(57)【要約】【課題】本発明の課題は、ローターディスクの、特に真空パフォーマンスに関する貢献を、更に改善することである。【解決手段】課題は、ターボ分子ポンプであって、隣接して配置された少なくとも二つのローターディスク（４００）を有し、これらローターディスクが、其々、周囲方向に分配して配置された複数の羽根（４０２）を有し、これら羽根が、羽根基部（４０４）から出発して半径方向外側に向かって延びており、その際、各ローターディスク（４００）の少なくとも一つの羽根基部（４０４）に、少なくとも一つの、特に歯のような突出部（４１２）が設けられていることを特徴とするターボ分子真空ポンプにより解決される。【選択図】図１
2019065857.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターボ分子ポンプであって、隣接して配置された少なくとも二つのローターディスク（４００）を有し、これらローターディスクが、其々、周囲方向に分配して配置された複数の羽根（４０２）を有し、これら羽根が、羽根基部（４０４）から出発して半径方向外側に向かって延びており、
その際、各ローターディスク（４００）の少なくとも一つの羽根基部（４０４）に、少なくとも一つの、特に歯のような突出部（４１２）が設けられていることを特徴とするターボ分子真空ポンプ。
【請求項２】
突出部（４１２）が、羽根基部（４０４）の吸引側、及び／又は圧力側の端部に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のターボ分子真空ポンプ。
【請求項３】
突出部（４１２）が、其々、羽根基部（４０４）の二つの面の間のジャンプ部によって形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のターボ分子真空ポンプ。
【請求項４】
面（４０６）が平らであることを特徴とする請求項３に記載のターボ分子真空ポンプ。
【請求項５】
突出部（４１２）が、第一の側面（４１４）を有し、この側面が、隣接する第一の羽根（４０２）に対して少なくとも基本的に平行に延びていることを特徴とする請求項１から４の少なくとも一項に記載のターボ分子真空ポンプ。
【請求項６】
突出部（４１２）が、其々、第二の側面（４１６）を有し、この側面が、隣接する第二の羽根（４０２）に対して少なくとも基本的に直角に延びていることを特徴とする請求項１から５の少なくとも一項に記載のターボ分子真空ポンプ。
【請求項７】
羽根基部（４０４）に、ポンプ方向で互いに向かい合った二つの突出部（４１２）が形成されていることを特徴とする請求項１から６の少なくとも一項に記載のターボ分子真空ポンプ。
【請求項８】
ポンプが、ローターディスクを担持するローターの為の支承装置を有し、その際、支承装置の第一の支承部が、ローラー支承部として、そして支承装置の第二の支承部が、磁石支承部として形成されていることを特徴とする請求項１から７の少なくとも一項に記載のターボ分子真空ポンプ。
【請求項９】
複数のローターディスク（４００）が、一つの共通の部材にまとめられていることを特徴とする請求項１から８の少なくとも一項に記載のターボ分子真空ポンプ。
【請求項１０】
隣接する少なくとも二つのローターディスク（４００）を有するターボ分子真空ポンプの製造の為の方法であって、ローターディスクが、其々、周囲方向に分配して配置された複数の羽根（４０２）を有し、これら羽根が其々、羽根基部（４０４）から出発して半径方向外側に向かって延びており、
その際、各ローターディスク（４００）の少なくとも一つの羽根基部（４０４）に、少なくとも一つの、特に歯の様な突出部（４１２）が形成されることを特徴とする方法。
【請求項１１】
羽根（４０２）が、其々、突出部（４１２）も含めローターディスクからの切り出しによって作られることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
突出部（４１２）が、羽根基部（４０４）における二つの面（４０６）、及び、その際、当該面（４０６）の間のジャンプ部としての突出部（４１２）を形成する一つの処理ツールの二度の作業動作によって形成されることを特徴とする請求項１０または１１に記載の方法。
【請求項１３】
第一の羽根（４０２）の上面と、隣接する羽根（４０２）の向かい合った下面が其々、一つの処理ツールの二度の作業動作の一方によって形成されることを特徴とする請求項１０から１２の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１４】
各作業動作が線状に進行することを特徴とする請求項１２または１３に記載の方法。
【請求項１５】
作業動作が、異なる移動方向を有することを特徴とする請求項１２から１４の少なくとも一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、隣接して配置される少なくとも二つのローターディスクを有するターボ分子真空ポンプに関する。これらローターディスクは、其々、周囲方向に分配して配置された複数の羽根を有する。羽根は、其々、羽根基部から半径方向外側に向かって延びている。
【背景技術】
【０００２】
更に本発明は、隣接する少なくとも二つのローターディスクを有し、これらローターディスクが其々、周囲方向に分配して配置された複数の羽根を有し、これら羽根が其々、羽根基部から半径方向外側に向かって延びているターボ分子真空ポンプの製造の為の方法に関する。
【０００３】
ターボ分子真空ポンプは、異なる技術領域で使用される。各プロセスに必要な真空を達成するためである。ターボ分子真空ポンプ、又は略してターボ分子ポンプは、ローター軸の方向に連続する複数のステーターディスクを有するステーターと、ステーターに対してローター軸を中心として回転可能に支承されたローターを有する。ローターは、ローターシャフトと、ローターシャフトに設けられ、軸方向に連続し、そしてステーターディスクの間に配置された複数のローターディスクを有する。その際、ステーターディスクとローターディスクは、其々ポンプ効果を発する構造を有している。
【０００４】
羽根基部とは、その領域中で、ローターディスクの各羽根が、半径方向で見て内側で開始している領域と解されよう。その際、この羽根基部は、従来公知のローターディスクにおいては常に滑らかに、又は平らに形成されている。
【０００５】
真空ポンプの性能、又はパフォーマンスと、特にその達成可能な真空に関するパフォーマンスは、多数のファクターに依存している。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、ローターディスクの、特に真空パフォーマンスに関する貢献を、更に改善することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題は、請求項１に記載の特徴を有するターボ分子真空ポンプによって解決され、そして特に、各ローターディスクの少なくとも一つの羽根基部に、少なくとも一つの、特に刃のような突出部が設けられていることによって解決される。
【０００８】
ポンプの少なくとも二つのローターディスクの其々は、つまり一つの突出部を有する少なくとも一つの羽根基部を有する。特に、少なくとも二つのローターディスクの其々は、複数の羽根基部に、特に全ての羽根基部に、発明に従い突出部を有していることが可能である。
【０００９】
発明に係る形成に基づいて、真空ポンプの性能、特に真空パフォーマンスに対するローターディスクの貢献は、更に改善される。羽根基部の領域、または羽根基部の領域内に設けられる突出部によって、真空ポンプのポンプインレットからポンプアウトレットへと搬送すべきガスは、各羽根基部の領域においても補足され、そして回転させられ、これによって交差する羽根領域に至り、ポンプアウトレットの方向へと更に搬送される。よって、搬送すべきガスは、各羽根基部の領域においても、理想的な法王で、回転するローターディスクによって捕捉され、これによってポンプ作用が相応して高められる。
【００１０】
一つの実施形においては、突出部は、羽根基部の吸引側の端部、及び／又は圧力側の端部において形成されている。
【００１１】
突出部は、これが其々、羽根基部の二つの面の間のジャンプ部によって形成されているとき、特に簡単に形成されることが可能である。当該面は、例えば切削によって、特にフライス加工によって、及び／又は鋸加工によって形成されることが可能である。好ましくは、当該面と、ひいては突出部が其々、羽根の形成の際、特にローターディスクからの羽根の鋸切出しの際に生ずる。突出部を形成する為のみの独立した作業工程は、よって必要無い。これによって特別簡単に真空ポンプパフォーマンスが改善される。
【００１２】
一つの実施形においては、当該面は平らである。これは、その製造を更に簡単にする。
【００１３】
特に、突出部は、とがって、例えばピラミッド形状に、特に三角ピラミッドとして、又は三つの集中する面によって形成されていることが可能である。
【００１４】
発展形に従い、突出部は、第一の側面を有する。この側面は、隣接する第一の羽根に対して少なくとも基本的に平行に延びている。よって突出部は、真空技術的に羽根と理想的に相互作用することが可能である。その上、そのような突出部、特に羽根に対して平行な面は、例えばこれに平行な羽根と同じツールによって、及び／又は同じ作業動作によって特に簡単に製造されることができる。
【００１５】
別の実施形においては、突出部が、其々二つの側面を有し、これらが、隣接する第二の羽根に対して少なくとも基本的に垂直に推移することが意図されている。これは、最適には、この側面において、突出部がこれに対して垂直な羽根に対して真空技術的にネガティブに作用することを防止する。垂直な面も、特に簡単に、例えば切削によって、例えばこれに垂直な羽根と同じツール、及び／又は同じ作業動作で製造されることが可能である。
【００１６】
突出部は、それぞれ第三の側面を有し、これがポンプのローター軸に対して少なくとも基本的に垂直に延びていることが意図され得る。例えば、第三の側面が、ローターディスクの正面に対して平行、及び／又は平らである、又はその一部を形成することが可能である。
【００１７】
第一、第二、又は第三の側面、又は羽根に関する限り、これは単に、以下に記載する図面の説明の理解と、それに関して使用されるべきであろうが、しかし、相応する側面又は羽根に実際に設けられる数量には関しないと解される。その限りにおいて、例えば突出部に単に一つの、ローター軸に対して直角な側面、及び／又は、隣接する羽根に対して垂直な側面のみが設けられていることも可能である。
【００１８】
別の実施形においては、羽根基部に、ポンプ方向において互いに向かい合った二つの突出部が形成されている。特に、吐出部は、其々一つの側面と、ローターディスクの正面を形成し、及び／又は、そのようなものと一致することが意図され得る。突出部は、対称的に配置され、及び／又は形成されていることが可能である。
【００１９】
別の実施例に従い、突出部が、各ローターディスクの周囲に関して反対の方向に傾斜させられているとき、パフォーマンスがさらに改善される。例えば、圧力側に配置された突出部の少なくとも一つのコンポーネント（要素）は回転方向に向けられていることが可能である。代替的に、又は追加的に、吸引側に配置された突出部の少なくとも一つのコンポーネント（要素）が回転方向と逆に向けられていることが可能である。
【００２０】
一つの発展形に従い、ポンプは、ローターディスクを担持するローターの為の支承装置を有することができる。その際、支承装置の第一の支承部は、ローラー支承部として、そして支承装置の第二の支承部は、磁石支承部として形成されている。そのような支承は、ハイブリット支承装置とも称される。
【００２１】
特に有利には、ローターディスクが一つの共通の部材にまとめられているとき、ターボ分子真空ポンプが製造され、そして運転され得る。
【００２２】
本発明の課題は、請求項１０に記載の方法によっても解決され、そして特に、各ローターディスクの少なくとも一つの羽根基部に、少なくとも一つの、特に歯の様な突出部が形成されることによって解決される。
【００２３】
当該方法の一つの実施形に従い、羽根が、各突出部を含め、ローターディスクから切削により（ｓｐａｎｅｎｄ）、特に切り出されて製造されることが可能である。これは特に、突出部の少なくとも一つの側面が、隣接する羽根の側面と、特に同じツールによって、及び／又は同じ作業動作によって形成されるとき、特に簡単な製造方法である。
【００２４】
突出部は、羽根基部において二つの平面と、当該平面の間のジャンプ部としての突出部を形成する処理ツールの二つの作業動作によって形成されることにより、特に簡単、かつ安価に、突出部が製造されることが可能である。特にその際、当該（複数の）平面が、互いに向き合った、特に軽く傾いた面として形成される。
【００２５】
一つの発展形は、其々、第一の羽根の上面と、隣接する羽根の向かい合った下面が、一つの処理ツールの二つの作業動作のうちの其々一つの作業動作によって形成されることを意図する。
【００２６】
例えば、二つの作業動作の一番目が、第一の突出部の第一の側面と第二の突出部の第二の側面を、及び／又は、第二の作業動作の二番目が、第一の突出部の第二の側面と、第二の突出部の第一の側面を形成する。これによって、羽根中間空間ごとに二つの作業動作のみによって、ポンプ効果を発する構造が羽根基部に作られることが可能であり、そしてこれら作業動作によって同様に羽根の下面及び上面が形成される場合には、特に完全なポンプ効果を発する構造が作られることが可能である。これは、特に簡単かつ安価な製造に有益である。
【００２７】
特に、各作業動作は、リニアに進行可能である。作業動作は、よって特別簡単に計画、又はプログラムされることが可能である。各作業動作は、例えばローターディスクの為に予定（用意）される生ディスクを横断して進行可能である。例えば、作業動作は、生ディスクの通過を含むことが可能である。
【００２８】
発展形においては、当該（複数の）作業動作が異なる移動方向を有することが意図されている。その際、作業動作は、例えば互いに反対方向であり、特に経度に傾いた気導を有することが可能であり、及び／又は傾いた直線に沿って進行することが可能である。（複数の）作業動作は、例えばローターディスクに対して異なる角度を有し得る。
【００２９】
発明に係るターボ分子ポンプは、発明に係る方法のここに記載した実施形の意味においても有利に発展させられることが可能であり、そして逆もしかりである。
【００３０】
以下に本発明を添付の図面を参照しつつ有利な実施形に基づいて説明する。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】ターボ分子ポンプの斜視図
【図２】図１のターボ分子ポンプの下側の図
【図３】図２に示された切断線Ａ−Ａに沿うターボ分子ポンプの断面図
【図４】図２に示された切断線Ｂ−Ｂに沿うターボ分子ポンプの断面図
【図５】図２に示された切断線Ｃ−Ｃに沿うターボ分子ポンプの断面図
【図６】ターボ分子ポンプのローターディスク
【図７】発明に係るターボ分子ポンプの二つのローターディスク
【図８】図７のローターディスクの別の斜視図
【図９】発明に係るターボ分子ポンプのローターディスクの上面図
【発明を実施するための形態】
【００３２】
本発明が意図されていることが可能である図１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３によって取り囲まれるポンプインレット１１５を有する。ポンプインレットには、公知の方法で図示されないレシーバーが接続されることが可能である。レシーバーからのガスは、ポンプインレット１１５を介してレシーバーから吸引され、そしてポンプを通してポンプアウトレット１１７へと搬送されることが可能である。これには、予真空ポンプ（例えばロータリーベーンポンプのようなもの）が接続されていることが可能である。
【００３３】
インレットフランジ１１３は、図１の真空ポンプの向きにおいて、真空ポンプ１１１のハウジングの上側の端部を形成する。ハウジング１１９は、下部分１２１を有する。これには、側方にエレクトロニクスハウジング１２３が設けられている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、電気的、及び／又は電子的な真空ポンプ１１１のコンポーネントが入れられている。これは例えば、真空ポンプ内に配置された電動モーター１２５の駆動の為のものである。エレクトロニクスハウジング１２３は、アクセサリの為の複数の接続部１２７を設けられている。その上、データインターフェース１２９、例えばＲＳ４８５スタンダードに従うものと、電流供給接続部１３１がエレクトロニクスハウジング１２３に設けられている。
【００３４】
ターボ分子ポンプ１１１のハウジング１１９には、フラットインレット１３３、特にフラットバルブの形式のものが設けられている。これを介して真空ポンプ１１１は、溢出可能である。下部分１２１の領域には、更に、シールガス接続部１３５が設けられている。これは、洗浄ガス接続部とも称される。これを介して、ポンプによってモーター室１３７内に搬送されるガスに対する電動モーター１２５の保護の為の洗浄ガスが、運ばれることが可能である。モーター室１３７内には、真空ポンプ１１１内の電動モーター１２５が入れられている。下部分１２１内には、更に、二つの冷却媒体接続部１３９が設けられている。その際、冷却媒体の為の冷却媒体接続部の一方はインレットとして、そして冷却媒体接続部の他方は、アウトレットとして設けられている。これは、冷却目的で真空ポンプ内に導かれることができる。
【００３５】
真空ポンプの下側の面１４１は、起立面として使用されるので、真空ポンプ１１は下側面１４１状に起立して運転されることが可能である。しかしまた、真空ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３を介してレシーバーに固定されることも可能である。これによっていわば懸吊・懸架されて運転されることができる。その上、真空ポンプ１１１は、図１に示されているのとことなるように向けられているとき、これが運転されることが可能であるよう形成されていることも可能である。下側面１４１が、下に向かってでなく、当該側の方に向けて、又は上に向けられて配置されることも可能である真空ポンプの実施形も実現可能である。
【００３６】
図２に表されている下側面１４１には、いくつかのスクリュー１４３が設けられている。これによって、ここでは更に特定されない真空ポンプの部材が互いに固定されている。例えば、支承部カバー１４５が下側面１４１に固定されている。
【００３７】
下側面１４１には、更に複数の固定孔１４７が設けられている。これを介して、ポンプ１１１が、例えば当接面に固定されることが可能である。
【００３８】
図２から５には、冷却媒体配管１４８が表されている。この中で、冷却媒体接続部１３９を介して導入及び導出される冷却媒体が循環されることが可能である。
【００３９】
図３から５の断面図に示すように、真空ポンプは、複数のポンプ段を有する。ポンプインレット１１５におよぶプロセスガスをポンプアウトレット１１７に搬送するためのものである。
【００４０】
ハウジング１１９内には、ローター１４９が設けられている。これは、回転軸１５１を中心として回転可能なローターシャフト１５３を有している。
【００４１】
ターボ分子ポンプ１１１は、ポンプ効果を奏するよう互いにシリアルに接続された複数のターボ分子ポンプ段を有する。これは、ローターシャフト１５３に固定された半径方向の複数のローターディスク１５５と、ローターディスク１５５の間に配置され、ハウジング１１９内に固定されて複数のステーターディスク１５７を有する。その際、ローターディスク１５５、および隣接するステーターディスク１５７は、各一のターボ分子ポンプ段を形成する。ステーターディスク１５７は、スペーサーリング１５９によって所望の軸方向間隔に互いに保持されている。
【００４２】
真空ポンプは、その上、半径方向において互いに入れ子式に配置され、そしてポンプ効果を奏するよう互いにシリアルに接続されたホルベックポンプ段を有している。ホルベックポンプ段のローターは、ローターシャフト１５３に設けられたローターハブ１６１と、ローターハブ１６１に固定され、そしてこれによって担持されるシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ１６３，１６６を有する。これらは、回転軸１５１に対して同軸に向けられており、そして半径方向で互いに入れ子式に接続されている。更に、二つのシリンダー側面形状のホルベックステータースリーブ１６７，１６９が設けられている。これらは、どうように回転軸１５１に対して同軸に向けられており、半径方向でみて互いに入れ子式に接続されている。
【００４３】
ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する表面は、ホルベックロータースリーブ１６３，１６５とホルベックステータースリーブ１６７，１６９の側面によって、つまり半径方向内側面及び／又は外側面形成されている。外側のホルベックステータースリーブ１６７の半径方向内側面は、外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向外側面と、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ向かい合っており、そしてこれともに、ターボ分子ポンプ段に続く第一のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向内側面は、内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向外側面と、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ向かい合っており、そしてこれとともに、第二のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックスタータースリーブ１６９の半径方向内側面は、内側のホルベックロータースリーブ１６５の半径方向外側面と半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ向かい合っており、そしてこれと共に、第三のホルベックポンプ段を形成する。
【００４４】
ホルベックロータースリーブ１６３の下側の端部には、半径方向に推移するチャネルが設けられていることが可能である。これを介して、半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が中央のホルベック間隙１７３と接続されている。更に、内側のホルベックステータースリーブ１６９の上側の端部には、半径方向に推移するチャネルが設けられていることが可能である。これを介して、中央のホルベック間隙１７３が半径方向内側のホルベック間隙１７５と接続されている。これによって、互いに入れ子式に接続されたホルベックポンプ段が、互いにシリアルに接続される。半径方向内側に位置するホルベックロータースリーブ１６５の下側の端部は、更に、アウトレット１１７への接続チャネル１７９を設けられていることが可能である。
【００４５】
ホルベックステータースリーブ１６３，１６５の上述したポンプ効果を発する表面は、其々、回転軸１５１の周りを軸方向にらせん形状に推移する複数のホルベック溝を有する。他方で、ホルベックロータースリーブ１６３，１６５の向かい合った側面は滑らかに形成されており、そしてガスを真空ポンプ１１１の運転の為、ホルベック溝内へと促進する。
【００４６】
ローターシャフト１５３の回転可能な支承の為に、ローラー支承部１８１がポンプアウトレット１１７の領域に設けられ、そして永久磁石支承部１８３がポンプインレット１１５の領域内に設けられている。
【００４７】
ローラー支承部１８１の領域内には、ローターシャフト１５３に円すい形のスプラッシュナット１８５が設けられている。これは、ローラー支承部１８１の方に向かって増加する外直径を有している。スプラッシュナット１８５は、少なくとも一つのスキマー（作動媒体貯蔵部のスキマー）と滑り接触している。作動媒体貯蔵部は、互いに積層された吸収性の複数のディスク１８７を有する。これは、ローラー支承部１８１の為の作動媒体、例えば潤滑剤を染み込ませられている。
【００４８】
真空ポンプ１１の運転中、作動媒体を毛細管効果によって作動媒体貯蔵部からスキマーを介して、回転するスプラッシュナット１８５へと伝達する。そして遠心力によってスプラッシュナット１８５に沿って大きくなる外直径１８５（スプラッシュナット９２の外直径）の方へと、ローラー支承部１８１に向かって搬送される。そこで例えば潤滑機能を発揮する。ローラー支承部１８１と作動媒体貯蔵部は、槽形状のインサート１８９と支承部カバー１４５によって真空ポンプ内にはめ込まれている。
【００４９】
永久磁石支承部１８３は、ローター側の支承半部１９１とステーター側の支承半部１９３を有する。これらは、其々、リング積層部を有する。リング積層部は、軸方向に連続して積層された永久磁石の複数のリング１９５，１９７から成っている。リングマグネット１９５，１９７は、互いに半径方向の支承間隙１９９を形成しつつ互いに向かい合っている。その際、ローター側のリングマグネット１９５は半径方向外側に配置され、そしてステーター側のリングマグネット１９７は半径方向内側に配置されている。支承間隙１９９内に存在する磁場は、磁気的な反発力をリングマグネット１９５，１９７の間に引き起こす。これは、ローターシャフト１５３の半径方向の支承を実現する。ローター側のリングマグネット１９５は、ローターシャフト１５３の担持部分２０１によって担持されている。これはリングマグネット１９５を半径方向外側で取り囲んでいる。ステーター側のリングマグネット１９７は、ステーター側の担持部分により担持されている。これは、リングマグネット１９７を通って延在し、そしてハウジング１１９の半径方向の支柱に懸架されている。回転軸１５１に平行に、ローター側のリングマグネット１９５が担持部分２０３と連結あされたカバー要素２０７によって固定されている。ステーター側のリングマグネット１９７は、回転軸１５１に平行に、一方の方向で担持部分２０３と接続される固定リング２０９によって、及び担持部分２０３と接続される固定リング２１１によって固定されている。固定リング２１１とリングマグネット１９７の間には、更にさらばね２１３が設けられていることが可能である。
【００５０】
磁石支承部の内部には、緊急用又は安全用支承部２１５が設けられている。これは、真空ポンプの通常の運転では非接触で空転し、そしてローター１４９がステーターに対して半径方向に過剰に偏向した際に初めて係合するに至り、ローター１４９のための半径方向のストッパーを形成する。ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのを防止するためである。安全用支承部２１５は、潤滑されていないローラー支承部として形成されており、そしてローター、及び／又はステーターと半径方向の間隙を形成する。この間隙は、安全用支承部２１５が通常運転中は、係合外であることを実現する。安全用支承部２１５が係合する半径方向の偏向は、十分大きくとられているので、安全用支承部２１５は真空ポンプの通常の運転では係合せず、そして同時に十分小さいので、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突することがあらゆる状況で防止される。
【００５１】
真空ポンプ１１１は、ローター１４９の回転駆動の為の電動モーター１２５を有する。電動モーター１２５のアンカーは、ローター１４９によって形成されている。そのローターシャフト１５３は、モーターステーター２１７を通って延在している。モーターステーター２１７を通って延在するローターシャフト１５３の部分には、永久磁石装置が半径方向外側に配置されているか、又は埋め込まれて配置されていることが可能である。モーターステーター２１７とモーターステーター２１７を通って延在するローター１４９の部分の間には、中間空間２１９が設けられている。この中間九九間は、半径方向のモーター間隙を有する。これを介してモーターステーター２１７と永久磁石が駆動トルク伝達のため磁気的に影響することが可能である。
【００５２】
モーターステーター２１７は、ハウジング内、電動モーター１２５の為に設けられるモーター室１３７内に固定されている。シールガス接続部１３５を介して、シールガス（洗浄ガスとも称され、そして例えば空気又は窒素であることが可能である）がモーター室１３７内へと至る。シールガスを介して、電動モーター１２５がプロセスガス（例えば腐食性に作用するプロセスガスの部分）から保護されることが可能である。モーター室１３は、ポンプアウトレット１１７を介して真空引きされることも可能である。つまりモーター室１３７内は、少なくとも近似的に、ポンプアウトレット１１７に接続される予真空ポンプによって引き起こされる真空圧となっている。
【００５３】
ローターハブ１６１とモーター室１３７の間を画成する壁部２２１は、更に一つのいわゆる、それ自体公知であるラビリンスシール２２３を設けられていることが可能である。特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対するモーター室２１７のより良好なシールを達成するためである。
【００５４】
図６は、先行技術のローターディスク３００の一部を上面図で、又は詳細に表されないローター軸に平行な切断線による図で示す。ローターディスク３００は、周囲方向に分配された設けられる複数の羽根３０２を有する。これらの間にはそれぞれ羽根基部３０４が形成されている。各羽根基部３０４は、基本的に均等に、かつ丸めとして形成されている。これは其々、隣接する羽根３０２の上側及び下側を接続する。
【００５５】
発明に係るターボ分子真空ポンプの発明に従い形成された二つのローターディスク４００が、図７によって斜視図で示されている。各ローターディスク４００は、同様に、周囲方向に分配して配置された複数の羽根４０２を有する。これらのうち、本発明の説明のために例示的に第一の羽根４０２ａと第二の羽根４０２ｂが援用される。羽根４０２ａと４０２ｂは、一つの羽根基部４０４によって接続されている。羽根基部４０４は、二つの平面４０６ａと４０６ｂによって形成されている。当該面４０６ａは、第一の羽根４０２の上面４０８に対して垂直に延びている。面４０６ａは、第二の羽根４０２ｂの下面４１０に対して垂直に延びている。面４０６ａと４０６ｂは、その際、上面４０８と下面４１０が、互いに軽く傾いて配置されている。
【００５６】
羽根基部４０４は、歯部４１２ａ及び４１２ｂとして形成され、そして対称に配置され、そして形成された二つの突出部を有する。歯部４１２ａと４１２ｂは、その際、両方の面４０６ａと４０６ｂの間のジャンプ部として形成されている。歯部４１２ａは、ローターディスク４００に圧力側に設けられ、そして歯部４１２ｂは、ローターディスク４００に吸引側に設けられている。
【００５７】
各ローターディスク４００の形成の為、ポンプ効果を発する構造、つまり羽根４０２と羽根基部４０４が、一つのローターディスクから切り出されている。その際、回転する丸鋸ブレードが、二度の作業動作中にローターディスクを通って移動させられ、羽根４０２ａの上面４０８、羽根基部４０４、及び羽根４０２ｂの下面４１０を形成する。
【００５８】
線形的に行われる第一の作業動作においては、鋸ブレードによって羽根４０２ａの上面４０８と面４０６ａがそれぞれ平らに形成される。その際、上面４０８に対して材料が残される。これは、面４０６ｂを形成する第二の作業動作と関連して、歯部４１２ａを形成する。歯部４１２ａは、つまり上面４０８に対する間隔を有する。これは、特に使用される鋸ブレードの幅に相当する。第一の側面４１４ａは、その際、羽根４０２ａの上面４０８に対して平行に延びている。
【００５９】
既に示唆した通り第二の面４０６ｂは、羽根４０２ｂの下面４１０と共に、同様に線形的である第二の作業動作によって丸鋸により、特に同じ丸鋸によって形成される。しかしその際、第二の作業動作は、ローターディスクに対して、第一の作業動作に対して軽く傾けられて行われる。丸鋸ブレードは、仮面４１０に対して材料を残す。この材料は、第一の作業動作と関連して歯部４１２ｂを形成する。歯部４１２ｂもまた、第一の側面４１４ａを有する。この側面は、向かい合った羽根面、ここでは羽根４０２ｂの下面４１０に対して平行に延びており、そしてこれに対して角度をあけてツール直径に相当している。
【００６０】
第一及び第二の作業動作は、上述した順番で実施される必要はないと解される。例えば、第一のさ魚ウ動作ががまず、複数、又は全ての羽根に対して実施され、そして引き続いて第二の作業動作が、複数、又は全ての羽根に対して実施されることも可能である。また、先ず第二の作業動作が、そして引き続いて第一の作業動作が、一、複数、又は全ての羽根に対して実施されることも可能である。
【００６１】
例示的に歯部４１２に対して援用される歯部４１２ａは、基本的には、三角ピラミッドとして形成されており、そして一つの先端で周囲方向を指し、しかも、ここでは、ローターディスク４００の回転方向を指し、他方で歯部４１２ｂはこの回転方向と反対を指す。
【００６２】
歯部４１２ａは、第二の側面４１６ａを有する。この側面は、羽根４０２ｂの下面に対して平行に延びており、そして面４０６ｂと一致する。この面は、つまり第二の作業動作によって形成されたものである。歯部４１２ａの第三の側面４１８ａは、ローターディスク４００の正面と一致する。歯部４１２ｂは、相応して形成されている。しかしその際、歯部４１２ｂの第二の側面４１６ｂは、面４０６ａと一致し、そして第一の作業動作の際に形成されたものである。歯部４１２ｂの第三の側面は、ローターディスク４００の吸引側の正面と一致し、しかし図７では選択された視点に基づいて見ることができない。
【００６３】
図８には、図７のローターディスク４００が少し別の視点で示されている。ここでは例えば吸引側の歯部４１２ｂの第一の側面４１４ｂがより良好に見て取れる。
【００６４】
図９は、図７および８のローターディスク４００の上面図を示す。その際、羽根４０２の外側の端部は、詳細に表されていないターボ分子真空ポンプのフランジの周回するエッジ部によって覆い隠されている。図９に見て取れるように、ローター羽根４０２の間に設けられる各羽根基部４０４には、歯部４１２ａが設けられている。このうち、第三の側面４１８ａのみが見て取れる。歯部４１２ａは、回転方向に傾いている。
【符号の説明】
【００６５】
１１１  ターボ分子ポンプ
１１３  インレットフランジ
１１５  ポンプインレット
１１７  ポンプアウトレット
１１９  ハウジング
１２１  下部分
１２３  エレクトロニクスハウジング
１２５  電動モーター
１２７  アクセサリ接続部
１２９  データインターフェース
１３１  電源供給接続部
１３３  フローインレット
１３５  シールガス接続部
１３７  モーター室
１３９  冷却媒体接続部
１４１  下面
１４３  ねじ
１４５  支承部カバー
１４７  固定孔
１４８  冷却媒体配管
１４９  ローター
１５１  回転軸
１５３  ローターシャフト
１５５  ローターディスク
１５７  ステーターディスク
１５９  スペーサーリング
１６１  ローターハブ
１６３  ホルベックロータースリーブ
１６５  ホルベックロータースリーブ
１６７  ホルベックステータースリーブ
１６９  ホルベックステータースリーブ
１７１  ホルベック間隙
１７３  ホルベック間隙
１７５  ホルベック間隙
１７９  接続チャネル
１８１  ローラー支承部
１８３  永久磁石支承部
１８５  スプラッシュナット
１８７  ディスク
１８９  インサート
１９１  支承半部
１９３  支承半部
１９５  リングマグネット
１９７  リングマグネット
１９９  支承間隙
２０１  キャリア部分
２０３  キャリア部分
２０５  半径方向の支柱
２０７  カバー要素
２０９  支持リング
２１１  固定リング
２１３  皿ばね
２１５  緊急用又は安全用支承部
２１７  モーターステーター
２１９  中間空間
２２１  壁部
２２３  ラビリンスシール
３００  ローターディスク
３０２  羽根
３０４  羽根基部
４００  ローターディスク
４０２  羽根
４０４  羽根基部
４０６  面
４０８  上面
４１０  下面
４１２  歯部
４１４  第一の側面
４１６  第二の側面
４１８  第三の側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【外国語明細書】
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