(57)【要約】【課題】排気口および排気管がなく、しかも断熱性能が良いガラスパネルユニットを得るガラスパネルユニットの製造方法を提供する。【解決手段】ガラスパネルユニットの製造方法は、組立工程、密閉工程及び除去工程を備える。組立工程は、第１ガラス基板（２００）、第２ガラス基板（３００）、枠体（４１０）、内部空間（５００）、第１空間（５１０）と第２空間（５２０）とに仕切る仕切り（４２０）、第１空間と第２空間とをつなぐ通気路（６００）及び、第２空間と外部空間とをつなぐ排気口（７００）を備える仮組立て品（１００）を用意する工程。密閉工程は、枠体と隔壁（４２）とが一連になって真空空間を囲むシール（４０）を形成して、組立て品（１１０）を得る工程。除去工程は、組立て品を隔壁の長手方向に沿って直線状に切断して２分割し、組立て品から第２空間を有する不要な部分を除去してガラスパネルユニットを得る工程。【選択図】図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ガラス基板と、前記第１ガラス基板に対向するように配置された第２ガラス基板と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、前記内部空間を第１空間と第２空間とに仕切る仕切りと、前記第１空間と前記第２空間とをつなぐ通気路と、前記第２空間と外部空間とをつなぐ排気口と、を備える仮組立て品を用意する組立工程と、
前記第１空間を、前記通気路と前記第２空間と前記排気口とを介して排気して真空空間とし、前記仕切りを変形させて前記通気路を塞ぐ隔壁を形成することで前記枠体において前記真空空間に対応する部分と前記隔壁とから前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合するとともに、前記枠体における前記真空空間に対応する部分と前記隔壁とが一連になって前記真空空間を囲むシールを形成して、組立て品を得る密閉工程と、
前記組立て品を前記隔壁の長手方向に沿って直線状に切断して、前記真空空間を有する所定部分と前記第２空間を有する不要な部分とに２分割し、前記組立て品から前記第２空間を有する不要な部分を除去することで、前記真空空間を有する所定部分であるガラスパネルユニットを得る除去工程と、
を備える、
ガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項２】
前記仕切りの端部と前記枠体との間に前記通気路が形成される請求項１記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項３】
前記仕切りの前記通気路が形成される側の前記端部が、前記仕切りの長さ方向と交差する方向に延びる請求項２記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項４】
前記通気路が複数形成される請求項１ないし３のいずれか一項に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項５】
前記第２空間を有する部分が前記真空空間を有する前記所定部分よりも小さく、前記組立て品において直線状に切断される部分の長さが、前記真空空間を有する前記所定部分の辺よりも短い請求項１ないし４のいずれか一項に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項６】
前記第１ガラス基板および前記第２ガラス基板における、前記第２空間を有する部分と前記真空空間を有する前記所定部分とが、接着剤により接着される請求項５記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスパネルユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
文献１（国際公開第２０１３／１７２０３４号）は、複層ガラスを開示する。文献１に開示された複層ガラスでは、一対の板ガラス間に減圧された空間が形成されている。
【０００３】
減圧された空間は、一対の板ガラス間の空間を真空ポンプで排気することで形成されている。一対の板ガラス間の空間を真空ポンプで排気するためには、予め一対のガラスパネルの一方に排気口を形成し、この排気口を真空ポンプの吸気口に排気管でつなぐ必要がある。
【０００４】
文献１では、排気後、空間内に配置された領域形成材によって空間を分割して排気口が含まれない部分領域を形成している。その後、一対の板ガラスを切断して部分領域を切り出している。これによって、排気口および排気管がない複層ガラスを得ている。
【０００５】
文献１では、部分領域を形成するためには領域形成材を加熱する必要がある。しかし、領域形成材が加熱されると、領域形成材からガスが放出されるおそれがある。部分領域が形成された後は、真空ポンプによって部分領域の真空度を改善することはできないから、領域形成材からのガスによって部分領域の真空度が悪くなるおそれがある。その結果、所望の断熱性能を有する複層ガラスが得られない場合があった。
【発明の概要】
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、排気口および排気管がなく、しかも、断熱性能が良いガラスパネルユニットを得ることである。
【０００７】
本発明に係る一態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１ガラス基板と、前記第１ガラス基板に対向するように配置された第２ガラス基板と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板との間に配置されて前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合する枠体と、前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板と前記枠体とで囲まれた内部空間と、前記内部空間を第１空間と第２空間とに仕切る仕切りと、前記第１空間と前記第２空間とをつなぐ通気路と、前記第２空間と外部空間とをつなぐ排気口と、を備える仮組立て品を用意する組立工程と、前記第１空間を、前記通気路と前記第２空間と前記排気口とを介して排気して真空空間とし、前記仕切りを変形させて前記通気路を塞ぐ隔壁を形成することで前記枠体において前記真空空間に対応する部分と前記隔壁とから前記第１ガラス基板と前記第２ガラス基板とを気密に接合するとともに、前記枠体における前記真空空間に対応する部分と前記隔壁とが一連になって前記真空空間を囲むシールを形成して、組立て品を得る密閉工程と、前記組立て品を前記隔壁の長手方向に沿って直線状に切断して、前記真空空間を有する所定部分と前記第２空間を有する不要な部分とに２分割し、前記組立て品から前記第２空間を有する不要な部分を除去することで、前記真空空間を有する所定部分であるガラスパネルユニットを得る除去工程と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第一実施形態のガラスパネルユニットの概略断面図である。
【図２】第一実施形態のガラスパネルユニットの概略平面図である。
【図３】第一実施形態のガラスパネルユニットの仮組立て品の概略断面図である。
【図４】第一実施形態における上記仮組立て品の概略平面図である。
【図５】第一実施形態のガラスパネルユニットの組立て品の概略平面図である。
【図６】第一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図７】第一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図８】第一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図９】第一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図１０】第一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図１１】第一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図１２】第二実施形態のガラスパネルユニットの概略断面図である。
【図１３】図１３Ａは第三実施形態の組立て品の概略断面図であり、図１３Ｂは第三実施形態の仮組立て品の第２ガラス基板の概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下の第一実施形態および第二実施形態は、ガラスパネルユニットの製造方法に関し、特に、断熱用のガラスパネルユニットの製造方法に関する。
【００１０】
図１および図２は、第一実施形態のガラスパネルユニット（ガラスパネルユニットの完成品）１０を示す。第一実施形態のガラスパネルユニット１０は、真空断熱ガラスユニットである。真空断熱ガラスユニットは、少なくとも一対のガラスパネルを備える複層ガラスパネルの一種であって、一対のガラスパネル間に真空空間を有している。
【００１１】
第一実施形態のガラスパネルユニット１０は、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、シール４０と、真空空間５０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。
【００１２】
第一実施形態のガラスパネルユニット１０は、図５に示される組立て品１１０から分離された所定部分である。具体的には、第一実施形態のガラスパネルユニット１０は、図１１に示されるように、組立て品１１０から不要な部分１１を除去して得られる部分である。
【００１３】
組立て品１１０は、図３および図４に示される仮組立て品１００に所定の処理を行うことによって得られる。
【００１４】
仮組立て品１００は、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、仕切り４２０と、通気路６００と、排気口７００と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。
【００１５】
第１ガラス基板２００は、第１ガラス基板２００の平面形状を定めるガラス板２１０と、コーティング２２０と、を備える。
【００１６】
ガラス板２１０は、矩形状の平板であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図３における下面）および第２面（図３における上面）を有する。ガラス板２１０の第１面および第２面はいずれも平面である。ガラス板２１０の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
【００１７】
コーティング２２０は、ガラス板２１０の第１平面に形成される。コーティング２２０は、赤外線反射膜である。なお、コーティング２２０は、赤外線反射膜に限定されず、所望の物理特性を有する膜であってもよい。
【００１８】
第２ガラス基板３００は、第２ガラス基板３００の平面形状を定めるガラス板３１０を備える。ガラス板３１０は、矩形状の平板であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図３における上面）および第２面（図３における下面）を有する。ガラス板３１０の第１面および第２面はいずれも平面である。
【００１９】
ガラス板３１０の平面形状および平面サイズは、ガラス板２１０と同じである（つまり、第２ガラス基板３００の平面形状は、第１ガラス基板２００と同じである）。また、ガラス板３１０の厚みは、ガラス板２１０と同じである。ガラス板３１０の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
【００２０】
第２ガラス基板３００は、ガラス板３１０のみで構成されている。つまり、ガラス板３１０が第２ガラス基板３００そのものである。第２ガラス基板３００は、第１ガラス基板２００に対向するように配置される。具体的には、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、ガラス板２１０の第１面とガラス板３１０の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置される。
【００２１】
枠体４１０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置され、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。これによって、枠体４１０と第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とで囲まれた内部空間５００が形成される。
【００２２】
枠体４１０は、熱接着剤（第１軟化点を有する第１熱接着剤）で形成されている。第１熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。
【００２３】
枠体４１０は、矩形の枠状である。枠体４１０の平面形状は、ガラス板２１０，３１０と同じであるが、枠体４１０の平面サイズはガラス板２１０，３１０より小さい。枠体４１０は、第２ガラス基板３００の外周に沿って形成されている。つまり、枠体４１０は、第２ガラス基板３００上のほぼすべての領域を囲うように形成されている。
【００２４】
第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、第１軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）Ｔｍ１で枠体４１０の第１熱接着剤を一旦溶融させることで、枠体４１０によって気密に接合される。
【００２５】
仕切り４２０は、内部空間５００内に配置される。仕切り４２０は、内部空間５００を、密閉空間、すなわちガラスパネルユニット１０が完成したときに密閉されて真空空間５０となる第１空間５１０と、排気空間、すなわち排気口７００と通じる第２空間５２０とに仕切る。仕切り４２０は、第１空間５１０が第２空間５２０よりも大きくなるように、第２ガラス基板３００の中央よりも第２ガラス基板３００の長さ方向（図４における左右方向）の第１端側（図４における右端側）に形成される。
【００２６】
仕切り４２０は、壁部４２１と、一対の遮断部４２２（第１遮断部４２２１および第２遮断部４２２２）と、を備える。壁部４２１は、第２ガラス基板３００の幅方向（図４における上下方向）に沿って形成されている。ただし、壁部４２１の長さ方向の両端は、枠体４１０とは接触していない。一対の遮断部４２２は、壁部４２１の長さ方向の両端から、第２ガラス基板３００の長さ方向の第１端側に延びている。
【００２７】
仕切り４２０は、熱接着剤（第２軟化点を有する第２熱接着剤）で形成されている。第２熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。第２熱接着剤は、第１熱接着剤と同じであり、第２軟化点と第１軟化点は等しい。
【００２８】
通気路６００は、内部空間５００内で第１空間５１０と第２空間５２０とをつなぐ。通気路６００は、第１通気路６１０と、第２通気路６２０と、を備える。第１通気路６１０は、第１遮断部４２２１と第１遮断部４２２１に対向する枠体４１０の部分との間に形成された空間である。第２通気路６２０は、第２遮断部４２２２と第２遮断部４２２２に対向する枠体４１０の部分との間に形成された空間である。第一実施形態では、通気路６００は複数形成されている。
【００２９】
排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、第２空間５２０および通気路６００を介して第１空間５１０を排気するために用いられる。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐように第２ガラス基板３００に形成されている。具体的には、排気口７００は、第２ガラス基板３００の角部分に位置している。
【００３０】
ガス吸着体６０は、第１空間５１０内に配置される。具体的には、ガス吸着体６０は、長尺状であり、第２ガラス基板３００の長さ方向の第２端側（図５における左端側）に、第２ガラス基板３００の幅方向に沿って形成されている。つまり、ガス吸着体６０は、第１空間５１０（真空空間５０）の端に配置される。このようにすれば、ガス吸着体６０を目立たなくすることができる。また、ガス吸着体６０は、仕切り４２０および通気路６００から離れた位置にある。そのため、第１空間５１０の排気時に、ガス吸着体６０が排気を妨げる可能性を低くできる。
【００３１】
ガス吸着体６０は、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、たとえば、枠体４１０および仕切り４２０が加熱された際に、枠体４１０および仕切り４２０から放出されるガスである。
【００３２】
ガス吸着体６０は、ゲッタを有する。ゲッタは、所定の大きさより小さい分子を吸着する性質を有する材料である。ゲッタは、たとえば、蒸発型ゲッタである。蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子を放出する性質を有している。そのため、蒸発型ゲッタの吸着能力が低下しても、蒸発型ゲッタを活性化温度以上に加熱することで、蒸発型ゲッタの吸着能力を回復させることができる。蒸発型ゲッタは、たとえば、ゼオライトまたはイオン交換されたゼオライト（たとえば、銅イオン交換されたゼオライト）である。
【００３３】
ガス吸着体６０は、このゲッタの粉体を備えている。具体的には、ガス吸着体６０は、ゲッタの粉体が分散された溶液を塗布することにより形成される。この場合、ガス吸着体６０を小さくできる。したがって、真空空間５０が狭くてもガス吸着体６０を配置できる。
【００３４】
複数のスペーサ７０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間隔を所定間隔に維持するために用いられる。つまり、複数のスペーサ７０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との距離を所望の値に維持するために使用される。
【００３５】
複数のスペーサ７０は、第１空間５１０内に配置されている。具体的には、複数のスペーサ７０は、仮想的な矩形状の格子の交差点に配置されている。たとえば、複数のスペーサ７０の間隔は、２ｃｍである。ただし、スペーサ７０の大きさ、スペーサ７０の数、スペーサ７０の間隔、スペーサ７０の配置パターンは、適宜選択することができる。
【００３６】
スペーサ７０は、上記所定間隔とほぼ等しい高さを有する円柱状である。たとえば、スペーサ７０は、直径が１ｍｍ、高さが１００μである。なお、各スペーサ７０は、角柱状や球状などの所望の形状であってもよい。
【００３７】
スペーサ７０は、透明な材料を用いて形成される。ただし、各スペーサ７０は、十分に小さければ、不透明な材料を用いて形成されていてもよい。スペーサ７０の材料は、後述する第１溶融工程、排気工程、第２溶融工程において、スペーサ７０が変形しないように選択される。たとえば、スペーサ７０の材料は、第１熱接着剤の第１軟化点および第２熱接着剤の第２軟化点よりも高い軟化点（軟化温度）を有するように選択される。
【００３８】
このような仮組立て品１００は、組立て品１１０を得るために、上記所定の処理に供される。
【００３９】
上記所定の処理では、所定温度（排気温度）Ｔｅで、通気路６００、第２空間５２０、および排気口７００を介して第１空間５１０を排気して第１空間５１０を真空空間５０とする。排気温度Ｔｅは、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度より高くしている。これによって、第１空間５１０の排気とゲッタの吸着能力の回復とが同時に行える。
【００４０】
また、上記所定の処理では、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成することで、真空空間５０を囲むシール４０を形成する（図５参照）。仕切り４２０は、第２熱接着剤を含んでいるから、第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成することができる。なお、第１溶融温度Ｔｍ１は、第２溶融温度Ｔｍ２より低くしている。これによって、枠体４１０で第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを接合する際に、仕切り４２０が変形して通気路６００が塞がれることを防止できる。
【００４１】
仕切り４２０は、第１遮断部４２２１が第１通気路６１０を塞ぎ、第２遮断部４２２２が第２通気路６２０を塞ぐように、変形される。このようにして仕切り４２０を変形することで得られた隔壁４２は、真空空間５０を第２空間５２０から（空間的に）分離する。隔壁（第２部分）４２と枠体４１０において真空空間５０に対応する部分（第１部分）４１とが、真空空間５０を囲むシール４０を構成する。
【００４２】
このようにして得られる組立て品１１０は、図５に示されるように、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、シール４０と、真空空間５０と、第２空間５２０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。
【００４３】
真空空間５０は、上述したように、第２空間５２０、および排気口７００を介して第１空間５１０を排気することで形成される。換言すれば、真空空間５０は、真空度が所定値以下の第１空間５１０である。所定値は、たとえば、０．１Ｐａである。真空空間５０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とシール４０とで完全に密閉されているから、第２空間５２０および排気口７００から分離されている。
【００４４】
シール４０は、真空空間５０を完全に囲むとともに、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。シール４０は、矩形の枠状であり、第１部分４１と、第２部分４２と、を有する。第１部分４１は、枠体４１０において真空空間５０に対応する部分である。つまり、第１部分４１は、枠体４１０において真空空間５０に面している部分である。第１部分４１は、略Ｕ字状であり、シール４０の四辺のうちの三辺を構成する。第２部分４２は、仕切り４２０を変形することで得られる隔壁である。第２部分４２は、Ｉ字状であり、シール４０の四辺のうちの残りの一辺を構成する。
【００４５】
このような組立て品１１０は、図５に示される切断線９００に沿って切断され、図１１に示されるように、真空空間５０を有する部分（ガラスパネルユニット）１０と、第２空間５２０を有する部分（不要な部分）１１と、に分割される。
【００４６】
ガラスパネルユニット１０は、図１および図２に示されるように、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、シール４０と、真空空間５０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。なお、シール４０と、真空空間５０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、については、既に説明しているから、ここでは詳細には説明しない。
【００４７】
第１ガラスパネル２０は、第１ガラス基板２００のうち真空空間５０に対応する部分である。第１ガラスパネル２０は、第１ガラスパネル２０の平面形状を定める本体２１と、コーティング２２と、を備える。
【００４８】
本体２１は、第１ガラス基板２００のガラス板２１０のうち真空空間５０に対応する部分である。本体２１の材料は、ガラス板２１０と同じである。本体２１は、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図１における下面）および第２面（図１における上面）を有する。本体２１の第１面および第２面はいずれも平面である。
【００４９】
コーティング２２は、本体２１の第１面に形成される。コーティング２２は、第１ガラス基板２００のコーティング２２０のうち真空空間５０に対応する部分である。コーティング２２の物理特性は、コーティング２２０と同じである。
【００５０】
第２ガラスパネル３０は、第２ガラス基板３００のうち真空空間５０に対応する部分である。真空空間５０を形成するための排気口７００は、第２ガラス基板３００において第２空間５２０に対応する部分３２０に存在し、排気管８１０は部分３２０に接続されている。そのため、第２ガラスパネル３０には、排気口７００が存在していない。
【００５１】
第２ガラスパネル３０は、第１ガラスパネル２０の平面形状を定める本体３１を備える。本体３１は、第２ガラス基板３００のガラス板３１０のうち真空空間５０に対応する部分である。したがって、本体３１の材料は、ガラス板３１０と同じである。
【００５２】
本体３１は、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面（図１における上面）および第２面（図１における下面）を有する。本体３１の第１面および第２面はいずれも平面である。本体３１の平面形状は、本体２１と同じである（つまり、第２ガラスパネル３０の平面形状は、第１ガラスパネル２０と同じである）。
【００５３】
第２ガラスパネル３０は、本体３１のみで構成されている。つまり、本体３１そのものが第２ガラスパネル３０である。
【００５４】
第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とは、本体２１の第２面と本体３１の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置されている。つまり、本体２１の第２面はガラスパネルユニット１０の外側に向けられ、本体２１の第１面はガラスパネルユニット１０の内側に向けられる。また、本体３１の第１面はガラスパネルユニット１０の内側に向けられ、本体３１の第２面はガラスパネルユニット１０の外側に向けられる。
【００５５】
次に、第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法について、図６〜図１１を参照して説明する。
【００５６】
第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、準備工程と、組立工程と、密閉工程と、除去工程と、を有する。なお、準備工程は、省略してよい。
【００５７】
配置工程は、仮組立て品１００を得るために、第１ガラス基板２００、第２ガラス基板３００、枠体４１０、仕切り４２０、内部空間５００、通気路６００、排気口７００、およびガス吸着体６０を形成する工程である。配置工程は、第１〜第６工程を有する。なお、第２〜第６工程の順番は、適宜変更してもよい。
【００５８】
第１工程は、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００を形成する工程（基板形成工程）である。たとえば、第１工程では、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００を作製する。また、第１工程では、必要に応じて、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００を洗浄する。
【００５９】
第２工程は、排気口７００を形成する工程である。第２工程では、第２ガラス基板３００に、排気口７００を形成する。また、第２工程では、必要に応じて、第２ガラス基板３００を洗浄する。
【００６０】
第３工程は、枠体４１０および仕切り４２０を形成する工程（シール材形成工程）である。第３工程では、ディスペンサなどを利用して、枠体４１０の材料（第１熱接着剤）および仕切り４２０の材料（第２熱接着剤）を第２ガラス基板３００（ガラス板３１０の第１面）上に塗布する。
【００６１】
仕切り４２０の材料を第２ガラス基板３００上に塗布するにあたり、壁部４２１の両端（第１遮断部４２２１および第２遮断部４２２２となる遮断部４２２）のうちの一方の端部から塗布が開始される。そして、壁部４２１の両端のうちの他方の端部まで塗布されて終了する。このとき、塗布される壁部４２１の始端と終端の位置の枠体４１０からの距離の調節が難しい。塗布される壁部４２１の枠体４１０との間に通気路６００が形成される端部の枠体４１０からの距離は、通気路６００の幅となるため、所定の範囲内であることが求められる。このため、壁部４２１の両端において、壁部４２１の長さ方向の両端から当該長さ方向と交差する方向に延びる遮断部４２２が形成されている。第一実施形態では、遮断部４２２は、第２ガラス基板３００の長さ方向の第１端側に延びているが、反対側に延びてもよい。
【００６２】
枠体４１０の材料および仕切り４２０の材料を乾燥させるとともに、仮焼成する。たとえば、枠体４１０の材料および仕切り４２０の材料が塗布された第２ガラス基板３００を４８０℃で２０分間加熱する。なお、第１ガラス基板２００を第２ガラス基板３００と一緒に加熱してもよい。つまり、第１ガラス基板２００を第２ガラス基板３００と同じ条件（４８０℃で２０分間）で加熱してもよい。これにより、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との反りの差を低減できる。
【００６３】
第４工程は、スペーサ７０を形成する工程（スペーサ形成工程）である。第４工程では、複数のスペーサ７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のスペーサ７０を、第２ガラス基板３００の所定位置に配置する。なお、複数のスペーサ７０は、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して形成されていてもよい。この場合、複数のスペーサ７０は、光硬化性材料などを用いて形成される。あるいは、複数のスペーサ７０は、周知の薄膜形成技術を利用して形成されていてもよい。
【００６４】
第５工程は、ガス吸着体６０を形成する工程（ガス吸着体形成工程）である。第５工程では、ゲッタの粉体が分散された溶液を第２ガラス基板３００の所定位置に塗布し、乾燥させることで、ガス吸着体６０を形成する。
【００６５】
第１工程から第５工程が終了することで、図６に示されるような、枠体４１０、仕切り４２０、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０、複数のスペーサ７０が形成された第２ガラス基板３００が得られる。
【００６６】
第６工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを配置する工程（配置工程）である。第５工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、ガラス板２１０の第１面とガラス板３１０の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置してされる。
【００６７】
組立工程は、仮組立て品１００を用意する工程である。具体的には、組立工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを接合することで、仮組立て品１００を用意する。つまり、組立工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを枠体４１０により気密に接合する工程（第１溶融工程）である。
【００６８】
第１溶融工程では、第１軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）Ｔｍ１で第１熱接着剤を一旦溶融させることで、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。具体的には、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００は、溶融炉内に配置され、第１溶融温度Ｔｍ１で所定時間（第１溶融時間）ｔｍ１だけ加熱される（図９参照）。
【００６９】
第１溶融温度Ｔｍ１および第１溶融時間ｔｍ１は、枠体４１０の熱接着剤によって第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とが気密に接合されるが、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように、設定される。つまり、第１溶融温度Ｔｍ１の下限は、第１軟化点であるが、第１溶融温度Ｔｍ１の上限は、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように設定される。たとえば、第１軟化点および第２軟化点が４３４℃である場合、第１溶融温度Ｔｍ１は、４４０℃に設定される。また、第１溶融時間ｔｍ１は、たとえば、１０分である。なお、第１溶融工程では、枠体４１０からガスが放出されるが、このガスはガス吸着体６０によって吸着される。
【００７０】
上述した組立工程（第１溶融工程）によって、図８に示される仮組立て品１００が得られる。
【００７１】
密閉工程は、仮組立て品１００に上記所定の処理を行って組立て品１１０を得る工程である。密閉工程は、排気工程と、溶融工程（第２溶融工程）と、を有する。つまり、排気工程および第２溶融工程が上記所定の処理に相当する。
【００７２】
排気工程は、所定温度（排気温度）Ｔｅで、第１空間５１０を、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して排気して真空空間５０とする工程である。
【００７３】
排気は、たとえば、真空ポンプを用いて行われる。真空ポンプは、図８に示されるように、排気管８１０と、シールヘッド８２０と、により仮組立て品１００に接続される。排気管８１０は、たとえば、排気管８１０の内部と排気口７００とが連通するように第２ガラス基板３００に接合される。そして、排気管８１０にシールヘッド８２０が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。
【００７４】
第１溶融工程と排気工程と第２溶融工程とは、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００（枠体４１０、仕切り４２０、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０、複数のスペーサ７０が形成された第２ガラス基板３００）を溶融炉内に配置したまま行われる。そのため、排気管８１０は、少なくとも第１溶融工程の前に、第２ガラス基板３００に接合される。
【００７５】
排気工程では、排気温度Ｔｅで所定時間（排気時間）ｔｅだけ、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気する（図９参照）。
【００７６】
排気温度Ｔｅは、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度（たとえば、３５０℃）より高く、かつ、第１軟化点および第２軟化点（たとえば、４３４℃）より低く設定される。たとえば、排気温度Ｔｅは、３９０℃である。
【００７７】
このようにすれば、枠体４１０および仕切り４２０は変形しない。また、ガス吸着体６０のゲッタが活性化し、ゲッタが吸着していた分子（ガス）がゲッタから放出される。そして、ゲッタから放出された分子（つまりガス）は、第１空間５１０、通気路６００、第２空間５２０、および、排気口７００を通じて排出される。したがって、排気工程では、ガス吸着体６０の吸着能力が回復する。
【００７８】
排気時間ｔｅは、所望の真空度（たとえば、０．１Ｐａ以下の真空度）の真空空間５０が得られるように設定される。たとえば、排気時間Ｔｅは、１２０分に設定される。
【００７９】
第２溶融工程は、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成することで、真空空間５０を囲むシール４０を形成する工程である。第２溶融工程では、第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成する。具体的には、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００は、溶融炉内で、第２溶融温度Ｔｍ２で所定時間（第２溶融時間）ｔｍ２だけ加熱される（図９参照）。
【００８０】
第２溶融温度Ｔｍ２および第２溶融時間ｔｍ２は、第２熱接着剤が軟化し、通気路６００を塞ぐ隔壁４２が形成されるように設定される。第２溶融温度Ｔｍ２の下限は、第２軟化点（４３４℃）である。ただし、第２溶融工程では、第１溶融工程とは異なり、仕切り４２０を変形させることを目的としているから、第２溶融温度Ｔｍ２は、第１溶融温度（４４０℃）Ｔｍ１より高くしている。たとえば、第２溶融温度Ｔｍ２は、４６０℃に設定される。また、第２溶融時間ｔｍ２は、たとえば、３０分である。
【００８１】
隔壁４２が形成されると、真空空間５０が第２空間５２０から分離される。そのため、真空ポンプで真空空間５０を排気することはできなくなる。第２溶融工程が終了するまでは、枠体４１０および隔壁４２が加熱されているから、枠体４１０および隔壁４２からガスが放出されることがある。しかしながら、枠体４１０および隔壁４２から放出されたガスは、真空空間５０内のガス吸着体６０に吸着される。そのため、真空空間５０の真空度が悪化することが防止される。つまり、ガラスパネルユニット１０の断熱性が悪くなることが防止される。
【００８２】
第１溶融工程でも、枠体４１０および隔壁４２が加熱されているから、枠体４１０および隔壁４２からガスが放出されることがある。枠体４１０および隔壁４２から放出されたガスはガス吸着体６０に吸着されるから、第１溶融工程によってガス吸着体６０の吸着能力が低下している場合がある。しかしながら、排気工程では、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度以上の排気温度Ｔｅで第１空間５１０の排気を行い、これによって、ガス吸着体６０の吸着能力を回復させている。したがって、ガス吸着体６０は、第２溶融工程において、枠体４１０および隔壁４２から放出されたガスを十分に吸着できる。つまり、ガス吸着体６０が枠体４１０および隔壁４２から放出されたガスを十分に吸着できずに真空空間５０の真空度が悪化すること、を防止できる。
【００８３】
また、第２溶融工程では、排気工程から継続して、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気する。つまり、第２溶融工程では、第２溶融温度Ｔｍ２で、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気しながら、仕切り４２０を変形させて通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成する。これによって、第２溶融工程中に、真空空間５０の真空度が悪化することがさらに防止される。ただし、第２溶融工程では、必ずしも、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気する必要はない。
【００８４】
上述した密閉工程によって、図１０に示される組立て品１１０が得られる。
【００８５】
除去工程は、組立て品１１０から第２空間５２０を有する部分１１を除去することで、真空空間５０を有する部分であるガラスパネルユニット１０を得る工程である。具体的には、溶融炉から取り出された組立て品１１０は、図５に示される切断線９００に沿って切断され、真空空間５０を有する所定部分（ガラスパネルユニット）１０と、第２空間５２０を有する部分（不要な部分）１１と、に分割される。そして、切断線９００の形状は、直線状に形成される。
【００８６】
すなわち、切断線９００の形状が直線状ではなく屈曲した線となっていると、切断時に人手を介さないで切断装置により組立て品１１０が切断される場合、屈曲した線状に切断可能な高価な切断装置が必要となる。また、切断時に人手を介して組立て品１１０が切断される場合、屈曲した線に沿って作業者が切断するのは直線状に切断するよりも難しく、また、製品としての仕上精度も直線状に切断するよりも低くなり易い。そこで、第一実施形態では、切断線９００の形状が直線状に形成されている。これにより、切断装置が不要となったり、あるいは、作業者が手動で切断し易かったり、あるいは、仕上精度が低くなり難い。
【００８７】
なお、直線状とは、厳密な直線を勿論含み、厳密には線状ではなくても、上述した効果が得られるものであればよい。すなわち、切断線９００の形状が、切断装置が不要となったり、あるいは、作業者が手動で切断し易かったり、あるいは、仕上精度が低くなり難い、という効果が得られる程度の直線度を有していればよい。
【００８８】
第一実施形態では、切断線９００は、隔壁４２の長さ方向に沿った直線状となっている。また切断線９００は、ガラスパネルユニット１０のいずれかの辺に沿った直線状に形成されてもよい。第一実施形態では、隔壁４２の長さ方向がガラスパネルユニット１０の辺に沿っているため、切断線９００は、隔壁４２の長さ方向およびガラスパネルユニット１０の辺のいずれにも沿った直線状となっている。
【００８９】
また、組立て品１１０が切断されて不要な部分１１が除去されるが、このとき、壁部４２１から遮断部４２２が不要な部分１１側に延びていると、第２空間５１０と通気空間５２０とを仕切るのに寄与していない不要な遮断部４２２が不要な部分１１に含まれる。これにより、ガラスパネルユニット１０に残る不要な遮断部４２２が低減される。
【００９０】
上述した、準備工程、組立工程、密閉工程、および除去工程を経て、ガラスパネルユニット１０が得られる。
【００９１】
以上述べた第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、組立工程と、密閉工程と、除去工程と、を備える。組立工程では、仮組立て品１００を用意する。仮組立て品１００は、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、仕切り４２０と、通気路６００と、排気口７００と、を備える。第２ガラス基板３００は、第１ガラス基板２００に対向するように配置される。枠体４１０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置され第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。内部空間５００は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００と枠体４１０とで囲まれた空間である。仕切り４２０は、内部空間５００を第１空間５１０と第２空間５２０とに仕切る。通気路６００は、内部空間５００内に形成され、第１空間５１０と第２空間５２０とをつなぐ。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ。密閉工程では、第１空間５１０を、通気路６００と第２空間５２０と排気口とを介して排気して真空空間５０とし、仕切り４２０を変形させて通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成することで枠体４１０において真空空間５０に対応する部分と隔壁４２とから第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合するとともに真空空間５０を囲むシール４０を形成して、組立て品１１０を得る。除去工程では、組立て品１１０を直線状に切断して組立て品１００から第２空間５２０を有する部分１１を除去することで、真空空間５０を有する所定部分であるガラスパネルユニット１０を得る。
【００９２】
次に、第二実施形態について図１２に基いて説明する。なお、第二実施形態は大部分において第一実施形態と同じであり、第一実施形態と同じ部分については説明を省略し、主に異なる部分について説明する。
【００９３】
ガラスパネルユニット１０は、組立て品１００から、第２空間５２０を有する不要な部分１１が除去されることで得られる。このとき、不要な部分１１が多量に発生すると、材
料の歩留りが低下してしまう。また、不要な部分１１が大きいと、組立て品１１０を切断する長さも長くなってしまい、切断に手間と時間がかかる。このため、第二実施形態では、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００において、予め、第２空間５２０を有する不要な部分１１となる部分が、真空空間５０を有する所定部分であるガラスパネルユニット１０よりも小さく形成されるものである。
【００９４】
不要な部分１１は、組立て品１００から切断される前は、ガラスパネルユニット１０の辺（第二実施形態では短辺）の全長よりも短い長さにおいて、ガラスパネルユニット１０と接続されている。
【００９５】
このように、不要な部分１１がガラスパネルユニット１０よりも小さく形成されることにより、無駄となる部分が減少して歩留りが向上し、製造コストが低減される。
【００９６】
また、組立て品１１０において直線状に切断される部分の長さが、真空空間５０を有する所定部分の辺よりも短く形成されることで、切断部分が短くなる。これにより、切断に手間と時間がかかるのが抑制される。
【００９７】
次に、第三実施形態について図１３Ａおよび図１３Ｂに基いて説明する。なお、第三実施形態は大部分において第二実施形態と同じであり、第二実施形態と同じ部分については説明を省略し、主に異なる部分について説明する。
【００９８】
第三実施形態では、第二実施形態と同様に、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００において、予め、第２空間５２０を有する不要な部分１１となる部分が、真空空間５０を有する所定部分であるガラスパネルユニット１０よりも小さく形成される。
【００９９】
第三実施形態では、第二実施形態と異なり、第１ガラス基板２００および第２ガラス基板３００において不要な部分１１となる部分が、ガラスパネルユニット１０となる部分に対して別体で形成されて、接着剤４３により接着されている。接着剤４３としては、熱接着剤が挙げられる。熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。接着剤４３は、第１熱接着剤または第２熱接着剤と同じであってもよいし、熱接着剤以外の接着剤であってもよい。
【０１００】
このように、不要な部分１１がガラスパネルユニット１０よりも小さく形成されることにより、無駄となる部分が減少して歩留りが向上し、製造コストが低減される。
【０１０１】
また第三実施形態では、接着剤４３で切断されることにより、組立て品１１０からの不要な部分１１の除去が可能となる。これにあたっては、組立て品１１０において、ガラスパネルユニット１０となる部分と不要な部分１１とが折り曲げられることにより、接着剤４３で切断される。これにより、切刃による切断と比べて、組立て品１１０の切断が容易となる。
【０１０２】
上記実施形態（すなわち第一実施形態ないし第三実施形態のいずれかの実施形態で、以下同じ）では、ガラスパネルユニット（１０）は矩形状であるが、ガラスパネルユニット（１０）は、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。つまり、第１ガラスパネル（２０）、第２ガラスパネル（３０）、およびシール（４０）は、矩形状ではなく、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。なお、第１ガラス基板（２００）、第２ガラス基板（３００）、枠体（４１０）、および、隔壁（４２）のそれぞれの形状は、上記実施形態の形状に限定されず、所望の形状のガラスパネルユニット（１０）が得られるような形状であればよい。なお、ガラスパネルユニット（１０）の形状や大きさは、ガラスパネルユニット（１０）の用途に応じて決定される。
【０１０３】
また、第１ガラスパネル（２０）の本体（２１）の第１面および第２面はいずれも平面に限定されない。同様に、第２ガラスパネル（３０）の本体（３１）の第１面および第２面はいずれも平面に限定されない。
【０１０４】
また、第１ガラスパネル（２０）の本体（２１）と第２ガラスパネル（３０）の本体（３１）とは同じ平面形状および平面サイズを有していなくてもよい。また、本体（２１）と本体（３１）とは同じ厚みを有していなくてもよい。また、本体（２１）と本体（３１）とは同じ材料で形成されていなくてもよい。同様に、第１ガラス基板（２００）のガラス板（２１０）と第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）とは同じ平面形状および平面サイズを有していなくてもよい。また、ガラス板（２１０）とガラス板（３１０）とは同じ厚みを有していなくてもよい。ガラス板（２１０）とガラス板（３１０）とは同じ材料で形成されていなくてもよい。
【０１０５】
また、シール（４０）は、第１ガラスパネル（２０）および第２ガラスパネル（３０）と同じ平面形状を有していなくてもよい。同様に、枠体（４１０）は、第１ガラス基板（２００）および第２ガラス基板（３００）と同じ平面形状を有していなくてもよい。
【０１０６】
また、第１ガラスパネル（２０）は、さらに、所望の物理特性を有して本体（２１）の第２平面に形成されるコーティングを備えていてもよい。あるいは、第１ガラスパネル（２０）は、コーティング（２２）を備えていなくてもよい。つまり、第１ガラスパネル（２０）は、本体（２１）のみで構成されていてもよい。
【０１０７】
また、第２ガラスパネル（３０）は、さらに、所望の物理特性を有するコーティングを備えていてもよい。コーティングは、たとえば、本体（３１）の第１平面および第２平面にそれぞれ形成される薄膜の少なくとも一方を備えていればよい。コーティングは、たとえば、特定波長の光を反射する膜（赤外線反射膜、紫外線反射膜）などである。
【０１０８】
上記実施形態では、枠体（４１０）は、第１熱接着剤で形成されている。ただし、枠体（４１０）は、第１熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、枠体（４１０）は、第１熱接着剤を含んでいればよい。また、上記実施形態では、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）のほぼすべての領域を囲うように形成されている。しかしながら、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）上の所定の領域を囲うように形成されていればよい。つまり、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）のほぼすべての領域を囲うように形成されている必要はない。また、組立て品（１１０）は、２以上の枠体（４１０）を有していてもよい。つまり、組立て品（１１０）は、２以上の内部空間（５００）を有していてもよい。この場合、１つの組立て品（１１０）から２以上のガラスパネルユニット（１０）を得ることができる。
【０１０９】
上記実施形態では、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤で形成されている。ただし、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤を含んでいればよい。また、上記実施形態では、仕切り（４２０）はその両端が枠体（４１０）とは連結されていない。そして、仕切り（４２０）の両端と枠体（４１０）との隙間が、通気路（６１０，６２０）である。ただし、仕切り（４２０）は、その両端の一方のみが枠体（４１０）に連結されていなくてもよく、この場合、仕切り（４２０）と枠体（４１０）との間に一つの通気路（６００）が形成される。あるいは、仕切り（４２０）は、その両端が枠体（４１０）に連結されていてもよい。この場合、通気路（６００）は、仕切り（４２０）に形成された貫通孔であってもよい。あるいは、通気路（６００）は、仕切り（４２０）と第１ガラス基板（２００）との隙間であってもよい。あるいは、仕切り（４２０）は、間隔をあけて配置された２以上の仕切りで形成されていてもよい。この場合、通気路（６００）は、２以上の仕切りの隙間であってもよい。
【０１１０】
上記実施形態では、内部空間（５００）は、一つの第１空間（５１０）と一つの第２空間（５２０）とに仕切られている。ただし、内部空間（５００）は、１以上の第１空間（５１０）と１以上の第２空間（５２０）とに仕切られていてもよい。内部空間（５００）が２以上の第１空間（５１０）を有する場合、１つの組立て品（１１０）から２以上のガラスパネルユニット（１０）を得ることができる。
【０１１１】
上記実施形態では、第２熱接着剤は、第１熱接着剤と同じであり、第２軟化点と第１軟化点は等しい。ただし、第２熱接着剤は、第１熱接着剤と異なる材料であってもよい。たとえば、第２熱接着剤は、第１熱接着剤の第１軟化点と異なる第２軟化点を有していてもよい。ここで、第２軟化点は、第１軟化点より高いことが好ましい。この場合、第１溶融温度Ｔｍ１を、第１軟化点以上第２軟化点未満とすることができる。このようにすれば、第１溶融工程において、仕切り４２０が変形してしまうことを防止できる。
【０１１２】
また、第１接着剤および第２熱接着剤は、ガラスフリットに限定されず、たとえば、低融点金属や、ホットメルト接着材などであってもよい。
【０１１３】
上記実施形態では、枠体（４１０）、ガス吸着体（６０）、および仕切り（４２０）の加熱に溶融炉を利用している。しかしながら、加熱は、適宜の加熱手段で行うことができる。加熱手段は、たとえば、レーザや、熱源に接続された伝熱板などである。
【０１１４】
上記実施形態では、通気路（６００）は２つの通気路（６１０，６２０）を備えているが、通気路（６００）は、一つの通気路だけで構成されていてもよいし、３以上の通気路で構成されていてもよい。また、通気路（６００）の形状は、特に限定されない。
【０１１５】
上記実施形態では、排気口（７００）は、第２ガラス基板（３００）に形成されている。しかし、排気口（７００）は、第１ガラス基板（２００）のガラス板（２１０）に形成されていてもよいし、枠体（４１０）に形成されていてもよい。要するに、排気口（７００）は、不要な部分（１１）に形成されていればよい。
【０１１６】
上記実施形態では、ガス吸着体（６０）のゲッタは蒸発型ゲッタであるが、ゲッタは非蒸発型ゲッタであってもよい。非蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子が内部に入り込むことで、吸着能力が回復する。ただし、蒸発型ゲッタとは異なり、吸着された分子を放出するわけではないので、非蒸発型ゲッタは、ある程度以上の分子を吸着すると、たとえ活性化温度以上に加熱されても、吸着能力が回復しなくなる。
【０１１７】
上記実施形態では、ガス吸着体（６０）は、長尺状であるが、他の形状であってもよい。また、ガス吸着体（６０）は、必ずしも真空空間（５０）の端にある必要はない。また、上記実施形態では、ガス吸着体（６０）は、ゲッタの粉体が分散された溶液を塗布することにより形成される。しかしながら、ガス吸着体（６０）は、基板と、基板に固着されたゲッタと、を備えていてもよい。このようなガス吸着体（６０）は、ゲッタの粉末が分散された溶液に基板を浸漬し、乾燥することで得ることができる。なお、基板は、所望の形状であってよく、たとえば、長尺の矩形状である。
【０１１８】
あるいは、ガス吸着体（６０）は、第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）の表面（第１面）に全体的あるいは部分的に形成された膜であってもよい。このようなガス吸着体（６０）は、第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）の表面（第１面）をゲッタの粉末が分散された溶液でコーティングすることで得ることができる。
【０１１９】
あるいは、ガス吸着体（６０）は、スペーサ（７０）に含まれていてもよい。たとえば、スペーサ（７０）を、ゲッタを含む材料で形成すれば、ガス吸着体（６０）を含むスペーサ（７０）を得ることができる。
【０１２０】
あるいは、ガス吸着体（６０）は、ゲッタで形成された固形物であってもよい。このようなガス吸着体（６０）は、比較大きく、第１ガラス基板（２００）と第２ガラス基板（３００）との間に配置できないことがある。この場合には、第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）に凹所を形成して、この凹所にガス吸着体（６０）を配置すればよい。
【０１２１】
あるいは、ガス吸着体（６０）は、ゲッタが分子を吸着しないように、予めパッケージ内に配置しておいてもよい。この場合、第２溶融工程の後に、パッケージを破壊して、ガス吸着体（６０）を真空空間（５０）に曝せばよい。
【０１２２】
上記実施形態では、ガラスパネルユニット（１０）は複数のスペーサ（７０）を備えているが、ガラスパネルユニット（１０）は、一つのスペーサ（７０）を備えていてもよい。あるいは、ガラスパネルユニット（１０）は、スペーサ（７０）を備えていなくてもよい。
【０１２３】
以上述べた実施形態および変形例から明らかなように、本発明に係る第１の形態のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、第１ガラス基板（２００）と、第１ガラス基板（２００）に対向するように配置された第２ガラス基板（３００）と、第１ガラス基板（２００）と第２ガラス基板（３００）との間に配置されて第１ガラス基板（２００）と第２ガラス基板（３００）とを気密に接合する枠体（４１０）と、第１ガラス基板（２００）と第２ガラス基板（３００）と枠体（４１０）とで囲まれた内部空間（５００）と、内部空間（５００）を第１空間（５１０）と第２空間（５２０）とに仕切る仕切り（４２０）と、第１空間（５１０）と第２空間（５２０）とをつなぐ通気路（６００）と、第２空間（５２０）と外部空間とをつなぐ排気口（７００）と、を備える仮組立て品（１００）を用意する組立工程と、第１空間（５１０）を、通気路（６００）と第２空間（５２０）と排気口（７００）とを介して排気して真空空間（５０）とし、仕切り（４２０）を変形させて通気路（６００）を塞ぐ隔壁（４２）を形成することで枠体（４１０）において真空空間（５０）に対応する部分と隔壁（４２）とから第１ガラス基板（２００）と第２ガラス基板（３００）とを気密に接合するとともに真空空間（５０）を囲むシール（４０）を形成して、組立て品（１１０）を得る密閉工程と、組立て品（１１０）を直線状に切断して組立て品（１１０）から第２空間（５２０）を有する部分を除去することで、真空空間（５０）を有する所定部分（１０）であるガラスパネルユニットを得る除去工程と、を備える。
【０１２４】
第１の形態によれば、排気口（７００）および排気管（８１０）がなく、しかも、断熱性能が良いガラスパネルユニット（１０）が得られる。
【０１２５】
本発明に係る第２の形態のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、第１の形態との組み合わせにより実現される。第２のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、仕切り（４２０）の枠体（４１０）との間に通気路（６００）が形成される側の端部が、仕切り（４２０）の長さ方向と交差する方向に延びる。第２の形態によれば、ディスペンサを利用して仕切り（４２０）の材料を第２ガラス基板（３００）上に塗布するにあたり、枠体（４１０）から通気路（６００）の長さ分手前の位置でディスペンサからの仕切り（４２０）の材料の吐出を停止しなくてもよい。これにより、ディスペンサからの仕切り（４２０）の材料の吐出制御の精度が低くてもよく、制御が行いやすくなる。
【０１２６】
本発明に係る第３の形態のガラスパネルユニット（１０）の製造方法では、第１の形態または第２の形態との組み合わせにより実現される。第３のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、通気路（６００）が複数形成される。
【０１２７】
第３の形態によれば、排気にかかる時間が短縮されやすくなる。
【０１２８】
本発明に係る第４の形態のガラスパネルユニット（１０）の製造方法では、第１の形態ないし第３の形態のいずれか一つとの組み合わせにより実現される。第４のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、第２空間（５２０）を有する部分が真空空間（５０）を有する所定部分（１０）よりも小さく、組立て品（１１０）において直線状に切断される部分の長さが、真空空間（５０）を有する所定部分（１０）の辺よりも短い。
【０１２９】
第４の形態によれば、不要な部分（１１）がガラスパネルユニット（１０）よりも小さく形成される。これにより、無駄となる部分が減少して歩留りが向上し、製造コストが低減される。
【０１３０】
本発明に係る第５の形態のガラスパネルユニット（１０）の製造方法では、第４の形態との組み合わせにより実現される。第５のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、第１ガラス基板（２００）および第２ガラス基板（３００）における、第２空間（５２０）を有する部分と真空空間（５０）を有する所定部分（１０）とが、接着剤（４３）により接着される。
【０１３１】
第５の形態によれば、接着剤（４３）で切断されることで不要な部分（１１）が除去される。これにより、第１ガラス基板（２００）および第２ガラス基板（３００）が切断される場合と比べて切断が容易となる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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