(57)【要約】【課題】吐出素子に対応づけて循環流路を備える構成において、液体の揮発、電源容量、ノイズの影響を抑えながら、好適に液体を循環させ安定した吐出動作を維持することが可能な液体吐出装置を提供する。【解決手段】流路の流れを促す送液機構１２を圧力室３に対応づけて用意した構成において、複数の送液機構１２を複数のブロックに分割し、当該ブロックの夫々に含まれる複数の送液機構１２を、異なるタイミングで駆動する。【選択図】図７
2019010761.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を収容する圧力室と、
該圧力室の液体にエネルギを付与するエネルギ発生素子と、
該エネルギ発生素子によってエネルギが付与された液体を吐出させる吐出口と、
前記圧力室に対応づけて用意され、前記圧力室の液体の流れを促す送液機構と、
複数の前記送液機構の駆動を制御するための制御手段と
を備える液体吐出装置であって、
前記制御手段は、前記複数の送液機構を複数のブロックに分割し、当該ブロックの夫々に含まれる複数の前記送液機構を、異なるタイミングで駆動することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記複数の送液機構は複数の前記エネルギ発生素子と同じ平面に配列し、前記制御手段によって同時に駆動される複数の前記送液機構は、前記平面において一様に分散している請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記制御手段は、複数の前記圧力室に共通して液体を供給する流路における流速が相対的に速い場合は、相対的に遅い場合よりも、前記複数の送液機構の駆動量を小さくする請求項１または２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記制御手段は、環境温度または環境湿度の少なくとも一方に基づいて前記複数の送液機構の駆動量を変更する請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記エネルギ発生素子の複数が配された基板の温度に基づいて前記複数の送液機構の駆動量を変更する請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記エネルギ発生素子を駆動するための吐出データに基づいて、当該エネルギ発生素子に対応する前記送液機構の駆動量を個別に変更する請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記エネルギ発生素子が駆動される前または駆動された後の所定期間は当該エネルギ発生素子に対応する前記送液機構の駆動量を低減する請求項６に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記エネルギ発生素子を駆動するための吐出データに基づいて、当該エネルギ発生素子を駆動するための新たな吐出データを生成して前記吐出口から液体を吐出させるとともに、当該エネルギ発生素子に対応する前記送液機構の駆動量を低減する請求項６または７に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記制御手段は、前記送液機構の単位時間における駆動回数または駆動周期の少なくとも一方を調整することによって、前記送液機構の駆動量を変更する請求項３から８のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記送液機構と当該送液機構に対応づけられた複数の前記圧力室は、同一の流路の中に液体が流れる方向に沿って１列に配置している請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項１１】
前記送液機構は、複数の前記圧力室のそれぞれに対し一つずつ用意されている請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項１２】
液体を収容する圧力室と、
該圧力室の液体にエネルギを付与するエネルギ発生素子と、
該エネルギ発生素子によってエネルギが付与された液体を吐出させる吐出口と、
前記圧力室に対応づけて用意され、前記圧力室の液体の流れを促す送液機構と、
を備える液体吐出装置の制御方法であって、
複数の前記送液機構を複数のブロックに分割し、当該ブロックの夫々に含まれる複数の前記送液機構を、異なるタイミングで駆動することを特徴とする液体吐出装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出装置およびその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドのような液体吐出モジュールでは、吐出動作が暫く行われない吐出口において揮発成分の蒸発が進み、インク（液体）の変質が問題となる場合がある。揮発成分が蒸発すると、色材などの含有成分の濃度が上昇し、色材が顔料である場合は顔料の凝集や沈降が起き、吐出状態に影響を与えるためである。具体的には、吐出量および吐出方向がばらつき、画像内に濃度むらやスジが確認される。
【０００３】
このようなインクの変質を抑制するため、近年では、液体吐出モジュール内でインクを循環させて、定常的に新鮮なインクを吐出口に供給する方法が提案されている。特許文献１には、個々の吐出口にインクを供給する循環流路内に送液機構（ポンプ素子）を配し、吐出素子とポンプ素子の駆動間隔を制御する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１６／０６８９８７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１は個々の吐出口に対応する個別の循環流路についての適正化は考慮しているが、多数の吐出口を含んだ循環流路全体への配慮がない。このため、以下の問題が発生していた。
【０００６】
フルライン型のインクジェット記録ヘッドのように多数の吐出素子を備える構成では、吐出素子間の吐出頻度の偏りに伴って、記録ヘッド内のインクの蒸発や変質の程度のばらつきも大きくなる。その一方で、全ての吐出素子でインクの変質を起こさない程度の十分なインク循環を行っていると、液体が吐出口を介して大気に露出する頻度が高くなり結果的に循環するインク全体の揮発量を必要以上に増大させてしまう。
【０００７】
また、多数の送液機構を同時に駆動すると、単位時間に流れる電流が大きくなり、多大な電源容量が必要となってコスト高を招致するおそれがある。更に、吐出素子に印加する駆動パルスに送液機構に印加する駆動パルスが影響し、ノイズの影響が吐出動作に現れる場合もある。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解消するためになされたものである。よってその目的とするところは、吐出素子に対応づけて循環流路を備える構成において、液体の揮発、電源容量、ノイズの影響を抑えながら、好適に液体を循環させ安定した吐出動作を維持することが可能な液体吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そのために本発明は、液体を収容する圧力室と、該圧力室の液体にエネルギを付与するエネルギ発生素子と、該エネルギ発生素子によってエネルギが付与された液体を吐出させる吐出口と、前記圧力室に対応づけて用意され、前記圧力室の液体の流れを促す送液機構と、複数の前記送液機構の駆動を制御するための制御手段とを備える液体吐出装置であって、前記制御手段は、前記複数の送液機構を複数のブロックに分割し、当該ブロックの夫々に含まれる複数の前記送液機構を、異なるタイミングで駆動することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、吐出素子に対応づけて循環流路を備える構成において、液体の揮発、電源容量、ノイズの影響を抑えながら、好適に液体を循環させ安定した吐出動作を維持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】インクジェット記録ヘッドの斜視図である。
【図２】本発明で採用可能なインク循環の概念図である。
【図３】液体吐出装置における制御の構成を説明するためのブロック図である。
【図４】第１の実施形態における記録素子基板の流路構成を示す図である。
【図５】送液機構として圧電アクチュエータを用いた場合の駆動例を示している。
【図６】吐出口からのインク蒸発速度を比較する図である。
【図７】複数の送液機構のブロック分割の様子を示す図である。
【図８】ブロック駆動のタイミングチャートである。
【図９】環境の温度および湿度による蒸発速度の違いを示す図である。
【図１０】分割駆動を行った場合のタイミングチャートである。
【図１１】送液機構の駆動回数を調整する場合のタイミングチャートである。
【図１２】送液機構の駆動回数を調整する場合のタイミングチャートである。
【図１３】第３の実施形態における記録素子基板の流路構成を示す図である。
【図１４】第３の実施形態におけるタイミングチャートである。
【図１５】第３の実施形態におけるタイミングチャートでの別例である。
【図１６】第４の実施形態における記録素子基板の流路構成を示す図である。
【図１７】交流電気浸透流型（ＡＣＥＯ）ポンプの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の液体吐出装置で使用可能なインクジェット記録ヘッド１００（以下、単に記録ヘッドとも言う）の斜視図である。記録ヘッド１００は、複数の記録素子がＹ方向に配列して成る記録素子基板４が、更にＹ方向に複数配列して構成されている。ここでは、記録素子基板４が、Ａ４サイズの幅に対応する距離だけＹ方向に配列して構成されるフルラインタイプの記録ヘッド１００を示している。
【００１３】
記録素子基板４の夫々はフレキシブル配線基板１０１を介して、同じ電気配線基板１０２に接続している。電気配線基板１０２には、電力を受容するための電力供給端子１０３と吐出信号を受信するための信号入力端子１０４が配備されている。一方、インク供給ユニット１０５には、不図示のインクタンクより供給されたインクを個々の記録素子基板４に供給したり、記録で消費されなかったインクを回収したりする循環流路が形成されている。
【００１４】
以上の構成のもと、記録素子基板４に配された記録素子のそれぞれは、信号入力端子１０４より入力された吐出信号に基づき、電力供給端子１０３から供給された電力を用い、インク供給ユニット１０５より供給されたインクを図のＺ方向に吐出する。
【００１５】
図２（ａ）および（ｂ）は、本実施形態で採用可能なインク循環の概念図である。図２（ａ）は、供給用インクタンクとインクジェット記録ヘッドとの間でインクを循環させる構成を示す。供給用インクタンクから記録ヘッドに供給されたインクの一部は記録ヘッドの吐出動作によって消費され、吐出動作で消費されなかったインクは再び供給用インクタンクに回収されるようになっている。回収されたインクが記録ヘッド１００における揮発成分の蒸発が原因で変質している場合、供給用インクタンクには、回収インクの成分を調整するような機能を備えてもよい。
【００１６】
図２（ｂ）は、供給用インクタンクと回収用インクタンクを個別に用意する構成を示す。供給用インクタンクから記録ヘッドに供給されたインクの一部は記録ヘッドの吐出動作によって消費され、吐出動作で消費されなかったインクは回収用インクタンクに回収される。回収用インクタンクに回収されたインクについても、インク成分を調整するようなユニットを用意すれば、調整後のインクを再び供給用インクタンクに戻すこともできる。本実施形態の液体吐出装置はどちらの形態も採用することができる。
【００１７】
図３は、液体吐出装置における制御の構成を説明するためのブロック図である。コントローラ４００は、ＣＰＵ４０１、ＲＯＭ４０２、ＲＡＭ４０３を具えている。ＣＰＵ４０１は、ＲＯＭ４０２に格納されているプログラムやパラメータに従って、ＲＡＭ４０３をワークエリアとしながら装置全体を制御する。
【００１８】
ヘッド制御部４０４は、インクジェット記録ヘッド１００を制御する。具体的には、ＣＰＵ４０１の指示に従って、記録ヘッド１００内に配された送液機構を駆動して記録ヘッド内のインクを循環させたり、エネルギ発生素子を駆動して吐出動作を実行したりする。ヘッド制御部４０４が実行する具体的な制御については後に詳しく説明する。
【００１９】
メカ部４０６は、記録媒体を搬送するための搬送機構や記録ヘッド１００に対するメンテナンス処理を行うためのメンテナンス機構などを含む。また、記録ヘッド１００内のインクを循環させるためのポンプや、流路内の圧力（負圧）を制御するための負圧制御ユニット、流路を開閉するための弁などもここに含まれる。メカ制御部４０５は、ＣＰＵ４０１の指示のもと、これらメカ機構全体を制御する。
【００２０】
センサ部４０８は、温度センサや湿度センサ、シートの給紙状態を検出するセンサなど、装置が置かれた環境や時々の状態を確認するための各種センサを含む。記録ヘッド１００の基板温度を検出するためのダイオードセンサや、記録ヘッド１００内でインクが循環する流圧を検出するセンサもここに含まれている。センサ制御部４０７は、これらセンサから取得した検出結果をＣＰＵ４０１に提供し、ＣＰＵ４０１は、これらセンサから得られた情報に基づいて、メカ部４０６や記録ヘッド１００を駆動する。
【００２１】
図４（ａ）および（ｂ）は、記録素子基板４の流路構成を示す図である。図４（ａ）は記録素子基板４を吐出口面側（＋Ｚ方向側）から見た透視図、図４（ｂ）は断面図である。図４（ａ）に示すように、供給流路８内のインクは、不図示のポンプが生成する圧力差によって、供給流路８を＋Ｙ方向に流れている。＋Ｙ方向に流動するインクの一部は、供給流路８の両側に配された個別流路７を流れ、再び供給流路８に戻っている。個別流路７それぞれには、途中に２つの圧力室３が配備されている。
【００２２】
２つの圧力室３と供給流路８を接続する２つの接続流路６、６´において、Ｙ方向の幅は互いに異なっており、流路抵抗差に伴う一方向の流れが生成される。また、個別流路７のそれぞれには、上流側即ち幅の広い側の接続流路６に、液体の流動を促進するための送液機構１２が設けられている。以上の構成により、個別流路７においては、供給流路８から幅の広い接続流路６を介して１つ目の圧力室３に流入し、連絡流路５を経て２つ目の圧力室３に流入し、幅の狭い接続流路６´を介して供給流路８に戻るような流れが生成される。そして、供給流路８の＋Ｙ方向への流れと同時に個々の個別流路７における流れも管理することによって、吐出口２近傍のインクの変質を抑制することができる。
【００２３】
なお、図には示していないが、接続流路６の途中には、異物や気泡などの流入を防ぐためのフィルタを設けておくことが好ましい。フィルタとしては、柱状構造物などを採用することができる。
【００２４】
図４（ｂ）は図４（ａ）におけるＩＶｂ−ＩＶｂ断面図である。記録素子基板４は、シリコンなどの基板４ａ上に機能層９、流路形成部材１０、吐出口形成部材１１がこの順に積層して構成される。供給流路８、個別流路７および圧力室５は、流路形成部材１０の流路壁によって同一面内に形成されている。
【００２５】
機能層９の圧力室３に相当する位置にはエネルギ発生素子１が配され、エネルギ発生素子１に対応する吐出口形成部材１１には吐出口２が形成されている。吐出信号に従ってエネルギ発生素子１に電圧パルスが印加されると、エネルギ発生素子１に接触するインクに膜沸騰が生じ、発生した泡の成長エネルギによって吐出口２からインクが滴としてＺ方向に吐出される。本実施形態では、吐出口２、エネルギ発生素子１、圧力室３を組み合わせたものを記録素子（吐出素子）と称する。
【００２６】
一方、個別流路７のそれぞれにおいて、機能層９の上流側即ち幅の広い側の接続流路６に相当する位置には送液機構１２が設けられ、駆動信号に従って送液機構１２が駆動されると、個別流路７内の流れが促されるようになっている。
【００２７】
以下、上記構造の具体的な寸法例について説明する。エネルギ発生素子１の大きさは２５μｍ×３０μｍ、吐出口２の直径は２５μｍ、圧力室３の面積は３０μｍ×３５μｍとする。上流側の接続流路６の幅は２０μｍで長さは４０μｍ、下流側の接続流路６´の幅は１０μｍで長さは４０μｍ、連絡流路５の幅は２０μｍで長さは１０μｍ、個別流路７全域における高さは２０μｍとする。また、供給流路８の幅は５０μｍ、吐出口形成部材１１の厚みは２０μｍとする。更に、使用するインクの粘度は２ｃＰ、個々の吐出口からのインク吐出量は１０ｐｌとする。
【００２８】
本実施形態の記録素子基板４において、個々の記録素子はＹ方向に６００ｄｐｉ（ドット／インチ）のピッチで配列している。そして、供給流路８の両側に配する２列の記録素子列は、Ｙ方向に互いに半ピッチずれて配置されている。結果、Ｘ方向に所定の速度で搬送される記録媒体に対し、１２００ｄｐｉの解像度で画像を記録することができる。
【００２９】
また、図４（ａ）では１つの供給流路８とその両側に位置する２列の記録素子列を示したが、本実施形態の記録素子基板においては図４（ａ）に示す記録素子群がＸ方向に更にもう１つ配列し、同じ種類のインクを吐出するものとする（図７参照）。即ち、１２００ｄｐｉの１画素幅を有しＸ方向に延在する画素列は、２つの記録素子によって交互あるいは所定の順番で吐出動作を行うことができる。そして、本実施形態の液体吐出装置がカラーのインクジェット記録装置である場合は、そのような同じ種類のインクを吐出する４列の記録素子列がインク色に対応する数だけ、更にＸ方向に配列している。
【００３０】
本実施形態の送液機構１２としては、交流電気浸透流型（ＡＣＥＯ）ポンプやアクチュエータなどを用いることができる。アクチュエータを用いる場合は、圧電アクチュエータ、静電アクチュエータ、機械／衝撃駆動型アクチュエータ等、様々な方式のものを用いることができる。以下の説明では、送液機構１２として圧電アクチュエータを用いた場合を例に説明する。
【００３１】
図５は、送液機構１２として圧電アクチュエータを用いた場合の駆動例を示している。横軸は時間、縦軸は圧電アクチュエータの変位量を示している。圧電アクチュエータは、電圧が印加されることにより流路内に突出して接続流路６を狭め、印加を解除すると徐々に下降して接続流路６の容積を元に戻す。このように時間に対して非対称なアクチュエータの変位と、接続流路６および６´の流路抵抗の差によって、個別流路７内のインクは図４（ａ）および（ｂ）で示す方向に移動する。本実施形態では、１００μｓｅｃの間に電圧を３回印加して、アクチュエータを図５のように３回変位させることにより、１回分の送液動作としている。
【００３２】
図６は、吐出口からのインク蒸発速度を、インクを循環させた場合と循環させない場合で比較する図である。横軸は記録ヘッド１００からキャップを外し、吐出口を開放した時点からの時間を示している。一方、縦軸は吐出口からインクが蒸発する速度（単位時間及び単位面積当たりの蒸発量）を示している。
【００３３】
インクを循環させない場合、吐出口からインクの揮発成分がある程度蒸発すると、吐出口近傍で停滞するインクの濃縮が進み、やがて濃縮インクが吐出口内部のインクの蒸発を妨げるようになり、インク全体の蒸発速度は徐々に低下する。一方、インクを循環させた場合、吐出口２と圧力室３には定常的に新鮮なインクが補給されるため、インクの蒸発速度は常に高い状態で維持される。より詳しくは、吐出口２からの蒸発速度と、個別流路７内のインク流速に対応した新鮮なインクへの置換速度とが釣り合った値で、蒸発速度は安定する。即ち、インクを循環させた場合、吐出口２の近傍には、全く新鮮な状態では無いにせよ、濃縮や変質がある程度以上進行していないインクを定常的に用意しておくことができる。
【００３４】
しかしながら、上記のような循環のために全ての送液機構１２を同時に駆動した場合、瞬間的に大電流を流すことになり、液体吐出装置においては、送液機構１２のために十分な電源容量を確保しておく必要が生じ、コストアップが懸念される。また、本実施形態のように、エネルギ発生素子１と送液機構１２が同じ平面に高密度に配列する構成では、これらに電力を供給するための配線も複雑に密集しており、エネルギ発生素子１の駆動信号にノイズが乗ってしまうおそれが生じる。このような状況を鑑み、本実施形態では、同一の記録素子基板４に配列する送液機構１２を複数のブロックに分割し、ブロックごとに送液機構１２を駆動する。
【００３５】
図７は、複数の送液機構１２のブロック分割の様子を示す図である。図では、１色分の記録素子群、供給流路８および個別流路７のレイアウトを示している。Ｙ方向に延在する２つの供給流路８それぞれの両側に記録素子列が配され、計４列の記録素子列で構成されている。図では、４列の記録素子列をＢＬＫａ、ＢＬＫｂ、ＢＬＫｃ、ＢＬＫｄとして示している。
【００３６】
本実施形態では、個別流路７のそれぞれに送液機構１２が１つずつ配されている。そして、各記録素子列について、連続する６つの送液機構１２および連続する１２の記録素子を１ブロックとして分割し、ブロックごとに駆動を管理する。図では、同じブロックに含まれる６つの送液機構をＰ１〜Ｐ６（ポンプ１〜ポンプ６とも言う）と記載している。分割においては、隣接するブロック間の境界が、４つの記録素子列ＢＬＫａ、ＢＬＫｂ、ＢＬＫｃ、ＢＬＫｄで、Ｙ方向の異なる位置に配置するようにする。詳細には、同じ供給流路８よりインクが供給されるＢＬＫａとＢＬＫｂ、及びＢＬＫｃとＢＬＫｄは、それぞれ半周期分（３つの送液機構分）だけＹ方向にずれて配置させている。
【００３７】
図８は、ブロック駆動のタイミングチャートである。図５で説明した１００μｓｅｃ当たりに３回駆動する送液動作を、Ｐ１〜Ｐ６（ポンプ１〜ポンプ６）の送液機構で順番に行って行く。本例の場合、記録素子基板４に配された送液機構１２のうち、同時に駆動するのは全体の６分の１となり、多大な電源容量のために必要以上のコストアップを招くことが無い。
【００３８】
一方、図７に示すように、同時に駆動される送液機構１２即ちＰ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６のそれぞれに着眼すると、その位置は記録素子基板４のＸＹ平面において、ほぼ一様に分散している。即ち、同時駆動は、限定的且つ均等に分散した状態で行われるため、個々のエネルギ発生素子１の駆動信号に付与されるノイズも十分小さく抑え、駆動制御性を高く保つことができる。
【００３９】
更に、個々の送液機構１２については、６００μｓｅｃの周期で間欠的に送液動作を繰り返すことになる。よって、供給流路８を含む循環流路全体の流れは定常的且つ緩やかであり、個々の吐出口についても記録ヘッド全体についても、新鮮なインクへの置換が必要以上に頻繁に行われることがない。結果、インク全体の揮発量を必要以上に多くすること無くインクの変質が生じ無い程度に抑え、安定した吐出動作を維持することが可能となる。
【００４０】
（第２の実施形態）
本実施形態においても第１の実施形態と同様の記録ヘッドを用い、第１の実施形態と同様に送液機構に対する分割駆動を行う。その上で、本実施形態では、送液機構の駆動量を、様々な条件に基づいて全体的あるいは個別に調整する。
【００４１】
図９（ａ）および（ｂ）は、記録装置が設置された環境の温度および湿度による蒸発速度の違いを示す図である。図９（ａ）では、吐出口を開放した時点における蒸発速度（単位時間および単位面積当たりの蒸発体積）を、環境温度と環境湿度それぞれについて３段階に振った各場合に対応づけて示している。温度が高いほど、湿度が低いほど蒸発速度が高くなっていることがわかる。
【００４２】
また、図９（ｂ）は、第１の実施形態の方法でインクを循環させた場合において、吐出口を開放した時点から蒸発速度が変化する様子を、３種類の環境（２５℃／５０％、５０℃／５０％、５０℃／１０％）で比較した図である。いずれの条件も、時間とともに一定の蒸発速度に収束しているが、その収束値は装置が置かれた環境によって異なっている。結果として、吐出口近傍におけるインクの濃縮度や変質の程度も、装置が置かれた環境によって異なることになる。
【００４３】
本実施形態は、上記のような状況を鑑み、第１の実施形態と同様の分割駆動を行いながら、全送液機構１２の駆動量を環境温度と環境湿度の組み合わせによって調整するものである。具体的には、相対的に蒸発速度が速い環境では、１度の送液動作について送液機構１２を図５に示すように３回駆動する。そして、蒸発速度が遅い環境であるほど、１度の送液動作について送液機構１２を駆動する回数を減らしたり、送液動作を行う周期を２倍（１２００μｓｅｃ）にしたりする。
【００４４】
例えば、図９（ｂ）に示す３種類の環境の場合は、５０℃／１０％では１度の送液動作について送液機構１２を３回駆動し、５０℃／５０％では２回駆動し、２５℃／５０％では１回駆動すれば、これらの間で蒸発速度を互いに近づけることができる。
【００４５】
以上説明したような送液機構１２の駆動制御は、コントローラ４００が、記録ヘッド制御部４０４を介し、インクジェット記録ヘッド１００に対して行うものである（図３参照）。具体的には、環境温度と湿度の組み合わせに送液機構１２の駆動回数や駆動周期を対応づけたテーブルを、予めＲＯＭ４０２に記憶しておけばよい。ＣＰＵ４０１は、センサ部４０８の温度センサや湿度センサの検出値を取得し、ＲＯＭ４０２に記憶されている上記テーブルに基づいて、検出値に対応する送液機構１２の駆動回数や駆動周期を取得する。そして、取得した駆動回数および駆動周期に従って、記録ヘッド１００の送液機構１２を駆動すればよい。
【００４６】
このようにすれば、記録装置が置かれた環境が様々に変化した場合であっても、記録ヘッド全体のインク蒸発量をインクの変質が生じ無い程度に抑えながら、安定した吐出動作を維持することができる。なお、以上では環境温度と湿度の両方に基づいて駆動回数を制御する例で説明したが、環境温度のみあるいは環境湿度のみに基づいた制御であっても、必要以上のインク蒸発を回避するという効果を得ることはできる。また、インク蒸発の程度は、環境温度のほかに記録素子基板４の温度にも影響を受ける。このため、環境温度センサに替えて或は環境温度センサに加えて、記録素子基板４に配されたダイオードセンサの検出値を取得し、この値に基づいて駆動回数や駆動周期を制御してもよい。
【００４７】
また、吐出口からの蒸発速度は、上記温度や湿度のみでなく、共通流路８を流れるインクの流速にも影響を受ける。供給流路８におけるインクの流速が速いほど、個別流路７における流れも速くなり吐出口２からのインク蒸発も促される。よって、必要以上のインク蒸発を回避するために、共通流路８の流速に応じて送液機構１２の駆動回数や駆動周期を変更してもよい。
【００４８】
この場合、ＣＰＵ４０１は、供給流路８の流速を検出する流速センサの検出値を取得し、予めＲＯＭ４０２に記憶されている流速度と駆動回数または駆動周期を対応づけたテーブルに基づいて、検出値に対応する送液機構１２の駆動回数や駆動周期を取得する。そして、取得した駆動回数および駆動周期に従って、記録ヘッド１００の送液機構１２を駆動すればよい。
【００４９】
ところで、個々の吐出口におけるインク濃縮の程度は、個々の吐出口における吐出頻度にも影響を受ける。吐出頻度が低い吐出口では、吐出口近傍におけるインクの濃縮が進むため、次の吐出前には積極的なインク循環が求められる。その一方、吐出頻度が高い吐出口では、新鮮なインクへの置換が頻繁に行われているため、個別流路７におけるインク循環は然程必要とされない。また、本実施形態のように一つの個別流路７に二つの圧力室３が含まれる場合は、片方の吐出口からインクが吐出されなくても、もう片方の吐出口からインクが吐出されれば、インクの流動はある程度促進される。
【００５０】
このため、本実施形態では、個々の記録素子の吐出頻度に基づいて、当該記録素子と同じ個別流路７に含まれる送液機構１２の駆動条件を調整する。具体的には、吐出頻度が高い吐出口が含まれる個別流路７では、送液機構１２を積極的に駆動しなくても、吐出口２近傍のインクは新鮮な状態が保たれているため、１回の送液動作における送液機構１２の駆動回数を２回以下にする。一方、吐出頻度が低い吐出口が含まれる個別流路７においては、インクの濃縮及び変質が予想されるが、定常的にインクを循環させるのではなく、次の吐出動作を行う前等の適切なタイミングで送液機構１２を駆動する。このようにすることにより、インクを必要以上に蒸発させることなく、安定した吐出動作を維持することができる。
【００５１】
図１０は、第１の実施形態で説明した分割駆動を行った場合のタイミングチャートである。図において、エネルギ発生素子である素子１と素子２、および送液機構であるポンプ１は、それぞれ同じ個別流路７に配されている。本実施形態において、エネルギ発生素子１の１回の吐出動作に割り当てる単位時間ｔは、送液機構１２の１回の送液動作に割り当てる単位時間ｔ（１００μｓｅｃ）と同じである。また、単位時間ｔを更に２分割し、前半のｊ１の部分を個別流路７に含まれている２つのエネルギ発生素子１の一方に、後半のｊ２の部分をもう一方に割り当てている。
【００５２】
同じ個別流路７に含まれる２つの記録素子においては、片方の吐出動作に伴うインクの液動がもう片方にも伝わり、メニスカスが不安定になる。このため、これら２つが吐出動作に伴う液動が安定する時間を置いて次の吐出動作を行うことが好ましい。そのような時間は、記録素子基板４における各素子の寸法や材質およびインクの物性などに依存するが、おおよそ１０〜２５０μｓｅｃ程度である。本実施形態ではそのような間隔を１００μｓｅｃとし、素子１と素子２は必ず１００μｓｅｃ以上の間隔をあけて駆動するようにしている。このため、本実施形態では、単位時間の前半ｊ１が割り当てられている素子１の駆動の後の単位時間に、単位時間の後半ｊ２が割り当てられている素子２を駆動すること、および、素子２を駆動した単位時間の次の単位時間に素子１を駆動することはない。また、送液機構１２の駆動中および駆動後の一定時間においてはインクの液動によりメニスカスが不安定になるため、吐出動作を行わないことが望ましい。図１０においては、送液機構１２駆動後１００μｓｅｃ以上の間隔をあけて吐出動作を行うように制御している。
【００５３】
図１１および図１２は、記録素子の吐出頻度に基づいて送液機構１２の駆動回数を調整する場合のタイミングチャートである。既に説明したように、個々の吐出口における新鮮なインクへの置換は、当該吐出口が吐出動作を行うことによっても行うことができる。逆に言えば、吐出動作を行った直後の圧力室３では既に新鮮なインクに置換されているため、更なる送液動作を行う必要がない。また、吐出動作を行う直前の圧力室３においても、その後直ぐに新鮮なインクに置換されることが明らかであるため、その時点でのインクの濃縮が画像品位に影響を与えるほど進行していなければ、送液動作を行う必要がない。
【００５４】
図１１では、このような状況を鑑み、１００〜２００μｓｅｃの単位時間で素子２による吐出動作が行われるため、直後の単位時間（２００〜３００μｓｅｃ）におけるポンプ１の駆動をキャンセルした例を示している。より詳しくは、１５０μｓｅｃにおける素子２の吐出動作による惰性流により、５００μｓｅｃにおける素子１の吐出動作は正常に行うことができ、ポンプ１における次の送液動作まで問題が生じることは無い。このため、１回分の送液動作をキャンセルして過剰なインク循環を抑えている。
【００５５】
また、図１２では、３００〜４００μｓｅｃの単位時間で素子２による吐出動作が行われるため、直前の単位時間（２００〜３００μｓｅｃ）における送液機構１２の駆動をキャンセルした例を示している。より詳しくは、単位時間（２００〜３００μｓｅｃ）の送液動作を行わなくても、３５０μｓｅｃにおける素子２の吐出動作は正常に行うことができる。更にその吐出動作による惰性流により、５００μｓｅｃおよび６００μｓｅｃにおける素子１の吐出動作も正常に行うことができ、ポンプ１における次の送液動作まで問題が生じることは無い。このため、１回分の送液動作をキャンセルして過剰なインク循環を抑えている。このように、個別流路内のエネルギ発生素子１が駆動されることが明らかな場合は、当該駆動が行われるタイミングの前後の所定期間において、送液機構の駆動量を低減すればよい。
【００５６】
図１１および図１２では、送液機構１２の駆動回数を０とし送液動作自体を完全に中止しているが、駆動回数については標準の３回から２回以下に減らす形態としてもよい。また、図１１および図１２の方法をどちらも採用しつつ、図１１のように直前に吐出動作が行われている場合はキャンセルし、図１２のように直後に吐出動作が行われる場合は、駆動回数を減らすようにしてもよい。
【００５７】
以上のような制御は、ＣＰＵ４０１が、ＲＯＭ４０２に格納されたテーブルを参照し、ＲＡＭ４０３に一時的に保存される吐出データに基づいて、送液機構１２の駆動回数を変更することにより実現することができる（図３参照）。具体的には、ＣＰＵ４０１が、ＲＡＭ４０３に一時保存された吐出データを精査し、個々の送液機構１２の駆動すべき単位時間の直前直後の単位時間に吐出（１）を意味するデータが存在した場合、当該駆動すべき単位時間における送液機構の駆動回数を変更する。また、以上の制御は、既に説明した環境温度や湿度に基づく制御と併せて行ってもよい。この場合、環境温度および環境湿度に基づいて全送液機構１２の駆動回数を一律に調整した上で、更に個々の記録素子の吐出データに基づいて、送液機構１２の駆動回数を個別に調整することになる。
【００５８】
以上説明したように、本実施形態によれば、液体吐出装置が置かれた環境のほか、個々の記録素子における吐出頻度に基づいて、複数の送液機構１２の駆動を個別に制御することができる。このため、第１の実施形態で説明した効果に加え、環境が様々に変化した場合であっても、画像データに応じて個々の吐出口２における吐出頻度が様々であっても、安定した吐出動作を維持できると言う更なる効果を得ることができる。
【００５９】
（第３の実施形態）
図１３（ａ）および（ｂ）は、本実施形態で採用する記録素子基板４の流路構成を示す図である。図１３（ａ）は記録素子基板４を吐出口面側（＋Ｚ方向側）から見た透視図、図１３（ｂ）はＸＩＩＩｂ−ＸＩＩＩｂ断面図である。以下、図４（ａ）および（ｂ）を用いて説明した上記実施形態の記録素子基板と異なる点について説明する。
【００６０】
本実施形態の記録素子基板４においては、インクが＋Ｙ方向に流れる供給流路８の両側にインクが−Ｙ方向に流れる回収流路８´が配されており、供給流路８と２つの回収流路８´はＸ方向に延在する複数の個別流路７によって接続されている。個々の個別流路７には、エネルギ発生素子１、吐出口２および圧力室３から構成される記録素子が１つずつ配されており、個別流路７内であってエネルギ発生素子１よりも供給流路８側の接続流路６には、送液機構１２が配備されている。
【００６１】
本実施形態では、個別流路７内に１つの記録素子しか配置されていないため、上記実施形態に比べて隣接する記録素子の吐出動作に伴う液動が少ない。よって、吐出のための駆動タイミングを、上記液動の影響を配慮せずに、自由度の高い状態で設定することができる。
【００６２】
供給流路８は圧力Ｐｈの第１圧力室（不図示）に接続されており、回収流路８´はＰｈよりも低い圧力Ｐｌの第２圧力室（不図示）に接続されている。このため、供給流路８と回収流路８´を接続する個別流路７には、送液機構１２の駆動の有無によらず、供給流路８から回収流路８´緩やかにインクが流れるようになっている。このように、個別流路７内のインクを定常的に流しておく本実施形態においては、上記実施形態に比べて圧力室３におけるインクの濃縮を更に抑え、送液機構１２の駆動回数を更に低減することが可能となる。
【００６３】
また、供給流路８と圧力室３を接続する接続流路６に送液機構１２を配し、接続流路６の流路抵抗を、回収流路８´と圧力室を接続する接続流路６´よりも小さくしている。このため、送液機構１２を駆動することにより、供給流路８から回収流路８´への向かうインクの流れを更に促すことができる。なお、送液機構１２としては上記実施形態と同様に様々なものを用いることができるが、以下の説明では圧電アクチュエータを用いた場合について説明する。
【００６４】
ここで、上記構造の具体的な寸法例について説明する。エネルギ発生素子１の大きさは２０μｍ×２５μｍ、吐出口２の直径は２０μｍ、圧力室３の面積は２５μｍ×３０μｍとする。接続流路６、６´の幅は２５μｍで上流側の長さは４０μｍ、下流側の長さは２０μｍ、個別流路７全域における高さは１５μｍとする。また、供給流路８および回収流路８´の幅は４０μｍ、吐出口形成部材１１の厚みは１２μｍとし、供給流路８に接続する第１圧力室が生成する圧力Ｐｈと、回収流路８´に接続する第２圧力室が生成する圧力Ｐｌの圧力差Ｐｈ−Ｐｌは、０〜１００ｍｍＡｑとする。更に、使用するインクの粘度は３ｃＰ、個々の吐出口からのインク吐出量は７ｐｌとする。なお、圧力差Ｐｈ−Ｐｌは、使用環境の温度や湿度、即ちインクの蒸発速度に基づいて、適切に調整されることが好ましい。
【００６５】
供給流路８の両側にある２つの記録素子列それぞれにおいて、複数の記録素子は６００ｄｐｉの密度でＹ方向に配列している。そして、２つの記録素子列はＹ方向に互いに半ピッチずれている。本実施形態では、図１３のように配列されて成る記録素子基板４を、更にＹ方向に複数配置させ、Ａ４サイズの記録媒体に１２００ｄｐｉの解像度で画像を記録可能なフルライン型の記録ヘッド１００としている。
【００６６】
本実施形態では、Ｙ方向に隣接する５つの送液機構１２（即ち連続する５つの記録素子）を１つのブロックとし、複数の記録素子と送液機構１２を複数のブロックに分割して管理する。この際、隣接するブロック間の境界は、２つの記録素子列で半ピッチずれるようにしている。そして、上記実施形態と同様、５つの送液機構１２を、Ｐ１（ポンプ１）→Ｐ２（ポンプ２）→Ｐ３（ポンプ３）→Ｐ４（ポンプ４）→Ｐ５（ポンプ５）の順に駆動する。
【００６７】
図１４は、本実施形態におけるブロック駆動のタイミングチャートの一例である。ここでは、同じブロックに含まれる５つのエネルギ発生素子（素子１〜素子５）に印加する駆動パルスと、５つの送液機構（ポンプ１〜ポンプ５）の駆動状態を示している。本実施形態においても、図５で説明した１００μｓｅｃ当たりに３回駆動する送液動作を、基本的にはポンプ１〜ポンプ５（Ｐ１〜Ｐ５）に対し順番に行って行く。その上で、本実施形態では、個々の送液機構１２の駆動を個別流路７ごとに更に調整する。
【００６８】
本実施形態においても、図１１および図１２を参照して説明した第２の実施形態と同様、個々の送液機構１２の駆動を、個々の送液機構１２に割り当てられた単位時間ｔの前後に配された吐出データに基づいて調整する。以下、図１４を参照しながら具体的に説明する。
【００６９】
図１４において、素子１（エネルギ発生素子）とポンプ１（送液機構）、素子２とポンプ２、素子３とポンプ３、素子４とポンプ４、素子５とポンプ５は、それぞれ同じ個別流路７に配されている。そして、各ポンプが駆動される時、当該ポンプと同じ個別流路７に配された素子は駆動されないようにしている。例えば、ポンプ１が駆動される単位時間ｔ１では、素子１が駆動されることは無い。その画素位置（その素子のそのタイミング）に吐出データが存在する場合は、同じ画素位置を記録可能な他の記録素子で吐出動作を行うようにする。その上で、各ポンプが駆動される単位時間の前後の吐出データに基づいて、そのポンプの駆動回数を変更する。
【００７０】
例えば、ポンプ２が駆動される６００〜７００μｓｅｃの単位時間ｔ２では、直前の単位時間ｔ２でも直後の単位時間ｔ２でも素子１による吐出動作が行われており、圧力室３には新鮮なインクが収容されていることが予想できる。よって、通常の３回駆動を１回駆動に変更し過剰なインク循環を抑えている。
【００７１】
ポンプ５が駆動される４００〜５００μｓｅｃの単位時間ｔ５では、直後の単位時間ｔ１で素子５による吐出動作が行われるが、直前の単位時間ｔ４を含む暫くの間、吐出動作は行われていない。よって、圧力室３内のインク濃縮が懸念されるため、通常の３回駆動を実行し新鮮なインクへ置換している。
【００７２】
ポンプ４が駆動される３００〜４００μｓｅｃの単位時間ｔ４では、直前の単位時間ｔ３を含めた暫くの間に素子４による吐出動作は行われておらず、圧力室３内のインクはある程度濃縮していることが予想される。その一方で、直後の単位時間ｔ５を含めた暫くの間においても素子４による吐出動作は行われず、濃縮インクの吐出に伴う画像弊害のおそれもない。よって、このタイミングで圧力室に新鮮なインクを供給する必要が少ないと判断し、過剰なインク循環を抑えるためにポンプ４の駆動をキャンセルしている。但し、次の単位時間ｔ４である８００〜９００μｓｅｃでは、インクの濃縮が進みすぎてポンプの送液機能が損なわれるのを防ぐために、間欠した２回の駆動を行っている。
【００７３】
このように、１つの個別流路７に送液機構１２と記録素子が１つずつ配されている場合、送液機構１２の駆動は、対応する記録素子１〜５の吐出データに基づいて、個別にきめ細かく調整することができる。
【００７４】
図１５は、本実施形態におけるブロック駆動のタイミングチャートの別例である。図１４と異なる点は、濃縮されたインクを新鮮なインクに置換するための手法として、送液動作のほかに予備吐出動作を併用することである。図では、予備吐出動作のために個々の素子１〜５に印加する駆動パルスを破線で示している。
【００７５】
予備吐出動作とは、画像データに基づく吐出データとは無関係の予備的な吐出動作を意味する。暫く吐出データが存在せず、インクの濃縮が進行する状態において、適切なタイミングで予備吐出動作を行うことにより、当該記録素子の吐出状態を安定させておくことができる。また、変質したインクを循環流路から排出してしまうので、循環流路全体からみても、予備吐出動作をおこなうことは濃縮度を安定させる上で好ましい。
【００７６】
予備吐出動作は、濃縮インクが排出されればよいため、画像データに基づく吐出動作と同等の吐出品位を満たす必要は無い。よって、本実施形態における予備吐出動作は、送液動作と同じ単位時間で実行する。但し、本実施形態のようなフルライン型のインクジェット記録装置において、記録動作中の予備吐出動作は、記録媒体の画像中に行うことになる。よって、画像とは無関係なドットが記録されても画像品位の劣化が確認されないように、濃度が高い領域であることなどを条件に、予備吐出を行うことが好ましい。以下、図１５を参照しながら具体的に説明する。
【００７７】
素子１については、２２０〜６５０μｓｅｃの間、画像データに基づく吐出データが存在せず、インクの濃縮が予想される。このため、６５０μｓｅｃの吐出の直前の単位時間ｔ１でポンプ１を１回駆動するとともに、予備吐出を１回行う。
【００７８】
素子２については、０〜２５０μｓｅｃの間、画像データに基づく吐出データが存在せず、インクの濃縮が予想される。このため、２５０μｓｅｃの吐出の直前の単位時間ｔ２でポンプ１を２回駆動するとともに、予備吐出を１回行う。
【００７９】
素子３については、画像データに基づく吐出データが比較的頻繁に発生しており、インクの濃縮はあまり懸念されない。このため、単位時間ｔ３における送液動作はキャンセルし、予備吐出を１回行う。
【００８０】
素子４については、画像データに基づく吐出データが少なく、インクの濃縮は予想されるが、濃縮したインクが画像データに基づいて吐出されることもない。よって、単位時間ｔ４における送液動作はキャンセルし、予備吐出も行わない。
【００８１】
素子５については、０〜５５０μｓｅｃの間、画像データに基づく吐出データが存在せず、インクの濃縮が予想される。このため、５５０μｓｅｃの吐出の直前の単位時間ｔ５でポンプ１を２回駆動するとともに、予備吐出を１回行う。
【００８２】
このように、濃縮されたインクを新鮮なインクに置換するための手法として、送液動作のほかに予備吐出動作を併用すれば、個々の記録素子における吐出状態を安定させておきながら、循環するインク全体の濃縮を抑えることができる。
【００８３】
（第４の実施形態）
図１６（ａ）および（ｂ）は、本実施形態で採用する記録素子基板４の流路構成を示す図である。図１６（ａ）は記録素子基板４を吐出口面側（＋Ｚ方向側）から見た透視図、図１６（ｂ）はＸＶＩｂ−ＸＶＩｂ断面図である。
【００８４】
図１６（ｂ）に示すように、本実施形態の供給流路８は、シリコン基板４ａを貫通する開口として形成され、機能層９に形成された流入口１３と流出口１３´を介して、個別流路と接続している。一方、図１６（ａ）に示すように、複数の個別流路７はＹ方向に対し傾いた方向に並列に形成されており、１つの個別流路７には４つの記録素子と５つの送液機構１２が交互に１列に配置されている。
【００８５】
個々の個別流路７の両端には流入口１３と流出口１３´が配されている。そして、これら開口部における流路抵抗の違いと５つの送液機構１２の駆動によって、図１０（ｂ）の矢印で示すようなインクの流れが生成される。即ち、供給流路８より流入口１３を介して流入したインクは、４つの圧力室３を通過した後、流出口１３´を介して供給流路８に流出する。本実施形態の送液機構１２においても、様々な構成のものを採用することができるが、本実施形態では交流電気浸透流型（ＡＣＥＯ）ポンプを採用するものとする。
【００８６】
図１７は、交流電気浸透流型（ＡＣＥＯ）ポンプの平面図である。櫛歯形状を有する２組の電極群は幅や高さが異なっており、互いに咬みあう様に配置される。これら電極間に交流電圧を印加することにより、その上方に位置する液体中に非対称な電界を発生させ、液体を所望の方向に流動させることができる。このような交流電気浸透流型ポンプは、本実施形態のように、個別流路７が一方向に比較的長尺に延在している場合に適している。
【００８７】
以下、上記構造の具体的な寸法例について説明する。エネルギ発生素子１の大きさは１８μｍ×２２μｍ、吐出口２の直径は１８μｍ、圧力室３の面積は２５μｍ×３０μｍとする。個々の圧力室３の間に介在する連絡流路５の幅は１８μｍで長さは７μｍとする。流入口１３の開口面積は１０μｍｘ１５μｍ、流出口１３´の開口面積は５μｍｘ１５μｍ、個別流路７全域における高さは１２μｍとする。また、供給流路８の幅は２５０μｍ、吐出口形成部材１１の厚みは１０μｍとする。更に、使用するインクの粘度は３ｃＰ、個々の吐出口からのインク吐出量は４ｐｌとする。
【００８８】
本実施形態では、それぞれの個別流路７に含まれる、連続する５つの送液機構１２および４つのエネルギ発生素子１を１つのブロックとし、上記実施形態と同様のブロック駆動を実行する。この際、同じ個別流路７に含まれる５つの送液機構１２については、Ｐ１から順番に駆動されてもよいが、Ｐ１とＰ３とＰ５を同時に駆動した後、Ｐ２とＰ４を同時に駆動するなど、同じタイミングで複数の送液機構１２を駆動させてもよい。
【００８９】
以上説明した本実施形態においても、上記実施形態と同様、インク全体の揮発量をインクの変質が生じ無い程度に抑えつつ、電源容量やノイズの懸念を抑え、安定した吐出動作を維持することが可能となる。
【００９０】
（変形例）
以上の実施形態で説明した記録素子基板の構造や制御方法は、それぞれで変形したり、互いに組み合わせたり、交換したりすることができる。例えば、図４に示した個別流路７においては、更に多くの記録素子や送液機構１２を含ませてもよい。そして、そのような場合、各送液機構１２の駆動強度や駆動頻度は、個別流路に配される位置に応じて互いに異ならせてもよい。但し、１つの個別流路７に含まれる圧力室３や送液機構の数が多くなるほど、個別流路７自体が大きな構造体となってしまう。その上で、上流に位置する記録素子での吐出動作が下流に位置する記録素子の吐出動作に影響することも配慮すると、１つの個別流路７に配置可能な圧力室の数は１０程度が限界で、５以下であることが好ましい。
【００９１】
また、同じブロック内のポンプを、図７に示すＰ１→Ｐ６の順番で駆動させなくても良く、Ｐ６→Ｐ１の順番で駆動してもよいし、他の順番で駆動したりしてもよい。更に、以上では１回の送液動作において送液機構を３回駆動することを標準としたが、標準的な駆動回数は様々に調整することができ、２回以下であっても４回以上であってもよい。
【００９２】
第１、第２の実施形態では１つのブロックに複数の個別流路を対応させた構成を示し、第４の実施形態では１つのブロックに１つの個別流路を対応させた構成を示しているが、本発明は、１つの個別流路の中に複数のブロックを含ませることも可能である。例えば、図１６に示した構成において、Ｐ１とＰ３とＰ５を同時に駆動し、Ｐ２とＰ４を同時に駆動するような場合がこれに相当する。
【００９３】
また、第３の実施形態における図１５を用いた説明では、吐出口近傍の濃縮インクを排出するために予備吐出動作を行ったが、例えば吐出動作に至らない程度のエネルギをエネルギ発生素子１に印加する形態に置き換えたり併用したりすることもできる。この場合、濃縮されたインクが排出されることは無いが、吐出口のメニスカスを振動させ圧力室内の濃縮インクを撹拌する効果を得ることができる。
【００９４】
更に、以上の実施形態では、供給流路８や回収流路８´における流圧を制御するために不図示のポンプが生成する圧力差を利用していたが、本発明はこのような形態に限定されるものではない。例えば毛管力を利用してインクの流れを生成してもよいし、上流側と下流側に設けたインクタンク間での水頭差を利用することも可能である。
【００９５】
更にまた、以上では図１を参照し、記録素子基板４を記録媒体の幅に相当する距離だけ配設させたフルライン型の記録ヘッドを例に説明したが、本発明の流路構成はシリアル型の記録ヘッドにも採用することはできる。但し、フルライン型のように長尺な記録ヘッドのほうが、インクの蒸発や変質という本発明の課題がより顕著に現れやすいことから、本発明の効果をより顕著に享受することができる。  
【符号の説明】
【００９６】
１    エネルギ発生素子
２    吐出口
３    圧力室
４    記録素子基板
１２    送液機構
１００    記録ヘッド
４０１    ＣＰＵ
【図１】
2019010761.tif 000003
【図２】
2019010761.tif 000004
【図３】
2019010761.tif 000005
【図４】
2019010761.tif 000006
【図５】
2019010761.tif 000007
【図６】
2019010761.tif 000008
【図７】
2019010761.tif 000009
【図８】
2019010761.tif 000010
【図９】
2019010761.tif 000011
【図１０】
2019010761.tif 000012
【図１１】
2019010761.tif 000013
【図１２】
2019010761.tif 000014
【図１３】
2019010761.tif 000015
【図１４】
2019010761.tif 000016
【図１５】
2019010761.tif 000017
【図１６】
2019010761.tif 000018
【図１７】
2019010761.tif 000019