(57)【要約】【課題】搬送物を所望の姿勢に保つことができる非接触搬送装置を提供する。【解決手段】非接触搬送装置１は、搬送物Ｗを浮上させた状態で搬送する。非接触搬送装置１は、搬送物Ｗの一面Ｗ１に正の空気圧Ｐ１を供給することにより搬送物Ｗを浮上させる浮力発生部１０と、搬送物Ｗの他面Ｗ２に正の空気圧Ｐ２を供給することにより搬送物Ｗの姿勢を調整する姿勢調整部２０と、を備える。これにより、搬送物Ｗを所望の姿勢に保つことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物を浮上させた状態で搬送する非接触搬送装置であって、
前記搬送物の一面に正の空気圧を供給することにより前記搬送物を浮上させる浮力発生部と、
前記搬送物の他面に正の空気圧を供給することにより前記搬送物の姿勢を調整する姿勢調整部と、を備える、
非接触搬送装置。
【請求項２】
前記搬送物を搬送する際に、前記姿勢調整部の前記正の空気圧を前記浮力発生部の前記正の空気圧よりも大きく設定する空気圧設定部を備える、
請求項１に記載の非接触搬送装置。
【請求項３】
一対の前記姿勢調整部は、前記搬送物が搬送される搬送方向に沿って離間して位置する、
請求項１又は２に記載の非接触搬送装置。
【請求項４】
一対の前記浮力発生部は、前記一対の姿勢調整部に対応して、前記搬送方向に沿って離間して位置する、
請求項３に記載の非接触搬送装置。
【請求項５】
前記一対の浮力発生部の間の空間又は前記一対の姿勢調整部の間の空間には、前記搬送物を加工する加工部及び前記搬送物を検査する検査部の少なくとも何れかが設けられる、
請求項４に記載の非接触搬送装置。
【請求項６】
前記搬送物を搬送する際に、前記姿勢調整部の前記正の空気圧を前記浮力発生部の前記正の空気圧よりも大きく設定し、前記搬送物が前記加工部又は前記検査部に対向する位置に到達したときに前記姿勢調整部の前記正の空気圧を小さくする空気圧設定部を備える、
請求項５に記載の非接触搬送装置。
【請求項７】
前記浮力発生部及び前記姿勢調整部は、それぞれ、
調圧室を有するケース部と、
前記搬送物に対向する対向面を有し、空気が通過する多孔質基板により形成され、前記調圧室を塞ぐように前記ケース部に装着される多孔質パッドと、
前記調圧室を加圧することにより、前記多孔質パッドを介して前記搬送物に前記正の空気圧を供給する圧力調整部と、を備え、
前記姿勢調整部は、前記姿勢調整部の前記対向面が前記浮力発生部の前記対向面と対面するように設けられる、
請求項１から６の何れか一項に記載の非接触搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非接触搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、搬送物を浮上させたうえで搬送する非接触搬送装置が知られている。例えば、特許文献１に記載の非接触搬送装置は、搬送物が設置される搬送用パッドと、搬送用パッドの背面側の空間を減圧又は加圧する搬送装置本体と、を備える。この搬送装置本体は、搬送用パッドの背面側の空間を加圧することにより、搬送物の下面に正の空気圧を加える。これにより、図８に示すように、搬送物Ｗは、搬送用パッド１１２に対して浮上する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１０３６２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記特許文献１の構成では、特に搬送物Ｗが板状である場合、搬送物Ｗが空気圧により上方向へ凸状をなすように撓むおそれがある。そこで、この状態から搬送用パッド１１２の背面側の空間が減圧されることにより、搬送物Ｗの撓みを緩和することが考えられる。しかし、この場合、搬送物Ｗを所望の姿勢に保つため減圧と加圧を繰り返す必要があるため、搬送物Ｗを所望の姿勢に保つことが困難であった。
【０００５】
本発明は、上記実状を鑑みてなされたものであり、搬送物を所望の姿勢に保つことができる非接触搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係る非接触搬送装置は、搬送物を浮上させた状態で搬送する非接触搬送装置であって、前記搬送物の一面に正の空気圧を供給することにより前記搬送物を浮上させる浮力発生部と、前記搬送物の他面に正の空気圧を供給することにより前記搬送物の姿勢を調整する姿勢調整部と、を備える。
【０００７】
また、上記非接触搬送装置において、前記搬送物を搬送する際に、前記姿勢調整部の前記正の空気圧を前記浮力発生部の前記正の空気圧よりも大きく設定する空気圧設定部を備える、ようにしてもよい。
【０００８】
また、上記非接触搬送装置において、一対の前記姿勢調整部は、前記搬送物が搬送される搬送方向に沿って離間して位置する、ようにしてもよい。
【０００９】
また、上記非接触搬送装置において、一対の前記浮力発生部は、前記一対の姿勢調整部に対応して、前記搬送方向に沿って離間して位置する、ようにしてもよい。
【００１０】
また、上記非接触搬送装置において、前記一対の浮力発生部の間の空間又は前記一対の姿勢調整部の間の空間には、前記搬送物を加工する加工部又は前記搬送物を検査する検査部の少なくとも何れかが設けられる、ようにしてもよい。
【００１１】
また、上記非接触搬送装置において、前記搬送物を搬送する際に、前記姿勢調整部の前記正の空気圧を前記浮力発生部の前記正の空気圧よりも大きく設定し、前記搬送物が前記加工部又は前記検査部に対向する位置に到達したときに前記姿勢調整部の前記正の空気圧を小さくする空気圧設定部を備える、ようにしてもよい。
【００１２】
また、上記非接触搬送装置において、前記浮力発生部及び前記姿勢調整部は、それぞれ、調圧室を有するケース部と、前記搬送物に対向する対向面を有し、空気が通過する多孔質基板により形成され、前記調圧室を塞ぐように前記ケース部に装着される多孔質パッドと、前記調圧室を加圧することにより、前記多孔質パッドを介して前記搬送物に前記正の空気圧を供給する圧力調整部と、を備え、前記姿勢調整部は、前記姿勢調整部の前記対向面が前記浮力発生部の前記対向面と対面するように設けられる、ようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、非接触搬送装置において、搬送物を所望の姿勢に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る非接触搬送装置の模式的な正面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る非接触搬送装置の模式的な正面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る非接触搬送装置の模式的な平面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る非接触搬送装置の模式的な正面図である。
【図５】本発明の変形例に係る非接触搬送装置の模式的な正面図である。
【図６】本発明の変形例に係る非接触搬送装置の模式的な平面図である。
【図７】本発明の変形例に係る非接触搬送装置の模式的な正面図である。
【図８】背景技術に係る非接触搬送装置の模式的な正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（第１の実施形態）
本発明に係る非接触搬送装置の第１の実施形態について図１及び図２を参照して説明する。
【００１６】
図１に示すように、非接触搬送装置１は、板状の搬送物Ｗを浮上させる浮力発生部１０と、搬送物Ｗの姿勢を調整する姿勢調整部２０と、非接触搬送装置１を制御する制御部３０と、浮上する搬送物Ｗを搬送方向Ｙに沿って搬送する搬送部４０と、を備える。
【００１７】
浮力発生部１０は、多孔質パッド１２と、ケース部１４と、圧力調整部１５と、流量計１６と、連結管１７と、を備える。
ケース部１４は、多孔質パッド１２に向けて開口した箱状をなし、圧力調整部１５により加圧される調圧室１４ａを備える。
圧力調整部１５は、制御部３０による制御のもと、調圧室１４ａ内を加圧するコンプレッサーにより構成されている。圧力調整部１５は、ケース部１４から延びる連結管１７を介して調圧室１４ａ内に接続されている。
流量計１６は、連結管１７内の単位時間あたりの流量を検出する。
【００１８】
多孔質パッド１２は、ケース部１４の開口を覆うように板状をなす。詳しくは、多孔質パッド１２は、空気を通す材質、例えば、多数の気孔が形成されたセラミック製の多孔性基板により形成される。多孔質パッド１２は、その表面に搬送物Ｗに対向する搬送面１２ａを備える。
搬送物Ｗは、例えば、セラミックス、アルミニウム等の金属、樹脂、紙、木等の材質により板状に形成される。具体的には、搬送物Ｗは、太陽電池パネル、半導体パネル、液晶パネル、プリント基板、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）パネル、ガラス板又はポリマー等のフィルム等である。
【００１９】
圧力調整部１５により調圧室１４ａ内が加圧されることにより、多孔質パッド１２の搬送面１２ａから搬送物Ｗの一面Ｗ１に向けて正の空気圧Ｐ１が印加され、搬送物Ｗは搬送面１２ａに対して浮上する。本例では、浮力発生部１０は、正の空気圧Ｐ１が重力方向に対向するように設けられる。
【００２０】
姿勢調整部２０は、浮力発生部１０と同様の構成を有する。すなわち、姿勢調整部２０は、浮力発生部１０の搬送面１２ａに相当する空気入出面２２ａを有する多孔質パッド２２と、調圧室２４ａを有するケース部２４と、圧力調整部２５と、流量計２６と、連結管２７と、を備える。
姿勢調整部２０は、その空気入出面２２ａが浮力発生部１０の搬送面１２ａに対面する位置に設けられる。
【００２１】
姿勢調整部２０の圧力調整部２５により調圧室２４ａ内が加圧されることにより、多孔質パッド２２の空気入出面２２ａから搬送物Ｗの他面Ｗ２に向けて正の空気圧Ｐ２が供給される。これにより、後述するように搬送物Ｗの姿勢が調整される。
【００２２】
図１に示すように、搬送部４０は搬送面１２ａに対して浮上した搬送物Ｗを搬送する。搬送部４０は、搬送物Ｗに対向する複数の搬送棒４１と、制御部３０の制御のもと複数の搬送棒４１を搬送方向Ｙに沿って移動させる駆動部４２と、を備える。搬送棒４１は、例えば搬送物Ｗに超音波を送ることにより非接触にて搬送物Ｗを駆動部４２とともに搬送方向Ｙに搬送させてもよいし、搬送物Ｗに吸着した状態で搬送物Ｗを駆動部４２とともに搬送方向Ｙに搬送させてもよい。
【００２３】
制御部３０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等から構成される。制御部３０は、流量計１６，２６により検出された流量に基づき圧力調整部１５，２５を駆動する。例えば、制御部３０は、浮力発生部１０の搬送面１２ａからの正の空気圧Ｐ１よりも姿勢調整部２０の空気入出面２２ａからの正の空気圧Ｐ２を大きく設定する。
【００２４】
次に、空気圧Ｐ１，Ｐ２と搬送物Ｗの姿勢との関係について説明する。
姿勢調整部２０の空気圧Ｐ２と浮力発生部１０の空気圧Ｐ１とのバランス、すなわち比率により、搬送物Ｗの姿勢が調整される。例えば、浮力発生部１０の空気圧Ｐ１に対して姿勢調整部２０の空気圧Ｐ２がゼロから徐々に増加するにつれて、図８に示す搬送物Ｗは上方向へ凸状をなすように撓む姿勢から、搬送面１２ａに沿って平板に近づくように変形する。浮力発生部１０の空気圧Ｐ１が姿勢調整部２０の空気圧Ｐ２と同等になったときに搬送物Ｗは平板状をなす。本実施形態では、図２に示すように、姿勢調整部２０の空気圧Ｐ２は、浮力発生部１０の空気圧Ｐ１よりも大きく設定されている。これにより、搬送物Ｗは搬送面１２ａに向けて凸状をなすように撓む。姿勢調整部２０の空気圧Ｐ２が大きくなるにつれて搬送物Ｗの曲率が大きくなる。搬送物Ｗがこの姿勢をとることにより、搬送物Ｗが搬送方向Ｙに沿って搬送される際に、搬送物Ｗの搬送方向Ｙの縁部Ｗ３が搬送面１２ａ又は他の構造物（例えば次のステージ）に干渉することが抑制される。よって、より円滑に搬送物Ｗを搬送することができる。
【００２５】
（効果）
以上、説明した第１の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
【００２６】
（１）非接触搬送装置１は、搬送物Ｗを浮上させた状態で搬送する。非接触搬送装置１は、搬送物Ｗの一面Ｗ１に正の空気圧Ｐ１を供給することにより搬送物Ｗを浮上させる浮力発生部１０と、搬送物Ｗの他面Ｗ２に正の空気圧Ｐ２を供給することにより搬送物Ｗの姿勢を調整する姿勢調整部２０と、を備える。
この構成によれば、搬送物Ｗの他面Ｗ２に正の空気圧Ｐ２が供給されることにより、搬送物Ｗを所望の姿勢に保つことができる。
また、搬送物Ｗの他面Ｗ２に正の空気圧Ｐ２が供給されることにより搬送物Ｗの他面Ｗ２に付着した塵埃又は水分を除去することができる。
【００２７】
（２）非接触搬送装置１は、搬送物Ｗを搬送する際に、姿勢調整部２０の正の空気圧Ｐ２を浮力発生部１０の正の空気圧Ｐ１よりも大きく設定する空気圧設定部に相当する制御部３０を備える。
この構成によれば、図２に示すように、搬送物Ｗは搬送面１２ａに向けて凸状をなすように撓む。搬送物Ｗがこの姿勢をとることにより、搬送物Ｗが搬送方向Ｙに沿って搬送される際に、搬送物Ｗの縁部Ｗ３が搬送面１２ａ又は他の構造物に干渉することが抑制される。よって、より円滑に搬送物Ｗを搬送することができる。例えば、搬送面１２ａに段差が存在する場合であっても、搬送物Ｗの縁部Ｗ３がこの段差に干渉せずに、円滑に搬送物Ｗを搬送することができる。
【００２８】
（３）浮力発生部１０及び姿勢調整部２０は、それぞれ、調圧室１４ａ，２４ａを有するケース部１４，２４と、搬送物Ｗに対向する対向面である搬送面１２ａ及び空気入出面２２ａを有し、空気が通過する多孔質基板により形成され、調圧室１４ａ，２４ａを塞ぐようにケース部１４，２４に装着される多孔質パッド１２，２２と、調圧室１４ａ，２４ａを加圧することにより、多孔質パッド１２，２２を介して搬送物Ｗに正の空気圧Ｐ１，Ｐ２を供給する圧力調整部１５，２５と、を備える。姿勢調整部２０は、姿勢調整部２０の空気入出面２２ａが浮力発生部１０の搬送面１２ａと対面するように設けられる。
この構成によれば、浮力発生部１０及び姿勢調整部２０からの空気圧Ｐ１，Ｐ２を搬送面１２ａに沿う面方向において均等化することができる。よって、搬送物Ｗを所望の姿勢にて安定的に浮上させることができる。
【００２９】
（第２の実施形態）
本発明に係る非接触搬送装置の第２の実施形態について図３及び図４を参照して説明する。本実施形態の非接触搬送装置は、搬送物Ｗである基板を露光する装置である。
【００３０】
図３及び図４に示すように、非接触搬送装置１は、一対の浮力発生部１０ａ，１０ｂと、一対の姿勢調整部２０ａ，２０ｂと、露光部５０と、を備える。各浮力発生部１０ａ，１０ｂは、上記第１の実施形態の浮力発生部１０と同様の構成を有する。各姿勢調整部２０ａ，２０ｂは、上記第１の実施形態の姿勢調整部２０と同様の構成を有する。
【００３１】
一対の浮力発生部１０ａ，１０ｂは、搬送方向Ｙに沿って空間Ｓｐ２を介して離間して位置する。一対の姿勢調整部２０ａ，２０ｂは、搬送方向Ｙに沿って空間Ｓｐ１を介して離間して位置する。
姿勢調整部２０ａの空気入出面２２ａは浮力発生部１０ａの搬送面１２ａに対面し、姿勢調整部２０ｂの空気入出面２２ａは浮力発生部１０ｂの搬送面１２ａに対面する。
【００３２】
露光部５０は、一対の姿勢調整部２０ａ，２０ｂの間の空間Ｓｐ１に設けられる。露光部５０は、光を照射する光源５１と、光源５１からの光のうち特定の部分の光のみを搬送物Ｗの他面Ｗ２に照射するフォトマスク５２と、を備える。搬送物Ｗは、その他面Ｗ２側に露光部５０からの光により感光するレジスト層を有する。露光部５０は、搬送物Ｗを加工する加工部に相当する。なお、加工部は、搬送物Ｗを搬送しながら搬送物Ｗを加工してもよいし、搬送物Ｗを停止させた状態で搬送物Ｗを加工してもよい。
【００３３】
搬送物Ｗの一部分Ｗａは浮力発生部１０ａと姿勢調整部２０ａの間に非接触にて保持され、搬送物Ｗの他部分Ｗｂは浮力発生部１０ｂと姿勢調整部２０ｂの間に非接触にて保持される。例えば、制御部３０は、各浮力発生部１０ａ，１０ｂの搬送面１２ａからの正の空気圧Ｐ１と各姿勢調整部２０ａ，２０ｂの空気入出面２２ａからの正の空気圧Ｐ２とを同一に設定する。これにより、搬送物Ｗの一部分Ｗａ及び他部分Ｗｂは搬送面１２ａに沿った平面状にて撓みが少ない状態で保持される。よって、搬送物Ｗにおける一部分Ｗａ及び他部分Ｗｂの間の露出部Ｗｃには歪みが生じづらい。よって、露出部Ｗｃを露光することにより、搬送物Ｗにより精度高くパターンを形成することができる。
【００３４】
（効果）
以上、説明した第２の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
【００３５】
（１）一対の姿勢調整部２０ａ，２０ｂは、搬送物Ｗが搬送される搬送方向Ｙに沿って離間して位置する。
この構成によれば、搬送物Ｗにおける２箇所、すなわち搬送物Ｗの一部分Ｗａ及び他部分Ｗｂにおいて、搬送物Ｗが所望の姿勢に保たれる。よって、搬送物Ｗにおける一部分Ｗａ及び他部分Ｗｂの間に歪みが生じることが抑制される。
【００３６】
（２）一対の浮力発生部１０ａ，１０ｂは、一対の姿勢調整部２０ａ，２０ｂに対応して、搬送方向Ｙに沿って離間して位置する。
この構成によれば、搬送物Ｗにおける一部分Ｗａ及び他部分Ｗｂの間の露出部Ｗｃを歪みが少ない状態で外部に露出させることができる。
【００３７】
（３）一対の姿勢調整部２０ａ，２０ｂの間の空間Ｓｐ１には加工部に相当する露光部５０が設けられる。
この構成によれば、搬送物Ｗの歪みが少ない状態で、搬送物Ｗを加工することができるため、より精度の高い加工が可能となる。
【００３８】
（変形例）
なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することができる。
【００３９】
上記第２の実施形態においては、加工部の一例として露光部５０が採用されていたが、露光部５０以外の加工部５０ａであってもよい。例えば、加工部５０ａは、搬送物Ｗにインクを射出するインクジェット装置、ローラに巻き付けられたフィルムをこのローラの回転とともに搬送物Ｗに貼り合わせるフィルム貼合せ装置、レーザーカット装置、レーザーアニール装置、研磨装置、研削装置、洗浄装置又はラビング装置であってもよい。
また、非接触搬送装置１は、露光部５０に代えて、図４に示すように、搬送物Ｗを検査する検査部５０ｂを備えていてもよい。検査部５０ｂは、例えば、ＡＯＩ（Automated Optical Inspection）等の外観検査装置、Ｘ線検査装置等であってもよい。露光部５０に代えて加工部５０ａ及び検査部５０ｂの何れの構成が採用された場合も、検査又は加工の際に、搬送物Ｗの歪みを抑制できるため好ましい。
【００４０】
加工部５０ａ及び検査部５０ｂは、一対の姿勢調整部２０ａ，２０ｂの間の空間Ｓｐ１に限らず、一対の浮力発生部１０ａ，１０ｂの間の空間Ｓｐ２に設けられていてもよい。また、加工部５０ａ及び検査部５０ｂは、両方の空間Ｓｐ１，Ｓｐ２に設けられていてもよい。例えば、加工部５０ａに相当するインクジェット装置が両方の空間Ｓｐ１，Ｓｐ２に設けられることにより、両面印刷が可能となる。また、１つの空間Ｓｐ１，Ｓｐ２に複数の加工部５０ａ及び検査部５０ｂが設けられていてもよいし、空間Ｓｐ１，Ｓｐ２間で異なる種類の加工部５０ａ及び検査部５０ｂが設けられていてもよい。
【００４１】
上記第２の実施形態においては、非接触搬送装置１は、一対の浮力発生部１０ａ，１０ｂと、一対の姿勢調整部２０ａ，２０ｂと、を備えていたが、浮力発生部１０ｂ及び姿勢調整部２０ｂを省略してもよい。この場合、例えば、図５に示すように、非接触搬送装置１は、姿勢調整部２０ａと、姿勢調整部２０ａの空気入出面２２ａよりも大きい面積を有する搬送面１２ａを有する浮力発生部１０ａと、姿勢調整部２０ａの側方に設けられる加工部５０ａ又は検査部５０ｂと、を備える。この構成においても検査又は加工の前に、姿勢調整部２０ａからの空気圧Ｐ２と浮力発生部１０ａからの空気圧Ｐ１とにより搬送物Ｗの歪みが抑制されるため、より精度の高い加工又は検査を実現できる。また、加工又は検査の前に搬送物Ｗに付着した塵埃又は水分を除去することができる。
【００４２】
また、図６に示すように、姿勢調整部２０ａは、同図の破線で示す矩形板状の搬送物Ｗの周囲を囲むように、矩形の枠状に形成されていてもよい。この構成においては、搬送物Ｗの周囲が姿勢調整部２０ａ及び浮力発生部１０ａにより保持されるため、搬送物Ｗの歪みを抑制することができる。また、姿勢調整部２０ａの形状はこれに限らず、搬送物Ｗの形状に応じて適宜変更可能であり、例えば、楕円も含む円形枠状であってもよいし、４角形以外の多角形枠状であってもよい。浮力発生部１０ａは、図６に示すように姿勢調整部２０ａを含む長方形状をなしていてもよいし、姿勢調整部２０ａと同様に枠状に形成されていてもよい。
【００４３】
また、図７に示すように、図示しない制御部３０は、搬送部４０を介して姿勢調整部２０ａ及び浮力発生部１０ａの間で搬送物Ｗを搬送させる際には、浮力発生部１０ａの空気圧Ｐ１よりも姿勢調整部２０ａの空気圧Ｐ２を大きく設定し、搬送物Ｗが加工部５０ａ又は検査部５０ｂに対向する位置に到達したとき、姿勢調整部２０ａの空気圧Ｐ２を搬送時よりも小さくしてもよい。例えば、制御部３０は、搬送物Ｗが加工部５０ａ又は検査部５０ｂに対向する位置に到達したとき姿勢調整部２０ａの空気圧Ｐ２を浮力発生部１０ａの空気圧Ｐ１と同一となるまで小さくしてもよい。これにより、図７の一点鎖線で示すように搬送物Ｗは、搬送される際には、搬送面１２ａに向けて凸状をなすように撓むため、上述のように、より円滑に搬送物Ｗを搬送することができる。そして、図７の実線で示すように搬送物Ｗは、加工部５０ａ又は検査部５０ｂに対向する位置に到達したときには平板状をなす。このため、加工又は検査を行う際に搬送物Ｗが歪むことが抑制される。制御部３０は、搬送部４０の搬送棒４１の位置により搬送物Ｗが加工部５０ａ又は検査部５０ｂに対向する位置に到達した旨判定してもよいし、図示しない近接センサーの検出結果に基づき搬送物Ｗが加工部５０ａ又は検査部５０ｂに対向する位置に到達した旨判定してもよい。
【００４４】
上記第１の実施形態においては、浮力発生部１０及び姿勢調整部２０は、それぞれ圧力調整部１５，２５を備えていたが、共通した１つの圧力調整部を備えていてもよい。この場合、姿勢調整部２０ａの空気圧Ｐ２と浮力発生部１０ａの空気圧Ｐ１との差を出すために、姿勢調整部２０ａ及び浮力発生部１０ａの空気抵抗を適宜設定してもよい。例えば、多孔質パッド１２，２２の気孔率を下げることにより、又は多孔質パッド１２，２２の厚さを厚くすることにより、空気抵抗を大きくすることができる。これに着目して、姿勢調整部２０ａの空気圧Ｐ２を浮力発生部１０ａの空気圧Ｐ１よりも大きく設定する場合、多孔質パッド２２の気孔率を多孔質パッド１２の気孔率よりも大きく設定してもよいし、多孔質パッド１２の厚さを多孔質パッド２２よりも厚くしてもよい。この構成では、非接触搬送装置１をより簡易に構成することができる。この変形例は、上記第２の実施形態においても適用できる。
なお、この変形例では、上記のように多孔質パッド１２，２２の気孔率又は厚さを調整することが空気圧設定部に相当する。
【００４５】
上記各実施形態における、姿勢調整部２０の空気圧Ｐ２と浮力発生部１０の空気圧Ｐ１とのバランス又は比率は適宜変更可能である。例えば、姿勢調整部２０の空気圧Ｐ２は浮力発生部１０の空気圧Ｐ１よりも小さく設定されてもよい。
【００４６】
上記第１の実施形態においては、姿勢調整部２０は、浮力発生部１０と同様の構成を有していたが、搬送物Ｗの他面Ｗ２に向けて正の空気圧Ｐ２を供給できればどのような構成であってもよい。例えば、姿勢調整部２０は、ファン等の送風機であってもよい。この変形例は、上記第２の実施形態及び上記各変形例においても適用できる。
【符号の説明】
【００４７】
１  非接触搬送装置
１０，１０ａ，１０ｂ  浮力発生部
１２，２２  多孔質パッド
１２ａ  搬送面
１４，２４  ケース部
１４ａ，２４ａ  調圧室
１５，２５  圧力調整部
１６，２６  流量計
２０，２０ａ，２０ｂ  姿勢調整部
２２ａ  空気入出面
３０  制御部
４０  搬送部
４１  搬送棒
４２  駆動部
５０  露光部
５０ａ  加工部
５０ｂ  検査部
Ｐ１，Ｐ２  空気圧
Ｗ  搬送物
Ｓｐ１，Ｓｐ２  空間
【図１】
2019179818.tif 000003
【図２】
2019179818.tif 000004
【図３】
2019179818.tif 000005
【図４】
2019179818.tif 000006
【図５】
2019179818.tif 000007
【図６】
2019179818.tif 000008
【図７】
2019179818.tif 000009
【図８】
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