(57)【要約】【課題】  本発明は、蒸着対象物の任意の形状と色彩を維持し、伸縮されたり折り曲げられたりしても防水・防湿性を維持できる、薄く均質な電気絶縁性の防水・防湿性層を有する、防水・防湿性積層体を提供することを課題とする。【解決手段】  電気絶縁性と防水・防湿性を付与する為のパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を、蒸着対象物上に有する、防水・防湿性積層体。【選択図】  図１
2019137888.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気絶縁性と防水・防湿性を付与する為のパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を、蒸着対象物上に有する、防水・防湿性積層体。
【請求項２】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層が、前記防水・防湿性積層体の最表層である、請求項１に記載の、防水・防湿性積層体。
【請求項３】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の厚さが、１０ｎｍ以上、５μｍ以下である、請求項１または２に記載の、防水・防湿性積層体。
【請求項４】
前記防水・防湿層の各部分の厚さが、厚み平均値±１５％以内である、
請求項１〜４の何れか１項に記載の、防水・防湿記録通信モジュール。
【請求項５】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の水蒸気透過率度が、１０ｇ／ｍ２／日／ａｔｍ以下である、請求項１〜３の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
【請求項６】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を両表面に有する樹脂フィルムのＪＩＳ吸水率が、２４時間処理後で、０．１質量％以下である、請求項１〜５の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
【請求項７】
前記パラキシリレン系化合物が下記式で表される化合物を含む、請求項１〜６の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
【化１】
2019137888.tif 000013
（式中、Ｒは水素原子またはフッ素原子であり、Ｘはハロゲン原子であり、ｎは平均値が０〜４の数である。）
【請求項８】
前記パラキシリレン系化合物が下記式で表される化合物を含む、請求項１〜６の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
【化２】
2019137888.tif 000014
【請求項９】
前記パラキシリレン系化合物が下記式で表される化合物を含む、請求項１〜６の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
【化３】
2019137888.tif 000015
【請求項１０】
前記蒸着対象物の表面が、下記の工程Ａと工程Ｂからなる群から選ばれる、１種または２種以上を含む方法によって表面処理されている、
請求項１〜９の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
工程Ａ）前記蒸着対象物の表面を、リアクティブイオンエッチング方式プラズマ処理、ダイレクトプラズマ方式プラズマ処理、コロナ処理から選ばれる１種または２種以上で、処理する工程。
工程Ｂ）前記蒸着対象物の表面を、炭素−炭素２重結合含有基とシラノール基とを有するシラン化合物で処理する工程。
【請求項１１】
前記蒸着対象物の表面が、イソプレン系エラストマー、スチレン系エラストマー、エチレンプロピレン系エラストマー、ブチル系エラストマー、ニトリル系エラストマー、クロロプレン系エラストマー、アクリル系エラストマー、ウレタン系エラストマー、からなる群から選択される１種または２種以上を含有し、
下記の工程ＡとＢとを含む方法によって表面処理されている、
請求項１〜９の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
工程Ａ）前記蒸着対象物の表面を、リアクティブイオンエッチング方式又はダイレクトプラズマ方式で、アルゴン／酸素混合ガスの存在下で、１〜１００Ｐａの圧力下で、プラズマ出力１０〜５００Ｗで、処理時間５〜５００秒間プラズマ処理する工程。
工程Ｂ）前記蒸着対象物の表面を、炭素−炭素２重結合含有基とシラノール基とを有するシラン化合物で処理する工程。
【請求項１２】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層が、蒸着対象物の上に、
下記の工程１〜３を含む方法によって積層されたものである、請求項１〜１１の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
工程１）前記パラキシリレン系化合物を気化室内に導入し、１００〜１６０℃で気化する工程、
工程２）気化した前記パラキシリレン系化合物を、熱分解室内で、６００〜６９０℃でラジカル化する工程、
工程３）２０〜３５℃で５〜１５μｂａｒに減圧された蒸着室内に、ラジカル化した前記パラキシリレン系化合物を２０〜４０μｂａｒで導入し、前記蒸着室内に別途導入された前記蒸着対象物の表面に、該表面の温度を２０〜９０℃に保ちながら、前記パラキシリレン系化合物を蒸着させると共に重合させて、前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を積層する工程。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気絶縁性と防水・防湿性を付与する為のパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を有する、防水・防湿性積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有形物の防水・防湿性を高める為には、有形物表面に液状樹脂組成物を塗布したり（特許文献１）、金属または金属酸化物をコーティングしたり蒸着したりして、防水・防湿層を積層する手法が採られていた。
【０００３】
しかしながら、液状樹脂組成物を塗布する手法では、防水・防湿層が不均一で厚くなり、未積層部分が残ったり、狭い隙間全体が液状樹脂組成物で埋まってしまったり、更には、積層体全体としての物性にも影響を与えてしまうものであった。
【０００４】
金属コーティング層、金属酸化物コーティング層、金属蒸着層、金属酸化物蒸着層は、硬く脆いために、積層対象物が変形した場合に、割れたり剥がれたりする為に、用途が限定されていた。
【０００５】
医療用材料等において、各種樹脂フィルムや、シリンジ用ガスケット等の成形品、シリコーンチューブ等の基材表面に、ポリパラキシリレン被膜を積層したものが知られている（特許文献２）が、これはポリパラキシリレン被膜によって生体適合性を高めることのみが目的であり、更には、ポリパラキシリレン被膜の基材への密着が悪く、剥離し易いという問題があり、使用に耐え得る十分な密着性が得られにくい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１７−１０９３１２
【特許文献２】特表２００１−５２２６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、蒸着対象物の任意の形状と色彩を維持し、伸縮されたり折り曲げられたりしても電気絶縁性と防水・防湿性を維持できる、薄く均質な防水・防湿性層を有する、防水・防湿性積層体を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、種々研究の結果、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層が積層された積層体が、上記課題を解決し得ることを見出したものである。
【０００９】
そして、本発明は、以下の点を特徴とする。
１．電気絶縁性と防水・防湿性を付与する為のパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を、蒸着対象物上に有する、防水・防湿性積層体。
２．前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層が、前記防水・防湿性積層体の最表層である、上記１に記載の、防水・防湿性積層体。
３．前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の厚さが、１０ｎｍ以上、５μｍ以下である、上記１または２に記載の、防水・防湿性積層体。
４．前記防水・防湿層の各部分の厚さが、厚み平均値±１５％以内である、
上記１〜４の何れかに記載の、防水・防湿記録通信モジュール。
５．前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の水蒸気透過率度が、１０ｇ／ｍ２／日／ａｔｍ以下である、上記１〜３の何れかに記載の、防水・防湿性積層体。
６．前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を両表面に有する樹脂フィルムのＪＩＳ吸水率が、２４時間処理後で、０．１質量％以下である、上記１〜５の何れかに記載の、防水・防湿性積層体。
【００１０】
７．前記パラキシリレン系化合物が下記式で表される化合物を含む、上記１〜６の何れかに記載の、防水・防湿性積層体。
【化１】
2019137888.tif 000003
（式中、Ｒは水素原子またはフッ素原子であり、Ｘはハロゲン原子であり、ｎは平均値が０〜４の数である。）
【００１１】
８．前記パラキシリレン系化合物が下記式で表される化合物を含む、上記１〜６の何れかに記載の、防水・防湿性積層体。
【化２】
2019137888.tif 000004
【００１２】
９．前記パラキシリレン系化合物が下記式で表される化合物を含む、上記１〜６の何れかに記載の、防水・防湿性積層体。
【化３】
2019137888.tif 000005
【００１３】
１０．前記蒸着対象物の表面が、下記の工程Ａと工程Ｂからなる群から選ばれる、１種または２種以上を含む方法によって表面処理されている、
上記１〜９の何れかに記載の、防水・防湿性積層体。
工程Ａ）前記蒸着対象物の表面を、リアクティブイオンエッチング方式プラズマ処理、ダイレクトプラズマ方式プラズマ処理、コロナ処理から選ばれる１種または２種以上で、処理する工程。
工程Ｂ）前記蒸着対象物の表面を、炭素−炭素２重結合含有基とシラノール基とを有するシラン化合物で処理する工程。
１１．前記蒸着対象物の表面が、イソプレン系エラストマー、スチレン系エラストマー、エチレンプロピレン系エラストマー、ブチル系エラストマー、ニトリル系エラストマー、クロロプレン系エラストマー、アクリル系エラストマー、ウレタン系エラストマー、からなる群から選択される１種または２種以上を含有し、
下記の工程ＡとＢとを含む方法によって表面処理されている、
上記１〜９の何れかに記載の、防水・防湿性積層体。
工程Ａ）前記蒸着対象物の表面を、リアクティブイオンエッチング方式又はダイレクトプラズマ方式で、アルゴン／酸素混合ガスの存在下で、１〜１００Ｐａの圧力下で、プラズマ出力１０〜５００Ｗで、処理時間５〜５００秒間プラズマ処理する工程。
工程Ｂ）前記蒸着対象物の表面を、炭素−炭素２重結合含有基とシラノール基とを有するシラン化合物で処理する工程。
１２．前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層が、蒸着対象物の上に、
下記の工程１〜３を含む方法によって積層されたものである、上記１〜１１の何れかに記載の、防水・防湿性積層体。
工程１）前記パラキシリレン系化合物を気化室内に導入し、１００〜１６０℃で気化する工程、
工程２）気化した前記パラキシリレン系化合物を、熱分解室内で、６００〜６９０℃でラジカル化する工程、
工程３）２０〜３５℃で５〜１５μｂａｒに減圧された蒸着室内に、ラジカル化した前記パラキシリレン系化合物を２０〜４０μｂａｒで導入し、前記蒸着室内に別途導入された前記蒸着対象物の表面に、該表面の温度を２０〜９０℃に保ちながら、前記パラキシリレン系化合物を蒸着させると共に重合させて、前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を積層する工程。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、略無色透明の、防水・防湿性を付与する層が、蒸着によって、細部にまで、非常に薄く、均一に形成されて積層されることにより、蒸着対象物の任意の形状と色彩を略維持したまま、電気絶縁性と防水・防湿性積層体を得られ、更には、防水・防湿性積層体が伸縮や折り曲げによって変形されても、剥離や亀裂を生じること無く、電気絶縁性と防水・防湿性を維持できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明におけるパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の１例を示す断面図。
【図２】本発明におけるパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の別態様の１例を示す断面図。
【図３】本発明におけるパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の別態様の１例を示す断面図。
【図４】従来の液体樹脂の塗布による防湿・防水層を示す断面図。
【図５】図２における微細凹凸模様層の斜視図。
【図６】微細凹凸模様の１例を示す拡大断面図。
【図７】別態様の微細凹凸模様の１例を示す拡大断面図。
【図８】微細凹凸模様の別態様の１例を示す斜視図。
【００１６】
各図においては、解り易くする為に、部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見易さの為に説明上不要な部分や繰り返しとなる符号は省略することがある。
【００１７】
更に、各図において、凹凸部は明確な角を有するパターンとして例示されているが、角が丸まった形状でもよい。
【００１８】
図１において、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層は、蒸着対象物全体を覆って積層され、凸部に対しても、該凸部の表面形状に沿って積層されている。
【００１９】
ここで、凸部は、例えば、凹凸を有する表面の凸部であったり、基材上に形成された文字や絵柄のインクであったり、基材上に接着された部品であったりする。
【００２０】
図２において、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層は、蒸着対象物の片面を、微細凹凸模様層の表面に沿って積層され、表面の微細凹凸構造が維持されている。
【００２１】
図３において、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層は、回路基板と実装された半導体装置の表面部全体を覆って積層され、半導体装置と回路基板の隙間部分にも、該隙間を維持するように、半導体装置と回路基板の表面部分に沿って積層されている。
【００２２】
図４において、従来の液状樹脂によって形成された防水・防湿層は、非常に厚く、厚みが不均一であり、半導体装置と回路基板の表面形状が維持されておらず、未積層部分があり、半導体装置と回路基板の隙間部分は、該隙間を埋めるように充填され、未積層部分も存在しており、該隙間の形状は維持されていない。
【００２３】
図５は、図２における微細凹凸模様層を斜めから図であり、回折光沢を呈するパターンの１例であり、底面が二等辺三角形の三角柱が横倒しになって配列されている。
【００２４】
図６は、微細凹凸模様の形状を規定するための、Ｐ（ピッチ）、Ｄ（深さ）、θ（頂点角度）を説明している。
【００２５】
図７は、微細凹凸模様がマット質感を与えるパターンの１例において、形状を規定するための、Ｐ（ピッチ）、Ｄ（深さ）を説明している。
【００２６】
図８は、微細凹凸模様がマット質感を与えるパターンの１例において、該微細凹凸模様上から見た図であり、形状を規定するための、Ｗ（凸部幅）、凸部、凹部を説明している。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。また、本発明は、以降の列記された諸々の具体例や図に限定されるものでは無い。
【００２８】
本発明は、電気絶縁性と防水・防湿性を付与する為のパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を有する、防水・防湿性積層体である。
【００２９】
すなわち、電気絶縁性と防水・防湿性を付与する為のパラキシリレン系化合物の重合体からなる層が、蒸着対象物上に、蒸着によって積層された構造を有する、防水・防湿性積層体である。
【００３０】
＜蒸着対象物＞
蒸着対象物は、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の積層処理に耐え得るものならば特に制限は無く、例えば、樹脂、皮革、紙、布、繊維、金属、金属酸化物、木材、等の様々な素材を含むことが出来る。更には、蒸着対象物は、内部または表面部に、電子部品や回路部品等を備えることも可能であり、電気接点等を設けた入力装置であることも可能である。
【００３１】
尚、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を積層したくない部分に対しては、マスクをして、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層が積層されないようにすることができる。例えば、電子モジュールの、外部との電気的導通接続が必要な未接続端子部等が挙げられる。
【００３２】
例えば、蒸着対象物としては、樹脂成型品、樹脂被覆ケーブル、回路基板上に電子・電気部品が実装された電子モジュール等が挙げられる。
【００３３】
蒸着対象物に樹脂組成物が用いられている場合、該樹脂組成物は、用途に応じて、様々な樹脂原料やエラストマー原料を含有し、更には、有機充填剤、無機充填剤、ラジカル重合開始剤、加硫剤、加硫活性剤、離型剤、老化防止、その他各種添加剤を含むことも出来る。
【００３４】
［形状］
本発明において、蒸着対象物の形状に、特に制限は無く、板状であってもブロック状であってもよく、表面に大きな凹凸や微細な凹凸を有していてもよい。また、狭い開放された隙間を有していてもよい。
【００３５】
［色彩模様］
本発明におけるパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層は略無色透明である為、蒸着対象物の色彩模様を維持できる。更には、微細な凹凸模様によるプリズム効果を用いた回折光沢による虹色も維持できる。
【００３６】
［柔軟・変形性］
本発明におけるパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層は、厚みが薄く伸縮性に優れ、更には剥離や亀裂を生じ難い為に、蒸着対象物が柔軟で変形され得るものであってもよい。
【００３７】
［樹脂］
蒸着対象物に含まれる樹脂は、特に限定されるものでは無く、各種の、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂及びその硬化物、エラストマー等が挙げられ、これらの１種または２種以上を含有することもできる。
【００３８】
熱可塑性樹脂に特に制限は無く、一般的な熱可塑性樹脂を含むことができる。具体的には、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、塩化ビニル系樹脂等が挙げられる。
【００３９】
ポリエチレン系樹脂とは、主にエチレンを重合原料として用いた樹脂であり、他の重合原料を併用した共重合体も含まれる。具体的には、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、中密度ポリエチレン（ＭＤＰＥ）、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、直鎖状（線状）低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸メチル共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エチル共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−プロピレン共重合体等及びこれらの樹脂の混合物が挙げられるが、これらには限定されない。
【００４０】
ポリプロピレン系樹脂とは、主にプロピレンを重合原料として用いた樹脂であり、他の重合原料を併用した共重合体も含まれる。具体的には、プロピレンホモポリマー、プロピレン−エチレン共重合体、プロピレン−ブテン−１共重合体、プロピレン−エチレン−ブテン−１共重合体及びこれらの樹脂の混合物等が挙げられるが、これらには限定されない。
【００４１】
塩化ビニル系樹脂とは、主に塩化ビニル（クロロエチレン）を重合原料として用いた樹脂であり、更に他の重合原料を併用した共重合体も含まれる。
【００４２】
熱硬化性樹脂に特に制限は無く、一般的な熱硬化性樹脂を含むことができる。具体的には、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、（メタ）アクリル樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、ポリウレタン、熱硬化性ポリイミド等が挙げられる。
【００４３】
熱硬化性樹脂を含む場合には、該熱硬化性樹脂が未硬化状態であっても、Ｂステージ状態であっても、硬化物であってもよい。
【００４４】
エラストマーに特に制限は無く、一般的な熱硬化性樹脂を含むことができる。具体的には、アクリル系エラストマー、イソプレン系エラストマー、天然エラストマー、ウレタン系エラストマー、エチレンプロピレン系エラストマー、クロロプレン系エラストマー、シリコーン系エラストマー、スチレン系エラストマー、ニトリル系エラストマー、ブチル系エラストマー、フッ素系エラストマー等が挙げられる。
【００４５】
ここで、エラストマーとは、樹脂の中でもゴムとしての挙動を示すものであり、例えば、高弾性限界、低弾性率を示すものであって、３次元架橋したゴムと、非３次元架橋の熱可塑性エラストマーを包含するものである。
【００４６】
各樹脂とエラストマーには、共重合体、水素添加品、加硫品も含まれる。
【００４７】
アクリル系エラストマーとは、主に（メタ）アクリル酸エステルを重合原料として用いたエラストマーであり、他の重合原料を併用した共重合体も含まれる。具体的には、（メタ）アクリル酸エステルと２−クロロエチルビニルエーテルとの共重合体（ＡＣＭ）、（メタ）アクリル酸エステルとアクリロニトリルとの共重合体（ＡＮＭ）等が挙げられるが、これらには限定されない。
【００４８】
イソプレン系エラストマー（ＩＲ）とは、主にイソプレンを重合原料として用いたエラストマーであり、他の重合原料を併用した共重合体も含まれる。合成エラストマーと天然エラストマーがある。
【００４９】
天然エラストマーとは、イソプレン系エラストマーの一種であるが、ゴムノキの樹液に含まれるｃｉｓ−ポリイソプレンを主成分原料とするエラストマーである。
【００５０】
ウレタン系エラストマーとは、ウレタン結合（−ＮＨＣＯＯ−）を主骨格に有するエラストマーである。
【００５１】
エチレンプロピレン系エラストマー（ＥＰＭ）とは、エチレンとプロピレンの共重合によって得られるエラストマーである。少量のジエンモノマーを共重合したＥＰＤＭ（またはＥＰＴ）も含まれる。
【００５２】
クロロプレン系エラストマーとは、主にクロロプレンを重合原料として用いたエラストマーであり、他の重合原料を併用した共重合体も含まれる。
【００５３】
シリコーン系エラストマーとは、シリコーン系樹脂とは、シロキサン結合を主骨格に有し、ケイ素原子上に有機基や官能基を多数備えているエラストマーである。
【００５４】
スチレン系エラストマーとは、スチレンと他の重合原料を併用したブロック共重合体のエラストマー及びそれらの水素添加品であり、一般的には、ＳＢＣ（Ｓｔｙｒｅｎｉｃ  Ｂｌｏｃｋ  Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ）と呼ばれるエラストマーである。
【００５５】
ニトリル系エラストマーとは、アクリロニトリルと１，３−ブタジエンとの共重合体であり、更に他の重合原料を併用した共重合体も含まれる。
ニトリル系エラストマーとは、アクリロニトリルと１，３−ブタジエンとの共重合体であり、更に他の重合原料を併用した共重合体も含まれる。
【００５６】
ブチル系エラストマーとは、主にイソブチレンを重合原料として用いたエラストマーであり、他の重合原料を併用した共重合体も含まれる。具体的には、少量のイソプレンとの共重合体や、イソプレンとの共重合体に加硫したものが挙げられるが、これらに限定されない。
【００５７】
＜パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層＞
本発明において、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層は、蒸着対象物に電気絶縁性と防水・防湿性を付与する層である。
【００５８】
従って、本発明の防水・防湿性積層体は、防水性と防湿性の両方において優れた性能を発揮し、更には電気絶縁性を有する。
【００５９】
蒸着対象物が、剥き出しの半導体装置や電気・電子部品のリードや配線部分等の、電気的ショートを生じる可能性のある部分を表面に有している場合には、該該防水・防湿層によって、導電体である水が付着した場合、水中に浸漬した場合であっても、電気的ショートを防止することが可能である。更には、埃等によるトラッキング現象を防止することも可能である。
【００６０】
また、蒸着対象物内部への水の浸透を防止することも出来る為、蒸着対象物内部の配線間のショートを防止することが可能であり、更には、  蒸着対象物及び内蔵部品の劣化や腐食をも防止することが可能であり、本発明の防水・防湿性積層体は長い可使用寿命を発揮することが出来る。
【００６１】
本発明における蒸着対象物が、外部との電気的接続機能を必要とする端子等を表面に備えている場合には、該重合体蒸着層は、該端子等を避けて形成されていることが好ましい。これは、該重合体蒸着層が電気絶縁性を有しており、外部との電気的接続端子表面にまで該防水・防湿層が形成されてしまうと、該防水・防湿層が電気的な導通接続を阻害してしまうからである。該形成を避ける方法としては、蒸着時のマスキング等が挙げられる。
【００６２】
該重合体蒸着層の厚みは、好ましくは１０ｎｍ以上、５μｍ以下であり、より好ましくは２０ｎｍ以上、２μｍ以下であり、更に好ましくは、５０ｎｍ以上、５００ｎｍ以下である。
【００６３】
該重合体蒸着層は、厚みが上記範囲であることによって蒸着対象物に強固に接着することができ、且つ、十分な防水・防湿性を発揮することが出来る。
【００６４】
上記範囲よりもよりも薄いと防水・防湿効果が発揮され難く、上記範囲よりも厚いと該重合体蒸着層自体が硬くなるため扱い難く、また該重合体蒸着層形成に長時間を要する為に生産コストも増大する。
【００６５】
また、本発明における防水・防湿層の厚みは均一であり、各部分の厚みは、厚み平均値±１５％以内であることが好ましく、厚み平均値±１０％以内であることがより好ましく、厚み平均値±５％以内であることが更に好ましい。上記範囲よりも小さいと、蒸着膜形成のコントロールが困難であり、上記範囲よりも大きいと、微細な隙間への蒸着膜形成が困難になり易い。
【００６６】
本発明における該重合体蒸着層は、伸縮性に優れており、蒸着対象物が伸縮や折り曲げによって変形された場合であっても、伸縮や折り曲げに追随して、剥離や亀裂を生じること無く変形することが可能であり、防水・防湿性を維持できる。
【００６７】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の水蒸気透過率度は、１０ｇ／ｍ２／日／ａｔｍ以下であることが好ましく、０．０１ｇ／ｍ２／日／ａｔｍ以上、１０ｇ／ｍ２／日／ａｔｍ以下であることがより好ましい。上記範囲よりも大きいと防湿性が不十分になり易い。また、０．０１ｇ／ｍ２／日／ａｔｍよりも小さい性能を得ることは蒸着膜形成の調節が煩雑になり易く、生産性に劣ることになり易い。
【００６８】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を両表面に有する樹脂フィルムのＪＩＳ吸水率が、２４時間処理後で、０．１質量％以下であることが好ましく、０．００１質量％以上、０．１質量％以下であることよりが好ましい。上記範囲よりも大きいと防水性が不十分になり易い。また、０．００１質量％よりも小さい性能を得ることは蒸着膜形成の調節が煩雑になり易く、生産性に劣ることになり易い。
【００６９】
［パラキシリレン系化合物］
本発明において用いられるパラキシリレン系化合物は、好ましくは、下記式（１）、（２）、（３）で示されるパラキシリレン系化合物である。これらのパラキシリレン系化合物は、１種又は２種以上の混合物を用いることができる。
【００７０】
これらパラキシリレン系化合物の市販品としては、非置換パラキシリレンダイマー（ＳＣＳ（株）製、パリレンＮ）、モノクロロパラキシリレンダイマー（ＳＣＳ（株）製、パリレンＣ）、ジクロロパラキシリレンダイマー（ＳＣＳ（株）製、パリレンＤ）、テトラフルオロパラキシリレンダイマー（ＳＣＳ（株）製、パリレンＦＶＴ４）、α，α，α’，α’−テトラフルオロパラキシリレンダイマー（ＳＣＳ（株）製、パリレンＡＦ４）等が挙げられる。
【００７１】
これらパラキシリレン系化合物は、重合して、パリレンと呼ばれるパラキシリレン系ポリマーを生成する。
【化４】
2019137888.tif 000006
（式中、Ｒは水素原子またはフッ素原子であり、Ｘはハロゲン原子であり、ｎは平均値が０〜４の数である。）
【化５】
2019137888.tif 000007
【化６】
2019137888.tif 000008
【００７２】
＜パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の積層＞
［蒸着対象物表面の前処理］
本発明において、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を積層する対象物の表面は、予め、溶剤で洗浄しておくことが好ましい。洗浄によって、汚れや付着物を除去することによって、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の接着性を向上させることができる。
【００７３】
洗浄に用いる溶剤としては、対象物を溶解、膨潤、劣化させない、汎用的なものを選ぶことができる。具体的な溶剤としては、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、酢酸エチル、トルエン、アセトン、ＭＥＫ（メチルエチルケトン）等が挙げられ、これらの１種または２種以上含む溶剤で洗浄することができるが、これらに限定されない。
【００７４】
また、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を積層する際には、蒸着対象物の表面を、下記の工程Ａ、または工程Ｂを含む方法、或いは、工程Ａと工程Ｂとを含む方法によって表面処理することができる。
【００７５】
工程Ａにおいては、表面処理されることによって、表面の添加剤や汚染が除去されたり、極性が付与されたり、適切な表面粗さが得られ、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層との接着性を向上させることができる。
【００７６】
工程Ｂにおいては、蒸着対象物の表面の、元々存在するＯＨ基、またはプラズマ処理によって生成したＯＨ基と、シラン化合物のＯＨとが脱水縮合して、蒸着対象物とシラン化合物は結合し、更に、シラン化合物の炭素−炭素２重結合とパラキシリレン系化合物のラジカルとが反応して、シラン化合物と重合体蒸着層が結合して、結果、重合体蒸着層は強固な接着性を得ることができる。
工程Ａ）前記蒸着対象物の表面を、リアクティブイオンエッチング方式プラズマ処理、ダイレクトプラズマ方式プラズマ処理、コロナ処理から選ばれる１種または２種以上で、処理する工程。
工程Ｂ）前記蒸着対象物の表面を、炭素−炭素２重結合含有基とシラノール基とを有するシラン化合物で処理する工程。
【００７７】
工程Ａにおいて、プラズマ処理を行う場合には、アルゴン／酸素混合ガスの存在下で、１〜１００Ｐａの圧力下で、プラズマ出力１０〜５００Ｗで、処理時間５〜５００秒間のプラズマ処理条件が好ましい。
【００７８】
気圧が１Ｐａよりも低いと、蒸着対象物が劣化し易く、１００Ｐａより高いと、蒸着層の密着性向上効果が得られ難いため好ましくない。また、プラズマ出力が１０Ｗ未満であると、蒸着層の密着性向上効果が得られ難く、５００Ｗより大きいと、蒸着対象物が劣化し易いため好ましくない。さらに、処理時間が５秒未満であると、蒸着層の密着性向上効果が得られ難く、５００秒より長いと、蒸着対象物が劣化し易いため好ましくない。
【００７９】
工程Ａにおいて、コロナ処理を行い場合には、大気中で、電極距離は３〜６ｍｍ、電圧は１〜２０ｋＶ、処理時間は１〜６０秒が好ましい。電圧と処理時間が上記よりも小さいと処理効果が発揮され難く、上記範囲よりも大きいと蒸着対象物が劣化し易い。
【００８０】
工程Ｂに用いられるシラン化合物の具体例としては、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、ビニルメチルジメトキシシラン等の加水分解物が挙げられる。加水分解によって、メトキシ基やエトキシ基がシラノール基に変化する。
【００８１】
また、上記の、洗浄工程、工程Ａ、工程Ｂ、更にはパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を積層する工程の、各工程間において、蒸着対象物を外気に触れさせずに、装置内で連続的に処理した場合は、蒸着対象物の再汚染を防止出来る為、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層は更に強固な接着性を得ることができる。
【００８２】
蒸着対象物の素材によって、上記の工程Ａまたは工程Ｂによる前処理効果は異なる。
【００８３】
例えば、蒸着対象物の表面が、イソプレン系エラストマー、スチレン系エラストマー、エチレンプロピレン系エラストマー、ブチル系エラストマー、ニトリル系エラストマー、クロロプレン系エラストマー、アクリル系エラストマー、ウレタン系エラストマー等を含有している場合には、上記の工程Ａまたは工程Ｂによる前処理効果は大きい。
【００８４】
［パラキシリレン系化合物の重合体の蒸着］
パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層は、例えば、下記の工程１〜３を含む方法によって積層して形成することができる。
工程１）前記パラキシリレン系化合物を気化室内に導入し、１００〜１６０℃で気化する工程。
工程２）気化した前記パラキシリレン系化合物を、熱分解室内で、６００〜６９０℃でラジカル化する工程。
工程３）５〜１５μｂａｒに減圧された蒸着室内に、ラジカル化した前記パラキシリレン系化合物を１０〜４００μｂａｒで導入し、前記蒸着室内に別途導入された蒸着対象物の表面に、前記パラキシリレン系化合物を蒸着させると共に重合させて、前記重合体蒸着層を形成する工程。
【００８５】
パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層は、先ず、パラキシリレン系化合物を気化し、次いでラジカル化して、蒸着対象物に接触させることによって、形成される。
【００８６】
工程１において、気化室、蒸着室の容積に応じた適切な量のパラキシリレン系化合物が気化される。パラキシリレン系化合物の量が少な過ぎると、蒸着室内の気圧が低く、ラジカルモノマーの密度が小さくなり、蒸着層の形成速度が遅くなるため好ましくない。
【００８７】
パラキシリレン系化合物の量が多過ぎると、ラジカルモノマーの密度が高くなりすぎて、蒸着対象物表面に到達する前にポリマー化が進行し易く、形成される蒸着層の膜質が低下し、蒸着対象物と蒸着層との密着性が低下するため好ましくない。
【００８８】
パラキシリレン系化合物を気化室内で気化する際の温度は、１００〜１６０℃が好ましい。１００℃よりも低温の場合には気化が不十分になり易い。１６０℃よりも高温の場合には、気化したパラキシリレン系化合物が化学的不安定になり易く、炭化し易い。
【００８９】
工程２において、気化したパラキシリレン系化合物を熱分解室内でラジカル化する際の温度は、６００〜６９０℃が好ましい。６００℃よりも低温の場合には、ラジカル化が不十分になり易い。６９０℃よりも高温の場合には、気化したパラキシリレン系化合物が炭化し易く、ラジカル化したパラキシリレン系化合物が化学的不安定になり易い。
【００９０】
工程３において、ラジカル化したパラキシリレン系化合物を導入する前の蒸着室内は、良質で高密着な蒸着層を得るためには、気圧が５〜１５μｂａｒの範囲に保たれていることが好ましい。
【００９１】
気圧が５μｂａｒよりも低い場合には、ラジカルモノマーの密度が小さくなることで、蒸着層形成速度が遅くなり、生産効率が低下する。１５μｂａｒよりも高い場合には、ラジカルモノマーの密度が高くなりすぎて、蒸着対象物表面に到達する前にポリマー化が進行し易く、形成される蒸着層の膜質が低下し、蒸着対象物と蒸着層との密着性が低下するため、好ましくない。
【００９２】
蒸着室内に導入される際のラジカル化した前記パラキシリレン系化合物の気圧は１０〜４００μｂａｒが好ましい。１０μｂａｒよりも低い場合には、ラジカルモノマーの密度が小さくなり、蒸着層の形成速度が遅くなり、生産効率が低下する。気圧が４００μｂａｒよりも高い場合には、ラジカルモノマーの密度が高くなりすぎて、蒸着対象物表面に到達する前にポリマー化が進行し易く、形成される蒸着層の膜質が低下し、蒸着対象物と蒸着層との密着性が低下するため好ましくない。
【００９３】
ここで、上記の工程１〜３は、バッチ処理することが可能である。
【実施例】
【００９４】
実施例で用いられた各原材料は下記の通りである。
パラキシリレン系化合物１：ＳＣＳ（株）社製パリレンＣ。モノクロロパラキシリレンダイマー。粉末状。
パラキシリレン系化合物２：ＳＣＳ（株）社製パリレンＮ。非置換パラキシリレンダイマー。粉末状。
ナイロンフィルムＡ：（東洋紡（株）社製二軸延伸ナイロンフィルム、ハーデンフィルムＮ１１００。厚さ１２μｍ。
防湿コーティング用シリコーン樹脂Ａ：信越化学工業（株）社製ＫＲ−２５１。
【００９５】
［実施例１］
３枚の１２μｍ厚のナイロンフィルムＡをＩＰＡで洗浄、乾燥し、表面の汚れ等を除去した。
【００９６】
次いで、２枚のナイロンフィルムＡを、真空状態の蒸着室（高さ：２６０ｍｍ、φ：２５０ｍｍ、蒸着室内の圧力５０μｂａｒ）内に置いて固定した。
【００９７】
２ｇのパラキシリレン系化合物１を気化室に導入し、１６０℃にて加熱し、気化させ、次いで、気化したパラキシリレン系化合物１を熱分解室に導入し、６６０℃で加熱し、ラジカル化させた。
【００９８】
さらに、上記ラジカルを、４０μｂａｒで蒸着室内に導入して、蒸着室内のナイロンフィルムＡに衝突させ、重合し、堆積させて、厚さ１μｍの重合体蒸着層を積層して、取り出した。
【００９９】
１枚の蒸着後のナイロンフィルムＡを用いて、１０ヶ所の重合体蒸着層厚さを測定して平均値と最小値と最大値を算定し、そして、水蒸気透過度を測定した。
【０１００】
もう１枚の蒸着後のナイロンフィルムＡを、一旦手でクシャクシャに丸めて展開することを１０回繰り返してから、蒸着膜の剥離異常の有無を観察し、水蒸気透過度を測定した。結果を表１に示した。
【０１０１】
［実施例２］
パラキシリレン系化合物を、パラキシリレン系化合物２に変えた以外は、実施例１と同様に操作して、同様に評価した。結果を表１に示した。
【０１０２】
【表１】
2019137888.tif 000009
【０１０３】
［実施例３］
一般の白いコピー用紙２枚に、パソコンとプリンターを用いて、赤、橙、黄、緑、青、藍、紫、黒の８色の水性インクにて、アルファベットａ〜ｚをコピー用紙一面に印刷した。
【０１０４】
１枚の印刷済みコピー用紙を、真空状態の蒸着室（高さ：２６０ｍｍ、φ：２５０ｍｍ、蒸着室内の圧力５０μｂａｒ）内に置いて固定した。
【０１０５】
２ｇのパラキシリレン系化合物１を気化室に導入し、１６０℃にて加熱し、気化させ、次いで、気化したパラキシリレン系化合物１を熱分解室に導入し、６６０℃で加熱し、ラジカル化させた。
【０１０６】
さらに、上記ラジカルを、４０μｂａｒで蒸着室内に導入して、蒸着室内の印刷済みコピー用紙に衝突させ、重合し、堆積させて、厚さ１μｍの重合体蒸着層を積層して、取り出した。
【０１０７】
印刷されていた文字色、文字の滲み、非印刷部の白色について、重合体蒸着層未積層品と比較して、変化有無を観察した。
【０１０８】
次いで、重合体蒸着層積層品と重合体蒸着層未積層品の両方を水に浸して、紙への水の浸透有無、文字滲みを観察した。結果を表２に示した。
【０１０９】
［実施例４］
パラキシリレン系化合物を、パラキシリレン系化合物２に変えた以外は、実施例３と同様に操作して、同様に評価した。結果を表２に示した。
【０１１０】
【表２】
2019137888.tif 000010
【０１１１】
［実施例５］
ナイロンフィルムＡ上に厚さ４０μｍのＬＤＰＥが積層され、該ＬＤＰＥ層の表面には、図４のように、断面が二等辺三角形になるような横倒しの三角柱が配列された、光学的な回折光沢によって虹色を呈する意匠シートＡを２枚用意した。
【０１１２】
更に、ナイロンフィルムＡ上に厚さ４０μｍのＬＤＰＥが積層され、該ＬＤＰＥ層の表面には、図７、図８のような、マット質感を呈する模様が形成された意匠シートＢを２枚用意した。
【０１１３】
意匠シートＡ，Ｂ１枚ずつを、真空状態の蒸着室（高さ：２６０ｍｍ、φ：２５０ｍｍ、蒸着室内の圧力５０μｂａｒ）内に置いて固定した。
【０１１４】
２ｇのパラキシリレン系化合物１を気化室に導入し、１６０℃にて加熱し、気化させ、次いで、気化したパラキシリレン系化合物１を熱分解室に導入し、６６０℃で加熱し、ラジカル化させた。
【０１１５】
さらに、上記ラジカルを、４０μｂａｒで蒸着室内に導入して、蒸着室内の意匠シートに衝突させ、重合し、堆積させて、厚さ１μｍの重合体蒸着層を積層して、取り出した。
【０１１６】
意匠シートＡについては、回折光沢の虹強さと回折光沢の視野の広さについて、重合体蒸着層未積層の意匠シートと、重合体蒸着層積層済みの意匠シートとを比較した。
【０１１７】
意匠シートＢについては、マット質感について、重合体蒸着層未積層の意匠シートと、重合体蒸着層積層済みの意匠シートとを比較した。
【０１１８】
結果を表３に示した。
【０１１９】
［実施例６］
パラキシリレン系化合物を、パラキシリレン系化合物２に変えた以外は、実施例５と同様に操作して、同様に評価した。結果を表３に示した。
【０１２０】
【表３】
2019137888.tif 000011
【０１２１】
［実施例７］
図２に示されたような、基板上に半導体装置を実装した電子モジュールを準備した。
【０１２２】
２ｇのパラキシリレン系化合物１を気化室に導入し、１６０℃にて加熱し、気化させ、次いで、気化したパラキシリレン系化合物１を熱分解室に導入し、６６０℃で加熱し、ラジカル化させた。
【０１２３】
さらに、上記ラジカルを、４０μｂａｒで蒸着室内に導入して、蒸着室内の電子モジュールに衝突させ、重合し、堆積させて、厚さ１μｍの重合体蒸着層を積層して、取り出した。
【０１２４】
得られた電子モジュールの半導体装置を外して、基板と半導体装置の表面部の重合体蒸着層が積層されていない部分の有無や、空隙が重合体蒸着層で埋まってしまった部分の有無を観察した。結果を表４に示した。
【０１２５】
［実施例８］
パラキシリレン系化合物を、パラキシリレン系化合物２に変えた以外は、実施例７と同様に操作して、同様に評価した。結果を表４に示した。
【０１２６】
［比較例１］
実施例７と同じ電子モジュールを、防湿コーティング用シリコーン樹脂Ａに浸漬し、加熱硬化した。
【０１２７】
得られた電子モジュールの半導体装置を外して、基板と半導体装置の表面部の、未積層部の有無や、空隙が防湿コーティング用シリコーン樹脂で埋まってしまった部分の有無を観察した。結果を表４に示した。
【０１２８】
【表４】
2019137888.tif 000012
【０１２９】
［結果まとめ］
本発明に係る防水・防湿層は、実施例１，２において、均一な厚みと良好な防湿性を示し、実施例３，４において、良好な無色透明性、絵柄視認性と防水性を示し、実施例５，６において、良好な回折光沢やマット質感の維持を示し、実施例７，８において、均一な蒸着を示し、未積層部分や、埋まってしまった空隙部分は見られなかった。
【０１３０】
一方、従来の防湿コーティング剤を用いた比較例１は、防湿層が厚く、未積層部分があり、埋まってしまった空隙部分もあった。
【０１３１】
＜評価方法＞
［重合体蒸着層厚さ測定］
浜松ホトニクス社製の膜厚測定器Ｏｐｔｉｃａｌ  ＮａｎｏＧａｕｇｅ膜厚計Ｃ１０１７８−０２を用いて、得られた重合体蒸着層の厚みを測定した。
【０１３２】
［視認性］
（文字）
印刷された文字を目視し、滲みや色調に異常が無ければ良好とした。
【０１３３】
（マット質感）
照度４００ルクス（明るいオフィス相当）の試験環境下で、意匠シートから切り出した１００ｍｍ角のサンプルを机の上に置き、被験者１０名(２０代から６０代まで)が５００ｍｍ上方位置から目視して、広くマット質感を感じる人数をカウントすることによって判定した。
【０１３４】
微細柄凹凸模様の線状凸部が延びる方向を縦方向として、縦方向と横方向の両方において、３名以上が広く均質なマット質感を感じた場合に良好とした。
【０１３５】
（回折光沢の虹強さ）
回折光沢の虹強さの評価は、変角分光測定により行った。変角分光測定器（Ｓ−ＯＧＭ、デジタルファッション株式会社）を用い、回折光沢シートの回折構造層に対して、入射角度０度（回折光沢シートの法線方向）から白色（キセノン光源）を照射し、出射角度ごとのＸＹＺ表色系を求めた。明度に対応するＹの値を、白色（キセノン光源）のＹ値で規格化したゲインを求めた。正反射光を除いた規格化したゲインの最大値によって、虹の強さを決定した。
【０１３６】
線状凸部が延びる方向を縦方向として、縦方向と横方向の両方について評価した。
【０１３７】
ゲインが０．２以上の場合を良好とした。
【０１３８】
（回折光沢の視野広さ）
回折光沢の視野広さについて、以下の手順で目視検査を行い、判定した。
【０１３９】
意匠シートから１００ｍｍ角のサンプルを切り出して机の上に置き、５００ｍｍ上方位置から虹の視野の広さを判定した。照度４００ルクス（明るいオフィス相当）の試験環境下で、被験者１０名(２０代から６０代まで)中の、視野が広いと感じる人数をカウントした。
【０１４０】
線状凸部が延びる方向を縦方向として、縦方向と横方向の両方について評価した。
【０１４１】
６名以上が視野が広いと感じた場合を良好とした。
【０１４２】
［水蒸気透過度］
各積層体または包装材料をＡ４サイズに裁断し、米国ＭＯＣＯＮ社製ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ３／３１を使用し、４０℃、９０％ＲＨの条件下での水蒸気透過度（ｇ／ｍ２／ｄａｙ／ａｔｍ）を測定した。
【産業上の利用可能性】
【０１４３】
本発明によれば、蒸着対象物の任意の形状と色彩を略維持したままの防水・防湿性積層体を得られ、伸縮や折り曲げによって変形されても、防水・防湿性を維持し得ることから、各種有形物への適用が可能である。
【符号の説明】
【０１４４】
１  パラキシリレン系化合物の重合体蒸着膜からなる防水・防湿層を有する積層体
２  蒸着対象物
３  パラキシリレン系化合物の重合体蒸着膜からなる防水・防湿層
４  微細凹凸模様層
５  基材層
１０  パラキシリレン系化合物の重合体蒸着膜からなる防水・防湿層を有する電子モジュール
１１  モジュール回路基板
１２  半導体装置
２０  従来の防湿コーティング用樹脂層を有する電子モジュール
２１ａ  従来の樹脂塗布または樹脂への浸漬による防水・防湿層
２１ｂ  防水・防湿未積層部
２１ｃ  埋まってしまった空隙部分
Ｐ  凹凸模様のピッチ
Ｄ  凹凸模様の深さ
θ  凹凸模様の二等辺三角形頂点角度
Ｗ  凹凸模様の凸部幅
３１  凹凸模様の凹部分
３２  凹凸模様の凸部分
【図１】
2019137888.tif 000016
【図２】
2019137888.tif 000017
【図３】
2019137888.tif 000018
【図４】
2019137888.tif 000019
【図５】
2019137888.tif 000020
【図６】
2019137888.tif 000021
【図７】
2019137888.tif 000022
【図８】
2019137888.tif 000023
【手続補正書】
【提出日】平成30年2月16日(2018.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
そして、本発明は、以下の点を特徴とする。
１．電気絶縁性と防水・防湿性を付与する為のパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を、蒸着対象物上に有する、防水・防湿性積層体。
２．前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層が、前記防水・防湿性積層体の最表層である、上記１に記載の、防水・防湿性積層体。
３．前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の厚さが、１０ｎｍ以上、５μｍ以下である、上記１または２に記載の、防水・防湿性積層体。
４．前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の各部分の厚さが、厚み平均値±１５％以内である、
上記１〜３の何れかに記載の、防水・防湿性積層体。
５．前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の水蒸気透過率度が、１０ｇ／ｍ２／日／ａｔｍ以下である、上記１〜４の何れかに記載の、防水・防湿性積層体。
６．前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を両表面に有する樹脂フィルムのＪＩＳ吸水率が、２４時間処理後で、０．１質量％以下である、上記１〜５の何れかに記載の、防水・防湿性積層体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気絶縁性と防水・防湿性を付与する為のパラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を、蒸着対象物上に有する、防水・防湿性積層体。
【請求項２】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層が、前記防水・防湿性積層体の最表層である、請求項１に記載の、防水・防湿性積層体。
【請求項３】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の厚さが、１０ｎｍ以上、５μｍ以下である、請求項１または２に記載の、防水・防湿性積層体。
【請求項４】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の各部分の厚さが、厚み平均値±１５％以内である、
請求項１〜３の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
【請求項５】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層の水蒸気透過率度が、１０ｇ／ｍ２／日／ａｔｍ以下である、請求項１〜４の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
【請求項６】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を両表面に有する樹脂フィルムのＪＩＳ吸水率が、２４時間処理後で、０．１質量％以下である、請求項１〜５の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
【請求項７】
前記パラキシリレン系化合物が下記式で表される化合物を含む、請求項１〜６の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
【化１】
2019137888.tif 000024
（式中、Ｒは水素原子またはフッ素原子であり、Ｘはハロゲン原子であり、ｎは平均値が０〜４の数である。）
【請求項８】
前記パラキシリレン系化合物が下記式で表される化合物を含む、請求項１〜６の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
【化２】
2019137888.tif 000025
【請求項９】
前記パラキシリレン系化合物が下記式で表される化合物を含む、請求項１〜６の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
【化３】
2019137888.tif 000026
【請求項１０】
前記蒸着対象物の表面が、下記の工程Ａと工程Ｂからなる群から選ばれる、１種または２種以上を含む方法によって表面処理されている、
請求項１〜９の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
工程Ａ）前記蒸着対象物の表面を、リアクティブイオンエッチング方式プラズマ処理、ダイレクトプラズマ方式プラズマ処理、コロナ処理から選ばれる１種または２種以上で、処理する工程。
工程Ｂ）前記蒸着対象物の表面を、炭素−炭素２重結合含有基とシラノール基とを有するシラン化合物で処理する工程。
【請求項１１】
前記蒸着対象物の表面が、イソプレン系エラストマー、スチレン系エラストマー、エチレンプロピレン系エラストマー、ブチル系エラストマー、ニトリル系エラストマー、クロロプレン系エラストマー、アクリル系エラストマー、ウレタン系エラストマー、からなる群から選択される１種または２種以上を含有し、
下記の工程ＡとＢとを含む方法によって表面処理されている、
請求項１〜９の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
工程Ａ）前記蒸着対象物の表面を、リアクティブイオンエッチング方式又はダイレクトプラズマ方式で、アルゴン／酸素混合ガスの存在下で、１〜１００Ｐａの圧力下で、プラズマ出力１０〜５００Ｗで、処理時間５〜５００秒間プラズマ処理する工程。
工程Ｂ）前記蒸着対象物の表面を、炭素−炭素２重結合含有基とシラノール基とを有するシラン化合物で処理する工程。
【請求項１２】
前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層が、蒸着対象物の上に、
下記の工程１〜３を含む方法によって積層されたものである、請求項１〜１１の何れか１項に記載の、防水・防湿性積層体。
工程１）前記パラキシリレン系化合物を気化室内に導入し、１００〜１６０℃で気化する工程、
工程２）気化した前記パラキシリレン系化合物を、熱分解室内で、６００〜６９０℃でラジカル化する工程、
工程３）２０〜３５℃で５〜１５μｂａｒに減圧された蒸着室内に、ラジカル化した前記パラキシリレン系化合物を２０〜４０μｂａｒで導入し、前記蒸着室内に別途導入された前記蒸着対象物の表面に、該表面の温度を２０〜９０℃に保ちながら、前記パラキシリレン系化合物を蒸着させると共に重合させて、前記パラキシリレン系化合物の重合体蒸着層を積層する工程。