(57)【要約】【課題】反りが小さいモリブデン材料を提供する。【解決手段】モリブデン材料は、厚さが３ｍｍ以上であり、表面粗さがＲｚ１．２μｍ以下であり、反りが０．３μｍ／ｍｍ以下かつ、２２００℃で焼鈍した後の反りが１μｍ／ｍｍ以下である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さが３ｍｍ以上であり、
表面粗さがＲｚ１．２μｍ以下であり、
反りが０．３μｍ／ｍｍ以下かつ、２２００℃で焼鈍した後の反りが１μｍ／ｍｍ以下である、モリブデン材料。
【請求項２】
モリブデンを９９．９質量％以上含む、請求項１に記載のモリブデン材料。
【請求項３】
前記モリブデンの結晶粒径は０．０２ｍｍ以上０．０２５ｍｍ以下である、請求項２に記載のモリブデン材料。
【請求項４】
焼鈍前の引張試験の最大強さは７７１ＭＰａ以上７８１ＭＰａ以下である、請求項１または２に記載のモリブデン材料。
【請求項５】
前記厚さのばらつきが５％以下である、請求項１から４のいずれか１項に記載のモリブデン材料。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、モリブデン材料に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、モリブデン材料は、たとえば特開２０１０−２１５９３３号公報および特開２０１０−１９６１１１号公報に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２１５９３３号公報
【特許文献２】特開２０１０−１９６１１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のモリブデン材料では、反りが大きいという問題があった。そこでこの発明は上記の問題を解決するためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明に従ったモリブデン材料は、厚さが３ｍｍ以上であり、表面粗さがＲｚ１．２μｍ以下であり、反りが０．３μｍ／ｍｍ以下かつ、２２００℃で焼鈍した後の反りが１μｍ／ｍｍ以下である。
【発明を実施するための形態】
【０００６】
［本発明の実施形態の説明］
本発明の実施形態について、説明する。モリブデン材料は、厚さが３ｍｍ以上であり、表面粗さがＲｚ１．２μｍ以下であり、反りが０．３μｍ／ｍｍ以下かつ、２２００℃で焼鈍した後の反りが１μｍ／ｍｍ以下である。
【０００７】
特許文献１には、光沢度が高く面粗さの小さいモリブデン板を得る方法が記載されている。但し、本方式で製造できる板厚は０．２ｍｍ程度と薄く、３ｍｍ以上の厚板を冷間圧延すると割れるため圧延できない問題点があった。
【０００８】
特許文献２には、高温で反り矯正を行うことが開示されている。しかしながら、反り矯正の温度は１２００℃程度と低いため、それより高い高温で使用する用途においては反りの問題があった。
【０００９】
近年、高温で荷重を受ける台板、仕切り板またはＭＩＭ（Metal Injection Molding）法による精密製品を焼結するための敷板で高温での耐変形性および仕上げ面粗さが要求される厚板の用途が増大している。本用途において特に純モリブデンが被加工物の汚染の少なさ、加工性、コスト等の面から採用されることが多い。
【００１０】
従来、板厚が３ｍｍ以上かつ表面粗さＲｚ１．２μｍ以下のモリブデン材料は冷間圧延法により加工することができなかったため、モリブデン焼結材もしくはモリブデン熱間圧延材を研磨加工したものが用いられてきた。
【００１１】
冷間圧延に供する熱間圧延体の機械特性（室温）は、冷間圧延の塑性加工の変形を許容する範囲である必要がある。薄板では熱間圧延の圧下率を十分に確保して薄板の内部まで機械特性を高められる。そのため冷間圧延に必要な熱間圧延体の機械特性を確保できる。これに対して厚板では熱間圧延における圧下率を薄板と同様の大きさとすることができない。その結果、厚板の内部において加工が不十分となり機械特性を満たせないことがある。その場合には板厚方向の引張強さが低いため、冷間圧延で割れが生じると考えられる。
【００１２】
切削加工および研磨を行うと板表面に歪が生じるが、板の表面と裏面に均等に歪を加えることが困難である。表裏面の歪量が不均一な場合、高温環境下で表裏面の間に応力差が生じ反りに至るものと考えられる。
【００１３】
実施形態では、冷間圧延前の素材の端部に、端部から５０〜１００ｍｍの領域において圧下率３０％以上の鍛造加工を施した噛み込み部を設けることにより、これまでに無かった厚さ３ｍｍ以上でＲｚ１．２μｍ以下のモリブデン冷間圧延板を得ることができた。
【００１４】
従来、板厚が３ｍｍ以上かつ表面粗さＲｚ１．２μｍ以下のモリブデン材料は冷間圧延法により加工することができなかったため、モリブデン焼結材もしくはモリブデン熱間圧延材を研磨加工したものが用いられてきた。
【００１５】
本発明者は、冷間圧延前の素材の端部に、端部から５０〜１００ｍｍの領域において圧下率３０％以上の鍛造加工を施した噛み込み部を設けることにより、これまでに無かった厚さ３ｍｍ以上でＲｚ１．２μｍ以下のモリブデン冷間圧延板を得ることができた。
【００１６】
切削加工または研磨加工による除去加工を行わずに、更に冷間圧延を追加することによって、応力を導入しつつ応力バランスを保つ加工を行うことに着目した。
【００１７】
研磨加工された従来のモリブデン材料を２２００℃以上の高温環境下で用いると、高温によりモリブデン材料が変形し有害な反り（２２００℃で１μｍ／ｍｍ超）が生じる問題があった。
【００１８】
研磨加工を行わず冷間圧延できることにより、高温下のモリブデン材料の変形が少なくでき、高温環境下での使用に有用である。
【００１９】
実施の形態に従ったモリブデン材料は、高温での耐変形性および仕上げ面粗さが要求される３ｍｍ以上の厚板が要求される用途に用いることができる。例えば、特に高温で荷重を受ける台板および仕切り板、ＭＩＭ法による精密製品の焼結用敷板、材料溶融容器および部材等に有効に用いることができる。
【００２０】
モリブデン材料の特徴について説明する。
モリブデン材料の厚みは３ｍｍ以上である。この範囲とすることでモリブデン材料の厚さが必要な用途に用いることができる。
【００２１】
厚さの測定方法は、以下の通りである。マイクロメーターを用いて、圧延方向の中央付近で、板幅方向の両端付近と中央付近の３点を測定し、さらに、圧延方向の両端付近においても同様にそれぞれ３点測定し、合計９点（圧延方向一端で３点、圧延方向中央で３点、圧延方向他端で３点）の平均値を求める。この９点で測定したモリブデン材料の厚さのばらつきは、５％以内が好ましい。（各点の厚み−平均値）／平均値で計算される値がばらつきである。
【００２２】
モリブデン材料の表面粗さＲｚは、１．２μｍ以下である。この範囲とすることでモリブデン材料の表面粗さの平滑さが必要な用途に用いることができる。Ｒｚの規格は、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１：２００１に準ずる。Ｒｚは、株式会社小坂研究所製サーフコーダ（型番：ＳＥ２３００）にて測定する。
【００２３】
モリブデン材料の反り（２２００℃で焼鈍前）は、０．１５ｍｍ／５００ｍｍ以下（０．３μｍ／ｍｍ以下）である。この範囲とすることでモリブデン材料の表面の平面度が必要な用途に用いることができる。この範囲を満たさないと例えば敷板などに使用した場合には被処理物の精度を悪化させる。
【００２４】
反りの測定方法は、土井精密ラップ株式会社製ＪＩＳ０級相当の定番の中央に設けられた貫通穴の裏側から設置された株式会社ミツトヨ製ダイヤルゲージにて定盤から浮き上がり量を反りとして測定する。
【００２５】
モリブデン材料の反り（２２００℃で焼鈍前）は、０．１ｍｍ／５００ｍｍ以下（０．２μｍ／ｍｍ以下）であることがより好ましい。尚反り０．２５ｍｍ／５００ｍｍを超える（０．５μｍ／ｍｍを超える）場合、冶具類として寿命が短くなるおそれがある。なお、「おそれがある」とは、僅かながらそのようになる可能性があることを示し、高い確率でそのようになることを意味するものではない。
【００２６】
モリブデン材料を２２００℃で焼鈍した後の反りは、０．５ｍｍ／５００ｍｍ以下（１μｍ／ｍｍ以下）である。この範囲とすることにより、冷間圧延または研磨で仕上げたモリブデン板製品（以下製品と記す）の反り（２２００℃で焼鈍前）を０．１５ｍｍ／５００ｍｍ以下（０．３μｍ／ｍｍ以下）とすることができる。
【００２７】
より好ましくは、モリブデン材料を２２００℃で焼鈍した後の反りは、０．３ｍｍ／５００ｍｍ以下（０．６μｍ／ｍｍ以下）である。
【００２８】
モリブデン材料を２２００℃で焼鈍した後の反りは、０．３ｍｍ／５００ｍｍ以下（０．６μｍ／ｍｍ以下）であることがより好ましい。尚２２００℃で焼鈍した後の反りが０．５ｍｍ／５００ｍｍを超える（１μｍ／ｍｍを超える）場合、冶具類として使用できなくなるおそれがある。
【００２９】
モリブデン材料の組成は、モリブデンが９９．９質量％以上、不可避不純物（例えばＡｌ、Ｃａ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｗのうち少なくとも１種類）の総量が０．１質量％以下が好ましい。
【００３０】
不可避ガス不純物（Ｃ、Ｎ、Ｏ）は総量０．０１ｗｔ％以下が好ましい。これ未満であると、高温中で他の構造部材や非処理物を汚染するおそれがある。
【００３１】
モリブデン粉末の純度とは、モリブデン粉末からＪＩＳ  Ｈ  １４０４記載のモリブデン材料の分析方法によりＡｌ、Ｃａ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｓｉ、Ｓｎを除いた金属純分を意味する。酸素含有量の測定は、ＬＥＣＯ製酸素分析装置「ＴＣ６００」を使用する。炭素含有量の測定は、堀場製作所製炭素硫黄分析装置「ＥＭＩＡ−８１０」を使用する。
【００３２】
モリブデン材料の（初期の）引張試験の最大強さは７７１ＭＰａ以上７８１ＭＰａ以下であることが好ましい。これらの範囲の外であると、切断加工をした際に欠損を生じるおそれがある。引張試験の最大強さは、インストロン社製万能試験機（型番：５８６７型）で、大気雰囲気における室温（２０℃）にて、測定する。試験片形状は、破断する部分の板厚２ｍｍ、板幅３ｍｍとし、標点間距離は８ｍｍ、試験速度は０．３２ｍｍ・ｍｉｎとした。
【００３３】
モリブデンの結晶粒径は０．０２ｍｍ以上０．０２５ｍｍ以下であることが好ましい。これ未満、これ以上であっても、結晶が粗大化しにくくなるおそれがある。
【００３４】
再結晶後の結晶粒径測定は、以下の手法で行う。視野１倍１０ｃｍ×１０ｃｍの板表面の写真の粒界をマジックでなぞり２値化した画像の各結晶粒の粒径を解析ソフト（日本ローパー製  Ｉｍａｇｅ−Ｐｒｏ  Ｐｌｕｓ）で測定する。各結晶粒の面積と同じ面積の円の直径を各結晶粒の直径とする。視野の中の結晶の径のうち最小径の物から１０個について平均して、モリブデン材料の結晶粒径とする。
［本発明の実施形態の詳細］
（実施例１）
（１）モリブデン焼結体の製造工程
原料としてフィッシャー法によるＦｓｓｓ粒径が４μｍ、純度９９．９％であるモリブデン粉末を用いた。この粉末をＣＩＰ機で、成型圧力１９６ＭＰａ、縦×横×高さが４５０×６００×３０ｍｍ、成型密度６．２ｇ／ｃｍ３に成型した。成型体を焼結炉を用いて、水素雰囲気中、１８００℃×１０時間で焼結し、縦×横×高さが３００×４００×２０ｍｍ（相対密度９４．２％）の焼結体（モリブデンインゴット）を得た。
【００３５】
Ｆｓｓｓ粒径は、１μｍ以上、１０μｍ以下が好ましい。１０μｍを超えると、焼結体密度が上がりにくくなり、圧延後も空隙が多くなり必要な面粗さが得られにくくなるおそれがある。１μｍ未満であると、成型しづらくなり、ＣＩＰ後に割れが生じるおそれがある。
【００３６】
モリブデン焼結体の組成は、モリブデンが９９．９質量％以上、不可避不純物（例えばＡｌ、Ｃａ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｗのうち少なくとも１種類）は総量０．１ｗｔ％以下が好ましい。不可避ガス不純物（Ｃ、Ｎ、Ｏ）は総量０．０１ｗｔ％以下が好ましい。モリブデンが９９．９質量％未満であると、使用時にモリブデン板上で加熱処理される非加工物への汚染のおそれがある。
【００３７】
モリブデン焼結体の組成は、モリブデンが９９．９５質量％以上、不可避不純物（例えばＡｌ、Ｃａ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｗのうち少なくとも１種類）は総量０．０５ｗｔ％以下がより好ましい。モリブデンが９９．９５であると、使用時にモリブデン板上で加熱処理される非加工物への汚染のおそれがある。
【００３８】
成型は、ＣＩＰ機もしくは一軸プレス機を用いることが好ましい。成型密度は、５ｇ／ｃｍ３以上、７ｇ／ｃｍ３以下が好ましい。成型密度が７ｇ／ｃｍ３を超えると、表面付近の焼結密度が早く上がりすぎて、内部のガスが抜けにくくなるおそれがある。成型密度は５ｇ／ｃｍ３未満であると、焼結後の密度が不十分になるおそれがある。
【００３９】
焼結雰囲気は、水素の他に、真空、Ａｒなど不活性ガス中でもよい。焼結温度は、１７００℃以上、２０００℃以下、かつ焼結時間は５時間以上、３０時間以下が好ましい。焼結温度が２０００℃を超えると、焼結時間が５時間以下であっても焼結炉の炉材消耗が激しくなるのおそれがある。焼結温度が１７００℃未満であると、焼結時間が５時間以上であっても十分な焼結体密度が得られないおそれがある。
【００４０】
焼結体密度は、好ましくは理論密度比９０％以上、より好ましくは９５％以上とする。焼結体密度が理論密度比９０％未満であると、圧延加工しても表面の空孔がつぶしきれずに、必要な表面粗さが得られにくくなるおそれがある。
【００４１】
（２）モリブデン熱間圧延体の製造工程
インゴットを水素雰囲気中で８００−１２００℃に予備加熱したのち、４段圧延機により厚み４ｍｍまで熱間圧延した。具体的には、１パスあたりの圧下率を１０−３０％として、圧延を１０パス実施して圧下率を８０％とした。
【００４２】
１回の熱間圧延毎に反り直しの焼鈍処理（水素雰囲気中８００℃、６０分）と表面酸化物除去処理（５０％王水、室温、１−１５分）を行ってモリブデン熱間圧延体を得た。
【００４３】
表面に酸化物が残っているとモリブデン熱間圧延体の表面と内部とで組成の相違が生じてその後の冷間圧延で割れまたは剥離が生じるが、表面の酸化物を除去することで冷間圧延での上記の問題を解決することができる。
【００４４】
予備加熱の温度は、９００℃以上、１３００℃以下、かつ、加熱時間は０．５時間以上、３時間以下が好ましい。予備加熱の温度が、１３００℃を超えると、予備加熱時間が３時間以下であっても結晶粒が粗大化し材料が脆化するおそれがある。予備加熱の温度が、９００℃未満であると、加熱が不十分になり板材に割れが発生するおそれがある。予備加熱雰囲気は、水素の他に、真空、Ａｒなど不活性ガス中でもよい。
【００４５】
１回の圧延の圧下率は、１０％以上、３０％以下、かつ、トータルの圧下率は５０％以上、９０％以下が好ましい。１回の圧延の圧下率は３０％を超えると、トータルの圧下率が９０%以下であっても板厚方向に生じる過大な引っ張り応力による割れが生じるおそれがある。１回の圧延の圧下率が、１０％未満であると、トータルの圧下率が５０％以上であっても酸化物による面荒れが残存するおそれがある。
【００４６】
熱間圧延体の厚みは、４ｍｍ以上が望ましい。４ｍｍ未満であると、冷間圧延後に鏡面が得られにくくなるおそれがある。
【００４７】
熱間圧延体の相対密度は、９８％以上が好ましい。９８％未満であると、冷間圧延後も空孔が残り鏡面が得られにくくなるおそれがある。
【００４８】
焼鈍処理の温度は、８００℃以上、１０００℃以下、焼結時間は２０分以上、９０分以下が好ましい。
【００４９】
焼鈍処理の温度が１０００℃を超えると、焼鈍時間が９０分以下であっても再結晶が生じて、後の粗大化処理をしても結晶が粗大化しなくなるおそれがある。すなわち、製品に対して２２００℃での焼鈍処理を行うことにより結晶を粗大化させるが、焼鈍の段階で再結晶が生じるとその後の工程で結晶が粗大化しないおそれがある。
【００５０】
焼鈍処理の温度が８００℃未満であると、焼鈍時間が２０分以上であっても硬度が下がりにくく、後の冷間圧延で加工しづらくなり、必要な平坦度が得られにくくなるおそれがある。焼鈍処理の熱雰囲気は、水素の他に、真空、Ａｒなど不活性ガス中でもよい。
【００５１】
酸化物除去処理の酸濃度は、２０％以上が好ましい。酸化物除去処理の酸濃度が２０％未満であると、酸化物の除去が十分に完了しないか、できたとしても時間がかかりすぎてしまうおそれがある。
【００５２】
酸化物除去処理の酸は、王水の他に、塩酸、硫酸などでもよい。酸化物除去処理の方法は、酸洗浄の他に、砥石による研削、フライスなどの切削加工、またはサンドペーパーなどによる機械的除去でもよい。
【００５３】
（３）冷間圧延の準備工程
熱間圧延体の端面を熱間鍛造プレスにより、端面から１００ｍｍ以下の領域が圧下率３０％以上となり、かつ、冷間圧延ロールが噛み込みやすいように端面側の厚みが最も薄くなるテーパー状となるように鍛造加工を施した。熱間鍛造の予備加熱は、熱間圧延の予備加熱と同条件とした。
【００５４】
テーパー状となるように鍛造加工を施すことにより、冷間圧延のロールに焼結体が触れる際に大きな力がかかる噛み込部である端面の機械強度を高め、端面に急激に応力が集中することを緩和することができる。
【００５５】
もし、テーパー状となるように鍛造加工を施さなければ、冷間圧延のロールに焼結体の端面が触れる際に急激な応力集中が生じ、焼結体の端面が割れ圧延不能となる。
【００５６】
熱間鍛造が施される部位の端面からの長さは、５０ｍｍ以上、１００ｍｍ以下が好ましい。この長さが１００ｍｍを超えると、加工範囲が広くなり作業能率を著しく低下させるおそれがある。この長さが５０ｍｍ未満であると、極先端部だけで割れを抑える状態となり、十分な抑制力が得られないおそれがある。
【００５７】
熱間鍛造の圧下率は、３０％以上が好ましい。圧下率が３０％未満であると、十分な割れ抑制力が得られないおそれがある。
【００５８】
（４）モリブデン冷間圧延体の製造工程
熱間圧延体を４段圧延機により厚み３ｍｍまで冷間圧延することによりモリブデン冷間圧延体を得た。具体的には、１パスあたりの圧下率を２５％として、圧延を１パス実施して圧下率を２５％とした。
【００５９】
冷間圧延後に表面クリーニングのための焼鈍処理（水素雰囲気中８００℃、６０分）を行った。１回の圧延の圧下率は、１０％以上、３０％以下、トータルの圧下率は２０％以上、３０％以下が好ましい。
【００６０】
１回の圧延の圧下率及びトータルの圧延の圧下率のいずれかが３０％を超えると、板厚方向に生じる過大な引張応力による割れが生じるおそれがある。
【００６１】
１回の圧延の圧下率が１０％未満またはトータルの圧下率が２０％未満であると、酸化物による面荒れが残存するおそれがある。
【００６２】
焼鈍処理の温度は、８００℃以上、９００℃以下で、かつ、焼結時間は２０分以上、１時間以下が好ましい。
【００６３】
焼鈍処理の温度は９００℃を超えると、焼鈍時間が１時間未満であっても再結晶が生じて、後の粗大化処理をしても結晶が粗大化しなくなるおそれがある。すなわち、製品に対して２２００℃での焼鈍処理を行うことにより結晶を粗大化させるが、焼鈍の段階で再結晶が生じるとその後の工程で結晶が粗大化しないおそれがある。
【００６４】
焼鈍処理の温度は８００℃未満であると、２０分以上焼鈍処理しても反りを矯正しづらくなり、必要な平坦度が得られにくくなるおそれがある。焼鈍処理の雰囲気は、水素の他に、真空、Ａｒなど不活性ガス中でもよい。
【００６５】
なお、（４）工程の後に研磨や切削加工を行ってはならない。もし、研磨や切削加工を行った場合、従来材と同様に２２００℃以上の高温環境下で有害な反りが生じる。
【００６６】
（実施例２）
（１）モリブデン焼結体の製造工程
実施例１と同様に、原料としてフィッシャー法によるＦｓｓｓ粒径が４μｍ、純度９９．９％であるモリブデン粉末を用いた。
【００６７】
この粉末をＣＩＰ機で、成型圧力１９６ＭＰａで、縦×横×高さが４５０×６００×４８ｍｍ、成型密度６．１ｇ／ｃｍ３に成型した。
【００６８】
成型体を焼結炉を用いて、水素雰囲気中、１８００℃×１０時間で焼結し、縦×横×高さが３００×４００×３２ｍｍ（相対密度９４．０％）の焼結体（インゴット）を得た。
【００６９】
（２）モリブデン熱間圧延体の製造工程
実施例１と同様に、インゴットを水素雰囲気中で８００−１２００℃に予備加熱したのち、４段圧延機により厚み６．５ｍｍ（圧下率８０％まで１５−３０％／パスで１０回実施）まで熱間圧延した。
【００７０】
その後、実施例１と同様に、１回の熱間圧延毎に反り直しの焼鈍処理（水素雰囲気中８００℃、６０分）と表面酸化物除去処理（５０％王水、室温、１−１５分）を行ってモリブデン熱間圧延体を得た。
【００７１】
（３）冷間圧延の準備工程
実施例１と同様に、熱間圧延体の端面を熱間鍛造プレスにより、端面から１００ｍｍ以下の領域が圧下率３０％以上となり、かつ、冷間圧延ロールが噛み込みやすいようテーパー状となるように鍛造加工を施した。熱間鍛造の予備加熱は、熱間圧延の予備加熱と同条件である。
【００７２】
（４）モリブデン冷間圧延体の製造工程
熱間圧延体を４段圧延機により厚み５ｍｍ（圧下率２５％まで２５％／パスで１回実施）まで冷間圧延することによりモリブデン冷間圧延体を得た。その後、実施例１と同様に、冷間圧延後に表面クリーニングのための焼鈍処理（水素雰囲気中８００℃、６０分）を行った。
【００７３】
（実施例３）
（１）モリブデン焼結体の製造工程
実施例１、２と同様に、原料としてフィッシャー法によるＦｓｓｓ粒径が４μｍ、純度９９．９％であるモリブデン粉末を用いた。
【００７４】
この粉末をＣＩＰ機で、成型圧力１９６ＭＰａで、縦×横×高さが４５０×６００×９８ｍｍ、成型密度５．９ｇ／ｃｍ３に成型した。
【００７５】
成型体を焼結炉を用いて、水素雰囲気中、１８００℃×１０時間で焼結し、縦×横×高さが３００×４００×６５ｍｍ（相対密度９３．８％）の焼結体（インゴット）を得た。
【００７６】
（２）モリブデン熱間圧延体の製造工程
実施例１、２と同様に、インゴットを水素雰囲気中で８００−１２００℃に予備加熱したのち、４段圧延機により厚み１２．７５ｍｍ（圧下率８０％まで１５−３０％／パスで１０回実施）まで熱間圧延した。
【００７７】
その後、実施例１、２と同様に、１回の熱間圧延毎に反り直しの焼鈍処理（水素雰囲気中８００℃、６０分）と表面酸化物除去処理（５０％王水、室温、１−１５分）を行ってモリブデン熱間圧延体を得た。
【００７８】
（３）冷間圧延の準備工程
実施例１、２と同様に、熱間圧延体の端面を熱間鍛造プレスにより、端面から１００ｍｍ以下の領域が圧下率３０％以上となり、かつ、冷間圧延ロールが噛み込みやすいようテーパー状となるように鍛造加工を施した。熱間鍛造の予備加熱は、熱間圧延の予備加熱と同条件である。
【００７９】
（４）モリブデン冷間圧延体の製造工程
熱間圧延体を４段圧延機により厚み１０ｍｍ（圧下率２５％まで２５％／パスで１回実施）まで冷間圧延することによりモリブデン冷間圧延体を得た。
【００８０】
その後、実施例１、２と同様に、冷間圧延後に表面クリーニングのための焼鈍処理（水素雰囲気中８００℃、６０分）を行った。
【００８１】
（比較例１）
（１）モリブデン焼結体の製造工程
実施例１〜３と同様に、原料としてフィッシャー法によるＦｓｓｓ粒径が４μｍ、純度９９．９％であるモリブデン粉末を用いた。
【００８２】
この粉末をＣＩＰ機で、成型圧力１９６ＭＰａ、縦×横×高さが４５０×６００×３０ｍｍ、成型密度６．２ｇ／ｃｍ３に成型した。
【００８３】
成型体を焼結炉を用いて、水素雰囲気中、１８００℃×１０時間で焼結し、縦×横×高さが３００×４００×２０ｍｍ（相対密度９４．２％）の焼結体（インゴット）を得た。
【００８４】
（２）モリブデン熱間圧延体の製造工程
実施例１〜３と同様に、インゴットを水素雰囲気中で８００−１２００℃に予備加熱したのち、実施例１と同様に４段圧延機により厚み４ｍｍ（圧下率８０％まで１５−３０％／パスで１０回実施）まで熱間圧延する。
【００８５】
その後、実施例１〜３と同様に、１回の熱間圧延毎に反り直しの焼鈍処理（水素雰囲気中８００℃、６０分）と表面酸化物除去処理（５０％王水、室温、１−１５分）を行ってモリブデン熱間圧延体を得た。
【００８６】
（３）冷間圧延の準備工程
比較例１では、実施例１〜３と異なり、圧延板に前記端部の鍛造加工を施さなかった。
【００８７】
（４）モリブデン冷間圧延体の製造工程
実施例１と同様に、熱間圧延体を４段圧延機により厚み３ｍｍ（圧下率２５％まで２５％／パスで１回実施）まで冷間圧延しようとしたが、厚みが３．８ｍｍとなったとき端部より割れが生じ、加工不能となった。
【００８８】
（比較例２）
モリブデンインゴットの製造
（１）モリブデン焼結体の製造工程
実施例１〜３及び比較例１と同様に、原料としてフィッシャー法によるＦｓｓｓ粒径が４μｍ、純度９９．９％であるモリブデン粉末を用いた。
【００８９】
この粉末をＣＩＰ機で、成型圧力１９６ＭＰａ、縦×横×高さが４５０×６００×３０ｍｍ、成型密度６．２ｇ／ｃｍ３に成型した。
【００９０】
成型体を焼結炉を用いて、水素雰囲気中、１８００℃×１０時間で焼結し、縦×横×高さが３００×４００×２０ｍｍ（相対密度９４．２％）の焼結体（インゴット）を得た。
【００９１】
（２）モリブデン熱間圧延体の製造工程
実施例１〜３及び比較例１と同様に、インゴットを水素雰囲気中で８００−１２００℃に予備加熱したのち、実施例１と同様に４段圧延機により厚み４ｍｍ（圧下率８０％まで１５−３０％／パスで１０回実施）まで熱間圧延した。
【００９２】
その後、実施例１〜３及び比較例１と同様に、１回の熱間圧延毎に反り直しの焼鈍処理（水素雰囲気中８００℃、６０分）と表面酸化物除去処理（５０％王水、室温、１−１５分）を行ってモリブデン熱間圧延体を得た。
【００９３】
（３）冷間圧延の準備工程
比較例２では、冷間圧延を行わないので、比較例１と同様に、圧延板に前記端部の鍛造加工を施さなかった。
【００９４】
（４）モリブデン研磨板の製造工程
熱間圧延で得られた圧延板を平面研削盤にて両面を研削加工し、厚さ３ｍｍのモリブデン研磨板を得た。砥石粗さは一般に使用されるＷＡ砥石＃１２０を使用した。
【００９５】
（比較例３）
（１）モリブデン焼結体の製造工程
実施例１〜３及び比較例１、２と同様に、原料としてフィッシャー法によるＦｓｓｓ粒径が４μｍ、純度９９．９％であるモリブデン粉末を用いた。
【００９６】
この粉末をＣＩＰ機で、成型圧力１９６ＭＰａで、縦×横×高さが４５０×６００×４８ｍｍ、成型密度６．１ｇ／ｃｍ３に成型した。
【００９７】
成型体を焼結炉を用いて、水素雰囲気中、１８００℃×１０時間で焼結し、縦×横×高さが３００×４００×３２ｍｍ（相対密度９４．０％）の焼結体（インゴット）を得た。
【００９８】
（２）モリブデン熱間圧延体の製造工程
実施例１〜３及び比較例１、２と同様に、インゴットを水素雰囲気中で８００−１２００℃に予備加熱したのち、実施例１と同様に４段圧延機により厚み６．５ｍｍ（圧下率８０％まで１５−３０％／パスで１０回実施）まで熱間圧延した。
【００９９】
その後、実施例１〜３及び比較例１、２と同様に、１回の熱間圧延毎に反り直しの焼鈍処理（水素雰囲気中８００℃、６０分）と表面酸化物除去処理（５０％王水、室温、１−１５分）を行ってモリブデン熱間圧延体を得た。
【０１００】
（３）冷間圧延の準備工程
比較例３では、冷間圧延を行わないので、比較例１、２と同様に、圧延板に前記端部の鍛造加工を施さなかった。
【０１０１】
（４）モリブデン研磨板の製造工程
比較例２と同様に、熱間圧延で得られた圧延板を平面研削盤にて両面を研削加工し、厚さ５ｍｍのモリブデン研磨板を得た。砥石粗さは一般に使用されるＷＡ砥石＃１２０を使用した。
【０１０２】
それぞれの圧延板より各板厚において５０×１００ｍｍのサイズの試験片を切り出し、面粗さを測定し、２２００℃で焼鈍処理（実施例１〜３、比較例２，３）を施し、反り、引張試験の最大強さ（ＭＰａ）、結晶粒径（ｍｍ）を測定した。
【０１０３】
焼鈍の温度プロファイルは、以下の通りである。
昇温速度：３℃／ｍｉｎ（室温〜２２００℃）
保持温度：時間：２２００℃×９００ｍｉｎ
降温速度：３℃／ｍｉｎ（２２００℃〜４００℃）４００℃からは炉内での自然冷却。
【０１０４】
それらの結果を表１および表２に示す。
【０１０５】
【表１】
2019099826.tif 000002
【０１０６】
【表２】
2019099826.tif 000003
【０１０７】
表１から、実施例１から３に従ったサンプルでは、２２００℃で焼鈍した後の反りが小さくなっていることが分かる。これに対して研磨で製造した比較例２および３では、２２００℃で焼鈍した後の反りが大きい。この原因に関しては必ずしも明らかではないが、研磨工程において表面に欠陥が導入され、これが焼鈍後の反りを引き起こしているものと考えられる。
【０１０８】
表２で示すように２２００℃で焼鈍前の特性は、実施例および比較例とも、大きな差異は無い。
【０１０９】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態および実施例ではなく請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。