(57)【要約】【課題】シャッターが開くときのバウンド等によって露出性能にバラツキを低減することができる撮像装置、羽根駆動装置、および羽根駆動装置の制御方法を提供することを目的とする。【解決手段】撮像装置は、開口を開閉する羽根、羽根を駆動するアクチュエータ、を有する羽根駆動装置を制御する撮像装置であって、開口を開放する露出時間が所定の時間より短い露出において、羽根を開口を開く方向に駆動させる開動作電力値が、羽根を開口を閉じる方向に駆動させる閉動作電力値よりも小さくなるように前記アクチュエータを制御する制御部、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を開閉する羽根、前記羽根を駆動するアクチュエータ、を有する羽根駆動装置を制御する撮像装置であって、
前記開口を開放する露出時間が所定の時間より短い露出において、前記羽根を前記開口を開く方向に駆動させる開動作電力値が、前記羽根を前記開口を閉じる方向に駆動させる閉動作電力値よりも小さくなるように前記アクチュエータを制御する制御部、
を備える撮像装置。
【請求項２】
前記所定の時間より短い露出における開動作電力値が、所定の時間以上の露出における開動作電力値より小さい、
請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記羽根は、
前記開口の面積を変更する前記開口より面積の小さい孔を有する絞り羽根と、
前記開放の開閉を行うシャッター羽根と、
を備える請求項１または請求項２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記羽根は、
前記開口を透過する光量を変更するフィルタを有する絞り羽根と、
前記開放の開閉を行うシャッター羽根と、
を備える請求項１または請求項２に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記羽根駆動装置は、銀塩フィルムカメラにおける前記羽根を駆動する、
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項６】
開口を開閉する羽根と、
前記羽根を駆動するアクチュエータと、を備え、
前記開口を開放する露出時間が所定の時間より短い露出において、前記羽根を前記開口を開く方向に駆動させる開動作電力値が、前記羽根を前記開口を閉じる方向に駆動させる閉動作電力値よりも小さい、羽根駆動装置。
【請求項７】
前記開口の面積を変更する前記開口より面積の小さい孔を有する絞り羽根と、
前記開放の開閉を行うシャッター羽根と、
を備える請求項６に記載の羽根駆動装置。
【請求項８】
前記開口を透過する光量を変更するフィルタを有する羽根と、
前記開放の開閉を行うシャッター羽根と、
を備える請求項６に記載の羽根駆動装置。
【請求項９】
請求項６から請求項８のいずれか１項に記載の前記羽根駆動装置を備える、撮像装置。
【請求項１０】
開口を開閉する羽根、前記羽根を駆動するアクチュエータ、を有する羽根駆動装置の制御方法であって、
制御部が、前記開口を開放する露出時間が所定の時間より短い露出において、前記羽根を前記開口を開く方向に駆動させる開動作電力値を、前記羽根を前記開口を閉じる方向に駆動させる閉動作電力値よりも小さくなるように前記アクチュエータを制御するステップ、
を含む羽根駆動装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像装置、羽根駆動装置、および羽根駆動装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カメラに使用される電子化されたレンズシャッターでは、シャッター羽根の開閉作業をモータで駆動することで行う（例えば特許文献１参照）。このようなシャッターでは、モータの回転子やシャッター羽根などの部品の製造段階や組み立て段階において発生するバラツキが、シャッター羽根の開閉動作特性、すなわち露出性能に大きな影響を与えている。
【０００３】
このようなレンズシャッターは、カメラの不使用時にシャッター羽根が閉鎖状態になっている。そして、回転子の磁力、すなわち、回転子と固定子との間に永久磁石回転子の吸引力が、閉鎖状態を維持している。そして、このような吸引力にもバラツキが生じる。このような吸引力のバラツキに対して、製造時や組み立て時にシャッター羽根が閉じている状態から全開状態になる立ち上がり時間の調整を行うと、逆に、露光開口の閉じ時間（立ち下がり時間）に対してバラツキが生じる場合があった。
【０００４】
このため、特許文献２に記載の技術では、シャッターの製作時において、シャッター羽根の開き速度を測定するためにシャッター羽根の複数の作動位置の検出結果に基づいて定電圧回路からモータ駆動回路に印加される電圧を、電圧調整回路が定電圧回路の電圧よりも低い電圧範囲内で調整する。また、特許文献２に記載の技術では、シャッター羽根の開き作動時に電圧調整回路で調整された電圧をモータ駆動回路へ印加し、露光制御回路から閉じ信号を受けたときに定電圧回路からモータ駆動回路に対して電圧調整回路によって調整された電圧よりも高い電圧を直接印加する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１８８２７５号公報
【特許文献２】特開２００１−４２３８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来技術では、撮影の際、シャッター羽根を閉じた状態から開閉作動を行うと、シャッターが開くときにシャッター羽根にバウンドが発生する場合がある。従来技術では、このようなバウンド等によって、露出性能にバラツキが発生する場合があった。
【０００７】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであって、シャッターが開くときのバウンド等によって露出性能にバラツキを低減することができる撮像装置、羽根駆動装置、および羽根駆動装置の制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る撮像装置（１）は、開口（開口部３１）を開閉する羽根（第１羽根３３１、第２羽根３３２、）、前記羽根を駆動するアクチュエータ（第１アクチュエータ３２１）、を有する羽根駆動装置を制御する撮像装置であって、前記開口を開放する露出時間が所定の時間より短い露出において、前記羽根を前記開口を開く方向に駆動させる開動作電力値が、前記羽根を前記開口を閉じる方向に駆動させる閉動作電力値よりも小さくなるように前記アクチュエータを制御する制御部（２）、を備える。
【０００９】
また、本発明の一態様に係る撮像装置において、前記所定の時間より短い露出における開動作電力値が、所定の時間以上の露出における開動作電力値より小さいようにしてもよい。
【００１０】
また、本発明の一態様に係る撮像装置において、前記羽根は、前記開口の面積を変更する前記開口より面積の小さい孔（小絞り孔３４１）を有する絞り羽根（３４）と、前記開放の開閉を行うシャッター羽根（３３、第１羽根３３１、第２羽根３３２）と、を備えるようにしてもよい。
【００１１】
また、本発明の一態様に係る撮像装置において、前記羽根は、前記開口を透過する光量を変更するフィルタ（ＮＤフィルタ３４５）を有する絞り羽根（３４Ａ）と、前記開放の開閉を行うシャッター羽根（３３、第１羽根３３１、第２羽根３３２）と、を備えるようにしてもよい。
【００１２】
また、本発明の一態様に係る撮像装置において、前記羽根駆動装置は、銀塩フィルムカメラにおける前記羽根を駆動するようにしてもよい。
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る羽根駆動装置は、開口を開閉する羽根と、前記羽根を駆動するアクチュエータと、を備え、前記開口を開放する露出時間が所定の時間より短い露出において、前記羽根を前記開口を開く方向に駆動させる開動作電力値が、前記羽根を前記開口を閉じる方向に駆動させる閉動作電力値よりも小さい。
【００１４】
また、本発明の一態様に係る羽根駆動装置において、前記開口の面積を変更する前記開口より面積の小さい孔を有する絞り羽根と、前記開放の開閉を行うシャッター羽根と、を備えるようにしてもよい。
【００１５】
また、本発明の一態様に係る羽根駆動装置において、前記開口を透過する光量を変更するフィルタを有する羽根と、前記開放の開閉を行うシャッター羽根と、を備えるようにしてもよい。
【００１６】
また、本発明の一態様に係る撮像装置は、上記のうちいずれか１つの羽根駆動装置を備えるようにしてもよい。
【００１７】
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る羽根駆動装置の制御方法は、開口を開閉する羽根、前記羽根を駆動するアクチュエータ、を有する羽根駆動装置の制御方法であって、制御部が、前記開口を開放する露出時間が所定の時間より短い露出において、前記羽根を前記開口を開く方向に駆動させる開動作電力値を、前記羽根を前記開口を閉じる方向に駆動させる閉動作電力値よりも小さくなるように前記アクチュエータを制御するステップ、を含む。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、シャッターが開くときのバウンド等によって露出性能にバラツキを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本実施形態に係る羽根駆動装置を備えた撮像装置の構成例を示すブロック図である。
【図２】図２は、本実施形態に係る羽根駆動装置の構成例を示す平面図である。
【図３】図３は、本実施形態に係るシャッター羽根の動作例を示す平面図である。図３（Ａ）は、シャッター羽根が全閉の状態を示す平面図である。図３（Ｂ）は、シャッター羽根が全開の状態を示す平面図である。
【図４】図４は、本実施形態に係る小絞りの孔を備える絞り羽根の動作例を示す平面図である。図４（Ａ）は、絞り羽根が開口部から退避している状態を示す平面図である。図４（Ｂ）は、絞り羽根が開口部を覆っている状態を示す平面図である。
【図５】図５（Ａ）（Ｂ）は、本実施形態に係るシャッター羽根と小絞りの孔を備える絞り羽根の動作例を示す平面図である。
【図６】図６は、本実施形態に係るＮＤフィルタで減光する羽根駆動装置の構成例を示す平面図である。
【図７】図７は、本実施形態に係るＮＤフィルタを備える絞り羽根の動作例を示す平面図である。図７（Ａ）は、絞り羽根が開口部から退避している状態を示す平面図である。図７（Ｂ）は、絞り羽根が開口部を覆っている状態を示す平面図である。
【図８】図８（Ａ）（Ｂ）は、実施形態に係るシャッター羽根とＮＤフィルタを備える絞り羽根の動作例を示す平面図である。
【図９】図９は、本実施形態に係る露出動作時に絞り羽根が作動する場合のシャッター羽根、絞り羽根の制御例を示すシーケンス図である。
【図１０】図１０は、本実施形態に係る露出動作時に絞り羽根が作動する場合のシャッター羽根、絞り羽根の制御例を示すシーケンス図である。
【図１１】図１１は、シャッター羽根と絞り羽根を兼用する従来技術における動作例を示すシーケンス図である。
【図１２】図１２は、シャッター羽根と絞り羽根を兼用する従来技術におけるシャッターを閉じる動作例を示すシーケンス図である。
【図１３】図１３は、従来技術において羽根を開く動作で発生するバウンドが収束するまでの動作例を示すシーケンス図である。
【図１４】図１４（Ａ）は、本実施形態に係る露出時間が所定の時間より短い露出の場合のシャッター羽根の駆動信号の例を示すシーケンス図である。図１４（Ｂ）は、本実施形態に係る露出時間が所定の時間より長い露出の場合のシャッター羽根の駆動信号の例を示すシーケンス図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施形態に係る羽根駆動装置３を備えた撮像装置１の構成例を示すブロック図である。図１に示すように、撮像装置１は、制御部２、羽根駆動装置３を備える。
制御部２は、駆動回路２１を備える。
【００２１】
羽根駆動装置３は、開口部３１、アクチュエータ３２、シャッター羽根３３、および絞り羽根３４を備える。
アクチュエータ３２は、第１アクチュエータ３２１、第２アクチュエータ３２２を備える。
シャッター羽根３３は、第１羽根３３１、第２羽根３３２を備える。
【００２２】
撮像装置１は、例えば銀塩フィルムカメラである。
制御部２は、羽根駆動装置３が備えるシャッター羽根３３、絞り羽根３４の動作を、駆動回路２１によってアクチュエータ３２を駆動して制御する。
羽根駆動装置３は、レンズシャッターである。
【００２３】
次に、羽根駆動装置３の構成例と動作例を、図２〜図８を用いて説明する。
まず、絞り羽根３４が備える小絞り孔３４１によって光量を減光する例を図２〜図５を用いて説明する。
図２は、本実施形態に係る羽根駆動装置３の構成例を示す平面図である。
図２に示すように、羽根駆動装置３は、開口部３１、第１アクチュエータ３２１、第２アクチュエータ３２２、第１羽根３３１、第２羽根３３２、絞り羽根３４、駆動ピン３３３、および駆動ピン３４２を備えている。
また、開口部３１は、基板４の中央部に設けられた円状の孔である。さらに、第１アクチュエータ３２１、第２アクチュエータ３２２、第１羽根３３１、第２羽根３３２、および絞り羽根３４それぞれは、基板４に取り付けられている。
【００２４】
図３は、本実施形態に係るシャッター羽根３３の動作例を示す平面図である。なお、図３では、第２アクチュエータ３２２、絞り羽根３４、および駆動ピン３４２等を省略して示している。図３（Ａ）は、シャッター羽根３３が全閉の状態を示す平面図である。図３（Ｂ）は、シャッター羽根３３が全開の状態を示す平面図である。
【００２５】
第１アクチュエータ３２１は、第１羽根３３１および第２羽根３３２を開閉動作させるための駆動源であり、図３において図中の基板４の表面側に配置されている。また、第１羽根３３１および第２羽根３３２は、図３において図中の基板４の裏面側に配置されている。第１アクチュエータ３２１から第１羽根３３１および第２羽根３３２へと伝達された駆動力によって第１羽根３３１および第２羽根３３２は、開口部３１を開閉する。
【００２６】
第１アクチュエータ３２１は、Ｕ字状に形成されてその両端部に磁極部を有するステータ３５、周方向に異なる２極に着磁されたロータ３６、通電により互いに異なる磁極をステータ３５の磁極部に生じさせるコイル３７などを備えている。コイル３７への通電によって、ステータ３５の磁極部とロータ３６との間で磁気的吸引力又は反発力が生じて、ロータ３６は所定の範囲を回動する。
【００２７】
第１羽根３３１は、駆動ピン３３３が長手方向に移動可能に挿入される長孔であるカム孔３３４を備える。第２羽根３３２は、駆動ピン３３３が長手方向に移動可能に挿入される長孔であるカム孔３３５を備える。
【００２８】
第１羽根３３１および第２羽根３３２は、それぞれ基板４に形成された支持軸３３６および支持軸３３７により軸支されている。第１アクチュエータ３２１のロータ３６の基板側の面には駆動ピン３３３が一体に形成されている。駆動ピン３３３は第１羽根３３１のカム孔３３４および第２羽根３３２のカム孔３３５に係合している。第１アクチュエータ３２１のロータ３６の回転に伴い、駆動ピン３３３がカム孔３３４およびカム孔３３５を長手方向に移動することによって、第１羽根３３１および第２羽根３３２は、それぞれ支持軸３３６および支持軸３３７を中心に回動し開口部３１を開閉する。すなわち、第１羽根３３１および第２羽根３３２が、図３（Ａ）に示す開口部３１を閉じた（以下、全閉という）状態と、図３（Ｂ）に示す開口部３１を開いた（以下、全開という）状態になるように第１アクチュエータ３２１のコイル３７への通電を制御することによりシャッター動作が行われる。
なお、駆動ピン３３３はロータ３６と別部材で構成されてもよい。
【００２９】
図４は、本実施形態に係る小絞り孔３４１を備える絞り羽根３４の動作例を示す平面図である。なお、図４では、第１アクチュエータ３２１、第１羽根３３１、第２羽根３３２、駆動ピン３３３等を省略して示している。図４（Ａ）は、絞り羽根３４が開口部３１から退避している状態を示す平面図である。図４（Ｂ）は、絞り羽根３４が開口部３１を覆っている状態を示す平面図である。
【００３０】
第２アクチュエータ３２２は、絞り羽根３４を開口部３１に対して進退させるための駆動源であり、図４において図中の基板４の表面側に配置されている。また、絞り羽根３４は、図４において図中の基板４の裏面側に配置されている。第２アクチュエータ３２２から絞り羽根３４へと伝達された駆動力によって絞り羽根３４は、開口部３１に対して進退する。
【００３１】
第２アクチュエータ３２２も第１アクチュエータ３２１と同様に、ステータ３８、ロータ３９、コイル４０などを備えている。コイル４０への通電によって、ステータ３８の磁極部とロータ３９との間で磁気的吸引力又は反発力が生じて、ロータ３９は所定の範囲を回動する。
【００３２】
絞り羽根３４は、駆動ピン３４２が長手方向に移動可能に挿入される長孔であるカム孔３４３を備え、基板４に形成された支持軸３４４により軸支されている。第２アクチュエータ３２２のロータ３９の基板側の面には駆動ピン３４２が一体に形成されている。駆動ピン３４２は絞り羽根３４のカム孔３４３に係合している。第２アクチュエータ３２２のロータ３９の回転に伴い、駆動ピン３４２がカム孔３４３を長手方向に移動することによって、絞り羽根３４は、支持軸３４４を中心に回動し開口部３１から進退する。すなわち、絞り羽根３４が、図４（Ａ）に示す開口部３１から退避している状態と、図４（Ｂ）に示す開口部３１を覆っている状態になるように第２アクチュエータ３２２のコイル４０への通電を制御することにより開口部３１に入る光量を制御する。
なお、駆動ピン３４２はロータ３９と別部材で構成されてもよい。
【００３３】
図４（Ｂ）に示すように、絞り羽根３４が開口部３１を覆っている状態では、開口部３１に入る光量が小絞り孔３４１によって減光され、すなわち絞りが絞られた状態になる。例えば、図４（Ａ）における開放のＦ値が２．８であり、小絞り孔３４１によって絞られたＦ値が８である。なお、Ｆ値とは、不図示のレンズの焦点距離を有効口径で割った値であり、レンズの明るさを示す指標である。
なお、小絞り孔３４１の直径は、開口部３１の直径より小さい。すなわち、絞り羽根３４が開口部３１を覆っている状態のとき、小絞り孔３４１は、開口部３１の面積を変更する。
【００３４】
図５（Ａ）（Ｂ）は、本実施形態に係るシャッター羽根３３と小絞り孔３４１を備える絞り羽根３４の動作例を示す平面図である。
図５（Ａ）は、図３（Ａ）と図４（Ａ）とを重ねて示した図であり、光量を減光しない場合の動作例を示している。ここで、シャッター羽根３３は全閉状態で、絞り羽根３４は開口部３１から退避した状態であり、露出動作時の初期位置を示している。
図５（Ｂ）は、図３（Ｂ）と図４（Ｂ）とを重ねて示した図であり、光量を減光する場合の動作例を示している。ここで、シャッター羽根３３は全開状態で、絞り羽根３４は開口部３１を覆っている状態である。
【００３５】
光量を減光しない場合の露出動作は、図５（Ａ）に示すように、絞り羽根３４が開口部３１から退避している状態となるように第２アクチュエータ３２２のコイル４０への通電を行う。なお、第１羽根３３１および第２羽根３３２は、全閉状態となっている。次に、第１羽根３３１および第２羽根３３２が開口部３１を全開するように第１アクチュエータ３２１のコイル３７への通電を行う。コイル３７への通電から所定時間後、第１羽根３３１および第２羽根３３２が開口部３１を全閉するように第１アクチュエータ３２１のコイル３７に通電を行うことにより露出動作が行われる。
【００３６】
光量を減光する場合の露出動作は、図５（Ｂ）に示すように、絞り羽根３４が開口部３１を覆う状態となるように第２アクチュエータ３２２のコイル４０への通電を行う。ここで、第１羽根３３１および第２羽根３３２、全閉状態となっている。次に、第１羽根３３１および第２羽根３３２が開口部３１を全開するように第１アクチュエータ３２１のコイル３７への通電を行う。コイル３７への通電から所定時間後、第１羽根３３１および第２羽根３３２が開口部３１を全閉するように第１アクチュエータ３２１のコイル３７に通電を行うことにより露出動作が行われる。
【００３７】
次に、光量をＮＤ（Ｎｅｕｔｒａｌ  Ｄｅｎｓｉｔｙ）フィルタで減光する構成例を、図６〜図８を用いて説明する。
図６は、本実施形態に係るＮＤフィルタで減光する羽根駆動装置３Ａの構成例を示す平面図である。
図２に示した羽根駆動装置３との差異は、絞り羽根３４Ａが、小絞り孔３４１の代わりにＮＤフィルタ３４５を備えている点である。
ＮＤフィルタ３４５は、開口部３１を透過する光量を減量する。
なお、シャッター羽根３３の動作は、図３と同様である。
【００３８】
図７は、本実施形態に係る絞り羽根３４Ａの動作例を示す平面図である。なお、図７では、第１アクチュエータ３２１、第１羽根３３１、第２羽根３３２、駆動ピン３３３等を省略して示している。
【００３９】
図７（Ａ）は、絞り羽根３４Ａが開口部から退避している状態を示す平面図である。この状態では、ＮＤフィルタ３４５は開口部３１から退避しており、開口部３１の口径分、光が透過する開放状態である。
【００４０】
図７（Ｂ）は、絞り羽根３４Ａが開口部を覆っている状態を示す平面図である。この状態では、ＮＤフィルタ３４５は開口部３１を覆っており、開口部３１に入る光量がＮＤフィルタ３４５によって減光された状態である。
【００４１】
図８は、本実施形態に係るシャッター羽根３３とＮＤフィルタ３４５を備える絞り羽根３４Ａの動作例を示す平面図である。
図８（Ａ）は、図３（Ａ）と図７（Ａ）とを重ねて示した図であり、光量を減光しない場合の動作例を示している。
図８（Ａ）のように、シャッター羽根３３は全閉状態で、絞り羽根３４ＡのＮＤフィルタ３４５は開口部３１から退避した状態であり、撮影前の初期位置を示している。
図８（Ｂ）は、図３（Ｂ）と図７（Ｂ）とを重ねて示した図であり、光量を減光する場合の動作例を示している。ここで、シャッター羽根３３は全開状態であり、絞り羽根３４ＡのＮＤフィルタ３４５は開口部３１を覆っている状態である。
【００４２】
光量を減光しない場合の露出動作は、図８（Ａ）に示すように、絞り羽根３４ＡのＮＤフィルタ３４５が開口部３１から退避している状態となるように第２アクチュエータ３２２のコイル４０への通電を行う。なお、第１羽根３３１および第２羽根３３２は全閉状態となっている。次に、第１羽根３３１および第２羽根３３２が開口部３１を全開するように第１アクチュエータ３２１のコイル３７への通電を行う。コイル３７への通電から所定時間後、第１羽根３３１および第２羽根３３２が開口部３１を全閉するように第１アクチュエータ３２１のコイル３７に通電を行うことにより露出動作が行われる。
【００４３】
光量を減光する場合の露出動作は、図８（Ｂ）に示すように、絞り羽根３４ＡのＮＤフィルタ３４５が開口部３１を覆う状態となるように第２アクチュエータ３２２のコイル４０への通電を行う。ここで、第１羽根３３１および第２羽根３３２は全閉状態となっている。次に、第１羽根３３１および第２羽根３３２が開口部３１を全開するように第１アクチュエータ３２１のコイル３７への通電を行う。コイル３７への通電から所定時間後、第１羽根３３１および第２羽根３３２が開口部３１を全閉するように第１アクチュエータ３２１のコイル３７に通電を行うことにより露出動作が行われる。
【００４４】
次に、シャッター羽根３３、絞り羽根３４の制御例を説明する。
まず、露出動作時に絞り羽根３４が作動しない場合のシャッター羽根３３、絞り羽根３４の制御例を説明する。
図９は、本実施形態に係る露出動作時に絞り羽根３４が作動しない場合のシャッター羽根３３、絞り羽根３４の制御例を示すシーケンス図である。図９において、横軸は時刻である。また、符号ｇ６１が示す領域は、シャッター羽根３３の駆動信号を示し、符号ｇ６２が示す領域は、シャッター羽根３３の作動位置を示している。符号ｇ６３が示す領域は、絞り羽根３４の駆動信号を示し、符号ｇ６４が示す領域は、絞り羽根３４の作動位置を示している。符号ｇ６５が示す領域は、透過光量のイメージである。
また、図９に示すように、シャッタレリーズスイッチが押された時刻ｔ０のとき、シャッター羽根３３は全閉であり、絞り羽根３４は開口部３１から退避した状態である。
【００４５】
時刻ｔ１〜時刻ｔ４の期間において、制御部２は、シャッター羽根３３を開けるように、Ｈ（ハイ）レベルの駆動信号を第１アクチュエータ３２１に出力する。Ｈレベルの駆動信号は、電流値がＩ１［ｍＡ］（開動作電力値）である。
【００４６】
時刻ｔ１のとき、シャッター羽根３３の位置は、図３（Ａ）に示すように全閉側停止位置である。ここで、第１羽根３３１および第２羽根３３２は開口部３１を透過する光を遮る位置にある。
【００４７】
時刻ｔ２のとき、シャッター羽根３３の位置は、全閉位置であり、露出開始時刻である。
時刻ｔ３のとき、シャッター羽根３３の位置は、全開位置である。これにより、符号ｇ６５が示す領域が示すように、時刻ｔ２〜時刻ｔ３の期間、シャッター羽根３３の作動により、開口部３１を透過する光量が増加していく。時刻ｔ２’のとき、シャッター羽根３３の位置は、全閉位置と全開位置との中央位置にある。
【００４８】
時刻ｔ４のとき、制御部２は第１アクチュエータ３２１への駆動信号を停止する。シャッター羽根３３の位置は、図３（Ｂ）に示すように全開側停止位置である。ここで、第１羽根３３１および第２羽根３３２は開口部３１を透過する光を遮らない位置にある。
時刻ｔ１〜時刻ｔ４の期間は、シャッター開き工程の期間である。また、時刻ｔ１〜時刻ｔ５の期間は、シャッター開放作動の期間である。
【００４９】
時刻ｔ５〜時刻ｔ９の期間において、制御部２は、シャッター羽根３３を閉じるように、Ｌ（ロー）レベルの駆動信号を第１アクチュエータ３２１に出力する。Ｌレベルの駆動信号は、電流値がＩ１［ｍＡ］より絶対値が大きい−Ｉ２［ｍＡ］（閉動作電力値）である。
【００５０】
時刻ｔ５のとき、制御部２は、後述する露出期間が所望の期間となるようにＬレベルの駆動信号を第１アクチュエータ３２１に出力し、全開側停止位置にあるシャッター羽根３３を全閉位置に向けて駆動する。
時刻ｔ６のとき、シャッター羽根３３の位置は、全開位置である。
【００５１】
時刻ｔ７のとき、シャッター羽根３３の位置は、全閉位置であり、露出終了時刻である。これにより、符号ｇ６５が示す領域が示すように、時刻ｔ６〜時刻ｔ７の期間、シャッター羽根３３の作動により、開口部３１を透過する光量が減少していく。時刻ｔ６’のとき、シャッター羽根３３の位置は、全開位置と全閉位置との中央位置にある。ここで、時刻ｔ２’〜 時刻ｔ６’の期間を露出期間と称する。露出期間は露出時間の一例である。
時刻ｔ８のとき、シャッター羽根３３の位置は、全閉側停止位置である。
時刻ｔ９のとき、制御部２は第１アクチュエータ３２１への駆動信号を停止する。
時刻ｔ５〜時刻ｔ９の期間は、シャッター閉じ工程の期間である。
時刻ｔ０〜時刻ｔ９の期間は、絞り羽根３４が作動しない場合の撮影期間である。
【００５２】
次に、露出動作時に絞り羽根３４が作動する場合のシャッター羽根３３、絞り羽根３４の制御例を説明する。
図１０は、本実施形態に係る露出動作時に絞り羽根３４が作動する場合のシャッター羽根３３、絞り羽根３４の制御例を示すシーケンス図である。図１０において、横軸は時刻である。また、符号ｇ７１が示す領域は、シャッター羽根３３の駆動信号を示し、符号ｇ７２が示す領域は、シャッター羽根３３の作動位置を示している。符号ｇ７３が示す領域は、絞り羽根３４の駆動信号を示し、符号ｇ７４が示す領域は、絞り羽根３４の作動位置を示している。符号ｇ７５が示す領域は、透過光量のイメージである。
また、図１０に示すように、シャッタレリーズスイッチが押された時刻ｔ０のとき、シャッター羽根３３は全閉であり、絞り羽根３４は、開口部３１から退避した状態である。
【００５３】
時刻ｔ０のとき、絞り羽根３４の位置は、図４（Ａ）に示すように全開停止位置である。ここで、絞り羽根３４は開口部３１を透過する光を遮らない位置にある。
【００５４】
時刻ｔ１１〜時刻ｔ１４の期間において、制御部２は、絞り羽根３４が開口部３１を閉じる（覆う）ように、Ｈレベルの駆動信号を第２アクチュエータ３２２に出力する。Ｈレベルの駆動信号は、電流値がＩ１１［ｍＡ］である。
これにより、符号ｇ７４が示す領域が示すように、時刻ｔ１２〜時刻ｔ１３の期間、絞り羽根３４は、全開側停止位置から中間絞停止位置に移動する。なお、中間絞停止位置とは、図４（Ｂ）に示すように、絞り羽根３４が開口部３１を覆った状態であり、好ましくは、絞り羽根３４の小絞り孔３４１の中心点と開口部３１の中心点とが一致する位置である。
時刻ｔ１４のとき、制御部２は第２アクチュエータ３２２への駆動信号を停止する。絞り羽根３４の位置は、中間絞停止位置である。
時刻ｔ１１〜時刻ｔ１４の期間は、絞り込み行程の期間である。
【００５５】
時刻ｔ１５〜時刻ｔ１８の期間において、制御部２は、シャッター羽根３３を開けるように、Ｈレベルの駆動信号を第１アクチュエータ３２１に出力する。Ｈレベルの駆動信号は、電流値がＩ１［ｍＡ］（開動作電力値）である。
【００５６】
時刻ｔ１５のとき、シャッター羽根３３の位置は、全閉側停止位置である。
時刻ｔ１６のとき、シャッター羽根３３の位置は、全閉位置であり、露出開始時刻である。時刻ｔ１６’のとき、シャッター羽根３３の位置は、中間絞全開位置である。
時刻ｔ１７のとき、シャッター羽根３３の位置は、全開位置である。これにより、符号ｇ７５が示す領域が示すように、時刻ｔ１６〜時刻ｔ１７の期間、シャッター羽根３３の作動により、開口部３１を透過する光量が増加していく。ただし、図９の動作とは異なり、開口部３１を透過する光を絞り羽根３４が減量しているため、透過光量は中間絞りに応じた光量である。時刻ｔ１６’’のとき、シャッター羽根３３の位置は、全閉位置と中間絞全開位置との中央位置にある。
時刻ｔ１８のとき、制御部２は第１アクチュエータ３２１への駆動信号を停止する。シャッター羽根３３の位置は、全開側停止位置である。
時刻ｔ１５〜時刻ｔ１８の期間は、シャッター開き工程の期間である。また、時刻ｔ１５〜時刻ｔ１９の期間は、シャッター開放作動の期間である。
【００５７】
時刻ｔ１９〜時刻ｔ２３の期間において、制御部２は、シャッター羽根３３を閉じるように、Ｌレベルの駆動信号を第１アクチュエータ３２１に出力する。Ｌレベルの駆動信号は、電流値がＩ１［ｍＡ］より絶対値が大きい−Ｉ２［ｍＡ］（閉動作電力値）である。
時刻ｔ１９のとき、制御部２は、後述する露出期間が所望の期間となるようにＬレベルの駆動信号を第１アクチュエータ３２１に出力し、全開側停止位置であるシャッター羽根３３を全閉位置に向けて駆動する。
時刻ｔ２０のとき、シャッター羽根３３の位置は、全開位置である。時刻ｔ２０’のとき、シャッター羽根３３の位置は、中間絞全開位置である。
時刻ｔ２１のとき、シャッター羽根３３の位置は、全閉位置であり、露出終了時刻である。これにより、符号ｇ７５が示す領域が示すように、時刻ｔ２０〜時刻ｔ２１の期間、シャッター羽根３３の作動により、開口部３１を透過する光量が減少していく。時刻ｔ２０’’のとき、シャッター羽根３３の位置は、中間絞全開位置と全閉位置との中央位置にある。ここで、時刻ｔ１６’’〜 時刻ｔ２０’’の期間は露出期間である。
時刻ｔ２２のとき、シャッター羽根３３の位置は、全閉側停止位置である。
時刻ｔ２３のとき、制御部２は第１アクチュエータ３２１への駆動信号を停止する。
時刻ｔ１９〜時刻ｔ２３の期間は、シャッター閉じ工程の期間である。
【００５８】
時刻ｔ２４〜時刻ｔ２７の期間において、制御部２は、絞り羽根３４が開口部３１を開く（退避）ように、Ｌレベルの駆動信号を第２アクチュエータ３２２に出力する。Ｌレベルの駆動信号は、電流値が−Ｉ１１［ｍＡ］である。
これにより、符号ｇ７４が示す領域が示すように、時刻ｔ２５〜時刻ｔ２６の期間、絞り羽根３４は、中間絞停止位置から全開側停止位置に移動する。
時刻ｔ２７のとき、制御部２は第２アクチュエータ３２２への駆動信号を停止する。絞り羽根３４の位置は、全開側停止位置である。
時刻ｔ２４〜時刻ｔ２７の期間は、絞り開き行程の期間である。
時刻ｔ０〜時刻ｔ２７の期間は、絞り羽根３４が作動する場合の撮影期間である。
【００５９】
次に、露出動作時にＮＤフィルタ３４５を備える絞り羽根３４Ａが作動する場合のシャッター羽根３３、絞り羽根３４Ａの制御例について説明する。なお述した内容と重複する箇所は省略し、図９、図１０を用いて説明する。
【００６０】
図１０を参照すると、シャッタレリーズスイッチが押された時刻ｔ０のとき、絞り羽根３４Ａの位置は、図８（Ａ）に示すように全開側停止位置である。ここで、絞り羽根３４Ａは、開口部３１を透過する光を遮らない位置にある。
時刻ｔ１１〜時刻ｔ１４の期間において、制御部２は、絞り羽根３４Ａが開口部３１を閉じる（覆う）ように、Ｈレベルの駆動信号を第２アクチュエータ３２２に出力する。Ｈレベルの駆動信号は、電流値がＩ１１［ｍＡ］である。ここで、図１０とは異なり、ＮＤフィルタ３４５は、開口部３１から退避している全開側停止位置から開口部３１を覆う位置に移動することにより、中間絞り口径が存在しない絞り込み行程（減光）を行う。
【００６１】
その後、図９に示すように、時刻ｔ１〜時刻ｔ４の期間において、制御部２は、シャッター羽根３３を開けるように、Ｈレベルの駆動信号を第１アクチュエータ３２１に出力してシャッター開き工程を行う。そして、シャッター開き工程を行った後、時刻ｔ５〜時刻ｔ９の期間において、制御部２は、シャッター羽根３３を閉じるように、Ｌレベルの駆動信号を第１アクチュエータ３２１に出力してシャッター閉じ工程を行う。
【００６２】
次に、図１０を再び参照し、時刻ｔ２４〜時刻ｔ２７の期間において、制御部２は、絞り羽根３４Ａが開口部３１から退避するように、Ｌレベルの駆動信号を第２アクチュエータ３２２に出力し、ＮＤフィルタ３４５を、開口部３１を覆う位置から全開側停止位置に移動させる絞り開き行程を行う。
上記の時刻ｔ０〜時刻ｔ２７の期間は、ＮＤフィルタ３４５を備える絞り羽根３４Ａが作動する場合の撮影期間である。
【００６３】
なお、本実施形態では、絞り羽根３４が１つの例を説明したが、これに限られない。絞り羽根３４は、２つ以上であってもよい。この場合、羽根駆動装置３は、絞り羽根３４毎に第２アクチュエータを備える。そして、絞り羽根３４が複数の場合は、第１の絞り羽根３４１が第１の面積の小絞り孔３４１１と、第２の絞り羽根３４２が第１の面積より小さい小絞り孔３４１２と、第Ｎの絞り羽根３４Ｎが第Ｎ−１の面積より小さい小絞り孔３４１Ｎと、を備えるようにしてもよい。または、絞り羽根３４が複数の場合は、第１の絞り羽根３４１が第１の透過量のＮＤフィルタ３４５１と、第２の絞り羽根３４２が第１の透過量より小さいＮＤフィルタ３４５２と、第Ｎの絞り羽根３４Ｎが第Ｎ−１の透過量より小さいＮＤフィルタ３４５Ｎと、を備えるようにしてもよい。
【００６４】
ここで、シャッター羽根と絞り羽根を兼用する従来技術における動作例を、図１１〜図１３を用いて説明する。
まずは、図１１は、シャッター羽根と絞り羽根を兼用する従来技術における動作例を示すシーケンス図である。図１１において、横軸は時刻である。波形ｇ９０１は、シャッター羽根と絞り羽根を兼用する羽根が全開時の動作を示す。波形ｇ９０２は、シャッター羽根と絞り羽根を兼用する羽根が中間絞り時の動作を示す。
【００６５】
時刻ｔ０のとき、羽根の位置は、全閉側停止位置である。
全開動作時は、時刻ｔ９０１〜時刻ｔ９０３の期間（シャッター開き行程）において、羽根が露出開口の全領域を開けるように、駆動信号がアクチュエータに出力される。この場合、波形ｇ９０１のように、羽根は、全閉側停止位置から全開側停止位置に移動し、時刻ｔ９０３以降も全開側停止位置を中心に振動（バウンド）しながら全開側停止位置に収束していく。
【００６６】
中間絞り動作時は、時刻ｔ９０１〜時刻ｔ９０２の期間（シャッター開き行程）において、羽根が露出開口の中央の一部領域を開けるように、レベルの駆動信号がアクチュエータに出力される。この場合、波形ｇ９０２のように、羽根は、全閉側停止位置から中間絞り位置に移動し、時刻ｔ９０２以降も中間絞り位置を中心に振動（バウンド）しながら中間絞り位置に収束していく。
【００６７】
次に、従来技術におけるシャッターを閉じる動作例を説明する。
図１２は、シャッター羽根と絞り羽根を兼用する従来技術におけるシャッターを閉じる動作例を示すシーケンス図である。図１２において、横軸は時刻である。
なお、図１２に示す例は、図１１において、波形ｇ９０１のように、全開時の動作であり、振動（バウンド）が収束していないときに、羽根を閉じる動作を開始した場合の例である。このような動作は、露出時間が所定の時間より短い露出、シャッタースピードが例えば１／１２５（秒）以上の高速な露出の後に続けて撮影する場合等に起きる可能性がある。
【００６８】
波形ｇ９１１は、振動波形の極小値のときに、羽根を閉じる駆動信号が出力された場合の羽根の動作例である。この場合、羽根は、全開側停止位置−αの位置から閉じる動作を開始するため、時刻ｔ９１１〜時刻ｔ９１２の期間が羽根の閉じる時間となる。すなわち、露出終了時間が、時刻ｔ９１２である。
【００６９】
波形ｇ９１２は、振動波形の極大値のときに、羽根を閉じる駆動信号が出力された場合の羽根の動作例である。この場合、羽根は、全開側停止位置＋αの位置から閉じる動作を開始するため、時刻ｔ９１１〜時刻ｔ９１３の期間が羽根の閉じる時間となる。すなわち、露出終了時間が、時刻ｔ９１３である。
このように、従来技術では、振動が発生している場合に閉じる動作を開始すると、露出終了時間にバラツキが発生する、すなわち、露出性能にバラツキが発生する場合があった。
【００７０】
図１３は、従来技術において羽根を開く動作で発生するバウンドが収束するまでの時間例を示す図である。図１３において、横軸は時刻である。
波形ｇ９２１は、全閉位置から全開位置までの時間（時刻ｔ９２２〜時刻ｔ９２４）が波形ｇ９２２と比較して短い例である。この場合、羽根の駆動電流は、波形ｇ９２２と比較して大きい。このように、波形ｇ９２２と比べて大きな電流値で短い時間で羽根を開いた場合、波形ｇ９２１の時刻ｔ９２４以降のように、振動（バウンド）の波形の振幅が大きく、収束するまでに要する時間も長い。
【００７１】
波形ｇ９２２は、全閉位置から全開位置までの時間（時刻ｔ９２３〜時刻ｔ９２５）が波形ｇ９２１と比較して長い例である。この場合、羽根の駆動電流は、波形ｇ９２１と比較して小さい。このように、波形ｇ９２１と比べて小さな電流値で長い時間で羽根を開いた場合、波形ｇ９２２の時刻ｔ９２５以降のように、波形ｇ９２１と比較して、振動（バウンド）の波形の振幅が小さく、収束するまでに要する時間も短い。すなわち、羽根の開放時の振動を減少させ、収束までの時間を減少させるには、羽根の開放時の駆動電流を小さくした方がよいことを、図１３は示唆している。
【００７２】
ここで、露出時間が所定の時間より短い場合には、羽根の開放時のバウンドが収束しないうちに羽根の閉動作が開始されてしまう場合がある。このような場合には、上述したように、露出終了時間にバラツキが発生する場合がある。このため、本実施形態では、露出時間が所定の時間より短い露出において、図９および図１０に示したように、シャッター羽根３３を開放するときの電流値を、シャッター羽根３３を閉じる時の電流値より小さくしてシャッター羽根３３の開放時の振動を減少させ、収束までの時間を減少させた。本実施形態によれば、従来技術と比較して、シャッター羽根３３の開放時に発生するバウンドを低減することができるため、シャッター羽根３３の開放時のバウンドが収束してからシャッター羽根３３の閉動作を開始することができる。これにより、露出性能のバラツキを低減することができる。所定の時間とは、例えば１／１２５（秒）である。
【００７３】
なお、シャッター羽根の開放時の電流値は、所定の時間を基準に変更されるようにしてもよい。具体的には、露出時間が短くなるほどシャッター羽根の振動を収束させるまでの時間は短い必要がある。よって露出時間が短くなるに従ってシャッター羽根の振動が収束する、または十分に低減される程度までシャッター羽根の開放時の電流を小さくするようにしてもよい。
【００７４】
図１４（Ａ）は、本実施形態に係る露出時間が所定の時間より短い露出の場合のシャッター羽根の駆動信号の例を示すシーケンス図である。図１４（Ｂ）は、本実施形態に係る露出時間が所定の時間より長い露出の場合のシャッター羽根の駆動信号の例を示すシーケンス図である。図１４（Ａ）、（Ｂ）において、横軸は時刻である。なお、図１４（Ｂ）において、シャッター開放時間の時刻ｔ１０１〜時刻ｔ１０５は、図１４（Ａ）におけるシャッター開放時間の時刻ｔ１〜時刻ｔ５より長い。
図１４（Ａ）における符号ｇ６１が示す領域の駆動信号は、図９から符号ｇ６１が示す領域の駆動信号の図を抜き出したものである。図１４（Ｂ）における符号ｇ８１が示す領域の駆動信号は、露出時間が所定の時間より長い露出の場合のシャッター羽根を開放する駆動電流値Ｉ１’が、露出時間が所定の時間より短い露出の場合のシャッター羽根を開放する駆動電流値Ｉ１より大きく、シャッター羽根を閉じる駆動電流値Ｉ２以下である例である。
【００７５】
図１４（Ｂ）に示すように、絞り羽根がない羽根駆動装置においても、シャッター羽根を開放する駆動電流値を、シャッター羽根を閉じる駆動電流値より小さくすることにより、シャッター羽根の開放時に発生するバウンドを低減することができ、これにより、露出性能のバラツキを低減することができる。
なお、上述した露出時間が所定の時間の１／１２５秒は、一例であり、これに限られず、羽根駆動装置３のシャッター羽根３３の材質や重量、取り付け構造、アクチュエータ３２の駆動力、駆動信号に応じたものであればよい。
【００７６】
露出時間が所定の時間以上の露出、露出時間が例えば１／１２５（秒）以下の場合は、シャッター羽根が閉動作を開始するまでにバウンドが収束する。本実施形態では、露出時間が所定の時間より短い露出の場合、シャッター羽根を開放する駆動電流値を、露出時間が所定の時間以上の露出の場合より小さくするようにしてもよい。これにより、シャッター羽根の開放時に発生するバウンドを低減することができ、これにより、露出性能のバラツキを低減することができる。
【００７７】
絞りを兼ねたシャッター羽根を用いる従来技術において、周辺光量が明るい高輝度側では、絞り制御と露出時間制御の両方を行う中間絞り動作を行う必要があり、それを抑制するために複雑な機構や、センサ等が必要となっていた。これに対し、本実施形態ではシャッター羽根３３が中間絞り動作を行わず、必要に応じて、開口部３１より小さい小絞り孔３４１を有する絞り羽根３４又はＮＤフィルタ３４５を有する絞り羽根３４Ａにより開口部３１に入る光量を制御するため、簡単な構成および制御で露出性能のバラツキを低減することができる。
【００７８】
本実施形態によれば、シャッター羽根３３を開く時に電流を下げて、バウンドやハンチングを抑制し、位置を早期に安定させることができる。これにより、本実施形態によれば、駆動電流を変化させることで、シャッター羽根３３の挙動を安定させることができるので、露出性能のバラツキが抑制できる。また、シャッター羽根３３と絞り羽根３４とを別々に備えるようにしたので、従来技術と比較して構成の簡素化が可能である。
【００７９】
さらに本実施形態によれば、絞り制御と露出時間制御を別の羽根で行うことで、高輝度側でも全開開口することから露出性能が安定し、性能バラツキを抑制することができる。
また、本実施形態によれば、絞り制御と露出時間制御を別の羽根で行うため、制御の簡易化が可能である。
【００８０】
また、本実施形態によれば、絞り羽根３４が小絞り孔３４１を備えているので、小絞り孔３４１によって開口部３１を透過する光量を調整することができる。また、本実施形態によれば、絞り羽根３４がＮＤフィルタ３４５を備えているので、ＮＤフィルタ３４５によって開口部３１を透過する光量を調整することができる。
【００８１】
本実施形態では、シャッター羽根および絞り羽根が電流で規定される電力値で駆動される例を説明したが、これに限らず、構成や用途に応じて電圧で規定される電力値で駆動されてもよい。
【００８２】
本実施形態では、撮像装置１が銀塩フィルムカメラである場合を説明したが、デジタルカメラにも適用することが可能である。
【００８３】
本実施形態では、開口部３１が基板４に設けられた場合を説明したが、開口部３１は他の部品に設けられてもよい。例えば、基板４に対して位置決めされた薄板に開口部を設けてもよい。
【００８４】
本実施形態では、シャッター羽根３３の作動位置の中央を通過する期間を露出時間として説明したがこれに限定されない。例えば、シャッター羽根３３の動作開始から動作終了までの期間を露出時間としてもよい。
【００８５】
なお、本発明における制御部２の機能の全てまたは一部を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより制御部２が行う処理の全てまたは一部を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータシステム」は、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）を備えたＷＷＷシステムも含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ（ＲＡＭ）のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
【００８６】
また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク（通信網）や電話回線等の通信回線（通信線）のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であってもよい。
【００８７】
以上、本発明を実施するための形態について実施形態を用いて説明したが、本発明はこうした実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変形および置換を加えることができる。
【符号の説明】
【００８８】
１…撮像装置、２…制御部、２１…駆動回路、３…羽根駆動装置、３１…開口部、３２…アクチュエータ、３２１…第１アクチュエータ、３２２…第２アクチュエータ、３３…シャッター羽根、３４、３４Ａ…絞り羽根、３３１…第１羽根、３３２…第２羽根、３４５…ＮＤフィルタ、４…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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