(57)【要約】【課題】めっき厚分布の均一化を図ることができるプリント配線板用めっき装置及び金属製治具を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の一態様に係るプリント配線板用めっき装置は、めっき液を貯留するめっき槽と、このめっき液に浸漬され、カソードを構成するプリント配線板用原板の一対の側辺部に配設され、複数の上記プリント配線板用原板を上記側辺部が並列となるように固定する複数の金属製治具と、上記めっき液に浸漬され、上記プリント配線板用原板に対向して配設されるアノードと、上記アノード及び上記プリント配線板用原板に電圧を印加する機構とを備えるプリント配線板用めっき装置であって、上記複数の金属製治具が、上記アノードと対向する領域に絶縁性の遮蔽板を有するとともに、上記プリント配線板用原板側かつ上記プリント配線板用原板及び上記遮蔽板間に上記プリント配線板用原板と直交する露出面を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき液を貯留するめっき槽と、
このめっき液に浸漬され、カソードを構成するプリント配線板用原板の一対の側辺部に配設され、複数の上記プリント配線板用原板を上記側辺部が並列となるように固定する複数の金属製治具と、
上記めっき液に浸漬され、上記プリント配線板用原板に対向して配設されるアノードと、
上記アノード及び上記プリント配線板用原板に電圧を印加する機構と
を備えるプリント配線板用めっき装置であって、
上記複数の金属製治具が、
上記アノードと対向する領域に絶縁性の遮蔽板を有するとともに、上記プリント配線板用原板側かつ上記プリント配線板用原板及び上記遮蔽板間に上記プリント配線板用原板と直交する露出面を有するプリント配線板用めっき装置。
【請求項２】
上記プリント配線板用原板及び上記遮蔽板間の上記露出面の平均幅と、隣接する上記プリント配線板用原板間にある複数の上記金属製治具における上記露出面間の平均距離とに基づきめっき厚分布が制御される請求項１に記載のプリント配線板用めっき装置。
【請求項３】
めっき液を貯留するめっき槽と、
このめっき液に浸漬され、カソードを構成するプリント配線板用原板の一対の側辺部に配設され、複数の上記プリント配線板用原板を上記側辺部が並列となるように固定する複数の金属製治具と、
上記めっき液に浸漬され、上記プリント配線板用原板に対向して配設されるアノードと、
上記アノード及び上記プリント配線板用原板に電圧を印加する機構と
を備えるプリント配線板用めっき装置に用いられる金属製治具であって、
上記アノードと対向する領域に絶縁性の遮蔽板を有するとともに、上記プリント配線板用原板側かつ上記プリント配線板用原板及び上記遮蔽板間に上記プリント配線板用原板と直交する露出面を有する金属製治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板用めっき装置及び金属製治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器等の小型化に伴い、電子機器等に用いられるプリント配線板の配線パターンは次第に微細化している。配線パターンが形成される前のプリント配線板用原板には、配線パターン形成用のめっきが施される。
【０００３】
従来、プリント配線板用原板にめっきを施す方法としては、複数のプリント配線板用原板を垂直な姿勢とし、この姿勢のままプリント配線板用原板をめっき浴中で連続搬送しつつ電解めっきする垂直連続搬送式の電解めっき方法が知られている（特許文献１）。
【０００４】
特許文献１の電解めっき方法は、多数のプリント配線板用原板に対して高速にめっきする場合に有効であるが、複数のプリント配線板用原板をめっき浴中で連続搬送するためには、プリント配線板用原板を保持する治具が必要となる。電解めっき用の治具としては、電源からプリント配線板用原板に電流を流す必要があることから、一般的にステンレス、銅等の金属製治具が用いられる。
【０００５】
一方、表面の一部を絶縁材料で覆う金属製治具が提案されている（特許文献２）。特許文献２の金属製治具は、プリント配線板用原板の表面位置から連続するように表面の一部に部分的絶縁部が設けられるものであり、金属製治具に対する電流集中度を部分的絶縁の程度で調整することによりめっき厚の均一化が達成できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−４１０７０号公報
【特許文献２】特開２００３−２５３４９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
電解めっき用の治具として金属製治具が用いられると、電気伝導性の良い金属製治具の表面に電流が集中することでこの表面に大量のめっきが成長し、金属製治具近傍のプリント配線板用原板表面のめっき厚が金属製治具から離れたプリント配線板用原板表面のめっき厚よりも薄くなる。このため、プリント配線板用原板に施されるめっき厚がプリント配線板用原板表面全体において均一にならないという問題が生じる。
【０００８】
一方、特許文献２の金属製治具のように、プリント配線板用原板の表面位置から連続するように金属製治具の表面に部分的絶縁部が設けられると、部分的絶縁部において金属製治具への電流が遮断されることにより金属製治具近傍のプリント配線板用原板表面に電流が集中し、金属製治具近傍のプリント配線板用原板表面のめっき厚が金属製治具から離れたプリント配線板用原板表面のめっき厚よりも厚くなる。このため、特許文献２の金属製治具が用いられる場合であっても、プリント配線板用原板に施されるめっき厚がプリント配線板用原板表面全体において均一にならないという問題が生じる。
【０００９】
本発明は、上述のような事情に基づいてなされたものであり、めっき厚分布の均一化を図ることができるプリント配線板用めっき装置及び金属製治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するためになされた本発明の一態様に係るプリント配線板用めっき装置は、めっき液を貯留するめっき槽と、このめっき液に浸漬され、カソードを構成するプリント配線板用原板の一対の側辺部に配設され、複数の上記プリント配線板用原板を上記側辺部が並列となるように固定する複数の金属製治具と、上記めっき液に浸漬され、上記プリント配線板用原板に対向して配設されるアノードと、上記アノード及び上記プリント配線板用原板に電圧を印加する機構とを備えるプリント配線板用めっき装置であって、上記複数の金属製治具が、上記アノードと対向する領域に絶縁性の遮蔽板を有するとともに、上記プリント配線板用原板側かつ上記プリント配線板用原板及び上記遮蔽板間に上記プリント配線板用原板と直交する露出面を有する。
【００１１】
上記課題を解決するためになされた本発明の他の一態様に係る金属製治具は、めっき液を貯留するめっき槽と、このめっき液に浸漬され、カソードを構成するプリント配線板用原板の一対の側辺部に配設され、複数の上記プリント配線板用原板を上記側辺部が並列となるように固定する複数の金属製治具と、上記めっき液に浸漬され、上記プリント配線板用原板に対向して配設されるアノードと、上記アノード及び上記プリント配線板用原板に電圧を印加する機構とを備えるプリント配線板用めっき装置に用いられる金属製治具であって、上記アノードと対向する領域に絶縁性の遮蔽板を有するとともに、上記プリント配線板用原板側かつ上記プリント配線板用原板及び上記遮蔽板間に上記プリント配線板用原板と直交する露出面を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のプリント配線板用めっき装置及び金属製治具は、めっき厚分布の均一化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係るプリント配線板用めっき装置を示す概略平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａにおける概略断面図である。
【図３】図１のプリント配線板用めっき装置におけるプリント配線板用原板の搬送態様を示す模式的正面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂにおいて、めっき槽２を除いた模式的水平断面図である。
【図５Ａ】アノードと対向する面に遮蔽板を有する金属製治具を用いた場合における電流の流れを仮想的に示す概略水平断面図である。
【図５Ｂ】遮蔽板を有しない金属製治具を用いた場合における電流の流れを仮想的に示す概略水平断面図である。
【図５Ｃ】アノードと対向する面及びプリント配線板用原板側の側面に遮蔽板を有する金属製治具を用いた場合における電流の流れを仮想的に示す概略水平断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［本発明の実施形態の説明］
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
【００１５】
本発明の一態様に係るプリント配線板用めっき装置は、めっき液を貯留するめっき槽と、このめっき液に浸漬され、カソードを構成するプリント配線板用原板の一対の側辺部に配設され、複数の上記プリント配線板用原板を上記側辺部が並列となるように固定する複数の金属製治具と、上記めっき液に浸漬され、上記プリント配線板用原板に対向して配設されるアノードと、上記アノード及び上記プリント配線板用原板に電圧を印加する機構とを備えるプリント配線板用めっき装置であって、上記複数の金属製治具が、上記アノードと対向する領域に絶縁性の遮蔽板を有するとともに、上記プリント配線板用原板側かつ上記プリント配線板用原板及び上記遮蔽板間に上記プリント配線板用原板と直交する露出面を有する。
【００１６】
当該プリント配線板用めっき装置は、カソードを構成するプリント配線板用原板の一対の側辺部に配設される複数の金属製治具を備え、これらの金属製治具が複数のプリント配線板用原板を側辺部が並列となるように固定するので、複数のプリント配線板用原板に対して連続的にめっきすることができる。複数の金属製治具は、アノードと対向する領域に絶縁性の遮蔽板を有しているので、この領域への電流の流入が抑止される。一方、複数の金属製治具は、プリント配線板用原板側かつプリント配線板用原板及び遮蔽板間にプリント配線板用原板と直交する露出面を有しているので、この露出面への電流の流入が許容される。当該プリント配線板用めっき装置の金属製治具は、上述の遮蔽板と露出面とを有しているので、金属製治具近傍のプリント配線板用原板表面へ流れる電流量をバランスよく調整できる。このため、当該プリント配線板用めっき装置は、プリント配線板用原板表面におけるめっき厚分布の均一化を図ることができる。
【００１７】
上記プリント配線板用原板及び上記遮蔽板間の上記露出面の平均幅と、隣接する上記プリント配線板用原板間にある複数の上記金属製治具における上記露出面間の平均距離とに基づきめっき厚分布が制御されるとよい。本発明者らは、上記露出面の平均幅及び上記露出面間の平均距離を調整することで金属製治具近傍のプリント配線板用原板表面におけるめっき厚を制御できることを知得している。そこで、当該プリント配線板用めっき装置は、上述の平均幅及び平均距離が調整されることにより、プリント配線板用原板表面全体におけるめっき厚分布を均一に制御することができる。
【００１８】
本発明の他の一態様に係る金属製治具は、めっき液を貯留するめっき槽と、このめっき液に浸漬され、カソードを構成するプリント配線板用原板の一対の側辺部に配設され、複数の上記プリント配線板用原板を上記側辺部が並列となるように固定する複数の金属製治具と、上記めっき液に浸漬され、上記プリント配線板用原板に対向して配設されるアノードと、上記アノード及び上記プリント配線板用原板に電圧を印加する機構とを備えるプリント配線板用めっき装置に用いられる金属製治具であって、上記アノードと対向する領域に絶縁性の遮蔽板を有するとともに、上記プリント配線板用原板側かつ上記プリント配線板用原板及び上記遮蔽板間に上記プリント配線板用原板と直交する露出面を有する。
【００１９】
当該金属製治具は、アノードと対向する領域に絶縁性の遮蔽板を有しているので、この領域への電流の流入が抑止される。一方、当該金属製治具は、プリント配線板用原板側かつプリント配線板用原板及び遮蔽板間にプリント配線板用原板と直交する露出面を有しているので、この露出面への電流の流入が許容される。当該金属製治具は、遮蔽板と露出面とを有しているので、プリント配線板用原板がプリント配線板用めっき装置でめっきされる際に、金属製治具近傍のプリント配線板用原板表面へ流れる電流量をバランスよく調整できる。このため、当該金属製治具は、プリント配線板用原板表面におけるめっき厚分布の均一化を図ることができる。
【００２０】
［本発明の実施形態の詳細］
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施形態に係るプリント配線板用めっき装置及び金属製治具を説明する。
【００２１】
［プリント配線板用めっき装置］
図１から図４のプリント配線板用めっき装置１は、めっき液Ｙを貯留するめっき槽２と、めっき液Ｙに浸漬され、カソードを構成するプリント配線板用原板Ｘの一対の側辺部Ｘａに配設され、複数のプリント配線板用原板Ｘを側辺部Ｘａが並列となるように固定する複数の金属製治具３と、めっき液Ｙに浸漬され、プリント配線板用原板Ｘに対向して配設されるアノード４と、アノード４及びプリント配線板用原板Ｘに電圧を印加する機構（電圧印加機構５）とを備えている。また、複数の金属製治具３は、アノード４と対向する領域（対向面３ａ）に絶縁性の遮蔽板６を有しているとともに、プリント配線板用原板Ｘ側かつプリント配線板用原板Ｘ及び遮蔽板６間にプリント配線板用原板Ｘと直交する露出面３ｂを有している。プリント配線板用めっき装置１では、プリント配線板用原板Ｘ及び遮蔽板６間の露出面３ｂの平均幅ｔと、隣接するプリント配線板用原板Ｘ間にある複数の金属製治具３における露出面６間の平均距離ａとに基づきめっき厚分布が制御される。
【００２２】
プリント配線板用めっき装置１に用いられるプリント配線板用原板Ｘは、絶縁性のベースフィルムと、このベースフィルムの両面に積層され、導電性を有するシード層とを備える矩形のフレキシブルプリント配線板用原板であり、厚みが略均一である。また、プリント配線板用めっき装置１は、複数のプリント配線板用原板Ｘを略垂直な姿勢に保持した状態で水平に連続搬送する垂直連続搬送方式のめっき装置である。プリント配線板用めっき装置１は、板状に形成されかつ略平行に配設される一対のアノード４をめっき槽２内に備えており、矩形のプリント配線板用原板Ｘを一対のアノード４の中間において図中の矢印方向に移動させながら電解めっきする。なお、図１から図４においては、プリント配線板用めっき装置１におけるめっき槽２以外の外部構成が適宜省略されている。
【００２３】
＜めっき槽＞
めっき槽２は、プリント配線板用原板Ｘの搬送方向を長手方向とし、長手方向に連続した側面及び底面を有する容器であり、めっき槽２内には、プリント配線板用原板Ｘ及びアノード４が浸漬される量のめっき液Ｙが貯留される。めっき液Ｙとしては、電解めっきが可能であれば特に限定されないが、例えば硫酸銅、ピロリン酸銅等の銅を含有するめっき液や、ニッケル又は銀を含有するめっき液を用いることができる。
【００２４】
＜金属製治具＞
金属製治具３は、矩形のプリント配線板用原板Ｘの外周縁に配設され、この外周縁でプリント配線板用原板Ｘを挟持するフレーム７と、フレーム７の上部に接続され、プリント配線板用原板Ｘを略垂直の姿勢に保持するアーム８とを有している。フレーム７は、プリント配線板用原板Ｘの一対の側辺部Ｘａ、上辺部及び下辺部に着脱可能に装着される環状かつ矩形の枠体であり、プリント配線板用原板Ｘの表裏の中央面を露出させる開口を有している。アーム８は、図示しない搬送機構に対してフレーム７を吊り下げ状態で支持する支持具であり、搬送機構から受ける搬送方向への力をフレーム７に伝達する。また、アーム８を支持している搬送機構は、複数のプリント配線板用原板Ｘを略垂直姿勢で順次搬送しつつ、複数のプリント配線板用原板Ｘ間の間隔を等しく保つ。したがって、複数の金属製治具３は、プリント配線板用原板Ｘに装着されることで、複数のプリント配線板用原板Ｘの側辺部Ｘａが並列となるようにプリント配線板用原板Ｘを固定することになる。
【００２５】
金属製治具３のフレーム７は、図３及び図４に示すように、プリント配線板用原板Ｘに装着された際に、プリント配線板用原板Ｘの表裏から側辺部Ｘａを挟持し、かつプリント配線板用原板Ｘの表裏の表面とアーム８とを電気的に接続する。後述するように、アーム８には電圧印加機構５の電源の負極が接続されているので、プリント配線板用原板Ｘ表面のシード層は、めっき時にカソードを構成する。フレーム７及びアーム８の材質としては、導電性を有するものであれば特に限定されないが、例えばステンレス又は銅が用いられる。また、金属製治具３のフレーム７は、電解めっきする際にアノード４と対向する領域である２つの対向面３ａの各々に遮蔽板６を有するとともに、プリント配線板用原板Ｘの中央面側であってプリント配線板用原板Ｘから遮蔽板６までの領域にプリント配線板用原板Ｘに対して垂直な露出面３ｂを有している。フレーム７は、枠体の縁幅が大部分において略均一であり、枠体の縁厚が大部分において略均一であり、プリント配線板用原板Ｘに対して略表裏対称となるような断面形状であると好ましいが、図４に示すような断面がＵ字型の形状のものには特に限定されない。
【００２６】
（遮蔽板）
遮蔽板６は、金属製治具３へのめっきの析出を抑制する絶縁性の部材である。遮蔽板６の材質としては、特に限定されないが、例えばポリ塩化ビニル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリプロピレン、ポリエーテルエーテルケトン等が用いられる。遮蔽板６は、対向面３ａと同一の形状に形成され、略均一な厚みを有する板状部材であり、樹脂ボルト等によって対向面３ａに密着固定されている。なお、遮蔽板６は、アノード４と対向しない面に電流を逃がす機能を持たせるために、フレーム７の対向面３ａ以外の領域には設けられていない。
【００２７】
本発明者らは、プリント配線板用めっき装置１においてめっき厚分布を制御可能なパラメータを鋭意検討した結果、プリント配線板用原板Ｘ及び遮蔽板６間の露出面３ｂの平均幅ｔと、隣接するプリント配線板用原板Ｘ間にある複数の金属製治具３における露出面６間の平均距離ａとが適切に調整されることで、金属製治具３近傍のプリント配線板用原板Ｘ表面におけるめっき厚を制御できることを知得した。そして、本発明者らは、プリント配線板用めっき装置１において、上記平均幅ｔと上記平均距離ａとの比が適切な範囲内に調整されることで、プリント配線板用原板Ｘに施されるめっき厚分布が略均一に制御されることを知得した。
【００２８】
平均幅ｔと平均距離ａとの比の下限としては、１：１１が好ましく、１：９がより好ましい。一方、平均幅ｔと平均距離ａとの比の上限としては、２：１１が好ましく、１：６がより好ましい。平均幅ｔと平均距離ａとの比が上記下限に満たないと、金属製治具３近傍のプリント配線板用原板Ｘ表面におけるめっき厚が厚くなり、プリント配線板用原板Ｘに施されるめっき厚分布が不均一になるおそれがある。逆に、平均幅ｔと平均距離ａとの比が上記上限を超えると、金属製治具３近傍のプリント配線板用原板Ｘ表面におけるめっき厚が薄くなり、プリント配線板用原板Ｘに施されるめっき厚分布が不均一になるおそれがある。
【００２９】
例えば上述の平均距離ａが約２２ｍｍである場合、プリント配線板用原板Ｘ及び遮蔽板６間の露出面３ｂの平均幅ｔの下限としては、１．５ｍｍが好ましく、２．０ｍｍがより好ましく、２．４ｍｍがさらに好ましい。一方、上記平均幅ｔの上限としては、４．５ｍｍが好ましく、４ｍｍがより好ましく、３．５ｍｍがさらに好ましい。上記平均幅ｔが上記下限に満たないと、露出面３ｂに電流を逃がす機能が不十分となり、金属製治具３近傍のプリント配線板用原板Ｘ表面におけるめっき厚が厚くなるおそれがある。逆に、上記平均幅ｔが上記上限を超えると、露出面３ｂに流れる電流が多くなり過ぎることで、金属製治具３近傍のプリント配線板用原板Ｘ表面におけるめっき厚が薄くなるおそれがある。
【００３０】
＜アノード＞
アノード４は、プリント配線板用原板Ｘの搬送方向を長手方向とし、長手方向に連続した平板であり、短手方向が鉛直方向と略一致するようにめっき槽２内に設けられている。プリント配線板用めっき装置１は、めっき槽２内に一対のアノード４を備えており、２つのアノード４は、板面が略平行にかつ対向するように間隔を空けて配設されている。アノード４としては、特に限定されないが、例えば銅、ニッケル、銀等の金属を主成分とする可溶性アノード、チタン、ニオブ等の基体の表面に白金、イリジウム等の被膜を施した不溶性アノードが用いられる。ただし、アノード４の形状が変化しない方がプリント配線板用原板表面へ流れる電流量を調整しやすいので、アノード４として不溶性アノードが用いられると好ましい。
【００３１】
＜電圧印加機構＞
電圧印加機構５は、プリント配線板用原板Ｘから２つのアノード４に向けて電圧を印加する機構であり、電圧印加用の電源を有する。電圧印加機構５は、電源の負極がアーム８及びフレーム７を介してプリント配線板用原板Ｘと電気的に接続され、電源の正極が２つのアノード４と電気的に接続されている。
【００３２】
（利点）
当該プリント配線板用めっき装置１は、カソードを構成するプリント配線板用原板Ｘの一対の側辺部Ｘａに配設される複数の金属製治具３を備え、これらの金属製治具３が複数のプリント配線板用原板Ｘを側辺部Ｘａが並列となるように固定するので、複数のプリント配線板用原板Ｘに対して連続的にめっきすることができる。複数の金属製治具３は、アノード４と対向する対向面３ａに絶縁性の遮蔽板６を有しているので、この対向面３ａへの電流の流入が抑止される。一方、複数の金属製治具３は、プリント配線板用原板Ｘ側かつプリント配線板用原板Ｘ及び遮蔽板６間にプリント配線板用原板Ｘと直交する露出面３ｂを有しているので、この露出面３ｂへの電流の流入が許容される。当該プリント配線板用めっき装置１の金属製治具３は、上述の遮蔽板６と露出面３ｂとを有しているので、金属製治具３近傍のプリント配線板用原板Ｘ表面へ流れる電流量を調整できる。そして、当該プリント配線板用めっき装置１は、プリント配線板用原板Ｘ及び遮蔽板６間の露出面３ｂの平均幅ｔと、隣接するプリント配線板用原板Ｘ間にある複数の金属製治具３における露出面６間の平均距離ａとの比が適切な範囲内に調整されるので、プリント配線板用原板Ｘ表面全体へ流れる電流量が均一となり、結果としてプリント配線板用原板Ｘに施されるめっき厚分布が均一に制御される。
【００３３】
［他の実施形態］
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【００３４】
上記実施形態では、金属製治具３が、矩形のプリント配線板用原板Ｘの外周縁に配設され、この外周縁でプリント配線板用原板Ｘを挟持するフレーム７と、フレーム７の上部に接続され、プリント配線板用原板Ｘを略垂直の姿勢に保持するアーム８とを有しているものについて説明したが、金属製治具３は、少なくともプリント配線板用原板Ｘの一対の側辺部Ｘａに配設され、プリント配線板用原板Ｘを略垂直の姿勢に保持可能であれば、上述の構成に限定されない。
【００３５】
上記実施形態では、ベースフィルムの両面にシード層を備えるプリント配線板用原板Ｘに対してめっきが施されるものについて説明したが、めっきに用いられるプリント配線板用原板は、両面にシード層を備えるものに限定されず、片面のみにシード層を備えるものであってもよい。
【実施例】
【００３６】
以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００３７】
平均厚さ２５μｍのプリント配線板用原板と、ステンレス製の金属製治具とを用い、上述のプリント配線板用めっき装置１のモデルについてシミュレーションを行った。隣接するプリント配線板用原板間にある複数の金属製治具における露出面間の平均距離ａは２２ｍｍとし、搬送方向における金属製治具の平均幅はそれぞれ７ｍｍとした。なお、以下の評価は、計算量を低減にするために２次元シミュレーションにより行った。
【００３８】
［遮蔽板による膜厚の評価］
まず、プリント配線板用原板からアノードに対向する対向面までの間の露出面の平均幅ｔを３ｍｍとし、対向面と同一形状の遮蔽板６を有する金属製治具３を用いた実施例（図５Ａ）、遮蔽板を有しない金属製治具３１を用いた比較例１（図５Ｂ）、及び対向面及びプリント配線板用原板側の側面全域に遮蔽板６１を有する金属製治具３２を用いた比較例２（図５Ｃ）について、電流が流れる方向について計算した。なお、図５Ａから図５Ｃでは、計算結果を定性的に表現するために、１のアノードからプリント配線板用原板までの電流方向を矢印付きの破線により仮想的に示している。
【００３９】
金属製治具３を用いた実施例では、金属製治具３近傍のプリント配線板用原板Ｘ表面へ流れる電流量が金属製治具３から離れたプリント配線板用原板Ｘ表面へ流れる電流量と同等に調整され、プリント配線板用原板Ｘ表面全体へ流れる電流量が略均一となることが確認された。
【００４０】
一方、金属製治具３１を用いた比較例１では、金属製治具３１へ流れる電流量が増大し、金属製治具３１近傍のプリント配線板用原板Ｘ表面へ流れる電流量が減少することが確認された。逆に、金属製治具３２を用いた比較例２では、金属製治具３２を覆う遮蔽板６１が電流を遮断することにより、金属製治具３２近傍のプリント配線板用原板Ｘ表面へ流れる電流量が増加することが確認された。つまり、比較例１又は比較例２では、金属製治具近傍のプリント配線板用原板Ｘ表面へ流れる電流量が、金属製治具から離れたプリント配線板用原板Ｘ表面へ流れる電流量とは相違し、プリント配線板用原板Ｘ表面全体へ流れる電流量が不均一となることが確認された。
【００４１】
［露出面の平均幅ｔによる膜厚の評価］
次に、対向面と同一形状の遮蔽板６を有する金属製治具３を用い、プリント配線板用原板Ｘからアノードに対向する対向面３ａまでの間の露出面３ｂの平均幅ｔをそれぞれ１ｍｍ、３ｍｍ、５ｍｍとして、プリント配線板用原板Ｘ表面で金属製治具３から８ｍｍの位置の平均膜厚（以下、端部平均膜厚と記す）とプリント配線板用原板Ｘの表面中央の平均膜厚（以下、中央平均膜厚と記す）とを算出した。
【００４２】
平均幅ｔを３ｍｍとした例では、中央平均膜厚が３３．４μｍとなる際に、端部平均膜厚が３２．５μｍとなった。この例では、中央平均膜厚と端部平均膜厚との差が０．９μｍであったことから、プリント配線板用原板Ｘ表面全体の平均膜厚が略均一となっているといえる。
【００４３】
一方、平均幅ｔを１ｍｍとした例では、中央平均膜厚が３３．２μｍとなる際に、端部平均膜厚が３４．９μｍとなった。この例では、中央平均膜厚と端部平均膜厚との差が−１．７μｍであったことから、端部平均膜厚が中央平均膜厚よりわずかに厚くなっているといえる。
【００４４】
また、平均幅ｔを５ｍｍとした例では、中央平均膜厚が３３．１μｍとなる際に、端部平均膜厚が３０．８μｍとなった。この例では、中央平均膜厚と端部平均膜厚との差が２．３μｍであったことから、端部平均膜厚が中央平均膜厚よりわずかに薄くなっているといえる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明のプリント配線板用めっき装置及び金属製治具は、めっき厚分布の均一化を図ることができる。
【符号の説明】
【００４６】
１  プリント配線板用めっき装置
２  めっき槽
３，３１，３２  金属製治具
３ａ  対向面
３ｂ  露出面
４  アノード
５  電圧印加機構
６，６１  遮蔽板
７  フレーム
８  アーム
Ｘ  プリント配線板用原板
Ｘａ  側辺部
Ｙ  めっき液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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