(57)【要約】      （修正有）【課題】安価で、耐食性を有し、センサのサイズを大きくすることなく、従来よりもセンシング測定精度が向上したセンサ、及び前記センサの製造方法を提供する。【解決手段】絶縁性支持体２の片面上に、複数の電極と、複数の電極を被覆して接する感応物質４とを少なくとも備え、複数の電極は、導電性基材の片面に複数の凹凸部を有し、かつ複数の凹凸部が炭素膜で被覆されてなり、感応物質４はフィルム状または板状であって、複数の電極と接する面は凹凸部において凸部分のみと接しており、凹部分は空隙となっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
特定成分と電気化学反応または化学反応を行う感応物質を備えたセンサであって、
絶縁性支持体の片面上に、複数の電極と、前記複数の電極を架橋して接する前記感応物質とを少なくとも備え、
前記複数の電極は、導電性基材の片面に複数の凹凸部を有し、かつ前記複数の凹凸部が炭素膜で被覆されてなり、
前記感応物質はフィルム状または板状であって、前記複数の電極と接する面は前記凹凸部において凸部分のみと接しており、凹部分は空隙となっている、
ことを特徴とするセンサ。
【請求項２】
前記複数の凹凸部がアディティブ法で作製されてなる、請求項１に記載のセンサ。
【請求項３】
前記複数の凹凸部がエッチング法で作製されてなる、請求項１に記載のセンサ。
【請求項４】
前記炭素膜が、溶融塩電気めっきで作製された炭素めっき膜である、請求項１〜３のいずれかに記載のセンサ。
【請求項５】
前記絶縁性支持体の材質が、ガラス、サファイア、チッ化ケイ素、炭化ケイ素のうち少なくとも１種である、請求項１〜４のいずれかに記載のセンサ。
【請求項６】
前記感応物質は、酸化物半導体、有機半導体、化合物半導体のうち少なくとも１種が含まれる、請求項１〜５のいずれかに記載のセンサ。
【請求項７】
前記電極に電気信号を入力する電気信号発生部と、
前記電極から電気信号を検出する電気信号検出部を備えている、請求項１〜６のいずれかに記載のセンサ。
【請求項８】
前記電気信号検出部により検出された測定結果を記録する記録部又は表示する表示部を備えている、請求項１〜７のいずれかに記載のセンサ。
【請求項９】
前記電気信号検出部により検出された測定結果を外部に出力する無線出力部、又は有線出力部の少なくとも一方を備えている、請求項１〜８のいずれかに記載のセンサ。
【請求項１０】
前記複数の凹凸部の高さが１μｍから１００μｍである、請求項１〜９のいずれかに記載のセンサ。
【請求項１１】
特定成分と電気化学反応または化学反応を行う感応物質を備えたセンサの製造方法であって、
少なくとも片面上に複数の凹凸部を有する導電性基材を準備する工程と、
前記導電性基材の導電性部位を炭素膜で被覆する工程と、
絶縁性基板の片面上に、前記導電性基材を複数設置する工程と、
前記感応物質によって前記導電性基材を被覆し、前記複数の凹凸部の凹部分に空隙を形成する工程と、
を有するセンサの製造方法。
【請求項１２】
前記複数の凹凸部をアディティブ法で作製する工程を含む、請求項１１に記載のセンサの製造方法。
【請求項１３】
前記複数の凹凸部をエッチング法で作製する工程を含む、請求項１１に記載のセンサの
製造方法。
【請求項１４】
前記炭素膜を溶融塩電気めっきで作製する工程を含む、請求項１１〜１３のいずれかに記載のセンサの製造方法。
【請求項１５】
前記導電性基材を１辺が１ｍｍから９０ｃｍの板状で準備する工程と、前記絶縁性支持体を１辺が５ｃｍから１００ｃｍの板状で準備する工程と、１辺が５ｍｍから１０ｃｍに切り分ける工程を含む、請求項１１〜１４のいずれかに記載のセンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、炭素電極を用いたセンサ及びセンシング技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
炭素素材は、安価で耐食性と導電性を有することから、有用な電極材料である。炭素素材の電極材料としてはＣＮＴ（カーボンナノチューブ）、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、ガラス状炭素（グラッシーカーボン）、導電性ダイヤモンド（ボロンドープダイヤモンド）などが知られている。これらの炭素素材の電極は、センサの電極としても数多く使用されている。
【０００３】
例えば特許文献１では、ＣＮＴ電極を用いてマウスＩｇＧ抗体、及びブタ血清アルブミンを検出している。また特許文献２では、導電性ダイヤモンド電極、又はＤＬＣ電極を用いて、ＤＮＡチップを作製している。また特許文献３では、ガラス状炭素電極を用いて過酸化水素を検出している。
【０００４】
このようなセンシング技術において、センシング測定精度向上は重要な課題であり、さらに高密度実装、携帯性の観点から、センサの小型化も求められている。
【０００５】
また、安価で耐食性を有し、かつセンシング測定精度向上と、センサの小型化とを満足する方法として、センサへの測定試料供給量の増大が挙げられる。これは即ち、センサ自体を大型化せずに測定の情報量を増加させて測定精度を向上させるためには、センサへの測定試料供給量を増大することが必要、ということである。
【０００６】
例えば従来例として図６に示すように、グラファイトやＣＮＴを用いたカーボンペースト電極２３を用いた流体濃度測定装置２４では、測定試料の流れ２２ｃで示すように、センサへの測定試料供給は、感応物質４の片面すなわち上面側に限られている。
【０００７】
また、蒸着法で作製されるＤＬＣ電極や、導電性ダイヤモンド電極では、前記カーボンペースト電極と同様に、センサへの測定試料供給は、感応物質４の片面に限られている。
【０００８】
また特許文献４の窒素ドープした多孔質炭素電極、及び特許文献５の有機高分子化合物を炭化して作製した多孔質炭素電極では、微細孔に測定試料を供給することはできるが、微細孔内の測定試料は流動性が低下してしまうため、センサへの測定試料供給量の増大は見込めない。
【０００９】
また、ガラス状炭素の場合は、微細加工コストが高い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許第４７７５２６２号公報
【特許文献２】特開２００６−３２２８１３号公報
【特許文献３】特開２００８−１９１２０号公報
【特許文献４】特許第６１７４７９０号公報
【特許文献５】特開２００５−４７７６３号公報
【特許文献６】特許第５１１２０１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記の通り既知の技術では、安価で、耐食性を有し、センシング測定精度の向上と、センサの小型化をすべて満足することは困難である。
【００１２】
本発明は上記課題を鑑みて創案されたものであり、安価で、耐食性を有し、センサのサイズを大きくすることなく、従来よりもセンシング測定精度が向上したセンサ、及びセンサの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題に対し、本発明者が鋭意検討を重ねた結果、表面に凹凸を有する導電性基材を１μｍ以上の厚さの連続した炭素膜で被覆し、２以上の前記炭素膜で被覆された導電性基材を電極とするセンサの前記凹部が空隙になるようにフィルム状の感応物質を貼り付けることにより、上記課題を解決できることを見出した。
【００１４】
そこで、本発明の主たる態様は、
特定成分と電気化学反応または化学反応を行う感応物質を備えたセンサであって、
絶縁性支持体の片面上に、複数の電極と、前記複数の電極を架橋して接する前記感応物質とを少なくとも備え、
前記複数の電極は、導電性基材の片面に複数の凹凸部を有し、かつ前記複数の凹凸部が炭素膜で被覆されてなり、
前記感応物質はフィルム状または板状であって、前記複数の電極と接する面は前記凹凸部において凸部分のみと接しており、凹部分は空隙となっている、
ことを特徴とするセンサである。
【００１５】
また本発明の他の一態様は、
特定成分と電気化学反応または化学反応を行う感応物質を備えたセンサの製造方法であって、少なくとも片面上に複数の凹凸部を有する導電性基材を準備する工程と、
前記導電性基材の導電性部位を炭素膜で被覆する工程と、
絶縁性基板の片面上に、前記導電性基材を複数設置する工程と、
前記感応物質によって前記導電性基材を被覆し、前記複数の凹凸部の凹部分に空隙を形成する工程と、を有するセンサの製造方法である。
【００１６】
さらに本発明は、
前記複数の凹凸部がアディティブ法で作製されていてもよい。
または、前記複数の凹凸部がエッチング法で作製されていてもよい。
または、前記炭素膜が、溶融塩電気めっきで作製された炭素めっき膜であってもよい。
【００１７】
本発明は、前記絶縁性支持体の材質が、ガラス、サファイア、チッ化ケイ素、炭化ケイ素のうち少なくとも１種であってもよい。
前記感応物質は、酸化物半導体、有機半導体、化合物半導体のうち少なくとも１種が含まれていてもよい。
【００１８】
本発明は、前記電極に電気信号を入力する電気信号発生部と、前記電極から電気信号を検出する電気信号検出部を備えていてもよい。
前記電気信号検出部により検出された測定結果を記録する記録部又は表示する表示部を備えていてもよい。
前記電気信号検出部により検出された測定結果を外部に出力する無線出力部、又は有線出力部の少なくとも一方を備えていてもよい。
前記複数の凹凸部の高さが１μｍから１００μｍであってもよい。
【発明の効果】
【００１９】
上記の構成を有することにより、
前記電極の複数の凹凸部の凹部分が空隙となることで測定試料（ガス又は液体）となる流体の流路となり、ここで感応物質と電気化学反応または化学反応を起こす。これにより、安価で、耐食性を有し、センサのサイズを大きくすることなく、従来技術よりも測定試料の供給量が増大し、センシング測定精度を向上させたセンサが提供できる。
【００２０】
また、本発明の製造方法によって、特に高価な材料や製造プロセスを用いずに、またセンサのサイズを大きくせずに、電極の凹凸部の空隙を流路とすることで測定試料の供給量が増大したセンサが製造できる。これにより、安価で、センサのサイズを大きくすることなく、従来よりもセンシング測定精度が向上したセンサの製造方法が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るセンサを概略的に示す図。
【図２】図１に示すセンサの製造方法を概略的に示す図。
【図３】本発明の第２実施形態に係るセンサを概略的に示す図。
【図４】図３に示すセンサの製造方法を概略的に示す図。
【図５】本発明の第３実施形態に係る流体濃度測定装置を略的に示す図
【図６】カーボンペースト電極を用いた流体濃度測定装置を略的に示す図
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明のセンサの一態様について説明する。
基本的な構成としては、例えば図１および図３に示すように、流体センサ１ａまたは１ｂは、絶縁性支持体２の片面上に炭素膜で被覆された炭素電極３ａまたは３ｂが複数設置されている。複数の炭素電極３ａまたは３ｂの上に、フィルム状または板状の感応物質４が架橋するように電極に接して設置されている。感応物質４が炭素電極３ａまたは３ｂと接する側に凹凸部が形成され、凸部分が感応物質４と接して、凹部分は空隙となっており、この空隙が流路５である。
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図を参照しながら説明する。なお、重複する説明を省略するべく、添付図では、同一又は類似の機能を発揮する構成要素には同一の符号を付している。また、説明中に示す各部の寸法は一例であり、使用目的や測定試料の種類等の各種条件によって適宜変更可能である。
【００２４】
＜第１実施形態＞
まず第１実施形態として、導電性基材の加工をアディティブ法で行う事例を示す。
図１は、本発明の第１実施形態に係る流体センサ１ａの一例を概略的に示す斜視図であり、図２は、同流体センサ１ａの製造工程を概略的に示す斜視図である。流体センサ１ａは電気化学センサであり、測定試料としては例えば呼気中のアルコール、血液中のグルコースなどを使用する。
【００２５】
図１に示すように、流体センサ１ａは、板状の絶縁支持体２と、絶縁支持体２の片面に配置された、アディティブ法で作製され片面に凹凸を設けた２以上の炭素電極３ａと、前記２以上の炭素電極３ａのそれぞれを架橋する感応物質４と、炭素電極３ａと感応物質４との間に形成された空隙からなる流路５とを備えている。
【００２６】
流体センサ１ａは、流路５を備えていることにより、感応物質４への測定試料の供給量を増やす効果がある。すなわち、板状の感応物質４の上面だけでなく、その下面も流路５に接するため感応する面積が増える。これにより、感応物質４への測定試料の供給量を増やすことで、センシング測定精度の向上が見込まれる。各炭素電極３ａは、後述する外部
の測定器等に接続されている。
【００２７】
流体センサ１ａは、例えば図２のような工程（Ａ１）〜（Ｊ１）で製造される。
＜流体センサ１ａの製造工程＞
（Ａ１）幅５ｍｍ、長さ２ｃｍ、厚さ５００μｍのステンレス板６を準備する工程、
（Ｂ１）ステンレス板６の少なくとも片面７にショットブラストにより粗化処理を行う工程、
（Ｃ１）ステンレス板６の前記粗化処理された片面７に厚さ３０μｍのポジ型フォトレジスト８を塗布する工程、
（Ｄ１）フォトレジスト８に露光線幅２０μｍ、非露光線幅２０μｍの縞模様のパターンを露光する工程、
（Ｅ１）露光されたフォトレジスト８ａを現像して、縞模様のフォトレジスト８ｂを形成する工程、
（Ｆ１）ステンレス板６の前記粗化処理された片面７のフォトレジスト８ｂが無い部分に、電気めっきにより厚さ２０μｍの銅膜９を形成する工程、
（Ｇ１）フォトレジスト８ｂを剥離して、片面に銅膜９の縞模様の凹凸を有するステンレス板６を得る工程、
（Ｈ１）前記片面に銅膜９の縞模様の凹凸を有するステンレス板６の表面に、１μｍ以上の連続した炭素膜１０を被膜形成する工程、
（Ｉ１）前記１μｍ以上の連続した炭素膜１０で被覆された前記片面に縞模様の凹凸を有する２つの炭素電極３ａを、５００μｍの間隔を開けて、互いに平行になるよう保持し、前記縞模様の凹凸の無い面を、幅１５ｍｍ、長さ２４ｍｍ、厚さ１ｍｍの絶縁支持体２の片面上に固定する工程、
（Ｊ１）絶縁支持体２の片面に固定された前記２つの炭素電極３ａを架橋するように、且つ前記縞模様の凹凸の凹部を充填しないようにフィルム状の感応物質４を貼り付ける工程、
によって製造される。
【００２８】
粗化処理される導電性基材の材質は、ステンレス板６以外の材質であってもよく、例えばアルミ板であってもよい。ステンレス板６のサイズは、幅５ｍｍ、長さ２ｃｍ、厚さ５００μｍに限られない。ステンレス板６の表面を粗化処理する方法は、ショットブラストに限られず、例えば化学的粗化処理であってもよい。
【００２９】
ステンレス板６の粗化処理された面７に、フォトレジスト８を密着させる方法は、塗布以外の方法であってもよく、例えば貼り付けでもよい。フォトレジスト８は、ネガ型でもよい。フォトレジスト８の厚さは、２μｍから１００μｍとし、好ましくは５μｍから３０μｍである。
【００３０】
フォトレジスト８への露光パターンは縞模様以外でもよく、例えばドット模様であってもよい。前記縞模様の露光線幅は２μｍから１００μｍとし、好ましくは５μｍから２０μｍである。前記縞模様の非露光線幅は２μｍから１００μｍとし、好ましくは５μｍから２０μｍである。
【００３１】
電気めっきで被覆する銅膜９の厚さは１μｍから１００μｍとし、好ましくは５μｍから３０μｍである。前記金属板の被電気めっき面を、化学的、物理的に粗化処理することで、前記金属板と、前記電気めっきで前記金属板を被覆する金属膜との、密着性が向上する。電気めっきで成膜される材質は、銅膜９以外であってもよく、例えばニッケル膜であってもよい。
【００３２】
炭素膜１０としては、例えば特許文献６のアイ’エムセップ社の溶融塩炭素めっき技術
が使用できる。このような炭素めっき技術を用いることで、凹凸部に対しても被覆性が良好で、緻密な膜が得られる。
【００３３】
絶縁支持体２の片面上に固定する炭素電極３ａの数は、２以上あればよく、炭素電極３ａ同士の間隔は、５００μｍに限られない。絶縁支持体２のサイズは、幅１５ｍｍ、長さ２４ｍｍ、厚さ１ｍｍに限られず、片面に炭素電極３ａを２以上設置できるサイズであればよい。
【００３４】
感応物質４は、酸化スズ、グルコースオキシターゼを含むペーストなどをとることができる。例えば、ペースト状のパルプに酸化スズ、グルコースオキシターゼなどを混入し、乾燥して作製された空隙の大きなフィルム状のろ紙を感応物質４とした場合、感応物質４へ測定試料を多く供給することができる。感応物質４と、炭素電極３ａとの密着方法は、貼り付け以外の方法であってもよく、例えば印刷でもよい。
【００３５】
例えば前記感応物質を、グルコースオキシターゼを含んだ物質にすると、前記センサはグルコースセンサとして使用することができる。例えば前記感応物質を、酸化スズとした場合は、前記センサは呼気中のアルコール濃度を測定するセンサとして使用することができる。
【００３６】
上記の通り作製した流体センサ１ａの感応物質４に、例えば気体の測定試料中で電気信号を印加した場合、感応物質４に反応する特定ガスが存在する場合と、そのような特定ガスが存在しない場合とで電気的特性が変化する為、特定ガスの濃度を測定することができる。
【００３７】
上記の製造方法により、前記絶縁支持体の片面上の前記片面に凹凸を有し前記１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜で被覆された前記金属板を電極とし、前記凹凸の凹部が流路となり、前記感応物質を有するセンサが得られる。前記空隙を測定試料（ガス又は液体）の流路とすることで、測定試料の供給量が増大しセンシング測定精度を向上させることができる。
【００３８】
これにより、安価で、耐食性を有し、電極のサイズを大きくすることなく、従来よりもセンシング測定精度が向上したセンサが達成される。
【００３９】
＜第２実施形態＞
第２実施形態として、導電性基材の加工をエッチング法で行う事例を示す。
図３は本発明の第２実施形態に係る流体センサ１ｂを概略的に示す斜視図であり、図４は流体センサ１ｂの製造工程を概略的に示す斜視図である。流体センサ１ｂは電気化学センサであり、測定試料としては例えば呼気中のアルコール、血液中のグルコースなどを使用する。
【００４０】
図３に示すように、流体センサ１ｂは、板状の絶縁支持体２と、絶縁支持体２の片面に配置されたエッチング法で作製した片面に凹凸が設けられた２以上の炭素電極３ｂと、前記２以上の炭素電極３ｂのそれぞれを架橋する感応物質４と、炭素電極３ｂと架橋する感応物質４との間に形成された空隙からなる流路５とを備えている。
【００４１】
流体センサ１ｂは、流路５を備えていることにより、感応物質４への測定試料の供給量を増やす効果がある。感応物質４への測定試料の供給量を増やすことで、センシング測定精度の向上が見込まれる。各炭素電極３ｂは、図示しない外部の測定器等に接続されている。
【００４２】
流体センサ１ｂは図４のような工程で製造される。
＜流体センサ１ｂの製造工程＞
（Ａ１）幅５ｍｍ、長さ２ｃｍ、厚さ５００μｍのステンレス板６を準備する工程、
（Ｃ２）ステンレス板６の片面に厚さ３０μｍのポジ型フォトレジスト８を塗布する工程、
（Ｄ２）フォトレジスト８に露光線幅２０μｍ、非露光線幅２０μｍの縞模様のパターンを露光する工程、
（Ｅ２）露光されたフォトレジスト８ａを現像し、縞模様のフォトレジスト８ｂを形成する工程、
（Ｆ２）ステンレス板６のフォトレジスト８が塗布された片面のフォトレジスト８ｂが無い部分を、異方性エッチング法にて、深さ１０μｍの溝６ａを形成する工程、
（Ｇ２）フォトレジスト８ｂを剥離して、片面に縞模様の凹凸を有するステンレス板６を得る工程、
（Ｈ２）前記片面に縞模様の凹凸を有するステンレス板６の表面に、１μｍ以上の連続した炭素膜１０を形成する工程、
（Ｉ２）２つの前記１μｍ以上の連続した炭素膜１０で被覆された前記片面に縞模様の凹凸を有する炭素電極３ｂを５００μｍの間隔を開けて、互いに平行になるよう保持し、前記縞模様の凹凸の無い面を、幅１５ｍｍ、長さ２４ｍｍ、厚さ１ｍｍの絶縁支持体２の片面上に固定する工程、
（Ｊ２）絶縁支持体２の片面に固定された前記２つの炭素電極３ｂを架橋するように、且つ前記縞模様の凹凸の凹部を充填しないように感応物質４を貼り付ける工程、
によって製造される。
炭素膜１０としては、例えば特許文献６のアイ‘エムセップ社の溶融塩炭素めっきが使用できる。
【００４３】
フォトレジスト８が塗布される材質は、ステンレス板６以外の材質であってもよく、例えばアルミ板であってもよい。ステンレス板６のサイズは、幅５ｍｍ、長さ２ｃｍ、厚さ５００μｍに限られない。ステンレス板６の片面に、フォトレジスト８を密着させる方法は、塗布以外の方法であってもよく、例えば貼り付けでもよい。フォトレジスト８は、ネガ型でもよい。フォトレジスト８の厚さは、２μｍから１００μｍとし、好ましくは５μｍから３０μｍである。
【００４４】
フォトレジスト８への露光パターンは縞模様以外でもよく、例えばドット模様であってもよい。前記縞模様の露光線幅は２μｍから１００μｍとし、好ましくは５μｍから２０μｍである。前記縞模様の非露光線幅は２μｍから１００μｍとし、好ましくは５μｍから２０μｍである。
【００４５】
エッチング方法は異方性としたが、等方性でもよい。溝６ａの深さは１μｍから１００μｍとし、好ましくは５μｍから３０μｍである。
【００４６】
絶縁支持体２の片面上に固定する炭素電極３ｂの数は、２以上あればよく、炭素電極３ｂ同士の間隔は、５００μｍに限られない。絶縁支持体２のサイズは、幅１５ｍｍ、長さ２４ｍｍ、厚さ１ｍｍに限られず、片面に炭素電極３ｂを２以上設置できるサイズであればよい。
【００４７】
感応物質４は、酸化スズ、グルコースオキシターゼを含むペーストなどをとることができる。例えば、ペースト状のパルプに酸化スズ、グルコースオキシターゼなどを混入し、乾燥して作製された空隙の大きなフィルム状のろ紙を感応物質４とした場合、感応物質４へ測定試料を多く供給することができる。感応物質４と、炭素電極３ｂとの密着方法は、貼り付け以外の方法であってもよく、例えば印刷でもよい。
【００４８】
＜第３実施形態＞
図５は本発明の第３実施形態に係る流体濃度測定装置１１を概略的に示す斜視図である。流体濃度測定装置１１は、センサ部１ａと制御部１２とを有する。
２つの炭素電極３ａは、それぞれ導線１３を介して制御部１２と電気的に接続している。制御部１２には、測定結果を表示する測定結果表示部１４、各部に電源を供給する電源部１５、電気信号を発生する電気信号発生部１６、電気信号を検出する電気信号検出部１７、測定結果を記録する記録部１８、測定結果を無線で出力する無線出力部１９、測定結果を有線で出力する有線出力部２０、流体濃度測定装置１１を操作する操作パネル２１が搭載されている。
【００４９】
本発明に係る流体濃度測定装置１１は流路５を備えている為、測定試料は測定試料の流れ２２ａのように感応物質４の片面（上側の面）に加えて、測定試料の流れ２２ｂのように流路５をも通ることができ、センサ部１ａへの測定試料供給量が増大し、センシング精度が向上する。
【００５０】
このように構成された流体濃度測定装置１１によれば、背景技術にて上述した流体濃度測定装置２４と同様の機能を有すると共に、電気信号の印加や測定を行うための、電源機能、電気信号発生機能、測定結果検出機能、測定結果を記録する機能、測定結果を表示する機能等は流体濃度測定装置１１に内蔵してもよく、外部装置としてもよい。
また測定結果を有線で出力する機能、測定結果を無線で出力する機能、流体濃度測定装置１１を制御する操作機能を備えていてもよい。更にはセンサ部１ａと、制御部１２とは、１つの筐体としてもよく、別々の筐体としてもよい。
【００５１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。また、各実施形態は適宜組み合わせて実施してもよく、その場合組み合わせた効果が得られる。更に、上記実施形態には種々の発明が含まれており、開示される複数の構成要件から選択された組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、課題が解決でき、効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【符号の説明】
【００５２】
１ａ：流体センサ、  １ｂ：流体センサ、  ２：絶縁支持体、
３ａ：炭素電極、  ３ｂ：炭素電極、  ４：感応物質、  ５：流路、
６：ステンレス板、  ６ａ：溝、  ７：粗化処理面、  ８：フォトレジスト、
８ａ：露光されたフォトレジスト、  ８ｂ：現像されたフォトレジスト、
９：銅膜、  １０：１μｍ以上の厚さの連続した炭素緻密膜、
１１：流体濃度測定装置、  １２：制御部、  １３：導線、
１４：測定結果表示部、  １５：電源部、  １６：電気信号発生部、
１７：電気信号検出部、  １８：記録部、  １９：無線出力部、
２０：有線出力部、  ２１：操作パネル、
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ：測定試料の流れ、
２３：カーボンペースト電極、
２４：流体濃度測定装置
【図１】
2019100871.tif 000003
【図２】
2019100871.tif 000004
【図３】
2019100871.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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