(57)【要約】【課題】コントロール弁装置自体に、ベントガス導入のときに、流体通路に小流量オリフイスを設置することで小流量のベントガス導入を行う場合よりもさらに流量を少なくすることの出来るコンダクタンス部を形成し、コントロール弁装置を駆動することでこのコンダクタンス部を制御可能にする。【解決手段】駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、一方の弁部と前記オリフイスとが直列配列の組み合わせでベント用ガス導入路からベント用ガス導出路に極小のベント用ガスを流過させる極小コンダクタンス部が形成され、他方の弁部とオリフイスとが並列配列の組み合わせでベント用ガス導入路からベント用ガス導出路に小のベント用ガスを流過させる小コンダクタンス部が形成される。【選択図】図１
2019070891.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて平面部及び突起周辺部を順次有し、
平面部及び突起周辺部と平面部及び突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が形成され、
突起部に、ガス路とガス路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが形成され、駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、
第１の弁部とオリフイスとが直列配列の組み合わせでガス路からガス路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部が形成されて、極小コンダクタンス部による極小コンダクタンス下の弁体開閉と、オリフイスの直接連通による小コンダクタンス下の弁体開閉、第２の弁部による小コンダクタンス弁体下の弁体開放あるいはオリフイスの直接連通及び第２の弁部による小コンダクタンス下の弁体開閉と、第１の弁部及び第２の弁部双方が全開の大コンダクタンス下の弁体開閉が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置。
【請求項２】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにベントガス導入のための弁開放を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて平面部及び突起周辺部を順次有し、
平面部及び突起周辺部と平面部及び突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が形成され、
突起部に、ベント用ガス導入路とベント用ガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが形成され、駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、
第１の弁部とオリフイスとが直列配列の組み合わせでベント用ガス導入路からベント用ガス導出路に極小のベント用ガスを流過させる極小スローベントを形成する極小コンダクタンス部が形成されて、極小コンダクタンス部による極小コンダクタンス下の弁体開放と、オリフイスの直接連通による小コンダクタンス下の弁体開放、第２の弁部による小コンダクタンス弁体下の弁体開放あるいはオリフイスの直接連通及び第２の弁部による小コンダクタンス下の弁体開放と、第１の弁部及び第２の弁部双方が全開の大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開放によるベント用ガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするベントガス導入のための弁開放を行う弁装置。
【請求項３】
請求項２に記載されたベントガス導入のための弁開放を行う弁装置において、第２の弁部と前記オリフイスとが並列配列の組み合わせでベントガス導入する小コンダクタンス部が形成されることを特徴とするベントガス導入のための弁開放を行う弁装置。
【請求項４】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、ガス導入のための弁開放を行う弁装置において、
弁装置を構成する一方の弁部と前記オリフイスとが直列配列に組み合わされてガス路を形成するガス導入路からガス導出路に極小のガスを流過させる極小コンダクタンス部が形成され、
弁装置を構成する他方の弁部とオリフイスとが並列配列に組み合わされてガス導入路からガス導出路に小流量のベント用ガスを流過させる小コンダクタンス部が形成され、
弁装置の全開による大コンダクタンス部が形成され、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、ガス導入が極小コンダクタンス部から小コンダクタンス部に、そしてさらに大コンダクタンス部に切り換えられること
を特徴とするガス導入のための弁開放を行う弁装置。
【請求項５】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、ガスを、ガス路を形成するガス導入路からガス導出路に流過させる、ガス導入のための弁装置の弁開放方法において、
当該弁装置が１台用いられ、
当該弁装置が、ガス導入路とのガス導出路と間に、
ガス導入路からガス導出路に極小のガスを流過させる極小コンダクタンス部、小流量のガスを流過させる小コンダクタンス部及び弁全開による大コンダクタンス部を有して、
時間の経過に伴い、駆動装置の駆動による、弁体のストロークの直線的な増大に対して、当該１台の弁装置によるガス導入流量が、小コンダクタンス部及び大コンダクタンス部に基づいて、迅速増大と漸増との組み合わせからなる増大曲線が腰折れ状態を呈する２段階腰折れ増大曲線と、２段階腰折れ増大曲線を含み、極小コンダクタンス部によって形成される増大曲線を含めて形成される３段階増大曲線との間において取得された複数の増大曲線情報が格納され、複数の増大曲線情報から一つの増大曲線情報が取得され、駆動装置の駆動によって当該増大曲線に基づく弁体駆動を行い、ガス導入流量を増大させること
を特徴とするガス導入のための弁装置の弁開放方法。
【請求項６】
請求項５に記載されたガス導入のための弁装置の弁開放方法において、弁部とオリフイスとの直列の組み合わせから極小コンダクタンス部が形成され、弁部が全開放されると、オリフイスによって形成される小コンダクタンスでベントガスの導入がなされ、極小コンダクタンス部によって形成される極小増大曲線に、当該オリフイスによる小コンダクタンスによる小増大曲線が接続されて、ガス導入量が急増大される増大曲線が形成されることを特徴とするガス導入のための弁装置の弁開放方法。
【請求項７】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて平面部及び突起周辺部を順次有し、
平面部及び突起周辺部と平面部及び突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が形成され、
突起部に、ガス路とガス路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが形成され、駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、
第１の弁部とオリフイスとが直列配列の組み合わせでガス路からガス路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部が形成されて、極小コンダクタンス部による極小コンダクタンス下の弁体開閉と、オリフイスの直接連通による小コンダクタンス下の弁体開閉、第２の弁部による小コンダクタンス弁体下の弁体開放あるいはオリフイスの直接連通及び第２の弁部による小コンダクタンス下の弁体開閉と、第１の弁部及び第２の弁部双方が全開の大コンダクタンス下の弁体開閉が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入を、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立って行うこと
を特徴とする弁装置における弁開閉方法。
【請求項８】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにベントガス導入のための弁開放を行う弁装置における弁開放方法において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて平面部及び突起周辺部を順次有し、
平面部及び突起周辺部と平面部及び突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が形成され、
突起部に、ベント用ガス導入路とベント用ガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが形成され、駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、
第１の弁部とオリフイスとが直列配列の組み合わせでベント用ガス導入路からベント用ガス導出路に極小のベント用ガスを流過させる極小スローベントを形成する極小コンダクタンス部が形成されて、極小コンダクタンス部による極小コンダクタンス下の弁体開放と、オリフイスの直接連通による小コンダクタンス下の弁体開放、第２の弁部による小コンダクタンス弁体下の弁体開放あるいはオリフイスの直接連通及び第２の弁部による小コンダクタンス下の弁体開放と、第１の弁部及び第２の弁部双方が全開の大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入を、前記小コンダクタンス下の弁体開放によるベント用ガスの導入に先立って行うこと
を特徴とするベントガス導入のための弁開放を行う弁装置における弁開放方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバにガス導入のための弁開放を行う弁装置及び弁装置の弁開放方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、オリフイスを大流量用オリフイスと中流量用オリフイスと小流量用オリフイスの三種類とすると共に、一方の流体通路に第１の切換用バルブと第２の切換用バルブと大流量用オリフイスを直列状に介在させ、また他方の流体通路に小流量オリフイスと中流量オリフイスを介在させ、更に、両切換バルブ間を連通する通路と、小流量オリフイスと中流量オリフイス間を連通する通路とを連通させる流量レンジ可変流量制御装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４８５６９０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
真空容器が減圧状態にあるとき、真空容器内圧力を大気圧力にするときに、ベントガスが真空容器内に導入される。このときに、一気にベントガスを導入すると真空容器内に蓄積されたパーテイクルが舞い上がる現象が生じる。
【０００５】
特許文献１に記載された発明によれば、大流量用オリフイスと中流量用オリフイスと小流量用オリフイスの三種類のオリフイスが用いられる。流体通路に小流量オリフイスと中流量オリフイスを介在させることで小流量の流れる通路が形成され得る。また、コントロール弁を設けることで、小流量オリフイスを流通する流体流量を比較的高精度でもって制御することができる。
【０００６】
特許文献１に記載された発明にあっては、流量レンジを可変型流量とするために制御部が各要素を制御する制御信号を生成し、要素ごとに制御信号を付与して制御することを要して、制御方法、構造が複雑となる恐れがあり、それだけ製造コストが高くなる恐れがある。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてコントロール弁装置自体に、ガスの流通のときに、ガス例えばベントガス導入のときに、流体通路に小流量オリフイスを設置することで小流量のガスを流通させる場合の時よりもさらに流量を少なくすることの出来るコンダクタンス部を形成し、コントロール弁装置を駆動することでこのコンダクタンス部を制御可能にすることで、装置の簡略化を図り、簡便に流量のコントロールを行い、もってパーテイクルが舞い上がる現象は避けながら、製造コストの低減を図ることのできる弁装置及び弁装置の弁開閉、例えばベントガス導入の弁開放方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて平面部及び突起周辺部を順次有し、
平面部及び突起周辺部と平面部及び突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が形成され、
突起部に、ガス路とガス路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが形成され、駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、
第１の弁部とオリフイスとが直列配列の組み合わせでガス路からガス路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部が形成されて、極小コンダクタンス部による極小コンダクタンス下の弁体開閉と、オリフイスの直接連通による小コンダクタンス下の弁体開閉、第２の弁部による小コンダクタンス弁体下の弁体開放あるいはオリフイスの直接連通及び第２の弁部による小コンダクタンス下の弁体開閉と、第１の弁部及び第２の弁部双方が全開の大コンダクタンス下の弁体開閉が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置を提供する。
【０００９】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにベントガス導入のための弁開放を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて平面部及び突起周辺部を順次有し、
平面部及び突起周辺部と平面部及び突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が形成され、
突起部に、ベント用ガス導入路とベント用ガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが形成され、駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、
第１の弁部とオリフイスとが直列配列の組み合わせでベント用ガス導入路からベント用ガス導出路に極小のベント用ガスを流過させる極小スローベントを形成する極小コンダクタンス部が形成されて、極小コンダクタンス部による極小コンダクタンス下の弁体開放と、オリフイスの直接連通による小コンダクタンス下の弁体開放、第２の弁部による小コンダクタンス弁体下の弁体開放あるいはオリフイスの直接連通及び第２の弁部による小コンダクタンス下の弁体開放と、第１の弁部及び第２の弁部双方が全開の大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開放によるベント用ガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするベントガス導入のための弁開放を行う弁装置を提供する。
【００１０】
本発明は、上述されたベントガス導入のための弁開放を行う弁装置において、第２の弁部と前記オリフイスとが並列配列の組み合わせでベントガス導入する小コンダクタンス部が形成されることを特徴とするベントガス導入のための弁開放を行う弁装置を提供する。
【００１１】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、ガス導入のための弁開放を行う弁装置において、
弁装置を構成する一方の弁部と前記オリフイスとが直列配列に組み合わされてガス路を形成するガス導入路からガス導出路に極小のガスを流過させる極小コンダクタンス部が形成され、
弁装置を構成する他方の弁部とオリフイスとが並列配列に組み合わされてガス導入路からガス導出路に小流量のベント用ガスを流過させる小コンダクタンス部が形成され、
弁装置の全開による大コンダクタンス部が形成され、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、ガス導入が極小コンダクタンス部から小コンダクタンス部に、そしてさらに大コンダクタンス部に切り換えられること
を特徴とするガス導入のための弁開放を行う弁装置を提供する。
【００１２】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、ガスを、ガス路を形成するガス導入路からガス導出路に流過させる、ガス導入のための弁装置の弁開放方法において、
当該弁装置が１台用いられ、
当該弁装置が、ガス導入路とのガス導出路と間に、
ガス導入路からガス導出路に極小のガスを流過させる極小コンダクタンス部、小流量のガスを流過させる小コンダクタンス部及び弁全開による大コンダクタンス部を有して、
時間の経過に伴い、駆動装置の駆動による、弁体のストロークの直線的な増大に対して、当該１台の弁装置によるガス導入流量が、小コンダクタンス部及び大コンダクタンス部に基づいて、迅速増大と漸増との組み合わせからなる増大曲線が腰折れ状態を呈する２段階腰折れ増大曲線と、２段階腰折れ増大曲線を含み、極小コンダクタンス部によって形成される増大曲線を含めて形成される３段階増大曲線との間において取得された複数の増大曲線情報が格納され、複数の増大曲線情報から一つの増大曲線情報が取得され、駆動装置の駆動によって当該増大曲線に基づく弁体駆動を行い、ガス導入流量を増大させること
を特徴とするガス導入のための弁装置の弁開放方法を提供する。
【００１３】
本発明は、上述されたガス導入のための弁装置の弁開放方法において、弁部とオリフイスとの直列の組み合わせから極小コンダクタンス部が形成され、弁部が全開放されると、オリフイスによって形成される小コンダクタンスでベントガスの導入がなされ、極小コンダクタンス部によって形成される極小増大曲線に、当該オリフイスによる小コンダクタンスによる小増大曲線が接続されて、ガス導入量が急増大される増大曲線が形成されることを特徴とするガス導入のための弁装置の弁開放方法を提供する。
【００１４】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて平面部及び突起周辺部を順次有し、
平面部及び突起周辺部と平面部及び突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が形成され、
突起部に、ガス路とガス路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが形成され、駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、
第１の弁部とオリフイスとが直列配列の組み合わせでガス路からガス路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部が形成されて、極小コンダクタンス部による極小コンダクタンス下の弁体開閉と、オリフイスの直接連通による小コンダクタンス下の弁体開閉、第２の弁部による小コンダクタンス弁体下の弁体開放あるいはオリフイスの直接連通及び第２の弁部による小コンダクタンス下の弁体開閉と、第１の弁部及び第２の弁部双方が全開の大コンダクタンス下の弁体開閉が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入を、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立って行うこと
を特徴とする弁装置における弁開閉方法を提供する。
【００１５】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにベントガス導入のための弁開放を行う弁装置における弁開放方法において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて平面部及び突起周辺部を順次有し、
平面部及び突起周辺部と平面部及び突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が形成され、
突起部に、ベント用ガス導入路とベント用ガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが形成され、駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、
第１の弁部とオリフイスとが直列配列の組み合わせでベント用ガス導入路からベント用ガス導出路に極小のベント用ガスを流過させる極小スローベントを形成する極小コンダクタンス部が形成されて、極小コンダクタンス部による極小コンダクタンス下の弁体開放と、オリフイスの直接連通による小コンダクタンス下の弁体開放、第２の弁部による小コンダクタンス弁体下の弁体開放あるいはオリフイスの直接連通及び第２の弁部による小コンダクタンス下の弁体開放と、第１の弁部及び第２の弁部双方が全開の大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入を、前記小コンダクタンス下の弁体開放によるベント用ガスの導入に先立って行うこと
を特徴とするベントガス導入のための弁開放を行う弁装置における弁開放方法を提供する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、駆動装置が、弁体を前記弁座方向に駆動することで、一方の弁部と前記オリフイスとが直列配列の組み合わせで極小流量のガスを流過させる極小コンダクタンス部が形成され、他方の弁部とオリフイスとが並列配列の組み合わせでガス路に小のベント用ガスを流過させる小コンダクタンス部が形成される。
【００１７】
これによって、コントロール弁装置自体に、ガスを流通させるときに、ガス路に小流量オリフイスを設置することで小流量のガス導入を行う場合よりもさらに流量を少なくすることの出来るコンダクタンス部を形成し、コントロール弁装置を駆動することでこのコンダクタンス部を制御可能にすることができ、装置の簡略化を図り、簡便に流量のコントロールを行い、もってパーテイクルが舞い上がる現象は避けながら、製造コストの低減を図ることのできる弁装置及び弁装置の弁開放方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施例が適用される基板処理システムの概要を示す図
【図２】本発明の実施例が適用される一般的な真空装置の構成を示す図
【図３】本発明の実施例である弁装置の構成を示す図
【図４】図３における要部を拡大した図
【図５】孔形状のオリフイスが突起部に設けられる状態を示す図
【図６】図５のＡ−Ａ断面図
【図７】Ｏリングの溝への配置状態を示す図
【図８】弁部が開放されていく状況を示す図
【図９】ガス導入量比較グラフ図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施例について図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１は、本発明が適用される既知の一般的な基板処理システムの概要を示す図である。
【００２１】
図１は、搬送されてきた基板２２０、例えば半導体基板あるいは液晶基板を処理する、既知の一般的な基板処理システム２００を示し、この基板処理システム２００は、上流側から下流側に向けてロードロックチャンバ２０１、トランスチャンバ２０２、プロセスチャンバ２０３を備える。
【００２２】
上流側のロードロックチャンバ２０１の入口部にドアバルブ２０４が設けられ、ロードロックチャンバ２０１とトランスチャンバ２０２との間及びトランスチャンバ２０２とプロセスチャンバ２０３との間にはゲートバルブ２０５、２０６が設けられる。
【００２３】
ロードロックチャンバ２０１、トランスチャンバ２０２及びプロセスチャンバ２０３にはフローコントロールバルブ２１１Ａ，２１１Ｂ，２１１Ｃ（総称して２１１で示す）が設けられる。フローコントロールバルブ２１１には、それぞれベントガス導入系統２３７，２３８，２３９が付属される。
【００２４】
ロードロックチャンバ２０１には、組みとされた真空ポンプ２３１と真空弁２３４及び圧力計２４１が設けられ、トランスチャンバ２０２には、組みとされた真空ポンプ２３２と真空弁２３５及び圧力計２４２が設けられ、プロセスチャンバ２０３には、組みとされた真空ポンプ２３３と真空弁２３６及び圧力計２４３が設けられる。ドアバルブ２０４は、ゲートバルブとして取り扱うことができる。
【００２５】
各チャンバは、基板２２０の処理のために真空ポンプ２３１，２３２あるいは２３３によって真空処理され、各チャンバについて一定の処理がなされる。
【００２６】
本発明の実施例は、フローコントロールバルブ２１１、真空バルブ２３１，２３２，２３３以外にも圧力制御バルブ、電動ゲートバルブ、ペンドロールAPCバルブにも適用することができる。
【００２７】
以下の実施例では、フローコントロールバルブ２１１に本発明を適用した例について説明する。以下の説明では、フローコントロールバルブ２１１を例に採って本発明の実施例を説明するが、本発明は、フローコントロールバルブ２１１に限定されない。
【００２８】
図２は、本発明の実施例が適用される一般的な真空装置の構成を示す図である。
【００２９】
図２において、一般的な真空装置１（図１におけるプロセスチャンバ２０３に対応する）に、一般的な真空装置真空ポンプ３（図１における真空ポンプ２３３に対応する）が閉止バルブ４（図１における真空弁２３６に対応する）を介して接続され、さらに一般的な真空装置１に、ベントガス導入経路５（図１におけるベントガス導入系統２３９に対応する）が接続され、このベントガス導入経路５にベントバルブ６（図１におけるフローコントロールバルブ２１１Ｃに対応する）が設けられて構成される。ベントバルブ６は、制御コントローラ７によってコントロールされ、ベント開始指令８が制御コントローラ７に付与されることで、ベントバルブ６が開放され、大気ベント用ガスが真空チャンバ２に投入、すなわち導入される。一般的な真空装置１には、真空計１０（図１における圧力計２４３に対応する）が設けられる。
【００３０】
図３は、本発明の実施例を形成するに当たって、採用が推奨される弁装置１００の構成を示す図である。弁装置１００は、図１におけるベントバルブ６を含む概念で使用される。図４は、図３における要部を拡大した図である。
【００３１】
図３及び図４において、弁装置１００は、アクチュエータ１１と弁部１２とから構成される。弁部１２は、弁箱１３と弁箱内に配設された弁体１４と封止体としてのＯリング１５，１６からなる。弁体１４は、駆動連結体１７を介して、アクチュエータ１１に接続される。アクチュエータ１１は、典型的にはモータ―で駆動されるが、他の駆動源が用いられてもよい。以下、駆動源を総称して駆動装置という。
【００３２】
弁箱１３には、ベント用ガス導入路２１とベント用ガス導出路２２が接続され、ベント用ガス導出路２２は、真空チャンバへとつながる。ベント用ガスとしては、窒素などの不活性ガスが用いられる。
【００３３】
弁体１４は、弁体本体２３と、弁体本体２３の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部２４からなる。弁体本体２３は、真空チャンバ側に向けて平面部２５及び突起周辺部２６を流れに沿って順次有する。
【００３４】
平面部２５及び突起周辺部２６と平面部２５及び突起周辺部２６に対峙する、弁箱内の弁座２７，２８との間にそれぞれシール材としての第１のOリング１５、第２のOリング１６が備えられて、第１の弁部３１、第２の弁部３２が形成される。第１の弁部３１及び第２の弁部３２は、図に示されるように直角配置となる。その直角部は、角部が切り落とされた形状である。
【００３５】
このような形状であるので、駆動装置で弁体１４を鉛直方向、すなわち上下方向に駆動すると、弁本体２３及び突起部が一体となって上下方向に駆動される。予め定められたストローク量、鉛直方向に駆動されると、第１の弁部３２及び第２の弁部３３は開放される。その開放過程で、流過するベントガス流量を高精度でコントロールすることができる。本実施例によれば、弁体の鉛直方向におけるストローク量制御駆動でもって、すべての流量制御がなされ得、この制御には、後述する微小コンダクタンスによる超スローベント流量制御が含まれる。
【００３６】
突起部２４に、孔形状のオリフイス３３が形成され、ベント用ガス導入路２２とベント用ガス導出路２３とを直通で連通させる。突起部２４には、凹み部３４が形成されており、オリフイス３３は、この凹み部３４を介してベント用ガス導出路２３に連通される。孔形状のオリフイス３３は、リークされた流過ガスの圧力を制御し、流れ量を制御できる機能がある。図に示されるように直角配置となる。その直角部は、角部が切り落とされた形状である。特許文献２に示されるように、シール材のつぶし量と流過ガスのリークとの間には一定の関係がある。
【００３７】
図５は、孔形状のオリフイス３３が突起部２４に設けられる状態を示す図である。
【００３８】
図６は、図５のＡ−Ａ断面図である。
【００３９】
これらの図において、オリフィス３３が４個十字形にして設けられ、小孔をなす。オリフィス３３の設置数は一個でもよい。突起部２４の外表面には、Ｏリング１６を設置する溝３５が設けられる。
【００４０】
図７は、Ｏリング１６の溝３５への配置状態を示す図である。
【００４１】
図５〜図７において、突起部２４に、ベント用ガス導入路２１とベント用ガス導出路２２とを直通で連通させる孔形状のオリフイス３３が形成され、駆動装置が、前記弁体１４を前記弁座２７方向に駆動することで、
第１の弁体部３１とオリフイス３３とが直列配列の組み合わせでベント用ガス導入路２１からベント用ガス導出路２２に極小のベント用ガスを流過させる極小スローベントを形成する極小コンダクタンス部が形成されて、極小コンダクタンス部による極小コンダクタンス下の弁体開放と、オリフイスの直接連通による小コンダクタンス下の弁体開放、第２の弁部３２による小コンダクタンス弁体下の弁体開放あるいはオリフイスの直接連通及び第２の弁部３２による小コンダクタンス下の弁体開放と、第１の弁部３１及び第２の弁部３２双方が全開の大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされる。第２の弁体部と前記オリフイスとが並列配列の組み合わせでベントガス導入する小コンダクタンス部が形成される。
【００４２】
また、極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開放によるベント用ガスの導入に先立ってなされる。以下、説明する。
【００４３】
図２は、１．完全閉止状態を示す。第１の弁部３１及び第２の弁部３２双方が全閉の状態にある。コンダクタンスはゼロである。流れ抵抗は無視できる。
【００４４】
図８は、弁部が開放されていく状況を示す図であり、
図８（a）は、２．極小コンダクタンスの状態を示す。第１の弁部３１が作動する。作動の状態は、図９（ガス導入量比較グラフ図）において、ＳＶＳスプライン制御「Ａ」の動作で示されるように直線的なストロークとなる。極小コンダクタンスのとき、極小コンダクタンスフローベント（極小のベントガス導入流量、極小フローベント）状態となる。
【００４５】
図８（ｂ）は、小コンダクタンスの状態を示す。小コンダクタンスのとき、小コンダクタンスフローベント（小フローベント）状態となる。
【００４６】
後述する図９において、ＳＶＳスプライン制御「Ｂ」の動作で示されるように、Ｏリング１６の形状に起因し、Ｏリング１６の鉛直方向への移動に伴う漸増する開放量によって二次曲線的なストロークとなる。すなわちＯリング１６の形状、配設は、図７に示されるように、Ｏリング１６の鉛直方向への移動に伴う漸増する開放量によって二次曲線的なストロークとなるように設計される。
【００４７】
図８（ｃ）は、全開状態すなわち大コンダクタンスの状態を示す。
【００４８】
図３の１．完全閉止状態から、２．極小コンダクタンスの状態、小コンダクタンスの状態、全開状態すなわち大コンダクタンスの状態に推移する。これらの推移は、駆動装置が弁体１４を前記弁座２７方向に駆動することでなされる。駆動装置による駆動が、ストローク（ａ）による極小フローベントの形成、ストローク(ｂ)による小スローベントの形成、ストローク（ｃ）による全開状態の形成を構成する。
【００４９】
図８（ａ）に示されるように、第１の弁部３１とオリフイス３３とが直列配列の組み合わせでベント用ガス導入路２１からベント用ガス導出路２２に極小のベント用ガスを流過させる極小スローベントを形成する極小コンダクタンス部が形成されて、極小コンダクタンス部による極小コンダクタンス下の弁体開放が実施される。
【００５０】
次いで、図８（ｂ）に示されるように、極小コンダクタンス下の弁体開放の実施に継続して、オリフイスの直接連通と呼ぶオリフイスの直接連通による小コンダクタンス下の弁体開放が実施される。この状態では、図９のTime 3 sec付近に示されるように立ち上げが急なダストガス導入がなされる。
【００５１】
次いで、図８（ｂ）に示されるように、オリフイスの直接連通に追加された、第２の弁部３２による小コンダクタンス弁体下の弁体開放が実施される。あるいは第２の弁部３２自体による小コンダクタンス下の弁体開放が形成されるようにしてもよい。
【００５２】
次いで、図８（ｃ）に示されるように、第１の弁部３１及び第２の弁部３２双方が全開の大コンダクタンス下の弁体開放が形成される。この状態では、オリフイスを流れるベントガスは皆無か極めて少ないものとなる。
【００５３】
このように、突起部に、弁の開放が形成されると、直通で連通させる孔形状のオリフイスによるベントガスの制限された導入の実施が可能とされ、駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、
一方の弁部と前記オリフイスとが直列配列の組み合わせでベント用ガス導入路からベント用ガス導出路に極小のベント用ガスを流過させる極小コンダクタンス部が形成され、
他方の弁部とオリフイスとが並列配列の組み合わせでベント用ガス導入路からベント用ガス導出路に小のベント用ガスを流過させる小コンダクタンス部が形成され、
双方の弁部の全開による大コンダクタンス部が形成されることを特徴とするベントガス導入のための弁開放を行う弁装置が構成される。
【００５４】
図９は、ガス導入量比較グラフである。図９（a）は、極小コンダクタンスが形成されない場合の２段階弁体推移によるガス導入量と一般的な弁体推移によるガス導入量との比較を示す図である。図９（ｂ）は、本実施例によって極小コンダクタンスが形成された場合のガス導入量と極小コンダクタンスが形成されない場合の２段階弁体推移によるガス導入量との比較を示す図である。これらの図において、駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、スプライン制御がなされる。ＳＶＳ「Ａ」は、第１の弁体部３１の弁体と弁座間の動作を示し、ＳＶＳ「Ｂ」は、第２の弁体部３２の弁体と弁座間の動作を示す。図９（a）では、ＳＶＳ「Ａ」が、直線的なスプライン制御がなされ、図９（ｂ）では、ＳＶＳ「Ａ」が、直線的なスプライン制御がなされ、ＳＶＳ「Ｂ」が、２次曲線的なスプライン制御がなされる。
【００５５】
図９（ａ）に示されるように、小コンダクタンスによる低流量領域を設けることで、緩やかな圧力変動を形成して、振動・パーテイクルを抑制しようとするものである。一般的な弁体推移によるガス導入量の場合に比べて振動・パーテイクルを抑制できるが、まだ満足される状況にはない。図９（ｂ）に示されるように、極小流量のベント用ガスが流れる構成とされる。極小コンダクタンスによる極小流量領域を設けることで、２段階弁体推移によるガス導入量制御の場合に得られなかった振動・パーテイクルが過大であったものが抑制される効果が得られる。
【００５６】
図示されるように、弁部とオリフイスとの直列の組み合わせから極小コンダクタンス部が形成され、弁部が全開放されると、オリフイスによって形成される小コンダクタンスでベントガスの導入がなされ、極小コンダクタンス部によって形成される極小増大曲線に、当該オリフイスによる小コンダクタンスによる小増大曲線が接続されて、ベントガス導入量が急増大される増大曲線が形成される。図９のTime 3 sec付近に示されるように立ち上げが急なダストガス導入がなされる。このような制御方法を取り入れることで、一般的な弁体あるいは２段階弁体推移制御の場合と比べてもそん色のない時間内で大気圧に持っていくことができる。
【００５７】
コンダクタンスデータを計測してコンダクタンスデータに対するシールつぶし量及び弁駆動のトルクとの関係を予め取得することができる。
【００５８】
また、予め定めた極小コンダクタンスを設定し、当該極小コンダクタンスからシールつぶし量とトルク量で定まるイニシャル動作を形成し、極小コンダクタンスによる極小流量のガスを流過させる時に、極小コンダクタンスによる極小流量のガスを流過ごとに一定の極小流過量のガスを流過させるイニシャル動作を実行し、イニシャル動作の実行後に、極小コンダクタンス部における流体ガスの極小流過を実行することができる。
【００５９】
このような現象、あるいは構成に基づいて、
当該弁装置が１台用いられ、
当該弁装置が、ベント用ガス導入路とのベント用ガス導出路と間に、
ベント用ガス導入路からベント用ガス導出路に極小のベント用ガスを流過させる極小コンダクタンス部、小のベント用ガスを流過させる小コンダクタンス部及び弁全開による大コンダクタンス部を有して、
時間の経過に伴い、駆動装置の駆動による、弁体のストロークの直線的な増大に対して、当該１台の弁装置によるベントガス導入流量が、小コンダクタンス部及び大コンダクタンス部に基づいて、迅速増大と漸増との組み合わせからなる増大曲線が腰折れ状態を呈する２段階腰折れ増大曲線と、２段階腰折れ増大曲線を含み、極小コンダクタンス部によって形成される増大曲線を含めて形成される３段階増大曲線との間において取得された複数の増大曲線情報が格納され、複数の増大曲線情報から一つの増大曲線情報が取得され、駆動装置の駆動によって当該増大曲線に基づく弁体駆動を行い、ベントガス導入流量を増大させることを特徴とするベントガス導入のための弁装置の弁開放方法が構成される。
【００６０】
また、一方の弁部とオリフイスとの直列の組み合わせから極小コンダクタンス部が形成され、弁部が全開放されると、オリフイスによって形成される小コンダクタンスでベントガスの導入がなされ、極小コンダクタンス部によって形成される極小増大曲線に、当該オリフイスによる小コンダクタンスによる小増大曲線が接続されて、ベントガス導入量が急増大される増大曲線が形成されることを特徴とするベントガス導入のための弁装置の弁開放方法が構成される。
【００６１】
また、弁座に対して弁体が対峙して配置された駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、該駆動装置に接続された、弁体の弁座に対する開状態から完全閉止状態する時の押し付け力を制御する制御装置を備えた弁装置についての弁開放方法において、
弁装置を形成する一方の弁部とオリフイスとが直列配列に組み合わされてガス導入路からガス導出路に極小流量のガスを流過させる極小コンダクタンス部が形成され、
弁装置を形成する他方の弁部とオリフイスとが並列配列の組み合わせでガス導入路からガス導出路に小流量のガスを流過させる小コンダクタンス部が形成され、
弁装置を形成する双方の弁部の全開による大コンダクタンス部が形成され、
コンダクタンスデータを計測してコンダクタンスデータに対するシールつぶし量及び弁駆動のトルクとの関係を予め取得し、
予め定めた極小コンダクタンスを設定し、当該極小コンダクタンスからシールつぶし量とトルク量で定まるイニシャル動作を形成し、極小コンダクタンスによる極小流量のガスを流過させるイニシャル動作時に、イニシャル動作ごとに一定の極小流過量のガスが流過させるイニシャル動作を実行し、イニシャル動作の実行後に、極小コンダクタンス部におけるガスの極小流過量が設定されるようにしたこと
を特徴とする弁装置における弁開閉方法が構成される。
【００６２】
本実施例によれば、駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、弁装置と前記オリフイスとが直列配列の組み合わせでベント用ガス導入路からベント用ガス導出路に極小のベント用ガスを流過させる極小コンダクタンス部が形成され、弁装置とオリフイスとが並列配列の組み合わせでベント用ガス導入路からベント用ガス導出路に小のベント用ガスを流過させる小コンダクタンス部が形成される。
【００６３】
これによって、コントロール弁装置自体に、ベントガス導入のときに、流体通路に小流量オリフイスを設置することで小流量のベントガス導入を行う場合よりもさらに流量を少なくすることの出来るコンダクタンス部を形成し、コントロール弁装置を駆動することでこのコンダクタンス部を制御可能にすることで、装置の簡略化を図り、簡便に流量のコントロールを行い、もってパーテイクルが舞い上がる現象は避けながら、製造コストの低減を図ることのできる弁装置及び弁装置の弁開放方法を提供することができる。
【００６４】
また、本発明の実施例は、上述したように、フローコントロールバルブ２１１以外の圧力制御バルブ、電動ゲートバルブ、ペンドロールAPCバルブにも適用することができる。
【００６５】
したがって、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて平面部及び突起周辺部を順次有し、
平面部及び突起周辺部と平面部及び突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が形成され、
突起部に、ガス路とガス路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが形成され、駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動することで、
第１の弁部とオリフイスとが直列配列の組み合わせでガス路からガス路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部が形成されて、極小コンダクタンス部による極小コンダクタンス下の弁体開閉と、オリフイスの直接連通による小コンダクタンス下の弁体開閉、第２の弁部による小コンダクタンス弁体下の弁体開放あるいはオリフイスの直接連通及び第２の弁部による小コンダクタンス下の弁体開閉と、第１の弁部及び第２の弁部双方が全開の大コンダクタンス下の弁体開閉が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置が構成される。この場合に、ガスは、処理ガスあるいはベントガスが対象ガスとなる。
【符号の説明】
【００６６】
１１…アクチュエータ、１２…弁部、１３…弁箱、１４…弁体、１５，１６…Ｏリング、１７…駆動連結体、２１…ベント用ガス導入路、２２…ベント用ガス導出路、２３…弁体本体、２４…突起部、２５…平面部、２６…突起周辺部、２７，２８…弁座、３１…第１の弁部、３２…第２の弁部、３３…オリフイス、１００…弁装置。
【図１】
2019070891.tif 000003
【図２】
2019070891.tif 000004
【図３】
2019070891.tif 000005
【図４】
2019070891.tif 000006
【図５】
2019070891.tif 000007
【図６】
2019070891.tif 000008
【図７】
2019070891.tif 000009
【図８】
2019070891.tif 000010
【図９】
2019070891.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成30年2月19日(2018.2.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のＯリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とし、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小フローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のＯリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置。
【請求項２】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにベントガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ベントガス導入路とベントガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のＯリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とし、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ベントガス導入路とベントガス導出路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小フローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のＯリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるベントガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載されたベントガス導入のための弁開閉を行う弁装置において、極小コンダクタンス部によって形成される極小増大曲線状のガス導入流量フローに、３sec以内に小コンダクタンス部によって形成される増大曲線状のガス導入流量フローが接続され、ガス導入増大によって７−８sec以内に大気圧形成がなされることを特徴とするベントガス導入のための弁開閉を行う弁装置。
【請求項４】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス路とガス路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のＯリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とし、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させるコンダクタンス部を形成して、ガスフローを制限制御するコンダクタンス下の弁体開放を可能とする
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置。
【請求項５】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、ガスを、ガス路を形成するガス導入路からガス導出路に流過させる、ガス導入のための弁開閉を行う弁装置であって、
当該弁装置が１台用いられ、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のＯリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とした、ガス導入のための弁開放を行う弁装置の弁開放方法において、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小フローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のＯリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放が形成され、
時間の経過に伴い、駆動装置の駆動による、弁体のストロークの直線的な増大に対して、当該１台の弁装置によるガス導入流量が、小コンダクタンス部及び大コンダクタンス部に基づいて、迅速増大と漸増との組み合わせからなる増大曲線が腰折れ状態を呈する２段階腰折れ増大曲線と、２段階腰折れ増大曲線を含み、極小コンダクタンス部によって形成される増大曲線を含めて形成される３段階増大曲線との間において取得された複数の増大曲線情報が格納され、複数の増大曲線情報から一つの増大曲線情報が取得され、駆動装置の駆動によって当該増大曲線に基づく弁体駆動を行い、ガス導入流量を増大させること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法。
【請求項６】
請求項５に記載されたガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法において、弁部とオリフイスとの直列の組み合わせから極小コンダクタンス部が形成され、弁部が全開放されると、オリフイスによって形成される小コンダクタンスでベントガスの導入がなされ、極小コンダクタンス部によって形成される極小増大曲線に、当該オリフイスによる小コンダクタンスによる小増大曲線が接続されて、ガス導入量が急増大される増大曲線が形成されることを特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法。
【請求項７】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置であって、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のＯリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とする、ガス導入のための弁開放を行う弁装置の弁開放方法において、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小フローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のＯリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放を行い、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入を、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立って行うこと
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法。
【請求項８】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにベントガス導出入のための弁開閉を行う弁装置であって、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ベントガス導入路とベントガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のＯリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とする、ベントガス導入のための弁開放を行う弁装置の弁開放方法において、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ベントガス導入路とベントガス導出路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小フローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のＯリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放を形成し、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入を、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるベントガスの導入に先立って行うこと
を特徴とするベントガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のＯリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とし、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小フローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のＯリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにベントガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ベントガス導入路とベントガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のＯリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とし、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ベントガス導入路とベントガス導出路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小フローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のＯリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるベントガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、上述されガス導入のための弁開閉を行う装置において、極小コンダクタンス部によって形成される極小増大曲線状のガス導入流量フローに、３sec以内に小コンダクタンス部によって形成される増大曲線状のガス導入流量フローが接続され、ガス導入増大によって７−８sec以内に大気圧形成がなされることを特徴とするベントガス導入のための弁開閉を行う弁装置を提供する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のＯリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とし、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させるコンダクタンス部を形成して、ガスフローを制限制御するコンダクタンス下の弁体開放を可能とする
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置を提供する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、ガスを、ガス路を形成するガス導入路からガス導出路に流過させる、ガス導入のための弁開閉を行う弁装置であって、
当該弁装置が１台用いられ、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のＯリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とした、ガス導入のための弁開放を行う弁装置の弁開放方法において、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小フローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のＯリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放が形成され、
時間の経過に伴い、駆動装置の駆動による、弁体のストロークの直線的な増大に対して、当該１台の弁装置によるガス導入流量が、小コンダクタンス部及び大コンダクタンス部に基づいて、迅速増大と漸増との組み合わせからなる増大曲線が腰折れ状態を呈する２段階腰折れ増大曲線と、２段階腰折れ増大曲線を含み、極小コンダクタンス部によって形成される増大曲線を含めて形成される３段階増大曲線との間において取得された複数の増大曲線情報が格納され、複数の増大曲線情報から一つの増大曲線情報が取得され、駆動装置の駆動によって当該増大曲線に基づく弁体駆動を行い、ガス導入流量を増大させること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法を提供する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、上述されたガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法において、弁部とオリフイスとの直列の組み合わせから極小コンダクタンス部が形成され、弁部が全開放されると、オリフイスによって形成される小コンダクタンスでベントガスの導入がなされ、極小コンダクタンス部によって形成される極小増大曲線に、当該オリフイスによる小コンダクタンスによる小増大曲線が接続されて、ガス導入量が急増大される増大曲線が形成されることを特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法を提供する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置であって、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のＯリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とする、ガス導入のための弁開放を行う弁装置の弁開放方法において、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小フローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のＯリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放を行い、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入を、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立って行うこと
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法を提供する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにベントガス導出入のための弁開閉を行う弁装置であって、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ベントガス導入路とベントガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のＯリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とする、ベントガス導入のための弁開放を行う弁装置の弁開放方法において、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ベントガス導入路とベントガス導出路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小フローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のＯリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放を形成し、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入を、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるベントガスの導入に先立って行うこと
を特徴とするベントガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法を提供する。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月11日(2018.6.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のOリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とし、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通で、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小ガスフローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小ガスフローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のOリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置。
【請求項２】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにベントガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ベントガス導入路とベントガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のOリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とし、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通で、ベントガス導入路とベントガス導出路に極小のガスを流過させる極小ガスフローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小ガスフローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のOリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるベントガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載されたガス導入のための弁開閉を行う弁装置において、
第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路あるいはベントガス導入路とガス導出路あるいはベントガス導出路間のオリフイスの直接連通あるいはストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部が開放された小コンダクタンス下での弁体開放を形成する小コンダクタンス部を備え、前記小コンダクタンス部によって小ガスフローが形成され、
第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のOリングを備えた第２の弁部双方が全開放されて形成される大コンダクタンス部を備え、前記大コンダクタンス部によって大ガスフローが形成され、
極小コンダクタンス部によって極小ガスフローが形成され、前記極小ガスフローが前記オリフイスによって制御された極小ガスフローのガス導入流量フローとされ、
前記小コンダクタンス部によって形成される小ガスフローがオリフイスの直接連通あるいはストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の弁体開放制御によって増大曲線状に制御された小ガスフローのガス導入流量フローとされ、前記極小ガスフローのガス導入流量フローが増大曲線状に制御された小ガスフローのガス導入流量フローに３sec以内に接続され、前記小ガスフローのガス導入流量フローが前記大ガスフローに接続され、大気圧形成が８sec以内になされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置。
【請求項４】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス路とガス路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のOリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とし、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを制限制御する極小コンダクタンス下の弁体開放を可能とする
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置。
【請求項５】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、ガスを、ガス路を形成するガス導入路からガス導出路に流過させる、ガス導入のための弁開閉を行う弁装置であって、
当該弁装置が１台用いられ、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のOリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とした、ガス導入のための弁開放を行う弁装置の弁開放方法において、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通で、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小ガスフローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小ガスフローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部が開放された小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを小ガスフローに制御する小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のOリングを備えた第２の弁部双方が全開放された大コンダクタンス部を形成して、ガスフローを大ガスフローに制御する大コンダクタンス下の弁体開放が形成され、
時間の経過に伴い、駆動装置の駆動による、弁体のストロークの直線的な増大に対して、当該１台の弁装置によるガス導入流量が、前記小コンダクタンス部及び前記大コンダクタンス部に基づいて、迅速増大と漸増との組み合わせからなる増大曲線が腰折れ状態を呈する２段階腰折れ増大曲線になるガス導入流量フローと極小コンダクタンス部によって形成される極小のガス導入流量フローとからなる複数の増大曲線情報として格納され、複数の増大曲線情報から一つの増大曲線情報が取得され、駆動装置の駆動によって当該増大曲線に基づく弁体駆動を行い、ガス導入流量を増大させること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法。
【請求項６】
請求項５に記載されたガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法において、第１の弁部とオリフイスとの直列の組み合わせから極小コンダクタンス部が形成され、第１の弁部が全開放されると、オリフイスによって形成される小コンダクタンスでベントガスの導入がなされ、極小コンダクタンス部によって形成される極小のガス導入流量フローに、当該オリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の弁体開放制御によって形成される小コンダクタンスによる増大曲線のガス導入流量フローが接続されて、ガス導入量が急増大される増大曲線が形成されることを特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法。
【請求項７】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置であって、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のOリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とする、ガス導入のための弁開放を行う弁装置の弁開放方法において、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通で、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小ガスフローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小ガスフローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のOリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放を行い、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入を、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立って行うこと
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法。
【請求項８】
弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにベントガス導出入のための弁開閉を行う弁装置であって、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ベントガス導入路とベントガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のOリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とする、ベントガス導入のための弁開放を行う弁装置の弁開放方法において、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通で、ベントガス導入路とベントガス導出路に極小のガスを流過させる極小ガスフローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小ガスフローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のOリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放を形成し、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入を、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるベントガスの導入に先立って行うこと
を特徴とするベントガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のOリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とし、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通で、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小ガスフローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小ガスフローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のOリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにベントガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ベントガス導入路とベントガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のOリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とし、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通で、ベントガス導入路とベントガス導出路に極小のガスを流過させる極小ガスフローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小ガスフローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のOリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放が形成可能とされ、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入が、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるベントガスの導入に先立ってなされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、上述されガス導入のための弁開閉を行う装置において、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路あるいはベントガス導入路とガス導出路あるいはベントガス導出路間のオリフイスの直接連通あるいはストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部が開放された小コンダクタンス下での弁体開放を形成する小コンダクタンス部を備え、前記小コンダクタンス部によって小ガスフローが形成され、
第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のOリングを備えた第２の弁部双方が全開放されて形成される大コンダクタンス部を備え、前記大コンダクタンス部によって大ガスフローが形成され、
極小コンダクタンス部によって極小ガスフローが形成され、前記極小ガスフローが前記オリフイスによって制御された極小のガス導入流量フローとされ、
前記小コンダクタンス部によって形成される小ガスフローがオリフイスの直接連通あるいはストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の弁体開放制御によって増大曲線状に制御された小ガスのガス導入流量フローとされ、前記極小ガスフローのガス導入流量フローが増大曲線状に制御された小ガスのガス導入流量フローに３sec以内に接続され、前記小ガスのガス導入流量フローが前記大ガスフローに接続され、大気圧形成が８sec以内になされること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置を提供する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置において、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス路とガス路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のOリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とし、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通とで、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを制限制御する極小コンダクタンス下の弁体開放を可能とする
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置を提供する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、ガスを、ガス路を形成するガス導入路からガス導出路に流過させる、ガス導入のための弁開閉を行う弁装置であって、
当該弁装置が１台用いられ、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のOリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とした、ガス導入のための弁開放を行う弁装置の弁開放方法において、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通で、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小ガスフローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小ガスフローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部が開放された小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを小ガスフローに制御する小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のOリングを備えた第２の弁部双方が全開放された大コンダクタンス部を形成して、ガスフローを大ガスフローに制御する大コンダクタンス下の弁体開放が形成され、
時間の経過に伴い、駆動装置の駆動による、弁体のストロークの直線的な増大に対して、当該１台の弁装置によるガス導入流量が、前記小コンダクタンス部及び前記大コンダクタンス部に基づいて、迅速増大と漸増との組み合わせからなる増大曲線が腰折れ状態を呈する２段階腰折れ増大曲線になるガス流量導入フローと極小コンダクタンス部によって形成される極小のガス導入流量フローとからなる複数の増大曲線情報として格納され、複数の増大曲線情報から一つの増大曲線情報が取得され、駆動装置の駆動によって当該増大曲線に基づく弁体駆動を行い、ガス導入流量を増大させること
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法を提供する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、上述されたガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法において、第１の弁部とオリフイスとの直列の組み合わせから極小コンダクタンス部が形成され、第１の弁部が全開放されると、オリフイスによって形成される小コンダクタンスでベントガスの導入がなされ、極小コンダクタンス部によって形成される極小のガス導入流量フローに、当該オリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の弁体開放制御によって形成される小コンダクタンスによる増大曲線のガス導入流量フローが接続されて、ガス導入量が急増大される増大曲線が形成されることを特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法を提供する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにガス導出入のための弁開閉を行う弁装置であって、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ガス導入路とガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のOリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とする、ガス導入のための弁開放を行う弁装置の弁開放方法において、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通で、ガス導入路とガス導出路に極小のガスを流過させる極小ガスフローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小フローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のガス導入路とガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のOリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放を行い、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のガスの導入を、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるガスの導入に先立って行うこと
を特徴とするガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法を提供する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明は、弁体が弁座に対して対峙して配置されて弁部が形成され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、真空チャンバにベントガス導出入のための弁開閉を行う弁装置であって、
弁体が、弁体本体と、弁体本体の中央部から真空チャンバ側に突起する突起部とからなり、弁体本体が、真空チャンバ側に向けて弁座に対峙する平面部及び突起周辺部を順次有し、
弁体に、平面部と当該平面部に対峙する弁座及び突起周辺部と当該突起周辺部に対峙する弁座との間にそれぞれ第１のOリング、第２のOリングが備えられて、第１の弁部、第２の弁部が順次形成され、
突起部に、ベントガス導入路とベントガス導出路とを直通で連通させる孔形状のオリフイスが、第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列で、第１のOリングを備えた第１の弁部の真空チャンバ側に設けられ、
駆動装置が、前記弁体を前記弁座方向に駆動してストローク量制御駆動することで、閉鎖された、第１のOリングを備えた第１の弁部と閉鎖された、第２のOリングを備えた第２の弁部とを順次開放可能とする、ベントガス導入のための弁開放を行う弁装置の弁開放方法において、
第１の弁部及び第２の弁部の閉鎖から、ストローク量制御駆動された第１のOリングを備えた第１の弁部の開放下での第１のOリングを備えた第１の弁部に直列配列でベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通で、ベントガス導入路とベントガス導出路に極小のガスを流過させる極小フローを形成する極小コンダクタンス部を形成して、ガスフローを極小ガスフローに制御する極小コンダクタンス下の弁体開放と、第２の弁部の閉鎖が継続され、第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下でのベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通、あるいは第１のOリングを備えた第１の弁部の全開放下のベントガス導入路とベントガス導出路間のオリフイスの直接連通及びストローク量制御駆動された第２のOリングを備えた第２の弁部の開放下での小コンダクタンス下の弁体開放、第１のOリングを備えた第１の弁部及び第２のOリングを備えた第２の弁部双方が全開放下での大コンダクタンス下の弁体開放を形成し、
極小コンダクタンス部による弁体開放による極小のベントガスの導入を、前記小コンダクタンス下の弁体開閉によるベントガスの導入に先立って行うこと
を特徴とするベントガス導入のための弁開閉を行う弁装置の弁開放方法を提供する。