(57)【要約】      （修正有）【課題】磁気記録媒体用基板表面等に残存する研磨砥粒の小片、研磨屑およびスラリー液などの加工残渣など、ｎｍオーダーからμｍオーダーまで幅広く分布する異物を基板表面等から効率的に除去することが可能なシート状物を提供する。【解決手段】平均単繊維径が０．０５μｍ以上５．０μｍ以下の極細繊維からなる不織布と高分子弾性体で構成されてなるシート状物であって、前記の極細繊維は繊維表面の繊維軸方向に凹凸を有し、前記の繊維表面の凹凸の隣接する凸部間のピッチが１ｎｍ以上５００ｎｍ以下である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
平均単繊維径が０．０５μｍ以上５．０μｍ以下の極細繊維からなる不織布と高分子弾性体で構成されてなるシート状物であって、前記極細繊維は繊維表面の繊維軸方向に凹凸を有することを特徴とするシート状物。
【請求項２】
繊維表面の凹凸の隣接する凸部間のピッチが、１ｎｍ以上５００ｎｍ以下である請求項１記載のシート状物。
【請求項３】
極細繊維が芯鞘型複合繊維であって、芯成分は水中で測定したガラス転移点（Ｔｇｗ）が、鞘成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）に対して２０℃以上低い芯鞘型複合繊維である請求項１または２記載のシート状物。
【請求項４】
極細繊維が芯鞘型複合繊維であって、芯成分のポリマーがポリアミドである請求項１〜３のいずれかに記載のシート状物。
【請求項５】
極細繊維が芯鞘型複合繊維であって、鞘成分のポリマーがポリエステルである請求項１〜４のいずれかに記載のシート状物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、極細繊維からなる不織布と高分子弾性体からなり、人工皮革、高性能研磨布、洗浄加工布、およびワイピングクロス等に好適に用いられるシート状物に関するものであり、さらに詳しくは、ｎｍオーダーからμｍオーダーまで幅広く分布する異物を、基板表面等から効率的に除去することが可能なシート状物に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年では、ハードディスクの研磨やクリーニング用途として、不織布に高分子弾性体がクッションとして付与されたシート状物が好適に用いられている。ハードディスクの大容量化に伴い、磁気記録媒体の高記録密度化は加速的に進んでおり、読書きヘッドの浮上高さも著しく低くなっている。これに伴い、これまで問題視されていなかった数十ｎｍオーダーの微細な異物がヘッドの浮上高さに影響し、読書きの際のエラーとなることを惹起している。このため、基板表面の鏡面加工およびその後の洗浄加工が重要視されている。
【０００３】
磁気記録媒体用の基板としては、Ｎｉ−Ｐメッキ等の非磁性メッキ処理を施したアルミニウム系基板やガラス系基板が用いられている。いずれの基板も、パッドポリッシング等により１次研磨と２次研磨を行った後、基板に１〜２オングストロームレベルの平滑性を付与する目的で、研磨布を用いた鏡面加工を施すことが行われている。その後、基板表面に付着した有機物や微少なゴミと、基板表面上に残存するダイヤモンド砥粒や研磨屑などの加工残渣とを除去するために、洗浄加工布を用いた洗浄加工が行われ、その後乾燥されて、下地層、磁性層および保護層の成膜工程に供される。このとき、加工残渣が除去しきれないまま磁気記録媒体を仕上げると、残渣物に起因する磁気欠点やエラー欠陥などの不具合が発生する。
【０００４】
このような背景から、磁気記録媒体用基板表面を洗浄するため、不織布の少なくとも一面に平均単繊維径が５μｍ以下の極細繊維立毛を有し、その不織布の内部に高分子弾性体が含有された洗浄加工布が提案されている(特許文献１参照。)。この提案によれば、極細繊維の掻き出し効果が大幅に向上し、磁気欠点とエラー欠陥が良好に抑えられる。しかしながら、近年の著しい高密度化によって基板表面の平滑さの精度が益々向上することに伴い、除去すべき異物の極少化はさらに進み、この提案の平均単繊維径が１．４μｍ程度の極細繊維では、異物の除去効果が十分なものではなかった。
【０００５】
上記の背景に鑑み、平均単繊維の直径が１〜４００ｎｍの極細繊維を用いた洗浄加工布が提案されている(特許文献２参照。)。この提案によれば、ナノオーダーの超極細繊維により異物の拭取り性能が向上するものの、比表面積の著しい増加により極細繊維同士が凝集し易く、ナノオーダーの極細繊維としての特性を生かしきれていなかった。
【０００６】
これらの課題を解決すべく、極細繊維の平均単繊維径の分布が２つのピークをもつ洗浄加工布が提案されている（特許文献３参照。）。この提案によれば、より細い極細繊維によって数十ｎｍオーダーの異物が良好に掻き出され、より太い極細繊維によってμｍオーダーの異物が掻き出されるため、基板上に残留する粒径の異なる異物を効率的に除去することができる。しかしながら、この提案では、極細繊維は約１００ｎｍ以上の平均単繊維径を有するため、粒径が広範囲に分布する異物を除去しつつも、ｎｍオーダーの異物を除去することは困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第４４５７７５８号公報
【特許文献２】特開２００８−５５４１１号公報
【特許文献３】特許第６１６３８７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明の目的は、磁気記録媒体用基板表面等に残存する研磨砥粒の小片、研磨屑およびスラリー液などの加工残渣など、ｎｍオーダーからμｍオーダーまで幅広く分布する異物を基板表面等から効率的に除去することが可能なシート状物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のシート状物は、平均単繊維径が０．０５μｍ以上５．０μｍ以下の極細繊維からなる不織布と高分子弾性体で構成されるシート状物であって、前記の極細繊維は繊維表面の繊維軸方向に凹凸を有することを特徴とするシート状物である。
【００１０】
本発明の好ましい態様によれば、前記の繊維表面の凹凸の隣接する凸部間のピッチは、１ｎｍ以上５００ｎｍ以下である。
【００１１】
本発明の好ましい態様によれば、前記の極細繊維が芯鞘型複合繊維であって、その芯成分は水中で測定したガラス転移点（Ｔｇｗ）が、鞘成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）に対して２０℃以上低いことである。
【００１２】
本発明の好ましい態様によれば、前記の極細繊維が芯鞘型複合繊維であって、芯成分のポリマーがポリアミドである。
【００１３】
本発明の好ましい態様によれば、前記の極細繊維が芯鞘型複合繊維であって、鞘成分のポリマーがポリエステルである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、構成する極細繊維間に異物を把持することにより、基板表面等から数百ｎｍからμｍの異物が除去され、繊維表面に存在する繊維軸方向の凹凸によってｎｍから数十ｎｍの異物が除去されるシート状物が得られる。
【００１５】
本発明のシート状物を用いることにより、磁気記録媒体用基板表面に残存する微細化された異物や、研磨砥粒の小片、研磨屑およびスラリー液などの加工残渣などの、ｎｍオーダーからμｍオーダーと幅広く分布する異物を効率的に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明のシート状物を構成する極細繊維の模式側面図である。
【図２】図２は、本発明のシート状物を構成する極細繊維が芯鞘型複合繊維からなる場合の繊維軸に対し直角な方向の断面図である。
【図３】図３は、本発明のシート状物を構成する極細繊維が芯鞘型複合繊維からなり、海島型複合繊維の海成分を溶出して得られる場合の、海島型複合繊維の繊維軸に対し直角な方向の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明のシート状物は、平均単繊維径が０．０５μｍ以上５．０μｍ以下の極細繊維からなる不織布と高分子弾性体で構成されるシート状物であって、前記の極細繊維は繊維表面の繊維軸方向に凹凸を有するシート状物である。
【００１８】
本発明のシート状物を構成する極細繊維の平均単繊維径は、０．０５μｍ以上５．０μｍ以下であることが重要である。平均単繊維径を５．０μｍ以下とし、好ましくは４．０μｍ以下とすることにより、拭き取り対象に傷を付けることなく、サイズの大きい残渣物や他の異物に対する除去性能を確保することができる。一方、平均単繊維径を０．０５μｍ以上とし、好ましくは０．１μｍ以上とすることにより、極小サイズの残渣物や他の異物に対する除去性能を確保することができるとともに、繊維強度および剛性を維持することができるため、洗浄加工を効率的に行うことができる。
【００１９】
本発明のシート状物を構成する極細繊維は、繊維表面の繊維軸方向に凹凸を有することが重要である。極細繊維の表面に形成される凹凸とは、繊維軸に対し直角方向に伸びる筋状の凸部と、繊維軸に対し直角方向に伸びる溝状の凹部と、が交互に存在する構造である。従来技術では、極細繊維間隙で把持することにより、数十ｎｍ〜μｍオーダーの異物を除去していたが、本発明のシート状物を構成する極細繊維はこのような繊維表面の繊維軸方向に凹凸を有することにより、さらに微細な異物を凹凸に把持し、除去することが可能になる。
【００２０】
本発明で用いられる極細繊維の繊維表面に形成される凹凸は、隣接する凸部間の平均ピッチが１ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることが好ましい態様である。隣接する凸部間の平均ピッチを１ｎｍ以上とすることにより、ｎｍオーダーの異物を凹凸に把持し、基板から除去することを可能にし、５００ｎｍ以下とすることにより、異物を繊維表面に把持することができる。隣接する凸部間の平均ピッチは、好ましくは５ｎｍ以上２５０ｎｍ以下であり、より好ましくは１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。
【００２１】
また、前記の極細繊維の表面に形成される凹凸は、凸部の頂点と凹部の底点の差である凹凸高さが、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることも好ましい態様である。凹凸高さを１ｎｍ以上とすることにより、ｎｍオーダーの異物を凹凸に把持し、１００ｎｍ以下とすることにより異物が凹凸から離脱することを抑制できる。凹凸高さは、より好ましくは５０ｎｍ以下であり、さらに好ましくは２５ｎｍ以下とすることである。
【００２２】
本発明で用いられる極細繊維の種類としては、耐久性、特には機械的強度と耐熱性の観点から、合成繊維が好ましく用いられる。
【００２３】
本発明の好ましい態様によれば、極細繊維は芯鞘型複合繊維であって、その芯成分は水中で測定したガラス転移点（Ｔｇｗ）が鞘成分の水中で測定したガラス転移点（Ｔｇｗ）に対して、２０℃以上低い芯鞘型複合繊維である。
【００２４】
鞘成分に用いられるポリマーとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート、ポリエチレン２，６−ナフタレンジカルボキシレートおよびポリ乳酸などのポリエステル、６−ナイロンや６６−ナイロンなどのポリアミド、ポリアクリル、ポリウレタン、ポリエチレン、ポリプロピレンおよび熱可塑性セルロース等、各種ポリマーを用いることができる。
【００２５】
また、環境配慮の観点から、リサイクル原料や植物由来原料から得られるポリマーを用いることもできる。中でも、強度、寸法安定性、耐光性および染色性に優れているという観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートおよびポリトリメチレンテレフタレート等からなるポリエステルが特に好ましく用いられる。
【００２６】
また、芯成分に用いられるポリマーのガラス転移点（Ｔｇｗ）は、鞘成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）より２０℃以上低いことが好ましい態様である。非晶質部分の伸縮性は温度に対して連続的に変化するため、芯成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）が鞘成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）より２０℃以上低いことにより、鞘成分と芯成分の収縮性に十分な差が生まれ、極細繊維の表面に凹凸が形成される。芯成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）は、鞘成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）に対して、３０℃以上低いことがより好ましく、さらに好ましくは４０℃以上低いことである。芯成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）と鞘成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）の温度差が２００℃以上である場合、芯成分の収縮が大きすぎ、鞘成分から剥離するため極細繊維の表面に凹凸が形成されない。更に好ましくは芯成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）と鞘成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）の温度差は１５０℃以下である。
【００２７】
芯成分に用いられるポリマーとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート、ポリエチレン２，６−ナフタレンジカルボキシレートおよびポリ乳酸などのポリエステル、６−ナイロンや６６−ナイロンなどのポリアミド、ポリアクリル、ポリウレタン、ポリエチレン、ポリプロピレンおよび熱可塑性セルロース等、各種ポリマーを用いることができる。
【００２８】
また、環境配慮の観点から、リサイクル原料や植物由来原料から得られるポリマーを用いることもできる。中でも、強度と染色性に優れているという観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートおよびポリトリメチレンテレフタレート等からなるポリエステルと、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン６１０およびナイロン１２等からなるポリアミドが好ましく用いられる。また、芯成分は１成分だけでなく、２成分以上を用いることも好ましい態様である。
【００２９】
鞘成分および芯成分に用いられるポリマーには、種々の目的に応じて、酸化チタン粒子等の無機粒子、潤滑剤、顔料、熱安定剤、紫外線吸収剤、導電剤、蓄熱剤および抗菌剤等を添加することもできる。
【００３０】
本発明で用いられる極細繊維が芯鞘型複合繊維である場合、芯成分の質量は、繊維全体の質量に対し１０質量％以上９０質量％以下であることが好ましい。芯成分の質量を１０質量％以上とすることにより、芯鞘型複合繊維の芯成分が長さ方向に収縮する際、鞘成分との界面が乖離せず、芯鞘型複合繊維の表面に凹凸が形成される。また、芯成分の質量を９０質量％以下とすることにより、芯成分が芯鞘型複合繊維の表面に露出することを防ぎ、鞘成分からなる凹凸が芯鞘型複合繊維の表面全体を覆うことができる。芯成分の質量は、より好ましくは５０質量％以上であり、さらに好ましくは７０質量％以上である。
【００３１】
本発明における極細繊維は、繊維軸方向に直角な断面形状が丸型であることに限らず、三角形型、四角形型、六角形型、Ｙ型、星型、扁平型および扁平多葉型等の異形断面形状を取ることができる。
【００３２】
極細繊維は、シート状物において不織布（極細繊維ウェブということがある。）の形態をなしていることが好ましい態様である。不織布とすることにより、表面を起毛した際に均一で拭き取り性能の高いシート状物とすることができる。
【００３３】
本発明の不織布としては、短繊維をカードおよびクロスラッパーを用いて積層繊維ウェブを形成させた後にニードルパンチやウォータージェットパンチを施して得られる短繊維不織布や、スパンボンド法やメルトブロー法などから得られる長繊維不織布、および抄紙法で得られる不織布などを適宜採用することができる。なかでも、ニードルパンチやウォータージェットパンチを施して繊維を絡合させることにより得られる短繊維不織布は、極細繊維束の態様をニードルパンチ処理により制御することが可能であるため、本発明では好ましく用いられる。
【００３４】
短繊維を用いて、ニードルパンチにより不織布を製造する際の極細繊維もしくは極細繊維発生型繊維の繊維長は、好ましくは２５ｍｍ以上９０ｍｍ以下である。繊維長を９０ｍｍ以下とすることにより、良好な品位と風合いとなり、繊維長を２５ｍｍ以上とすることにより、耐摩耗性に優れた表皮シートとすることができる。繊維長は、より好ましくは３５ｍｍ以上８０ｍｍ以下であり、さらに好ましくは４０ｍｍ以上７０ｍｍ以下である。
【００３５】
上記の不織布を有する本発明のシート状物は、洗浄加工布に好ましく用いられるが、前記の不織布が高分子弾性体を含有していることが重要である。不織布に高分子弾性体を含有させることによって、高分子弾性体のバインダー効果により極細繊維が不織布から抜け落ちるのを防止し、起毛時に均一な立毛を形成することが可能となる。また、高分子弾性体を含有させることによって、シート状物にクッション性を付与し、洗浄加工布として使用した時にスクラッチ欠点等の発生を抑制することができる。
【００３６】
高分子弾性体としては、ポリウレタン系エラストマー、ポリウレア、ポリアクリル酸、エチレン・酢酸ビニルエラストマー、アクリロニトリル・ブタジエンエラストマー、スチレン・ブタジエンエラストマー、ポリビニルアルコール、およびポリエチレングリコール等が挙げられ、耐久性と圧縮特性の観点からは、ポリウレタン系エラストマーが好ましく用いられる。高分子弾性体には、複数の高分子弾性体を含有せしめることができる。
【００３７】
本発明で特に好ましく用いられるポリウレタン系エラストマーとしては、ポリウレタンやポリウレタン・ポリウレアエラストマーなどが挙げられる。
【００３８】
高分子弾性体として、ポリウレタン系エラストマーを用いる場合、ポリウレタン系エラストマーの質量平均分子量は、好ましくは５０，０００〜３００，０００の範囲である。質量平均分子量を好ましくは５０，０００以上とし、より好ましくは１００，０００以上とし、さらに好ましくは１５０，０００以上とすることにより、人工皮革の強度を保持し、また複合繊維の脱落を防ぐことができる。また、質量平均分子量を好ましくは３００，０００以下とし、より好ましくは２５０，０００以下とすることにより、ポリウレタン溶液の粘度の増大を抑えて不織布への含浸を行いやすくすることができる。
【００３９】
また、高分子弾性体としては、有機溶剤中に溶解させてなる高分子弾性体でも、水中に分散させてなる高分子弾性体も、いずれも用いることができる。
【００４０】
本発明で用いられる高分子弾性体は、耐加水分解性等を向上させる目的で架橋剤を併用させることができる。
【００４１】
また、本発明で用いられる高分子弾性体には、必要に応じてカーボンブラック等の顔料、染料、酸化防止剤、耐光剤、帯電防止剤、分散剤、柔軟剤、難燃剤、抗菌剤、および防臭剤などの添加剤を配合させることができる。
【００４２】
高分子弾性体の含有率は、極細繊維を主体とする不織布に対し、５質量％以上２００質量％以下であることが好ましい。高分子弾性体の含有量によって、不織布の表面状態、クッション性、硬度および強度などを調節することができる。含有量を好ましくは５質量％以上とし、より好ましくは２０質量％以上とし、さらに好ましくは３０質量％以上とすることにより、繊維脱落を少なくすることができる。一方、含有量を好ましくは２００質量％以下とし、より好ましくは１００質量％以下とし、さらに好ましくは８０質量％以下とすることにより、極細繊維が不織布表面上に均一分散した状態を得ることができる。
【００４３】
本発明のシート状物はＪＩＳ  Ｌ  １９１３（２００５）  ６．２により測定される目付が、好ましくは１００〜６００ｇ／ｍ２である。目付を好ましくは１００ｇ／ｍ２以上、より好ましくは１５０ｇ／ｍ２以上とすることにより、洗浄加工布として使用したときの形態安定性と寸法安定性に優れ、洗浄加工時の不織布の伸びによる加工ムラとスクラッチ欠点の発生を抑えることができる。一方、目付を好ましくは６００ｇ／ｍ２以下とし、より好ましくは３００ｇ／ｍ２以下とすることにより、シート状物の取扱い性が容易となり、また、シート状物のクッション性を適度に抑え、洗浄加工時において非研磨面からのゴムローラーによる押付圧を洗浄加工表面に適度に伝播させ、効率的な洗浄加工を行うことができる。
【００４４】
本発明のシート状物のＪＩＳ  Ｌ  １９１３（２００５）  ６．１  Ａ法で測定される厚さは、０．１〜１０ｍｍの範囲であることが好ましい。厚さを好ましくは０．１ｍｍ以上とし、好ましくは０．３ｍｍ以上とすることにより、十分な形態安定性と寸法安定性が得られる。一方、厚さを好ましくは１０ｍｍ以下とし、より好ましくは５ｍｍ以下とすることにより十分な柔軟性が得られる。
【００４５】
図１は、本発明のシート状物を構成する極細繊維の模式側面図であり、極細繊維の側面に、繊維表面の凸部１と繊維表面の凹部２が形成されており、さらに、隣接する凸部間のピッチ３と凹凸高さ４が示されている。繊維表面に凸部１と凹部２が交互に存在することで、凹部に異物を把持することができ、凸部間のピッチ３と凹凸高さ４を適切な範囲とすることで、ｎｍオーダーの異物を把持することができる。
【００４６】
図２は、本発明のシート状物を構成する極細繊維が芯鞘型複合繊維からなる場合の繊維軸に対し直角な方向の断面図であり、芯鞘型複合繊維の芯成分２１と芯鞘型複合繊維の鞘成分２２が示されている。芯成分２１の水中で測定したガラス転移点（Ｔｇｗ）と鞘成分２２の水中で測定したガラス転移点（Ｔｇｗ）の差を適切な範囲とすることにより、極細繊維の繊維表面に凹凸を形成することができる。
【００４７】
図３は、本発明のシート状物を構成する極細繊維が芯鞘型複合繊維からなり、海島型複合繊維の海成分を溶出して得られる場合の、海島型複合繊維の繊維軸に対し直角な方向の断面図であり、海島型複合繊維の芯成分３１、海島型複合繊維の鞘成分３２および海島型複合繊維の海成分３３が示されている。海成分３３は、ポリエチレン、ポリプロピレンおよびポリスチレン等を用いることができ、トルエンやトリクロロエチレン等の溶媒を用いて溶出することにより、芯成分３１と鞘成分３２からなる芯鞘型複合繊維を得ることができる。
【００４８】
次に、本発明のシート状物を製造する方法について説明する。
【００４９】
本発明における極細繊維を得る方法としては、直接紡糸し延伸する方法や極細繊維発生型繊維を用いる方法等、公知のいずれの方法を用いることができるが、極細繊維発生型繊維を用いる方法が特に好ましく用いられる。
【００５０】
極細繊維発現型繊維としては、溶剤溶解性の異なる２成分の熱可塑性樹脂を海成分と島成分とし、前記の海成分を、溶剤などを用いて溶解除去することによって島成分を極細繊維とする海島型複合繊維や、２成分の熱可塑性樹脂を、繊維断面を放射状または多層状に交互に配置し、各成分を剥離分割することによって極細繊維に割繊する剥離型複合繊維などを採用することができる。
【００５１】
海島型繊維には、海島型複合用口金を用い海成分と島成分の２成分もしくは３成分以上を相互配列して紡糸する海島型複合繊維や、海成分と島成分の２成分もしくは３成分以上を混合して紡糸する混合紡糸繊維などがある。ただし、高精度に制御された極細繊維が得られる点、また十分な長さの極細繊維が得られ、不織布および不織布を有してなるシート状物の強度にも寄与する点から、海島型複合繊維が好ましく用いられる。
【００５２】
本発明で用いられる極細繊維を発生させる海島型複合繊維は、好ましくは島成分芯鞘型複合繊維であって、その芯成分は水中で測定したガラス転移点（Ｔｇｗ）が鞘成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）に対して、２０℃以上低い海島複合繊維である。
【００５３】
上記の極細繊維を発生させる海島型複合繊維は、例えば、特開２０１１−１７４２１５号公報に記載の、ポリマー流を吐出するための複合口金を用いることにより作製することができる。この複合口金は、各成分のポリマー流を計量する複数の計量孔を有する計量板と、複数の計量孔からの吐出ポリマー流を合流させる合流溝に複数の分配孔を有する分配板とを組み合わせてあり、芯成分の分配孔を鞘成分の分配孔で囲むことで芯鞘型複合繊維の島成分が形成され、さらに複数の島成分の外周を海成分の分配孔で囲むことで、目的の海島複合断面が得られる。
【００５４】
海成分と島成分の比率は、海島型複合繊維に対する島繊維の質量比が０．２以上０．８以下であることが好ましく、より好ましくは０．３以上０．７以下である。質量比を０．２以上とすることにより、海成分の除去率を少なくなり、生産性が向上する。また、質量比を０．８以下とすることにより、島繊維の開繊性の向上および島成分の合流を防止することができる。
【００５５】
海島型繊維の海成分としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、およびポリスチレン等を用いることができる。
【００５６】
本発明で用いられる極細繊維が芯鞘型複合繊維の場合、芯成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）以上、鞘成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）以下の湿熱中で延伸されていることが好ましい態様である。芯成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）以上の湿熱中で延伸することにより、芯成分の非晶質部分がゴム状態にあるため、延伸直後に繊維軸方向の収縮を示す。また、鞘成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）以下であることにより、鞘成分の非晶質部分はガラス状態であるため、延伸後の収縮を示さない。これによって、極細繊維の芯成分は繊維軸方向に収縮するが、鞘成分は収縮しないため、芯成分の収縮に鞘成分が追従することにより、鞘成分にシワが入るようにして、凹凸が形成される。
【００５７】
また、極細繊維が海島型複合繊維から製造される場合、海成分を溶出する工程の前に、海島型複合繊維の段階で、芯成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）以上で、鞘成分のガラス転移点（Ｔｇｗ）以下の湿熱中で延伸することも好ましい態様である。この場合、芯成分の、繊維軸方向の収縮は海成分によって固定されるため、海成分を溶出することにより、芯成分が繊維軸方向に収縮して鞘成分に凹凸が形成される。
【００５８】
極細繊維がシート状物において不織布の形態をなしている場合には、短繊維不織布でも長繊維不織布でも用いることができるが、短繊維不織布であると、シート状物の厚さ方向を向く繊維が長繊維不織布に比べて多くなり、起毛した際のシート状物の表面に高い緻密感を得ることができる。
【００５９】
不織布として短繊維を用いてニードルパンチにより不織布とする場合には、得られた極細繊維発現型繊維に、好ましくは捲縮加工を施し、所定長にカットして原綿を得る。捲縮加工やカット加工は、公知の方法を用いることができる。
【００６０】
次に、得られた原綿を、クロスラッパー等により繊維ウェブとし、絡合させることにより不織布を得る。繊維ウェブを絡合させて不織布を得る方法としては、ニードルパンチやウォータージェットパンチ等を用いることができる。
【００６１】
ニードルパンチ処理に用いられるニードルにおいては、ニードルバーブ（切りかき）の数は好ましくは１〜９本である。ニードルバーブを好ましくは１本以上とすることにより、効率的な繊維の絡合が可能となる。一方、ニードルバーブを好ましくは９本以下とすることにより、繊維損傷を抑えることができる。
【００６２】
バーブに引っかかる極細繊維発現型繊維等の複合繊維の本数は、バーブの形状と複合繊維の直径によって決定される。そのため、ニードルパンチ工程で用いられる針のバーブ形状は、キックアップが０〜５０μｍであり、アンダーカットアングルが０〜４０°であり、スロートデプスが４０〜８０μｍであり、そしてスロートレングスが０．５〜１．０ｍｍのバーブが好ましく用いられる。
【００６３】
また、パンチング本数は、１，０００〜８，０００本／ｃｍ２であることが好ましい。パンチング本数を好ましくは１，０００本／ｃｍ２以上とすることにより、緻密性が得られ高精度の仕上げを得ることができる。一方、パンチング本数を好ましくは８０００本／ｃｍ２以下とすることにより、加工性の悪化、繊維損傷および強度低下を防ぐことができる。
【００６４】
ニードルパンチ処理あるいはウォータージェットパンチ処理後の、極細繊維発生型繊維で構成された不織布の見掛け密度は、０．１５〜０．４５ｇ／ｃｍ３であることが好ましい。見掛け密度を０．１５ｇ／ｃｍ３以上とすることにより、形態安定性と寸法安定性が優れた不織布にでき、洗浄加工時の洗浄加工布の伸びによる加工ムラ、およびスクラッチ欠点の発生を抑えることができる。一方、見掛け密度を０．４５ｇ／ｃｍ３以下とすることにより、高分子弾性体を付与するための十分な空間を繊維間に維持することができる。
【００６５】
前記の不織布には、繊維の緻密感向上のために、温水やスチーム処理による熱収縮処理を施すことも好ましい態様である。
【００６６】
次に、前記の不織布に水溶性樹脂の水溶液を含浸し、乾燥することにより水溶性樹脂を付与することもできる。不織布に水溶性樹脂を付与することにより、繊維が固定されて寸法安定性が向上される。
【００６７】
次に、得られた不織布を溶剤で処理して極細繊維を発現させる。極細繊維の発現処理は、溶剤中に海島型複合繊維からなる不織布を浸漬させて海成分を溶解除去することにより行うことができる。
【００６８】
海島型複合繊維から海成分を溶解するなど、極細繊維発生型繊維から易溶解性ポリマーを溶解除去する極細繊維発生加工は、上記の不織布に高分子弾性体を付与する前、付与した後、あるいは起毛(立毛)処理の前後の、いずれのタイミングで行なうことができる。
【００６９】
上記の易溶解性ポリマー(海成分)を溶解する溶剤としては、海成分がポリエチレンなどのポリオレフィンやポリスチレン等であれば、トルエンやトリクロロエチレン等の有機溶媒を用いることができる。また、極細繊維発生加工(脱海処理)は、溶剤中に極細繊維発生型繊維からなる不織布を浸漬し、窄液することによって行うことができる。
【００７０】
また、極細繊維発生加工には、連続染色機、バイブロウォッシャー型脱海機、液流染色機、ウィンス染色機あるいはジッガー染色機等の公知の装置を用いることができる。
【００７１】
次に、不織布に高分子弾性体の溶剤液もしくは分散液を含浸し固化して、高分子弾性体を付与することによりシート状物を得ることができる。高分子弾性体を不織布に固定する方法としては、高分子弾性体の溶液を不織布に含浸させ湿式凝固または乾式凝固する方法があり、使用する高分子弾性体の種類により適宜選択することができる。
【００７２】
高分子弾性体が付与されたシート状物は、製造効率の観点から、厚み方向に半裁することが好ましい。
【００７３】
高分子弾性体が付与されたシート状物あるいは半裁されたシート状物の表面に、起毛処理を施すことができる。起毛処理は、サンドペーパーやロールサンダーなどを用いて、研削する方法などにより施すことができる。
【００７４】
起毛処理を施す場合には、起毛処理の前にシリコーンエマルジョンなどの滑剤を付与することができる。また、起毛処理の前に帯電防止剤を付与することは、研削によってシート状物から発生した研削粉がサンドペーパー上に堆積しにくくなるので、好ましい態様である。このようにして、起毛されたシート状物が形成される。
【００７５】
本発明の不織布を有するシート状物から作製された洗浄加工布は、例えば、ハードディスクのサイズに対する加工効率と安定性の観点から、３０〜５０ｍｍ幅のテープ状にカットして用いることができる。
【００７６】
そして、基板を連続回転させた状態で、上記のテープ状とした洗浄加工布を研磨加工後の基板に押し付けながら、基板の径方向に洗浄加工布または基板を往復運動させ、連続的に洗浄加工布を走行させる。その際に、水および／または有機酸系洗浄剤の水溶液を洗浄加工布表面に供給し、表面の極細繊維によって基板表面を洗浄する方法が好適である。
【００７７】
ここで使用される有機酸系洗浄剤は、スルホン酸、クエン酸、リンゴ酸および酢酸の、少なくとも１つを含有するものであることが好ましい。洗浄加工方法としては、上記のような洗浄加工用テープと洗浄剤を用い、アルミニウムやガラス等からなる磁気記録ディスク基板の洗浄加工を行うことができる。
【００７８】
本発明のシート状物は、ｎｍオーダーからμｍオーダーと幅広く分布する異物を効率的に除去できるので、磁気記録媒体用基板の表面を洗浄する洗浄加工布として特に好適であるが、ダイヤモンド砥粒等の遊離砥粒を用いた高性能研磨布として、テープ研磨加工にも好ましく用いることができ、また、ワイピングクロス、各種研磨材、フィルター、および有害物質除去製品等の工業材料用途としても好適に用いられる。
【実施例】
【００７９】
次に、実施例を挙げて本発明のシート状物を説明する。各物性の測定と評価に用いる加工は、次の方法による。
【００８０】
＜測定方法＞
（１）ガラス転移点（Ｔｇｗ）の測定：
極細繊維に用いたポリマーを、フィルム状（幅５ｍｍ、厚さ０．８ｍｍ、長さ２１ｍｍ）にし、ユービーエム社のＲｈｅｏｇｅｌ−Ｅ４００００を用いて、下記の条件で測定した損失弾性率の主分散ピークを、ガラス転移点（Ｔｇｗ）とした。
・ジオメトリー：引張
・チャック間距離：８ｍｍ
・周波数：１０Ｈｚ
・温度範囲：室温（２０℃）〜９８℃
・昇温速度：３℃／分
・測定雰囲気：水中。
【００８１】
（２）繊維表面の凹凸の観察：
シート状物の表面を、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ、キーエンス社、ＶＥ−７８００）を用いて５０００倍で観察した。極細繊維の繊維軸方向に１μｍの直線をひき、その直線上に存在する繊維表面の凹凸の凸部の個数を計数し、下記の式で隣接する凸部間のピッチを計算した。無作為に抽出した２０点について測定した値の平均を結果とした。
・凹凸の隣接する凸部間のピッチ＝１μｍ／凸部の個数（個）。
【００８２】
（３）凹凸高さの測定：
シート状物の表面を、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ、キーエンス社、ＶＥ−７８００）を用いて５０００倍で観察した。繊維表面の凸部の頂点２カ所を直線で結び、その間にある凹部の最下部と直線との距離を凹凸高さとした。無作為に抽出した２０点について測定した値の平均を結果とした。
【００８３】
（４）平均単繊維径の測定:
シート状物の断面を、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ、キーエンス社、ＶＥ−７８００）を用いて２０００倍で観察した。画像正面を向いている極細繊維の断面を、多角形で近似し、その面積Ｓ（μｍ２）を測定し、下記の式で計算した。無作為に抽出した２０点について測定した値の平均を結果とした。
・平均単繊維径（μｍ）＝２×（Ｓ÷３．１４）＾（１／２）。
【００８４】
（５）エラー数：
洗浄加工後のガラス基板に磁性層を形成し、磁気欠点やエラー欠陥という、基板表面上に残存する異物起因の不良ディスク発生率を算出した。測定は、ディスク１００枚を１セットとし、計３セット実施した。それぞれのセット毎に、ディスク表面の異物起因の不良ディスク発生率を算出し、３セットにおける発生率の平均値を、不良ディスク発生率とした。不良ディスク発生率が１％以下を加工性良好とし、１％を超える場合は加工性不良とした。
【００８５】
［実施例１］
（紡糸）
芯成分に東レ製ナイロン６（“アミラン”（登録商標）：ＣＭ１０２１ＴＭ）を用い、鞘成分にＴｇｗが７０℃のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を用い、海成分にＪＩＳ  Ｋ  ７２１０１−１（２０１４）Ｂ法により測定されるＭＦＲが、２０ｇ／分であるポリスチレンを用いた。ナイロン６のガラス転移点（Ｔｇｗ）は、室温（２０℃）では損失弾性率の主分散ピークを持たずゴム状態であったため、ナイロン６のガラス転移点（Ｔｇｗ）は２０℃未満とした。これらのポリマーを用いて、計量する複数の計量孔を有する計量板と、複数の計量孔からの吐出ポリマー流を合流する合流溝に複数の分配孔を有する分配板とを有し、芯鞘型複合繊維が３５０本配列された海島型複合繊維を作製可能な口金によって、紡糸温度が２８０℃、芯／鞘／海質量比率が２１／９／７０、吐出量が２．１ｇ／分・ホール、紡糸速度が１２８０ｍ／分の条件で溶融紡糸した。
【００８６】
（延伸）
次いで、４０℃の温度の紡糸用の油剤液浴中で３．０倍に延伸し、押し込み型捲縮機を用いて捲縮を付与し、カットして、単繊維繊度が６．５ｄｔｅｘ、繊維長が５１ｍｍの海島型複合繊維の原綿を得た。
【００８７】
（不織布）
上記の海島型複合繊維の原綿を用い、カード工程とクロスラッパー工程を経て、積層繊維ウェブを形成した。次いで、得られた積層繊維ウェブを、ニードルパンチ機を用いて、パンチ本数３２００本／ｃｍ２でニードルパンチし、目付が７１０ｇ／ｍ２で、見掛け密度が０．２２３ｇ／ｃｍ３の極細繊維発生型不織布を作製した。この極細繊維発生型不織布を９５℃の温度で熱水収縮処理させた後、ポリビニルアルコールを繊維質量に対し３４質量％付与し、その後乾燥させた。次に、この極細繊維発生型不織布を、バイブロウォッシャーを用いて３０℃のトリクロロエチレンに浸漬させ、海成分を溶解除去する極細繊維発生加工を施して、極細繊維で構成された不織布を得た。
【００８８】
（シート状物）
上記のようにして得られた不織布に、ポリマージオールがポリエーテル系７５質量％とポリエステル系２５質量％とからなるポリウレタンを、繊維質量に対して固形分で３１質量％付与し、液温が３５℃の３０％ＤＭＦ水溶液でポリウレタンを凝固させ、約８５℃の温度の熱水で処理し、ＤＭＦおよびポリビニルアルコールを除去した。その後、エンドレスのバンドナイフを有する半裁機により厚み方向に半裁してシートを得た。得られたシートの非半裁面を、ＪＩＳ＃３２０番のサンドペーパーを用いて、サンドペーパーの回転と逆方向にシートを進行させ、シート速度が５ｍ／分で、３段バッフィングで研削し、立毛を有する、実施例１のシート状物を作製した。
【００８９】
得られたシート状物の平均単繊維径は０．８μｍで、繊維表面に形成された凹凸の隣接する凸部間のピッチは１００ｎｍであり、凹凸高さは２５ｎｍであった。
【００９０】
（研磨加工）
得られたシート状物を、３０ｍｍ幅のテープとし、研磨布として用いた。研磨対象として、表面粗さが０．２ｎｍ以下に制御されたコニカミノルタガラステック株式会社製のアモルファスガラスからなる基板を用いた。基板の両面を一度に研磨すべく、上記のテープ状研磨布を基板の両面にセットして、洗浄加工布表面に１次粒子径１〜１０ｎｍの単結晶ダイヤモンド粒子が平均径５０ｎｍにクラスター化した遊離砥粒を０．０１質量％含む研磨剤を、１５ｍＬ／分で両面側に滴下し、基板へのテープの押付圧を１０００ｇ重とし、基板回転数を４００ｒｐｍとし、基板揺動数を５Ｈｚとし、テープ走行速度２．５ｃｍ／分として、１０秒間研磨した。
【００９１】
（洗浄加工）
上記のテープ状シート状物を洗浄加工布として用い、研磨加工直後の基板を、研磨剤を洗浄剤(三洋化成株式会社製、ケミクリーンＰＲ−１２２)に代えて、テープ状洗浄加工布の押付圧を７５０ｇ重とし、加工時間を３０秒としたこと以外は、研磨加工と同じ条件で洗浄加工し、流水で洗浄した。
【００９２】
上記の研磨加工と洗浄加工を実施した後、基板のエラー性能評価を実施したところ、不良ディスク発生率は０．１％と加工性が良好であり、満足のいくものであった。結果を表１に示す。
【００９３】
［実施例２］
（紡糸）
実施例１と同じポリマーを用いて、芯鞘型複合繊維が２０００本配列された海島型複合繊維を作製可能な口金によって、紡糸温度２８０℃、芯／鞘／海質量比率が２４／１６／６０、吐出量が２．２ｇ／分・ホール、紡糸速度が１２８０ｍ／分の条件で溶融紡糸した。
【００９４】
その他は実施例１と同様に加工し、得られたシート状物の平均単繊維径は０．３μｍで、繊維表面に形成された凹凸の隣接する凸部間のピッチは５０ｎｍであり、凹凸高さは１５ｎｍであった。
【００９５】
得られた実施例２のシート状物を用いて、研磨加工と洗浄加工を実施し、エラー性能評価を実施したところ、不良ディスク発生率は０．３％と加工性が良好であり、満足のいくものであった。結果を表１に示す。
【００９６】
［実施例３］
（紡糸）
実施例１と同じポリマーを用いて、芯鞘型複合繊維が５０本配列された海島型複合繊維を作製可能な口金によって、紡糸温度が２８０℃、芯／鞘／海質量比率が２４／１６／６０、吐出量が２．２ｇ／分・ホール、紡糸速度が１２８０ｍ／分の条件で溶融紡糸した。
【００９７】
その他は実施例１と同様に加工し、得られたシート状物の平均単繊維径は５μｍで、繊維表面に形成された凹凸の隣接する凸部間のピッチは５００ｎｍであり、凹凸高さは１００ｎｍであった。
【００９８】
得られた実施例３のシート状物を用いて、研磨加工と洗浄加工を実施し、エラー性能評価を実施したところ、不良ディスク発生率は０．８％と加工性が良好であり、満足のいくものであった。結果を表１に示す。
【００９９】
［実施例４］
（紡糸）
実施例１と同じポリマーを用いて、芯鞘型複合繊維が３５０本配列された海島型複合繊維を作製可能な口金によって、紡糸温度が２８０℃、芯／鞘／海質量比率が１５／１５／７０、吐出量が２．１ｇ／分・ホール、紡糸速度が１２８０ｍ／分の条件で溶融紡糸した。
【０１００】
その他は実施例１と同様に加工し、得られたシート状物の平均単繊維径は０．８μｍで、繊維表面に形成された凹凸の隣接する凸部間のピッチは２５０ｎｍであり、凹凸高さは５０ｎｍであった。
【０１０１】
得られた実施例４のシート状物を用いて、研磨加工と洗浄加工を実施し、エラー性能評価を実施したところ、不良ディスク発生率は０．５％と加工性が良好であり、満足のいくものであった。結果を表１に示す。
【０１０２】
［実施例５］
（紡糸）
実施例１と同じポリマーを用いて、芯鞘型複合繊維が３５０本配列された海島型複合繊維を作製可能な口金によって、紡糸温度が２８０℃、芯／鞘／海質量比率が２４／６／７０、吐出量が２．１ｇ／分・ホール、紡糸速度が１２８０ｍ／分の条件で溶融紡糸した。
【０１０３】
その他は実施例１と同様に加工し、得られたシート状物の平均単繊維径は０．８μｍで、繊維表面に形成された凹凸の隣接する凸部間のピッチは１００ｎｍであり、凹凸高さは２０ｎｍであった。
【０１０４】
得られた実施例５のシート状物を用いて、研磨加工と洗浄加工を実施し、エラー性能評価を実施したところ、不良ディスク発生率は０．７％と加工性が良好であり、満足のいくものであった。結果を表１に示す。
【０１０５】
［実施例６］
（紡糸）
芯成分にポリエチレンテレフタレートの酸成分のうち５モル％がスルホイソフタル酸ナトリウムで共重合された共重合ＰＥＴ１（Ｔｇｗ：５０℃）を用い、鞘成分にＰＥＴ（Ｔｇｗ：７０℃）を用い、海成分にＪＩＳ  Ｋ  ７２１０１−１（２０１４）Ｂ法により測定されるＭＦＲが、２０ｇ／ｍｉｎであるポリスチレンを用いて、芯鞘型複合繊維が３５０本配列された海島型複合繊維を作製可能な口金によって、紡糸温度が２８０℃、芯／鞘／海質量比率が２１／９／７０、吐出量が２．１ｇ／分・ホール、紡糸速度が１２８０ｍ／分の条件で溶融紡糸した。
【０１０６】
（延伸）
次いで、６０℃の温度の紡糸用の油剤液浴中で３．０倍に延伸し、押し込み型捲縮機を用いて捲縮を付与し、カットして、単繊維繊度が６．５ｄｔｅｘで、繊維長が５１ｍｍの海島型複合繊維の原綿を得た。
【０１０７】
その他は実施例１と同様に加工し、得られたシート状物の平均単繊維径は０．８μｍで、繊維表面に形成された凹凸の隣接する凸部間のピッチは２５０ｎｍであり、凹凸高さは６０ｎｍであった。
【０１０８】
実施例６のシート状物を用いて、研磨加工と洗浄加工を実施し、エラー性能評価を実施したところ、不良ディスク発生率は０．２％と加工性が良好であり、満足のいくものであった。結果を表１に示す。
【０１０９】
［実施例７］
（紡糸）
芯成分に東レ製ナイロン６（“アミラン”（登録商標）：ＣＭ１０２１ＴＭ）を用い、鞘成分にポリエチレンテレフタレートの酸成分のうち５モル％がスルホイソフタル酸ナトリウムで共重合された共重合ＰＥＴ１を用い、海成分にＪＩＳ  Ｋ  ７２１０１−１（２０１４）Ｂ法により測定されるＭＦＲが、２０ｇ／ｍｉｎであるポリスチレンを用いて、芯鞘型複合繊維が３５０本配列された海島型複合繊維を作製可能な口金によって、紡糸温度が２８０℃、芯／鞘／海質量比率が２１／９／７０、吐出量が２．１ｇ／分・ホール、紡糸速度が１２８０ｍ／分の条件で溶融紡糸した。
【０１１０】
（延伸）
次いで、６０℃の温度の紡糸用の油剤液浴中で３．０倍に延伸し、押し込み型捲縮機を用いて捲縮を付与し、カットして、単繊維繊度が６．５ｄｔｅｘで、繊維長が５１ｍｍの海島型複合繊維の原綿を得た。
【０１１１】
その他は実施例１と同様に加工し、得られたシート状物の平均単繊維径は０．８μｍで、繊維表面に形成された凹凸の隣接する凸部間のピッチは２００ｎｍであり、凹凸高さは３０ｎｍであった。
【０１１２】
実施例７のシート状物を用いて、研磨加工と洗浄加工を実施し、エラー性能評価を実施したところ、不良ディスク発生率は０．６％と加工性が良好であり、満足のいくものであった。結果を表１に示す。
【０１１３】
［比較例１］
（紡糸）
実施例１と同じポリマーを用いて、芯鞘型複合繊維が２５本配列された海島型複合繊維を作製可能な口金によって、紡糸温度が２８０℃、芯／鞘／海質量比率が２４／１６／６０、吐出量が２．２ｇ／分・ホール、紡糸速度が１２８０ｍ／分の条件で溶融紡糸した。
【０１１４】
その他は実施例１と同様に加工し、得られたシート状物の平均単繊維径は１０μｍで、繊維表面に形成された凹凸の隣接する凸部間のピッチは１０００ｎｍであり、凹凸高さは２００ｎｍであった。
【０１１５】
得られた比較例１のシート状物を用いて、研磨加工と洗浄加工を実施し、エラー性能評価を実施したところ、不良ディスク発生率は３．２％と加工性が不良であった。結果を表１に示す。
【０１１６】
［比較例２］
（紡糸）
芯成分にポリエチレンテレフタレートの酸成分のうち１０モル％がスルホイソフタル酸ナトリウムで共重合された共重合ＰＥＴ１（Ｔｇｗ：５０℃）を用い、鞘成分にポリエチレンテレフタレートの酸成分のうち５モル％がスルホイソフタル酸ナトリウムで共重合された共重合ＰＥＴ２（Ｔｇｗ：６０℃）を用い、海成分にＪＩＳ  Ｋ  ７２１０１−１（２０１４）Ｂ法により測定されるＭＦＲが、２０ｇ／ｍｉｎであるポリスチレンを用いて、芯鞘型複合繊維が３５０本配列された海島型複合繊維を作製可能な口金によって、紡糸温度が２８０℃、芯／鞘／海質量比率が２１／９／７０、吐出量が２．１ｇ／分・ホール、紡糸速度が１２８０ｍ／分の条件で溶融紡糸した。
【０１１７】
（延伸）
次いで、５５℃の温度の紡糸用の油剤液浴中で３．０倍に延伸し、押し込み型捲縮機を用いて捲縮を付与し、カットして、単繊維繊度が６．５ｄｔｅｘで、繊維長が５１ｍｍの海島型複合繊維の原綿を得た。
【０１１８】
その他は実施例１と同様に加工し、得られたシート状物の平均単繊維径は０．３μｍであったが、繊維表面に凹凸は形成されなかった。
【０１１９】
得られたシート状物を用いて、研磨加工と洗浄加工を実施し、エラー性能評価を実施したところ、不良ディスク発生率は１．１％と加工性が不良であった。結果を表１に示す。
【０１２０】
【表１】
2019099930.tif 000002
【０１２１】
実施例１〜７ではシート状物を構成する極細繊維の繊維表面に凹凸が形成されており、これを用いて基板の研磨・洗浄加工を施すと、ｎｍオーダーからμｍオーダーの異物を除去することができるため、不良ディスクの発生率が１％以下と加工性が両行であった。
【０１２２】
一方で、比較例１ではシート状物を構成する極細繊維の平均単繊維径が１０μｍであるため、極細繊維の繊維表面に凹凸が形成されているが、凸部間の平均ピッチおよび凹凸高さが大きく、これを用いて基板の研磨・洗浄加工を施しても異物を十分除去することができず、不良ディスクの発生率が３．２％と不良である。また、比較例２では、シート状物を構成する極細繊維が芯鞘型複合繊維であるが、繊維表面に凹凸が形成されていないため、基板の研磨・洗浄加工に用いた場合、ｎｍオーダーの異物を除去することができず、不良ディスクの発生率が１．１％と不良であった。このように本発明のシート状物は、構成する極細繊維の繊維表面に適切な凹凸が形成されているため、基板の研磨・洗浄加工に好適である。
【符号の説明】
【０１２３】
１：繊維表面の凸部
２：繊維表面の凹部
３：隣接する凸部間のピッチ
４：凹凸高さ
２１：芯鞘型複合繊維の芯成分
２２：芯鞘型複合繊維の鞘成分
３１：海島型複合繊維の芯成分
３２：海島型複合繊維の鞘成分
３３：海島型複合繊維の海成分
【図１】
2019099930.tif 000003
【図２】
2019099930.tif 000004
【図３】
2019099930.tif 000005