(57)【要約】【課題】加熱プレスにより得られる加圧製品表面の平滑性を確保するために有効なキャリア材及びそれを用いた加熱プレス方法を提供する。【解決手段】加熱プレス用途に用いられるキャリア材であって、（１）少なくともアルミニウム基材を有し、（２）前記アルミニウム基材は、スムースター法により測定した表面平滑度が２．６ｋＰａ以上である、ことを特徴とするキャリア材。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱プレス用途に用いられるキャリア材であって、
（１）少なくともアルミニウム基材を有し、
（２）前記アルミニウム基材は、スムースター法により測定した表面平滑度が２．６ｋＰａ以上である、
ことを特徴とするキャリア材。
【請求項２】
前記アルミニウム基材は、表面に凹凸を有しており、凸部が浮島状に存在し、凹部が前記アルミニウム基材の平面方向において連続的につながった状態で存在する、請求項１に記載のキャリア材。
【請求項３】
前記アルミニウム基材は、エッチング処理されている、請求項１又は２に記載のキャリア材。
【請求項４】
前記アルミニウム基材の片面又は両面に更に樹脂フィルムが積層されている、請求項１〜３のいずれかに記載のキャリア材。
【請求項５】
キャリア材を用いた加熱プレス方法であって、前記キャリア材は、
（１）少なくともアルミニウム基材を有し、
（２）前記アルミニウム基材は、スムースター法により測定した表面平滑度が２．６ｋＰａ以上である、
ことを特徴とする加熱プレス方法。
【請求項６】
前記アルミニウム基材は、エッチング処理されている、請求項５に記載の加熱プレス方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャリア材（「離型材」、「離型フィルム」等ともいう）及びそれを用いた加熱プレス方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えばプリント配線板の製造過程において、不織布などの基材に熱硬化性樹脂を含浸して乾燥させた含浸紙布（いわゆるプリプレグ）を積み重ねて加熱プレスすることにより熱硬化性樹脂積層板を作製することが行われている。このとき、加熱プレス機の上下のダイと熱硬化性樹脂積層板との離型性を確保したり、上下のダイとの接触による熱硬化性樹脂積層板の汚損を防止するためにキャリア材を介して加熱プレスが行われる。
【０００３】
キャリア材としては種々のものが知られているが、例えば特許文献１には、ポリエステルフィルムの片面に硬化型シリコーン離型剤層を、他の片面に金属箔層を形成させた離型フィルムをキャリア材として用いることが開示されている（請求項１）。また、金属箔層としては一般にアルミニウム箔が使用されることが記載されている（２頁右上欄）。
【０００４】
また、特許文献２には、プリント基板等に用いる樹脂ベース積層板を加熱プレスで製造する際に用いる離型材（キャリア材）に関し、アルミニウム箔の片面又は両面にエポキシ樹脂とセルロース樹脂よりなる剥離剤層を設けた離型材が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭５９−２２２３４７号公報
【特許文献２】特開平１１−１４８０４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のキャリア材によれば、加熱プレス後の被加圧物の離型性が良く、またキャリア材の材質（特に樹脂成分）を選択することにより被加圧物に対する防汚性も確保することができる。しかしながら、従来の加熱プレスにおいては、加熱プレス機の上下のダイと被加圧物との間に残る空気又は加熱プレス時に生じるガスの影響により、加熱プレス後の加圧製品の表面にうねりや微小な凹凸が生じることが指摘されている。また、加熱プレス時の加熱及び加圧により熱接着フィルム等を被加圧物の表面に接着してパッケージ化するような場合には、加圧プレス後の加圧製品の内部に気泡が残存して加圧製品（パッケージ）の平滑性を低下させることが指摘されている。更に、近年の精密機器部材に対する要求の高まりから、加圧製品表面のより高い平滑性が求められている。
【０００７】
本発明は、上記従来技術の問題を改善するために完成されたものであり、加熱プレスにより得られる加圧製品表面の平滑性を確保するために有効なキャリア材及びそれを用いた加熱プレス方法を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、特定の表面平滑度を有するアルミニウム基材を有するキャリア材が上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
即ち、本発明は、下記のキャリア材及びそれを用いた加熱プレス方法に関する。
１．加熱プレス用途に用いられるキャリア材であって、
（１）少なくともアルミニウム基材を有し、
（２）前記アルミニウム基材は、スムースター法により測定した表面平滑度が２．６ｋＰａ以上である、
ことを特徴とするキャリア材。
２．前記アルミニウム基材は、表面に凹凸を有しており、凸部が浮島状に存在し、凹部が前記アルミニウム基材の平面方向において連続的につながった状態で存在する、上記項１に記載のキャリア材。
３．前記アルミニウム基材は、エッチング処理されている、上記項１又は２に記載のキャリア材。
４．前記アルミニウム基材の片面又は両面に更に樹脂フィルムが積層されている、上記項１〜３のいずれかに記載のキャリア材。
５．キャリア材を用いた加熱プレス方法であって、前記キャリア材は、
（１）少なくともアルミニウム基材を有し、
（２）前記アルミニウム基材は、スムースター法により測定した表面平滑度が２．６ｋＰａ以上である、
ことを特徴とする加熱プレス方法。
６．前記アルミニウム基材は、エッチング処理されている、上記項５に記載の加熱プレス方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のキャリア材によれば、少なくともアルミニウム基材を有し、前記アルミニウム基材のスムースター法により測定した表面平滑度が２．６ｋＰａ以上であることにより、加熱プレス時のキャリア材として使用した場合に、加熱プレスにより得られる加圧製品表面の平滑性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】比較例１で作製したキャリア材のアルミニウム箔の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による表面観察像（２００倍）を示す図である。
【図２】比較例２で作製したキャリア材のアルミニウム箔のＳＥＭによる表面観察像（２００倍）を示す図である。
【図３】実施例３で作製したキャリア材のアルミニウム箔のＳＥＭによる表面観察像（２００倍）を示す図である。
【図４】比較例４で用いたキャリア材のアルミニウム箔のＳＥＭによる表面観察像（２００倍）を示す図である。
【図５】比較例４で用いたキャリア材のアルミニウム箔のＳＥＭによる表面観察像（５０００倍）を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明のキャリア材及びそれを用いた加熱プレス方法について詳細に説明する。
【００１３】
本発明のキャリア材
本発明のキャリア材は加熱プレス用途に用いられるキャリア材であって、
（１）少なくともアルミニウム基材を有し、
（２）前記アルミニウム基材は、スムースター法により測定した表面平滑度が２．６ｋＰａ以上である、
ことを特徴とする。
【００１４】
上記特徴を有する本発明のキャリア材は、少なくともアルミニウム基材を有し、前記アルミニウム基材のスムースター法により測定した表面平滑度が２．６ｋＰａ以上であることにより、加熱プレス時のキャリア材として使用した場合に、加熱プレスにより得られる加圧製品表面の平滑性を確保することができる。つまり、上記アルミニウム基材は、上記表面平滑度となるようにその表面が粗面化処理されている。
【００１５】
本発明のキャリア材に用いるアルミニウム基材は、スムースター法により測定した表面平滑度（この表面平滑度は当該表面近傍の通気性を示す指標となり、特定の粗面化表面を有することを示す）が２．６ｋＰａ以上であるものであれば特に限定されない。キャリア材に含まれるアルミニウム基材がかかる表面平滑度を有することにより、加熱プレス機の上下のダイと被加圧物との間に残る空気又は加熱プレス時に生じるガスを、加熱プレス時にアルミニウム基材の粗面化表面から加圧領域の外に逃がすことにより加圧製品表面の平滑性を確保することができる。また、加熱プレス時の加熱及び加圧により熱接着フィルム等を被加圧物の表面に接着してパッケージ化するような場合でも、前記キャリア材を用いることにより、加熱プレスする際に加圧製品の内部の気泡の残存を抑制して加圧製品表面の平滑性を確保することができる。
【００１６】
粗面化処理する前のアルミニウム基材としては、公知のアルミニウム箔を用いることができ、純アルミニウム箔又はアルミニウム合金箔を用いることができる。アルミニウム合金箔を用いる場合には、成分として、珪素（Ｓｉ）、鉄（Ｆｅ）、銅（Ｃｕ）、マンガン（Ｍｎ）、マグネシウム（Ｍｇ）、クロム（Ｃｒ）、亜鉛（Ｚｎ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、ガリウム（Ｇａ）、ニッケル（Ｎｉ）及びホウ素（Ｂ）の少なくとも１種の合金元素を必要範囲内において添加したアルミニウム合金箔、或いは上記合金元素の含有量を限定したアルミニウム箔を用いることができる。工業的には、ＪＩＳで規定される１Ｎ３０、８０７９、８０２１等の材質のアルミニウム箔を用いることができる。
【００１７】
粗面化処理する前のアルミニウム基材の厚みは、特に限定されない。本発明のキャリア材の生産性を考慮すると、アルミニウム箔の場合は５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましく、１５μｍ以上１５０μｍ以下であることが特に好ましい。但し、粗面化処理する前のアルミニウム基材としては、アルミニウム箔だけでなくより厚みが大きいアルミニウム板材も適用することができる。この場合には、アルミニウム板材の厚みとしては２００μｍ以上２０００μｍ以下であることが好ましい。
【００１８】
粗面化処理する前のアルミニウム基材（箔又は板材）は、公知の方法によって製造されるものを使用することができる。例えば、上記の所定の組成を有するアルミニウム又はアルミニウム合金の溶湯を調製し、これを鋳造して得られた鋳塊を適切に均質化処理する。その後、この鋳塊に熱間圧延及び冷間圧延を施すことにより、アルミニウム板材又はアルミニウム箔を得ることができる。
【００１９】
なお、上記の冷間圧延工程の途中で５０〜５００℃、特に１５０〜４００℃の範囲内で中間焼鈍処理を施してもよい。また、上記の冷間圧延工程の後に１５０〜６５０℃、特に３５０〜５５０℃の範囲内で焼鈍処理を施して軟質箔としてもよい。
【００２０】
粗面化処理する前のアルミニウム基材を粗面化処理する方法は限定されず、本願所定の表面平滑度（粗面度）が得られる方法であればよい。例えば、エッチング、ブラスト処理等の公知の粗面化処理方法が適用できる。この中でもエッチングが好ましい。
【００２１】
エッチングは、酸性又はアルカリ性の溶液を用いて行なわれる。エッチング液としては、例えば、硫酸、燐酸、クロム酸、硝酸、フッ酸、酢酸、苛性ソーダ、塩化第二鉄、過塩素酸等の単独の溶液又はそれらの二種以上の混合溶液を使用することができる。もちろん、水等の溶媒を用いて適当に上記の溶液を希釈してエッチング液として使用してもよい。
【００２２】
エッチング時間とエッチング時の液温は適宜調整でき、室温下で２０〜２００秒程度の浸漬又はスプレーによる散布によりエッチング処理するのが好ましいが、エッチング処理時間短縮のため、液温は加温してもよい。
【００２３】
エッチング処理したアルミニウム基材の表面粗度Ｒｚは、３．０μｍ以上が好ましく、３．６μｍ以上がより好ましい。３．０μｍ未満では表面平滑度の改善効果が乏しくなるおそれがある。一方で、粗度Ｒｚを大きくしすぎた場合、アルミニウム基材そのものの強度が低下し、エッチング処理や裁断処理等の工程中及びキャリア材としての使用中の破断や表面脱落量が多くなるため、Ｒｚの上限はエッチング処理をするアルミニウム基材の厚みの半分以下が好ましい。例えば、厚み３０μｍの箔を使用する場合は、粗度Ｒｚの上限は１５μｍとなる。なお、本明細書における表面粗度Ｒｚは、ＪＩＳ  Ｂ０６０１：１９８２規格に準じて、触針式粗度計（株式会社東京精密製ＳＵＲＦＣＯＭ１４００Ｄ）で十点平均粗さを測定した際のＮ＝３の平均値である。
【００２４】
粗面化処理したアルミニウム基材の表面平滑度は、スムースター法により測定した表面平滑度が２．６ｋＰａ以上であればよい。但し、本明細書では、必要な面のみを、Ｎ＝３で測定した平均値を採用する。上記表面平滑度を以下では「スムースター値」ともいう。スムースター法による表面平滑度の測定は、ＪＡＰＡＮ  ＴＡＰＰＩ（紙パルプ試験方法）Ｎｏ．５−１：２０００に準拠することができる。但し、本発明では、水銀柱圧力計に代えて圧力センサーを用いた。市販の測定装置としては、東英電子工業社製のスムースター平滑度試験機などを用いることができる。
【００２５】
上記表面平滑度は２．６ｋＰａ以上であればよいが、２．９ｋＰａ以上がより好ましく、７．０ｋＰａ以上が更に好ましく、１０ｋＰａ以上が特に好ましい。現実的な上限値としては５０ｋＰａ程度であり、３０ｋＰａ以下が好ましく、２０ｋＰａ以下がより好ましい。表面平滑度がかかる範囲内であることにより加熱プレス機の上下のダイと被加圧物との間に残る空気又は加熱プレス時に生じるガスを、加熱プレス時にアルミニウム基材の粗面化表面から加圧領域の外に逃がすことにより加圧製品表面の平滑性を確保することができる。また、加熱プレス時の加熱及び加圧により熱接着フィルム等を被加圧物の表面に接着してパッケージ化するような場合でも、前記キャリア材を用いることにより、加熱プレスする際に加圧製品の内部の気泡の残存を抑制して加圧製品表面の平滑性を確保することができる。
【００２６】
アルミニウム基材の粗面化処理は、アルミニウム基材の片面又は両面のどちらでもよい。通常は片面だけに施せばよいが、その場合には、加熱プレス時に上下のダイと被加圧物との間に本発明のキャリア材を介在させる際に、粗面化処理した方が被加圧物側に位置するように介在させる。
【００２７】
なお、粗面化処理によりアルミニウム基材の表面は凹凸を有しているが、凹凸の凸部が浮島状に存在し、凹部がアルミニウム基材の平面方向において連続的につながった状態で存在する状態であることが好ましい。このような表面凹凸であることにより加熱プレス時に空気又はガスを加圧領域外に逃がす効率を高めることができる。
【００２８】
本発明のキャリア材は、上記アルミニウム基材のみから構成してもよいが、必要に応じてアルミニウム基材の片面又は両面（特に粗面化表面の上）に更に樹脂フィルムを積層してもよい。このような樹脂フィルムを積層し、加熱プレス時に樹脂フィルムを被加圧物側に位置するようにキャリア材を配置することにより、加熱プレス時の加圧製品の防汚性、離型性（剥離性）等を高めることができる。
【００２９】
樹脂フィルムとしては限定的ではないが、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルムなどのフッ素系フィルム、ポリイミド（ＰＩ）フィルム、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）フィルム、二軸延伸ポリプロピレン（ＯＰＰ）フィルム等の、加熱プレス時の加熱温度以上の耐熱性があり、離型性（剥離性）、被加圧物の機能性を妨害する汚染源にならないものが挙げられる。これらの中でもＰＴＦＥフィルムが好ましい。このような樹脂フィルムの厚さは限定的ではないが、通常５〜５００μｍ程度が好ましく、１５〜２００μｍ程度がより好ましい。
【００３０】
本発明の加熱プレス方法
本発明の加熱プレス方法は、キャリア材を用いた加熱プレス方法であって、
前記キャリア材は、
（１）少なくともアルミニウム基材を有し、
（２）前記アルミニウム基材は、スムースター法により測定した表面平滑度が２．６ｋＰａ以上である、
ことを特徴とする。すなわち、加熱プレスに際して本発明のキャリア材を加熱プレス機の上下のダイと被加圧物との間に介在させることを特徴とする。
【００３１】
本発明の加熱プレス方法が適応できる技術分野は限定的ではないが、例えば、プリント基板、多層配線基板、ＦＰＣ、アンテナコイル、ＩＣタグ／ＩＣカード用基板等の製造や加工に用いることができる。例えば、プリント基板の製造におけるプリプレグの多段プレス工程において、適当な大きさに切断した半硬化状態のプリプレグと本発明のキャリア材とを交互に積層し、上下方向から熱と圧力とを加えて複数のプリプレグを一時に加熱硬化させる工程に適用することができる。また、上記基板などの上に接着剤や熱接着フィルムを介してカバーフィルムを重ねた積層体（熱接着前の積層体）と本発明のキャリア材とを交互に積層し、上下方向から熱と圧力とを加えて複数の積層体のカバーフィルムをそれぞれ熱接着して各基板をパッケージ化する工程に適用することができる。なお、本発明のキャリア材の特性を有効活用できる使用態様であれば、必ずしもこれらの例示した工程に限定されるものではない。
【００３２】
加熱プレス時の温度条件及び圧力条件は限定的ではないが、本発明のキャリア材の性能を有効利用する観点からは、温度条件は１００〜５００℃が好ましく、１５０〜４５０℃がより好ましい。また、圧力条件は、０．１〜１００ＭＰａが好ましく、１〜５０ＭＰａがより好ましい。但し、温度条件は樹脂フィルム耐熱温度が上限になる。
【実施例】
【００３３】
以下に実施例及び比較例を示して本発明を具体的に説明する。但し、本発明は実施例に限定されるものではない。
【００３４】
＜実験方法＞
アルミニウム箔（材質１Ｎ３０軟質箔、厚み：９μｍ）／ウレタン系接着剤（３．５ｇ／ｍ２）／ＰＥＴフィルム（厚み：３８μｍ）構成のアルミニウム回路基板（単位を構成している以外の「／」は層間を示す。）を被加圧物として準備した。
【００３５】
その被加圧物の上下（被加圧物を挟む意味での上下：以下同様。）に防汚性及び離型性（剥離性）を高めるためにＰＴＦＥフィルム（厚み：２０μｍ）を重ね、更にその上下に加圧用アルミニウム箔（厚み：３０μｍ）、更にその上下にアルミニウム板（厚み：１．６ｍｍ）、緩衝材（ゴム製、厚み１．３ｍｍ）を重ねた構成で加熱プレス（ミカドテクノス株式会社製熱加圧装置、型式：ＭＫＰ−１０００Ｄ−ＷＨを使用）を実施した。すべてのシートのサイズは２３．０ｃｍ×１７．５ｃｍに統一した。
【００３６】
加熱プレス条件１５０℃×２．２ＭＰａを１２０秒保持し、圧力条件はそのままに１００℃まで冷却後、プレス機からサンプルを取出した。その後、サンプルからアルミニウム板と緩衝材と加圧用アルミニウム箔を取り除いた後、被加圧物の上下両面とＰＴＦＥフィルム間に発生した気泡をカウントした。なお、本実験においては上記シートサイズを考慮の上、気泡数が１０個以下であれば○判定（良判定）とし、気泡数が１１個以上であれば×判定（不良判定）としたが、気泡数と許容範囲との関係は被加圧物の種類や技術分野により左右されるため必ずしも上記基準に限定されるものではない（以下同様）。
【００３７】
カウントは、φ２．０ｍｍ以上の気泡の数、及びφ２．０ｍｍ未満においても明らかな気泡の集合体は１個としてカウントした。なお、当該態様では「ＰＴＦＥフィルムと加圧用アルミニウム箔との積層体」がキャリア材に該当する。
【００３８】
加圧用アルミニウム箔は、１Ｎ３０、硬質箔を使用して、エッチング処理したものと処理していないもので比較を実施した。
【００３９】
スムースター値の測定は、ＪＡＰＡＮ  ＴＡＰＰＩ（紙パルプ試験方法）Ｎｏ．５−１：２０００に準拠した。但し、水銀柱圧力計に代えて圧力センサーを用いた。なお、本実施例及び比較例におけるスムースター値及び粗度Ｒｚは、アルミニウム箔の被加圧物側の面での測定値である。
【００４０】
比較例１
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値０．１３ｋＰａのエッチング処理されていないアルミニウム箔を用いて加熱プレスを行った。
【００４１】
その結果、８６個の気泡が確認された。
【００４２】
比較例２
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値１．９ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（１０体積％塩酸水溶液で２０秒エッチング処理「処理１」したもの）を用いて加熱プレスを行った。
【００４３】
その結果、５６個の気泡が確認された。
【００４４】
実施例１
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値２．９ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（１０体積％塩酸水溶液で３０秒エッチング処理「処理２」したもの）を用いて加熱プレスを行った。
【００４５】
その結果、気泡は確認されなかった。
【００４６】
実施例２
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値７．４ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（１０体積％塩酸水溶液で５０秒エッチング処理「処理３」したもの）を用いて加熱プレスを行った。
【００４７】
その結果、気泡は確認されなかった。
【００４８】
実施例３
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値８．６ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（１０体積％塩酸水溶液で６０秒エッチング処理「処理４」したもの）を用いて加熱プレスを行った。
【００４９】
その結果、気泡は確認されなかった。
【００５０】
実施例４
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値１３ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（１０体積％塩酸水溶液で７０秒エッチング処理「処理５」したもの）を用いて加熱プレスを行った。
【００５１】
その結果、気泡は確認されなかった。
【００５２】
実施例５
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値１９ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（１０体積％塩酸水溶液で９０秒エッチング処理「処理６」したもの）を用いて加熱プレスを行った。
【００５３】
その結果、気泡は確認されなかった。
【００５４】
以上の結果を表１にまとめた。表にはスムースター値以外の表面凹凸の指標として粗度Ｒｚも記載した。
【００５５】
【表１】
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【００５６】
エッチング処理１〜６にかけて、アルミニウム箔のエッチング処理量を多くしている。エッチング処理量が多くなるほど、粗度Ｒｚが大きくなることから、表面凹凸が大きくなり、同様にスムースター値も大きくなる傾向にあることがわかる。スムースター値が大きいほど、被加圧物表面付近に残存する気泡の数が減少するが、エッチング処理をしてもスムースター値が小さい場合には効果が乏しい。実施例１〜５のようにエッチング量を徐々に多くすると向上することがわかる。上記結果及びその他の実験結果からスムースター値が２．６ｋＰａ以上において気泡カウント数が○判定となることが分かった。従って、スムースター値は２．６ｋＰａ以上が好ましい。
【００５７】
発生した気泡は、例えば、加熱プレス時に、回路基板表面に付着した残留水分、汚染物、残留溶剤等が起因で発生したガス、プレス時に噛み込んだ空気がシート外周側に逃げることができずに留まってしまったことで加熱により膨張したもの、回路部の凹凸、埃の噛み込みにより生じた隙に残存した空気が加熱により膨張したもの等が要因と考えられる。
【００５８】
加熱プレス後の気泡は、シート中央部に集中しており、外周近くになるにつれて少なくなっている。表１に記載のように、スムースター値が大きくなるにつれて気泡数が少なくなることから、キャリア材に使用するアルミニウム箔の表面凹凸の高低差を大きくすることにより、加熱プレスにより被加圧物から発生したガス等が凸の部分と凹の部分の隙間から外周側へ通過する通り道になっているものと考えられる。
【００５９】
また、比較例２と実施例１のように粗度Ｒｚがほぼ同じ数値であるにも拘らず、実施例１のほうのスムースター値が大きく、気泡残存数が大きく改善していることから単純に凹凸の高低差が大きいだけではガス通過効果が薄れてしまい、凹凸が平面方向で中央部から外周側に向けて連結しているほうがより効果が高いことがわかる。従って、表面平滑度は、狭い範囲を測定する粗度Ｒｚで規定するよりも測定面の広いスムースターで規定することがより的確な測定方法と考えられる。
【００６０】
エッチング処理アルミニウム箔の表面写真から、ガス抜け道についてより具体的に説明することができる。図１に比較例１、図２に比較例２、図３に実施例３のアルミニウム箔表面ＳＥＭ写真（×２００倍率）を添付する。
【００６１】
図３の写真においてコントラストがダークな部分が浮島状に存在しているが、この部分は難溶解部分（溶解し難い部分であり、完全に溶解していない訳ではないが完全な未溶解部分を含むことは排除されない。）である。他方、コントラストがライトな部分は前記難溶解部分に比して溶解量が多い部分（溶解性部分）である。難溶解部分がガス抜けを阻害する障壁で、溶解性部分をガスの抜け道と考えた場合、溶解性部分は二次元に連結している必要性がある。実施例３はガスの抜け道（二次元に連結した溶解性部分）が十分に確保されているため、スムースター値が大きく、かつ気泡カウント数が０となっている。
【００６２】
図２は難溶解部分が多く、溶解性部分が二次元に連結していないことがわかる。よって、発生したガスが外周へ通りぬけることができず、実施例３よりもスムースター値が小さく、気泡カウント数も多い結果となった。
【００６３】
図１は溶解性部分がなくガスの通り道がないため、気泡カウント数が最も多い結果となった。なお、浮島状の部分が全て溶解し一見して残存してないように見える場合でも溶解している部分に凹凸が存在してスムースター値が２．６ｋＰａ以上であればガス抜けの通り道が確保されていると考えられる。但し、必要以上に溶解するとアルミニウム箔の引張り強度が低下するため、エッチング処理時に材料破断の要因となってしまうことから、過剰にエッチング処理しすぎることは好ましくない。
【００６４】
続いて、被加圧物をより多層構成（パッケージ）に変更した場合の、実施例及び比較例を示して本発明を具体的に説明する。但し、本発明は実施例に限定されるものではない。
【００６５】
＜実験方法＞
アルミニウム箔（材質１Ｎ３０軟質箔、厚み：９μｍ）／ウレタン系接着剤（３．５ｇ／ｍ２）／ＰＥＴフィルム（厚み：３８μｍ）構成のアルミニウム回路基板を準備し、その上下に、接着用としてアドマー（登録商標）フィルム（東セロ製ＶＥ−３００、厚み：３０μｍ）、更に上下に回路パッケージ用を想定してナイロン１２フィルム（ダイセルバリューコーティング製、厚み：３０μｍ）を重ねたものを被加圧物として準備した。
【００６６】
その被加圧物の上下に防汚性及び離型性（剥離性）を高めるためにＰＴＦＥフィルム（厚み：２０μｍ）を重ね、更にその上下に加圧用アルミニウム箔（厚み：３０μｍ）、更にその上下にアルミニウム板（厚み：１．６ｍｍ）、緩衝材（ゴム製、厚み１．３ｍｍ）を重ねた構成で加熱プレスを実施した。加熱プレス条件及び後続の気泡カウント基準は、実施例１などに適用した前述の条件及び基準と同じである。
【００６７】
先ずは被加圧物の上下両面とＰＴＦＥフィルム間（以下、「ＰＴＦＥ／被加圧物間」ともいう）に発生した気泡をカウントした。次にＰＴＦＥフィルムを取り除いた後、被加圧物の上下両面側から被加圧物の多層構成内部（以下、「被加圧物内部」ともいう）に存在する気泡を上記同様にカウントした。
【００６８】
加圧用アルミニウム箔は、１Ｎ３０、硬質箔を使用して、エッチング処理したものと処理していないもので比較を実施した。また、比較例４では凹凸形状の異なる他社エッチング箔を追加した。
【００６９】
比較例３
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値０．１３ｋＰａのエッチング処理されていないアルミニウム箔を用いて加熱プレスを行った。
【００７０】
その結果、ＰＴＦＥ／被加圧物間に１３０個の気泡が確認された。また、被加圧物内部には４０個の気泡が確認された。
【００７１】
比較例４
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値０．６７ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（日本蓄電器工業株式会社製コンデンサ陰極用箔３０ＣＢ、厚み３０μｍ）を用いて加熱プレスを行った。
【００７２】
その結果、ＰＴＦＥ／被加圧物間に９０個の気泡が確認された。また、被加圧物内部には１８個の気泡が確認された。つまり、エッチング処理されていないアルミニウム箔を用いた場合よりも気泡の数は明らかに少なくなっていたが、改善効果は不十分であった。
【００７３】
比較例５
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値１．９ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（１０体積％塩酸水溶液で２０秒エッチング処理「処理１」したもの）を用いて加熱プレスを行った。
【００７４】
その結果、ＰＴＦＥ／被加圧物間に２２個の気泡が確認された。また、被加圧物内部には４個の気泡が確認された。つまり、エッチング処理されていないアルミニウム箔を用いた場合よりも気泡の数は明らかに少なくなっていたが、改善効果は不十分であった。
【００７５】
実施例６
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値２．９ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（１０体積％塩酸水溶液で３０秒エッチング処理「処理２」したもの）を用いて加熱プレスを行った。
【００７６】
その結果、気泡は確認されなかった。
【００７７】
実施例７
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値７．４ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（１０体積％塩酸水溶液で５０秒エッチング処理「処理３」したもの）を用いて加熱プレスを行った。
【００７８】
その結果、気泡は確認されなかった。
【００７９】
実施例８
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値８．６ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（１０体積％塩酸水溶液で６０秒エッチング処理「処理４」したもの）を用いて加熱プレスを行った。
【００８０】
その結果、気泡は確認されなかった。
【００８１】
実施例９
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値１３ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（１０体積％塩酸水溶液で７０秒エッチング処理「処理５」したもの）を用いて加熱プレスを行った。
【００８２】
その結果、気泡は確認されなかった。
【００８３】
実施例１０
加圧用アルミニウム箔として表面平滑度がスムースター値１９ｋＰａのエッチング処理されたアルミニウム箔（１０体積％塩酸水溶液で９０秒エッチング処理「処理６」したもの）を用いて加熱プレスを行った。
【００８４】
その結果、気泡は確認されなかった。
【００８５】
以上の結果を表２にまとめた。表にはスムースター値以外の表面凹凸の指標として粗度Ｒｚも記載した。
【００８６】
【表２】
2019183272.tif 000003
【００８７】
表１に示した比較例、実施例の結果と同様に、スムースター値が大きいほど、被加圧物内部に残存する気泡の数が減少するが、エッチング処理をしてもスムースター値が小さい場合には効果が乏しい。また、他社でエッチング処理されたアルミニウム箔（比較例４）も粗度Ｒｚが大きいがスムースター値が小さいため、残存した気泡が確認された。上記結果及びその他の実験結果からスムースター値が２．６ｋＰａ以上において気泡カウント数が○判定となることが分かった。従って、スムースター値は２．６ｋＰａ以上が好ましい。
【００８８】
キャリア材の表面凹凸によって被加圧物内部に存在する気泡の有無が変化するのは、前述の実施例１などの考察に記載したメカニズムの効果により得られた結果と考えられる。つまり、被加圧物とキャリア材間に存在するガス、空気がキャリア材表面の凹凸を通じて外周へ通り抜ける際の圧力移動が、被加圧物内部に内在したガスを内部から外周へ押し出す力に作用しているものと考えられる。
【００８９】
比較例４で用いた他社エッチング箔の表面写真を図４（×２００倍率）、図５（×５０００倍率）に示す。図３と比較すると、溶解部分のピット径が非常に小さく、浮島のような凹凸は確認されず、スムースター値も小さいことからガス通過に必要な連結した凹凸が少ないことがわかる。
【００９０】
当該気泡カウント数は、キャリア材や被加圧物の構成、デザインや凹凸等の表面形状、圧力条件等によって異なることが予想されるため、あくまでも参考値であり、気泡数による良否の判断は使用する用途によって決定される。
【符号の説明】
【００９１】
１．コントラストがライトな部分（溶解性部分（凹部））
２．コントラストがダークな部分（難溶解部分（凸部））
３．コントラストがダークな部分（難溶解部分（浮島状凸部））
４．コントラストがライトな部分（溶解性部分（凹部））
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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