(57)【要約】      （修正有）【課題】簡素な構造でありながら、直交する二面を形成するように研磨された試料を作業効率よく作製することを可能にする研磨治具を提供する。【解決手段】研磨治具は、試料２０を保持するための試料保持面１０Ａを有する本体部４０と、試料保持面１０Ａが露出するように、本体部４０を保持する装着台と、を備える。本体部４０および装着台の少なくともいずれか一方は、第１の状態で本体部と装着台とを着脱自在に連結する第１連結部５０と、第２の状態で本体部と装着台とを着脱自在に連結する第２連結部５２と、を含む。第１の状態における試料保持面１０Ａと、第２の状態における試料保持面１０Ａとは直交する。【選択図】図１３
2019063957.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を保持するための試料保持面を有する本体部と、
前記試料保持面が露出するように、前記本体部を保持する装着台と、を備え、
前記本体部および前記装着台の少なくともいずれか一方は、
第１の状態で前記本体部と前記装着台とを着脱自在に連結する第１連結部と、
第２の状態で前記本体部と前記装着台とを着脱自在に連結する第２連結部と、を含み、
前記第１の状態における前記試料保持面と、前記第２の状態における前記試料保持面とが直交する、研磨治具。
【請求項２】
前記本体部は、前記試料保持面を有する試料台片と、
前記試料保持面が露出するように前記試料台片を保持する試料台片保持部とを含む、請求項１に記載の研磨治具。
【請求項３】
前記試料台片は、前記試料保持面である第１の面と、前記第１の面に直交する第２の面と、前記第１の面および前記第２の面の両方に直交する第３の面とを含む直方体状の形状を有し、
前記第１の面の形状と、前記第２の面および前記第３の面の形状とが異なる、請求項２に記載の研磨治具。
【請求項４】
前記試料台片保持部は、前記第２の面又は前記第３の面を押圧することにより前記試料台片を固定する押さえ部を有する、請求項３に記載の研磨治具。
【請求項５】
前記試料台片保持部には、前記試料台片の大きさおよび形状に対応し、前記試料台片を収容可能な大きさおよび形状の収容部が形成されている、請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載の研磨治具。
【請求項６】
前記第１連結部は、
前記本体部に配置され、前記試料保持面に直交する第１の軸に沿って延びる第１雄ネジ部と、
前記装着台に配置された雌ネジ部と、を含み、
前記第２連結部は、
前記本体部に配置され、前記第１の軸に直交する第２の軸に沿って延びる第２雄ネジ部と、
前記雌ネジ部と、
を含む、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の研磨治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被検物に含まれる構造上の異常や異物などの検出を目的として被検物の内部構造の観察が行われている。例えば被検物の断面を観察可能な状態に切り出し、走査電子顕微鏡を用いてその断面を観察することにより被験物の内部構造を評価することが可能である。断面観察では、例えば切断した被検物を樹脂に埋め込み、矩形板状にバンドソーなどで切り出した後、断面を研磨・エッチングすることで断面観察用の試料を作製する。エッチングには、例えばイオンビームを照射してエッチングするイオンミリング装置（例えば、クロスセクションポリッシャー（ＣＰ）装置や集束イオンビーム（ＦＩＢ）装置）が用いられている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
イオンミリング装置を用いて試料断面をエッチングして断面観察箇所を露出させる場合、その前処理として、試料の観察箇所近傍まで機械研磨することが行われている。機械研磨においては、試料を保持する研磨治具が用いられる場合がある（例えば特許文献２参照）。機械研磨では、例えば研磨治具と研磨定盤とを用い、研磨治具に試料を取り付けた状態で、所望の面を研磨定盤の研磨面に押し当てて研磨する。イオンミリング装置で試料断面をエッチングする場合、その加工深さが数百μｍ〜１ｍｍ程度である。そのため、前処理としてのこの研磨は、観察対象領域の近傍を露出させるためだけでなく、イオンミリングによるエッチング可能な程度にまで試料を薄くするためにも行われる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２５１３８５号公報
【特許文献２】特開２０１３−２３３６４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
試料の断面を観察する際の課題の一つが作業効率の向上である。従来の方法においては、例えばワックスなどの接着剤を介して試料を試料台片に固定し、研磨を実施して試料を充分に薄くした後、試料を一旦試料台片から脱離させ、向きを変えて再固定し、研磨を再度実施して観察対象面の近傍を露出させることが行われていた。しかしながら厚みの薄い試料を手作業で脱着させるには細かい作業が必要である。そのため１つの試料を観察するために多大な手間と時間を要するという問題がある。
【０００６】
また試料をイオンミリング装置で観察対象面をエッチングする場合、遮蔽板で覆われる面と、エッチングされる観察対象面とが直交することが望ましい。そのため、イオンミリング装置によるエッチングに先立って行われる機械研磨において、観察対象面と、その観察対象面に交差する面とが互いに直交するように研磨された試料を作製することが望ましい。そのような研磨を行うための治具として、試料を試料台から脱離させることなく直交する二方向からの研磨を実施する治具が特許文献２に記載されている。しかしながら特許文献２に記載されている治具は機構が複雑で治具自体の作製やメンテナンスが難しいことから、より簡易な構造の研磨治具が求められている。
【０００７】
そこで簡素な構造でありながら、直交する二面を形成するように研磨された試料を作業効率よく作製することを可能にする研磨治具を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願の研磨治具は、試料を保持するための試料保持面を有する本体部と、試料保持面が露出するように、本体部を保持する装着台と、を備える。本体部および装着台の少なくともいずれか一方は、第１の状態で本体部と装着台とを着脱自在に連結する第１連結部と、第２の状態で本体部と装着台とを着脱自在に連結する第２連結部と、を含む。第１の状態における試料保持面と、第２の状態における試料保持面とは直交する。
【発明の効果】
【０００９】
上記研磨治具によれば、簡素な構造でありながら、直交する二面を形成するように研磨された試料を作業効率よく作製することを可能にする研磨治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】装着台の概略斜視図である。
【図２】試料台片の概略斜視図である。
【図３】試料台片保持部の正面図である。
【図４】試料台片保持部の背面図である。
【図５】試料台片保持部の平面図である。
【図６】試料台片保持部の底面図である。
【図７】試料台片保持部の右側面図である。
【図８】試料台片保持部の左側面図である。
【図９】断面観察用の試料の一例を示す概略斜視図である。
【図１０】試料台片に試料を固定した状態を示す概略斜視図である。
【図１１】試料台片を試料台片保持部に装着する状態を示す説明図である。
【図１２】本体部に試料を固定した状態の正面図である。
【図１３】本体部に試料を固定した状態の側面図である。
【図１４】研磨治具の使用状態を示す説明図である。
【図１５】研磨治具を用いて試料の断面を研磨する状態を示す説明図である。
【図１６】研磨治具を用いて試料の断面を研磨する状態を示す説明図である。
【図１７】研磨後の試料と試料台片の状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
［本願発明の実施形態の説明］
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。本願の研磨治具は、試料を保持するための試料保持面を有する本体部と、試料保持面が露出するように、本体部を保持する装着台と、を備える。本体部および装着台の少なくともいずれか一方は、第１の状態で本体部と装着台とを着脱自在に連結する第１連結部と、第２の状態で本体部と装着台とを着脱自在に連結する第２連結部と、を含む。第１の状態における試料保持面と、第２の状態における試料保持面とは直交する。
【００１２】
本願の研磨治具によれば、本体部に試料を固定した状態で試料を本体部から外すことなく試料の向きを変更することができる。具体的には、試料を本体部に固定した後は、第１連結部と第２連結部との間で連結部を切り替えることにより、試料の向きを変更することができる。また第１連結部によって本体部と装着台とを連結する第１の状態における試料保持面と、第２連結部によって本体部と装着台とを連結する第２の状態の試料保持面とは直交する。このようにすることで、試料保持面に固定された試料の研磨面を直交する２面の間で自在に切り替えることが可能である。これにより、直交する二面を形成するように研磨された試料を作業効率よく作製することを可能にする。
【００１３】
本体部は、試料保持面を有する試料台片と、試料保持面が露出するように試料台片を保持する試料台片保持部とを含むようにしてもよい。この場合、試料台片に試料を固定した状態で試料台片保持部から試料台片を取り外すことができる。そのため、研磨後の試料を試料台片に保持したまま、試料台片ごと試料をイオンミリング装置に装着することができる。そのため作業効率がより向上する。
【００１４】
上記試料台片としては、試料保持面である第１の面と、第１の面に直交する第２の面と、第１の面および第２の面の両方に直交する第３の面とを含む直方体状の形状を有し、第１の面の形状と、第２の面および第３の面の形状とが異なる試料台片を用いてもよい。このような形状の試料台片を用いることで、試料保持面である第１の面が一見して把握しやすく、作業効率の向上に寄与することができる。
【００１５】
試料台片保持部は、上記第２の面又は第３の面を押圧することにより試料台片を固定する押さえ部を有していてもよい。このようにすることで、試料台片を試料台片保持部に対してより確実に固定し、研磨時における試料のブレをより確実に抑制することができる。
【００１６】
試料台片保持部には、試料台片の大きさおよび形状に対応し、試料台片を収容可能な大きさおよび形状の収容部が形成されていてもよい。試料台片保持部がこのような形状の収容部を有することで、試料台片をより確実に保持することができる。
【００１７】
上記第１連結部は、本体部に配置され、試料保持面に直交する第１の軸に沿って延びる第１雄ネジ部と、装着台に配置された雌ネジ部とを含むようにしてもよい。また第２連結部は、本体部に配置され、第１の軸に直交する第２の軸に沿って延びる第２雄ネジ部と、上記雌ネジ部とを含むようにしてもよい。このような構造を有する場合、連結部の切り替えが容易である。また装着部に対し本体部をより確実に固定することができる。
【００１８】
［本願発明の実施形態の詳細］
次に、本願の研磨治具の実施の形態を、図１〜図１７を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
【００１９】
［研磨治具の構造］
本実施の形態に係る研磨治具は、試料を保持するための試料保持面を有する本体部と、本体部を保持する装着台とを備える。本体部はさらに、試料保持面を有する試料台片と、試料保持面が露出するように試料台片を収容し保持する試料台片保持部とに分割することが可能である。以下にその詳細を説明する。
【００２０】
まず装着台の構造について説明する。図１は装着台の概略斜視図である。図１を参照して、装着台７０は試料台片保持部を保持するための保持面７４を有する円盤状の載置部７６と、載置部７６を支持する円筒状の胴体部７８とを有する。載置部７６の中心軸を中心として、雌ネジ部７２が形成されている。雌ネジ部７２は、第１連結部および第２連結部のそれぞれの一部を構成する。雌ネジ部７２は、後述する第１雄ネジ部５０（図３等参照）および第２雄ネジ部５２（図５等参照）をそれぞれねじ込み可能なように形成されている。
【００２１】
次に試料台片の構造について説明する。図２は試料台片の概略斜視図である。図２を参照して、試料台片１０は直方体状の形状を有し、面１０Ａ、面１０Ｂ、面１０Ｃ、面１０Ｄ、面１０Ｅおよび面１０Ｅの６つの面を有する。このうち、面１０Ａは第１の面である試料保持面に相当する。面１０Ｂは第２の面に相当する。第２の面である面１０Ｂは、第１の面である面１０Ａと垂直に交差する。面１０Ｃは第３の面に相当する。面１０Ｄは面１０Ｃに平行な面である。面１０Ｃおよび面１０Ｄは、それぞれ第１の面である面１０Ａおよび第２の面である面１０Ｂと交差する。面１０Ｅは面１０Ａと平行な面である。面１０Ｅは、面１０Ｂ、面１０Ｃ、面１０Ｄおよび面１０Ｆと互いに垂直に交差する。面１０Ｆは面１０Ｂと平行な面である。面１０Ｆは面１０Ａ、面１０Ｃ、面１０Ｄおよび面１０Ｅと互いに垂直に交差する。
【００２２】
試料保持面（第１の面）である面１０Ａの形状および面積と、第２の面である面１０Ｂの形状および面積、および第３の面である面１０Ｃの形状および面積とは異なる。これにより、試料保持面が外見から又は触覚にて区別できるようになっている。試料は、接着性のワックスなどを介して試料保持面である面１０Ａに貼り付けられる。
【００２３】
最後に試料台片保持部３０の構造について説明する。図３〜図８に試料台片保持部３０の六面図を示す。図３〜図８を参照して、試料台片保持部３０は、ベース部３２と、押さえ部３４とを含む。試料台片保持部３０には、試料台片１０を収容するための空間として収容部３６が形成されている。収容部３６は、ベース部３２の面３６Ａ、面３６Ｂ、および面３６Ｃと、押さえ部３４の面３４Ａとにより仕切られた空間である。収容部３６の大きさおよび形状は試料台片１０の大きさおよび形状に対応し、試料台片１０を収容可能な大きさおよび形状を有する。すなわち、収容部３６は、直方体状である試料台片１０に対応した凹部であり、試料台片１０を収容可能な空間である。
【００２４】
押さえ部３４は、試料台片１０が収容された状態において、試料台片１０の第３の面である面１０Ｃと接触し、面３４Ａが面１０Ｃを押圧することにより、試料台片１０を面３２Ａと面３４Ａとの間で挟持して試料台片１０を固定する。
【００２５】
図３〜図８を参照して、ベース部３２には、取付用ビス３５が挿通される挿通孔３３が設けられている。挿通孔３３には雌ネジが形成されている。また押さえ部３４には一端面から他端面に向かって延びるＴ字型の溝３７が形成されている。他端面は閉鎖されている。取付用ビス３５の先端部には大径部３５ａが設けられている。取付用ビス３５は、軸部３５ｂの外周面に雄ネジが形成されている。押さえ部３４のＴ字型の溝３７の幅広部に取付用ビス３５の先端部の大径部３５ａをはめ込んだ後、収容部３６の側から取付用ビス３５を挿通孔３３に進退可能にねじ込むことで押さえ部３４をベース部３２に取り付けることができる。取付用ビス３５の後端部３５ｃには、レンチ穴が形成されている（図７参照）。後端部３５ｃを回転することで、押さえ部３４を収容部３６側または収容部３６とは反対側に移動させ、試料台片１０を試料台片保持部３０に対して保持又は開放することができる。
【００２６】
図３〜図８とともに図１２および図１３を参照して、試料台片１０が収容部３６に収容され、試料台片保持部３０が試料台片１０を保持する状態において、面３６Ａは試料保持面１０Ａに平行となるように形成されている。また面３６Ｂは、試料保持面１０Ａに垂直な第２の面１０Ｂに平行となるように形成されている。試料台片１０が収容部３６に収容された状態において、試料台片１０の第１の面１０Ａと、試料台片保持部３０のベース部３２の面３２Ａとが同一平面上に並ぶ（いわゆる面一の状態）ように試料台片保持部３０が形成されている。同様に、試料台片１０が収容部３６に収容された状態においては、試料台片１０の第２面の１０Ｂと、試料台片保持部３０のベース部３２の面３２Ｂとが同一平面上に並ぶ（面一の状態）ように試料台片保持部３０が形成されている。収容部３６の、面３６Ａ側の２つの角には、試料台片１０の角部を収容し易いように円弧状の切り欠き部３８が形成されている。
【００２７】
図３〜図８とともに図１２および図１３を参照して、試料台片保持部３０は、装着台７０に着脱自在に結合する第１連結部の一部を構成する第１雄ネジ部５０と、第２連結部の一部を構成する第２雄ネジ部５２とを有する。第１雄ネジ部５０は、試料台片保持部３０が試料台片１０に保持された状態において、試料保持面１０Ａに直交する第１の軸Ｙに沿って延びるように形成されている。また、第２雄ネジ部５２は、第１の軸Ｙに直交する第２の軸Ｘに沿って延びるように形成されている。
【００２８】
第１雄ネジ部５０は、試料台片１０の試料保持面１０Ａが装着台７０の保持面７４に平行になるように、装着台７０の雌ネジ部７２に着脱自在にねじ込むことができる。これにより、本体部４０（試料台片１０および試料台片保持部３０が結合したもの）と装着台７０とが第１の状態で連結される。また第２雄ネジ部５２は、試料保持面１０Ａが装着台７０の保持面７４に対して垂直になるように、装着台７０の雌ネジ部７２に着脱自在にねじ込むことができる。これにより、本体部４０と装着台７０とが第２の状態で連結される。第１の状態における試料保持面１０Ａと、第２の状態における試料保持面１０Ａとは直交する。
【００２９】
［研磨治具を用いた断面観察用試料の作製］
次に、本実施の形態に係る研磨治具を用いて、実際に断面観察用試料を作製する手順について説明する。
【００３０】
図９を参照して、まず、被検物２４を非常に薄い切片として切り出す。但しこのままでは取扱いが難しいことから、切り出した後、被検物２４の状態の維持および補強のために、被検物２４を樹脂層２６に埋め込み、所定の大きさに成形または切断する。これにより未研磨の状態の試料２０を作製する。樹脂層２６を構成する樹脂としては、例えばエポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂等が用いられる。なお実際に観察されるのは、被検物２４の長手方向に垂直な断面２４Ａである。
【００３１】
次に上述のようにして作製した試料２０を試料台片１０の上に載置して固定する。図１０を参照して、試料台片１０の面１０Ａ（第１の面）に試料接着用のワックスを塗布する。上述のように作製した試料２０の、研磨面とは逆の平面がワックスと接触するように試料２０を面１０Ａ（試料保持面）上に貼り付けて固定する。このとき、試料台片１０の面１０Ｂに対して試料２０の一部が突出するように試料２０を面１０Ａに貼り付ける。突出部はイオンミリング装置でエッチングされる部分となる。
【００３２】
次に試料２０を面１０Ａ上に固定した状態の試料台片１０を試料台片保持部３０の収容部３６に収容する。図１１は試料台片１０を試料台片保持部３０に収容する状態を示す説明図である。図１２は本体部４０に試料を固定した状態の正面図である。図１３は本体部に試料を固定した状態の側面図（右側面図）である。図１１〜図１３を参照して、作業者は、試料台片１０の試料保持面である面１０Ａの向きを確認しながら、試料台片１０の面１０Ｃと、押さえ部３４の面３４Ａとが対向するように収容部３６に試料台片１０をはめ込む。正常な向きに試料台片１０がはめ込まれた場合、試料台片１０の面１０Ａは、図１２に示すように試料台片保持部３０のベース部３２の面３２Ａと同一平面上に並ぶことから、作業者にとって試料台片１０の設置方向が正しいか否かが一見して把握しやすい。これは、試料台片１０の第１の面である面１０Ａの形状及び面積と、第２の面である面１０Ｂおよび第３の面である面１０Ｃの形状及び面積とが異なっていることによる。
【００３３】
正常な向きに収容部３６に試料台片１０が収容された状態で、取付用ビス３５の後端部３５ｃを回転させて押さえ部３４を収容部３６側に進出させることで、押さえ部３４の面３４Ａを、試料台片１０の面１０Ｃに対して押圧する。このようにして押さえ部３４の面３４Ａと、試料台片保持部３０のベース部３２の面３６Ｃとの間で試料台片１０を挟持し、試料台片保持部３０に対して試料台片１０を固定する。図１３を参照して、試料台片１０が固定された状態においては、試料台片保持部３０のベース部３２の面３２Ｂに対して試料２０の断面２０Ｂが突出している。
【００３４】
次に、本体部４０を装着台７０に装着する。図１４は研磨治具の使用状態を示す説明図である。図１４の右側の図を参照して、本体部４０の第１雄ネジ部５０を装着台７０の雌ネジ部７２にねじ込むことにより、試料台片保持部３０が装着台７０の保持面７４に固定された状態で保持される。第１連結部である第１雄ネジ部５０において本体部４０が装着台７０に対して固定された状態（第１の状態）においては、試料台片１０の、試料保持面である面１０Ａが装着台７０の保持面７４に平行となる。このようにして本実施の形態の研磨治具１００が組み立てられる。
【００３５】
このようにして組み立てられた本実施の形態の研磨治具１００を、研磨機の部品の一部である研磨用アダプタ８０内に配置する。図１４を参照して、研磨用アダプタ８０は、筒状の壁部８３と、研磨用アダプタ８０を支持するためのフランジ８２とを有する。壁部８３に取り囲まれる空間が挿通孔８１である。装着台７０の胴体部７８の外径は、研磨用アダプタ８０の挿通孔８１内に装着台７０が収容可能なように、筒状の壁部８３の内径よりもわずかに小さくなるように設計されている。
【００３６】
次に図１５〜図１７を参照して、本実施の形態の研磨治具１００を用いて試料２０を研磨する状態を説明する。図１５および図１６を参照して、試料台片保持部３０がフランジ８２側となるように、研磨用アダプタ８０の挿通孔８１に研磨治具１００を挿入する。第１雄ネジ部５０において本体部４０が装着台７０に対して固定された状態（第１の状態）で研磨治具１００を研磨用アダプタ８０に挿入し、研磨定盤９０の上に置くと、図１５に示すように、研磨定盤９０の研磨面９１が試料２０の表面２０Ａと対向する。研磨定盤９０を作動させて、試料２０の表面２０Ａを、イオンミリングによるエッチングが可能な程度の厚さにまで研磨する。
【００３７】
次に、一旦研磨治具１００を研磨用アダプタ８０の挿通孔８１から取り出す。さらに、試料台片保持部３０の第１雄ネジ部５０を装着台７０の雌ネジ部７２から取り外し、代わりに第２雄ネジ部５２をねじ込む。第２連結部である第２雄ネジ部５２において本体部４０が装着台７０に対して固定された状態（第２の状態）においては、試料台片１０の、試料保持面である面１０Ａが装着台７０の保持面７４に垂直となる。その状態で再度研磨治具１００を研磨用アダプタ８０の挿通孔８１に、試料台片保持部３０がフランジ８２側となるように挿入する。この状態で研磨定盤９０の上に置くと、図１６に示すように、研磨定盤９０の研磨面９１が試料２０の断面２０Ｂと対向する。このように、第１の状態における試料保持面１０Ａと第１の状態における試料保持面１０Ａとが直交する。それとともに研磨される面も表面２０Ａから、表面２０Ａに直交する断面２０Ｂへと切り替わる。そのため、研磨後において表面２０Ａと断面２０Ｂが直交する。
【００３８】
このようにして、試料２０の表面２０Ａと断面２０Ｂとをそれぞれ研磨する。上記研磨治具１００を用いることにより、表面２０Ａと断面２０Ｂとは互いに垂直に交差する研磨後の試料２０が得られる。
【００３９】
研磨終了後、試料台片保持部３０の押さえ部３４を開放し、試料２０を面１０Ａ上に保持したまま試料台片１０を取り外す。この状態でイオンミリング装置（図示しない）の保持部に試料台片１０を装着し、イオンミリング装置でイオンミリングを行うことにより、試料２０の断面２０Ｂを、被検物２４の断面２４Ａの観察が可能な状態にエッチングする。エッチング後の被検物２４の断面２４Ａを走査電子顕微鏡で観察する。
【００４０】
以上が本実施の形態に係る研磨治具１００を用いて断面観察用の試料２０を作製する一連の手順である。このように、研磨治具１００は簡素な構造でありながら、これを用いることで直交する二面を形成するように研磨された試料２０を作業効率よく作製することができる。
【００４１】
なお上記実施形態においては試料の表面２０Ａを研磨した後に断面２０Ｂを研磨した例を説明したが、先に断面２０Ｂを研磨した後に、表面２０Ａを研磨することもできる。
【００４２】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本願の研磨治具は、試料の断面観察が必要とされる分野において特に有利に適用され得る。
【符号の説明】
【００４４】
１０  試料台片
１０Ａ  試料保持面
１０Ｂ  面
１０Ｃ  面
１０Ｄ  面
１０Ｅ  面
１０Ｆ  面
２０  試料
２０Ａ  表面
２０Ｂ  断面
２４  被検物
２４Ａ  断面
２６  樹脂層
３０  試料台片保持部
３２  ベース部
３２Ａ  面
３２Ｂ  面
３３  挿通孔
３４  押さえ部
３４Ａ  面
３５  取付用ビス
３５ａ  大径部
３５ｂ  軸部
３５ｃ  後端部
３６  収容部
３６Ａ  面
３６Ｂ  面
３６Ｃ  面
３７  溝
３８  切り欠き部
４０  本体部
５０  第１雄ネジ部
５２  第２雄ネジ部
７０  装着台
７２  雌ネジ部
７４  保持面
７６  載置部
７８  胴体部
８０  研磨用アダプタ
８１  挿通孔
８２  フランジ
８３  壁部
９０  研磨定盤
９１  研磨面
１００  研磨治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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