(57)【要約】【課題】インクジェット法により、縦塗り方式にて有機ＥＬパネルを塗布する場合、ノズルの液滴ばらつきがセルのばらつきに反映され、スジムラの少ないパネルを形成が困難となっていた。【解決手段】１枚のガラス基板上に、一方向に沿う第１パネルと、他方向に沿う第１パネルと異なる第２パネルとを配置する配置工程と、第１パネルの第１セルへ塗布する複数の第１ノズルと、第２パネルの第２セルへ塗布する複数の第２ノズルと、を含む１つのインクジェットヘッドを用いて、第１パネルと第２パネルとに、同時にインクを塗布する塗布工程と、を含み、塗布工程では、第１セルへの複数の第１ノズルの塗布条件を決め、次に、第１セルへの複数の第１ノズルによる塗布量と目的の塗布量との差を求め、１セルへ塗布する第１ノズルのうち１つのノズルで、差がなくなるように塗布量を増減される、インクの塗布方法を用いる。【選択図】図１
2019083201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを塗布する方向に沿うように複数の第１パネルをその短手方向で並べ、前記第１パネルの１つの第１セルへ塗布する複数の第１ノズルを含む１つのインクジェットヘッドを用いて、  前記第１パネルにインクを塗布する方法であって、
前記第１セルへの前記複数の第１ノズルの塗布条件を決める第１条件設定工程と、
前記第１セルへの前記複数の第１ノズルによる塗布量の合計と、前記第１セルへの目的の塗布量との差を求める第１計算工程と、
前記第１セルへ塗布する複数の前記第１ノズルのうち、１つの前記第１ノズルにおいて、前記差が無くなるように塗布量を増減させる第１調整工程と、
を含み、
前記第１計算工程の前に、前記複数の第１ノズルの塗布量が均質となるように調整する有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
塗布量を増減させる前記第１調整工程では、
１つの前記第１セルへ前記インクを塗布する前記複数の第１ノズルの内、前記第１セルの端部部分へインクを塗布する前記第１ノズルのインク塗布量を減らす、または、
１つの前記第１セルへ前記インクを塗布する前記複数の第１ノズルの内、前記第１セルの中央部分へインクを塗布する前記第１ノズルの前記インク塗布量を増やす、
請求項１記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記第１セルの中央部分とは、前記第１セルの中央位置から、前記第１セルの端までの半分の領域であり、
前記第１セルの端部部分とは、前記第１セルのうち、前記第１セルの中央部分以外である請求項２記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
塗布量を調整する前記第１調整工程では、
１つの前記第１セルへ前記インクを塗布する前記複数の第１ノズルのインク塗布回数を増やす請求項１〜３のいずれか１項に記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
インクを塗布する方向に沿うように複数の第１パネルをその短手方向で並べ保持する保持部と、
前記第１パネルの１つの第１セルへ塗布する複数の第１ノズルを含む１つのインクジェットヘッドと、を含むインク塗布装置であって、
前記第１セルへの前記複数の第１ノズルの塗布条件を決める第１条件設定部と、
前記第１セルへの前記複数の第１ノズルによる塗布量の合計と、前記第１セルへの目的の塗布量との差を求める第１計算部と、
前記複数の第１ノズルの塗布量が均質となるように調整し、その後、前記第１セルへ塗布する複数の前記第１ノズルのうち、１つの前記第１ノズルにおいて、前記差が無くなるように塗布量を増減させる第１調整部と、を含む有機ＥＬディスプレイパネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット装置による有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法に関するもので、複数のインクジェットヘッドのノズルから塗布される体積調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェット技術を用いて電子デバイスを製造する方法が注目を集めている。
【０００３】
インクジェット技術による製造は、蒸着技術などに比べ設備構成がシンプルで安価な製造が可能である。また、インクジェット技術は直接パターニング技術であるため蒸着技術におけるマスクが不要で大型化が可能である。例えば、表示電子デバイスにおいては大画面への市場要求が高まり、インクジェット塗布による電子デバイス製造技術への期待は高まっている。
【０００４】
以下、インクジェット技術によるパターニング方法について図５を用いて説明する。
【０００５】
図５は、インクジェット装置の平面図である。インクジェットヘッド２０と基板１０がある。インクジェットヘッド２０のノズル２１から、有機機能材料を含むインクの液滴を、基板１０上のバンク１１で囲まれた発色領域１２に塗布して、有機機能層を形成する方法がある（例えば、特許文献１参照）。インクジェットヘッド２０は、基板１０上を矢印の方向へ相対移動しながら、インクを発色領域１２へ塗布する。
【０００６】
有機機能材料を含むインクは、ディスプレイ基板に配置された発色領域１２に塗布される。
ここで発色領域とは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの副画素が１列に並んだ領域を意味する。すなわちディスプレイ基板では、３種類の発色領域（Ｒ、Ｇ、Ｂ）が特定の方向に沿って互いに平行に配置されている。
【０００７】
ディスプレイ基板に、有機機能層を、インクジェット装置で形成しようとする場合には、以下のプロセスとなる。
【０００８】
（１）インクジェット装置のインクジェットヘッド２０を、基板１０上のバンク１１で規定された発色領域１２の長軸に対して図中の上部（または下部）に配置する。この時、好ましくは、発色領域１２の長軸と、ノズル２１の配列方向とが垂直になるように配置する。
【０００９】
（２）インクジェットヘッド２０を発色領域１２の長軸に対して平行に相対移動させる。
【００１０】
（３）発色領域１２に、ノズル２１から液滴を塗布して、有機機能層を形成する。
【００１１】
このようにインクジェットヘッド２０を発色領域１２の長軸に対して平行に相対移動させる方法を、以下「縦塗り」という。
【００１２】
しかし、上述したように、インクジェットヘッド２０が有するノズル２１から塗布される液滴の大きさには、ノズル２１ごとにばらつきがあることから、基板１０を縦塗りした場合、発色領域１２間で塗布されるインクの量にばらつきが生じる。
【００１３】
特にばらつく場合を図６の平面図で説明する。図６は、図５に相当する図である。インクジェットヘッド２０がインクを塗布しないノズル２１ａを有する場合、発色領域１２ａに塗布されるインクの量は、発色領域１２ｂに塗布されるインクの量よりも少なくなる。この発色領域１２ａ、１２ｂ間におけるインクの量のばらつきは、発色領域１２ａ、１２ｂ間における有機機能層の膜厚のばらつきにつながる。さらに、発色領域１２ａ、１２ｂ間における有機機能層の膜厚のばらつきは、発色領域１２ａ、１２ｂ間における輝度のムラにつながり、有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、いわゆる「スジムラ」の原因となる。
【００１４】
「スジムラ」の問題を解決させるための方法として、図７に記載された方法がある。図７は、図４、５に相当する平面図である。図７のインクジェットヘッド２０には、塗布しないノズル２１ａと、より多くのインクを塗布するノズル２１ｂとがある。
【００１５】
塗布のプロセスは以下である。
【００１６】
（１）複数のノズル２１を有するインクジェットヘッド２０を、基板１０の発色領域の長軸に対する側部に配置する。
【００１７】
（２）インクジェットヘッド２０を発色領域１２の長軸に対して垂直に相対移動させる。
【００１８】
（３）発色領域１２に、ノズル２１から有機機能材料の液滴を塗布して、有機機能層を形成する。
【００１９】
このようにインクジェットヘッド２０を発色領域１２の長軸に対して垂直に相対移動させる方法を、以下「横塗り」という。横塗りでは、発色領域１２には、図６の縦塗りの場合より、より多くのノズル２１から塗布されたインクが塗布される。
【００２０】
このように横塗り方式で塗布することにより、１つのセル（発色領域１２）内により多くのノズル２１で液滴を塗布することが可能となる。より多くのノズル２１で液滴を塗布することにより、セル内の液滴の体積変動ばらつきが緩和される。
【００２１】
塗布しないノズル２１ａと、より多くのインクを塗布するノズル２１ｂがあっても、９つのノズルに対して１つ分のばらつきがでるのみである。なお、ノズルは、初期に塗布量が調整させており、近傍のノズルで、詰まる、多く塗布することは、皆無である。
【００２２】
図６の「縦塗り」、図７の「横塗り」のいずれの場合でも、セル内に打たれた液滴量を均一化するためにインクジェットヘッド２０のノズル２１から塗布される液滴量を、事前に調整する方法がとられてきている。例えば、特許文献２では、描画のために駆動する選択したノズル群と駆動しない非選択ノズル群とに切り替えノズル郡のノズル２１の塗布量のばらつきをノズル群の各々のノズル２１の塗布量データに基づきノズル毎に塗布量の調整を行うことにより、カラーフィルターを形成していた。
【００２３】
一方、有機ＥＬパネルにおいて、塗布する基板サイズは、年々大きくなっていき、ガラスサイズは以下のようになっている。Ｇ１ガラス基板（４００ｍｍ×３００ｍｍ）、Ｇ２ガラス基板（４７０ｍｍ×３７０ｍｍ）、Ｇ３ガラス基板（６５０ｍｍ×５５０ｍｍ）、Ｇ４ガラス基板（８８０ｍｍ×６８０ｍｍ）、Ｇ５ガラス基板（１３００ｍｍ×１１００ｍｍ）、Ｇ６ガラス基板（１８５０ｍｍ×１５００ｍｍ）、Ｇ７．５ガラス基板（２２５０ｍｍ×１９５０ｍｍ）、Ｇ８ガラス基板（２５００ｍｍ×２２００ｍｍ）、Ｇ１０ガラス基板（２８５０ｍｍ×３０５０ｍｍ）である。
【００２４】
有機ＥＬパネルは、大きな１つのガラス基板に複数のＥＬパネルを形成し、その後、有機ＥＬ素子を各々分離して形成する。
【００２５】
例えば、図８に示した平面配置をする。基板３２上に、６５インチパネル３３が３枚、５５インチパネル３４が２枚、配置した構成となる。このように配置することにより、基板３２上に無駄なく、パネルを配置することができる。インクジェットヘッド３６により、方向３５の方向に相対移動させ、インクを６５インチパネル３３が３枚、５５インチパネル３４が２枚に同時に塗布する。
【００２６】
ここで、インクジェットヘッド３６で塗布を行う場合、方向３５で塗布するということは、縦塗りと横塗りを混在して塗布しなければならないということになる。
横塗りに関しては、図７で示したように、インクジェットヘッド２０のノズル２１から出てきた液滴体積がばらついても、セル内に落とすことができるノズル２１の数が多いため、平均化効果により、膜厚が均一になる。
【００２７】
しかし、図６に示したように、縦塗りに関しては、ノズル２１の数が少ないために、液滴を塗布してから乾燥後に膜厚が均一になりにくい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２８】
【特許文献１】特開２００４−３６２８１８号公報
【特許文献２】特許第２９６７０５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２９】
上記のように、パネルサイズが大きくなり、ガラス基板上に縦塗りパネルと横塗りパネルが存在する場合に、各ノズルから塗布される体積を同じように調整しても、縦塗りパネルのセルと横塗りパネルのセルにおいて体積の調整精度が異なるという課題を有している。
【００３０】
本発明の目的は、横塗りよりも、ばらつきやすい縦塗り時でも、一様な有機機能層を有する有機ＥＬパネル及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
上記課題を解決するため、インクを塗布する方向に沿うように複数の第１パネルをその短手方向で並べ、上記第１パネルの１つの第１セルへ塗布する複数の第１ノズルを含む１つのインクジェットヘッドを用いて、上記第１パネルにインクを塗布する方法であって、上記第１セルへの上記複数の第１ノズルの塗布条件を決める第１条件設定工程と、上記第１セルへの上記複数の第１ノズルによる塗布量の合計と、上記第１セルへの目的の塗布量との差を求める第１計算工程と、上記第１セルへ塗布する複数の上記第１ノズルのうち、１つの上記第１ノズルにおいて、上記差が無くなるように塗布量を増減させる第１調整工程と、を含み、上記第１計算工程の前に、上記複数の第１ノズルの塗布量が均質となるように調整する有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法を用いる。
【００３２】
また、インクを塗布する方向に沿うように複数の第１パネルをその短手方向で並べ保持する保持部と、上記第１パネルの１つの第１セルへ塗布する複数の第１ノズルを含む１つのインクジェットヘッドと、を含むインク塗布装置であって、上記第１セルへの上記複数の第１ノズルの塗布条件を決める第１条件設定部と、上記第１セルへの上記複数の第１ノズルによる塗布量の合計と、上記第１セルへの目的の塗布量との差を求める第１計算部と、上記複数の第１ノズルの塗布量が均質となるように調整し、その後、上記第１セルへ塗布する複数の上記第１ノズルのうち、１つの上記第１ノズルにおいて、上記差が無くなるように塗布量を増減させる第１調整部と、を含む有機ＥＬディスプレイパネルの製造装置を用いる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明は、縦塗り時でも均一に塗布ができるような液滴の体積調整方法である。つまり、初めにノズルからの液滴塗布量をある一定の範囲で調整を行う。次にセル内のセル内のあるノズルでセル全体の体積をある一定量に調整することにより、縦塗り時でもセル内の体積量を一定にすることが可能となる。このように、縦塗り時を塗布するノズル数が少なくなっても体積を一定に調整することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】実施の形態のインクジェット装置における複数種類のパネルを示す平面図
【図２】インクジェットの縦塗り法と横塗り法でのセル内の液滴を示す平面図
【図３】実施の形態の縦塗り時の体積調整フローを示す図
【図４】実施の形態の縦塗り時に不塗布が発生したときの平面図
【図５】従来のインクジェット装置の平面図
【図６】従来のインクジェット装置による縦塗りを示す平面図
【図７】従来のインクジェット装置による横塗りを示す平面図
【図８】従来のインクジェット装置にける複数種類のパネルを示す平面図
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は、インクジェットヘッド３６で塗布を行う場合の平面配置図である。１つのインクジェットヘッド３６に、縦塗りインクジェットヘッドノズル群３７と、横塗り部を塗布する横塗りインクジェットヘッドノズル群３８とが別々に存在させる。このようにすることで、別々に各ノズル群からの体積を別々に調整することができるためである。
【００３６】
＜「縦塗り」と「横塗り」との問題点＞
以下、「縦塗り」と「横塗り」方式で同じようにインクジェットヘッドから塗布された液滴の体積を同じように調整した場合に、「縦塗り」と「横塗り」とでばらつきが異なる理由について詳細に説明する。
【００３７】
図２は、インクジェットヘッド３６とセル４３、セル４４との関係を示す平面図である。図１における６５インチパネル３３のセル、１つと、５５インチパネル３４のセル、１つとを、拡大したものである。６５インチパネル３３のセル４３に、ある一定間隔のノズルピッチを持つインクジェットヘッド３６で塗布する場合、ノズル５５、５６、５７，５８により、それぞれ、液滴４５、液滴４６、液滴４７、液滴４８が塗布される。
【００３８】
それぞれのセル内の体積ばらつきを計算する。
【００３９】
（１）セル４３の場合
セル４３で異なるノズル４個で塗布する場合、全体の塗布ばらつきの標準偏差をσｍｅａｎ、異なるノズル４個の塗布ばらつきの標準偏差をσ１、σ２、σ３、σ４とする。
σ１２＋σ２２＋σ３２＋σ４２＝σｍｅａｎ２・・・（数１）
（数１）において、各ノズルの塗布ばらつきが等しいと仮定すると、
σ１＝σ２＝σ３＝σ４・・・（数２）
となり、
４σ１２＝σｍｅａｎ２・・・（数３）
ここで、標準偏差の平均値のばらつきをｎ％（ただし、ｎは１０以下）とおくと、各ノズル部でのばらつきは
σ１２＝σｍｅａｎ２／４・・・（数４）
σ１＝σｍｅａｎ／２・・・（数５）
となり、σ１＝ｎ／２となり、例えばｎ＝３％とすると、σ１＝１．５％となる。
【００４０】
（２）セル４４の場合
同様にして、セル４４の場合、異なる７個のノズルで塗布すると、
σ１２＋σ２２＋σ３２＋σ４２＋σ５２＋σ６２＋σ７２＝σｍｅａｎ２・・・（数６）
となり、σ１＝ｎ／√７となり、例えばｎ＝３％とすると、σ１＝１．１％となる。つまり、ノズルの体積を同程度に調整しても、ノズル数が多い方法で塗布する方がばらつきを抑制することが可能となる。
【００４１】
このため、ノズルからのインク塗布量が変化した場合、「縦塗り」と「横塗り」とでばらつきのレベルが異なる。ノズル数が少ない、セル４３の場合、ばらつきが大きくなってしまい。輝度ムラとなる可能性がある。
＜実施例＞
そこで、実施の形態では、「縦塗り」と「横塗り」とを同時にする場合でも、ばらつきを抑える方法を以下に示す。ここで、インクジェットヘッド３６は、図１に示すような構成にする。つまり、インクジェットヘッド３６は、パネルの長手方向から、縦塗り塗布する縦塗りインクジェットヘッドノズル群３７と、パネルの短手方向から、横塗り塗布する横塗りインクジェットヘッドノズル群３８とが異なっている構成とする。
【００４２】
このようにインクジェットヘッド３６を、縦塗りインクジェットヘッドノズル群３７と、横塗りインクジェットヘッドノズル群３８と、に分けることにより、それぞれのノズルの体積を別々の方法で調整することが可能となる。
【００４３】
インクジェットヘッド３６のノズルからの体積を調整する場合、塗布に関わる部分の電圧を変化させることにより、インクジェットヘッド３６の各ノズルから塗布される体積を調整することが可能である。
【００４４】
インクジェットヘッド３６での体積ばらつきの再現性は、ある値以下になる。ここで、横塗りのｎ個ノズルにより横塗りすることを考える。つまり、目標とするｋ番目のノズルから塗布される液滴の体積（塗布再現性の体積）をＶｋ、塗布再現性により変化する体積量ΔＶｋとすると、調整後の液滴の測定された体積Ｖ（ｋ）は、ＶｋとΔＶｋの和で表すことができる。ここで、ΔＶｋ＜Ｖｋであるとする。
Ｖ（ｋ）＝ΔＶｋ＋Ｖｋ・・・（数７）
ｎ個のノズルで塗布した液滴の体積Ｖｔｏｔａｌは、
Ｖｔｏｔａｌ＝Ｖ（１）＋Ｖ（２）＋・＋Ｖ（ｋ）＋・＋Ｖ（ｎ）
＝（ΔＶ０＋ΔＶ１＋・＋ΔＶｋ＋・＋ΔＶｍ）＋（Ｖ１＋Ｖ２＋Ｖ３＋・＋Ｖｋ＋・・＋Ｖｎ）・・・（数８）
となる。セル内の体積を考えた場合、多くのノズルで体積を調整することにより、セル全体のばらつきは低減できる。
【００４５】
ところが、セル内に入る全体の体積を考えた場合、各ノズルの再現性による誤差（ΔＶ０＋ΔＶ１＋・＋ΔＶｋ＋・＋ΔＶｋ）が発生し、（Ｖ１＋Ｖ２＋Ｖ３＋・＋Ｖｋ＋・・＋Ｖｎ）の総和分セル内の体積が変化してしまう。
【００４６】
そこで、縦塗り方式では、横塗りのｎ個より少ないノズルの数がｍ個で塗布することになる。ｍ個のノズルで塗布した場合の体積は、
Ｖｔｏｔａｌ＝Ｖ（１）＋Ｖ（２）＋・＋Ｖ（ｋ）＋・＋Ｖ（ｍ）
＝（ΔＶ０＋ΔＶ１＋・＋ΔＶｋ＋・＋ΔＶｍ）＋（Ｖ１＋Ｖ２＋Ｖ３＋・＋Ｖｋ＋・・＋Ｖｍ）・・・（数９）
と書き表すことができる。ｍ個がｎ個より少ないため、１つのばらつきが全体に及ぼす影響は横塗りより大きい。
【００４７】
そこで、一旦、各ノズルからの塗布体積を調整した後、各セル内において、セル内へ塗布するある１つのノズルにて、更に体積を調整する。
【００４８】
ところが、決められたセルの目標体積を一定としたときに任意のある１つのノズルでその体積量を調整することは、そのあるノズルにより、体積調整量を大きく変化させることができることになり、体積変化量を大きく変化することは容易である。
【００４９】
そこで、目標体積に対して、同じセル内へ塗布するある１つのノズルでのみで体積調整する。目標のセル体積をＶｔａｒｇｅｔ、セル内に入る体積をＶｔｏｔａｌ、その差をΔＶｃｅｌｌとすると、
ΔＶｃｅｌｌ＝Ｖｔａｒｇｅｔ―Ｖｔｏｔａｌ （数１０）
となる。このΔＶｃｅｌｌを調整するために、ある１つのノズルであるｋ番目のノズル体積Ｖ（ｋ）は、ｋ番目ノズルの再現性をΔＶｋ、調整した体積Ｖｋとする、実際のノズル体積Ｖ（ｋ）’にΔＶｃｅｌｌを加えた値で全体のセル内の体積をある目標値に近づける制御を行う。
【００５０】
つまり、ｋ番目ノズルに調整分のインク量がでるようにする。
Ｖ（ｋ）’＝（ΔＶｋ＋Ｖｋ）＋ΔＶｃｅｌｌ・・・（数１１）
このように制御することにより、
Ｖｔａｒｇｅｔ≒Ｖｔｏｔａｌ・・・（数１２）
となり、縦塗りであってもセル全体の体積を調整することにより、体積調整精度を向上することが可能となる。
【００５１】
＜全体プロセス＞
以下に全体のプロセスを説明する。縦塗りのノズルで以下調整をする。体積調整のステップを図３に示す。
【００５２】
（１）まず、セルへ塗布すべき塗布条件を決める（条件設定工程）。
【００５３】
（２）次に、セルへの目的の塗布量とそのセルへの実際の塗布量との差を計算する（計算工程）。
【００５４】
（３）そのセルへ塗布するノズルのうち１つのノズルで、上記差がなくなるように塗布量を増減させる（調整工程）。
（１）では、１つのセルにどのノズルで塗布するが決定する。
（２）では、そのセルに必要な塗布量と、（１）で決定したノズルによって塗布した場合の塗布量との差を求める。
（３）では、その差が無くなるように、１つのノズルの塗布量を決定する。
【００５５】
つまり、セル内においてそのセルへ塗布するある１つノズルで体積が一定になるように体積調整を行う。
【００５６】
ここでは、体積調整は、ある１つのノズルで体積調整を行うとしたが、体積を増やす場合は、中央付近のノズルで制御を行い。体積を減らす場合には、端部付近のノズルで行うことが好ましい。これは、中央付近に大液滴を塗布した方がセル内で同一液滴形状になり易く、乾燥むらを抑制することができるためである。
【００５７】
ここで中央付近のノズルとは、そのセルへ塗布するノズルの内、セル中央位置から、セルの端までの半分のところの領域までを、塗布するノズルである。セルの中央に位置し、セルの半分の領域を塗布ノズルである。
【００５８】
一方、端部のノズルとは、上記中央付近以外に位置し、セルの端部を塗布するノズルである。
【００５９】
また、（２）の前に、各ノズルの塗布量が均質となるように調整してもよい。または、調整せず、以前の各ノズルの塗布量を用いて計算してもよい。または、塗布を実施して、各ノズルからの塗布量を求めて、その値を用いてもよい。
【００６０】
図２のセル４３では、縦塗りインクジェットヘッドでは、セル４３に対して、４ノズルでセルを塗布しており、液滴４５、液滴４６、液滴４７、液滴４８で塗布されている。一方、横塗りの場合も同様に横塗りインクジェットヘッド群により、セル４４に複数の液滴で塗布されている。セル４３で縦塗りすることを考えると、数１３となる。
Ｖｔｏｔａｌ＝（ΔＶ１＋ΔＶ２＋ΔＶ３＋ΔＶ４）＋（Ｖ１＋Ｖ２＋Ｖ３＋Ｖ４）・・・（数１３）
従って、セル内の目標体積と実際の体積差は、数１４となる。
ΔＶｃｅｌｌ＝Ｖｔａｒｇｅｔ―Ｖｔｏｔａｌ・・・（数１４）
このΔＶｃｅｌｌの値が負の値の場合は、Ｖｔｏｔａｌの値を増やす必要があり、液滴量を増やす場合には中央付近のノズルで体積を増加させる。つまり、液滴４６または液滴４７を増やす。
【００６１】
また、ΔＶｃｅｌｌが正の値の場合には、両端付近のノズルで体積を減らす。つまり、液滴４５、または、液滴４８を減らす。
【００６２】
このようにする理由は、セル中央に塗布されるインクはセル全体へ広がりやすいので、多くしてもよい。セル端部へ塗布される液滴は、セル全体へ広がりにくいので、少なめにするためである。
【００６３】
この例は代表１ノズルで体積の調整を行ったが、複数のセル内のあるノズルで体積調整を行ってもよい。つまり、中央液滴の増加、両端の液滴の減少の両者を組み合わせてもよい。
【００６４】
結果、縦塗りインクジェットヘッドノズル群３７と、横塗りインクジェットヘッドノズル群３８とを含むインクジェットヘッドにて、同時に複数の種類のパネルに塗布できる。
【００６５】
特に、複数種類のセルが同じ基板３２上にあり、同時に塗布する時には、上記のように、ある１つノズルで調整するのが、有効である。なぜなら、塗布条件が大きく異なるものがあるため、全体として、塗布量を合わせるには困難である。
【００６６】
また、この調整方法を、横塗りに対しても同様に実施してもよい。しかし、簡素化するため、横塗りに対しては、この調整をしないのが好ましい。この場合、横塗りでは、上記（１）のセルへ塗布すべき塗布条件を決定するのみで、他の上記（２）、（３）は実施しない。
【００６７】
横塗りに対して、この調整を実施しない場合、調整の基準が１つのインクジェットヘッド内で変わることとなり複雑となる。しかし、調整の簡素化ができる。
（実施の形態２）
実施の形態２は、実施の形態１に対して、ノズルの調整のやり方が異なる。この実施の形態では、ノズルの塗布量を変えるのでなく、塗布回数を複数回行う。その他、説明しない事項は、実施の形態１と同じである。
【００６８】
実施の形態２の方法を説明する。図４は、図１の６５インチパネル３３の１つのセルを拡大したセル５０と、インクジェットヘッド３６との平面配置図である。
【００６９】
セル５０内に、ノズル５５，５６，５７，５８から塗布された、それぞれの液滴５１，５５２，５３，５４を示めしている。しかし、液滴５３は塗布されていないことを表し、液滴５３を塗布するためのノズル５７が不塗布になった場合である。
【００７０】
ノズルが不塗布になっていない場合のセル５０内の体積は、上記の数８のようになる。ここで、今３番目のノズル５７が不塗布になっているときは、中央付近にあるセル内のあるノズルで体積調整を行うことが望ましい。このときセル内の体積Ｖｔｏｔａｌ’は下記のように表すことができる。
Ｖｔｏｔａｌ’＝（ΔＶ１＋ΔＶ２＋ΔＶ３＋ΔＶ４）＋（Ｖ１＋Ｖ２＋Ｖ３＋Ｖ４）・・・（数１５）
Ｖｔｏｔａｌ’＝Ｖｔｏｔａｌ−ΔＶ３−Ｖ３・・・（数１６）
と表すことができる。一方、セルの体積の目標値Ｖｔａｒｇｅｔと実際のセルの体積Ｖｔｏｔａｌ’の差ΔＶｃｅｌｌ’は、以下となる。
ΔＶｃｅｌｌ’＝Ｖｔａｒｇｅｔ−Ｖｔｏｔａｌ’・・・（数１７）
数式１７に、数式１６を代入する。
ΔＶｃｅｌｌ’＝Ｖｔａｒｇｅｔ−（Ｖｔｏｔａｌ−ΔＶ３−Ｖ３）＝ΔＶｃｅｌｌ＋ΔＶ４＋Ｖ４・・・（数１８）
ここで、ΔＶ３は再現性の誤差である。３番目のノズル５７が不塗布になった場合は、
２番目のノズルを２回打ち、２回打ちしたノズルで体積調整Ｖ２’を行うことにより、セル内の体積を目標体積に近づけることが可能となる。この実施の形態では、塗布量を調整せず、回数で塗布量を調整する。結果、数式１８より、以下となる。
Ｖ２’＝Ｖ（２）＋（ΔＶｃｅｌｌ＋Ｖ３）／２・・・（数１９）
図４に示したように、セル５０に、液滴５１、液滴５２、液滴５４が塗布されており、液滴５３のノズル５７が不塗布となった場合、ノズル５６で２回打ちを行う。
【００７１】
また、液滴５２のノズル５６は２回打ちを行うため、目標体積については（Ｖ２＋ΔＶ／２）として調整を行う。ここでは、ΔＶ＞０と想定した。
【００７２】
１回の塗布量を増やすより、塗布回数を増やした方が、精度よく量が調整できる。印加電圧と塗布量との比例関係がばらつくためである。
【００７３】
＜なお書き＞
実施の形態では、図１に示したように、縦塗りインクジェットヘッドノズル群３７と、
横塗りインクジェットヘッドノズル群３８と、により、それぞれ別の種類のパネルへインクを塗布する。しかし、上記と同様の方法で、同じ種類のパネルへ塗布してもよい。
【００７４】
実施の形態１，２は、組み合わせができる。
【００７５】
また、上記方法を以下のインク塗布装置に用いることができる。一方向に沿う第１パネルと、第１パネルと異なり、他方向に沿う第２パネルとを有する１枚のガラス基板を保持する保持部と、第１パネルの１つの第１セルへ塗布する複数の第１ノズルと、第２パネルの１つの第２セルへ塗布する複数の第２ノズルと、を含む１つのインクジェットヘッドと、を含むインク塗布装置であって、第１セルへの前記複数の第１ノズルの塗布条件を決める第１条件設定部と、第１セルへの複数の第１ノズルによる塗布量の合計と、第１セルへの目的の塗布量との差を求める第１計算部と、１セルへ塗布する複数の第１ノズルのうち、１つの第１ノズルにおいて、差が無くなるように塗布量を増減させる第１調整部と、を含むインク塗布装置である。
【００７６】
上記実施の形態は、有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法、製造装置を前提に記載した。しかし、他のデバイスでも同様に使用される。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
有機ＥＬディスプレイ以外に、ディスプレイ一般に使用できる。さらに、ディスプレイに限らず、インクジェットを用いて、セルへインクを塗布するものに使用できる。
【符号の説明】
【００７８】
１０  基板
１１  バンク
１２  発色領域
１２ａ  発色領域
１２ｂ  発色領域
２０  インクジェットヘッド
２１  ノズル
２１ａ、２１ｂ  ノズル
３２  基板
３３  ６５インチパネル
３４  ５５インチパネル
３５  方向
３６  インクジェットヘッド
３７  縦塗りインクジェットヘッドノズル群
３８  横塗りインクジェットヘッドノズル群
４３  セル
４４  セル
４５  液滴
４６  液滴
４７  液滴
４８  液滴
５０  セル
５１，５２，５３，５４  液滴
５５、５６、５７、５８  ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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