(57)【要約】【課題】作業者の負担を低減する振動試験装置を提供する。【解決手段】振動試験装置は、対象物が載置される振動台と、振動台に一体に連結されたピストンと、筒状であり内部がピストンにより中心軸の軸方向に第１圧力室と第２圧力室とに仕切られ軸方向に所定の長さを有しかつ軸方向に垂直な平面による内部断面積が当該軸方向について一定であるシリンダとを有するアクチュエータと、第１圧力室と第２圧力室とに対して所定の体積弾性率を有する作動油を切り替えて供給することで、ピストンをシリンダの内部において第１圧力室側と第２圧力室側とに往復移動させる作動油供給部と、作動油供給部による作動油の供給動作を制御することで、ピストンを軸方向に所定の加振周波数で往復移動させる制御部と、容積が可変であり作動油を収容可能な容積可変室を有し、容積可変室がシリンダの第１圧力室及び第２圧力室の少なくとも一方に連通された容積調整部とを備える。【選択図】図１
2019035645.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物が載置される振動台と、
前記振動台に一体に連結されたピストンと、筒状であり内部が前記ピストンにより中心軸の軸方向に第１圧力室と第２圧力室とに仕切られ前記軸方向に所定の長さを有しかつ前記軸方向に垂直な平面による内部断面積が当該軸方向について一定であるシリンダとを有するアクチュエータと、
前記第１圧力室と前記第２圧力室とに対して所定の体積弾性率を有する作動油を切り替えて供給することで、前記ピストンを前記シリンダの内部において前記第１圧力室側と前記第２圧力室側とに往復移動させる作動油供給部と、
前記作動油供給部による前記作動油の供給動作を制御することで、前記ピストンを前記軸方向に所定の加振周波数で往復移動させる制御部と、
容積が可変であり前記作動油を収容可能な容積可変室を有し、前記容積可変室が前記シリンダの前記第１圧力室及び前記第２圧力室の少なくとも一方に連通された容積調整部と
を備える振動試験装置。
【請求項２】
前記容積可変室は、前記第１圧力室に連通された第１容積可変室と、前記第１容積可変室とは別個に設けられ前記第２圧力室に連通された第２容積可変室と、を有する
請求項１に記載の振動試験装置。
【請求項３】
前記第１容積可変室は、前記シリンダの内部において前記軸方向の一方の端部に接続され、
前記第２容積可変室は、前記シリンダの内部において前記軸方向の他方の端部に接続される
請求項２に記載の振動試験装置。
【請求項４】
前記作動油供給部は、前記第１圧力室に接続される第１接続流路と、前記第２圧力室に接続される第２接続流路と、前記第１接続流路と前記第２接続流路との間に前記作動油を流通させるバイパス流路と、前記バイパス流路に設けられた可変絞り弁とを有し、
前記制御部は、前記振動台の加速度を増加させる場合には前記可変絞り弁の開度を小さくし、前記振動台の加速度を減少させる場合には前記可変絞り弁の開度を大きくする
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の振動試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物を載置した振動台を加振装置により振動させる振動試験装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の振動試験装置は、加振装置と振動台との間に機械バネが取り付けられた構成である。この振動試験装置は、対象物と振動台との質量の和と機械バネのバネ定数とで決まる共振周波数と同一の加振周波数で振動台を振動させることにより、小さな入力エネルギーで大きな加速度を発生させることが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−００９９４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の振動試験装置では、１つの対象物について、異なる加振周波数で振動台を振動させる場合がある。この場合、加振周波数に応じて共振周波数を変更する作業が行われる。共振周波数を変更するには、機械バネを交換する作業か、振動台の質量を変更する作業が必要になるため、作業者の負担が大きくなってしまう。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、作業者の負担を低減することが可能な振動試験装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る振動試験装置は、対象物が載置される振動台と、前記振動台に一体に連結されたピストンと、筒状であり内部が前記ピストンにより中心軸の軸方向に第１圧力室と第２圧力室とに仕切られ前記軸方向に所定の長さを有しかつ前記軸方向に垂直な平面による内部断面積が当該軸方向について一定であるシリンダとを有するアクチュエータと、前記第１圧力室と前記第２圧力室とに対して所定の体積弾性率を有する作動油を切り替えて供給することで、前記ピストンを前記シリンダの内部において前記第１圧力室側と前記第２圧力室側とに往復移動させる作動油供給部と、前記作動油供給部による前記作動油の供給動作を制御することで、前記ピストンを前記軸方向に所定の加振周波数で往復移動させる制御部と、容積が可変であり前記作動油を収容可能な容積可変室を有し、前記容積可変室が前記シリンダの前記第１圧力室及び前記第２圧力室の少なくとも一方に連通された容積調整部とを備える。
【０００７】
本発明では、作動油の油圧によりピストンを往復移動することで振動台を移動させる構成であり、作動油の弾性を利用して振動台を共振させることができる。この場合、作動油のバネ定数は、作動油の体積弾性率と、アクチュエータの受圧面積と、アクチュエータのストロークと、容積可変室の容積とに基づいて決定される。
【０００８】
ここで、作動油の体積弾性率β、アクチュエータの受圧面積をＡ、アクチュエータのストロークをＳｔ、容積可変室の容積をＶ０とすると、作動油のバネ定数をＫは、以下の式（１）によって規定される。
【０００９】
Ｋ＝２β２／（Ａ・Ｓｔ＋Ｖ０）・・・・（１）
【００１０】
また、共振周波数ｆは、以下の式（２）によって規定される。なお、質量Ｍは、振動台１０の質量ｍ１と、振動台１０に載置する対象物Ｐの質量ｍ２との和である。
【００１１】
ｆ＝１／２π（Ｋ／Ｍ）１／２・・・・（２）
【００１２】
作動油の体積弾性率βは、作動油の種類等に応じてほぼ一定の値となる。アクチュエータのストロークＳｔは、シリンダの内部の軸方向についての長さであるため一定である。また、軸方向に垂直な平面による内部断面積が軸方向について一定であるため、アクチュエータの受圧面積は一定となる。このため、容積可変室の容積を変更することにより、作動油のバネ定数を変更することができ、共振周波数を変更することができる。このように、本発明に係る振動試験装置は、機械バネを交換する作業や振動台の質量を変更する作業を行わなくても、加振周波数に応じた共振周波数を設定することができるため、作業者の負担を低減することが可能となる。
【００１３】
また、前記容積可変室は、前記第１圧力室に連通された第１容積可変室と、前記第１容積可変室とは別個に設けられ前記第２圧力室に連通された第２容積可変室と、を有してもよい。
【００１４】
従って、第１容積可変室及び第２容積可変室の２箇所に作動油の弾性力を分散させることができる。
【００１５】
また、前記第１容積可変室は、前記シリンダの内部において前記軸方向の一方の端部に接続され、前記第２容積可変室は、前記シリンダの内部において前記軸方向の他方の端部に接続されてもよい。
【００１６】
従って、シリンダの内部において、第１容積可変室及び第２容積可変室の接続部分と、ピストンとが干渉することを抑制できる。
【００１７】
また、前記作動油供給部は、前記第１圧力室に接続される第１接続流路と、前記第２圧力室に接続される第２接続流路と、前記第１接続流路と前記第２接続流路との間に前記作動油を流通させるバイパス流路と、前記バイパス流路に設けられた可変絞り弁とを有し、前記制御部は、前記振動台の加速度を増加させる場合には前記可変絞り弁の開度を小さくし、前記振動台の加速度を減少させる場合には前記可変絞り弁の開度を大きくしてもよい。
【００１８】
従って、可変絞り弁の開度を調整することで第１圧力室と第２圧力室との間の圧力差を調整することができ、ピストンに対して作用する圧力を調整できるため、振動台の加速度を調整することができる。このように、振動の減衰比を調整することができるため、振動台を共振させる際、第１圧力室と第２圧力室との圧力差が大きくなり過ぎることを抑制でき、振幅の制御を容易に行うことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、作業効率を向上させることが可能な振動試験装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本実施形態に係る振動試験装置の一例を示す模式図である。
【図２】図２は、振動試験装置の一例を示す側面図である。
【図３】図３は、振動試験装置の一例を示す平面図である。
【図４】図４は、容積調整部の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明に係る振動試験装置の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。
【００２２】
図１は、本実施形態に係る振動試験装置１００の一例を示す模式図である。図２は、振動試験装置１００の一例を示す側面図である。図３は、振動試験装置１００の一例を示す平面図である。図１から図３に示すように、振動試験装置１００は、振動台１０と、アクチュエータ２０と、作動油供給部３０と、制御部４０と、容積調整部５０とを備える。
【００２３】
振動台１０は、例えば金属等の材料を用いて直方体状に形成される。振動台１０は、対象物Ｐを載置する載置面１０ａを有する。振動台１０は、移動機構１１を介して床面Ｆに移動可能に支持される。床面Ｆは、例えば水平面に平行な面である。移動機構１１は、振動台１０を支持しつつ、振動台１０を床面Ｆに平行に移動させる。振動台１０には、加速度センサ１２が配置される。加速度センサ１２は、振動台１０の加速度を検出し、検出結果を制御部４０に送信する。
【００２４】
アクチュエータ２０は、振動台１０を振動させる。アクチュエータ２０は、ピストン２２と、シリンダ２１とを有する。ピストン２２は、例えば円板状に形成され、シリンダ２１の内部に収容される。ピストン２２は、連結部材２５を介して振動台１０と一体に設けられる。連結部材２５は、ピストン２２と一体で移動する。連結部材２５には、変位センサ２６が配置される。変位センサ２６は、連結部材２５の変位を検出し、検出結果を制御部４０に送信する。
【００２５】
シリンダ２１は、例えば所定の中心軸を中心とした円筒状に形成される。シリンダ２１は、中心軸の軸方向に延びている。シリンダ２１の内部には、軸方向に所定の長さを有する円柱状の空間が形成される。シリンダ２１は、軸方向に垂直な平面による内部の断面が例えば円形であり、この円形断面の断面積が軸方向について一定である。したがって、アクチュエータ２０においては、受圧面積Ａが一定となっている。シリンダ２１の内部は、ピストン２２により、第１圧力室２３と、第２圧力室２４とに仕切られている。
【００２６】
また、アクチュエータ２０では、ピストン２２がシリンダ２１の内部で軸方向に所定のストロークＳｔで移動可能である。この場合、ピストン２２は、連結部材２５及び振動台１０と一体で、軸方向に移動する。
【００２７】
作動油供給部３０は、アクチュエータ２０に作動油Ｑを供給すると共に、アクチュエータ２０から作動油Ｑを回収する。作動油供給部３０は、作動油供給部３１と、サーボ弁３２と、可変絞り弁３３とを有する。
【００２８】
作動油供給部３１は、作動油供給源３１ａと、ポンプ３１ｂと、モータ３１ｃとを有する。作動油供給源３１ａは、作動油Ｑが貯留される。作動油Ｑは、所定の体積弾性率βを有する。作動油供給源３１ａは、供給流路３４及び回収流路３５に接続される。供給流路３４は、作動油供給源３１ａからサーボ弁３２に作動油Ｑを供給する流路である。回収流路３５は、サーボ弁３２から作動油供給源３１ａに作動油Ｑを回収する流路である。ポンプ３１ｂは、例えば供給流路３４に設けられる。ポンプ３１ｂは、モータ３１ｃの駆動力により、作動油供給源３１ａに貯留される作動油Ｑを供給流路３４に流通させる。
【００２９】
サーボ弁３２は、供給流路３４及び回収流路３５の接続先を、接続流路（第１接続流路）３６と接続流路（第２接続流路）３７との間で切り替える。接続流路３６は、第１圧力室２３に接続される。接続流路３７は、第２圧力室２４に接続される。サーボ弁３２によって供給流路３４及び回収流路３５の接続先が切り替わることにより、例えば第１圧力室２３に作動油Ｑが供給される場合には第２圧力室２４から作動油Ｑが回収される。また、第１圧力室２３から作動油Ｑが回収される場合には、第２圧力室２４に作動油Ｑが供給される。
【００３０】
可変絞り弁３３は、バイパス流路３８の開度を調整する。バイパス流路３８は、接続流路３６と接続流路３７とを接続する。バイパス流路３８は、接続流路３６と接続流路３７との間で作動油Ｑを流通させる。可変絞り弁３３は、バイパス流路３８の開度を調整することにより、第１圧力室２３と第２圧力室２４との圧力差を調整する。
【００３１】
制御部４０は、変位入力部４１と、第１演算部４２と、加速度入力部４３と、第２演算部４３とを有する。変位入力部４１は、ピストン２２の変位目標値を第１演算部４２に入力する。第１演算部４２には、変位入力部４１からの変位目標値が入力される。また、第１演算部４２には、変位センサ２６の検出結果が入力される。第１演算部４２は、入力された変位目標値と変位センサ２６の検出結果との差に基づいて、サーボ弁３２を制御する。
【００３２】
加速度入力部４３は、振動台１０の加速度目標値を第２演算部４４に入力する。第２演算部４４には、加速度入力部４３からの加速度目標値が入力される。また、第２演算部４４には、加速度センサ１２の検出結果が入力される。第２演算部４４は、入力された加速度目標値と加速度センサ１２の検出結果との差に基づいて、可変絞り弁３３の開度を制御する。
【００３３】
なお、制御部４０は、不図示の入力部を有する。入力部は、例えば対象物Ｐの振動試験を行う場合の加振周波数を入力する。
【００３４】
容積調整部５０は、アクチュエータ２０の圧力室に接続される。容積調整部５０は、第１圧力室２３に接続される第１容積調整部５１と、第２圧力室２４に接続される第２容積調整部５２とを有する。図３に示すように、第１容積調整部５１と第２容積調整部５２とは、シリンダ２１及び振動台１０を挟む位置に配置される。第１容積調整部５１及び第２容積調整部５２は、それぞれ等しい構成を有する。以下、第１容積調整部５１と第２容積調整部５２との共通する構成を説明する場合には、第１容積調整部５１及び第２容積調整部５２を容積調整部５０と表記して説明する。
【００３５】
図４は、容積調整部５０の一例を示す模式図である。図４に示すように、容積調整部５０は、シリンダ６１と、ピストン６２と、ピストン調整機構６３とを有する。シリンダ６１は、例えば円筒状に形成される。シリンダ６１は、中心軸の軸方向が、シリンダ２１の中心軸の軸方向と平行である。このように、シリンダ２１と振動台１０とが並ぶ方向と、容積調整部５０のシリンダ６１の長手方向とを平行にすることで、省スペース化を図ることができる。また、第１容積調整部５１と第２容積調整部５２とがシリンダ２１及び振動台１０を挟む位置に配置されるため、更に省スペース化を図ることができる。
【００３６】
シリンダ６１は、内部に容積可変室６５を有する。容積可変室６５は、接続管６４を介して第１圧力室２３、第２圧力室２４にそれぞれ連通される。以下、第１圧力室２３に連通される容積可変室６５を第１容積可変室６５ａと表記し、第２圧力室２４に連通される容積可変室６５を第２容積可変室６５ｂと表記する場合がある。
【００３７】
第１容積可変室６５ａに接続される接続管６４は、アクチュエータ２０のシリンダ２１の第１端部２１ａに接続される。第１端部２１ａは、シリンダ２１の軸方向の端部であって、第１容積調整部５１側の端部である。なお、第１容積可変室６５ａに接続される接続管６４の接続先は、シリンダ２１の第１端部２１ａに限定されず、当該第１端部２１ａとは異なる位置であってもよい。
【００３８】
第２容積可変室６５ｂに接続される接続管６４は、アクチュエータ２０のシリンダ２１の第２端部２１ｂに接続される。第２端部２１ｂは、シリンダ２１の軸方向の端部であって、第２容積調整部５２側の端部である。なお、第２容積可変室６５ｂに接続される接続管６４の接続先は、シリンダ２１の第２端部２１ｂに限定されず、当該第２端部２１ｂとは異なる位置であってもよい。
【００３９】
ピストン６２は、シリンダ６１の内部に収容される。ピストン６２は、シリンダ６１の内壁との間に容積可変室６５を形成する。ピストン６２は、シリンダ６１の中心軸の軸方向に往復移動可能である。ピストン６２が軸方向に移動することにより、容積可変室６５の容積が変動する。容積可変室６５は、接続管６４を介して第１容積調整部５１又は第２容積調整部５２に連通されることにより、第１容積調整部５１又は第２容積調整部５２から作動油Ｑが供給される。容積可変室６５は、この作動油Ｑを収容可能である。なお、シリンダ６１の内部において、ピストン６２に対して容積可変室６５と反対側には、空気室６６が形成される。ピストン６２は、外周部にシール部６２ａを有する。シール部６２ａは、例えばＯリング等が用いられる。シール部６２ａは、空気室６６側への作動油Ｑの漏れを抑制する。
【００４０】
ピストン調整機構６３は、ピストン６２の軸方向の位置を調整する。ピストン調整機構６３は、駆動軸６３ａと、駆動源６３ｂと、変位センサ６３ｃとを有する。駆動軸６３ａは、シリンダ６１の軸方向の空気室６６側の端部から空気室６６内に挿入され、ピストン６２に連結される。駆動源６３ｂは、駆動軸６３ａを駆動することにより、ピストン６２を移動させる。駆動軸６３ａ及び駆動源６３ｂとしては、例えばボールねじ機構等が用いられる。変位センサ６３ｃは、駆動軸６３ａの変位を検出する。変位センサ６３ｃの検出結果を用いることにより、ピストン６２の位置を算出可能である。
【００４１】
上記のように構成された振動試験装置１００を用いて対象物Ｐの振動試験を行う場合には、まず、振動台１０に対象物Ｐを載置する。次に、対象物Ｐに加える振動の周波数（加振周波数）を決定する。加振周波数は、例えば１０Ｈｚ、２０Ｈｚ等、必要な値に設定することができる。
【００４２】
加振周波数を決定した後、決定した加振周波数についての情報を制御部４０に入力する。変位入力部４１は、入力された加振周波数により、ピストン２２の目標変位を設定して第１演算部４２に入力する。第１演算部４２は、演算結果を出力する。第１演算部４２の演算結果により、サーボ弁３２が第１圧力室２３及び第２圧力室２４に対して作動油Ｑを切り替えて供給する。これにより、ピストン２２が軸方向に往復移動する。ピストン２２の往復移動により、ピストン２２と一体で、連結部材２５及び振動台１０が軸方向に往復移動する。連結部材２５に取り付けられた変位センサ２６は、ピストン２２の変位を検出して第１演算部４２に入力する。このため、変位センサ２６の検出結果がサーボ弁３２の制御にフィードバックされる。
【００４３】
加速度入力部４３は、入力された加振周波数により、振動台１０の目標加速度を設定して第２演算部４４に入力する。第２演算部４４の演算結果により、可変絞り弁３３の開度が調整される。可変絞り弁３３の開度が大きくなると、第１圧力室２３と第２圧力室２４との圧力差が小さくなり、ピストン２２に対して作用する圧力が減少する。この場合、振動台１０の加速度が減少する。また、可変絞り弁３３の開度が小さくなると、第１圧力室２３と第２圧力室２４との圧力差が大きくなり、ピストン２２に対して作用する圧力が増加する。この場合、振動台１０の加速度が増加する。振動台１０に設けられた加速度センサ１２は、振動台１０の加速度を検出し、検出結果を第２演算部４４に入力する。このため、加速度センサ１２の検出結果が可変絞り弁３３の制御にフィードバックされる。振動台１０の加速度を調整することにより、振動台１０が振動する際の振動の減衰比を調整することができる。このように振動台１０の減衰比を調整することにより、後述のように共振周波数で振動台１０を共振させる場合の振幅の制御を容易に行うことができる。
【００４４】
上記のように構成された振動試験装置１００は、作動油Ｑの油圧によりピストン２２を往復移動することで振動台１０を移動させる構成であり、作動油Ｑの弾性を利用して振動台１０を共振させることができる。この場合、作動油Ｑのバネ定数Ｋは、作動油Ｑの体積弾性率βと、アクチュエータ２０の受圧面積Ａと、アクチュエータ２０のストロークＳｔと、容積可変室６５の容積Ｖ０とに基づいて、以下の式（３）によって規定される。
【００４５】
Ｋ＝２β２／（Ａ・Ｓｔ＋Ｖ０）・・・・（３）
【００４６】
また、共振周波数ｆは、以下の式（４）によって規定される。なお、質量Ｍは、振動台１０の質量ｍ１と、振動台１０に載置する対象物Ｐの質量ｍ２との和である。なお、質量Ｍは、ピストン２２及びピストンロッド２５の質量を加えた値であってもよい。
【００４７】
ｆ＝１／２π（Ｋ／Ｍ）１／２・・・・（４）
【００４８】
作動油Ｑの体積弾性率βは、作動油Ｑの種類等に応じてほぼ一定の値となる。また、例えば定期的に作動油Ｑのメンテナンスを行うことにより、作動油Ｑの品質を一定に保持することができ、これにより体積弾性率βを一定に維持することが可能である。作動油Ｑの体積弾性率βは、作動油Ｑの種類等に応じてほぼ一定の値となる。アクチュエータ２０のストロークＳｔは、シリンダ２２の内部の軸方向についての長さであるため、一定である。また、シリンダ２２は、軸方向に垂直な平面による内部断面積が軸方向について一定である。したがって、アクチュエータ２０の受圧面積Ａは一定となる。
【００４９】
このため、容積可変室６５の容積Ｖ０を変更することにより、作動油Ｑのバネ定数Ｋを変更することができ、共振周波数ｆを変更することができる。本実施形態では、第１圧力室２３に連通された容積可変室６５と、第２圧力室２４に連通された容積可変室６５との、２つの容積可変室６５を有する。この場合、２つの容積可変室６５は、同一の容積Ｖ０となるように設定する。容積可変室６５の容積Ｖ０は、ピストン調整機構６３によりピストン６２の位置を調整することにより、容易かつ高精度に設定することができる。
【００５０】
以上のように、本実施形態に係る振動試験装置１００は、機械バネを交換する作業や振動台の質量を変更する作業を行わなくても、加振周波数に応じた共振周波数ｆを設定することができるため、作業者の負担を低減することが可能となる。
【００５１】
また、本実施形態に係る振動試験装置１００において、容積可変室６５は、第１圧力室２３に連通された第１容積可変室６５ａと、第１容積可変室６５ａとは別個に設けられ第２圧力室２４に連通された第２容積可変室６５ｂと、を有してもよい。これにより、第１容積可変室６５ａ及び第２容積可変室６５ｂの２箇所に作動油Ｑの弾性力を分散させることができる。
【００５２】
また、本実施形態に係る振動試験装置１００において、第１容積可変室６５ａは、シリンダ２１の内部において軸方向の一方の端部（第１圧力室２３側の端部）に接続され、第２容積可変室６５ｂは、シリンダ２１の内部において軸方向の他方の端部（第２圧力室２４側の端部）に接続されてもよい。これにより、シリンダ２１の内部において、第１容積可変室６５ａ及び第２容積可変室６５ｂの接続部分と、ピストン２２とが干渉することを抑制できる。
【００５３】
また、本実施形態に係る振動試験装置１００において、作動油供給部３０は、第１圧力室２３に接続される接続流路３６と、第２圧力室２４に接続される接続流路３７と、接続流路３６と接続流路３７との間に作動油Ｑを流通させるバイパス流路３８と、バイパス流路３８に設けられた可変絞り弁３３とを有し、制御部４０は、振動台１０の加速度を増加させる場合には可変絞り弁３３の開度を小さくし、振動台１０の加速度を減少させる場合には可変絞り弁３３の開度を大きくしてもよい。これにより、可変絞り弁３３の開度を調整することで第１圧力室２３と第２圧力室２４との間の圧力差を調整することができ、ピストン２２に対して作用する圧力を調整できるため、振動台１０の加速度を調整することができる。このように振動の減衰比を調整することにより、振動台１０を共振させる際、第１圧力室２３と第２圧力室２４との圧力差が大きくなり過ぎることを抑制でき、振幅の制御を容易に行うことができる。
【００５４】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。例えば、上記実施形態においては、第１容積調整部５１及び第２容積調整部５２の２つの容積調整部５０が設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、容積調整部５０は１つであってもよい。この場合、容積調整部５０の容積可変室６５は、第１圧力室２３及び第２圧力室２４のどちらの圧力室に接続されてもよい。
【００５５】
また、上記実施形態では、容積調整部５０においてピストン調整機構６３の構成として、ボールねじ機構を例に挙げて説明したが、これに限定されず、他の構成であってもよい。また、ピストン調整機構６３は、ピストン６２の位置を複数の固定値に段階的に調整可能な構成であってもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１０  振動台
１０ａ  載置面
１１  移動機構
１２  加速度センサ
２０  アクチュエータ
２１，６１  シリンダ
２１ａ  第１端部
２１ｂ  第２端部
２２，６２  ピストン
２３  第１圧力室
２４  第２圧力室
２５  連結部材
２６，６３ｃ  変位センサ
３０，３１  作動油供給部
３１ａ  作動油供給源
３１ｂ  ポンプ
３１ｃ  モータ
３２  サーボ弁
３３  可変絞り弁
３４  供給流路
３５  回収流路
３６，３７  接続流路
３８  バイパス流路
４０  制御部
４１  変位入力部
４２  第１演算部
４３  加速度入力部
４４  第２演算部
５０  容積調整部
５１  第１容積調整部
５２  第２容積調整部
６２ａ  シール部
６３  ピストン調整機構
６３ａ  駆動軸
６３ｂ  駆動源
６４  接続管
６５  容積可変室
６５ａ  第１容積可変室
６５ｂ  第２容積可変室
６６  空気室
１００  振動試験装置
β  体積弾性率
Ａ  受圧面積
Ｆ  床面
Ｋ  バネ定数
Ｍ，ｍ１，ｍ２  質量
Ｐ  対象物
Ｑ  作動油
Ｖ０  容積
ｆ  共振周波数
Ｓｔ  ストローク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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