(57)【要約】      （修正有）【課題】可能な限り構造空間要求の少ない真空ポンプの提供。【解決手段】少なくとも一つの第一のローター１５を有する少なくとも一つの第一のポンプ段１２を有し、そしてその回転軸が、第一のローターのそれに対して特に同軸に配置されている少なくとも一つの第二のローターを有する少なくとも一つの第二のポンプ段１４を有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、その際、第一の、基本的に円形で、かつ第一のポンプ段に割り当てられた第一のインレット開口部１８と、基本的に長方形、または正方形の基本形状を有し、かつ第二のポンプ段に割り当てられた第二のインレット開口部２０が設けられており、第一及び第二のインレット開口部が真空ポンプの軸方向の正面に設けられており、そして第二のインレット開口部がタップチャネル２２を介してタップ開口部２４と接続されており、タップ開口部が第一及び第二のポンプ段の間に配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの第一のローター（１５）を有する少なくとも一つの第一のポンプ段（１２）を有し、そしてその回転軸が、第一のローターのそれに対して特に同軸に配置されている少なくとも一つの第二のローター（１５）を有する少なくとも一つの第二のポンプ段（１４）を有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、その際、第一の、基本的に円形で、かつ第一のポンプ段（１２）に割り当てられた第一のインレット開口部（１８）と、基本的に長方形、または正方形の基本形状を有し、かつ第二のポンプ段（２０）に割り当てられた第二のインレット開口部（２２）が設けられており、第一及び第二のインレット開口部（１８，２０）が真空ポンプの軸方向の正面に設けられており、そして第二のインレット開口部（２０）がタップチャネル（２２）を介してタップ開口部（２４）と接続されており、タップ開口部（２４）が第一及び第二のポンプ段（１２，１４）の間に配置されていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
第一のインレット開口部（１８）が、第一のローター（１５）と基本的に同じ大きさの直径を有するか、又は第一のローター（１５）よりわずかに大きな直径を有することを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
第一及び第二のインレット開口部（１８，２０）が基本的に一つの平面内に位置することを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
第二のインレット開口部（１８）の断面形状が、タップチャネル（２２）、及び／又はタップ開口部（２４）の断面形状に基本的に相応することを特徴とする請求項１から３の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
第二のインレット開口部（２０）の中心点から第一のインレット開口部（１８）の中心点の間隔が、第一及び／又は第二のローター（１５）の直径の１．２倍より短いことを特徴とする請求項１から４の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
レシーバーに対するポンプの固定の為のフランジ（２６）が、第一及び第二のインレット開口部（１８，２０）を有することを特徴とする請求項１から５の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
レシーバーに対するポンプの固定の為のフランジ（２６）が、真空ポンプのハウジングと一体に形成されていることを特徴とする請求項１から６の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
レシーバーに対するポンプの固定の為のフランジ（２６）が、奇数個の固定点（３２，３２’）、特に三つの固定点（３２，３２’）を有することを特徴とする請求項１から７の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
【請求項９】
レシーバーに対するポンプの固定の為のフランジ（２６）が、少なくとも一つの組立部分を有し、特に少なくとも一つの切り込みを有し、これが組立目的のため、相応して形成されたレシーバーの組立部分と協働し、特に、フランジの組立部分が、レシーバーの組立部分内へと挿入可能であるよう形成されていることを特徴とする請求項１から８の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】
タップチャネル（２２）のチャネル軸（２８）が、第一及び／又は第二のローター（１５）の回転軸に対して基本的に平行に配置されていることを特徴とする請求項１から９の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
【請求項１１】
タップチャネル（２２）のチャネル軸（２８）が、第一及び／又は第二のローター（１５）の回転軸に対して基本的に傾斜して配置されていることを特徴とする請求項１から１０の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
【請求項１２】
タップ開口部（２４）が、基本的に長方形又は正方形の基本形状を有することを特徴とする請求項１から１１の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
【請求項１３】
真空ポンプの、タップチャネル（２２）を有するハウジング部分（３２）が、ポンプ段（１２，１４）を有するハウジング部分（３１）と一体に形成されていることを特徴とする請求項１から１２の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって少なくとも一つの第一のローターを有する少なくとも一つの第一のポンプ段、及び少なくとも一つの第二のローターを有する少なくとも一つの第二のローターを有するものに関する。特に第二のローターの回転軸は、第一のローターのそれに同軸に配置されている。
【背景技術】
【０００２】
いわゆるスプリットフローポンプにおいては、二以上のタッピングが設けられていることが可能である。これらは異なる圧力レベルに割り当てられている。通常、両方のタッピングは相並んで配置されている。ポートとも称されるこれらタッピングの従来の円形の形状に基づいて、わずかならぬ構造空間要求が生じる。これらポートは、必要とされる最小断面積においては、任意に近く相並んで配置されれることが可能なわけではない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
よって本発明の課題は、冒頭に記載した形式のポンプであって、可能な限り構造空間要求の少ないものを完成することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
発明に従い、ポンプは、第一のポンプ段に割り当てられたインレット開口部を有する。この開口部は基本的に円形に形成されている。前記ポンプは第二のポンプ段に割り当てられた第二のインレット開口部を有する。その際、後者は、基本的に長方形、又は正方形の基本形状を有する。第一及び第二のインレット開口部は、真空ポンプの軸方向の正面に配置されている。第二のインレット開口部は、更に、タップチャネルを介してタップ開口部と接続されている。このタップ開口部は、ポンプの軸方向で見て、第一及び第二のポンプ段の間に配置されている。
【０００５】
第二のインレット開口部の長方形、又は正方形の基本形状によって、これらは（同じ大きさの断面積で）、第二のインレット開口部が円形状に形成されている場合よりも第一のインレット開口部の近くに配置されることが可能である。よって、両方のインレット開口部の両中心点は互いに近づくので、真空ポンプの構造空間要求は、ローターの回転軸に対して横切る方向、特に直角方向において減ぜられる。
【０００６】
特に、第一及び第二のローターは一つの共通なポンプ軸を有する。第一及び第二のローターは、更に、約３００ｌ／秒のポンプ性能を有するポンプにおけるのと同じ大きさの直径、例えば１００から１４０ｍｍの直径を有する。
【０００７】
本発明の別の実施形は、明細書、請求項、及び添付の図面に記載されている。
【０００８】
発明に係る真空ポンプはの実施形に従い、第一のインレット開口部は、第一のローターにおけるのと基本的に同じ大きさの直径、又は僅かに大きな直径を有する。これは、第一のローターと第一のインレット開口部をお互いに空間的に接近して配置することを可能とする。
【０００９】
別の実施形に従い、第一及び第二のインレット開口部は、基本的に一つの平面内に位置する。これは特に、冒頭に記載した回転軸に対して直角な平面である。この措置は、真空引きすべきシステムにおけるポンプの形状の接続部を簡易化する。
【００１０】
第二のインレット開口部の断面形状は、タップチャネル及び／又はタップ開口部の断面形状に基本的に相応する。タップチャネルの領域における、又はこれに割り当てられた開口部の領域における形状変化をできる限り避けることによって、渦の発生が減ぜられることが可能である。特にタップチャネルは、段、突出部、出っ張り等を有さない。
【００１１】
第一のインレット開口部の中心点の、第二のインレット開口部の中心点からの間隔が、第一及び／又は第二のローターの直径の１．２倍よりも小さいとき有利であることがわかった。
【００１２】
レシーバーに対するポンプの接続部の更なる簡易化は、レシーバーに対するポンプの固定の為のフランジが、第一及び第二のインレット開口部を有することによって達成される。
【００１３】
フランジ、特に上述したフランジは、レシーバーに対するポンプの固定の為、真空ポンプのハウジングと一体式に形成されていることが可能である。フランジは、レシーバーに対するポンプの固定の為、奇数個の固定点を有する。組みたての際、ポンプは、例えばまず二つの固定点に掛けられる。第三の固定点は、その際、ポンプの固定（「タイトニング（独語：Ｆｅｓｔｚｉｅｈｅｎ）」）の為に使用される。この措置は、組立を相当簡単にする。
【００１４】
レシーバーに対するポンプの固定の為のフランジは、少なくとも一つの組立部分を有することが可能である。これは特に一、又は複数の切り込みである。この切り込みは、組立目的の為、組立部分に補完的に形成されたレシーバーの組立部分と協働（相互作用）する。特に、フランジの組立部分は、レシーバーの組立部分内に挿入可能であるよう形成されている。例えば、ポンプはフランジに切り込みを有する。これによってポンプは組立の際、レシーバーのちょう架部内に押し込まれることが可能である。これによってポンプは、すでに保持され、そしてより簡単に本来の固定ねじによって固定され／挽きつけられることが可能である。より簡単な組立の為のこの切り込みは、簡単な孔部も可能である。
【００１５】
本発明に係る真空ポンプの別の実施形に従い、タップチャネルのチャネル軸は、第一及び／又は第二のローターの回転軸に対して基本的に平行に配置されている。しかしまた、チャネル軸を、上述した回転軸に対して傾斜して配置することも、これが各場合においてポンプの内部の流れ挙動の改善に通じる場合、可能である。多くの場合、この措置によって、つまり流れ抵抗（独語：Ｓｔｒｏｅｍｕｎｇｓｌｅｉｔｗｅｒｔ）の改善が図られ、そして失速はそれほど発生しない。
【００１６】
タップ開口部は、基本的に長方形、又は正方形の基本形状を有することが可能である。
【００１７】
ポンプの製造、又は組立の簡易化の為、真空ポンプのタップチャネルを有するハウジング部分は、ポンプ段を有するハウジング部分と一体に形成されていることが可能である。
【００１８】
以下に本発明を純粋に例示的に、添付の図面を参照しつつ有利な実施形に基づいて説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】発明に係る真空ポンプの実施形の断面図
【図２】発明に係る真空ポンプの別の実施形の接続フランジの上面図
【図３】発明に係る真空ポンプの実施形の断面図
【図４】発明に係る真空ポンプの実施形の断面図
【図５】発明に係る真空ポンプの実施形の断面図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１は、第一のポンプ段１２及び第二のポンプ段１４を有する真空ポンプ１０を示す。両ポンプ段１２，１４は同軸に配置され、そして其々複数のローター１５及び一つの共通のポンプ軸１６を有している。ポンプ軸１６は、図示されないモーターによって回転運動させられる。
【００２１】
真空ポンプ１０はいわゆるスプリットフローポンプである。このポンプは、第一のインレット開口部１８及び第二のインレット開口部２０を有する。第一のインレット開口部１８は第一のポンプ段１２に割り当てられている。つまり第一のポンプ段１２は、ポンプ１０と接続されるレシーバーからガスを吸引し、そして第二のポンプ段１４へと送る。
【００２２】
第二のインレット開口部２０は、タップチャネル２２を介してタップ開口部２４と接続している。このタップ開口部は、第一のポンプ段１２と第二のポンプ段１４の間に配置されている。つまり両方のインレット開口部１８，２０はことなる圧力レベルとなっている。
【００２３】
ポンプ１０をレシーバーに固定するために、接続フランジ２６が設けられている。表されている例においては、これは、レシーバーと接続される真空ポンプ１０の正面を形成する。これはポンプ１０のハウジング、又はハウジング部分と一体に形成されていることが可能である。しかしまた、ハウジング又は一若しくは複数のハウジング部分と接続可能な独立した部材としてこれに設けることも可能である。
【００２４】
図２はポンプ１０の正面を上面図として示す。接続フランジ２６は、基本的に長方形の基本形状を有する（丸められた角を有する長方形）。接続フランジ２６の他の幾何学的基本形状も考え得る。
【００２５】
両方のインレット開口部１８，２０を可能な限り近く相並んで配置することができるように、少なくとも第二のインレット開口部２０は基本的に長方形の基本形状を有する。同様に正方形の基本形状も採用されることが可能である。
【００２６】
第一のインレット開口部１８は、この例においては円形である。インレット開口部１８と、第一のポンプ段１２のローターの間で形状変化を避けるためである。これは、第一のポンプ段１２が、第一のインレット開口部１８の極めて近傍に配置されることが可能であるということに通じる。他には、ガスによって通過されることが可能である流れパスの形状変化の際にほぼ避けられない渦の発生が事実上排除される。
【００２７】
図２には、さらに固定ポンプ３２，３２’が見て取ることができる。相応するレシーバーにおけるポンプ１０の組立（組付け）の際、ポンプ１０はまず接続フランジ２６の長辺に配置される固定ポンプ３２に掛けられる。固定点３２’によって固定が行われると組み立て（組付け）は終了する。
【００２８】
形状変化によって引き起こされる渦を避けるために、多くの場合、タップ開口部２４、及び／又はタップチャネル２２の断面形状を、第二のインレット開口部２０に適合する、又は基本的に同じ形状に形成しさえするということは有利である。
【００２９】
特に、第二のインレット開口部２０の断面（つまりその面積Ａ１）は、基本的に、タップ開口部２４の面積Ａ２とちょうど同じ大きさが採用されることが意図され得る。
【００３０】
図３に見て取れるように、タップチャネル２２のチャネル軸２８は、基本的にポンプ軸１６の回転軸に対して平行に配置されている。ポンプ軸１６とチャネル軸２８の間の間隔Ｄは、第一のポンプ段１２のローター１５の直径の１．２倍よりも小さい。これはこの形成例においては、第二のポンプ段１４のローター１５のそれとちょうど同じ大きさである。
【００３１】
しかしポンプ軸１６とタップチャネル２２、又はその軸２８を平行に配置することは、必ずしも必須ではない。流れ抵抗の改善の為に、図５に示されているようにタップチャネル２２をポンプ１０の長手方向軸に対して傾斜して設けることが意図され得る。これによってハウジング部分３０も、チャネル２２と、ポンプ段１２，１４を収容するハウジング部分３１の間にくさび型に形成されることが可能であるので、その流れ下流の端部における失速（独語：Ｓｔｒｏｅｍｕｎｇｓａｂｒｉｓｓｅ）が減少されることが可能である。
【００３２】
ハウジング部分３１と、タップチャネル２２を形成するハウジング部分３２は、独立した部材であることが可能である。しかしまた、ポンプ１０のハウジングの一体式の態様も可能であり、多くの場合これは有利でもある。ハウジング、又はそのコンポーネント３０，３１，３２は例えば切削部材、及び／又は鋳造部材であることが可能である。
【符号の説明】
【００３３】
１０  真空ポンプ
１２  第一のポンプ段
１４  第二のポンプ段
１５  ローター
１６  ポンプ軸
１８  第一のインレット開口部
２０  インレット開口部
２２  タップチャネル
２４  タップ開口部
２６  接続フランジ
２８  チャネル軸
３０，３１，３２  ハウジング部分
３２，３２’  固定点
Ａ１，Ａ２  エリア
Ｄ  間隔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【外国語明細書】
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