(57)【要約】【課題】簡単に吸着力の低下を抑制できる弾性変形パッド、吸着パッドユニット、真空チャック装置及び工作機械を提供する。【解決手段】弾性変形パッド６０は、複数の気孔が形成されることにより流体を通過させる通気性を有する多孔質パッド２１に対して設置対象物の一例であるワークＷが設置される側に位置する。弾性変形パッド６０は、多孔質パッド２１の厚さ方向（Ｚ方向）に沿う筒状に形成され、ワークＷが設置される設置面２０ａに沿って並び、ワークＷが弾性変形パッド６０を介して多孔質パッド２１に吸着される際、ワークＷに押されて弾性変形する弾性材料により形成される複数の筒部６１を備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の気孔が形成されることにより流体を通過させる通気性を有する多孔質パッドに対して設置対象物が設置される側に位置する弾性変形パッドであって、
前記多孔質パッドの厚さ方向に沿う筒状に形成され、前記設置対象物が設置される設置面に沿って並び、前記設置対象物が前記弾性変形パッドを介して前記多孔質パッドに吸着される際、前記設置対象物に押されて弾性変形する弾性材料により形成される複数の筒部を備える、
弾性変形パッド。
【請求項２】
前記複数の筒部は、前記厚さ方向に対して傾斜するように延びる傾斜壁部を備え、
前記傾斜壁部は、前記設置対象物が前記弾性変形パッドを介して前記多孔質パッドに吸着される際、前記設置対象物に押されて前記設置面に沿う方向に近づくように傾きながら弾性変形する、
請求項１に記載の弾性変形パッド。
【請求項３】
前記複数の筒部は、それぞれ六角形筒状をなし、前記設置面に沿って並べられたハニカム状に形成される、
請求項１又は２に記載の弾性変形パッド。
【請求項４】
前記筒部のハニカム径は、３ｍｍ〜２０ｍｍに設定される、
請求項３に記載の弾性変形パッド。
【請求項５】
前記複数の筒部は、前記多孔質パッドにおける前記弾性変形パッドと反対側の空間に負圧が形成されることにより前記設置対象物が前記弾性変形パッドを介して前記多孔質パッドに吸着される際、前記設置対象物に接触した状態を維持しつつ弾性変形する、
請求項１から４のいずれか一項に記載の弾性変形パッド。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載の弾性変形パッドと、
前記多孔質パッドと、を備える、
吸着パッドユニット。
【請求項７】
請求項６に記載の吸着パッドユニットと、
前記多孔質パッドが設置されることにより負圧案内空間を形成するベースプレートと、
前記負圧案内空間に負圧を形成することにより前記設置対象物を前記弾性変形パッドを介して前記多孔質パッドに吸着させる真空ポンプと、を備え、
前記複数の筒部は、前記真空ポンプが作動することにより真空が形成される内部空間を有する、
真空チャック装置。
【請求項８】
請求項７に記載の真空チャック装置と、
前記真空チャック装置に吸着された前記設置対象物を加工する加工部と、を備える、
工作機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性変形パッド、吸着パッドユニット、真空チャック装置及び工作機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、設置されるワークに対して真空状態を形成することによりワークを吸着する真空チャック装置が知られている。例えば、特許文献１に記載の真空チャック装置は、ワークが設置される吸着面を有し多孔質セラミックにより形成される吸着プレート（多孔質パッド）と、吸着プレートの裏側に負圧案内空間を形成するベースプレートと、負圧案内空間を負圧とすることによりワークを吸着プレートに吸着する真空ポンプと、を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−２０３９０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、ワークは様々な要因により凹凸を有する場合がある。例えば、ワークがプリント基板である場合にはコンデンサ等の電気素子により凹凸が形成される。また、ワークの表面粗さが大きい場合にも凹凸が形成される。図６に示すように、凸部Ｗａを有するワークＷが多孔質パッド１２０により吸着される場合、多孔質パッド１２０とワークＷの接触面積が小さくなる。これにより、多孔質パッド１２０におけるワークＷと接触しない部位を空気が通過するため、真空度が低くなり、吸着力が低下するおそれがある。
なお、ワークと多孔質パッドの接触面積を増やすべく、ワークの凹凸を平面とするようにワックス又は氷をワークに形成する方法もあるが、この方法では、ワークにワックス又は氷を形成する手間が必要となるため、好ましくなかった。
【０００５】
本発明は、上記実状を鑑みてなされたものであり、簡単に吸着力の低下を抑制できる弾性変形パッド、吸着パッドユニット、真空チャック装置及び工作機械を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る弾性変形パッドは、複数の気孔が形成されることにより流体を通過させる通気性を有する多孔質パッドに対して設置対象物が設置される側に位置する弾性変形パッドであって、前記多孔質パッドの厚さ方向に沿う筒状に形成され、前記設置対象物が設置される設置面に沿って並び、前記設置対象物が前記弾性変形パッドを介して前記多孔質パッドに吸着される際、前記設置対象物に押されて弾性変形する弾性材料により形成される複数の筒部を備える。
【０００７】
また、上記弾性変形パッドにおいて、前記複数の筒部は、前記厚さ方向に対して傾斜するように延びる傾斜壁部を備え、前記傾斜壁部は、前記設置対象物が前記弾性変形パッドを介して前記多孔質パッドに吸着される際、前記設置対象物に押されて前記設置面に沿う方向に近づくように傾きながら弾性変形する、ようにしてもよい。
【０００８】
また、上記弾性変形パッドにおいて、前記複数の筒部は、それぞれ六角形筒状をなし、前記設置面に沿って並べられたハニカム状に形成される、ようにしてもよい。
【０００９】
また、上記弾性変形パッドにおいて、前記筒部のハニカム径は、３ｍｍ〜２０ｍｍに設定される、ようにしてもよい。
【００１０】
また、上記弾性変形パッドにおいて、前記複数の筒部は、前記多孔質パッドにおける前記弾性変形パッドと反対側の空間に負圧が形成されることにより前記設置対象物が前記弾性変形パッドを介して前記多孔質パッドに吸着される際、前記設置対象物に接触した状態を維持しつつ弾性変形する、ようにしてもよい。
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係る吸着パッドユニットは、前記弾性変形パッドと、前記多孔質パッドと、を備える。
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明の第３の観点に係る真空チャック装置は、前記吸着パッドユニットと、前記多孔質パッドが設置されることにより負圧案内空間を形成するベースプレートと、前記負圧案内空間に負圧を形成することにより前記設置対象物を前記弾性変形パッドを介して前記多孔質パッドに吸着させる真空ポンプと、を備え、前記複数の筒部は、前記真空ポンプが作動することにより真空が形成される内部空間を有する。
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明の第４の観点に係る工作機械は、前記真空チャック装置と、前記真空チャック装置に吸着された前記設置対象物を加工する加工部と、を備える。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、簡単に吸着力の低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る工作機械の斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る真空チャック装置の断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る吸着パッドユニットの設置面の一部を示す平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】ワークが吸着パッドユニットに吸着された場合の図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】比較例及び背景技術に係る凸部を有するワークが設置された多孔質パッドの断面図である。
【図７】本発明の変形例に係る吸着パッドユニットの断面図である。
【図８】本発明の変形例に係る吸着パッドユニットの断面図である。
【図９】本発明の変形例に係る吸着パッドユニットの断面図である。
【図１０】本発明の変形例に係る吸着パッドユニットの設置面の一部を示す平面図である。
【図１１】本発明の変形例に係る吸着パッドユニットの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明に係る弾性変形パッド、吸着パッドユニット、真空チャック装置及び工作機械の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
図１に示すように、工作機械１は、設置対象物の一例であるワークＷを設置面２０ａに固定する真空チャック装置１０と、固定されたワークＷを加工する加工部４０と、を備える。なお、以下の説明では、設置面２０ａに沿う互いに直交する方向をＸ方向及びＹ方向と規定し、設置面２０ａに直交する方向をＺ方向と規定する。
【００１８】
加工部４０は、真空チャック装置１０に固定されたワークＷを切削又は研磨する工具４１を備える。
【００１９】
図２に示すように、真空チャック装置１０は、弾性変形パッド６０及び多孔質パッド２１を有する吸着パッドユニット２０と、ベースプレート１２と、スルーホール板１５と、を備える。
【００２０】
ベースプレート１２は、Ｚ方向の上方に向けて開口する溝１２ａを備える。ベースプレート１２には、溝１２ａの開口部を塞ぐように吸着パッドユニット２０及びスルーホール板１５が設けられる。溝１２ａは負圧案内空間を構成する。
【００２１】
スルーホール板１５は、吸着パッドユニット２０とベースプレート１２の間に位置する金属板である。スルーホール板１５には、Ｚ方向に貫通する複数の貫通孔１５ａが形成される。複数の貫通孔１５ａは、Ｘ方向及びＹ方向にマトリクス状に配置されている。
【００２２】
多孔質パッド２１は、板状に形成され、スルーホール板１５の上面に位置する。多孔質パッド２１は流体を通過させる通気性を有する。多孔質パッド２１は、例えば、アルミナや炭化ケイ素などの無機質材料の粉粒体からなる骨材とその骨材相互を結合するための結合材（例えば、ビトリファイドボンド、レジノイド、セメント、ゴム及びガラスなど）の混合材料を成型金型に投入して焼結することで形成される。多孔質パッド２１は、微細な気孔が無数に形成された多孔質構造となっている。多孔質パッド２１の気孔率（気孔密度）は、骨材と結合材の混合割合により調整することができ、また、気孔の平均孔径は、骨材の粒度を選定することにより調整することができる。多孔質パッド２１は、連なった微細気孔を介して表面２０ｃとその反対面である裏面２０ｂ（負圧案内空間側の面）との間で空気又は水などの液体の流体を通過させることができる通気性を有する。
【００２３】
真空ポンプ３０は、真空ポート１２ｂを介して溝１２ａ内の負圧案内空間と接続される。真空ポンプ３０は作動すると、負圧案内空間内は負圧となる。これにより、吸着パッドユニット２０の設置面２０ａ上のワークＷに対して吸着力が作用し、ワークＷは多孔質パッド２１上で吸着される。
【００２４】
弾性変形パッド６０は、多孔質パッド２１の表面２０ｃに位置し、ワークＷが設置面２０ａに吸着される際にワークＷの凹凸に応じて弾性変形する機能を有する。弾性変形パッド６０は、例えば、天然ゴム、合成ゴム、シリコン、ウレタン、エラストマー、塩化ビニール又はポリエステル等の弾性材料により形成される。本例では、弾性変形パッド６０は多孔質パッド２１の表面２０ｃに接着剤により接着される。
なお、弾性変形パッド６０は、多孔質パッド２１の表面２０ｃに接着されず、多孔質パッド２１の表面２０ｃに置かれるだけでもよい。この場合でも、弾性変形パッド６０と多孔質パッド２１の静摩擦により弾性変形パッド６０の位置が多孔質パッド２１に対してずれることが抑制される。
【００２５】
詳しくは、図３及び図４に示すように、弾性変形パッド６０は、Ｚ方向に延び、設置面２０ａに沿って並べられる複数の筒部６１を有する。弾性変形パッド６０は、図３に示すように、Ｚ方向から見て、正六角形筒状の筒部６１が隙間なく並べられたハニカム状をなす。すなわち、筒部６１は、正六角形をなす６つの壁部２８ａにより構成される。図４に示すように、筒部６１は、Ｚ方向に対して角度αだけ傾斜するように形成される。本例では、筒部６１の上面と下面は、Ｘ方向における異なる位置に存在する。よって、６つの壁部２８ａのうち４つがＺ方向に対して傾斜する傾斜壁部２８ｂである。傾斜壁部２８ｂは、弾性変形パッド６０に外力が加わっていない場合、Ｚ方向に対して角度αで傾斜する。
【００２６】
筒部６１のハニカム径は小さすぎると流体の通過を阻害するとともに弾性変形パッド６０が弾性変形しづらくなり吸着力が低下するおそれがあり、ハニカム径は大きすぎると弾性変形パッド６０がワークＷを安定的に支持することが困難となるおそれがある。また、ハニカム径は、ワークＷのサイズに適した大きさ、すなわちワークＷのサイズに比例した値に設定する必要がある。このような観点から、ハニカム径は、好ましくは３ｍｍ〜２０ｍｍに設定される。
また、壁部２８ａの厚さは大きすぎると流体の通過を阻害するおそれがあり、壁部２８ａの厚さは小さすぎると弾性変形パッド６０がワークＷを安定的に支持することが困難となるおそれがある。このような観点から、壁部２８ａの厚さは、好ましくは０．０１ｍｍ〜１ｍｍに設定され、より好ましくは０．０１ｍｍ〜０．５ｍｍに設定される。
【００２７】
次に、工作機械１の作用について説明する。
まず、ワークＷが吸着パッドユニット２０の設置面２０ａに設置される。この際、弾性変形パッド６０は弾性変形していない。図５に示すように、ワークＷは、その下面に凸部Ｗａ、凹部Ｗｂ及び平面部Ｗｃを有する。凸部Ｗａ、凹部Ｗｂ及び平面部Ｗｃは、ワークＷの表面粗さに伴い形成されたり、電気素子等の構造物により形成されたりする。
【００２８】
ワークＷが設置面２０ａに設置された状態で、真空ポンプ３０が作動すると、ワークＷの下面に塞がれた筒部６１の内部空間Ｓ１が真空となり、ワークＷには設置面２０ａに向かう吸着力Ｆが作用する。この吸着力Ｆにより、弾性変形パッド６０の傾斜壁部２８ｂは、弾性変形前の角度αよりも大きい角度β、γ、φで傾斜するように弾性変形する。この際、傾斜壁部２８ｂ以外の壁部２８ａは傾斜壁部２８ｂの傾斜に合わせてたわむ。これにより、ワークＷは弾性変形パッド６０に沈み込む。
なお、図５では、傾斜壁部２８ｂは弾性変形時も直線状に簡易的に示されているが、実際には、傾斜壁部２８ｂは、その上端に向かうにつれてたわみ量が大きくなるようにたわむ。例えば、傾斜壁部２８ｂの上端がワークＷの凸部Ｗａに接触している場合には、その傾斜壁部２８ｂはＺ方向に対して角度γで傾斜する。また、傾斜壁部２８ｂの上端がワークＷの凹部Ｗｂ（正確には凹部Ｗｂの底面）に接触している場合には、その傾斜壁部２８ｂはＺ方向に対して角度γよりも小さい角度φで傾斜する。また、傾斜壁部２８ｂの上端がワークＷの平面部Ｗｃに接触している場合には、その傾斜壁部２８ｂはＺ方向に対して角度φより大きく、かつ角度γよりも小さい角度βで傾斜する。
このように、傾斜壁部２８ｂは、ワークＷの下面の形状に応じた角度で傾斜する。これにより、ワークＷの凹凸に関わらず、ワークＷの下面に塞がれた筒部６１の内部空間Ｓ１を閉じることができ、閉じた内部空間Ｓ１を真空とすることができる。
図６に示す比較例では、多孔質パッド１２０におけるワークＷと接触しない部位を空気が通過するため、真空度が低くなり、吸着力が低下するおそれがある。この点、図５に示す本実施形態では、多孔質パッド２１におけるワークＷに対向する部位を空気が通過することが抑制され、図６に示す比較例よりも真空度を高めることができる。
【００２９】
弾性変形パッド６０には、ワークＷの自重、吸着力Ｆ及び加工部４０による押圧力を足し合わせた力が最大で加わる。この最大の力が弾性変形パッド６０に加わった場合に、弾性変形パッド６０の弾性力が小さすぎると、すなわち、弾性変形パッド６０が柔らかすぎると、傾斜壁部２８ｂが多孔質パッド２１の表面２０ｃに沿う角度をなすことにより、内部空間Ｓ１を形成できないおそれがある。これを考慮して、弾性変形パッド６０は、最大の力が弾性変形パッド６０に加わった場合であっても、内部空間Ｓ１を形成できるように傾斜壁部２８ｂの傾斜角度が９０°よりも小さくなる程度の弾性力を有する。
一方、ワークＷを介して吸着力Ｆが加わった弾性変形パッド６０の弾性力が大きすぎると、すなわち、弾性変形パッド６０が硬すぎると、傾斜壁部２８ｂの上端がワークＷの凹部Ｗｂから離れることにより、内部空間Ｓ１を閉じた空間とすることができないおそれがある。これを考慮して、筒部６１は、傾斜壁部２８ｂの上端がワークＷから離れない程度の弾性力を有する。
弾性変形パッド６０の弾性力を調整するために、傾斜壁部２８ｂの厚さ、高さ、材質、傾斜角度、筒部６１のハニカム径が実験又はシミュレーションにより決定される。例えば、シミュレーションにおいては、傾斜壁部２８ｂの下端が固定端であり、傾斜壁部２８ｂの上端が自由端である片持ち梁をモデルとしてたわみ量が計算される。
一例として、ワークＷの下面の表面粗さの最大高さが０．１ｍｍの場合、傾斜壁部２８ｂのＺ方向の高さは０．２ｍｍに設定される。これにより、上記最大の力が弾性変形パッド６０に加わった場合に、傾斜壁部２８ｂの上端がＺ方向に０．１ｍｍだけ下方へ変位した場合であっても、傾斜壁部２８ｂの上端は多孔質パッド２１の表面２０ｃから約０．１ｍｍ離れた状態となる。
【００３０】
吸着力ＦによりワークＷが設置面２０ａに吸着された状態で、加工部４０によりワークＷが加工される。ワークＷの加工が終了して、真空ポンプ３０が停止されると、弾性変形パッド６０は復元力により図４に示す傾斜壁部２８ｂが角度αをなす元の状態に戻る。よって、ワークＷが弾性変形パッド６０に沈み込んだ状態が解消されるため、加工後のワークＷを他の位置に移動させるために図示しない把持装置により把持し易い。
【００３１】
（効果）
以上、説明した一実施形態によれば、以下の効果を奏する。
【００３２】
（１）弾性変形パッド６０は、複数の気孔が形成されることにより流体を通過させる通気性を有する多孔質パッド２１に対して設置対象物の一例であるワークＷが設置される側に位置する。弾性変形パッド６０は、多孔質パッド２１の厚さ方向（Ｚ方向）に沿う筒状に形成され、ワークＷが設置される設置面２０ａに沿って並び、ワークＷが弾性変形パッド６０を介して多孔質パッド２１に吸着される際、ワークＷに押されて弾性変形する弾性材料により形成される複数の筒部６１を備える。
この構成によれば、凹凸を有するワークＷが設置面２０ａに吸着された場合、弾性変形パッド６０の複数の筒部６１がワークＷの凹凸に応じて弾性変形する。これにより、ワークＷが凹凸を有する場合あっても、筒部６１の内部空間Ｓ１を閉じることができ、閉じた内部空間Ｓ１の真空度を高めることができる。従って、設置面２０ａへのワークＷの吸着力の低下を抑制できる。
また、上記構成では、ワークＷと多孔質パッド２１の接触面積を増やすべくワークＷにワックス又は氷を形成する手間がないため、簡単に吸着力の低下を抑制できる。
【００３３】
（２）複数の筒部６１は、Ｚ方向に対して傾斜するように延びる傾斜壁部２８ｂを備える。傾斜壁部２８ｂは、ワークＷが弾性変形パッド６０を介して多孔質パッド２１に吸着される際、ワークＷに押されて設置面２０ａに沿う方向に近づくように傾きながら弾性変形する。
この構成によれば、ワークＷが設置面２０ａに吸着された場合における筒部６１のＺ方向における弾性変形量を所望の量に設定し易い。
【００３４】
（３）複数の筒部６１は、それぞれ六角形筒状をなし、設置面２０ａに沿って並べられたハニカム状に形成される。
この構成によれば、筒部６１の強度を高めることができ、弾性変形パッド６０の寿命を延ばすことができる。
【００３５】
（４）筒部６１のハニカム径は、３ｍｍ〜２０ｍｍに設定される。
筒部６１のハニカム径は小さすぎると流体の通過を阻害するとともに弾性変形パッド６０が弾性変形しづらくなり吸着力が低下するおそれがあり、筒部６１のハニカム径は大きすぎると弾性変形パッド６０がワークＷを安定的に支持することが困難となるおそれがある。吸着力の低下を抑制しつつワークＷを安定的に支持することを実現するために、筒部６１のハニカム径は３ｍｍ〜２０ｍｍに設定される。
【００３６】
（５）複数の筒部６１は、多孔質パッド２１における弾性変形パッド６０と反対側の負圧案内空間に負圧が形成されることによりワークＷが弾性変形パッド６０を介して多孔質パッド２１に吸着されたとき、ワークＷに接触した状態を維持しつつ弾性変形するように形成される。
この構成によれば、ワークＷが凹凸を有する場合あっても、筒部６１の内部空間Ｓ１を閉じることができ、閉じた内部空間Ｓ１の真空度を高めることができる。従って、簡単に吸着力の低下を抑制できる。
【００３７】
（６）吸着パッドユニット２０は、弾性変形パッド６０と、多孔質パッド２１と、を備える。
この構成によれば、吸着パッドユニット２０において、上述のように、簡単に吸着力の低下を抑制できる。
【００３８】
（７）真空チャック装置１０は、吸着パッドユニット２０と、多孔質パッド２１が設置されることにより負圧案内空間を形成するベースプレート１２と、負圧案内空間に負圧を形成することによりワークＷを弾性変形パッド６０を介して多孔質パッド２１に吸着させる真空ポンプ３０と、を備える。複数の筒部６１は、真空ポンプ３０が作動することにより真空が形成される内部空間Ｓ１を有する。
この構成によれば、真空チャック装置１０において、上述のように、簡単に吸着力の低下を抑制できる。
【００３９】
（８）工作機械１は、真空チャック装置１０と、真空チャック装置１０に吸着されたワークＷを加工する加工部４０と、を備える。
この構成によれば、工作機械１において、上述のように、吸着力の低下を抑制でき、所望の加工を実現することができる。
【００４０】
（変形例）
なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することができる。
【００４１】
上記実施形態においては、複数の筒部６１は、設置面２０ａの全域にわたって並べられていたが、設置面２０ａの一部に並べられてもよい。
【００４２】
上記実施形態においては、加工部４０は工具４１を通じて真空チャック装置１０に固定されたワークＷを切削又は研磨していたが、これに限らず、ワークＷに印刷又は露光等してもよい。
【００４３】
上記実施形態においては、筒部６１は、Ｚ方向に対して角度αだけ傾斜するように形成されていたが、これに限らず、図７に示すように、筒部１６１は、Ｚ方向に沿うように延びていてもよい。筒部１６１の壁部１２８ａは、ワークＷの下面の凹凸に応じてたわみ量が決まる。例えば、筒部１６１の壁部１２８ａの上端がワークＷの凸部Ｗａに接触すると、その壁部１２８ａのＺ方向の中央位置のたわみ量が最大となるようにたわむ。この構成でも、上記実施形態と同様の作用効果を奏する。
また、図８に示すように、筒部２６１の壁部２２８ａは、Ｚ方向に沿ってジグザグに形成されてもよい。この構成では、ワークＷの下面の凹凸に応じた壁部２２８ａの弾性変形が容易となる。壁部２２８ａは、ジグザグに限らず、Ｚ方向に沿って正弦波状に形成されてもよい。
さらに、図９に示すように、筒部３６１の壁部３２８ａは、ワークＷの下面の凹凸に応じて圧縮してもよい。この場合、筒部３６１は、上記実施形態の筒部６１よりも柔らかい材料により形成されることが好ましい。
【００４４】
上記実施形態においては、弾性変形パッド６０はハニカム状に形成されていたが、これに限らず、他の形状で形成されていてもよい。例えば、弾性変形パッド６０の筒部６１は、正六角形筒状に限らず、正六角形筒状以外の六角形筒状、五角形筒状、四角形筒状又は円筒状に形成されてもよい。さらに、例えば、図１０に示すように、弾性変形パッド６０は、格子状に形成されてもよい。詳しくは、弾性変形パッド６０は、Ｘ方向に沿って延び、Ｙ方向に沿って並ぶ複数の第１板部１２７ａと、Ｙ方向に沿って延び、Ｘ方向に沿って並ぶ複数の第２板部１２７ｂと、を備える。第１板部１２７ａ及び第２板部１２７ｂは、互いに交差する位置において連結している。言い換えると、図１０に示す弾性変形パッド６０は、正方形筒状の筒部が設置面２０ａに沿ってＸ方向及びＹ方向に隙間なく並べられている。図１０のＢ−Ｂ線断面図は、上記実施形態の図４、又は上記変形例の図７、図８及び図９と同様である。
【００４５】
上記実施形態においては、筒部６１は、弾性材料により形成されていたが、これに限らず、シリコン等の弾性材料と金属等の非弾性材料とが結合されて構成されてもよい。
この場合でも、筒部６１は、シリコン等の弾性材料の部位を介して弾性変形する。
【００４６】
上記実施形態においては、弾性変形パッド６０は、多孔質パッド２１の表面２０ｃに位置していたが、これに限らず、図１１に示すように、弾性変形パッド６０の下部が多孔質パッド２１に埋め込まれるように形成されてもよい。この場合、多孔質パッド２１の表面２０ｃには多孔質パッド２１の下部が内在する溝部２５が形成されてもよい。この構成によれば、複数の筒部６１の内部空間Ｓ１は、多孔質パッド２１に及ぶ範囲まで形成される。ここで、内部空間Ｓ１は真空ポンプ３０が作動することにより真空となるため、真空度及び吸着力を高めることができる。
また、図１１の構成に限らず、弾性変形パッド６０の下端面は多孔質パッド２１の下面と同一の平面上に位置していてもよいし、弾性変形パッド６０の下端面は多孔質パッド２１の下面よりも下方に位置していてもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１  工作機械
１０  真空チャック装置
１２  ベースプレート
２０  吸着パッドユニット
２１，１２０  多孔質パッド
２０ａ  設置面
６１，１６１，２６１，３６１  筒部
２８ａ，１２８ａ，２２８ａ，３２８ａ  壁部
２８ｂ  傾斜壁部
３０  真空ポンプ
４０  加工部
４１  工具
６０  弾性変形パッド
【図１】
2019166597.tif 000003
【図２】
2019166597.tif 000004
【図３】
2019166597.tif 000005
【図４】
2019166597.tif 000006
【図５】
2019166597.tif 000007
【図６】
2019166597.tif 000008
【図７】
2019166597.tif 000009
【図８】
2019166597.tif 000010
【図９】
2019166597.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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