(57)【要約】【課題】ウエハシートに残る電子部品を低減可能な電子部品ピックアップ装置を提供する。【解決手段】電子部品Ｗが所定の配置ピッチＤで貼り付けられてなる電子部品列Ｒが設けられたウエハシートＳを電子部品列Ｒに沿ったシート送り方向Ｔに移動させて電子部品Ｗを順次、被取得位置Ｐに配置させる位置調整手段１１と、被取得位置Ｐに配された電子部品ＷをウエハシートＳから取得するコレット１２とを有する電子部品ピックアップ装置１０において、ウエハシートＳに貼り付けられた電子部品Ｗを撮像する撮像手段１５と、撮像手段１５が撮像した画像Ｍを基にして、画像Ｍ内の所定位置に設けられた判別範囲Ｊ内に収まっている電子部品Ｗの位置を検出する解析手段１６とを備え、撮像手段１５は、判別範囲Ｊ内に、被取得位置Ｐからシート送り方向Ｔに配置ピッチＤ１個分以上の領域が収まった画像Ｍを撮像する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品が所定の配置ピッチで貼り付けられてなる電子部品列が設けられたウエハシートを該電子部品列に沿ったシート送り方向に移動させて該電子部品を順次、被取得位置に配置させる位置調整手段と、前記被取得位置に配された前記電子部品を前記ウエハシートから取得するコレットとを有する電子部品ピックアップ装置において、
前記ウエハシートに貼り付けられた前記電子部品を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像した画像を基にして、該画像内の所定位置に設けられた判別範囲内に収まっている前記電子部品の位置を検出する解析手段とを備え、
前記撮像手段は、前記判別範囲内に、前記被取得位置から前記シート送り方向に前記配置ピッチ１個分以上の領域が収まった前記画像を撮像することを特徴とする電子部品ピックアップ装置。
【請求項２】
請求項１記載の電子部品ピックアップ装置において、前記解析手段は、前記判別範囲内に前記コレットによって取得されなかった前記電子部品を検出し、前記位置調整手段に、前記ウエハシートを移動させて、取得されなかった前記電子部品を前記被取得位置に配置する指令信号を送信することを特徴とする電子部品ピックアップ装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の電子部品ピックアップ装置において、前記撮像手段は、前記判別範囲内に、更に、前記被取得位置から前記シート送り方向の反対側に前記配置ピッチ１個分以上の領域が収まった前記画像を撮像することを特徴とする電子部品ピックアップ装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の電子部品ピックアップ装置において、前記電子部品の取得作業を完了した前記コレットが該電子部品を保持しているか否かを、前記解析手段に画像又は信号を与えて判定させる部品検出手段を、更に備え、前記解析手段は、前記判別範囲内の前記被取得位置から前記シート送り方向の位置に前記電子部品が配されていることを検知した際、１）前記電子部品の取得作業を完了した前記コレットに前記電子部品が保持されていないと判定した場合、該コレットが前記電子部品を取得できなかったものとみなし、２）前記電子部品の取得作業を完了した前記コレットが前記電子部品を保持していると判定した場合、前記被取得位置に配されるべき前記電子部品が該被取得位置に配されていない可能性があることを検知することを特徴とする電子部品ピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハシートに貼り付けられた電子部品をコレットでピックアップする電子部品ピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハシートの表面に貼り付けられた電子部品は、位置調整機構によってウエハシートと共に移動されて所定位置（以下、「被取得位置」と言う）に配された後、ウエハシートを裏側から押す針状部材によって表側に押し出された状態で、コレットによるピックアップがなされる。これは、電子部品をウエハシートから剥がれ易くするためのもので、その具体例が、例えば、特許文献１に記載されている。
【０００３】
コレットで電子部品を安定的にピックアップするには、ピックアップ対象の電子部品を被取得位置に正確に配することが重要である。そのため、従来、次にピックアップする電子部品が被取得位置に配された状態で次の次にピックアップする電子部品（以下、「２番目の電子部品」とする）をカメラで撮像し、その撮像画像から２番目の電子部品の現在位置を求めて２番目の電子部品を移動させるべき方向及び移動距離を算出するようにしていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１８６２９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、たとえ電子部品を正確に被取得位置に配置したとしても、コレットによる電子部品のピックアップが成功せず、ピックアップすべき電子部品がウエハシートに残ることがあった。従来、ウエハシートに残った電子部品に対し再度ピックアップを試みることはなく、歩留まりが低下するという課題を招来していた。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、ウエハシートに残る電子部品を低減可能な電子部品ピックアップ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的に沿う本発明に係る電子部品ピックアップ装置は、電子部品が所定の配置ピッチで貼り付けられてなる電子部品列が設けられたウエハシートを該電子部品列に沿ったシート送り方向に移動させて該電子部品を順次、被取得位置に配置させる位置調整手段と、前記被取得位置に配された前記電子部品を前記ウエハシートから取得するコレットとを有する電子部品ピックアップ装置において、前記ウエハシートに貼り付けられた前記電子部品を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した画像を基にして、該画像内の所定位置に設けられた判別範囲内に収まっている前記電子部品の位置を検出する解析手段とを備え、前記撮像手段は、前記判別範囲内に、前記被取得位置から前記シート送り方向に前記配置ピッチ１個分以上の領域が収まった前記画像を撮像する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る電子部品ピックアップ装置は、撮像手段が撮像した画像を基にして、画像内の所定位置に設けられた判別範囲内に収まっている電子部品の位置を検出する解析手段を備え、撮像手段が、判別範囲内に、被取得位置からシート送り方向に配置ピッチ１個分以上の領域が収まった画像を撮像するので、解析手段はコレットによって取得されなかった電子部品を検知でき、当該電子部品の再取得を試みる等、ウエハシートに残る電子部品を低減するための対応が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施の形態に係る電子部品ピックアップ装置の説明図である。
【図２】電子部品が貼り付けられたウエハシートの説明図である。
【図３】解析手段の接続を示すブロック図である。
【図４】（Ａ）は撮像手段が撮像する画像の説明図であり、（Ｂ）はディスプレイに表示される画像の説明図である。
【図５】（Ａ）は被取得位置に電子部品Ｗ１が配置された状態を示す説明図であり、（Ｂ）はその状態を撮像した画像を示す説明図である。
【図６】（Ａ）は被取得位置に電子部品Ｗ２が配置された状態を示す説明図であり、（Ｂ）はその状態を撮像した画像を示す説明図である。
【図７】（Ａ）は電子部品Ｗ１が取得されなかった状態を示す説明図であり、（Ｂ）はその状態を撮像した画像を示す説明図である。
【図８】（Ａ）は電子部品Ｗ４が被取得位置の左側に配された状態を示す説明図であり、（Ｂ）はその状態を撮像した画像を示す説明図である。
【図９】（Ａ）は電子部品Ｗ１が取得されなかった状態を示す説明図であり、（Ｂ）はその状態を撮像した画像を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１、図２、図３に示すように、本発明の一実施の形態に係る電子部品ピックアップ装置１０は、電子部品Ｗが所定の配置ピッチＤで貼り付けられてなる電子部品列Ｒが設けられたウエハシートＳを電子部品列Ｒに沿ったシート送り方向（以下、「送り方向Ｔ」と言う）に移動させて電子部品Ｗを順次、被取得位置Ｐに配置させる位置調整手段１１と、被取得位置Ｐに配された電子部品ＷをウエハシートＳから取得するコレット１２とを有する装置である。以下、詳細に説明する。
【００１０】
電子部品ピックアップ装置１０は、図１、図２、図３に示すように、表面に多数の電子部品Ｗが貼り付けられたウエハシートＳを支持するウエハリング１３と、ウエハリング１３を移動させる位置調整手段１１と、複数のコレット１２を有する部品取得ユニット１４と、ウエハシートＳに貼り付けられた電子部品Ｗを撮像するシート上確認用撮像手段（撮像手段の一例）１５と、シート上確認用撮像手段１５によって撮像された画像Ｍ（図４（Ａ）参照）を基にして電子部品Ｗの位置を検出する解析手段１６を備えている。
【００１１】
ウエハリング１３は、図１、図２に示すように、ウエハシートＳを鉛直に配した状態でウエハシートＳを支持する。鉛直に配されたウエハシートＳの表面には、図２に示すように、電子部品Ｗが水平に並べられた電子部品列Ｒが鉛直方向（上下方向）に複数段設けられている。本実施の形態では、電子部品列Ｒにおける電子部品Ｗの配置ピッチＤと同じ配置ピッチＤで電子部品列Ｒが鉛直方向に配されている。
【００１２】
位置調整手段１１は、図３に示すように、ウエハリング１３を左又は右に移動させるモータ１７と、ウエハリング１３を上昇又は下降させるモータ１７ａと、ウエハリング１３の中心を通る図示しない水平軸を中心にウエハリング１３を回転させるモータ１８を有している。位置調整手段１１は、解析手段１６に接続されており、解析手段１６から指令信号が送られることによってモータ１７、１７ａ、１８が作動して、ウエハシートＳに貼り付けられている電子部品Ｗをウエハリング１３及びウエハシートＳと共に移動させる。
【００１３】
部品取得ユニット１４は、図１に示すように、ウエハシートＳの表側（前側）に配置され、モータ１９が固定されたベース体２０を具備している。ベース体２０には、モータ１９から回転力が与えられる水平配置された回転軸２１が取り付けられている。
回転軸２１には、回転軸２１を基準にして近等角度（本実施の形態では９０度）位置に配された複数（本実施の形態では４つ）のアーム２２を有するコレット支持体２３が固定され、各アーム２２の先端側に１つのコレット１２が装着されている。基端部がアーム２２に装着された各コレット１２は、真空圧（負圧）によって先端部で電子部品Ｗを吸着し、大気開放もしくは正圧によって電子部品Ｗの吸着を解く。
【００１４】
各コレット１２の先端部は、仮想円の外縁に沿って配置されており、各コレット１２は、モータ１９の作動によって間欠的に移動し、順次、ウエハシートＳの表面に対向して配置され、ウエハシートＳから電子部品Ｗを取得可能な状態となる。以下、電子部品Ｗを取得可能なコレット１２の位置を、「受取位置」と言う。モータ１９は、図３に示すように、解析手段１６に接続されており、解析手段１６から送られる指令信号に基づいて作動し、各コレット１２を時計回り、又は、反時計回りに移動させる。
なお、コレットでウエハシートＳから電子部品Ｗを取得可能な部品取得ユニットであればよく、その構造は特に限定されない。例えば、コレットが一つのみの部品取得ユニットを採用してもよい。
【００１５】
ウエハシートＳの裏側（後側）には、図１、図２に示すように、針状部材２４を有して、ウエハシートＳを前方に押し出すシート押し手段２５が設けられている。針状部材２４は、進退可能であり、前進することによってウエハシートＳと共に被取得位置Ｐに配された電子部品Ｗを前方に移動させ、受取位置に配されたコレット１２の先端部に当該電子部品Ｗを接触させる。受取位置に配されているコレット１２は、先端部に接触した電子部品Ｗを真空圧によって吸着してウエハシートＳから電子部品Ｗを取得する。
【００１６】
電子部品Ｗがコレット１２によって取得された後、針状部材２４は後退し、位置調整手段１１は、ウエハリング１３と共にウエハシートＳを移動させ、別の電子部品Ｗを被取得位置Ｐに配置する。電子部品Ｗを取得したコレット１２は、モータ１９の作動によって受取位置から間欠的に複数回時計回りに移動し、所定位置で図示しないユニットに電子部品Ｗを受け渡す。
【００１７】
本実施の形態では、ウエハシートＳにおいて１段目の電子部品列Ｒ（最も上側に配された電子部品列Ｒ）の左端から右端に向かって順に電子部品Ｗが取得され、１段目の電子部品列Ｒの右端に配置された電子部品Ｗが取得された後、２段目の電子部品列Ｒの右端から左端に向かって順に電子部品Ｗが取得される。３段目以降の電子部品列Ｒについても同様の手順で電子部品Ｗが取得される。
【００１８】
一の電子部品列Ｒにおいて右側に向かって順に電子部品Ｗが取得される際、位置調整手段１１は、電子部品Ｗが取得される度に、左方向（この場合、左方向が送り方向Ｔ）に配置ピッチＤ１個分、ウエハリング１３と共にウエハシートＳを移動する。そして、電子部品列Ｒにおいて左側に向かって順に電子部品Ｗが取得される際、位置調整手段１１は、電子部品Ｗが取得される度に、右方向（この場合、右方向が送り方向Ｔ）に配置ピッチＤ１個分、ウエハリング１３と共にウエハシートＳを移動する。
【００１９】
シート上確認用撮像手段１５は、図１に示すように、部品取得ユニット１４の上方に配置され、被取得位置Ｐに配された電子部品Ｗの前方に位置するプリズム２６を介して、ウエハシートＳに貼り付けられた電子部品Ｗを撮像する。本実施の形態では、図４（Ａ）に示すように、シート上確認用撮像手段１５によって撮像された画像Ｍが、左右方向に配置ピッチＤ７個分の長さを有し、上下方向に配置ピッチＤ４個分の長さを有している。被取得位置Ｐに配された電子部品Ｗは画像Ｍの左右方向中心に位置する。
また、部品取得ユニット１４の近傍には、受取位置から移動（本実施の形態では、時計回りに９０度移動）したコレット１２を、プリズム２７を介して当該コレット１２の先端側から撮像するコレット上確認用撮像手段２８（部品検出手段の一例）が設けられている。当該コレット１２が電子部品Ｗを吸着している場合、コレット確認用撮像手段２８は当該電子備品Ｗを撮像することとなる。
【００２０】
解析手段１６は、図３に示すように、シート上確認用撮像手段１５及びコレット上確認用撮像手段２８に接続されており、シート上確認用撮像手段１５が撮像した画像Ｍ及びコレット上確認用撮像手段２８が撮像した画像を取得可能である。解析手段１６は、ＣＰＵ、メモリ及びソフトウェアを有して構成され、画像Ｍ内の所定位置に設けられた判別範囲Ｊ内に収まっている各電子部品Ｗの位置を検出できるように設計されている。なお、解析手段１６は、画像Ｍ内で判別範囲Ｊ外に存在する電子部品Ｗの位置を検出できない。
【００２１】
解析手段１６は、シート上確認用撮像手段１５から取得した画像Ｍを基に、判別範囲Ｊ内に全体が収まっている複数の電子部品Ｗそれぞれの位置を検出する。本実施の形態では、判別範囲Ｊが、左右方向に配置ピッチＤ５個分の長さを有し、上下方向に配置ピッチＤ３個分の長さを有する矩形領域である。シート上確認用撮像手段１５及び解析手段１６は、被取得位置Ｐに配された電子部品Ｗが判別範囲Ｊの中心（左右方向中心かつ上下方向中心を意味する）に位置するように調整されている。
【００２２】
また、電子部品ピックアップ装置１０は、図３に示すように、解析手段１６に接続されたディスプレイ２９を備えている。解析手段１６は、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、判別範囲Ｊを表す枠（視認物の一例）Ｆを画像Ｍに付加した画像Ｍ’をディスプレイ２９に送信し、ディスプレイ２９は解析手段１６から送信された画像Ｍ’を表示する。電子部品ピックアップ装置１０の使用者は、ディスプレイ２９に表示された画像Ｍ’から判別範囲Ｊ内に収まっている電子部品Ｗを視認することができる。
【００２３】
次に、一の電子部品列Ｒにおいて、図５（Ａ）に示すように、被取得位置Ｐに配された電子部品Ｗを電子部品Ｗ１、電子部品Ｗ１の右隣り（送り方向Ｔの反対側）に配置された電子部品Ｗを電子部品Ｗ２、電子部品Ｗ２の右隣りに配置された電子部品Ｗを電子部品Ｗ３として、ウエハシートＳから電子部品Ｗ１、Ｗ２を取得する手順について説明する。
【００２４】
（１）受取位置にコレット１２が配置されていないタイミング（電子部品Ｗ１を取得しようとするコレット１２が時計回りに移動して受取位置に接近しているタイミング）で、シート上確認用撮像手段１５は、図５（Ｂ）に示すように、電子部品Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３が判別範囲Ｊ内に収まった画像Ｍを撮像し、その画像Ｍを解析手段１６に送る。
【００２５】
（２）受取位置に配されたコレット１２が被取得位置Ｐに配された電子部品Ｗ１を取得している間に、解析手段１６は、シート上確認用撮像手段１５から送られた画像Ｍを基に電子部品Ｗ２の位置を検出する。通常、電子部品Ｗ２は、電子部品Ｗ１と同じ高さで、電子部品Ｗ１から配置ピッチＤ１個分右側の正常位置に配されているが、電子部品Ｗ２が正常位置とは別位置（例えば、正常位置から電子部品Ｗの大きさの５〜２０％ずれた位置）に配されていることがある。電子部品Ｗ２が正常位置とは別位置に配される原因として、例えば、ウエハリング１３に装着されたウエハシートＳを引き伸ばして、電子部品Ｗの配置間隔を広げる処理がなされることが挙げられる。これは、ウエハシートＳの引き伸ばし処理の際、ウエハシートＳの異なる領域で伸び量が同じではないことがあるためである。
【００２６】
（３）上記（２）で、解析手段１６によって電子部品Ｗ２が正常位置に配置されていると判定されると、解析手段１６は位置調整手段１１に指令信号を送り、位置調整手段１１はウエハシートＳを左方向（送り方向Ｔ）に配置ピッチＤ１個分移動させて、図６（Ａ）に示すように、電子部品Ｗ２を被取得位置Ｐに配置させる。従って、上記（１）において、シート上確認用撮像手段１５は、判別範囲Ｊ内に、被取得位置Ｐから送り方向Ｔの反対側に配置ピッチＤ１個分以上（本実施の形態では、２個分）の領域が収まった画像Ｍを撮像することとなる。
一方、上記（２）で、解析手段１６によって、電子部品Ｗ２が正常位置とは別位置に配置されていると判定されると、解析手段１６は、電子部品Ｗ２を被取得位置Ｐに配するためのウエハリング１３の移動方向及び移動量を算出し、その算出結果に基づいた指令信号を位置調整手段１１に送り、位置調整手段１１はウエハシートＳを移動させて、電子部品Ｗ２を被取得位置Ｐに配置させる。
【００２７】
（４）受取位置にコレット１２が配置されていないタイミングで、シート上確認用撮像手段１５は、図６（Ｂ）に示すように、電子部品Ｗ２、Ｗ３が判別範囲Ｊ内に収まった画像Ｍを撮像し、その画像Ｍを解析手段１６に送る。
（５）上記（２）、（３）と同様の手順によって、コレット１２による電子部品Ｗ２の取得と、電子部品Ｗ３の被取得位置Ｐへの配置が行われる。
【００２８】
ここで、たとえ、電子部品Ｗ１が被取得位置Ｐに正確に配置されていたとしても、上記（２）で、コレット１２による電子部品Ｗ１の取得が失敗し、図７（Ａ）に示すように、ウエハシートＳに電子部品Ｗ１が残ることがある。この場合、上記（４）で撮像された画像Ｍの判別範囲Ｊ内には、図７（Ｂ）に示すように、被取得位置Ｐに配された電子部品Ｗ２の左隣りに電子部品Ｗ１が存在する。従って、上記（４）において、シート上確認用撮像手段１５は、判別範囲Ｊ内に、被取得位置Ｐから送り方向Ｔに配置ピッチＤ１個分以上（本実施の形態では、２個分）の領域が収まった画像Ｍを撮像することとなる。
【００２９】
また、上記（２）で、コレット１２が電子部品Ｗ１を取得したとしても、図８（Ａ）に示すように、被取得位置Ｐの左隣り（被取得位置Ｐから送り方向Ｔの位置）に電子部品Ｗ（図８（Ａ）に示す例では、電子部品Ｗ１の直下に配されていた電子部品Ｗ４）が存在することがある。これは、電子部品列Ｒが水平に対して傾斜していた場合等に生じる現象である。この場合、上記（４）で撮像された画像Ｍの判別範囲Ｊ内には、図８（Ｂ）に示すように、被取得位置Ｐの左隣りに電子部品Ｗ（Ｗ４）が配されている。
【００３０】
（６）そこで、解析手段１６は、上記（４）で撮像された画像Ｍを基に、判別範囲Ｊ内の被取得位置Ｐから送り方向Ｔの位置に電子部品Ｗ（Ｗ１又はＷ４）が配されていることを検知した際、コレット上確認用撮像手段２８によって撮像された画像を基にして、電子部品Ｗ１の取得作業を完了して時計回りに４５度移動したコレット１２が電子部品Ｗ１を保持（吸着）しているか否かを判定する。ここで、解析手段１６は、コレット１２が電子部品Ｗ１を取得できなかったことを、コレット上確認用撮像手段２８によって撮像された画像のみを基に（即ち、シート上確認用撮像手段１５によって撮像された画像Ｍを利用することなく）、検知してもよい。そして、解析手段１６は、当該コレット１２に電子部品Ｗ１が保持されていないと判定した場合、当該コレット１２が電子部品Ｗ１を取得できなかったものとみなし、以下に記す（７）〜（１０）の処理が行われる。
一方、解析手段１６が、当該コレット１２に電子部品Ｗ１が保持されていると判定した場合、被取得位置Ｐに配されるべき電子部品Ｗ２が被取得位置Ｐに配されていない可能性があることを検知し（可能性があるとして）、コレット１２による電子部品Ｗ１の取得作業は停止される。
【００３１】
（７）解析手段１６は、コレット１２によって取得されなかった電子部品Ｗ１がウエハシートＳに残っていることを検出し、電子部品Ｗ１の位置を検知して、電子部品Ｗ１を被取得位置Ｐに配置するための指令信号を位置調整手段１１に送信すると共に、コレット支持体２３を反時計回りに移動させるための指令信号をモータ１９に送る。これによって、位置調整手段１１が、ウエハリング１３を（通常、送り方向Ｔの反対方向に配置ピッチＤ１個分）移動させて、電子部品Ｗ１を被取得位置Ｐに配置し、電子部品Ｗ１を取得できなかったコレット１２が、反時計回りに９０度移動して受取位置に配置される。
【００３２】
（８）受取位置に配されたコレット１２が電子部品Ｗ１の吸着動作を行った後、解析手段１６は、モータ１９に指令信号を送って、当該コレット１２を受取位置から時計回りに４５度移動させる。
【００３３】
（９）当該コレット１２が受取位置から時計回りに４５度移動した後、シート上確認用撮像手段１５による撮像が行われ、解析手段１６は、当該画像Ｍを基に、被取得位置Ｐに電子部品Ｗ１が残っているか否かを判定する。
【００３４】
（１０）解析手段１６は、被取得位置Ｐに電子部品Ｗ１が残っていないと判定した場合、モータ１９に指令信号を送って、電子部品Ｗ１を取得しているコレット１２を時計回りに４５度移動させると共に、上記（９）でシート上確認用撮像手段１５が撮像した画像Ｍを基に電子部品Ｗ２の位置を検出し、位置調整手段１１に指令信号を送って電子部品Ｗ２を被取得位置Ｐに配置させる。
一方、解析手段１６は、被取得位置Ｐに電子部品Ｗ１が残っていると判定した場合、モータ１９に指令信号を送り、上記（８）で電子部品Ｗ１の取得を試みたコレット１２を反時計回りに４５度移動させて受取位置に配置させる。そして、受取位置に配置されたコレット１２により再度、電子部品Ｗ１の取得が試みられる。
【００３５】
また、本実施の形態では、ウエハシートＳをウエハリング１３に取り付ける前に、電子部品ピックアップ装置１０とは別の装置が、ウエハシートＳに貼り付けられた各電子部品Ｗの電気特性を検査し、電気特性に問題ありと判定した電子部品ＷがウエハシートＳのどの位置に配されているかを示すマップデータを作成し、解析手段１６に送る。解析手段１６は、当該マップデータを基に、電気特性に問題ありと判定された電子部品Ｗについては、コレット１２に取得されないように位置調整手段１１を制御する。以下、電子部品Ｗ１、Ｗ３が電気特性に問題なしと判定され、電子部品Ｗ２が電気特性に問題ありと判定された場合の動作について説明する。
【００３６】
（１１）解析手段１６は、被取得位置Ｐに配された電子部品Ｗ１をコレット１２が取得している間に、図５（Ａ）に示すように、被取得位置Ｐに電子部品Ｗ１が配置されている状態で撮像された画像Ｍ（図５（Ｂ）参照）を基に、電子部品Ｗ３の位置を検出する。なお、電子部品Ｗ３は、電子部品Ｗ１と同じ高さで、電子部品Ｗ１から配置ピッチＤ２個分右側の正常位置に配されているとし、コレット１２による電子部品Ｗ１の取得が失敗したとする。
【００３７】
（１２）解析手段１６は、位置調整手段１１に指令信号を送り、位置調整手段１１にウエハシートＳを左方向に配置ピッチＤ２個分移動させ、図９（Ａ）に示すように、電子部品Ｗ３を被取得位置Ｐに配置させる。即ち、電気特性に問題ありと判定された電子部品Ｗ２が被取得位置Ｐに配置（一時停止）されないようにする。
【００３８】
（１３）電子部品Ｗ３が被取得位置Ｐに配置された状態で、シート上確認用撮像手段１５によって撮像された画像Ｍの判別範囲Ｊ内には、図９（Ｂ）に示すように、被取得位置Ｐに配された電子部品Ｗ３の左隣りに電子部品Ｗ２が存在し、電子部品Ｗ２の左隣りに電子部品Ｗ１が存在する。
【００３９】
（１４）解析手段１６は、図９（Ｂ）に示す画像Ｍを基に、電子部品Ｗ１がコレット１２に取得されなかったこと及び電子部品Ｗ１の位置を検出し、位置調整手段１１に指令信号を送って電子部品Ｗ１を被取得位置Ｐに配置させると共に、モータ１９に指令信号を送って電子部品Ｗ１の取得に失敗したコレット１２を受取位置に配置させる。
【００４０】
（１５）上記（８）〜（１０）と同様の手順によって、当該コレット１２による電子部品Ｗ１の再取得（必要に応じて、当該コレット１２による電子部品Ｗ１の再々取得）が試みられる。そして、電子部品Ｗ１の再取得後、上記（１２）に戻り、電子部品Ｗ１の再取得が成功したこと検出し、電子部品Ｗ３の取得を行う。
【００４１】
なお、電子部品列ＲにはウエハシートＳ内の所定位置を示すリファレンスチップが配されており、上記マップデータにはリファレンスチップがどの位置に設けられているかの情報が含まれている。リファレンスチップはコレット１２によって取得される対象ではないことから、リファレンスチップは、電気特性に問題ありと判定された電子部品Ｗ２と同様に扱われる。
【００４２】
また、Ｎ段目の電子部品列Ｒの最後の電子部品Ｗの取得が試みられた後に、Ｎ＋１段目の電子部品列Ｒの電子部品Ｗを被取得位置Ｐに配した状態でシート上確認用撮像手段１５による撮像を行った際、仮にＮ段目の電子部品列Ｒで最後に取得が試みられた電子部品ＷがウエハシートＳに残っていた場合、当該電子部品Ｗは、撮像された画像Ｍの判別範囲Ｊ内に収まっていることから、解析手段１６は、当該電子部品Ｗの取得失敗を検出し、位置調整手段１１及びモータ１９に指令信号を送って、当該電子部品Ｗの再取得を試みるようにする。
【００４３】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、ディスプレイは無くてもよい。そして、ディスプレイを設ける場合、判別範囲を表す視認物を画像に付加して表示するディスプレイの代わりに、判別範囲内に配された電子部品にマーク（例えば、電子部品の外縁に沿った枠や、電子部品の中心に配される丸印）を付して表示するディスプレイを採用してもよい。
【００４４】
また、取得されなかった電子部品を解析手段によって検出した後、当該電子部品のコレットによる再取得を行わないようにしてもよい。
そして、判別範囲には、被取得位置からシート送り方向の反対側に電子部品の配置ピッチ１個分未満の領域が確保されるように、シート上確認用撮像手段及び解析手段の各種設定を行っても良い。但し、この場合、被取得位置に配された電子部品のシート送り方向の反対側に配置された電子部品の正確な位置の検出を行えないこととなる。
【００４５】
また、部品検出手段を設ける必要はない。部品検出手段を設けない場合、解析手段は判別範囲内の被取得位置からシート送り方向の位置に電子部品が配されていることのみをもって、コレットが電子部品の取得に失敗したと判定することができる。
そして、部品検出手段を設ける場合、部品検出手段は、コレット上確認用撮像手段に限定されず、例えば、電子部品の取得作業を完了したコレットの先端部に電子部品が存在するか否かを検出し、その検出結果を信号として解析手段に送るセンサーであってもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１０：電子部品ピックアップ装置、１１：位置調整手段、１２：コレット、１３：ウエハリング、１４：部品取得ユニット、１５：シート上確認用撮像手段、１６：解析手段、１７、１７ａ、１８、１９：モータ、２０：ベース体、２１：回転軸、２２：アーム、２３：コレット支持体、２４：針状部材、２５：シート押し手段、２６、２７：プリズム、２８：コレット上確認用撮像手段、２９：ディスプレイ、Ｆ：枠、Ｊ：判別範囲、Ｍ、Ｍ’：画像、Ｄ：配置ピッチ、Ｐ：被取得位置、Ｒ：電子部品列、Ｓ：ウエハシート、Ｔ：送り方向、Ｗ、Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４：電子部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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