(57)【要約】【課題】摺動面と案内面との間に供給される流体を利用して洗浄を行うことが可能な摺動支持装置を提供する。【解決手段】摺動支持装置Ａは、鉛直案内面４１ｖを有するベース４１と、鉛直案内面４１ｖに対向する鉛直摺動面４２ｖを有する砥石台４２と、鉛直案内面４１ｖと鉛直摺動面４２ｖとの間に流体を供給するポンプ５０とを備え、砥石台４２をベース４１に対して流体を介して摺動可能に支持するものであって、ポンプ５０から鉛直案内面４１ｖと鉛直摺動面４２ｖとの間に供給される流体の流量を可変する電磁可変絞り弁６０と、流体の流量を通常運転時よりも増大させる洗浄動作を行うように電磁可変絞り弁６０を制御する制御部３０と、を備える。【選択図】図８
2019203520.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
案内面を有する固定体と、前記案内面に対向する摺動面を有する移動体と、前記案内面と前記摺動面との間に流体を供給する流体供給部とを備え、前記移動体を前記固定体に対して前記流体を介して摺動可能に支持する摺動支持装置であって、
前記流体供給部から前記案内面と前記摺動面との間に供給される前記流体の流量を可変する流量可変部と、
前記流体の流量を通常動作時よりも増大させる洗浄動作を行うように前記流量可変部を制御する制御部と、を備える摺動支持装置。
【請求項２】
前記流量可変部は、前記流体供給部から前記案内面と前記摺動面との間に至る前記流体の流路上に介装され、弁の開度を変更可能に構成された電磁可変絞り弁である、請求項1に記載の摺動支持装置。
【請求項３】
前記案内面及び前記摺動面の少なくとも一方には、前記流体が供給される凹状の静圧ポケットが複数設けられ、
前記制御部は、前記各静圧ポケットに対応する前記電磁可変絞り弁を制御して前記洗浄動作を行う、請求項２に記載の摺動支持装置。
【請求項４】
前記各静圧ポケットの圧力を検出する複数の圧力検出部を備え、
前記制御部は、前記複数の圧力検出部のいずれかで所定以上の圧力が検出された場合、前記電磁可変絞り弁を制御して前記洗浄動作を行う、請求項３に記載の摺動支持装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記各圧力検出部によって前記所定以上の圧力が検出された前記各静圧ポケットに対応する前記電磁可変絞り弁を選択的に制御して前記洗浄動作を行う、請求項４に記載の摺動支持装置。
【請求項６】
前記移動体は、工作物に対する加工動作を行うものであり、
前記制御部は、前記加工動作の開始前に前記洗浄動作を行うように制御する、請求項１乃至５の何れか一項に記載の摺動支持装置。
【請求項７】
前記固定体は、前記案内面を有する互いに平行な一対のガイドレールを有し、
前記制御部は、前記ガイドレール毎に前記洗浄動作を行うように制御する、請求項１乃至６の何れか一項に記載の摺動支持装置。
【請求項８】
前記固定体に対して摺動可能に支持された前記移動体を前記案内面に沿って駆動する駆動部を備え、
前記制御部は、前記洗浄動作に関連して前記駆動部による駆動を行うように制御する、請求項１乃至７の何れか一項に記載の摺動支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、摺動支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、工作機械に用いられる摺動支持装置として、案内面または摺動面の一方に凹状の静圧ポケットを設け、ポンプから加圧された流体を静圧ポケットに供給することにより、案内面と摺動面の間に所定の厚さの流体膜を形成し、摺動面を非接触に支持して、高精度に運動させるとともに、摩擦を低減する装置が提案されている。
【０００３】
このような摺動支持装置では、工作機械の案内面に切粉や潤滑油成分の変質したスラッジ等の異物が付着、堆積すると、送り抵抗の増大や摩耗による寿命短縮などの悪影響が発生する。そこで、従来、これらの悪影響の発生を防止するために、種々の提案がなされている。例えば、特許文献１では、摺動面の外縁部と案内面との隙間が、外縁部より内側の部分と案内面との隙間よりも大きくなされており、摺動面の外縁部に開口して流体を案内面上に吐出する吐出通路が移動体に形成された摺動支持装置が提案されている。この従来技術によれば、特別な装置を取り付けることなく、摺動面と案内面との間へ侵入しようとする異物の侵入を防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−３９６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来技術においては、摺動面と案内面との間にスラッジ等の異物が一旦発生してしまうと、これを除去するには、分解・清掃という大掛かりな作業が必要になるという問題がある。
【０００６】
本発明は、摺動面と案内面との間に供給される流体を利用して簡易に洗浄することが可能な摺動支持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る摺動支持装置は、案内面を有する固定体と、前記案内面に対向する摺動面を有する移動体と、前記案内面と前記摺動面との間に流体を供給する流体供給部とを備え、前記移動体を前記固定体に対して前記流体を介して摺動可能に支持する。
【０００８】
さらに、摺動支持装置は、前記流体供給部から前記案内面と前記摺動面との間に供給される前記流体の流量を可変する流量可変部と、前記流体の流量を通常運転時よりも増大させる洗浄動作を行うように前記流量可変部を制御する制御部と、を備える。
【０００９】
この構成によれば、制御部が、流体の流量を通常運転時よりも増大させる洗浄動作を行うように流量可変部を制御するので、案内面と摺動面との間に流量の増大した流体が供給されることにより、案内面と摺動面との間に溜まったスラッジ等の異物を押し流して洗浄することができる。よって、摺動面と案内面との間に供給される流体を利用して簡易に洗浄することが可能であるという効果を奏する。また、洗浄のための装置の分解が不要であるため、メンテナンスの容易化を図ることができると共に、通常運転の合間に洗浄動作を実施して常に異物を除去して使用することで装置の長寿命化を図ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態に係る摺動支持装置を備えた研削装置の平面図である。
【図２】第１実施形態に係る摺動支持装置を示す一部断面側面図である。
【図３】第１実施形態に係る静圧ポケットと電磁可変絞り弁の配置を模式的に示す砥石台の平面図である。
【図４】第１実施形態に係る電磁可変絞り弁及び砥石台の静圧ポケット周辺を示す断面図である。
【図５】第１実施形態に係る研削装置における動作の流れを示すフローチャートである。
【図６】第１実施形態に係る洗浄動作の流れを示すフローチャートである。
【図７】第１実施形態に係る洗浄動作開始前の各静圧ポケット周辺を示す断面図である。
【図８】第１実施形態に係る洗浄動作中の各静圧ポケット周辺を示す断面図である。
【図９】第２実施形態に係る静圧ポケットと電磁可変絞り弁の配置を模式的に示す砥石台の平面図である。
【図１０】第２実施形態に係る洗浄動作の流れを示すフローチャートである。
【図１１】第２実施形態に係る第１列洗浄動作中の各静圧ポケット周辺を示す断面図である。
【図１２】第２実施形態に係る第２列洗浄動作中の各静圧ポケット周辺を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を具体化した摺動支持装置を備えた研削装置の各実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１２】
＜第１実施形態＞
（１．研削装置１の全体構成）
本実施形態の研削装置１は、図１に示すように、ベッド１０、テーブル１１、主軸台１３、心押台１７、制御部３０、砥石支持装置４０、ポンプ５０等を備えて構成される円筒研削盤である。
【００１３】
ベッド１０上には、テーブル１１がＺ軸サーボモータ１２によってＺ軸方向（図１の左右方向）に移動可能に案内支持される。テーブル１１上には、マスタ主軸Ｃｍを回転可能に軸支する主軸台１３が設置され、マスタ主軸Ｃｍの先端に工作物Ｗの一端を支持するセンタ１４が取付けられる。マスタ主軸Ｃｍは、進退駆動装置１５によって軸線方向に所定量進退されるとともに、マスタサーボモータ１６によって回転駆動される。
【００１４】
さらに、テーブル１１上には、主軸台１３と対向する位置に心押台１７が設置される。この心押台１７には、マスタ主軸Ｃｍと同軸上にスレーブ主軸Ｃｓが回転可能に軸支され、スレーブ主軸Ｃｓの先端に工作物Ｗの他端を支持するセンタ１８が取付けられる。スレーブ主軸Ｃｓは、センタ加圧制御用のサーボモータ１９によって軸線方向に進退されるとともに、スレーブサーボモータ２０によってマスタ主軸Ｃｍと同期して回転駆動される。
【００１５】
また、ベッド１０上のテーブル１１の後方位置には、砥石支持装置４０が設けられている。砥石支持装置４０は、ベース４１と、砥石台４２と、円板状の砥石４３と、砥石回転用モータ４４等とを備えている。ベース４１は、矩形の平板状に形成されており、ベッド１０の上面に配置されている。
【００１６】
このベース４１の上面には、砥石台４２が摺動可能な一対のＸ軸ガイドレール４１ａが、Ｘ軸方向に延びるように、且つ、相互に平行に配置固定されている。本明細書では、一対のＸ軸ガイドレール４１ａの各々を区別する必要がある場合、砥石４３に近い側を第１列Ｘ軸ガイドレール４１ａ−１、遠い側を第２列Ｘ軸ガイドレール４１ａ−２のように枝番を付すこととする。第１列Ｘ軸ガイドレール４１ａ−１は、水平方向に延びる上面をなす第１水平案内面４１ｈ−１と、鉛直方向に延びる内側面をなす第１鉛直案内面４１ｖ−１とを有している。同様に、第２列Ｘ軸ガイドレール４１ａ−２は、水平方向に延びる上面をなす第２水平案内面４１ｈ−２と、鉛直方向に延びる内側面をなす第２鉛直案内面４１ｖ−２とを有している。尚、第１水平案内面４１ｈ−１と第２水平案内面４１ｈ−２とは、両者を区別する必要がない場合、枝番を省略して水平案内面４１ｈとも記すこととする。同様に、第１鉛直案内面４１ｖ−１と第２鉛直案内面４１ｖ−２とは、枝番を省略して鉛直案内面４１ｖとも記すこととする。
【００１７】
さらに、ベース４１の上面の一対のＸ軸ガイドレール４１ａ間には、永久磁石板ユニット２２ｂが配置されている。この永久磁石板ユニット２２ｂと、砥石台４２下面に取付けられた電磁コイルユニット２２ａとから、リニアモータ２２が構成される。砥石台４２は、リニアモータ２２の駆動によって、一対のＸ軸ガイドレール４１ａに沿って、Ｚ軸方向と直交するＸ軸方向（図１の上下方向）に移動可能に案内支持される。リニアモータ２２は、図略の読取ヘッドで読み取るリニアスケールの位置情報に基づいて動作制御される。
【００１８】
この砥石台４２には、砥石軸４５がＺ軸回りに回転可能に支持されている。そして、この砥石軸４５の一端には、円板状の砥石４３が同軸で取り付けられている。砥石台４２には、砥石回転用モータ４４が砥石軸４５と同軸に固定されている。砥石４３は、砥石回転用モータ４４によって回転駆動される。
【００１９】
（２．摺動支持装置Ａの機械的構成）
摺動支持装置Ａは、図１、図２に示すように、制御部３０と、固定体としてのベース４１及び移動体としての砥石台４２を有する砥石支持装置４０と、流体供給部としてのポンプ５０と、流量可変部としての電磁可変絞り弁６０とを備えて構成され、砥石台４２をベース４１に対して流体である潤滑油を介して摺動可能に支持する装置である。
【００２０】
砥石台４２は、図２、図３に示すように、ベース４１上面に設けられた一対のＸ軸ガイドレール４１ａの上面である第１、第２水平案内面４１ｈ−１，４１ｈ−２にそれぞれ対向する第１、第２水平摺動面４２ｈ−１、４２ｈ−２と、一対のＸ軸ガイドレール４１ａの内側面である第１、第２鉛直案内面４１ｖ−１、４１ｖ−２にそれぞれ対向する第１、第２鉛直摺動面４２ｖ−１、４２ｖ−２とを備えている。各摺動面４２ｈ−１、４２ｈ−２、４２ｖ−１、４２ｖ−２には、Ｘ軸方向の両端近傍にそれぞれ凹状の静圧ポケット４２ｐが１つずつ形成されており、各静圧ポケット４２ｐの凹状底部には流体の流出口４２ｏが設けられている。流出口４２ｏには流体通路が連通しており、電磁可変絞り弁６０から供給される流体を静圧ポケット４２ｐ内に流出させるようになっている。また、各静圧ポケット４２ｐには圧力センサ３５がそれぞれ設けられ、各静圧ポケット４２ｐ内の流体の圧力を検出可能となっている。尚、各静圧ポケット４２ｐを区別する必要がある場合、静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−８のように枝番を付すこととする。
【００２１】
静圧ポケット４２ｐに至る流体の通路を形成する流路５３はポンプ５０と静圧ポケット４２ｐとの間を連通しており、流路５３はポンプ５０に通じる共通流路５３ａと、共通流路５３ａから静圧ポケット４２ｐ毎に分岐され、各静圧ポケット４２ｐに通じる分岐流路５３ｂ，５３ｃ，５３ｄ，５３ｅ，５３ｆ，５３ｇ，５３ｈ，５３ｉとからなる。分岐流路５３ｂ〜５３ｉの途中に電磁可変絞り弁６０が介装されている。
【００２２】
電磁可変絞り弁６０は、制御部３０と電気的に接続されており、制御部３０により絞りの開度Ｄが制御される可変絞りとなっている。電磁可変絞り弁６０は、制御部３０の指令に応じて絞りの開度Ｄを変えて、各静圧ポケット４２ｐへの供給流量を変化させることができる。そして、各静圧ポケット４２ｐへの供給流量を変化させることにより、水平案内面４１ｈと水平摺動面４２ｈとの間及び鉛直案内面４１ｖと鉛直摺動面４２ｖとの間の隙間の大きさは、例えば、１μｍ〜３０μｍの間で可変できる。
【００２３】
（３．電磁可変絞り弁６０の構成）
電磁可変絞り弁６０は、図４に示すように、ハウジング６８内に、流路６１、流入口６１ａ，６１ｂ、流出口６２、ダイアフラム６３、流体供給室６４ａ、流体貯留室６４ｂ、弁座６５、ボイスコイルモータ７０を有して構成されるダイアフラム式可変絞り装置である。
【００２４】
ハウジング６８の下部中央には、弁座６５となる突起部が形成され、弁座６５の周囲には、円環状に凹設された流体供給室６４aが形成されている。この弁座６５には静圧ポケット４２ｐと連通する流路６７が形成されている。ハウジング６８の上部には、流体供給室６４aに対向して流体貯留室６４ｂが形成されている。流体供給室６４ａおよび流体貯留室６４ｂには、それぞれ流路６１と連通する流入口６１ａ，６１ｂが形成されている。流体供給室６４ａおよび流体貯留室６４ｂは、流入口６１ａ，６１ｂから供給された流体が充填されて、供給された流体の圧力と等しくなっている。
【００２５】
ダイアフラム６３は、外周部が流体供給室６４ａと流体貯留室６４ｂとの間に把持されて流体供給室６４ａと流体貯留室６４ｂとの間を仕切るとともに、図２の下方向の面が弁座６５に所定の隙間を隔てて対向して配置されている。ダイアフラム６３は、鋼材等からなる弾性部材であり、ダイアフラム６３と弁座６５で形成された隙間が、絞りの開度Ｄとなっている。流体供給室６４ａの流体は開度Ｄに絞られて静圧ポケット４２ｐへ流出する。ダイアフラム６３は、絞りの最小開度ＤＬから最大開度ＤＨまで変形させることが可能であり、最小開度ＤＬから最大開度ＤＨの中間位置を、無負荷状態での初期位置としている。
【００２６】
ボイスコイルモータ７０は、ハウジング６８の上側部分に支持される固定子８１と、固定子８１に対し、図４の上下方向に移動可能な可動子８２とからなる。ボイスコイルモータ７０は、ダイアフラム６３を挟んで弁座６５と反対側のハウジング６８の上側部分の電磁可変絞り弁６０本体に支持されている。
【００２７】
固定子８１は、円板状のヨーク基部７６と、ヨーク基部７６の外周部より円筒状に設けられた外部ヨーク７５と、ヨーク基部７６の中心部に円筒状に設けられたセンターヨーク７７とから構成されている。このヨーク基部７６、外部ヨーク７５、センターヨーク７７は、軟磁性材料からなり、磁束を良好に通すように構成されている。
【００２８】
外部ヨーク７５の内周側には、環状の永久磁石７９が固定されている。この永久磁石７９は、内周側をＮ極、外周側をＳ極として着磁されている。なお、この永久磁石７９のＮ極とＳ極とを逆にしてもよい。
【００２９】
可動子８２は、円筒状をなすコイルボビン７３と、コイルボビン７３の外周に巻回されたボイスコイル７１とから構成されている。ボイスコイル７１は、センターヨーク７７の外周に配置され、センターヨーク７７とコイルボビン７３との間は隙間を有しており、センターヨーク７７とボイスコイル７１との間は非接触となっている。
【００３０】
コイルボビン７３には、端部に円板状のコイルキャップ７２が取り付けられている。コイルキャップ７２には、軸方向に複数個の貫通孔７４が形成されている。また、コイルキャップ７２は、柱状の連結部材８０を介してダイアフラム６３と連結されている。コイルボビン７３は軟磁性材料からなり、磁気を通しやすくしている。
【００３１】
コイルキャップ７２には、エンコーダーケース２５の蓋部が取り付けられている。エンコーダーケース２５の蓋部の内側には、エンコーダスケール２８が固定されている。
【００３２】
永久磁石７９の内側のＮ極から出た磁束は、ボイスコイル７１を通過してコイルボビン７３、滑りガイド、センターヨーク７７を通り、ヨーク基部７６と外部ヨーク７５を経由して永久磁石７９の外側のＳ極に戻る。
【００３３】
この磁気回路において、ボイスコイル７１に対し電流を流すと、ボイスコイル７１には、図４の上下方向のいずれか一方の方向に推力が生じる。また、上記と逆向きの電流を流すことにより、図４の上下方向のいずれか他方の方向に推力が生じる。
【００３４】
このような構成によって、可動子８２が上下方向に駆動され、可動子８２に連結されたダイアフラム６３が上下方向に変位する。ボイスコイルモータ７０によるダイアフラム６３の駆動は滑らかであり、ダイアフラム６３の変形時において機械的振動が発生しにくい。
【００３５】
そして、制御部３０からの指令によりボイスコイルモータ７０へ電流が印加されることによって、ダイアフラム６３の位置が制御され、絞りの最小開度ＤＬから最大開度ＤＨまで可変される。
【００３６】
摺動支持装置Ａにおいて、ポンプ５０により加圧された流体は、分岐流路５３ｂ〜５３ｉの途中に設けられた電磁可変絞り弁６０により減圧され、静圧ポケット４２ｐに流体を供給される。本実施形態では、加工動作を行う通常運転において、電磁可変絞り弁６０を介して各静圧ポケット４２ｐに供給される流体の流量をＶ１とする。
【００３７】
静圧ポケット４２ｐに供給された流体により、案内面４１ｖ，４１ｈと摺動面４２ｖ，４２ｈの間に所定の厚さの流体膜が形成され、摺動面４２ｖ，４２ｈが支持される。流体膜は動的に形成された後、ドレンへ排出されることを繰り返すことにより維持されている。
【００３８】
（４．研削装置１における制御処理の流れ）
次に、制御部３０によって実行される研削装置１における制御処理の流れについて、図５のフローチャートを参照しつつ説明する。図５に示すように、制御部３０は、ステップ１（以下、Ｓ１と略記する。他のステップも同様。）において、運転準備開始処理を行う。続いて、Ｓ２で準備完了か否かを判定する。準備完了でない場合（Ｓ２：Ｎｏ）、Ｓ２を繰り返す。準備完了の場合（Ｓ２：Ｙｅｓ）、Ｓ３で加工開始か否かを判定する。加工開始の場合（Ｓ３：Ｙｅｓ）、すなわち、加工開始を指示するボタン操作が行われている場合、Ｓ４で工作物の加工を実行する。
【００３９】
一方、加工開始でない場合（Ｓ３：Ｎｏ）、すなわち、加工開始を指示するボタン操作が行われていない場合、Ｓ５でスラッジが検出されたか否かを判定する。スラッジの検出とは、案内面４１ｖ，４１ｈと摺動面４２ｖ，４２ｈとの間にスラッジが付着・堆積していることを検出することを意味し、静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−８にそれぞれ設けられた８個の圧力センサ３５の出力に基づいてスラッジの有無を判定する。具体的には、８個の圧力センサ３５のうち、少なくとも一つの圧力センサ３５の出力が所定値を超えている場合はスラッジが検出されたと判定する。このように判定するのは、静圧ポケット４２ｐでは、スラッジの付着・堆積に起因して圧力が異常に高くなることが知られているからである。これに対し、いずれの圧力センサ３５の出力も所定値を超えていない場合はスラッジが検出されなかったと判定する。
【００４０】
スラッジが検出されなかった場合（Ｓ５：Ｎｏ）、Ｓ７で非常停止操作が行われたか否かを判定する。非常停止操作が行われなかった場合（Ｓ７：Ｎｏ）、Ｓ３へ戻る。非常停止操作が行われた場合（Ｓ７：Ｙｅｓ）、Ｓ８で非常停止動作を行い、本ルーチンを終了する。
Ｓ５でスラッジが検出された場合（Ｓ５：Ｙｅｓ）、Ｓ６で洗浄動作を実行し、Ｓ３へ戻る。
【００４１】
（５．摺動支持装置Ａにおける洗浄動作の流れ）
次に、Ｓ６の洗浄動作の詳細内容について、図６のフローチャートを参照しつつ説明する。まず、Ｓ１１で、圧力センサの出力から洗浄対象の静圧ポケット４２ｐを特定する。すなわち、８個の圧力センサ３５から出力に基づき、出力が所定値を超えている静圧ポケット４２ｐを、スラッジ等の異物を排出すべき洗浄対象として特定する。
【００４２】
次に、Ｓ１２で、洗浄対象として特定された各静圧ポケット４２ｐにそれぞれ対応する電磁可変絞り弁６０を制御して絞りの開度Ｄを大きくし、流体の流量を通常運転時のＶ１よりも大きいＶ２へ増大させる。例えば、静圧ポケット４２ｐ−２、４２ｐ−４の流体の流量をＶ１からＶ２へ増大させるときは、対向する位置にある静圧ポケット４２ｐ−６、４２ｐ−８の流体の流量をＶ１からＶ２へ減少させる。これは、力と力が干渉するのを避けるためであり、ポンプ５０の吐出流量を増大させることが困難なためである。
【００４３】
Ｓ１２の後、Ｓ１３で所定時間が経過したか否かを判定し、経過していない場合（Ｓ１３：Ｎｏ）、Ｓ１３を繰り返す。尚、所定時間は、装置に応じて洗浄に必要十分な時間を設定すればよく、例えば、１分間としてもよい。
【００４４】
所定時間が経過した場合（Ｓ１３：Ｙｅｓ）、Ｓ１４で各静圧ポケット４２ｐにそれぞれ対応する電磁可変絞り弁６０を制御して通常流量Ｖ１へ戻し、本ルーチンを終了する。
【００４５】
ここで、本実施形態における洗浄動作の一例について、図７、図８を参照しつつ説明する。洗浄動作開始前、図７に示すように、水平案内面４１ｈ−１と水平摺動面４２ｈ−１との間、鉛直案内面４１ｖ−１と鉛直摺動面４２ｖ−１との間、水平案内面４１ｈ−２と水平摺動面４２ｈ−２との間、鉛直案内面４１ｖ−２と鉛直摺動面４２ｖ−２との間のいずれの隙間ともＬ１に保持されている。また、静圧ポケット４２ｐ−１、４２ｐ−２、４２ｐ−５の近傍には、スラッジが堆積しているものとする。
【００４６】
上記の状態において、静圧ポケット４２ｐ−１、４２ｐ−２、４２ｐ−５に設けられる各圧力センサ３５からは、所定値以上の検出値が出力され、図５のフローチャートのＳ５においてスラッジ検出と判定され（Ｓ５：Ｙｅｓ）、Ｓ６でＳ７の洗浄動作が呼び出されて、図６のフローチャートに示す処理が実行される。
【００４７】
Ｓ１１では、圧力センサ３５の出力に基づいて、静圧ポケット４２ｐ−１、４２ｐ−２、４２ｐ−５が洗浄対象として特定される。そして、Ｓ１２で、静圧ポケット４２ｐ−１、４２ｐ−２、４２ｐ−５に対応する電磁可変絞り弁６０−１、６０−２、６０−５を制御し、流量がＶ１からＶ２へ増大される。これにより、図８に示すように、静圧ポケット４２ｐ−１近傍の第１水平案内面４１ｈ−１と第１水平摺動面４２ｈ−１との間の隙間がＬ２に拡大し、スラッジが外へ押し流される。また、静圧ポケット４２ｐ−１近傍の第１鉛直案内面４１ｖ−１と第１鉛直摺動面４２ｖ−１との間の隙間がＬ１＋ΔＬに拡大し、スラッジが外へ押し流される。この時、流量が増大されない静圧ポケット４２ｐ−６近傍の第２鉛直案内面４１ｖ−２と第２鉛直摺動面４２ｖ−２との間の隙間は、Ｌ１−ΔＬに縮小する。さらに、静圧ポケット４２ｐ−５近傍の第２水平案内面４１ｈ−２と第２水平摺動面４２ｈ−２との間の隙間がＬ２に拡大し、スラッジが外へ押し流される。
【００４８】
（６．まとめ）
摺動支持装置Ａによれば、制御部３０が、流体の流量を通常運転時よりも増大させる洗浄動作を行うように流量可変部としての電磁可変絞り弁６０を制御するので、案内面と摺動面との間に流量の増大した流体が供給されることにより、案内面４１ｈ，４１ｖと摺動面４２ｈ，４２ｖとの間に溜まったスラッジ等の異物を押し流して洗浄することができる。よって、案内面４１ｈ，４１ｖと摺動面４２ｈ，４２ｖとの間に供給される流体を利用して簡易に洗浄することが可能であるという効果を奏する。また、洗浄のために摺動支持装置Ａを分解することが不要であるため、メンテナンスの容易化を図ることができると共に、加工動作を行う通常運転の合間に洗浄動作を実施して常に異物を除去して使用することで装置の長寿命化を図ることができるという効果を奏する。
【００４９】
また、ポンプ５０から案内面４１ｈ，４１ｖと摺動面４２ｈ，４２ｖとの間に至る流体の流路５３上に介装され、弁の開度を変更可能に構成された電磁可変絞り弁６０を用いたので、流量を任意に増大させて洗浄動作を実施することができる。
【００５０】
また、摺動面４２ｈ，４２ｖには、流体が供給される凹状の静圧ポケット４２ｐが複数設けられ、制御部３０は、各静圧ポケット４２ｐに対応する電磁可変絞り弁６０を制御して洗浄動作を行うので、静圧ポケット４２ｐにおいて流体の流量を増大させることによりスラッジ等の異物を押し流すことができる。
【００５１】
また、各静圧ポケット４２ｐの圧力を検出する圧力検出部として複数の圧力センサ３５が設けられ、制御部３０は、複数の圧力センサ３５のいずれかで所定以上の圧力が検出された場合、該当する静圧ポケット４２ｐに対応する電磁可変絞り弁６０を選択的に制御して洗浄動作を行うので、必要な箇所のみを確実に洗浄することができる。
【００５２】
また、制御部３０は、加工動作の開始前に洗浄動作を行うように制御するので、研削装置１における加工インターバルの時間を利用して加工動作に影響を与えることなく、洗浄動作を実施することができる。
【００５３】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について、図９乃至図１２を参照しつつ説明する。尚、上記第１実施形態と同一部材には同一の符号を付し、それらについての詳細な説明を省略する。
【００５４】
上述した第１実施形態では、共通流路５３ａから複数の分岐流路５３ｂ〜５３ｉに分岐させ、静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−８に対応する分岐流路５３ｂ〜５３ｉに対して個別に電磁可変絞り弁６０−１〜６０−８を設ける構成としたが、本実施形態では、図９に示すように、共通流路５３ａから２つの上流分岐流路５３ｊ、５３ｋに分岐させ、上流分岐流路５３ｊから複数の分岐流路５３ｂ、５３ｃ、５３ｄ、５３ｅに分岐させ、上流分岐流路５３ｋから複数の分岐流路５３ｆ、５３ｇ、５３ｈ、５３ｉに分岐させ、第１列Ｘ軸ガイドレール４１ａ−１に対向して設けられる静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−４からなる第１列のグループに対して、共通の電磁可変絞り弁６０−ａを上流分岐流路５３ｊに設けている。同様に、第２列Ｘ軸ガイドレール４１ａ−２に対向して設けられる静圧ポケット４２ｐ−５〜４２ｐ−８からなる第２列のグループに対して、共通の電磁可変絞り弁６０−ｂを上流分岐流路５３ｋに設け、各分岐流路５３ｂ〜５３ｉに固定絞り６９を設けている。案内面と摺動面との間の隙間に応じて静圧ポケット４２ｐの圧力を変えるために、静圧ポケット４２ｐ毎に固定絞り６９が必要となる。
【００５５】
次に、本実施形態における洗浄動作の流れについて、図１０のフローチャートを参照しつつ説明する。まず、Ｓ２１で、砥石台４２をリニアモータ２２により駆動してベース４１の後端へ移動させる。次に、Ｓ２２で第１列洗浄動作を実行する。すなわち、第１列のグループの静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−４に対して共通に設けられた電磁可変絞り弁６０−ａを制御して、静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−４における流体の流量を通常運転時のＶ１よりも大きいＶ２へ増大させる。併せて、電磁可変絞り弁６０−ｂを制御して、静圧ポケット４２ｐ−５〜４２ｐ−８における流体の流量を通常運転時のＶ１よりも小さいＶ０へ減少させる。
【００５６】
Ｓ２２の後、Ｓ２３で所定の洗浄時間が経過したか否かを判定し、経過していない場合（Ｓ２３：Ｎｏ）、Ｓ２３を繰り返す。
【００５７】
所定時間が経過した場合（Ｓ２３：Ｙｅｓ）、Ｓ２４で砥石台４２がベース４１の前端に到達したか否かを判定する。砥石台４２が前端に到達していない場合（Ｓ２４：Ｎｏ）、Ｓ２５で砥石台４２をリニアモータにより駆動して所定ピッチ前進させ、Ｓ２３へ戻る。
【００５８】
Ｓ２４で砥石台４２が最前端の場合（Ｓ２４：Ｙｅｓ）、Ｓ２６で、電磁可変絞り弁６０−ａを制御して、静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−４における流体の流量をＶ２から通常流量Ｖ１へ戻す。併せて、電磁可変絞り弁６０−ｂを制御して、静圧ポケット４２ｐ−５〜４２ｐ−８における流体の流量をＶ０から通常流量Ｖ１へ戻す。
【００５９】
続いて、Ｓ２７で第２列洗浄動作を実行する。すなわち、第２列のグループの静圧ポケット４２ｐ−５〜４２ｐ−８に対して共通に設けられた電磁可変絞り弁６０−ｂを制御して、静圧ポケット４２ｐ−５〜４２ｐ−８における流体の流量を通常運転時のＶ１よりも大きいＶ２へ増大させる。併せて、電磁可変絞り弁６０−ａを制御して、静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−４における流体の流量を通常運転時のＶ１よりも小さいＶ０へ減少させる。Ｓ２７の後、Ｓ２８で所定時間が経過したか否かを判定し、経過していない場合（Ｓ２８：Ｎｏ）、Ｓ２８を繰り返す。
【００６０】
所定時間が経過した場合（Ｓ２８：Ｙｅｓ）、Ｓ２９で砥石台４２が最後端に位置するか否かを判定する。砥石台４２が最後端でない場合（Ｓ２９：Ｎｏ）、Ｓ３０で砥石台４２をリニアモータにより駆動して所定ピッチ後退させ、Ｓ２７へ戻る。Ｓ２９で砥石台４２が最後端の場合（Ｓ２９：Ｙｅｓ）、Ｓ３１で、電磁可変絞り弁６０−ｂを制御して、静圧ポケット４２ｐ−５〜４２ｐ−８における流体の流量をＶ２から通常流量Ｖ１へ戻し、併せて電磁可変絞り弁６０−ａを制御して、静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−４における流体の流量をＶ０から通常流量Ｖ１へ戻し、本ルーチンを終了する。
【００６１】
ここで、本実施形態における洗浄動作の一例について、図１１、図１２を参照しつつ説明する。Ｓ２２の第１列洗浄動作では、第１列のグループの静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−４における流体の流量が通常運転時のＶ１よりも大きいＶ２へ増大される。これにより、図１１に示すように、第１列Ｘ軸ガイドレール４１ａ−１に沿う水平案内面４１ｈ−１と水平摺動面４２ｈ−１との間の隙間がＬ１よりも大きいＬ２に拡大し、スラッジが外へ押し流される。また、鉛直案内面４１ｖ−１と鉛直摺動面４２ｖ−１との間の隙間がＬ１＋ΔＬに拡大し、スラッジが外へ押し流される。この時、第２列Ｘ軸ガイドレール４１ａ−２側の鉛直案内面４１ｖ−２と鉛直摺動面４２ｖ−２との間の隙間はＬ１−ΔＬに縮小している。
【００６２】
そして、Ｓ２２〜Ｓ２５で、第１列の洗浄動作と砥石台４２の前進とが繰り返されることによって、第１列Ｘ軸ガイドレール４１ａ−１に沿う水平案内面４１ｈ−１と水平摺動面４２ｈ−１との間、及び鉛直案内面４１ｖ−１と鉛直摺動面４２ｖ−１との間が後端から前端まで全面に渡って洗浄が完了する。
【００６３】
一方、Ｓ２７の第２列洗浄動作では、第２列のグループの静圧ポケット４２ｐ−５〜４２ｐ−８における流体の流量が通常運転時のＶ１よりも大きいＶ２へ増大される。これにより、図１２に示すように、第２列Ｘ軸ガイドレール４１ａ−２に沿う水平案内面４１ｈ−２と水平摺動面４２ｈ−２との間の隙間がＬ２に拡大し、スラッジが外へ押し流される。また、鉛直案内面４１ｖ−２と鉛直摺動面４２ｖ−２との間の隙間がＬ１＋ΔＬに拡大し、スラッジが外へ押し流される。この時、第１列Ｘ軸ガイドレール４１ａ−１側の鉛直案内面４１ｖ−１と鉛直摺動面４２ｖ−１との間の隙間は、Ｌ１−ΔＬに縮小している。
【００６４】
そして、Ｓ２７〜Ｓ３０で、第２列の洗浄動作と砥石台４２の後退とが繰り返されることによって、第２列Ｘ軸ガイドレール４１ａ−２に沿う水平案内面４１ｈ−２と水平摺動面４２ｈ−２との間、及び鉛直案内面４１ｖ−２と鉛直摺動面４２ｖ−２との間が前端から後端まで全面に渡って洗浄が完了する。
【００６５】
このように第１列と第２列からなる一対のＸ軸ガイドレール４１ａ−１，４１ａ−２で切り換えて洗浄動作を行うのは、次の理由による。すなわち、第１列側の第１鉛直摺動面４２ｖ−１と第１鉛直案内面４１ｖ−１との間に供給する流体の流量と、第２列側の第２鉛直摺動面４２ｖ−２と第２鉛直案内面４１ｖ−２との間に供給する流体を同時に同じ流量のＬ２に増大させると、第１列側と第２列側とで互いに反対方向に作用する圧力が均等になるため、いずれの側の鉛直摺動面と鉛直案内面との間においても隙間が拡大されない。このため、第１列洗浄動作では第１列側の静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−４への流量を相対的に大きくし、第１鉛直摺動面４２ｖ−１と第１鉛直案内面４１ｖ−１との間の隙間を拡大して第１列側を効果的に洗浄する一方、第２列洗浄動作では第２列側の静圧ポケット４２ｐ−５〜４２ｐ−８への流量を相対的に大きくし、第２鉛直摺動面４２ｖ−２と第２鉛直案内面４１ｖ−２との間の隙間を拡大して第２列側を効果的に洗浄するものである。他の理由は、静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−４への流量をＶ１からＶ２に増大させる分、ポンプ５０の吐出流量を増大させるのは容易ではなく、静圧ポケット４２ｐ−５〜４２ｐ−８への流量をＶ１からＶ０に減少させる必要があることによる。
【００６６】
＜変形例＞
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々に変更を施すことが可能である。
【００６７】
前記各実施形態における静圧ポケット４２ｐ及び電磁可変絞り弁６０の個数や配置は一例であり、任意の個数や配置に変更して実施することが可能である。
【００６８】
また、前記第１実施形態では、複数の圧力センサ３５のいずれかで所定以上の圧力が検出された場合、該当する静圧ポケット４２ｐに対応する電磁可変絞り弁６０を選択的に制御して洗浄動作を行うようにしたが、全部の電磁可変絞り弁６０−１〜６０−８を１個あるいは２個ずつ順に制御して全ての静圧ポケット４２ｐ−１〜４２ｐ−８において１個あるいは２個ずつ順に洗浄動作を行うようにしてもよい。この場合においても、複数の圧力センサ３５のいずれにおいても所定以上の圧力が検出されなかった場合は洗浄動作が実施されることは無く、洗浄が必要なタイミングにのみ全体を確実に洗浄することができる。
【００６９】
また、前記第２実施形態では、洗浄動作と砥石台４２のリニアモータ２２によるＸ軸方向への駆動とを交互に行う例を示したが、これには限られず、砥石台４２をリニアモータ２２によりＸ軸方向へ駆動させながら洗浄動作を実施する構成としてもよい。要するに、洗浄動作に関連して砥石台４２の駆動を行うように制御すればよい。
【符号の説明】
【００７０】
Ａ…摺動支持装置、２２…リニアモータ（駆動部）、３０…制御部、３５…圧力センサ（圧力検出部）、４１…ベース（固定体）、４１ａ…Ｘ軸ガイドレール（ガイドレール）、４１ｈ…水平案内面（案内面）、４１ｖ…鉛直案内面（案内面）、４２…砥石台（移動体）、４２ｈ…水平摺動面（摺動面）、４２ｖ…鉛直摺動面、５０…ポンプ（流体供給部）、５３…流路、６０…電磁可変絞り弁（流量可変部）、４２ｐ…静圧ポケット。
【図１】
2019203520.tif 000003
【図２】
2019203520.tif 000004
【図３】
2019203520.tif 000005
【図４】
2019203520.tif 000006
【図５】
2019203520.tif 000007
【図６】
2019203520.tif 000008
【図７】
2019203520.tif 000009
【図８】
2019203520.tif 000010
【図９】
2019203520.tif 000011
【図１０】
2019203520.tif 000012
【図１１】
2019203520.tif 000013
【図１２】
2019203520.tif 000014