(57)【要約】【目的】感光性樹脂組成物及びその製造方法、ブラックマトリックス、画素層、保護膜、カラーフィルター、並びに液晶表示装置を提供する。【解決手段】感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、及び溶剤（Ｄ）を含み、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、フルオレン基、重合性不飽和基、及びカルバマート基のすべてを有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）を含む。感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物によって形成されるパターンが現像残渣を有することなく、また良好なスパッタリング耐性を有する特定のアルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）を含む。【選択図】無し【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性樹脂組成物であって、
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、
エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）と、
光重合開始剤（Ｃ）と、及び
溶剤（Ｄ）と
を含み、
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）を含み、該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）は、フルオレン基、重合性不飽和基、及びカルバマート基のすべてを有する、感光性樹脂組成物。
【請求項２】
請求項１記載の感光性樹脂組成物において、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）は、以下の構造式（１）で表される、感光性樹脂組成物、
【化１】
2019035958.tif 000028
該構造式（１）において、Ａはフェニレン基を表し、該フェニレン基における水素原子は、Ｃ１〜Ｃ５のアルキル基、ハロゲン原子、又はフェニル基によって置換できるものであり、
Ｒ１Ｃは水素原子又はＣ１〜Ｃ８のアルキル基であり、
ｎ３は１〜１２の整数を表し、
Ｌは四価カルボン酸残基を表し、
Ｄは水素原子又はメチル基を表し、
Ｍは１〜２０を表す。
【請求項３】
請求項１記載の感光性樹脂組成物において、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の不飽和当量の範囲は２４０〜１０００である、感光性樹脂組成物。
【請求項４】
請求項１記載の感光性樹脂組成物において、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の重量平均分子量の範囲は１０００〜３００００である、感光性樹脂組成物。
【請求項５】
請求項１記載の感光性樹脂組成物において、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の酸価の範囲は１０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇである、感光性樹脂組成物。
【請求項６】
請求項１記載の感光性樹脂組成物において、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用量１００重量部に対して、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の使用量は１０重量部〜１００重量部であり、前記エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）の使用量は２０重量部〜１５０重量部であり、前記光重合開始剤（Ｃ）の使用量は１０重量部〜９０重量部であり、前記溶剤（Ｄ）の使用量は１０００重量部〜７５００重量部である、感光性樹脂組成物。
【請求項７】
請求項１記載の感光性樹脂組成物において、さらに、着色剤（Ｅ）を含む、感光性樹脂組成物。
【請求項８】
請求項７記載の感光性樹脂組成物において、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用量１００重量部に対して、前記着色剤（Ｅ）の使用量は５０重量部〜８００重量部である、感光性樹脂組成物。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物によって形成されるブラックマトリックス。
【請求項１０】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物によって形成される画素層。
【請求項１１】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物によって形成される保護膜。
【請求項１２】
請求項９記載のブラックマトリックスを含むカラーフィルター。
【請求項１３】
請求項１０記載の画素層を含むカラーフィルター。
【請求項１４】
請求項１１記載の保護膜を含むカラーフィルター。
【請求項１５】
請求項１２〜１４のいずれか一項に記載のカラーフィルターを含む液晶表示装置。
【請求項１６】
感光性樹脂組成物の製造方法であって、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、及び溶剤（Ｄ）を混合する工程を含み、
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）を含み、該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）は、（ａ-１）成分、（ａ-２）成分、及び（ａ-３）成分からなる混合物の反応により得られ、並びに前記（ａ-１）成分は重合性不飽和基を含むジオール化合物であり、前記（ａ-２）成分は四価カルボン酸又はその酸二無水物であり、また前記（ａ-３）成分は重合性不飽和基及びイソシアネート基を含む化合物である、感光性樹脂組成物の製造方法。
【請求項１７】
請求項１６記載の感光性樹脂組成物の製造方法において、前記（ａ-１）成分は、以下の構造式（２）で表される重合性不飽和基を含むジオール化合物である、感光性樹脂組成物の製造方法、
【化２】
2019035958.tif 000029
該構造式（２）において、Ａはフェニレン基を表し、該フェニレン基における水素原子は、Ｃ１〜Ｃ５のアルキル基、ハロゲン原子、又はフェニル基によって置換できるものであり、
Ｄは水素原子又はメチル基を表す。
【請求項１８】
請求項１６記載の感光性樹脂組成物の製造方法において、前記（ａ-３）成分は、以下の構造式（５）で表される重合性不飽和基及びイソシアネート基を含む化合物である、感光性樹脂組成物の製造方法、
【化３】
2019035958.tif 000030
によって表される化合物であり、該構造式（５）において、Ｒ１Ｃは水素原子又はＣ１〜Ｃ８のアルキル基であり、ｎ３は１〜１２の整数を表す。
【請求項１９】
請求項１６記載の感光性樹脂組成物の製造方法において、前記（ａ-１）成分及び前記（ａ-２）成分のモル比（ａ-２）／（ａ-１）は０.２〜１.０である、感光性樹脂組成物の製造方法。
【請求項２０】
請求項１６記載の感光性樹脂組成物の製造方法において、前記（ａ-１）成分及び前記（ａ-３）成分のモル比（ａ-３）／（ａ-１）は０.０２〜１.６である、感光性樹脂組成物の製造方法。
【請求項２１】
請求項１６記載の感光性樹脂組成物の製造方法において、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の不飽和当量の範囲は２４０〜１０００である、感光性樹脂組成物の製造方法。
【請求項２２】
請求項１６記載の感光性樹脂組成物の製造方法において、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の重量平均分子量の範囲は１０００〜３００００である、感光性樹脂組成物の製造方法。
【請求項２３】
請求項１６記載の感光性樹脂組成物の製造方法において、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の酸価の範囲は１０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇである、感光性樹脂組成物の製造方法。
【請求項２４】
請求項１６記載の感光性樹脂組成物の製造方法において、前記組成物は、さらに、着色剤を含む、感光性樹脂組成物の製造方法。
【請求項２５】
請求項１６〜２４のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の製造方法により得られた感光性樹脂組成物によって形成されるブラックマトリックス。
【請求項２６】
請求項１６〜２４のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の製造方法により得られた感光性樹脂組成物によって形成される画素層。
【請求項２７】
請求項１６〜２３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の製造方法により得られた感光性樹脂組成物によって形成される保護膜。
【請求項２８】
請求項２５記載のブラックマトリックスを含むカラーフィルター。
【請求項２９】
請求項２６記載の画素層を含むカラーフィルター。
【請求項３０】
請求項２７記載の保護膜を含むカラーフィルター。
【請求項３１】
請求項２８〜３０のいずれか一項に記載のカラーフィルターを含む液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物及びその製造方法、ブラックマトリックス、画素層、保護膜、カラーフィルター、並びに液晶表示装置に関し、とくに、良好なスパッタリング耐性を有し、またこのことにより結果として生ずるパターンが現像残渣を有することのない感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶ディスプレイのようが映像機器に対する市場需要が拡大している状況で、カラーフィルターの製造技術も市場需要を満たすよう多様化している。カラーフィルターは、ブラックマトリックス（ＢＭ）が形成されているガラス又はプラスチックシートのような基板の表面上に、異なる色相である赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３色を順序正しく含む画素層を形成することによって得られる。
【０００３】
概して、ネガ型感光性着色組成物を使用してカラーフィルターの画素パターンを形成するとき、このネガ型感光着色組成物は、一般的に基板上に塗布し、フォトマスクを介して紫外線を照射後に現像してパターンを得る。形成したパターンを加熱及び焼成し、これによりパターンを基板上に確実に定着する。画素パターンはこのようにして形成される。この後、このサイクルを必要な色で繰り返して着色塗膜パターンを得る。しかし、このサイクルを繰り返す場合、ＢＭブラックマトリックス及びＲＧＢ画素それぞれの端部でより大きな段差（level difference）を生ずる。この段差に起因して不均一な色表示を生ずる。段差を抑制するため、一般的に透明な樹脂層（保護膜）を使用してカラーフィルターの平坦化処理を行う。この保護膜は、ＲＧＢ着色層を保護する能力、液晶を充填するときの耐熱性、及び圧力に抗する硬度のような特徴を持たせるのに必要である。上述の硬度を呈するようにするため、特許文献１（特開平０５−７８４８３号）は、高架橋密度を有する感光性樹脂組成物を開示している。さらに、特許文献２（特開平１０−１３３３７２号）は、劣悪パターンの直線性のような問題を軽減できるエポキシ化合物を含む保護膜組成物を使用することを記載しているが、このような技術において、感光性樹脂組成物によって形成されるパターンにおける現像残渣及びスパッタリング耐性不足のような問題は依然として存在する。
【０００４】
さらに、カラーフィルターがより軽量化かつ薄型化され、またより高い色飽和度を有するようにするとき、感光性着色組成物の着色剤濃度を増加させる必要がある。しかし、着色剤濃度が増加する場合、結果として感光性着色組成物における樹脂量は減少する。しかし、保護膜との密着に有益な画素層表面における樹脂成分が減少するとき、スパッタリング耐性不足の問題が感光性樹脂組成物によって形成されるパターンに容易に生ずる。
【０００５】
概して、上述した特許文献の感光性樹脂組成物において、重合性不飽和結合を有する多官能光硬化性単量体（モノマー）及びアルカリ可溶性樹脂を光重合開始剤に組み合わせることにより形成した組成物を使用する。例えば、特許文献３（特開昭６１−２１３２１３号）及び特許文献４（特開平０１−１５２４４９号）においては、カラーフィルターとして使用される材料の適用が例示され、カルボキシル基を有する（メタ）アクリル酸又は（メタ）アクリレート、マレイン酸無水物、並びに他の重合性モノマーの共重合体を、アルカリ可溶性樹脂として使用する。しかし、アルカリ可溶性樹脂を含む感光性樹脂組成物によって形成されるパターンには、依然として現像残渣及びスパッタリング耐性不足の問題がある。
【０００６】
さらに、ブラックマトリックスの遮光特性に対する要望が強まる状況で、結果として黒色顔料の使用量が増大する。例えば、特許文献５（特開２００６−２５９７１６号）は、ブラックマトリックス用感光性樹脂組成物における各成分間の反応を改善し、これにより微細パターンを形成するため、２つの官能基を有する反応性モノマーを含むブラックマトリックス用の感光性樹脂組成物を開示している。したがって、黒色顔料の使用量を増加させることによりブラックマトリックスの遮光特性を増大させるとき、感光性樹脂組成物の感度を依然として維持することができる。しかし、この感光性樹脂組成物によって形成されるパターンは、依然として現像残渣及びスパッタリング耐性不足の問題があり、したがって、この感光性樹脂組成物は本業界の要望を満足させることができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平０５−７８４８３号公報
【特許文献２】特開平１０−１３３３７２号公報
【特許文献３】特開昭６１−２１３２１３号公報
【特許文献４】特開平０１−１５２４４９号公報
【特許文献５】特開２００６−２５９７１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従って、本業界の要求を満たすため、どのようにして感光性樹脂組成物によって形成されるパターンにおける現像残渣を排除し、またスパッタリング耐性不足を改善するかは、当業者にとって喫緊の問題である。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
したがって、本発明は、現像残渣及びスパッタリング耐性不足の問題を軽減することができる、液晶表示装置のための感光性樹脂組成物及びその製造方法、ブラックマトリックス、画素層、保護膜、及びカラーフィルターを提供する。
【００１０】
本発明は感光性樹脂組成物を提供し、この感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、エチレン性不飽和（ethylenically-unsaturated）基を含む化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、及び溶剤（Ｄ）とを含む。とくに、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）を含み、また該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）は、フルオレン基、重合性不飽和基、及びカルバマート基のすべてを有する。
【００１１】
本発明の実施形態において、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）は、以下の構造式（１）、すなわち、
【化１】
2019035958.tif 000002
によって表され、
該構造式（１）において、Ａはフェニレン基を表し、該フェニレン基における水素原子は、Ｃ１〜Ｃ５のアルキル基、ハロゲン原子、又はフェニル基によって置換できるものであり、Ｒ１Ｃは水素原子又はＣ１〜Ｃ８のアルキル基であり、ｎ３は１〜１２の整数を表し、Ｌは四価カルボン酸残基を表し、Ｄは水素原子又はメチル基を表し、Ｍは１〜２０を表すものである。
【００１２】
本発明の実施形態において、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の不飽和当量の範囲は２４０〜１０００である。
【００１３】
本発明の実施形態において、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の重量平均分子量の範囲は１０００〜３００００である。
【００１４】
本発明の実施形態において、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の酸価の範囲は１０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇである。
【００１５】
本発明の実施形態において、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用量１００重量部に対して、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の使用量は１０重量部〜１００重量部であり、前記エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）の使用量は２０重量部〜１５０重量部であり、前記光重合開始剤（Ｃ）の使用量は１０重量部〜９０重量部であり、前記溶剤（Ｄ）の使用量は１０００重量部〜７５００重量部である。
【００１６】
本発明の実施形態において、感光性樹脂組成物は、さらに、着色剤（Ｅ）を含む。
【００１７】
本発明の実施形態において、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用量１００重量部に対して、前記着色剤（Ｅ）の使用量は５０重量部〜８００重量部である。
【００１８】
本発明は、さらに、前記感光性樹脂組成物によって形成されるブラックマトリックスを提供する。
【００１９】
本発明は、さらに、前記感光性樹脂組成物によって形成される画素層を提供する。
【００２０】
本発明は、さらに、前記感光性樹脂組成物によって形成される保護膜を提供する。
【００２１】
本発明は、さらに前記ブラックマトリックスを含むカラーフィルターを提供する。
【００２２】
本発明は、さらに前記画素層を含むカラーフィルターを提供する。
【００２３】
本発明は、さらに前記保護膜を含むカラーフィルターを提供する。
【００２４】
本発明は、さらに前記カラーフィルターを含む液晶表示装置を提供する。
【００２５】
本発明は、さらに感光性樹脂組成物の製造方法を提供し、この感光性樹脂組成物の製造方法は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、及び溶剤（Ｄ）を混合する工程を含む。とくに、前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）を含み、該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）は、（ａ-１）成分、（ａ-２）成分、及び（ａ-３）成分からなる混合物の反応により得られる。前記（ａ-１）成分は重合性不飽和基を含むジオール化合物であり、前記（ａ-２）成分は四価カルボン酸又はその酸二無水物であり、また前記（ａ-３）成分は重合性不飽和基及びイソシアネート基を含む化合物である。
【００２６】
本発明の実施形態において、前記（ａ-１）成分は、重合性不飽和基を含むジオール化合物であって、以下の構造式（２）、すなわち、
【化２】
2019035958.tif 000003
によって表される化合物であり、
該構造式（２）において、Ａはフェニレン基を表し、該フェニレン基における水素原子は、Ｃ１〜Ｃ５のアルキル基、ハロゲン原子、又はフェニル基によって置換できるものであり、またＤは水素原子又はメチル基を表すものである。
【００２７】
本発明の実施形態において、前記（ａ-３）成分は、重合性不飽和基及びイソシアネート基を含む化合物であって、以下の構造式（５）、すなわち、
【化３】
2019035958.tif 000004
によって表される化合物であり、
該構造式（５）において、Ｒ１Ｃは水素原子又はＣ１〜Ｃ８のアルキル基であり、ｎ３は１〜１２から選択される整数である。
【００２８】
本発明の実施形態において、前記（ａ-１）成分及び前記（ａ-２）成分のモル比（ａ-２）／（ａ-１）は０.２〜１.０である。
【００２９】
前記（ａ-１）成分及び前記（ａ-３）成分のモル比（ａ-３）／（ａ-１）は０.０２〜１.６である。
【００３０】
本発明は、さらに、前記感光性樹脂組成物の製造方法によって形成される感光性樹脂組成物で形成したブラックマトリックスを提供する。
【００３１】
本発明は、さらに、前記感光性樹脂組成物の製造方法によって形成される感光性樹脂組成物で形成した画素層を提供する。
【００３２】
本発明は、さらに、前記感光性樹脂組成物の製造方法によって形成される感光性樹脂組成物で形成した保護膜を提供する。
【００３３】
本発明は、さらに、前記ブラックマトリックスを含むカラーフィルターを提供する。
【００３４】
本発明は、さらに、前記画素層を含むカラーフィルターを提供する。
【００３５】
本発明は、さらに、前記保護膜を含むカラーフィルターを提供する。
【００３６】
本発明は、さらに、前記カラーフィルターを含む液晶表示装置を提供する。
【００３７】
上述したことに基づいて、本発明の感光性樹脂組成物は特定構造を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）を含み、またしたがって、カラーフィルターを形成するのに使用するとき、現像残渣及びスパッタリング耐性不足の問題が同時に軽減されて、この感光性樹脂組成物は、カラーフィルターにあるブラックマトリックス、画素層、及び保護膜を製造するのに適用することができる。
【００３８】
本発明の上述した特徴及び利点をよりよく理解できるよう、実施形態を以下に詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
無し
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下の記載において、（メタ）アクリル酸はアクリル酸及び／又はメタクリル酸を表し、（メタ）アクリレートはアクリレート及び／又はメタクリレートを表す。同様に、（メタ）アクリロイル基は、アクリロイル基及び／又はメタクリロイル基を表す。
【００４１】
＜感光性樹脂組成物＞
本発明は感光性樹脂組成物を提供し、この感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、及び溶剤（Ｄ）とを含む。この感光性樹脂組成物は、さらに、必要に応じて着色剤（Ｅ）及び添加剤（Ｆ）を含む。以下の記載において、本発明の感光性樹脂組成物に使用する個別の成分を詳細に説明する。
【００４２】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）を含む。さらに、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、選択的に、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ-２）及び他のアルカリ可溶性樹脂（Ａ-３）を含むことができる。
【００４３】
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）はフルオレン基、重合性不飽和基、及びカルバマート基のすべてを有し、また感光性樹脂組成物が第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）を含まないとき、感光性樹脂組成物によって形成されるパターンは、スパッタリング耐性不足の問題を有する。
【００４４】
より具体的には、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）は、以下の構造式（１）、すなわち、
【化４】
2019035958.tif 000005
によって表され、
該構造式（１）において、Ａはフェニレン基を表し、該フェニレン基における水素原子は、Ｃ１〜Ｃ５のアルキル基、ハロゲン原子、又はフェニル基によって置換できるものであり、Ｒ１Ｃは水素原子又はＣ１〜Ｃ８のアルキル基であり、ｎ３は１〜１２の整数を表し、Ｌは四価カルボン酸残基を表し、Ｄは水素原子又はメチル基を表し、Ｍは１〜２０を表すものである。
【００４５】
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）は、（ａ-１）成分、（ａ-２）成分、及び（ａ-３）成分からなる混合物の反応により得られる。前記（ａ-１）成分は重合性不飽和基を含むジオール化合物であり、前記（ａ-２）成分は四価カルボン酸又はその酸二無水物であり、また前記（ａ-３）成分は重合性不飽和基及びイソシアネート基を含む化合物である。さらに、この混合物は、他の化合物（ａ-４）成分を含むことができる。
【００４６】
重合性不飽和基を含むジオール化合物の（ａ-１）成分
（ａ-１）成分は以下の構造式（２）、すなわち、
【化５】
2019035958.tif 000006
によって表され、該構造式（２）において、Ａはフェニレン基を表し、該フェニレン基における水素原子は、Ｃ１〜Ｃ５のアルキル基、ハロゲン原子、又はフェニル基によって置換できるものであり、またＤは水素原子又はメチル基を表すものである。
【００４７】
（ａ-１）成分は、２つのエポキシ基を含むビスフェノール化合物（ａ-１-ｉ）と、少なくとも１つのカルボン酸基及び少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ-１-ii）とを含有する混合物を反応させることによって形成する。さらに、この混合物は他の化合物を含有することができる。
【００４８】
２つのエポキシ基を含むビスフェノール化合物（ａ-１-ｉ）におけるより好ましいビスフェノールとしては、例えば、9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-クロロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-ブロモフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-フルオロフェニル)フルオレン、又は9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)フルオレンがあり得る。
【００４９】
２つのエポキシ基を含むビスフェノール化合物（ａ-１-ｉ）は、例えば、アルカリ金属水酸化物の存在下でビスフェノール化合物及びエピハロヒドリンを脱ハロゲン化水素反応において反応させることによって得ることができる。
【００５０】
適当なエピハロヒドリンの具体例としては、例えば、エピクロロヒドリン、エピブロモヒドリン、またはそれらの任意な組合せがある。脱ハロゲン化水素反応を実施する前に、水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムのようなアルカリ金属水酸化物を予め添加する、又は反応プロセス中に添加することができる。脱ハロゲン化水素反応の操作温度は２０℃〜１２０℃であり、またその操作時間は１時間〜１０時間である。
【００５１】
実施形態において、脱ハロゲン化水素反応に添加されるアルカリ金属水酸化物は、その水溶液とすることもできる。この実施形態において、アルカリ金属水酸化物の水溶液を連続的に脱ハロゲン化水素反応システムに添加するとき、水及びエピハロヒドリンは、そのとき減圧した圧力又は常圧で連続的に蒸留されて水を分離かつ除去し、エピハロヒドリンを連続的に反応システムに還流させることができる。
【００５２】
脱ハロゲン化水素反応を実施する前に、第４級アンモニウム塩、例えば、塩化テトラメチルアンモニウム、臭化テトラメチルアンモニウム、又は塩化テトラメチルベンジルアンモニウムを触媒として添加し、５０℃〜１５０℃で１時間〜５時間にわたり反応させることができる。次に、アルカリ金属水酸化物又はその水溶液を添加し、２０℃〜１１０℃で１時間〜１０時間に反応させて脱ハロゲン化水素反応を実施する。
【００５３】
ビスフェノール化合物における水酸基の全当量１当量に基づいて、エピハロヒドリンの使用量は、１当量〜２０当量、好ましくは２当量〜１０当量である。ビスフェノール化合物における水酸基の全当量１当量に基づいて、脱ハロゲン化水素反応に添加されるアルカリ金属水酸化物の使用量は、０.８当量〜１５当量、好ましくは０.９当量〜１１当量である。
【００５４】
さらに、脱ハロゲン化水素反応を容易にするため、メタノール又はエタノールのようなアルコールを添加することに加えて、ジメチルスルホン又はジメチルスルホキシドのような非プロトン性極性溶剤を添加して反応を実施することもできる。アルコールを使用するとき、エピハロヒドリンの総量１００重量％に基づいて、アルコールの使用量は、２重量％〜２０重量％、好ましくは４重量％〜１５重量％である。非プロトン性極性溶剤を使用するとき、エピハロヒドリンの総量１００重量％に基づいて、非プロトン性極性溶剤の使用量は、５重量％〜１００重量％、好ましくは１０重量％〜９０重量％である。
【００５５】
脱ハロゲン化水素反応が完了した後、選択的に、リンス処理を実施することができる。その後、このとき減圧で加熱法により、例えば、１１０℃〜２５０℃の温度及び１.３ｋＰａ（１０ｍｍＨｇ）の圧力で、エピハロヒドリン、アルコール、及び非プロトン性極性溶剤等が除去する。
【００５６】
形成されるエポキシ樹脂が加水分解性ハロゲンを含まないようにするため、脱ハロゲン化水素反応後の溶液に、ベンゼン、トルエン、又はメチルイソブチルケトンのような溶剤を添加し、次にアルカリ金属水酸化物、例えば、水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムの水溶液を添加して、脱ハロゲン化水素反応を再び実施することができる。脱ハロゲン化水素反応において、ビスフェノール化合物における水酸基の全当量１当量に基づいて、アルカリ金属水酸化物の使用量は、０.０１モル〜１モルであるが、好ましくは０.０５モル〜０.９モルである。さらに、脱ハロゲン化水素反応の操作温度は５０℃〜１２０℃であり、またその操作時間は０.５時間〜２時間である。
【００５７】
脱ハロゲン化水素反応が完了した後、濾過処理やリンス処理等の工程を経て塩を除去することができる。さらに、減圧下での加熱方法によりベンゼン、トルエン、又はメチルイソブチルケトンのような溶剤を蒸留して、２つのエポキシ基を含むビスフェノール化合物（ａ-１-ｉ）を得ることができる。
【００５８】
２つのエポキシ基を含むビスフェノール化合物（ａ-１-ｉ）は、好ましくは、以下の構造式（３-１）で表される２つのエポキシ基を含むビスフェノール化合物、又は以下の構造式（３-２）で表される２つのエポキシ基を含むビスフェノール化合物モノマーを重合して形成される重合体である。
【化６】
2019035958.tif 000007
【化７】
2019035958.tif 000008
【００５９】
構造式（３-１）及び構造式（３-２）において、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１０、及びＲ１１は、それぞれ独立的に、水素原子、ハロゲン原子、Ｃ１〜Ｃ５のアルキル基又はフェニル基であり、Ｘは9,9-フルオレニリデン基を表し、またＭ１は好ましくは１〜１０、より好ましくは１〜２である。
【００６０】
構造式（３-１）で表される２つのエポキシ基を含む該ビスフェノール化合物は、好ましくは、以下の構造式（４）によって表される２つのエポキシ基を含むビスフェノール化合物である。すなわち、
【化８】
2019035958.tif 000009
【００６１】
構造式（４）において、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ１０、及びＲ１１は、それぞれ独立的に、水素原子、ハロゲン原子、Ｃ１〜Ｃ５のアルキル基又はフェニル基である。
【００６２】
構造式（４）で表される２つのエポキシ基を含むビスフェノール化合物は、例えば、ビスフェノールフルオレン系化合物及びエピハロヒドリンを反応させることによって得られる２つのエポキシ基を含むビスフェノールフルオレン系化合物である。
【００６３】
ビスフェノールフルオレン化合物の例としては、例えば、9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-クロロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-ブロモフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-フルオロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メトキシフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジブロモフェニル)フルオレンのような、化合物があり得る。
【００６４】
エピハロヒドリンの例としては、例えば、エピクロロヒドリン及びエピブロモヒドリンがあり得る。
【００６５】
２つのエポキシ基を含むビスフェノールフルオレン化合物は市販製品があり、例えば、(1) 新日鐵化学製の商品ＥＳＦ-３００、(2) 大阪ガス製の商品ＰＧ-１００及びＥＧ-２１０、並びに(3) Ｓ.Ｍ.Ｓ.テクノロジー社製の商品ＳＭＳ-F9PhPG、ＳＭＳ-F9CrG、及びＳＭＳ-F914PGがある。
【００６６】
少なくとも１つのカルボン酸基及び少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ-１-ii）は、例えば、以下の化合物、すなわち、アクリル酸、メタクリル酸、2-メタクリロイルオキシエチルブタン二酸、2-メタクリロイルオキシブチルブタン二酸、2-メタクリロイルオキシエチルヘキサン二酸、2-メタクリロイルオキシブチルヘキサン二酸、2-メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2-メタクリロイルオキシエチルマレイン酸、2-メタクリロイルオキシプロピルマレイン酸、2-メタクリロイルオキシブチルマレイン酸、2-メタクリロイルオキシプロピルブタン二酸、2-メタクリロイルオキシプロピルヘキサン二酸、2-メタクリロイルオキシプロピルテトラヒドロフタル酸、2-メタクリロイルオキシプロピルフタル酸、2-メタクリロイルオキシブチルフタル酸、及び2-メタクリロイルオキシブチルヒドロフタル酸よりなるグループから選択した少なくとも１つの化合物；水酸基を含む（メタ）アクリレートと、ジカルボン酸化合物であって、限定しないが、アジピン酸、コハク酸、マレイン酸、又は、フタル酸を含む該ジカルボン酸化合物と、を反応させることによって得られる化合物、並びに水酸基を含む（メタ）アクリレートとカルボン酸無水物化合物とを反応させることによって得られるヘミエステル化合物であり、水酸基を含む（メタ）アクリレートとしては、限定しないが、（2-ヒドロキシエチル）アクリレート、（2-ヒドロキシエチル）メタクリレート、（2-ヒドロキシプロピル）アクリレート、（2-ヒドロキシプロピル）メタクリレート、（4-ヒドロキシブチル）アクリレート、（4-ヒドロキシブチル）メタクリレート、又はペンタエリスリトールトリメタクリレートがある。さらに、カルボン酸無水物化合物は、以下の化合物、すなわち、ブタン酸二無水物、マレイン酸無水物、イタコン酸無水物、フタル酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルテトラヒドロフタル酸無水物、メチルヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルエンド-メチレンテトラヒドロフタル酸無水物、クロレンド酸無水物、グルタル酸無水物、及び1,3-ジオキイソベンゾフラン-5-カルボン酸無水物のようなジカルボン酸無水物；並びにベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物（略してＢＴＤＡ）、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、又はジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物のようなテトラカルボン酸二無水物化合物からなるグループから選択される少なくとも１つの化合物とすることができる。
【００６７】
テトラカルボン酸又はテトラカルボン酸の二無水物の（ａ-２）成分
（ａ-２）成分は、飽和直鎖炭化水素テトラカルボン酸、脂環式テトラカルボン酸、芳香族テトラカルボン酸、及びこれらテトラカルボン酸の二無水物よりなるグループから選択されるもののうち少なくとも１つである。
【００６８】
飽和直鎖炭化水素テトラカルボン酸の例としては、ブタンテトラカルボン酸、ペンタンテトラカルボン酸、及びヘキサンテトラカルボン酸があり得る。飽和直鎖炭化水素テトラカルボン酸は、置換基を有することもできる。
【００６９】
脂環式テトラカルボン酸の例としては、シクロブタンテトラカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、及びノルボルナンテトラカルボン酸があり得る。脂環式テトラカルボン酸は、置換基を有することもできる。
【００７０】
芳香族テトラカルボン酸及び芳香族テトラカルボン酸の二無水物の例としては、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸、ジフェニルスルホンテトラカルボン酸、1,2,3,6-テトラヒドロフタル酸無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、又は3,3’,4,4’-オキシフェニルテトラカルボン酸二無水物があり得る。
【００７１】
本発明において、（ａ-２）成分は、好ましくは、ビフェニルテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸、又はこれらテトラカルボン酸の無水物であり、より好ましくは、ビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸、又はこれらテトラカルボン酸の二無水物である。
【００７２】
重合性不飽和基及びイソシアネート基の化合物である（ａ-３）成分
（ａ-３）成分は、重合性不飽和基及びイソシアネート基を含む化合物であって、以下の構造式（５）、すなわち、
【化９】
2019035958.tif 000010
によって表される化合物であり、
該構造式（５）において、Ｒ１Ｃは水素原子又はＣ１〜Ｃ８のアルキル基であり、ｎ３は１〜１２の整数を表す。
【００７３】
とくに、構造式（５）の構造を有するイソシアネートのｎ３は、好ましくは２、３、４、５、６、７、８、９、又は１０であり、より好ましくは２、３、４、５、６、又は７であり、最も好ましくは２、３、又は４である。構造式（５）の構造を有するイソシアネートのＲ１Ｃは、水素原子又はＣ１〜Ｃ４のアルキル基であり、より好ましくは水素、メチル基、又はエチル基であり、最も好ましくは水素又はメチル基、特には水素である。
【００７４】
より具体的には、構造式（５）の構造を有するイソシアネートは、2-イソシアナートエチルメタクリレート、2-イソシアナートエチルアクリレート、2-イソシアナートプロピルメタクリレート、2-イソシアナートプロピルアクリレート、2-イソシアナートブチルメタクリレート、2-イソシアナートブチルアクリレート、2-イソシアナートペンチルメタクリレート、2-イソシアナートペンチルアクリレート、2-イソシアナートヘキシルメタクリレート、2-イソシアナートヘキシルアクリレート、2-イソシアナートヘプチルメタクリレート、2-イソシアナートヘプチルアクリレート、2-イソシアナートオクチルメタクリレート、2-イソシアナートオクチルアクリレート、2-イソシアナートノニルメタクリレート、2-イソシアナートノニルアクリレート、2-イソシアナートデシルメタクリレート、2-イソシアナートデシルアクリレートである。
【００７５】
（ａ-３）成分を第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の合成に使用しないとき、感光性樹脂組成物によって形成されるパターンは、スパッタリング耐性に劣る問題を有する。
【００７６】
他の化合物である（ａ-４）成分
（ａ-４）成分は、ジカルボン酸又はその無水物を含むが、（ａ-３）成分を含まない。ジカルボン酸の例としては、飽和直鎖炭化水素ジカルボン酸、飽和環状炭化水素ジカルボン酸、及び不飽和ジカルボン酸が有り得る。
【００７７】
飽和直鎖炭化水素ジカルボン酸の例としては、コハク酸、アセチルコハク酸、アジピン酸、アゼライン酸、シトラマル酸、マロン酸、グルタル酸、クエン酸、酒石酸、ケトグルコン酸、ピメリン酸、セバシン酸、スベリン酸、及びジグリコール酸があり得る。飽和直鎖炭化水素ジカルボン酸における炭化水素基は置換されることもできる。
【００７８】
飽和環状炭化水素ジカルボン酸の例としては、ヘキサヒドロフタル酸、シクロブタンジカルボン酸、シクロペンタンジカルボン酸、ノルボルナンジカルボン酸、及びヘキサヒドロトリメリット酸があり得る。飽和環状炭化水素ジカルボン酸は、さらに、飽和炭化水素が置換されている脂環式ジカルボン酸とすることもできる。
【００７９】
不飽和ジカルボン酸の例としては、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、メチルエンド-メチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、及びトリメリット酸があり得る。
【００８０】
ジカルボン酸は、好ましくは、コハク酸、イタコン酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロトリメリット酸、フタル酸、又はトリメリット酸であり、より好ましくはコハク酸、イタコン酸、又はテトラヒドロフタル酸である。
【００８１】
（ａ-４）成分は、好ましくは、コハク酸無水物、イタコン酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒドロトリメリット酸無水物、フタル酸無水物、又はトリメリット酸無水物であり、より好ましくはコハク酸無水物、イタコン酸無水物、又はテトラヒドロフタル酸無水物である。
【００８２】
ここで、（ａ-１）成分及び（ａ-２）成分のモル比（ａ-２）／（ａ-１）は０.２〜１.０であり、好ましくは０.３〜１.０であり、より好ましくは０.４〜１.０である。（ａ-２）／（ａ-１）が０.２以上であるとき、感光性樹脂組成物によって形成されるパターンは現像残渣がなく、また（ａ-２）／（ａ-１）が１.０以下であるとき、感光性樹脂組成物によって形成されるパターンは良好なスパッタリング耐性を有する。
【００８３】
さらに、（ａ-１）成分及び（ａ-３）成分のモル比（ａ-３）／（ａ-１）は０.０２〜１.６であり、好ましくは０.１〜１.４であり、より好ましくは０.２〜１.２である。（ａ-３）／（ａ-１）が上記の範囲内であるとき、感光性樹脂組成物によって形成されるパターンは良好なスパッタリング耐性を有する。
【００８４】
さらに、（ａ-１）成分及び（ａ-４）成分のモル比（ａ-４）／（ａ-１）は０〜０.３であり、好ましくは０〜０.２５であり、より好ましくは０〜０.２である。
【００８５】
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の製造方法は特別には制限がない。アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）は、（ａ-１）成分、（ａ-２）成分、及び（ａ-３）成分が反応する限り得ることができる。例えば、本発明の第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートのような溶剤内における（ａ-１）成分として使用されるビスフェノールフルオレンエポキシ（メタ）アクリレートを加熱し、また（ａ-２）成分及び（ａ-３）成分と反応させることによって得ることができる。さらに、他の化合物である（ａ-４）成分を、（ａ-１）成分、（ａ-２）成分、及び（ａ-３）成分の混合物内に添加して反応させることができる。
【００８６】
さらに、本発明の（ａ-１）成分及びアルカリ可溶性樹脂を製造するのに使用する溶剤及び触媒の反応条件は特別には限定されないが、水酸基がなくかつ反応温度よりも高い沸点を有する溶剤が好適である。溶剤の例としては、好ましくは、エチルセロソルブアセテート及びブチルセロソルブアセテートのようなセロソルブ溶剤；ジグリム、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートのような高沸点を有するエーテル又はエステル溶剤；及びシクロヘキサン及びジイソブチルケトンのようなケトン溶剤がある。さらに、触媒の例としては、臭化テトラエチルアンモニウム及び塩化トリエチルベンジルアンモニウムのようなアンモニウム塩、並びにトリフェニルホスフィン及びトリス(2,6-ジメトキシフェニル)ホスフィンのような既知のホスフィン触媒があり得る。
【００８７】
さらに、（ａ-１）成分、（ａ-２）成分、（ａ-３）成分、及び／又は（ａ-４）成分を反応させる方法に特別な制限はない。例えば、ジオール化合物及びテトラカルボン酸二無水物を特開平０９−３２５４９４号に記載のような９０℃〜１４０℃の反応温度で反応させる既知の方法を使用することができる。好ましくは、（ａ-１）成分、（ａ-２）成分、（ａ-３）成分、及び（ａ-４）成分は、化合物の末端がカルボキシル基であり、モル比（ａ-１）：（ａ-２）：（ａ-３）：（ａ-４）＝１：０.２〜１：０.０２〜１.６：０〜０.３であるように定量的に反応させる。さらに、好ましくは、これら成分は９０℃〜１３０℃の反応温度で均一に溶解かつ反応させ、またこの後４０℃〜８０℃の反応温度で反応かつ熟成（エージング）させる。
【００８８】
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）に関して、ゲル浸透クロマトグラフィにより得られるポリスチレンで変換された重量平均分子量は、１０００〜３００００、好ましくは２０００〜２００００、及びより好ましくは３０００〜１５０００である。第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の重量平均分子量が上記範囲内であるとき、感光性樹脂組成物によって形成されるパターンは良好なスパッタリング耐性を有する。
【００８９】
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の未飽和当量は、２４０〜１０００、好ましくは２７０〜９００、より好ましくは３００〜８００である。第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の未飽和当量が上記範囲内であるとき、感光性樹脂組成物によって形成されるパターンは良好なスパッタリング耐性を有する。
【００９０】
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の酸価は、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ、好ましくは３０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜９０ｍｇＫＯＨ／ｇである。第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の酸価が１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であるとき、感光性樹脂組成物によって形成されるパターンは現像残渣がなく、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の酸価が１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるとき、感光性樹脂組成物によって形成されるパターンは良好なスパッタリング耐性を有する。
【００９１】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用量１００重量部に対して、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の使用量は、１０重量部〜１００重量部であり、好ましくは２０重量部〜１００重量部であり、より好ましくは３０重量部〜１００重量部である。
【００９２】
第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ-２）
第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ-２）は、以下の構造式（６）で表される構造、すなわち、
【化１０】
2019035958.tif 000011
の構造を有する誘導単位を含み、
該構造式（６）において、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立的に水素原子、Ｃ１〜Ｃ５で直鎖若しくは分岐鎖のアルキル基、フェニル基、又はハロゲン原子である。
【００９３】
第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ-２）は、構造式（６）で表される構造を有する化合物及び他の共重合性化合物を反応させることによって得られる。構造式（６）で表される構造を有する化合物は、以下の構造式（７）で表される２つのエポキシ基を含むビスフェノールフルオレン系化合物、又は以下の構造式（８）で表される２つの水酸基を含むビスフェノールフルオレン系化合物、すなわち、
【化１１】
2019035958.tif 000012
【化１２】
2019035958.tif 000013
であり、該構造式（７）において、Ｒ４は構造式（６）のＲ２と同一であり、Ｒ５は構造式（６）のＲ３と同一であり、該構造式（８）において、Ｒ６は構造式（６）のＲ２と同一であり、Ｒ７は構造式（６）のＲ３と同一であり、Ｒ８及びＲ９は、それぞれ独立的にＣ１〜Ｃ２０のアルキレン基又は脂環式基を表し、またｐ及びｑは、それぞれ独立的に１〜４の整数を表す。
【００９４】
２つのエポキシ基を含むビスフェノールフルオレン化合物は市販製品があり、例えば、(1) 新日鐵化学製の商品ＥＳＦ-３００、及び(2) 大阪ガス製の商品ＰＧ-１００及びＥＧ-２１０がある。
【００９５】
他の共重合性化合物としては、アクリル酸、メタクリル酸、ブテン酸、α-クロロアクリル酸、エチルアクリル酸、若しくは桂皮酸のような不飽和モノカルボン酸；マレイン酸、イタコン酸、イタコン酸、コハク酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、メチルエンド-メチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、若しくはグルタル酸のようなジカルボン酸及びジカルボン酸の無水物；トリメリット酸のようなトリカルボン酸及びトリカルボン酸の無水物；ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’-オキシフェニルテトラカルボン酸、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸、若しくはビフェニルエーテルテトラカルボン酸のようなテトラカルボン酸及びこれらテトラカルボン酸の二無水物；並びに、コハク酸2-メタクリロイルオキシエチルがあり、また上述の化合物の組合せがある。
【００９６】
第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ-２）は、好ましくは、新日鐵化学製の商品V259ME又はV301ME等である。
【００９７】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用量１００重量部に対して、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ-２）の使用量は０重量部〜９０重量部であり、好ましくは０重量部〜８０重量部であり、より好ましくは０重量部〜７０重量部である。
【００９８】
他のアルカリ可溶性樹脂（Ａ-３）
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、さらに選択的に、他のアルカリ可溶性樹脂（Ａ-３）を含むことができる。この他のアルカリ可溶性樹脂（Ａ-３）は、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）及び第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ-２）以外の樹脂である。他のアルカリ可溶性樹脂（Ａ-３）は、例えば、カルボン酸基又は水酸基を有する樹脂であるが、カルボン酸基又は水酸基を有する樹脂に限定されるものではない。他のアルカリ可溶性樹脂（Ａ-３）の具体例としては、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、又はノボラック樹脂がある。
【００９９】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用量１００重量部に対して、第３アルカリ可溶性樹脂（Ａ-３）の使用量は、０重量部〜３０重量部であり、好ましくは０重量部〜２０重量部であり、より好ましくは０重量部〜１０重量部である。
【０１００】
エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）
エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）は、１つのエチレン性不飽和基を有する化合物及び２つ以上（２つを含む）のエチレン性不飽和基を有する化合物から選択することができる。
【０１０１】
１つのエチレン性不飽和基を有する化合物の具体例としては、（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルホリン、7-アミノ-3,7-ジメチルオクチル（メタ）アクリレート、イソブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、イソボルニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、2-エチルヘキシル（メタ）アクリレート、エチルジエチレングリコール（メタ）アクリレート、tert-オクチル（メタ）アクリルアミド、ジアセトン（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、N,N-ジメチル（メタ）アクリルアミド、テトラクロロフェニル（メタ）アクリレート、2-テトラクロロフェノキシエチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、テトラブロモフェニル（メタ）アクリレート、2-テトラブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、2-トリクロロフェノキシエチル（メタ）アクリレート、トリブロモフェニル（メタ）アクリレート、2-トリブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、エチル2-ヒドロキシ（メタ）アクリレート、プロピル2-ヒドロキシ（メタ）アクリレート、ビニルカプロラクタム、N-ビニルピロリドン、フェノキシ（メタ）アクリレート、ペンタクロロフェニル（メタ）アクリレート、ペンタブロモフェニル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、及びボルニル（メタ）アクリレートがある。１つのエチレン性不飽和基を有する化合物は、単独で又は２つ以上の組合せで使用することができる。
【０１０２】
２つ以上（２つを含む）のエチレン性不飽和基を有する化合物の具体例としては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリ（2-ヒドロキシエチル）イソシアネートジ（メタ）アクリレート、トリ（2-ヒドロキシエチル）イソシアネートトリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性トリ（2-ヒドロキシエチル）イソシアネートトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロピルトリ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド（ＥＯ）変性トリメチロールプロピルトリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド（ＰＯ）変性トリメチロールプロピルトリ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、1,4-ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ポリエステルジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジ（トリメチロールプロパン）テトラ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性水素化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性水素化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性グリセロールトリアクリレート、ＥＯ変性ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、ノボラックポリグリシジルエーテル（メタ）アクリレート、それら同様の化合物、及びこれら化合物の組合せがある。２つ以上の（２つを含む）エチレン性不飽和基を有する化合物は、単独で又は２つ以上の組合せで使用することができる。
【０１０３】
エチレン性不飽和基を有する化合物（Ｂ）の具体例としては、トリメチロールプロピルトリアクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロピルトリアクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロピルトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジトリメチロールプロピルテトラアクリレート、ＰＯ変性グリセロールトリアクリレート、それら同様の化合物、及びこれら化合物の組合せがある。
【０１０４】
エチレン性不飽和基を有する化合物（Ｂ）は、好ましくは、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、又はこれら化合物の組合せである。
【０１０５】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用量１００重量部に対して、エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）の使用量は、２０重量部〜１５０重量部であり、好ましくは２５重量部〜１３０重量部であり、より好ましくは３０重量部〜１１０重量部である。
【０１０６】
光重合開始剤（Ｃ）
光重合開始剤（Ｃ）は、例えば、アセトフェノン化合物、ビイミダゾール化合物、アシルオキシム化合物、又はこれら化合物の組合せである。
【０１０７】
アセトフェノン化合物の具体例としては、p-ジメチルアミノ-アセトフェノン、α,α´-ジメトキシアゾキシ-アセトフェノン、2,2-ジメチル-2-フェニル-アセトフェノン、p-メトキシ-アセトフェノン、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルホリノ-1-プロパノン、2-ベンジル-2-N,N-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノン、及びこれら化合物の組合せがある。
【０１０８】
ビイミダゾール化合物の具体例としては、2,2´-ビス(o-クロロフェニル)-4,4´,5,5´-テトラフェニル-ビイミダゾール、2,2´-ビス(o-フルオロフェニル)-4,4´,5,5´-テトラフェニル-ビイミダゾール、2,2´-ビス(o-メチルフェニル)-4,4´,5,5´-テトラフェニル-ビイミダゾール、2,2´-ビス(o-メトキシフェニル)-4,4´,5,5´-テトラフェニル-ビイミダゾール、2,2´-ビス(o-エチルフェニル)-4,4´,5,5´-テトラフェニル-ビイミダゾール、2,2´-ビス(p-メトキシフェニル)-4,4´,5,5´-テトラフェニル-ビイミダゾール、2,2´-ビス(2,2´,4,4´-テトラメトキシフェニル)-4,4´,5,5´-テトラフェニル-ビイミダゾール、2,2´-ビス(2-クロロフェニル)-4,4´,5,5´-テトラフェニル-ビイミダゾール、2,2´-ビス(2,4-ジクロロフェニル)-4,4´,5,5´-テトラフェニル-ビイミダゾール、及びこれらの組合せがある。
【０１０９】
アシルオキシム化合物の具体例としては、以下の構造式（９）で表される構造を有するチバ・スペシャルティ・ケミカルズ製のＯＸＥ-０２のようなエタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(Ｏ-アセチルオキシム)と、以下の構造式（１０）で表される構造を有するチバ・スペシャルティ・ケミカルズ製のＯＸＥ-０１のような1-(4-フェニル-チオ-フェニル)-オクタン-3-イル]-1,2-ジオン2-オキシム-Ｏ-ベンゾエートと、以下の構造式（１１）で表される構造を有する旭電化製の,1-[9-エチル-6-(2-クロロ-4-ベンジル-チオ-ベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(Ｏ-アセチルオキシム)と、がある。
【化１３】
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【化１４】
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【化１５】
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【０１１０】
光重合開始剤（Ｃ）は、好ましくは、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルホリノ-1-プロパノン、2-ベンジル-2-N,N-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノン、2,2´-ビス(o-クロロフェニル)-4,4´,5,5´-テトラフェニル-ビイミダゾール、エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(Ｏ-アセチルオキシム)、又はこれら化合物の組合せである。
【０１１１】
光重合開始剤（Ｃ）は、さらに、必要に応じて以下の化合物、すなわち、チオキサントン、2,4-ジエチル-チオキサントン、チオキサントン-4-スルホン、ベンゾフェノン、4,4´- ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、若しくは4,4´- ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンのようなベンゾフェノン化合物；ベンジル若しくはアセチルのようなα-ジケトン；ベンゾインのようなアシロイン；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、若しくはベンゾインイソプロピルエーテルのようなアシロインエーテル；2,4,6-トリメチル-ベンゾイル-ジフェニル-ホスフィンオキシド、若しくはビス-(2,6-ジメトキシ-ベンゾイル)-2,4,4-トリメチル-ベンジル-ホスフィンオキシドのようなアシルホスフィンオキシド；アントラキノン若しくは1,4-ナフトキノンのようなキノン；塩化フェナシル、トリブロモメチル-フェニルスルホン、若しくはトリス(トリクロロメチル)-s-トリアジンのようなハロゲン化物；ジ-tertブチルペルオキシドのような過酸化物、又はこれら化合物の組合せを含むことができる。光重合開始剤（Ｃ）に添加される化合物は、好ましくはベンゾフェノン化合物であり、より好ましくは4,4´- ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノンである。
【０１１２】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用量１００重量部に対して、光重合開始剤（Ｃ）の使用量は、１０重量部〜９０重量部であり、好ましくは１２重量部〜８０重量部であり、より好ましくは１５重量部〜７０重量部である。
【０１１３】
溶剤（Ｄ）は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）、及び光重合開始剤（Ｃ）を溶解するが、これら成分とは反応せず、好ましくは適切な揮発性を有する溶剤に言及する。
【０１１４】
溶剤（Ｄ）は、例えば、（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル、（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、他のエーテル、ケトン、乳酸アルキル、他のエステル、芳香族炭化水素化合物、カルボン酸アミド、又はこれら溶剤の組合せである。
【０１１５】
（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルの具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ-n-プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ-n-プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル、及びこれら溶剤の組合せがある。
【０１１６】
（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテートの具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、及びこれら溶剤の組合せがある。
【０１１７】
他のエーテルの具体例としては、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、及びこれら溶剤の組合せがある。
【０１１８】
ケトンの具体例としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサン、2-ヘプタノン、3-ヘプタノン、及びこれら溶剤の組合せがある。
【０１１９】
乳酸アルキルの具体例としては、2-ヒドロキシプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシプロピオン酸エチル、及びこれら溶剤の組合せがある。
【０１２０】
他のエステルの具体例としては、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸エチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル（ＥＥＰ）、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2-ヒドロキシ-3-メチル酪酸メチル、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n-プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n-ブチル、酢酸イソブチル、酢酸n-ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸n-ブチル、酪酸エチル、酪酸n-プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸n-ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n-プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2-オキシ酪酸エチル、及びこれら溶剤の組合せがある。
【０１２１】
芳香族炭化水素化合物の具体例としては、トルエン、キシレン、及びこれら溶剤の組合せがある。
【０１２２】
カルボン酸アミドの具体例としては、N-メチルピロリドン、N,N -ジメチルホルムアミド、N,N -ジメチルアセトアミド、及びこれら溶剤の組合せがある。
【０１２３】
溶剤（Ｄ）は、好ましくは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ＥＥＰ、又はこれら溶剤の組合せである。溶剤（Ｄ）は、単独で又は２つ以上の組合せで使用することができる。
【０１２４】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用量１００重量部に対して、溶剤（Ｄ）の使用量は、１０００重量部〜７５００重量部であり、好ましくは１２００重量部〜７０００重量部であり、より好ましくは１４００重量部〜６５００重量部である。
【０１２５】
着色剤（Ｅ）
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに、必要に応じて着色剤（Ｅ）を含むことができる。本発明の感光性樹脂組成物を使用して画素層を形成するとき、着色剤（Ｅ）は、画素層を形成するのに使用する第１着色剤（Ｅ-１）とすることができる。本発明の感光性樹脂組成物を使用してブラックマトリックスを形成するとき、着色剤（Ｅ）は、画素層を形成するのに使用する黒色顔料（Ｅ-２）とすることができる。
【０１２６】
第１着色剤（Ｅ-１）
第１着色剤（Ｅ-１）としては、無機顔料、有機顔料、又はそれら２つの組合せがある。
【０１２７】
無機顔料の具体例としては、金属酸化物または金属錯塩等の金属化合物（例えば、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、又はアンチモンの金属酸化物）、及び金属の複合酸化物がある。
【０１２８】
有機顔料の具体例としては、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロー１、３、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、５５、６０、６１、６５、７１、７３、７４、８１、８３、９３、９５、９７、９８、９９、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１６、１１７、１１９、１２０、１２６、１２７、１２８、１２９、１３８、１３９、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６６、１６７、１６８、１７５；Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ１、５、１３、１４、１６、１７、２４、３４、３６、３８、４０、４３、４６、４９、５１、６１、６３、６４、７１、７３；Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、３０、３１、３２、３７、３８、４０、４１、４２、４８、４８:１、４８:２、４８:３、４８:４、４９:１、４９:２、５０:１、５２:１、５３:１、５７、５７:１、５７:２、５８:２、５８:４、６０:１、６３:１、６３:２、６４:１、８１:１、８３、８８、９０:１、９７、１０１、１０２、１０４、１０５、１０６、１０８、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５１、１５５、１６６、１６８、１７０、１７１、１７２、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８０、１８５、１８７、１８８、１９０、１９３、１９４、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１５、２１６、２２０、２２４、２２６、２４２、２４３、２４５、２５４、２５５、２６４、２６５；Ｃ.Ｉ.ピグメントバイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８、３９；Ｃ.Ｉ.ピグメントブルー１、２、１５、１５:３、１５:４、１５:６、１６、２２、６０、６６；Ｃ.Ｉ.ピグメントグリーン７、３６、３７；Ｃ.Ｉ.ピグメントブラウン２３、２５、２８、及びこれら顔料の組合せがある。
【０１２９】
黒色顔料（Ｅ-２）
黒色顔料（Ｅ-２）は、好ましくは、耐熱性、耐光性及び耐溶剤性を有する黒色顔料である。
【０１３０】
黒色顔料（Ｅ-２）の具体例としては、ペリレンブラック、シアニンブラック、又はアニリンブラックのような黒色有機顔料；例えば、赤、青、緑、紫、黄、シアニン又はマゼンタの顔料から選択される２つ以上の顔料を混合することによって得られる有機顔料の黒色近似混合物；及びカーボンブラック、酸化クロム、酸化鉄、チタンブラック、又はグラファイトのような遮光性材料があり、カーボンブラックの具体例としては、Ｃ.Ｉ.ピグメントブラック１及び７があり、三菱化学製の商品（製品名ＭＡ１００、ＭＡ２３０、ＭＡ８、＃９７０、＃１０００、＃２３５０、又は＃２６５０）がある。黒色顔料（Ｅ-２）は、単独で又は２つ以上の組合せで使用することができる。
【０１３１】
黒色顔料（Ｅ-２）は、好ましくはカーボンブラックであり、このカーボンブラックは、例えば三菱化学製の商品ＭＡ１００又はＭＡ２３０である。
【０１３２】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用量１００重量部に対して、着色剤（Ｅ）の使用量は、５０重量部〜８００重量部であり、好ましくは８０重量部〜７００重量部であり、より好ましくは１００重量部〜６００重量部である。
【０１３３】
添加剤（Ｆ）
本発明の有効性に影響しないという前提の下に、本発明の感光性樹脂組成物は、さらに、添加剤（Ｆ）を含むことができる。添加剤（Ｆ）の具体例としては、界面活性剤、充填剤、重合体（アルカリ可溶性樹脂（Ａ）以外の）、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、及び抗凝固剤がある。
【０１３４】
界面活性剤は感光性樹脂組成物のコーティング特性を改善するのに役立つ。界面活性剤の具体例としては、カチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、非イオン性界面活性剤、両性界面活性剤、ポリシロキサン界面活性剤、フッ素界面活性剤、及びこれら界面活性剤の組合せがある。
【０１３５】
とくに、界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルアミンエーテル、又はポリオキシエチレンオレイルエーテルのようなポリオキシエチレンアルキルエーテル；ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、又はポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルのようなポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル；ジラウリン酸ポリエチレングリコール又はポリエチレングリコールステアリルエーテルのようなポリエチレングリコールジエステル；脂肪酸変性ポリエステル；又は第３級アミン変性ポリウレタンである。界面活性剤は、単独で又は２つ以上の組合せで使用することができる。
【０１３６】
界面活性剤の具体例としては、信越化学製のＫＰ製品、東レダウコーニング製のＳＦ-８４２７製品、共栄社化学製のPolyflow製品、Tochemプロダクツ社製のＦ-Ｔｏｐ製品、ＤＩＣコーポレーション製のMegafac製品、住友３Ｍ製のFluorade製品、旭硝子製のSurflon製品がある。
【０１３７】
充填剤の具体例としては、例えば、ガラス及びアルミニウムがある。
【０１３８】
重合体の具体例としては、ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、及びこれら重合体の組合せがある。
【０１３９】
密着促進剤の具体例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニル-トリス(2-メトキシエトキシ)シラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドールプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドールプロピルメチルジエトキシシラン、3-グリシドールプロピルメチルジメトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メチルプロピオニルオキシプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、及びこれら化合物の組合せがある。
【０１４０】
酸化防止剤の具体例としては、2,2-チオビス(4-メチル-6-tert-ブチルフェノール)、2,6-ジ-tert-ブチルフェノール、及びこれら化合物の組合せがある。
【０１４１】
紫外線吸収剤の具体例としては、2-(3-tert-ブチル-5-メチル-2-ヒドロキシフェニル)-5-クロロフェニルアジド、アルコキシフェノン、及びこれら化合物の組合せがある。
【０１４２】
抗凝固剤の具体例としては、例えば、ポリアクリル酸ナトリウムがある。
【０１４３】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用量１００重量部に対して、添加剤（Ｆ）の使用量は、０.１重量部〜１０重量部であり、好ましくは０.５重量部〜８重量部であり、より好ましくは１重量部〜６重量部である。
【０１４４】
＜感光性樹脂組成物の調製方法＞
感光性樹脂組成物を調製するのに使用できる方法は、例えば、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、及び溶剤（Ｄ）を撹拌器に容れて撹拌し、これら成分が溶液状態となるよう均一に混ぜ合わせる。必要であれば、着色剤（Ｅ）及び添加剤（Ｆ）も添加することができる。これら成分が均一に混ざり合った後、溶液状態の感光性樹脂組成物を得ることができる。とくに、感光性樹脂組成物を使用して画素層を形成するとき、着色剤（Ｅ）は、画素層を形成するのに使用される第１着色剤（Ｅ-１）とすることができる。感光性樹脂組成物を使用してブラックマトリックスを形成するとき、着色剤（Ｅ）は、画素層を形成するのに使用される黒色顔料（Ｅ-２）とすることができる。
【０１４５】
さらに、感光性樹脂組成物の調製方法は、特別には限定されない。感光性樹脂組成物の調製方法は、例えば、先ず一部のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）及びエチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）を一部の溶剤（Ｄ）に分散させて分散液を形成し、次に残りの着色剤（Ｅ）、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、及び溶剤（Ｄ）部分を混ぜ合わせることによって調製することができる。
【０１４６】
あるいは、感光性樹脂組成物は、先ず一部の着色剤（Ｅ）を一部のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）及び一部の溶剤（Ｄ）よりなる混合物内に分散させて顔料分散溶液を形成し、次に残りの着色剤（Ｅ）、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基を含む化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、及び溶剤（Ｄ）を混ぜ合わせることによって調製することもできる。さらに、着色剤（Ｅ）の分散工程は、ビーズミル又はロールミルのようなミキサーで混合することによって実施することができる。
【０１４７】
＜カラーフィルターの製造方法＞
カラーフィルターの製造方法は、基板上にブラックマトリックス、画素層、保護膜、ＩＴＯ保護膜、及び液晶配向膜（liquid crystal alignment film）をこの順序で順次に形成する工程を含む。感光性樹脂組成物を用いて、ブラックマトリックス、画素層、保護膜、ＩＴＯ保護膜、及び液晶配向膜をそれぞれ製造する方法は、それぞれ以下に説明する。
【０１４８】
1.  ブラックマトリックス製造方法
ブラックマトリックスは、黒色顔料（Ｅ-２）を含む感光性樹脂組成物に対して、プリベーク、露光、現像、及びポストベークの処理をこの順序で行うことによって得られる。ブラックマトリックスは、各画素層を隔離させるために使用する。さらに、ブラックマトリックスの膜厚が１μｍであるとき、光学密度の範囲は、少なくとも３.０、好ましくは３.２〜５.５、及びより好ましくは３.５〜５.５である。ブラックマトリックスの製造方法は以下に説明する。
【０１４９】
先ず、液体状態の感光性樹脂組成物を基板上に均一にコーティングし、この均一コーティングは、塗膜を形成するためスピンコーティング又は流延コーティングのようなコーティング方法によって行う。基板の具体例としては、液晶表示装置用に使用される無アルカリガラス、ソーダライムガラス、硬質ガラス（パイレックス（登録商標）ガラス）、石英ガラス、及び透明導電膜を付着したガラスがある。あるいは、基板は、固体撮像装置のような光電変換装置に使用される基板（シリコン基板）とすることができる。
【０１５０】
塗膜を形成した後、減圧乾燥によって大部分の溶剤を除去する。次に、残りの溶剤はプリベーク方法によって完全に除去し、プリベーク塗膜を形成する。言及すべきこととして、減圧乾燥及びプリベークの条件は、各成分の種類及び比率によって変動する。概して、減圧乾燥は、２００ｍｍＨｇ未満の圧力で１秒〜２０秒間に行われ、またプリベークは、塗膜に対して７０℃〜１１０℃の温度で１分〜１５分間に行う熱処理である。
【０１５１】
この後、プリベーク済み塗膜は、特定パターンを有するフォトマスクで露光する。この露光プロセスで使用する光は、好ましくは、ｇ線、ｈ線又はｉ線のような紫外光線である。さらに、紫外光線照射装置は、（超）高圧水銀蒸気ランプ又は金属ハロゲンランプとすることができる。
【０１５２】
次に、露光したプリベーク済み塗膜を２３±２℃の温度で現像液に浸漬して、プリベーク済み塗膜の露光されなかった部分を除去し、また基板上に特定パターンを形成する。
【０１５３】
現像液は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウムメチル、アンモニア溶液、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、コリン、ピロール、ピペリジン、又は1,8-ジアザビシクロ-[5,4,0]-7-ウンデセンのようなアルカリ化合物である。現像液の濃度は、概して０.００１重量％〜１０重量％、好ましくは０.００５重量％〜５重量％、及びより好ましくは０.０１重量％〜１重量％である。
【０１５４】
プリベーク済み塗膜を現像した後、特定パターンを有する基板を水ですすぎ洗いし、次に特定パターンを圧縮空気又は圧縮窒素で空気乾燥させる。この後、ホットプレート又はオーブンのような加熱装置によりポストベーク処理を実施する。ポストベーク温度は、概して１５０℃〜２５０℃であり、ホットプレートを使用するとき加熱時間は５分〜６０分であり、オーブンを使用するとき加熱時間は１５分〜１５０分である。これらの処理工程後にブラックマトリックスを基板上に形成することができる。
【０１５５】
2.  画素層の製造方法
画素層の製造方法はブラックマトリックスの製造方法と同様で類似する。具体的に説明すると、画素層は、ブラックマトリックスを形成した基板上に第１着色剤（Ｅ-１）を含む感光性組成物をコーティングし、次にプリベーク、露光、現像及びポストベークの処理をこの順序で施すことによって得られる。しかし、減圧乾燥は、０ｍｍＨｇ〜２００ｍｍＨｇの圧力で１秒〜６０秒間に行われる。
これらの処理工程後に、特定パターンが固定され、画素層を形成することができる。さらに、上述の工程を繰り返し、例えば、赤、緑、及び青の画素層を基板上に順次に形成する。
【０１５６】
3.  保護膜の製造方法
保護膜は、ブラックマトリックス及び画素層を形成した基板上に、着色剤（Ｅ）を含まない感光性組成物をコーティングし、また次にプリベーク、露光、現像及びポストベークの処理をこの順序で施すことによって得られる。保護膜の製造方法を以下に説明する。
【０１５７】
液体状態の感光性樹脂組成物を、ブラックマトリックス及び画素層を形成した基板上に均一にコーティングして塗膜を形成する。コーティング方法は、例えば、スプレー方法、ローラコーティング方法、スピンコーティング方法、バーコーティング方法、又はインクジェット方法である。コーティング方法は、スピンコーター、スピンレスコーティング装置、又はスリットダイコーティング装置を利用することができる。
【０１５８】
次に、塗膜に対してプリベークを実施する。プリベークの条件は、各成分の種類及び混合比率によって変動する。概して、プリベークは、７０℃〜９０℃の温度で１分〜１５分間に行われる。プリベークした後に、プリベーク済み塗膜の厚さは、０.１５μｍ〜８.５μｍ、好ましくは０.１５μｍ〜６.５μｍ、より好ましくは０.１５μｍ〜４.５μｍである。プリベーク済み塗膜の厚さは、溶剤除去後の厚さである。
【０１５９】
次に、プリベーク済み塗膜に対して露光処理を実施する。露光処理に使用する光は、例えば、可視光、紫外線光、遠紫外線光、電子ビーム、又はＸ線である。しかし、１９０ｎｍ〜４５０ｎｍの波長を有する紫外線光が好適である。露光処理の露光量は、１００Ｊ／ｍ２〜２０，０００Ｊ／ｍ２、また好ましくは１５０Ｊ／ｍ２〜１０，０００Ｊ／ｍ２である。
【０１６０】
この後、露光処理後のプリベーク済み塗膜に対して、ホットプレート又はオーブンのような加熱装置で加熱処理を実施する。加熱処理の温度は、概して１５０℃〜２５０℃である。ホットプレートを使用するとき加熱時間は５分〜３０分であり、オーブンを使用するとき加熱時間は３０分〜９０分である。これら処理工程後、ブラックマトリックス及び画素層を形成した基板上に、保護膜を形成することができる。
【０１６１】
4.  ＩＴＯ保護膜及び液晶配向膜の製造方法
ＩＴＯ保護膜（蒸着膜）を、真空環境内において２２０℃〜２５０℃の温度でスパッタリングにより画素層の表面上に形成する。必要に応じて、ＩＴＯ保護膜をエッチングしまた配線し、ＩＴＯ保護膜の表面上に液晶配向膜（液晶配向膜用のポリイミド）をコーティングして、カラーフィルターを形成する。
【０１６２】
＜液晶表示装置の製造方法＞
先ず、カラーフィルターを形成する方法によって形成したカラーフィルター及び薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を設けた基板を互いに対向させて配置し、両者間にギャップ（セルギャップ）を残す。次に、カラーフィルター及び基板の周縁部分に接着剤で貼り合わせ、注入孔を残す。この後、基板表面及び接着剤によって分離したギャップ内に注入孔から液晶を注入する。最後に、注入孔を封止し、液晶層を形成する。次に、液晶層に接触するカラーフィルターの他方の側面、および液晶層に接触する基板の他方の側面のそれぞれに偏光板を設け、液晶表示装置を製造する。使用する液晶、すなわち、液晶化合物又は液晶組成物は特別に限定しない。任意な液晶化合物又は液晶組成物を使用することができる。
【０１６３】
さらに、カラーフィルターの製造に使用される液晶配向膜は、液晶分子の配向を制限するのに使用され、特別に限定されない。無機物質又は有機物質の両方を使用することができ、また本発明はそれらに限定されない。
【０１６４】
以下の実施例は本発明をさらに説明するのに使用する。しかし、これら実施例は例示的であり、本発明の実現を限定することは意図しないものであると理解されたい。
【実施例】
【０１６５】
重合性不飽和基を含むジオール化合物（ａ-１）の調製例
調製例１
５００ｍＬの四つ口フラスコに、１００重量部のフルオレンエポキシ化合物（新日鐵化学製の商品ＥＳＦ-３００；エポキシ当量２３１）、３０重量部のアクリル酸、０.３重量部の塩化ベンジルトリエチルアンモニウム、０.１重量部の2,6-ジ-t-ブチル-p-クレゾール、及び１３０重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを、連続的に添加した。供給速度は２５重量部／分に制御した。反応プロセスの温度は１００℃〜１１０℃に維持し、この反応を１５時間持続した。固形成分含有量が５０重量％の淡黄色の透明混合液が得られた。抽出、濾過、並びに加熱乾燥の工程後、固形成分含有量が９９.９重量％の重合性不飽和基を含むジオール化合物（ａ-１-１）が得られた。
【０１６６】
調製例２
５００ｍＬの四つ口フラスコに、１００重量部のフルオレンエポキシ化合物（大阪ガス製の商品ＰＧ-１００；エポキシ当量２５９）、３５重量部のメタクリル酸、０.３重量部の塩化ベンジルトリエチルアンモニウム、０.１重量部の2,6-ジ-t-ブチル-p-クレゾール、及び１３５重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを、連続的に添加した。供給速度は２５重量部／分に制御した。反応プロセスの温度は１００℃〜１１０℃に維持し、この反応を１５時間持続した。固形成分含有量が５０重量％の淡黄色の透明混合液が得られた。抽出、濾過、並びに加熱乾燥の工程後、固形成分含有量が９９.９重量％の重合性不飽和基を含むジオール化合物（ａ-１-２）が得られた。
【０１６７】
調製例３
５００ｍＬの四つ口フラスコに、１００重量部のフルオレンエポキシ化合物（新日鐵化学製の商品ＥＳＦ-３００；エポキシ当量２３１）、１００重量部のコハク酸2-メタクリロイルオキシエチル、０.３重量部の塩化ベンジルトリエチルアンモニウム、０.１重量部の2,6-ジ-t-ブチル-p-クレゾール、及び２００重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを、連続的に添加した。供給速度は２５重量部／分に制御した。反応プロセスの温度は１００℃〜１１０℃に維持し、この反応を１５時間持続した。固形成分含有量が５０重量％の淡黄色の透明混合液が得られた。抽出、濾過、並びに加熱乾燥の工程後、固形成分含有量が９９.９重量％の重合性不飽和基を含むジオール化合物（ａ-１-３）が得られた。
【０１６８】
調製例４
機械的撹拌デバイス、温度計、及び還流冷却器を装備した１０００ｍＬの三つ口フラスコに、０.３モルの9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)フルオレン、９モルのエピクロロヒドリン、０.００３モルの塩化テトラメチルアンモニウムを添加した。混合液を撹拌しながら１０５℃に加熱し、また９時間に反応させた。反応しなかったエピクロロヒドリンを減圧で蒸留した。この反応システムを室温に冷却し、また９モルのベンゼン及び０.５モルの水酸化ナトリウムを水に溶解させることによって形成した３０重量％の水溶液を撹拌しながら添加し、次にこの反応システムを６０℃に加熱し、また３時間にわたり６０℃に維持した。次に、この反応溶液を水で繰り返し洗浄し、この洗浄は、最終的にＣｌ−が残らなくなるまで（ＡｇＮＯ３でテストした）行った。最後に、溶剤のベンゼンを減圧で蒸留し、７５℃で２４時間に乾燥して、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)フルオレンのエポキシ化合物を得た。
【０１６９】
５００ｍＬの四つ口フラスコに、１００重量部の9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)フルオレンのエポキシ化合物（エポキシ当量１８１）、３０重量部のアクリル酸、０.３重量部の塩化ベンジルトリエチルアンモニウム、０.１重量部の2,6-ジ-t-ブチル-p-クレゾール、及び１３０重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを、連続的に添加した。供給速度は２５重量部／分に制御した。反応プロセスの温度は１００℃〜１１０℃に維持し、またこの反応を１５時間持続した。固形成分含有量が５０重量％の淡黄色の透明混合液が得られた。抽出、濾過、並びに加熱乾燥の工程後、固形成分含有量が９９.９重量％の重合性不飽和基を含むジオール化合物（ａ-１-４）が得られた。
【０１７０】
調製例５
機械的撹拌デバイス、温度計、及び還流冷却器を装備した１０００ｍＬの三つ口フラスコに、０.３モルの9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレン、９モルのエピクロロヒドリン、０.００３モルの塩化テトラメチルアンモニウムを添加した。混合液を撹拌しながら１０５℃に加熱し、また９時間に反応させた。反応しなかったエピクロロヒドリンを減圧で蒸留した。この反応システムを室温に冷却し、また９モルのベンゼン及び０.５モルの水酸化ナトリウムを水に溶解させることによって形成した３０重量％の水溶液を撹拌しながら添加し、次にこの反応システムを６０℃に加熱し、また３時間にわたり６０℃に維持した。次に、この反応溶液を水で繰り返し洗浄し、この洗浄は、最終的にＣｌ−が残らなくなるまで（ＡｇＮＯ３でテストした）行った。最後に、溶剤のベンゼンを減圧で蒸留し、７５℃で２４時間に乾燥して、9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレンのエポキシ化合物を得た。
【０１７１】
５００ｍＬの四つ口フラスコに、１００重量部の9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレンのエポキシ化合物（エポキシ当量２２４）、３５重量部のメタクリル酸、０.３重量部の塩化ベンジルトリエチルアンモニウム、０.１重量部の2,6-ジ-t-ブチル-p-クレゾール、及び１３５重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを、連続的に添加した。供給速度は２５重量部／分に制御した。反応プロセスの温度は１００℃〜１１０℃に維持し、またこの反応を１５時間持続した。固形成分含有量が５０重量％の淡黄色の透明混合液が得られた。抽出、濾過、並びに加熱乾燥の工程後、固形成分含有量が９９.９重量％の重合性不飽和基を含むジオール化合物（ａ-１-５）が得られた。
【０１７２】
調製例６
機械的撹拌デバイス、温度計、及び還流冷却器を装備した１０００ｍＬの三つ口フラスコに０.３モルの9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-クロロフェニル)フルオレン、９モルのエピクロロヒドリン、０.００３モルの塩化テトラメチルアンモニウムを添加した。混合液を撹拌しながら１０５℃に加熱し、また９時間に反応させた。反応しなかったエピクロロヒドリンを減圧で蒸留した。この反応システムを室温に冷却し、また９モルのベンゼン及び０.５モルの水酸化ナトリウムを水に溶解させることによって形成した３０重量％の水溶液を撹拌しながら添加し、次にこの反応システムを６０℃に加熱し、また３時間にわたり６０℃に維持した。次に、この反応溶液を水で繰り返し洗浄し、この洗浄は、最終的にＣｌ−が残らなくなるまで（ＡｇＮＯ３でテストした）行った。最後に、溶剤のベンゼンを減圧で蒸留し、７５℃で２４時間に乾燥して、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-クロロフェニル)フルオレンのエポキシ化合物を得た。
【０１７３】
５００ｍＬの四つ口フラスコに、１００重量部の9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-クロロフェニル)フルオレンのエポキシ化合物（エポキシ当量２７８）、１００重量部のコハク酸2-メタクリロイルオキシエチル、０.３重量部の塩化ベンジルトリエチルアンモニウム、０.１重量部の2,6-ジ-t-ブチル-p-クレゾール、及び２００重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを、連続的に添加した。供給速度は２５重量部／分に制御した。反応プロセスの温度は１００℃〜１１０℃に維持し、またこの反応を１５時間持続した。固形成分含有量が５０重量％の淡黄色の透明混合液が得られた。抽出、濾過、並びに加熱乾燥の工程後、固形成分含有量が９９.９重量％の重合性不飽和基を含むジオール化合物（ａ-１-６）が得られた。
【０１７４】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合成例
アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の合成例
以下に、アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）における合成例Ａ-１-１〜合成例Ａ-１-１２を説明する。
【０１７５】
合成例Ａ-１-１
１.０モルの重合性不飽和基を含むジオール化合物（ａ-１-１）、１.９ｇの塩化ベンジルトリエチルアンモニウム、及び０.６ｇの2,6-ジ-tert-ブチル-p-クレゾールを、１０００ｇのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶解させ、また０.１モルの3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物（以下ａ-２-１と称する）及び１.８モルの2-イソシアナートエチルメタクリレート（以下ａ-３-１と称する）を同時に添加した。この混合液を１１０℃に加熱し、２時間に反応させ（同時添加）、酸価が９ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量が９０６、及び不飽和当量が２３０の第１アルカリ可溶性樹脂（以下Ａ-１-１と称する）を得た。
【０１７６】
合成例Ａ-１-２〜合成例Ａ-１-１２
合成例Ａ-１-２〜合成例Ａ-１-１２の第１アルカリ可溶性樹脂は、合成例１と同一の工程で調製したが、それらの相違は、第１アルカリ可溶性樹脂の成分の種類、使用量、反応時間、反応温度、添加時間を変化させた（表２に示す）点である。ここで「同時（simultaneous）」の用語は、テトラカルボン酸又はテトラカルボン酸の二無水物（ａ-２）、重合性不飽和基及びイソシアネート基を含む化合物（ａ-３）、及び他の化合物（ａ-４）を同一反応時に添加すること（すなわち、同時添加）を意味し、また用語「順次（successive）」は、テトラカルボン酸又はテトラカルボン酸の二無水物（ａ-２）、重合性不飽和基及びイソシアネート基を含む化合物（ａ-３）、及び他の化合物（ａ-４）を異なる反応時に添加する、すなわち、先ずテトラカルボン酸又はテトラカルボン酸の二無水物（ａ-２）を添加し、次に重合性不飽和基及びイソシアネート基を含む化合物（ａ-３）及び他の化合物（ａ-４）を添加すること（すなわち、順次添加）を意味する。
【０１７７】
下記表２及び３における略称符号に対応する化合物を以下に示す。
【表１】
2019035958.tif 000017
【０１７８】
【表２】
2019035958.tif 000018
【０１７９】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ-２）の合成例
以下に、アルカリ可溶性樹脂（Ａ-２）における合成例Ａ-２-１〜合成例Ａ-２-３を説明する。
【０１８０】
合成例Ａ-２-１
１.０モルの重合性不飽和基を含むジオール化合物（ａ-１-１）、１.９ｇの塩化ベンジルトリエチルアンモニウム、及び０.６ｇの2,6-ジ-tert-ブチル-p-クレゾールを、７００ｇのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶解させ、また０.２モルの3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物（ａ-２-１）及び１.４モルのコハク酸無水物（ａ-４-１）を同時に添加した。次に、この混合液を１１０℃に加熱し、２時間に反応させ、酸価が１３１ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量が１０８５を有する合成例Ａ-２-１の第２アルカリ可溶性樹脂（以下に第２アルカリ可溶性樹脂Ａ-２-１と称する）を得た。
【０１８１】
合成例Ａ-２-２〜合成例Ａ-２-３
合成例Ａ-２-２〜合成例Ａ-２-３の第２アルカリ可溶性樹脂は、合成例Ａ-２-１と同一の工程で調製したが、それらの相違は、第２アルカリ可溶性樹脂の成分の種類、使用量、反応時間、反応温度、添加時間を変化させた（表３に示す）点である。ここで「同時添加」の用語は、テトラカルボン酸又はテトラカルボン酸の二無水物（ａ-２）及びジカルボン酸又はジカルボン酸の二無水物（ａ-４）を同一反応時に添加することを意味し、また用語「順次添加」は、テトラカルボン酸又はテトラカルボン酸の二無水物（ａ-２）及びジカルボン酸又はジカルボン酸の二無水物（ａ-４）を異なる反応時に添加することを意味する。すなわち、先ずテトラカルボン酸又はテトラカルボン酸の二無水物（ａ-２）を添加し、次に重合性不飽和基及びイソシアネート基を含む化合物（ａ-３）及びジカルボン酸又はジカルボン酸の二無水物（ａ-４）を添加した。
【０１８２】
【表３】
2019035958.tif 000019
【０１８３】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ-３）の合成例
以下に、アルカリ可溶性樹脂（Ａ-３）における合成例Ａ-３-１〜合成例Ａ-３-３を説明する。
【０１８４】
合成例Ａ-３-１
窒素入口、撹拌器、ヒータ、冷却管及び温度計を１０００ｍｌ容積四つ口フラスコに設けた。窒素を導入した後、１５重量部のアクリル酸（ＡＡ）、１５重量部の2-ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）、７０重量部のベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）、３重量部の2,2’-アゾビス(2-メチルブチロニトリル)（ＡＭＢＮ）、及び３００重量部のジエチレングリコールジメチルエーテル（ジグリム）を添加した。次に、この混合液をゆっくりと撹拌し、またこの溶液を８０℃に加熱した。この後、この混合液に対して８０℃で６時間に重縮合を行った。次に溶剤を蒸発させた後に、他のアルカリ可溶性樹脂（Ａ-３-１）が得られた。
【０１８５】
合成例Ａ-３-２〜合成例Ａ-３-３
合成例Ａ-３-２〜合成例Ａ-３-３の他のアルカリ可溶性樹脂は、合成例Ａ-３-１と同一の工程で調製したが、それらの相違は、他のアルカリ可溶性樹脂の成分の種類、使用量、反応時間、反応温度、添加時間を変化させた（表５に示す）点である。
【０１８６】
下記表５における略称符号に対応する化合物を以下に示す。
【表４】
2019035958.tif 000020
【０１８７】
【表５】
2019035958.tif 000021
【０１８８】
感光性樹脂組成物の実施例
感光性樹脂組成物の実施例１〜実施例１９及び比較例１〜比較例７を以下に説明する。
【０１８９】
実施例１
１００重量部の第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１-１）、２０重量部のトリメチロールプロパントリアクリレート（以下Ｂ-１と称する）、１０重量部のエタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(O-アセチルオキシム)（以下Ｃ-１と称する）、及び５０重量部のC.I.ピグメントレッド２５４／C.I.ピグメントイエロー１３９＝８０／２０（以下Ｅ-１-１と称する）を、１０００重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに添加し、この混合液をシェイク型撹拌器で均一に撹拌し、実施例１の感光性樹脂組成物が得られた。得られた感光性樹脂組成物を以下の各評価方法によって評価し、この結果を表７に示す。
【０１９０】
実施例２〜実施例１９
実施例２〜実施例１９の感光性樹脂組成物は、実施例１と同一の工程で調製したが、それらの相違は、感光性樹脂組成物成分の種類及び使用量を変化させた（表７及び８に示す）点であり、また得られた感光性樹脂組成物を以下の各評価方法によって評価し、この結果を表７及び８に示す。
【０１９１】
比較例１〜比較例７
比較例１〜比較例７の感光性樹脂組成物は、実施例１と同一の工程で調製したが、それらの相違は、感光性樹脂組成物成分の種類及び使用量を変化させた（表９に示す）点である。得られた感光性樹脂組成物を以下の各評価方法によって評価し、またこの結果を表９に示す。
【０１９２】
【表６】
2019035958.tif 000022
【０１９３】
【表７】
2019035958.tif 000023
【０１９４】
【表８】
2019035958.tif 000024
【０１９５】
【表９】
2019035958.tif 000025
【０１９６】
＜評価方法＞
パターンの現像残渣
各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物は、スピンコーティング方法により２組の１００ｍｍ×１００ｍｍガラス基板上にコーティングした。この後、ガラス基板を約１００ｍｍＨｇの圧力で約３０秒間に減圧乾燥した。次に、２組のガラス基板を８０℃で３分間にプリベークし、膜厚２.５ｍｍのプリベーク塗膜を形成した。２組のプリベーク塗膜は異なる線幅を有するフォトマスクの下側に配置し、２０μｍ線幅を形成するのに十分な露光量でプリベーク塗膜を照射した。次に、２組のプリベーク塗膜を、それぞれ４０秒及び８０秒にわたり、２３℃の現像液（０.０４％水酸化カリウム）内に浸漬して、プリベーク塗膜のＵＶ光に照射されなかった部分を除去した。蒸留水で洗浄した後、２３０℃のオーブン内で６０分にわたりポストベーク処理を実施した。次いで、２組のパターンの端縁における現像残渣の存在を、顕微鏡（ニコン製、型番Eclipse 50i）及び走査型電子顕微鏡（日立製造、型番S-3000N）によって観察し、その評価方法を以下の表に示す。
【０１９７】
【表１０】
2019035958.tif 000026
【０１９８】
スパッタリング耐性
各実施例及び比較例で形成した感光性樹脂組成物は、スピンコーティング方法により１００ｍｍ×１００ｍｍサイズのガラス基板上にコーティングした。次に、減圧乾燥を実施し、その圧力は１００ｍｍＨｇであり、持続時間は３０秒であった。次いで、プリベークプロセスを実施し、その温度は８０℃であり、持続時間は２分であり、膜厚２.５ｍｍのプリベーク塗膜を形成した。プリベークプロセスを実施した後、プリベーク塗膜は、６０ｍＪ／ｃｍ２のＵＶ光で照射し（露光機：キャノンPLA-501F）、また、露光済みプリベーク塗膜を２３℃の現像溶液内に浸漬した。１分経過後、塗膜を蒸留水で洗浄し、また２３０℃で３０分にわたりポストベークし、ガラス基板上にパターンを形成した。
【０１９９】
次に、パターンの色度（Ｌ＊、ａ＊、ｂ＊）を色度計（大塚電子製造、型番MVPD）によって測定し、この後、パターン上に２２０℃のスパッタリング温度でのスパッタリングによって膜抵抗１４.６Ω／ｓｑ及び膜厚２０４０ÅのＩＴＯ膜を形成した。次に、ＩＴＯ膜を有するパターンの色度を色度計によって測定し、また色度変化（ΔＥａｂ＊）を以下の公式（１２）によって計算した。より小さい色度変化（ΔＥａｂ＊）は、よりよいスパッタリング耐性を示す。評価は以下の評価標準によって行った。
【数１】
2019035958.tif 000027
【０２００】
＜評価結果＞
表７〜表９からは、特定構造を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）を含む感光性樹脂組成物（実施例１から１９）は現像残渣がなく、また良好なスパッタリング耐性を有することが分かった。
【０２０１】
さらに、比較例１〜比較例７の液晶配向膜は特定構造を有していないため、比較例１〜比較例７の感光性樹脂組成物によって形成されたパターンは、現像残渣があり、スパッタリング耐性も劣った。
【０２０２】
さらに、反応により形成される第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の混合液において、（ａ-１）成分及び（ａ-２）成分のモル比（ａ-２）／（ａ-１）が０.２〜１.０であるとき（実施例２、４〜１３、及び１５〜１９）、その感光性樹脂組成物によって形成されるパターンの現像残渣は一層少なくすることができ、また結果として生ずるパターンのスパッタリング耐性はより良好になる。
【０２０３】
さらに、反応により形成される第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の混合液において、（ａ-１）成分及び（ａ-３）成分のモル比（ａ-３）／（ａ-１）が０.０２〜１.６であるとき（実施例５〜１９）、その感光性樹脂組成物によって形成されるパターンのスパッタリング耐性はより良好になる。
【０２０４】
さらに、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の質量平均分子量が特定範囲内であるとき（実施例５〜１９）、又は不飽和当量が特定範囲内であるとき（実施例５〜１９）、その感光性樹脂組成物によって形成されるパターンのスパッタリング耐性はより良好になる。
【０２０５】
さらに、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の酸価が特定範囲内であるとき（実施例２、４〜１３、及び１５〜１９）、その感光性樹脂組成物によって形成されるパターンの現像残渣は一層少なくすることができ、また結果として生ずるパターンのスパッタリング耐性はより良好になる。
【０２０６】
上述のことに基づいて、本発明の感光性樹脂組成物は、特定構造を有する第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）を含み、したがって、カラーフィルターを形成するのに使用するとき、現像残渣及び劣ったスパッタリング耐性の問題を同時に軽減することができ、これにより、本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルターのブラックマトリックス、画素層、及び保護膜の製造に適したものである。
【０２０７】
さらに、反応によって形成される本発明の感光性樹脂組成物の第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の混合液において、特定成分間のモル比が特定範囲内であるとき、現像残渣の問題が一層軽減され、またこの結果として生ずるパターンは良好なスパッタリング耐性を有する。
【０２０８】
さらに、感光性樹脂組成物における第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ-１）の重量平均分子量、不飽和当量、又は酸価が特定範囲内であるとき、やはり現像残渣の問題が一層軽減され、またこの結果として生ずるパターンは良好なスパッタリング耐性を有する。
【産業上の利用可能性】
【０２０９】
本発明は、カラーフィルターおよび液晶表示装置に適用することのできる感光性樹脂組成物を提供する。感光性樹脂組成物は、現像残渣の問題が一層軽減され、優れたスパッタリング耐性を提供することができる。
【０２１０】
本発明を上述の実施形態につき説明したが、当業者には上述の実施形態を本発明の精神から逸脱せずに変更できることは明らかであろう。したがって、本発明の範囲は、上述の詳細な説明によってではなく、特許請求の範囲によって定義される。
【外国語明細書】
2019035958000001.pdf