(57)【要約】      （修正有）【課題】基板を複数枚に分けて配置することによりそれぞれの基板の面積を小さくし、それによって、小型化を図ることができるように工夫した機械式エンコーダを提供する。【解決手段】主動歯車と該主動歯車に噛合する複数の従動歯車とからなる歯車群と、歯車群の軸方向に直交し歯車群の軸方向に並んで配置された複数枚のセンサ基板２９，３９と、歯車群の軸方向に沿って配置された制御基板６１，６３と、を具備したものとなっており、つまり、従来一枚に纏められていた基板をセンサ基板２９，３９と制御基板６１，６３とに分け、且つ、センサ基板２９，３９の複数枚に分けることにより、一枚の大きな面積の基板をなくすことができ、それによって、小型化を図ることができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主動歯車と該主動歯車に噛合する複数の従動歯車とからなる歯車群と、
上記歯車群の軸方向に直交し上記歯車群の軸方向に並んで配置された複数枚のセンサ基板と、
上記歯車群の軸方向に沿って配置された制御基板と、
を具備したことを特徴とする機械式エンコーダ。
【請求項２】
請求項１記載の機械式エンコーダにおいて、
上記複数枚のセンサ基板は上記歯車群を挟んで軸方向両側に配置されていること特徴とする機械式エンコーダ。
【請求項３】
請求項１記載の機械式エンコーダおいて、
上記複数枚のセンサ基板は上記歯車群の軸方向方片側に配置されていることを特徴とする機械式エンコーダ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、
上記複数枚のセンサ基板は上記主動歯車用のメインセンサ基板と従動歯車用のサブセンサ基板であることを特徴とする機械式エンコーダ。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、
上記制御基板は複数枚であることを特徴とする機械式エンコーダ。
【請求項６】
請求項５記載の機械式エンコーダにおいて、
上記複数枚の制御基板は上記歯車群の軸方向に沿って対向・配置されていることを特徴とする機械式エンコーダ。
【請求項７】
請求項５記載の機械式エンコーダにおいて、
上記複数枚の制御基板は上記歯車群の軸方向に沿ってＬ型に配置されていることを特徴とする機械式エンコーダ。
【請求項８】
請求項５〜請求項７の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、
上記複数枚の制御基板はＣＰＵ基板とＦＰＧＡ基板であることを特徴とする機械式エンコーダ。
【請求項９】
請求項１〜請求項８の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、
上記主動歯車と上記複数の従動歯車の回転軸上に設置された磁石と、
上記磁石と対向し、上記複数のセンサ基板に設置された磁気センサと、
を具備していることを特徴とする機械式エンコーダ。
【請求項１０】
請求項９記載の機械式エンコーダにおいて、
上記磁石の周囲には磁気シールドが設置されていることを特徴とする機械式エンコーダ。
【請求項１１】
請求項１０記載の機械式エンコーダにおいて、
上記磁気シールドは多重であることを特徴とする機械式エンコーダ。
【請求項１２】
請求項１〜１１の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、
上記センサ基板と制御基板は可撓性を備えたシート状ケーブルによって着脱可能に接続されていることを特徴とする機械式エンコーダ。
【請求項１３】
モータと、
上記モータにより駆動される被駆動部と、
上記モータに連結された請求項１〜請求項１２の何れかに記載の機械式エンコーダと、
を具備したことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１４】
請求項１３記載のアクチュエータにおいて、
上記被駆動部はグリッパであることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機械式エンコーダとアクチュエータに係り、特に、基板を複数枚に分けて配置することによりそれぞれの基板の面積を小さくし、それによって、小型化を図ることができるように工夫したものに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の機械式エンコーダの構成を開示するものとして、例えば、特許文献１がある。
尚、特許文献１は本件特許出願人によるものである。
上記特許文献１に記載されているアクチュエータには機械式アブソリュートエンコーダが搭載されていて、この機械式アブソリュートエンコーダは概略次のような構成になっている。
まず、出力軸には回転角度センサが備えられた主動歯車が連結されている。この主動歯車には複数個の従動歯車が噛合・配置されている。上記複数個の従動歯車の回転角度は従動歯車用回転角度センサによってそれぞれ検出される。検出された各従動歯車の回転角度の組み合わせから上記主動歯車の回転数を検出する。一方、主動歯車の回転角度は上記回転角度センサにより検出される。そして、主動歯車の回転数と回転角度から上記アクチュエータのスライダの絶対位置を割り出す。
【０００３】
上記回転角度センサはエンコーダホイールと基板とから構成されていて、上記基板には、上記エンコーダホイールに光を照射するとともにその反射光を受光する光学センサと、制御用のＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ：中央処理装置）等の電子部品が実装されている。
又、上記機械式アブソリュートエンコーダ側には一枚の基板が設置されていて、この一枚の基板には上記従動歯車用回転角度センサは勿論のこと制御用のＣＰＵ等の電子部品が実装されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１１５２３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来の構成によると次のような問題があった。すなわち、上記機械式アブソリュートエンコーダの基板は一枚であり、その一枚の基板に従動歯車用回転角度センサは勿論のこと制御用のＣＰＵ等全ての電子部品が実装されているので、基板の面積が大きくなってしまい、機械式エンコーダの小型化ひいてはアクチュエータの小型化を阻害する要因になっていた。
【０００６】
本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、基板を複数枚に分けて配置することによりそれぞれの基板の面積を小さくし、それによって、小型化を図ることが可能な機械式エンコーダとそのような機械式エンコーダを組み込んだアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するべく本願発明の請求項１による機械式エンコーダは、主動歯車と該主動歯車に噛合する複数の従動歯車とからなる歯車群と、上記歯車群の軸方向に直交し上記歯車群の軸方向に並んで配置された複数枚のセンサ基板と、上記歯車群の軸方向に沿って配置された制御基板と、を具備したことを特徴とするものである。
又、請求項２による機械式エンコーダは、請求項１記載の機械式エンコーダにおいて、上記複数枚のセンサ基板は上記歯車群を挟んで軸方向両側に配置されていること特徴とするものである。
又、請求項３による機械式エンコーダは、請求項１記載の機械式エンコーダおいて、上記複数枚のセンサ基板は上記歯車群の軸方向方片側に配置されていることを特徴とするものである。
又、請求項４による機械式エンコーダは、請求項１〜請求項３の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、上記複数枚のセンサ基板は上記主動歯車用のメインセンサ基板と従動歯車用のサブセンサ基板であることを特徴とするものである。
又、請求項５による機械式エンコーダは、請求項１〜請求項４の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、上記制御基板は複数枚であることを特徴とするものである。
又、請求項６による機械式エンコーダは、請求項５記載の機械式エンコーダにおいて、上記複数枚の制御基板は上記歯車群の軸方向に沿って対向・配置されていることを特徴とするものである。
又、請求項７による機械式エンコーダは、請求項５記載の機械式エンコーダにおいて、上記複数枚の制御基板は上記歯車群の軸方向に沿ってＬ型に配置されていることを特徴とするものである。
又、請求項８による機械式エンコーダは、請求項５〜請求項７の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、上記複数枚の制御基板はＣＰＵ基板とＦＰＧＡ基板であることを特徴とするものである。
又、請求項９による機械式エンコーダは、請求項１〜請求項８の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、上記主動歯車と上記複数の従動歯車の回転軸上に設置された磁石と、上記磁石と対向し、上記複数のセンサ基板に設置された磁気センサと、を具備していることを特徴とするものである。
又、請求項１０による機械式エンコーダは、請求項９記載の機械式エンコーダにおいて、上記磁石の周囲には磁気シールドが設置されていることを特徴とするものである。
又、請求項１１による機械式エンコーダは、請求項１０記載の機械式エンコーダにおいて、上記磁気シールドは多重であることを特徴とするものである。
又、請求項１２による機械式エンコーダは、請求項１〜１１の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、上記センサ基板と制御基板は可撓性を備えたシート状ケーブルによって着脱可能に接続されていることを特徴とするものである。
又、請求項１３によるアクチュエータは、モータと、上記モータにより駆動される被駆動部と、上記モータに連結された請求項１〜請求項１２の何れかに記載の機械式エンコーダと、を具備したことを特徴とするものである。
又、請求項１４によるアクチュエータは、請求項１３記載のアクチュエータにおいて、上記被駆動部はグリッパであることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
以上述べたように本発明の請求項１による機械式エンコーダによると、主動歯車と該主動歯車に噛合する複数の従動歯車とからなる歯車群と、上記歯車群の軸方向に直交し上記歯車群の軸方向に並んで配置された複数枚のセンサ基板と、上記歯車群の軸方向に沿って配置された制御基板と、を具備した構成になっており、つまり、従来一枚に纏められていた基板をセンサ基板と制御基板とに分け、且つ、センサ基板を複数枚に分けることにより、一枚の大きな面積の基板をなくすことができ、それによって、小型化を図ることができる。
又、請求項２による機械式エンコーダによると、請求項１記載の機械式エンコーダにおいて、上記複数枚のセンサ基板は上記歯車群を挟んで軸方向両側に配置されており、このような構成において小型化を図ることができる。
又、請求項３による機械式エンコーダによると、請求項１記載の機械式エンコーダおいて、上記複数枚のセンサ基板は上記歯車群の軸方向方片側に配置されており、このような構成において小型化を図ることができる。
又、請求項４による機械式エンコーダによると、請求項１〜請求項３の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、上記複数枚のセンサ基板は上記主動歯車用のメインセンサ基板と従動歯車用のサブセンサ基板であり、このような構成において小型化を図ることができる。
又、請求項５による機械式エンコーダによると、請求項１〜請求項４の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、上記制御基板は複数枚であり、つまり、センサ基板だけでなく制御基板についてもこれを複数枚に分けるようにしているので、上記小型化をより効果的に図ることができる。
又、請求項６による機械式エンコーダによると、請求項５記載の機械式エンコーダにおいて、上記複数枚の制御基板は上記歯車群の軸方向に沿って対向・配置されており、このような構成において小型化を図ることができる。
又、請求項７による機械式エンコーダによると、請求項５記載の機械式エンコーダにおいて、上記複数枚の制御基板は上記歯車群の軸方向に沿ってＬ型に配置されており、このような構成において小型化を図ることができる。
又、請求項８による機械式エンコーダによると、請求項５〜請求項７の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、上記複数枚の制御基板はＣＰＵ基板とＦＰＧＡ基板であり、このような構成において小型化を図ることができる。
又、請求項９による機械式エンコーダによると、請求項１〜請求項８の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、上記主動歯車と上記複数の従動歯車の回転軸上に設置された磁石と、上記磁石と対向し上記複数のセンサ基板に設置された磁気センサと、を具備しているので、光学式のように発光部、受光部、コードホイールを必要とせず、磁石とセンサだけで部品点数を少なく構成できる。
又、請求項１０による機械式エンコーダによると、請求項９に記載の機械式エンコーダにおいて、上記磁石の周囲には磁気シールドが設置されているので、外部からの磁気の影響を回避することができ、エンコーダの小型化により各機構部品が近接配置された場合でも、磁気センサに対する磁気の影響を回避することができる。
又、請求項１１による機械式エンコーダによると、請求項１０記載の機械式エンコーダにおいて、上記磁気シールドは多重であるので、感度が良い磁気センサを使用した場合でも、外部からの磁気の影響を十分に回避することができる。
又、請求項１２による機械式エンコーダによると、請求項１〜１１の何れかに記載の機械式エンコーダにおいて、上記センサ基板と制御基板は可撓性を備えたシート状ケーブルによって着脱可能に接続されているので、複数に分けた各制御板の着脱作業も容易である。
又、請求項１３によるアクチュエータによると、モータと、上記モータにより駆動される被駆動部と、上記モータに連結された請求項１〜請求項１２の何れかに記載の機械式エンコーダと、を具備した構成になっているので、アクチュエータの小型化を図ることができる。
又、請求項１４によるアクチュエータによると、請求項１３記載のアクチュエータにおいて、上記被駆動部はグリッパであり、グリッパについては、直交ロボットや多関節ロボットのエンドエフェクタとして使用されるため小型化及び軽量化に対する要求が強く、極めて効果的である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本願発明の第１の実施の形態を示す図で、モータユニットをモータ側から視た斜視図である。
【図２】本願発明の第１の実施の形態を示す図で、モータユニットを機械式エンコーダ側から視た斜視図である。
【図３】本願発明の第１の実施の形態を示す図で、モータユニットの分解斜視図である。
【図４】本願発明の第１の実施の形態を示す図で、図１のＩＶ−ＩＶ断面図である。
【図５】本願発明の第１の実施の形態を示す図で、機械式エンコーダの分解斜視図である。
【図６】本願発明の第１の実施の形態を示す図で、図１のＶＩ−ＶＩ断面図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図７（ａ）はサブセンサ基板の表面図、図７（ｂ）は同上の背面図である。
【図８】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図８（ａ）はメインセンサ基板の表面図、図８（ｂ）は同上の背面図である。
【図９】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図９（ａ）はＣＰＵ基板の表面図、図９（ｂ）は同上の背面図である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１０（ａ）はＦＰＧＡ基板の表面図、図１０（ｂ）は同上の背面図である。
【図１１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１１（ａ）はアクチュエータの平面図、図１１（ｂ）はアクチュエータの正面図、図１１（ｃ）はアクチュエータの側面図である。
【図１２】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１２（ａ）はアクチュエータの一部を破断して示す平面図、図１２（ｂ）はアクチュエータの一部を破断して示す側面図である。
【図１３】本発明の第２の実施の形態を示す図で、モータユニットの斜視図である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態を示す図で、モータユニットの正面図である。
【図１５】本発明の第２の実施の形態を示す図で、モータユニットの平面図である。
【図１６】本発明の第２の実施の形態を示す図で、モータユニットの側面図である。
【図１７】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図１６のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図１乃至図１２を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。まず。モータユニット１があり、このモータユニット１は、モータ３と、機械式エンコーダ５、とから構成されている。上記モータ３は、モータケース６と、このモータケース６内に内装された図示しないステータと、このステータの内側に回転可能に内装されたロータ（図示せず）と、このロータに固着された出力軸７と、から構成されている。上記モータ３は小径であり、図１に示すように、例えば、ａ×ｂが２０ｍｍ×２０ｍｍである。
【００１１】
上記機械式エンコーダ５は次のような構成になっている。図５に示すように、まず、ケース１１があり、このケース１１内には主動歯車１３が内装されていて、この主動歯車１３の図５中上下には従動歯車１５、１７が噛合・配置されている。上記主動歯車１３、従動歯車１５、１７は、例えば、真鍮製或いはステンレス製である。上記主動歯車１３は主軸１９に固着されている。又、上記従動歯車１５、１７はそれぞれ従動軸２０、２２に固着されている。上記主軸１９、従動軸２０、２２は、非磁性体であるステンレスから構成されている。
又、図６に示すように、上記主軸１９は軸受２４、２４によって軸支されていて、上記従動軸２０は軸受２６、２６によって軸支されていて、上記従動軸２２は軸受２８、２８によって軸支されている。
【００１２】
上記ケース１１内にはサブ磁石２１、２３が内装されていて。これらサブ磁石２１、２３は上記従動軸２０、２２に固着されている。上記サブ磁石２１、２３は、例えば、希土類磁石（サマリウムコバルト磁石）製である。又、上記ケース１１内であって上記サブ磁石２１、２３の外周側にはシールド２５、２７が設置されている。
【００１３】
上記主軸１９の一端（図５中左側端）は上記ケース１１内を通りサブセンサ基板２９の貫通孔４７を介して突出・配置されていて、その先端にはカップリング３１が固着されている。
【００１４】
上記主動歯車１３及び従動歯車１５、１７からなる歯車群を挟んで上記ケース１１の反対側（図５中右側）にはカバー３３が設置されている。このカバー３３を挟んで上記歯車群の反対側にはベースシールド３４、メイン磁石３５が配置されている。上記メイン磁石３５は、例えば、希土類磁石（ネオジムボンド磁石）製であり、上記主軸１９に固着されている。又、上記メイン磁石３５の外周側にはメインシールド３７が設置されている。又、上記メイン磁石３５を挟んでベースシールド３４の反対側にはメインセンサ基板３９、ベースシールド４１が設置されている。上記ケース１１、上記カバー３３は、例えば、樹脂（ポリアミド樹脂）製である。又、上記ベースシールド３４、メインシールド３７は、ベースシールド４１は、例えば、鉄ニッケル合金（パーマロイ）製である。
【００１５】
上記サブセンサ基板２９の背面側には上記従動歯車１５、１７の回転角度を検出するためのサブ磁気センサ４３、４５が実装されており、サブ磁気センサ４３、４５はそれぞれサブ磁石２１、２３と対向するように配置されている。又、上記サブセンサ基板２９の表面側にはコネクタ４９が設置されている。サブ磁気センサ４３、４５は、例えば、ＧＭＲ（Ｇｉａｎｔ  ＭａｇｎｅｔｏＲｅｓｉｓｔｉｖｅ：巨大磁気抵抗）センサである。
【００１６】
上記メインセンサ基板３９の背面側には主動歯車１３の回転角度を検出するためのメイン磁気センサ５１が設置されており、メイン磁気センサ５１はメイン磁石３５と対向するように配置されている。又、上メインセンサ基板３９の正面側にはコネクタ５３が設置されている。メイン磁気センサ５１は、例えば、ＴＭＲ（Ｔｕｎｎｅｌ  ＭａｇｎｅｔｏＲｅｓｉｓｔａｎｃｅ：トンネル磁気抵抗）センサである。ＴＭＲセンサは感度が良く、外部からの磁気の影響を回避するため、本実施の形態では、メインシールド３７、ベースシールド３４、４１により主軸１９の軸と直角方向に多重シールド構造となっている。
【００１７】
又、図１乃至図３に示すように、上記ケース１１の外側であって上記歯車群の軸方向に沿った両側には、制御基板としてのＣＰＵ基板６１、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ：書換可能論理素子）基板６３が設置されている。上記ＣＰＵ基板６１の表側にはＣＰＵ６５が実装されているとともにコネクタ６７が取り付けられている。又、上記ＣＰＵ基板６１の背面側にもコネクタ６９が設置されている。
【００１８】
又、上記ＦＰＧＡ基板６３の表側にはＦＰＧＡ７１、ＡＤＣ（Ａｎａｌｏｇ  ｔｏ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ：アナログ・デジタル変換回路）７３が実装されているとともに、コネクタ７５、７７が設置されている。又、上記ＦＰＧＡ基板６３の背面側にはコネクタ７９が設置されている。
【００１９】
上記サブセンサ基板２９のコネクタ４９と上記ＣＰＵ基板６１のコネクタ６９は可撓性を備えたシート状ケーブル８１を介して接続されている。上記ＣＰＵ基板６１のコネクタ６７と上記ＦＰＧＡ基板６３のコネクタ７５も同様のシート状ケーブル８３を介して接続されている。上記ＦＰＧＡ基板６３のコネクタ７７と上記メインセンサ基板３９のコネクタ５３も同様のシート状ケーブル８５を介して接続されている。
【００２０】
又、上記主軸１９は上記カップリング３１を介して既に説明したモータ１の出力軸７に連結されている。
【００２１】
上記構成をなす機械式エンコーダ５では、まず、主動歯車１３の回転角度がメイン磁気センサ５１によって検出される。一方、従動歯車１５、１７の回転角度はサブ磁気センサ４３、４５によって検出される。上記サブ磁気センサ４３、４５の検出信号により上記従動歯車１５、１７の回転角度を検出し、その回転角度の組み合わせから上記主動歯車１３の回転数を検出する。この回転数と上記主動歯車１３の回転角度から、後述するアクチュエータのスライダの絶対位置を割り出す。
【００２２】
又、図１１乃至図１３に示すように、上記モータユニット１はアクチュエータ９１に内装されている。本実施の形態ではアクチュエータ９１としてグリッパを例に挙げて説明する。まず、ケース９３があり、このケース９３内に上記モータユニット１が内装されている。
【００２３】
又、上記ケース９３内には一対のスライダ９５、９５が離接可能に収容されている。すなわち、上記ケース９３内には図示しないネジが内装されていて、このネジの一端にはタイミングプーリ（図示せず）が固着されている。一方、図１２に示すように、上記モータ１の出力軸７にも別のタイミングプーリ９７が固着されている。上記図示しないプーリとプーリ９７にはタイミングベルト９９か巻回されている。上記モータ３を正転・逆転させることにより上記ネジを同方向に回転させる。
【００２４】
上記ネジに図示しない一対のナットが螺合・配置されている。上記ネジの両端の螺旋の向きは逆向きになっており。それに対応するように、上記一対のナットの螺旋の向きも逆向きになっている。既に説明したスライダ９５、９５はこれら一対のナットにそれぞれ固着されている。そして、上記モータ３を正転・逆転させることにより上記ネジを同方向に回転させ、それによって、それぞれのナットを介して上記一対のスライダ９５、９５を離接させる。上記一対のスライダ９５、９５には図示しない把持用フィンガが固着される。
尚、図中符号１０１、１０３は図示しないコントローラまで延長・敷設されるケーブルである。
【００２５】
以上の構成を基にその作用を説明する。
まず、機械式エンコーダ５の作用から説明する。まず、モータ３の回転より出力軸７が回転し、出力軸７の回転によりカップリング３１を介して主軸１９が回転する。主軸１９の回転により主動歯車１３が回転し、それによって、従動歯車１５、１７が回転する。上記主軸１９の回転よりメイン磁石３５が回転し、従動歯車１５、１７の回転により従動軸２０、２２を介してサブ磁石２１、２３が回転する。
【００２６】
上記主動歯車１３の回転角度は上記メイン磁石３５とメインセンサ基板３９に実装されているメイン磁気センサ５１によって検出される。一方、従動歯車１５、１７の回転角度はサブ磁石２１、２３とサブセンサ基板２９に実装されているサブ磁気センサ４３、４５とによって検出される。上記サブ磁気センサ４３、４５によって検出される従動歯車１５、１７の回転角度の組み合わせから主動歯車１３の回転数が検出される。検出された主動歯車１３の回転数と回転角度から上記一対のスライダ９５、９５の絶対位置を割り出す。
【００２７】
次に、アクチュエータ９１としての作用を説明する。モータ３を適宜正転・逆転させることにより、ネジ及び一対のナットを介してスライダ９５、９５が離接せられる。それによって、それら一対のスライダ９５、９５に取り付けられた図示しない把持用フィンガによるワークの把持、把持解除が実行される。
【００２８】
以上、本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、機械式エンコーダ５の小型化を図ることができる。これは、従来１枚に纏めていた基板を複数に分け、それぞれの基板の面積を小さくした状態で配置するようにしたからである。具体的には、メインセンサ基板３９、サブセンサ基板２９、ＣＰＵ基板６１、ＦＰＧＡ基板６３の４枚に分け、それぞれを適所に配置するようにしたからである。
特に、本実施の形態の場合には、基板を制御用とセンサ用に分けるだけでなく、それらをさらに二つに分けており、結局、従来１枚に纏めていた基板を４枚に分けるようにしているので、その効果も高い。また、基板を制御用とセンサ用とに分けることで、磁気の影響やモータの熱の影響等を考慮して基板配置の自由度も増加させることができる。
又、メインセンサ基板３９、サブセンサ基板２９、ＣＰＵ基板６１、ＦＰＧＡ基板６３は、可撓性を備えたシート状ケーブル８１、８３、８５を介して接続されているので、接続作業も容易であり、且つ、広いスペースを要することもない。
又、機械式エンコーダ５は勿論のことモータ３を含んだモータユニット１も小型化されるので、アクチュエータ９１としてのグリッパも小型化される。
【００２９】
次に、図１３乃至図１７を参照して本発明の第２の実施の形態を説明する。前記第１の実施の形態の場合には、サブ磁石２１、２３とメイン磁石３５が、歯車群を挟んで反対側に設置されている構成を例に挙げて説明したが、この第２の実施の形態の場合には、サブ磁石２１、２３とメイン磁石３５を歯車群に対して軸方向の片側に配置した構成を例に挙げて説明するものである。
すなわち、図、特に、図１７に示すように、サブ磁石２１、２３とメイン磁石３５が、歯車群の図中右側に配置されている。それに伴って、サブセンサ基板２９も歯車群の図中右側に配置されている。
尚、その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同じであり、図中同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
【００３０】
このような構成でも前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができる。
又、サブセンサ基板２９とメインセンサ基板３９が近接・配置されることになるので、接続作業がより簡単なものとなる。
【００３１】
尚、本発明は前記第１、第２の実施の形態に限定されるものではない。
例えば、前記第１、第２の実施の形態の場合には、基板をセンサ用と制御用に分け、それらをさらに２つに分けて配置するようにしているが、それに限定されるものではない。
例えば、センサ用と制御用に分割する構成、センサ用と制御用に分割してセンサ用のみをさらに分割する構成、センサ用と制御用に分割して制御用のみをさらに分割する構成、等様々な構成が想定される。
又、前記第１、第２の実施の形態の場合には、分割した一対の制御基板をケースの側面に対向・配置させたが、ケースの側面と下面にＬ字状に配置するようなことも考えられる。
又、前記第１、第２の実施の形態の場合には、アクチュエータの一例としてグリッパを例に挙げて説明したが、それに限定されるものではない。
その他、図示した構成はあくまで一例である。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明は、機械式エンコーダとアクチュエータに係り、特に、基板を複数枚に分けて配置することによりそれぞれの基板の面積を小さくし、それによって、小型化を図ることができるように工夫したものに関し、例えば、グリッパの駆動部に好適である。
【符号の説明】
【００３３】
１３  主動歯車（歯車群の一部）
１５  従動歯車（歯車群の一部）
１７  従動歯車（歯車群の一部）
２９  サブセンサ基板（センサ基板）
３９  メインセンサ基板（センサ基板）
６１  ＣＰＵ基板（制御基板）
６３  ＦＰＧＡ基板（制御基板）
９１  アクチュエータ
９５  スライダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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