(57)【要約】【課題】高品質なスクリーン印刷を可能にするスクリーンマスクを提供する。【解決手段】スクリーンマスク１は、メッシュシート３と、マスク部材１５とを備える。メッシュシート３は、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを含む。メッシュシート３には、第１開口３ｐが設けられている。マスク部材１５には、第１開口３ｐに整列する第２開口１５ｐが設けられている。少なくとも複数の第１交差部４において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに接合されている。複数の第１交差部４は、第１開口３ｐに隣接しかつ第１開口３ｐを囲む複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの複数の交差部である。【選択図】図１
2019209621.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、
前記フレームに取り付けられているメッシュシートとを備え、前記メッシュシートは、互いに交差する複数の第１紗と複数の第２紗とを含み、前記メッシュシートには第１開口が設けられており、さらに、
前記第１開口に整列する第２開口が設けられたマスク部材を備え、前記メッシュシートの網目は前記マスク部材によって埋められており、
少なくとも複数の第１交差部において、前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とは互いに接合されており、前記複数の第１交差部は、前記第１開口に隣接しかつ前記第１開口を囲む前記複数の第１紗と前記複数の第２紗との複数の交差部である、スクリーンマスク。
【請求項２】
前記少なくとも複数の第１交差部において、前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とは互いに拡散接合されている、請求項１に記載のスクリーンマスク。
【請求項３】
前記少なくとも複数の第１交差部において、前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とは互いに溶接されている、請求項１に記載のスクリーンマスク。
【請求項４】
前記少なくとも複数の第１交差部において、前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とは互いに接着されている、請求項１に記載のスクリーンマスク。
【請求項５】
前記複数の第１交差部のみにおいて、前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とは互いに接合されている、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のスクリーンマスク。
【請求項６】
互いに交差する複数の第１紗と複数の第２紗とを含むメッシュシートの、少なくとも複数の第１交差部において、前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とを互いに接合することと、
フレームに前記メッシュシートを取り付けることと、
前記メッシュシートに第１開口を形成することとを備え、前記複数の第１交差部は、前記第１開口に隣接しかつ前記第１開口を囲む前記複数の第１紗と前記複数の第２紗との複数の交差部であり、さらに、
前記第１開口に整列する第２開口が設けられたマスク部材を前記メッシュシートに形成することを備え、前記メッシュシートの網目は前記マスク部材によって埋められている、スクリーンマスクの製造方法。
【請求項７】
前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とを互いに接合することは、前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とを互いに拡散接合することを含む、請求項６に記載のスクリーンマスクの製造方法。
【請求項８】
前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とを互いに接合することは、前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とを互いに溶接することを含む、請求項６に記載のスクリーンマスクの製造方法。
【請求項９】
前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とを互いに接合することは、前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とを互いに接着することを含む、請求項６に記載のスクリーンマスクの製造方法。
【請求項１０】
前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とを互いに接合することは、前記複数の第１交差部のみにおいて、前記複数の第１紗と前記複数の第２紗とを互いに接合することを含む、請求項６から請求項９のいずれか１項に記載のスクリーンマスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーンマスク及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特開２００５−７６０２号公報（特許文献１）は、スクリーンマスクを開示している。スクリーンマスクは、フレームと、メッシュシートと、メッシュシートに一体化されるマスクとを含んでいる。メッシュシートは、張力が印加された状態で、フレームに支持されている。メッシュシートは、複数の第１の紗と複数の第２の紗とを交差させて形成されている。マスクの開口から露出する第１の紗及び第２の紗の少なくとも一方がエッチングにより除去されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−７６０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に記載されたスクリーンマスクでは、マスクの開口から複数の第１の紗及び複数の第２の紗の一部を除去する際に、複数の第１の紗及び複数の第２の紗に印加されている張力により、複数の第１の紗及び複数の第２の紗の一部はフレームに向かって引っ張られる。そのため、メッシュシート及びマスクが破損したり、メッシュシートが歪むことがあった。このようなスクリーンマスクは、スクリーン印刷の品質を低下させる。本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、より高品質なスクリーン印刷を可能にするスクリーンマスク及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のスクリーンマスクは、フレームと、メッシュシートと、マスク部材とを備える。メッシュシートは、フレームに取り付けられている。メッシュシートは、互いに交差する複数の第１紗と複数の第２紗とを含む。メッシュシートには、第１開口が設けられている。マスク部材には、第１開口に整列する第２開口が設けられている。メッシュシートの網目は、マスク部材によって埋められている。少なくとも複数の第１交差部において、複数の第１紗と複数の第２紗とは互いに接合されている。複数の第１交差部は、第１開口に隣接しかつ第１開口を囲む複数の第１紗と複数の第２紗との複数の交差部である。
【０００６】
本発明のスクリーンマスクの製造方法は、互いに交差する複数の第１紗と複数の第２紗とを含むメッシュシートの、少なくとも複数の第１交差部において、複数の第１紗と複数の第２紗とを互いに接合することを備える。本発明のスクリーンマスクの製造方法は、フレームにメッシュシートを取り付けることと、メッシュシートに第１開口を形成することとを備える。複数の第１交差部は、第１開口に隣接しかつ第１開口を囲む複数の第１紗と複数の第２紗との複数の交差部である。本発明のスクリーンマスクの製造方法は、第１開口に整列する第２開口が設けられたマスク部材をメッシュシートに形成することを備える。メッシュシートの網目はマスク部材によって埋められている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のスクリーンマスク及びその製造方法では、少なくとも複数の第１交差部において、複数の第１紗と複数の第２紗とは互いに接合されている。そのため、メッシュシートに第１開口を形成する際に、メッシュシートが第１開口を超えて破損すること及びメッシュシートが歪むことが防止され得る。本発明のスクリーンマスクは、より高品質なスクリーン印刷を可能にする。本発明のスクリーンマスクの製造方法は、より高品質なスクリーン印刷を可能にするスクリーンマスクを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の形態１のスクリーンマスクの概略平面図である。
【図２】実施の形態１のスクリーンマスクの、図１の断面線ＩＩ−ＩＩにおける概略断面図である。
【図３】実施の形態１のスクリーンマスクの製造方法の一工程を示す概略平面図である。
【図４】実施の形態１のスクリーンマスクの製造方法における図３に示される工程の、断面線ＩＶ−ＩＶにおける概略断面図である。
【図５】実施の形態１のスクリーンマスクの製造方法における図３に示される工程の次工程を示す概略平面図である。
【図６】実施の形態１のスクリーンマスクの製造方法における図５に示される工程の、断面線ＶＩ−ＶＩにおける概略断面図である。
【図７】実施の形態１のスクリーンマスクの製造方法における図５に示される工程の次工程を示す概略平面図である。
【図８】実施の形態１のスクリーンマスクの製造方法における図７に示される工程の、断面線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩにおける概略断面図である。
【図９】実施の形態１の変形例のスクリーンマスクの概略平面図である。
【図１０】実施の形態１の変形例のスクリーンマスクの、図９の断面線Ｘ−Ｘにおける概略断面図である。
【図１１】実施の形態１の変形例のスクリーンマスクの製造方法の一工程を示す概略斜視図である。
【図１２】実施の形態２のスクリーンマスクの概略平面図である。
【図１３】実施の形態２のスクリーンマスクの、図１２の断面線ＸＩＩＩ−ＸＩＩＩにおける概略断面図である。
【図１４】実施の形態２のスクリーンマスクの製造方法の一工程を示す概略平面図である。
【図１５】実施の形態２のスクリーンマスクの製造方法における図１４に示される工程の、断面線ＸＶ−ＸＶにおける概略断面図である。
【図１６】実施の形態２の変形例のスクリーンマスクの概略平面図である。
【図１７】実施の形態２の変形例のスクリーンマスクの、図１６の断面線ＸＶＩＩ−ＸＶＩＩにおける概略断面図である。
【図１８】実施の形態３のスクリーンマスクの概略平面図である。
【図１９】実施の形態３のスクリーンマスクの、図１８の断面線ＸＩＸ−ＸＩＸにおける概略断面図である。
【図２０】実施の形態３のスクリーンマスクの製造方法の一工程を示す概略平面図である。
【図２１】実施の形態３のスクリーンマスクの製造方法における図２０に示される工程の、断面線ＸＸＩ−ＸＸＩにおける概略断面図である。
【図２２】実施の形態３の第１変形例のスクリーンマスクの概略平面図である。
【図２３】実施の形態３の第１変形例のスクリーンマスクの、図２２の断面線ＸＸＩＩＩ−ＸＸＩＩＩにおける概略断面図である。
【図２４】実施の形態３の第１変形例のスクリーンマスクの製造方法の一工程を示す概略断面図である。
【図２５】実施の形態３の第１変形例のスクリーンマスクの製造方法の一工程を示す概略断面図である。
【図２６】実施の形態３の第２変形例のスクリーンマスクの概略平面図である。
【図２７】実施の形態３の第２変形例のスクリーンマスクの、図２６の断面線ＸＸＶＩＩ−ＸＸＶＩＩにおける概略断面図である。
【図２８】変形例のメッシュシートの概略平面図である。
【図２９】変形例のメッシュシートの、図２８の断面線ＸＸＩＸ−ＸＸＩＸにおける概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、同一の構成には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
【００１０】
実施の形態１．
図１及び図２を参照して、実施の形態１のスクリーンマスク１を説明する。スクリーンマスク１は、フレーム１１と、メッシュシート３と、マスク部材１５とを主に備える。スクリーンマスク１は、コンビネーション部１２をさらに備えてもよい。
【００１１】
フレーム１１は、特に限定されないが、アルミニウムのような金属材料で構成されてもよい。メッシュシート３は、フレーム１１に取り付けられている。メッシュシート３は、接着剤を用いてフレーム１１に直接取り付けられてもよい。メッシュシート３は、コンビネーション部１２を介してフレーム１１に取り付けられてもよい。具体的には、メッシュシート３はバインド部１３においてコンビネーション部１２に接続され、コンビネーション部１２が接着剤を用いてフレーム１１に取り付けられてもよい。コンビネーション部１２は、メッシュシート３とは異なる材料で形成されている。コンビネーション部１２は、例えば、ポリエチレンまたはポリエステルのような樹脂材料で構成されてもよい。コンビネーション部１２は、互いに交差する複数の第３紗と複数の第４紗とを含むメッシュシートであってもよい。メッシュシート３は、張力が印加された状態で、フレーム１１に取り付けられている。
【００１２】
メッシュシート３は、互いに交差する複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを含む。複数の第１紗３ａ及び複数の第２紗３ｂは、ステンレス、チタン、チタン合金、ニッケル、ニッケル合金、銅、銅合金、鉄、鉄合金またはタングステンのような金属材料で構成されてもよい。複数の第２紗３ｂは、複数の第１紗３ａと同じ材料で構成されてもよいし、異なる材料で構成されてもよい。メッシュシート３には、第１開口３ｐが設けられている。
【００１３】
マスク部材１５は、メッシュシート３に設けられている。メッシュシート３の網目は、マスク部材１５によって埋められている。メッシュシート３は、マスク部材１５に覆われている。マスク部材１５には、第１開口３ｐに整列している第２開口１５ｐが設けられている。メッシュシート３の平面視において、第２開口１５ｐは、第１開口３ｐに完全に重なってもよい。メッシュシート３の平面視において、第２開口１５ｐは、第２開口１５ｐは第１開口３ｐの内側に配置されてもよい。メッシュシート３の平面視において、第２開口１５ｐ内にメッシュシート３が露出していなくてもよい。マスク部材１５は、例えば、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）系樹脂、ジアゾ系樹脂またはアクリル系樹脂のような感光性樹脂を含む乳剤で形成されてもよい。
【００１４】
スクリーンマスク１では、マスク部材１５によって覆われている複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの全ての交差部において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに接合されている。特定的には、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに拡散接合されている。複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは、複数の拡散接合部５によって互いに接合されている。
【００１５】
図３から図１１を参照して、実施の形態１のスクリーンマスク１の製造方法を説明する。
【００１６】
図３及び図４に示されるように、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの全ての交差部において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを互いに接合する。特定的には、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの全ての交差部において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを互いに拡散接合する。複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの全ての交差部において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを、複数の拡散接合部５によって互いに接合する。例えば、複数の第１紗３ａ及び複数の第２紗３ｂがステンレス線材である場合には、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを、還元雰囲気もしくは真空中で、約１０００℃の温度で加熱することによって、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに拡散接合される。
【００１７】
それから、図５及び図６に示されるように、フレーム１１にメッシュシート３を取り付ける。本実施の形態では、メッシュシート３はバインド部１３においてコンビネーション部１２に接続され、コンビネーション部１２が接着剤を用いてフレーム１１に取り付けられている。メッシュシート３は、接着剤を用いてフレーム１１に直接取り付けられてもよい。メッシュシート３は、張力が印加された状態で、フレーム１１に取り付けられる。
【００１８】
続いて、図７及び図８に示されるように、メッシュシート３に第１開口３ｐを形成する。第１開口３ｐは、メッシュシート３の一部をエッチングすることによって形成されてもよいし、メッシュシート３の一部を切断することによって形成されてもよい。複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの全ての交差部において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに接合されている。そのため、メッシュシート３に張力が印加されていても、メッシュシート３に第１開口３ｐを形成する際に、メッシュシート３が第１開口３ｐを超えて破損すること及びメッシュシート３が歪むことが防止され得る。
【００１９】
それから、第１開口３ｐに整列する第２開口１５ｐが設けられたマスク部材１５をメッシュシート３に形成する。メッシュシート３の網目はマスク部材１５によって埋められている。具体的には、感光性樹脂を含む乳剤層をメッシュシート３に塗布または転写することによって、感光性樹脂を含む乳剤層をメッシュシート３の全面に設ける。乳剤層を、露光及び現像し、第１の温度で乾燥させる。第１の温度は、例えば、４０℃以上であってもよく、１５０℃以下であってもよい。こうして、第２開口１５ｐが設けられたマスク部材１５が得られる。図１及び図２に示されるスクリーンマスク１が得られる。
【００２０】
本実施の形態では、少なくとも複数の第１交差部４において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに接合されていればよい。複数の第１交差部４は、第１開口３ｐに隣接しかつ第１開口３ｐを囲む複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの複数の交差部である。そのため、メッシュシート３に張力が印加されていても、メッシュシート３に第１開口３ｐを形成する際に、メッシュシート３が第１開口３ｐを超えて破損すること及びメッシュシート３が歪むことが防止され得る。
【００２１】
例えば、図９及び図１０に示されるように、本実施の形態の変形例のスクリーンマスク１ａでは、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは、第１交差部４のみにおいて互いに接合されてもよい。複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの接合箇所を減少させることができるので、複数の第１紗３ａ及び複数の第２紗３ｂに印加される張力のばらつきに起因するスクリーンマスクの歪みがさらに抑制され得る。
【００２２】
特定的には、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは、第１交差部４のみにおいて互いに拡散接合されてもよい。複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは、第１交差部４のみにおいて、拡散接合部５によって、互いに接合されてもよい。例えば、図１１に示されるような、治具３２を用いて、ステージ（図示せず）の上に載置された複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの複数の第１交差部４を加圧しながら加熱することによって、第１交差部４のみにおいて複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを互いに拡散接合することができる。治具３２は、押圧プレート３３と、ヒータ３４とを含む。
【００２３】
本実施の形態のスクリーンマスク１，１ａ及びその製造方法の効果を説明する。
本実施の形態のスクリーンマスク１，１ａは、フレーム１１と、メッシュシート３と、マスク部材１５とを備える。メッシュシート３は、フレーム１１に取り付けられている。メッシュシート３は、互いに交差する複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを含む。メッシュシート３には、第１開口３ｐが設けられている。マスク部材１５には、第１開口３ｐに整列する第２開口１５ｐが設けられている。メッシュシート３の網目は、マスク部材１５によって埋められている。少なくとも複数の第１交差部４において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに接合されている。複数の第１交差部４は、第１開口３ｐに隣接しかつ第１開口３ｐを囲む複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの複数の交差部である。
【００２４】
本実施の形態のスクリーンマスク１，１ａの製造方法は、互いに交差する複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを含むメッシュシート３の、少なくとも複数の第１交差部４において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを互いに接合することを備える。本実施の形態のスクリーンマスク１，１ａの製造方法は、フレーム１１にメッシュシート３を取り付けることと、メッシュシート３に第１開口３ｐを形成することとを備える。複数の第１交差部４は、第１開口３ｐに隣接しかつ第１開口３ｐを囲む複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの複数の交差部である。本実施の形態のスクリーンマスク１，１ａの製造方法は、第１開口３ｐに整列する第２開口１５ｐが設けられたマスク部材１５をメッシュシート３に形成することを備える。メッシュシート３の網目はマスク部材１５によって埋められている。
【００２５】
本実施の形態のスクリーンマスク１，１ａ及びその製造方法では、少なくとも複数の第１交差部４において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに接合されている。そのため、メッシュシート３に第１開口３ｐを形成する際に、メッシュシート３が第１開口３ｐを超えて破損すること及びメッシュシート３が歪むことが防止され得る。本実施の形態のスクリーンマスク１，１ａは、より高品質なスクリーン印刷を可能にする。本実施の形態のスクリーンマスク１，１ａの製造方法は、より高品質なスクリーン印刷を可能にするスクリーンマスク１，１ａを提供することができる。
【００２６】
実施の形態２．
図１２及び図１３を参照して、実施の形態２のスクリーンマスク１ｂを説明する。本実施の形態のスクリーンマスク１ｂは、実施の形態１のスクリーンマスク１と同様の構成を備えるが、以下の点で主に異なる。
【００２７】
スクリーンマスク１ｂでは、マスク部材１５によって覆われている複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの全ての交差部において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに溶接されている。複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは、複数の溶接部５ｂによって互いに接合されている。
【００２８】
実施の形態２のスクリーンマスク１ｂの製造方法を説明する。本実施の形態のスクリーンマスク１ｂの製造方法は、実施の形態１のスクリーンマスク１の製造方法と同様の工程を備えるが、以下の点で主に異なる。
【００２９】
図１４及び図１５に示されるように、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの全ての交差部において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを互いに溶接する。例えば、抵抗溶接法によって、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを互いに溶接してもよい。具体的には、第１電極２０ａと第２電極２０ｂとを少なくとも複数の第１交差部４に接触させる。第１電極２０ａと第２電極２０ｂとの間に電流を流す。複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの全ての交差部において、ジュール熱を発生させて、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとが互いに溶接される。レーザ溶接法またはアーク溶接法によって、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに溶接されてもよい。
【００３０】
本実施の形態では、少なくとも複数の第１交差部４において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに溶接されていればよい。例えば、図１６及び図１７に示されるように、本実施の形態の変形例のスクリーンマスク１ｃでは、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは、第１交差部４のみにおいて互いに溶接されてもよい。複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは、第１交差部４のみにおいて、複数の溶接部５ｂによって、互いに接合されてもよい。そのため、メッシュシート３に第１開口３ｐを形成する際に、メッシュシート３が第１開口３ｐを超えて破損すること及びメッシュシート３が歪むことが防止され得る。さらに、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの接合箇所を減少させることができるので、複数の第１紗３ａ及び複数の第２紗３ｂに印加される張力のばらつきに起因するスクリーンマスクの歪みがさらに抑制され得る。
【００３１】
本実施の形態のスクリーンマスク１ｂ，１ｃ及びその製造方法の効果を説明する。本実施の形態のスクリーンマスク１ｂ，１ｃ及びその製造方法は、実施の形態１のスクリーンマスク１，１ａ及びその製造方法と同様の効果を奏するが、以下の点で異なる。本実施の形態における溶接は、実施の形態１の拡散接合よりも低コストで実施し得る。本実施の形態のスクリーンマスク１ｂ，１ｃ及びその製造方法によれば、スクリーンマスク１ｂ，１ｃの価格を低下させることができる。
【００３２】
実施の形態３．
図１８及び図１９を参照して、実施の形態３のスクリーンマスク１ｄを説明する。本実施の形態のスクリーンマスク１ｄは、実施の形態１のスクリーンマスク１と同様の構成を備えるが、以下の点で主に異なる。
【００３３】
スクリーンマスク１ｄでは、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの全ての交差部において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに接着されている。複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの全ての交差部において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは、接着剤６によって互いに接合されている。接着剤６は、２-シアノアクリル酸エステル系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ニトリルゴム系樹脂またはポリイミド系樹脂のような有機接着剤であってもよいし、ガラス系接着剤のような無機接着剤であってもよい。
【００３４】
複数の第１紗３ａ及び複数の第２紗３ｂは、ステンレス、チタン、チタン合金、ニッケル、ニッケル合金、銅、銅合金、鉄、鉄合金またはタングステンのような金属材料で構成されてもよいし、ポリイミド、ポリエステルまたはナイロンのような樹脂材料で構成されてもよい。複数の第２紗３ｂは、複数の第１紗３ａと同じ材料で構成されてもよいし、異なる材料で構成されてもよい。
【００３５】
実施の形態３のスクリーンマスク１ｄの製造方法を説明する。本実施の形態のスクリーンマスク１ｄの製造方法は、実施の形態１のスクリーンマスク１の製造方法と同様の工程を備えるが、以下の点で主に異なる。
【００３６】
図２０及び図２１に示されるように、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの全ての交差部において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを互いに接着する。例えば、図２１に示されるように、ディスペンサ２２から接着剤６を滴下することによって、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは、接着剤６によって互いに接着されてもよい。接着剤６が硬化する第２の温度は、第１開口３ｐに整列する第２開口１５ｐが設けられたマスク部材１５をメッシュシート３に形成する際に、乳剤層を乾燥させる第１の温度よりも高い。そのため、マスク部材１５をメッシュシート３に形成する際に、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとを接合する接着剤６が軟化することが抑制されて、メッシュシート３が歪むことが防止され得る。
【００３７】
図２２及び図２３に示されるように、本実施の形態の第１変形例のスクリーンマスク１ｅでは、複数の第１紗３ａ及び複数の第２紗３ｂの全ての表面が、接着剤６で覆われてもよい。例えば、図２４に示されるように、ノズル２３からメッシュシート３に接着剤６をスプレーしたり、図２５に示されるように、容器２４内にある接着剤６にメッシュシート３を浸漬したり、または、コーター（図示せず）を用いて接着剤６をメッシュシート３に塗布したりすることによって、複数の第１紗３ａ及び複数の第２紗３ｂの全ての表面が、接着剤６に覆われてもよい。接着剤６によってメッシュシート３の網目が詰まることを防止しつつ、接着剤６を硬化させるために、例えば、４０℃以上９０℃の温度を有する温風を、接着剤６が施されたメッシュシート３に吹き付けてもよい。
【００３８】
本実施の形態では、少なくとも複数の第１交差部４において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに接着されていればよい。例えば、図２６及び図２７に示されるように、本実施の形態の第２変形例のスクリーンマスク１ｆでは、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは、第１交差部４のみにおいて互いに接着されてもよい。複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは、第１交差部４のみにおいて、接着剤６によって、互いに接合されてもよい。そのため、メッシュシート３に第１開口３ｐを形成する際に、メッシュシート３が第１開口３ｐを超えて破損すること及びメッシュシート３が歪むことが防止され得る。さらに、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとの接合箇所を減少させることができるので、複数の第１紗３ａ及び複数の第２紗３ｂに印加される張力のばらつきに起因するスクリーンマスクの歪みがさらに抑制され得る。
【００３９】
本実施の形態のスクリーンマスク１ｄ，１ｅ，１ｆ及びその製造方法の効果を説明する。本実施の形態のスクリーンマスク１ｄ，１ｅ，１ｆ及びその製造方法は、実施の形態１のスクリーンマスク１及びその製造方法と同様の効果を奏するが、以下の点で異なる。
【００４０】
本実施の形態では、少なくとも複数の第１交差部４において、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに接着されている。そのため、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂは樹脂材料で構成されてもよく、メッシュシート３の材料の選択肢を拡げることができる。また、実施の形態１及び実施の形態２よりも低い温度で、複数の第１紗３ａと複数の第２紗３ｂとは互いに接合され得る。そのため、メッシュシート３の破損及び歪みがさらに抑制され得る。本実施の形態のスクリーンマスク１ｄ，１ｅ，１ｆの製造方法は、より高品質なスクリーン印刷を可能にするスクリーンマスク１ｄ，１ｅ，１ｆを提供することができる。
【００４１】
今回開示された実施の形態１−３及びそれらの変形例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。例えば、複数の第１紗３ａ及び複数の第２紗３ｂの織り方は、実施の形態１−３及びそれらの変形例に示される平織に限られず、図２８及び図２９に示される綾織などであってもよい。本発明の範囲は、上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
【符号の説明】
【００４２】
１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ  スクリーンマスク、３  メッシュシート、３ａ  第１紗、３ｂ  第２紗、３ｐ  第１開口、４  第１交差部、５  拡散接合部、５ｂ  溶接部、６  接着剤、１１  フレーム、１２  コンビネーション部、１３  バインド部、１５  マスク部材、１５ｐ  第２開口、２０ａ  第１電極、２０ｂ  第２電極、２２  ディスペンサ、２３  ノズル、２４  容器、３２  治具、３３  押圧プレート、３４  ヒータ。 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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