(57)【要約】【課題】ガスの流路が副生成物で塞がれるのを抑制しつつ、副生成物を捕獲することができるトラップ装置を提供するものである。【解決手段】使用済みの排ガスを取り入れる第１ガス入口３と、第１ガス入口３に接続され、取り入れた排ガスが流通する第１ガス流路にヒータを備えた配管２と、ヒータを備えた配管２内を流通してきた排ガスを冷却して、副生成物を捕獲するトラップ１と、ヒータを備えた配管２とトラップ１とを接続する接続部材８とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス入口とガス出口とを有する筐体と、
前記筐体内に設けられた、前記ガス入口を含むガス導入室と、
前記筐体内に設けられ、前記ガス出口と繋がるガス流路と、
前記ガス導入室と前記ガス流路とを仕切る仕切り壁と、
前記仕切り壁に設けられた通気口と、
を備えたことを特徴とするトラップ。
【請求項２】
前記ガス導入室において、前記ガス入口と前記通気口との間に捕獲部材が設置されたことを特徴とする請求項１に記載のトラップ。
【請求項３】
前記捕獲部材は、細長く、フレキシブルな棒状部材或いは板状部材が、複数、束ねられた捕獲体を有することを特徴とする請求項２に記載のトラップ。
【請求項４】
前記筐体は、外部から前記ガス入口に至るガス導入路を有し、前記ガス導入路は断熱材の筒状部材の内側に設けられたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか1項に記載のトラップ。
【請求項５】
排ガスが流通する第１ガス流路にヒータを備えた配管と、
前記ヒータを備えた配管から流出した前記排ガスが流通する配管と、
前記配管から流出した前記排ガスが流入するガス入口とガス出口とを有する筐体と、前記筐体内に設けられた、前記ガス入口を含むガス導入室と、前記筐体内に設けられ、前記ガス出口と繋がる第２ガス流路と、前記ガス導入室と前記第２ガス流路とを仕切る仕切り壁と、前記仕切り壁に設けられた通気口とを備えたトラップと、
を有することを特徴とするトラップシステム。
【請求項６】
使用済みの排ガスを取り入れる第１ガス入口と、
前記第１ガス入口に接続され、取り入れた前記排ガスが流通する第１ガス流路にヒータを備えた配管と、
前記ヒータを備えた配管内を流通してきた前記排ガスを冷却して、副生成物を捕獲するトラップと、
前記ヒータを備えた配管と前記トラップとを接続する接続部材と
を有することを特徴とするトラップ装置。
【請求項７】
前記トラップは、
第２ガス入口とガス出口とを有する筐体と、
前記筐体内に設けられた、前記第２ガス入口を含むガス導入室と、
前記筐体内に設けられ、前記ガス出口と繋がる第２ガス流路と、
前記ガス導入室と前記第２ガス流路とを仕切る仕切り壁と、
前記仕切り壁に設けられた第１通気口と、
を備えたことを特徴とする請求項６に記載のトラップ装置。
【請求項８】
前記ガス導入室において、前記第２ガス入口と前記第１通気口との間に捕獲部材が設置されたことを特徴とする請求項７に記載のトラップ装置。
【請求項９】
前記ガス導入室において、前記第２ガス入口を含む膨張部と、その下流で前記膨張部に接続され、前記排ガスをジグザグに導く第３ガス流路とが設置されたことを特徴とする請求項７に記載のトラップ装置。
【請求項１０】
前記筐体は、外部から前記第２ガス入口に至るガス導入路を有し、前記ガス導入路は断熱材の筒状部材の内側に設けられたことを特徴とする請求項８又は９に記載のトラップ装置。
【請求項１１】
前記接続部材は、前記ヒータを備えた配管から出た前記排ガスを前記トラップに導く第４ガス流路と、前記排ガスを放出側に導く第５ガス流路と、前記排ガスを前記第４ガス流路と前記第５ガス流路のうちいずれかに分岐させる流路切替え具と、
を有することを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか１項に記載のトラップ装置。
【請求項１２】
前記第４ガス流路は断熱材の筒状部材の内側に形成されたことを特徴とする請求項１１に記載のトラップ装置。
【請求項１３】
前記流路切替え具は、
円筒状の仕切り壁と、
前記仕切り壁の円筒下端に設けられ、前記ヒータを備えた配管から出た前記排ガスを取り入れる第３ガス入口と、
前記仕切り壁の円筒側面に設けられ、前記第４ガス流路と繋がる第２通気口と、
前記仕切り壁の内面に沿って回転可能な、筒状の回転具と、
前記回転具の筒の側面に設けられ、前記回転具の回転により前記第２通気口と重なる第３通気口と、
前記回転具の上端を覆い、前記回転具とともに回転する第１蓋部材と、
前記第１蓋部材の所定の箇所に設けられた第４通気口と、
前記仕切り壁の円筒の上端を覆う第２蓋部材と、
前記第２蓋部材２９の所定の箇所に設けられ、前記回転具の回転により前記第４通気口と重なるとともに、前記第５ガス流路と繋がる第５通気口と、
前記第１蓋部材に立設され、前記第２蓋部材に設けられた貫通孔を通して前記第２蓋部材上に突出した回転軸と、
を有することを特徴とする請求項１２に記載のトラップ装置。
【請求項１４】
ガスを使用する処理装置に接続され、前記ガスを使用した後の排ガスを取り入れる第１ガス入口と、前記第１ガス入口に接続され、取り入れた前記排ガスが流通する第１ガス流路にヒータを備えた配管と、前記ヒータを備えた配管内を流通してきた前記排ガスを冷却し、副生成物を捕獲するトラップと、前記ヒータを備えた配管と前記トラップとを接続する接続部材とを有するトラップ装置と、
前記トラップ装置のガス出口に前記排ガスを導く配管を介して接続される除害装置と、
を有することを特徴とする除害システム。
【請求項１５】
前記トラップは、
第２ガス入口と前記ガス出口とを有する筐体と、
前記筐体内に設けられた、前記第２ガス入口を含むガス導入室と、
前記筐体内に設けられ、前記ガス出口と繋がる第２ガス流路と、
前記ガス導入室と前記第２ガス流路とを仕切る仕切り壁と、
前記仕切り壁に設けられた通気口と、
を備えたことを特徴とする請求項１４に記載の除害システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トラップ、トラップ装置、トラップシステム及び除害システムに関し、より詳しくは、半導体製造などにおいて使用した後の使用済みの反応ガス（以下、排ガスと称する。）中で生成する副生成物を捕獲するトラップ、トラップ装置、トラップシステム及び除害システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造において、エッチングや成膜、或いはイオン注入などに用いられた有害物質を含む排ガスは、除害装置で処理し、無害化して廃棄することが義務付けられている。排ガスは配管内で流通させてエッチング装置など処理装置から除害装置へ運ばれる。
【０００３】
この際、排ガス中に残留し、或いは、配管を通して排ガスを流通させる途中で生成した副生成物が配管内壁に付着し、排ガスの流通が妨げられる。これを防止するため、配管内を所定温度以上に昇温し、排ガスの副生成物が配管内壁に付着しないようにしている。
【０００４】
配管内を所定温度以上に昇温する方法として、特許文献１に記載されているように、配管内を、外側から（特許文献１の図１）、或いは内側から（特許文献１の図３、図９など）加熱し、昇温して、排ガス中で副生成物が生成されるのを防止して、配管内壁に付着しないようにしていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５２４４９７４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この場合でも、排ガスを除害装置に通すと、排ガスが冷めて副生成物が生じ、それが除害剤の粒子間の隙間を閉塞してしまう。
それで、除害装置の上流のガス流路に、排ガス中から副生成物を除去するため、トラップを接続することがある。
【０００７】
ところで、トラップは、処理装置で処理中に生成し、排ガスとともに運ばれてくる副生成物を除去するものと、排ガスを冷却して副生成物を生成させ、それを除去するものがある。
【０００８】
後者については、配管内を所定温度以上に昇温し、排ガスの副生成物が生じないないようにして排ガスがトラップまで運がれる。しかし、トラップの入口からトラップ内に入るまでのトラップのガス導入路に副生成物が付着し、ガスの流通を妨げることになる。これは、後者のトラップは、排ガスを冷却して、副生成物を生成させ、それを捕獲するものであり、元々、ガスを冷やすように構成されているためである。
【０００９】
また、排ガスの温度が多少下がっても副生成物が生成されないように、排ガスにおいて大きい温度マージンを取っておけばよいが、それでは、加熱手段において電力を無駄に消費することになる。また、その場合、排ガスの温度が高くなるためトラップの冷却性能を向上させる必要がある。
【００１０】
本発明は、上述の問題点に鑑みて創作されたものであり、排ガスを効率的に加熱して、排ガスの流路が副生成物で塞がれるのを抑制しつつ、副生成物を捕獲することができるトラップ、トラップ装置、トラップシステム及びそれらを用いたシステム構成を簡略化することができる除害システムを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明の一観点によれば、ガス入口とガス出口とを有する筐体と、前記筐体内に設けられた、前記ガス入口を含むガス導入室と、前記筐体内に設けられ、前記ガス出口と繋がるガス流路と、前記ガス導入室と前記ガス流路とを仕切る仕切り壁と、前記仕切り壁に設けられた通気口とを備えたトラップが提供される。
【００１２】
本発明の別の一観点によれば、排ガスが流通する第１ガス流路にヒータを備えた配管と、前記ヒータを備えた配管から流出した前記排ガスが流通する配管と、前記配管から流出した前記排ガスが流入するガス入口とガス出口とを有する筐体と、前記筐体内に設けられた、前記ガス入口を含むガス導入室と、前記筐体内に設けられ、前記ガス出口と繋がる第２ガス流路と、前記ガス導入室と前記第２ガス流路とを仕切る仕切り壁と、前記仕切り壁に設けられた通気口とを備えたトラップとを有することを特徴とするトラップシステムが提供される。
【００１３】
本発明のさらに別の一観点によれば、使用済みの排ガスを取り入れる第１ガス入口と、前記第１ガス入口に接続され、取り入れた前記排ガスが流通する第１ガス流路にヒータを備えた配管と、前記ヒータを備えた配管内を流通してきた前記排ガスを冷却して、副生成物を捕獲するトラップと、前記ヒータを備えた配管と前記トラップとを接続する接続部材とを有することを特徴とするトラップ装置が提供される。
【００１４】
本発明のさらに別の一観点によれば、ガスを使用する処理装置に接続され、前記ガスを使用した後の排ガスを取り入れる第１ガス入口と、前記第１ガス入口に接続され、取り入れた前記排ガスが流通する第１ガス流路にヒータを備えた配管と、前記ヒータを備えた配管内を流通してきた前記排ガスを冷却し、副生成物を捕獲するトラップと、前記ヒータを備えた配管と前記トラップとを接続する接続部材とを有するトラップ装置と、前記トラップ装置のガス出口に前記排ガスを導く配管を介して接続される除害装置とを有することを特徴とする除害システムが提供される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のトラップ装置によれば、第１ガス流路にヒータを備えた配管と、ヒータを備えた配管内を流通してきた排ガスを冷却して、副生成物を捕獲するトラップと、ヒータを備えた配管とトラップとを接続する接続部材とを有する。
これによって、排ガスは、ヒータを備えた配管の内部でヒータにより直接加熱されるため、効率よく所定の温度に昇温できる。
【００１６】
しかも、ヒータで加熱された排ガスは、接続部材を介してトラップに移動するため、接続部材内の流路を経由してトラップ内に至るまでに、あまり温度が下がらず、より小さい電力で、副生成物の生成温度の上限より高い温度を維持できる。
また、トラップの直近で配管内にヒータを設けて排ガスを直接加熱しているため、トラップの入口での排ガスの温度変動も小さい。
【００１７】
よって、最小限の電力マージンをもって加熱することができるため、より一層小さい電力でかつ確実に、トラップ内に入るまで副生成物の生成を防止することができる。
このようにして、効率的に加熱し、排ガスの流路が副生成物で塞がれるのを抑制することができる。
【００１８】
また、本発明の除害システムによれば、ガスを使用する処理装置に接続されたトラップ装置と、前記トラップ装置のガス出口に前記排ガスを導く配管を介して接続される除害装置とを有する。
【００１９】
これにより、処理装置からトラップ装置までにヒータを備えた配管を外付けしないで、ドライポンプなどを介して直結も可能となるとともに、トラップ装置より下流で排ガスを加熱するのを省略できるため、排気ラインの構成を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】（ａ）は、本発明の実施形態に係るトラップ装置を示す斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）のトラップ装置を側面から見た図である。
【図２】（ａ）は、図１のトラップ装置に用いられるヒータを備えた配管を示す断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の一点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す斜視図である。
【図３】図１のトラップ装置を用いた除害システムを示す模式図である。
【図４】図１のトラップ装置における接続部材をフランジだけにした第１変形例を示す側面図である。
【図５】図１のトラップ装置における接続部材として流路切替え具を用いた第２変形例を示す側面図である。
【図６】図５の流路切替え具を拡大して示す斜視図である。
【図７】（ａ）は、図６のＩ切断面を示す断面図であり、（ｂ）は、図６のＪ切断面を示す断面図である。
【図８】図６の流路切替え具の回転軸を操作し、流路の切り替えを行ったときの状態を拡大して示す斜視図である。
【図９】（ａ）は、図８のＩ切断面を示す断面図であり、（ｂ）は、図８のＪ切断面を示す断面図である。
【図１０】（ａ）は、図６及び図８の流路切替え具の変形例を拡大して示す上面図であり、（ｂ）は、（ａ）の流路切替え具の回転軸を操作し、流路の切り替えを行ったときの状態を拡大して示す斜視図である。
【図１１】（ａ）は、図５のトラップ装置における第１ガス流路とその周辺の構成を変形した第3変形例を示す、図７（ａ）に対応する断面図であり、（ｂ）は、（ａ）のk−k線に沿う断面図である。
【図１２】本発明の実施形態に係るトラップ装置におけるトラップの構成を示す斜視図である。
【図１３】（ａ）、（ｂ）は、図１２のトラップに設置する捕獲部材の２種類の構成を示す斜視図である。
【図１４】図１３（ａ）の捕獲体の具体的な構成を示す斜視図である。
【図１５】図１２のＩ−Ｉ線に沿って取った断面図である。
【図１６】本発明の実施形態に係るトラップ装置の第４変形例を示す側面図である。
【図１７】図１６のトラップの構成を示す斜視図である。
【図１８】（ａ）、（ｂ）は、図１６のトラップに設置する捕獲部材の２種類の構成を示す斜視図である。
【図１９】図１８（ａ）の捕獲体の具体的な構成を示す斜視図である。
【図２０】図１７のII−II線に沿って取った断面図である。
【図２１】本発明の実施形態に係るトラップ装置の第５変形例を示す斜視図である。
【図２２】図２１のIII−III線に沿って取った断面図である。
【図２３】本発明の実施形態に係るトラップ装置の第６変形例を示す斜視図である。
【図２４】本発明の実施形態に係るトラップ装置の第７変形例を示す断面図である。
【図２５】本発明の実施形態に係るトラップ装置の第８変形例を示す断面図である。
【図２６】本発明の実施形態に係るトラップ装置の第９変形例を示す断面図である。
【図２７】本発明の実施形態に係るトラップシステムを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２２】
（１）本実施形態のトラップ装置の構成
図１（ａ）は、本発明の実施形態に係るトラップ装置１００を示す、手前斜め下から見た斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）のトラップ装置１００を白抜きの矢印で示す方向から見た側面図である。
【００２３】
本発明の実施形態に係るトラップ装置１００は、エッチング装置、成膜装置、或いは、イオン注入装置などの処理装置から排出された使用済みの反応ガス（以降、排ガスと称する。）を取り入れるガス入口３と、ガス入口３に接続され、排ガスのガス流路にヒータを備えた配管２と、排ガスを冷却し、副生成物を捕獲する半円筒型のトラップ１と、トラップ１内で副生成物が除去された排ガスをトラップ装置１００から放出するガス出口４とを有する。
ガス出口４から放出された排ガスは、配管を通して後述する除害装置に導かれる。
【００２４】
また、トラップ装置１００は、接続部材８を有する。接続部材８は、ヒータを備えた配管２とトラップ１とを接続し、相互を通気させて、ヒータを備えた配管２内を流通し、放出された排ガスをトラップ１に導く。
【００２５】
接続部材８は、ヒータを備えた配管２から放出された排ガスを流通させてトラップ１に導く導管７と、その導管７の一端に接続するため、配管２に設けられたフランジ５と、導管７の他端に接続するためトラップ１に設けられたフランジ６とで構成される。
【００２６】
なお、導管７の両端にもフランジが設けられ、図示するように、配管２のフランジ５及びトラップ１のフランジ６に当接し、ネジなどで締め付けることで相互のフランジ５、６が結合し固定される。これにより、配管２からトラップ１に通じるガス流路が外部から密閉される。接続部材８は、導管７の両端に設けられたフランジも含む。フランジ５、６と、フランジを含めた導管７とは、例えばステンレス製である。
【００２７】
ガス入口３には、図１（ｂ）に示すように、ポンプ９が接続され、さらに、ポンプ９には処理装置が接続される。そのポンプ９により、処理装置から排出された排ガスがトラップ装置１００の方に向かう流れが形成される。
【００２８】
トラップ１は、トラップ１の筐体内で排ガスを流通させるとともに冷却することで副生成物を生成し、例えば付着用シートに付着させて捕獲する装置構成を有するパーティクルトラップである。市販されている、よく知られたトラップ装置なども用いることができる。
【００２９】
次に、図２（ａ）、（ｂ）を参照して、ヒータを備えた配管２の構成について説明する。
図２（ａ）は、本発明の実施形態に係るトラップ装置に用いられる、ヒータを備えた配管を示す断面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）の一点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す斜視図である。
【００３０】
ヒータを備えた配管２は、例えば、図２（ａ）に示すように、ステンレス製の円筒状を有する。さらに、ヒータを備えた配管２の一方の端部が閉塞され、他方の端部（開口端）１５が解放された外囲器１０内にヒータ部１１を設置した構成を有する。
【００３１】
さらに、外囲器１０の円筒側壁には、貫通穴が開けられ、その貫通穴に別の円筒状の外囲器１０ａの一端部が接続されている。外囲器１０ａの他の端部が、トラップ装置１００のガス入口３となっている。
【００３２】
ガス入口３から取り入れられた排ガスは、外囲器１０ａを流通し、外囲器１０内に取り入れられる。そして、外囲器１０内で流通し、ヒータ部１１により加熱された後に外囲器１０の開口端１５から放出される。開口端１５には、トラップ１に接続された配管７と接続可能なようにフランジ５が設けられている。
【００３３】
ヒータ部１１は、円筒状のシースヒータ１２に、図２（ｂ）のような複数のフィンユニット１３が、好ましくは等間隔に取り付けられて構成される。シースヒータ１２には電力を供給するリード線部１４が接続されている。
【００３４】
一つのフィンユニット１３は、シースヒータ１２に挿入される円筒状の基部１６と、基部１６の一端部の円周に沿って設けられた複数のフィン１７とで構成される。フィンユニット１３は、例えば、ステンレス製である。
【００３５】
フィン１７は、広い面が排ガスの流れに対向するように配置される。これにより、シースヒータ１２からの熱が熱伝導によりフィン１７を通して配管２内のガス流路の周辺まで移動するとともに、フィン１７によって流通する排ガスの流れが乱されて熱エネルギーが分散される。したがって、配管２内の熱分布を均一にできる。
【００３６】
なお、シースヒータ１２の外囲器は、内管と外管の２重管を用い、間に空気を封入することで、その内圧を監視して、外管が腐食し、穴が開いたときに直ぐにわかるようにしてもよい。
【００３７】
以上のように、本発明のトラップ装置１００によれば、排ガスの流路にヒータを備えた配管２と、その配管２内を流通してきた排ガス中の副生成物を捕獲するトラップ１と、ヒータを備えた配管２とトラップ１とを接続し、相互を通気させる接続部材８とを備えている。
排ガスは、ヒータを備えた配管２内部でヒータ部１１により直接加熱されるため、効率よく所定の温度に昇温できる。
【００３８】
しかも、ヒータ部１１で加熱された排ガスは、接続部材８を介してトラップ１に移動するため、接続部材８内の流路を経由してトラップ１内に至るまでに、あまり温度が下がらない。
【００３９】
また、配管内のヒータの外周のガス流路にフィン１７が設けられているため、流通する排ガスがかき混ぜられて、温度の均一性がよくなっている。したがって、トラップ１の入口での排ガスの温度変動も小さい。
【００４０】
よって、最小限の電力マージンをもって加熱することができるため、従来に比べてより低電力で確実に、トラップ１内に入るまで副生成物の生成を防止することができる。
このようにして、効率的に加熱して排ガスの流路が副生成物で塞がれるのを抑制することができる。
【００４１】
なお、流路を囲む外囲器を介して流路を流通する排ガスを加熱する方法、外囲器の外周面にヒータを取り付けて加熱する方法、例えば、リボンヒータで加熱する方法もある。しかし、外囲器も同時に加熱する必要があるためヒータへの供給電力は大きくなる。外囲器の厚さが厚くなるほど、一層大きな電力が必要となる。
【００４２】
また、フランジを設けた接続部におけるように外囲器の表面が凸凹している場合は、リボンヒータと外囲器とを密着して接触させることが難しくなる。そのため、効率的に熱を伝導させることが困難になる。
【００４３】
さらに、配管の外から加熱するため、配管内部において配管内壁側から配管中央部に向かって温度分布が生じるため、流通するガスの温度の均一性が保たれない恐れがある。
【００４４】
（２）本実施形態の除害システムの説明
次に、図３を参照して、本実施形態の除害システムについて説明する。
本実施形態の除害システムは、上流から処理装置１０１と、ポンプ９と、図１のトラップ装置１００と、除害装置１０２とを有する。処理装置１０１はエッチング装置、成膜装置、或いは、イオン注入装置などが相当する。
【００４５】
処理装置１０１とポンプ９とをつなぐガス流路２０ａでは、処理装置１０１のガス出口１８に、直接に又は配管を介して、ポンプ９のガス入口が接続される。配管は、ヒータを備えた配管２及びヒータを備えていない通常の配管の少なくともいずれかでよい。
【００４６】
また、ポンプ９とトラップ装置１００とをつなぐガス流路２０ｂでは、ポンプ９のガス出口に、直接に或いは配管を介して、トラップ装置１００のガス入口３が接続される。配管が接続される場合、ポンプ９のガス出口にヒータを備えた配管２が接続され、さらに配管２のガス出口に少なくとも１つのヒータを備えていない通常の配管が接続される。配管の個数は、トラップ装置１００のガス入口３から内部に導くガス導入路で排ガスの温度が副生成物を生成する上限温度より高い温度となるように、調整される。
【００４７】
また、トラップ装置１００のガス出口４と除害装置１０２のガス入口１９とをつなぐガス流路２０ｃでは、トラップ装置１００によりすでに排ガスから副生成物が除去されているため、ヒータを備えていない通常の配管だけが接続されていればよい。
【００４８】
以上のように、本実施形態の除害システムによれば、処理装置１０１とポンプ９とトラップ装置１００とを直結することも可能である。その場合でも、処理装置１０１やポンプ９から出てくるときの排ガス温度のばらつきによらず、トラップ装置１００内で排ガスが加熱されてトラップ１に入る排ガスの温度を、常に、副生成物が生じない温度にすることができる。処理装置１０１からトラップ装置１００まで、ヒータを備えた配管を外付けしなくてもよい。
【００４９】
また、トラップ装置１００で副生成物を除去しているので、トラップ装置１００の下流に設置する配管を、ヒータを備えていない通常の配管に簡略化することができる。
このように、排気ラインの簡略化の意義が大きい。
【００５０】
（３）図１のトラップ装置の第１変形例
次に、図４を参照して、図１のトラップ装置の第１変形例を説明する。
図４は、図１のトラップ装置の第１変形例を示す側面図である。
第１変形例のトラップ装置１００ａ  において、図１のトラップ装置と異なる点は、フランジ相互を通気させる接続部材８ａの構成である。図４に示すように、図１の導管７を通さないで、ヒータを備えた配管２ａとトラップ１とが相互のフランジ５，６を介して直接接続されている。
ヒータを備えた配管２ａは、開口端１５付近が上方に折れ曲がり、フランジ５を介して開口端１５付近がトラップ１の方に折れ曲がっている。
接続部材８ａは、図４に示すように、ヒータを備えた配管２ａのフランジ５と、トラップ１のフランジ６とで構成される。
【００５１】
第１変形例のトラップ装置１００ａにおいても、図１のトラップ装置１００と同様に、ヒータを備えた配管２ａとトラップ１とを一組にしてトラップ装置１００ａを構成している。そのため、排ガスを効率的に加熱して排ガスの流路が副生成物で塞がれるのを抑制しつつ、副生成物を捕獲し、排ガス中から除去することができる。
また、第１変形例のトラップ装置１００ａを用いた除害システムにおいても、システム構成を簡略化することができる。
【００５２】
（４）図１のトラップ装置の第２変形例の説明
次に、図５を参照して、図１のトラップ装置の第２変形例を説明する。
図５は、図１のトラップ装置の第２変形例を示す側面図である。
第２変形例のトラップ装置１００ｂにおいて、図１のトラップ装置と異なる点は、ヒータを備えた配管２とトラップ１とを接続し、相互を通気させる接続部材８ｂの構成である。すなわち、接続部材８ｂでは、図５に示すように、図１の導管７の代わりに、流路切替え具２１を用いている。
【００５３】
接続部材８ｂは、図５に示すように、ヒータを備えた配管２のフランジ５と、トラップ１のフランジ６と、流路切替え具２１とで構成される。流路切替え具２１は、例えば、ステンレス製である。
次に、図６乃至図９を参照して、流路切替え具２１の構成と動作について説明する。
図６は、図５の流路切替え具２１を拡大して示す斜視図である。
図７（ａ）は、図６のＩ切断面を示す断面図であり、図７（ｂ）は、図６のＪ切断面を示す断面図である。
図８は、図６の流路切替え具２１の回転軸を操作し、流路の切り替えを行ったときの状態を拡大して示す斜視図である。
図９（ａ）は、図８のＩ切断面を示す断面図であり、図９（ｂ）は、図８のＪ切断面を示す断面図である。
【００５４】
（流路切替え具２１の構成）
最初に、図５、図６、図７及び図１を参照して、流路切替え具２１の構成について説明する。
流路切替え具２１は、ヒータを備えた配管２から出たガスを、トラップ１に導く第１ガス流路３５とガス放出側に導く第２ガス流路３２ａのうちいずれかに分岐させる機能を有する。
【００５５】
流路切替え具２１は、円筒状の外囲器２３を有する。そして、外囲器２３の円筒下端に、ヒータを備えた配管２から出た排ガスを取り入れるガス入口２２が設けられ、外囲器２３の円筒側面に第１通気口２４が設けられている。なお、図６中、符号３３で示すものは、外囲器２３の円筒下端に設けられたフランジで、ヒータを備えた配管２の開口端１５のフランジ５と結合させる。
【００５６】
第１通気口２４には、第１ガス流路３５が接続される。第１ガス流路３５は、導管３６の内側に形成されている。第１通気口２４は、第１ガス流路３５を通して、トラップ１に接続されている。
【００５７】
また、外囲器２３の内側には、外囲器２３の内面に沿って回転可能な回転具２５が設けられている。回転具２５は、円筒状を有し、下端部が外囲器２３の支持凸部３３ａにより支持されている。そして、回転具２５の円筒の側面には、回転具２５の回転により第１通気口２４と重なる第２通気口２６が設けられている。
【００５８】
さらに、回転具２５の円筒上端には、回転具２５の円筒の開口端を覆い、回転具２５とともに回転する円板状の第１蓋部材２７が設けられている。第１蓋部材２７の所定の箇所に第３通気口２８が設けられている。
【００５９】
また、外囲器２３の円筒上端で第１蓋部材２７の周囲には、外囲器２３の外まで張り出したドーナツ状のフランジ３４が設けられている。フランジ３４は、第１蓋部材２７の回転を妨げないで、かつ排ガスができるだけフランジ３４の内縁と第１蓋部材２７の外縁の間の隙間を流通しないように、第１蓋部材２７に接近して設けられている。
【００６０】
さらに、第１蓋部材２７とフランジ３４とを覆う第２蓋部材２９が設けられている。そして、第２蓋部材２９の所定の箇所に、回転具２５の回転により第３通気口２８と重なる第４通気口３０が設けられている。また、第４通気口３０に接続される第２ガス流路３２ａを有する円筒状の導管３２が設けられている。
【００６１】
また、第１蓋部材２７の中心部に回転軸３１が立設され、第２蓋部材２９に設けられた貫通穴を通して第２蓋部材２９上に突出している。回転軸３１を回転させることで、第１蓋部材２７と回転具２５とを一体的に回転させることができる。
なお、ガス漏れを防止するため、第１蓋部材２７と第２蓋部材２９の間、又は、貫通穴内の第２蓋部材２９の側面と回転軸３１の間に、弾力性のあるリング状のシール部材を挟むことが好ましい。
【００６２】
（流路切替え具２１の動作）
次に、図６、図７、図８、図９及び図１、図２、図３を参照して、流路切替え具２１の動作について説明する。
【００６３】
図６及び図７では、流路切替え具２１の回転軸３１を回転させて、流路切替え具２１が、ヒータを備えた配管２から出た排ガスをトラップ１に導く第１ガス流路３５に分岐させるようにセットされている状態にある。すなわち、第２通気口２６が第１通気口２４と重なり、第３通気口２８が第４通気口３０と重ならないようにする。
【００６４】
この状態では、ポンプ９によって排ガスがトラップ装置１００ｂに向かう流れが形成されており、処理装置１０１から排出された使用済みの排ガスは、ポンプ９を介してガス入口３からトラップ装置１００ｂに取り込まれる。
【００６５】
処理装置１０１とトラップ装置１００ｂとの間は、必要であれば別のヒータを備えた配管が適当な位置に配置される。そのため、それらの間のガスの流路を形成する配管の内壁に副生成物が付着するのを防止できる。
【００６６】
一方、トラップ装置１００ｂに取り込まれた排ガスは、外囲器１０ａを通してヒータを備えた配管２に流入する。排ガスは、ヒータを備えた配管２内のガスの流路でヒータ部１１により直接加熱されるため、効率よく容易に所定の温度に昇温できる。
【００６７】
このようにして、加熱された排ガスが配管２の開口端１５から流路切替え具２１のガス入口２２を通して流路切替え具２１の回転具２５内側に流入する。このとき、加熱された排ガスにより回転具２５内に次々熱エネルギーが供給されるため、副生成物が生成されるほどには排ガスの温度は下がらない。最小限の温度マージンを取っておけばよい。
【００６８】
次いで、排ガスは、第２通気口２６を通り第１通気口２４から直ちに流出し、第１ガス流路３５に流入する。さらに、排ガスは、第１ガス流路３５に導かれてトラップ１のガス入口３７に向かう。このとき、第１ガス流路３５に流入した排ガスにより導管３６の内壁も加熱される。このため、排ガスは、トラップ１内に至るまでに副生成物が生成されるほどには排ガスの温度は下がらない。最小限の温度マージンを取っておけばよい。このため、流路切替え具２１からトラップ１内に至る、ヒータを設置していない導管の内壁に副生成物が付着するのを防止できる。
【００６９】
次いで、ガス入口３７からトラップ１内に流入した排ガスは冷却されて、排ガスの副生成物が生成され、捕獲される。これにより、副生成物が十分に除去された排ガスがトラップ１から排出される。
【００７０】
このような処理が繰り返されると、トラップ１内部の付着用シートに副生成物が付着していく。そして、副生成物の量が増えてトラップ１内での排ガスの流通が困難になってきたときに、或いは、圧損が大きくなってポンプ性能に影響が生じてきたときにトラップ１全体を交換する。
【００７１】
このような場合、処理装置から排出する排ガスを不活性ガスに切り替えて残留する排ガスをパージする。その後、図８及び図９に示すように、流路切替え具２１の回転軸３１を回転させて、不活性ガスをガス放出側に導く第２ガス流路３２ａに分岐させるように流路切替え具２１の流路をセットする。すなわち、第２通気口２６が第１通気口２４と重ならず、第３通気口２８が第４通気口３０と重なるようにする。この場合は、配管２内のヒータ部１１に電力供給してもよいし、しなくてもよい。
【００７２】
この状態でも、ポンプ９によってトラップ装置１００ｂへの流れが形成されており、処理装置１０１から排出された不活性ガスは、ガス入口３からトラップ装置１００ｂに取り込まれる。
【００７３】
トラップ装置１００ｂに取り込まれた不活性ガスは、ヒータを備えた配管２と流路切替え具２１とを通り、第１ガス流路３５からトラップ１に流入せずに、導管３２の第２ガス流路３２ａを通り放出される。
この間に、トラップ１を交換する。
【００７４】
なお、第２ガス流路３２ａにトラップ装置１００ｂのトラップ１と同じ構造の予備のトラップを接続しておき、流路切替え具２１により第１ガス流路３５から第２ガス流路３２ａに切り替えたときに予備のトラップをすぐに使用できるようにしてもよい。このようにすることで、処理装置１０１での処理の中断を最短にしつつ、トラップ１の取り換えを行うことができる。
【００７５】
新しいトラップ１に交換した後は、再度、第１ガス流路３５に切り替えて図６及び図７のような状態に戻し、使用済みの排ガス中から副生成物の除去を行うことができる。
【００７６】
なお、これと異なり、新しいトラップ１に取り換えた後でも、予備のトラップを使用し続けてもよい。この場合、予備のトラップの性能が低下したときに、流路切替え具２１により排ガスの流路を再び第１ガス流路３５に切り替えて、新しいトラップ１を使用する。
【００７７】
以上のように、第２変形例のトラップ装置１００ｂによれば、排ガスの流路が副生成物で塞がれるのを抑制しつつ、副生成物を捕獲し、排ガス中から除去することができる。
また、トラップ装置１００ｂの一部（トラップ１）の取り換えで済むので、省コストにもなる。
【００７８】
（５）図６及び図８の流路切替え具（接続部材）の変形例の説明
次に、図１０（ａ）、（ｂ）を参照して、図６及び図８の流路切替え具の変形例について説明する。
図１０（ａ）は、図６及び図８の流路切替え具の変形例を拡大して示す上面図である。図１０（ｂ）は、図１０（ａ）の流路切替え具２１ａの回転軸３１を操作し、流路の切り替えを行ったときの状態を拡大して示す上面図である。
本変形例に係る流路切替え具２１ａにおいて、図６及び図８の流路切替え具２１と異なる点は、本変形例の回転具２５ａの形状が半円筒状であることである。
【００７９】
図１０（ａ）、図１０（ｂ）において、符号２４ａは，第１通気口であり、図６における外囲器２３の円筒側面に設けられた第１通気口２４に対応する。符号２６ａは、第２通気口であり、図６における回転具２５の円筒の側面に設けられた、回転具２５の回転により第１通気口２４と重なる第２通気口２６に対応する。
【００８０】
回転具２５ａの上端には、円板状の第１蓋部材２７が設けられている。第１蓋部材２７は、回転具２５ａの半円筒上部の開口端を覆うとともに外囲器２３上部の開口端を塞ぎ、回転具２５ａとともに回転する。第１蓋部材２７の外縁とフランジ３４の内縁とは、互いに近接して設けられている。これにより、図６〜図９と同じように、それらの間の隙間における排ガスの流通が抑制される。
図１０（ａ）、図１０（ｂ）におけるその他の要素について、図６〜図９の符号で示すものと同じものには、同じ符号を付す。
【００８１】
図１０（ａ）では、流路切替え具２１ａの回転軸３１を回転させて、流路切替え具２１ａが、ヒータを備えた配管２から出た排ガスをトラップ１に導く第１ガス流路３５に分岐させるようにセットされている状態にある。すなわち、第２通気口２６ａが第１通気口２４ａと重なり、第３通気口２８が第４通気口３０と重ならないようにする。
【００８２】
図１０（ｂ）では、流路切替え具２１ａの回転軸３１を回転させて、不活性ガスをガス放出側に導く第２ガス流路３２ａに分岐させるように流路切替え具２１ａの流路をセットする。すなわち、第２通気口２６ａが第１通気口２４ａと重ならず、第３通気口２８が第４通気口３０と重なるようにする。
【００８３】
このような構造とすることで、本変形例に係る流路切替え具２１ａを備えたトラップ装置においても、第２変形例のトラップ装置１００ｂと同様に、排ガスの流路が副生成物で塞がれるのを抑制しつつ、副生成物を捕獲し、排ガス中から除去することができる。
しかも、流路切替え具２１ａにより流路を切り替えることで、最短期間で、トラップ１の交換を行うことができる。
【００８４】
（６）図５のトラップ装置の第３変形例
図１１（ａ）は、図５のトラップ装置１００ｂの第３変形例を示し、図７（ａ）に対応する断面図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のk−k線に沿う断面図である。
【００８５】
第３変形例では、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、流路切替え具２１ｂとトラップ１とをつなぐ導管として、図７（ａ）の導管３６の代わりに、二重の導管、すなわち、円筒状の外管３６ａと、外管３６ａの内側に外管３６ａと同心状に配置された円筒状の内管３６ｂとで構成された導管が用いられている。
【００８６】
内管３６ｂの内側が第１ガス流路３５ａとなっており、内管３６ｂの内径に合わせて第１通気口２４ｂの直径が決められている。これにより、第１ガス流路３５ａは第１通気口２４ｂに接続され、第１通気口２４ｂは、第１ガス流路３５ａを通して、トラップ１に設けられた第２導入口３７に接続されることになる。
【００８７】
内管３６ｂは、トラップ１のフランジ６や外管３６ａとはできるだけ接触しないようにする。内管３６ｂには、断熱材である、例えばテフロン（登録商標）が用いられる。
なお、図１１（ａ）、（ｂ）における符号のうち、図７（ａ）の符号と同じ符号で示すものは図７（ａ）と同じものを示す。
【００８８】
以上のように、第３変形例のトラップ装置によれば、流路切替え具２１ｂとトラップ１とをつなぐ第１ガス流路３５ａは、外気から構造的及び材料的に二重に断熱され、かつ、冷却されて用いられるトラップ１からも断熱されている。
すなわち、第１ガス流路３５ａを流通する使用済みの排ガスが冷めにくい構造となっている。
したがって、排ガスの流路が副生成物で塞がれるのをより一層抑制しつつ、副生成物を捕獲し、排ガス中から除去することができる。
なお、本実施形態では、配管内の排ガスの流路にヒータを置き、排ガスを直接加熱しているため、配管の外から加熱する構造と比べて、二重管の構造が有効に機能する。すなわち、外管３６ａの外から加熱する場合、外管３６ａのほかに内管３６ｂを介して流路を加熱することになり、さらに効率が悪くなる。
【００８９】
（図１、図４及び図５のトラップ１の構成）
図１２〜図１５は、本発明の実施形態に係るトラップ装置のうちトラップの構成について説明する図である。
図１２は、図１、図４及び図５に示す横置き型のトラップ１全体の構成を示す斜視図である。
【００９０】
図１３（ａ）、（ｂ）は，トラップ１内に設置されて、排ガスを冷やし、かつ、冷やすことにより排ガスから生じる副生成物を捕獲する捕獲部材４０ａ、４０ｂと、捕獲部材４０ａ、４０ｂを構成する各捕獲体４３、４６ａ、４６ｂの配置とを示す。
図１４は、図１３（ａ）に示す、円筒状の捕獲体４３の一部をより詳しく示す斜視図である。
図１５は、図１２のＩ−Ｉ線に沿って取られた断面図である。捕獲部材４０として、図１３（ａ）に示す捕獲部材４０ａを用いている。
図１２〜図１５中、図１〜図１１で示す符号と同じ符号で示すものは、図１〜図１１と同じものを示す。
【００９１】
トラップ１は、図１２に示すように、半円筒型の筐体を有する。筐体は、底面となる平坦な筐体壁４９ｄと、筐体壁４９ｄの上に配置される半円筒の筐体壁４９ｂと、筐体壁４９ｂの両端に配置される筐体壁４９ａ、４９ｃとで構成される。
【００９２】
筐体壁４９ｄは、トラップ１の長手方向に延びる平らな面を有する。筐体壁４９ｂは、筐体壁４９ｄと同じ長さを有し、トラップ１の長手方向に延びる半円筒状の板で構成される。筐体壁４９ａ、４９ｃは、半円形状を有する平坦な面を有し、トラップ１の長手方向において相互に対向している。各筐体壁４９ａ、４９ｂ、４９ｃ、４９ｄは、金属板、例えばステンレス板で構成される。
底面の筐体壁４９ｄにガス入口３７ａが設けられ、筐体の一端面側の筐体壁４９ａにガス出口４ａが設けられている。
【００９３】
トラップ１では、図１２及び図１５に示すように、ガス入口３７ａから導入された排ガスは、ガス出口４ａに向かって、Ａ室（ガス導入室）、Ｂ流路（ガス流路）、Ｃ室（ガス送出室（ガス流路を兼ねる））の順に移動する。
【００９４】
Ａ室からＢ流路へのガスの移動は、筐体の他端面側の筐体壁４９ｃ近くの仕切り壁４７ｂに設けられた通気口４８ａを通して行われる。また、Ｂ流路からＣ室へのガスの移動は、筐体の一端面側の筐体壁４９ａ近くの仕切り壁４７ｂに設けられた通気口４８ｂを通して行われる。
【００９５】
Ａ室は、ガス入口３７ａを含む。Ａ室は、筐体壁４９ｄの平らな面に平行な仕切り壁４７ｂによってＢ流路と仕切られ、また、仕切り壁４７ｂに垂直に延びる仕切り壁４７ａによってＣ室と仕切られている。すなわち、Ａ室は、仕切り壁４７ａと４７ｂで仕切られた、筐体壁４９ｄ側の空間によって形成される。ガス入口３７ａは、端面の筐体壁４９ａ近くの仕切り壁４７ａの近くに設けられている。
【００９６】
ところで、トラップ１の機能として、トラップ１のＡ室に排ガスが入るまでは、排ガスから副生成物が生成しないようにし、Ａ室に入った後で生成するようにする必要がある。
【００９７】
本トラップ装置では、排ガスは、トラップ１のガス入口３７の直前でヒータにより加熱されて高温になっている。このため、トラップ１のガス入口３７からＡ室へのガス入口３７ａまでは、流通する排ガスの周囲も温められるため、温度低下が抑制される。必要であれば、Ａ室にガスが導入されるまでは副生成物が生成しないように最小限の温度マージンを取ればよい。
【００９８】
一方で、排ガスがＡ室に導入されたときに排ガスを急激に膨張させてその温度を十分に低下させる必要がある。そのため、Ａ室は十分な広さが確保される必要がある。
【００９９】
しかしながら、トラップ１の小型化の観点から、Ａ室の広さを十分に確保することが困難な場合がある。その場合、不十分な温度降下を補って、十分な温度降下を得る必要がある。そのため、本トラップ１において、Ａ室には、ガス入口３７ａと通気口４８ａとの間に、複数の捕獲体４３からなる捕獲部材４０ａを設置することができるようになっている。
【０１００】
各捕獲体４３は、例えば、直径約５０ｍｍ、長さ約１８０ｍｍを有し、これを排ガスの流れに沿って５０〜１００ｍｍの間隔を空けて５列程度並べて捕獲部材４０ａを構成する。捕獲体４３の寸法は適宜変更できるし、列の数は、Ａ室の大きさによって、排ガスの温度が十分に低下するように、適宜変更できる。また、一つの列において、捕獲体４３が一つではなく、長さの短いものを複数横並びにセットしてもよい。
【０１０１】
各捕獲体４３は、図１４に示すように、細長く、フレキシブルな金属製、例えばステンレス製の板状部材（箔状部材を含む）或いは棒状部材４３ａを、多数、束ねて、または、コイル状の金属を、多数、束ねて、円柱状又は円筒状に成形したものである。金属板或いは金属箔４３ａ同士の間には、ガスが流通可能な隙間を設けるようにするとよい。なお、捕獲体４３として、金属製のものを用いているが、これに限られない。冷却が十分に行われる場合には、グラスウールその他、副生成物を付着させるのに適した材料を用いることができる。
【０１０２】
さらに、各捕獲体４３は、円柱又は円筒の両端が、それぞれ、一対の支持板４２ａで保持されている。そして、各支持板４２ａは両端で支持棒４２に支持され、各支持棒４２はステンレス製の支持基板４１に固定されている。
【０１０３】
図１３、図１５に示すように、各捕獲体４３は、排ガスの流れ方向に沿って同じ高さで、かつ、各捕獲体４３の長手方向が排ガスの流れに対向するように配置されている。 
【０１０４】
なお、複数の捕獲体４３は、すべてが同じ高さである必要はなく、適宜相互に異なるようにしてもよい。例えば、複数の捕獲体４３を通過する排ガスが効率よく冷却されるように、各捕獲体４３の高さを調整することが好ましい。この場合、支持板４２ａを用いずに、捕獲体４３毎に一対の支持棒４２を用いるとよい。
また、他の捕獲部材４０ｂの構成として、図１３（ｂ）に示されるものがある。
【０１０５】
他の捕獲部材４０ｂにおいては、支持基板４１の表面の角部の４か所及び中央部の両側部の２箇所に、それぞれ、支持棒４４の一端が固定され、立設される。そして、それら６か所の支持棒４４の他端部にわたって、１枚の網目状の金属製の棚板４５、あるいは複数の穴をあけた金属製の棚板４５が取り付けられる。
【０１０６】
そして、棚板４５の表面に、捕獲体４６ａ、４６ｂが載置される。捕獲体４６ａ、４６ｂは、図１４に例示されるような、細長く、フレキシブルな金属製、例えばステンレス製の板状部材（箔状部材を含む）或いは棒状部材４３ａを、多数、束ねて円柱状又は円筒状に、または、図示しないコイル状の金属を、多数、束ねて、延べ棒状に、または、ドーナツ状に成形したものである。捕獲体４６ａは、例えば高さ約３０ｍｍ、長さ約６０ｍｍを有し、捕獲体４６ｂは、例えば高さ約３０ｍｍ、直径４０〜５０ｍｍを有する。
【０１０７】
なお、棚板４５の表面に載置される捕獲体は、捕獲体４６ａ、４６ｂの両方である必要はなく、いずれか1種類でもよい。また、捕獲体４６ａ、４６ｂとして、金属製のものを用いているが、これに限られない。冷却が十分に行われる場合には、グラスウールその他、副生成物を付着させるのに適した材料を用いることができる。
次に、Ｂ流路は、半円筒状の筐体壁４９ｂと仕切り壁４７ｂとで形成された半円筒上部の空間によって形成される。
【０１０８】
次に、Ｃ室は、ガス出口４ａに直結している。仕切り壁４７ｂは、仕切り壁４７ａを超えて筐体壁４９ａ側に延びている。Ｃ室は、その延在する仕切り壁４７ｂと、仕切り壁４７ａと、筐体壁４９ａとによって形成されている。
【０１０９】
また、Ｃ室には、Ｃ室に到達するまでに排ガスから生成した、または、Ｃ室で新たに生成する副生成物を捕獲するために、例えばグラスウールからなる捕獲部材５０が設置される。場合により、捕獲部材５０として、図１４に示すような金属製の捕獲体４３がグラスウールの捕獲部材５０の代わりに或いはグラスウールの捕獲部材５０と併せて置かれてもよい。
次に、トラップ１内での排ガスの流れと、副生成物の除去がどのように行われるかについて説明する。
ガス入口３７ａからＡ室に導入される直前の排ガスは、ヒータにより加熱されている。Ａ室に導入された高温の排ガスは、Ａ室内で急激に膨張し、温度降下する。
【０１１０】
Ａ室では、排ガスの温度を降下させることによって副生成物を生成させる。このとき、副生成物が他の物体に付着しやすい場合、捕獲体４３やトラップ１の内壁に付着し、排ガスから除去される。一方、副生成物が他の物体に付着しにくい場合、Ａ室の床となる筐体壁４９ｄ上に落下し、排ガスから除去される。
【０１１１】
以降、排ガスは、Ｂ流路に移動し、Ｂ流路を通る間にさらに温度を下げて、Ｃ室に至る。この間、Ｂ流路で新たに発生した副生成物、及びＡ室からＢ流路に運ばれた副生成物は落下し、仕切り壁４７ｂの表面に堆積していく。
【０１１２】
Ｃ室では、排ガスが捕獲部材５０によってさらに冷却されるとともに、Ａ室やＢ流路で生成し、Ａ室やＢ流路で除去しきれずにＣ室まで運ばれてきた副生成物、或いは、Ｃ室で新たに生成した副生成物が捕獲部材５０によって捕獲され、排ガスから除去される。
【０１１３】
本発明のトラップ装置においては、排ガスがトラップ１の入口の直前で配管内のヒータにより加熱されて高温になっている。また、配管内のヒータの外周には、フィン１７が設けられているため、流通する排ガスがかき混ぜられて、温度の均一性がよくなっている。したがって、トラップ入口での排ガスの温度変動も小さい。
【０１１４】
これによって、トラップ１のガス入口３７からＡ室のガス入口３７ａまでのガス導入路３７〜３７ａを流通する排ガスの温度低下を最小にし、流通する排ガスから副生成物が生成し、かつガス導入路３７〜３７ａに付着するのを防止できる。
【０１１５】
また、ガス入口３７ａを含むＡ室を有し、仕切り壁４７ａ、４７ｂでＡ室を囲っている。これによって、Ａ室がガス出口４ａから隔絶されて、ガス入口３７ａから入り、まだ温度が下がりきっていない排ガスがガス出口４ａから出て行くのを防止することができる。
【０１１６】
さらに、ガス入口３７ａを仕切り壁４７ａの近くに配置するとともに、仕切り壁４７ｂを筐体壁４９ｃ近くまで延ばし、排ガスをＡ室からＢ流路に移動させる通気口４８aを筐体壁４９ｃ近くに設けている。これにより、Ａ室の容積をできるだけ大きくとって排ガスを膨張させ、これによって十分に温度を下げることができる。
【０１１７】
また、装置の小型化の観点でＡ室の容積を十分にとることが困難な場合でも、Ａ室内で、ガス入口３７ａから通気口４８aまでの間に、金属製の捕獲部材４０を設置することで、排ガスを急激に膨張させるとともに金属製の捕獲部材４０に接触させて、排ガスの温度を十分に降下させることができる。
【０１１８】
以上のように、トラップに高温の排ガスが入ってきても、ガス入口３７〜３７ａに副生成物が付着するのを防止するとともに、トラップ内部で排ガスを効果的に冷却して排ガスの温度を下げ、これによって副生成物を生成し、除去することができる。
なお、図１２及び図１５では、Ｂ流路の下流にＣ室を設けているが、Ｃ室を省き、Ｂ流路に、ガス出口を直結してもよい。以下の変形例でも同じである。
【０１１９】
（トラップ装置１００ｂの第４変形例）
図１６は、図５のトラップ装置１００ｂの第４変形例を示す側面図である。
図１６のトラップ装置１００ｃにおいて、図５のトラップ装置１００ｂと異なるところは、図５のトラップ装置１００ｂが横置き型であるのに対して、縦置き型である点である。これに対応して、図１２乃至図１５の横置き型のトラップ１を縦置き型に適した構成に変えたものである。
なお、図１６において、図１〜図１１で示す符号と同じ符号で示すものは、図１〜図１１と同じものを示す。
【０１２０】
（トラップ１ａの構成）
図１７〜図２０は、本発明の実施形態に係るトラップ装置１００ｃのうちトラップ１ａの構成について説明する図である。
図１７は、図１６のトラップ１ａの構成を示す斜視図である。
図１８（ａ）、（ｂ）は、図１７の捕獲部材５１の具体的な２種類の構成５１ａ、５１ｂを示す斜視図である。
図１９は、捕獲体５４の具体的な構成を示す斜視図である。
図２０は、図１７のトラップ１ａのII-II線に沿ってとった断面図である。
図１７及び図２０のトラップ１ａは、次の点で図１２のトラップ１と異なる。
まず、図１２のトラップ１の筐体の形状が半円筒であるのに対して、図１７に示すように、トラップ１ａの筐体の形状を四角い筒型又は箱型とした。このような筐体の外形寸法は、例えば、高さ９５０ｍｍ、横幅２８０ｍｍ、奥行き１３０ｍｍで、壁材料の板厚を含めて容積は、３４，５８０ｃｍ3である。
筐体は、４つの側面を構成する筐体壁６２ｂ、６２ｂ、６２ｂ、６２ｄと、上面を構成する筐体壁６２ａと、底面を構成する筐体壁６２ｃとを有する。
【０１２１】
また、排ガスの流れを縦方向とする。すなわち、ガス入口３７ａを設けたＡ室では、ガス入口３７ａをＡ室の上部、仕切り壁６０ａの近くに設け、ガス入口３７ａからＡ室に入ってきた排ガスがＡ室の上部から下方に流れるようにする。Ｂ流路ではＡ室の下部から入ってきたガスが下部から上方に流れるようにする。Ｃ室には、ガス出口４ａを設けて、Ｂ流路から横方向に入ってきたガスがさらに上方に流れて、ガス出口４ａから出ていくようにする。
【０１２２】
さらに、捕獲部材５１について、図１８（ａ）では、複数の捕獲体５４をガスの流れに沿うように順に縦方向に配置する。また、図１８（ｂ）では、複数の金属製、例えばステンレス製の棚板５５をガスの流れに沿うように順に縦方向に配置する。
【０１２３】
Ａ室は、筐体壁６２ｄに平行な内部の仕切り壁６０ｂによってＢ流路と仕切られ、また、仕切り壁６０ｂから水平に延びる内部の仕切り壁６０ａによってＣ室と仕切られている。すなわち、Ａ室は、仕切り壁６０ａと６０ｂで仕切られた、筐体壁６２ｄ側の空間によって形成される。
本トラップ１ａにおいては、図１８（ａ）に示すように、Ａ室に複数の捕獲体５４からなる捕獲部材５１ａが設置されている。
【０１２４】
各捕獲体５４は、図１９に示すように、細長く、フレキシブルな金属製、例えばステンレス製の板状部材（箔状部材を含む）或いは棒状部材５４ａを、多数、束ねて、または、図示しないコイル状の金属を、多数、束ねて円柱状又は円筒状に成形したものである。金属板或いは金属箔５４ａ同士の間には、ガスが流通可能な隙間を設けるようにするとよい。なお、捕獲体５４として、金属製のものを用いているが、これに限られない。冷却が十分に行われる場合には、グラスウールその他、副生成物を付着させるのに適した材料を用いることができる。
【０１２５】
各捕獲体５４は、例えば、直径約５０ｍｍ、長さ約１８０ｍｍを有し、これを５０〜１００ｍｍの間隔を空けて５列〜８列並べて捕獲部材５１ａを構成する。捕獲体５４の列の数は、Ａ室の大きさによって、排ガスの温度が十分に低下するように、適宜変更できる。
【０１２６】
さらに、各捕獲体５４は、円柱又は円筒の両端が、それぞれ、金属製、例えばステンレス製の一対の支持棒５３に上から下に順に保持されている。そして、すべての捕獲体５４を支持する一対の支持棒５３の他端が、それぞれ、ステンレス製の支持基板５２に固定されている。
【０１２７】
図２０に示すように、各捕獲体５４は、排ガスの流れに対向するように配置されている。複数の捕獲体５４は、すべてが同じ一対の支持棒５３に支持される必要はなく、適宜、捕獲体５４のいずれかを筐体壁６２ｄ側或いは仕切り壁６０ｂ側に移動させ、相互に異なる支持棒に支持されるようにしてもよい。例えば、複数の捕獲体５４を通過する排ガスが効率よく冷却されるように、複数の捕獲体５４の配置を調整することが好ましい。
なお、他の捕獲部材５１ｂの構成として、図１８（ｂ）に示されるものがある。
【０１２８】
他の捕獲部材５１ｂにおいては、支持基板５２に一対の支持棒５３を取り付けたものを用い、その間に、上から下に順に、複数の網目状金属板、あるいは複数の穴をあけた金属からなる棚板５５が取り付けられる。棚板５５の段数は、例えば、１００ｍｍ程度の間隔を空けて、７〜８段とする。
【０１２９】
そして、棚板５５の表面に、捕獲体５６、５７のいずれか１種又は２種が載置される。捕獲体５６、５７は、図１９に例示されるような細長く、フレキシブルな板状部材（箔状部材を含む）或いは棒状部材５４ａ、例えば、短冊状の金属の薄板、あるいは金属箔を、又は、図示しないコイル状の金属を、多数、束ねて、延べ棒状に、および、ドーナツ状に成形したものである。捕獲体５６は、例えば高さ約３０ｍｍ、長さ約６０ｍｍを有し、捕獲体５７は、例えば高さ約３０ｍｍ、直径４０〜５０ｍｍを有する。
【０１３０】
なお、捕獲体５６、５７として、金属製のものを用いているが、これに限られない。この場合も、冷却が十分に行われる場合には、グラスウールその他、副生成物を付着させるのに適した材料を用いることができる。
【０１３１】
次に、Ｂ流路は、筐体の側面を構成する筐体壁６２ｂと、筐体の下面を構成する筐体壁６２ｃまで延びた仕切り壁６０ｂとで形成された四角く奥行が狭い空間によって形成される。Ａ室からＢ流路へのガスの移動は、筐体壁６２ｃの近くの仕切り壁６０ｂに設けられた通気口６１ａを通して行われる。Ｂ流路で発生した副生成物、及びＡ室からＢ流路に運ばれた副生成物は落下し、筐体内の下面に溜まる。
【０１３２】
次に、Ｃ室に関しては、仕切り壁６０ｂが、仕切り壁６０ａを超えて、筐体の上面を構成する筐体壁６２ａ側に延びている。Ｃ室は、その延在する仕切り壁６０ｂと、水平に延びる仕切り壁６０ａと、筐体壁６２ａとによって形成されている。
Ｂ流路からＣ室へのガスの移動は、筐体壁６２ａ近くの仕切り壁６０ｂに設けられた通気口６１ｂを通して行われる。
【０１３３】
また、Ｃ室には、排ガスから生成した、または、新たに生成する副生成物を捕獲するために、例えばグラスウールからなる捕獲部材６３が設置されている。場合により、捕獲部材６３として、図１９に示すような金属製の捕獲体５４がグラスウールの捕獲部材６３の代わりに或いはグラスウールの捕獲部材６３と併せて置かれてもよい。
次に、トラップ１ａ内での排ガスの流れと、副生成物の除去がどのように行われるかについて説明する。
【０１３４】
ガス入口３７ａからＡ室に導入される直前の排ガスは、ヒータにより加熱されているため、温度が高い。Ａ室に導入された高温の排ガスは、Ａ室内で急激に膨張し、温度降下する。
【０１３５】
Ａ室では、排ガスの温度を降下させることによって副生成物を生成させる。このとき、副生成物が他の物体に付着しやすい場合、捕獲体５４やトラップ１ａの内壁に付着し、排ガスから除去される。一方、副生成物が他の物体に付着しにくい場合、Ａ室の床となる筐体壁６２ｃ上に落下し、排ガスから除去される。
【０１３６】
以降、排ガスは、Ｂ流路に移動し、Ｂ流路を通る間にさらに温度を下げて、Ｃ室に至る。この間、Ｂ流路で新たに発生した副生成物、及びＡ室からＢ流路に運ばれた副生成物は落下し、仕切り壁６２ｃの表面に堆積していく。
【０１３７】
Ｃ室では、排ガスが捕獲部材６３によってさらに冷却されるとともに、Ａ室やＢ流路で生成し、Ａ室やＢ流路で除去しきれずにＣ室まで運ばれてきた副生成物、或いは、Ｃ室で新たに生成した副生成物が捕獲部材６３によって捕獲され、排ガスから除去される。
【０１３８】
上記トラップ１ａを用いて、温度降下性能（Ｔ（出口）−Ｔ（入口））／Ｖ（トラップ容積））の比較調査を行った。Ｔ（入口）はトラップの入口での排ガスの温度であり、Ｔ（出口）は、トラップの出口での排ガスの温度である。比較用のトラップとして、図２４のガス導入室（Ａ室）に排ガスが入った直後に容積の小さい部分で断熱膨張させているが主にジグザグのガス流路を排ガスが流れるようにしたトラップを用いた。
【０１３９】
図２０のトラップ１ａでは、流量が２０リットル／分のとき、Ｔ（入口）がおよそ１６０℃で、Ｔ（出口）がおよそ４０℃であり、温度降下性能は、（４０℃−１６０℃）／３４，５８０ｃｍ3 ＝−３．４７×１０-3 ℃／ｃｍ3であった。また、ガス流量が３０リットル／分のとき、（４７℃−１５４℃）／３４，５８０ｃｍ3 ＝−３．０９×１０-3 ℃／ｃｍ3であった。なお、この性能は、捕獲体５４、５６、５７をさらに増やすことで向上させることができる。
【０１４０】
一方、図２４のトラップでは、ガス流量が３０リットル／分のとき、（４０℃−１２０℃）／５１，９７５ｃｍ3 ＝−１．５４×１０-3 ℃／ｃｍ3であった。
上記比較実験によれば、ガス流量３０リットル／分で比較すると、図２０のトラップ１ａの方が図２４のトラップより２倍程度性能が高いといえる。
【０１４１】
以上のように、本発明のトラップ装置１００ｃにおいては、排ガスがトラップ１ａの入口の直前で配管内のヒータにより加熱されて高温になっている。これによって、トラップ１ａのガス入口３７からＡ室のガス入口３７ａまでのガス導入路を流通する排ガスの温度低下を最小にし、流通する排ガスから副生成物が生成し、かつガス入口３７〜３７ａに付着するのを防止できる。
【０１４２】
また、配管内のヒータの外周には、フィン１７が設けられているため、流通する排ガスがかき混ぜられて、温度の均一性がよくなっている。したがって、トラップ入口での排ガスの温度変動も小さい。したがって、温度マージン（すなわち、電力マージン）をできるだけ小さくでき、より一層、電力を効率良く消費できる。
【０１４３】
また、ガス入口３７ａをＡ室に付属させるとともに、仕切り壁６０ａ、６０ｂでＡ室を囲っている。これによって、Ａ室がガス出口４ａから隔絶されて、ガス入口３７ａから入り、まだ温度が下がりきっていない排ガスがガス出口４ａの方に行くのを防止することができる。
【０１４４】
さらに、ガス入口３７ａをトラップ１ａ上部のガス出口４ａ寄りに設け、仕切り壁６０ｂを筐体の下面まで延ばし、排ガスをＡ室からＢ流路に移動させる通気口６１aを筐体の下面近くに設けている。これにより、Ａ室の容積をできるだけ大きくとって排ガスを膨張させ、十分に温度を下げることができる。またこれによって、温度降下性能を向上させ、トラップを小型化できる。
【０１４５】
また、ガス入口３７ａとガス出口４ａをともにトラップの上部に設けているため、副生成物が堆積しても、ガス入口３７ａとガス出口４ａが堆積物により塞がれるのを防止できる。
【０１４６】
また、装置の小型化の観点でＡ室の容積を十分にとることが困難な場合や、排ガスの流量が大きい場合でも、Ａ室内で、ガス入口３７ａから通気口６１aまでの間に、金属製の捕獲部材５１を設置することで、排ガスを急激に膨張させるとともに金属製の捕獲部材５１に接触させて、排ガスの温度を十分に降下させることができる。
【０１４７】
以上のように、トラップに高温の排ガスが入ってきても、ガス入口３７〜３７ａに副生成物が付着しないようにするとともに、トラップ内部で排ガスを効果的に冷却して、副生成物を生成し、除去することができる。
また、トラップは縦置きであるため、Ａ室及びＢ流路で発生し、落下する副生成物がすべて筐体の下面に堆積する。このため、クリーニングが容易であるというメリットもある。
【０１４８】
（トラップ装置１００ｂの第５変形例）
図２１及び図２２を参照して、図１７及び図２０のトラップ１ａをさらに変形したトラップ１ｂの構成について説明する。
図２１は、トラップ１ｂの構成について説明する斜視図である。
図２２は、図２１のトラップ１ｂのIII-III線に沿ってとった断面図である。捕獲部材５１として、図１８（ａ）に示す捕獲部材５１ａを用いている。
【０１４９】
図１７〜図２０のトラップ１ａに対してＡ室の床にさらに副生成物の捕獲部６６を設けたものである。また、捕獲部６６を設けたことに伴い、Ａ室からＢ流路への排ガスの通気口にも変更を加え、新たなガス流路６１ｃとした。さらに、筐体の奥行きも、図１７のトラップと比べて、多少大きくしている。
【０１５０】
図２１及び図２２において、図１７及び図２０に示す符号と同じ符号で示すものは、図１７〜図２０に示すものと同じものを示す。以下の説明においては、主に、捕獲部６６の構成について説明する。
【０１５１】
本トラップ１ｂにおいては、図２１及び図２２に示すように、捕獲部６６として、トラップ１ａの筐体の下面に、引出し機構を付け加えた。引出し機構は、引出し６７と、引出し６７の側面に沿う枠６５と、筐体の下面の筐体壁を利用した、引出し６７の上面に沿う上枠６２ｃａとで構成される。
【０１５２】
側面の枠６５は、筐体の４つの側面の筐体壁６２ｂ、６２ｂ、６２ｂ、６２ｄのうちいずれか３つの筐体壁の延長部分を利用できる。実施例では、枠６５は３つの筐体壁６２ｂ、６２ｂ、６２ｂの延長部分である。
【０１５３】
引出し６７には、水６９を容れるため、下面には底板６７ｃが設けられ、さらに底板６７ｃの縁部上には４側面を構成する枠６７ｂが設けられている。また、枠６７ｂの上端には、全周にわたって、一定程度引出し６７の内側に張り出した上枠６７ａが設けられている。そして、上枠６７ａの上面には、上面に突出するように弾力性を有するシール部材６８が設けられている。引出し６７の上面は、上枠６７ａの部分を除き、開口部となっている。
【０１５４】
筐体の下面の筐体壁を利用した上枠６２ｃａは、引出し６７の上枠６７ａよりも少し大きく内側に張り出している。これにより、引出し６７の上枠６７ａと上枠６２ｃａとの間の隙間に副生成物が入り込むのを抑制している。
【０１５５】
さらに、向かい合う上枠６２ｃａを橋渡しして、捕獲部材５１を置くための載置板６２ｃｂが、上枠６２ｃａに一体的に設けられている。筐体の下面は、上枠６２ｃａと載置板６２ｃｂの部分を除き、開口部６４ａ、６４ｂとなっている。
【０１５６】
引出し６７を、枠６５に差し入れることで、シール部材６８により筐体の内部が密閉される。引出しに容れた水６９は、副生成物のパーティクルを捕獲し、ガスが流通しても巻き上げられないようにすることが役目の一つである。また、筐体内に湿気を発生させて、流通する排ガスに生じる静電気を緩和する役目もある。
【０１５７】
この場合、図２２に示すように、仕切り壁６０ｂに一体的に流路壁６０ｃを設け、Ａ室からＢ流路に連通するガス流路６１ｃの上面を下側に突出するＶ字形状とすることにより、流通する排ガスを水の方に近づけることが好ましい。
なお、図２１、図２２の構成は、図１２及び図１５の横置きのトラップにも適用できる。この場合、例えば、支持基板４１の上に水を容れた容器を配置することになる。
【０１５８】
（トラップ装置１００ｂの第６変形例）
図２３を参照して、図２１及び図２２のトラップ１ｂの捕獲部６６の変形例について説明する。
【０１５９】
図２３は、第６変形例に係る捕獲部７０を示す斜視図である。図２３の捕獲部７０では、引出し機構の代わりに、トラップの筐体の下側に、トラップの筐体と一体化した水の容器７１を備えている。
【０１６０】
この例では、水の容器７１は、底板７１ａと、側面を構成する枠７１ｂと、上面を構成する上枠６２ｃａ及び載置板６２ｃｂとで構成される。上面を構成する上枠６２ｃａ及び載置板６２ｃｂとして、トラップの筐体の下面を構成する筐体壁を利用する。側面の枠７１ｂとして、筐体の４つの側面の筐体壁６２ｂ、６２ｂ、６２ｂ、６２ｄすべての延長部分を形成する。底板７１ａとして、側面の枠７１ｂの下端の開口部を閉塞するものを形成する。
【０１６１】
さらに、側面を構成する４つの枠７１ｂ、７１ｂ、７１ｂ、７１ｂのうち少なくとも１つの枠７１ｂに、容器７１の内部と連通する少なくとも２つの穴を形成し、それぞれ、水の給水口７２ａと排水口７２ｂとする。この実施形態では、対向する２つの枠７１ｂ、７１ｂにそれぞれ水の給水口７２ａと排水口７２ｂとを設けている。さらに、給水口７２ａと排水口７２ｂにそれぞれ給水管７３ａと排水管７３ｂとを接続する。
これにより、容器７１内に水を通流させながら、トラップ内で生成された副生成物を即時に外部に排除することができる。
【０１６２】
なお、図２３の構成は、図１２及び図１５の横置きのトラップにも適用できる。この場合、例えば、トラップ１の半円筒の平らな面を構成する仕切り壁４９ｄを加工して、図２３に示すような水の容器を形成することができる。さらに、支持基板４１には、捕獲体４３、４６ａ，４６ｂを支持するために、十分な強度や安定性を維持しつつ、開口部を設けるとよい。
また、上記図２１及び図２３のトラップでは、水分に激しく反応する排ガスの処理には適さないので、注意を要する。この場合、排ガスに反応しない液体を用いることができる。
また、排ガスの成分が溶けた水が無害化処理の対象となる場合があるので、そのような排ガスの処理には注意を要する。
【０１６３】
（トラップ装置１００ｂの第７変形例）
図２４を参照して、図１７及び図２０のトラップ１ａをさらに変形したトラップ１ｃの構成について説明する。
【０１６４】
図２４は、トラップ１ｃの断面図である。図２４では、Ａ室内に、図１８に示す捕獲部材５１を設置する代わりに、排ガスの冷却に適したガス流路を設定した。図２４において、図１７〜図２０に示す符号と同じ符号で示すものは、図１７〜図２０に示すものと同じものを示す。
【０１６５】
図２４に示すように、Ａ室は、仕切り壁６０ａと、筐体壁６２ｃと、筐体壁６２ｃまで延びる仕切り壁６０ｂと、ガス入口３７ａが設けられた筐体壁６２ｄと、図示していないが、筐体の側面を構成する他の筐体壁とで構成される。
【０１６６】
筐体壁６２ｄと仕切り壁６０ｂとに、交互に流路形成板８０ａと８０ｂとが固定されている。流路形成板８０ａと８０ｂは、それぞれ、３枚ずつ使用されている。なお、流路形成板８０ａと８０ｂの、紙面に垂直な方向にある両側部は、筐体の側面を構成する他の筐体壁にも固定されている。
【０１６７】
最上段の流路形成板８０ａは、仕切り壁６０ａの下の、ガス入口３７ａを含む空間（膨張部）Aaが比較的大きな容積となるように設置される。この場合、流路形成板８０ａの仕切り壁６０ｂ側の端には衝立が設けられて、ある程度の限られた空間を形成するようにしている。この空間によって、ガスの断熱膨張による温度降下の度合いが決まる。
【０１６８】
以降、下方に、流路形成板８０ａと８０ｂとの間隔が、相互に等しく、かつ、仕切り壁６０ａと最上段の流路形成板８０ａとの間隔よりも小さくなるように設置される。すなわち、流路形成板８０ａと８０ｂとの間に排ガスの屈曲した流路が形成される。排ガスは流路形成板８０ａと８０ｂとの間をジグザグに、かつ次第に下方に移動していく。これによって、より長い流路を確保できるため、排ガスの温度の降下と副生成物の生成と除去が効果的に行われる。
【０１６９】
第４変形例では、Ａ室内において、ガスの膨張による温度降下に影響する空間の容積が、上述の図１５、図２０、図２２に示すトラップの対応する空間の容積よりも小さいが、長い流路と合わせて、十分な温度降下を得ることができる。
【０１７０】
なお、図２４のトラップ１ｃでは、上記構成のほかに、Ａ室の大きさと、Ａ室とＢ流路を繋ぐ通気口の構成が異なる。すなわち、最下段の流路形成板８０ｂの下に、排ガスがＡ室からＢ流路に移動する比較的長いガス流路からなる通気口６１ｄが形成される。
以上、説明したように、第４変形例でも、トラップ１ｃに高温の排ガスが入ってきても効果的に冷却して、副生成物を生成し、除去することができる。
【０１７１】
（トラップ装置の第８変形例）
図２５は、トラップ装置の第８変形例について説明する断面図である。
以下では、第８変形例の適用例について、上述の第４乃至第７変形例のトラップを用いて説明するが、第８変形例は、実施例の横型のトラップに対しても適用可能である。
図２５において、図１７〜図２０に示す符号と同じ符号で示すものは、図１７〜図２０に示すものと同じものを示す。
【０１７２】
第８変形例では、図２５に示すように、Ｃ室からガス出口４ａまでの間に、新たにフィルター７８を備えている。なお、図中、符号７７は、Ｃ室からフィルター７８に通じる通気口、７９は、ガス出口４ａに繋がる第２ガス送出室である。
このフィルター７８によって、Ａ室、Ｂ流路、Ｃ室で除去しきれなかった、より小さな副生成物を除去することができる。
【０１７３】
（トラップ装置の第９変形例）
図２６（ａ），（ｂ）は、トラップ装置の第９変形例について説明する断面図（その１）と断面図（その２）である。ともに、ヒータを備えた配管とトラップとの接続部を示している。
【０１７４】
図２６（ａ），（ｂ）では、ともに、トラップへのガス導入路３７〜３７ａが断熱材６２ｅ、９４ｂによって囲まれ、流通する排ガスがトラップの金属製の配管とは接触しないようになっている。ガス導入路３７〜３７ａで排ガスがトラップの金属製部材に接触して冷却し、副生成物が生じるのを防止するためである。
これらの構造は、横置き型トラップとそのトラップ装置に、及び、縦置き型トラップとそのトラップ装置に適用可能である。
【０１７５】
図２６（ａ）においては、フランジ６となる円環部と、ガス導入路３７〜３７ａとなる円筒部とを合わせた形状を有するガス入口３７に合わせて、断熱材の筒状部材６２ｅを設けている。すなわち、フランジ６の表面からガス導入路３７〜３７ａとなる円筒内面にかけて整合するような形状を有する。断熱材は、例えばテフロン（登録商標）を用いることができる。
【０１７６】
ヒータを備えた配管は、図２６（ａ）に示す、次のような形状の接続部とすることが望ましい。すなわち、金属製のガス出口配管９１ａにフランジ９２ａを設け、さらにフランジ９２ａよりもトラップ側にガス導入路３７〜３７ａ内を、少なくとも、Ａ室に届くまでガス出口配管９１ａを延長する。ガス出口配管９１ａのフランジ９２ａが筒状部材６２ｅのフランジ対応部分と接合され、ガス出口配管９１ａ内がガス導入路９３ａとなる。
【０１７７】
なお、符号９５は、弾力性のあるシール部材である。ガス出口配管９１ａを差し込んだときに、ガス出口配管９１ａとシール部材９５とが密着し、トラップ内の気密性が保たれる。
【０１７８】
また、図２６（ｂ）においては、一例として、図１１に類似する構成が挙げられる。すなわち、二重の導管９１ｂ、９４ｂのうち、外管９１ｂを金属、例えば、ステンレスで構成し、内管９４ｂを断熱材の筒状部材で構成する。さらに、内管９４ｂを、トラップのガス導入路３７〜３７ａを超えてＡ室内まで延長させている。内管９４ｂに囲まれた部分がガス導入路９３ｂとなる。
なお、二重の導管９１ｂ、９４ｂをトラップに接続するには、フランジ６、９２ｂ同士を接続する。
図１１は、接続部材８ｂを流路切替え具２１とした例であるが、図１（ｂ）、図４の接続部材８、８ａを用いた場合も適用できる。
【０１７９】
以上、実施の形態によりこの発明を詳細に説明したが、この発明の範囲は上記実施の形態に具体的に示した例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の上記実施の形態の変更はこの発明の範囲に含まれる。
【０１８０】
例えば、図６や図１０などに示す流路切替え具２１、２１ａにおいて、回転具２５、２５ａの形状が、円筒状や半円筒状であるが、これらの形状に限られない。平面視で任意の角度の円弧である筒状であってもよい。
【０１８１】
また、図１１に示す二重の導管を、図５のトラップ装置１００ｂの接続部材８ｂのうち、トラップ直前の第１ガス流路３５ａに適用しているが、図１のトラップ装置１００の接続部材８のガス流路３５や、図４のトラップ装置１００ａの接続部材８ａのガス流路３５に適用してもよい。
【０１８２】
また、第２ガス流路３２ａにトラップ装置１００ｂのトラップ１と同じ構造の予備のトラップを接続した場合、及び、接続しない場合のいずれにおいても、第２ガス流路３２ａに図１１に示す二重の導管を適用してもよい。
また、第４変形例〜第９変形例は、図５のトラップ装置を縦置き型にした場合の変形例であるが、図１、図４のトラップ装置を縦置き型にした場合も同様な変形例が可能である。
【０１８３】
また、上記実施形態のトラップ装置では、ヒータを備えた配管とトラップとを接続部材を介して接続しているが、トラップシステムに係る図２７に示すように、ヒータを備えた配管と、トラップに接続された接続部材とを、少なくとも１つの、ヒータを備えていない通常の配管を介して接続してもよい。
【０１８４】
この場合、配管の外表面に断熱部材を巻き、粉塵対策を施した上で、トラップのガス導入路内で、排ガスの温度が副生成物を生成する温度範囲の上限より高い温度になるように、ヒータの温度が設定される必要がある。
【０１８５】
この構成によれば、排ガスをそのガス流路内で直接加熱しているので、リボンヒータを配管の外周に巻く従来の場合に比べて、少ない電力で排ガスを効率よく加熱することができる。
【０１８６】
また、配管内のヒータの外周には、フィン１７が設けられているため、流通する排ガスがかき混ぜられて、温度の均一性がよくなっている。したがって、トラップ入口での排ガスの温度変動も小さい。
【０１８７】
特に、トラップ入口のガス導入路の周囲を、図２６（ａ）、（ｂ）に示すように、断熱部材で囲むことで、トラップ入口付近の排ガスの温度低下を抑制できるため、さらに、排ガスを加熱するためのヒータの電力を減らすことができる。
よって、より小さい温度マージンをもって加熱できるため、より一層低電力でかつ確実に、トラップ内に入るまで副生成物の生成を防止することができる。
【０１８８】
なお、リボンヒータの場合、配管の外側から配管壁を介して排ガスを加熱しており、配管内部には何も設置されていない。よって、配管内では、配管側の温度が高く、配管の中心にいくほど温度が低くなっているため、均一な温度になり難い。よって、断熱部材を設置しても温度マージンを大きくする必要がある。
【符号の説明】
【０１８９】
1, 1a, 1b, 1c…トラップ、2, 2a…ヒータを備えた配管、3, 19, 22…ガス入口、4…ガス出口（トラップ（或いはトラップ装置）からのガス出口）、4a…ガス出口（ガス送出室或いは第２ガス送出室からのガス出口）、5、6, 33, 34, 92a, 92b…フランジ、7、32, 36…導管、8, 8a, 8b…接続部材、9…ポンプ、10, 10a, 23…外囲器、11…ヒータ部、12…シースヒータ、13…フィンユニット、14…リード線部、15…開口端、16…基部、17…フィン、18…ガス出口、20a, 20b, 20c, 61c…ガス流路、21, 21a, 21b…流路切替え具（接続部材）、24, 24a, 24b…第1通気口、25, 25a…回転具、26, 26a, 26b…第２通気口、27…第１蓋部材、28…第３通気口、29…第２蓋部材、30…第４通気口、31…回転軸、32a…第２ガス流路、33a…支持凸部、35, 35a…第１ガス流路、36a…外管、36b…内管、37〜37a…ガス導入路、37…ガス入口（トラップへのガス入口）、37a…ガス入口（Ａ室へのガス入口）、40, 40a, 40b, 50, 51, 51a, 51b, 63…捕獲部材、41, 52…支持基板、42, 44, 53…支持棒、42a…支持板、43, 46a, 46b, 54, 56, 57…捕獲体、43a, 54a…棒状部材或いは板状部材、45, 55…棚板、47a, 47b, 60a, 60b…仕切り壁、48a, 48b, 61a, 61b, 61d, 77…通気口、49a, 49b, 49c, 49d, 62a, 62b, 62c, 62d…筐体壁、60c…流路壁、62ca, 67a…上枠、62cb…載置板、62e…筒状部材（断熱材）、64a, 64b…開口部、65, 67b, 71b…枠、66, 70…捕獲部、67…引出し、67c, 71a…底板、68, 95…シール部材、69…水、71…容器、72a…給水口、72b…排水口、73a…給水管、73b…排水管、78…フィルター、79…第２ガス送出室、80a, 80b…流路形成板、91a…ガス出口配管、91b…外管、93b…ガス導入路、94b…内管（断熱材）、100, 100a, 100b, 100c…トラップ装置、101…処理装置、102…除害装置、A…ガス導入室（Ａ室）、Aa…膨張部、B…ガス流路（Ｂ流路）、C…ガス送出室（Ｃ室）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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