(57)【要約】【課題】ロボットアームの内部から外部に異物が排出されることを抑制することができるロボットを提供する。【解決手段】ロボットは、基台１１と、基台１１に第１回動軸周りに回動可能に設けられた第１アーム１２と、第１アーム１２に第２回動軸周りに回動可能に設けられた第２アーム１３と、を有するロボットアーム６と、ロボットアーム６の内部に配置されているケーブル２０と、吸引孔を有し、ポンプ４が接続されることで、ロボットアーム６の内部の気体を吸引するチューブ５と、を備え、第１アーム１２と第２アーム１３との間に第１間隙を有し、吸引孔は、ロボットアーム６の内部に配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
前記基台に第１回動軸周りに回動可能に設けられた第１アームと、前記第１アームに第２回動軸周りに回動可能に設けられた第２アームと、を有するロボットアームと、
前記ロボットアームの内部に配置されているケーブルと、
吸引孔を有し、吸引装置が接続されることで、前記ロボットアームの内部の気体を吸引するチューブと、を備え、
前記第１アームと前記第２アームとの間に第１間隙を有し、
前記吸引孔は、前記ロボットアームの内部に配置されていることを特徴とするロボット。
【請求項２】
前記吸引孔は、前記チューブの端面に設けられた開口である請求項１に記載のロボット。
【請求項３】
前記吸引孔は、前記チューブの側面に設けられた開口である請求項１に記載のロボット。
【請求項４】
前記吸引孔は、複数ある請求項３に記載のロボット。
【請求項５】
前記チューブは、前記ケーブルに沿って配置されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載のロボット。
【請求項６】
前記ケーブルを前記第１アームに固定する第１固定部と、前記ケーブルを前記第２アームに固定する第２固定部と、を備え、
前記ケーブルは、前記第１固定部と前記第２固定部との間で折り返され、かつ摺動可能な部分を有し、
前記吸引孔は、前記第１固定部及び前記第２固定部よりも前記摺動可能な部分側に配置されている請求項１ないし５のいずれか１項に記載のロボット。
【請求項７】
前記ケーブルを前記第１アームに固定する第１固定部と、前記ケーブルを前記第２アームに固定する第２固定部と、を備え、
前記ケーブルは、前記第１固定部と前記第２固定部との間で折り返され、かつ摺動可能な部分を有し、
前記吸引孔は、前記第１固定部及び前記第２固定部よりも前記摺動可能な部分と反対側に配置されている請求項１ないし５のいずれか１項に記載のロボット。
【請求項８】
前記ロボットアームは、前記第２アームに第３回動軸周りに回動可能に設けられた第３アームを有し、
前記第２アームと前記第３アームとの間に第２間隙を有し、
前記第２回動軸の軸方向から見て、前記吸引孔は、前記第１間隙と前記第２間隙との間に配置されている請求項１ないし５のいずれか１項に記載のロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基台と、複数のアーム（リンク）を有するロボットアームと、を備えるロボットが知られている。ロボットアームの隣り合う２つのアームのうちの一方のアームは、関節部を介して、他方のアームに回動可能に連結され、最も基端側（最も上流側）のアームは、関節部を介して、基台に回動可能に連結されている。関節部は、モーターにより駆動され、その関節部の駆動により、アームが回動する。また、最も先端側（最も下流側）のアームには、エンドエフェクターとして、例えば、着脱可能にハンドが装着される。そして、ロボットは、例えば、ハンドで対象物を把持し、その対象物を所定の場所へ移動させ、組立て等の所定の作業を行う。
【０００３】
このようなロボットとして、特許文献１には、基台と、複数のアームを有するロボットアームと、を備え、関節部にケーブルをＵ字状に配置してなる垂直多関節ロボットが開示されている。このロボットでは、関節部において、上底部（回転部）と下底部（固定部）とのそれぞれにケーブルを固定し、その上底部に固定された円環状の上底側ガイド部と、その下底部に固定された円環状の下底側ガイド部と、の間に、ケーブルをＵ字状に配置して、ロボットの関節の可動範囲を確保している。また、上底側ガイド部は、下底側ガイド部に対して相対的に回動するため、上底側ガイド部と下底側ガイド部との間に間隙（隙間）がある。また、通常、ケーブルには、その摩擦抵抗を低減させるため、グリスが塗布されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２８４７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のロボットでは、上底側ガイド部（カバー）と下底側ガイド部（カバー）との間に間隙があるので、アームが回動してケーブルが移動すると、その間隙からグリス（潤滑剤）やケーブルの摩耗粉等の異物が排出されるおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願のロボットは、基台と、前記基台に第１回動軸周りに回動可能に設けられた第１アームと、前記第１アームに第２回動軸周りに回動可能に設けられた第２アームと、を有するロボットアームと、前記ロボットアームの内部に配置されているケーブルと、吸引孔を有し、吸引装置が接続されることで、前記ロボットアームの内部の気体を吸引するチューブと、を備え、前記第１アームと前記第２アームとの間に第１間隙を有し、前記吸引孔は、前記ロボットアームの内部に配置されていることを特徴とする。
【０００７】
上記のロボットでは、前記吸引孔は、前記チューブの端面に設けられた開口であることが好ましい。
【０００８】
上記のロボットでは、前記吸引孔は、前記チューブの側面に設けられた開口であることが好ましい。
【０００９】
上記のロボットでは、前記吸引孔は、複数あることが好ましい。
【００１０】
上記のロボットでは、前記チューブは、前記ケーブルに沿って配置されていることが好ましい。
【００１１】
上記のロボットでは、前記ケーブルを前記第１アームに固定する第１固定部と、前記ケーブルを前記第２アームに固定する第２固定部と、を備え、前記ケーブルは、前記第１固定部と前記第２固定部との間で折り返され、かつ摺動可能な部分を有し、前記吸引孔は、前記第１固定部及び前記第２固定部よりも前記摺動可能な部分側に配置されていることが好ましい。
【００１２】
上記のロボットでは、前記ケーブルを前記第１アームに固定する第１固定部と、前記ケーブルを前記第２アームに固定する第２固定部と、を備え、前記ケーブルは、前記第１固定部と前記第２固定部との間で折り返され、かつ摺動可能な部分を有し、前記吸引孔は、前記第１固定部及び前記第２固定部よりも前記摺動可能な部分と反対側に配置されていることが好ましい。
【００１３】
上記のロボットでは、前記ロボットアームは、前記第２アームに第３回動軸周りに回動可能に設けられた第３アームを有し、前記第２アームと前記第３アームとの間に第２間隙を有し、前記第２回動軸の軸方向から見て、前記吸引孔は、前記第１間隙と前記第２間隙との間に配置されていることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明のロボット（ロボットシステム）の第１実施形態を示す斜視図。
【図２】図１に示すロボットの概略図。
【図３】図１に示すロボットの側面図。
【図４】図１に示すロボットの正面図。
【図５】図１に示すロボットの正面図。
【図６】図１に示すロボット（ロボットシステム）のブロック図。
【図７】図１に示すロボットのケーブルの配置等を説明するための図。
【図８】図１に示すロボットの非接触シール構造部を示す断面図。
【図９】図１に示すロボットの第１アーム及び第２アームの断面図。
【図１０】図９を模式的に示す断面図。
【図１１】本発明のロボットの第２実施形態における第１アーム及び第２アームの断面を模式的に示す断面図。
【図１２】本発明のロボットの第３実施形態における第１アーム及び第２アームの断面を模式的に示す断面図。
【図１３】本発明のロボットの第４実施形態における第１アーム及び第２アームの断面を模式的に示す断面図。
【図１４】本発明のロボットの第５実施形態における第１アーム及び第２アームの断面を模式的に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明のロボットを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明のロボット（ロボットシステム）の第１実施形態を示す斜視図である。図２は、図１に示すロボットの概略図である。図３は、図１に示すロボットの側面図である。図４は、図１に示すロボットの正面図である。図５は、図１に示すロボットの正面図である。図６は、図１に示すロボット（ロボットシステム）のブロック図である。図７は、図１に示すロボットのケーブルの配置等を説明するための図である。図８は、図１に示すロボットの非接触シール構造部を示す断面図である。図９は、図１に示すロボットの第１アーム及び第２アームの断面図である。図１０は、図９を模式的に示す断面図である。なお、図７及び図８では、チューブの図示を省略している。また、図９では、ケーブルの図示を省略し、非接触シール構造部の構造は、簡略化して図示している。
【００１６】
なお、以下では、説明の都合上、図１及び図３〜図５中の上側を「上」又は「上方」、下側を「下」又は「下方」と言う。また、図１〜図５中の基台側を「基端」又は「上流」、その反対側（ハンド側）を「先端」又は「下流」と言う。また、図１及び図３〜図５中の上下方向を「鉛直方向」とし、左右方向を「水平方向」とする。本明細書において、「水平」とは、完全に水平な場合のみならず、水平に対して±５°以内で傾斜している場合も含む。同様に、本明細書において、「鉛直」とは、完全に鉛直な場合のみならず、鉛直に対して±５°以内で傾斜している場合も含む。また、本明細書において、「平行」とは、２つの線（軸を含む）又は面が、互いに完全な平行である場合のみならず、一方が他方に対して±５°以内で傾斜している場合も含む。また、本明細書において、「直交」とは、２つの線（軸を含む）又は面が、互いに完全な直交である場合のみならず、一方が他方に対して±５°以内で傾斜している場合も含む。また、図８中の横方向が第２回動軸Ｏ２の軸方向と一致している。なお、これらは、他の実施形態の図でも同様である。
【００１７】
図１〜図３、及び図６に示すように、ロボットシステム１００（産業用ロボットシステム）は、ロボット１（産業用ロボット）と、ロボット１を制御する制御装置２００（ロボット制御装置）と、を備えている。このロボットシステム１００は、例えば、腕時計のような精密機器等を製造する製造工程等で用いることができる。また、ロボットシステム１００は、例えば、当該精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送、組立て等の各作業を行うことができる。なお、本発明では、ロボット１が制御装置２００を有していてもよい。
【００１８】
制御装置２００は、各制御を行う制御部２０２と、各情報を記憶する記憶部２０１等を備えている。この制御装置２００は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）（図示せず）等が内蔵されたパーソナルコンピューター（ＰＣ）等で構成することができ、後述するロボット１の第１モーター４０１Ｍ、第２モーター４０２Ｍ、第３モーター４０３Ｍ、第４モーター４０４Ｍ、第５モーター４０５Ｍ、第６モーター４０６Ｍ、ハンド９１等の各部を制御する。また、ロボット１を制御するプログラムは、記憶部２０１にあらかじめ記憶されている。
【００１９】
制御装置２００は、ロボット１（ロボット本体１０）にその一部又は全部が内蔵されていてもよく、また、ロボット１とは、別体であってもよい。本実施形態では、制御装置２００は、ロボット１の後述する基台１１に内蔵されている。
【００２０】
なお、ロボット１と制御装置２００とを別体で構成する場合は、例えば、ロボット１と制御装置２００とをケーブル（図示せず）で電気的に接続し、有線方式で通信を行うようにしてもよく、また、上記ケーブルを省略し、無線方式で通信を行うようにしてもよい。
【００２１】
ロボット１は、ロボット本体１０と、第１駆動源４０１、第２駆動源４０２、第３駆動源４０３、第４駆動源４０４、第５駆動源４０５、及び第６駆動源４０６と、を備えている。ロボット本体１０は、基台（支持部）１１と、ロボットアーム６と、を備えている。
【００２２】
ロボットアーム６は、基台１１に第１回動軸Ｏ１周りに回動可能に設けられた（接続された）第１アーム１２と、第１アーム１２に第１回動軸Ｏ１の軸方向と異なる（本実施形態では直交する）軸方向である第２回動軸Ｏ２周りに回動可能に設けられた第２アーム１３と、第２アーム１３に第３回動軸Ｏ３周りに回動可能に設けられた第３アーム１４と、第３アーム１４に第４回動軸Ｏ４周りに回動可能に設けられた第４アーム１５と、第４アーム１５に第５回動軸Ｏ５周りに回動可能に設けられた第５アーム１６と、第５アーム１６に第６回動軸Ｏ６周りに回動可能に設けられた第６アーム１７と、を有している。また、第１アーム１２、第２アーム１３、第３アーム１４、第４アーム１５、及び第５アーム１６は、それぞれ、カバー１２５，１３５，１４５，１５５，１６５を有しており、その内部に、第１駆動源４０１、第２駆動源４０２、第３駆動源４０３、第４駆動源４０４、第５駆動源４０５、第６駆動源４０６等が配置されている。なお、第５アーム１６及び第６アーム１７によりリストが構成され、第６アーム１７の先端（ロボットアーム６の先端）には、例えば、ハンド９１等のエンドエフェクターを着脱可能に取り付けることができるようになっている。以下、ロボット１について詳細に説明する。
【００２３】
ロボット１の種類は、特に限定されないが、本実施形態では、ロボット１は、基台１１と、第１アーム１２と、第２アーム１３と、第３アーム１４と、第４アーム１５と、第５アーム１６と、第６アーム１７と、が基端側から先端側に向ってこの順に連結された垂直多関節（６軸）ロボットである。「垂直多関節ロボット」とは、回動軸数（アーム数）が２つ以上であり、かつ、ロボットの回動軸のうちの２つの回動軸が互いに交差（直交）しているロボットのことを言う。なお、以下では、第１アーム１２、第２アーム１３、第３アーム１４、第４アーム１５、第５アーム１６、及び第６アーム１７をそれぞれ「アーム」とも言う。また、第１駆動源４０１、第２駆動源４０２、第３駆動源４０３、第４駆動源４０４、第５駆動源４０５、及び第６駆動源４０６をそれぞれ「駆動源」とも言う。
【００２４】
図３に示すように、基台１１は、設置スペースの所定部分に固定（支持）される部分（取り付けられる部材）である。この固定方法としては、特に限定されず、例えば、複数本のボルトによる固定方法等を採用することができる。
【００２５】
本実施形態では、基台１１は、設置スペースの天井（天井部）５３の天井面５３１に固定されている。この天井面５３１は、水平面と平行な平面である。なお、基台１１の先端部に設けられた板状のフランジ１１１が天井面５３１に取り付けられているが、基台１１の天井面５３１への取付け箇所は、これに限定されない。
【００２６】
また、このロボット１では、基台１１とロボットアーム６との接続部分、すなわち、後述する軸受部６２の中心線（中心）６２１（図４参照）は、天井面５３１よりも鉛直方向上側に位置している。なお、軸受部６２の中心線６２１は、これに限らず、例えば、天井面５３１よりも鉛直方向下側に位置していてもよく、また、天井面５３１と鉛直方向の同じ位置に位置していてもよい。
【００２７】
また、ロボット１は、基台１１が天井面５３１に設置されているので、第１アーム１２と第２アーム１３との接続部分、すなわち、第２アーム１３を回動可能に支持する図示しない軸受部の中心線（中心）は、軸受部６２の中心線６２１よりも鉛直方向下側に位置している。
【００２８】
なお、基台１１には、後述する関節１７１が含まれていてもよく、また、含まれていなくてもよい（図２参照）。
【００２９】
また、第１アーム１２、第２アーム１３、第３アーム１４、第４アーム１５、第５アーム１６、及び第６アーム１７は、それぞれ、基台１１に対し独立して変位可能に支持されている。
【００３０】
図１及び図３に示すように、第１アーム１２は、屈曲した形状をなしている。第１アーム１２は、図３の状態で説明すると、基台１１に接続され（設けられ）、基台１１から後述する第１回動軸Ｏ１の軸方向（鉛直方向）であって、図３中下側に延出した第１部分１２１と、第１部分１２１の図３中の下端から第２回動軸Ｏ２の軸方向（水平方向）であって、図３中左側に延出した第２部分１２２と、第２部分１２２の第１部分１２１とは、反対の端部に設けられ、第１回動軸Ｏ１の軸方向（鉛直方向）であって、図３中下側に延出した第３部分１２３と、第３部分１２３の第２部分１２２とは、反対の端部から第２回動軸Ｏ２の軸方向（水平方向）であって、図３中右側に延出した第４部分１２４と、を有している。なお、これら第１部分１２１、第２部分１２２、第３部分１２３、及び第４部分１２４は、一体で形成されている。また、第２部分１２２と第３部分１２３とは、第１回動軸Ｏ１及び第２回動軸Ｏ２の双方と直交する方向から見て（図３の紙面手前から見て）、ほぼ直交（交差）している。
【００３１】
第２アーム１３は、長手形状をなし、第１アーム１２の先端部、すなわち、第４部分１２４の第３部分１２３とは、反対の端部に接続されている（設けられている）。
【００３２】
第３アーム１４は、長手形状をなし、第２アーム１３の先端部、すなわち、第２アーム１３の第１アーム１２が接続されている端部とは、反対の端部に接続されている（設けられている）。
【００３３】
第４アーム１５は、第３アーム１４の先端部、すなわち、第３アーム１４の第２アーム１３が接続されている端部とは、反対の端部に接続されている（設けられている）。第４アーム１５は、互いに対向する１対の支持部１５１，１５２を有している。支持部１５１，１５２は、第４アーム１５の第５アーム１６との接続に用いられる。
【００３４】
第５アーム１６は、支持部１５１，１５２の間に位置し、支持部１５１，１５２に接続されることで第４アーム１５と連結している（第４アーム１５に設けられている）。なお、第４アーム１５は、この構造に限らず、例えば、支持部が１つ（片持ち）であってもよい。
【００３５】
第６アーム１７は、平板状をなし、第５アーム１６の先端部に接続されている（設けられている）。また、第６アーム１７には、その先端部（第５アーム１６と反対側の端部）に、エンドエフェクターとして、例えば、腕時計等のような精密機器、部品等を把持するハンド９１が着脱可能に装着される。このハンド９１の駆動は、制御装置２００により制御される。なお、ハンド９１としては、特に限定されず、例えば、複数本の指部（フィンガー）を有する構成のものが挙げられる。そして、このロボット１は、ハンド９１で精密機器、部品等を把持したまま、アーム１２〜１７等の動作を制御することにより、当該精密機器、部品を搬送すること等の各作業を行うことができる。
【００３６】
図１〜図３に示すように、第１アーム１２は、基台１１に設けられている。これにより、ロボット１を設置する場合に、基台１１を設置スペースの所定部分に設置することで、その設置作業を容易に行うことができる。
【００３７】
具体的には、基台１１と第１アーム１２とは、関節（ジョイント）１７１を介して連結されている。関節１７１は、互いに連結された第１アーム１２を基台１１に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第１アーム１２は、基台１１に対し、鉛直方向と平行な第１回動軸Ｏ１を中心に（第１回動軸Ｏ１周りに）回動可能となっている。第１回動軸Ｏ１は、基台１１が取り付けられた天井５３の天井面５３１の法線と一致している。また、第１回動軸Ｏ１は、ロボット１の最も上流側にある回動軸である。この第１回動軸Ｏ１周りの回動は、第１モーター４０１Ｍ及び減速機（図示せず）を有する第１駆動部（駆動部）である第１駆動源４０１の駆動によりなされる。
【００３８】
また、第１アーム１２の回動角度は、９０°以下に設定されていることが好ましい。これにより、ロボット１の周囲に障害物がある場合でも、容易に、その障害物を回避して動作することができ、また、タクトタイムを短縮することができる。
【００３９】
なお、以下では、第１モーター４０１Ｍと、後述する第２モーター４０２Ｍ、第３モーター４０３Ｍ、第４モーター４０４Ｍ、第５モーター４０５Ｍ、及び第６モーター４０６Ｍと、をそれぞれ「モーター」とも言う。
【００４０】
また、第１アーム１２と第２アーム１３とは、関節（ジョイント）１７２を介して連結されている。関節１７２は、互いに連結された第１アーム１２と第２アーム１３とのうちの一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第２アーム１３は、第１アーム１２に対し、水平方向と平行な第２回動軸Ｏ２を中心に（第２回動軸Ｏ２周りに）回動可能となっている。第２回動軸Ｏ２は、第１回動軸Ｏ１と直交している。この第２回動軸Ｏ２周りの回動は、第２モーター４０２Ｍ及び減速機（図示せず）を有する第２駆動部（駆動部）である第２駆動源４０２の駆動によりなされる。
【００４１】
なお、第２回動軸Ｏ２は、第１回動軸Ｏ１に直交する軸と平行であってもよく、また、第２回動軸Ｏ２は、第１回動軸Ｏ１と直交していなくてもよく、軸方向が互いに異なっていればよい。
【００４２】
また、第２アーム１３と第３アーム１４とは、関節（ジョイント）１７３を介して連結されている。関節１７３は、互いに連結された第２アーム１３と第３アーム１４とのうちの一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第３アーム１４は、第２アーム１３に対して、水平方向と平行な第３回動軸Ｏ３を中心に（第３回動軸Ｏ３周りに）回動可能となっている。第３回動軸Ｏ３は、第２回動軸Ｏ２と平行である。この第３回動軸Ｏ３周りの回動は、第３モーター４０３Ｍ及び減速機（図示せず）を有する第３駆動部（駆動部）である第３駆動源４０３の駆動によりなされる。
【００４３】
また、第３アーム１４と第４アーム１５とは、関節（ジョイント）１７４を介して連結されている。関節１７４は、互いに連結された第３アーム１４と第４アーム１５とのうちの一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第４アーム１５は、第３アーム１４（基台１１）に対し、第３アーム１４の中心軸方向と平行な第４回動軸Ｏ４を中心に（第４回動軸Ｏ４周りに）回動可能となっている。第４回動軸Ｏ４は、第３回動軸Ｏ３と直交している。この第４回動軸Ｏ４周りの回動は、第４モーター４０４Ｍ及び減速機（図示せず）を有する第４駆動部（駆動部）である第４駆動源４０４の駆動によりなされる。
【００４４】
なお、第４回動軸Ｏ４は、第３回動軸Ｏ３に直交する軸と平行であってもよく、また、第４回動軸Ｏ４は、第３回動軸Ｏ３と直交していなくても、軸方向が互いに異なっていればよい。
【００４５】
また、第４アーム１５と第５アーム１６とは、関節（ジョイント）１７５を介して連結されている。関節１７５は、互いに連結された第４アーム１５と第５アーム１６との一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第５アーム１６は、第４アーム１５に対し、第４アーム１５の中心軸方向と直交する第５回動軸Ｏ５を中心に（第５回動軸Ｏ５周りに）回動可能となっている。第５回動軸Ｏ５は、第４回動軸Ｏ４と直交している。この第５回動軸Ｏ５周りの回動は、第５駆動部（駆動部）である第５駆動源４０５の駆動によりなされる。第５駆動源４０５は、第５モーター４０５Ｍと、減速機（図示せず）と、第５モーター４０５Ｍの軸部に連結された第１プーリー（図示せず）と、第１プーリーに離間して配置され、減速機の軸部に連結された第２プーリー（図示せず）と、第１プーリーと第２プーリーとに掛け渡されたベルト（図示せず）と、を有している。
【００４６】
なお、第５回動軸Ｏ５は、第４回動軸Ｏ４に直交する軸と平行であってもよく、また、第５回動軸Ｏ５は、第４回動軸Ｏ４と直交していなくても、軸方向が互いに異なっていればよい。
【００４７】
また、第５アーム１６と第６アーム１７とは、関節（ジョイント）１７６を介して連結されている。関節１７６は、互いに連結された第５アーム１６と第６アーム１７との一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第６アーム１７は、第５アーム１６に対し、第６回動軸Ｏ６を中心に（第６回動軸Ｏ６周りに）回動可能となっている。第６回動軸Ｏ６は、第５回動軸Ｏ５と直交している。この第６回動軸Ｏ６周りの回動は、第６モーター４０６Ｍ及び減速機（図示せず）を有する第６駆動部（駆動部）である第６駆動源４０６の駆動によりなされる。
【００４８】
なお、第６回動軸Ｏ６は、第５回動軸Ｏ５に直交する軸と平行であってもよく、また、第６回動軸Ｏ６は、第５回動軸Ｏ５と直交していなくても、軸方向が互いに異なっていればよい。
【００４９】
なお、駆動源４０１〜４０６においては、それぞれ、減速機が省略されていてもよい。また、アーム１２〜１７においては、それぞれ、そのアーム１２〜１７を制動するブレーキ（制動装置）が設けられていてもよく、また、省略されていてもよい。
【００５０】
上記モーター４０１Ｍ〜４０６Ｍとしては、特に限定されず、例えば、ＡＣサーボモーター、ＤＣサーボモーター等のサーボモーター等が挙げられる。
【００５１】
また、上記各ブレーキとしては、特に限定されず、例えば、電磁ブレーキ等が挙げられる。
【００５２】
また、駆動源４０１〜４０６のモーター４０１Ｍ〜４０６Ｍ又は各減速機には、それぞれ、第１アーム１２の位置を検出する第１位置検出部として第１エンコーダー、第２アーム１３の位置を検出する第２位置検出部として第２エンコーダー、第３アーム１４の位置を検出する第３位置検出部として第３エンコーダー、第４アーム１５の位置を検出する第４位置検出部として第４エンコーダー、第５アーム１６の位置を検出する第５位置検出部として第５エンコーダー、及び第６アーム１７の位置を検出する第６位置検出部として第６エンコーダーが設けられている（いずれのエンコーダーも図示せず）。各エンコーダーにより、それぞれ、駆動源４０１〜４０６のモーター４０１Ｍ〜４０６Ｍ又は各減速機の回転軸の回転角度を検出する。
以上、ロボット１の構成について簡単に説明した。
【００５３】
次に、第１アーム１２〜第６アーム１７の関係について説明するが、表現等を変え、種々の視点から説明する。また、第３アーム１４〜第６アーム１７については、これらを真っ直ぐに伸ばした状態、すなわち、最も長くした状態、換言すれば、第４回動軸Ｏ４と第６回動軸Ｏ６とが一致しているか、又は平行である状態で考えることとする。
【００５４】
まず、前提として、第１アーム１２は、基台１１に設けられている。これにより、基台１１に対して第１アーム１２を回動させることが可能である。
【００５５】
また、第１アーム１２は、第１回動軸Ｏ１周りに回動可能であり、第２回動軸Ｏ２の軸方向は、第１回動軸Ｏ１の軸方向と直交している（異なっている）。
【００５６】
まず、図４に示すように、第１アーム１２の長さＬ１は、第２アーム１３の長さＬ２よりも長い。これにより、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、容易に第１アーム１２と第２アーム１３とが重なることができる。
【００５７】
ここで、第１アーム１２の長さＬ１とは、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第２回動軸Ｏ２と、第１アーム１２を回動可能に支持する軸受部６２の図４中の左右方向に延びる中心線６２１と、の間の距離である。
【００５８】
また、第２アーム１３の長さＬ２とは、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第２回動軸Ｏ２と、第３回動軸Ｏ３と、の間の距離である。
【００５９】
また、図５に示すように、第３回動軸Ｏ３の軸方向から見て、第１アーム１２と第２アーム１３とのなす角度θ（図４参照）を０°にすることが可能なように構成されている。換言すれば、第３回動軸Ｏ３の軸方向から見て、第１アーム１２と第２アーム１３とが重なることが可能、すなわち、第１アーム１２と第２アーム１３とが重なる状態となることが可能なように構成されている。これにより、ロボットアーム６の先端を第１回動軸Ｏ１周りに１８０°異なる位置に移動させる場合にロボット１がその近傍の壁（図示せず）や周辺装置（図示せず）に干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。
【００６０】
また、第２アーム１３は、角度θが０°の場合、すなわち、第３回動軸Ｏ３の軸方向から見て、第１アーム１２と第２アーム１３とが重なった場合、基台１１が設けられた天井５３の天井面５３１及び第１アーム１２の第２部分１２２と干渉しないように構成されている。なお、基台１１の基端面が天井面５３１に取り付けられている場合も同様に、第２アーム１３は、天井面５３１及び第１アーム１２の第２部分１２２と干渉しないように構成されている。
【００６１】
ここで、上記第１アーム１２と第２アーム１３とのなす角度θとは、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第２回動軸Ｏ２と第３回動軸Ｏ３とを通る直線（第２回動軸Ｏ２の軸方向から見た場合の第２アーム１３の中心軸）６１と、第１回動軸Ｏ１と、のなす角度である（図４参照）。
【００６２】
また、第１アーム１２を回動させず、第２アーム１３を回動させることにより、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て角度θが０°となる状態（第１アーム１２と第２アーム１３とが重なった状態）を経て、第２アーム１３の先端を、第１回動軸Ｏ１周りに１８０°異なる位置に移動させることが可能である。すなわち、第１アーム１２を回動させず、第２アーム１３を回動させることにより、ロボットアーム６の先端（第６アーム１７の先端）を図１及び図４に示す左側位置から、角度θが０°となる状態（図５参照）を経て、第１回動軸Ｏ１周りに１８０°異なる右側位置（第１回動軸Ｏ１を中心にして図１と反対側の位置）に移動させることが可能である。なお、第３アーム１４〜第６アーム１７は、それぞれ、必要に応じて回動させる。
【００６３】
また、第２アーム１３の先端を第１回動軸Ｏ１周りに１８０°異なる位置に移動させる際（ロボットアーム６の先端を上記左側位置から上記右側位置に移動させる際）は、第１回動軸Ｏ１の軸方向から見て、第２アーム１３の先端及びロボットアーム６の先端は、直線上を移動する。
【００６４】
また、第３アーム１４〜第６アーム１７の合計の長さ（最大の長さ）Ｌ３は、第２アーム１３の長さＬ２よりも長く設定されている。
【００６５】
これにより、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第２アーム１３と第３アーム１４とを重ねたとき、第２アーム１３から第６アーム１７の先端を突出させることができる。これによって、ハンド９１が、第１アーム１２及び第２アーム１３と干渉することを防止することができる。
【００６６】
ここで、第３アーム１４〜第６アーム１７の合計の長さ（最大の長さ）Ｌ３とは、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、第３回動軸Ｏ３と、第６アーム１７の先端と、の間の距離である（図４参照）。この場合、第３アーム１４〜第６アーム１７は、図４に示すように、第４回動軸Ｏ４と第６回動軸Ｏ６とが一致しているか、又は平行である状態である。
【００６７】
また、図５に示すように、第３回動軸Ｏ３の軸方向から見て、第２アーム１３と、第３アーム１４と、が重なることが可能なように構成されている。
【００６８】
すなわち、第３回動軸Ｏ３の軸方向から見て、第１アーム１２と、第２アーム１３と、第３アーム１４と、が同時に重なることが可能なように構成されている。
【００６９】
このロボット１では、上記のような関係を満たすことにより、第１アーム１２を回動させず、第２アーム１３及び第３アーム１４を回動させることにより、第３回動軸Ｏ３の軸方向から見て第１アーム１２と第２アーム１３とのなす角度θが０°となる状態（第１アーム１２と第２アーム１３とが重なった状態）を経て、ハンド９１（第６アーム１７の先端）を第１回動軸Ｏ１周りに１８０°異なる位置に移動させることができる。そして、この動作を用いて、効率良く、ロボット１を駆動することができ、また、ロボット１がその近傍の壁（図示せず）や周辺装置（図示せず）に干渉しないようにするために設ける空間を小さくすることができ、また、最後に述べるような種々の利点を有する。
【００７０】
また、図７に示すように、ロボット１は、長尺状をなす可撓性部材として、複数の配線（図示せず）を内部に有するケーブル２０を有している。配線としては、例えば、電気配線等が挙げられる。ケーブル２０の数は、特に限定されないが、本実施形態では、１つである。なお、ケーブル２０の数は、２つ以上でもよい。
【００７１】
ケーブル２０は、ロボットアーム６の内部、すなわち、第１アーム１２の内部、第２アーム１３の内部、第３アーム１４の内部、第４アーム１５の内部等に配置されている（第４アーム１５のみは図示せず）、すなわち、上記各内部を挿通するように配置されている。このケーブル２０は、第２駆動源４０２（駆動部）と、第１アーム１２のカバー１２５及び第２アーム１３のカバー１３５と、の間等、駆動源（駆動部）とカバーとの間に配置された部分を有している。具体的には、ケーブル２０は、モーター４０１Ｍの外周に配置された折り返し部２１ａ、第１部分２２ａ、及び第２部分２３ａと、モーター４０２Ｍの外周に配置された折り返し部２１ｂ、第１部分２２ｂ、及び第２部分２３ｂと、モーター４０３Ｍの外周に配置された折り返し部２１ｃ、第１部分２２ｃ、及び第２部分２３ｃと、モーター４０４Ｍの外周に配置された折り返し部、第１部分、及び第２部分（図示せず）と、を有している。このようにケーブル２０に各折り返し部を設けることにより、ロボットアーム６の内部のスペースを有効に活用することができる。
【００７２】
なお、各々の折り返し部、第１部分、及び第２部分と、それらの近傍の構成は、同様であるので、以下では、代表的に、モーター４０２Ｍの外周に配置された折り返し部２１ｂ、第１部分２２ｂ、及び第２部分２３ｂを例に挙げて説明する。
【００７３】
ケーブル２０の折り返し部２１ｂは、モーター４０２Ｍの外周において、モーター４０２Ｍの軸部（出力軸）の周方向、すなわち、第２回動軸Ｏ２（図３参照）の周方向に折り返して配置され、Ｕ字形状をなしている（Ｕ字形状に折り曲げられている）。
【００７４】
この折り返し部２１ｂの一方の端部には、モーター４０２Ｍの外周に沿った円弧状をなす第１部分２２ｂがあり、第１部分２２ｂの端部は、モーター４０２Ｍの支持部材４５に、固定部材（図示せず）により固定されている。また、折り返し部２１ｂの他方の端部には、モーター４０２Ｍの外周に沿った円弧状をなす第２部分２３ｂがあり、第２部分２３ｂの端部は、モーター４０２Ｍに対して回動可能な減速機の回動部材４３に、固定部材（図示せず）により固定されている。また、回動部材４３は、第２アーム１３に固定され、モーター４０２Ｍは、第１アーム１２に固定されている。すなわち、ケーブル２０は、第１部分２２ｂの端部において、第１アーム１２に固定され、第２部分２３ｂの端部において、第２アーム１３に固定されている。
【００７５】
モーター４０２Ｍが駆動して第２アーム１３が回動する場合、モーター４０２Ｍに対して回動部材４３が回動するが、その際、折り返し部２１ｂは、その捻じれが抑制され、曲げ変形する。これにより、ケーブル２０に作用する応力が緩和される。すなわち、折り返し部２１ｂにおいて、ケーブル２０の曲げ半径を大きく確保することができ、第２アーム１３が回動した場合、ケーブル２０が捻じれることや、折れてしまうことを抑制することができ、これにより、ケーブル２０の損傷を抑制することができ、耐久性を向上させることができる。
【００７６】
また、ケーブル２０には、潤滑剤の１例であるグリスが塗布されている。このグリスにより、ケーブル２０の摩擦抵抗が低減され、滑りが向上し、また、ケーブル２０の摩耗等を抑制することができる。なお、グリスは、省略されていてもよい。
【００７７】
グリスとしては、特に限定されないが、グリス（潤滑剤）のちょう度（混和ちょう度）は、１５０以上、３００以下であることが好ましく、１５０以上、２６０以下であることがより好ましく、２００以上、２６０以下であることがさらに好ましい。これにより、グリスについて適度な硬さが得られる。グリスのちょう度が上記上限値よりも大きいと、他の条件によっては、グリスが柔らかすぎ、適さない場合がある。また、グリスのちょう度が上記下限値よりも小さいと、他の条件によっては、グリスが硬すぎて適さない場合がある。
【００７８】
このようなロボット１では、基台１１と第１アーム１２のカバー１２５との間の部分に、基台１１とカバー１２５とによって、非接触シール構造が形成されている。同様に、第１アーム１２のカバー１２５と第２アーム１３のカバー１３５との間の部分に、カバー１２５とカバー１３５とによって、非接触シール構造が形成されている。同様に、第２アーム１３のカバー１３５と第３アーム１４のカバー１４５との間の部分に、カバー１３５とカバー１４５とによって、非接触シール構造が形成されている。同様に、第３アーム１４のカバー１４５と第４アーム１５のカバー１５５との間の部分に、カバー１４５とカバー１５５とによって、非接触シール構造が形成されている。各非接触シール構造は、同様であるので、以下では、代表的に、第１アーム１２のカバー１２５と第２アーム１３のカバー１３５とによって形成される非接触シール構造を例に挙げて説明する。また、以下では、カバー１２５とカバー１３５とによって形成される非接触シール構造又はその非接触シール構造の部分を「非接触シール構造部」と言う（他の実施形態も同様）。
【００７９】
ここで、非接触シール構造とは、カバー１２５とカバー１３５との間に間隙を設け、その間隙を利用し、密封性を高める構造を言う。
【００８０】
また、非接触シール構造の形態は特に限定されないが、ロボット１では、非接触シール構造として、ラビリンス構造（ラビリンスシール構造）を採用している。すなわち、非接触シール構造は、本実施形態では、ラビリンス構造である。これにより、カバー１２５とカバー１３５との間の部分において、ロボットアーム６の内部と外部との間に延在する第１間隙７１の距離Ｌａ（延在長さ）を長くすることができ、ロボットアーム６内の密封性を高めることができる。
【００８１】
ラビリンス構造とは、カバー１２５とカバー１３５との間に凹凸状の構造物を設け、カバー１２５とカバー１３５との間に凹凸状の間隙を形成した構造を言う。
【００８２】
なお、非接触シール構造は、省略されていてもよく、例えば、通常の間隙が形成されていてもよい。
【００８３】
以下、非接触シール構造部７について説明する。
まず、前提として、ロボット１は、ロボットアーム６を有し、ロボットアーム６は、第１アーム１２と、第１アーム１２に第２回動軸Ｏ２周りに回動可能に設けられた第２アーム１３と、を有している。また、第１アーム１２は、カバー１２５を有し、第２アーム１３は、カバー１３５を有している。また、第２駆動源４０２と、第１アーム１２のカバー１２５と、の間に、内部に配線（図示せず）を有するケーブル２０が配置されている。また、第２駆動源４０２と、第２アーム１３のカバー１３５と、の間に、ケーブル２０が配置されている。
【００８４】
そして、第１アーム１２のカバー１２５と、第２アーム１３のカバー１３５と、によって、非接触シール構造部７（非接触シール構造）が形成されている（図８参照）。以下、具体的に説明する。
【００８５】
図８に示すように、カバー１２５の端部１２６、すなわち、カバー１２５のカバー１３５に対向する部分には、凸部の１例であるリブ（突出壁）１２７が形成されている。同様に、カバー１３５の端部１３６、すなわち、カバー１３５のカバー１２５に対向する部分であって、リブ１２７の内側（内周側）には、凸部の１例であるリブ（突出壁）１３７が形成されている。リブ１２７，１３７は、それぞれ、第２回動軸Ｏ２の軸方向（アキシアル方向）に突出し、第２回動軸Ｏ２周りに１周に亘って形成されている。また、リブ１３７は、リブ１２７の内側（内周側）に配置されている。なお、リブ１３７が、リブ１２７の外側（外周側）に配置されていてもよい。
【００８６】
また、カバー１２５とカバー１３５とは、非接触の状態で配置されている。すなわち、リブ１２７と、リブ１３７及び端部１３６とは、互いに、非接触の状態で配置され、また、リブ１３７と、端部１２６とは、互いに、非接触の状態で配置されている。これにより、ロボットアーム６（ロボット１）が駆動した場合、カバー１２５とカバー１３５とが擦れ合うことを抑制することができる。
【００８７】
このような構成により、カバー１２５（第１アーム１２）とカバー１３５（第２アーム１３）との間に第１間隙７１（隙間）が形成される。すなわち、非接触シール構造部７（非接触シール構造）は、第１アーム１２のカバー１２５と第２アーム１３のカバー１３５との間に形成された第１間隙７１を有している。第２回動軸Ｏ２に沿った断面において、その第１間隙７１は、第２回動軸Ｏ２の軸方向と交差する方向に延在する第１の間隙部７１１，７１３と、第１の間隙部７１１，７１３が延在する方向と直交する方向（交差する方向）に延在し、第１の間隙部７１１，７１３と連通する第２の間隙部７１２と、を有している。
【００８８】
具体的には、第１間隙７１は、主に端部１２６とリブ１３７の端部１３７１との間に形成された第１の間隙部７１１と、主にリブ１２７とリブ１３７との間に形成された第２の間隙部７１２と、主に端部１３６とリブ１２７の端部１２７１との間に形成された第１の間隙部７１３（第３の間隙部）と、で構成されている。第１の間隙部７１１と第２の間隙部７１２と第１の間隙部７１３とは、ロボットアーム６の内側から外側に向って、この順序で配置されており、第１の間隙部７１１と第２の間隙部７１２とは、連通し、第２の間隙部７１２と第１の間隙部７１３とは、連通している。
【００８９】
また、第２回動軸Ｏ２に沿った断面（図８に示す断面図）において、第１の間隙部７１１及び第１の間隙部７１３は、それぞれ、第２回動軸Ｏ２の軸方向と直交する方向（交差する方向）、すなわち、ラジアル方向に延在している。また、第１の間隙部７１１及び第１の間隙部７１３は、それぞれ、第２回動軸Ｏ２周りに１周に亘って延在している。
【００９０】
また、第２回動軸Ｏ２に沿った断面において、第２の間隙部７１２は、第１の間隙部７１１が延在する方向と直交する方向（交差する方向）、すなわち、第２回動軸Ｏ２の軸方向（アキシアル方向）に延在している。また、第２の間隙部７１２は、第２回動軸Ｏ２周りに１周に亘って延在している。
【００９１】
非接触シール構造部７は、この第１間隙７１、端部１２６、端部１３６、リブ１２７、リブ１３７等で構成される。
【００９２】
このようなラビリンス構造の非接触シール構造部７を設けることにより、カバー１２５とカバー１３５との間の部分において、ロボットアーム６の内部と外部との間に延在する第１間隙７１の距離Ｌａ（延在長さ）が長くなり、ロボットアーム６内の密封性を高めることができる。すなわち、非接触シール構造部７により、ロボットアーム６が駆動した場合に、カバー１２５とカバー１３５との間からグリスやケーブル２０の摩耗粉等の異物が漏れ出すことを抑制することができる。また、カバー１２５とカバー１３５との間からロボットアーム６内に異物が混入することを抑制することができる。
【００９３】
また、第１間隙７１の距離Ｌａは、特に限定されず、諸条件に応じて適宜設定されるものであるが、３ｍｍ以上であることが好ましく、５ｍｍ以上、５００ｍｍ以下であることがより好ましく、７ｍｍ以上、５０ｍｍ以下であることがさらに好ましい。
【００９４】
距離Ｌａが上記上限値よりも大きいと、非接触シール構造部７の構造が複雑になる。また、距離Ｌａが上記下限値よりも小さいと、他の条件によっては、ロボットアーム６が駆動した場合に、カバー１２５とカバー１３５との間からグリスやケーブル２０の摩耗粉等の異物が漏れ出すおそれがある。
【００９５】
また、第１間隙７１を形成している（画成する）カバー１２５とカバー１３５との間の距離、すなわち、第１間隙７１の距離Ｌｂ（ギャップ長）は、特に限定されず、諸条件に応じて適宜設定されるものであるが、５ｍｍ以下であることが好ましく、０．１ｍｍ以上、５ｍｍ以下であることがより好ましく、０．１ｍｍ以上、３ｍｍ以下（例えば、１ｍｍ）であることがさらに好ましい。
【００９６】
距離Ｌｂが上記上限値よりも大きいと、他の条件によっては、ロボットアーム６が駆動した場合に、カバー１２５とカバー１３５との間からグリスやケーブル２０の摩耗粉等の異物が漏れ出すおそれがある。また、距離Ｌｂが上記下限値よりも小さいと、他の条件によっては、ロボットアーム６が駆動した場合に、カバー１２５とカバー１３５とが擦れ合うおそれがある。
【００９７】
なお、距離Ｌｂは、第１間隙７１が延在する方向に沿って、一定でもよく、また、変化していてもよい。例えば、第１の間隙部７１１の距離Ｌｂと、第２の間隙部７１２の距離Ｌｂと、第１の間隙部７１３の距離Ｌｂとは、同一でもよく、また、異なっていてもよい。また、第１の間隙部７１１の距離Ｌｂは、その第１の間隙部７１１が延在する方向に沿って、一定でもよく、また、変化していてもよい。また、第２の間隙部７１２の距離Ｌｂは、その第２の間隙部７１２が延在する方向に沿って、一定でもよく、また、変化していてもよい。また、第１の間隙部７１３の距離Ｌｂは、その第１の間隙部７１３が延在する方向に沿って、一定でもよく、また、変化していてもよい。
【００９８】
また、非接触シール構造部７（非接触シール構造）の内部に潤滑剤の１例であるグリス（図示せず）を有している。すなわち、第１間隙７１にグリスが設けられている。これにより、グリスで第１間隙７１の少なくとも一部が埋められ、遮断されている。これによって、ロボットアーム６が駆動した場合に、カバー１２５とカバー１３５との間からケーブル２０の摩耗粉等の異物が漏れ出すことを抑制することができる。また、カバー１２５とカバー１３５との間からロボットアーム６内に異物が混入することを抑制することができる。なお、上記グリスを省略してもよい。
【００９９】
また、第１間隙７１に設けるグリスとしては、特に限定されず、ケーブル２０に塗布されたグリスと同様でもよく、また、異なっていてもよい。
【０１００】
また、第１間隙７１にグリスを設ける方法としては、特に限定されず、例えば、ロボットアーム６が駆動することで、ケーブル２０に塗布されたグリスが第１間隙７１に移動して溜まるようにしてもよい。また、ロボット１の製造段階で、ケーブル２０とは別に、第１間隙７１にグリスを設けてもよい。
【０１０１】
また、第１間隙７１に設けるグリスとしては、特に限定されないが、グリス（潤滑剤）のちょう度（混和ちょう度）は、１５０以上、３００以下であることが好ましく、１５０以上、２６０以下であることがより好ましく、２００以上、２６０以下であることがさらに好ましい。これにより、グリスについて適度な硬さが得られる。これによって、グリスが漏れ出すことを抑制することができる。
【０１０２】
また、グリスのちょう度が上記上限値よりも大きいと、他の条件によっては、グリスが柔らかすぎ、適さない場合がある。また、グリスのちょう度が上記下限値よりも小さいと、他の条件によっては、グリスが硬すぎて適さない場合がある。
【０１０３】
また、図１、図９、及び図１０に示すように、ロボット１は、チューブ５を有している。チューブ５は、可撓性を有しており、基台１１からロボット１の内部に入り、ロボットアーム６の内部に配置されている。また、チューブ５の基端部には、ポンプ４（吸引装置）（図１参照）が接続されている。このポンプ４は、ロボットシステム１００の構成要素として捉えてもよく、また、ロボットシステム１００の構成要素ではないと捉えてもよい。また、ポンプ４は、吸引が可能な吸引ポンプであり、そのポンプ４の駆動は、制御装置２００により制御される（図６参照）。なお、ポンプ４の駆動は、制御装置２００ではなく、例えば、他のパーソナルコンピューター等で制御されるようになっていてもよく、また、ポンプ４は、手動操作でオン、オフ等の操作が行われるようになっていてもよい。
【０１０４】
また、図１０に示すように、チューブ５は、ケーブル２０に沿って配置されている。これにより、ケーブル２０の摩耗粉を適確に吸引することができ、また、別途、チューブ５を配置するための空間を設ける必要がなく、ロボット１の小型化を図ることができる。なお、チューブ５は、ケーブル２０に沿わないように配置されていてもよい。
【０１０５】
また、ケーブル２０は、ケーブル２０を第１アーム１２に固定する第１固定部３１と、ケーブル２０を第２アーム１３に固定する第２固定部３２と、を備えている。第１固定部３１及び第２固定部３２としては、それぞれ、特に限定されず、例えば、結束バンド等が挙げられる。また、本実施形態では、第１固定部３１は、チューブ５を第１アーム１２に固定する固定部を兼ね、第２固定部３２は、チューブ５を第２アーム１３に固定する固定部を兼ねる。すなわち、第１固定部３１は、チューブ５及びケーブル２０を第１アーム１２に固定し、第２固定部３２は、チューブ５及びケーブル２０を第２アーム１３に固定している。
【０１０６】
また、ケーブル２０は、第１固定部３１と第２固定部３２との間で折り返されている。この折り返された部分は、前述した折り返し部２１ｂであり、かつ摺動可能な部分である。すなわち、折り返し部２１ｂは、第１固定部３１と第２固定部３２との間で折り返された部分であり、かつモーター４０２Ｍに対して摺動可能な部分である。なお、他の折り返し部についても同様である。
【０１０７】
また、チューブ５は、ケーブル２０と同様に、第１固定部３１と第２固定部３２との間で折り返されている。すなわち、チューブ５は、モーター４０２Ｍの外周において、モーター４０２Ｍの軸部（出力軸）の周方向、すなわち、第２回動軸Ｏ２の周方向に折り返して配置され、Ｕ字形状をなす（Ｕ字形状に折り曲げられた）折り返し部５２を有している。
【０１０８】
また、チューブ５の一方の端面（先端面）に形成されている開口は、吸引孔５１である。すなわち、吸引孔５１は、チューブ５の先端面に設けられた開口である。また、吸引孔５１は、ロボットアーム６の内部に配置されている。また。チューブ５の他方の端部には、ポンプ４（吸引装置）（図１参照）が接続され、そのポンプ４の駆動により、吸引孔５１からロボットアーム６の内部の気体を吸引することが可能である。これにより、ロボットアーム６の内部を負圧にし、また、ロボットアーム６の内部のグリスやケーブル２０の摩耗粉等の異物を吸引し、ロボットアーム６の内部から第１間隙７１を介して外部に異物が排出されることを抑制することができる。
【０１０９】
また、吸引孔５１の数は、特に限定されず、１つでもよく、また、複数でもよいが、本実施形態では、１つである。
【０１１０】
また、ロボットアーム６は、第２アーム１３と第３アーム１４との間に、第２間隙７２（図７参照）を有している。前述したように、この第２間隙７２は、上記第１間隙７１と同様に構成されている。
【０１１１】
また、チューブ５の吸引孔５１は、第１固定部３１及び第２固定部３２よりも折り返し部２１ｂと反対側に配置されている。
【０１１２】
具体的には、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、チューブ５の吸引孔５１は、第１間隙７１と第２間隙７２との間に配置されている。すなわち、吸引孔５１は、関節１７２と関節１７３との間に配置されている。これにより、第１間隙７１及び第２間隙７２から外部に異物が排出されることを抑制することができる。
【０１１３】
また、チューブ５の吸引孔５１は、第１間隙７１と第２間隙７２との間であれば、第１間隙７１と第２間隙７２との間のいずれの位置に配置されていてもよいが、本実施形態では、吸引孔５１は、第１間隙７１と第２間隙７２との中間の位置に配置されている。
【０１１４】
なお、本実施形態では、関節１７２，１７３において発生する異物が排出されることを抑制するための機構を代表して説明したが、他の関節において発生する異物が排出されることを抑制するための機構についても同様に、又は変更を行って設けることが可能である。また、吸引孔５１は、第１間隙７１と第２間隙７２との間以外の位置に配置されていてもよい。
【０１１５】
以上説明したように、ロボット１（ロボットシステム１００）によれば、ロボットアーム６が駆動した場合に、カバー１２５とカバー１３５との間から外部にグリスやケーブル２０の摩耗粉等の異物が排出されることを抑制することができる。同様に、他の隣り合う２つのアームのカバーとカバーとの間、カバー１２５と基台１１との間から外部にグリスやケーブル２０の摩耗粉等の異物が排出されることを抑制することができる。
【０１１６】
これにより、ロボット１が設置された室内のクリーン性を容易かつ適確に確保することができる。
【０１１７】
また、ロボットアーム６の内部から外部にグリスが漏れ出すことを抑制することができるので、ケーブル２０に塗布するグリスの塗布量を厳密に管理する必要がなくなり、これにより、ロボット１の組立てに要する時間及び労力を低減することができる。
【０１１８】
また、非接触シール構造部７を備えているので、カバー１２５とカバー１３５との間からロボットアーム６の内部に異物が混入することを抑制することができる。同様に、他の隣り合う２つのアームのカバーとカバーとの間、カバー１２５と基台１１との間からロボットアーム６の内部に異物が混入することを抑制することができる。
【０１１９】
また、前述したように、ロボット１では、第１アーム１２を回動させず、第２アーム１３、第３アーム１４等を回動させることにより、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て第１アーム１２と第２アーム１３とのなす角度θが０°となる状態（第１アーム１２と第２アーム１３とが重なった状態）を経て、ロボットアーム６の先端を第１回動軸Ｏ１周りに１８０°異なる位置に移動させることができる。
【０１２０】
これにより、ロボット１がその近傍の壁（図示せず）や周辺装置（図示せず）に干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。
【０１２１】
すなわち、まずは、天井５３を低くすることができ、これにより、ロボット１の重心の位置が低くなり、ロボット１の振動の影響を小さくすることができる。すなわち、ロボット１の動作による反力により発生する振動を抑制することができる。
【０１２２】
また、ロボット１の幅方向（生産ラインの方向）の稼働領域を小さくすることができ、これにより、ロボット１を生産ラインに沿って、単位長さ当たりに多く配置することができ、生産ラインを短縮することができる。
【０１２３】
また、ロボットアーム６の先端を移動させる場合、ロボット１の動きを少なくすることができる。例えば、第１アーム１２を回動させないか、又は、第１アーム１２の回動角度を小さくすることができ、これにより、タクトタイムを短縮することができ、作業効率を向上させることができる。
【０１２４】
また、ロボットアーム６の先端を第１回動軸Ｏ１周りに１８０°異なる位置に移動させる動作（以下、「ショートカットモーション」とも言う）を、従来のロボットのように単純に第１アーム１２を第１回動軸Ｏ１周りに回動させて実行しようとすると、ロボット１がその近傍の壁（図示せず）や周辺装置（図示せず）に干渉するおそれがあるので、その干渉を回避するための退避点をロボット１に教示する必要がある。例えば、第１アーム１２のみを第１回動軸Ｏ１周りに９０°回転させるとロボット１が壁に干渉する場合は、他のアームも回動させることで、壁に干渉しないように退避点を教示する必要がある。同様に、ロボット１が周辺装置にも干渉する場合は、周辺装置に干渉しないようにさらに退避点をロボット１に教示する必要がある。このように従来のロボットでは、多数の退避点を教示することが必要であり、特に、ロボット１の周辺の空間が小さい場合は、膨大な数の退避点が必要になり、教示に多くの手間及び長い時間を要する。
【０１２５】
これに対し、ロボット１では、上記ショートカットモーションを実行する場合、干渉するおそれがある領域や部分が非常に少なくなるため、教示する退避点の数を低減することができ、教示に要する手間及び時間を低減することができる。すなわち、ロボット１では、教示する退避点の数は、例えば、従来のロボットの１／３程度になり、飛躍的に教示が容易になる。
【０１２６】
また、第３アーム１４及び第４アーム１５の図３中の右側の二点鎖線で囲まれた領域（部分）１０１は、ロボット１がロボット１自身及び他の部材と干渉しないか、又は干渉し難い領域（部分）である。このため、上記領域１０１に、所定の部材を搭載した場合、その部材は、ロボット１、周辺装置等に干渉し難い。このため、ロボット１では、領域１０１に、所定の部材を搭載することが可能である。特に、領域１０１のうち、第３アーム１４の図３中の右側の領域に上記所定の部材を搭載する場合は、その部材が図示しない作業台上に配置された周辺装置（図示せず）と干渉する確率はさらに低くなるので、より効果的である。
【０１２７】
上記領域１０１に搭載可能なものとしては、例えば、ハンド、ハンドアイカメラ等のセンサーの駆動を制御する制御装置、吸着機構の電磁弁等が挙げられる。
【０１２８】
具体例としては、例えば、ハンドに吸着機構を設ける場合、領域１０１に電磁弁等を設置すると、ロボット１が駆動する際に上記電磁弁が邪魔にならない。このように、領域１０１は、利便性が高い。
【０１２９】
なお、本実施形態では、リブ１２７及びリブ１３７の数は、それぞれ、１つであるが、これに限らず、例えば、リブ１２７及びリブ１３７の数は、それぞれ、複数であってもよい。
【０１３０】
また、本実施形態では、リブ１２７及びリブ１３７は、それぞれ、第２回動軸Ｏ２の軸方向（アキシアル方向）に突出しているが、これに限らず、例えば、リブ１２７及びリブ１３７は、それぞれ、第２回動軸Ｏ２の軸方向と直交する方向（ラジアル方向）に突出していてもよい。
【０１３１】
以上説明したように、ロボット１は、基台１１と、基台１１に第１回動軸Ｏ１周りに回動可能に設けられた第１アーム１２と、第１アーム１２に第２回動軸Ｏ２周りに回動可能に設けられた第２アーム１３と、を有するロボットアーム６と、ロボットアーム６の内部に配置されているケーブル２０と、吸引孔５１を有し、ポンプ４が接続されることで、ロボットアーム６の内部の気体を吸引するチューブ５と、を備え、第１アーム１２と第２アーム１３との間に第１間隙７１を有し、吸引孔５１は、ロボットアーム６の内部に配置されている。
【０１３２】
このようなロボット１によれば、ロボットアーム６の内部の気体を吸引することにより、ロボットアーム６の内部を負圧にし、ロボットアーム６の内部から第１間隙７１を介して外部にグリスやケーブル２０の摩耗粉等の異物が排出されることを抑制することができる。
【０１３３】
また、吸引孔５１は、チューブ５の端面に設けられた開口である。これにより、ロボットアーム６の内部の気体を適確に吸引することができる。
【０１３４】
また、チューブ５は、ケーブル２０に沿って配置されている。これにより、ケーブル２０の摩耗粉を適確に吸引することができ、また、別途、チューブ５を配置するための空間を設ける必要がなく、ロボット１の小型化を図ることができる。
【０１３５】
また、ロボットアーム６は、ケーブル２０を第１アーム１２に固定する第１固定部３１と、ケーブル２０を第２アーム１３に固定する第２固定部３２と、を備えている。また、ケーブル２０は、第１固定部３１と第２固定部３２との間で折り返され、かつ摺動可能な部分の１例である折り返し部２１ｂを有している。また、吸引孔５１は、第１固定部３１及び第２固定部３２よりも折り返し部２１ｂ（摺動可能な部分）と反対側に配置されている。これにより、ロボットアーム６の内部の気体を適確に吸引することができる。
【０１３６】
また、ロボットアーム６は、第２アーム１３に第３回動軸Ｏ３周りに回動可能に設けられた第３アーム１４を有し、第２アーム１３と第３アーム１４との間に第２間隙７２を有している。また、第２回動軸Ｏ２の軸方向から見て、吸引孔５１は、第１間隙７１と第２間隙７２との間に配置されている。これにより、第１間隙７１及び第２間隙７２から外部に異物が排出されることを抑制することができる。
【０１３７】
＜第２実施形態＞
図１１は、本発明のロボットの第２実施形態における第１アーム及び第２アームの断面を模式的に示す断面図である。
【０１３８】
以下、第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１３９】
図１１に示すように、本実施形態のロボット１では、チューブ５の吸引孔５１は、第１固定部３１及び第２固定部３２よりも折り返し部２１ｂと反対側に配置されている。また、吸引孔５１は、ケーブル２０の関節１７２からの出口の近傍に配置されている。この場合、第１固定部３１側をケーブル２０の入口側、第２固定部３２側をケーブル２０の出口側とする。これにより、ロボットアーム６の内部の気体を適確に吸引することができる。
【０１４０】
なお、本実施形態では、関節１７２における構成を代表して説明したが、他の関節においても同様に構成されていてもよい。
【０１４１】
以上のような第２実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１４２】
＜第３実施形態＞
図１２は、本発明のロボットの第３実施形態における第１アーム及び第２アームの断面を模式的に示す断面図である。
【０１４３】
以下、第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１４４】
図１２に示すように、本実施形態のロボット１では、チューブ５の吸引孔５１は、第１固定部３１及び第２固定部３２よりも折り返し部２１ｂと反対側に配置されている。また、吸引孔５１は、ケーブル２０の関節１７２への入口の近傍に配置されている。この場合、第１固定部３１側をケーブル２０の入口側、第２固定部３２側をケーブル２０の出口側とする。これにより、ロボットアーム６の内部の気体を適確に吸引することができる。
【０１４５】
なお、本実施形態では、関節１７２における構成を代表して説明したが、他の関節においても同様に構成されていてもよい。
【０１４６】
以上のような第３実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１４７】
＜第４実施形態＞
図１３は、本発明のロボットの第４実施形態における第１アーム及び第２アームの断面を模式的に示す断面図である。
【０１４８】
以下、第４実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１４９】
図１３に示すように、本実施形態のロボット１では、チューブ５の側面に複数の吸引孔５１が形成されている。すなわち、吸引孔５１は、チューブ５の側面に設けられた開口である。これにより、ロボットアーム６の内部の気体を迅速かつ適確に吸引することができる。なお、チューブ５の先端面の開口は、吸引孔として利用してもよく、また、閉塞させてもよい。
【０１５０】
また、吸引孔５１は、第１固定部３１及び第２固定部３２よりも折り返し部２１ｂ側に配置されている。具体的には、吸引孔５１は、折り返し部５２に形成されている。これにより、ケーブル２０の摩耗粉を適確に吸引することができる。なお、吸引孔５１は、折り返し部５２とは、異なる位置に形成されていてもよい。
【０１５１】
また、吸引孔５１の数は、特に限定されず、諸条件に応じて適宜設定されるものであるが、３個以上が好ましく、３個以上、２０個以下がより好ましい。なお、吸引孔５１の数は、１つでもよい。
【０１５２】
なお、本実施形態では、関節１７２における構成を代表して説明したが、他の関節においても同様に構成されていてもよい。
【０１５３】
以上のような第４実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１５４】
以上説明したように、吸引孔５１は、チューブ５の側面に設けられた開口である。これにより、ロボットアーム６の内部の気体を適確に吸引することができる。
【０１５５】
また、吸引孔５１は、複数ある。これにより、ロボットアーム６の内部の気体を迅速かつ適確に吸引することができる。
【０１５６】
また、ロボットアーム６は、ケーブル２０を第１アーム１２に固定する第１固定部３１と、ケーブル２０を第２アーム１３に固定する第２固定部３２と、を備えている。また、ケーブル２０は、第１固定部３１と第２固定部３２との間で折り返され、かつ摺動可能な部分の１例である折り返し部２１ｂを有している。また、吸引孔５１は、第１固定部３１及び第２固定部３２よりも折り返し部２１ｂ（摺動可能な部分）側に配置されている。これにより、ケーブル２０の摩耗粉を適確に吸引することができる。
【０１５７】
＜第５実施形態＞
図１４は、本発明のロボットの第５実施形態における第１アーム及び第２アームの断面を模式的に示す断面図である。
【０１５８】
以下、第５実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１５９】
図１４に示すように、本実施形態のロボット１では、チューブ５の吸引孔５１は、第１固定部３１及び第２固定部３２よりも折り返し部２１ｂ側に配置されている。具体的には、チューブ５は、第２アーム１３のカバー１３５を貫通し、モーター４０２Ｍを固定する固定部材４１１に固定されている。そして、吸引孔５１は、関節１７２の内部に配置されている。これにより、ケーブル２０の摩耗粉を適確に吸引することができる。
【０１６０】
また、チューブ５を固定する位置は、上記の位置に限らず、チューブ５は、例えば、固定部材４１１の他の位置に固定されていてもよく、また、モーター４０２Ｍを固定する他方の固定部材４１２のいずれかの位置に固定されていてもよい。
【０１６１】
なお、本実施形態では、関節１７２における構成を代表して説明したが、他の関節においても同様に構成されていてもよい。
【０１６２】
以上のような第５実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１６３】
＜変形例＞
（変形例１）
比較的高いクリーン度が要求される関節、部位、又はその近傍のみに吸引孔５１（チューブ５）を配置する。
【０１６４】
（変形例２）
チューブを分岐し、分岐した複数のチューブの吸引孔から複数の関節、部位、又はその近傍を吸引する。
【０１６５】
以上、本発明のロボットを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１６６】
また、本発明は、上記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１６７】
また、上記実施形態では、ロボットアームの回動軸の数は、６つであるが、本発明では、これに限定されず、ロボットアームの回動軸の数は、例えば、２つ、３つ、４つ、５つ、又は７つ以上でもよい。すなわち、上記実施形態では、アーム（リンク）の数は、６つであるが、本発明では、これに限定されず、アームの数は、例えば、２つ、３つ、４つ、５つ、又は７つ以上でもよい。例えば、上記実施形態のロボットにおいて、第２アームと第３アームとの間にアームを追加することにより、アームの数が７つのロボットを実現することができる。
【０１６８】
また、上記実施形態では、ロボットアームの数は、１つであるが、本発明では、これに限定されず、ロボットアームの数は、例えば、２つ以上でもよい。すなわち、ロボット（ロボット本体）は、例えば、双腕ロボット等の複数腕ロボットであってもよい。
【０１６９】
また、上記実施形態では、エンドエフェクターとして、ハンドを例に挙げたが、本発明では、これに限定されず、エンドエフェクターとしては、その他、例えば、ドリル、溶接機、レーザー照射機等が挙げられる。
【０１７０】
また、上記実施形態では、ロボットの基台の固定箇所は、天井であるが、本発明では、これに限定されず、この他、例えば、設置スペースにおける壁、作業台、床、地上等が挙げられる。また、ロボットは、セル内に設置されていてもよい。この場合、基台の固定箇所は、特に限定されず、例えば、セルの天井部、壁部、作業台、床部等が挙げられる。
【０１７１】
また、上記実施形態では、ロボット（基台）が固定される面は、水平面と平行な平面（面）であるが、本発明では、これに限定されず、例えば、水平面や鉛直面に対して傾斜した平面（面）でもよく、また、鉛直面と平行な平面（面）であってもよい。すなわち、第１回動軸は、鉛直方向や水平方向に対して傾斜していてもよく、また、水平方向と平行であってもよい。
【０１７２】
また、本発明では、ロボットは、他の種類（形式）のロボットであってもよい。具体例としては、例えば、水平多関節ロボット、脚部を有する脚式歩行（走行）ロボット等が挙げられる。「水平多関節ロボット」とは、水平方向にアーム（スプラインシャフトを除く）が動作するロボットのことを言う。
【０１７３】
以下に、実施形態から導き出される内容を記載する。
【０１７４】
ロボットは、基台と、前記基台に第１回動軸周りに回動可能に設けられた第１アームと、前記第１アームに第２回動軸周りに回動可能に設けられた第２アームと、を有するロボットアームと、前記ロボットアームの内部に配置されているケーブルと、吸引孔を有し、吸引装置が接続されることで、前記ロボットアームの内部の気体を吸引するチューブと、を備え、前記第１アームと前記第２アームとの間に第１間隙を有し、前記吸引孔は、前記ロボットアームの内部に配置されていることを特徴とする。
【０１７５】
このようなロボットによれば、ロボットアームの内部の気体を吸引することにより、ロボットアームの内部を負圧にし、ロボットアームの内部から第１間隙を介して外部に潤滑剤やケーブルの摩耗粉等の異物が排出されることを抑制することができる。
【０１７６】
上記のロボットでは、前記吸引孔は、前記チューブの端面に設けられた開口であることが好ましい。
【０１７７】
これにより、ロボットアームの内部の気体を適確に吸引することができる。
【０１７８】
上記のロボットでは、前記吸引孔は、前記チューブの側面に設けられた開口であることが好ましい。
【０１７９】
これにより、ロボットアームの内部の気体を適確に吸引することができる。
【０１８０】
上記のロボットでは、前記吸引孔は、複数あることが好ましい。
【０１８１】
これにより、ロボットアームの内部の気体を迅速かつ適確に吸引することができる。
【０１８２】
上記のロボットでは、前記チューブは、前記ケーブルに沿って配置されていることが好ましい。
【０１８３】
これにより、ケーブルの摩耗粉を適確に吸引することができ、また、別途、チューブを配置するための空間を設ける必要がなく、ロボットの小型化を図ることができる。
【０１８４】
上記のロボットでは、前記ケーブルを前記第１アームに固定する第１固定部と、前記ケーブルを前記第２アームに固定する第２固定部と、を備え、前記ケーブルは、前記第１固定部と前記第２固定部との間で折り返され、かつ摺動可能な部分を有し、前記吸引孔は、前記第１固定部及び前記第２固定部よりも前記摺動可能な部分側に配置されていることが好ましい。
【０１８５】
これにより、ケーブルの摩耗粉を適確に吸引することができる。
【０１８６】
上記のロボットでは、前記ケーブルを前記第１アームに固定する第１固定部と、前記ケーブルを前記第２アームに固定する第２固定部と、を備え、前記ケーブルは、前記第１固定部と前記第２固定部との間で折り返され、かつ摺動可能な部分を有し、前記吸引孔は、前記第１固定部及び前記第２固定部よりも前記摺動可能な部分と反対側に配置されていることが好ましい。
【０１８７】
これにより、ロボットアームの内部の気体を適確に吸引することができる。
【０１８８】
上記のロボットでは、前記ロボットアームは、前記第２アームに第３回動軸周りに回動可能に設けられた第３アームを有し、前記第２アームと前記第３アームとの間に第２間隙を有し、前記第２回動軸の軸方向から見て、前記吸引孔は、前記第１間隙と前記第２間隙との間に配置されていることが好ましい。
【０１８９】
これにより、第１間隙及び第２間隙から外部に異物が排出されることを抑制することができる。
【符号の説明】
【０１９０】
１…ロボット  ４…ポンプ（吸引装置）  ５…チューブ  ６…ロボットアーム  ７…非接触シール構造部  １０…ロボット本体  １１…基台  １２…第１アーム  １３…第２アーム  １４…第３アーム  １５…第４アーム  １６…第５アーム  １７…第６アーム  ２０…ケーブル  ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ…折り返し部  ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ…第１部分  ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ…第２部分  ３１…第１固定部  ３２…第２固定部  ４３…回動部材  ４５…支持部材  ５１…吸引孔  ５２…折り返し部  ５３…天井  ６１…直線  ６２…軸受部  ７１…第１間隙  ７２…第２間隙  ９１…ハンド  １００…ロボットシステム  １０１…領域  １１１…フランジ  １２１…第１部分  １２２…第２部分  １２３…第３部分  １２４…第４部分  １２５…カバー  １２６…端部  １２７…リブ（突出壁）  １３５…カバー  １３６…端部  １３７…リブ（突出壁）  １４５…カバー  １５１，１５２…支持部  １５５，１６５…カバー  １７１〜１７６…関節  ２００…制御装置  ２０１…記憶部  ２０２…制御部  ４０１…第１駆動源  ４０１Ｍ…第１モーター  ４０２…第２駆動源  ４０２Ｍ…第２モーター  ４０３…第３駆動源  ４０３Ｍ…第３モーター  ４０４…第４駆動源  ４０４Ｍ…第４モーター  ４０５…第５駆動源  ４０５Ｍ…第５モーター  ４０６…第６駆動源  ４０６Ｍ…第６モーター  ４１１，４１２…固定部材  ５３１…天井面  ６２１…中心線  ７１１…第１の間隙部  ７１２…第２の間隙部  ７１３…第１の間隙部  １２７１，１３７１…端部  Ｌａ，Ｌｂ…距離  Ｏ１…第１回動軸  Ｏ２…第２回動軸  Ｏ３…第３回動軸  Ｏ４…第４回動軸  Ｏ５…第５回動軸  Ｏ６…第６回動軸  θ…角度。
【図１】
2019150940.tif 000003
【図２】
2019150940.tif 000004
【図３】
2019150940.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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