(57)【要約】      （修正有）【課題】軸受の最終的な組立精度を向上できる技術を提供する。【解決手段】モータの、ハブ５０と一方側リング１１１および他方側リング１１２との間の隙間寸法の測定と調整とを単一の装置にて行う。この方法は、ａ）ハブを固定する工程と、ｂ）シャフト１０を他方側へ押して、一方側リングをハブに接触させる工程と、ｃ）シャフトを一方側へ押して、他方側リングをハブに接触させる工程と、ｄ）シャフトの移動距離を測定する工程と、ｅ）移動距離が、所定の範囲内か、所定の範囲よりも大きいか、または小さいか、を判定する工程と、を有する。そして、ｆ）所定の範囲よりも大きいと判定された場合に、ｆ−１）他方側リングの他方側の面を、リング支持部６６に接触させる工程と、ｆ−２）他方側リングをリング支持部に接触させた状態で、シャフトを軸方向他方側へ押す工程と、を行う。【選択図】図６
2019140715.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下に延びる中心軸に沿って配置されるシャフトと、
前記シャフトが挿入される貫通孔を有するハブと、
前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向一方側において前記シャフトに固定される一方側リングと、
前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向他方側において前記シャフトに固定される他方側リングと、
を有するモータにおける、前記ハブと前記一方側リングおよび前記他方側リングとの間の軸方向の隙間寸法の測定と、前記隙間寸法の調整と、を単一の装置において行う、測定調整方法であって、
ａ）前記ハブを固定する工程と、
ｂ）前記シャフトを軸方向他方側へ押して、前記一方側リングを前記ハブに接触させる工程と、
ｃ）前記工程ｂ）の後、前記シャフトを軸方向一方側へ押して、前記他方側リングを前記ハブに接触させる工程と、
ｄ）前記工程ｂ）の終了時点から前記工程ｃ）の終了時点までにおける前記シャフトの軸方向の移動距離を測定する工程と、
ｅ）前記工程ｄ）において測定した前記シャフトの軸方向の移動距離が、所定の範囲内か、前記所定の範囲よりも大きいか、または前記所定の範囲よりも小さいか、を判定する工程と、
を有し、
ｆ）前記工程ｅ）において、前記シャフトの軸方向の移動距離が前記所定の範囲よりも大きいと判定された場合に、
ｆ−１）前記他方側リングの軸方向他方側の面を、前記装置に設けられたリング支持部に接触させる工程と、
ｆ−２）前記他方側リングを前記リング支持部に接触させた状態で、前記シャフトを軸方向他方側へ押す工程と、
を行う、測定調整方法。
【請求項２】
請求項１に記載の測定調整方法であって、
前記工程ｆ−１）では、前記シャフト、前記ハブ、前記一方側リング、および前記他方側リングを、軸方向他方側へ移動させることにより、前記他方側リングを前記リング支持部に接触させる、測定調整方法。
【請求項３】
請求項１に記載の測定調整方法であって、
前記工程ｃ）では、前記リング支持部は、前記他方側リングよりも径方向外側の待機位置に配置され、
前記工程ｆ−１）では、前記リング支持部を、前記待機位置から、前記他方側リングの少なくとも一部と軸方向に重なる支持位置へ移動させる、測定調整方法。
【請求項４】
請求項１に記載の測定調整方法であって、
前記工程ｃ）では、前記リング支持部は、前記他方側リングから間隔をあけて軸方向他方側の待機位置に配置され、
前記工程ｆ−１）では、前記リング支持部を、前記待機位置から、前記待機位置よりも軸方向一方側の支持位置へ移動させる、測定調整方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の測定調整方法であって、さらに
ｇ）前記工程ｆ−２）における、前記シャフトの軸方向の移動距離を測定する工程と、
ｈ）前記工程ｆ−２）における、前記他方側リングの軸方向の変位を測定する工程と、
ｉ）前記工程ｇ）において測定した前記シャフトの軸方向の移動距離から、前記工程ｈ）において測定した前記他方側リングの軸方向の変位を引いた値を記憶または表示する工程と、
を有する、測定調整方法。
【請求項６】
請求項５に記載の測定調整方法であって、
工程ｈ）では、前記他方側リングの周縁部の軸方向の変位を測定する、測定調整方法。
【請求項７】
上下に延びる中心軸に沿って配置されるシャフトと、
前記シャフトが挿入される貫通孔を有するハブと、
前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向一方側において前記シャフトに固定される一方側リングと、
前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向他方側において前記シャフトに固定される他方側リングと、
を有するモータにおける、前記ハブと前記一方側リングおよび前記他方側リングとの間の軸方向の隙間寸法を測定するとともに、前記隙間寸法を調整する、測定調整装置であって、
前記ハブを固定するハブ支持部と、
前記シャフトを軸方向一方側へ押す第１押圧部と、
前記シャフトを軸方向他方側へ押す第２押圧部と、
前記シャフトの軸方向の移動距離を測定する第１変位計と、
前記他方側リングよりも軸方向他方側、かつ、前記シャフトの径方向外側に位置するリング支持部と、
前記ハブ支持部を、軸方向に移動させるハブ昇降機構と、
を有する、測定調整装置。
【請求項８】
上下に延びる中心軸に沿って配置されるシャフトと、
前記シャフトが挿入される貫通孔を有するハブと、
前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向一方側において前記シャフトに固定される一方側リングと、
前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向他方側において前記シャフトに固定される他方側リングと、
を有するモータにおける、前記ハブと前記一方側リングおよび前記他方側リングとの間の軸方向の隙間寸法を測定するとともに、前記隙間寸法を調整する、測定調整装置であって、
前記ハブを固定するハブ支持部と、
前記シャフトを軸方向一方側へ押す第１押圧部と、
前記シャフトを軸方向他方側へ押す第２押圧部と、
前記シャフトの軸方向の移動距離を測定する第１変位計と、
前記他方側リングよりも軸方向他方側、かつ、前記シャフトの径方向外側に位置するリング支持部と、
前記リング支持部を、前記他方側リングの少なくとも一部と軸方向に重なる支持位置と、前記他方側リングよりも径方向外側の待機位置との間で、径方向に移動させるリング開閉機構と、
を有する、測定調整装置。
【請求項９】
上下に延びる中心軸に沿って配置されるシャフトと、
前記シャフトが挿入される貫通孔を有するハブと、
前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向一方側において前記シャフトに固定される一方側リングと、
前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向他方側において前記シャフトに固定される他方側リングと、
を有するモータにおける、前記ハブと前記一方側リングおよび前記他方側リングとの間の軸方向の隙間寸法を測定するとともに、前記隙間寸法を調整する、測定調整装置であって、
前記ハブを固定するハブ支持部と、
前記シャフトを軸方向一方側へ押す第１押圧部と、
前記シャフトを軸方向他方側へ押す第２押圧部と、
前記シャフトの軸方向の移動距離を測定する第１変位計と、
前記他方側リングよりも軸方向他方側、かつ、前記シャフトの径方向外側に位置するリング支持部と、
前記リング支持部を、前記他方側リングの少なくとも一部と軸方向に重なる領域において軸方向に移動させるリング昇降機構と、
を有する、測定調整装置。
【請求項１０】
請求項７から請求項９までのいずれか１項に記載の測定調整装置であって、
前記他方側リングの軸方向の変位を測定する第２変位計と、
前記第１変位計による前記シャフトの軸方向の移動距離の測定結果から、前記第２変位計による前記他方側リングの軸方向の変位の測定結果を引いた値を記憶または表示する制御表示部と、
をさらに有する、測定調整装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の測定調整装置であって、
前記第２変位計はレーザ変位計である、測定調整装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の測定調整装置であって、
前記リング支持部は、前記リング支持部を軸方向に貫通する第２貫通孔を有し、
前記第２貫通孔は、前記第２変位計から出射される測定光の進行光路である、測定調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定調整方法および測定調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスクや光ディスクを駆動するディスク駆動装置が知られている。ディスク駆動装置には、ディスクを回転させるモータが搭載される。モータは、回転部材と非回転部材との間に動圧軸受を有することによって、高速回転を行う。高速回転時におけるディスク等の回転の安定性および精度を向上させるため、モータにおける軸受を形成する各部材の寸法精度を向上させる技術が求められている。従来のモータの軸受の製造方法については、例えば、特開２００８−３０９１８９号公報に、記載されている。
【特許文献１】特開２００８−３０９１８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、軸受を形成する各部材の組立後の寸法を測定し、さらに測定結果に基づき調整を行う際、測定および調整の精度に誤差やばらつきが生じると、軸受の最終的な組立精度に誤差が生じる虞がある。
【０００４】
本発明の目的は、軸受を形成する各部材間の寸法を高精度で測定し、さらに測定結果に基づき高精度で調整を行うことにより、軸受の最終的な組立精度を向上できる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願の例示的な第１発明は、上下に延びる中心軸に沿って配置されるシャフトと、前記シャフトが挿入される貫通孔を有するハブと、前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向一方側において前記シャフトに固定される一方側リングと、前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向他方側において前記シャフトに固定される他方側リングと、を有するモータにおける、前記ハブと前記一方側リングおよび前記他方側リングとの間の軸方向の隙間寸法の測定と、前記隙間寸法の調整と、を単一の装置において行う、測定調整方法であって、ａ）前記ハブを固定する工程と、ｂ）前記シャフトを軸方向他方側へ押して、前記一方側リングを前記ハブに接触させる工程と、ｃ）前記工程ｂ）の後、前記シャフトを軸方向一方側へ押して、前記他方側リングを前記ハブに接触させる工程と、ｄ）前記工程ｂ）の終了時点から前記工程ｃ）の終了時点までにおける前記シャフトの軸方向の移動距離を測定する工程と、ｅ）前記工程ｄ）において測定した前記シャフトの軸方向の移動距離が、所定の範囲内か、前記所定の範囲よりも大きいか、または前記所定の範囲よりも小さいか、を判定する工程と、を有し、ｆ）前記工程ｅ）において、前記シャフトの軸方向の移動距離が前記所定の範囲よりも大きいと判定された場合に、ｆ−１）前記他方側リングの軸方向他方側の面を、前記装置に設けられたリング支持部に接触させる工程と、ｆ−２）前記他方側リングを前記リング支持部に接触させた状態で、前記シャフトを軸方向他方側へ押す工程と、を行う。
【０００６】
本願の例示的な第２発明は、上下に延びる中心軸に沿って配置されるシャフトと、前記シャフトが挿入される貫通孔を有するハブと、前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向一方側において前記シャフトに固定される一方側リングと、前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向他方側において前記シャフトに固定される他方側リングと、を有するモータにおける、前記ハブと前記一方側リングおよび前記他方側リングとの間の軸方向の隙間寸法を測定するとともに、前記隙間寸法を調整する、測定調整装置であって、前記ハブを固定するハブ支持部と、前記シャフトを軸方向一方側へ押す第１押圧部と、前記シャフトを軸方向他方側へ押す第２押圧部と、前記シャフトの軸方向の移動距離を測定する第１変位計と、前記他方側リングよりも軸方向他方側、かつ、シャフトの径方向外側に位置するリング支持部と、前記ハブ支持部を、軸方向に移動させるハブ昇降機構と、を有する。
【０００７】
本願の例示的な第３発明は、上下に延びる中心軸に沿って配置されるシャフトと、前記シャフトが挿入される貫通孔を有するハブと、前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向一方側において前記シャフトに固定される一方側リングと、前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向他方側において前記シャフトに固定される他方側リングと、を有するモータにおける、前記ハブと前記一方側リングおよび前記他方側リングとの間の軸方向の隙間寸法を測定するとともに、前記隙間寸法を調整する、測定調整装置であって、前記ハブを固定するハブ支持部と、前記シャフトを軸方向一方側へ押す第１押圧部と、前記シャフトを軸方向他方側へ押す第２押圧部と、前記シャフトの軸方向の移動距離を測定する第１変位計と、前記他方側リングよりも軸方向他方側、かつ、シャフトの径方向外側に位置するリング支持部と、前記リング支持部を、前記他方側リングの少なくとも一部と軸方向に重なる支持位置と、前記他方側リングよりも径方向外側の待機位置との間で、径方向に移動させるリング開閉機構と、を有する。
【０００８】
本願の例示的な第４発明は、上下に延びる中心軸に沿って配置されるシャフトと、前記シャフトが挿入される貫通孔を有するハブと、前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向一方側において前記シャフトに固定される一方側リングと、前記ハブの少なくとも一部よりも軸方向他方側において前記シャフトに固定される他方側リングと、を有するモータにおける、前記ハブと前記一方側リングおよび前記他方側リングとの間の軸方向の隙間寸法を測定するとともに、前記隙間寸法を調整する、測定調整装置であって、前記ハブを固定するハブ支持部と、前記シャフトを軸方向一方側へ押す第１押圧部と、前記シャフトを軸方向他方側へ押す第２押圧部と、前記シャフトの軸方向の移動距離を測定する第１変位計と、前記他方側リングよりも軸方向他方側、かつ、シャフトの径方向外側に位置するリング支持部と、前記リング支持部を、前記他方側リングの少なくとも一部と軸方向に重なる領域において軸方向に移動させるリング昇降機構と、を有する。
【発明の効果】
【０００９】
本願の例示的な第１発明〜第４発明によれば、１つの装置を用いて、軸受を形成する各部材間の寸法を高精度で測定し、さらに測定結果に基づき高精度で調整を行うことができる。これにより、測定および調整を互いに別の装置で行う場合と比べて、当該別の装置への各部材の載せ替えに伴う、隙間寸法の測定および調整の誤差およびばらつきを抑制できる。この結果、軸受の最終的な組立精度を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、第１実施形態に係るディスク駆動装置の断面図である。
【図２】図２は、図１のスピンドルモータの部分拡大図である。
【図３】図３は、第１実施形態に係るスラスト間隙を測定する様子を模式的に示す断面図である。
【図４】図４は、第１実施形態に係るスラスト間隙を測定する様子を模式的に示す断面図である。
【図５】図５は、第１実施形態に係るスラスト間隙の測定および調整の工程を示したフローチャートである。
【図６】図６は、第１実施形態に係るスラスト間隙を調整する様子を模式的に示す断面図である。
【図７】図７は、第２実施形態に係るスラスト間隙を測定する様子を模式的に示す断面図である。
【図８】図８は、第２実施形態に係るスラスト間隙を測定する様子を模式的に示す断面図である。
【図９】図９は、第２実施形態に係るスラスト間隙の測定および調整の工程を示したフローチャートである。
【図１０】図１０は、第２実施形態に係るスラスト間隙を調整する様子を模式的に示す断面図である。
【図１１】図１１は、第３実施形態に係るスラスト間隙を測定する様子を模式的に示す断面図である。
【図１２】図１２は、第３実施形態に係るスラスト間隙を測定する様子を模式的に示す断面図である。
【図１３】図１３は、第３実施形態に係るスラスト間隙の測定および調整の工程を示したフローチャートである。
【図１４】図１４は、第３実施形態に係るスラスト間隙を調整する様子を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の例示的な実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態では、「流体軸受」を備える「モータ」の一例として、スピンドルモータを例に挙げて説明する。また、モータの中心軸と平行な方向を「軸方向」、モータの中心軸に直交する方向を「径方向」、モータの中心軸を中心とする円弧に沿う方向を「周方向」、とそれぞれ称する。また、以下の実施形態では、軸方向を上下方向とし、ステータユニットに対して、カバー部側を上として、各部の形状および位置関係を説明する。ただし、この上下方向の定義により、本発明の測定対象となるモータおよびディスク駆動装置の使用時の向きを限定する意図はない。また、後述するスラスト間隙を測定および調整する測定調整装置の各部と、測定および調整する対象であるシャフト、ハブ、上側リング、および下側リングとの上下方向の位置関係は、逆であってもよい。すなわち、後述する「上側」または「上方」の記載は「軸方向一方側」であると解釈することができ、「下側」または「下方」の記載は「軸方向他方側」であると解釈することができる。さらに、本願において「平行な方向」とは、略平行な方向も含む。また、本願において「直交する方向」とは、略直交な方向も含む。
【００１２】
＜１．第１実施形態＞
＜１−１．ディスク駆動装置の構成＞
図１は、本願の第１実施形態に係るディスク駆動装置１００の断面図である。ディスク駆動装置１００は、中央に円孔を有する３枚の磁気ディスク１０１を回転させながら、磁気ディスク１０１からの情報の読み出し、および磁気ディスク１０１への情報の書き込みを行うハードディスク装置である。図１に示すとおり、ディスク駆動装置１００は、スピンドルモータ１、３枚の磁気ディスク１０１、アクセス部１０２、およびこれらを収容するハウジング１０３を有する。
【００１３】
スピンドルモータ１は、磁気ディスク１０１を支持しながら、上下に延びる中心軸９を中心として磁気ディスク１０１を回転させる。スピンドルモータ１の構造については、詳細を後述する。
【００１４】
磁気ディスク１０１は、情報が記録される媒体である。本実施形態では、３枚の磁気ディスク１０１が配置されている。３枚の磁気ディスク１０１は、スペーサ１０５，１０６を介して、軸方向に積層される。なお、磁気ディスク１０１の枚数は、２枚以下であってもよく、４枚以上であってもよい。
【００１５】
アクセス部１０２は、３組のヘッド１０７およびアーム１０８と、ヘッド移動機構１０９とを有する。ヘッド１０７は、磁気ディスク１０１の表面に接近して、磁気ディスク１０１に記録された情報の読み出し、および、磁気ディスク１０１への情報の書き込み、の少なくとも一方を磁気的に行う。ヘッド１０７は、アーム１０８に支持される。アーム１０８は、ヘッド移動機構１０９に支持されながら揺れ動く。
【００１６】
ハウジング１０３は、ベース部４０と、カバー部１０４と、を有する。ベース部４０は、スピンドルモータ１の一部でもあり、その一部が磁気ディスク１０１の下側において径方向に広がる。ベース部４０は、例えば、鋳造にて成型される。ベース部４０は開口を有する。カバー部１０４は、ベース部４０の開口に嵌められる。これにより、ハウジング１０３が構成される。なお、ベース部４０とカバー部１０４とは、ハウジング１０３内の気密性が損なわれないように、組み合わされる。
【００１７】
ハウジング１０３の内部空間は、塵または埃が極度に少ない清浄な空間であることが好ましい。本実施形態では、ハウジング１０３の内部に、空気よりも低密度の気体であるヘリウムガスが充填されている。これにより、磁気ディスク１０１の回転時の風切り音等が低減される。ただし、ヘリウムガスに代えて、水素ガス、窒素ガス、または空気が充填されてもよい。また、ヘリウムガス、水素ガス、または窒素ガスと、空気との混合気体が充填されてもよい。
【００１８】
＜１−２．スピンドルモータの構成＞
続いて、スピンドルモータ１の構成について説明する。図２は、図１のスピンドルモータ１の部分拡大図である。図２に示すとおり、スピンドルモータ１は、シャフト１０と、環状部材１１と、回転部２０と、ステータユニット３０と、ベース部４０と、を有する。本願の第１実施形態に係るスピンドルモータ１は、三相モータである。
【００１９】
シャフト１０は、中心軸９に沿って配置された、略円柱形状の部材である。シャフト１０は、回転部２０を、中心軸９を中心として回転可能に支持する。シャフト１０は、例えば、ステンレス等の金属により形成される。シャフト１０の上端部は、ハウジング１０３のカバー部１０４に固定される（図１参照）。シャフト１０の下端部は、ベース部４０に固定される。なお、シャフト１０は、軸方向に貫通する貫通孔を有する中空シャフトであってもよい。
【００２０】
シャフト１０の外周面には、環状部材１１が設けられる。環状部材１１は、シャフト１０に固定され、シャフト１０の外周面から径方向外側に突出する部材である。環状部材１１は、上側リング１１１と下側リング１１２とから構成される。上側リング１１１は、少なくとも一部が後述するスリーブ２１よりも軸方向上側においてシャフト１０に固定される。下側リング１１２は、少なくとも一部が後述するスリーブ２１よりも軸方向下側においてシャフト１０に固定される。
【００２１】
なお、上側リング１１１の外周面のうち、軸方向の略中央から上部の外周面７１Ａは、上方へ向かうにつれて径が小さくなる。上側リング１１１の外周面のうち、軸方向の略中央から下部の外周面７１Ｂは、下方へ向かうにつれて径が小さくなる。また、下側リング１１２の外周面のうち、軸方向の略中央から下部の外周面７２Ａは、下方へ向かうにつれて径が小さくなる。下側リング１１２の外周面のうち、軸方向の略中央から上部の外周面７２Ｂは、上方へ向かうにつれて径が小さくなる。シャフト１０および環状部材１１により、本実施形態に係る「静止部材」が構成される。
【００２２】
回転部２０は、シャフト１０および環状部材１１に対して、中心軸９を中心に回転する「回転部材」である。回転部２０は、スリーブ２１と、アウターハブ２２と、クランプ部材２３と、ロータマグネット２４と、ヨーク２５とを備える。なお、本実施形態では、スリーブ２１とアウターハブ２２とは、別部材で形成されている。ただし、スリーブ２１とアウターハブ２２とは、一繋がりの部材であってもよい。
【００２３】
スリーブ２１は、シャフト１０の周囲において環状に拡がる円筒状の部材である。スリーブ２１および後述するアウターハブ２２の材料には、例えば、アルミニウム合金または強磁性ステンレス鋼等の金属が使用される。スリーブ２１の径方向内側には、スリーブ２１を軸方向に貫く第１貫通孔２１０が設けられている。シャフト１０は、第１貫通孔２１０に挿入される。また、後述のとおり、スリーブ２１は、中心軸９を中心として、シャフト１０および環状部材１１に対して回転可能である。スリーブ２１は、上側リング１１１の外周面７１Ｂと僅かな隙間を介して対向する第１内周面２１１Ａと、後述する溝２１Ｃよりも上部においてシャフト１０の外周面と僅かな隙間を介して対向する第２内周面２１１Ｂと、を有する。また、スリーブ２１は、下側リング１１２の外周面７２Ｂと僅かな隙間を介して対向する第１内周面２１２Ａと、後述する溝２１Ｃよりも下部においてシャフト１０の外周面と僅かな隙間を介して対向する第２内周面２１２Ｂと、を有する。
【００２４】
スリーブ２１の第１内周面２１１Ａと上側リング１１１の外周面７１Ｂ、および第２内周面２１１Ｂとシャフト１０の外周面は、潤滑オイル等の流体が充填された僅かな隙間を介し対向する。また、スリーブ２１の第１内周面２１２Ａと下側リング１１２の外周面７２Ｂ、および第２内周面２１２Ｂとシャフト１０の外周面は、潤滑オイル等の流体が充填された微小間隙を介し対向する。流体には、例えば、ポリオールエステル系オイルおよび／またはジエステル系の潤滑液が使用される。なお、スリーブ２１は、第２内周面２１１Ｂと第２内周面２１２Ｂとの軸方向の間に、径方向外側に窪む溝２１Ｃを有する。溝２１Ｃは、流体の界面安定のための空気循環用の溝である。
【００２５】
第１内周面２１１Ａは、上側リング１１１の外周面７１Ｂに対向するスラスト軸受面である。第１内周面２１２Ａは、下側リング１１２の外周面７２Ｂに対向するスラスト軸受面である。また、第２内周面２１１Ｂ，２１２Ｂは、シャフト１０の外周面に対向するラジアル軸受面である。第１内周面２１１Ａ，２１２Ａおよび第２内周面２１１Ｂ，２１２Ｂには、流体に動圧を発生させるための動圧溝列（図示省略）がそれぞれ設けられる。シャフト１０、環状部材１１、およびスリーブ２１により、本実施形態に係る「流体軸受」が構成される。
【００２６】
なお、スリーブ２１の軸方向上側および軸方向下側には、スピンドルモータ１の外部への潤滑流体の漏洩を防ぐためにシール部材３００がそれぞれ設けられる。シール部材３００は、環状部材１１、および、スリーブ２１の上面および下面を覆い、スリーブ２１に固定される。
【００２７】
アウターハブ２２は、スリーブ２１の径方向外側において、中心軸９を中心として環状に拡がる円筒状の部材である。アウターハブ２２は、スリーブ２１とともに中心軸９を中心として回転する。また、アウターハブ２２は、下部の外周面から径方向外側に拡がるフランジ部２２１を有する。
【００２８】
クランプ部材２３は、アウターハブ２２に支持される。図１に示すとおり、３枚の磁気ディスク１０１は、クランプ部材２３と、アウターハブ２２のフランジ部２２１との間に、保持される。これにより、３枚の磁気ディスク１０１は、回転部２０に支持され、回転部２０とともに中心軸９を中心として回転する。
【００２９】
ロータマグネット２４は、ヨーク２５を介して、アウターハブ２２の内周面に固定される。ロータマグネット２４は、中心軸９を中心とする円環形状をなす。ロータマグネット２４の内周面は、周方向に沿ってＮ極とＳ極とが交互に配列された磁極面である。
【００３０】
ステータユニット３０は、ロータマグネット２４の径方向内側に配置される。ステータユニット３０は、回転部２０を回転させるトルクを発生させる。ステータユニット３０は、ステータコア３１と、複数のコイル３２とを有する。
【００３１】
ステータコア３１は、中心軸９を中心とする円環状の磁性体が、複数積層された積層構造体である。ステータコア３１は、ベース部４０に固定される。ステータコア３１は、径方向外側に突出する複数のティースを有する。
【００３２】
複数のコイル３２は、複数のティースに巻かれ、中心軸９を中心として環状に配置される。複数のコイル３２は、３つのコイル群により構成される。３つのコイル群は、それぞれＵ相用、Ｖ相用、Ｗ相用である。各コイル群は、１つの導線により構成される。ステータコア３１およびコイル３２と、ロータマグネット２４とは、径方向に対向する。
【００３３】
このようなスピンドルモータ１において、コイル３２に駆動電流を供給すると、複数のティースに径方向の磁束が生じる。そして、ティースに発生した磁束は、ロータマグネット２４の磁束と互いに作用し、中心軸９を中心として回転部２０を回転させるための周方向のトルクを発生させる。その結果、シャフト１０および環状部材１１を含む「静止部材」に対して、スリーブ２１およびアウターハブ２２を含む「回転部材」が、中心軸９の周りを回転する。また、回転部２０に支持された３枚の磁気ディスク１０１は、回転部２０とともに、中心軸９の周りを回転する。
【００３４】
なお、スピンドルモータ１の回転時には、上述の動圧溝列（図示省略）によって、「静止部材」と「回転部材」との間の僅かな隙間に充填された流体に動圧が発生する。これにより、スリーブ２１の第１内周面２１１Ａ，２１２Ａは、環状部材１１の外周面７１Ｂ，７２Ｂから、スラスト方向に非接触に支持される。また、スリーブ２１の第２内周面２１１Ｂ，２１２Ｂは、シャフト１０の外周面から、ラジアル方向に非接触に支持される。上述のとおり、スピンドルモータ１の回転時において、回転部２０とともに回転する磁気ディスク１０１の回転精度を向上し、磁気ディスク１０１の読み出しまたは書き込み時のエラー、および損傷等を抑制するために、当該軸受を形成する各部の組立精度の向上が求められている。すなわち、軸受のスラスト方向の間隙およびラジアル方向の間隙の寸法精度を向上させることが求められている。以下では、当該軸受を形成するスリーブ２１の第１内周面２１１Ａ，２１２Ａと、環状部材１１の外周面７１Ｂ，７２Ｂとの間のスラスト間隙を高精度で測定し、さらに測定結果に基づきスラスト間隙を高精度で調整するための装置、および当該装置を用いてスラスト間隙を測定および調整する方法について、説明する。これにより、軸受の最終的な組立精度を向上できる。
【００３５】
＜１−３．スラスト間隙を測定し、さらに調整するための装置および方法＞
以下、スリーブ２１の第１内周面２１１Ａ，２１２Ａと、環状部材１１の外周面７１Ｂ，７２Ｂとの間のスラスト間隙を高精度で測定し、さらに測定結果に基づきスラスト間隙を高精度で調整するための装置である測定調整装置６と、当該測定調整装置６を用いて測定および調整する方法について説明する。図３および図４は、第１実施形態に係るスラスト間隙を測定する様子を模式的に示す断面図である。
【００３６】
なお、以下では、スリーブ２１とアウターハブ２２とで構成される回転体を「ハブ５０」と称することとする。また、図３、図４、および後述する図６では、各部材の形状を簡略化して図示している。例えば、図２では、スリーブ２１の第１内周面２１１Ａ，２１２Ａ、および環状部材１１の外周面７１Ｂ，７２Ｂは、それぞれ軸方向に対して傾斜する傾斜面となっていたが、図３、図４、および後述する図６では、中心軸９に対して垂直な面として図示している。図３、図４、および後述する図６のハブ５０の上面は、スリーブ２１の第１内周面２１１Ａを示しており、ハブ５０の下面は、スリーブ２１の第１内周面２１２Ａを示している。また、図３、図４、および後述する図６の上側リング１１１の下面は、環状部材１１の外周面７１Ｂを示しており、下側リング１１２の上面は、環状部材１１の外周面７２Ｂを示している。図３、図４、および後述する図６に示すとおり、ハブ５０の第１貫通孔２１０にシャフト１０を挿入し、ハブ５０の少なくとも一部よりも軸方向上側において上側リング１１１をシャフト１０に圧入により固定し、ハブ５０の少なくとも一部よりも軸方向下側において下側リング１１２をシャフト１０に圧入により固定した状態で、スラスト間隙の測定を行う。
【００３７】
上述の測定調整装置６は、装置フレーム６０と、第１変位計６１と、第１押圧部６２と、第２押圧部６３と、ハブ支持部６４と、ハブ昇降機構６５と、リング支持部６６と、制御表示部６７と、第２変位計６８（後述する図６参照）と、を有する。
【００３８】
装置フレーム６０は、測定調整装置６の外形を形成する矩形の筐体である。ただし、図３、図４、および後述する図６では、装置フレーム６０のうち一部のみを図示している。第１変位計６１、第２押圧部６３、ハブ昇降機構６５、リング支持部６６、制御表示部６７、および第２変位計６８は、それぞれ装置フレーム６０に固定されている。装置フレーム６０は、上側壁部６０１と下側壁部６０２とを有する。上側壁部６０１は、シャフト１０よりも上側において径方向に拡がる。下側壁部６０２は、シャフト１０よりも下側において径方向に拡がる。
【００３９】
第１変位計６１は、シャフト１０の軸方向の移動距離を測定する機器である。第１変位計６１は、第１変位計本体６１１と、第１変位計変位部６１２と、第１変位計接触部６１３とを有する。第１変位計本体６１１は、装置フレーム６０の下側壁部６０２に固定され、軸方向および径方向の動きが制限されている。第１変位計変位部６１２は、第１変位計本体６１１に対して軸方向に変位可能に支持されている。ただし、第１変位計変位部６１２の下端部と第１変位計本体６１１との間に設けられた係合構造（図示省略）によって、第１変位計変位部６１２が第１変位計本体６１１から外れて抜けることが防止されている。第１変位計変位部６１２の上端部には、表面摩擦力の大きい樹脂製の第１変位計接触部６１３が固定されている。シャフト１０の下面は、第１変位計接触部６１３に接触する。これにより、シャフト１０の位置ずれ、および損傷等が抑制される。
【００４０】
上述のとおり、第１変位計変位部６１２の少なくとも一部は、第１変位計本体６１１と第１変位計接触部６１３との軸方向の間に位置する。第１変位計変位部６１２の外径は、第１変位計本体６１１の外径および第１変位計接触部６１３の外径よりも小さい。第１変位計変位部６１２の径方向外側、かつ、第１変位計本体６１１と第１変位計接触部６１３との軸方向の間には、弾性部材６１４が、自然長よりも軸方向に圧縮された状態で取り付けられている。弾性部材６１４の下端部は、第１変位計本体６１１に固定されている。弾性部材６１４の上端部は、第１変位計接触部６１３に固定されている。第１変位計変位部６１２は、下方へ向かう力が加えられていない状態では、弾性部材６１４の「弾性力Ｅ」によって上方へ延びる。つまり、第１変位計変位部６１２と、弾性部材６１４とによって、シャフト１０を上側へ軸方向に押す第１押圧部６２が形成されている。
【００４１】
第２押圧部６３は、シャフト１０を下側へ軸方向に押す機器である。第２押圧部６３は、第２押圧本体６３１と、第２押圧変位部６３２と、第２押圧接触部６３３とを有する。第２押圧本体６３１は、装置フレーム６０の上側壁部６０１に固定され、軸方向および径方向の動きが制限されている。第２押圧本体６３１は、軸方向に伸縮可能に支持されるバネを内部に有するプランジャ（図示省略）を備える。第２押圧部６３の駆動時には、第２押圧本体６３１への空気の供給および排出を行う。これにより、第２押圧変位部６３２を軸方向に移動させる。その際、当該バネの弾性力によって、第２押圧変位部６３２自体を軸方向に伸縮させることができる。このような構造を有することにより、第２押圧変位部６３２を押し下げる際のピーク荷重を、設定荷重（目標荷重）に近づけることができる。この結果、ピーク荷重が設定荷重（目標荷重）よりも瞬間的に大きく跳ね上がることによるハブ５０の変形等を抑制でき、後述するスラスト間隙を測定する際に、誤差を低減できる。ただし、第２押圧本体６３１は、油圧またはモータによって第２押圧変位部６３２を軸方向に移動させる構造を有してもよい。なお、第２押圧変位部６３２の上端部と第２押圧本体６３１との間に設けられた係合構造（図示省略）によって、第２押圧変位部６３２が第２押圧本体６３１から外れて落下することが防止されている。さらに、第２押圧変位部６３２の下端部には、表面摩擦力の大きい樹脂製の第２押圧接触部６３３が固定されている。シャフト１０の上端部は、第２押圧接触部６３３に接触する。これにより、シャフト１０の位置ずれ、および損傷等が抑制される。ただし、シャフト１０の上端部は、第２押圧部６３に別部材を介して間接的に接触してもよい。
【００４２】
ハブ支持部６４は、クランプ構造を有する。ハブ支持部６４は、ハブ５０を軸方向の上側および下側から挟み込んで固定し、ハブ支持部６４に対するハブ５０の軸方向および径方向の動きを制限する。ハブ支持部６４は、後述するハブ昇降機構６５を介して、装置フレーム６０に間接的に固定されている。なお、ハブ支持部６４は、上側リング１１１および下側リング１１２よりも径方向外側に位置する。このため、上側リング１１１および下側リング１１２は、ハブ支持部６４によって制限されることなく、軸方向に移動可能となる。
【００４３】
ハブ昇降機構６５は、ハブ支持部６４を軸方向に移動させる直動機構である。また、ハブ昇降機構６５は、内部にアクチュエータを有する。ハブ昇降機構６５は、ハブ昇降本体６５１とハブ昇降アーム６５２とを有する。ハブ昇降本体６５１は、ハブ支持部６４の径方向外側において、軸方向に延びる部位である。ハブ昇降本体６５１の径方向外側の面は、装置フレーム６０に固定されている。また、ハブ昇降本体６５１の径方向内側の面には、中心軸９に沿って溝（図示省略）が形成されている。ハブ昇降アーム６５２は、径方向に柱状に延びる部位である。ハブ昇降アーム６５２の径方向外側の端部は、ハブ昇降本体６５１の溝（図示省略）に係合する。そして、ハブ昇降アーム６５２は、ハブ昇降本体６５１に対して、軸方向に移動可能に支持される。さらに、ハブ昇降アーム６５２の径方向内側の端部は、ハブ支持部６４に固定される。つまり、ハブ昇降機構６５は、駆動時において、ハブ昇降アーム６５２、ハブ支持部６４、およびハブ５０を軸方向に移動させ、停止時において、ハブ昇降アーム６５２、ハブ支持部６４、およびハブ５０を一定の高さで保持する。
【００４４】
リング支持部６６は、シャフト１０の径方向外側において、中心軸９に対して垂直かつ環状に拡がる板状の部材である。リング支持部６６は、下側リング１１２よりも下側に位置する。リング支持部６６の材料には、例えば樹脂、または金属が用いられる。また、リング支持部６６は、装置フレーム６０に固定され、軸方向および径方向の動きが制限されている。また、リング支持部６６の径方向内側には、リング支持部６６を軸方向に貫通する貫通孔６６０が設けられている。シャフト１０は、貫通孔６６０に挿入される。なお、貫通孔６６０は、下側リング１１２の外周面よりも径方向内側に位置する。このため、下側リング１１２は、リング支持部６６によって軸方向下側への動きが制限される。さらに、リング支持部６６の貫通孔６６０よりも径方向外側の周方向の一部に、リング支持部６６を軸方向に貫通する第２貫通孔６６１が設けられている。第２貫通孔６６１については、詳細を後述する。
【００４５】
制御表示部６７は、測定調整装置６の各部を動作制御する機器である。制御表示部６７は、例えば、図示を省略したＣＰＵ等のプロセッサ、ＲＡＭ等のメモリ、およびハードディスクドライブ等の記憶部を有するコンピュータと、表示画面と、操作画面と、により構成されている。記憶部内には、動作制御に係る処理を実行するためのコンピュータプログラムが、記憶されている。また、測定調整装置６は、第１変位計６１、第２押圧部６３、ハブ昇降機構６５、および第２変位計６８と、それぞれ有線または無線で通信可能に接続されている。
【００４６】
第２変位計６８（後述する図６参照）は、下側リング１１２の軸方向の変位を測定する機器である。本実施形態の第２変位計６８には、レーザ変位計が用いられる。第２変位計６８は、リング支持部６６の下側において、下側壁部６０２に固定され、軸方向および径方向の動きが制限されている。第２変位計６８から出射される測定光６８０は、リング支持部６６の第２貫通孔６６１を通過して、下側リング１１２の周縁部において反射される。すなわち、第２貫通孔６６１は、第２変位計６８から出射される測定光６８０の進行光路である。これにより、第２変位計６８は、リング支持部６６の下方から、下側リング１１２の周縁部の軸方向の変位を測定できる。なお、後述するスラスト間隙の調整を行う際には、シャフト１０の上端部を大きな力で軸方向下側へ押し下げる。このため、シャフト１０、ハブ５０、上側リング１１１、および下側リング１１２に歪みが生じる虞がある。この結果、スラスト間隙の調整量に誤差が生じる場合がある。本実施形態では、第２変位計６８によって、シャフト１０、ハブ５０、上側リング１１１、および下側リング１１２のうち最も歪みが大きくなると想定される下側リング１１２の周縁部の軸方向の変位を測定する。そして、その測定結果を加味することで、スラスト間隙の調整量をより正確に把握することができる。これにより、より高精度でスラスト間隙の調整を行うことができる。なお、スラスト間隙の調整時だけでなく、スラスト間隙の測定時においても、第２変位計６８を用いて下側リング１１２の軸方向の変位を測定してもよい。
【００４７】
続いて、測定調整装置６を用いたスラスト間隙の測定方法および調整方法について、説明する。図５は、スラスト間隙の測定および調整の工程を示したフローチャートである。図３〜図５に示すとおり、スラスト間隙を測定し、調整する際には、まず、ハブ支持部６４によってハブ５０を固定する。そして、ハブ支持部６４に対するハブ５０の軸方向および径方向の動きを制限する（ステップＳ１）。また、ハブ昇降機構６５を駆動して、ハブ昇降アーム６５２を介して、ハブ支持部６４を軸方向の所定の高さ（待機位置Ｐ１）まで上昇させる。そして、ハブ５０を、リング支持部６６との間に十分な軸方向の間隔を維持しつつ、保持する。また、シャフト１０の上端部が第２押圧接触部６３３の真下に位置するように、調整する。さらに、シャフト１０の下端部を、第１変位計接触部６１３を介して弾性部材６１４の上端部に間接的に接触させる。
【００４８】
次に、第２押圧部６３を駆動し、第２押圧変位部６３２を下方へ向かって軸方向に変位させる。そして、これにより第２押圧接触部６３３を介してシャフト１０の上端部を下方へ押し下げ、シャフト１０に固定された上側リング１１１の下面をハブ５０に接触させる（ステップＳ２）。なお、本ステップＳ２における、第２押圧部６３によりシャフト１０に加わる下向きの力を「第１押圧力Ｆ１」と定義する。また、上述のとおり、ステップＳ２において、シャフト１０に固定された下側リング１１２とリング支持部６６との間には、軸方向の間隔が十分に確保されているため、これらは互いに接触しない。
【００４９】
図３に戻る。図３は、ステップＳ２が終了した時点の状態を示している。ステップＳ２が終了した時点におけるシャフト１０の下端部の高さをｈ１とする。第１変位計６１が示すシャフト１０の下端部の高さｈ１の値は、ステップＳ２が終了した時点でゼロリセットされる。制御表示部６７は、第１変位計６１から、シャフト１０の下端部の高さｈ１の値がゼロリセットされた旨の信号を受信し、記憶するとともに、表示画面に表示する。なお、少なくともステップＳ２、後述するステップＳ３、および後述するステップＳ４において、シャフト１０の下端部には、第１押圧部６２によって、上向きの弾性力Ｅが加わっている。一方、第２押圧部６３によりシャフト１０へ加わる下向きの第１押圧力Ｆ１の大きさは、弾性力Ｅの大きさよりも大きい。これにより、シャフト１０に上方へ向かう弾性力Ｅが与えられた状態でも、シャフト１０を下方へ押し下げることができる。
【００５０】
ステップＳ２の終了後、第２押圧部６３の駆動を停止し、第２押圧変位部６３２を上方へ変位させる。この時、弾性部材６１４によりシャフト１０に加わる上方へ向かう弾性力Ｅは維持されている。これにより、シャフト１０を上方へ押し上げ、シャフト１０に固定された下側リング１１２の上面をハブ５０に接触させる（ステップＳ３）。図４に戻る。図４は、ステップＳ３が終了した時点の状態を示している。ステップＳ３が終了した時点におけるシャフト１０の下端部の高さをｈ２とする。
【００５１】
第１変位計６１は、ステップＳ２が終了した時点、すなわちシャフト１０の下端部の高さｈ１の値がゼロリセットされた時点から、ステップＳ３が終了した時点までの、シャフト１０の軸方向の移動距離Ｄ１を測定する（ステップＳ４）。換言すれば、移動距離Ｄ１は、ステップＳ２が終了した時点のシャフト１０の下端部の高さｈ１と、ステップＳ３が終了した時点のシャフト１０の下端部の高さｈ２との間の軸方向距離である。制御表示部６７は、第１変位計６１から、第１変位計６１によって測定されたシャフト１０の軸方向の移動距離Ｄ１に関する情報を受信し、記憶するとともに、表示画面に表示する。さらに、移動距離Ｄ１は、ハブ５０と上側リング１１１および下側リング１１２との間の軸方向の隙間寸法に相当する。そして、ステップＳ１〜ステップＳ４の工程を経ることによって、当該隙間寸法、すなわち流体軸受を形成するスリーブ２１の第１内周面２１１Ａ，２１２Ａと、環状部材１１の外周面７１Ｂ，７２Ｂとの間のスラスト間隙を、高精度で測定することができる。
【００５２】
図５に戻る。ステップＳ４の終了後、制御表示部６７は、移動距離Ｄ１の測定結果が、所定の寸法の許容範囲内か、所定の寸法の許容範囲よりも大きいか、または所定の寸法の許容範囲よりも小さいか、を判定する（ステップＳ５）。ここで、「所定の寸法の許容範囲」について、説明する。移動距離Ｄ１の測定結果、すなわちハブ５０と上側リング１１１および下側リング１１２との間の軸方向の隙間寸法が、所定の値（例えば、２０μｍ）から、前後に所定の範囲内（例えば、±５μｍ以内）にある（すなわち、１５μｍ以上かつ２５μｍ以内）場合、「所定の寸法の許容範囲内にある」と判定する。また、移動距離Ｄ１の測定結果が、所定の値（例えば、２０μｍ）から、前後に所定の範囲よりも大きく（例えば、±５μｍよりも大きく）ずれている（すなわち、１５μｍ未満、または２５μｍを超える）場合、「所定の寸法の許容範囲よりも小さい」または「所定の寸法の許容範囲よりも大きい」と判定する。そして、移動距離Ｄ１の測定結果が所定の寸法の許容範囲よりも大きいと判断された場合、移動距離Ｄ１が示すスラスト間隙、すなわちハブ５０と上側リング１１１および下側リング１１２との間の軸方向の隙間寸法を小さくするための調整（ステップＳ６〜ステップＳ８）を行う。
【００５３】
スラスト間隙を小さくするための調整として、まず、第２押圧部６３の駆動を停止したまま、ハブ昇降機構６５を駆動して、ハブ支持部６４、ハブ５０、シャフト１０、上側リング１１１、および下側リング１１２を、さらに軸方向上側へ一旦移動させる。そして、下側リング１１２の下面を、リング支持部６６の上面から間隔をあけて上側の位置に配置する（ステップＳ６）。また、ステップＳ６と前後して、制御表示部６７は、ステップＳ４における移動距離Ｄ１の測定結果が、所定の値（例えば、２０μｍ）からどの程度ずれているかを算出する。そして、ハブ５０と上側リング１１１および下側リング１１２との間の軸方向の隙間寸法に係る、小さくするべき目標値Ｄｔを算出する。ただし、目標値Ｄｔは、制御表示部６７の表示画面に表示された移動距離Ｄ１の測定結果に関する情報に基づき、作業者が算出してもよい。
【００５４】
次に、ハブ昇降機構６５を駆動して、ハブ支持部６４、ハブ５０、シャフト１０、上側リング１１１、および下側リング１１２を、軸方向下側へ移動させる。これにより、下側リング１１２の下面を、リング支持部６６の上面に接触させる（ステップＳ７）。なお、その際、第２押圧部６３を駆動し、シャフト１０の上端部を、例えば第１押圧力Ｆ１で下方へ押し下げることが望ましい。これにより、下側リング１１２の下面をリング支持部６６の上面により確実に接触させることができる。そして、下側リング１１２の下面がリング支持部６６の上面に接触した時点で、ハブ昇降機構６５の駆動を停止し、ハブ支持部６４を所定の高さ（支持位置Ｐ２）に保ちつつ、ハブ５０を保持する。また、ステップＳ７が終了した時点におけるシャフト１０の下端部の高さをｈ３とする。第１変位計６１が示すシャフト１０の下端部の高さｈ３の値は、ステップＳ７が終了した時点でゼロリセットされる。制御表示部６７は、第１変位計６１から、シャフト１０の下端部の高さｈ３の値がゼロリセットされた旨の信号を受信し、記憶するとともに、表示画面に表示する。
【００５５】
続いて、第２押圧部６３の第２押圧本体６３１への空気の供給量を増大し、第２押圧変位部６３２をさらに下方へ向かって変位させる。そして、下側リング１１２の下面をリング支持部６６の上面に接触させた状態を維持しつつ、シャフト１０の上端部を、第１押圧力Ｆ１よりも大きい第２押圧力Ｆ２で、下方へ押し下げる（ステップＳ８）。この時、下側リング１１２は、リング支持部６６によって軸方向下側への動きが制限されている。また、上述のとおり、ハブ支持部６４によって、ハブ５０は一定の高さで保持されている。一方、上側リング１１１は、シャフト１０とともに下方へ押し下げられる。これにより、ハブ５０と上側リング１１１および下側リング１１２との間の軸方向の隙間寸法、すなわちスラスト間隙を小さくすることができる。なお、ステップＳ８において、制御表示部６７は、第２押圧変位部６３２の変位量を上述の目標値Ｄｔに一致させるべく、第２押圧部６３を制御する。
【００５６】
図６は、第１実施形態に係るスラスト間隙を調整する様子を模式的に示す断面図である。図６は、ステップＳ８が終了した時点の状態を示している。ステップＳ８が終了した時点におけるシャフト１０の下端部の高さをｈ４とする。第１変位計６１は、ステップＳ７が終了した時点、すなわちシャフト１０の下端部の高さｈ３の値がゼロリセットされた時点から、ステップＳ８が終了した時点までの、シャフト１０の軸方向の移動距離Ｄ２を測定する。換言すれば、移動距離Ｄ２は、ステップＳ７が終了した時点のシャフト１０の下端部の高さｈ３と、ステップＳ８が終了した時点のシャフト１０の下端部の高さｈ４との間の軸方向距離である。制御表示部６７は、第１変位計６１から、第１変位計６１によって測定された、ステップＳ８におけるシャフト１０の軸方向の移動距離Ｄ２に関する情報を受信し、記憶するとともに、表示画面に表示する。
【００５７】
また、第２変位計６８は、ステップＳ８における、下側リング１１２の周縁部の軸方向の変位Ｄ３を測定する。そして、制御表示部６７は、第２変位計６８から、第２変位計６８によって測定された、ステップＳ８における下側リング１１２の周縁部の軸方向の変位Ｄ３に関する情報を受信し、記憶するとともに、表示画面に表示する。さらに、制御表示部６７は、ステップＳ８における、シャフト１０の軸方向の移動距離Ｄ２から、下側リング１１２の周縁部の軸方向の変位Ｄ３を引いた値Ｄ４（＝Ｄ２−Ｄ３）を算出し、記憶するとともに、表示画面に表示する。これにより、ステップＳ８における各部の歪み分を加味したスラスト間隙の調整量を把握することができる。さらに、制御表示部６７は、当該各部の歪み分を加味したスラスト間隙の調整量を上述の目標値Ｄｔに一致させるべく、第２押圧部６３を制御してもよい。
【００５８】
ステップＳ８の終了後、制御表示部６７は、シャフト１０の軸方向の移動距離Ｄ２から、下側リング１１２の周縁部の軸方向の変位Ｄ３を引いた値Ｄ４（スラスト間隙の調整量）を、ステップＳ４において測定したシャフト１０の軸方向の移動距離Ｄ１（調整前のスラスト間隙の大きさ）から引いた値（Ｄ１−Ｄ４）が、所定の寸法の許容範囲内か、所定の寸法の許容範囲よりも大きいか、または所定の寸法の許容範囲よりも小さいか、を判定する（ステップＳ９）。そして、値（Ｄ１−Ｄ４）が所定の寸法の許容範囲よりも大きいと判断された場合、さらにスラスト間隙を小さくするための調整（ステップＳ６〜ステップＳ８）、および調整後の判定（ステップＳ９）を行う。
【００５９】
なお、ステップＳ５において、値Ｄ１が所定の寸法の許容範囲内であると判定された場合、またはステップＳ９において、値（Ｄ１−Ｄ４）が所定の寸法の許容範囲内であると判定された場合、スラスト間隙のさらなる調整は不要であるとして、次の組立工程に進む（ステップＳ１０）。一方、ステップＳ５において、値Ｄ１が所定の寸法の許容範囲よりも小さいと判定された場合、またはステップＳ９において、値（Ｄ１−Ｄ４）が所定の寸法の許容範囲よりも小さいと判定された場合、当該ハブ５０等は不良品（使用不可能）であるとして処理される（ステップＳ１１）。このように、スラスト間隙を高精度で測定した結果を踏まえて、必要に応じてさらなる調整を行うことで、軸受の最終的な組立精度を向上できる。
【００６０】
上述のとおり、単一の装置である測定調整装置６を用いて、軸受を形成する各部材間のスラスト間隙を高精度で測定し、さらに測定結果に基づき高精度で調整を行うことができる。これにより、測定および調整を互いに別の装置で行う場合と比べて、当該別の装置への各部材の載せ替えに伴う、スラスト間隙の測定および調整の誤差およびばらつきを抑制できる。この結果、軸受の最終的な組立精度を向上できる。
【００６１】
＜２．第２実施形態＞
続いて、本発明の第２実施形態について説明する。図７および図８は、第２実施形態に係るスラスト間隙を測定する様子を模式的に示す断面図である。また、図７，図８，および後述する図１０では、第１実施形態と同様に、各部材の形状を簡略化して図示している。なお、以下では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、第１実施形態と同等の部分については、重複説明を省略する。
【００６２】
測定調整装置６Ｂは、装置フレーム６０Ｂと、第１変位計６１Ｂと、第１押圧部６２Ｂと、第２押圧部６３Ｂと、ハブ支持部６４Ｂと、リング開閉機構６５Ｂと、リング支持部６６Ｂと、制御表示部６７Ｂと、第２変位計６８Ｂ（後述する図１０参照）と、を有する。装置フレーム６０Ｂ、第１変位計６１Ｂ、第１押圧部６２Ｂ、第２押圧部６３Ｂ、制御表示部６７Ｂ、および第２変位計６８Ｂについては、第１実施形態の各部と同等の構造を有するため、重複説明を省略する。
【００６３】
ハブ支持部６４Ｂは、クランプ構造を有する。ハブ支持部６４Ｂは、ハブ５０Ｂを軸方向の上側および下側から挟み込んで固定し、ハブ５０Ｂの軸方向および径方向の動きを制限する。ハブ支持部６４Ｂは、装置フレーム６０Ｂに固定されている。なお、ハブ支持部６４Ｂは、上側リング１１１Ｂおよび下側リング１１２Ｂよりも径方向外側に位置する。このため、上側リング１１１Ｂおよび下側リング１１２Ｂは、ハブ支持部６４Ｂによって制限されることなく、軸方向に移動可能となる。
【００６４】
リング開閉機構６５Ｂは、後述するリング支持部６６Ｂを径方向に移動させる直動機構である。また、リング開閉機構６５Ｂは、内部にアクチュエータを有する。なお、本実施形態では、２つのリング開閉機構６５Ｂが設けられている（図７，図８，および後述する図１０では、２つのうち１つのリング開閉機構６５Ｂのみを図示している）。それぞれのリング開閉機構６５Ｂは、リング開閉本体６５１Ｂとリング開閉アーム６５２Ｂとを有する。リング開閉本体６５１Ｂは、後述するリング支持部６６Ｂおよび下側リング１１２Ｂの軸方向下側、かつ、シャフト１０Ｂの径方向外側において、径方向に板状に延びる部位である。リング開閉本体６５１Ｂの径方向外側の端部は、装置フレーム６０に固定されている。また、リング開閉本体６５１Ｂの上面には、リング開閉本体６５１Ｂの延伸方向に沿って溝（図示省略）が形成されている。リング開閉アーム６５２Ｂは、軸方向に柱状に延びる部位である。リング開閉アーム６５２Ｂの下端部は、リング開閉本体６５１Ｂの溝に係合する。そして、リング開閉アーム６５２Ｂは、リング開閉本体６５１Ｂの溝に沿って、径方向に移動可能に支持される。さらに、リング開閉アーム６５２Ｂの上端部は、リング支持部６６Ｂに固定される。これにより、リング開閉機構６５Ｂは、リング開閉アーム６５２Ｂを介して、リング支持部６６Ｂを、下側リング１１２Ｂよりも径方向外側の待機位置Ｐ３と、下側リング１１２Ｂの少なくとも一部と軸方向に重なる支持位置Ｐ４との間で、径方向に移動可能に支持する。そして、リング開閉機構６５Ｂは、駆動時において、リング開閉アーム６５２Ｂを介して、リング支持部６６Ｂを径方向に移動させ、停止時において、リング開閉アーム６５２Ｂを介して、リング支持部６６Ｂを所定の位置で保持する。
【００６５】
リング支持部６６Ｂは、シャフト１０Ｂの径方向外側、かつ、シャフト１０Ｂの周りの周方向の一部に、中心軸９Ｂに対して垂直に板状に拡がる部材である。本実施形態では、２つのリング支持部６６Ｂが設けられている。リング支持部６６Ｂは、下側リング１１２Ｂよりも下側に位置する。また、それぞれのリング支持部６６Ｂは、リング開閉アーム６５２Ｂに固定され、径方向に移動可能に支持されている。上述の支持位置Ｐ４において、下側リング１１２Ｂは、リング支持部６６Ｂによって軸方向下側への動きが制限される。上述の待機位置Ｐ３において、下側リング１１２Ｂは、リング支持部６６Ｂによって制限されることなく、軸方向下側へ動くことができる。さらに、リング支持部６６Ｂの一部に、リング支持部６６Ｂを軸方向に貫通する第２貫通孔６６１Ｂが設けられている。上述の支持位置Ｐ４において、第２貫通孔６６１Ｂは、第２変位計６８Ｂから出射される測定光６８０Ｂ（後述する図１０参照）の進行光路である。また、上述の支持位置Ｐ４において、第２貫通孔６６１Ｂは、下側リング１１２Ｂの周縁部の軸方向下側に位置する。
【００６６】
続いて、測定調整装置６Ｂを用いたスラスト間隙の測定方法および調整方法について、説明する。図９は、スラスト間隙の測定および調整の工程を示したフローチャートである。図７〜図９に示すとおり、スラスト間隙を測定し、調整する際には、まず、ハブ支持部６４Ｂによってハブ５０Ｂを固定する。そして、ハブ５０Ｂの軸方向および径方向の動きを制限する（ステップＳ１）。また、リング開閉機構６５Ｂを駆動して、リング開閉アーム６５２Ｂを介して、リング支持部６６Ｂを待機位置Ｐ３まで移動させる。そして、下側リング１１２Ｂがリング支持部６６Ｂによって制限されることなく軸方向下側へ動くことができる状態を維持しつつ、リング支持部６６Ｂを保持する。また、シャフト１０Ｂの上端部が第２押圧接触部６３３Ｂの真下に位置するように、調整する。さらに、シャフト１０Ｂの下端部を、第１変位計接触部６１３Ｂを介して弾性部材６１４Ｂの上端部に間接的に接触させる。
【００６７】
続いて、図９に示すステップＳ２〜ステップＳ５に進む。ステップＳ２〜ステップＳ５については、第１実施形態のステップＳ２〜ステップＳ５と同等であるため、重複説明を省略する。なお、上述のとおり、ステップＳ２において、リング支持部６６Ｂは待機位置Ｐ３にあるため、下側リング１１２Ｂが固定されたシャフト１０Ｂを押し下げた場合でも、下側リング１１２Ｂとリング支持部６６Ｂは互いに接触しない。ステップＳ５において、移動距離Ｄ１の測定結果が所定の寸法の許容範囲よりも大きいと判断された場合、移動距離Ｄ１が示すスラスト間隙、すなわちハブ５０と上側リング１１１および下側リング１１２との間の軸方向の隙間寸法を小さくするための調整（ステップＳ６〜ステップＳ８）を行う。
【００６８】
スラスト間隙を小さくするための調整として、まず、第２押圧部６３Ｂの駆動を停止ししたまま、かつ、弾性部材６１４Ｂの弾性力Ｅによってシャフト１０Ｂを押し上げたまま、下側リング１１２Ｂの下面が、リング支持部６６Ｂの上面から間隔をあけて上側に位置していることを確認する（ステップＳ６）。これにより、後述するリング支持部６６Ｂの移動作業への支障を抑制できる。また、ステップＳ６と前後して、制御表示部６７Ｂは、ステップＳ４における移動距離Ｄ１の測定結果が、所定の値からどの程度ずれているかを算出し、ハブ５０Ｂと上側リング１１１Ｂおよび下側リング１１２Ｂとの間の軸方向の隙間寸法に係る、小さくするべき目標値Ｄｔを算出する。ただし、目標値Ｄｔは、制御表示部６７Ｂの表示画面に表示された移動距離Ｄ１の測定結果に関する情報に基づき、作業者が算出してもよい。
【００６９】
次に、リング開閉機構６５Ｂを駆動して、リング支持部６６Ｂを、待機位置Ｐ３から支持位置Ｐ４まで、径方向に移動させる。その後、リング開閉機構６５Ｂの駆動を停止し、リング支持部６６Ｂを一定の位置（支持位置Ｐ４）で保持する。そして、第２押圧部６３Ｂを駆動し、シャフト１０Ｂの上端部を、例えば第１押圧力Ｆ１で下方へ押し下げることにより、下側リング１１２Ｂの下面を、リング支持部６６Ｂの上面に接触させる（ステップＳ７）。
【００７０】
続いて、図９に示すステップＳ８に進む。ステップＳ８については、第１実施形態のステップＳ８と同等であるため、重複説明を省略する。図１０は、第２実施形態に係るスラスト間隙を調整する様子を模式的に示す断面図である。図１０は、ステップＳ８が終了した時点の状態を示している。図１０に示すとおり、ステップＳ８において、下側リング１１２Ｂは、支持位置Ｐ４にあるリング支持部６６Ｂによって軸方向下側への動きが制限されている。また、ハブ支持部６４Ｂによって、ハブ５０Ｂは一定の高さで保持されている。
【００７１】
さらに、第１実施形態と同様に、第１変位計６１Ｂを用いて、ステップＳ８におけるシャフト１０Ｂの軸方向の移動距離Ｄ２を測定する。また、第２変位計６８Ｂを用いて、ステップＳ８における下側リング１１２Ｂの周縁部の軸方向の変位Ｄ３を測定する。そして、これらの測定結果に基づき、ステップＳ９〜ステップＳ１１に進む。ステップＳ９〜ステップＳ１１については、第１実施形態のステップＳ９〜ステップＳ１１と同等であるため、重複説明を省略する。上述のとおり、第１実施形態と同様に、単一の装置である測定調整装置６Ｂを用いて、軸受を形成する各部材間のスラスト間隙を高精度で測定し、さらに測定結果に基づき高精度で調整を行うことができる。これにより、測定および調整を互いに別の装置で行う場合と比べて、当該別の装置への各部材の載せ替えに伴う、スラスト間隙の測定および調整の誤差およびばらつきを抑制できる。この結果、軸受の最終的な組立精度を向上できる。
【００７２】
＜３．第３実施形態＞
続いて、本発明の第３実施形態について説明する。図１１および図１２は、第３実施形態に係るスラスト間隙を測定する様子を模式的に示す断面図である。また、図１１，図１２，および後述する図１４では、第１実施形態および第２実施形態と同様に、各部材の形状を簡略化して図示している。なお、以下では、第１実施形態および第２実施形態との相違点を中心に説明し、第１実施形態および第２実施形態と同等の部分については、重複説明を省略する。
【００７３】
測定調整装置６Ｃは、装置フレーム６０Ｃと、第１変位計６１Ｃと、第１押圧部６２Ｃと、第２押圧部６３Ｃと、ハブ支持部６４Ｃと、リング昇降機構６５Ｃと、リング支持部６６Ｃと、制御表示部６７Ｃと、第２変位計６８Ｃ（後述する図１４参照）と、を有する。装置フレーム６０Ｃ、第１変位計６１Ｃ、第１押圧部６２Ｃ、第２押圧部６３Ｃ、制御表示部６７Ｃ、および第２変位計６８Ｃについては、第１実施形態および第２実施形態の各部と同等の構造を有するため、重複説明を省略する。
【００７４】
ハブ支持部６４Ｃは、クランプ構造を有する。ハブ支持部６４Ｃは、ハブ５０Ｃを軸方向の上側および下側から挟み込んで固定し、ハブ５０Ｃの軸方向および径方向の動きを制限する。ハブ支持部６４Ｃは、装置フレーム６０Ｃに固定されている。なお、ハブ支持部６４Ｃは、上側リング１１１Ｃおよび下側リング１１２Ｃよりも径方向外側に位置する。このため、上側リング１１１Ｃおよび下側リング１１２Ｃは、ハブ支持部６４Ｃによって制限されることなく、軸方向に移動可能となる。
【００７５】
リング昇降機構６５Ｃは、後述するリング支持部６６Ｃを軸方向に移動させる直動機構である。また、リング昇降機構６５Ｃは、内部にアクチュエータを有する。リング昇降機構６５Ｃは、リング昇降本体６５１Ｃとリング昇降アーム６５２Ｃとを有する。リング昇降本体６５１Ｃは、ハブ支持部６４Ｃの軸方向下側、かつ、シャフト１０Ｃおよびリング支持部６６Ｃの径方向外側において、軸方向に延びる部位である。リング昇降本体６５１Ｃの径方向外側の面は、装置フレーム６０Ｃに固定されている。また、リング昇降本体６５１Ｃの径方向内側の面には、中心軸９Ｃに沿って溝（図示省略）が形成されている。リング昇降アーム６５２Ｃは、下側リング１１２Ｃの下方において、径方向に柱状に延びる部位である。リング昇降アーム６５２Ｃの径方向外側の端部は、リング昇降本体６５１Ｃの溝に係合する。そして、リング昇降アーム６５２Ｃは、リング昇降本体６５１Ｃに対して、軸方向に移動可能に支持される。さらに、リング昇降アーム６５２Ｃの径方向内側の端部は、リング支持部６６Ｃの外周面に固定される。つまり、リング昇降機構６５Ｃは、駆動時において、リング昇降アーム６５２Ｃおよびリング支持部６６Ｃを軸方向に移動させ、停止時において、リング昇降アーム６５２Ｃおよびリング支持部６６Ｃを一定の高さで保持する。
【００７６】
リング支持部６６Ｃは、シャフト１０Ｃの径方向外側において、中心軸９Ｃに対して垂直かつ環状に拡がる板状の部材である。リング支持部６６Ｃは、下側リング１１２Ｃよりも下側に位置する。また、リング支持部６６Ｃは、リング昇降アーム６５２Ｃに固定され、下側リング１１２Ｃの少なくとも一部と軸方向に重なる領域において軸方向に移動可能に支持される。また、リング支持部６６Ｃの径方向内側には、リング支持部６６Ｃを軸方向に貫通する貫通孔６６０Ｃが設けられている。シャフト１０Ｃは、貫通孔６６０Ｃに挿入される。なお、貫通孔６６０Ｃは、下側リング１１２Ｃの外周面よりも径方向内側に位置する。このため、下側リング１１２Ｃは、リング支持部６６Ｃによって軸方向下側への動きが制限される。さらに、リング支持部６６Ｃの貫通孔６６０Ｃよりも径方向外側の周方向の一部に、リング支持部６６Ｃを軸方向に貫通する第２貫通孔６６１Ｃが設けられている。第２貫通孔６６１Ｃは、第２変位計６８Ｃから出射される測定光６８０Ｃ（後述する図１４参照）の進行光路である。また、後述の支持位置Ｐ６において、第２貫通孔６６１Ｃは、下側リング１１２Ｃの周縁部の軸方向下側に位置する。
【００７７】
続いて、測定調整装置６Ｃを用いたスラスト間隙の測定方法および調整方法について、説明する。図１３は、スラスト間隙の測定および調整の工程を示したフローチャートである。図１１〜図１３に示すとおり、スラスト間隙を測定し、調整する際には、まず、ハブ支持部６４Ｃによってハブ５０Ｃを固定する。そして、ハブ５０Ｃの軸方向および径方向の動きを制限する（ステップＳ１）。また、リング昇降機構６５Ｃを駆動して、リング昇降アーム６５２Ｃを介して、リング支持部６６Ｃを軸方向下側の所定の高さ（待機位置Ｐ５）まで下降させる。そして、リング支持部６６Ｃを、下側リング１１２Ｃとの間に十分な軸方向の間隔を維持しつつ、保持する。また、シャフト１０Ｃの上端部が第２押圧接触部６３３Ｃの真下に位置するように、調整する。さらに、シャフト１０Ｃの下端部を、第１変位計接触部６１３Ｃを介して弾性部材６１４Ｃの上端部に間接的に接触させる。
【００７８】
続いて、図１３に示すステップＳ２〜ステップＳ５に進む。ステップＳ２〜ステップＳ５については、第１実施形態および第２実施形態のステップＳ２〜ステップＳ５と同等であるため、重複説明を省略する。なお、上述のとおり、ステップＳ２において、シャフト１０Ｃに固定された下側リング１１２Ｃとリング支持部６６Ｃとの間には、軸方向の間隔が十分に確保されているため、シャフト１０Ｃを押し下げた場合でも、これらは互いに接触しない。ステップＳ５において、移動距離Ｄ１の測定結果が所定の寸法の許容範囲よりも大きいと判断された場合、移動距離Ｄ１が示すスラスト間隙、すなわちハブ５０Ｃと上側リング１１１Ｃおよび下側リング１１２Ｃとの間の軸方向の隙間寸法を小さくするための調整（ステップＳ６〜ステップＳ８）を行う。
【００７９】
スラスト間隙を小さくするための調整として、まず、第２押圧部６３Ｃの駆動を停止ししたまま、かつ、弾性部材６１４Ｃの弾性力Ｅによってシャフト１０Ｃを押し上げたまま、下側リング１１２Ｃの下面が、リング支持部６６Ｃの上面から間隔をあけて上側に位置していることを確認する（ステップＳ６）。これにより、後述するリング支持部６６Ｃの移動作業への支障を抑制できる。また、ステップＳ６と前後して、制御表示部６７Ｃは、ステップＳ４における移動距離Ｄ１の測定結果が、所定の値からどの程度ずれているかを算出し、ハブ５０Ｃと上側リング１１１Ｃおよび下側リング１１２Ｃとの間の軸方向の隙間寸法に係る、小さくするべき目標値Ｄｔを算出する。ただし、目標値Ｄｔは、制御表示部６７Ｃの表示画面に表示された移動距離Ｄ１の測定結果に関する情報に基づき、作業者が算出してもよい。
【００８０】
次に、リング昇降機構６５Ｃを駆動して、リング支持部６６Ｃを、待機位置Ｐ５から、待機位置Ｐ５よりも軸方向上側の支持位置Ｐ６まで、軸方向に移動させることにより、リング支持部６６Ｃの上面を、下側リング１１２Ｃの下面に接触させる（ステップＳ７）。なお、その際、第２押圧部６３Ｃを駆動し、シャフト１０Ｃの上端部を、例えば第１押圧力Ｆ１で下方へ押し下げることが望ましい。これにより、下側リング１１２Ｃの下面をリング支持部６６Ｃの上面により確実に接触させることができる。そして、下側リング１１２Ｃの下面がリング支持部６６Ｃの上面に接触した時点で、リング昇降機構６５Ｃの駆動を停止し、リング支持部６６Ｃを所定の高さ（支持位置Ｐ６）に保持する。
【００８１】
続いて、図９に示すステップＳ８に進む。ステップＳ８については、第１実施形態および第２実施形態のステップＳ８と同等であるため、重複説明を省略する。図１４は、第３実施形態に係るスラスト間隙を調整する様子を模式的に示す断面図である。図１４は、ステップＳ８が終了した時点の状態を示している。図１４に示すとおり、ステップＳ８において、下側リング１１２Ｃは、支持位置Ｐ６にあるリング支持部６６Ｃによって軸方向下側への動きが制限されている。また、ハブ支持部６４Ｃによって、ハブ５０Ｃは一定の高さに保持されている。
【００８２】
さらに、第１実施形態および第２実施形態と同様に、第１変位計６１Ｃを用いて、ステップＳ８におけるシャフト１０Ｃの軸方向の移動距離Ｄ２を測定する。また、第２変位計６８Ｃを用いて、ステップＳ８における下側リング１１２Ｃの周縁部の軸方向の変位Ｄ３を測定する。そして、これらの測定結果に基づき、ステップＳ９〜ステップＳ１１に進む。ステップＳ９〜ステップＳ１１については、第１実施形態および第２実施形態のステップＳ９〜ステップＳ１１と同等であるため、重複説明を省略する。上述のとおり、第１実施形態および第２実施形態と同様に、単一の装置である測定調整装置６Ｃを用いて、軸受を形成する各部材間のスラスト間隙を高精度で測定し、さらに測定結果に基づき高精度で調整を行うことができる。これにより、測定および調整を互いに別の装置で行う場合と比べて、当該別の装置への各部材の載せ替えに伴う、スラスト間隙の測定および調整の誤差およびばらつきを抑制できる。この結果、軸受の最終的な組立精度を向上できる。
【００８３】
＜４．変形例＞
以上、本発明の例示的な実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態には限定されない。
【００８４】
上述の実施形態および変形例では、「モータ」の一例として、ディスク駆動装置に用いられるスピンドルモータを例に挙げて説明した。しかし、本発明の測定対象となるモータは、例えば空気流を供給するファンモータ等の他のモータであってもよい。
【００８５】
なお、測定調整装置、モータ、およびディスク駆動装置の細部の形状は、本願の各図に示された構成および形状と、相違していてもよい。また、上記の実施形態や変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明は、測定調整方法および測定調整装置に利用できる。
【符号の説明】
【００８７】
１  スピンドルモータ
６，６Ｂ，６Ｃ  測定調整装置
９，９Ｂ，９Ｃ  中心軸
１０，１０Ｂ，１０Ｃ  シャフト
１１  環状部材
２０  回転部
２１  スリーブ
２１Ｃ  溝
２２  アウターハブ
２３  クランプ部材
２４  ロータマグネット
２５  ヨーク
３０  ステータユニット
３１  ステータコア
３２  コイル
４０  ベース部
５０，５０Ｂ，５０Ｃ  ハブ
６０，６０Ｂ，６０Ｃ  装置フレーム
６１，６１Ｂ，６１Ｃ  第１変位計
６２，６２Ｂ，６２Ｃ  第１押圧部
６３，６３Ｂ，６３Ｃ  第２押圧部
６４，６４Ｂ，６４Ｃ  ハブ支持部
６５  ハブ昇降機構
６５Ｂ  リング開閉機構
６５Ｃ  リング昇降機構
６６，６６Ｂ，６６Ｃ  リング支持部
６７，６７Ｂ，６７Ｃ  制御表示部
６８，６８Ｂ，６８Ｃ  第２変位計
７１Ａ  外周面
７１Ｂ  外周面
７２Ａ  外周面
７２Ｂ  外周面
１００  ディスク駆動装置
１０１  磁気ディスク
１０２  アクセス部
１０３  ハウジング
１０４  カバー部
１０５  スペーサ
１０６  スペーサ
１０７  ヘッド
１０８  アーム
１０９  ヘッド移動機構
１１１，１１１Ｂ，１１１Ｃ  上側リング
１１２，１１２Ｂ，１１２Ｃ  下側リング
２１０  第１貫通孔
２１１Ａ  第１内周面
２１１Ｂ  第２内周面
２１２Ａ  第１内周面
２１２Ｂ  第２内周面
２２１  フランジ部
３００  シール部材
６０１  上側壁部
６０２  下側壁部
６１１  第１変位計本体
６１２  第１変位計変位部
６１３，６１３Ｂ，６１３Ｃ  第１変位計接触部
６１４，６１４Ｂ，６１４Ｃ  弾性部材
６３１  第２押圧本体
６３２  第２押圧変位部
６３３，６３３Ｂ，６３３Ｃ  第２押圧接触部
６５１  ハブ昇降本体
６５１Ｂ  リング開閉本体
６５１Ｃ  リング昇降本体
６５２  ハブ昇降アーム
６５２Ｂ  リング開閉アーム
６５２Ｃ  リング昇降アーム
６６０，６６０Ｃ  貫通孔
６６１，６６１Ｂ，６６１Ｃ  第２貫通孔
６８０，６８０Ｂ，６８０Ｃ  測定光
Ｅ  弾性力
Ｆ１  第１押圧力
Ｆ２  第２押圧力
【図１】
2019140715.tif 000003
【図２】
2019140715.tif 000004
【図３】
2019140715.tif 000005
【図４】
2019140715.tif 000006
【図５】
2019140715.tif 000007
【図６】
2019140715.tif 000008
【図７】
2019140715.tif 000009
【図８】
2019140715.tif 000010
【図９】
2019140715.tif 000011
【図１０】
2019140715.tif 000012
【図１１】
2019140715.tif 000013
【図１２】
2019140715.tif 000014
【図１３】
2019140715.tif 000015
【図１４】
2019140715.tif 000016