(57)【要約】【課題】単一のレーザー光源から出射したレーザー光を集光し、被加工材料を効率的に加熱することができるレーザー加工装置を提供する。【解決手段】レーザー加工装置１０は、レーザー光ＬＢを出射するファイバーレーザー２２と、レーザー光ＬＢを環状のビームに成形する一対のアキシコレンズ２８と、環状のビームを径方向に分割して半割り形状の第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２とを成形する環状ビーム分割光学部材３０と、第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２とを互いに接近させ、かつ集光させる集光光学系３８と、第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２との間の隙間を介して、レーザー光ＢＬの集光部分に向けて被加工材料を供給する供給装置１４と、を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー光を出射するレーザー光源と、
前記レーザー光を環状のビームに成形する環状ビーム成形光学系と、
前記環状のビームを径方向に分割して半割り形状の第１ビームと第２ビームとを成形する環状ビーム分割光学系と、
前記第１ビームと前記第２ビームとを互いに接近させ、かつ集光させる集光光学系と、
前記第１ビームと前記第２ビームとの間を通り、前記集光光学系で集光されたレーザー光の集光部分に向けて被加工材料を供給する供給装置と、
を有するレーザー加工装置。
【請求項２】
前記集光光学系は、
前記第１ビームと前記第２ビームとを互いに接近させて環状のビームを成形するビーム結合光学部材と、前記ビーム結合光学部材のビーム出射方向に配置される集光レンズと、を有する、請求項１に記載のレーザー加工装置。
【請求項３】
前記ビーム結合光学部材の中心部には第１の孔が形成され、
前記集光レンズの中心部には第２の孔が形成され、
前記供給装置は、前記第１ビームと前記第２ビームとの間から内側に向けて延び、さらに前記第１の孔、及び前記第２の孔を通過してビーム出射方向下流側へ延び前記集光部分に前記被加工材料を供給する材料供給パイプを有している、請求項２に記載のレーザー加工装置。
【請求項４】
前記環状ビーム分割光学系は、入射する前記環状のビームの光軸を挟んで径方向の両側に、前記光軸と直交する直交面に対して径方向外側が光軸側よりも前記環状のビームの入射側に位置するように傾斜した光学部材からなる一対の第１偏向部材を備え、
前記光軸を挟んで一方側に配置される前記第１偏向部材、及び他方側に配置される前記第１偏向部材に前記環状のビームを通過させて屈折させることで  前記環状のビームを分割する、請求項１〜請求項３の何れか１項に記載のレーザー加工装置。
【請求項５】
前記ビーム結合光学部材は、前記環状のビームの光軸を挟んで径方向の両側に、前記光軸と直交する直交面に対して中心側が径方向外側よりも前記第１ビーム、及び前記第２ビームの入射側に位置するように傾斜した光学部材からなる一対の第２偏向部材を備え、
前記光軸を挟んで一方側に配置される前記第２偏向部材に前記第１ビームを通過させて屈折させ、他方側に配置される前記第２偏向部材に前記第２ビームを通過させて屈折させることで前記第１ビームと前記第２ビームとを互いに接近させる、請求項２または請求項３に記載のレーザー加工装置。
【請求項６】
前記ビーム結合光学部材は、前記第１ビームと前記第２ビームとを互いに結合して環状のビームを成形する、請求項５に記載のレーザー加工装置。
【請求項７】
前記環状ビーム成形光学系は、一対のアキシコレンズを含んで構成されている、請求項１〜請求項６の何れか１項に記載のレーザー加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー光で被加工材料を溶融するレーザー加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のレーザー加工装置では、円錐外面鏡、円錐内面鏡、平面鏡等により環状のビームが形成され、環状ビーム中に被加工材料が供給される構成となっている。
また、非特許文献１のレーザー加工装置では、複数本の光ファイバーから出射されるレーザー光を同じ領域に集光し、重畳し、集光部に加工材料を供給する構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２６６１８９号公報
【非特許文献１】第６４回応用物理学会春季学術講演会  講演予稿集（２０１７年  パシフィコ横浜）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のレーザー加工装置では、加工領域に被加工材料を供給するための機構が、環状のビームの一部を横切るため、ビームが集光する部分で光量、即ち、被加工材料の加工に必要なエネルギーが減少する問題がある。
【０００５】
一方、非特許文献１のレーザー加工装置では、被加工材料の周囲にレーザー光を照射する光ファイバを配置し、各々の光ファイバに小出力のレーザー光源を接続する必要がある。光ファイバの本数が多いと、光ファイバの取り回しが複雑となり、各々の光ファイバに集光レンズが必要となるため、加工ヘッドの小型化に不利な構成となっている。
【０００６】
本願発明の課題は、単一のレーザー光源から出射したレーザー光を集光し、被加工材料を効率的に加熱することができるレーザー加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載のレーザー加工装置は、レーザー光を出射するレーザー光源と、前記レーザー光を環状のビームに成形する環状ビーム成形光学系と、前記環状のビームを径方向に分割して半割り形状の第１ビームと第２ビームとを成形する環状ビーム分割光学系と、前記第１ビームと前記第２ビームとを互いに接近させ、かつ集光させる集光光学系と、前記第１ビームと前記第２ビームとの間を通り、前記集光光学系で集光されたレーザー光の集光部分に向けて被加工材料を供給する供給装置と、を有する。
【０００８】
請求項１に記載のレーザー加工装置では、レーザー光源から出射されたレーザー光が環状ビーム成形光学系によって環状のビームに成形される。
【０００９】
環状のビームは、環状ビーム分割光学系によって半割り形状の第１ビームと第２ビームとに分割される。
【００１０】
集光光学系は、第１ビームと第２ビームとを互いに接近させ、かつ集光させる。
【００１１】
供給装置は、第１ビームと第２ビームとの間から、集光部分に向けて被加工材料を供給する。集光部分に向けて供給された被加工材料は、外周側から囲まれるようにレーザー光によって外周側から加熱される。これにより、例えば、被加工材料が金属材料等の熱で溶融する材料の場合、レーザー光のエネルギーで被加熱材料を集光部分で溶融させることができる。
【００１２】
供給装置は、第１ビームと第２ビームとの間から集光部分の中心に向けて被加工材料を供給するため、第１ビーム、及び第２ビームが集光部分に到るまで供給装置でけられることが無く、レーザー光源から出射されたレーザー光を無駄なく集光部分に到達させることができ、効率的に被加工材料を加熱させることができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のレーザー加工装置において、前記集光光学系は、前記第１ビームと前記第２ビームとを互いに接近させて環状のビームを成形するビーム結合光学部材と、前記ビーム結合光学部材のビーム出射方向に配置される集光レンズと、を有する。
【００１４】
請求項２の集光光学系では、ビーム結合光学部材が、入射した第１ビームと第２ビームとを互いに接近させて環状のビームとして出射する。集光レンズは、入射した環状のビームを集光させる。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のレーザー加工装置において、前記ビーム結合光学部材の中心部には第１の孔が形成され、前記集光レンズの中心部には第２の孔が形成され、前記供給装置は、前記第１ビームと前記第２ビームとの間から内側に向けて延び、さらに前記第１の孔、及び前記第２の孔を通過してビーム出射方向下流側へ延び前記集光部分に前記被加工材料を供給する材料供給パイプを有している。
【００１６】
請求項３に記載のレーザー加工装置では、材料供給パイプが、第１ビーム、及び第２ビームの外側から第１ビームと第２ビームとの間を介して第１ビーム、及び第２ビームの内側に向けて延び、さらに、ビーム結合光学部材の中心部に形成された第１の孔、及び集光レンズの中心部に形成された第２の孔を通過している。このため、材料供給パイプの中を通して第１ビーム、及び第２ビームの外側から集光部に向けて被加工材料を確実に供給することができる。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３の何れか１項に記載のレーザー加工装置において、前記環状ビーム分割光学系は、入射する前記環状のビームの光軸を挟んで径方向の両側に、前記光軸と直交する直交面に対して径方向外側が光軸側よりも前記環状のビームの入射側に位置するように傾斜した光学部材からなる一対の第１偏向部材を備え、前記光軸を挟んで一方側に配置される前記第１偏向部材、及び他方側に配置される前記第１偏向部材に前記環状のビームを通過させて屈折させることで  前記環状のビームを分割する。
【００１８】
請求項４に記載のレーザー加工装置では、環状ビーム分割光学系が入射する環状のビームの光軸を挟んで径方向の両側に、光軸と直交する直交面に対して径方向外側が光軸側よりも環状のビームの入射側に位置するように傾斜した光学部材からなる一対の第１偏向部材を備えている。このため、光軸を挟んで一方側に配置される第１偏向部材、及び他方側に配置される第１偏向部材に環状のビームを通過させると、各々の第１偏向部材でビームが屈折されて分割され、互いに離間した半割り状の第１ビームと第２ビームとが出射される。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、請求項２または請求項３に記載のレーザー加工装置において、前記ビーム結合光学部材は、前記環状のビームの光軸を挟んで径方向の両側に、前記光軸と直交する直交面に対して中心側が径方向外側よりも前記第１ビーム、及び前記第２ビームの入射側に位置するように傾斜した光学部材からなる一対の第２偏向部材を備え、
前記光軸を挟んで一方側に配置される前記第２偏向部材に前記第１ビームを通過させて屈折させ、他方側に配置される前記第２偏向部材に前記第２ビームを通過させて屈折させることで前記第１ビームと前記第２ビームとを互いに接近させる。
【００２０】
請求項５に記載のレーザー加工装置では、ビーム結合光学部材が、光軸を挟んで径方向の両側に、光軸と直交する直交面に対して中心側が径方向外側よりも第１ビーム及び第２ビームの入射側に位置するように傾斜した光学部材からなる一対の第２偏向部材を備えている。このため、光軸を挟んで一方側に配置される第１偏向部材に第１ビームを通過させ、他方側に配置される第２偏向部材に第２ビームを通過させると、第１ビームが一方側に配置される第１偏向部材で屈折し、第２ビームが他方側に配置される第２偏向部材で屈折し、第１ビームと第２ビームとが互いに接近する。
【００２１】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のレーザー加工装置において、前記ビーム結合光学部材は、前記第１ビームと前記第２ビームとを互いに結合して環状のビームを成形する。
【００２２】
請求項６に記載のレーザー加工装置では、ビーム結合光学部材が、入射した第１ビームと第２ビームとを互いに結合して環状のビームを成形して出射する。
【００２３】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜請求項６の何れか１項に記載のレーザー加工装置において、前記環状ビーム成形光学系は、一対のアキシコレンズを含んで構成されている。
【００２４】
請求項７に記載のレーザー加工装置では、一対のアキシコレンズにレーザー光を入射させることで、一対のアキシコレンズから環状のレーザー光を出射することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明のレーザー加工装置によれば、単一のレーザー光源から出射したレーザー光を集光し、被加工材料を効率的に加熱することができる、という優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るレーザー加工装置の概略構成を示した構成図である。
【図２】（Ａ）はレーザー加工装置の光学系の要部を示す正面図側から見た光軸に沿った断面図であり、（Ｂ）は側面図であり、（Ｃ）はレーザー光源から出射されたレーザー光を光軸に直角な断面で見た断面図であり、（Ｄ）はアキシコレンズ対から出射されたレーザー光を光軸に直角な断面で見た断面図であり、（Ｅ）は環状ビーム分割光学部材から出射されたレーザー光を光軸に直角な断面で見た断面図であり、（Ｆ）はビーム結合光学部材から出射されたレーザー光を光軸に直角な断面で見た断面図であり、（Ｇ）は集光レンズから出射されたレーザー光を光軸に直角な断面で見た断面図である。
【図３】環状ビーム分割光学部材を示す斜視図である。
【図４】ビーム結合光学部材を示す斜視図である。
【図５】集光レンズを示す斜視図である。
【図６】第１ビーム、第２ビーム、及び材料供給パイプの位置関係を示す斜視図である。
【図７】（Ａ）は第２の実施形態に係るレーザー加工装置の光学系の要部を示す正面図側から見た光軸に沿った断面図であり、（Ｂ）は側面図であり、（Ｃ）はレーザー光源から出射されたレーザー光を光軸に直角な断面で見た断面図であり、（Ｄ）はアキシコレンズ対から出射されたレーザー光を光軸に直角な断面で見た断面図であり、（Ｅ）は環状ビーム分割光学部材から出射されたレーザー光を光軸に直角な断面で見た断面図であり、（Ｆ）は集光レンズから出射されたレーザー光を光軸に直角な断面で見た断面図であり、図（Ｇ）は第２の実施形態に係る環状ビーム分割光学部材の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
［第１の実施形態］
図１乃至図６にしたがって、本発明の第１の実施形態に係るレーザー加工装置１０を説明する。
図１に示すように、本実施形態のレーザー加工装置１０は、ヘッド１２、加工材料供給装置１４、移動ステージ１６、コントローラ１８等を含んで構成されている。
移動ステージ１６は、駆動装置１７で、Ｘ（図１の紙面左右方向）、Ｙ（図１の紙面裏表方向）、及びＺ方向（図１の紙面上下方向）に駆動可能とされている。
【００２８】
図１、及び図２に示すように、レーザー加工装置１０は、ヘッド１２の筐体２０の内部に、レーザー光ＬＢを直下に向けて出射するファイバーレーザー２２を備えており、ファイバーレーザー２２の下方には、ファイバーレーザー２２から拡散して出射するレーザー光を集光させる光学系２４が配置されている。
【００２９】
光学系２４は、ファイバーレーザー２２の直下に、ファイバーレーザー２２の光ファイバー２２Ａの端部から出射されたレーザー光ＬＢを平行光とする凸レンズ２６備えている。なお、ファイバーレーザー２２から出射されるレーザー光ＬＢの光軸ＣＬに直角な断面形状は、一例として図２（Ｃ）に示すような円形である。
【００３０】
凸レンズ２６の下方には、環状ビーム成形光学系の一例としての一対のアキシコレンズ２８が配置されている。凸レンズ２６から出射されたレーザー光ＬＢを一対のアキシコレンズ２８に通過させることで、レーザー光ＬＢは図２（Ｄ）に示すような円環状となって一対のアキシコレンズ２８から出射される。なお、出射される断面が円環状のレーザー光ＬＢは、入射される断面が円形のレーザー光ＬＢよりも径が拡大される。
【００３１】
アキシコレンズ２８の下方には、環状ビーム分割光学径の一例としての環状ビーム分割光学部材３０が配置されている。本実施形態の環状ビーム分割光学部材３０は、一例として、図２、及び図３に示すように、厚みが一定とされた一対の第１偏向部材の一例としてのガラス板３０ＡをＶ字形状に結合した構造とされている。環状ビーム分割光学部材３０を通過した円環状のレーザー光ＬＢは２分割され、図２（Ｅ）に示すように、光軸ＣＬを挟んで一方側に位置する半円弧状の第１ビームＬＢ１と他方側に位置する半円弧状の第２ビームＬＢ２となって環状ビーム分割光学部材３０から出射される。なお、環状ビーム分割光学部材３０は、一つのガラス部材を研削等でＶ字形状に加工したものであってもよい。
【００３２】
環状ビーム分割光学部材３０の下方には、第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２とを互いに接近させて環状のレーザー光ＬＢを成形するビーム結合光学部材３４と、ビーム結合光学部材３４のビーム出射方向に配置される集光レンズ３６とを含んで構成される集光光学系３８が設けられている。
【００３３】
本実施形態のビーム結合光学部材３４は、一例として、図２、及び図４に示すように、厚みが一定とされた一対の第２偏向部材の一例としてのガラス板３４Ａを逆Ｖ字形状に結合した構造とされている。ビーム結合光学部材３４を通過した第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２とは、円環状のレーザー光ＬＢに成形されてビーム結合光学部材３４から出射される。ビーム結合光学部材３４の中央には、後述する材料供給パイプ４６が挿通される挿通孔４０が形成されている。なお、ビーム結合光学部材３４は、一つのガラス部材を研削等で逆Ｖ字形状に加工したものであってもよい。
【００３４】
集光レンズ３６は、例えば、凸レンズであり、ビーム結合光学部材３４から出射された円環状のレーザー光ＬＢを、集光レンズ３６の下方へ離間した位置で集光する。なお、集光レンズ３６の中央には、後述する材料供給パイプ４６が挿通される挿通孔４２が形成されている。
【００３５】
加工材料供給装置１４は、筐体２０の外部に配置される装置本体４４、及び材料供給パイプ４６を含んで構成されている。装置本体４４は、被加工材料を溜めるタンク（図示省略）、被加工材料を材料供給パイプ４６に輸送するポンプ（図示省略）を内部に備えている。なお、被加工材料としては、熱で溶融する材料、一例として金属粉末、熱可塑性の合成樹脂粉末、ガラス粉末等を用いることができる。
【００３６】
材料供給パイプ４６は、筐体２０の側部を貫通し、第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２との間の隙間を介して環状ビーム分割光学部材３０とビーム結合光学部材３４との間の光軸ＣＬに向けて延び、さらに光軸ＣＬに沿ってビーム結合光学部材３４の挿通孔４０、及び集光レンズ３６の挿通孔４２を挿通してレーザー光ＬＢの集光点Ｐの直近まで、レーザー光ＬＢに当たらないように延びている。
【００３７】
なお、コントローラ１８は、コンピュータ等を含んで構成され、駆動装置１７、装置本体４４のポンプ、ファイバーレーザー２２の作動をコントロールする。
【００３８】
（作用、効果）
次に、本実施形態のレーザー加工装置１０の作用、効果を説明する。
本実施形態のレーザー加工装置１０では、移動ステージ１６の上に供給された被加工材料にレーザー光ＬＢを照射し、溶融または焼結させ、移動ステージ１６を移動させることで２次元成形物、または３次元成形物を成形することができる。
【００３９】
加工材料供給装置１４は、ポンプによってタンクの被加工材料を材料供給パイプ４６に供給し、材料供給パイプ４６の先端から移動ステージ１６の上に向けて被加工材料が吐出される。
【００４０】
ファイバーレーザー２２から出射されたレーザー光ＬＢは、光学系２４によって移動ステージ１６に向けて吐出された被加工材料に集光され、被加工材料を溶融または焼結させることができる。なお、本実施形態のレーザー加工装置１０では、被加工材料の外周を囲むように環状のレーザー光ＬＢが照射される。言い換えれば、閉じた環状のレーザー光ＬＢの内部に、被加工材料が供給され、被加工材料は外周側から、周方向に渡って均一に加熱される。これにより、吐出された被加工材料をムラ無く加熱することができ、高精度な三次元積層造形を実現することが可能となる。
【００４１】
本実施形態のレーザー加工装置１０では、レーザー光ＬＢを円環状に形成した後、半円弧状の第１ビームＬＢ１と半円弧状の第２ビームＬＢ２とに分割し、被加工材料を吐出する材料供給パイプ４６が第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２との間の隙間に配置されており、材料供給パイプ４６にレーザー光ＬＢが当ることがない。言い換えれば、ファイバーレーザー２２から出射されたレーザー光ＬＢが集光されるまで、レーザー光ＬＢがけられることがなく、ファイバーレーザー２２から出射されたレーザー光ＬＢを無駄なく被加工材料に集光させることができ、被加工材料を効率的に加熱することができる。
【００４２】
また、本実施形態のレーザー加工装置１０では、単一のファイバーレーザー２２で被加工材料の加工を行うので、複数のファイバーレーザーを用いる場合に比較して、装置の小型化を図ることができる。
【００４３】
［第２の実施形態］
次に、図７にしたがって、本発明の第２の実施形態に係るレーザー加工装置１０を説明する。なお、第１の実施形態と同一構成には同一符号を付し、その説明は省略する。  
【００４４】
本実施形態のレーザー加工装置１０では、アキシコレンズ２８の下方に、第１の実施形態の環状ビーム分割光学部材３０とは、形状、及び機能の異なる環状ビーム分割光学部材４８が配置されている。
【００４５】
本実施形態の環状ビーム分割光学部材４８は、一例として、図７（Ａ）に示すように、光軸から離れるにしたがって厚みが徐々に漸減するテーパー状に形成された一対のガラス板４８Ａを逆Ｖ字形状に結合した構造とされている。このため、環状ビーム分割光学部材４８を通過した円環状のレーザー光ＬＢ（図７（Ｄ）参照）は、図７（Ｅ）に示すように半円弧状の第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２とに２分割されるが、第１の実施形態とは異なって、図７（Ａ）に示すように、第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２とは徐々に接近するようになっている。
【００４６】
環状ビーム分割光学部材４８を通過した第１ビームＬＢ１、及び第２ビームＬＢ２は、図７（Ｆ）に示すように、互いに結合することなく集光レンズ３６を通過し、集光する。
【００４７】
材料供給パイプ４６は、第１の実施形態と同様に、筐体２０の側部を貫通し、第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２との間の隙間を介して環状ビーム分割光学部材４８と集光レンズ３６との間の光軸ＣＬに向けて延び、さらに光軸ＣＬに沿って集光レンズ３６の挿通孔４２を挿通してレーザー光ＬＢの集光点Ｐの直近まで、レーザー光ＬＢに当たらないように延びている。
【００４８】
本実施形態のレーザー加工装置１０においても、移動ステージ１６に吐出された被加工材料の外周を囲むように第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２とが照射され、被加工材料が外周側から加熱される。
【００４９】
本実施形態のレーザー加工装置１０では、移動ステージ１６に吐出された被加工材料の外周全体を第１の実施形態のように環状のレーザー光ＬＢで隙間無く囲んではいないが、第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２との隙間ｔが小さいので、実質的に環状のレーザー光ＬＢで囲んだ場合と同様にムラ無く加熱することができる。
【００５０】
なお、最大径Ｄに対する隙間ｔの割合が大きすぎると、移動ステージ１６に吐出された被加工材料に対して加熱ムラを生ずる場合がある。第１ビームＬＢ１と第２ビームＬＢ２との隙間ｔは、第１ビームＬＢ１、及び第２ビームＬＢ２の最大径Ｄの２０％以下とすることが好ましい（ただし、材料供給パイプ４６に第１ビームＬＢ１、及び第２ビームＬＢ２が当たらないようにする）。
【００５１】
本実施形態のレーザー加工装置１０もファイバーレーザー２２から出射されたレーザー光ＬＢが集光されるまで、レーザー光ＬＢがけられることがなく、ファイバーレーザー２２から出射されたレーザー光ＬＢを無駄なく被加工材料に集光させることができ、被加工材料を効率的に加熱することができる。
【００５２】
［その他の実施形態］
なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明は係る実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態をとることが可能であることは当業者にとって明らかである。
【００５３】
上記実施形態では、加工材料供給装置１４が金属粉末または合成樹脂粉末を供給する例を説明したが、加工材料供給装置１４は、粉末に限らず、金属、合成樹脂、ガラス等の線材または繊維状部材を供給するものであってもよい。
【００５４】
上記実施形態では、レーザー光源としてファイバーレーザーを用いたが、従来公知の他のレーザー光源を用いてもよい。
【００５５】
上記第２の実施形態では、材料供給パイプ４６が環状ビーム分割光学部材４８とビーム結合光学部材３４との間から挿入されていたが、レーザー光（第１ビームＬＢ１、及び第２ビームＬＢ２が当たらなければ、集光レンズ３６の下側から挿入されていてもよい。
【００５６】
被加工材料が金属材料の場合、加熱した金属材料が酸化しないように、酸素が含まれないガス、例えば、不活性ガス、還元ガス等で集光部分（加熱した金属部分）を覆うようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１０      レーザー加工装置
１４      加工材料供給装置（供給装置）
２２      ファイバーレーザー（レーザー光源）
２８      アキシコレンズ（環状ビーム成形光学系）
ＬＢ      レーザー光
ＬＢ１    第１ビーム
ＬＢ２    第２ビーム
３０      環状ビーム分割光学部材（環状ビーム分割光学系）
３０Ａ    ガラス板（第１偏向部材）
３４      ビーム結合光学部材（集光光学系）
３４Ａ    ガラス板（第２偏向部材）
３６      集光レンズ（集光光学系）
３８      集光光学系
４０      孔（第１の孔）
４２      孔（第２の孔）
４６      材料供給パイプ
４８      環状ビーム分割光学部材（環状ビーム分割光学系）
【図１】
2019063837.tif 000003
【図２】
2019063837.tif 000004
【図３】
2019063837.tif 000005
【図４】
2019063837.tif 000006
【図５】
2019063837.tif 000007
【図６】
2019063837.tif 000008
【図７】
2019063837.tif 000009