(57)【要約】  【課題】ブレークイン処理を行っている間、基板洗浄装置による基板洗浄を行うことができず、一定の定まった期間の中で基板洗浄装置を基板の洗浄に利用できる時間が短くなるという問題があった。  【解決手段】ブレークイン装置１００は、洗浄液を供給する供給部２０と、ダミー基板Ｗ１を保持する基板支持部３０と、前記ダミー基板Ｗ１に対して、洗浄部材２００を回転させながら接触させることで前記洗浄部材２００に対するブレークイン処理を行う洗浄部材保持部４０と、を有する。【選択図】  図５
2019054177.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄部材に対するブレークイン処理を行うブレークイン装置であって、
洗浄液を供給する供給部と、
ダミー基板を保持する基板支持部と、
前記ダミー基板に対して、前記洗浄部材を回転させながら接触させることで前記洗浄部材に対するブレークイン処理を行う洗浄部材保持部と、
を備えたことを特徴とするブレークイン装置。
【請求項２】
前記洗浄部材保持部は、３つ以上の洗浄部材を保持可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載のブレークイン装置。
【請求項３】
前記洗浄部材は、ロール洗浄部材又はペンシル洗浄部材であることを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載のブレークイン装置。
【請求項４】
前記洗浄部材保持部は、２つ以上の洗浄部材を保持可能となり、前記ダミー基板のおもて面及び裏面の各々に前記洗浄部材を接触させるように構成され、
前記基板支持部は、前記ダミー基板を鉛直方向に延在するようにして保持することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のブレークイン装置。
【請求項５】
前記ブレークイン装置を移動可能にする第一移動部をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のブレークイン装置。
【請求項６】
前記供給部は、前記洗浄部材の内側から洗浄液を供給することを開始し、その後で前記洗浄部材の外側から洗浄液を供給することを開始することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のブレークイン装置。
【請求項７】
前記洗浄部材に加わる力を検出するための検出部をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のブレークイン装置。
【請求項８】
基板洗浄装置と通信するための第一通信部をさらに備え、
前記第一通信部からの情報を受けて前記洗浄部材に対するブレークイン処理を開始することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のブレークイン装置。
【請求項９】
前記ダミー基板に対して供給された洗浄液を回収して利用する回収利用部をさらに備え、
前記供給部は、前記回収利用部で回収された洗浄液を前記ダミー基板に対して供給することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のブレークイン装置。
【請求項１０】
前記洗浄部材保持部はダミー洗浄部材を保持可能になっていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のブレークイン装置。
【請求項１１】
洗浄液を供給する供給部と、ダミー基板を保持する基板支持部と、洗浄部材を取り外し自在に保持し、前記ダミー基板に対して、前記洗浄部材を回転させながら接触させることで前記洗浄部材に対するブレークイン処理を行う洗浄部材保持部と、を有するブレークイン装置と、
洗浄部材を用いて基板を洗浄する基板洗浄装置と、
を備え、
前記基板洗浄装置は、前記ブレークイン装置に対して前記基板洗浄装置で用いられている前記洗浄部材の交換に関する情報を送信可能となっていることを特徴とするブレークインシステム。
【請求項１２】
洗浄液を供給する供給部と、ダミー基板を保持する基板支持部と、洗浄部材を取り外し自在に保持し、前記ダミー基板に対して、前記洗浄部材を回転させながら接触させることで前記洗浄部材に対するブレークイン処理を行う洗浄部材保持部と、外部から前記洗浄部材の交換に関する情報を受信するための第一通信部を有するブレークイン装置と、
前記ブレークイン装置に対して前記洗浄部材の交換に関する情報を送信するための第二通信部を有するとともに、洗浄部材を用いて基板を洗浄する基板洗浄装置と、
前記洗浄部材の交換に関する情報に基づいてブレークイン装置を制御するためのプログラムを有するブレークイン制御部と、
を備え、
前記洗浄部材の交換に関する情報は、洗浄部材識別情報と装置識別情報を含むことを特徴とする、ブレークインシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄部材に対するブレークイン処理を行うブレークイン装置及びブレークインシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ウェハ等の基板の洗浄方法としては、円筒形状のスポンジ等のロール洗浄部材を、その中心軸が基板の表面と平行になるように保持して、中心軸周りに回転させることで、その側面で基板の表面を擦って基板の表面をスクラブ洗浄するロール洗浄や、円筒形状のスポンジ等のペンシル洗浄部材を、その中心軸が基板の表面と垂直になるように保持して、その底面を基板の表面に接触させて、基板を回転させることで、基板の表面をスクラブ洗浄するペンシル洗浄が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
新しいロール洗浄部材、ペンシル洗浄部材等の洗浄部材を用いる場合には、ウェハ等の基板に不具合が発生しないように、新しい洗浄部材を基板の洗浄にそのまま用いることはできず、ブレークイン処理（ならし処理）を行う必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−９２１５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従前においては、洗浄部材のブレークイン処理は基板洗浄装置そのものによって行われていたことから、ブレークイン処理を行っている間、基板洗浄装置による基板洗浄を行うことができず、一定の定まった期間の中で基板洗浄装置を基板の洗浄に利用できる時間が短くなるという問題があった。
【０００６】
本発明は、基板洗浄装置によるブレークイン処理をなくす又は低減させることにより、基板洗浄装置の稼働が停止する時間を短くすることを一つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によるブレークイン装置は、
洗浄部材に対するブレークイン処理を行うブレークイン装置であって、
洗浄液を供給する供給部と、
ダミー基板を保持する基板支持部と、
前記ダミー基板に対して、前記洗浄部材を回転させながら接触させることで前記洗浄部材に対するブレークイン処理を行う洗浄部材保持部と、
を備えてもよい。
【０００８】
本発明によるブレークイン装置において、
前記洗浄部材保持部は、３つ以上の洗浄部材を保持可能に構成されてもよい。
【０００９】
本発明によるブレークイン装置において、
前記洗浄部材は、ロール洗浄部材又はペンシル洗浄部材であってもよい。
【００１０】
本発明によるブレークイン装置において、
前記洗浄部材保持部は、２つ以上の洗浄部材を保持可能となり、前記ダミー基板のおもて面及び裏面の各々に前記洗浄部材を接触させるように構成され、
前記基板支持部は、前記ダミー基板を鉛直方向に延在するようにして保持してもよい。
【００１１】
本発明によるブレークイン装置は、
前記ブレークイン装置を移動可能にする第一移動部をさらに備えてもよい。
【００１２】
本発明によるブレークイン装置において、
前記供給部は、前記洗浄部材の内側から洗浄液を供給することを開始し、その後で前記洗浄部材の外側から洗浄液を供給することを開始してもよい。
【００１３】
本発明によるブレークイン装置は、
前記洗浄部材に加わる力を検出するための検出部をさらに備えてもよい。
【００１４】
本発明によるブレークイン装置は、
基板洗浄装置と通信するための第一通信部をさらに備え、
前記第一通信部からの情報を受けて前記洗浄部材に対するブレークイン処理を開始してもよい。
【００１５】
本発明によるブレークイン装置は、
前記ダミー基板に対して供給された洗浄液を回収して利用する回収利用部をさらに備え、
前記供給部は、前記回収利用部で回収された洗浄液を前記ダミー基板に対して供給してもよい。
【００１６】
本発明によるブレークイン装置において、
前記洗浄部材保持部はダミー洗浄部材を保持可能になってもよい。
【００１７】
本発明によるブレークインシステムは、
洗浄液を供給する供給部と、ダミー基板を保持する基板支持部と、洗浄部材を取り外し自在に保持し、前記ダミー基板に対して、前記洗浄部材を回転させながら接触させることで前記洗浄部材に対するブレークイン処理を行う洗浄部材保持部と、を有するブレークイン装置と、
洗浄部材を用いて基板を洗浄する基板洗浄装置と、
を備え、
前記基板洗浄装置が、前記ブレークイン装置に対して前記基板洗浄装置で用いられている前記洗浄部材の交換に関する情報を送信可能となってもよい。
【００１８】
本発明によるブレークインシステムは、
洗浄液を供給する供給部と、ダミー基板を保持する基板支持部と、洗浄部材を取り外し自在に保持し、前記ダミー基板に対して、前記洗浄部材を回転させながら接触させることで前記洗浄部材に対するブレークイン処理を行う洗浄部材保持部と、外部から前記洗浄部材の交換に関する情報を受信するための第一通信部を有するブレークイン装置と、
前記ブレークイン装置に対して前記洗浄部材の交換に関する情報を送信するための第二通信部を有するとともに、洗浄部材を用いて基板を洗浄する基板洗浄装置と、
前記洗浄部材の交換に関する情報に基づいてブレークイン装置を制御するためのプログラムを有するブレークイン制御部と、
を備え、
前記洗浄部材の交換に関する情報が、洗浄部材識別情報と装置識別情報を含んでもよい。
【本発明の効果】
【００１９】
本発明のようなブレークイン装置を採用した場合には、基板洗浄装置によるブレークイン処理をなくす又は低減させることにより、基板洗浄装置の稼働が停止する時間を短くすることができる。また、基板洗浄装置に用いられるそれぞれの洗浄部材のサイズ、形状、表面性状に応じて、ブレークイン処理をより適切に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態による基板処理装置を含む処理装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態で用いられうるブレークイン装置の斜視図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施の形態で用いられうるブレークインモジュール内の構成を示した斜視図である。
【図４】図４は、図３に示す態様において、ブレークインモジュールにロール洗浄部材又はダミーロール洗浄部材を取り付けた際の状態を示した斜視図である。
【図５】図５は、図４に示す態様において、ブレークインモジュールにダミー基板を取り付けた際の状態を示した斜視図である。
【図６】図６は、本発明の第１の実施の形態による基板洗浄装置、ブレークインモジュール及び洗浄液貯留部の構成を示したブロック図である。
【図７】図７は、本発明の第２の実施の形態による基板洗浄装置、ブレークインモジュール及び洗浄液貯留部の構成を示したブロック図である。
【図８】図８は、本発明の第３の実施の形態による基板洗浄装置、ブレークインモジュール及び洗浄液貯留部の構成を示したブロック図である。
【図９】図９は、本発明の第３の実施の形態によるブレークインシステムを用いて制御方法の一例を示したフローである。
【図１０】図１０は、本発明の第３の実施の形態におけるブレークイン処理の開始にあたり抽出・生成されるデータの内容の一例を示した図である。
【図１１】図１１は、本発明の第４の実施の形態による基板洗浄装置及びブレークインモジュールの構成を示したブロック図である。
【図１２】図１２は、本発明の第５の実施の形態によるブレークインモジュールでペンシル洗浄部材又はダミーペンシル洗浄部材を取り付けた態様を示した側方図である。
【図１３】図１３は、本発明の第５の実施の形態によるブレークインモジュールでペンシル洗浄部材又はダミーペンシル洗浄部材、及びロール洗浄部材又はダミーロール洗浄部材を取り付けた態様を示した側方図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
第１の実施の形態
《構成》
以下、本発明に係る基板洗浄装置を有する基板処理装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。まずは基板処理装置について説明を行う。本実施の形態のブレークイン装置１００は、基板処理装置の基板洗浄装置で用いられる、後述するロール洗浄部材２１０、ペンシル洗浄部材２２０等の洗浄部材２００のブレークイン処理（ならし処理）を行うための装置である。なお、ブレークイン処理（ならし処理）とは、基板Ｗを洗浄する洗浄部材２００のうち基板Ｗに接触する表面等の接触部を、基板Ｗの洗浄処理に利用する前にコンディショニングすること等を言う。
【００２２】
ブレークイン処理は、洗浄部材２００の表面の物理的な凹凸状態を予め均質化する等、表面の状態をいわば「ならされた」状態として基板Ｗの洗浄処理を開始するために行われる。また、基板Ｗの洗浄処理を行う洗浄部材２００の接触部が多孔質部材から形成されていることがある。このような場合には、例えば洗浄部材２００を製造する工程で洗浄部材２００の多孔質部材の細孔に異物が付着することがあるが、このような異物を事前に除去することもブレークイン処理を行う理由の一つである。
【００２３】
図１に示すように、本実施の形態の基板処理装置は、略矩形状のハウジング１１０と、多数の基板をストックする基板カセットが載置されるロードポート１１２と、を有している。ロードポート１１２は、ハウジング１１０に隣接して配置されている。ロードポート１１２には、オープンカセット、ＳＭＩＦ（Standard Mechanical Interface）ポッド、又はＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を搭載することができる。ＳＭＩＦポッド、ＦＯＵＰは、内部に基板カセットを収納し、隔壁で覆うことにより、外部空間とは独立した環境を保つことができる密閉容器である。基板としては、例えば半導体ウェハ等を挙げることができる。
【００２４】
ハウジング１１０の内部には、複数（図１に示す態様では４つ）の研磨ユニット１１４ａ〜１１４ｄと、研磨後の基板を洗浄する第１洗浄ユニット１１６及び第２洗浄ユニット１１８と、洗浄後の基板を乾燥させる乾燥ユニット１２０とが収容されている。研磨ユニット１１４ａ〜１１４ｄは、基板処理装置の長手方向に沿って配列され、洗浄ユニット１１６、１１８及び乾燥ユニット１２０も基板処理装置の長手方向に沿って配列されている。本実施の形態の基板処理装置によれば、直径３００ｍｍ又は４５０ｍｍの半導体ウェハ、フラットパネル、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）やＣＣＤ（Charge Coupled Device）等のイメージセンサ、ＭＲＡＭ（Magnetoresistive Random Access Memory）における磁性膜の製造工程において、種々の基板を、研磨処理することができる。なお、別の実施の形態の基板処理装置としては、ハウジング１１０内に基板Ｗを研磨する研磨ユニットを設けず、基板Ｗの洗浄処理及び乾燥処理を行う装置としてもよい。
【００２５】
ロードポート１１２、ロードポート１１２側に位置する研磨ユニット１１４ａ及び乾燥ユニット１２０に囲まれた領域には、第１搬送ロボット１２２が配置されている。また、研磨ユニット１１４ａ〜１１４ｄ並びに洗浄ユニット１１６、１１８及び乾燥ユニット１２０と平行に、搬送ユニット１２４が配置されている。第１搬送ロボット１２２は、研磨前の基板をロードポート１１２から受け取って搬送ユニット１２４に受け渡したり、乾燥ユニット１２０から取り出された乾燥後の基板を搬送ユニット１２４から受け取ったりする。
【００２６】
第１洗浄ユニット１１６と第２洗浄ユニット１１８との間に、これら第１洗浄ユニット１１６と第２洗浄ユニット１１８の間で基板の受け渡しを行う第２搬送ロボット１２６が配置され、第２洗浄ユニット１１８と乾燥ユニット１２０との間に、これら第２洗浄ユニット１１８と乾燥ユニット１２０の間で基板の受け渡しを行う第３搬送ロボット１２８が配置されている。さらに、ハウジング１１０の内部には、基板処理装置の各機器の動きを制御する全体制御部１５０が配置されている。本実施の形態では、ハウジング１１０の内部に全体制御部１５０が配置されている態様を用いて説明するが、これに限られることはなく、ハウジング１１０の外部に全体制御部１５０が配置されてもよいし、全体制御部１５０は遠隔地に設けられてもよい。また、図６に示すように、全体制御部１５０には様々な情報を記憶する全体記憶部１６０が接続されてもよい。
【００２７】
第１洗浄ユニット１１６として、洗浄液の存在下で、基板の直径のほぼ全長にわたって直線状に延びるロール洗浄部材２１０（図４参照）を接触させ、基板に平行な中心軸周りに自転させながら基板の表面をスクラブ洗浄するロール洗浄装置が使用されてもよい。例えば、水平又は垂直に基板Ｗを保持してこれを回転させながら洗浄部材２００を基板に接触させて洗浄処理してもよい。また、第２洗浄ユニット１１８として、洗浄液の存在下で、鉛直方向に延びる円柱状のペンシル洗浄部材２２０（図１０参照）の接触面を接触させ、ペンシル洗浄部材２２０を自転させながら一方向に向けて移動させて、基板の表面をスクラブ洗浄するペンシル洗浄装置が使用されてもよい。また、乾燥ユニット１２０として、水平に保持しつつ回転する基板に向けて、移動する噴射ノズルからＩＰＡ蒸気を噴出して基板を乾燥させ、さらに基板を高速で回転させて遠心力によって基板を乾燥させるスピン乾燥ユニットが使用されてもよい。なお、ロール洗浄部材２１０及びペンシル洗浄部材２２０としては、例えば、特開２０１６−９２１５８号公報の図２、図３及び図５に記載の洗浄部材を用いることができる。
【００２８】
なお、第１洗浄ユニット１１６としてロール洗浄装置ではなく、第２洗浄ユニット１１８と同様のペンシル洗浄装置を使用したり、二流体ジェットにより基板の表面を洗浄する二流体ジェット洗浄装置を使用したりしてもよい。また、第２洗浄ユニット１１８としてペンシル洗浄装置ではなく、第１洗浄ユニット１１６と同様のロール洗浄装置を使用したり、二流体ジェットにより基板の表面を洗浄する二流体ジェット洗浄装置を使用したりしてもよい。
【００２９】
本実施の形態の洗浄液には、純水（ＤＩＷ）等のリンス液と、アンモニア過酸化水素（ＳＣ１）、塩酸過酸化水素（ＳＣ２）、硫酸過酸化水素（ＳＰＭ）、硫酸加水、フッ酸等の薬液が含まれている。本実施の形態で特に断りのない限り、洗浄液は、リンス液、薬液、又は、リンス液及び薬液の両方を意味している。
【００３０】
前述したように、ブレークイン装置１００は、ロール洗浄部材２１０、ペンシル洗浄部材２２０等の洗浄部材２００のブレークイン処理（ならし処理）を行うための装置である。ブレークイン装置１００は、例えば図１に示すようにハウジング１１０外に設置されている。但し、これに限られることはなく、ブレークイン装置１００は、ハウジング１１０内に設けられてもよい。本実施の形態では、洗浄部材２００としてロール洗浄部材２１０を用いた態様について説明する。後述するように、洗浄部材２００としてペンシル洗浄部材２２０を採用し、当該ペンシル洗浄部材２２０をブレークイン処理することも可能である。
【００３１】
ブレークイン装置１００は、筐体５と、筐体５内に設けられたブレークインモジュール１０と、ブレークインモジュール１０を制御するためのブレークイン制御部５０と、様々な情報を記憶するブレークイン記憶部５５と、を有している。ブレークイン制御部５０は例えばタッチパネル等から構成され、筐体５の側面に設けられるようになってもよい。本実施の形態では、２つのブレークインモジュール１０が筐体５内に設けられている態様を用いて説明するが、これに限られることはなく、１つのブレークインモジュール１０が筐体５内に設けられてもよいし、３つ以上のブレークインモジュール１０が筐体５内に設けられてもよい。複数のブレークインモジュール１０が筐体５内に設けられる場合には、１つ以上のブレークインモジュール１０でロール洗浄部材２１０のブレークイン処理が行われ、別の１つ以上のブレークインモジュール１０でペンシル洗浄部材２２０のブレークイン処理が行われるようになってもよい。
【００３２】
ブレークイン装置１００は、当該ブレークイン装置１００を移動可能にする第一移動部９０を有してもよい。一例としては、筐体５の下面にキャスタ等の第一移動部９０が設けられてもよい。また、ブレークイン装置１００は、第一移動部９０によって移動しないようにロックするためのロック部９１を有してもよい。本実施の形態では、４つの第一移動部９０と、これらに対応して設けられた４つのロック部９１が設けられている態様を用いて説明する。
【００３３】
図３に示すように、ブレークイン装置１００のブレークインモジュール１０は、洗浄液を供給する供給部２０（図６参照）と、ダミー基板Ｗ１を保持する基板支持部３０と、ダミー基板Ｗ１に対して、洗浄部材２００を回転させながら接触させることで洗浄部材２００に対するブレークイン処理を行う洗浄部材保持部４０と、を有してもよい。供給部２０から供給される洗浄液は、基板支持部３０によって保持されたダミー基板Ｗ１に供給されることになる。
【００３４】
供給部２０から供給される洗浄液はリンス液であってもよいし、薬液であってもよい。供給部２０から薬液が供給される場合には、ロール洗浄部材２１０内に薬液が残らないようにする観点からは、薬液の供給が終わった後でリンス液を供給する態様を採用することが有益である。リンス液としては典型的には純水を用いることができる。
【００３５】
図６に示すように、供給部２０は、ロール洗浄部材２１０の内側から洗浄液を供給する内部供給部２１と、ロール洗浄部材２１０の外側から洗浄液を供給する外部供給部２２と、を有してもよい。このような態様では、ブレークイン制御部５０は、内部供給部２１によってロール洗浄部材２１０の内側から洗浄液を供給することを開始し、その後で外部供給部２２によってロール洗浄部材２１０の外側から洗浄液を供給することを開始するように制御してもよい。但し、これに限られることはなく、供給部２０は外部供給部２２だけを有し、ロール洗浄部材２１０の外側だけから洗浄液を供給するようになっていてもよいし、供給部２０は内部供給部２１だけを有し、ロール洗浄部材２１０の内側だけから洗浄液を供給するようになっていてもよい。外部供給部２２は、スプレーのように洗浄液が広がるように構成された扇ノズル、円錐ノズル等を有してもよい。
【００３６】
内部供給部２１ではリンス液だけが供給可能となり、外部供給部２２では薬液及びリンス液の両方を供給可能になってもよい。内部供給部２１から供給される洗浄液はロール洗浄部材２１０内で留まりやすいことから、このような態様を採用することも考えられる。
【００３７】
図６に示すように、供給部２０は洗浄液を貯留した洗浄液貯留部８０に連結されており、洗浄液貯留部８０から供給される洗浄液を供給するように構成されてもよい。より具体的には、供給部２０は、薬液を貯留した薬液貯留部８１及び／又はリンス液を貯留したリンス液貯留部８２に連結されており、これら薬液貯留部８１及び／又はリンス液貯留部８２から供給される薬液及び／又はリンス液を供給するように構成されてもよい。薬液貯留部８１及びリンス液貯留部８２は、基板洗浄装置で利用されるものであってもよいし、基板洗浄装置で利用されるものとは別に設けられてもよい。図６に示す態様では、洗浄液貯留部８０がブレークイン制御部５０に接続されているが、これは電気的な接続を示している。物理的には、薬液貯留部８１は内部供給部２１及び外部供給部２２の各々に連結され、内部供給部２１及び外部供給部２２の各々に薬液を供給するように構成されてもよい。同様に、リンス液貯留部８２は内部供給部２１及び外部供給部２２の各々に連結され、内部供給部２１及び外部供給部２２の各々にリンス液を供給するように構成されてもよい。
【００３８】
ブレークイン装置１００には排管等を有する排液部（図示せず）が連結可能となってもよい。ブレークイン装置１００でのブレークイン処理に用いられた洗浄液は、排液部を介して排液処理されるようになってもよい。但し、これに限られることはなく、ブレークイン装置１００はブレークイン処理に用いられた洗浄液を貯留する排液貯留部８４を有してもよい（図６参照）。このような態様を採用した場合には排液部が設けられていない箇所でもブレークイン装置１００を設置できるようになる点で有益である。
【００３９】
ダミー基板Ｗ１は、基板洗浄装置で洗浄される基板と同じ厚み及び同じ面方向の大きさから構成されていることが好ましく、基板と同じ材質から構成されていることがより好ましい。但し、ダミー基板Ｗ１には基板のようにパターニング等は施されていなくてもよい。
【００４０】
洗浄部材保持部４０は、３つ以上の洗浄部材２００を保持可能に構成されてもよい。但し、これに限られることはなく。洗浄部材保持部４０は、１つ又は２つの洗浄部材２００を保持可能に構成されてもよい。図３乃至図５に示す態様では、洗浄部材保持部４０が４つのロール洗浄部材２１０を保持可能になっている。
【００４１】
ロール洗浄部材２１０を実際の洗浄と同様の環境で「ならす」観点からすると、洗浄部材保持部４０によるロール洗浄部材２１０の回転速度は、基板洗浄装置における洗浄工程で採用されている回転速度と同じ速度であることが有益である。
【００４２】
基板支持部３０は、図５に示すように、ダミー基板Ｗ１を鉛直方向に延在する（つまりダミー基板Ｗ１の面内方向が上下方向に延在する）ようにして保持するように構成されてもよい。但し、これに限られることはなく、基板支持部３０は、基板を水平方向に延在するように保持するように構成されてもよいし、水平方向から傾斜して保持するように構成されてもよい。
【００４３】
図３乃至図５に示す態様では、４つの基板支持部３０が均等に（回転中心を中心として９０°の角度で）配置されている。本実施の形態の基板支持部３０はスピンドルから構成されており、ダミー基板Ｗ１を回転しながら保持するように構成されている。基板支持部３０としては、このようなスピンドルではなくチャックからなるものを用いることもできる。この場合には、チャックによってダミー基板Ｗ１が保持され、チャックによって保持されたダミー基板Ｗ１が回転部からの駆動力を受けて回転されることになる。基板支持部３０の数はダミー基板Ｗ１を安定的に保持できればよく、例えば３つ、あるいは６つとしてもよい。
【００４４】
基板支持部３０としてチャックを採用する場合には、基板支持部３０は、ダミー基板Ｗ１を保持していない場合には開状態となっており、ダミー基板Ｗ１を保持する場合には閉状態となってもよい。ブレークイン制御部５０からの指令に基づいてダミー基板Ｗ１の開閉を制御してもよいし、ダミー基板Ｗ１を載置することで自動的に基板支持部３０が閉状態となり、ダミー基板Ｗ１を取り除くときに（一定以上の力が加わることで）自動的に基板支持部３０が開状態となるようにしてもよい。
【００４５】
基板支持部３０としてスピンドルを採用する場合には、基板支持部３０のダミー基板Ｗ１を支持する箇所に設けられた、断面が三角形状等からなる凹部内でダミー基板Ｗ１が回転可能に支持されるようにしてもよい。
【００４６】
基板支持部３０にダミー基板Ｗ１を設置する際には、作業者がダミー基板Ｗ１を基板支持部３０に設置してもよいし、ロボットアームのような基板搬送部がダミー基板Ｗ１を基板支持部３０に設置してもよい。
【００４７】
図３乃至図５に示す態様では４つの外部供給部２２が設けられており、図４及び図５に示すように、１つの洗浄部材保持部４０に１つの外部供給部２２が対応するように設けられてもよい。このような態様によれば、各ロール洗浄部材２１０に対して確実に洗浄液を供給できる点で有益である。
【００４８】
図４及び図５に示すように、洗浄部材保持部４０はダミー洗浄部材２０５を保持可能になってもよい。より具体的には、洗浄部材保持部４０はダミーロール洗浄部材２１５を保持可能になってもよい。ダミーロール洗浄部材２１５はロール洗浄部材２１０と同じ重さ及び同じ大きさから構成されてもよく、ロール洗浄部材２１０と同じ材質から構成されてもよい。
【００４９】
洗浄部材保持部４０には、洗浄部材保持部４０をダミー基板Ｗ１に対して近接及び離間させるための第二移動部６０が連結されてもよい（図５の矢印及び図６参照）。なお、製造コストを下げたり装置構成を小型化したりするために、第二移動部６０は洗浄部材保持部４０をダミー基板Ｗ１に対して近接及び離間させるだけの構成となり、洗浄部材保持部４０を揺動等させない構成となってもよい。
【００５０】
ロール洗浄部材２１０の長手方向の両端部を含めた全体に対してブレークイン処理するために、第二移動部６０はロール洗浄部材２１０をその長手方向又は長手方向に直交するダミー基板Ｗ１の面内方向に沿って移動又は揺動させることができるようになってもよい。
【００５１】
洗浄部材保持部４０によって３つ以上のロール洗浄部材２１０を保持できるようになっている構成では、ロール洗浄部材２１０の各々をダミー基板Ｗ１の最も径の大きな箇所に当接させることができない。他方、前述したように、第二移動部６０がロール洗浄部材２１０をその長手方向又は長手方向に直交するダミー基板Ｗ１の面内方向に沿って移動又は揺動させることができるようにすることで、ロール洗浄部材２１０の各々をダミー基板Ｗ１の最も径の大きな箇所に当接させることができるようになり、ロール洗浄部材２１０の長手方向の両端部を含めた全体に対してブレークイン処理を行うことができるようになる点で有益である。
【００５２】
図５に示す態様では、ダミー基板Ｗ１のおもて面側及び裏面側の両側の各々に第二移動部６０が設けられ、ダミー基板Ｗ１のおもて面側に位置する２つのロール洗浄部材２１０と、ダミー基板Ｗ１の裏面側に位置する２つのロール洗浄部材２１０とを同期させて移動させるように構成されている。第二移動部６０は例えばアクチュエータ等から構成されてもよい。
【００５３】
ロール洗浄部材２１０のダミー基板Ｗ１に対する押し込み量は予め設定されてもよく、この場合には、基板洗浄装置で洗浄される基板に対してロール洗浄部材２１０が押し込まれる量（押し込み量）と同じ量だけ、ロール洗浄部材２１０がダミー基板Ｗ１に対して押し込まれてもよい。なお、押し込み量を測定するためにロール洗浄部材２１０のダミー基板Ｗ１に対する荷重を測定できるようにしてもよく、基板洗浄装置で洗浄される基板に対するロール洗浄部材２１０の荷重と同じ荷重をダミー基板Ｗ１に加えつつブレークイン処理を行ってもよい。一例として、第二移動部６０はロール洗浄部材２１０のダミー基板Ｗ１に対する荷重を０〜１２Ｎの範囲で変更できるようになってもよい。
【００５４】
図６に示すように、本実施の形態のブレークイン装置１００は、基板洗浄装置の第二通信部３２０と通信するための第一通信部３１０を有してもよい。ブレークイン装置１００から第一通信部３１０及び第二通信部３２０を介して基板洗浄装置に情報が送信され、基板洗浄装置から第二通信部３２０及び第一通信部３１０を介してブレークイン装置１００に情報が送信されてもよい。
【００５５】
《方法》
本実施の形態のブレークイン装置１００を用いたロール洗浄部材２１０のブレークイン方法の一例は、以下のようになる。なお、上記と重複することになるので簡単に説明するに留めるが、上記「構成」で述べた全ての態様を「方法」において適用することができる。また、逆に、「方法」において述べた全ての態様を「構成」において適用することができる。また、本実施の形態の方法を実施させるためのプログラムは記録媒体に記録されてもよく、この記録媒体をコンピュータ（図示せず）で読み取ることで、本実施の形態の方法が基板処理装置で実施されてもよい。
【００５６】
まず、ブレークイン処理（ならし処理）する対象となるロール洗浄部材２１０を洗浄部材保持部４０に設置する（図４参照）。ブレークイン処理の対象となるロール洗浄部材２１０が洗浄部材保持部４０によって保持可能な数（図３乃至図５に示す態様では４つ）よりも少ない場合には、保持可能なロール洗浄部材２１０の数からブレークイン処理の対象となるロール洗浄部材２１０の数を引いた数のダミーロール洗浄部材２１５を洗浄部材保持部４０に設置する。
【００５７】
次に、ダミー基板Ｗ１を基板支持部３０に設置する（図５参照）。なお、このような態様に限られることはなく、ダミー基板Ｗ１を基板支持部３０に設置した後で、ロール洗浄部材２１０を設置するようにしてもよい。
【００５８】
次に、内部供給部２１によってロール洗浄部材２１０の内側から洗浄液を供給することを開始し、その後で外部供給部２２によってロール洗浄部材２１０の外側から洗浄液を供給する。
【００５９】
内部供給部２１による洗浄液の供給が開始された後であって、外部供給部２２による洗浄液の供給が開始される前又は開始された後に、第二移動部６０によって洗浄部材保持部４０がダミー基板Ｗ１に対して近接され、ロール洗浄部材２１０又はロール洗浄部材２１０及びダミーロール洗浄部材２１５の各々がダミー基板Ｗ１に接触される。この際、ダミー基板Ｗ１は基板支持部３０によって回転され、ロール洗浄部材２１０又はロール洗浄部材２１０及びダミーロール洗浄部材２１５の各々は洗浄部材保持部４０によって回転されている。
【００６０】
一定時間（例えば１時間）、ダミー基板Ｗ１を基板支持部３０によって回転させつつ、ダミー基板Ｗ１に接触したロール洗浄部材２１０又はロール洗浄部材２１０及びダミーロール洗浄部材２１５の各々を回転させることで、ブレークイン処理が終了する。
【００６１】
ロール洗浄部材２１０又はロール洗浄部材２１０及びダミーロール洗浄部材２１５の各々の回転速度は同じ速度となってもよい。また、ロール洗浄部材２１０又はロール洗浄部材２１０及びダミーロール洗浄部材２１５の各々の回転速度は、第一時間が経過するまでは第一速度で回転され、第一時間が経過した後では第二速度で回転されてもよい。徐々に「ならす」という観点からすると、第一速度は第二速度よりも遅くなる態様を採用することが有益である。但し、これに限られることはなく、第一速度は第二速度よりも速くなってもよい。
【００６２】
また、ダミー基板Ｗ１の回転速度は、第二時間が経過するまでは第三速度で回転され、第二時間が経過した後では第四速度で回転されてもよい。徐々に「ならす」という観点からすると、第三速度は第四速度よりも遅くなる態様を採用することが有益である。但し、これに限られることはなく、第三速度は第四速度よりも速くなってもよい。ロール洗浄部材２１０等に関する第一時間と、ダミー基板Ｗ１に関する第二時間は同じ時間であってもよいし、異なる時間であってもよい。
【００６３】
ロール洗浄部材２１０又はロール洗浄部材２１０及びダミーロール洗浄部材２１５の各々の回転速度は、基板洗浄装置における回転速度よりも速くなってもよい。このような態様を採用することで、ブレークイン処理に要する時間を短くすることを期待できる。他方、早く回転させすぎるとロール洗浄部材２１０が破損してしまう可能性が高くなることから、上限回転数以下（例えば５００ｒｐｍ以下）でロール洗浄部材２１０を回転させることが考えられる。
【００６４】
これらの制御は、ブレークイン装置１００のブレークイン制御部５０によって行われてもよい。
【００６５】
以上のようにブレークイン処理が終了すると、第二移動部６０によって洗浄部材保持部４０がダミー基板Ｗ１から離間される。より具体的には、ロール洗浄部材２１０又はロール洗浄部材２１０及びダミーロール洗浄部材２１５の各々がダミー基板Ｗ１から離間される。
【００６６】
その後で、ロール洗浄部材２１０が洗浄部材保持部４０から取り外されて、基板洗浄装置に取り付けられることになる。この際、ロール洗浄部材２１０はトレー等の容器に入れられて搬送されてもよい。
【００６７】
ロール洗浄部材２１０を清潔に保つ観点からすると、ロール洗浄部材２１０が洗浄部材保持部４０から取り外されるまで継続して、内部供給部２１からの洗浄液（典型的にはリンス液）の供給は行われてもよい。また、このような内部供給部２１による洗浄液の供給に限られることはなく、外部供給部２２からの洗浄液（典型的にはリンス液）の供給もロール洗浄部材２１０が洗浄部材保持部４０から取り外されるまで継続して行われてもよい。但し、効率よくロール洗浄部材２１０を清潔に保つ観点からすると、内部供給部２１だけから洗浄液を供給する態様を採用することが有益である。
【００６８】
また前述したロール洗浄部材２１０を清潔に保つ観点からすると、洗浄部材保持部４０によるロール洗浄部材２１０の回転も、ロール洗浄部材２１０が洗浄部材保持部４０から取り外されるまで継続して行われてもよい。
【００６９】
なお、ロール洗浄部材２１０が洗浄部材保持部４０から取り外される前に、ブレークイン制御部５０からブレークイン処理を終了する旨の入力が行われることで、ロール洗浄部材２１０の回転が停止され、供給部２０からの洗浄液の供給が停止されてもよい。
【００７０】
ダミー基板Ｗ１のおもて面でブレークイン処理が行われたロール洗浄部材２１０は基板のおもて面を洗浄するために利用され、ダミー基板Ｗ１の裏面でブレークイン処理が行われたロール洗浄部材２１０は基板の裏面を洗浄するために利用されるようにしてもよい。但し、ダミー基板Ｗ１が鉛直方向に設置されて均等にブレークイン処理が行われた態様を採用する場合には、ダミー基板Ｗ１のおもて面及び裏面のいずれでブレークイン処理が行われたかに関わらず、各ロール洗浄部材２１０が基板洗浄装置に設置されるようにしてもよい。
【００７１】
《作用・効果》
次に、上述した構成からなる本実施の形態による作用・効果であって、未だ説明していないものを中心に説明する。「構成」で記載されていない場合であっても、「作用・効果」で説明するあらゆる構成を本件発明において採用することができる。「作用・効果」では、洗浄部材２００としてペンシル洗浄部材２２０を採用した場合にも同様の効果を期待できることから、「ロール洗浄部材２１０」という文言ではなく「洗浄部材２００」という文言を用いて、基本的には説明する。
【００７２】
新しいロール洗浄部材２１０、ペンシル洗浄部材２２０等の洗浄部材２００を用いる場合には、基板洗浄にそのまま用いることはできず、ブレークイン処理を行う必要がある。従来であれば、洗浄部材２００のブレークイン処理は基板洗浄装置そのものによって行われていたことから、ブレークイン処理を行っている間、基板洗浄装置による基板洗浄を行うことができず、一定の定まった期間の中で基板洗浄装置を基板Ｗの洗浄に利用できる時間が短くなるという問題があった。
【００７３】
この点、本実施の形態のようなブレークイン装置１００を採用した場合には、基板洗浄装置によるブレークイン処理をなくす又は低減させることができ、基板洗浄装置の稼働が停止する時間を短くすることができる。
【００７４】
洗浄部材保持部４０が３つ以上の洗浄部材２００を保持可能に構成されている態様を採用した場合には、一度に多くの洗浄部材２００に対してブレークイン処理を行うことができる点で有益である。
【００７５】
洗浄部材保持部４０が２つ以上の洗浄部材２００を保持可能となり、ダミー基板Ｗ１のおもて面及び裏面の各々に洗浄部材２００を接触させるように構成され、かつ基板支持部３０がダミー基板Ｗ１を鉛直方向に延在するようにして保持する態様を採用した場合には、ダミー基板Ｗ１のおもて面及び裏面の各々に接触する洗浄部材２００の各々に対して同様の条件でブレークイン処理を行うことができる点で有益である。つまり、ダミー基板Ｗ１を水平方向に延在するようにして保持し、ダミー基板Ｗ１のおもて面及び裏面を用いてブレークイン処理を行った場合には、ダミー基板Ｗ１のおもて面に接触される洗浄部材２００と裏面に接触される洗浄部材２００とでは、重力の影響により洗浄液の供給され方が異なる等に起因し、同様の条件でブレークイン処理を行うことができない可能性がある。この点、本態様を採用した場合には、ダミー基板Ｗ１のおもて面及び裏面の各々に接触する洗浄部材２００の各々に対して同様の条件でブレークイン処理を行うことができることを期待できる。
【００７６】
また基板支持部３０がダミー基板Ｗ１を鉛直方向に延在するようにして保持する態様を採用することで、洗浄液の流れをよくすることができ、洗浄液がダミー基板Ｗ１の中央部で対流することも防止できる点で有益である。
【００７７】
図２に示すように、ブレークイン装置１００を移動可能にする第一移動部９０が設けられている態様を採用した場合には、ブレークイン装置１００の配置位置を自在に変更できる点で有益である。洗浄する基板の種類が変わったり洗浄する基板の数が増えたりするとハウジング内における基板洗浄装置のレイアウトが変わることがある。このため、ブレークイン装置１００を移動可能とし、余ったスペースに容易に配置できるようにすることは有益である。
【００７８】
また第一移動部９０が設けられている場合には、ロール洗浄部材２１０を交換する予定のある基板洗浄装置近辺までブレークイン装置１００を移動させることもできる。このため、ブレークイン処理が終了したロール洗浄部材２１０をブレークイン装置１００から取り出して移動する距離を短くすることもできる。
【００７９】
洗浄部材２００の内側から洗浄液を供給することを開始し、その後で洗浄部材２００の外側から洗浄液を供給することを開始する態様を採用した場合には、内側から洗浄液で洗浄部材２００を濡らすことができ、より確実に濡れた状態で洗浄部材２００に対するブレークイン処理を行うことができる点で有益である。洗浄部材２００を濡らすという観点からすると、洗浄部材２００の外側から洗浄液を供給するタイミングを早くして、洗浄部材２００の内側から洗浄液を供給するタイミングと合わせることが考えられるが、本態様を採用することで、供給される洗浄液の量を減らすことができる点で有益である。
【００８０】
洗浄部材保持部４０がダミーロール洗浄部材２１５等のダミー洗浄部材２０５を保持可能になっている態様を採用した場合には、ブレークイン処理を行う必要のある洗浄部材２００が少ないときに、洗浄部材保持部４０で保持可能な洗浄部材２００の数からブレークイン処理の対象となる洗浄部材２００の数を引いた数のダミーロール洗浄部材２１５を洗浄部材保持部４０に設置することで、バランスを崩すことなくダミー基板Ｗ１によるブレークイン処理を行うことができる点で有益である。つまり、ブレークイン処理を行う必要のある洗浄部材２００が少ないときにダミー洗浄部材２０５を利用しない場合には、ダミー基板Ｗ１と洗浄部材２００とを接触させてブレークイン処理を行っている際に、ダミー基板Ｗ１が傾いてしまったり、傾くまでいかなくてもダミー基板Ｗ１と洗浄部材２００との間の押圧力が均一ではなくなったりする可能性がある。この点、洗浄部材保持部４０で保持可能な洗浄部材２００の数からブレークイン処理の対象となる洗浄部材２００の数を引いた数のダミーロール洗浄部材２１５を洗浄部材保持部４０に設置することで、このような不都合を解消することができる点で有益である。
【００８１】
第２の実施の形態
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００８２】
本実施の形態のブレークイン装置１００は、図７に示すように、洗浄部材２００に加わる力を検出するための検出部４５を有している。その他の構成については、第１の実施の形態と同様であり、第１の実施の形態で説明したあらゆる態様を採用することができる。第１の実施の形態で説明した部材については同じ符号を用いて説明する。
【００８３】
検出部４５としては、ロール洗浄部材２１０、ペンシル洗浄部材２２０等の洗浄部材２００に係る押圧力を検出する押圧力検出部を用いることができる。この態様を採用した場合には、洗浄部材２００をダミー基板Ｗ１に押し付けた際に、ダミー基板Ｗ１から洗浄部材２００に加わる反力を検出部４５によって検出することができる。また、第二移動部６０の移動距離によって、洗浄部材２００をダミー基板Ｗ１に押し込んでいる量を検出することもできる。検出部４５で検出される反力及び第二移動部６０で計測できる押し込み量から、洗浄部材２００の硬さを検出でき、予め定まった硬さまで柔らかくなった時点でブレークイン処理を終了してもよい。このような態様を採用することで、洗浄部材２００のブレークイン処理を均一に行うことができ、ひいては、基板洗浄装置における洗浄処理を均一に行うことができる点で有益である。
【００８４】
また、検出部４５からの検出結果に基づき、一定の力が洗浄部材２００に加わるように第二移動部６０を制御してもよい。そして、第二移動部６０による洗浄部材２００の距離が一定値になった時点で、ブレークイン処理を終了してもよい。この態様によれば、無理なく均一な力を洗浄部材２００に加えてブレークイン処理を行うことができ、洗浄部材２００に極度に大きな負荷がかかることを防止できる点で有益である。
【００８５】
また、第二移動部６０によって予め定まった距離だけ移動させて固定し、検出部４５からの検出結果に基づき、洗浄部材２００に加わる力が一定値以下になった時点でブレークイン処理を終了してもよい。この態様によれば、第二移動部６０による洗浄部材２００の移動を行わなくてよくなる分、制御が容易になる点で有益である。
【００８６】
第３の実施の形態
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。
【００８７】
本実施の形態のブレークイン装置１００は、全体制御部１５０から第一通信部３１０に対して送信される情報を受けて、ブレークイン制御部５０が洗浄部材２００に対するブレークイン処理を開始するようになっている。本実施の形態では、上記各実施の形態で説明したあらゆる態様を採用することができる。上記各実施の形態で説明した部材については同じ符号を用いて説明する。
【００８８】
一般的に基板洗浄装置で使用されている洗浄部材２００を交換するタイミングは、所定枚数の基板を洗浄部材２００によって洗浄した時点であり、概ね交換するタイミングを予想することができる。本実施の形態では、全体制御部１５０からの情報を受けて基板洗浄装置の第二通信部３２０からブレークイン装置１００の第一通信部３１０に洗浄部材２００の交換のタイミングが近づいている旨の情報が送信されることになる。この態様によれば、適切なタイミングでブレークイン処理を開始することができ、待ち時間なく、使用済みの洗浄部材２００をブレークイン処理の済んだ洗浄部材２００に交換できることを期待できる点で有益である。
【００８９】
洗浄部材２００の交換のタイミングが近づいているかどうかについては、例えば、ブレークイン処理に要する時間から逆算してもよい。ブレークイン処理に一定時間（例えば１時間）必要であれば、一定時間（例えば１時間）よりも少し前（数分〜１０分前）に洗浄部材２００の交換のタイミングが近づいている旨の情報が全体制御部１５０からブレークイン制御部５０に送られ、洗浄部材２００の交換のタイミングでブレークイン処理が終了するように制御されてもよい。このような態様を採用することで、ブレークイン処理が終了した洗浄部材２００を別の場所に保管する必要もなく、またブレークイン処理した効果を損なうことなく、迅速に使用済みの洗浄部材２００をブレークイン処理の済んだ洗浄部材２００に交換できることを期待できる点で有益である。
【００９０】
また、ブレークイン処理が終了した後でも洗浄部材２００に洗浄液を供給しつつ回転させる態様を採用した場合には、待ち時間を短くすることで、洗浄部材２００に洗浄液を供給しつつ回転させる状態（アイドリング状態）を短くすることもできる点で有益である。
【００９１】
洗浄部材２００は予めブレークイン装置１００に設置されていてもよい。そして、交換のタイミングが近づいている旨の情報が全体制御部１５０からブレークイン制御部５０に送られると、自動で洗浄部材２００に対してブレークイン処理を開始してもよい。このような態様を採用した場合には、作業者が事前に洗浄部材２００を洗浄部材保持部４０に設置するだけで、自動で洗浄部材２００に対するブレークイン処理を開始させることができる点で有益である。
【００９２】
また、図８に示すように、第一通信部３１０は作業者のスマートフォンや携帯電話等の携帯端末３５０に、ブレークイン処理が終了したこと、間もなく終了すること等の作業状態を通知してもよい。また、第二通信部３２０は作業者のスマートフォンやタブレット、携帯電話等の携帯端末３５０に、ブレークイン処理が終了したこと、間もなく終了すること等の作業状態を通知してもよい。これらの態様を採用した場合には、作業者は遠隔地にいる場合にもブレークイン処理の状況を把握でき、より効率よく洗浄部材２００の交換を行うことができるようになる。
【００９３】
全体記憶部１６０では、以下の表１に示すようなデータベースが記憶されていてもよい。なお、このデータベースは、ブレークイン記憶部５５に記憶されてもよいし、全体制御部１５０に記憶されてもよい。
【表１】
2019054177.tif 000003
【００９４】
表１に示すデータベースの「ＩＤ」フィールドには、レコードを一意に識別するための情報が格納される。また、「装置識別情報」フィールドには、対象となる各洗浄装置を一意に識別するための情報が格納される。「洗浄部材識別情報」には、洗浄部材のタイプを識別するための情報が格納される。なお、この情報には、ロール洗浄部材であるのか（上記「表１」では「Roll」として示されている。）、ペン洗浄部材であるのか（上記「表１」では「Pen」として示されている。）といった区別や、さらに洗浄部材の形状等の形態に応じた一意に定まるタイプが予め割り当てられている。「所定時間」フィールドには、各洗浄部材に応じて、次の交換のために交換部品（新たな洗浄部材）のブレークイン処理を開始するための所定時間がそれぞれ格納される。また、「累積使用時間」フィールドには、最初に基板洗浄装置に設置されてからの累積使用時間が逐次アップデートされながら、それぞれの値として格納される。このデータベースにおいて、それぞれの洗浄部材が予め設定された所定時間を超えた場合には、抽出された抽出レコードに対応する洗浄部材のブレークイン処理が開始されるように、全体制御部１５０では制御している。なお、ブレークイン処理を開始するにあたり抽出・生成されるデータは、図１０に示すようなデータＤ１の集合であってもよい。
【００９５】
本実施の形態による制御方法の一例について、図９を用いて説明する。なお、以下では、時間を用いて洗浄部材２００の交換に関する情報（交換のタイミングが近づいているという情報、交換が必要であるという情報等）を計測する態様を用いて説明するが、このような態様に限られることはない。全体制御部１５０に接続された洗浄検出部１７０（図８参照）が設けられ、この洗浄検出部１７０が基板洗浄装置で洗浄される基板Ｗに対する押圧力や基板Ｗと洗浄部材２００との距離を測定することで、洗浄部材２００の交換に関する情報を計測する態様を用いてもよい。
【００９６】
まず、ブレークイン処理が完了した洗浄部材２００を基板洗浄装置に設置する（Ｓ１）。この際、洗浄部材２００の使用開始時間が全体記憶部１６０で記憶される。
【００９７】
このように基板洗浄装置に洗浄部材２００が設置されると、洗浄部材２００を用いて基板Ｗの洗浄を行う処理が開始される（Ｓ２）。この間、実運転時間が随時合計されていき、実運転時間が合計された累積使用時間と所定時間の大小が随時又は適宜比較されることになる。なお、この所定時間は交換時間等の新たな洗浄部材２００を取り付けるのに必要な時間を考慮して設定されてもよく、ブレークイン処理に一定時間（例えば１時間）必要であれば、一定時間（例えば１時間）よりも少し前（数分〜１０分前）の時間が所定時間として設定されてもよい。
【００９８】
累積使用時間が所定時間以上になると、洗浄部材識別情報と装置識別情報を含む洗浄部材の交換に関する情報、すなわち、ブレークイン処理開始信号が生成され、第二通信部３２０から第一通信部３１０へ当該信号が送信される（Ｓ４）。このような情報を第一通信部３１０が受信すると、第一通信部３１０は作業者のスマートフォンや携帯電話等の携帯端末３５０に、ブレークイン処理を開始すべきこと等の作業開始信号を通知する（Ｓ５）。あるいは、第一通信部３１０で受信したブレークイン処理開始信号がブレークイン制御部５０に送られ、ブレークイン制御部５０において、当該信号を、作業者のスマートフォンや携帯電話等の携帯端末３５０が受信可能な信号に変換された後に、第一通信部３１０より携帯端末３５０に向けて信号が送信されるようにしてもよい（Ｓ５）。
【００９９】
このような通知を受けた作業者は、新たな洗浄部材２００をブレークイン装置１００に設置し、当該洗浄部材２００に対するブレークイン処理が開始されることになる（Ｓ６）。
【０１００】
また、ブレークイン処理開始信号に基づいて、どの種類・形状の洗浄部材をブレークイン処理するかを自動的に装置側で設定する不図示のプログラムをブレークイン制御部５０が有している場合には、ブレークイン処理開始信号に基づいてブレークイン装置の各機器を制御するようにされていてもよい。あるいは、どの種類・表面性状の洗浄部材をブレークイン処理するかをオペレータが個別に確認、判断した上で、ブレークイン処理のレシピ、条件を、図示しない入力機器を介してブレークイン制御部５０にオペレータが手動で設定項目を入力するようにされていてもよい（ただし、この場合であっても、ブレークイン処理開始信号に基づいて、ブレークイン処理の終了時間や、ブレークイン処理のレシピそのものをブレークイン制御部５０に設けられたプログラムが自動的に更新、あるいは設定するようにされていてもよい）。
【０１０１】
第４の実施の形態
次に、本発明の第４の実施の形態について説明する。
【０１０２】
上記各実施の形態では、供給部２０が薬液貯留部８１及び／又はリンス液貯留部８２に連結され、供給部２０はこれら薬液貯留部８１及び／又はリンス液貯留部８２から供給される薬液及び／又はリンス液を供給するように構成されることを前提としていた。本実施の形態のブレークイン装置１００は、図１１に示すように、ダミー基板Ｗ１に対して供給された洗浄液を回収して利用する回収利用部８５を有している。そして、供給部２０は、回収利用部８５で回収された洗浄液をダミー基板Ｗ１に対して供給する（洗浄液が循環する）ように構成されている。回収利用部８５で回収される前又は回収された後に洗浄液をフィルタリングするためのフィルターが設けられてもよい。本実施の形態では、上記各実施の形態で説明したあらゆる態様を採用することができる。上記各実施の形態で説明した部材については同じ符号を用いて説明する。
【０１０３】
本実施の形態の回収利用部８５は、薬液を回収して再利用する薬液回収利用部８６と、リンス液を回収して再利用するリンス液回収利用部８７とを有してもよい。図１１に示す態様では、回収利用部８５がブレークイン制御部５０に接続されているが、これは電気的な接続を示している。物理的には、薬液回収利用部８６は内部供給部２１及び外部供給部２２の各々に連結され、内部供給部２１及び外部供給部２２の各々に薬液を供給するように構成されてもよい。同様に、リンス液回収利用部８７は内部供給部２１及び外部供給部２２の各々に連結され、内部供給部２１及び外部供給部２２の各々にリンス液を供給するように構成されてもよい。
【０１０４】
本実施の形態の態様によれば、供給部２０を洗浄液貯留部８０に連結する必要がなくなり、洗浄液貯留部８０と連結できないような場所に配置してもブレークイン装置１００によるブレークイン処理を行うことができる点で有益である。
【０１０５】
前述したように、洗浄する基板の種類が変わったり洗浄する基板の数が増えたりするとハウジング内における基板洗浄装置のレイアウトが変わることがある。このため、ブレークイン装置１００の配置場所を自在に選択できることは非常に有益である。
【０１０６】
本実施の形態のブレークイン装置１００は洗浄液貯留部８０に連結可能となり、洗浄液貯留部８０から供給される洗浄液を用いてブレークイン処理を行うことができるように構成されてもよい。
【０１０７】
第５の実施の形態
次に、本発明の第５の実施の形態について説明する。
【０１０８】
上記各実施の形態では、洗浄部材２００としてロール洗浄部材２１０を用いて、ロール洗浄部材２１０をブレークイン処理する態様を用いて説明したが、本実施の形態では、図１２に示すように、洗浄部材２００としてペンシル洗浄部材２２０を用い、当該ペンシル洗浄部材２２０をブレークイン処理する態様を用いて説明する。本実施の形態では、上記各実施の形態で説明したあらゆる態様を採用することができる。上記各実施の形態で説明した部材については同じ符号を用いて説明する。本実施の形態のブレークイン装置１００は、ロール洗浄部材２１０及びペンシル洗浄部材２２０の両方をブレークイン処理可能に構成されてもよいし、ペンシル洗浄部材２２０だけをブレークイン処理可能に構成されてもよい。
【０１０９】
従来ではペンシル洗浄部材２２０でもロール洗浄部材２１０と同様の問題があり、ペンシル洗浄部材２２０のブレークイン処理も基板洗浄装置そのものによって行われていたことから、ブレークイン処理を行っている間、基板洗浄装置による基板洗浄を行うことができず、一定の定まった期間の中で基板洗浄装置を基板Ｗの洗浄に利用できる時間が短くなるという問題があった。前述したあらゆる態様をペンシル洗浄部材２２０に適用することで、ペンシル洗浄部材２２０に関しても、上記問題を解決できるだけではなく、有益な効果を実現することができる。
【０１１０】
図１３に示すように、ロール洗浄部材２１０がダミー基板Ｗ１の中心部分（径の大きな部分）の近辺に当接し、ペンシル洗浄部材２２０はロール洗浄部材２００と比較するとダミー基板の周縁部で当接するように構成されてもよい。このような構成を採用した場合には、ロール洗浄部材２１０とペンシル洗浄部材２２０とを同じ装置を用いてかつ同時にブレークイン処理することができる点で有益である。
【０１１１】
前述したように、本実施の形態では、上記各実施の形態で説明したあらゆる態様を採用することができ、洗浄部材保持部４０はダミーペンシル洗浄部材２２５等のダミー洗浄部材２０５を保持可能になってもよい。
【０１１２】
上述した各実施の形態の記載及び図面の開示は、特許請求の範囲に記載された発明を説明するための一例に過ぎず、上述した実施の形態の記載又は図面の開示によって特許請求の範囲に記載された発明が限定されることはない。また、出願当初の請求項の記載はあくまでも一例であり、明細書、図面等の記載に基づき、請求項の記載を適宜変更することもできる。
【符号の説明】
【０１１３】
２０        供給部
３０        基板支持部
４０        洗浄部材保持部
６０        第二移動部
８５        回収利用部
９０        第一移動部
１００      ブレークイン装置
２００      洗浄部材
２０５      ダミー洗浄部材
２１０      ロール洗浄部材
２１５      ダミーロール洗浄部材
２２０      ペンシル洗浄部材
２２５      ダミーペンシル洗浄部材
３１０      第一通信部
３２０      第二通信部
Ｗ１        ダミー基板
【図１】
2019054177.tif 000004
【図２】
2019054177.tif 000005
【図３】
2019054177.tif 000006
【図４】
2019054177.tif 000007
【図５】
2019054177.tif 000008
【図６】
2019054177.tif 000009
【図７】
2019054177.tif 000010
【図８】
2019054177.tif 000011
【図９】
2019054177.tif 000012
【図１０】
2019054177.tif 000013
【図１１】
2019054177.tif 000014
【図１２】
2019054177.tif 000015
【図１３】
2019054177.tif 000016