(57)【要約】【課題】先端側が面取りされた多孔質保護層を確実かつ低コストで形成することができるガスセンサ素子及びガスセンサの製造方法を提供する。【解決手段】ガスセンサ素子１００の検出部１０の周囲に多孔質保護層２０を形成するガスセンサ素子の製造方法において、検出部が露出するようにガスセンサ素子をラバーモールド２０４のキャビティ内に保持する保持工程と、投入孔２０４ｈ２から多孔質保護層の原料粉末２０ｘをキャビティ内に投入し、投入孔内を進退する押しゴム２０８ａにて原料粉末をプレスする第１プレス工程と、ラバーモールドの外側を等方圧プレスして多孔質保護層を形成する第２プレス工程と、を有し、押しゴムのデュロメータ硬度がラバーモールドのデュロメータ硬度より高く、キャビティの内壁には、投入孔からキャビティに向かって広がるテーパ面２０４ｔが設けられ、保持工程にて検出部の先端の角部１００Ｒをテーパ面に対向させて保持する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に延び、自身の先端側に被測定ガス中の特定ガス成分を検出するための検出部を有する板状又は筒状のガスセンサ素子に対し、該検出部の周囲に多孔質保護層を形成するガスセンサ素子の製造方法において、
前記検出部が露出するように前記ガスセンサ素子をラバーモールドのキャビティ内に保持する保持工程と、
前記キャビティに連通し前記検出部の先端側に対向する投入孔から、前記多孔質保護層の原料粉末を前記キャビティ内に投入し、前記投入孔内を進退する押しゴムにて前記原料粉末をプレスする第１プレス工程と、
前記ラバーモールドの外側を等方圧プレスして前記多孔質保護層を形成する第２プレス工程と、を有し、
前記押しゴムのデュロメータ硬度が前記ラバーモールドのデュロメータ硬度より高く、
前記キャビティの内壁には、前記投入孔から前記キャビティに向かって広がるテーパ面が設けられ、前記保持工程にて前記検出部の先端の角部を前記テーパ面に対向させて保持するガスセンサ素子の製造方法。
【請求項２】
前記投入孔の最大径Ｄ１が、前記キャビティの最大径Ｄ２に対し、（Ｄ２×０．５）≦Ｄ１≦Ｄ２の関係を満たす請求項１に記載のガスセンサ素子の製造方法。
【請求項３】
前記押しゴムの押圧面が凹んでいる請求項１又は２に記載のガスセンサ素子の製造方法。
【請求項４】
前記テーパ面のテーパ角が１５〜４５度をなす請求項１〜３のいずれか一項に記載のガスセンサ素子の製造方法。
【請求項５】
ガスセンサ素子に主体金具を組み付けるガスセンサの製造方法において、
前記ガスセンサ素子として、請求項１〜４のいずれか一項に記載のガスセンサ素子の製造方法によって製造されたガスセンサ素子を用いるガスセンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスセンサ素子の検出部の周囲に多孔質保護層を形成するガスセンサ素子及びガスセンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車エンジン等の内燃機関の燃費向上や燃焼制御を行うガスセンサとして、被測定ガス（吸気ガスや排気ガス）中の酸素濃度を検出する酸素センサや空燃比センサが知られている。
このようなガスセンサとして、図３に示すように、軸線方向に延び、自身の先端側に被測定ガス中の特定ガス成分を検出するための検出部１０を有する板状のガスセンサ素子１００を有するものが一般的に用いられている。又、検出部１０に排気ガス中の水滴が接触して熱衝撃が加わることを抑制するため、検出部１０の周囲に多孔質保護層２０が形成されている。
さらに、検出部１０の先端側の多孔質保護層２０の熱容量を下げ、被測定ガスの温度変化に対する応答性を向上させるため、先端側の多孔質保護層２０の角部２０Ｒを面取りして他の部位と均一な厚みにすることが要求されている。
【０００３】
この多孔質保護層は、従来、多孔質保護層の材料を含むスラリーをスプレーするスプレー法、このスラリーに検出部を浸漬するディップ法等が用いられてきたが、多孔質保護層の膜厚にムラがある。
そこで、成形型内に検出部を収容してスラリーを注入することにより、膜厚を制御する技術が開発されている（特許文献１）。
一方、ゴム型の内部に原料粉末を投入し、マンドレルにて静水圧プレス成形する技術が知られている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２１７７３３号公報（図２）
【特許文献２】特開平６−１４２９００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１の方法の場合、成形型内にスラリーを注入するために、スラリー中の液体成分（乾燥/焼成での揮発成分）の割合を多くする必要がある。このため、スラリーが乾燥したときに収縮によるひび割れができやすく、多孔質保護層の強度が弱くなるという問題がある。
そこで、本発明者らは、特許文献２の技術を適用し、断面図８に示すように、ゴム型５００の内部に予めガスセンサ素子１００を設置し、ガスセンサ素子１００の周囲のゴム型５００内のキャビティに多孔質保護層の粉末原料２０ｘを投入し、プレス圧Ｐ５００を加えてプレス成形することを試みた。
そして、図９に示すように、上記した角部２０Ｒを形成すべく、ゴム型５００の上からガスセンサ素子１００の先端側を押圧する押しゴム５１０に凹み５１０ｒを付け、角部２０Ｒとなるテーパ５１０ｔを形成したが、テーパ５１０ｔ付近でキャビティ内の粉末原料２０ｘが十分に固化しないことが判明した。これは、押しゴム５１０の硬度がゴム型５００の硬度よりも高いので、テーパ５１０ｔ付近で押しゴム５１０の横方向の厚みｔ１が厚くなると、プレス圧Ｐ５００がテーパ５１０ｔ付近の粉末原料２０ｘに十分に掛からないためと考えられる。
【０００６】
そこで、本発明は、先端側の角部が面取りされた多孔質保護層を確実かつ低コストで形成することができるガスセンサ素子及びガスセンサの製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明のガスセンサ素子の製造方法は、軸線方向に延び、自身の先端側に被測定ガス中の特定ガス成分を検出するための検出部を有する板状又は筒状のガスセンサ素子に対し、該検出部の周囲に多孔質保護層を形成するガスセンサ素子の製造方法において、前記検出部が露出するように前記ガスセンサ素子をラバーモールドのキャビティ内に保持する保持工程と、前記キャビティに連通し前記検出部の先端側に対向する投入孔から、前記多孔質保護層の原料粉末を前記キャビティ内に投入し、前記投入孔内を進退する押しゴムにて前記原料粉末をプレスする第１プレス工程と、前記ラバーモールドの外側を等方圧プレスして前記多孔質保護層を形成する第２プレス工程と、を有し、前記押しゴムのデュロメータ硬度が前記ラバーモールドのデュロメータ硬度より高く、前記キャビティの内壁には、前記投入孔から前記キャビティに向かって広がるテーパ面が設けられ、前記保持工程にて前記検出部の先端の角部を前記テーパ面に対向させて保持する。
【０００８】
このガスセンサ素子の製造方法によれば、キャビティに設けたテーパ面に検出部の先端の角部を対向させて保持し、押しゴムにて原料粉末をプレスした後、ラバーモールドの外側を等方圧プレスして多孔質保護層を形成する。
これにより、押しゴムの硬度がラバーモールドの硬度よりも高くても、テーパ面付近で押しゴムの横方向の厚みが厚くならず、テーパ面は押しゴムより柔らかいラバーモールドから構成される。このため、等方圧プレスの際の圧力がテーパ面付近の検出部の角部の原料粉末に十分に掛かり、先端側の角部が面取りされた多孔質保護層を確実かつ低コストで形成することができる
さらに原料粉末を圧縮して多孔質保護層を形成するので、スラリーにする必要がないため、多孔質保護層の強度も向上する。
さらに、プレス圧を変えることで、多孔質保護層の強度や気孔率を従来法よりも広範囲に変化させることができる。
なお、プレス成形にラバーモールドを用いて等方圧プレスを行うと、ラバーモールドの外側からプレス圧が均等（等方的）に内部に加わるので、原料粉末の圧縮ムラ等がなく、多孔質保護層の厚みや特性がより均一になるという利点がある。
【０００９】
本発明のガスセンサ素子の製造方法において、前記投入孔の最大径Ｄ１が、前記キャビティの最大径Ｄ２に対し、（Ｄ２×０．５）≦Ｄ１≦Ｄ２の関係を満たすとよい。
このガスセンサ素子の製造方法によれば、スムースに原料粉末を供給し、プレスを行うことができる。
【００１０】
本発明のガスセンサ素子の製造方法において、前記押しゴムの押圧面が凹んでいてもよい。
このガスセンサ素子の製造方法によれば、第１プレス工程で押しゴムにて原料粉末をより確実に圧縮できる。
【００１１】
本発明のガスセンサ素子の製造方法において、前記テーパ面のテーパ角が１５〜４５度をなしてもよい。
このガスセンサ素子の製造方法によれば、多孔質保護層の先端側の角部をより確実に面取りして、多孔質保護層の先端側の熱容量を確実に低減することができる。
【００１２】
本発明のガスセンサの製造方法は、ガスセンサ素子に主体金具を組み付けるガスセンサの製造方法において、ガスセンサ素子として、前記ガスセンサ素子の製造方法によって製造されたガスセンサ素子を用いる。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、ガスセンサ素子及びガスセンサの先端側の角部が面取りされた多孔質保護層を確実かつ低コストで形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法によって製造されたガスセンサ素子の模式斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う図である。
【図３】多孔質保護層の先端側の面取りされた角部を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法に用いるプレス成形機の一例を示す上下方向に沿う断面図である。
【図５】図４の部分拡大図である。
【図６】図４のプレス成形機の水平方向に沿う断面図である。
【図７】ガスセンサ素子の製造方法を示す工程図である。
【図８】従来のゴム型を用いて多孔質保護層を形成する方法を示す断面図である。
【図９】従来のゴム型を用いて多孔質保護層を形成する方法を示す上下方向に沿う断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は本発明の実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法によって製造されたガスセンサ素子１００の模式斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う図である。
図１に示すように、ガスセンサ素子１００は軸線Ｏ方向に延びる板状に構成され、先端側に被測定ガス中の特定ガス成分を検出するための検出部１０を有し、検出部１０の周囲に多孔質保護層２０が形成されている。ガスセンサ素子１００等は、図示しない主体金具等によってガスセンサに組み付けられる。
なお、主体金具は、軸線方向に貫通する貫通孔を有する略筒状に構成され、ガスセンサ素子１００の検知部１００を貫通孔の先端よりも先端側に配置し、ガスセンサ素子１００の後端側を貫通孔１３７の後端よりも後端側に配置する状態で、貫通孔に挿通されたガスセンサ素子１００を保持するよう構成されている。
【００１６】
又、図２に示すように、ガスセンサ素子１００は、検出素子部３００及び検出素子部３００に積層されるヒータ部２００を備えている。
検出素子部３００は、酸素濃度検出セル１３０と酸素ポンプセル１４０とを備えており、被測定ガス中の酸素濃度から空燃比を検出する、いわゆる全領域空燃比センサを実現する。酸素濃度検出セル１３０は、第１固体電解質体１０５と、その第１固体電解質１０５の両面に形成された第１電極１０４及び第２電極１０６とから形成されている。一方、酸素ポンプセル１４０は、第２固体電解質体１０９と、その第２固体電解質体１０９の両面に形成された第３電極１０８、第４電極１１０とから形成されている。
【００１７】
そして、上記酸素ポンプセル１４０と酸素濃度検出セル１３０との間に測定室１０７ｃが形成され、それぞれ第２電極１０６及び第３電極１０８が測定室１０７ｃに臨んでいる。測定室１０７ｃは、素子の幅方向で外部と連通しており、該連通部分には、外部と測定室１０７ｃとの間のガス拡散を所定の律速条件下で実現する拡散抵抗部１１５が配置されている。
又、第４電極１１０の外面は多孔質の電極保護部１１３ａで覆われ、電極保護部１１３ａは素子の外面に露出している。これにより、第４電極１１０から電極保護部１１３ａ及び多孔質保護層２０を介して外部から酸素を汲み入れ又は外部へ汲み出すようになっている。
【００１８】
多孔質保護層２０は、検出素子部３００とヒータ部２００との積層体の外表面を覆って形成されている。すなわち、多孔質保護層２０は、ガスセンサ素子１００の先端側部位に設けられた検出部１０の全周を覆って設けられている。
なお、検出部１０とは、検出素子部３００が有する電極１０４〜１１０及び電極１０４〜１１０に挟まれた固体電解質体１０５、１０９、更には測定室１０７ｃを指す。よって、検出部１０の軸線Ｏ方向の最後端を越えて後端側まで多孔質保護層２０が覆われていれば良い。
また、多孔質保護層２０は検出部１０の全周を覆っていればよく、検出部１０が設けられる検出素子部３００を被覆すればよいが、上記実施形態のように検出素子部３００がヒータ部２００と積層体を形成している場合、多孔質保護層２０は検出素子部３００を含む積層体（ガスセンサ素子１００の先端側部位）を被覆することになる。
一方、ガスセンサ素子１００がヒータ部２００を備えていない場合、多孔質保護層２０は検出素子部３００（検出部１０）の全周を被覆すればよい。
【００１９】
なお、既に説明したが、図３に示すように、検出部１０の先端側の多孔質保護層２０の熱容量を下げ、被測定ガスの温度変化に対する応答性を向上させるため、先端側の多孔質保護層２０の角部２０Ｒが面取りされて他の部位と均一な厚みにされている。
【００２０】
次に、本発明の実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法について説明する。
図４は、本発明の実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法に用いるプレス成形機の一例を示す上下方向に沿う断面図、図５は図４の部分拡大図、図６はプレス成形機の水平方向に沿う断面図、図７はガスセンサ素子の製造方法を示す工程図である。
図４に示すように、プレス成形機は、ラバーモールド（ゴム型）２０４を備えた冷間等方圧プレス（ＣＩＰ）機であり、ラバーモールド２０４が水槽２０２内に設置され、水槽２０２内の等方圧(静水圧)Ｐ１によってプレス成形を行うようになっている。
【００２１】
図６に示すように、ラバーモールド２０４は、内孔をなす挿入孔２０４ｈが矩形断面の円筒状をなし、この挿入孔２０４ｈにガスセンサ素子１００の検出部１０を離間して配置し、挿入孔２０４ｈと検出部１０との間の空隙（キャビティ）に、多孔質保護層の原料粉末２０ｘを投入した後、ラバーモールド２０４に外側から静水圧Ｐ１を掛けることで、ラバーモールド２０４、ひいては原料粉末２０ｘが圧縮され、多孔質保護層２０の形状に固化して成形される。その後、ガスセンサ素子１００をラバーモールド２０４から取り出し、多孔質保護層２０を焼成する。
【００２２】
ここで、図４に示すように、ラバーモールド２０４の上面側開口には、押しゴム２０８ａを保持する上ピンホルダ２０８が挿入され、上ピンホルダ２０８の上方に油圧ピストン２０６が接する。そして、油圧ピストン２０６も油圧Ｐ３によって下方に下がって上ピンホルダ２０８を下方に押圧し、ラバーモールド２０４内の原料粉末２０ｘを圧縮するようになっている。
一方、下ピンホルダ２１０には軸方向に沿ってガスセンサ素子１００の断面よりやや大きい矩形断面の内孔２１０ｈが貫通しており、この内孔２１０ｈにガスセンサ素子１００を収容して保持しつつ、下ピンホルダ２１０の先端（上方）からガスセンサ素子１００の検出部１０が上方に突出する。又、下ピンホルダ２１０の先端とガスセンサ素子１００の隙間に環状のゴムシール２１０ａが介装されている。
【００２３】
そして、ラバーモールド２０４の下面側開口から下ピンホルダ２１０を挿入し、押しゴム２０８ａ及びゴムシール２１０ａにより、ラバーモールド２０４の上下面が液密にシールされる。
なお、キャビティは、ラバーモールド２０４の挿入孔２０４ｈと、検出部１０と、押しゴム２０８ａ及びゴムシール２１０ａで囲まれた空隙で構成される。
【００２４】
原料粉末２０ｘは、多孔質保護層２０の成分（例えば、アルミナ等のセラミック粉末）、及びＰＶＡ等のバインダーを含み、さらに必要に応じて焼失性の粒子、滑材（離型剤）、分散剤等の添加剤を含有することができる。
【００２５】
ここで、図４に示すように、下ピンホルダ２１０は、下面にフランジ部２１０ｆが形成され、フランジ部２１０ｆから上方に立ち上がり、さらに上方に向かって窄まる肩部２１０ｓを有し、さらに肩部２１０ｓから上方に立ち上がる形状をなしている。
そして、下ピンホルダ２１０のうち、肩部２１０ｓより上方の部位がラバーモールド２０４の挿入孔２０４ｈに挿入されている。又、フランジ部２１０ｆは基台３００上に載置され、水平（左右）方向に摺動可能になっている。これにより、下ピンホルダ２１０がラバーモールド２０４に対して可動する。
【００２６】
ここで、拡大図５に示すように、ラバーモールド２０４の上面側開口をなす投入孔２０４ｈ２内を押しゴム２０８ａが進退する。又、キャビティ（ラバーモールド２０４）の内壁には、投入孔２０４ｈ２からキャビティに向かって広がるテーパ面２０４ｔが設けられ、ガスセンサ素子１００（検出部１０）の先端の角部１００Ｒをテーパ面２０４ｔに対向させてガスセンサ素子１００が配置される。
又、押しゴム２０８ａのデュロメータ硬度がラバーモールド２０４のデュロメータ硬度より高くなっている。これにより、押しゴム２０８ａでキャビティ内の原料粉末２０ｘを確実に圧縮すると共に、押しゴム２０８ａより柔らかいラバーモールド２０４を等方圧プレスの静水圧Ｐ１で圧縮させ易くなる。
【００２７】
なお、本実施形態では、投入孔２０４ｈ２の最大径Ｄ１が、キャビティの最大径Ｄ２に対し、（Ｄ２×０．５）≦Ｄ１≦Ｄ２の関係を満たす。
又、押しゴム２０８ａの押圧面２０８ｆが凹んでおり、テーパ面２０４のテーパ角θが１５〜４５度をなしている。
【００２８】
次に、図７を参照し、本発明の実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法の各工程について説明する。
まず、検出部１０が露出するようにガスセンサ素子１００を下ピンホルダ２１０に保持する（図７（ａ））。
そして、ガスセンサ素子１００を保持した下ピンホルダ２１０をラバーモールド２０４の下面側開口に挿入する（図７（ｂ）：保持工程）。ここでは、下ピンホルダ２１０の上方に突出した検出部１０がラバーモールド２０４のキャビティ内に配置されるようにガスセンサ素子１００（下ピンホルダ２１０）を挿入する。さらに、上述の図５のように、ガスセンサ素子１００（検出部１０）の先端の角部１００Ｒをテーパ面２０４ｔに対向させる。又、下ピンホルダ２１０の肩部２１０ｓより上方の部位をラバーモールド２０４の挿入孔２０４ｈに挿入し、下ピンホルダ２１０をラバーモールド２０４に対して可動させる。
【００２９】
次に、多孔質保護層の原料粉末２０ｘを、ラバーモールド２０４の投入孔２０４ｈ２からキャビティ内（挿入孔２０４ｈと、検出部１０と、ゴムシール２１０ａで囲まれ、上方が開口した空隙）に投入する。さらに、ラバーモールド２０４の投入孔２０４ｈ２に上ピンホルダ２０８を挿入し、上ピンホルダ２０８の上方に油圧ピストン２０６を配置する（図７（ｃ））。これにより、上記キャビティの上部開口を押しゴム２０８ａが閉塞し、キャビティが完成する。
【００３０】
そして、油圧ピストン２０６から油圧Ｐ３によって上ピンホルダ２０８を下方に押圧することで、キャビティ内の原料粉末２０ｘをプレス成形する（図７（ｄ）：第１プレス工程）。
次に、ラバーモールド２０４に外側から静水圧Ｐ１を掛けて等方圧プレスし多孔質保護層２０を形成する（図７（ｄ）：第２プレス工程）。
最後に、ラバーモールド２０４から下ピンホルダ２１０及び上ピンホルダ２０８を取り出し、下ピンホルダ２１０からガスセンサ素子１００を取り出す（図７（ｅ））。
【００３１】
本発明の実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法によれば、図５に示したように、キャビティに設けたテーパ面２０４ｔに検出部１０の先端の角部１００Ｒを対向させて保持し、押しゴム２０８ａにて原料粉末２０ｘをプレスした後、ラバーモールド２０４の外側を等方圧プレスして多孔質保護層２０を形成する。
これにより、押しゴム２０８ａの硬度がラバーモールド２０４の硬度よりも高くても、テーパ面２０４ｔ付近で押しゴム２０８ａの横方向の厚みが厚くならず、テーパ面２０４ｔは押しゴム２０８ａより柔らかいラバーモールド２０４から構成される。このため、等方圧プレスの際に静水圧Ｐ１がテーパ面２０４ｔ付近の検出部１０の角部１００Ｒの原料粉末２０ｘに十分に掛かり、先端側の角部２０Ｒが面取りされた多孔質保護層２０を確実かつ低コストで形成することができる
【００３２】
さらに原料粉末２０ｘを圧縮して多孔質保護層２０を形成するので、スラリーにする必要がないため、多孔質保護層２０の強度も向上する。
さらに、プレス圧を変えることで、多孔質保護層２０の強度や気孔率を従来法よりも広範囲に変化させることができる。
なお、プレス成形にラバーモールド２０４を用いて等方圧プレスを行うと、図６に示すように、ラバーモールド２０４の外側からプレス圧となる静水圧Ｐ１が均等（等方的）に内部に加わるので、原料粉末２０ｘの圧縮ムラ等がなく、多孔質保護層２０の厚みや特性がより均一になるという利点がある。
【００３３】
又、（Ｄ２×０．５）≦Ｄ１≦Ｄ２の関係を満たすと、スムースに原料粉末を供給し、プレスを行うことができる。Ｄ１＜（Ｄ２×０．５）であると、ガスセンサ素子１００とラバーモールド２０４の間の隙間が狭くなり過ぎ、ラバーモールド２０４内へスムースに原料粉末２０ｘを供給し難い場合がある。また、Ｄ１＞Ｄ２であると、押しゴム２０８ａの径がキャビティ外寸を超えるため、軸線Ｏ方向のプレス時にプレス圧が充分に伝わらない場合がある。
又、押しゴム２０８ａの押圧面２０８ｆが凹んでいると、第１プレス工程で押しゴム２０８ａにて原料粉末２０ｘをより確実に圧縮できる。
テーパ面２０４のテーパ角θが１５〜４５度をなしていると、多孔質保護層２０の先端側の角部２０Ｒをより確実に面取りして、多孔質保護層２０の先端側の熱容量を確実に低減することができる。
【００３４】
なお、本発明は上記各実施の形態に限られず、各種の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、多孔質保護層は１層であったが、２層以上としてもよい。この場合、少なくとも最外層の多孔質保護層につき、本発明の実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法を適用すればよいが、２層以上、又はすべての層の多孔質保護層につき、本発明の実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法を適用しても勿論よい。多孔質保護層を２層以上とする場合、各層の材質、厚み、気孔度等は異なってもよい。
なお、多孔質保護層の１層当たりの厚みは限定されないが、例えば１００〜１０００μｍとすることができる。
【００３５】
また、本実施形態では全領域空燃比センサを例に説明したが、他の酸素センサ素子、ＮＯｘセンサ素子、ＨＣセンサ素子等にも同様に適用できる。ガスセンサ素子は筒状でもよい。
【符号の説明】
【００３６】
１０    検出部
１００Ｒ    検出部の先端の角部
２０    多孔質保護層
２０ｘ    多孔質保護層の原料粉末
１００    ガスセンサ素子
２０４    ラバーモールド
２０４ｈ２    ラバーモールドの投入孔
２０４ｔ    テーパ面
２０８ａ    押しゴム
２０８ｆ    押しゴムの押圧面
Ｏ  軸線
θ  テーパ角
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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