(57)【要約】【課題】放電ギャップにおけるオゾンの発生量が変動することを抑制する。【解決手段】実施形態のオゾン発生装置は、インバータと、オゾン発生器と、リアクトルと、を有する。インバータは、ＰＷＭ（Pulse  Width  Modulation）制御によってスイッチング素子をオンオフして、直流電力を交流電力に変換して出力する。オゾン発生器は、インバータから出力される交流電力の電圧が誘電体電極に印加され、当該誘電体電極と金属電極との間の放電ギャップに流入される原料ガス中で放電を発生させ、当該放電によりオゾンを発生させる。リアクトルは、誘電体電極に対して直列に接続され、インバータにおけるＰＷＭ制御によってスイッチング素子をオフからオンに切り換えた際に誘電体電極に流れる突入電流を低減する。【選択図】図２
2019006620.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＰＷＭ（Pulse  Width  Modulation）制御によってスイッチング素子をオンオフして、直流電力を交流電力に変換して出力するインバータと、
前記インバータから出力される前記交流電力の電圧が誘電体電極に印加され、当該誘電体電極と金属電極との間の放電ギャップに流入される原料ガス中で放電を発生させ、当該放電によりオゾンを発生させるオゾン発生器と、
前記誘電体電極に対して直列に接続され、前記インバータにおけるＰＷＭ制御によって前記スイッチング素子をオフからオンに切り換えた際に前記誘電体電極に流れる突入電流を低減するリアクトルと、
を備えるオゾン発生装置。
【請求項２】
前記リアクトルは、前記オゾン発生器のリアクタンスより大きいリアクタンスを有する請求項１に記載のオゾン発生装置。
【請求項３】
前記インバータは、前記交流電力の基本波形の基本周波数に比例して、前記交流電力の搬送波のキャリア周波数が連続的に高くなる同期インバータである請求項１または２に記載のオゾン発生装置。
【請求項４】
前記インバータは、前記交流電力の基本波形の基本周波数が高くなるのに伴い、前記交流電力の搬送波のキャリア周波数が不連続に変化する非同期インバータであり、
前記リアクトルは、前記オゾン発生器におけるオゾンの発生に要する前記交流電力の範囲において前記基本周波数に比例して前記キャリア周波数が連続的に高くなるリアクタンスを有する請求項１または２に記載のオゾン発生装置。
【請求項５】
ＰＷＭ（Pulse  Width  Modulation）制御によってスイッチング素子をオンオフして、直流電力を交流電力に変換し、誘電体電極と金属電極との間の放電ギャップに流入される原料ガス中で放電を発生させて当該放電によりオゾンを発生させるオゾン発生器の前記誘電体電極に対して、前記交流電力の電圧を印加するインバータと、
前記誘電体電極に対して直列に接続され、前記インバータにおけるＰＷＭ制御によって前記スイッチング素子をオフからオンに切り換えた際に前記誘電体電極に流れる突入電流を低減するリアクトルと、
を備えるオゾン発生装置用の電源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、オゾン発生装置、およびオゾン発生装置用の電源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
オゾン発生装置は、特殊な負荷であるため、専用電源によって駆動している。例えば、オゾン発生装置用の電源装置は、商用電源の一例である三相電源から供給される交流電力を、コンバータにおいて直流電力に変換する。次いで、電源装置は、コンバータから出力される直流電力を、高周波インバータによって高周波の交流電力に変換した後、トランスを介して、オゾン発生装置に供給する。
【０００３】
ところで、オゾン発生装置は、等価回路で表した場合、誘電体電極を表す静電容量と、当該誘電体電極と金属電極との間の放電ギャップを表す静電容量と、を直列接続した回路となる。また、放電ギャップは、当該放電ギャップに印加される放電ギャップ電圧が、放電維持電圧を超えた場合に、当該放電ギャップに流入される原料ガス内でバリア放電を発生させて、当該バリア放電によりオゾンを発生させる。そして、バリア放電は、等価回路で表した場合、定電圧特性を持ち、放電中、放電維持電圧を保持するため、ツェナーダイオードで表される。このように、オゾン発生装置は、容量性負荷となっているため、力率を１に近づけるために、容量性負荷を打ち消すように、コイルが直列または並列に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１８９４５５号公報
【特許文献２】特開２０１４−０９０６４１号公報
【特許文献３】特開２００２−３４５２６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、オゾン発生装置用の電源装置の高調波インバータとして、ＰＷＭ（Pulse  Width  Modulation）制御によって、直流電力を交流電力に変換するインバータを用いた場合、高調波インバータが有するスイッチング素子をオフからオンに切り換えた時に誘電体電極に流れる突入電流によって、放電ギャップにおけるオゾンの発生が不安定になる場合がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態のオゾン発生装置は、インバータと、オゾン発生器と、リアクトルと、を有する。インバータは、ＰＷＭ（Pulse  Width  Modulation）制御によってスイッチング素子をオンオフして、直流電力を交流電力に変換して出力する。オゾン発生器は、インバータから出力される交流電力の電圧が誘電体電極に印加され、当該誘電体電極と金属電極との間の放電ギャップに流入される原料ガス中で放電を発生させ、当該放電によりオゾンを発生させる。リアクトルは、誘電体電極に対して直列に接続され、インバータにおけるＰＷＭ制御によってスイッチング素子をオフからオンに切り換えた際に誘電体電極に流れる突入電流を低減する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、第１の実施形態にかかるオゾン発生装置の構成の一例を示す図である。
【図２】図２は、第１の実施形態にかかるオゾン発生装置が有する電源装置の構成の一例を示す図である。
【図３】図３は、汎用のＶＶＶＦインバータによるＰＷＭ制御の一例を説明するための図である。
【図４】図４は、汎用のＶＶＶＦインバータにおける基本周波数とキャリア周波数との関係の一例を示す図である。
【図５】図５は、第２の実施形態にかかるオゾン発生装置における基本周波数とオゾン濃度の関係の一例を示す図である。
【図６】図６は、第２の実施形態にかかるオゾン発生装置のＶＶＶＦインバータにおける基本周波数とキャリア周波数との関係の一例を示す図である。
【図７】図７は、第３の実施形態にかかるオゾン発生装置における基本周波数とオゾン濃度との関係の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付の図面を用いて、本実施形態にかかるオゾン発生装置およびオゾン発生装置用の電源装置について説明する。
【０００９】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態にかかるオゾン発生装置の構成の一例を示す図である。本実施形態にかかるオゾン発生装置は、誘電体バリア方式のオゾン発生装置である。図１において、Ｙ軸は、後述する気密容器１４の中心軸に沿った軸であり、Ｘ軸は、Ｙ軸に直交する軸であり、Ｚ軸は、Ｙ軸およびＸ軸に直交する軸である。図１に示すように、オゾン発生装置は、装置本体１１と、高圧電源１２と、冷却水供給部１３と、ヒューズ１８と、電源装置２０と、を備えている。装置本体１１（オゾン発生器の一例）は、気密容器１４と、誘電体電極１５と、金属電極１６と、を備える。
【００１０】
気密容器１４は、円筒状の容器である。具体的には、気密容器１４は、Ｙ軸方向に沿った中心軸を有する円筒形状の容器である。また、気密容器１４は、その内部に、誘電体電極１５および金属電極１６が収容される。気密容器１４の外周部には、ガス入口１４１、ガス出口１４２、冷却水入口１４３、および冷却水出口１４４が形成されている。気密容器１４は、ガス入口１４１を介して、外部から、酸素を含む原料ガスが供給される。原料ガスの圧力である原料ガス圧は、０．１〜０．３ＭＰａとすることが好ましい。そして、気密容器１４は、ガス出口１４２を介して、未反応の原料ガスおよびオゾンを外部へ導出する。また、気密容器１４は、冷却水入口１４３を介して、冷却水が流入される。そして、気密容器１４は、冷却水出口１４４を介して、冷却水を外部へ排出する。
【００１１】
誘電体電極１５は、気密容器１４の内部に設けられる。誘電体電極１５は、誘電体部１５１と、導電膜１５２と、高圧供給端子１５３と、を有する。誘電体部１５１は、誘電性の材料を含み、Ｙ軸方向に沿った中心軸を有する円筒形状に形成されている。誘電体部１５１の中心軸は、気密容器１４の中心軸とほぼ平行である。導電膜１５２は、導電性の材料を含み、誘電体部１５１の内部に設けられている。高圧供給端子１５３は、導電膜１５２の内側に設けられ、導電膜１５２と電気的に接続されている。
【００１２】
金属電極１６は、導電性の材料を含む。金属電極１６は、気密容器１４の内部であり、誘電体電極１５の外側に設けられる。金属電極１６と誘電体電極１５との間には、放電ギャップ１７が設けられている。金属電極１６は、接地電位と接続されている。また、金属電極１６は、スペーサ１６１を有する。スペーサ１６１は、金属電極１６の一部からの誘電体電極１５に向かって突出して、金属電極１６と誘電体電極１５との間に放電ギャップ１７を維持する。また、金属電極１６は、気密容器１４の内周面との間に冷却水が流入される水路１６２を形成する。水路１６２は、気密容器１４の冷却水入口１４３および冷却水出口１４４と繋がっている。従って、冷却水入口１４３から流入される冷却水は、水路１６２を経由して、冷却水出口１４４から排出される。
【００１３】
高圧電源１２は、ヒューズ１８および電源装置２０を介して、高圧供給端子１５３と電気的に接続されている。そして、高圧電源１２は、電源装置２０、ヒューズ１８、および高圧供給端子１５３を介して、誘電体電極１５（導電膜１５２）に対して電圧を印加する。これにより、放電ギャップ１７に流入される原料ガス中で放電を発生させ、当該放電によりオゾンを発生させる。冷却水供給部１３は、例えば、ポンプである。冷却水供給部１３は、気密容器１４の冷却水入口１４３から気密容器１４の水路１６２へ冷却水を供給する。
【００１４】
次に、図２を用いて、本実施形態にかかるオゾン発生装置が有する電源装置２０の構成の一例について説明する。図２は、第１の実施形態にかかるオゾン発生装置が有する電源装置の構成の一例を示す図である。
【００１５】
電源装置２０は、高圧電源１２から供給される交流電力を、予め設定された電圧の交流電力に変換して、当該交流電力の電圧を、誘電体電極１５に印加する。本実施形態では、電源装置２０は、図２に示すように、入力リアクトル２１と、ＶＶＶＦインバータ２２と、零相リアクトル２３と、抵抗２４と、トランス２５と、出力リアクトル２６と、を有する。
【００１６】
入力リアクトル２１は、高圧電源１２と後述するＶＶＶＦインバータ２２との間に接続され、当該ＶＶＶＦインバータ２２から出力される交流電力に含まれる高調波を抑制する。ＶＶＶＦ（Variable  Voltage  Variable  Frequency）インバータ２２は、ＰＷＭ（Pulse  Width  Modulation）制御によって、スイッチング素子をオンオフして、直流電力を交流電力に変換して出力するインバータの一例である。本実施形態では、ＶＶＶＦインバータ２２は、高圧電源１２から供給される交流電力を直流電力に変換するコンバータを有する。次いで、ＶＶＶＦインバータ２２は、当該コンバータから出力される直流電力を、ＰＷＭ制御によって、交流電力に変換する。その後、ＶＶＶＦインバータ２２は、交流電力の電圧を、装置本体１１が有する誘電体電極１５に印加する。
【００１７】
本実施形態では、ＶＶＶＦインバータ２２には、出力する交流電力の基本波形の基本周波数に比例して、当該出力する交流電力の電圧が高くなるＶＶＶＦインバータを用いているが、ＰＷＭ制御によって、直流電力を交流電力に変換するインバータであれば良く、例えば、基本周波数が高くなっても、一定の電圧の交流電力を出力するＣＶＶＦ（Constant  Voltage  Variable  Frequency）インバータを用いることも可能である。
【００１８】
零相リアクトル２３は、ＶＶＶＦインバータ２２と高圧供給端子１５３とを接続する配線に流れるキャリア周波数成分の高調波成分の零相電流を打ち消すリアクトルである。抵抗２４は、ＶＶＶＦインバータ２２の零相に電流が流れて、後述するトランス２５の短絡を防止する。トランス２５は、ＶＶＶＦインバータ２２と誘電体電極１５との間に接続され、ＶＶＶＦインバータ２２から出力される交流電力の電圧を、予め設定された電圧（例えば、１８０，２００，２２０Ｖ）に昇圧する。
【００１９】
出力リアクトル２６（リアクトルの一例）は、誘電体電極１５に対して直列に接続され、ＶＶＶＦインバータ２２におけるＰＷＭ制御よってスイッチング素子をオフからオンに切り換えた際に誘電体電極１５に流れる突入電流を低減するリアクトルである。
【００２０】
ところで、装置本体１１は、等価回路で表した場合、誘電体電極１５を表す静電容量と、放電ギャップ１７を表す静電容量とを直列接続した回路となる。また、放電ギャップ１７は、当該放電ギャップ１７に印加される電圧が、放電ギャップ１７内でバリア放電が発生する電圧である放電維持電圧を超えた場合に、放電ギャップ１７内に流入される原料ガス内でバリア放電を発生させて、当該バリア放電によりオゾンを発生させる。そして、バリア放電は、等価回路で表した場合、定電圧特性を持ち、バリア放電が発生している間、放電維持電圧を保持するため、ツェナーダイオードで表される。このように、装置本体１１は、容量性負荷となっているため、ＶＶＶＦインバータ２２におけるＰＷＭ制御によってスイッチング素子をオフからオンに切り換えた際に誘電体電極１５に突入電流が流れると、オゾンの発生量が変動する等の悪影響が発生する場合がある。
【００２１】
そこで、本実施形態では、ＶＶＶＦインバータ２２と誘電体電極１５との間に、出力リアクトル２６を設けることにより、ＰＷＭ制御によってスイッチング素子をオフからオンに切り換えた際に誘電体電極１５に流れる突入電流を低減し、放電ギャップ１７におけるオゾンの発生量が変動することを抑制している。本実施形態では、出力リアクトル２６は、キャリア周波数を角周波数とした場合に、装置本体１１のリアクタンスより大きいリアクタンスを有する。これにより、装置本体１１の容量成分を打ち消して、オゾン発生装置全体の回路を誘導性として、誘電体電極１５に対して突入電流が流れ難くしている。
【００２２】
このように、第１の実施形態にかかるオゾン発生装置によれば、ＶＶＶＦインバータ２２におけるＰＷＭ制御によってスイッチング素子をオフからオンに切り換えた際に誘電体電極１５に流れる突入電流を低減できるので、放電ギャップ１７におけるオゾンの発生量が変動することを抑制できる。
【００２３】
（第２の実施形態）
本実施形態は、出力する交流電力の基本波形の基本周波数に比例して、当該交流電力の搬送波のキャリア周波数が連続的に高くなる同期インバータを、ＶＶＶＦインバータとして用いる例である。以下の説明では、第１の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００２４】
図３は、汎用のＶＶＶＦインバータによるＰＷＭ制御の一例を説明するための図である。図３において、横軸は、時間を表し、縦軸は、汎用のＶＶＶＦインバータから出力される交流電力の電圧を表す。汎用のＶＶＶＦインバータは、低コスト化のために、ＰＷＭ制御によって、直流電力を交流電力に変換するものが多い。ＰＷＭ制御では、図３に示すように、正弦波の電圧波形を基本波形とする交流電力を出力するために、スイッチング素子のオンオフを繰り返して、高調波のキャリア周波数のパルス波（搬送波）を出力する。
【００２５】
ところで、汎用のＶＶＶＦインバータは、キャリア周波数が基本波形の基本周波数と同期しない非同期インバータである。ここで、キャリア周波数が基本周波数と同期しないとは、基本周波数を高くするのに伴ってキャリア周波数を高くした場合に、キャリア周波数が基本周波数に比例して高くならず、キャリア周波数の上限（以下、キャリア周波数上限と言う）にキャリア周波数が達する度に、キャリア周波数が下がり、その後、再び、キャリア周波数が高くなることを言う。言い換えると、キャリア周波数が基本周波数と同期しないとは、基本周波数を高くするのに伴ってキャリア周波数を高くした場合に、キャリア周波数が基本周波数に比例して高くならず、キャリア周波数が不連続に変化することを言う。これは、基本周波数を高くするのに伴ってキャリア周波数を高くした場合に、基本波形の１周期に対して、基本周波数毎に予め設定されたパルス数（以下、所定パルス数と言う）の搬送波を含められなくなることにより生じる。そのため、キャリア周波数がキャリア周波数上限に達すると、汎用のＶＶＶＦインバータから出力される交流電力の電圧が下がる。
【００２６】
図４は、汎用のＶＶＶＦインバータにおける基本周波数とキャリア周波数との関係の一例を示す図である。図４において、横軸は、基本周波数を表し、縦軸は、キャリア周波数を表す。図４に示すように、汎用のＶＶＶＦインバータは、基本周波数に比例してキャリア周波数を高くした場合、キャリア周波数がキャリア周波数上限（例えば、１６．０ｋＨｚ）に達して、基本波形の１周期に対して、基本周波数（例えば、０〜０．７ｋＨｚ）に予め設定された所定パルス数（例えば、２４パルス）の搬送波を含められなくなると、キャリア周波数が下がる。それに伴い、汎用のＶＶＶＦインバータから出力される交流電力の電圧も下がる。
【００２７】
図５は、第２の実施形態にかかるオゾン発生装置における基本周波数とオゾン濃度の関係の一例を示す図である。図５において、横軸は、基本周波数を表し、一方の縦軸は、放電ギャップ１７におけるオゾンの濃度（以下、オゾン濃度と言う）を表し、他方の縦軸は、ＶＶＶＦインバータ２２から出力される交流電力を表す。汎用のＶＶＶＦインバータをＶＶＶＦインバータ２２に用いた場合、基本周波数が２．０ｋＨｚとなって、キャリア周波数がキャリア周波数上限に達すると、キャリア周波数が下がる（図４参照）。それに伴い、図５に示すように、ＶＶＶＦインバータ２２から出力される交流電力も下がるため、放電ギャップ１７におけるオゾン濃度も低下する。
【００２８】
そこで、本実施形態では、基本周波数に比例して、キャリア周波数が連続的に高くなる同期インバータをＶＶＶＦインバータ２２として用いる。図６は、第２の実施形態にかかるオゾン発生装置のＶＶＶＦインバータにおける基本周波数とキャリア周波数との関係の一例を示す図である。図６において、横軸は、基本周波数を表し、縦軸は、キャリア周波数を表す。図６に示すように、基本周波数に比例して、キャリア周波数が連続的に高くなる同期インバータを、ＶＶＶＦインバータ２２として用いる。これにより、ＶＶＶＦインバータ２２から出力される交流電力の変動を防止できるので、オゾン濃度が低下することを防止できる。
【００２９】
このように、第２の実施形態にかかるオゾン発生装置によれば、同期インバータをＶＶＶＦインバータ２２に用いることにより、ＶＶＶＦインバータ２２から出力される交流電力の変動を防止できるので、オゾン濃度が低下することを防止できる。
【００３０】
（第３の実施形態）
本実施形態は、基本周波数が高くなるのに伴い、キャリア周波数が不連続に変化する非同期インバータをＶＶＶＦインバータとして用いる例である。以下の説明では、上述の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００３１】
本実施形態では、基本周波数が高くなるのに伴い、キャリア周波数が不連続に変化する非同期インバータ（汎用のＶＶＶＦインバータ）をＶＶＶＦインバータ２２として用いる。また、本実施形態では、出力リアクトル２６は、装置本体１１（放電ギャップ１７）におけるオゾンの発生に要する交流電力の範囲（以下、定格電力と言う）において、ＶＶＶＦインバータ２２から出力される交流電力の基本周波数に比例してキャリア周波数が連続的に高くなるようにリアクタンスが調整されている。ここで、定格電力は、装置本体１１において予め設定されたオゾン濃度のオゾンを発生させることが可能な交流電力の範囲（例えば、５〜１００％）である。これにより、基本周波数が高くなるのに伴ってキャリア周波数の変化が不連続となる基本周波数を、ＶＶＶＦインバータ２２から出力する交流電力の基本周波数から外す。
【００３２】
ところで、汎用のＶＶＶＦインバータ（非同期インバータ）から出力する交流電力を変化させる場合、当該汎用のＶＶＶＦインバータから出力する交流電力の基本波形の基本周波数を変化させる方法が一般的である。汎用のＶＶＶＦインバータは、モータの駆動に用いられることが多く、基本周波数を変化させることによって、モータの回転数を制御している。また、汎用のＶＶＶＦインバータを、オゾン発生装置のＶＶＶＦインバータ２２に用いた場合、基本周波数を変化させることで、装置本体１１に供給する交流電力を変化させて、オゾン濃度を調整することが可能となる。
【００３３】
しかしながら、汎用のＶＶＶＦインバータは、基本周波数が高くなるのに伴ってキャリア周波数の変化が不連続となる基本周波数（以下、不連続点と言う）を有する。例えば、汎用のインバータは、例えば、図５に示すように、基本周波数：２．０ｋＨｚ付近においてキャリア周波数が不連続に変化する不連続点を有する。不連続点においては、図５に示すように、汎用のＶＶＶＦインバータから出力される交流電力が下がるため、オゾン濃度も不連続に変化する。なお、放電ギャップ１７におけるオゾンの発生量は、オゾン濃度と原料ガスの流量との積により求めるが、原料ガスの流量は変えないことが多い。そのため、オゾン濃度が低下すると、放電ギャップ１７におけるオゾンの発生量も低下すると考えられる。
【００３４】
そこで、本実施形態では、出力リアクトル２６のリアクタンスを変更して、不連続点を、ＶＶＶＦインバータ２２から定格電力の交流電力が出力される基本周波数よりも高周波側にずらす。これにより、ＶＶＶＦインバータ２２から定格電力の交流電力を出力する際に、キャリア周波数が不連続に変化することが無くなるので、オゾン濃度が低下することを防止できる。
【００３５】
図７は、第３の実施形態にかかるオゾン発生装置における基本周波数とオゾン濃度との関係の一例を示す図である。図７において、横軸は、基本周波数を表し、一方の縦軸は、オゾン濃度を表し、他方の縦軸は、ＶＶＶＦインバータ２２から出力される交流電力を表す。図７に示すように、出力リアクトル２６のリアクタンスを変更して、不連続点を、２．２５ｋＨｚにずらす。これにより、ＶＶＶＦインバータ２２から定格電力（０．５〜５．０ｋＷ）に対応する交流電力を出力した場合に、基本周波数に不連続点が含まれなくなり、基本周波数が高くなるのに伴ってキャリア周波数が高くなるので、オゾン濃度を連続的に変化させることができる。
【００３６】
このように、第３の実施形態にかかるオゾン発生装置によれば、汎用のＶＶＶＦインバータ（非同期インバータ）をＶＶＶＦインバータ２２に用いた場合でも、ＶＶＶＦインバータ２２から定格電力に対応する交流電力を出力した際に基本周波数に不連続点が含まれなくなるので、基本周波数を変化させた場合でも、オゾンを安定して発生させることができる。
【００３７】
以上説明したとおり、第１から第３の実施形態によれば、放電ギャップ１７におけるオゾンの発生量が変動することを抑制できる。
【００３８】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００３９】
１１  装置本体
１２  高圧電源
１４  気密容器
１５  誘電体電極
１６  金属電極
１７  放電ギャップ
２０  電源装置
２１  入力リアクトル
２２  ＶＶＶＦインバータ
２３  零相リアクトル
２４  抵抗
２５  トランス
２６  出力リアクトル
【図１】
2019006620.tif 000003
【図２】
2019006620.tif 000004
【図３】
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【図４】
2019006620.tif 000006
【図５】
2019006620.tif 000007
【図６】
2019006620.tif 000008
【図７】
2019006620.tif 000009