(57)【要約】【課題】  コート液に接触させた後の湿潤状態にある粉体中の粒子に付着しているコート液の液量（コート量）のばらつきを正確に認識することが可能な、粒子に付着したコート液の液量計測方法を提供すること。【解決手段】  コート液の接触によって湿潤状態にある粉体を凍結することにより、前記粉体中の粒子毎に、該粒子上に凍結したコート層を備える凍結粒子を調製し、該凍結粒子からなる試料粒子を得る工程（Ａ）と、クライオ電子顕微鏡法により走査型電子顕微鏡を用いて、任意の複数の前記試料粒子について、該粒子毎に、凍結状態を維持したままで直径を測定する工程（Ｂ）と、前記試料粒子の温度を昇温することにより、凍結状態の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去して、溶媒昇華除去後の試料粒子を調製する工程（Ｃ）と、前記走査型電子顕微鏡を用いて、工程（Ｂ）において直径を測定した試料粒子について、該粒子毎に、前記溶媒昇華除去後の試料粒子の直径を測定する工程（Ｄ）と、前記直径を測定した粒子毎に、溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の直径から求められる溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の体積に基づいて、当該粒子の表面に付着したコート液の液量を求める工程（Ｅ）と、を含むことを特徴とする、粒子に付着したコート液の液量計測方法。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
コート液の接触によって湿潤状態にある粉体を凍結することにより、前記粉体中の粒子毎に、該粒子上に凍結したコート層を備える凍結粒子を調製し、該凍結粒子からなる試料粒子を得る工程（Ａ）と、
クライオ電子顕微鏡法により走査型電子顕微鏡を用いて、任意の複数の前記試料粒子について、該粒子毎に、凍結状態を維持したままで直径を測定する工程（Ｂ）と、
前記試料粒子の温度を昇温することにより、凍結状態の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去して、溶媒昇華除去後の試料粒子を調製する工程（Ｃ）と、
前記走査型電子顕微鏡を用いて、工程（Ｂ）において直径を測定した試料粒子について、該粒子毎に、前記溶媒昇華除去後の試料粒子の直径を測定する工程（Ｄ）と、
前記直径を測定した粒子毎に、溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の直径から求められる溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の体積に基づいて、当該粒子の表面に付着したコート液の液量を求める工程（Ｅ）と、
を含むことを特徴とする、粒子に付着したコート液の液量計測方法。
【請求項２】
前記湿潤状態にある粉体が、粉体処理装置内において粉体を転動、流動又は転動流動しながらコート液に接触させることにより得られるものであることを特徴とする請求項１に記載の粒子に付着したコート液の液量計測方法。
【請求項３】
前記工程（Ａ）において前記湿潤状態にある粉体中の粒子を凍結する工程が、該粒子を露点温度が−１５℃以下のドライガス雰囲気下において凍結する工程であることを特徴とする請求項１又は２に記載の粒子に付着したコート液の液量計測方法。
【請求項４】
前記工程（Ｂ）において、前記試料粒子を凍結状態のままで走査型電子顕微鏡の観察室に導入するために温度制御手段に接続したクライオホルダーを利用すること、及び、
前記工程（Ｃ）において、前記温度制御手段を用いて凍結状態の前記試料粒子の温度を昇温すること、
を特徴とする請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載の粒子に付着したコート液の液量計測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粒子に付着したコート液の液量計測方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、微細な試料の状態を電子顕微鏡により観察するために、試料を凍結させて観測する、いわゆるクライオ電子顕微鏡法（低温電子顕微鏡法）が採用されている。このようなクライオ電子顕微鏡法を採用する従来の試料の観測方法としては、例えば、特開２００９−８６５７号公報（特許文献１）に、常温常圧で液相を呈する分散媒としての液体（Ａ）と、前記液体とは異なる物質であって常温常圧で固相又は液相を呈する物質（Ｂ）と、を含み、前記物質（Ｂ）が前記液体（Ａ）中に分散された検体液滴を、該液滴における前記物質の分散状態を保持したまま、観察すべき領域全体を急冷してアモルファス化して固体試料を得た後に、かかる固体試料の断面を集束イオンビーム（ＦＩＢ）加工等により露出させ、次いで、該固体試料から前記液体（Ａ）の一部を電子線を低エネルギーで照射するなどして気化させて、物質（Ｂ）を固体試料の断面に凸部として現して、物質（Ｂ）の分散状態を観察する方法が開示されている。しかしながら、このような方法は、物質（Ｂ）を特定の液体（Ａ）中に分散させて凍結した後に、その液体（Ａ）の一部を除去して、固体試料内において物質（Ｂ）がより現れた状態となるようにして、その物質（Ｂ）の分散状態を観測する方法に過ぎない。また、特許文献１には、湿潤状態にある粒子に付着しているコート液の液量を測定するといった技術的な思想など、何ら記載されていない。
【０００３】
なお、近年では、電子顕微鏡による直接観察で試料中のナノ粒子を定量するための検出キットに関する技術も提案されている。このような検出キットとしては、例えば、特開２０１７−２０１２８９号公報（特許文献２）に、電子顕微鏡による直接観察で試料中のナノ粒子を同定または定量するための検出キットであって、表面がマイナス電荷またはプラス電荷にチャージされているプレートと、試料中のナノ粒子を特異的に標識するための標識剤と、試料中のナノ粒子を薄膜で覆うための電子顕微鏡観察用保護剤とを具備する検出キットが提案されている。しかしながら、このようなナノ粒子を定量するための検出キットの記載された特許文献２においても、湿潤状態にある粒子（試料）に付着しているコート液の液量を測定するといった技術的な思想は特に記載されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−８６５７号公報
【特許文献２】特開２０１７−２０１２８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、コート液に接触させた後の湿潤状態にある粉体中の粒子に付着しているコート液の液量（コート量）のばらつきを正確に認識することが可能な、粒子に付着したコート液の液量計測方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、前記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、下記工程（Ａ）〜（Ｅ）を含む粒子に付着したコート液の液量計測方法により、コート液に接触させた後の湿潤状態にある粉体中の粒子に付着しているコート液の液量（コート量）のばらつきを正確に認識することが可能となることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００７】
すなわち、本発明の粒子に付着したコート液の液量計測方法は、
コート液の接触によって湿潤状態にある粉体を凍結することにより、前記粉体中の粒子毎に、該粒子上に凍結したコート層を備える凍結粒子を調製し、該凍結粒子からなる試料粒子を得る工程（Ａ）と、
クライオ電子顕微鏡法により走査型電子顕微鏡を用いて、任意の複数の前記試料粒子について、該粒子毎に、凍結状態を維持したままで直径を測定する工程（Ｂ）と、
前記試料粒子の温度を昇温することにより、凍結状態の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去して、溶媒昇華除去後の試料粒子を調製する工程（Ｃ）と、
前記走査型電子顕微鏡を用いて、工程（Ｂ）において直径を測定した試料粒子について、該粒子毎に、前記溶媒昇華除去後の試料粒子の直径を測定する工程（Ｄ）と、
前記直径を測定した粒子毎に、溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の直径から求められる溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の体積に基づいて、当該粒子の表面に付着したコート液の液量を求める工程（Ｅ）と、
を含むことを特徴とする方法である。
【０００８】
上記本発明の粒子に付着したコート液の液量計測方法においては、前記湿潤状態にある粉体が、粉体処理装置内において粉体を転動、流動又は転動流動しながらコート液に接触させることにより得られるものであることが好ましい。
【０００９】
また、上記本発明の粒子に付着したコート液の液量計測方法においては、前記工程（Ａ）において前記湿潤状態にある粉体中の粒子を凍結する工程が、該粒子を露点温度が−１５℃以下（好ましくは−１５〜−５０℃）のドライガス雰囲気下において凍結する工程であることが好ましい。
【００１０】
さらに、上記本発明の粒子に付着したコート液の液量計測方法においては、
前記工程（Ｂ）において、前記試料粒子を凍結状態のままで走査型電子顕微鏡の観察室に導入するために温度制御手段に接続したクライオホルダーを利用すること、及び、
前記工程（Ｃ）において、前記温度制御手段を用いて凍結状態の前記試料粒子の温度を昇温すること、
が好ましい。
【００１１】
なお、本発明によって上記目的を達成することが可能となる理由は必ずしも定かではないが、本発明者らは以下のように推察する。すなわち、先ず、本発明においては、前述のように、試料粒子からの溶媒の昇華除去を採用することで、粒子毎に、溶媒の昇華前後の試料粒子の直径を求めることを可能とし、その直径からコート液の接触によって湿潤状態にある粉体中の各粒子に付着したコート液の液量（溶媒の液量）を確認することを可能としている。これは、先ず、凍結状態の試料粒子の直径を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により測定することで、コート液が凍結してなるコート層を有する粒子の直径（大きさ）を測定でき、次いで、凍結状態の試料粒子（溶媒昇華除去前の試料粒子）について、コート液のコート前の粒子の元々の大きさが不明であるが、溶媒を昇華除去（例えば、真空条件下において昇温する等）して、溶媒昇華除去後の試料粒子を調製することで、その凍結状態の試料粒子においてコート液の凍結層（コート層）に隠れていた粒子等を露出させて、溶媒昇華除去後の試料粒子の直径を測定することが可能となることから、コート層中の溶媒の体積（溶媒量）をＳＥＭにより直接的に確認することが可能となることに基づくものである。なお、このような凍結状態の試料粒子（溶媒昇華除去前の試料粒子）と、溶媒昇華除去後の試料粒子の直径が求められれば、その直径の値に基づいて溶媒昇華除去前後の各試料粒子の体積をそれぞれ算出することが可能となり、その差に基づいて、一粒子毎にコート液の液量（溶媒の液量）を計測することが可能となる。このような本発明によれば、溶媒の昇華前後の粒子の直径に基づいて、一粒子毎に付着したコート液の液量を確認でき、粒子毎のコート量のばらつき等も正確に認識することが可能である。このような本発明によれば、例えば、粉体処理装置（転動流動装置等の造粒装置）におけるコート液の塗布処理において、処理条件ごとに、各粒子へのコート液の付着状態やそのばらつき状態を確認できることから、造粒粉体中の各粒子に付着したコート液の定量化も可能となる。そして、確認する粉体の採取条件（温度、時間、採取する位置等）を任意に選択することで、各処理条件に応じたコート量等を予め定量化することができるため、そのコート液の種類ごとに、目的の設計に応じた処理時間やコート液の使用量等を簡便に設定しつつ、所望の粒子を造粒することも可能となるものと本発明者らは推察する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、コート液に接触させた後の湿潤状態にある粉体中の粒子に付着しているコート液の液量（コート量）のばらつきを正確に認識することが可能な、粒子に付着したコート液の液量計測方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の粒子に付着したコート液の液量計測方法の好適な一実施形態のフローチャートである。
【図２】走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の観察室の好適な一実施形態を模式的に示す概略縦断面図である。
【図３】溶媒昇華除去前の試料粒子（凍結したコート層を有する試料粒子）の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。
【図４】図３に示す粒子の溶媒昇華除去後の状態を示す走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である（溶媒昇華除去後の試料粒子の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である）。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。
【００１５】
本発明の粒子に付着したコート液の液量計測方法は、
コート液の接触によって湿潤状態にある粉体を凍結することにより、前記粉体中の粒子毎に、該粒子上に凍結したコート層を備える凍結粒子を調製し、該凍結粒子からなる試料粒子を得る工程（Ａ）と、
クライオ電子顕微鏡法により走査型電子顕微鏡を用いて、任意の複数の前記試料粒子について、該粒子毎に、凍結状態を維持したままで直径を測定する工程（Ｂ）と、
前記試料粒子の温度を昇温することにより、凍結状態の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去して、溶媒昇華除去後の試料粒子を調製する工程（Ｃ）と、
前記走査型電子顕微鏡を用いて、工程（Ｂ）において直径を測定した試料粒子について、該粒子毎に、前記溶媒昇華除去後の試料粒子の直径を測定する工程（Ｄ）と、
前記直径を測定した粒子毎に、溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の直径から求められる溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の体積に基づいて、当該粒子の表面に付着したコート液の液量を求める工程（Ｅ）と、
を含むことを特徴とする方法である。以下、各工程ごとに分けて説明する。
【００１６】
＜工程（Ａ）＞
工程（Ａ）は、コート液の接触によって湿潤状態にある粉体を凍結することにより、前記粉体中の粒子毎に、該粒子上に凍結したコート層を備える凍結粒子を調製し、該凍結粒子からなる試料粒子を得る工程である。
【００１７】
このようなコート液としては、特に制限されず、粉体の使用目的に応じて、その種類や設計を適宜変更でき、例えば、金属塩の水溶液、有機溶媒溶液、有機バインダー等を利用できる。なお、このような金属塩としては、例えば、Ｎｂ、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｗ、Ｐ等の金属の塩（硫酸塩、硝酸塩、炭酸塩、酢酸塩、リン酸塩、ハロゲン化物、錯塩等）が挙げられる。また、このようなコート液の溶媒としては、特に制限されないが、水、各種有機溶媒（例えばアルコール類、エーテル類、エステル類、ＮＭＰ等）を適宜利用でき、中でも、蒸気圧の観点からは、水、エタノール、プロパノールなど（より好ましくは水）が好ましい。
【００１８】
また、前記コート液に接触させる粉体（コート液に接触前の未処理品）としては、特に制限されず、目的に応じて公知の材料からなるものを適宜利用できる。また、このような粉体中の粒子の平均粒子径（粉体処理装置で未処理の状態の粉体中の粒子の平均粒子径）は１〜５０μｍ（より好ましくは５〜２０μｍ）であることが好ましい。このような粒子の平均粒子径（平均直径）が前記下限未満では、走査型電子顕微鏡により粒子毎に直径を観察することが困難となる傾向にあり、他方、前記上限を超えると、溶媒の昇華時に多量の蒸気が発生して、走査型電子顕微鏡内の観察条件（真空条件）が変化してしまい、溶媒昇華除去後にそのままＳＥＭ観察を行うことが困難となる傾向にある。なお、このような粉体中の粒子の平均粒子径としては、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）観察により無作為に抽出した１０個以上の粒子を観測し、各粒子の断面の最小外接円の直径をそれぞれ測定して平均化することにより求めることができる。
【００１９】
また、本発明において、前記コート液の接触によって湿潤状態にある粉体は、前記コート液の接触によって湿潤状態にさせたものであればよく、そのような湿潤状態にさせるための前記コート液のコーティングの方法等は特に制限されるものではなく、公知の方法を適宜しようすることができる。このようなコート液の接触によって湿潤状態にある粉体としては、粉体処理装置内において粉体を転動、流動又は転動流動しながらコート液に接触させることにより得られるものであることが好ましい。このような粉体処理装置としては、粉体を転動、流動又は転動流動しながらコート液に接触させてコートすることが可能なものであればよく、特に制限されず、公知のものを適宜利用することができ、例えば、その好適な一例として、いわゆる転動流動コーティング装置を挙げることができる。なお、このような転動流動コーティング装置は、一般的に、コート容器内において粉体を転動流動しながらコーティング液を噴霧して、転動流動しながら粉体に対してコーティング液に接触させて、粉体粒子をコーティングするために利用されるものである。また、このような粉体処理装置としては、市販のもの（例えば、パウレック社製の商品名「マルチプレックス」等）を適宜利用してもよい。なお、コート液の接触によって湿潤状態にある粉体が、粉体処理装置内において粉体を転動、流動又は転動流動しながらコート液に接触させることにより得られるものである場合、その転動、流動又は転動流動する処理を施した粉体粒子を適宜取り出して、測定に利用すればよい。なお、このような粉体処理装置において処理を施した粉体（湿潤状態にある粉体）を取り出す方法は、粉体処理装置から粉体を取り出すことが可能な方法であればよく、特に制限されず、公知の方法を適宜利用できる。
【００２０】
なお、本発明においては、例えば、前述のような粉体処理装置を利用した場合において、任意の処理条件下（任意の処理時間や処理温度等）においてコート処理された粉体（粒子）を適宜取り出して、これを測定試料とすることが可能であり、これにより、任意の処理条件下における粉体のコート量を適宜確認することも可能となる。そのため、本発明によれば、例えば、前述のような粉体処理装置等を用いて、予め様々な処理要件下におけるコート量等を確認することで、個々の粒子のコート層のばらつきなども含めて、コート状態を十分に確認することが可能となるため、所望の粒子を形成するために最適な処理条件（時間等）を予め導き出すことなども可能となる。従って、本発明の計測方法により得られるデータを利用して、所望の粒子をより効率よく形成することなども可能となる。
【００２１】
また、工程（Ａ）においては、コート液の接触によって湿潤状態にある粉体を凍結する。このような粉体の凍結方法は特に制限されず、クライオ電子顕微鏡法において凍結試料を調製する際に利用することが可能な公知の凍結方法（公知の凍結試料の調製方法：公知のクライオ処理の方法）を適宜利用することができる。すなわち、このような粉体の凍結方法としては、例えば、冷媒を用いて凍結処理を施す方法等の公知の処理方法を適宜利用できる。また、このような試料の凍結に冷媒を利用する場合、その冷媒としては、特に制限されるものではなく、公知の冷媒を適宜利用でき、中でも、より短時間で効率よく凍結作業を行うことができることから、液体窒素を利用することが好ましい。また、このような粉体の凍結には、いわゆるクライオステーションを利用してもよい。
【００２２】
また、このような湿潤状態にある粉体を凍結する工程は、より正確な観測が可能となるように、霜が付着しないように凍結することが好ましい。また、このような湿潤状態にある粉体を凍結する工程は、凍結した試料に霜が付着することをより十分に防止するといった観点、すなわち、試料表面での雰囲気ガス中の水分の氷結現象をより十分に防止するといった観点から、該粒子をドライガス（低湿度ガス）からなるガス雰囲気下で凍結する工程であることが好ましく、露点温度が−１５℃以下（更に好ましくは−２０℃以下）のドライガス雰囲気下において凍結する工程であることがより好ましい。なお、このようなドライガス雰囲気における露点温度は−１５℃（好ましくは−２０℃）〜−５０℃であることが更に好ましく、−１５℃（好ましくは−２０℃）〜−２５℃であることが特に好ましい。このような凍結処理は、例えば、作業がより容易になることから、グローブバッグやグローブボックス等を利用して密封状態とし、その内部の雰囲気を前記ドライガス雰囲気として行うことが好ましい。
【００２３】
このようにして湿潤状態にある粉体を凍結することで、前記粉体中の一粒子毎に、その粒子の表面に付着しているコート液が凍結されて、該粒子上に凍結したコート層を備える凍結粒子を得ることができる。このようにして、前記粉体中の粒子毎に、該粒子上に凍結したコート層を備える凍結粒子を調製することで、かかる凍結粒子からなる試料粒子を得ることができる。なお、このような粉体の凍結は、例えば、湿潤状態にある粉体（複数の粒子）を基板に分散して載置した状態で凍結することで、基板上に複数の試料粒子（凍結粒子）が形成された状態とし、後述の工程における測定に供してもよい。このように、湿潤状態にある粉体を凍結して凍結粒子を調製することで測定用の試料粒子を準備するが、本発明においては、後述の工程（Ｂ）等において、粉体を構成する粒子のうちの任意の複数の粒子について、一粒子毎に、試料粒子の直径を測定する。そのため、例えば、前記粉体を基板上に分散した状態で載置し、これを凍結することにより測定試料を形成することで、その基板（試料の載置用の基板）上の任意の複数の測定箇所に存在する粒子をそれぞれ測定対象として、後述の工程（Ｂ）や工程（Ｄ）において、それぞれの粒子の直径を測定してもよい（この場合、例えば、測定する粒子毎に、その測定箇所のステージ座標を記憶するなどして、測定工程を繰り返し、同一粒子の溶媒昇華除去前後の直径を測定してもよい）。
【００２４】
＜工程（Ｂ）＞
工程（Ｂ）は、クライオ電子顕微鏡法により走査型電子顕微鏡を用いて、任意の複数の前記試料粒子について、該粒子毎に、凍結状態を維持したままで直径を測定する工程である。
【００２５】
ここにいう「クライオ電子顕微鏡法」は、低温において電子顕微鏡を用いて試料の測定や解析を行う方法をいい、公知のクライオ電子顕微鏡法（低温電子顕微鏡法）で採用している方法を適宜採用できる。また、このような方法に用いる走査型電子顕微鏡としては、クライオ電子顕微鏡法に利用することが可能なものであればよく、特に制限されず、公知のものを適宜利用することができる。
【００２６】
また、工程（Ｂ）においては、前記走査型電子顕微鏡により、任意の複数の前記試料粒子について、前記粒子毎に、凍結状態を維持したままで、その試料粒子の直径を測定する。すなわち、工程（Ｂ）においては、任意の複数の前記試料粒子について、個々の試料粒子ごとに、それぞれ直径を測定する。このように、任意の複数の粒子について、個々に、コート層を含む状態の直径を確認するたことで、最終的に、コート状態のばらつき等を認識することが可能となる。なお、このような測定においては、任意の複数の前記試料粒子について直径を測定するが、その測定個数は特に制限されず、複数（２個以上、好ましくは４個以上）であればよく、測定対象に応じて適宜設定することができる（なお、測定対象に応じて粉体中の全ての粒子に対して測定を行ってもよいし、測定対象に応じて測定個数を１０個以上等に任意に設定してもよい）。
【００２７】
また、このような試料粒子の直径を前記走査型電子顕微鏡により測定するために、前記試料粒子を前記走査型電子顕微鏡の観察室の外部で調製した場合、その試料粒子を、走査型電子顕微鏡の観察室内に移動させるための方法としては特に制限されず、公知の方法を適宜採用することができる。また、試料粒子を走査型電子顕微鏡の観察室内に移動させるための方法としては、試料粒子に霜が付かないようにしながら電子顕微鏡内に低温のままで試料を移動させることが可能な方法を採用することが好ましい。また、このような試料粒子の移動方法としては、公知のクライオホルダー（いわゆるクライオ移送ホルダー、クライオトランスファーホルダー等）を利用する方法等を適宜採用することができる。さらに、このようなクライオホルダーに対して、試料粒子に霜が付かないようにしながら、試料粒子を保持させる方法も特に制限されず、公知の方法を適宜利用でき、いわゆるクライオステーション（試料をクライオホルダー（クライオトランスファー）にセットするための周辺装置）を利用してもよい。なお、このようなクライオホルダーやクライオステーション等としては、公知のものを適宜利用でき、市販のものを利用してもよい。
【００２８】
また、工程（Ｂ）においては、前記試料粒子を凍結状態のままで走査型電子顕微鏡の観察室に導入するといった観点や、後述の工程（Ｃ）において、より効率よく昇温することが可能となるといった観点から、温度制御手段に接続したクライオホルダーを利用することが好ましい。このように、温度制御手段に接続したクライオホルダーを利用することで、試料自体の温度を低温に保持したり、あるいは、後述の工程（Ｃ）においてクライオホルダーを利用して昇温したりすることが可能となり、凍結状態のままで走査型電子顕微鏡で測定することを可能とするばかりか、後述の工程（Ｃ）を、より効率よく実施することも可能となる。なお、このような温度制御手段において、昇温及び／又は冷却のための手段は特に制限されず、例えば、クライオホルダーに電熱部位を設けること、クライオホルダーに液体窒素（Ｌｉｑ．Ｎ２）を用いた公知の冷却システムやペルチェ素子を設けること、等により、前記昇温及び／又は冷却手段として、前記電熱部位、前記液体窒素（Ｌｉｑ．Ｎ２）を用いた公知の冷却システム、前記ペルチェ素子等を適宜利用してもよい。なお、このような温度制御手段における昇温温度等の制御の方法は特に制限されず、例えば、前述のような昇温及び／又は冷却手段に対して、温度データに基づいて出力電圧の変更を行うことが可能な公知の温度コントローラ（温度調節器）などを適宜接続したものを温度制御手段として、かかる温度コントローラを利用することで行ってもよい。このように、温度制御手段としては、前記昇温及び／又は冷却手段と、いわゆる温度コントローラ（温度調節器）とを備えるものを利用してもよい。なお、このような温度制御手段としては、特に制限されず、市販品（例えば、日立ハイテク社製の商品名「温度調整ユニット」等）を適宜利用してもよい。また、このような温度制御手段のクライオホルダーへの接続方法としても特に制限されず、クライオホルダーの試料保持部（試料を保持する部分）上に保持した測定試料の温度を所望の温度まで昇温可能なように適宜接続すればよい。
【００２９】
さらに、前記走査型電子顕微鏡により凍結状態の試料粒子の直径を測定する際の条件は特に制限されず、公知のクライオ電子顕微鏡法において採用される条件を適宜利用することができる。このような試料粒子の直径は、６×１０−４Ｐａ以下（より好ましくは２×１０−４Ｐａ以下）の真空条件下、温度（試料の温度）を−１００℃〜−１７０℃として測定することが好ましい。このような圧力条件や温度条件が前記上限値を超えると溶媒の種類によっては溶媒が昇華してしまい、コート層の凍結状態を維持できない傾向にある。
【００３０】
このようにして、クライオ電子顕微鏡法により走査型電子顕微鏡を用いて、凍結状態を維持したままで前記試料粒子の直径を測定することで、前記粉体中の一粒子毎に、該粒子上にコート層を備える試料粒子の直径（粒子径）を測定することができる。なお、本発明において、粒子の「直径」とは、粒子が真球状のものである場合には、その球の直径をいい、粒子が真球状のものではない場合（ＳＥＭ像中の粒子の形状が真円上でない場合）には、その粒子の断面の最大の外接円の直径の大きさをいう。
【００３１】
＜工程（Ｃ）＞
工程（Ｃ）は、前記試料粒子の温度を昇温することにより、凍結状態の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去して、溶媒昇華除去後の試料粒子を調製する工程である。
【００３２】
前記試料粒子（粒子上にコート層を備える凍結状態の試料粒子）の温度を昇温することにより凍結状態の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去する方法としては特に制限されず、温度を昇温して凍結したコート層を形成するコート液（コート液の固体）から溶媒を昇華することが可能な方法であればよい。このように、前記試料粒子（粒子上にコート層を備える凍結状態の試料粒子）の温度を昇温することにより凍結状態の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去する際の条件としては、前記コート液の溶媒の種類等によっても異なるものであり、特に制限されるものではなく、コート液の種類等に応じて、その凍結物（コート層：固体）から溶媒を昇華させることが可能な条件（温度、圧力、処理時間等）を適宜採用すればよい。例えば、前記コート液の溶媒が水である場合には、圧力条件が１×１０−３Ｐａ以下である場合に温度を−９０℃以上とすれば水が昇華して除去されるため、圧力６×１０−４Ｐａ以下、温度−９０℃の条件で５分間処理する方法等を採用してもよい。
【００３３】
また、前記試料粒子（粒子上にコート層を備える凍結状態の試料粒子）の温度を昇温することにより凍結状態の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去する際の圧力条件としては、コート液の凍結物（コート層：固体）から溶媒を昇華させることが可能となるような低圧の条件であることが好ましく、６×１０−４Ｐａ以下（より好ましくは２×１０−４Ｐａ以下）の真空条件であることが好ましい。このような圧力が前記上限を超えると冷結状態を維持できない傾向にある。
【００３４】
さらに、前記試料粒子（粒子上にコート層を備える凍結状態の試料粒子）の温度を昇温することにより凍結状態の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去する際には、コート液の凍結物（コート層：固体）から溶媒を昇華させることが可能となるような温度まで昇温して、その温度に保持することが好ましい。このような昇温後に保持する温度（以下、場合により「保持温度」という）の条件としては、昇華させる溶媒の種類によっても異なるものであり、一概には言えないが、−８０℃〜−１９０℃（より好ましくは−８５℃〜−１７０℃）であることが好ましい。このような保持温度が前記上限を超えると冷結状態を維持できない傾向にある。
【００３５】
また、前記コート液中の溶媒を昇華除去する際に、前記保持温度における保持時間としては、コート液の凍結物（コート層：固体）から溶媒を全て昇華させることが可能となるような時間とすればよく、溶媒の種類や温度条件等に応じて適宜設定すればよい。このように、前記保持温度での保持時間は、昇華させる溶媒の種類によっても異なるものであり、一概には言えないが、１分〜３０分（より好ましくは１分〜１０分）であることが更に好ましい。なお、保持時間の下限値は３分とすることがより好ましく、５分とすることが更に好ましい。
【００３６】
さらに、前記試料粒子（粒子上にコート層を備える凍結状態の試料粒子）の温度を昇温することにより凍結状態の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去する際の前記保持温度までの昇温速度としては、特に制限されないが、３０〜１００℃／分（より好ましくは４０〜６０℃／分）であることが好ましい。このような昇温速度が前記下限未満ではコート液が残存する傾向にある。
【００３７】
また、このような試料粒子の温度の昇温工程は、走査型電子顕微鏡の観察室内に試料粒子を導入するために、温度制御手段に接続したクライオホルダーを利用している場合には、その温度制御手段を用いて凍結状態の前記試料粒子の温度を昇温することが好ましい。すなわち、工程（Ｂ）において、前記試料粒子を凍結状態のままで走査型電子顕微鏡の観察室に導入するために、温度制御手段に接続したクライオホルダーを利用し、工程（Ｃ）において、前記温度制御手段を用いて凍結状態の前記試料粒子（粒子上にコート層を備える凍結状態の試料粒子）の温度を昇温することが好ましい。これにより、前記走査型電子顕微鏡の観察室内で溶媒昇華除去後の試料粒子を調製することが可能となる。このようにして走査型電子顕微鏡の観察室内で溶媒昇華除去後の試料粒子を調製することにより、凍結状態の溶媒昇華除去前の試料粒子（凍結粒子：凍結したコート層を備える粒子）の直径を測定した走査型電子顕微鏡の観察室内で、そのまま溶媒昇華除去後の試料粒子を調製して後述の工程（Ｄ）を施すことが可能となり、より効率よく溶媒昇華除去前後の試料粒子の直径を測定することが可能となる。また、工程（Ｂ）において前記試料粒子の直径を測定する際に真空条件を採用している場合、その条件下で、前記温度制御手段を利用して昇温するだけで、効率よく溶媒を昇華除去することができ、溶媒昇華除去後の試料粒子を効率よく調製することも可能となる。
【００３８】
このようにしてコート層から溶媒を昇華除去することで、コート液の層により隠れていた粒子（コート液の担体となる粒子）を露出させることが可能となり、これによりコート液の溶媒を除去した粒子の直径（粒子径）を効率よく測定することが可能となる。
【００３９】
＜工程（Ｄ）＞
工程（Ｄ）は、前記走査型電子顕微鏡を用いて、工程（Ｂ）において直径を測定した試料粒子について、該粒子毎に、前記溶媒昇華除去後の試料粒子の直径を測定する工程である。
【００４０】
このように、工程（Ｄ）において、粒子毎に、工程（Ｂ）において直径を測定した試料粒子（溶媒昇華除去前の粒子）から、溶媒を昇華除去した後に得られる粒子（溶媒昇華除去後の試料粒子）の直径を測定することで、同一の粒子（同一の担体となる粒子）について、溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の直径を求めることができる。このような溶媒昇華除去後の試料粒子の直径を測定する際の測定条件は特に制限されず、公知の走査型電子顕微鏡測定において採用される条件を適宜採用することができる。なお、工程（Ｂ）において、前記試料粒子（溶媒昇華除去前の粒子：コート層を備える粒子）を凍結状態のままで走査型電子顕微鏡の観察室に導入するために、温度制御手段に接続したクライオホルダーを利用し、工程（Ｃ）において、そのクライオホルダーに接続した温度制御手段を用いて前記試料粒子の温度を昇温することにより、前記走査型電子顕微鏡の観察室内で、凍結状態の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去して、溶媒昇華除去後の試料粒子を調製した場合、前記溶媒昇華除去工程において採用した温度条件や圧力条件をそのまま採用して、前記溶媒昇華除去後の試料粒子の直径を測定してもよく、もしくは、昇華前の温度に戻して直径を測定してもよい。これにより、工程（Ｂ）、工程（Ｃ）及び工程（Ｄ）を連続的に効率よく実施することが可能となる。なお、このような溶媒昇華除去後の試料粒子の直径を測定する際の測定条件は、特に制限されるものではないが、圧力が６×１０−４Ｐａ以下（より好ましくは２×１０−４Ｐａ以下）の真空条件下、温度（試料の温度）を−１００℃〜−１７０℃として測定することが好ましい。このような圧力条件や温度条件が前記上限を超えると観察条件を満たさない（電子線が発生しない）傾向にある。
【００４１】
このような工程（Ｄ）により、工程（Ｂ）において直径を測定した試料粒子について、その粒子毎に、溶媒昇華除去後の直径を測定することが可能となり、これによって溶媒の昇華除去前後の各粒子の直径を求めることができる。なお、このような測定に際して、前記溶媒昇華除去前の試料粒子（コート層を備える粒子：凍結粒子）を基板に分散して載置した状態で凍結することにより、測定用の試料を形成していた場合、前記溶媒昇華除去工程を施す際に粒子が移動しないように溶媒の昇華を行うことで、基板上の同じ位置にある粒子を測定することで、より効率よく同一の粒子について、溶媒昇華前の粒子の直径及び溶媒昇華後の粒子の直径を測定することが可能となる。
【００４２】
＜工程（Ｅ）＞
工程（Ｅ）は、前記直径を測定した粒子毎に、溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の直径から求められる溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の体積に基づいて、当該粒子の表面に付着したコート液の液量を求める工程である。すなわち、かかる工程（Ｅ）は、工程（Ｂ）及び（Ｄ）においてそれぞれ直径（溶媒昇華除去前の試料粒子の直径及び溶媒昇華除去後の試料粒子の直径）を測定した粒子毎（同一の粒子毎）に、測定された直径の値に基づいて求められる溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の体積の値を利用して、当該粒子（担体としての粒子）の表面に付着したコート液の液量（溶媒の液量）を求める工程である。
【００４３】
ここで、溶媒昇華除去前の試料粒子の体積は、溶媒昇華除去前の試料粒子（コート層を含む粒子）が、前述の工程（Ｂ）において測定された直径を有する真球体であるものと擬制することにより算出する。なお、このような体積の算出は、直径の測定データに基づいて計算すればよく、工程（Ｂ）によりデータを測定する際に利用した自動計算機を利用して、データの測定と同時に体積を計算してもよい。このように、溶媒昇華除去前の粒子の体積の算出は、工程（Ｂ）と同時に実施してもよく、あるいは、本工程（Ｅ）においてコート液の液量を求める際に計算してもよい。
【００４４】
また、溶媒昇華除去後の試料粒子の体積は、その試料粒子（コート層の溶媒が除去された粒子）が、前述の工程（Ｄ）において測定された直径を有する真球体であるものと擬制することにより算出する。なお、このような体積の算出は、直径の測定データに基づいて計算すればよく、工程（Ｄ）によりデータを測定する際に利用した自動計算機を利用して、データの測定と同時に体積を計算してもよい。このように、溶媒昇華除去後の試料粒子の体積の算出は工程（Ｄ）と同時に実施してもよく、あるいは、本工程（Ｅ）においてコート液の液量（溶媒の液量）を求める際に計算してもよい。
【００４５】
そして、本工程においては、前記溶媒昇華除去前及び前記溶媒昇華除去後の各試料粒子の体積に基づいて、一粒子毎に、当該粒子の表面に付着したコート液の液量（溶媒の液量（体積））を求める。
【００４６】
このようなコート液の液量は、溶媒昇華除去前のコート層を備える試料粒子の体積の値、及び、溶媒昇華除去後の試料粒子の体積の値から、同一の粒子（同一の粒子を含む溶媒昇華除去前後の試料粒子）について、溶媒昇華除去前後の粒子の体積の差（溶媒昇華除去前の試料粒子の体積の値から、溶媒昇華除去前後の試料粒子の体積の値を引いて求められる体積の差：コート層中の溶媒の体積）を求め、その溶媒昇華除去前後の粒子の体積の差が、その粒子に付着していたコート液の液量（昇華除去された溶媒の液量（溶液の体積））であるものとみなすことにより算出する。なお、このような工程（Ｅ）は、工程（Ｂ）により得られた直径の値、及び、工程（Ｄ）により得られた直径の値に基づいて、それぞれ計算して求められる、溶媒昇華除去前のコート層を備える試料粒子の体積の値、及び、溶媒昇華除去後の試料粒子の体積の値を利用し、その計算値に基づいてコート液の液量を算出する工程とすればよい。なお、このような溶媒昇華除去前後の試料粒子の体積の計算及びコート液の液量の計算は、例えば、自動計算機を利用する等して、同時に実施してもよく、あるいは、別々に実施してもよい。なお、走査型電子顕微鏡に接続した自動計算機を利用して、工程（Ｂ）の測定と溶媒昇華除去前の試料粒子（コート層を備える粒子）の体積の計算とを同時に実施し、また、工程（Ｄ）の測定と溶媒昇華除去後の試料粒子の体積の計算とを同時に実施して、予め溶媒昇華除去前後の粒子の体積をそれぞれ算出しておき、別途、コート液の液量の計算を実施してもよい。このように、溶媒昇華除去前後の粒子の体積の計算及びコート液の液量の計算の順序等は、最終的に、コート液の液量の計算ができるような順序とすればよく、特に制限されない。
【００４７】
このようにして、本発明においては、溶媒の昇華除去前後の粒子の直径を求め、その直径の値からコート層の体積を求めることにより、コート液の接触によって湿潤状態にある粒子に付着しているコート液の液量を、一粒子毎に確認することを可能とする。そのため、本発明によれば、溶媒の昇華前後の試料粒子の直径に基づいて、一粒子毎に付着したコート液の液量（昇華除去された溶媒の液量（溶液の体積））を確認して、一粒子毎のコート量のばらつき等も正確に認識することが可能となる。そして、このような液量の計測方法を利用すれば、例えば、粉体処理装置（転動流動装置等の造粒装置）におけるコート液の塗布処理中の粒子へのコート液の付着状態を確認すること等も可能となり、所望の粒子が形成されるまで処理を施すことも可能となるばかりか、その確認する粉体の採取条件（温度、時間、採取する位置等）を任意に選択して、各処理条件に応じた粒子へのコート量を予め定量化（データ化）しておくことで、かかるデータを利用して所望の粒子を造粒するために必要となる条件を導き出して、無駄な処理を施すことなく、より効率よく所望の粒子を造粒すること等も可能とし得る。
【００４８】
以上、工程（Ａ）〜（Ｅ）を分けて説明したが、以下、図１に示すフローチャート（本発明の粒子に付着したコート液の液量計測方法の好適な一実施形態）、並びに、図２に示す走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の観察室の好適な一実施形態を模式的に示す概略縦断面図に基づいて、粒子に付着したコート液の液量計測方法の好適な実施形態を更に説明する。なお、図２には、走査型電子顕微鏡の観察室の内部１１に、測定試料を導入するためのクライオホルダー１２が接続された状態（好適な実施形態の状態）が模式的に示されており、そのクライオホルダー１２の試料の保持部には、凍結した粉体を含む測定用試料１３（複数の試料粒子を含む測定用の試料）が保持されている。また、クライオホルダー１２は、その試料の保持部の温度が昇温可能となるように温度制御手段１４に接続されている。なお、クライオホルダー１２において測定用試料１３を保持している棒状の部分は、試料の保持部の温度が昇温可能となるような熱伝導性を有するものであることが好ましい。また、走査型電子顕微鏡の観察室の内部１１には、図示を省略した真空ポンプが接続されており、内部の圧力を真空状態とすることを可能としている。また、図２中の点線の矢印Ａは、走査型電子顕微鏡の電子線を概念的に表すものである。
【００４９】
以下、このような図１に示すフローチャートに基づいて、図２に示す実施形態の観察室を有する走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を利用した場合の、本発明の粒子に付着したコート液の液量計測方法の好適な実施形態について説明する。
【００５０】
このような図１に示す実施形態の液量計測方法においては、先ず、ステップＳ１において、コート液により湿潤状態にある粉体を凍結する（クライオ処理を施す）。このように、コート液の接触によって湿潤状態にある粉体を凍結することで、粉体中の一粒子毎に、該粒子上に凍結したコート層を備える凍結粒子を調製することが可能となり、該凍結粒子からなる試料粒子を得ることができる。すなわち、このようなステップＳ１は、前述の工程（Ａ）に相当する工程である。なお、このようなコート液の接触によって湿潤状態にある粉体は、例えば、粉体処理装置（例えば、パウレック社製の商品名「転動流動コーティング」等）によりコート液を接触せしめて調製してもよく、その場合、そのようなコート液接触後の粉体を該粉体処理装置から適宜採取して凍結すればよい。また、コート液の接触によって湿潤状態にある粉体を凍結する際には、続くステップＳ２において、測定した試料粒子の観測位置（ステージ座標）を記憶することが容易となるように、該粉体中の粒子を基板上に分散して載置した状態で粉体を凍結することが好ましい。
【００５１】
次に、図１に示す実施形態の液量計測方法においては、ステップＳ２において、凍結状態の試料粒子の直径のＳＥＭ観察する（試料粒子の直径をクライオＳＥＭ観察する）。なお、このようなステップＳ２における凍結状態の試料粒子の直径の測定に際しては、ステップＳ１で調製した試料粒子のうちの任意の複数の試料粒子について、その粒子毎に、凍結状態を維持したままでＳＥＭにより直径を測定する。このように、ステップＳ２は、ステップＳ１において得られた凍結試料中の任意の複数の試料粒子（凍結した粉体中の一粒子）の直径を、粒子毎に、クライオ電子顕微鏡法により走査型電子顕微鏡を用いて、凍結状態を維持したままで測定する工程である。このようなステップＳ２は、工程（Ｂ）に相当する工程である。このようなＳＥＭ観察のために、クライオステーションを利用して、クライオホルダー１２の試料保持部に、測定用試料１３（例えば、粒子を基板上に分散した状態で載置した状態で凍結することで、基板上に凍結された試料粒子が分散された状態となったもの）を保持させ、かつ、その測定用試料１３を、クライオホルダー１２を用いて、霜が付かないよう外気に触れないようにしながらＳＥＭの観察室内１１に移動させることが好ましい。
【００５２】
なお、図２に示す実施形態においては、ステップＳ１において得られた任意の複数の試料粒子を含む測定用試料１３を、クライオホルダー１２の試料保持部に保持させて、走査型電子顕微鏡の観察室内１１に試料粒子を導入している。また、このようなＳＥＭ観察に際しては、粉体中の粒子を基板上に分散して載置した状態で凍結して観測する場合、その粒子の測定毎（粒子毎）に、測定した粒子の基板上のステージ座標（観測箇所）を記憶することが好ましい。このように、測定した粒子の基板上のステージ座標（観測箇所）を記憶しながら、複数の粒子の測定を繰り返し行うことで、粒子毎（同一の粒子毎）に、溶媒の昇華除去前後の直径を効率よく測定することが可能となる。
【００５３】
次いで、図１に示す実施形態の液量計測方法においては、ステップＳ３において、前記試料粒子の温度を昇温することにより、前記試料粒子の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去する（溶媒昇華除去後の試料粒子を調製する）。すなわち、ステップＳ３においては、前記試料粒子の温度を昇温することにより、凍結状態の前記コート層から前記コート液中の溶媒を昇華除去して、溶媒昇華除去後の試料粒子を調製する。このようなステップＳ３は、工程（Ｃ）に相当する工程である。なお、このような試料粒子の温度を昇温する処理は、図２に示す実施形態においては、クライオホルダー１２に接続している温度制御手段１４を利用して、試料保持部の温度を昇温することにより行っている。このようにして試料粒子の温度を昇温することで、走査型電子顕微鏡の観察室内１１で、溶媒昇華除去後の試料粒子を調製でき、続くステップでそのまま直径を測定できる。なお、試料粒子の温度を昇温する場合、圧力が十分に低い場合（真空状態にある場合）には、容易に昇華除去することが可能である。そのため、このようなステップＳ３を走査型電子顕微鏡の観察室内１１で施す場合、走査型電子顕微鏡の観察室内１１の圧力を６×１０−４Ｐａ以下の真空条件とすることが好ましい。なお、ステップＳ２におけるＳＥＭ観察において、そのような真空条件を採用している場合には、その条件を維持したまま、昇温処理を施せばよい。
【００５４】
次に、図１に示す実施形態の液量計測方法においては、ステップＳ４において、溶媒昇華除去後の試料粒子の直径をＳＥＭ観察する。なお、このようなステップＳ４においては、溶媒昇華除去前に直径を測定した試料粒子について、その溶媒昇華除去後の直径を測定する。このようなステップＳ４は、上記工程（Ｄ）に相当する工程である。なお、図２に示す実施形態において、測定した粒子の基板上のステージ座標（観測箇所）を、測定する粒子ごとに記憶している場合には、その記憶したステージ座標上に存在する溶媒昇華除去後の粒子の測定を繰り返すことで、複数の粒子に関して、粒子毎（同一の粒子毎）に、溶媒昇華除去前後の各試料粒子の直径を測定することが可能となる。
【００５５】
次いで、図１に示す実施形態の液量計測方法においては、ステップＳ５において、ステップＳ１〜Ｓ４により求められた、溶媒昇華除去前後の各試料粒子の直径に基づいて、粒子に付着したコート液の液量の計測を行う。すなわち、ステップＳ５は、溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の直径から求められる、溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の体積に基づいて、当該粒子の表面に付着したコート液の液量を求めるステップである。このようなステップＳ５は、上記工程（Ｅ）に相当する工程である。このようにして、本発明においては、溶媒昇華除去前及び溶媒昇華除去後の各試料粒子の体積を求めて、それらの体積の値の差に基づいて、粒子毎に、当該粒子の表面に付着したコート液の液量を求めることができる。そのため、本発明によれば、一粒子毎のコート量のばらつきを正確に認識することが可能となる。
【実施例】
【００５６】
以下、実施例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００５７】
（実施例１）
先ず、粉体として平均直径（平均粒子径）が５〜６μｍの金属粒子からなる粉体を準備し、コート液として前記金属粒子に金属酸化物を担持するための水溶液（水の量：５００ｇ）を準備した。次いで、前記粉体１０００ｇを粉体処理装置（パウレック社製の商品名「マルチプレックス」）内に導入した後、該装置内の温度を１２０℃とし、該装置の備えるスプレーノズルから前記コート液をコート液吐出量４．８ｇ／分の条件で噴霧しながら粉体を転動流動させた。このようにして１２０℃の温度条件下において粉体を６０分間転動流動してコート液（水溶液）に接触させた後、コート液（水溶液）に接触させた粉体の一部を取り出し、その後、直ぐに該粉体をドライガス（ガス種：Ｎ２、露点温度：−２０℃以下）を充填したグローブバック内に入れた。次いで、かかるグローブバック内において、露点温度が−２０℃以下の前記ドライガスの雰囲気下、液体窒素を用いて前記コート液に接触させた粉体を凍結し（試料である粉体中の粒子にクライオ処理を施し）、凍結した粒子からなる試料粒子（測定用の凍結試料）を形成した。なお、このような粉体の凍結は、コート液に接触させた粉体中の粒子を、金属製の基板（日立ハイテク社製）上に分散して載置した状態で行った。また、このような凍結処理により、粉体中の各粒子は、それぞれ、粒子上にコート液の凍結層（コート層）が積層された状態の凍結粒子となった。
【００５８】
次に、前述のようにして得られた測定用の凍結試料（基板上に分散して載置された状態の複数の試料粒子）を、霜が付かないようにしながら、クライオステーション（日立ハイテク社製の商品名「クライオステーション」）内に導入した。このようなクライオステーションには、試料を密封状態で格納することが可能なクライオホルダー（日立ハイテク社製の商品名「クライオホルダー」）を予め接続しておいた。なお、クライオステーション及びクライオホルダーとしては、それぞれ、露点温度を−２０℃以下に管理したドライガス（ガス種：窒素）を内部に充填したものを利用し、また、これらを露点温度を−２０℃℃以下に管理したドライガス（ガス種：窒素）が充填されたグローブバック内に配置して利用した。なお、前記クライオホルダーには、別途、温度制御手段として、温度制御装置（日立ハイテク社製の商品名「温度調整ユニット」）を接続し、利用時に試料の保持部の温度の制御が可能な構成とした。そして、クライオステーション内に導入した前記測定用の凍結試料（基板上に分散して載置された状態の複数の試料粒子）を、凍結状態（冷却状態）が保持された状態となるようにして、クライオステーション内で、クライオホルダーの試料の保持部に保持させた。
【００５９】
次いで、前記クライオホルダーを集束イオンビーム走査型電子顕微鏡（ＦＩＢ−ＳＥＭ：日立ハイテクノロジーズ製の型式ＮＢ５０００）に接続し、ＦＩＢ−ＳＥＭの内部の観察室内に前記凍結試料を導入して、試料粒子の直径を測定した。以下、図２を参照しながら、かかる測定工程について説明する。前述のようにして、クライオホルダー１２の試料の保持部に凍結試料（基板上に載置された状態の複数の凍結した粒子）１３を保持させた後、前記クライオホルダー１２を集束イオンビーム走査型電子顕微鏡（ＦＩＢ−ＳＥＭ：日立ハイテクノロジーズ製の型式ＮＢ５０００）に接続し、かかるクライオホルダー１２を利用してＦＩＢ−ＳＥＭ内部の観察室内１１に凍結試料１３を導入した（図２参照）。そして、前記集束イオンビーム走査型電子顕微鏡を用いて、凍結試料１３の表面に存在する任意の５個の試料粒子の直径を、粒子毎に順番に観察（ＳＥＭ観察）した。このようなＳＥＭ観察における測定条件は、観察温度（試料の温度）が−１４０℃で、かつ、観察室内の圧力が６×１０−４Ｐａ以下の条件とした。なお、ＦＩＢ−ＳＥＭの内部の観察室内１１は、クライオホルダー１２を接続する前に、予め、露点温度を−２０℃以下に管理したドライガス（ガス種：窒素）を内部に充填した後、真空ポンプにより真空引きして上記圧力とした。また、このようなＳＥＭ観察は、直径を測定した５個の試料粒子が存在する観測箇所（ステージ座標）を、その測定毎に、それぞれ記憶しながら行い、５個の粒子の測定は、粒子毎に順番に行った（繰り返し行った）。
【００６０】
次に、ＦＩＢ−ＳＥＭの観察室内１１において、真空ポンプにより観察室内１１の圧力を６×１０−４Ｐａ以下の条件としたままで、温度制御手段１４を利用してクライオホルダー１２の試料保持部に保持された凍結試料（基板上に載置された状態の複数の凍結した粒子）の温度を−９０℃まで５０℃／分の昇温速度で昇温した後、−９０℃で５分間保持した。このようにして、圧力：６×１０−４Ｐａ以下、温度：−９０℃の条件で５分間保持する昇温処理により、前記凍結試料（凍結した粒子）中のコート層（凍結した水溶液の層）に含まれる水を昇華せしめた。これにより、凍結試料中の個々の試料粒子のコート層（凍結層）中の水が昇華除去され、前記基板上での粒子の分散状態を維持したままで、溶媒昇華除去後の試料粒子を調製した。
【００６１】
次いで、ＦＩＢ−ＳＥＭの観察室内１１において、前述のようにして記憶した観測箇所（ステージ座標）上に存在する、５個の溶媒昇華除去後の試料粒子に関して、その直径を、粒子毎に順次ＳＥＭ観察した。このようにして、水の昇華前に直径を測定した５個の試料粒子と同一の金属粒子について、溶媒昇華除去後の試料粒子の直径をそれぞれ測定し、同一の金属粒子（５個の測定対象のそれぞれ）に関して、水の昇華除去前後の直径を測定した。なお、このような溶媒昇華除去後の試料粒子の直径のＳＥＭ観察における測定条件は、観察温度（試料の温度）が−１４０℃で、かつ、観察室内の圧力が６×１０−４Ｐａ以下の条件とした。
【００６２】
このようにして測定された、水の昇華除去前の粒子の直径（凍結粒子の直径）の値、及び、水の昇華除去後の粒子の直径の値に基づき、各粒子がそれらの直径を有する真球体であるものと仮定して、粒子毎に、水の昇華除去前の粒子の体積、及び、水の昇華除去後の粒子の体積をそれぞれ求め、その体積の差からコート液の液量（体積）を求めた。得られた結果を表１に示す。また、測定を行った５つの粒子のうちの一つについて、水の昇華除去前の粒子のＳＥＭ像を図３に示し、水の昇華除去後の粒子のＳＥＭ像を図４に示す。
【００６３】
【表１】
2019203856.tif 000002
【００６４】
このような測定結果からも明らかなように、本発明（実施例１）によれば、一粒子毎に、コート液の液量を求めることができ、コート液の液量（溶媒の体積）のばらつきを正確に認識することが可能であることが分かった。なお、このような測定によれば、例えば、処理時間や処理温度などを変更して適宜測定を行うことで、所望の粒子を得るために、より最適なコート条件を見出しことや、作業の終点管理などをすることが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
以上説明したように、本発明によれば、コート液に接触させた後の湿潤状態にある粉体中の粒子に付着しているコート液の液量（コート量）のばらつきを正確に認識することが可能な、粒子に付着したコート液の液量計測方法を提供することが可能となる。このような本発明の粒子に付着したコート液の液量計測方法を利用することで、例えば、転動流動コーティング装置内におけるコーティング中の粒子の状態（湿潤状態）やそのばらつきの状態を確認することが可能となり、作業の終点管理や、コート液の使用量の調整等をより効率よく行うことが可能となる。
【符号の説明】
【００６６】
１１…走査型電子顕微鏡の観察室、１２…クライオホルダー、１３…測定用試料（凍結試料）、１４…温度制御手段、Ａ…電子線、Ｄ…直径。
【図１】
2019203856.tif 000003
【図２】
2019203856.tif 000004
【図３】
2019203856.tif 000005
【図４】
2019203856.tif 000006