(57)【要約】【課題】レーザー装置本体の破損を防止できるレーザー装置および測定システムを提供する。【解決手段】測定システム１００は、ＣＭＭ８とレーザー装置１とを備える。レーザー装置１は、レーザー装置本体１０と、レーザー装置本体１０に接続されたケーブルと、ケーブルに加えられる外力を検出する外力センサ６と、外力センサ６が閾値以上の外力を検出したときに、警告信号Ｓａを出力する警告信号出力部７３とを備える。ＣＭＭ８は、レーザー装置本体１０が載置されるテーブルと、レーザー装置本体１０から出射されるレーザー光が照射される移動体を支持する支持機構と、移動体がテーブルに対して相対移動するようにテーブルまたは支持機構を駆動する駆動部８８と、駆動部８８を制御する駆動制御部９３とを備え、駆動制御部９３は、警告信号Ｓａを受信したときに駆動部８８を停止させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー装置本体と、
前記レーザー装置本体に接続されたケーブルと、
前記ケーブルに加えられる外力または前記レーザー装置本体の変位を検出するセンサと、
前記センサが閾値以上の前記外力または前記変位を検出したときに、警告信号を出力する警告信号出力部と、を備えることを特徴とするレーザー装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザー装置において、
前記レーザー装置本体は、前記ケーブルの一部が固定されるパネルを有し、前記センサは、前記ケーブルに加えられる前記外力として前記パネルの歪みを検出することを特徴とするレーザー装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレーザー装置において、
前記センサは、前記パネルに取り付けられ、前記パネルの歪みを検出する歪みセンサであることを特徴とするレーザー装置。
【請求項４】
請求項２に記載のレーザー装置において、
前記センサは、前記パネルに対向するように配置され、前記パネルの歪みとして前記パネルの部分的な変位を検出する直線変位センサであることを特徴とするレーザー装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のレーザー装置と位置決め装置とを備える測定システムであって、
前記位置決め装置は、
前記レーザー装置本体が載置されるテーブルと、
前記レーザー装置本体から出射されるレーザー光が照射される移動体を支持する支持機構と、
前記移動体が前記テーブルに対して相対移動するように、前記テーブルまたは前記支持機構を駆動する駆動部と、
前記駆動部を制御する駆動制御部と、を備え、
前記駆動制御部は、前記警告信号を受信したときに前記駆動部を停止させることを特徴とする測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー装置および当該レーザー装置を有する測定システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、三次元測定機（ＣＭＭ；Coordinate Measuring Machine）や工作機械等、テーブルに対する任意の座標に移動体（プローブや工具等）を位置決め可能な位置決め装置において、位置決めの空間精度を補正または検査するために、追尾式レーザー干渉計等のレーザー装置を利用することが知られている（特許文献１参照）。
例えば特許文献１には、追尾式レーザー干渉計を用いてＣＭＭの空間精度補正を行う方法が開示されている。この方法では、ＣＭＭのＺスピンドル先端に移動体としてのレトロリフレクタを取り付け、レトロリフレクタの座標を変えながら、ＣＭＭによるレトロリフレクタの座標値の取得と、追尾式レーザー干渉計によるレトロリフレクタまでの距離の測定とをそれぞれ行い、空間補正パラメータを求める。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４７７６４５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述したようなレーザー装置と位置決め装置とを備える測定システムでは、位置決めの空間精度を補正または検査するとき、以下の問題がある。
レーザー装置のうち、レーザー光を出入力するレーザー装置本体は、位置決め装置のテーブル上に載置され、このレーザー装置本体は、テーブル外に設置される機器に対してケーブルを介して接続される。
しかし、レーザー装置本体から延びるケーブルは、位置決め装置のベースや移動体の支持機構等に引っかかる場合がある。この場合、レーザー装置本体のケーブル接続部分に過度な力が加わったり、レーザー装置本体がケーブルに引っ張られてテーブルから転落したりすることにより、レーザー装置本体が破損する可能性がある。
【０００５】
本発明の目的は、レーザー装置本体の破損を防止できるレーザー装置および測定システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のレーザー装置は、レーザー装置本体と、前記レーザー装置本体に接続されたケーブルと、前記ケーブルに加えられる外力または前記レーザー装置本体の変位を検出するセンサと、前記センサが閾値以上の前記外力または前記変位を検出したときに、警告信号を出力する警告信号出力部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明のレーザー装置は、テーブル上の任意の座標に移動体を位置決めする位置決め装置について、その位置決め精度の補正または検査を行うときに利用される。
なお、位置決め装置とはＣＭＭや工作機械等であり、移動体とはプローブや工具等が装着される主軸等である。
【０００８】
本発明のレーザー装置を用いて移動体の位置決め精度の補正や検査等を行うとき、レーザー光を出入力するレーザー装置本体は、位置決め装置のテーブルに載置され、ケーブルを介してテーブル外の機器に接続される。このとき、ケーブルを介してレーザー装置本体に閾値以上の外力が加わったり、ケーブルに加わった外力によってレーザー装置本体が閾値以上にテーブルに対して変位（移動）したりした場合、警告信号出力部が警告信号を出力する。
警告信号を受信した位置決め装置は、外力の発生原因である可能性が高いテーブルまたは支持機構の移動を停止することができる。これにより、レーザー装置本体がケーブルに過度に引っ張られたり、ひいてはレーザー装置本体がテーブルから転落したりすることを防止し、レーザー装置本体の破損を防止することができる。
【０００９】
本発明のレーザー装置において、前記レーザー装置本体は、前記ケーブルの一部が固定されるパネルを有し、前記センサは、前記ケーブルに加えられる外力として、前記パネルの歪みを検出することが好ましい。
本発明では、パネルの歪みの閾値を適切に設定することにより、レーザー装置本体が実際に移動を開始する前に、警告信号を出力することができる。これにより、レーザー装置の破損をより確実に防止できる。また、テーブルに対するレーザー装置本体の配置変化を防止することができるため、レーザー装置の測定精度を保つことも可能である。
【００１０】
本発明のレーザー装置において、前記センサは、前記パネルに取り付けられ、前記パネルの歪みを検出する歪みセンサであってもよい。
【００１１】
本発明のレーザー装置において、前記センサは、前記パネルに対向するように配置され、前記パネルの歪みとして前記パネルの部分的な変位を検出する直線変位センサであってもよい。
【００１２】
本発明は、前述の前記レーザー装置と位置決め装置とを備える測定システムであって、前記位置決め装置は、前記レーザー装置本体が載置されるテーブルと、前記レーザー装置本体から出射されるレーザー光が照射される移動体を支持する支持機構と、前記移動体が前記テーブルに対して相対移動するように、前記テーブルまたは前記支持機構を駆動する駆動部と、前記駆動部を制御する駆動制御部と、を備え、前記駆動制御部は、前記警告信号を受信したときに前記駆動部を停止させることを特徴とする。
本発明の測定システムによれば、前述した本発明のレーザー装置と同様の効果が得られる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、レーザー装置本体の破損を防止できるレーザー装置および測定システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る測定システムの概略構成を示す斜視図。
【図２】前記第１実施形態に係る測定システムの概略構成を示す機能ブロック図。
【図３】前記第１実施形態に係るレーザー装置を示す斜視図。
【図４】ＣＭＭの調整を行うときのレーザー装置の動作を説明するフローチャート。
【図５】本発明の第２実施形態に係るレーザー装置を示す側面図。
【図６】前記第２実施形態に係るレーザー装置を示す平面図。
【図７】本発明の第３実施形態に係るレーザー装置を示す部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態について図面を参照して説明する。
図１および図２に示すように、本実施形態の測定システム１００は、レーザー装置１と、本発明の位置決め装置に相当するＣＭＭ８とを備える。測定システム１００では、ＣＭＭ８が移動体であるレトロリフレクタ９を位置決めする際の位置決め精度の補正又は検査を行うために、レーザー装置１がレトロリフレクタ９までの距離を測定する。
【００１６】
〔ＣＭＭの構成〕
図１および図２を参照して、ＣＭＭ８の構成を簡単に説明する。
ＣＭＭ８は、ベース８１と、ベース８１に設置されたテーブル８２と、ベース８１に立設された支持機構８３と、支持機構８３を駆動する駆動部８８と、ＣＭＭ制御部９０とを備えている。
【００１７】
テーブル８２は、ベース８１に対してＹ方向に移動可能に構成されている。ＣＭＭ８による通常の測定時、テーブル８２の上面にはワークが載置されるが、測定システム１００による空間精度補正や精度検査が行われる時、テーブル８２の上面にはワークの替わりにレーザー装置１のレーザー装置本体１０が載置される。
【００１８】
支持機構８３は、Ｘ軸方向に横架された門型のコラム８４と、コラム８４に対してＸ軸方向にスライド可能に設けられたスライダ８５と、スライダ８５に対してＺ軸方向に摺動可能に設けられたスピンドル８６とを備える。また、支持機構８３には、スライダ８５およびスピンドル８６の各位置を検出する複数の検出器（不図示）が設けられている。
【００１９】
ＣＭＭ８による通常の測定時、スピンドル８６の先端部には、ワークの輪郭形状を倣い測定するプローブが取り付けられるが、測定システム１００による空間精度補正や精度検査が行われる時、スピンドル８６の先端部にはプローブの替わりにレトロリフレクタ９が取り付けられる。
【００２０】
駆動部８８は、テーブル８２および支持機構８３をそれぞれ駆動する複数のモータ等によって構成される。駆動部８８が、テーブル８２または支持機構８３を移動させることにより、移動体としてのレトロリフレクタ９は、テーブル８２に対して相対移動する。
【００２１】
ＣＭＭ制御部９０は、例えばＰＣ等のデータ処理装置１０１によって構成され、データ処理装置１０１が所期の制御用ソフトウェアを実行することで、ＣＭＭ制御部９０の所期の機能が実現する。ＣＭＭ制御部９０は、座標測定部９１、補正演算部９２および駆動制御部９３などを有する。
【００２２】
座標測定部９１は、支持機構８３に設けられた各検出器からレトロリフレクタ９の座標を測定する。補正演算部９２は、距離測定部７１および座標測定部９１の各測定データに基づいて、空間精度補正のための演算を行う
駆動制御部９３は、駆動部８８を制御することで、テーブル８２や支持機構８３の各移動を制御する。また、駆動制御部９３は、レーザー装置１から後述の警告信号Ｓａを受信した場合、駆動部８８を停止させる。
【００２３】
〔レーザー装置の構成〕
図２および図３を参照して、レーザー装置１の構成を説明する。
レーザー装置１は、ＣＭＭ８のテーブル８２上に載置されるレーザー装置本体１０と、テーブル８２外に設置されたデータ処理装置１０１によって構成される制御部７とを備えている。レーザー装置本体１０は、ベース２と、ベース２に設置された支持機構３と、支持機構３を駆動する駆動部４と、支持機構３に支持された測定ヘッド５と、外力センサ６とを備えている。
【００２４】
ベース２は、内側に配線等を収容するケースとして構成されており、ベース２の側面の一部を構成するパネル２１には、ケーブル２３の一部が固定されている。
【００２５】
支持機構３は、Ｚ方向に平行な軸Ａ１周りにベース２に対して回転可能な第１支持部３１と、第１支持部３１に対して軸Ａ１に直交する軸Ａ２周りに回転可能な第２支持部３２とを有している。軸Ａ１と軸Ａ２との交点は、レーザー装置１による測定基準点Ｒとなる。また、支持機構３には、第１支持部３１および第２支持部３２の各回転角度（測定ヘッド５の方位角および仰角）を検出する複数の検出器（不図示）が設けられている。
駆動部４は、第１支持部３１および第２支持部３２を各軸周りに駆動するモータ等によって構成され、測定ヘッド５の方位角および仰角をそれぞれ変化させることができる。
【００２６】
測定ヘッド５は、支持機構３の第２支持部３２に支持されており、レーザー干渉計５１および光軸検出部５２を備えている。
レーザー干渉計５１は、駆動部４によって決定された方角に向けてレーザー光（照射光）を照射すると共に、レトロリフレクタ９で再帰反射されたレーザー光（反射光）を受光し、照射光と反射光との干渉光を検出する。そして、レーザー干渉計５１は、測定基準点Ｒからレトロリフレクタ９までの距離の変化を検出する。
光軸検出部５２は、レーザー干渉計５１の出射光と反射光との光軸とのずれ量を検出する。
【００２７】
外力センサ６は、本発明のセンサであって、パネル２１に取り付けられ、パネル２１に生じる歪みの大きさである歪み量Ｆを検出する歪みセンサである。外力センサ６は、例えば公知の半導体歪みセンサまたはストレインゲージとして構成される。
レーザー干渉計５１、光軸検出部５２および外力センサ６によってそれぞれ検出される情報は、各検出信号としてケーブル２３を介して、制御部７に入力される。
【００２８】
制御部７は、ＣＭＭ制御部９０と同様、データ処理装置１０１によって構成され、データ処理装置１０１が所期の制御用ソフトウェアを実行することで、制御部７の所期の機能が実現する。制御部７は、距離測定部７１、駆動制御部７２、警告信号出力部７３および通知部７４などを有する。
【００２９】
距離測定部７１は、レーザー干渉計５１から出力される検出信号に基づき、測定基準点Ｒからレトロリフレクタ９までの距離を測定する。
駆動制御部７２は、光軸検出部５２から出力される検出信号に基づき、出射光と反射光との光軸のずれ量が０となるように、駆動部４をフィードバック制御する。なお、駆動制御部７２から出力される制御信号は、ケーブル２３を介してレーザー装置本体１０に入力される。
【００３０】
警告信号出力部７３は、外力センサ６から入力される歪み量Ｆが所定の閾値Ｓｆ以上であるとき、ＣＭＭ制御部９０および通知部７４に対して警告信号Ｓａを出力する。閾値Ｓｆは、例えば、レーザー装置本体１０がテーブル８２に対して移動を開始する歪み量Ｆの値を予め実験等によって求めておき、当該値と同程度か、または、当該値よりも低い値に設定されることが好ましい。
【００３１】
通知部７４は、警告信号Ｓａを受信した場合、警告信号Ｓａが出力されたこと（ＣＭＭ８の空間精度補正動作が停止されたこと）を使用者に知らせる通知を、データ処理装置１０１の表示部１０２に表示させる。なお、通知部７４による通知手段は、表示部１０２への表示に限られず、信号灯の点灯またはメールの送信であってもよい。
【００３２】
〔レーザー装置１の動作〕
ＣＭＭ８の位置決め精度を補正又は検査するための測定システム１００の基本的な動作は従来技術と同様である。簡単に説明すると、ＣＭＭ８では、駆動制御部９３が駆動部８８を制御してレトロリフレクタ９の座標を順次変更しつつ、座標測定部９１が各測定位置におけるレトロリフレクタ９の座標を測定する。一方、レーザー装置１では、駆動制御部７２が駆動部４をフィードバック制御することにより、レーザー干渉計５１が移動するレトロリフレクタ９にレーザー光を照射し続け、距離測定部７１が各測定位置におけるレトロリフレクタ９までの距離を測定する。必要なデータ群が測定された後、ＣＭＭ８の補正演算部９２は、測定されたデータ群に基づいて空間精度パラメータの算出を行う。
【００３３】
本実施形態のレーザー装置１は、ＣＭＭ８の位置決め精度の補正又は検査のための動作が開始すると同時に、レーザー装置本体１０の破損を防止するための動作を開始する。この動作について、図４に示すフローチャートを参照して説明する。
【００３４】
まず、外力センサ６が、パネル２１に生じる歪みの大きさである歪み量Ｆの測定を開始し、警告信号出力部７３に出力する（ステップＳ１）。警告信号出力部７３は、入力された歪み量Ｆが所定の閾値Ｓｆ以上であるか否かを判別する（ステップＳ２）。
【００３５】
ここで、歪み量Ｆが閾値Ｓｆを超える場合、以下のような原因が生じていると考えられる。
例えば、ケーブル２３がＣＭＭ８のベース８１等に引っかかっている場合、レトロリフレクタ９の座標を変えるためにテーブル８２が移動すると、ケーブル２３に外力が加わり、レーザー装置本体１０を引っ張る。このとき、ケーブル２３の一部が固定されたパネル２１にも外力が加わり、パネル２１には、ケーブル２３の固定部分を中心としてケーブル２３側に凸状となる歪みが生じる。
【００３６】
ステップＳ２において、警告信号出力部７３は、歪み量Ｆが閾値Ｓｆ以上である場合、ＣＭＭ８および通知部７４に警告信号Ｓａを出力する（ステップＳ３）。一方、歪み量Ｆが閾値Ｓｆ未満である場合、警告信号出力部７３は、歪み量Ｆが閾値Ｓｆ以上になるまで、ステップＳ２を繰り返す。
【００３７】
ステップＳ３の後、ＣＭＭ８では、駆動制御部９３が警告信号Ｓａを受信して駆動部８８を停止させる。これにより、テーブル８２および支持機構８３は、移動していた場合には、その移動を停止する。
また、ステップＳ３の後、通知部７４が警告信号Ｓａを受信して、表示部１０２に使用者への通知を表示させる（ステップＳ４）。
【００３８】
以上により、図４に示すフローチャートが終了する。使用者は、表示部１０２に表示された通知を確認することにより、ケーブル２３の状態等を確認してから、ＣＭＭ８の空間精度補正を再開させることができる。
【００３９】
〔第１実施形態の効果〕
本実施形態によれば、ケーブル２３に所定値以上の外力が加わったとき、ケーブル２３に加わる外力の発生原因である可能性が高いテーブル８２の移動が停止される。このため、レーザー装置本体１０がケーブル２３に過度に引っ張られたり、ひいてはレーザー装置本体１０がテーブル８２から転落したりすることが防止される。これにより、レーザー装置１の破損を防止することができる。
【００４０】
本実施形態では、外力センサ６がレーザー装置本体１０のパネル２１の歪みを検出することにより、ケーブル２３に加わる外力を検出している。このため、パネル２１の歪みの閾値Ｓｆを適切に設定することにより、レーザー装置本体１０が実際に移動を開始する前にテーブル８２の移動を停止させ、ケーブル２３の状態を確認することができる。これにより、レーザー装置１の破損をより確実に防止することができる。また、テーブル８２に対するレーザー装置本体１０の配置変化を防止することができ、レーザー装置１の測定精度を保つことができる。
【００４１】
本実施形態では、補正演算部９２は、警告信号Ｓａを受信した時点の直前の期間に距離測定部７１に測定されたデータを、外力の影響を受けた可能性の高いデータとして、他の測定データとは分けて取り扱うことができる。これにより、補正演算部９２は、より信頼性の高い空間精度パラメータの算出を行うことができる。
【００４２】
本実施形態では、後述する第３実施形態に比べて、テーブル８２の表面性状の影響を受けることがない。このため、ケーブル２３に加えられる外力をより高精度に検出することができ、レーザー装置本体１０の破損をより確実に防止できる。
【００４３】
〔第２実施形態〕
本発明の第２実施形態について、図５および図６を参照して説明する。
第２実施形態は、レーザー装置本体１０Ａに設けられる外力センサ６Ａの構成が第１実施形態と異なる他は、第１実施形態と同様の構成を有する。このため、以下では、外力センサ６Ａの構成について説明し、他の構成については同符号を付して説明を省略する。
【００４４】
外力センサ６Ａは、パネル２１の歪みにより生じるパネル２１の部分的な変位を検出する直線変位センサである。外力センサ６Ａは、パネル２１のいずれかの部位に対向するように、好ましくはパネル２１におけるケーブル２３の接続部位の近傍に対向するように配置され、ベース２の底部を構成するベースプレート２２に対してホルダ２６を介して固定されている。外力センサ６Ａとしては、例えばスケール、差動トランス、電磁誘導、超音波、静電容量またはレーザーを使用した公知の直線変位センサを利用することができる。
なお、図５および図６に例示される外力センサ６Ａは、差動トランス式の直線変位センサであり、その両端がパネル２１およびホルダ２６に接続されている。
【００４５】
外力センサ６Ａによって検出された変位量Ｄは、ケーブル２３を介して警告信号出力部７３に入力される。警告信号出力部７３は、第１実施形態と同様に、変位量Ｄが所定の閾値Ｄｆ以上であるとき、ＣＭＭ制御部９０に対し、警告信号Ｓａを出力する。閾値Ｄｆの設定方法は、第１実施形態の閾値Ｓｆの設定方法と同様である。
以上の第２実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００４６】
〔第３実施形態〕
本発明の第３実施形態について、図７を参照して説明する。
第３実施形態は、本発明のセンサとして、第１実施形態の外力センサ６の替わりに、変位センサ６Ｂが設けられる他は、第１実施形態と同様の構成を有する。このため、以下では、変位センサ６Ｂの構成について説明し、他の構成については同符号を付して説明を省略する。
【００４７】
変位センサ６Ｂは、テーブル８２に対するレーザー装置本体１０Ｂの変位を検出する２次元変位センサである。変位センサ６Ｂは、例えばベース２のベースプレート２２の下面に形成された凹部２２０に設置される。
【００４８】
変位センサ６Ｂによって検出された変位量Ｍは、ケーブル２３を介して警告信号出力部７３に入力される。警告信号出力部７３は、第１実施形態と同様に、変位量Ｍが所定の閾値Ｍｆ以上であるとき、ＣＭＭ制御部９０に対して警告信号Ｓａを出力する。この閾値Ｍｆは、レーザー装置本体１０がテーブル８２から転落しないように十分に小さい値に設定されることが好ましい。
【００４９】
以上の第３実施形態によれば、レーザー装置本体１０Ｂがケーブル２３に引っ張られて移動したとしても、レーザー装置本体１０Ｂがテーブル８２から転落する前に、レーザー装置本体１０Ｂの移動を止めることができる。これにより、レーザー装置本体１０Ｂがテーブル８２から転落することを防止できる。
第３実施形態は、レーザー装置本体１０のある程度の移動を許容するものであり、レーザー装置本体１０が転落しない程度の移動であれば、ＣＭＭ８の空間精度補正を継続することができる。
【００５０】
〔変形例〕
本発明は前述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲の変形等は本発明に含まれる。
【００５１】
前記実施形態では、警告信号Ｓａを受信した駆動制御部９３が、テーブル８２および支持機構８３を駆動する駆動部８８を停止させているが、駆動部８８のうち、少なくともテーブル８２を駆動する機能を停止させることにより、レーザー装置本体１０がテーブル８２から転落することを十分に防止できる。
【００５２】
前記実施形態では、ＣＭＭ８がテーブル移動型の装置であるが、コラム移動型の装置であってもよい。すなわち、駆動制御部９３は、警告信号Ｓａを受信したとき、少なくともコラム８４を駆動する駆動部８８を停止するように構成されてもよい。
【００５３】
前記実施形態では、警告信号出力部７３が、データ処理装置１０１によって構成されているが、レーザー装置本体１０，１０Ａ，１０Ｂが備える回路等によって構成されてもよい。
前記実施形態では、本発明の測定システムを構成する位置決め装置としてＣＭＭ８を例示しているが、これに限られず、例えば他の形式の測定装置や工作機械などであってもよい。
前記発明のレーザー装置は、ＣＭＭ８などの位置決め装置と共に用いられることに限定されない。例えば、他の装置の動作によってレーザー装置のケーブルが引っ張られる可能性がある場合、警告信号に基づいて当該装置の動作を停止することにより、本発明の効果が発揮される。
【符号の説明】
【００５４】
１…レーザー装置、１０，１０Ａ，１０Ｂ…レーザー装置本体、１００…測定システム、１０１…データ処理装置、１０２…表示部、２…ベース、２１…パネル、２２…ベースプレート、２２０…凹部、２３…ケーブル、２６…ホルダ、３…支持機構、３１…第１支持部、３２…第２支持部、４…駆動部、５…測定ヘッド、５１…レーザー干渉計、５２…光軸検出部、６，６Ａ…外力センサ、６Ｂ…変位センサ、７…制御部、７１…距離測定部、７２…駆動制御部、７３…警告信号出力部、７４…通知部、８…ＣＭＭ（位置決め装置）、８１…ベース、８２…テーブル、８３…支持機構、８４…コラム、８５…スライダ、８６…スピンドル、８８…駆動部、９…レトロリフレクタ、９０…ＣＭＭ制御部、９１…座標測定部、９２…補正演算部、９３…駆動制御部、Ａ１，Ａ２…軸、Ｒ…測定基準点、Ｓａ…警告信号。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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