(57)【要約】【課題】基板に対して保護膜を効率良く形成できる保護膜形成装置を提供する。【解決手段】成形板Ｇと基板Ｓとを、互いに離隔した離隔位置と、接着剤Ｒを介して圧着される圧着位置との間で相対移動可能に保持する治具１００と、治具１００に保持された成形板Ｇと基板Ｓとを、圧着位置に相対移動させることにより貼り合わせる貼合部２と、治具Ｇに保持された成形板Ｇと基板Ｓとを、離隔位置に相対移動させることにより剥離する剥離部３と、複数の治具１００を支持し、いずれかの治具１００に保持された成形板Ｇと基板Ｓとの貼合部２による貼り合わせと、他のいずれかの治具１００に保持された成形板Ｇと基板Ｓとの剥離部３による剥離とを並行して実行可能となるように、治具１００の貼合部２への搬送と貼合部２から剥離部３への搬送とを実行する搬送部４と、を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤を介して成形板と基板とを圧着することにより、前記接着剤からなる保護膜を形成する保護膜形成装置であって、
前記成形板と前記基板とを、互いに離隔した離隔位置と、接着剤を介して圧着される圧着位置との間で相対移動可能に保持する治具と、
前記治具に保持された前記成形板と前記基板とを、前記圧着位置に相対移動させることにより貼り合わせる貼合部と、
前記治具に保持され、前記貼合部により貼り合わされた前記成形板と前記基板とを、前記離隔位置に相対移動させることにより剥離する剥離部と、
複数の前記治具を支持し、いずれかの治具に保持された成形板と基板との前記貼合部による貼り合わせと、他のいずれかの治具に保持された成形板と基板との前記剥離部による剥離とを並行して実行可能となるように、前記治具の前記貼合部への搬送と前記貼合部から前記剥離部への搬送とを実行する搬送部と、
を有することを特徴とする保護膜形成装置。
【請求項２】
前記貼合部は、圧着された前記成形板と前記基板との間の前記接着剤を硬化させる硬化部を有することを特徴とする請求項１記載の保護膜形成装置。
【請求項３】
前記治具は、
前記基板が載置される基台と、
前記基台に対向するように、且つ、平面視で前記基台上の基板からはみ出すように設けられた前記成形板を支持する成形板支持部材と、
前記成形板支持部材を、前記基台から離隔する位置に弾性支持する弾性部材と、
を有することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の保護膜形成装置。
【請求項４】
前記弾性部材は、前記保護膜の前記成形板に対する接着力よりも大きい弾性力を有することを特徴とする請求項３記載の保護膜形成装置。
【請求項５】
前記剥離部は、
前記治具を前記搬送部に受け渡す受渡装置を有し、
前記受渡装置は、
前記治具を保持する保持具と、
前記治具に保持された前記基板を、前記成形板に対して引き離す方向に移動させる剥離具と、
を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の保護膜形成装置。
【請求項６】
前記剥離部は、
前記保持具と前記剥離具とを
前記治具との間で相対移動させる移動機構を有することを特徴とする請求項５記載の保護膜形成装置。
【請求項７】
内部に減圧可能な真空室が構成され、前記真空室内に前記搬送部及び前記貼合部を備える真空チャンバを有し、
前記搬送部は、
前記真空チャンバ内で、前記真空チャンバに前記治具を出し入れする位置と前記貼合部による貼り合わせを行う貼合位置とで前記治具を搬送可能な回転体と、
前記治具を保持し、前記回転体に対して、前記回転体の回転面に直交する方向に相対移動可能に支持されるホルダと、
を有し、
前記真空チャンバには、前記治具を出し入れする位置に対応し、前記剥離部が前記受渡装置によって前記搬送部との間で前記治具の受け渡しを行うための開口が設けられ、
前記受渡装置は、
前記保持具と前記剥離具を有する保持板と、
前記ホルダを前記真空チャンバの前記開口に向けて進退駆動させる押上部と、
を有し、
前記治具の受け渡しの際には、前記押上部によって前記ホルダが、前記開口の周囲の前記真空チャンバの内壁に当接することで、前記真空チャンバ内と外部との気密を保ち、前記治具の搬送時および前記基板の貼り合わせの際には、前記保持板が前記開口の周囲の真空チャンバの外面に当接することで、真空チャンバ内と外部との気密を保つことを特徴とする請求項６記載の保護膜形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に保護膜を成形する保護膜形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＶＤなどの光ディスクは、中央に孔のある円盤状の基板上に、反射膜を蒸着してなる記録層と、当該記録層上に設けられた半透明膜からなる記録層とが設けられている。このような光ディスクの製造方法としては、次のような方法が知られている。すなわち、２枚の基板の片面に、それぞれ記録面を形成する。一方の基板の記録面には、反射膜を蒸着して記録層とし、他方の基板の記録面には、半透明膜を蒸着して記録層とする。
【０００３】
そして、これらの２枚の基板の記録層を対向させて、接着剤によって貼り合わせる。接着剤の硬化後、他方の基板を、半透明膜との界面で剥離することにより、半透明膜からなる記録層を接着剤側に転写する。
【０００４】
この剥離には、基板の中央に設けられている孔を利用する技術が用いられる。すなわち、中央の孔から圧縮エアを供給し、半透明膜と基板とを剥離する技術が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４０２０６６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、スマートフォンに代表される携帯端末の表示パネルにおいては、その構成部分である、例えばタッチパネルなどの基板の表面に、紫外線硬化樹脂等の接着剤からなる保護膜を形成する場合がある。そして、このような保護膜の形成に、特許文献１の技術を応用することが考えられる。すなわち、表面に接着剤が塗布された基板に対し、他方の基板を押し付けて接着剤の層を成形し、その後、接着剤を硬化させ、他方の基板を剥離することで、接着剤からなる保護膜を形成する。
【０００７】
光ディスクのように、中央に孔のある基板の場合には、中央の孔に圧縮エアを供給することで、剥離させることができる。しかし、面内に孔のない基板に対しては、圧縮エアの供給口がないため、従来の技術を適用することができない。
【０００８】
また、保護膜を形成するための押し付け、硬化、剥離の３工程が同じ位置で行われているため、個々の製品を製造するためのサイクルタイムが長くなる。接着剤の粘着力が強い場合や、基板のサイズが大きい場合には、剥離に時間をかける必要があり、さらにサイクルタイムが長くなる。
【０００９】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、基板に対して保護膜を効率良く形成できる保護膜形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、接着剤を介して成形板と基板とを圧着することにより、前記接着剤からなる保護膜を形成する保護膜形成装置であって、前記成形板と前記基板とを、互いに離隔した離隔位置と、接着剤を介して圧着される圧着位置との間で相対移動可能に保持する治具と、前記治具に保持された前記成形板と前記基板とを、前記圧着位置に相対移動させることにより貼り合わせる貼合部と、前記治具に保持され、前記貼合部により貼り合わされた前記成形板と前記基板とを、前記離隔位置に相対移動させることにより剥離する剥離部と、複数の前記治具を支持し、いずれかの治具に保持された成形板と基板との前記貼合部による貼り合わせと、他のいずれかの治具に保持された成形板と基板との前記剥離部による剥離とを並行して実行可能となるように、前記治具の前記貼合部への搬送と前記貼合部から前記剥離部への搬送とを実行する搬送部と、を有する。
【００１１】
前記貼合部は、圧着された前記成形板と前記基板との間の前記接着剤を硬化させる硬化処理部を有していてもよい。
【００１２】
前記治具は、前記基板が載置される基台と、前記基台に対向するように、且つ、平面視で前記基台上の基板からはみ出すように設けられた前記成形板を支持する成形板支持部材と、前記成形板支持部材を、前記基台から離隔する位置に弾性支持する弾性部材と、を有していてもよい。
【００１３】
前記弾性部材は、前記保護膜の前記成形板に対する接着力よりも大きい弾性力を有していてもよい。
【００１４】
前記剥離部は、前記治具を前記搬送部に受け渡す受渡装置を有し、前記受渡装置は、
前記治具を保持する保持具と、前記治具に保持された前記基板を、前記成形板に対して引き離す方向に移動させる剥離具と、を有していてもよい。
【００１５】
前記受渡装置は、前記保持具と前記剥離具とを相対移動させる移動機構を有していてもよい。
【００１６】
内部に減圧可能な真空室が構成され、前記真空室内に前記搬送部及び前記貼合部を備える真空チャンバを有し、前記搬送部は、前記真空チャンバ内で、前記真空チャンバに前記治具を出し入れする位置と前記貼合部による貼り合わせを行う貼合位置とで前記治具を搬送可能な回転体と、前記治具を保持し、前記回転体に対して、前記回転体の回転面に直交する方向に相対移動可能に支持されるホルダと、を有し、前記真空チャンバには、前記治具を出し入れする位置に対応し、前記剥離部が前記受渡装置によって前記搬送部との間で前記治具の受け渡しを行うための開口が設けられ、前記受渡装置は、前記保持具と前記剥離具を有する保持板と、前記ホルダを前記真空チャンバの前記開口に向けて進退駆動させる押上部と、を有し、前記治具の受け渡しの際には、前記押上部によって前記ホルダが、前記開口の周囲の前記真空チャンバの内壁に当接することで、前記真空チャンバ内と外部との気密を保ち、前記治具の搬送時および前記基板の貼り合わせの際には、前記保持板が前記開口の周囲の真空チャンバの外面に当接することで、真空チャンバ内と外部との気密を保つこととしてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、基板に対して保護膜を効率良く形成できる保護膜形成装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態に適用される成形板及び基板を上面から見た模式図である。
【図２】実施形態の成形板と基板の貼り合わせ及び剥離手順を示す側面図である。
【図３】実施形態の保護膜形成装置を上面から見た模式図である。
【図４】図３の保護膜形成装置の真空チャンバの一部を断面とした模式側面図である。
【図５】実施形態の治具を上面から見た模式図（ａ）、長辺方向から見た側面図（ｂ）である。
【図６】図５の治具の短辺方向から見た側面図（ａ）、矢視Ｂ−Ｂ方向から見た模式断面図である。
【図７】実施形態の把持機構が、保持具が係止位置にある状態（ａ）、解放位置にある状態（ｂ）を示す側面図である。
【図８】保持板、保持具及び剥離具と治具及び基板との位置関係を示す上面から見た模式図である。
【図９】真空チャンバへの治具搬入前の剥離部を示す一部断面模式図である。
【図１０】真空チャンバの一部を断面とした治具搬入時の保護膜形成装置を示す模式側面図である。
【図１１】図１０の剥離部を示す一部断面模式図である。
【図１２】真空チャンバの一部を断面とした治具搬入後の保護膜形成装置を示す模式側面図である。
【図１３】図１２の剥離部を示す一部断面模式図である。
【図１４】治具が搬送された貼合部を示す一部断面模式図である。
【図１５】貼合部において治具が上昇して成形板が透過部材に接した状態を示す一部断面模式図である。
【図１６】貼合部において治具が上昇して基板が接着剤を介して成形板に圧着した状態を示す一部断面模式図である。
【図１７】貼合部において治具が下降してホルダに収容された状態を示す一部断面模式図である。
【図１８】貼合後に治具が剥離部に搬送された状態を示す一部断面模式図である。
【図１９】剥離部において治具が上昇した状態を示す一部断面模式図である。
【図２０】剥離部においてホルダが上昇した状態を示す一部断面模式図である。
【図２１】剥離部において治具が取り出された状態を示す一部断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態の保護膜形成装置について説明する。なお、図面は、あくまで模式図であり、装置構成の一部の部材はいずれかの図面でのみ記載され、他の図面では省略している場合がある。
【００２０】
［基板及び保護膜］
本実施形態に係る保護膜形成装置は、図１及び図２（ａ）〜（ｄ）に示すように、接着剤Ｒを介在させて成形板Ｇと基板Ｓとを貼り合わせ、基板Ｓを接着剤Ｒとともに成形板Ｇから剥離することにより、基板Ｓ上に接着剤Ｒからなる保護膜Ｐを成形する装置である。なお、図１は、成形板Ｇと基板Ｓとの上面から見た位置関係を示す模式図であり、図２（ａ）、（ｂ）は、成形板Ｇと基板Ｓとの貼り合わせ手順を示す模式図、図２（ｃ）、（ｄ）は、成形板Ｇと基板Ｓとの剥離手順を示す模式図である。図２において、左側の列は正面図、右側の列は右側面図である。
【００２１】
成形板Ｇは、接着剤Ｒを成形するための板状体である。ここでは透光性を有する矩形状のガラス板であり、より具体的には、透明で平面視で長方形状のガラス板である。成形板Ｇは、接着剤Ｒを成形する下面が平坦に形成され、この下面が水平面と平行になるように配置される。また、成形板Ｇは、接着剤Ｒを成形する際や、形成した保護膜Ｐから剥離する際に容易に変形することのないような厚み、例えば、モバイル用の表示装置の製造用途の場合には５ｍｍ〜１０ｍｍ程度の厚みを有する。
【００２２】
基板Ｓは、保護膜Ｐを形成する矩形状の対象物であり、例えば、タッチパネルやそのカバーパネルである。このような基板Ｓは、一般的に、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイを代表とする平板状の表示装置、いわゆるフラットパネルディスプレイに組み込まれて構成されている。基板Ｓとしては、上述のタッチパネルやカバーパネルの他、表示パネル、バックライト、バックライトの導光板等が該当する。
【００２３】
このような基板Ｓは、個別にあるいは予め積層された状態で筐体に組み込まれる。例えば、保護カバーにタッチパネルを積層した複合パネルとして構成されたものを用いることもある。このように、基板Ｓとしては様々な形態があるが、表示装置を構成する基板Ｓを、表示装置用部材と呼ぶ。
【００２４】
なお、本実施形態では、基板Ｓが表示装置を構成する部材であるものとして説明するが、本発明はこれに限定されるものでは無く、保護膜を形成する必要のある基板であれば適用可能である。また、本実施形態は、孔がなく圧縮エアの供給により剥離できない基板Ｓに適しているが、孔が存在する基板Ｓにも適用可能である。
【００２５】
基板Ｓには、図１に示すように、接着剤Ｒが塗布される塗布領域Ｓ１と、接着剤Ｒが塗布されない未塗布領域Ｓ２とが設けられる。塗布領域Ｓ１は、基板Ｓの中央部分に設けられ、未塗布領域Ｓ２は、その周囲に設けられる。未塗布領域Ｓ２は、塗布領域Ｓ１の周囲全部でなくとも、基板Ｓを成形板Ｇに対して重ね合わせた際にはみ出る部分に設けられれば良い。ここでは、未塗布領域Ｓ２は少なくとも対向する二辺に沿って２箇所に設けられている。
【００２６】
なお、保護膜Ｐの形成により基板Ｓ上の領域は、膜形成領域と膜未形成領域とに分けられる。保護膜Ｐの成形の際、成形板Ｇと基板Ｓとの貼り合わせにより接着剤Ｒが押し広げられるため、膜形成領域の方が塗布領域Ｓ１より大きく、膜未形成領域の方が未塗布領域Ｓ２より小さい。本実施形態では、接着剤Ｒは、保護膜Ｐよりも若干小さい大きさで塗布され、成形板Ｇに押し付けられることによって若干広がり保護膜Ｐとして成形される。したがって、膜形成領域は、塗布領域Ｓ１よりも若干大きいが、その差が僅かであるので、保護膜Ｐの形成や剥離に影響はないものとして説明する。仮に、塗布領域Ｓ１と膜形成領域との大きさに大きな差がある場合には、膜未形成領域の一部がはみ出るように成形板Ｇを構成して、膜形成領域に合わせて、接着剤Ｒを成形可能な大きさを成形板Ｇに確保できるようにすればよい。つまり、例えば、点状や線状に塗布された接着剤Ｒが成形板Ｇに押し付けられて広がるような場合にも、基板Ｓとの間で保護膜Ｐが形成される大きさとなる成形板Ｇとする。
【００２７】
また、基板Ｓの成形板Ｇからはみ出る部分とは、基板Ｓ側に成形板Ｇからはみ出る部分を設ける場合を許容するが、通常は、基板Ｓの未塗布領域Ｓ２の一部がはみ出る状態となるように成形板Ｇを基板Ｓ２に合わせて形成する。また、図１において、両者の識別のために、接着剤Ｒが塗布領域Ｓ１よりも小さく示されているが、実際には、塗布領域Ｓ１と塗布された接着剤Ｒの形状と大きさは一致する。
【００２８】
基板Ｓは、具体的には、複数のタッチパネルやカバーパネル等を一括して作成するための、所謂マザーガラスとすることもできる。基板Ｓは、最終的にタッチパネルやカバーパネル等の製品基板毎に個片化されるが、個片化されるまでの生産工程での利便性を考慮して、外周部は製品として使用されない余白部となっており、当該余白部が未塗布領域Ｓ２、膜未形成領域となる。
【００２９】
接着剤Ｒは、樹脂であり、ここでは紫外線照射硬化性樹脂である。接着剤Ｒは、保護膜Ｐの材料であり、硬化後に基板Ｓとの間に結合した状態が得られるものであれば良く、硬化前において基板Ｓと他の物体を結合する機能を有する必要はない。
【００３０】
［保護膜形成装置］
図３は、保護膜形成装置を上面から見た模式図である。図４は、図３の矢視Ａ−Ａ方向から見た模式断面図である。なお、本明細書において、方向や位置関係を説明するのに「上」や「下」と称する場合があるが、「上」や「下」とは、保護膜形成装置における位置関係をいうものであり、保護膜形成装置が設置された際の位置関係や方向を指すものではない。また、図４、図１０、図１２における治具１００は、それぞれの位置に治具１００が存在する場合を図示するために記載したに過ぎず、図示した位置に常に存在するとは限らない。
【００３１】
保護膜形成装置は、接着剤Ｒを介して成形板Ｇと基板Ｓとを圧着することにより、接着剤Ｒからなる保護膜Ｐを形成する装置である。保護膜形成装置は、治具１００、真空チャンバ１、貼合部２、剥離部３、搬送部４、搬出入部５、制御装置６を有する。
【００３２】
治具１００は、成形板Ｇと基板Ｓとを、互いに離隔した離隔位置と、接着剤Ｒを介して圧着される圧着位置との間で相対移動可能に保持する機構部である。真空チャンバ１は、内部を真空状態とすることが可能な容器であり、内部に搬入された治具１００に保持された成形板Ｇと基板Ｓの周囲を真空とする。
【００３３】
貼合部２は、治具１００に保持された成形板Ｇと基板Ｓとを、圧着位置に相対移動させることにより貼り合わせる。剥離部３は、治具１００に保持され、前記貼合部により貼り合わされた成形板Ｇと基板Ｓとを、離隔位置に相対移動させることにより剥離する。搬送部４は、複数の治具１００を支持し、いずれかの治具１００に保持された成形板Ｇと基板Ｓとの貼合部２による貼り合わせと、他のいずれかの治具１００に保持された成形板Ｇと基板Ｓとの剥離部３による剥離とを並行して実行可能となるように、治具１００を貼合部２と剥離部３との間で搬送する。搬出入部５は、真空チャンバ１への治具１００の搬入及び搬出を行う。
【００３４】
以上のような保護膜形成装置の各部の構成をより具体的に説明する。
（治具）
治具１００の構成を、図５及び図６を参照して説明する。図５（ａ）は治具１００の上面から見た模式図、図５（ｂ）は治具１００の右側面から見た模式図、図６（ａ）は治具１００の正面から見た模式図、図６（ｂ）は図５（ａ）の矢視Ｂ−Ｂ方向から見た模式断面図である。
【００３５】
治具１００は、保護膜Ｐの形成対象である基板Ｓと、接着剤Ｒを成形する成形板Ｇとを、１つの組として真空チャンバ１内に搬入および搬出するユニットとして構成され、基板Ｓと成形板Ｇの貼り合わせに使用される。基板Ｓが装着された治具１００は、保護膜形成装置に順次搬入され、接着剤Ｒを介して成形板Ｇに基板Ｓが圧着され、接着剤Ｒが硬化されて保護膜Ｐとなり、保護膜Ｐとともに基板Ｓを成形板Ｇから剥離した後に、順次搬出される。
【００３６】
治具１００は、ベース板１０１、基台１０２、成形板支持部材１０３、弾性部材１０４、ガイド１０５及び着脱具１０６を有する。ベース板１０１は、矩形状の平板であり、治具１００におけるベースとなる。基台１０２は、例えば、直方体形状のブロック体であり、ベース板１０１上に設けられ、その上面は基板Ｓが載せられる載置面となっている。
【００３７】
成形板支持部材１０３は、成形板Ｇを支持する部材である。成形板支持部材１０３は、ベース板１０１と対向するように設けられ、ベース板１０１に対して昇降自在に成形板Ｇを支持する。具体的には、成形板支持部材１０３は、一対の長板状体１０３ａ、１０３ｂからなり、成形板Ｇの一辺部分、具体的には短辺側の部分が載置される段差が設けられている。成形板支持部材１０３は、長板状体１０３ａ、１０３ｂを平行にしてベース板１０１と対向するように設けられ、段差部分で成形板Ｇの短辺を支持する。
【００３８】
基台１０２は、成形板支持部材１０３に支持された成形板Ｇに対向しており、平面視で基板Ｓが成形板Ｇからはみ出すように載置される。上述したように、成形板Ｇは、基板Ｓの未塗布領域Ｓ２の一部が成形板Ｇからはみ出すような形状と大きさで形成される。このはみ出す領域は、剥離の際に押圧される領域であるため、安定した剥離のために、少なくとも対向する二辺に沿う領域とすることが好ましい。但し、一辺に沿う領域でも、三辺、四辺に沿う領域であってもよい。本実施形態では、はみ出す領域は、上記の未塗布領域Ｓ２、膜未形成領域を構成する領域である。上記のように、貼り合わせにより接着剤Ｒの領域は変化するため、未塗布領域Ｓ２、膜未形成領域は僅かに相違する部分があるため、はみ出す領域は、未塗布領域Ｓ２、膜未形成領域に正確に一致するわけではない。
【００３９】
弾性部材１０４は、ベース板１０１に設けられ、成形板支持部材１０３を支持する弾性を有する部材である。詳細には、弾性部材１０４の一端がベース板１０１に固定され、他端が成形板支持部材１０３の下面に固定される。弾性部材１０４は複数設けられており、ここでは、各長板状体１０３ａ、１０３ｂに対し、２本のバネが設けられている。弾性部材１０４は、成形板支持部材１０３およびベース板１０１を付勢する圧縮バネであり、上下方向に伸縮する。
【００４０】
この弾性部材１０４は、保護膜Ｐの成形板Ｇに対する接着力よりも大きな弾性力を有する。すなわち、保護膜Ｐの成形板Ｇに対する接着力よりも大きな弾性力とは、圧縮されたバネに、その弾性力によって生じる反発力、つまり、保護膜Ｐを成形板Ｇから剥がそうとする力が、保護膜Ｐを成形板Ｇから剥離させるのに要する力よりも大きいことを意味する。したがって、この条件を満足する弾性部材１０４を用いている。
【００４１】
ガイド１０５は、成形板支持部材１０３とベース板１０１との間に設けられ、弾性部材１０４の伸縮方向を規制する。例えば、ガイド１０５は、多重筒構造を有し、弾性部材１０４の伸縮により上下方向に伸縮可能になっている。
【００４２】
着脱具１０６は、治具１００を保持する部材が着脱される部材である。着脱具１０６は、ベース板１０１の縁部の各辺の中央から、成形板Ｇ側に突出して設けられている。着脱具１０６には、後述する剥離部３の保持具３６２ａの爪Ｎが係止する孔Ｈが形成されている。
【００４３】
（真空チャンバ）
真空チャンバ１は、図４に示すように、内部を真空状態とすることが可能な容器である。真空チャンバ１には、不図示の排気装置が設けられ、この排気装置により内部に真空状態が形成される。つまり、真空チャンバ１の内部は、真空室を構成する。真空室は、真空チャンバ１内部の円筒形状の密閉空間である。
【００４４】
真空チャンバ１の上面には、その中央を挟んだ位置に開口１ａ及び開口１ｂが並設されている。開口１ａの位置は貼合部２に対応し、開口１ｂの位置は剥離部３に対応する。開口１ａは、後述する窓部２２１により塞がれて密閉されている。
【００４５】
開口１ｂは、真空チャンバ１内に治具１００を出し入れする位置に対応して設けられている。つまり、開口１ｂは、治具１００を真空チャンバ１内に出し入れ可能な大きさの矩形の孔である。さらに、開口１ｂと治具１００との間には、治具１００を保持する後述する保持具３６２ａ及び基板Ｓを剥離させる剥離具３６３を挿排可能な間隔が形成されている。
【００４６】
（搬送部）
搬送部４は、真空チャンバ１内に設けられ、一対の治具１００を搭載する回転体４１を有し、治具１００を貼合部２と剥離部３との間で搬送する装置である。つまり、搬送部４は、治具１００を真空チャンバ１に出し入れする位置と貼合部２による貼合位置とを搬送することができる。回転体４１は、水平な回転面に沿って回転する円形の板状の回転テーブルである。回転体４１には、一対のホルダ孔４１ａが形成されている。一対のホルダ孔４１ａは、回転体４１の回転中心を挟んで並設され、各々が開口１ａ、１ｂに対応する位置に形成された矩形の孔である。
【００４７】
搬送部４は、回転体４１に加えて、モータ４２、ホルダ４３を有する。モータ４２は、回転体４１に駆動力を与え、その中心を軸として回転させる駆動源である。ホルダ４３は、内部に治具１００を支持する部材である。ホルダ４３は、回転体４１の回転面に直交する方向に相対移動可能に支持されている。つまり、回転体４１に形成された一対のホルダ孔４１ａのそれぞれに、挿脱可能に支持されている。
【００４８】
ホルダ４３は、水平断面が矩形の有底角筒状部材であり、内部が治具１００を収容可能な大きさとなっている。ホルダ４３の上縁には、周縁が全周に亘って外方へ張り出したフランジ４３ａが形成されている。ホルダ４３は、ホルダ孔４１ａに挿入され、フランジ４３ａがホルダ孔４１ａの周縁に接することにより、回転体４１に支持される。フランジ４３ａの上面と開口１ｂの周縁の真空チャンバ１の天井との間には、図示はしないが、全周に亘るＯリング等の封止部材が配設されている。これにより、ホルダ４３が上昇して真空チャンバ１の天井に接した場合には、開口１ｂが気密に封止される。
【００４９】
ホルダ４３の底部には、治具１００のベース板１０１よりも小さな開口４３ｂが形成されている。このため、開口４３ｂの周縁の底部によって、治具１００の底部が支持可能となっている。また、開口４３ｂは、後述する押圧板２１１及び突出部３２１が挿排可能な大きさである。
【００５０】
（貼合部）
貼合部２は、圧着部２１及び硬化部２２を有する。圧着部２１は、治具１００に保持された成形板Ｇに対して基板Ｓを圧着する機構であり、基板Ｓに塗布された接着剤Ｒを成形板Ｇに押し付けて成形する機構でもある。圧着部２１は、押圧板２１１、ロッド２１２及び駆動源２１３を有する。押圧板２１１は、ホルダ４３に下方から垂直方向に進入することにより、治具１００を押し上げて、真空チャンバ１の天井側の窓部２２１に成形板Ｇを押し当てるとともに、基板Ｓを弾性部材１０４の付勢力に抗して成形板Ｇに圧着させる部材である。
【００５１】
ロッド２１２は、真空チャンバ１に気密に挿通され、一端が押圧板２１１に連結された棒状の部材である。駆動源２１３は、ロッド２１２の他端に接続され、ロッド２１２を進退させる機構である。駆動源２１３としては、例えばエアシリンダを用いることができる。
【００５２】
硬化部２２は、圧着された成形板Ｇと基板Ｓとの間の接着剤Ｒを硬化させる装置である。硬化部２２は、窓部２２１、照射部２２２を有する。窓部２２１は、真空チャンバ１内を気密に封止するとともに、接着剤Ｒを硬化させるためのエネルギーを透過する構成部である。窓部２２１は、環状ブロック２２１ａ、固定部材２２１ｂ、透過部材２２１ｃを有する。
【００５３】
環状ブロック２２１ａは、矩形の環状の部材であり、その外縁が真空チャンバ１の開口１ａの縁に乗りかかるようにして設けられている。固定部材２２１ｂは、矩形の環状のブロック体であり、その中心孔の周囲に段差が設けられ、当該段差に支持されることにより透過部材２２１ｃが固定されている。透過部材２２１ｃは、接着剤Ｒを硬化させるエネルギーを透過する部材である。透過部材２２１ｃは、例えば、石英ガラスを用いる。
【００５４】
照射部２２２は、接着剤Ｒを硬化させるエネルギーを照射する装置である。照射部２２２は、透過部材２２１ｃの上方で対向する位置に設けられている。照射部２２２は、透過部材２２１ｃおよび成形板Ｇを介して真空チャンバ１内に、エネルギーを照射する。本実施形態では、照射部２２２により照射されるエネルギーは紫外線である。なお、透過部材２２１ｃは、成形板Ｇの下の接着剤Ｒの全体に、照射部２２２からのエネルギーを照射できる大きさである。
【００５５】
真空チャンバ１は、治具１００の圧着部２１による移動を規制する治具規制部を備える。治具規制部は、治具１００を載置したホルダ４３が上昇したときに、成形板Ｇに接して上昇移動を規制する。ここでは、治具規制部は、真空チャンバ１に固定された固定部材２２１ｂ及び透過部材２２１ｃである。
【００５６】
（剥離部）
剥離部３は、押上部３１、受渡部３５を有する。押上部３１は、ホルダ４３及び治具１００を真空チャンバ１の開口１ｂに向けて進退駆動させる機構である。押上部３１は、押上体３２、ロッド３３及び駆動源３４を有する。押上体３２は、突出部３２１及び拡張部３２２を有する。突出部３２１は、ホルダ４３の下方から垂直方向に進入することにより、治具１００の底部を押し上げて、治具１００の上部を開口１ｂまで進入させる部材である。
【００５７】
拡張部３２２は、突出部３２１の底縁が外方に拡張した鍔状の部分であり、突出部３２１による治具１００の押し上げに続いて、ホルダ４３の底部を押し上げて、ホルダ４３の上部を開口１ｂの周囲の真空チャンバ１の内壁である天井に当接させる。拡張部３２２とホルダ４３の底面との間には、図示はしないが、全周に亘るОリング等の封止部材が配設されている。これにより、拡張部３２２が上昇してホルダ４３の底面に当接した場合には、ホルダ４３の内側の孔が気密に封止される。つまり、治具１００の受け渡しの際には、押上部３１によってホルダ４３が、開口１ｂの周囲の真空チャンバ１の内壁に当接することで、真空チャンバ１内と外部との気密を保つ。
【００５８】
ロッド３３は、真空チャンバ１に気密に挿通され、一端が押上体３２に連結された棒状の部材である。駆動源３４は、ロッド３３の他端に接続され、ロッド３３を進退させる機構である。駆動源３４としては、例えばエアシリンダを用いることができる。
【００５９】
受渡部３５は、真空チャンバ１とその外部との間で、治具１００を受け渡す受渡装置である。受渡部３５は、保持部３６、搬送機構３７を有する。保持部３６は、治具１００を保持する機構である。保持部３６は、保持板３６１、把持機構３６２、剥離具３６３、昇降機構３６４を有する。
【００６０】
保持板３６１は、開口１ｂよりも大きな矩形の板であり、下降することにより開口１ｂに接して封止する封止位置と、上昇することにより開口１ｂを開放する開放位置との間を移動可能に設けられている。保持板３６１と開口１ｂの周縁の真空チャンバ１の天面との間には、図示はしないが、全周に亘るОリング等の封止部材が配設されている。これにより、保持板３６１が下降して真空チャンバ１の天面に接した場合には、開口１ｂが気密に封止される。つまり、治具１００の搬送時及び基板Ｓの貼り合わせの際には、保持板３６１が開口１ｂの周囲の真空チャンバ１の外面（天面）に当接することで、真空チャンバ１内と外部との気密を保つ。
【００６１】
なお、真空チャンバ１は、内部の真空状態を維持しつつ、治具１００を出し入れ可能とするロードロック室を有している。つまり、開口１ｂ、保持板３６１、ホルダ４３及び拡張部３２２によって封止される密閉空間は、不図示の排気装置によって、真空状態と大気開放状態とを切り替えることができるロードロック室を構成している。
【００６２】
把持機構３６２は、図７及び図８に示すように、治具１００を把持する機構である。図７は、把持機構３６２及び剥離具３６３を示す側面図、図８は、保持板３６１の上面から保持具３６２ａ及び剥離具３６３を透視した平面図である。把持機構３６２は、保持具３６２ａ、スライダ３６２ｂ、バネ３６２ｃ、カムフォロア３６２ｄ、傾斜カム３６２ｅを有する。保持具３６２ａは、治具１００を保持する部材である。保持具３６２ａは、保持板３６１の下方から治具１００に向かって突出するように設けられ、着脱具１０６の孔Ｈに係止する爪Ｎが形成されている。保持具３６２ａは、治具１００の着脱具１０６に対応して、保持板３６１の各辺の近傍にそれぞれ１つずつ、合計４つ設けられている。
【００６３】
スライダ３６２ｂは、細長の直方体形状の部材であり、保持板３６１の下面に水平方向にスライド移動可能に取り付けられている。スライダ３６２ｂは、一端が保持具３６２ａに取り付けられ、他端が保持板３６１の中心に延びている。バネ３６２ｃは、各スライダ３６２ｂを、保持板３６１の中心へ向かう方向に付勢する部材である。
【００６４】
カムフォロア３６２ｄは、スライダ３６２ｂの他端に設けられた回転するローラである。傾斜カム３６２ｅは、保持板３６１の中心に上下方向において進退可能に設けられた略円錐形の部材である。傾斜カム３６２ｅは、図示しないバネ等の付勢部材によって、保持板３６１に引き込まれる方向つまり上方向に付勢されており、後述する昇降機構３６４のブロックに押圧されると、付勢部材の付勢力に抗して保持板３６１の下面から突出する部分が下に向けて延びる。傾斜カム３６２ｅの傾斜面には、バネ３６２ｃによりスライダ３６２ｂが付勢されることにより、カムフォロア３６２ｄが圧接している。
【００６５】
このため、図７（ａ）に示すように、傾斜カム３６２ｅの突出が少ない場合には、バネ３６２ｃによりスライダ３６２ｂが保持板３６１の中心側に付勢されており、保持具３６２ａは治具１００の着脱具１０６を係止する係止位置にある。そして、図７（ｂ）に示すように、傾斜カム３６２ｅが突出すると、その傾斜面によって、保持板３６１の中心から離れる方向にカムフォロア３６２ｄが付勢されるので、スライダ３６２ｂがスライド移動して、保持具３６２ａが治具１００の着脱具１０６を解放する解放位置に移動する。
【００６６】
剥離具３６３は、治具１００に保持された基板Ｓを、成形板Ｇに対して引き離す方向に移動させる部材である。剥離具３６３は、付勢板３６３ａ及びロッド３６３ｂを有する。付勢板３６３ａは、成形板Ｇから基板Ｓを引き離す方向に付勢する部材である。ロッド３６３ｂは、付勢板３６３ａを、保持板３６１から下方に突出した位置に支持する部材である。
【００６７】
本実施形態では、付勢板３６３ａは、細長の矩形状の一対の部材であり、図８に示すように、ホルダ４３上の治具１００が下方に来たとき、基板Ｓの未塗布領域Ｓ２に対応して、成形板Ｇからはみ出して対向する二辺に沿って設けられている。以下、この対向する二辺をはみ出し辺とも言う。
【００６８】
ロッド３６３ｂは基板Ｓに対して直交する方向に延びた円柱状であり、各はみ出し辺に沿って等間隔に複数設けられている。ここでは各はみ出し辺に４本ずつの合計８本のロッド３６３ｂが設けられている。このため、剥離具３６３は、はみ出し辺に直交する二辺に沿って設けられる成形板支持部材１０３と物理的な干渉は生じない（図５及び図８参照）。
【００６９】
上記の押上部３１は、保持具３６２ａと剥離具３６３とを、治具１００との間で相対移動させる共通の移動機構を構成している。つまり、保持具３６２ａと剥離具３６３は、押上部３１によって治具１００が押し上げられると、治具１００に対して相対移動して、治具１００の保持と基板Ｓの成形板Ｇからの剥離の動作を並行して又は連続して行うことができる。
【００７０】
なお、押上部３１は、治具１００とホルダ４３を押し上げる構成となっている。つまり、突出部３２１によって治具１００をあらかじめ所定量押し上げてから、拡張部３２２によってホルダ４３を治具１００と共にさらに押し上げる構成となっている。これは、突出部３２１によってあらかじめホルダ４３に対して治具１００を押し上げる部分が無いと、保持具３６２ａを治具１００の着脱具１０６に到達させるために保持具３６２ａをホルダ４３内まで伸ばす必要が生じるが、そうすると、ホルダ４３が下がっても、保持具３６２ａがホルダ４３内から抜けきれず、回転体４１が回せなくなってしまうことがあるためである。
【００７１】
昇降機構３６４は、保持板３６１を把持機構３６２及び剥離具３６３とともに、昇降させる機構である。昇降機構３６４は、例えば、垂直方向のガイドレールと駆動源により回動するボールねじによって垂直方向に移動するブロックを有し、このブロックに保持板３６１が接続されている。
【００７２】
搬送機構３７は、搬出入部５と真空チャンバ１との間で、治具１００を搬送する機構である。搬送機構３７は、アーム３７１、モータ３７２を有する。アーム３７１は、水平方向に延びた角柱形状の部材であり、両端に一対の昇降機構３６４が設けられている。モータ３７２は、真空チャンバ１の外部の開口１ｂの近傍に設けられ、アーム３７１を水平面上で回転させる装置である。
【００７３】
アーム３７１は、昇降機構３６４に支持された保持板３６１の把持機構３６２が、治具１００を保持して回動することにより、搬出入部５と真空チャンバ１との間で治具１００を搬送する。治具１００の保持及び解放は、上記のように、昇降機構３６４により昇降する把持機構３６２の保持具３６２ａが、着脱具１０６に係脱することにより行われる。
【００７４】
（搬出入部）
搬出入部５は、真空チャンバ１と併設されている。搬出入部５は、回転テーブル５１、モータ５２を有する。回転テーブル５１は、円形の板状体である。回転テーブル５１には、一対の載置台５１１が形成されている。載置台５１１は、回転テーブル５１の回転中心を挟んで並設し、治具１００が載置される矩形の台である。載置台５１１は、回転テーブル５１の回動により、作業員が基板Ｓを治具１００に着脱する着脱位置と、保持部３６の保持板３６１の下方に来る受渡位置との間を移動する。載置台５１１には、把持機構３６２によって治具１００が把持可能となるように、治具１００の位置を規制して位置決めする溝、突起等が設けられている。モータ５２は、回転テーブル５１に駆動力を与え、円形の中心を軸として回転させる駆動源である。
【００７５】
（制御装置）
制御装置６は、上記の保護膜形成装置の各部の動作の制御を行う装置である（図３参照）。制御装置６は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成できる。制御装置６には、各部の制御内容がプログラムされており、ＰＬＣやＣＰＵなどの処理装置により実行される。
【００７６】
例えば、制御装置６は、押上体３２を移動させる速度を制御することにより、剥離具３６３による成形板Ｇからの接着剤Ｒ（保護膜Ｐ）の剥離の速度を制御する。また、制御装置６は、搬送部４による回転体４１の回転速度を制御することにより、貼り合わせから剥離までの時間を制御することができる。
【００７７】
［動作］
本実施形態に係る保護膜形成装置の動作について、上記の図面に加えて、図９〜図２０を参照して説明する。なお、図９に示すように、真空チャンバ１の開口１ｂは、ホルダ４３によって封止されており、押上体３２の拡張部３２２がホルダ４３の内部の開口４３ｂを封止しているので、真空チャンバ１内は気密に保たれている。そして、真空チャンバ１内は、排気装置により真空状態となっている。
【００７８】
（搬入）
まず、真空チャンバ１内への治具１００の搬入について説明する。図３及び図４に示すように、搬出入部５の回転テーブル５１上に設けられた載置台５１１には、治具１００が、ベース板１０１を下側にして載置されている。そして、図５に示すように、予め作業員の作業により、成形板Ｇが成形板支持部材１０３に支持され、表面に接着剤Ｒが塗布された基板Ｓが基台１０２に載置されているものとする。このため、成形板Ｇが上側となり、基板Ｓが下側となる。なお、接着剤Ｒの塗布は、例えば、基板Ｓを治具１００にセットする前に、スクリーン印刷方式等の塗布装置によって、塗布領域Ｓ１内に均一な厚みで塗布する。
【００７９】
基板Ｓは、成形板Ｇに対面し、平面視したときに未塗布領域Ｓ２が成形板Ｇからはみ出している。このとき、弾性部材１０４は成形板支持部材１０３および成形板Ｇにより荷重がかかるので縮んでおり、自然長より短い長さ（以下、規定長という。）になっている。
【００８０】
着脱位置において、回転テーブル５１が回動すると、治具１００は受渡部３５の保持部３６の下方の受渡位置に来る（図３参照）。昇降機構３６４が、保持板３６１を下降させると、把持機構３６２の保持具３６２ａの爪Ｎが、治具１００の着脱具１０６の孔Ｈに係止される。そして、昇降機構３６４が上昇することにより、治具１００が持ち上げられる。搬送機構３７のモータ３７２は、アーム３７１を回動させて、図９に示すように、真空チャンバ１の開口１ｂの直上に、治具１００を搬送する。
【００８１】
図１０に示すように、昇降機構３６４が下降して、保持板３６１が開口１ｂを封止する。すると、図１１に示すように、真空チャンバ１内の突出部３２１に、治具１００が載置される。開口１ｂ、保持板３６１、ホルダ４３及び拡張部３２２によって封止される密閉空間であるロードロック室は、排気装置によって排気され、真空状態となる。昇降機構３６４のブロックは、図７（ｂ）に示すように、傾斜カム３６２ｅを付勢することにより、保持具３６２ａを解放位置に移動させる。
【００８２】
そして、図１２に示すように、駆動源３４が押上体３２を下降させることにより、ホルダ４３が下降し、回転体４１のホルダ孔４１ａに挿入されて回転体４１に支持される。さらに押上体３２が下降し、開口４３ｂから押上体３２の突出部３２１が離れると、図１３に示すように、治具１００は、保持具３６２ａから離れて、ホルダ４３に保持される。開口１ｂは、保持板３６１によって封止されているので、真空チャンバ１の内部の真空状態が維持される。
【００８３】
このように治具１００を収容したホルダ４３は、搬送部４によって、貼合部２に搬送される。つまり、モータ４２によって回転体４１が回動することにより、図１４に示すように、ホルダ４３に収容された治具１００が、硬化部２２と圧着部２１との間に来る。
【００８４】
（貼り合わせ）
次に、圧着部２１が接着剤Ｒを介して基板Ｓと成形板Ｇとを貼り合わせる。すなわち、駆動源２１３によって押圧板２１１が上昇する。この上昇過程で、図１５に示すように、治具１００がホルダ４３から押し上げられて、成形板支持部材１０３が固定部材２２１ｂと当接し、成形板Ｇが透過部材２２１ｃに到達する。すなわち、成形板Ｇが透過部材２２１ｃと面接触する。
【００８５】
さらに、押圧板２１１が上昇すると、成形板支持部材１０３の上昇が固定部材２２１ｂにより規制されているので、図１６に示すように、弾性部材１０４が縮んでいき、基板Ｓ上の接着剤Ｒが成形板Ｇに接触する。そして、接着剤Ｒが成形板Ｇと基板Ｓとの間で押し広げられて広がることにより、基板Ｓと成形板Ｇとが貼り合わされる（図２（ａ）、図２（ｂ）参照）。
【００８６】
駆動源２１３による押圧板２１１の上昇は、予め設定された高さで停止する。この状態で照射装置２２２により、図１６に示すように、接着剤Ｒに紫外線が照射される。紫外線は、環状ブロック２２１ａを介して、透過部材２２１ｃ及び成形板Ｇを透過して接着剤Ｒに到達する。これにより、接着剤Ｒが硬化し、成形板Ｇと基板Ｓとの間に接着剤Ｒからなる保護膜Ｐが形成される。ここで、予め設定された高さとは、例えば、成形板Ｇに対する押し付けによって押し広げられた接着剤Ｒが膜形成領域の全域にちょうど広がる程度の高さである。上記した押圧板２１１の上昇過程で、成形板Ｇによる接着剤Ｒの成形が行われる。より具体的には、基板Ｓ上の接着剤Ｒが成形板Ｇに接触してから、押圧板２１１が予め設定された高さに到達するまでの間に、接着剤Ｒの成形が行われる。この成形動作により、接着剤Ｒが膜形成領域の全域に広がるように、また、平坦に成形される。すなわち、基板Ｓと成形板Ｇとを貼り合わせる動作が接着剤Ｒの成形動作を兼ねている。
【００８７】
その後、駆動源２１３が押圧板２１１を下降させると、図１７に示すように、治具１００が下降して、再びホルダ４３に収容される。このとき、接着剤Ｒは既に硬化しているので、保護膜Ｐは基板Ｓに接着されているとともに成形板Ｇにも接着されている。そのため、基板Ｓは、成形板Ｇ側に貼り付いた状態で保持される。
【００８８】
（剥離）
保護膜Ｐの形成後、搬送部４は、貼り合わせる動作が完了した治具１００を剥離部３に戻す。つまり、回転体４１を回転させて、開口１ｂの直下に治具１００を移動させる（図１２、図１８参照）。この状態で、駆動源３４が押上体３２の上昇を開始すると、図１９に示すように、押上体３２の突出部３２１が、ホルダ４３の下方の開口４３ｂから進入して治具１００の底部を押し上げるので、治具１００の上部が開口１ｂに向かって侵入する。引き続き押上体３２が上昇することにより、ホルダ４３の底の厚みと、突出部３２１と拡張部３２２の段差との差分だけ遅れて、拡張部３２２がホルダ４３の下面に当接するので、このタイミングから治具１００と一緒にホルダ４３が上昇し始める。そして、図２０に示すように、ホルダ４３の上部が開口１ｂの周縁の真空チャンバ１の天井に当接して上昇が停止する。これにより、ホルダ４３によって開口１ｂが封止されるとともに、拡張部３２２によってホルダ４３の内側の開口４３ｂが封止される。開口１ｂ、保持板３６１、ホルダ４３及び拡張部３２２によって封止される密閉空間は、排気装置によるベントにより、大気圧状態となる。
【００８９】
このとき、剥離具３６３の付勢板３６３ａにより、基板Ｓのはみ出し辺に沿った未塗布領域Ｓ２である基板Ｓの縁部が相対的に押し下げられる（図２（ｃ）参照）。接着剤Ｒは既に硬化しているので、保護膜Ｐは基板Ｓに接着されているとともに成形板Ｇにも接着されている。そのため、基板Ｓの端の未塗布領域Ｓ２が相対的に押し下げられても、保護膜Ｐは、一時的に成形板Ｇから剥がれまいとしてその場に留まろうとする。すると、はみ出し辺に対向する保護膜Ｐの端部分に、成形板Ｇから剥離する方向の力が集中的に作用するので、基板Ｓが反って保護膜Ｐの端から順に成形板Ｇから剥離する。弾性部材１０４は、保護膜Ｐの成形板Ｇに対する接着力よりも大きな弾性力を有するので、成形板Ｇは、保護膜Ｐが剥離する力が加わっても、これに抗して留まる。
【００９０】
さらに、治具１００が押し上げられると、基板Ｓの端に近い側から開始した成形板Ｇからの保護膜Ｐの剥離が、徐々に中央部分に及び、最終的には保護膜Ｐ全体が成形板Ｇから剥離する（図２（ｄ）参照）。成形板Ｇの下面が平らであるので、形成された保護膜Ｐの表面は平らである。以上のようにして、表面に保護膜Ｐを形成した基板Ｓを得ることができる。このときの弾性部材１０４の長さは、規定長以下である。また、これと並行して、治具１００の着脱具１０６が上昇して保持具３６２ａに接すると、保持具３６２ａがバネ３６２ｃに抗して一旦外方へ押された後に、保持具３６２ａの爪Ｎが着脱具１０６の孔Ｈに嵌るように、保持具３６２ａがバネ３６２ｃの付勢力で戻る。これにより、着脱具１０６の孔Ｈに、把持機構３６２の保持具３６２ａの爪Ｎが係止される。
【００９１】
（取り出し）
まず、開口１ｂ、保持板３６１、ホルダ４３及び拡張部３２２によって封止される密閉空間であるロードロック室は、排気装置によって大気圧にされる。この状態で、図２１に示すように、昇降機構３６４が保持板３６１を上昇させることにより、保持部３６を開口１ｂから離脱させる。把持機構３６２によって把持された治具１００は、ホルダ４３から持ち上げられて離脱して、真空チャンバ１から取り出される。なお、このとき、ホルダ４３が開口１ｂを封止しており、押上部３１の拡張部３２２がホルダ４３の内部の孔を封止しているので、真空チャンバ１内は気密に保たれる。つまり、真空チャンバ１内は真空に維持される。
【００９２】
搬送機構３７は、アーム３７１を回動させることにより、真空チャンバ１から取り出した治具１００を、搬出入部５に移動させる。昇降機構３６４が下降することにより、搬出入部５の載置台５１１上に治具１００を載置する（図１０参照）。昇降機構３６４のブロックは、傾斜カム３６２ｅを付勢することにより、保持具３６２ａを解放位置に移動させた後、上昇することにより治具１００を載置台５１１上に残す。
【００９３】
（搬出）
搬出入部５は、モータ５２を作動させることにより回転テーブル５１を回動させて、着脱位置に治具１００を移動させる。この着脱位置において、作業者は、保護膜Ｐが形成された基板Ｓを取り外す。
【００９４】
以上、一つの治具１００に着目して説明したが、上述した搬送部４によって貼合部２から剥離部３に治具１００を搬送する際、また、搬送機構３７によって剥離部３から搬出入部５の受渡位置に治具１００を搬送する際、さらに、搬出入部５によって受渡位置から着脱位置に治具１００を搬送する際には、搬送部４の他方のホルダ４３、搬送機構３７の他方の保持部３６、搬出入部５の他方の載置台５１１には、それぞれ、これから貼り合せ（接着剤Ｒの成形および保護膜Ｐの形成）が行われる基板Ｓが載置された治具１００が保持されているので、これらの治具１００の搬入動作が並行して行われている。
【００９５】
したがって、上述の動作を連続して行うことにより、基板Ｓの貼り合わせと剥離を並行して行うことができる。並行とは、貼り合わせと剥離の動作時間が重なり合う部分が生じること、つまり両者が同時に行われる動作時間が含まれることを言う。開始時間から終了時間までが一致している場合も、開始時間及び終了時間の一方又は双方がずれている場合も含まれる。つまり、貼合部２において貼り合わせ後の基板Ｓが、治具１００とともに剥離部３に搬送されると、次に真空チャンバ１内に搬入された治具１００が貼合部２に来る。すると、剥離部３において真空チャンバ１から取り出される際に、基板Ｓが保護膜Ｐとともに成形板Ｇから剥離される工程と並行して、貼合部２に来た基板Ｓを成形板Ｇに圧着させて接着剤Ｒを硬化させることができる。
【００９６】
治具１００の搬出後、基板Ｓは、保護膜Ｐが形成される毎に交換されるが、成形板Ｇは再利用しても良いし、交換しても良い。例えば、使用された成形板Ｇは再度別の基板Ｓとともに１つのセットとして使用しても良いし、使用された成形板Ｇを交換して、新たな成形板Ｇおよび基板Ｓを１セットにして治具１００を用いても良い。また、保護膜Ｐの形成後に成形板Ｇに保護膜Ｐの一部が剥がれ残っている場合には、クリーニングして再利用しても良い。成形板Ｇの交換頻度やクリーニング頻度は適宜変更可である。
【００９７】
（作用効果）
本実施形態は、接着剤Ｒを介して成形板Ｇと基板Ｓとを圧着することにより、接着剤Ｓからなる保護膜Ｐを形成する保護膜形成装置であって、成形板Ｇと基板Ｓとを、互いに離隔した離隔位置と、接着剤Ｒを介して圧着される圧着位置との間で相対移動可能に保持する治具１００と、治具１００に保持された成形板Ｇと基板Ｓとを、圧着位置に相対移動させることにより貼り合わせる貼合部２と、治具１００に保持され、貼合部２により貼り合わされた成形板Ｇと基板Ｓとを、離隔位置に相対移動させることにより剥離する剥離部３と、複数の治具１００を支持し、いずれかの治具１００に保持された成形板Ｇと基板Ｓとの貼合部２による貼り合わせと、他のいずれかの治具１００に保持された成形板Ｇと基板Ｓとの剥離部３による剥離とを並行して実行可能となるように、治具１００の貼合部２への搬送と貼合部２から剥離部３への搬送とを実行する搬送部４と、を有する。
【００９８】
これにより、複数の治具１００が成形板Ｇと基板Ｓを対にして貼合部２と剥離部３との間を移動させて、成形板Ｇと基板Ｓとの貼り合わせと剥離とを、貼合部２と剥離部３という異なる位置で行うことができる。このため、保護膜Ｐを形成するための貼り合わせを行っている時間と、剥離を行う時間とを重複させることができ、基板Ｓの変形や保護膜Ｐの割れ等を防止するために剥離に時間をかけても、サイクルタイムが増加することを防止でき、保護膜Ｐを効率良く形成することができる。
【００９９】
例えば、貼合部２による貼り合わせと剥離部３による剥離とを同一位置で行った場合に、貼り合わせの開始から接着剤Ｒの硬化の完了までに１５秒程度を要し、剥離に５秒程度を要するとすると、サイクルタイムは２０秒程度となる。また、剥離の際に基板Ｓ等に変形や割れが生じることを防ぐためには５秒よりも多くの時間をかける必要がある場合には、さらにサイクルタイムが長くなる。本発明では、貼り合わせ開始から硬化完了までの時間（１５秒）と剥離の時間（５秒）とを重複させることにより、２０秒未満での処理が可能となる。さらに、剥離の時間を５秒よりも長くしても、その時間が１５秒未満であれば、サイクルタイムを１５秒未満とすることができるので、サイクルタイムを増加させることなく、ゆっくり剥がすことによって、変形や割れの発生をより一層防止できる。
【０１００】
さらに、成形板Ｇが移動する複数の治具１００にそれぞれ設けられているため、保護膜形成装置から治具１００が搬出されている間に使用済みの成形板Ｇの清掃を行うことができる。これにより、装置を停止しなくても成形板Ｇが交換可能となり、生産性を向上させることができる。
【０１０１】
貼合部２は、圧着された成形板Ｇと基板Ｓとの間の接着剤Ｒを硬化させる硬化部２２を有する。このため、硬化処理についても、剥離を行う時間と重複させることができ、効率良く形成することができる。
【０１０２】
治具１００は、基板Ｓが載置される基台１０２と、基台１０２に対向するように、且つ、平面視で基台１０２上の基板Ｓからはみ出すように設けられた成形板Ｇを支持する成形板支持部材１０３と、成形板支持部材１０３を、基台１０２から離隔する位置に弾性支持する弾性部材１０４と、を有する。このため、剥離部３は、基板Ｓのはみ出した部分を付勢することにより、成形板Ｇから剥離させることができる。これは、孔が形成されていない基板を剥離する場合に適している。
【０１０３】
弾性部材１０４は、保護膜Ｐの成形板Ｇに対する接着力よりも大きい弾性力を有する。このため、弾性部材１０４の付勢力に抗して貼合部２によって基板Ｓを成形板Ｇに貼り合わせた後、基板Ｓを剥離させるために剥離部３によって基板Ｓを成形板Ｇから引き離す方向に付勢する際には、弾性部材１０４の弾性力（反発力）によって成形板Ｇの位置を保持しつつ、保護膜Ｐとともに基板Ｓを剥離することができる。
【０１０４】
剥離部３は、治具１００を搬送部４に受け渡す受渡部３５を有し、受渡部３５は、治具１００を保持する保持具３６２ａと、治具１００に保持された基板Ｓを、成形板Ｇに対して引き離す方向に移動させる剥離具３６３と、を有する。このため、受渡部３５と搬送部４との間の治具１００の受け渡しとともに、保持具３６２ａによる治具１００の保持、剥離具３６３による基板Ｓの剥離を行うことができる。
【０１０５】
剥離部３は、保持具３６２ａと剥離具３６３とを、治具１００との間で相対移動させる移動機構を有する。このため、保持具３６２ａと剥離具３６３とを別個の機構で動作させる必要がなく、簡易な構成とすることができる。剥離部３は、基板Ｓの成形板Ｇからはみ出した領域を剥離具３６３によって押さえて、剥離具３６３を成形板Ｇに対して引き離す方向に沿って、移動機構によって相対移動する。このため、最初に基板Ｓの成形板Ｇからのはみ出し領域を反らせて、成形板Ｇに対し保護膜Ｐの端から徐々に剥離させることができ、保護膜Ｐを剥がしやすくすることができる。その結果、成形板Ｇに保護膜Ｐが残ることを抑制できる。
【０１０６】
基板Ｓは矩形状であり、剥離具３６３は、基板Ｓの成形板Ｇからはみ出して対向する二辺に沿って複数設けるようにしている。このため、保護膜Ｐの剥離が一点からではなく、対向する辺から剥離させることで、保護膜Ｐをきれいに剥がすことができる。換言すれば、成形板Ｇに保護膜Ｐが残るのを抑制することができる。また、付勢板３６３ａの面によって基板Ｓを付勢するため、付勢力を均一に与えることができ、剥離箇所の偏りを防止できる。
【０１０７】
内部に減圧可能な真空室が構成され、真空室内に搬送部４及び貼合部２を備える真空チャンバ１を有し、搬送部４は、真空チャンバ１内で、真空チャンバ１に治具１００を出し入れする位置と貼合部２による貼り合わせを行う貼合位置とで治具１００を搬送可能な回転体４１と、治具１００を保持し、回転体４１に対して、回転体４１の回転面に直交する方向に相対移動可能に支持されるホルダ４３と、を有し、真空チャンバ１には、治具１００を出し入れする位置に対応し、剥離部３が受渡部３５によって搬送部４との間で治具１００の受け渡しを行うための開口１ｂが設けられ、受渡部３５は、保持具３６２ａと剥離具３６３を有する保持板３６１と、ホルダ４３を真空チャンバ１の開口１ｂに向けて進退駆動させる押上部３１と、を有し、治具１００の受け渡しの際には、押上部３１によってホルダ４３が、開口１ｂの周囲の真空チャンバ１の内壁に当接することで、真空チャンバ１内と外部との気密を保ち、治具１００の搬送時および基板Ｓの貼り合わせの際には、保持板３６１が開口１ｂの周囲の真空チャンバ１の外面に当接することで、真空チャンバ１内と外部との気密を保つこととしている。
【０１０８】
このため、真空中での成形板Ｇに対する基板Ｓの貼り合わせにより、接着剤Ｒから大気の気泡を排除することができるとともに、真空室の真空を維持しつつ、貼り合わせと並行して、成形板Ｇからの基板Ｓの剥離、真空チャンバ１からの搬入又は搬出を行うことができる。
【０１０９】
［他の実施形態］
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、下記に示す他の実施形態も包含する。また、本発明は、上記の実施形態及び下記の他の実施形態を全て又はいずれかを組み合わせた形態も包含する。さらに、これらの実施形態を発明の範囲を逸脱しない範囲で、種々の省略や置き換え、変更を行うことができ、その変形も本発明に含まれる。
【０１１０】
（１）上記の実施形態で各部を駆動する駆動機構、駆動源は、上記のような部材の移動を実現できるものであれば、種々の技術を適用できる。例えば、エアシリンダに代えて、モータによって駆動するボールねじ機構を用いることもできる。
【０１１１】
（２）上記の実施形態では、剥離具３６３は、付勢板３６３ａの面によって基板Ｓを押さえる構成としたが、基板Ｓを剥離する方向に付勢できる部材であれば、他の構成であってもよい。例えば、剥離具３６３を、棒状のロッドによって構成してもよい。ロッドの先端に丸みや傾斜を形成することにより、基板Ｓとロッドとの接触面を小さくして、ロッドが基板Ｓの反り方向の変形の妨げになることを防止してもよい。なお、ロッドは、はみ出し辺に沿って複数設けることが考えられる。この場合、複数のロッドの長さを異ならせて、基板Ｓの反り方を調整しても良い。例えば、両側のはみ出し辺に沿って、それぞれ３本ずつロッドを設けた場合に、それぞれの辺の真ん中のロッド外側より短くすれば、先に外側のロッドが基板Ｓの未塗布領域Ｓ２に接触して反っていくため、基板Ｓの反り方を調整することができる。
【０１１２】
（３）上記の実施形態では、保持具３６２ａは、着脱具１０６の孔Ｈに爪Ｎが係止する態様であったが、保持具３６２ａは、治具１００を保持できる部材であれば、他の構成であってもよい。例えば、保持具３６２ａに孔が形成され、着脱具１０６の爪が係止する態様であってもよい。
【０１１３】
（４）上記の実施形態において、成形板Ｇには、接着剤Ｒと接する面に、基板Ｓよりも保護膜Ｐとの接着力が弱くなるような処理を施すようにしても良い。このような処理としては、例えば、フッ素コーティング剤やＰＴＦＥコーティングなどが挙げられる。このような処理を施すことにより、保護膜Ｐの剥離残存を防止する効果が期待できる。また、保護膜Ｐを成形板Ｇから剥離させるために、基板Ｓが例えばポリカーボネイト等の樹脂で構成されている場合には、接着剤Ｒが樹脂両面の微小な凹凸の隙間に入り込んだり、接着剤Ｒに含まれる溶剤が樹脂表面を溶解したりして比較的強い結合力が得られるから、成形板Ｇとして、表面の平坦度が高く、溶剤に溶解することのないガラス等を用いるだけでも十分剥離することが可能である。
【０１１４】
（５）上記の実施形態では、保護膜Ｐを形成する樹脂を紫外線硬化性樹脂としたが、熱硬化性樹脂や放射線硬化性樹脂、乾燥させて硬化する樹脂としても良い。これらの場合、成形板Ｇや透過部材２２１ｃは必ずしも透光性を有していなくても良い。
（６）上記の実施形態では、単一の搬送部４が、治具１００の貼合部２への搬送と、貼合部２から剥離部３への搬送とを行うものしたが、それぞれを個別の搬送部を用いて行うようにしても良い。すなわち、治具１００の貼合部２への搬送を第１の搬送部を用いて行い、治具１００の貼合部２から剥離部３への搬送を第１の搬送部とは異なる第２の搬送部を用いて行うようにしても良い。
【符号の説明】
【０１１５】
１  真空チャンバ
１ａ、１ｂ  開口
２  貼合部
２１  圧着部
２１１  押圧板
２１２  ロッド
２１３  駆動源
２２  硬化部
２２１  窓部
２２１ａ  環状ブロック
２２１ｂ  固定部材
２２１ｃ  透過部材
２２２  照射部
３  剥離部
３１  押上部
３２  押上体
３２１  突出部
３２２  拡張部
３３  ロッド
３４  駆動源
３５  受渡部
３６  保持部
３６１  保持板
３６２  把持機構
３６２ａ  保持具
３６２ｂ  スライダ
３６２ｃ  バネ
３６２ｄ  カムフォロア
３６２ｅ  傾斜カム
３６３  剥離具
３６３ａ  付勢板
３６３ｂ  ロッド
３６４  昇降機構
３７  搬送機構
３７１  アーム
３７２  モータ
４  搬送部
４１  回転体
４１ａ  ホルダ孔
４２  モータ
４３  ホルダ
４３ａ  フランジ
４３ｂ  開口
５  搬出入部
５１  回転テーブル
５１１  載置台
５２  モータ
６  制御装置
１００  治具
１０１  ベース板
１０２  基台
１０３  成形板支持部材
１０４  弾性部材
１０５  ガイド
Ｇ  成形板
Ｈ  孔
Ｎ  爪
Ｐ  保護膜
Ｒ  接着剤
Ｓ  基板
Ｓ１  塗布領域
Ｓ２  未塗布領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2019016518.tif 000018
【図１７】
2019016518.tif 000019
【図１８】
2019016518.tif 000020
【図１９】
2019016518.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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