(57)【要約】【課題】融液内への被処理物の投入時に融液が飛び散ることを抑制することができる被処理物投入装置を提供する。【解決手段】溶融るつぼ２１を内部に有する処理装置２に対し、被処理物を外部から投入するための被処理物投入装置１であって、被処理物を一時的に収容可能な被処理物収容部１１と、被処理物収容部１１に収容された被処理物を処理装置側へ搬送する搬送部１２と、搬送部１２で搬送される被処理物を処理装置２へ導入する導入部１３と、を備え、導入部１３は、処理装置２に備える被処理物の投入口に接続されるジョイント部１３１と、接続された投入口から処理装置２の内部まで入り込んで搬送部１２からの被処理物を下方に位置する溶融るつぼ２１へ案内すべく上下動可能に構成された案内部１３２と、を備え、案内部１３２は、搬送部１２からの被処理物を側方から受け取るために長手方向途中に形成した開口部を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を加熱溶融する溶融るつぼを内部に有する処理装置に対し、被処理物を外部から投入するための被処理物投入装置であって、
前記被処理物を一時的に収容可能な被処理物収容部と、
該被処理物収容部に収容された被処理物を前記処理装置側へ搬送する搬送部と、
該搬送部で搬送される被処理物を前記処理装置へ導入する導入部と、を備え、
該導入部は、前記処理装置に備える被処理物の投入口に接続されるジョイント部と、前記接続された投入口から前記処理装置の内部まで入り込んで前記搬送部からの被処理物を下方に位置する前記溶融るつぼへ案内すべく上下動可能に構成された案内部と、を備え、
該案内部は、前記搬送部からの被処理物を側方から受け取るために長手方向途中に形成した開口部を備えていることを特徴とする被処理物投入装置。
【請求項２】
前記搬送部で搬送される被処理物を前記案内部へ受け渡す受け渡し機構を備え、該受け渡し機構は、一端部が、前記搬送部から受け取り可能に配置され、かつ、他端部が、前記案内部において被処理物が通過する内部の空間に位置するように配置され、前記案内部の上下動に伴い前記搬送部との当接を回避すべく前記開口部を該案内部の長手方向に延びるように形成していることを特徴とする請求項１に記載の被処理物投入装置。
【請求項３】
被処理物が前記搬送部から前記溶融るつぼまで移動する移動経路中に、該被処理物と衝突する衝突面を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の被処理物投入装置。
【請求項４】
前記衝突面は、前記案内部の開口部側に備えていることを特徴とする請求項３に記載の被処理物投入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理物を加熱溶融する溶融るつぼを内部に有する処理装置に対し、被処理物を外部から投入するための被処理物投入装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記処理装置により、例えば半導体基板の材料である単結晶シリコンを製造するには、被処理物であるシリコン材料（シリコンナゲット）が、被処理物投入装置から処理装置に投入され、投入されたシリコンナゲットが処理装置に備える円筒状の導入管を通して溶融るつぼに投入される。投入されたシリコンナゲットは、加熱溶融され、溶融されたシリコンに種となる単結晶シリコンを漬けてから、回転しつつ持ち上げることによって結晶を成長させていき、最終的に略円柱状の単結晶シリコン（インゴット）が形成される（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
前記被処理物投入装置では、シリコン材料を導入管の上端から投入する構成であるため、投入口が高い位置になってしまう。その分、導入管で案内されるシリコン材料の移動速度が速くなる。移動速度が速いシリコン材料が溶融された融液内に投入されると、融液が飛び散ってしまい、その融液が溶融るつぼの近辺に配置しているカーボンで形成されている保温材等に付着してしまう。付着後、加熱されてカーボン（不純物）を含んだシリコン融液となり、その融液が再度溶融るつぼ内に落下してしまい、形成される単結晶シリコンが不良品になってしまうという不都合を発生していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５６８２８０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで本発明は、融液内への被処理物の投入時に融液が飛び散ることを抑制することができる被処理物投入装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の被処理物投入装置は、被処理物を加熱溶融する溶融るつぼを内部に有する処理装置に対し、被処理物を外部から投入するための被処理物投入装置であって、前記被処理物を一時的に収容可能な被処理物収容部と、該被処理物収容部に収容された被処理物を前記処理装置側へ搬送する搬送部と、該搬送部で搬送される被処理物を前記処理装置へ導入する導入部と、を備え、該導入部は、前記処理装置に備える被処理物の投入口に接続されるジョイント部と、前記接続された投入口から前記処理装置の内部まで入り込んで前記搬送部からの被処理物を下方に位置する前記溶融るつぼへ案内すべく上下動可能に構成された案内部と、を備え、該案内部は、前記搬送部からの被処理物を側方から受け取るために長手方向途中に形成した開口部を備えていることを特徴としている。
【０００７】
上記のように、処理装置の溶融るつぼに被処理物を投入する場合には、まず、処理装置に備える被処理物の投入口に被処理物投入装置のジョイント部を接続する。接続が完了すると、案内部を下降させて接続された投入口から処理装置の内部まで入り込ませる。この状態で、搬送部で搬送される被処理物を案内部の長手方向途中に形成した開口部で受け取り、案内部で案内されて溶融るつぼへ被処理物を投入することができる。この時、搬送部で搬送される被処理物を案内部の長手方向途中に形成した開口部の位置は、案内部の上端よりも低い位置になり、その分、溶融るつぼへ投入されるときの被処理物の移動速度を小さく抑えることができる。
【０００８】
また、前記被処理物投入装置は、前記搬送部で搬送される被処理物を前記案内部へ受け渡す受け渡し機構を備え、該受け渡し機構は、一端部が、前記搬送部から受け取り可能に配置され、かつ、他端部が、前記案内部において被処理物が通過する内部の空間に位置するように配置され、前記案内部の上下動に伴い前記搬送部との当接を回避すべく前記開口部を該案内部の長手方向に延びるように形成していてもよい。
【０００９】
上記のように、受け渡し機構の一端部が、搬送部から受け取り可能に配置され、かつ、受け渡し機構の他端部が、案内部において被処理物が通過する内部の空間に位置するように配置されることで、搬送部から搬送される被処理物を確実に受け取って案内部へ確実に受け渡すことができ、スムーズな受け渡しが行える。また、開口部を該案内部の長手方向に延びるように形成することで、案内部の上下動に伴い搬送部との当接を確実に回避することができる。
【００１０】
また、前記被処理物投入装置は、被処理物が前記搬送部から前記溶融るつぼまで移動する移動経路中に、該被処理物と衝突する衝突面を備えていてもよい。
【００１１】
上記のように、移動経路中に備えた衝突面に被処理物が衝突することで、被処理物を減速させることができる。
【００１２】
また、前記被処理物投入装置は、前記衝突面が、前記案内部の開口部側に備えていてもよい。
【００１３】
上記のように、案内部の開口部側に衝突面を備えることで、被処理物が案内部の開口部から飛び出してしまうことを抑制することができながらも、衝突面に衝突させて被処理物を確実に減速させることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、案内部の長手方向途中に被処理物を受け取る開口部を形成することによって、案内部における被処理物の受け取り位置を低くして、被処理物の移動速度を小さく抑えることができるので、融液内への被処理物の投入時に融液が飛び散ることを抑制することができる被処理物投入装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】被処理物投入装置を処理装置に接続した状態を示す側面図である。
【図２】被処理物投入装置を処理装置に接続した状態を示す平面図である。
【図３】被処理物投入装置を処理装置に接続する直前の状態を示す平面図である。
【図４】導入部の縦断面図である。
【図５】トラフと案内部とを示す斜視図である。
【図６】図５とは違う角度で見たときのトラフと案内部とを示す斜視図である。
【図７】図５及び図６とは違う角度で見たときのトラフと案内部とを示す斜視図である。
【図８】（ａ）は、被処理物がトラフから受け渡し機構を介して案内部へ移行して案内される状態を示す説明図であり、（ｂ）は、被処理物がトラフから受け渡し機構を介して案内部へ移行して大きく跳ね上がった状態を示す説明図である。
【図９】別の形態の案内部を備えた被処理物投入装置を処理装置に接続した状態を示す一部断面した側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１及び図２に、本実施形態に係る被処理物投入装置１が処理装置２に接続された状態を示している。この接続状態において処理装置２に被処理物投入装置１からの被処理物が投入されて処理装置２が被処理物の処理を行う。図３は、被処理物投入装置１を処理装置２に接続する直前の状態を示している。
【００１７】
処理装置２は、被処理物を加熱溶融する溶融るつぼ２１をケーシング２２内に備えている。このケーシング２２は、内部を気密状態にすることができるように構成されている。処理装置２は、半導体基板の材料である単結晶シリコンを製造するために用いられる。具体的には、不活性ガス雰囲気中において被処理物としての多結晶シリコン（シリコンナゲット）を溶融るつぼ２１に入れて例えばヒータ等の加熱手段（図示せず）を用いて加熱溶融する。溶融状態となったシリコンに種となる単結晶シリコンを漬けてから、回転しつつ持ち上げることによって結晶を成長させていき、最終的に略円柱状の単結晶シリコン（インゴット）が形成される。前記不活性ガス雰囲気とは、処理装置の内部空間を一度真空引きした上で、アルゴンや窒素等の不活性ガスで満たされた雰囲気を指す。そのため、図示していない脱気ポンプ（真空ポンプ）及び不活性ガス供給管が処理装置２に設けられている。なお、処理する被処理物の種類や処理内容によっては、ケーシング２２の内部を真空雰囲気としてもよいし、また、ケーシング２２の内部を気密状態にしないものとして実施してもよい。
【００１８】
ケーシング２２の上端には、後述する傾斜案内部１３２（図４参照）をケーシング２２内に入り込ませるための開口部２２Ａ（図３参照）が形成され、その開口部２２Ａには、内部を外部から閉鎖するための開放可能な仕切弁（図示せず）を内部に備えるとともに後述するジョイント部１３１を接続するための被ジョイント部２３（図３参照）が取り付けられている。なお、被ジョイント部２３は、ジョイント部１３１との位置決めを容易に行うための位置決めピン（図示せず）を備えている。
【００１９】
被処理物投入装置１は、処理装置２に対し、処理装置２の外部から被処理物を処理装置２の内部の溶融るつぼ２１に投入することができるものである。この被処理物投入装置１は、内部を気密状態にできるように構成されているが、処理装置２と同様に、処理する被処理物の種類や処理内容によっては、内部を気密状態にしないものとして実施してもよい。
【００２０】
また、被処理物投入装置１は、被処理物収容部１１と、搬送部１２と、導入部１３とが連結一体化されて構成されている。これら被処理物収容部１１、搬送部１２、導入部１３を構成する部分のうちの少なくとも被処理物が触れる部分が、石英ガラスで構成されている。
【００２１】
被処理物収容部１１は、図１に示すように、被処理物を一時的に収容するための収容部１１１と、被処理物を収容部１１１に収容する際に用いる収容部１１１の上端の収容口１１１Ａを開閉可能な取っ手１１２Ａ付きの蓋体１１２と、を備えている。収容部１１１は、平面視円形の２個のタンク１１１ａ，１１１ｂを上下に連結されて構成され、下側のタンク１１１ｂには、収容された被処理物の残量を確認するための覗き窓１１１Ｗを備えている。したがって、蓋体１１２を開放することによって、収容口１１１Ａから被処理物を収容部１１１に供給することができ、収容口１１１Ａを閉じることによって外気に対して気密状態を保持することができるように構成されている。
【００２２】
搬送部１２は、被処理物収容部１１に収容された被処理物を処理装置２側へ搬送するように構成され、具体的には、収容部１１１の下方へ落下供給される被処理物を受け取って搬送する電磁振動フィーダから構成されている。この電磁振動フィーダは、駆動部（図示せず）と、駆動部の上方に配置されるトラフ１２１（図５〜図７参照）と、を備え、駆動部を駆動させることによりトラフ１２１を振動させて、トラフ１２１に被処理物収容部１１から落下供給された被処理物を処理装置２側へ搬送する。トラフ１２１は、図５〜図７に示すように、上部及び搬送方向下流端が開放している樋状の部材からなり、下側タンク１１１ｂ側の部分が幅広に構成された第１トラフ部１２１Ａと、この第１トラフ部１２１Ａの搬送終端部から後述する受け渡し機構１４までの部分が幅狭に構成された第２トラフ部１２１Ｂと、を備えている。また、トラフ１２１の被処理物を受ける底板部の内面１２１Ｃに石英ガラスが張られている。また、トラフ１２１は、それの一端が下側のタンク１１１ｂの内部に配置され、他端が下側のタンク１１１ｂから径外方向に突出する突出部１２２（図１及び図２参照）の終端部に配置されている。突出部１２２は、下側のタンク１１１ｂの側部から径外方向外側に突出する断面形状が矩形状の第１突出部１２２Ａと、第１突出部１２２Ａの搬送方向終端（下側のタンク１１１ｂから離間する側端）に連結され、第１突出部１２２Ａと略同一幅でかつ第１突出部１２２Ａの上下寸法の半分以下の寸法に構成された断面形状が矩形状の第２突出部１２２Ｂと、を備えている。また、トラフ１２１の搬送方向終端部の幅方向一端に搬送される被処理物を幅方向中央側に寄せるガイド部１２１Ｈを備えて、被処理物を受け渡し機構１４に確実に受け渡すことができるようにしている。
【００２３】
導入部１３は、搬送部１２で搬送される被処理物を処理装置２へ導入するために設けられている。この導入部１３は、図１及び図２に示すように、縦長状でかつ下方側ほど処理装置２側に位置する傾斜姿勢に構成され、その下端部が前記第２突出部１２２Ｂの搬送方向終端に固定されている。
【００２４】
また、図１〜図４に示すように、導入部１３は、処理装置２に備える被処理物の投入口２３Ａが形成される被ジョイント部２３に接続されるジョイント部１３１と、接続された投入口２３Ａから処理装置２の内部まで入り込んで搬送部１２からの被処理物を下方に位置する溶融るつぼ２１へ案内すべく上下動可能に構成された案内部である傾斜案内部１３２と、傾斜案内部１３２を覆う断面形状円形のケーシング１３３と、を備えている。また、ケーシング１３３の下端部には、搬送部１２からの被処理物を受け入れるための開口１３３Ａ（図４参照）が形成されている。この開口１３３Ａには、搬送部１２からの被処理物を受け取って傾斜案内部１３２へ受け渡すための受け渡し機構１４が配置されている。ここでは、前記案内部を、上下方向に対して所定角度斜めに傾けた傾斜案内部１３２としている。
【００２５】
ジョイント部１３１は、板状で外形が円形状のジョイント部材１３１Ａ（図４参照）を備え、そのジョイント部材１３１Ａを被ジョイント部２３（図３参照）に重ね合わせて両者を接続することができるように構成されている。このジョイント部材１３１Ａの上端には、伸縮自在な成形ベローズ１３１Ｂが設けられている。この成形ベローズ１３１Ｂは、傾斜案内部１３２を保護するためのものである。そして、ジョイント部材１３１Ａの下面が被ジョイント部２３の上面に当接することによって、両者が接続状態になる。このとき、傾斜案内部１３２の下端部が被ジョイント部２３の投入口２３Ａから被ジョイント部２３の内部に入り込むとともに、成形ベローズ１３１Ｂが伸長して傾斜案内部１３２の外面を覆うようになっている。この接続状態で後述する駆動機構１５により傾斜案内部１３２が下降することによって、処理装置２の内部に傾斜案内部１３２を入り込ませることができる。
【００２６】
傾斜案内部１３２は、一側が下端から上端まで同一幅に開口された開口部１３２Ａを有し、かつ、断面形状が半円よりも大きい円弧状（場合によっては半円状でもよい）に構成された樋状に構成されており、搬送部１２からの被処理物を開口部１３２Ａを通して傾斜案内部１３２の内部へ投入できる。この開口部１３２Ａが、搬送部１２からの被処理物を側方から受け取るために傾斜案内部１３２の長手方向途中に形成した開口部に相当する。また、傾斜案内部１３２を上下動させるための駆動機構１５を備えている。
【００２７】
駆動機構１５は、図４に示すように、ケーシング１３３の一端部（上端部）に備えるモータ（ここでは、インダクションモータを用いているが、サーボモータでもよい）１５１と、モータ１５１の回転力が一対の傘歯車１５２，１５３を介して伝達されて回転される螺軸１５４と、螺軸１５４の回転により移動するスライダ１５５と、を備え、スライダ１５５に傾斜案内部１３２の一端（上端）をピン１５６を介して連結している。また、傾斜案内部１３２の一端（上端）には、ケーシング１３３の内面に長手方向に沿って取り付けられた直線状のレール１５７に沿って移動するベアリング１５８を回転自在に支持している。したがって、モータ１５１を例えば一方に駆動回転させることによって、スライダ１５５を螺軸１５４に沿って下方へ移動させることで傾斜案内部１３２を下降させることができ、また、モータ１５１を他方に駆動回転させることによって、スライダ１５５を螺軸１５４に沿って上方へ移動させることで傾斜案内部１３２を上昇させることができる。
【００２８】
図５〜図７に示すように、被処理物を受け取る傾斜案内部１３２の開口部１３２Ａが、搬送部１２から搬送される被処理物の搬送方向に向いていないため、受け渡し機構１４で搬送部１２からの被処理物の排出方向を変更することによって、被処理物を確実に傾斜案内部１３２に受け渡しできるようにしている。
【００２９】
受け渡し機構１４は、搬送部１２の搬送方向終端からの被処理物を受け取れるように前後一対の平行な２枚の板状の壁部１４１，１４２と、これら２枚の壁部１４１，１４２の傾斜案内部１３２の開口部１３２Ａから離間する側の端部同士を連結する板状の連結壁部１４３と、これら３枚の壁部１４１，１４２，１４３の下端に形成される開口を閉じ、かつ、傾斜案内部１３２側へ案内するよう傾斜案内部側ほど下方向に位置する傾斜面を有する板状の底壁部１４４と、を備えている。そして、受け取り側の一端部である前側の壁部１４１が、搬送部１２の搬送終端部の下方に上下方向で重複するように配置され、かつ、受け渡し側の他端部である底壁部１４４及び前後の壁部１４１，１４２における傾斜案内部１３２側の端部が、傾斜案内部１３２内に位置するように（入り込むように）配置されている。したがって、受け渡し機構１４の受け取り側の一端部が、搬送部１２の搬送終端部の下方に上下方向で重複するように配置され、かつ、受け渡し機構１４の受け渡し側の他端部が、傾斜案内部１３２において被処理物が通過する内部の空間に位置するように配置されることで、搬送部１２から搬送される被処理物を確実に受け取って傾斜案内部１３２へ確実に受け渡すことができ、スムーズな受け渡しが行える。また、開口部１３２Ａが傾斜案内部１３２の長手方向全域に形成されていることで、傾斜案内部１３２の上下動に伴い搬送部１２との当接を開口部１３２Ａを介して確実に回避することができる。なお、図４に、受け渡し機構１４を覆うケーシング１７を示している。
【００３０】
受け渡し機構１４の真下、つまり受け渡し機構１４の底壁部１４４の下面には、傾斜案内部１３２に当接して前方側へ跳ね返った被処理物と衝突する衝突面１６Ａを有する板部材１６が設けられている。この板部材１６は、傾斜案内部１３２の開口部１３２Ａの長手方向の一部を塞ぐように配置している。また、板部材１６は、受け渡し機構１４の終端部の下面に傾斜案内部１３２と並行な状態で取り付けられている。このように被処理物の移動経路中に設けた衝突面１６Ａに被処理物が衝突することで、被処理物を減速させることができ、さらに被処理物の移動速度を小さく抑えることができる。また、板部材１６を設けることによって、傾斜案内部１３２に当接して前方側へ跳ね返った被処理物が傾斜案内部１３２の開口部１３２Ａから外側へ飛び出すことを回避する保護部材としても機能している。
【００３１】
前記のように構成された被処理物投入装置１は、図１〜図３に示すように、パンタグラフ式のリフター３１及び４つの車輪３２を備えた自走式の移動装置３に載置されており、４つの車輪３２の駆動を制御することによって、被処理物投入装置１を目標となる位置まで移動させることができ、移動後にリフター３１を伸縮駆動することによって被処理物投入装置１を所定の高さに位置させることができる。
【００３２】
また、前記被処理物投入装置１は、図１に示すように、移動装置３上に設置された旋回機構３３に取り付けられており、旋回機構３３の駆動により図１の縦軸Ｘ回りで被処理物投入装置１を回転させることで、被処理物投入装置１を処理装置２に接続できる位置に位置させることができる。旋回機構３３は、図示していないが、回転台と回転台を回転させるモータと、を備えている。
【００３３】
以上のように構成された被処理物投入装置１により処理装置２に被処理物を投入するまでの過程を説明する。まず、被処理物収容部１に被処理物を収容したのち、移動装置３により処理装置２の所定位置まで移動させる（図２の仮想線及び図３参照）。被処理物投入装置１の高さをリフター３１の伸縮駆動により調整したのち、被処理物投入装置１のジョイント部１３１が処理装置２の被ジョイント部２３に一致するように旋回機構３３を駆動させて被処理物投入装置１を所定角度回転させる（図２の実線参照）。被処理物投入装置１のジョイント部１３１を処理装置２の被ジョイント部２３に一致させて両者の接続が完了すると、モータ１５１を駆動させて傾斜案内部１３２を下降させて処理装置２内の所定位置（溶融るつぼ２１の融液面２１Ａに対する所定位置）まで入り込ませる（図１の破線参照）。
【００３４】
上記状態から、搬送部１２を駆動させて被処理物を搬送し、搬送される被処理物が受け渡し機構１４を介して傾斜案内部１３２に受け渡される。このとき、図８（ａ）に示すように、受け渡し機構１４の底壁部１４４の上面１４４Ａに当接した被処理物Ｓは、傾斜案内部１３２の開口部１３２Ａと対向する上面１３２Ｂに当接しながら落下していき、処理装置２の溶融るつぼ２１に投入される。ところで、受け渡し機構１４の底壁部１４４の上面１４４Ａに当接した被処理物Ｓが、傾斜案内部１３２の開口部１３２Ａと対向する上面１３２Ｂに当接したときに、図８（ｂ）に示すように、大きく飛び跳ねてしまった場合でも、受け渡し機構１４の真下に備えた板部材１６の衝突面（内面）１６Ａに衝突することによって、被処理物Ｓが傾斜案内部１３２から外側へ飛び出すことを回避できるようにしている。
【００３５】
なお、実際の使用に当たっては、一台の被処理物投入装置１に対して２台以上（例えば６台）の処理装置２を設けて、被処理物の処理を行うことが多い。つまり、一台の被処理物投入装置１を複数台の処理装置２に順次接続して被処理物を投入していく方法で処理している。本発明では、搬送部１２で搬送される被処理物を処理装置２へ導入する導入部１３を処理装置２に設けるのではなく、被処理物投入装置１に設けているので、導入部１３を全ての処理装置２に設ける場合に比べてコスト面において有利になる。
【００３６】
尚、本発明に係る被処理物投入装置は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００３７】
例えば、傾斜案内部１３２を長手方向全域に開口する開口部１３２Ａを形成したが、長手方向途中に形成してもよい。この場合、傾斜案内部１３２を上下動させたときに、搬送部１２と当接することがないように開口部を形成することになる。
【００３８】
前記実施形態では、受け渡し機構１４を設けたが、搬送部１２及び傾斜案内部１３２の形状や方向等を工夫することにより、受け渡し機構１４を省略してもよい。
【００３９】
また、前記実施形態では、被処理物を下方に位置する溶融るつぼ２１へ案内する案内部を、傾斜案内部１３２としたが、図９に示すように、上下方向に対して傾けることなく上下方向に沿った垂直な姿勢の案内部１５９であってもよい。この案内部１５９は、図示していない駆動機構により上下動可能に構成されている。また、案内部１５９の長手方向途中に、搬送部１２からの被処理物を側方から受け取るための開口部１５９Ａが形成され、この開口部１５９Ａに搬送部１２の搬送方向終端に設けられたシュート１６０の先端が臨んでいる。従って、シュート１６０からの被処理物が、開口部１５９Ａを通して案内部１５９内に投入され、案内部１５９により溶融るつぼ２１に投入される。図９に示す他の部分は、前述したものと同一であるため、説明を省略し、同一の符号を付している。
【符号の説明】
【００４０】
１…被処理物投入装置、２…処理装置、３…移動装置、１１…被処理物収容部、１２…搬送部、１３…導入部、１４…受け渡し機構、１５…駆動機構、１６…板部材、１６Ａ…衝突面、１７，２２…ケーシング、２１…溶融るつぼ、２１Ａ…融液面、２２Ａ…開口部、２３…被ジョイント部、２３Ａ…投入口、３１…リフター、３２…車輪、３３…旋回機構、１１１…収容部、１１１Ａ…収容口、１１１Ｗ…窓、１１１ａ，１１１ｂ…上下タンク、１１２…蓋体、１１２Ａ…取っ手、１２１…トラフ、１２１Ａ…第１トラフ部、１２１Ｂ…第２トラフ部、１２１Ｃ…内面、１２１Ｈ…ガイド部、１２２…突出部、１２２Ａ…第１突出部、１２２Ｂ…第２突出部、１３１…ジョイント部、１３１Ａ…ジョイント部材、１３１Ｂ…成形ベローズ、１３２…傾斜案内部、１３２Ａ…開口部、１３２Ｂ…上面、１３３…ケーシング、１３３Ａ…開口、１４１，１４２…前後の壁部、１４３…連結壁部、１４４…底壁部、１４４Ａ…上面、１５１…モータ、１５２，１５３…傘歯車、１５４…螺軸、１５５…スライダ、１５６…ピン、１５７…レール、１５８…ベアリング、１５９…案内部、１５９Ａ…開口部、１６０…シュート、Ｓ…被処理物、Ｘ…縦軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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