(57)【要約】【課題】クリーンブースにおける空気の設計風量不足を防ぐことができ、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができるクリーンブースを提供する。【解決手段】クリーンブース１０Ｂでは、外部空気給気口２８から作業ブース１２に給気される清浄空気（外部空気）によって外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４０に向かって前後方向（一方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、還気手段による還気風量に対応させてファンフィルターユニット１４（給気手段）から給気する空気の給気風量が調節され、第１出入口１３から作業ブース１２の内部に空気が逆流することなく作業ブース１２の内部の空気が第１出入口１３から流出する。【選択図】図８
2019100594.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
建造物の所定の箇所に施設されるクリーンブースにおいて、
前記クリーンブースが、所定の実験設備を収容可能であって所定の作業スペースを有する所定容積の作業ブースと、前記作業ブースに出入するために施設されて該作業ブースの内部の空気が流出する第１出入口と、前記作業ブースに外部空気を給気する外部空気給気口を有して該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させる給気手段と、前記実験設備を通流した空気を前記作業ブースに還気する還気手段および該実験設備を通流した空気を外部に排気する排気手段のうちの少なくとも該還気手段とを備え、
前記クリーンブースでは、前記外部空気給気口から前記作業ブースに給気される外部空気によって該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が該作業ブースの内部に発生し、前記第１出入口から前記作業ブースの内部に空気が逆流することなく、該作業ブースの内部の空気が該第１出入口から流出することを特徴とするクリーンブース。
【請求項２】
前記還気手段によって前記作業ブースに還気される空気の還気第１給気口が、前記外部空気給気口から給気された空気によって前記作業ブースの内部に発生した該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を逆流させることがない該作業ブースの所定の箇所に設置されている請求項１に記載のクリーンブース。
【請求項３】
前記クリーンブースが、前記建造物の内部に着脱可能に施設される天井パネルと、前記建造物の床と前記天井パネルとの間に着脱可能に施設されて前記作業ブースを囲繞する第１壁パネルとから形成され、前記外部空気給気口が、前記天井パネルに設置され、前記還気第１給気口が、前記外部空気給気口から給気された空気によって前記作業ブースの内部に発生した該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を逆流させることがない前記天井パネルの所定の箇所と、前記外部空気給気口から給気された空気によって前記作業ブースの内部に発生した該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を逆流させることがない前記第１壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されている請求項２に記載のクリーンブース。
【請求項４】
前記クリーンブースが、前記第１出入口につながって前記作業ブースから流出した空気が流入する所定容積の緩衝スペースと、前記緩衝スペースに出入するために施設されて該緩衝スペースの内部の空気が流出する第２出入口とを含み、前記クリーンブースでは、前記外部空気給気口から前記作業ブースに給気される外部空気によって該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が該作業ブースの内部に発生するとともに、前記第１出入口から前記第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が前記緩衝スペースに発生し、前記緩衝スペースを通流する空気が該第１出入口から前記作業ブースの内部に逆流することなく、前記作業ブースの内部の空気が前記第１出入口から前記緩衝スペースに流出する請求項１ないし請求項３いずれかにクリーンブース。
【請求項５】
前記還気手段によって前記緩衝スペースに還気される空気の還気第２給気口が、前記第１出入口から前記第２出入口に向かって前記緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない該緩衝スペースの所定の箇所に設置されている請求項４に記載のクリーンブース。
【請求項６】
前記クリーンブースが、前記建造物の床と前記天井パネルとの間に着脱可能に施設され、前記第１壁パネルに連結されて前記緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルを含み、前記還気第２給気口が、前記第１出入口から前記第２出入口に向かって前記緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない該緩衝スペースに対向する前記第１壁パネルの所定の箇所と、前記第１出入口から前記第２出入口に向かって前記緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない該緩衝スペースの天井パネルの所定の箇所と、前記第１出入口から前記第２出入口に向かって前記緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない前記第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されている請求項５に記載のクリーンブース。
【請求項７】
前記緩衝スペースが、前記第１出入口と前記第２出入口との間において該第１出入口から空気の流出方向へ延びているとともに、前記空気の流出方向と交差する方向へ延び、前記還気第２給気口が、前記空気の流出方向と交差する方向へ延びる前記緩衝スペースに対向する前記第１壁パネルの所定の箇所と、前記空気の流出方向と交差する方向へ延びる前記緩衝スペースの天井パネルの所定の箇所と、前記空気の流出方向と交差する方向へ延びる前記緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されている請求項６に記載のクリーンブース。
【請求項８】
前記第２出入口が、前記第１出入口に対向し、前記緩衝スペースを挟んで該第１出入口に対して一列に並んだ状態で施設され、前記還気第２給気口が、前記緩衝スペースに対向する前記第１壁パネルの所定の箇所と、前記第１および第２出入口の直上に位置する天井パネルを除く残余の天井パネルの所定の箇所と、前記緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されている請求項６または請求項７に記載のクリーンブース。
【請求項９】
前記第２出入口が、前記第１出入口に対向せず、前記緩衝スペースを挟んで該第１出入口に対して所定の角度傾斜した位置に施設され、前記還気第２給気口が、前記緩衝スペースに対向する前記第１壁パネルの所定の箇所と、前記第１および第２出入口の直上に位置する天井パネルを除く残余の天井パネルの所定の箇所と、前記緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されている請求項６または請求項７に記載のクリーンブース。
【請求項１０】
前記第２出入口が、前記第１出入口に対向せず、前記緩衝スペースの介在下に該第１出入口に対して略直交した位置に施設され、前記還気第２給気口が、前記緩衝スペースに対向する前記第１壁パネルの所定の箇所と、前記第１および第２出入口の直上に位置する天井パネルを除く残余の天井パネルの所定の箇所と、前記緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されている請求項６または請求項７記載のクリーンブース。
【請求項１１】
前記クリーンブースでは、該クリーンブースの外側における前記建造物の内部の気流の乱れ（外乱）が前記第２出入口に作用した場合、前記第２出入口に作用する気流の乱れによる影響が前記緩衝スペースによって緩和され、前記作業ブースの内部の空気が前記第１出入口から前記緩衝スペースに流出する請求項４ないし請求項１０いずれかに記載のクリーンブース。
【請求項１２】
前記建造物が、前記クリーンブースの外側に設置されて空調設備によって生成された空調空気を該建造物の内部に給気する空調空気給気口を備え、前記クリーンブースでは、前記空調空気給気口から給気された空調空気による気流の乱れ（外乱）が前記第２出入口に作用した場合、前記第２出入口に作用する気流の乱れによる影響が前記緩衝スペースによって緩和され、前記作業ブースの内部の空気が前記第１出入口から前記緩衝スペースに流出する請求項１１に記載のクリーンブース。
【請求項１３】
前記給気手段が、前記天井パネルに設置されたファンフィルターユニットであり、前記クリーンブースでは、前記ファンフィルターユニットの外部空気給気口から前記作業ブースに給気される外部空気によって該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が該作業ブースの内部に発生するとともに、前記第１出入口から前記第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が前記緩衝スペースに発生する請求項４ないし請求項１２いずれかに記載のクリーンブース。
【請求項１４】
前記実験設備が、安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバのうちの少なくとも１つであり、前記クリーンブースでは、前記外部空気給気口から前記作業ブースに給気される外部空気によって該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が該作業ブース内に発生するとともに、前記第１出入口から前記第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が前記緩衝スペースに発生するように、稼働した前記安全キャビネット、前記クリーンベンチ、前記グローブボックス、前記アイソレータ、前記ドラフトチャンバの還気風量と排気風量とのうちの少なくとも一方に対応させて前記ファンフィルターユニットの給気風量が調節される請求項１３に記載のクリーンブース。
【請求項１５】
前記クリーンブースが、イオン化空気を生成しつつ生成したイオン化空気を前記作業ブースと前記緩衝スペースとのうちの少なくとも一方に給気する除電用空気発生装置を含み、前記除電用空気発生装置によって給気されるイオン化空気のイオン化空気給気口が、前記安全キャビネット、前記クリーンベンチ、前記グローブボックス、前記アイソレータ、前記ドラフトチャンバで作業する作業者の直上に位置する前記天井パネルと、前記第１出入口から前記第２出入口に向かって前記緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない該緩衝スペースの天井パネルとのうちの少なくとも一方に設置されている請求項１４に記載のクリーンブース。
【請求項１６】
前記クリーンブースでは、前記外部空気給気口から前記作業ブースに給気される外部空気によって該外部空気給気口から前記第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が該作業ブースの内部に発生するとともに、前記第１出入口から前記第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が前記緩衝スペースに発生するように、前記還気手段による還気風量と前記排気手段による排気風量とのうちの少なくとも還気風量と前記除電用空気発生装置から給気されたイオン化空気の給気風量とに対応させて前記ファンフィルターユニットの給気風量が調節される請求項１５に記載のクリーンブース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、建造物の内部の所定の箇所に施設されるクリーンブースに関する。
【背景技術】
【０００２】
少なくともフレーム材で骨組みされる枠体と、枠体の周囲全体を被覆する被覆材とを備え、被覆材が気密性のある軟質シートから作られた天井部被覆材と周囲側面部被覆材とから形成され、天井部被覆材が枠体の天井部全体を被覆する天蓋部と天蓋部の周囲から下方に垂下して周囲側面部の上部側を被覆する垂下部から形成され、天井部被覆材と周囲側面部被覆材とがメカニカルファスナによって接続自在に連結されるクリーンブースが開示されている（特許文献１参照）。
【０００３】
また、安全キャビネット本体および排気還流ユニットから形成され、排気を利用する循環利用型の安全キャビネットが開示されている（特許文献２参照）。安全キャビネット本体は、キャビネット送風機の吐出プレナムの下部に位置する給気用ＨＥＰＡフィルタを利用してその内部の作業空間へ清浄給気を供給し、作業空間の空気を再びキャビネット送風機によって吸引・循環させ、作業空間から循環した空気の一部を吐出プレナムの上部に位置する排気用ＨＥＰＡフィルタを介して外部に排出することで、作業空間を負圧に維持し、前面のシャッター開口部から外部導入給気を取り入れてバリア空気とする。排気還流ユニットは、安全キャビネット本体の直上に配置され、安全キャビネット本体から排気用ＨＥＰＡフィルタを介して排出された空気を取り込む排気取込口を下面後部に備え、排気取込口から取り込まれた空気を安全キャビネット本体の前面のシャッターに沿って下方に吹き出す排気吹出口を下面前部に備えている。この安全キャビネットは、安全キャビネット本体の前面のシャッターに沿って下降する空気がシャッターの下端の開口部から負圧に維持された作業空間内に吸引されることによって、作業空間の空気が開口部から漏出するのを防止するバリア空気の全部または一部として循環利用される。
【０００４】
前記特許文献２に開示の安全キャビネットの排気還流ユニットには、排気還流ユニットを安全キャビネット本体の天井板上に配置して支持する４本の支持脚と、左側前後の支持脚間および右側前後の支持脚間に両支持脚に沿った間仕切りとが設置されている（特許文献１の図５参照）。排気還流ユニットでは、その排気吹出口から吹き出される空気がクリーンルーム内に漏れ出すのを両間仕切りによって防いでいる。この安全キャビネットでは、安全キャビネット本体の作業空間に安全キャビネット本体の前面から吸引・導入されるバリア空気の量が排気用ＨＥＰＡフィルタを通過する風量であり、その風量が排気吹出口から安全キャビネット本体の前面を下降する気流となって、着座作業エリアに給気される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３６０２６９号公報
【特許文献２】特開２０１５−１６６６４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記特許文献１に開示のクリーンブースは、作業者がその内部への入室時やその内部からの退室時にメカニカルファスナを操作して天井部被覆材と周囲側面部被覆材との連結を手作業で解除するとともに、天井部被覆材と周囲側面部被覆材とを連結しなければならず、入退室が煩雑になって入退室に手間を要するのみならず、入退室時に天井部被覆材や周囲側面部被覆材に体が接触することにより、塵埃や雑菌等の不純物がそれら被覆材や作業者の更衣に付着するリスクがある。
【０００７】
前記特許文献２に開示の排気還流ユニット（安全キャビネット本体）を施設したクリーンルーム内には空調装置（エアー・コンディショナー）が設置され、クリーンルームの壁に出入用のドア（扉）が設置される。作業者はハンズフリーで安全キャビネットにアクセスすることができる反面、その空調装置が稼働し、または、ドアが開閉されることで、クリーンルームの内部の気流が乱れ、気流の乱れ（外乱）が排気還流ユニットの開口域（出入口）に作用した場合、クリーンルームの内部の空気が排気還流ユニットの開口域から排気還流ユニットの内部に流入（逆流）する。クリーンルームの内部の空気が排気還流ユニットの内部に流入すると、クリーンルームの内部の空気が排気還流ユニットの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こし、排気還流ユニットの内部（安全キャビネット本体）の清浄状態を保持することができない場合がある。
【０００８】
本発明の目的は、作業ブースの内部に手間を要せず手を触れずに容易に入ることができるとともに、作業ブースの内部から手間を要せず手を触れずに容易に出ることができ、作業ブースの内部への入退出時における作業者への塵埃や雑菌の付着を防ぐことができるクリーンブースを提供することにある。本発明の他の目的は、実験設備を通流した空気をクリーンブースに還気することで、クリーンブースにおける給気空気の設計風量不足を防ぐことができ、建造物の内部の空気がクリーンブースの出入口から所定の実験設備を収容した作業ブースの内部に逆流することはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができるクリーンブースを・提供することにある。本発明の他の目的は、所定の要因によって建造物の内部に気流の乱れ（外乱）が発生し、建造物の内部に発生した気流の乱れが作用したとしても、建造物の内部の空気の作業ブースの内部への流入を防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができるクリーンブースを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための本発明の前提は、建造物の所定の箇所に施設されるクリーンブースである。
【００１０】
前記前提における本発明の特徴としては、クリーンブースが、所定の実験設備を収容可能であって所定の作業スペースを有する所定容積の作業ブースと、作業ブースに出入するために施設されて該作業ブースの内部の空気が流出する第１出入口と、作業ブースに外部空気を給気する外部空気給気口を有して外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させる給気手段と、実験設備を通流した空気を作業ブースに還気する還気手段および実験設備を通流した空気を外部に排気する排気手段のうちの少なくとも還気手段とを備え、クリーンブースでは、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生し、第１出入口から作業ブースの内部に空気が逆流することなく作業ブースの内部の空気が第１出入口から流出することにある。なお、部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するように、還気手段による還気風量と排気手段による排気風量とのうちの少なくとも一方に対応させて給気手段から給気する空気の給気風量を調節する場合がある。
【００１１】
本発明の一例としては、還気手段によって作業ブースに還気される空気の還気第１給気口が、外部空気給気口から給気された空気によって作業ブースの内部に発生した外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を逆流させることがない作業ブースの所定の箇所に設置されている。
【００１２】
本発明の他の一例としては、クリーンブースが、建造物の内部に着脱可能に施設される天井パネルと、建造物の床と天井パネルとの間に着脱可能に施設されて作業ブースを囲繞する第１壁パネルとから形成され、外部空気給気口が、天井パネルに設置され、還気第１給気口が、外部空気給気口から給気された空気によって作業ブースの内部に発生した外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を逆流させることがない天井パネルの所定の箇所と、外部空気給気口から給気された空気によって作業ブースの内部に発生した外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を逆流させることがない第１壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されている。
【００１３】
本発明の他の一例としては、クリーンブースが、第１出入口につながって作業ブースから流出した空気が流入する所定容積の緩衝スペースと、緩衝スペースに出入するために施設されて緩衝スペースの内部の空気が流出する第２出入口とを含み、クリーンブースでは、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生し、緩衝スペースを通流する空気が第１出入口から作業ブースの内部に逆流することなく、作業ブースの内部の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出する。なお、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生するように、還気手段による還気風量と排気手段による排気風量とのうちの少なくとも一方に対応させて給気手段から給気する空気の給気風量を調節する場合がある。
【００１４】
本発明の他の一例としては、還気手段によって緩衝スペースに還気される空気の還気第２給気口が、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペースの所定の箇所に設置されている。
【００１５】
本発明の他の一例としては、クリーンブースが、建造物の床と天井パネルとの間に着脱可能に施設され、第１壁パネルに連結されて緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルを含み、還気第２給気口が、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペースに対向する第１壁パネルの所定の箇所と、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペースの天井パネルの所定の箇所と、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されている。
【００１６】
本発明の他の一例としては、緩衝スペースが、第１出入口と第２出入口との間において第１出入口から空気の流出方向へ延びているとともに、空気の流出方向と交差する方向へ延び、還気第２給気口が、空気の流出方向と交差する方向へ延びる緩衝スペースに対向する第１壁パネルの所定の箇所と、空気の流出方向と交差する方向へ延びる緩衝スペースの天井パネルの所定の箇所と、空気の流出方向と交差する方向へ延びる緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されている。
【００１７】
本発明の他の一例としては、第２出入口が、第１出入口に対向し、緩衝スペースを挟んで第１出入口に対して一列に並んだ状態で施設され、還気第２給気口が、緩衝スペースに対向する第１壁パネルの所定の箇所と、第１および第２出入口の直上に位置する天井パネルを除く残余の天井パネルの所定の箇所と、緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されている。
【００１８】
本発明の他の一例としては、第２出入口が、第１出入口に対向せず、緩衝スペースを挟んで第１出入口に対して所定の角度傾斜した位置に施設され、還気第２給気口が、緩衝スペースに対向する第１壁パネルの所定の箇所と、第１および第２出入口の直上に位置する天井パネルを除く残余の天井パネルの所定の箇所と、緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されている。
【００１９】
本発明の他の一例としては、第２出入口が、第１出入口に対向せず、緩衝スペースの介在下に第１出入口に対して略直交した位置に施設され、還気第２給気口が、緩衝スペースに対向する第１壁パネルの所定の箇所と、第１および第２出入口の直上に位置する天井パネルを除く残余の天井パネルの所定の箇所と、緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されているクリーンブース
【００２０】
本発明の他の一例として、クリーンブースでは、クリーンブースの外側における建造物の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用した場合、第２出入口に作用する気流の乱れによる影響が緩衝スペースによって緩和され、作業ブースの内部の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出する。
【００２１】
本発明の他の一例としては、建造物が、クリーンブースの外側に設置されて空調設備によって生成された空調空気を建造物の内部に給気する空調空気給気口を備え、クリーンブースでは、空調空気給気口から給気された空調空気による気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用した場合、第２出入口に作用する気流の乱れによる影響が緩衝スペースによって緩和され、作業ブースの内部の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出する。
【００２２】
本発明の他の一例としては、給気手段が、天井パネルに設置されたファンフィルターユニットであり、クリーンブースでは、ファンフィルターユニットの外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生する。なお、ファンフィルターユニットの外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生するように、還気手段による還気風量と排気手段による排気風量とのうちの少なくとも一方に対応させてファンフィルターユニットの給気風量が調節される場合がある。
【００２３】
本発明の他の一例としては、実験設備が、安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバのうちの少なくとも１つであり、クリーンブースでは、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生するように、稼働した安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバの還気風量と排気風量とのうちの少なくとも一方に対応させてファンフィルターユニットの給気風量が調節される。
【００２４】
本発明の他の一例としては、クリーンブースが、イオン化空気を生成しつつ生成したイオン化空気を作業ブースと緩衝スペースとのうちの少なくとも一方に給気する除電用空気発生装置を含み、除電用空気発生装置によって給気されるイオン化空気のイオン化空気給気口が、安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバで作業する作業者の直上に位置する天井パネルと、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペースの天井パネルとのうちの少なくとも一方に設置されている。
【００２５】
本発明の他の一例として、クリーンブースでは、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生するように、還気手段による還気風量と排気手段による排気風量とのうちの少なくとも還気風量と除電用空気発生装置から給気されたイオン化空気の給気風量とに対応させてファンフィルターユニットの給気風量が調節される。
【発明の効果】
【００２６】
本発明に係るクリーンブースによれば、それに第１出入口が作られ、第１出入口が扉やカーテンによって遮蔽されることはないから、第１出入口を通って作業ブースに手を触れずに容易に入ることや作業ブースから手を触れずに容易に出ることができ、作業ブースへ手間を要せず手を触れずに容易に入退出することができる。クリーンブースは、それに対する入退出時にクリーンブースに作業者が接触することはなく、作業ブースの内部への入退出時において作業ブースへの塵埃や雑菌の付着を防ぐことができ、クリーンブースの清潔状態を保持することができるとともに、作業ブースの内部への入退出時において作業者への塵埃や雑菌の付着を防ぐことができる。クリーンブースは、各種の実験設備を収容可能であって所定の作業スペースを有する所定容積の作業ブースと、作業ブースに出入するために施設されて作業ブースの内部の空気が流出する第１出入口と、作業ブースに外部空気を給気する外部空気給気口を有して外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を発生させる給気手段と、実験設備を通流した空気を作業ブースに還気する還気手段および実験設備を通流した空気を外部に排気する排気手段のうちの少なくとも還気手段とを備え、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生し（または、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するように、還気手段による還気風量と排気手段による排気風量とのうちの少なくとも一方に対応させて給気手段から給気する空気の給気風量が調節され）、実験設備を通流した空気を作業ブースに還気することで、作業ブースにおける空気の設計風量不足や第１出入口における風速低下を防ぐことができるとともに、第１出入口から作業ブースの内部に空気が逆流することなく作業ブースの内部の空気が第１出入口から流出するから、第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。
【００２７】
還気手段によって作業ブースに還気される空気の還気第１給気口が外部空気給気口から給気された空気によって作業ブースの内部に発生した外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を逆流させることがない作業ブースの所定の箇所に設置されているクリーンブースは、各種の実験設備を通流した空気を作業ブースに還気することで、作業ブースにおける空気の設計風量不足や第１出入口における風速低下を防ぐことができるとともに、還気第１給気口が作業ブースの内部に発生した外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を逆流させることがない（給気手段によって作業ブースの内部に給気された空気の一方向へ流れる気流を乱すことがない）作業ブースの所定の箇所に設置されることで、作業ブースの内部に発生した一方向へ流れる気流が還気手段から還気された空気によって乱れることや逆流することはなく、作業ブースの内部の気流の乱れによって生じる第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブース内部の清浄状態を保持することができる。
【００２８】
建造物の内部に着脱可能に施設される天井パネルと、建造物の床と天井パネルとの間に着脱可能に施設されて作業ブースを囲繞する第１壁パネルとから形成され、給気手段によって作業ブースに給気される空気の外部空気給気口が天井パネルに設置され、還気第１給気口が外部空気給気口から給気された空気によって作業ブースの内部に発生した外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を逆流させることがない天井パネルの所定の箇所と、外部空気給気口から給気された空気によって作業ブースの内部に発生した外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を逆流させることがない第１壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されているクリーンブースは、各種の実験設備を通流した空気を作業ブースに還気することで、作業ブースにおける空気の設計風量不足や第１出入口における風速低下を防ぐことができるとともに、還気第１給気口が作業ブースの内部に発生した外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流を逆流させることがない（給気手段によって作業ブースの内部に給気された空気の一方向へ流れる気流を乱すことがない）天井パネルや第１壁パネルの所定の箇所に設置されることで、作業ブースの内部に発生した一方向へ流れる気流が還気手段から還気された空気によって乱れることや逆流することはなく、作業ブースの内部の気流の乱れによって生じる第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、天井パネルや第１壁パネルを建造物の内部に着脱可能に施設することで、各種の実験設備を収容可能な所定容積の作業ブースを有するクリーンブースを作ることができ、作業ブースの内部の空気の第１出入口からの流出を維持することが可能であって、清浄状態を保持することが可能な作業ブースを備えたクリーンブースを手間や時間を要せずに建造物の内部に容易に施設することができる。クリーンブースは、それが不要になった場合、天井パネルや第１壁パネルを建造物から取り外すことでクリーンブースを容易に解体することができるから、手間や時間を要せずに建造物の内部からクリーンブースを速やかに撤去することができる。
【００２９】
第１出入口につながって作業ブースから流出した空気が流入する所定容積の緩衝スペースと、緩衝スペースに出入するために施設されて緩衝スペースの内部の空気が流出する第２出入口とを含み、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生し（または、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生するように、還気手段による還気風量と排気手段による排気風量とのうちの少なくとも一方に対応させて給気手段から給気する空気の給気風量が調節され）、緩衝スペースを通流する空気が第１出入口から作業ブースの内部に逆流することなく、作業ブースの内部の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出するクリーンブースは、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって第１出入口から緩衝スペースに流出しつつ緩衝スペースを通流して第２出入口から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物内の空気の作業ブースの内部への逆流を防ぐことができる。クリーンブースは、それを施設した建造物の内部の気流が所定の要因によって乱れ、建造物の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、その外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅し、作業ブースの内部の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、それに第１出入口や第２出入口が作られ、それら出入口が扉やカーテンによって遮蔽されることはないから、第２出入口を通って緩衝スペースに手を触れずに容易に入ることや緩衝スペースから手を触れずに容易に出ることができるとともに、第１出入口を通って作業ブースに手を触れずに容易に入ることや作業ブースから手を触れずに容易に出ることができ、緩衝スペースや作業ブースへ手間を要せず手を触れずに容易に入退出することができる。クリーンブースは、それに対する入退出時にクリーンブースに作業者が接触することはなく、緩衝スペースや作業ブースの内部への入退出時において緩衝スペースや作業ブースへの塵埃や雑菌の付着を防ぐことができ、クリーンブースの清潔状態を保持することができるとともに、緩衝スペースや作業ブースの内部への入退出時において作業者への塵埃や雑菌の付着を防ぐことができる。
【００３０】
還気手段によって緩衝スペースに還気される空気の還気第２給気口が第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペースの所定の箇所に設置されているクリーンブースは、各種の実験設備を通流した空気を作業ブースや緩衝スペースに還気することで、作業ブースや緩衝スペースにおける空気の設計風量不足や第１および第２出入口における風速低下を防ぐことができるとともに、還気第２給気口が緩衝スペースに発生した第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない（給気手段によって作業ブースの内部に給気された空気の一方向へ流れる気流を乱すことがない）緩衝スペースの所定の箇所に設置されることで、緩衝スペースに発生した一方向へ流れる気流が還気手段から還気された空気によって乱れることや逆流することはなく、緩衝スペースの気流の乱れによって生じる第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、それを施設した建造物の内部の気流が所定の要因によって乱れ、建造物の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、その外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅し、作業ブースの内部の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。
【００３１】
建造物の床と天井パネルとの間に着脱可能に施設され、第１壁パネルに連結されて緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルを含み、還気第２給気口が第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペースに対向する第１壁パネルの所定の箇所と、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペースの天井パネルの所定の箇所と、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されているクリーンブースは、各種の実験設備を通流した空気を作業ブースや緩衝スペースに還気することで、作業ブースや緩衝スペースにおける空気の設計風量不足や第１および第２出入口における風速低下を防ぐことができるとともに、還気第２給気口が第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない（給気手段によって作業ブースの内部に給気された空気の一方向へ流れる気流を乱すことがない）緩衝スペースに対向する第１壁パネルや緩衝スペースの天井パネル、第２壁パネルの所定の箇所に設置されることで、緩衝スペースに発生した一方向へ流れる気流が還気手段から還気された空気によって乱れることや逆流することはなく、緩衝スペースの気流の乱れによって生じる第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、それを施設した建造物の内部の気流が所定の要因によって乱れ、建造物の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、その外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅し、作業ブースの内部の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、天井パネルや第１壁パネル、第２壁パネルを建造物の内部に着脱可能に施設することで、各種の実験設備を収容可能な所定容積の作業ブースと緩衝スペースとを有するクリーンブースを作ることができ、作業ブースの内部の空気の第１出入口からの流出を維持することが可能であって、清浄状態を保持することが可能な作業ブースや外乱を緩和・消滅させることが可能な緩衝スペースを備えたクリーンブースを手間や時間を要せずに建造物の内部に容易に施設することができる。クリーンブースは、それが不要になった場合、天井パネルや第１壁パネル、第２壁パネルを建造物から取り外すことでクリーンブースを容易に解体することできるから、手間や時間を要せずに建造物内からクリーンブースを速やかに撤去することができる。
【００３２】
緩衝スペースが第１出入口と第２出入口との間において第１出入口から空気の流出方向へ延びているとともに、空気の流出方向と交差する方向へ延び、還気第２給気口が空気の流出方向と交差する方向へ延びる緩衝スペースに対向する第１壁パネルの所定の箇所と、空気の流出方向と交差する方向へ延びる緩衝スペースの天井パネルの所定の箇所と、空気の流出方向と交差する方向へ延びる緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されているクリーンブースは、緩衝スペースが第１出入口と第２出入口との間で第１出入口から空気の流出方向へ延びるとともに空気の流出方向と交差する方向へ延びることで、緩衝スペースが空気の流出方向および流出方向と交差する方向へ所定の容積を有し、第２出入口に向かって緩衝スペースを流通する空気層が第２出入口から緩衝スペースに向かって逆流する空気の抵抗となり、作業ブースの内部の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出するとともに緩衝スペースを通流して第２出入口から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流を防ぐことができる。クリーンブースは、各種の実験設備を通流した空気を作業ブースや緩衝スペースに還気することで、作業ブースや緩衝スペースにおける空気の設計風量不足や第１および第２出入口における風速低下を防ぐことができるとともに、還気第２給気口が空気の流出方向と交差する方向へ延びる緩衝スペースに対向する第１壁パネルや緩衝スペースの天井パネル、緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所に設置されることで、緩衝スペースに発生した一方向へ流れる気流が還気手段から還気された空気によって乱れることや逆流することはなく、緩衝スペースの気流の乱れによって生じる第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、それを施設した建造物の内部の気流が所定の原因によって乱れ、建造物の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、第１出入口と第２出入口との間で第１出入口から空気の流出方向へ延びるとともに空気の流出方向と交差する方向へ延びる緩衝スペースの空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブースの内部の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。
【００３３】
第２出入口が第１出入口に対向し、緩衝スペースを挟んで第１出入口に対して一列に並んだ状態で施設され、還気第２給気口が緩衝スペースに対向する第１壁パネルの所定の箇所と、第１および第２出入口の直上に位置する天井パネルを除く残余の天井パネルの所定の箇所と、緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されているクリーンブースは、第１出入口と第１出入口に対向する第２出入口との間に位置する緩衝スペースの空気層が第２出入口から緩衝スペースに向かって逆流する空気の抵抗となり、第１出入口から緩衝スペースに流出するとともに緩衝スペースを通流して第２出入口から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流を防ぐことができる。クリーンブースは、各種の実験設備を通流した空気を作業ブースや緩衝スペースに還気することで、作業ブースや緩衝スペースにおける空気の設計風量不足や第１および第２出入口における風速低下を防ぐことができるとともに、還気第２給気口が緩衝スペースに対向する第１壁パネルや第１および第２出入口の直上に位置する天井パネルを除く残余の天井パネル、緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所に設置されることで、緩衝スペースに発生した一方向へ流れる気流が還気手段から還気された空気によって乱れることや逆流することはなく、緩衝スペースの気流の乱れによって生じる第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、それを施設した建造物の内部の気流が所定の原因によって乱れ、建造物の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、その外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅し、作業ブースの内部の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。
【００３４】
第２出入口が第１出入口に対向せず、緩衝スペースを挟んで第１出入口に対して所定の角度傾斜した位置に施設され、還気第２給気口が緩衝スペースに対向する第１壁パネルの所定の箇所と、第１および第２出入口の直上に位置する天井パネルを除く残余の天井パネルの所定の箇所と、緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されているクリーンブースは、第１出入口と第１出入口に対して所定角度傾斜する第２出入口との間に位置する緩衝スペースの空気層が第２出入口から緩衝スペースに向かって逆流する空気の抵抗となり、第１出入口から緩衝スペースに流出するとともに緩衝スペースを通流して第２出入口から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流を防ぐことができる。クリーンブースは、各種の実験設備を通流した空気を作業ブースや緩衝スペースに還気することで、作業ブースや緩衝スペースにおける空気の設計風量不足や第１および第２出入口における風速低下を防ぐことができるとともに、還気第２給気口が緩衝スペースに対向する第１壁パネルや第１および第２出入口の直上に位置する天井パネルを除く残余の天井パネル、緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所に設置されることで、緩衝スペースに発生した一方向へ流れる気流が還気手段から還気された空気によって乱れることや逆流することはなく、緩衝スペースの気流の乱れによって生じる第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、それを施設した建造物の内部の気流が所定の要因によって乱れ、建造物の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、第１出入口と第１出入口に対して所定角度傾斜する第２出入口との間に位置する緩衝スペースの空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブースの内部の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるとともに、さらに、第２出入口が第１出入口に対して所定角度傾斜して位置することで、第２出入口から逆流する空気が第１出入口に直接向かうことができないから、外乱を原因とした建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流（流入）を確実に防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、第２出入口を第１出入口に対して所定角度傾斜して位置させることで、緩衝スペースに載置する各種の機材の配置に応じて第１および第２出入口の位置を自由に決定することができ、緩衝スペースの利便性を向上させることができる。
【００３５】
第２出入口が第１出入口に対向せず、緩衝スペースの介在下に第１出入口に対して略直交した位置に施設され、還気第２給気口が緩衝スペースに対向する第１壁パネルの所定の箇所と、第１および第２出入口の直上に位置する天井パネルを除く残余の天井パネルの所定の箇所と、緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所とのうちの少なくとも一箇所に設置されているクリーンブースは、第１出入口と第１出入口に対して略直交する第２出入口との間に位置する緩衝スペースの空気層が第２出入口から緩衝スペースに向かって逆流する空気の抵抗となり、第１出入口から緩衝スペースに流出するとともに緩衝スペースを通流して第２出入口から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができるとともに、建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流を防ぐことができる。クリーンブースは、各種の実験設備を通流した空気を作業ブースや緩衝スペースに還気することで、作業ブースや緩衝スペースにおける空気の設計風量不足や第１および第２出入口における風速低下を防ぐことができるとともに、還気第２給気口が緩衝スペースに対向する第１壁パネルや第１および第２出入口の直上に位置する天井パネルを除く残余の天井パネル、緩衝スペースを囲繞する第２壁パネルの所定の箇所に設置されることで、緩衝スペースに発生した一方向へ流れる気流が還気手段から還気された空気によって乱れることや逆流することはなく、緩衝スペースの気流の乱れによって生じる第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、それを施設した建造物の内部の気流が所定の要因によって乱れ、建造物の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、第１出入口と第１出入口に対して略直交する第２出入口との間に位置する緩衝スペースの空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブースの内部の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるとともに、さらに、第２出入口が第１出入口に対して略直交することで、第２出入口から逆流する空気が第１出入口に直接向かうことができないから、外乱を原因とした建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流（流入）を確実に防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブースは、第２出入口を第１出入口に対して略直交させることで、緩衝スペースに載置する各種の機材の配置に応じて第１および第２出入口の位置を自由に決定することができ、緩衝スペースの利便性を向上させることができる。
【００３６】
クリーンブースの外側における建造物の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用した場合、第２出入口に作用する気流の乱れによる影響が緩衝スペースによって緩和され、作業ブースの内部の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出するクリーンブースは、それを施設した建造物の内部の気流が所定の要因によって乱れ、建造物の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用したとしても、第２出入口に作用する外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅し、作業ブースの内部の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。
【００３７】
建造物がクリーンブースの外側に設置されて空調設備によって生成された空調空気を建造物の内部に給気する空調空気給気口を備え、空調空気給気口から給気された空調空気による気流の乱れ（外乱）が第２出入口に作用した場合、第２出入口に作用する気流の乱れによる影響が緩衝スペースによって緩和され、作業ブースの内部の空気が第１出入口から緩衝スペースに流出するクリーンブースは、それを施設した建造物の内部の気流が空調空気給気口から給気された空調空気によって乱れ、空調空気の給気による外乱が第２出入口に作用したとしても、第２出入口に作用する外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅し、作業ブースの内部の空気の第１出入口から流出する流れが維持されるから、外乱を原因とした建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。
【００３８】
給気手段が天井パネルに設置されたファンフィルターユニットであり、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生する（または、ファンフィルターユニットの外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生するように、還気手段による還気風量と排気手段による排気風量とのうちの少なくとも一方に対応させてファンフィルターユニットの給気風量が調節されている）クリーンブースは、外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生するようにファンフィルターユニットの給気風量を調節することで、外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れるとともに第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が外部空気によって作業ブースの内部に発生し、第２出入口に作用した外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅するから、作業ブースの内部の空気の第１出入口から流出する流れが維持され、建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。
【００３９】
実験設備が安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバのうちの少なくとも１つであり、外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブース内に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生するように、稼働した安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバの還気風量と排気風量とのうちの少なくとも一方に対応させてファンフィルターユニットの給気風量が調節されるクリーンブースは、安全キャビネットを通流した空気を作業ブースに還気し、または、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバを通流した空気を外部に排気する場合、外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生するように、それら実験設備の還気風量や排気風量に対応させてファンフィルターユニットの給気風量を調節することで、外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れるとともに第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が外部空気によって作業ブースの内部に発生し、第２出入口に作用した外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅するから、作業ブースの内部の空気の第１出入口から流出する流れが維持され、建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。
【００４０】
イオン化空気を生成しつつ生成したイオン化空気を作業ブースと緩衝スペースとのうちの少なくとも一方に給気する除電用空気発生装置を含み、除電用空気発生装置によって給気されるイオン化空気のイオン化空気給気口が、安全キャビネット、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバで作業する作業者の直上に位置する天井パネルと、第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペースの天井パネルとのうちの少なくとも一方に設置されているクリーンブースは、除電用空気発生装置によって生成されたイオン化空気が作業ブースや緩衝スペースの天井パネルから作業者に向かって給気されるから、作業者の着衣に帯電した電荷をイオン化空気によって除電（中和）することができ、作業者における静電気の発生を防ぐことができるとともに、作業者の着衣への静電気による塵埃の付着を防ぐことができる。クリーンブースは、イオン化空気を給気することによって作業中に発生した着衣や機材の帯電を防ぐことができるとともに、イオン化空気によって作業者の着衣や機材が帯電することがないから、着衣や機材に塵埃が付着したとしてもその塵埃を容易に除去することができる。クリーンブースは、イオン化空気給気口が第１出入口から第２出入口に向かって緩衝スペースを一方向へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペースの天井パネルに設置されることで、緩衝スペースに発生した一方向へ流れる気流が除電用空気発生装置から給気されたイオン化空気によって乱れることや逆流することはなく、緩衝スペースの気流の乱れによって生じる第１出入口から作業ブースの内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。
【００４１】
外部空気給気口から作業ブースに給気される外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生するように、還気手段による還気風量と排気手段による排気風量とのうちの少なくとも還気風量と除電用空気発生装置から給気されたイオン化空気の給気風量とに対応させてファンフィルターユニットの給気風量が調節されるクリーンブースは、外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れる気流が作業ブースの内部に発生するとともに、第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が緩衝スペースに発生するように、還気風量や排気風量、イオン化空気の給気風量に対応させてファンフィルターユニットの給気風量を調節することで、外部空気によって外部空気給気口から第１出入口に向かって一方向へ流れるとともに第１出入口から第２出入口に向かって一方向へ流れる気流が外部空気によって作業ブースの内部に発生し、第２出入口に作用した外乱による影響が緩衝スペースの空気層によって緩和・消滅するから、作業ブースの内部の空気の第１出入口から流出する流れが維持され、建造物の内部の空気の作業ブースの内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物の内部の空気が作業ブースの内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブースの内部の清浄状態を保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】一例として示すクリーンブースの前方斜視図。
【図２】図１のクリーンブースの上面図。
【図３】一例として示す安全キャビネットの側面図。
【図４】図１のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す上面図。
【図５】図１のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す側面図。
【図６】他の一例として示すクリーンブースの前方斜視図。
【図７】図６のクリーンブースの上面図。
【図８】図６のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す上面図。
【図９】図６のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す側面図。
【図１０】図６のクリーンブースにおける空気の流れの他の一例を示す上面図。
【図１１】他の一例として示すクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す上面図。
【図１２】図１１のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す側面図。
【図１３】他の一例として示すクリーンブースの上面図。
【図１４】図１３のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す上面図。
【図１５】他の一例として示すクリーンブースの上面図。
【図１６】図１５のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す上面図。
【図１７】他の一例として示すクリーンブースの上面図。
【図１８】除電用空気発生システムの概略構成図。
【図１９】図１８のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す上面図。
【図２０】図１７のクリーンブースにおける空気の流れの一例を示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００４３】
一例として示すクリーンブース１０Ａの前方斜視図である図１等の添付の図面を参照し、本発明に係るクリーンブースの詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、クリーンブース１０Ａの上面図であり、図３は、一例として示す安全キャビネットの側面図である。図４は、クリーンブース１０Ａにおける空気の流れの一例を示す上面図であり、図５は、クリーンブース１０Ａにおける空気の流れの一例を示す側面図ある。
【００４４】
図１では、第１壁パネル２０（第１側面壁２５）に取り付けられた還気第１給気口３９の図示を省略している。図２，図４，図５では、ファンフィルターユニット１４（給気手段）や安全キャビネット２６、外部空気給気口２８、空調設備の空調空気給気口１７（エアーコンディショナーの空調空気給気口）、還気第１給気口３９を模式的に示す。図２，図４，図５では、前後方向を矢印Ａ、横方向を矢印Ｂで示し、上下方向を矢印Ｃで示す。
【００４５】
クリーンブース１０Ａ（クリーンブース１０Ｂ〜１０Ｆを含む）は、研究棟や実験棟、医療棟、製造工場等の建造物１１の内部（作業室）の所定の箇所に施設され、各種の実験や研究、開発、培養等に利用される。クリーンブース１０Ａは、その内部（作業ブース１２）が微陽圧に保持されている。クリーンブース１０Ａは、作業ブース１２、第１出入口１３、ファンフィルターユニット１４（給気手段）、還気手段１５を有する。
【００４６】
建造物１１には、その内部（室内）に空調空気を給気する空調設備（図示せず）が施設されている。建造物１１の内部（室内）におけるクリーンブース１０Ａの外側（共用部分）の天井１６（天井面）には、空調設備（エアーコンディショナー）によって生成された空調空気を建造物１１の内部に給気する空調空気給気口１７（吹き出し口）が設置されている。空調空気給気口１７からは、建造物１１の内部に向かって所定風量の空調空気が給気され、建造物１１の内部が設定温度および設定湿度に保持される（クリーンブース１０Ｂ〜１０Ｆも同様）。
【００４７】
クリーンブース１０Ａは、建造物１１の内部（室内）に設置された複数枚の天井パネル１８と、建造物１１の床１９と天井パネル１８との間に設置された複数枚の第１壁パネル２０とから作られている。天井パネル１８には、平面形状が四角形のアルミパネルまたは鋼材パネルが利用されている。天井パネル１８は、複数枚の側面パネル１８ａと複数枚の天面パネル１８ｂとから形成されている。
【００４８】
天井パネル１８では、それら側面パネル１８ａを横方向と前後方向とへ連結することで天井囲いが作られ、それら天面パネル１８ｂを横方向と前後方向とへ連結することで天井が作られている。天井パネル１９では、側面パネル１８ａの上端縁が建造物１１の天井１６に気密に連結され、天面パネル１８ｂから作られた天井の外周縁が側面パネル１８ａの下端縁に気密に連結されている。建造物１１の天井１６と天面パネル１８ｂ（天井）との間には、側面パネル１８ａに囲繞された天井空間２１が形成されている。
【００４９】
側面パネル１８ａには、作業ブース１２へ給気するための空気取り入れ用ガラリ２２が取り付けられている。天面パネル１８ｂには、天井用照明器具（ＬＥＤや蛍光灯）が設置されている。天井パネル１８（側面パネル１８ａおよび天面パネル１８ｂ）は、建造物１１の内部（室内）において着脱可能であり、複数枚のそれらを所定のマニュアル（手順）にしたがって建造物１１の内部に容易かつ迅速に取り付けることができ、建造物１１の内部から容易かつ迅速に取り外すことができるとともに、複数枚のパネル１８ａ，１８ｂに容易に分解することができる。
【００５０】
第１壁パネル２０は、アルミフレームまたは鋼材フレームと、アルミフレームや鋼材フレームに嵌め込まれた透明なプラスチック板（アクリルボードやポリカーボネートボード、塩ビボード等）または透明なガラス板とから作られ、その平面形状が四角形に成形されている。それら第１壁パネル２０は、横方向へ連結されてクリーンブース１０Ａの第１正面壁２３と背面壁２４とを形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１０Ａの第１側面壁２５を形成している。
【００５１】
それら第１壁パネル２０は、その上端縁が天井（天面パネル１８ｂ）の外周縁に気密に連結され、その下端縁が建造物１１の床１９（床面）に気密に連結されている。第１壁パネル２０は、建造物１１の内部（室内）において着脱可能であり、複数枚のそれらを所定のマニュアル（手順）にしたがって建造物１１の内部に容易かつ迅速に取り付けることができ、建造物１１の内部から容易かつ迅速に取り外すことができるとともに、複数枚のパネル２０に容易に分解することができる。クリーンブース１０Ａには、天井パネル１８と第１壁パネル２０（第１正面壁２３、第１側面壁２５、背面壁２４）とに囲繞された所定容積および所定の床面積の作業ブース１２が画成されている。
【００５２】
作業ブース１２は、所定容積の作業スペースを有し、各種の実験設備を収容可能である。図示の作業ブース１２の内部には、安全キャビネット２６が収容されている。作業ブース１２には、安全キャビネット２６の他に、クリーンベンチ、グローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバを収容することができ、細胞培養装置や遠心分離器、冷凍機等の各種の実験装置、机や棚、コンピュータ（サーバ）等を収容することができる。
【００５３】
作業ブース１２の容積や床面積に特に制限はなく、作業ブース１２で行われる作業内容や収容する実験設備の大きさ、実験設備の数等によってその容積や床面積が決定される。第１出入口１３は、作業ブース１２に出入するために施設され、第１壁パネル２０によって形成された第１正面壁２２の間（第１正面壁２２の中央）に開口している。第１出入口１３は、その平面形状が縦方向へ長い四角形を呈し、作業者が通行可能な開口面積を有する。第１出入口１３からは、作業ブース１２の内部の空気が流出する。
【００５４】
ファンフィルターユニット１４（給気手段）は、前後方向へ並ぶ２台のそれが天井空間２１に設置されている。ファンフィルターユニット１４には、ＨＥＰＡフィルタ２７（図５参照）が設置されている。ファンフィルターユニット１４は、作業ブース１２に外部空気（清浄空気）を給気する外部空気給気口２８（外気空気吹き出し口）を有する。それらファンフィルターユニット１４の外部空気給気口２８は、作業ブース１２の略中央部における天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）に設置され、前後方向へ並んでいる。ファンフィルターユニット１４は、その空気取り入れ口２９が天井空間２１に位置している。
【００５５】
ファンフィルターユニット１４は、天井空間２１から建造物１１の内部の外部空気を取り入れ、外部空気をＨＥＰＡフィルタ２７によって濾過した後、外部空気給気口２８（天井）から作業ブース１２の内部の床面に向かって所定風量の外気空気（清浄空気）を給気する。ファンフィルターユニット１４から所定の給気風量（たとえば、０．３〜０．４ｍ／ｓ）の外気空気（清浄空気）を給気することで、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持しつつ、外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流を発生させる。
【００５６】
なお、クリーンブース１０Ａでは、作業ブース１２の容積や安全キャビネット２６から作業ブース１２に還気される空気の還気風量に対応しつつ、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持し得るとともに、給気する外部空気によって外部空気給気口２７から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、ファンフィルターユニット１４の給気風量（たとえば、０．３〜０．４ｍ／ｓ）や給気方向が調節される場合がある。給気風量を調節する場合において具体的には、ファンフィルターユニット１４の給気風量＝クリーンブース１０Ａ（第１出入口１３）から排気される空気の排気風量−安全キャビネット２６から作業ブース１２に還気される（戻される）空気の還気風量である。
【００５７】
クリーンブース１０Ａ（クリーンブース１０Ｂ〜１０Ｆを含む）におけるファンフィルターユニット１４の給気風量の調節は、クリーンブース１０Ａ（クリーンブース１０Ｂ〜１０Ｆを含む）の施設時の設計風量により微陽圧が保持される条件のもと、クリーンブース１０Ａの運転開始時に作業者が作業ブース１２の外側のリモコンスイッチで調節する場合、または、クリーンブース１０Ａ（クリーンブース１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅを含む）の施設後にコンピュータ（制御装置）および室圧センサ等を利用して自動調節（フィードバック制御等）によって調節される場合がある。
【００５８】
安全キャビネット２６は、作業ブース１２の他方の側部に設置され、図３に示すように、作業用チャンバ３０と作業用チャンバ３０を載せた架台３１とを備えている。安全キャビネット２６には、空気流入開口３２および空気流路３３が形成され、送風機３４（給気および排気用ファン）と第１および第２ＨＥＰＡフィルタ３５，３６とが設置されている。作業用チャンバ３０は、頂面板、底面板、前面板、背面板、側面板から形成された六面体の箱である。前面板は、透明なプラスチック板（アクリルボードやポリカーボネートボード、塩ビボード等）または透明なガラス板が使用されている。前面板には、開閉可能な前面シャッターが取り付けられている。前面板の下方には前面開口３７が作られ、前面シャッターによって前面開口３７が開閉される。
【００５９】
空気流入開口３２は、作業用チャンバ３０の下方であって前面開口３７の近傍に開口している。空気流路３３は、空気流入開口３２につながり、空気流入開口３２から流入した空気が通流する。チャンバ３０の直上に延びる空気流路３３には、還気用ダクト３８（図５参照）が連結されている。クリーンブース１０Ａでは、送風機３４と還気用ダクト３８（還気第１給気口３９）とが還気手段１５を形成している。
【００６０】
還気用ダクト３８は、安全キャビネット２６から天井空間２１に進入し、作業ブース１２の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）に取り付けられた還気第１給気口３９に連結されているとともに、第１壁パネル２０に取り付けられた還気第１給気口３９に連結されている。安全キャビネット２６を通流した空気は、それら還気第１給気口３９から作業ブース１２の内部に還気される（戻される）。
【００６１】
天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）に取り付けられた還気第１給気口３９は、作業ブース１２の他方の側部における天井パネル１８（外部空気給気口２８から給気される空気の気流を乱すことがない天井パネル１８の所定の箇所）に設置され、外部空気給気口２８を挟んで安全キャビネット２６の反対側に配置されている。第１壁パネル２０に取り付けられた還気第１給気口３９は、第１出入口１３の側であって第１側面壁２５を形成する第１壁パネル２０の下部（外部空気給気口２８から給気される空気の気流を乱すことがない第１壁パネル２０の所定の箇所）に設置されている。
【００６２】
なお、還気第１給気口３９は、作業ブース１２の他方の側部における天井パネル１８（外部空気給気口２８から給気される空気の気流を乱すことがない天井パネル１８の所定の箇所）と、第１出入口１３の側であって第１側面壁２５を形成する第１壁パネル２０の下部（外部空気給気口２８から給気される空気の気流を乱すことがない第１壁パネル２０の所定の箇所）とのうちのいずれか一方に設置されていてもよい。
【００６３】
送風機３４は、作業用チャンバ３０の直上に延びる空気流路３３に設置され、空気流路３３に流入した空気を作業用チャンバ３０の上方から下方に向かって流動させるとともに、空気を空気流路３３から還気用ダクト３８に流入させる。第１ＨＥＰＡフィルタ３５は、作業用チャンバ３０の直上（頂面板）に設置されている。第２ＨＥＰＡフィルタ３６は、作業用チャンバ３０の直上に延びる空気流路３３の上方に設置されている。
【００６４】
安全キャビネット２６は、図３に矢印Ｌ１で示すように、送風機３４が起動すると、作業ブース１２の内部の空気を取り込み、その空気の一部を第１ＨＥＰＡフィルタ３５で濾過しつつ、清浄な空気を作業用チャンバ３０に給気し、作業用チャンバ３０に清浄なエアー空間を作る。さらに、残余の空気を第２ＨＥＰＡフィルタ３６で濾過しつつ、残余の空気を作業ブース１２の内部（クリーンブース１０Ａ）に還気する。
【００６５】
安全キャビネット２６を利用して各種の作業を行う場合、第１出入口１３を通って作業ブース１２に入室し、ファンフィルターユニット１４および安全キャビネット２６（送風機３４）を起動させる。なお、ファンフィルターユニット１４や安全キャビネット２６（送風機３４）のＯＮ／ＯＦＦスイッチは、クリーンブース１０Ａの内部に設置されている。また、建造物１１の空調設備が稼働し、所定風量の空調空気が空調空気給気口１７から建造物１１の内部に給気されている。クリーンブース１０Ａを利用して各種の実験や研究、開発、培養等を行う実験者や研究者、開発者等の作業者は、ファンフィルターユニット１４や安全キャビネット２６のＯＮ／ＯＦＦスイッチをＯＮにしてファンフィルターユニット１４や安全キャビネット２６（送風機３４）を起動させるとともに、無塵衣を着用した状態で作業ブース１２に入る。
【００６６】
ファンフィルターユニット１４を起動させると、図４，５に矢印Ｌ２で示すように、建造物１１の内部の空気（外部空気）が空気取り入れ用ガラリ２２から天井空間２１に流入し、天井空間２１からファンフィルターユニット１４の空気取り入れ口２９に流入する。外部空気は、ファンフィルターユニット１４のＨＥＰＡフィルタ２７を通流して清浄空気となって外部空気給気口２８から作業ブース１２の内部の床面に向かって給気される。ファンフィルターユニット１４から給気される清浄空気の風量が作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持するそれに調節されているから、ファンフィルターユニット１４や安全キャビネット２６（送風機３４）の起動によって作業ブース１２の内部が微陽圧になるとともに、ファンフィルターユニット１４の外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が発生する。
【００６７】
作業ブース１２の内部に給気された清浄空気の一部は、安全キャビネット２６の空気流入開口３２から空気流路３３に流入し、空気流路３３を通って第１ＨＥＰＡフィルタ３５を通流した後、作業用チャンバ３０に流入するとともに、第２ＨＥＰＡフィルタ３６を通流した後、還気用ダクト３８を通って還気第１給気口３９から作業ブース１２の内部に還気される（図４，５参照）。したがって、ファンフィルターユニット１４から給気された空気は、その一部が安全キャビネット２６から作業ブース１２（クリーンブース１０Ａ）の内部に還気される（戻される）。
【００６８】
作業ブース１２の内部に給気された清浄空気のうちの安全キャビネット２６の前面開口３７に流入した空気を除く残余の空気は、図４，５に矢印Ｌ３で示すように、第１出入口１３を通ってクリーンブース１０Ａの外側（建造物１１の内部（作業室））に流出する。建造物１１の内部に流出した空気（建造物１１の内部の外部空気）は、ファンフィルターユニット１４によって再び作業ブース１２の内部に給気される。
【００６９】
クリーンブース１０Ａでは、空調設備の空調空気給気口１７から所定風量の空調空気が建造物１１の内部（室内）に給気されることで、建造物１１の内部に気流の乱れ（外乱）が生じ、その外乱が第１正面壁２３の中央に開口する第１出入口１３に作用する場合がある。さらに、安全キャビネット２６の空気吸い込み量の分だけ作業ブース１２の内部（クリーンブース１０Ａの内部）の空気の設計風量が不足し、クリーンブース１０Ａの第１出入口１３を通流する空気の風速が低下する。クリーンブース１０Ａの第１出入口１３を通流する空気の風速が低下し、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（外乱）が第１出入口１３に作用すると、図４，５に矢印Ｌ４で示すように、建造物１１の内部（室内）の外部空気の一部が第１出入口１３から作業ブース１２の内部に流入（逆流）する場合がある。
【００７０】
しかし、クリーンブース１０Ａでは、安全キャビネット２６（実験設備）を通流した空気を作業ブース１２に還気することで、作業ブース１２における空気の設計風量不足が補完され、第１出入口１３における風速低下が防止され、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第１出入口１３に作用したとしても、図４，５に矢印Ｌ３で示すように、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される。
【００７１】
クリーンブース１０Ａは、外部空気給気口２８から作業ブース１２に給気される外部空気によって外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生し（または、外部空気給気口２８から作業ブース１２に給気される外部空気によって外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、還気手段１５による還気風量に対応させてファンフィルターユニット１４（給気手段）から給気する空気の給気風量が調節され）、安全キャビネット２６（実験設備）を通流した空気を作業ブース１２に還気することで、作業ブース１２における空気の設計風量不足や第１出入口１３における風速低下を防ぐことができるとともに、作業ブース１２の内部の空気を第１出入口１３から流出させることができる。
【００７２】
クリーンブース１０Ａは、還気第１給気口３９が作業ブース１２の内部に発生した外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流を逆流させることがない（ファンフィルターユニット１４によって作業ブース１２の内部に給気された空気の一方向へ流れる気流を乱すことがない）天井パネル１８や第１壁パネル２０の所定の箇所に設置されることで、空気作業ブース１２の内部に発生した一方向（前後方向）へ流れる気流が還気手段１５から還気された空気によって乱れることや逆流することはなく、第１出入口１３から作業ブース１２の内部に空気が逆流することなく作業ブース１２の内部の空気が第１出入口１３から流出するから、作業ブース１２の内部の気流の乱れによって生じる第１出入口１３から作業ブース１２の内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。
【００７３】
クリーンブース１０Ａは、それに第１出入口１３が作られ、第１出入口１３が扉やカーテンによって遮蔽されることはないから、第１出入口１３を通って作業ブース１２に手を触れずに容易に入ることや作業ブース１２から手を触れずに容易に出ることができ、作業ブース１２の内部へ手間を要せず手を触れずに容易に入退出することができる。クリーンブース１０Ａは、それに対する入退出時にクリーンブース１０Ａに作業者が接触することはなく、作業ブース１２の内部への入退出時において作業ブース１２への塵埃や雑菌の付着を防ぐことができ、クリーンブース１０Ａの清潔状態を保持することができるとともに、作業ブース１２の内部への入退出時において作業者への塵埃や雑菌の付着を防ぐことができる。
【００７４】
クリーンブース１０Ａは、天井パネル１８や第１壁パネル２０を建造物１１の内部に着脱可能に施設することで、安全キャビネット２６（実験設備）を収容可能な所定容積の作業ブース１２を有するクリーンブース１０Ａを作ることができ、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３からの流出を維持することが可能であって、清浄状態を保持することが可能な作業ブース１２を備えたクリーンブース１０Ａを手間や時間を要せずに建造物１１の内部に容易に施設することができる。クリーンブース１０Ａは、それが不要になった場合、天井パネル１８や第１壁パネル２０を建造物１１から取り外すことでクリーンブース１０Ａを容易に解体することができるから、手間や時間を要せずに建造物１１の内部からクリーンブース１０Ａを速やかに撤去することができる。
【００７５】
図６は、他の一例として示すクリーンブース１０Ｂの前方斜視図であり、図７は、クリーンブース１０Ｂの上面図である。図８は、図６のクリーンブース１０Ｂにおける空気の流れの一例を示す上面図であり、図９は、図６のクリーンブース１０Ｂにおける空気の流れの一例を示す側面図ある。図６では、第１壁パネル２０（第１側面壁２５）に取り付けられた還気第１給気口３９の図示を省略している。図８〜図９では、前後方向を矢印Ａ、横方向を矢印Ｂで示し、上下方向を矢印Ｃで示す。
【００７６】
クリーンブース１０Ｂは、その内部（作業ブース１２、緩衝スペース４１）が微陽圧に保持されている。クリーンブース１０Ｂは、作業ブース１２、第１出入口１３、第２出入口４０、緩衝スペース４１（緩衝空間）、ファンフィルターユニット１４（給気手段）、還気手段１５を有する。クリーンブース１０Ｂは、建造物１１の内部（室内）に設置された複数枚の天井パネル１８と、建造物１１の床１９と天井パネル１８との間に設置された複数枚の第１壁パネル２０と、第１壁パネル２０に隣接して建造物１１の床１９と天井パネル１８との間に設置された複数枚の第２壁パネル４２とから作られている。
【００７７】
天井パネル１８は、図１のクリーンブース１０Ａのそれと同一であるが、作業ブース１２の天井囲いおよび天井のみならず、緩衝スペース４１の天井囲いおよび天井を形成している。建造物１１の天井１６と天面パネル１８ｂ（天井）との間には、側面パネル１８ａに囲繞された天井空間２１が形成されている。第１壁パネル２０は、図１のクリーンブース１０Ａのそれと同一であり、横方向へ連結されてクリーンブース１０Ｂの第１正面壁２３と背面壁２４とを形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１０Ｂの第１側面壁２５を形成している。
【００７８】
第２壁パネル４２は、図１のクリーンブース１０Ａの第１壁パネル２０と同様に、アルミフレームまたは鋼材フレームと、アルミフレームや鋼材フレームに嵌め込まれた透明なプラスチック板（アクリルボードやポリカーボネートボード、塩ビボード等）または透明なガラス板とから作られ、その平面形状が四角形に成形されている。それら第２壁パネル４２は、横方向へ連結されてクリーンブース１０Ｂの第２正面壁４３を形成し、前後方向へ連結されてクリーンブース１０Ｂの第２側面壁４４を形成している。
【００７９】
それら第２壁パネル４２は、その上端縁が天井（天面パネル１８ｂ）の外周縁に気密に連結され、その側縁が第１壁パネル２０の側縁に気密に連結されているとともに、その下端縁が建造物１１の床１９（床面）に気密に連結されている。第２壁パネル４２は、建造物１１の内部において着脱可能であり、複数枚のそれらを所定のマニュアル（手順）にしたがって建造物１１の内部に容易かつ迅速に取り付けることができ、建造物１１の内部かつ迅速から容易に取り外すことができるとともに、複数枚のパネル４２に容易に分解することができる。
【００８０】
クリーンブース１０Ｂには、天井パネル１８と第１壁パネル２０（第１正面壁２３、背面壁２４、第１側面壁２５、）とに囲繞された所定容積および所定の床面積の作業ブース１２が画成され、天井パネル１８と第１および第２壁パネル２０，４２（第１正面壁２３、第２正面壁４３、第２側面壁４４）とに囲繞された所定容積および所定の床面積の緩衝スペース４１が画成されている。作業ブース１２は、図１のクリーンブース１０Ａのそれと同一であり、その内部に安全キャビネット２６が収容されている。作業ブース１２には、安全キャビネット２６の他に既述の各種の実験設備を収容可能である。第１出入口１３は、図１のクリーンブース１０Ａのそれと同一であり、作業ブース１２に出入するために施設され、第１壁パネル２０によって形成された第１正面壁２３の間（第１正面壁２３の中央）に開口している。第１出入口１３からは、作業ブース１２の内部の空気が流出する。
【００８１】
第２出入口４０は、緩衝スペース４１に出入するために施設され、第２壁パネル４２によって形成された第２正面壁４３の間（第２正面壁４３の中央）に開口している。第２出入口４０は、その平面形状が縦方向へ長い四角形を呈し、作業者が通行可能な開口面積を有する。第２出入口４０からは、緩衝スペース４１の空気が流出する。第１出入口１３と第２出入口４０とは、同形同大であり、第２出入口４０が第１出入口１３に対向し、緩衝スペース４１を挟んで第１出入口１３と第２出入口４０とが前後方向一列に並んだ状態で施設されている。
【００８２】
緩衝スペース４１は、第１出入口１３と第２出入口４０との間に位置し、第１出入口１３と第２出入口４０とにつながっている。緩衝スペース４１は、第１出入口１３から第２出入口４０に向かって前後方向（空気の流出方向）へ延びているとともに、第１出入口１３と第２出入口４０との間において横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びている。緩衝スペース４１には、作業ブース１２から流出した空気が流入し、第１出入口１３から第２出入口４０に向かってスペース４１を通流する空気によって空気層が形成される。
【００８３】
緩衝スペース４１には、机や棚、コンピュータ（サーバ）等を設置することができる他、作業者の更衣を行う場所として使用することができる。緩衝スペース４１の容積や床面積に特に制限はなく、作業ブース１２の容積や床面積によってその容積や床面積が決定される。なお、図示はしていないが、緩衝スペース４１が横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延在することなく、第１出入口１３から第２出入口４０に向かって前後方向（空気の流出方向）のみへ延びていてもよい。
【００８４】
ファンフィルターユニット１４（給気手段）は、図１のクリーンブース１０Ａのそれと同一であり、前後方向へ並ぶ２台のそれが天井空間２１に設置されている。ファンフィルターユニッ１４トの外部空気給気口２８（吹き出し口）や空気取り入れ口２９は、図１のファンフィルターユニットのそれらと同一である。ファンフィルターユニット１４から所定の給気風量（たとえば、０．３〜０．４ｍ／ｓ）の外気空気（清浄空気）を給気することで、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持しつつ、外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れるとともに、第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流を発生させる。
【００８５】
なお、クリーンブース１０Ｂでは、作業ブース１２の容積に対応し、安全キャビネット２６から作業ブース１２や緩衝スペース４１に還気される空気の還気風量に対応しつつ、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持し得るとともに、給気する外部空気によって外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４１に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、ファンフィルターユニット１４の給気風量（たとえば、０．３〜０．４ｍ／ｓ）や給気方向が調節される場合がある。給気風量を調節する場合において具体的には、ファンフィルターユニット１４の給気風量＝クリーンブース１０Ｂ（第２出入口４０）から排気される空気の排気風量−安全キャビネット２６から作業ブース１２や緩衝スペース４１に還気される（戻される）空気の還気風量である。
【００８６】
安全キャビネット２６は、図１のクリーンブース１０Ａのそれらと同一である（図３参照）。クリーンブース１０Ｂでは、安全キャビネット２６の送風機３４と還気用ダクト３８（還気第１給気口３９、還気第２給気口４５）とが還気手段１５を形成している。還気用ダクト３８は、天井空間２１に設置され、作業ブース１２の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）に取り付けられた還気第１給気口３９に連結され、第１壁パネル２０（第１側面壁２５）に取り付けられた還気第１給気口３９に連結されているとともに。緩衝スペース４１の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）に取り付けられた還気第２給気口４５に連結されている。還気第１給気口３９の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）や第１壁パネル２０における設置位置は、図１のクリーンブース１０Ａのそれと同一である。
【００８７】
還気第２給気口４５は、横方向（空気の流出方向（前後方向）と交差する方向）へ延びる緩衝スペース４１の天井パネル１８であって第１および第２出入口１３，４０の直上に位置する天井パネル１８を除く残余の天井パネル１８（第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を通流する空気の気流を乱すことがない緩衝スペース４１の天井パネル１８の所定の箇所）に設置されている。安全キャビネット２６を通流した空気は、それら還気第１給気口３９から作業ブース１２の内部に還気されるとともに（戻されるとともに）、還気第２給気口４５から緩衝スペース４１に還気される（戻される）。
【００８８】
なお、還気第２給気口４５は、横方向（空気の流出方向（前後方向）と交差する方向）へ延びる緩衝スペース４１に対向する第１壁パネル２０の所定の箇所（第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を通流する空気の気流を乱すことがない緩衝スペース４１に対向する第１壁パネル２０の所定の箇所）と、横方向（空気の流出方向（前後方向）と交差する方向）へ延びる緩衝スペース４１の天井パネル１８の所定の箇所（第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を通流する空気の気流を乱すことがない緩衝スペース４１の天井パネル１８の所定の箇所）と、横方向（空気の流出方向（前後方向）と交差する方向）へ延びる緩衝スペース４１を囲繞する第２壁パネル４２の所定の箇所（第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を通流する空気の気流を乱すことがない第２壁パネル４２の所定の箇所）とのうちの少なくとも一箇所に設置されていてもよい。
【００８９】
安全キャビネット２６を利用して各種の作業を行う場合、第２出入口４０から第１出入口１３を通って作業ブース１２に入室し、ファンフィルターユニット１４および安全キャビネット２６（送風機３４）を起動させる。建造物１１の空調設備が稼働し、所定風量の空調空気が空調空気給気口１７から建造物１１の内部に給気されている。クリーンブース１０Ｂを利用して各種の実験や研究、開発、培養等を行う実験者や研究者、開発者等の作業者は、ファンフィルターユニット１４や安全キャビネット２６のＯＮ／ＯＦＦスイッチをＯＮにしてファンフィルターユニット１４や安全キャビネット２６（送風機３４）を起動させるとともに、無塵衣を着用した状態で作業ブース１２に入る。
【００９０】
ファンフィルターユニット１４を起動させると、建造物１１の内部の空気（外部空気）が空気取り入れ用ガラリ２２から天井空間２１に流入し、天井空間２１からファンフィルターユニット１４の空気取り入れ口２９に流入する。外部空気は、ファンフィルターユニット１４のＨＥＰＡフィルタ２７を通流して清浄空気となり、外部空気給気口２８から作業ブース１２の内部の床面に向かって給気される。ファンフィルターユニット１４から給気される清浄空気の風量が作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持するそれに調節されているから、ファンフィルターユニット１４や安全キャビネット２６（送風機３４）の起動によって作業ブース１２の内部が微陽圧になるとともに、ファンフィルターユニット１４の外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が発生する。
【００９１】
作業ブース１２の内部に給気された清浄空気の一部は、安全キャビネット２６の空気流入開口３２から空気流路３３に流入し、空気流路３３を通って第１ＨＥＰＡフィルタ３５を通流した後、作業用チャンバ３０に流入するとともに、第２ＨＥＰＡフィルタ３６を通流した後、還気用ダクト３８を通って還気第１給気口３９から作業ブース１２の内部に還気され、還気用ダクト３９を通って還気第２給気口４５から緩衝スペース４１に還気される（図８，９参照）。したがって、ファンフィルターユニット１４から給気された清浄空気は、その一部が安全キャビネット２６から作業ブース１２の内部と緩衝スペース４１（クリーンブース１０Ａ）とに還気される（戻される）。
【００９２】
作業ブース１２の内部に給気された清浄空気のうちの安全キャビネット２６の前面開口３７に流入した空気を除く残余の空気は、図８，９に矢印Ｌ３で示すように、第１出入口１３を通って緩衝スペース４１に流入し、第２出入口４０を通ってクリーンブース１０Ｂの外側（建造物１１の内部（作業室））に流出する。建造物１１の内部に流出した空気（建造物１１の内部の外部空気）は、ファンフィルターユニット１４によって再び作業ブース１２の内部に給気される。
【００９３】
クリーンブース１０Ｂでは、空調設備の空調空気給気口１７から所定風量の空調空気が建造物１１の内部（室内）に給気されることで、建造物１１の内部に気流の乱れ（外乱）が生じ、その外乱が第２正面壁４３の中央に開口する第２出入口４０に作用する場合がある。さらに、安全キャビネット２６の空気吸い込み量の分だけ作業ブース１２の内部（クリーンブース１０Ｂ内）の空気の設計風量が不足し、クリーンブース１０Ｂの第１出入口１３や第２出入口４０を通流する空気の風速が低下する。クリーンブース１０Ｂの第１出入口１３や第２出入口４０を通流する空気の風速が低下し、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用すると、建造物１１の内部（室内）の外部空気の一部が第２出入口４０から緩衝スペース４１に流入（逆流）する場合がある。
【００９４】
しかし、クリーンブース１０Ｂでは、安全キャビネット２６（実験設備）を通流した空気を作業ブース１２および緩衝スペース４１に還気することで、作業ブース１２における空気の設計風量不足が補完され、第１および第２出入口１３，４０における風速低下が防止され、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２正面壁４３の中央に開口する第２出入口４０に作用したとしても、第１出入口１３と第２出入口４０との間で第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース４１の空気層（ファンフィルターユニット１４から給気された気流）が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース４１の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、図８，９に矢印Ｌ３で示すように、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される。
【００９５】
クリーンブース１０Ｂは、それを施設した建造物１１の内部（作業室）の気流が空調設備の空調空気給気口１７から給気された空調空気によって乱れ、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用したとしても、緩衝スペース４１が第１出入口１３と第２出入口４０との間で第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びることで、緩衝スペース４１が空気の前後方向および横方向へ所定の容積を有し、外部空気給気口２８から作業ブース１２に給気される外部空気によって第１出入口１３から緩衝スペース４１に流出しつつ緩衝スペース４１を通流して第２出入口４０から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を流通する空気層（作業ブース１２から流出する空気）が第２出入口４０から緩衝スペース４１に向かって逆流する空気の抵抗となり、第２出入口４０から緩衝スペース４１に向かって逆流する空気が緩衝スペース４１を流通する空気層によって押し戻される。
【００９６】
クリーンブース１０Ｂは、第１出入口１３から緩衝スペース４１に流出するとともに緩衝スペース４１を通流して第２出入口４０から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、クリーンブース１０Ｂを施設した建造物１１の内部の気流が空調空気給気口１７から給気された空調空気（所定の原因）によって乱れ、建造物１１の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用したとしても、その外乱による影響が緩衝スペース４１の空気層によって緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れが維持されるから、空調空気の給気による外乱を要因とした建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への流入を防ぐことができるとともに、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。
【００９７】
クリーンブース１０Ｂは、外部空気給気口２８から作業ブース１２に給気される外部空気によって外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生し（または、外部空気給気口２８から作業ブース１２に給気される外部空気によって外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、還気手段１５による還気風量に対応させてファンフィルターユニット１４（給気手段）から給気する空気の給気風量が調節され）、安全キャビネット２６（実験設備）を通流した空気を作業ブース１２や緩衝スペース４１に還気することで、作業ブース１２や緩衝スペース４１における空気の設計風量不足や第１および第２出入口１３，４０における風速低下を防ぐことができるとともに、作業ブース１２の内部の空気を第１出入口１３から流出させることができ、緩衝スペース４１の空気を第２出入口４０から流出させることができる。
【００９８】
クリーンブース１０Ｂは、還気第１給気口３９が作業ブース１２に発生した第１出入口１３に向かって作業ブース１２を一方向（前後方向）へ通流する空気の気流を逆流させることがない（作業ブース１２の内部に給気された空気の一方向へ流れる気流を乱すことがない）天井パネル１８や第１壁パネル２０の所定の箇所に設置され、還気第２給気口４５が緩衝スペース４１に発生した第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を一方向（前後方向）へ通流する空気の気流を逆流させることがない（緩衝スペース４１の空気の一方向へ流れる気流を乱すことがない）天井パネルの所定の箇所に設置されることで、作業ブース１２の内部や緩衝スペース４１に発生した一方向（前後方向）へ流れる気流が還気手段１５から還気された空気によって乱れることや逆流することはなく、作業ブース１２の内部の空気が第１出入口１３から流出するから、作業ブース１２の内部や緩衝スペース４１の気流の乱れによって生じる第１出入口１３から作業ブース１２の内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。
【００９９】
クリーンブース１０Ｂは、それに第１出入口１３や第２出入口４０が作られ、それら出入口１３，４０が扉やカーテンによって遮蔽されることはないから、第２出入口４０を通って緩衝スペース４１に手を触れずに容易に入ることや緩衝スペース４１から手を触れずに容易に出ることができるとともに、第１出入口１３を通って作業ブース１２に手を触れずに容易に入ることや作業ブース１２から手を触れずに容易に出ることができ、緩衝スペース４１や作業ブース１２の内部へ手間を要せず手を触れずに容易に入退出することができる（クリーンブース１０Ｃ〜１０Ｆも同様）。クリーンブース１０Ｂは、それに対する入退出時にクリーンブース１０Ｂに作業者が接触することはなく、緩衝スペース４１や作業ブース１２の内部への入退出時において緩衝スペース４１や作業ブース１２への塵埃や雑菌の付着を防ぐことができ、クリーンブース１０Ｂの清潔状態を保持することができるとともに、緩衝スペース４１や作業ブース１２の内部への入退出時において作業者への塵埃や雑菌の付着を防ぐことができる（クリーンブース１０Ｃ〜１０Ｆも同様）。
【０１００】
クリーンブース１０Ｂは、天井パネル１８や第１壁パネル２０、第２壁パネル４２を建造物１１の内部に着脱可能に施設することで、安全キャビネット２６（実験設備）を収容可能な所定容積の作業ブース１２と緩衝スペース４１とを有するクリーンブース１０Ｂを作ることができ、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３からの流出や緩衝スペース４１の空気の第２出入口４０からの流出を維持することが可能であって、清浄状態を保持することが可能な作業ブース１２や外乱による影響を緩和・消滅させることが可能な緩衝スペース４１を備えたクリーンブース１０Ｂを手間や時間を要せずに建造物１１の内部に容易に施設することができる。クリーンブース１０Ｂは、それが不要になった場合、天井パネル１８や第１壁パネル２０、第２壁パネル４１を建造物１１から取り外すことでクリーンブース１０Ｂを容易に解体することできるから、手間や時間を要せずに建造物１１の内部からクリーンブース１０Ｂを速やかに撤去することができる。
【０１０１】
図１０は、クリーンブース１０Ｂにおける空気の流れの他の一例を示す上面図である。図１０では、前後方向を矢印Ａで示し、横方向を矢印Ｂで示す。図１０に示すクリーンブース１０Ｂが図８のそれと異なるところは、空調設備の空調空気給気口１７から給気された空調空気によって生じる気流の乱れ（外乱）に加え、建造物のドア４６（扉）の開閉によって生じる気流の乱れ（外乱）が発生している点にある。
【０１０２】
クリーンブース１０Ｂでは、空調設備の空調空気給気口１７から所定風量の空調空気が建造物１１の内部（作業室）に給気されるとともに、建造物１１のドア４６（扉）が開閉されることで、建造物１１の内部に気流の乱れ（外乱）が生じ、その外乱が第２正面壁４３の中央に開口する第２出入口４０に作用する場合がある（ドア４６の開閉のみによっても建造物１１の内部に気流の乱れ（外乱）が生じ、その外乱が第２出入口４０に作用する場合がある）。さらに、安全キャビネット２６の空気吸い込み量の分だけ作業ブース１２の内部（クリーンブース１０Ｂ内）の空気の設計風量が不足し、クリーンブース１０Ｂの第１出入口１３や第２出入口４０を通流する空気の風速が低下する。クリーンブース１０Ｂの第１出入口１３や第２出入口４０を通流する空気の風速が低下し、空調空気の給気を要因とする気流の乱れやドア４６の開閉を要因とする気流の乱れによる外乱が第２出入口４０に作用すると、建造物１１の内部（室内）の外部空気の一部が第２出入口４０から緩衝スペース４１に流入（逆流）する場合がある。
【０１０３】
しかし、クリーンブース１０Ｂでは、安全キャビネット２６（実験設備）を通流した空気を作業ブース１２および緩衝スペース４１に還気することで、作業ブース１２や緩衝スペース４１における空気の設計風量不足が補完され、第１および第２出入口１３，４０における風速低下が防止され、空調空気の給気やドア４６の開閉を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２正面壁４３の中央に開口する第２出入口４０に作用したとしても、第１出入口１３と第２出入口４０との間で第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース４１の空気層（ファンフィルターユニット１４から給気された気流）が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース４１の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、図１０に矢印Ｌ３で示すように、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される。
【０１０４】
クリーンブース１０Ｂは、それを施設した建造物１１の内部（室内）の気流が空調設備の空調空気給気口１７から給気された空調空気およびドア４６の開閉によって乱れ、空調空気の給気やドア４６の開閉を要因とする気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用したとしても、緩衝スペース４１が第１出入口１３と第２出入口４０との間で第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びることで、緩衝スペース４１が前後方向および横方向へ所定の容積を有し、外部空気給気口２８から作業ブース１２に給気される外部空気によって第１出入口１３から緩衝スペース４１に流出しつつ緩衝スペース４１を通流して第２出入口４０から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を流通する空気層（作業ブース１２から流出する空気）が第２出入口４０から緩衝スペース４１に向かって逆流する空気の抵抗となり、第２出入口４０から緩衝スペース４１に向かって逆流する空気が緩衝スペース４１を流通する空気層によって押し戻される。
【０１０５】
クリーンブース１０Ｂは、第１出入口１３から緩衝スペース４１に流出するとともに緩衝スペース４１を通流して第２出入口４０から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、クリーンブース１０Ｂを施設した建造物１１の内部の気流が空調空気給気口１７から給気された空調空気およびドア４６の開閉（所定の要因）によって乱れ、建造物１１の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用したとしても、その外乱による影響が緩衝スペース４１の空気層によって緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れが維持されるから、空調空気の給気およびドア４６の開閉による外乱を原因とした建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への流入を防ぐことができるとともに、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。
【０１０６】
図１１は、他の一例として示すクリーンブース１０Ｃにおける空気の流れの一例を示す上面図であり、図１２は、図１１のクリーンブース１０Ｃにおける空気の流れの一例を示す側面図ある。図１１，１２では、前後方向を矢印Ａ、横方向を矢印Ｂで示し、上下方向を矢印Ｃで示す。図１１に示すクリーンブース１０Ｃが図６のそれと異なるところは、安全キャビネット２６を通流した空気の一部をクリーンブース１０Ｃの外側（建造物１１の作業室または建造物１１の外部（屋外））に排気する排気手段４７を有する点にある。このクリーンブース１０Ｃのその他の構成は図１のクリーンブース１０Ｂのそれらと同一であるから、図６のクリーンブース１０Ｂの説明を援用するとともに、図６と同一の符号を付すことで、このクリーンブース１０Ｃのその他の構成の詳細な説明は省略する。
【０１０７】
クリーンブース１０Ｃは、作業ブース１２、第１出入口１３、第２出入口４０、緩衝スペース４１（緩衝空間）、ファンフィルターユニット１４（給気手段）、還気手段１５、排気手段４７を有する。作業ブース１２や緩衝スペース４１、第１および第２出入口１３，１４、ファンフィルターユニット１４（給気手段）、建造物１１に施設された空調設備、還気手段１５は、図６のクリーンブース１０Ｂのそれらと同一である。還気第１給気口３９の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）や第１壁パネル２０における設置位置は、図１のクリーンブース１０Ａのそれと同一であり、還気第２給気口４５の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）や第２壁パネル４２における設置位置は、図６のクリーンブース１０Ｂのそれと同一である。
【０１０８】
排気手段４７は、安全キャビネット２６の送風機３４と、還気用ダクト３８から分岐する排気用ダクト４８（排気口）と、排気用ダクト４８に取り付けられたダンパ装置４９ａとから形成されている。排気用ダクト４８は、天井空間２１に設置され、還気用ダクト３８から分岐して側面パネル１８ａに設置された排気口５０に連結されている。ダンパ装置４９ａは、排気用ダクト４８の空気流路を全開または全閉にする。還気用ダクト３８には、ダンパ装置４９ｂが設置されている。ダンパ装置４９ｂは、還気用ダクト３８の空気流路を全開または全閉にする。
【０１０９】
作業ブース１２に安全キャビネット２６（図３参照）が収容される場合、ダンパ装置４９ａが全閉になり、ダンパ装置４９ｂが全開になる。また、作業ブース１２にドラフトチャンバ５８が収容される場合、ダンパ装置４９ａが全開になり、ダンパ装置４９ｂが全閉になる。クリーンブース１０Ｃでは、作業ブース１２に収容する実験設備の特性によって還気手段１５と排気手段４７とのいずれかに切り替えられる。
【０１１０】
作業ブース１２に安全キャビネット２６が収容された場合、クリーンブース１０Ｃでは、図１１，１２に矢印Ｌ１で示すように、安全キャビネット２６を通流した空気が還気手段１５によって作業ブース１２および緩衝スペース４１に還気される。ファンフィルターユニット１４から所定の給気風量（たとえば、０．３〜０．４ｍ／ｓ）の外気空気（清浄空気）を給気することで、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持しつつ、外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れるとともに、第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流を発生させる。
【０１１１】
なお、クリーンブース１０Ｃでは、作業ブース１２の容積に対応し、安全キャビネット２６から作業ブース１２や緩衝スペース４１に還気される空気の還気風量に対応しつつ、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持し得るとともに、給気する外部空気によって外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４１に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、ファンフィルターユニット１４の給気風量（たとえば、０．３〜０．４ｍ／ｓ）や給気方向が調節される場合がある。給気風量を調節する場合において具体的には、ファンフィルターユニット１４の給気風量＝クリーンブース１０Ｃ（第２出入口４０）から排気される空気の排気風量−安全キャビネット２６から作業ブース１２や緩衝スペース４１に還気される（戻される）空気の還気風量である。
【０１１２】
作業ブース１２にドラフトチャンバ５８が収容された場合、クリーンブース１０Ｃでは、図１１，１２に矢印Ｌ５で示すように、ドラフトチャンバ５８を通流した空気が排気手段４７によってクリーンブース１０Ｃの外側（建造物１１の作業室または建造物１１の外部（屋外））に排気される。ファンフィルターユニット１４から所定の給気風量（たとえば、０．３〜０．４ｍ／ｓ）の外気空気（清浄空気）を給気することで、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持しつつ、外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れるとともに、第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流を発生させる。
【０１１３】
なお、クリーンブース１０Ｃでは、ドラフトチャンバ５８からクリーンブース１０Ｃの外側に排気される空気の排気風量に対応しつつ、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持し得るとともに、給気する外部空気によって外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４１に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、ファンフィルターユニット１４の給気風量（たとえば、０．３〜０．４ｍ／ｓ）や給気方向が調節される場合がある。給気風量を調節する場合において具体的には、ファンフィルターユニット１４の給気風量＝クリーンブース１０Ｂ（第２出入口４０）から排気される空気の排気風量＋ドラフトチャンバ５８から排気される空気の排気風量である。
【０１１４】
クリーンブース１０Ｃでは、空調設備の空調空気給気口１７から所定風量の空調空気が建造物１１の内部（作業室）に給気されることで、建造物１１の内部に気流の乱れ（外乱）が生じ、その外乱が第２正面壁４３の中央に開口する第２出入口４０に作用する場合がある。さらに、安全キャビネット２６の空気吸い込み量の分またはドラフトチャンバ５８からの排気風量の分だけ作業ブース１２の内部（クリーンブース１０Ｃ内）の空気の風量が不足し、第１出入口１３や第２出入口４０を通流する空気の風速が低下する。第１出入口１３や第２出入口４０を通流する空気の風速が低下し、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用すると、建造物１１の内部の外部空気の一部が第２出入口４０から緩衝スペース４１に流入（逆流）する場合がある。
【０１１５】
しかし、クリーンブース１０Ｃでは、安全キャビネット２６（実験設備）を通流した空気を作業ブース１２および緩衝スペース４１に還気する還気風量に対応し、または、ドラフトチャンバ５８を通流した空気をクリーンブース１０Ｃの外側に排気する排気風量に対応してファンフィルターユニット１４の給気風量が調節されることで、作業ブース１２における空気の設計風量不足が補完され、第１および第２出入口１３，４０における風速低下が防止され、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２正面壁４３の中央に開口する第２出入口４０に作用したとしても、第１出入口１３と第２出入口４０との間で第１出入口１３から前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース４１の空気層（ファンフィルターユニット１４から給気された気流）が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース４１の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、図１２，１３に矢印Ｌ３で示すように、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される。
【０１１６】
クリーンブース１０Ｃは、第１出入口１３から緩衝スペース４１に流出するとともに緩衝スペース４１を通流して第２出入口４０から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、クリーンブース１０Ｃを施設した建造物１１の内部の気流が空調空気給気口１７から給気された空調空気（所定の要因）によって乱れ、建造物１１の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用したとしても、その外乱による影響が緩衝スペース４１の空気層によって緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れが維持されるから、空調空気の給気による外乱を原因とした建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への流入を防ぐことができるとともに、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。
【０１１７】
図１３は、他の一例として示すクリーンブース１０Ｄの上面図であり、図１４は、図１３のクリーンブース１０Ｄにおける空気の流れの一例を示す上面図である。図１４では、前後方向を矢印Ａで示し、横方向を矢印Ｂで示す。図１３に示すクリーンブース１０Ｃが図６のそれと異なるところは、第２出入口が第１出入口に対して前後方向へ一直線に対向せず、緩衝スペースを挟んで（緩衝スペースの介在下に）第２出入口が第１出入口に対して所定の角度傾斜した位置に施設されている点にある。このクリーンブース１ＤＣのその他の構成は図１のクリーンブース１０Ｂのそれらと同一であるから、図６のクリーンブース１０Ｂの説明を援用するとともに、図６と同一の符号を付すことで、このクリーンブース１０Ｄのその他の構成の詳細な説明は省略する。
【０１１８】
クリーンブース１０Ｄは、作業ブース１２、第１出入口１３、第２出入口４０、緩衝スペース４１（緩衝空間）、ファンフィルターユニット１４（給気手段）、還気手段１５を有する。作業ブース１２やファンフィルターユニット１４（給気手段）、建造物１１に施設された空調設備、還気手段１５は、図６のクリーンブース１０Ｂのそれらと同一である。作業ブース１２には、安全キャビネット２６（図３参照）が収容されている。還気第１給気口３９の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）や第１壁パネル２０における設置位置は、図１のクリーンブース１０Ａのそれと同一であり、還気第２給気口４５の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）や第２壁パネル４２における設置位置は、図６のクリーンブース１０Ｂのそれと同一である。
【０１１９】
なお、還気第２給気口４５は、緩衝スペース４１に対向する第１壁パネル２０の所定の箇所（第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を通流する空気の気流を乱すことがない緩衝スペース４１に対向する第１壁パネル２０の所定の箇所）と、第１および第２出入口１３，４０の直上に位置する天井パネル１８を除く残余の天井パネル１８の所定の箇所（第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を通流する空気の気流を乱すことがない緩衝スペース４１の天井パネル１８の所定の箇所）と、緩衝スペース４１を囲繞する第２壁パネル４２の所定の箇所（第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を通流する空気の気流を乱すことがない第２壁パネル４２の所定の箇所）とのうちの少なくとも一箇所に設置されていてもよい（クリーンブース１０Ｅも同様）。
【０１２０】
第１出入口１３は、第１壁パネル２０によって形成された第１正面壁２３の間（第１正面壁２３の中央）に開口し、作業ブース１２の内部の空気が流出する。第２出入口４０は、第２壁パネル４２によって形成された第２正面壁４３の左端（中央に対して左側）に開口し、緩衝スペース４１の空気が流出する。第１出入口１３と第２出入口４０とは、同形同大であってその平面形状が縦方向へ長い四角形を呈する。第２出入口４０は、第１出入口１３に対して前後方向へ一直線に対向せず、緩衝スペース４１を挟んで（緩衝スペース４１の介在下に）第１出入口１３に対して斜め右前方に開口し、第１出入口１３に対して所定の角度傾斜した位置に施設されている。
【０１２１】
なお、第１出入口１３が第１正面壁２３の中央ではなく、第１正面壁２３の右端（中央に対して右側）または左端（中央に対して左側）に開口し、第２出入口４０が第１出入口１３に対して斜め前方へ所定角度傾斜して位置するように、第２正面壁４３の中央や第２正面壁４３の右端（中央に対して右側）、第２正面壁４３の左端（中央に対して左側）に開口していてもよい。緩衝スペース４１は、第１出入口１３と第２出入口４０との間に位置し、第１出入口１３から斜め前方に位置する第２出入口４０につながっている。緩衝スペース４１には、作業ブース１２から流出した空気が流入し、第１出入口１３から第２出入口４０に向かってスペース４１を通流する空気によって空気層が形成される。
【０１２２】
クリーンブース１０Ｄでは、空調設備の空調空気給気口１７から所定風量の空調空気が建造物１１の内部（室内）に給気されることで、建造物１１の内部に気流の乱れ（外乱）が生じ、その外乱が第２正面壁４３の左端（第１出入口１３に対して斜め前方へ所定角度傾斜した位置）に開口する第２出入口４０に作用する場合がある。さらに、安全キャビネット２６の空気吸い込み量の分だけ作業ブース１２の内部（クリーンブース１０Ｄ内）の空気の風量が不足し、第１出入口１３や第２出入口４０を通流する空気の風速が低下する。第１出入口１３や第２出入口４０を通流する空気の風速が低下し、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用すると、建造物１１の内部（室内）の外部空気の一部が第２出入口４０から緩衝スペース４１に流入（逆流）する場合がある。
【０１２３】
しかし、クリーンブース１０Ｄでは、安全キャビネット２６（実験設備）を通流した空気を作業ブース１２および緩衝スペース４１に還気することで、作業ブース１２や緩衝スペース４１における空気の設計風量不足が補完され、第１および第２出入口１３，４０における風速低下が防止され、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２正面壁４３の左端に開口する第２出入口４０に作用したとしても、第１出入口１３と第１出入口１３に対して斜め前方へ所定角度傾斜した第２出入口４０との間で前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース４１の空気層が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース４１の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、図１４に矢印Ｌ３で示すように、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される。
【０１２４】
なお、クリーンブース１０Ｄでは、空調空気の給気およびドア４６の開閉を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）またはドア４６の開閉のみを要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第１出入口１３に対して斜め前方へ所定角度傾斜した第２出入口４０に作用したとしても、緩衝スペース４１の空気層が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース４１の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される（図１０参照）。
【０１２５】
クリーンブース１０Ｄは、それを施設した建造物１１の内部（室内）の気流が空調設備の空調空気給気口１７から給気された空調空気（および／またはドア４６の開閉）によって乱れ、空調空気の給気（および／またはドア４６の開閉）を要因とする気流の乱れ（外乱）が第２正面壁４３の左端（第１出入口１３に対して斜め前方へ所定角度傾斜した位置）に開口する第２出入口４０に作用したとしても、緩衝スペース４１が第１出入口１３と第２出入口との間で前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びることで、緩衝スペース４１が前後方向および横方向へ所定の容積を有し、作業ブース１２から第１出入口１３を通って緩衝スペース４１に流出するとともに緩衝スペース４１を通流して第２出入口４０から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を流通する空気層が第２出入口４０から緩衝スペース４１に向かって逆流する空気の抵抗となり、第２出入口４０から緩衝スペース４１に向かって逆流する空気が緩衝スペース４１を流通する空気層によって押し戻される。
【０１２６】
クリーンブース１０Ｄは、第１出入口１３から緩衝スペース４１に流出するとともに緩衝スペース４１を通流して第２正面壁４３の左端（第１出入口１３に対して斜め前方へ所定角度傾斜した位置）に開口する第２出入口４０から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、クリーンブース１０Ｄを施設した建造物１１の内部の気流が空調空気給気口１７から給気された空調空気（および／またはドア４６の開閉）（所定の原因）によって乱れ、建造物１１の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用したとしても、その外乱による影響が緩衝スペース４１の空気層によって緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れが維持されるとともに、第２出入口が第１出入口に対して所定角度傾斜して位置することで、第２出入口から逆流する空気が第１出入口に直接向かうことができないから、空調空気の給気（および／またはドア４６の開閉）による外乱を原因とした建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への逆流（流入）を確実に防ぐことができ、建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への流入を防ぐことができるとともに、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。
【０１２７】
クリーンブース１０Ｄは、第２出入口４０を第１出入口１３に対して所定角度傾斜して位置させることで、緩衝スペース４１に載置する各種の機材の配置に応じて第１および第２出入口１３，４０の位置を自由に決定することができ、緩衝スペース１５の利便性を向上させることができる。
【０１２８】
図１５は、他の一例として示すクリーンブース１０Ｅの上面図であり、図１６は、図１５のクリーンブース１０Ｅにおける空気の流れの一例を示す上面図である。図１５では、前後方向を矢印Ａで示し、横方向を矢印Ｂで示す。図１５に示すクリーンブース１０Ｅが図６のそれと異なるところは、第２出入口４０が第１出入口１３に対して前後方向へ一直線に対向せず、緩衝スペース４１の介在下に第２出入口１３が第１出入口４０に対して略直交した位置に施設されている点にある。このクリーンブース１０Ｅのその他の構成は図６のクリーンブース１０Ｂのそれらと同一であるから、図６の説明を援用するとともに、図６と同一の符号を付すことで、このクリーンブース１０Ｅのその他の構成の詳細な説明は省略する。
【０１２９】
クリーンブース１０Ｄは、作業ブース１２、第１出入口１３、第２出入口４０、緩衝スペース４１（緩衝空間）、ファンフィルターユニット１４（給気手段）、還気手段１５を有する。作業ブース１２やファンフィルターユニット１４（給気手段）、建造物１１に施設された空調設備、還気手段１５は、図６のクリーンブース１０Ｂのそれらと同一である。作業ブース１２には、安全キャビネット２６（図３参照）が収容されている。還気第１給気口３９の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）や第１壁パネル２０における設置位置は、図１のクリーンブース１０Ａのそれと同一であり、還気第２給気口４５の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）や第２壁パネル４２における設置位置は、図６のクリーンブース１０Ｂのそれと同一である。
【０１３０】
第１出入口１３は、第１壁パネル２０によって形成された第１正面壁２３の間（第１正面壁２３の中央）に開口し、作業ブース１２の内部の空気が流出する。第２出入口４０は、第２壁パネル４３によって形成された第２側面壁４４に開口し、緩衝スペース４１の空気が流出する。第１出入口１３と第２出入口４０とは、同形同大であってその平面形状が縦方向へ長い四角形を呈する。第２出入口４０は、第１出入口１３に対して前後方向へ一直線に対向せず、緩衝スペース４１の介在下に第１出入口１３に対して略直交した位置（略９０°曲がった位置）に開口し、第１出入口１３に対して略直交した位置（第１正面壁２３に直交する第２側面壁４４）に施設されている。
【０１３１】
なお、第１出入口１３が第１正面壁２３の中央ではなく、第１正面壁２３の右端（中央に対して右側）または左端（中央に対して左側）に開口し、第２出入口４０が第１出入口１３に対して略直交して位置するように、第２側面壁４４に開口していてもよい。緩衝スペース４１は、第１出入口１３と第２出入口４０との間に位置し、第１出入口１３から略直交して位置する第２出入口４０につながっている。緩衝スペース４１には、作業ブース１２から流出した空気が流入し、第１出入口１３から第２出入口４０に向かってスペース４１を通流する空気によって空気層が形成される。
【０１３２】
クリーンブース１０Ｅでは、空調設備の空調空気給気口１７から所定風量の空調空気が建造物１１の内部（室内）に給気されることで、建造物１１の内部に気流の乱れ（外乱）が生じ、その外乱が第２側面壁４４（第１出入口１３に対して略直交した位置）に開口する第２出入口４０に作用する場合がある。さらに、安全キャビネット２６の空気吸い込み量の分だけ作業ブース１２の内部（クリーンブース１０Ｅ内）の空気の風量が不足し、第１出入口１３や第２出入口４０を通流する空気の風速が低下する。第１出入口１３や第２出入口４０を通流する空気の風速が低下し、空調空気給気を要因とする気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用すると、建造物１１の内部（室内）の外部空気の一部が第２出入口４０から緩衝スペース４１に流入（逆流）する場合がある。
【０１３３】
しかし、クリーンブース１０Ｅでは、安全キャビネット２６（実験設備）を通流した空気を作業ブース１２および緩衝スペース４１に還気することで、作業ブース１２や緩衝スペース４１における空気の設計風量不足が補完され、第１および第２出入口１３，４０における風速低下が防止され、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２側面壁４４に開口する第２出入口４０に作用したとしても、第１出入口１３と第１出入口１３に対して略直交して位置する第２出入口４０との間で前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース４１の空気層が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース４１の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、図１６に矢印Ｌ３で示すように、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される。
【０１３４】
なお、クリーンブース１０Ｅでは、空調空気の給気およびドア４６の開閉を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）またはドア４６の開閉のみを要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第１出入１３口に対して略直交して位置する第２出入口４０に作用したとしても、緩衝スペース４１の空気層が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース４１の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される（図１０参照）。
【０１３５】
クリーンブース１０Ｅは、それを施設した建造物１１の内部（室内）の気流が空調設備の空調空気給気口１７から給気された空調空気（および／またはドア４６の開閉）によって乱れ、空調空気の給気（および／またはドア４６の開閉）を要因とする気流の乱れ（外乱）が第２側面壁４４（第１出入口１３に対して略直交した位置）に開口する第２出入口４０に作用したとしても、緩衝スペース４１が第１出入口１３と第１出入口１３に対して略直交して位置する第２出入口４０との間で前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びることで、緩衝スペース４１が前後方向および横方向へ所定の容積を有し、作業ブース１２から第１出入口１３を通って緩衝スペース４１に流出するとともに緩衝スペース４１を通流して第２出入口４０から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を流通する空気層が第２出入口４０から緩衝スペース４１に向かって逆流する空気の抵抗となり、第２出入口４０から緩衝スペース４１に向かって逆流する空気が緩衝スペース４１を流通する空気層によって押し戻される。
【０１３６】
クリーンブース１０Ｅは、第１出入口１３から緩衝スペース４１に流出するとともに緩衝スペース４１を通流して第２側面壁４４（第１出入口１３に対して略直交した位置）に開口する第２出入口４０から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、クリーンブース１０Ｅを施設した建造物１１の内部の気流が空調空気給気口１７から給気された空調空気（および／またはドア４６の開閉）（所定の原因）によって乱れ、建造物１１の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用したとしても、その外乱による影響が緩衝スペース４１の空気層によって緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れが維持されるとともに、第２出入口４０が第１出入口１３に対して略直交することで、第２出入口４０から逆流する空気が第１出入口１３に直接向かうことができないから、空調空気の給気（および／またはドア４６の開閉）による外乱を原因とした建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への流入を防ぐことができるとともに、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。
【０１３７】
クリーンブース１０Ｅは、第２出入口４０を第１出入口１３に対して略直交させることで、緩衝スペース４１に載置する各種の機材の配置に応じて第１および第２出入口１３，４０の位置を自由に決定することができ、緩衝スペース４１の利便性を向上させることができる。
【０１３８】
図１７は、他の一例として示すクリーンブース１０Ｆの上面図であり、図１８は、除電用空気発生システム５１の概略構成図である。図１９は、図１７のクリーンブース１０Ｆにおける空気の流れの一例を示す上面図であり、図２０は、図１７のクリーンブース１０Ｆにおける空気の流れの一例を示す側面図である。図１７，２０では、前後方向を矢印Ａ、横方向を矢印Ｂで示し、上下方向を矢印Ｃで示す。
【０１３９】
図１７に示すクリーンブース１０Ｆが図６のそれと異なるところは、イオン化空気を生成しつつ生成したイオン化空気を作業ブース１２に給気する除電用空気発生装置５４を含む点、除電用空気発生装置５４によって作業ブース１２に給気されるイオン化空気のイオン化空気給気口５５が安全キャビネット２６で作業する作業者の直上に位置する天井パネル１８に設置されている点にある。このクリーンブース１０Ｆのその他の構成は図６のクリーンブース１０Ｂのそれらと同一であるから、図６の説明を援用するとともに、図６と同一の符号を付すことで、このクリーンブース１０Ｆのその他の構成の詳細な説明は省略する。
【０１４０】
クリーンブース１０Ｆは、作業ブース１２、第１出入口１３、第２出入口４０、緩衝スペース４１（緩衝空間）、ファンフィルターユニット１４（給気手段）、還気手段１５、除電用空気発生システム５１を有する。作業ブース１２や第１出入口１３、第２出入口４０、緩衝スペース４１、ファンフィルターユニット１４（給気手段）、建造物１１に施設された空調設備、還気手段１５は、図６のクリーンブース１０Ｂのそれらと同一である。作業ブース１２には、安全キャビネット２６（図３参照）が収容されている。還気第１給気口３９の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）や第１壁パネル２０における設置位置は、図１のクリーンブース１０Ａのそれと同一であり、還気第２給気口４５の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）や第２壁パネル４２における設置位置は、図６のクリーンブース１０Ｂのそれと同一である。
【０１４１】
除電用空気発生システム５１は、図１８に示すように、送風機５３（送風ファン）、ＨＥＰＡフィルタ５２、除電用空気発生装置５４、イオン化空気給気口５４、イオン化空気給気口５５、イオン化空気給気ダクト５６から形成されている。送風機５３は、イオン化空気給気ダクト５６に設置され、ＨＥＰＡフィルタ５２によって濾過された清浄空気を除電用空気発生装置５４に送る。ＨＥＰＡフィルタ５２は、送風機５３の後流側に延びるイオン化空気給気ダクト５６に設置され、外部空気を濾過して清浄空気を作る。
【０１４２】
除電用空気発生装置５４は、ＨＥＰＡフィルタ５２の後流側に延びるイオン化空気給気ダクト５６に設置されている。除電用空気発生装置５４は、高電圧によって空気を電離し、清浄空気から正イオン・負イオンを有するイオン化空気を生成する。除電用空気発生装置５４から生成されたイオン化空気によって帯電物の電荷が中和（除電）される。除電用空気発生装置５４には、イオンエンジン型やＤＣ型、ＡＣ型、フェイズドアレイ型、高周波型、パルスＤＣ型、パルスＡＣ型、プラズマ型、プラズマＤＣパルス型のいずれかを使用することができる。
【０１４３】
イオン化空気給気口５５は、イオン化空気給気ダクト５６に連結され、安全キャビネット２６で作業する作業者の直上に位置する作業ブース１２の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）に設置されている。イオン化空気給気ダクト５６は、天井空間２１に設置され、天井パネル１８（側面パネル１８ａ）に取り付けられた空気取り入れ用ガラリ５７に連結されている。なお、作業ブース１２にクリーンベンチやグローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバのいずれかが収容される場合、イオン化空気給気口５５がそれら実験設備で作業する作業者の直上に位置する天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）に設置される。
【０１４４】
クリーンブース１０Ｆでは、イオン化空気給気口５５が作業ブース１２の天井パネル１８に設置されているが、イオン化空気給気口５５が安全キャビネット１２で作業する作業者の直上に位置する作業ブース１２の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）と、緩衝スペース４１の天井パネル１８（天面パネル１８ｂ）とのうちの少なくとも一方に設置されていればよい。イオン化空気給気口５５が緩衝スペース４１の天井パネル１８に設置される場合は、第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を一方向（前後方向）へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペース４１の天井パネル１８の所定の箇所に設置される。
【０１４５】
除電用空気発生システム５１が起動すると、送風機５３によって建造物１１の内部（室内）の外部空気が空気取り入れ用ガラリ５７からイオン化空気給気ダクト５６に流入し、外部空気がＨＥＰＡフィルタ５２を通流して除電用空気発生装置５４に流入し、除電用空気発生装置５４によってイオン化空気が生成された後、所定風量のイオン化空気がイオン化空気給気口５５から作業ブース１２の内部の床面に向かってを給気される。なお、除電用空気発生システム５１のＯＮ／ＯＦＦスイッチは、クリーンブース１０Ｆの内部に設置されている。
【０１４６】
ファンフィルターユニット１４から所定の給気風量の外気空気（清浄空気）を給気し、除電用空気発生装置５４から所定の給気風量のイオン化空気を給気することで、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持しつつ、外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れるとともに、第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流を発生させる。
【０１４７】
なお、クリーンブース１０Ｆでは、作業ブース１２の容積や安全キャビネット２６から作業ブース１２や緩衝スペース４１に還気される空気の還気風量、除電用空気発生装置５４から給気されたイオン化空気の給気風量に対応しつつ、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持し得るとともに、給気する外部空気によって外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、ファンフィルターユニット１４の給気風量や給気方向が調節される場合もある。給気風量を調節する場合において具体的には、ファンフィルターユニット１４の給気風量＝クリーンブース１０Ｆ（第２出入口４０）から排気される空気の排気風量−（安全キャビネット２６から作業ブース１２や緩衝スペース４１に還気される（戻される）空気の還気風量＋除電用空気発生装置５４から給気されるイオン化空気の給気風量）である。
【０１４８】
クリーンブース１０Ｆを利用して各種の実験や研究、開発、培養等を行う作業者は、ファンフィルターユニット１４や安全キャビネット２６（送風機３４）、除電用空気発生システム５１のＯＮ／ＯＦＦスイッチをＯＮにしてファンフィルターユニット１４や安全キャビネット２６、除電用空気発生システム５１を起動させるとともに、無塵衣を着用した状態で作業ブース１２に入る。
【０１４９】
ファンフィルターユニット１４や安全キャビネット２６（送風機３４）、除電用空気発生システム５１を起動させると、建造物１１の内部の空気（外部空気）が空気取り入れ用ガラリ２２，５７から天井空間２１およびイオン化空気給気ダクト５６に流入し、天井空間２１からファンフィルターユニット１４に流入するとともに、イオン化空気給気ダクト５６からＨＥＰＡフィルタ５２を通流して除電用空気発生装置５４に流入する。外部空気がファンフィルターユニット１４のＨＥＰＡフィルタ２７を通流して外部空気給気口２８から作業ブース１２の内部の床面に向かって給気され、イオン化空気がイオン化空気給気口５５から作業ブース１２の内部の床面に向かって給気される。
【０１５０】
ファンフィルターユニット１４から給気される清浄空気の風量が作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持するそれに調節されているから、ファンフィルターユニット１４や安全キャビネット２６（送風機３４）、除電用空気発生システム５１の起動によって作業ブース１２の内部が微陽圧になるとともに、ファンフィルターユニット１４の外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が発生する。
【０１５１】
作業ブース１２の内部に給気されたイオン化空気は、図１９，２０に矢印Ｌ６で示すように、安全キャビネット２６で作業する作業者の上方から作業者に向かって給気される。作業者が装着した無塵衣が帯電している場合、イオン化空気によって無塵衣（帯電物）の電荷が中和（除電）される。作業ブース１２の内部に給気された清浄空気およびイオン化空気の一部は、安全キャビネット２６の空気流入開口３２から空気流路３３に流入し、空気流路３３を通って第１ＨＥＰＡフィルタ３５を通流した後、作業用チャンバ３０に流入するとともに、第２ＨＥＰＡフィルタ３６を通流した後、還気用ダクト３８を通って還気第１給気口３９から作業ブース１２の内部に還気される（図３参照）。したがって、ファンフィルターユニット１４から給気された清浄空気や除電用空気発生装置５４から給気されたイオン化空気は、その一部が安全キャビネット２６から作業ブース１２（クリーンブース１０Ｆ）の内部に還気される（戻される）。
【０１５２】
作業ブース１２の内部に給気された清浄空気やイオン化空気のうちの安全キャビネット２６に流入した空気を除く残余の空気（清浄空気およびイオン化空気）は、図１９，２０に矢印Ｌ３で示すように、第１出入口１３を通って緩衝スペース４１に流入し、緩衝スペース４１を通流した後、緩衝スペース４１から第２出入口４０を通ってクリーンブース１０Ｆの外側（建造物１１の内部（作業室））に流出する。建造物１１の内部に流出した空気（建造物１１の内部の外部空気）は、ファンフィルターユニット１４や除電用空気発生システム５１によって再び作業ブース１２の内部に給気される。
【０１５３】
クリーンブース１０Ｆでは、空調設備の空調空気給気口１７から所定風量の空調空気が建造物１１の内部（室内）に給気されることで、建造物１１の内部に気流の乱れ（外乱）が生じ、その外乱が第２正面壁４３の中央に開口する第２出入口４０に作用する場合がある。さらに、安全キャビネット２６の空気吸い込み量の分だけ作業ブース１２の内部（クリーンブース１０Ｆ内）の空気の設計風量が不足し、第１出入口１３や第２出入口４０を通流する空気の風速が低下する。第１出入口１３や第２出入口４０を通流する空気の風速が低下し、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用すると、建造物１１の内部（室内）の外部空気の一部が第２出入口４０から緩衝スペース４１に流入（逆流）する場合がある。
【０１５４】
しかし、クリーンブース１０Ｆでは、安全キャビネット２６（実験設備）を通流した空気（清浄空気、イオン化空気）を作業ブース１２および緩衝スペース４１に還気することで、作業ブース１２や緩衝スペース４１における空気の設計風量不足が補完され、第１および第２出入口１３，４０における風速低下が防止され、空調空気の給気を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２出入口４０に作用したとしても、第１出入口１３と第２出入口４０との間で前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びる緩衝スペース４１の空気層（ファンフィルターユニット１４から給気された気流）が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース４１の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、図１９，２０に矢印Ｌ３で示すように、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される。
【０１５５】
なお、クリーンブース１０Ｆでは、空調空気の給気およびドア４６の開閉を要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）またはドア４６の開閉のみを要因とする気流の乱れ（建造物１１の内部の外乱）が第２正面壁４３の中央に開口する第２出入口４０に作用したとしても、緩衝スペース４１の空気層が逆流する空気の抵抗となり、緩衝スペース４１の空気層によってその外乱による影響が緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持される（図１１参照）。
【０１５６】
クリーンブース１０Ｆは、それを施設した建造物１１の内部（作業室）の気流が空調設備の空調空気給気口１７から給気された空調空気（および／またはドア４６の開閉）（所定の要因）によって乱れ、空調空気の給気（および／またはドア４６の開閉）を要因とする気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用したとしても、緩衝スペース４１が第１出入口１３と第２出入口４０との間で前後方向（空気の流出方向）へ延びるとともに横方向（空気の流出方向と交差する方向）へ延びることで、緩衝スペース４１が前後方向および横方向へ所定の容積を有し、作業ブース１２から第１出入口１３を通って緩衝スペース４１に流出するとともに緩衝スペース４１を通流して第２出入口４０から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を流通する空気層（作業ブース１２から流出する空気）が第２出入口４０から緩衝スペース４１に向かって逆流する空気の抵抗となり、第２出入口４０から緩衝スペース４１に向かって逆流する空気が緩衝スペース４１を流通する空気層によって押し戻される。
【０１５７】
クリーンブース１０Ｆは、第１出入口１３から緩衝スペース４１に流出するとともに緩衝スペース４１を通流して第２出入口４０から流出する空気の流れ（気流）を作ることができ、安全キャビネット２６（実験設備）を通流した空気を作業ブース１２および緩衝スペース４１に還気することで、作業ブース１２や緩衝スペース４１における空気の設計風量不足や第１および第２出入口１３，４０における風速低下を防ぐことができるとともに、クリーンブース１０Ｆを施設した建造物１１の内部の気流が空調空気給気口１７から給気された空調空気（および／またはドア４６の開閉）（所定の原因）によって乱れ、建造物１１の内部の気流の乱れ（外乱）が第２出入口４０に作用したとしても、その外乱による影響が緩衝スペース４１の空気層によって緩和・消滅し、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れを維持することができる。
【０１５８】
クリーンブース１０Ｆは、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れが維持されるから、空調空気の給気（および／またはドア４６の開閉）による外乱を原因とした建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への逆流（流入）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気の作業ブース１２の内部への流入（逆流）を防ぐことができるとともに、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。
【０１５９】
クリーンブース１０Ｆは、除電用空気発生装置５４（除電用空気発生システム５１）によって生成されたイオン化空気が天井パネル１８から作業者に向かって給気されるから、作業者の着衣（無塵衣）に帯電した電荷をイオン化空気によって除電（中和）することができ、作業者における静電気の発生を防ぐことができるとともに、作業者の着衣への静電気による塵埃の付着を防ぐことができる。クリーンブース１０Ｅは、イオン化空気を給気することによって作業中に発生した静電気による着衣（無塵衣）や機材の帯電を防ぐことができるとともに、イオン化空気によって作業者の着衣や機材が帯電することがないから、着衣や機材に塵埃が付着したとしてもその塵埃を容易に除去することができる。
【０１６０】
クリーンブース１０Ｆは、イオン化空気給気口５５が第１出入口１３から第２出入口４０に向かって緩衝スペース４１を一方向（前後方向）へ通流する空気の気流を逆流させることがない緩衝スペース４１の天井パネル１８に設置される場合、緩衝スペース４１に発生した一方向へ流れる気流が除電用空気発生装置５４から給気されたイオン化空気によって乱れることや逆流することはなく、緩衝スペース４１の気流の乱れによって生じる第１出入口１３から作業ブース４１の内部への空気の逆流を防ぐことができ、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。
【０１６１】
なお、建造物１１の内部に外乱が発生する他の要因としては、クリーンブース１０Ａの第１出入口１３の近傍における人や物の往来、クリーンブース１０Ｂ〜１０Ｅの第２出入口４０の近傍における人や物の往来、建造物１１の内部における局所給気装置や局所排気装置の稼働、建造物１１の内部とクリーンブース１０Ａ〜１０Ｆの内部との急激な温度差の発生がある。クリーンブース１０Ａでは、それらの外乱が発生したとしても、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持されるから、それら外乱を原因とした建造物１１の内部（室内）の空気の作業ブース１２の内部への流入（逆流）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。クリーンブース１０Ｂ〜１０Ｅでは、それらの外乱が発生したとしても、作業ブース１２の内部の空気の第１出入口１３から流出する流れ（気流）が維持されるとともに、緩衝スペース４１の存在によってそれら外乱を原因とした建造物１１の内部（室内）の空気の作業ブース１２の内部への流入（逆流）を防ぐことができ、建造物１１の内部の空気が作業ブース１２の内部の清浄空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、作業ブース１２の内部の清浄状態を保持することができる。
【０１６２】
クリーンブース１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｄ〜１０Ｆでは、安全キャビネット２６を通流した空気を作業ブース１２の内部に還気しているが、クリーンブース１０Ｃと同様に、作業ブース１２の内部に安全キャビネット２６ではなくドラフトチャンバ５８が収容され、ドラフトチャンバ５８を通流した空気を排気手段４７によってクリーンブース１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｄ〜１０Ｆの外側（建造物１１の作業室または建造物１１の外部（屋外））に排気する場合がある。
【０１６３】
ドラフトチャンバ５８を通流した空気を排気する場合においてクリーンブース１０Ａでは、作業ブース１２の容積やドラフトチャンバ５８からクリーンブース１０Ａの外側に排気される排気風量に対応しつつ、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持し得るとともに、給気する外部空気によって外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、ファンフィルターユニット１４の給気風量や給気方向が調節される場合がある。給気風量を調節する場合において具体的には、ファンフィルターユニット１４の給気風量＝クリーンブース１０Ａ（第１出入口１３）から排気される空気の排気風量＋ドラフトチャンバ５８から排気される空気の排気風量）である。
【０１６４】
ドラフトチャンバ５８を通流した空気を排気する場合においてクリーンブース１０Ｂ〜１０Ｄでは、作業ブース１２の容積やドラフトチャンバ５８からクリーンブース１０Ｂ〜１０Ｄの外側に排気される排気風量に対応しつつ、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持し得るとともに、給気する外部空気によって外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、ファンフィルターユニット１４の給気風量や給気方向が調節される。具体的には、ファンフィルターユニット１４の給気風量＝クリーンブース１０Ｂ〜１０Ｄ（第２出入口４０）から排気される空気の排気風量＋ドラフトチャンバ５８から排気される空気の排気風量である。
【０１６５】
ドラフトチャンバ５８を通流した空気の一部を排気する場合においてクリーンブース１０Ｆでは、作業ブース１２の容積や除電用空気発生装置５４から給気されたイオン化空気の給気風量、ドラフトチャンバ５８からクリーンブース１０Ｆの外側に排気される排気風量に対応しつつ、作業ブース１２の内部気圧を微陽圧に保持し得るとともに、給気する外部空気によって外部空気給気口２８から第１出入口１３に向かうとともに第１出入口１３から第２出入口４０に向かって一方向（前後方向）へ流れる気流が作業ブース１２の内部に発生するように、ファンフィルターユニット１４の給気風量や給気方向が調節される。具体的には、ファンフィルターユニット１４の給気風量＝（クリーンブース１０Ｆ（第２出入口４０）から排気される空気の排気風量＋ドラフトチャンバ５８から排気される空気の排気風量）−除電用空気発生装置５４から作業ブース１２に給気されるイオン化空気の給気風量である。
【符号の説明】
【０１６６】
１０Ａ  クリーンブース
１０Ｂ  クリーンブース
１０Ｃ  クリーンブース
１０Ｄ  クリーンブース
１０Ｅ  クリーンブース
１０Ｆ  クリーンブース
１１    建造物
１２    作業ブース
１３    第１出入口
１４    ファンフィルターユニット（給気手段）
１５    還気手段
１６    天井
１７    空調空気給気口
１８    天井パネル
１８ａ  側面パネル
１８ｂ  天面パネル
１９    床
２０    第１壁パネル
２１    天井空間
２２    空気取り入れ用ガラリ
２３    第１正面壁
２４    背面壁
２５    第１側面壁
２６    安全キャビネット（実験設備）
２７    ＨＥＰＡフィルタ
２８    外部空気給気口
２９    空気取り入れ口
３０    作業用チャンバ
３１    架台
３２    空気流入開口
３３    空気流路
３４    送風機
３５    第１ＨＥＰＡフィルタ
３６    第２ＨＥＰＡフィルタ
３７    前面開口
３８    還気用ダクト
３９    還気第１給気口
４０    第２出入口
４１    緩衝スペース
４２    第２壁パネル
４３    第２正面壁
４４    第２側面壁
４５    還気第２給気口
４６    ドア
４７    排気手段
４８    排気ダクト
４９    ダンパ装置
５０    排気口
５１    除電用空気発生システム
５２    ＨＥＰＥフィルタ
５３    送風機
５４    除電用空気発生装置
５５    イオン化空気給気口
５６    イオン化空気給気ダクト
５７    空気取り入れ用ガラリ
５８    ドラフトチャンバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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