(57)【要約】【課題】高周波ケーブルの形状の変化による影響を受けることなく、測定試料の誘電率を正確に測定する。【解決手段】上板３０は、下板２８と天板３２との間で、下挟持面２８０１と上挟持面３００１とで測定試料を挟持する測定位置Ｐ１と、下板２８と上板３０とが上下方向に離れた測定試料交換位置Ｐ２との間で昇降可能に配置されている。測定位置Ｐ１と測定試料交換位置Ｐ２との間で上板３０を受信機用支持台１８と一体的に昇降させるようにしたので、上板３０および受信機１４は、上板３０の上下位置の変化に拘わらず、受信機１４と上板側コネクタ３０１０とを接続する受信機側高周波ケーブル４０はその形状が一定に保持された状態となる。【選択図】図１
2019100704.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定試料が載置される下挟持面と、前記下挟持面に載置された前記測定試料に向けて開口する下板側励振口とを有する導体からなる下板と、
前記下板の上方に配置され上挟持面と、前記上挟持面に前記下板側励振口と同軸上で前記下板側励振口に向けて開口する上板側励振口とを有する導体からなる上板と、
前記下挟持面と前記上挟持面とで前記測定試料を挟持する測定位置と、前記下板と前記上板とが上下方向に離れた測定試料交換位置との間で、前記下板と前記上板の一方を上下に移動させる上下移動機構と、
前記下板側励振口または前記上板側励振口の一方に高周波の電磁波を高周波ケーブルを介して供給する送信機と、
前記下板側励振口または前記上板側励振口の他方から高周波の電磁波を高周波ケーブルを介して受信する受信機と、
を備える誘電率測定装置であって、
上下に移動される前記下板と前記上板の一方に接続される前記受信機または前記送信機の一方を支持する支持台が設けられ、
前記支持台を昇降させる昇降機構が設けられ、
前記昇降機構による前記支持台の昇降に追従させ前記測定位置と前記測定試料交換位置との間で前記下板と前記上板の一方を前記支持台と一体的に昇降させる連係部材が前記支持台と前記下板と前記上板の一方との間に設けられている、
ことを特徴とする誘電率測定装置。
【請求項２】
前記下板は、上下方向に移動不能に配置され、
前記昇降機構は、前記上板を上下に移動させ、
前記支持台は、前記上板に接続される前記受信機または前記送信機の一方を支持し、
前記連係部材は、前記支持台と前記前記上板との間に設けられている、
ことを特徴とする請求項１記載の誘電率測定装置。
【請求項３】
前記支持台から前記上板に向けて突設され、前記上板の下方を向いた箇所に下方から当接可能な突起部が設けられ、
前記連係部材は前記突起部で構成されている、
ことを特徴とする請求項２記載の誘電率測定装置。
【請求項４】
前記支持台は、前記昇降機構により前記測定位置よりも下方に位置するキャリブレーション位置に下降される、
ことを特徴とする請求項３記載の誘電率測定装置。
【請求項５】
前記上下移動機構は、底板と、前記底板の周方向に間隔をおいた複数箇所から立設されそれらの上部で前記下板を支持する複数の支柱と、前記下板の周方向に間隔をおいた複数箇所から立設され前記上板が前記下板と平行状態を保って結合された複数のガイド軸とを含んで構成されている、
ことを特徴とする請求項２から４の何れか１項記載の誘電率測定装置。
【請求項６】
前記上下移動機構は、前記複数のガイド軸の上端に取着された天板と、前記天板上で回転可能に配置されたプーリと、前記上板にその一端が連結され前記プーリに巻回されたワイヤと、前記ワイヤの他端に取着され前記上板の重量よりも僅かに小さい重量を有するカウンターウェイトとを含んで構成されている、
ことを特徴とする請求項５記載の誘電率測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は誘電率測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
平衡形円板共振器を用いて誘電体の誘電率を測定する誘電率測定装置が知られている。
図７（Ａ）に示すように、誘電率測定装置は、平衡形円板共振器を構成する下板２８および上板３０と、上下移動機構と、送信機と、受信機とを含んで構成されている。
下板２８は、導体からなり、測定試料が載置される下挟持面２８０１と、下挟持面２８０１に載置された測定試料に向けて開口する下板側励振口２８０２とを有している。
上板３０は、導体からなり、上挟持面３００１と、上挟持面３００１に下板側励振口２８０２と同軸上で下板側励振口２８０２に向けて開口する上板側励振口３００２とを有している。
上下移動機構は、下挟持面２８０１と上挟持面３００１とで測定試料を挟持する測定位置と、下板２８と上板３０とが上下方向に離れた測定試料交換位置との間で、下板２８と上板３０の一方を上下に移動させるものである。
送信機は、下板側励振口２８０２または上板側励振口３００２の一方に高周波の電磁波を高周波ケーブルを介して供給するものである。
受信機は、下板側励振口２８０２または上板側励振口３００２の他方から高周波の電磁波を高周波ケーブルを介して受信するものであり、受信機で受信された高周波の電磁波の検出結果に基づいて測定試料の誘電率が求められる。
ところで、従来、送信機および受信機は、上板３０および下板２８とは切り離されて、机上などに個別に配置されており、送信機および受信機と、上板３０および下板２８との間に高周波ケーブルが引き回されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３４４４６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一方、誘電率測定装置では、測定試料を交換する毎に、上下移動機構によって上板あるいは下板を測定位置と測定試料交換位置との間で上下に移動させる。
このため、上板あるいは下板を測定位置と測定試料交換位置との間で上下に移動させる毎に、送信機側の高周波ケーブルあるいは受信機側の高周波ケーブルは、上板あるいは下板の移動に追従して形状が変化する。
この場合、上板あるいは下板を測定位置に戻したときに、すなわち、測定時において送信機側の高周波ケーブルあるいは受信機側の高周波ケーブルが一定の形状に復帰するとは限らない。
また、測定試料の厚さは様々であることから、上板あるいは下板の上下方向における測定位置自体が変化するため、測定時における送信機側の高周波ケーブルあるいは受信機側の高周波ケーブルが一定の形状になるとは限らない。
ここで、高周波ケーブルで伝送される高周波の電磁波がミリ波のように極めて高い周波数帯域のものであると、高周波ケーブルの形状の変化がそれら高周波ケーブルで伝送される高周波の電磁波の特性に影響を与える。
したがって、従来技術では、測定時における送信機側の高周波ケーブルあるいは受信機側の高周波ケーブルの形状を一定に保持できないため、測定試料の誘電率を正確に測定する上で不利が生じ、何らかの改善が求められている。
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、その目的は、高周波ケーブルの形状の変化による影響を受けることなく、測定試料の誘電率を正確に測定する上で有利な誘電率測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、測定試料が載置される下挟持面と、前記下挟持面に載置された前記測定試料に向けて開口する下板側励振口とを有する導体からなる下板と、前記下板の上方に配置され上挟持面と、前記上挟持面に前記下板側励振口と同軸上で前記下板側励振口に向けて開口する上板側励振口とを有する導体からなる上板と、前記下挟持面と前記上挟持面とで前記測定試料を挟持する測定位置と、前記下板と前記上板とが上下方向に離れた測定試料交換位置との間で、前記下板と前記上板の一方を上下に移動させる上下移動機構と、前記下板側励振口または前記上板側励振口の一方に高周波の電磁波を高周波ケーブルを介して供給する送信機と、前記下板側励振口または前記上板側励振口の他方から高周波の電磁波を高周波ケーブルを介して受信する受信機と、を備える誘電率測定装置であって、上下に移動される前記下板と前記上板の一方に接続される前記受信機または前記送信機の一方を支持する支持台が設けられ、前記支持台を昇降させる昇降機構が設けられ、前記昇降機構による前記支持台の昇降に追従させ前記測定位置と前記測定試料交換位置との間で前記下板と前記上板の一方を前記支持台と一体的に昇降させる連係部材が前記支持台と前記下板と前記上板の一方との間に設けられていることを特徴とする。
請求項２記載の発明は、前記下板は、上下方向に移動不能に配置され、前記昇降機構は、前記上板を上下に移動させ、前記支持台は、前記上板に接続される前記受信機または前記送信機の一方を支持し、前記連係部材は、前記支持台と前記前記上板との間に設けられていることを特徴とする。
請求項３記載の発明は、前記支持台から前記上板に向けて突設され、前記上板の下方を向いた箇所に下方から当接可能な突起部が設けられ、前記連係部材は前記突起部で構成されていることを特徴とする。
請求項４記載の発明は、前記支持台は、前記昇降機構により前記測定位置よりも下方に位置するキャリブレーション位置に下降されることを特徴とする。
請求項５記載の発明は、前記上下移動機構は、底板と、前記底板の周方向に間隔をおいた複数箇所から立設されそれらの上部で前記下板を支持する複数の支柱と、前記下板の周方向に間隔をおいた複数箇所から立設され前記上板が前記下板と平行状態を保って結合された複数のガイド軸とを含んで構成されていることを特徴とする。
請求項６記載の発明は、前記上下移動機構は、前記複数のガイド軸の上端に取着された天板と、前記天板上で回転可能に配置されたプーリと、前記上板にその一端が連結され前記プーリに巻回されたワイヤと、前記ワイヤの他端に取着され前記上板の重量よりも僅かに小さい重量を有するカウンターウェイトとを含んで構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
請求項１記載の発明によれば、測定位置と測定試料交換位置との間で上板または下板を支持台と一体的に昇降させるようにしたので、高周波ケーブルを一定の形状に保持する上で有利となり、高周波ケーブルで伝送される高周波の電磁波の特性が影響を受けることが防止され、測定試料の誘電率を正確に測定する上で有利となる。
請求項２記載の発明によれば、測定位置と測定試料交換位置との間で上板を支持台と一体的に昇降させるようにしたので、高周波ケーブルを一定の形状に保持する上で有利となり、高周波ケーブルで伝送される高周波の電磁波の特性が影響を受けることが防止され、測定試料の誘電率を正確に測定する上で有利となる。
請求項３記載の発明によれば、上板と支持台とを突起部を介して簡単に係脱させることができ、また、支持台が測定用位置から下方に下降しても突起部は破損することがなく、また、誘電率測定装置の構成の簡素化を図れ、コストダウンを図る上で有利となる。
請求項４記載の発明によれば、キャリブレーション位置において送信機および受信機のキャリブレーションを簡単に行なう上で有利となる。
請求項５記載の発明によれば、簡単な構成により上下移動機構を構成でき、また、上下移動機構のコンパクト化を図る上で有利となる。
請求項６記載の発明によれば、小さな力で上板を昇降操作でき、また、小さな力で昇降機構を介して上板を昇降する上で有利となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施の形態の誘電率測定装置の構成を示す正面図であり、上板が測定位置に位置した状態を示す。
【図２】実施の形態の誘電率測定装置の構成を示す正面図であり、上板が測定試料位置交換位置に位置した状態を示す。
【図３】実施の形態の誘電率測定装置の構成を示す正面図であり、測定試料挟持部を取り外して受信機支持台がキャリブレーション位置に位置した状態を示す。
【図４】測定試料挟持部の斜視図である。
【図５】昇降機構の構成を示す側面図である。
【図６】昇降機構の構成を示す平面図である。
【図７】（Ａ）は下板、上板の断面図、（Ｂ）は下板にキャリブレーション用の治具を載置した状態を示す断面図、（Ｃ）は下板と上板とでキャリブレーション用の治具を挟持した状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態を図面にしたがって説明する。
図１に示すように、誘電率測定装置１０は、測定試料の誘電率を測定するものである。
誘電率測定装置１０は、送信機１２と、受信機１４と、測定試料挟持部１６と、受信機用支持台１８と、昇降機構２０と、連係部材２２とを含んで構成されている。
送信機１２は、測定試料に供給する高周波の電磁波を送信するものである。
受信機１４は、測定試料を通過した高周波の電磁波を受信するものであり、受信機１４で受信された電磁波の検出結果に基づいて測定試料の誘電率が算出される。
なお、本実施の形態では、高周波として周波数が３０ＧＨｚ〜３００ＧＨｚ程度のミリ波を対象とした場合について説明するが、高周波の周波数は限定されるものではない。
【０００９】
図１、図４に示すように、測定試料挟持部１６は、底板２６と、下板２８と、上板３０と、天板３２とを含んで構成されている。
本実施の形態では、下板２８が上下に移動不能に配置され、上板３０が上下に移動可能に配置されている場合について説明する。
底板２６は、矩形板状を呈し、装置フレーム３４の上面の予め定められた取り付け位置にボルトで着脱可能に固定されている。
底板２６の上面の４箇所から支柱３６が立設され、下板２８はそれら支柱３６の上部で支持されている。
【００１０】
下板２８は、底板２６よりも輪郭が小さい矩形板状を呈している。
下板２８は、導体で形成され、導体として銅などの従来公知の様々な金属が使用可能である。
図７（Ａ）に示すように、下板２８は、測定試料が載置される円形の下挟持面２８０１と、下挟持面２８０１の中央に、下挟持面２８０１に載置された測定試料に向けて開口する下板側励振口２８０２とを有している。
下挟持面２８０１は、下板２８の上面に形成されている。
下板側励振口２８０２は、下挟持面２８０１上の測定試料に電磁波を放射させるものである。
下板側励振口２８０２は下板２８の厚さ方向に貫通形成され、下挟持面２８０１の外周部には下板側励振口２８０２と同軸上で環板状の位置決め用凸部２８０４が設けられている。
位置決め用凸部２８０４は、後述するキャリブレーション用の治具５８を位置決めするためのものである。
【００１１】
図１に示すように、下板２８の下面には下板側励振口２８０２に接続される下板側コネクタ２８１０が取着されている。
なお、図３（Ａ）において、符号２８１２は下板側励振口２８０２に挿入され下板側コネクタ２８１０に電気的に接続された電極を示しており、高周波の電磁波はこの電極２８１２を介して測定試料あるいは後述する治具５８に送信される。
下板側コネクタ２８１０は、送信機側高周波ケーブル３８を介して送信機１２に着脱可能に接続される。
送信機１２は、装置フレーム３４から離れた机上やフロアなどに配置されている。
送信機側高周波ケーブル３８は、送信機１２のコネクタ１２０２に着脱可能に接続される第１送信機側コネクタ３８０２と、下板側コネクタ２８１０に着脱可能に接続される第２送信機側コネクタ３８０４とを有している。
図１、図４に示すように、下板２８の上面の４つの角部にはそれぞれガイド軸４２が立設され、各ガイド軸４２の上端に天板３２が固定されている。
【００１２】
上板３０は、下板２８と天板３２との間で、下挟持面２８０１と上挟持面３００１とで測定試料を挟持する測定位置Ｐ１（図１参照）と、下板２８と上板３０とが上下方向に離れた測定試料交換位置Ｐ２（図２参照）との間でガイド軸４２に沿って昇降可能に配置されている。
すなわち、図４に示すように、上板３０の４つの角部に軸受部３００５が設けられ、各軸受部３００５にガイド軸４２が挿通されている。
上板３０は、下板２８と同一形状の矩形板状を呈している。
上板３０は、下板２８と同様に、導体で形成され、導体として銅などの従来公知の様々な金属が使用可能である。
【００１３】
図７（Ａ）に示すように、上板３０は、下挟持面２８０１と協働して測定試料を挟持する上挟持面３００１と、上挟持面３００１の中央に、下板側励振口２８０２と同軸上で挟持した測定試料に向けて開口する上板側励振口３００２とを有している。
上挟持面３００１は、上板３０の下面に形成されている。
上挟持面３００１の外周部に、下板２８の位置決め用凸部２８０４の収容を可能とした凹部３００４が設けられている。
図１、図４に示すように、上板３０の上面には上板側励振口３００２に接続される上板側コネクタ３０１０が設けられている。
なお、図７（Ａ）において、符号３０１２は上板側励振口３００２に挿入され上板側コネクタ３０１０に電気的に接続された電極を示しており、測定試料あるいは後述する治具５８を通過した高周波の電磁波はこの電極３０１２を介して受信される。
図４に示すように、天板３２は、受信機側高周波ケーブル４０に干渉しないための欠部３２０２が設けられている。
【００１４】
さらに本実施の形態では、図１、図４に示すように、上板３０の昇降が円滑になされるように、カウンターウェイト４４が設けられている。
すなわち、天板３２にプーリ４６が回転可能に配置され、カウンターウェイト４４に結合するワイヤ４８がプーリ４６を介して上板３０に連結され、プーリ４６を正逆転させることで上板３０が昇降するように構成されている。
カウンターウェイト４４は、上板３０の重量よりも僅かに小さい重量で設定されており、したがって、上板３０は下方に付勢されているものの、僅かな力でプーリ４６を正逆転させることで、上板３０の昇降が円滑になされるように図られている。
したがって、底板２６、支柱３６、ガイド軸４２、軸受部３００５によって、測定位置Ｐ１と測定試料交換位置Ｐ２との間で、上板３０を上下に移動させる上下移動機構２４が構成され、上板３０の上下移動が円滑になされるように本実施の形態では、天板３２、プーリ４６、ワイヤ３８、カウンターウェイト４４を含んで上下移動機構２４が構成されている。
すなわち、上下移動機構２４は、プーリ４６を正逆転させることで上板３０が昇降され、あるいは、上板３０を把持して上板３０を昇降できるように構成されている。
また、上下移動機構２４は、カウンターウェイト４４を含んで構成されているので、小さな力で上板３０を昇降でき、測定試料挟持部１６の操作性が高められている。
【００１５】
図１に示すように、上板側コネクタ３０１０は、受信機側高周波ケーブル４０を介して受信機１４に着脱可能に接続されている。
受信機側高周波ケーブル４０は、受信機１４のコネクタ１４０２に着脱可能に接続される第１受信機側コネクタ４００２と、上板側コネクタ３０１０に着脱可能に接続される第２受信機側コネクタ４００４とを有している。
【００１６】
受信機１４は、測定試料挟持部１６の側方に配置された受信機用支持台１８の上に配置されている。
受信機用支持台１８は、昇降機構２０により昇降可能に構成されている。
図１に示すように、昇降機構２０は、装置フレーム３４の上に設けられたジャッキ部５２と、ジャッキ部５２により昇降され受信機用支持台１８が載置される昇降テーブル５４と、ジャッキ部５２を上下に伸縮させる操作部５６とを備え、昇降機構２０は装置フレーム３４の予め定められた位置に着脱可能に取着されている。
【００１７】
図５、図６に示すように、ジャッキ部５２は、互いに間隔をおいて対向する両側のリンク機構５２０２で構成されている。
それら両側のリンク機構５２０２により平行運動機構が構成され、両側のリンク機構５２０２の上に昇降テーブル５４が設けられている。
両側のリンク機構５２０２は、同一の構造でそれぞれ４つのリンク５２０４から構成されている。
操作部５６は、つまみ部５６０２と、つまみ部５６０２から突設された回転軸５６０４とを有している。
回転軸５６０４の中間部は、各リンク機構５２０２において４つのリンク５２０４のうちの２つのリンク５２０４の結合部間に設けられたロッド材５６０６に回転可能かつ軸方向動不能に結合され、回転軸５６０４の端部は４つのリンク５２０４のうちの残りの２つのリンク５２０４の結合部間に設けられたロッド材５６０８にねじ結合され、つまみ部５６０２を正逆回転操作することでジャッキ部５２が伸縮し、昇降テーブル５４が平行状態を保って昇降する。
本実施の形態では、つまみ部５６０２を正転操作すると、昇降テーブル５４が上昇し、つまみ部５６０２を逆転操作すると、昇降テーブル５４が下降する。
なお、このような昇降機構２０の構造は実施の形態の構造に限定されず、従来公知の様々な構造や市販品が採用可能である。
【００１８】
図１、図２に示すように、連係部材２２は、昇降機構２０による受信機用支持台１８の昇降に追従させ測定位置Ｐ１と測定試料交換位置Ｐ２との間で上板３０を受信機用支持台１８と一体的に昇降させるものであり、連係部材２２は受信機用支持台１８と上板３０との間に設けられている。
本実施の形態では、受信機用支持台１８から突起部１８０２が上板３０に向けて突設されている。
この突起部１８０２は、図１、図４に示すように、上板３０に設けられたピン３０２０の下面に下方から当接可能に設けられ、連係部材２２は突起部１８０２で構成されている。
受信機用支持台１８は、昇降機構２０により連係部材２２とピン３０２０を介して上板３０を測定位置Ｐ１にする測定用位置Ｐ１０（図１参照）と、上板３０を測定試料交換位置Ｐ２とする測定試料交換用位置Ｐ２０（図２参照）との間で昇降可能に配置され、さらに測定用位置Ｐ１０よりも下方に位置するキャリブレーション位置Ｐ３０（図３参照）に下降可能に配設されている。
【００１９】
次に誘電率測定装置１０の使用方法について説明する。
誘電率測定装置１０による測定試料の誘電率の測定に先立ってキャリブレーションを行なう。
キャリブレーションは、送信機１２および受信機１４のみで行なう第１のキャリブレーションと、誘電率測定装置１０で行なう第２のキャリブレーションとの２種類を行なう。
【００２０】
まず、第１のキャリブレーションについて説明する。
まず、第２受信機側コネクタ４００４、第２送信機側コネクタ３８０４を、上板側コネクタ３０１０、下板側コネクタ２８１０から切り離す。
次いで、測定試料挟持部１６を装置フレーム３４から取り外し、受信機用支持台１８および昇降機構２０から離間させる。
次いで、図３に示すように、ジャッキ部５２のつまみ部５６０２を逆転操作し、受信機用支持台１８をキャリブレーション位置Ｐ３０に位置させる。
次に、第２受信機側コネクタ４００４と第２送信機側コネクタ３８０４とをアダプタ５７を介して結合することで、受信機１４と送信機１２とを受信機側高周波ケーブル４０および送信機側高周波ケーブル３８を介して直接接続する。
次に、受信機１４と送信機１２のキャリブレーション（ゼロ点調整）を行なう。
なお、受信機側高周波ケーブル４０および送信機側高周波ケーブル３８は、それらが有する剛性によって一定の形状が保持される。これは、受信機側高周波ケーブル４０および送信機側高周波ケーブル３８が、低周波ケーブルなどに比較して高い剛性を有しているためである。
したがって、第２受信機側コネクタ４００４と第２送信機側コネクタ３８０４とをアダプタ５７を介して結合した状態の受信機側高周波ケーブル４０および送信機側高周波ケーブル３８からアダプタ５７を取り外し、受信機側高周波ケーブル４０、送信機側高周波ケーブル３８をそれぞれフリーの状態としても、受信機側高周波ケーブル４０および送信機側高周波ケーブル３８は、それらケーブル４０，３８の剛性によってアダプタ５７を介して結合した状態の形状が保持される。
【００２１】
次に、誘電率測定装置１０の測定時の誤差を補正するために第２のキャリブレーションを行なう。
第２のキャリブレーションを行なうにあたっては、以下の治具を用意する。
図７（Ｂ）に示すように、治具５８は、円形の銅箔６０と環板状のフィルム６２とを備えている。
銅箔６０は、下板側励振口２８０２、上板側励振口３００２よりも大きな外径の円形を有し、厚さは例えば５０μｍと極めて薄い。
フィルム６２は誘電率が低く、中心に円形の銅箔６０の外径と同一内径の中心孔６２０２が形成されており、厚さは、銅箔６０よりも薄く、外径は、下板２８に設けられた環板状の位置決め用凸部２８０４に合致する寸法で形成されている。
【００２２】
まず、第１のキャリブレーションの際に第２送信機側コネクタ３８０４と第２受信機側コネクタ４００４とを接続していたアダプタ５７を取り外す。
次に、ジャッキ部５２のつまみ部５６０２を正転操作し、受信機用支持台１８を測定用位置Ｐ１０よりも僅かに下方の位置まで上昇させる。
次に、連係部材２２の上方にピン３０２０が位置するように、また、受信機側高周波ケーブル４０が天板３２の欠部３２０２内に位置するようにして、測定試料挟持部１６を装置フレーム３４上の測定位置に取り付ける。
次に、図１に示すように、ジャッキ部５２のつまみ部５６０２を正転操作し、受信機用支持台１８を測定用位置Ｐ１０まで上昇させる。
受信機用支持台１８の測定用位置Ｐ１０で連係部材２２がピン３０２０に係合する。
次に、第２送信機側コネクタ３８０４を下板側コネクタ２８１０に接続すると共に、第２受信機側コネクタ４００４を上板側コネクタ３０１０に接続する。
【００２３】
次に、ジャッキ部５２のつまみ部５６０２を正転操作し、受信機用支持台１８を上昇させる。
図２に示すように、この受信機用支持台１８の測定試料交換用位置Ｐ２０への上昇に伴い、連係部材２２とピン３０２０を介して上板３０は測定試料交換位置Ｐ２となる。
次いで、治具５８を下板２８の下挟持面２８０１に載置する。
詳細に説明すると、図７（Ｂ）に示すように、フィルム６２の外周を下板２８の環板状の位置決め用凸部２８０４に当て付けて下板２８の下挟持面２８０１に載置する。
次に、銅箔６０の外周をフィルム６２の中心孔６２０２の外周に合わせ、銅箔６０を中心孔６２０２に挿入しフィルム６２の内側で下板２８の上面に載置する。
【００２４】
次に、図１に示すように、ジャッキ部５２のつまみ部５６０２を逆転操作して受信機用支持台１８を測定用位置Ｐ１０に下降させると、連係部材２２とピン３０２０を介して上板３０は測定位置Ｐ１となる。
上板３０が測定位置Ｐ１に位置すると、図７（Ｃ）に示すように、下板側励振口２８０２と上板側励振口３００２の軸心が合致させた状態で上板３０と下板２８との間で銅箔６０が挟持される。
なお、測定位置Ｐ１と測定用位置Ｐ１０は、下板２８の下挟持面２８０１と上板３０の上挟持面３００１の間に挟まれる治具５８の厚さに対応して変化する。
下板２８の下挟持面２８０１と上板３０の上挟持面３００１との間に治具５８が挟まれたならば、下板２８の下挟持面２８０１と治具５８と上板３０の上挟持面３００１とが密着するように不図示のクランプによって下板２８と上板３０とを挟持する。
この状態で、下板２８、治具５８、上板３０とによって平衡形円板共振器が構成される。
【００２５】
この状態で送信機１２から送信機側高周波ケーブル３８、第２送信機側コネクタ３８０４、下板側コネクタ２８１０、下板側励振口２８０２を介して高周波の電磁波を銅箔６０に供給し、銅箔６０を通過した電磁波を上板側励振口３００２、上板側コネクタ３０１０、第２受信機側コネクタ４００４、受信機側高周波ケーブル４０を介して受信機１４で受信し、その検出結果に基づいてキャリブレーション（ゼロ点調整）を行なう。
この第２のキャリブレーション時、受信機側高周波ケーブル４０の第２受信機側コネクタ４００４が上板３０の上板側コネクタ３０１０に結合された状態で、受信機用支持台１８と上板３０とは、測定位置Ｐ１と測定試料交換位置Ｐ２との間で一体に上下に移動するので、受信機側高周波ケーブル４０は一定の形状の保持される。
【００２６】
第２のキャリブレーションがなされたならば、測定試料の測定を行なう。
まず、図２に示すように、ジャッキ部５２のつまみ部５６０２を正転操作して受信機用支持台１８を測定試料交換用位置Ｐ２０に上昇させ、連係部材２２とピン３０２０を介して上板３０を測定試料交換位置Ｐ２とする。
次いで、治具５８を下板２８の下挟持面２８０１から取り出し、不図示の測定試料を下板２８の下挟持面２８０１に載置する。
詳細に説明すると、測定試料を下板２８の環板状の位置決め用凸部２８０４の内側で下板２８の下挟持面２８０１に載置する。
【００２７】
次に、図１に示すように、ジャッキ部５２のつまみ部５６０２を逆転操作して受信機用支持台１８を測定用位置Ｐ１０に下降させ、連係部材２２とピン３０２０を介して上板３０を測定位置Ｐ１とする。
上板３０が測定位置Ｐ１に位置すると、下板側励振口２８０２と上板側励振口３００２の軸心が合致させた状態で上板３０と下板２８との間で測定試料が挟持される。
なお、第２のキャリブレーションの場合と同様に、測定位置Ｐ１と測定用位置Ｐ１０は、下板２８の下挟持面２８０１と上板３０の上挟持面３００１との間に挟まれる測定試料の厚さに対応して変化する。
下板２８の下挟持面２８０１と上板３０の上挟持面３００１との間に測定試料が挟まれたならば、下板２８の下挟持面２８０１と測定試料と上板３０の上挟持面３００１とが密着するように不図示のクランプによって下板２８と上板３０とを挟持する。
この状態で、下板２８、測定試料、上板３０とによって平衡形円板共振器が構成される。
【００２８】
この状態で送信機１２から送信機側高周波ケーブル３８、第２送信機側コネクタ３８０４、下板側コネクタ２８１０、下板側励振口２８０２を介して高周波の電磁波を測定試料に供給し、測定試料を通過した電磁波を上板側励振口３００２、上板側コネクタ３０１０、第２受信機側コネクタ４００４、受信機側高周波ケーブル４０を介して受信機１４で受信し、その検出結果に基づいて測定試料の誘電率の測定を行なう。
この測定試料の誘電率の測定時、受信機側高周波ケーブル４０の第２受信機側コネクタ４００４が上板３０の上板側コネクタ３０１０に結合された状態で、受信機用支持台１８と上板３０とは、測定位置Ｐ１と測定試料交換位置Ｐ２との間を一体に上下に移動するので、受信機側高周波ケーブル４０は一定の形状の保持される。
【００２９】
以上の説明から明らかなように、本実施の形態によれば、第１キャリブレーション時および第２キャリブレーション時並びに測定試料の測定時に受信機側高周波ケーブル４０はその形状が一定に保持された状態となる。
特に第２キャリブレーション時と測定試料の測定時には、測定位置Ｐ１と測定試料交換位置Ｐ２との間で上板３０を受信機用支持台１８と一体的に昇降させるようにしたので、上板３０および受信機１４は、上板３０の上下位置の変化に拘わらず、受信機１４と上板側コネクタ３０１０とを接続する受信機側高周波ケーブル４０はその形状が一定に保持された状態となる。
また、下板２８および送信機１２は、装置フレーム３４上でそれらの位置を固定することで、上板３０の昇降に拘わらず、また、上板３０の上下位置の変化に拘わらず、送信機１２と下板側コネクタ２８１０とを接続する送信機側高周波ケーブル３８はその形状が一定に保持された状態となる。
そのため、上板３０を測定位置Ｐ１と測定試料交換位置Ｐ３との間で昇降させても、あるいは、様々な厚さの測定試料の測定を行っても、測定時における送信機側高周波ケーブル３８および受信機側高周波ケーブル４０を一定の形状に保持できる。
したがって、それら高周波ケーブル３８、４０で伝送される高周波の電磁波の特性が影響を受けることが防止され、測定試料の誘電率を正確に測定する上で有利となる。
【００３０】
また、本実施の形態では、受信機用支持台１８の昇降に追従させ測定位置Ｐ１と測定試料交換位置Ｐ２との間で上板３０を受信機用支持台１８と一体的に昇降させる連係部材２２を、上板３０の下方を向いた箇所に下方から当接可能な突起部１８０２で構成したので、上板３０と受信機用支持台１８とを突起部１８０２を介して簡単に係脱させることができ、また、受信機用支持台１８が測定用位置Ｐ１０から下方に下降しても突起部１８０２は破損することがなく、また、誘電率測定装置１０の構成の簡素化を図れ、コストダウンを図る上で有利となる。
また、本実施の形態では、上下移動機構２４は、カウンターウェイト４４を含んで構成されているので、小さい力で上板３０を上昇でき、したがって、受信機用支持台１８と共に上板３０を昇降させるジャッキ部５２のつまみ部５６０２の正転操作を簡単に円滑に行なう上で有利となる。
【００３１】
なお、本実施の形態では、下板２８に送信機１２を接続し、上板３０に受信機１４を接続する場合について説明したが、下板２８に受信機１４を接続し、上板３０に送信機１２を接続してもよく、その場合は、昇降機構２０により送信機１２と上板３０とを一体的に昇降させるようにすればよい。
また、上板３０を固定し下板２８を昇降させてもよい。
この場合、上板３０に送信機１２を接続し、下板２８に受信機１４を接続したときには、昇降機構２０により受信機１４と下板２８とを一体的に昇降させるようにすればよい。
また、上板３０に受信機１４を接続し、下板２８に送信機１２を接続したときには、昇降機構２０により送信機１２と下板２８とを一体的に昇降させるようにすればよい。
【符号の説明】
【００３２】
１０  誘電率測定装置
１２  送信機
１４  受信機
１６  測定試料挟持部
１８  受信機用支持台（支持台）
１８０２  突起部
２０  昇降機構
２２  連係部材
２４  上下移動機構
２８  下板
２８０１  下挟持面
２８０２  下板側励振口
３０  上板
３００２  上板側励振口
３８  送信機側高周波ケーブル（高周波ケーブル）
４０  受信機側高周波ケーブル（高周波ケーブル）
４４  カウンターウェイト
４６  プーリ
４８  ワイヤ
Ｐ１  測定位置
Ｐ２  測定試料交換位置
Ｐ３０  キャリブレーション位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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