(57)【要約】      （修正有）【課題】狭ピッチ端子列を含む接続端子の先端形状加工製造と端子接触の確実性を含む電気的検査を連続して実施可能としたことにより、短時間で行える多連電気信号接続装置の製造検査装置を提供する。【解決手段】多連電気信号接続装置１を固定し移動可能な接続装置固定台１０１と、ダイとパンチを備え移動可能な接続端子の曲げ加工ユニットと、接続端子群又は延長配線部を備えた検査治具基板１１１と、ばね変形部１４を検査治具基板接続端子１１２上で押し付け固定可能な端子固定ユニット１１６と、移動可能な第１プローブ１１４、第２プローブ１１５と、多連電気信号接続装置１又は検査治具基板１１１に所定の測定信号を与える測定信号供給源１５１と、測定信号によって生ずる電気信号を検出し検査判定を行う信号検出判定部１５２と、接続装置固定台１０１及び曲げ加工ユニット並びに第１及び第２プローブ１１４、１１５を駆動する駆動制御部１５３を備える。【選択図】図２
2019152639.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板上に、一方に複数の第１の接続端子と他方に複数の第２の接続端子と、前記第１の接続端子と前記第２の接続端子との間を電気的に接続する配線パターンを有し、前記第１又は第２の一部又は全ての接続端子の先端に、少なくとも基板面（ＸＹ平面）に垂直方向（Ｚ方向）に弾性変形を生じるばね変形部を有する多連電気信号接続装置の製造検査装置であって、
前記多連電気信号接続装置を固定しＸ、Ｙ、Ｚ方向又は回転方向に移動可能な接続装置固定台と、
１つ又は複数の前記第１又は第２の接続端子の先端部を挿入し、曲げ加工のための導電性を有するダイとパンチを備えたＸ、Ｙ、Ｚ方向又は回転方向に移動可能な曲げ加工ユニットと、
前記第１又は第２の接続端子の前記ばね変形部のＸＹ平面における各々の配置間隔が同一である接続端子群及び／又は延長配線部を備えた検査治具基板と、
前記ばね変形部を前記検査治具基板の接続端子又は延長配線部上で押し付け固定可能な端子固定ユニットと、
前記第１又は第２の接続端子の一方の接続端子、又は前記検査治具基板の一方の接続端子群及び／又は延長配線部に配置されるＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動可能な第１プローブと、
前記第１又は第２の接続端子の他方の接続端子、又は前記検査治具基板の他方の接続端子群及び／又は延長配線部に配置されるＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動可能な第２プローブと、
前記第１又は第２プローブを介して前記多連電気信号接続装置又は前記検査治具基板に所定の測定信号を与える測定信号供給源と、
前記測定信号によって前記多連電気信号接続装置又は前記検査治具基板に生ずる電気信号を検出し、検出された信号に基づいて前記多連電気信号接続装置の検査判定を行う信号検出判定部と、
前記接続装置固定台及び前記曲げ加工ユニット、並びに前記第１及び第２プローブを駆動する駆動制御部と
を備えていることを特徴とする多連電気信号接続装置の製造検査装置
【請求項２】
前記接続装置固定台又は前記曲げ加工ユニットをＸ、Ｙ、Ｚ方向又は回転方向に移動し、１つ又は複数の前記第１又は第２の接続端子の先端部を前記曲げ加工ユニットのダイとパンチとの間の所定の位置に挿入して前記接続端子の曲げ加工を連続して実施し、前記多連電気信号接続装置の曲げ加工を完了する第１ステップと、
前記第１プローブを前記第１又は第２の接続端子の一方の接続端子に接触させると共に、前記第１又は第２の接続端子の他方の接続端子を前記曲げ加工ユニットのダイ又はパンチに接触させ、前記測定信号供給源から前記第１プローブを介して前記多連電気信号接続装置に所定の測定信号を与えると共に、前記多連電気信号接続装置を介して前記曲げ加工ユニットのダイ又はパンチに生ずる電気信号を検出し、前記信号検出判定部により前記多連電気信号接続装置の配線パターンの検査判定を行う第２ステップと、
前記検査治具基板及び前記端子固定ユニットを取付け、前記第１又は第２の接続端子のばね変形部と前記検査治具基板の接続端子又は延長配線部上とを相対的に押し付け固定する第３ステップと、
前記第１プローブを前記検査治具基板の一方の接続端子群又は延長配線部に接触させると共に、前記第２プローブを前記検査治具基板の他方の接続端子群又は延長配線部に接触させ、前記測定信号供給源から前記第１又は第２プローブを介して前記検査治具基板に所定の測定信号を与えると共に、前記測定信号によって前記多連電気信号接続装置を介して他方の前記検査治具基板に生ずる電気信号を検出し、前記信号検出判定部により前記多連電気信号接続装置の検査判定を行う第４ステップにより、
前記多連電気信号接続装置の製造と検査を連続して実施することを特徴とする請求項１記載の多連電気信号接続装置の製造検査装置
【請求項３】
絶縁基板上に、一方に複数の第１の接続端子と他方に複数の第２の接続端子と、前記第１の接続端子と前記第２の接続端子との間を電気的に接続する配線パターンを有し、前記第１又は第２の一部又は全ての接続端子の先端に、少なくとも基板面（ＸＹ平面）に垂直方向（Ｚ方向）に弾性変形を生じるばね変形部を有する多連電気信号接続装置の製造検査装置であって、
前記多連電気信号接続装置を固定しＸ、Ｙ、Ｚ方向又は回転方向に移動可能な接続装置固定台と、
１つ又は複数の前記第１又は第２の接続端子の先端部を挿入し、曲げ加工のための導電性を有するダイとパンチを備えたＸ、Ｙ、Ｚ方向又は回転方向に移動可能な曲げ加工ユニットと、
前記第１の接続端子の前記ばね変形部のＸＹ平面における配置間隔が同一である端子群を有する被検査半導体を固定するＸ、Ｙ、Ｚ方向又は回転方向に移動可能な半導体固定台と、
前記第２の接続端子の前記ばね変形部のＸＹ平面における配置間隔が同一である接続端子群及び／又は延長配線部を備えた検査治具基板と、
前記第１の接続端子の先端を、前記被検査半導体の端子群に相対する向きに整列固定する位置変換固定ユニットと、
前記第２の接続端子のばね変形部を、前記検査治具基板の接続端子又は延長配線部上で押し付け固定可能な端子固定ユニットと、
前記第１又は第２の接続端子の一方の接続端子、又は前記検査治具基板の一方の接続端子群及び／又は延長配線部に配置されるＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動可能な第１プローブと、
前記第１又は第２の接続端子の他方の接続端子、又は前記検査治具基板の他方の接続端子群及び／又は延長配線部に配置されるＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動可能な第２プローブと、
前記第１又は第２プローブを介して前記多連電気信号接続装置又は前記検査治具基板に所定の測定信号を与える測定信号供給源と、
前記測定信号によって前記検査治具基板及び／又は前記多連電気信号接続装置を介して前記多連電気信号接続装置又は前記被検査半導体に生ずる電気信号を検出し、検出された信号に基づいて前記多連電気信号接続装置又は前記被検査半導体の検査判定を行う信号検出判定部と、
前記半導体固定台及び前記接続装置固定台及び前記曲げ加工ユニット、並びに前記第１及び第２プローブを駆動する駆動制御部と
を備えていることを特徴とする多連電気信号接続装置の製造検査装置
【請求項４】
前記接続装置固定台又は前記曲げ加工ユニットをＸ、Ｙ、Ｚ方向又は回転方向に移動し、１つ又は複数の前記第１又は第２の接続端子の先端部を前記曲げ加工ユニットのダイとパンチとの間の所定の位置に挿入して前記接続端子の曲げ加工を連続して実施し、前記多連電気信号接続装置の曲げ加工を完了する第１ステップと、
前記第１プローブを前記第１又は第２の接続端子の一方の接続端子に接触させると共に、前記第１又は第２の接続端子の他方の接続端子を前記曲げ加工ユニットのダイ又はパンチに接触させ、前記測定信号供給源から前記第１プローブを介して前記多連電気信号接続装置に所定の測定信号を与えると共に、前記多連電気信号接続装置を介して前記曲げ加工ユニットのダイ又はパンチに生ずる電気信号を検出し、前記信号検出判定部により前記多連電気信号接続装置の配線パターンの検査判定を行う第２ステップと、
前記位置変換固定ユニットを取付け、前記第１の接続端子のばね変形部を前記被検査半導体の端子群に相対する向きに整列固定し、前記検査治具基板及び前記端子固定ユニットを取付け、前記第２の接続端子のばね変形部と前記検査治具基板の接続端子又は延長配線部上とを相対的に押し付け固定する第３ステップと、
前記第１の接続端子と所定の相対する前記被検査半導体の端子群とを接触させると共に、前記第１及び第２プローブを前記検査治具基板の接続端子群又は延長配線部に接触させ、前記測定信号供給源から前記第１又は第２プローブを介して前記検査治具基板に所定の測定信号を与えると共に、前記測定信号によって前記検査治具基板及び前記多連電気信号接続装置を介して被検査半導体に生ずる電気信号を検出し、前記信号検出判定部により前記被検査半導体の検査判定を行う第４ステップにより、
前記多連電気信号接続装置の製造と被検査半導体の検査を連続して実施することを特徴とする請求項３記載の多連電気信号接続装置の製造検査装置
【請求項５】
前記検査治具基板が、多連電気信号接続装置の接続対象となる回路基板と概略同一の形状であることを特徴とする請求項１乃至４記載の多連電気信号接続装置の製造検査装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、特に狭ピッチ配列を有する多連の相互配線接続に使用される電気信号接続装置の製造検査装置及びその製造方法と検査方法で、電気信号接続装置の端子先端形状加工の製造及び電気信号接続装置又は電気信号接続装置を介した電子機器等の電気的検査に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  近年、電子機器や電子部品の進展には著しいものがあり、その高機能化・小型軽量化・大容量化に伴って単位面積当たりの集積度が向上している。そのため、電子機器または電子部品相互間で授受される電気信号の本数は増加し、接続端子部及び配線パターン共に微小空間での設置を余儀なくされている。【０００３】  本発明者は、狭ピッチ化かつ多ピン化傾向にある電子機器相互又は電子部品相互の配線接続において、接続端子部に設置したばね構造により半田付け等の金属溶融接続を行うこと無く、堅固でかつ取り外し可能な配線接続を最小限の実装面積にて可能とし、さらに、従来のコネクタでは実現不可能な極小ピッチ（例えば３０μｍ以下）を有する端子配列からのピッチ変換を高精度に実現可能とした、安価で接続工程の容易な多連電気信号接続装置及び接続方法を提案した。【０００４】  図５において本発明者が既に提案した本発明の多連電気信号接続装置の製造検査装置の対象となる前記多連電気信号接続装置の構造について説明する。【０００５】  図５は、前記多連電気信号接続装置の基本構成を示す斜視図である。絶縁基板１０上に、一方に複数の第１の接続端子１１と他方に複数の第２の接続端子１２と、前記第１の接続端子１１と前記第２の接続端子１２との間を電気的に接続する配線パターン１３を有し、前記第１の接続端子１１又は前記第２の接続端子１２の一部又は全ての接続端子の先端にそれぞれ、少なくとも基板面（ＸＹ平面）に垂直方向（Ｚ方向）に弾性変形を生じるばね変形部１４を有するものである。前記第１の接続端子１１のばね変形部１４−１の範囲において、少なくともＺ方向に対する可動機能を有する固定板１５−１を設置し、前記第２の接続端子１２のばね変形部１４−２の範囲において、少なくともＺ方向に対する可動機能を有する固定板１５−２を設置した【０００６】  ２１は前記第１の接続端子１１の接続対象となる電子機器又は電子部品（図示せず）の接続端子Ａで、２２は前記第２の接続端子１２の接続対象となる電子機器又は電子部品（図示せず）の接続端子Ｂを示す。前記接続端子Ｂ２２上には、銅や半田で形成されたバンプ１６が設置されている例を示す。【０００７】  前記第１の接続端子１１と接続端子Ａ２１とは、前記ばね変形部１４−１を含む前記第１の接続端子１１のＸＹ平面における各々の配置間隔Ｐ１が、前記接続端子Ａ２１のＸＹ平面における配置間隔Ｐａと予め同一となるべく設置されている。同様に、前記ばね変形部１４−２を含む前記第２の接続端子１２のＸＹ平面における各々の配置間隔Ｐ２が、前記接続端子Ｂ２２のＸＹ平面における配置間隔Ｐｂと予め同一となるべく設置されている。【０００８】  前記第１の接続端子１１の前記ばね変形部１４−１を接続対象となる前記接続端子Ａ２１上で、前記固定板１５−１にてＺ方向下方に押し付けることにより、前記ばね変形部のばね力により固定される。同様に、前記第２の接続端子１２の前記ばね変形部１４−２を接続対象となる前記接続端子Ｂ２２上で、前記固定板１５−２にてＺ方向下方に押し付けることにより、前記ばね変形部のばね力により固定される。また、前記第１の接続端子１１と前記接続端子Ａ２１、又は、前記第２の接続端子１２と前記接��端子Ｂ２２との相互の端子の位置合わせは、各々の基板上に設置された基準穴１８により高精度に実施できる。【０００９】  図５の例では、前記第１の接続端子の配列間隔Ｐ１と前記第２の接続端子の配列間隔Ｐ２が異なる例を示した。前記第１の接続端子１１の接続対象となる前記接続端子Ａ２１は、例えばＩＣ電極端子に見られるような非常に狭ピッチ（例えば数十μｍ）の端子配列の例であり、前記第２の接続端子１２の接続対象となる前記接続端子Ｂ２２は、例えばＩＣ電極端子を通じて検査信号を授受する試験装置等の接続端子で比較的大きな配列間隔（例えば数百μｍ〜数ｍｍ）の例である。前記配線パターン１３は、前記接続端子Ａ２１と前記接続端子Ｂ２２との間を配線接続するために、前記第１の接続端子１１の配列間隔Ｐ１と前記第２の接続端子１２の配列間隔Ｐ２のピッチ変換を行うため、前記配線パターン１３の一部又は全部の形状が連続した曲線１７（例えばスプライン曲線）で構成されている。【００１０】  以上説明した構造の前記多連電気信号接続装置では、接続対象となる電子機器等の接続端子とは半田付けに依らず電気信号接続装置側の接続端子に設けたばね構造による押し付け力により固定される。従って、全ての接続端子のばね構造を構成するための曲げ加工を必要とする。さらに、出荷検査の際には、電気信号接続装置の配線パターンの導通・非導通等の確認検査だけでなく、電気信号接続装置の接続端子による接触の確実性も保証しなければならない。【００１１】一般的な薄板金属の曲げ加工方法としては、Ｖ溝等を設けた曲げ形状を決定するダイと、薄板金属の対象となる位置に突き当ててダイに押込むためのパンチとの組み合わせにより行われる。また、量産工程では一部又は全ての端子に対応するダイの金型化による一括製造も行われている。【００１２】  また、一般的に基板等における配線パターンの導通・非導通等の確認検査は、例えば、特開２０１７−２６４０７号公報で開示されているように、基板の一方の面に多連のプローブコンタクトを配列し、他方の面には可動型のプローブを被測定パッドに接触させ、配線パターンの導通・非導通等の検査を行うものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２０１７−２６４０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】  しかしながら、接続対象となる電子機器または電子部品は多機種に亘るため端子形状や端子ピッチが異なり、さらに接続端子数が数千個又はそれ以上の数に及ぶ傾向があるため、各々の機種に対応して接続端子に個別に曲げ加工を実施した場合の位置合わせ等の組立時間や、金型を作製した場合のコストの増大につながるという問題が生じてくる。【００１５】  また、特開２０１７−２６４０７号公報で開示されている検査方法は、接続端子が基板上のパッドとして固定化された場合に有効であり、接続端子に曲げ加工を施しばね力により固定する場合、電気信号接続装置の接続端子との接触の確実性を含む検査を行うことが不可能である。【００１６】  一般的に、狭ピッチ多連配列接続を要する接続装置における製造及び検査工程の問題点として、狭ピッチ化及び多ピン化になるほど、配線パターン及び接続端子間の導通検査等の検査工程の高コスト化及び長納期化の問題が生じてくる。【００１７】  本発明は、上記狭ピッチ多連電気信号接続の端子先端形状の製造方法及び検査方法における問題点を解決するためになされたもので、狭ピッチ端子列を含む接続端子先端の形状加工製造と接触端子の確実性を含む電気的検査を連続して実施可能としたことにより、短時間で行える多連電気信号接続装置の製造検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１８】  本発明は、絶縁基板上に、一方に複数の第１の接続端子と他方に複数の第２の接続端子と、前記第１と第２の接続端子との間を電気的に接続する配線パターンを有し、前記第１又は第２の接続端子の先端に、少なくとも基板面に垂直方向に弾性変形を生じるばね変形部を有する多連電気信号接続装置に対し、前記多連電気信号接続装置を固定しＸ、Ｙ、Ｚ方向又は回転方向に移動可能な接続装置固定台と、前記第１又は第２の接続端子の先端部を挿入し、曲げ加工のためのダイとパンチを備えたＸ、Ｙ、Ｚ方向又は回転方向に移動可能な曲げ加工ユニットと、前記第１又は第２の接続端子の前記ばね変形部のＸＹ平面における各々の配置間隔が同一である接続端子群及び／又は延長配線部を備えた検査治具基板と、前記ばね変形部を前記検査治具基板の接続端子又は延長配線部上で押し付け固定可能な端子固定ユニットと、前記第１又は第２の接続端子の一方の接続端子、又は前記検査治具基板の一方の接続端子群及び／又は延長配線部に配置されるＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動可能な第１プローブと、前記第１又は第２の接続端子の他方の接続端子、又は前記検査治具基板の他方の接続端子群及び／又は延長配線部に配置されるＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動可能な第２プローブと、前記第１又は第２プローブを介して前記多連電気信号接続装置又は前記検査治具基板に所定の測定信号を与える測定信号供給源と、前記測定信号によって前記多連電気信号接続装置又は前記検査治具基板に生ずる電気信号を検出し、前記多連電気信号接続装置の検査判定を行う信号検出判定部と、前記接続装置固定台及び前記曲げ加工ユニット、並びに前記第１及び第２プローブを駆動する駆動制御部を備える手段を有するため、接続端子の先端形状加工製造と接触端子の確実性を含む電気的検査を同一の設備で実施することができ、短時間の端子先端形状加工製造及び電気的検査が可能となる。【００１９】  また、前記接続装置固定台又は前記曲げ加工ユニットをＸ、Ｙ、Ｚ方向又は回転方向に移動し、１つ又は複数の前記第１又は第２の接続端子の先端部を前記曲げ加工ユニットのダイとパンチとの間の所定の位置に挿入して前記接続端子の曲げ加工を連続して実施し、前記多連電気信号接続装置の曲げ加工を完了する第１ステップと、前記第１プローブを前記第１又は第２の接続端子の一方の接続端子に接触させると共に、前記第１又は第２の接続端子の他方の接続端子を前記曲げ加工ユニットのダイ又はパンチに接触させ、前記測定信号供給源から前記第１プローブを介して前記多連電気信号接続装置に所定の測定信号を与えると共に、前記多連電気信号接続装置を介して前記曲げ加工ユニットのダイ又はパンチに生ずる電気信号を検出し、前記信号検出判定部により前記多連電気信号接続装置の配線パターンの検査判定を行う第２ステップと、前記検査治具基板及び前記端子固定ユニットを取付け、前記第１又は第２の接続端子のばね変形部と前記検査治具基板の接続端子又は延長配線部上とを相対的に押し付け固定する第３ステップと、前記第１プローブを前記検査治具基板の一方の接続端子群又は延長配線部に接触させると共に、前記第２プローブを前記検査治具基板の他方の接続端子群又は延長配線部に接触させ、前記測定信号供��源から前記第１又は第２プローブを介して前記検査治具基板に所定の測定信号を与えると共に、前記測定信号によって前記多連電気信号接続装置を介して他方の前記検査治具基板に生ずる電気信号を検出し、前記信号検出判定部により前記多連電気信号接続装置の検査判定を行う第４ステップの手段を有するため、接続端子の先端形状加工製造と接触端子の確実性を含む電気的検査を同一の設備で、かつ同一工程で実施することができ、短時間の端子先端形状加工製造及び電気的検査が可能となる。【００２０】  さらに、前記第１の接続端子の先端を、前記被検査半導体の端子群に相対する向きに整列固定する位置変換固定ユニットを有する手段により、プローブカート等の検査装置としても利用できるため、短時間で多連電気信号接続装置の製造及び被検査半導体の電気的検査が可能となる。
【発明の効果】
【００２１】  本発明の多連電気信号接続装置の製造検査装置によれば、接続端子の先端形状加工製造と接触端子の確実性を含む電気的検査を連続して実施することができ、短時間の製造及び検査が可能となると共に、プローブカード等の検査装置としても利用でき、短時間で多連電気信号接続装置の製造及び被検査機器の電気的検査が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る多連電気信号接続装置の製造検査装置における前半工程を説明する図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る多連電気信号接続装置の製造検査装置における後半工程を説明する図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る多連電気信号接続装置の製造検査装置の製造検査手順を説明する図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る多連電気信号接続装置の製造検査装置における半導体検査工程を説明する図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る多連電気信号接続装置の製造検査装置の製造検査手順を説明する図である。
【図６】本発明の実施形態に係る多連電気信号接続装置の製造検査装置の対象となる多連電気信号接続装置の構造を示す斜視図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】  次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。【００２４】  図１は、本発明の第１の実施形態に係る多連電気信号接続装置製造検査装置を説明する図である。図１（ａ）は、多連電気信号接続装置製造検査装置１００において、前記第１の接続端子１１又は前記第２の接続端子１２の先端部のばね形状を形成する曲げ加工を実施するための構成を示すものである。図１（ａ）において、１０１は前記多連電気信号接続装置１を固定しＸ−Ｙ−Ｚ方向又は回転方向に移動可能な接続装置固定台、１０２は曲げ加工のためのダイ１０３とパンチ１０４を備えたＸ、Ｙ、Ｚ方向又は回転方向に移動可能な曲げ加工ユニットで、前記接続装置固定台１０１及び前記曲げ加工ユニット１０２は、駆動制御装置１５３によって位置が高精度に制御され、１つ又は複数の前記第１の接続端子１１又は前記第２の接続端子１２の先端部を前記ダイ１０３と前記パンチ１０４の間に挿入し、曲げ加工を実施する。（第１ステップ）【００２５】  図１（ｂ）は、前記第１の接続端子１１及び前記第２の接続端子１２の先端部の曲げ加工が終了した後に、前記多連電気信号接続装置１の前記配線パターン１３の導通・非導通等の検査判定を行う方法を説明するものである。【００２６】  図１（ｂ）において、１１４は、前記第１の接続端子１１又は前記第２の接続端子１２に配置されるＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動可能な第１プローブで、前記第１プローブ１１４を前記第１の接続端子１１又は前記第２の接続端子１２に接触させると共に、前記第１又は第２の他方の接続端子を前記曲げ加工ユニット１０２の導電性を有する前記ダイ１０３又は前記パンチ１０３に接触させ、測定信号供給装置１５１から前記第１プローブ１１４を介して前記多連電気信号接続装置１に所定の測定信号を与えると共に、前記多連電気信号接続装置１を介して前記曲げ加工ユニット１０２に生ずる電気信号を検出し、信号検出判定装置１５２により前記多連電気信号接続装置１の前記配線パターン１３の検査判定を行う。本ステップにより、前記多連電気信号接続装置１の前記配線パターン１３の良否判定が、前記接続端子１１、１２の先端部の曲げ加工が終了すると同時に実施することができる。（第２ステップ）【００２７】  図２は、前記多連電気信号接続装置製造検査装置１００において、前記多連電気信号接続装置１の前記接続端子１１、１２の接触を含む電気的検査を実施するための構成を示すものである。【００２８】  図２において、１１１は、前記第１又は第２の接続端子の前記ばね変形部１４のＸＹ平面における各々の配置間隔が接続対象となる電子機器（図示せず）の接続端子の配置間隔と同一である接続端子群１１２及び延長配線部１１３を備えた検査治具基板、１１６は、前記ばね変形部１４を前記検査治具基板１１１の接続端子１１２の上で押し付け固定可能な端子固定ユニットを示す。【００２９】  前記端子固定ユニット１１６を取付け、前記第１又は第２の接続端子のばね変形部１４と前記検査治具基板１１１の前記接続端子１１２とを相対的に押し付け固定することにより、前記多連電気信号接続装置１と前記検査治具基板１１１との導通が確実に確保される。（第３ステップ）【００３０】  一方、前��検査治具基板１１１の一方の接続端子群１１２又は前記延長配線部１１３に配置されるＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動可能な前記第１プローブ１１４と共に、１１５は前記検査治具基板１１１の他方の接続端子群１１２又は前記延長配線部１１３に配置されるＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動可能な第２プローブを示す。前記第１プローブ１１４を前記検査治具基板１１１の一方の延長配線部１１３ａに接触させると共に、前記第２プローブ１１５を前記検査治具基板１１１の他方の延長配線部１１３ｂに接触させ、前記測定信号供給装置１５１から前記第１プローブ１１４を介して前記検査治具基板１１１に所定の測定信号を与えると共に、前記信号検出判定装置１５２により前記多連電気信号接続装置１を経由して前記検査治具基板１１１に生ずる電気信号を検出し、前記多連電気信号接続装置１の検査判定を行うことにより、前記多連電気信号接続装置１の総合検査が実施される。（第４ステップ）【００３１】  図３は、以上説明した本発明の第１の実施形態に係る多連電気信号接続装置の製造検査装置の製造検査手順を説明する図である。以上説明したように、本発明の第１の実施形態の多連電気信号接続装置製造検査装置によれば、前記接続端子ばね変形部１４の形状加工製造と端子接触部を含む電気的検査を連続して実施することが可能となる。【００３２】  本実施例では前記検査治具基板１１１が、前記多連電気信号接続装置１の接続対象となる電子機器（図示せず）の回路基板接続端子の配置間隔と同一である接続端子群を備えた前記検査治具基板１１１で説明したが、接続対象となる前記電子機器に使用される実際の回路基板を使用してもよい。【００３３】  図４は、本発明の第２の実施形態に係る多連電気信号接続装置製造検査装置１００を説明する図であり、被検査半導体を検査可能にする多連電気信号接続装置製造検査装置の構成を示すものである。図４においては、図１（ａ）（ｂ）で説明した工程、すなわち、第１ステップの接続端子部の曲げ加工及び第２ステップの電気信号接続装置の配線パターン検査判定は同一であるため省略し、以降の第３、第４ステップを説明する。【００３４】  図４において、１２１は、前記第２の接続端子１２の前記ばね変形部１４のＸＹ平面における各々の配置間隔が同一である接続端子群１２２及び延長配線部１２３を備えた検査治具基板、１３３は、第１の接続端子１１′のＸＹ平面における配置間隔が同一である端子群１３２を有する被検査半導体１３１を固定するＸ、Ｙ、Ｚ方向又は回転方向に移動可能な半導体固定台、１３４は、前記第１の接続端子１１′のばね変形部１４′を、前記被検査半導体の端子群１３２に相対する向きに整列固定する位置変換固定ユニットを示す。【００３５】  前記検査治具基板１２１上に前記位置変換固定ユニット１３４を取付け、前記第１の接続端子１１′のばね変形部１４′を前記被検査半導体の端子群１３２に相対する向きに整列固定し、前記検査治具基板１２１に前記端子固定ユニット１１６を取付け、前記第２の接続端子１２のばね変形部１４と前記検査治具基板１２１の接続端子１２２とを相対的に押し付け固定する。（第３ステップ）【００３６】  前記第１の接続端子１１′のばね変形部１４′と所定の相対する前記被検��半導体の端子群１３２とを接触させると共に、前記第１プローブ１１４及び前記第２プローブ１１５を前記検査治具基板１２１の所定の前記延長配線部１２３に接触させ、前記測定信号供給装置１５１から前記第１プローブ１１４を介して前記検査治具基板１２１に所定の測定信号を与えると共に、前記測定信号によって前記検査治具基板１２１及び前記多連電気信号接続装置１′を介して被検査半導体１３１に生ずる電気信号を検出し、検出された信号に基づいて前記被検査半導体１３１の検査判定を行う。（第４ステップ）【００３７】  図５は、以上説明した本発明の第２の実施形態に係る多連電気信号接続装置の製造検査装置の製造検査手順を説明する図である。以上説明したように、本発明の第２の実施形態の多連電気信号接続装置製造検査装置によれば、前記接続端子ばね変形部１４の形状加工製造と共に、プローブカードのような被検査半導体の電気的検査を連続して実施することが可能となる。【００３８】  以上説明したように、第１の実施形態により、接続端子の先端形状加工製造と接触端子の確実性を含む電気的検査を連続して実施することができ、短時間の製造及び検査が可能となる。さらに第２の実施形態により、プローブカート等の検査装置としても利用でき、短時間で多連電気信号接続装置の製造及び被検査機器の検査が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】  特に狭ピッチ配列を有する多連の相互配線接続に使用される電気信号接続装置で、狭ピッチ用コネクタ、液晶装置、プローブカード等の電子機器における多連電気信号接続装置の端子先端形状加工製造及び電気的検査に利用することができる。
【符号の説明】
【００４０】１    多連電気信号接続装置
１１  第１の接続端子
１２  第２の接続端子
１３  配線パターン
１４  ばね変形部
１５  固定板
２１  接続端子Ａ
２２  接続端子Ｂ
Ｐ１  第１の接続端子の配置間隔
Ｐ２  第２の接続端子の配置間隔
Ｐａ  接続端子Ａの配置間隔
Ｐｂ  接続端子Ｂの配置間隔
１００  多連電気信号接続装置製造検査装置
１０１  接続装置固定台
１０２  曲げ加工ユニット
１０３  ダイ
１０４  パンチ
１１１、１２１  検査治具基板
１１２、１２２  検査治具基板接続端子
１１３、１２３  延長配線部
１１４  第１プローブ
１１５  第２プローブ
１１６  端子固定ユニット
１３１  被検査半導体
１３２  被検査半導体の端子群
１３３  半導体固定台
１３４  位置変換固定ユニット
１５１  測定信号供給装置
１５２  信号検出判定装置
１５３  駆動制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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