(57)【要約】【課題】測定結果に重畳するノイズ成分の大きさの相違やリンギングの影響を受けることなく、対象物の良否を正確に判定可能とする。【解決手段】波形データＤ０に基づいてその信号波形に放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理を実行する処理部２３が、判定処理において、各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな各測定値とする値変換処理を複数回実行して処理後の各測定値に基づいて放電波形成分が含まれているか否かを判定すると共に、複数回の値変換処理として、Ｎａ回の第１の変換処理と、Ｎｂ回の第２の変換処理とを予め規定された順序で実行し、Ｎｂ回の第２の変換処理において、測定値の第２の変換処理の前後における変化率が異なるＭ種類のフィルタを使用して処理対象の各測定値を値変換する。【選択図】図１
2019203813.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データを取得して当該波形データの信号波形におけるノイズ成分のなかに放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理を実行する処理部を備えたデータ処理装置であって、
前記処理部は、前記判定処理において、前記各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな当該各測定値とする値変換処理を複数回実行して処理後の当該各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定すると共に、
複数回の前記値変換処理として、
取得した前記波形データの前記信号波形における最大振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第１の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第２の絶対値よりも小さくなるように処理対象の当該各測定値を値変換するＮａ回（Ｎａは、予め規定された自然数）の第１の変換処理と、
前記取得した波形データの前記信号波形における周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第３の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における非周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第４の絶対値よりも小さくなるように処理対象の前記各測定値を値変換するＮｂ回（Ｎｂは、予め規定された２以上の自然数）の第２の変換処理とを予め規定された順序で実行し、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において、前記第３の絶対値の当該第２の変換処理の前後における変化率が異なるＭ種類（Ｍは、２以上Ｎｂ以下の予め規定された自然数）のフィルタを使用して前記処理対象の各測定値を値変換するデータ処理装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記判定処理において、
前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する前記各測定値を絶対値化して判定用データを生成し、当該判定用データの前記各測定値における最大値の１／Ｌａの値（Ｌａは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を第１の暫定閾値とする第１の処理と、
前記判定用データの前記各測定値のうちの前記第１の暫定閾値を下回る当該測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する第２の処理とを実行し、
前記第２の処理において、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて少ないと判別したきに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｂの値（Ｌｂは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値に加算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて多いと判別したときに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｃの値（Ｌｃは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値から減算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、かつ前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲内であると判別したときに前記第１の暫定閾値を第２の暫定閾値とすると共に、
標準偏差ｎσ（ｎは、予め規定された正の実数）に対応する判定用閾値を前記第２の暫定閾値に基づいて特定する第３の処理を実行し、
前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれているときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていると判定し、前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれていないときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていないと判定する請求項１記載のデータ処理装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記判定処理において、
前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、
前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が予め規定された量を下回る前記測定値を前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換えると共に、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が前記予め規定された量以上の前記測定値を前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換える第１の置換処理とを実行し、
前記第１の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する請求項１または２記載のデータ処理装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記判定処理において、
前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、
前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が最も小さい前記測定値が前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換わり、かつ当該変化量が最も大きい前記測定値が前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換わるように、前記各測定値を当該変化量の大きさに応じて当該処理Ａによって変換された当該測定値から当該処理Ｂによって変換された当該測定値までの範囲内の値に置き換える第２の置換処理とを実行し、
前記第２の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する請求項１または２記載のデータ処理装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のデータ処理装置と、
測定対象についての前記予め規定されたサンプリング周期での測定を実行して前記波形データを出力する測定装置とを備えて構成されている測定システム。
【請求項６】
予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データを取得して当該波形データの信号波形におけるノイズ成分のなかに放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理をデータ処理装置の処理部に実行させるデータ処理用プログラムであって、
前記判定処理において、前記各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな当該各測定値とする値変換処理を複数回実行して処理後の当該各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定すると共に、
複数回の前記値変換処理として、
取得した前記波形データの前記信号波形における最大振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第１の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第２の絶対値よりも小さくなるように処理対象の当該各測定値を値変換するＮａ回（Ｎａは、予め規定された自然数）の第１の変換処理と、
前記取得した波形データの前記信号波形における周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第３の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における非周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第４の絶対値よりも小さくなるように処理対象の前記各測定値を値変換するＮｂ回（Ｎｂは、予め規定された２以上の自然数）の第２の変換処理とを予め規定された順序で実行し、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において、前記第３の絶対値の当該第２の変換処理の前後における変化率が異なるＭ種類（Ｍは、２以上Ｎｂ以下の予め規定された自然数）のフィルタを使用して前記処理対象の各測定値を値変換する処理を前記処理部に実行させるデータ処理用プログラム。
【請求項７】
前記判定処理において、
前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する前記各測定値を絶対値化して判定用データを生成し、当該判定用データの前記各測定値における最大値の１／Ｌａの値（Ｌａは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を第１の暫定閾値とする第１の処理と、
前記判定用データの前記各測定値のうちの前記第１の暫定閾値を下回る当該測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する第２の処理とを実行し、
前記第２の処理において、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて少ないと判別したきに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｂの値（Ｌｂは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値に加算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて多いと判別したときに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｃの値（Ｌｃは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値から減算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、かつ前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲内であると判別したときに前記第１の暫定閾値を第２の暫定閾値とすると共に、
標準偏差ｎσ（ｎは、予め規定された正の実数）に対応する判定用閾値を前記第２の暫定閾値に基づいて特定する第３の処理を実行し、
前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれているときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていると判定し、前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれていないときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていないと判定する処理を前記処理部に実行させる請求項６記載のデータ処理用プログラム。
【請求項８】
前記判定処理において、
前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、
前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が予め規定された量を下回る前記測定値を前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換えると共に、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が前記予め規定された量以上の前記測定値を前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換える第１の置換処理とを実行し、
前記第１の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する処理を前記処理部に実行させる請求項６または７記載のデータ処理用プログラム。
【請求項９】
前記判定処理において、
前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、
前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が最も小さい前記測定値が前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換わり、かつ当該変化量が最も大きい前記測定値が前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換わるように、前記各測定値を当該変化量の大きさに応じて当該処理Ａによって変換された当該測定値から当該処理Ｂによって変換された当該測定値までの範囲内の値に置き換える第２の置換処理とを実行し、
前記第２の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する処理を前記処理部に実行させる請求項６または７記載のデータ処理用プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波形データの信号波形におけるノイズ成分のなかに放電波形成分が含まれているか否かの判定処理を実行するデータ処理装置およびデータ処理用プログラム、並びにそのようなデータ処理装置と波形データを生成する測定装置とを備えて構成された測定システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、下記の特許文献には、被測定コイルの良否を検査するコイル試験装置およびコイル試験方法（以下、単に「試験装置」および「試験方法」ともいう）が開示されている。この試験装置および試験方法では、被測定コイルに高圧インパルス電圧を印加して減衰振動電圧波形を発生させて諸特性（減衰振動時間、実効値、および測定値の絶対値の積分値等）を測定し、測定結果に基づいて被測定コイルの良否を判定する構成・方法が採用されている。具体的には、この試験装置および試験方法では、複数回の測定において測定結果がどの程度変動するかに基づいて「レアーショート」が生じているか否かを判定したり、測定結果と判定用閾値（基準値）とを比較して「コロナ放電」が生じているか否かを判定したりする構成・方法が採用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−８８８４９号公報（第５−８頁、第１−５図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の特許文献に開示の試験装置および試験方法には、以下のような問題点が存在する。具体的には、上記したように、上記特許文献に開示の試験装置および試験方法では、測定結果と判定用閾値とを比較して被測定コイルに「コロナ放電」が生じているか否かを判定する構成・方法が採用されている。
【０００５】
この場合、この種の装置および方法によって各種の試験対象についての試験を実施する際に取得される測定結果は、「コロナ放電」の発生に起因する「ノイズ成分」（以下、「放電波形成分」ともいう）だけでなく、「放電波形成分」以外の各種の「ノイズ成分」（以下、「非放電波形成分」ともいう）が重畳した状態となる。この「非放電波形成分」のなかには、周波数が「放電波形成分」と同様の「ノイズ成分」も存在する。また、「非放電波形成分」は、試験対象や使用する測定装置によって大きさ（測定値の振幅量）が相違する。
【０００６】
したがって、測定結果に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定するための判定用閾値については、大きさが異なる各種の「非放電波形成分」を誤って「放電波形成分」であると判定することのないように十分に大きな値に規定する必要がある。このため、発生した「コロナ放電」の放電量が少ないとき（測定結果に重畳する「放電波形成分」の大きさが小さいとき）には、判定用閾値を大きな値に規定していることで、測定結果に「放電波形成分」が含まれているか否か（「コロナ放電」が発生したか否か）を正確に判定するのが困難となっている現状がある。
【０００７】
また、この種の装置および方法によって各種の試験対象についての試験を実施するときに、試験対象の電気的特性や、試験装置における測定回路の回路特性によっては、高圧インパルス電圧の印加時にリンギングが発生し、リンギングの発生時に測定される測定値が大きな値となることがある。また、測定結果を取得する際に使用するデジタルフィルタの特性（測定値をＡ／Ｄ変換する際に使用するフィルタの特性）によっても、高圧インパルス電圧の印加時の測定値が、リンギングの発生時と同様に値が周期的に増減した状態（以下、このような状態についても「リンギングが発生した状態」という）で出力されることがある。しかしながら、高圧インパルス電圧の印加時における信号波形の局所的な値の変動が、リンギングの発生によるものか、「放電波形成分」であるか（「コロナ放電」の発生によるものか）、或いは、その両方によるものかを判別するのが困難となっている。
【０００８】
このため、実際には「コロナ放電」が生じていないにもかかわらず、リンギングの発生に起因して大きな値となった測定値の存在に基づいて「コロナ放電」が生じていると誤判定されるおそれがある。また、「コロナ放電」が生じていた場合にも、「コロナ放電」の発生に起因して大きな値となった「放電波形成分」だけでなく、リンギングの発生に起因して大きな値となった「非放電波形成分」が「コロナ放電」の発生に起因するものとしてカウントされ、結果として、実際に発生した「コロナ放電」の発生数よりも多くの「コロナ放電」が発生したと誤判定されるおそれがある。
【０００９】
この場合、「周期的なノイズ成分」である「リンギング」については、測定結果に対する的確なフィルタリング処理によってその影響を低減できる可能性がある。しかしながら、測定結果に含まれている「リンギング」の影響を除去するには、測定処理に際して「リンギング」が発生したか否か（「周期的なノイズ成分」が測定結果に含まれているか否か）や、どのような周期でどのようなレベルの「リンギング」が発生したか（どのような周期のどのようなレベルの「周期的なノイズ成分」が測定結果に含まれているか）を正しく分析する必要があり、この分析処理は決して容易ではない。また、上記のように「リンギング」の発生要因が複数存在することから、測定処理に際して複数種類の「リンギング」が発生する（周期やレベルが異なる複数種類の「周期的なノイズ成分」が測定結果に含まれた状態となる）こともあり、単純なフィルタリング処理ではそれらの「リンギング」の影響を十分に低減するのは困難となっている。
【００１０】
一方、この種の装置・方法による前述のような試験（測定）においては、たとえ同種の試験対象（同一型式の電子機器等）であっても、各個体毎に測定結果が僅かに相違することがある。このため、これらのばらつきを考慮した判定用閾値を規定するには、試験対象と同種の複数個の良品の個体について複数回の測定処理を実行して最適値を特定する必要がある。しかしながら、複数個の良品の個体の個体差に起因する測定結果のばらつきの大きさが、試験対象の個体に不良が生じているか否かによって生じる測定結果の相違量と同程度、或いはそれ以上となることがある。このため、正確な良否判定が可能な判定用閾値の規定自体が困難となっている。
【００１１】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、測定結果に重畳するノイズ成分の大きさの相違やリンギングの影響を受けることなく、対象物の良否を正確に判定し得るデータ処理装置およびデータ処理用プログラム、並びにそのようなデータ処理装置を備えて構成された測定システムを提供することを主目的とする。また、判定用閾値の取得を目的とする複数回の測定処理を行うことなく対象物の良否を正確に判定し得るデータ処理装置およびデータ処理用プログラム、並びにそのようなデータ処理装置を備えて構成された測定システムを提供することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成すべく、請求項１記載のデータ処理装置は、予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データを取得して当該波形データの信号波形におけるノイズ成分のなかに放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理を実行する処理部を備えたデータ処理装置であって、前記処理部は、前記判定処理において、前記各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな当該各測定値とする値変換処理を複数回実行して処理後の当該各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定すると共に、複数回の前記値変換処理として、取得した前記波形データの前記信号波形における最大振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第１の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第２の絶対値よりも小さくなるように処理対象の当該各測定値を値変換するＮａ回（Ｎａは、予め規定された自然数）の第１の変換処理と、前記取得した波形データの前記信号波形における周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第３の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における非周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第４の絶対値よりも小さくなるように処理対象の前記各測定値を値変換するＮｂ回（Ｎｂは、予め規定された２以上の自然数）の第２の変換処理とを予め規定された順序で実行し、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において、前記第３の絶対値の当該第２の変換処理の前後における変化率が異なるＭ種類（Ｍは、２以上Ｎｂ以下の予め規定された自然数）のフィルタを使用して前記処理対象の各測定値を値変換する。
【００１３】
請求項２記載のデータ処理装置は、請求項１記載のデータ処理装置において、前記処理部は、前記判定処理において、前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する前記各測定値を絶対値化して判定用データを生成し、当該判定用データの前記各測定値における最大値の１／Ｌａの値（Ｌａは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を第１の暫定閾値とする第１の処理と、前記判定用データの前記各測定値のうちの前記第１の暫定閾値を下回る当該測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する第２の処理とを実行し、前記第２の処理において、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて少ないと判別したきに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｂの値（Ｌｂは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値に加算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて多いと判別したときに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｃの値（Ｌｃは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値から減算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、かつ前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲内であると判別したときに前記第１の暫定閾値を第２の暫定閾値とすると共に、標準偏差ｎσ（ｎは、予め規定された正の実数）に対応する判定用閾値を前記第２の暫定閾値に基づいて特定する第３の処理を実行し、前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれているときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていると判定し、前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれていないときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていないと判定する。
【００１４】
請求項３記載のデータ処理装置は、請求項１または２記載のデータ処理装置において、前記処理部は、前記判定処理において、前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が予め規定された量を下回る前記測定値を前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換えると共に、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が前記予め規定された量以上の前記測定値を前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換える第１の置換処理とを実行し、前記第１の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する。
【００１５】
請求項４記載のデータ処理装置は、請求項１または２記載のデータ処理装置において、前記処理部は、前記判定処理において、前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が最も小さい前記測定値が前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換わり、かつ当該変化量が最も大きい前記測定値が前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換わるように、前記各測定値を当該変化量の大きさに応じて当該処理Ａによって変換された当該測定値から当該処理Ｂによって変換された当該測定値までの範囲内の値に置き換える第２の置換処理とを実行し、前記第２の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する。
【００１６】
請求項５記載の測定システムは、請求項１から４のいずれかに記載のデータ処理装置と、測定対象についての前記予め規定されたサンプリング周期での測定を実行して前記波形データを出力する測定装置とを備えて構成されている。
【００１７】
請求項６記載のデータ処理用プログラムは、予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データを取得して当該波形データの信号波形におけるノイズ成分のなかに放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理をデータ処理装置の処理部に実行させるデータ処理用プログラムであって、前記判定処理において、前記各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな当該各測定値とする値変換処理を複数回実行して処理後の当該各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定すると共に、複数回の前記値変換処理として、取得した前記波形データの前記信号波形における最大振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第１の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第２の絶対値よりも小さくなるように処理対象の当該各測定値を値変換するＮａ回（Ｎａは、予め規定された自然数）の第１の変換処理と、前記取得した波形データの前記信号波形における周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第３の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における非周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第４の絶対値よりも小さくなるように処理対象の前記各測定値を値変換するＮｂ回（Ｎｂは、予め規定された２以上の自然数）の第２の変換処理とを予め規定された順序で実行し、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において、前記第３の絶対値の当該第２の変換処理の前後における変化率が異なるＭ種類（Ｍは、２以上Ｎｂ以下の予め規定された自然数）のフィルタを使用して前記処理対象の各測定値を値変換する処理を前記処理部に実行させる。
【００１８】
請求項７記載のデータ処理用プログラムは、請求項６記載のデータ処理用プログラムにおいて、前記判定処理において、前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する前記各測定値を絶対値化して判定用データを生成し、当該判定用データの前記各測定値における最大値の１／Ｌａの値（Ｌａは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を第１の暫定閾値とする第１の処理と、前記判定用データの前記各測定値のうちの前記第１の暫定閾値を下回る当該測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する第２の処理とを実行し、前記第２の処理において、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて少ないと判別したきに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｂの値（Ｌｂは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値に加算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて多いと判別したときに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｃの値（Ｌｃは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値から減算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、かつ前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲内であると判別したときに前記第１の暫定閾値を第２の暫定閾値とすると共に、標準偏差ｎσ（ｎは、予め規定された正の実数）に対応する判定用閾値を前記第２の暫定閾値に基づいて特定する第３の処理を実行し、前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれているときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていると判定し、前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれていないときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていないと判定する処理を前記処理部に実行させる。
【００１９】
請求項８記載のデータ処理用プログラムは、請求項６または７記載のデータ処理用プログラムにおいて、前記判定処理において、前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が予め規定された量を下回る前記測定値を前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換えると共に、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が前記予め規定された量以上の前記測定値を前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換える第１の置換処理とを実行し、前記第１の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する処理を前記処理部に実行させる。
【００２０】
請求項９記載のデータ処理用プログラムは、請求項６または７記載のデータ処理用プログラムにおいて、前記判定処理において、前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が最も小さい前記測定値が前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換わり、かつ当該変化量が最も大きい前記測定値が前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換わるように、前記各測定値を当該変化量の大きさに応じて当該処理Ａによって変換された当該測定値から当該処理Ｂによって変換された当該測定値までの範囲内の値に置き換える第２の置換処理とを実行し、前記第２の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する処理を前記処理部に実行させる。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１記載のデータ処理装置では、予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データに基づいて波形データの信号波形におけるノイズ成分のなかに放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理において、処理部が、各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな各測定値とする値変換処理を複数回実行して処理後の各測定値に基づいて放電波形成分が含まれているか否かを判定すると共に、複数回の値変換処理として、取得した波形データの信号波形における最大振幅部の各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である第１の絶対値が、取得した波形データの信号波形におけるノイズ成分の振幅部の各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である第２の絶対値よりも小さくなるように処理対象の各測定値を値変換するＮａ回の第１の変換処理と、取得した波形データの信号波形における周期的なノイズ成分の振幅部の各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である第３の絶対値が、取得した波形データの信号波形における非周期的なノイズ成分の振幅部の各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である第４の絶対値よりも小さくなるように処理対象の各測定値を値変換するＮｂ回の第２の変換処理とを予め規定された順序で実行し、Ｎｂ回の第２の変換処理において、第３の絶対値の第２の変換処理の前後における変化率が異なるＭ種類のフィルタを使用して処理対象の各測定値を値変換する。また、請求項６記載のデータ処理用プログラムでは、上記の各処理をデータ処理装置の処理部に実行させる。
【００２２】
したがって、請求項１記載のデータ処理装置、および請求項６記載のデータ処理用プログラムによれば、Ｎａ回の第１の変換処理によって、測定結果に重畳するノイズ成分の大きさの相違や、測定値の本来的な変化（取得した波形データの信号波形における大まかな変化）の影響を受けることなくノイズ成分が抽出されるため、不定期に発生する放電に対応する測定値を選択的に大きな値とすることができ、周期やレベルが異なる複数種類のリンギングが発生したとしても、Ｍ種類のフィルタを使用したＮｂ回の第２の変換処理によって、その影響を十分に軽減することができるため、波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かを正確に判定することができる。
【００２３】
請求項２記載のデータ処理装置では、処理部が、判定処理において、放電波形成分が含まれているか否かを判定する各測定値を絶対値化した判定用データの各測定値における最大値の１／Ｌａの値を第１の暫定閾値とする第１の処理と、判定用データの各測定値のうちの第１の暫定閾値を下回る測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する第２の処理とを実行し、第２の処理において、第１の暫定閾値を下回る測定値の数が予め規定された範囲を外れて少ないと判別したきに第１の暫定閾値の１／Ｌｂの値を第１の暫定閾値に加算した値を新たな第１の暫定閾値として第２の処理を再び実行し、第２の処理において第１の暫定閾値を下回る測定値の数が予め規定された範囲を外れて多いと判別したときに第１の暫定閾値の１／Ｌｃの値を第１の暫定閾値から減算した値を新たな第１の暫定閾値として第２の処理を再び実行し、かつ第２の処理において第１の暫定閾値を下回る測定値の数が予め規定された範囲内であると判別したときに第１の暫定閾値を第２の暫定閾値とすると共に、標準偏差ｎσに対応する判定用閾値を第２の暫定閾値に基づいて特定する第３の処理を実行し、判定用閾値を超える測定値が判定用データに含まれているときに波形データの信号波形に放電波形成分が含まれていると判定し、判定用閾値を超える測定値が判定用データに含まれていないときに波形データの信号波形に放電波形成分が含まれていないと判定する。また、請求項７記載のデータ処理用プログラムでは、上記の各処理をデータ処理装置の処理部に実行させる。
【００２４】
したがって、請求項２記載のデータ処理装置、および請求項７記載のデータ処理用プログラムによれば、判定用閾値の規定に際して、複数個の良品の測定対象についての測定処理を実行する必要がないだけでなく、各測定対象の個体差が大きい場合であっても、測定対象についての測定処理を１回実行して波形データ生成することで、その測定対象の状態に即し、かつ測定装置の回路特性や測定環境の影響を受けることがない測定対象用の判定用閾値を規定することができる。
【００２５】
請求項３記載のデータ処理装置では、処理部が、判定処理において、取得した波形データの各測定値における連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、Ｎｂ回の第２の変換処理において第３の絶対値の低下量が少量のＭ種類のフィルタを使用して各値変換処理を実行する処理Ａと、Ｎｂ回の第２の変換処理において第３の絶対値の低下量が処理Ａ時に使用する各フィルタよりも多いＭ種類のフィルタを使用して各値変換処理を実行する処理Ｂと、変化量特定処理によって特定した変化量が予め規定された量を下回る測定値を処理Ａによって変換された測定値に置き換えると共に、変化量特定処理によって特定した変化量が予め規定された量以上の測定値を処理Ｂによって変換された測定値に置き換える第１の置換処理とを実行し、第１の置換処理によって置き換えた各測定値に基づいて放電波形成分が含まれているか否かを判定する。また、請求項８記載のデータ処理用プログラムでは、上記の各処理をデータ処理装置の処理部に実行させる。
【００２６】
さらに、請求項４記載のデータ処理装置では、処理部が、判定処理において、取得した波形データの各測定値における連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、Ｎｂ回の第２の変換処理において第３の絶対値の低下量が少量のＭ種類のフィルタを使用して各値変換処理を実行する処理Ａと、Ｎｂ回の第２の変換処理において第３の絶対値の低下量が処理Ａ時に使用する各フィルタよりも多いＭ種類のフィルタを使用して各値変換処理を実行する処理Ｂと、変化量特定処理によって特定した変化量が最も小さい測定値が処理Ａによって変換された測定値に置き換わり、かつ変化量が最も大きい測定値が処理Ｂによって変換された測定値に置き換わるように、各測定値を変化量の大きさに応じて処理Ａによって変換された測定値から処理Ｂによって変換された測定値までの範囲内の値に置き換える第２の置換処理とを実行し、第２の置換処理によって置き換えた各測定値に基づいて放電波形成分が含まれているか否かを判定する。また、請求項９記載のデータ処理用プログラムでは、上記の各処理をデータ処理装置の処理部に実行させる。
【００２７】
したがって、請求項３，４記載のデータ処理装置、および請求項８，９記載のデータ処理用プログラムによれば、波形データの各測定値の変化量が小さい部位については、過剰に小さな値に値変換されないため、放電に対応する測定値が過剰に小さな値となる事態が好適に回避され、波形データの各測定値の変化量が大きい部位については、十分に値変換された測定値に置換されて各測定値の変化の影響が十分に軽減されるため、置換処理後の測定値に基づく判定を行うことで、波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かを一層正確に判定することができる。
【００２８】
請求項５記載の測定システムによれば、上記のデータ処理装置と、測定対象についての予め規定されたサンプリング周期での測定を実行して波形データを出力する測定装置とを備えたことにより、波形データの取得（生成）から放電波形成分が含まれているか否かの判定までの一連の処理を１つのシステムで実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】測定システム１（測定装置２およびデータ処理装置３）の構成を示す構成図である。
【図２】（ａ）は、放電波形成分が含まれていない波形データＤ０ａの波形Ｗ０ａの波形図であり、（ｂ）は、放電波形成分が含まれている波形データＤ０ｂの波形Ｗ０ｂの波形図である。
【図３】（ａ）は、波形データＤ０ａの各測定値を微分した波形データＤ１ａの波形Ｗ１ａの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ０ｂの各測定値を微分した波形データＤ１ｂの波形Ｗ１ｂの波形図である。
【図４】（ａ）は、波形データＤ１ａの各測定値を微分した波形データＤ２ａの波形Ｗ２ａの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ１ｂの各測定値を微分した波形データＤ２ｂの波形Ｗ２ｂの波形図である。
【図５】（ａ）は、波形データＤ２ａの各測定値を微分した波形データＤ３ａの波形Ｗ３ａの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ２ｂの各測定値を微分した波形データＤ３ｂの波形Ｗ３ｂの波形図である。
【図６】（ａ）は、波形データＤ３ａの各測定値を微分した波形データＤ４ａの波形Ｗ４ａの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ３ｂの各測定値を微分した波形データＤ４ｂの波形Ｗ４ｂの波形図である。
【図７】（ａ）は、波形データＤ４ａの各測定値を微分した波形データＤ５ａの波形Ｗ５ａの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ４ｂの各測定値を微分した波形データＤ５ｂの波形Ｗ５ｂの波形図である。
【図８】放電波形成分が含まれていないものの、リンギングによる変動成分が含まれている波形データＤ０ｃの波形Ｗ０ｃの波形図である。
【図９】（ａ）は、波形データＤ０ｃの各測定値を微分した波形データＤ１ｃの波形Ｗ１ｃの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ０ｃの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ１ｄの波形Ｗ１ｄの波形図である。
【図１０】（ａ）は、波形データＤ１ｃの各測定値を微分した波形データＤ２ｃの波形Ｗ２ｃの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ１ｄの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ２ｄの波形Ｗ２ｄの波形図である。
【図１１】（ａ）は、波形データＤ２ｃの各測定値を微分した波形データＤ３ｃの波形Ｗ３ｃの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ２ｄの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ３ｄの波形Ｗ３ｄの波形図である。
【図１２】（ａ）は、波形データＤ３ｃの各測定値を微分した波形データＤ４ｃの波形Ｗ４ｃの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ３ｄの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ４ｄの波形Ｗ４ｄの波形図である。
【図１３】（ａ）は、波形データＤ４ｃの各測定値を微分した波形データＤ５ｃの波形Ｗ５ｃの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ４ｄの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ５ｄの波形Ｗ５ｄの波形図である。
【図１４】放電波形成分が含まれている波形データＤ０ｅの波形Ｗ０ｅの波形図である。
【図１５】（ａ）は、波形データＤ０ｅの各測定値を微分した波形データＤ１ｅの波形Ｗ１ｅの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ０ｅの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ１ｆの波形Ｗ１ｆの波形図である。
【図１６】（ａ）は、波形データＤ１ｅの各測定値を微分した波形データＤ２ｅの波形Ｗ２ｅの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ１ｆの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ２ｆの波形Ｗ２ｆの波形図である。
【図１７】（ａ）は、波形データＤ２ｅの各測定値を微分した波形データＤ３ｅの波形Ｗ３ｅの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ２ｆの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ３ｆの波形Ｗ３ｆの波形図である。
【図１８】（ａ）は、波形データＤ３ｅの各測定値を微分した波形データＤ４ｅの波形Ｗ４ｅの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ３ｆの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ４ｆの波形Ｗ４ｆの波形図である。
【図１９】（ａ）は、波形データＤ４ｅの各測定値を微分した波形データＤ５ｅの波形Ｗ５ｅの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ４ｆの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ５ｆの波形Ｗ５ｆの波形図である。
【図２０】放電波形成分が含まれていない波形データＤ０ｇを対象とする「値変換処理」によって生成した波形データＤ６ｇの波形Ｗ６ｇと標準偏差ｎσとの関係について説明するための説明図である。
【図２１】放電波形成分が含まれている波形データＤ０ｈを対象とする「値変換処理」によって生成した波形データＤ６ｈの波形Ｗ６ｈと標準偏差ｎσとの関係について説明するための説明図である。
【図２２】放電波形成分が含まれず、かつ対応する波形の歪みが小さい波形データＤ０ｉの波形Ｗ０ｉの波形図である。
【図２３】波形データＤ０ｉの各測定値を２階微分し、かつ絶対値化した波形データＤ１０ｉの波形Ｗ１０ｉの波形図である。
【図２４】波形データＤ１０ｉの各測定値を対象とする重み付け移動平均による値変換をした波形データＤ１１ｉの波形Ｗ１１ｉの波形図である。
【図２５】波形データＤ１１ｉの各測定値を正規化した波形データＤ１２ｉの波形Ｗ１２ｉの波形図である。
【図２６】波形データＤ０ｉの各測定値を、値の変化量が小さいフィルタリング処理の後に４階微分した波形データＤ２１ｉの波形Ｗ２１ｉの波形図である。
【図２７】波形データＤ２１ｉの各測定値を絶対値化した波形データＤ２２ｉの波形Ｗ２２ｉの波形図である。
【図２８】波形データＤ２２ｉの各測定値を標準偏差σに対応する値で除した波形データＤ２３ｉの波形Ｗ２３ｉの波形図である。
【図２９】波形データＤ０ｉの各測定値を、値の変化量が大きいフィルタリング処理の後に４階微分した波形データＤ３１ｉの波形Ｗ３１ｉの波形図である。
【図３０】波形データＤ３１ｉの各測定値を絶対値化した波形データＤ３２ｉの波形Ｗ３２ｉの波形図である。
【図３１】波形データＤ３２ｉの各測定値を標準偏差σに対応する値で除した波形データＤ３３ｉの波形Ｗ３３ｉの波形図である。
【図３２】波形データＤ１２ｉに基づいて特定される各測定値の「変化量」に基づいて波形データＤ２３ｉの各測定値と波形データＤ３３ｉの測定値とを合成した波形データＤ４１ｉの波形Ｗ４１ｉの波形図である。
【図３３】放電波形成分が含まれ、かつ対応する波形の歪みが小さい波形データＤ０ｊの波形Ｗ０ｊの波形図である。
【図３４】波形Ｗ０ｊにおける放電発生部位を拡大した波形図である。
【図３５】波形データＤ０ｊの各測定値を２階微分し、かつ絶対値化した波形データＤ１０ｊの波形Ｗ１０ｊの波形図である。
【図３６】波形データＤ１０ｊの各測定値を対象とする重み付け移動平均による値変換をした波形データＤ１１ｊの波形Ｗ１１ｊの波形図である。
【図３７】波形データＤ１１ｊの各測定値を正規化した波形データＤ１２ｊの波形Ｗ１２ｊの波形図である。
【図３８】波形データＤ０ｊの各測定値を、値の変化量が小さいフィルタリング処理の後に４階微分した波形データＤ２１ｊの波形Ｗ２１ｊの波形図である。
【図３９】波形データＤ２１ｊの各測定値を絶対値化した波形データＤ２２ｊの波形Ｗ２２ｊの波形図である。
【図４０】波形データＤ２２ｊの各測定値を標準偏差σに対応する値で除した波形データＤ２３ｊの波形Ｗ２３ｊの波形図である。
【図４１】波形データＤ０ｊの各測定値を、値の変化量が大きいフィルタリング処理の後に４階微分した波形データＤ３１ｊの波形Ｗ３１ｊの波形図である。
【図４２】波形データＤ３１ｊの各測定値を絶対値化した波形データＤ３２ｊの波形Ｗ３２ｊの波形図である。
【図４３】波形データＤ３２ｊの各測定値を標準偏差σに対応する値で除した波形データＤ３３ｊの波形Ｗ３３ｊの波形図である。
【図４４】波形データＤ１２ｊに基づいて特定される各測定値の「変化量」に基づいて波形データＤ２３ｊの各測定値と波形データＤ３３ｊの測定値とを合成した波形データＤ４１ｊの波形Ｗ４１ｊの波形図である。
【図４５】放電波形成分が含まれず、かつ対応する波形の歪みが大きい部位が存在する波形データＤ０ｋの波形Ｗ０ｋの波形図である。
【図４６】波形Ｗ０ｋにおいて歪みが大きくなっている部位を拡大した波形図である。
【図４７】波形データＤ０ｋの各測定値を２階微分し、かつ絶対値化した波形データＤ１０ｋの波形Ｗ１０ｋの波形図である。
【図４８】波形データＤ１０ｋの各測定値を対象とする重み付け移動平均による値変換をした波形データＤ１１ｋの波形Ｗ１１ｋの波形図である。
【図４９】波形データＤ１１ｋの各測定値を正規化した波形データＤ１２ｋの波形Ｗ１２ｋの波形図である。
【図５０】波形データＤ０ｋの各測定値を、値の変化量が小さいフィルタリング処理の後に４階微分した波形データＤ２１ｋの波形Ｗ２１ｋの波形図である。
【図５１】波形データＤ２１ｋの各測定値を絶対値化した波形データＤ２２ｋの波形Ｗ２２ｋの波形図である。
【図５２】波形データＤ２２ｋの各測定値を標準偏差σに対応する値で除した波形データＤ２３ｋの波形Ｗ２３ｋの波形図である。
【図５３】波形データＤ０ｋの各測定値を、値の変化量が大きいフィルタリング処理の後に４階微分した波形データＤ３１ｋの波形Ｗ３１ｋの波形図である。
【図５４】波形データＤ３１ｋの各測定値を絶対値化した波形データＤ３２ｋの波形Ｗ３２ｋの波形図である。
【図５５】波形データＤ３２ｋの各測定値を標準偏差σに対応する値で除した波形データＤ３３ｋの波形Ｗ３３ｋの波形図である。
【図５６】波形データＤ１２ｋに基づいて特定される各測定値の「変化量」に基づいて波形データＤ２３ｋの各測定値と波形データＤ３３ｋの測定値とを合成した波形データＤ４１ｋの波形Ｗ４１ｋの波形図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、データ処理装置、測定システムおよびデータ処理用プログラムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００３１】
最初に、測定システム１の構成について説明する。図１に示す測定システム１は、「測定システム（検査システム）」の一例である「インパルス試験システム」であって、検査対象Ｘの良否を検査可能に構成されている。この測定システム１は、「測定装置」の一例である測定装置２と、「データ処理装置」の一例であるデータ処理装置３とを備えて構成されている。なお、検査対象Ｘは、「測定対象」の一例であって、本例では、一例として巻線部品（コイル）を検査対象Ｘとして各種の処理を実行する例について説明する。
【００３２】
測定装置２は、一例として、データ処理装置３の制御に従い、検査対象Ｘを対象とする各種の測定処理を実行可能に構成されている。この測定装置２は、測定信号発生部１１、Ａ／Ｄ変換部１２、処理部１３および記憶部１４などを備えている。測定信号発生部１１は、処理部１３の制御に従って検査対象Ｘの両端間に測定信号としてのインパルス電圧を印加する。Ａ／Ｄ変換部１２は、一例として、処理部１３の制御に従い、指定された周期（「予め規定されたサンプリング周期：測定周期）で測定対象の両端間の電圧の電圧値をＡ／Ｄ変換（サンプリング：測定）して測定値Ｄｓ（サンプリング値：「測定値」の一例）を処理部１３に順次出力する。なお、電圧値のサンプリングに代えて、測定対象を流れる電流の電流値を指定された周期でＡ／Ｄ変換（サンプリング：測定）して測定値Ｄｓを出力する構成を採用することもできる。
【００３３】
処理部１３は、測定装置２を総括的に制御する。具体的には、処理部１３は、測定信号発生部１１を制御して測定対象にインパルス電圧を印加させると共に、Ａ／Ｄ変換部１２を制御して任意の周期で電圧値のＡ／Ｄ変換処理（サンプリング処理）を実行させる。また、処理部１３は、Ａ／Ｄ変換部１２から出力される測定値Ｄｓを記憶部１４に記憶させ、かつ測定値Ｄｓに基づいて波形データＤ０（「波形データ」の一例）を生成して記憶部１４に記憶させると共に、生成した波形データＤ０をデータ処理装置３に出力する。記憶部１４は、処理部１３の動作プログラムや、上記の測定値Ｄｓ（波形データＤ０）などを記憶する。なお、実際の測定装置２には、測定装置２の動作条件を指示するための各種の操作スイッチや、測定条件の設定画面および測定値の表示画面などを表示する表示部を備えて構成されているが、これらについての図示および説明を省略する。
【００３４】
一方、データ処理装置３は、後述するように測定装置２から取得した波形データＤ０（「取得した波形データ」の一例）に基づいて検査対象Ｘの良否を検査する。この場合、本例の測定システム１では、一例として、「データ処理用プログラム」に相当するデータ処理用プログラムＤｐが既存のパーソナルコンピュータにインストールされてデータ処理装置３が構成されている。具体的には、このデータ処理装置３は、操作部２１、表示部２２、処理部２３および記憶部２４を備えている。操作部２１は、キーボード、およびマウスやタッチパネルなどのポインティングデバイスを備え（図示せず）、これらに対する操作に応じた操作信号を処理部２３に出力する。表示部２２は、処理部２３の制御に従い、測定結果や検査結果（良否判定の結果）などを示す各種の表示画面を表示する。
【００３５】
処理部２３は、「処理部」の一例であって、データ処理装置３を総括的に制御する。具体的には、処理部２３は、後述するようにデータ処理用プログラムＤｐに従い、測定装置２を制御して検査対象Ｘを対象とする測定処理を実行させる。また、処理部２３は、測定装置２から出力される波形データＤ０に基づき、その「信号波形」における各種の「ノイズ成分」のなかに「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する判定処理を実行する。また、処理部２３は、判定結果に基づいて検査対象Ｘの良否を検査する検査処理を実行して検査結果データＤｒを生成する。なお、処理部２３による「検査処理（判定処理）」については、後に詳細に説明する。記憶部２４は、データ処理用プログラムＤｐ、測定システム１から出力される波形データＤ０、および処理部２３によって生成される上記の検査結果データＤｒを含む各種のデータを記憶する。
【００３６】
次に、測定システム１による検査対象Ｘの検査方法について、添付図面を参照して説明する。なお、データ処理装置３にデータ処理用プログラムＤｐをインストールする作業や、測定装置２とデータ処理装置３とを接続する作業については既に完了しているものとする。
【００３７】
検査対象Ｘの検査に際しては、まず、検査対象Ｘについての測定装置２による測定処理を実行する。具体的には、図１に示すように、検査対象Ｘを測定装置２に接続すると共に、データ処理装置３の操作部２１を操作して測定処理の開始を指示する。これに応じて、処理部２３は、データ処理用プログラムＤｐに従って測定装置２を制御して測定処理を開始させる。
【００３８】
この際に、測定装置２では、処理部１３が、まず、Ａ／Ｄ変換部１２を制御してデータ処理装置３（処理部２３）から指示されたサンプリング周期での電圧値のサンプリング（測定）を開始させる。これにより、Ａ／Ｄ変換部１２から検査対象Ｘについての測定値Ｄｓが順次出力されて記憶部１４に記憶される。また、処理部１３は、測定信号発生部１１を制御して検査対象Ｘにインパルス電圧を印加させる。
【００３９】
この際には、検査対象Ｘの両端間の電圧についての測定値Ｄｓが、検査対象Ｘの電気的特性および良否の状態や、測定装置２の特性（測定装置２の測定回路自体の電気的特性、およびＡ／Ｄ変換部１２において使用されるデジタルフィルタの特性）などに応じて、例えば、図２に示す波形Ｗ０ａ，Ｗ０ｂ、図８に示す波形Ｗ０ｃ、図１４に示す波形Ｗ０ｅ、図２２に示す波形Ｗ０ｉ、図３３に示す波形Ｗ０ｊ、および図４５に示す波形Ｗ０ｋ（「波形データの信号波形」の一例：以下、これらを区別しないときには「波形Ｗ０」ともいう）のように変化する。
【００４０】
次いで、処理部１３は、一例として、検査対象Ｘに対するインパルス電圧の印加を開始させる直前の時点から、処理部２３によって指示された時間が経過した時点までの間にＡ／Ｄ変換部１２から出力された複数の測定値Ｄｓ，Ｄｓ・・を記録して波形データＤ０を生成し、生成した波形データＤ０を記憶部１４に記憶させる。また、処理部１３は、生成した波形データＤ０をデータ処理装置３に出力する。また、データ処理装置３では、処理部２３が、測定装置２から出力された波形データＤ０を検査対象Ｘに関連付けて記憶部２４に記憶させる。これにより、検査対象Ｘについての測定処理が完了する。
【００４１】
一方、データ処理装置３では、波形データＤ０の取得が完了したときに、処理部２３が、データ処理用プログラムＤｐに従い、検査対象Ｘが良品か不良品かを検査する検査処理を開始する。この検査処理において、処理部２３は、まず、波形データＤ０の波形Ｗ０における各種の「ノイズ成分」のなかに「放電波形成分」が含まれているか否かを判定するための「判定用閾値（基準値）」を波形データＤ０に基づいて規定する処理と、「判定用閾値」との比較によって「放電波形成分」が含まれているか否かを判定するための「判定用の波形データ」を波形データＤ０に基づいて生成する処理とを実行する。
【００４２】
具体的には、「判定用の波形データ」を生成する処理では、処理部２３は、波形データＤ０の各測定値Ｄｓを、後述の変換方法（「予め規定された変換方法」の一例）に従って値変換すると共に変換後の値を新たな「測定値」とする「値変換処理」を複数回実行する。より具体的には、処理部２３は、複数回の「値変換処理」の一例として、５回の「微分処理」（「Ｎａ＝５回」の「第１の変換処理」の一例）と、５回の「フィルタリング処理」（「Ｎｂ＝５回」の「第２の変換処理」の一例）とを組み合わせて合計１０回の「値変換処理」を実行する。なお、後述するが、この「微分処理」および「フィルタリング処理」については、その実行順序を任意に規定することができる。
【００４３】
この場合、複数回の「微分処理（第１の変換処理）」は、主として、「波形データＤ０の波形Ｗ０における［インパルス電圧の印加に伴う測定値Ｄｓの本来的な変化（大まかな変化）］」に対応する「処理対象の波形データにおける各測定値の変化」の度合いが、「波形データＤ０の波形Ｗ０における［ノイズ成分］」に対応する「処理対象の波形データにおける各測定値の変化」の度合いよりも小さくなるように値変換をすることで「ノイズ成分」を抽出する（「ノイズ成分」の存在を明確にする）ことを目的とする「値変換処理」である。
【００４４】
具体的には、この「微分処理」では、測定装置２から取得した波形データＤ０の波形Ｗ０における最大振幅部（値が最も大きく増減している部位：図２に示す波形Ｗ０ａ，Ｗ０ｂの例では、矢印Ａ０ａ，Ａ０ｂの部位）の各測定値Ｄｓ，Ｄｓ・・の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第１の絶対値」が、波形データＤ０の波形Ｗ０における「ノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第２の絶対値」よりも小さくなるように、処理対象の波形データにおける各測定値をそれぞれ値変換する。
【００４５】
なお、「微分処理」および「フィルタリング処理」の実行順序を任意に規定可能な本例では、測定装置２から取得した波形データＤ０を対象とする「微分処理」においては、波形データＤ０が「処理対象の波形データ」に相当し、かつ波形データＤ０の測定値Ｄｓが上記の「変換対象の測定値」に相当する。また、「微分処理」や「フィルタリング処理」を行った後の「波形データ」を対象とする「微分処理」においては、その「波形データ」が上記の「処理対象の波形データ」に相当し、かつその「波形データ」の「測定値」が「変換対象の測定値」に相当する。
【００４６】
この場合、上記の「［第１の絶対値］が［第２の絶対値］よりも小さくなるように各測定値をそれぞれ値変換する［第１の変換処理（微分処理）］」とは、「第１の変換処理（微分処理）」の処理結果において「［第１の絶対値］が［第２の絶対値］よりも小さくなる」との条件が満たされていることを要件とする処理を意図しており、そのような条件が満たされる「測定値」に変換できれば、「変換対象の測定値」を絶対値化する演算（「第１の絶対値」や「第２の絶対値」などの演算）を要件とするものではない。
【００４７】
この「微分処理」に関し、発明者は、一例としてＮａ＝３回からＮａ＝５回程度実行することで、「信号波形の大まかな変化の度合い」を十分に小さくすることができ、「放電波形成分」を含む「ノイズ成分」を好適に抽出できる（「ノイズ成分」の存在を好適に把握し得る「波形データ」を生成できる）ことを確認している。なお、複数回の「微分処理」の実行によって「ノイズ成分」を抽出できることに関しては、後に具体的な例を挙げて説明する。
【００４８】
また、複数回の「フィルタリング処理（第２の変換処理）」は、主として、「波形データＤ０の波形Ｗ０における［リンギング］などの［周期的なノイズ成分］」に対応する「処理対象の波形データにおける各測定値の変化」の度合いが、「波形データＤ０の波形Ｗ０における［放電波形成分］などの［非周期的なノイズ成分］」に対応する「処理対象の波形データにおける各測定値の変化」の度合いよりも小さくなるように値変換をすることで「非周期的なノイズ成分」を抽出する（リンギング」の影響の度合いを小さくする）ことを目的とする「値変換処理」である。
【００４９】
具体的には、この「フィルタリング処理」では、測定装置２から取得した波形データＤ０の波形Ｗ０における「周期的なノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓ，Ｄｓ・・の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第３の絶対値」が、波形データＤ０の波形Ｗ０における「非周期的なノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓ，Ｄｓ・・の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第４の絶対値」よりも小さくなるように、処理対象の波形データにおける各測定値をそれぞれ値変換する。
【００５０】
なお、「微分処理」および「フィルタリング処理」の実行順序を任意に規定可能な本例では、測定装置２から取得した波形データＤ０を対象とする「フィルタリング処理」においては、波形データＤ０が「処理対象の波形データ」に相当し、かつ波形データＤ０の測定値Ｄｓが上記の「変換対象の測定値」に相当する。また、「微分処理」や「フィルタリング処理」を行った後の「波形データ」を対象とする「フィルタリング処理」においては、その「波形データ」が上記の「処理対象の波形データ」に相当し、かつその「波形データ」の「測定値」が「変換対象の測定値」に相当する。
【００５１】
この場合、上記の「［第３の絶対値］が［第４の絶対値］よりも小さくなるように各測定値をそれぞれ値変換する［第２の変換処理（フィルタリング処理）］」とは、「第２の変換処理（フィルタリング処理）」の処理結果において「［第３の絶対値］が［第４の絶対値］よりも小さくなる」との条件が満たされていることを要件とする処理を意図しており、そのような条件が満たされる「測定値」に変換できれば、「変換対象の測定値」を絶対値化する演算（「第３の絶対値」や「第４の絶対値」などの演算）を要件とするものではない。
【００５２】
この「フィルタリング処理」に関し、発明者は、一例としてＮｂ＝３回からＮｂ＝５回程度実行することで、「リンギング」等の「周期的なノイズ成分」の大きさを十分に小さくして「放電波形成分」等の「非周期的なノイズ成分」を好適に抽出できる（「放電波形成分」の存在を好適に把握し得る「波形データ」を生成できる）ことを確認している。
【００５３】
一方、測定処理時に「リンギング」が発生するか否かや、どのような特性の「リンギング」がどのように発生するかについては、検査対象Ｘの電気的特性や、測定環境によって相違する。しかしながら、前述したように、波形データＤ０の波形Ｗ０について「リンギング」の影響を低減するための的確なフィルタイリング処理を行うための分析処理が容易ではなく、単純なフィルタリング処理では、「リンギング」の影響を十分に低減するのが困難となっている。
【００５４】
したがって、本例のデータ処理装置３（データ処理用プログラムＤｐ）では、上記のＮｂ＝５回の「フィルタリング処理」において、上記の「第３の絶対値」の「フィルタリング処理（第２の変換処理）」の前後における変化率が異なる「Ｍ＝Ｎｂ＝５種類」のフィルタを使用して処理対象の各測定値を値変換する構成が採用されている。この場合、本例では、一例として、発生が予測される「リンギング」の種類に応じた（検査対象Ｘの特性やデータ処理装置３の特性に応じた）「Ｍ＝５種類のフィルタ」がデータ処理装置３の記憶部２４に記憶されているものとする。なお、この「Ｍ種類のフィルタ」については、測定システム１の提供者（測定装置２の製造者およびデータ処理用プログラムＤｐの制作者等）が、いずれの「フィルタ」を使用するかを予め定める構成・方法に限定されず、データ処理装置３を使用した「判定処理」を実行する使用者が、いずれの「フィルタ」を使用するかを予め定める構成・方法を採用することもできる。なお、複数回の「フィルタリング処理」の具体的な手順や、「フィルタリング処理」の実行によって誤検出を回避できることに関しては、後に具体的な例を挙げて説明する。
【００５５】
また、前述したように、発明者は、上記のＮａ回の「微分処理」、およびＮｂ回の「フィルタリング処理」については、どのような順序で実行したとしても、「ノイズ成分」の大きさの相違や「リンギング」の影響による「放電波形成分の誤検出」を好適に回避できることを確認している。つまり、Ｎａ回の「微分処理」を実行した後にＮｂ回の「フィルタリング処理」を実行したとき、Ｎｂ回の「フィルタリング処理」を実行した後にＮａ回の「微分処理」を実行したとき、および「微分処理」と「フィルタリング処理」とを任意の順序で組み合わせてそれぞれＮａ回、Ｎｂ回ずつ実行したときのいずれの場合においても、「放電波形成分」の有無を好適に判定し得る波形データを生成できることを確認している。
【００５６】
なお、本例のデータ処理装置３（データ処理用プログラムＤｐ）では、一例として、「フィルタリング処理」によって値変換した測定値を「微分処理」によって値変換する合計２回の「値変換処理」を５回連続して実行する（「予め規定された順序」の一例）ことにより、波形データＤ０の「各測定値」を１０回の「値変換処理」によって値変換する構成・方法が採用されている。これにより、「ノイズ成分」の大きさの相違や「リンギング」の影響による「放電波形成分の誤検出」を好適に回避して、「放電波形成分」の有無を好適に判定し得る「判定用の波形データ」が生成されて記憶部２４に記憶される。
【００５７】
一方、「判定用閾値（基準値）」を特定する処理に際して、処理部２３は、波形データＤ０の各測定値Ｄｓを絶対値化した「判定用データ」を生成し、生成した「判定用データ」に基づいて「第１の暫定閾値」を規定する「第１の処理」と、「判定用データ」の「各測定値」のうちの「第１の暫定閾値」を下回る「測定値」の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する「第２の処理」とを実行し、「第２の処理」の判定結果に応じて、「第１の暫定閾値」を「第２の暫定閾値」とし、「第２の暫定閾値」に基づいて「判定用閾値（基準値）」を規定する「第３の処理」を実行する。なお、上記の「第１の処理」、「第２の処理」および「第３の処理」の具体的な手順については、後に、具体的例を示して詳細に説明する。
【００５８】
続いて、処理部２３は、上記の各処理によって特定した「波形データ」の「各測定値（「処理後の各測定値」の一例）」、および「判定用閾値（基準値）」に基づき、波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する。
【００５９】
この際に、処理部２３は、上記の各処理によって特定した「波形データ」の「各測定値」に「判定用閾値（基準値）」以上の「測定値」が存在しないときに、波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれていないと判定する。また、処理部２３は、上記の各処理によって特定した「波形データ」の「各測定値」に「判定用閾値（基準値）」以上の「測定値」が存在するときに、波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれていると判定する。
【００６０】
この後、処理部２３は、上記の放電波形成分の有無の判定処理とは別個に行う他の検査項目に関する判定処理の結果と共に、放電波形成分の有無の判定処理の判定結果を検査対象Ｘに関連付けて記録して検査結果データＤｒを生成する。また、すべての検査項目において不良なしと判定したときには、検査対象Ｘが良品であるとの事項を検査結果データＤｒに記録すると共に、いずれかの検査項目において不良ありと判定したときには、検査対象Ｘが不良品であるとの事項を検査結果データＤｒに記録する。以上により、検査対象Ｘについての一連の検査処理が完了する。
【００６１】
続いて、上記の検査処理における各処理の具体的な手順およびその効果の一例について、添付図面を参照して説明する。
【００６２】
前述したように、検査処理（判定処理）に際して「判定用の波形データ」を生成するために行った複数回の「値変換処理」のうちの複数回の「微分処理（第１の変換処理）」は、主として波形データＤ０に含まれている「ノイズ成分」を抽出する（「ノイズ成分」の存在を明確にする）「値変換処理」である。一例として、対応する測定値Ｄｓの波形Ｗ０ａ（図２の（ａ）参照）に「放電波形成分」が含まれていない波形データＤ０（以下、「波形データＤ０ａ」という）についての「値変換処理」時における複数回の「微分処理」、および対応する測定値Ｄｓの波形Ｗ０ｂ（図２の（ｂ）参照）に「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０（以下、「波形データＤ０ｂ」という）についての「値変換処理」時における複数回の「微分処理」の例について説明する。
【００６３】
上記の波形Ｗ０ａの波形データＤ０ａ、および波形Ｗ０ｂの波形データＤ０ｂには、いずれも、測定処理時に発生していた同程度のレベルのノイズの影響によって値が増減した測定値Ｄｓ（「ノイズ成分」の測定値Ｄｓ）が含まれている。この場合、波形Ｗ０ａ，Ｗ０ｂでは、「ノイズ成分」の存在に起因する測定値Ｄｓの変化量（振幅量）が、波形Ｗ０ａ，Ｗ０ｂにおけるインパルス電圧の印加に伴う測定値Ｄｓの本来的な変化（波形Ｗ０ａ，Ｗ０ｂの大まかな変化）の変化量（振幅量）に対して非常に小さいため、「ノイズ成分」の存在自体を確認することが困難となっている。また、波形Ｗ０ｂには、上記のように「放電波形成分」が含まれているが、この波形Ｗ０ｂでは、「放電波形成分」に対応する測定値Ｄｓの変化量（振幅量）が、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値Ｄｓの変化量よりも小さいため、測定値Ｄｓの変化量に基づいて「放電波形成分」が存在するか否かを判別することも困難となっている。
【００６４】
また、上記の波形データＤ０ａの各測定値Ｄｓを「微分処理」した波形データＤ１ａにおける各測定値（測定値Ｄｓの一階微分値）の波形Ｗ１ａ、および波形データＤ０ｂの各測定値Ｄｓを「微分処理」した波形データＤ１ｂにおける各測定値（測定値Ｄｓの一階微分値）の波形Ｗ１ｂは、図３（ａ），（ｂ）のようになる。この場合、波形Ｗ１ｂにおいて矢印ＡＢ１ｂ，ＡＣ１ｂで示す部位には、測定処理時に発生した放電に起因して値が増減した「放電波形成分」が存在しているが、この波形Ｗ１ｂでは、「放電波形成分」の変化量が、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量（例えば矢印ＡＡ１ｂで示す部位）よりも小さいため、測定値の変化量に基づいて「放電波形成分」が存在するか否かを判別することができない。
【００６５】
また、上記の波形データＤ１ａの各測定値を「微分処理」した波形データＤ２ａにおける各測定値（測定値Ｄｓの二階微分値）の波形Ｗ２ａ、および波形データＤ１ｂの各測定値を「微分処理」した波形データＤ２ｂにおける各測定値（測定値Ｄｓの二階微分値）の波形Ｗ２ｂは、図４（ａ），（ｂ）のようになる。この場合、波形Ｗ２ｂにおいて矢印ＡＢ２ｂ，ＡＣ２ｂで示す部位には、測定処理時に発生した放電に起因して値が増減した「放電波形成分」が存在しているが、この波形Ｗ２ｂにおいても、「放電波形成分」の変化量が、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量（例えば矢印ＡＡ２ｂで示す部位）に対して十分に大きくなっていないため、測定値の変化量に基づいて「放電波形成分」が存在するか否かを判別することができない。
【００６６】
さらに、上記の波形データＤ２ａの各測定値を「微分処理」した波形データＤ３ａにおける各測定値（測定値Ｄｓの三階微分値）の波形Ｗ３ａ、および波形データＤ２ｂの各測定値を「微分処理」した波形データＤ３ｂにおける各測定値（測定値Ｄｓの三階微分値）の波形Ｗ３ｂは、図５（ａ），（ｂ）のようになる。この場合、波形Ｗ３ｂにおいて矢印ＡＢ３ｂ，ＡＣ３ｂで示す部位には、測定処理時に発生した放電に起因して値が増減した「放電波形成分」が存在しており、これを確認することができるのに対し、上記の波形Ｗ１ｂ，Ｗ２ｂにおいてインパルス電圧の印加に伴って変化量が大きくなっていた部位（図３（ｂ）における矢印ＡＡ１ｂの部位、および図４（ｂ）における矢印ＡＡ２ｂの部位など）の変化量は十分に小さくなっている。
【００６７】
また、上記の波形データＤ３ａの各測定値を「微分処理」した波形データＤ４ａにおける各測定値（測定値Ｄｓの四階微分値）の波形Ｗ４ａ、および波形データＤ３ｂの各測定値を「微分処理」した波形データＤ４ｂにおける各測定値（測定値Ｄｓの四階微分値）の波形Ｗ４ｂは、図６（ａ），（ｂ）のようになる。この場合、波形Ｗ４ｂにおいても、矢印ＡＢ４ｂ，ＡＣ４ｂで示す部位には、測定処理時に発生した放電に起因して値が増減した「放電波形成分」が存在しており、これを確認することができるのに対し、上記の波形Ｗ１ｂ，Ｗ２ｂにおいてインパルス電圧の印加に伴って変化量が大きくなっていた部位の変化量は十分に小さくなっている。
【００６８】
さらに、上記の波形データＤ４ａの各測定値を「微分処理」した波形データＤ５ａにおける各測定値（測定値Ｄｓの五階微分値）の波形Ｗ５ａ、および波形データＤ４ｂの各測定値を「微分処理」した波形データＤ５ｂにおける各測定値（測定値Ｄｓの五階微分値）の波形Ｗ５ｂは、図７（ａ），（ｂ）のようになる。この場合、波形Ｗ５ｂにおいても、矢印ＡＢ５ｂ，ＡＣ５ｂで示す部位には、測定処理時に発生した放電に起因して値が増減した「放電波形成分」が存在しており、これを確認することができるのに対し、上記の波形Ｗ１ｂ，Ｗ２ｂにおいてインパルス電圧の印加に伴って変化量が大きくなっていた部位の変化量は十分に小さくなっている。
【００６９】
このように、「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０ｂについては、「微分処理」を繰り返して行った上記の波形Ｗ３ｂ〜Ｗ５ｂの波形データＤ３ｂ〜Ｄ５ｂにおいて、波形データＤ０ｂの波形Ｗ０ｂにおける「最大振幅部」の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する波形データＤ３ｂ〜Ｄ５ｂにおける測定値Ｄｓの絶対値である「第１の絶対値」が、波形データＤ０ｂの波形Ｗ０ｂにおける「ノイズ成分の振幅部」の測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する波形データＤ３ｂ〜Ｄ５ｂにおける測定値Ｄｓの絶対値である「第２の絶対値」よりも小さくなっている。
【００７０】
この結果、波形データＤ３ｂ〜Ｄ５ｂの波形Ｗ３ｂ〜Ｗ５ｂでは、「放電波形成分」（ノイズ成分）に対応する測定値の変化量（振幅量）が、インパルス電圧の印加に伴う測定値の変化量（振幅量）よりも十分に大きくなっている。したがって、波形データＤ０ｂについての「微分処理（第１の変換処理）」を複数回（本例では、３回以上）行うことにより、「放電波形成分」を含む「ノイズ成分」だけを好適に抽出できるのが理解できる。
【００７１】
また、「放電波形成分」が含まれていない波形データＤ０ａについては、「微分処理」を繰り返して行った上記の波形Ｗ２ａ〜Ｗ５ａにおいて、「ノイズ成分」であると判定される大きさの測定値が確認できない。したがって、これらの測定値の大きさに基づき、「放電波形成分」が存在しないと判定できることが理解できる。
【００７２】
なお、上記の例では、波形データＤ０ｂの測定値Ｄｓに対してＮａ＝３回の「微分処理」を行うことで「放電波形成分」の有無を好適に判定可能な「判定用の波形データ」が生成されるが、判定対象の波形データＤ０の波形Ｗ０における「最大振幅部」の大きさ（波形Ｗ０の大まかな変化の大きさ：波形データＤ０に含まれる低周波成分の大きさ）によっては、Ｎａ＝４回以上の「微分処理」を行う必要が生じることもある。また、上記の例では、Ｎａ＝４回以上の「微分処理」を行った波形Ｗ４ｂ，Ｗ５ｂにおいても、「放電波形成分」の有無を好適に判定可能な状態が好適に維持されている。
【００７３】
したがって、本例のデータ処理装置３（データ処理用プログラムＤｐ）では、波形データＤ０に各種大きさ（振幅量）の「放電波形成分」が含まれる可能性を考慮し、「値変換処理」のうちの「微分処理（第１の変換処理）」については、一例として、Ｎａ＝５回の処理を行って「判定用の波形データ」を生成する構成が採用されている。
【００７４】
一方、前述したように、検査処理（判定処理）に際して「判定用の波形データ」を生成するために行った複数回の「値変換処理」のうちの複数回の「フィルタリング処理（第２の変換処理）」は、主として波形データＤ０に含まれている「ノイズ成分」における「リンギング」等の「周期的なノイズ成分」の影響を小さくして、「放電波形成分」等の「非周期的なノイズ成分」を抽出する（「非周期的なノイズ成分」の存在を明確にする）「値変換処理」である。
【００７５】
この場合、「リンギング」の発生時には、検査対象Ｘの電気的特性、測定装置２の回路特性、および測定処理時の環境（周囲温度等）に応じて測定値Ｄｓが周期的に増減する。また、Ａ／Ｄ変換部１２における測定値Ｄｓの生成に使用するデジタルフィルタの特性によっても、生成される測定値Ｄｓがリンギングの発生時と同様に周期的に増減した状態となることがある。したがって、波形データＤ０の各測定値Ｄｓに関し、一例として「任意のｍポイントの重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行うことで、「リンギング」に起因して値が周期的に増減している状態を軽減して（「リンギング」等の「周期的なノイズ成分」の影響を小さくして）、「放電波形成分」等の「非周期的なノイズ成分」の存在を好適に特定可能な状態とすることが可能となる。
【００７６】
また、波形データＤ０に含まれる可能性がある「リンギング」は、検査対象Ｘの電気的特性、測定装置２の回路特性、測定処理時の環境（周囲温度等）、および測定値Ｄｓの生成時に使用するデジタルフィルタの特性等に応じて周期や信号レベルが相違し、しかも、周期や信号レベルが相違する複数種類の「リンギング」が波形データＤ０に含まれた状態となることもある。したがって、上記の「重み付け移動平均フィルタ」のポイント数が異なる複数種類のフィルタを使用して複数回の「フィルタリング処理」を行うことで、各種の「リンギング」の影響を軽減できる可能性が高まる。
【００７７】
一例として、測定値Ｄｓの波形Ｗ０ｃ（図８参照）に「放電波形成分」が含まれず、かつ「リンギング」の影響が含まれている波形データＤ０（「リンギング」を模した信号を重畳させた状態で生成した波形データＤ０：以下、「波形データＤ０ｃ」という）についての「値変換処理」時における複数回の「フィルタリング処理」の例について説明する。この場合、波形Ｗ０ｃでは、「リンギング」の存在に起因する測定値Ｄｓの変化量が、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量に対して非常に小さいため、「リンギング」の存在自体を確認することが困難となっている。
【００７８】
また、上記の波形データＤ０ｃの各測定値Ｄｓを対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ１ｃにおける各測定値の波形Ｗ１ｃは、図９（ａ）のようになる。また、波形データＤ０ｃの各測定値Ｄｓを対象として、「ｍ１ポイント（ｍ１は、予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ１ｄにおける各測定値の波形Ｗ１ｄは、図９（ｂ）のようになる。
【００７９】
さらに、上記の波形データＤ１ｃの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ２ｃにおける各測定値の波形Ｗ２ｃは、図１０（ａ）のようになる。また、波形データＤ１ｄの各測定値を対象として、「ｍ２ポイント（ｍ２は、ｍ１とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ２ｄにおける各測定値の波形Ｗ２ｄは、図１０（ｂ）のようになる。
【００８０】
この場合、波形Ｗ２ｃにおいて矢印ＡＡ２ｃ〜ＡＤ２ｃで示す部位の測定値は、「リンギング」によって値が増減した測定値Ｄｓに対応して大きな値となっており、波形Ｗ２ｄにおいて矢印ＡＡ２ｄ〜ＡＤ２ｄで示す部位の測定値も、「リンギング」によって値が増減して測定値Ｄｓに対応した大きな値となっている。これらの波形Ｗ２ｃ，Ｗ２ｄにおいて「リンギング」の発生時における測定値Ｄｓに対応する測定値は、その他の測定値（インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値Ｄｓや、「リンギング」以外の「ノイズ成分」に対応する測定値Ｄｓに対応する測定値）よりも大きな値となっている。このため、波形データＤ２ｃ，Ｄ２ｄにおける各測定値の大きさに基づいて「放電波形成分」が存在するか否かを判別することは困難となっている。
【００８１】
さらに、上記の波形データＤ２ｃの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ３ｃにおける各測定値の波形Ｗ３ｃは、図１１（ａ）のようになる。また、波形データＤ２ｄの各測定値を対象として、「ｍ３ポイント（ｍ３は、ｍ１およびｍ２とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ３ｄにおける各測定値の波形Ｗ３ｄは、図１１（ｂ）のようになる。
【００８２】
さらに、上記の波形データＤ３ｃの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ４ｃにおける各測定値の波形Ｗ４ｃは、図１２（ａ）のようになる。また、波形データＤ３ｄの各測定値を対象として、「ｍ４ポイント（ｍ４は、ｍ１〜ｍ３とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ４ｄにおける各測定値の波形Ｗ４ｄは、図１２（ｂ）のようになる。
【００８３】
さらに、上記の波形データＤ４ｃの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ５ｃにおける各測定値の波形Ｗ５ｃは、図１３（ａ）のようになる。また、波形データＤ４ｄの各測定値を対象として、「ｍ５ポイント（ｍ５は、ｍ１〜ｍ４とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ５ｄにおける各測定値の波形Ｗ５ｄは、図１３（ｂ）のようになる。
【００８４】
この場合、３回に亘る「フィルタリング処理」を行った波形データＤ３ｄの波形Ｗ３ｄにおいて矢印ＡＡ３ｄ〜ＡＤ３ｄで示す部位の測定値、４回に亘る「フィルタリング処理」を行った波形データＤ４ｄの波形Ｗ４ｄにおいて矢印ＡＡ４ｄ〜ＡＤ４ｄで示す部位の測定値、および５回に亘る「フィルタリング処理」を行った波形データＤ５ｄの波形Ｗ５ｄにおいて矢印ＡＡ５ｄ〜ＡＤ５ｄで示す部位の測定値は、「リンギング」の発生に伴って大きな値となっている。
【００８５】
しかしながら、「フィルタリング処理」を繰り返して行った波形Ｗ３ｄ〜Ｗ５ｄの波形データＤ３ｄ〜Ｄ５ｄにおいては、波形データＤ０ｃの波形Ｗ０ｃにおける「周期的なノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第３の絶対値」が、波形データＤ０ｃの当該取得した波形データの波形Ｗ０ｃにおける「非周期的なノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第４の絶対値」よりも小さくなっている。
【００８６】
この結果、波形Ｗ３ｄにおいて矢印ＡＡ３ｄ〜ＡＤ３ｄで示す部位の測定値、波形Ｗ４ｄにおいて矢印ＡＡ４ｄ〜ＡＤ４ｄで示す部位の測定値、および波形Ｗ５ｄにおいて矢印ＡＡ５ｄ〜ＡＤ５ｄで示す部位の測定値は、複数回の「フィルタリング処理」により、その他の測定値（インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値Ｄｓや「リンギング」以外の「ノイズ成分」に対応する測定値Ｄｓに対応する測定値）との大きさの差が十分に小さくなっている。つまり、本例では、加重移動平均時の重み付けやポイント数が異なるＭ＝３種類以上の「フィルタ」を使用したＮｂ＝３回以上の「フィルタリング処理」によって「リンギング」の影響が十分に軽減されていることが理解できる。
【００８７】
これに対して、「フィルタリング処理」を行わなかった波形データＤ３ｃの波形Ｗ３ｃにおいて矢印ＡＡ３ｃ〜ＡＤ３ｃで示す部位の測定値、「フィルタリング処理」を行わなかった波形データＤ４ｃの波形Ｗ４ｃにおいて矢印ＡＡ４ｃ〜ＡＤ４ｃで示す部位の測定値、および「フィルタリング処理」を行わなかった波形データＤ５ｃの波形Ｗ５ｃにおいて矢印ＡＡ５ｃ〜ＡＤ５ｃで示す部位の測定値も、「リンギング」の発生に伴って大きな値となっている。しかも、これらの測定値は、その他の測定値（インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値Ｄｓや「リンギング」以外の「ノイズ成分」に対応する測定値Ｄｓに対応する測定値）との大きさの差が非常に大きな状態となっている。つまり、本例では、「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」だけを複数回実行したときに「リンギング」の影響を軽減することができず、「リンギング」の発生に対応して大きな値となっている測定値の存在によって「放電波形成分」が含まれていると誤って判定されるおそれがあることが理解できる。
【００８８】
なお、上記の例では、波形データＤ０ｃの測定値Ｄｓに対してＭ＝３種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝３回の「フィルタリング処理」を行うことで「リンギング」の影響を十分に軽減した「判定用の波形データ」が生成されるが、判定対象の波形データＤ０に含まれる「リンギング」に対応する測定値Ｄｓの大きさ（「リンギング」の程度）や発生周期によっては、Ｍ＝４種類以上の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回以上の「フィルタリング処理」を行う必要が生じることもある。また、上記の例では、Ｍ＝４種類以上の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回以上の「フィルタリング処理」を行った波形Ｗ４ｃ，Ｗ５ｃにおいても、「リンギング」の影響が軽減された状態が好適に維持されている。
【００８９】
したがって、本例のデータ処理装置３（データ処理用プログラムＤｐ）では、波形データＤ０に各種大きさや周期の「リンギングに対応して大きな値となる測定値Ｄｓ（周期的な「ノイズ成分」）」が含まれる可能性を考慮し、「値変換処理」のうちの「フィルタリング処理」については、一例として、Ｍ＝５種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝５回の処理を行って「判定用の波形データ」を生成する構成が採用されている。
【００９０】
この場合、図８〜１３を参照しつつ説明した例では、Ｍ種類の「フィルタ」を使用したＮｂ回の「フィルタリング処理」によって「リンギング」の影響が軽減されることを示すために、「放電波形成分」が含まれていない波形データＤ０ｃを対象とする「値変換処理」を実行したが、「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０を対象とする「値変換処理」としてＭ種類の「フィルタ」を使用したＮｂ回の「フィルタリング処理」を実行した場合においても、「放電波形成分」に対応する大きな値の測定値（「非周期的なノイズ成分」の測定値）が「リンギング」に対応する測定値（「周期的なノイズ成分」の測定値）と共に小さな値に変換されてしまうことはない。
【００９１】
具体的には、一例として、対応する測定値Ｄｓの波形Ｗ０ｅ（図１４参照）に「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０（以下、「波形データＤ０ｅ」という）を対象として、「値変換処理」時における複数回の「フィルタリング処理」を実行しない例、および「値変換処理」時における複数回の「フィルタリング処理」を実行する例について説明する。この場合、この波形Ｗ０ｅでは、「放電波形成分」の測定値の変化量（振幅量）が、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量（振幅量）よりも小さいため、測定値Ｄｓの変化量に基づいて「放電波形成分」が存在するか否かを判別するのが困難となっている。
【００９２】
また、上記の波形データＤ０ｅの各測定値Ｄｓを対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ１ｅにおける各測定値の波形Ｗ１ｅは、図１５（ａ）のようになる。また、波形データＤ０ｅの各測定値Ｄｓを対象として、「ｍ１ポイント（ｍ１は、予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ１ｆにおける各測定値の波形Ｗ１ｆは、図１５（ｂ）のようになる。この場合、波形Ｗ１ｅにおいて矢印ＡＡ１ｅで示す部位、および波形Ｗ１ｆにおいて矢印ＡＡ１ｆで示す部位には、測定処理時に発生した放電に起因して値が増減した「放電波形成分」が存在しているが、これらの波形Ｗ１ｅ，Ｗ１ｆでは、「放電波形成分」の変化量（振幅量）が、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量（振幅量）よりも小さいため、測定値の変化量に基づいて「放電波形成分」が存在するか否かを判別するのが困難となっている。
【００９３】
さらに、上記の波形データＤ１ｅの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ２ｅにおける各測定値の波形Ｗ２ｅは、図１６（ａ）のようになる。また、波形データＤ１ｆの各測定値を対象として、「ｍ２ポイント（ｍ２は、ｍ１とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ２ｆにおける各測定値の波形Ｗ２ｆは、図１６（ｂ）のようになる。
【００９４】
さらに、上記の波形データＤ２ｅの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ３ｅにおける各測定値の波形Ｗ３ｅは、図１７（ａ）のようになる。また、波形データＤ２ｆの各測定値を対象として、「ｍ３ポイント（ｍ３は、ｍ１およびｍ２とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ３ｆにおける各測定値の波形Ｗ３ｆは、図１７（ｂ）のようになる。
【００９５】
さらに、上記の波形データＤ３ｅの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ４ｅにおける各測定値の波形Ｗ４ｅは、図１８（ａ）のようになる。また、波形データＤ３ｆの各測定値を対象として、「ｍ４ポイント（ｍ４は、ｍ１〜ｍ３とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ４ｆにおける各測定値の波形Ｗ４ｆは、図１８（ｂ）のようになる。
【００９６】
さらに、上記の波形データＤ４ｅの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ５ｅにおける各測定値の波形Ｗ５ｅは、図１９（ａ）のようになる。また、波形データＤ４ｆの各測定値を対象として、「ｍ５ポイント（ｍ５は、ｍ１〜ｍ４とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ５ｆにおける各測定値の波形Ｗ５ｆは、図１９（ｂ）のようになる。
【００９７】
この場合、波形Ｗ２ｅにおいて矢印ＡＡ２ｅで示す部位、波形Ｗ３ｅにおいて矢印ＡＡ３ｅで示す部位、波形Ｗ４ｅにおいて矢印ＡＡ４ｅで示す部位、および波形Ｗ５ｅにおいて矢印ＡＡ５ｅで示す部位や、波形Ｗ２ｆにおいて矢印ＡＡ２ｆで示す部位、波形Ｗ３ｆにおいて矢印ＡＡ３ｆで示す部位、波形Ｗ４ｆにおいて矢印ＡＡ４ｆで示す部位、および波形Ｗ５ｆにおいて矢印ＡＡ５ｆ示す部位の測定値は、いずれも「放電波形成分」の測定値Ｄｓに対応する測定値であり、その他の測定値よりも大きな値となっている。
【００９８】
このため、図１４〜１９を参照しつつ説明した処理手順の例により、波形データＤ０ｅの各測定値Ｄｓを対象とする複数回の「値変化処理」に際して複数回の「フィルタリング処理」を行ったとき（波形Ｗ１ｆ〜波形Ｗ５ｆの例）に、波形データＤ０ｅの各測定値Ｄｓを対象とする複数回の「値変化処理」に際して複数回の「フィルタリング処理」を行わなかったとき（波形Ｗ１ｅ〜波形Ｗ５ｅの例）と同様に「放電波形成分」が存在するか否かを好適に判定可能な状態が維持されることが理解できる。したがって、「リンギング」等の「周期的なノイズ成分」の影響を十分に低減し得る回数、例えば、前述の例では、Ｍ＝３種類以上の「フィルタ」を用いたＮｂ＝３回以上の「フィルタリング処理」を実行することで、「リンギング」の影響を受けることなく、「放電波形成分」が含まれているか否かを好適に判定可能な「判定用の波形データ」を得ることが可能となる。
【００９９】
一方、本例のデータ処理装置３（データ処理用プログラムＤｐ）では、前述したように、「第２の暫定閾値（基準値）」との比較によって「放電波形成分」が含まれているか否かを判定するための「判定用の波形データ」、および「第２の暫定閾値（基準値）」の双方を波形データＤ０に基づいて生成・規定し、生成した「判定用の波形データ」および規定した「第２の暫定閾値（基準値）」を使用して波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する構成・方法が採用されている。
【０１００】
具体的には、本例のデータ処理装置３（データ処理用プログラムＤｐ）では、前述した例のように、一例として、測定装置２から取得した波形データＤ０の各測定値Ｄｓを対象として、Ｎａ＝５回の「微分処理」と、Ｍ＝５種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝５回の「フィルタリング処理」とを「値変換処理」として実行することによって波形データＤ５を生成する。次いで、波形データＤ５の各測定値（「放電波形成分が含まれているか否かを判定する各測定値」の一例）を絶対値化して波形データＤ６（「判定用データ」の一例）を生成する。
【０１０１】
一例として、図２０に示す波形Ｗ６ｇは、「リンギング」の影響を含み、かつ「放電波形成分」が含まれていない波形データＤ０を対象とする１０回の「値変換処理」（５回の「微分処理」、および５回の「フィルタリング処理」）によって生成された波形データＤ５の各測定値を絶対値化した波形データＤ６（以下、「波形データＤ６ｇ」という）の「信号波形」である。また、他の一例として、図２１に示す波形Ｗ６ｈは、「リンギング」の影響を含み、かつ「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０を対象とする１０回の「値変換処理」によって生成された波形データＤ５の各測定値を絶対値化した波形データＤ６（以下、「波形データＤ６ｈ」という）の「信号波形」である。
【０１０２】
両図の比較により理解できるように、複数回の「微分処理」および複数回の「フィルタリング処理」の実行によって「リンギング」の影響が十分に低減されると共に、「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０に対応する波形データＤ６ｈの波形Ｗ６ｈでは、矢印ＡＡ６ｈで示す部位の「放電波形成分」に対応する測定値がその他の測定値よりも十分に大きな値となっているのに対し、「放電波形成分」が含まれていない波形データＤ０に対応する波形データＤ６ｇの波形Ｗ６ｇは、そのような大きな値が存在しない状態となっている。
【０１０３】
続いて、上記の波形データＤ６（波形データＤ６ｇや波形データＤ６ｈ等）に基づいて「判定用閾値（基準値）」を規定する。具体的には、まず、一例として、波形データＤ６の各測定値における最大値の１／２の値（Ｌａ＝２の例）を「第１の暫定閾値」とする（「第１の処理」の一例）。
【０１０４】
この場合、「値変換処理」によって「ノイズ成分」が抽出された状態となっている波形データＤ６における測定値の分布状態が正規分布であるとしたときに、波形データＤ６の各測定値のうちの標準偏差σの範囲に含まれる測定値の数は、測定値の総数の６８％程度となる。したがって、規定した「第１の暫定閾値」が、標準偏差σの範囲に含まれない測定値を特定可能な値に規定されているか否か（「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が標準偏差σに十分に近づいたか）を判断するために、波形データＤ６の各測定値のうちの「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内（一例として、標準偏差σ≒６８％の±１％の範囲内：すなわち、６７％以上６９％以下の範囲内）の数であるか否かを判別する（「第２の処理」の一例）。
【０１０５】
この際に、「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が上記の予め規定された範囲を外れて少ないときには、一例として、「第１の暫定閾値」の１／２（Ｌｂ＝２の例）の値を「第１の暫定閾値」に加算した値を新たな「第１の暫定閾値」として、上記の「第２の処理」を再び実行する。また、「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が上記の予め規定された範囲を外れて多いときには、「第１の暫定閾値」の１／２（Ｌｃ＝２の例）を「第１の暫定閾値」から減算した値を新たな「第１の暫定閾値」として上記の「第２の処理」を再び実行する。
【０１０６】
一方、「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が上記の予め規定された範囲内であるときには、「第１の暫定閾値」を「第２の暫定閾値（「ノイズ成分」の測定値の大きさの分布における標準偏差σに対応する閾値と推定した値）」として規定する。なお、上記の各処理時におけるＬａの値、Ｌｂの値およびＬｃの値は、例示のように「２」が好ましいが、「２」以外の任意の正の実数とすることができ、また、Ｌａの値、Ｌｂの値およびＬｃの値をそれぞれ別個の値とすることもできる。
【０１０７】
次いで、規定した「第２の暫定閾値」を標準偏差σに対応する値（「放電波形成分」以外の通常の「ノイズ成分」のレベル）とし、この「第２の暫定閾値」以上の測定値の数に対して存在可能性が十分に低い標準偏差６σ（「標準偏差ｎσ」が「６σ」の例）に対応する値を「判定用閾値（基準値）」として規定する（「第３の処理」の一例）。この場合、図２０における波形Ｗ６ｇの波形データＤ６ｇの例、および図２１の波形Ｗ６ｈの波形データＤ６ｈの例では、実線Ｌで示す値が「判定用閾値（基準値）」として規定される。
【０１０８】
続いて、規定した「判定用閾値（基準値）」、および前述の波形データＤ６に基づき、波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する。この際に、「放電波形成分」が含まれていない波形データＤ０に基づいて生成された波形データＤ６ｇの波形Ｗ６ｇでは、実線Ｌで示す「判定用閾値（基準値）」以上の測定値が存在していない。このため、この波形データＤ６ｇを使用した判定時には、対応する波形データＤ０に「放電波形成分」が含まれていないと判定される。
【０１０９】
これに対して、「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０に基づいて生成された波形データＤ６ｈの波形Ｗ６ｈでは、矢印ＡＡ６ｈの部位に、実線Ｌで示す「判定用閾値（基準値）」以上の測定値が存在している。このため、この波形データＤ６ｈを使用した判定時には、対応する波形データＤ０に「放電波形成分」が含まれていると判定される。
【０１１０】
このように、このデータ処理装置３では、予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値Ｄｓが記録されている波形データＤ０に基づいてその波形Ｗ０における「ノイズ成分」のなかに「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する「判定処理」において、処理部２３が、各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな各測定値とする「値変換処理」を複数回実行して処理後の各測定値に基づいて「放電波形成分」が含まれているか否かを判定すると共に、複数回の「値変換処理」として、波形データＤ０の波形Ｗ０における最大振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第１の絶対値」が、波形データＤ０の波形Ｗ０における「ノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第２の絶対値」よりも小さくなるように処理対象の各測定値を値変換するＮａ回（一例として、Ｎａ＝５回）の「第１の変換処理（上記の例では「微分処理」）」と、波形データＤ０の波形Ｗ０における「周期的なノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第３の絶対値」が、波形データＤ０の波形Ｗ０における「非周期的なノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第４の絶対値」よりも小さくなるように処理対象の各測定値を値変換するＮｂ回（一例として、Ｎｂ＝５回）の「第２の変換処理（上記の例では「フィルタリング処理」）」とを予め規定された順序で実行し、Ｎｂ回の「第２の変換処理」において、「［第３の絶対値］の［第２の変換処理］の前後における［変化率］」が異なるＭ種類の「フィルタ」を使用して各測定値を値変換する。また、このデータ処理用プログラムＤｐでは、上記の各処理をデータ処理装置３の処理部２３に実行させる。
【０１１１】
したがって、このデータ処理装置３およびデータ処理用プログラムＤｐによれば、Ｎａ回の「微分処理（第１の変換処理）」によって、波形データＤ０の各測定値Ｄｓに重畳する「ノイズ成分」の大きさの相違や、各測定値Ｄｓの本来的な変化（波形データＤ０の波形Ｗ０における大まかな変化）の影響を受けることなく「ノイズ成分」が抽出されるため、不定期に発生する放電に対応する測定値を選択的に大きな値とすることができ、周期やレベルが異なる複数種類の「リンギング」が発生したとしても、Ｍ種類の「フィルタ」を使用したＮｂ回の「フィルタリング処理（第２の変換処理）」によって、その影響を十分に軽減することができるため、波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを正確に判定することができる。
【０１１２】
また、このデータ処理装置３では、処理部２３が、「判定処理」において、「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する各測定値を絶対値化した「判定用データ」の各測定値における最大値の１／Ｌａ（一例として、１／２）の値を「第１の暫定閾値」とする「第１の処理」と、「判定用データ」の各測定値のうちの「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する「第２の処理」とを実行し、「第２の処理」において「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が予め規定された範囲を外れて少ないと判別したきに「第１の暫定閾値」の１／Ｌｂ（一例として、１／２）の値を「第１の暫定閾値」に加算した値を新たな「第１の暫定閾値」として「第２の処理」を再び実行し、「第２の処理」において「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が予め規定された範囲を外れて多いと判別したときに「第１の暫定閾値」の１／Ｌｃ（一例として、１／２）の値を「第１の暫定閾値」から減算した値を新たな「第１の暫定閾値」として「第２の処理」を再び実行し、かつ「第２の処理」において「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が予め規定された範囲内であると判別したときに「第１の暫定閾値」を「第２の暫定閾値」とすると共に、標準偏差ｎσに対応する「判定用閾値」を「第２の暫定閾値」に基づいて特定する「第３の処理」を実行し、「判定用閾値」を超える測定値が「判定用データ」に含まれているときに波形データの信号波形に「放電波形成分」が含まれていると判定し、「判定用閾値」を超える測定値が「判定用データ」に含まれていないときに波形データの信号波形に「放電波形成分」が含まれていないと判定する。また、このデータ処理用プログラムＤｐでは、上記の各処理をデータ処理装置３の処理部２３に実行させる。
【０１１３】
したがって、このデータ処理装置３およびデータ処理用プログラムＤｐによれば、「判定用閾値」の規定に際して、複数個の良品の検査対象Ｘについての測定処理を実行する必要がないだけでなく、検査対象Ｘの個体差が大きい場合であっても、検査対象Ｘについての測定処理を１回実行して波形データＤ０生成することで、その検査対象Ｘの状態に即し、かつ測定装置２の回路特性や測定環境の影響を受けることがない検査対象Ｘ用の「判定用閾値」を規定することができる。
【０１１４】
さらに、この測定システム１によれば、上記のデータ処理装置３と、検査対象Ｘについての予め規定されたサンプリング周期での測定を実行して波形データＤ０を出力する測定装置２とを備えたことにより、波形データＤ０の取得（生成）から「放電波形成分」が含まれているか否かの判定までの一連の処理を１つのシステムで実行することができる。
【０１１５】
次に、上記の検査処理における「判定用の波形データ」の生成手順に関する他の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。なお、図２〜２１を参照しつつ説明した一連の処理と同様の手順については、重複する説明を省略する。
【０１１６】
データ処理装置３による前述の「判定処理」では、対応する波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する波形データＤ０の各測定値Ｄｓを対象とする複数回の「値変換処理（Ｎａ回の「微分処理（第１の変換処理）」、およびＮｂ回の「フィルタリング処理（第２の変換処理）」等）を実行して「判定用の波形データ」を生成した。この場合、上記の例の構成・手順では、波形データＤ０の各測定値Ｄｓのすべてに対して同レベルの「フィルタリング処理」が行われている。
【０１１７】
したがって、例えば、測定処理時に放電が発生し、かつ、放電の発生部位とは異なる部位において測定値の波形に歪みが生じた状態となったときに、放電に対応する「放電波形成分」のレベルが低いときには、波形において歪みが生じた部位に「放電波形成分」が存在すると誤って判定してしまうおそれがある。そこで、対応する波形に部分的な歪みが生じているような波形データＤ０において低レベルの「放電波形成分」を好適に検出可能な状態とするために、以下に説明する手順に従って「判定用の波形データ」を生成する。
【０１１８】
まず、対応する波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する波形データＤ０の各測定値Ｄｓにおける「連続するＫサンプリング内の変化量」をそれぞれ特定する「変化量特定処理」を実行する。この「変化量特定処理」では、まず、一例として、波形データＤ０の各測定値Ｄｓに対する２回程度の「微分処理」を行う（各測定値Ｄｓの二階微分値を求める）と共に、その絶対値を測定値とする波形データＤ１０を生成する。次いで、波形データＤ１０の各測定値を対象とするＫポイントの「移動平均処理」を行って波形データＤ１１を生成する。この際には、一例として５１ポイントの「移動平均処理」（「Ｋ＝５１サンプリング」の例）を行う。なお、「単純移動平均処理」に代えて「重み付け移動平均処理」を行って波形データＤ１１を生成してもよい。
【０１１９】
続いて、波形データＤ１１の各測定値を、最大値が「１」となるように正規化する。これにより、波形データＤ０の各測定値Ｄｓにおいて連続するＫ＝５１サンプリング内の変化量が大きい部位に対応する測定値が大きく、連続するＫ＝５１サンプリング内の変化量が小さい部位に対応する測定値が小さい波形データＤ１２が生成されて、「変化量特定処理」が完了する。
【０１２０】
次に、前述したＮｂ回の「フィルタリング処理（第２の変換処理）」において「波形データＤ０の波形Ｗ０における［周期的なノイズ成分］の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である［第３の絶対値］の低下量」が少量のＭ種類の「フィルタ」を使用して各「値変換処理」を実行する（「処理Ａ」の一例）。この場合、「［第３の絶対値］の低下量が少量の［フィルタ］を使用した［フィルタリング処理］」とは、例えば、「リンギング」の周波数と同程度の周波数の「ノイズ成分」の減衰量が少ない「フィルタ」や、「フィルタリング処理」によって減衰する「ノイズ成分」の周波数の種類数が少ない「フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」、または、実質的に値を変化させない「フィルタリング処理（処理しないのと同然の処理）」を意味する。
【０１２１】
この「処理Ａ」では、一例として、まず、Ｍ＝４種類の上記のような「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理（第１の変換処理）」とを実行して波形データＤ２１を生成する。次いで、波形データＤ２１の各測定値を絶対値化して波形データＤ２２を生成する。続いて、波形データＤ２２を対象として、前述した「第１の暫定閾値」を求めた手順と同様の手順に従い、「標準偏差σの範囲内に含まれる［ノイズ成分］」に対応する測定値の大きさ（以下、「標準ノイズ値」ともいう）を求める。次いで、波形データＤ２２の各測定値を上記の標準ノイズ値で除して波形データＤ２３を生成する。これにより、「処理Ａ」による「判定用の波形データ」の生成が完了する。
【０１２２】
次いで、前述したＮｂ回の「フィルタリング処理」において「［第３の絶対値］の低下量」が「処理Ａ」時に使用する「フィルタ」よりも多いＭ種類の「フィルタ」を使用して各「値変換処理」を実行する（「処理Ｂ」の一例）。この場合、「［第３の絶対値］の低下量が「処理Ａ」時に使用する「フィルタ」よりも多い［フィルタ］を使用した［フィル
リング処理］」とは、例えば、「リンギング」の周波数と同程度の周波数の「ノイズ成分」の減衰量が上記の「処理Ａ」による減衰量よりも多い「フィルタ」や、「フィルタリング処理」によって減衰する「ノイズ成分」の周波数の種類数が上記の「処理Ａ」において使用する「フィルタ」よりも多い「フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を意味する。
【０１２３】
この「処理Ｂ」では、一例として、まず、Ｍ＝４種類の上記のような「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して波形データＤ３１を生成する。次いで、波形データＤ３１の各測定値を絶対値化して波形データＤ３２を生成する。続いて、波形データＤ３２を対象として、前述した「第１の暫定閾値」を求めた手順と同様の手順に従って標準ノイズ値を求める。次いで、波形データＤ３２の各測定値を標準ノイズ値で除して波形データＤ３３を生成する。これにより、「処理Ｂ」による「判定用の波形データ」の生成が完了する。
【０１２４】
続いて、波形データＤ０の各測定値について、「変化量特定処理」によって特定した変化量が「予め規定された量」を下回る測定値Ｄｓを「処理Ａ」によって変換された測定値に置き換えると共に、「変化量特定処理」によって特定した変化量が「予め規定された量」以上の測定値Ｄｓを「処理Ｂ」によって変換された測定値に置き換える（「第１の置換処理」の一例）。具体的には、波形データＤ０の各測定値Ｄｓに関し、波形データＤ１２の測定値が規定量を下回る部位の測定値Ｄｓを波形データＤ２３の測定値に置き換えると共に、波形データＤ１２の測定値が規定量以上の部位の測定値Ｄｓを波形データＤ３３の測定値に置き換える。以上により、波形データＤ４１が生成されて「第１の置換処理」が完了する。
【０１２５】
なお、上記の「第１の置換処理」に代えて、波形データＤ０の各測定値について、「変化量特定処理」によって特定した変化量が最も小さい測定値Ｄｓ（または、変化量が「０」の測定値Ｄｓ）が「処理Ａ」によって変換された測定値に置き換わり、かつ変化量が最も大きい測定値Ｄｓが「処理Ｂ」によって変換された測定値に置き換わるとの条件が満たされるように、波形データＤ０の各測定値Ｄｓを、「変化量特定処理」によって特定した変化量の大きさに応じて（一例として、「変化量」の大きさに比例させて）、「処理Ａ」によって変換された「測定値」から「処理Ｂ」によって変換された測定値までの範囲内の値に置き換える処理（「第２の置換処理」の一例）を実行することもできる。
【０１２６】
この場合、変化量の大きさに応じて置き換える測定値については、波形データＤ２３の測定値および波形データＤ３３の測定値に基づいて演算する。具体的には、一例として、波形データＤ０の各測定値Ｄｓを、「［置き換える測定値］＝（１−［変化量］）×［処理Ａによって変換された測定値］＋［変化量］×［処理Ｂによって変換された測定値］」との演算式によって演算される測定値に置き換える処理を「第２の置換処理」として実行すすることができる。
【０１２７】
次いで、一例として、前述した「判定処理」時における「判定用閾値（基準値）」の規定手順に従って波形データＤ４１に基づいて「判定用閾値」を規定する。この後、規定した「判定用閾値」と波形データＤ４１の各測定値（「第１の置換処理によって置き換えた各測定値」の一例）との比較によって波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する。なお、「第１の置換処理」に代えて「第２の置換処理」を実行した場合には、「第２の置換処理」によって生成した波形データに基づいて「判定用閾値」を規定し、規定した「判定用閾値」と、その波形データの各測定値（「第２の置換処理によって置き換えた各測定値」の一例）との比較によって波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する。以上により、「判定処理」が完了する。
【０１２８】
この場合、上記の「第１の置換処理」によって生成された波形データＤ４１では、波形データＤ０において連続するＫ＝５１サンプリング内の変化量が小さい測定値Ｄｓ（すなわち、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が小さい測定値Ｄｓ）が、「処理Ａ」によって生成された波形データＤ２３の測定値（すなわち、「フィルタリング処理」によって値を大きく変化させられていない測定値）に置き換えられている。したがって、波形データＤ４１に基づく上記のような判定を行うことにより、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が小さい部位において放電が発生していた場合には、その放電に対応する測定値が過剰に小さな値に変換されるのが回避される結果、「放電波形成分」を好適に検出することができる。
【０１２９】
なお、図示を省略するが、「第２の置換処理」によって生成された波形データでは、波形データＤ０において連続するＫ＝５１サンプリング内の変化量が小さい測定値Ｄｓ（インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が小さい測定値Ｄｓ）ほど、「処理Ａ」によって生成された波形データＤ２３の測定値（「フィルタリング処理」によって値を大きく変化させられていない測定値）に近い測定値に置き換えられている。したがって、「第２の置換処理」によって生成された波形データに基づく判定を行ったときにも、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が小さい部位において放電が発生していた場合には、その放電に対応する測定値が過剰に小さな値に変換されるのが回避される結果、「放電波形成分」を好適に検出することができる。
【０１３０】
また、上記の「第１の置換処理」によって生成された波形データＤ４１では、波形データＤ０において連続するＫ＝５１サンプリング内の変化量が大きい測定値Ｄｓ（すなわち、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が大きい測定値Ｄｓ）が、「処理Ｂ」によって生成された波形データＤ３３の測定値（すなわち、「フィルタリング処理」によって値を大きく変化させられた測定値）に置き換えられている。したがって、波形データＤ４１に基づく上記のような判定を行うことにより、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が大きい部位において放電が発生していた場合には、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化の影響が十分に軽減されるため、「放電波形成分」を好適に検出することができる。
【０１３１】
なお、図示を省略するが、「第２の置換処理」によって生成された波形データでは、波形データＤ０において連続するＫ＝５１サンプリング内の変化量が大きい測定値Ｄｓ（インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が大きい測定値Ｄｓ）ほど、「処理Ｂ」によって生成された波形データＤ３３の測定値（「フィルタリング処理」によって値を大きく変化させられた測定値）に近い測定値に置き換えられている。したがって、「第２の置換処理」によって生成された波形データに基づく判定を行ったときにも、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が大きい部位において放電が発生していた場合には、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化の影響が十分に軽減されるため、「放電波形成分」を好適に検出することができる。
【０１３２】
続いて、上記のような生成手順によって生成した「判定用の波形データ」を使用した「判定処理」の効果の一例について、添付図面を参照して説明する。
【０１３３】
例えば、測定処理時に放電が発生せず、かつ部分的な歪みが生じていない波形データＤ０（以下、「波形データＤ０ｉ」という）の波形Ｗ０ｉは、一例として、図２２のようになる。
【０１３４】
この波形データＤ０ｉを対象とする「変化量特定処理」において各測定値Ｄｓの２階微分値を絶対値化した波形データＤ１０ｉの波形Ｗ１０ｉは、図２３のようになる。また、波形データＤ１０ｉの各測定値を対象とする重み付け移動平均処理を行った波形データＤ１１ｉの波形Ｗ１１ｉは、図２４のようになる。さらに、波形データＤ１１ｉの各測定値を正規化した波形データＤ１２ｉの波形Ｗ１２ｉは、図２５のようになる。
【０１３５】
また、波形データＤ０ｉを対象とする「処理Ａ」において「［第３の絶対値］の低下量」が少量のＭ＝４種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して生成した波形データＤ２１ｉの波形Ｗ２１ｉは、図２６のようになる。また、波形データＤ２１ｉの各測定値を絶対値化した波形データＤ２２ｉの波形Ｗ２２ｉは、図２７に示すようになる。さらに、波形データＤ２２ｉの各測定値を標準ノイズ値で除して生成した波形データＤ２３ｉの波形Ｗ２３ｉは、図２８のようになる。
【０１３６】
さらに、波形データＤ０ｉを対象とする「処理Ｂ」において「［第３の絶対値］の低下量」が「処理Ａ」時の「フィルタ」よりも多いＭ＝４種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して生成した波形データＤ３１ｉの波形Ｗ３１ｉは、図２９のようになる。また、波形データＤ３１ｉの各測定値を絶対値化した波形データＤ３２ｉの波形Ｗ３２ｉは、図３０に示すようになる。さらに、波形データＤ２３ｉの各測定値を標準ノイズ値で除して生成した波形データＤ３３ｉの波形Ｗ３３ｉは、図３１のようになる。
【０１３７】
また、上記の波形データＤ１２ｉの各測定値に基づく「第１の置換処理」によって波形データＤ０ｉの各測定値Ｄｓを波形データＤ２３ｉの測定値および波形データＤ３３ｉの測定値のいずれかに置換した波形データＤ４１ｉの波形Ｗ４１ｉは、図３２のようになる。なお、同図における実線Ｌｉは、波形データＤ４１ｉの各測定値に基づいて規定した「判定用閾値（基準値）」を示している。
【０１３８】
この場合、上記の例では、「処理Ａ」によって生成した波形データＤ２３ｉの波形Ｗ２３ｉ、および「処理Ｂ」によって生成した波形データＤ３３ｉの波形Ｗ３３ｉのいずれにおいても、「放電波形成分」に対応する測定値であると判定される大きな測定値が存在していない。このため、この波形データＤ２３ｉの測定値、および波形データＤ３３ｉの測定値のいずれかに置換されて生成された波形データＤ４１ｉの波形Ｗ４１ｉにおいても、「放電波形成分」に対応する測定値であると判定される大きな測定値が存在しない状態となっている。
【０１３９】
したがって、測定処理時におけるインパルス電圧の印加に伴う測定値Ｄｓの単位時間あたりの変化量が小さく、かつ放電が発生しなかったときに測定装置２によって生成される波形データＤ０を対象とする「判定処理」において、「変化量特定処理」、「処理Ａ」、「処理Ｂ」および「第１の置換処理」を実行して生成した波形データＤ４１ｉ（「判定用の波形データ」）に基づいて、波形データＤ０ｉの波形Ｗ０ｉに「放電波形成分」が含まれているか否かを判定することにより、「放電波形成分」が含まれていないと正しく判定することができるのが理解できる。なお、図示および詳細な説明を省略するが、「第１の置換処理」に代えて「第２の置換処理」を行った場合にも、「第１の置換処理」を行った上記の例と同様の効果が奏される。
【０１４０】
一方、例えば、測定処理時に放電が発生し、かつ部分的な歪みが生じていない波形データＤ０（以下、「波形データＤ０ｊ」という）の波形Ｗ０ｊは、一例として、図３３のようになる。この場合、同図に示す波形Ｗ０ｊの例では、矢印ＡＡ０ｊで示す部位（図３４の左図参照）、および矢印ＡＢ０ｊで示す部位（図３４の右図参照）において「放電」が発生している。
【０１４１】
この波形データＤ０ｊを対象とする「変化量特定処理」において各測定値Ｄｓの２階微分値を絶対値化した波形データＤ１０ｊの波形Ｗ１０ｊは、図３５のようになる。また、波形データＤ１０ｊの各測定値を対象とする重み付け移動平均処理を行った波形データＤ１１ｊの波形Ｗ１１ｊは、図３６のようになる。さらに、波形データＤ１１ｊの各測定値を正規化した波形データＤ１２ｊの波形Ｗ１２ｊは、図３７のようになる。
【０１４２】
また、波形データＤ０ｊを対象とする「処理Ａ」において「［第３の絶対値］の低下量」が少量のＭ＝４種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して生成した波形データＤ２１ｊの波形Ｗ２１ｊは、図３８のようになる。また、波形データＤ２１ｊの各測定値を絶対値化した波形データＤ２２ｊの波形Ｗ２２ｊは、図３９に示すようになる。さらに、波形データＤ２２ｊの各測定値を標準ノイズ値で除して生成した波形データＤ２３ｊの波形Ｗ２３ｊは、図４０のようになる。
【０１４３】
さらに、波形データＤ０ｊを対象とする「処理Ｂ」において「［第３の絶対値］の低下量」が「処理Ａ」時の「フィルタ」よりも多いＭ＝４種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して生成した波形データＤ３１ｊの波形Ｗ３１ｊは、図４１のようになる。また、波形データＤ３１ｊの各測定値を絶対値化した波形データＤ３２ｊの波形Ｗ３２ｊは、図４２に示すようになる。さらに、波形データＤ２３ｊの各測定値を標準ノイズ値で除して生成した波形データＤ３３ｊの波形Ｗ３３ｊは、図４３のようになる。
【０１４４】
また、上記の波形データＤ１２ｊの各測定値に基づく「第１の置換処理」によって波形データＤ０ｊの各測定値Ｄｓを波形データＤ２３ｊの測定値および波形データＤ３３ｊの測定値のいずれかに置換した波形データＤ４１ｊの波形Ｗ４１ｊは、図４４のようになる。なお、同図における実線Ｌｊは、波形データＤ４１ｊの各測定値に基づいて規定した「判定用閾値（基準値）」を示している。
【０１４５】
この場合、上記の例では、「処理Ａ」によって生成した波形データＤ２３ｊの波形Ｗ２３ｊにおいて、波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＡ０ｊで示す部位に対応する矢印ＡＡ２３ｊで示す部位と、波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＢ０ｊで示す部位に対応する矢印ＡＢ２３ｊで示す部位との２箇所に「判定用閾値（基準値）」よりも大きな値の測定値が存在している。これに対して、「処理Ｂ」によって生成した波形データＤ３３ｊの波形Ｗ３３ｊにおいては、波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＡ０ｊで示す部位に対応する矢印ＡＡ３３ｊで示す部位に「判定用閾値（基準値）」よりも大きな値の測定値が存在するものの、波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＢ０ｊで示す部位に対応する矢印ＡＢ３３ｊで示す部位の測定値は、「判定用閾値（基準値）」よりも小さな値となっている。
【０１４６】
このため、この例では、「処理Ｂ」におけるＮｂ回の「フィルタリング処理」を行っただけでは、「放電波形成分」の存在を特定できない箇所が存在してしまう。しかしながら、波形データＤ０ｊの波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＢ０ｊで示す部位において放電が発生したか否かを正しく特定するために、波形データＤ２３ｊを「判定用の波形データ」とする判定処理を行うのが好ましいのか、波形データＤ３３ｊを「判定用の波形データ」とする判定処理を行うのが好ましいのか判らない。したがって、「処理Ａ」時の「フィルタリング処理」と同様の「フィルタリング処理」を実行して生成した「判定用の波形データ」だけたけを使用した「判定処理」では、「放電波形成分」の有無の正確な判定が困難となることがある。
【０１４７】
一方、上記の例において、波形データＤ１２ｊに基づいて波形データＤ２３ｊの測定値および波形データＤ３３ｊの測定値のいずれかに置き換えた波形データＤ４１ｊの波形Ｗ４１ｊでは、波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＡ０ｊで示す部位に対応する矢印ＡＡ４１ｊで示す部位と、波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＢ０ｊで示す部位に対応する矢印ＡＢ４１ｊで示す部位との２箇所に「判定用閾値（基準値）」よりも大きな値の測定値が存在している。このため、本例の手順に従って「判定用の波形データ」を生成することにより、「放電波形成分」の有無を一層正確に判定することができるのが理解できる。
【０１４８】
また、例えば、測定処理時に放電が発生せず、かつ部分的な歪みが生じている波形データＤ０（以下、「波形データＤ０ｋ」という）の波形Ｗ０ｋは、一例として、図４５のようになる。この場合、同図に示す波形Ｗ０ｋの例では、矢印ＡＡ０ｋで示す部位（図４６参照）において波形に歪みが生じている。
【０１４９】
この波形データＤ０ｋを対象とする「変化量特定処理」において各測定値Ｄｓの２階微分値を絶対値化した波形データＤ１０ｋの波形Ｗ１０ｋは、図４７のようになる。また、波形データＤ１０ｋの各測定値を対象とする重み付け移動平均処理を行った波形データＤ１１ｋの波形Ｗ１１ｋは、図４８のようになる。さらに、波形データＤ１１ｋの各測定値を正規化した波形データＤ１２ｋの波形Ｗ１２ｋは、図４９のようになる。
【０１５０】
また、波形データＤ０ｋを対象とする「処理Ａ」において「［第３の絶対値］の低下量」が少量のＭ＝４種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して生成した波形データＤ２１ｋの波形Ｗ２１ｋは、図５０のようになる。また、波形データＤ２１ｋの各測定値を絶対値化した波形データＤ２２ｋの波形Ｗ２２ｋは、図５１に示すようになる。さらに、波形データＤ２２ｋの各測定値を標準ノイズ値で除して生成した波形データＤ２３ｋの波形Ｗ２３ｋは、図５２のようになる。
【０１５１】
さらに、波形データＤ０ｋを対象とする「処理Ｂ」において「［第３の絶対値］の低下量」が「処理Ａ」時の「フィルタ」よりも多いＭ＝４種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して生成した波形データＤ３１ｋの波形Ｗ３１ｋは、図５３のようになる。また、波形データＤ３１ｋの各測定値を絶対値化した波形データＤ３２ｋの波形Ｗ３２ｋは、図５４に示すようになる。さらに、波形データＤ２３ｋの各測定値を標準ノイズ値で除して生成した波形データＤ３３ｋの波形Ｗ３３ｋは、図５５のようになる。
【０１５２】
また、上記の波形データＤ１２ｋの各測定値に基づく「第１の置換処理」によって波形データＤ０ｋの各測定値Ｄｓを波形データＤ２３ｋの測定値および波形データＤ３３ｋの測定値のいずれかに置換した波形データＤ４１ｋの波形Ｗ４１ｋは、図５６のようになる。なお、同図における実線Ｌｋは、波形データＤ４１ｋの各測定値に基づいて規定した「判定用閾値（基準値）」を示している。
【０１５３】
この場合、上記の例では、「処理Ｂ」によって生成した波形データＤ３３ｋの波形Ｗ３３ｋにおいては、波形Ｗ０ｋにおける矢印ＡＡ０ｋで示す部位に対応する矢印ＡＡ３３ｋで示す部位に「判定用閾値（基準値）」よりも大きな値の測定値が存在しないものの、「処理Ａ」によって生成した波形データＤ２３ｋの波形Ｗ２３ｋにおいては、波形Ｗ０ｋにおける矢印ＡＡ０ｋで示す部位に対応する矢印ＡＡ２３ｋで示す部位に「判定用閾値（基準値）」よりも大きな値の測定値が存在した状態となっている。このため、この例では、「処理Ａ」におけるＮｂ回の「フィルタリング処理」を行っただけでは、波形の歪みを「放電波形成分」であると誤判定するおそれがある。
【０１５４】
しかしながら、波形データＤ０ｋの波形Ｗ０ｋにおける矢印ＡＡ０ｋで示す部位において波形が歪んでいることを認識していない場合には、波形データＤ２３ｋを「判定用の波形データ」とする判定処理を行うのが好ましいのか、波形データＤ３３ｋを「判定用の波形データ」とする判定処理を行うのが好ましいのか判らない。したがって、「処理Ｂ」時の「フィルタリング処理」と同様の「フィルタリング処理」を実行して生成した「判定用の波形データ」だけを使用した「判定処理」では、「放電波形成分」の有無の正確な判定が困難となることがある。
【０１５５】
一方、上記の例において、波形データＤ１２ｋに基づいて波形データＤ２３ｋの測定値および波形データＤ３３ｋの測定値のいずれかに置き換えた波形データＤ４１ｋの波形Ｗ４１ｋでは、波形Ｗ０ｋにおける矢印ＡＡ０ｋで示す部位に対応する矢印ＡＡ４１ｋで示す部位の測定値が「判定用閾値（基準値）」よりも小さな値となっている。このため、本例の手順に従って「判定用の波形データ」を生成することにより、「放電波形成分」の有無を正確に判定することができるのが理解できる。なお、図示および詳細な説明を省略するが、「第１の置換処理」に代えて「第２の置換処理」を行った場合にも、「第１の置換処理」を行った上記の例と同様の効果が奏される。
【０１５６】
このように、上記のデータ処理装置３では、処理部２３が、「判定処理」において、波形データＤ０の各測定値Ｄｓにおける連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する「変化量特定処理」と、Ｎｂ回（一例として、Ｎｂ＝５回）の「第２の変換処理（フィルタリング処理）」において「［第３の絶対値］の低下量」が少量のＭ種類（一例として、Ｍ＝５種類）の「フィルタ」を使用して各「値変換処理」を実行する「処理Ａ」と、Ｎｂ回（一例として、Ｎｂ＝５回）の「第２の変換処理（フィルタリング処理）」において「［第３の絶対値］の低下量」が「処理Ａ」時に使用する各「フィルタ」よりも多いＭ種類（一例として、Ｍ＝５種類）の「フィルタ」を使用して各「値変換処理」を実行する「処理Ｂ」と、「変化量特定処理」によって特定した「変化量」が予め規定された量を下回る測定値を「処理Ａ」によって変換された測定値に置き換えると共に、「変化量特定処理」によって特定した「変化量」が予め規定された量以上の測定値を「処理Ｂ」によって変換された測定値に置き換える「第１の置換処理」とを実行し、「第１の置換処理」によって置き換えた各測定値に基づいて「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する。また、上記のデータ処理用プログラムＤｐでは、上記の各処理をデータ処理装置３の処理部２３に実行させる。
【０１５７】
また、上記のデータ処理装置３では、処理部２３が、「判定処理」において、波形データＤ０の各測定値Ｄｓにおける連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する「変化量特定処理」と、Ｎｂ回（一例として、Ｎｂ＝５回）の「第２の変換処理（フィルタリング処理）」において「［第３の絶対値］の低下量」が少量のＭ種類（一例として、Ｍ＝５種類）の「フィルタ」を使用して各「値変換処理」を実行する「処理Ａ」と、Ｎｂ回（一例として、Ｎｂ＝５回）の「第２の変換処理（フィルタリング処理）」において「［第３の絶対値］の低下量」が「処理Ａ」時に使用する各「フィルタ」よりも多いＭ種類（一例として、Ｍ＝５種類）の「フィルタ」を使用して各「値変換処理」を実行する「処理Ｂ」と、「変化量特定処理」によって特定した「変化量」が最も小さい測定値Ｄｓが「処理Ａ」によって変換された測定値に置き換わり、かつ「変化量」が最も大きい測定値Ｄｓが「処理Ｂ」によって変換された測定値に置き換わるように、各測定値Ｄｓを「変化量」の大きさに応じて「処理Ａ」によって変換された測定値から「処理Ｂ」によって変換された測定値までの範囲内の値に置き換える「第２の置換処理」とを実行し、「第２の置換処理」によって置き換えた各測定値に基づいて「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する。また、上記のデータ処理用プログラムＤｐでは、上記の各処理をデータ処理装置３の処理部２３に実行させる。
【０１５８】
したがって、このデータ処理装置３およびデータ処理用プログラムＤｐによれば、波形データＤ０の各測定値Ｄｓの変化量が小さい部位については、過剰に小さな値に値変換されないため、放電に対応する測定値が過剰に小さな値となる事態が好適に回避され、波形データＤ０の各測定値Ｄｓの変化量が大きい部位については、十分に値変換された測定値に置換されて各測定値Ｄｓの変化の影響が十分に軽減されるため、「第１の置換処理」または「第２の置換処理」後の測定値に基づく判定を行うことで、波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを一層正確に判定することができる。
【０１５９】
なお、「データ処理装置」および「測定システム」の構成や、「データ処理用プログラム」による処理の手順は、上記のデータ処理装置３の構成、およびデータ処理装置３を備えて構成された測定システム１の構成の例や、データ処理用プログラムＤｐの記述の内容の例に限定されない。例えば、複数回の「値変換処理」における「第１の変換処理（微分処理）」の実行回数（「Ｎａ」の値）は、上記の各例における例示の回数に限定されず、１回、または３回以上の任意の複数回とすることができる。また、複数回の「値変換処理」における「第２の変換処理（フィルタリング処理）」の実行回数（「Ｎｂ」の値）は、上記の各例における例示の回数に限定されず、２回以上の任意の複数回とすることができる。この場合、「第１の変換処理」の実行回数と「第２の変換処理」の実行回数とを異ならせる（「Ｎａ」の値と「Ｎｂ」の値とを相違させる）こともできる。
【０１６０】
さらに、「第１の変換処理」として「微分処理」を実行する構成および方法を例に挙げて説明したが、「微分処理」に代えて、「微分処理」を行ったときと同様の値変換が行われる「［ハイパスフィルタ］や［バンドパスフィルタ］を使用したフィルタリング処理」を「第１の変換処理」として実行する構成および方法を採用することができる。
【０１６１】
また、測定装置２と、測定装置２とは別体のデータ処理装置３とを備えて測定システム１を構成した例について説明したが、「測定装置」および「データ処理装置」を一体化した装置を「測定システム」として構成することもできる。加えて、「測定対象」としての巻線部品についてのデータを処理して検査する例について説明したが、「データ処理装置」によるデータ処理の対象や、「測定システム」による検査の対象はこれに限定されず、コンデンサや抵抗体などの各種の電子部品や、回路基板上の任意の検査ポイント間についての「波形データ」に基づいて判定処理（検査処理）を実行することができる。
【符号の説明】
【０１６２】
１  測定システム
２  測定装置
３  データ処理装置
１１  測定信号発生部
１２  Ａ／Ｄ変換部
１３，２３  処理部
１４，２４  記憶部
２１  操作部
２２  表示部
Ｄ０，Ｄ０・・  波形データ
Ｄｐ  データ処理用プログラム
Ｄｒ  検査結果データ
Ｄｓ  測定値
Ｗ０，Ｗ１・・  波形
Ｘ  検査対象
【図１】
2019203813.tif 000003
【図２】
2019203813.tif 000004
【図３】
2019203813.tif 000005
【図４】
2019203813.tif 000006
【図５】
2019203813.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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