(57)【要約】【課題】デバイス工程中に生じるウェーハの反りを低減し、ウェーハが大きく反ることによって不具合が有った後続工程を問題なく実施することが可能なシリコンウェーハの製造方法を提供する。【解決手段】本発明によるシリコンウェーハの製造方法は、互いに厚みが異なる複数のシリコンウェーハに同一の膜応力を付与することにより生じる前記シリコンウェーハの反り量と厚みとの関係から、デバイス工程中に反るシリコンウェーハの反り改善量を確保するために必要な前記シリコンウェーハの目標厚みを求め（ステップＳ３）、シリコン単結晶インゴットを加工して前記目標厚みを有するシリコンウェーハを製造する（ステップＳ４）。【選択図】図１
2019016748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに厚みが異なる複数のシリコンウェーハに同一の膜応力を付与することにより生じる前記シリコンウェーハの反り量と厚みとの関係から、デバイス工程中に反るシリコンウェーハの反り改善量を確保するために必要な前記シリコンウェーハの目標厚みを求め、
シリコン単結晶インゴットを加工して前記目標厚みを有するシリコンウェーハを製造することを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。
【請求項２】
前記シリコンウェーハの反り量と厚みとの関係から、デバイス工程中に反るシリコンウェーハの反り改善量と前記シリコンウェーハの目標厚みとの関係式を求め、前記関係式に前記反り改善量を代入することにより前記シリコンウェーハの目標厚みを求める、請求項１に記載のシリコンウェーハの製造方法。
【請求項３】
前記シリコンウェーハの反り改善量y、前記シリコンウェーハの目標厚みx、前記シリコンウェーハの標準厚みt、定数Aとするとき、前記関係式はy=A(x/t-1)を満たす、請求項２に記載のシリコンウェーハの製造方法。
【請求項４】
前記シリコンウェーハの反り量と厚みとの関係は、前記標準厚みtを有するシリコンウェーハの反り量と前記標準厚みtとの関係を含む、請求項３に記載のシリコンウェーハの製造方法。
【請求項５】
前記定数Aは、デバイス工程により生じる前記シリコンウェーハの反り量に応じた値である、請求項３又は４に記載のシリコンウェーハの製造方法。
【請求項６】
デバイス形成時に積層される膜の応力成分の違いにより生じる前記シリコンウェーハの反り形状がお椀型である場合に、前記定数Aは900以下である、請求項３乃至５のいずれか一項に記載のシリコンウェーハの製造方法。
【請求項７】
デバイス形成時に積層される膜の応力成分の違いにより生じる前記シリコンウェーハの反り形状が鞍型である場合に、前記定数Aは1500以下である、請求項３乃至５のいずれか一項に記載のシリコンウェーハの製造方法。
【請求項８】
前記デバイスは３ＤＮＡＮＤフラッシュメモリである、請求項１乃至７のいずれか一項に記載のシリコンウェーハの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイスの基板材料となるシリコンウェーハの製造方法に関し、特に、３次元ＮＡＮＤフラッシュメモリ（以下、「３ＤＮＡＮＤ」という）等の高積層型半導体デバイスの基板材料として好適なシリコンウェーハの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近３ＤＮＡＮＤが注目されている。３ＤＮＡＮＤはメモリセルアレイを縦方向に積層化したＮＡＮＤメモリであり、積層数（ワード線の層数）を例えば64層とすることでシングルダイ当たり512Gbit（64GB）という非常に大きな記憶容量を実現可能である。また従来のプレーナ型のＮＡＮＤメモリのように平面方向の密度を上げるのではなく、高さ方向の密度を上げることによって大容量化のみならず書き込み速度の向上や省電力化にも優れた高性能なフラッシュメモリを提供することができる。
【０００３】
半導体デバイスの製造ではデバイス構造を形成するために酸化膜、窒化膜、金属膜等の様々な材料の膜がシリコンウェーハ上に積層される。このような積層膜は、膜の性質と工程条件によって異なる膜応力を有することになり、積層膜の膜応力によってシリコンウェーハには反りが発生する。特に、３ＤＮＡＮＤでは個々のメモリ素子を垂直に数十個以上重ねて作るため、それに伴い積層膜の数も幾何学的に増えてくることで、それに比例して膜応力も膨大に増加してシリコンウェーハの反りも大きく増加する。デバイス工程中にシリコンウェーハが大きく反ることで、成膜、加工、検査などの後続工程での処理が出来ない等の不具合が生じてしまう。
【０００４】
３層以上の配線層を有する半導体装置の製造に関して、例えば特許文献１には、製造装置に依存せずかつ特殊層間膜の工程を用いることなく、シリコン基板の反りを所定値以下に抑えることが可能な半導体装置の製造方法が記載されている。この製造方法では、シリコン基板の厚さをT（μｍ）、直径をD（インチ）とし、配線層数をｎとして、
T≧62.4×D×[1.6(n-1)+1.0]1/2
を満足する厚さを満足するシリコン基板を用いて半導体装置を製造する。
【０００５】
また特許文献２、３には、中央部が凹んだお椀状の反りが付与されたエピタキシャル成長用シリコンウェーハの表面にエピタキシャル層を形成することにより、平坦度の高いエピタキシャルシリコンウェーハを製造する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２６６２０６号公報
【特許文献２】特開２００８−１４０８５６号公報
【特許文献３】特開２０１０−３４４６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の半導体装置の製造方法は、配線層の膜応力が変わらないことを前提にしておりその工程依存性を無視している。実際には工程条件によって膜応力が変動しているので、単純に配線層数だけで反り量を評価することはできず、適用が難しい。また12インチシリコンウェーハにおいて配線層数を500層とする場合、上記計算式によればシリコンウェーハの厚さT≧777.1μｍを満足すればよいことになるが、これは12インチウェーハの標準の厚さである775μｍと殆ど変わらず、反りを抑える効果が見込めないことは明らかである。
【０００８】
シリコンウェーハの厚さ等の仕様は、事前に反り量や反り形状とは関係なく規定されている。そのため、デバイス工程中にシリコンウェーハの反りが発生してもシリコンウェーハの仕様変更の基準がなく、ウェーハの反りに対応することはできなかった。
【０００９】
シリコンウェーハを厚くすればするほど反りにくくなることから、いかなる条件でも反りが殆ど発生しない非常に分厚いシリコンウェーハを用いることも考えられる。しかし、シリコンウェーハを厚くすればするほど一本のシリコン単結晶インゴットからのウェーハ取得枚数が減少して製造歩留まりが悪くなるだけでなく、ウェーハの重量の増加によるハンドリングの問題など、後続工程で様々な問題が発生する。したがって、反り量をある程度低減しつつできるだけ薄いシリコンウェーハの提供が望まれている。
【００１０】
したがって、本発明の目的は、３ＤＮＡＮＤ等の半導体デバイスの製造工程中に生じるウェーハの反りを低減し、ウェーハが大きく反ることによって不具合が有った後続工程を問題なく実施することが可能なシリコンウェーハ及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明によるシリコンウェーハの製造方法は、互いに厚みが異なる複数のシリコンウェーハに同一の膜応力を付与することにより生じるシリコンウェーハの反り量と厚みとの関係から、デバイス工程中に反るシリコンウェーハの反り改善量を確保するために必要な前記シリコンウェーハの目標厚みを求め、シリコン単結晶インゴットを加工して前記目標厚みを有するシリコンウェーハを製造することを特徴とする。
【００１２】
本発明によれば、同一の膜応力が付与されたシリコンウェーハの厚みがどのくらいときにどのくらい反るのかということを知ることができ、これによりウェーハの厚みがどのくらい増えたときに反り量がどのくらい改善されるかを知ることができる。したがって、デバイス工程中に生じるウェーハの反りを考慮して予め設定したウェーハの反り改善量を実際に確保することができ、ウェーハが大きく反ることによってこれまで実施することができなかった後続工程を問題なく実施することが可能となる。
【００１３】
ウェーハの反り量は、膜応力の種類（引張応力又は圧縮応力）や実際のプロセス条件によって異なるため、配線層数から単純に計算できるものではない。ウェーハの反り量をどれくらい改善したいかは、デバイス工程中に生じるウェーハの実際の反り量や各プロセスにおけるウェーハ反り量の許容範囲によって異なる。またウェーハの反りを抑えるために非常に厚いウェーハを用いることは現実的ではなく、ウェーハの厚み制御だけでウェーハの反りを完全に抑え込むことは不可能である。ウェーハの反りを十分に低減するためには様々な反り対策が必要であり、ウェーハの厚み制御はそれらの反り対策の一つに過ぎない。よって、ウェーハの厚み制御によってその反りを例えば１０％でも緩和できればよく、本発明はデバイス工程中に生じるウェーハの反りの問題を解決する方法として有効である。
【００１４】
本発明によるシリコンウェーハの製造方法は、前記シリコンウェーハの反り量と厚みとの関係から、デバイス工程中に反るシリコンウェーハの反り改善量と前記シリコンウェーハの目標厚みとの関係式を求め、前記関係式に前記反り改善量を代入することにより前記シリコンウェーハの目標厚みを求めることが好ましい。これにより、シリコンウェーハの反り改善量を確保するために必要なウェーハの目標厚みを容易に求めることができる。
【００１５】
本発明によるシリコンウェーハの製造方法は、前記シリコンウェーハの反り改善量y、前記シリコンウェーハの目標厚みx、前記シリコンウェーハの標準厚みt、定数Aとするとき、前記関係式はy=A(x/t-1)を満たすことが好ましい。この場合において、前記シリコンウェーハの反り量と前記シリコンウェーハの厚みとの関係は、前記標準厚みtを有するシリコンウェーハの反り量と前記標準厚みtとの関係を含むことが好ましい。これにより、シリコンウェーハの標準厚みに対するシリコンウェーハの反り改善量yを確保するために必要なウェーハの目標厚みを簡単に求めることができる。
【００１６】
本発明において、前記定数Aは、デバイス工程により生じる前記シリコンウェーハの反り量に応じた値であることが好ましい。これにより、シリコンウェーハの反り改善量yを確保するために必要なウェーハの目標厚みを正確に求めることができる。
【００１７】
本発明によるシリコンウェーハの製造方法は、デバイス形成時に積層される膜の応力成分の違いにより生じる前記シリコンウェーハの反り形状がお椀型である場合に、前記定数Aが900以下であることが好ましい。これによれば、ウェーハのお椀型の反りの低減に適したウェーハの目標厚みを求めることができる。
【００１８】
本発明によるシリコンウェーハの製造方法は、デバイス形成時に積層される膜の応力成分の違いにより生じる前記シリコンウェーハの反り形状が鞍型である場合に、前記定数Aが1500以下であることが好ましい。これによれば、ウェーハの鞍型の反りの低減に適したウェーハの目標厚みを求めることができる。
【００１９】
本発明において、前記デバイスは３ＤＮＡＮＤフラッシュメモリであることが好ましい。上記のように、３ＤＮＡＮＤフラッシュメモリはメモリセルアレイの積層数が非常に多いためウェーハの反りの問題が顕著である。すなわち、デバイス工程が進んで積層数が増加するとウェーハの反りも徐々に増加し、最上層に到達する前にウェーハの反り量が許容範囲を超えてこれ以上デバイス工程を進めることができなくなる事態が生じる。しかし本発明によれば、デバイスを形成する前のウェーハの段階からウェーハの反りを押さえ込む対策を講じることで反りの問題を改善することができ、デバイス工程を進めることが出来なくなる事態を回避することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、デバイス工程中に生じるウェーハの反りを低減することができ、ウェーハが大きく反ることによって不具合が有った後続工程を問題なく実施することが可能なシリコンウェーハの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態によるシリコンウェーハの製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図２】図２は、シリコンウェーハに付与される膜応力によるウェーハの反り方の違いを説明するための模式図である。
【図３】図３は、鞍型に反るシリコンウェーハ上の膜のパターンについて説明するための模式図である。
【図４】図４は、お椀型に反るシリコンウェーハの厚みと反り量との関係を示すグラフである。
【図５】図５は、図４のグラフを換算することにより求められるシリコンウェーハの厚みと反り改善量との関係を示すグラフである。
【図６】図６は、図５と同様にウェーハの厚みと反り改善量との関係を示すグラフである。
【図７】図７は、定数Aと基準反り量WARPiとの関係を示すグラフである。
【図８】図８は、シリコンウェーハ上の成膜パターンを示す略斜視図である。
【図９】図９は、鞍型に反るシリコンウェーハの厚みと反り量との関係を示すグラフである。
【図１０】図１０は、図９のグラフを換算することにより求められるシリコンウェーハの厚みと反り改善量との関係を示すグラフである。
【図１１】図１１は、図１０と同様にウェーハの厚みと反り改善量との関係を示すグラフである。
【図１２】図１２は、定数Aを基準反り量WARPiとの関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施の形態について詳細に説明する。
【００２３】
図１は、本発明の実施の形態によるシリコンウェーハの製造方法を説明するためのフローチャートである。
【００２４】
図１に示すように、本実施形態によるシリコンウェーハの製造方法は、互いに厚みが異なる複数のシリコンウェーハに同一の膜応力を付与したときに生じるシリコンウェーハの反り量と厚みとの関係を求める第１ステップＳ１と、シリコンウェーハの反り量と厚みとの関係から、デバイス工程中に反るシリコンウェーハの反り改善量(y)とシリコンウェーハの目標厚み(x)との関係式を求める第２ステップＳ２と、関係式に所望の反り改善量(y)を代入することにより、シリコンウェーハの反り改善量(y)を確保するために必要なシリコンウェーハの目標厚み(x)を求める第３ステップＳ３と、シリコン単結晶インゴットを加工して目標厚みを有するシリコンウェーハを製造する第４ステップＳ４とを有している。
【００２５】
本実施形態におけるシリコンウェーハは、デバイス加工が施される前のシリコンウェーハのことであり、通常のシリコンウェーハ（ポリッシュドウェーハ）のみならず、エピタキシャルウェーハ、アニールウェーハ、ＳＯＩウェーハなどを含む広い概念である。シリコンウェーハの反り量（Warp）は、測定面から基準面を引いた値の最大値と最小値の差として定義することができる。
【００２６】
本実施形態において、シリコンウェーハの反り量と厚みとの関係を示すデータテーブルは、標準厚みを有するシリコンウェーハの反り量と標準厚みとの関係を示すデータを含む。シリコンウェーハの標準厚みとは、シリコンウェーハの直径に基づいて定められた厚みのことを言い、例えば直径300ｍｍのシリコンウェーハの標準厚みは775μｍである。このように、シリコンウェーハの反り量と厚みとの関係を示すデータがシリコンウェーハの標準厚みに対応する反り量を含むことにより、反り改善量とシリコンウェーハの目標厚みとの関係式の信頼性を高めることができ、シリコンウェーハの反り改善量を確保するために必要なウェーハの目標厚みを正確かつ簡単に求めることができる。
【００２７】
シリコンウェーハの反り改善量(y)とシリコンウェーハの目標厚み(x)との関係式は、シリコンウェーハの反り量とシリコンウェーハの厚みとの関係から求めることができる。シリコンウェーハの反り量とシリコンウェーハの厚みとの関係は一次関数で表され、ウェーハの厚みが大きくなるほど反り量は小さくなる。ウェーハの厚みに対する反り量の変化率（傾き）は、シリコンウェーハに付与される膜応力の大きさによって多少変化するがそれほど大きくは変化しない。本発明はこのような点に着目してなされたものであり、シリコンウェーハの反り量を低減するための指標として非常に有効である。
【００２８】
こうしてシリコンウェーハの目標厚みを求めた後、当該目標厚みを有するシリコンウェーハを製造する。通常、シリコンウェーハは、ＣＺ法により育成されたシリコン単結晶インゴットに外周研削、スライス、ラッピング、エッチング、両面研磨、片面研磨、洗浄等の工程を順次行うことにより製造され、このときウェーハの最終的な厚みが目標厚みとなるようにスライス条件やラッピング条件が制御される。こうして製造されたシリコンウェーハは、３ＤＮＡＮＤ等の半導体デバイスの製造工程に送られて半導体デバイスの基板材料となる。
【００２９】
上記のように半導体デバイスの製造工程ではシリコンウェーハ上にデバイス構造を形成するために酸化膜、窒化膜、金属膜を含む様々な材料の膜がシリコンウェーハ上に積層される。このように積まれた膜は膜の性質と工程条件によって異なる膜応力を有することになり、積層膜の応力によってはシリコンウェーハに反りが発生する。特に３ＤＮＡＮＤでは個々のメモリ素子を垂直に数十個以上重ねて作るため、それに伴い積層される膜の数も幾何学的に増え、それに比例して膜応力も膨大に増加してシリコンウェーハの反りも大きく増加する。
【００３０】
しかし、本発明ではシリコンウェーハの初期形状を論理的に制御することでデバイス工程中に生じる反りを低減することができ、後続工程を問題なく実施することが可能となる。すなわち、半導体デバイス工程で実際に生じる反り量を元に適切な厚みを持つシリコンウェーハを提供することで反り量を低減することができる。また、シリコンウェーハの反りによって発生する転位などの欠陥の発生を低減又は防止することができる。
【００３１】
図２は、シリコンウェーハに付与される膜応力によるウェーハの反り方の違いを説明するための模式図である。
【００３２】
図２に示すように、シリコンウェーハの表面に半導体デバイスを構成する配線層等の積層膜を成膜すると、当該シリコンウェーハに膜応力が生じ、これにより（ａ）に示すようなお椀型の反り、或いは（ｂ）に示すような鞍型の反りが発生する。このようなウェーハの反りが大きくなると後続工程で様々な問題が生じる。
【００３３】
一方、膜応力を有する薄膜が表面に形成されたシリコンウェーハの反り量は、シリコンウェーハの厚みに応じて変化し、特に同じ膜応力に対しては、ウェーハが厚くなるほど反り量は減ることになる。これは一般的に知られる膜応力とウェーハの反りとの関係式であるストーニー式（Stoney Equation）σfｔf=Ｅsｈ２／６Ｒでも分かる。ここで、σfは膜応力、ｔfは膜厚、Ｅsは基板のヤング率、ｈは基板の厚み、そしてＲは反り半径を示す。
【００３４】
デバイス工程中にシリコンウェーハが図２（ｂ）に示すように鞍型に反る理由は、シリコンウェーハ上に形成される膜の膜応力の符号が違うことで膜応力の異方性が生じるからである。例えば、図３に示すように、Ｘ方向の圧縮応力が支配的な配線層に加えて、Ｘ方向と直交するＹ方向に引張応力を有する配線層を成膜すると、Ｘ方向の圧縮応力が強調され、シリコンウェーハは鞍型に反ることになる。
【００３５】
シリコン結晶のヤング率は結晶方位によって異なり、方位依存性を持っている。[100]方向では130MPa、[110]方向では170MPa、[111]方向では189MPaである。ヤング率が小さい方が変形しやすくなる。鞍型に反る場合、ウェーハが反る方向が結晶方位のヤング率が小さい方向と一致すればさらに反りやすくなり反り量は増加することになる。反対に、ウェーハが反る方向が結晶方位のヤング率が大きい方向と一致すればさらに反りにくくなり、反り量は減少することになる。
【００３６】
膜応力を持つ薄膜をシリコンウェーハ上に形成した時に生じるウェーハの反りはシミュレーションにより再現することが可能である。同じ膜応力に対してシリコンウェーハの厚み依存性を有限要素法のシミュレーションで求めることで、シリコンウェーハの厚みとウェーハの反り量との関係式を求めることができる。
【００３７】
こうして膜の積層を伴うデバイス形成によって生じるシリコンウェーハの反り量とシリコンウェーハの厚みとの関係を求め、シリコンウェーハの厚みxと反り改善量yをy=A(x/t-1)の関係式で数式化する。ここでtはシリコンウェーハの標準厚み（μｍ）であり、例えば直径300ｍｍのシリコンウェーハの標準厚みは775μｍである。デバイス形成時に積層される膜の応力成分の違いにより生じる反り形状の違い（図２参照）であるお椀型と鞍型反りの両方で数式を立てる。そしてシリコンウェーハの厚みと反り改善量との関係式から、デバイス工程で改善したい反り量に応じたウェーハの厚みを導き出す。こうして導き出したウェーハの厚みに基づいて、当該厚みを有するシリコンウェーハを製造する。シリコン単結晶インゴットを加工してシリコンウェーハを製造する。
【００３８】
上記したシリコンウェーハの厚みと反り改善量との関係式における定数Aは、デバイス工程により生じるウェーハの反り量に応じた値に設定されることが好ましい。この場合において、シリコンウェーハがお椀型の反りを有する場合、上記Aの範囲は900以下であることが好ましい。また、シリコンウェーハが鞍型の反りを有する場合、上記Aの範囲は1500以下であることが好ましい。
【００３９】
以上説明したように、本実施形態によるシリコンウェーハの製造方法によれば、表面に半導体デバイスが形成されるシリコンウェーハにおいて、シリコンウェーハ上に形成された配線層等の積層膜の膜応力により生じるシリコンウェーハの反り量を所定値以下に低減できることができる。
【００４０】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【００４１】
例えば、上記実施形態においては、３ＤＮＡＮＤの製造に好適なシリコンウェーハの製造方法について説明したが、本発明はこのような例に限定されるものではなく、膜応力によってウェーハが反ることとなる種々の半導体デバイス用のシリコンウェーハを対象とすることができる。
【実施例】
【００４２】
（実施例１）
直径が300ｍｍで厚みが775μｍのシリコンウェーハ上に、厚みが2μｍのシリコン酸化膜をＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）工程で成膜したところ、ウェーハの成膜面に向かって凸状のお椀型の反りが発生した。ウェーハの反り量（Warp）をウェーハ平坦度・形状測定装置で測定したところ、反り量（基準反り量）は610μｍであった。
【００４３】
厚みが800μｍ、825μｍ、850μｍのシリコンウェーハに対しても同様の成膜を行った後、それぞれのウェーハの反り量を測定したところ、585μｍ、560μｍ、535μｍであった。
【００４４】
図４は、シリコンウェーハの厚みと反り量との関係を示すグラフであり、横軸はシリコンウェーハの厚み、縦軸はシリコンウェーハの反り量をそれぞれ示している。図４から明らかなように、膜応力が一定である場合、シリコンウェーハの厚みが大きいほど反り量は小さくなる。
【００４５】
図５は、図４のグラフを換算することにより求められるシリコンウェーハの厚みと反り改善量との関係を示すグラフであって、横軸はシリコンウェーハの厚み、縦軸は反り改善量をそれぞれ示している。図５のグラフは、標準厚み（775μｍ）のシリコンウェーハの反り量を基準（ゼロ）にして、ウェーハの厚みをさらにどのくらい増やしたときに反り量がどのくらい低減するかを示すものである。図５のグラフをシリコンウェーハの目標厚みxと反り改善量yとの関係式：y=A(x/775-1)で表すと、次のようになる。
【００４６】
y=760.5(x/775-1)          ・・・（式１）
【００４７】
この関係式の意味は、改善したい反り量をyに代入すると、反り量を改善するために必要なウェーハの厚みｘが求められることである。
【００４８】
次にこの関係式を利用して確認実験を行った。目標とする反り改善量y＝35μｍを関係式：y=760.5(x/775-1)に代入すると、シリコンウェーハの目標厚みx＝810.67μｍが得られる。そこで、直径が300ｍｍで厚みが810.2μｍのシリコンウェーハを用意し、その上に厚みが2μｍのシリコン酸化膜をＣＶＤ工程で成膜したところ、ウェーハに凸状のお椀型の反りが発生し、572.2μｍの反り量をもたらした。目標とする反り改善量y＝35μｍに対して、実際の反り改善量は610-572.2＝37.8μｍであり、ほぼ目標通りの結果となった。
【００４９】
（実施例２）
次に、実施例１で行った実験に追加して、直径が300ｍｍで厚みが775μｍのシリコンウェーハを２枚用意し、一方のシリコンウェーハ上に厚みが0.8μｍのシリコン酸化膜をＣＶＤ工程で成膜したところ、凸状のお椀型の反りが発生し、その反り量は233μｍであった。また他方のシリコンウェーハ上に厚みが3.5μｍのシリコン酸化膜を同様に成膜したところ、凸状のお椀型の反りが発生し、その反り量は1042μｍであった。
【００５０】
厚みが800μｍ、825μｍ、850μｍのシリコンウェーハに対しても同様の成膜をそれぞれ行った後、各ウェーハの反り量を測定して、シリコンウェーハの厚みと反り量との関係を求めた。そして標準厚み（775μｍ）のシリコンウェーハの反り量と比べたときの相対値に換算してウェーハの反り改善量を求めた。その結果を図６のグラフを示す。
【００５１】
図６は、図５と同様にウェーハの厚みと反り改善量との関係を示すグラフであって、横軸はウェーハの厚み、縦軸はウェーハの反り改善量をそれぞれ示している。図６に示すように、各グラフの傾きは少しずつ異なっており、ウェーハに付与する膜応力が大きいほどグラフの傾きも大きくなることが分かる。
【００５２】
図６の各グラフを、シリコンウェーハの目標厚み(x)と反り改善量(y)との関係式：y=A(x/775-1)で表し、図７に示すように定数Aを基準反り量WARPiの関数にすると、次のようになる。
【００５３】
A=-0.001×WARPi2+1.8472×WARPi          ・・・（式２）
【００５４】
なお基準反り量WARPiは、ウェーハが標準厚み（775μｍ）のときの反り量のことを言い、シリコン酸化膜の厚みが0.8μｍ、2μｍ、3.5μｍのときの基準反り量WARPiはそれぞれ、233μｍ、610μｍ、1042μｍである。図７からも明らかなように、定数Aは基準反り量WARPiの増加に比例せず飽和状態となり、シリコンウェーハの反り形状がお椀型である場合に、定数Aは900以下である。
【００５５】
この定数Aと基準反り量WARPiとの関係式から、基準反り量WARPiが233μｍの場合の定数Aは380.59になる。これにより、シリコンウェーハの厚みxと反り改善量yとの関係式はy=380.59(x/775-1)になる。
【００５６】
次にこの関係式を利用して確認実験を行った。目標とする反り改善量y＝20μｍを関係式：y=380.59(x/775-1)に代入すると、シリコンウェーハの目標厚みx＝815.73μｍが得られる。そこで、直径が300ｍｍで厚みが815.5μｍのシリコンウェーハを用意し、その上に厚みが0.8μｍのシリコン酸化膜をＣＶＤ工程で成膜したところ、ウェーハに凸状のお椀型の反りが発生し、210.2μｍの反り量をもたらした。目標とする反り改善量y＝20μｍに対して、実際の反り改善量は233-210.2＝22.8μｍであり、ほぼ目標通りの結果となった。
【００５７】
（実施例３）
直径が300ｍｍで厚みが775μｍの（100）シリコンウェーハの上に、厚みが1μｍのシリコン酸化膜をＣＶＤ工程で成膜した後にマスクを利用して一部をエッチングし、次いで厚みが0.7μｍのシリコン窒化膜を同様に成膜した後にマスクを利用して一部をエッチングして、図８のような成膜パターンを形成した。その結果、ウェーハに鞍型の反りが発生した。ウェーハの反り量（Warp）を測定したところ、反り量（基準反り量）は608μｍあった。
【００５８】
厚みが800μｍ、825μｍ、850μｍのシリコンウェーハに対しても同様の成膜を行った後、それぞれのウェーハの反り量を測定したところ、575μｍ、545μｍ、515μｍであった。
【００５９】
図９は、シリコンウェーハの厚みと反り量との関係を示すグラフであり、横軸はシリコンウェーハの厚み、縦軸はシリコンウェーハの反り量をそれぞれ示している。図９から明らかなように、膜応力が一定である場合、反り形状が鞍型であってもシリコンウェーハの厚みが大きいほど反り量は小さくなる。
【００６０】
図１０は、図９のグラフを換算することにより求められるシリコンウェーハの厚みと反り改善量との関係を示すグラフであって、横軸はシリコンウェーハの厚み、縦軸はシリコンウェーハの反り改善量をそれぞれ示している。図１０のグラフは、標準厚み（775μｍ）のシリコンウェーハの反り量を基準（ゼロ）にして、ウェーハの厚みをさらにどのくらい増やしたときに反り量がどのくらい低減するかを示すものである。図１０のグラフをシリコンウェーハの目標厚みxと反り改善量yとの関係式：y=A(x/775-1)で表すと、次のようになる。
【００６１】
y=925.95(x/775-1)           ・・・（式３）
【００６２】
次にこの関係式を利用して確認実験を行った。目標とする反り改善量y＝45μｍを関係式：y=925.95(x/775-1)に代入すると、シリコンウェーハの目標厚みx＝812.7μｍが得られる。そこで、直径が300ｍｍで厚みが812.1μｍのシリコンウェーハを用意し、その上に厚みが2μｍのシリコン酸化膜をＣＶＤ工程で成膜したところ、ウェーハに凸状のお椀型の反りが発生し、565.0μｍの反り量をもたらした。目標とする反り改善量y＝45μｍに対して、実際の反り改善量は608-565.0＝43μｍであり、ほぼ目標通りの結果となった。
【００６３】
（実施例４）
次に、実施例３で行った実験に追加して、直径が300ｍｍで厚みが775μｍのウェーハ状の（100）シリコンウェーハ２枚を用意し、その上に、厚みが0.5μｍと2.0μｍのシリコン酸化膜をＣＶＤ工程でそれぞれ成膜した後にマスクを利用して一部をエッチングし、次いで厚みが0.24μｍと1.4μｍのシリコン窒化膜をＣＶＤ工程でそれぞれ成膜した後にマスクを利用して一部をエッチングして、図８のような成膜パターンを形成した。その結果、ウェーハに鞍型の反りが発生し、反り量はそれぞれ213μｍと1217μｍであった。
【００６４】
厚みが800μｍ、825μｍ、850μｍのシリコンウェーハに対しても同様の成膜をそれぞれ行った後、各ウェーハの反り量を測定して、シリコンウェーハの厚みと反り量との関係を求めた。そして標準厚み（775μｍ）のシリコンウェーハの反り量と比べたときの相対値に換算してウェーハの反り改善量を求めた。その結果を図１１に示す。
【００６５】
図１１は、図１０と同様にウェーハの厚みと反り改善量との関係を示すグラフであって、横軸はウェーハの厚み、縦軸はウェーハの反り改善量をそれぞれ示している。図１１に示すように、各グラフの傾きは少しずつ異なっており、ウェーハに付与する膜応力が大きいほどグラフの傾きも大きくなることが分かる。
【００６６】
図１１のグラフを、シリコンウェーハの厚み(x)と反り改善量(y)との関係式：y=A(x/775-1)で表し、図１２に示すように定数Aを基準反り量WARPiの関数にすると、次のようになる。
【００６７】
A=-0.0006×WARPi2+1.8891×WARPi          ・・・（式４）
【００６８】
なお基準反り量WARPiは、ウェーハが標準厚み（775μｍ）のときの反り量のことを言い、膜応力を付与するためのシリコン酸化膜の厚みが0.5μｍ、1μｍ、2.0μｍ（シリコン窒化膜の厚みが0.24μｍ、0.7μｍ、1.4μｍ）のときの基準反り量WARPiはそれぞれ、213μｍ、608μｍ、1217μｍである。図１２からも明らかなように、定数Aは基準反り量WARPiの増加に比例せず飽和状態となり、シリコンウェーハの反り形状が鞍型である場合に、定数Aは1500以下である。
【００６９】
この定数Aと基準反り量WARPiとの関係式から、基準反り量WARPiが213μｍの場合の定数Aは362.54になる。これにより、シリコンウェーハの厚みxと反り改善量yとの関係式はy=362.54(x/775-1)になる。
【００７０】
次にこの関係式を利用して確認実験を行った。目標とする反り改善量y＝20μｍを関係式：y=362.54(x/775-1)に代入すると、シリコンウェーハの目標厚みx＝817.75μｍが得られる。そこで、直径が300ｍｍで厚みが817.6μｍのシリコンウェーハを用意し、その上に厚みが0.5μｍのシリコン酸化膜をＣＶＤ工程で成膜したところ、ウェーハに凸状のお椀型反りが発生し、191.8μｍの反り量をもたらした。目標とする反り改善量y＝20μｍに対して、実際の反り改善量は213-191.8＝21.2μｍであり、ほぼ目標通りの結果となった。
【符号の説明】
【００７１】
Ｓ１    シリコンウェーハの反り量と厚みとの関係を求めるステップ（第１ステップ）
Ｓ２    シリコンウェーハの反り改善量と目標厚み(x)との関係式を求めるステップ（第２ステップ）
Ｓ３    関係式に所望の反り改善量を代入してシリコンウェーハの目標厚みを求めるステップ（第３ステップ）
Ｓ４    目標厚みを有するシリコンウェーハを製造するステップ（第４ステップ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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