(57)【要約】【課題】一度の転写プロセスでＧａ面を表面とする結晶性のよいＧａＮ積層基板を得るＧａＮ積層基板の製造方法を提供する。【解決手段】オフ角度０．５〜５度のＣ面サファイア基板１１の８００〜１０００℃での高温窒化処理を行って上記Ｃ面サファイア基板を表面処理する工程と、上記表面処理されたＣ面サファイア基板１１の表面上にＧａＮをエピタキシャル成長させて表面がＮ極性面からなるＧａＮ膜担持体を作製する工程と、上記ＧａＮ膜１３にイオン注入を行ってイオン注入領域１３ionを形成する工程と、上記イオン注入したＧａＮ膜担持体のＧａＮ膜側表面と支持基板１２とを貼り合わせて接合する工程と、上記ＧａＮ膜１３におけるイオン注入領域１３ionで剥離させてＧａＮ薄膜１３ａを支持基板１２上に転写して、表面がＧａ極性面からなるＧａＮ薄膜１３ａを支持基板１２上に有するＧａＮ積層基板１０を得る工程とを有する。【選択図】図１
2019216180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オフ角度０．５〜５度のＣ面サファイア基板の８００〜１０００℃での高温窒化処理及び／又は該Ｃ面サファイア基板上への結晶性ＡｌＮの堆積処理を行って上記Ｃ面サファイア基板を表面処理する工程と、
上記表面処理されたＣ面サファイア基板の表面上にＧａＮをエピタキシャル成長させて表面がＮ極性面からなるＧａＮ膜担持体を作製する工程と、
上記ＧａＮ膜にイオン注入を行ってイオン注入領域を形成する工程と、
上記イオン注入したＧａＮ膜担持体のＧａＮ膜側表面と支持基板とを貼り合わせて接合する工程と、
上記ＧａＮ膜におけるイオン注入領域で剥離させてＧａＮ薄膜を支持基板上に転写して、表面がＧａ極性面からなるＧａＮ薄膜を支持基板上に有するＧａＮ積層基板を得る工程と
を有するＧａＮ積層基板の製造方法。
【請求項２】
上記ＧａＮエピタキシャル成長が上記高温窒化処理よりも高温で行われる請求項１記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
【請求項３】
ＭＯＣＶＤ法により上記ＧａＮのエピタキシャル成長を行う請求項１又は２記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
【請求項４】
上記Ｃ面サファイア基板を表面処理した後、７００℃以下でＧａＮバッファー層を形成し、次いで該ＧａＮバッファー層上に上記ＧａＮエピタキシャル成長を行う請求項１〜３のいずれか１項記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
【請求項５】
上記ＧａＮバッファー層の厚みが１５〜３０ｎｍである請求項４記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
【請求項６】
上記エピタキシャル成長によりＧａＮ膜を形成した後、更に該ＧａＮ膜上に酸化シリコン膜を形成して上記ＧａＮ膜担持体とする請求項１〜５のいずれか１項記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
【請求項７】
更に、上記イオン注入前にＧａＮ膜担持体のイオン注入面を算術平均粗さＲａ０．３ｎｍ以下に平滑化する請求項１〜６のいずれか１項記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
【請求項８】
上記イオン注入が水素イオン（Ｈ+）及び／又は水素分子イオン（Ｈ2+）を用いた、注入エネルギー１００〜１６０ｋｅＶ、ドーズ量１．０×１０17〜３．０×１０17ａｔｏｍ／ｃｍ2の処理である請求項１〜７のいずれか１項記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
【請求項９】
上記支持基板が、Ｓｉ、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＣ、ＡｌＮ又はＳｉＯ2からなる請求項１〜８のいずれか１項記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
【請求項１０】
上記支持基板は、ＧａＮ膜担持体との接合面に酸化シリコン膜を形成したものである（ただし、支持基板がＳｉＯ2からなる場合を除く）請求項９記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面がＧａ極性面（Ｇａ面）からなるＧａＮ積層基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
結晶性ＧａＮはＳｉやＧａＡｓに比べ広いバンドギャップを有し、高速高パワーデバイス用途として有望である。しかしながら、中でも良好な結晶性を有するバルク（Ｂｕｌｋ）ＧａＮ基板は、口径が小さくかつ非常に高価であることからその普及を阻害する要因となっている。
【０００３】
これに対し、ハイドライド気相成長法（ＨＶＰＥ法）や有機金属気相成長法（ＭＯＣＶＤ法）などによりＡｌＮ基板やＡｌ2Ｏ3（サファイア）基板上にＧａＮをヘテロエピタキシャル成長させることによって、比較的大口径のＧａＮ薄膜が得られているが、特性の余り高いものは得られていない。
【０００４】
また、半導体材料として広く一般的に普及しているＳｉ基板上に、ＧａＮ薄膜を形成した積層基板は、ＧａＮの優れた基本特性が得られると共にＳｉ半導体デバイスの進歩的なプロセス技術を適用することができることから高性能デバイス用基板として非常に期待される。
【０００５】
ここで、Ｓｉ基板上にＧａＮ薄膜を形成する手法としては、Ｓｉ<１１１>面上に直接ヘテロエピタキシャル成長法でＧａＮを成膜する手法が開発されており、既に直径２００ｍｍの大口径基板も実用化されている。
【０００６】
しかしながら、この手法では、良好な結晶性のＧａＮを得るには、Ｓｉ基板とＧａＮ薄膜の間に厚いバッファー層が不可欠である。何故ならば、ＧａＮ膜とＳｉ基板の熱膨張係数の大きな差異によって、積層基板として反りが発生し、ＧａＮ膜厚が厚くなるほどその反りは増大し、種々の欠陥が発生するという問題があった。即ち、積層基板の反りが増大すると、最終的には積層基板が破断するという問題があるが、破断に至らなくとも、半導体デバイスプロセスでは色々と問題が発生する。特に微細加工露光プロセスでは重大な問題となる。そこでこの反りを緩和すべくＳｉ基板とＧａＮ薄膜間に、これら２つの材料の中間の線膨張率を持った厚いバッファー層を挿入する必要があった。また、この手法では積層基板上で特性のよいＧａＮ層を厚くすることは困難であった。
【０００７】
このような問題を解決する手法として、次のような手順による転写によるＧａＮ積層基板の製造方法が考えられる。
即ち、まず第１の基板を準備し、表面に一定膜厚以上のＧａＮ膜をエピタキシャル成長させる。次に、この基板にイオン注入を行い、表面から一定深さのところに脆化層（イオン注入領域）を形成する。この基板を第２の基板に接合させた後、脆化層から剥離を行い、ＧａＮ薄膜を第２の基板に転写させてＧａＮ積層基板を得る。
【０００８】
ここで、一般的なＧａＮのエピタキシャル成長（即ち、上記第１の基板上に形成したＧａＮエピタキシャル成長膜）では成長面（表面）側がＧａ極性面（以下、Ｇａ面）となる。よって、イオン注入面側がＧａ面となり、剥離して第２の基板上に転写した後の表面はＮ極性面（Ｎ面）となる。ここで、電子部品用途としてはデバイス製造面がＧａ面である必要があるため、第２の基板に転写されたＧａＮ薄膜を再度第３の基板へ接合し転写して表面がＧａ面とする必要があった。そこで、剥離して第２の基板上に転写した後の表面がＧａ面となる（つまり、第１の基板上のエピタキシャル成長面をＮ面とする）様な試みもこれまで多く検討されたが、通常Ｎ面でのエピタキシャル成長ではＧａＮ膜の結晶性が悪く、デバイス用途としての使用は困難であった。
【０００９】
上記のＧａＮエピタキシャル成長の特性から、最終的なＧａＮ積層基板の成長面（表面）をＧａ面とする必要があるため、みすみすＧａＮ薄膜の転写を２回実施せざるを得ない状況にあった。このため、プロセスが繁雑となり、低歩留り、高コストの要因となっていた。
なお、本発明に関連する先行技術として特表２０１６−５１１９３４号公報（特許文献１）が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特表２０１６−５１１９３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、一度の転写プロセスでＧａ面を表面とする結晶性のよいＧａＮ積層基板を得るＧａＮ積層基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上記目的を達成するため、下記のＧａＮ積層基板の製造方法を提供する。
１．
オフ角度０．５〜５度のＣ面サファイア基板の８００〜１０００℃での高温窒化処理及び／又は該Ｃ面サファイア基板上への結晶性ＡｌＮの堆積処理を行って上記Ｃ面サファイア基板を表面処理する工程と、
上記表面処理されたＣ面サファイア基板の表面上にＧａＮをエピタキシャル成長させて表面がＮ極性面からなるＧａＮ膜担持体を作製する工程と、
上記ＧａＮ膜にイオン注入を行ってイオン注入領域を形成する工程と、
上記イオン注入したＧａＮ膜担持体のＧａＮ膜側表面と支持基板とを貼り合わせて接合する工程と、
上記ＧａＮ膜におけるイオン注入領域で剥離させてＧａＮ薄膜を支持基板上に転写して、表面がＧａ極性面からなるＧａＮ薄膜を支持基板上に有するＧａＮ積層基板を得る工程と
を有するＧａＮ積層基板の製造方法。
２．
上記ＧａＮエピタキシャル成長が上記高温窒化処理よりも高温で行われる１記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
３．
ＭＯＣＶＤ法により上記ＧａＮのエピタキシャル成長を行う１又は２記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
４．
上記Ｃ面サファイア基板を表面処理した後、７００℃以下でＧａＮバッファー層を形成し、次いで該ＧａＮバッファー層上に上記ＧａＮエピタキシャル成長を行う１〜３のいずれかに記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
５．
上記ＧａＮバッファー層の厚みが１５〜３０ｎｍである４記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
６．
上記エピタキシャル成長によりＧａＮ膜を形成した後、更に該ＧａＮ膜上に酸化シリコン膜を形成して上記ＧａＮ膜担持体とする１〜５のいずれかに記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
７．
更に、上記イオン注入前にＧａＮ膜担持体のイオン注入面を算術平均粗さＲａ０．３ｎｍ以下に平滑化する１〜６のいずれかに記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
８．
上記イオン注入が水素イオン（Ｈ+）及び／又は水素分子イオン（Ｈ2+）を用いた、注入エネルギー１００〜１６０ｋｅＶ、ドーズ量１．０×１０17〜３．０×１０17ａｔｏｍ／ｃｍ2の処理である１〜７のいずれかに記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
９．
上記支持基板が、Ｓｉ、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＣ、ＡｌＮ又はＳｉＯ2からなる１〜８のいずれかに記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
１０．
上記支持基板は、ＧａＮ膜担持体との接合面に酸化シリコン膜を形成したものである（ただし、支持基板がＳｉＯ2からなる場合を除く）９記載のＧａＮ積層基板の製造方法。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、所定のオフ角度を有するＣ面サファイア基板について所定の表面処理を行い、その基板上にＧａＮエピタキシャル成長させることにより表面がＮ極性面からなる結晶性のよいＧａＮ膜を形成することができるため、１回の転写で表面がＧａ極性面からなるＧａＮ積層基板を得ることが可能となる。従来よりも転写回数を減らせることにより、プロセスコスト低減が可能となる。更に、転写で消失するＧａＮ膜を減らすことが可能となり、材料コストを低減させることが可能となる。また、膜厚の面内ばらつきや表面粗さが転写回数に応じて増大するところ、従来よりも転写回数を減らせるため、それを抑制することが可能となる。
また本発明によれば、ＧａＮ薄膜転写のドナー基板として大口径化し易いエピタキシャル成膜した基板を使用するため、高価で小口径なバルクＧａＮ基板をドナー基板として使用する場合に比べて低コストかつ大口径のＧａＮ積層基板が得られる。本発明で得られた表面がＧａ極性面からなるＧａＮ積層基板はＧａＮテンプレート基板として、更にＧａＮのエピタキシャル成膜をすることにより高耐圧、高特性のＧａＮ基板を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係るＧａＮ積層基板の製造方法の一実施形態における製造工程を示す図であり、（ａ）はＣ面サファイア基板及び支持基板の準備、（ｂ）はＣ面サファイア基板の表面処理、（ｃ）はＧａＮエピタキシャル成長、（ｄ）はイオン注入処理、（ｅ）は貼り合わせ接合、（ｆ）はＧａＮ薄膜の剥離転写である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本発明に係るＧａＮ積層基板の製造方法について説明する。なお、ここでは数値範囲「Ａ〜Ｂ」はその両端の数値を含むものであり、Ａ以上Ｂ以下を意味する。
本発明に係るＧａＮ積層基板の製造方法は、オフ角度０．５〜５度のＣ面サファイア基板の８００〜１０００℃での高温窒化処理及び／又は該Ｃ面サファイア基板上への結晶性ＡｌＮの堆積処理を行って上記Ｃ面サファイア基板を表面処理する工程と、上記表面処理されたＣ面サファイア基板の表面上にＧａＮをエピタキシャル成長させて表面がＮ極性面からなるＧａＮ膜担持体を作製する工程と、上記ＧａＮ膜にイオン注入を行ってイオン注入領域を形成する工程と、上記イオン注入したＧａＮ膜担持体のＧａＮ膜側表面と支持基板とを貼り合わせて接合する工程と、上記ＧａＮ膜におけるイオン注入領域で剥離させてＧａＮ薄膜を支持基板上に転写して、表面がＧａ極性面からなるＧａＮ薄膜を支持基板上に有するＧａＮ積層基板を得る工程と、を有することを特徴とするものである。
【００１６】
以下、本発明に係るＧａＮ積層基板の製造方法を図１に基づき詳細に説明する。
本発明に係るＧａＮ積層基板の製造方法は、図１に示すように、（ａ）Ｃ面サファイア基板及び支持基板の準備工程（工程１）、（ｂ）Ｃ面サファイア基板の表面処理工程（工程２）、（ｃ）ＧａＮエピタキシャル成長工程（工程３）、（ｄ）イオン注入処理工程（工程４）、（ｅ）貼り合わせ接合工程（工程５）、（ｆ）ＧａＮ薄膜の剥離、転写工程（工程６）の順に処理を行うものである。
【００１７】
（工程１：Ｃ面サファイア基板及び支持基板の準備）
まずＣ面サファイア基板１１と支持基板１２を準備する（図１（ａ））。
ここで、Ｃ面サファイア基板１１は、Ｃ面（（０００１）面）を基板面とするサファイア（α−Ａｌ2Ｏ3）からなる基板である。また、Ｃ面サファイア基板１１のｃ軸オフ角度（以下、オフ角度）は、０．５〜５度であり、２〜３度であることが好ましい。オフ角度をこの範囲内とすることにより、この後にＣ面サファイア基板１１上に形成されるＧａＮ膜１３においてその表面がＮ極性面（以下、Ｎ面）となると共に平滑性が良好で結晶性がよいエピタキシャル成長膜となり、更にイオン注入剥離法によりこれの一部を剥離して支持基板１２に転写した場合にその転写薄膜であるＧａＮ薄膜１３ａが平滑性に優れたものとなる。なお、オフ角度とは基板表面（結晶成長させようとする面）を最密面から特定方向に微傾斜させた場合のその角度であり、ｃ軸オフ角度とは、Ｃ面サファイア基板１１のｃ軸（Ｃ面の法線軸）のａ軸方向への傾きの大きさをいう。
【００１８】
また、Ｃ面サファイア基板１１表面の算術平均粗さＲａ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１：２０１３、以下同じ）が０．５ｎｍ以下であることが好ましい。これにより、エピタキシャル成膜されるＧａＮ膜１３の表面が更に平滑になり、支持基板１２との貼り合わせ接合時により強固な接合が可能となる。
【００１９】
支持基板１２は、最終的にＧａＮ薄膜１３ａを支持する基板であり、Ｓｉ、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＣ、ＡｌＮ又はＳｉＯ2からなることが好ましい。その構成材料は、得られたＧａＮ積層基板を用いて作製する半導体デバイスの用途に応じて適宜選定するとよい。
【００２０】
支持基板１２表面の算術平均粗さＲａが０．５ｎｍ以下であることが好ましい。これによりＣ面サファイア基板１１とＧａＮ層１３を有するＧａＮ層担持体との接合時により強固な接合が可能となる。
【００２１】
また、支持基板１２の最表層に酸化シリコン（ＳｉＯｘ薄膜、但し、０＜ｘ≦２）からなるボンド膜を設けてもよい（ただし、支持基板１２がＳｉＯ2からなる場合を除く）。更に、支持基板１２自体の表面粗さが十分に小さくない場合（例えば、支持基板１２表面の算術平均粗さＲａが０．５ｎｍ超の場合）、このボンド膜を化学機械研磨（ＣＭＰ）等により処理してその表面を平滑化してもよい。これにより、Ｃ面サファイア基板１１とＧａＮ層１３を有するＧａＮ層担持体との接合強度をより一層大きくすることができる。
なお、このボンド膜の膜厚は、概ね３００〜１０００ｎｍが好ましい。
【００２２】
（工程２：Ｃ面サファイア基板の表面処理）
次に、Ｃ面サファイア基板１１の表面処理を行う（図１（ｂ））。
即ち、Ｃ面サファイア基板１１の８００〜１０００℃での高温窒化処理及び／又はＣ面サファイア基板１１上への結晶性ＡｌＮの堆積処理を行う。
【００２３】
このうち、Ｃ面サファイア基板１１の高温窒化処理は、Ｃ面サファイア基板１１を窒素含有雰囲気中でこの後行われるＧａＮエピタキシャル成長の成膜温度よりもやや低い温度、具体的には８００〜１０００℃に加熱してＣ面サファイア基板１１の表面に表面処理層１１ａとしてＡｌＮ膜を形成するものである。この処理は、好ましくはＧａＮ膜をエピタキシャル成長させるＭＯＣＶＤ装置の同一の処理室でインサイチュー（ｉｎ  ｓｉｔｕ）の状態で実施され、ＧａＮエピタキシャル成長の成膜温度（１０５０〜１１００℃）よりやや低い温度（８００〜１０００℃）で実行される。このとき、処理温度が８００℃未満となるとＧａＮ膜のＮ極成長が発生せず、更には１０００℃超ではこの後に行われるエピタキシャル成長のＧａＮ生成で平滑性が劣化する。また、プロセスガスとしては純窒素を使用するが、アンモニアガスを使用することもできる。アンモニアガスを使用することにより、より活性なＮ原子が発生し、ＧａＮ膜の表面形態（結晶構造）を改善できる。また、高温窒化処理時間は３０秒〜３０分程度とするとよい。処理時間を長くすることで、ＧａＮ膜の表面形態（結晶構造）を改善可能である。
【００２４】
Ｃ面サファイア基板１１上への結晶性ＡｌＮの堆積処理は、化学的気相成長法（ＣＶＤ法）又は物理的気相成長法（ＰＶＤ法）によりＣ面サファイア基板１１上に表面処理層１１ａとして結晶性ＡｌＮ膜を形成するものである。この堆積処理はＣ面サファイア基板１１表面を結晶性ＡｌＮ膜（表面処理層１１ａ）で被覆できる形成条件で行えばよい。
【００２５】
なお、上記のようにＣ面サファイア基板１１上に表面処理層１１ａとして結晶性ＡｌＮ膜を堆積した後、ＧａＮエピタキシャル成長前に熱処理して結晶性ＡｌＮ膜を安定化させることが好ましい。
【００２６】
（工程３：ＧａＮエピタキシャル成長工程）
次に、上記表面処理されたＣ面サファイア基板１１の表面上にＧａＮをエピタキシャル成長させて表面がＮ極性面からなるＧａＮ膜１３を形成し、ＧａＮ膜担持体を作製する。
【００２７】
ＧａＮ膜のエピタキシャル成長法としては、分子線エピタキシャル（ＭＢＥ）法や、ハイドライド気相成長（ＨＶＰＥ）法、有機金属気相成長（ＭＯＣＶＤ）法が知られているが、サファイア基板１１上に直接低欠陥のＧａＮ薄膜を成長させるにはＭＯＣＶＤ法が最適であり好ましい。
【００２８】
このとき、ＭＯＣＶＤ法によるＧａＮ膜１３のエピタキシャル成長が上記工程２における高温窒化処理よりも高温（即ち、１０００℃超）で行われることが好ましく、ＧａＮ膜１３の膜質と成膜速度のバランスがとれる１０００℃超１１００℃以下が好適である。また、プロセスガスはトリメチルガリウム（ＴＭＧ）及びアンモニア（ＮＨ3）を使用し、キャリアガスとして水素を使用するとよい。
また、ＧａＮ膜１３の厚みは、最終的に得ようとするＧａＮ薄膜１３ａの厚さに応じるものであり、例えば０．５〜１０μｍである。
【００２９】
なお、工程２におけるＣ面サファイア基板１１を表面処理した後、低温、例えば７００℃以下でＧａＮバッファー層を形成し、次いでこのＧａＮバッファー層上に上記ＭＯＣＶＤ法によるＧａＮエピタキシャル成長を行い、ＧａＮ膜１３を形成することが好ましい。
【００３０】
このとき、ＧａＮバッファー層の成膜に際して、成膜温度が７００℃超ではバッファー層上のＧａＮ膜１３がうまくＮ極成長せず、４００℃未満では成膜自体が進行しないため、好ましくは４００〜７００℃、より好ましくは４００〜６００℃で成膜することが好ましい。また、ＧａＮバッファー層の厚みは、薄過ぎるとバッファー効果が得られない場合があり、厚過ぎると膜質低下を招くおそれがあるため、好ましくは１５〜３０ｎｍ、より好ましくは２０〜２５ｎｍとする。
【００３１】
以上の一連のＧａＮ膜１３の形成工程により、Ｃ面サファイア基板１１上に表面がＮ面からなり、極めて結晶性のよいＧａＮ膜１３が成膜される（ここまで、図１（ｃ））。
ここで、ＧａＮなどの化合物半導体結晶表面は極性を有しており、例えば構成元素ＧａとＮからなる単結晶のＧａＮ膜は、必然的に、Ｇａ原子からなり（終端され）該Ｇａ原子の未結合手が露出した極性面（Ｇａ極性面（Ｇａ面ともいう））と、Ｎ原子からなり（終端され）該Ｎ原子の未結合手が露出した極性面（Ｎ極性面（Ｎ面ともいう））を有する。
また、ＧａＮの結晶構造は六方晶系であり、その極性面は結晶格子の最密面に現れる。なお、六方晶系化合物半導体結晶の最密面は｛０００１｝面であるが、（０００１）面と（０００−１）面は等価ではなく、前者はカチオン原子が露出する面、後者はアニオン原子が露出する面であり、窒化ガリウム（ＧａＮ）においては（０００１）面がＧａ面、（０００−１）面がＮ面となる。
【００３２】
なお、上記エピタキシャル成長によりＧａＮ膜１３を形成した後、更に該ＧａＮ膜１３上に酸化シリコン（ＳｉＯｘ、但し、０＜ｘ≦２）膜を支持基板１２と貼り合わせるためのボンド層として形成して上記ＧａＮ膜担持体としてもよい。この場合の酸化シリコン膜の厚みは２００〜１０００ｎｍが好ましい。
【００３３】
（工程４：ＧａＮ膜１３へのイオン注入工程）
次に、上記ＧａＮ膜担持体のＧａＮ膜１３の表面からイオン注入を行ってＧａＮ膜１３中に層状のイオン注入領域１３ionを形成する（図１（ｄ））。
【００３４】
このとき、注入イオンとして水素イオン（Ｈ+）及び／又は水素分子イオン（Ｈ2+）を用いることが好ましい。
【００３５】
また、注入エネルギーはイオン注入深さ（つまり剥離膜（ＧａＮ薄膜１３ａ）の膜厚）を規定するものであり、１１０〜１６０ｋｅＶが好ましい。注入エネルギー１００ｋｅＶ以上とすると、ＧａＮ薄膜１３ａの膜厚を５００ｎｍ以上とすることができる。一方、１６０ｋｅＶ超とすると、注入ダメージが大きくなり剥離された薄膜の結晶性の劣化を招くおそれがある。
【００３６】
また、ドーズ量は１．０×１０17〜３．０×１０17ａｔｏｍ／ｃｍ2であることが好ましい。これにより、ＧａＮ膜１３中に剥離層（脆化層）となるイオン注入領域１３ionを形成することができ、且つＧａＮ膜担持体の温度上昇を抑制することができる。なお、イオン注入温度は室温であり、高温となるとＧａＮ膜担持体が破断するおそれがあるため、ＧａＮ膜担持体を冷却してもよい。
【００３７】
ここで、上記イオン注入処理は、工程３でＧａＮ膜１３を形成したままのＧａＮ膜担持体に対して実施してもよいが、形成したままのＧａＮ膜１３の表面が粗いとその表面凹凸に対応してイオン注入深さが不均一となり、剥離後のＧａＮ薄膜１３ａの剥離面（表面）の凹凸が大きくなってしまう。
【００３８】
そこで、上記イオン注入前にＧａＮ膜担持体のイオン注入面を算術平均粗さが好ましくは０．３ｎｍ以下、より好ましくは０．２ｎｍ以下となるように平滑化するとよい。
例えば、工程３で形成したＧａＮ膜１３表面をＣＭＰ等による研磨及び／又はエッチングして算術平均粗さＲａが好ましくは０．３ｎｍ以下、より好ましくは０．２ｎｍ以下となるように平滑化するとよい。
【００３９】
あるいは、上記ＧａＮ膜１３（即ち、成膜まま、あるいは研磨及び／又はエッチングして平滑化したＧａＮ膜１３）の上にボンド層として酸化シリコン膜を形成した場合には、この酸化シリコン膜表面をＣＭＰ等による研磨及び／又はエッチングして算術平均粗さＲａが好ましくは０．３ｎｍ以下、より好ましくは０．２ｎｍ以下となるように平滑化するとよい。ＧａＮ膜１３の厚みが薄く、研磨等での平坦化が困難な場合に特に有効である。
【００４０】
以上のようにＧａＮ膜担持体のイオン注入を予定する面（つまり、ＧａＮ膜１３又は上記ボンド層としての酸化シリコン膜表面）を平滑化することにより、次に行うイオン注入処理におけるイオン注入深さを一定にすることができ、引いては支持基板１２と貼り合わせた後に剥離させた場合に表面が平滑な（表面粗さの小さな）剥離転写層（ＧａＮ薄膜１３ａ）を得ることができる。
【００４１】
（工程５：ＧａＮ膜担持体と支持基板１２の貼り合わせ接合工程）
次に、上記イオン注入したＧａＮ膜担持体のＧａＮ膜１３側表面と支持基板１２とを貼り合わせて接合する（図１（ｅ））。
【００４２】
ここで、ボンド層（酸化シリコン膜）を形成していないＧａＮ膜担持体と支持基板１２の貼り合わせの場合、ＧａＮ膜担持体のＧａＮ膜１３表面（Ｎ面）と支持基板１２表面とが接合するようになる。即ち、Ｃ面サファイア基板１１／表面処理層１１ａ／（ＧａＮバッファー層）／ＧａＮ膜１３（Ｎ面）／支持基板１２の積層構造となる。
【００４３】
また、ボンド層（酸化シリコン膜）を少なくともいずれかの表面に形成しているＧａＮ膜担持体と支持基板１２の貼り合わせの場合、ＧａＮ膜担持体のＧａＮ膜１３表面（Ｎ面）と支持基板１２表面とがそれらの間にボンド層（酸化シリコン膜）が介在して接合するようになる。即ち、Ｃ面サファイア基板１１／表面処理層１１ａ／（ＧａＮバッファー層）／ＧａＮ膜１３（Ｎ面）／ボンド層（酸化シリコン膜）／支持基板１２の積層構造となる。
【００４４】
なお、この貼り合わせの前に、ＧａＮ膜担持体のイオン注入面、支持基板１２の接合面の双方もしくは片方に表面活性化処理としてプラズマ処理を施すことが好ましい。
例えば、一般的な平行平板型プラズマチャンバーに、表面活性化処理するＧａＮ膜担持体及び／又は支持基板１２をセットし、１３．５６ＭＨｚ、１００Ｗ程度の高周波を印加し、プロセスガスとしてＡｒ、Ｎ2、Ｏ2等を導入して処理すればよい。処理時間は５〜３０秒とする。これにより、対象の基板表面が活性化され、貼り合わせ後の接合強度が増大する。
また、貼り合せ後は２００〜３００℃程度のアニールを実施することで、より強固な接合が形成される。
【００４５】
（工程６：ＧａＮ薄膜の剥離、転写工程）
次に、上記ＧａＮ膜１３におけるイオン注入領域１３ionで剥離させてＧａＮ薄膜１３ａを支持基板１２上に転写する（図１（ｆ））。
【００４６】
剥離処理は、イオン注入剥離法で一般的に行われる処理であればよく、例えばブレードを挿入するなどの機械剥離の他、レーザー光照射等の光剥離、その他ジェット水流や超音波等の物理的衝撃剥離が適用可能である。
【００４７】
これにより、表面がＧａ極性面からなり結晶性の良好で表面が平滑なＧａＮ薄膜１３ａを支持基板１２上に有するＧａＮ積層基板１０が得られる。
なお、剥離後の転写したＧａＮ薄膜１３ａの表面は十分に平滑であるが、このＧａＮ積層基板１０を使用するデバイスの要求特性の如何によっては研磨等でより平滑化してもよい。また、このＧａＮ積層基板１０に更にＧａＮ膜をエピタキシャル成長させることで、低欠陥で厚膜のＧａＮ基板を製造することも可能である。
【００４８】
なお、ＧａＮ積層基板１０のＧａＮ薄膜１３ａ表面の極性面を確認する方法は、例えばＫＯＨ水溶液によるエッチングレートの違いをみて判断すればよい。即ち、Ｎ面の方がＧａ面よりもエッチングレートが大きい。例えば、４０℃、２ｍｏｌ／ＬのＫＯＨ水溶液に４５分浸した場合、Ｇａ面はエッチングされないが、Ｎ面はエッチングされることから確認できる。
【実施例】
【００４９】
以下に、実施例及び比較例を挙げて、本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００５０】
［実施例１］
以下の条件でＧａＮ積層基板を作製した。
【００５１】
（実施例１−１）
直径１００ｍｍ、厚み５２５μｍ、算術平均粗さＲａ０．３ｎｍ、Ｃ軸オフ角３度のＣ面サファイア基板を準備した。この基板をＲＣＡ洗浄にて洗浄した後、ＭＯＣＶＤ装置にて、基板温度９００℃の高温窒化処理（プロセスガス：純窒素）を３０分実施し、続いて基板温度４００℃でＧａＮバッファー層を厚み２０ｎｍ成膜した後に、更に基板温度１０５０℃にて、プロセスガス：ＴＭＧ及びＮＨ3を用いてエピタキシャル成長させてＧａＮ膜を２μｍ成膜した。そのＧａＮ膜の算術平均粗さＲａは８ｎｍであった。
次いで、このＧａＮ膜上にプラズマＣＶＤ法により厚み１μｍの酸化シリコン膜を成膜した後、ＣＭＰ装置でこの酸化シリコン膜を２００ｎｍまで研磨した。得られたＧａＮ膜担持体の算術平均粗さＲａは０．３ｎｍであった。
次に、このＧａＮ膜担持体の酸化シリコン膜表面から水素分子イオンＨ2+を、注入エネルギー１６０ｋｅＶ、ドーズ量３．０×１０+17ａｔｏｍ／ｃｍ2でイオン注入した。
【００５２】
次に、直径１００ｍｍ、厚み５２５μｍのＳｉ基板を準備し、Ｓｉ基板上に厚み３００ｎｍの熱酸化膜を形成した。熱酸化膜形成後のＳｉ基板の算術平均粗さはＲａ＝０．５ｎｍであった。
【００５３】
このＳｉ基板、上記ＧａＮ膜担持体それぞれの熱酸化膜、酸化シリコン膜（イオン注入面）表面についてＡｒプラズマ処理を実施した。次いで、Ａｒプラズマ処理面同士を貼り合せた後、窒素雰囲気下で２００℃にて１２時間アニールした。アニール後、ＧａＮ膜のイオン注入領域に金属ブレードを差し込んで剥離を行い、Ｓｉ基板上にＧａＮ薄膜を転写してＧａＮ積層基板を得た。
得られたＧａＮ積層基板のＧａＮ薄膜表面の算術平均粗さＲａは８ｎｍであった。また、得られたＧａＮ積層基板のＧａＮ薄膜についてＸ線ロッキングカーブ法により結晶性を評価した。詳しくは、Ｘ線回折により上記ＧａＮ薄膜のＧａＮ（０００２）面反射のロッキングカーブ（ωスキャン）におけるチルト分布（半価幅）を求めたところ、３００ａｒｃｓｅｃと良好な結晶性を示した。
また、ＧａＮ薄膜の表面の極性面の確認として、サンプルを４０℃、２ｍｏｌ／ＬのＫＯＨ水溶液に４５分浸した後、表面を観察したところ、ＧａＮ薄膜表面はエッチングされておらず、ＧａＮ薄膜表面がＧａ面となっていることが分かった。
【００５４】
（実施例１−２）
実施例１−１において、厚み２μｍのＧａＮ膜をエピタキシャル成長させた後、このＧａＮ膜表面をＣＭＰ研磨してその表面の算術平均粗さＲａを０．２ｎｍとし、そのまま転写した。それ以外は実施例１−１と同様にしてＧａＮ積層基板を得た。
得られたＧａＮ積層基板のＧａＮ薄膜表面の算術平均粗さＲａは０．３ｎｍであった。また、得られたＧａＮ積層基板のＧａＮ薄膜について実施例１−１と同様にＸ線ロッキングカーブ法により結晶性を評価したところ、ＦＷＨＭ２５０ａｒｃｓｅｃとなり、実施例１と同等の結晶性を示した。
また、実施例１−１と同様にしてＧａＮ薄膜の表面の極性面を確認したところ、Ｇａ面となっていた。
【００５５】
（比較例１−１）
実施例１−１において、Ｃ面サファイア基板のｃ軸オフ角度を０．０５度（算術平均粗さＲａ０．３ｎｍ）としたものを用い、それ以外は実施例１−１と同様にしてＧａＮ積層基板を得た。なお、ＧａＮ膜成膜後の該ＧａＮ膜算術平均粗さＲａは６０ｎｍであり、酸化シリコン膜ＣＭＰ研磨後のＧａＮ膜担持体の算術平均粗さＲａは０．２ｎｍであった。
得られたＧａＮ積層基板のＧａＮ薄膜表面の算術平均粗さＲａは６０ｎｍであった。また、得られたＧａＮ積層基板のＧａＮ薄膜について実施例１−１と同様にＸ線ロッキングカーブ法により結晶性を評価したところ、ＦＷＨＭ６００ａｒｃｓｅｃとなり、結晶性が悪化した。
また、実施例１−１と同様にしてＧａＮ薄膜の表面の極性面を確認したところ、Ｇａ面となっていた。
【００５６】
（比較例１−２）
実施例１−１において、Ｃ面サファイア基板のｃ軸オフ角度を６度（算術平均粗さＲａ０．３ｎｍ）としたものを用い、それ以外は実施例１−１と同様にしてＧａＮ積層基板を得た。なお、ＧａＮ膜成膜後の該ＧａＮ膜算術平均粗さＲａは８０ｎｍであり、酸化シリコン膜ＣＭＰ研磨後のＧａＮ膜担持体の算術平均粗さＲａは０．３ｎｍであった。
得られたＧａＮ積層基板のＧａＮ薄膜表面の算術平均粗さＲａは８０ｎｍであった。また、得られたＧａＮ積層基板のＧａＮ薄膜について実施例１−１と同様にＸ線ロッキングカーブ法により結晶性を評価したところ、ＦＷＨＭ８００ａｒｃｓｅｃとなり、結晶性が悪化した。
また、実施例１−１と同様にしてＧａＮ薄膜の表面の極性面を確認したところ、Ｇａ面となっていた。
【００５７】
以上の結果を表１に示す。本発明によれば、優れた平滑性と結晶性を持つＧａＮ積層基板が得られることが明らかとなった。なお、表中の表面粗さＲａは算術平均粗さＲａのことである。
【００５８】
【表１】
2019216180.tif 000003
【００５９】
なお、これまで本発明を上記実施形態をもって説明してきたが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、変更、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６０】
１０  ＧａＮ複合基板
１１  Ｃ面サファイア基板
１１ａ  表面処理層
１２  支持基板
１３  ＧａＮ膜
１３ａ  ＧａＮ薄膜
１３ion  イオン注入領域
【図１】
2019216180.tif 000004