(57)【要約】【課題】作業室に垂直気流と水平気流を選択的に得ることができるクリーンベンチを提供する。【解決手段】ファン２０によって吹き出され、フィルタ２１を通ることで清浄化された空気を作業室１６に整流して吹き込むための整流板が、天井部１４、後壁部１３、および隅部１７に、空気が流通可能な隙間Ｓを隔てて、かつ取り外し可能に取り付けられ、整流板として、垂直気流用整流板２５Ａと、水平気流用整流板２５Ｂとを備え、垂直気流用整流板２５Ａと水平気流用整流板２５Ｂとが選択的に取り付けられるので、作業室１６に垂直気流と水平気流を選択的に得ることができる。【選択図】図１
2019209320.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面が開口部となっている作業用の作業室を有し、この作業室の天井部にファンおよびフィルタが設けられたクリーンベンチであって、
前記ファンによって吹き出され、前記フィルタを通ることで清浄化された清浄空気を前記作業室に整流して吹き込むための整流板が、前記天井部および前記作業室の後壁部との間に空気が連続的に流通可能な隙間を隔てて、取り外し可能に取り付けられ、
前記整流板は、前記天井部との間に隙間を隔てて配置される上面板と、前記後壁部との間に隙間を隔てて配置される後面板とを備え、
前記整流板として、
前記上面板に、前記清浄空気を前記作業室に下方に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられ、前記後面板に吹出口が設けられていない垂直気流用整流板と、
前記後面板に、前記清浄空気を前記作業室に水平方向に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられ、前記上面板に吹出口が設けられていない水平気流用整流板と、を備え、
前記垂直気流用整流板と前記水平気流用整流板とが選択的に取り付けられることを特徴とするクリーンベンチ。
【請求項２】
前面が開口部となっている作業用の作業室を有し、この作業室の天井部にファンおよびフィルタが設けられたクリーンベンチであって、
前記ファンによって吹き出され、前記フィルタを通ることで清浄化された清浄空気を前記作業室に整流して吹き込むための整流板が、前記天井部および前記作業室の後壁部との間に空気が連続的に流通可能な隙間を隔てて、取り外し可能に取り付けられ、
前記整流板は、前記天井部との間に隙間を隔てて配置される上面板と、前記後壁部との間に隙間を隔てて配置される後面板とを備え、
前記整流板として、
前記上面板に、前記清浄空気を前記作業室に下方に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられ、前記後面板に吹出口が設けられていない垂直気流用整流板と、
前記後面板に、前記清浄空気を前記作業室に水平方向に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられ、前記上面板に吹出口が設けられていない水平気流用整流板と、
前記上面板に前記清浄空気を前記作業室に下方に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられるとともに、前記後面板に前記清浄空気を前記作業室に水平方向に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられた垂直水平気流用整流板とを備え、
前記垂直気流用整流板と、前記水平気流用整流板と、前記垂直水平気流用整流板とが選択的に取り付けられることを特徴とするクリーンベンチ。
【請求項３】
前記整流板は、前記上面板と前記後面板とを滑らかに接続する断面円弧状の曲面板を更に備え、前記曲面板に、前記清浄空気を前記作業室に斜め下方に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のクリーンベンチ。
【請求項４】
前記水平気流用整流板または前記垂直水平気流用整流板の前記後面板の背面側に、下方に向かうほど前記作業室側に近付くように傾斜する傾斜型風向板が設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のクリーンベンチ。
【請求項５】
前記傾斜型風向板の前記作業室側を向く面に、前記作業室側に向けて突出する突出型風向板が設けられていることを特徴とする請求項４に記載のクリーンベンチ。
【請求項６】
前記水平気流用整流板または前記垂直水平気流用整流板の後面板にスクリーンメッシュが取り付けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のクリーンベンチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンベンチに関する。
【背景技術】
【０００２】
無塵、無菌の状態を必要とする実験や作業をクリーンルームではない通常の環境において行うためのクリーンベンチは、例えば特許文献１に記載されているように、作業台上に、前面にのみ作業用の開口部を設けた作業室を形成するとともに、その天井部にファンと高性能フィルタを設け、ファンによって空気を高性能フィルタを通して清浄化したうえで、この清浄化された清浄空気を常時作業室に吹き出して流下させ、上下動するシャッタを有するシャッタ装置を付設した開口部から流出させることにより、作業室を清浄に保つようにしていている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−８４９８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来のクリーンベンチでは、高性能フィルタを通して清浄化された清浄空気を天井部から作業室に下方に向けて吹き出しているが、つまり、清浄空気が垂直気流となっているが、垂直気流に加えて、または垂直気流に代えて水平気流を作業室に得たい場合もある。さらに、作業室の天井部と後壁部との間の隅部から吹き出す斜め気流を得たい場合もある。
しかし、従来のクリーンベンチでは、作業室の天井部にファンを設けているので、作業室の後壁部や、天井部と後壁部との隅部から清浄空気を吹き出して、水平気流や斜め気流を得ることは困難であった。
【０００５】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、作業室に垂直気流と水平気流を選択的に得ることができ、さらに、斜め気流も選択的に得ることができるクリーンベンチを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のクリーンベンチは、前面が開口部となっている作業用の作業室を有し、この作業室の天井部にファンおよびフィルタが設けられたクリーンベンチであって、
前記ファンによって吹き出され、前記フィルタを通ることで清浄化された清浄空気を前記作業室に整流して吹き込むための整流板が、前記天井部および前記作業室の後壁部との間に空気が連続的に流通可能な隙間を隔てて、取り外し可能に取り付けられ、
前記整流板は、前記天井部との間に隙間を隔てて配置される上面板と、前記後壁部との間に隙間を隔てて配置される後面板とを備え、
前記整流板として、
前記上面板に、前記清浄空気を前記作業室に下方に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられ、前記後面板に吹出口が設けられていない垂直気流用整流板と、
前記後面板に、前記清浄空気を前記作業室に水平方向に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられ、前記上面板に吹出口が設けられていない水平気流用整流板と、を備え、
前記垂直気流用整流板と前記水平気流用整流板とが選択的に取り付けられることを特徴とする。
【０００７】
本発明においては、垂直気流用整流板と水平気流用整流板とが選択的に取り付けられるので、作業室に垂直気流と水平気流とを選択的に得ることができる。
すなわち、垂直気流用整流板を選択して取り付けると、上面板に吹出口が設けられ、後面板に吹出口が設けられていないので、作業室に垂直気流のみを得ることができる。
また、水平気流用整流板を選択して取り付けると、後面板に吹出口が設けられ、上面板に吹出口が設けられていないので、作業室に水平気流のみを得ることができる。
【０００８】
また、本発明のクリーンベンチは、前面が開口部となっている作業用の作業室を有し、この作業室の天井部にファンおよびフィルタが設けられたクリーンベンチであって、
前記ファンによって吹き出され、前記フィルタを通ることで清浄化された清浄空気を前記作業室に整流して吹き込むための整流板が、前記天井部および前記作業室の後壁部との間に空気が連続的に流通可能な隙間を隔てて、取り外し可能に取り付けられ、
前記整流板は、前記天井部との間に隙間を隔てて配置される上面板と、前記後壁部との間に隙間を隔てて配置される後面板とを備え、
前記整流板として、
前記上面板に、前記清浄空気を前記作業室に下方に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられ、前記後面板に吹出口が設けられていない垂直気流用整流板と、
前記後面板に、前記清浄空気を前記作業室に水平方向に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられ、前記上面板に吹出口が設けられていない水平気流用整流板と、
前記上面板に前記清浄空気を前記作業室に下方に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられるとともに、前記後面板に前記清浄空気を前記作業室に水平方向に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられた垂直水平気流用整流板とを備え、
前記垂直気流用整流板と、前記水平気流用整流板と、前記垂直水平気流用整流板とが選択的に取り付けられることを特徴とする。
【０００９】
本発明においては、作業室に垂直気流と水平気流とを選択的に得ることができる他、垂直水平気流用整流板を選択して取り付けると、上面板に吹出口が設けられ、後面板に吹出口が設けられているので、作業室に垂直気流および水平気流を得ることができる。
【００１０】
また、本発明の前記構成において、前記整流板は、前記上面板と前記後面板とを滑らかに接続する断面円弧状の曲面板を更に備え、前記曲面板に、前記清浄空気を前記作業室に斜め下方に向けて吹き出す複数の吹出口が設けられていてもよい。
【００１１】
このような構成によれば、整流板として垂直水平気流用整流板を選択することによって、上面板、後面板および曲面板にそれぞれ吹出口が設けられているので、作業室に垂直気流、水平気流および斜め気流の３種類の気流を得ることができる。
また、整流板として垂直気流用整流板を選択することによって、上面板および曲面板にそれぞれ吹出口が設けられ、後面板に吹出口を設けられていないので、作業室に垂直気流および斜め気流を得ることができる。
また、整流板として水平気流用整流板を選択することによって、後面板および曲面板にそれぞれ吹出口が設けられ、上面板に吹出口が設けられていないので、作業室に水平気流および斜め気流を得ることができる。
したがって、作業室に垂直気流、水平気流および斜め気流を選択的に得ることができる。
【００１２】
また、本発明の前記構成において、前記水平気流用整流板または前記垂直水平気流用整流板の前記後面板の背面側に、下方に向かうほど前記作業室側に近付くように傾斜する傾斜型風向板が設けられていてもよい。
【００１３】
このような構成によれば、ファンによって吹き出され、フィルタを通ることで清浄化された清浄空気が後面板の背面側において下方に向けて流れる際に、当該清浄空気が傾斜型風向板に当たって作業室側に向かうように制御されるとともに、下方側ほど、後面板と傾斜型風向板との間の流路の流路断面積が小さくなり、その分、清浄空気の流速が増加する。したがって、清浄空気は作業室に向かって水平に流れ易くなるとともに、後面板の下部において清浄空気が滞留し難くなるので、作業室にほぼ均一な速度の水平気流を得ることができる。
【００１４】
また、本発明の前記構成において、前記傾斜型風向板の前記作業室側を向く面に、前記作業室側に向けて突出する突出型風向板が設けられていてもよい。
この場合、突出型風向板は上下に所定間隔で複数設けてもよいし、また、当該突出型風向板に、その厚さ方向に貫通する孔やスリットを形成してもよい。
【００１５】
このような構成によれば、清浄空気が後面板の背面側において下方に向けて流れる際に、当該清浄空気が傾斜型風向板に当たって暴れる場合に、突出型風向板によって当該暴れる清浄空気を整流して、作業室側に向けて流すことがきる。このため、作業室にほぼ均一な速度の水平気流を効果的に得ることができる。
【００１６】
また、本発明の前記構成において、前記水平気流用整流板または前記垂直水平気流用整流板の後面板にスクリーンメッシュが取り付けられていてもよい。
【００１７】
このような構成によれば、水平気流用整流板または垂直水平気流用整流板の後面板の背面側を流れる清浄空気を整流して後面板に設けられた吹出口から水平に吹出すことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、作業室に垂直気流と水平気流を選択的に得ることができ、さらに、斜め気流も選択的に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るクリーンベンチを示すもので、（ａ）は概略構成を示す側断面図、（ｂ）は複数種類の整流板を示す側断面図である。
【図２】同、シャッタが開いている状態のクリーンベンチの骨組を示す斜視図である。
【図３】同、シャッタが閉じている状態のクリーンベンチの骨組を示す斜視図である。
【図４】同、整流板が取り付けられたクリーンベンチの骨組を示す斜視図である。
【図５】同、整流板が取り付けられたクリーンベンチの側断面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係るクリーンベンチを示すもので、概略構成を示す側断面図である。
【図７】同、整流板が取り付けられたクリーンベンチの骨組を示す斜視図である。
【図８】同、整流板が取り付けられたクリーンベンチの側断面図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態に係るクリーンベンチを示すもので、概略構成を示す側断面図である。
【図１０】同、整流板が取り付けられたクリーンベンチの骨組を示す斜視図である。
【図１１】同、整流板が取り付けられたクリーンベンチの側断面図である。
【図１２】本発明の第４の実施の形態に係るクリーンベンチを示すもので、概略構成を示す側断面図である。
【図１３】同、整流板が取り付けられたクリーンベンチの骨組を示す斜視図である。
【図１４】同、整流板が取り付けられたクリーンベンチの側断面図である。
【図１５】本発明の第５の実施の形態に係るクリーンベンチを示すもので、概略構成を示す側断面図である。
【図１６】同、整流板が取り付けられたクリーンベンチの骨組を示す斜視図である。
【図１７】同、整流板が取り付けられたクリーンベンチの側断面図である。
【図１８】本発明の第２の実施の形態に係るクリーンベンチにおいて、傾斜型風向板、突出型風向板およびスクリーンメッシュを設けた場合の概略構成を示す側断面図である。
【図１９】本発明の第２の実施の形態に係るクリーンベンチの突出型風向板の第１例を示すもので、（ａ）は突出型風向板の要部の平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図２０】本発明の第２の実施の形態に係るクリーンベンチの突出型風向板の第２例を示すもので、（ａ）は突出型風向板の要部の平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図２１】本発明の第２の実施の形態に係るクリーンベンチの突出型風向板の第３例を示すもので、（ａ）は突出型風向板の要部の平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図２２】本発明における実験例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
（第１の実施の形態）
図１は第１の実施の形態に係るクリーンベンチ１０の概略構成を示す側断面図である。
第１の実施の形態のクリーンベンチ１０は、作業台１１の上方に、両側壁部１２，１２、後壁部１３および天井部１４によって区画され、前面が開口部１５となっている作業用の作業室１６を有している。また、天井部１４の上方には、ファン２０およびフィルタ２１が設けられている。ファン２０としては遠心送風機の一つであるターボファンが使用されているが、シロッコファンを使用してもよい。
【００２１】
フィルタ２１としては例えばＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタが使用されている。また、クリーンベンチ１０の天井部には空気を取り入れるための開口部２２が設けられており、ファン２０によって開口部２２を通して外部の空気を吸引し、この吸引された空気を吹き出してフィルタ２１を通し、当該空気に含まれていた塵埃等の不純物を捕集することによって、清浄化された清浄空気をフィルタ２１の下面から吹き出すようになっている。なお、フィルタ２１はクリーンベンチ１０に着脱可能に設けられている。また、図１では、作業台１１を支持している下部フレームは図示を省略している。
【００２２】
図２および図３は、クリーンベンチ１０の骨組を示す斜視図であり、図２はシャッタが開いている状態、図３はシャッタが閉じている状態を示す。なお、図２および図３では、図１に示している作業台１１、両側壁部１２，１２、天井部１４、ファン２０およびフィルタ２１の図示を省略している。また、図２および図３では、後述する整流板２５Ａの図示を省略している。
【００２３】
クリーンベンチ１０は、シャッタ装置３０を備えており、このシャッタ装置３０は、上下動可能なシャッタ３１と、このシャッタ３１を上下動可能に支持するレール部３２を備えている。さらに、シャッタ装置３０は、シャッタ３１に一端部が取り付けられて、当該シャッタ３１の上下動に追従して作動するワイヤ３５と、このワイヤ３５の他端部が取り付けられるとともに、シャッタ３１を上昇させる方向に付勢する定荷重バネを複数備えたコンストンユニット３６と、複数の定滑車３７とを備えている。
シャッタ３１は、クリーンベンチ１０の前面に設けられた作業用の開口部１５を開閉するものであり、レール部３２に沿って斜め上下方向に移動するようになっている。
【００２４】
このような構成のシャッタ装置３０では、図３に示すようなシャッタ３１が閉じている状態において、シャッタ３１には、その重力に抗してコンストンユニット３６からワイヤ３５を介して、上方に引っ張る力が作用し、この力がシャッタ３１に作用する重力と釣り合う。このため、シャッタ３１は閉じた状態に保持される。
【００２５】
また、シャッタ３１を閉じた状態から作業によって上方に引き上げると、シャッタ３１に作用する重力とコンストンユニット３６による引っ張り力が釣り合っているので、容易にシャッタ３１を引き上げることができる。同様に、シャッタ３１を開いている状態から作業者によって下方に引き下げる場合も、シャッタ３１に作用する重力とコンストンユニット３６による引っ張り力が釣り合っているので、容易にシャッタ３１を引き下げることができる。
【００２６】
図１、図４および図５に示すように、このようなクリーンベンチ１０は、ファン２０によって吹き出され、フィルタ２１を通ることで清浄化された空気を作業室１６に整流して吹き込むための整流板２５Ａが取り外し可能に取り付けられている。なお、図４および図５では、シャッタ３１を上下動可能に支持するレール部３２の図示を省略するとともに、シャッタ３１の上部を切り欠いている。
【００２７】
整流板２５Ａは、垂直気流用整流板であり、天井部１４、後壁部１３および天井部１４と後壁部１３との間の隅部１７に、空気が流通可能な隙間Ｓを隔てて配置されている。整流板２５Ａは略水平に配置されている上面板２５ａと、略垂直に配置されている後面板２５ｂとによって断面Ｌ形に一体的に形成されている。また、上面板２５ａは天井部１４をほぼ覆うように配置され、後面板２５ｂは後壁部１３および隅部１７をほぼ覆うように配置されている。また、上面板２５ａは天井部１４との間に空気が流通可能な隙間Ｓを隔てて配置され、後面板２５ｂは後壁部１３および隅部１７との間に空気が流通可能な隙間Ｓを隔てて配置されている。
【００２８】
このような整流板２５Ａを取り外し可能に取り付けるには、例えば、上面板２５ａおよび／または後面板２５ｂをビス等の止着材によって天井部１４や後壁部１３に取り外し可能に固定してもよいし、天井部１４および／または後壁部１３に、図示しないフック等を取り付けておき、このフックに整流板２５Ａを取り外し可能に係止してもよい。
なお、後述する整流板２５Ｂ〜２５Ｅも整流板２５Ａと同様にして取り外し可能に取り付けられる。
【００２９】
また、整流板２５Ａの上面板２５ａには、空気を作業室１６に下方に向けて吹き出す複数の吹出口２５ｃが設けられている。吹出口２５ｃは円形状の小孔であり、上面板２５ａのほぼ全域に亙って縦横に一定間隔で多数形成されている。また、後面板２５ｂは平板状に形成され、吹出口は設けられていない。
【００３０】
このような整流板（垂直気流用整流板）２５Ａを備えたクリーンベンチ１０では、整流板２５Ａを天井部１４に対向して配置される上面板２５ａと、後壁部１３および隅部１７に対向して配置される後面板２５ｂとを備えたものとし、上面板２５ａに多数の吹出口２５ｃを設け、後面板２５ｂに吹出口を設けないことによって、作業室１６に垂直気流ＫＲ１のみを得ることができる。つまり、上面板２５ａに多数の吹出口２５ｃを設け、後面板２５ｂに吹出口を設けない整流板２５Ａを取り付けることによって、作業室１６に垂直気流ＫＲ１のみを得ることができる。
なお、上面板２５ａに設けられた多数の吹出口２５ｃから吹出された空気は、前記垂直気流ＫＲ１を形成した後は、シャッタ３１を開くことによって開放されている開口部１５を通して外部に放出される。
【００３１】
また、クリーンベンチ１０においては、整流板２５Ａが取り外し可能に取り付けられているので、当該整流板２５Ａを取り外しして、図１（ｂ）に示す後述するような整流板２５Ｂ〜２５Ｅを選択的に取り付けることによって、作業室１６に垂直気流、水平気流および斜め気流を選択的に得ることができる。
【００３２】
（第２の実施の形態）
図６〜図８は第２の実施の形態にかかるクリーンベンチ１０を示すもので、図６はクリーンベンチ１０の概略構成を示す側断面図、図７はクリーンベンチ１０の骨組を示す斜視図、図８は同側断面図である。
本実施の形態のクリーンベンチ１０も、第１の実施の形態のクリーンベンチ１０と同様に、ファン２０、フィルタ２１およびシャッタ３１を備えているが、図７および図８では、ファン、フィルタおよびシャッタの図示を省略している。
本実施の形態のクリーンベンチ１０が第１の実施の形態のクリーンベンチ１０と異なる点は、整流板２５Ａを取り外して整流板２５Ｂを取り付けた点であるので、以下ではこの点について説明し、第１の実施の形態と同一構成には同一符号を付してその説明を省略ないし簡略化する。
【００３３】
整流板２５Ｂは、水平気流用整流板であり、天井部１４、後壁部１３および天井部１４と後壁部１３との間の隅部１７に、空気が流通可能な隙間Ｓを隔てて配置されている。整流板２５Ｂは略水平に配置されている上面板２５ａと、略垂直に配置されている後面板２５ｂとによって断面Ｌ形に一体的に形成されている。
また、上面板２５ａは天井部１４をほぼ覆うように配置され、後面板２５ｂは後壁部１３および隅部１７をほぼ覆うように配置されている。また、上面板２５ａは天井部１４との間に空気が流通可能な隙間Ｓを隔てて配置され、後面板２５ｂは後壁部１３および隅部１７との間に空気が流通可能な隙間Ｓを隔てて配置されている。
また、整流板２５Ｂの後面板２５ｂには、空気を作業室１６に水平方向に向けて吹き出す複数の吹出口２５ｃが設けられている。吹出口２５ｃは円形状の小孔であり、後面板２５ｂのほぼ全域に亙って縦横に一定間隔で多数形成されている。
また、上面板２５ａは平板状に形成され、吹出口は設けられていない。
【００３４】
このような整流板（水平気流用整流板）２５Ｂを備えたクリーンベンチ１０では、整流板２５Ｂを天井部１４に対向して配置される上面板２５ａと、後壁部１３に対向して配置される後面板２５ｂとを備えたものとし、後面板２５ｂに多数の吹出口２５ｃを設け、上面板２５ａに吹出口を設けないことによって、作業室１６に水平気流ＫＲ２のみを得ることができる。つまり、後面板２５ｂに多数の吹出口２５ｃを設け、上面板２５ａに吹出口を設けない整流板２５Ｂを取り付けることによって、作業室１６に水平気流ＫＲ２のみを得ることができる。
なお、後面板２５ｂに設けられた多数の吹出口２５ｃから吹出された空気は、前記水平気流ＫＲ２を形成した後は、シャッタ３１を開くことによって開放されている開口部１５を通して外部に放出される。
【００３５】
（第３の実施の形態）
図９〜図１１は第３の実施の形態にかかるクリーンベンチ１０を示すもので、図９はクリーンベンチ１０の概略構成を示す側断面図、図１０はクリーンベンチ１０の骨組を示す斜視図、図１１は同側面図である。
本実施の形態のクリーンベンチ１０も、第１および第２の実施の形態のクリーンベンチ１０と同様に、ファン２０、フィルタ２１およびシャッタ３１を備えているが、図１０および図１１では、ファン、フィルタおよびシャッタの図示を省略している。
本実施の形態のクリーンベンチ１０が第１および第２の実施の形態のクリーンベンチ１０と異なる点は、整流板２５Ａまたは整流板２５Ｂを取り外して整流板２５Ｃを取り付けた点であるので、以下ではこの点について説明し、第１および第２の実施の形態と同一構成には同一符号を付してその説明を省略ないし簡略化する。
【００３６】
整流板２５Ｃは、斜め気流も形成できる垂直水平気流用整流板であり、天井部１４、後壁部１３および天井部１４と後壁部１３との間の隅部１７に、空気が流通可能な隙間Ｓを隔てて配置されている。整流板２５Ｃは略水平に配置されている上面板２５ａと、略垂直に配置されている後面板２５ｂと、上面板２５ａと後面板２５ｂを滑らかにつなぐ断面円弧状の曲面板２５ｄとによって一体的に形成されている。
また、上面板２５ａは天井部１４と後壁部１３との隅部１７を除いて、天井部１４をほぼ覆うようにして設けられ、後面板２５ｂは隅部１７を除いて後壁部１３をほぼ覆うようにして設けられ、曲面板２５ｄは隅部１７を覆うようにして設けられている。なお、上面板２５ａは、第１および第２の実施の形態における整流板２５Ａ，２５Ｂの上面板２５ａより作業室１６の奥行方向（図９および図１１において左右方向）の長さ後面板２５ｂより上下方向の長さが短くなっている。
【００３７】
上面板２５ａには、空気を作業室１６に下方に向けて吹き出す複数の吹出口２５ｃが設けられ、後面板２５ｂには、空気を作業室に水平方向に向けて吹き出す複数の吹出口２５ｃが設けられ、曲面板２５ｄには、空気を作業室１６に斜め下方に向けて吹き出す複数の吹出口２５ｃが設けられている。
吹出口２５ｃは円形状の小孔であり、上面板２５ａ、後面板２５ｂおよび曲面板２５ｄのほぼ全域に亙って縦横に一定間隔で多数形成されている。
【００３８】
このような整流板（垂直水平気流用整流板）２５Ｃを備えたクリーンベンチ１０では、整流板２５Ｃを天井部１４に対向して配置される上面板２５ａと、後壁部１３に対向して配置される後面板２５ｂと、隅部１７に対向して配置される曲面板２５ｄを備えたものとし、上面板２５ａ、後面板２５ｂおよび曲面板２５ｄにそれぞれ多数の吹出口２５ｃを設けたので、作業室１６に垂直気流ＫＲ１、水平気流ＫＲ２および斜め気流ＫＲ３を得ることができる。つまり、上面板２５ａ、後面板２５ｂおよび曲面板２５ｄにそれぞれ多数の吹出口２５ｃを設けた整流板２５Ｃを取り付けることによって、作業室１６に垂直気流ＫＲ１、水平気流ＫＲ２および斜め気流ＫＲ３を得ることができる。
なお、上面板２５ａ、後面板２５ｂおよび曲面板２５ｄにそれぞれ設けられた多数の吹出口２５ｃから吹出された空気は、前記垂直気流ＫＲ１、水平気流ＫＲ２および斜め気流ＫＲ３を形成した後は、シャッタ３１を開くことによって開放されている開口部１５を通して外部に放出される。
【００３９】
なお、本実施の形態では、垂直水平気流用整流板２５Ｃは、上面板２５ａと後面板２５ｂと曲面板２５ｄとを備えた構成としたが、曲面板２５ｄを設けることなく、上面板２５ａと後面板２５ｂとによって構成してもよい。この場合、垂直水平気流用整流板は、図１（ｂ）の垂直気流用整流板２５Ａまたは水平気流用整流板２５Ｂと同様に、上面板２５ａと、後面板２５ｂとによって断面Ｌ形に一体的に形成したものとすればよい。
【００４０】
（第４の実施の形態）
図１２〜図１４は第４の実施の形態にかかるクリーンベンチ１０を示すもので、図１２はクリーンベンチ１０の概略構成を示す側断面図、図１３はクリーンベンチ１０の骨組を示す斜視図、図１４は同側面図である。
本実施の形態のクリーンベンチ１０も、第１〜第３の実施の形態のクリーンベンチ１０と同様に、ファン２０、フィルタ２１およびシャッタ３１を備えているが、図１３および図１４では、ファン、フィルタおよびシャッタの図示を省略している。
本実施の形態のクリーンベンチ１０が第１〜第３の実施の形態のクリーンベンチ１０と異なる点は、整流板２５Ａ、整流板２５Ｂまたは整流板２５Ｃを取り外して整流板２５Ｄを取り付けた点であるので、以下ではこの点について説明し、第１〜第３の実施の形態と同一構成には同一符号を付してその説明を省略ないし簡略化する。
【００４１】
整流板２５Ｄは、斜め気流も形成できる垂直気流用整流板であり、天井部１４、後壁部１３および天井部１４と後壁部１３との間の隅部１７に、空気が流通可能な隙間Ｓを隔てて配置されている。整流板２５Ｄは略水平に配置されている上面板２５ａと、略垂直に配置されている後面板２５ｂと、上面板２５ａと後面板２５ｂを滑らかにつなぐ断面円弧状の曲面板２５ｄとによって一体的に形成されている。
また、上面板２５ａは天井部１４と後壁部１３との隅部１７を除いて、天井部１４をほぼ覆うようにして設けられ、後面板２５ｂは隅部１７を除いて後壁部１３をほぼ覆うようにして設けられ、曲面板２５ｄは隅部１７を覆うようにして設けられている。なお、上面板２５ａ、後面板２５ｂおよび曲面板２５ｄは、第３の実施の形態における整流板２５Ｃの上面板２５ａ、後面板２５ｂおよび曲面板２５ｄと同形、同大に形成されている。
【００４２】
上面板２５ａには、空気を作業室１６に下方に向けて吹き出す複数の吹出口２５ｃが設けられ、曲面板２５ｄには、空気を作業室１６に斜め下方に向けて吹き出す複数の吹出口２５ｃが設けられ、後面板２５ｂには、吹出口が設けられていない。
【００４３】
このような整流板（垂直気流用整流板）２５Ｄを備えたクリーンベンチ１０では、整流板２５Ｄを天井部１４に対向して配置される上面板２５ａと、後壁部１３に対向して配置される後面板２５ｂと、隅部１７に対向して配置される曲面板２５ｄを備えたものとし、上面板２５ａおよび曲面板２５ｄにそれぞれ多数の吹出口２５ｃを設け、後面板２５ｂに吹出口を設けないので、作業室１６に垂直気流ＫＲ１および斜め気流ＫＲ３を得ることができる。つまり、上面板２５ａおよび曲面板２５ｄにそれぞれ多数の吹出口２５ｃを設け、後面板２５ｂに吹出口を設けない整流板２５Ｄを取り付けることによって、作業室１６に垂直気流ＫＲ１および斜め気流ＫＲ３を得ることができる。
なお、上面板２５ａおよび曲面板２５ｄにそれぞれ設けられた多数の吹出口２５ｃから吹出された空気は、前記垂直気流ＫＲ１および斜め気流ＫＲ３を形成した後は、シャッタ３１を開くことによって開放されている開口部１５を通して外部に放出される。
【００４４】
（第５の実施の形態）
図１５〜図１７は第５の実施の形態にかかるクリーンベンチ１０を示すもので、図１５はクリーンベンチ１０の概略構成を示す側断面図、図１６はクリーンベンチ１０の骨組を示す斜視図、図１７は同側面図である。
本実施の形態のクリーンベンチ１０も、第１〜第４の実施の形態のクリーンベンチ１０と同様に、ファン２０、フィルタ２１およびシャッタ３１を備えているが、図１５および図１７では、ファン、フィルタおよびシャッタの図示を省略している。
本実施の形態のクリーンベンチ１０が第１〜第４の実施の形態のクリーンベンチ１０と異なる点は、整流板２５Ａ、整流板２５Ｂ、整流板２５Ｃまたは整流板２５Ｄを取り外して整流板２５Ｅを取り付けた点であるので、以下ではこの点について説明し、第１〜第４の実施の形態と同一構成には同一符号を付してその説明を省略ないし簡略化する。
【００４５】
整流板２５Ｅは、斜め気流も形成できる水平気流用整流板であり、天井部１４、後壁部１３および天井部１４と後壁部１３との間の隅部１７に、空気が流通可能な隙間Ｓを隔てて配置されている。整流板２５Ｄは略水平に配置されている上面板２５ａと、略垂直に配置されている後面板２５ｂと、上面板２５ａと後面板２５ｂを滑らかにつなぐ断面円弧状の曲面板２５ｄとによって一体的に形成されている。
また、上面板２５ａは天井部１４と後壁部１３との隅部１７を除いて、天井部１４をほぼ覆うようにして設けられ、後面板２５ｂは隅部１７を除いて後壁部１３をほぼ覆うようにして設けられ、曲面板２５ｄは隅部１７を覆うようにして設けられている。なお、上面板２５ａ、後面板２５ｂおよび曲面板２５ｄは、第３および第４の実施の形態における整流板２５Ｃ，２４Ｄの上面板２５ａ、後面板２５ｂおよび曲面板２５ｄと同形、同大に形成されている。
【００４６】
後面板２５ｂには、空気を作業室１６に水平方向に向けて吹き出す複数の吹出口２５ｃが設けられ、曲面板２５ｄには、空気を作業室１６に斜め下方に向けて吹き出す複数の吹出口２５ｃが設けられ、上面板２５ａには、吹出口が設けられていない。
【００４７】
このような整流板（水平気流用整流板）２５Ｅを備えたクリーンベンチ１０では、整流板２５Ｅを天井部１４に対向して配置される上面板２５ａと、後壁部１３に対向して配置される後面板２５ｂと、隅部１７に対向して配置される曲面板２５ｄを備えたものとし、後面板２５ｂおよび曲面板２５ｄにそれぞれ多数の吹出口２５ｃを設け、上面板２５ａに吹出口を設けないので、作業室１６に水平気流ＫＲ２および斜め気流ＫＲ３を得ることができる。つまり、後面板２５ｂおよび曲面板２５ｄにそれぞれ多数の吹出口２５ｃを設け、上面板２５ａに吹出口を設けない整流板２５Ｅを取り付けることによって、作業室１６に水平気流ＫＲ２および斜め気流ＫＲ３を得ることができる。
なお、後面板２５ｂおよび曲面板２５ｄにそれぞれ設けられた多数の吹出口２５ｃから吹出された空気は、前記水平気流ＫＲ２および斜め気流ＫＲ３を形成した後は、シャッタ３１を開くことによって開放されている開口部１５を通して外部に放出される。
【００４８】
また、図６〜図８に示す第２の実施の形態にかかるクリーンベンチ１０において、整流板（水平気流用整流板）２５Ｂの後面板２５ｂの背面側に、図１８に示すように、傾斜型風向板４０が設けられていてもよい。なお、図１８に示すクリーンベンチ１０において、図６に示すクリーンベンチ１０と同一構成には同一符号を付してその説明を省略する。
【００４９】
図１８に示すように、傾斜型風向板４０は、後面板２５ｂとクリーンベンチ１０の後壁部１３との間に設けられている隙間Ｓの上端部から下端部に向かって連続的に設けられた矩形板状のものであり、下方に向かうほど作業室１６側に近付くように傾斜して設けられている。また、傾斜型風向板４０の幅方向（図１８において紙面と直交する方向）の寸法は、後壁部１３の幅方向の寸法とほぼ等しくなっている。
また、傾斜型風向板４０と後面板２５ｂとの間の隙間の上方は、上面板２５ａと天井部１４との間に設けられた隙間Ｓと連通している。
【００５０】
また、傾斜型風向板４０の作業室１６側を向く面４０ａに、作業室１６側に向けて突出する突出型風向板４１，４１が上下に離間して設けられている。上側の突出型風向板４１は傾斜型風向板４０の上端部に設けられ、下側の突出型風向板４１は傾斜型風向板４０の上下方向略中央部に設けられている。
また、突出型風向板４１は、例えば図１９〜図２１に示すように、三種類あり、それぞれ断面Ｌ型に形成されている。このような突出型風向板４１はその一片４１ａが傾斜型風向板４０の作業室１６側を向く面４０ａにビス等によって取り付け固定されるようになっている。
【００５１】
一種類目の突出型風向板４１では、図１９に示すように、その他片４１ｂにはパンチング孔やスリット等は形成されておらず、平板状に形成されている。
二種類目の突出型風向板４１では、図２０に示すように、その他片４１ｂにその厚さ方向に貫通するパンチング孔４１ｃが多数形成されている。したがって、傾斜型風向板４０に沿って下方に流れ他片４１ｂに当たる清浄空気の一部は当該他片４１ｂによって作業室１６側に風向を変えられ、清浄空気の残りの他部は、パンチング孔４１ｃを通って下方に向けて流れる。
三種類目の突出型風向板４１では、図２１に示すように、その他片４１ｂにその厚さ方向に貫通する長円状のスリット４１ｄが突出型風向板４１の長手方向（図２１（ａ）において左右方向）に所定間隔で多数形成されている。したがって、傾斜型風向板４０に沿って下方に流れ他片４１ｂに当たる清浄空気の一部は当該他片４１ｂによって作業室１６側に風向を変えられ、清浄空気の残りの他部は、スリット４１ｄを通って下方に向けて流れる。
【００５２】
このような三種類の突出型風向板４１は、適宜選択されて傾斜型風向板４０の作業室１６側を向く面４０ａにその上下方向の取り付け位置が調整されて取り付けられる。
また、突出型風向板４１は、傾斜型風向板４０の幅方向（図１８において紙面と直交する方向）の全域に亘って１本取り付けられてもよいし、同幅方向に所定間隔で複数本取り付けられてもよい。
【００５３】
また、図１８に示すように、水平気流用整流板２５Ｂの後面板２５ｂの背面側には♯２７０のスクリーンメッシュ４２が取り付けられている。スクリーンメッシュ４２は後面板２５ｂとほぼ同形同大の矩形状に形成され、後面板２５ｂに設けられた複数の吹出口２５ｃを全体的に覆うようにして配置されている。
【００５４】
図１８に示すクリーンベンチ１０によれば、図６〜図８に示す第２の実施の形態にかかるクリーンベンチ１０と同様に効果を得ることができる他、以下のような効果を得ることができる。
すなわち、水平気流用整流板２５Ｂの後面板２５ｂの背面側に、下方に向かうほど作業室１６側に近付くように傾斜する傾斜型風向板４０が設けられているので、ファン２０によって吹き出され、フィルタ２１を通ることで清浄化された清浄空気が後面板２５ｂの背面側において下方に向けて流れる際に、当該清浄空気が傾斜型風向板４０に当たって作業室１６側に向かうように制御されるとともに、下方側ほど、後面板２５ｂと傾斜型風向板４０との間の流路の流路断面積が小さくなり、その分、清浄空気の流速が増加する。したがって、清浄空気は作業室１６に向かって水平に流れ易くなるとともに、後面板２５ｂの下部において清浄空気が滞留し難くなるので、作業室１６にほぼ均一な速度の水平気流を得ることができる。
【００５５】
また、傾斜型風向板４０の作業室１６側を向く面４０ａに、作業室１６側に向けて突出する突出型風向板４１が設けられているので、清浄空気が後面板２５ｂの背面側において下方に向けて流れる際に、当該清浄空気が傾斜型風向板４０に当たって暴れる場合に、突出型風向板４１によって当該暴れる清浄空気を整流して、作業室１６側に向けて流すことがきる。このため、作業室１６にほぼ均一な速度の水平気流を効果的に得ることができる。
さらに、水平気流用整流板２５Ｂの後面板２５ｂにスクリーンメッシュ４２が取り付けられているので、後面板２５ｂの背面側を流れる清浄空気をスクリーンメッシュ４２によって整流して後面板２５ｂに設けられた吹出口２５ｃから水平に吹出すことができる。
【００５６】
なお、本実施の形態では、水平気流用整流板２５Ｂの後面板２５ｂの背面側に傾斜型風向板４０を設けたが、図９に示すクリーンベンチ１０の垂直水平気流用整流板２５Ｃ、図１５に示す水平気流用整流板２５Ｅのそれぞれの後面板２５ｂの背面側に傾斜型風向板４０を設けてもよい。
また、本実施の形態では、傾斜型風向板４０に突出型風向板４１を設けたが、この突出型風向板４１は設けなくてもよい。さらに、水平気流用整流板２５Ｂの後面板２５ｂにスクリーンメッシュ４２を取り付けたが、このスクリーンメッシュ４２は取り付けなくてもよい。
【００５７】
（実験例）
次に実験例について説明する。
図１８に示すクリーンベンチ１０を使用し、作業室１６に吹き出される清浄空気の風速を測定した。
図２２に示すように、風速の測定位置は、作業室１６の幅方向の寸法を１２８０ｍｍ、高さ方向の寸法を７００ｍｍとし、作業室の上面の位置を上下方向の基準とし、作業室の左側面の位置を左右方向の基準とし、上下方向の基準から下方に３箇所（３段）の位置で、かつ左右方向の基準から右方に４箇所の位置、つまり合計１２箇所の位置において、風速（ｍ／ｓ）を測定した。なお、図２２において「×」で示す位置が風速測定位置である。
【００５８】
図２２において、「×」で示す位置で測定した各測定位置での風速を、上段、中段および下段ごとに平均をとって記載した。
上下３段、左右４箇所、合計１２箇所の測定位置とも略均一な風速値が得られ、各測定点および上段、中段および下段ごとの風速の平均値も全平均風速（０．３２ｍ／ｓ）の±５％の範囲内となった。このように、実験によって作業室１６にほぼ均一な速度の水平気流を得ることが判明した。
【符号の説明】
【００５９】
１０  クリーンベンチ
１３  後壁部
１４  天井部
１５  開口部
１６  作業室
１７  隅部
２０  ファン
２１  フィルタ
２５Ａ  整流板（垂直気流用整流板）
２５Ｂ  整流板（水平気流用整流板）
２５Ｃ  整流板（垂直水平気流用整流板）
２５Ｄ  整流板（垂直気流用整流板）
２５Ｅ  整流板（水平気流用整流板）
２５ａ  上面板
２５ｂ  後面板
２５ｃ  吹出口
２５ｄ  曲面板
４０  傾斜型風向板
４１  突出型風向板
４２  スクリーンメッシュ
【図１】
2019209320.tif 000003
【図２】
2019209320.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2019209320.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2019209320.tif 000018
【図１７】
2019209320.tif 000019
【図１８】
2019209320.tif 000020
【図１９】
2019209320.tif 000021
【図２０】
2019209320.tif 000022
【図２１】
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【図２２】
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