(57)【要約】【課題】第１回転載置部と第２回転載置部とが回転する際の原点を迅速に調整することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品が載置され、同方向に回転する第１回転載置部および第２回転載置部と、第１回転載置部および第２回転載置部に向けて光を発光する発光部と、発光部からの光を受光する受光部と、発光部および受光部の作動を制御する制御部と、を備え、第１回転載置部および第２回転載置部は、それぞれ、直線状をなす溝と、溝の途中に設けられ、電子部品が収納される収納凹部と、を有し、回転角度の大きさによって、光が溝を介して発光部から受光部まで透過する透過状態と、透過状態が遮断される遮断状態とに切り替わり、制御部は、透過状態と遮断状態とに切り替わるときの回転角度に基づいて、第１回転載置部と第２回転載置部とが回転する際の原点を設定することを特徴とする電子部品搬送装置。【選択図】図１０
2019203802.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品が載置され、第１回転軸回りに回転する第１回転載置部と、
前記電子部品が載置され、前記第１回転軸と平行な第２回転軸回りに回転する第２回転載置部と、
前記第１回転載置部と前記第２回転載置部とを同じ回転角度で回転駆動させる駆動部と、
前記第１回転載置部および前記第２回転載置部に向けて光を発光する発光部と、
前記発光部に対向して配置され、前記光を受光する受光部と、
前記駆動部、前記発光部および前記受光部の作動を制御する制御部と、を備え、
前記第１回転載置部および前記第２回転載置部は、前記発光部と前記受光部との間に設けられ、
前記第１回転載置部は、直線状に延びる第１溝と、前記第１溝の途中に設けられ、前記電子部品が収納される第１収納凹部と、を有し、
前記第２回転載置部は、直線状に延びる第２溝と、前記第２溝の途中に設けられ、前記電子部品が収納される第２収納凹部と、を有し、
前記回転角度によって、前記光が前記第１溝と前記第２溝とを経て前記発光部から前記受光部まで透過する透過状態と、前記光が遮断される遮断状態とに切り替わり、
前記制御部は、前記透過状態から前記遮断状態に切り替わるときと、前記遮断状態から前記透過状態に切り替わるときとのうちの少なくとも一方のときの前記回転角度に基づいて、前記第１回転載置部と前記第２回転載置部とが回転する際の原点を設定することを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記制御部は、
前記第１回転載置部と前記第２回転載置部とが第１方向に回転して、前記遮断状態から前記透過状態に切り替わるときの前記回転角度を第１角度として記憶し、
前記第１回転載置部と前記第２回転載置部とが前記第１方向とは反対の第２方向に回転して、前記遮断状態から前記透過状態に切り替わるときの前記回転角度を第２角度として記憶し、
前記第１角度と前記第２角度とに基づいて、前記原点を設定する請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記第１角度と前記第２角度との平均値を前記原点として設定する請求項２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品が載置され、第１回転軸回りに回転する第１回転載置部と、
前記電子部品が載置され、前記第１回転軸と平行な第２回転軸回りに回転する第２回転載置部と、
前記第１回転載置部と前記第２回転載置部とを同じ回転角度で回転駆動させる駆動部と、
前記第１回転載置部および前記第２回転載置部に向けて光を発光する発光部と、
前記発光部に対向して配置され、前記光を受光する受光部と、
前記電子部品に対して検査を行なう検査部と、
前記駆動部、前記発光部および前記受光部の作動を制御する制御部と、を備え、
前記第１回転載置部および前記第２回転載置部は、前記発光部と前記受光部との間に設けられ、
前記第１回転載置部は、直線状に延びる第１溝と、前記第１溝の途中に設けられ、前記電子部品が収納される第１収納凹部と、を有し、
前記第２回転載置部は、直線状に延びる第２溝と、前記第２溝の途中に設けられ、前記電子部品が収納される第２収納凹部と、を有し、
前記回転角度によって、前記光が前記第１溝と前記第２溝とを経て前記発光部から前記受光部まで透過する透過状態と、前記光が遮断される遮断状態とに切り替わり、
前記制御部は、前記透過状態から前記遮断状態に切り替わるときと、前記遮断状態から前記透過状態に切り替わるときとのうちの少なくとも一方のときの前記回転角度に基づいて、前記第１回転載置部と前記第２回転載置部とが回転する際の原点を設定することを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品である半導体デバイスに対して電気的な検査を行なうテストシステムが知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載のテストシステムでは、半導体デバイスに対して検査を行なう際、半導体デバイスをテストボード上のソケットまで搬送して載置し、その検査を行なうよう構成されている。また、特許文献１に記載の検査装置は、ソケットに載置された半導体デバイスを、テストボードごと１８０度回転させて、半導体デバイスの向き（姿勢）を変更する回転ステージを備えている。回転ステージが回転する際には、原点角度（回転角度が零度となる位置）を一定に維持する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０７−０２０１９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１には、原点角度がズレた場合に原点角度を調整する調整方法については、開示されていない。また、仮に原点角度を調整する方法を挙げるとすれば、例えば、手動（手作業）で、その調整を行なうことが考えられる。この方法の場合は、手動であるため、調整時間が著しくかかる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下のものとして実現することが可能である。
【０００６】
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品が載置され、第１回転軸回りに回転する第１回転載置部と、
前記電子部品が載置され、前記第１回転軸と平行な第２回転軸回りに回転する第２回転載置部と、
前記第１回転載置部と前記第２回転載置部とを同じ回転角度で回転駆動させる駆動部と、
前記第１回転載置部および前記第２回転載置部に向けて光を発光する発光部と、
前記発光部に対向して配置され、前記光を受光する受光部と、
前記駆動部、前記発光部および前記受光部の作動を制御する制御部と、を備え、
前記第１回転載置部および前記第２回転載置部は、前記発光部と前記受光部との間に設けられ、
前記第１回転載置部は、直線状に延びる第１溝と、前記第１溝の途中に設けられ、前記電子部品が収納される第１収納凹部と、を有し、
前記第２回転載置部は、直線状に延びる第２溝と、前記第２溝の途中に設けられ、前記電子部品が収納される第２収納凹部と、を有し、
前記回転角度によって、前記光が前記第１溝と前記第２溝とを経て前記発光部から前記受光部まで透過する透過状態と、前記光が遮断される遮断状態とに切り替わり、
前記制御部は、前記透過状態から前記遮断状態に切り替わるときと、前記遮断状態から前記透過状態に切り替わるときとのうちの少なくとも一方のときの前記回転角度に基づいて、前記第１回転載置部と前記第２回転載置部とが回転する際の原点を設定することを特徴とする。
【０００７】
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品が載置され、第１回転軸回りに回転する第１回転載置部と、
前記電子部品が載置され、前記第１回転軸と平行な第２回転軸回りに回転する第２回転載置部と、
前記第１回転載置部と前記第２回転載置部とを同じ回転角度で回転駆動させる駆動部と、
前記第１回転載置部および前記第２回転載置部に向けて光を発光する発光部と、
前記発光部に対向して配置され、前記光を受光する受光部と、
前記電子部品に対して検査を行なう検査部と、
前記駆動部、前記発光部および前記受光部の作動を制御する制御部と、を備え、
前記第１回転載置部および前記第２回転載置部は、前記発光部と前記受光部との間に設けられ、
前記第１回転載置部は、直線状に延びる第１溝と、前記第１溝の途中に設けられ、前記電子部品が収納される第１収納凹部と、を有し、
前記第２回転載置部は、直線状に延びる第２溝と、前記第２溝の途中に設けられ、前記電子部品が収納される第２収納凹部と、を有し、
前記回転角度によって、前記光が前記第１溝と前記第２溝とを経て前記発光部から前記受光部まで透過する透過状態と、前記光が遮断される遮断状態とに切り替わり、
前記制御部は、前記透過状態から前記遮断状態に切り替わるときと、前記遮断状態から前記透過状態に切り替わるときとのうちの少なくとも一方のときの前記回転角度に基づいて、前記第１回転載置部と前記第２回転載置部とが回転する際の原点を設定することを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の電子部品検査装置の第１実施形態を正面側から見た概略斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す電子部品検査装置の動作状態を示す概略平面図である。
【図３】図３は、図１に示す電子部品検査装置が備える回転ユニットの動作状態を示す平面図である。
【図４】図４は、図１に示す電子部品検査装置が備える回転ユニットの動作状態を示す平面図である。
【図５】図５は、図３中のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】図６は、図１に示す電子部品検査装置が備える回転ユニットの駆動部を示す平面図である。
【図７】図７は、図１に示す電子部品検査装置が備える回転ユニットの原点角度調整動作を順に示す平面図である。
【図８】図８は、図１に示す電子部品検査装置が備える回転ユニットの原点角度調整動作を順に示す平面図である。
【図９】図９は、図１に示す電子部品検査装置が備える回転ユニットの原点角度調整動作を順に示す平面図である。
【図１０】図１０は、図１に示す電子部品検査装置が備える回転ユニットの原点角度調整動作を順に示す平面図である。
【図１１】図１１は、図１に示す電子部品検査装置が備える回転ユニットの原点角度調整動作を順に示す平面図である。
【図１２】図１２は、図１に示す電子部品検査装置が備える回転ユニットの原点角度調整動作を順に示す平面図である。
【図１３】図１３は、図１に示す電子部品検査装置が備える制御部の制御プログラムを示すフローチャートである。
【図１４】図１４は、図１に示す電子部品検査装置が備える制御部の制御プログラムを示すフローチャートである。
【図１５】図１５は、図１に示す電子部品検査装置が備える制御部の制御プログラムを示すフローチャートである。
【図１６】図１６は、図７〜図１２に示す原点角度調整動作を設定する設定画面（一例）である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００１０】
以下、図１〜図１６を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第１実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向（第１の方向）」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向（第２の方向）」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向（第３の方向）」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いた状態も含む。また、本願明細書で言う「鉛直」とは、完全な鉛直に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、鉛直に対して若干（例えば５°未満程度）傾いた状態も含む。また、図１および図５中の上側、すなわち、Ｚ軸方向正側を「上」または「上方」、下側、すなわち、Ｚ軸方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。
【００１１】
本発明の電子部品搬送装置１０は、図１に示す外観を有するハンドラーである。図２に示すように、この電子部品搬送装置１０は、電子部品であるＩＣデバイス９０を搬送する搬送部２５と、ＩＣデバイス９０を回転させる回転ユニット３と、回転ユニット３（駆動部５、発光部６１および受光部６２（例えば図３、図６参照））の作動を制御する制御部８００と、を備えている。回転ユニット３は、ＩＣデバイス９０（電子部品）が載置され、第１回転軸Ｏ４Ａ回りに回転する第１回転載置部４Ａと、ＩＣデバイス９０（電子部品）が載置され、第１回転軸Ｏ４Ａと平行な第２回転軸Ｏ４Ｂ回りに回転する第２回転載置部４Ｂと、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとを同じ回転角度で回転駆動させる駆動部５と、第１回転載置部４Ａおよび第２回転載置部４Ｂに向けて光ＬＴ６を発光する発光部６１と、発光部６１に対向して配置され、光ＬＴ６を受光する受光部６２と、を備えている。第１回転載置部４Ａおよび第２回転載置部４Ｂは、発光部６１と受光部６２との間に設けられている。
【００１２】
第１回転載置部４Ａは、直線状に延び、互いに交差する２本の溝（第１溝）と、これらの溝の交差部（第１溝の途中）の途中に設けられ、ＩＣデバイス９０が収納される収納凹部（第１収納凹部）と、を有している。第２回転載置部４Ｂは、互いに交差する２本の溝（第２溝）と、これらの溝の交差部（第２溝の途中）の途中に設けられ、ＩＣデバイス９０が収納される収納凹部（第２収納凹部）と、を有している。このように、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、同じ構成である。従って、第１回転載置部４Ａは、直線状に延びる第１溝４１および第２溝４２と、第１溝４１と第２溝４２との交差部に設けられ、ＩＣデバイス９０（電子部品）が収納される収納凹部４３と、を有するものとなっている。同様に、第２回転載置部４Ｂも、直線状に延びる第１溝４１および第２溝４２と、第１溝４１と第２溝４２との交差部に設けられ、ＩＣデバイス９０（電子部品）が収納される収納凹部４３と、を有するものとなっている。
【００１３】
また、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、回転角度によって、光ＬＴ６が２つの第１溝４１および２つの第２溝４２のうちの一方（溝）を経て発光部６１から受光部６２まで透過する透過状態と、光ＬＴ６が遮断される遮断状態とに切り替る。そして、制御部８００は、透過状態から遮断状態に切り替わるときと、遮断状態から透過状態に切り替わるときとのうちの少なくとも一方のときの回転角度に基づいて、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとが回転する際の原点角度（原点）、すなわち、回転角度が零度となるスタート位置を設定することができる。
【００１４】
このような本発明によれば、後述するように、この設定された原点角度は、制御部８００のメモリー８０３に記憶される。これにより、原点角度を一定に維持することができる。そして、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、原点角度が経時的にズレた場合でも、記憶されている原点角度に戻れば、いつでも、例えば図８に示す状態となる。この状態が得られることにより、例えば第１回転載置部４Ａの回転後、デバイス搬送ヘッド１３は、ＩＣデバイス９０の大きさに関わらず、このＩＣデバイス９０を収納凹部４３に載置することができる（第２回転載置部４Ｂについても同様）。
【００１５】
このように、電子部品搬送装置１０は、原点角度を自動的に調整し、設定することができる。これにより、例えば、機械的な治具を用いて、手動（手作業）で、原点角度の調整を行なう場合に比べて、その調整時間を大幅に（例えば１／１０以下に）短縮することができる。
【００１６】
また、図２に示すように、本発明の電子部品検査装置１は、電子部品搬送装置１０を備え、さらに、電子部品を検査する検査部１６を備えるテストシステム（test system）である。すなわち、本発明の電子部品検査装置１は、電子部品であるＩＣデバイス９０を搬送する搬送部２５と、ＩＣデバイス９０を回転させる回転ユニット３と、ＩＣデバイス９０（電子部品）に対して検査を行なう検査部１６と、回転ユニット３（駆動部５、発光部６１および受光部６２）の作動を制御する制御部８００と、を備えている。回転ユニット３は、ＩＣデバイス９０（電子部品）が載置され、第１回転軸Ｏ４Ａ回りに回転する第１回転載置部４Ａと、ＩＣデバイス９０（電子部品）が載置され、第１回転軸Ｏ４Ａと平行な第２回転軸Ｏ４Ｂ回りに回転する第２回転載置部４Ｂと、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとを同じ回転角度で回転駆動させる駆動部５と、第１回転載置部４Ａおよび第２回転載置部４Ｂに向けて光ＬＴ６を発光する発光部６１と、発光部６１に対向して配置され、光ＬＴ６を受光する受光部６２と、を備えている。第１回転載置部４Ａおよび第２回転載置部４Ｂは、発光部６１と受光部６２との間に設けられている。
【００１７】
そして、第１回転載置部４Ａおよび第２回転載置部４Ｂは、それぞれ、直線状に延びる第１溝４１および第２溝４２（溝）と、第１溝４１と第２溝４２との交差部（溝の途中）に設けられ、ＩＣデバイス９０（電子部品）が収納される収納凹部４３と、を有している。また、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、回転角度の大きさによって、光ＬＴ６が２つの第１溝４１および２つの第２溝４２のうちの一方（溝）を経て発光部６１から受光部６２まで透過する透過状態と、光ＬＴ６が遮断される遮断状態とに切り替る。そして、制御部８００は、透過状態から遮断状態に切り替わるときと、遮断状態から透過状態に切り替わるときとのうちの少なくとも一方のときの回転角度に基づいて、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとが回転する際の原点角度（原点）、すなわち、回転角度が零度となるスタート位置を設定することができる。
【００１８】
これにより、前述した電子部品搬送装置１０の利点を持つ電子部品検査装置１が得られる。また、検査部１６にまでＩＣデバイス９０を搬送することができ、よって、当該ＩＣデバイス９０に対する検査を検査部１６で行なうことができる。また、検査後のＩＣデバイス９０を検査部１６から搬送することができる。
【００１９】
以下、各部の構成について詳細に説明する。
図１、図２に示すように、電子部品搬送装置１０を有する電子部品検査装置１は、例えばＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージであるＩＣデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。ＩＣデバイス９０は、本実施形態では、平板状をなすものとなっており、平面視で長方形をなす。なお、ＩＣデバイス９０の外形形状は、これに限定されない。
【００２０】
なお、ＩＣデバイスとしては、前記のものの他に、例えば、「ＬＳＩ（Large Scale Integration）」「ＣＭＯＳ（Complementary MOS）」「ＣＣＤ（Charge Coupled Device）」や、ＩＣデバイスを複数のモジュールにパッケージ化した「モジュールＩＣ」、また、「水晶デバイス」、「圧力センサー」、「慣性センサー（加速度センサー）」、「ジャイロセンサー」、「指紋センサー」等が挙げられる。
【００２１】
電子部品検査装置１（電子部品搬送装置１０）は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域Ａ２と、検査領域Ａ３と、デバイス回収領域Ａ４と、トレイ除去領域Ａ５とを備え、これらの領域は、後述するように各壁部で分けられている。そして、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで前記各領域を矢印α９０方向に順に経由し、途中の検査領域Ａ３で検査が行われる。このように電子部品検査装置１は、各領域を経由するようにＩＣデバイス９０を搬送する搬送部２５を有する電子部品搬送装置１０と、検査領域Ａ３内で検査を行なう検査部１６と、産業用コンピューターで構成された制御部８００とを備えたものとなっている。また、その他、電子部品検査装置１は、モニター３００と、シグナルランプ４００と、操作パネル７００とを備えている。
【００２２】
なお、電子部品検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１、トレイ除去領域Ａ５が配された方、すなわち、図２中の下側が正面側となり、検査領域Ａ３が配された方、すなわち、図２中の上側が背面側として使用される。
【００２３】
また、電子部品検査装置１は、ＩＣデバイス９０の種類ごとに交換される「チェンジキット」と呼ばれるものを予め搭載して用いられる。このチェンジキットには、例えば、温度調整部１２と、デバイス供給部１４と、デバイス回収部１８と、回転ユニット３がある。なお、回転ユニット３には、デバイス供給領域Ａ２に配置される回転ユニット（第１回転ユニット）３Ａと、デバイス回収領域Ａ４に配置される回転ユニット（第２回転ユニット）３Ｂとがあり、各ユニットの構成は同じである。また、このようなチェンジキットとは別に、ＩＣデバイス９０の種類ごとに交換されるものとしては、例えば、ユーザーが用意するトレイ２００と、回収用トレイ１９と、検査部１６とがある。
【００２４】
トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が供給される給材部である。トレイ供給領域Ａ１は、トレイ２００を複数積み重ねて搭載可能な搭載領域と言うこともできる。なお、本実施形態では、各トレイ２００には、複数の凹部（ポケット）が行列状に配置されている。各凹部には、ＩＣデバイス９０を１つずつ収納、載置することができる。
【００２５】
デバイス供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１から搬送されたトレイ２００上の複数のＩＣデバイス９０がそれぞれ検査領域Ａ３まで搬送、供給される領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１とデバイス供給領域Ａ２とをまたぐように、トレイ２００を１枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構１１Ａ、トレイ搬送機構１１Ｂが設けられている。トレイ搬送機構１１Ａは、搬送部２５の一部であり、トレイ２００を、当該トレイ２００に載置されたＩＣデバイス９０ごとＹ方向の正側、すなわち、図２中の矢印α１１Ａ方向に移動させることができる。これにより、ＩＣデバイス９０を安定してデバイス供給領域Ａ２に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構１１Ｂは、空のトレイ２００をＹ方向の負側、すなわち、図２中の矢印α１１Ｂ方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ２００をデバイス供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に移動させることができる。
【００２６】
デバイス供給領域Ａ２には、温度調整部（ソークプレート（英語表記：soak plate、中国語表記（一例）：均温板））１２と、回転ユニット３Ａ（回転ユニット３）と、デバイス搬送ヘッド１３と、トレイ搬送機構１５とが設けられている。また、デバイス供給領域Ａ２と検査領域Ａ３とをまたぐように移動するデバイス供給部１４も設けられている。
【００２７】
温度調整部１２は、複数のＩＣデバイス９０が載置され、当該載置されたＩＣデバイス９０を一括して加熱または冷却することができる「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部１６で検査される前のＩＣデバイス９０を予め加熱または冷却して、当該検査（高温検査や低温検査）に適した温度に調整することができる。
【００２８】
このような載置部としての温度調整部１２は、固定されている。これにより、当該温度調整部１２上でのＩＣデバイス９０に対して安定して温度調整することができる。
また、温度調整部１２は、グランドされて（接地されて）いる。
【００２９】
図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ方向に２つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２まで搬送される。
【００３０】
デバイス搬送ヘッド１３は、ＩＣデバイス９０を把持するものであり、デバイス供給領域Ａ２内でＸ方向およびＹ方向に移動可能に支持され、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。このデバイス搬送ヘッド１３は、搬送部２５の一部でもあり、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と回転ユニット３Ａとの間のＩＣデバイス９０の搬送と、回転ユニット３Ａとデバイス供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担うことができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド１３のＸ方向の移動を矢印α１３Ｘで示し、デバイス搬送ヘッド１３のＹ方向の移動を矢印α１３Ｙで示している。
【００３１】
回転ユニット３Ａは、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を回転させるものである。これにより、ＩＣデバイス９０に対して方向転換を行なうことができる。回転ユニット３Ａの構成については、後述する。なお、回転ユニット３Ａも、温度調整部１２と同様に、グランドされている。
【００３２】
デバイス供給部１４は、回転ユニット３Ａで方向転換されたＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を検査部１６近傍まで搬送することができる「供給用シャトルプレート」または単に「供給シャトル」と呼ばれるものである。このデバイス供給部１４も、搬送部２５の一部となり得る。このデバイス供給部１４は、ＩＣデバイス９０が収納、載置される凹部（ポケット）を有している。
【００３３】
また、デバイス供給部１４は、デバイス供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ方向、すなわち、矢印α１４方向に往復移動可能（移動可能）に支持されている。これにより、デバイス供給部１４は、ＩＣデバイス９０をデバイス供給領域Ａ２から検査領域Ａ３の検査部１６近傍まで安定して搬送することができ、また、検査領域Ａ３でＩＣデバイス９０がデバイス搬送ヘッド１７によって取り去られた後は再度デバイス供給領域Ａ２に戻ることができる。
【００３４】
図２に示す構成では、デバイス供給部１４は、Ｙ方向に２つ配置されており、Ｙ方向負側のデバイス供給部１４を「デバイス供給部１４Ａ」と言い、Ｙ方向正側のデバイス供給部１４を「デバイス供給部１４Ｂ」と言うことがある。そして、温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、デバイス供給領域Ａ２内で、回転ユニット３Ａを経由して、デバイス供給部１４Ａまたはデバイス供給部１４Ｂまで搬送される。また、デバイス供給部１４は、温度調整部１２と同様に、当該デバイス供給部１４に載置されたＩＣデバイス９０を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０に対して、その温度調整状態を維持して、検査領域Ａ３の検査部１６近傍まで搬送することができる。また、デバイス供給部１４も、温度調整部１２と同様に、グランドされている。
【００３５】
なお、回転ユニット３Ａは、図２に示す構成ではデバイス供給部１４Ａとデバイス供給部１４Ｂとの間に配置されているが、この配置箇所には限定されない。
【００３６】
トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００をデバイス供給領域Ａ２内でＸ方向の正側、すなわち、矢印α１５方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによってデバイス供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。
【００３７】
検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０を検査する領域である。この検査領域Ａ３には、ＩＣデバイス９０に対して検査を行なう検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７とが設けられている。
【００３８】
デバイス搬送ヘッド１７は、搬送部２５の一部であり、温度調整部１２と同様に、把持したＩＣデバイス９０を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、前記温度調整状態が維持されたＩＣデバイス９０を把持して、前記温度調整状態を維持したまま、ＩＣデバイス９０を検査領域Ａ３内で搬送することができる。
【００３９】
このようなデバイス搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内でＹ方向およびＺ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド１７は、デバイス供給領域Ａ２から搬入されたデバイス供給部１４から、ＩＣデバイス９０を持ち上げて、検査部１６上に搬送し、載置することができる。
【００４０】
なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド１７のＹ方向の往復移動を矢印α１７Ｙで示している。そして、デバイス搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内で、ＩＣデバイス９０のデバイス供給部１４Ａから検査部１６への搬送と、ＩＣデバイス９０のデバイス供給部１４Ｂから検査部１６への搬送とを担うことができる。また、デバイス搬送ヘッド１７は、Ｙ方向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、Ｘ方向にも往復移動可能に支持されていてもよい。
【００４１】
また、本実施形態では、デバイス搬送ヘッド１７は、Ｙ方向に２つ配置されている（図２参照）。以下、Ｙ方向負側のデバイス搬送ヘッド１７を「デバイス搬送ヘッド１７Ａ」と言い、Ｙ方向正側のデバイス搬送ヘッド１７を「デバイス搬送ヘッド１７Ｂ」と言うことがある。デバイス搬送ヘッド１７Ａは、検査領域Ａ３内で、ＩＣデバイス９０のデバイス供給部１４Ａから検査部１６への搬送を担うことができ、デバイス搬送ヘッド１７Ｂは、検査領域Ａ３内で、ＩＣデバイス９０のデバイス供給部１４Ｂから検査部１６への搬送を担うことができる。また、デバイス搬送ヘッド１７Ａは、検査領域Ａ３内で、ＩＣデバイス９０の検査部１６からデバイス回収部１８Ａへの搬送を担うことができ、デバイス搬送ヘッド１７Ｂは、検査領域Ａ３内で、検査部１６からデバイス回収部１８Ｂへの搬送を担うことができる。
【００４２】
検査部１６（ソケット）は、電子部品であるＩＣデバイス９０を載置して、当該ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査することができる。検査部１６は、ＩＣデバイス９０が収納、載置される凹部を有し、その凹部内に複数のプローブピン（図示せず）が設けられている。そして、ＩＣデバイス９０の端子とプローブピンとが導電可能に接続される、すなわち、接触することにより、ＩＣデバイス９０の検査を行なうことができる。ＩＣデバイス９０の検査は、検査部１６に接続されるテスターが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。
【００４３】
このような検査部１６は、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００４４】
デバイス回収領域Ａ４は、検査領域Ａ３で検査され、その検査が終了した複数のＩＣデバイス９０が回収される領域である。このデバイス回収領域Ａ４には、回転ユニット３Ｂ（回転ユニット３）と、回収用トレイ１９と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１とが設けられている。また、検査領域Ａ３とデバイス回収領域Ａ４とをまたぐように移動するデバイス回収部１８も設けられている。また、デバイス回収領域Ａ４には、空のトレイ２００も用意されている。
【００４５】
デバイス回収部１８は、検査部１６で検査が終了したＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０をデバイス回収領域Ａ４まで搬送する「回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。このデバイス回収部１８も、搬送部２５の一部となり得る。
【００４６】
また、デバイス回収部１８は、検査領域Ａ３とデバイス回収領域Ａ４との間をＸ方向、すなわち、矢印α１８方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス回収部１８は、デバイス供給部１４と同様に、Ｙ方向に２つ配置されており、Ｙ方向負側のデバイス回収部１８を「デバイス回収部１８Ａ」と言い、Ｙ方向正側のデバイス回収部１８を「デバイス回収部１８Ｂ」と言うことがある。そして、検査部１６上のＩＣデバイス９０は、デバイス回収部１８Ａまたはデバイス回収部１８Ｂに搬送され、載置される。そして、デバイス搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内で、ＩＣデバイス９０の検査部１６からデバイス回収部１８Ａへの搬送と、ＩＣデバイス９０の検査部１６からデバイス回収部１８Ｂへの搬送とを担うことができる。また、デバイス回収部１８も、温度調整部１２やデバイス供給部１４と同様に、グランドされている。
【００４７】
回転ユニット３Ｂは、デバイス回収部１８から搬送されてくる検査後のＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を回転させるものである。これにより、ＩＣデバイス９０に対して方向転換を行なうことができる。このとき、ＩＣデバイス９０の方向は、回転ユニット３Ａで方向転換される前の状態に戻される。回転ユニット３Ｂの構成については、後述する。なお、回転ユニット３Ｂも、温度調整部１２と同様に、グランドされている。
【００４８】
回収用トレイ１９は、回転ユニット３Ｂで方向転換されたＩＣデバイス９０が載置され、デバイス回収領域Ａ４内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０等の各種可動部が比較的多く配置されたデバイス回収領域Ａ４であっても、回収用トレイ１９上では、検査済みのＩＣデバイス９０が安定して載置されることとなる。なお、図２に示す構成では、回収用トレイ１９は、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。
【００４９】
また、空のトレイ２００も、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。この空のトレイ２００も、回転ユニット３Ｂで方向転換されたＩＣデバイス９０が載置される。そして、デバイス回収領域Ａ４に移動してきたデバイス回収部１８上のＩＣデバイス９０は、回転ユニット３Ｂを経由して、回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
【００５０】
デバイス搬送ヘッド２０は、デバイス回収領域Ａ４内でＸ方向およびＹ方向に移動可能に支持され、さらにＺ方向にも移動可能な部分を有している。このデバイス搬送ヘッド２０は、搬送部２５の一部であり、デバイス回収部１８と回転ユニット３Ｂとの間のＩＣデバイス９０の搬送と、回転ユニット３Ｂと回収用トレイ１９との間のＩＣデバイス９０の搬送と、回転ユニット３Ｂと空のトレイ２００との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担うことができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド２０のＸ方向の移動を矢印α２０Ｘで示し、デバイス搬送ヘッド２０のＹ方向の移動を矢印α２０Ｙで示している。
【００５１】
トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００をデバイス回収領域Ａ４内でＸ方向、すなわち、矢印α２１方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。
【００５２】
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００５３】
また、デバイス回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とをまたぐように、トレイ２００を１枚ずつＹ方向に搬送するトレイ搬送機構２２Ａ、トレイ搬送機構２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、搬送部２５の一部であり、トレイ２００をＹ方向、すなわち、矢印α２２Ａ方向に往復移動させることができる。これにより、検査済みのＩＣデバイス９０をデバイス回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送することができる。また、トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００をＹ方向の正側、すなわち、矢印α２２Ｂ方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５からデバイス回収領域Ａ４に移動させることができる。
【００５４】
制御部８００は、例えば、トレイ搬送機構１１Ａと、トレイ搬送機構１１Ｂと、温度調整部１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、デバイス供給部１４と、トレイ搬送機構１５と、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７と、デバイス回収部１８と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１と、トレイ搬送機構２２Ａと、トレイ搬送機構２２Ｂと、後述する回転ユニット３の駆動部５のモーター５１、検出部６の発光部６１および受光部６２の作動を制御することができる。この制御部８００は、例えば、本実施形態では、少なくとも１つのプロセッサー８０２（at least one processor）と、少なくとも１つのメモリー８０３とを有している（図２参照）。プロセッサー８０２は、メモリー８０３に記憶されている各種情報（例えば、判断用プログラム、指示・命令用プログラム等）を読み込み、判断や指令（命令）を実行することができる。
【００５５】
また、制御部８００は、電子部品検査装置１（電子部品搬送装置１０）に内蔵されていてもよいし、外部のコンピューター等の外部機器に設けられていてもよい。この外部機器は、例えば、電子部品検査装置１とケーブル等を介して通信される場合、無線通信される場合、電子部品検査装置１とネットワーク（例えばインターネット）を介して接続されている場合等がある。
【００５６】
オペレーターは、モニター３００を介して、電子部品検査装置１の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター３００は、例えば液晶画面で構成された表示画面３０１を有し、電子部品検査装置１の正面側上部に配置されている。図１に示すように、トレイ除去領域Ａ５の図中の右側には、マウスを載置するマウス台６００が設けられている。このマウスは、モニター３００に表示された画面を操作する際に用いられる。
【００５７】
また、モニター３００に対して図１の右下方には、操作パネル７００が配置されている。操作パネル７００は、モニター３００とは別に、電子部品検査装置１に所望の動作を命令するものである。
【００５８】
また、シグナルランプ４００は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置１の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ４００は、電子部品検査装置１の上部に配置されている。なお、電子部品検査装置１には、スピーカー５００が内蔵されており、このスピーカー５００によっても電子部品検査装置１の作動状態等を報知することもできる。
【００５９】
電子部品検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１とデバイス供給領域Ａ２との間が第１隔壁２３１によって区切られており、デバイス供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間が第２隔壁２３２によって区切られており、検査領域Ａ３とデバイス回収領域Ａ４との間が第３隔壁２３３によって区切られており、デバイス回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５との間が第４隔壁２３４によって区切られている。また、デバイス供給領域Ａ２とデバイス回収領域Ａ４との間も、第５隔壁２３５によって区切られている。
【００６０】
電子部品検査装置１は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー２４１、サイドカバー２４２、サイドカバー２４３、リアカバー２４４、トップカバー２４５がある。
【００６１】
前述したように、回転ユニット３には、デバイス供給領域Ａ２に配置されている回転ユニット３Ａと、デバイス回収領域Ａ４に配置されている回転ユニット３Ｂとがある。回転ユニット３Ａと、回転ユニット３Ｂとは、配置箇所が異なること以外は同じ構成であるため、以下、１つの回転ユニット３について代表的に説明する。
【００６２】
図３、図４に示すように、回転ユニット３は、ＩＣデバイス９０を回転させて（回動させて）、平面視でのＩＣデバイス９０の方向を転換するものである。平面視で長方形をなすＩＣデバイス９０は、例えば図３に示す状態では、長辺方向がＹ方向と平行となっており、短辺方向がＸ方向と平行となっている（以下ＩＣデバイス９０のこの状態（姿勢）を「第１状態」と言う）。そして、この状態から回転ユニット３が作動することにより、ＩＣデバイス９０は、方向転換されて、図４に示す状態となる。図４に示す状態では、ＩＣデバイス９０は、長辺方向がＸ方向と平行となり、短辺方向がＹ方向と平行となる（以下ＩＣデバイス９０のこの姿勢（状態）を「第２状態」と言う）。
【００６３】
ＩＣデバイス９０に対して方向転換する目的としては、種々あるが、例えば、次に述べる目的が挙げられる。例えば、ＩＣデバイス９０は、トレイ２００上では第１状態となって載置されているが、検査部１６で検査を行なうに際して、第２状態として、検査部１６に載置する必要がある。このような場合に、ＩＣデバイス９０の搬送途中で、第１状態から第２状態に方向転換することとなる。
【００６４】
図３、図４に示すように、回転ユニット３は、ＩＣデバイス９０が載置される第１回転載置部（第１回転ステージ）４Ａと、ＩＣデバイス９０が載置される第２回転載置部（第２回転ステージ）４Ｂと、ＩＣデバイス９０が載置される第３回転載置部（第３回転ステージ）４Ｃと、ＩＣデバイス９０が載置される第４回転載置部（第４回転ステージ）４Ｄと、各回転載置部でのＩＣデバイス９０の姿勢を検出する検出部６とを備えている。また、図６に示すように、回転ユニット３は、前記各回転載置部を回転駆動させる駆動部５も備えている。
【００６５】
第１回転載置部４Ａと、第２回転載置部４Ｂと、第３回転載置部４Ｃと、第４回転載置部４Ｄとは、ＸＹ平面上で、２行２列の行列状に配置されている。本実施形態では、第１回転載置部４Ａに対して、第２回転載置部４ＢがＸ方向正側に隣り合って配置され、第３回転載置部４ＣがＹ方向正側に隣り合って配置されている。また、第３回転載置部４Ｃに対して、第４回転載置部４ＤがＸ方向正側に隣り合って配置されている。なお、隣り合う回転載置部同士のピッチ（中心間距離）は、同じであるのが好ましいが、異なっていてもよい。
【００６６】
また、回転ユニット３における回転載置部の配置数は、本実施形態では４つであるが、これに限定されず、１つ、２つ、３つまたは５つ以上であってもよい。また、回転載置部の配置態様、すなわち、Ｘ方向およびＹ方向の各方向にいくつ配置するかについても任意とすることができる。
【００６７】
第１回転載置部４Ａは、円板状をなし、Ｚ方向と平行な第１回転軸Ｏ４Ａ回りに回転可能に支持されている。第１回転軸Ｏ４Ａは、平面視で第１回転載置部４Ａの中心を通っているのが好ましい。
【００６８】
第２回転載置部４Ｂは、円板状をなし、第１回転軸Ｏ４Ａと平行な（Ｚ方向と平行な）第２回転軸Ｏ４Ｂ回りに回転可能に支持されている。第２回転軸Ｏ４Ｂは、平面視で第２回転載置部４Ｂの中心を通っているのが好ましい。
【００６９】
第３回転載置部４Ｃは、円板状をなし、第１回転軸Ｏ４Ａと平行な（Ｚ方向と平行な）第３回転軸Ｏ４Ｃ回りに回転可能に支持されている。第３回転軸Ｏ４Ｃは、平面視で第３回転載置部４Ｃの中心を通っているのが好ましい。
【００７０】
第４回転載置部４Ｄは、円板状をなし、第１回転軸Ｏ４Ａと平行な（Ｚ方向と平行な）第４回転軸Ｏ４Ｄ回りに回転可能に支持されている。第４回転軸Ｏ４Ｄは、平面視で第４回転載置部４Ｄの中心を通っているのが好ましい。
【００７１】
第１回転載置部４Ａと、第２回転載置部４Ｂと、第３回転載置部４Ｃと、第４回転載置部４Ｄとは、配置箇所が異なること以外は、同じ構成であるため、第１回転載置部４Ａについて代表的に説明する。
【００７２】
図３、図４に示すように、第１回転載置部４Ａは、直線状をなす第１溝４１と、第１溝４１と交差し、連通する直線状をなす第２溝４２とを有している。なお、第１溝４１と第２溝４２とは、本実施形態では直交であるが、これに限定さない。
【００７３】
第１溝４１の幅と第２溝４２の幅とは、本実施形態では同じであるが、これに限定されず、異なっていてもよい。また、第１溝４１の深さと第２溝４２の深さも、本実施形態では同じであるが、これに限定されず、異なっていてもよい。
【００７４】
第１回転載置部４Ａに形成される溝の形成数は、本実施形態では第１溝４１および第２溝４２の合計２本であるが、これに限定されず、例えば、１本または３本以上であってもよい。
【００７５】
また、図３、図４に示すように、第１回転載置部４Ａは、ＩＣデバイス９０が収納、載置される収納凹部４３を有している。収納凹部４３は、各溝の途中、すなわち、第１溝４１と第２溝４２との交差部に設けられている。収納凹部４３は、ＩＣデバイス９０の外形形状に対応して形成されている。また、収納凹部４３は、平面視で第１溝４１および第２溝４２のいずれの溝の幅よりも大きく形成されている。図５に示すように、収納凹部４３は、第１溝４１および第２溝４２に連通しており、第１溝４１および第２溝４２の底部よりも深い位置に形成されている。
【００７６】
図６に示すように、駆動部５は、第１回転載置部４Ａと、第２回転載置部４Ｂと、第３回転載置部４Ｃと、第４回転載置部４Ｄとを同じ方向に、かつ、同じ回転角度で一括して回転駆動させるものである。駆動部５は、モーター５１と、モーター５１のローター５１１に連結されたプーリー５２と、第１回転載置部４Ａ〜第４回転載置部４Ｄの各回転載置部の裏側（下側）に連結されたプーリー５３と、これらのプーリー５３とプーリー５２とに一括して掛け回されたタイミングベルト５４と、タイミングベルト５４に張力を付与する２つのテンショナー５５とを有している。
【００７７】
モーター５１は、第１回転載置部４Ａ〜第４回転載置部４Ｄに対して、Ｘ方向正側に配置されている。このモーター５１としては、特に限定されず、例えば、各種のモーターを用いることができるが、これらの中でも、特に、エンコーダーを内蔵したパルスモーターを用いるのが好ましい。これにより、モーター５１で検出されるエンコーダー値に基づいて、回転角度を求めることができる。
【００７８】
第１回転載置部４Ａに連結されているプーリー５３は、第１回転軸Ｏ４Ａと同心的に配置されている。第２回転載置部４Ｂに連結されているプーリー５３は、第２回転軸Ｏ４Ｂと同心的に配置されている。第３回転載置部４Ｃに連結されているプーリー５３は、第３回転軸Ｏ４Ｃと同心的に配置されている。第４回転載置部４Ｄに連結されているプーリー５３は、第４回転軸Ｏ４Ｄと同心的に配置されている。
各テンショナー５５は、モーター５１とプーリー５３との間に配置されている。
【００７９】
このような構成の駆動部５では、モーター５１が作動することにより、その回転力がタイミングベルト５４を介して、各プーリー５３に伝達される。これにより、第１回転載置部４Ａ〜第４回転載置部４Ｄは、それぞれ、プーリー５３ごと回転することができる。
【００８０】
なお、駆動部５は、本実施形態では第１回転載置部４Ａ〜第４回転載置部４Ｄを一括して回転させるよう構成されているが、これに限定されず、第１回転載置部４Ａ〜第４回転載置部４Ｄをそれぞれ独立して、すなわち、個別に回転させるよう構成されていてもよい。
【００８１】
図３、図４に示すように、検出部６は、第１回転載置部４Ａ〜第４回転載置部４Ｄの各回転載置部でのＩＣデバイス９０の姿勢（収納凹部４３内での浮き）、すなわち、ＸＹ平面に対する傾きを検出するものである。検出部６は、２組の光ＬＴ６を発光する発光部６１と、光ＬＴ６を受光する受光部６２とを有している。これら２組のうち、一方の組の発光部６１と受光部６２とは、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとを介して対向配置され、他方の組の発光部６１と受光部６２とは、第３回転載置部４Ｃと第４回転載置部４Ｄとを介して対向配置されている。各組の発光部６１と受光部６２とは、配置箇所が異なること以外は、同じ構成であるため、前記一方の組の発光部６１と受光部６２とについて説明する。
【００８２】
図５に示すように、発光部６１は、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとに対して、Ｘ方向負側から光ＬＴ６を照射する照射部である。発光部６１としては、特に限定されず、例えば、レーザー光を発光するレーザーダイオードを有するファイバーセンサー等を用いることができる。
【００８３】
受光部６２は、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとを介して、発光部６１に対向して配置されており、発光部６１から発せられた光ＬＴ６を受光することができる。受光部６２としては、特に限定されず、例えば、レーザー光を受光するフォトダイオードを有するファイバーセンサー等を用いることができる。
【００８４】
このような構成の検出部６では、例えば、図５に示すように、第１回転載置部４Ａの収納凹部４３にＩＣデバイス９０が水平に載置された状態で、発光部６１からの光ＬＴ６が、第１回転載置部４Ａの第１溝４１と、第２回転載置部４Ｂの第１溝４１とを順に通過して、受光部６２で受光された場合には、ＩＣデバイス９０の姿勢が正しい、すなわち、デバイス供給領域Ａ２内でＩＣデバイス９０がデバイス搬送ヘッド１３によって把持可能な状態にあると検出される。
【００８５】
これに対し、第１回転載置部４Ａの収納凹部４３に載置されたＩＣデバイス９０がＸＹ平面に対して傾斜している状態では、発光部６１からの光ＬＴ６がＩＣデバイス９０で遮断される。この場合、光ＬＴ６を受光部６２で受光することができず、ＩＣデバイス９０の姿勢は不適当、すなわち、ＩＣデバイス９０に対するデバイス搬送ヘッド１３の把持が不可能となるおそれがあると検出される。
【００８６】
前述したように、第１回転載置部４Ａは、第１回転軸Ｏ４Ａ回りに回転することができ、第２回転載置部４Ｂは、第２回転軸Ｏ４Ｂ回りに回転することができる。そして、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、いずれも、回転する際には、原点角度（回転角度が零度となるスタート位置）を一定に維持する必要がある。この原点角度は、第１回転載置部４Ａや第２回転載置部４Ｂを連続的または断続的に継続して回転させていくと、例えばタイミングベルト５４の劣化や摩耗等の各種諸条件によって、経時的にズレていくおそれがある。この場合、例えば第１回転載置部４Ａの回転後に、デバイス搬送ヘッド１３がＩＣデバイス９０を収納凹部４３に載置するのが困難となるおそれがある（第２回転載置部４Ｂについても同様）。
【００８７】
電子部品検査装置１（電子部品搬送装置１０）では、原点角度の自動調整（再調整）が可能に構成されている。以下、この構成および作用について説明する。なお、原点角度の調整を行なうタイミングとしては、特に限定されず、例えば、通常のロット完了時やチェンジキット交換時等、任意のタイミングで行なうことができる。また、原点角度の調整時には、前記他方の組の発光部６１および受光部６２は使用しない。
【００８８】
第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、収納凹部４３にＩＣデバイス９０が載置されていない状態で、回転角度の大きさによって、光ＬＴ６が透過する透過状態と、光ＬＴ６が遮断される遮断状態とに切り替る。透過状態は、図８、図１０、図１２に示すように、光ＬＴ６が、第１回転載置部４Ａの第１溝４１と、第２回転載置部４Ｂの第１溝４１とを順に介して、発光部６１から受光部６２まで透過する状態である。原点角度では、透過状態となる。また、遮断状態は、図７、図９、図１１に示すように、透過状態が遮断される状態である。透過状態であるか、または、遮断状態であるかの判断は、受光部６２での光ＬＴ６の受光の有無によって判断される。
【００８９】
そして、制御部８００は、後述するように、透過状態と遮断状態とに切り替わるときの回転角度に基づいて、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとが回転する際の原点角度を設定することができる。
【００９０】
図７に示す状態では、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、回転が停止しており、原点角度がズレて、遮断状態となっている。
【００９１】
次いで、図８に示すように、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、反時計回りである矢印α４方向（第１方向）に回転し、透過状態となったら、回転が停止する。なお、この回転停止は、透過状態となった直後であってもよいし、透過状態となってから所定時間（透過状態が依然として維持される程度の時間）経過後であってもよい。なお、図８では、一例として、光ＬＴ６の光軸が、第１回転載置部４Ａの第１溝４１の中心軸と、第２回転載置部４Ｂの第１溝４１の中心軸とを通っている、すなわち、各中心軸に重なっている。また、制御部８００は、この停止状態での回転角度をメモリー８０３に記憶する。
【００９２】
次いで、図９に示すように、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、時計回りである矢印β４方向（第２方向）に回転し、光ＬＴ６が第１回転載置部４Ａの外周部４４で遮断されて遮断状態となった直後に、回転が停止する。
【００９３】
次いで、図１０に示すように、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、矢印α４方向に回転し、透過状態となった直後に、回転が停止する。そして、制御部８００は、この停止状態での、図８に示す状態からの回転角度（変位量）を第１角度θ１として、メモリー８０３に記憶する。
【００９４】
次いで、図１１に示すように、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、矢印α４方向にさらに回転し、光ＬＴ６が第１回転載置部４Ａの外周部４４で再度遮断されて遮断状態となった直後に、回転が停止する。
【００９５】
次いで、図１２に示すように、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、矢印β４方向に回転し、透過状態となった直後に、回転が停止する。そして、制御部８００は、この停止状態での、図８に示す状態からの回転角度（変位量）を第２角度θ２として、メモリー８０３に記憶する。
【００９６】
以上のように、制御部８００は、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとが矢印α４方向（第１方向）に回転して、遮断状態から透過状態に切り替わるときの回転角度を第１角度θ１として記憶する。また、制御部８００は、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとが矢印α４方向（第１方向）とは反対の矢印β４方向（第２方向）に回転して、遮断状態から透過状態に切り替わるときの回転角度を第２角度θ２として記憶する。
【００９７】
そして、制御部８００は、第１角度θ１と第２角度θ２とに基づいて、原点角度（原点）を設定する。すなわち、本実施形態では、制御部８００は、第１角度θ１と第２角度θ２との平均値を原点角度（原点）として設定する。この設定された原点角度は、メモリー８０３に記憶される。これにより、原点角度を一定に維持することができる。
【００９８】
これにより、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとは、原点角度が経時的にズレた場合でも、メモリー８０３に記憶されている原点角度に戻れば、いつでも、前記で一例として挙げた図８に示す状態となる。この状態が得られることにより、例えば第１回転載置部４Ａの回転後、デバイス搬送ヘッド１３は、ＩＣデバイス９０の大きさに関わらず、このＩＣデバイス９０を収納凹部４３に載置することができる（第２回転載置部４Ｂ〜第４回転載置部４Ｄについても同様）。
【００９９】
このように、電子部品検査装置１（電子部品搬送装置１０）は、原点角度を自動的に調整し、設定することができる。これにより、例えば、機械的な治具を用いて、手動（手作業）で、原点角度の調整を行なう場合に比べて、その調整時間を大幅に（例えば１／１０以下に）短縮することができる。
【０１００】
また、原点角度としては、本実施形態では第１角度θ１と第２角度θ２との平均値を用いているが、これに限定されず、例えば、使用環境（明るさ）等の諸条件に応じて、各角度に係数を乗じた値の平均値を用いてもよい。
【０１０１】
また、原点角度として、第１角度θ１と第２角度θ２との平均値を用いることにより、原点角度を迅速に演算することができ、また、原点角度が第１溝４１の幅の大小の影響を受けるのを防止することもできる。
【０１０２】
また、原点角度は、本実施形態では２つの回転角度（第１角度θ１および第２角度θ２）に基づいて算出される値であるが、これに限定されず、１つの回転角度または３つ以上の回転角度に基づいて算出される値であってもよい。
【０１０３】
また、制御部８００は、本実施形態では遮断状態から透過状態に切り替わるときのタイミングに基づいて原点角度を求めているが、これに限定されず、例えば、透過状態から遮断状態に切り替わるときのタイミングに基づいて原点角度を求めてもよいし、遮断状態から透過状態に切り替わるときと、透過状態から遮断状態に切り替わるときとの双方のタイミングに基づいて原点角度を求めてもよい。
【０１０４】
また、前述したように、発光部６１と受光部６２とは、ＩＣデバイス９０の姿勢を検出するのに用いられることの他、原点角度を調整するのにも用いられている。すなわち、発光部６１と受光部６２とは、ＩＣデバイス９０の姿勢検出機能と、原点角度の調整機能とを兼ねている。本実施形態では、これに限定されず、ＩＣデバイス９０の姿勢検出機能を有するものと、原点角度の調整機能を有するものとをそれぞれ個別に設けてもよい。
【０１０５】
次に、原点角度の調整を行なう際の制御プログラムを、図１３〜図１５に示すフローチャートに基づいて説明する。
【０１０６】
まず、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとの回転が停止した状態で、透過状態であるか否かを判断する（ステップＳ１０１）。
【０１０７】
ステップＳ１０１において透過状態ではない、すなわち、図７に示す状態と判断した場合には、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとが透過状態となるまで、これらの回転載置部を矢印α４方向（第１方向）に回転させて（ステップＳ１０２、ステップＳ１０３）、その後回転を停止させる（ステップＳ１０４）。これにより、図８に示す状態となる。
【０１０８】
次いで、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとが遮断状態となるまで、これらの回転載置部を矢印β４方向（第２方向）に回転させて（ステップＳ１０５、ステップＳ１０６）、その後回転を停止させる（ステップＳ１０７）。これにより、図９に示す状態となる。
【０１０９】
また、ステップＳ１０１において透過状態であると判断した場合には、ステップＳ１０５に進み、以後、それより下位のステップを順次実行する。
【０１１０】
そして、ステップＳ１０７の実行後、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとが透過状態となるまで、これらの回転載置部を矢印α４方向（第１方向）に回転させて（ステップＳ１０８、ステップＳ１０９）、その後回転を停止させる（ステップＳ１１０）。これにより、図１０に示す状態となる。
次いで、第１角度θ１をメモリー８０３に記憶する（ステップＳ１１１）。
【０１１１】
次いで、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとが遮断状態となるまで、これらの回転載置部を矢印α４方向（第１方向）に回転させて（ステップＳ１１２、ステップＳ１１３）、その後回転を停止させる（ステップＳ１１４）。これにより、図１１に示す状態となる。
【０１１２】
次いで、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとが透過状態となるまで、これらの回転載置部を矢印β４方向（第２方向）に回転させて（ステップＳ１１５、ステップＳ１１６）、その後回転を停止させる（ステップＳ１１７）。これにより、図１２に示す状態となる。
次いで、第２角度θ２をメモリー８０３に記憶する（ステップＳ１１８）。
【０１１３】
次いで、原点角度（原点）としての、第１角度θ１と第２角度θ２との平均値を演算し（ステップＳ１１９）、その演算された数値を原点角度（原点）として用いることができるのかの旨の報知を行なう（ステップＳ１２０）。なお、ステップＳ１２０の報知方法としては、例えば、モニター３００（表示画面３０１）での画像による報知、シグナルランプ４００での発光色の組み合わせによる報知、スピーカー５００での音声による報知、または、これらの報知態様の組み合わせが挙げられる。
【０１１４】
次いで、ステップＳ１１９で演算された数値を原点角度（原点）として用いることができると判断されたら（ステップＳ１２１）、その数値をメモリー８０３に記憶する（ステップＳ１２２）。
【０１１５】
一方、ステップＳ１２１で、ステップＳ１１９で演算された数値を原点角度として用いることができないと判断された場合には、第１回転載置部４Ａと第２回転載置部４Ｂとを予め設定されている所定の回転角度（例えば９０度）分だけ、矢印β４方向（第２方向）に回転させて（ステップＳ１２３）、その後回転を停止させる（ステップＳ１２４）。ステップＳ１２４の実行後、ステップＳ１０１に戻り、それより下位のステップを順次実行する。
【０１１６】
以上のような制御プログラムを実行することにより、原点角度の調整および設定を迅速に行なうことができる。
【０１１７】
また、電子部品検査装置１では、デバイス供給領域Ａ２側の回転ユニット３Ａと、デバイス回収領域Ａ４側の回転ユニット３Ｂとにおける作動条件を選択する（設定する）ことができる。その選択画像（選択ウィンドウ）７は、図１６に示すように、モニター３００に表示される。選択画像７には、回転ユニット３Ａの作動条件（使用条件）を設定する第１設定部７１Ａと、回転ユニット３Ｂの作動条件（使用条件）を設定する第２設定部７１Ｂとが含まれている。
【０１１８】
第１設定部７１Ａおよび第２設定部７１Ｂの各設定部には、回転ユニット３（回転ユニット３Ａまたは回転ユニット３Ｂ）を作動させる（使用する）か否かを選択する第１設定ボタン７２と、原点角度として既に記憶されている原点角度を使用するか否かを選択する第２設定ボタン７３と、原点角度の調整を実行するか否かを選択する第３設定ボタン７４と、第１設定ボタン７２〜第３設定ボタン７４の選択状態を保存するか否かを選択する第４設定ボタン７５とが含まれている。
【０１１９】
このような選択画像７により、電子部品検査装置１が回転ユニット３Ａおよび回転ユニット３Ｂに関してどのような状態となっているのかを視覚により確認することができる。
【０１２０】
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１２１】
なお、電子部品搬送装置（電子部品検査装置）でのＩＣデバイスの搬送経路は、前記実施形態では回転ユニット３を経由する経路となっているが、これに限定されず、例えば、ＩＣデバイスの種類によっては、回転ユニットの経由を省略する経路となる場合もある。
【符号の説明】
【０１２２】
１…電子部品検査装置、１０…電子部品搬送装置、１１Ａ…トレイ搬送機構、１１Ｂ…トレイ搬送機構、１２…温度調整部、１３…デバイス搬送ヘッド、１４…デバイス供給部、１４Ａ…デバイス供給部、１４Ｂ…デバイス供給部、１５…トレイ搬送機構、１６…検査部、１７…デバイス搬送ヘッド、１７Ａ…デバイス搬送ヘッド、１７Ｂ…デバイス搬送ヘッド、１８…デバイス回収部、１８Ａ…デバイス回収部、１８Ｂ…デバイス回収部、１９…回収用トレイ、２０…デバイス搬送ヘッド、２１…トレイ搬送機構、２２Ａ…トレイ搬送機構、２２Ｂ…トレイ搬送機構、２３１…第１隔壁、２３２…第２隔壁、２３３…第３隔壁、２３４…第４隔壁、２３５…第５隔壁、２４１…フロントカバー、２４２…サイドカバー、２４３…サイドカバー、２４４…リアカバー、２４５…トップカバー、２５…搬送部、３…回転ユニット、３Ａ…回転ユニット（第１回転ユニット）、３Ｂ…回転ユニット（第２回転ユニット）、４Ａ…第１回転載置部（第１回転ステージ）、４Ｂ…第２回転載置部（第２回転ステージ）、４Ｃ…第３回転載置部（第３回転ステージ）、４Ｄ…第４回転載置部（第４回転ステージ）、４１…第１溝、４２…第２溝、４３…収納凹部、４４…外周部、５…駆動部、５１…モーター、５１１…ローター、５２…プーリー、５３…プーリー、５４…タイミングベルト、５５…テンショナー、６…検出部、６１…発光部、６２…受光部、７…選択画像（選択ウィンドウ）、７１Ａ…第１設定部、７１Ｂ…第２設定部、７２…第１設定ボタン、７３…第２設定ボタン、７４…第３設定ボタン、７５…第４設定ボタン、９０…ＩＣデバイス、２００…トレイ、３００…モニター、３０１…表示画面、４００…シグナルランプ、５００…スピーカー、６００…マウス台、７００…操作パネル、８００…制御部、８０２…プロセッサー、８０３…メモリー、Ａ１…トレイ供給領域、Ａ２…デバイス供給領域、Ａ３…検査領域、Ａ４…デバイス回収領域、Ａ５…トレイ除去領域、ＬＴ６…光、Ｏ４Ａ…第１回転軸、Ｏ４Ｂ…第２回転軸、Ｏ４Ｃ…第３回転軸、Ｏ４Ｄ…第４回転軸、Ｓ１０１〜Ｓ１２４…ステップ、α１１Ａ…矢印、α１１Ｂ…矢印、α１３Ｘ…矢印、α１３Ｙ…矢印、α１４…矢印、α１５…矢印、α１７Ｙ…矢印、α１８…矢印、α２０Ｘ…矢印、α２０Ｙ…矢印、α２１…矢印、α２２Ａ…矢印、α２２Ｂ…矢印、α９０…矢印、α４…矢印、β４…矢印、θ１…第１角度、θ２…第２角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2019203802.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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