(57)【要約】【課題】気体孔に液体が入り込むことを抑制する。【解決手段】液体吐出装置に接続される外装部を備え、液体をノズルから吐出する液体吐出ヘッドであって、外装部は、外装部内に設けられる第１気体流路を大気に連通するための第１気体孔と、外装部内に設けられる第２気体流路と液体吐出装置との間で、気体を移送するための第２気体孔と、外装部内に設けられる液体流路と液体吐出装置との間で、液体を移送するための第１液体孔と、を備え、第１気体孔と第２気体孔とは、外装部に別々に配置される液体吐出ヘッド。【選択図】図２
2019010860.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体吐出装置に接続される外装部を備え、液体をノズルから吐出する液体吐出ヘッドであって、
前記外装部は、
前記外装部内に設けられる第１気体流路を大気に連通するための第１気体孔と、
前記外装部内に設けられる第２気体流路と前記液体吐出装置との間で、気体を移送するための第２気体孔と、
前記外装部内に設けられる液体流路と前記液体吐出装置との間で、前記液体を移送するための第１液体孔と、を備え、
前記第１気体孔と前記第２気体孔とは、前記外装部に別々に配置される
液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記外装部は、第１面を有し、
前記第２気体孔と前記第１液体孔とは、前記第１面に配置される
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第２気体孔と前記第１液体孔とは、一直線上に配列される
請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１気体孔と前記第１液体孔との間には、段差が設けられている
請求項１から請求項３の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記外装部は、互いに異なる方向を向いている第１面と第２面とを有し、
前記第１面と前記第２面とのうち、一方に前記第１気体孔が配置され、他方に前記第１液体孔が配置される
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記液体を前記液体吐出ヘッドから前記液体吐出装置に戻すための第２液体孔を備え、
前記第１液体孔と前記第２液体孔とは、一直線上に配列され、
前記第２液体孔は、前記一直線上の端部に配置される
請求項１から請求項５の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記液体吐出ヘッドから前記液体吐出装置へ前記液体を戻すための第２液体孔を備え、
前記外装部は、互いに異なる方向を向いている第１面と第２面とを有し、
前記第１面と前記第２面とのうち、一方に前記第１液体孔が配置され、他方に前記第２液体孔が配置される
請求項１から請求項５の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第２気体孔を複数備え、
前記外装部は、第１面を有し、
前記複数の第２気体孔は、前記第１面に配置される
請求項１から請求項７の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第１液体孔を複数備え、
前記複数の第１液体孔と前記複数の第２気体孔は、前記第１面に配置される
請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記液体を吐出する複数の液体吐出部を備え、
前記第１面は、複数の液体吐出部に対応する複数の領域を有し、
前記複数の領域ごとに、前記第１液体孔と前記第２気体孔とが配置され、
前記複数の領域のうち任意の領域における前記一直線の方向の前記第１液体孔と前記第２気体孔との間隔は、他の領域における前記一直線の方向の前記第１液体孔と前記第２気体孔との間隔に等しい
請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記第１液体孔に連通する逆止弁を備える
請求項１から請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
請求項１から請求項１１の何れかの液体吐出ヘッドを接続可能な装置本体を備え、
前記装置本体は、
前記第２気体孔に接続する本体側第２気体孔と、
前記第１液体孔に接続する本体側第１液体孔と、を備え、
前記第１気体流路を大気に連通させる
液体吐出装置。
【請求項１３】
互いに異なる第１液体吐出ヘッドと第２液体吐出ヘッドとが接続可能な装置本体を備える液体吐出装置であって、
前記第１液体吐出ヘッドと前記第２液体吐出ヘッドとはそれぞれ、
前記装置本体との間で気体移送機構により気体を移送するための気体孔と、
前記装置本体との間で液体移送機構により前記液体を移送するための液体孔と、を備え、
前記液体吐出装置の装置本体は、
前記気体孔に接続する本体側気体孔と、
前記液体孔に接続する本体側液体孔と、を備える
液体吐出装置。
【請求項１４】
前記複数の液体吐出ヘッドのうち任意の液体吐出ヘッドの前記気体孔の数は、別の液体吐出ヘッドの気体孔の数と異なる
請求項１３に記載の液体吐出装置。
【請求項１５】
前記複数の液体吐出ヘッドのうち任意の液体吐出ヘッドの前記装置本体に対する位置は、別の液体吐出ヘッドの前記装置本体に対する位置と異なる
請求項１３に記載の液体吐出装置。
【請求項１６】
第１液体吐出ヘッドと第２液体吐出ヘッドとが接続可能な装置本体を備える液体吐出装置の製造方法であって、
前記第１液体吐出ヘッドと前記第２液体吐出ヘッドは互いに異なり、
前記第１液体吐出ヘッドと前記第２液体吐出ヘッドとはそれぞれ、
前記装置本体との間で気体移送機構により気体を移送するための気体孔と、
前記装置本体との間で液体移送機構により前記液体を移送するための液体孔と、を備え、
前記液体吐出装置の装置本体は、
前記気体孔に接続する本体側気体孔と、
前記液体孔に接続する本体側液体孔と、を備え、
前記装置本体に装着された前記第１液体吐出ヘッドおよび前記第２液体吐出ヘッドのいずれか一方のヘッドを取り外して他方のヘッドに交換する交換工程を有し、
前記交換工程では、前記他方のヘッドの前記気体孔が前記本体側気体孔に接続されつつ、前記液体孔が前記本体側液体孔に接続される
液体吐出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドを装着して構成される液体吐出装置では、インクなどの液体や弁体を駆動するための気体を液体吐出ヘッドと液体吐出装置との間で移送する。特許文献１では、液体吐出装置側のカップリング部材に複数の気体孔を設け、これらの気体孔に液体吐出ヘッド側の気体孔を接続して、液体吐出ヘッドを液体吐出装置に装着する（ＦＩＧ．７参照）。これにより、液体吐出ヘッドと液体吐出装置との間で気体の移送が可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００８／０２４６８２３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の構成では、気体孔に液体が垂れて入り込む虞がある。例えば特許文献１では、カップリング部材には液体孔が形成されていないので、液体孔は別途接続する必要があるから、液体孔を接続する際に垂れた液体が気体孔に入り込む虞がある。特に特許文献１では、気体孔（ｖｅｎｔ  ｈｏｌｅ）と液体孔（ｉｎｋ  ｉｎｌｅｔ）とが非常に近い位置にあるので（ＦＩＧ．４参照）、液体孔の配管を着脱する際に液体が垂れて気体孔に入り込みやすい。また特許文献１では、空気室内に弁体駆動用の気体を移送するための気体孔と空気室内を大気に開放するための気体孔とを、単一の気体孔で兼用している。このため、気体孔の近傍に垂れた液体が、弁体駆動用の気体を移送する際に気体孔に押し込まれる虞がある。以上の事情を考慮して、本発明は、気体孔に液体が入り込むことを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
［態様１］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１）に係る液体吐出ヘッドは、液体吐出装置に接続される外装部を備え、液体をノズルから吐出する液体吐出ヘッドであって、外装部は、外装部内に設けられる第１気体流路を大気に連通するための第１気体孔と、外装部内に設けられる第２気体流路と液体吐出装置との間で、気体を移送するための第２気体孔と、外装部内に設けられる液体流路と液体吐出装置との間で、液体を移送するための第１液体孔と、を備え、第１気体孔と第２気体孔とは、外装部に別々に配置される。以上の態様によれば、第１気体孔と第２気体孔と第１液体孔とが、液体吐出装置に接続される外装部に備えられるので、液体吐出装置に外装部を接続することで、第２気体孔と第１液体孔とを液体吐出装置に接続できる。したがって、第１気体孔と第２気体孔とが形成された外装部とは別途で第１液体孔を液体吐出装置に接続する場合と比較して、第１液体孔を接続する際に垂れた液体が、第２気孔孔を接続する際に第１気体孔や第２気体孔に入り込んでしまうという可能性を低減できる。しかも、本態様によれば、大気に連通するための第１気体孔と、液体吐出装置との間で気体を移送するための第２気体孔とは、外装部に別々に配置されるから、例えば気体移送機構によって気体の移送を行う際に、第１気体孔ではなく、第２気体孔に気体移送機構が接続されるため、第１気体孔の近傍に垂れた液体が気体移送機構によって第１気体孔に押し込まれてしまうことを抑制できる。このように、本実施形態によれば、気体孔に液体が入り込むことを抑制することができる。
【０００６】
［態様２］
態様１の好適例（態様２）において、外装部は、第１面を有し、第２気体孔と第１液体孔とは、第１面に配置される。以上の態様によれば、第２気体孔と第１液体孔とは、液体吐出装置に接続される第１面に配置されるので、液体吐出装置に外装部を接続することで液体吐出装置に第２気体孔と第１液体孔とを一度に接続できる。したがって、第１液体孔を接続する際に第２気孔孔も接続されるから、第１液体孔と第２気体孔とが別々に接続される場合に比較して、第１液体孔から垂れた液体が第２気孔に入り込んでしまうという可能性を大幅に低減できる。
【０００７】
［態様３］
態様２の好適例（態様３）において、第２気体孔と第１液体孔とは、一直線上に配列される。以上の態様によれば、第２気体孔と第１液体孔とは、一直線上に配列されるから、その一直線と交差する方向に小型化しやすい。
【０００８】
［態様４］
態様１から態様３の何れかの好適例（態様４）において、第１気体孔と第１液体孔との間には、段差が設けられている。以上の態様によれば、第１気体孔と第１液体孔との間には、段差が設けられているから、もし第１液体孔から液体が垂れたとしても、その液体が第１気体孔まで移動しにくい。したがって、液体吐出装置との間で第１液体孔を接続する際に、第１気体孔に液体が入り込むことを抑制できる。
【０００９】
［態様５］
態様１の好適例（態様５）において、外装部は、互いに異なる方向を向いている第１面と第２面とを有し、第１面と第２面とのうち、一方に第１気体孔が配置され、他方に第１液体孔が配置される。以上の態様によれば、互いに異なる方向を向いている第１面と第２面とのうち、一方に第１気体孔が配置され、他方に第１液体孔が配置されるから、もし第１液体孔から液体が垂れたとしても、その液体が第１気体孔まで移動しにくい。したがって、液体吐出装置との間で第１液体孔を接続する際に、第１気体孔に液体が入り込むことを抑制できる。
【００１０】
［態様６］
態様１から態様５の何れかの好適例（態様６）において、液体を液体吐出ヘッドから液体吐出装置に戻すための第２液体孔を備え、第１液体孔と第２液体孔とは、一直線上に配列され、第２液体孔は、一直線上の端部に配置される。以上の態様によれば、第１液体孔と第２液体孔とは、一直線上に配列され、第２液体孔は、一直線上の端部に配置されるから、第２液体孔に接続される流路の引き回しを容易にすることができる。
【００１１】
［態様７］
態様１から態様５の何れかの好適例（態様７）において、液体吐出ヘッドから液体吐出装置へ液体を戻すための第２液体孔を備え、外装部は、互いに異なる方向を向いている第１面と第２面とを有し、第１面と第２面とのうち、一方に第１液体孔が配置され、他方に第２液体孔が配置される。以上の態様によれば、互いに異なる方向を向いている第１面と第２面のうち、一方に第１液体孔が配置され、他方に第２液体孔が配置されるから、第２液体孔に接続される流路の引き回しを容易にすることができる。
【００１２】
［態様８］
態様１から態様７の何れかの好適例（態様８）において、第２気体孔を複数備え、外装部は、第１面を有し、複数の第２気体孔は、第１面に配置される。以上の態様によれば、外装部に第２気体孔が複数配置されるから、それぞれに対して気体を移送することができる。例えばそれぞれ異なるタイミングで気体を移送したり、複数の第２気体孔から選択的に移送したりすることができる。
【００１３】
［態様９］
態様８の好適例（態様９）において、第１液体孔を複数備え、複数の第１液体孔と複数の第２気体孔は、第１面に配置される。以上の態様によれば、複数の第２気体孔と複数の第１液体孔は、外装部の第１面に配置されるから、液体吐出装置との間で複数の第２気体孔と複数の第１液体孔とを一度に接続することができる。したがって、各第１液体孔を接続する際に各第２気孔孔も接続されるから、複数の第１液体孔と複数の第２気体孔とが別々に接続される場合に比較して、複数の第１液体孔のいずれかから垂れた液体が複数の第２気孔のいずれかに入り込んでしまうという可能性を大幅に低減できる。
【００１４】
［態様１０］
態様９の好適例（態様１０）において、液体を吐出する複数の液体吐出部を備え、第１面は、複数の液体吐出部に対応する複数の領域を有し、複数の領域ごとに、第１液体孔と第２気体孔とが配置され、複数の領域のうち任意の領域における一直線の方向の第１液体孔と第２気体孔との間隔は、他の領域における一直線の方向の第１液体孔と第２気体孔との間隔に等しい。以上の態様によれば、複数の液体吐出部に対応する複数の領域のうち任意の領域において一直線の方向の第１液体孔と第２気体孔との間隔は、他の領域において一直線の方向の第１液体孔と第２気体孔との間隔に等しい。したがって、第１液体孔と第２気体孔に接続される液体吐出装置側の孔を複数組設けることで、液体吐出ヘッドを液体吐出装置側のどの位置にも接続可能となる。
【００１５】
［態様１１］
態様１から態様１０の好適例（態様１１）において、第１液体孔に連通する逆止弁を備える。以上の態様によれば、第１液体孔に連通する逆止弁を備えるから、液体吐出ヘッド内の液体が第１液体孔から流出することを抑制できる。
【００１６】
［態様１２］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１２）に係る液体吐出装置は、請求項１から請求項１１の何れかの液体吐出ヘッドを接続可能な装置本体を備え、装置本体は、第２気体孔に接続する本体側第２気体孔と、第１液体孔に接続する本体側第１液体孔と、を備え、第１気体流路を大気に連通させる。以上の態様によれば、液体吐出ヘッドの第２気体孔を本体側第２気体孔に接続するとともに、液体吐出ヘッドの第１液体孔を本体側第１液体孔に接続することで、液体吐出ヘッドを装置本体に接続できる。また、装置本体側に第１気体流路を大気に連通させることができる。
【００１７】
［態様１３］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１３）に係る液体吐出装置は、互いに異なる第１液体吐出ヘッドと第２液体吐出ヘッドとが接続可能な装置本体を備える液体吐出装置であって、第１液体吐出ヘッドと第２液体吐出ヘッドとはそれぞれ、装置本体との間で気体移送機構により気体を移送するための気体孔と、装置本体との間で液体移送機構により液体を移送するための液体孔と、を備え、液体吐出装置の装置本体は、気体孔に接続する本体側気体孔と、液体孔に接続する本体側液体孔と、を備える。以上の態様によれば、第１液体吐出ヘッドと第２液体吐出ヘッドとの気体孔と液体孔が、装置本体に接続可能な外装部に備えられるので、液体吐出装置に各液体吐出ヘッドの外装部を接続することで、各液体吐出ヘッドの気体孔と液体孔を液体吐出装置に接続できる。したがって、気体孔が形成された外装部とは別途で液体孔を液体吐出装置に接続する場合に比較して、液体孔を接続する際に垂れた液体が気体孔に入り込むという可能性を低減できる。しかも、本態様によれば、複数の液体吐出ヘッドの気体孔と液体孔とが、本体側気体孔と本体側液体孔に接続できるので、このような気体孔と液体孔とが設けられていれば、気体孔に液体が入り込むことを抑制しながら、同じ液体吐出ヘッドだけでなく、異なる液体吐出ヘッドでも装置本体に接続できる。
【００１８】
［態様１４］
態様１３の好適例（態様１４）において、複数の液体吐出ヘッドのうち任意の液体吐出ヘッドの気体孔の数は、別の液体吐出ヘッドの気体孔の数と異なる。以上の態様によれば、気体孔の数が異なる液体吐出ヘッドでも、装置本体に接続できる。
【００１９】
［態様１５］
態様１３の好適例（態様１５）において、複数の液体吐出ヘッドのうち任意の液体吐出ヘッドの装置本体に対する位置は、別の液体吐出ヘッドの装置本体に対する位置と異なる。以上の態様によれば、装置本体に対する位置が異なる液体吐出ヘッドでも、装置本体に接続できる。
【００２０】
［態様１６］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１６）に係る方法は、第１液体吐出ヘッドと第２液体吐出ヘッドとが接続可能な装置本体を備える液体吐出装置の製造方法であって、第１液体吐出ヘッドと第２液体吐出ヘッドは互いに異なり、第１液体吐出ヘッドと第２液体吐出ヘッドとはそれぞれ、装置本体との間で気体移送機構により気体を移送するための気体孔と、装置本体との間で液体移送機構により液体を移送するための液体孔と、を備え、液体吐出装置の装置本体は、気体孔に接続する本体側気体孔と、液体孔に接続する本体側液体孔と、を備え、装置本体に装着された第１液体吐出ヘッドおよび第２液体吐出ヘッドのいずれか一方のヘッドを取り外して他方のヘッドに交換する交換工程を有し、交換工程では、他方のヘッドの気体孔が本体側気体孔に接続されつつ、液体孔が本体側液体孔に接続される。以上の態様によれば、互いに異なる第１液体吐出ヘッドおよび第２液体吐出ヘッドいずれか一方のヘッドを他方のヘッドに交換することで、気体孔に液体が入り込むことを抑制しながら、全体として異なる構成のヘッドを備える液体吐出装置を容易に製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１実施形態に係る液体吐出装置の構成図である。
【図２】図１に示す液体吐出ヘッドの１つの外観構成を示す斜視図である。
【図３】図２に示す液体吐出ヘッドの機能構成図である。
【図４】図３に示す液体吐出ヘッドの側面図および下面図である。
【図５】第１実施形態の第１変形例に係る液体吐出ヘッドの側面図および下面図である。
【図６】第１実施形態の第２変形例に係る液体吐出ヘッドの側面図および下面図である。
【図７】第１実施形態の第３変形例に係る液体吐出ヘッドの側面図および下面図である。
【図８】第１実施形態の第４変形例に係るラインヘッドの平面図である。
【図９】第１実施形態の第５変形例に係るラインヘッドの平面図である。
【図１０】第１実施形態の第６変形例に係るラインヘッドの平面図である。
【図１１】第２実施形態に係る液体吐出装置の構成図である。
【図１２】図１１に示す液体吐出ヘッドの１つの外観構成を示す斜視図である。
【図１３】図１２に示す液体吐出ヘッドの側面図および下面図である。
【図１４】第２実施形態の変形例に係るラインヘッドの平面図である。
【図１５】第３実施形態に係る液体吐出装置の構成図である。
【図１６】図１５に示す液体吐出ヘッドの外観構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の実施形態に係る液体吐出装置１０の部分的な構成図である。本実施形態の液体吐出装置１０は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の媒体１１に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。図１に示す液体吐出装置１０の装置本体１０１は、制御装置１２と搬送機構１５とを備える。装置本体１０１には、交換可能な複数の液体吐出ヘッド２０で構成されるラインヘッド２１が設けられている。装置本体１０１には、インクを貯留する液体容器（カートリッジ）１４が着脱可能に装着される。
【００２３】
液体容器１４は、液体吐出装置１０の本体に着脱可能な箱状の容器からなるインクタンクタイプである。なお、液体容器１４は、箱状の容器に限られず、袋状の容器からなるインクパックタイプであってもよい。液体容器１４には、インクが貯留される。インクは、黒色インクであってもよく、カラーインクであってもよい。液体容器１４には、インクが貯留される。インクは、黒色インクであってもよく、カラーインクであってもよい。液体容器１４に貯留されるインクは、各液体吐出ヘッド２０に圧送される。
【００２４】
制御装置１２は、液体吐出装置１０の各要素を統括的に制御する。搬送機構１５は、制御装置１２による制御のもとで媒体１１をＹ方向に搬送する。ただし、搬送機構１５の構造は以上の例示に限定されない。ラインヘッド２１の各液体吐出ヘッド２０は、制御装置１２による制御のもとで、液体容器１４から供給されるインクを媒体１１に吐出する。図１のラインヘッド２１は、装置本体１０１の本体側接続部１０２に３つの液体吐出ヘッド２０を装着した場合を例示する。本実施形態の本体側接続部１０２は、後述する気体孔と液体孔が形成されるブロック状の構造体である。各液体吐出ヘッド２０は、媒体１１の搬送方向であるＹ方向に直交する方向Ｘに沿って配列される。なお、Ｘ−Ｙ平面（媒体１１の表面に平行な平面）に垂直な方向を以下ではＺ方向と表記する。各液体吐出ヘッド２０によるインクの吐出方向がＺ方向に相当する。
【００２５】
＜液体吐出ヘッド＞
図２は、ラインヘッド２１を構成する液体吐出ヘッド２０の１つの外観構成を示す斜視図である。図２では、液体吐出ヘッド２０が装着される前の本体側接続部１０２を実線で示し、液体吐出ヘッド２０が装着された後の本体側接続部１０２を一点鎖線で示している。図１および図２の液体吐出ヘッド２０は、４つの液体吐出部４４を備える。液体吐出部４４は、２つずつ２列に配置される。具体的には、２つの液体吐出部４４を配列した第１列と２つの液体吐出部４４を配列した第２列とでＸ方向における各液体吐出部４４の位置が相違するように、４つの液体吐出部４４がスタガ状または千鳥状に配置される。なお、複数の液体吐出部４４の配列は、図１に示すものに限られず、例えばＹ方向に沿って並列するように配置してもよい。
【００２６】
液体吐出ヘッド２０は、Ｘ方向に長い箱状の２つの構造部２１Ａ、２１Ｂを、Ｘ方向にずらして重ねた構成である。構造部２１Ａには、上記第１列の２つ液体吐出部４４が設けられ、構造部２１Ｂには上記第２列の２つの液体吐出部４４が設けられる。図２に示すように、液体吐出ヘッド２０は、ヘッド本体４０と外装部４１とを備える。本実施形態の外装部４１は、ヘッド本体４０上（Ｚ方向の負側）に配置され、液体流路Ｄ（液体流路の例示）と気体流路Ａ（第２気体流路の例示）が形成されるブロック状の流路構造体として機能する。本実施形態では、構造部２１Ａのヘッド本体４０と構造部２１Ｂのヘッド本体４０とを一体で構成し、構造部２１Ａの外装部４１と構造部２１Ｂの外装部４１を一体で構成した場合を例示する。ただし、これに限られず、別体で構成してもよい。また、外装部４１とヘッド本体４０とを一体で構成してもよい。
【００２７】
図３は、図２に示す液体吐出ヘッド２０の内部構成を説明するための機能構成図である。図３に示すように、ヘッド本体４０は、流路ユニット４２と液体吐出部４４とを備える。液体吐出部４４は、複数のノズルＮからインクを吐出する。流路ユニット４２は、外装部４１を経由したインクを液体吐出部４４に供給する液体流路Ｄが内部に形成された構造体である。液体吐出部４４は、液体容器１４から本体側接続部１０２および流路ユニット４２を介して供給されるインクを媒体１１に吐出する。本実施形態の外装部４１は、弁体ユニットとして構成され、本体側接続部１０２から供給されるインクの液体流路Ｄの開閉を制御する後述の開閉弁７０を内包する。
【００２８】
液体吐出部４４は、圧力室基板４８２と振動板４８３と圧電素子４８４と筐体部４８５と封止体４８６とが流路基板４８１の一方側に配置されるとともに、他方側にノズル板４８７およびコンプライアンス部４５が配置された構造体である。流路基板４８１と圧力室基板４８２とノズル板４８７とは例えばシリコンの平板材で形成され、筐体部４８５は例えば樹脂材料の射出成形で形成される。複数のノズルＮはノズル板４８７に形成される。ノズル板４８７のうち流路基板４８１とは反対側の表面が吐出面（液体吐出部４４のうち媒体１１との対向面）に相当する。
【００２９】
複数のノズルＮは、第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２とに区分される。第１ノズル列Ｌ１および第２ノズル列Ｌ２の各々は、Ｙ方向に沿って配列された複数のノズルＮの集合である。第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２とは、Ｘ方向に相互に間隔をあけて並列する。本実施形態では、第１ノズル列Ｌ１の各ノズルＮと第２ノズル列Ｌ２の各ノズルＮとでＸ方向の位置が相違するように、千鳥配置またはスタガ配置にしている。
【００３０】
図３の液体吐出部４４は、第１ノズル列Ｌ１に対応する構造（図３の左側部分）と第２ノズル列Ｌ２に対応する構造（図３の右側部分）とが、Ｘ方向の仮想線Ｏ−Ｏに対して略線対称に形成され、両構造は実質的に共通する。このため、以下では、主に第１ノズル列Ｌ１に対応する構造（図３の仮想線Ｏ−Ｏよりも左側部分）に着目して説明する。流路基板４８１には、開口部４８１Ａと分岐流路４８１Ｂと連通流路４８１Ｃとが形成される。分岐流路４８１Ｂおよび連通流路４８１ＣはノズルＮ毎に形成された貫通孔であり、開口部４８１Ａは複数のノズルＮにわたり連続する開口である。
【００３１】
筐体部４８５には、流路基板４８１の開口部４８１Ａに連通する共通液室（リザーバー）ＳＲが形成される。図３の左側の液体貯留室ＳＲは、第１ノズル列Ｌ１を構成する複数のノズルＮに供給されるインクを貯留する空間であり、これら複数のノズルＮにわたり連続する。図３の右側の液体貯留室ＳＲは、第２ノズル列Ｌ２を構成する複数のノズルＮに供給されるインクを貯留する空間であり、これら複数のノズルＮにわたり連続する。各液体貯留室ＳＲには、上流側から供給されるインクが流入する流入口Ｒｉｎが形成される。
【００３２】
圧力室基板４８２にはノズルＮ毎に開口部４８２Ａが形成される。振動板４８３は、圧力室基板４８２のうち流路基板４８１とは反対側の表面に設置された弾性変形可能な平板材である。圧力室基板４８２の各開口部４８２Ａの内側で振動板４８３と流路基板４８１とに挟まれた空間は、液体貯留室ＳＲから分岐流路４８１Ｂを介して供給されるインクが充填される圧力室（キャビティ）ＳＣとして機能する。各圧力室ＳＣは、流路基板４８１の連通流路４８１Ｃを介してノズルＮに連通する。
【００３３】
振動板４８３のうち圧力室基板４８２とは反対側の表面にはノズルＮ毎に圧電素子４８４が形成される。各圧電素子４８４は、相互に対向する電極間に圧電体を介在させた駆動素子である。駆動信号の供給により圧電素子４８４が変形することで振動板４８３が振動すると、圧力室ＳＣ内の圧力が変動して圧力室ＳＣ内のインクがノズルＮから吐出される。封止体４８６は、複数の圧電素子４８４を保護する。なお、圧電素子４８４は、不図示のフレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）やチップオンフィルム（ＣＯＦ：Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）などを経由して制御装置１２に接続される。
【００３４】
図３のコンプライアンス部４５は、液体貯留室ＳＲ内のインクの圧力変動を抑制するための要素であり、コンプライアンス基板（緩衝板）４５２と支持板４５４とを具備する。コンプライアンス基板４５２は、フィルム状に形成された可撓性の部材であり、液体貯留室ＳＲの壁面（具体的には底面）の一部を構成する。支持板４５４は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の高剛性の材料で形成された平板であり、液体貯留室ＳＲや開口部４８１Ａがコンプライアンス基板４５２で閉塞されるようにコンプライアンス基板４５２をヘッド接続部４８１の表面に支持する。支持板４５４のうちコンプライアンス基板４５２を挟んで液体貯留室ＳＲに重なる領域には開口部４５６が形成される。支持板４５４の開口部４５６の内側の空間は大気と連通しており、液体貯留室ＳＲ内や開口部４８１Ａ内の圧力変動が吸収されるようにコンプライアンス基板４５２を変形させるためのダンパー室ＳＧとして機能する。
【００３５】
コンプライアンス部４５は、固定板４８８に固定される。固定板４８８は、例えばステンレス鋼等の高剛性の材料で所定の形状に成形される。固定板４８８には、各ノズル板４８７に対応する複数の開口部４８９が形成されている。開口部４８９からノズル板４８７が露出しするように、コンプライアンス部４５の支持板４５４が固定板４８８に固定される。なお、開口部４８９の内側の空間（具体的には開口部４８９の内周面とノズル板４８７の外周面との隙間）には、例えば樹脂材料で形成された充填材が充填される。開口部４８９のＺ方向の正側は固定板４８８によって閉じられ、開口部４８９の内側でコンプライアンス基板４５２と固定板４８８との間に挟まれた空間が、上述したダンパー室ＳＧとなる。圧送されたインクが液体貯留室ＳＲ内に導入される際に、液体貯留室ＳＲ内に圧力変動が生じても、コンプライアンス基板４５２が変形することで、その圧力変動を吸収できる。
【００３６】
流路ユニット４２は、外装部４１と共に液体流路Ｄと気体流路Ａを備えた流路構造体として機能する。液体流路Ｄは、ノズルＮに連通する流路である。気体流路Ａは、液体流路Ｄの開閉弁７０の制御を行う加圧室ＲＣの袋状体７３と、気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣを介して液体流路Ｄの脱泡（インクから気泡を取り除く動作）を行う減圧脱泡室Ｑに連通する。
【００３７】
先ず、開閉弁７０と加圧室ＲＣについて説明する。外装部４１の内部には、液体流路Ｄの一部を構成する上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２と、気体流路Ａに連通する袋状体７３が設置される加圧室ＲＣとが形成される。上流側流路Ｒ１は、ヘッド側接続部４１２と本体側接続部１０２を介して液体移送機構１６に接続される。液体移送機構１６は、液体容器１４に貯留されたインクを液体吐出ヘッド２０に加圧状態で移送（圧送）するポンプ（第２ポンプ）である。上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２との間には開閉弁７０が設置され、下流側流路Ｒ２と加圧室ＲＣとの間には可撓膜７１が介在する。
【００３８】
開閉弁７０は、液体吐出部４４にインクを供給する液体流路Ｄを開閉する弁機構である。開閉弁７０は、弁体Ｖを備える。弁体Ｖは、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２との間に設けられ、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とを連通（開状態）または遮断（閉状態）する。弁体Ｖには、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが遮断される方向に付勢するバネＳｐが設けられている。したがって、弁体Ｖに力が作用していないときには、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが遮断される。他方、バネＳｐの付勢力に抗して弁体Ｖに力がかかってＺ方向の正側に移動することで、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが連通する。
【００３９】
加圧室ＲＣに設置される袋状体７３は、ゴム等の弾性材料で形成された袋状の部材である。袋状体７３は、気体流路Ａに接続され、気体流路Ａの加圧により膨張するとともに減圧により収縮する。気体流路Ａは、ヘッド側接続部４１２と本体側接続部１０２を介して気体移送機構１９に接続される。本実施形態の気体移送機構１９は、気体流路Ａの気体を移送するポンプである。具体的には、気体移送機構１９は、気体流路Ａの加圧と減圧が可能なポンプ（第１ポンプ）であり、典型的には空圧ポンプで構成される。気体移送機構１９は、加圧用と減圧用とを兼用する１つのポンプで構成してもよく、また加圧用のポンプと減圧用のポンプに分けて構成してもよい。また、袋状体７３はその全面が弾性材料である必要はなく、膨張できればその一面のみが弾性材料であってもよい。また、加圧室ＲＣには、加圧室ＲＣを大気に開放するための気体流路Ｂ（第１気体流路）が連通している。
【００４０】
袋状体７３が収縮した状態では、下流側流路Ｒ２内の圧力が所定の範囲内に維持されている場合には、弁体ＶがバネＳｐに付勢されて上方（Ｚ方向の負側）に押しつけられ、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが遮断される。他方、液体吐出部４４によるインクの吐出や外部からの吸引に起因して下流側流路Ｒ２内の圧力が所定の閾値を下回る数値まで低下すると、弁体ＶがバネＳｐによる付勢力に対抗して下方（Ｚ方向の正側）に移動し、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが連通される。
【００４１】
他方、気体移送機構１９による加圧で袋状体７３が膨張すると、袋状体７３による押圧によって、バネＳｐの付勢力に抗して可撓膜７１が弁体Ｖを押し下げて、Ｚ方向の正側に移動する。したがって、可撓膜７１による押圧により弁体Ｖが移動して開閉弁７０が開放される。すなわち、下流側流路Ｒ２内の圧力の高低に関わらず、気体移送機構１９による加圧で強制的に開閉弁７０を開放することが可能である。気体移送機構１９による加圧で強制的に可撓膜７１を可動して開閉弁７０を開放するのは、例えば液体吐出ヘッド２０に最初にインクを充填（以下「初期充填」という）する場合、クリーニングの際にノズルＮからインクを排出する場合が挙げられる。
【００４２】
次に、気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣと減圧脱泡室Ｑについて説明する。流路ユニット４２には、鉛直空間ＲＶに連通するフィルター室ＲＦと減圧脱泡室Ｑとが形成されている。減圧脱泡室Ｑは、液体流路Ｄの一部を減圧してインクから気泡を取り除くための空間である。減圧脱泡室Ｑは、インクから取り除かれた気泡（気体）が一時的に滞留する脱泡空間として機能する。なお、減圧脱泡室Ｑは、互いに連通する減圧室と脱泡室との２つの空間に分けて構成し、減圧室と脱泡室との連通部分に開閉弁または逆止弁を設けるようにしてもよい。
【００４３】
フィルター室ＲＦには、フィルターＦが設けられている。フィルターＦは、液体吐出部４４に液体流路Ｄを横断するように設置され、インクに混入した気泡や異物を捕集する。具体的には、フィルターＦは、空間ＲＦ１と空間ＲＦ２とを仕切るように設置される。上流側の空間ＲＦ１は外装部４１の下流側流路Ｒ２に連通し、下流側の空間ＲＦ２は鉛直空間ＲＶに連通する。
【００４４】
鉛直空間ＲＶは、インクを一時的に貯留するための空間である。鉛直空間ＲＶには、フィルターＦを通過したインクが空間ＲＦ２から流入する流入口Ｖｉｎと、インクがノズルＮ側に流出する流出口Ｖｏｕｔとが形成される。流入口Ｖｉｎは、流出口Ｖｏｕｔと比較して鉛直方向の上方（Ｚ方向の負側）に位置する。このような構成によれば、空間ＲＦ２内のインクは、流入口Ｖｉｎを介して鉛直空間ＲＶに流入し、鉛直空間ＲＶ内のインクは流出口Ｖｏｕｔを介して液体貯留室ＳＲに流入する。液体貯留室ＳＲに流入したインクは、開口部４８１Ａを経由して各圧力室ＳＣに供給されて、各ノズルＮから吐出される。
【００４５】
気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣは減圧脱泡室Ｑと液体流路Ｄの複数の箇所を仕切るように設置される。ただし、気体透過膜の配置位置や数は例示したものに限られない。気体透過膜ＭＡは、鉛直空間ＲＶと減圧脱泡室Ｑとの間に介在する。気体透過膜ＭＢは、液体貯留室ＳＲと減圧脱泡室Ｑとの間に介在する。気体透過膜ＭＣは、空間ＲＦ１と減圧脱泡室Ｑとの間に介在する。気体透過膜ＭＡ〜ＭＣは、気体（空気）は透過させるけれどもインク等の液体は透過させない気体透過性の膜体（気液分離膜）であり、例えば公知の高分子材料で形成される。フィルターＦで捕集された気泡は、気体透過膜ＭＣを透過することで減圧脱泡室Ｑに排出され、インクから取り除かれる。またフィルターＦを通過してしまった気泡も、空間ＲＦ１から流入口Ｖｉｎを介して鉛直空間ＲＶに流入し、鉛直空間ＲＶに流入する。したがって、鉛直空間ＲＶに流入した気泡も気体透過膜ＭＡを透過することで、減圧脱泡室Ｑに排出される。
【００４６】
液体貯留室ＳＲには排出口Ｒｏｕｔが形成される。排出口Ｒｏｕｔは、液体貯留室ＳＲの天井面４９に形成された流路である。液体貯留室ＳＲの天井面４９は、流入口Ｒｉｎ側から排出口Ｒｏｕｔ側にかけて高くなる傾斜面（平面または曲面）である。したがって、流入口Ｒｉｎから進入した気泡も排出口Ｒｏｕｔ側に誘導され、気体透過膜ＭＢを透過することで、減圧脱泡室Ｑに排出される。
【００４７】
減圧脱泡室Ｑは、気体流路Ａに連通しているので、気体移送機構１９で気体流路Ａを減圧することで、減圧脱泡室Ｑが減圧される。減圧脱泡室Ｑが減圧されると、液体流路Ｄ内の気泡が気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣを通過する。気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣを通過して減圧脱泡室Ｑに移動した気体は、気体流路Ａを通って装置外部に排出される。こうして、液体流路Ｄから気泡が取り除かれる。
【００４８】
なお、本実施形態の液体流路Ｄは、液体吐出ヘッド２０のインクを液体吐出装置１０側に戻すための液体流路Ｅを有する。液体流路Ｅは、流路ユニット４２の内部流路（具体的には液体吐出部４４にインクを供給するための流路）に連通する経路である。具体的には、液体流路Ｅは、各液体吐出部４４の液体貯留室ＳＲの排出口Ｒｏｕｔと鉛直空間ＲＶとに連通する。液体流路Ｅは、外装部４１と本体側接続部１０２とを介して循環機構７８に接続される。循環機構７８は、循環経路やポンプなどを備え、液体流路Ｅから排出されるインクを、液体吐出装置１０側に戻して、再び液体吐出ヘッド２０で使用できるように循環させる機能を有する。
【００４９】
図２および図３に示すように、外装部４１は、流路ユニット４２に接続され、装置本体１０１の本体側接続部１０２に接続可能なヘッド側接続部４１２を備える。ヘッド側接続部４１２は、流路ユニット４２の側面からＸ方向に張り出すように配置される。本実施形態では、ヘッド側接続部４１２のＺ方向の正側の面（図３での下面）である第１面ＦＡが、本体側接続部１０２の接続面Ｆ１（図３では上面）に接続される。第１面ＦＡと接続面Ｆ１とは、Ｚ方向には隙間が空くように接続されるが、隙間がなくてもよい。
【００５０】
ヘッド側接続部４１２には、気体流路Ｂ（第１気体流路の例示）に連通する気体孔Ｂａ（第１気体孔の例示）と、気体流路Ａ（第２気体流路の例示）に連通する気体孔Ａａ（第２気体孔の例示）とが設けられている。また、ヘッド側接続部４１２には、液体流路Ｄ（第１液体流路の例示）に連通する液体孔Ｄａ（第１液体孔の例示）と、液体流路Ｅ（第２液体流路の例示）に連通する液体孔Ｅａ（第２液体孔の例示）とが設けられている。他方、本体側接続部１０２には、気体孔Ａａに接続するための本体側気体孔Ａｂと、液体孔Ｄａに接続するための本体側液体孔Ｄｂと、液体孔Ｅａに接続するための本体側液体孔Ｅｂが設けられている。図３に示すように、本体側気体孔Ａｂには気体移送機構１９が接続され、本体側液体孔Ｄｂには液体移送機構１６が接続され、本体側液体孔Ｅｂには循環機構７８が接続されている。ただし、気体流路Ｂを大気解放できれば、本体側気体孔Ｂａはなくてもよい。
【００５１】
このような構成によれば、ヘッド側接続部４１２が本体側接続部１０２に接続するように、装置本体１０１に液体吐出ヘッド２０を接続することで、気体流路Ｂに連通する気体孔Ｂａとは別に、気体流路Ａに連通する気体孔Ａａを本体側気体孔Ａｂと接続することができる。
【００５２】
もし仮に、気体孔Ｂａと気体孔Ａａとが同じ単一の孔であるとすれば、気体流路Ａを気体移送機構１９により加圧する際に、その単一の孔の近傍に垂れたインクが気体移送機構１９によって気体流路Ｂ内部へ押し込まれてしまう虞がある。気体流路Ｂ内部にインクが侵入すると、インクの固化により気体流路Ｂが閉塞される虞がある。この点、本実施形態では、大気に連通するための気体孔Ｂａと、気体移送機構１９と接続される気体孔Ａａとは、ヘッド側接続部４１２に別々に配置されるから、気体孔Ｂａの近傍に垂れたインクが気体移送機構１９によって気体流路Ｂ内部へ押し込まれてしまうことを抑制できる。
【００５３】
また、本実施形態の構成によれば、気体孔Ａａと液体孔Ｄａと液体孔Ｅａとをそれぞれ、本体側気体孔Ａｂと本体側液体孔Ｄｂと本体側液体孔Ｅｂとに、一度に接続できる。したがって、液体孔Ｄａまたは液体孔Ｅａからインクが垂れて気体孔Ａａに入り込むことを抑制できる。
【００５４】
もし仮に、気体孔Ａａと液体孔Ｄａと液体孔Ｅａとをそれぞれ別々に、本体側気体孔Ａｂと本体側液体孔Ｄｂと本体側液体孔Ｅｂに接続するとすれば、液体孔Ｄａと液体孔Ｅａを本体側液体孔Ｄｂと本体側液体孔Ｅｂに接続する際にインクが垂れて気体孔Ａａに入り込む虞がある。この点、本実施形態では、気体孔Ａａと液体孔Ｄａと液体孔Ｅａとをそれぞれ、本体側気体孔Ａｂと本体側液体孔Ｄｂと本体側液体孔Ｅｂとに、一度に接続できるから、液体孔Ｄａまたは液体孔Ｅａからインクが垂れにくくすることができ、またもしインクが垂れても、気体孔Ａａは本体側気体孔Ａｂに接続しているので、垂れたインクが気体孔Ａａに入り込みにくくなる。
【００５５】
図４は、液体吐出ヘッド２０の側面図および下面図である。図４の側面図（図４の上側の図）は、液体吐出ヘッド２０を接続部４１２側から見た図である。図４の下面図（図４の下側の図）は、液体吐出ヘッド２０を固定板４８８側から見た図である。図４の側面図では、ヘッド側接続部４１２が接続される本体側接続部１０２の一部を点線で示している。
【００５６】
図４の液体吐出ヘッド２０において、４つの液体吐出部４４のうち２つの液体吐出部４４に共通の気体孔Ａａと液体孔Ｄａと液体孔Ｅａとをそれぞれ、気体孔Ａａ１と液体孔Ｄａ１と液体孔Ｅａ１とする。また、他の２つの液体吐出部４４に共通の気体孔Ａａと液体孔Ｄａと液体孔Ｅａとをそれぞれ、気体孔Ａａ２と液体孔Ｄａ２と液体孔Ｅａ２とする。さらに、ヘッド側接続部４１２の気体孔Ａａ１と液体孔Ｄａ１と液体孔Ｅａ１とはそれぞれ、本体側接続部１０２の本体側気体孔Ａｂ１と本体側液体孔Ｄｂ１と本体側液体孔Ｅｂ１に接続される。またヘッド側接続部４１２の気体孔Ａａ２と液体孔Ｄａ２と液体孔Ｅａ２とは、それぞれ対向して本体側接続部１０２に配置された本体側気体孔Ａｂ２と本体側液体孔Ｄｂ２と本体側液体孔Ｅｂ２に接続される。
【００５７】
図４では、各気体孔Ａａ１、Ａａ２と各液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２をそれぞれ、ヘッド側接続部４１２の表面に設けられた管状や針状の突起に形成し、各本体側気体孔Ａｂ１、Ａｂ２と各本体側液体孔Ｄｂ１、Ｄｂ２、Ｅｂ１、Ｅｂ２を、上記突起が挿入される挿入孔として本体側接続部１０２の表面に形成した場合を例示する。上記突起を挿入孔に挿入することで、ヘッド側接続部４１２の各孔Ａａ１、Ａａ２、Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２のそれぞれが本体側接続部１０２の各孔Ａｂ１、Ａｂ２、Ｄｂ１、Ｄｂ２、Ｅｂ１、Ｅｂ２にそれぞれ接続される。ただし、これに限られず、各本体側気体孔Ａｂ１、Ａｂ２と各本体側液体孔Ｄｂ１、Ｄｂ２、Ｅｂ１、Ｅｂ２の方をそれぞれ管状や針状の突起に形成し、各気体孔Ａａ１、Ａａ２と各液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２を挿入孔で構成するようにしてもよい。
【００５８】
複数の気体孔Ａａ１、Ａａ２と複数の液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２とはそれぞれ、同じ第１面ＦＡに配置される。他方、これらに接続される複数の本体側気体孔Ａｂ１、Ａｂ２と複数の本体側液体孔Ｄｂ１、Ｄｂ２、Ｅｂ１、Ｅｂ２は、第１面ＦＡに対向する接続面Ｆ１に配置される。
【００５９】
図４の構成によれば、装置本体１０１に外装部４１を接続する際に、ヘッド側接続部４１２を本体側接続部１０２に接続することで、各気体孔Ａａ１、Ａａ２と各液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２とはそれぞれ、各本体側気体孔Ａｂ１、Ａｂ２と各本体側液体孔Ｄｂ１、Ｄｂ２、Ｅｂ１、Ｅｂ２に一度に接続することができる。したがって、液体吐出ヘッド２０の外装部４１を装置本体１０１に接続する際に、液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２からインクが垂れて気体孔Ａａ１、Ａａ２に入り込むことを抑制できる。
【００６０】
もし仮に、気体孔Ａａ１、Ａａ２が形成される外装部４１とは別途で各液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２を本体側接続部１０２に接続する場合には、各液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２のいずれかを接続する際にインクが垂れてしまうと、その垂れたインクが外装部４１を接続する際に気体孔Ａａ１、Ａａ２のいずれかに入り込んでしまう可能性がある。この点、図４の構成によれば、外装部４１のヘッド側接続部４１２を本体側接続部１０２に接続すれば、各液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２と各気体孔Ａａ１、Ａａ２とが一度に接続されるので、各液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２が接続される際に気孔孔Ａａ１、Ａａ２も接続される。したがって、このような図４の構成によれば、上記のように各液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２と各気体孔Ａａ１、Ａａ２とが別々に接続される場合に比較して、液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２のいずれかから垂れたインクが気孔孔Ａａ１、Ａａ２のいずれかに入り込んでしまうという可能性を大幅に低減できる。
【００６１】
また、図４の構成では、外装部４１に複数の気体孔Ａａ１、Ａａ２が配置されるから、それぞれに対して気体を移送することができる。複数の気体孔Ａａ１、Ａａ２は別々の気体流路Ａに接続されるので、例えばそれぞれ異なるタイミングで気体を移送したり、複数の気体孔Ａａ１、Ａａ２から選択的に移送したりすることができる。選択的に気体を移送する場合には、ポンプの能力が高くなくても、気体流路Ａを所望だけ加圧したり減圧したりすることがしやすくなる。
【００６２】
なお、図４では、気体孔と液体孔が第１面ＦＡの面一の面に配置される場合を例示したが、これに限られず、第１面ＦＡは、段差や傾斜の異なる複数の面で構成し、これら複数の面に別々に気体孔と液体孔が配置されていてもよい。気体孔と液体孔との間に、段差を設けることで、もし液体孔からインクが垂れたとしても、そのインクが気体孔まで移動しにくい。したがって、装置本体１０１との間で液体孔を接続する際に、気体孔にインクが入り込むことを抑制できる。
【００６３】
図４の液体吐出ヘッド２０の大気開放用の気体孔Ｂａは、液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２が配置される第１面ＦＡとは、異なる方向を向いている別の第２面ＦＢに配置される。したがって、液体吐出ヘッド２０の外装部４１を装置本体１０１に接続する際に、液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２からインクが垂れて気体孔Ｂａに入り込むことを抑制できる。またもし液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２から第１面ＦＡにインクが垂れたとしても、その垂れたインクが第１面ＦＡとは異なる方向を向いている第２面ＦＢに配置される気体孔Ｂａまでは移動しにくいので、気体孔Ｂａに入り込みにくい。しかも、大気開放用の気体孔Ｂａと、気体移送機構１９による気体移送用の気体孔Ｄａ１、Ｄａ２とは、外装部４１に別々に配置されるから、もし気体孔Ｂａの近傍にインクが垂れても、そのインクが気体移送機構１９を駆動することで気体孔Ｂａに押し込まれることを抑制できる。
【００６４】
気体孔Ａａ１、液体孔Ｄａ１、液体孔Ｅａ１、気体孔Ａａ２、液体孔Ｄａ２、液体孔Ｅａ２はそれぞれ、この順でＸ方向の正側から負側に、仮想直線Ｇに沿って一直線上に配列される。したがって、仮想直線ＧのＸ方向に交差するＹ方向に、液体吐出ヘッド２０を小型化しやすい。第２面ＦＢに配置される大気開放用の気体孔Ｂａは、加圧室ＲＣを大気に開放するための気体流路Ｂに連通する場合を例示したが、これに限られない。大気開放用の気体孔Ｂａは、例えばコンプライアンス基板４５２のダンパー室ＳＧや圧電素子４８４を収容する空間を大気に連通するための気体流路に連通する気体孔であってもよい。また、気体移送用の気体孔としては、図４に例示した場合に限られず、例えばノズルＮ付近の毛羽、紙粉などのゴミを吹き飛ばしたり吸引したりする気体孔であってもよい。また、液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２にはそれぞれ、逆止弁を備えるようにしてもよい。これによれば、液体吐出ヘッド２０内のインクが各液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２から流出することを抑制できる。
【００６５】
ところで、図４のヘッド側接続部４１２の第１面ＦＡにおいて、気体孔Ａａ１と液体孔Ｄａ１と液体孔Ｅａ１とが配置される領域をＨａとし、気体孔Ａｂ１と液体孔Ｄｂ１と液体孔Ｅｂ１とが配置される領域をＨｂとすると、領域Ｈａと領域Ｈｂとの間隔は等しい。また、仮想直線Ｇの方向において、領域Ｈａの気体孔Ａａ１に対する液体孔Ｄａ１と液体孔Ｅａ１との間隔は、領域Ｈｂの気体孔Ａａ２に対する液体孔Ｄａ２と液体孔Ｅａ２との間隔は等しい。したがって、１つの液体吐出ヘッド２０を、３つの液体吐出ヘッド２０が配置されている本体側接続部１０２のどの位置にも接続可能である。なお、図４では、ヘッド側接続部４１２の第１面ＦＡに、２つの液体吐出部４４ごとに対応する２つの領域Ｈａ、Ｈｂを有する場合を例示したが、これに限られない。例えばヘッド側接続部４１２の第１面ＦＡに、複数の液体吐出部４４にそれぞれ対応する複数の領域を有し、複数の領域ごとに、液体孔と気体孔とが配置され、複数の領域のうち任意の領域における一直線の方向の液体孔と気体孔との間隔は、他の領域における仮想直線Ｇの方向の液体孔と気体孔との間隔と等しく、各領域の間隔が等しく構成することができる。これによれば、液体孔と気体孔に接続される本体側接続部１０２の本体側液体孔と本体側気体孔を複数組設けることで、本体側接続部１０２のどの位置にも接続可能となる。
【００６６】
なお、ヘッド側接続部４１２に配置される気体孔と液体孔は、図４に示す場合に限られない。ヘッド側接続部４１２に配置される気体孔と液体孔には、使用しないダミー孔が含まれていてもよい。例えば図５に示す第１実施形態の第１変形例では、図４の液体孔Ｅａ１と気体孔Ａａ２をダミー孔とした場合を例示する。この場合、液体孔Ｅａ１と気体孔Ａａ２は使用されないので、液体孔Ｅａ１と気体孔Ａａ２の位置には、これらに対応する本体側液体孔Ｅｂ１と本体側気体孔Ａｂ２を塞ぐ、突起部Ｐを配置するようにしてもよい。図５の構成によれば、ヘッド側接続部４１２の構成に合わせて、図４の本体側接続部１０２を製造し直さなくても（本体側液体孔Ｅｂ１と本体側気体孔Ａｂ２を形成しないように構成するなどしなくても）、気体孔にインクが入り込むことを抑制できる。
【００６７】
また、図５の構成によれば、液体循環用の液体孔Ｅａ２が仮想直線Ｇの最端部に配置されるので、液体孔Ｅａ２に連通する液体流路Ｄの引き回しを容易にすることができる。なお、図５では、液体循環用の液体孔Ｅａ２を、液体移送用の液体孔Ｄａ１と液体孔Ｄａ２と同じ第１面ＦＡに配置した場合を例示したが、これに限られない。外装部４１の互いに異なる方向の第１面と第２面（第１面はＦＡに限られず、第２面もＦＢに限られない）のうち、一方に液体移送用の液体孔Ｄａ１と液体孔Ｄａ２を配置し、他方に液体循環用の液体孔Ｅａ２を配置するようにしてもよい。このように構成することで、液体孔Ｅａ２に連通する液体流路Ｄの引き回しを容易にすることができる。
【００６８】
また、図４では、外装部４１の同じ面に気体孔と液体孔とを配置した場合を例示したが、外装部４１の異なる面に気体孔と液体孔とを別々に配置してもよい。例えば図６に示す第１実施形態の第２変形例では、ヘッド側接続部４１２の第１面ＦＡに各液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２を配置し、第２面ＦＢに各気体孔Ａａ１、Ａａ２を配置した場合を例示する。図６の構成では、本体側接続部１０２を、ヘッド側接続部４１２の第１面ＦＡに接続する本体側接続部１０２Ａと、第２面ＦＢに接続する本体側接続部１０２Ｂとに分けて構成する。本体側接続部１０２Ａの接続面Ｆ１に、各本体側液体孔Ｄｂ１、Ｄｂ２、Ｅｂ１、Ｅｂ２を配置し、本体側接続部１０２Ｂの接続面Ｆ２に、各本体側気体孔Ａｂ１、Ａｂ２を配置する。
【００６９】
図６の構成によれば、装置本体１０１に液体吐出ヘッド２０の外装部４１を接続する際に、ヘッド側接続部４１２の第１面ＦＡに本体側接続部１０２の接続面Ｆ１を接続することで、各液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２をそれぞれ、各本体側液体孔Ｄｂ１、Ｄｂ２、Ｅｂ１、Ｅｂ２に一度に接続することができる。また、ヘッド側接続部４１２の第２面ＦＢに本体側接続部１０２の接続面Ｆ２を接続することで、各気体孔Ａａ１、Ａａ２をそれぞれ、各本体側気体孔Ａｂ１、Ａｂ２に一度に接続することができる。図６の構成では、各液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２が配置される第１面ＦＡとは、異なる方向を向いている第２面ＦＢに各気体孔Ａａ１、Ａａ２が配置されるから、もし第１面ＦＡに接続面Ｆ１を接続する際に液体孔Ｄａ１、Ｄａ２、Ｅａ１、Ｅａ２から第１面ＦＡにインクが垂れても、そのインクが第２面ＦＢの各気体孔Ａａ１、Ａａ２まで移動しにくい。したがって、複数の気体孔Ａａ１、Ａａ２のそれぞれにインクが入り込むことを抑制できる。
【００７０】
図６の構成においても、図５の場合と同様に、ヘッド側接続部４１２に配置される気体孔と液体孔に、使用しないダミー孔が含まれていてもよい。例えば図７に示す第１実施形態の第３変形例では、図７の液体孔Ｅａ１と気体孔Ａａ２をダミー孔とした場合を例示する。この場合、液体孔Ｅａ１と気体孔Ａａ２は使用されないので、液体孔Ｅａ１と気体孔Ａａ２の位置には、これらに対応する本体側液体孔Ｅｂ１と本体側気体孔Ａｂ２を塞ぐ、突起部Ｐを配置するようにしてもよい。図７の構成によれば、ヘッド側接続部４１２の構成に合わせて、図６の本体側接続部１０２Ａ、１０２Ｂを製造し直さなくても（本体側液体孔Ｅｂ１、本体側気体孔Ａｂ２を形成しないように構成するなどしなくても）、気体孔にインクが入り込むことを抑制できる。
【００７１】
以上説明した図１の液体吐出装置１０のラインヘッド２１では、装置本体１０１に対して同じ構成の図４の液体吐出ヘッド２０を３つ装着した場合を例示したが、これに限られず、装置本体１０１に対して別の構成の液体吐出ヘッド２０を混在して装着してもよい。例えば図４の液体吐出ヘッド２０を第１液体吐出ヘッド２０Ａとし、図５の液体吐出ヘッド２０を第２液体吐出ヘッド２０Ｂとすると、図８に示す第１実施形態の第４変形例では、第１液体吐出ヘッド２０Ａと第２液体吐出ヘッド２０Ｂとを混在して、装置本体１０１の本体側接続部１０２に接続している。上述したように、図４と図５のヘッド側接続部４１２は、図４の本体側接続部１０２に接続可能であるため、図４の第１液体吐出ヘッド２０Ａと図５の第２液体吐出ヘッド２０Ｂとを混在して装置本体１０１に接続できる。
【００７２】
図８の構成によれば、液体吐出装置１０の製造方法として、装置本体１０１に装着された第１液体吐出ヘッド２０Ａおよび第２液体吐出ヘッド２０Ｂのいずれか一方のヘッドを取り外して他方のヘッドに交換する工程を備えることができる。交換工程では、他方のヘッドの気体孔（Ａａ１など）が対応する本体側気体孔（Ａｂ１など）に接続されつつ、液体孔（Ｄａ１など）が対応する本体側液体孔（Ｄｂ１など）に接続される。したがって、交換工程でヘッドを交換するだけで、気体孔にインクが入り込むことを抑制しながら、全体として異なる構成のラインヘッド２１を備える液体吐出装置１０を容易に製造できる。なお、装置本体１０１に対して、第１液体吐出ヘッド２０Ａと第２液体吐出ヘッド２０Ｂのいずれか一方のみを接続して液体吐出装置１０を製造してもよいことは言うまでもない。
【００７３】
上記交換工程によるヘッドの交換は、作業者によって行われるようにしてもよく、またロボットアームなどで自動的に行われるようにしてもよい。この場合、液体吐出装置１０において交換可能な液体吐出ヘッド２０の種類や装着可能な位置の情報を記憶装置に記憶しておき、その記憶された情報に基づいて交換工程が行われるようにしてもよい。このような構成によれば、液体吐出装置１０では、交換できない種類の液体吐出ヘッド２０が誤って装着されたり、位置がずれて装着されたりしてしまうことを抑制できる。交換可能な液体吐出ヘッド２０の種類の情報としては、例えば図８に示す液体吐出ヘッド２０Ａ、２０Ｂのような装着可能なヘッドの種類である。装着可能な液体吐出ヘッド２０の位置の情報としては、例えば液体吐出ヘッド２０を本体側接続部１０２に接続可能な位置の情報である。
【００７４】
このような液体吐出ヘッド２０の位置については、図９に示す第１実施形態の第５変形例のように、液体吐出ヘッド２０Ａと液体吐出ヘッド２０Ｂとを本体側接続部１０２に対して、図１のラインヘッド２１とは異なる位置にずらして接続できる構成を採用することも可能である。図９では、異なる液体吐出ヘッド２０Ａ、２０Ｂを混在できるように構成した場合を例示したが、これに限られず、同じ構成の液体吐出ヘッド２０の数を変えたり、位置をずらしたりできる構成を採用することも可能である。このように、液体吐出ヘッド２０の数や位置を変えることで、印字可能範囲が異なるラインヘッド２１を備える液体吐出装置１０を容易に製造できる。
【００７５】
なお、以上では、図４と図５の構成の液体吐出ヘッド２０を混在できるように構成した場合を例示したが、図６と図７の液体吐出ヘッド２０を混在できるように構成してもよい。例えば図６の液体吐出ヘッド２０を第１液体吐出ヘッド２０Ａとし、図５の液体吐出ヘッド２０を第２液体吐出ヘッド２０Ｂとすると、図１０に示す第１実施形態の第５変形例では、第１液体吐出ヘッド２０Ａと第２液体吐出ヘッド２０Ｂとを混在して、装置本体１０１の本体側接続部１０２Ａ、１０２Ｂに接続している。
【００７６】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態について説明する。以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。第１実施形態の液体吐出ヘッド２０は、４つの液体吐出部４４を備え、ヘッド側接続部４１２の第１面ＦＡに２つの液体吐出部４４ごとに対応する２つの領域Ｈａ、Ｈｂを有する場合を例示した。第２実施形態の液体吐出ヘッド２０は、２つの液体吐出部４４を備え、ヘッド側接続部４１２の第１面ＦＡに、２つの液体吐出部４４に対応する単一の領域Ｈａを有する場合を例示する。
【００７７】
図１１は、第２実施形態に係る液体吐出装置１０の部分的な構成図である。図１２は、第２実施形態のラインヘッド２１を構成する液体吐出ヘッド２０の１つの外観構成を示す斜視図である。図１３は、第２実施形態の液体吐出ヘッド２０の側面図および下面図である。図１２では、液体吐出ヘッド２０が装着される前の本体側接続部１０２を実線で示し、液体吐出ヘッド２０が装着された後の本体側接続部１０２を一点鎖線で示している。図１１乃至図１３に示すように、第２実施形態の液体吐出ヘッド２０は、第１実施形態の液体吐出ヘッド２０をＸ方向に２分割したものであり、第２実施形態の液体吐出ヘッド２０の２つ分で、第１実施形態の液体吐出ヘッド２０と同様の構成になる。すなわち、図１３に示すように、第２実施形態の各液体吐出ヘッド２０では、ヘッド側接続部４１２の第１面ＦＡの領域Ｈａには、液体移送用の液体孔Ｄａと気体移送用の気体孔Ａａと液体循環用の液体孔Ｅａとがこの順に、Ｘ方向の正側から負側に仮想直線Ｇに沿って一直線上に配置される。
【００７８】
図１１に示すように第２実施形態では、図１と同じ本体側接続部１０２に６つの液体吐出ヘッド２０を接続できる。したがって、第１実施形態よりも液体吐出ヘッド２０の数や位置を変える組合せが増えるので、第１実施形態よりも多くの種類のラインヘッド２１を備えた液体吐出装置１０を容易に製造できる。
【００７９】
なお、図１１では、同じ図１３の液体吐出ヘッド２０を６つ接続した場合を例示したが、これに限られない。図１１の本体側接続部１０２は、図１と同様の構成であるため、図４または図５の液体吐出ヘッド２０も接続できる。したがって、図１３の液体吐出ヘッド２０を第１液体吐出ヘッド２０Ａとし、図４の液体吐出ヘッド２０を第２液体吐出ヘッド２０Ｂとすれば、図１４に示す第２実施形態の変形例のように、図１１の本体側接続部１０２に、図１３の第１液体吐出ヘッド２０Ａと図５の第２液体吐出ヘッド２０Ｂとを混在して接続できる。したがって、複数の液体吐出ヘッド２０のうち任意の液体吐出ヘッド２０の気体孔の数は、別の液体吐出ヘッドの気体孔の数と異なるようにすることができる。このように、本体側接続部１０２に対して、気体孔や液体孔の数が異なる液体吐出ヘッド２０も混在して接続することができる。
【００８０】
＜第３実施形態＞
本発明の第３実施形態について説明する。第１実施形態および第２実施形態では、液体吐出ヘッド２０を媒体１１の全幅にわたり配列したラインヘッド２１を例示した。第３実施形態では、液体吐出ヘッド２０を搭載したキャリッジ１８をＸ方向に沿って反復的に往復させるシリアルヘッドを例示する。図１５は、第３実施形態に係る液体吐出装置１０の部分的な構成図である。図１６は、第３実施形態の液体吐出ヘッド２０の外観構成を示す斜視図である。
【００８１】
図１５に示すように、第３実施形態の液体吐出ヘッド２０は、略箱状のキャリッジ１８に搭載され、液体容器１４から供給されるインクを制御装置１２による制御のもとで媒体１１に吐出する。制御装置１２は、Ｙ方向に交差するＸ方向に沿ってキャリッジ１８を往復させる。搬送機構１５による媒体１１の搬送とキャリッジ１８の反復的な往復とに並行して液体吐出ヘッド２０が媒体１１にインクを吐出することで媒体１１の表面に所望の画像が形成される。なお、液体容器１４を液体吐出ヘッド２０とともにキャリッジ１８に搭載することも可能である。
【００８２】
図１６に示すように、第３実施形態の液体吐出ヘッド２０は、１つの液体吐出部４４を備える。なお、図１６の液体吐出ヘッド２０の断面構成は、図３とほぼ同様であるため、詳細な説明を省略する。図１６の液体吐出ヘッド２０は、外装部４１の上面（Ｚ方向の負側の面）をヘッド側接続部４１２として構成している。ヘッド側接続部４１２には、液体移送用の液体孔Ｄａと気体移送用の気体孔Ａａと液体循環用の液体孔Ｅａとがこの順に、Ｘ方向の負側から正側に沿って一直線上に配置される。したがって、第３実施形態の液体吐出ヘッド２０においても、ヘッド側接続部４１２を本体側接続部１０２に接続する際に、気体孔Ａａにインクが垂れて入り込むことを抑制できる。
【００８３】
また、ヘッド側接続部４１２には、大気開放用の気体孔Ｂａも配置される。大気開放用の気体孔Ｂａと、液体孔Ｄａと気体孔Ａａと液体孔Ｅａとの間には、段差４１４が形成されている。したがって、もし液体孔Ｄａ、Ｅａからインクが垂れたとしても、段差４１４が邪魔になるので、そのインクが気体孔Ｂａまで移動しにくい。したがって、気体孔Ｂａにインクが入り込むことを抑制できる。
【００８４】
＜変形例＞
以上に例示した態様および実施形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示や上述の態様から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
【００８５】
（１）上述した実施形態では、圧力室に機械的な振動を付与する圧電素子を利用した圧電方式の液体吐出ヘッド２０を例示したが、加熱により圧力室の内部に気泡を発生させる発熱素子を利用した熱方式の液体吐出ヘッドを採用することも可能である。
【００８６】
（２）上述した実施形態で例示した液体吐出装置１０は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置１０の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等を形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、液体の一種として生体有機物の溶液を吐出するチップ製造装置としても利用される。
【符号の説明】
【００８７】
１０…液体吐出装置、１０１…装置本体、１０２…本体側接続部、１０２Ａ…本体側接続部、１０２Ｂ…本体側接続部、１１…媒体、１２…制御装置、１４…液体容器、１５…搬送機構、１６…液体移送機構、１８…キャリッジ、１９…気体移送機構、２０、２０Ａ…液体吐出ヘッド、２０Ｂ…液体吐出ヘッド、２１…ラインヘッド、２１Ａ、２１Ｂ…構造部、４０…ヘッド本体、４１…外装部、４１２…ヘッド側接続部、４１４…段差、４２…流路ユニット、４４…液体吐出部、４５…コンプライアンス部、４５２…コンプライアンス基板、４５４…支持板、４５６…開口部、４８１…流路基板、４８１Ａ…開口部、４８１Ｂ…分岐流路、４８１Ｃ…連通流路、４８２…圧力室基板、４８２Ａ…開口部、４８３…振動板、４８４…圧電素子、４８５…筐体部、４８６…封止体、４８７…ノズル板、４８８…固定板、４８９…開口部、４９…天井面、７０…開閉弁、７１…可撓膜、７３…袋状体、７８…循環機構、Ａ…気体流路、Ａａ…気体孔、Ａａ１…気体孔、Ａａ２…気体孔、Ａｂ…本体側気体孔、Ａｂ１…本体側気体孔、Ａｂ２…本体側気体孔、Ｂ…気体流路、Ｂａ…気体孔、Ｄ…液体流路、Ｄａ…液体孔、Ｄａ１…液体孔、Ｄａ２…液体孔、Ｄｂ…本体側液体孔、Ｄｂ１…本体側液体孔、Ｄｂ２…本体側液体孔、Ｅａ…液体孔、Ｅａ１…液体孔、Ｅａ２…液体孔、Ｅｂ…本体側液体孔、Ｅｂ１…本体側液体孔、Ｅｂ２…本体側液体孔、Ｅ…液体流路、Ｆ…フィルター、Ｆ１、Ｆ２…接続面、ＦＡ…第１面、ＦＢ…第２面、Ｇ…直線、Ｈａ、Ｈｂ…領域、Ｌ１…第１ノズル列、Ｌ２…第２ノズル列、ＭＡ、ＭＢ、ＭＣ…気体透過膜、Ｎ…ノズル、Ｏ−Ｏ…仮想線、Ｇ−Ｇ…仮想直線、Ｑ…減圧脱泡室、Ｒｉｎ…流入口、Ｒｏｕｔ…排出口、Ｒ１…上流側流路、Ｒ２…下流側流路、ＲＣ…加圧室、ＲＦ…フィルター室、ＲＦ１…空間、ＲＦ２…空間、ＲＶ…鉛直空間、Ｓｐ…バネ、ＳＣ…圧力室、ＳＧ…ダンパー室、ＳＲ…液体貯留室、Ｖ…弁体、Ｖｉｎ…流入口、Ｖｏｕｔ…流出口。
【図１】
2019010860.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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