(57)【要約】【課題】メンテナンス作業性を良好に保ちながら、溶融はんだの噴流方向と同じ方向に超音波振動を伝達できるようにする。【解決手段】超音波振動ユニット（30）のホーン（32）は、噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだの噴流方向に交差する方向に延びている。ホーン（32）の先端部には、振動方向変換部（35）が設けられている。振動方向変換部（35）によって、超音波振動子（31）からホーン（32）を介して振動方向変換部（35）に向かう振動の伝達方向が、噴流ノズル（20）の噴流方向に向かう方向に変換される。【選択図】図１
2019063869.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融したはんだを噴流させる噴流ノズル（20）を備えたはんだ付け装置であって、
前記噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだに超音波振動を与える超音波振動ユニット（30）を備え、
前記超音波振動ユニット（30）は、
超音波振動を発生させる超音波振動子（31）と、
前記噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだの噴流方向に交差する方向に延び、前記超音波振動子（31）で発生した振動を伝達するホーン（32）と、
前記ホーン（32）に設けられた振動方向変換部（35,45）とを有し、
前記振動方向変換部（35,45）は、前記超音波振動子（31）から前記ホーン（32）を介して該振動方向変換部（35,45）に向かう振動の伝達方向を、該噴流ノズル（20）の噴流方向に向かう方向に変換するように構成されていることを特徴とするはんだ付け装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記ホーン（32）は、前記噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだの噴流方向と略直交する方向に延びていることを特徴とするはんだ付け装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記振動方向変換部（35,45）は、前記噴流ノズル（20）の先端部付近に配設されていることを特徴とするはんだ付け装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のうち何れか１つにおいて、
前記振動方向変換部（35,45）には、前記噴流ノズル（20）に対向するワーク（50）との干渉を避けるための逃げ部（38）が形成されていることを特徴とするはんだ付け装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のうち何れか１つにおいて、
前記噴流ノズル（20）には、先端側に開口したスリット（25）、又は開口部（21）が形成されていることを特徴とするはんだ付け装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のうち何れか１つにおいて、
前記振動方向変換部（35,45）と前記超音波振動子（31）との間には、該振動方向変換部（35,45）から前記ホーン（32）を介して該超音波振動子（31）に向かう熱を遮熱する遮熱体（33）が設けられていることを特徴とするはんだ付け装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のうち何れか１つにおいて、
前記振動方向変換部（45）は、前記ホーン（32）から上向きに湾曲して延びる湾曲部（46）を有することを特徴とするはんだ付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、はんだ付け装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、溶融したはんだが噴流するはんだ槽において、溶融したはんだに超音波振動を印加してキャビテーションを加えることで、金属表面の酸化膜を除去しながらワークに対してはんだ付けを行う装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１には、噴流ノズルの先端部に超音波振動ユニットのホーンを横方向から差し込んで、溶融したはんだに超音波振動を与えるようにした構成が開示されている。
【０００４】
しかしながら、特許文献１の発明では、溶融はんだの噴流方向と超音波振動の振動伝達方向とが直交しているため、噴流ノズル内部の溶融はんだにおいて、噴流軸上、噴流出口付近に存在するはんだ付部に対しては、超音波振動の減衰が大きいため、はんだの濡れ性が悪くなるという問題がある。
【０００５】
そこで、溶融はんだの噴流方向と振動伝達方向とを一致させるものとして、特許文献２には、超音波振動ユニットのホーンが噴流ノズルの内部に噴流方向に沿って延びるホーンが差し込まれた構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平６−３１５７６５号公報
【特許文献２】実開平５−９７５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献２の発明のように、超音波振動ユニットのホーンを、噴流ノズルの内部に沿って延ばすように配設した場合には、メンテナンス作業の際にホーンを引き抜くことが困難であるという問題がある。
【０００８】
具体的に、装置を停止した後で、溶融はんだが固まってしまうと、ホーンを引き抜くことができなくなる。そのため、溶融はんだを全て取り除いた上でホーンの引き抜き作業を行うか、高温のはんだを溶融させた状態を保ちながら、ホーンを引き抜かなければならず、作業性が悪く危険である。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、メンテナンス作業性を良好に保ちながら、溶融はんだの噴流方向と同じ方向に超音波振動を伝達できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、溶融したはんだを噴流させる噴流ノズル（20）を備えたはんだ付け装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。
【００１１】
すなわち、第１の発明は、前記噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだに超音波振動を与える超音波振動ユニット（30）を備え、
前記超音波振動ユニット（30）は、
超音波振動を発生させる超音波振動子（31）と、
前記噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだの噴流方向に交差する方向に延び、前記超音波振動子（31）で発生した振動を伝達するホーン（32）と、
前記ホーン（32）に設けられた振動方向変換部（35,45）とを有し、
前記振動方向変換部（35,45）は、前記超音波振動子（31）から前記ホーン（32）を介して該振動方向変換部（35,45）に向かう振動の伝達方向を、該噴流ノズル（20）の噴流方向に向かう方向に変換するように構成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
第１の発明では、超音波振動ユニット（30）のホーン（32）は、噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだの噴流方向に交差する方向に延びている。ホーン（32）には、振動方向変換部（35,45）が設けられている。振動方向変換部（35,45）によって、超音波振動子（31）からホーン（32）を介して振動方向変換部（35,45）に向かう振動の伝達方向が、噴流ノズル（20）の噴流方向に沿った方向に変換される。
【００１３】
これにより、メンテナンス作業性を良好に保ちながら、溶融はんだの噴流方向と同じ方向に超音波振動を伝達することができる。
【００１４】
具体的に、噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだの噴流方向に交差する方向に延びるようにホーン（32）を配設して、ホーン（32）の先端側のみを噴流ノズル（20）の内部に差し込むことで、溶融はんだに超音波振動を与えるようにしている。これにより、ホーン（32）の全体を噴流ノズル（20）の内部に沿って延びるように差し込んだ場合に比べて、噴流ノズル（20）からホーン（32）を取り外してメンテナンスする作業を容易に行うことができる。
【００１５】
また、超音波振動子（31）からホーン（32）を介して振動方向変換部（35,45）に向かう振動の伝達方向を、はんだの噴流方向に向かう方向に変換することで、ワーク（50）の真下から超音波振動を与えることができ、はんだの濡れ性が向上する。
【００１６】
第２の発明は、第１の発明において、
前記ホーンは、前記噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだの噴流方向と略直交する方向に延びていることを特徴とするものである。
【００１７】
第２の発明では、噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだの噴流方向に略直交する方向にホーン（32）を延ばしているので、振動の伝達効率が良い。
【００１８】
第３の発明は、第１又は第２の発明において、
前記振動方向変換部（35,45）は、前記噴流ノズル（20）の先端部付近に配設されていることを特徴とするものである。
【００１９】
第３の発明では、振動方向変換部（35,45）を噴流ノズル（20）の先端部付近に配設することで、ワーク（50）により近い位置で溶融はんだに超音波振動を与えることができ、はんだの濡れ性を向上させることができる。
【００２０】
第４の発明は、第１乃至第３の発明のうち何れか１つにおいて、
前記振動方向変換部（35,45）には、前記噴流ノズル（20）に対向するワーク（50）との干渉を避けるための逃げ部（38）が形成されていることを特徴とするものである。
【００２１】
第４の発明では、振動方向変換部（35,45）には、逃げ部（38）が形成され、ワーク（50）との干渉が回避される。例えば、ワーク（50）のリードが下方に向かって延びている場合に、リードの長さによっては、噴流ノズル（20）をワーク（50）側に移動させたときに、リードが振動方向変換部（35,45）の上端部に干渉するおそれがある。
【００２２】
そこで、本発明では、振動方向変換部（35,45）の上端部に凹部、又は上下方向に貫通する貫通孔を設けることで逃げ部（38）を形成して、噴流ノズル（20）をワーク（50）側に移動させたときに、ワーク（50）のリードが逃げ部（38）に入り込むようにしている。これにより、振動方向変換部（35,45）をワーク（50）により近い位置に配設することができる。
【００２３】
第５の発明は、第１乃至第４の発明のうち何れか１つにおいて、
前記噴流ノズル（20）には、先端側に開口したスリット（25）、又は開口部（21）が形成されていることを特徴とするものである。
【００２４】
第５の発明では、噴流ノズル（20）にスリット（25）や開口部（21）を形成することで、振動方向変換部（35,45）をスリット（25）や開口部（21）から抜き差しできるようにしている。これにより、超音波振動ユニット（30）のメンテナンス作業を容易に行うことができる。
【００２５】
第６の発明は、第１乃至第５の発明のうち何れか１つにおいて、
前記振動方向変換部（35,45）と前記超音波振動子（31）との間には、該振動方向変換部（35,45）から前記ホーン（32）を介して該超音波振動子（31）に向かう熱を遮熱する遮熱体（33）が設けられていることを特徴とするものである。
【００２６】
第６の発明では、振動方向変換部（35,45）と超音波振動子（31）との間に遮熱体（33）を設けている。これにより、噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだの熱が、振動方向変換部（35,45）からホーン（32）を介して超音波振動子（31）に向かう途中で遮熱体（33）で遮熱されることとなり、超音波振動子（31）が熱によって破損するのを抑えることができる。
【００２７】
第７の発明は、第１乃至第６の発明のうち何れか１つにおいて、
前記振動方向変換部（45）は、前記ホーン（32）から上向きに湾曲して延びる湾曲部（46）を有することを特徴とするものである。
【００２８】
第７の発明では、振動方向変換部（45）の湾曲部（46）が、ホーン（32）から上向きに湾曲して延びている。湾曲部（46）は、超音波振動子（31）からホーン（32）を介して伝達された振動によって撓むことで、噴流ノズル（20）の内部で噴流方向に向かって振動する。
【００２９】
これにより、メンテナンス作業性を良好に保ちながら、溶融はんだの噴流方向と同じ方向に超音波振動を伝達することができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、メンテナンス作業性を良好に保ちながら、溶融はんだの噴流方向と同じ方向に超音波振動を伝達することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本実施形態１に係るはんだ付け装置の全体構成を示す側面断面図である。
【図２】振動方向変換部の構成を示す側面図である。
【図３Ａ】横軸部が縮んだときに縦軸部が伸びることを説明する図である。
【図３Ｂ】横軸部が伸びたときに縦軸部が縮むことを説明する図である。
【図４】はんだ付け前のワークの状態を示す側面断面図である。
【図５】はんだ付け中のワークの状態を示す側面断面図である。
【図６】はんだ付け後のワークの状態を示す側面断面図である。
【図７】本変形例に係る噴流ノズルの構成を示す側面断面図である。
【図８】図７のＡ矢視図である。
【図９】噴流ノズルから振動方向変換部を取り外した状態を示す図である。
【図１０】本実施形態２に係るはんだ付け装置の全体構成を示す側面断面図である。
【図１１】振動方向変換部の構成を示す側面図である。
【図１２】レーザ変位計を用いて湾曲部の先端部の振幅を測定した状態を説明する側面図である。
【図１３】超音波振動子の入力と、湾曲部の先端部の振幅との関係を示すグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
【００３３】
《実施形態１》
図１に示すように、はんだ付け装置（10）は、溶融したはんだを貯留するはんだ槽（11）と、溶融したはんだをワーク（50）側に噴流させる噴流ノズル（20）と、噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだに超音波振動を与える超音波振動ユニット（30）とを備えている。
【００３４】
はんだ槽（11）は、内部に貯留空間（S1）を有する外槽（12）と、外槽（12）の貯留空間（S1）内に配設された内槽（13）とを有する。外槽（12）の貯留空間（S1）には、溶融したはんだが貯留されている。
【００３５】
内槽（13）は、内部に流動空間（S2）を有する密閉容器で構成されている。内槽（13）は、外槽（12）の貯留空間（S1）に貯留された溶融はんだに浸かった状態で配置されている。内槽（13）の流動空間（S2）と外槽（12）の貯留空間（S1）とは、図示しない流入口を介して連通しており、外槽（12）に貯留されている溶融はんだが内槽（13）に流入するようになっている。内槽（13）の上面には、噴流ノズル（20）が接続されている。
【００３６】
噴流ノズル（20）の下端部は、内槽（13）の上面に開口する流出口（14）に接続されている。噴流ノズル（20）の下端部は、下方に向かって拡径したラッパ状に形成されている。つまり、内槽（13）の流動空間（S2）を流動する溶融はんだは、噴流ノズル（20）の下端部で流量が絞られてから、噴流ノズル（20）の先端部に向かって流れることとなる。
【００３７】
外槽（12）の上面には、ノズル挿通孔（15）が形成されている。噴流ノズル（20）は、内槽（13）の上面から上方に延びるとともに、ノズル挿通孔（15）を通って外槽（12）よりも上方に突出している。噴流ノズル（20）の周囲は、ノズルカバー（16）で囲われている。ノズルカバー（16）の下部は、外槽（12）のノズル挿通孔（15）の周縁部に取り付けられている。
【００３８】
ここで、外槽（12）の貯留空間（S1）には、窒素ガスが供給されており、ノズルカバー（16）の内部を含む貯留空間（S1）が窒素雰囲気に保たれている。これにより、貯留空間（S1）の溶融はんだが酸化するのを抑えるとともに、はんだ付け部の濡れ性を保つことができる。
【００３９】
外槽（12）の貯留空間（S1）における溶融はんだの液面よりも上方には、モータ（17）が配設されている。モータ（17）の回転軸（18）は、内槽（13）の上面を貫通して内槽（13）の流動空間（S2）まで延びている。回転軸（18）の下端部には、プロペラ（19）が取り付けられている。
【００４０】
そして、モータ（17）によってプロペラ（19）を回転させることにより、内槽（13）の流動空間（S2）に貯留されている溶融はんだは、図１に矢印線で示すように、噴流ノズル（20）に向かって流動するとともに、噴流ノズル（20）の内部を通って噴流ノズル（20）の先端から噴流される。
【００４１】
ここで、プロペラ（19）の回転数を制御することにより、噴流ノズル（20）から噴流される溶融はんだの噴流高さや噴流時間を調整することができる。これにより、ワーク（50）のリード（51）の形状やプリント基板（52）の孔の形状に合わせた細かな条件設定を行うことが可能となる。
【００４２】
また、溶融はんだを流動させる動力として、電磁誘導を利用したポンプ機構であっても原理は同じである。
【００４３】
噴流ノズル（20）の先端部から噴流した溶融はんだの一部は、噴流ノズル（20）の先端部から溢れ出し、噴流ノズル（20）の外周面に沿って流れ落ちた後、外槽（12）の貯留空間（S1）に回収される。
【００４４】
図２にも示すように、噴流ノズル（20）の先端部の側面には、開口部（21）が形成されている。開口部（21）は、後述する振動方向変換部（35）を噴流ノズル（20）の横方向から抜き差し可能な大きさに形成されている。
【００４５】
噴流ノズル（20）における開口部（21）に対向する側面には、後述する振動方向変換部（35）の横軸部（36）の先端部を挿通可能な挿通孔（22）が形成されている。挿通孔（22）は、振動方向変換部（35）が上下方向に振動した場合でも、振動方向変換部（35）が干渉しない大きさに形成されている。
【００４６】
図１に示すように、噴流ノズル（20）の上方には、はんだ付けの対象となるワーク（50）が配設されている。ワーク（50）は、リード（51）を有するＩＣチップやコンデンサ等であり、プリント基板（52）の上方から基板孔（53）にリード（51）が差し込まれている。リード（51）は、プリント基板（52）の下面から突出している。
【００４７】
本実施形態では、ワーク（50）をはんだ付けするのにあたって、噴流ノズル（20）の内部を流れる溶融はんだに超音波振動を与えることで、はんだの濡れ性を向上させるようにしている。
【００４８】
具体的に、超音波振動ユニット（30）は、超音波振動を発生させる超音波振動子（31）と、超音波振動子（31）の超音波振動を伝達するホーン（32）と、超音波振動子（31）とホーン（32）との間に取り付けられた遮熱体としての冷却フィン（33）と、ホーン（32）の先端部に一体に取り付けられた振動方向変換部（35）とを備えている。
【００４９】
超音波振動子（31）は、取付ブロック（34）によってはんだ付け装置（10）の本体側に固定されている。ホーン（32）は、噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだの噴流方向に略直交する方向、つまり、水平方向に延びている。
【００５０】
図２に示すように、振動方向変換部（35）は、超音波振動子（31）からホーン（32）の先端部に向かう振動の伝達方向を、噴流ノズル（20）の内部で噴流方向に沿った方向に変換するものである。
【００５１】
具体的に、振動方向変換部（35）は、ホーン（32）の軸方向に延びる横軸部（36）と、噴流ノズル（20）の内部ではんだの噴流方向に延びる縦軸部（37）とを有する十字状の部材で構成されている。振動方向変換部（35）は、噴流ノズル（20）の先端部付近に配設されており、縦軸部（37）の上面には、凹状の逃げ部（38）が形成されている（図４参照）。
【００５２】
そして、超音波振動子（31）からホーン（32）の先端部に向かって超音波振動が伝達され、図３Ａに示すように、横方向に圧縮荷重がかかると、横軸部（36）が縮むこととなる。このとき、振動方向変換部（35）は、ポアソン現象によって、体積を一定に保とうとするため、縦軸部（37）が伸びることとなる。
【００５３】
一方、図３Ｂに示すように、横方向に引っ張り荷重がかかると、横軸部（36）が伸びることとなる。このとき、ポアソン現象によって、縦軸部（37）が縮むこととなる。
【００５４】
このように、振動方向変換部（35）の横軸部（36）の伸縮に伴って、縦軸部（37）が伸縮を繰り返すことで、超音波振動子（31）からホーン（32）の先端部に向かう振動の伝達方向を、噴流ノズル（20）の内部で噴流方向に沿った方向に変換することができる。これにより、ワーク（50）の真下から超音波振動を与えることができ、はんだの濡れ性が向上する。
【００５５】
ところで、振動方向変換部（35）は、噴流ノズル（20）の内部に配設されているので、噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだの熱が、振動方向変換部（35）からホーン（32）を介して超音波振動子（31）に向かうこととなる。
【００５６】
そこで、本実施形態では、図１に示すように、振動方向変換部（35）と超音波振動子（31）との間に冷却フィン（33）を設けるようにしている。これにより、はんだの熱が超音波振動子（31）に向かう途中で冷却フィン（33）で放熱されることとなり、超音波振動子（31）が熱によって破損するのを抑えることができる。
【００５７】
以下、図４〜図６を用いて、ワーク（50）のリード（51）をプリント基板（52）にはんだ付けする手順について説明する。図４に示すように、はんだ付け装置（10）の上方には、はんだ付けの対象となるワーク（50）が配設されている。はんだ付け装置（10）は、プリント基板（52）に対して、水平方向及び上下方向へ相対的に移動可能に構成されている。本実施形態では、図示しない移動機構によって、はんだ付け装置（10）を移動させるようにしている。
【００５８】
まず、はんだ付け装置（10）を水平方向に移動させて、はんだ付けを行うワーク（50）のリード（51）の下方に噴流ノズル（20）の先端部を位置付ける。このとき、プロペラ（19）の回転数を制御して、噴流ノズル（20）の先端部から噴流する溶融はんだの噴流高さを調整しておく。
【００５９】
次に、図５に示すように、噴流ノズル（20）を上昇させることで、噴流ノズル（20）の先端部から噴流している溶融はんだを、ワーク（50）のリード（51）とプリント基板（52）の基板孔（53）の周縁部とに接触させると、溶融はんだが濡れ広がる。
【００６０】
ここで、振動方向変換部（35）の上部には、凹状の逃げ部（38）が形成されており、噴流ノズル（20）をワーク（50）側に移動させたときに、リード（51）が逃げ部（38）に入り込むことで、リード（51）が振動方向変換部（35）に干渉しないようになっている。なお、逃げ部（38）は、振動方向変換部（35）を上下方向に貫通する貫通孔で形成してもよい。
【００６１】
そして、図６に示すように、噴流ノズル（20）を下降させてワーク（50）から離し、ワーク（50）のリード（51）とプリント基板（52）の基板孔（53）の周縁部とに溶融はんだの一部が残ることで、はんだ付けが完了する。
【００６２】
以上のように、本実施形態に係るはんだ付け装置（10）によれば、ホーン（32）の先端側のみを噴流ノズル（20）の内部に差し込むようにしているから、噴流ノズル（20）からホーン（32）を取り外してメンテナンスする作業を容易に行うことができる。
【００６３】
また、超音波振動子（31）からホーン（32）の先端部に向かう振動の伝達方向を、はんだの噴流方向に沿った方向に変換することで、ワーク（50）の真下から超音波振動を与えることができる。これにより、超音波振動によるキャビテーションによって酸化皮膜を除去して、はんだの濡れ性を向上させることで、はんだ付け時間の短縮を図ることができる。
【００６４】
また、プリント基板（52）の基板孔（53）とリード（51）とに対して、超音波振動の伝達方向が同軸に対向しているので、プリント基板（52）に対する噴流ノズル（20）の相対位置を調整して、超音波振動の作用点を自在に調整することができる。
【００６５】
《変形例》
前記実施形態１では、噴流ノズル（20）の側面に開口部（21）を形成して、開口部（21）から振動方向変換部（35）を抜き差しするようにしているが、この形態に限定するものではない。
【００６６】
例えば、図７及び図８に示すように、噴流ノズル（20）の先端部に、先端側に開口するスリット（25）を形成することで、スリット（25）の開口側から振動方向変換部（35）を抜き差しできるようにしてもよい。
【００６７】
そして、振動方向変換部（35）をスリット（25）に差し込んだ後で、噴流ノズル（20）の先端部にキャップ（26）を嵌め込むことで、スリット（25）の開口側を塞ぐようにすればよい。これにより、噴流ノズル（20）の側面のスリット（25）の開口面積を少なくして溶融はんだの漏れを抑えることができる。
【００６８】
また、振動方向変換部（35）を噴流ノズル（20）から取り外す際には、図９に示すように、まず、キャップ（26）を取り外し、スリット（25）を介して振動方向変換部（35）を抜き取るようにすればよい。
【００６９】
《実施形態２》
図１０は、本実施形態２に係るはんだ付け装置の全体構成を示す側面断面図である。以下、前記実施形態１と同じ部分については同じ符号を付し、相違点についてのみ説明する。
【００７０】
図１０に示すように、はんだ付け装置（10）は、溶融したはんだを貯留するはんだ槽（11）と、溶融したはんだをワーク（50）側に噴流させる噴流ノズル（20）と、噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだに超音波振動を与える超音波振動ユニット（30）とを備えている。
【００７１】
超音波振動ユニット（30）は、超音波振動を発生させる超音波振動子（31）と、超音波振動子（31）の超音波振動を伝達するホーン（32）と、ホーン（32）の先端部に一体に設けられた振動方向変換部（45）とを備えている。
【００７２】
超音波振動子（31）は、取付ブロック（34）によってはんだ付け装置（10）の本体側に固定されている。ホーン（32）は、噴流ノズル（20）の内部を流れるはんだの噴流方向に略直交する方向、つまり、水平方向に延びている。
【００７３】
図１１に示すように、噴流ノズル（20）の先端部の側面には、開口部（21）が形成されている。開口部（21）は、振動方向変換部（45）を噴流ノズル（20）の横方向から抜き差し可能な大きさに形成されている。
【００７４】
振動方向変換部（45）は、ホーン（32）の先端部から上方に向かって湾曲して延びる湾曲部（46）を有する。以下、超音波振動子（31）からホーン（32）を介して振動方向変換部（45）に向かって振動を伝達させたときの湾曲部（46）の挙動について説明する。
【００７５】
図１２に示すように、湾曲部（46）の先端部の上面に対して、レーザ変位計（60）のセンサヘッド（61）からレーザ光を照射する。この状態で、超音波振動子（31）からホーン（32）を介して湾曲部（46）に振動を伝達させ、湾曲部（46）の先端部の上下方向の振幅を測定する。
【００７６】
図１３は、超音波振動子（31）の入力と、湾曲部（46）の先端部の振幅との関係を示すグラフ図である。図１３に示すように、超音波振動子（31）の入力に比例して、湾曲部（46）の先端部の上下方向の振幅が大きくなっていることが分かる。このように、湾曲部（46）は、超音波振動子（31）からホーン（32）を介して伝達された振動によって撓むことで、噴流ノズル（20）の内部で噴流方向に沿って振動する。
【００７７】
これにより、超音波振動子（31）からホーン（32）を介して振動方向変換部（45）に向かう振動の伝達方向を、噴流ノズル（20）の噴流方向に向かう方向に変換することができる。
【００７８】
《その他の実施形態》
前記実施形態については、以下のような構成としてもよい。
【００７９】
本実施形態では、振動方向変換部（35,45）を、横軸部（36）と縦軸部（37）とを有する十字状の部材で構成した形態や、ホーン（32）から上向きに湾曲して延びる湾曲部（46）を有する構成とした形態について説明したが、この形態に限定するものではなく、超音波振動子（31）からホーン（32）の先端部に向かう振動の伝達方向を、噴流ノズル（20）の噴流方向に沿った方向に変換できるのであれば、どのような形状のものであっても構わない。
【００８０】
なお、噴流ノズル（20）の噴流方向に沿った方向とは、噴流方向に対して平行な方向に限らず、噴流方向に対して多少傾いた方向であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
以上説明したように、本発明は、メンテナンス作業性を良好に保ちながら、溶融はんだの噴流方向と同じ方向に超音波振動を伝達できるという実用性の高い効果が得られることから、きわめて有用で産業上の利用可能性は高い。
【符号の説明】
【００８２】
10    はんだ付け装置
20    噴流ノズル
21    開口部
25    スリット
30    超音波振動ユニット
31    超音波振動子
32    ホーン
33    冷却フィン（遮熱体）
35    振動方向変換部
38    逃げ部
45    振動方向変換部
46    湾曲部
50    ワーク
【図１】
2019063869.tif 000003
【図２】
2019063869.tif 000004
【図３Ａ】
2019063869.tif 000005
【図３Ｂ】
2019063869.tif 000006
【図４】
2019063869.tif 000007
【図５】
2019063869.tif 000008
【図６】
2019063869.tif 000009
【図７】
2019063869.tif 000010
【図８】
2019063869.tif 000011
【図９】
2019063869.tif 000012
【図１０】
2019063869.tif 000013
【図１１】
2019063869.tif 000014
【図１２】
2019063869.tif 000015
【図１３】
2019063869.tif 000016