(57)【要約】【課題】バルブに設けられた識別タグの交換を容易にし、仕様変更時の作業性を向上させた技術を提供する。【解決手段】バルブ１は、アクチュエータキャップ６の上面６Ｃに凹部６ｄが形成され、アクチュエータキャップ６には、永久磁石により構成された保持部材６Ｅが設けられ、識別タグ４は、磁性体により構成された被保持部材４Ａと、被保持部材４Ａに設けられ  バルブ１に関する情報を示す識別シール４Ｂと、を有し、保持部材６Ｅと被保持部材４Ａとの間に発生する磁力による引力により凹部６ｄに設置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路が形成されたボディと、該ボディに装着され前記流体通路を開閉するアクチュエータと、識別タグとを備えたバルブであって、
前記アクチュエータは、
前記ボディに対して反対側に位置する端面に凹部が形成されたケーシングと、
磁性体または永久磁石により構成され、前記ケーシングに設けられた保持部材と、を有し、
前記識別タグは、
前記保持部材が永久磁石により構成される場合には磁性体または永久磁石により構成され、前記保持部材が磁性体により構成される場合には永久磁石により構成され、前記保持部材との間で生じる吸着力により前記凹部に設置された被保持部材と、
前記被保持部材に設けられ、バルブに関する情報を示す識別部とを有するバルブ。
【請求項２】
前記保持部材は、前記凹部の底面に固定され、前記識別タグは、前記保持部材を覆うように配置され、前記識別タグと前記凹部の前記底面との間の一部に空間が形成されている、請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
前記凹部は、前記ケーシングの前記端面および側面の一部を切り欠くように形成され、
前記識別タグは、前記凹部の側面側から抜き出し可能に構成されている、請求項１または請求項２に記載のバルブ。
【請求項４】
把持部と磁石からなる吸着部とを備える交換冶具を用いて行う請求項１に記載のバルブの識別タグの交換方法であって、
前記識別タグに前記交換冶具の前記吸着部を当接させて、前記吸着部に前記識別タグを吸着させ、
前記交換冶具を持ち上げ、前記識別タグを前記保持部材から離間させ、
前記識別タグを前記吸着部から外し、
別の識別タグを前記吸着部に吸着させ、
前記吸着部に吸着した前記別の識別タグを前記凹部に挿入して、前記保持部材に吸着させ、
前記吸着部を前記別の識別タグから外す、バルブの識別タグの交換方法。
【請求項５】
複数の流体制御機器により構成される流体制御装置であって、
前記複数の流体制御機器の少なくとも一つは、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のバルブである流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルブ、流体制御装置、および、バルブの識別タグの交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のバルブでは、バルブに関する識別情報やバルブに使われる流体についての情報が記載された識別シールが、ケーシングの上面に貼り付けられている。バルブが搭載された装置を改造する際にバルブに使用されるガスが変更になることがあり、この仕様変更等の際には、バルブの当該識別シールを剥がして、別の識別シールを貼り付けている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記のバルブでは、識別シールの交換に剥離および貼付の作業が必要であるため、バルブの仕様変更時の作業性が悪かった。
【０００４】
そこで本発明は、バルブに設けられた識別タグの交換を容易にし、仕様変更時等の作業性を向上させた技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を解決するために、本発明の一態様であるバルブは、流路が形成されたボディと、該ボディに装着され前記流体通路を開閉するアクチュエータと、識別タグとを備える。前記アクチュエータは、前記ボディに対して反対側に位置する端面に凹部が形成されたケーシングと、磁性体または永久磁石により構成され、前記ケーシングに設けられた保持部材と、を有する。前記識別タグは、前記保持部材が永久磁石により構成される場合には磁性体または永久磁石により構成され、前記保持部材が磁性体により構成される場合には永久磁石により構成され、前記保持部材との間で生じる吸着力により前記凹部に設置された被保持部材と、前記被保持部材に設けられ、バルブに関する情報を示す識別部とを有する。
【０００６】
また、前記保持部材は、前記凹部の底面に固定され、前記識別タグは、前記保持部材を覆うように配置され、前記識別タグと前記凹部の前記底面との間に空間が形成されている
【０００７】
また、前記凹部は、前記ケーシングの前記端面および側面の一部を切り欠くように形成され、前記識別タグは、前記凹部の側面側から抜き出し可能に構成されている
【０００８】
また、本発明の一態様である  把持部と磁石からなる吸着部とを備える交換冶具を用いて行うバルブの識別タグの交換方法は、前記識別タグに前記交換冶具の前記吸着部を当接させて、前記吸着部に前記識別タグを吸着させ、前記交換冶具を持ち上げ、前記識別タグを前記保持部材から離間させ、前記識別タグを前記吸着部から外し、別の識別タグを前記吸着部に吸着させ、前記吸着部に吸着した前記別の識別タグを前記凹部に挿入して、前記保持部材に吸着させ、前記吸着部を前記別の識別タグから外す。
【０００９】
また、本発明の一態様である流量制御装置は  複数の流体制御機器により構成される流体制御装置であって、前記複数の流体制御機器の少なくとも一つは、上記のバルブである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、バルブに設けられた識別タグの交換を容易にし、仕様変更時の作業性を向上させた技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態に係るバルブの部分断面図である。
【図２】（ａ）は、第１の実施形態に係るバルブの拡大部分断面図であり、（ｂ）は、第１の実施形態に係るバルブの平面図である。
【図３】第２の実施形態に係るバルブの拡大部分断面図である。
【図４】（ａ）は、第３の実施形態に係るバルブの拡大部分断面図であり、（ｂ）は、第３の実施形態に係るバルブの平面図である。
【図５】（ａ）は、第４の実施形態に係るバルブの拡大部分断面図であり、（ｂ）は、第４の実施形態に係るバルブの平面図である。
【図６】（ａ）は、第５の実施形態に係るバルブの拡大部分断面図であり、（ｂ）は、第５の実施形態に係るバルブの平面図である。
【図７】（ａ）は、第６の実施形態に係るバルブの拡大部分断面図であり、（ｂ）は、第６の実施形態に係るバルブの平面図である。
【図８】バルブの識別タグの交換方法の説明図である。
【図９】半導体製造装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の第１の実施形態に係るバルブ１について、図面を参照して説明する。
【００１３】
図１は、第１の実施形態に係るバルブ１の部分断面図である。図２（ａ）は、バルブ１の拡大部分断面図であり、図２（ｂ）は、バルブ１の平面図である。
【００１４】
バルブ１は、例えば、ダイヤフラムバルブであり、ボディ２と、アクチュエータ３と、識別タグ４を備える。なお、以下の説明において、バルブ１の、アクチュエータ３を上側、ボディ２側を下側として説明する。
【００１５】
ボディ２には、流路２ａ、２ｂ、図示せぬ弁室が形成され、図示せぬ弁室には弁体であるダイヤフラムが設けられている。
【００１６】
アクチュエータ３は、ボンネット５と、アクチュエータキャップ６と、ダイヤフラム押さえ７と、ステム８と、ピストン９と、圧縮コイルばね１０と、Ｏリング３Ａ〜３Ｃを備える。
【００１７】
ボンネット５は、略円筒状をなし、その下端部をボディ２に対し螺合させることにより、ボディ２に対し固定されている。
【００１８】
アクチュエータキャップ６は、略有蓋円筒状をなし、その下端部をボンネット５の上端部に螺合させることにより、ボンネット５に固定されている。アクチュエータキャップ６は、上端を覆うカバー部６Ａを有し、カバー部６Ａには、図示せぬ管継手が螺合される螺合孔６ｂが形成されている。カバー部６Ａの上面（端面）６Ｃには、平面視矩形状の凹部６ｄが形成されている。凹部６ｄの底面６Ｈには、永久磁石により構成され平面視矩形状の保持部材６Ｅが固定されている。図示せぬ管継手には、図示せぬエアチューブの一端が接続され、エアチューブの他端は、図示せぬエア供給源に連結された図示せぬ電磁弁ユニットに接続されている。
【００１９】
ボンネット５とアクチュエータキャップ６とにより、ピストン９および圧縮コイルばね１０を収容する収容空間６ｆが形成されている。また、アクチュエータキャップ６のカバー部６Ａには、外部と収容空間６ｆとを連通する空気孔６ｇが形成されている。アクチュエータキャップ６は、金属（例えば、アルミ合金等）により構成されている。なお、ボンネット５およびアクチュエータキャップ６は、アクチュエータのケーシングに相当する。
【００２０】
ダイヤフラム押さえ７は、ボディ２に設けられた図示せぬダイヤフラムの上側に設けられ、ボンネット５により上下方向に移動可能に支持されている。
【００２１】
ステム８は、ボンネット５により上下方向に移動可能に支持され、図示せぬダイヤフラムに対して近接および離間移動することにより、流路２ａ、２ｂを開閉させるように構成されている。
【００２２】
ピストン９は、ステム８と一体的に構成され、ステム８の上側に設けられ、ボンネット５およびアクチュエータキャップ６により上下方向に移動可能に支持されている。ピストン９の下面とボンネット５の上面とにより操作エア導入室９ａが画成されている。また、ピストン９には、その上端から操作エア導入室９ａまで延びる操作エア導入路９ｂが形成されている。
【００２３】
圧縮コイルばね１０は、カバー部６Ａの下面とピストン９の上面との間に配置されており、ピストン９を常に下側に付勢している。
【００２４】
図２に示すように、識別タグ４は、平面視矩形状であり、鋼材等の磁性体により構成された平板状の被保持部材４Ａと、識別情報４Ｃが記載され被保持部材４Ａに貼られたシール部４Ｂとを備える。識別情報４Ｃおよびシール部４Ｂは識別部に相当する。識別情報４Ｃは、例えば、バルブ１に装着されるエアチューブを接続すべき電磁弁ユニットを示す情報、または、バルブ１に流すガス種を示す情報等である。識別タグ４は、その被保持部材４Ａと保持部材６Ｅとの間で発生する吸着力により、凹部６ｄ内に設置されている。本実施形態では、識別タグ４は、保持部材６Ｅに当接している。凹部６ｄの寸法は、保持部材６Ｅおよび識別タグ４の寸法よりも大きく構成されている。また、識別タグ４は、アクチュエータ６の上面６Ｃから突出しないように構成されている。
【００２５】
以上に記載したバルブ１によれば、アクチュエータキャップ６の上面６Ｃに凹部６ｄが形成され、アクチュエータキャップ６には、永久磁石により構成された保持部材６Ｅが設けられ、識別タグ４は、磁性体により構成された被保持部材４Ａと、被保持部材４Ａに設けられバルブ１に関する識別情報４Ｃが記載されたシール部４Ｂと、を有し、保持部材６Ｅと被保持部材４Ａとの間に発生する吸着力により凹部６ｄに設置されている。
【００２６】
かかる構成によれば、識別タグ４は、アクチュエータキャップ６に設けられた保持部材６Ｅに吸着力により吸着されているので、バルブ１に対する識別タグ４の装着・交換が容易となる。また、識別タグ４が凹部６ｄ内に設置され上面６Ｃから突出しないため、エアチューブや作業者が誤って接触した場合でも、識別タグ４の脱落や紛失を防ぐことができる。また、バルブ１を備える後述の流体制御装置６５の設置時および仕様変更時の作業性を向上させることができる。
【００２７】
次に、本発明の第２の実施形態に係るバルブ１１について図面を参照して説明する。第１の実施形態に係るバルブ１と異なる部分についてのみ説明する。
【００２８】
図３は、第２の実施形態に係るバルブ１１の拡大部分断面図である。
【００２９】
保持部材１６Ｅの短手方向の長さが、識別タグ４の短手方向の長さよりも短く構成され、識別タグ４と凹部６ｄの底面６Ｈとの間に空間４ｄが形成されている。なお、保持部材１６Ｅの長手方向の長さが、識別タグ４の長手方向の長さよりも短く構成されてもよい。
【００３０】
当該構成により、識別タグ４の一部が空間４ｄにより浮いた状態となるので、識別タグ４のうち空間４ｄの上側に位置する部分を指や冶具等で押すことにより、識別タグ４が傾くことで、識別タグ４を容易に外すことが可能となる。また、バルブ１１を備える後述の流体制御装置６５の設置時および仕様変更時の作業性を向上させることができる。
【００３１】
次に、本発明の第３の実施形態に係るバルブ２１について図面を参照して説明する。
【００３２】
図４（ａ）は、第３の実施形態に係るバルブ２１の拡大部分断面図であり、図４（ｂ）は、第３の実施形態に係るバルブ２１の平面図である。
【００３３】
アクチュエータキャップ２６の上面６Ｃに形成された凹部２６ｄは、その開口が上面６Ｃ側だけでなく、アクチュエータキャップ２６の側面６Ｊにも開口する形状であり、すなわち、上面６Ｃおよび側面６Ｊの一部を切り欠くように形成されている。凹部２６ｄは、平面視略矩形状であり、側面６Ｊに相当する部分は円弧状である。凹部２６ｄの側面６Ｊに開口する部分の長さは、識別タグ４の長手方向の長さよりも大きく構成されている。すなわち、識別タグ４は、凹部２６ｄの側面６Ｊ側から抜き出し可能に構成されている。
【００３４】
当該構成により、識別タグ４を指や冶具等で押しながら側面６Ｊ側にずらすことにより、識別タグ４を外すことができるので、識別タグ４を容易に交換することが可能となる。また、バルブ２１を備える後述の流体制御装置６５の設置時および仕様変更時の作業性を向上させることができる。
【００３５】
次に、本発明の第４の実施形態に係るバルブ３１について図面を参照して説明する。
【００３６】
図５（ａ）は、第４の実施形態に係るバルブ３１の拡大部分断面図であり、図５（ｂ）は、第４の実施形態に係るバルブ３１の平面図である。
【００３７】
アクチュエータキャップ３６の上面６Ｃには、円弧状の一対の凹部３６ｄが形成されている。各凹部３６ｄのアクチュエータキャップ３６の径方向に沿った断面形状は、収容空間６ｆ側に向かって先細る台形部分と、当該台形部分の下側に位置する矩形部分とから構成されている。そして、各凹部３６ｄの矩形部分に、円弧状の保持部材３６Ｅが挿入され固定されている。また、一対の凹部３６ｄは、合計で、周方向における少なくとも半分以上の領域に形成されている。
【００３８】
識別タグ３４は、鋼材等の磁性体により構成された円柱状の被保持部材３４Ａと、識別情報４Ｃを有し被保持部材３４Ａに貼られたプレート部３４Ｂとを備える。被保持部材３４Ａの軸方向の長さは、凹部３６ｄの台形部分の高さよりわずかに大きく構成され、被保持部材３４Ａの直径は、凹部３６ｄの矩形部分の径方向の長さよりものよりもわずかに小さく構成されている。識別タグ３４は、その被保持部材３４Ａと保持部材３６Ｅとの間で発生する吸着力により、凹部３６ｄに設置されている。なお、プレート部３４Ｂは、上面６Ｃよりもわずかに上側に位置する。
【００３９】
当該構成により、識別タグ３４をアクチュエータキャップ３６の上面６Ｃの広い領域の凹部３６ｄのいずれかの位置に装着することができるので、識別タグ３４を容易に交換することができ、複数の識別タグを装着することも可能となる。また、バルブ３１を備える後述の流体制御装置６５の設置時および仕様変更時の作業性を向上させることができる。
【００４０】
次に、本発明の第５の実施形態に係るバルブ４１について図面を参照して説明する。
【００４１】
図６（ａ）は、第５の実施形態に係るバルブ４１の拡大部分断面図であり、図６（ｂ）は、第５の実施形態に係るバルブ４１の平面図である。
【００４２】
保持部材４６Ｅは、円環状をなし、収容空間６ｆ内において、カバー部６Ａと圧縮コイルばね１０との間に設けられ、圧縮コイルばね１０の付勢力によりカバー部６Ａの下側に固定されている。識別タグ４は、その被保持部材４Ａと収容空間６ｆ内の保持部材４６Ｅとの間で発生する吸着力により、凹部６ｄ内に設置されている。
【００４３】
かかる構成により、識別タグ４は、アクチュエータキャップ６に設けられた保持部材４６Ｅに吸着力により吸着されているので、バルブ１に対する識別タグ４の装着・交換が容易となる。また、バルブ４１を備える後述の流体制御装置６５の設置時および仕様変更時の作業性を向上させることができる。
【００４４】
次に、本発明の第６の実施形態に係るバルブ５１について図面を参照して説明する。
【００４５】
図７（ａ）は、第３の実施形態に係るバルブ５１の拡大部分断面図であり、図７（ｂ）は、第３の実施形態に係るバルブ５１の平面図である。
【００４６】
アクチュエータキャップ５６の上面６Ｃには、空気孔６ｇを避けた領域に、平面視略Ｃ字状の凹部５６ｄが形成されている。凹部５６ｄの底面５６Ｈには、永久磁石により構成され平面視略Ｃ字状の保持部材５６Ｅが固定されている。
【００４７】
識別タグ５４は、平面視略Ｃ字状であり、鋼材等の磁性体により構成された被保持部材５４Ａと、識別情報４Ｃが記載され被保持部材５４Ａに貼られたシール部５４Ｂとを備える。保持部材５６Ｅの直径は、識別タグ５４の直径よりも小さく構成され、識別タグ５４と凹部５６ｄの底面５６Ｈとの間に空間５４ｄが形成されている。これにより、識別タグ５４の外周縁部の下側は空間５４ｄとなる。識別タグ５４は、その被保持部材５４Ａと保持部材５６Ｅとの間で発生する吸着力により、凹部５６ｄ内に設置されている。
【００４８】
識別タグ５４は、アクチュエータキャップ５６の上面６Ｃの広い領域をしめ、識別タグ５４の外周縁部が空間５４ｄにより浮いた状態となるので、識別タグ５４のうち外周縁部を指や冶具等で押すことにより、識別タグ５４が傾くことで、識別タグ５４を容易に外すことが可能となる。また、バルブ５１を備える後述の流体制御装置６５の設置時および仕様変更時の作業性を向上させることができる。
【００４９】
次に、本発明の実施形態に係るバルブ１の識別タグ４の交換方法について説明する。
【００５０】
図８は、バルブ１の識別タグ４の交換方法の説明図である。
【００５１】
交換冶具１００は、把持部１０１と、先端に設けられた永久磁石からなる吸着部１０２とを有する。吸着部１０２の識別タグ４に対する吸着力は、保持部材６Ｅの識別タグ４に対する吸着力よりもわずかに強く構成されている。
【００５２】
識別タグ４を交換する際には、作業者が交換冶具１００の把持部１０１を把持した状態で、バルブ１の識別タグ４に対し、交換冶具１００の吸着部１０２を当接させる。吸着部１０２の識別タグ４に対する吸着力は、保持部材６Ｅの識別タグ４に対するよりもわずかに強く構成されているので、交換冶具１００を持ち上げると、識別タグ４は保持部材６Ｅから離れて、交換冶具１００と共に持ち上がる。
【００５３】
次に、吸着部１０２に吸着している識別タグ４を外し、新たに取り付ける識別タグ４を吸着部１０２に吸着させる。新たな識別タグ４を凹部６ｄに挿入して、保持部材６Ｅに吸着させる。この状態で、交換冶具１００を上面６Ｃに沿って、ずらすことにより吸着部１０２から新たな識別タグ４が離れて、新たな識別タグ４が凹部６ｄ内に設置される。
【００５４】
当該交換方法によれば、識別タグ４を容易に交換することができるので、バルブ１を備える後述の流体制御装置６５の仕様変更時の作業性を向上させることができる。
【００５５】
次に、上記で説明したバルブ１が使用される流体制御装置６５および流体制御装置６５を備える半導体製造装置７０について説明する。
【００５６】
図９は、半導体製造装置７０の概略図である。半導体製造装置７０は、例えば、ＣＶＤ装置であり、流体制御装置６５を有するガス供給手段６０と、真空チャンバ８０と、排気手段９０とを有し、ウェハ上に不動態膜（酸化膜）を形成する装置である。
【００５７】
ガス供給手段６０は、ガス供給源６１と、圧力計６２と、流体制御装置６５とを備える。流体制御装置６５は、複数の流体制御機器により構成される複数のガスラインを有し、流体制御機器として、開閉弁６３、６４と、ＭＦＣ１〜４（マスフローコントローラ）とを備える。ガス供給手段６０と真空チャンバ８０との間には、開閉弁７１が設けられている。真空チャンバ８０は、ウェハ８２を載置するための載置台８１と、ウェハ８２上に薄膜を形成するための電極８３とを備える。真空チャンバ８０には、商用電源７２が接続されている。排気手段９０は、排気配管９１と、開閉弁９２と、集塵機９３とを備える。
【００５８】
ウェハ８２上に薄膜を形成する時には、開閉弁６３、６４の開閉、ＭＦＣ１〜４、および開閉弁７１の開閉により、真空チャンバ８０へのガスの供給が制御される。また、ウェハ８２上に薄膜を形成した際に発生する副生成物たる粉粒体を除去する時には、開閉弁９２が開状態とされ、排気配管９１を介して集塵機９３により粉粒体が除去される。
【００５９】
そして、開閉弁６３、６４、７１、９２に対して、本実施形態におけるバルブ１、１１、２１、３１、４１、５１を適用することができる。
【００６０】
なお、半導体製造装置７０がＣＶＤ装置の場合について説明したが、スパッタリング装置またはエッチング装置であってもよい。エッチング装置（ドライエッチング装置）は、処理室、ガス供給手段（流体制御装置）、排気手段から構成され、反応性の気体による腐食作用によって、材料表面等を加工する装置である。スパッタリング装置は、ターゲット、真空チャンバ、ガス供給手段（流体制御装置）、排気手段から構成され、材料表面を成膜する装置である。
【００６１】
なお、本発明は、上述した実施例に限定されない。当業者であれば、本発明の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。
【００６２】
例えば、保持部材６Ｅを永久磁石により構成し、被保持部材４Ａを磁性体により構成したが、被保持部材４Ａを永久磁石により構成し、保持部材６Ｅを磁性体により構成してもよい。また、保持部材６Ｅおよび被保持部材４Ａを永久磁石により構成してもよい。識別タグ４は、被保持部材４Ａと、識別情報４Ｃが記載され被保持部材４Ａに貼られたシール部４Ｂとにより構成したが、識別情報４Ｃを被保持部材４Ａに印字して、識別部としてもよい。
【符号の説明】
【００６３】
１、１１、２１、３１、４１、５１：バルブ、  ２：ボディ、２ａ、２ｂ：流路、  ３：アクチュエータ、  ４、３４、５４：識別タグ、  ４Ａ、３４Ａ、５４Ａ：被保持部材、  ４Ｂ、５４Ｂ：シール部、  ４Ｃ：識別情報、  ４ｄ、５４ｄ：空間、  ５：ボンネット、  ６、２６、３６、５６：アクチュエータキャップ、  ６Ｃ：上面、  ６ｄ、２６ｄ、３６ｄ、５６ｄ：凹部、  ６Ｅ：１６Ｅ、３６Ｅ、４６Ｅ、５６Ｅ：保持部材、  ６Ｈ、５６Ｈ：底面、  ６Ｊ：側面、  ３４Ｂ：プレート部、  ６５：流体制御装置、  １００：交換冶具、  １０１：把持部、  １０２：吸着部  、  ６３、６４、７１、９２：開閉弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2019152217.tif 000007
【図６】
2019152217.tif 000008
【図７】
2019152217.tif 000009
【図８】
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【図９】
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