(57)【要約】【課題】μ”分散の立ち上がり周波数が１〜１０ＭＨｚに存在し、かつ、μ”分散がＧＨｚ帯域まで分布する難燃性の近傍界用ノイズ抑制シートを提供する。【解決手段】有機物からなる基材と、基材中に担持された偏平状の合金粉末と、基材中に分散した難燃剤と、を含み、前記合金粉末は、Ｆｅ１００-Ｘ１-Ｙ１（Ｓｉ，Ｐ，Ｃ）Ｘ１ＣｕＹ１の合金粉末（但し、１６≦Ｘ１＋Ｙ１≦２４、１４．５≦Ｘ１≦２４、及び０≦Ｙ１≦１．５）及び／又はＦｅ１００-Ｘ２-Ｙ２（Ｓｉ，Ｂ，Ｃ）Ｘ２ＣｕＹ２の合金粉末（但し、１６≦Ｘ２＋Ｙ２≦２４、１４．５≦Ｘ２≦２４、及び０≦Ｙ２≦１．５）であって、その相構造は、非晶質相のみからなり、又は非晶質相とα-Ｆｅ主体の結晶相とが混在する相からなり、難燃剤の平均粒径が１０μｍ以下であり、密度が２．５ｇ/ｃｍ３以上であることを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機物からなる基材と、前記基材中に担持された偏平状の合金粉末と、前記基材中に分散した難燃剤と、を含む近傍界用ノイズ抑制シートであって、
前記合金粉末は、原子％で、組成式：Ｆｅ１００-Ｘ１-Ｙ１（Ｓｉ，Ｐ，Ｃ）Ｘ１ＣｕＹ１（但し、１６≦Ｘ１＋Ｙ１≦２４、１４．５≦Ｘ１≦２４、及び０≦Ｙ１≦１．５）で表わされる合金粉末および／または組成式：Ｆｅ１００-Ｘ２-Ｙ２（Ｓｉ，Ｂ，Ｃ）Ｘ２ＣｕＹ２（但し、１６≦Ｘ２＋Ｙ２≦２４、１４．５≦Ｘ２≦２４、及び０≦Ｙ２≦１．５）で表わされる合金粉末であって、前記合金粉末の相構造は、非晶質相のみからなり、又は非晶質相とα-Ｆｅを主体とした結晶相とが混在する相からなり、
前記難燃剤の平均粒径が１０μｍ以下であり、
さらに、密度が２．５ｇ/ｃｍ３以上であることを特徴とする近傍界用ノイズ抑制シート。
【請求項２】
前記合金粉末は、１９≦Ｘ１＋Ｙ１≦２１、１８≦Ｘ１≦２１、及び０≦Ｙ１≦１．０、および／または、１９≦Ｘ２＋Ｙ２≦２１、１８≦Ｘ２≦２１、及び０≦Ｙ２≦１．０を満たす、請求項１に記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【請求項３】
前記近傍界用ノイズ抑制シートのμ”分散の立ち上がりにおいて、μ”値が１以上となる周波数が１ＭＨｚ以上１０ＭＨｚ以下であり、かつ１０ＧＨｚでのμ”値が２以上である、請求項１又は２に記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【請求項４】
前記合金粉末の保磁力が０．５Ａ/ｃｍ以上８Ａ/ｃｍ以下である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【請求項５】
前記難燃剤は、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、ホウ酸亜鉛、メラミンシアネレート、及び赤リンのうちから選択される１種以上の非ハロゲン系難燃剤である、請求項１〜４のいずれか一項に記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【請求項６】
前記合金粉末において、前記Ｆｅの３原子％以下が、Ａｌ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、及びＷのうちから選択される１種以上の元素で置換された、請求項１〜５のいずれか一項に記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【請求項７】
前記合金粉末のアスペクト比の平均値が１０以上１００以下である、請求項１〜６のいずれか一項に記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【請求項８】
前記合金粉末の厚さの平均値が０．１μｍ以上１．５μｍ以下である、請求項１〜７のいずれか一項に記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【請求項９】
前記近傍界用ノイズ抑制シートの表面抵抗が１０５Ω/□以上である、請求項１〜８のいずれか一項に記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【請求項１０】
前記基材はハロゲン元素を含まない、請求項１〜９のいずれか一項に記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【請求項１１】
前記ノイズ抑制シートは、シリコン系、チタン系、アルミニウム系およびジルコニウム系のうちから選択される１種以上の酸化物を含み、前記酸化物の粒径が１００ｎｍ以下である、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器や通信機器における余分な放射電波（ノイズ）を抑制するために使用される近傍界用ノイズ抑制シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器や通信機器の小型化および軽量化に伴い、電子回路に装着される部品の実装密度が高くなっている。そのため、電子部品から放射される電波ノイズに起因して、電子部品同士間あるいは電子回路同士間において電波干渉や磁界結合が生じることによる電子機器や通信機器の誤動作が問題となる。
【０００３】
この問題を防ぐために、余分な放射電波（ノイズ）を熱に変換し、不要な磁界結合を防ぐことができる近傍界用ノイズ抑制シート（以下、「ノイズ抑制シート」とも称する。）が機器などに実装されている。このノイズ抑制シートは、厚さが０．０５ｍｍ〜２ｍｍであることから、電子部品や電子回路近傍に挿入することが可能であり、加工が容易で形状自由度も高い。そのため、ノイズ抑制シートは、電子機器や通信機器の小型化および軽量化に適応することができ、電子機器や通信機器のノイズ対策部品として広く用いられている。
【０００４】
典型的なノイズ抑制シートは、偏平状に加工された軟磁性合金粉末と有機結合剤からなり、軟磁性合金粉末の磁気共鳴による磁気損失によってノイズ抑制効果が得られる。よって、ノイズ抑制シートのノイズ抑制性能は、ノイズ抑制シートに含まれる軟磁性合金粉末の透磁率に依存する。一般に、透磁率は、実部透磁率μ’と虚数部透磁率μ”を用いて複素透磁率μ＝μ’−ｊ・μ”で表されるが、ノイズ抑制シートのように磁気損失を利用する場合には、虚数部透磁率μ”が重要になる。すなわち、吸収したい電波ノイズの周波数帯域（以下、「対象帯域」とも称する。）にわたって、虚数部透磁率μ”が分布することが重要である。以下、本明細書では、周波数に対する虚数部透磁率μ”の分布を「μ”分散」 と称する。μ”分散は、ノイズ抑制シートに含まれる軟磁性合金粉末の材質および形状に応じて、μ”値や分布が異なる。そのため、ノイズ抑制の効果を高めるには、対象帯域に適したノイズ抑制シートを選択する必要がある。
【０００５】
例えば、いわゆるセンダスト組成のＦｅ-Ｓｉ-Ａｌ系合金に代表されるような偏平状の軟磁性合金粉末を使用したノイズ抑制シートでは、対象帯域がｋＨｚ〜ＭＨｚ帯と低く、周波数が高くなるにつれて透磁率が減少する。特に、ＧＨｚ帯域においては、μ”値が実質的に１に近づくために、ノイズ抑制効果を発揮することができない。これに対応すべく、特許文献１，２では、センダスト組成の偏平状の軟磁性合金粉末と炭素粉末とを含むノイズ抑制シートが提案されている。すなわち、周波数の低い帯域では軟磁性合金粉末による磁気損失を利用し、周波数の高い帯域では炭素粉末による誘電損失を利用することで、対象帯域を広帯域としている。
【０００６】
また、磁性部材の透磁率は、磁性部材の電気抵抗にも影響され、ノイズ抑制シートのμ”分散を高周波化させるには、電気抵抗の大きな軟磁性合金粉末を使用するのが有利である。したがって、結晶質の軟磁性合金よりも電気抵抗が大きい非晶質の軟磁性合金を使用することがμ”分散の高周波化に有効な手段である。例えば、特許文献３には、鉄系の非晶質合金からなる偏平状の軟磁性粒子と有機結合剤を主に含有し、１０ＧＨｚにおける複素比透磁率μ”が７以上であることを特徴とする電磁干渉抑制体が記載されている。ここで、上記軟磁性粒子としては、組成式：｛Ｆｅａ（ＳｉｘＢｙＰｚ）１−ａ｝１００−ｂＬｂ（但し、ＬはＡｌ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗから選ばれる１種以上の元素、０．７０≦ａ≦０．８２原子％、０＜ｂ≦８原子％、０．０５≦ｘ≦０．６０原子％、０．１０≦ｙ≦０．８５原子％、０．０５≦ｚ≦０．７０原子％、ｘ＋ｙ＝ｚ＝１）で表わされる粒子や、組成式：（Ｆｅ１−ａＴＭａ）１００−ｗ−ｘ−ｙ−ｚＰｗＢｘＬｙＳｉｚ（但し、ＴＭはＣｏ、Ｎｉから選ばれる１種以上の元素、ＬはＡｌ、Ｖ、Ｃｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗから選ばれる１種以上の元素、０≦ａ≦０．９８原子％、２≦ｗ≦１６原子％、２≦ｘ≦１６原子％、０＜ｙ≦１０原子％、０≦ｚ≦８原子％）で表わされる粒子が挙げられている。
【０００７】
また、特許文献４，５には、非晶質中にα−Ｆｅ結晶が析出した組織を有する軟磁性合金が記載されている。具体的には、特許文献４には、平均粒径が５〜３０ｎｍのα−Ｆｅ結晶粒が析出した非晶質組織を有する、組成式：Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃ−ｄＳｉａＢｂＣｃＣｕｄ（但し、１％≦ａ≦３％、９％≦ｂ≦１４％、１％≦ｃ≦４％、０．３％≦ｄ≦１．５％、８０％≦１００−ａ−ｂ−ｃ−ｄ≦８６％）で表わされる軟磁性合金が記載されている。また、特許文献５には、平均粒径が５〜３０ｎｍのα−Ｆｅ結晶粒が析出した非晶質組織を有する、組成式：Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃ−ｄＳｉａＰｂＣｃＣｕｄ（但し、０％≦ａ≦３％、９％≦ｂ≦１３％、４％≦ｃ≦６％、０．３％≦ｄ≦１．５％、８０％≦１００−ａ−ｂ−ｃ−ｄ≦８６％）で表わされる軟磁性合金が記載されている。そして、一例として、これらの軟磁性合金をノイズ抑制シートなどの磁性部品に適用できることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１２-１８６３８４号公報
【特許文献２】特開２０１３-１８２９３１号公報
【特許文献３】特開２０１５-４６５３８号公報
【特許文献４】特開２０１６-９４６５１号公報
【特許文献５】特開２０１６-９４６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
近年、電子機器や通信機器の電子回路設計の高性能化および多様化が急速に進んでおり、電子回路内部のノイズの周波数も高周波化かつ広帯域化している。例えば、パソコンでは更なる高速化が求められ、ＣＰＵの駆動周波数はＭＨｚ〜ＧＨｚ帯域に差し掛かっている。また、無線ＬＡＮなどの通信機器では扱うデジタルコンテンツの容量は増大しており、通信周波数もＧＨｚ帯が中心になってきている。加えて、デジタルＴＶ放送や道路交通情報システムなどの衛星通信も急速に拡大し、ユビキタスネットワーク時代が実現されつつある。このような情報通信機器の多機能化や融合が進む一方で、電子機器や通信機器から放射される余分な電波ノイズの周波数も高くなり、その電波ノイズによる機能干渉や誤動作も従来に増して心配される。そのため、従来のノイズ抑制シートは、対象帯域がｋＨｚ〜ＭＨｚ帯であったのに対し、近年では、対象帯域がＭＨｚ〜ＧＨｚ帯のノイズ抑制シートが求められている。
【００１０】
ところが、特許文献１，２に記載のノイズ抑制シートでは、ＧＨｚ帯においては、磁性損失ではなく、誘電損失のみが作用するので、ＧＨｚ帯の電界ノイズを抑制することができたとしても、ＧＨｚ帯の磁界ノイズを抑制することはできない。電子回路では、電流回路の相互的な作用により、電界ノイズをよりも、磁界ノイズを抑制することが重要である。
【００１１】
また、特許文献３に記載のノイズ抑制シートでは、μ”分散の立ち上がり周波数が１０ＭＨｚを超えたところに存在するため、１ＭＨｚ〜１０ＭＨｚのノイズ抑制効果を発揮することができず、ＭＨｚからＧＨｚの広帯域に対応するノイズ抑制シートとして適していない。
【００１２】
さらに、ノイズ抑制シートの透磁率は、合金粉末の組成の他に、ノイズ抑制シートにおける偏平状の合金粉末の配向度や充填率にも影響される。すなわち、偏平状の合金粉末は、その面内方向に磁気的異方性を有するので、ノイズ抑制シートの透磁率を高めるには、シートの面内方向における合金粉末の配向度を高める必要がある。また、ノイズ抑制シートの透磁率は、シートに含まれる合金粉末の充填率にも影響され、ノイズ抑制シートの透磁率を高めるためには、ノイズ抑制シートの密度を高める必要がある。加えて、近年、ノイズ抑制シートを使用する対象機器の性質上、難燃性のノイズ抑制シートが求められており、この対策として難燃剤を添加することが一般的である。しかしながら、難燃剤を添加すると、偏平状の合金粉末の配向度が低下してしまい、その結果、ノイズ抑制シートの透磁率が低下することによって、その周波数特性も影響を受ける。
【００１３】
ところが、特許文献４，５では、軟磁性合金の成分組成や組織を最適化することによって軟磁気特性に優れた軟磁性合金を得ることを目的としているものの、ノイズ抑制シートにおける合金粉末の配向度や、ノイズ抑制シートの密度や難燃性については記載されていない。したがって、特許文献４，５に記載の軟磁性合金を用いて、ノイズ抑制シートを作製しても、対象帯域がＭＨｚ〜ＧＨｚ帯であることに加え、難燃性も併せ持つノイズ抑制シートの実現には至っていないのが現状である。
【００１４】
そこで本発明は、上記課題に鑑み、ＭＨｚ〜ＧＨｚ帯の広帯域における磁界ノイズに対応することができ、かつ難燃性も併せ持つ近傍界用ノイズ抑制シートを提供することを目的とする。すなわち、本発明は、μ”分散の立ち上がり周波数が１〜１０ＭＨｚの帯域に存在し、かつ、μ”分散がＧＨｚ帯域まで分布していることを特徴とする難燃性の近傍界用ノイズ抑制シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決する本発明の要旨構成は以下のとおりである。
（１）有機物からなる基材と、前記基材中に担持された偏平状の合金粉末と、前記基材中に分散した難燃剤と、を含む近傍界用ノイズ抑制シートであって、
前記合金粉末は、原子％で、組成式：Ｆｅ１００-Ｘ１-Ｙ１（Ｓｉ，Ｐ，Ｃ）Ｘ１ＣｕＹ１（但し、１６≦Ｘ１＋Ｙ１≦２４、１４．５≦Ｘ１≦２４、及び０≦Ｙ１≦１．５）で表わされる合金粉末および／または組成式：Ｆｅ１００-Ｘ２-Ｙ２（Ｓｉ，Ｂ，Ｃ）Ｘ２ＣｕＹ２（但し、１６≦Ｘ２＋Ｙ２≦２４、１４．５≦Ｘ２≦２４、及び０≦Ｙ２≦１．５）で表わされる合金粉末であって、前記合金粉末の相構造は、非晶質相のみからなり、又は非晶質相とα-Ｆｅを主体とした結晶相とが混在する相からなり、
前記難燃剤の平均粒径が１０μｍ以下であり、
さらに、密度が２．５ｇ/ｃｍ３以上であることを特徴とする近傍界用ノイズ抑制シート。
【００１６】
（２）前記合金粉末は、１９≦Ｘ１＋Ｙ１≦２１、１８≦Ｘ１≦２１、及び０≦Ｙ１≦１．０、および／または、１９≦Ｘ２＋Ｙ２≦２１、１８≦Ｘ２≦２１、及び０≦Ｙ２≦１．０を満たす、上記（１）に記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【００１７】
（３）前記近傍界用ノイズ抑制シートのμ”分散の立ち上がりにおいて、μ”値が１以上となる周波数が１ＭＨｚ以上１０ＭＨｚ以下であり、かつ１０ＧＨｚでのμ”値が２以上である、上記（１）又は（２）に記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【００１８】
（４）前記合金粉末の保磁力が０．５Ａ/ｃｍ以上８Ａ/ｃｍ以下である、上記（１）〜（３）のいずれか一つに記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【００１９】
（５）前記難燃剤は、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、ホウ酸亜鉛、メラミンシアネレート、及び赤リンのうちから選択される１種以上の非ハロゲン系難燃剤である、上記（１）〜（４）のいずれか一つに記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【００２０】
（６）前記合金粉末において、前記Ｆｅの３原子％以下が、Ａｌ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、及びＷのうちから選択される１種以上の元素で置換された、上記（１）〜（５）のいずれか一つに記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【００２１】
（７）前記合金粉末のアスペクト比の平均値が１０以上１００以下である、上記（１）〜（６）のいずれか一つに記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【００２２】
（８）前記合金粉末の厚さの平均値が０．１μｍ以上１．５μｍ以下である、上記（１）〜（７）のいずれか一つに記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【００２３】
（９）前記近傍界用ノイズ抑制シートの表面抵抗が１０５Ω/□以上である、上記（１）〜（８）のいずれか一つに記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【００２４】
（１０）前記基材はハロゲン元素を含まない、上記（１）〜（９）のいずれか一つに記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【００２５】
（１１）前記ノイズ抑制シートは、シリコン系、チタン系、アルミニウム系およびジルコニウム系のうちから選択される１種以上の酸化物を含み、前記酸化物の粒径が１００ｎｍ以下である、上記（１）〜（１０）のいずれか一つに記載の近傍界用ノイズ抑制シート。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、ＭＨｚ〜ＧＨｚ帯の広帯域における磁界ノイズに対応することができ、かつ難燃性を併せ持つ近傍界用ノイズ抑制シートを得ることができる。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明による近傍界用ノイズ抑制シートの一実施形態について説明する。
【００２８】
本発明の一実施形態による近傍界用ノイズ抑制シートは、有機物からなる基材と、基材中に担持された偏平状の合金粉末と、基材中に分散した難燃剤と、を含む。
【００２９】
偏平状の合金粉末は、原子％で、組成式：Ｆｅ１００-Ｘ１-Ｙ１（ＳｉａＰｂＣｃ）Ｘ１ＣｕＹ１（但し、１６≦Ｘ１＋Ｙ１≦２４、１４．５≦Ｘ１≦２４、及び０≦Ｙ１≦１．５）で表わされる合金粉末および／または組成式：Ｆｅ１００-Ｘ２-Ｙ２（ＳｉｄＢｅＣｆ）Ｘ２ＣｕＹ２（但し、１６≦Ｘ２＋Ｙ２≦２４、１４．５≦Ｘ２≦２４、及び０≦Ｙ２≦１．５）で表わされる合金粉末である。ここで、ａ,ｂ,ｃ,ｄ,ｅ,ｆは、ａ＋ｂ＋ｃ＝Ｘ１、ｄ＋ｅ＋ｆ＝Ｘ２を満たす限り、特に限定されず、０≦ａ≦１０、８≦ｂ≦１９、３≦ｃ≦６、１≦ｄ≦１５、８≦ｅ≦１９、及び３≦ｆ≦６の範囲から適宜調整することができる。本明細書では、Ｆｅ１００-Ｘ１-Ｙ１（ＳｉａＰｂＣｃ）Ｘ１ＣｕＹ１をＦｅ１００-Ｘ１-Ｙ１（Ｓｉ，Ｐ，Ｃ）Ｘ１ＣｕＹ１と表記し、Ｆｅ１００-Ｘ２-Ｙ２（ＳｉｄＢｅＣｆ）Ｘ２ＣｕＹ２をＦｅ１００-Ｘ２-Ｙ２（Ｓｉ，Ｂ，Ｃ）Ｘ２ＣｕＹ２と表記する。また、Ｆｅ１００-Ｘ１-Ｙ１（Ｓｉ，Ｐ，Ｃ）Ｘ１ＣｕＹ１とＦｅ１００-Ｘ２-Ｙ２（Ｓｉ，Ｂ，Ｃ）Ｘ２ＣｕＹ２の合計量は、５０質量％以上とすることが好ましい。なお、Ｆｅ１００-Ｘ１-Ｙ１（Ｓｉ，Ｐ，Ｃ）Ｘ１ＣｕＹ１とＦｅ１００-Ｘ２-Ｙ２（Ｓｉ，Ｂ，Ｃ）Ｘ２ＣｕＹ２をともに含む場合の各合金粉末の比率は、特に限定されない。上記組成を有する合金粉末の相構造は、非晶質相のみからなる構造を有する。あるいは、これらの合金粉末のうちＣｕを含むものについては、後述する焼鈍処理を施してα-Ｆｅ結晶を析出させることによって、非晶質相とα-Ｆｅを主体とした結晶相とが混在する相とすることもできる。
【００３０】
ノイズ抑制効果をより高める観点から、上記組成のＸ１，Ｘ２及びＹ１，Ｙ２は、１９≦Ｘ１＋Ｙ１≦２１、１８≦Ｘ１≦２１、及び０≦Ｙ１≦１．０、および／または、１９≦Ｘ２＋Ｙ２≦２１、１８≦Ｘ２≦２１、及び０≦Ｙ２≦１．０を満たすことが好ましい。
【００３１】
また、３原子％以下のＦｅを、Ａｌ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、及びＷのうちから選択される１種以上の元素で置換してもよい。ここで、置換する元素の合計の添加量が３原子％を超えると、合金粉末の飽和磁化が著しく低下することによりノイズ抑制シートの透磁率が低下する。したがって、上限値を３原子％とする。
【００３２】
以下、本実施形態によるノイズ抑制シートの製造方法の一例を示す。
【００３３】
まず、偏平状の合金粉末と、有機物と、難燃剤と、有機溶媒とを混合してスラリーを作製する。
【００３４】
合金粉末の原料粉末としては、上記の組成を有する粉末を使用し、原料粉末の形状は球形とすることが好ましい。原料粉末は、一般的な粉末の合成方法であるガスアトマイズ法または水アトマイズ法によって得ることができる。原料粉末の平均粒径は、５μｍ以上７０μｍ以下とすることが好ましい。５μｍ以上であれば、後述するアスペクト比（＝直径/厚さ）が大きな偏平状の合金粉末を容易に得ることができ、７０μｍ以下であれば、後述する偏平加工を短時間で効率的に行うことができるからである。なお、原料粉末の平均粒径は、レーザー回折・散乱法によって求めた粒度分布における積算値５０％での粒径（５０％累積粒径：Ｄ５０）を意味する。
【００３５】
偏平状の合金粉末は、このような球形の原料粉末を機械的に加工することによって得られる。ここで、μ”分散の立ち上がり周波数を１ＭＨｚ〜１０ＭＨｚの帯域に存在させ、かつ、μ”分散をＧＨｚ帯域まで分布させるためには、偏平状の合金粉末の厚さの平均値が０．１μｍ以上１．５μｍ以下となるように偏平加工することが好ましい。また、合金粉末のアスペクト比の平均値が１０以上１００以下となるように偏平加工することが好ましい。アスペクト比の平均値が１０以上であれば、偏平状の合金粉末の面内における反磁界の影響を無視することができ、１００以下であれば、シートの面内方向における合金粉末の配向度が成膜時に高まり、平坦な表面を有するノイズ抑制シートを得ることができるからである。偏平加工には、ボールミル、アトライタ、スタンプミルなどの公知または任意の機械加工を好適に用いることができる。なお、「厚さの平均値」は、後述する方法によって作製したノイズ抑制シートの厚さ方向の断面のイオンミリング研磨面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察し、視野中の１０個の粉末について、偏平状の合金粉末の厚さの値を平均した値を意味するものとし、「アスペクト比の平均値」は、同様に、ＳＥＭで観察したときの、視野中の１０個の粉末について、偏平状の合金粉末の長さ/厚さの比の値を平均した値とする。
【００３６】
次に、偏平加工の後に、合金粉末に対して窒素やアルゴンなどの不活性雰囲気中で焼鈍処理を行う。これにより、Ｃｕを含む合金粉末については、α-Ｆｅを析出させることができる。また、この焼鈍処理によって偏平加工によって合金粉末に生じた残留応力を除去することもできるので、透磁率の低下を防ぐことができる。焼鈍条件は、例えば、２００〜５００℃の温度で、０．５〜５時間とすることができる。このように、焼鈍条件を適宜選択して、合金粉末の相構造を制御することによって、所望の保磁力を有する合金粉末を得ることができる。合金粉末の保磁力は、０．５Ａ/ｃｍ以上８Ａ/ｃｍ以下とすることが好ましい。保磁力が０．５Ａ/ｃｍ以上であれば、μ”分散の立ち上がり周波数をＭＨｚ帯域に存在させることができ、８Ａ/ｃｍ以下であれば、ノイズを抑制するのに十分な大きさのμ”値を得ることができるからである。
【００３７】
また、絶縁処理を施すことを目的として、偏平状の合金粉末の表面に、自己酸化被膜または外部処理被膜を形成することが好ましい。被膜形成の手段や材質は、絶縁性を保つことができるのであれば、特に制限はない。被膜の厚さは２０〜１００ｎｍとするのが適当であり、必要以上に被膜を形成すると磁性相の体積が減少するため、十分な大きさのμ”値を得ることができない。自己酸化被膜の形成方法としては、大気中での加熱処理または炭化水素系有機溶媒中での加熱処理が代表的な方法である。また、外部処理被膜の形成方法としては、ディップコートやＣＶＤなどの気相法が挙げられる。なお、上記の絶縁処理と焼鈍処理の順序は特に制限されない。
【００３８】
また、偏平状の合金粉末に対して、シリコン系、チタン系、アルミニウム系およびジルコニウム系のうちから選択される１種以上のカップリング剤で表面処理を施すこともできる。カップリング処理の方法は特に限定されず、ここでは代表的な処理方法を説明する。すなわち、上記のカップリング剤を溶解した溶媒中に、偏平状の合金粉末を投入して、攪拌した後に、合金粉末を回収し、例えば１００〜２００℃の温度で乾燥させる。これにより、合金粉末の表面には、粒径が１００ｎｍ以下の酸化物が形成される。このカップリング処理によって、後述する有機物との馴染み度合いが向上し、合金粉末の充填密度が高いノイズ抑制シートを得ることができ、その結果、ノイズ抑制に十分な大きさのμ”値を得ることができる。また、偏平状の合金粉末の表面に、カップリング剤に起因する絶縁酸化物の粒子が形成されるため、合金粉末の絶縁性の向上にも寄与する。
【００３９】
基材を構成する有機物としては、ハロゲン元素を含まないものが好ましい。これは、従来のノイズ抑制シートでは、難燃性が高い塩素化ポリエチレンなどの有機物を用いていたが、近年、ＲｏＨＳ指令等の環境規制によって、ハロゲン元素を含まないノイズ抑制シートが求められているからである。ハロゲン元素を含まない有機物としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、セルロース樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエステル樹脂などの任意の樹脂系材料や、シリコーンゴム、アクリルゴム、ニトリルゴム、ブチルゴムなどの任意のゴム系材料や、不織布、ポリエステル繊維、アクリル繊維などの任意の繊維系材料が挙げられ、有機物の選定については目的に応じて適宜選定すればよい。これらの有機物は、結合性や可塑性の付与および合金粉末同士の絶縁隔離といった機能を有する。また、ノイズ抑制シートの柔軟性を高めるために、必要に応じてフタル酸ジオクチルなどの可塑剤を添加することもできる。
【００４０】
難燃剤については、最終的に得られるノイズ抑制シートにおけるその平均粒径を１０μｍ以下とし、好ましくは０．２μｍ以上８μｍ以下、より好ましくは０．２μｍ以上６μｍ以下とする。難燃剤は、偏平状の合金粉末間に分散して存在するので、その平均粒径が１０μｍを超えると、合金粉末のシート面内方向の配向度が著しく低下してしまう。そのため、難燃性を高めることができても、所望のノイズ抑制効果が得られない。なお、難燃剤の平均粒径が０．２μｍ以上であれば、高い難燃性を維持することができる。ここで、「難燃剤の平均粒径」とは、ノイズ抑制シートの厚さ方向の断面のイオンミリング研磨面をＳＥＭで観察したときの、視野中の１０個の難燃剤の長径の平均値を意味する。なお、難燃剤の種類は、特に限定されないが、有機物と同様にハロゲン元素を含まない難燃剤が好ましく、具体的には、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、ホウ酸亜鉛、メラミンシアネレート、及び赤リンのうちから選択される１種以上の難燃剤が挙げられる。
【００４１】
偏平状の合金粉末、難燃剤、及び有機物の配合比は、偏平状の合金粉末を１００質量部とした場合に、難燃剤を５質量部以上３０質量部以下、有機物を８質量部以上３０質量部以下とすることが好ましい。難燃剤が５質量部以上であれば、ＵＬ９４規格の難燃性試験においてＶ１以上となり、ノイズ抑制シートに要求される難燃性を確保することができ、３０質量部以下であれば、ノイズ抑制シート全体に対する合金粉末の体積率が著しく減少しないので、ノイズ抑制シートの透磁率が著しく低下するのを抑制することができるからである。また、有機物が８質量部以上であれば、ノイズ抑制シートの可塑性を保つことができ、３０質量部以下であれば、シート成型時に偏平状の合金粉末がシートの水平方向に配向しやすく、十分な大きさのμ”値を得ることができるからである。ここで、このような配合比で有機物を添加すれば、上述の絶縁処理を施さなくともノイズ抑制シートの表面抵抗が１０５Ω/□以上となる。なお、上述した絶縁処理を施した場合は、合金粉末自体の絶縁性が向上するため、絶縁処理を施さない場合に比べて有機物の添加量を減らすことができる。その結果、ノイズ抑制シートにおける合金粉末の体積が向上するので、透磁率が大きくなり、また難燃性も向上する。
【００４２】
有機溶媒は、特に限定されず、トルエン、酢酸ブチル、酢酸エチルなどを用いることができる。なお、有機溶媒は、後続の工程で蒸発するので、ノイズ抑制シートには含まれない。
【００４３】
次に、スラリーの作製方法について説明する。スラリーは、公知のボールミル法によって作製することができる。すなわち、所定の配合比に調整した偏平状の合金粉末、難燃剤、有機物、及び有機溶剤を、混合および攪拌を促進するボールミルメディアとともに、容器に投入し、その容器を回転させることで、これらが均質に分散したスラリーを作製することができる。本実施形態におけるスラリーも、ボールミル法を用いて作製することは可能である。しかしながら、ボールミル法では、ボールミルメディアによって偏平状の合金粉末に大きな外力が加わり、偏平状の合金粉末の保磁力を０．５Ａ/ｃｍ以上８Ａ/ｃｍ以下の範囲内に保つことが困難になる。そのため、スラリーの作製には、ボールメディアを使用しない遊星式の混合攪拌装置を使用することが好ましい。この場合、偏平状の合金粉末に大きな外力を与えずに、偏平状の合金粉末、難燃剤、有機物、及び有機溶剤を均質に混合することが可能である。また、遊星撹拌方式であるので、スラリーに含まれる気体の脱気も促進されるので、２．５ｇ/ｃｍ３以上という高い密度を有するノイズ抑制シートを得るのに有効なスラリーを作製することができる。
【００４４】
次に、偏平状の合金粉末、難燃剤、有機物、及び有機溶媒とからなるスラリーをドクターブレード法にてシート状に成型および乾燥して、成型体を作製する。この成型体は、偏平状の合金粉末が有機物からなる基材に担持され、かつ難燃剤が合金粉末間に分散した構造を有しており、さらに、成型時の剪段応力によって偏平状の合金粉末は互いに水平方向に配向する。ここで、ノイズ抑制シートの成型方法としては、ドクターブレード法の他にもカレンダーロール法などの公知又は任意の方法を用いることもできるが、厚さ０．１ｍｍ以下のノイズ抑制シートを作製するには、ドクターブレード法などの塗工法式を用いることが好ましい。
【００４５】
次に、偏平状の合金粉末の水平方向の配向度および密度を高めるために、シート状の成型体に対して、有機物の軟化点以上（例えば６０〜１５０℃程度）に加熱した状態でプレスを施す。これにより、得られるノイズ抑制シートの厚さは、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度とすることができ、ノイズ抑制シートの密度も２．５ｇ/ｃｍ３以上にすることができる。密度が２．５ｇ/ｃｍ３未満であると、空隙が多くなり、偏平状の合金粉末の水平配向度が低下したり、シート全体に対する合金粉末の占める割合が低下したりするので、所望のノイズ抑制効果が得られない。なお、より高い透磁率を有するノイズ抑制シートとするには、ノイズ抑制シートの密度としては２．７ｇ/ｃｍ３以上にすることが好ましい。そのためには、空隙部の排除はもとより、偏平状の合金粉末の配合割合もできる限り高くして、シート全体に対する合金粉末の占める割合を高めることが有効である。
【００４６】
以上の方法により、μ”分散の立ち上がり周波数が１ＭＨｚ〜１０ＭＨｚの帯域に存在し、かつ、μ”分散がＧＨｚ帯域まで分布していることを特徴とする難燃性のノイズ抑制シートを得ることができる。より詳細には、かかるノイズ抑制シートでは、μ”分散の立ち上がりにおいて、μ”値が１以上となる周波数が１ＭＨz以上１０ＭＨｚ以下の帯域に存在し、かつ１０ＧＨｚでのμ”値が２以上となっている。
【００４７】
以上、本実施形態を例にして、本発明の近傍界用ノイズ抑制シートを説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲において適宜変更を加えることができる。
【００４８】
例えば、難燃剤は、スラリーを作製する際ではなく、合金粉末を偏平加工する際に予め添加してもよい。この場合、合金粉末に偏平加工を施す時に、難燃剤も粉砕および解砕されるので、添加する際の難燃剤の平均粒径が１０μｍ超えであったとしても、ノイズ抑制シートに含まれる難燃剤の平均粒径を１０μｍ以下に調整することができる。
【実施例】
【００４９】
（発明例１〜１２、比較例１〜１２）
水アトマイズ法により、原料粉末として、表１に示す組成の合金粉末を得た。ここで、表１に示す合金粉末中のＳｉ，Ｐ，Ｃの比率は、いずれも１３：６３：２４とした。また、原料粉末の平均粒径は４０〜５０μｍとした。次に、それぞれの合金粉末をアトライタにて偏平加工し、偏平状の合金粉末を得た。既述の方法によって測定した偏平状の合金粉末の厚さ及びアスペクト比の平均値を表１に示す。次に、合金粉末の表面に自己酸化被膜を形成するために、大気中にて１００℃、１時間の酸化処理を行った後に、アルゴン中で３５０〜４５０℃、３０分間の焼鈍処理を行った。表１には、焼鈍処理後の各偏平状の合金粉末に対して、粉末Ｘ線回折法により測定した相構造と保磁力測定器で測定した保磁力を示す。
【００５０】
次に、偏平加工を施した各合金粉末１００質量部、ポリブチラール樹脂（軟化点：約７０℃）２０質量部、酢酸ブチル５０質量部、並びに難燃剤として水酸化マグネシウム５質量部および赤リン１質量部を、遊星式の混合撹拌装置によって混合してスラリーを作製した。なお、添加する際の難燃剤の平均粒径は、発明例１〜１０並びに比較例１〜４及び比較例９〜１２については、水酸化マグネシウム９μｍ-赤リン７μｍ、比較例５〜８については、水酸化マグネシウム１３μｍ-赤リン１３μｍとし、発明例１１については、水酸化マグネシウム８μｍ-赤リン７μｍとし、発明例１２については、水酸化マグネシウム６μｍ-赤リン６μｍとした。次に、ドクターブレード法により、ポリエチレンテレフタラートのフィルム上で、このスラリーをシート状の成型体に加工した。
【００５１】
その後、発明例１〜１２及び比較例１〜８については、１０ＭＰａの圧力下で１００℃、１分間の加熱プレスを施すことで、表１に示す密度を有する厚さ０．０５ｍｍのノイズ抑制シートを得た。一方、比較例９〜１２については、加熱プレスを施さないで、表１に示す密度を有する厚さ０．０８ｍｍのノイズ抑制シートを得た。
【００５２】
各発明例および比較例のノイズ抑制シートについて、ネットワークアナライザを用いたＳパラメータ法によって透磁率特性を測定した。μ”分散の立ち上がりはじめで、μ”値が１以上となる周波数、および１０ＧＨｚにおけるμ”値の大きさを表１に示す。
【００５３】
また、各発明例および比較例のノイズ抑制シートについて、既述の方法で測定した難燃剤の平均粒径、アルキメデス法によって測定した密度、およびハイレスタにて測定した表面抵抗を表１に示す。
【００５４】
【表１】
2019054022.tif 000002
【００５５】
発明例１〜１２では、本発明の成分組成を満足し、難燃剤の平均粒径が１０μｍ以下、ノイズ抑制シートの密度が２．５ｇ/ｃｍ３以上であったので、μ”分散の立ち上がりはじめで、μ”値が１以上となる周波数は１〜１０ＭＨｚの範囲内に存在し、１０ＧＨｚにおけるμ”値は２を超えていた。特に、発明例２，３，１１，１２では、磁気特性が良好であるせいか、１０ＧＨｚにおけるμ”値は４．５を超えていた。一方、比較例１，２では、１０ＧＨｚにおけるμ”値は２未満であった。比較例１では、Ｆｅ濃度が低いために、偏平状の合金粉末の磁束密度も小さくなり、１０ＧＨｚにおけるμ”値は２未満であったと考えられる。また、比較例２では、本発明の成分組成を満足しておらず、偏平状の合金粉末の保磁力が８Ａ/ｃｍを超えているため、軟磁気特性が低下し、１０ＧＨｚにおけるμ”値は２未満であったと考えられる。また、Ｃｕが１．５原子％を超える比較例３、４では、Ｘ線回折測定によって磁気異方性が大きいＦｅＰ化合物が形成されていることがわかった。その結果、保磁力が８Ａ/ｃｍを超えており、周波数に対するμ”の分布幅は狭く、１０ＧＨｚにおけるμ”値も０．０であった。なお、アスペクト比については、１０以上であれば、透磁率の特性への影響はほとんど無視できると考えられる。また、１０ＧＨzにおけるμ”値が２以上あれば、軽薄短小化および高周波化する近年の電子機器などにおいて発生するノイズを効果的に抑制させることができる。
【００５６】
比較例５〜８では、難燃剤の平均粒径が１０μｍを超えており、ＳＥＭ観察から合金粉末のシート面内の配向性が乱れている部分が随所に確認された。そのため、μ”分散の立ち上がりはじめで、μ”値が１以上となる周波数は１０ＭＨｚを超えており、１０ＧＨｚにおけるμ”値も２を下回っていた。
【００５７】
比較例９〜１２では、ノイズ抑制シートの密度が２．５ｇ/ｃｍ３を下回っており、ＳＥＭ観察から合金粉末のシート面内の配向性が乱れている部分が随所に確認された。そのため、μ”分散の立ち上がりはじめで、μ”値が１以上となる周波数は１０ＭＨｚを超えており、１０ＧＨｚにおけるμ”値も２を下回っていた。
【００５８】
発明例１１，１２では、難燃剤の平均粒径が８μｍ以下であり、ノイズ抑制シートの密度が２．７ｇ/ｃｍ３以上であったので、μ”分散の立ち上がりはじめで、μ”値が１以上となる周波数が１〜１０ＭＨｚの範囲内に存在し、１０ＧＨｚにおけるμ”値は５を超えていた。これらのシートでは、難燃剤の平均粒径が小さくなるほど偏平粉末のシート面内の配向性が良好になり、そのために１０ＧＨｚにおけるμ”値もより大きくなった。
【００５９】
（発明例１３〜２４、比較例１３〜２４）
水アトマイズ法により、原料粉末として、表２に示す組成の合金粉末を得た。ここで、表２に示す合金粉末中のＳｉ，Ｂ，Ｃの比率は、いずれも１３：６３：２４とした。また、原料粉末の平均粒径は４０〜５０μｍとした。次に、それぞれの合金粉末をアトライタにて偏平加工し、偏平状の合金粉末を得た。既述の方法によって測定した偏平状の合金粉末の厚さ及びアスペクト比の平均値を表２に示す。次に、シランカップリング剤として３-アミノプロピルトリエトキシシランが２質量％添加されているエタノール溶液中に合金粉末を投入し、３０分間の攪拌を行った。その後、粉末を溶液中から取り出し、大気中で１５０℃、８時間の条件で乾燥させた。その後、窒素中で３５０〜４５０℃、３０分間の焼鈍処理を行った。表２には、既述の方法によって測定した相構造と保磁力を示す。
【００６０】
次に、偏平加工を施した各合金粉末１００質量部、アクリルゴム２０質量部（軟化点：約７０℃）、トルエン５０質量部、並びに難燃剤としてメラミンシアヌレート５質量部及び赤リン１質量部を、遊星式の混合撹拌装置によって混合してスラリーを作製した。なお、添加する際の難燃剤の平均粒径は、発明例１３〜２２並びに比較例１３〜１６及び２１〜２４については、水酸化マグネシウム９μｍ-赤リン７μｍとし、比較例１７〜２０については、水酸化マグネシウム１３μｍ-赤リン１３μｍとし、発明例２３については、水酸化マグネシウム８μｍ-赤リン７μｍとし、発明例２４については、水酸化マグネシウム６μｍ-赤リン６μｍとした。次に、ドクターブレード法により、ポリエチレンテレフタラートのフィルム上で、このスラリーをシート状の成型体に加工した。
【００６１】
その後、発明例１３〜２４及び比較例１３〜２０については、１０ＭＰａの圧力下で１００℃、１分間の加熱プレスを施すことで、表２に示す密度を有する厚さ０．０５ｍｍのノイズ抑制シートを作製した。一方、比較例２１〜２４については、加熱プレスを施さないで、表２に示す密度を有する厚さ０．０８ｍｍのノイズ抑制シートを得た。
【００６２】
各発明例および比較例について、既述の方法で、透磁率特性、難燃剤の平均粒径、ノイズ抑制シートの密度、および表面抵抗を測定した。測定結果を表２に示す。
【００６３】
【表２】
2019054022.tif 000003
【００６４】
発明例１３〜２４では、難燃剤の平均粒径が１０μｍ以下であり、ノイズ抑制シートの密度が２．５ｇ/ｃｍ３以上であったので、μ”分散の立ち上がりはじめで、μ”値が１以上となる周波数が１〜１０ＭＨｚの範囲内に存在し、１０ＧＨｚにおけるμ”値は２を超えていた。特に、発明例１４，１５,２３，２４では、磁気特性が良好であるせいか、１０ＧＨｚにおけるμ”値は４．５を超えていた。一方、比較例１３，１４では、１０ＧＨｚにおけるμ”値は２未満であった。比較例１３では、Ｆｅ濃度が低いために、偏平状の合金粉末の磁束密度も小さくなり、１０ＧＨｚにおけるμ”値が２未満になったと考えられる。また、比較例１４では、本発明の成分組成を満足しておらず、偏平状の合金粉末の保磁力が８Ａ/ｃｍを超えているため、軟磁気特性が低下し、１０ＧＨｚにおけるμ”値は２未満であったと考えられる。また、Ｃｕが１．５原子％を超える比較例１５，１６では、Ｘ線回折測定によって、磁気異方性が大きいＦｅＢの化合物が形成されていることがわかった。その結果、保磁力が８Ａ/ｃｍを超えており、周波数に対するμ”の分布幅は狭く、１０ＧＨｚにおけるμ”値も０．０であった。
【００６５】
比較例１７〜２０では、難燃剤の平均粒径が１０μｍを超えており、ＳＥＭ観察から合金粉末のシート面内の配向性が乱れている部分が随所に確認された。そのため、μ”分散の立ち上がりはじめで、μ”値が１以上となる周波数は１０ＭＨｚを超えており、１０ＧＨｚにおけるμ”値も２を下回っていた。
【００６６】
比較例２１〜２４では、ノイズ抑制シートの密度が２．５ｇ/ｃｍ３を下回っており、ＳＥＭ観察から合金粉末のシート面内の配向性が乱れている部分が随所に確認された。そのため、μ”分散の立ち上がりはじめで、μ”値が１以上となる周波数は１０ＭＨｚを超えており、１０ＧＨｚにおけるμ”値も２を下回っていた。
【００６７】
発明例２３，２４では、難燃剤の平均粒径が８μｍ以下であり、ノイズ抑制シートの密度が２．７ｇ/ｃｍ３以上であったので、μ”分散の立ち上がりはじめで、μ”値が１以上となる周波数が１〜１０ＭＨｚの範囲内に存在し、１０ＧＨｚにおけるμ”値は５を超えていた。これらのシートでは、難燃剤の平均粒径が小さくなるほど偏平粉末のシート面内の配向性が良好になり、そのために１０ＧＨｚにおけるμ”値もより大きくなった。
【００６８】
（発明例２５〜２７）
水アトマイズ法により、原料粉末として、表３に示す組成の合金粉末を得た。ここで、表３に示す合金粉末中のＳｉ，Ｂ，Ｃ及びＳｉ，Ｐ，Ｃの比率は、いずれも９：６５：２６とし、各発明例２５〜２７における２種類の合金粉末の混合比は１：１とした。また、原料粉末の平均粒径は４０〜５０μｍとした。次に、それぞれの合金粉末をアトライタにて偏平加工し、偏平状の合金粉末を得た。既述の方法によって測定した偏平状の合金粉末の厚さ及びアスペクト比の平均値を表３に示す。次に、合金粉末の表面に自己酸化被膜を形成するために、大気中にて１００℃、１時間の酸化処理を行った後に、アルゴン中で３５０〜４５０℃、３０分間の焼鈍処理を行った。表３には、既述の方法によって測定した相構造と保磁力測定器で測定した保磁力を示す。
【００６９】
次に、偏平加工を施した各合金粉末１００質量部、ポリブチラール樹脂（軟化点：約７０℃）２０質量部、酢酸ブチル５０質量部、並びに難燃剤として平均粒径が８μｍの水酸化マグネシウム５質量部および平均粒径が８μｍの赤リン１質量部を、遊星式の混合撹拌装置によって混合してスラリーを作製した（発明例２５）。また、偏平加工を施した各合金粉末１００質量部、ポリブチラール樹脂（軟化点：約７０℃）２０質量部、酢酸ブチル５０質量部、並びに難燃剤として平均粒径が６μｍの水酸化マグネシウム５質量部および平均粒径が６μｍの赤リン１質量部を、遊星式の混合撹拌装置によって混合してスラリーを作製した（発明例２６，２７）。次に、ドクターブレード法により、ポリエチレンテレフタラートのフィルム上で、これらのスラリーをシート状の成型体に加工した。その後、１０ＭＰａの圧力下で１００℃、１分間の加熱プレスを施すことで、厚さ０．０５ｍｍのノイズ抑制シートを作製した。
【００７０】
各発明例について、既述の方法で、透磁率特性、難燃剤の平均粒径、ノイズ抑制シートの密度、および表面抵抗を測定した。測定結果を表３に示す。
【００７１】
【表３】
2019054022.tif 000004
【００７２】
発明例２５〜２７では、難燃剤の平均粒径が８μｍ以下であり、ノイズ抑制シートの密度が２．７ｇ/ｃｍ３以上であったので、μ”分散の立ち上がりはじめで、μ”値が１以上となる周波数が１〜１０ＭＨｚの範囲内に存在し、１０ＧＨｚにおけるμ”値は２を超えていた。特に、難燃剤の平均粒径が６μｍ以下であった発明例２６，２７は、偏平粉末のシート面内の配向性が更に良好となり、１０ＧＨｚにおけるμ”値は５を超えていた。
【００７３】
（発明例２８〜３５）
水アトマイズ法により、原料粉末として、表４に示す組成の合金粉末を得た。ここで、表４に示す合金粉末中のＳｉ，Ｂ，Ｃ及びＳｉ，Ｐ，Ｃの比率は、いずれも９：６５：２６とした。また、原料粉末の平均粒径は４０〜５０μｍとした。次に、それぞれの合金粉末をアトライタにて偏平加工し、偏平状の合金粉末を得た。既述の方法によって測定した偏平状の合金粉末の厚さ及びアスペクト比の平均値を表４に示す。次に、チタン系のカップリング剤としてテトラノルマルブチルチタネートを２質量％添加したエタノール溶液中に合金粉末を投入し、３０分間の攪拌を行った。その後、合金粉末を溶液中から取り出し、大気中で１５０℃、８時間の条件で乾燥させ、合金粉末の表面に、平均粒径が１００ｎｍ以下の酸化物を形成した。その後、窒素中で３５０〜４５０℃、３０分間の焼鈍処理を行った。表４には、既述の方法によって測定した相構造と保磁力を示す。
【００７４】
次に、偏平加工を施した各合金粉末１００質量部、アクリルゴム２０質量部（軟化点：約７０℃）、トルエン５０質量部、並びに難燃剤として平均粒径が１０μｍのメラミンシアヌレート５質量部及び平均粒径が１０μｍの赤リン１質量部を、遊星式の混合撹拌装置によって混合してスラリーを作製した。次に、ドクターブレード法により、ポリエチレンテレフタラートのフィルム上で、このスラリーをシート状の成型体に加工した。その後、１０ＭＰａの圧力下で１００℃、１分間の加熱プレスを施すことで、表４に示す密度を有する厚さ０．０５ｍｍのノイズ抑制シートを作製した。
【００７５】
各発明例について、既述の方法で、透磁率特性、難燃剤の平均粒径、ノイズ抑制シートの密度、および表面抵抗を測定した。測定結果を表４に示す。
【００７６】
【表４】
2019054022.tif 000005
【００７７】
発明例２８〜３５では、難燃剤の平均粒径が１０μｍ以下であり、ノイズ抑制シートの密度が２．５ｇ/ｃｍ３以上であったので、μ”分散の立ち上がりはじめで、μ”値が１以上となる周波数が１〜１０ＭＨｚの範囲内に存在し、１０ＧＨｚにおけるμ”値は２を超えていた。Ｆｅに対するＡｌ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｗの置換量の合計が３原子％以下の発明例２８，３０，３２，３４は、１０ＧＨｚにおけるμ”値が２．５以上の高い値となっていた。これは、Ｆｅに対するＡｌ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｗの置換量の合計が３原子％を超えたものは、合金粉末の磁束密度が小さくなったことが考えられ、Ｆｅに対するＡｌ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｗの置換量の合計は３原子％以下とするのがより好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明によれば、ＭＨｚ〜ＧＨｚ帯の広帯域における磁界ノイズに対応することができ、かつ難燃性を併せ持つ近傍界用ノイズ抑制シートを得ることができる。