(57)【要約】【課題】被加工物の着脱状態を検出する磁気センサの、組立時における位置調整を不要とする。【解決手段】被加工物を着脱自在に保持する第２保持部２３２と、第２保持部２３２への被加工物の着脱によって進退移動するプランジャ２５０と、プランジャ２５０に取り付けた磁石２４３と、磁石２４３と対峙可能に配置したホール素子２４４と、ホール素子２４４からの信号を用いて被加工物の第２保持部２３２への着脱状態を検出する制御部と、を有し、ホール素子２４４は、磁石２４３との距離に応じて大きさの異なる信号を出力し、制御部は、ホール素子２４４が出力する信号の大きさによって被加工物の第２保持部２３２への着脱状態を検出する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を着脱自在に保持する保持部と、
前記保持部への前記被加工物の着脱によって進退移動するプランジャと、
前記プランジャに取り付けた磁石と、
前記磁石と対峙可能に配置した磁気センサと、
前記磁気センサからの信号を用いて前記被加工物の前記保持部への着脱状態を検出する制御部と、を有し、
前記磁気センサは、前記磁石との距離に応じて大きさの異なる信号を出力し、
前記制御部は、前記磁気センサが出力する信号の大きさによって前記被加工物の前記保持部への着脱状態を検出する、被加工物の着脱状態検出装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記着脱状態を検出するための、第１閾値と前記第１閾値よりも大きい第２閾値とを記憶し、前記磁気センサが出力する信号の大きさが前記第１閾値以下であれば、前記保持部に前記被加工物が保持されていると判断し、当該信号の大きさが前記第２閾値以上であれば、前記保持部に前記被加工物が保持されていないと判断する、請求項１に記載の被加工物の着脱状態検出装置。
【請求項３】
前記保持部、前記プランジャ、前記磁石および前記磁気センサは、前記被加工物のそれぞれに対して設けられ、前記制御部は、それぞれの前記磁気センサからの信号によって、それぞれの前記保持部の前記被加工物の着脱状態を検出する、請求項１または２に記載の被加工物の着脱状態検出装置。
【請求項４】
被加工物を着脱自在に保持する保持部と、
前記保持部への前記被加工物の着脱によって進退移動するプランジャと、
前記プランジャに取り付けた磁石と、
前記磁石と対峙可能に配置した磁気センサと、
前記磁気センサからの信号を用いて前記被加工物の前記保持部への着脱状態を検出する制御部と、を有する被加工物の着脱状態検出装置に適用する着脱状態検出方法であって、
前記保持部が前記被加工物を保持しているときの前記磁気センサからの信号を前記制御部に第１閾値として記憶させる段階と、
前記保持部が前記被加工物を保持していないときの前記磁気センサからの信号を前記制御部に第２閾値として記憶させる段階と、
を含む、着脱状態検出方法。
【請求項５】
前記被加工物の着脱状態検出装置の、前記保持部、前記プランジャ、前記磁石および前記磁気センサは、前記被加工物のそれぞれに対して設けられ、
前記第１閾値および第２閾値を記憶させる段階は、前記磁気センサのそれぞれに対して行われる、請求項４の着脱状態検出方法。
【請求項６】
前記保持部が前記被加工物を保持しているときの状態を実現する前記プランジャの押し込みは治具により行う、請求項４または５の着脱状態検出方法。
【請求項７】
前記第２閾値は前記第１閾値よりも大きく、前記磁気センサから出力される信号の大きさが前記第１閾値よりも小さければ、前記保持部に前記被加工物が保持されていると判断し、前記磁気センサから出力される信号の大きさが前記第２閾値よりも大きければ、前記保持部に前記被加工物が保持されていないと判断する段階を、さらに含む、請求項４から６のいずれかに記載の着脱状態検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の着脱状態を検出する磁気センサの、位置調整が不要な、被加工物の着脱状態検出装置および着脱状態検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂製のチューブ同士を繋ぎ合わせる技術として、各チューブを溶断し、溶断した端部同士を相互に押し付けて加圧接合する接合方法がある。この接合方法はチューブを接合するチューブ接合装置に採用されている。
【０００３】
チューブ接合装置は、２本のチューブを装置の上下方向（高さ方向）に重ねて相互に密着させ、２本のチューブに対して、加熱した板状の金属製ウェハーを接近移動させることによって、２本のチューブを溶断する。この時には、２本のチューブが装置の上下方向に重ねて装着されていることの確認が必要になる。
【０００４】
チューブ接合装置としては、特許文献１に記載されているようなものがある。特許文献１では、２本のチューブが装置の上下方向に重ねて装着されていることの確認を、ホールセンサによって行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１６２９６５号公報（段落「００６３」−段落「００７１」の記載および図２１の記載を参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載されているように、２本のチューブが装置に装着されているか否かの確認は、ホールセンサと磁石との相対的な位置関係を検出することによって行っている（図２１参照）。
【０００７】
従来、ホールセンサは基板に装着され、磁石はチューブ検出ピンに装着される。磁石が装着される位置の調整はできないので、その確認の精度は、ホールセンサの位置調整に依存する。
【０００８】
ホールセンサの位置調整は、チューブ接合装置の組み立て時に、基板を取り付けている長穴のネジを緩め、基板の位置を微調整することによって行う。
【０００９】
しかし、この位置調整の作業は、チューブ接合装置の１台１台に対して行わなければならず、その作業は煩雑かつ非効率的であり、生産効率に悪影響を与える。
【００１０】
本発明は、上記の不具合を解消するためになされたものであり、被加工物の着脱状態を検出する磁気センサの、位置調整が不要な、被加工物の着脱状態検出装置および着脱状態検出方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る被加工物の着脱状態検出装置は、被加工物を着脱自在に保持する保持部と、保持部への被加工物の着脱によって進退移動するプランジャと、プランジャに取り付けた磁石と、磁石と対峙可能に配置した磁気センサと、磁気センサからの信号を用いて被加工物の保持部への着脱状態を検出する制御部と、を有する。磁気センサは、磁石との距離に応じて大きさの異なる信号を出力する。制御部は、磁気センサが出力する信号の大きさによって被加工物の保持部への着脱状態を検出する。
【００１２】
本発明に係る被加工物の着脱状態検出方法は、被加工物を着脱自在に保持する保持部と、保持部への被加工物の着脱によって進退移動するプランジャと、プランジャに取り付けた磁石と、磁石と対峙可能に配置した磁気センサと、磁気センサからの信号を用いて被加工物の保持部への着脱状態を検出する制御部と、を有する被加工物の着脱状態検出装置に適用される。この方法は、保持部が被加工物を保持しているときの磁気センサからの信号を制御部に第１閾値として記憶させる段階と、保持部が被加工物を保持していないときの磁気センサからの信号を制御部に第２閾値として記憶させる段階と、を含む。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る被加工物の着脱状態検出装置によれば、磁気センサが出力する信号の大きさによって被加工物の保持部への着脱状態が認識できるので、組立時における磁気センサの位置調整は不要となる。このため、組立作業は効率的に行うことができ、生産効率が向上する。
【００１４】
本発明に係る被加工物の着脱状態検出方法によれば、第１閾値および第２閾値という２つの閾値を設定し、被加工物の保持部への着脱状態を検出するようにしたので、組立時には、これらの閾値の設定をするだけで済み、組立時における、磁気センサの位置調整は不要となる。このため、組立作業は効率的に行うことができ、生産効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態に係る被加工物の着脱状態検出装置および着脱状態検出方法が適用されるチューブ接合装置であって、その蓋部が開いた状態を示す概略斜視図である。
【図２】チューブ接合装置の蓋部を閉じた状態を示す概略斜視図である。
【図３】チューブ接合装置の蓋部を閉じた状態において、筐体内に配置されている構成要素の配置例を示す概略斜視図である。
【図４】チューブ接合装置の蓋部を開いた状態での概略平面図であり、図４（Ａ）は、第１チューブおよび第２チューブをセットする前の図、図４（Ｂ）は、第１チューブおよび第２チューブをセットした後の図である。
【図５】チューブ接合装置が備えるクランプ部を拡大して示す概略斜視図である。
【図６】クランプ部に設けられているチューブ検出センサの説明に供する図であり、図６（Ａ）は、第１チューブをセットする前の図、図６（Ｂ）は、第１チューブをセットした後の図である。
【図７】チューブ接合装置の概略の制御系統のブロック図である。
【図８】本実施形態に係る被加工物の着脱状態検出装置の動作説明に供する図であり、図８（Ａ）は、プランジャが下がっていないときの磁石とホール素子との位置関係を示す図であり、図８（Ｂ）は、プランジャが下がったときの磁石とホール素子との位置関係を示す図であり、図８（Ｃ）は、磁石とホール素子との相対位置に応じてホール素子が受ける磁束密度と出力する電圧との関係を示す磁束密度−電圧特性図である。
【図９】本実施形態に係る被加工物の着脱状態検出方法の手順を示すフローチャートである。
【図１０】本実施形態に係る被加工物の着脱状態検出方法を実施する手順を示す図である。
【図１１】本実施形態に係る被加工物の着脱状態検出装置の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本実施形態に係る被加工物の着脱状態検出装置および着脱状態検出方法について説明する。なお、図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる場合がある。
【００１７】
チューブ接合セットＳは、図１に示すように、第１チューブおよび第２チューブ（図示せず）を溶断−接合可能なチューブ接合装置１と、溶断に用いられる複数枚のウェハーＷＦ（板状の切断部材）を備えるウェハーカセットＷＣと、を有している。チューブ接合装置１にウェハーカセットＷＣを挿入し、並置されている第１チューブと第２チューブを互いに押し付けて潰した状態で、加熱したウェハーＷＦによって溶断する。その後、溶断した第１チューブの片側と第２チューブの片側との位置を入れ替え、加圧して接合するように構成している。
【００１８】
＜チューブ接合装置の構成＞
チューブ接合装置１は、概説すると、図１に示すように、チューブ接合装置１の各部を収納する筐体１０と、溶断に際して第１チューブと第２チューブを挟み込んで互いに押し付けて潰し、溶断後は第１チューブの片側と第２チューブの片側との位置の入れ替えるクランプ部２０と、溶断−接合の際にクランプ部２０を第１チューブおよび第２チューブを挟み込んだ状態にロックするインターロック３０と、を有している。
【００１９】
さらに、チューブ接合装置１は、図３に示すように、筐体１０に挿入されたウェハーカセットＷＣを収納するウェハーカセット収納部４０と、ウェハーＷＦを加熱して溶断位置へ送り出すウェハー送り部５０と、を有している。さらに、チューブ接合装置１は、図１に示すように、使用者Ｍ（図４参照）からの溶断−接合の指示等を受付可能な操作部６０と、使用者Ｍに必要な情報を報知する報知部７０と、チューブ接合装置１に電力を供給可能な電力供給部８０と、各部の動作を統括的に制御する制御部と、を有している。また、チューブ接合装置１は、図１および図３に示すように、第１チューブの固定側Ｘ２と第２チューブの固定側Ｘ２を互いに押付ける固定側押し付け部２５ａと、第１チューブの入替側Ｘ１と第２チューブの入替側Ｘ１を互いに押付ける可動側押し付け部２５ｂと、を有している。
【００２０】
操作部６０および表示部７１には、図１、図２に示すように、複数のスイッチ６１および複数のスイッチ７４が設けられている。各スイッチ６１、７４を押すことで、使用者Ｍがチューブ接合装置１に対して、チューブ接合装置１の電源のＯＮ／ＯＦＦを切り替える指示、チューブの装着を検出するための第１閾値、第２閾値を設定する指示、溶断−接合開始の指示等を行える。電力供給部８０は、図１、３に示すように、チューブ接合装置１に電力を供給可能な電源、かつ、バッテリ８１を充電するための充電器８２として用いる。
【００２１】
なお、図１、４に示すように、第１チューブＴ１、第２チューブＴ２の延在方向において、各チューブＴ１、Ｔ２の溶断位置Ｘ０を境界として、溶断後に位置が入れ替わる側を「入替側Ｘ１」、その反対側を「固定側Ｘ２」と称する。
【００２２】
筐体１０は、チューブ接合装置１の各部を収容する機能を備えている。
【００２３】
筐体１０は、図１に示すように、略四角錘台状の外形形状を備える上部分１１と、上部分１１の下に配置される略四角柱状の外形形状を備える下部分１２と、を組み合わせたケースによって構成している。
【００２４】
上部分１１の上面の手前側には操作部６０が設けられている。また、上部分１１の上面の奥側には、後述する報知部７０の備える表示部７１が設けられている。
【００２５】
また、上部分１１において、操作部６０と表示部７１の間には、奥側から手前側に向かうにつれて下部分１２の底面１２ａに近づくように傾斜した傾斜面１１ｆを備えている。傾斜面１１ｆには、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第１チューブＴ１に接続されている所定のコネクターＴ１２を嵌め込み可能な窪み１１ａと、第２チューブＴ２の固定側Ｘ２を嵌め込み可能な窪み１１ｂが設けられている。このため、第１チューブＴ１と第２チューブＴ２の配置位置を取り違えることなく、適正な位置に各チューブＴ１、Ｔ２をセットすることができる。
【００２６】
また、上部分１１の上面には、図１に示すように、クランプ部２０を嵌め込み可能な孔１１ｇが設けられている。
【００２７】
また、上部分１１の側面には、ウェハーカセットＷＣを挿入するためのカセット挿入孔１１ｃと、筐体１０内に挿入されたウェハーカセットＷＣを取り出すための取出スイッチ１１ｄと、が設けられている。ウェハーカセットＷＣをカセット挿入孔１１ｃから挿入した状態で、使用者Ｍが指で取出スイッチ１１ｄを押し込めば、ウェハーカセットＷＣは、カセット挿入孔１１ｃを通じて筐体１０の外部に取り出すことができる。
【００２８】
また、上部分１１には、図３に示すように、筐体１０の周囲の環境温度を計測可能な温度センサ１１ｅが内蔵されている。温度センサ１１ｅの計測した環境温度に応じて、ウェハーＷＦが第１チューブＴ１および第２チューブＴ２を加熱する加熱時間を調整することができる。
【００２９】
下部分１２は、図１に示すように、平坦な底面１２ａと、底面１２ａの四隅に設けられるとともに、テーブル等の載置場所と当接する４本の脚部１２ｂと、を備えている。また、底面１２ａには、後述する報知部７０の備えるスピーカ７２の音声を筐体１０の外部に伝播しやすくするための複数の貫通孔や、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２を溶断する際に生じた熱やガスを筐体１０の外部に排出するための複数の貫通孔等が設けられている（図示省略）。
【００３０】
クランプ部２０は、第１チューブＴ１と第２チューブＴ２を並置した状態で保持する機能、溶断に際して第１チューブＴ１と第２チューブＴ２を互いに押し付けて潰す機能、および、溶断後に第１チューブの片側と第２チューブの片側との位置の入れ替える機能を備えている。
【００３１】
クランプ部２０は、図５に示すように、筐体１０の底面１２ａに固定される台座２１と、台座２１に対して相対的に接近−離反することによって開閉可能に構成された蓋部２２とを備える。また、クランプ部２０は、台座２１に設けられるとともに、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２を保持するチューブ保持部２３と、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２がセットされているか否かを検出可能なチューブ検出センサ２４とを備える。さらに、クランプ部２０は、蓋部２２が台座２１に相対的に接近する動作に伴って第１チューブＴ１と第２チューブＴ２とを互いに押付けて潰すチューブ押し付け部２５を備えている。
【００３２】
台座２１は、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２の固定側Ｘ２に設けられる第１台座２１１と、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２の入替側Ｘ１に設けられる第２台座２１２と、を備えている。第１台座２１１と第２台座２１２との間には、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２の延在方向沿って隙間２１ａが設けられている。隙間２１ａは、使用前のウェハーＷＦが溶断位置に移動する際や、使用済みのウェハーＷＦを筐体１０の外部に送り出す際等に、ウェハーＷＦが通過するための隙間である。
【００３３】
また、第１台座２１１および第２台座２１２のそれぞれには、後述する蓋部２２の係合爪２２５を引っ掛けて固定するための被係合部２１３が設けられている。
【００３４】
蓋部２２は、第１台座２１１に対して回動可能に設けられた第１クランプアーム２２１と、第２台座２１２に対して回動可能に設けられた第２クランプアーム２２２と、第１クランプアーム２２１および第２クランプアーム２２２を覆うカバー２２３と、各クランプアーム２２１、２２２に対して回動可能に設けられるとともに使用者Ｍが把持可能な把持部２２４と、を備えている。
【００３５】
各クランプアーム２２１、２２２は個別に回動可能に構成している。
【００３６】
カバー２２３は、第１クランプアーム２２１および第２クランプアーム２２２を一体的に覆う。このため、図２に示すように、蓋部２２を閉じた状態では、カバー２２３は、第１台座２１１、第２台座２１２およびその間の溶断−接合が行われる領域を覆う。
【００３７】
把持部２２４は、図５に示すように、台座２１の被係合部２１３に係合可能な係合爪２２５を備えている。このため、各クランプアーム２２１、２２２およびカバー２２３を閉じた後に、把持部２２４を各クランプアーム２２１、２２２に対して回転させれば、係合爪２２５が台座２１の被係合部２１３に係合する。したがって、クランプ部２０が各チューブＴ１、Ｔ２を挟み込んだ状態を維持できる。
【００３８】
チューブ保持部２３は、図５に示すように、各チューブＴ１、Ｔ２の固定側Ｘ２を固定的に保持する第１保持部２３１および第２保持部２３２と、各チューブＴ１、Ｔ２の入替側Ｘ１を可動的に保持する第３保持部２３３とを備えている。また、チューブ保持部２３は、第３保持部２３３を各チューブＴ１、Ｔ２を保持した保持状態から保持を解除した解除状態へ切り替え可能な解除部２３４と、第３保持部２３３を解除状態から保持状態へ切り替え可能な復元部２３５と、を備えている。
【００３９】
第１保持部２３１は、第１台座２１１の上面に固定されている。第１保持部２３１は、第１チューブＴ１を嵌め込み可能な凹状の第１溝部２３１ａと、第２チューブＴ２を嵌め込み可能な凹状の第２溝部２３１ｂと、を備えている。
【００４０】
第１溝部２３１ａおよび第２溝部２３１ｂは、筐体１０の高さ方向に対して角度θ傾いた方向（斜め方向）に並ぶように設けられている。このため、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２は、斜め方向に並置された状態で、第１保持部２３１に保持される。なお、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２の並置方向の奥側に配置される第１溝部２３１ａは、第２溝部２３１ｂよりも筐体１０の高さ方向の高い位置に配置されている。
【００４１】
また、各溝部２３１ａ、２３１ｂは、第１保持部２３１の上面側において、斜め方向と直交する方向に沿って凹状に窪むように設けられている。このため、各チューブＴ１、Ｔ２は、並置方向と直交する方向から挿入するようにしてセットされる。このため、蓋部２２を開いた状態において、使用者Ｍは、各チューブＴ１、Ｔ２を容易に挿入してセットすることができる。
【００４２】
第２保持部２３２は、図５に示すように、第１保持部２３１と隣接して、第１台座２１１の側面に固定されている。第２保持部２３２は、第１保持部２３１と同様に、第１チューブＴ１を嵌め込み可能な凹状の第３溝部２３２ａと、第２チューブＴ２を嵌め込み可能な凹状の第４溝部２３２ｂと、を備えている。第３溝部２３２ａおよび第４溝部２３２ｂは、上記第１保持部２３１の第１溝部２３１ａおよび第２溝部２３１ｂと同様に、斜め方向に並ぶように設けられている。なお、第２保持部２３２は各チューブＴ１、Ｔ２を着脱自在に保持する。
【００４３】
解除部２３４は、図５に示すように、第２クランプアーム２２２の側面に連なる平坦面２３４ａと、第３保持部２３３の基部から第２クランプアーム２２２の平坦面２３４ａに向かって突出する突起２３４ｂと、を備えている。
【００４４】
第３保持部２３３に設けられた突起２３４ｂは、蓋部２２が筐体１０に相対的に接近する動作に伴って、蓋部２２に設けられた平坦面２３４ａに当接する。なお、本実施形態では、後述するチューブ押し付け部２５が第１チューブＴ１および第２チューブＴ２を挟み込んだ後に、かつ、蓋部２２が完全に閉じる前に、突起２３４ｂは平坦面２３４ａに当接する。突起２３４ｂが平坦面２３４ａに当接した状態から、さらに蓋部２２を押し下げると、第３保持部２３３は、蓋部２２から離反する方向に押し下げられて各チューブＴ１、Ｔ２の保持を解除する。このように、解除部２３４は、蓋部２２が筐体１０に相対的に接近する動作に伴って、第３保持部２３３を保持位置から解除位置に退避させるように構成している。
【００４５】
復元部２３５は、蓋部２２の第２クランプアーム２２２が筐体１０に相対的に離反する動作と連動して第３保持部２３３を押し上げ可能なカム２３５ａを備えている。
【００４６】
カム２３５ａは、筐体１０の側面方向から見て略扇形の外形形状を備えている。カム２３５ａは、第２クランプアーム２２２の回動部付近に固定されている。このため、第２クランプアーム２２２の回動と連動して、カム２３５ａも回動する。このように解除部２３４および復元部２３５によって、第３保持部２３３は、保持位置と解除位置との間で移動可能に構成している。
【００４７】
さらに本実施形態では、解除部２３４は、後述するチューブ押し付け部２５が第１チューブＴ１および第２チューブＴ２を挟み込んだ後に、第３保持部２３３を保持位置から解除位置へ退避させる。このため、チューブ押し付け部２５は、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２の入替側Ｘ１が第３保持部２３３によって適切な位置に保持されている状態で、第１チューブＴ１および第２チューブＴ２を挟み込むことができる。
【００４８】
プランジャ２５０は、図６に示すように、第２保持部２３２の第３溝部２３２ａおよび第４溝部２３２ｂに設けられている。プランジャ２５０は、各チューブＴ１、Ｔ２が第２保持部２３２の各溝部２３２ａ、２３２ｂにセットされているか否かを検出する、チューブ検出センサ２４としての機能をも備えている。図６（Ａ）に示すように、チューブＴ１、Ｔ２がセットされていない状態では、プランジャ２５０は、第３溝部２３２ａおよび第４溝部２３２ｂから突出した状態となっている。図６（Ｂ）に示すように、チューブＴ１をセットすると、第３溝部２３２ａのプランジャ２５０のみが後退する。
【００４９】
プランジャ２５０は、第３溝部２３２ａに設けられた孔から突出可能なピン２４１と、ピン２４１を支持する基台２４２と、基台２４２に取り付けられた磁石２４３と、磁石２４３の磁力を検出可能なホール素子２４４と、ピン２４１に孔から突出する方向の付勢力を付与する付勢部材２４５と、を備えている。ピン２４１と基台２４２とによってプランジャ２５０を構成する。プランジャ２５０は各チューブＴ１、Ｔ２の着脱によって進退移動する。磁石２４３は、プランジャ２５０を構成する基台２４２に取り付けられる。ホール素子２４４は、図示されていない基板に取り付けられている。この基板は、プランジャ２５０の基台２４２が進退移動する第２保持部２３２の内腔に、磁石２４３と一定の距離隔てて向き合わせて取り付けられる。したがって、図６（Ａ）に示すように、磁石２４３は、ホール素子２４４に対して、磁石２４３の移動範囲内で一定の距離を隔てて移動する。磁石２４３とホール素子２４４とでチューブ検出センサ２４を形成する。ホール素子２４４は検出される磁力の大きさに応じて出力する電圧がリニアに変化するリニア型の磁気センサである。なお、本実施形態では、付勢部材２４５は、バネによって構成しているが、ピン２４１に孔から突出する方向の付勢力を付与可能である限り、付勢部材２４５の構成は特に限定されない。
【００５０】
第１チューブＴ１が第３溝部２３２ａにセットされていない状態では、図６（Ａ）に示すように、ピン２４１が付勢部材２４５の付勢力を受けつつ、基台２４２が第２保持部２３２の内腔に当接してピン２４１の動作を規制する。このため、ピン２４１の先端側が孔から突出した状態となっている。この状態では、磁石２４３がホール素子２４４の近傍に位置されるため、ホール素子２４４によって検出できる磁石２４３の磁力は大きくなる。
【００５１】
これに対し、図６（Ｂ）に示すように、第１チューブＴ１が第３溝部２３２ａに配置されると、第１チューブＴ１によってピン２４１および基台２４２は第２保持部２３２の内腔に押し込まれる。これにより基台２４２に取り付けられている磁石２４３が第２保持部２３２の内腔に取り付けられているホール素子２４４から離反するため、ホール素子２４４によって検出できる磁石２４３の磁力は小さくなる。
【００５２】
このように、チューブ検出センサ２４は、ホール素子２４４によって検出される磁石２４３の磁力の大きさによって、第１チューブＴ１が第３溝部２３２ａにセットされているか否か、および第３溝部２３２ａの奥まで第１チューブＴ１が押し込まれているか否かを検出することができる。なお、チューブ検出センサ２４は、図５に示した、第１保持部２３１または第３保持部２３３に設けられていてもよい。
【００５３】
図７は、チューブ接合装置１の概略の制御系統のブロック図である。
【００５４】
制御部９０は、チューブ接合装置１の各部を統括的に制御する機能を備えている。制御部９０は、マイクロコンピュータなどのＣＰＵと、ＣＰＵにより実行される装置全体の制御プログラムや各種データを記憶するＲＯＭと、ワークエリアとして測定データや各種データを一時的に記憶するＲＡＭとを備えている。
【００５５】
制御部９０は、電力供給部８０およびバッテリ８１に電気的に接続されており、電力供給部８０およびバッテリ８１から電力が供給されている。また、制御部９０は、図１に示す、操作部６０に電気的に接続されており、使用者Ｍからの指示に応じて各部の動作を制御可能に構成している。
【００５６】
また、制御部９０は、図１に示す、報知部７０に電気的に接続されており、使用者Ｍに必要な情報報知を可能にしている。また、制御部９０は、図５に示すチューブ検出センサ２４と、図１に示すインターロック３０と、図３に示す温度センサ１１ｅと、に電気的に接続されている。
【００５７】
例えば、制御部９０は、チューブ検出センサ２４から第１チューブＴ１および第２チューブＴ２が適正にセットされていない旨の情報を得た場合、報知部７０を介してその旨を報知する。また、制御部９０は、溶断−接合中は、インターロック３０によって、図２に示す蓋部２２を閉じた状態を維持するように構成している。また、制御部９０は、温度センサ１１ｅが計測した筐体１０の環境温度に基づいて、溶断の際のウェハーＷＦによる第１チューブＴ１および第２チューブＴ２の加熱時間を調整するように構成している。
【００５８】
また、制御部９０は、ウェハーカセット収納部４０およびウェハー送り部５０に電気的に接続されており、これらの動作を制御可能に構成している。また、制御部９０は、可動側押し付け部２５ｂのモータ２５７ｃに電気的に接続されており、可動側押し付け部２５ｂの位置交換作業を制御する。
【００５９】
＜チューブ接合装置の動作＞
図８は、本実施形態に係る被加工物の着脱状態検出装置の動作説明に供する図であり、図８（Ａ）は、プランジャが下がっていないときの磁石とホール素子との位置関係を示す図である。図８（Ｂ）は、プランジャが下がったときの磁石とホール素子との位置関係を示す図である。図８（Ｃ）は、磁石とホール素子との相対位置に応じてホール素子が受ける磁束密度と出力する電圧との関係を示す磁束密度−電圧特性図である。
【００６０】
図８（Ａ）のように、第２保持部２３２に被加工物であるチューブが保持されていないときには、付勢部材２４５がプランジャ２５０に下側から上側に向けて付勢力を付与している。ホール素子２４４は、磁石２４３と対峙可能に配置してある。このため、ピン２４１の先端側が第２保持部２３２側に突出し、基台２４２に取り付けられている磁石２４３がホール素子２４４と対峙する。
【００６１】
一方、第２保持部２３２に被加工物であるチューブを保持させると（チューブは不図示）、図８（Ｂ）のように、プランジャ２５０が付勢部材２４５による付勢力に抗して押下げられる。このため、ピン２４１の先端側が第２保持部２３２の底部に沈み、基台２４２に取り付けられている磁石２４３がホール素子２４４から離れる。
【００６２】
ホール素子２４４の磁束密度−電圧特性は、図８（Ｃ）に示す通りである。ホール素子２４４が磁石２４３のＮ極と対峙しているとすると、ホール素子２４４を通過する磁束の密度が大きくなるにつれて、ホール素子２４４の出力電圧が大きくなる。つまり、ホール素子２４４は、磁石２４３との距離に応じて大きさの異なる信号を出力する。具体的には、ホール素子２４４と磁石２４３との距離が小さくなるとホール素子２４４の出力電圧が上昇し、逆に、ホール素子２４４と磁石２４３との距離が大きくなるとホール素子２４４の出力電圧が低下する。
【００６３】
図８（Ｃ）に示す電圧Ｖ１は、「第２保持部２３２にチューブがある」と認識させるために、制御部９０（図７参照）に設定する第１閾値であり、電圧Ｖ２は、「第２保持部２３２にチューブがない」と認識させるために、制御部９０に設定する第２閾値である。
【００６４】
第１閾値および第２閾値は次のように設定する。
【００６５】
図９は、本実施形態に係る着脱状態検出方法の手順を示すフローチャートである。また、図１０は、本実施形態に係る着脱状態検出方法を実施する手順を示す図である。
【００６６】
本実施形態に係る着脱状態検出方法は次の手順で実施される。
【００６７】
図１０（Ａ）に示すように、まず、使用者Ｍは、第２保持部２３２に治具Ｇ１を押し当てる（Ｓ１００）。具体的には、図１０（Ａ）に示すように、治具Ｇ１の突出部Ｇ１１を第２保持部２３２に差し込み、被加工物であるチューブが第２保持部２３２に疑似的に保持されているときの状態を実現する。このとき、突出部Ｇ１１はプランジャ２５０を押し込み、プランジャ２５０は第２保持部２３２の底部に沈み込むので、磁石２４３がホール素子２４４から離れる。なお、治具Ｇ１の突出部Ｇ１１の突出長は、図７に示した制御部９０に「第２保持部２３２にチューブがある」と認識させるための最適な長さとしてある。
【００６８】
使用者Ｍは、操作部６０のスイッチ６１または表示部７１のスイッチ７４（図１、図７参照）を操作して、このときにホール素子２４４が出力している電圧Ｖ１を制御部９０に記録させる（Ｓ１０１）。制御部９０は、ホール素子２４４が出力している電圧Ｖ１を第１閾値として記憶する。
【００６９】
次に、図１０（Ｂ）に示すように、使用者Ｍは、第２保持部２３２に治具Ｇ２を押し当てる（Ｓ１０２）。具体的には、図１０（Ｂ）に示すように、治具Ｇ２の突出部Ｇ２１を第２保持部２３２に差し込み、被加工物であるチューブが第２保持部２３２に疑似的に保持されていないときの状態を実現する。このとき、突出部Ｇ１１はプランジャ２５０を押し込むが、プランジャ２５０は第２保持部２３２の底部に向けて若干沈み込むだけであるので、磁石２４３はホール素子２４４と対峙したままである。なお、治具Ｇ２の突出部Ｇ２１の突出長は、図７に示した制御部９０に「第２保持部２３２にチューブがない」と認識させるための最適な長さとしてある。
【００７０】
使用者Ｍは、操作部６０のスイッチ６１または表示部７１のスイッチ７４を操作して、このときにホール素子２４４が出力している電圧Ｖ２を制御部９０に記録させる（Ｓ１０３）。制御部９０は、ホール素子２４４が出力している電圧Ｖ２を第２閾値として記憶する。
【００７１】
制御部９０は、Ｓ１００からＳ１０３までのステップの操作が所定回数（たとえば３回）繰り返し行われたか否かを判断する（Ｓ１０４）。
【００７２】
Ｓ１００からＳ１０３までのステップの操作が所定回数繰り返し行われていなければ（Ｓ１０４：ＮＯ）、Ｓ１００のステップの操作からＳ１０３のステップの操作を繰り返す。一方、Ｓ１００からＳ１０３までのステップの操作が所定回数繰り返し行われていれば（Ｓ１０４：ＹＥＳ）、制御部９０は、Ｓ１００とＳ１０３のステップにおいて記録したホール素子２４４の出力電圧（Ｖ１とＶ２）の平均値を算出する（Ｓ１０５）。
【００７３】
ホール素子２４４は、図８（Ｃ）に示すように、受ける磁束密度の大きさに応じてその出力電圧がリニアに変化する特性を有している。したがって、ホール素子２４４は、磁石２４３との距離に応じて大きさの異なる信号（電圧）を出力する。このため、チューブ接合装置１を組立てるときに、チューブが保持されていないときにホール素子２４４が出力する電圧Ｖ２と、チューブが保持されているときにホール素子２４４が出力する電圧Ｖ１とを、図７の制御部９０に記憶させておくことによって、ホール素子２４４の物理的な位置調整が不要になる。
【００７４】
以上のように、本実施形態に係る着脱状態検出方法は、チューブを保持しているときのホール素子２４４からの信号（電圧）を制御部９０に第１閾値として記憶させる段階と、チューブを保持していないときのホール素子２４４からの信号（電圧）を制御部９０に第２閾値として記憶させる段階と、を含む。
【００７５】
そして、チューブ接合装置１に第２保持部２３２およびホール素子２４４が複数備えられているときには、第１閾値および第２閾値を記憶させる段階は、それぞれのホール素子２４４に対して行われる。
【００７６】
本実施形態に係る被加工物の着脱状態検出装置は、ホール素子２４４が出力する電圧の大きさによって、第２保持部２３２への着脱状態を検出する。前述のように、制御部９０には、第２保持部２３２にチューブが装着されていない時に、ホール素子２４４から出力される電圧Ｖ２が第２閾値として記憶され、第２保持部２３２にチューブが装着されている時に、ホール素子２４４から出力される電圧Ｖ１が第１閾値として記憶されている。
【００７７】
このため、制御部９０は、ホール素子２４４から出力される電圧Ｖが第１閾値（Ｖ１）以下か、第２閾値（Ｖ２）以上か、を判断することによって、第２保持部２３２にチューブが装着されているのか、いないのかを認識できる。
【００７８】
図１１は、本実施形態に係る被加工物の着脱状態検出装置の動作を示すフローチャートである。
【００７９】
使用者Ｍはチューブ接合装置１の第２保持部２３２にチューブをセットする（Ｓ２００）。次に、制御部９０は、ホール素子２４４が出力している電圧Ｖを検出する（Ｓ２０１）。
【００８０】
制御部９０は、ホール素子２４４から出力されている電圧Ｖを第１閾値（Ｖ１）と第２閾値（Ｖ２）と比較する（Ｓ２０２）。制御部９０は、出力されている電圧Ｖが第１閾値（Ｖ１）以下であれば、チューブが第２保持部２３２に正常にセットされていると判断する（Ｓ２０３）。一方、制御部９０は、出力されている電圧Ｖが第２閾値（Ｖ２）以上であれば、チューブが第２保持部２３２に正常にセットされていないと判断し（Ｓ２０４）、Ｓ２００のステップの処理に戻る。
【００８１】
以上のように、本実施形態に係る被加工物の着脱状態検出装置および着脱状態検出方法では、チューブ接合装置１の組立時に、第２保持部２３２にチューブが装着されている状態を示す第１閾値と、第２保持部２３２にチューブが装着されていない状態を示す第２閾値とを記憶させ、これらの閾値に基づいてチューブの着脱状態を検出させる。したがって、従来行っていた、組立時における磁気センサの位置調整は不要となり、治具Ｇ１、Ｇ２を用いた２つの閾値の設定だけで良いので、組立作業が効率的となって、生産効率が向上する。
【００８２】
以上、実施形態を通じて本発明に係る被加工物の着脱状態検出装置および着脱状態検出方法を説明したが、本発明は実施形態において説明した構成に限定されることはなく、特許請求の範囲の記載に基づいて適宜改変することが可能である。
【００８３】
たとえば、本発明の適用対象としてチューブ接合装置１を例示して説明したが、本発明の適用対象はチューブ接合装置１に限られない。また、被加工物としてチューブを例示して説明したが、被加工物はチューブに限られない。
【符号の説明】
【００８４】
１        チューブ接合装置、
１０      筐体、
２２      蓋部、
９０      制御部、
２３２    保持部、
２４３    磁石、
２４４    ホール素子、
２５０    プランジャ、
Ｔ１      第１チューブ、
Ｔ２      第２チューブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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