(57)【要約】      （修正有）【課題】測定装置の不具合の発生を予防する。【解決手段】測定装置は、移動可能なプロービングシステム１０６により被測定物２の形状を測定する測定部１０と、プロービングシステム１０６により被測定物２を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成する撮像部１１ａと、撮像画像に基づいて、測定部がプロービングシステム１０６により被測定物２の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力する制御部とを有する。【選択図】図１
2019100740.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能なプローブにより被測定物の形状を測定する測定部と、
前記プローブにより前記被測定物を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成する撮像部と、
前記撮像画像に基づいて、前記測定部が前記プローブにより前記被測定物の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力する制御部と、
を有する測定装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記測定部が前記プローブを移動させる軌跡を特定し、特定した前記軌跡上に異物が存在する場合に前記警告情報を出力する、
請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記撮像画像により特定される前記プローブの種別に基づいて、前記軌跡上に異物が存在するか否かを判定する、
請求項２に記載の測定装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記測定部が使用する予定の前記プローブの種別を示す種別情報を取得し、前記種別情報が示すプローブの種別が、前記撮像画像により特定される前記プローブの種別と異なる場合に前記警告情報を出力する、
請求項３に記載の測定装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記プローブの移動に伴って前記撮像部の撮像方向を変化させる、
請求項１から４のいずれか一項に記載の測定装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記撮像部の撮像領域内の所定の範囲内に前記プローブが含まれるように前記撮像方向を変化させる、
請求項５に記載の測定装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記測定装置に設けられた所定のマーカーを前記撮像部に撮影させ、前記撮像画像に含まれる前記マーカーの画像が所定の位置になったときの前記撮像部の撮像方向を前記撮像方向の初期値として記憶部に記憶させる、
請求項５又は６に記載の測定装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記撮像画像に含まれる前記被測定物の画像に基づいて、前記プローブの位置及び向きを制御する、
請求項１から７のいずれか一項に記載の測定装置。
【請求項９】
前記撮像部は、前記測定部が測定を開始する前と、前記測定部が測定を開始した後とで、フォーカス位置及び絞りの少なくともいずれかを変化させる、
請求項１から８のいずれか一項に記載の測定装置。
【請求項１０】
被測定物の形状を測定するために用いられる移動可能なプローブにより前記被測定物を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成するステップと、
前記撮像画像に基づいて、前記プローブにより前記被測定物の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力するステップと、
を有する測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体の形状を測定する測定装置、及び測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プローブを移動させながら被測定物に接触させて、当該被測定物の形状を測定する測定装置が開示されている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−０９５５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
測定装置が被測定物の形状を測定することができる測定領域には、プローブの移動を妨げる異物が侵入してしまう場合がある。また、測定装置を使用する使用者が、誤って、装着すべきプローブと異なるプローブを装着してしまうことがある。この場合、測定装置が予め定められた軌跡に従ってプローブを移動すると、プローブが異物又は被測定物と接触してしまうことが懸念される。プローブが異物又は被測定物と接触すると、プローブ又は被測定物が破損してしまうことがあり、測定装置の故障などの不具合が発生する場合がある。
【０００５】
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、測定装置の不具合の発生を予防することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様における測定装置は、移動可能なプローブにより被測定物の形状を測定する測定部と、前記プローブにより前記被測定物を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成する撮像部と、前記撮像画像に基づいて、前記測定部が前記プローブにより前記被測定物の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力する制御部と、を有する。
【０００７】
例えば、前記制御部は、前記測定部が前記プローブを移動させる軌跡を特定し、特定した前記軌跡上に異物が存在する場合に前記警告情報を出力する。
【０００８】
前記制御部は、前記撮像画像により特定される前記プローブの種別に基づいて、前記軌跡上に異物が存在するか否かを判定してもよい。
【０００９】
例えば、前記制御部は、前記測定部が使用する予定の前記プローブの種別を示す種別情報を取得し、前記種別情報が示すプローブの種別が、前記撮像画像により特定される前記プローブの種別と異なる場合に前記警告情報を出力する。
【００１０】
前記制御部は、前記プローブの移動に伴って前記撮像部の撮像方向を変化させてもよい。
【００１１】
例えば、前記制御部は、前記撮像部の撮像領域内の所定の範囲内に前記プローブが含まれるように前記撮像方向を変化させる。
【００１２】
例えば、前記制御部は、前記測定装置に設けられた所定のマーカーを前記撮像部に撮影させ、前記撮像画像に含まれる前記マーカーの画像が所定の位置になったときの前記撮像部の撮像方向を前記撮像方向の初期値として記憶部に記憶させる。
【００１３】
前記制御部は、前記撮像画像に含まれる前記被測定物の画像に基づいて、前記プローブの位置及び向きを制御してもよい。
【００１４】
前記撮像部は、前記測定部が測定を開始する前と、前記測定部が測定を開始した後とで、フォーカス位置及び絞りの少なくともいずれかを変化させてもよい。
【００１５】
本発明の第２の態様における測定方法は、被測定物の形状を測定するために用いられる移動可能なプローブにより前記被測定物を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成するステップと、前記撮像画像に基づいて、前記プローブにより前記被測定物の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力するステップと、を有する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、測定装置の不具合の発生を予防することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】測定装置の概要を説明するための図である。
【図２】測定装置の機能構成を示す図である。
【図３】プローブの軌跡上に異物が存在する場合について説明するための図である。
【図４】プローブの種別を特定する方法を説明するための図である。
【図５】測定を開始する処理のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
［測定装置１の概要］
まず、実施形態に係る測定装置１の概要について説明する。測定装置１は、例えば、測定用のプロービングシステム１０６を移動させながら被測定物２に接触させて被測定物２の形状を測定する三次元測定機である。
【００１９】
図１は、測定装置１の概要を説明するための図である。図１に、測定装置１が備える測定部１０を示す。測定部１０は、移動可能なプロービングシステム１０６により被測定物２の形状を測定する。測定部１０は、上面に被測定物２が載置されるテーブル１００と、テーブル１００を跨ぐ門型の構造体とを備える。門型の構造体は、テーブル１００の両側に設置された一対のコラム１０１及びサポータ１０２と、コラム１０１とサポータ１０２とに掛け渡されたＸ軸方向のビーム１０３と、ビーム１０３に沿って移動可能なスライダ１０４と、を備える。スライダ１０４は、Ｚ軸スピンドル１０５を支持する。プロービングシステム１０６は、Ｚ軸スピンドル１０５の下端に装着される。
【００２０】
スライダ１０４は、ビーム１０３とスライダ１０４との間に設置されたＸ軸移動機構により、ビーム１０３に沿ってＸ軸方向に移動する。Ｚ軸スピンドル１０５は、スライダ１０４とＺ軸スピンドル１０５との間に設置されたＺ軸移動機構により、スライダ１０４に対してＺ軸方向に移動する。コラム１０１及び１０２を含む門型の構造体は、テーブル１００とコラム１０１及び１０２との間に設置されたＹ軸移動機構により、テーブル１００に対してＹ軸方向へ移動する。測定装置１は、上記の移動機構を適宜移動して、プロービングシステム１０６に設けられたスタイラスをテーブル１００上に載置された被測定物２に対して接触させることにより、被測定物２の形状を測定することができる。
【００２１】
測定装置１は、プロービングシステム１０６により物体の形状を測定することができる測定領域の少なくとも一部を撮影可能な撮像部１１を備える。撮像部１１は、例えばデジタルカメラである。撮像部１１は、プロービングシステム１０６により被測定物２を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成する。一例として、撮像部１１ａは、Ｚ軸スピンドル１０５に設置されている。撮像部１１ｂは、テーブル１００に設置され、撮像部１１ａが撮影できない死角を撮影する。また、測定装置１は、図示しない撮像部１１ｃをさらに備えていてもよい。撮像部１１ｃは、サポータ１０２に設置され、撮像部１１ａと撮像部１１ｂとが撮影できない死角を撮影する。
【００２２】
測定装置１は、プロービングシステム１０６を移動させて被測定物２の形状を測定する際に、撮像部１１が生成した撮像画像に基づいて測定に支障が生じるか否かを判定する。測定装置１は、測定に支障があると判定すると、測定に支障があることを示す音声を出力したり、測定に支障があることを示す画面を表示したりする。このようにすることで、測定装置１は、測定装置１を使用する使用者に、被測定物２の測定に支障があることを通知することができる。そのため、測定装置１は、不具合の発生を予防することができる。
【００２３】
［測定装置１の機能構成］
図２は、測定装置１の機能構成を示す図である。測定装置１は、測定部１０と、撮像部１１と、音声出力部１２と、表示部１３と、記憶部１４と、制御部１５とを備える。測定部１０は、図１を用いてすでに説明したとおりである。
【００２４】
音声出力部１２は、音声を出力する、例えばスピーカーである。表示部１３は、各種情報を表示する。表示部１３は、例えば液晶ディスプレイ又はＬＥＤ表示灯を備える。記憶部１４は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びハードディスク等の記憶媒体を含む。記憶部１４は、制御部１５が実行するプログラムを記憶する。また、記憶部１４は、制御部１５がプロービングシステム１０６を移動させるための指示値を記憶してもよい。
【００２５】
制御部１５は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）である。制御部１５は、記憶部１４に記憶されたプログラムを実行することにより測定装置１を制御する。具体的には、制御部１５は、記憶部１４に記憶された指示値に基づいて測定部１０及びプロービングシステム１０６を移動させながら、測定部１０に被測定物２の形状を測定させる。
【００２６】
制御部１５は、被測定物２の形状を測定させるときに、撮像部１１に測定領域を撮影した撮像画像を生成させる。制御部１５は、撮像画像に基づいて、測定部１０がプロービングシステム１０６により被測定物２の形状を測定する際に支障が生じるか否かを判定する。詳細は後述するが、測定する際に支障が生じると制御部１５が判定する場合は、例えばプロービングシステム１０６の軌跡上に移動の妨げになる異物が存在する場合、又は装着すべきプロービングシステム１０６と異なるプロービングシステム１０６が装着された場合である。プロービングシステム１０６の軌跡は、プロービングシステム１０６が移動する間におけるプロービングシステム１０６の少なくとも一部（例えば先端に設けられたスタイラス）の位置を接続することにより特定される。制御部１５は、測定する際に支障が生じると判定した場合に、測定に支障があることを示す警告情報を出力する。
【００２７】
例えば、制御部１５は、測定に支障が生じることを示す音声情報を含む警告情報を音声出力部１２に出力する。音声出力部１２は、音声情報を含む警告情報を受信すると、警告情報に対応する音声を出力する。また、制御部１５は、測定に支障が生じることを示す画像又はテキストを含む警告情報を表示部１３に出力する。表示部１３は、画像又はテキストを含む警告情報を受信すると、警告情報に対応する画面を表示する。
【００２８】
このように、測定装置１は、測定に支障がある場合、測定に支障があることを示す音声を出力したり、測定に支障があることを示す画面を表示したりする。そのため、測定装置１は、測定装置１を使用する使用者に測定に支障があることを通知することができ、不具合の発生を予防することができる。
【００２９】
なお、制御部１５は、測定装置１の動作を停止させる停止指示を含む警告情報を測定部１０に出力してもよい。例えば、制御部１５は、被測定物２の測定を開始した後に、測定に支障が生じると判定した場合、停止指示を含む警告情報を測定部１０に出力する。測定部１０は、停止指示を含む警告情報を受信すると、動作を停止する。このように、測定装置１は、測定を開始した後であっても、測定領域内に人や物体が進入した場合、動作を停止するので、不具合の発生を予防できる。
以下、制御部１５が警告情報を出力する場合について具体的な例を挙げて説明する。
【００３０】
（プロービングシステム１０６の軌跡上に異物が存在する場合）
制御部１５は、プロービングシステム１０６を移動させる軌跡上に、プロービングシステム１０６の移動を妨げる異物が存在する場合に警告情報を出力する。以下、詳細に説明する。
【００３１】
まず、制御部１５は、測定部１０がプロービングシステム１０６を移動させる軌跡を特定する。例えば、制御部１５は、測定装置１を使用する使用者により入力された指示値を取得し、取得した指示値に基づいて、プロービングシステム１０６の先端の位置の軌跡を特定する。制御部１５は、プロービングシステム１０６の先端の位置の軌跡と、プロービングシステム１０６の形状とに基づいて、プロービングシステム１０６全体の軌跡をさらに特定してもよい。
【００３２】
続いて、制御部１５は、撮像部１１に測定領域を撮影した撮像画像を生成させ、当該撮像画像に基づいて測定領域に存在する異物の位置を特定する。制御部１５は、特定した異物の位置が、特定した軌跡上にあるか否かを判定する。
【００３３】
図３は、プロービングシステム１０６の軌跡上に異物が存在する場合について説明するための図である。図３に示すように、撮像部１１ａは、Ｚ軸スピンドル１０５の下端、かつ網点で塗りつぶしたプローブアダプタ１０８の上部に、プロービングシステム１０６及びプロービングシステム１０６の進行方向を撮影する向きに取り付けられている。
【００３４】
ここで、制御部１５は、プロービングシステム１０６の軌跡として、Ｙ軸方向に沿って移動するという軌跡を特定したとする。矢印Ｌは、制御部１５が特定したプロービングシステム１０６の軌跡を示す。制御部１５は、撮像部１１ａにより撮影された撮像画像に基づいて異物Ｍの位置を特定する。図３に示すように、異物Ｍは、プロービングシステム１０６の軌跡を示す矢印Ｌ上に存在するので、制御部１５は軌跡上に異物Ｍが存在すると判定する。そして、制御部１５は、特定した軌跡上に異物が存在すると判定した場合に警告情報を出力する。このように、制御部１５は、プロービングシステム１０６の軌跡上に異物Ｍが存在する場合に警告情報を出力するので、測定装置１の不具合の発生を予防できる。
【００３５】
なお、制御部１５は、撮像画像により特定されるプロービングシステム１０６の種別に基づいて、軌跡上に異物が存在するか否かを判定してもよい。例えば、制御部１５は、プロービングシステム１０６の種別に基づく所定の警戒範囲に物体が存在する場合、軌跡上に異物が存在すると判定する。具体的には、まず、制御部１５は、特定したプロービングシステム１０６の種別に対応するプロービングシステム１０６の形状を特定する。制御部１５は、プロービングシステム１０６を移動させる軌跡に沿って、特定したプロービングシステム１０６の形状に応じて設定される警戒範囲内に物体が存在する場合、軌道上に異物が存在すると判定する。このようにすることで、制御部１５は、特定した異物Ｍの位置がずれていた場合でも、プロービングシステム１０６が異物Ｍと接触することを予防できる。
【００３６】
（設定されたプロービングシステム１０６と異なるプロービングシステム１０６が装着された場合）
測定装置１を使用する使用者が、誤って、設定されたプロービングシステム１０６と異なるプロービングシステム１０６を装着してしまった場合であっても、制御部１５は、記憶部１４に記憶された指示値に基づいてプロービングシステム１０６を移動させる。装着されたプロービングシステム１０６の種別（例えば形状）が、指示値が作成された際に想定されていたプロービングシステム１０６の種別と異なる場合、装着されたプロービングシステム１０６が被測定物２に接触してしまう可能性が生じる。
【００３７】
そこで、制御部１５は、装着すべきプロービングシステム１０６の種別と、装着されたプロービングシステム１０６の種別とが異なる場合、警告情報を出力する。具体的には、まず、制御部１５は、測定部１０が使用する予定のプロービングシステム１０６の種別を示す種別情報を取得する。次に、制御部１５は、装着されたプロービングシステム１０６の種別を撮像画像に基づいて特定する。図４は、プロービングシステム１０６の種別を特定する方法を説明するための図である。
【００３８】
図４（ａ）及び図４（ｂ）は、それぞれ種別の異なるプロービングシステム１０６を模式的に示す図である。図４に示すように、プロービングシステム１０６は、斜線で塗りつぶしたプローブ１０７と、格子で塗りつぶしたプローブアダプタ１０８と、網点で塗りつぶしたプローブヘッド１０９と、スタイラス１１０とを備える。制御部１５は、撮像画像に基づいて、プローブアダプタ１０８の下端を基準として、プローブ１０７の長さを特定する。制御部１５は、特定したプローブ１０７の長さに対応するプロービングシステム１０６の種別を特定する。なお、制御部１５がプローブ１０７の長さを特定する方法は、既知の画像認識技術を使用することができる。
【００３９】
そして、制御部１５は、種別情報が示すプロービングシステム１０６の種別が、撮像画像により特定されるプロービングシステム１０６の種別と異なる場合に警告情報を出力する。このように、制御部１５は、測定部１０が使用する予定のプロービングシステム１０６と、装着されたプロービングシステム１０６とが異なる場合に警告情報を出力する。そのため、制御部１５は、使用者が、測定装置１に誤ったプロービングシステム１０６を装着した場合でも不具合の発生を予防することができる。
【００４０】
ところで、撮像部１１が、撮像部１１ｂのようにテーブル１００に設置されている場合、測定部１０の移動に伴って、プロービングシステム１０６が撮像部１１ｂの撮像領域から外れてしまうことがある。このような問題が生じることを防ぐために、制御部１５は、撮像部１１が撮影する撮像領域を変化させる。例えば、制御部１５は、プロービングシステム１０６の移動に伴って撮像部１１の撮像方向を変化させるように制御してもよい。具体的には、制御部１５は、撮像部１１の撮像領域内の所定の範囲内にプロービングシステム１０６が含まれるように撮像方向を変化させる。このようにすることで、制御部１５は、プロービングシステム１０６を移動しても、プロービングシステム１０６の付近にある異物を検出することができるので、より確実に測定装置１の不具合の発生を予防することができる。
【００４１】
制御部１５は、撮像部１１の撮像方向の初期値の調整を行ってもよい。例えば、制御部１５は、測定装置１に設けられた所定のマーカーに基づいて、撮像部１１の撮影方向の初期値を特定することにより撮像部１１の撮像方向の初期値の調整を行う。マーカーは、撮像部１１に対して相対的な位置が変化しない位置に形成されている。例えば、撮像部１１ａに対するマーカーは、Ｚ軸スピンドル１０５に形成されている。また、撮像部１１ｂに対するマーカーは、テーブル１００に形成されている。
【００４２】
制御部１５は、初期値を調整する際、まず、測定装置１に設けられた所定のマーカーを、撮像領域を変化させながら撮像部１１に撮影させる。次に、制御部１５は、撮像画像に含まれるマーカーの画像が所定の基準位置になったときの撮像部１１の撮像方向を撮像方向の初期値として記憶部１４に記憶させる。制御部１５は、撮像部１１の撮像領域を移動させる場合、記憶部１４に記憶された撮像方向の初期値を基準として撮像領域を移動させる。
【００４３】
制御部１５は、撮影画像に含まれるマーカーに基づいて測定領域に対する撮像領域の角度を特定し、特定した角度に基づいて物体の位置を補正する。また、基準位置は、撮像画像において特に限定する必要はないが、マーカー全体が含まれるように撮像領域中央付近であるのが望ましい。
【００４４】
このようにすることで、制御部１５は、測定領域を撮影する位置をより正確に特定することができるので、測定領域内に存在する物体の位置をより精度よく特定することができる。そのため、制御部１５は、プロービングシステム１０６と異物とが接触するか否かの判定精度を向上することができる。
【００４５】
被測定物２の測定を開始する前は、測定領域全体において異物を検出したいが、被測定物２の測定を開始した後は、被測定物２の近傍において異物を検出したい場合がある。この場合、制御部１５は、測定部１０が測定を開始する前と、測定部１０が測定を開始した後とで、フォーカス位置及び絞りの少なくともいずれかを撮像部１１に変化させる変更指示を通知する。具体的には、制御部１５は、測定を開始した後の撮像部１１の絞りを、測定を開始する前の絞りより開く変更指示を通知する。また、制御部１５は、測定を開始した後の撮像部１１のレンズの焦点距離を、測定を開始する前のレンズの焦点距離より長くする変更指示を通知する。
【００４６】
このように、制御部１５は、測定を開始する前は測定領域全体においてフォーカスを合わせ、測定を開始した後は被測定物２にフォーカスを合わせる。そのため、制御部１５は、被測定物２の測定を開始する前は測定領域全体において異物を検出しやすくなり、被測定物２の測定を開始した後は被測定物２の近傍において異物を検出しやすくなる。
【００４７】
以下、測定を開始する処理の流れについて説明する。図５は、測定を開始する処理のフローチャートである。
【００４８】
まず、制御部１５は、撮像部１１に測定領域とプロービングシステム１０６とを撮影した撮像画像を生成させる（ステップＳ１）。制御部１５は、撮像画像に基づいてプローブの種別を特定する（ステップＳ２）。次に、制御部１５は、使用する予定のプロービングシステム１０６の種別を示す識別情報を取得する（ステップＳ３）。なお、制御部１５は、識別情報を取得する処理（ステップＳ３）を、プロービングシステム１０６の種別を特定する処理（ステップＳ１及びＳ２）の前に行ってもよい。
【００４９】
制御部１５は、種別情報が示すプロービングシステム１０６の種別が、撮像画像により特定されるプロービングシステム１０６の種別と異なるか否かを判定する（ステップＳ４）。制御部１５は、プロービングシステム１０６の種別が異なると判定すると（ステップＳ４でＹｅｓ）、警告情報を出力する（ステップＳ７）。制御部１５は、プロービングシステム１０６の種別が同一であると判定すると（ステップＳ４でＮｏ）、プロービングシステム１０６の種別に基づいてプロービングシステム１０６を移動させる軌跡を特定する（ステップＳ５）。
【００５０】
制御部１５は、特定した軌跡上の異物が存在するか否かを、撮像画像に基づいて判定する（ステップＳ６）。制御部１５は、軌道上に異物が存在すると判定すると（ステップＳ６でＹｅｓ）、警告情報を出力する（ステップＳ７）。制御部１５は、軌道上に異物が存在しないと判定すると（ステップＳ６でＮｏ）、被測定物２の測定を開始する（ステップＳ８）。
【００５１】
（変形例）
以上の説明において、制御部１５は、記憶部１４に記憶されたプロービングシステム１０６を移動させる軌跡に従ってプロービングシステム１０６を移動させた。これに限らず、プロービングシステム１０６は、被測定物２の画像に基づいてプロービングシステム１０６の位置及び向きを制御してもよい。具体的には、まず、制御部１５は、撮像部１１に被測定物２を撮影させる。次に、制御部１５は、撮像画像に含まれる被測定物２の画像に基づいて被測定物２の形状を特定する。続いて、制御部１５は、特定した被測定物２の形状に沿って移動するプロービングシステム１０６の軌跡を特定する。そして、制御部１５は、特定した軌跡に従ってプロービングシステム１０６の位置及び向きを制御する。このようにすることで、制御部１５は、被測定物２に応じた軌跡でプロービングシステム１０６を移動させることができる。
【００５２】
［実施形態に係る測定装置１の効果］
以上説明したように、測定装置１は、プロービングシステム１０６により被測定物２を測定可能な範囲の少なくとも一部の領域を撮影して撮像画像を作成する。測定装置１は、撮像画像に基づいて、測定部１０がプロービングシステム１０６により被測定物２の形状を測定する際に支障が生じると判定した場合に警告情報を出力する。このようにすることで、測定装置１は、測定装置１に不具合が発生することを予防することができる。
【００５３】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の分散・統合の具体的な実施の形態は、以上の実施の形態に限られず、その全部又は一部について、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を合わせ持つ。
【符号の説明】
【００５４】
１  測定装置
１０  測定部
１１  撮像部
１２  音声出力部
１３  表示部
１４  記憶部
１５  制御部
１００  テーブル
１０１  コラム
１０２  サポータ
１０３  ビーム
１０４  スライダ
１０５  Ｚ軸スピンドル
１０６  プロービングシステム
１０７  プローブ
１０８  プローブアダプタ
１０９  プローブヘッド
１１０  スタイラス
【図１】
2019100740.tif 000003
【図２】
2019100740.tif 000004
【図３】
2019100740.tif 000005
【図４】
2019100740.tif 000006
【図５】
2019100740.tif 000007