(57)【要約】【課題】時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供する。【解決手段】複数の単位処理データ（各単位処理データは複数の時系列データを含む）を処理するデータ処理方法には、複数の単位処理データのうちの予め定められている単位処理データを基準データとして評価対象の単位処理データと基準データとに基づいて評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価ステップ（Ｓ１０〜Ｓ９０）と、単位処理データ評価ステップで算出された評価値に基づいて基準データを変更する基準データ変更ステップ（Ｓ１００〜Ｓ１３０）とが含まれる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
前記複数の単位処理データのうちの予め定められている単位処理データを基準データとして、評価対象の単位処理データと前記基準データとに基づいて前記評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価ステップと、
前記単位処理データ評価ステップで算出された評価値に基づいて前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含むことを特徴とする、データ処理方法。
【請求項２】
前記基準データ変更ステップでは、前記単位処理データ評価ステップで算出された評価値に基づいて複数の単位処理データの順位付けが行われ、当該順位付けの結果に基づいて、変更後の基準データとする単位処理データが決定されることを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
【請求項３】
前記基準データ変更ステップは、
前記順位付けの結果に従って、複数の単位処理データのそれぞれについての属性を表す属性データをランキング形式で表示するランキング表示ステップと、
前記ランキング表示ステップで表示された複数の属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データについての属性データを選択する基準データ選択ステップと
を含むことを特徴とする、請求項２に記載のデータ処理方法。
【請求項４】
前記基準データ変更ステップでは、前記順位付けによる順位が１位である単位処理データが、変更後の基準データに定められることを特徴とする、請求項２に記載のデータ処理方法。
【請求項５】
前記単位処理データ評価ステップは、
前記評価対象の単位処理データと前記基準データとを比較するデータ比較ステップと、
前記データ比較ステップで得られた比較結果を得点化した比較結果値を算出する比較結果得点化ステップと、
前記比較結果値を含む複数の指標値に基づいて前記評価値を算出する評価値算出ステップと
を含むことを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項６】
前記データ比較ステップでは、前記評価対象の単位処理データに含まれる各時系列データの正規化が行われることを特徴とする、請求項５に記載のデータ処理方法。
【請求項７】
前記単位処理データ評価ステップは、
複数の項目について前記評価対象の単位処理データと前記基準データとをデータ値に加工を施すことなく直接的に比較するデータ比較ステップと、
前記データ比較ステップで得られた前記複数の項目についての比較結果に基づく比較結果値を算出する比較結果値算出ステップと、
前記比較結果値を含む複数の指標値に基づいて前記評価値を算出する評価値算出ステップと
を含むことを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項８】
前記複数の指標値には、互いに単位が異なる２以上の指標値が含まれていることを特徴とする、請求項５から７までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項９】
前記単位処理データ評価ステップは、各単位処理データに対応する単位処理が実行された際に生じたアラームの発生回数を得点化したアラーム値を算出するアラーム回数得点化ステップを含み、
前記複数の指標値には、前記アラーム値が含まれていることを特徴とする、請求項８に記載のデータ処理方法。
【請求項１０】
前記単位処理データ評価ステップは、各単位処理データについての前記基準データとしての推奨度を得点化した推奨値を算出する推奨度得点化ステップを含み、
前記複数の指標値には、前記推奨値が含まれていることを特徴とする、請求項８または９に記載のデータ処理方法。
【請求項１１】
前記単位処理データ評価ステップは、複数の単位処理データのそれぞれについての属性を表す属性データであって前記データ比較ステップで得られた比較結果を含む属性データを一覧表示した比較結果画面を表示する比較結果表示ステップを含み、
前記比較結果画面に表示される属性データには、前記推奨度が含まれ、
前記比較結果画面は、前記推奨度を外部から変更することができるように構成されていることを特徴とする、請求項１０に記載のデータ処理方法。
【請求項１２】
前記単位処理データ評価ステップは、複数の単位処理データのそれぞれについての属性を表す属性データであって前記データ比較ステップで得られた比較結果を含む属性データを一覧表示した比較結果画面を表示する比較結果表示ステップを含み、
前記比較結果画面に表示される属性データには、任意の項目のデータ値の入力が可能な任意入力データが含まれ、
前記比較結果画面は、前記任意入力データのデータ値を外部から変更することができるように構成され、
前記複数の指標値には、前記任意入力データのデータ値が含まれていることを特徴とする、請求項８に記載のデータ処理方法。
【請求項１３】
前記単位処理データ評価ステップは、前記評価値を算出する際の前記複数の指標値のそれぞれの寄与度を設定する寄与度設定ステップを含むことを特徴とする、請求項５から１２までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項１４】
前記単位処理データ評価ステップは、
前記評価対象の単位処理データと前記基準データとを比較して比較結果値を求めるデータ比較ステップと、
各単位処理データについての前記基準データとしての推奨度を得点化した推奨値を算出する推奨度得点化ステップと、
各単位処理データに対応する単位処理が実行された際に生じたアラームの発生回数を得点化したアラーム値を算出するアラーム回数得点化ステップと、
前記データ比較ステップで得られた比較結果を得点化した比較結果値を算出する比較結果得点化ステップと、
複数の指標値に基づいて前記評価値を算出する評価値算出ステップと
を含み、
前記複数の指標値には、前記推奨値と前記アラーム値と前記比較結果値とが含まれ、
前記単位処理データ評価ステップは、前記評価値を算出する際の前記複数の指標値のそれぞれの寄与度を設定する寄与度設定ステップを更に含むことを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項１５】
前記単位処理データ評価ステップで算出される評価値は、前記評価対象の単位処理データと前記基準データとをデータ値に加工を施すことなく直接的に比較することによって求められる値であることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項１６】
前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データとされる単位処理データは、予め設定された期間内に実行された単位処理で得られた１以上の単位処理データの中から選択されることを特徴とする、請求項１から１５までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項１７】
前記基準データは、予め用意されている基準データ記憶部に保持され、
前記基準データ変更ステップでは、前記基準データ記憶部に保持されている基準データの書き換えが行われることを特徴とする、請求項１から１６までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項１８】
前記単位処理は、基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする、請求項１から１７までのいずれか１項に記載のデータ処理方法。
【請求項１９】
前記基準データは、前記基板処理装置で最初に前記単位処理が実行されたときに得られた単位処理データであることを特徴とする、請求項１８に記載のデータ処理方法。
【請求項２０】
単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、
前記複数の単位処理データのうちの予め定められている単位処理データを基準データとして、評価対象の単位処理データと前記基準データとに基づいて前記評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価部と、
前記単位処理データ評価部で算出された評価値に基づいて前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備えることを特徴とする、データ処理装置。
【請求項２１】
単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、
前記複数の単位処理データのうちの予め定められている単位処理データを基準データとして、評価対象の単位処理データと前記基準データとに基づいて前記評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価部と、
前記単位処理データ評価部で算出された評価値に基づいて前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備えることを特徴とする、データ処理システム。
【請求項２２】
単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、
前記複数の単位処理データのうちの予め定められている単位処理データを基準データとして、評価対象の単位処理データと前記基準データとに基づいて前記評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価ステップと、
前記単位処理データ評価ステップで算出された評価値に基づいて前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
をコンピュータのＣＰＵがメモリを利用して実行することを特徴とする、データ処理プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタルデータ処理に関し、特に、時系列データを処理する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
機器や装置の異常を検出する方法として、機器や装置の動作状態を示す物理量（例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧、電流、温度、流量など）をセンサなどを用いて測定し、測定結果を発生順に並べて得られた時系列データを分析する方法が知られている。機器や装置が同じ条件で同じ動作を行う場合、異常がなければ、時系列データは同様に変化する。そこで、同様に変化する複数の時系列データを相互に比較して異常な時系列データを検出し、その異常な時系列データを分析することにより、異常の発生箇所や異常の原因の特定が可能となる。また、近年、コンピュータのデータ処理能力の向上が顕著である。このため、たとえデータ量が膨大であっても実用的な時間で必要な結果が得られるケースが多くなっている。このようなことからも、時系列データの分析が盛んになりつつある。
【０００３】
例えば、半導体製造装置では、各種のプロセスにおいて時系列データが得られる。そこで、半導体製造装置の分野においても、時系列データの分析や画面上への時系列データの表示などが行われている。
【０００４】
なお、本件発明に関連して、特開２０１７−８３９８５号公報には、利用者が分析しやすい態様で時系列データを表示する時系列データ処理装置の発明が開示されている。その時系列データ処理装置では、複数の時系列データが複数のグループに分けられて、グループ毎の異常度および各グループ内における時系列データの異常度が算出されている。そして、グループあるいは時系列データを異常度に基づいてランキングした結果が表示部に表示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−８３９８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体製造装置の一種である洗浄装置等の基板処理装置は、一般に、複数のチャンバ（処理室）を有している。それら複数のチャンバで同じレシピが実行された場合、当該複数のチャンバで均一な結果物が得られることが好ましい。従って、１つの基板処理装置に含まれる複数のチャンバは同じような処理性能を有することが好ましい。ところが、実際には複数のチャンバ間で処理性能に差が生じている。このため、或るチャンバにおいて基板に対する処理が正常に行われているときに別のチャンバにおいて同様の処理が正常に行われていないことがある。
【０００７】
そこで、基板処理装置の分野においても、異常の早期発見や異常の未然防止を図るため、上述したように、各種プロセスで得られた時系列データを分析することが行われつつある。ところで、同様に変化する複数の時系列データに含まれる各時系列データが異常であるか否かを判断するためには、評価対象となる各時系列データを理想的な時系列の値（データ値）を持つ時系列データと比較する必要がある。理想的な時系列の値を持つ時系列データとして、例えば、複数の時系列データの平均値で構成される時系列データを用いることが考えられる。ところが、平均値を算出する元となる複数の時系列データの中に他の値とはかけはなれた値を持つデータや異常な値を持つ多数のデータが含まれる場合、算出される平均値が必ずしも理想的な値とはならないので、異常が精度良く検出されない。
【０００８】
そこで、本発明は、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
前記複数の単位処理データのうちの予め定められている単位処理データを基準データとして、評価対象の単位処理データと前記基準データとに基づいて前記評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価ステップと、
前記単位処理データ評価ステップで算出された評価値に基づいて前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含むことを特徴とする。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明において、
前記基準データ変更ステップでは、前記単位処理データ評価ステップで算出された評価値に基づいて複数の単位処理データの順位付けが行われ、当該順位付けの結果に基づいて、変更後の基準データとする単位処理データが決定されることを特徴とする。
【００１１】
第３の発明は、第２の発明において、
前記基準データ変更ステップは、
前記順位付けの結果に従って、複数の単位処理データのそれぞれについての属性を表す属性データをランキング形式で表示するランキング表示ステップと、
前記ランキング表示ステップで表示された複数の属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データについての属性データを選択する基準データ選択ステップと
を含むことを特徴とする。
【００１２】
第４の発明は、第２の発明において、
前記基準データ変更ステップでは、前記順位付けによる順位が１位である単位処理データが、変更後の基準データに定められることを特徴とする。
【００１３】
第５の発明は、第１から第４までのいずれかの発明において、
前記単位処理データ評価ステップは、
前記評価対象の単位処理データと前記基準データとを比較するデータ比較ステップと、
前記データ比較ステップで得られた比較結果を得点化した比較結果値を算出する比較結果得点化ステップと、
前記比較結果値を含む複数の指標値に基づいて前記評価値を算出する評価値算出ステップと
を含むことを特徴とする。
【００１４】
第６の発明は、第５の発明において、
前記データ比較ステップでは、前記評価対象の単位処理データに含まれる各時系列データの正規化が行われることを特徴とする。
【００１５】
第７の発明は、第１から第４までのいずれかの発明において、
前記単位処理データ評価ステップは、
複数の項目について前記評価対象の単位処理データと前記基準データとをデータ値に加工を施すことなく直接的に比較するデータ比較ステップと、
前記データ比較ステップで得られた前記複数の項目についての比較結果に基づく比較結果値を算出する比較結果値算出ステップと、
前記比較結果値を含む複数の指標値に基づいて前記評価値を算出する評価値算出ステップと
を含むことを特徴とする。
【００１６】
第８の発明は、第５から第７までのいずれかの発明において、
前記複数の指標値には、互いに単位が異なる２以上の指標値が含まれていることを特徴とする。
【００１７】
第９の発明は、第８の発明において、
前記単位処理データ評価ステップは、各単位処理データに対応する単位処理が実行された際に生じたアラームの発生回数を得点化したアラーム値を算出するアラーム回数得点化ステップを含み、
前記複数の指標値には、前記アラーム値が含まれていることを特徴とする。
【００１８】
第１０の発明は、第８または第９の発明において、
前記単位処理データ評価ステップは、各単位処理データについての前記基準データとしての推奨度を得点化した推奨値を算出する推奨度得点化ステップを含み、
前記複数の指標値には、前記推奨値が含まれていることを特徴とする。
【００１９】
第１１の発明は、第１０の発明において、
前記単位処理データ評価ステップは、複数の単位処理データのそれぞれについての属性を表す属性データであって前記データ比較ステップで得られた比較結果を含む属性データを一覧表示した比較結果画面を表示する比較結果表示ステップを含み、
前記比較結果画面に表示される属性データには、前記推奨度が含まれ、
前記比較結果画面は、前記推奨度を外部から変更することができるように構成されていることを特徴とする。
【００２０】
第１２の発明は、第８の発明において、
前記単位処理データ評価ステップは、複数の単位処理データのそれぞれについての属性を表す属性データであって前記データ比較ステップで得られた比較結果を含む属性データを一覧表示した比較結果画面を表示する比較結果表示ステップを含み、
前記比較結果画面に表示される属性データには、任意の項目のデータ値の入力が可能な任意入力データが含まれ、
前記比較結果画面は、前記任意入力データのデータ値を外部から変更することができるように構成され、
前記複数の指標値には、前記任意入力データのデータ値が含まれていることを特徴とする。
【００２１】
第１３の発明は、第５から第１２までのいずれかの発明において、
前記単位処理データ評価ステップは、前記評価値を算出する際の前記複数の指標値のそれぞれの寄与度を設定する寄与度設定ステップを含むことを特徴とする。
【００２２】
第１４の発明は、第１から第４までのいずれかの発明において、
前記単位処理データ評価ステップは、
前記評価対象の単位処理データと前記基準データとを比較して比較結果値を求めるデータ比較ステップと、
各単位処理データについての前記基準データとしての推奨度を得点化した推奨値を算出する推奨度得点化ステップと、
各単位処理データに対応する単位処理が実行された際に生じたアラームの発生回数を得点化したアラーム値を算出するアラーム回数得点化ステップと、
前記データ比較ステップで得られた比較結果を得点化した比較結果値を算出する比較結果得点化ステップと、
複数の指標値に基づいて前記評価値を算出する評価値算出ステップと
を含み、
前記複数の指標値には、前記推奨値と前記アラーム値と前記比較結果値とが含まれ、
前記単位処理データ評価ステップは、前記評価値を算出する際の前記複数の指標値のそれぞれの寄与度を設定する寄与度設定ステップを更に含むことを特徴とする。
【００２３】
第１５の発明は、第１から第４までのいずれかの発明において、
前記単位処理データ評価ステップで算出される評価値は、前記評価対象の単位処理データと前記基準データとをデータ値に加工を施すことなく直接的に比較することによって求められる値であることを特徴とする。
【００２４】
第１６の発明は、第１から第１５までのいずれかの発明において、
前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データとされる単位処理データは、予め設定された期間内に実行された単位処理で得られた１以上の単位処理データの中から選択されることを特徴とする。
【００２５】
第１７の発明は、第１から第１６までのいずれかの発明において、
前記基準データは、予め用意されている基準データ記憶部に保持され、
前記基準データ変更ステップでは、前記基準データ記憶部に保持されている基準データの書き換えが行われることを特徴とする。
【００２６】
第１８の発明は、第１から第１７までのいずれかの発明において、
前記単位処理は、基板処理装置で１枚の基板に対して１つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする。
【００２７】
第１９の発明は、第１８の発明において、
前記基準データは、前記基板処理装置で最初に前記単位処理が実行されたときに得られた単位処理データであることを特徴とする。
【００２８】
第２０の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、
前記複数の単位処理データのうちの予め定められている単位処理データを基準データとして、評価対象の単位処理データと前記基準データとに基づいて前記評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価部と、
前記単位処理データ評価部で算出された評価値に基づいて前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備えることを特徴とする。
【００２９】
第２１の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、
前記複数の単位処理データのうちの予め定められている単位処理データを基準データとして、評価対象の単位処理データと前記基準データとに基づいて前記評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価部と、
前記単位処理データ評価部で算出された評価値に基づいて前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備えることを特徴とする。
【００３０】
第２２の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、
前記複数の単位処理データのうちの予め定められている単位処理データを基準データとして、評価対象の単位処理データと前記基準データとに基づいて前記評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価ステップと、
前記単位処理データ評価ステップで算出された評価値に基づいて前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
をコンピュータのＣＰＵがメモリを利用して実行することを特徴とする。
【発明の効果】
【００３１】
上記第１の発明によれば、単位処理で得られる一群の時系列データである単位処理データ毎に評価値が算出される。その際、評価値は、評価対象の単位処理データと予め定められた基準データとに基づいて算出される。このため、評価対象の単位処理データと基準データとの類似度合の大きさを当該評価対象の単位処理データの評価値に反映させることが可能となる。そして、評価値に基づいて基準データが変更されるので、変更前の基準データとの類似度合の大きい単位処理データを変更後の基準データに定めることが可能となる。このようにして基準データが好適に定められるので、各単位処理データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとを比較することによって、処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、本実施形態によれば、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
【００３２】
上記第２の発明によれば、理想的な時系列の値を持つ単位処理データを変更後の基準データに定めることが可能となる。
【００３３】
上記第３の発明によれば、評価値に基づく順位付けの結果を参照しつつ任意の単位処理データを変更後の基準データとして選択することができるので、ユーザーのニーズに合致した基準データの選択が可能となる。
【００３４】
上記第４の発明によれば、変更後の基準データとする単位処理データの作業者による選択が不要となるので、作業者の操作負荷が軽減される。また、作業者の操作ミスによって不適当な単位処理データが基準データに設定されることが防止される。
【００３５】
上記第５の発明によれば、評価値の算出が複数の指標値に基づいて行われるので、より好適に各単位処理データの評価値が算出される。
【００３６】
上記第６の発明によれば、時系列データの正規化が行われるので、より好適に各単位処理データの評価値が算出される。
【００３７】
上記第７の発明によれば、評価値を算出する際の１つの指標値である比較結果値を比較的簡易な計算で求めることが可能となる。また、評価値の算出が複数の指標値に基づいて行われるので、より好適に各単位処理データの評価値が算出される。
【００３８】
上記第８の発明によれば、単純に比較することのできない複数の項目の値から１つの評価値を算出することが可能となる。
【００３９】
上記第９の発明によれば、単位処理が実行された際に生じたアラームの発生回数を考慮して評価値を算出することが可能となる。
【００４０】
上記第１０の発明によれば、ユーザーによる推奨度（各単位処理データについての基準データとしての推奨度）を考慮して評価値を算出することが可能となる。
【００４１】
上記第１１の発明によれば、上記第１０の発明と同様の効果が得られる。
【００４２】
上記第１２の発明によれば、時系列データから得られない情報を考慮して評価値を算出することが可能となる。
【００４３】
上記第１３の発明によれば、複数の指標値のそれぞれの重要度を考慮して評価値を算出することが可能となる。
【００４４】
上記第１４の発明によれば、単位処理データと基準データとの比較結果，ユーザーによる推奨度（各単位処理データについての基準データとしての推奨度），および単位処理が実行された際に生じたアラームの発生回数を考慮して、かつ、それらの各々の重要度を考慮して、評価値を算出することが可能となる。
【００４５】
上記第１５の発明によれば、比較的簡易な計算で評価値を求めることが可能となる。
【００４６】
上記第１６の発明によれば、必要以上に古い単位処理データを基準データの候補から除外することが可能となり、現在の状況に合致した基準データの選択が可能となる。
【００４７】
上記第１７の発明によれば、基準データは基準データ記憶部に保持されるので、基準データの管理が容易となる。
【００４８】
上記第１８の発明によれば、基板処理装置で実行される処理の異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
【００４９】
上記第１９の発明によれば、基板処理装置製造後の基準データの最初の設定が好適に行われる。
【００５０】
上記第２０から上記第２２までの発明によれば、上記第１の発明と同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図２】ある１つの時系列データをグラフ化して表した図である。
【図３】上記実施形態において、単位処理データについて説明するための図である。
【図４】上記実施形態において、基板処理装置の制御部のハードウェア構成を示すブロック図である。
【図５】上記実施形態において、時系列データＤＢについて説明するための図である。
【図６】上記実施形態において、基準データＤＢについて説明するための図である。
【図７】上記実施形態において、基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。
【図８】上記実施形態において、スコアリング画面の一例を示す図である。
【図９】上記実施形態において、スコアリング結果一覧画面の一例を示す図である。
【図１０】上記実施形態において、推奨設定の際のスコアリング結果一覧画面の遷移を説明するための図である。
【図１１】上記実施形態において、推奨設定の際のスコアリング結果一覧画面の遷移を説明するための図である。
【図１２】上記実施形態において、ランキング設定画面の一例を示す図である。
【図１３】上記実施形態において、ランキング画面の一例を示す図である。
【図１４】上記実施形態において、基準データの変更が行われる際のランキング画面の遷移を説明するための図である。
【図１５】上記実施形態の第１の変形例において、基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。
【図１６】上記実施形態の第２の変形例において、基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。
【図１７】上記実施形態の第３の変形例において、ランキング設定画面の一例を示す図である。
【図１８】上記実施形態の第４の変形例において、スコアリング結果一覧画面の一例を示す図である。
【図１９】上記実施形態の第４の変形例において、データ値入力画面の一例を示す図である。
【図２０】上記実施形態の第４の変形例において、ランキング設定画面の一例を示す図である。
【図２１】上記実施形態の第５の変形例において、直接比較値の算出について説明するための図である。
【図２２】上記実施形態の第５の変形例において、評価項目毎の影響度を設定するための画面の一例を示す図である。
【図２３】上記実施形態の第６の変形例において、基準データ履歴画面の一例を示す図である。
【図２４】上記実施形態の第６の変形例において、期間指定画面の一例を示す図である。
【図２５】上記実施形態の第７の変形例において、チャンバランキング画面の一例を示す図である。
【図２６】上記実施形態の第７の変形例において、レシピランキング画面の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００５２】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態について説明する。
【００５３】
＜１．基板処理装置の構成＞
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置１の概略構成を示す図である。基板処理装置１は、インデクサ部１０と処理部２０とを備えている。インデクサ部１０は、複数枚の基板を収容可能な基板収容器（カセット）を載置するための複数個の基板収容器保持部１２と、基板収容器からの基板の搬出および基板収容器への基板の搬入を行うインデクサロボット１４とを含んでいる。処理部２０は、処理液を用いて基板の洗浄等の処理を行う複数個の処理ユニット２２と、処理ユニット２２への基板の搬入および処理ユニット２２からの基板の搬出を行う基板搬送ロボット２４とを含んでいる。処理ユニット２２の数は、例えば１２個である。この場合、例えば、３個の処理ユニット２２を積層したタワー構造体が図１に示すように基板搬送ロボット２４の周囲の４箇所に設けられる。各処理ユニット２２には基板に対する処理を行う空間であるチャンバが設けられており、チャンバ内で基板に処理液が供給される。また、基板処理装置１は、その内部に、マイクロコンピュータで構成される制御部１００を備えている。
【００５４】
基板に対する処理が行われる際、インデクサロボット１４は、基板収容器保持部１２に載置されている基板収容器から処理対象の基板を取り出して、当該基板を基板受け渡し部８を介して基板搬送ロボット２４に渡す。基板搬送ロボット２４は、インデクサロボット１４から受け取った基板を対象の処理ユニット２２に搬入する。基板に対する処理が終了すると、基板搬送ロボット２４は、対象の処理ユニット２２から基板を取り出して、当該基板を基板受け渡し部８を介してインデクサロボット１４に渡す。インデクサロボット１４は、基板搬送ロボット２４から受け取った基板を対象の基板収容器に搬入する。
【００５５】
制御部１００は、インデクサ部１０および処理部２０に含まれている制御対象（インデクサロボット１４を移動させる移動機構など）の動作を制御する。また、制御部１００は、この基板処理装置１でレシピが実行されることによって得られる時系列データを蓄積して保持し、当該時系列データを用いた各種データ処理を行う。
【００５６】
＜２．時系列データ＞
本実施形態に係る基板処理装置１では、各処理ユニット２２における処理に関わる機器の異常や各処理ユニット２２で行われた処理の異常などを検出するために、レシピが実行される都度、時系列データが取得される。本実施形態で取得される時系列データは、レシピが実行された際に各種の物理量（例えば、ノズルの流量、チャンバの内圧、チャンバの排気圧など）をセンサなどを用いて測定して測定結果を時系列に並べて得られたデータである。後述するデータ処理プログラムでは、各種の物理量はそれぞれ対応するパラメータの値として処理される。なお、１つのパラメータは１種類の物理量に対応する。
【００５７】
図２は、ある１つの時系列データをグラフ化して表した図である。この時系列データは、１つのレシピが実行されたときに１つの処理ユニット２２内のチャンバで１枚の基板に対する処理によって得られた或る物理量についてのデータである。なお、時系列データは複数の離散値で構成されるデータであるが、図２では時間的に隣接する２つのデータ値の間を直線で結んでいる。ところで、１つのレシピが実行されたときには、当該レシピが実行された処理ユニット２２毎に、様々な物理量についての時系列データが得られる。そこで、以下、１つのレシピが実行されたときに１つの処理ユニット２２内のチャンバで１枚の基板に対して行われる処理のことを「単位処理」といい、単位処理によって得られる一群の時系列データのことを「単位処理データ」という。１つの単位処理データには、模式的には図３に示すように、複数のパラメータについての時系列データおよび該当の単位処理データを特定するための複数の項目（例えば、処理の開始時刻・処理の終了時刻など）のデータ等からなる属性データが含まれている。なお、図３に関し、「パラメータＡ」，「パラメータＢ」，および「パラメータＣ」は、互いに異なる種類の物理量に対応している。
【００５８】
機器や処理の異常を検出するためには、レシピの実行によって得られた単位処理データを、処理結果として理想的なデータ値を持つ単位処理データと比較すべきである。より詳しくは、レシピの実行によって得られた単位処理データに含まれる複数の時系列データを、それぞれ、処理結果として理想的なデータ値を持つ単位処理データに含まれる複数の時系列データと比較すべきである。そこで、本実施形態においては、評価対象の単位処理データと比較するための単位処理データ（評価対象の単位処理データに含まれる複数の時系列データとそれぞれ比較するための複数の時系列データからなる単位処理データ）が基準データとしてレシピ毎に定められている。
【００５９】
なお、本実施形態では、１台の基板処理装置１において、処理ユニット２２の数（チャンバの数）に関わらず、レシピ毎に基準データが定められる。しかしながら、本発明はこれに限定されず、レシピ毎かつ処理ユニット２２毎に（すなわち、各レシピについて処理ユニット２２毎に）基準データを定めるようにしても良い。また、例えば１つの工場内に同タイプの複数の基板処理装置１が設置されているような場合に、各レシピに対してそれら複数の基板処理装置１に共通の１つの基準データを定めるようにしても良い（すなわち、複数の基板処理装置１からなるデータ処理システムの形態で実施することもできる）。この場合、特定の基板処理装置１で得られた単位処理データを基準データに定めるようにしても良いし、任意の基板処理装置１で得られた単位処理データを基準データに定めるようにしても良い。
【００６０】
＜３．制御部の構成＞
次に、基板処理装置１の制御部１００の構成について説明する。図４は、制御部１００のハードウェア構成を示すブロック図である。制御部１００は、ＣＰＵ１１０と主メモリ１２０と補助記憶装置１３０と表示部１４０と入力部１５０と通信制御部１６０とを備えている。ＣＰＵ１１０は、与えられた命令に従い各種演算処理等を行う。主メモリ１２０は、実行中のプログラムやデータ等を一時的に格納する。補助記憶装置１３０は、電源がオフされても保持されるべき各種プログラム・各種データを格納する。本実施形態においては、具体的には、後述するデータ処理を実行するためのデータ処理プログラム１３２が補助記憶装置１３０に格納されている。また、補助記憶装置１３０には、時系列データＤＢ１３４および基準データＤＢ１３６が設けられている。なお、「ＤＢ」は「ｄａｔａｂａｓｅ」の略である。時系列データＤＢ１３４には、模式的には図５に示すように、所定期間分の単位処理データが格納されている。基準データＤＢ１３６には、模式的には図６に示すように、レシピ毎に、基準データに定められた単位処理データが格納されている（「レシピＡ」，「レシピＢ」，および「レシピＣ」は、互いに異なるレシピを表している）。表示部１４０は、例えば、オペレータが作業を行うための各種画面を表示する。入力部１５０は、例えばマウスやキーボードなどであって、オペレータによる外部からの入力を受け付ける。通信制御部１６０は、データ送受信の制御を行う。
【００６１】
この基板処理装置１が起動すると、データ処理プログラム１３２が主メモリ１２０に読み込まれ、その主メモリ１２０に読み込まれたデータ処理プログラム１３２をＣＰＵ１１０が実行する。これにより、基板処理装置１は、データ処理装置として機能する。なお、データ処理プログラム１３２は、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ，ＤＶＤ−ＲＯＭ，フラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で提供される。
【００６２】
＜４．基準データの変更に関するデータ処理方法＞
本実施形態に係る基板処理装置１では、各レシピについての基準データを必要に応じて変更することが可能となっている。そこで、以下、１つのレシピに着目して、基準データを変更する手順について説明する。図７は、基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。図７に示す一連の処理は、基板処理装置１において制御部１００内のＣＰＵ１１０がデータ処理プログラム１３２を実行することによって実現される。なお、以下においては、評価対象の単位処理データのことを「評価対象データ」という。
【００６３】
まず、基板処理装置１で該当のレシピ（以下、「着目レシピ」という。）が実行されることにより、着目レシピが実行された処理ユニット２２から得られた評価対象データに基づくスコアリングが行われる（ステップＳ１０）。なお、スコアリングとは、評価対象データと基準データとの間で各パラメータの時系列データを比較してそれによって得られる結果を数値化する処理である。仮に着目レシピが８個の処理ユニット２２で実行された場合、当該８個の処理ユニット２２から得られる８個の評価対象データのそれぞれに基づいてスコアリングが行われる（すなわち、単位処理毎にスコアリングが行われる）ことにより、８個のスコアリング結果が得られる。スコアリングでは、複数の評価項目について「良」または「不良」の判断が行われる。その判断は、各パラメータについて、評価対象データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとに基づいて得られる検査値を当該検査値に対応する閾値と比較することによって行われる（実質的には、評価対象データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとを比較することによって行われる）。これに関し、検査値が閾値を超えた場合に、該当の評価項目が「不良」と判断される。なお、１つのパラメータに対して複数の評価項目が設けられていても良い。本実施形態においては、各評価対象データのスコアリング結果は、評価項目の総数を分母とし不良と判断された評価項目の数を分子とする態様で表される。
【００６４】
以下に評価項目の例を挙げる。
例１：或るパラメータに関する安定期間（図２参照）における時系列データの平均値
例２：或るパラメータに関する安定期間（図２参照）における時系列データの最大値
例３：或るパラメータに関する立ち上がり期間（図２参照）の長さ
例１の評価項目については、該当のパラメータに関する安定期間における“評価対象データに含まれる時系列データの平均値と基準データに含まれる時系列データの平均値との差”が上記検査値となる。例２の評価項目については、該当のパラメータに関する安定期間における“評価対象データに含まれる時系列データの最大値と基準データに含まれる時系列データの最大値との差”が上記検査値となる。例３の評価項目については、該当のパラメータに関する“評価対象データに含まれる時系列データについての立ち上がり期間の長さと基準データに含まれる時系列データについての立ち上がり期間の長さとの差”が上記検査値となる。
【００６５】
ところで、スコアリングの際に、各時系列データの正規化が行われるようにしても良い。例えば、各パラメータについて、基準データに含まれる時系列データの最大値が１、最小値が０に変換されるように、評価対象データに含まれる時系列データに線形変換が施されるようにしても良い。また、評価対象データには一般に複数のパラメータの時系列データが含まれているが、一部のパラメータの時系列データについてのみ正規化が行われるようにしても良い。なお、必要に応じて時系列データの正規化を行うことにより、後述する評価値をより好適に算出することが可能となる。
【００６６】
スコアリングの終了後、スコアリングの結果の表示が行われる（ステップＳ２０）。これについては、まず、スコアリングの結果の概略を示した例えば図８に示すようなスコアリング画面３０が表示部１４０に表示される。スコアリング画面３０には、処理ユニット２２の数に等しい数のボタン３２が設けられている。ボタン３２内には、処理ユニット名表示領域３２１と処理枚数表示領域３２２とエラー数表示領域３２３とが設けられている。処理ユニット名表示領域３２１には、該当の処理ユニット２２の名称が表示される。処理枚数表示領域３２２には、該当の処理ユニット２２内のチャンバで所定期間内に処理された基板の総数が表示される。エラー数表示領域３２３には、発生したエラー件数が表示される。なお、エラーが発生している処理ユニット２２については、符号３４で示すように、エラー件数に応じた大きさの円がエラー数表示領域３２３に表示される。
【００６７】
以上のようなスコアリング画面３０のいずれかのボタン３２が押下されると、該当の処理ユニット２２で実行された単位処理のスコアリング結果を示す画面が表示される。そして、当該画面上で１つの単位処理が選択されると、その選択された単位処理に対応するレシピについてのスコアリング結果を一覧表示した例えば図９に示すようなスコアリング結果一覧画面４０が表示部１４０に表示される。
【００６８】
図９に示すように、スコアリング結果一覧画面４０には、ボタン表示領域４１と検索対象表示領域４２と項目名表示領域４３と結果表示領域４４と期間表示領域４５とが含まれている。ボタン表示領域４１には、Ｇｏｏｄボタン４１１とＢａｄボタン４１２とＲａｎｋｉｎｇボタン４１３とＳｗａｐボタン４１４とが設けられている。
【００６９】
検索対象表示領域４２には、検索対象の処理ユニット２２の名称および検索対象のレシピ（ここでは、着目レシピ）の名称が表示される。図９に示す例では、検索対象の処理ユニット２２の名称が「Ｃｈａｍｂｅｒ３」であって検索対象のレシピの名称が「Ｆｌｕｓｈｉｎｇ  ｔｅｓｔ２」であることが把握される。
【００７０】
項目名表示領域４３には、結果表示領域４４に表示する内容（属性データ）の項目名が表示される。「Ｆａｉｌｅｄ／Ｔｏｔａｌ」は、スコアリング結果を表す項目名である。なお、「Ｆａｉｌｅｄ」は不良と判断された評価項目の数に相当し、「Ｔｏｔａｌ」は評価項目の総数に相当する。「Ｓｔａｒｔ  ｔｉｍｅ」は、着目レシピの開始時刻を表す項目名である。「Ｅｎｄ  ｔｉｍｅ」は、着目レシピの終了時刻を表す項目名である。「Ｐｒｏｃｅｓｓ  ｔｉｍｅ」は、着目レシピの処理時間を表す項目名である。「Ａｌａｒｍ」は、着目レシピの実行の際に発生したアラーム数を表す項目名である。「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  ＩＤ」は、着目レシピによる処理を行った基板（ウエハ）を一意に識別するための番号を表す項目名である。「Ｒｅｃｏｍｍｅｎｄ（Ｇｏｏｄ／Ｂａｄ）」は、後述する推奨度を表す項目名である。なお、「Ｇｏｏｄ」は高評価の度合を表す値（以下、「Ｇｏｏｄ値」という。）に相当し、「Ｂａｄ」は低評価の度合を表す値（以下、「Ｂａｄ値」という。）に相当する。推奨度は、これらＧｏｏｄ値とＢａｄ値とからなる。
【００７１】
結果表示領域４４には、検索条件に合致した単位処理データの属性データ（各種情報やスコアリング結果など）が表示される。図９に示す例では、８個の単位処理データの属性データが結果表示領域４４に表示されている。作業者は、結果表示領域４４に表示されている属性データの中から１つの属性データ（１つの行）を選択することができる。
【００７２】
期間表示領域４５には、予め設定された検索対象期間が表示される。この検索対象期間に着目レシピが実行されたことによって得られた単位処理データの属性データが、結果表示領域４４に表示されている。図９に示す例では、検索対象期間が２０１７年７月１９日の午後７時３９分３４秒から２０１７年８月１９日の午後７時３９分３４秒までの１ヶ月間であることが把握される。
【００７３】
ここで、ボタン表示領域４１に設けられている各ボタンの機能を説明する。Ｇｏｏｄボタン４１１は、結果表示領域４４内で選択されている属性データに対応する単位処理データの評価値を高くすることが望まれるときに作業者が押下するためのボタンである。Ｂａｄボタン４１２は、結果表示領域４４内で選択されている属性データに対応する単位処理データの評価値を低くすることが望まれるときに作業者が押下するためのボタンである。Ｒａｎｋｉｎｇボタン４１３は、ランキング処理の実行を指示するためのボタンである。Ｓｗａｐボタン４１４は、結果表示領域４４内で選択されている属性データに対応する単位処理データを新たな基準データに定めるためのボタンである。なお、評価値やランキング処理についての説明は後述する。
【００７４】
スコアリング結果一覧画面４０の表示後、必要に応じて、各単位処理データを基準データとして推奨する度合を表す推奨度の設定（推奨設定）が行われる（ステップＳ３０）。推奨設定は、結果表示領域４４に表示されている属性データのうち設定対象の単位処理データに対応する属性データが選択されている状態でＧｏｏｄボタン４１１あるいはＢａｄボタン４１２を押下することによって行われる。その際、設定対象の単位処理データが基準データとして好ましい場合には作業者はＧｏｏｄボタン４１１を押下し、設定対象の単位処理データが基準データとして好ましくない場合には作業者はＢａｄボタン４１２を押下する。これに関し、スコアリング結果一覧画面４０が表示された直後には、Ｇｏｏｄボタン４１１およびＢａｄボタン４１２は選択不可能な状態になっている。この状態で作業者が結果表示領域４４に表示されているいずれかの属性データを選択すると、図１０に示すように、該当の属性データが選択状態になるとともにＧｏｏｄボタン４１１およびＢａｄボタン４１２が選択可能な状態となる。この状態において作業者がＧｏｏｄボタン４１１あるいはＢａｄボタン４１２を押下することによって、Ｇｏｏｄ値・Ｂａｄ値の加算が行われる。例えば、図１０に示す状態からＢａｄボタン４１２が３回押下されると、図１１に示すように、選択されている属性データのうちのＢａｄ値が「３」となる。以上のように、スコアリング結果一覧画面４０は、推奨度を外部から変更することができるように構成されている。なお、Ｇｏｏｄ値やＢａｄ値を具体的にどのような値にするかについては、例えば、スコアリング結果、アラーム数、該当の単位処理で得られた結果物（基板）の状態（例えば、パーティクル数、欠陥数、倒壊率）などを考慮して決定される。また、Ｇｏｏｄボタン４１１およびＢａｄボタン４１２の他に、Ｇｏｏｄ値を小さくするためのボタンおよびＢａｄ値を小さくするためのボタンを設けるようにしても良い。
【００７５】
ところで、或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでには、通常、各レシピは複数回実行される。すなわち、或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでには、通常、スコアリングは複数回実行される。従って、基準データを１回変更するための一連の処理（図７に示す一連の処理）に関し、通常、ステップＳ１０〜ステップＳ３０の処理は複数回繰り返される。そして、基準データの変更が望まれる時に、作業者によってスコアリング結果一覧画面４０内のＲａｎｋｉｎｇボタン４１３が押下される（ステップＳ４０）。これにより、例えば図１２に示すようなランキング設定画面５０が表示部１４０に表示される。ランキング設定画面５０は、後述するランキング処理の設定を行うための画面である。
【００７６】
ここで、ランキング処理について説明する。本実施形態におけるランキング処理は、指定されたレシピの実行によって得られた複数の単位処理データ（検索対象期間内の単位処理データ）に対して３つの指標に基づき順位付けを行って当該順位付けの結果をランキング形式で表示する一連の処理である。なお、ランキング形式とは、順位の高いデータから順位の低いデータへと順に並べた形式のことをいう。各単位処理データの順位は、３つの指標に基づいて算出される評価値（総得点）によって決定付けられる。本実施形態においては、評価値を算出するための３つの指標値として、上述した推奨度に基づく値（以下、「推奨値」という。）と、スコアリング結果に基づく値（以下、「スコアリング結果値」という。）と、アラームの発生回数（あるいは、アラームの有無）に基づく値（以下、「アラーム値」という。）とが用いられる。評価値の具体的な求め方については後述する。ランキング処理では、評価値に基づいて検索対象期間内の複数の単位処理データの順位付けが行われて、ランキング形式で各単位処理データに対応する属性データが表示される。
【００７７】
ステップＳ５０では、以上のようなランキング処理の実行に必要な設定がランキング設定画面５０を用いて作業者の操作によって行われる。図１２は、ランキング設定画面５０の一例を示す図である。図１２に示すように、このランキング設定画面５０には、各単位処理データの順位を決定付ける評価値を算出する際の上記３つの指標値のそれぞれの影響度（寄与度）を設定するための３つのドロップダウンリスト５１〜５３と、ＯＫボタン５８と、Ｃａｎｃｅｌボタン５９とが含まれている。ドロップダウンリスト５１は、推奨値の影響度を設定するためのインタフェースである。ドロップダウンリスト５２は、スコアリング結果値の影響度を設定するためのインタフェースである。ドロップダウンリスト５３は、アラーム値の影響度を設定するためのインタフェースである。ＯＫボタン５８は、設定内容に基づいてランキング処理（ステップＳ６０〜ステップＳ１１０の処理）を実行するためのボタンである。Ｃａｎｃｅｌボタン５９は、設定内容（ドロップダウンリスト５１〜５３を用いて設定された内容）を取り消してスコアリング結果一覧画面４０に戻るためのボタンである。
【００７８】
ドロップダウンリスト５１〜５３については、例えば１％刻みで影響度を設定することが可能となっている。但し、５％刻みや１０％刻みで影響度を設定することが可能となっていても良い。なお、評価値を算出する際の指標値として使用したくないものについては影響度を０％に設定することが可能となっている。
【００７９】
ところで、ドロップダウンリスト５１での設定値を「第１設定値」と定義し、ドロップダウンリスト５２での設定値を「第２設定値」と定義し、ドロップダウンリスト５３での設定値を「第３設定値」と定義すると、第１設定値と第２設定値と第３設定値との和が１００％となるように自動的に値の調整が行われることが好ましい。これに関し、ランキング設定画面５０の表示後に２つのドロップダウンリストに対して値の設定が行われたときに残りのドロップダウンリストの値が自動的に設定されるようにすることができる。この場合、例えば、「第１設定値＝５０、第２設定値＝３０」という設定が行われたときに第３設定値が自動的に「２０」に設定される。また、既に３つのドロップダウンリストに対して値の設定が行われている状態でいずれか１つのドロップダウンリストの値が変更されたときに残りの２つのドロップダウンリストの値がその割合を維持したまま自動的に変更されるようにしても良い。この場合、例えば、「第１設定値＝７０、第２設定値＝２０、第３設定値＝１０」という設定が行われている状態で第１設定値が「５５」に変更されると、自動的に、第２設定値が「３０」に変更されるとともに第３設定値が「１５」に変更される。
【００８０】
なお、第１設定値と第２設定値と第３設定値との和が１００％を超えるような設定を受け付けて、それらの割合を維持しつつ和が１００％となるように内部的に処理するようにしても良い。また、第１設定値と第２設定値と第３設定値との和が１００％を超えるような設定が行われたときに「和が１００％を超えている」旨のメッセージを表示して再設定を促すようにしても良い。
【００８１】
３つの指標値の影響度の設定が行われた後、ランキング設定画面５０のＯＫボタン５８が押下されると、ランキング処理（ステップＳ６０〜ステップＳ１１０の処理）が開始される。ランキング処理では、検索対象期間に着目レシピが実行されたことによって各処理ユニット２２から得られた全ての単位処理データが評価対象データとなる。
【００８２】
まず、基準データの候補となり得るデータである各評価対象データについて、上記推奨値が求められる（ステップＳ６０）。Ｇｏｏｄ値をＣｎｔＧと表し、Ｂａｄ値をＣｎｔＢと表すと、推奨値Ｖ（Ｒ）は例えば次式（１）によって算出される。
Ｖ（Ｒ）＝（ＣｎｔＧ−ＣｎｔＢ）×１００／（ＣｎｔＧ＋ＣｎｔＢ）  ・・・（１）
但し、“ＣｎｔＧ＝０”かつ“ＣｎｔＢ＝０”のときには“Ｖ（Ｒ）＝０”とする。
【００８３】
次に、各評価対象データについて、上記アラーム値が求められる（ステップＳ７０）。アラーム値Ｖ（Ａ）については、例えば、アラーム数が０（スコアリング結果一覧画面４０では“Ｎｏｎｅ”と表記）であれば“Ｖ（Ａ）＝１００”とされ、アラーム数が１以上であれば“Ｖ（Ａ）＝−１００”とされる。
【００８４】
次に、各評価対象データについて、上記スコアリング結果値Ｖ（Ｓ）が求められる（ステップＳ８０）。評価項目の総数をＮｔと表し、不良と判断された評価項目の数をＮｆと表すと、スコアリング結果値Ｖ（Ｓ）は例えば次式（２）によって算出される。
Ｖ（Ｓ）＝（Ｎｔ−２×Ｎｆ）×１００／Ｎｔ  ・・・（２）
【００８５】
以上のようにして推奨値Ｖ（Ｒ），アラーム値Ｖ（Ａ），およびスコアリング結果値Ｖ（Ｓ）が求められた後、各評価対象データについて、上記評価値（総得点）の算出が行われる（ステップＳ９０）。ステップＳ５０で設定されたドロップダウンリスト５１〜５３の値（割合）をそれぞれＰ１〜Ｐ３と表すと、評価値（総得点）Ｖｔｏｔａｌは次式（３）によって算出される。
Ｖｔｏｔａｌ＝Ｖ（Ｒ）×Ｐ１＋Ｖ（Ｓ）×Ｐ２＋Ｖ（Ａ）×Ｐ３  ・・・（３）
【００８６】
基準データの候補となり得る全ての単位処理データ（評価対象データ）についての評価値が算出された後、その算出された評価値に基づいて単位処理データの順位付けが行われる（ステップＳ１００）。その際、評価値の大きい単位処理データほど、順位は高くなる（順位を表す数値は小さくなる）。従って、順位が１位となる単位処理データは、評価値の最も大きな単位処理データである。
【００８７】
順位付けの終了後、当該順位付けの結果を表す例えば図１３に示すようなランキング画面６０が表示部１４０に表示される（ステップＳ１１０）。図１３に示すように、複数の単位処理データのそれぞれについての属性データが、順位付けの結果に従って、ランキング形式でランキング画面６０に表示されている。
【００８８】
ランキング画面６０には、ボタン表示領域６１と検索対象表示領域６２と項目名表示領域６３と結果表示領域６４と期間表示領域６５とが含まれている。ボタン表示領域６１には、スコアリング結果一覧画面４０と同様、Ｇｏｏｄボタン４１１とＢａｄボタン４１２とＲａｎｋｉｎｇボタン４１３とＳｗａｐボタン４１４とが設けられている。
【００８９】
検索対象表示領域６２には、検索対象の処理ユニット２２の名称および検索対象のレシピ（ここでは、着目レシピ）の名称が表示される。図１３に示す例では、検索対象の処理ユニット２２の名称が「Ｃｈａｍｂｅｒ３」，「Ｃｈａｍｂｅｒ４」，および「Ｃｈａｍｂｅｒ５」であって検索対象のレシピの名称が「Ｆｌｕｓｈｉｎｇ  ｔｅｓｔ２」であることが把握される。スコアリング結果一覧画面４０（図９参照）ではスコアリング画面３０（図８参照）で選択された処理ユニット２２のみが検索対象となっていたが、ランキング画面６０では検索対象期間に着目レシピが実行された全ての処理ユニット２２が検索対象となる。
【００９０】
項目名表示領域６３には、結果表示領域６４に表示する内容（属性データ）の項目名が表示される。「Ｒａｎｋｉｎｇ」は、順位付けによる順位を表す項目名である。「Ｔｏｔａｌ  Ｓｃｏｒｅ」は、上記評価値（総得点）を表す項目名である。「Ｒｅｃｏｍｍｅｎｄ  Ｓｃｏｒｅ」は、上記推奨値にランキング設定画面５０のドロップダウンリスト５１で設定された割合を乗ずることによって得られる値（Ｖ（Ｒ）×Ｐ１）を表す項目名である。「Ｓｃｏｒｉｎｇ  Ｒｅｓｕｌｔ  Ｓｃｏｒｅ」は、上記スコアリング結果値にランキング設定画面５０のドロップダウンリスト５２で設定された割合を乗ずることによって得られる値（Ｖ（Ｓ）×Ｐ２）を表す項目名である。「Ａｌａｒｍ  Ｎｕｍｂｅｒ  Ｓｃｏｒｅ」は、上記アラーム値にランキング設定画面５０のドロップダウンリスト５３で設定された割合を乗ずることによって得られる値（Ｖ（Ａ）×Ｐ３）を表す項目名である。「Ｕｎｉｔ」は、処理ユニットを表す項目名である。「Ｓｔａｒｔ  ｔｉｍｅ」は、着目レシピの開始時刻を表す項目名である。「Ｅｎｄ  ｔｉｍｅ」は、着目レシピの終了時刻を表す項目名である。「Ｐｒｏｃｅｓｓ  ｔｉｍｅ」は、着目レシピの処理時間を表す項目名である。
【００９１】
結果表示領域６４には、検索条件に合致した単位処理データの属性データ（各種情報や順位付けによる順位など）が表示される。図１３から把握されるように、結果表示領域６４内では、単位処理データの属性データが、評価値の高いものから低いものへとソートされた状態で表示されている。従って、結果表示領域６４の１行目に表示されている属性データに対応する単位処理データが、検索条件に合致した単位処理データの中で評価値の最も大きな単位処理データである。作業者は、結果表示領域６４に表示されている属性データの中から１つの属性データ（１つの行）を選択することができる。
【００９２】
期間表示領域６５には、スコアリング結果一覧画面４０の期間表示領域４５と同様、検索対象期間が表示される。図１３に示す例では、検索対象期間が２０１７年７月１９日の午後７時３９分３４秒から２０１７年８月１９日の午後７時３９分３４秒までの１ヶ月間であることが把握される。
【００９３】
ランキング画面６０の表示後、変更後の基準データの選択が作業者によって行われる（ステップＳ１２０）。具体的には、作業者が、ランキング画面６０の結果表示領域６４に表示されている属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データに対応する属性データを選択する。これにより、ランキング画面６０では、選択された属性データが選択状態になる。この状態において、作業者が、ボタン表示領域６１内のＳｗａｐボタン４１４を押下する。これにより、着目レシピについての基準データが変更される（ステップＳ１３０）。詳しくは、基準データＤＢ１３６（図６参照）に保持されている単位処理データのうち着目レシピに対応する単位処理データが、結果表示領域６４内で選択状態となっている属性データに対応する単位処理データに書き換えられる。以上のように順位付けの結果に基づいて基準データを決定することができるので、理想的な時系列の値を持つ単位処理データを変更後の基準データに定めることができる。
【００９４】
例えばランキング画面６０が図１３に示した状態になっているときに作業者が結果表示領域６４内の１行目の属性データを選択すると、図１４に示すように、１行目の属性データが選択状態になるとともにＳｗａｐボタン４１４が押下可能な状態となる。この状態において作業者がＳｗａｐボタン４１４を押下すると、着目レシピについての基準データが１行目の属性データに対応する単位処理データに変更される。
【００９５】
なお、本実施形態によれば、順位付けによる順位が１位以外の単位処理データを基準データとして選択することもできる。このように、ユーザーのニーズに合致した基準データの選択が可能である。
【００９６】
上述のようにして基準データの変更が行われることにより、図７に示した一連の処理が終了する。なお、本実施形態においては、ステップＳ１０〜ステップＳ９０によって単位処理データ評価ステップが実現され、ステップＳ１００〜ステップＳ１３０によって基準データ変更ステップが実現されている。また、ステップＳ１０によってデータ比較ステップが実現され、ステップＳ２０によって比較結果表示ステップが実現され、ステップＳ５０によって寄与度設定ステップが実現され、ステップＳ６０によって推奨度得点化ステップが実現され、ステップＳ７０によってアラーム回数得点化ステップが実現され、ステップＳ８０によって比較結果得点化ステップが実現され、ステップＳ９０によって評価値算出ステップが実現され、ステップＳ１１０によってランキング表示ステップが実現され、ステップＳ１２０によって基準データ選択ステップが実現されている。
【００９７】
＜５．最初の基準データの決定方法＞
上記の説明においては、基準データが既に定まっている（すなわち、基準データＤＢ１３６に基準データとしての単位処理データが保持されている）ことを前提としていた。しかしながら、基板処理装置１の製造の終了後、当該基板処理装置１の使用が開始される時点には、基準データは存在しない。従って、何らかの手法で最初の基準データを決定する必要がある。そこで、最初の基準データの決定方法に関する具体例を説明する。
【００９８】
＜５．１  第１の例＞
一般に、基板処理装置の製造が終了すると、当該基板処理装置について様々なテストが行われる。そして、それらのテストに合格した場合に初めて実際の使用が開始される。そこで、テストに合格した後に或る処理ユニット２２で最初にレシピを実行したときに得られる単位処理データを当該レシピについての最初の基準データに定めることができる。
【００９９】
なお、例えば基板処理装置１に１２個の処理ユニット２２が設けられていて当該１２個の処理ユニット２２で同じレシピが実行されると、１２個の単位処理データが得られる。このような場合に関し、各レシピについて処理ユニット２２毎に基準データを定める構成が採用されていれば、１２個の単位処理データを、それぞれ、対応する処理ユニット２２についての基準データに定めることができる。
【０１００】
＜５．２  第２の例＞
基板処理装置１の実際の使用開始から所定期間については、基準データを定めない状態で運用を行う。ところで、基板処理装置１でレシピが実行された後には、処理が行われた基板（ウエハ）毎に、処理結果の良否（得られた結果物の良否）を判断するための所定の検査が行われる。これにより、基板毎に、パーティクル数、欠陥数、倒壊率などの情報が得られる。そこで、上記所定期間に得られたそれらの情報に基づいて、最良の処理結果が得られている基板を処理した際の単位処理データを該当のレシピについての最初の基準データに定めることができる。
【０１０１】
＜５．３  第３の例＞
基板処理装置１の実際の使用開始から所定期間については、基準データを定めない状態で運用を行う。ところで、基板処理装置１でレシピが実行されると、単位処理毎にアラーム数の情報が得られる。なお、アラーム数は、単位処理データと基準データとを比較する処理を要することなく得られる、所定のエラー条件に該当する項目の数である。そこで上記所定期間に得られたアラーム数の情報に基づいて、アラーム数の最も少ない単位処理（複数存在する場合、それらのうちのいずれか）によって得られた単位処理データを該当のレシピについての最初の基準データに定めることができる。
【０１０２】
＜５．４  第４の例＞
或る基板処理装置１が製造されたとき、当該基板処理装置１と同タイプの基板処理装置１が既に使用されている場合がある。このような場合、既に使用されている基板処理装置１で基準データに定められている単位処理データを、製造直後の基板処理装置１における最初の基準データに定めることができる。
【０１０３】
＜６．効果＞
本実施形態によれば、基板処理装置１において、単位処理によって得られた一群の時系列データである単位処理データ毎に評価値が算出される。その際、評価値は、評価対象の単位処理データを予め定められた基準データと比較することによって算出される。このため、評価対象の単位処理データと基準データとの類似度合の大きさを当該評価対象の単位処理データの評価値に反映させることが可能となる。そして、評価値に基づいて基準データが変更されるので、変更前の基準データとの類似度合の大きい単位処理データを変更後の基準データに定めることが可能となる。このようにして基準データが好適に定められるので、各単位処理データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとを比較することによって、基板処理装置１で実行された処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、本実施形態によれば、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
【０１０４】
＜７．変形例＞
以下、上記実施形態の変形例について説明する。
【０１０５】
＜７．１  第１の変形例＞
上記実施形態においては、基準データの変更が行われる際、変更後の基準データとする単位処理データはランキング画面６０で作業者によって選択されていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、順位付けの結果に従って、作業者の操作（基準データを選択する操作）を要することなく自動的に基準データの変更が行われるようにしても良い。
【０１０６】
図１５は、本変形例における基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。上記実施形態と同様、本変形例においても、基準データの候補となり得る全ての単位処理データ（評価対象データ）についての評価値が算出された後、その算出された評価値に基づいて単位処理データの順位付けが行われる（ステップＳ１００）。このステップＳ１００によって、評価値の最も大きな単位処理データの順位が１位に設定される。そして、上記実施形態とは異なり、ランキング画面６０が表示部１４０に表示されることなく、着目レシピについての基準データが、順位が１位に設定された単位処理データに変更される（ステップＳ１３０）。これにより、理想的な時系列の値を持つ単位処理データが確実に基準データに定められる。このような本変形例によれば、順位が２位以下の単位処理データを基準データに設定することができなくなるが、作業者の操作負荷が軽減される。また、作業者の操作ミスによって不適当な単位処理データが基準データに設定されることが防止される。
【０１０７】
＜７．２  第２の変形例＞
上記実施形態においては、ランキング処理が実行される直前にランキング処理の設定（図７のステップＳ５０）が行われていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、スコアリングが実施される前にランキング処理の設定が行われるようにしても良い。
【０１０８】
図１６は、本変形例における基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。本変形例においては、データ処理プログラム１３２の実行開始後に表示部１４０に表示される所定の画面内に、ランキング処理の設定の開始を指示するためのメニューが設けられる。そして、そのメニューが選択されると図１２に示したようなランキング設定画面５０が表示部１４０に表示され、上記実施形態と同様にしてランキング処理の設定（具体的には、３つの指標値のそれぞれの影響度の設定）が行われる（ステップＳ５）。なお、本変形例においては、ランキング設定画面５０のＯＫボタン５８が押下されると、所定の画面に戻る。
【０１０９】
その後、該当のレシピ（着目レシピ）が実行される都度、スコアリング（ステップＳ１０），スコアリング結果の表示（ステップＳ２０），および推奨設定（ステップＳ３０）が行われる。但し、推奨設定については必要な場合にのみ行われる。
【０１１０】
その後、例えば所定の画面内に設けられた「ランキング処理の開始を指示するメニュー」の選択が作業者によって行われるか、あるいは、「ランキング処理の開始を指示するコマンド」が予め定められたルール等に従って発せられることによって、ランキング処理が開始される（ステップＳ３５）。そして、上記実施形態と同様にランキング処理が行われ、ランキング処理の結果に基づいて基準データの変更が行われる（ステップＳ６０〜ステップＳ１３０）。なお、第１の変形例と同様にして、ランキング画面６０を表示することなく、着目レシピについての基準データが、ランキング処理によって順位が１位に設定された単位処理データに変更されるようにしても良い。
【０１１１】
＜７．３  第３の変形例＞
上記実施形態においては、単位処理データの評価値を算出するための指標値として３つの指標値（推奨値、スコアリング結果値、アラーム値）が用意されていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、２つ以下の指標値あるいは４つ以上の指標値が用意されていても良い。これに関し、上記実施形態で説明した指標値以外の指標値が用意されていても良い。
【０１１２】
本変形例においては、上述したランキング設定画面５０に表示される内容は、用意されている指標値に応じた内容となる。例えば、指標値として２つの指標値（推奨値およびスコアリング結果値）が用意されている場合には、ランキング設定画面５０は図１７に示すような画面となる。
【０１１３】
＜７．４  第４の変形例＞
第３の変形例に関連するが、単位処理データの属性データの項目として基板処理装置１のユーザーが自由に使用することのできる項目（以下、「自由入力項目という。」）を設けておき、自由入力項目用の欄に入力された値が上記評価値を算出するための指標値として用いられるようにしても良い。この自由入力項目用の欄に入力されるデータが任意入力データに相当する。自由入力項目用の欄に入力すれば良いと考えられる値の具体例としては、パーティクル数、欠陥数、倒壊率などが挙げられる。なお、以下では、予め２つの自由入力項目が用意されている場合について説明する。
【０１１４】
本変形例においては、図１８に示すように、スコアリング結果一覧画面４０の結果表示領域４４内に、各単位処理データにつき２つの自由入力項目用の欄が設けられている。図１８に示す例では、それらの項目名は「Ｆｒｅｅ  Ｉｎｐｕｔ  １」および「Ｆｒｅｅ  Ｉｎｐｕｔ  ２」である。項目名については作業者が変更できるようにしても良い。なお、便宜上、項目名を「Ｆｒｅｅ  Ｉｎｐｕｔ  １」とする欄の入力値を「第１自由項目値」といい、項目名を「Ｆｒｅｅ  Ｉｎｐｕｔ  ２」とする欄の入力値を「第２自由項目値」という。ボタン表示領域４１には、上記実施形態で設けられているボタンに加えて、Ｆｒｅｅ１ボタン４１５およびＦｒｅｅ２ボタン４１６が設けられている。Ｆｒｅｅ１ボタン４１５は、第１自由項目値の入力を行うためのボタンであり、Ｆｒｅｅ２ボタン４１６は、第２自由項目値の入力を行うためのボタンである。
【０１１５】
スコアリング結果一覧画面４０が表示された直後には、Ｆｒｅｅ１ボタン４１５およびＦｒｅｅ２ボタン４１６は選択不可能な状態になっている。この状態で作業者が結果表示領域４４に表示されているいずれかの属性データを選択すると、該当の属性データが選択状態になるとともにＦｒｅｅ１ボタン４１５およびＦｒｅｅ２ボタン４１６が選択可能な状態となる。この状態において作業者がＦｒｅｅ１ボタン４１５あるいはＦｒｅｅ２ボタン４１６を押下すると、例えば図１９に示すようなデータ値入力画面７０が表示部１４０に表示される。
【０１１６】
図１９に示すように、このデータ値入力画面７０には、第１自由項目値または第２自由項目値を入力するためのテキストボックス７１と、ＯＫボタン７８と、Ｃａｎｃｅｌボタン７９とが含まれている。作業者はテキストボックス７１内に該当の項目のデータ値を入力する。その後、ＯＫボタン７８が押下されると、テキストボックス７１への入力内容（データ値）がスコアリング結果一覧画面４０の結果表示領域４４内の該当の欄に反映される。一方、Ｃａｎｃｅｌボタン７９が押下されると、テキストボックス７１への入力内容が取り消されてスコアリング結果一覧画面４０に戻る。以上のように、本変形例におけるスコアリング結果一覧画面４０は、自由入力項目用の欄の値を外部から変更することができるように構成されている。
【０１１７】
なお、第１自由項目値や第２自由項目値の入力は、例えば、上述した推奨設定（図７のステップＳ３０）の直前あるいは直後に行われると良い。また、自由入力項目用の欄に入力すべき値が電子データとして存在する場合に記録媒体あるいはネットワークを介して当該電子データを取り込むことができるようにしても良い。これにより、作業者による入力のための操作負荷が軽減される。
【０１１８】
本変形例においては、スコアリング結果一覧画面４０のＲａｎｋｉｎｇボタン４１３が押下されると、図２０に示すようなランキング設定画面５０が表示部１４０に表示される。このランキング設定画面５０には、上記実施形態で設けられているドロップダウンリスト５１〜５３に加えて、第１自由項目値の影響度を設定するためのドロップダウンリスト５４および第２自由項目値の影響度を設定するためのドロップダウンリスト５５が設けられている。このように、５つの指標値のそれぞれの影響度を設定することが可能となっている。
【０１１９】
本変形例によれば、評価値を算出するための指標値を必要に応じて追加することが可能となっている。このため、時系列データから得られない情報を考慮して評価値を算出することが可能となる。これにより、基準データとする単位処理データの決定がより好適に行われる。
【０１２０】
なお、上記においては自由入力項目が予め用意されている場合について説明したが、例えばスコアリング結果一覧画面４０において所定のメニューが選択されることによって初めて結果表示領域４４内に自由入力項目用の欄が追加されるようにしても良い。この場合、例えば、結果表示領域４４内の自由入力項目用の欄の追加に連動して、ランキング設定画面５０に当該自由入力項目についての影響度を設定するためのドロップダウンリストが追加されるようにすれば良い。
【０１２１】
＜７．５  第５の変形例＞
上記実施形態においては、各評価対象データのスコアリング結果は、評価項目の総数を分母とし不良と判断された評価項目の数を分子とする態様で表されていた。そして、そのようなスコアリング結果からスコアリング結果値が求められていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、評価対象データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとをデータ値に加工を施すことなく直接的に比較して、その比較結果からスコアリング結果値を求めるようにしても良い。これについて、以下に説明する。
【０１２２】
例えば、或るパラメータに着目し、評価対象データに含まれる時系列データの値と基準データに含まれる時系列データの値との差の安定期間についての積分値（図２１で符号７５を付した網掛け部分の面積を表す値）を求めることができる。スコアリングが複数の評価項目に基づいて行われることを考慮すると、それら複数の評価項目のそれぞれについて上記積分値のような値（以下、便宜上「直接比較値」という。）が得られることが想定される。ところで、直接比較値の単位は評価項目によって異なるので、単純に複数の評価項目の直接比較値の総和をスコアリング結果値に定めた場合には当該スコアリング結果値は意味のある値とはならない。そこで、評価値を求める際に各指標値の影響度を設定したのと同様に、例えば図２２に示すような画面を表示部１４０に表示して、スコアリング結果値の算出に関する評価項目毎の影響度を作業者が設定できるようにすれば良い。これにより、複数の評価項目についての直接比較値からスコアリング結果値を好適に求めることが可能となる。
【０１２３】
なお、評価値を算出する際に推奨値およびアラーム値を考慮することなく、評価対象データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとをデータ値に加工を施すことなく直接的に比較した結果から評価値が求められるようにしても良い。
【０１２４】
＜７．６  第６の変形例＞
上記実施形態によれば、評価対象の単位処理データと比較するための単位処理データである基準データが随時変更される。これに関し、上記実施形態においては各レシピについての最新の基準データのみが基準データＤＢ１３６に保持されているが、過去の基準データも基準データＤＢ１３６に保持されるようにすることもできる。また、過去の基準データが基準データＤＢ１３６とは別のデータベースに保持されるようにすることもできる。このようにして基準データの履歴を残すようにしても良い。
【０１２５】
そこで、基準データの履歴を用いて過去の基準データを現在の基準データとして復元する機能を設けるようにしても良い。例えば、基準データの履歴を表示するメニューを用意しておき当該メニューが選択されてレシピの指定が行われると図２３に示すような基準データ履歴画面８０が表示部１４０に表示されるようにすることができる。図２３に示すように、基準データ履歴画面８０には、ボタン表示領域８１と項目名表示領域８２と履歴表示領域８３とが含まれている。ボタン表示領域８１には、Ｓｗａｐボタン８１１が設けられている。項目名表示領域８２には、履歴表示領域８３に表示する内容（属性データ）の項目名（例えば、指定されたレシピの開始時刻を表す項目名など）が表示される。履歴表示領域８３には、指定されたレシピについての過去の基準データ（過去に基準データに定められた単位処理データ）の属性データが表示される。図２３に示す例では、過去の６個の基準データの属性データが履歴表示領域８３に表示されている。作業者は、履歴表示領域８３に表示されている属性データの中から１つの属性データ（１つの行）を選択することができる。Ｓｗａｐボタン８１１は、履歴表示領域８３内で選択されている属性データに対応する過去の基準データ（過去に基準データに定められた単位処理データ）を現在の基準データとして復元するためのボタンである。
【０１２６】
基準データ履歴画面８０が表示された直後には、Ｓｗａｐボタン８１１は選択不可能な状態になっている。この状態で作業者が履歴表示領域８３に表示されているいずれかの属性データを選択すると、該当の属性データが選択状態になるとともにＳｗａｐボタン８１１が選択可能な状態となる。この状態において作業者がＳｗａｐボタン８１１を押下すると、変更タイミング設定画面７０での設定内容に関わらず、履歴表示領域８３で選択状態となっている属性データに対応する単位処理データに基準データが変更される。すなわち、履歴表示領域８３で選択状態となっている属性データに対応する過去の基準データが指定されたレシピについての現在の基準データとして復元される。
【０１２７】
なお、本変形例に関連して、例えばレシピが指定された後に図２４に示すような期間指定画面８５を表示部１４０に表示して作業者による期間の指定を受け付けて、その指定された期間毎に基準データを変更したと仮定した場合の基準データの履歴を表示部１４０に表示するようにしても良い。これにより、例えば、７日毎に基準データを変更したと仮定した場合の基準データの履歴、１ヶ月毎に基準データを変更したと仮定した場合の基準データの履歴、１年毎に基準データを変更したと仮定した場合の基準データの履歴などを順に表示して、それらの結果を時系列データの分析に活用することが可能となる。
【０１２８】
＜７．７  第７の変形例＞
上記実施形態においては、ランキング処理によって、検索対象期間内に指定されたレシピを実行することによって得られた複数の単位処理データの順位付けが行われていた。これに関し、ランキング処理の対象とする単位処理データの母集合の指定が可能となるよう、以下に記すような集合間の順位付けを予め行うことができるようにしても良い。
【０１２９】
例えば、基板処理装置では、複数のチャンバ間で処理性能に差が生じる。そこで、「対象とするレシピの指定を受け付けた後、（処理ユニット２２とチャンバは１対１で対応するので）処理ユニット２２毎に該当のレシピが実行された際に得られた全ての単位処理データを用いて所定のルールに従って評価値を求め、当該評価値に基づいて処理ユニット２２の順位付けを行う」という機能を設けるようにしても良い。この場合、順位付けの結果として例えば図２５に示すようなチャンバランキング画面８６を表示部１４０に表示すれば良い。処理ユニット２２についてのこのような順位付けを多数のレシピについて行うことによって、例えば、どのレシピを実行しても良好な結果が得られるというチャンバ（処理ユニット２２）を把握することが可能となる。そして、ランキング処理（図７のステップＳ６０〜ステップＳ１１０）を実行する前に１または複数の処理ユニット２２の選択を受け付けて、選択された処理ユニット２２で得られた単位処理データのみをランキング処理の対象とすることができる。
【０１３０】
また、例えば、或る１つの処理（例えばＳＰＭ処理）に着目したときに当該処理がパラメータの設定値を少しずつ変えて実行されることがある。このような場合、当該処理について、レシピが複数存在することになる。そこで、例えば、関連する複数のレシピを包含する概念である処理毎に基準データが定められている場合に、「比較したい複数のレシピの選択（あるいは、処理の選択）を受け付けた後、レシピ毎に全ての単位処理データを用いて所定のルールに従って評価値を求め、当該評価値に基づいてレシピの順位付けを行う」という機能を設けるようにしても良い。この場合、順位付けの結果として例えば図２６に示すようなレシピランキング画面８７を表示部１４０に表示すれば良い。そして、或る処理についての基準データを決定する際、ランキング処理を実行する前に１または複数のレシピの選択を受け付けて、選択されたレシピの実行によって得られた単位処理データのみをランキング処理の対象とすることができる。
【０１３１】
また、例えば、１つの工場内に同タイプの複数の基板処理装置が設置されているような場合に、任意のレシピについて基板処理装置の順位付けを行う機能を設けるようにしても良い。そして、該当のレシピについての基準データを決定する際、ランキング処理を実行する前に基板処理装置の選択を受け付けて、選択された基板処理装置で得られた単位処理データのみをランキング処理の対象とすることができる。
【符号の説明】
【０１３２】
１…基板処理装置
２２…処理ユニット
４０…スコアリング結果一覧画面
５０…ランキング設定画面
６０…ランキング画面
１００…制御部
１３２…データ処理プログラム
１３４…時系列データＤＢ
１３６…基準データＤＢ
【図１】
2019140196.tif 000003
【図２】
2019140196.tif 000004
【図３】
2019140196.tif 000005
【図４】
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【図５】
2019140196.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
2019140196.tif 000010
【図９】
2019140196.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2019140196.tif 000015
【図１４】
2019140196.tif 000016
【図１５】
2019140196.tif 000017
【図１６】
2019140196.tif 000018
【図１７】
2019140196.tif 000019
【図１８】
2019140196.tif 000020
【図１９】
2019140196.tif 000021
【図２０】
2019140196.tif 000022
【図２１】
2019140196.tif 000023
【図２２】
2019140196.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
2019140196.tif 000027
【図２６】
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