(57)【要約】【課題】時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供する。【解決手段】複数の単位処理データ（各単位処理データは複数の時系列データを含む）を処理するデータ処理方法には、複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップ（Ｓ１００）と、変更タイミング設定ステップ（Ｓ１００）で設定されたタイミングで基準データを変更する基準データ変更ステップ（Ｓ２２０）とが含まれる。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含むことを特徴とする、データ処理方法。
【請求項２】
前記基準データ変更ステップでは、単位処理データ毎に算出された評価値に基づいて複数の単位処理データについての順位付けが行われ、当該順位付けの結果に基づいて、変更後の基準データとする単位処理データが決定されることを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
【請求項３】
前記基準データ変更ステップでは、前記順位付けによる順位が１位である単位処理データが、変更後の基準データに定められることを特徴とする、請求項２に記載のデータ処理方法。
【請求項４】
前記基準データ変更ステップは、
前記順位付けの結果に従って、複数の単位処理データのそれぞれについての属性を表す属性データをランキング形式で表示するランキング表示ステップと、
前記ランキング表示ステップで表示された複数の属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データについての属性データを選択する基準データ選択ステップと
を含むことを特徴とする、請求項２に記載のデータ処理方法。
【請求項５】
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を指定することによって行われることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項６】
前記単位処理は、基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項７】
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を基板処理装置毎に指定することによって行われることを特徴とする、請求項６に記載のデータ処理方法。
【請求項８】
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を基板処理装置の導入年度毎に指定することによって行われることを特徴とする、請求項６に記載のデータ処理方法。
【請求項９】
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔をレシピ毎に指定することによって行われることを特徴とする、請求項６に記載のデータ処理方法。
【請求項１０】
前記基板処理装置は、基板を処理する複数の処理ユニットを備え、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を処理ユニット毎に指定することによって行われることを特徴とする、請求項６に記載のデータ処理方法。
【請求項１１】
前記単位処理は、基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理であり、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、レシピ毎の処理回数を指定することによって行われることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項１２】
前記基板処理装置は、前記基準データの変更指示を行う変更指示部を備え、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定に加えて、前記変更指示部による変更指示を有効にするか否かの設定が行われ、
前記変更タイミング設定ステップで前記変更指示部による変更指示を有効にする旨の設定が行われているときに前記変更指示部による変更指示が行われると、前記変更タイミングの設定の内容に関わらず前記基準データが変更されることを特徴とする、請求項６から１１までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項１３】
単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定部と、
前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備えることを特徴とする、データ処理装置。
【請求項１４】
前記基準データの履歴を把握することができるよう過去に基準データに定められた単位処理データを一覧表示した履歴画面を表示する履歴表示部を更に備えることを特徴とする、請求項１３に記載のデータ処理装置。
【請求項１５】
過去に基準データに定められた単位処理データに前記基準データを変更する基準データ復元部を更に備え、
前記履歴画面は、一覧表示されている単位処理データのうちの任意の単位処理データを外部から選択することができるように構成され、
前記基準データ復元部は、前記変更タイミングの設定の内容に関わらず、前記履歴画面で選択された単位処理データに前記基準データを変更することを特徴とする、請求項１４に記載のデータ処理装置。
【請求項１６】
前記基準データ変更部は、前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを自動的に変更することを特徴とする、請求項１３から１５までのいずれか１項に記載のデータ処理装置。
【請求項１７】
単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定部と、
前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備えることを特徴とする、データ処理システム。
【請求項１８】
単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
をコンピュータのＣＰＵがメモリを利用して実行することを特徴とする、データ処理プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタルデータ処理に関し、特に、時系列データを処理する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
機器や装置の異常を検出する方法として、機器や装置の動作状態を示す物理量（例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧、電流、温度、流量など）をセンサなどを用いて測定し、測定結果を発生順に並べて得られた時系列データを分析する方法が知られている。機器や装置が同じ条件で同じ動作を行う場合、異常がなければ、時系列データは同様に変化する。そこで、同様に変化する複数の時系列データを相互に比較して異常な時系列データを検出し、その異常な時系列データを分析することにより、異常の発生箇所や異常の原因の特定が可能となる。また、近年、コンピュータのデータ処理能力の向上が顕著である。このため、たとえデータ量が膨大であっても実用的な時間で必要な結果が得られるケースが多くなっている。このようなことからも、時系列データの分析が盛んになりつつある。
【０００３】
例えば、半導体製造装置では、各種のプロセスにおいて時系列データが得られる。そこで、半導体製造装置の分野においても、時系列データの分析や画面上への時系列データの表示などが行われている。
【０００４】
なお、本件発明に関連して、特開２０１７−８３９８５号公報には、利用者が分析しやすい態様で時系列データを表示する時系列データ処理装置の発明が開示されている。その時系列データ処理装置では、複数の時系列データが複数のグループに分けられて、グループ毎の異常度および各グループ内における時系列データの異常度が算出されている。そして、グループあるいは時系列データを異常度に基づいてランキングした結果が表示部に表示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−８３９８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体製造装置の一種である洗浄装置等の基板処理装置は、一般に、複数のチャンバ（処理室）を有している。それら複数のチャンバで同じレシピが実行された場合、当該複数のチャンバで均一な結果物が得られることが好ましい。従って、１つの基板処理装置に含まれる複数のチャンバは同じような処理性能を有することが好ましい。ところが、実際には複数のチャンバ間で処理性能に差が生じている。このため、或るチャンバにおいて基板に対する処理が正常に行われているときに別のチャンバにおいて同様の処理が正常に行われていないことがある。
【０００７】
そこで、基板処理装置の分野においても、異常の早期発見や異常の未然防止を図るため、上述したように、各種プロセスで得られた時系列データを分析することが行われつつある。ところで、同様に変化する複数の時系列データに含まれる各時系列データが異常であるか否かを判断するためには、評価対象となる各時系列データを理想的な時系列の値（データ値）を持つ時系列データと比較する必要がある。理想的な時系列の値を持つ時系列データとして、例えば、複数の時系列データの平均値で構成される時系列データを用いることが考えられる。ところが、平均値を算出する元となる複数の時系列データの中に他の値とはかけはなれた値を持つデータや異常な値を持つ多数のデータが含まれる場合、算出される平均値が必ずしも理想的な値とはならないので、異常が精度良く検出されない。
【０００８】
そこで、本発明は、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含むことを特徴とする。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明において、
前記基準データ変更ステップでは、単位処理データ毎に算出された評価値に基づいて複数の単位処理データについての順位付けが行われ、当該順位付けの結果に基づいて、変更後の基準データとする単位処理データが決定されることを特徴とする。
【００１１】
第３の発明は、第２の発明において、
前記基準データ変更ステップでは、前記順位付けによる順位が１位である単位処理データが、変更後の基準データに定められることを特徴とする。
【００１２】
第４の発明は、第２の発明において、
前記基準データ変更ステップは、
前記順位付けの結果に従って、複数の単位処理データのそれぞれについての属性を表す属性データをランキング形式で表示するランキング表示ステップと、
前記ランキング表示ステップで表示された複数の属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データについての属性データを選択する基準データ選択ステップと
を含むことを特徴とする。
【００１３】
第５の発明は、第１から第４までのいずれかの発明において、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を指定することによって行われることを特徴とする。
【００１４】
第６の発明は、第１から第５までのいずれかの発明において、
前記単位処理は、基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする。
【００１５】
第７の発明は、第６の発明において、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を基板処理装置毎に指定することによって行われることを特徴とする。
【００１６】
第８の発明は、第６の発明において、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を基板処理装置の導入年度毎に指定することによって行われることを特徴とする。
【００１７】
第９の発明は、第６の発明において、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔をレシピ毎に指定することによって行われることを特徴とする。
【００１８】
第１０の発明は、第６の発明において、
前記基板処理装置は、基板を処理する複数の処理ユニットを備え、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を処理ユニット毎に指定することによって行われることを特徴とする。
【００１９】
第１１の発明は、第１から第４までのいずれかの発明において、
前記単位処理は、基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理であり、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、レシピ毎の処理回数を指定することによって行われることを特徴とする。
【００２０】
第１２の発明は、第６から第１１までのいずれかの発明において、
前記基板処理装置は、前記基準データの変更指示を行う変更指示部を備え、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定に加えて、前記変更指示部による変更指示を有効にするか否かの設定が行われ、
前記変更タイミング設定ステップで前記変更指示部による変更指示を有効にする旨の設定が行われているときに前記変更指示部による変更指示が行われると、前記変更タイミングの設定の内容に関わらず前記基準データが変更されることを特徴とする。
【００２１】
第１３の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定部と、
前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備えることを特徴とする。
【００２２】
第１４の発明は、第１３の発明において、
前記基準データの履歴を把握することができるよう過去に基準データに定められた単位処理データを一覧表示した履歴画面を表示する履歴表示部を更に備えることを特徴とする。
【００２３】
第１５の発明は、第１４の発明において、
過去に基準データに定められた単位処理データに前記基準データを変更する基準データ復元部を更に備え、
前記履歴画面は、一覧表示されている単位処理データのうちの任意の単位処理データを外部から選択することができるように構成され、
前記基準データ復元部は、前記変更タイミングの設定の内容に関わらず、前記履歴画面で選択された単位処理データに前記基準データを変更することを特徴とする。
【００２４】
第１６の発明は、第１３から第１５までのいずれかの発明において、
前記基準データ変更部は、前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを自動的に変更することを特徴とする。
【００２５】
第１７の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定部と、
前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備えることを特徴とする。
【００２６】
第１８の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
をコンピュータのＣＰＵがメモリを利用して実行することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
上記第１の発明によれば、それぞれが複数の時系列データを含む複数の単位処理データの中から選択される基準データを変更するタイミングを設定することが可能である。そして、その設定されたタイミングで基準データが変更される。このため、変更タイミングを適宜に設定しておくことにより、データ処理を行うシステムの現状に応じた基準データを保持することが可能となる。これにより、生成された単位処理データをシステムの現状に応じた基準データと比較することが可能となるので、処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
【００２８】
上記第２の発明および上記第３の発明によれば、理想的な時系列の値を持つ単位処理データを変更後の基準データに定めることが可能となる。
【００２９】
上記第４の発明によれば、評価値に基づく順位付けの結果を参照しつつ任意の単位処理データを変更後の基準データとして選択することができるので、ユーザーのニーズに合致した基準データの選択が可能となる。
【００３０】
上記第５の発明によれば、ユーザーの所望する期間間隔で基準データを変更することが可能となる。
【００３１】
上記第６から上記第１１までの発明によれば、基板処理装置で実行された処理で生じた時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
【００３２】
上記第１２の発明によれば、ユーザーが所望する任意のタイミングで基準データを変更することが可能となる。
【００３３】
上記第１３の発明によれば、上記第１の発明と同様の効果が得られる。
【００３４】
上記第１４の発明によれば、基準データの履歴を参照しつつ時系列データを分析することが可能となる。
【００３５】
上記第１５の発明によれば、必要に応じて過去の基準データを復元することが可能となる。
【００３６】
上記第１６の発明によれば、変更後の基準データとする単位処理データの作業者による選択が不要となるので、作業者の操作負荷が軽減される。また、作業者の操作ミスによって不適当な単位処理データが基準データに設定されることが防止される。
【００３７】
上記第１７の発明によれば、上記第１の発明と同様の効果が得られる。
【００３８】
上記第１８の発明によれば、上記第１の発明と同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。
【図２】上記第１の実施形態において、基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図３】ある１つの時系列データをグラフ化して表した図である。
【図４】上記第１の実施形態において、単位処理データについて説明するための図である。
【図５】上記第１の実施形態において、基板処理装置の制御部のハードウェア構成を示すブロック図である。
【図６】上記第１の実施形態において、時系列データＤＢについて説明するための図である。
【図７】上記第１の実施形態において、基準データＤＢについて説明するための図である。
【図８】上記第１の実施形態において、管理サーバのハードウェア構成を示すブロック図である。
【図９】上記第１の実施形態において、基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。
【図１０】上記第１の実施形態において、変更タイミング設定画面の一例を示す図である。
【図１１】上記第１の実施形態において、変更指定日に到達しているか否かの判定について説明するための図である。
【図１２】上記第１の実施形態において、変更タイミングの設定変更に伴う変更指定日の変化について説明するための図である。
【図１３】上記第１の実施形態において、単位処理データ評価処理の手順を示すフローチャートである。
【図１４】上記第１の実施形態において、スコアリング画面の一例を示す図である。
【図１５】上記第１の実施形態において、スコアリング結果一覧画面の一例を示す図である。
【図１６】上記第１の実施形態において、推奨設定の際のスコアリング結果一覧画面の遷移を説明するための図である。
【図１７】上記第１の実施形態において、推奨設定の際のスコアリング結果一覧画面の遷移を説明するための図である。
【図１８】上記第１の実施形態において、ランキング設定画面の一例を示す図である。
【図１９】本発明の第２の実施形態において、基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。
【図２０】上記第２の実施形態において、変更タイミング設定画面の一例を示す図である。
【図２１】第１の変形例において、基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。
【図２２】上記第１の変形例において、ランキング画面の一例を示す図である。
【図２３】上記第１の変形例において、基準データの変更が行われる際のランキング画面の遷移を説明するための図である。
【図２４】第２の変形例において、変更タイミング設定画面の一例を示す図である。
【図２５】第３の変形例において、変更タイミング設定画面の一例を示す図である。
【図２６】第４の変形例において、基準データ履歴画面の一例を示す図である。
【図２７】第４の変形例において、期間指定画面の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。
【００４１】
＜１．第１の実施形態＞
＜１．１  システムの構成＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る基板処理システム（データ処理システム）の概略構成を示す図である。この基板処理システムは、複数の基板処理装置１と、当該複数の基板処理装置１を管理する管理サーバ２とによって構成されている。複数の基板処理装置１と管理サーバ２とはＬＡＮなどの通信回線を介して互いに接続されている。なお、ここでは特に断らない限り、それぞれ「０１Ａ」，「０２Ａ」という装置番号が付された２台の基板処理装置１が設けられているものと仮定する。
【００４２】
＜１．１．１  基板処理装置＞
図２は、本実施形態に係る基板処理装置１の概略構成を示す図である。基板処理装置１は、インデクサ部１０と処理部２０とを備えている。インデクサ部１０は、複数枚の基板を収容可能な基板収容器（カセット）を載置するための複数個の基板収容器保持部１２と、基板収容器からの基板の搬出および基板収容器への基板の搬入を行うインデクサロボット１４とを含んでいる。処理部２０は、処理液を用いて基板の洗浄等の処理を行う複数個の処理ユニット２２と、処理ユニット２２への基板の搬入および処理ユニット２２からの基板の搬出を行う基板搬送ロボット２４とを含んでいる。処理ユニット２２の数は、例えば１２個である。この場合、例えば、３個の処理ユニット２２を積層したタワー構造体が図２に示すように基板搬送ロボット２４の周囲の４箇所に設けられる。各処理ユニット２２には基板に対する処理を行う空間であるチャンバが設けられており、チャンバ内で基板に処理液が供給される。また、基板処理装置１は、その内部に、マイクロコンピュータで構成される制御部１００を備えている。
【００４３】
基板に対する処理が行われる際、インデクサロボット１４は、基板収容器保持部１２に載置されている基板収容器から処理対象の基板を取り出して、当該基板を基板受け渡し部８を介して基板搬送ロボット２４に渡す。基板搬送ロボット２４は、インデクサロボット１４から受け取った基板を対象の処理ユニット２２に搬入する。基板に対する処理が終了すると、基板搬送ロボット２４は、対象の処理ユニット２２から基板を取り出して、当該基板を基板受け渡し部８を介してインデクサロボット１４に渡す。インデクサロボット１４は、基板搬送ロボット２４から受け取った基板を対象の基板収容器に搬入する。
【００４４】
制御部１００は、インデクサ部１０および処理部２０に含まれている制御対象（インデクサロボット１４を移動させる移動機構など）の動作を制御する。また、制御部１００は、この基板処理装置１でレシピが実行されることによって得られる時系列データを蓄積して保持し、当該時系列データを用いた各種データ処理を行う。
【００４５】
＜１．１．２  時系列データ＞
本実施形態に係る基板処理装置１では、各処理ユニット２２における処理に関わる機器の異常や各処理ユニット２２で行われた処理の異常などを検出するために、レシピが実行される都度、時系列データが取得される。本実施形態で取得される時系列データは、レシピが実行された際に各種の物理量（例えば、ノズルの流量、チャンバの内圧、チャンバの排気圧など）をセンサなどを用いて測定して測定結果を時系列に並べて得られたデータである。後述するデータ処理プログラムでは、各種の物理量はそれぞれ対応するパラメータの値として処理される。なお、１つのパラメータは１種類の物理量に対応する。
【００４６】
図３は、ある１つの時系列データをグラフ化して表した図である。この時系列データは、１つのレシピが実行されたときに１つの処理ユニット２２内のチャンバで１枚の基板に対する処理によって得られた或る物理量についてのデータである。なお、時系列データは複数の離散値で構成されるデータであるが、図３では時間的に隣接する２つのデータ値の間を直線で結んでいる。ところで、１つのレシピが実行されたときには、当該レシピが実行された処理ユニット２２毎に、様々な物理量についての時系列データが得られる。そこで、以下、１つのレシピが実行されたときに１つの処理ユニット２２内のチャンバで１枚の基板に対して行われる処理のことを「単位処理」といい、単位処理によって得られる一群の時系列データのことを「単位処理データ」という。１つの単位処理データには、模式的には図４に示すように、複数のパラメータについての時系列データおよび該当の単位処理データを特定するための複数の項目（例えば、処理の開始時刻・処理の終了時刻など）のデータ等からなる属性データが含まれている。なお、図４に関し、「パラメータＡ」，「パラメータＢ」，および「パラメータＣ」は、互いに異なる種類の物理量に対応している。
【００４７】
機器や処理の異常を検出するためには、レシピの実行によって得られた単位処理データを、処理結果として理想的なデータ値を持つ単位処理データと比較すべきである。より詳しくは、レシピの実行によって得られた単位処理データに含まれる複数の時系列データを、それぞれ、処理結果として理想的なデータ値を持つ単位処理データに含まれる複数の時系列データと比較すべきである。そこで、本実施形態では、各基板処理装置１において、評価対象の単位処理データと比較するための単位処理データ（評価対象の単位処理データに含まれる複数の時系列データとそれぞれ比較するための複数の時系列データからなる単位処理データ）が基準データとしてレシピ毎に定められている。
【００４８】
なお、本実施形態では、２台の基板処理装置１のそれぞれにおいて、処理ユニット２２の数（チャンバの数）に関わらず、レシピ毎に基準データが定められる。しかしながら、本発明はこれに限定されず、レシピ毎かつ処理ユニット２２毎に（すなわち、各レシピについて処理ユニット２２毎に）基準データを定めるようにしても良い。また、本実施形態では、各レシピについて基板処理装置１毎に基準データが定められる。しかしながら、本発明はこれに限定されず、各レシピに対して２台の基板処理装置１に共通の１つの基準データを定めるようにしても良い。この場合、基準データに定める単位処理データを一方の基板処理装置１で得られた単位処理データに限定しても良いし、適宜いずれか一方の基板処理装置１で得られた単位処理データを基準データに定めるようにしても良い。
【００４９】
＜１．１．３  基板処理装置の制御部の構成＞
次に、基板処理装置１の制御部１００の構成について説明する。図５は、基板処理装置１の制御部１００のハードウェア構成を示すブロック図である。制御部１００は、ＣＰＵ１１０と主メモリ１２０と補助記憶装置１３０と表示部１４０と入力部１５０と通信制御部１６０とを備えている。ＣＰＵ１１０は、与えられた命令に従い各種演算処理等を行う。主メモリ１２０は、実行中のプログラムやデータ等を一時的に格納する。補助記憶装置１３０は、電源がオフされても保持されるべき各種プログラム・各種データを格納する。本実施形態においては、具体的には、後述するデータ処理を実行するためのデータ処理プログラム１３２が補助記憶装置１３０に格納されている。また、補助記憶装置１３０には、時系列データＤＢ１３４および基準データＤＢ１３６が設けられている。なお、「ＤＢ」は「ｄａｔａｂａｓｅ」の略である。時系列データＤＢ１３４には、模式的には図６に示すように、所定期間分の単位処理データが格納されている。基準データＤＢ１３６には、模式的には図７に示すように、レシピ毎に、基準データに定められた単位処理データが格納されている（「レシピＡ」，「レシピＢ」，および「レシピＣ」は、互いに異なるレシピを表している）。表示部１４０は、例えば、オペレータが作業を行うための各種画面を表示する。入力部１５０は、例えばマウスやキーボードなどであって、オペレータによる外部からの入力を受け付ける。通信制御部１６０は、データ送受信の制御を行う。
【００５０】
この基板処理装置１が起動すると、データ処理プログラム１３２が主メモリ１２０に読み込まれ、その主メモリ１２０に読み込まれたデータ処理プログラム１３２をＣＰＵ１１０が実行する。なお、データ処理プログラム１３２は、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ，ＤＶＤ−ＲＯＭ，フラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で提供される。
【００５１】
＜１．１．４  管理サーバの構成＞
次に、管理サーバ２の構成について説明する。図８は、管理サーバ２のハードウェア構成を示すブロック図である。管理サーバ２は、ＣＰＵ２１０と主メモリ２２０と補助記憶装置２３０と表示部２４０と入力部２５０と通信制御部２６０とを備えている。ＣＰＵ２１０，主メモリ２２０，補助記憶装置２３０，表示部２４０，入力部２５０，および通信制御部２６０は、それぞれ、基板処理装置１の制御部１００内のＣＰＵ１１０，主メモリ１２０，補助記憶装置１３０，表示部１４０，入力部１５０，および通信制御部１６０と同じ機能を有する。但し、補助記憶装置２３０には、補助記憶装置１３０内に格納されているデータ処理プログラム１３２とは異なるデータ処理プログラム２３２が格納されている。
【００５２】
この管理サーバ２が起動すると、データ処理プログラム２３２が主メモリ２２０に読み込まれ、その主メモリ２２０に読み込まれたデータ処理プログラム２３２をＣＰＵ２１０が実行する。なお、データ処理プログラム２３２は、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ，ＤＶＤ−ＲＯＭ，フラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で提供される。基板処理装置１用のデータ処理プログラム１３２と管理サーバ２用のデータ処理プログラム２３２とを１つにまとめたプログラムが記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で基板処理装置１および管理サーバ２に提供されても良い。
【００５３】
＜１．２  基準データの変更に関するデータ処理方法＞
本実施形態に係る基板処理システムでは、各基板処理装置１における各レシピについての基準データが、指定されたタイミングで変更される。そこで、以下、図９に示すフローチャートを参照しつつ、基準データの変更に関する処理の流れを説明する。図９では、左方に管理サーバ２の処理の流れを示し、右方に基板処理装置１の処理の流れを示している。ステップＳ１００〜ステップＳ１３０の処理は管理サーバ２においてＣＰＵ２１０がデータ処理プログラム２３２を実行することによって実現され、ステップＳ２００〜ステップＳ２２０の処理は基板処理装置１においてＣＰＵ１１０がデータ処理プログラム１３２を実行することによって実現される。なお、以下においては、評価対象の単位処理データのことを「評価対象データ」という。
【００５４】
まず、管理サーバ２において、基準データの変更タイミングの設定が作業者の操作によって行われる（ステップＳ１００）。その際、例えば図１０に示すような変更タイミング設定画面７０が管理サーバ２の表示部２４０に表示される。変更タイミング設定画面７０には、設定用領域７００とＯＫボタン７８とＣａｎｃｅｌボタン７９とが含まれている。ＯＫボタン７８は、設定内容を確定するためのボタンである。Ｃａｎｃｅｌボタン７９は、設定内容を取り消すためのボタンである。
【００５５】
変更タイミング設定画面７０の設定用領域７００では、「装置番号」，「導入年度」，および「処理レシピ」という３つの項目について基準データの変更タイミングの設定が可能となっている。各項目について、１または複数の設定対象が設けられる。例えば、項目「導入年度」については、「２０１６」および「２０１７」という２つの設定対象が設けられている。変更タイミングの設定は、或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでの期間の長さである経過時間（すなわち、基準データを変更する時間間隔）を設定対象毎に指定することによって行われる。項目「装置番号」に着目すると、装置毎に変更タイミングを設定することが可能となっている。なお、装置番号は、基板処理装置１を一意に識別するための番号である。項目「導入年度」に着目すると、導入年度毎に変更タイミングを設定することが可能となっている。なお、導入年度は、基板処理装置１をこの基板処理システムに導入した年度を意味する。項目「処理レシピ」に着目すると、レシピ毎に変更タイミングを設定することが可能となっている。
【００５６】
図１０に示すように、設定用領域７００には、設定対象毎にスピンコントロールボックス７１とドロップダウンリスト７２とが設けられている。スピンコントロールボックス７１は、設定する期間の長さを指定するためのインタフェースである。このスピンコントロールボックス７１は、期間の長さを表す数値を増減させることが可能なように構成されている。ドロップダウンリスト７２は、設定する期間の単位を指定するためのインタフェースである。このドロップダウンリスト７２で指定することのできる単位は、「年」，「月」，および「日」のいずれかである。
【００５７】
上述したように、本実施形態では、各基板処理装置１において、レシピ毎に基準データが定められている。これを踏まえつつ、この変更タイミング設定画面７０で設定された内容に基づいて基準データがどのように変更されるのかについて説明する。
【００５８】
図１０に示す例では、項目「装置番号」に関し、設定対象「０１Ａ」については経過時間が「１年」に設定されている。このような設定が行われている場合、装置番号が「０１Ａ」である基板処理装置１では、全てのレシピについて１年毎に基準データが変更される。また、図１０に示す例では、項目「導入年度」に関し、設定対象「２０１６」については経過時間が「７日」に設定されている。このような設定が行われている場合、導入年度が２０１６年である基板処理装置１では、全てのレシピについて７日毎に基準データが変更される。さらに、図１０に示す例では、項目「処理レシピ」に関し、設定対象「レシピＡ」については経過時間が「１年」に設定されている。このような設定が行われている場合、全ての基板処理装置１において、「レシピＡ」というレシピについての基準データが１年毎に変更される。
【００５９】
以上より、図１０に示す例では、例えば装置番号が「０１Ａ」であって２０１６年に導入された基板処理装置１における「レシピＡ」というレシピについての基準データは、７日毎のタイミングおよび１年毎のタイミングで変更される。また、例えば装置番号が「０２Ａ」であって２０１７年に導入された基板処理装置１における「レシピＡ」というレシピについての基準データは、２ヶ月毎のタイミング，３ヶ月毎のタイミング，および１年毎のタイミングで変更される。
【００６０】
なお、変更タイミング設定画面７０において経過時間を「０」又は「空白」に設定することを可能にして、経過時間が「０」又は「空白」に設定された設定対象については後述するステップＳ１２０の処理の際に無視されるようにしても良い。また、処理ユニット２２毎に基準データを定める構成が採用されている場合には、装置毎かつ処理ユニット２２毎に変更タイミングを設定することを可能にしても良い。
【００６１】
図９に示すフローに関し、上述のように変更タイミング設定画面７０を用いて基準データの変更タイミングの設定が行われた後、管理サーバ２では稼働期間のカウントアップが行われる（ステップＳ１１０）。具体的には、データ処理プログラム２３２に稼働期間カウント用の変数（以下、「稼働期間変数」という。）ＣｎｔＤが用意されており、当該稼働期間変数ＣｎｔＤの値が１日経過する毎に「１」だけ加算される。
【００６２】
稼働期間変数ＣｎｔＤの値に「１」が加算されると、各設定対象について、変更タイミング設定画面７０での設定内容に基づき基準データの変更が行われるべき日（以下、便宜上「変更指定日」という。）に到達しているか否かの判定が行われる（ステップＳ１２０）。判定の結果、変更指定日に到達している設定対象が存在すれば、処理はステップＳ１３０に進む。一方、変更指定日に到達している設定対象が存在しなければ、処理はステップＳ１１０に戻る。
【００６３】
ここで、図１１を参照しつつ、変更指定日に到達しているか否かを判定する具体的な手法の一例を説明する。但し、本発明は、これに限定されない。なお、稼働期間変数ＣｎｔＤのカウントは変更タイミングの設定が最初に行われた日を基準日として行われるものと仮定する。ここでは、図１０に示す例において、項目「導入年度」のうちの設定対象「２０１７」に着目する。該当の設定対象については、経過時間は「２月」に設定されている。このとき、例えば、基準日が或る年の５月３日であれば、図１１に示すように、該当の設定対象についての変更指定日は５月３日から２ヶ月毎の日（７月３日，９月３日，１１月３日，．．．）となる。この変更指定日の情報と基準日の情報とから、各変更指定日について、基準日からの経過日数を求めることができる。例えば、基準日と同じ年の９月３日については、基準日からの経過日数は１２３日である。このようにして基準日から各変更指定日までの経過日数を求めることができるので、当該経過日数と稼働期間変数ＣｎｔＤの値とを比較することによって、変更指定日に到達しているか否かを判定することができる。例えば７月３日には稼働期間変数ＣｎｔＤの値が「６１」となるので、該当の設定対象について変更指定日に到達した旨の判定を行うことができる。
【００６４】
ところで、変更タイミングが最初に設定された後、各設定対象について変更タイミングの設定変更が行われることもある。このような場合に変更タイミングの設定変更に伴って変更指定日がどのように変化するのかについて、図１２を参照しつつ説明する。ここでは、或る設定対象について、変更タイミング（経過時間）が「８日」から「６日」に変更されたものと仮定する。また、その設定変更は、基準日から１２日経過後に行われたものと仮定する。この場合、変更タイミングの設定が最初に行われた時点には、該当の設定対象についての変更指定日は基準日から８日毎の日（基準日からの経過日数が、８，１６，２４，．．．）となる。この状態において、上述したように、基準日から１２日経過後に設定変更が行われる。このとき、直前に基準データの変更が行われたのは基準日から８日後であるので、例えば、図１２で符号７６で示すように基準日から８日後の日から６日毎の日（基準日からの経過日数が、１４，２０，２６，．．．）を変更指定日に定めることができる。また、例えば、図１２で符号７７で示すように、設定変更が行われた日から６日毎の日（基準日からの経過日数が、１８，２４，３０，．．．）を変更指定日に定めることもできる。このように、変更タイミングの設定変更が行われた場合の処理については、特に限定されず、適宜に定めたルールに従って変更指定日が変更されれば良い。
【００６５】
図９に示すフローに関し、ステップＳ１３０では、管理サーバ２が、基準データを変更する必要のある基板処理装置１に対して、基準データの変更を指示する。このとき、項目「処理レシピ」に関する設定対象が変更指定日に到達したのであれば、該当のレシピについての基準データの変更が指示される。これに対して、項目「装置番号」あるいは項目「導入年度」に関する設定対象が変更指定日に到達したのであれば、全てのレシピについての基準データの変更が指示される。
【００６６】
その後、管理サーバ２では、処理はステップＳ１１０に戻る。一方、基準データを変更する必要のある基板処理装置１は、管理サーバ２からの指示を受信する（ステップＳ２００）。基準データの変更の指示を受信した基板処理装置１は、変更後の基準データとする単位処理データを決定するためのランキング処理を行う（ステップＳ２１０）。本実施形態におけるランキング処理は、基準データを変更する対象のレシピの実行によって得られた複数の単位処理データに対して３つの指標に基づき順位付けを行う一連の処理である。なお、ランキング処理についての詳しい説明は後述する。
【００６７】
基板処理装置１では、ランキング処理の終了後、ランキング処理の結果に基づき、基準データが変更される（ステップＳ２２０）。詳しくは、基準データＤＢ１３６（図７参照）に保持されている単位処理データのうち該当のレシピに対応する単位処理データが、ステップＳ２１０でのランキング処理で順位が１位となった単位処理データに書き換えられる。このようにして、ランキング処理で順位が１位となった単位処理データすなわち理想的な時系列の値を持つ単位処理データが変更後の基準データとなる。
【００６８】
基板処理装置１では、変更指定日に到達した設定対象に対応する基準データが変更された後、処理はステップＳ２００に戻る。すなわち、基板処理装置１は、基準データの変更の指示が管理サーバ２から送られるのを待機する状態となる。
【００６９】
管理サーバ２および各基板処理装置１で以上のような処理が行われることにより、各基板処理装置１に保持されている各レシピについての基準データは、設定された変更タイミングに従って変更される。
【００７０】
ところで、図１０に示す例では、装置番号が「０１Ａ」であって２０１６年に導入された基板処理装置１における「レシピＡ」というレシピについての基準データに着目すると、当該基準データの変更タイミング（経過時間）として「１年」および「７日」という２つの設定がなされていることになる。このような場合、本実施形態では、当該基準データの変更は、７日毎のタイミングおよび１年毎のタイミングで行われる。しかしながら、このような場合に７日毎のタイミングのみで当該基準データの変更が行われるようにしても良い。すなわち、図１０に示す例の場合、当該基準データについては、少なくとも７日毎に変更されるようにすれば良い。このように、各レシピについての基準データの変更は、少なくとも、変更タイミング設定画面７０で設定された該当の変更タイミングのうちの最小のタイミングで行われれば良い。
【００７１】
＜１．３  単位処理データ評価処理＞
本実施形態においては、ランキング処理（複数の単位処理データの順位付け）を可能にするために、各基板処理装置１では、任意のレシピが実行される都度、当該レシピの実行によって得られた単位処理データの評価を行う単位処理データ評価処理が行われる。以下、図１３に示すフローチャートを参照しつつ、この単位処理データ評価処理について説明する。なお、ここでは、１つのレシピに着目し、当該レシピのことを「着目レシピ」という。
【００７２】
まず、基板処理装置１で着目レシピが実行されることにより、着目レシピが実行された処理ユニット２２から得られた評価対象データに基づくスコアリングが行われる（ステップＳ３１０）。なお、スコアリングとは、評価対象データと基準データとの間で各パラメータの時系列データを比較してそれによって得られる結果を数値化する処理である。仮に着目レシピが８個の処理ユニット２２で実行された場合、当該８個の処理ユニット２２から得られる８個の評価対象データのそれぞれに基づいてスコアリングが行われる（すなわち、単位処理毎にスコアリングが行われる）ことにより、８個のスコアリング結果が得られる。スコアリングでは、複数の評価項目について「良」または「不良」の判断が行われる。その判断は、各パラメータについて、評価対象データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとに基づいて得られる検査値を当該検査値に対応する閾値と比較することによって行われる（実質的には、評価対象データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとを比較することによって行われる）。これに関し、検査値が閾値を超えた場合に、該当の評価項目が「不良」と判断される。なお、１つのパラメータに対して複数の評価項目が設けられていても良い。本実施形態においては、各評価対象データのスコアリング結果は、評価項目の総数を分母とし不良と判断された評価項目の数を分子とする態様で表される。
【００７３】
以下に評価項目の例を挙げる。
例１：或るパラメータに関する安定期間（図３参照）における時系列データの平均値
例２：或るパラメータに関する安定期間（図３参照）における時系列データの最大値
例３：或るパラメータに関する立ち上がり期間（図３参照）の長さ
例１の評価項目については、該当のパラメータに関する安定期間における“評価対象データに含まれる時系列データの平均値と基準データに含まれる時系列データの平均値との差”が上記検査値となる。例２の評価項目については、該当のパラメータに関する安定期間における“評価対象データに含まれる時系列データの最大値と基準データに含まれる時系列データの最大値との差”が上記検査値となる。例３の評価項目については、該当のパラメータに関する“評価対象データに含まれる時系列データについての立ち上がり期間の長さと基準データに含まれる時系列データについての立ち上がり期間の長さとの差”が上記検査値となる。
【００７４】
ところで、スコアリングの際に、各時系列データの正規化が行われるようにしても良い。例えば、各パラメータについて、基準データに含まれる時系列データの最大値が１、最小値が０に変換されるように、評価対象データに含まれる時系列データに線形変換が施されるようにしても良い。また、評価対象データには一般に複数のパラメータの時系列データが含まれているが、一部のパラメータの時系列データについてのみ正規化が行われるようにしても良い。なお、必要に応じて時系列データの正規化を行うことにより、後述する評価値をより好適に算出することが可能となる。
【００７５】
スコアリングの終了後、スコアリングの結果の表示が行われる（ステップＳ３２０）。これについては、まず、スコアリングの結果の概略を示した例えば図１４に示すようなスコアリング画面３０が表示部１４０に表示される。スコアリング画面３０には、処理ユニット２２の数に等しい数のボタン３２が設けられている。ボタン３２内には、処理ユニット名表示領域３２１と処理枚数表示領域３２２とエラー数表示領域３２３とが設けられている。処理ユニット名表示領域３２１には、該当の処理ユニット２２の名称が表示される。処理枚数表示領域３２２には、該当の処理ユニット２２内のチャンバで所定期間内に処理された基板の総数が表示される。エラー数表示領域３２３には、発生したエラー件数が表示される。なお、エラーが発生している処理ユニット２２については、符号３４で示すように、エラー件数に応じた大きさの円がエラー数表示領域３２３に表示される。
【００７６】
以上のようなスコアリング画面３０のいずれかのボタン３２が押下されると、該当の処理ユニット２２で実行された単位処理のスコアリング結果を示す画面が表示される。そして、当該画面上で１つの単位処理が選択されると、その選択された単位処理に対応するレシピについてのスコアリング結果を一覧表示した例えば図１５に示すようなスコアリング結果一覧画面４０が表示部１４０に表示される。
【００７７】
図１５に示すように、スコアリング結果一覧画面４０には、ボタン表示領域４１と検索対象表示領域４２と項目名表示領域４３と結果表示領域４４と期間表示領域４５とが含まれている。ボタン表示領域４１には、Ｇｏｏｄボタン４１１とＢａｄボタン４１２とが設けられている。
【００７８】
検索対象表示領域４２には、検索対象の処理ユニット２２の名称および検索対象のレシピ（ここでは、着目レシピ）の名称が表示される。図１５に示す例では、検索対象の処理ユニット２２の名称が「Ｃｈａｍｂｅｒ３」であって検索対象のレシピの名称が「Ｆｌｕｓｈｉｎｇ  ｔｅｓｔ２」であることが把握される。
【００７９】
項目名表示領域４３には、結果表示領域４４に表示する内容（属性データ）の項目名が表示される。「Ｆａｉｌｅｄ／Ｔｏｔａｌ」は、スコアリング結果を表す項目名である。なお、「Ｆａｉｌｅｄ」は不良と判断された評価項目の数に相当し、「Ｔｏｔａｌ」は評価項目の総数に相当する。「Ｓｔａｒｔ  ｔｉｍｅ」は、着目レシピの開始時刻を表す項目名である。「Ｅｎｄ  ｔｉｍｅ」は、着目レシピの終了時刻を表す項目名である。「Ｐｒｏｃｅｓｓ  ｔｉｍｅ」は、着目レシピの処理時間を表す項目名である。「Ａｌａｒｍ」は、着目レシピの実行の際に発生したアラーム数を表す項目名である。「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  ＩＤ」は、着目レシピによる処理を行った基板（ウエハ）を一意に識別するための番号を表す項目名である。「Ｒｅｃｏｍｍｅｎｄ（Ｇｏｏｄ／Ｂａｄ）」は、後述する推奨度を表す項目名である。なお、「Ｇｏｏｄ」は高評価の度合を表す値（以下、「Ｇｏｏｄ値」という。）に相当し、「Ｂａｄ」は低評価の度合を表す値（以下、「Ｂａｄ値」という。）に相当する。推奨度は、これらＧｏｏｄ値とＢａｄ値とからなる。
【００８０】
結果表示領域４４には、検索条件に合致した単位処理データの属性データ（各種情報やスコアリング結果など）が表示される。図１５に示す例では、８個の単位処理データの属性データが結果表示領域４４に表示されている。作業者は、結果表示領域４４に表示されている属性データの中から１つの属性データ（１つの行）を選択することができる。
【００８１】
期間表示領域４５には、予め設定された検索対象期間が表示される。この検索対象期間に着目レシピが実行されたことによって得られた単位処理データの属性データが、結果表示領域４４に表示されている。図１５に示す例では、検索対象期間が２０１７年７月１９日の午後７時３９分３４秒から２０１７年８月１９日の午後７時３９分３４秒までの１ヶ月間であることが把握される。
【００８２】
ここで、ボタン表示領域４１に設けられている各ボタンの機能を説明する。Ｇｏｏｄボタン４１１は、結果表示領域４４内で選択されている属性データに対応する単位処理データの評価値を高くすることが望まれるときに作業者が押下するためのボタンである。Ｂａｄボタン４１２は、結果表示領域４４内で選択されている属性データに対応する単位処理データの評価値を低くすることが望まれるときに作業者が押下するためのボタンである。なお、評価値についての説明は後述する。
【００８３】
スコアリング結果一覧画面４０の表示後、必要に応じて、各単位処理データを基準データとして推奨する度合を表す推奨度の設定（推奨設定）が行われる（ステップＳ３３０）。推奨設定は、結果表示領域４４に表示されている属性データのうち設定対象の単位処理データに対応する属性データが選択されている状態でＧｏｏｄボタン４１１あるいはＢａｄボタン４１２を押下することによって行われる。その際、設定対象の単位処理データが基準データとして好ましい場合には作業者はＧｏｏｄボタン４１１を押下し、設定対象の単位処理データが基準データとして好ましくない場合には作業者はＢａｄボタン４１２を押下する。これに関し、スコアリング結果一覧画面４０が表示された直後には、Ｇｏｏｄボタン４１１およびＢａｄボタン４１２は選択不可能な状態になっている。この状態で作業者が結果表示領域４４に表示されているいずれかの属性データを選択すると、図１６に示すように、該当の属性データが選択状態になるとともにＧｏｏｄボタン４１１およびＢａｄボタン４１２が選択可能な状態となる。この状態において作業者がＧｏｏｄボタン４１１あるいはＢａｄボタン４１２を押下することによって、Ｇｏｏｄ値・Ｂａｄ値の加算が行われる。例えば、図１６に示す状態からＢａｄボタン４１２が３回押下されると、図１７に示すように、選択されている属性データのうちのＢａｄ値が「３」となる。以上のように、スコアリング結果一覧画面４０は、推奨度を外部から変更することができるように構成されている。なお、Ｇｏｏｄ値やＢａｄ値を具体的にどのような値にするかについては、例えば、スコアリング結果、アラーム数、該当の単位処理で得られた結果物（基板）の状態（例えば、パーティクル数、欠陥数、倒壊率）などを考慮して決定される。また、Ｇｏｏｄボタン４１１およびＢａｄボタン４１２の他に、Ｇｏｏｄ値を小さくするためのボタンおよびＢａｄ値を小さくするためのボタンを設けるようにしても良い。
【００８４】
ステップＳ３１０〜ステップＳ３３０の処理は、レシピが実行される毎に行われる。従って、基板処理装置１の稼働中、ステップＳ３１０〜ステップＳ３３０の処理は繰り返される。
【００８５】
なお、スコアリング結果一覧画面４０は基板処理装置１に含まれる制御部１００の表示部１４０に表示されることを前提に説明したが、管理サーバ２の表示部２４０に基板処理装置１毎のスコアリング結果一覧画面４０が表示されるようにしても良い。スコアリング画面３０についても同様である。
【００８６】
＜１．４  ランキング処理＞
次に、ランキング処理（図９のステップＳ２１０）について説明する。上述したように、ランキング処理は、レシピの実行によって得られた複数の単位処理データに対して３つの指標に基づき順位付けを行う一連の処理である。各単位処理データの順位は、３つの指標に基づいて算出される評価値（総得点）によって決定付けられる。本実施形態においては、評価値を算出するための３つの指標値として、上述した推奨度に基づく値（以下、「推奨値」という。）と、スコアリング結果に基づく値（以下、「スコアリング結果値」という。）と、アラームの発生回数（あるいは、アラームの有無）に基づく値（以下、「アラーム値」という。）とが用いられる。評価値の具体的な求め方については後述する。ランキング処理では、評価値に基づいて検索対象期間内の複数の単位処理データの順位付けが行われる。
【００８７】
実際にランキング処理が実行される前の適宜のタイミングで、ランキング処理の実行に必要な設定が行われる必要がある。この設定は、例えば図１８に示すようなランキング設定画面５０を用いて作業者の操作によって行われる。なお、各基板処理装置１でこの設定が行われるようにしても良いし、管理サーバ２でこの設定が行われるようにしても良い。図１８に示すように、このランキング設定画面５０には、各単位処理データの順位を決定付ける評価値を算出する際の上記３つの指標値のそれぞれの影響度（寄与度）を設定するための３つのドロップダウンリスト５１〜５３と、ＯＫボタン５８と、Ｃａｎｃｅｌボタン５９とが含まれている。ドロップダウンリスト５１は、推奨値の影響度を設定するためのインタフェースである。ドロップダウンリスト５２は、スコアリング結果値の影響度を設定するためのインタフェースである。ドロップダウンリスト５３は、アラーム値の影響度を設定するためのインタフェースである。ＯＫボタン５８は、設定内容を確定するためのボタンである。Ｃａｎｃｅｌボタン５９は、設定内容（ドロップダウンリスト５１〜５３を用いて設定された内容）を取り消すためのボタンである。
【００８８】
ドロップダウンリスト５１〜５３については、例えば１％刻みで影響度を設定することが可能となっている。但し、５％刻みや１０％刻みで影響度を設定することが可能となっていても良い。なお、評価値を算出する際の指標値として使用したくないものについては影響度を０％に設定することが可能となっている。
【００８９】
ところで、ドロップダウンリスト５１での設定値を「第１設定値」と定義し、ドロップダウンリスト５２での設定値を「第２設定値」と定義し、ドロップダウンリスト５３での設定値を「第３設定値」と定義すると、第１設定値と第２設定値と第３設定値との和が１００％となるように自動的に値の調整が行われることが好ましい。これに関し、ランキング設定画面５０の表示後に２つのドロップダウンリストに対して値の設定が行われたときに残りのドロップダウンリストの値が自動的に設定されるようにすることができる。この場合、例えば、「第１設定値＝５０、第２設定値＝３０」という設定が行われたときに第３設定値が自動的に「２０」に設定される。また、既に３つのドロップダウンリストに対して値の設定が行われている状態でいずれか１つのドロップダウンリストの値が変更されたときに残りの２つのドロップダウンリストの値がその割合を維持したまま自動的に変更されるようにしても良い。この場合、例えば、「第１設定値＝７０、第２設定値＝２０、第３設定値＝１０」という設定が行われている状態で第１設定値が「５５」に変更されると、自動的に、第２設定値が「３０」に変更されるとともに第３設定値が「１５」に変更される。
【００９０】
なお、第１設定値と第２設定値と第３設定値との和が１００％を超えるような設定を受け付けて、それらの割合を維持しつつ和が１００％となるように内部的に処理するようにしても良い。また、第１設定値と第２設定値と第３設定値との和が１００％を超えるような設定が行われたときに「和が１００％を超えている」旨のメッセージを表示して再設定を促すようにしても良い。
【００９１】
ランキング処理では、検索対象期間に着目レシピが実行されたことによって各処理ユニット２２から得られた全ての単位処理データが評価対象データとなる。まず、基準データの候補となり得るデータである各評価対象データについて、上記推奨値が求められる。Ｇｏｏｄ値をＣｎｔＧと表し、Ｂａｄ値をＣｎｔＢと表すと、推奨値Ｖ（Ｒ）は例えば次式（１）によって算出される。
Ｖ（Ｒ）＝（ＣｎｔＧ−ＣｎｔＢ）×１００／（ＣｎｔＧ＋ＣｎｔＢ）  ・・・（１）
但し、“ＣｎｔＧ＝０”かつ“ＣｎｔＢ＝０”のときには“Ｖ（Ｒ）＝０”とする。
【００９２】
次に、各評価対象データについて、上記アラーム値が求められる。アラーム値Ｖ（Ａ）については、例えば、アラーム数が０（スコアリング結果一覧画面４０では“Ｎｏｎｅ”と表記）であれば“Ｖ（Ａ）＝１００”とされ、アラーム数が１以上であれば“Ｖ（Ａ）＝−１００”とされる。
【００９３】
次に、各評価対象データについて、上記スコアリング結果値Ｖ（Ｓ）が求められる。評価項目の総数をＮｔと表し、不良と判断された評価項目の数をＮｆと表すと、スコアリング結果値Ｖ（Ｓ）は例えば次式（２）によって算出される。
Ｖ（Ｓ）＝（Ｎｔ−２×Ｎｆ）×１００／Ｎｔ  ・・・（２）
【００９４】
以上のようにして推奨値Ｖ（Ｒ），アラーム値Ｖ（Ａ），およびスコアリング結果値Ｖ（Ｓ）が求められた後、各評価対象データについて、上記評価値（総得点）の算出が行われる。ランキング設定画面５０で設定されたドロップダウンリスト５１〜５３の値（割合）をそれぞれＰ１〜Ｐ３と表すと、評価値（総得点）Ｖｔｏｔａｌは次式（３）によって算出される。
Ｖｔｏｔａｌ＝Ｖ（Ｒ）×Ｐ１＋Ｖ（Ｓ）×Ｐ２＋Ｖ（Ａ）×Ｐ３  ・・・（３）
【００９５】
基準データの候補となり得る全ての単位処理データ（評価対象データ）についての評価値が算出された後、その算出された評価値に基づいて単位処理データの順位付けが行われる。その際、評価値の大きい単位処理データほど、順位は高くなる（順位を表す数値は小さくなる）。従って、順位が１位となる単位処理データは、評価値の最も大きな単位処理データである。このようなランキング処理の結果に基づいて、上述したように、基準データの変更（図９のステップＳ２２０）が行われる。
【００９６】
＜１．５  効果＞
本実施形態によれば、それぞれが複数の時系列データを含む複数の単位処理データの中から選択される基準データを変更するタイミングを複数の項目について設定することが可能となっている。そして、各基板処理装置１において、各レシピについての基準データは、作業者によって設定されたタイミングで変更される。このため、各基板処理装置１の使用状況や劣化程度等を考慮して基準データの変更タイミングを適宜に設定しておくことにより、この基板処理システムの現状に応じた基準データを保持することが可能となる。これにより、各レシピの実行によって得られた単位処理データをこの基板処理システムの現状に応じた基準データと比較することが可能となるので、基板処理装置１で実行された処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、本実施形態によれば、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
【００９７】
また、本実施形態によれば、変更タイミング設定画面で設定されたタイミングで基準データが自動的に変更される。すなわち、変更後の基準データとする単位処理データの作業者による選択が不要である。従って、作業者による選択を要する構成に比べて作業者の操作負荷が軽減される。また、作業者の操作ミスによって不適当な単位処理データが基準データに設定されることが防止される。
【００９８】
＜２．第２の実施形態＞
＜２．１  概要＞
第１の実施形態では、複数の基板処理装置１と管理サーバ２とからなる基板処理システムの形態で運用が行われることを前提としていた。しかしながら、本発明はこれに限定されない。そこで、１台の基板処理装置１単体で運用が行われる例を本発明の第２の実施形態として説明する。
【００９９】
本実施形態における基板処理装置１の構成は、第１の実施形態における基板処理装置１の構成と同じである（図２および図５〜図７を参照）。但し、本実施形態における補助記憶装置１３０に格納されるデータ処理プログラム１３２は、第１の実施形態とは異なり、図１９のステップＳ４００からステップＳ４４０までの一連の処理を実行するためのプログラムである。
【０１００】
＜２．２  基準データの変更に関するデータ処理方法＞
図１９を参照しつつ、基準データの変更に関する処理の流れを説明する。まず、基準データの変更タイミングの設定が作業者の操作によって行われる（ステップＳ４００）。本実施形態においては、基板処理装置１単体で運用が行われるので、ステップＳ４００では例えば図２０に示すような変更タイミング設定画面７０が基板処理装置１の表示部１４０に表示される。図２０から把握されるように、レシピ毎に基準データの変更タイミングを設定することが可能となっている。作業者は、スピンコントロールボックス７１とドロップダウンリスト７２とを操作して、レシピ毎に基準データの変更タイミングを設定する。
【０１０１】
基準データの変更タイミングの設定が行われた後、稼働期間のカウントアップが行われる（ステップＳ４１０）。具体的には、データ処理プログラムで用意された稼働期間変数ＣｎｔＤの値が１日経過する毎に「１」だけ加算される。そして、各設定対象について、変更タイミング設定画面７０での設定内容に基づき変更指定日に到達しているか否かの判定が行われる（ステップＳ４２０）。判定の結果、変更指定日に到達している設定対象が存在すれば、処理はステップＳ４３０に進む。一方、変更指定日に到達している設定対象が存在しなければ、処理はステップＳ４１０に戻る。
【０１０２】
ステップＳ４３０では、第１の実施形態と同様にランキング処理が行われる。そして、当該ランキング処理の結果に基づき、基準データが変更される（ステップＳ４４０）。
【０１０３】
＜２．３  効果＞
本実施形態によれば、基準データの変更に関するデータ処理が基板処理装置１単体で行われる構成において、第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【０１０４】
＜３．変形例＞
以下、上記各実施形態の変形例について説明する。なお、以下に記す第１〜第４の変形例は、第１の実施形態および第２の実施形態のいずれに対しても適用することができる。
【０１０５】
＜３．１  第１の変形例＞
上記各実施形態においては、基準データの変更が行われる際、ランキング処理で順位が１位となった単位処理データが自動的に変更後の基準データに定められていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、変更後の基準データとする単位処理データが作業者によって選択されるようにしても良い。
【０１０６】
図２１は、本変形例における基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。本変形例においては、各基板処理装置１で、ランキング処理（ステップＳ２１０）の終了後、当該ランキング処理による順位付けの結果を表す例えば図２２に示すようなランキング画面６０が表示部１４０に表示される（ステップＳ２１２）。図２２に示すように、複数の単位処理データのそれぞれについての属性データが、順位付けの結果に従って、ランキング形式でランキング画面６０に表示されている。
【０１０７】
ランキング画面６０には、ボタン表示領域６１と検索対象表示領域６２と項目名表示領域６３と結果表示領域６４と期間表示領域６５とが含まれている。ボタン表示領域６１には、Ｓｗａｐボタン６１１が設けられている。
【０１０８】
検索対象表示領域６２には、検索対象の処理ユニット２２の名称および検索対象のレシピ（ここでは、上述した着目レシピ）の名称が表示される。図２２に示す例では、検索対象の処理ユニット２２の名称が「Ｃｈａｍｂｅｒ３」，「Ｃｈａｍｂｅｒ４」，および「Ｃｈａｍｂｅｒ５」であって検索対象のレシピの名称が「Ｆｌｕｓｈｉｎｇ  ｔｅｓｔ２」であることが把握される。スコアリング結果一覧画面４０（図１５参照）ではスコアリング画面３０（図１４参照）で選択された処理ユニット２２のみが検索対象となっていたが、ランキング画面６０では検索対象期間に着目レシピが実行された全ての処理ユニット２２が検索対象となる。
【０１０９】
項目名表示領域６３には、結果表示領域６４に表示する内容（属性データ）の項目名が表示される。「Ｒａｎｋｉｎｇ」は、順位付けによる順位を表す項目名である。「Ｔｏｔａｌ  Ｓｃｏｒｅ」は、上記評価値（総得点）を表す項目名である。「Ｒｅｃｏｍｍｅｎｄ  Ｓｃｏｒｅ」は、上記推奨値にランキング設定画面５０のドロップダウンリスト５１で設定された割合を乗ずることによって得られる値（Ｖ（Ｒ）×Ｐ１）を表す項目名である。「Ｓｃｏｒｉｎｇ  Ｒｅｓｕｌｔ  Ｓｃｏｒｅ」は、上記スコアリング結果値にランキング設定画面５０のドロップダウンリスト５２で設定された割合を乗ずることによって得られる値（Ｖ（Ｓ）×Ｐ２）を表す項目名である。「Ａｌａｒｍ  Ｎｕｍｂｅｒ  Ｓｃｏｒｅ」は、上記アラーム値にランキング設定画面５０のドロップダウンリスト５３で設定された割合を乗ずることによって得られる値（Ｖ（Ａ）×Ｐ３）を表す項目名である。「Ｕｎｉｔ」は、処理ユニットを表す項目名である。「Ｓｔａｒｔ  ｔｉｍｅ」は、着目レシピの開始時刻を表す項目名である。「Ｅｎｄ  ｔｉｍｅ」は、着目レシピの終了時刻を表す項目名である。「Ｐｒｏｃｅｓｓ  ｔｉｍｅ」は、着目レシピの処理時間を表す項目名である。
【０１１０】
結果表示領域６４には、検索条件に合致した単位処理データの属性データ（各種情報や順位付けによる順位など）が表示される。図２２から把握されるように、結果表示領域６４内では、単位処理データの属性データが、評価値の高いものから低いものへとソートされた状態で表示されている。従って、結果表示領域６４の１行目に表示されている属性データに対応する単位処理データが、検索条件に合致した単位処理データの中で評価値の最も大きな単位処理データである。作業者は、結果表示領域６４に表示されている属性データの中から１つの属性データ（１つの行）を選択することができる。なお、評価値が上位の単位処理データ（例えば、順位付けによる順位が１位から５位までの単位処理データ）の属性データのみを結果表示領域６４に表示するようにしても良い。
【０１１１】
期間表示領域６５には、スコアリング結果一覧画面４０の期間表示領域４５と同様、検索対象期間が表示される。図２２に示す例では、検索対象期間が２０１７年７月１９日の午後７時３９分３４秒から２０１７年８月１９日の午後７時３９分３４秒までの１ヶ月間であることが把握される。
【０１１２】
ランキング画面６０の表示後、変更後の基準データの選択が作業者によって行われる（ステップＳ２１４）。具体的には、作業者が、ランキング画面６０の結果表示領域６４に表示されている属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データに対応する属性データを選択する。これにより、ランキング画面６０では、選択された属性データが選択状態になる。この状態において、作業者が、ボタン表示領域６１内のＳｗａｐボタン６１１を押下する。これにより、着目レシピについての基準データが変更される（ステップＳ２２０）。詳しくは、基準データＤＢ１３６（図７参照）に保持されている単位処理データのうち着目レシピに対応する単位処理データが、結果表示領域６４内で選択状態となっている属性データに対応する単位処理データに書き換えられる。
【０１１３】
例えばランキング画面６０が図２２に示した状態になっているときに作業者が結果表示領域６４内の１行目の属性データを選択すると、図２３に示すように、１行目の属性データが選択状態になるとともにＳｗａｐボタン６１１が押下可能な状態となる。この状態において作業者がＳｗａｐボタン６１１を押下すると、着目レシピについての基準データが１行目の属性データに対応する単位処理データに変更される。
【０１１４】
本変形例によれば、評価値に基づく順位付け（ランキング処理）の結果を参照しつつ任意の単位処理データを変更後の基準データとして選択することができる。従って、順位付けによる順位が１位以外の単位処理データを基準データとして選択することもできる。このように、ユーザーのニーズに合致した基準データの選択が可能となる。
【０１１５】
＜３．２  第２の変形例＞
上記各実施形態においては、基準データの変更は、変更タイミング設定画面７０での設定内容に基づく変更指定日に行われていた。これに関し、例えば不定期で行われるメンテナンス処理に連動して基準データの変更が行われるようにするなどユーザーが所望する任意のタイミングで基準データの変更が行われるようにする機能（以下、便宜上「任意変更機能」という。）を設けるようにしても良い。以下、この任意変更機能を実現する具体的な手法の一例を説明する。
【０１１６】
本変形例においては、基板処理装置１の表示部１４０に、基準データの変更が望まれる時に作業者が押下するためのソフトウェアボタン（以下、「基準データ変更指示ボタン」という。）が表示される。また、本変形例における変更タイミング設定画面７０の設定用領域７００には、図２４に示すように、任意変更機能を有効にするか否かを設定するための任意変更設定領域７０１が設けられる。任意変更設定領域７０１には２つのラジオボタン７３，７４が設けられ、ラジオボタン７３が選択状態になっている時には任意変更機能は有効となり、ラジオボタン７４が選択状態になっている時には任意変更機能は無効となる。なお、基準データ変更指示ボタンが変更指示部に相当し、ラジオボタン７３を選択状態にすることが変更指示を有効にすることに相当する。
【０１１７】
任意変更機能が有効となっている時に基準データ変更指示ボタンが押下されると、基板処理装置１では、まず、ランキング処理（図９のステップＳ２１０の処理）が行われる。このランキング処理では、全てのレシピについて、レシピの実行によって得られた複数の単位処理データに対して３つの指標に基づく順位付けが行われる。そして、基板処理装置１では、各レシピについて、順位付けの結果に基づき基準データが変更される。詳しくは、各レシピについて、順位付けによる順位が１位となった単位処理データが変更後の基準データとなる。このように、任意変更機能が有効となっている時に基準データ変更指示ボタンが押下されると、変更タイミング設定画面７０での設定内容に関わらず基準データが変更される。
【０１１８】
以上のような構成において、例えばメンテナンス処理が行われる毎に基準データが変更されることをユーザーが望む場合、任意変更機能を有効にした上でメンテナンス処理が行われる毎に作業者が基準データ変更指示ボタンを押下すれば良い。
【０１１９】
なお、データ処理プログラムがハードウェアボタンの押下を検知することができるのであれば、上記基準データ変更指示ボタンをソフトウェアボタンに代えてハードウェアボタンによって実現しても良い。
【０１２０】
＜３．３  第３の変形例＞
上記各実施形態においては、変更タイミングの設定は時間間隔（或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでの期間の長さである経過時間）を指定することによって行われていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、変更タイミングの設定を処理回数を指定することによって行うことができるようにしても良い。
【０１２１】
本変形例においては、例えば、図２５に示すように、変更タイミング設定画面７０の設定用領域７００に変更タイミングの設定をレシピ毎に処理回数を指定することによって行うための領域７０２が設けられる。当該領域７０２には、処理回数を表す数値を増減させることが可能なように構成されたスピンコントロールボックス７５が設けられる。
【０１２２】
以上のような構成において例えば図２５に示したようにレシピＡについての処理回数が「１００」に設定されると、レシピＡについての基準データは、経過時間の指定に基づく変更タイミングで変更されるのに加えて、レシピＡが１００回実行される毎に変更される。
【０１２３】
＜３．４  第４の変形例＞
上記各実施形態によれば、基準データは、作業者によって設定された変更タイミングに従って変更される。これに関し、上記各実施形態においては各レシピについての最新の基準データのみが基準データＤＢ１３６に保持されているが、過去の基準データも基準データＤＢ１３６に保持されるようにすることもできる。また、過去の基準データが基準データＤＢ１３６とは別のデータベースに保持されるようにすることもできる。このようにして基準データの履歴を残すようにしても良い。
【０１２４】
そこで、基準データの履歴を用いて過去の基準データを現在の基準データとして復元する機能を設けるようにしても良い。例えば、各基板処理装置１（あるいは管理サーバ２）に基準データの履歴を表示するメニューを用意しておき当該メニューが選択されてレシピの指定が行われると図２６に示すような基準データ履歴画面８０が表示部１４０に表示されるようにすることができる。図２６に示すように、基準データ履歴画面８０には、ボタン表示領域８１と項目名表示領域８２と履歴表示領域８３とが含まれている。ボタン表示領域８１には、Ｓｗａｐボタン８１１が設けられている。項目名表示領域８２には、履歴表示領域８３に表示する内容（属性データ）の項目名（例えば、指定されたレシピの開始時刻を表す項目名など）が表示される。履歴表示領域８３には、指定されたレシピについての過去の基準データ（過去に基準データに定められた単位処理データ）の属性データが表示される。図２６に示す例では、過去の６個の基準データの属性データが履歴表示領域８３に表示されている。作業者は、履歴表示領域８３に表示されている属性データの中から１つの属性データ（１つの行）を選択することができる。Ｓｗａｐボタン８１１は、履歴表示領域８３内で選択されている属性データに対応する過去の基準データ（過去に基準データに定められた単位処理データ）を現在の基準データとして復元するためのボタンである。
【０１２５】
基準データ履歴画面８０が表示された直後には、Ｓｗａｐボタン８１１は選択不可能な状態になっている。この状態で作業者が履歴表示領域８３に表示されているいずれかの属性データを選択すると、該当の属性データが選択状態になるとともにＳｗａｐボタン８１１が選択可能な状態となる。この状態において作業者がＳｗａｐボタン８１１を押下すると、変更タイミング設定画面７０での設定内容に関わらず、履歴表示領域８３で選択状態となっている属性データに対応する単位処理データに基準データが変更される。すなわち、履歴表示領域８３で選択状態となっている属性データに対応する過去の基準データが指定されたレシピについての現在の基準データとして復元される。
【０１２６】
なお、本変形例に関連して、例えばレシピが指定された後に図２７に示すような期間指定画面８５を表示部１４０に表示して作業者による期間の指定を受け付けて、その指定された期間毎に基準データを変更したと仮定した場合の基準データの履歴を表示部１４０に表示するようにしても良い。これにより、例えば、７日毎に基準データを変更したと仮定した場合の基準データの履歴、１ヶ月毎に基準データを変更したと仮定した場合の基準データの履歴、１年毎に基準データを変更したと仮定した場合の基準データの履歴などを順に表示して、それらの結果を時系列データの分析に活用することが可能となる。
【符号の説明】
【０１２７】
１…基板処理装置
２…管理サーバ
２２…処理ユニット
４０…スコアリング結果一覧画面
５０…ランキング設定画面
６０…ランキング画面
７０…変更タイミング設定画面
１００…（基板処理装置の）制御部
１３２，２３２…データ処理プログラム
１３４…時系列データＤＢ
１３６…基準データＤＢ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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