(57)【要約】【課題】簡単な構成で溶融樹脂を均等に固定子組立体に供給する。【解決手段】  鉄心１０２に巻線１０３が巻回された固定子組立体１００を樹脂モールドする方法であって、鉄心１０２に囲まれる空間Ｓ１に、円柱状の本体部１２の一端部に先端が先細り形状のガイド部１７を有する治具１０を挿入してガイド部１７を鉄心１０２の一端側より突出させる工程と、治具１０の本体部１２を径方向へ熱膨張させ本体部１２の外周面を鉄心１０２に密接させることにより鉄心１０２に囲まれる空間Ｓ１を治具１０により塞ぐ工程と、真空状態下でガイド部１７を上に向けた治具１０に溶融樹脂を垂らしガイド部１７に沿って溶融樹脂を流下させて固定子組立体１００に含浸させる工程と、鉄心１０２に含浸させた樹脂を硬化させる工程とを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉄心に巻線が巻回された固定子組立体を樹脂モールドする方法であって、
前記鉄心に囲まれる空間に、円柱状の本体部の一端部に先端が先細り形状のガイド部を有する治具を挿入して前記ガイド部を前記鉄心の一端側より突出させる工程と、
前記治具の本体部を径方向へ熱膨張させ前記本体部の外周面を前記鉄心に密接させることにより前記鉄心に囲まれる空間を前記治具により塞ぐ工程と、
真空状態下で前記ガイド部を上に向けた前記治具に溶融樹脂を垂らし前記ガイド部に沿って溶融樹脂を流下させて前記固定子組立体に含浸させる工程と、
前記固定子組立体に含浸させた樹脂を硬化させる工程とを含む樹脂モールド方法。
【請求項２】
鉄心に巻線が巻回された固定子組立体を樹脂モールドするのに用いられる治具であって、
加熱により熱膨張する合成樹脂を素材とし、前記鉄心に囲まれる空間に対して挿脱可能な径と前記鉄心に囲まれる空間に嵌合する長さとを有する円柱状の本体部を備え、前記本体部の一端部には、前記本体部が前記鉄心に囲まれる空間に挿入されたとき、前記空間より突出する先端が先細り形状のガイド部が一体に形成されている治具。
【請求項３】
前記本体部は、他端部に基台部を備え、前記基台部には、前記鉄心のケーシングの端部の内周面に嵌り加熱により熱膨張する合成樹脂を素材とする環状の突条を一体に備えている請求項２に記載の治具。
【請求項４】
前記鉄心のケーシングの一端側に設けられる環状部材をさらに備え、
前記環状部材は、加熱により熱膨張する合成樹脂を素材とし、前記ケーシングの内周面に沿う筒壁部と、前記ケーシングの端面に被さる鍔部とを一体に備えている請求項２または３に記載の治具。
【請求項５】
鉄心に巻線が巻回された固定子組立体を樹脂モールドするための装置であって、
加熱により熱膨張する合成樹脂を素材とし、前記鉄心に囲まれる空間に対して挿脱可能な径と前記鉄心に囲まれる空間に嵌合する長さとを有する円柱状の本体部を備え、前記本体部の一端部には、前記本体部が前記鉄心に囲まれる空間に挿入されたとき、前記空間より突出する先端が先細り形状のガイド部が一体に形成されている治具と、
前記鉄心に囲まれる空間に前記治具が挿入された前記固定子組立体を加熱する加熱手段を有し、前記治具を熱膨張させる予熱ユニットと、
前記鉄心に囲まれる空間に前記治具が挿入された固定子組立体を真空状態下に置いて、前記固定子組立体を樹脂モールドするための溶融樹脂を前記固定子組立体に含浸させる処理を行う真空処理室と、前記真空処理室内に設置され前記溶融樹脂を前記治具に垂らすためのノズルとを備える真空処理ユニットと、
前記固定子組立体に含浸させた樹脂を加熱する加熱手段を有し、樹脂を硬化させる硬化ユニットと、
を備える樹脂モールド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂モールド方法、治具、及び樹脂モールド装置に関し、詳しくは鉄心に巻線が巻回された固定子組立体を樹脂モールドする樹脂モールド方法、その方法の実施に用いられる治具、及び樹脂モールド装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、モータ等の回転電機は、固定子と、固定子内に設けられる回転子とにより構成されている。固定子は、環状の鉄心に巻線が巻回されており、巻線に電流が流れると、磁力が発生して固定子と回転子とが互いに誘引または反発することにより、固定子内に設けられた回転子が回転する。
【０００３】
鉄心に巻線が巻回された固定子（「固定子組立体」と称す）においては、絶縁性や放熱性、強度等を確保するために樹脂モールドが行われている。樹脂モールドを行うための装置として、例えば特許文献１に記載の装置が提供されている。この装置は、真空槽と、真空槽内で回転する回転台と、回転台に支持され、樹脂モールドされる前の固定子組立体が挿入される二重筒と、固定子組立体に上方からモールド液を供給する供給器とを備えている。真空槽内で固定子組立体を回転させ、回転中の固定子組立体に供給器からモールド液を垂下させることで、モールド液を固定子組立体の全周にわたって供給している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２１８２９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載の装置においては、溶融樹脂からなるモールド液を環状の固定子組立体に全周にわたってまんべんなく供給するために、回転台を用いて固定子組立体を回転させており、装置が大きくなり、装置の構成が複雑であった。
本発明は前記問題に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で溶融樹脂を環状の固定子組立体の全周にもれなく供給することのできる樹脂モールド方法、治具、及び樹脂モールド装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による樹脂モールド方法は、鉄心に巻線が巻回された固定子組立体を樹脂モールドするものであって、前記鉄心に囲まれる空間に、円柱状の本体部の一端部に先端が先細り形状のガイド部を有する治具を挿入して前記ガイド部を前記鉄心の一端側より突出させる工程と、前記治具の本体部を径方向へ熱膨張させ前記本体部の外周面を前記鉄心に密接させることにより前記鉄心に囲まれる空間を前記治具により塞ぐ工程と、真空状態下で前記ガイド部を上に向けた前記治具に溶融樹脂を垂らし前記ガイド部に沿って溶融樹脂を流下させて前記固定子組立体に含浸させる工程と、前記固定子組立体に含浸させた樹脂を硬化させる工程とを含むものである。
【０００７】
治具のガイド部は円柱状の先端が先細り形状となっており、治具のガイド部の上方位置からガイド部の先端に溶融樹脂を垂下すると、ガイド部の外周面全体に溶融樹脂が略均等に広がりながら流下する。固定子組立体の鉄心に囲まれる内側の空間は、治具の本体部の熱膨張により塞がれているので、溶融樹脂は固定子組立体の上端面へ至り、上端面より固定子組立体に樹脂が含浸される。このように、治具のガイド部の先端を先細り形状とするだけの簡単な構造で、溶融樹脂を固定子組立体の全周にわたってもれなく供給することができる。
【０００８】
本発明の上記目的は、鉄心に巻線が巻回された固定子組立体を樹脂モールドするのに用いられる治具によっても達成される。治具は、加熱により熱膨張する合成樹脂を素材とし、前記鉄心に囲まれる空間に対して挿脱可能な径と前記鉄心に囲まれる空間に嵌合する長さとを有する円柱状の本体部を備え、前記本体部の一端部には、前記本体部が前記鉄心に囲まれる空間に挿入されたとき、前記空間より突出する先端が先細り形状のガイド部が一体に形成されている。
【０００９】
上記の構成によれば、治具のガイド部は先端が先細り形状となっているため、治具のガイド部の上方位置からガイド部の先端に溶融樹脂を垂下すると、ガイド部の外周面全体に溶融樹脂が略均等に広がりながら流下し、固定子組立体の上端面へ至って含浸される。このように、治具のガイド部の先端を先細り形状とするだけの簡単な構造で、溶融樹脂を固定子組立体の全周にわたってもれなく供給することができる。
【００１０】
一実施形態においては、前記本体部は、他端部に基台部を備え、前記基台部には、前記鉄心のケーシングの端部の内周面に嵌り加熱により熱膨張する合成樹脂を素材とする環状の突条を一体に備えている。
【００１１】
好ましい実施形態においては、前記鉄心のケーシングの一端側に設けられる環状部材をさらに備え、前記環状部材は、加熱により熱膨張する合成樹脂を素材とし、前記ケーシングの内周面に沿う筒壁部と、前記ケーシングの端面に被さる鍔部とを一体に備えている。
【００１２】
本発明の上記目的は、鉄心に巻線が巻回された固定子組立体を樹脂モールドするための装置によっても達成される。装置は、加熱により熱膨張する合成樹脂を素材とし、前記鉄心に囲まれる空間に対して挿脱可能な径と前記鉄心に囲まれる空間に嵌合する長さとを有する円柱状の本体部を備え、前記本体部の一端部には、前記本体部が前記鉄心に囲まれる空間に挿入されたとき、前記空間より突出する先端が先細り形状のガイド部が一体に形成されている治具と、前記鉄心に囲まれる空間に前記治具が挿入された前記固定子組立体を加熱する加熱手段を有し、前記治具を熱膨張させる予熱ユニットと、前記鉄心に囲まれる空間に前記治具が挿入された固定子組立体を真空状態下に置いて、前記固定子組立体を樹脂モールドするための溶融樹脂を前記固定子組立体に含浸させる処理を行う真空処理室と、前記真空処理室内に設置され前記溶融樹脂を前記治具に垂らすためのノズルとを備える真空処理ユニットと、前記固定子組立体に含浸させた樹脂を加熱する加熱手段を有し、樹脂を硬化させる硬化ユニットと、を備える
【００１３】
上記の構成によれば、治具のガイド部は円柱状の先端が先細り形状となっており、ガイド部の先端にノズルにより溶融樹脂を垂下すると、ガイド部の外周面全体に溶融樹脂が略均等に広がりながら流下し、固定子組立体の上端面へ至って含浸される。このように、治具のガイド部の先端を先細り形状とするだけの簡単な構造で、溶融樹脂を固定子組立体の全周にわたってもれなく供給することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、治具のガイド部の先端を先細り形状とするだけの簡単な構造で、溶融樹脂を固定子組立体の全周にわたってもれなく供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る治具が固定子組立体に挿入された状態を示す断面図である。
【図２】治具が固定子組立体に挿入された状態を示す平面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る樹脂モールド装置の全体の概略構成を示す正面図である。
【図４】ワークプレートの平面図である。
【図５】真空ユニットの全体の概略構成を示す説明図である。
【図６】固定子組立を樹脂モールドする手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
本発明の樹脂モールド方法は、図１、図２に示される治具１０を用いて実施されるもので、ケーシング１０１に囲まれた環状の鉄心１０２に巻線１０３が巻回された固定子組立体１００を樹脂モールドするものである。治具１０は、ワークプレート１１０上に取り付けられる基台部１１と、基台部１１に取り付けられ、固定子組立体１００の鉄心１０２に囲まれる内側の空間Ｓ１に挿入される円柱状の本体部１２と、固定子組立体１００のケーシング１０１の上端に設けられる環状部材１３とを備えている。固定子組立体１００は、軸芯が鉛直方向を向くように、治具１０の本体部１２に支持されている。
【００１７】
治具１０の基台部１１、本体部１２、環状部材１３はそれぞれ加熱により熱膨張する合成樹脂を素材とするものであり、例えば高密度ポリエチレン（「ＨＤＰＥ」または「ＰＥ−ＨＤ」とも表わされる）が用いられる。
【００１８】
基台部１１は平面形状が矩形状の板状部材であり、中央部に本体部１２が嵌まる凹部１４が形成されている。凹部１４の底面の２箇所に、本体部１２を基台部１１にネジ止めするためのネジ１５を通しかつネジ頭部を支持するためのネジ孔１４ａが形成されている。基台部１１の上面には環状の突条１６が一体に形成されている。突条１６は、本体部１２に固定子組立体１００が挿入された状態でケーシング１０１の下端部の内周面１０１ａに嵌合する。基台部１１の四隅は、ネジ１６によりワークプレート１１０にネジ止めされている。
【００１９】
本体部１２は、固定子組立体１００の鉄心１０２に囲まれる内側の空間Ｓ１に対して挿脱可能な径と空間Ｓ１に嵌合する長さとを有している。本体部１２の上端部には、本体部１２が鉄心１０２に囲まれる内側の空間Ｓ１に挿入されたとき、空間Ｓ１より上方に突出する先端が先細り形状のガイド部１７が一体に形成されている。ガイド部１７は、上方に凸となる円錐形状であるが、先端が尖っていてもよく、本実施形態のように先端が丸みを帯びていてもよく、さらに先端が平面形状であってもよい。また、溶融樹脂が固定子組立体１００の周方向に略均一に流下できれば、角錐形状であってもよい。
【００２０】
本体部１２の底部には、基台部１１にネジ止めするためのネジ１５がねじ込まれるネジ穴１２ａが、基台部１１の貫通孔１４ａに対応する位置に２箇所形成されている。
なお、上記の実施形態においては、本体部１２と基台部１１が別体として形成されているが、射出成形等により一体に形成してもよい。
【００２１】
環状部材１３は、中間に六角形状のスペーサ２０ａを有する３つのネジ部材２０及び３つのナット２１によって、基端部１１の上方位置に固定されている。環状部材１３は、図２に示すように、基台部１１と略同じ外形の矩形状の板状部材であり、面取りされた隅部１３ａを有している。環状部材１３は、ケーシング１０１の上端部の内周面１０１ｂに沿う筒壁部１８と、ケーシング１０１の端面に被さる鍔部１９とを一体に備えている。筒壁部１８に囲まれた中空部１３ｂは平面形状が円形である。環状部材１３は、筒壁部１８の下端が巻線１０３の上方となる高さ位置であって、中空部１３ｂを貫通して本体部１２のガイド部１７が上方へ突出するようネジ部材２０のスペーサ２０ａにより支持されている。鍔部１９にはネジ部材２０の上端部が貫通する貫通孔１９ａが３箇所形成されており、鍔部１９の上面より突出したネジ部材２０にナット２１を螺合することで環状部材１３の鍔部１９の下面がスペーサ２０ａの上端面に押し付けられて固定される。
【００２２】
本体部１２が固定子組立体１００の鉄心１０２に囲まれる内側の空間Ｓ１に緊密に嵌合された状態で、溶融樹脂が固定子組立体１００の上端面へ導かれて含浸されることにより、基台部１１、鉄心１０２、本体部１２、ケーシング１０１、突条１６とに囲まれる環状の下側空間Ｓ２に樹脂層Ｒが形成される。また、図示しないが巻線１０３と巻線１０３との間、巻線１０３と鉄心１０２との間、鉄心１０２と鉄心１０２との間にも樹脂層が形成される。さらに、鉄心１０２の上端より上方であって、環状部材１３の筒壁部１８より下方の環状の上側空間Ｓ３に樹脂層Ｒが形成される。
【００２３】
図３は、本発明の樹脂モールド装置３０を示し、ワークプレート１１０上に載置された上記の実施形態の治具１０と、予熱ユニット３１と、真空処理ユニット３２と、硬化ユニット３３とを備えている。
【００２４】
ワークプレート１１０には、図４に示すように、複数の治具１０が取り付けられている。本実施形態では、治具１０はワークプレート１１０の上に３行３列に取り付けられているが、治具１０の個数は限定されない。
【００２５】
ワークプレート１１０は以下の手順により組み立てられる。まず、治具１０の基台部１１に本体部１２を取り付ける。次に、治具１０の基台部１１をワークプレート１１０にネジ止めする。そして、治具１０に固定子組立体１００を挿入する。このとき、治具１０の本体部１２は、突条１６が定子組立体１００のケーシング１０１の端部の内周面１０１ａに嵌るように鉄心１０２に囲まれる内側の空間Ｓ１に挿入される。次に環状部材１３を筒壁部１８がケーシング１０１の内周面１０１ｂに沿うように、基台部１１の上方位置に取り付ける。
【００２６】
予熱ユニット３１は、固定子組立体１００を挿入した治具１０を加熱して治具１０を熱膨張させるものであり、内部に、ヒーターや温風器等の予熱器と、ワークプレート１１０を搬送するためのチェーンベルト等から構成される搬送機構（図示せず）とを含んでいる。固定子組立体１００や治具１０は、搬送機構によって予熱ユニット３１内を矢印Ａの方向に搬送される間に、予熱器により適切な温度（例えば８０度）まで加熱される。
【００２７】
真空処理ユニット３２は予熱ユニット３１の下流側に配置され、予熱ユニット３１を通過したワークプレート１１０が搬入される。図５に示すように、真空処理ユニット３２は、治具１０が挿入された固定子組立体１００を真空状態下に置いて、固定子組立体１００を樹脂モールドするための溶融樹脂を固定子組立体１００に含浸させる処理を行う真空処理室３４を備えている。真空処理室３４は、図示しない真空ポンプなどの減圧装置によって減圧される。なお、本明細書においては、「真空」とは、絶対真空状態を意味するものではなく、大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間内の状態を意味するものである。
【００２８】
真空処理室３４の内部には、例えばエンドレスベルト等から構成され、ワークプレート１１０を矢印Ｂに示す搬送方向（Ｘ方向とする）に搬送する搬送機構３５と、溶融樹脂を治具１０に垂らすためのノズル３６と、ノズル３６を搬送方向Ｘに直交するＹ方向およびＺ方向に移動させるノズル移動機構３７とを備えている。ノズル移動機構３７は、例えば、リニアモータで構成されていてもよく、ボールネジ、ナット部材及び駆動モータ等により構成されていてもよい。
ノズル移動機構３７及び搬送機構３５により、ノズル３６はワークプレート１１０上の複数の固定子組立体１００が取り付けられた治具１０の上方位置に順次移動して停止し、溶融樹脂を治具１０の本体部１２のガイド部１７に垂らす。
【００２９】
硬化ユニット３３は、真空処理ユニット３２の下流側に配置され、真空処理ユニット３２を通過したワークプレート１１０が搬入される。硬化ユニット３３は、ワークプレート１１０上の固定子組立体１００に垂下された溶融樹脂を加熱して硬化させるためのものであり、内部に、ヒーターや温風器等の予熱器と、ワークプレート１１０を搬送するためのチェーンベルト等から構成される搬送機構（図示せず）とを含んでいる。搬入口から搬入されたワークプレート１１０は、搬送機構によって硬化ユニット３３内を矢印Ｃの方向に搬送される間に予熱器により適切な温度（例えば１２０度）まで加熱され、これにより樹脂が硬化する。
【００３０】
樹脂モールド装置３０の予熱ユニット３１、真空処理ユニット３２、及び硬化ユニット３３の動作は、図示しない制御装置により行われる。
【００３１】
図６は、本発明の樹脂モールド方法を示すもので、以下のステップＳＴ１０〜ＳＴ１３の各手順を順次実行する。
ステップＳＴ１０は、固定子組立体１００をワークプレート１１０の治具１０に取り付ける工程である。詳細には、ワークプレート１１０に取り付けられた治具１０の本体部１２を固定子組立体１００の鉄心１０２に囲まれる内側の空間Ｓ１に挿入して、固定子組立体１００をワークプレート１１０の治具１０に取り付け、さらに治具１０の環状部材１３を基台部１１に取り付ける。これにより、治具１０の本体部１２のガイド部１７が環状部材１３より突出し、治具１０の基台部１１の突条１６はケーシング１０１の下端部の内周面１０１ａに嵌り、環状部材１３の筒壁部１８は、ケーシング１０１の内周面１０１ｂに沿った状態となる。
【００３２】
ステップＳＴ１1は、予熱ユニット３１内において、固定子組立体１００が取り付けられた治具１０を含むワークプレート１１０を加熱する予熱工程である。予熱工程により、治具１０の本体部１２が径方向へ熱膨張し、本体部１２の外周面が鉄心１０２に密接することにより鉄心１０２に囲まれる内側の空間Ｓ１を塞ぐ。また、治具１０の基台部１１の突条１６は径方向へ熱膨張しケーシング１０１の下端部の内周面１０１ａに密接し、環状部材１３の筒壁部１８は径方向へ熱膨張しケーシング１０１の上端部の内周面１０１ｂに密接する。
【００３３】
ＳＴ１２は、真空処理ユニット３２内において、真空状態下でノズル３６から治具１０のガイド部１７の頂点に向けて溶融樹脂を垂らし、ガイド部１７に沿って溶融樹脂を流下させて固定子組立体１００に含浸させる含浸工程である。詳細には、搬送機構３５とノズル移動機構３７により、ノズル３６をワークプレート１１０に載置された治具１０のガイド部１７の先細り形状の先端部分の上方に位置させる。そして、ノズル３６から溶融樹脂を垂下させると、溶融樹脂は、ガイド部１７の外周面に沿って略均等に広がりながら流下し、固定子組立体１００の上端面へ至り、上端面より徐々に下方に移動することで、固定子組立体１００に樹脂が含浸される。このとき、治具１０の本体部１２が鉄心１０２に囲まれる内側の空間Ｓ１を塞いでいるので、溶融樹脂は鉄心１０２に囲まれる内側の空間Ｓ１に進入せず、鉄心１０２の内周壁に樹脂が付着するのが防がれる。
【００３４】
溶融樹脂は、真空状態下において、固定子組立体１００の巻線１０３と巻線１０３との間、巻線１０３と鉄心１０２との間、鉄心１０２と鉄心１０２との間の空間に徐々に浸透しつつ落下し、固定子組立体１００の下側空間Ｓ２に充填される。次いで巻線１０３と巻線１０３との間、巻線１０３と鉄心１０２との間、鉄心１０２と鉄心１０２との間に溶融樹脂が充填されていき、固定子組立体１００の上側空間Ｓ３に充填される。このとき、溶融樹脂は固定子組立体１００内に滞留している空気を上方に押出しながら流下する。また、治具１０の基台部１１の突条１６はケーシング１０１の下端部の内周面１０１ａに密接し、環状部材１３の筒壁部１８はケーシング１０１の上端部の内周面１０１ｂに密接しているので、ケーシング１０１の内周面に樹脂が付着するのが防がれる。溶融樹脂が固定子組立体１００の上側空間Ｓ３に溶融樹脂が充填されると、ノズル３６からの溶融樹脂の供給を停止する。
【００３５】
ワークプレート１１０には治具１０に取り付けられた複数の固定子組立体１００が載置されており、搬送機構３５とノズル移動機構３７とにより、ノズル３６を治具１０の上方位置に順次移動して停止させ、溶融樹脂を固定子組立体１００に含浸させる。
【００３６】
ＳＴ１３は、硬化ユニット３３内で固定子組立体１００に含浸させた樹脂を硬化させる硬化工程であり、環状の下側空間Ｓ２、環状の上側空間Ｓ３には樹脂層Ｒが形成され、巻線１０３と巻線１０３との間、巻線１０３と鉄心１０２との間、鉄心１０２と鉄心１０２との間にも樹脂層が形成される。
ＳＴ１０からＳＴ１３は、ワークプレート１１０毎に実行され、固定子組立体１００が樹脂モールドされる。
【００３７】
なお、硬化工程後に治具１０を冷却する冷却工程を設けても良い。治具１０を冷却することで治具１０が収縮し、治具１０を鉄心１０２に囲まれる内側の空間Ｓ１から抜き取りやすくなる。
【００３８】
このように、治具１０のガイド部１７の先端を先細り形状とするだけの簡単な構造で、溶融樹脂はガイド部１７の外周面に沿って均等に広がりながら流下するため、溶融樹脂を固定子組立体１００の全周にわたってもれなく供給することができる。
【００３９】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１００  固定子組立体
１０１  ケーシング
１０２  鉄心
１０３  巻線
１０  治具
１１  基台部
１２  本体部
１３  環状部材
１６  突条
１７  ガイド部
１８  筒壁部
１９  鍔部
３０  樹脂モールド装置
３１  予熱ユニット
３２  真空処理ユニット
３３  硬化ユニット
３４  真空処理室
３６  ノズル
Ｓ１  鉄心に囲まれる空間
【図１】
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【図２】
2019140880.tif 000004
【図３】
2019140880.tif 000005
【図４】
2019140880.tif 000006
【図５】
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【図６】
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