(57)【要約】【課題】搬送対象物の下面を真空吸着する吸着機構を備える産業用ロボットのハンドにおいて、比較的剛性の低い搬送対象物が吸着機構で吸着されたときの搬送対象物の変形を抑制することが可能であって、かつ、比較的剛性の高い搬送対象物を吸着機構で確実に吸着することが可能な産業用ロボットのハンドを提供する。【解決手段】このハンドは、フォーク１８、１９と、フォーク１８、１９の上面側に載置される搬送対象物２の下面を真空吸着する吸着機構２２とを備えている。吸着機構２２は、搬送対象物２の下面に接触して搬送対象物２を吸着する吸着板４０と、吸着板４０が上端側に固定されるとともに上下方向に貫通する吸引穴４１ｄが形成される固定部材４１と、フォーク１８、１９に対して傾動可能となるように固定部材４１を支持するフローティング機構４２とを備えている。吸着板４０は、多孔質の樹脂で形成されている。【選択図】図６
2019010692.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、
上面側に前記搬送対象物が載置される複数のフォークと、前記フォークの上面側に載置される前記搬送対象物の下面を真空吸着する吸着機構とを備え、
前記吸着機構は、前記搬送対象物の下面に接触して前記搬送対象物を吸着する吸着板と、前記吸着板が上端側に固定されるとともに上下方向に貫通する吸引穴が形成される固定部材と、前記フォークに対して傾動可能となるように前記固定部材を支持するフローティング機構とを備え、
前記吸着板は、多孔質の樹脂で形成されていることを特徴とするハンド。
【請求項２】
搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、
上面側に前記搬送対象物が載置される複数のフォークと、前記フォークの上面側に載置される前記搬送対象物の下面を真空吸着する吸着機構とを備え、
前記吸着機構は、前記搬送対象物の下面に接触して前記搬送対象物を吸着する吸着板と、前記吸着板が上端側に固定されるとともに上下方向に貫通する吸引穴が形成される固定部材と、前記フォークに対して傾動可能となるように前記固定部材を支持するフローティング機構とを備え、
前記吸着板には、シャワーヘッドの複数のシャワー穴のように配置される複数の第２の吸引穴が形成されていることを特徴とするハンド。
【請求項３】
前記フローティング機構は、前記フォークに固定されるとともに前記固定部材を傾動可能に保持する保持部材と、前記保持部材に対して前記固定部材を上側に向かって付勢する付勢部材と、前記固定部材と前記保持部材とを繋ぐ環状のゴム板とを備え、
前記ゴム板の外周側部分は、前記ゴム板の周方向の全域に亘って前記保持部材に固定され、
前記ゴム板の内周側部分は、前記ゴム板の周方向の全域に亘って前記固定部材に固定され、
前記固定部材と前記保持部材と前記ゴム板とに囲まれた部分は、前記吸引穴が繋がる密閉空間となっており、
前記保持部材には、前記密閉空間に繋がる第３の吸引穴が形成され、
前記第３の吸引穴に接続される吸引機構によって空気が吸引されて前記吸着板に前記搬送対象物が吸着されると、前記密閉空間が負圧になり、前記付勢部材の付勢力に抗して前記吸着板および前記固定部材が下側へ移動することを特徴とする請求項１または２記載のハンド。
【請求項４】
前記付勢部材は、圧縮コイルバネであり、
前記圧縮コイルバネの上端側部分は、前記吸引穴の中に配置されていることを特徴とする請求項３記載のハンド。
【請求項５】
前記保持部材は、前記ゴム板の外周側部分を上下方向で挟むように配置される第１保持部材および第２保持部材を備え、
前記第１保持部材は、前記フォークの上面側に配置され、
前記第２保持部材は、中空状に形成される前記フォークの内部に配置され、
前記第３の吸引穴は、前記第２保持部材に形成されていることを特徴とする請求項３または４記載のハンド。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えることを特徴とする産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドに関する。また、本発明は、このハンドを備える産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットのハンドは、直線状に形成される２本のフォークを備えている。フォークの先端側には、フォークに載置されるガラス基板を真空吸着する複数の吸着パッドが取り付けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−１９０６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本願発明者は、たとえば、フィルム状に形成される有機ＥＬディスプレイの製造システムで使用可能な産業用ロボットのハンドの構造を検討している。フィルム状の有機ＥＬディスプレイの製造システムの中には、たとえば、フィルム状に形成された製造途中の有機ＥＬディスプレイが単体で搬送される製造システムもあれば、フィルム状に形成された製造途中の有機ＥＬディスプレイがガラス基板に貼り付けられた状態で搬送される製造システムもある。
【０００５】
特許文献１に記載の産業用ロボットのハンドによって、製造途中のフィルム状の有機ＥＬディスプレイを単体で搬送する場合、搬送対象物である製造途中の有機ＥＬディスプレイの剛性が低いため、製造途中の有機ＥＬディスプレイの、吸着パッドに吸着された部分が大きく変形して損傷するおそれがある。また、特許文献１に記載の産業用ロボットのハンドによって、製造途中のフィルム状の有機ＥＬディスプレイをガラス基板に貼り付けた状態で搬送する場合、搬送対象物である製造途中の有機ＥＬディスプレイの剛性が高いため、たとえば、製造途中の有機ＥＬディスプレイが撓んでいると、この有機ＥＬディスプレイに吸着パッドが接触しなくなって、この有機ＥＬディスプレイを吸着パッドで吸着できないおそれがある。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、搬送対象物の下面を真空吸着する吸着機構を備える産業用ロボットのハンドにおいて、比較的剛性の低い搬送対象物が吸着機構で吸着されたときの搬送対象物の変形を抑制することが可能であって、かつ、比較的剛性の高い搬送対象物を吸着機構で確実に吸着することが可能な産業用ロボットのハンドを提供することにある。また、本発明の課題は、このハンドを備える産業用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットのハンドは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、上面側に搬送対象物が載置される複数のフォークと、フォークの上面側に載置される搬送対象物の下面を真空吸着する吸着機構とを備え、吸着機構は、搬送対象物の下面に接触して搬送対象物を吸着する吸着板と、吸着板が上端側に固定されるとともに上下方向に貫通する吸引穴が形成される固定部材と、フォークに対して傾動可能となるように固定部材を支持するフローティング機構とを備え、吸着板は、多孔質の樹脂で形成されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の産業用ロボットのハンドでは、搬送対象物の下面に接触して搬送対象物を吸着する吸着板は、多孔質の樹脂で形成されている。そのため、本発明では、搬送対象物を吸着する穴（すなわち、気孔）の大きさが小さい。したがって、本発明では、比較的剛性の低い搬送対象物が吸着機構で吸着されたときの搬送対象物の変形を抑制することが可能になる。また、本発明では、吸着板が固定される固定部材は、フォークに対して傾動可能となるようにフローティング機構に支持されているため、比較的剛性の高い搬送対象物が撓んでいても、この搬送対象物の撓みに応じて吸着板を傾けて搬送対象物に吸着板を確実に接触させることが可能になる。したがって、本発明では、比較的剛性の高い搬送対象物を吸着機構で確実に吸着することが可能になる。
【０００９】
また、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットのハンドは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、上面側に搬送対象物が載置される複数のフォークと、フォークの上面側に載置される搬送対象物の下面を真空吸着する吸着機構とを備え、吸着機構は、搬送対象物の下面に接触して搬送対象物を吸着する吸着板と、吸着板が上端側に固定されるとともに上下方向に貫通する吸引穴が形成される固定部材と、フォークに対して傾動可能となるように固定部材を支持するフローティング機構とを備え、吸着板には、シャワーヘッドの複数のシャワー穴のように配置される複数の第２の吸引穴が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明の産業用ロボットのハンドでは、搬送対象物の下面に接触して搬送対象物を吸着する吸着板に、シャワーヘッドの複数のシャワー穴のように配置される複数の第２の吸引穴が形成されている。そのため、本発明では、搬送対象物を吸着する１個の第２の吸引穴の大きさを小さくすることが可能になる。したがって、本発明では、比較的剛性の低い搬送対象物が吸着機構で吸着されたときの搬送対象物の変形を抑制することが可能になる。また、本発明では、吸着板が固定される固定部材は、フォークに対して傾動可能となるようにフローティング機構に支持されているため、比較的剛性の高い搬送対象物が撓んでいても、この搬送対象物の撓みに応じて吸着板を傾けて搬送対象物に吸着板を確実に接触させることが可能になる。したがって、本発明では、比較的剛性の高い搬送対象物を吸着機構で確実に吸着することが可能になる。
【００１１】
本発明において、フローティング機構は、フォークに固定されるとともに固定部材を傾動可能に保持する保持部材と、保持部材に対して固定部材を上側に向かって付勢する付勢部材と、固定部材と保持部材とを繋ぐ環状のゴム板とを備え、ゴム板の外周側部分は、ゴム板の周方向の全域に亘って保持部材に固定され、ゴム板の内周側部分は、ゴム板の周方向の全域に亘って固定部材に固定され、固定部材と保持部材とゴム板とに囲まれた部分は、吸引穴が繋がる密閉空間となっており、保持部材には、密閉空間に繋がる第３の吸引穴が形成され、第３の吸引穴に接続される吸引機構によって空気が吸引されて吸着板に搬送対象物が吸着されると、密閉空間が負圧になり、付勢部材の付勢力に抗して吸着板および固定部材が下側へ移動することが好ましい。このように構成すると、吸着板が搬送対象物を吸着して吸着板および固定部材が下側へ移動すると、吸着板および固定部材がフォークに対してふらつきにくくなる。したがって、搬送対象物の搬送時に、ハンドに搭載された搬送対象物の状態を安定させることが可能になる。
【００１２】
本発明において、付勢部材は、圧縮コイルバネであり、圧縮コイルバネの上端側部分は、吸引穴の中に配置されていることが好ましい。このように構成すると、吸引穴の外側に付勢部材が配置されている場合と比較して、吸着機構を小型化することが可能になる。
【００１３】
本発明において、たとえば、保持部材は、ゴム板の外周側部分を上下方向で挟むように配置される第１保持部材および第２保持部材を備え、第１保持部材は、フォークの上面側に配置され、第２保持部材は、中空状に形成されるフォークの内部に配置され、第３の吸引穴は、第２保持部材に形成されている。
【００１４】
本発明のハンドは、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備える産業用ロボットに用いることができる。この産業用ロボットでは、比較的剛性の低い搬送対象物が吸着機構で吸着されたときの搬送対象物の変形を抑制することが可能になるとともに、比較的剛性の高い搬送対象物を吸着機構で確実に吸着することが可能になる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明では、比較的剛性の低い搬送対象物が吸着機構で吸着されたときの搬送対象物の変形を抑制することが可能になるとともに、比較的剛性の高い搬送対象物を吸着機構で確実に吸着することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。
【図２】図１に示す産業用ロボットの側面図である。
【図３】図１に示すハンドの平面図である。
【図４】図３に示すハンドの基部の内部の構造を説明するための平面図である。
【図５】図３に示すフォークの動作を説明するための平面図である。
【図６】図３に示す吸着機構およびフォークの断面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態にかかる吸着板の構成を説明するための断面図である。
【図８】図７に示す吸着板の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。
【００１９】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、所定の搬送対象物２を搬送するための水平多関節型のロボットである。このロボット１は、たとえば、有機ＥＬディスプレイの製造システムに組み込まれて使用される。本形態の搬送対象物２は、たとえば、フィルム状に形成された製造途中の有機ＥＬディスプレイであり、有機ＥＬディスプレイの製造システムでは、この有機ＥＬディスプレイが単体で搬送されたり、ガラス基板に貼り付けられた状態で搬送されたりする。また、搬送対象物２は、長方形の平板状に形成されている。本形態のロボット１は、大きさの異なる複数種類の搬送対象物２を搬送することが可能になっている（図３参照）。
【００２０】
ロボット１は、搬送対象物２が搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３のそれぞれが先端側に連結される２本のアーム４と、２本のアーム４を支持する本体部５と、本体部５を水平方向に移動可能に支持するベース６とを備えている。本体部５は、アーム４の基端側を支持するとともに上下動可能なアームサポート７と、アームサポート７を上下動可能に支持する支持フレーム８と、本体部５の下端部分を構成するとともにベース６に対して水平移動可能な基台９と、支持フレーム８の下端が固定されるとともに基台９に対して回動可能な旋回フレーム１０とを備えている。
【００２１】
アーム４は、第１アーム部１２と第２アーム部１３との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１２の基端側は、アームサポート７に回動可能に連結されている。すなわち、アーム４の基端側は、本体部５に回動可能に連結されている。第１アーム部１２の先端側には、第２アーム部１３の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１３の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。すなわち、アーム４の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。ロボット１は、２本のアーム４のそれぞれを伸縮させる２個のアーム駆動機構を備えている。
【００２２】
支持フレーム８は、アームサポート７を介してハンド３およびアーム４を昇降可能に保持している。この支持フレーム８は、アームサポート７を昇降可能に保持する柱状の第１支持フレーム１４と、第１支持フレーム１４を昇降可能に保持する柱状の第２支持フレーム１５とを備えている。ロボット１は、第１支持フレーム１４に対してアームサポート７を昇降させる昇降機構と、第２支持フレーム１５に対して第１支持フレーム１４を昇降させる昇降機構と、第１支持フレーム１４を上下方向に案内するガイド機構と、アームサポート７を上下方向へ案内するガイド機構とを備えている。
【００２３】
第２支持フレーム１５の下端は、旋回フレーム１０に固定されている。旋回フレーム１０は、上述のように、基台９に対して回動可能となっている。ロボット１は、基台９に対して旋回フレーム１０を回動させる回動機構を備えている。基台９は、上述のように、ベース６に対して水平移動可能となっている。ロボット１は、ベース６に対して基台９を水平移動させる水平移動機構を備えている。
【００２４】
（ハンドの構成）
図３は、図１に示すハンド３の平面図である。図４は、図３に示すハンド３の基部１７の内部の構造を説明するための平面図である。図５は、図３に示すフォーク１８、１９の動作を説明するための平面図である。
【００２５】
ハンド３は、第２アーム部１３の先端側に回動可能に連結される基部１７と、上面側に搬送対象物２が載置される複数のフォーク１８、１９とを備えている。本形態のハンド３は、２本のフォーク１８と２本のフォーク１９との合計４本のフォーク１８、１９を備えている。また、ハンド３は、フォーク１８、１９の上面側に固定されるとともに搬送対象物２が載置される複数の載置部材２１と、載置部材２１に載置される搬送対象物２（すなわち、フォーク１８、１９の上面側に載置される搬送対象物２）の下面を真空吸着する複数の吸着機構２２とを備えている。
【００２６】
基部１７は、中空状に形成されるとともに上下方向の厚さが薄い扁平な略直方体状に形成されている。フォーク１８、１９は、直線状に形成されている。４本のフォーク１８、１９は、基部１７から水平方向の同方向へ突出している。また、４本のフォーク１８、１９は、互いに平行に配置されている。フォーク１８、１９の長手方向（図３等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図３等のＹ方向を「左右方向」とすると、２本のフォーク１８は、左右方向の内側に配置され、２本のフォーク１９は、左右方向の外側に配置されている。
【００２７】
フォーク１８、１９は、炭素繊維を含有する樹脂で形成されている。また、フォーク１８、１９は、中空状に形成されるとともに細長い略直方体状に形成されている。フォーク１８、１９の上下の両面は、平面となっている。また、フォーク１８、１９の左右の両側面は、左右方向に直交する平面となっている。フォーク１８、１９の上下方向の厚さは、フォーク１８、１９の基端から先端に向かうにしたがって次第に薄くなっている（図２参照）。
【００２８】
載置部材２１は、樹脂で形成されている。また、載置部材２１は、略長方形の平板状に形成されている。２本のフォーク１８のそれぞれの上面、および、２本のフォーク１９のそれぞれの上面に、複数の載置部材２１が固定されている。複数の載置部材２１は、前後方向において、フォーク１８、１９の、搬送対象物２を載置可能な範囲の全域に配列されている。すなわち、図３に示すように、複数の載置部材２１は、前後方向において、フォーク１８、１９の、搬送対象物２を載置可能な範囲の全域に連なるように並んでいる。
【００２９】
フォーク１８において、吸着機構２２は、フォーク１８の先端側の２箇所に取り付けられている。フォーク１９において、吸着機構２２は、フォーク１９の先端側の２箇所と、前後方向におけるフォーク１９の中間位置の１箇所との合計３箇所に取り付けられている。吸着機構２２が取り付けられる箇所では、前後方向における載置部材２１の間隔が広くなっており、吸着機構２２は、前後方向における載置部材２１の間に配置されている。吸着機構２２の詳細な構成については後述する。
【００３０】
フォーク１８、１９の基端部は、中空状に形成される基部１７の内部に配置されている。図４に示すように、基部１７の内部には、左右方向における２本のフォーク１８のピッチを変更するフォークピッチ変更機構２６と、左右方向における２本のフォーク１９のピッチを変更するフォークピッチ変更機構２７とが配置されている。すなわち、ハンド３は、フォークピッチ変更機構２６、２７を備えている。
【００３１】
フォークピッチ変更機構２６は、駆動源であるモータ２９と、モータ２９の出力軸に連結されるネジ部材３０と、２本のフォーク１８のうちの一方に固定されるナット部材（図示省略）と、２本のフォーク１８のうちの他方に固定されるナット部材（図示省略）とを備えている。フォークピッチ変更機構２７は、フォークピッチ変更機構２６と同様に構成されている。すなわち、フォークピッチ変更機構２７は、モータ２９と同様に構成されるモータ３４と、ネジ部材３０と同様に構成されるネジ部材３５と、２本のフォーク１９のうちの一方に固定されるナット部材（図示省略）と、２本のフォーク１９のうちの他方に固定されるナット部材（図示省略）とを備えている。
【００３２】
ネジ部材３０、３５は、細長い棒状に形成されている。ネジ部材３０、３５は、ネジ部材３０、３５の軸方向と左右方向とが一致するように配置されており、基部１７に回転可能に支持されている。ネジ部材３０、３５は、ネジ部材３０、３５の一端側を構成する順ネジ部３０ａ、３５ａと、ネジ部材３０、３５の他端側を構成する逆ネジ部３０ｂ、３５ｂとを備えている。順ネジ部３０ａ、３５ａには、順ネジが形成され、逆ネジ部３０ｂ、３５ｂには、逆ネジが形成されている。
【００３３】
一方のフォーク１８に固定されるナット部材は、順ネジ部３０ａに係合し、他方のフォーク１８に固定されるナット部材は、逆ネジ部３０ｂに係合している。同様に、一方のフォーク１９に固定されるナット部材は、順ネジ部３５ａに係合し、他方のフォーク１９に固定されるナット部材は、逆ネジ部３５ｂに係合している。２本のフォーク１８および２本のフォーク１９は、２本の共通のガイドレール３６によって左右方向に案内される。ガイドレール３６は、ガイドレール３６の長手方向と左右方向とが一致するように基部１７に固定されている。フォーク１８、１９には、ガイドレール３６に係合するガイドブロック（図示省略）が取り付けられている。
【００３４】
フォークピッチ変更機構２６では、モータ２９が回転してネジ部材３０が回転すると、一方のフォーク１８と他方のフォーク１８とが左右の逆方向へ同じ量だけ移動して２本のフォーク１８の左右方向のピッチが変更される。同様に、フォークピッチ変更機構２７では、モータ３４が回転してネジ部材３５が回転すると、一方のフォーク１９と他方のフォーク１９とが左右の逆方向へ同じ量だけ移動して２本のフォーク１９の左右方向のピッチが変更される。
【００３５】
本形態では、ロボット１で搬送される搬送対象物２の大きさが決まると、ロボット１が搬送対象物２を搬送する搬送動作の前に、フォークピッチ変更機構２６は、必要に応じて２本のフォーク１８の左右方向のピッチを変更し、フォークピッチ変更機構２７は、必要に応じて２本のフォーク１９の左右方向のピッチを変更する。すなわち、フォークピッチ変更機構２６、２７は、ロボット１による搬送対象物２の搬送動作中に、フォーク１８、１９の左右方向のピッチを変更することはない。フォークピッチ変更機構２６、２７は、たとえば、図５に示すように、ロボット１で搬送される搬送対象物２の大きさに応じて、フォーク１８、１９の左右方向のピッチを変更する。
【００３６】
（吸着機構の構成）
図６は、図３に示す吸着機構２２およびフォーク１８、１９の断面図である。
【００３７】
フォーク１８、１９の上面部には、吸着機構２２が配置される貫通穴１８ａ、１９ａが形成されている。貫通穴１８ａ、１９ａは、フォーク１８、１９の上面部を上下方向で貫通している。吸着機構２２は、搬送対象物２の下面に接触して搬送対象物２を吸着する吸着板（吸着パッド）４０と、吸着板４０が上端側に固定される固定部材４１とを備えている。また、吸着機構２２は、フォーク１８、１９に対して傾動可能となるように固定部材４１を支持するフローティング機構４２を備えている。すなわち、吸着機構２２は、フォーク１８、１９に対して固定部材４１を傾けることが可能となるように固定部材４１を支持するフローティング機構４２を備えている。
【００３８】
固定部材４１は、樹脂で形成されている。この固定部材４１は、固定部材４１の上端側部分をなす上端部４１ａと、固定部材４１の下端側部分をなす下端部４１ｂと、上下方向における固定部材４１の中間部分をなす中間部４１ｃとから構成されている。上端部４１ａは、略円板状に形成されている。下端部４１ｂは、略円柱状に形成されている。中間部４１ｃは、上側に向かうにしたがって外径が次第に大きくなる略円錐台状に形成されている。
【００３９】
下端部４１ｂの上端は、中間部４１ｃの下端に繋がり、中間部４１ｃの上端には、上端部４１ａが繋がっている。上端部４１ａの外径は、中間部４１ｃの上端の外径よりも大きくなっている。下端部４１ｂの外径は、中間部４１ｃの下端の外径よりも小さくなっている。上下方向から見たときに、上端部４１ａの中心と、中間部４１ｃの中心と、下端部４１ｂの中心とは一致している。
【００４０】
固定部材４１の中心には、上下方向に貫通する吸引穴４１ｄが形成されている。上端部４１ａの上面には、下側に向かって窪む円形状の凹部４１ｅが形成されている。上下方向から見たときに、凹部４１ｅの中心は、吸引穴４１ｄの中心と一致している。凹部４１ｅの中心部分には、下側に向かってさらに窪む円形状の凹部４１ｆが形成されている。上下方向から見たときに、凹部４１ｆの中心は、吸引穴４１ｄの中心と一致している。吸引穴４１ｄの上端は、凹部４１ｆの中心に繋がっている。
【００４１】
吸着板４０は、多孔質の樹脂で形成されている。また、吸着板４０は、円板状に形成されている。吸着板４０は、凹部４１ｅの中に配置されている。吸着板４０の上面および下面は、平面となっている。また、吸着板４０は、凹部４１ｅに固定されている。具体的には、吸着板４０の下面は、凹部４１ｅの底面に接触しており、吸着板４０の下面が接着剤によって凹部４１ｅの底面に固定されている。吸着板４０の外径は、凹部４１ｅの内径とほぼ等しくなっている。吸着板４０の上面には、搬送対象物２が載置される。
【００４２】
フローティング機構４２は、上述のように、フォーク１８、１９に対して傾動可能となるように固定部材４１を支持している。また、フローティング機構４２は、フォーク１８、１９に対して上下動可能となるように固定部材４１を支持している。フローティング機構４２は、フォーク１８、１９に固定されるとともに固定部材４１を傾動可能に保持する保持部材４３と、固定部材４１と保持部材４３とを繋ぐ環状のゴム板４４と、保持部材４３に対して固定部材４１を上側に付勢する付勢部材としての圧縮コイルバネ４５とを備えている。保持部材４３は、フォーク１８、１９の上面側に配置される第１保持部材４８と、中空状に形成されるフォーク１８、１９の内部に配置される第２保持部材４９とを備えている。本形態では、第１保持部材４８と第２保持部材４９とによって保持部材４３が構成されている。第１保持部材４８と第２保持部材４９とは別体で形成されている。
【００４３】
第１保持部材４８は、上下方向の厚さが薄い扁平な略直方体状に形成されている。第１保持部材４８の中心には、上下方向に貫通する貫通穴４８ａが形成されている。貫通穴４８ａの内周面は、上側に向かうにしたがって内径が次第に大きくなる傾斜面となっている。第１保持部材４８の上面には、下側に向かって窪む円形状の凹部４８ｂが形成されている。上下方向から見たときに、凹部４８ｂの中心は、貫通穴４８ａの中心と一致している。貫通穴４８ａの上端は、凹部４８ｂの中心に繋がっている。
【００４４】
第１保持部材４８の下面には、段差が形成されており、第１保持部材４８の下面の外周側部分は、第１保持部材４８の下面の内周側部分よりも上側に配置されている。第１保持部材４８の下面の外周側部分は、フォーク１８、１９の上面に接触している。第１保持部材４８は、フォーク１８、１９の上面部に上側から固定されている。第１保持部材４８の一部は、貫通穴１８ａ、１９ａの中に配置されている。
【００４５】
第２保持部材４９は、略直方体のブロック状に形成されている。左右方向において、第２保持部材４９は、第１保持部材４８よりも小さくなっている。第２保持部材４９は、フォーク１８、１９の上面部に下側から固定されている。第２保持部材４９の上面には、下側に向かって大きく窪む円形状の凹部４９ａが形成されている。上下方向から見たときに、凹部４９ａの中心は、第２保持部材４９の中心と一致している。第２保持部材４９の下端側部分には、凹部４９ａの底面の中心に繋がる吸引穴４９ｂが形成されている。本形態の吸引穴４９ｂは、第３の吸引穴である。
【００４６】
吸引穴４９ｂは、凹部４９ａの底面の中心から下側に向かって窪む部分と、この部分の下端から前後方向の一方側へ伸びる部分とから構成されており、左右方向から見たときの吸引穴４９ｂの形状は、Ｌ形状となっている。吸引穴４９ｂの一端は、凹部４９ａに繋がり、吸引穴４９ｂの他端には、所定の配管を介して真空ポンプ等の吸引機構（図示省略）が接続されている。
【００４７】
ゴム板４４は、たとえば、シリコンゴムで形成されている。また、ゴム板４４は、円環状に形成されている。ゴム板４４の内周側には、固定部材４１の下端部４１ｂが挿通されている。ゴム板４４の外周側部分は、ゴム板４４の周方向の全域に亘って保持部材４３に固定されている。具体的には、第１保持部材４８の下面と第２保持部材４９の上面とによって、ゴム板４４の外周側部分が保持部材４３に固定されている。ゴム板４４の外周側部分は、第１保持部材４８の下面の内周側部分と第２保持部材４９の上面との間に挟まれている。すなわち、第１保持部材４８と第２保持部材４９とは、ゴム板４４の外周側部分を上下方向で挟むように配置されている。
【００４８】
ゴム板４４の内周側部分は、ゴム板４４の周方向の全域に亘って固定部材４１に固定されている。具体的には、固定部材４１の下端部４１ｂと中間部４１ｃとの間の段差面と、座金５０と、止め輪５１とによって、ゴム板４４の内周側部分が固定部材４１に固定されている。座金５０は、下端部４１ｂと中間部４１ｃとの間の段差面よりも下側に配置されており、この段差面と座金５０の上面との間にゴム板４４の内周側部分が挟まれている。止め輪５１は、座金５０の下面に接触するように下端部４１ｂに取り付けられており、下端部４１ｂからの座金５０の抜けを防止する機能を果たしている。
【００４９】
固定部材４１の下端部４１ｂの外径は、第２保持部材４９の凹部４９ａの内径よりも小さくなっており、下端部４１ｂは、凹部４９ａの中に配置されている。また、固定部材４１の中間部４１ｃは、第１保持部材４８の貫通穴４８ａの中に配置されている。中間部４１ｃの外周面と貫通穴４８ａの内周面との間には隙間が形成されている。
【００５０】
吸着板４０に外力が作用していない状態では、上下方向から見たときに、固定部材４１の吸引穴４１ｄの中心と第２保持部材４９の吸引穴４９ｂの中心（具体的には、吸引穴４９ｂの、凹部４９ａの底面から下側に向かって窪む部分の中心）とが一致している。圧縮コイルバネ４５の上端側部分は、吸引穴４１ｄの中に配置され、圧縮コイルバネ４５の下端側部分は、吸引穴４９ｂの中に配置されている。圧縮コイルバネ４５の上端は、吸引穴４１ｄの上端側に形成される段差面に接触し、圧縮コイルバネ４５の下端は、吸引穴４９ｂの底面に接触している。
【００５１】
固定部材４１と保持部材４３とゴム板４４とに囲まれた部分は、吸引穴４１ｄ、４９ｂが繋がる密閉空間Ｓとなっている。具体的には、固定部材４１の下端部４１ｂと第２保持部材４９とゴム板４４とに囲まれた部分は、密閉空間Ｓとなっている。すなわち、凹部４９ａの内部かつゴム板４４の下側の空間であって、下端部４１ｂの外側の空間は、密閉空間Ｓとなっている。
【００５２】
本形態では、吸着板４０に搬送対象物２が載置された状態で、吸引穴４９ｂに接続される吸引機構によって空気が吸引されると、吸引穴４９ｂ、密閉空間Ｓ、吸引穴４１ｄおよび吸着板４０を介して搬送対象物２が吸引されて、吸着板４０に搬送対象物２が吸着される。また、吸着板４０に搬送対象物２が吸着されると、密閉空間Ｓが負圧になる。密閉空間Ｓが負圧になると、図６（Ｂ）に示すように、圧縮コイルバネ４５の付勢力に抗して吸着板４０および固定部材４１が下側へ移動する。このときには、ゴム板４４が変形する。
【００５３】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、搬送対象物２の下面に接触して搬送対象物２を吸着する吸着板４０は、多孔質の樹脂で形成されている。そのため、本形態では、搬送対象物２を吸着する穴（すなわち、気孔）の大きさが小さい。したがって、本形態では、フィルム状に形成された製造途中の有機ＥＬディスプレイ単体のように剛性の低い搬送対象物２が吸着機構２２で吸着されたときの搬送対象物２の変形を抑制することが可能になる。
【００５４】
本形態では、吸着板４０が固定される固定部材４１は、フォーク１８、１９に対して傾動可能となるようにフローティング機構４２に支持されている。そのため、本形態では、ガラス基板に貼り付けられた製造途中のフィルム状の有機ＥＬディスプレイのように剛性の高い搬送対象物２が撓んでいても、この搬送対象物２の撓みに応じて吸着板４０を傾けて搬送対象物２の下面に吸着板４０の上面を確実に接触させることが可能になる。したがって、本形態では、剛性の高い搬送対象物２を吸着機構２２で確実に吸着することが可能になる。
【００５５】
本形態では、吸着板４０に搬送対象物２が吸着されると、密閉空間Ｓが負圧になり、圧縮コイルバネ４５の付勢力に抗して吸着板４０および固定部材４１が下側へ移動する。そのため、本形態では、吸着板４０が搬送対象物２を吸着して吸着板４０および固定部材４１が下側へ移動した後は、吸着板４０および固定部材４１がフォーク１８、１９に対してふらつきにくくなる。したがって、本形態では、搬送対象物２の搬送時に、ハンド３に搭載された搬送対象物２の状態を安定させることが可能になる。
【００５６】
（吸着板の変形例）
図７は、本発明の他の実施の形態にかかる吸着板４０の構成を説明するための断面図である。図８は、図７に示す吸着板４０の平面図である。
【００５７】
上述した形態において、吸着板４０は、多孔質の樹脂以外の樹脂で形成されていても良い。たとえば、吸着板４０は、ポリエーテルエーテルケトンで形成されていても良い。この場合には、図７、図８に示すように、吸着板４０には、シャワーヘッドの複数のシャワー穴のように配置される複数の第２の吸引穴としての複数の吸引穴４０ａが形成されている。複数の吸引穴４０ａは、上下方向で吸着板４０を貫通している。吸着板４０の下面には、複数の吸引穴４０ａの下端が繋がる吸引用の凹部４０ｂが上側に向かって窪むように形成されている。図７では、上述した形態と共通する構成については、同一の符号を付している。
【００５８】
図７に示す例では、固定部材４１は、吸着板４０が固定される第１固定部材５８と、固定部材４１の中心部分をなす第２固定部材５９とから構成されている。第１固定部材５８と第２固定部材５９とは別体で形成されており、第１固定部材５８と第２固定部材５９とが一体となると、上述した形態の固定部材４１とほぼ同じ形状となる。第２固定部材５９の中心には、吸引穴４１ｄが形成されている。吸着板４０は、第１固定部材５８にネジ（図示省略）で固定されている。
【００５９】
ゴム板４４の内周側には、第２固定部材５９が挿通されている。ゴム板４４の内周側部分は、第２固定部材５９の下端に形成される鍔部５９ａと第１固定部材５８と止め輪５１とによって、ゴム板４４の周方向の全域に亘って固定部材４１に固定されている。鍔部５９ａは、第１固定部材５８の下面よりも下側に配置されており、鍔部５９ａの上面と第１固定部材５８の下面との間にゴム板４４の内周側部分が挟まれている。止め輪５１は、第２固定部材５９の上端部に取り付けられており、第１固定部材５８からの第２固定部材５９の抜けを防止する機能を果たしている。
【００６０】
図７、図８に示す変形例においても、吸着板４０に搬送対象物２が吸着されると、密閉空間Ｓが負圧になり、図７（Ｂ）に示すように、圧縮コイルバネ４５の付勢力に抗して吸着板４０および固定部材４１が下側へ移動する。この変形例においても上述した形態と同様の効果を得ることができる。たとえば、シャワーヘッドの複数のシャワー穴のように配置される複数の吸引穴４０ａが吸着板４０に形成されているため、搬送対象物２を吸着する１個の吸引穴４０ａの大きさを小さくすることが可能になる。したがって、比較的剛性の低い搬送対象物２が吸着機構２２で吸着されたときの搬送対象物２の変形を抑制することが可能になる。
【００６１】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００６２】
上述した形態において、吸着板４０は、四角形等の多角形の平板状に形成されていても良いし、楕円形や長円形の平板状に形成されていても良い。また、上述した形態において、保持部材４３に対して固定部材４１を上側に付勢する付勢部材は、板バネ等のバネ部材であっても良い。ただし、上述した形態のように、保持部材４３に対して固定部材４１を上側に付勢する付勢部材が圧縮コイルバネ４５であって、圧縮コイルバネ４５の上端側部分が吸引穴４１ｄの中に配置され、圧縮コイルバネ４５の下端側部分が吸引穴４９ｂの中に配置されている場合には、吸引穴４１ｄ、４９ｂの外側に付勢部材が配置されている場合と比較して、吸着機構２２を小型化することが可能になる。
【００６３】
上述した形態において、左右方向における２本のフォーク１８のピッチは固定されていても良いし、左右方向における２本のフォーク１９のピッチは固定されていても良い。また、上述した形態において、ハンド３が備えるフォークの数は、２本または３本であっても良いし、５本以上であっても良い。この場合には、左右方向における複数のフォークのピッチが変更可能となっていても良いし、固定されていても良い。
【００６４】
上述した形態では、ロボット１は、水平多関節型のロボットであるが、本発明が適用されるロボットは、水平多関節型のロボット以外の産業用ロボットであっても良い。たとえば、本発明が適用されるロボットは、上述の特許文献１に開示された産業用ロボットであっても良い。
【符号の説明】
【００６５】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  搬送対象物
３  ハンド
４  アーム
５  本体部
１８、１９  フォーク
２２  吸着機構
４０  吸着板
４０ａ  吸引穴（第２の吸引穴）
４１  固定部材
４１ｄ  吸引穴
４２  フローティング機構
４３  保持部材
４４  ゴム板
４５  圧縮コイルバネ（付勢部材）
４８  第１保持部材
４９  第２保持部材
４９ｂ  吸引穴（第３の吸引穴）
Ｓ  密閉空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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