(57)【要約】【課題】ソケットを構成する部品の数を減らしてコストを抑え、かつ、検査時に被検査部材から検知される信号の高周波特性を向上させること。【解決手段】ソケット１００が、被検査部材５０に接触する第１部分４１、圧縮バネ４３、および、第１部分４１とともに圧縮バネ４３を挟む第２部分４２を有するプローブピン４０と、第１平面、および、プローブピン４０が貫通し第１部分４１をガイドする第１貫通穴１２ａ，１３ａを有するベース１０と、第１平面に対向する第２平面、第２平面の裏側に位置し被検査部材５０を収容する収容部２１、および、第１部分４１が貫通する第２貫通穴２０ａを有するとともに、第２平面が第１平面から最も離間している状態において、第１部分４１に接触するプレート、を備える。【選択図】図５
2019139848.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査部材に接触する第１部分、圧縮バネ、および、前記第１部分とともに前記圧縮バネを挟む第２部分を有するプローブピンと、
第１平面、および、前記プローブピンが貫通し前記第１部分をガイドする第１貫通穴を有するベースと、
前記第１平面に対向する第２平面、前記第２平面の裏側に位置し前記被検査部材を収容する収容部、および、前記第１部分が貫通する第２貫通穴を有するとともに、前記第２平面が前記第１平面から最も離間している状態において、前記第１部分に接触するプレート、
を備えるソケット。
【請求項２】
前記ベースの内部には、空間が形成されているとともに、第１貫通穴は、第１穴と第２穴とを有し、
前記第１穴の一方の端部は、前記空間に接続されており、かつ、前記第２穴の一方の端部は前記空間に接続されていることを特徴とする請求項１に記載のソケット。
【請求項３】
前記第１貫通穴は、前記プローブピンの抜けを防止する抜止部を有していることを特徴とする請求項１または２に記載のソケット。
【請求項４】
前記第１部分は、前記被検査部材に接触する接触部と、前記プレートに接触するプレート接触部とを有することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のソケット。
【請求項５】
前記接触部と、前記プレート接触部とは一体に形成されていることを特徴とする請求項４に記載のソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査部材と配線基板とを電気的に接続するためのソケットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＣパッケージなどの被検査部材の試験（例えば、バーンイン試験。）を行う際、被検査部材と配線基板とを電気的に接続するため、ソケットが用いられている。
【０００３】
特許文献１には、ソケットベースと、ソケットベースに挿入されるコンタクトモジュールと、コンタクトモジュールに設けられる複数のコンタクトピンとを備えたソケットが記載されている。
【０００４】
このソケットでは、コンタクトモジュールに電子部品が収容され、収容された電子部品とコンタクトモジュールの下に配置された配線基板にコンタクトピンが接触し、電子部品と配線基板とが電気的に接続される。コンタクトモジュールは、コンタクトピンのバレルを上下から挟み込む上側プレートおよび下側プレートと、上側プレートの上方でコイルスプリングによって付勢された状態で下側プレートに対して上下動自在に支持されたフローティングとを有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−８４５６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一般に、ソケットを構成する部品の数が多いほど、コストは増大する傾向にあるため、部品の数は少ない方が好ましい。しかしながら、特許文献１に記載されたソケットは、フローティングを支持するバネを複数有し、また、コンタクトピンを挟み込むプレートも複数有するなど、多くの部品で構成されている。
【０００７】
また、特許文献１のソケットはプレートとフローティングとの間にコイルスプリングを介在させているため、プレートの上面からフローティングまでの高さが高くなり、これに合わせて、コンタクトピンの長さも長くせざるを得ない。そのため、検査時に被検査部材から検知される信号の高周波特性の悪化が懸念される。
【０００８】
本発明は、ソケットを構成する部品の数を減らしてコストを抑え、かつ、検査時に被検査部材から検知される信号の高周波特性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明のソケットは、被検査部材に接触する第１部分、圧縮バネ、および、第１部分とともに圧縮バネを挟む第２部分を有するプローブピンと、第１平面、および、プローブピンが貫通し第１部分をガイドする第１貫通穴を有するベースと、第１平面に対向する第２平面、第２平面の裏側に位置し被検査部材を収容する収容部、および、第１部分が貫通する第２貫通穴を有するとともに、第２平面が第１平面から最も離間している状態において、第１部分に接触するプレート、を備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ソケットを構成する部品の数を減らしてコストを抑え、かつ、検査時に被検査部材から検知される信号の高周波特性を向上させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のソケットの一例を示す平面図
【図２】本発明のソケットの一例を示す断面図
【図３】本発明のソケットを構成するフローティング付近の拡大平面図
【図４】被検査部材が収容されていない状態のプローブピン付近を示す拡大断面図
【図５】被検査部材がソケット本体に向けて押圧された状態のプローブピン付近を示す拡大断面図
【図６】被検査部材がソケット本体に向けて押圧された状態のプローブピン付近を示す拡大断面図
【図７】被検査部材がソケット本体に向けて押圧された状態のプローブピン付近を示す拡大断面図
【図８】他の形態のプローブピンを説明する図
【図９】他の形態のプローブピンを説明する図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、同じ構成要素には同じ符号を付している。また、図面は、理解しやすくするためにそれぞれの構成要素を模式的に示している。また、本明細書では、図２，４−９の矢印で示される方向を便宜的に上または下として説明する。
【００１３】
図１は、本発明のソケットの一例を示す平面図である。図２は、本発明のソケットの一例を示す断面図である。なお、図１は、後述するカバーを取り外した状態のソケットを示している。
【００１４】
ソケット１００は、被検査部材を収容し、収容した被検査部材と、ソケット１００の下側に取り付けられた配線基板とを電気的に接続するための装置である。被検査部材は、例えば、ＩＣパッケージなどの電子部品である。
【００１５】
ソケット１００に収容され、配線基板に電気的に接続された被検査部材に対して、各種試験が行われる。例えば、被検査部材の実際の使用環境と同じ環境、または、実際の環境よりも負荷のかかる環境において、被検査部材が適正に動作するかが調べられる。ソケット１００は、このような試験を行うために、被検査部材と配線基板とを接続する装置である。
【００１６】
ソケット１００は、ソケット本体１０と、フローティング２０と、カバー３０と、複数のプローブピン４０とを有する。
【００１７】
ソケット本体１０は、上面の中央付近に凹部が形成され、当該凹部にフローティング２０を収容する部材である。
【００１８】
ソケット本体１０は、枠部材１１と、上側プレート１２と、下側プレート１３とを有する。
【００１９】
枠部材１１は、外形が矩形に形成され、中央付近に上下方向に貫通する貫通穴が形成された枠状の部材である。
【００２０】
上側プレート１２は、例えば、合成樹脂などの絶縁体からなり、平面視が矩形の板状部材である。上側プレート１２は、枠部材１１の貫通穴に対して下側から取り付けられる。上側プレート１２が枠部材１１に取り付けられた状態において、枠部材１１と上側プレート１２の上面が、フローティング２０を収容する凹部を形成する。
【００２１】
上側プレート１２には、中央付近に上下方向に貫通する小さな直径の複数の第１穴１２ａが形成されている。第１穴１２ａの直径は、例えば、０．１ｍｍ程度である。
【００２２】
また、上側プレート１２には、ボルトが挿入される複数の貫通穴が形成されている。これらの貫通穴の少なくとも１つの貫通穴には、下側からボルト１４が挿入され、挿入されたボルト１４には、上側プレート１２を挟んで第１のナット１５が取り付けられる。
【００２３】
さらに、ボルト１４には、座金１６が嵌め込まれ、第１のナット１５とともに座金１６を挟むように第２のナット１７が取り付けられる。
【００２４】
第１のナット１５と第２のナット１７との間に挟まれた座金１６は、フローティング２０の上方の位置を規制する規制部材として機能する。
【００２５】
下側プレート１３は、例えば、合成樹脂などの絶縁体からなり、平面視が矩形の板状部材である。下側プレート１３の上面の中央付近には、凹部が設けられている。
【００２６】
下側プレート１３は、枠部材１１とともに上側プレート１２を挟むように、枠部材１１に対して下側から取り付けられる。下側プレート１３が枠部材１１に取り付けられた状態において、下側プレート１３に形成された凹部と上側プレート１２の下面は、所定の大きさの空間を形成する。なお、上側プレート１２に形成された第１穴１２ａは、当該空間に接続されている。
【００２７】
下側プレート１３の凹部の下面には、上下方向に貫通する小さな直径の複数の第２穴１３ａが形成されている。第２穴１３ａの直径は、第１穴１２ａの直径と同じ大きさである。また、第２穴１３ａは、下側プレート１３が枠部材１１に取り付けられた状態において、上側プレート１２の第１穴１２ａに対応する位置に設けられている。したがって、下側プレート１３に形成された第２穴１３ａも、上記所定の大きさの空間に接続されている。
【００２８】
第２穴１３ａは、下端から所定の範囲において、第１穴１２ａよりも小径に形成され、下端から所定の範囲以外では、第１穴１２ａと同じ大きさの径に形成されている。第２穴１３ａの小径に形成された部分は、当該第２穴１３ａに挿入されるプローブピン４０の抜け落ちを防止する抜止部として機能する。
【００２９】
なお、抜止部は、第２穴１３ａの穴径を小径に形成するだけではなく、他の態様であってもよい。例えば、第２穴１３ａの内周面から中心軸方向に向かって突起を設けてもよい。また、ソケット１００の下側に配線基板を取り付ける際、第２穴１３ａからプローブピン４０が抜け落ちないようにすることができれば、第２穴１３ａに抜止部を設けなくてもよい。また、以下では、第１穴１２ａと第２穴１３ａとを合わせて、第１貫通穴と称する。
【００３０】
フローティング２０は、平面視が矩形の板状部材である。フローティング２０は、被検査部材を収容する収容部２１を有する。ここで、図３を用いてフローティング２０の収容部２１について説明する。
【００３１】
図３は、本発明のソケット１００を構成するフローティング２０付近の拡大平面図である。収容部２１は、収容部２１に収容される被検査部材の外形に合わせて凹状に形成される。
【００３２】
収容部２１の角部には、それぞれ外側方向に延びる細溝２２が形成されている。これにより、被検査部材は、収容部２１の角部に接触することなく、安定した状態で収容部２１に収容される。
【００３３】
また、収容部２１には、対向する一対の側面から外側に向かって延びる太溝２３が形成されている。これにより、太溝２３にマニピュレーターなどの装置を挿入して被検査部材の脱着を行うことができる。
【００３４】
また、収容部２１には、収容部２１に被検査部材が収容された状態において、被検査部材の端子に対応する位置に、上下方向に貫通する第２貫通穴２０ａが形成されている。なお、第１貫通穴（第１穴１２ａと第２穴１３ａ）の中心軸は、第２貫通穴２０ａの中心軸と同じである。
【００３５】
ここで、図２の説明に戻る。プローブピン４０は、フローティング２０の収容部２１に収容された被検査部材とソケット本体１０の下側に取り付けられた配線基板に接触し、これらを電気的に接続する部材である。プローブピン４０は、例えば、導電性を有する金属で形成される。
【００３６】
また、プローブピン４０は、内部に収容した圧縮バネの反発力でフローティング２０を支持する。プローブピン４０の具体的構成およびフローティング２０を支持する構成については、後に詳しく説明する。
【００３７】
カバー３０は、ソケット本体１０を覆う部材である。カバー３０は、カバー本体３１と、被検査部材を介してソケット本体１０を押圧する押圧部３２と、押圧部３２をソケット本体１０に向けて付勢する圧縮バネ３３とを有する。
【００３８】
カバー本体３１は、ソケット本体１０に引っ掛かる爪（不図示）を有する。爪がソケット本体１０に引っ掛かることにより、カバー本体３１はソケット本体１０に固定される。また、爪のソケット本体１０への引っ掛かりが解除されることにより、カバー本体３１のソケット本体１０への固定が解除される。
【００３９】
圧縮バネ３３は、カバー本体３１と押圧部３２との間に設けられ、押圧部３２をカバー本体３１から離れる方向に向けて付勢する部材である。圧縮バネ３３は、例えば、コイルバネである。
【００４０】
押圧部３２は、カバー本体３１に対して接近する方向または離れる方向に移動できるように、カバー本体３１に対してボルトなどで取り付けられる。押圧部３２は、カバー３０がソケット本体１０に取り付けられた状態において、収容部２１に収容された被検査部材をソケット本体１０に向けて付勢する。
【００４１】
次に、プローブピン４０およびプローブピン４０の周辺の構造について説明する。図４は、被検査部材が収容されていない状態のプローブピン４０付近を示す拡大断面図である。
【００４２】
プローブピン４０は、バレル４１と、プランジャ４２と、圧縮バネ４３とを有する。
【００４３】
バレル４１は、内部に圧縮バネ４３を収容するとともにプランジャ４２をガイドする円筒部４１ａと、円筒部４１ａの外周よりも小径に形成され、先端に被検査部材と接触する接触部を備えた円柱部４１ｂとを有する。円筒部４１ａの外周と円柱部４１ｂの外周との間には、円筒部４１ａの外周および円柱部４１ｂの外周に垂直に交わる平面状の肩部４１ｃが形成されている。すなわち、プローブピン４０における接触部と肩部４１ｃは、一体に形成されている。また、バレル４１は、円筒部４１ａの下端に、円筒部４１ａの内径よりも内径が小さい引っ掛かり部４１ｄを有する。
【００４４】
円柱部４１ｂの直径は、フローティング２０の第２貫通穴２０ａの直径よりも小さく形成されている。また、円筒部４１ａの外周の直径は、フローティング２０の第２貫通穴２０ａの直径よりも大きく、第１貫通穴（第１穴１２ａと第２穴１３ａ）の直径よりも小さく形成されている。ただし、円筒部４１ａの外周の直径は、第２穴１３ａの抜止部の直径よりも大きく形成されている。
【００４５】
円柱部４１ｂの先端の形状は、被検査部材の端子形状に合わせて適宜決定される。円柱部４１ｂの先端は、例えば、半球状に形成される。
【００４６】
プランジャ４２は、内部に圧縮バネ４３を収容する円筒部４２ａと、ソケット本体１０の下側に取り付けられた配線基板６０に接触する接触部を備えた円柱部４２ｂとを有する。
【００４７】
円筒部４２ａは、バレル４１の円筒部４１ａの内周面にガイドされてバレル４１内を摺動する大径部４２ａ１を有する。また、大径部４２ａ１は、バレル４１の下端部に形成された引っ掛かり部４１ｄに引っ掛かることにより、バレル４１から抜け落ちないようになっている。
【００４８】
次に、プローブピン４０の周辺の構成について説明する。プローブピン４０は、第１貫通穴（第１穴１２ａと第２穴１３ａ）に挿入されている。
【００４９】
プローブピン４０の下端は、下側プレート１３から突出し、ソケット本体１０の下側に取り付けられた配線基板６０に接触する。また、バレル４１の肩部４１ｃは、上側プレート１２の上面から突出している。
【００５０】
バレル４１の円柱部４１ｂは、フローティング２０の第２貫通穴２０ａに挿入される。また、被検査部材に接触する接触部は、フローティング２０の第２貫通穴２０ａからわずかに上方に突出している。したがって、被検査部材が収容部２１に収容されていない状態では、バレル４１の肩部４１ｃは、フローティング２０に接触している。
【００５１】
次に、フローティング２０の収容部２１に被検査部材が収容され、カバー３０がソケット本体１０に固定される際の、ソケット１００の挙動について説明する。
【００５２】
図５−７は、被検査部材がソケット本体１０に向けて押圧された状態のプローブピン４０付近を示す拡大断面図である。被検査部材５０がフローティング２０の収容部２１に収容されると、バレル４１の接触部は、被検査部材５０に下側に配置された端子に接触する。
【００５３】
この状態で、カバー３０の押圧部３２が被検査部材５０をソケット本体１０に向けて押圧すると、図５に示すように、バレル４１は、第１貫通穴（第１穴１２ａと第２穴１３ａ）にガイドされて配線基板６０側に移動する。
【００５４】
さらに、カバー３０の押圧部３２が被検査部材５０をソケット本体１０に向けて押圧すると、図６に示すように、上側プレート１２の上面とフローティング２０の下面が接触する。
【００５５】
さらに、押圧部３２が被検査部材５０をソケット本体１０に向けて押圧すると、プローブピン４０の肩部４１ｃがフローティング２０の下面から離れ、その後、図７に示すように、被検査部材５０の下面がフローティング２０の上面に接触する。この状態でカバー本体３１の爪がソケット本体１０に引っ掛かり、カバー３０とソケット本体１０が固定される。
【００５６】
以上の動作により、被検査部材５０はソケット１００に収容され、被検査部材５０に対して各種試験が行われる。
【００５７】
以上説明したように、本発明では、プローブピン４０の肩部４１ｃをフローティング２０の下面に接触させ、プローブピン４０の圧縮バネ４３の反発力でフローティング２０を支持している。これにより、フローティング２０を支持するための圧縮バネを別に設ける必要がなく、ソケット１００のコストを低減することができる。
【００５８】
また、ソケット本体１０とフローティング２０との間に圧縮バネを設ける必要がないため、フローティング２０とソケット本体１０とを近づけることができる。よって、プローブピン４０の全長を短くすることができる。これにより、検査時に被検査部材５０から検知される信号の高周波特性を向上させることができる。
【００５９】
また、ソケット本体１０の内部に設けた空間は空気で満たされ、当該空間部分の比誘電率は、上側プレート１２または下側プレート１３の比誘電率よりも小さくなる。これにより、プローブピン４０の周辺部で起こる誘電損失が小さくなり、検査時に被検査部材５０から検知される信号の高周波特性の悪化を抑制することができる。
【００６０】
なお、本発明に用いるプローブピンは、上述した形態のものに限られない。図８は、別の形態のプローブピンを説明する図である。
【００６１】
プローブピン１４０は、第１のプランジャ１４１と、圧縮バネ１４２と、第２のプランジャ１４３とを備える。
【００６２】
第１のプランジャ１４１は、上側プレート１２の第１穴１２ａにガイドされる大径部１４１ａと、フローティング２０の第２貫通穴２０ａに挿入されるとともに先端に被検査部材５０と接触する接触部を備えた小径部１４１ｂとを有する。また、大径部１４１ａの外周と小径部１４１ｂの外周との間には大径部１４１ａの外周および小径部１４１ｂの外周と垂直に交わる平面状の肩部１４１ｃが形成されている。すなわち、プローブピン１４０における接触部と肩部１４１ｃは、一体に形成されている。
【００６３】
第２のプランジャ１４３は、第２穴１３ａの抜止部よりも大径に形成された大径部１４３ａと、第２穴１３ａの抜止部よりも小径に形成された小径部１４３ｂとを有する。大径部１４３ａは、第２穴１３ａの抜止部に引っ掛かり、抜け落ちないようになっている。
【００６４】
また、圧縮バネ１４２は、第１のプランジャ１４１と第２のプランジャ１４３に挟まれて配置されている。
【００６５】
このようなプローブピン１４０を用いる場合、第１貫通穴（第１穴１２ａと第２穴１３ａ）は、圧縮バネ１４２のガイドとして機能する。したがって、バレルの内側に圧縮バネを収容するプローブピンを用いる場合と比べて、バレルの厚み分だけプローブピン１４０の外径を小さくすることができる。このため、被検査部材５０の端子の間隔が小さい場合、これに合わせて、プローブピン１４０の設置間隔を小さくすることができる。
【００６６】
また、このようなプローブピン１４０を用いる場合、第１貫通穴（第１穴１２ａと第２穴１３ａ）は、圧縮バネ１４２のガイドとして機能するため、ソケット本体１０の内部に空間を設けなくてもよい。
【００６７】
また、プローブピンは、図９に示される形態のものであってもよい。図９は、さらに別の形態のプローブピンを説明する図である。
【００６８】
プローブピン１５０は、第１のプランジャ１５１と、第２のプランジャ１５２と、バレル１５３と、第１の圧縮バネ１５４と、第２の圧縮バネ１５５とを備える。
【００６９】
バレル１５３は、第１のプランジャ１５１を内周面でガイドする小径円筒部１５３ａと、第２のプランジャ１５２を内周面でガイドする大径円筒部１５３ｂとを有する。
【００７０】
小径円筒部１５３ａの上端には、引っ掛かり部１５３ｃが形成されており、第１のプランジャ１５１が抜け落ちないようになっている。また、小径円筒部１５３ａの端面は、フローティング２０を支持する支持部として機能する。
【００７１】
大径円筒部１５３ｂの下端には、引っ掛かり部１５３ｄが形成されており、第２のプランジャ１５２が抜け落ちないようになっている。
【００７２】
第１のプランジャ１５１は、小径円筒部１５３ａの内周面にガイドされる大径部１５１ａと、フローティング２０の第２貫通穴２０ａに挿入されるとともに、被検査部材５０に接触する接触部を備える小径部１５１ｂとを有する。すなわち、プローブピン１５０における接触部は、支持部に対して相対移動する。
【００７３】
第２のプランジャ１５２は、内部に圧縮バネ１５４を収容する円筒部１５２ａと、ソケット本体１０の下側に取り付けられた配線基板６０に接触する接触部を備えた円柱部１５２ｂとを有する。
【００７４】
円筒部１５２ａは、バレル１５３の大径円筒部１５３ｂの内周面にガイドされてバレル１５３内を摺動する大径部１５２ａ１を有する。また、大径部１５２ａ１は、バレル１５３の下端に形成された引っ掛かり部１５３ｄに引っ掛かることにより、バレル１５３から抜け落ちないようになっている。
【００７５】
第１の圧縮バネ１５４は、第１のプランジャ１５１と第２のプランジャ１５２に挟まれるバネ部材である。
【００７６】
第２の圧縮バネ１５５は、第２のプランジャ１５２とバレル１５３に挟まれるバネ部材である。第２の圧縮バネ１５５の内径は第１の圧縮バネ１５４の外径よりも大きく形成されており、第１の圧縮バネ１５４は、第２の圧縮バネ１５５の内側に配置されている。
【００７７】
このようなプローブピン１５０において、第１の圧縮バネ１５４と第２の圧縮バネ１５５のばね定数を適宜決定することにより、プローブピン１５０は、被検査部材５０とフローティング２０とをそれぞれ最適な力で付勢することができる。
【００７８】
なお、プローブピン１５０において、圧縮バネ１５５は必ずしも設ける必要はなく、圧縮バネ１５５がない構成であっても、プローブピン１５０は、上記プローブピン４０と同等の機能を果たすことができる。
【００７９】
上述した各実施の形態では、ソケット本体１０に取り付けるプレートを２部品（上側プレート１２および下側プレート１３）で構成した。このため、上側プレート１２および下側プレート１３の厚みが薄くなり、上側プレート１２に形成する第１穴１２ａと下側プレート１３に形成する第２穴１３ａの機械加工が容易になる。ただし、ソケット本体１０に取り付けるプレートは、１部品で構成しても３部品以上で構成してもよい。
【００８０】
また、上述した各実施の形態では、ソケット本体１０の内部に空間を形成するために、下側プレート１３に凹部を設けたが、上側プレート１２の下面に凹部を設けてもよいし、上側プレート１２の下面および下側プレート１３の上面に凹部を設けてもよい。
【００８１】
本明細書では、図２，４−７の矢印で示される方向を便宜的に上または下として説明したが、図２，４−７の矢印で示される方向の上下が逆であってよい。また、図２，４−７の矢印で示される方向が水平方向を示すものであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明は、被検査部材と配線基板とを電気的に接続するためのソケットに広く利用可能である。
【符号の説明】
【００８３】
１０  ソケット本体
１１  枠部材
１２  上側プレート
１２ａ  第１穴
１３  下側プレート
１３ａ  第２穴
１４  ボルト
１５  第１のナット
１６  座金
１７  第２のナット
２０  フローティング
２０ａ  第２貫通穴
２１  収容部
２２  細溝
２３  太溝
３０  カバー
３１  カバー本体
３２  押圧部
３３  圧縮バネ
４０  プローブピン
４１  バレル
４１ａ  円筒部
４１ｂ  円柱部
４１ｃ  肩部
４１ｄ  引っ掛かり部
４２  プランジャ
４２ａ  円筒部
４２ａ１  大径部
４２ｂ  円柱部
４３  圧縮バネ
５０  被検査部材
６０  配線基板
１００  ソケット
１４０  プローブピン
１４１  第１のプランジャ
１４１ａ  大径部
１４１ｂ  小径部
１４１ｃ  肩部
１４２  圧縮バネ
１４３  第２のプランジャ
１４３ａ  大径部
１４３ｂ  小径部
１５０  プローブピン
１５１  第１のプランジャ
１５１ａ  大径部
１５１ｂ  小径部
１５２  第２のプランジャ
１５２ａ  円筒部
１５２ａ１  大径部
１５２ｂ  円柱部
１５３  バレル
１５３ａ  小径円筒部
１５３ｂ  大径円筒部
１５３ｃ  引っ掛かり部
１５３ｄ  引っ掛かり部
１５４  第１の圧縮バネ
１５５  第２の圧縮バネ 
【図１】
2019139848.tif 000003
【図２】
2019139848.tif 000004
【図３】
2019139848.tif 000005
【図４】
2019139848.tif 000006
【図５】
2019139848.tif 000007
【図６】
2019139848.tif 000008
【図７】
2019139848.tif 000009
【図８】
2019139848.tif 000010
【図９】
2019139848.tif 000011