(57)【要約】【課題】吸着テーブル上でのワークのプレス時に、吸着テーブルとワークとの間に吸着テーブルに吸着された状態で配置されるワーク保護用シートであって、プレス後のワークの離型性が改善されたワーク保護用シートを提供する。【解決手段】基層と、超高分子量ポリエチレン多孔体層とを備え、厚さ方向の通気度が、ＪＩＳ  Ｌ１０９６に定められた通気性測定Ｂ法に準拠し、基層側を測定時の空気流の上流側として測定したガーレー通気度で表して４０００秒／１００ｍＬ以上であり、吸着テーブルへの被吸着面が基層により構成され、ワークとの接触面が超高分子量ポリエチレン多孔体層により構成される、ワーク保護用シートとする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着テーブル上でのワークのプレス時に、前記吸着テーブルと前記ワークとの間に前記吸着テーブルに吸着された状態で使用されるワーク保護用シートであって、
基層と、超高分子量ポリエチレン多孔体層と、を備え、
厚さ方向の通気度が、ＪＩＳ  Ｌ１０９６に定められた通気性測定Ｂ法に準拠し、前記基層側を測定時の空気流の上流側として測定したガーレー通気度で表して、４０００秒／１００ｍＬ以上であり、
前記吸着テーブルへの被吸着面が前記基層により構成され、前記ワークとの接触面が前記超高分子量ポリエチレン多孔体層により構成される、ワーク保護用シート。
【請求項２】
厚さ方向の通気度が、ＪＩＳ  Ｌ１０９６に定められた通気性測定Ｂ法に準拠し、前記超高分子量ポリエチレン多孔体層側を測定時の空気流の上流側として測定したガーレー通気度で表して、１０００秒／１００ｍＬ未満である請求項１に記載のワーク保護用シート。
【請求項３】
前記接触面の表面粗さ（Ｒａ）が０．９μｍ以下である請求項１又は２に記載のワーク保護用シート。
【請求項４】
前記接触面の表面抵抗率が９．９×１０13Ω／□以下である請求項１〜３のいずれかに記載のワーク保護用シート。
【請求項５】
前記基層が、樹脂、紙、及び金属から選ばれる少なくとも１種により構成される請求項１〜４のいずれかに記載のワーク保護用シート。
【請求項６】
前記樹脂が、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリイミド樹脂、及びポリスチレン樹脂から選ばれる少なくとも１種である請求項５に記載のワーク保護用シート。
【請求項７】
枚葉状である請求項１〜６のいずれかに記載のワーク保護用シート。
【請求項８】
前記ワークがセラミックグリーンシートである請求項１〜７のいずれかに記載のワーク保護用シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着テーブル上でのワークのプレス時に、吸着テーブルとワークとの間に吸着テーブルに吸着された状態で使用されるワーク保護用シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
吸着テーブル上でワークをプレスする工程が知られている。ワークは、例えば、積層セラミックコンデンサ及び積層チップインダクタ等の製造に使用されるセラミックグリーンシートの積層体である。
【０００３】
吸着テーブル上でのプレスは想定されていないが、セラミックグリーンシートの積層体をプレスする際に使用される粘着シートが特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２５５８２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
吸着テーブル、及び吸着テーブルに付着した異物との接触による傷の発生からワークを保護するためには、吸着テーブルとワークとの間にワーク保護用シートを配置することが考えられる。吸着テーブル上へのワーク保護用シートの配置を吸着圧力の変動により検出し、これにより、プレス装置の自動運転を可能とするためには、ワーク保護用シートは、吸着テーブル上に配置した状態における厚さ方向の通気性が低いことが望ましい。このようなワーク保護用シートとして、特許文献１の粘着シートの使用が考えられる。
【０００６】
近年、０４０２形（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ）及び０２０１形（０．１２５ｍｍ×０．１２５ｍｍ）等の非常に小型の積層セラミックコンデンサ及び積層チップインダクタの開発が進んでいる。これらの超小型の積層チップを製造するために、セラミックグリーンシートに含まれるバインダー樹脂として粘着性の強い樹脂が使用されることがある。また、プレスの効率化等を目的としたプレス条件の高圧化が想定されている。特許文献１の粘着シートをワーク保護用シートに使用した場合、これらの状況下におけるプレス後のワークの離型性を十分に確保できないことがある。
【０００７】
本発明は、プレス後のワークの離型性が改善されたワーク保護用シートの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、
吸着テーブル上でのワークのプレス時に、前記吸着テーブルと前記ワークとの間に前記吸着テーブルに吸着された状態で使用されるワーク保護用シートであって、
基層と、超高分子量ポリエチレン（以下、「ＵＨＭＷＰＥ」と記載する）多孔体層と、を備え、
厚さ方向の通気度が、ＪＩＳ（日本工業規格）  Ｌ１０９６に定められた通気性測定Ｂ法に準拠し、前記基層側を測定時の空気流の上流側として測定したガーレー通気度で表して４０００秒／１００ｍＬ以上であり、
前記吸着テーブルへの被吸着面が前記基層により構成され、前記ワークとの接触面が前記ＵＨＭＷＰＥ多孔体層により構成される、ワーク保護用シート、
を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によるワーク保護用シートでは、ワーク保護用シートとして必要である厚さ方向の低い通気性を基層により保ちながら、離型性に優れるＵＨＭＷＰＥ多孔体層によって、プレス後のワークの離型性が改善されている。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本発明のワーク保護用シートの一例を模式的に示す断面図である。
【図２】図２は、本発明のワーク保護用シートの使用の一例を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。本発明は、以下に示す実施形態に限定されない。
【００１２】
本発明のワーク保護用シートの一例を図１に示す。図１のワーク保護用シート１は、基層２とＵＨＭＷＰＥ多孔体層３とを備える。ワーク保護用シート１の一方の主面に基層２が、他方の主面にＵＨＭＷＰＥ多孔体層３が、それぞれ露出している。ワーク保護用シート１では、吸着テーブルへの被吸着面が基層２により構成され、ワークとの接触面がＵＨＭＷＰＥ多孔体層３により構成される。ワーク保護用シート１の厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ  Ｌ１０９６に定められた通気性測定Ｂ法に準拠し、基層２側を測定時の空気流の上流側として測定したガーレー通気度で表して、４０００秒／１００ｍＬ以上である。このため、吸着テーブル上に配置した状態におけるワーク保護用シート１の厚さ方向の通気度（吸着テーブルによる吸着方向への通気度）は低く、例えば、吸着テーブル上へのワーク保護用シート１の配置を吸着圧力の変動により検出できる。基層２とＵＨＭＷＰＥ多孔体層３とは、互いに接合されている。
【００１３】
ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３は、ＵＨＭＷＰＥから構成される多孔質の層である。ＵＨＭＷＰＥは、例えば５０万以上、好ましくは１００万以上、より好ましくは１５０万以上の重量平均分子量（Ｍｗ）を有するポリエチレンである。ＵＨＭＷＰＥは、通常のポリエチレンとは異なり、高い耐摩耗性、耐衝撃性及び耐薬品性、並びに低い摩擦係数等の特性を有する。また、無数の空隙を内部に有するＵＨＭＷＰＥ多孔体層３のクッション性は高く、それ故、ワーク保護用シート１のワーク保護性能を向上できると共に、ワークの種類によっては、プレス精度を向上できる。プレス精度が向上する効果は、セラミックグリーンシート等の低剛性のワークの場合に特に顕著となる。ＵＨＭＷＰＥのＭｗの上限は限定されず、例えば１０００万以下である。ＵＨＭＷＰＥのＭｗは、高温ゲル浸透クロマトグラフィー法（高温ＧＰＣ法）により評価できる。
【００１４】
ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３は、典型的には、互いに結着したＵＨＭＷＰＥ粒子により構成された、粒子間に無数の空孔を有する層（粒子結着層）である。ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３が粒子結着層である場合、ワーク保護用シート１の使用時における繊維等の微細な異物の脱落を防止でき、これにより、当該異物に起因するワークの損傷を防止できる。粒子結着層であるＵＨＭＷＰＥ多孔体層３を構成する粒子の平均粒径は、例えば１０〜５００μｍであり、好ましくは１５〜３００μｍである。
【００１５】
ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の厚さは、例えば０．０５０〜３．０ｍｍであり、０．１０〜２．０ｍｍ、０．１５〜１．５ｍｍであってもよい。
【００１６】
ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の空孔率は、例えば１５〜５０％であり、好ましくは２０〜４５％である。空孔率は、ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の体積Ｖ（ｃｍ3）、真比重Ｄ（ｇ／ｃｍ3）及び質量Ｍ（ｇ）から、式：空孔率（％）＝（１−Ｍ／（Ｖ×Ｄ））×１００により求めることができる。
【００１７】
ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の平均粒径、厚さ、及び空孔率から選ばれる少なくとも１つ、好ましくは少なくとも２つ、より好ましくは全てが上述の範囲にある場合、プレス後におけるワークの離型性の改善がより確実となる。また、ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３のクッション性をより高めることができる。
【００１８】
ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の厚さ方向の通気度は、ガーレー通気度で表して、例えば５００秒／１００ｍＬ以下であり、３００秒／１００ｍＬ以下、更には１００秒／１００ｍＬ以下であってもよい。厚さ方向の通気度の上限（ガーレー通気度の下限）は、例えば０．０１秒／１００ｍＬ以上であり、０．１秒／１００ｍＬ以上、１秒／１００ｍＬ以上、更には１０秒／１００ｍＬ以上であってもよい。本明細書においてガーレー通気度は、ＪＩＳ  Ｌ１０９６に定められた通気性測定Ｂ法（ガーレー形法）に準拠して測定した空気透過度を意味する。
【００１９】
なお、評価対象物のサイズが、上記ガーレー形法における試験片のサイズ（約５０ｍｍ×５０ｍｍ）に満たない場合にも、測定冶具の使用により、ガーレー通気度の評価が可能である。測定冶具の一例は、貫通孔（直径１ｍｍ又は２ｍｍの円形の断面を有する）が中央に設けられた、厚さ２ｍｍ、直径４７ｍｍのポリカーボネート製円板である。この測定冶具を用いたガーレー通気度の測定は、以下のように実施できる。
【００２０】
測定冶具の貫通孔の開口を覆うように、当該冶具の一方の面に評価対象物を固定する。固定は、ガーレー通気度の測定中、上記開口及び評価対象物の有効試験部（固定した評価対象物の主面に垂直な方向から見て開口と重複する部分）のみを空気が通過し、かつ評価対象物の有効試験部における空気の通過を固定部分が阻害しないように行う。評価対象物の固定には、開口の形状と一致した形状を有する通気口が中心部に打ち抜かれた両面粘着テープを利用できる。両面粘着テープは、通気口の周と開口の周とが一致するように測定冶具と評価対象物との間に配置すればよい。次に、評価対象物を固定した測定冶具を、評価対象物の固定面が測定時の空気流の下流側となるようにガーレー形通気性試験機にセットして、１００ｍＬの空気が評価対象物を通過する時間ｔ１を測定する。次に、測定した時間ｔ１を、ＪＩＳ  Ｌ１０９６の通気性測定Ｂ法（ガーレー形法）に定められた有効試験面積６４２［ｍｍ2］あたりの値ｔに、式ｔ＝｛（ｔ１）×（評価対象物の有効試験部の面積［ｍｍ2］）／６４２［ｍｍ2］｝により換算し、得られた換算値ｔを、評価対象物のガーレー通気度とすることができる。上記円板を測定冶具として使用する場合、評価対象物の有効試験部の面積は、貫通孔の断面の面積である。なお、上記試験片のサイズを満たすフィルムに対して測定冶具を使用せずに測定したガーレー通気度と、当該フィルムを細片化した後、測定冶具を使用して測定したガーレー通気度とがよく一致する、即ち、測定冶具の使用がガーレー通気度の測定値に実質的に影響しないことが、確認されている。
【００２１】
ワークとの接触面であるＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の露出面の表面粗さ（Ｒａ）は、好ましくは０．９μｍ以下であり、０．７μｍ以下、０．５μｍ以下、更には０．３μｍ以下であってもよい。Ｒａの下限は限定されず、例えば、０．０５μｍ以上である。上記範囲のＲａを有する接触面は特に平滑性が高く、これにより、プレス後におけるワークの離型性の改善が更に確実となる。本明細書においてＲａは、ＪＩＳ  Ｂ０６０１：１９８２に定められた「中心線平均粗さＲａ」を意味する。Ｒａは、「製品の幾何特性仕様（ＧＰＳ）−表面性状：輪郭曲線方式」に関するＪＩＳの規定（１９７６年又は１９８２年改正版）に対応した表面粗さ測定機により評価できる。
【００２２】
ワークとの接触面であるＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の露出面の表面抵抗率は、好ましくは９．９×１０13Ω／□以下であり、１．０×１０13Ω／□以下、１．０×１０12Ω／□以下、１．０×１０11Ω／□以下、更には１．０×１０10Ω／□以下であってもよい。表面抵抗率の下限は限定されず、例えば、１．０×１０4Ω／□以上である。接触面の表面抵抗率がこれらの範囲にある場合、プレス後におけるワークの離型性の改善が更に確実となり、この効果は、アクリル樹脂等の極性官能基を有する樹脂をワークが含む場合に、特に顕著となる。表面抵抗率は、高抵抗の材料の表面抵抗率を測定可能な抵抗率計（例えば、三菱ケミカルアナリテック製ハイレスタ）により評価できる。
【００２３】
ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の高い離型性は、当該層に対する粘着テープの粘着力により評価できる。具体的には、ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の露出面に対して以下の手法により評価した粘着テープの粘着力（引き剥がし粘着力）は、例えば３．２Ｎ／１９ｍｍ以下であり、３．０Ｎ／１９ｍｍ以下、更には２．８Ｎ／１９ｍｍ以下であってもよい。粘着テープの粘着力が低いほど、ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の離型性は高くなる。
＜粘着力の評価方法＞
ＪＩＳ  Ｚ０２３７：２００９に定められた粘着力試験方法の「方法１」に準拠して評価する。ただし、評価は、以下に示す条件で実施する。
・試験板としてワーク保護用シート１を使用し、試験片（粘着テープ）を圧着させる面を、ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の露出面とする。
・日東電工製ポリエステル基材粘着テープＮｏ．３１Ｂ（厚さ５３μｍ）を試験片として使用する。
・試験片の幅を１９ｍｍ、長さを３００ｍｍとする。
・試験片を試験板に圧着させるゴムローラ（質量２ｋｇ）の往復回数は１回とする。
・ローラによる圧着から試験の実施まで、２５℃６５％ＲＨの雰囲気で３０分放置する。
・試験温度を２５℃とする。
・引張速度（引き剥がし速度）を３００ｍｍ／分とする。
・試験片の引き剥がしを開始した後、試験片が４０ｍｍ剥がれる毎に粘着力を計４点測定する。また、３つの試験片を準備して各試験片に対して方法１を実施し、得られた１２点の粘着力の平均値を、ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３に対する粘着テープの粘着力とする。
【００２４】
ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３は、例えば、以下の方法Ａ又はＢにより形成できる。
【００２５】
方法Ａ：ＵＨＭＷＰＥ粒子を金型に充填した状態で焼結して、粒子が互いに結着した焼結ブロック体を形成し、形成した焼結ブロック体を切削加工してシート状のＵＨＭＷＰＥ多孔体層３を得る。方法Ａにおいて、粒子を充填する金型内の空間の形状は円柱状であってもよく、この場合、シートへの切削加工が比較的容易である円柱状の焼結ブロック体を形成できる。焼結の温度はＵＨＭＷＰＥの融点以上であり、焼結には加圧を併用できる。
【００２６】
方法Ｂ：ＵＨＭＷＰＥ粒子を分散媒に分散させたスラリーを所定の厚みで転写シートに塗布し、これをＵＨＭＷＰＥの融点以上に加熱してシート状に焼結させる。方法Ｂにおいて、転写シートは、例えば金属シートであり、転写シートにおけるスラリーの塗布面には離型処理が施されていてもよい。分散媒は、ＵＨＭＷＰＥを変質させず、かつ焼結温度において揮散する媒体であり、例えば、エタノール等のアルコール、水、有機溶媒である。
【００２７】
方法Ａ又はＢによりＵＨＭＷＰＥ多孔体層３を形成する場合、ＵＨＭＷＰＥ粒子の平均粒径及び／又は粒径分布を選択することにより、形成されたＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の特性、例えば、空孔率、厚さ方向の通気度、主面（露出面）の表面粗さ等、を制御できる。主面の表面粗さを小さくする場合、平均粒径の小さなＵＨＭＷＰＥ粒子を用いることが好ましい。
【００２８】
形成したＵＨＭＷＰＥ多孔体層に対して、各種の処理を実施してもよい。処理の一例は、帯電防止処理である。ＵＨＭＷＰＥは非常に高い電気絶縁性を有する材料であるが、帯電防止処理によってＵＨＭＷＰＥ多孔体層の表面抵抗率を適度に下げ、例えば、上述した範囲とすることができる。
【００２９】
帯電防止処理として、例えば、ＵＨＭＷＰＥ多孔体層に帯電防止剤をコーティングする方法を採用できる。帯電防止剤のコーティングは、例えば、帯電防止剤を含む処理液をＵＨＭＷＰＥ多孔体層に塗布した後、塗布した処理液を乾燥させて実施できる。処理液の媒体は、ＵＨＭＷＰＥを変質させず、かつＵＨＭＷＰＥの融点未満の乾燥温度で揮散する媒体であり、例えば、エタノール等のアルコール、水、有機溶媒である。処理液は、帯電防止剤以外の任意の材料、例えば、紫外線吸収剤、離型剤等の添加剤、を更に含んでいてもよい。処理液の塗布は、公知の方法、例えば、キャスト法、ディッピング法、ロールコーティング法、グラビアコート法、スクリーン印刷法、リバースコート法、スプレーコート法、キスコート法、ダイコート法、メタリングバーコート法、チャンバードクター併用コート法、カーテンコート法、バーコート法により実施できる。乾燥温度は、例えば５０〜１３０℃、好ましくは６０〜１１０℃である。
【００３０】
帯電防止剤は、例えば、陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤、両性界面活性剤、非イオン界面活性剤等の各種の界面活性剤であり、陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤が好ましい。帯電防止剤として２種以上を併用してもよいが、陽イオン界面活性剤と陰イオン界面活性剤とを併用しない方がよい。ただし、帯電防止剤は界面活性剤に限定されない。
【００３１】
帯電防止剤として使用できる陽イオン界面活性剤は、例えば、アルキルアンモニウム酢酸塩類、アルキルジメチルベンジルアンモニウム塩類、アルキルトリメチルアンモニウム塩類、ジアルキルジメチルアンモニウム塩類、アルキルピリジニウム塩類、オキシアルキレンアルキルアミン類、ポリオキシアルキレンアルキルアミン類である。
【００３２】
帯電防止剤として使用できる陰イオン界面活性剤は、例えば、ステアリン酸ナトリウム石けん等の脂肪酸ソーダ石けん類；ラウリル硫酸ナトリウム等のアルキル硫酸塩類；アルファスルホ脂肪酸エステル塩類；アルキルエーテル硫酸塩類；アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム類；アルキルナフタレンスルホン酸ナトリウム類；ジアルキルスルホコハク酸塩類；アルキルリン酸塩類；アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸塩類である。
【００３３】
帯電防止剤として使用できる両性イオン界面活性剤は、例えば、アルキルカルボキシベタイン類である。
【００３４】
帯電防止剤として使用できる非イオン界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンである。
【００３５】
帯電防止剤として市販品を使用してもよい。市販品である帯電防止剤は、例えば：
アデカ（登録商標）プルロニックＬ・Ｐ・Ｆシリーズ、アデカ（登録商標）プルロニックＴＲシリーズ等のポリオキシエチレン−ポリオキシプロピレンブロックコポリマー型非イオン界面活性剤；
アデカトールＬＢシリーズ、アデカトールＬＡシリーズ、アデカトールＴＮシリーズ等のアルキルエーテル型非イオン界面活性剤；
アデカノールＮＫ（グリセライドエチレンオキサイド付加物）等のエステル型非イオン界面活性剤；
アデカトールＰＣ等の特殊フェノール型非イオン界面活性剤；
アデカホープシリーズ等の硫酸塩型陰イオン界面活性剤；
アデカコールシリーズ等のリン酸エステル型、又はコハク酸エステル型の陰イオン界面活性剤；
アデカミンシリーズ等の４級カチオン型陽イオン界面活性剤（以上、ＡＤＥＫＡ製）；
エレクノンシリーズ等の陽イオン界面活性剤（大日精化工業製）；
エレクトロストリッパーＡＣ等の両性界面活性剤（花王製）；及び
エマルゲンシリーズ、レオドールシリーズ、エキセルシリーズ、アミートシリーズ等の非イオン性界面活性剤（花王製）である。
【００３６】
ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３は、単層構造を有していても、構成が同一又は異なる２以上のＵＨＭＷＰＥ多孔体層が積層された積層構造を有していてもよい。
【００３７】
基層２は、ガーレー通気度で表して、例えば１０００秒／１００ｍＬ以上、好ましくは３０００秒／１００ｍＬ以上、より好ましくは４５００秒／１００ｍＬ以上の厚さ方向の通気度を有する層である。基層２は、厚さ方向の通気性を実質的に有さない層（１万秒／１００ｍＬ以上のガーレー通気度を有する層）であってもよい。基層２は、無孔層であってもよい。
【００３８】
基層２は、例えば、樹脂、紙、及び金属から選ばれる少なくとも１種により構成される。ただし、ゴムは樹脂に含まれない。ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３との接合性に優れることから、基層２は、紙、及び／又は樹脂から構成されることが好ましく、樹脂から構成されることがより好ましい。また、層としての均一性（例えば、厚さ及び／又は通気性の均一性）を考えると、ロット間や層内を問わず、繊維の集積体である紙に比べて均一性を高くできることから、基層２が樹脂から構成される場合に、低剛性のワークに対するプレス精度をより向上できる。
【００３９】
基層２を構成しうる紙は、パルプ、コットン等の繊維から構成される普通紙であってもよいが、異物となりうる繊維の脱落を防ぐために、繊維同士を結着させる樹脂を含浸させた含浸紙であることが好ましい。含浸紙は、例えば、クリーンルーム等の清浄環境で使用可能であることを謳う、いわゆる低発塵紙、及び無塵紙である。含浸紙として市販の製品、例えば桜井製スタクリン、を使用できる。
【００４０】
基層２を構成しうる樹脂は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂；ポリカーボネート樹脂（ＰＣ）；ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）等のアクリル樹脂；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂；ポリイミド樹脂；及びポリスチレン樹脂から選ばれる少なくとも１種である。ワーク保護用シート１にシワや弛みが生じ難く、プレス条件下でも十分な強度を確保できることから、樹脂は、ＰＥＴ又はＰＣが好ましく、ＰＥＴがより好ましい。金属は、例えば、アルミ、ステンレスである。
【００４１】
基層２の厚さは、例えば、０．００５０〜１．０ｍｍであり、０．０１０〜０．５０ｍｍであってもよい。基層２の厚さがこれらの範囲にある場合、ワーク保護用シート１にシワや弛みがより生じ難く、プレス条件下でも十分な強度をより確実に確保できる。
【００４２】
ワーク保護用シート１における被吸着面は、適度な表面粗さを有することが好ましい。適度な表面粗さを被吸着面が有することにより、吸着テーブルからのワーク保護用シート１の交換がより容易となる。例えば、サンドブラスト等の粗面化処理を施した基層２を使用することで、適度な表面粗さを有する被吸着面を実現できる。
【００４３】
ワーク保護用シート１がワークと吸着テーブルとの間で使用されるシートであることから、ワークと熱プレス装置の熱加圧ヘッドとの間で使用される離型シートとは異なり、基層２の熱伝導率は低くても構わない。基層２の熱伝導率は、１．０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下であってもよく、０．５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下、０．３５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下、更には０．２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下であってもよい。基層２の熱伝導率は、ＡＳＴＭ  Ｅ１５３０に定められた保護熱流計法により評価できる。
【００４４】
基層２は、単層構造を有していても、構成が同一又は異なる２以上の層が積層された積層構造を有していてもよい。
【００４５】
ワーク保護用シート１は、典型的には、１つのＵＨＭＷＰＥ多孔体層３と１つの基層２とを備える。ただし、ワーク保護用シート１は、２以上のＵＨＭＷＰＥ多孔体層３及び／又は２以上の基層２を備えていてもよい。
【００４６】
吸着テーブルへの被吸着面が基層２により構成され、ワークとの接触面がＵＨＭＷＰＥ多孔体層３により構成される限り、ワーク保護用シート１は、ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３及び基層２以外の他の層を備えていてもよい。
【００４７】
ワーク保護用シート１は、ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３と基層２と、他の層を備える場合は更に他の層と、を互いに接合して形成できる。接合方法は、例えば、熱接合、粘着剤による接合である。ただし、接合方法はこれらに限定されない。
【００４８】
熱接合は、例えば、公知の熱ラミネート法により実施できる。
【００４９】
粘着剤による接合は、公知の手法により実施できる。粘着剤による接合では、通常、接合した２つの層の間に粘着剤層が形成される。ワーク保護用シート１における粘着剤層は、厚さ方向に通気性を有していなくてもよい。
【００５０】
粘着剤は、例えば、ゴム系、アクリル系、シリコーン系の各種の粘着剤である。粘着剤は、ホットメルト剤であることが好ましい。粘着剤には、公知のものを使用できる。
【００５１】
ワーク保護用シート１は、通常、双方の主面に粘着剤層を有さない。
【００５２】
ワーク保護用シート１は、例えば、枚葉状である。枚葉状であるワーク保護用シート１は、吸着テーブルからの交換が容易である。枚葉状であるワーク保護用シート１の形状は、例えば、正方形及び長方形等の多角形状である。ただし、ワーク保護用シート１の形状は枚葉状に限定されず、例えば、帯状であってもよい。
【００５３】
枚葉状であるワーク保護用シート１の面積は、例えば３０ｃｍ2以上であり、５０ｃｍ2以上、１００ｃｍ2以上、１５０ｃｍ2以上、５００ｃｍ2以上、１０００ｃｍ2以上、更には１００００ｃｍ2以上であってもよい。枚葉状であるワーク保護用シート１の面積の上限は、例えば３００００ｃｍ2以下である。
【００５４】
ワーク保護用シート１の厚さは、例えば０．２〜０．７ｍｍであり、０．０５〜０．２ｍｍ、０．７〜３．０ｍｍであってもよい。
【００５５】
ワーク保護用シート１の厚さ方向の通気度は、基層２側を測定時の空気流の上流側として測定したガーレー通気度（以下、「ガーレー通気度Ａ」と記載する）で表して、４０００秒／１００ｍＬ以上であり、好ましくは５０００秒／１００ｍＬ以上、より好ましくは６０００秒／１００ｍＬ以上、更に好ましくは７０００秒／１００ｍＬ以上、特に好ましくは８０００秒／１００ｍＬ以上であってもよい。ワーク保護用シート１の厚さ方向の通気度は、ガーレー通気度Ａで表して、１万秒／１００ｍＬ以上であってもよい。
【００５６】
また、ワーク保護用シート１の厚さ方向の通気度は、ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３側を測定時の空気流の上流側として測定したガーレー通気度（以下、「ガーレー通気度Ｂ」と記載する）で表して、１０００秒／１００ｍＬ以下であってもよく、８００秒／１００ｍＬ以下、６００秒／１００ｍＬ以下、４００秒／１００ｍＬ以下、更には２００秒／１００ｍＬ以下であってもよい。ガーレー通気度Ｂの下限は、１秒／１００ｍＬ以上であってもよい。ガーレー通気度Ｂの値はガーレー通気度Ａの値と同等であってもよいが、ガーレー通気度Ａの値に比べてガーレー通気度Ｂの値が小さい場合は、ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３が側面方向にも通気性を有していることを意味している。ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３が有する側面方向の通気性は、ワーク保護用シート１におけるプレス後のワークの離型性を高めると考えられる。離型性が高まる効果は、ワークが薄いシート状である場合に特に顕著となる。また、ガーレー通気度Ａの値に比べてガーレー通気度Ｂの値が小さい場合、例えば、吸着テーブル上へのワーク保護用シート１の配置を検出する吸着圧力の閾値、及び／又は吸着圧力の変動の閾値を適切に設定することにより、吸着テーブル上に正しい向き（表裏の向き）でワーク保護用シート１が配置されているかの自動判定が可能となる。
【００５７】
ワーク保護用シート１を使用してプレスを実施するワークは、例えば、積層セラミックコンデンサ及び積層チップインダクタ等の積層チップの製造に使用するセラミックグリーンシート、及びその積層体である。セラミックグリーンシートは、例えば、誘電体セラミックグリーンシート、フェライトグリーンシートである。ただし、ワークは、これらに限定されない。
【００５８】
ワーク保護用シート１を使用したワークのプレスの一例を図２に示す。図２に示すように、プレス装置１１の吸着テーブル１３上にワーク保護用シート１を配置し、ワーク保護用シート１の上にワーク１４を配置した状態で、プレス装置１１の加圧ヘッド１２によりワーク１４のプレスが実施される。このとき、ワーク保護用シート１は、基層２の露出面を被吸着面として吸着テーブル１３に吸着されており、ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の露出面がワーク１４に接する。ワーク保護用シート１は、通常、所定のプレス回数ごとに交換され、１回のプレスごとに交換されてもよい。プレスは、温度を印加しながらワーク１４をプレスする熱プレスであってもよい。
【００５９】
プレス装置１１には、公知の装置を使用できる。吸着テーブル１３は、典型的には、真空ポンプによる負圧を利用して吸着力を発生させる真空吸引式のテーブルである。吸着テーブル１３の表面には、通常、空気を吸引する複数の貫通孔が設けられており、吸引により発生する吸着力によってテーブル上の物品が吸着される。吸着テーブル１３は、通常、プレス装置１１が備えるテーブルであるが、プレス装置１１とは別個に設けられたテーブルであってもよい。
【実施例】
【００６０】
以下、実施例により本発明をより詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。
【００６１】
最初に、本実施例において準備又は作製したワーク保護用シートの評価方法を記載する。
【００６２】
[厚さ]
ワーク保護用シート及びワーク保護用シートを構成する各層の厚さは、マイクロメータ（ミツトヨ製）により、又はシートの断面に対する顕微鏡観察像の解析により、評価した。いずれの評価方法においても少なくとも４点の測定点を設け、各測定点において評価した値の平均値をワーク保護用シート、又はワーク保護用シートを構成する各層の厚さとした。
【００６３】
[表面抵抗率]
基層２及びＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の積層構造を有する実施例のワーク保護用シートについては、ワークとの接触面となるＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の露出面の表面抵抗率を、単層構造を有する比較例のワーク保護用シートについては、シートの主面の表面抵抗率を、それぞれ評価した。表面抵抗率の評価には、二重リング電極を有するＵＲＳプローブを備えた高抵抗率計（三菱ケミカルアナリテック製ハイレスタＭＣＰ−ＨＴ４５０）を使用し、５００Ｖの電圧を印加して３０秒経過した時点における表面抵抗率を測定した。なお、使用した高抵抗率計の測定レンジの上限は１．０×１０14Ω／□であるため、評価対象面が１．０×１０14Ω／□を超える表面抵抗率を有する場合は、評価結果を示す以下の表１において「測定不能」と記載する。なお、表面抵抗率の評価は、２５℃及び相対湿度６０％の雰囲気下において、ＪＩＳ  Ｋ６９１１：２００６の規定に準拠して実施した。
【００６４】
[表面粗さ（Ｒａ）]
基層２及びＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の積層構造を有する実施例のワーク保護用シートについては、ワークとの接触面となるＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の露出面のＲａを、単層構造を有する比較例のワーク保護用シートについては、シートの主面のＲａを、それぞれ評価した。Ｒａの評価は、「製品の幾何特性仕様（ＧＰＳ）−表面性状：輪郭曲線方式」に関するＪＩＳの規定（１９７６年又は１９８２年改正版）に対応した表面粗さ測定機（ミツトヨ製サーフコム５５０Ａ）により実施した。また、測定長４ｍｍ、移動速度０．３ｍｍ／秒、触針径２５０μｍＲ、カットオフ値０．８、及び倍率５００倍の評価条件とし、５回の測定値の平均値を上記Ｒａとした。
【００６５】
[離型性：粘着テープの粘着力]
基層２及びＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の積層構造を有する実施例のワーク保護用シートについては、ワークとの接触面となるＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の露出面に対する粘着テープの粘着力を、単層構造を有する比較例のワーク保護用シートについては、シートの主面に対する粘着テープの粘着力を、それぞれ評価した。粘着力が低いほど当該面の離型性が高いといえる。粘着力の評価は上述の方法により実施した。ただし、引張試験機としてエー・アンド・デイ製テンシロン万能材料試験機ＲＴＦ−１３２５を使用した。
【００６６】
[厚さ方向の通気度]
基層２及びＵＨＭＷＰＥ多孔体層３の積層構造を有する実施例のワーク保護用シートについては、厚さ方向の通気度として、ガーレー通気度Ａ及びガーレー通気度Ｂを評価した。単層構造を有する比較例のワーク保護用シートについては、厚さ方向の通気度として、いずれか一方の面を測定時の空気流の上流側とするガーレー通気度を評価した。なお、比較例のワーク保護用シートでは、いずれの面を測定時の空気流の上流側としても評価されるガーレー通気度が変わらないことから、表１における「ガーレー通気度Ａ」及び「ガーレー通気度Ｂ」の双方の欄に評価したガーレー通気度を記載する。ガーレー通気度の評価は、ＪＩＳ  Ｌ１０９６に定められた通気性測定Ｂ法（ガーレー形法）に準拠して実施した。
【００６７】
（実施例１）
ＵＨＭＷＰＥ多孔体層３として、ＵＨＭＷＰＥの粒子結着層（日東電工製サンマップ、厚さ０．１８ｍｍ、サイズ２００ｍｍ×２００ｍｍ）を準備した。このＵＨＭＷＰＥ多孔体層３には帯電処理が施されていた。また、基層２として、紙シート束（桜井製スタクリンＨＧ７８）から選択した１枚（厚さ０．１０ｍｍ、サイズ２００ｍｍ×２００ｍｍ）を準備した。次に、準備したＵＨＭＷＰＥ多孔体層３と基層２とを、ＳＩＳ（スチレン−イソプレン−スチレン）系のホットメルト粘着剤により貼り合わせて接合し、実施例１のワーク保護用シートを得た。粘着剤の塗布量は８ｇ／ｍ2とした。得られたワーク保護用シートの評価結果を、以下の表１に示す。
【００６８】
（実施例２）
サンドブラストにより双方の主面を粗面化処理したＰＥＴシート（きもと製マットルミラー１００×３０Ｂ、厚さ０．１１ｍｍ、サイズ２００ｍｍ×２００ｍｍ）を基層２に用いた以外は実施例１と同様にして、実施例２のワーク保護用シートを得た。得られたワーク保護用シートの評価結果を、以下の表１に示す。
【００６９】
（実施例３）
紙シート束（桜井製スタクリンＨＧ７８）から選択した別の１枚（厚さ０．１０ｍｍ、サイズ２００ｍｍ×２００ｍｍ）を基層２に用いた以外は実施例１と同様にして、実施例３のワーク保護用シートを得た。得られたワーク保護用シートの評価結果を、以下の表１に示す。
【００７０】
（比較例１）
実施例１で準備した紙シートを、比較例１のワーク保護用シートとした。
【００７１】
（比較例２）
実施例２で準備したＰＥＴシートを、比較例２のワーク保護用シートとした。
【００７２】
（比較例３）
ＵＨＭＷＰＥの粒子結着層（日東電工製サンマップ、厚さ０．１８ｍｍ、サイズ２００ｍｍ×２００ｍｍ）を、比較例３のワーク保護用シートとした。この粒子結着層には帯電処理が施されていなかった。
【００７３】
【表１】
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【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明のワーク保護用シートは、プレス時におけるワークの保護に使用できる。
【符号の説明】
【００７５】
１  ワーク保護用シート
２  基層
３  ＵＨＭＷＰＥ多孔体層
１１  プレス装置
１２  加圧ヘッド
１３  吸着テーブル
１４  ワーク
【図１】
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【図２】
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