(57)【要約】【課題】表示された測定値の妥当性を直観的に把握し得るようにする。【解決手段】表示部９と、測定対象５１に対して測定信号Ｖ０を印加したときに測定対象５１に流れる測定電流Ｉ１ｍについての電流波形データＤｉおよび測定対象に生じる測定電圧Ｖ１ｍについての電圧波形データＤｖに基づいて測定対象５１についての選択されたパラメータの測定値を測定すると共に、測定値を表示部９における表示画面上に表示させる処理部６とを備えている。この処理部６は、電流波形データＤｉおよび電圧波形データＤｖに基づいて測定対象５１のインピーダンスＺｘについての絶対値｜Ｚｘ｜および位相角θｘを算出するインピーダンス算出処理を実行すると共に、絶対値｜Ｚｘ｜および位相角θｘに基づいてインピーダンスＺｘを表示画面上に、実軸および虚軸で構成される複素平面でのベクトルとして測定値と共に表示させる表示処理を実行する。【選択図】図１
2019032225.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示部と、測定対象に対して測定信号を印加したときに当該測定対象に流れる電流についての電流波形データおよび当該測定対象に生じる電圧についての電圧波形データに基づいて当該測定対象についての選択されたパラメータの測定値を測定すると共に、当該測定値を前記表示部における表示画面上に表示させる処理部とを備えている測定装置であって、
前記処理部は、前記電流波形データおよび前記電圧波形データに基づいて前記測定対象のインピーダンスについての絶対値および位相角を算出するインピーダンス算出処理を実行すると共に、当該絶対値および当該位相角に基づいて当該インピーダンスを前記表示画面上に、実軸および虚軸で構成される複素平面でのベクトルとして前記測定値と共に表示させる表示処理を実行する測定装置。
【請求項２】
前記処理部は、
前記インピーダンス算出処理において、前記電流波形データおよび前記電圧波形データに加えて予め取得されたオープン補正データおよびショート補正データに基づいて前記インピーダンスについての前記絶対値および前記位相角を算出し、
前記電流波形データおよび前記電圧波形データにのみ基づいて前記測定対象の補正前インピーダンスについての補正前絶対値および補正前位相角を算出する補正前インピーダンス算出処理を実行し、
前記表示処理において、前記インピーダンスについての前記ベクトルと共に、前記補正前絶対値および前記補正前位相角に基づく前記補正前インピーダンスについてのベクトル、前記オープン補正データで示されるオープン残留成分に基づくインピーダンスについてのベクトル、および前記ショート補正データで示されるショート残留成分についてのベクトルのうちの少なくとも１つを前記表示画面上に前記複素平面でのベクトルとして前記測定値と共に表示させる請求項１記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象を測定してその測定値を表示画面に表示する測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の測定装置の一例として、下記の特許文献１に開示された測定装置（ＬＣＲメータ）を本願出願人は既に提案している。この測定装置は、測定対象（被測定試料）に対して所定周波数の測定信号を印加する測定信号源と、測定信号の印加状態において測定対象に流れる電流および測定対象に生じる電圧を検出して電流信号および電圧信号を出力する検出部と、検出部から出力される電流信号および電圧信号をデジタル信号に変換して測定データとして出力するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換器から出力される測定データに対して所定の演算を施すことにより、測定対象の測定値（インピーダンス、位相角、並列等価回路の並列容量、および直列等価回路の直列容量など）を算出してデータ格納用ＲＡＭに書き込むと共に、ユーザーからの要求にしたがってディスプレイの画面上に表示させるＣＰＵとを備えている。
【０００３】
この測定装置では、ユーザーからの要求に基づいて測定対象の測定値をディスプレイに表示するにあたって、まず、ディスプレイの所定表示区画内に、項目表示部および測定値表示部を含む複数の表示領域を設定し、次に、ユーザーによりその表示領域内のいずれかの項目表示部が指定されることに伴ない、ディスプレイの異なる表示区画内にインピーダンスや位相角などのパラメータを選択するためのパラメータ選択画面を表示し、そして、ユーザーにより同パラメータ選択画面内の所定のパラメータが選択されると、その選択されたパラメータ項目を上記指定された項目表示部に表示すると共に、それと対をなす測定値表示部にそのパラメータの測定値を表示する。この構成により、この測定装置によれば、ユーザー側で何らの制約を受けることなく、任意に測定対象についてのパラメータを指定して、その測定値を知ることが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−２３６６２６号公報（第３−４頁、第１−３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記した測定装置には、以下のような改善すべき課題が存在している。具体的には、この測定装置では、ユーザーによって選択されたパラメータ項目をユーザーによって指定された項目表示部に表示すると共に、それと対をなす測定値表示部にそのパラメータの測定値を表示するため、ユーザーは、選択したパラメータ項目の測定値をパラメータ項目と対応付けて確実に知ることが可能である。しかしながら、測定結果として表示されるものは測定値（つまり、数値）だけであることから、この測定装置には、この測定値が妥当なものであるか否かを直観的に把握し難い場合があるという改善すべき課題が存在している。
【０００６】
本発明は、かかる課題を改善するためになされたものであり、表示された測定値の妥当性を直観的に把握し得る測定装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく請求項１記載の測定装置は、表示部と、測定対象に対して測定信号を印加したときに当該測定対象に流れる電流についての電流波形データおよび当該測定対象に生じる電圧についての電圧波形データに基づいて当該測定対象についての選択されたパラメータの測定値を測定すると共に、当該測定値を前記表示部における表示画面上に表示させる処理部とを備えている測定装置であって、前記処理部は、前記電流波形データおよび前記電圧波形データに基づいて前記測定対象のインピーダンスについての絶対値および位相角を算出するインピーダンス算出処理を実行すると共に、当該絶対値および当該位相角に基づいて当該インピーダンスを前記表示画面上に、実軸および虚軸で構成される複素平面でのベクトルとして前記測定値と共に表示させる表示処理を実行する。
【０００８】
請求項２記載の測定装置は、請求項１記載の測定装置において、前記処理部は、前記インピーダンス算出処理において、前記電流波形データおよび前記電圧波形データに加えて予め取得されたオープン補正データおよびショート補正データに基づいて前記インピーダンスについての前記絶対値および前記位相角を算出し、前記電流波形データおよび前記電圧波形データにのみ基づいて前記測定対象の補正前インピーダンスについての補正前絶対値および補正前位相角を算出する補正前インピーダンス算出処理を実行し、前記表示処理において、前記インピーダンスについての前記ベクトルと共に、前記補正前絶対値および前記補正前位相角に基づく前記補正前インピーダンスについてのベクトル、前記オープン補正データで示されるオープン残留成分に基づくインピーダンスについてのベクトル、および前記ショート補正データで示されるショート残留成分についてのベクトルのうちの少なくとも１つを前記表示画面上に前記複素平面でのベクトルとして前記測定値と共に表示させる。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の測定装置では、測定対象についての選択されたパラメータの測定値と共に、測定対象のインピーダンスが複素平面でのベクトルとして表示部の表示画面上に表示される。したがって、この測定装置によれば、オペレータは、複素平面にベクトル表示されたインピーダンスの表示態様に基づいて、一瞥して、インピーダンスが誘導性のものであるか、容量性のものであるかを直観的に正確に把握することができたり、インピーダンスを含む測定値の妥当性を直観的に正確に把握したりすることができる。
【００１０】
請求項２記載の測定装置では、インピーダンスについてのベクトルと共に、補正前インピーダンスについてのベクトル、オープン残留成分に基づくインピーダンスについてのベクトル、およびショート残留成分についてのベクトルのうちの少なくとも１つが表示画面上に複素平面でのベクトルとして表示される。したがって、この測定装置によれば、オペレータは、この少なくとも１つのベクトルの表示態様に基づいても、表示されているパラメータの測定値についての妥当性を直観的に正確に把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】測定装置１の構成図である。
【図２】フィクスチャ１０の等価回路図である。
【図３】表示部９の表示画面２１上への｜Ｚｘ｜などの各測定値、およびインピーダンスＺｘなどの各ベクトルの表示態様を説明するための表示画面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、測定装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１３】
最初に、測定装置としての測定装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１４】
測定装置１は、図１に示すように、信号供給部２、電流検出部３、電圧検出部４、Ａ／Ｄ変換部５、処理部６、記憶部７、操作部８および表示部９を備え、フィクスチャや測定ケーブルなどの接続具１０（本例では一例としてフィクスチャであるため、以下では、フィクスチャ１０ともいう）を介して接続された測定対象５１についての選択されたパラメータの測定値を測定可能に構成されている。
【００１５】
信号供給部２は、例えば、予め規定された定電圧値の直流電圧信号、および予め規定された周波数でかつ予め規定された振幅の交流電圧信号（正弦波信号）のうちの処理部６から指示された電圧信号を内部グランドＧの電位を基準として生成して、その出力端子Ｈｃから測定信号Ｖ０として出力可能に構成されている。この場合、出力端子Ｈｃは、フィクスチャ１０を介して、測定装置１に接続された測定対象５１の一方の端子（電極）５１ａに接続される。
【００１６】
電流検出部３は、入力端子Ｌｃがフィクスチャ１０を介して、測定装置１に接続された測定対象５１の他方の端子（電極）５１ｂに接続される。また、電流検出部３は、測定信号Ｖ０の測定対象５１への印加に起因して、出力端子Ｈｃから、フィクスチャ１０および測定対象５１を経由して入力端子Ｌｃに流入する（さらには電流検出部３を経由して内部グランドＧに流れる）電流Ｉ１ｍ（以下、測定電流Ｉ１ｍともいう）を検出すると共に、測定電流Ｉ１ｍの電流値に比例して電圧値が変化する電流検出信号Ｖｉに変換して出力する。
【００１７】
電圧検出部４は、一対の検出端子Ｈｐ，Ｌｐのうちの一方の検出端子Ｈｐがフィクスチャ１０を介して測定対象５１の一方の端子５１ａに接続されると共に、他方の検出端子Ｌｐがフィクスチャ１０を介して測定対象５１の他方の端子５１ｂに接続される。また、電圧検出部４は、測定電流Ｉ１ｍがフィクスチャ１０および測定対象５１に流れることによって検出端子Ｈｐ，Ｌｐ間に発生する電圧Ｖ１ｍ（以下、測定電圧Ｖ１ｍともいう）を検出すると共に、測定電圧Ｖ１ｍの電圧値に比例して電圧値が変化する電圧検出信号Ｖｖに変換して出力する。
【００１８】
Ａ／Ｄ変換部５は、電流検出部３から出力される電流検出信号Ｖｉおよび電圧検出部４から出力される電圧検出信号Ｖｖをそれぞれ同じサンプリング周期でサンプリングすることにより、電流検出信号Ｖｉについては測定電流Ｉ１ｍの電流波形についての瞬時値を示す電流波形データＤｉに変換して出力すると共に、電圧検出信号Ｖｖについては測定電圧Ｖ１ｍの電圧波形についての瞬時値を示す電圧波形データＤｖに変換して出力する。
【００１９】
処理部６は、例えばＣＰＵを有して構成されて、フィクスチャ１０を介して測定対象５１が測定装置１に接続されている状態においてＡ／Ｄ変換部５から出力される電流波形データＤｉおよび電圧波形データＤｖに基づいて、測定対象５１の補正前インピーダンスＺｍ（具体的には、絶対値｜Ｚｍ｜と位相角θｍ）を測定（算出）する補正前インピーダンス測定処理を実行する。また、処理部６は、この補正前インピーダンスＺｍと、後述する補正データ取得処理において取得したショート補正データＤｓｈで表されるショート補正インピーダンスＺｓｈ（ショート残留成分）およびオープン補正データＤｏｐで表されるオープン補正アドミタンスＹｏｐ（オープン残留成分）とに基づいて、下記式（１）で表される測定対象５１のインピーダンスＺｘ（真値。具体的には、絶対値｜Ｚｘ｜と位相角θｘ）を測定（算出）するインピーダンス測定処理を実行する。
Ｚｘ＝（Ｚｍ−Ｚｓｈ）／（１−（Ｚｍ−Ｚｓｈ）×Ｙｏｐ）  ・・・（１）
【００２０】
また、処理部６は、測定対象５１についての選択されたパラメータの測定値を、このインピーダンスＺｘに基づいて測定（算出）するパラメータ測定処理を実行する。なお、測定対象５１は、例えば、直列等価回路（等価直列容量Ｃｅｓと等価直列抵抗Ｒｅｓの直列回路、または等価直列インダクタンスＬｅｓと等価直列抵抗Ｒｅｓの直列回路）で構成されているものとして規定したり、並列等価回路（等価並列容量Ｃｅｐと等価並列抵抗Ｒｅｐの並列回路、または等価並列インダクタンスＬｅｐと等価並列抵抗Ｒｅｐの並列回路）で構成されているものとして規定したりすることが可能であるが、本例では一例として、測定対象５１は直列等価回路で構成されているものとする。したがって、本例の測定装置１では、インピーダンスＺｘ（の絶対値｜Ｚｘ｜）、インピーダンスＺｘの位相角θｘ、等価直列容量Ｃｅｓ、等価直列インダクタンスＬｅｓおよび等価直列抵抗Ｒｅｓのうちの少なくとも１つを測定対象５１のパラメータとして選択し得るものとする。
【００２１】
また、処理部６は、図２に示されるような等価回路として表されるフィクスチャ１０の残留インダクタンスＬｓｈ，残留抵抗Ｒｓｈ，残留コンダクタンスＧｏｐおよび浮遊容量Ｃｏｐのうちの各残留成分Ｌｓｈ，Ｒｓｈを規定するショート補正データＤｓｈ（ショート補正インピーダンスＺｓｈ（＝Ｒｓｈ＋ｊωＬｓｈ）を示すデータ）と、残留コンダクタンスＧｏｐおよび浮遊容量Ｃｏｐを規定するオープン補正データＤｏｐ（オープン補正アドミタンスＹｏｐ（＝Ｇｏｐ＋ｊωＣｏｐ）を示すデータ）とを取得する補正データ取得処理を実行する。なお、図２中の符号Ｚｘは測定対象５１のインピーダンスについての真値であり、符号Ｚｍは測定対象５１の補正前インピーダンスである。また、この補正データ取得処理では、処理部６が既知の手法に基づいて自らショート補正データＤｓｈおよびオープン補正データＤｏｐを測定して取得してもよいし、例えば操作部８から入力される測定済みのショート補正データＤｓｈおよびオープン補正データＤｏｐを取得するようにしてもよい。
【００２２】
また、処理部６は、図３に示すように、パラメータ測定処理で測定したパラメータの測定値をこのパラメータを表す記号（インピーダンスＺｘでは記号Ｚ、位相角θｘでは記号θ、等価直列容量Ｃｅｓでは記号Ｃｓ、等価直列インダクタンスＬｅｓでは記号Ｌｓ、等価直列抵抗Ｒｅｓでは記号Ｒｓ）に対応させて表示部９の表示画面２１上に表示させると共に、インピーダンスＺｘについても実軸Ｒおよび虚軸Ｘで構成される複素平面でのベクトルとしてこの測定値と共に表示画面２１上に表示させる表示処理を実行する。また、本例の測定装置１では、処理部６は、この表示処理において、インピーダンスＺｘのベクトルと共に、補正前インピーダンスＺｍについてのベクトル、ショート補正インピーダンスＺｓｈについてのベクトル、およびオープン補正アドミタンスＹｏｐに基づくベクトル（つまり、オープン補正アドミタンスＹｏｐの逆数で規定されるオープン補正インピーダンスＺｏｐ（＝１／Ｙｏｐ）についてのベクトル）についてもこの複素平面に表示させる。なお、オープン補正インピーダンスＺｏｐについては、オープン補正アドミタンスＹｏｐの逆数であるため、フィクスチャ１０が正常であり、かつフィクスチャ１０が測定装置１に正常に接続されているときには、その大きさ（絶対値｜Ｚｏｐ｜）は極めて小さいものとなるが、図３では、説明のため、実際よりも大きなベクトルとして表記している。
【００２３】
また、処理部６は、信号供給部２に対して生成する測定信号Ｖ０を指示する制御処理や、Ａ／Ｄ変換部５から出力される電流波形データＤｉおよび電圧波形データＤｖを記憶部７に記憶させる記憶処理などを実行する。
【００２４】
記憶部７は、例えば、半導体メモリやハードディスク装置などで構成されている。操作部８は、例えば、キーボードや、操作パネルや、表示部９の表示画面上に配設されたタッチパネルで構成されて、オペレータの操作によって選択されたパラメータ（パラメータ測定処理で測定するパラメータ）を示す選択データＤｓｅを処理部６に出力可能に構成されている。表示部９は、ディスプレイ装置で構成されて、上記したようにその表示画面２１上にパラメータの測定値や種々のベクトルを表示する。
【００２５】
次に、測定装置１の動作について説明する。なお、ショート補正データＤｓｈおよびオープン補正データＤｏｐについては、使用されるフィクスチャ１０に対応するものが、オペレータの操作によって予め操作部８から処理部６に入力されて、処理部６によって記憶部７に記憶されているものとする。また、処理部６がパラメータ測定処理で測定するパラメータについても、選択されたパラメータを示す選択データＤｓｅがオペレータの操作によって予め操作部８から処理部６に入力されているものとする。本例では一例として、フィクスチャ１０を介して測定装置１に接続されている測定対象５１はインダクタであるとし、これにより、インピーダンスＺｘ、インピーダンスＺｘの位相角θｘおよび等価直列インダクタンスＬｅｓが、選択されたパラメータとして処理部６に入力されているものとする。
【００２６】
測定装置１では、まず、処理部６が信号供給部２に対する制御処理を実行して、信号供給部２から交流電圧信号を測定信号Ｖ０として出力させる。これにより、測定電流Ｉ１ｍが、信号供給部２の出力端子Ｈｃから、測定対象５１および電流検出部３の入力端子Ｌｃを経由して内部グランドＧに流れる。
【００２７】
電流検出部３は、この測定電流Ｉ１ｍを検出すると共に、電流検出信号Ｖｉに変換してＡ／Ｄ変換部５に出力する。また、電圧検出部４は、測定電流Ｉ１ｍが流れることによって測定対象５１の各端子５１ａ，５１ｂ間に発生する測定電圧Ｖ１ｍを検出すると共に、電圧検出信号Ｖｖに変換してＡ／Ｄ変換部５に出力する。Ａ／Ｄ変換部５は、この電流検出信号Ｖｉおよびこの電圧検出信号Ｖｖをそれぞれ同じサンプリング周期でサンプリングすることにより、測定電流Ｉ１ｍの電流波形についての瞬時値を示す電流波形データＤｉ、および測定電圧Ｖ１ｍの電圧波形についての瞬時値を示す電圧波形データＤｖをそれぞれ処理部６に出力する。
【００２８】
処理部６は、記憶処理を実行して、この電流波形データＤｉおよび電圧波形データＤｖを取得して記憶部７に記憶させる。この場合、測定電流Ｉ１ｍの電流波形および測定電圧Ｖ１ｍの電圧波形の各周波数は同一であることから、処理部６は、例えば、電流波形データＤｉおよび電圧波形データＤｖのうちの少なくとも一方についてのゼロクロス点を検出しつつ、電流波形データＤｉおよび電圧波形データＤｖを予め規定された周期分ずつ、この周期が到来する都度、新たに取得したこの周期分の波形データＤｉ，Ｄｖを既に記憶されている波形データＤｉ，Ｄｖに上書きしつつ記憶部７に記憶させる。
【００２９】
次いで、処理部６は、この予め規定された周期分の波形データＤｉ，Ｄｖを記憶部７に記憶させる都度、補正前インピーダンス測定処理を実行する。この補正前インピーダンス測定処理では、処理部６は、記憶部７に記憶されている波形データＤｉ，Ｄｖに基づいて、補正前インピーダンスＺｍについての絶対値｜Ｚｍ｜を測定（算出）すると共に、波形データＤｉで表される測定電流Ｉ１ｍの電流波形と波形データＤｖで表される測定電圧Ｖ１ｍの電圧波形との位相差を補正前インピーダンスＺｍの位相角θｍとして測定（算出）して、絶対値｜Ｚｍ｜および位相角θｍを補正前インピーダンスＺｍとして記憶部７に記憶させる。
【００３０】
続いて、処理部６は、インピーダンス測定処理を実行する。このインピーダンス測定処理では、処理部６は、補正前インピーダンスＺｍと、ショート補正データＤｓｈで表されるショート補正インピーダンスＺｓｈと、オープン補正データＤｏｐで表されるオープン補正アドミタンスＹｏｐとに基づいて、上記の式（１）で表される測定対象５１のインピーダンスＺｘを測定（算出）する。具体的には、処理部６は、インピーダンスＺｘの絶対値｜Ｚｘ｜と位相角θｘとを測定（算出）して、これらをインピーダンスＺｘとして記憶部７に記憶させる。
【００３１】
次いで、処理部６は、パラメータ測定処理を実行する。このパラメータ測定処理では、処理部６は、記憶部７に記憶されているインピーダンスＺｘ（その絶対値｜Ｚｘ｜とその位相角θｘ）に基づいて、選択されているパラメータについての測定値を測定（算出）する。上記したように、本例では、インピーダンスＺｘ、インピーダンスＺｘの位相角θｘおよび等価直列インダクタンスＬｅｓがこのパラメータとして選択されており、このうちのインピーダンスＺｘ（その絶対値｜Ｚｘ｜）と位相角θｘについてはインピーダンス測定処理において既に測定（算出）済みである。これにより、処理部６は、絶対値｜Ｚｘ｜と位相角θｘとに基づいて残りの等価直列インダクタンスＬｅｓ（＝｜Ｚｘ｜×ｃｏｓθｘ）を測定（算出）して記憶部７に記憶させる。
【００３２】
続いて、処理部６は、表示処理を実行する。この表示処理では、処理部６は、記憶部７に記憶されている選択されたパラメータの測定値（本例では、インピーダンスＺｘ、インピーダンスＺｘの位相角θｘおよび等価直列インダクタンスＬｅｓ）を読み出すと共に、各パラメータを表す記号（本例では、記号Ｚ，θ，Ｌｓ）に対応させて表示部９の表示画面２１上に図３に示すように表示させる（具体的には、パラメータの測定値を、対応する記号と並べて表示させる）。なお、測定値には、その単位を示す記号（例えばΩや°やμＨなど）が含まれるものとする。
【００３３】
また、この表示処理では、処理部６は、図３に示すように、測定対象５１のインピーダンスＺｘを、実軸Ｒおよび虚軸Ｘで構成される複素平面でのベクトルとして、インピーダンスＺｘの測定値（インピーダンスＺｘ、位相角θｘおよび等価直列インダクタンスＬｅｓ）と共に表示画面２１上に表示させる（具体的には、パラメータの記号および測定値が表示されている表示画面２１上の表示領域の隣の表示領域に表示させることで、パラメータの記号および測定値に対応させて表示させる）。これにより、等価直列インダクタンスＬｅｓがパラメータとして選択されずに、例えば、インピーダンスＺｘおよび位相角θｘのみがパラメータとして選択されてその測定値のみが表示画面２１に表示されている場合であっても、オペレータは、複素平面にベクトル表示されたインピーダンスＺｘの表示態様（虚軸Ｘの正領域に表示されているか、負領域に表示されているか）に基づいて、一瞥して、インピーダンスＺｘが誘導性のものであるか、容量性のものであるかを直観的に正確に把握することが可能となっている。また、インピーダンスＺｘについてのベクトルが、例えば、実軸Ｒの負領域に表示されているなどの有り得ない表示態様で表示されているときには、ユーザーは、位相角θｘの極性を見るまでもなく、このベクトルの表示態様に基づいて、一瞥して、表示されているパラメータの測定値に誤りがあること（測定値が妥当でないこと）を直観的に正確に把握することが可能となっている。
【００３４】
さらに、この表示処理では、処理部６は、図３に示すように、測定対象５１のインピーダンスＺｘのベクトルと共に、補正前インピーダンスＺｍおよびショート補正インピーダンスＺｓｈについての各ベクトル、およびオープン補正アドミタンスＹｏｐに基づくベクトル（つまり、オープン補正アドミタンスＹｏｐの逆数で規定されるオープン補正インピーダンスＺｏｐ（＝１／Ｙｏｐ）についてのベクトル）についても、この複素平面に、互いに区別し得る表示形態（例えば、各ベクトルの線種や太さや色などを別々のものとする表示形態や、各ベクトルで示されるインピーダンスの記号（Ｚｘ，Ｚｍなど）をベクトルに近接させて表示させる表示形態）で表示させる。これにより、オペレータは、ショート補正インピーダンスＺｓｈやオープン補正アドミタンスＹｏｐが妥当なものであるか否かを直観的に正確に把握することが可能であり、その結果として、ショート補正インピーダンスＺｓｈやオープン補正アドミタンスＹｏｐが妥当なものであるか否かという観点からも、表示されているパラメータの測定値が妥当なものであるか否か（測定値が正しいか否か）を直観的に正確に把握することが可能となっている。
【００３５】
このように、この測定装置１では、測定対象５１についての選択されたパラメータの測定値（インピーダンスＺｘ、位相角θｘおよび等価直列インダクタンスＬｅｓ）と共に、インピーダンスＺｘが複素平面でのベクトルとして表示部９の表示画面２１上に表示される。したがって、この測定装置１によれば、オペレータは、複素平面にベクトル表示されたインピーダンスＺｘの表示態様に基づいて、一瞥して、インピーダンスＺｘが誘導性のものであるか、容量性のものであるかを直観的に正確に把握することができたり、表示されているパラメータの測定値の妥当性（測定値が正しいか否か）を直観的に正確に把握したりすることができる。
【００３６】
また、この測定装置１では、インピーダンスＺｘについてのベクトルと共に、補正前インピーダンスＺｍについてのベクトル、オープン補正データＤｏｐで示されるオープン補正アドミタンスＹｏｐに基づくベクトル（具体的には、オープン補正アドミタンスＹｏｐの逆数で規定されるオープン補正インピーダンスＺｏｐについてのベクトル）、およびショート補正データＤｓｈで示されるショート補正インピーダンスＺｓｈについてのベクトルが表示画面２１上に複素平面でのベクトルとして表示される。したがって、この測定装置１によれば、オペレータは、複素平面に表示された各ベクトルの表示態様に基づいて、ショート補正インピーダンスＺｓｈやオープン補正アドミタンスＹｏｐが妥当なものであるか否かを直観的に正確に把握することができ、その結果として、ショート補正インピーダンスＺｓｈやオープン補正アドミタンスＹｏｐが妥当なものであるか否かという観点からも、表示されているパラメータの測定値についての妥当性（測定値が正しいか否か）を直観的に正確に把握することができる。
【００３７】
なお、上記の例では、インピーダンスＺｘについてのベクトルと共に、補正前インピーダンスＺｍについてのベクトル、オープン補正データＤｏｐで示されるオープン補正アドミタンスＹｏｐに基づくベクトル（具体的には、オープン補正インピーダンスＺｏｐについてのベクトル）、およびショート補正データＤｓｈで示されるショート補正インピーダンスＺｓｈについてのベクトルを表示画面２１上に複素平面でのベクトルとして表示しているが、この構成に限定されるものではない。例えば、補正前インピーダンスＺｍについてのベクトル、オープン補正アドミタンスＹｏｐに基づくベクトル（オープン補正インピーダンスＺｏｐについてのベクトル）、およびショート補正インピーダンスＺｓｈのうちの少なくとも１つ（任意の２つ、またはいずれか１つ）をインピーダンスＺｘについてのベクトルと共に表示画面２１上に表示させる構成を採用することもできる。この構成においても、この少なくとも１つのベクトルの表示態様に基づいて、表示されているパラメータの測定値についての妥当性を直観的に正確に把握することができる。
【００３８】
また、上記の例では、測定対象５１が直列等価回路で構成されているものとして規定したが、並列等価回路（等価並列容量Ｃｅｐと等価並列抵抗Ｒｅｐの並列回路、または等価並列インダクタンスＬｅｐと等価並列抵抗Ｒｅｐの並列回路）で構成されているものとして規定することもでき、この場合には、選択し得るパラメータとして、損失係数Ｄ（ｔａｎδ）を含めることができる。
【００３９】
また、表示画面２１上に複素平面でのベクトルとして表示されるものについては、図示はしないが、ベクトルの値（絶対値や位相角）を対応付けて表示画面２１上に数値表示するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１  測定装置
６  処理部
９  表示部
５１  測定対象
Ｄｉ  電流波形データ
Ｄｖ  電圧波形データ
Ｉ１ｍ  測定電流
Ｖ０  測定信号
Ｖ１ｍ  測定電圧
Ｚｘ  インピーダンス
θ  位相角
【図１】
2019032225.tif 000003
【図２】
2019032225.tif 000004
【図３】
2019032225.tif 000005