ軸）に対するＳＹ軸（Ｓ平面におけるＹ軸）のズレの方が大きく、更に、ビジョンセンサＳで撮像するＶ平面において、そのＶＸ軸とＶＹ軸は必ず直交するように設けることが出来るにも関わらず、ＶＸ軸に対するＳＸ軸のズレと、ＶＹ軸に対するＳＹ軸のズレが異なるということは、Ｓ平面におけるＸ軸とＹ軸が正確に直交していないを示す）。
このように、駆動装置Ｋにおける各軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸など）が正確に直交していない場合でも、第６実施形態（又は第５実施形態）の変換システム１を用いることによって、正確な制御が出来る。
【００７８】
尚、図２０にて二次元グラフで示されたＸＹ変換テーブル２−４は、「０．０μｍ（＝０．０ｍｍ）」から「１３００．０μｍ（＝１．３ｍｍ）」まで動かす途中において、Ｖ平面におけるＹ軸方向の位置（ＶＹ値）が増減しているように見えるが、これは、ＸＹ変換テーブル２−４の表では、その単位を「０．１μｍ」として示しているが、この「０．１μｍ」は、Ｙ駆動部Ｋ’でＹ駆動データＤ２を出力するためのロータリエンコーダの分解能よりも小さいために生じるノイズであるとも言え、実際にＶＹ値は増減していないとも言える。
又、図２０にて二次元グラフで示されたθΔＹ変換テーブル２−４は、大まかにはコサインカーブ様であるが、「０°」から「３６０°」まで動かす途中において、Ｖ平面におけるＹ軸方向の位置（ＶＹ値）がコサインカーブから外れているように見えるが、これも、Ｙ駆動部Ｋ’のロータリエンコーダの分解能との関係で生じるノイズであるとも言え、θΔＹ変換テーブル２−４のコサインカーブを、フーリエ変換を用いたローパスフィルタ等を用いることでノイズを除去して用いても良い。
更に、第６実施形態においては、検出データＤ１の個数（第１数（ｎ１）個）や、駆動データＤ２の個数（第２数（ｎ２）個）は、それぞれ３個であり、第５実施形態においては、ｎ１個、ｎ２個は、それぞれ２個である。
そして、ここまで述べた第５、６実施形態以外に、検出データＤ１のｎ１個が４個や５個以上であったり、駆動データＤ２のｎ２個が４個や５個以上であっても良く、その他、検出データＤ１のｎ１個と、駆動データＤ２のｎ２個が同じ値であったり、異なる値であっても構わない。
尚、検出データＤ１のｎ１個や駆動データＤ２のｎ２個のそれぞれが、４個以上である場合、それらの値（Ｘ、Ｙ、θ、温度・・・など）全てがタスキ掛け様にフィードバックしても良く、その他、それらの値（Ｘ、Ｙ、θ、温度・・・など）の一部がタスキ掛け様にフィードバックしても良い。
その他の変換システム１、インターフェイス装置３０、変換制御プログラムの構成、作用効果及び使用態様は、第１〜５実施形態と同様である。
【００７９】
＜その他＞
本発明の変換システム１、インターフェイス装置３０、及び、変換制御プログラム等の各構成又は全体の構造、形状、寸法などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更することが出来る。
【００８０】
テーブル作成部３は、Ｘ駆動部Ｋ’やＹ駆動部Ｋ’に駆動データＤ２を与える変換テーブル２または補間変換テーブル２を有するが、目的とする変換に応じて変換テーブル２及び補間変換テーブル２を新たに作成することで、変換テーブル２及び補間変換テーブル２を複数個有することができる。なお、図２１に示すように、変換テーブル２及び補間変換テーブル２の合計個数は、駆動部Ｋ’の個数と同じでも良いが、異なっても良い（変換テーブル２の出力データが他の変換テーブル２へ与えられる場合があるため）。
【００８１】
第１実施形態では、ＸＹステージを動作させる（ターゲットが移動する）形にて記載したが、例えばターゲットを載せたステージは移動させずにＸＹステージ上にビジョンセンサＳを設置してビジョンセンサＳを移動させる形でも、第１実施形態の詳解にて述べた同様の手順でマップ用データを取得し、変換テーブル２を作成することで対応できる。
また用例を記すにあたり、駆動部Ｋ’及びテーブル作成部３にて作成する変換テーブル２が少なくなるよう簡易的な例として記載したが、ＶＸ値及びＶＹ値と対応した別の駆動部Ｋ’の駆動データＤ２をマップ用データとした変換テーブル２を追加することにより、変換された駆動データＤ２で動作させる駆動部Ｋ’を追加できる。例えば、ＸＹステージをＺ方向に昇降動作するＸＹＺステージがあった場合、Ｚ駆動部Ｋ’の位置データとＶＸ値及びＶＹ値をマップ用データとした変換テーブル２を追加することで、ＶＸ値及びＶＹ値に応じてＸＹＺステージを動作させる（ＶＸ値及びＶＹ値に応じてステージが立体動作する）といった用例にも適用できるように、第１実施形態〜第６実施形態に限定されず、様々な実施形態にあわせて適宜利用することが出来る。
【００８２】
以上のように、テーブル作成部３内に変換テーブル２及び補間変換テーブル２を作成し、独立または連結させ、変換されたデータを用いて駆動部Ｋ’を駆動させることで、行いたい変換内容、行いたい動作内容に応じて、駆動部Ｋ’の数や駆動装置ＫやセンサＳの形態に限定されない様々な実施形態に対応した変換システム１を構築できるほか、データ取得と紐付け、組み合わせにより補正計算を行わずにｎ次元への同時データ変換を行う本発明は、行いたい動作に必要な数式や理論を必要としない手段となりえるため、目まぐるしい設計、開発が必要な装置製造現場において、学術的な知識の習得時間を削減することにも繋がると言える。
尚、変換テーブル２によって変換された駆動データＤ２が、一定周期ごとにその値が変動（蛇行）し且つ変動するその値を連続的に変換する、又は、変換を指定した上限値に達すると再度下限値から繰り返すのであれば、変換テーブル２は、電子カムであるとも言える。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明に係る変換システム、インターフェイス装置、及び、変換制御プログラムは、基板実装ロボットやウェハ搬送ロボット、塗布ロボットなどの産業用ロボットをはじめ、バックホーなどの建設機械や、ロボット玩具など駆動部を有したあらゆる駆動装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００８４】
１          変換システム
２          変換テーブル
３          テーブル作成部
３０        インターフェイス装置
Ｔ          対象物
Ｋ          駆動装置
Ｋ’        駆動装置の駆動部
Ｓ          位置認識センサ
Ｄ１        検出データ
Ｄ２        駆動データ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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