(57)【要約】【課題】被駆動部の不本意な変位を抑制することのできる駆動装置、駆動装置の駆動方法、ハンド、ロボットおよび搬送装置を提供すること。【解決手段】駆動装置は、第１部材と、前記第１部材に対して変位可能に接続されている第２部材と、モーターと、前記モーターからの駆動力を前記第２部材に伝達する伝達機構と、を有し、前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第２部材に伝達されることにより前記第２部材が前記第１部材に対して変位するように構成され、前記伝達機構は、前記モーター側から前記第２部材側に力を伝える伝達効率をＥ１とし、前記第２部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足するように構成されている。【選択図】図２
2019150912.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材と、
前記第１部材に対して変位可能に接続されている第２部材と、
モーターと、
前記モーターからの駆動力を前記第２部材に伝達する伝達機構と、を有し、
前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第２部材に伝達されることにより前記第２部材が前記第１部材に対して変位するように構成され、
前記伝達機構は、前記モーター側から前記第２部材側に力を伝える伝達効率をＥ１とし、前記第２部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足するように構成されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記伝達機構は、減速比が１以上である請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記伝達機構は、Ｅ１／Ｅ２＞１．３の関係を満足している請求項１または２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記伝達機構は、Ｅ２＝０である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記モーターは、圧電モーターである請求項１ないし４のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記伝達機構は、
前記第１部材に対して第１方向に変位可能な第１伝達部と、
前記第１部材に対して前記第１方向と交差する第２方向に変位可能な第２伝達部と、
前記第１伝達部および前記第２伝達部の一方に設けられ、前記第１方向および前記第２方向のそれぞれに対して傾斜した方向に延在するガイド部と、
前記第１伝達部および前記第２伝達部の他方に設けられ、前記ガイド部と係合する係合部と、を有し、
前記第１伝達部が前記モーターと接続され、
前記第２伝達部が前記第２部材と接続され、
前記モーターの駆動力によって前記第１伝達部が前記第１方向に変位すると、前記第２伝達部が前記第２方向に変位する請求項１ないし５のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項７】
第１部材と、
前記第１部材に対して変位可能に接続されている第２部材と、
前記第２部材に対して変位可能に接続されている第３部材と、
前記第１部材に対して前記第２部材を変位させる第１モーターと、
前記第２部材に対して前記第３部材を変位させる第２モーターと、を有する駆動装置の駆動方法であって、
前記第２モーターを介して前記第１モーターに外力が加わる場合は、前記第１モーターの駆動を停止させることを特徴とする駆動装置の駆動方法。
【請求項８】
第１部材と、
前記第１部材に対して変位可能に接続されている第２部材と、
モーターと、
前記モーターからの駆動力を前記第２部材に伝達する伝達機構と、を有し、
前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第２部材に伝達されることにより前記第２部材が前記第１部材に対して変位するように構成され、
前記伝達機構は、前記モーター側から前記第２部材側に力を伝える伝達効率をＥ１とし、前記第２部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足するように構成されていることを特徴とするハンド。
【請求項９】
第１部材と、
前記第１部材に対して変位可能に接続されている第２部材と、
モーターと、
前記モーターからの駆動力を前記第２部材に伝達する伝達機構と、を有し、
前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第２部材に伝達されることにより前記第２部材が前記第１部材に対して変位するように構成され、
前記伝達機構は、前記モーター側から前記第２部材側に力を伝える伝達効率をＥ１とし、前記第２部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足するように構成されていることを特徴とするロボット。
【請求項１０】
第１部材と、
前記第１部材に対して変位可能に接続されている第２部材と、
モーターと、
前記モーターからの駆動力を前記第２部材に伝達する伝達機構と、を有し、
前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第２部材に伝達されることにより前記第２部材が前記第１部材に対して変位するように構成され、
前記伝達機構は、前記モーター側から前記第２部材側に力を伝える伝達効率をＥ１とし、前記第２部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足するように構成されていることを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、駆動装置の駆動方法、ハンド、ロボットおよび搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基台と、基台に対して回転可能に接続されたリンク機構と、リンク機構に対して回転可能に接続されたアーム部と、アーム部に接続されたハンド部と、を有する多関節ロボットが記載されている。また、基台に対するリンク機構の回転およびリンク機構に対するアーム部の回転は、それぞれ、モーターの駆動により行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４５９５０５３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような構成の多関節ロボットでは、例えば、作業中にハンド部に加わる力によって、基台に対してリンク機構が不本意に回転したり、リンク機構に対してアーム部が不本意に回転したりするおそれがあり、ハンド部の位置精度が低下するという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の適用例に係る駆動装置は、第１部材と、
前記第１部材に対して変位可能に接続されている第２部材と、
モーターと、
前記モーターからの駆動力を前記第２部材に伝達する伝達機構と、を有し、
前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第２部材に伝達されることにより前記第２部材が前記第１部材に対して変位するように構成され、
前記伝達機構は、前記モーター側から前記第２部材側に力を伝える伝達効率をＥ１とし、前記第２部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足するように構成されていることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
【図２】図１の駆動装置が有する第１駆動ユニットを示す平面図である。
【図３】図２中のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図２の第１駆動ユニットが有するモーターを示す平面図である。
【図５】図４のモーターが有する圧電モジュールを示す斜視図である。
【図６】図５の圧電モジュールが有する圧電アクチュエーターを示す平面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
【図１０】本発明の第５実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
【図１１】本発明の第６実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
【図１２】本発明の第７実施形態に係るロボットを示す斜視図である。
【図１３】ベースとアームとの接続部を示す平面図である。
【図１４】本発明の第８実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。
【図１５】図１４の搬送装置が有する保持部を示す斜視図である。
【図１６】図１５の搬送装置が有するベースとＸ軸プレートとの接続部を示す下面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の駆動装置、駆動装置の駆動方法、ハンド、ロボットおよび搬送装置を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【０００８】
＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態に係る駆動装置およびハンドについて説明する。
【０００９】
図１は、本発明の第１実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。図２は、図１の駆動装置が有する第１駆動ユニットを示す平面図である。図３は、図２中のＡ−Ａ線断面図である。図４は、図２の第１駆動ユニットが有するモーターを示す平面図である。図５は、図４のモーターが有する圧電モジュールを示す斜視図である。図６は、図５の圧電モジュールが有する圧電アクチュエーターを示す平面図である。
【００１０】
なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とし、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」とも言う。また、各軸の矢印方向先端側を「プラス側」とも言い、反対側を「マイナス側」とも言う。
【００１１】
図１に示す駆動装置１は、対象物Ｗを把持することのできるハンド１０として適用されている。駆動装置１（ハンド１０）は、基部２（第１部材）と、基部２に対して変位可能な被駆動部３（第２部材）と、被駆動部３を基部２に対して変位させるためのモーター４と、モーター４の駆動力を被駆動部３に伝達する伝達機構５と、を有する。駆動装置１（ハンド１０）では、モーター４の駆動力が伝達機構５を介して被駆動部３に伝達されることにより被駆動部３が基部２に対して変位する。また、伝達機構５は、モーター４からの駆動力を被駆動部３に伝える伝達効率をＥ１とし、被駆動部３に加わる力をモーター４に伝える伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足するように設計されている。Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足することにより、被駆動部３に加わる力（以下、単に「外力」ともいう）による被駆動部３の意図しない変位を抑制することができる。そのため、駆動装置１によれば、被駆動部３の位置精度を効果的に高めることができる。以下、このような駆動装置１について詳細に説明する。
【００１２】
図１に示すように、伝達機構５は、Ｘ軸方向に並び、対称的に配置された伝達機構５１と伝達機構５２とを有する。また、被駆動部３は、Ｘ軸方向に並び、対称的に配置された指部３１と指部３２とを有する。そして、指部３１が伝達機構５１に接続され、指部３２が伝達機構５２に接続されている。また、モーター４は、モーター４１と、モーター４２とを有する。そして、モーター４１が伝達機構５１に接続され、モーター４２が伝達機構５２に接続されている。モーター４１が駆動すると、その駆動力が伝達機構５１を介して指部３１に伝わり、指部３１がＸ軸方向に変位する。同様に、モーター４２が駆動すると、その駆動力が伝達機構５２を介して指部３２に伝わり、指部３２がＸ軸方向に変位する。駆動装置１（ハンド１０）は、指部３１、３２をＸ軸方向に接近・離間させることにより、対象物Ｗを把持したり、リリースしたりすることができる。
【００１３】
このように、駆動装置１（ハンド１０）は、伝達機構５１、指部３１およびモーター４１からなる第１駆動ユニット６Ａと、伝達機構５２、指部３２およびモーター４２からなる第２駆動ユニット６Ｂと、を有する。第１駆動ユニット６Ａおよび第２駆動ユニット６Ｂは、互いに同様の構成であるため、以下では、説明の便宜上、第１駆動ユニット６Ａについて代表して説明し、第２駆動ユニット６Ｂについては、その説明を省略する。
【００１４】
図２および図３に示すように、伝達機構５１は、基部１１に対してＹ軸方向にスライド可能なＹ軸スライド部５１１（第１伝達部）と、基部１１に対してＸ軸方向にスライド可能なＸ軸スライド部５１２（第２伝達部）と、を有する。Ｙ軸スライド部５１１は、スライドガイド５１０を介して基部１１に支持されることにより、Ｙ軸方向にスライド可能となっている。また、Ｘ軸スライド部５１２は、スライドガイド５１０を介して基部１１に支持されることにより、Ｘ軸方向にスライド可能となっている。また、Ｙ軸スライド部５１１は、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜した方向に延在する長孔で構成されたガイド部５１１ａを有する。このようなＹ軸スライド部５１１に対して、Ｘ軸スライド部５１２は、ガイド部５１１ａ内に挿入され、ガイド部５１１ａと係合する突起（凸部）で構成された係合部５１２ａを有する。そのため、Ｙ軸スライド部５１１がＹ軸方向にスライドすれば、それに伴ってＸ軸スライド部５１２がＸ軸方向にスライドする。このような構成によれば、簡単な構成の伝達機構５１となる。
【００１５】
また、図２に示すように、Ｙ軸スライド部５１１にはモーター４１が接続され、モーター４１の駆動によってＹ軸スライド部５１１がＹ軸方向にスライドする。一方、Ｘ軸スライド部５１２には指部３１が固定され、Ｘ軸スライド部５１２がＸ軸方向にスライドすると、それと共に指部３１がＸ軸方向にスライドする。そのため、モーター４１を駆動すると、Ｙ軸スライド部５１１がＹ軸方向にスライドし、それに伴って、Ｘ軸スライド部５１２が指部３１と共にＸ軸方向にスライドする。
【００１６】
なお、伝達機構５１の構成としては、これに限定されず、例えば、本実施形態とは逆に、Ｘ軸スライド部５１２にガイド部５１１ａが設けられ、Ｙ軸スライド部５１１に係合部５１２ａが設けられていてもよい。また、本実施形態では、ガイド部５１１ａが貫通孔で構成されているが、これに限定されず、有底の溝で構成されていてもよい。
【００１７】
モーター４１としては、Ｙ軸スライド部５１１をＹ軸方向にスライドさせることができれば、特に限定されないが、本実施形態では圧電モーター（超音波モーター）を用いている。モーター４１として圧電モーターを用いることにより、モーター４１の小型化を図ることができる。
【００１８】
図４に示すように、モーター４１は、基部１１に固定されＹ軸スライド部５１１に押し付けられた圧電モジュール４４を有する。このようなモーター４１では、圧電モジュール４４を駆動（振動）させることにより、Ｙ軸スライド部５１１が基部１１に対してＹ軸方向にスライドする。一方、圧電モジュール４４の駆動（振動）が停止しているときは、圧電モジュール４４がＹ軸スライド部５１１に押し付けられた状態となり、これらの間に生じる摩擦力によってＹ軸スライド部５１１が基部１１に対して固定される。モーター４１として圧電モーターを用いることにより、モーター４１の駆動を停止しているときは指部３１の意図しない変位を抑制でき、指部３１を所定の位置に固定することができる。そのため、例えば、指部３１を固定するためのブレーキ機構等を別途搭載する必要がなく、駆動装置１の構成が簡単なものとなる。また、駆動装置１の小型化および低コスト化を図ることもできる。
【００１９】
図５に示すように、圧電モジュール４４は、複数の圧電アクチュエーター４５が積層してなる積層体４５０と、積層体４５０をＹ軸スライド部５１１に向けて付勢する付勢部４６と、を有する。また、図６に示すように、圧電アクチュエーター４５は、振動部４５１と、振動部４５１を支持する支持部４５２と、振動部４５１と支持部４５２とを接続する一対の接続部４５３と、振動部４５１の先端部に設けられ、Ｙ軸スライド部５１１に振動部４５１の駆動力を伝達する伝達部４５４と、を有する。
【００２０】
振動部４５１には５つの圧電素子４５１ａ、４５１ｂ、４５１ｃ、４５１ｄ、４５１ｅが設けられており、これら各圧電素子４５１ａ、４５１ｂ、４５１ｃ、４５１ｄ、４５１ｅに所定の駆動信号を印加することにより、振動部４５１が振動し（伝達部４５４が楕円運動し）、Ｙ軸スライド部５１１が基部１１に対してスライドする。
【００２１】
以上、モーター４１について説明したが、モーター４１の構成としては、これに限定されない。例えば、圧電モジュール４４の数が２以上であってもよいし、積層体４５０が有する圧電アクチュエーター４５の数が１〜３または４以上であってもよい。また、モーター４１としては、圧電モーターではなく、電磁モーターを用いてもよい。
【００２２】
以上、駆動装置１（ハンド１０）の構成について簡単に説明した。このような駆動装置１（ハンド１０）では、Ｙ軸スライド部５１１に形成されたガイド部５１１ａのリード角γ（ガイド部５１１ａの延在方向とＹ軸とのなす角）を調整することにより、Ｙ軸スライド部５１１とＸ軸スライド部５１２との減速比Ｒを調整することができる。なお、Ｙ軸スライド部５１１のＹ軸方向への移動距離をＲｙとし、そのときのＸ軸スライド部５１２のＸ軸方向への移動距離をＲｘとしたとき、減速比Ｒは、Ｒｙ／Ｒｘで表すことができる。例えば、リード角γ＝４５°とすれば減速比Ｒ＝１となり、リード角γ＜４５°とすれば減速比Ｒ＞１となり、リード角γ＞４５°とすれば減速比Ｒ＜１となる。
【００２３】
そして、本実施形態では、リード角γ≦４５°に設定されており、減速比Ｒ≧１となっている。このような関係を満足することで、モーター４１を最大駆動力で駆動している状態で、指部３１側からそれよりも大きな逆の駆動力を与えられても、指部３１の位置を保持することができる。すなわち、指部３１に加わる外力によっては指部３１がＸ軸方向にスライドし難くなり、指部３１の不本意な（意図しない）変位を効果的に抑制することができる。そのため、指部３１の位置精度が向上する。
【００２４】
なお、減速比Ｒとしては、さらに、減速比Ｒ＞２であることが好ましく、減速比Ｒ＞２．５であることがさらに好ましく、減速比Ｒ＞３．０であることがより好ましい。例えば、駆動装置１（ハンド１０）がロボットに装着されているような場合、駆動装置１は、静止状態に加わる負荷に抗した上で、１Ｇ程度の加速度にも耐えなければならない。そこで、減速比Ｒ＞２、好ましくは減速比Ｒ＞２．５、さらに好ましくは減速比Ｒ＞３．０とすることにより、１Ｇ程度の加速度にも十分耐えられる設計となる。
【００２５】
なお、減速比Ｒの上限（リード角γの下限）としては、特に限定されないが、例えば、減速比Ｒ≦１０（γ≧５°）であることが好ましい。これにより、指部３１の移動速度が過度に遅くなってしまうことを抑制することができる。例えば、一般的なモーター４１の駆動速度は、２００ｍｍ／ｓｅｃ程度であるが、指部３１、３２の開閉速度として２０ｍｍ／ｓｅｃ以上の速度が望ましい。このような場合には、減速比Ｒ≦１０とすることにより、より確実に、指部３１、３２の開閉速度を２０ｍｍ／ｓｅｃ以上とすることができる。
【００２６】
また、伝達機構５１は、モーター４１側から指部３１側に力を伝達する伝達効率をＥ１とし、指部３１側からモーター４１側に力を伝達する伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足する。別の言い方をすると、所定の力ＦでＹ軸スライド部５１１をＹ軸方向にスライドさせたときに、Ｘ軸スライド部５１２をＸ軸方向にスライドさせる力をＦ１とし、力ＦでＸ軸スライド部５１２をＸ軸方向にスライドさせたときに、Ｙ軸スライド部５１１をＹ軸方向にスライドさせる力をＦ２としたとき、Ｆ１＞Ｆ２の関係を満足する。このような関係を満足することにより、指部３１に加わる外力によっては指部３１がＸ軸方向にスライドし難くなり、指部３１の保持力が高まるため、指部３１の不本意な（意図しない）変位を効果的に抑制することができる。そのため、指部３１の位置精度が向上する。
【００２７】
なお、Ｅ１＞Ｅ２は、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足していれば特に限定されないが、さらには、Ｅ１／Ｅ２＞１．３の関係を満足していることが好ましく、Ｅ１／Ｅ２＞１．６の関係を満足していることがより好ましく、Ｅ１／Ｅ２＞２．０の関係を満足していることがさらに好ましい。このような関係を満足することにより、指部３１に加わる外力によっては指部３１がさらにＸ軸方向にスライドし難くなり、指部３１の不本意な（意図しない）変位をより効果的に抑制することができる。そのため、指部３１の位置精度がより向上する。
【００２８】
また、伝達効率Ｅ１としては、特に限定されないが、例えば、５０％以上であることが好ましく、６０％以上であることがより好ましい。これにより、モーター４１によって、指部３１をスムーズにスライドさせることができる。一方、伝達効率Ｅ２としては、特に限定されないが、例えば、５０％以下であることが好ましく、４０％以下であることがより好ましい。これにより、より確実に、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足することができる。
【００２９】
以上、駆動装置１（ハンド１０）について説明した。このような駆動装置１（ハンド１０）は、前述したように、基部１１（第１部材）と、基部１１に対して変位可能に接続されている被駆動部３（第２部材）と、モーター４と、モーター４からの駆動力を被駆動部３に伝達する伝達機構５と、を有する。そして、モーター４の駆動力が伝達機構５を介して被駆動部３に伝達されることにより被駆動部３が基部１１に対して変位するように構成されている。さらに、伝達機構５は、モーター４側から被駆動部３側に力を伝える伝達効率をＥ１とし、被駆動部３側からモーター４側に力を伝える伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足するように構成されている。Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足することにより、被駆動部３に加わる外力によっては被駆動部３が基部１１に対して変位し難くなり、被駆動部３の保持力が高まるため、被駆動部３の不本意な（意図しない）変位を効果的に抑制することができる。そのため、被駆動部３の位置精度が向上する。
【００３０】
また、前述したように、伝達機構５は、減速比Ｒが１以上である。すなわち、減速比Ｒ≧１の関係を満足する。減速比Ｒ≧１の関係を満足することにより、モーター４を最大駆動力で駆動している状態で、被駆動部３側からそれよりも大きな逆の駆動力を与えられても、被駆動部３の位置を保持することができる。すなわち、被駆動部３に加わる外力によっては被駆動部３が変位し難くなり、被駆動部３の不本意な（意図しない）変位を効果的に抑制することができる。そのため、被駆動部３の位置精度が向上する。
【００３１】
また、前述したように、伝達機構５は、Ｅ１／Ｅ２＞１．３の関係を満足していることが好ましい。このような関係を満足することで、被駆動部３に加わる外力によっては被駆動部３がさらにＸ軸方向にスライドし難くなり、被駆動部３の不本意な（意図しない）変位をより効果的に抑制することができる。そのため、被駆動部３の位置精度がより向上する。
【００３２】
また、前述したように、モーター４は、圧電モーターである。これにより、モーター４の小型化を図ることができる。また、圧電モーターによれば、駆動を停止しているときは被駆動部３を保持することができる。そのため、被駆動部３の不本意な（意図しない）変位を効果的に抑制することができる。
【００３３】
また、前述したように、伝達機構５は、基部１１に対してＹ軸方向（第１方向）に変位可能なＹ軸スライド部５１１（第１伝達部）と、基部１１に対してＹ軸方向と交差するＸ軸方向（第２方向）に変位可能なＸ軸スライド部５１２（第２伝達部）と、Ｙ軸スライド部５１１およびＸ軸スライド部５１２の一方（本実施形態ではＹ軸スライド部５１１）に設けられ、Ｙ軸方向およびＸ軸方向のそれぞれに対して傾斜した方向に延在するガイド部５１１ａと、Ｙ軸スライド部５１１およびＸ軸スライド部５１２の他方（本実施形態ではＸ軸スライド部５１２）に設けられ、ガイド部５１１ａと係合する係合部５１２ａと、を有する。そして、Ｙ軸スライド部５１１がモーター４と接続され、Ｘ軸スライド部５１２が被駆動部３と接続され、モーター４の駆動力によってＹ軸スライド部５１１がＹ軸方向に変位すると、Ｘ軸スライド部５１２がＸ軸方向に変位する。これにより、伝達機構５の構成が簡単なものとなる。
【００３４】
なお、駆動装置１（ハンド１０）としては、上述した本実施形態の構成に限定されない。例えば、本実施形態の駆動装置１は、第１駆動ユニット６Ａおよび第２駆動ユニット６Ｂを有しているが、これらのうちの一方を省略してもよい。また、これらと同じ構成の駆動ユニットを１つ以上追加してもよい。
【００３５】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る駆動装置およびハンドについて説明する。
【００３６】
図７は、本発明の第２実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
【００３７】
本実施形態に係る駆動装置１（ハンド１０）は、伝達機構５の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の駆動装置１（ハンド１０）と同様である。以下の説明では、第２実施形態の駆動装置１（ハンド１０）に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図７では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。また、本実施形態では、第１駆動ユニット６Ａおよび第２駆動ユニット６Ｂの構成が同様であるため、以下では、第１駆動ユニット６Ａについて代表して説明し、第２駆動ユニット６Ｂについては、その説明を省略する。
【００３８】
図７に示すように、伝達機構５１は、ウォームギア構造となっており、基部１１に対してＺ軸まわりに回転可能なウォームホイール５１３（歯車）と、ウォームホイール５１３に噛合し、基部１１に対してＸ軸まわりに回転可能なウォーム５１４（ねじ）と、を有する。そして、ウォーム５１４にモーター４１が接続され、ウォームホイール５１３に指部３１が固定されている。このような構成では、モーター４１の駆動によってウォーム５１４が回動すると、それに伴って、ウォームホイール５１３が指部３１と共にＺ軸まわりに回動する。
【００３９】
このように、伝達機構５１をウォームギア構造とすることにより、バックラッシを小さくすることができ、指部３１のがたつきを抑えることができる。また、伝達機構５１をウォームギア構造とすることにより、例えば、ウォーム５１４のリード角γ（進み角）を小さくすることにより、セルフロック機能が発現し、ウォームホイール５１３側からウォーム５１４側への回転の伝達が非常に困難になる。そのため、Ｅ１＞Ｅ２の関係を容易に満足することができる。特に、本実施形態では、伝達効率Ｅ２＝０である。すなわち、ウォーム５１４のリード角γを十分に小さくし、ハンド１０の作業中に生じると想定される指部３１側からウォームホイール５１３に加わる力（トルク）の最大値においては、ウォーム５１４が回転しないようになっている（がたつきによる変位は除く）。これにより、指部３１の不本意な（意図しない）変位を効果的に抑制することができる。そのため、指部３１の位置精度が向上する。
【００４０】
本実施形態では、モーター４１として、回転型の圧電モーターを用いている。モーター４１は、ウォーム５１４の基端部に固定された円盤状のローター４９と、基部１１に固定されローター４９に押し付けられた圧電モジュール４４と、を有する。このようなモーター４１では、圧電モジュール４４を駆動させることによりローター４９が回転し、それに伴ってウォーム５１４が回転する。一方、圧電モジュール４４の駆動が停止しているときは、圧電モジュール４４がローター４９に押し付けられた状態となり、これらの間に生じる摩擦力によってローター４９と共にウォーム５１４が基部１１に対して固定される。
【００４１】
なお、本実施形態において、減速比Ｒの上限としては、特に限定されないが、例えば、減速比Ｒ≦５０であることが好ましい。これにより、指部３１の移動速度が過度に遅くなってしまうことを抑制することができる。例えば、一般的なモーター４１では、ローター４９の回転速度が１０ｒｐｓ程度であるが、指部３１、３２の開閉速度として０．２ｒｐｓ以上が望ましい。このような場合には、減速比Ｒ≦５０とすることにより、より確実に、指部３１、３２の開閉速度を０．２ｒｐｓ以上とすることができる。
【００４２】
ここで、本実施形態における伝達効率Ｅ１（駆動効率）は、Ｅ１＝ｔａｎγ／ｔａｎ（γ＋ρ）で表される。なお、γは、リード角であり、減速比Ｒであるｔａｎ（９０°−γ°）に対応している。また、ρは、摩擦角であり、ρ=ｔａｎ−１（μ）で表される。なお、μは、駆動方向における従動方向荷重に対する摩擦係数である。一方、伝達効率Ｅ２（駆動効率）は、Ｅ２＝ｔａｎ（γ−ρ）／ｔａｎγで表される。そのため、γとρを選択することにより、Ｅ１＞Ｅ２を実現することができ、駆動力よりも大きな保持力が得られる。さらには、γ≦ρの場合、伝達効率Ｅ２は０か負になるためウォームホィール５１３からウォーム５１４を回転することができない（セルフロック）ので一層大きな保持力が得られる。
【００４３】
以上、第２実施形態の駆動装置１について説明した。このような駆動装置１では、前述したように、伝達効率Ｅ２＝０である。これにより、指部３１の不本意な（意図しない）変位を効果的に抑制することができる。そのため、指部３１の位置精度が向上する。
【００４４】
このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００４５】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る駆動装置およびハンドについて説明する。
【００４６】
図８は、本発明の第３実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
【００４７】
本実施形態に係る駆動装置１（ハンド１０）は、指部３１、３２の構成が異なること以外は、前述した第２実施形態の駆動装置１（ハンド１０）と同様である。以下の説明では、第３実施形態の駆動装置１（ハンド１０）に関し、前述した第２実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図８では、前述した第２実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。また、本実施形態では、第１駆動ユニット６Ａおよび第２駆動ユニット６Ｂの構成が同様であるため、以下では、第１駆動ユニット６Ａについて代表して説明し、第２駆動ユニット６Ｂについては、その説明を省略する。
【００４８】
図８に示すように、指部３１は、ウォームホイール５１３に固定されている基端部３１１と、基端部３１１の先端部に、基端部３１１に対して回動可能に設けられたローター３１２と、ローター３１２に固定された先端部３１３と、を有する。また、基端部３１１には、ローター３１２を回動させるためのモーター７１が設けられている。モーター７１は、前述した圧電モジュール４４と同様の構成の圧電モジュール７４を備え、圧電モジュール７４がローター３１２の外周に押し付けられている。このような構成の指部３１によれば、先端部３１３を基端部３１１に対して回動させることができるため、対象物を把持し易くなる。
【００４９】
このような構成では、モーター４１がモーター７１に比べて指部３１の先端までの長さが長いので、対象物を把持する際に大きなトルクを必要とする。そこで、伝達機構５１を設けて伝達効率Ｅ２を低くすることにより、対象物を把持する際に必要なトルクが小さく済む。そのため、駆動装置１の小型化や低電力化を図ることができる。
【００５０】
このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００５１】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係る駆動装置およびハンドについて説明する。
【００５２】
図９は、本発明の第４実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
【００５３】
本実施形態に係る駆動装置１（ハンド１０）は、伝達機構５の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の駆動装置１（ハンド１０）と同様である。以下の説明では、第４実施形態の駆動装置１（ハンド１０）に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図９では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。また、本実施形態では、第１駆動ユニット６Ａおよび第２駆動ユニット６Ｂの構成が同様であるため、以下では、第１駆動ユニット６Ａについて代表して説明し、第２駆動ユニット６Ｂについては、その説明を省略する。
【００５４】
図９に示すように、伝達機構５１は、基部１１に対してＺ軸まわりに回転可能な歯車５１５と、歯車５１５に噛合し、基部１１に対してＺ軸まわりに回転可能な歯車５１６と、を有する。また、歯車５１６の径は、歯車５１５の径よりも小さい。そして、歯車５１６にモーター４１が接続され、歯車５１５に指部３１が固定されている。このような構成では、モーター４１の駆動によって歯車５１６が回動すると、それに伴って、歯車５１５が指部３１と共にＺ軸まわりに回動する。例えば、歯車５１５、５１６がインボリュート歯車の場合には、すべり率を調整することにより、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足することができ、歯車５１５、５１６がサイクロイド歯車の場合には、圧力角を調整することにより、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足することができる。
【００５５】
本実施形態では、モーター４１として、回転型の圧電モーターを用いている。モーター４１は、歯車５１６に同軸的に固定された円盤状のローター４９と、基部１１に固定されローター４９に押し付けられた圧電モジュール４４と、を有する。このようなモーター４１では、圧電モジュール４４を駆動（振動）させることによりローター４９が回転し、それに伴って歯車５１６が回転する。一方、圧電モジュール４４の駆動（振動）が停止しているときは、圧電モジュール４４がローター４９に押し付けられた状態となり、これらの間に生じる摩擦力によってローター４９と共に歯車５１６が基部１１に対して固定される。
【００５６】
このような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。なお、歯車５１６および歯車５１５として、不可逆回転歯形を有する歯車を用い、歯車５１５側から歯車５１６側への回転の伝達が困難となるように設計してもよい。
【００５７】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態に係る駆動装置について説明する。
【００５８】
図１０は、本発明の第５実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
【００５９】
図１０に示す駆動装置１００は、基部１１０（第１部材）と、基部１１０に回動可能に接続された第１アーム１２０（第２部材）と、第１アーム１２０に回動可能に接続された第２アーム１３０（第３部材）と、第２アーム１３０の先端部に接続されたハンド１０と、基部１１０に対して第１アーム１２０を回動させる第１モーター１４０と、第１アーム１２０に対して第２アーム１３０を変位させる第２モーター１５０と、第１モーター１４０および第２モーター１５０の駆動を制御する制御装置１６０と、を有する。
【００６０】
そして、制御装置１６０は、第２モーター１５０を介して第１モーター１４０に外力が加わる場合は、第１モーター１４０の駆動を停止させる。このように、第２モーター１５０を介して第１モーター１４０に外力が加わる場合に第１モーター１４０の駆動を停止させることにより、第１アーム１２０が基部１１０に対して保持されている状態で、第２アーム１３０を第１アーム１２０に対して回動させることができるため、第２アーム１３０の位置精度が安定する。以下、このような駆動装置１００について詳細に説明する。
【００６１】
第１アーム１２０は、その基端部において基部１１０に軸受されており、基部１１０に対してＺ軸まわりに回動可能となっている。また、第２アーム１３０は、その基端部において第１アーム１２０の先端部に軸受されており、第１アーム１２０に対してＺ軸まわりに回動可能となっている。なお、第１アーム１２０の回動の中心軸Ｊ１と第２アーム１３０の回動の中心軸Ｊ２とは平行である。
【００６２】
また、第１モーター１４０は、第１アーム１２０の基端部に固定された円盤状のローター１４１と、基部１１０に固定されローター１４１に押し付けられた圧電モジュール１４２と、を有する。このような第１モーター１４０では、圧電モジュール１４２を駆動（振動）させることによりローター１４１が回転し、それに伴って第１アーム１２０が基部１１０に対して回動する。一方、圧電モジュール１４２の駆動（振動）が停止しているときは、圧電モジュール１４２がローター１４１に押し付けられた状態となり、これらの間に生じる摩擦力によってローター１４１と共に第１アーム１２０が基部１１０に対して固定される。なお、圧電モジュール１４２としては、例えば、前述した第１実施形態の圧電モジュール４４を用いることができる。
【００６３】
また、第２モーター１５０は、第２アーム１３０の基端部に固定された円盤状のローター１５１と、第１アーム１２０に固定されローター１５１に押し付けられた圧電モジュール１５２と、を有する。このような第２モーター１５０では、圧電モジュール１５２を駆動（振動）させることによりローター１５１が回転し、それに伴って第２アーム１３０が第１アーム１２０に対して回動する。一方、圧電モジュール１５２の駆動（振動）が停止しているときは、圧電モジュール１５２がローター１５１に押し付けられた状態となり、これらの間に生じる摩擦力によってローター１５１と共に第２アーム１３０が第１アーム１２０に対して固定される。なお、圧電モジュール１５２としては、例えば、前述した第１実施形態の圧電モジュール４４を用いることができる。
【００６４】
制御装置１６０は、例えば、プロセッサーと、プロセッサーに通信可能に接続されたメモリーと、外部インターフェースと、を有する。そして、制御装置１６０の各部は、種々のバスを介して通信可能に接続されている。プロセッサーは、メモリーに記憶された各種プログラム等を実行する。メモリーには、プロセッサーにより実行可能な各種プログラムが保存（記憶）されている。また、メモリーには、外部インターフェースで受け付けた各種データの保存が可能である。メモリーは、例えばＲＡＭ（Random Access Memory）等の揮発性メモリーや、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の不揮発性メモリー等を含んで構成されている。
【００６５】
このような制御装置１６０は、第２モーター１５０を介して第１モーター１４０に外力が加わっている状態では、第１モーター１４０の駆動を停止する。前述したように、第１モーター１４０の駆動が停止している状態では、圧電モジュール１４２がローター１４１に押し付けられており、これらの間に生じる摩擦力によって第１アーム１２０が基部１１０に対して固定される。すなわち、基部１１０に対する第１アーム１２０のがたつきが抑制されている。そのため、第２モーター１５０を介して加わる外力によって、第１アーム１２０が基部１１０に対して不本意に変位してしまうことを効果的に抑制することができる。よって、ハンド１０の位置精度を高めることができる。
【００６６】
以上、駆動装置１００について説明した。このような駆動装置１００の駆動方法は、基部１１０（第１部材）と、基部１１０に対して変位可能に接続されている第１アーム１２０（第２部材）と、第１アーム１２０に対して変位可能に接続されている第２アーム１３０（第３部材）と、基部１１０に対して第１アーム１２０を変位させる第１モーター１４０と、第１アーム１２０に対して第２アーム１３０を変位させる第２モーター１５０と、を有する駆動装置１００の駆動方法である。そして、この駆動方法は、第２モーター１５０を介して第１モーター１４０に外力が加わる場合は、第１モーター１４０の駆動を停止させる。このような構成とすることにより、第２モーター１５０を介して加わる外力によって、第１アーム１２０が基部１１０に対して不本意に変位してしまうことを効果的に抑制することができる。よって、ハンド１０の位置精度を高めることができる。
【００６７】
なお、駆動装置１００の構成としては、特に限定されず、例えば、第２アーム１３０とハンド１０との間に、さらに、少なくとも１つの回動可能なアームが設けられていてもよい。また、本実施形態では、第１部材が基部１１０であるが、これに限定されず、第１部材は、他の部材に回動可能に接続されたアームであってもよい。
【００６８】
＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態に係る駆動装置について説明する。
【００６９】
図１１は、本発明の第６実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
【００７０】
本実施形態に係る駆動装置１００は、第１モーター１４０が伝達機構１７０を介して第１アーム１２０と接続されていること以外は、前述した第５実施形態の駆動装置１００と同様である。以下の説明では、第６実施形態の駆動装置１００に関し、前述した第５実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１１では、前述した第５実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【００７１】
図１１に示すように、本実施形態の駆動装置１００は、第１モーター１４０の駆動力を第１アーム１２０に伝達する伝達機構１７０を有する。伝達機構１７０は、ウォームギア構造となっており、基部１１０に対してＺ軸まわりに回転可能なウォームホイール１７１と、ウォームホイール１７１に噛合し、基部１１０に対して回転可能なウォーム１７２と、を有する。そして、ウォーム１７２に第１モーター１４０が接続され、ウォームホイール１７１に第１アーム１２０が固定されている。第１モーター１４０の駆動によってウォーム１７２が回動すると、それに伴って、ウォームホイール１７１が第１アーム１２０と共にＺ軸まわりに回動する。
【００７２】
また、前述した第２実施形態と同様に、伝達機構１７０は、第１モーター１４０側から第１アーム１２０側に力を伝える伝達効率をＥ１とし、第１アーム１２０側から第１モーター１４０側に力を伝える伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足するように構成されている。Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足することにより、第１アーム１２０に加わる外力によっては第１アーム１２０が基部１１０に対して変位し難くなり、第１アーム１２０の保持力が高まるため、第１アーム１２０の不本意な変位を効果的に抑制することができる。そのため、第１アーム１２０の位置精度が向上する。
【００７３】
このような第６実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００７４】
＜第７実施形態＞
次に、本発明の第７実施形態に係るロボットについて説明する。
【００７５】
図１２は、本発明の第７実施形態に係るロボットを示す斜視図である。図１３は、ベースとアームとの接続部を示す平面図である。
【００７６】
図１２に示すロボット１０００は、精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット１０００は、ロボット本体１１００と、ロボット本体１１００に装着されている駆動装置１（ハンド１０）と、を有する。
【００７７】
ロボット本体１１００は、６軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース１１１０（第１部材）と、ベース１１１０に回動自在に連結されたアーム１１２０（第２部材）と、アーム１１２０に回動自在に連結されたアーム１１３０と、アーム１１３０に回動自在に連結されたアーム１１４０と、アーム１１４０に回動自在に連結されたアーム１１５０と、アーム１１５０に回動自在に連結されたアーム１１６０と、アーム１１６０に回動自在に連結されたアーム１１７０と、これらアーム１１２０、１１３０、１１４０、１１５０、１１６０、１１７０の駆動を制御する制御装置１１８０と、を有する。また、アーム１１７０にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット本体１１００に実行させる作業に応じたエンドエフェクターとして、駆動装置１（ハンド１０）が装着される。
【００７８】
図１３は、ベース１１１０とアーム１１２０との接続部を示す図である。ロボット１０００は、ベース１１１０に設けられたモーター１２００と、モーター１２００からの駆動力をアーム１１２０に伝達する伝達機構１３００と、を有する。そして、モーター１２００の駆動力が伝達機構１３００を介してアーム１１２０に伝達されることによりアーム１１２０がベース１１１０に対して変位する。モーター１２００および伝達機構１３００の構成としては、特に限定されないが、本実施形態では、前述した第４実施形態と同様の構成を用いている。
【００７９】
さらに、伝達機構１３００は、モーター１２００側からアーム１１２０側に力を伝える伝達効率をＥ１とし、アーム１１２０側からモーター１２００側に力を伝える伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足するように構成されている。Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足することにより、アーム１１２０に加わる外力によってはアーム１１２０がベース１１１０に対して変位し難くなり、アーム１１２０の保持力が高まるため、アーム１１２０の不本意な変位を効果的に抑制することができる。そのため、アーム１１２０の位置精度が向上する。
【００８０】
なお、図示しないが、アーム１１２０、１１３０の接続部、アーム１１３０、１１４０の接続部、アーム１１４０、１１５０の接続部、アーム１１５０、１１６０の接続部およびアーム１１６０、１１７０の接続部についても、ベース１１１０とアーム１１２０との接続部と同様の構成、すなわち、モーター１２００と伝達機構１３００とを有する構成となっている。ただし、これら複数の接続部のうちの少なくとも１つの接続部が、モーター１２００と伝達機構１３００とを有する構成となっていればよい。
【００８１】
以上、ロボット１０００について説明した。このようなロボット１０００は、前述したように、ベース１１１０（第１部材）と、ベース１１１０に対して変位可能に接続されているアーム１１２０（第２部材）と、モーター１２００と、モーター１２００からの駆動力をアーム１１２０に伝達する伝達機構１３００と、を有し、モーター１２００からの駆動力が伝達機構１３００を介してアーム１１２０に伝達されることによりアーム１１２０がベース１１１０に対して変位するように構成されている。また、伝達機構１３００は、モーター１２００側からアーム１１２０側に力を伝える伝達効率をＥ１とし、アーム１１２０側からモーター１２００側に力を伝える伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足するように構成されている。これにより、アーム１１２０に加わる外力によってはアーム１１２０がベース１１１０に対して変位し難くなり、アーム１１２０の保持力が高まる。そのため、アーム１１２０の不本意な変位を効果的に抑制することができ、アーム１１２０の位置精度が向上する。
【００８２】
なお、ロボット１０００の構成としては、本実施形態の構成に限定されず、例えば、水平多関節ロボット（スカラロボット）や双腕ロボットであってもよい。
【００８３】
＜第８実施形態＞
次に、本発明の第８実施形態に係る搬送装置について説明する。
【００８４】
図１４は、本発明の第８実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。図１５は、図１４の搬送装置が有する保持部を示す斜視図である。図１６は、図１５の搬送装置が有するベースとＸ軸プレートとの接続部を示す下面図である。
【００８５】
図１４に示す搬送装置２０００は、電子部品検査装置に適用され、基台２１００と、基台２１００の側方に配置された支持台２２００と、各部の駆動を制御する制御装置２３００と、を有する。また、基台２１００には、検査対象の電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される上流側ステージ２１１０と、検査済みの電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される下流側ステージ２１２０と、上流側ステージ２１１０と下流側ステージ２１２０との間に位置し、電子部品Ｑの電気的特性を検査する検査台２１３０と、が設けられている。なお、電子部品Ｑの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、ＣＬＤやＯＬＥＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種ＭＥＭＳデバイス等が挙げられる。
【００８６】
また、支持台２２００には、支持台２２００に対してＹ軸方向に移動可能なＹステージ２２１０が設けられており、Ｙステージ２２１０には、Ｙステージ２２１０に対してＸ軸方向に移動可能なＸステージ２２２０が設けられており、Ｘステージ２２２０には、Ｘステージ２２２０に対してＺ軸方向に移動可能な電子部品保持部２２３０が設けられている。
【００８７】
また、図１５に示すように、電子部品保持部２２３０は、ベース２２３１と、ベース２２３１に対してＸ軸方向に移動可能なＸ軸プレート２２３２と、Ｘ軸プレート２２３２に対してＹ軸方向に移動可能なＹ軸プレート２２３３と、Ｙ軸プレート２２３３に対してＺ軸まわりに回動可能な回動部２２３４と、回動部２２３４に設けられ、電子部品Ｑを保持する保持部２２３５と、を有する。
【００８８】
図１６は、ベース２２３１とＸ軸プレート２２３２との接続部を示す図である。電子部品保持部２２３０は、ベース２２３１に設けられたモーター２２３６と、モーター２２３６からの駆動力をＸ軸プレート２２３２に伝達する伝達機構２２３７と、を有する。そして、モーター２２３６の駆動力が伝達機構２２３７を介してＸ軸プレート２２３２に伝達されることにより、Ｘ軸プレート２２３２がベース２２３１に対してＸ軸方向に移動する。モーター２２３６および伝達機構２２３７の構成としては、特に限定されないが、本実施形態では、前述した第１実施形態と同様の構成を用いている。
【００８９】
なお、図示しないが、Ｘ軸プレート２２３２とＹ軸プレート２２３３との接続部およびＹ軸プレート２２３３と回動部２２３４との接続部についても、ベース２２３１とＸ軸プレート２２３２との接続部と同様に、モーター２２３６と伝達機構２２３７とを有する構成となっている。ただし、これら複数の接続部のうちの少なくとも１つの接続部が、モーター２２３６と伝達機構２２３７とを有する構成となっていればよい。
【００９０】
以上、搬送装置２０００について説明した。このような搬送装置２０００は、前述したように、ベース２２３１（第１部材）と、ベース２２３１に対して変位可能に接続されているＸ軸プレート２２３２（第２部材）と、モーター２２３６と、モーター２２３６からの駆動力をＸ軸プレート２２３２に伝達する伝達機構２２３７と、を有し、モーター２２３６からの駆動力が伝達機構２２３７を介してＸ軸プレート２２３２に伝達されることによりＸ軸プレート２２３２がベース２２３１に対して変位するように構成されている。また、伝達機構２２３７は、モーター２２３６側からＸ軸プレート２２３２側に力を伝える伝達効率をＥ１とし、Ｘ軸プレート２２３２側からモーター２２３６側に力を伝える伝達効率をＥ２としたとき、Ｅ１＞Ｅ２の関係を満足するように構成されている。これにより、Ｘ軸プレート２２３２に加わる外力によってはＸ軸プレート２２３２がベース２２３１に対して変位し難くなり、Ｘ軸プレート２２３２の保持力が高まる。そのため、Ｘ軸プレート２２３２の不本意な変位を効果的に抑制することができ、Ｘ軸プレート２２３２の位置精度が向上する。
【００９１】
なお、搬送装置２０００の構成としては、本実施形態の構成に限定されず、例えば、対象物を載置するステージであってもよい。この場合、ステージは、基部と、基部に対してＸ軸方向に移動可能なＸステージと、Ｘステージに対してＹ軸方向に移動可能なＹステージと、を有し、基部に対してＸステージを移動させたり、Ｘ軸ステージに対してＹ軸ステージを移動させたりするのに、モーターと伝達機構を用いることができる。
【００９２】
以上、本発明の駆動装置、駆動装置の駆動方法、ハンド、ロボットおよび搬送装置を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した実施形態では、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸がそれぞれ直交しているが、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、交差していればよく、直交していなくてもよい。
【符号の説明】
【００９３】
１…駆動装置、１０…ハンド、１１…基部、２…基部、３…被駆動部、３１、３２…指部、３１１…基端部、３１２…ローター、３１３…先端部、４、４１、４２…モーター、４４…圧電モジュール、４５…圧電アクチュエーター、４５０…積層体、４５１…振動部、４５１ａ〜４５１ｅ…圧電素子、４５２…支持部、４５３…接続部、４５４…伝達部、４６…付勢部、４９…ローター、５、５１、５２…伝達機構、５１０…スライドガイド、５１１…Ｙ軸スライド部、５１１ａ…ガイド部、５１２…Ｘ軸スライド部、５１２ａ…係合部、５１３…ウォームホイール、５１４…ウォーム、５１５、５１６…歯車、６Ａ…第１駆動ユニット、６Ｂ…第２駆動ユニット、７１…モーター、７４…圧電モジュール、１００…駆動装置、１１０…基部、１２０…第１アーム、１３０…第２アーム、１４０…第１モーター、１４１…ローター、１４２…圧電モジュール、１５０…第２モーター、１５１…ローター、１５２…圧電モジュール、１６０…制御装置、１７０…伝達機構、１７１…ウォームホイール、１７２…ウォーム、１０００…ロボット、１１００…ロボット本体、１１１０…ベース、１１２０〜１１７０…アーム、１１８０…制御装置、１２００…モーター、１３００…伝達機構、２０００…搬送装置、２１００…基台、２１１０…上流側ステージ、２１２０…下流側ステージ、２１３０…検査台、２２００…支持台、２２１０…Ｙステージ、２２２０…Ｘステージ、２２３０…電子部品保持部、２２３１…ベース、２２３２…Ｘ軸プレート、２２３３…Ｙ軸プレート、２２３４…回動部、２２３５…保持部、２２３６…モーター、２２３７…伝達機構、２３００…制御装置、Ｊ１、Ｊ２…中心軸、Ｑ…電子部品、Ｗ…対象物、γ…リード角
【図１】
2019150912.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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