(57)【要約】【課題】フレームの大きさに依らず各種のフレームを収容する。【解決手段】中央に開口を有した環状のフレームを収容するフレーム収容具であって、載置台に固定される第１の固定部と、該第１の固定部から立設した第１の側壁と、を備えた第１の側壁体と、収容されるフレームの大きさに対応した距離該第１の側壁体から離間された状態で該載置台に固定される第２の固定部と、該第２の固定部から立設した第２の側壁と、を備えた第２の側壁体と、を有し、該第１の側壁体の該第１の側壁と、該第２の側壁体の該第２の側壁と、には、フレームの収容時に互いに対面する対応する位置に該フレームの端部が進入する溝がそれぞれ形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央に開口を有した環状のフレームを収容するフレーム収容具であって、
載置台に固定される第１の固定部と、該第１の固定部から立設した第１の側壁と、を備えた第１の側壁体と、
収容されるフレームの大きさに対応した距離該第１の側壁体から離間された状態で該載置台に固定される第２の固定部と、該第２の固定部から立設した第２の側壁と、を備えた第２の側壁体と、を有し、
該第１の側壁体の該第１の側壁と、該第２の側壁体の該第２の側壁と、には、フレームの収容時に互いに対面する対応する位置に該フレームの端部が進入する溝がそれぞれ形成されていることを特徴とするフレーム収容具。
【請求項２】
該溝は、該第１の側壁と、該第２の側壁と、の立設方向に沿って形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフレーム収容具。
【請求項３】
該溝は、該第１の側壁と、該第２の側壁と、の立設方向と交差する方向に沿って形成されおり、
該溝の端部には、フレームの落下防止部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフレーム収容具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、環状のフレーム、または、該フレームを含むフレームユニットを収容するフレーム収容具に関する。
【背景技術】
【０００２】
デバイスチップの製造工程では、表面に複数のデバイスが形成された半導体ウェーハ等の被加工物を分割する切削装置やレーザ加工装置等の各種の加工装置が使用される。該被加工物が加工される際、環状のフレームと、テープと、被加工物と、が一体となったフレームユニットが形成され、被加工物はフレームユニットの状態で加工装置に搬入され加工される。該フレームユニットは、例えば、該フレームの開口を塞ぐようにテープを張り、次に該開口の内側で被加工物に該テープを貼着することで形成される。
【０００３】
これらの加工装置は、被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面の外周側に配されたクランプと、を備える。該加工装置に搬入されたフレームユニットは、チャックテーブルの保持面上に載せられる。そして、加工装置は、クランプでフレームを把持するとともにチャックテーブルで該テープを介して被加工物を吸引保持し、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する。
【０００４】
近年、デバイスチップの製造効率を高めるために被加工物が大型化している。これに伴い、フレームユニットの形成に使用される環状のフレームも被加工物に対応した様々な大きさのものが準備される。加工装置のチャックテーブルは交換可能であり、被加工物の大きさに対応するチャックテーブルが加工装置に適宜装着される。また、該加工装置では、フレームを把持するクランプの取り付け位置や、フレームを吸着して搬送する搬送パッドの吸着位置等がフレームの大きさに応じて変更される。
【０００５】
ところで、被加工物を切削する切削装置では、切削に使用される切削ブレードの切刃を切削に適した状態にするドレスボードや、被加工物を模したプリカット用のワークが使用される。これらのドレスボードやプリカット用のワークは、被加工物と同様にフレームユニットの状態でチャックテーブルに保持され、切削ユニットにより切削される。ここで、フレームユニットには、加工装置に装着されたチャックテーブル等の大きさに応じたフレームが使用される。
【０００６】
ドレスボードやプリカット用のワークは、一度使用された後、被加工物の加工が実施された後に再び使用される場合があり、フレームユニットの状態で加工装置の近傍に保管される。ドレスボードやプリカット用の被加工物を含むフレームユニットに使用されるフレームや該フレームユニットは、例えば、被加工物を収容する際に使用されるカセット（特許文献１参照）に収容されて保管される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−９１４００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
フレームやフレームユニットの収容には、該フレーム等の大きさに対応した大きさのカセットが使用される。そのため、様々な大きさのフレーム等に対応するために、大きさの異なる複数のカセットが準備される。しかし、複数のカセットを保管するためにデバイスチップの製造工場等の限られた領域の中で広い保管領域を確保するのは困難である。また、該フレーム等を収容する際に、複数のカセットの中から該フレーム等の大きさに対応したカセットを探しだすのも容易ではない。
【０００９】
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、フレームやフレームユニットの大きさに依らず各種のフレーム等を収容できるフレーム収容具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、中央に開口を有した環状のフレームを収容するフレーム収容具であって、載置台に固定される第１の固定部と、該第１の固定部から立設した第１の側壁と、を備えた第１の側壁体と、収容されるフレームの大きさに対応した距離該第１の側壁体から離間された状態で該載置台に固定される第２の固定部と、該第２の固定部から立設した第２の側壁と、を備えた第２の側壁体と、を有し、該第１の側壁体の該第１の側壁と、該第２の側壁体の該第２の側壁と、には、フレームの収容時に互いに対面する対応する位置に該フレームの端部が進入する溝がそれぞれ形成されていることを特徴とするフレーム収容具が提供される。
【００１１】
好ましくは、該溝は、該第１の側壁と、該第２の側壁と、の立設方向に沿って形成されている。また、好ましくは、該溝は、該第１の側壁と、該第２の側壁と、の立設方向と交差する方向に沿って形成されおり、該溝の端部には、フレームの落下防止部が形成されている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るフレーム収容具は、フレームユニットに含まれるフレーム、テープが張られたフレーム、及びテープが張られていないフレーム等、様々な状態のフレームを収容できる。該フレーム収容具は一対の側壁体を備え、フレームの収容時にはそれぞれの側壁体が互いの溝が対面する向きに向けられ、該フレームの大きさに対応した距離離間された状態で載置台上に固定される。そして、それぞれの溝にフレームの端部を入れると該フレーム収容具にフレームが収容される。
【００１３】
該フレーム収容具は、収容するフレームの大きさに応じて、一対の側壁体の間の距離を変更でき、本発明に係るフレーム収容具は、様々な大きさのフレームを収容できる。そのため、フレームの大きさにそれぞれ対応した大きさの異なる複数のフレーム収容具を用意する必要がなく、また、複数のフレーム収容具から収容するフレームの大きさに対応するフレーム収容具を探す必要もない。
【００１４】
さらに、本発明に係るフレーム収容具は、未使用時には、一対の側壁体を離間させずまとめて保管できる。そのため、保管に要する領域が極めて小さくなる。
【００１５】
したがって、本発明によりフレームの大きさに依らず各種のフレームを収容できるフレーム収容具が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】フレームユニットを模式的に示す斜視図である。
【図２】フレーム収容具にフレームユニットを収容する様子を模式的に示す斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は、フレーム収容具の一例を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、未使用時のフレーム収容具を模式的に示す斜視図である。
【図４】図４（Ａ）は、フレーム収容具にフレームユニットを収容する様子を模式的に示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、フレーム収容具の一例を模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図面を参照して、本発明の一態様に係るフレーム収容具について説明する。まず、本実施形態に係るフレーム収容具に収容されるフレームについて、図１を用いて説明する。図１は、環状のフレーム７を含むフレームユニット１を模式的に示す斜視図である。フレームユニット１は、フレーム７と、テープ５と、ドレスボード３と、を含む。
【００１８】
フレーム収容具には、フレーム７を含むフレームユニット１、テープ５が張られたフレーム７、及びテープ５が張られていないフレーム７等、様々な状態のフレーム等を収容できる。以下、フレーム収容具にフレームユニット１を収容する場合を例に説明する。
【００１９】
半導体ウェーハ等の被加工物を切削する切削ブレードを備える切削装置では、切削ブレードを適度に消耗させ該切削ブレードを切削に適した状態にするドレッシングと呼ばれる刃先の調整が実施される。切削ブレードのドレッシングでは、切削ブレードを適度に消耗させるドレスボード３が使用される。
【００２０】
ドレスボード３はフレームユニット１の状態で切削装置に搬出入される。中央に開口７ａを有する環状のフレーム７を準備し、開口７ａを塞ぐようにテープ５をフレーム７に張り、フレーム７の開口７ａの内側でテープ５にドレスボード３を貼着することでフレームユニット１が形成される。切削装置には、被加工物の大きさに応じた大きさのチャックテーブルが装着されているため、ドレスボード３を含むフレームユニット１には、チャックテーブルの大きさに対応する大きさのフレーム７が使用される。
【００２１】
切削装置で被加工物の切削が実施されている間は、ドレスボード３はフレームユニット１の状態で該切削装置の近傍に保管される。フレームユニット１の保管には、本実施形態に係るフレーム収容具が使用される。なお、フレーム収容具に収容されるフレームユニット１は、ドレスボード３に代えて加工装置で加工される被加工物や、プリカットに使用される被加工物等が含まれてもよい。
【００２２】
次に、本実施形態に係るフレーム収容具２について説明する。図２は、フレーム収容具２にフレームユニット１を収容する様子を模式的に示す斜視図である。図２に示す通り、フレーム収容具２は、第１の側壁体４ａと、第２の側壁体４ｂと、を有する。フレームユニット１は、この一対の側壁体４ａ，４ｂの間に収容される。
【００２３】
フレーム収容具２は、所定の載置台（不図示）の上に配設されて使用される。載置台は、例えば、加工装置の近傍に置かれる収容棚や、加工装置の基台の余剰領域等である。第１の側壁体４ａは、固定部６ａと、該固定部６ａから立設した側壁８ａを備え、第２の側壁体４ｂは、固定部６ｂと、該固定部６ｂから立設した側壁８ｂを備える。
【００２４】
それぞれの側壁体４ａ，４ｂは、固定部６ａ，６ｂで載置台に接する。固定部６ａ，６ｂは、側壁体４ａ，４ｂを載置台に対して安定的に自立させて固定する機能を有する。固定部６ａ，６ｂの内部には、例えば、側壁体４ａ，４ｂの重心を低い高さに位置付ける錘が配設される。
【００２５】
側壁８ａ，８ｂには、フレームユニット１に含まれるフレーム７の端部が進入できる溝１０ａ，１０ｂがそれぞれ互いに対応する位置に形成されている。図２に示す通り、溝１０ａ，１０ｂは、例えば、側壁８ａ，８ｂの立設方向に沿って形成されている。
【００２６】
フレーム収容具２にフレームユニット１を収容する際は、第１の側壁体４ａを載置台に固定し、第２の側壁体４ｂをフレームユニット１に含まれるフレーム７の大きさに対応した距離第１の側壁体４ａから離間させて載置台に固定する。このとき、一対の側壁体４ａ，４ｂを互いの溝１０ａ，１０ｂが対面する向きに向ける。そして、フレーム７の端部をそれぞれの溝１０ａ，１０ｂに進入させるように一対の側壁体４ａ，４ｂの間に上方からフレームユニット１を進入させる。
【００２７】
フレーム７の下端が載置台の上面に達すると、フレームユニット１が該載置台に支持される。このとき、フレームユニット１の端部が溝１０ａ，１０ｂに進入しているため、載置台の上面に平行な方向への移動が該側壁８ａ，８ｂにより規制される。このように、フレーム収容具２は、フレームユニット１を収容できる。
【００２８】
フレーム収容具２は、一対の側壁体４ａ，４ｂの間の距離を任意に設定できるため、様々な大きさのフレームユニット１を収容できる。したがって、様々な大きさのフレームユニット１に対応するために大きさの異なる複数のフレーム収容具を準備する必要がない。なお、側壁８ａ，８ｂには、それぞれ、フレーム収容具２に収容したいフレームユニット１の数だけ溝１０ａ，１０ｂが形成される。
【００２９】
図３（Ａ）は、フレーム収容具２の他の一例を模式的に示す斜視図である。図３（Ａ）に示すフレーム収容具２では、一対の側壁体４ａ，４ｂの固定部６ａ，６ｂは磁石を含み、一対の側壁体４ａ，４ｂは磁力により載置台に固定される。この場合、固定部６ａ，６ｂに錘が不要であるため、フレーム収容具２が比較的小型軽量となる。
【００３０】
なお、フレーム収容具２は、未使用時に一対の側壁体４ａ，４ｂを重ねて保管できる。図３（Ｂ）は、未使用時のフレーム収容具２を模式的に示す斜視図である。それぞれの側壁体４ａ，４ｂは固定部６ａ，６ｂにより自立でき、フレーム収容具２は自立させた状態で保管できる。そのため、フレーム収容具２の保管に要する領域は極めて小さくなる。
【００３１】
また、側壁８ａ，８ｂのそれぞれに形成される溝１０ａ，１０ｂは、側壁８ａ，８ｂの立設方向に交差する方向に沿って形成されてもよい。例えば、図４（Ａ）に、示す通り、溝１０ａ，１０ｂは、該側壁８ａ，８ｂの立設方向に垂直な方向に沿って形成されてもよい。
【００３２】
この場合、フレームユニット１の収容時には、図４（Ａ）に示す通り、フレームユニット１を溝１０ａ，１０ｂの形成方向に沿って水平方向からフレーム収容具２に進入させる。なお、フレーム収容具２に進入させたフレームユニット１が溝１０ａ，１０ｂを通過して落下するのを防止するために、該溝１０ａ，１０ｂの端部にフレーム落下防止部１２が形成されてもよい。
【００３３】
溝１０ａ，１０ｂの端部にフレーム落下防止部１２が形成されていると、フレームユニット１をフレーム収容具２に収容する際に、例えば、フレーム落下防止部１２に当たるまでフレームユニット１を進行させることで収容位置を一定の位置に制御できる。
【００３４】
本実施形態に係るフレーム収容具２は、溝１０ａ，１０ｂが形成された側壁８ａ，８ｂを有する一対の側壁体４ａ，４ｂを備え、一対の側壁体４ａ，４ｂの間にフレームユニット１を収容できる。側壁体４ａ，４ｂの間の距離は、任意の値に設定できるため、様々な大きさのフレームユニット１を収容できる。
【００３５】
なお、上記実施形態では、固定部６ａ，６ｂがそれぞれの側壁体４ａ，４ｂの底部に形成される場合について説明した。しかし、本発明の一態様に係るフレーム収容具２はこれに限定されない。例えば、それぞれの側壁体４ａ，４ｂは底部以外にもさらに固定部６ａ，６ｂを備えてもよい。
【００３６】
図４（Ｂ）は、フレーム収容具２の一例を模式的に示す斜視図である。図４（Ｂ）に示す例では、それぞれの側壁体４ａ，４ｂは、底部に隣接する面にさらに固定部６ａ，６ｂを備える。この場合、それぞれの側壁体４ａ，４ｂでは２つの固定部６ａ，６ｂの使い分けが可能であり、載置台に接触する固定部６ａ，６ｂを変えることでフレーム収容具２に収容するフレームユニット１の進入方向を変えられる。
【００３７】
また、それぞれの側壁体４ａ，４ｂは、底部とは逆の頂部にさらに固定部６ａ，６ｂを備えてもよい。この場合、一対の側壁体４ａ，４ｂが同一の部材となるため、準備する側壁体の種類は一つで済む。
【００３８】
上記実施形態では、側壁８ａ，８ｂに形成される溝１０ａ，１０ｂについて、側壁８ａ，８ｂの立設方向に沿う場合と、該立設方向に垂直な方向に沿う場合と、を例に説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。
【００３９】
例えば、側壁８ａ，８ｂの該立設方向から該垂直な方向までの所定の角度で傾斜した方向に沿って溝１０ａ，１０ｂが形成されてもよい。この場合、フレーム収容具２に振動や予期せぬ衝撃等が加わる際のフレーム収容具２からのフレームユニット１の飛び出しがフレームユニット１にかかる重力により防止される。
【００４０】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００４１】
１  フレームユニット
３  ドレスボード
５  テープ
７  フレーム
７ａ  開口
２  フレーム収容具
４ａ，４ｂ  側壁体
６ａ，６ｂ  固定部
８ａ，８ｂ  側壁
１０ａ，１０ｂ  溝
１２  落下防止部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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