(57)【要約】【課題】鉄系材料からなる部材とアルミニウム材からなる部材を、圧入やレーザ肉盛方法によることなく、強固に接合する。【解決手段】銅を含む鉄系焼結材からなる第１の部材（バルブシート１）を、アルミニウム材からなる第２の部材（シリンダヘッド２）に押し付けながら両部材１，２間に通電することにより、両部材１，２の界面Ｐに生成されたＦｅ−Ａｌ化合物層を界面Ｐから排出すると共に、界面ＰにＣｕ−Ａｌ拡散層を生成させる。【選択図】図８
2019171423.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅を含む鉄系焼結材からなる第１の部材と、アルミニウム材からなる第２の部材とを接合するための方法であって、
前記第１の部材を前記第２の部材に押し付けながら両部材間に通電することにより、両部材の界面に生成されたＦｅ−Ａｌ化合物層を前記界面から排出すると共に、前記界面にＣｕ−Ａｌ拡散層を生成させる異種金属材料の接合方法。
【請求項２】
前記第２の部材に接合する前の前記第１の部材中に、銅を均一に分散させた請求項１に記載の異種金属材料の接合方法。
【請求項３】
銅を含む鉄系焼結材からなる第１の部材と、アルミニウム材からなる第２の部材とを接合してなる接合部品であって、
前記第１の部材と前記第２の部材との界面にＣｕ−Ａｌ拡散層が介在し、前記界面と隣接する領域にＦｅ−Ａｌ化合物が存在する接合部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異種金属材料の接合方法、特に、鉄系材料とアルミニウム材との接合方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車等のエンジンには、燃焼室に開口した吸気ポートおよび排気ポートが設けられる。これらの吸気ポートおよび排気ポートは、開口部に設けられたバルブにより開閉される。各ポートの開口部のうち、バルブが着座する部分には、通常、強度の高い鉄系材料からなる環状のバルブシートが設けられる。
【０００３】
バルブシートは、シリンダヘッドに対して圧入により固定されることが多い。この場合、バルブシートとシリンダヘッドとの圧入部の面積を確保するために、バルブシートの高さ（軸方向寸法）をある程度確保する必要が生じる。これにより、シリンダヘッドの設計、特に吸気ポートおよび排気ポートの設計が制限されるため、吸排気能力を向上させることが困難となるおそれがある。
【０００４】
そこで、バルブシートの高さを小さくした場合でも、シリンダヘッドに強固に接合することができる方法が提案されている。例えば、下記の特許文献１には、ポートの開口部に金属粉を供給しながらレーザを照射して肉盛層を形成し、この肉盛層でバルブシートを形成する技術が示されている。
【０００５】
また、下記の特許文献２には、バルブシートを鉄系焼結材で形成し、このバルブシートを抵抗熱接合法によってアルミニウム材からなるシリンダヘッドに接合する方法が示されている。具体的には、複数の部材を互いに押し付けながら両部材間に通電することで、両部材の界面から、両部材の表面に形成された酸化被膜等を排出し、両部材の母材同士を直接接触させることにより、両部材が強固に結合される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１７−８０７５６号公報
【特許文献２】特開平９−２３９５６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献１に示されているレーザビームを用いた肉盛方法によりバルブシートを形成すれば、バルブシートの高さを抑えることはできるが、レーザ照射設備等を要するため製造コストが高くなる。
【０００８】
また、上記特許文献２に示されている抵抗熱接合法は、同種材料を強固に接合することはできるが、異種材料を強固に接合することは容易ではない。特に、鉄系材料とアルミニウム材とを接合する場合には、これらの界面に、脆いＦｅ−Ａｌ化合物層が生成されるため、接合強度を高めることが非常に難しい。
【０００９】
本発明は、鉄系材料からなる部材とアルミニウム材からなる部材を、圧入やレーザ肉盛方法によることなく、強固に接合することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らの検証によると、鉄系材料からなる第１の部材とアルミニウム材からなる第２の部材とを接合するに際し、第１の部材を銅を含む鉄系焼結材で形成し、これをアルミニウム材からなる第２の部材に高加圧力で押し付けながら、両部材間に高電流値を通電することにより、両部材が強固に結合されることが明らかになった。
【００１１】
これは以下の理由によると考えられる。上記のように両部材を加圧通電することで、両部材の界面に脆いＦｅ−Ａｌ化合物層が生成されるが、両部材間の加圧力及び通電量を高くすることで、両部材の界面からＦｅ−Ａｌ化合物層が排出され、両部材の母材同士が直接接触する。この状態で加圧通電し続けることで、両部材の界面において、第１の部材の母材（鉄系焼結材）に含まれる銅と第２の部材の母材（アルミニウム材）との間で相互拡散が生じ、両部材の界面にＣｕ−Ａｌ拡散層が生成される。このように、両部材の界面から脆いＦｅ−Ａｌ化合物層を排出すると共に、界面にＣｕ−Ａｌ拡散層を生成することで、このＣｕ−Ａｌ拡散層を介して両部材が強固に結合される。すなわち、両部材の界面にＣｕ−Ａｌ拡散層が生成されるように、両部材間の加圧力及び電流値を設定することで、両部材を強固に接合することができる。
【００１２】
以上の知見から、本発明は、銅を含む鉄系焼結材からなる第１の部材と、アルミニウム材からなる第２の部材とを接合するための方法であって、前記第１の部材を前記第２の部材に押し付けながら両部材間に通電することにより、両部材の界面に生成されたＦｅ−Ａｌ化合物層を前記界面から排出すると共に、前記界面にＣｕ−Ａｌ拡散層を生成させる異種金属材料の接合方法を提供する。
【００１３】
上記のような方法で第１の部材と第２の部材とを接合すると、両部材の界面から排出されたＦｅ−Ａｌ化合物が、上記界面に隣接する領域に溜まる。すなわち、上記の方法により、銅を含む鉄系焼結材からなる第１の部材と、アルミニウム材からなる第２の部材とを接合してなる接合部品であって、前記第１の部材と前記第２の部材との界面にＣｕ−Ａｌ拡散層が介在し、前記界面と隣接する領域にＦｅ−Ａｌ化合物が存在する接合部品が得られる。
【００１４】
上記のような条件で第１の部材及び第２の部材を加圧通電すると、第１の部材（鉄系焼結材）中に分散した銅が、第１の部材を流れる通電経路に沿って両部材の界面に向けて移動する。これにより、界面付近における銅の濃度が上昇し、この銅と第２の部材（アルミニウム材）とが相互拡散することで、界面にＣｕ−Ａｌ拡散層が生成される。従って、第２の部材に接合する前の第１の部材中に銅を均一に分散させた場合、加圧通電により第１の部材中の前記界面付近の銅が前記界面に向けて移動することで、第１の部材のうち、両部材の界面付近における銅の濃度が、他の領域における銅の濃度よりも低くなる。
【００１５】
一方、第２の部材に接合する前の第１の部材において、両部材の界面付近における銅の濃度が相対的に高くなるように銅を偏析させてもよい。この場合、両部材を加圧通電した際に、界面に向けて移動する銅の量が増え、界面における銅の濃度がさらに高められるため、界面にＣｕ−Ａｌ拡散層が生成されやすくなる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、銅を含む鉄系焼結材からなる第１の部材とアルミニウム材からなる第２の部材との界面からＦｅ−Ａｌ化合物層を排出すると共に、この界面にＣｕ−Ａｌ拡散層を生成させることで、両部材を、圧入やレーザ肉盛方法によることなく、強固に接合することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】エンジンの燃焼室の吸排気口付近の断面図である。
【図２】図２のバルブシート付近の拡大図である。
【図３】バルブシートをシリンダヘッドに接合する手順を示す断面図であり、押し込み開始前の状態を示す。
【図４】図３のＸ部の拡大図である。
【図５】バルブシートをシリンダヘッドに接合する手順を示す断面図であり、押し込んでいる途中の状態を示す。
【図６】図５のＹ部の拡大図である。
【図７】バルブシートをシリンダヘッドに接合する手順を示す断面図であり、押し込みが完了した状態を示す。
【図８】図７のＺ部の拡大図である。
【図９】バルブシートとシリンダヘッドとの接合部を示す拡大断面図である。
【図１０】他の実施形態に係る、シリンダヘッドに接合する前のバルブシートの断面図である。
【図１１】さらに他の実施形態に係る、シリンダヘッドに接合する前のバルブシートの断面図である。
【図１２】各試験片の試験条件（横軸：単位面積当たりの加圧力、縦軸：電流密度）を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。本実施形態では、鉄系材料からなる第１の部材としてのバルブシートを、アルミニウム材からなる第２の部材としてのシリンダヘッドに接合する場合を示す。
【００１９】
図１に、エンジンの燃焼室３の吸排気口付近の構造を示す。シリンダヘッド２は、アルミニウム材（アルミニウム合金）の鋳造品である。シリンダヘッド２には、燃焼室３に開口した吸気ポート４及び排気ポート５が形成されている。各ポート４，５の開口部は、それぞれバルブ６により開閉される。バルブ６のステム部６ａは、シリンダヘッド２に取り付けられた円筒状のバルブガイド７の内周に挿入され、図示しないカム機構及びスプリングにより往復動される。各ポート４，５の開口部には、環状のバルブシート１が設けられる。バルブ６の傘部６ｂがバルブシート１に着座することで各ポート４，５が閉じ、バルブ６の傘部６ｂがバルブシート１から離反することで各ポート４，５が開く。
【００２０】
バルブシート１は、銅を含む鉄系焼結材からなる。具体的に、バルブシート１は、５０質量％以上の鉄と、１〜４０質量％の銅を含む焼結材からなる。この焼結材には、必要に応じてＣ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｖ、Ｗ、Ｍｎ、Ｓｉ、Ｓのうちの１種又は複数種が添加される。バルブシート１は、銅粉及び鉄粉を含む原料粉末を均一に混合した後、この原料粉末を金型で圧縮成形して圧粉体を形成し、この圧粉体を所定の温度で焼結することにより形成される。こうして形成されたバルブシート１（シリンダヘッド２に接合する前のバルブシート１）には、銅が全体に均一に分散している。
【００２１】
バルブシート１は環状に形成される。具体的には、図２に拡大して示すように、バルブシート１の内周面のポート開口側（燃焼室３側）の端部には、バルブ６の傘部６ｂが着材する内周テーパ面１ａが設けられる。また、バルブシート１の外周面のポート奥側（燃焼室３から離反する側）の端部には、外周テーパ面１ｂが設けられる。
【００２２】
以下、バルブシート１をシリンダヘッド２に接合する手順を、図３〜図９を用いて説明する。本実施形態では、吸気ポート４（以下、単に「ポート４」とも言う。）の開口部にバルブシート１を接合する場合を説明するが、排気ポート５へのバルブシート１の接合も同様の手順で行う。
【００２３】
まず、図３に示すように、シリンダヘッド２を、ポート４が上向きに開口するように配置する。シリンダヘッド２のポート４の開口部には、バルブシート１が取り付けられるシート取付部８が設けられる。接合前の状態で、シート取付部８の内径は、バルブシート１の外径よりも小さい。具体的に、シート取付部８は、ポート４の内径よりも大径で、バルブシート１の外径よりも小径な円筒面８ａと、円筒面８ａとポート４の内周面との間に設けられた平坦面８ｂと、円筒面８ａの開口側（図中上側）に設けられた面取り部８ｃとを有する。図示例では、円筒面８ａと平坦面８ｂとの境界に盗み部８ｄが設けられる。
【００２４】
そして、バルブシート１を、シリンダヘッド２のシート取付部８に配置する。このとき、シート取付部８の円筒面８ａの内径が、接合前のバルブシート１の外径よりも小さくなっているため、バルブシート１は円筒面８ａの内周に挿入されず、シート取付部８の上端に載置される。図示例では、バルブシート１の外周テーパ面１ｂが、シート取付部８の上端に設けられた面取り部８ｃの上に載置される。
【００２５】
図４に、このときのバルブシート１とシリンダヘッド２との界面（バルブシート１の外周テーパ面１ｂとシリンダヘッドのシート取付部８の面取り部８ｃとの接触部）を拡大して示す。図示のように、バルブシート１及びシリンダヘッド２の表面には、それぞれ酸化被膜や不純物等からなる被膜Ｃ１，Ｃ２が形成されており、それぞれの母材（鉄系焼結材、アルミニウム材）同士は直接接触していない。
【００２６】
そして、図５に示すように、バルブシート１を一方の電極１０で下方に押し込むと共に、シリンダヘッド２に他方の電極（図示省略）を接触させ、この状態で一方の電極１０と他方の電極との間に通電する。図示例では、電極１０のテーパ状の外周面により、バルブシート１の内周テーパ面１ａが下方に押し込まれる。これにより、バルブシート１がシリンダヘッド２に強く押し付けられ、この状態で両部材１，２間に通電されることで、両部材１，２の界面Ｐ、特に電極１０による加圧力を受ける界面Ｐ、すなわち電極１０による加圧方向（図５では上下方向）と交差する界面Ｐ、本実施形態ではバルブシート１の外周テーパ面１ｂとこれに接触するシリンダヘッド２の表面との界面Ｐが、抵抗発熱により加熱されて軟化し、塑性変形する。具体的には、バルブシート１の外周テーパ面１ｂが、シリンダヘッド２のシート取付部８の面取り部８ｃ及び円筒面８ａを押し潰し、シリンダヘッド２の肉を塑性流動させる。これにより、シリンダヘッド２のシート取付部８に、バルブシート１の外周テーパ面１ｂに倣ったテーパ面８ｅが形成されると共に、その下方に、塑性流動した肉により内径側に盛り上がった隆起部８ｆが形成される。これと同時に、バルブシート１の外周テーパ面１ｂにも塑性変形が生じ、外周テーパ面１ｂの角度が電極１０の加圧方向（図中上下方向）に近づく。
【００２７】
このとき、バルブシート１の外周テーパ面１ｂが、シリンダヘッド２のテーパ面８ｅに強く押し付けられることで、これらの界面Ｐに介在していた被膜Ｃ１，Ｃ２が界面Ｐから押し出されて、両部材１，２の母材（鉄系焼結材及びアルミニウム材）同士が接触する。この状態で両部材１，２間に通電し続けることで、図６に示すように、両部材１，２の界面ＰにＦｅ−Ａｌ化合物層が生成される。このＦｅ−Ａｌ化合物層は、例えばＦｅＡｌ、ＦｅＡｌ２、ＦｅＡｌ３のうちの一種又は複数種からなる。
【００２８】
その後、さらにバルブシート１を下方に押し込みながら通電することにより、図７に示すように、バルブシート１をシリンダヘッド２のシート取付部８の平坦面８ｂに着座させる。このとき、塑性変形により流動したシリンダヘッド２の肉（隆起部８ｆ）は、予めシリンダヘッド２のシート取付部８に設けられた盗み部８ｄに収容される。
【００２９】
このとき、図６に示すように、両部材１，２の界面ＰにＦｅ−Ａｌ化合物層が形成されていると、バルブシート１の母材（鉄系焼結材）とシリンダヘッド２の母材（アルミニウム材）とがＦｅ−Ａｌ化合物層で遮断される。しかし、両部材１，２を高加圧力・高電流値で加圧通電することにより、両部材１，２の界面Ｐに介在したＦｅ−Ａｌ化合粒層が界面Ｐから排出される。これにより、両部材１，２の母材同士が直接接触し、バルブシート１中の銅とシリンダヘッド２の母材（アルミニウム材）との間で相互拡散が生じ、界面ＰにＣｕ−Ａｌ拡散層が生成される（図８参照）。Ｃｕ−Ａｌ拡散層は、例えば、界面Ｐの面積の５０％以上の領域に生成される。Ｃｕ−Ａｌ拡散層は、銅とアルミニウムが相互拡散することにより生成されたＣｕ−Ａｌ化合物であり、例えばＣｕＡｌ及び／又はＣｕＡｌ２からなる。
【００３０】
両部材１，２の界面Ｐから排出されたＦｅ−Ａｌ化合物は、界面Ｐに隣接する領域に存在する。本実施形態では、図９に示すように、テーパ状の界面Ｐの母線方向両側に隣接する領域、具体的には、バルブシート１の円筒面状の外周面１ｃとこれに対向するシリンダヘッド２の内周面との間や、盗み部８ｄに流入した材料に、Ｆｅ−Ａｌ化合物が存在する。
【００３１】
上記のように両部材１，２を加圧通電して、界面ＰからＦｅ−Ａｌ化合物を排出すると共に、界面ＰにＣｕ−Ａｌ化合物を生成する際、バルブシート１中に分散した銅が、バルブシート１中を流れる電流の経路に沿って、バルブシート１とシリンダヘッド２との界面（電極１０による加圧力が作用するバルブシート１の外周テーパ面１ｂとシリンダヘッド２のテーパ面８ｅとの界面）Ｐに向けて移動する（図９の点線矢印参照）。本実施形態では、シリンダヘッド２に接合する前のバルブシート１中に銅が均一に分散しているため、上記のように、バルブシート１内に分散した銅が界面Ｐに向けて移動することにより、バルブシート１内の銅の分布が不均一となる。具体的には、図９に示すように、シリンダヘッド２に接合された後のバルブシート１において、界面Ｐ付近の領域Ｑにおける銅の濃度が、他の領域における銅の濃度よりも低くなっている（図９では、銅を散点で表している）。図示例では、領域Ｑには銅がほとんど存在していない。
【００３２】
以上により、バルブシート１及びシリンダヘッド２の母材同士が、両部材１，２の界面Ｐ（本実施形態ではバルブシート１の外周テーパ面１ｂとシリンダヘッド２のテーパ面８ｅとの界面Ｐ）において、脆いＦｅ−Ａｌ化合物層を介することなく、Ｃｕ−Ａｌ拡散層を介して固相状態で接合されるため、両部材１，２を強固に接合することができる。その後、必要に応じてバルブシート１に切削加工を施して、バルブシート１とシリンダヘッド２との接合が完了する。尚、界面Ｐには、Ｆｅ−Ａｌ化合物層が全く存在しないことが理想的であるが、界面ＰにＦｅ−Ａｌ化合物層が僅かに残っていても問題ない。
【００３３】
本発明は、上記の実施形態に限られない。例えば、上記の実施形態では、接合前のバルブシート１中に銅が均一に分散している場合を示したが、これに限られない。例えば、接合前のバルブシート１中の銅を偏析させ、シリンダヘッド２との界面Ｐを形成する外周テーパ面１ｂ付近における銅の濃度が相対的に高くなるようにしてもよい。これにより、加圧通電時に界面Ｐに向けて移動する銅の量が増えて、界面Ｐにおける銅の濃度が高められ、界面ＰにＣｕ−Ａｌ拡散層が形成されやすくなる。
【００３４】
具体的には、例えば図１０に示すように、接合前のバルブシート１の外周テーパ面１ｂ付近のみの銅の密度を高くし（密な散点で示す）、その他の領域の銅の密度を低くしてもよい（疎な散点で示す）。あるいは、バルブシート１のうち、相対的に電流密度が高くなる領域、具体的には、図１１に示すように、電極１０が当接する内周テーパ面１ａから、界面Ｐを形成する外周テーパ面１ｂに至る最短の通電経路に沿った領域における銅の密度を高くし（密な散点で示す）、その他の領域の銅の密度を低くしてもよい（疎な散点で示す）。
【００３５】
また、本発明は、鉄系焼結材からなる第１の部材（バルブシート１）が環状をなし、第１の部材を第２の部材（シリンダヘッド２）の内周に取り付けた場合を示したが、これに限られない。例えば、アルミニウム材からなる第２の部材の外周に、鉄系材料からなる第１の部材を取り付ける際に、本発明を適用してもよい。また、第１の部材は環状に限らず、その他の形状であってもよい。また、本発明は、バルブシートとシリンダヘッドとの接合に限らず、鉄系焼結材とアルミニウム材とを接合する場合であれば、用途によらずに適用することができる。
【００３６】
本発明の接合方法における適切な条件を探るために、以下の試験を行った。具体的には、鉄系焼結材からなる第１の部材と、アルミニウム材からなる第２の部材とを、加圧力及び通電量が異ならせて接合した複数の試験片を作製し、各試験片の接合強度（抜け強度）を測定した。第１の部材及び第２の部材の材質及び形状は、上記の実施形態のバルブシート１及びシリンダヘッド２（特にシート取付部８）に準ずる。加圧力としては、第１の部材を押し込む加圧力（通電中の最大加圧力）を、この加圧力が加わる第１の部材と第２の部材との接触面（界面Ｐ）の加圧方向の投影面積で割った値（単位面積当たりの加圧力）を算出した。また、通電量としては、両部材間に流す電流値の最大値を、両部材の接触面（界面Ｐ）の加圧方向の投影面積で割った値（電流密度）を算出した。
【００３７】
図１２は、各試験片の条件（加圧力及び通電量）を示すグラフである。これらのうち、実施例１、比較例１及び２で示す試験片の試験条件および試験結果を、下記の表１に示す。
【００３８】
【表１】
2019171423.tif 000003
【００３９】
図１２のグラフで示す試験片のうち、ひし形で示したもの、すなわち、電流密度が２．９Ａ／ｍｍ２に満たないもの、あるいは、単位面積あたりの加圧力が３７０ＭＰａに満たないものは、接合強度が弱く、具体的には引抜き強度が５ｋＮ以下であった。例えば比較例１は、通電量が低いため、両部材の界面にＦｅ−Ａｌ化合物層もＣｕ−Ａｌ拡散層もほとんど形成されていなかった。この比較例１は、引抜き試験では、低荷重（３．９７ｋＮ）で界面が破断した。また、比較例２は、通電量は高めであるが、加圧力が低いため、両部材の界面のＦｅ−Ａｌ化合物層が排出されず、Ｃｕ−Ａｌ拡散層はほとんど形成されていなかった。この比較例２は、引抜き試験では、低荷重（１．４７ｋＮ）で界面、特にＦｅ−Ａｌ化合物層が破断した。
【００４０】
これに対し、図１２のグラフで示す試験片のうち、四角形で示したもの、すなわち、電流密度が２．９Ａ／ｍｍ２以上で、且つ、単位面積あたりの加圧力が３７０ＭＰａ以上のものは、接合強度が強く、具体的には引抜き強度が５ｋＮ以上であった。これらの実施例１では、通電量及び加圧力が十分に高く、界面に高い熱量（入熱量）が供給されたと推定される。具体的に、実施例１の両部材の界面には、Ｆｅ−Ａｌ化合物層は形成されておらず、Ｃｕ−Ａｌ拡散層が十分に形成されていた。この実施例１は、引抜き試験では、界面は破断せず、母材（アルミニウム材）が破断し、そのときの荷重は３０ｋＮ以上であった。これらの結果から、両部材の界面にＣｕ−Ａｌ拡散層を形成することで、両部材の接合強度（引抜き強度）が大幅に高められることが確認された。また、そのための条件としては、電流密度を２．９Ａ／ｍｍ２以上とし、単位面積あたりの加圧力を３７０ＭＰａ以上とすることが好ましいことが明らかになった。
【００４１】
一方、図１２のグラフで示す試験片のうち、三角形で示したもの、すなわち、電流密度が３．６Ａ／ｍｍ２より大きく、あるいは、単位面積あたりの加圧力が６５０ＭＰａより大きいものは、両部材間の通電量あるいは加圧力が大きすぎるため、鉄系焼結材の焼けや、アルミニウム材のへたり、あるいは爆飛が生じるおそれがある。従って、通電量及び加圧力は、上記のような不具合が生じないように設定され、具体的には、通電密度を３．６Ａ／ｍｍ２以下、単位面積あたりの加圧力を６５０ＭＰａ以下とすることが好ましい。
【符号の説明】
【００４２】
１     バルブシート（第１の部材）
２     シリンダヘッド（第２の部材）
３     燃焼室
４     吸気ポート
５     排気ポート
６     バルブ
８     シート取付部
１０   電極
Ｃ１，Ｃ２    被膜
Ｐ     第１の部材と第２の部材との界面
【図１】
2019171423.tif 000004
【図２】
2019171423.tif 000005
【図３】
2019171423.tif 000006
【図４】
2019171423.tif 000007
【図５】
2019171423.tif 000008
【図６】
2019171423.tif 000009
【図７】
2019171423.tif 000010
【図８】
2019171423.tif 000011
【図９】
2019171423.tif 000012
【図１０】
2019171423.tif 000013
【図１１】
2019171423.tif 000014
【図１２】
2019171423.tif 000015