(57)【要約】【課題】音叉型圧電振動片において周波数調整を行うときは、周波数調整用の膜にレーザを照射し周波数調整用の膜を除去したあとの周波数を確認しながら周波数調整を行うため生産性が悪い。【解決手段】基部と、基部から延びる少なくとも２本の脚を有し、脚は先端から幅方向の寸法が段階的に広く形成された幅広部を有し、幅広部は第１幅部と第２幅部の少なくとも２つの幅部からなり、第１幅部と第２幅部それぞれの少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜が成膜された音叉型圧電振動片であって、第１幅部に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量を周波数変化量Ａとし、第２幅部に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量を周波数変化量Ｂとし、周波数変化量Ａと周波数変化量Ｂは同じである音叉型圧電振動片とする。【選択図】図１
2019083431.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、前記基部から延びる少なくとも２本の脚を有し、前記脚は先端から幅方向の寸法が段階的に広く形成された幅広部を有し、前記幅広部は第１幅部と第２幅部の少なくとも２つの幅部からなり、前記第１幅部と前記第２幅部それぞれの少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜が成膜された音叉型圧電振動片であって、
前記第１幅部に成膜された前記周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量を周波数変化量Ａとし、前記第２幅部に成膜された前記周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量を周波数変化量Ｂとし、前記周波数変化量Ａと前記周波数変化量Ｂは同じであることを特徴とする音叉型圧電振動片。
【請求項２】
前記第１幅部に成膜された前記周波数調整用の膜を全て除去したときの長手方向の加工幅は、前記第２幅部に成膜された前記周波数調整用の膜を全て除去したときの長手方向の加工幅と同じであることを特徴とする請求項１に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項３】
前記第２幅部の幅方向の寸法は、前記第１幅部に成膜された前記周波数調整用の膜を全て除去したときの前記周波数変化量Ａと、前記第２幅部に成膜された前記周波数調整用の膜を全て除去したときの前記周波数変化量Ｂとが同じとなるように決定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項４】
基部と、前記基部から延びる少なくとも２本の脚を有し、前記脚は先端から幅方向の寸法が徐々に広く形成された幅広部を有し、前記幅広部は第１の幅を含む第１の領域と第２の幅を含む第２の領域の少なくとも２つの領域からなり、前記第１の領域と前記第２の領域それぞれの少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜が成膜された音叉型圧電振動片であって、
前記第１の領域に成膜された前記周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量を周波数変化量Ｃとし、前記第２の領域に成膜された前記周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量を周波数変化量Ｄとし、前記周波数変化量Ｃと前記周波数変化量Ｄは、同じであることを特徴とする音叉型圧電振動片。
【請求項５】
前記第１の領域に成膜された前記周波数調整用の膜を全て除去したときの長手方向の加工幅は、前記第２の領域に成膜された前記周波数調整用の膜を全て除去したときの長手方向の加工幅と同じであることを特徴とする請求項４に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項６】
前記第２の幅の幅方向の寸法は、前記第１の領域に成膜された前記周波数調整用の膜を全て除去したときの前記周波数変化量Ｃと、前記第２の領域に成膜された前記周波数調整用の膜を全て除去したときの前記周波数変化量Ｄとが同じとなるように決定されていることを特徴とする請求項４または５に記載の音叉型圧電振動片。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音叉型圧電振動片に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明は、移動体通信機、スマートメーター等電子機器や時計の基準信号源として用いられる圧電振動子に関する。詳しくは、音叉型圧電振動片の形状に関するものである。
【０００３】
時計や移動体通信機の基準信号源として、二本の脚を有する音叉型圧電振動片が広く用いられている。このような二脚の音叉型圧電振動片は二本の脚が脚の並ぶ方向すなわち面内で、互いに反対方向に屈曲振動するような振動モードで使用される。
【０００４】
図７は、特許文献１に記載されている従来技術の音叉型圧電振動片２１の上面図である。図７に示すように、音叉型圧電振動片２１は、基部２２とこの基部２２から突出している第一の脚２３ａと第二の脚２３ｂとを有する。それぞれの脚先端部分の表面には周波数調整用の膜２４が成膜されている。
【０００５】
音叉型圧電振動片２１の周波数調整方法は、第一の脚２３ａと第二の脚２３ｂそれぞれの脚先端部分の表面に成膜されている周波数調整用の膜２４にレーザを照射し周波数調整用の膜２４を除去することにより、周波数調整を行っている。この特許文献１には、周波数調整用の膜２４を除去するエリアによって周波数変化量が異なることが確認されている。
【０００６】
また、特許文献２の段落００２５と図３（ａ）には、周波数調整用の金属膜（周波数調整用の膜２４に相当）をトリミングすると、周波数変化量は、周波数調整用の金属膜の先端ほど大きく、振動脚の基部に向かうほど小さくなることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１６４７５９号公報
【特許文献２】特開２０１０−１４７９５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
音叉型圧電振動片２１の周波数調整方法において、それぞれの脚先端部分の表面に成膜された周波数調整用の膜２４にレーザを照射し周波数調整用の膜２４を除去したあとの周波数を確認する。この作業を目標の周波数になるまで、繰り返すために生産性が悪い課題があった。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決し、周波数調整が容易な音叉型圧電振動片を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
基部と、基部から延びる少なくとも２本の脚を有し、脚は先端から幅方向の寸法が段階的に広く形成された幅広部を有し、幅広部は第１幅部と第２幅部の少なくとも２つの幅部からなり、第１幅部と第２幅部それぞれの少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜が成膜された音叉型圧電振動片であって、第１幅部に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量を周波数変化量Ａとし、第２幅部に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量を周波数変化量Ｂとし、周波数変化量Ａと周波数変化量Ｂは同じである音叉型圧電振動片とする。
【００１１】
第１幅部に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの長手方向の加工幅は、第２幅部に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの長手方向の加工幅と同じである音叉型圧電振動片とする。
【００１２】
第２幅部の幅方向の寸法は、第１幅部に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量Ａと、第２幅部に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量Ｂとが同じとなるように決定されている音叉型圧電振動片とする。
【００１３】
基部と、基部から延びる少なくとも２本の脚を有し、脚は先端から幅方向の寸法が徐々に広く形成された幅広部を有し、幅広部は第１の幅を含む第１の領域と第２の幅を含む第２の領域の少なくとも２つの領域からなり、第１の領域と第２の領域それぞれの少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜が成膜された音叉型圧電振動片であって、第１の領域に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量を周波数変化量Ｃとし、第２の領域に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量を周波数変化量Ｄとし、周波数変化量Ｃと周波数変化量Ｄは、同じである音叉型圧電振動片とする。
【００１４】
第１の領域に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの長手方向の加工幅は、第２の領域に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの長手方向の加工幅と同じである音叉型圧電振動片とする。
【００１５】
第２の幅の幅方向の寸法は、第１の領域に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量Ｃと、第２の領域に成膜された周波数調整用の膜を全て除去したときの周波数変化量Ｄとが同じとなるように決定されている音叉型圧電振動片とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の音叉型圧電振動片によれば、脚の先端に複数の異なる幅部又は領域を設け、それぞれの幅部又は領域の少なくとも一方の主面全てに成膜された周波数調用の膜を全て除去したとき、それぞれの幅部又は領域の周波数変化量は同じとなり、周波数調整が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施例１の音叉型圧電振動片の上面図。
【図２】本発明の実施例１の圧電基板の上面図。
【図３】本発明の実施例１の音叉型圧電振動片の幅広部の拡大図。
【図４】本発明の実施例２の音叉型圧電振動片の上面図。
【図５】本発明の実施例２の圧電基板の上面図。
【図６】本発明の実施例２の音叉型圧電振動片の幅広部の拡大図。
【図７】従来技術の音叉型圧電振動片の上面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本実施例では、水晶原石より所定の切断角度で切り出された圧電基板からなる音叉型振動片について説明する。なお本発明の範囲は以下の実施の形態に限定されるものでなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また図面においては各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせる場合がある。
【実施例１】
【００１９】
図２は、本発明の圧電基板１０の上面図である。圧電基板１０は、音叉型圧電振動片１と、音叉型圧電振動片１を保持するための枠部６と、音叉型圧電振動片１と枠部６とを連結するための連結部７とで構成されている。音叉型圧電振動片１は、基部２と第１の脚３ａと第２の脚３ｂとを有し、第１の脚３ａと第２の脚３ｂとは基部２の一端から突出した状態で並設している。なお、第１の脚３ａと第２の脚３ｂは先端から幅方向の寸法が段階的に広く形成された幅広部４を有しており、この幅広部４の少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜２４として周波数の変化量が大きい粗調整膜が成膜されている。なお粗調整膜の膜厚は均一である。また、音叉型圧電振動片１には、基部２上に形成された端子電極と、第１の脚３ａと第２の脚３ｂ上に形成された励振電極と、前述した端子電極と励振電極とを接続する引回し配線とが形成されているが、説明を簡単にするために図示を省略している。なお、音叉型圧電振動片１の形状加工方法については公知の技術を用いて形成することができるため、説明を省略する。
【００２０】
図１に示すような音叉型圧電振動片１は、基部２と第１の脚３ａと第２の脚３ｂとを有し、第１の脚３ａと第２の脚３ｂとは基部２の一端から突出した状態で並設している。第１の脚３ａと第２の脚３ｂは先端から幅方向の寸法が段階的に広く形成された幅広部４を有している。この幅広部４は第１幅部４ａと第２幅部４ｂと第３幅部４ｃとからなる。ここで第１幅部４ａの幅方向の寸法をＷａ、第２幅部４ｂの幅方向の寸法をＷｂ、第３幅部４ｃの幅方向のＷｃとしたときの幅方向の寸法の関係は、Ｗａ＜Ｗｂ＜Ｗｃである。この第１幅部４ａと第２幅部４ｂと第３幅部４ｃの少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜２４として周波数の変化量が大きい粗調整膜（例えばＡｇまたはＡｕ膜）が蒸着等の公知技術を用いて成膜されている。粗調整膜を成膜する前後の周波数変化量は約３００００ｐｐｍに相当し、粗調整膜の膜厚は均一である。ここで、周波数調整を行うレーザ装置を用いて第１幅部４ａの主面に成膜された周波数調整用の膜２４を全て除去したときの周波数変化量は、第２幅部４ｂの主面に成膜された周波数調整用の膜２４を全て除去したときの周波数変化量と同じである。なお、第１幅部の主面に成膜された周波数調整用の膜２４を全て除去したときの周波数変化量が、第３幅部の主面に成膜された周波数調整用の膜２４を全て除去したときの周波数変化量と同じになるようにしてもよい。
【００２１】
ここで、第１幅部４ａの少なくとも一方の主面全てに成膜された周波数調整用の膜２４を、全て除去したときの周波数変化量と第２幅部４ｂの少なくとも一方の主面全てに成膜された周波数調整用の膜２４を、全て除去したときの周波数変化量が同じになる理由について説明する。脚の長手方向において第１幅部４ａの方が第２幅部４ｂに比べ脚の先端側にあるとき、第１幅部４ａと第２幅部４ｂの少なくとも一方の主面全てに成膜された周波数調整用の膜２４を同じ面積除去したときの周波数変化量は、第１幅部４ａの方が第２幅部４ｂよりも脚の先端側にあるため第１幅部４ａの方が第２幅部４ｂより大きくなる。すなわち第１幅部４ａと第２幅部４ｂでは、周波数調整用の膜２４を同じ面積除去したときの周波数変化量が異なる。このように第１幅部４ａと第２幅部４ｂの少なくとも一方の主面全てに成膜された周波数調整用の膜２４を同じ面積除去したときの周波数変化量が異なることを利用して周波数調整用の膜２４が成膜される第１幅部４ａと第２幅部４ｂにおける主面の幅方向の幅寸法などを調整して、第１幅部４ａと第２幅部４ｂの主面の面積を調整することにより、第１幅部４ａの少なくとも一方の主面全てに成膜された周波数調整用の膜２４を全て除去したときの周波数変化量と第２幅部４ｂの少なくとも一方の主面全てに成膜された周波数調整用の膜２４を全て除去したときの周波数変化量を同じようにすることができる。なお、第１幅部４ａと第２幅部４ｂの少なくとも一方の主面全てに成膜される周波数調整用の膜２４の面積の調整例として、第１幅部４ａと第２幅部４ｂの長手方向の寸法が等しく、周波数調整用の膜２４の膜厚が均一で、第１幅部の４ａの幅方向の幅寸法を固定したときは、第２幅部４ｂの幅方向の寸法を調整する。
【００２２】
音叉型圧電振動片１の第１の脚３ａと第２の脚３ｂに形成された第１幅部４ａと第２幅部４ｂの幅方向の幅寸法は、有限要素シミュレーションや実験等によって決定される。ここで、狙いの周波数が約３２７６８Ｈｚで屈曲振動する、全長＝約２２７８μｍ、脚長さ＝約１７０３μｍ、脚幅＝約１１０μｍ、厚み＝約１００μｍの音叉型圧電振動片を有限要素法シミュレーションによって第１の脚３ａと第２の脚３ｂそれぞれの脚の第１の幅部４ａの幅方向の幅寸法が約１１５μｍと第２幅部４ｂの幅方向の幅寸法が約１３０μｍと決定する例で説明する。
【００２３】
先ずは、全長＝約２２７８μｍ、脚長さ＝約１７０３μｍ、脚幅＝約１１０μｍ、厚み＝約１００μｍの音叉型圧電振動片のモデル１（不図示）を作成する。次にそれぞれの脚に第１幅部４ａ、第２幅部４ｂ、第３幅部４ｃを作成する。次に第１幅部４ａ、第２幅部４ｂ、第３幅部４ｃの少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜２４を作成する。第１幅部４ａ、第２幅部４ｂ、第３幅部４ｃに周波数調整用の膜２４を作成する前後の周波数変化量は約３００００ｐｐｍに相当するモデル２（不図示）を作成する。次に図３（ａ）に示すような脚の先端に作成された第１幅部４ａ、第２幅部４ｂ、第３幅部４ｃの少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜２４を作成しこのときの周波数を求める。次に図３（ｂ）に示すように第１幅４ａの主面に作成された周波数調整用の膜２４を矢印の方向に全て除去しこのときの周波数を求める。そして図３（ａ）のときの周波数と図３（ｂ）のときの周波数の差を周波数変化量Ａとする。次に図３（ｃ）に示すように第２幅４ｂの主面に作成された周波数調整用の膜２４を矢印の方向に全て除去しこのときの周波数を求める。そして図３（ｂ）のときの周波数と図３（ｃ）のときの周波数の差を周波数変化量Ｂとする。そして、周波数変化量Ａと周波数変化量Ｂとを確認する。周波数変化量Ａと周波数変化量Ｂが異なるときはシミレーションを以下のように繰り返す。周波数変化量Ａの方が周波数変化量Ｂより小さいときは、例えば第２幅部４ｂの幅方向の幅寸法を狭くして、第２幅部４ｂの主面に成膜される周波数調整用の膜２４の面積を調整し、シミレーションを行い周波数変化量Ａと周波数変化量Ｂとを確認する。そして周波数変化量Ａと周波数変化量Ｂが同じになるまで第２幅部の幅方向の寸法を調整しシミレーションを繰り返す。また、周波数変化量Ａの方が周波数変化量Ｂより大きいときは、例えば第２幅部４ｂの幅方向の幅寸法を広くして、第２幅部４ｂの主面に成膜される周波数調整用の膜２４の面積を調整し、シミレーションを行い周波数変化量Ａと周波数変化量Ｂとを確認する。そして周波数変化量Ａと周波数変化量Ｂが同じになるまで第２幅部の幅方向の寸法を調整しシミレーションを繰り返す。
【００２４】
なお、第１幅部４ａと第２幅部４ｂの長手方向の寸法は同じにしてもよい。更に長手方向の寸法と周波数調整用の膜２４を除去するレーザスポット径とを同じにして、幅方向にレーザを照射すれば、幅部に成膜された周波数調整用の膜２４をそれぞれ１回の加工で全て除去することができ作業性がよい。なお、周波数調整用の膜２４は粗調整膜に限らず、微調整膜を用いてもよい。
【実施例２】
【００２５】
図５は、本発明の圧電基板２０の上面図である。圧電基板２０には、音叉型圧電振動片１１と、音叉型圧電振動片１１を保持するための枠部１６と音叉型圧電振動片１１と枠部１６とを連結するための連結部１７とで構成されている。音叉型圧電振動片１１は、基部１２と第１の脚１３ａと第２の脚１３ｂとを有し第１の脚１３ａと第２の脚１３ｂとは基部１２の一端から突出した状態で並設している。なお、第１の脚１３ａと第２の脚１３ｂは脚の先端から幅方向の寸法が徐々に広く形成された幅広部１４を有しており、この幅広部１４の少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜２４として周波数の変化量が大きい粗調整膜が成膜されている。なお粗調整膜の膜厚は均一である。また、音叉型圧電振動片１１には、基部１２上に形成された端子電極と、第１の脚１３ａと第２の脚１３ｂ上に形成された励振電極と、前述した端子電極と励振電極とを接続する引回し配線とが形成されているが、説明を簡単にするために図示を省略している。なお、音叉型圧電振動片１１の形状加工方法については公知の技術を用いて形成することができるため、説明を省略する。
【００２６】
図４に示すような音叉型圧電振動片１１は、基部１２と第１の脚１３ａと第２の脚１３ｂとを有し第１の脚１３ａと第２の脚１３ｂとは基部１２の一端から突出した状態で並設している。第１の脚１３ａと第２の脚１３ｂは脚の先端から幅方向の寸法が徐々に広く形成された幅広部１４を有している。この幅広部１４は第１の幅を含む第１の領域１４ａと第２の幅を含む第２の領域１４ｂからなる。ここで第１の幅と第２の幅の幅方向の寸法の関係は、第１の幅＜第２の幅である。この第１の領域１４ａと第２の領域１４ｂの少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜２４として周波数の変化量が大きい粗調整膜（例えばＡｇまたはＡｕ膜）が蒸着等の公知技術を用いて成膜されている。粗調整膜を成膜する前後の周波数変化量は約３００００ｐｐｍに相当し、粗調整膜の膜厚は均一である。（なお、図４では第１の領域１４ａと第２の領域１４ｂのみに周波数調整用の膜２４が成膜されているが、ここは第１の領域１４ａと第２の領域１４ｂの場所を分かり易くするためである。）ここで、周波数調整を行うレーザ装置を用いて第１の領域１４ａの周波数調整用の膜２４を全て除去したときの周波数変化量は、第２の領域１４ｂの周波数調整用の膜２４を全て除去したときの周波数変化量と同じである。なお、幅広部１４の形状は台形には限られない。例えば三角形や半円形でもよい。ここで、第１の領域１４ａの主面に成膜された周波数調整用の膜２４を全て除去したときの周波数変化量と第２の領域１４ｂの主面に成膜された周波数調整用の膜２４を全て除去したときの周波数変化量が同じになる理由については、実施例１で説明した思想と同じためここでは省略する。
【００２７】
音叉型圧電振動片１１の第１の脚１３ａと第２の脚１３ｂに形成された第１の幅の幅方向の寸法と第２の幅の幅方向の寸法は、有限要素シミュレーションや実験等によって決定される。ここで、狙いの周波数が約３２７６８Ｈｚで屈曲振動する、全長＝約２２７８μｍ、脚長さ＝約１７０３μｍ、脚幅＝約１１０μｍ、厚み＝約１００μｍの音叉型圧電振動片を有限要素法シミュレーションによって第１の脚１３ａと第２の脚１３ｂそれぞれの脚の第１の幅の幅方向の寸法が約１１５μｍと第２の幅の幅方向の寸法が約１３５μｍと決定する例で説明する。
【００２８】
先ずは、全長＝約２２７８μｍ、脚長さ＝約１７０３μｍ、脚幅＝約１１０μｍ、厚み＝約１００μｍの音叉型圧電振動片のモデル３（不図示）を作成する。次にそれぞれの脚に第１の幅を含む第１の領域１４ａと、第２の幅を含む第２の領域１４ｂを少なくとも含む幅広部１４を作成する。次に第１の領域１４ａと第２の領域１４ｂの少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜２４を作成する。第１の領域１４ａと第２の領域１４ｂに周波数調整用の膜２４を作成する前後の周波数変化量は約３００００ｐｐｍに相当するモデル４（不図示）を作成する。次に図６（ａ）に示すような脚の先端側に作成された第１の領域１４ａと第２の領域１４ｂの少なくとも一方の主面全てに周波数調整用の膜２４を作成しこのときの周波数を求める。次に図６（ｂ）に示すように第１の領域１４ａの主面に作成された周波数調整用の膜２４を矢印の方向に全て除去しこのときの周波数を求める。そして図６（ａ）のときの周波数と図６（ｂ）のときの周波数の差を周波数変化量Ｃとする。次に図６（ｃ）に示すように第２の領域１４ｂの主面に作成された周波数調整用の膜２４を矢印の方向に全て除去しこのときの周波数を求める。そして図６（ｂ）のときの周波数と図６（ｃ）のときの周波数の差を周波数変化量Ｄとする。そして、周波数変化量Ｃと周波数変化量Ｄとを確認する。周波数変化量Ｃと周波数変化量Ｄが異なるときはシミレーションを以下のように繰り返す。周波数変化量Ｃの方が周波数変化量Ｄより小さいときは、例えば第２の幅の幅方向の寸法を狭くして、第２の領域１４ｂの主面に成膜される周波数調整用の膜２４の面積を調整し、そしてシミレーションを行い周波数変化量Ｃと周波数変化量Ｄとを確認する。そして周波数変化量Ｃと周波数変化量Ｄが同じになるまで第２の幅の幅方向の寸法を調整しシミレーションを繰り返す。また、周波数変化量Ｃの方が周波数変化量Ｄより大きいときは、例えば第２の幅方向の幅寸法を広くして、第２領域１４ｂの主面に成膜される周波数調整用の膜２４の面積を調整し、そしてシミレーションを行い周波数変化量Ｃと周波数変化量Ｄとを確認する。そして周波数変化量Ｃと周波数変化量Ｄが同じになるまで第２の幅の幅方向の寸法を調整しシミレーションを繰り返す。
【００２９】
なお、第１の領域１４ａと第２の領域１４ｂの長手方向の寸法は同じにしてもよい。更に長手方向の寸法と周波数調整用の膜２４を除去するレーザスポット径とを同じにして、幅方向にレーザを照射すれば、第１の領域１４ａと第２の領域１４ｂに成膜された周波数調整用の膜２４をそれぞれ１回の加工で全て除去することができ作業性がよい。なお、周波数調整用の膜２４は粗調整膜に限らず、微調整膜を用いてもよい。
【００３０】
本発明の音叉型圧電振動片１、１１によれば、脚の先端に複数の異なる幅部又は領域を設けそれぞれの幅部又は領域の少なくとも一方の主面全てに成膜された周波数調用の膜を、全て除去したときそれぞれの幅部又は領域の周波数変化量は同じとなり、周波数調整用の膜にレーザを照射し周波数調整用の膜を除去したあとの周波数の確認が不要となるため、周波数調整を行うための生産性が良くなる。
【符号の説明】
【００３１】
１、１１、２１  音叉型圧電振動片
２、１２、２２  基部
３ａ、１３ａ、２３ａ  第１の脚
３ｂ、１３ｂ、２３ｂ  第２の脚
４、１４  幅広部
４ａ  第１幅部
４ｂ  第２幅部
４ｃ  第３幅部
６、１６  枠
７、１７  連結部
１０、２０  圧電基板
１４ａ  第１の領域
１４ｂ  第２の領域
２４  周波数調整の膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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