(57)【要約】【課題】  レトルトパウチのような変形しやすい性質を備えるワークのピッキング作業に特化したエンドエフェクタを提供することにある。【解決手段】  本実施形態に係るエンドエフェクタは、基部７２に対して、ワーク２００を吸着するための少なくとも一つの吸着パッド７８とワーク２００を均すための均し板７４とが取り付けられる。均し板７４にはその略中央部に吸着パッド７８が通過可能なサイズで開口部７４２があけられている。吸着パッド７８はその位置が開口部７４２に合わされ、その前端面が開口部７４２から若干突出し又は均し板７４の表面と実質的に段差がなく設けられる。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部に対して、ワークを吸着するための少なくとも一つの吸着パッドと前記ワークを均すための均し板とが取り付けられ、
前記均し板には前記吸着パッドが通過可能なサイズの開口部があけられ、
前記吸着パッドはその位置が前記開口部に合わされ、その前端面が前記開口部から若干突出し又は前記均し板の表面と実質的に段差がなく設けられることを特徴とするエンドエフェクタ。
【請求項２】
前記吸着パッドは、その吸着方向が前記均し板の表面に対して直交する向きに設けられることを特徴とする請求項１記載のエンドエフェクタ。
【請求項３】
前記均し板にはその面方向に分散して複数の孔があけられていることを特徴とする請求項１記載のエンドエフェクタ。
【請求項４】
前記均し板の前記ワークに接する側の表面は凸状に湾曲していることを特徴とする請求項１記載のエンドエフェクタ。
【請求項５】
前記均し板は緩衝部を介して前記基部に取り付けられることを特徴とする請求項１記載のエンドエフェクタ。
【請求項６】
前記吸着パッドはその前方に向かって円錐形に拡がる管構造を有し、後部においてベローズに連通されることを特徴とする請求項１記載のエンドエフェクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、ロボットアームに装備されるエンドエフェクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
ロボット装置は製造ライン、医療や介護などさまざまな現場での適用がなされており、今後更なる分野での適用が期待されている。近年では労働人口の低下予測を背景に作業員の近くで作業するいわゆる協働ロボットへの期待が高まってきている。協働ロボットの実用化により、これまであまり対象としていなかったワーク、例えばレトルトパウチがピッキングの対象とされる状況が増加するものと想定される。レトルトパウチは周知の通り柔軟性があり容易に変形しやすい特性を備えているので、真空吸着により把持するケースが多い。
【０００３】
しかしレトルトパウチは上記特性のため吸着パッドで吊り下げたときその内容物の自重により鉛直方向に引っ張られて変形する。この変形した状態でリリースされ、レトルトパウチの歪みが残存したままだと、後工程に支障が生じたり、また箱詰め作業では所定数量のレトルトパウチを適正に積み重ねることができなかったり、様々な問題が生じる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
目的は、レトルトパウチのような変形しやすい性質を備えるワークのピッキング作業に特化したエンドエフェクタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本実施形態に係るエンドエフェクタは、基部に対して、ワークを吸着するための少なくとも一つの吸着パッドと前記ワークを均すための均し板とが取り付けられ、前記均し板にはその略中央部に前記吸着パッドが通過可能なサイズで開口部があけられ、前記吸着パッドはその位置が前記開口部に合わされ、その前端面が前記開口部から若干突出し又は前記均し板の表面と実質的に段差なく設けられる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１は、本実施形態に係るエンドエフェクタを装備したロボットアーム機構を配置したロボットシステムの外観図である。
【図２】図２は、本実施形態に係るエンドエフェクタを装備したロボットアーム機構を示す外観斜視図である。
【図３】図３は、本実施形態に係るエンドエフェクタの上方斜視図である。
【図４】図４は、図３のエンドエフェクタの下方斜視図である。
【図５】図５は、図３のエンドエフェクタの正面図である。
【図６】図６は、図３のエンドエフェクタの側面図である。
【図７】図７は、図３のエンドエフェクタの底面図である。
【図８】図８は、本実施形態に係るエンドエフェクタによりピッキング作業の第１段階を表す図である。
【図９】図９は、本実施形態に係るエンドエフェクタによりピッキング作業の第２段階を表す図である。
【図１０】図１０は、本実施形態に係るエンドエフェクタによりピッキング作業の第３段階を表す図である。
【図１１】図１１は、本実施形態に係るエンドエフェクタによりピッキング作業の第４段階を表す図である。
【図１２】図１２は、本実施形態に係るエンドエフェクタによりピッキング作業の第５段階を表す図である。
【図１３】図１３は、本実施形態に係るエンドエフェクタによりピッキング作業の第６段階を表す図である。
【図１４】図１４は、本実施形態に係るエンドエフェクタによりピッキング作業の第７段階を表す図である。
【図１５】図１５は、本実施形態の第１変形例に係るエンドエフェクタの正面図である。
【図１６】図１６は、本実施形態の第２変形例に係るエンドエフェクタの正面図である。
【図１７】図１７は、図１６のエンドエフェクタの側面図である。
【図１８】図１８は、本実施形態の第３変形例に係るエンドエフェクタの底面図である。
【図１９】図１９は、本実施形態の第４変形例に係るエンドエフェクタの底面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照しながら本実施形態に係るエンドエフェクタを説明する。本実施形態に係るエンドエフェクタは、主にロボットアームの先端の典型的には手首部に装着され、使用される。以下の説明では、本実施形態に係るエンドエフェクタを装備した、直動伸縮関節を有する極座標形のロボットアーム機構を例に説明する。以下の説明において、略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
【０００８】
図１は、本実施形態に係るエンドエフェクタ７を装備したロボットアーム機構１００を配置したロボットシステムの外観図である。本実施形態に係るエンドエフェクタ７は、プラスチックフィルム若しくは金属箔又はこれらを多層に合わせたものを袋状に成形した気密性及び遮光性を有する容器に食品その他の収容物を収容してなる、いわゆるレトルトパウチ２００のような柔軟性の高い袋体のワーク２００（以下、単にワーク２００と省略する）を吸着により把持し、他の場所に移送するピッキング作業に特化したものである。このエンドエフェクタ７は、ピッキング作業を行うピッキングロボットのアームの先端の典型的には手首部に装着され、使用される。図１に示すように、ピッキングロボットは、工場内のベルトコンベア３００の近傍に配置され、そのベルトコンベア３００により、ピッキング位置に搬送されたワーク２００を本実施形態に係るエンドエフェクタ７で吸着により把持し、他の位置、例えば隣接する他のベルトコンベア４００上のリリース位置にリリースする。
【０００９】
図２は、図１のロボットアーム機構１００の外観斜視図である。ロボットアーム機構１００は、略円筒形状の支柱部２と、支柱部２の上部に載置される起伏部４と、起伏部４から伸延するアーム部５と、アーム部５の先端に取り付けられる手首部６を備える。手首部６の後述する第６回転軸ＲＡ６の回転部には図示しないアダプタが設けられている。このアダプタにエンドエフェクタ７（手先効果器）が取り付けられる。
【００１０】
ロボットアーム機構１００は、複数、ここでは６つの関節部Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３，Ｊ４，Ｊ５，Ｊ６を有する。第１、第２、第３関節部Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３は手首部６の位置を変化させる根元３軸と呼ばれ、第１、第２、第３関節部Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３の主要構成部分は支柱部２に収容される。第４、第５、第６関節部Ｊ４，Ｊ５，Ｊ６は主にエンドエフェクタ７（手先効果器）の姿勢を変化させる手首３軸と呼ばれ、第４、第５、第６関節部Ｊ４，Ｊ５，Ｊ６の主要構成部分は手首部６に収容される。
【００１１】
第１関節部Ｊ１は、鉛直方向に平行な回転軸ＲＡ１を備える旋回用のねじり回転関節部であり、第１関節部Ｊ１の回転によりアーム部５は左右に旋回回転される。第２関節部Ｊ２は、回転軸ＲＡ１に対して直交する回転軸ＲＡ２を備える起伏用のねじり回転関節部であり、第２関節部Ｊ２の回転によりアーム部５は上下に起伏する。第３関節部Ｊ３は、直動伸縮機構により提供される。直動伸縮機構は発明者らが新規に開発した構造を備えており、可動範囲の観点でいわゆる従来の直動関節とは明確に区別される。第３関節部Ｊ３のアーム部５は伸縮軸ＲＡ３に沿って伸縮する。このように、根元３軸は、旋回用ねじり関節部、起伏用ねじり関節部及び直動伸縮機構で構成される。つまり、図２に示すロボットアーム機構１００は極座標形である。
【００１２】
第４〜第６関節部Ｊ４〜Ｊ６はそれぞれ直交３軸の回転軸ＲＡ４〜ＲＡ６を備える。第４関節部Ｊ４は伸縮軸ＲＡ３と略一致する回転軸ＲＡ４を中心としたねじり回転関節部であり、この第４関節部Ｊ４の回転によりエンドエフェクタ７は揺動回転される。第５関節部Ｊ５は回転軸ＲＡ４に対して垂直に配置される回転軸ＲＡ５を中心とした曲げ回転関節部であり、この第５関節部Ｊ５の回転によりエンドエフェクタ７は前後に傾動回転される。第６関節部Ｊ６は回転軸ＲＡ４と回転軸ＲＡ５とに対して垂直に配置される回転軸ＲＡ６を中心としたねじり回転関節部であり、この第６関節部Ｊ６の回転によりエンドエフェクタ７は軸回転される。
【００１３】
このように、エンドエフェクタ７は、第１、第２、第３関節部Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３により任意位置に移動され、第４、第５、第６関節部Ｊ４，Ｊ５，Ｊ６により任意姿勢に配置される。特に第３関節部Ｊ３のアーム部５の伸縮距離の長さは、支柱部２の近接位置から遠隔位置までの広範囲の対象にエンドエフェクタ７を到達させることを可能にする。第３関節部Ｊ３はそれを構成する直動伸縮機構により実現される直線的な伸縮動作とその伸縮距離の長さとが従前の直動関節と異なる特徴的な点である。
【００１４】
（エンドエフェクタ７の構造）  
図３は、本実施形態に係るエンドエフェクタ７の上方斜視図である。図４は、図３のエンドエフェクタ７の下方斜視図である。図５は、図３のエンドエフェクタ７の正面図である。図６は、図３のエンドエフェクタ７の側面図である。図７は、図３のエンドエフェクタ７の底面図である。  
エンドエフェクタ７は、基部７２と、ワーク２００を吸着するための吸着パッド７８と、ワーク２００を均すための均し板７４とを備える。基部７２はブラケット７１を介してロボットアーム機構１００の手首部６に接続される。具体的には、基部７２は円柱体をなす。ブラケット７１はＵ字形状の長尺体をなす。ブラケットの先端裏面に基部７２の上端面が接続される。ブラケット７１の後端表面に手首部６のハンド取付部に接続するためのアダプタ板７０が取り付けられる。これにより、エンドエフェクタ７の基部７２はロボットアーム機構１００の手首部６からオフセットした位置に配置される。
【００１５】
ブラケット７１に対して均し板７４が接続される。均し板７４は金属性又は硬質樹脂製の矩形プレートである。均し板７４には、その略中央部に吸着パッド７８が通過可能なサイズで開口部７４２があけられている。均し板７４の開口部７４２の周囲には、排気又は吸気のために複数の孔７４１があけられている。均し板７４の開口部７４２の中心位置は基部７２の中心軸上に配置される。均し板７４は、一対の支持板７３ａ，７３ｂを介してブラケット７１に接続される。一対の支持板７３ａ，７３ｂは各々が同サイズの矩形平板である。支持板７３ａは、その上端の内側面がブラケット７１の先端側の右側面に接続され、下端が均し板７４の右側縁に接続される。同様に、支持板７３ｂは、その上端の内側面がブラケット７１の先端側の左側面に接続され、下端が均し板７４の左側縁に接続される。一対の支持板７３ａ，７３ｂのそれぞれの下方部分は互いに外側に向かって、略Ｚ形状に曲げられている。
【００１６】
基部７２に対して吸着パッド７８が接続される。具体的には、基部７２の下端面に、円筒体のエア配管７６の上端面が接続される。エア配管７６は、その円筒軸が基部７２の中心軸に一致する位置に配置される。エア配管７６の下端には４段のベローズ７７が接続される。ベローズ７７の下端には吸着パッド７８が接続される。吸着パッド７８は、前方に向かって円錐形に拡がったゴムやシリコン等の弾性素材の管構造を有する。ベローズ７７の中空部分はエアが導通し、吸着パッド７８に連通する。このように構成された吸着パッド７８は、均し板７４の開口部７４２の位置に整合し、その吸着方向及びベローズ７７の伸縮方向は均し板７４の表面に対して直交する。吸着パッド７８の厚み、ベローズ７７の長さ、及びエア配管７６の長さは、吸着パッド７８の前端面（吸着面）が開口部７４２から若干突出するように、又は均し板７４の表面と実質的に段差がないように既定される。なお、均し板７４の表面とは、均し板７４のワーク２００に対峙する側の面、換言すると基部７２に対峙する側の反対側の面を表す。
【００１７】
基部７２の前面にはエアチューブを取り付けるためのチューブ取付孔７５が設けられる。チューブ取付孔７５にはエアチューブの一端が接続され、エアチューブの他端はエアポンプに接続される。チューブ取付孔７５は基部７２の内部中空に連通する。基部７２の内部中空は、エア配管７６、ベローズ７７を介して吸着パッド７８の内部中空に連通する。これにより、吸着パッド７８は外部のエアポンプに接続される。
【００１８】
吸着パッド７８の吸着面がワーク２００に密着した状態でエアポンプが駆動すると、ワーク２００表面と吸着パッド７８とで規定される気室内の空気が吸引され、真空状態となりワーク２００に対して負圧が働く。その結果、ワーク２００は吸着パッド７８に吸着され把持される。エアポンプの駆動が停止されると、吸着パッド７８の真空状態が解除され、吸着パッド７８によるワーク２００の吸着が解除され、ワーク２００がリリースされる。
【００１９】
（エンドエフェクタ７の効果説明）  
図８乃至図１４は、本実施形態に係るエンドエフェクタ７によるピッキング作業の第１乃至第７段階をそれぞれ表している。ワーク２００（レトルトパウチ２００）は、四方側部がシールされた袋体である。レトルトパウチ２００は、その袋体の底面がベルトコンベア３００の上面に載置され、袋体の表面が上に向いた状態で搬送される。
【００２０】
図８に示すように、レトルトパウチ２００がエンドエフェクタ７によるピッキング位置に搬送されると、エンドエフェクタ７は、ピッキング位置の上方に移動された後、レトルトパウチ２００の表面に向かって降下される。ピッキング位置は、ベルトコンベア３００の載置面の上方近傍、例えばベルトコンベア３００の載置面からレトルトパウチ２００の厚みよりも短い距離を隔てた位置に設定されている。
【００２１】
図９に示すように、ピッキング位置に降下されたエンドエフェクタ７の吸着パッド７８の吸着面はレトルトパウチ２００の表面に押し付けられる。吸着パッド７８の吸着面がレトルトパウチ２００の表面に押し付けられた状態で、外部のエアポンプが駆動し、吸着パッド７８に負圧が供給されることで、レトルトパウチ２００の表面がエンドエフェクタ７の吸着パッド７８に吸着される。
【００２２】
図１０に示すように、エンドエフェクタ７の吸着パッド７８にレトルトパウチ２００の表面が吸着されると、エンドエフェクタ７は上昇され、エンドエフェクタ７の上昇とともに、その吸着パッド７８に吸着されたレトルトパウチ２００もベルトコンベア３００の載置面から離れる。吸着パッド７８に吸着されたレトルトパウチ２００は、その自重により鉛直方向に垂れ下がり、雫形に変形する。
【００２３】
図１１に示すように、レトルトパウチ２００を吸着したエンドエフェクタ７が、他のベルトコンベア４００の載置面の上方のリリース位置に移動されると、外部のエアポンプが停止する。それにより吸着パッド７８によるレトルトパウチ２００の吸着が解除され、レトルトパウチ２００がリリースされる。
【００２４】
図１２に示すように、リリースされたレトルトパウチ２００はリリース位置の下方のベルトコンベア４００の載置面に載置される。エンドエフェクタ７は、ワーク２００をリリースした後、リリースした姿勢を維持した状態で、均し位置に向かって降下される。均し位置は、リリース位置の下方であって、ベルトコンベア４００の載置面の上方近傍、例えばベルトコンベア４００の載置面からレトルトパウチ２００の厚みよりも若干短い距離を隔てた位置に設定されている。
【００２５】
図１３に示すように、均し位置まで降下されたエンドエフェクタ７の均し板７４及び吸着パッド７８により、レトルトパウチ２００の表面が均される。
【００２６】
図１４に示すように、レトルトパウチ２００の表面が均されると、エンドエフェクタ７は上昇され、これによりエンドエフェクタ７によるレトルトパウチ２００のピッキング作業が完了される。エンドエフェクタ７により表面が均されたレトルトパウチ２００はベルトコンベア４００により搬送される。図８乃至図１４で説明したエンドエフェクタ７によるピッキング作業は、レトルトパウチ２００がリリース位置に搬送されるたびに繰り返し実行される。
【００２７】
以上説明した本実施形態に係るエンドエフェクタ７によれば、図９に示すように、均し板７４でレトルトパウチ２００の表面のシワが伸ばされた状態で、吸着パッド７８はレトルトパウチ２００の表面を吸着することができる。レトルトパウチ２００の表面のシワは、吸着パッド７８とレトルトパウチ２００の表面との間に隙間を生じさせる。吸着パッド７８とレトルトパウチ２００表面との間に隙間が生じると、吸着パッド７８の真空状態が解除されてしまい、レトルトパウチ２００を吸着することができない。このシワが均し板７４により伸ばされるため、吸着パッド７８によるレトルトパウチ２００の吸着の成功率を向上させることができる。
【００２８】
図１１に示すように、吸着パッド７８に吸着されたレトルトパウチ２００は、鉛直方向に垂れ下がり、雫形に変形した状態でリリースされる。図１２に示すように、ベルトコンベア４００の載置面にリリースされたレトルトパウチ２００は、ベルトコンベア４００の載置面に落下したときの衝撃等によって、その形状がピッキング前の形状にある程度戻るが、完全には戻らない。変形した状態のレトルトパウチ２００が後工程に搬送されてしまうと、その後工程の作業の遅延を生じさせかねない。本実施形態に係るエンドエフェクタ７によれば、図１３に示すように、均し板７４を用いてベルトコンベア４００の載置面にリリースされたレトルトパウチ２００の表面を均すことができ、リリースされたレトルトパウチ２００の形をピッキング前の形に復元し、さらに、その表面の歪み、変形、シワの発生を抑えることができる。
【００２９】
しかも、本実施形態に係るエンドエフェクタ７によれば、上記の均し作業をピッキング作業に含めることによるタイムロスを極小化することができる。これは以下の理由による。すなわち、均し板７４の表面を、吸着パッド７８の吸着面と同じ向きで配置することにより、レトルトパウチ２００をリリースしてからベルトコンベア４００上に落下したレトルトパウチ２００を均す作業に移行する際のエンドエフェクタ７の姿勢の変化が不要とすることができる。また、吸着パッド７８を均し板７４の配置するのではなく、均し板７４の内側に配置することにより、レトルトパウチ２００をリリースしてからベルトコンベア４００に落下したレトルトパウチ２００を均す作業に移行する際のエンドエフェクタ７の移動を不要とすることができる。つまり、レトルトパウチ２００をリリースした姿勢の状態で、そのリリース位置から降下させるだけで、エンドエフェクタ７は、レトルトパウチ２００の表面の均し作業を行うことができる。
【００３０】
また、吸着パッド７８をベローズ７７に接続することで、吸着パッド７８をレトルトパウチ２００の表面に押し付けたときに、吸着パッド７８がレトルトパウチ２００の表面から受ける力を、ベローズ７７が縮むことで吸収することができる。これにより、吸着パッド７８の吸着面を均し板７４の開口部７４２から突出させ、吸着パッド７８を均し部材としても機能させることができる。均し板７４の表面に対して吸着パッド７８を突出させることで、吸着パッド７８の吸着面が均し板７４の表面に対して段差のない状態で配置された場合に比べて、レトルトパウチ２００の吸着成功率を向上させる。また、均し板７４の表面に対して吸着パッド７８を突出させることで、エンドエフェクタ７を均し位置まで降下させたときに、最初に、吸着パッド７８をレトルトパウチ２００の中央の大きく突出した部分に接触させることができる。吸着パッド７８により、レトルトパウチ２００の中央の突出部分が周囲に分散され、レトルトパウチ２００の表面がある程度平坦にされた後に、均し板７４がレトルトパウチ２００の表面を均す。このような手順で均すことで、レトルトパウチ２００の表面を均等に伸ばすことができ、レトルトパウチ２００の表面の歪み、変形、シワを抑えることができる。
【００３１】
なお、図８乃至図１４で表したピッキング作業では、レトルトパウチ２００をリリースする作業とレトルトパウチ２００の表面を均す作業とは別工程で行われる。しかしながら、本実施形態に係るエンドエフェクタ７の効果は、均し作業がリリース作業と同時に行われても発揮される。レトルトパウチ２００を吸着したエンドエフェクタ７が均し位置まで移動された段階で、レトルトパウチ２００をリリースすることで、レトルトパウチ２００はベルトコンベア４００に載置されるとともに、その表面が均し板７４により均される。
【００３２】
また、加熱調理された食品を封入した直後のレトルトパウチ２００を冷却するために冷水に浸す事があり、そのままピッキング位置に搬送されてきたレトルトパウチ２００にはその表面に水滴が付着している。この場合、エンドエフェクタ７をレトルトパウチ２００の上方で一時停止させ、その位置で吸着パッド７８からエアを排気させることによりレトルトパウチ２００の表面に付着した水滴を外方に吹き飛ばすことができる。そのような用途にも活用することができる。
【００３３】
なお、本実施形態に係るエンドエフェクタ７の構造はこれに限定されない。  
図１５は、本実施形態の第１変形例に係るエンドエフェクタ７の正面図である。図１５に示すように、均し板７４は、緩衝部７９を介して基部７２に取り付けられてもよい。具体的には、均し板７４の左右の縁と一対の支持板７３ａ，７３ｂとの間にそれぞれ緩衝バネ７９が介在される。緩衝バネ７９は、均す対象のワーク２００の厚みの変化を許容する。これにより、ワーク２００の表面を均す際に、均し板７４がワーク２００から受ける力によって、エンドエフェクタ７が損傷するリスクを低減することができる。また、均し位置を変化させることなく、厚みの異なる複数種類のワーク２００に対応することができる。さらに、レトルトパウチ２００の表面を均し板７４で押圧することを可能にし、比較的硬い収容物が収容されてなるレトルトパウチ２００の歪み、変形、シワを抑えることができる。
【００３４】
図１６は、本実施形態の第２変形例に係るエンドエフェクタ７の正面図である。図１７は、図１６のエンドエフェクタ７の側面図である。図１６、図１７に示すように、均し板７４のレトルトパウチ２００に対峙する側の表面は凸状に湾曲していてもよい。この均し板７４の湾曲面を利用することで、ワーク２００を均す効果を向上させることができる。例えば、均し板７４をレトルトパウチ２００に接触させた状態で、エンドエフェクタ７を揺動させることで、又は均し板７４を水平に移動させることでレトルトパウチ２００の表面を均すことができる。
【００３５】
また、本実施形態に係るエンドエフェクタ７は吸着パッド７８の数を限定しない。図１８は、本実施形態の第３変形例に係るエンドエフェクタ７の底面図である。図１９は、本実施形態の第４変形例に係るエンドエフェクタの底面図である。図１８に示すように、エンドエフェクタ７は、複数、ここでは４つの吸着パッド７８ａ，７８ｂ、７８ｃ、７８ｄを備えてもよい。このとき、均し板７４には、複数の吸着パッド７８ａ，７８ｂ、７８ｃ、７８ｄにそれぞれ対応する複数の開口部７４２ａ，７４２ｂ、７４２ｃ、７４２ｄがあけられている。図１８に示すエンドエフェクタ７では、均し板７４には、吸着パッド７８の数量と同一の数量の開口部７４２があけられているが、開口部７４２の数量が吸着パッド７８の数量よりも少なくてもよい。図１９に示すように、均し板７４に単一の大きい開口部７４２があけられ、その開口範囲に複数、ここでは３つの吸着パッド７８ａ，７８ｂ、７８ｃが稠密に配置されていてもよい。
【００３６】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００３７】
７…エンドエフェクタ、７０…アダプタ板、７１…ブラケット、７２…基部、７３ａ、７３ｂ…支持板、７４…均し板、７５…チューブ取付孔、７６…エア配管、７７…ベローズ、７８…吸着パッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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