(57)【要約】【課題】１つの駆動モータで、互いに直交する２軸のうちの一方の軸のまわりの第１手首と第２手首の回動動作と、他方の軸のまわりの第２手首の回転動作を互いに独立に行うことができるロボットの手首ユニットを提供する。【解決手段】第１手首５に第２手首６を回転自在に組み込み、入力軸３と一体形成された太陽歯車１６と、第１手首軸１と一体形成され、遊星歯車１８を自転自在に支持するキャリア１９と、第１手首軸１と直交する第２手首軸２に一対の傘歯車２ａ、１７ｂを介して連結される内歯車１７とを備えた遊星歯車機構４を設け、第１手首軸１用の第１ブレーキ７と第２手首軸２用の第２ブレーキ８とを選択的に解除操作することにより、入力軸３に入力トルクを加える１つの駆動モータで、第１手首軸１のまわりの両手首５、６の回動動作と、第２手首軸２のまわりの第２手首６の回転動作を互いに独立に行えるようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動モータから入力トルクを加えられる入力軸と、前記入力軸に遊星歯車機構を介して連結され、互いに直交する方向に延びる第１手首軸および第２手首軸と、前記第１手首軸に回転伝達可能に連結された第１手首と、前記第１手首に回転自在に組み込まれ、前記第２手首軸に回転伝達可能に連結された第２手首と、非操作時は前記第１手首軸を回転不能に拘束し、解除操作により第１手首軸を回転可能に解放する第１ブレーキと、前記第１手首に組み込まれ、非操作時は前記第２手首軸を第１手首と相対回転不能に拘束し、解除操作により第２手首軸を第１手首と相対回転可能に解放する第２ブレーキとを備え、
前記遊星歯車機構は、前記入力軸に回転伝達可能に連結される太陽歯車と、前記太陽歯車の径方向外側に配される内歯車と、前記太陽歯車と内歯車の両方に噛み合う複数の遊星歯車と、前記各遊星歯車を自転可能に支持するキャリアとからなり、前記キャリアが前記第１手首軸に回転伝達可能に連結され、前記内歯車が互いに噛み合う一対の傘歯車を介して前記第２手首軸に回転伝達可能に連結されており、
前記第１ブレーキを解除操作し、前記第２ブレーキを非操作とした状態で、前記入力軸に入力トルクを加えたときには、前記第１手首が第２手首と一体に第１手首軸のまわりに回動し、前記第１ブレーキを非操作とし、前記第２ブレーキを解除操作した状態で、前記入力軸に入力トルクを加えたときには、前記第２手首が第２手首軸のまわりに回転するようになっているロボットの手首ユニット。
【請求項２】
前記第１ブレーキおよび第２ブレーキが無励磁型電磁ブレーキであることを特徴とする請求項１に記載のロボットの手首ユニット。
【請求項３】
前記第１手首軸と第１手首との間および前記第２手首軸と第２手首との間に、それぞれ減速機構が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のロボットの手首ユニット。
【請求項４】
前記第１手首および第２手首の回転方向位置をそれぞれ検出する２つのアブソリュートエンコーダが設けられており、前記各アブソリュートエンコーダの検出値と前記駆動モータに設けられているエンコーダの検出値とに基づいて、前記駆動モータ、第１ブレーキおよび第２ブレーキを制御することにより、前記第１手首および第２手首の位置決めを行うようになっていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のロボットの手首ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用ロボットのアーム先端部に設けられる手首ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業用ロボットのアームの先端部には、互いに直交する２軸のうちの一方の軸のまわりに回動する第１手首と、第１手首と一体に一方の軸のまわりに回動し、他方の軸のまわりにも回転する第２手首とを備え、その両手首一体の回動と第２手首の回転により、第２手首に取り付けられたエンドエフェクタの位置決めを行うようにした手首ユニットが設けられていることが多い。
【０００３】
ところが、このようなロボットの手首ユニットでは、一方の軸のまわりに第１手首と第２手首を一体に回動させたときに、第２手首が他方の軸のまわりの回転動作も行ってしまうような構造の場合、エンドエフェクタを目標位置に移動させるための制御が複雑なものになる。このため、従来、２つの駆動モータを用いて、一方の軸のまわりの両手首一体の回動動作と、他方の軸のまわりの第２手首の回転動作を互いに独立に行えるようにした手首ユニットが種々考案されている。
【０００４】
例えば、特許文献１で提案されている手首ユニットは、第１モータで駆動される外側駆動軸の内側に第２モータで駆動される内側駆動軸を配し、両駆動軸と直交する姿勢で回転可能に設置した回動中心軸の外周に、外側駆動軸に固着した傘歯車と噛み合う回動中心第１歯車（傘歯車）と、内側駆動軸に固着した傘歯車と噛み合う回動中心第２歯車（傘歯車）を回転可能に取り付けるとともに、回動中心軸にこれと直交する姿勢で回転中心軸（第１手首に相当）を固着し、その回転中心軸の外周にエンドエフェクタとなる吸着ハンドが固定される回転軸（第２手首に相当）を回転可能に取り付け、回転軸に固着した２つの傘歯車の一方を回動中心第１歯車と噛み合わせ、他方を回動中心第２歯車と噛み合わせたものである。
【０００５】
そして、上記の構成により、第１モータと第２モータの一方を単独で駆動すると、回転軸および吸着ハンドが回動中心軸のまわりに回動すると同時に回転中心軸のまわりに回転するが、第１モータと第２モータの両方を同じ回転数で駆動した場合は、その回転方向によって、回転軸および吸着ハンドが、回動中心軸のまわりの回動動作を相殺されて回転中心軸のまわりの回転動作のみを行うか、あるいは回転中心軸のまわりの回転動作を相殺されて回動中心軸のまわりの回動動作のみを行うようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１７−１００２３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献１の手首ユニットでは、回動中心軸と回転中心軸が互いに直交しており、２つの駆動モータを同時に同じ回転数で駆動することにより、回動中心軸のまわりの回転中心軸（第１手首）と回転軸（第２手首）の回動動作と、回転中心軸のまわりの回転軸の回転動作を互いに独立に行うことができる。
【０００８】
しかしながら、このように２つの駆動モータを組み込んだ手首ユニットでは、駆動モータの設置スペースが大きくなるためにユニット全体の小型化が難しいという問題がある。また、駆動モータ用の大径の動力ケーブルや通信ケーブルも多くなるので、組立時の配線作業に手間がかかるという問題もある。
【０００９】
そこで、本発明は、１つの駆動モータで、互いに直交する２軸のうちの一方の軸のまわりの第１手首と第２手首の回動動作と、他方の軸のまわりの第２手首の回転動作を互いに独立に行うことができるロボットの手首ユニットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明のロボットの手首ユニットは、駆動モータから入力トルクを加えられる入力軸と、前記入力軸に遊星歯車機構を介して連結され、互いに直交する方向に延びる第１手首軸および第２手首軸と、前記第１手首軸に回転伝達可能に連結された第１手首と、前記第１手首に回転自在に組み込まれ、前記第２手首軸に回転伝達可能に連結された第２手首と、非操作時は前記第１手首軸を回転不能に拘束し、解除操作により第１手首軸を回転可能に解放する第１ブレーキと、前記第１手首に組み込まれ、非操作時は前記第２手首軸を第１手首と相対回転不能に拘束し、解除操作により第２手首軸を第１手首と相対回転可能に解放する第２ブレーキとを備え、前記遊星歯車機構は、前記入力軸に回転伝達可能に連結される太陽歯車と、前記太陽歯車の径方向外側に配される内歯車と、前記太陽歯車と内歯車の両方に噛み合う複数の遊星歯車と、前記各遊星歯車を自転可能に支持するキャリアとからなり、前記キャリアが前記第１手首軸に回転伝達可能に連結され、前記内歯車が互いに噛み合う一対の傘歯車を介して前記第２手首軸に回転伝達可能に連結されており、前記第１ブレーキを解除操作し、前記第２ブレーキを非操作とした状態で、前記入力軸に入力トルクを加えたときには、前記第１手首が第２手首と一体に第１手首軸のまわりに回動し、前記第１ブレーキを非操作とし、前記第２ブレーキを解除操作した状態で、前記入力軸に入力トルクを加えたときには、前記第２手首が第２手首軸のまわりに回転する構成としたのである。
【００１１】
すなわち、第１手首軸に連結した第１手首に、第１手首軸と直交する第２手首軸に連結した第２手首を回転自在に組み込んで、入力軸に太陽歯車が連結された遊星歯車機構のキャリアを第１手首軸に連結するとともに、その遊星歯車機構の内歯車を第２手首軸に一対の傘歯車を介して連結し、１つの駆動モータで入力軸に入力トルクを加えるときに、第１ブレーキを解除操作して第１手首軸を解放するとともに、第２ブレーキを非操作として第２手首軸を拘束すれば、第１手首と第２手首を第１手首軸のまわりに一体に回動させることができ、第１ブレーキを非操作として第１手首軸を拘束するとともに、第２ブレーキを解除操作して第２手首軸を解放すれば、第１手首を停止させた状態で第２手首を第２手首軸のまわりに回転させることができるようにしたのである。
【００１２】
上記の構成において、前記第１ブレーキおよび第２ブレーキとしては、無励磁型電磁ブレーキを採用することができる。
【００１３】
また、前記第１手首軸と第１手首との間および前記第２手首軸と第２手首との間に、それぞれ減速機構が設けられている構成とすれば、駆動モータから各手首までの間の回転伝達経路における遊星歯車機構等のバックラッシによる各手首の位置決め誤差を低減することができる。
【００１４】
また、前記第１手首および第２手首の回転方向位置をそれぞれ検出する２つのアブソリュートエンコーダが設けられており、前記各アブソリュートエンコーダの検出値と前記駆動モータに設けられているエンコーダの検出値とに基づいて、前記駆動モータ、第１ブレーキおよび第２ブレーキを制御することにより、前記第１手首および第２手首の位置決めを行う構成とすれば、各手首の位置決め精度の向上が図れる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のロボットの手首ユニットは、上述したように、１つの駆動モータで、第１手首軸のまわりの第１手首と第２手首の回動動作と、第２手首軸のまわりの第２手首の回転動作を互いに独立に行えるようにしたものであるから、２つの駆動モータを組み込んだ従来の手首ユニットに比べて、駆動モータおよびそのドライバ装置の設置スペースが小さく、ユニット全体の小型化および低コスト化が可能となるし、駆動モータ用の動力ケーブルや通信ケーブルも少なくなり、組立時の配線作業を効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態の手首ユニットの第１ブレーキに通電した状態の縦断正面図
【図２】図１の遊星歯車機構の軸方向一端側から見た動作を示す断面図
【図３】図１の右側面図
【図４】実施形態の手首ユニットの第２ブレーキに通電した状態の縦断正面図
【図５】図４の遊星歯車機構の軸方向一端側から見た動作を示す断面図
【図６】図４の上面図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面に基づき、本発明の実施形態を説明する。この実施形態のロボットの手首ユニットは、図１に示すように、互いに直交する方向に延びる姿勢で配される第１手首軸１および第２手首軸２と、第１手首軸１と同軸状態に配される入力軸３と、入力軸３の回転を第１手首軸１および第２手首軸２に伝達する遊星歯車機構４と、第１手首軸１に回転伝達可能に連結された第１手首５と、第１手首５に回転自在に組み込まれ、第２手首軸２に回転伝達可能に連結された第２手首６と、第１手首軸１用の第１ブレーキ７と、第２手首軸２用の第２ブレーキ８と、第１手首軸１および入力軸３を回転自在に支持するフレーム９を備えている。その第２手首軸２は中空に形成され、第２手首６に取り付けられるエンドエフェクタ（図示省略）の配線が通されるようになっている。
【００１８】
前記入力軸３は、外周にプーリ１０が嵌合固定されており、このプーリ１０とフレーム９の一部を貫通する状態でプーリ１０に巻き掛けられたベルト１１を介して、図示省略した駆動モータから入力トルクを加えられるようになっている。そして、その一端部が軸受を介してフレーム９の一端に設けられた第１の柱９ａに回転自在に支持され、他端部が軸受を介して第１手首軸１の一端に設けられた連結穴１ａに相対回転可能に嵌め込まれている。
【００１９】
前記第１手首軸１は、後述するように遊星歯車機構４に連結されており、一端部が軸受を介してフレーム９の中央に設けられた第２の柱９ｂに回転自在に支持され、他端側に形成された小径部１ｂが、軸受を介してフレーム９の他端に設けられた第３の柱９ｃに回転自在に支持されている。そして、その小径部１ｂに第１減速機構１２を介して第１手首５が連結されている。
【００２０】
ここで、第１減速機構１２は、第１手首軸１の小径部１ｂに固定されるウェイブジェネレータ１２ａと、ウェイブジェネレータ１２ａの径方向外側に配される第１クロスローラ軸受１３の内輪の一部と一体形成されたサーキュラースプライン１２ｂと、ウェイブジェネレータ１２ａとサーキュラースプライン１２ｂとの間に一部を挟まれるフレックススプライン１２ｃとからなる波動歯車装置である。そして、サーキュラースプライン１２ｂが第１手首５に固定され、フレックススプライン１２ｃがフレーム９の第３の柱９ｃに固定されることにより、第１手首軸１の回転を減速してサーキュラースプライン１２ｂから第１手首５に伝達するようになっている。
【００２１】
前記第１手首５は、両端に配される舌状の取付部５ａ、５ｂと、両取付部５ａ、５ｂを連結する平板部５ｃとからなる（図３および図６参照）。その一端側の取付部５ａは、軸受を介して入力軸３の外周に相対回転可能に取り付けられている。また、他端側の取付部５ｂは、軸受を介して第１手首軸１の小径部１ｂの外周に相対回転可能に取り付けられるとともに、第１クロスローラ軸受１３を介してフレーム９の第３の柱９ｃに回転自在に支持されている。そして、平板部５ｃの中央部分には、第２クロスローラ軸受１４を介して第２手首６が回転自在に組み込まれている。
【００２２】
前記第２手首６は、第１手首５の平板部５ｃ中央にあけられた開口から一部突出する状態で配される環状体であり、後述するように遊星歯車機構４に連結された第２手首軸２に、第２減速機構１５を介して連結されるとともに、その第２手首軸２の外周に軸受を介して相対回転可能に取り付けられている。
【００２３】
ここで、第２減速機構１５は、第１減速機構１２と同じ構造の波動歯車装置であり、そのウェイブジェネレータ１５ａが第２手首軸２に、第２クロスローラ軸受１４の内輪の一部と一体形成されたサーキュラースプライン１５ｂが第２手首６に、ウェイブジェネレータ１５ａとサーキュラースプライン１５ｂとの間に一部を挟まれるフレックススプライン１５ｃが第１手首５の平板部５ｃにそれぞれ固定されており、第２手首軸２の回転を減速してサーキュラースプライン１５ｂから第２手首６に伝達するようになっている。
【００２４】
前記遊星歯車機構４は、図２にも示すように、入力軸３の中央部の外周に一体形成された太陽歯車１６と、太陽歯車１６の径方向外側に配される内歯車１７と、太陽歯車１６と内歯車１７の両方に噛み合う複数の遊星歯車１８と、各遊星歯車１８を自転可能に支持する環状のキャリア１９とからなる。
【００２５】
この遊星歯車機構４のキャリア１９は、一端側に設けられた複数の支軸１９ａが軸受を介して各遊星歯車１８の中心孔に相対回転可能に嵌め込まれており、他端側の内周部が第１手首軸１の一端部と接続する状態で第１手首軸１と一体に形成されている。また、内歯車１７は、一端側内周に固定された蓋部１７ａが軸受を介して入力軸３の外周に相対回転可能に嵌め込まれており、他端側に一体形成された傘歯車１７ｂが第２手首軸２のフランジ部に一体形成された傘歯車２ａと噛み合っている。なお、太陽歯車１６は入力軸３と別体に形成して回転伝達可能に連結してもよく、キャリア１９は第１手首軸１と別体に形成して回転伝達可能に連結してもよい。
【００２６】
前記第１ブレーキ７は、可撓性を有する材料で形成され、第１手首軸１に内周部を固定されるブレーキ板２０と、ブレーキ板２０の一側面と軸方向で対向するアーマチュア２１と、ブレーキ板２０の他側面と軸方向で対向する摩擦板２２と、アーマチュア２１をブレーキ板２０に押し付ける複数のブレーキばね２３と、通電によりアーマチュア２１をブレーキばね２３の弾力に抗してブレーキ板２０から離反させる電磁石２４とを備えた無励磁型電磁ブレーキである。
【００２７】
この第１ブレーキ７の摩擦板２２はフレーム９の第３の柱９ｃの一側面に固定されており、電磁石２４は軸受およびシール部材２５を介して第１手首軸１の外周に嵌め込まれた状態で、フレーム９の第３の柱９ｃにボルト止めされている。また、ブレーキばね２３は、電磁石２４のアーマチュア２１との対向面に設けられた凹部に弾性圧縮状態で保持されてアーマチュア２１を押圧している。
【００２８】
そして、電磁石２４に通電していないときには、ブレーキばね２３がアーマチュア２１をブレーキ板２０に押し付けることにより、アーマチュア２１に押されたブレーキ板２０がフレーム９に固定された摩擦板２２に押し付けられ（図４の状態）、電磁石２４に通電すると、電磁石２４がアーマチュア２１を吸引してブレーキばね２３の弾力に抗して軸方向移動させ、ブレーキ板２０から離反させる（図１の状態）。すなわち、非通電時（非操作時）はブレーキ板２０とこれに連結された第１手首軸１を回転不能に拘束し、通電（解除操作）によりブレーキ板２０および第１手首軸１を回転可能に解放するようになっている。
【００２９】
前記第２ブレーキ８は第１ブレーキ７と同じ構造の無励磁型電磁ブレーキであり、可撓性を有する材料で形成され、第２手首軸２に固定されるブレーキ板２６と、ブレーキ板２６を挟んで軸方向で対向するアーマチュア２７および摩擦板２８と、アーマチュア２７をブレーキ板２６に押し付ける複数のブレーキばね２９と、通電によりアーマチュア２７をブレーキ板２６から離反させる電磁石３０とを備えている。その摩擦板２８および電磁石３０は、第１手首５の平板部５ｃ中央の開口縁部に第２クロスローラ軸受１４の外輪とともにボルト止めされている。また、電磁石３０は、軸受およびシール部材３１を介して第２手首軸２の外周に嵌め込まれている。
【００３０】
そして、電磁石３０に通電していないとき（非操作時）は、ブレーキ板２６および第２手首軸２を第１手首５と相対回転不能に拘束し（図１の状態）、電磁石３０への通電時（解除操作時）には、ブレーキ板２６および第２手首軸２を第１手首５と相対回転可能に解放する（図４の状態）ようになっている。
【００３１】
また、この手首ユニットには、第１手首５および第２手首６の回転方向位置をそれぞれ検出する２つのアブソリュートエンコーダ３２、３３が設けられている。
【００３２】
第１手首５用のアブソリュートエンコーダ３２は、第１手首５の一端側取付部５ａの内側面に取り付けられるコードホイール３２ａと、コードホイール３２ａに対向するようにフレーム９の第１の柱９ａに取り付けられるセンサ３２ｂおよび基盤３２ｃとからなる。また、第２手首６用のアブソリュートエンコーダ３３は、第２手首６の外周面に取り付けられるコードホイール３３ａと、コードホイール３３ａに対向するように第１手首５の平板部５ｃに取り付けられるセンサ３３ｂおよび基盤３３ｃとからなる。
【００３３】
そして、各アブソリュートエンコーダ３２、３３の検出値と、前記駆動モータに設けられているエンコーダ（図示省略）の検出値とに基づいて、第１手首５および第２手首６の位置決めを行うようになっている。
【００３４】
次に、この手首ユニットの動作について説明する。この手首ユニットを駆動して第２手首６に取り付けられたエンドエフェクタを目標位置に移動させる際は、通常、第１ステップとして、第１ブレーキ７の電磁石２４に通電して第２ブレーキ８の電磁石３０には通電しない状態、すなわち、図１に示すように、第１手首軸１を回転可能に解放し、第２手首軸２を第１手首５と相対回転不能に拘束した状態とし、この状態で前記駆動モータから入力軸３に入力トルクを加える。
【００３５】
この第１ステップでは、まず、図１および図２に示すように、入力軸３と一体に遊星歯車機構４の太陽歯車１６が回転し、遊星歯車１８が自転しながら公転する。すると、この遊星歯車１８の公転がキャリア１９と一体の第１手首軸１に伝達され、第１手首軸１の回転が第１減速機構１２で減速されて第１手首５に伝達される。これにより、図１および図３に示すように、第１手首５が第２手首６と一体に第１手首軸１のまわりに回動する。
【００３６】
なお、このときには、第２手首６が取り付けられた第２手首軸２も第１手首軸１のまわりに回動するので、これに伴って、図１および図２に示すように、第２手首軸２と一対の傘歯車２ａ、１７ｂで連結された遊星歯車機構４の内歯車１７が回転し、この内歯車１７と太陽歯車１６の回転速度差に応じて遊星歯車１８の自転速度および公転速度が決まるようになっている。
【００３７】
次に、第２ステップとして、第１ブレーキ７の電磁石２４への通電を停止して第２ブレーキ８の電磁石３０に通電した状態、すなわち、図４に示すように、第１手首軸１を回転不能に拘束し、第２手首軸２を第１手首５と相対回転可能に解放した状態とし、この状態で前記駆動モータから入力軸３に入力トルクを加える。
【００３８】
この第２ステップでは、回転不能に拘束された第１手首軸１と一体のキャリア１９が回転しないので、図４および図５に示すように、入力軸３と一体に太陽歯車１６が回転すると、遊星歯車１８は自転のみを行い、内歯車１７が太陽歯車１６と逆方向に回転する。この内歯車１７の回転が一対の傘歯車１７ｂ、２ａを介して第２手首軸２に伝達され、第２手首軸２の回転が第２減速機構１５で減速されて第２手首６に伝達される。これにより、図４および図６に示すように、第１手首５が停止した状態で第２手首６が第２手首軸２のまわりに回転する。
【００３９】
上記の第１ステップおよび第２ステップは、第１手首５用および第２手首６用のアブソリュートエンコーダ３２、３３の検出値と、前記駆動モータ側のエンコーダの検出値とに基づいて、駆動モータ、第１ブレーキ７および第２ブレーキ８を制御することにより、必要回数繰り返して行われる。そして、最終的に、第１手首５および第２手首６が位置決めされて、駆動モータが停止されるとともに第１ブレーキ７および第２ブレーキ８への通電が停止され、エンドエフェクタが目標位置で停止することになる。
【００４０】
この手首ユニットは、上述したように、第１手首軸１に連結した第１手首５に、第１手首軸１と直交する第２手首軸２に連結した第２手首６を回転自在に組み込み、入力軸３と一体形成された太陽歯車１６と、第１手首軸１と一体形成され、遊星歯車１８を自転自在に支持するキャリア１９と、第２手首軸２に一対の傘歯車２ａ、１７ｂを介して連結される内歯車１７とを備えた遊星歯車機構４を設け、第１手首軸１用の第１ブレーキ７と第２手首軸２用の第２ブレーキ８とを選択的に解除操作することにより、入力軸３に入力トルクを加える１つの駆動モータで、第１手首軸１のまわりの両手首５、６一体の回動動作と、第２手首軸２のまわりの第２手首６の回転動作を互いに独立に行えるようにしたものである。
【００４１】
したがって、２つの駆動モータを組み込んだ従来のものに比べて、駆動モータおよびそのドライバ装置の設置スペースが小さく、ユニット全体を小型化、低コスト化できるし、駆動モータ用の動力ケーブルや通信ケーブルも少ないので、組立時の配線作業を効率よく行うことができる。
【００４２】
また、第１手首軸１と第１手首５との間に第１減速機構１２が、第２手首軸２と第２手首６との間に第２減速機構１５がそれぞれ設けられているので、駆動モータから第１手首５および第２手首６までの間の回転伝達経路における遊星歯車機構４等のバックラッシによる各手首５、６の位置決め誤差が少ない。そのうえ、各手首５、６の位置決め動作は、各手首５、６の回転方向位置を検出するアブソリュートエンコーダ３２、３３と駆動モータのエンコーダの検出値とに基づいて制御されるので、エンドエフェクタを目標位置に高精度で停止させることができる。
【００４３】
なお、上述した実施形態では、第１ブレーキおよび第２ブレーキに無励磁型電磁ブレーキを用い、第１減速機構および第２減速機構に波動歯車装置を用いたが、これらの各ブレーキおよび各減速機構は、実施形態のもの限らず、種々のタイプのものを採用することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１  第１手首軸
２  第２手首軸
２ａ  傘歯車
３  入力軸
４  遊星歯車機構
５  第１手首
６  第２手首
７  第１ブレーキ（無励磁型電磁ブレーキ）
８  第２ブレーキ（無励磁型電磁ブレーキ）
９  フレーム
１２  第１減速機構（波動歯車装置）
１３  第１クロスローラ軸受
１４  第２クロスローラ軸受
１５  第２減速機構（波動歯車装置）
１６  太陽歯車
１７  内歯車
１７ｂ  傘歯車
１８  遊星歯車
１９  キャリア
３２、３３  アブソリュートエンコーダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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