(57)【要約】【課題】離型フィルムにおいて皺やうねりが生じるのを防止することができると共に、離型フィルムの凹凸追従性を良好にすることが可能なラミネート装置およびフレキシブルプリント基板の製造方法を提供する。【解決手段】ラミネート装置１００は、外部から気密に閉塞されるチャンバ室１１３と、チャンバ室１１３の内部を真空吸引する真空ポンプ１１９ａと、仮接着体４０および離型フィルム３０を加熱する熱板１１６と、仮接着体４０および離型フィルム３０を加圧状態で押圧する伸縮シート１３７と、仮接着体４０を供給するための仮接着体供給源１４０と、カバーフィルム２０よりも熱膨張係数が大きい離型フィルム３０を、仮接着体４０の表面側と裏面側の少なくとも一方側に供給するための離型フィルム供給源１５０と、加熱された離型フィルム３０に対し、引っ張り力を与えるテンション付与機構２００と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース積層体とカバーフィルムとが仮接着された仮接着体に対して、離型フィルムを重ね合わせて熱圧着を行うラミネート装置であって、
第１チャンバに設けられている第１シール部材と、第２チャンバに設けられている第２シール部材とが突き合わされることで形成されると共に、外部から気密に閉塞されるチャンバ室と、
前記チャンバ室の内部を真空吸引する吸引手段と、
前記チャンバ室の内部に配置されると共に、前記仮接着体および前記離型フィルムを加熱する加熱手段と、
前記チャンバ室の内部に配置されると共に、前記仮接着体および前記離型フィルムを加圧状態で押圧する押圧手段と、
導電性を有する複数のパターン層およびこれらパターン層の間に存在する絶縁樹脂層を備えるベース積層体と、加熱により変形する接着材層を備えるカバーフィルムとが仮接着された前記仮接着体を供給するための仮接着体供給源と、
前記カバーフィルムよりも熱膨張係数が大きい前記離型フィルムを、前記仮接着体の表面側と裏面側の少なくとも一方側に供給するための離型フィルム供給源と、
前記加熱手段で加熱された前記離型フィルムに対し、引っ張り力を与えるテンション付与機構と、
を備えることを特徴とするラミネート装置。
【請求項２】
請求項１記載のラミネート装置であって、
前記第１チャンバの外周側のうち、前記離型フィルムおよび前記仮接着体の搬送方向における上流側には、該離型フィルムおよび該仮接着体を冷却するための冷却機構が設けられている、
ことを特徴とするラミネート装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のラミネート装置であって、
前記テンション付与機構は、前記離型フィルム供給源と前記チャンバ室の間に配置されている、
ことを特徴とするラミネート装置。
【請求項４】
請求項３記載のラミネート装置であって、
前記テンション付与機構は、
前記離型フィルムを挟持するクランプ機構と、
前記クランプ機構を前記離型フィルムの搬送方向とは反対側に押し出す押圧手段と、
前記押圧手段の押圧力を調整する調整手段と、
を備えることを特徴するラミネート装置。
【請求項５】
請求項３記載のラミネート装置であって、
前記テンション付与機構は、
前記離型フィルムをその搬送方向とは反対側に駆動させることで、該離型フィルムに引っ張り力を与える駆動手段と、
前記駆動手段の駆動により前記離型フィルムに作用する引っ張り力を検出する張力検出手段と、
を備えることを特徴するラミネート装置。
【請求項６】
請求項３記載のラミネート装置であって、
前記テンション付与機構は、上下方向に移動可能であると共に調整ウェイトにより前記離型フィルムに所定の荷重を与える段差ローラを備える、
ことを特徴するラミネート装置。
【請求項７】
ベース積層体とカバーフィルムとが仮接着された仮接着体に対して、離型フィルムを重ね合わせて熱圧着を行うことで形成されるフレキシブルプリント基板の製造方法であって、
絶縁樹脂層とパターン層を有するベース積層体に対して、カバーフィルムを仮接着した仮接着体に対して、該カバーフィルムよりも熱膨張係数が大きい前記離型フィルムを重ね合わせた状態で加熱する加熱工程と、
前記加熱工程で加熱されることで熱膨張している前記離型フィルムに対し、引っ張り力を与えるテンション付与工程と、
第１チャンバに設けられている第１シール部材と、第２チャンバに設けられている第２シール部材とを突き合わせて外部から気密に閉塞されるチャンバ室を形成すると共に、前記仮接着体および前記離型フィルムが前記第１シール部材および前記第２シール部材で挟持される状態とする挟持工程と、
前記チャンバ室の内部を真空吸引する吸引工程と、
前記仮接着体および前記離型フィルムを加圧する加圧工程と、
を備えることを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ラミネート装置およびフレキシブルプリント基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フレキシブルプリント基板の製造工程には、ラミネート工程が存在している。ラミネート工程は、銅箔をエッチングしたパターン層を有するベースフィルムに対して、カバーフィルムをラミネートするものである。このとき、カバーフィルムをラミネートするのみならず、後に剥がす離型フィルムを挟んでラミネートしている。それにより、カバーフィルムに存在する接着材層から、接着材が流れ出すのを抑制している。
【０００３】
このような、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムをラミネートするラミネート装置としては、たとえば特許文献１、２に示すものがある。特許文献１、２には、ロール状のべースフィルムをシート状にして間欠的に繰り出し、またロール状のカバーレイフィルムから短冊状のカバーレイフィルムを形成する。そして、シート状のベースフィルムに対して、短冊状のカバーレイフィルムを、仮圧着装置にて、仮圧着する構成について開示されている。なお、特許文献１、２では、離型フィルムを用いることについても開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０９７６７９号公報
【特許文献２】特許第４８９２５５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、現状の製造工程では、多層品と呼ばれる３層以上の銅箔層が存在するものは、ベースフィルム、カバーフィルムおよび離型フィルムが短冊状に切断された状態で、人手によって重ね合わせが行われた後に、ラミネート装置でラミネートされている。また、多層品以外のフレキシブルプリント基板では、特許文献１、２に開示のようなラミネート装置を含め、少なくともベースフィルムが短冊状に切断されずに連続した状態で、ラミネートが実行される場合がある。
【０００６】
しかしながら、全てのフィルムを、短冊状に切断せずに連続した状態でラミネートする場合、次のような問題がある。具体的には、ベースフィルム、カバーフィルムの仮接着体および離型フィルムを重ねた積層体が、連続した状態でラミネートを行う場合、装置内に導入された積層体に対して加熱および加圧を行う加熱加圧部を有する連続真空プレス装置を用いることが検討されている。この連続真空プレス装置においては、加熱加圧部への入口近辺に冷却管を備える冷却機構を配置することを検討している。この冷却機構により、搬送方向の上流側に存在するフィルムに、加熱加圧部から熱が伝達されて仮接着体のベースフィルムやカバーフィルムの接着材の熱硬化が生じるのを妨げるためである。
【０００７】
かかる認識の下で、試験的な連続真空プレス装置を用いて積層体のラミネートを実行したところ、次のような問題が生じている。すなわち、冷却機構で冷却された離型フィルムが加熱加圧部に移動すると、離型フィルムが加熱により熱膨張して広がり、この離型フィルムに皺やうねりが生じてしまう。このような皺やうねりが生じた状態で、離型フィルムを重ね合わせて、カバーフィルムおよびベースフィルムに重ね合わせてラミネートすると、上記の皺やうねりが、ベースフィルムとカバーフィルムのラミネート体に転写されてしまう。
【０００８】
また、離型フィルムは、ベースフィルムやカバーフィルムに存在する凹凸部分へ良好に追従させないと、接着材の流れ出しを良好に防止することはできない。しかしながら、特許文献１、２に開示の構成では、それらの段落００１４に記載されているように、仮圧着までしか行わずに、本圧着は別途の真空プレス機を準備する必要がある。したがって、特許文献１、２に開示の構成を用いても、凹凸部分への追従性を向上させることが難しい。
【０００９】
ここで、ベースフィルムに銅箔が一層のみ存在する片面基板や、ベースフィルムに銅箔が表面側および裏面側に存在する両面基板については、凹凸部分の深さが比較的浅い場合が多く、また凹凸部分も少ない場合が多い。しかしながら、ベースフィルムに銅箔が３層以上存在する多層基板では、内部の銅箔においても孔や凹部等のような凹凸部分が存在する。そのため、凹凸部分は深く、また凹凸部分が多いのが通常である。そのため、特許文献１、２に開示の構成では、このような多層基板において、離型フィルムを凹凸部分へ追従させることは特に困難である。
【００１０】
本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、離型フィルムにおいて皺やうねりが生じるのを防止することができると共に、仮接着体に存在する凹凸部分に対する離型フィルムの凹凸追従性を良好にすることが可能なラミネート装置およびフレキシブルプリント基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明の第１の観点によると、ベース積層体とカバーフィルムとが仮接着された仮接着体に対して、離型フィルムを重ね合わせて熱圧着を行うラミネート装置であって、第１チャンバに設けられている第１シール部材と、第２チャンバに設けられている第２シール部材とが突き合わされることで形成されると共に、外部から気密に閉塞されるチャンバ室と、チャンバ室の内部を真空吸引する吸引手段と、チャンバ室の内部に配置されると共に、仮接着体および離型フィルムを加熱する加熱手段と、チャンバ室の内部に配置されると共に、仮接着体および離型フィルムを加圧状態で押圧する押圧手段と、導電性を有する複数のパターン層およびこれらパターン層の間に存在する絶縁樹脂層を備えるベース積層体と、加熱により変形する接着材層を備えるカバーフィルムとが仮接着された仮接着体を供給するための仮接着体供給源と、カバーフィルムよりも熱膨張係数が大きい離型フィルムを、仮接着体の表面側と裏面側の少なくとも一方側に供給するための離型フィルム供給源と、加熱手段で加熱された離型フィルムに対し、引っ張り力を与えるテンション付与機構と、を備えることを特徴とするラミネート装置が提供される。
【００１２】
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、第１チャンバの外周側のうち、離型フィルムおよび仮接着体の搬送方向における上流側には、該離型フィルムおよび該仮接着体を冷却するための冷却機構が設けられている、ことが好ましい。
【００１３】
さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、テンション付与機構は、離型フィルム供給源とチャンバ室の間に配置されている、ことが好ましい。
【００１４】
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、テンション付与機構は、離型フィルムを挟持するクランプ機構と、クランプ機構を離型フィルムの搬送方向とは反対側に押し出す押圧手段と、押圧手段の押圧力を調整する調整手段と、を備えることが好ましい。
【００１５】
さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、テンション付与機構は、離型フィルムをその搬送方向とは反対側に駆動させることで、該離型フィルムに引っ張り力を与える駆動手段と、駆動手段の駆動により離型フィルムに作用する引っ張り力を検出する張力検出手段と、を備えることが好ましい。
【００１６】
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、テンション付与機構は、上下方向に移動可能であると共に調整ウェイトにより離型フィルムに所定の荷重を与える段差ローラを備える、ことが好ましい。
【００１７】
また、本発明の第２の観点によると、ベース積層体とカバーフィルムとが仮接着された仮接着体に対して、離型フィルムを重ね合わせて熱圧着を行うことで形成されるフレキシブルプリント基板の製造方法であって、絶縁樹脂層とパターン層を有するベース積層体に対して、カバーフィルムを仮接着した仮接着体に対して、該カバーフィルムよりも熱膨張係数が大きい離型フィルムを重ね合わせた状態で加熱する加熱工程と、加熱工程で加熱されることで熱膨張している離型フィルムに対し、引っ張り力を与えるテンション付与工程と、第１チャンバに設けられている第１シール部材と、第２チャンバに設けられている第２シール部材とを突き合わせて外部から気密に閉塞されるチャンバ室を形成すると共に、仮接着体および離型フィルムが第１シール部材および第２シール部材で挟持される状態とする挟持工程と、チャンバ室の内部を真空吸引する吸引工程と、仮接着体および離型フィルムを加圧する加圧工程と、を備えることを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によると、離型フィルムにおいて皺やうねりが生じるのを防止することができると共に、仮接着体に存在する凹凸部分に対する離型フィルムの凹凸追従性を良好にすることが可能なラミネート装置およびフレキシブルプリント基板の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施の形態に係るベース積層体、カバーフィルムおよび離型フィルムの構成を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係るラミネート体の構成を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係るラミネート装置の概略的な構成を示す図である。
【図４】図３に示すラミネート装置の本体部を構成する下側チャンバと上側チャンバを示す概略的な斜視図である。
【図５】図３に示すラミネート装置の構成の要部を示す概略的な断面図である。
【図６】図３に示すラミネート装置の下側チャンバを上方から見た構成を示す平面図である。
【図７】図３に示すラミネート装置のテンション付与機構の第１構成例の概略的な構成を示す斜視図である。
【図８】図３に示すラミネート装置のテンション付与機構の第２構成例の概略的な構成を示す斜視図である。
【図９】図３に示すラミネート装置のテンション付与機構の第３構成例の概略的な構成を示す図である。
【図１０】本発明の変形例に係るラミネート装置の概略的な構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施の形態に係るフレキシブルプリント基板のラミネート装置１００およびフレキシブルプリント基板の製造方法について、以下に説明する。なお、以下の説明においては、最初にラミネート対象であるベース積層体１０とカバーフィルム２０と離型フィルム３０について説明し、その後にラミネート後のラミネート体５０について説明する。
【００２１】
＜ベース体およびカバーフィルムの構成について＞
図１は、ベース積層体１０、カバーフィルム２０および離型フィルム３０の構成を示す断面図である。図１に示すように、ベース積層体１０は、３層のパターン層１１を備える多層基板である。すなわち、ベース積層体１０は、パターン層１１と、絶縁樹脂層１２と、それらの間に介在する接着材層１３とを備えている。
【００２２】
パターン層１１は、たとえば銅箔といった所定の厚みの金属箔にエッチング加工を施して、その金属箔を所望のパターン形状に形成したものである。上述のように、図１に示す構成では、パターン層１１は３層存在している。また、絶縁樹脂層１２は、所定の厚みを有すると共に電気的な絶縁性を有するポリイミドを材質としている。ただし、絶縁樹脂層１２は、ポリイミド以外の絶縁樹脂を材質としても良い。図１に示す構成では、絶縁樹脂層１２は、３層のパターン層１１の間に介在しているので、合計２層存在している。また、接着材層１３は、パターン層１１と絶縁樹脂層１２を接着するための部分である。
【００２３】
上述のベース積層体１０にラミネートされるカバーフィルム２０は、カバー層２１と、接着材層２２とを有している。カバー層２１は、たとえばポリイミドを材質としている。ただし、カバー層２１は、ポリイミド以外の絶縁樹脂を材質としても良い。また、接着材層２２は、たとえばエポキシ系の接着材を主要な材質としているが、その他、ポリウレタン系の接着材、アクリル系の接着材を用いても良い。
【００２４】
また、図１に示すように、カバーフィルム２０には、開口部２３が設けられている。この開口部２３は、たとえばレーザー加工や、金型によるパンチングや打ち抜きで孔開け加工された部分である。
【００２５】
なお、上述したベース積層体１０とカバーフィルム２０とは、位置合わせされた状態で仮接着される。以下の説明では、ベース積層体１０とカバーフィルム２０とが仮接着されたものを、仮接着体４０と称呼する。
【００２６】
次に、離型フィルム３０の構成について説明する。図１に示すように、離型フィルム３０は、ベース層３１と、クッション層３２と、これらの間に介在する図示を省略する接着層とを有している。この離型フィルム３０は、カバーフィルム２０よりも熱膨張係数が大きくなっている。
【００２７】
ベース層３１は、たとえばポリエステル系樹脂を主成分として構成されている。このようなポリエステル系樹脂には、ＰＥＴ(Polyethylene Terephthalate)を主成分とするもの、ＰＢＴ(Polybutylene Terephtalate)を主成分とするもの、ＰＴＴ（Polytrimethylene Terephtalate)を主成分とするもの、ＰＥＮ（Polyethylene Naphthalate）を主成分とするもの、ＰＢＮ（Polybutylene Naphthalate）を主成分とするもの、およびこれらの中から選択されたものを混合した混合物が挙げられる。しかしながら、ポリエステル系樹脂であれば、列記したものや列記以外のものを主成分として良い。
【００２８】
また、クッション層３２は、加熱および加圧によって、カバーフィルム２０とベース積層体１０をラミネートする際に、カバーフィルム２０側（上方側；Ｚ１側）からカバーフィルム２０を覆いつつ、カバーフィルム２０とベース積層体１０の凹凸に追従する部分である。すなわち、カバーフィルム２０をベース積層体１０に対してラミネートする際に、これらの間に存在する凹凸に良好に追従することで、接着材層２２からの接着材の流れ出しを防ぐ部分である。
【００２９】
このクッション層３２は、たとえばオレフィン系樹脂を主成分としているが、このようなオレフィン系樹脂としては、ポリプロピレン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリペンテン系樹脂が挙げられる。
【００３０】
また、図示を省略する接着層は、たとえばエポキシ系の接着材を主要な材質としているが、その他、ポリウレタン系の接着材、アクリル系の接着材を用いても良い。また、接着材層に代えて、粘着材層を設けるようにしても良い。粘着材層は、たとえばアクリル系樹脂、天然ゴムに粘着付与剤を添加したゴム系粘着剤、シリコーンゴムに粘着付与剤を添加したシリコーン系粘着剤、ポリウレタンを主成分とするウレタン系粘着剤等を材質するものが挙げられる。
【００３１】
ここで、後述するラミネート装置１００では、仮接着体４０と離型フィルム３０とを重ね合わせた状態で、仮接着体４０を加熱しながら加圧する、本接着を行う。すると、開口部２３においては、溶け出したクッション層３２が、溶け出した接着材層２２よりも先に入り込んで、開口部２３を占有する。したがって、開口部２３では、接着材層２２の流れ出しが抑えられている。同様に、ベース積層体１０の端部においても、溶け出した接着材層２２よりも先に側面を覆うように回り込むことで、接着材層２２の流れ出しが抑えられている。
【００３２】
そのような本接着が行われた後に、ラミネート体５０からは離型フィルム３０が剥がされる。それにより、図２に示すようなラミネート体５０のみが残存し、そのラミネート体５０が巻き取られる。なお、図２は、ラミネート装置１００で形成されるラミネート体５０の構成を示す断面図である。
【００３３】
しかしながら、離型フィルム３０は、仮接着体４０よりも熱膨張し易く設けられている。したがって、後述するような熱板１１６により、仮接着体４０および離型フィルム３０が加熱されると、離型フィルム３０が仮接着体４０よりも大きく熱膨張することにより、離型フィルム３０には、皺やうねりが生じてしまう。このような皺やうねりが生じるのを防止するために、仮接着体４０と離型フィルム３０とは、後述するようなラミネート装置１００を用いて、本接着を行っている。
【００３４】
ここで、ラミネート体５０は、フレキシブルプリント基板に対応するが、ラミネート体５０に対して種々の工程を経て形成されるものがフレキシブルプリント基板に対応すると解しても良い。
【００３５】
＜ラミネート装置の構成について＞
以上のようなラミネート体５０を形成するための、ラミネート装置１００の構成について以下に説明する。図３は、ラミネート装置１００の概略的な構成を示す図である。図４は、ラミネート装置１００のうち、本体部１０１を構成する下側チャンバ１１０と上側チャンバ１３０を示す概略的な斜視図である。図５は、ラミネート装置１００の構成の要部を示す概略的な断面図である。図６は、下側チャンバ１１０を上方から見た構成を示す平面図である。図３に示すように、ラミネート装置１００は、本体部１０１と、ＦＰＣ供給源１４０と、離型フィルム供給源１５０と、クロスシート供給源１６０と、ＦＰＣ巻取部１７０と、離型フィルム巻取部１８０と、クロスシート巻取部１９０とを備えている。
【００３６】
本体部１０１は、仮接着体４０と離型フィルム３０とを重ね合わせ、さらにクロスシート６０を重ね合わせた状態で熱圧着を施すことにより、仮接着体４０からラミネート体５０を形成する部分である。ここで、クロスシート６０は、たとえばガラス繊維を含むガラスクロスのような、接着材層２２に対して接着性が低い材質を含むものであり、後述する上側チャンバ１３０や下側チャンバ１１０に、ラミネート体５０が貼り付いてしまうのを防止するためのシートである。
【００３７】
そして、ラミネート装置１００での本接着の後に、チャンバ室１０２から取り出されたラミネート体５０から、離型フィルム３０を剥がす。すると、開口部２３における接着材層２２の流れ出しが抑制された状態で、ラミネート体５０を形成することが可能となっている。
【００３８】
ラミネート装置１００の本体部１０１は、アルミニウム製の下側チャンバ１１０と、同じくアルミニウム製の上側チャンバ１３０とを有していて、これら下側チャンバ１１０と上側チャンバ１３０とによってチャンバ室１０２（図５参照）が形成される。下側チャンバ１１０は、下部基台１１１と、チャンバブロック１１２を有している。下部基台１１１は、下側チャンバ１１０を下方側から支持する部分であり、後述する上下駆動機構１１９に取り付けられている。
【００３９】
また、チャンバブロック１１２は、下部基台１１１に対し、たとえばピンやＶブロック等の位置決め機構１１３を介して取り付けられている。このチャンバブロック１１２は、熱伝導性の良好な金属（たとえばアルミニウム）を材質として形成されている。チャンバブロック１１２の上面側には、凹状の収納部１１４が設けられている。収納部１１４には、断熱材１１５が収納されている。断熱材１１５は、たとえばケイ素化合物、アルミナまたはこれらの混合物を用いることができるが、それ以外の無機化合物を用いても良い。
【００４０】
さらに、断熱材１１５の上部には、熱板１１６が収納されていて、その熱板１１６の上部に、たとえばゴム等のような弾性部材を材質とするマット部材Ｍ１が配置されている。ここで、熱板１１６には、たとえばカートリッジヒータのようなヒータ１１６ａが内蔵されていて、そのヒータ１１６ａによって、仮接着体４０と離型フィルム３０から構成される積層体が加熱される。それにより、熱板１１６は、マット部材Ｍ１を介して、仮接着体４０および離型フィルム３０に対して、下側（Ｚ２側）から熱圧着を行うことが可能となっている。なお、熱板１１６は加熱手段に対応する。
【００４１】
また、図４から図６に示すように、下側チャンバ１１０のうち、収納部１１４よりも外周側には、冷却機構１１７が設けられている。冷却機構１１７は、チャンバ室１０２よりも上流側の仮接着体４０において、熱硬化が生じるのを防ぐための機構である。すなわち、チャンバ室１０２の内部では、仮接着体４０および離型フィルム３０は熱圧着されるが、その際の熱が仮接着体４０の上流側に伝達されてしまうと、チャンバ室１０２よりも上流側の部位で、仮接着体４０の接着材層２２の熱硬化が開始されてしまう。このような熱硬化を防ぐべく、上記の冷却機構１１７が設けられている。
【００４２】
この冷却機構１１７は、冷却水が通る冷却水用経路１１７ａを有している。冷却水用経路１１７ａは、仮接着体４０および離型フィルム３０の搬送方向においては、複数本設けられている。なお、冷却水用経路１１７ａは、１本の冷却水用経路１１７ａを下側チャンバ１１０において九十九折状に設けることで、上述の搬送方向において複数本存在するようにしても良く、下側チャンバ１１０に別途の冷却水用経路１１７ａが複数本存在するようにしても良い。
【００４３】
かかる冷却機構１１７が存在することにより、冷却機構１１７が存在する冷却領域Ａ（図６参照）は、チャンバ室１０２内でラミネートが行われるラミネート領域Ｂよりも大幅に温度が低下している。一例として、ラミネート領域Ｂにおいて１８０℃でラミネート体５０の形成がなされる場合、冷却領域Ａでは１８０℃よりも大幅に低い温度（たとえば６０℃）に仮接着体４０および離型フィルム３０を維持することが可能となっている。
【００４４】
また、下側チャンバ１１０には、下側シール部材１１８が取り付けられている。下側シール部材１１８のうち、搬送方向の上流側の部位は、冷却機構１１７が搬送方向において存在する範囲内に配置されている。したがって、冷却機構１１７で冷却される下側チャンバ１１０の上面側の部位は、下側シール部材１１８によって２つに分割されている。このため、下側シール部材１１８で囲まれた内部にも、冷却機構１１７で仮接着体４０およびラミネート体５０が冷却される部位が存在する状態となる。
【００４５】
なお、下側シール部材１１８を下側チャンバ１１０に取り付ける位置は、後述する伸縮シート１３７を押圧時に膨らませた際に、その膨らみを妨げないように定められると共に、後述するようにチャンバ室１０２の内部を真空吸引した際にチャンバ室１０２の真空度が十分担保されるように定められている。
【００４６】
上述の下側シール部材１１８は、たとえばゴムやエラストマーのような弾性変形可能な材質から形成されている。この下側シール部材１１８は、仮接着体４０および離型フィルム３０を挟み込みつつ、後述する上側シール部材と突き合わされる部材である。この突き合わせにより、外部から閉塞されたチャンバ室１０２が形成される。そして、後述する真空ポンプ１２１を作動させることで、チャンバ室１０２の内部を真空吸引することが可能となっている。
【００４７】
なお、下側シール部材１１８としては、たとえばリップシールでも良く、Ｏリングでも良く、その他の部材を用いても良い。
【００４８】
また、本体部１０１には、上下駆動機構１１９が設けられていて、その上下駆動機構１１９の作動によって下側チャンバ１１０は、上下動させられる。なお、上下駆動機構１１９は、たとえば油圧シリンダ１１９ａを備え、その油圧シリンダ１１９ａの作動によって下側チャンバ１１０を上下動させる駆動力が与えられる構成とすることができる。しかしながら、上下駆動機構１１９は、モータの駆動によって下側チャンバ１１０を上下動させても良く、空気圧に基づくエアシリンダによって下側チャンバ１１０を上下動させても良い。
【００４９】
また、本体部１０１には、大気開放弁１２０ａが設けられていて、その大気開放弁１２０ａは、空気導入路１２０ｂの中途部分に設けられている。なお、空気導入路１２０ｂの一端部は、下側チャンバ１１０のうち、下側シール部材１１８で囲まれた所定の部位に開口している。そのため、チャンバ室１０２の内部を真空吸引した後に、大気開放弁１２０ａを開放すると、空気導入路１２０ｂを介してチャンバ室１０２の内部が大気圧と同等の圧力とすることができる。
【００５０】
また、本体部１０１には、真空ポンプ１２１が設けられていて、その真空ポンプ１２１は、空気排気路１２２に接続されている。この空気排気路１２２の端部は、下側チャンバ１１０のうち、下側シール部材１１８で囲まれた所定の部位に開口している。そのため、真空ポンプ１２１が作動すると、空気排気路１２２を介してチャンバ室１０２の内部が真空吸引される。それにより、仮接着体４０の内部の凹凸に残存している空気を排出することを可能としている。なお、真空ポンプ１２１は、本体部１０１の外部に設けられていても良い。また、真空ポンプ１２１は、吸引手段に対応する。
【００５１】
また、下側チャンバ１１０と対向する上側チャンバ１３０は、上部基台１３１と、チャンバブロック１３２を有している。上部基台１３１は、チャンバブロック１３２を上方側から支持する部分である。なお、上部基台１３１は、不図示の固定部位に取り付けられている。また、チャンバブロック１３２は、上部基台１３１に対し、たとえばピンやＶブロック等の位置決め機構１３３を介して取り付けられている。チャンバブロック１３２も、チャンバブロック１１２と同様に、熱伝導性の良好な金属（たとえばアルミニウム）を材質として形成されている。
【００５２】
また、上部基台１３１の上面側には、凹状の収納部１３１ａが設けられていて、その収納部１３１ａには、断熱材１３１ｂが収納されている。断熱材１３１ｂは、上述した断熱材１１５と同様に、たとえばケイ素化合物、アルミナまたはこれらの混合物を用いることができるが、それ以外の無機化合物を用いても良い。この断熱材１３１ｂは、後述する熱板１３３からの熱が、ラミネート装置１００の上方に伝達するのを防止する部材である。
【００５３】
また、上部基台１３１の下方には、熱板１３３が配置されている。熱板１３３には、たとえばカートリッジヒータのようなヒータ１３３ａが内蔵されていて、そのヒータ１３３ａによって、チャンバブロック１３２を介して、後述する伸縮シート１３７が加熱され、さらに伸縮シート１３７を介して仮接着体４０と離型フィルム３０から構成される積層体が、上方側から加熱される。それにより、仮接着体４０および離型フィルム３０に対して、上側（Ｚ１側）から熱圧着を行うことが可能となっている。
【００５４】
また、上側チャンバ１３０にも、冷却機構１１７と同様の冷却機構１３４が設けられていて、その冷却機構１３４によって、チャンバ室１０２よりも上流側の仮接着体４０において、熱硬化が生じるのを上方側から防いでいる。この冷却機構１３４は、冷却水用経路１１７ａと同様の冷却水用経路１３５ａを有している。冷却水用経路１３５ａも、仮接着体４０および離型フィルム３０の搬送方向においては、複数本設けられている。なお、冷却水用経路１３５ａは、１本の冷却水用経路１３５ａを上側チャンバ１３０において九十九折状に設けることで、上述の搬送方向において複数本存在するようにしても良く、上側チャンバ１３０に別途の冷却水用経路１３５ａが複数本存在するようにしても良い。
【００５５】
また、上側チャンバ１３０には、上側シール部材１３６が取り付けられている。上側シール部材１３６は下側シール部材１１８と同様に、たとえばゴムやエラストマーのような弾性変形可能な材質から形成されている。なお、上側シール部材１３６としては、たとえばリップシールでも良く、Ｏリングでも良く、その他の部材を用いても良い。かかる上側シール部材１３６と下側シール部材１１８とは、仮接着体４０および離型フィルム３０を挟み込んだ状態で突き合わされることにより、外部から閉塞されたチャンバ室１０２が形成される。そして、真空ポンプ１２１を作動させることで、チャンバ室１０２の内部を真空吸引することが可能となっている。なお、下側シール部材１１８は第１シール部材に対応し、上側シール部材１３６は第２シール部材に対応する。しかしながら、下側シール部材１１８は第２シール部材に対応し、上側シール部材１３６は第１シール部材に対応するものとしても良い。
【００５６】
また、上側チャンバ１３０には、伸縮シート１３７が取り付けられている。伸縮シート１３７は、たとえばシリコーンゴムやポリウレタン、天然ゴム等のような伸縮性を備える材質から形成されたシート状の部材である。この伸縮シート１３７の外周縁部は、上側チャンバ１３０に対して途切れなく密着固定されている。一方、伸縮シート１３７の外周縁部で囲まれている部分は、上側チャンバ１３０に対して密着固定されていない。したがって、上側チャンバ１３０と伸縮シート１３７との間に、外部から遮蔽された密閉空間１３７ａが形成され、その密閉空間１３７ａは、伸縮シート１３７を挟んだ下側に対して空気を流通させることが不能となっている。なお、伸縮シート１３７は、押圧手段に対応する。しかしながら、押圧手段には、伸縮シート１３７以外に、真空ポンプ１３９ｂや空気導入路１３８ａが対応するものとしても良い。
【００５７】
また、チャンバブロック１３２の上底部１３２ａには、空気導入路１３８ａの端部が開口していると共に、空気排気路１３９ａの端部も開口している。空気導入路１３８ａは、密閉空間１３７ａに対して空気を導入する流路である。この空気導入路１３８ａは、加圧機構１３８ｂに接続されていて、その加圧機構１３８ｂの作動によって、密閉空間１３７ａを加圧することが可能となっている。したがって、チャンバ室１０２の内部が真空吸引された状態で、加圧機構１３８ｂを作動させて密閉空間１３７ａの内部に空気を導入しつつ加圧すると、伸縮シート１３７が膨らむ。
【００５８】
なお、加圧機構１３８ｂとしては、所定の加圧力を及ぼすことが可能なコンプレッサ又は増圧弁が好適である。また、加圧力がさほど大きくなくても良い場合、加圧機構１３８ｂとして大気開放弁を用いるようにしても良い。
【００５９】
また、空気排気路１３９ａは、真空ポンプ１３９ｂに接続されている。そのため、真空ポンプ１３９ｂが作動すると、空気排気路１３９ａを介して密閉空間１３７ａの内部の空気が排気される。したがって、伸縮シート１３７が膨らんでいる状態で、真空ポンプ１３９ｂを作動させると、その伸縮シート１３７を収縮させることが可能となる。なお、加圧機構１３８ｂおよび真空ポンプ１３９ｂの少なくとも一方は、本体部１０１に設けられていても良く、本体部１０１の外部に設けられていても良い。
【００６０】
なお、下側チャンバ１１０は第１チャンバに対応し、上側チャンバ１３０は第２チャンバに対応する。しかしながら、下側チャンバ１１０が第２チャンバに対応し、上側チャンバ１３０が第１チャンバに対応するものとしても良い。
【００６１】
また、ラミネート装置１００には、ＦＰＣ供給源１４０、離型フィルム供給源１５０およびクロスシート供給源１６０が設けられている。ＦＰＣ供給源１４０は、供給ローラ１４１が設けられていて、その供給ローラ１４１には仮接着体４０をロール状に巻回された状態で保持されている。そのため、供給ローラ１４１から本体部１０１側に向けて、仮接着体４０を引き出しつつ供給することが可能となっている。なお、ＦＰＣ供給源１４０は、仮接着体供給源に対応する。
【００６２】
また、図３に示すように、離型フィルム供給源１５０は、仮接着体４０を挟んで上側（一方側；Ｚ１側）および下側（他方側；Ｚ２側）にそれぞれ設けられている。この離型フィルム供給源１５０にも、供給ローラ１５１が設けられていて、その供給ローラ１５１には離型フィルム３０がロール状に巻回された状態で保持されている。そのため、供給ローラ１４１から本体部１０１側に向けて、離型フィルム３０を引き出しつつ供給することが可能となっている。
【００６３】
また、クロスシート供給源１６０も、仮接着体４０を挟んで上側（一方側；Ｚ１側）および下側（他方側；Ｚ２側）にそれぞれ設けられている。このクロスシート供給源１６０にも、供給ローラ１６１が設けられていて、その供給ローラ１６１にはクロスシート６０がロール状に巻回された状態で保持されている。ここで、上側（一方側；Ｚ１側）に位置するクロスシート供給源１６０からは、離型フィルム３０の上側（一方側；Ｚ１側）に配置される状態でクロスシート６０が供給される。また、下側（他方側；Ｚ２側）に位置するクロスシート供給源１６０からは、離型フィルム３０の下側（他方側；Ｚ２側）に配置される状態でクロスシート６０が供給される。このようにして、供給ローラ１６１から本体部１０１側に向けて、クロスシート６０を引き出しつつ供給することが可能となっている。
【００６４】
また、ラミネート装置１００には、ＦＰＣ巻取部１７０と、離型フィルム巻取部１８０と、クロスシート巻取部１９０とが設けられている。ＦＰＣ巻取部１７０は、巻取ローラ１７１および駆動モータ１７２が設けられている。そのため、駆動モータ１７２の駆動により、巻取ローラ１７１にラミネート体５０が巻き取られる。
【００６５】
また、離型フィルム巻取部１８０にも、巻取ローラ１８１および駆動モータ１８２が設けられている。そのため、駆動モータ１８２の駆動により、巻取ローラ１８１に離型フィルム３０が巻き取られる。同様に、クロスシート巻取部１９０にも、巻取ローラ１９１および駆動モータ１９２が設けられている。そのため、駆動モータ１９２の駆動により、巻取ローラ１９１にクロスシート６０が巻き取られる。
【００６６】
ここで、ラミネート装置１００は、テンション付与機構２００を備えている。テンション付与機構２００は、離型フィルム３０を引っ張ることで、その離型フィルム３０に対してテンションを付与する機構である。このようなテンション付与機構２００としては、次に述べる第１構成例〜第３構成例が挙げられる。
【００６７】
（テンション付与機構の第１構成例）
図７は、テンション付与機構２００の第１構成例を示す図である。以下の説明では、第１構成例に係るテンション付与機構２００を、テンション付与機構２００Ａとして説明する。しかしながら、第１構成例に係るテンション付与機構２００Ａ、後述する第２構成例に係るテンション付与機構２００Ｂおよび後述する第３構成例に係るテンション付与機構２００Ｃをそれぞれ区別する必要がないときは、テンション付与機構２００Ａ〜２００Ｃは単にテンション付与機構２００と表記する。図７に示すように、テンション付与機構２００Ａは、クランプ機構２１０と、押圧シリンダ２２０と、レギュレータ２３０とを備えている。クランプ機構２１０は、一対のクランプ部材２１１，２１２と、クランプ用シリンダ２１３と、スライドガイド２１４とを備えている。
【００６８】
一対のクランプ部材２１１，２１２は、長尺状の板状部材である。この一対のクランプ部材２１１，２１２は、上側クランプ部材２１１と、下側クランプ部材２１２から構成されている。上側クランプ部材２１１は、離型フィルム３０を挟んだ上側（一方側；Ｚ１側）に配置される。また、下側クランプ部材２１２は、離型フィルム３０を挟んだ下側（他方側；Ｚ２側）に配置される。
【００６９】
また、クランプ用シリンダ２１３は、たとえば上側クランプ部材２１１を下側クランプ部材２１２に向けて、加圧力を及ぼす状態で移動させる機構である。具体的には、クランプ用シリンダ２１３のシリンダチューブ２１３ａは不図示の固定部位に固定されているが、クランプ用シリンダ２１３のピストン（図示省略）の下端には上側クランプ部材２１１が取り付けられている。したがって、クランプ用シリンダ２１３が加圧方向に作動することで、上側クランプ部材２１１が下側クランプ部材２１２に向けて加圧力を及ぼす状態で移動し、上側クランプ部材２１１と下側クランプ部材２１２とで離型フィルム３０を挟み込むことを可能としている。
【００７０】
なお、上側クランプ部材２１１は、下側クランプ部材２１２に対して、図示を省略する案内機構により、上下方向（Ｚ方向）に移動することを可能としている。
【００７１】
また、スライドガイド２１４は、クランプ機構２１０を全体的にスライドさせるためのレール状の部分である。なお、スライドガイド２１４としては、たとえばリニアガイド等のように、摺動負荷が小さい機構が好ましい。
【００７２】
押圧シリンダ２２０は、クランプ機構２１０をスライドガイド２１４に沿って移動させる駆動力を与える部分である。この押圧シリンダ２２０も、クランプ用シリンダ２１３と同様に、シリンダチューブ２２１を備えていて、そのシリンダチューブ２２１からピストン２２２を出入させることを可能としている。なお、図７に示す構成では、下側クランプ部材２１２には該下側クランプ部材２１２よりも下方側（Ｚ２側）に突出する当て板２１５が固定されていて、その当て板２１５にピストン２２２の先端側が押し当てられ（または連結され）ている。しかしながら、ピストン２２２の先端側は、下側クランプ部材２１２や上側クランプ部材２１１に、直接押し当てられ（または連結され）る構成を採用しても良い。
【００７３】
ここで、クランプ用シリンダ２１３を作動させて一対のクランプ部材２１１，２１２で離型フィルム３０を挟み込んだ状態で、押圧シリンダ２２０を作動させることで、離型フィルム３０には、供給ローラ１５１側（上流側）に引っ張られるテンションが与えられる。
【００７４】
また、レギュレータ２３０は、押圧シリンダ２２０が作動する際の押圧力を計測しつつ、その押圧シリンダ２２０の押圧力を調整する機構である。したがって、レギュレータ２３０を介して押圧シリンダ２２０の押圧力を精度良く調整することで、離型フィルム３０に付与するテンションを精度良く調整することが可能となる。なお、レギュレータ２３０は、調整手段に対応する。
【００７５】
以上のような第１構成例に係るテンション付与機構２００Ａにおいては、離型フィルム巻取部１８０側の巻取ローラ１８１が回転しない状態（または回転するのに大きなトルクが必要となる状態）で、クランプ用シリンダ２１３が作動して一対のクランプ部材２１１，２１２で離型フィルム３０を挟み込む。その状態で、レギュレータ２３０で押圧力を調整しながら押圧シリンダ２２０を作動させて、ピストン２２２を押し出す。すると、離型フィルム３０には、搬送方向の上流側に向かうようなテンションが与えられる。
【００７６】
かかるテンションを付与し、そのテンションをレギュレータ２３０にて調整することにより、熱板１１６での加熱により熱膨張した離型フィルム３０には、皺やうねりが生じるのを防止可能となっている。
【００７７】
（テンション付与機構の第２構成例）
図８は、テンション付与機構２００の第２構成例を示す図である。以下の説明では、第２構成例に係るテンション付与機構２００を、テンション付与機構２００Ｂとして説明する。図８に示すように、第２構成例に係るテンション付与機構２００Ｂは、駆動ローラ２４０と、張力検出器２５０とを備えている。駆動ローラ２４０は、離型フィルム３０に対し、少なくとも搬送方向の下流側から上流側に向かうような駆動力が与えられるローラである。このため、駆動ローラ２４０には、駆動モータ２４１により上述の駆動力が与えられている。なお、図８に示す構成では、駆動ローラ２４０以外に、従動ローラ２４２も設けられている。しかしながら、従動ローラ２４２を省略する構成を採用しても良い。なお、駆動モータ２４１は、駆動手段に対応する。
【００７８】
また、張力検出器２５０は、ローラ部２５１と、センサ部２５２とを備えている。ローラ部２５１は、離型フィルム３０に張力を及ぼす状態で、その離型フィルム３０の搬送に追従するローラである。また、センサ部２５２は、ローラ部２５１に付与されるテンションを測定するセンサである。このセンサ部２５２は、たとえば歪ゲージ方式を採用するものがあるが、それ以外に、ローラ部２５１に離型フィルム３０を所定角度だけ巻き付けて、その離型フィルム３０から与えられる荷重を測定する等、他の方式のものを用いても良い。
【００７９】
以上のような第２構成例に係るテンション付与機構２００Ｂにおいては、駆動モータ２４１の作動により、離型フィルム３０には、搬送方向の上流側に向かうようなテンションが与えられる。このとき、張力検出器２５０で離型フィルム３０に与えられるテンションを測定することが可能となる。したがって、離型フィルム３０を挟み込まずに、離型フィルム３０を搬送方向の上流側に搬送しながら、離型フィルム３０に付与されるテンションを測定することが可能となり、離型フィルム３０に対して与えられるテンションを、直接的に測定して、そのテンションを即座に調整することが可能となる。
【００８０】
かかるテンションの調整により、熱板１１６での加熱により熱膨張した離型フィルム３０には、皺やうねりが生じるのを防止可能となっている。
【００８１】
（テンション付与機構の第３構成例）
図９は、テンション付与機構２００の第３構成例を示す図である。以下の説明では、第３構成例に係るテンション付与機構２００を、テンション付与機構２００Ｃとして説明する。図９に示すように、テンション付与機構２００Ｃは、段差ローラ２６０を備えている。段差ローラ２６０は、不図示の移動機構を介して下方側に、フリーな状態で移動可能に設けられたローラである。ただし、移動機構は、上方側には段差ローラ２６０を持ち上げて、離型フィルム３０の引っ張り状態を開放可能である。この段差ローラ２６０には、図示を省略する所定の重量の調整ウェイトが連結されている。調整ウェイトは、熱板１１６での加熱により離型フィルム３０が熱膨張した際に、皺やうねりが除去できる程度の重さに設定されている。
【００８２】
このような段差ローラ２６０を介して、離型フィルム３０には、搬送方向の上流側に向かうようなテンションが与えられる。しかも、上述した調整ウェイトにより、離型フィルム３０には、熱板１１６での加熱により離型フィルム３０が熱膨張した際に、皺やうねりが除去できる程度のテンションが与えられる。したがって、熱板１１６での加熱により熱膨張した離型フィルム３０には、皺やうねりが生じるのを防止可能となっている。
【００８３】
＜フレキシブルプリント基板の製造方法について＞
【００８４】
以上のような構成のラミネート装置１００を用いた、フレキシブルプリント基板の製造方法について、以下に説明する。なお、以下の説明では、第１工程から第１０工程について順次記載するが、これら以外の種々の工程が存在していても良いのは勿論である。
【００８５】
（１）第１工程：新たな仮接着体４０の加熱（加熱工程に対応）
まず、未だラミネート体５０が形成されていない状態の仮接着体４０を、離型フィルム３０およびクロスシート６０と共に、熱板１１６の上部に供給する。このとき、熱板１１６は、接着材層２２やクッション層３２を溶融させる程度の温度に設定されている。また、熱板１１６での加熱により、仮接着体４０および離型フィルム３０は、熱膨張する。このときの熱膨張は、仮接着体４０よりも離型フィルム３０の方が大きくなっている。したがって、離型フィルム３０の寸法が仮接着体４０の寸法よりも大きくなることに起因して、離型フィルム３０に皺やうねりが形成されようとする。
【００８６】
（２）第２工程：テンション付与機構２００による離型フィルム３０への張力の付与（テンション付与工程に対応）
次に、熱板１１６での仮接着体４０および離型フィルム３０の加熱から所定の時間が経過した後に、離型フィルム３０を搬送方向の上流側に所定だけ移動させるようにテンション付与機構２００が作動する。このとき、本体部１０１よりも搬送方向の下流側では、離型フィルム巻取部１８０の巻取ローラ１８１は作動せずに回転しない状態としておく。すると、離型フィルム３０が、搬送方向において引っ張られる。このとき、特に熱板１１６の上部に存在する、柔軟になっている離型フィルム３０にも引っ張り力が与えられるが、その引っ張り力により、離型フィルム３０は搬送方向において伸長した状態となる。
【００８７】
一方、離型フィルム３０の幅方向では、離型フィルム３０が搬送方向において伸長したのに対応して、若干だけ縮む。このとき、テンション付与機構２００により与えられる引っ張り力は、離型フィルム３０に生じようとする皺やうねりが解消される程度となっている。
【００８８】
なお、第１構成例に係るテンション付与機構２００Ａの場合、クランプ機構２１０を作動させて、一対のクランプ部材２１１，２１２で離型フィルム３０を挟み込む。この状態で、レギュレータ２３０で押圧力を調整しながら押圧シリンダ２２０を作動させることで、皺やうねりが解消されるような引っ張り力を離型フィルム３０に与えることが可能となる。
【００８９】
また、第２構成例に係るテンション付与機構２００Ｂの場合、駆動モータ２４１を作動させ、駆動ローラ２４０によって離型フィルム３０に引っ張り力を与えることが可能となる。このとき、張力検出器２５０で離型フィルム３０に与えられるテンションを測定しながら、駆動ローラ２４０を駆動させることで、皺やうねりが解消されるような引っ張り力を離型フィルム３０に与えることが可能となる。
【００９０】
また、第３構成例に係るテンション付与機構２００Ｃの場合、段差ローラ２６０を介して離型フィルム３０に引っ張り力を与えることが可能となる。このとき、段差ローラ２６０により、皺やうねりが解消されるような引っ張り力を離型フィルム３０に与えるように、調整ウェイトの重量を調整することで、離型フィルム３０において皺やうねりが解消可能となる。
【００９１】
（３）第３工程：下側チャンバ１１０の上昇（挟持工程に対応）
次に、上下駆動機構１１９を作動させて、下側チャンバ１１０を上昇させる。このとき、真空ポンプ１３９ｂを作動させて、密閉空間１３７ａ内の空気を排出する。それにより、伸縮シート１３７を収縮させることが可能となり、上下駆動機構１１９を作動させても、伸縮シート１３７が仮接着体４０および離型フィルム３０に対して圧力を及ぼさない、退避状態とする。
【００９２】
そして、所定だけ下側チャンバ１１０を上側チャンバ１３０に向けて上昇させると、仮接着体４０、離型フィルム３０およびクロスシート６０を挟み込む状態で、下側シール部材１１８と上側シール部材１３６とが突き合わされる。それにより、外部から閉塞されたチャンバ室１０２が形成される。
【００９３】
（４）第４工程：チャンバ室１０２の真空吸引（吸引工程に対応）
次に、真空ポンプ１２１を作動させて、チャンバ室１０２の内部を真空吸引する。それにより、仮接着体４０の凹凸部分（開口部２３を含む）等に入り込んでいる空気が排気される。
【００９４】
（５）第５工程：加圧機構１３８ｂの作動による加圧（加圧工程に対応）
次に、加圧機構１３８ｂを作動させて、密閉空間１３７ａに空気を加圧状態で導入する。それにより、伸縮シート１３７は伸長して、クロスシート６０を介して離型フィルム３０を仮接着体４０に向けて加圧状態で押し付ける。この加圧を行うとき、上述した熱板１１６での加熱により、カバーフィルム２０の接着材層２２および離型フィルム３０のクッション層３２は融解している。また、接着材層２２が融解するよりも先に、クッション層３２が融解して、開口部２３を含む凹凸部部に追従する。したがって、接着材層２２が開口部２３等の余分な部位に流れ出すのを防止しながら、ベース積層体１０に対してカバーフィルム２０を接着することが可能となる。それにより、離型フィルム３０が密着された状態のラミネート体５０が形成される。
【００９５】
（６）第６工程：テンション付与機構２００による離型フィルム３０への引っ張り力の開放
次に、テンション付与機構２００による、離型フィルム３０への引っ張り力を開放する。ここで、第１構成例に係るテンション付与機構２００Ａの場合、クランプ機構２１０を作動させて、一対のクランプ部材２１１，２１２で離型フィルム３０の挟み込みを解くことで、離型フィルム３０の引っ張り力を開放する。
【００９６】
また、第２構成例に係るテンション付与機構２００Ｂの場合、駆動モータ２４１の作動を停止させて、該駆動モータ２４１から回転トルクが与えられない状態とすることで、離型フィルム３０の引っ張り力を開放する。また、第３構成例に係るテンション付与機構２００Ｃの場合、移動機構により段差ローラ２６０を持ち上げて、離型フィルム３０の引っ張り力を開放する。
【００９７】
（７）第７工程：密閉空間１３７ａ内の排気
次に、真空ポンプ１３９ｂを作動させて、密閉空間１３７ａの内部の空気を排気する。それにより、伸縮シート１３７がクロスシート６０から離れる。このため、クロスシート６０を介してラミネート体５０および離型フィルム３０を圧着する状態が開放される。
【００９８】
（８）第８工程：チャンバ室１０２内の大気開放
次に、大気開放弁１２０ａを開放することで、チャンバ室１０２の内部を大気圧と同様に圧力とする。かかる大気開放により、下側シール部材１１８と上側シール部材１３６とが強固に突き合わされた状態が開放される。
【００９９】
（９）第９工程：下側チャンバ１１０の下降
次に、上下駆動機構１１９を作動させて、下側チャンバ１１０を下降させる。それにより、ラミネート体５０は、下流側へ移動可能な状態となる。
【０１００】
（１０）第１０工程：ラミネート体５０の送り出し（新たな仮接着体４０の熱板１１６への供給）
次に、ＦＰＣ巻取部１７０の駆動モータ１７２を作動させて、チャンバ室１０２の内部で形成されたラミネート体５０を下流側へ送り出す。このとき、クロスシート巻取部１９０の駆動モータ１９２も作動させる。それにより、クロスシート６０は、離型フィルム３０から離れて巻取ローラ１９１に巻き取られる。また、駆動モータ１７２と共に、離型フィルム巻取部１８０の駆動モータ１８２も作動させる。それにより、離型フィルム３０は、ラミネート体５０から剥がされて、巻取ローラ１８１に巻き取られる。
【０１０１】
以上のようにして、フレキシブルプリント基板に対応するラミネート体５０が形成される。
【０１０２】
＜効果について＞
以上のような構成のラミネート装置１００およびフレキシブルプリント基板の製造方法によると、次のような効果が生じる。
【０１０３】
すなわち、本実施の形態のラミネート装置１００は、下側チャンバ１１０（第１チャンバ）に設けられている下側シール部材１１８（第１シール部材）と、上側チャンバ１３０（第２チャンバ）に設けられている上側シール部材１３６（第２シール部材）とが突き合わされることで形成されると共に、外部から気密に閉塞されるチャンバ室１０２と、チャンバ室１０２の内部を真空吸引する真空ポンプ１２１（吸引手段）を備えている。また、本実施の形態のラミネート装置１００は、チャンバ室１０２の内部に配置されると共に、仮接着体４０および離型フィルム３０を加熱する熱板１１６（加熱手段）と、チャンバ室１０２の内部に配置されると共に、仮接着体４０および離型フィルム３０を加圧状態で押圧する伸縮シート１３７（押圧手段）とを備え、さらに導電性を有する複数のパターン層１１およびこれらパターン層１１の間に存在する絶縁樹脂層１２を備えるベース積層体１０と、加熱により変形する接着材層２２を備えるカバーフィルム２０とが仮接着された仮接着体４０を供給するためのＦＰＣ供給源１４０（仮接着体供給源）を備えている。また、ラミネート装置１００は、カバーフィルム２０よりも熱膨張係数が大きい離型フィルム３０を、仮接着体４０の表面側と裏面側の少なくとも一方側に供給するための離型フィルム供給源１５０と、熱板１１６（加熱手段）で加熱された離型フィルム３０に対し、引っ張り力を与えるテンション付与機構２００と、を備えている。
【０１０４】
このため、仮接着体４０を、短冊状に切断せずに連続した状態で熱圧着して、ラミネート体５０を形成することが可能となる。しかも、離型フィルム３０の熱膨張による皺やうねりを、テンション付与機構２００で離型フィルム３０に引っ張り力を与えることにより、離型フィルム３０の搬送方向において引き延ばされる。加えて、離型フィルム３０の幅方向においては、離型フィルム３０が搬送方向において伸長したのに対応して、若干だけ縮む。したがって、離型フィルム３０には、熱膨張による皺やうねりが生じるのを防止可能となる。
【０１０５】
このように、離型フィルム３０に皺やうねりが生じるのを防止することで、ラミネート体５０に皺やうねりが転写されてしまうのを防止可能となる。そのため、ラミネート体５０が不良となるのを防止可能となる。
【０１０６】
また、本実施の形態のラミネート装置１００は、真空ポンプ１２１（吸引手段）を備えていて、チャンバ室１０２の内部を真空吸引する。そのため、仮接着体４０の凹凸部分に離型フィルム３０のクッション層３２を良好に追従させることが可能となる。それにより、たとえば３層やそれ以上のパターン層１１を有し、凹凸部分の寸法が大きな多層基板であっても、その凹凸部分に離型フィルム３０のクッション層３２を良好に追従させることが可能となる。そのため、接着材層２２の流れ出しを良好に防止することが可能となる。
【０１０７】
また、本実施の形態では、下側チャンバ１１０（第１チャンバ）の外周側のうち、離型フィルム３０および仮接着体４０の搬送方向における上流側には、離型フィルム３０および仮接着体４０を冷却するための冷却機構１１７が設けられている。このように、冷却機構１１７を設けることで、下側チャンバ１１０（第１チャンバ）よりも搬送方向の上流側の離型フィルム３０および仮接着体４０に対して、熱が伝わるのを防止することが可能となる。そのため、搬送方向の上流側の離型フィルム３０および仮接着体４０が、熱の伝達によって硬化が開始されるのを防止可能となる。
【０１０８】
また、本実施の形態では、テンション付与機構２００は、ＦＰＣ供給源１４０（離型フィルム供給源）とチャンバ室１０２の間に配置されている。このため、テンション付与機構２００で離型フィルム３０に対し、その搬送方向とは逆側に向かい引っ張り力を与えることができる。したがって、離型フィルム３０に皺やうねりが生じるのを良好に防止することができる。
【０１０９】
さらに、第１構成例に係るテンション付与機構２００Ａは、離型フィルム３０を挟持するクランプ機構２１０と、クランプ機構２１０を離型フィルム３０の搬送方向とは反対側に押し出す押圧シリンダ２２０（押圧手段）と、押圧シリンダ２２０（押圧手段）の押圧力を調整するレギュレータ２３０（調整手段）と、を備えている。
【０１１０】
このため、レギュレータ２３０（調整手段）で押圧シリンダ２２０（押圧手段）の押圧力を精度良く調整することができ、それによって離型フィルム３０の皺やうねりを良好に解消することが可能となる。
【０１１１】
また、第２構成例に係るテンション付与機構２００Ｂは、離型フィルム３０をその搬送方向とは反対側に駆動させることで、該離型フィルム３０に引っ張り力を与える駆動モータ２４１（駆動手段）と、駆動モータ２４１（駆動手段）の駆動により離型フィルム３０に作用する引っ張り力を検出する張力検出器２５０（張力検出手段）と、を備えている。
【０１１２】
このため、張力検出器２５０（張力検出手段）で駆動モータ２４１（駆動手段）の押圧力を精度良く調整することができ、それによって離型フィルム３０の皺やうねりを良好に解消することが可能となる。
【０１１３】
さらに、第３構成例に係るテンション付与機構２００Ｃは、上下方向に移動可能であると共に調整ウェイトにより離型フィルム３０に所定の荷重を与える段差ローラ２６０を備えている。このため、段差ローラ２６０を介して、離型フィルム３０に引っ張り力を良好に与えることができる。それにより、離型フィルム３０の皺やうねりを良好に解消することが可能となる。
【０１１４】
また、本実施の形態のフレキシブルプリント基板の製造方法は、絶縁樹脂層１２とパターン層１１を有するベース積層体１０に対して、カバーフィルム２０を仮接着した仮接着体４０に対して、カバーフィルム２０よりも熱膨張係数が大きい離型フィルム３０を重ね合わせた状態で加熱する加熱工程と、加熱工程で加熱されることで熱膨張している離型フィルム３０に対し、引っ張り力を与えるテンション付与工程と、下側チャンバ１１０（第１チャンバ）に設けられている下側シール部材１１８（第１シール部材）と、上側チャンバ１３０（第２チャンバ）に設けられている上側シール部材１３６（第２シール部材）とを突き合わせて外部から気密に閉塞されるチャンバ室１０２を形成すると共に、仮接着体４０および離型フィルム３０が下側チャンバ１１０（第１シール部材）および上側チャンバ１３０（第２シール部材）で挟持される状態とする挟持工程と、チャンバ室１０２の内部を真空吸引する吸引工程と、仮接着体４０および離型フィルム３０を加圧する加圧工程と、を備えている。
【０１１５】
このため、仮接着体４０を、短冊状に切断せずに連続した状態で熱圧着して、ラミネート体５０を形成することが可能となる。しかも、離型フィルム３０の熱膨張による皺やうねりを、テンション付与工程で離型フィルム３０に引っ張り力を与えることにより、離型フィルム３０の搬送方向において引き延ばされる。加えて、離型フィルム３０の幅方向においては、離型フィルム３０が搬送方向において伸長したのに対応して、若干だけ縮む。したがって、離型フィルム３０には、熱膨張による皺やうねりが生じるのを防止可能となる。
【０１１６】
このように、離型フィルム３０に皺やうねりが生じるのを防止することで、ラミネート体５０に皺やうねりが転写されてしまうのを防止可能となる。そのため、ラミネート体５０が不良となるのを防止可能となる。
【０１１７】
また、本実施の形態では、吸引工程で、チャンバ室１０２の内部を真空吸引する。そのため、仮接着体４０の凹凸部分に離型フィルム３０のクッション層３２を良好に追従させることが可能となる。それにより、たとえば３層やそれ以上のパターン層１１を有し、凹凸部分の寸法が大きな多層基板であっても、その凹凸部分に離型フィルム３０のクッション層３２を良好に追従させることが可能となる。そのため、接着材層２２の流れ出しを良好に防止することが可能となる。
【０１１８】
＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
【０１１９】
上述の実施の形態では、ベース積層体１０は、３層のパターン層１１が存在するものとしている。しかしながら、ベース積層体１０は、２層以上のパターン層１１を有していれば、何層のパターン層１１を有していても良い。また、絶縁樹脂層１２や接着材層１３も、パターン層１１の総数に応じて、適宜変更することが可能である。
【０１２０】
また、ベース積層体１０は、１層のパターン層１１を有する、いわゆる片面基板であっても良い。このようなベース積層体１０にカバーフィルム２０をラミネートするラミネート装置１００Ｂの構成を、図１０に示す。図１０に示すラミネート装置１００では、ベース積層体１０の一方の面側（たとえば表面側）にカバーフィルム２０がラミネートされるものの、ベース積層体１０の他方の面側（たとえば裏面側）には、カバーフィルム２０はラミネートされない。また、カバーフィルム２０に対応して、離型フィルム３０もベース積層体１０の一方の面側（たとえば表面側）に配置され、上述したチャンバ室１０２内でラミネートされる。
【０１２１】
かかる図１０に示すようなラミネート装置１００Ｂを用いることにより、ベース積層体１０の片面側にカバーフィルム２０を良好にラミネートすることが可能となる。しかも、上述の実施の形態と同様に、離型フィルム３０の熱膨張による皺やうねりを、テンション付与機構２００で離型フィルム３０に引っ張り力を与えることにより、離型フィルム３０の搬送方向において引き延ばされる。加えて、離型フィルム３０の幅方向においては、離型フィルム３０が搬送方向において伸長したのに対応して、若干だけ縮む。したがって、離型フィルム３０には、熱膨張による皺やうねりが生じるのを防止可能となる。
【０１２２】
また、上述の実施の形態においては、制御装置が設けられる構成を採用しても良い。この場合、制御装置が、たとえば熱板１１６の加熱、冷却機構１１７の作動、上下駆動機構１１９の作動、大気開放弁１２０ａの作動、真空ポンプ１２１の作動、加圧機構１３８ｂの作動、真空ポンプ１３９ｂの作動、駆動モータ１７２，１８２，１９２の作動、クランプ用シリンダ２１３の作動、押圧シリンダ２２０の作動、駆動モータ２４１の作動のうちの少なくとも１つの駆動を司るものとすることができる。
【符号の説明】
【０１２３】
１０…ベース積層体、１１…パターン層、１２…絶縁樹脂層、１３…接着材層、２０…カバーフィルム、２１…カバー層、２２…接着材層、２３…開口部、３０…離型フィルム、３１…ベース層、３２…クッション層、４０…仮接着体、５０…ラミネート体、６０…クロスシート、１００，１００Ｂ…ラミネート装置、１０１…本体部、１０２…チャンバ室、１１０下側チャンバ（第１チャンバに対応）、１１１…下部基台、１１２…チャンバブロック、１１３…位置決め機構、１１４…収納部、１１５…断熱材、１１６…熱板（加熱手段に対応）、１１６ａ…ヒータ、１１７…冷却機構、１１７ａ…冷却水用経路、１１８…下側シール部材、１１９…上下駆動機構、１１９ａ…油圧シリンダ、１２０ａ…大気開放弁、１２０ｂ…空気導入路、１２１…真空ポンプ（吸引手段に対応）、１２２…空気排気路、１３０…上側チャンバ（第２チャンバに対応）、１３１…上部基台、１３２…チャンバブロック、１３３…熱板、１３３ａ…ヒータ、１３４…冷却機構、１３５…断熱材、１３６…上側シール部材、１３７…伸縮シート（押圧手段に対応）、１３７ａ…密閉空間、１３８ａ…空気導入路、１３８ｂ…加圧機構、１３９ａ…空気排気路、１３９ｂ…真空ポンプ、１４０…ＦＰＣ供給源（仮接着体供給源に対応）、１４１，１５１，１６１…供給ローラ、１５０…離型フィルム供給源、１６０…クロスシート供給源、１７０…ＦＰＣ巻取部、１７１，１８１，１９１…巻取ローラ、１７２，１８２，１９２…駆動モータ、１８０…離型フィルム巻取部、１９０…クロスシート巻取部、２００，２００Ａ，２００Ｂ，２００Ｃ…テンション付与機構、２１０…クランプ機構、２１１…上側クランプ部材、２１２…下側クランプ部材、２１３…クランプ用シリンダ、２１３ａ…シリンダチューブ、２１４…スライドガイド、２１５…当て板、２２０…押圧シリンダ、２２１…シリンダチューブ、２２２…ピストン、２３０…レギュレータ（調整手段に対応）、２４０…駆動ローラ、２４１…駆動モータ（駆動手段に対応）、２４２…従動ローラ、２５０…張力検出器、２５１…ローラ部、２５２…センサ部、２６０…段差ローラ、Ｍ１…マット部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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