(57)【要約】【課題】被着体の相互間隔を適切に広げることができる技術を提供すること。【解決手段】接着シートＡＳの一方の面ＡＳ１に貼付された複数の被着体ＣＰの相互間隔を所定の間隔に広げる離間装置ＥＡにおいて、接着シートＡＳの端部を保持する保持手段１０と、接着シートＡＳに当接する当接部材２１を有する当接手段２０と、接着シートＡＳの端部を保持した保持手段１０および当接手段２０を相対移動させ、接着シートＡＳに張力を付与して被着体ＣＰの相互間隔を広げる離間手段３０とを備え、当接部材２１における接着シートＡＳが摺動する摺動部２１Ａと接着シートＡＳとの間に、当該摺動部２１Ａと接着シートＡＳとの摺動抵抗を低減させる抵抗低減剤ＬＣを供給する抵抗低減剤供給手段４０を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートの一方の面と他方の面との少なくとも一方に貼付された複数の被着体の相互間隔を所定の間隔に広げる離間装置において、
前記接着シートの端部を保持する保持手段と、
前記接着シートに当接する当接部材を有する当接手段と、
前記接着シートの端部を保持した前記保持手段および前記当接手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間手段とを備え、
前記当接部材における前記接着シートが摺動する摺動部と前記接着シートとの間に、当該摺動部と前記接着シートとの摺動抵抗を低減させる抵抗低減剤を供給する抵抗低減剤供給手段を備えていることを特徴とする離間装置。
【請求項２】
前記当接部材は、前記摺動部の一部または全部に前記抵抗低減剤を貯留可能な凹部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の離間装置。
【請求項３】
前記凹部は、前記摺動部の中央部から放射方向に延びる凹溝状の形状を成していることを特徴とする請求項２に記載の離間装置。
【請求項４】
前記当接部材は、前記摺動部の一部または全部に前記接着シートとの摺動抵抗を低減させる表面処理が施されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の離間装置。
【請求項５】
接着シートの一方の面と他方の面との少なくとも一方に貼付された複数の被着体の相互間隔を所定の間隔に広げる離間方法において、
前記接着シートの端部を保持手段で保持する工程と、
前記接着シートに当接する当接部材を前記接着シートに当接させる当接工程と、
前記接着シートの端部を保持した前記保持手段および前記当接部材を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間工程とを実施し、
前記当接工程の前段で、前記当接部材における前記接着シートが摺動する摺動部と前記接着シートとの間に、当該摺動部と前記接着シートとの摺動抵抗を低減させる抵抗低減剤を供給する抵抗低減剤供給工程を実施することを特徴とする離間方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、離間装置および離間方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
接着シートに貼付された複数の被着体に対し、当該接着シートを引っ張ってそれら被着体の相互間隔を広げる離間装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１０３６４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたような従来のエキスパンド装置（離間装置）では、第１のシート１３（接着シート）を引っ張ってチップＣ（被着体）の相互間隔を広げていくうちに、当該接着シートがエキスパンドテーブル３の上面（摺動部）に密着し、当該摺動部に対する接着シートの摺動抵抗が大きくなる。その結果、従来の離間装置では、接着シートを引っ張っている割に被着体の相互間隔が広がらないので、接着シートを無理矢理引っ張ってしまい、当該接着シートが破損したり、当該接着シートがリングフレーム保持手段４（保持手段）から外れたりして、被着体の相互間隔を適切に広げられなくなるという不都合を発生する。
【０００５】
本発明の目的は、被着体の相互間隔を適切に広げることができる離間装置および離間方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、摺動部と接着シートとの間に抵抗低減剤を供給するので、摺動部に対する接着シートの摺動抵抗が大きくなることを防止し、被着体の相互間隔を適切に広げることができる。
また、摺動部摺動部の一部または全部に凹部が形成されていれば、摺動部と接着シートとの間で抵抗低減剤が枯渇するリスクを低減することができる。
さらに、凹部が摺動部の中央部から放射方向に延びる凹溝状の形状を成していれば、摺動部と接着シートとの間に万遍なく抵抗低減剤を入り込ませることができる。
また、摺動部摺動部の一部または全部に接着シートとの摺動抵抗を低減させる表面処理が施されていれば、摺動部に対する接着シートの摺動抵抗が大きくなることをより効果的に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の実施形態に係る離間装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本発明の離間装置ＥＡは、接着シートＡＳの一方の面ＡＳ１に貼付された複数の被着体ＣＰの相互間隔を所定の間隔に広げる装置であって、接着シートＡＳの端部を保持する保持手段１０と、接着シートＡＳに当接する当接部材２１を有する当接手段２０と、接着シートＡＳの端部を保持した保持手段１０および当接手段２０を相対移動させ、接着シートＡＳに張力を付与して被着体ＣＰの相互間隔を広げる離間手段３０と、当接部材２１における接着シートＡＳが摺動する摺動部２１Ａと接着シートＡＳとの間に、当該摺動部２１Ａと接着シートＡＳとの摺動抵抗を低減させる抵抗低減剤ＬＣを供給する抵抗低減剤供給手段４０とを備えている。
【００１１】
保持手段１０は、離間手段３０に支持された駆動機器としての回動モータ１１と、その出力軸１１Ａに支持された上保持部材１２とを備えている。
【００１２】
当接手段２０は、ベースプレートＢＰ上に支持され、その上面が摺動部２１Ａとされた当接部材２１を備えている。
なお、本実施形態では、当接部材２１は、摺動部２１Ａの全部に抵抗低減剤ＬＣを貯留可能な図示しない凹部が形成され、さらに、摺動部２１Ａの全部に接着シートＡＳとの摺動抵抗を低減させる図示しない表面処理が施されている。
【００１３】
離間手段３０は、ベースプレートＢＰ上に支持された駆動機器としての直動モータ３１と、その出力軸３１Ａに支持され、上面側で回動モータ１１を支持する下保持部材３２とを備えている。
【００１４】
抵抗低減剤供給手段４０は、当接手段２０の上方に配置され、抵抗低減剤ＬＣが抜け出る噴出孔４１Ａが複数形成されたシャワーヘッド４１と、シャワーヘッド４１へ抵抗低減剤ＬＣを送る抵抗低減剤供給器４２とを備えている。
【００１５】
以上の離間装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、各部材が図１（Ａ）中実線で示す初期位置で待機している離間装置ＥＡに対し、当該離間装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、自動運転開始の信号を入力する。すると、抵抗低減剤供給手段４０が抵抗低減剤供給器４２を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、噴出孔４１Ａから抵抗低減剤ＬＣを噴出し、摺動部２１Ａ上に抵抗低減剤ＬＣを供給する。そして、作業者または、駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が複数の被着体ＣＰが貼付された接着シートＡＳを下保持部材３２上に載置すると、保持手段１０が各回動モータ１１を駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、上保持部材１２と下保持部材３２とで接着シートＡＳの端部を保持する。なお、接着シートＡＳの端部には、フレーム部材としての環状のリングフレームＲＦが貼付されているが、当該リングフレームＲＦは、なくてもよい。
【００１６】
次いで、離間手段３０が各直動モータ３１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、保持手段１０を下降させる。このとき、摺動部２１Ａ上に抵抗低減剤ＬＣが供給されているので、当該摺動部２１Ａに対する接着シートＡＳの摺動抵抗が大きくなることが抑制される。その結果、接着シートＡＳを引っ張っている割に被着体ＣＰの相互間隔が広がらないといった現象が解消され、接着シートＡＳを無理矢理引っ張って、接着シートＡＳが破損したり、接着シートＡＳがリングフレームＲＦや保持手段１０から外れたりすることを防止することができる。その後、被着体ＣＰの相互間隔が所定の間隔となったことをカメラや投影機等の撮像手段、光学センサや音波センサ等の各種センサからなる図示しない検知手段が検知すると、離間手段３０が各直動モータ３１の駆動を停止する。
【００１７】
次に、ピックアップ装置や搬送装置等の図示しない被着体取出し手段が被着体ＣＰを保持して接着シートＡＳから取り外し、取り外した被着体ＣＰをリードフレームや基板等の他のものに載置または接着する。そして、全ての被着体ＣＰまたは所定量の被着体ＣＰが接着シートＡＳから取り外されると、離間手段３０が各直動モータ３１を駆動し、下保持部材３２を初期位置に復帰させた後、保持手段１０が回動モータ１１を駆動し、上保持部材１２を初期位置に復帰させる。次いで、作業者または、図示しない搬送手段が、下保持部材３２上に残された接着シートＡＳを取り去り、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００１８】
以上のような離間装置ＥＡによれば、摺動部２１Ａと接着シートＡＳとの間に抵抗低減剤ＬＣを供給するので、摺動部２１Ａに対する接着シートＡＳの摺動抵抗が大きくなることを防止し、被着体ＣＰの相互間隔を適切に広げることができる。
【００１９】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、接着シートの端部を保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００２０】
保持手段１０は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で接着シートＡＳの端部を保持する構成でもよいし、１体でもよいし２体以上でもよい。
【００２１】
当接手段２０は、円筒、角筒、楕円筒等の筒状の他、円柱、角柱、楕円柱等の形状の当接部材が採用されてもよいし、筒状の当接部材の場合、前記実施形態で示した当接部材２１のように上部に底のあるものでもよいし、上部に底のないものでもよく、どのような形状の当接部材が採用されてもよい。
摺動部２１Ａに形成された凹部は、例えば、サンドブラスト加工、打刻加工、穴あけ加工、ヤスリやサンドペーパ等による研削加工、カッター刃やレーザ等による切削加工、薬品や溶剤等による腐食加工等どんな加工で形成されてもよいし、例えば、点状であってもよいし、線状でいってもよいし、摺動部２１Ａに幅が０．０１ｍｍ〜１ｍｍ程度で深さが０．０１ｍｍ〜１ｍｍ程度の複数の凹溝で構成されていてもよく、このような凹溝は直線状、折線状または曲線状でもよいし、その長さは、０．０１ｍｍ以上とすることができ、抵抗低減剤ＬＣを貯留可能であれば、幅、深さおよび長さが０．０１ｍｍ以下でもよいし１ｍｍ以上でもよい。
摺動部２１Ａに形成された凹部は、摺動部２１Ａの一部である例えば当該摺動部２１Ａの外縁部（以下、単に「外縁部」という）のみに形成されていてもよいし、摺動部２１Ａの一部である例えば当該摺動部２１Ａの外縁部以外の内側（以下、単に「内側部」という）のみに形成されていてもよい。なお、摺動部２１Ａには、抵抗低減材ＬＣを貯留可能な凹部が形成されていなくてもよい。
摺動部２１Ａに形成された凹部は、当該摺動部２１Ａの中央部から放射方向に延びる凹溝状の形状を成していてもよく、このような凹部も、摺動部２１Ａの外縁部のみに形成されていてもよいし、内側部のみに形成されていてもよいし、摺動部２１Ａ全体に形成されていてもよいし、摺動部２１Ａに形成されていなくてもよい。なお、凹溝状の凹部は、摺動部２１Ａの中央部から当該摺動部２１Ａの外縁にまで放射方向に繋がって延びていてもよいし、繋がることなく延びていてもよいし、摺動部２１Ａの中央部から放射方向でなく他の方向に延びていてもよい。
摺動部２１Ａに施された表面処理は、摺動部２１Ａの一部である例えば当該摺動部２１Ａの外縁部のみに施されていてもよいし、摺動部２１Ａの一部である例えば当該摺動部２１Ａの内側部のみに施されていてもよいし、摺動部２１Ａにおける凹部が形成されている領域の一部または全部に施されていてもよいし、摺動部２１Ａにおける凹部が形成されていない領域の一部または全部に施されていてもよい。なお、摺動部２１Ａには、接着シートＡＳとの摺動抵抗を低減させる表面処理が施されていなくてもよい。
接着シートＡＳとの摺動抵抗を低減させる表面処理としては、例えば、フッ素樹脂、シリコン樹脂、ＦＲＰ、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、アモルファス金属、硝子、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、セラミック等をコーティングしたりライニングしたりして行う処理等が例示でき、接着シートＡＳとの摺動抵抗を低減させることができる表面処理であればどのような表面処理でもよい。
【００２２】
離間手段３０は、１体でもよいし２体以上でもよいし、保持手段１０を停止または移動させつつ、当接手段２０を移動させることで、保持手段１０および当接手段２０を相対移動させ、被着体ＣＰの相互間隔を広げてもよいし、被着体ＣＰの相互間隔が所定間隔となるように、または、各被着体ＣＰの全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように、作業者が目視しながら、押しボタンやレバー等を操作して、直動モータ３１を駆動するように構成してもよい。
【００２３】
抵抗低減剤供給手段４０は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、当接部材２１の内部に配置され、抵抗低減剤ＬＣが抜け出る図示しない噴出孔が複数形成されたシャワーヘッド４３と、シャワーヘッド４３へ抵抗低減剤ＬＣを送る抵抗低減剤供給器４４とを備え、摺動部２１Ａに抵抗低減剤ＬＣを供給したり、接着シートＡＳの下面に抵抗低減剤ＬＣを供給したり、摺動部２１Ａと接着シートＡＳの下面との両方に抵抗低減剤ＬＣを供給したりする構成でもよいし、シャワーヘッド４１、４３の代わりに、スプレーや霧吹き等で抵抗低減剤ＬＣを噴霧してもよいし、噴出孔が１つの管やホース等で抵抗低減剤ＬＣを噴出したり、注ぎ込んだりしてもよいし、ローラ、ブラシ、刷毛、ブレード等で、摺動部２１Ａや接着シートＡＳの下面に抵抗低減剤ＬＣを塗布する構成でもよいし、抵抗低減剤ＬＣとして、公知の潤滑剤、水、オイル、グリス、紛体、パウダ、ジェル、微粒子、洗浄液等を供給してもよい。
抵抗低減剤供給手段４０が抵抗低減剤ＬＣを供給するタイミングは、所定枚数（１枚または複数枚）の接着シートＡＳに張力を付与する度でもよいし、所定の時間が経過する度でもよいし、カメラや投影機等の撮像手段、光学センサや音波センサ等の各種センサ等の図示しない抵抗低減剤検知手段が、摺動部２１Ａ上に抵抗低減剤ＬＣが無くなったことまたは、無くなりそうになったことを検知した際でもよいし、当該離間装置ＥＡを制御するコンピュータやシーケンサ等の図示しない制御手段や使用者が、任意の時間に抵抗低減剤供給器４２、４４を駆動し、抵抗低減剤ＬＣを供給してもよい。
【００２４】
被着体ＣＰは、接着シートＡＳの他方の面ＡＳ２のみや、一方の面ＡＳ１および他方の面ＡＳ２の両方の面に貼付されていてもよいし、予め接着シートＡＳ上に複数存在していてもよいし、離間手段３０、その他の機構または人手等によって外力が付与された時点で分割され、複数被着体ＣＰとなるもの（以下、「基部材」という）でもよく、このような基部材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等どのようなものでもよく、例えば、基部材に貫通する切込が断続的に設けられたり、基部材に貫通することのない切込が連続的または断続的に設けられたり、基部材の特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更することで、当該基部材に脆弱化された脆弱部が連続的または断続的に形成されたりしたもの等が例示でき、何ら限定されるものではない。
【００２５】
本発明における接着シートＡＳ、被着体ＣＰおよび基部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＣＰや基部材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００２６】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
【符号の説明】
【００２７】
ＥＡ…離間装置
１０…保持手段
２０…当接手段
２１…当接部材
２１Ａ…摺動部
３０…離間手段
４０…抵抗低減剤供給手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…一方の面
ＡＳ２…他方の面
ＣＰ…被着体
ＬＣ…抵抗低減剤
【図１】
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