(57)【要約】【課題】系統図に含まれる部品と実物の加工装置に搭載された部品との対応関係を容易に確認することが可能な表示システムを提供する。【解決手段】加工装置を構成する複数の部品を表示する表示システムであって、複数の部品の配置を３次元で表す３次元ＣＡＤ図と、加工装置の系統を複数の部品によって表す系統図と、３次元ＣＡＤ図に含まれる複数の部品と系統図に含まれる複数の部品とを対応付ける対応情報と、を記憶する記憶部と、３次元ＣＡＤ図及び系統図の一方に含まれる所定の部品を指定する指定情報が入力される入力部と、３次元ＣＡＤ図及び系統図の一方で指定された部品に対応し、３次元ＣＡＤ図及び系統図の他方に示された部品を、対応情報を参照して選択する処理部と、処理部によって選択された部品を、３次元ＣＡＤ図及び系統図の他方上に識別可能に表示する表示部と、を備える。【選択図】図１
2019185645.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置を構成する複数の部品を表示する表示システムであって、
複数の該部品の配置を３次元で表す３次元ＣＡＤ図と、該加工装置の系統を複数の該部品によって表す系統図と、該３次元ＣＡＤ図に含まれる複数の該部品と該系統図に含まれる複数の該部品とを対応付ける対応情報と、を記憶する記憶部と、
該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の一方に含まれる所定の該部品を指定する指定情報が入力される入力部と、
該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の一方で指定された該部品に対応し、該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の他方に示された該部品を、該対応情報を参照して選択する処理部と、
該処理部によって選択された該部品を、該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の他方上に識別可能に表示する表示部と、を備えることを特徴とする表示システム。
【請求項２】
該３次元ＣＡＤ図に基づいて該系統図を作成する系統図作成部を更に備えることを特徴とする請求項１記載の表示システム。
【請求項３】
該３次元ＣＡＤ図に基づいて、該加工装置を構成する複数の該部品を含む２次元の設計図を作成する２次元設計図作成部と、
該２次元の設計図に基づいて該系統図を作成する系統図作成部と、を更に備えることを特徴とする請求項１記載の表示システム。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の表示システムと、
被加工物を加工する加工ユニットと、を備えることを特徴とする加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置を構成する部品を表示する表示システム、及び該表示システムを備えた加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハに代表される板状の被加工物には、切削装置、研削装置、研磨装置等の加工装置によって種々の加工が施される。これらの加工装置の設計や検査には、ＣＡＤ（Computer Aided Design）を用いて作成した２次元又は３次元の図が活用されている。特に、ＣＡＤによって３次元で表された設計図を用いると、加工装置の構成や部品の位置などを直感的に把握することができ、設計の検証や交換部品の位置確認などが容易になる。
【０００３】
また、エアーや水等の流体の流路となる配管の系統を表す配管系統図や電気配線の系統を表す配線系統図なども、ＣＡＤによって作成される。これらの系統図は、加工装置を構成する各種の部品の機能や部品同士の接続関係をシンプルに表すことができるため、加工装置の設計や加工フローの検証などで頻繁に利用される。特許文献１には、被加工物を吸引保持する吸着機構の一部が配管系統図で表された切削装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−７８４２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の配管系統図や配線系統図などの系統図は、加工装置に含まれる部品の機能や接続関係を表すには有益であるが、必ずしも加工装置内における各部品の位置を正確に示すものではない。そのため、例えば加工装置の部品を交換する際に交換対象となる部品を系統図上で示された場合、その部品が実際の加工装置のどの位置に配置されているかを瞬時に把握することは困難であり、作業の滞りが生じる。
【０００６】
他方、実物の加工装置を参照して指定された所定の部品の機能や接続関係等を正確に把握するため、対応する部品を系統図上で確認する作業が必要となる場合がある。しかしながら、加工装置に搭載されている部品と系統図に含まれる部品との対応関係を瞬時に把握するのは困難であるため、加工装置で指定された部品を系統図上で特定するために煩雑な作業が必要となる。このように、系統図に含まれる部品と実物の加工装置に搭載された部品との対応関係を把握しにくいことが、加工装置の設計、評価、メンテナンス等の際に問題となっていた。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、系統図に含まれる部品と実物の加工装置に搭載された部品との対応関係を容易に確認することが可能な表示システム、及び該表示システムを備えた加工装置の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、加工装置を構成する複数の部品を表示する表示システムであって、複数の該部品の配置を３次元で表す３次元ＣＡＤ図と、該加工装置の系統を複数の該部品によって表す系統図と、該３次元ＣＡＤ図に含まれる複数の該部品と該系統図に含まれる複数の該部品とを対応付ける対応情報と、を記憶する記憶部と、該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の一方に含まれる所定の該部品を指定する指定情報が入力される入力部と、該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の一方で指定された該部品に対応し、該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の他方に示された該部品を、該対応情報を参照して選択する処理部と、該処理部によって選択された該部品を、該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の他方上に識別可能に表示する表示部と、を備える表示システムが提供される。
【０００９】
なお、本発明に係る表示システムは、該３次元ＣＡＤ図に基づいて該系統図を作成する系統図作成部を更に備えていてもよい。
【００１０】
また、本発明に係る表示システムは、該３次元ＣＡＤ図に基づいて、該加工装置を構成する複数の該部品を含む２次元の設計図を作成する２次元設計図作成部と、該２次元の設計図に基づいて該系統図を作成する系統図作成部と、を更に備えていてもよい。
【００１１】
また、本発明によれば、上記の表示システムと、被加工物を加工する加工ユニットと、を備える加工装置が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る表示システム及び加工装置は、加工装置の構造を３次元で表す３次元ＣＡＤ図に含まれる部品と、加工装置の配管や配線等の系統を表す系統図に含まれる部品とを対応付け、一方の図で所定の部品が指定された際に他方の図で対応する部品を識別可能に表示する。これにより、系統図に含まれる部品と加工装置に搭載された部品との対応関係を容易に確認することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】加工装置の構成例を示す斜視図である。
【図２】加工装置の外観を示す斜視図である。
【図３】加工装置の３次元ＣＡＤ図を示す図である。
【図４】加工装置の系統図を示す図である。
【図５】表示システムの構成例を示すブロック図である。
【図６】表示部に表示される画像を示す図である。
【図７】表示部に表示される画像を示す図である。
【図８】表示システムの動作例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る表示システムによって表示される加工装置の構成例について説明する。図１は、半導体ウェーハ等の板状の被加工物に研削加工を施す加工装置１０の構成例を示す斜視図である。
【００１５】
加工装置１０は、加工装置１０を構成する各構成要素（部品）を支持する基台１２を備えている。基台１２の上面の正面側には開口１２ａが形成されており、この開口１２ａ内には被加工物を搬送する搬送ユニット１４が設けられている。また、開口１２ａのさらに前方の領域には、複数の被加工物を収容可能なカセット１６ａ，１６ｂが設けられている。
【００１６】
開口１２ａの斜め後方には、被加工物の位置を調整するための位置調整機構１８が設けられている。カセット１６ａ，１６ｂから搬送ユニット１４によって搬出された被加工物は位置調整機構１８に配置され、位置調整機構１８によってその位置が調整される。位置調整機構１８と隣接する位置には、被加工物を保持して旋回する搬送ユニット２０が配置されている。位置調整機構１８に配置された被加工物は、搬送ユニット２０によって後方に搬送される。
【００１７】
搬送ユニット２０の後方には、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対して平行な回転軸の周りに回転可能なターンテーブル２２が配置されている。ターンテーブル２２の上面には、被加工物を吸引保持する３個のチャックテーブル２４が設けられている。なお、ターンテーブル２２上に配置されるチャックテーブル２４の数は、必ずしも３個に限定されない。搬送ユニット２０は、チャックテーブル２４の所定の位置に被加工物が配置されるように、被加工物をチャックテーブル２４に搬送する。
【００１８】
チャックテーブル２４は、モータ等の回転機構（不図示）と連結されており、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対して平行な回転軸の周りに回転する。なお、チャックテーブル２４の上面は被加工物を保持する保持面となっている。この保持面は、チャックテーブル２４の内部に形成された吸引路（不図示）を介して吸引源（不図示）と接続されている。チャックテーブル２４に搬送された被加工物は、チャックテーブル２４の保持面に作用する吸引源の負圧によって吸引される。
【００１９】
ターンテーブル２２の後方には、２本の柱状の支持構造２６が設けられている。支持構造２６の正面側には、Ｚ軸移動機構２８を介してＺ軸移動プレート３０が設けられている。Ｚ軸移動機構２８は、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３２を備えており、Ｚ軸ガイドレール３２には、Ｚ軸移動プレート３０がスライド可能に設置されている。
【００２０】
Ｚ軸移動プレート３０の後面側（裏面側）にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３２と平行なＺ軸ボールネジ３４が螺合されている。Ｚ軸ボールネジ３４の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３６が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３６でＺ軸ボールネジ３４を回転させると、Ｚ軸移動プレート３０はＺ軸ガイドレール３２に沿ってＺ軸方向に移動する。
【００２１】
Ｚ軸移動プレート３０の正面側には、加工ユニット３８が設けられている。加工ユニット３８は、Ｚ軸移動プレート３０に固定されたスピンドルハウジング４０を備えている。スピンドルハウジング４０には、回転軸を構成するスピンドル（不図示）が回転可能に支持されている。スピンドルの下端部には、研削ホイール４２が装着されている。研削ホイール４２は、円筒状のホイール基台と、ホイール基台の下面に環状に配置された複数の研削砥石とを含む。
【００２２】
被加工物がチャックテーブル２４によって吸引保持されると、ターンテーブル２２は回転して被加工物を加工ユニット３８の下方に位置付ける。その後、チャックテーブル２４及び研削ホイール４２を相互に回転させた状態で加工ユニット３８を下降させ、研削ホイール４２の研削砥石を被加工物に接触させると、被加工物が研削される。
【００２３】
搬送ユニット２０と隣接する位置には、研削後の被加工物を吸引保持して旋回する搬送ユニット４４が設けられている。搬送ユニット４４の前方には、搬送ユニット４４で搬出された研削後の被加工物を洗浄する洗浄機構４６が配置されている。洗浄機構４６で洗浄された被加工物は搬送ユニット１４によって搬送され、カセット１６ｂに収容される。
【００２４】
また、基台１２の側面側には、エアーを噴出するエアーブロー器４８が設けられている。エアーブロー器４８を手に持ち、被加工物に向けてエアーを噴出させることにより、被加工物に付着した液体（加工水等）や屑を除去できる。
【００２５】
また、基台１２の側面側には、電磁弁等によって構成されるバルブ５０ａ，５２ａ，５４ａ，５６ａが設けられている。バルブ５０ａ，５２ａ，５４ａ，５６ａはそれぞれ、加工装置１０に含まれる部品への流体（水、エアー等）の供給を制御する。例えば、エアーブロー器４８へのエアーの供給はバルブ５０ａによって制御される。
【００２６】
図２は、加工装置１０の外観を示す斜視図である。図２に示すように、加工装置１０の構成要素（部品）はカバー５８によって覆われる。
【００２７】
カバー５８の正面側には、ユーザーインターフェースとなるタッチパネル式のモニター６０が設けられており、ユーザーはモニター６０をタッチすることにより種々の情報を入力できる。また、モニター６０はカバー５８の内部に設けられたコンピュータ６２と接続されており、コンピュータ６２によってモニター６０に表示される画像の制御やモニター６０から入力された情報の処理などが行われる。また、コンピュータ６２は加工装置１０の動作を制御する制御部として機能する。
【００２８】
加工装置１０の設計、評価、メンテナンス等の際には、加工装置１０を構成する部品の位置や構造などを把握するために、ＣＡＤによって３次元で表された図（３次元ＣＡＤ図）が参照される。図３は、加工装置１０の３次元ＣＡＤ図７０を示す図である。３次元ＣＡＤ図７０は、図１に示す加工装置１０を構成する複数の部品の配置がＣＡＤによって３次元で表された設計図である。
【００２９】
なお、図３には加工装置１０を構成する部品の一部を表す３次元ＣＡＤ図７０を示しているが、３次元ＣＡＤ図７０には加工装置１０の配管、配線等を含む他の部品がさらに表示されてもよい。
【００３０】
３次元ＣＡＤ図７０は加工装置１０の構造を３次元で表しており、加工装置１０を拡大、縮小、回転して表示することも可能である。そのため、３次元ＣＡＤ図７０を参照することにより、加工装置１０を構成する部品の位置や構造を容易に把握できる。一方、加工装置１０を構成する個々の部品の機能や接続関係などを正確に把握するためには、加工装置１０に含まれる配管や配線の系統を表す系統図を参照することが好ましい。
【００３１】
図４は、加工装置１０の系統図７２を示す図である。系統図７２は、加工装置１０の配管及び配線の系統の一部を表す系統図である。図４に示すように、系統図７２には記号で表されたバルブ５０ｂ，５２ｂ，５４ｂ，５６ｂが含まれる。
【００３２】
系統図７２に含まれるバルブ５０ｂ，５２ｂ，５４ｂ，５６ｂはそれぞれ、図３に示す３次元ＣＡＤ図７０で表された加工装置１０のバルブ５０ａ，５２ａ，５４ａ，５６ａに対応する。しかしながら、系統図７２のみを参照してもバルブ５０ｂ，５２ｂ，５４ｂ，５６ｂがそれぞれ加工装置１０のどの位置に配置されているかを瞬時に把握することは困難である。そのため、例えば部品交換の際などに対象となるバルブを系統図７２上で指定された場合、対応するバルブを加工装置１０上で特定する作業に時間が費やされ、部品交換の作業が滞る原因になる。
【００３３】
他方、３次元ＣＡＤ図７０を参照して指定された所定の部品の機能や接続関係等を正確に把握するため、対応する部品を系統図７２上で確認する作業が必要となる場合がある。しかしながら、上記の通り３次元ＣＡＤ図７０に含まれる部品と系統図７２に含まれる部品との対応関係を瞬時に把握することは困難であり、３次元ＣＡＤ図７０上で指定された部品を系統図７２上で特定するために煩雑な作業が必要となる。
【００３４】
そこで、本実施形態に係る表示システムでは、加工装置１０の構造を３次元で表す３次元ＣＡＤ図に含まれる部品と、加工装置１０の系統を表す系統図に含まれる部品とを対応付け、一方の図で所定の部品が指定された際に他方の図で対応する部品を識別可能に表示する。これにより、３次元ＣＡＤ図と系統図とで相互に対応する部品を容易に把握することが可能となる。
【００３５】
図５は、本実施形態に係る表示システム８０の構成例を示すブロック図である。表示システム８０は、加工装置１０の構造を３次元で表す３次元ＣＡＤ図と、加工装置の系統を加工装置に備えられた複数の部品によって表す系統図とを記憶する記憶部８２を備える。記憶部８２に記憶される３次元ＣＡＤ図及び系統図には、それぞれ加工装置１０を構成する複数の部品が含まれている。以下では主に、図３に示す３次元ＣＡＤ図７０のデータと図４に示す系統図７２のデータとが記憶部８２に記憶された例について説明する。
【００３６】
なお、記憶部８２に記憶される系統図に制限はなく、加工装置１０の系統を加工装置１０に備えられた部品によって表すものであれば自由に選択できる。例えば、加工装置１０の配管計装図（Ｐ＆ＩＤ：Piping and Instrument Diagram）、加工装置１０の配管の系統を表す配管系統図、加工装置１０の電気配線の系統を表す配線系統図、配管の系統と電気配線の系統とを同時に表す配管配線系統図など、様々な系統図を記憶部８２に記憶させることができる。また、系統図は２次元の図であっても３次元の図であってもよい。
【００３７】
さらに、記憶部８２には３次元ＣＡＤ図に含まれる部品と系統図に含まれる部品とを対応付ける対応情報が記憶される。例えば、３次元ＣＡＤ図７０と系統図７２とで対応する部品に共通の部品番号を付し、この部品番号を対応情報として記憶部８２に記憶することができる。
【００３８】
具体的には、３次元ＣＡＤ図７０に含まれるバルブ５０ａ（図３参照）と系統図７２に含まれるバルブ５０ｂ（図４参照）とが対応する場合、これらのバルブに同一の部品番号を付し、バルブ５０ａとバルブ５０ｂとが該部品番号によって対応付けられた情報が記憶部８２に対応情報として記憶される。ただし、部品の対応付けが可能であれば対応情報の内容に制限はない。
【００３９】
また、表示システム８０は、記憶部８２に記憶された３次元ＣＡＤ図及び系統図を表示する表示部８４と、表示部８４に表示された加工装置の部品を指定する指定情報が入力される入力部８６とを備える。図６は、表示部８４に表示される画像の一例である、画像８４ａを示す図である。図６に示すように、表示部８４には３次元ＣＡＤ図７０と系統図７２とを含む画像８４ａが表示される。
【００４０】
なお、図６では加工装置１０に含まれる部品の一部を示す系統図７２が表示されているが、表示部８４には加工装置１０に含まれる配管及び配線を含む全ての部品を示す系統図を表示してもよい。また、表示部８４は３次元ＣＡＤ図７０及び系統図７２の一方のみを選択的に表示するものであってもよい。
【００４１】
入力部８６には、表示部８４に表示された３次元ＣＡＤ図７０又は系統図７２に含まれる所定の部品を指定する指定情報が入力される。例えば、加工装置１０に含まれる特定の部品を交換する際などに、その部品を指定する情報が入力部８６に入力される。入力部８６に入力された指定情報は、処理部８８に出力される。
【００４２】
なお、表示部８４及び入力部８６は例えばタッチパネルによって構成できる。この場合、該タッチパネルには３次元ＣＡＤ図７０と系統図７２とが表示され、オペレーターは表示された３次元ＣＡＤ図７０又は系統図７２に含まれる部品を選択してその部品の表示領域をタッチすることにより指定情報を入力できる。
【００４３】
処理部８８は、入力部８６から入力された指定情報に基づき、３次元ＣＡＤ図７０及び系統図７２の一方で指定された所定の部品に対応し、３次元ＣＡＤ図７０及び系統図７２の他方で示された部品を選択する。具体的には、表示部８４に表示された系統図７２に含まれる所定の部品が指定されると、処理部８８はその部品に対応する３次元ＣＡＤ図７０上の部品を選択する。同様に、表示部８４に表示された３次元ＣＡＤ図７０に含まれる所定の部品が指定されると、処理部８８はその部品に対応する系統図７２上の部品を選択する。
【００４４】
処理部８８による部品の選択は、記憶部８２に記憶された対応情報を参照して行われる。例えば、３次元ＣＡＤ図７０に含まれる部品と系統図７２に含まれる部品とを対応付ける部品番号が対応情報として記憶部８２に記憶されており、表示部８４に表示された系統図７２に含まれるバルブ５０ｂを指定する指定情報が入力部８６から入力された場合、処理部８８は記憶部８２に記憶された部品番号を参照して、バルブ５０ｂに対応する３次元ＣＡＤ図７０上の部品であるバルブ５０ａを選択する。
【００４５】
処理部８８によって選択された部品の情報は表示部８４に出力され、表示部８４は選択された部品を３次元ＣＡＤ図７０及び系統図７２の他方上に識別可能に表示する。例えば、処理部８８によって３次元ＣＡＤ図７０に含まれるバルブ５０ａが選択された場合、表示部８４は３次元ＣＡＤ図７０に含まれるバルブ５０ａを変色、拡大、点滅等によって強調して表示する。
【００４６】
図７は、系統図７２上で指定された部品を３次元ＣＡＤ図７０上に識別可能に表示する画像８４ａを示す図である。例えば、系統図７２に含まれるバルブ５４ｂを指定する指定情報が入力部８６に入力されると、処理部８８は記憶部８２に記憶された対応情報を参照して３次元ＣＡＤ図７０に含まれるバルブ５４ａを選択し、選択した部品の情報を表示部８４に出力する。
【００４７】
処理部８８から表示部８４にバルブ５４ａを選択する情報が入力されると、表示部８４は選択されたバルブ５４ａが３次元ＣＡＤ図７０上で強調された画像８４ａを表示する。これにより、系統図７２に含まれるバルブ５４ｂが加工装置１０のどこに存在するのかを容易に把握できる。
【００４８】
また、表示システム８０は図５に示すように、３次元ＣＡＤ図に基づいて、加工装置を構成する配管及び配線を含む各種の部品が記述された２次元の設計図（平面図、立面図など）を作成する２次元設計図作成部９０と、該２次元の設計図に基づいて、加工装置の系統を加工装置に備えられた複数の部品によって表す系統図を作成する系統図作成部９２と、を更に備える。
【００４９】
２次元設計図作成部９０は、記憶部８２に記憶された３次元ＣＡＤ図に基づいて２次元の設計図を形成し、該２次元の設計図を記憶部８２に記憶する。そして、系統図作成部９２は、２次元設計図作成部９０によって作成され記憶部８２に記憶された２次元の設計図に基づいて系統図を作成し、該系統図を記憶部８２に記憶する。このように、表示システム８０は２次元設計図作成部９０及び系統図作成部９２を備えることにより、系統図を自ら作成することが可能となる。
【００５０】
なお、上記では系統図作成部９２が２次元の設計図に基づいて系統図を作成する例を示したが、系統図作成部９２は３次元ＣＡＤ図に基づいて系統図を作成する機能を備えていてもよい。この場合、２次元設計図作成部９０は省略することができ、記憶部８２に記憶された３次元ＣＡＤ図は系統図作成部９２に入力される。また、表示システム８０に系統図を作成する機能を搭載する必要がない場合は、２次元設計図作成部９０及び系統図作成部９２を省略できる。
【００５１】
次に、表示システム８０の具体的な動作例について説明する。図８は、表示システム８０の動作例を示すフローチャートである。以下では一例として、系統図７２に含まれる部品が指定され、３次元ＣＡＤ図７０に含まれる部品を識別可能に表示する例について説明する。
【００５２】
まず、３次元ＣＡＤ図７０及び系統図７２を含む画像８４ａ（図６参照）が表示部８４によって表示される（ステップＳ１）。その後、オペレーターは表示部８４に表示された系統図７２に含まれる部品から所定の部品を選択し、該部品を指定する指定情報を入力部８６に入力する。そして、入力部８６はこの指定情報を処理部８８に出力する。これにより、系統図７２に含まれる所定の部品を指定する指定情報が処理部８８に入力される（ステップＳ２）。
【００５３】
処理部８８に指定情報が入力されると、処理部８８は系統図７２上で指定された部品に対応する３次元ＣＡＤ図７０上の部品を選択する（ステップＳ３）。記憶部８２には予め３次元ＣＡＤ図７０に含まれる部品と系統図７２に含まれる部品とを対応付ける部品番号などが対応情報として記憶されており、処理部８８はこの対応情報を参照して部品を選択する。例えば、系統図７２に含まれるバルブ５４ｂが指定された場合、処理部８８はバルブ５４ｂに対応する３次元ＣＡＤ図７０上の部品であるバルブ５４ａを選択する。
【００５４】
処理部８８によって選択された部品の情報は表示部８４に出力される。そして、表示部８４は選択された部品を３次元ＣＡＤ図７０上で強調して表示する（ステップＳ４）。なお、部品の強調の方法に制限はなく、部品の色を変える等、選択された部品が３次元ＣＡＤ図７０上で他の部品と区別できるように表示されればよい。例えば、処理部８８によってバルブ５４ａが選択された場合、図７に示すようにバルブ５４ａが変色によって強調される。
【００５５】
以上の動作により、系統図７２で示された所定の部品を３次元ＣＡＤ図７０上に識別可能に表示できる。これにより、系統図７２で指定された部品が加工装置１０のどの位置に配置されているかを容易に把握することができる。なお、ここでは系統図７２で示された特定の部品を３次元ＣＡＤ図７０上に識別可能に表示する例について説明したが、同様の動作によって３次元ＣＡＤ図７０で示された特定の部品を系統図７２上に識別可能に表示することもできる。
【００５６】
以上の通り、本実施形態に係る表示システム８０は、加工装置の構造を３次元で表す３次元ＣＡＤ図に含まれる部品と、加工装置１０の系統を表す系統図に含まれる部品とを対応付け、一方の図で所定の部品が指定された際に他方の図で対応する部品を識別可能に表示する。これにより、系統図に含まれる部品と加工装置に搭載された部品との対応関係を容易に確認することが可能となる。
【００５７】
なお、図２に示す加工装置１０には、上記の表示システム８０が搭載されている。具体的には、カバー５８の正面側に設けられたタッチパネル式のモニター６０は、加工装置１０の３次元の構造を示す３次元ＣＡＤ図と、加工装置１０の系統を示す系統図とを表示する表示部８４として機能する。また、モニター６０は、３次元ＣＡＤ図又は系統図に含まれる所定の部品を指定する指定情報をタッチによって入力可能な入力部８６としても機能する。
【００５８】
また、カバー５８の内部設けられたコンピュータ６２は、ＣＰＵ等によって構成されるプロセッサと、プロセッサによる演算に用いられる各種のデータやプログラムが記憶されるメモリとを備える。そして、コンピュータ６２のプロセッサは表示システム８０の処理部８８として機能し、コンピュータ６２のメモリは表示システム８０の記憶部８２として機能する。さらに、コンピュータ６２のプロセッサは、２次元設計図作成部９０及び系統図作成部９２の処理を実行する機能を備えていてもよい。
【００５９】
このように、本実施形態に係る加工装置１０には表示システム８０が内蔵されており、加工装置１０は部品の位置・構造と、部品の機能・接続関係とを容易に確認可能とする機能を備えている。
【００６０】
なお、本実施形態では表示システム１０によって表示される加工装置が被加工物に研削加工を施す研削装置である場合について説明したが、表示システム８０によって表示される加工装置に制限はない。例えば、被加工物を切削する切削装置、被加工物を研磨する研磨装置、被加工物にレーザービームを照射するレーザー加工装置などを表示システム８０によって表示してもよい。
【００６１】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００６２】
１０  加工装置
１２  基台
１２ａ  開口
１４  搬送ユニット
１６ａ，１６ｂ  カセット
１８  位置調整機構
２０  搬送ユニット
２２  ターンテーブル
２４  チャックテーブル
２６  支持構造
２８  Ｚ軸移動機構
３０  Ｚ軸移動プレート
３２  Ｚ軸ガイドレール
３４  Ｚ軸ボールネジ
３６  Ｚ軸パルスモータ
３８  加工ユニット
４０  スピンドルハウジング
４２  研削ホイール
４４  搬送ユニット
４６  洗浄機構
４８  エアーブロー器
５０ａ，５２ａ，５４ａ，５６ａ  バルブ
５０ｂ，５２ｂ，５４ｂ，５６ｂ  バルブ
５８  カバー
６０  モニター
６２  コンピュータ
７０  ３次元ＣＡＤ図
７２  系統図
８０  表示システム
８２  記憶部
８４  表示部
８４ａ  画像
８６  入力部
８８  処理部
９０  ２次元設計図作成部
９２  系統図作成部
【図１】
2019185645.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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