(57)【要約】【課題】光学部材を備えかつ信頼性及び光出力の向上を図ることが可能な発光モジュールを提供する。【解決手段】発光モジュール２００は、配線基板８と発光装置１と光学部材９と部材１０とを備える。発光装置１は、紫外線を放射する発光素子３を有し、配線基板８上に実装される。光学部材９は、発光装置１の発光素子３の前方に配置されるレンズ９０とレンズ９０から側方に突出する突出部９３とを一体に有する。部材１０は、前板１１と側板１２と反射板１３と固定部１４とを一体に有する。前板１１は、光学部材９のレンズ９０を露出させる露出孔１１０を有し、突出部９３の前面９３２に接触する。側板１２は、紫外線透過部１２０を有し、発光装置１の側面を覆う。反射板１３は、紫外線透過部１２０と対向し、発光装置１から側方に放射される紫外線を前方に反射する。固定部１４は、配線基板８に固定される。【選択図】図２
2019216205.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線基板と、
紫外線を放射する発光素子を有し、前記配線基板上に実装される表面実装型の発光装置と、
前記発光装置の前記発光素子の前方に配置されるレンズと、前記レンズから側方に突出する突出部と、を一体に有する光学部材と、
前記光学部材の前記レンズを露出させる露出孔を有し、前記突出部の前面上に配置されて前記突出部の前記前面に接触する前板と、前記紫外線を透過する紫外線透過部を有し、前記発光装置の側面を覆う側板と、前記側板の前記紫外線透過部と対向し、前記発光装置から前記紫外線透過部を透過して側方に放射される紫外線を前方に反射する反射板と、前記配線基板に固定される固定部と、を一体に有する部材と、
を備える、
発光モジュール。
【請求項２】
前記発光装置は、実装基板とパッケージ用カバー部材とにより構成されて前記発光素子を収容するパッケージを有し、
前記実装基板は、前記配線基板上に配置されており、
前記発光素子は、前記実装基板上に配置されており、
前記パッケージ用カバー部材は、前記発光素子を覆うように前記実装基板上に配置されており、その少なくとも一部分が、前記発光素子から放射された紫外線を透過するカバー部であり、
前記部材の前記側板の前記紫外線透過部は、前記パッケージ用カバー部材の前記カバー部と対向する位置に設けられている、
請求項１に記載の発光モジュール。
【請求項３】
前記紫外線透過部は、前記側板に形成された開口である、
請求項１又は２に記載の発光モジュール。
【請求項４】
前記発光装置と前記光学部材とを複数備え、
前記複数の光学部材の各々は、前記複数の発光装置のうちの対応する一つの発光装置の前方に配置されており、
前記部材は前記露出孔を複数備え、前記複数の露出孔の各々は、前記複数の光学部材のうちの対応する一つの光学部材のレンズを露出させる、
請求項１〜３のいずれか一項に記載の発光モジュール。
【請求項５】
前記複数の発光装置は、前記配線基板上において直線状に並んでいる、
請求項４に記載の発光モジュール。
【請求項６】
前記反射板は、直線状に並んでいる前記複数の発光装置からなる群を囲んでいる、
請求項５に記載の発光モジュール。
【請求項７】
前記部材は、更に、放熱フィンを一体に有する、
請求項１〜６のいずれか一項に記載の発光モジュール。
【請求項８】
前記発光素子は、ＵＶ−Ｃ又はＵＶ−Ｂの波長域の紫外線を放射する紫外線ＬＥＤチップである、
請求項１〜７のいずれか一項に記載の発光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、一般に発光モジュールに関し、より詳細には、紫外線を放射する発光素子を備える発光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ＳＭＤ型光素子モジュールの製造方法が開示されている。
【０００３】
特許文献１の製造方法では、ＬＥＤを集合ベース基板上にダイボンド実装し、金属細線でワイヤボンィングした後、集合ベース基板上に成形型を位置決めし、透光性の封止樹脂を充填してフラットな樹脂面を成形する。そして、ＬＥＤを実装した位置データにもとづき、予め別体で成形したレンズをフラットな樹脂面に封止樹脂と同じ屈折率を有する接着剤樹脂を使用し接合する。その後、ＬＥＤ、ベース基板、及び封止樹脂を含む集合体をカットラインに沿って切断し単個の光素子モジュールを製造する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−８０６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
紫外線発光素子を含む発光モジュールにおいて、紫外線発光素子から放射される紫外線の配光を、レンズ等の光学部材により制御することが望まれる場合がある。しかしながら、特許文献１の製造方法を用いてこのような発光モジュールを製造した場合、封止樹脂が、紫外線発光素子から放射される紫外線により経時劣化して、発光モジュールの信頼性が低下してしまう懸念がある。
【０００６】
また、特許文献１の製造方法を用いて製造された発光モジュールでは、発光素子から側方に放出された光は、レンズの光軸に沿った向きには向かわず、レンズの光軸に沿った向きの光出力には寄与できない。このため、発光モジュールの光出力が低下してしまう可能性がある。
【０００７】
本発明の目的は、光学部材を備えかつ信頼性及び光出力の向上を図ることが可能な発光モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の一態様に係る発光モジュールは、配線基板と、発光装置と、光学部材と、部材と、を備える。前記発光装置は、紫外線を放射する発光素子を有する。前記発光装置は、表面実装型の発光装置であり、前記配線基板上に実装される。前記光学部材は、レンズと、突出部と、を一体に有する。前記レンズは、前記発光装置の前記発光素子の前方に配置される。前記突出部は、前記レンズから側方に突出する。前記部材は、前板と、側板と、反射板と、固定部と、を一体に有する。前記前板は、前記光学部材の前記レンズを露出させる露出孔を有し、前記突出部の前面上に配置されて前記突出部の前記前面に接触する。前記側板は、前記紫外線を透過する紫外線透過部を有し、前記発光装置の側面を覆う。前記反射板は、前記側板の前記紫外線透過部と対向し、前記発光装置から前記紫外線透過部を透過して側方に放射される紫外線を前方に反射する。前記固定部は、前記配線基板に固定される。
【発明の効果】
【０００９】
本開示によれば、光学部材を備えかつ信頼性及び光出力の向上を図ることが可能な発光モジュールを提供することが可能となる、という利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本開示の一実施形態に係る発光モジュールの平面図である。
【図２】図２は、同上の発光モジュールを示し、図１のＸ１−Ｘ１線断面図である。
【図３】図３は、同上の発光モジュールを示し、図１のＸ２−Ｘ２線断面図である。
【図４】図４は、同上の発光モジュールの要部を示し、図３のＸ３−Ｘ３線断面図である。
【図５】図５は、同上の発光モジュールにおける発光装置の平面図である。
【図６】図６は、同上の発光装置を示し、図５のＸ４−Ｘ４線断面図である。
【図７】図７は、同上の発光装置における発光素子の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
下記の実施形態等において説明する各図は、模式的な図であり、各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
【００１２】
（実施形態）
（１）発光モジュールの全体構成
以下、実施形態に係る発光モジュール２００について、図面を参照して説明する。
【００１３】
実施形態に係る発光モジュール２００は、図１〜図３に示すように、複数（図示例では３つ）の発光装置１と、配線基板８と、複数（図示例では３つ）の光学部材９と、部材１０と、を備えている。なお、図２では、単に図面を見やすくするためだけに、発光装置１の細部の図示を省略している。
【００１４】
配線基板８は、マザー基板である。配線基板８は、例えば、ＡｌＮセラミックにより形成される支持体に、金属導体（配線）を設けることにより形成される。配線基板８は、平板状であり、厚さ方向において互いに反対側にある表面８１と裏面８２とを有する。
【００１５】
複数の発光装置１の各々は、配線基板８の表面８１上に配置されている。複数の発光装置１の各々は、表面実装型の発光装置であり、配線基板８上に実装されている。図１、図２に示すように、複数の発光装置１は、配線基板８上において直線状に並んでいる。
【００１６】
本実施形態では、配線基板８から発光装置１に向かう方向を、発光モジュール２００の前方と規定する。したがって、配線基板８の表面８１は配線基板８の前面であり、配線基板８の裏面８２は配線基板８の後面である。ただし、これらの方向は、単に説明のために規定しているに過ぎず、発光モジュール２００の使用方向を限定する趣旨ではない。
【００１７】
複数の発光装置１の各々は、紫外線を放射する発光素子３と、発光素子３を収容するパッケージ７（図６参照）と、を備えている。パッケージ７において発光素子３の前方に位置する部分は、発光素子３から放射される紫外線に対して透光性を有するカバー部５となっている。カバー部５は、発光素子３を覆っている。本開示での「透光性を有する」とは、発光素子３から放射される紫外線に対する透過率が５０％以上、好ましくは７０％以上、より好ましくは９０％以上であることを意味する。
【００１８】
複数の光学部材９は、複数の発光装置１と一対一に対応している。複数の光学部材９の各々は、複数の発光装置１のうちの対応する一つの発光装置１の前方に配置されている。
【００１９】
複数の光学部材９の各々は、レンズ９０と、突出部９３と、を一体に有している。レンズ９０は、対応する発光装置１における発光素子３の前方に配置される。突出部９３は、レンズ９０から側方に突出している。
【００２０】
図１〜図３に示すように、部材（押え反射部材）１０は、前板１１と、側板１２と、反射板１３と、固定部１４と、を一体に有している。以下では、部材１０を「所定部材１０」ともいう。
【００２１】
前板１１は、複数の光学部材９におけるレンズ９０をそれぞれ露出させる複数の露出孔１１０を有している。前板１１は、複数の露出孔１１０の各々から対応するレンズ９０を露出させた状態で、複数の光学部材９それぞれの突出部９３の前面に接触する。特に、前板１１は、後述のように所定部材１０が固定部１４によって配線基板８に固定されることで、複数の露出孔１１０の各々から対応するレンズ９０を露出させた状態で、複数の光学部材９を前方から押える。これにより、前板１１は、前後方向と直交する面内（図１の紙面と水平な面内）における複数の光学部材９の位置決めを行う。
【００２２】
側板１２は、前板１１の周縁部から後方に延びており、複数の発光装置１の側面を覆う。側板１２は、発光装置１の発光素子３から放射される紫外線を透過する紫外線透過部１２０を有している。本実施形態では、紫外線透過部１２０は、側板１２に形成された開口１２１である。紫外線透過部１２０は、発光装置１のカバー部５と対向する位置に設けられている。
【００２３】
反射板１３は、側板１２の後端から斜め前方に延びている。反射板１３は、側板１２の紫外線透過部１２０と対向している。反射板１３は、側板１２の紫外線透過部１２０と対向する面が、発光装置１の発光素子３から放射される紫外線を反射する反射面１３０となっている。反射板１３は、発光装置１から紫外線透過部１２０を通して側方に放射される紫外線を、前方に反射する。図３には、発光装置１から側方に放射されて反射板１３で前方に反射される紫外線を、点線矢印で模式的に示している。
【００２４】
固定部１４は、所定部材１０の一部分であって、所定部材１０を配線基板８に固定するための部分である。本実施形態における固定部１４は、かしめにより配線基板８に固定される。
【００２５】
発光モジュール２００では、発光素子３から放射される紫外線の配光を、レンズ９０により制御することが可能となる。また、発光モジュール２００では、所定部材１０の前板１１が突出部９３の前面に接触した状態で固定部１４が配線基板８に固定されることで、レンズ９０が位置決めされる。このため、発光モジュール２００では、発光素子３とレンズ９０との間に接着剤等のように、例えばＵＶ−Ｂ又はＵＶ−Ｃの波長域の紫外線によって経時劣化する部分がない。これにより、発光モジュール２００は、信頼性を向上させることが可能となる。また、発光モジュール２００では、発光装置１から側方に放射されて側板１２に向かう光（レンズ９０に向かわない光）を、側板１２の紫外線透過部１２０を通過させて反射板１３で反射することによって、前方へ向かわせることができる。これにより、発光モジュール２００は、光出力（レンズ９０の光軸に沿った向きの光出力）の向上を図ることが可能となる。なお、例えば国際照明委員会における紫外線の波長による分類によれば、「ＵＶ−Ｂの波長域」とは、２８０ｎｍ−３１５ｎｍであり、「ＵＶ−Ｃの波長域」とは、１００ｎｍ−２８０ｎｍである。
【００２６】
（２）発光モジュールの各構成要素
次に、発光モジュール２００の各構成要素について、図面を参照して説明する。
【００２７】
（２．１）発光装置
複数の発光装置１の各々は、互いに同じ構造を有している。このため以下では、複数の発光装置１のうちの一つについてのみ説明する。
【００２８】
発光装置１は、図５〜図７に示すように、発光素子３と、パッケージ７と、を備えている。パッケージ７は、実装基板２と、パッケージ用カバー部材６と、を備えている。パッケージ用カバー部材６は、スペーサ４と、カバー部５と、を備えている。
【００２９】
実装基板２は、発光素子３を実装する実装基板である。図６に示すように、実装基板２は、支持体２０と、支持体２０に支持された第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３と、を含んでいる。
【００３０】
支持体２０は、平板状であり、厚さ方向において互いに反対側にある表面（前面）２０１及び裏面（後面）２０２を有する。支持体２０の外周形状は、例えば正方形状である。実装基板２は、セラミック基板であり、支持体２０は、ＡｌＮセラミックにより形成されている。支持体２０は、第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３を支持する機能を有する。
【００３１】
第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３は、支持体２０の表面２０１上に形成されている。
【００３２】
第１導体部２１は、発光素子３の第１電極３１と電気的に接続される導電層である。第２導体部２２は、発光素子３の第２電極３２と電気的に接続される導電層である。
【００３３】
第１接合用金属層２３は、平面視において第１導体部２１及び第２導体部２２を囲んでいる。第１接合用金属層２３は、支持体２０の外周に沿って形成されている。第１接合用金属層２３の平面視形状は、矩形枠状である。なお、本開示での「平面視」とは、発光モジュール２００の前方から見ることを意味する。
【００３４】
第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３の各々は、例えば、支持体２０の表面２０１上のＴｉ膜と、このＴｉ膜上のＰｔ膜と、このＰｔ膜上のＡｕ膜と、の積層膜により構成されている。
【００３５】
実装基板２は、第１外部接続電極２４及び第２外部接続電極２５と、支持体２０を前後方向に貫通して形成された第１貫通配線２６及び第２貫通配線２７と、を更に含んでいる。第１外部接続電極２４及び第２外部接続電極２５は、支持体２０の裏面２０２に形成されている。第１外部接続電極２４は、第１貫通配線２６を介して第１導体部２１と電気的に接続されている。第２外部接続電極２５は、第２貫通配線２７を介して第２導体部２２と電気的に接続されている。第１外部接続電極２４及び第２外部接続電極２５の各々は、例えば、支持体２０の裏面２０２上のＴｉ膜と、このＴｉ膜上のＰｔ膜と、このＰｔ膜上のＡｕ膜と、の積層膜により構成することができる。第１貫通配線２６及び第２貫通配線２７の各々の材料は、例えば、Ｗ、Ｃｕ等である。第１外部接続電極２４及び第２外部接続電極２５の各々は、配線基板８の金属導体（配線）に接続される。
【００３６】
発光素子３は、ＵＶ−Ｂの波長域の紫外線を放射する紫外線ＬＥＤチップである。紫外線ＬＥＤチップのチップサイズ（前後方向と直交する面内の寸法）は、例えば、１ｍｍ□（１ｍｍ×１ｍｍ）である。紫外線ＬＥＤチップの厚さ（前後方向の寸法）は、例えば、１００μｍである。
【００３７】
図７に示すように、発光素子３は、基板３０と、半導体多層膜３９と、第１電極３１と、第２電極３２と、を備える。発光素子３は、実装基板２の前面上に配置されている。発光素子３は、実装基板２にフリップチップ実装されている。
【００３８】
基板３０は、その厚さ方向において互いに反対側にある第１面３０１及び第２面３０２を有する。基板３０の外周形状は、正方形状である。基板３０は、半導体多層膜３９を支持している。
【００３９】
半導体多層膜３９は、基板３０の第１面３０１上に形成されている。半導体多層膜３９は、第１導電型半導体層３３と、発光層３４と、第２導電型半導体層３５と、を含んでいる。半導体多層膜３９では、基板３０側から第１導電型半導体層３３、発光層３４及び第２導電型半導体層３５が、この順に並んでいる。第１導電型半導体層３３の外周形は、基板３０の外周形と大きさが同じである。発光層３４及び第２導電型半導体層３５それぞれの外周形は、第１導電型半導体層３３の外周形よりも小さい。
【００４０】
発光素子３では、第１電極３１が第１導電型半導体層３３と電気的に接続され、第２電極３２が第２導電型半導体層３５と電気的に接続されている。第１電極３１は、第１オーミック電極層３１Ａと、第１パッド電極層３１Ｂと、を含む。
【００４１】
第１オーミック電極層３１Ａは、第１導電型半導体層３３とオーミック接触を得るために、第１導電型半導体層３３の表面３３１上に形成されている。第１パッド電極層３１Ｂは、第１オーミック電極層３１Ａを覆うように形成されている。
【００４２】
第２電極３２は、第２オーミック電極層３２Ａと、第２パッド電極層３２Ｂと、を含む。第２オーミック電極層３２Ａは、第２導電型半導体層３５とオーミック接触を得るために、第２導電型半導体層３５の表面３５１上に形成されている。第２パッド電極層３２Ｂは、第２オーミック電極層３２Ａを覆うように形成されている。
【００４３】
発光素子３では、基板３０は、例えば、サファイア基板である。第１導電型半導体層３３は、例えば、ｎ型ＡｌＧａＮ層である。発光層３４は、例えば、ＵＶ−Ｂの波長域に発光ピーク波長を有する紫外線を放射可能となるように、その組成が設定されている。半導体多層膜３９は、基板３０と第１導電型半導体層３３との間に介在するバッファ層（例えば、ＡｌＮ層）を含んでいる。発光素子３の光取り出し面は、基板３０の第２面３０２を含む。
【００４４】
図６に示すように、発光装置１では、第１電極３１と第１導体部２１とが、第１接合部６１により接合され、第２電極３２と第２導体部２２とが、第２接合部６２により接合されている。また、発光装置１では、スペーサ４に設けられた第２接合用金属層４６と実装基板２の第１接合用金属層２３とが、第３接合部６３により接合されている。発光装置１では、スペーサ４が全周に亘って第３接合部６３を介して実装基板２と接合されている。発光装置１では、第１接合部６１、第２接合部６２及び第３接合部６３の各々がＡｕＳｎにより形成されている。
【００４５】
また、発光装置１では、第１導体部２１と第１接合部６１との間に第１バリア層７１が形成され、第２導体部２２と第２接合部６２との間に第２バリア層７２が形成され、第１接合用金属層２３と第３接合部６３との間に第３バリア層７３が形成されている。発光装置１では、第１バリア層７１、第２バリア層７２及び第３バリア層７３の各々の材料は、例えばＰｔである。
【００４６】
スペーサ４は、カバー部５に対向する第１面（前面）４１と、カバー部５とは反対側の第２面（後面）４２と、を含む。発光装置１においては、スペーサ４は、実装基板２とカバー部５との間に介在する。したがって、スペーサ４の第２面４２は、実装基板２に対向する。発光装置１では、スペーサ４の内側に発光素子３が配置されている。実装基板２の厚さ方向Ｄ１におけるスペーサ４の厚さ（高さ）は、発光素子３の厚さよりも大きい。
【００４７】
スペーサ４は、枠状である。スペーサ４は、実装基板２上に配置され発光素子３を囲んでいる。スペーサ４の平面視での外周形状は、正方形状である。スペーサ４は、平面視において実装基板２と同じ形状である。すなわち、スペーサ４の平面視における外周形は、実装基板２の平面視における外周形と大きさが同じである。
【００４８】
スペーサ４は、第１面４１と、第２面４２と、内周面４３と、外周面４４と、を有する。第１面４１は、カバー部５に接触する。第２面４２は、前後方向において実装基板２に対向する。内周面４３は、第１面４１の内周と第２面４２の内周とをつないでいる。外周面４４は、第１面４１の外周と第２面４２の外周とをつないでいる。内周面４３は、第２面４２とのなす内角が鋭角である傾斜面４３０を含む。内周面４３は、傾斜面４３０を４つ含んでいる。４つの傾斜面４３０は、スペーサ４の第２面４２の内周に沿って並んでいる。これにより、スペーサ４は、前後方向において第２面４２から離れて第１面４１に近づくにつれて開口面積が漸次増加している。つまり、スペーサ４は、前後方向において実装基板２から離れるにつれて開口面積が漸次増加している。発光装置１では、スペーサ４が、シリコンにより形成されており、スペーサ４の内周面４３が、発光素子３から放射された紫外線を反射する反射面の機能を有する。
【００４９】
スペーサ４の４つの傾斜面４３０は、シリコン基板に対して、シリコン基板のエッチング速度の結晶面方位依存性を利用した異方性エッチングにより形成されている。スペーサ４の第１面４１が（１００）面であり、４つの傾斜面４３０は、｛１１１｝面である。ここにおいて異方性エッチングを行うときのエッチング液は、例えば、所定温度（例えば、８５℃）に加熱したＴＭＡＨ溶液である。エッチング液は、ＴＭＡＨ溶液に限らず、他のアルカリ系溶液（例えば、ＫＯＨ溶液など）を用いてもよい。
【００５０】
発光装置１は、スペーサ４の第２面４２と第２接合用金属層４６との間に介在するシリコン酸化膜４５を含んでいる。第２接合用金属層４６は、例えば、Ａｌ膜４６１とＡｕ膜４６２との積層膜により構成されている。
【００５１】
カバー部５は、平板状である。カバー部５は、発光素子３を覆うようにスペーサ４上に配置されている。カバー部５は、スペーサ４側の第１主面（後面）５１と、スペーサ４とは反対側の第２主面（前面）５２と、を有している。カバー部５の平面視での外周形状は、例えば、正方形状である。カバー部５は、平面視において実装基板２と同じ形状である。すなわち、カバー部５の平面視における外周形は、実装基板２の平面視における外周形と大きさが同じである。
【００５２】
カバー部５は、ガラスにより形成されている。カバー部５は、発光素子３から放射される紫外線を透過する。つまり、カバー部５は、発光素子３である紫外線ＬＥＤチップから放射される紫外線を透過するガラスにより形成されている。発光装置１では、カバー部５が、発光装置１のパッケージ７における、発光素子３から放射される紫外線に対して透光性を有する部分である。
【００５３】
カバー部５を形成するガラスは、アルカリ成分を含んでいる。アルカリ成分は、例えば、Ｎａ、Ｋ、Ｎａ2Ｏ、Ｋ2Ｏ等である。ここにおいて、カバー部５を形成するガラスは、硼珪酸ガラスである。
【００５４】
スペーサ４とカバー部５とは、直接接合されている。本開示での「直接接合されている」とは、接合材等を用いることなく接合されていることを意味する。スペーサ４とカバー部５とは、陽極接合によって直接接合されている。スペーサ４とカバー部５とが陽極接合によって直接接合されていることは、例えば、断面ＴＥＭ像（Cross-Sectional Transmission Electron Microscope Image）の観察結果、ＥＤＸ法（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）による組成分析の結果、ＳＩＭＳ（Secondary Ion Mass Spectroscopy）によって測定した元素の深さプロファイル等によって確認することができる。
【００５５】
発光装置１は、パッケージ７の内部空間（実装基板２とスペーサ４とカバー部５とで囲まれた空間）７０を不活性ガス雰囲気としてある。不活性ガス雰囲気は、例えば、Ｎ2ガス雰囲気である。
【００５６】
（２．２）光学部材
図２、図５、図６に示すように、光学部材９は、対応する発光装置１のカバー部５上に配置されている。言い換えれば、光学部材９は、対応する発光装置１のカバー部５の第２主面５２側（スペーサ４側とは反対側）に配置されている。要するに、光学部材９は、対応する発光装置１のパッケージ７の外側に配置されている。光学部材９は、発光素子３から放射される紫外線に対して透光性を有する。光学部材９の材料は、無機材料である。より詳細には、光学部材９は、例えば、合成石英により形成されている。
【００５７】
光学部材９は、対応する発光装置１の発光素子３から放射される紫外線の配光を制御する。光学部材９は、レンズ９０と、突出部９３と、を有する。レンズ９０と突出部９３とは、同じ材料で形成されており、一体である。レンズ９０は、前後方向において、対応する発光装置１の発光素子３に重なり発光素子３から放射された紫外線を透過する。突出部９３は、平面視においてレンズ９０から外側に突出し、かつ前後方向において対応する発光装置１のスペーサ４に重なっている。
【００５８】
平面視において、レンズ９０の外周形状は、略円形状である。平面視において、レンズ９０は発光素子３よりも大きい。レンズ９０は、カバー部５側の第１面（後面）９１と、カバー部５とは反対側の第２面（前面）９２と、を有する。レンズ９０は、集光レンズである。より詳細には、レンズ９０は、平凸型の非球面レンズである。したがって、レンズ９０では、第１面９１が平面、第２面９２が凸曲面（非球面）である。
【００５９】
突出部９３は、所定部材１０の前板１１の後面に接触する部分である。突出部９３は、レンズ９０の外周の全周から突出している。前後方向における突出部９３の厚さは、前後方向におけるレンズ９０の最大厚さよりも薄い。突出部９３は、カバー部５側の第１面（後面）９３１と、カバー部５とは反対側の第２面（前面）９３２と、を有している。突出部９３では、第１面９３１及び第２面９３２の各々は、平面である。光学部材９では、突出部９３の第１面９３１とレンズ９０の第１面９１とがつながっており、第１面９３１と第１面９１とが同一平面上に位置している（面一である）。また、光学部材９では、突出部９３の第２面９３２とレンズ９０の第２面９２とがつながっており、第２面９３２と第２面９２との境界は、レンズ９０の第２面９２の外周形状によって決まっている。
【００６０】
平面視において、突出部９３の外周形状は、例えば、正方形状である。突出部９３の外周形状は、対応する発光装置１のカバー部５の外周形状と同じである。したがって、平面視において、光学部材９の外周形状は、対応する発光装置１のカバー部５の外周形状と同じである。
【００６１】
光学部材９は、発光装置１には接合されておらず、発光装置１の前面上（カバー部５の第２主面５２上）に置かれている。
【００６２】
（２．３）所定部材
部材（所定部材）１０は、発光素子３から放射される紫外線を反射する金属材料から形成されている。所定部材１０の材料は、例えばアルミニウムである。
【００６３】
所定部材１０は、図１〜図３に示すように、前板１１と、側板１２と、反射板１３と、固定部１４と、に加えて、放熱フィン１５を一体に有している。より詳細には、所定部材１０は、１つの前板１１と、４つの側板１２と、４つの反射板１３と、２つの固定部１４と、複数の放熱フィン１５と、を一体に有している。
【００６４】
前板１１は、複数の発光装置１が並ぶ方向（図１の左右方向）に長い板状である。ここにおいて、複数の発光装置１は、それらの中心が一直線上に位置し、かつ隣り合う２つの発光装置１の側面同士が正対するように、配線基板８上において一方向に沿って並んでいる。以下では、複数の発光装置１が並ぶ方向を、「第１方向」ともいう。また、第１方向及び前後方向の両方と直交する方向（図１の上下方向）を、「第２方向」ともいう。
【００６５】
前板１１の長さ（第１方向における寸法）は、複数の発光装置１における両端の発光装置１の外側の側面同士の間の距離と、略等しい。前板１１の幅（第２方向における寸法）は、各発光装置１の幅と、略等しい。
【００６６】
前板１１には、複数の露出孔１１０が形成されている。複数の露出孔１１０は、複数の発光装置１と一対一に対応するように形成されている。複数の発光装置１と一対一に対応するように複数の光学部材９が配置されているので、複数の露出孔１１０は、複数の光学部材９とも一対一に対応している。
【００６７】
各露出孔１１０の内周形状は、対応する光学部材９におけるレンズ９０の外周形状と略同じである。つまり、発光モジュール２００では、露出孔１１０は略円形状であって、露出孔１１０の径とレンズ９０の径とが略同じである。
【００６８】
４つの側板１２は、前板１１の４つの辺それぞれから後方に延びている。４つの側板１２の各々の前後方向における寸法は、発光装置１の前後方向の寸法（高さ）と光学部材９における突出部９３の前後方向の寸法との合計と、略同じである。したがって、側板１２の後端は、配線基板８の表面８１に接触或いは近接している。
【００６９】
４つの側板１２のうち、第１方向（図１の左右方向）において対向する２つの側板１２の間の間隔は、前板１１の長さと略等しい。言い換えれば、第１方向において対向する２つの側板１２の間の間隔は、第１方向に沿って並ぶ複数の発光装置１のうちの両端の発光装置１の外側の側面同士の間の距離と、略等しい。
【００７０】
４つの側板１２のうち、第２方向（図１の上下方向）において対向する２つの側板１２の間の間隔は、前板１１の幅と略等しい。言い換えれば、第２方向において対向する２つの側板１２の間の間隔は、各発光装置１の幅と、略等しい。
【００７１】
所定部材１０は、第１方向に沿って並んでいる複数の発光装置１の群１００に重ねられている。この状態では、所定部材１０の４つの側板１２の内面が、第１方向の両端の発光装置１の外側の側面、及び各発光装置１の第２方向の側面に、それぞれ接触或いは近接する。これにより、前後方向と直交する面内（図１の紙面と平行な面内）において、所定部材１０が、複数の発光装置１に対して位置決めされる。また、複数の発光装置１の前面上に複数の光学部材９がそれぞれ配置され、これに所定部材１０が重ねられている。このため、各光学部材９のレンズ９０は、対応する露出孔１１０の周縁に光学部材９のレンズ９０の外周縁が接触或いは近接した状態で、露出孔１１０から露出する。これにより、前後方向と直交する面内において、複数の光学部材９のレンズが、複数の発光装置１に対して位置決めされる。
【００７２】
つまり、所定部材１０によって、複数の発光装置１に対して、複数の光学部材９のレンズ９０をそれぞれ位置決めすることが可能となる。
【００７３】
図２、図３に示すように、各側板１２は、発光装置１のカバー部５と対向する位置に、発光素子３から放射される紫外線を透過する紫外線透過部１２０を有している。紫外線透過部１２０は、ここでは開口１２１である。要するに、側板１２は、発光装置１のカバー部５と対向する位置に、開口１２１を有している。
【００７４】
詳しくは、４つの側板１２のうち、第１方向（図１の左右方向）において対向する２つの側板１２の各々には、第１方向の端にある発光装置１のカバー部５と対向する位置に、開口１２１が形成されている。開口１２１は、発光装置１のカバー部５の側面よりも大きい。つまり、開口１２１は、カバー部５の側面の外周線をその内部に含む形状であって、カバー部５の側面の全体が開口１２１から露出している。
【００７５】
また、第２方向（図１の上下方向）において対向する２つの側板１２の各々には、複数の発光装置１のカバー部５と一対一に対応する複数の開口１２１が、対応する発光装置１のカバー部５と対向する位置に形成されている。各開口１２１は、対応する発光装置１のカバー部５の側面よりも大きい。つまり、各開口１２１は、対応するカバー部５の側面の外周線をその内部に含む形状であって、対応するカバー部５の側面の全体が開口１２１から露出している（図４参照）。
【００７６】
したがって、各発光装置１のカバー部５は、その側面の全体が、側板１２に形成されている開口１２１を通して外部に露出している。
【００７７】
図２、図３に示すように、４つの反射板１３は、４つの側板１２とそれぞれ対向している。複数の発光装置１からなる群１００は、４つの反射板１３によって、四方から囲まれている。図２、図３に示すように、４つの反射板１３の各々は、対応する側板１２の後端部から、斜め前方に延びている。反射板１３の前後方向の寸法は、側板１２の前後方向の寸法よりも大きい。さらに、反射板１３の前後方向の寸法は、発光装置１の前後方向の寸法と光学部材９の前後方向の寸法との合計よりも、大きい。つまり、反射板１３の前端は、レンズ９０の前端よりも前方に位置している。
【００７８】
各反射板１３は、前側の部分ほど、発光装置の群１００から離れるように、傾斜している。反射板１３において、側板１２と対向する面は、鏡面を呈しており、発光素子３から放射される紫外線を反射する反射面１３０となっている。反射板１３の反射面１３０の断面形状は、例えば、後方に向かって凸となる放物線又は双曲線状である。
【００７９】
発光素子３から放射されカバー部５に入射した紫外線の一部は、カバー部５と光学部材９との間の界面、及びカバー部５とスペーサ４との間の界面で反射（或いは全反射）されて、カバー部５の側面から側方に放射される。発光モジュール２００では、このカバー部５の側面から放射された紫外線は、側板１２の紫外線透過部１２０（開口１２１）を透過し、反射板１３の反射面１３０で反射されて、前方へ向かうこととなる。
【００８０】
複数の放熱フィン１５は、反射板１３における、反射面１３０とは反対側の面１３１に設けられている。図２、図３に示すように、４つの反射板１３の各々の面１３１に、複数（図示例では４つ）の放熱フィン１５が設けられている。放熱フィン１５は、反射板１３の面１３１から斜め後方に延びている。放熱フィン１５は、４つの反射板１３に跨がって連続して形成されており、前後方向から見て枠状となっている。放熱フィン１５は、例えば、発光装置１で発生し、実装基板２、配線基板８、側板１２及び反射板１３等を介して放熱フィン１５に伝わった熱を、外部に放射する。
【００８１】
固定部１４は、所定部材１０を配線基板８に固定するための、所定部材１０の部分である。図１、図２に示すように、２つの固定部１４は、第１方向（図１の左右方向）の両側に配置されている２つの反射板１３の外側に、それぞれ設けられている。
【００８２】
各固定部１４は、延出部１４１と、支え部１４２と、フランジ部１４３と、を備えている。
【００８３】
延出部１４１は、第１方向における寸法よりも第２方向（図１の上下方向）における寸法の方が大きな矩形板状である。延出部１４１は、対応する反射板１３の前縁（突出先端）から、外側（発光装置１からなる群１００から離れる方向）に延びている。
【００８４】
支え部１４２は、前後方向及び第２方向を含む面内に広い平板状である。支え部１４２は、延出部１４１の外側の端縁から後方に延びている。支え部１４２の前後方向における寸法は、反射板１３の前後方向における寸法と略同じである。したがって、支え部１４２の後端は、配線基板８の表面８１に接触或いは近接する。支え部１４２の第２方向における寸法は、延出部１４１の第２方向における寸法と略同じである。
【００８５】
フランジ部１４３は、第１方向における寸法よりも第２方向における寸法の方が大きな矩形板状である。フランジ部１４３は、支え部１４２の後縁から外側に延びている。フランジ部１４３の第２方向における寸法は、支え部１４２の第２方向における寸法と略同じである。フランジ部１４３は、その第２方向における中央に、貫通孔１４３０を有している。
【００８６】
フランジ部１４３は、例えば、図２に示すように、前方から貫通孔１４３０を通された留め具１４４の脚部が、配線基板８に設けられている穴に差し込まれて変形することで、配線基板８に固定される。
【００８７】
固定部１４を配線基板８に固定することで、前板１１が突出部９３の前面を押えた状態で、所定部材１０が配線基板８に固定される。
【００８８】
（３）効果
発光モジュール２００は、上記の前板１１及び側板１２を有する所定部材１０を備えているので、複数の発光装置１それぞれに対して、対応する光学部材９（レンズ９０）を高い精度で位置決めすることが可能となる。また、発光モジュール２００では、光学部材９（レンズ９０）の固定に接着剤のように紫外線によって経時劣化する要素が不要である。これにより、発光モジュール２００は、信頼性を向上させることが可能となる。
【００８９】
また、発光モジュール２００では、発光装置１からカバー部５を通って側方に放射されて側板１２に向かう光（レンズ９０に向かわない光）を、側板１２の紫外線透過部１２０を通過させて反射板１３で反射することによって、前方へ向かわせることができる。これにより、発光モジュール２００は、光出力の向上を図ることが可能となる。
【００９０】
一具体例において、反射板１３及び放熱フィン１５を備えていない比較例の発光モジュールでは、光出力が９２ｍＷ程度であるのに対し、発光モジュール２００では、１０２ｍＷ程度の光出力を得ることができる。
【００９１】
さらに、発光モジュール２００では、前板１１、側板１２、反射板１３及び固定部１４が一体の部材から形成されている。このため、固定部１４を配線基板８に固定するだけで、前板１１、側板１２、及び反射板１３を一括して配線基板８に固定することが可能となる。これにより、発光モジュール２００の製造工程の簡略化が図れる。
【００９２】
また、発光モジュール２００は、所定部材１０が放熱フィン１５を有しているので、発光装置１で発生する熱を効率よく外部に放出することが可能となる。一具体例において、反射板１３及び放熱フィン１５を備えていない比較例の発光モジュールでは、配線基板の基板温度が７５℃程度でまで上昇するのに対し、発光モジュール２００では、６４℃程度におさえることが可能である。
【００９３】
発光素子３としてＵＶ−Ｂの波長域の紫外線を放射する紫外線ＬＥＤチップを備えた発光モジュール２００は、例えば、紫外線により樹脂材料等を硬化させる生産設備等の分野（キュアの用途）で、利用することができる。発光モジュール２００は、発光素子３としてＵＶ−Ｃの波長域の紫外線を放射する紫外線ＬＥＤチップを備えていてもよく、この場合、例えば殺菌の用途で利用することができる。
【００９４】
（４）変形例
上記の実施形態は、本発明の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記の実施形態は、本発明の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
【００９５】
発光素子３は、ＵＶ−Ｂの波長域の紫外線を放射する紫外線ＬＥＤチップに限らず、例えば、ＵＶ−Ｃの波長域の紫外線を放射する紫外線ＬＥＤチップであってもよい。また、発光素子３は、例えば、ＵＶ−Ａの波長域の紫外線を放射する紫外線ＬＥＤチップであってもよい。複数の発光装置１は、例えば、ＵＶ−Ｂの波長域の紫外線を放射する発光素子３を備えた発光装置１とＵＶ−Ｃの波長域の紫外線を放射する発光素子３を備えた発光装置１とが混在していてもよい。
【００９６】
また、発光装置１において、実装基板２上においてスペーサ４の内側に配置される発光素子３の数は、１つに限らず、複数であってもよい。複数の発光素子３は、同じ種類の発光素子でもよいし、複数の発光素子３のうちの少なくとも１つの発光素子３が残りの発光素子３と異なる種類の素子であってもよい。例えば、発光装置１は、４つの発光素子３として、ＵＶ−Ｃの波長域の紫外線を放射する１つの第１紫外線ＬＥＤチップと、ＵＶ−Ｂの波長域の紫外線を放射する３つの第２紫外線ＬＥＤチップとを備えていてもよい。
【００９７】
発光素子３は、実装基板２に対して導電性バンプによって接合されていてもよい。
【００９８】
スペーサ４とカバー部５との接合方法は、陽極接合に限らず、例えば、表面活性化接合法によって直接接合されていてもよい。また、スペーサ４とカバー部５とは、例えば、共晶接合法によって接合されていてもよい。
【００９９】
また、スペーサ４の材料は、シリコンに限らず、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金等であってもよい。
【０１００】
スペーサ４は、実装基板２の厚さ方向Ｄ１において第２面４２から離れて第１面４１に近づくにつれて開口面積が漸次増加している構成に限らず、例えば、開口面積が段階的に増加していてもよい。また、スペーサ４は、例えば、実装基板２の厚さ方向Ｄ１の位置によらず開口面積が略一定であってもよい。
【０１０１】
光学部材９は、合成石英に限らず、例えば、石英ガラス、硼珪酸ガラス等であってもよい。
【０１０２】
発光装置１は、発光素子３に逆並列に接続されたツェナダイオードを備えていてもよい。これにより、発光装置１は、静電気耐性を向上させることが可能となる。ツェナダイオードは、例えば、パッケージ７内で実装基板２に実装されているのが好ましい。
【０１０３】
実施形態の発光モジュール２００は、直線状に並ぶ３つの発光装置１を備えているが、これに限定されない。例えば、発光モジュール２００は発光装置１を一つのみ備え、所定部材３０が、発光装置１の４つの側面に沿う形状の４つの側板１２を備えていてもよい。また、発光モジュール２００は、発光装置１を２つ又は４つ以上備えていてもよい。発光モジュール２００において、複数の発光装置１は、直線状ではなく２次元アレイ状に配置されていてもよい。
【０１０４】
露出孔１１０の内周形状は、レンズ９０の外周形状に沿った形状に限られない。例えば、露出孔１１０は、一辺の長さがレンズ９０の直径と略同じ正方形状であってもよいし、少なくとも３辺がレンズ９０の外周に接する多角形状であってもよいし、短径がレンズ９０の直径と略同じ楕円形状であってもよい。
【０１０５】
所定部材１０が備える側板１２の数は４つに限られず、３つ以下であってもよい。
【０１０６】
側板１２は、矩形の平板状に限られない。側板１２は、その全体が発光装置１の側面に沿っていなくてもよく、例えば上端のみが発光装置１の側面に沿い下方に向かうほど外側に湾曲した曲板状等であってもよい。
【０１０７】
紫外線透過部１２０の形状は、カバー部５の側面よりも大きな形状でなくてもよい。紫外線透過部１２０は、カバー部５の側面と同じ形状であってもよいし、カバー部５の側面よりも小さな形状であってもよい。或いは、紫外線透過部１２０は、２以上の発光装置１のカバー部５の側面に跨がって設けられていてもよい。
【０１０８】
紫外線透過部１２０は、開口１２１に限られず、例えば、紫外線に対して透光性を有するガラス板であってもよい。
【０１０９】
固定部１４は、反射板１３の外側に配置されていなくてもよい。例えば、固定部１４は、側板１２と反射板１３との間に配線基板８と平行に設けられた平板状の部材であってもよい。
【０１１０】
固定部１４の配線基板８に対する固定方法は、かしめに限られず、ねじ止めであってもよいし、接着剤による固定であってもよい。
【０１１１】
（５）態様
以上説明した実施形態等から以下の態様が開示されている。
【０１１２】
第１の態様の発光モジュール（２００）は、配線基板（８）と、発光装置（１）と、光学部材（９）と、部材（所定部材１０）と、を備えている。発光装置（１）は、表面実装型の発光装置であり、配線基板（８）上に実装される。発光装置（１）は、紫外線を放射する発光素子（３）を有する。光学部材（９）は、レンズ（９０）と突出部（９３）とを一体に有する。レンズ（９０）は、発光装置（１）の発光素子（３）の前方に配置される。突出部（９３）は、レンズ（９０）から側方に突出する。部材（１０）は、前板（１１）と、側板（１２）と、反射板（１３）と、固定部（１４）と、を一体に有する。前板（１１）は、光学部材（９）のレンズ（９０）を露出させる露出孔（１１０）を有し、突出部（９３）の前面上に配置されて突出部（９３）の前面（第２面９３２）に接触する。側板（１２）は、紫外線を透過する紫外線透過部（１２０）を有し、発光装置（１）の側面を覆う。反射板（１３）は、側板（１２）の紫外線透過部（１２０）と対向し、発光装置（１）から紫外線透過部（１２０）を透過して側方に放射される紫外線を前方に反射する。固定部（１４）は、配線基板（８）に固定される。
【０１１３】
この態様の発光モジュール（２００）によれば、発光素子（３）から放射される紫外線の配光を、レンズ（９０）により制御することが可能となる。また、発光モジュール（２００）では、所定部材（１０）の前板（１１）が突出部（９３）の前面に接触した状態で固定部（１４）が配線基板（８）に固定されることで、レンズ（９０）が発光装置（１）に対して位置決めされる。このため、発光モジュール（２００）は、発光素子（３）とレンズ（９０）との間に接着剤等のように紫外線によって経時劣化する部分がない。これにより、発光モジュール（２００）は、信頼性を向上させることが可能となる。また、発光モジュール（２００）では、発光装置（１）から側方に放射されて側板（１２）に向かう光を、側板（１２）の紫外線透過部（１２０）を透過させて反射板（１３）で反射することによって、前方へ向かわせることができる。これにより、発光モジュール（２００）は、光出力の向上を図ることが可能となる。
【０１１４】
第２の態様の発光モジュール（２００）では、第１の態様において、発光装置（１）は、実装基板（２）とパッケージ用カバー部材（６）とにより構成されて発光素子（３）を収容するパッケージ（７）を有する。実装基板（２）は、配線基板（８）上に配置されている。発光素子（３）は、実装基板（２）上に配置されている。パッケージ用カバー部材（６）は、発光素子（３）を覆うように実装基板（２）上に配置されている。パッケージ用カバー部材（６）の少なくとも一部分は、発光素子（３）から放射された紫外線を透過するカバー部（５）である。部材（１０）の側板（１２）の紫外線透過部（１２０）は、パッケージ用カバー部材（６）のカバー部（５）と対向する位置に設けられている。
【０１１５】
この態様によれば、発光装置（１）からカバー部（５）を通って側方に放射されて側板（１２）に向かう光を、側板（１２）の紫外線透過部（１２０）を透過させて反射板（１３）で反射することによって、前方へ向かわせることができる。これにより、発光モジュール（２００）は、光出力の向上を図ることが可能となる。
【０１１６】
第３の態様の発光モジュール（２００）では、第１又は第２の態様において、紫外線透過部（１２０）は、側板（１２）に形成された開口（１２１）である。
【０１１７】
この態様によれば、発光装置１のカバー部（５）から側方に放射される紫外線を開口（１２１）を通して外部に取り出すことが可能となる。
【０１１８】
第４の態様の発光モジュール（２００）は、第１〜第３のいずれか一つの態様において、発光装置（１）と光学部材（９）とを複数備える。複数の光学部材（９）の各々は、複数の発光装置（１）のうちの対応する一つの発光装置（１）の前方に配置されている。部材（１０）は露出孔（１１０）を複数有している。複数の露出孔（１１０）の各々は、複数の光学部材（９）のうちの対応する一つの光学部材（９）のレンズ（９０）を露出させる。
【０１１９】
この態様によれば、複数の発光装置（１）の発光素子（３）から放射される紫外線の配光を、対応する光学部材（９）のレンズ（９０）により制御することが可能となる。
【０１２０】
第５の態様の発光モジュール（２００）では、第４の態様において、複数の発光装置（１）は、配線基板（８）上において直線状に並んでいる。
【０１２１】
この態様によれば、直線状に並んだ複数の発光装置（１）から放射される紫外線の配光を、対応する光学部材（９）のレンズ（９０）により制御することが可能となる。
【０１２２】
第６の態様の発光モジュール（２００）では、第５の態様において、反射板（１３）は、直線状に並んでいる複数の発光装置（１）からなる群（１００）を囲んでいる。
【０１２３】
この態様によれば、直線状に並んだ複数の発光装置（１）から側方に放射される紫外線を、反射板（１３）によって前方に反射することが可能となり、光出力の向上を図ることが可能となる。
【０１２４】
第７の態様の発光モジュール（２００）では、第１〜第６のいずれか一つの態様において、部材（１０）は、更に、放熱フィン（１５）を一体に有する。
【０１２５】
この態様によれば、放熱フィン（１５）により、発光装置（１）で発生する熱を外部に放射させることが可能となる。
【０１２６】
第８の態様の発光モジュール（２００）では、第１〜第７のいずれか一つの態様において、発光素子（３）は、ＵＶ−Ｃ又はＵＶ−Ｂの波長域の紫外線を放射する紫外線ＬＥＤチップである。
【０１２７】
この態様によれば、発光素子（３）としてＵＶ−Ｃ又はＵＶ−Ｂの波長域の紫外線を放射する紫外線ＬＥＤチップを備えた構成において、紫外線の配光を光学部材（９）により制御できかつ信頼性及び光出力の向上を図ることが可能となる。この態様の発光モジュール（２００）は、例えば、紫外線により樹脂材料等を硬化させる生産設備等の分野、及び／又は殺菌の用途で、利用することができる。
【符号の説明】
【０１２８】
１  発光装置
２  実装基板
３  発光素子
４  スペーサ
５  カバー部
６  パッケージ用カバー部材
７  パッケージ
８  配線基板
９  光学部材
９０  レンズ
９３  突出部
９３２  第２面（前面）
１０  部材（所定部材）
１１  前板
１１０  露出孔
１２  側板
１２０  紫外線透過部
１２１  開口
１３  反射板
１４  固定部
１５  放熱フィン
１００  （複数の発光装置からなる）群
２００  発光モジュール
【図１】
2019216205.tif 000003
【図２】
2019216205.tif 000004
【図３】
2019216205.tif 000005
【図４】
2019216205.tif 000006
【図５】
2019216205.tif 000007
【図６】
2019216205.tif 000008
【図７】
2019216205.tif 000009