(57)【要約】      （修正有）【課題】小さいスペースにウエハを収容する多数のＦＯＵＰを配置する。【解決手段】ＬＭ（ローダーモジュール）１６は、複数のウエハを収容するＦＯＵＰ４０が複数接続され、複数のＰＭ（プロセスモジュール）のいずれかに搬送されるウエハをそれぞれのＦＯＵＰ４０から搬出する。ＬＭ１６は、筐体と、複数の接続ユニット２０と、移動機構２５とを備える。筐体には、複数のＰＭのいずれかに搬送されるウエハをそれぞれのＦＯＵＰ４０から取り出す搬送ロボットが配置される。複数の接続ユニット２０のそれぞれは、筐体の１つの側面に沿って、上下方向および横方向に並べて配置され、ＦＯＵＰ４０が接続される。移動機構２５は、複数の接続ユニット２０の少なくとも１つを、横方向に移動させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被処理基板を収容する容器が複数接続され、複数の処理装置のいずれかに搬送される前記被処理基板をそれぞれの前記容器から搬出する基板搬送装置において、
複数の前記処理装置のいずれかに搬送される前記被処理基板をそれぞれの前記容器から取り出すアームが配置される搬送室と、
前記搬送室の１つの側面に沿って、上下方向および横方向に並べて配置され、それぞれの前記容器が接続される複数の接続ユニットと、
複数の前記接続ユニットの少なくとも１つを、横方向に移動させる移動機構と
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
それぞれの前記接続ユニットは、
上面に前記容器が載置されるステージと、
前記ステージ上に載置された前記容器と前記搬送室との間に設けられ、前記容器内から前記アームが被処理基板を取り出すための開口が設けられたフレームと、
前記フレームの前記開口を開閉する扉と
を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
複数の前記接続ユニットは、
前記搬送室の１つの側面に沿って、上下方向に複数段配置され、
最下段より上のそれぞれの段に配置される前記接続ユニットの数は、最下段に配置される前記接続ユニットの数よりも少ないことを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
最下段の前記接続ユニットは、前記搬送室に固定されており、
最下段より上のそれぞれの段に配置される前記接続ユニットは、前記移動機構により横方向に移動することを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
複数の前記接続ユニットは、前記搬送室の１つの側面に沿って、横方向に複数列配置され、
それぞれの前記列には、複数の前記接続ユニットが含まれ、
少なくとも１つの前記列に含まれる複数の前記接続ユニットは、前記移動機構により前記列毎に一体となって横方向に移動することを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記移動機構による前記接続ユニットの移動により空きスペースとなった前記搬送室の前記側面を覆うカバー部材をさらに備えることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記搬送室内は、大気圧よりも高い圧力であることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記接続ユニットの数は、前記処理装置の数よりも多いことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
被処理基板を処理する複数の処理装置と、
複数の前記被処理基板を収容する容器が複数接続され、複数の前記処理装置のいずれかに搬送される前記被処理基板をそれぞれの前記容器から搬出する基板搬送装置と
を備え、
前記基板搬送装置は、
複数の前記処理装置のいずれかに搬送される前記被処理基板をそれぞれの前記容器から取り出すアームが配置される搬送室と、
前記搬送室の１つの側面に沿って、上下方向および横方向に並べて配置され、それぞれの前記容器が接続される複数の接続ユニットと、
複数の前記接続ユニットの少なくとも１つを、横方向に移動させる移動機構と
を備えることを特徴とする基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の種々の側面および実施形態は、基板搬送装置および基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
被処理基板としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と記載する。）にプラズマ処理等を施す基板処理システムには、真空処理室として機能するプロセスモジュール（ＰＭ）と、複数のウエハを収容する容器と、大気搬送室として機能するローダーモジュール（ＬＭ）とが設けられる。複数のウエハを収容する容器としては、例えばＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）が知られている。
【０００３】
ＬＭには、ＦＯＵＰを接続するためのロードポート（ＬＰ）が設けられている。ＬＰは、ＦＩＭＳ（Front-opening  Interface  Mechanical  Standard）ポートの一種である。また、ＬＭには、大気／真空切替室として機能するロードロックモジュール（ＬＬＭ）が接続される。ＬＬＭには、真空搬送室として機能するトランスファモジュール（ＴＭ）が接続され、ＴＭには、ＰＭが接続される。ＬＰに接続されたＦＯＵＰ内のウエハは、ＬＭ内に設けられた搬送アームによりＦＯＵＰから取り出されてＬＬＭへ搬送される。ＬＬＭ内に搬送されたウエハは、ＴＭ内に設けられた搬送アームによりＬＬＭから取り出されてＰＭに搬送され、ＰＭによって処理される。
【０００４】
このような基板処理システムでは、ＴＭに複数のＰＭを接続し、複数のＰＭを用いて複数のウエハを並行して処理することにより、ウエハ処理のスループットを向上させることができる。また、この場合、ＬＭに複数のＬＰを設け、それぞれのＬＰにＦＯＵＰを接続することにより、ＦＯＵＰの着脱に伴うＰＭの待ち時間を削減することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−７６４３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、１つのＦＯＵＰに収容されたそれぞれのウエハが別々のＰＭによって処理されると、どのＰＭで処理されたウエハなのかを管理することが難しい。例えば、いずれかのＰＭに不具合があった場合に、不具合のあったＰＭによって処理されたウエハをＦＯＵＰ内で特定することが難しい。そのため、製品の生産管理をする上で再現性の観点からＦＯＵＰとＰＭとを１対１に対応付ける要求がある。
【０００７】
また、ウエハ処理のスループットのさらなる向上を目的に、ＴＭに接続されるＰＭの数が増加する傾向にある。しかし、ＦＯＵＰとＰＭとを１対１に対応付ける場合、ＰＭの数が増加しても、ＦＯＵＰが接続されるＬＰの数がＰＭの数よりも少なければ、アイドル状態のＰＭが発生し、スループットが低下する。そのため、ＦＯＵＰとＰＭとを１対１に対応付ける場合においても、スループットを高く保つには、ＦＯＵＰが接続されるＬＰの数をＰＭの数よりも多くする必要がある。しかし、ＬＭにおいて、ＬＰの数を増加させると、ＬＭが大型化し、クリーンルーム等の設備内での基板処理システムの占有面積が大きくなってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の一側面は、複数の被処理基板を収容する容器が複数接続され、複数の処理装置のいずれかに搬送される被処理基板をそれぞれの容器から搬出する基板搬送装置であって、搬送室と、複数の接続ユニットと、移動機構とを備える。搬送室には、複数の処理装置のいずれかに搬送される被処理基板をそれぞれの容器から取り出すアームが配置される。複数の接続ユニットは、搬送室の１つの側面に沿って、上下方向および横方向に並べて配置され、それぞれの容器が接続される。移動機構は、複数の接続ユニットの少なくとも１つを、横方向に移動させる。
【発明の効果】
【０００９】
本開示の種々の側面および実施形態によれば、小さいスペースに被処理基板を収容する多数の容器を配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、基板処理システムの構成の一例を概略的に示す平面図である。
【図２】図２は、実施例１におけるＬＭの構成の一例を概略的に示す正面図である。
【図３】図３は、実施例１においてＬＭとそれぞれの接続ユニットとの位置関係の一例を概略的に示す図である。
【図４】図４は、実施例１における接続ユニットの動きの一例を示す図である。
【図５】図５は、接続ユニットの構成の一例を概略的に示す正面図である。
【図６】図６は、接続ユニットの構成の一例を概略的に示す側面図である。
【図７】図７は、接続ユニットの構成の一例を概略的に示す斜視図である。
【図８】図８は、接続ユニットの構成の一例を概略的に示す斜視図である。
【図９】図９は、ＬＭ側の接続ユニットの構成の一例を概略的に示す斜視図である。
【図１０】図１０は、扉が開いた状態のＬＭ側の接続ユニットの構成の一例を概略的に示す斜視図である。
【図１１】図１１は、実施例２におけるＬＭの構成の一例を概略的に示す正面図である。
【図１２】図１２は、実施例２においてＬＭとそれぞれの接続ユニットとの位置関係の一例を概略的に示す図である。
【図１３】図１３は、実施例２におけるそれぞれの接続ユニットの動きの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、開示される基板搬送装置および基板処理システムの実施例について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例により、開示される基板搬送装置および基板処理システムが限定されるものではない。
【実施例１】
【００１２】
［基板処理システム１０の構成］
図１は、基板処理システム１０の構成の一例を概略的に示す平面図である。図１では、便宜的に内部の構成要素が透過するように図示されている。
【００１３】
基板処理システム１０は、例えば図１に示されるように、水平方向（例えば、図１のｘ軸方向）に連結された複数の処理ユニット１１と、複数のＬＬＭ１５と、ＬＭ１６とを備える。本実施例において、基板処理システム１０は、ｘ軸方向に連結された３個の処理ユニット１１を備える。本実施例における基板処理システム１０は、ｘ軸方向に連結される処理ユニット１１の数を増やすことが可能である。なお、ｘ軸方向に連結される処理ユニット１１の数は、２個以下であってもよい。
【００１４】
それぞれの処理ユニット１１には、ＴＭ１２および複数のＰＭ１４が接続されている。本実施例において、それぞれの処理ユニット１１では、ＴＭ１２に４個のＰＭ１４が接続されている。なお、他の例として、ＴＭ１２に接続されるＰＭ１４の数は、３個以下であってもよく、５個以上であってもよい。それぞれのＰＭ１４は、ウエハに対して、例えばプラズマを用いたエッチングや成膜等の処理を施す。それぞれのＰＭ１４は、処理装置の一例である。それぞれのＰＭ１４は、製造工程の中で同一の工程を実行するモジュールであってもよく、異なる工程を実行するモジュールであってもよい。ＴＭ１２内には、搬送ロボット１３が設けられている。ＴＭ１２内は、所定の真空度に保たれている。
【００１５】
複数の処理ユニット１１の中の１つの処理ユニット１１には、複数のＬＬＭ１５を介してＬＭ１６が接続されている。ＬＭ１６内には、搬送ロボット１６０が設けられている。搬送ロボット１６０は、ＬＭ１６内のレール１６１に沿ってＬＭ１６内を移動する。ＬＭ１６において、複数のＬＬＭ１５が接続された側の面と対向する側の面（以下では、正面と記載する。）には、複数の接続ユニット２０が設けられている。それぞれの接続ユニット２０には、複数のウエハが収容された容器であるＦＯＵＰが接続される。ＬＭ１６は、基板搬送装置の一例である。搬送ロボット１６０は、アームの一例である。
【００１６】
このように、本実施例の接続ユニット２０は、ＬＭ１６の１つの面、即ちＬＭ１６の正面に配置される。これにより、ＬＭ１６の他の面、例えばＬＭ１６の側面に、ウエハの検査を行う装置などの他の装置を配置したり、ＬＭ１６内のメンテナンスを行うための出入口を設ける等、ＬＭ１６の側面を有効に利用することができる。
【００１７】
接続ユニット２０にＦＯＵＰが接続されると、搬送ロボット１６０は、レール１６１に沿ってＬＭ１６内を移動し、ＦＯＵＰから未処理のウエハを１枚取り出し、いずれかのＬＬＭ１５内に搬入する。未処理のウエハがＬＬＭ１５内に搬入された場合、ＬＬＭ１５に設けられたゲートバルブが閉じられ、ＬＬＭ１５内が真空排気される。
【００１８】
そして、ＬＬＭ１５内が所定の真空度に達した場合、ＴＭ１２側のゲートバルブが開けられ、ＴＭ１２内の搬送ロボット１３によって、未処理のウエハがＬＬＭ１５内から搬出される。ＬＬＭ１５から搬出された未処理のウエハは、搬送ロボット１３によって、ＴＭ１２に接続されたＰＭ１４内、または、他のＴＭ１２に接続されたＰＭ１４内に搬入される。未処理のウエハが他のＴＭ１２に接続されたＰＭ１４内に搬入される場合、搬送ロボット１３は、隣接するＴＭ１２内の搬送ロボット１３に未処理のウエハを渡す。
【００１９】
また、搬送ロボット１３は、ＰＭ１４による処理が終了した場合、処理後のウエハをＰＭ１４から搬出する。搬送ロボット１３が設けられたＴＭ１２にＬＬＭ１５が接続されていれば、搬送ロボット１３は、処理後のウエハをＬＬＭ１５内に搬入する。ＴＭ１２にＬＬＭ１５が接続されていなければ、搬送ロボット１３は、処理後のウエハを、隣接するＴＭ１２内の搬送ロボット１３に渡す。
【００２０】
処理後のウエハがＬＬＭ１５内に搬入された場合、ＬＬＭ１５に設けられたゲートバルブが閉じられ、ＬＬＭ１５内に空気が供給されＬＬＭ１５内の圧力が大気圧に戻される。ＬＬＭ１５内の圧力が大気圧に達した場合、ＬＭ１６側のゲートバルブが開けられ、ＬＭ１６内の搬送ロボット１６０によって、処理後のウエハがＬＬＭ１５内から搬出され、接続ユニット２０に接続されたＦＯＵＰに戻される。
【００２１】
基板処理システム１０は、制御装置１００を備える。制御装置１００は、メモリ、プロセッサ、および入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を有する。制御装置１００のプロセッサは、メモリから読み出されたプログラムおよびデータに基づいて、入出力Ｉ／Ｆを介して基板処理システム１０の各部を制御する。
【００２２】
本実施例において、それぞれのＦＯＵＰとそれぞれのＰＭ１４とは、１対１に対応するようにウエハの搬送が制御装置１００によって制御される。そのため、同一のＦＯＵＰから取り出されたウエハは、同一のＰＭ１４によって処理される。また、本実施例において、ＬＭ１６に設けられた接続ユニット２０の数は、基板処理システム１０に設けられたＰＭ１４の数よりも多い。そのため、ＬＭ１６には、ＰＭ１４の数よりも多い数のＦＯＵＰを接続することができる。これにより、ＦＯＵＰを入れ替える間にＰＭ１４が処理待ちとなってしまう時間を削減することができる。そのため、複数のＰＭ１４を効率よく稼働させることができ、スループットを向上させることができる。
【００２３】
［ＬＭ１６の構成］
図２は、実施例１におけるＬＭ１６の構成の一例を概略的に示す正面図である。図３は、実施例１においてＬＭ１６とそれぞれの接続ユニット２０との位置関係の一例を概略的に示す図である。
【００２４】
複数の接続ユニット２０は、ＬＭ１６の１つの側面に沿って、上下方向に複数段配置されている。具体的には、複数の接続ユニット２０は、例えば図２に示されるように、ＬＭ１６の正面側に、ｚ軸方向、即ち上下方向に４段配置されている。
【００２５】
また、本実施例のＬＭ１６において、最下段より上のそれぞれの段に配置される接続ユニット２０の数は、最下段に配置される接続ユニット２０の数よりも少ない。例えば、図２に示されるように、最下段には、４個の接続ユニット２０が配置されており、上から３段目までのそれぞれの段には、３個の接続ユニット２０が配置されている。それぞれの接続ユニット２０は、ＦＯＵＰ４０をＬＭ１６に接続させることができる。
【００２６】
それぞれの接続ユニット２０には、ＦＯＵＰ４０が載置される。ＦＯＵＰ４０は、ＯＨＴ（Overhead  Hoist  Transport）３０によって搬送される。ＯＨＴ３０は、レール３２に沿ってクリーンルーム等の施設内を移動する。
【００２７】
ＬＭ１６は、例えば図３に示されるように、ＦＦＵ（Fan  Filter  Unit）１６２および筐体１６３を有する。筐体１６３は、搬送室の一例である。ＦＦＵ１６２は、パーティクルが除去された空気を、筐体１６３で画成されたＬＭ１６内の空間に上方から供給する。ＬＭ１６の下部には、排気管を介して排気装置１６４が接続されており、ＦＦＵ１６２からＬＭ１６内に供給された空気は、ＬＭ１６の下部から排気される。そのため、ＬＭ１６内には、上方から下方への空気の流れが形成される。また、本実施例において、ＦＦＵ１６２および排気装置１６４は、ＬＭ１６内の圧力が陽圧となるように制御装置１００によって制御される。これにより、ＬＭ１６に外部からＬＭ１６内へのパーティクルの侵入を抑制することができる。
【００２８】
また、例えば図２に示されるように、上から３段目までのそれぞれの段において、それぞれの接続ユニット２０には、ガイド軸４２に沿って接続ユニット２０を横方向（図２のｙ軸方向）に移動させるための移動機構２５が設けられている。本実施例において、移動機構２５は、ネジ溝が形成されたガイド軸４２に嵌合するナットをモータ等により回転させることで、接続ユニット２０をガイド軸４２に沿って横方向に移動させる。モータの回転力は、例えば、内側に溝が形成されたベルトを介して、ガイド軸４２に嵌合するナットに伝達される。なお、移動機構２５は、ネジ溝が形成されたガイド軸４２に嵌合するナットを回転させる中空ロータリーアクチュエータであってもよい。各段において、ガイド軸４２は、例えば図２および図３に示されるように、接続ユニット２０毎に設けられている。上から３段目までのそれぞれの段において、それぞれの接続ユニット２０は、移動機構２５により、横方向に独立に移動する。最下段の接続ユニット２０は、ＬＭ１６の筐体１６３に固定されている。
【００２９】
本実施例のＬＭ１６において、最下段より上のそれぞれの段に配置される接続ユニット２０の数は、最下段に配置される接続ユニット２０の数よりも少ない。そのため、上から３段目までのそれぞれの段には、接続ユニット２０が配置されない面１６９が少なくとも１つ発生する。そして、上から３段目までのそれぞれの段において、それぞれの接続ユニット２０が横方向に移動することにより、ＬＭ１６の正面側において、接続ユニット２０が配置されない面１６９の位置が変化する。
【００３０】
［接続ユニット２０の動き］
図４は、実施例１における接続ユニット２０の動きの一例を示す図である。ＯＨＴ３０によって接続ユニット２０にＦＯＵＰ４０が載置される場合、当該接続ユニット２０の上方に接続ユニット２０が配置されない面１６９が形成されるように、他の接続ユニット２０の位置が制御される。例えば、最下段の右から２個目の接続ユニット２０ａにＦＯＵＰ４０が載置される場合、例えば図４に示されるように、上から３段目までのそれぞれの段において、右から１個目の接続ユニット２０が最も右の位置となるように移動される。また、右から２個目および３個目の接続ユニット２０は、隣接して左側に位置するように移動される。これにより、接続ユニット２０ａの上方に、接続ユニット２０が配置されない面１６９が形成され、ＯＨＴ３０は、接続ユニット２０ａにＦＯＵＰ４０を直接載置することができる。処理後のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０が、ＯＨＴ３０によって接続ユニット２０ａから回収される場合も同様である。
【００３１】
なお、それぞれの接続ユニット２０に載置されたＦＯＵＰ４０と、当該ＦＯＵＰ４０内のウエハを処理するＰＭ１４とは、制御装置１００によって１対１となるように管理されている。そのため、制御装置１００は、接続ユニット２０の位置が移動した場合であっても、同一のＦＯＵＰ４０から取り出されたウエハが同一のＰＭ１４へ搬送されるように、搬送ロボット１６０および各ＴＭ１２内の搬送ロボット１３を制御する。
【００３２】
このように、本実施例の基板処理システム１０では、未処理のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０を、ＯＨＴ３０によってそれぞれの接続ユニット２０まで直接搬送することができると共に、処理後のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０を、ＯＨＴ３０によってそれぞれの接続ユニット２０から直接回収することができる。そのため、ＯＨＴ３０によって搬送されたＦＯＵＰ４０を、それぞれの接続ユニット２０まで搬送するための搬送機構を、ＯＨＴ３０とは別に設ける必要がない。また、ＯＨＴ３０によって搬送されたＦＯＵＰ４０を搬送機構に受け渡すために、ＦＯＵＰ４０を一時的に載置する中継場所を設ける必要もない。そのため、そのような搬送機構や中継場所が設けられる領域を、接続ユニット２０が配置される領域として活用することができる。そのため、より小さいスペースに多数のＦＯＵＰ４０を接続することが可能となる。
【００３３】
［接続ユニット２０の詳細］
図５は、接続ユニット２０の構成の一例を概略的に示す正面図である。図６は、接続ユニット２０の構成の一例を概略的に示す側面図である。図７および図８は、接続ユニット２０の構成の一例を概略的に示す斜視図である。図９は、ＬＭ１６側の接続ユニット２０の構成の一例を概略的に示す斜視図である。
【００３４】
接続ユニット２０は、例えば図５に示されるように、フレーム２１、扉２２、ステージ２３、基台２４、移動機構２５、アーム２７、アーム２８、および内側フレーム２９を有する。フレーム２１には、開口２６が形成されており、開口２６は、開口２６よりも大きい外形を有する扉２２によってＬＭ１６側から塞がれている。ステージ２３は、基台２４の上面に、ｘ軸方向に移動可能に設けられている。基台２４の下面には複数の移動機構２５が設けられている。移動機構２５が有するモータ等は、例えば基台２４内に配置される。
【００３５】
内側フレーム２９は、例えば図６および図９に示されるように、接続ユニット２０のＬＭ１６側の面に設けられている。ＬＭ１６の筐体１６３の内側には、例えば図６および図９に示されるようにガイド１６５が設けられている。内側フレーム２９は、基台２４に固定されている。基台２４の下面に設けられたそれぞれの移動機構２５が、ガイド軸４２が挿入されたナットを回転させることにより、接続ユニット２０全体が、ガイド軸４２およびガイド１６５に沿って横方向に移動する。
【００３６】
未処理のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０が接続ユニット２０に載置される場合、基台２４の上面においてステージ２３がフレーム２１から離れた位置に移動する。そして、例えば図６に示されるように、ステージ２３の上面にＦＯＵＰ４０が載置される。そして、ステージ２３は、基台２４の上面をフレーム２１の方向に移動することにより、ＦＯＵＰ４０のＬＭ１６側の面にあるＦＯＵＰ４０の蓋を、フレーム２１の開口２６を介して扉２２に接触させる。そして、ＦＯＵＰ４０の蓋が扉２２に吸着され、ＦＯＵＰ４０の蓋が扉２２と共に取り外され、ＦＯＵＰ４０内のウエハがフレーム２１の開口２６を介して搬送ロボット１６０によって搬出される。
【００３７】
処理後のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０が回収される場合、扉２２がフレーム２１の開口２６を塞ぐ位置に移動し、扉２２とＦＯＵＰ４０の蓋との吸着が解除される。これにより、ＦＯＵＰ４０の蓋がＦＯＵＰ４０に取り付けられる。そして、基台２４の上面においてステージ２３がフレーム２１から離れた位置に移動し、ＯＨＴ３０によってＦＯＵＰ４０が回収される。
【００３８】
アーム２７およびアーム２８は、例えば図６および図９に示されるように、内側フレーム２９に対して扉２２を支持する。未処理のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０がステージ２３に載置された場合、アーム２７は、図示しない吸引機構により扉２２とＦＯＵＰ４０の蓋とを吸着させる。吸着機構に接続される吸引ポンプ等は、例えば基台２４内に配置される。
【００３９】
そして、アーム２７およびアーム２８は、ＦＯＵＰ４０の蓋が吸着された扉２２を内側フレーム２９から離れる方向に移動させる。そして、アーム２７およびアーム２８は、例えば図１０に示されるように、内側フレーム２９に対して例えば反時計回りに回転することにより、ＦＯＵＰ４０の蓋が吸着された扉２２を開口２６の下方に移動させる。このとき、アーム２７およびアーム２８は、ＦＯＵＰ４０の蓋が吸着された扉２２を、扉２２が塞いでいた開口２６、および、下段の接続ユニット２０の開口２６のいずれにも干渉しない高さの位置に移動させる。
【００４０】
また、処理後のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０が回収される場合、アーム２７およびアーム２８は、内側フレーム２９に対して例えば時計回りに回転することにより、ＦＯＵＰ４０の蓋が吸着された扉２２をフレーム２１の開口２６を塞ぐ位置に移動させる。そして、アーム２７およびアーム２８は、扉２２を内側フレーム２９の方向に移動させることにより、フレーム２１の開口２６を塞ぐ。そして、アーム２７は、扉２２とＦＯＵＰ４０の蓋との吸着を解除する。
【００４１】
また、各段において、接続ユニット２０が配置されない面１６９は、例えば図５、図７、図８、および図９に示されるように、シールベルト１６７で覆われている。シールベルト１６７は、内側フレーム２９に設けられた巻取部１６８によって、シールベルト１６７が巻き取られる方向に所定の張力が加えられている。接続ユニット２０が配置されない面１６９がシールベルト１６７で覆われていることにより、接続ユニット２０が配置されない面１６９からのＬＭ１６内へのパーティクルの侵入を抑制することができる。シールベルト１６７は、カバー部材の一例である。
【００４２】
以上、実施例１について説明した。本実施例の基板処理システム１０によれば、小さいスペースにウエハを収容する多数のＦＯＵＰ４０を配置することができる。
【実施例２】
【００４３】
実施例１のＬＭ１６では、最下段の接続ユニット２０以外のそれぞれの接続ユニット２０が、ＬＭ１６の面に沿って横方向に独立に移動する。これに対し、本実施例のＬＭ１６では、複数の接続ユニット２０が上下方向に配置された列が複数設けられ、接続ユニット２０が列毎に横方向に移動する点が、実施例１のＬＭ１６とは異なる。以下では、実施例１と異なる点を中心に説明する。
【００４４】
図１１は、実施例２におけるＬＭ１６の構成の一例を概略的に示す正面図である。図１２は、実施例２においてＬＭ１６とそれぞれの接続ユニット２０との位置関係の一例を概略的に示す図である。
【００４５】
本実施例において、ＬＭ１６の正面には、上下方向に複数の接続ユニット２０が配置された列が、横方向に複数配置されている、具体的には、複数の接続ユニット２０は、例えば図１１に示されるように、ＬＭ１６の正面に、上下方向に３個の接続ユニット２０が配置された列が、横方向に３列配置されている。なお、ＬＭ１６の正面には、上下方向に４個以上の接続ユニット２０が配置された列が、横方向に４列以上配置されてもよい。
【００４６】
また、本実施例のＬＭ１６において、最も右側の列および最も左側の列は、ＬＭ１６の筐体１６３に固定されている。また、最も右側の列および最も左側の列以外の列（図１１の例では、列２００）に含まれる複数の接続ユニット２０は、フレーム２０１によって互いに固定されている。また、ＬＭ１６の筐体１６３の内側において、列２００の最上段の接続ユニット２０の内側フレーム２９の上部に対応する位置には、ガイド１６５（不図示）が設けられている。また、ＬＭ１６の筐体１６３の内側において、列２００の最下段の接続ユニット２０の内側フレーム２９の下部に対応する位置には、ガイド１６５（不図示）が設けられている。
【００４７】
また、列２００の最下段の接続ユニット２０には、ガイド軸４２に沿って列２００に含まれる複数の接続ユニット２０を横方向（図１１のｙ軸方向）に移動させるための移動機構２５が設けられている。本実施例の移動機構２５には、実施例１の接続ユニット２０に設けられた移動機構２５と同様の移動機構２５を用いることができる。制御装置１００からの制御に応じて、移動機構２５が、ガイド軸４２が挿入されたナットを回転させることにより、列２００に含まれる複数の接続ユニット２０が一体となって、筐体１６３の内側に設けられたガイド１６５（不図示）に沿って横方向に移動する。
【００４８】
ここで、最も右側の列と列２００との間、または、最も左側の列と列２００との間には、例えば図１１に示されるように、接続ユニット２０が配置されない面１６９が形成される。そして、列２００が横方向に移動することにより、ＬＭ１６の正面側において、接続ユニット２０が配置されない面１６９の位置が変化する。
【００４９】
最も右側の列と列２００との間、および、最も左側の列と列２００との間には、実施例１と同様にシールベルト１６７が配置される。これにより、接続ユニット２０が配置されない面１６９からのＬＭ１６内へのパーティクルの侵入を抑制することができる。
【００５０】
また、本実施例では、列２００が一体となって横方向に移動するため、列２００を移動させるためのガイド軸４２は、下方に少なくとも１つあればよい。そのため、接続ユニット２０が配置されない面１６９を広く形成することができる。これにより、本実施例では、接続ユニット２０が配置されない面１６９をＬＭ１６内のメンテナンスを行うための出入口として利用することができる。そのため、ＬＭ１６の側面をメンテナンス用の出入口以外の設備である接続ユニット２０や検査ユニット等を置くためのスペースとして有効活用することができる。
【００５１】
ＬＭ１６の正面の上部には、ＯＨＴ３０によって搬送されたＦＯＵＰ４０を一時的に載置する待機台５５が少なくとも１つ設けられる。図１１の例では、ＬＭ１６の正面の上部に待機台５５が２個設けられている。ＯＨＴ３０は、例えば、未処理のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０を一方の待機台５５に載置し、処理後のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０を他方の待機台５５から回収する。
【００５２】
また、ＬＭ１６には、待機台５５とそれぞれの接続ユニット２０との間でＦＯＵＰ４０を搬送する搬送機構５０が設けられる。搬送機構５０は、把持部５１、フレーム５２、およびレール５３を有する。把持部５１は、フレーム５２に沿って上下方向に移動する。フレーム５２は、レール５３に沿って横方向に移動する。搬送機構５０の横方向の移動、把持部５１の上下方向の移動、ならびに、把持部５１によるＦＯＵＰ４０の把持および開放は、制御装置１００によって制御される。なお、それぞれの接続ユニット２０の構造は、実施例１において説明された接続ユニット２０の構造と同様であるため、詳細な説明は省略する。
【００５３】
［接続ユニット２０の動き］
図１３は、実施例２におけるそれぞれの接続ユニット２０の動きの一例を示す図である。図１３を参照して、最も左側の列の最下段の接続ユニット２０に未処理のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０が載置される場合を例に、それぞれの接続ユニット２０の動きを説明する。
【００５４】
まず、いずれかの待機台５５に、ＯＨＴ３０によって未処理のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０が載置される。そして、移動機構２５が、ガイド軸４２が挿入されたナットを回転させることにより、列２００に含まれる複数の接続ユニット２０を右方向に移動させる。これにより、最も左側の列の右側に、接続ユニット２０が配置されない面１６９が形成される。
【００５５】
次に、フレーム５２の最上端の位置に把持部５１がある状態で、未処理のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０が載置された待機台５５の位置まで、レール５３に沿って搬送機構５０が横方向に移動する。そして、把持部５１が待機台５５上のＦＯＵＰ４０の位置まで下され、把持部５１によってＦＯＵＰ４０が把持される。そして、把持部５１がフレーム５２に沿って上方に移動することにより、ＦＯＵＰ４０が待機台５５から持ち上げられる。そして、接続ユニット２０が配置されない面１６９の位置まで、搬送機構５０がレール５３に沿って移動する。そして、最下段の接続ユニット２０の位置まで、把持部５１がフレーム５２に沿って下降する。
【００５６】
次に、最も左側の列の位置まで、搬送機構５０がレール５３に沿って移動する。これにより、把持部５１によって把持されたＦＯＵＰ４０が、最も左側の列の最下段の接続ユニット２０の位置に搬送される。そして、把持部５１がフレーム５２に沿って下降し、ＦＯＵＰ４０を開放することにより、最も左側の列の最下段の接続ユニット２０のステージ２３上にＦＯＵＰ４０が載置される。これにより、未処理のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０は、例えば図１３の破線矢印に示された経路で、最も左側の列の最下段の接続ユニット２０のステージ２３上に載置される。処理後のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０が、接続ユニット２０から待機台５５へ搬送される手順は、未処理のウエハが収容されたＦＯＵＰ４０が待機台５５から接続ユニット２０へ搬送される手順の逆の手順となる。
【００５７】
以上、実施例２について説明した。本実施例の基板処理システム１０においても、小さいスペースにウエハを収容する多数のＦＯＵＰ４０を配置することができる。また、本実施例の基板処理システム１０では、複数の接続ユニット２０が設けられるＬＭ１６の正面にメンテナンス用の出入口を設けることができるため、ＬＭ１６の側面をメンテナンス用の出入口以外の設備である接続ユニット２０や検査ユニット等を置くためのスペースとして有効活用することができる。
［その他］
なお、本開示は、上記した実施例に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
【００５８】
例えば、上記した実施例１では、上から３段目までのそれぞれの段において、それぞれの接続ユニット２０は、移動機構２５によって、ネジ溝が形成されたガイド軸４２に嵌合するナットをモータ等により回転させることで、ガイド軸４２に沿って横方向に移動する。しかし、開示の技術はこれに限られない。例えば、上から３段目までのそれぞれの段の接続ユニット２０は、ボールねじにより、それぞれ独立に横方向に移動されてもよい。この場合、上から３段目までのそれぞれの段には、それぞれの段に設けられた接続ユニット２０の数分（図１〜図１０の例では３本）のネジ軸が設けられ、ＬＭ１６には、それぞれのネジ軸を回転させるモータが設けられる。また、それぞれの接続ユニット２０には、ネジ軸に嵌合するナットが固定される。そして、モータがネジ軸を回転させることにより、ネジ軸に嵌合するナットが固定された接続ユニット２０が横方向に移動する。これにより、それぞれの接続ユニット２０の部品を削減することができ、接続ユニット２０のコストを低減することができる。
【００５９】
また、上記した実施例２についても同様に、列２００の最下段の接続ユニット２０に固定されたナットに嵌合するネジ軸をモータによって回転させることにより、列２００に含まれる複数の接続ユニット２０を横方向に移動させるようにしてもよい。
【００６０】
また、上記した実施例１では、ナットを回転させることによりそれぞれの接続ユニット２０を横方向に移動させたが、開示の技術はこれに限られず、エアシリンダ等の他の移動機構を用いてそれぞれの接続ユニット２０を横方向に移動させてもよい。これにより、それぞれの接続ユニット２０を横方向に移動させるための装置のコストを低く抑えることができる。上記した実施例２においても、同様に、エアシリンダ等の他の移動機構を用いて列２００に含まれる複数の接続ユニット２０を横方向に移動させてもよい。
【００６１】
また、上記した実施例２において、列２００の最上段の接続ユニット２０では、搬送機構５０を用いることなく、ＯＨＴ３０によってＦＯＵＰ４０が直接搬送されてもよい。
【００６２】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者には明らかである。また、そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００６３】
１０  基板処理システム
１００  制御装置
１１  処理ユニット
１２  ＴＭ
１３  搬送ロボット
１４  ＰＭ
１５  ＬＬＭ
１６  ＬＭ
１６０  搬送ロボット
１６１  レール
１６２  ＦＦＵ
１６３  筐体
１６４  排気装置
１６５  ガイド
１６７  シールベルト
１６８  巻取部
１６９  面
２０  接続ユニット
２００  列
２０１  フレーム
２１  フレーム
２２  扉
２３  ステージ
２４  基台
２５  移動機構
２６  開口
２７  アーム
２８  アーム
２９  内側フレーム
３０  ＯＨＴ
３２  レール
４０  ＦＯＵＰ
４２  ガイド軸
５０  搬送機構
５１  把持部
５２  フレーム
５３  レール
５５  待機台 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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