(57)【要約】【課題】基板をベルトで搬送可能でありかつベルト上で基板を加工装置によって加工可能なベルトコンベヤ装置において、ベルトの上側搬送部を複数の支持部材によって適切に下方から支持する。【解決手段】ベルトコンベヤ装置４３は、基板をベルトで搬送可能でありかつベルト上で加工装置によって基板が加工される装置であって、無端状の第２ベルト４３ａと、第１分断装置７と、複数の支持部材２０１とを備えている。第１分断装置７は、第２ベルト４３ａの上側搬送部の一部を保持して搬送方向に移動可能である。複数の支持部材２０１は、第２ベルト４３ａの上側搬送部４３ａ１を下方から支持するための部材であって、上側搬送部４３ａ１の移動にしたがって搬送方向に移動可能である。【選択図】図５
2019099302.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板をベルトで搬送可能でありかつ前記ベルト上で加工装置によって前記基板が加工される装置であって、
無端状のベルトと、
前記ベルトを駆動する駆動部と、
前記ベルトの前記上側搬送部の一部を保持して搬送方向に移動可能な移動部と、
前記上側搬送部を下方から支持するための部材であって、前記上側搬送部の移動にしたがって搬送方向に移動可能な複数の支持部材と、
を備えたベルトコンベヤ装置。
【請求項２】
前記移動部は、前記ベルトの前記上側搬送部の上に載置された基板を分断する分断装置である、請求項１に記載のベルトコンベヤ装置。
【請求項３】
前記複数の支持部材は、前記ベルトの幅方向に延びる側面を上側に有する複数の板状部材である、請求項１又は２に記載のベルトコンベヤ装置。
【請求項４】
前記複数の板状部材のうち一対ずつを連結する複数の連結部材をさらに備えている、請求項３に記載のベルトコンベヤ装置。
【請求項５】
前記連結部材は前記一対の板状部材を所定範囲内でのみ接近・離反可能に連結する、請求項４に記載のベルトコンベヤ装置。
【請求項６】
前記連結部材は、一方の板状部材に固定された第１部材と、他方の板状部材に固定され前記第１部材に対して上下方向に延びる軸を中心に回動自在に連結された第２部材とを有する、請求項５に記載のベルトコンベヤ装置。
【請求項７】
前記一対の板状部材が互いに接近すると互いに離れる方向への付勢力を発生する付勢部材をさらに備えている、請求項５又は６に記載のベルトコンベヤ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ベルトコンベヤ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ベルトコンベヤ装置は、一般に、無端状のベルトと、ベルトが掛け回された複数のプーリと、プーリを駆動してベルトによって物品を搬送させる駆動部（例えば、モータ）とを有している。
ベルトコンベヤ装置では、ベルトコンベヤの上側搬送部の長さを変更できる伸縮可能なものが知られている（例えば、特許文献１を参照）。
特許文献１に記載のベルトコンベヤ装置は、ベルト長さ伸縮装置１３を有している。ベルト長さ伸縮装置１３は、移動自在な往復ベルト支持ローラー８、９を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１６５５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、基板をベルトで搬送してベルト上で基板を加工する装置が知られている。この装置の場合、ベルトコンベヤの上側搬送部を伸縮はしないが搬送方向に移動させる（シフトさせる）ことが考えられる。しかし、従来技術では、そのような構造に下方からの支持部材を適用するときの具体的な問題点及び解決手段を提供していない。
【０００５】
本発明の目的は、基板をベルトで搬送可能でありかつベルト上で基板を加工装置によって加工可能なベルトコンベヤ装置において、ベルトの上側搬送部を複数の支持部材によって適切に下方から支持することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。
【０００７】
本発明の一見地に係るベルトコンベヤ装置は、基板をベルトで搬送可能でありかつベルト上で加工装置によって基板が加工される装置であって、無端状のベルトと、駆動部と、移動部と、複数の支持部材とを備えている。
駆動部はベルトを駆動する。
移動部は、ベルトの上側搬送部の一部を保持して搬送方向に移動可能である。
複数の支持部材は、上側搬送部を下方から支持するための部材であって、上側搬送部の移動にしたがって搬送方向に移動可能である。
この装置では、移動部がベルトの上側搬送部の一部を保持して搬送方向に移動すると、ベルトの上側搬送部が搬送方向に移動する。このとき、複数の支持部材は上側搬送部の移動にしたがって搬送方向に移動する。したがって、ベルトの上側搬送部は、複数の支持部材によって適切に下方から支持される。つまり、ベルトの蛇行が生じにくい。
【０００８】
移動部は、ベルトの上側搬送部の上に載置された基板を分断する分断装置であってもよい。
この装置では、分断装置は搬送方向に移動しながら基板を分断していく。このときに、ベルトの上側搬送部は搬送方向に移動するが、その間も複数の支持部材によって下方から適切に支持される。つまり、ベルトの蛇行が生じにくい。
【０００９】
複数の支持部材は、ベルトの幅方向に延びる側面を上側に有する複数の板状部材であってもよい。
この装置では、複数の板状部材は搬送方向に短いので、所定区間内でベルトの上側搬送部が縮小された場合に上側搬送部の長さを十分に短くできる。
【００１０】
ベルトコンベヤ装置は、複数の板状部材のうち一対ずつを連結する複数の連結部材をさらに備えていてもよい。
この装置では、一対の板状部材が連結部材によって互いに連結されているので、各板状部材が搬送方向に倒れにくい。
【００１１】
連結部材は、一対の板状部材を所定範囲内でのみ接近・離反可能に連結してもよい。
この装置では、一対の板状部材が所定範囲内でのみ接近・離反可能となっているので、各板状部材が適切な範囲で互いに対して移動する。
【００１２】
連結部材は、一方の板状部材に固定された第１部材と、他方の板状部材に固定され第１部材に対して上下方向に延びる軸を中心に回動自在に連結された第２部材とを有してもよい。
この装置では、第１部材と第２部材が上下方向に延びる軸を中心に回動自在になっているので、簡単な構造でスムーズな動作が実現される。
【００１３】
ベルトコンベヤ装置は、一対の板状部材が互いに接近すると互いに離れる方向への付勢力を発生する付勢部材をさらに備えていてもよい。
この装置では、所定区間内でベルトの上側搬送部が広がっていくときに、付勢部材によって一対の板状部材が互いに離れていき、そのため全ての対において板状部材が一斉に互いから離れていく。したがって、ベルトの上側搬送部は、複数の支持部材によって全体にわたって均等に下方から支持される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るベルトコンベヤ装置では、ベルトの上側搬送部は複数の支持部材によって適切に下方から支持される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板加工装置の模式的平面図。
【図２】基板分断装置の模式的斜視図。
【図３】基板分断装置の模式的側面図。
【図４】基板加工装置の制御構成を示すブロック図。
【図５】基板分断動作の一状態を示す、基板分断装置の模式的側面図。
【図６】ベルト支持機構の平面図。
【図７】ベルト支持機構の側面図。
【図８】ベルト支持機構の動作の一状態を示す模式図。
【図９】ベルト支持機構の動作の一状態を示す模式図。
【図１０】ベルト支持機構の動作の一状態を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
１．第１実施形態
（１）基板加工装置の概略説明
図１〜図３を用いて、基板加工装置１を説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る基板加工装置の模式的平面図である。図２は、基板分断装置の模式的斜視図である。図３は、基板分断装置の側面図である。図１において、図の上下方向が第１方向（矢印Ｘ）であり、図の左右方向が第２方向（矢印Ｙ）である。
基板加工装置１は、貼り合わせ基板１００から複数の単位基板１１３を形成する装置である。図１において、これから述べる複数の装置は、第２方向において左から右に向かって並べられている。つまり、被加工対象の基板の搬送方向は第２方向であり、基板は第２方向において左から右に向かって搬送されながら加工される。そのため、図１の第２方向左側が搬送方向上流側であり、図１の第２方向右側が搬送方向下流側である。
【００１７】
基板加工装置１は、スクライブライン形成装置３を有している。スクライブライン形成装置３は、貼り合わせ基板１００の表面に複数の第１スクライブラインＳ１と複数の第２スクライブラインＳ２を形成する。第１スクライブラインＳ１と第２スクライブラインＳ２は互いに直交している。なお、スクライブ加工後の基板を貼り合わせ基板１００Ａとする。
スクライブライン形成装置３は、具体的には、スクライブユニット５１と、貼り合わせ基板１００を搬送方向下流側に搬送するコンベヤ装置５３と、貼り合わせ基板１００を保持して搬送方向両側に移動させるチャック機構５５とを有している。スクライブユニット５１は、第１方向に延長して設けられたスクライブビーム５１ａと、それに沿って第１方向に移動可能なスクライブヘッド５１ｂ（図４）と、スクライブヘッド移動装置５１ｃ（図４）を有している。コンベヤ装置５３は、ベルトコンベヤである。チャック機構５５は、コンベヤ装置５３の上において、第２方向に沿って前後に移動可能に設置されたチャックビーム５５ａと、チャックビーム移動装置５５ｂ（図４）と、チャックビーム５５ａの片側に形成され、貼り合わせ基板１００を把持するチャック５５ｃとを有している。チャックビーム５５ａがスクライブユニット５１に向かって第１方向両側に移動することによって、チャック５５ｃに把持されている貼り合わせ基板１００はスクライブヘッド５１ｂ（図４）の下方を通過しながらスクライブされる。
【００１８】
基板加工装置１は、基板分断装置５を有している。基板分断装置５は、貼り合わせ基板１００Ａを複数の第１スクライブラインＳ１と複数の第２スクライブラインＳ２に沿って分断することで、単位基板１１３を形成する。基板分断装置５は、スクライブライン形成装置３の搬送方向下流側に配置されている。
【００１９】
基板分断装置５は、第１分断装置７（移動部の一例）を有している。
第１分断装置７は、貼り合わせ基板１００Ａを複数の第１スクライブラインＳ１に沿って分断することで、複数の短冊状基板１１１を形成する。第１分断装置７は、第１方向に平行に延びており、貼り合わせ基板１００Ａの複数の第１スクライブラインＳ１に合わせて搬送方向に移動・分断を繰り返す。第１分断装置７は、第２ベルト４３ａの上側搬送部４３ａ１の一部を保持して搬送方向に移動可能である。
【００２０】
基板分断装置５は、第２分断装置９を有している。
第２分断装置９は、第１分断装置７の搬送方向下流側に配置され、複数の短冊状基板１１１を第２スクライブラインＳ２に沿って分断することで、複数の単位基板１１３を形成する。第２分断装置９は、第１方向に平行に延びており、複数の短冊状基板１１１の複数の第２スクライブラインＳ２に合わせて搬送方向に移動・分断を繰り返す。第２分断装置９は、第３ベルト４５ａの上側搬送部４５ａ１の一部を保持して搬送方向に移動可能である。
【００２１】
基板加工装置１は、ピックアップ装置１１を有している。ピックアップ装置１１は、複数の単位基板１１３をピックアップして他の装置１３に搬送する。
なお、第１分断装置７及び第２分断装置９においてブレイクバー等を支持しつつ搬送方向にビームを移動させる機構は公知であるので、説明を省略する。
【００２２】
次に、基板を搬送するための搬送装置２９を説明する。搬送装置２９は、スクライブライン形成装置３、第１分断装置７、第２分断装置９、ピックアップ装置１１の順番で基板を搬送する。
具体的には、搬送装置２９は、第１コンベヤ装置４１と、第２コンベヤ装置４３と、第３コンベヤ装置４５とを有している。第１コンベヤ装置４１は、スクライブライン形成装置３と第１分断装置７との間に延びている。第２コンベヤ装置４３は、第１分断装置７と第２分断装置９の間に延びている。第３コンベヤ装置４５は第２分断装置９とピックアップ装置１１との間に延びている。
【００２３】
図３に示すように、第１コンベヤ装置４１は、第１ベルト４１ａと、複数のローラ４１ｂと、第１モータ４１ｃ（図４）とを有している。複数のローラ４１ｂのうち搬送方向上流側のもの及び搬送方向下流側のものは、所定範囲内で搬送方向前後に移動可能になっている。
図３に示すように、第２コンベヤ装置４３は、第２ベルト４３ａと、複数のローラ４３ｂと、第２モータ４３ｃ（駆動部の一例）（図４）とを有している。複数のローラ４３ｂのうち搬送方向上流側のもの及び搬送方向下流側のものは、所定範囲内で搬送方向前後に移動可能になっている。
【００２４】
図３に示すように、第３コンベヤ装置４５は、第３ベルト４５ａと、複数のローラ４５ｂと、第３モータ４５ｃ（図４）とを有している。複数のローラ４５ｂのうち搬送方向上流側のものと搬送方向下流側のものは、所定範囲内で搬送方向前後に移動可能になっている。
図３に示すように、第１ベルト４１ａの上面部の搬送方向下流側端と、第２ベルト４３ａの上面部の搬送方向上流側端とはわずかな隙間を挟んで近接している。第２ベルト４３ａの上面部の搬送方向下流側端と、第３ベルト４５ａの上面部の搬送方向上流側端とはわずかな隙間を挟んで近接している。
【００２５】
上記の構成によって、基板加工装置１では、第１分断装置７が貼り合わせ基板１００Ａを分割して複数の短冊状基板１１１を形成しているときに、それと同時に第２分断装置９が複数の短冊状基板１１１を分割して複数の単位基板１１３を形成できる。したがって、基板加工装置１の単位基板１１３を形成する能力が従来より高くなっている。
【００２６】
図１〜図３に示すように、第１ベルト４１ａには、第１ダンサーユニット３５が配置されている。第２ベルト４３ａには、第２ダンサーユニット３７が配置されている。第３ベルト４５ａには、第３ダンサーユニット３９が配置されている。第１ダンサーユニット３５、第２ダンサーユニット３７及び第３ダンサーユニット３９は、第１ベルト４１ａ、第２ベルト４３ａ及び第３ベルト４５ａをそれぞれ押し下げることでベルトの長さを調整する。これら装置の構成及び機能は公知であるので、説明を省略する。
【００２７】
（２）基板加工装置の制御構成
図４を用いて、基板加工装置１の制御構成を説明する。図４は、基板加工装置の制御構成を示すブロック図である。
基板加工装置１は、コントローラ５０を有している。コントローラ５０は、プロセッサ（例えば、ＣＰＵ）と、記憶装置（例えば、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ、ＳＳＤなど）と、各種インターフェース（例えば、Ａ／Ｄコンバータ、Ｄ／Ａコンバータ、通信インターフェースなど）を有するコンピュータシステムである。コントローラ５０は、記憶部（記憶装置の記憶領域の一部又は全部に対応）に保存されたプログラムを実行することで、各種制御動作を行う。
【００２８】
コントローラ５０は、単一のプロセッサで構成されていてもよいが、各制御のために独立した複数のプロセッサから構成されていてもよい。
コントローラ５０の各要素の機能は、一部又は全てが、コントローラ５０を構成するコンピュータシステムにて実行可能なプログラムとして実現されてもよい。その他、コントローラ５０の各要素の機能の一部は、カスタムＩＣにより構成されていてもよい。
【００２９】
コントローラ５０には、スクライブユニット５１（スクライブヘッド５１ｂ、スクライブヘッド移動装置５１ｃ）、チャック機構５５（チャックビーム移動装置５５ｂ、チャック５５ｃ）、第１コンベヤ装置４１の第１モータ４１ｃ、第２コンベヤ装置４３の第２モータ４３ｃ、第３コンベヤ装置４５の第３モータ４５ｃ、第１ダンサーユニット３５、第２ダンサーユニット３７、第３ダンサーユニット３９が接続されている。コントローラ５０には、さらに、第１分断装置７、第２分断装置９が接続されている。
コントローラ５０には、図示しないが、基板の大きさ、形状及び位置を検出するセンサ、各装置の状態を検出するためのセンサ及びスイッチ、並びに情報入力装置が接続されている。
【００３０】
（３）ベルト支持機構
（３−１）ベルト支持機構の構成
図３及び図５〜図７を用いて、搬送装置２９（ベルトコンベヤ装置の一例）に用いられるベルト支持機構２００を説明する。
図５は、基板分断動作の一状態を示す、基板分断装置の模式的側面図である。図６は、ベルト支持機構の平面図である。図７は、ベルト支持機構の側面図である。
【００３１】
前述のように第１分断装置７と第２分断装置９が搬送方向に移動すると、それに伴って、第１ベルト４１ａ、第２ベルト４３ａ及び第３ベルト４５ａが搬送方向に移動する。
ベルトが搬送方向上流側に移動すると、第１ダンサーユニット３５と第２ダンサーユニット３７との間の区間では、第１ベルト４１ａの上側搬送部４１ａ１が短くなり、第２ベルト４３ａの上側搬送部４３ａ１が長くなる。さらに、第２ダンサーユニット３７と第３ダンサーユニット３９との間の区間では、第２ベルト４３ａの上側搬送部４３ａ１が短くなり、第３ベルト４５ａの上側搬送部４５ａ１が長くなる。
ベルト支持機構２００は、上述のベルトの移動の際に各移動に応じて適切にベルトを支持するための機構である。
【００３２】
ベルト支持機構２００は、複数の支持部材２０１を有している。
複数の支持部材２０１は、第１ベルト４１ａの上側搬送部４１ａ１、第２ベルト４３ａの上側搬送部４３ａ１、及び第３ベルト４５ａの上側搬送部４５ａ１の下方にそれぞれ配置されている。より具体的には、複数の支持部材２０１は、下記の６箇所に配置されている。
（ａ）第１ダンサーユニット３５より搬送方向上流側
（ｂ）第１ダンサーユニット３５と第１分断装置７との間
（ｃ）第１分断装置７と第２ダンサーユニット３７との間
（ｄ）第２ダンサーユニット３７と第２分断装置９との間
（ｅ）第２分断装置９と第３ダンサーユニット３９との間
（ｆ）第３ダンサーユニット３９より搬送方向下流側
【００３３】
次に、一例として、上記（ｃ）における複数の支持部材２０１を説明する。なお、下記の説明は他の箇所における複数の支持部材２０１にも適用される。
複数の支持部材２０１は、第２ベルト４３ａの上側搬送部４３ａ１を下方から支持するための部材であって、上側搬送部４３ａ１の移動にしたがって搬送方向に移動可能である。具体的には、複数の支持部材２０１は、第１分断装置７と第２ダンサーユニット３７との間で搬送方向に間隔を空けて並んでいる。具体的には、第１分断装置７と第２ダンサーユニット３７の間には、７個の支持部材２０１が配置されている。
【００３４】
また、複数の支持部材２０１は、レール２０２によってガイドされている。レール２０２は、搬送方向に延びている。
複数の支持部材２０１は、第２ベルト４３ａの幅方向（第１方向）に延びる側面を上側に有する複数の板状部材である。レール２０２は、複数の支持部材２０１の幅方向両側に配置された２本のレール部材を有している。これにより、複数の支持部材２０１は互いに平行な状態を維持できる。
【００３５】
ベルト支持機構２００では、第１分断装置７が第２ベルト４３ａの上側搬送部４３ａ１の一部を保持して搬送方向に移動すると、それに従って第２ベルト４３ａの上側搬送部４３ａ１が移動する。また、第１ベルト４１ａの上側搬送部も同方向に移動する。このとき、複数の支持部材２０１は、各ベルトの上側搬送部の移動に従って搬送方向に移動する。したがって、第１ベルト４１ａの上側搬送部４１ａ１及び第２ベルト４３ａの上側搬送部４３ａ１は、複数の支持部材２０１によって下方から適切に支持される。つまり、第１ベルト４１ａ及びの第２ベルト４３ａの蛇行が生じにくい。
【００３６】
図３及び図５〜図７に示すように、ベルト支持機構２００は、複数の支持部材２０１のうち一対ずつを連結する複数の連結部材２０３をさらに有している。連結部材２０３によって、各支持部材２０１が搬送方向に倒れにくくなる。
図６及び図７に示すように、連結部材２０３は、一方の支持部材２０１に固定された第１部材２０５と、他方の支持部材２０１に固定され第１部材２０５に対して上下方向に延びる軸２０９を中心に回動自在に連結された第２部材２０７とを有している。このようにして、連結部材２０３は、一対の支持部材２０１を所定範囲内でのみ接近・離反可能に連結しており、そのため各支持部材２０１が適切な範囲で互いに対して移動する。さらに、簡単な構造でスムーズな動作が実現される。
【００３７】
なお、第１部材２０５と第２部材２０７が閉じて互いに近接した状態を閉じ状態といい、第１部材２０５と第２部材２０７が開いて互いに離れた状態を開き状態という。
具体的には、第１ダンサーユニット３５と第１分断装置７との間には、４個の連結部材２０３が設けられている。最も第１分断装置７に近い連結部材２０３は、第１分断装置７に直接固定されている。さらに、第１分断装置７と第２ダンサーユニット３７との間には、４個の連結部材２０３が設けられている。最も第１分断装置７に近い連結部材２０３は、第１分断装置７に直接固定されている。
【００３８】
図６に示すように、ベルト支持機構２００は、複数の付勢部材２１１をさらに有している。付勢部材２１１は、一対の支持部材２０１が互いに接近すると互いに離れる方向への付勢力を発生する。
付勢部材２１１は、例えば、引張りコイルスプリングである。ただし、付勢部材の種類は限定されない。また、付勢部材はなくてもよい。
【００３９】
（３−２）基板分断動作時のベルト支持機構の動作
図３及び図５を用いて、基板分断動作を説明する。
図３に示すように、第１段階では、第１分断装置７は、第１ダンサーユニット３５と第２ダンサーユニット３７の間において、第２ダンサーユニット３７に近接した位置にある。したがって、第１ダンサーユニット３５と第１分断装置７との間は広くなっており、そのため第１コンベヤ装置４１の第１ベルト４１ａの下方では複数の支持部材２０１が開き状態で配置されている（上記（ｂ）の説明）。また、第１分断装置７と第２ダンサーユニット３７との間は狭くなっており、そのため第２コンベヤ装置４３の第２ベルト４３ａの下方では複数の支持部材２０１が閉じ状態で配置されている（上記（ｃ）の説明）。なお、複数の支持部材２０１は搬送方向に短いので、このように第２ベルト４３ａの上側搬送部４３ａ１が所定区間内で短くなっている場合に当該区域内での上側搬送部４３ａ１の長さを十分に短くできる。
【００４０】
図５に示すように、第２段階では、第１分断装置７は、貼り合わせ基板１００Ａを分断しながら搬送方向上流側に移動する。このとき、第１分断装置７は、第１ベルト４１ａの搬送方向下流側端及び第２ベルト４３ａの搬送方向上流側端を保持している。したがって、第１ダンサーユニット３５と第１分断装置７との間は狭くなり、そのため第１コンベヤ装置４１の第１ベルト４１ａの下方では複数の支持部材２０１が閉じ状態になる（上記（ｂ）の説明）。また、第１分断装置７と第２ダンサーユニット３７との間は広くなり、そのため第２コンベヤ装置４３の第２ベルト４３ａの下方では複数の支持部材２０１が開き状態になる（上記（ｃ）の説明）。なお、形成された複数の短冊状基板１１１は、第２ベルト４３ａの上側搬送部に載置される。
また、図５に示すように、第２段階では、第２分断装置９は、短冊状基板１１１を分断しながら搬送方向上流側に移動する。このとき、第２分断装置９は、第２ベルト４３ａの搬送方向下流側端及び第３ベルト４５ａの搬送方向上流側端を保持している。したがって、第２ダンサーユニット３７と第２分断装置９との間は狭くなり、そのため第３コンベヤ装置４５の第３ベルト４５ａの下方では複数の支持部材２０１が閉じ状態になる（上記（ｄ）の説明）。
【００４１】
なお、図５では示されていないが、第２分断装置９と第３ダンサーユニット３９との間は広くなり、そのため第３コンベヤ装置４５の第３ベルト４５ａの下方では複数の支持部材２０１が開き状態になる（上記（ｅ）の説明）。また、図５では示されていないが、複数の単位基板１１３は、第３ベルト４５ａの上側搬送部４５ａ１に載置される。
【００４２】
図８〜図１０を用いて、ベルトの上側搬送部が所定区間内で縮小状態から拡張状態に移行する動作を説明する。図８〜図１０は、ベルト支持機構の動作の一状態を示す模式図である。
図８では、第１分断装置７は第１ダンサーユニット３５に近接して配置されており、その間で複数の支持部材２０１は閉じ状態で配置されている。
【００４３】
図９では、第１分断装置７は第１ダンサーユニット３５から搬送方向下流側に移動し、そのため複数の支持部材２０１は開き状態に移行する。つまり、第１ベルト４１ａの上側搬送部４１ａ１が第１ダンサーユニット３５と第２ダンサーユニット３７との間の区間で拡張されていくときに、付勢部材２１１によって一対の支持部材２０１が互いに離れていくので、全ての対において支持部材２０１が一斉に互いから離れていく。したがって、第１ベルト４１ａの上側搬送部４１ａ１は、複数の支持部材２０１によって全体にわたって下方から支持される。
図１０では、第１分断装置７は第１ダンサーユニット３５から搬送方向下流側に最も離れた位置に移動しており、そのため複数の支持部材２０１は開き状態になっている。
【００４４】
２．他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
【００４５】
（１）基板の変形例
２枚の脆性材料基板を貼り合せた貼り合せ脆性材料基板には、ガラス基板を貼り合わせた液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、有機ＥＬディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルと、シリコン基板、サファイヤ基板等をガラス基板に貼り合わせた半導体基板とが含まれる。
基板の種類は特に限定されない。基板は、単板のガラス、半導体ウエハ、セラミック基板を含んでいる。
【００４６】
（２）各種装置の変形例
支持部材の形状、数は特に限定されない。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、ベルトコンベヤ装置に広く適用できる。
【符号の説明】
【００４８】
１        ：基板加工装置
３        ：スクライブライン形成装置
５        ：基板分断装置
７        ：第１分断装置
９        ：第２分断装置
１１      ：ピックアップ装置
２９      ：搬送装置
３５      ：第１ダンサーユニット
３７      ：第２ダンサーユニット
４１      ：第１コンベヤ装置
５１      ：スクライブユニット
１００    ：貼り合わせ基板
１１１    ：短冊状基板
１１３    ：単位基板
２００    ：ベルト支持機構
２０１    ：支持部材
２０２    ：レール
２０３    ：連結部材
２０５    ：第１部材
２０７    ：第２部材
２０９    ：軸
２１１    ：付勢部材
【図１】
2019099302.tif 000003
【図２】
2019099302.tif 000004
【図３】
2019099302.tif 000005
【図４】
2019099302.tif 000006
【図５】
2019099302.tif 000007
【図６】
2019099302.tif 000008
【図７】
2019099302.tif 000009
【図８】
2019099302.tif 000010
【図９】
2019099302.tif 000011
【図１０】
2019099302.tif 000012