(57)【要約】【課題】成形対象物毎に外郭寸法にばらつきが生じても、成形対象物を搬送することができ、成形型の成形対象物取付部への取り付け位置のずれを抑えることができる搬送装置及び樹脂成形装置を提供する。【解決手段】  搬送装置２０は、成形対象物Ｓが載置される成形対象物載置部２５と、成形対象物載置部２５の周縁又はその外側に設けられた、成形対象物Ｓの端縁を規制するための部材であり、成形対象物載置部２５の内部の方向に移動可能である複数の端縁規制部材２７とを備えた成形対象物保持部２８を含む。樹脂成形装置１０は、搬送装置２０と、成形対象物Ｓが取り付けられる成形対象物取付部１５１１Ａを有する第１型（上型１５１）及び該第１型に対向して配置される第２型（下型１５２）とを含む成形型１５を備える。【選択図】図２
2019111673.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂成形装置の成形型に成形対象物を搬送する装置であって、
前記成形対象物が載置される成形対象物載置部と、該成形対象物載置部の周縁又はその外側に設けられた、該成形対象物の端縁を規制するための部材であり、該成形対象物載置部の内部の方向に移動可能である複数の端縁規制部材とを備えた成形対象物保持部を含む
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記成形対象物保持部がさらに、前記複数の端縁規制部材を前記方向に付勢する付勢部材を備えることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
さらに、前記付勢部材の作動をON/OFFする付勢部材制御部を備えることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
回動中心の周りに回動する板状の回動部材と、
前記回動部材に、複数の前記端縁規制部材の各々に対して1個ずつ設けられ、該端縁規制部材が挿通され、該端縁規制部材を移動させることができる端縁規制部材案内長孔と、
複数の前記端縁規制部材の各々に対して1個ずつ設けられ、該端縁規制部材が移動可能な方向を、該端縁規制部材と前記回動中心を通過する直線上に規制する端縁規制部材移動規制部と
を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項５】
前記端縁規制部材案内長孔において、該端縁規制部材案内長孔の幅方向の中心を結ぶ幅方向中心線上の1点と前記回動中心との距離が、該1点とは異なる該幅方向中心線上の1点と前記回動中心との距離と異なることを特徴とする請求項４に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記幅方向中心線上の点と前記回動中心との距離が、該点が該幅方向中心線の一端から他端に向かうに従って増加しているように前記端縁規制部材案内長孔が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記複数の端縁規制部材の全てが連動して前記方向に移動可能であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項８】
前記成形対象物載置部に載置される前記成形対象物に設けられた切り欠きに対応する位置に前記複数の端縁規制部材のうちの1つが設けられていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の搬送装置と、
前記成形対象物が取り付けられる成形対象物取付部を有する第１型と、該第１型に対向して配置される第２型とを含む成形型と
を備えることを特徴とする樹脂成形装置。
【請求項１０】
搬送装置の成形対象物保持部に設けられた成形対象物載置部に成形対象物を載置し、該成形対象物載置部の周縁又はその外側に複数設けられた、前記成形対象物の端縁を規制する端縁規制部材を前記成形対象物載置部の内部の方向に移動させることにより、前記成形対象物を前記成形対象物保持部に保持する搬入時成形対象物保持工程と、
成形対象物が取り付けられる成形対象物取付部を有する第１型と、該第１型に対向して配置される第２型とを含む成形型の該成形対象物取付部と前記成形対象物載置部の位置を合わせるように前記成形対象物保持部を移動させ、該成形対象物を該成形対象物取付部に取り付けた後、該成形対象物保持部を前記成形型の外部に移動させる成形対象物搬入工程と、
前記第１型と前記第２型を型締めしたうえで前記成形対象物に樹脂成形を行う樹脂成形工程と、
を含むことを特徴とする樹脂成形品製造方法。
【請求項１１】
成形対象物を前記成形対象物保持部に保持した状態において、前記複数の端縁規制部材を付勢部材により前記方向に付勢することを特徴とする請求項１０に記載の樹脂成形品製造方法。
【請求項１２】
前記成形対象物載置部に成形対象物を載置する前に前記付勢部材の作動をOFFにし、該成形対象物載置部に該成形対象物を載置した後に該付勢部材の作動をONにすることを特徴とする請求項１１に記載の樹脂成形品製造方法。
【請求項１３】
回動中心の周りに回動する板状の回動部材と、該回動部材に、複数の前記端縁規制部材の各々に対して1個ずつ設けられ、該端縁規制部材が挿通され、該端縁規制部材を移動させることができる端縁規制部材案内長孔と、複数の前記端縁規制部材の各々に対して1個ずつ設けられ、該端縁規制部材が移動可能な方向を、該端縁規制部材と前記回動中心を通過する直線上に規制する端縁規制部材移動規制部とを用い、
前記搬入時成形対象物保持工程において、前記回動部材を回動させることにより、該端縁規制部材を前記成形対象物載置部の内部の方向に移動させることを特徴とする請求項１０〜１２のいずれかに記載の樹脂成形品製造方法。
【請求項１４】
前記端縁規制部材案内長孔において、該端縁規制部材案内長孔の幅方向の中心を結ぶ幅方向中心線上の1点と前記回動中心との距離が、該1点とは異なる該幅方向中心線上の1点と前記回動中心との距離と異なることを特徴とする請求項１３に記載の樹脂成形品製造方法。
【請求項１５】
前記幅方向中心線上の点と前記回動中心との距離が、該点が該幅方向中心線の一端から他端に向かうに従って増加しているように前記端縁規制部材案内長孔が形成されていることを特徴とする請求項１４に記載の樹脂成形品製造方法。
【請求項１６】
前記複数の端縁規制部材を前記方向に移動させる際に、該複数の端縁規制部材の全てを連動させて該方向に移動させることを特徴とする請求項１０〜１５のいずれかに記載の樹脂成形品製造方法。
【請求項１７】
前記搬入時成形対象物保持工程において、前記成形対象物に設けられた切り欠きの位置を前記複数の端縁規制部材のうちの1つに合わせて該成形対象物を前記成形対象物載置部に載置することを特徴とする請求項１０〜１６のいずれかに記載の樹脂成形品製造方法。
【請求項１８】
さらに、
前記樹脂成形工程の後に前記第１型と前記第２型を型開きし、前記成形対象物取付部と前記成形対象物載置部の位置を合わせるように前記成形対象物保持部を移動させ、樹脂成形が行われ成形対象物取付部に取り付けられた前記成形対象物を前記成形対象物載置部に載置し、前記端縁規制部材を前記成形対象物載置部の内部の方向に移動させることにより、該成形対象物を該成形対象物保持部に保持する搬出時成形対象物保持工程と、
前記成形対象物保持部を前記成形型の外部に移動させる搬出工程と
を含むことを特徴とする請求項１０〜１７のいずれかに記載の樹脂成形品製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂成形装置の成形型に成形対象物を搬送する搬送装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
成形型を用いて基板等の成形対象物に樹脂成形をすることは広く行われている。成形対象物を成形型の成形対象物取付部に取り付けるために、成形対象物を成形型の第１型と第２型の間に搬送（搬入）する搬送装置が設けられた樹脂成形装置が用いられている。例えば特許文献１には、複数個の支持部で成形対象物の側部を支持することによって成形対象物の横方向の位置を固定し、該位置を第２型である上型の下面に設けられた成形対象物取付部（クランプ面）に合わせるように搬送装置（ローダー）を成形対象物取付部の直下に搬入した後、成形対象物取付部に設けられた吸着孔から気体を吸引することによって成形対象物を成形対象物取付部に取り付けることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2013-153146号公報（図15）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
成形対象物の外郭寸法は、加工時に生じる加工誤差等によってばらつきが生じることがある。そのため、搬送装置の支持部で成形対象物の側部を支持することができなくなったり、支持部と成形対象物の間の隙間が大きくなることがある。その場合、成形対象物を搬送装置で搬送できなくなったり、成形対象物を成形対象物取付部に取り付ける際に、取り付ける位置がずれるおそれがある。
【０００５】
そこで本発明は、成形対象物の外郭寸法にばらつきが生じても、成形対象物を搬送することができ、成形型の成形対象物取付部への取り付け位置のずれを抑えることができる搬送装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために成された本発明に係る搬送装置は、樹脂成形装置の成形型に成形対象物を搬送する装置であって、
前記成形対象物が載置される成形対象物載置部と、該成形対象物載置部の周縁又はその外側に設けられた、該成形対象物の端縁を規制するための部材であり、該成形対象物載置部の内部の方向に移動可能である複数の端縁規制部材とを備えた成形対象物保持部を含む
ことを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る樹脂成形装置は、
前記搬送装置と
前記成形対象物が取り付けられる成形対象物取付部を有する第１型と、該第１型に対向して配置される第２型とを含む成形型と
を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る樹脂成形品製造方法は、
搬送装置の成形対象物保持部に設けられた成形対象物載置部に成形対象物を載置し、該成形対象物載置部の周縁又はその外側に複数設けられた、前記成形対象物の端縁を規制する端縁規制部材を前記成形対象物載置部の内部の方向に移動させることにより、前記成形対象物を前記成形対象物保持部に保持する搬入時成形対象物保持工程と、
成形対象物が取り付けられる成形対象物取付部を有する第１型と、該第１型に対向して配置される第２型とを含む成形型の該成形対象物取付部と前記成形対象物載置部の位置を合わせるように前記成形対象物保持部を移動させ、該成形対象物を該成形対象物取付部に取り付けた後、該成形対象物保持部を前記成形型の外部に移動させる成形対象物搬入工程と、
前記第１型と前記第２型を型締めしたうえで前記成形対象物に樹脂成形を行う樹脂成形工程と、
を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明により、成形対象物毎に外郭寸法にばらつきが生じても、成形対象物を搬送することができ、成形型の成形対象物取付部への取り付け位置のずれを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係る搬送装置及び樹脂成形装置の一実施形態を示す概略図。
【図２】本実施形態の搬送装置の全体を示す上面図(a)、A-A'縦断面図(b)、及びB-B'縦断面図(c)。
【図３】本実施形態の搬送装置の昇降フレーム(a)及び回動フレーム(b)を示す上面図。
【図４】回動フレームの回動に伴う端縁規制部材の動きであって、端縁規制部材が成形対象物載置部の内部の方向に移動する場合(a)及び外部の方向に移動する場合(b)を示す図。
【図５】本実施形態の搬送装置及び樹脂成形装置における端縁規制部材を示す縦断面図。
【図６】本実施形態の搬送装置及び樹脂成形装置における回動フレーム及び端縁規制部材の動作を示す上面図であって、端縁規制部材を成形対象物載置部の外部の方向に移動させる動作を示す図(a-1)及びその部分拡大図(a-2)、並びに端縁規制部材を成形対象物載置部の内部の方向に移動させる動作を示す図(b-1)及びその部分拡大図(b-2)。
【図７】本実施形態における搬送装置及び成形型等の動作を示す図であって、上型と下型の間への搬送装置の搬入(a)、搬送装置の上昇(b)、成形対象物取付部への成形対象物の取り付け(c)、キャビティへの離型フィルムの張設及び樹脂材料の供給(d)、型締め(e)並びに型開き(f)の状態を示す図。
【図８】図７に示した搬送装置及び成形型等の動作の続きを表す図であって、上型と下型の間への搬送装置の搬入(a)、及び搬送装置の上昇(b)を示す図。
【図９】第１の変形例における搬送装置を示す上面図(a)、及びB-B'縦断面図(b)。
【図１０】第２の変形例における搬送装置の成形対象物載置部及び端縁規制部材を示す上面図。
【図１１】第３の変形例における搬送装置を示す上面図(a)、及び側面図(b)。
【図１２】第３の変形例における搬送装置の動作を示す側面図。
【図１３】付勢部材制御部の変形例の構成を示す平面図(a)、及び付勢部材がOFFの状態を示す平面図(b)。
【図１４】付勢部材制御部の他の変形例を示す平面図(a)、及び付勢部材がOFFの状態を示す平面図(b)。
【図１５】本実施形態の搬送装置及び樹脂成形装置を有する樹脂成形ユニットの構成を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明に係る搬送装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法では、成形対象物を成形対象物載置部に載置し、端縁規制部材を該成形対象物載置部の内部の方向に移動させることにより、成形対象物を成形対象物保持部に保持する。このように移動可能な端縁規制部材を用いることにより、成形対象物の外郭寸法にばらつきが生じても、成形対象物を保持することができる。また、端縁規制部材と成形対象物の間の隙間を小さくするように端縁規制部材を移動させることができるため、成形対象物取付部に成形対象物を取り付ける位置がずれることを抑えることができる。
【００１２】
端縁規制部材の形状は特に限定されない。また、成形対象物の種類及び形状も特に限定されない。本発明を適用することができる成形対象物の種類としては半導体ウエハ、回路基板、リードフレーム、ガラス基板、金属基板等が挙げられ、成形対象物の形状としては円形、矩形その他の多角形、楕円形等が挙げられる。
【００１３】
本発明に係る樹脂成形品製造方法はさらに、
前記樹脂成形工程の後に前記第１型と前記第２型を型開きし、前記成形対象物取付部と前記成形対象物載置部の位置を合わせるように前記成形対象物保持部を移動させ、樹脂成形が行われ成形対象物取付部に取り付けられた前記成形対象物を前記成形対象物載置部に載置し、前記端縁規制部材を前記成形対象物載置部の内部の方向に移動させることにより、該成形対象物を該成形対象物保持部に保持する搬出時成形対象物保持工程と、
前記成形対象物保持部を前記成形型の外部に移動させる搬出工程と
を含むことができる。
【００１４】
成形対象物の外郭寸法のばらつきは、上述した加工時に生じる加工誤差の他にも、例えば以下の原因により生じる。第１の原因の例は、成形対象物の熱膨張に起因するものである。樹脂成形の際には樹脂成形が可能な温度に第１型及び第２型が昇温されていることから、成形対象物は樹脂成形の直後には成形前よりも温度が高くなっている。生産効率を高くするためには温度が十分に低下する前に成形対象物取付部から取り外し成形型の外に搬出する必要があることから、成形対象物は搬出時には搬入時よりも熱膨張し、搬入時と搬出時では外郭寸法が異なることとなる。また、成形対象物の材質が異なると熱膨張率が異なることから、成形対象物の外郭寸法も成形対象物の材質によって異なることとなる。第２の原因の例は、以下に述べるオーバーモールドを行う場合に生じる問題が挙げられる。オーバーモールドは、成形対象物よりも外側まで樹脂成形を行うことをいい、樹脂封止されるチップより外側にも配線や入出力端子を設けるファンアウトパッケージングを行う際などに用いられる。オーバーモールドを行った成形対象物は元の形状よりも大きくなるため、成形対象物の外郭寸法が搬入時と搬出時で異なることとなる。本発明に係る搬送装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法によれば、これら第１及び第２の原因の例のいずれにおいても、成形対象物を保持することができ、且つ、成形対象物取付部に成形対象物を取り付ける位置がずれることを抑えることができる。
【００１５】
また、これら第１及び第２の原因の例では成形型への成形対象物の搬入時と成形型からの成形対象物の搬出時で成形対象物の外郭寸法が異なることから、特許文献１に記載の樹脂成形装置では、搬入用の搬送装置（ローダー）とは別に、搬出用の搬送装置（オフローダー）を備えており、樹脂成形装置のコストが上昇する要因となっていた。それに対して本発明に係る搬送装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法では、搬入時と搬出時で同じ搬送装置を用いることができるため、コストを抑えることができる。
【００１６】
本発明に係る搬送装置及び樹脂成形装置において、前記成形対象物保持部はさらに、前記複数の端縁規制部材を前記方向（成形対象物載置部の内部の方向）に付勢する付勢部材を備えることが望ましい。また、本発明に係る樹脂成形品製造方法では、成形対象物を前記成形対象物保持部に保持した状態において、前記複数の端縁規制部材を付勢部材により前記方向に付勢することが望ましい。これにより、成形対象物を成形対象物保持部に保持している間、付勢部材で成形対象物載置部の内部の方向に付勢された複数の端縁規制部材によって成形対象物が保持されるため、成形対象物をより安定して保持することができる。例えば、昇温されている第１型及び第２型に成形対象物保持部及びそれに保持された成形対象物が近づくと、成形対象物保持部及び成形対象物のそれぞれが、それぞれの熱膨張率に応じて膨張する場合がある。そのような場合であっても、複数の端縁規制部材成形対象物載置部の内部の方向に付勢することにより、成形対象物を安定して保持することができる。
【００１７】
本発明に係る搬送装置において、
回動中心の周りに回動する板状の回動部材と、
前記回動部材に、複数の前記端縁規制部材の各々に対して1個ずつ設けられ、該端縁規制部材が挿通され、該端縁規制部材を移動させることができる端縁規制部材案内長孔と、
複数の前記端縁規制部材の各々に対して1個ずつ設けられ、該端縁規制部材が移動可能な方向を、該端縁規制部材と前記回動中心を通過する直線上に規制する端縁規制部材移動規制部と
を備えるという構成を取ることができる。このような搬送装置は、本発明に係る樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法において用いることができる。
【００１８】
これら回動部材、端縁規制部材案内長孔、及び端縁規制部材移動規制部を有する構成によれば、回動中心の周りに回動部材を回動させることにより、端縁規制部材は、端縁規制部材案内長孔内での位置が変化し、それに伴って、回動中心との距離が変化するように、該端縁規制部材と前記回動中心を通過する直線上で移動する。これにより、端縁規制部材を成形対象物載置部の内部の方向、あるいはその反対の方向に移動させることができる。
【００１９】
前記端縁規制部材案内長孔は、該端縁規制部材案内長孔の幅方向の中心を結ぶ幅方向中心線上の1点と前記回動中心との距離が、該1点とは異なる該幅方向中心線上の1点と前記回動中心との距離と異なるという構成を取ることができる。これにより、回動部材の回動によって端縁規制部材が端縁規制部材案内長孔内のこれら2つの点の間で移動すると、これら2つの点では互いに回動中心との距離が異なるため、端縁規制部材が該端縁規制部材と前記回動中心を通過する直線上で移動する。ここで「幅方向」とは、端縁規制部材案内長孔の外縁上のある点と、該点から該端縁規制部材案内長孔の内部を挟んで最短の距離にある該外縁上の他の点とを結ぶ方向をいう。
【００２０】
前記端縁規制部材案内長孔は、前記幅方向中心線上の点と前記回動中心との距離が、該点が該幅方向中心線の一端から他端に向かうに従って増加しているように形成されているという構成を取ることができる。これにより、回動部材を上面視で右回り又は左回りのいずれか一方に回動させてゆくと、端縁規制部材は回動中心に近づくように移動してゆき、反対回りに回動させてゆくと、端縁規制部材は回動中心から遠ざかるように移動してゆく。
【００２１】
前記付勢部材を有する搬送装置及び樹脂成形装置において、さらに、前記付勢部材の作動をON/OFFする付勢部材制御部を備えることが望ましい。また、前記付勢部材を用いた操作を行う樹脂成形品製造方法の前記搬入時成形対象物保持工程（及び前記搬出時成形対象物保持工程）において、前記成形対象物載置部に成形対象物を載置する前に前記付勢部材の作動をOFFにし、該成形対象物載置部に該成形対象物を載置した後に該付勢部材の作動をONにすること望ましい。これにより、成形対象物載置部に成形対象物を載置する際には複数の端縁規制部材が付勢部材によって成形対象物載置部の内部の方向に付勢されることがないため、それら複数の端縁規制部材と成形対象物との間に隙間を確保しながら、成形対象物載置部に成形対象物を載置することができる。
【００２２】
本発明に係る搬送装置及び樹脂成形装置において、前記複数の端縁規制部材の全てが連動して前記方向に移動可能であることが望ましい。また、本発明に係る樹脂成形品製造方法において、前記複数の端縁規制部材を前記方向に移動させる際に、該複数の端縁規制部材の全てを連動させて該方向に移動させることが望ましい。これにより、成形対象物を成形対象物保持部の中央付近に保持することができ、成形対象物取付部への取り付け位置の精度を高くすることができる。
【００２３】
前記複数の端縁規制部材のうちの1つは、前記成形対象物載置部に載置される前記成形対象物に設けられた切り欠き（ノッチ）に対応する位置に設けられていることが望ましい。これにより、切り欠きの位置を該端縁規制部材に合わせて該成形対象物を該成形対象物載置部に載置することで、成形対象物載置部上での成形対象物の向きを定めることができる。
【００２４】
以下、図１〜図１５を用いて、本発明に係る搬送装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法のより具体的な実施形態を説明する。
【００２５】
(1) 本実施形態の搬送装置及び樹脂成形装置の構成
図１に、本発明の一実施形態である搬送装置（搬送機構）２０、及び本発明の一実施形態であって該搬送装置２０を有する樹脂成形装置１０の全体構成を概略図で示す。この樹脂成形装置１０は、圧縮成形を行う装置であって、基盤１１１と、基盤１１１上に立設された4本（図１には2本のみ示すが、奥行き方向にあと2本設けられている）のタイバー１１２と、上下に移動可能なようにタイバー１１２に保持された可動プラテン１２１と、タイバー１１２の上端に固定された固定プラテン１２２と、基盤１１１上に設けられた、可動プラテン１２１を上下動させるトグルリンク１１３とを備える。また、樹脂成形装置１０は、可動プラテン１２１の上面に下型１５２を、固定プラテン１２２の下面に上型１５１を備える。これら上型１５１と下型１５２により１組の成形型１５が構成される。
【００２６】
上型１５１は前記第１型に該当し、下面が成形対象物を保持する成形対象物取付部１５１１となっており、該成形対象物取付部１５１１に気体吸引孔１５１２が設けられている。上型１５１と固定プラテン１２２の間には、上型１５１寄りにヒータ１４２が、固定プラテン１２２寄りに断熱材１４１が、それぞれ設けられている。気体吸引孔１５１２は、上型１５１及びヒータ１４２内に設けられた気体吸引管１５１３を介して、真空ポンプ（図示せず）に接続されている。
【００２７】
下型１５２は前記第２型に該当し、平面形状（上面視）で円形の枠から成る周壁部材１５２１と、周壁部材１５２１の枠内に装入された平面形状で円形の底面部材１５２２と、周壁部材１５２１の下面に設けられた弾性部材１５２３を有する。これら周壁部材１５２１及び底面部材１５２２で囲まれた空間が、樹脂材料が供給されるキャビティＣとなる。なお、周壁部材１５２１の枠及び底面部材１５２２の形状は、製造する樹脂成形品の形状に応じて、円形以外の長方形等の形状とすることができる。下型１５２と可動プラテン１２１の間には、下型１５２寄りにヒータ１４２が、可動プラテン１２１寄りに断熱材１４１が、それぞれ設けられている。ここまでに述べた各構成要素により、圧縮成形装置１０１が構成される。
【００２８】
搬送装置２０は、成形型１５が型開きした状態において、上型１５１と下型１５２の間（成形型１５内）の、成形対象物取付部１５１１の直下の位置と、成形型１５の外の間で、横方向に移動可能なものであって、上面に成形対象物Ｓを載置する成形対象物載置部２５を有する。本実施形態では、成形対象物載置部２５に載置する成形対象物Ｓは、板状であって円形の基板とする。
【００２９】
図２〜図５を用いて、搬送装置２０の構成を詳しく説明する。
【００３０】
図２(a)は搬送装置２０の全体の上面図、(b)は(a)に示したA-A'縦断面における図、(c)は(a)に示したB-B'縦断面における図である。搬送装置２０は、ベースフレーム２１と、昇降フレーム２２と、回動フレーム（回動部材）２３と、非回動フレーム２４と、成形対象物載置部２５と、昇降機構２６と、端縁規制部材２７とを有する。本実施形態では、端縁規制部材２７は10個設けられており、うち9個は円周上に等間隔（40°間隔）で配置されている。残りの1個の端縁規制部材２７Ａは、前記9個のうち隣接する2個の端縁規制部材２７の間であって、前記円周よりもわずかに内側に配置されている。なお、ここで示した端縁規制部材２７の個数は一例であって、これには限定されない。昇降フレーム２２、回動フレーム２３、非回動フレーム２４及び成形対象物載置部２５は、下からこの順で重ねて設けられており、いずれも平面形状の外郭が同じ大きさの円形である。昇降フレーム２２はベースフレーム２１の上に設けられている。
【００３１】
ベースフレーム２１は、平面形状の１方向（図２(a)の横方向）に、昇降フレーム２２等の外郭の円よりも外側まで延びている形状を有している。ベースフレーム２１の該１方向の両端の下面には、該１方向に直交する方向（図２(a)の縦方向、(b)の紙面に垂直な方向）に延びる１対の凸状レール２１１が設けられている。樹脂成形装置１０には、この凸状レール２１１に対応するレール１６（図２では図示せず。後述の図７参照。）が設けられており、搬送装置２０の全体はこれらのレールに案内されて成形型１５内と成形型１５外の間を移動する。
【００３２】
図３(a)に昇降フレーム２２の上面図を、図３(b)に回動フレーム２３の上面図を、それぞれ示す。昇降フレーム２２の上面の中心には軸体２２１が突出している。回動フレーム２３の中心には軸体２２１を挿通する孔２３１が設けられており、回動フレーム２３はこの軸体２２１を回動中心として回動する。
【００３３】
昇降フレーム２２には、端縁規制部材案内凹部２２２が10個設けられており、うち9個は、昇降フレーム２２の外郭よりもやや内側に、外郭の円周に沿って40°間隔で設けられている（図２(c)、図３(a)）。残りの1個の端縁規制部材案内凹部２２２Ａは、前記9個のうち隣接する2個の端縁規制部材案内凹部２２２の間であって、該9個の端縁規制部材案内凹部２２２よりも昇降フレーム２２のわずかに内側に配置されている。端縁規制部材案内凹部２２２Ａを配置する円周方向の位置は、成形対象物を成形型に取り付ける際に、成形対象物に設けられた切り欠き（ノッチ）を配置したい位置（切り欠きを向けたい方向）に合わせて任意に定めればよい。1個の端縁規制部材案内凹部２２２（端縁規制部材案内凹部２２２Ａを含む）には、1個の端縁規制部材２７が有する円筒状の端縁規制部材収容部２７２（後述）の下面付近が保持される。端縁規制部材案内凹部２２２は、回動中心と交わる直線（図３(a)中の一点鎖線）が延びる方向の両端の距離が、端縁規制部材収容部２７２の直径よりも大きく設定されている。また、端縁規制部材収容部２７２が前記直線に垂直な方向にはほとんど移動することなく且つ該直線の方向には移動可能なように、端縁規制部材案内凹部２２２の前記直線に垂直な方向の幅は、前記距離よりも短く、且つ端縁規制部材収容部２７２の直径よりもわずかに大きく設定されている。これにより、端縁規制部材２７は、端縁規制部材案内凹部２２２に案内されて、前記直線が延びる方向に移動するように規制される。この端縁規制部材案内凹部２２２は、前述の端縁規制部材移動規制部に該当する。
【００３４】
回動フレーム２３は板状であって、端縁規制部材案内長孔２３２が10個設けられており、うち9個は回動フレーム２３の外郭よりもやや内側に、外郭の円周に沿って40°間隔で設けられている（図３(b)）。残りの1個の端縁規制部材案内長孔２３２Ａは、前記9個のうち隣接する2個の端縁規制部材案内長孔２３２の間であって、該9個の端縁規制部材案内長孔２３２よりも回動フレーム２３のわずかに内側に配置されている。各端縁規制部材案内長孔２３２には、昇降フレーム２２の端縁規制部材案内凹部２２２に保持される端縁規制部材２７が1つずつ挿通され、うち端縁規制部材案内長孔２３２Ａには端縁規制部材２７Ａが挿通される。端縁規制部材案内長孔２３２は、回動中心と交わる直線が延びる方向に、端縁規制部材収容部２７２の直径よりもわずかに大きい幅を有する。端縁規制部材案内長孔２３２のうち、挿通される端縁規制部材２７が端縁規制部材案内長孔２３２の長手方向に移動する間に端縁規制部材本体２７１が描く軌跡（図３(b)中の太線）を「幅方向中心線」と規定する。この幅方向中心線の左端から右端（ここで左右は、端縁規制部材案内長孔２３２が回動中心よりも図３(b)でいう直上の位置にある場合で規定）に向かって、回動フレーム２３の回動中心（孔２３１の中心）との距離（端縁規制部材案内長孔２３２の左端ではr1、右端ではr2とする。また、端縁規制部材案内長孔２３２の左端を「r1端」、右端を「r2端」とする。）が減少してゆく（従ってr1>r2）ように、端縁規制部材案内長孔２３２は該回動中心を中心とする円の接線方向に対して傾斜して設けられている。端縁規制部材案内長孔２３２Ａを除く9個の端縁規制部材案内長孔２３２は、同じ形状且つ接線方向に対して同じ傾斜で設けられている。端縁規制部材案内長孔２３２Ａは、幅方向中心線の左端から右端（定義は他の端縁規制部材案内長孔２３２の場合と同じであって、図３(b)に描かれた端縁規制部材案内長孔２３２Ａの位置では右端から左端）に向かって、回動フレーム２３の回動中心との距離がr3からr4に減少してゆく（r3>r4、r1>r3、r2>r4）ように、接線方向に対して傾斜している。端縁規制部材案内長孔２３２Ａの左端を「r3端」、右端を「r4端」とする。
【００３５】
このような構成により、回動フレーム２３を上面視で左回り（以下、「左回り」及び「右回り」は上面視で規定）に回動させると、各端縁規制部材２７の位置は端縁規制部材案内長孔２３２内のr1端側からr2端側（端縁規制部材案内長孔２３２Ａではr3端側からr4端側）に移動し、それによって端縁規制部材２７（２７Ａ）と回動中心との距離が小さくなってゆき、成形対象物載置部２５の内部の方向（回動中心がある方向）に移動する（図４(a)）。一方、回動フレーム２３を右回りに回動させると、各端縁規制部材２７の位置は端縁規制部材案内長孔２３２内のr2端側からr1端側（端縁規制部材案内長孔２３２Ａではr4端側からr3端側）に移動し、それによって端縁規制部材２７（２７Ａ）と回動中心との距離が大きくなってゆき、成形対象物載置部２５の外部の方向に移動する（図４(b)）。ここで、端縁規制部材案内長孔２３２Ａを除く9個の端縁規制部材案内長孔２３２が同じ形状且つ接線方向に対して同じ傾斜で設けられていることにより、これら成形対象物載置部２５の内部の方向及び外部の方向への移動中には、端縁規制部材２７Ａを除く9個の端縁規制部材２７の間で回動中心との距離が等しい状態が維持される。端縁規制部材２７Ａは、その他の端縁規制部材２７よりも回動中心との距離が近くなるように移動する。
【００３６】
昇降フレーム２２には、回動フレーム２３を左回りに回動させる方向に付勢するトーションばね２３４が設けられている。これにより、端縁規制部材２７は、成形対象物載置部２５の内部の方向に付勢される。これらトーションばね２３４及び回動フレーム２３は、上記付勢部材に該当する。なお、付勢部材はトーションばねには限定されず、回動フレーム２３を左回りに回動させるエアシリンダやサーボモータ等を用いることもできる。
【００３７】
回動フレーム２３の外縁には切り欠き２３５が1箇所設けられている。また、昇降フレーム２２の外縁には、ストッパ２２５が設けられている。ストッパ２２５はバネによって切り欠き２３５側に付勢されており、回動フレーム２３を右回りに一杯回動させたときに切り欠き２３５に係合する位置に設けられている。前述のように回動フレーム２３はトーションばね２３４によって左回りに回動させる（すなわち、端縁規制部材２７を成形対象物載置部２５の内部の方向に移動させる）方向に付勢されているが、切り欠き２３５にストッパ２２５を係合させることにより、回動フレーム２３を右回りに一杯回動させた（すなわち、端縁規制部材２７を成形対象物載置部２５の外部の方向に移動させた）状態で停止させることができる。そして、係合させたストッパ２２５を切り欠き２３５から外すことにより、トーションばね２３４の作用により回動フレーム２３が左回りに回動する。これらストッパ２２５及び切り欠き２３５は、付勢部材の作動をON/OFFする付勢部材制御部に該当する。ストッパ２２５の位置や向きは特に限定されない。
【００３８】
非回動フレーム２４及び成形対象物載置部２５にはそれぞれ、昇降フレーム２２の端縁規制部材案内凹部２２２に対応する位置に、該端縁規制部材案内凹部２２２と同じ平面形状を有する端縁規制部材通過孔２４２及び２５２が設けられている（図２(c)）。
【００３９】
昇降機構２６は、ベースフレーム２１の上面に設けられており、昇降フレーム２２を上昇及び下降させる機構である。昇降フレーム２２の上昇及び下降に伴って、昇降フレーム２２の上に設けられた回動フレーム２３、非回動フレーム２４及び成形対象物載置部２５も上昇及び下降する。
【００４０】
端縁規制部材２７は、図５に示すように、端縁規制部材本体２７１と、前述した円筒状の端縁規制部材収容部２７２と、弾性部材２７３を有する。端縁規制部材本体２７１は、端縁規制部材収容部２７２の円筒よりも径が小さい円柱状の部材である。弾性部材２７３は、端縁規制部材本体２７１の下端を支持し、端縁規制部材収容部２７２内の底部に設けられている。端縁規制部材本体２７１の上端が押圧されると、弾性部材２７３が圧縮され、該上端が下降する。この押圧が解除されると、弾性部材２７３が伸長し、該上端が元の位置に戻る。端縁規制部材本体２７１の上端がこの元の位置にあるとき、該上端は端縁規制部材通過孔２５２を通過して成形対象物載置部２５の上面よりも上側まで突出している。一方、端縁規制部材収容部２７２の上端は、成形対象物載置部２５の上面よりも下側に位置している。成形対象物載置部２５と端縁規制部材２７を合わせたものが、成形対象物保持部２８を構成する。
【００４１】
昇降フレーム２２には、成形型１５内において搬送装置２０と上型１５１の横方向の位置を合わせるための、4個の板状の位置決め具２２４１〜２２４４が設けられている。位置決め具２２４１〜２２４４は、上型１５１の下方から搬送装置２０を上昇させたときに、上型１５１の4つの側面にそれぞれ位置決め具２２４１〜２２４４が1個ずつ当接するように配置されている。
【００４２】
(2) 本実施形態の搬送装置及び樹脂成形装置の動作並びに本実施形態の樹脂成形品製造方法
次に、図６〜図８を用いて、搬送装置２０及び樹脂成形装置１０の動作、並びに本発明に係る樹脂成形品製造方法の実施形態を説明する。なお、図７及び図８では、図１の右方向から樹脂成形装置１０を見た図を示した。
【００４３】
まず、ベースフレーム２１に設けられた凸状レール２１１と係合する樹脂成形装置１０に設けられたレール１６に沿って、搬送装置２０を成形対象物の着脱位置に移動させる。
【００４４】
次に、回動フレーム２３を右回りに回動させ、ストッパ２２５を切り欠き２３５に係合させる。これにより、端縁規制部材２７は成形対象物載置部２５の外部側に移動する（図６(a-1), (a-2)）。この状態で、円板状の成形対象物（半導体ウエハ）Ｓを、成形対象物載置部２５の上面のうち9個の端縁規制部材２７で囲まれた領域の内側に配置する。ここで、成形対象物Ｓの外縁には切り欠きＳＣが1箇所設けられており、この切り欠きＳＣの位置を端縁規制部材２７Ａの位置に合わせるようにする（図６(a-1)）。この状態では、各端縁規制部材２７（端縁規制部材２７Ａを含む）は成形対象物Ｓの外縁に当接していない。
【００４５】
次に、ストッパ２２５を切り欠き２３５から外し、トーションばね２３４の作用により、回動フレーム２３を左周りに回動する。これにより、10個の端縁規制部材２７が連動して成形対象物載置部２５の内部の方向に移動する。そして、端縁規制部材２７の端縁規制部材本体２７１が成形対象物Ｓの外縁に当接することにより、回動フレーム２３の回動が停止し（従って、回動フレーム２３は必ずしも左周りに一杯に回動するとは限らない）、成形対象物Ｓが成形対象物載置部２５に保持される（図６(b-1), (b-2)）。このように、複数個の端縁規制部材２７が連動して成形対象物載置部２５の外縁に当接することにより、成形対象物Ｓは成形対象物載置部２５の中央に保持され、成形対象物Ｓの位置ずれを抑えることができる。また、たとえ加工誤差等によって成形対象物Ｓの外郭寸法にばらつきが存在しても、端縁規制部材２７が移動することによって成形対象物Ｓを保持することができ、取り付け位置のずれを抑えることができる。さらに、端縁規制部材２７のうち切り欠きＳＣの位置に配置された端縁規制部材２７Ａは該切り欠きＳＣに係合し、これによって成形対象物Ｓの周方向の位置も所定通りとなり、成形対象物載置部２５上での成形対象物Ｓの向きを定めることができる。以上で搬入時成形対象物保持工程が完了する。
【００４６】
このようにして成形対象物Ｓを成形対象物載置部２５に載置した後、レール１６に沿って、成形対象物載置部２５と上型１５１の成形対象物取付部１５１１の位置を合わせるように、搬送装置２０を上型１５１と下型１５２の間に移動させる（図７(a)）。
【００４７】
この位置で、成形対象物載置部２５を含む昇降フレーム２２よりも上側の部分を昇降機構２６により上昇させ、成形対象物載置部２５に載置された成形対象物Ｓを成形対象物取付部１５１１に当接させる（図７(b)）。その際、端縁規制部材本体２７１の上端は、成形対象物Ｓよりも前に成形対象物取付部１５１１に当接し、その後さらに昇降機構２６により上昇すると弾性部材２７３が圧縮されることにより、成形対象物載置部２５の上面との相対的な位置が下降する。そのため、成形対象物Ｓは、端縁規制部材２７に妨げられることなく成形対象物取付部１５１１に当接させることができる。
【００４８】
このように成形対象物Ｓが成形対象物取付部１５１１に当接した状態で、真空ポンプにより気体吸引孔１５１２から気体を吸引することにより、成形対象物は成形対象物取付部１５１１に取り付けられる。気体吸引孔１５１２からの気体の吸引は、後述する停止時まで継続する。そして、回動フレーム２３を右回りに回動させて端縁規制部材２７を成形対象物載置部２５の外側の方向に移動させ、昇降機構２６により成形対象物載置部２５等を下降させた後、搬送装置２０を成形型１５の外に移動させる（図７(c)）。以上で成形対象物搬入工程が完了する。
【００４９】
次に、図示せぬ離型フィルム張設機構により、下型１５２のキャビティＣの内面に離型フィルムＦを張設したうえで、図示せぬ樹脂材料供給機構により、熱硬化性樹脂を含む樹脂材料ＰをキャビティＣ内に供給する（図７(d)）。これら離型フィルム張設機構及び樹脂材料供給機構は、従来の樹脂成形装置で広く用いられているものであり、詳細な説明を省略する。樹脂材料Ｐは、ヒータ１４２から供給される熱によって、キャビティＣ内で溶融する。
【００５０】
キャビティＣ内の樹脂材料Ｐが溶融したところで、トグルリンク１１３により可動プラテン１２１を上昇させる。これにより、可動プラテン１２１上の下型１５２が上型１５１に当接して該上型１５１を押し、上型１５１が固定プラテン１２２に固定されていることから、上型１５１と下型１５２が型締めされる（図７(e)）。この状態で所定時間が経過すると、樹脂材料Ｐが硬化し、成形対象物Ｓの表面に樹脂がモールドされた樹脂成形品ＰＳが得られる。以上で樹脂成形工程が完了する。
【００５１】
その後、トグルリンク１１３によって可動プラテン１２１を下降させることにより、成形型１５を型開きする（図７(f)）。続いて、成形対象物載置部２５と上型１５１の成形対象物取付部１５１１の位置を合わせるように、搬送装置２０を上型１５１と下型１５２の間に搬送する（図８(a)）。そして、回動フレーム２３を右方向に回動させることで端縁規制部材２７を成形対象物載置部２５の外部側に移動させた状態（図６(a-1), (a-2)）で、成形対象物載置部２５等を昇降機構２６により上昇させ、成形対象物載置部２５の上面を樹脂成形品ＰＳの下面に当接させる（図８(b)）。次に、気体吸引孔１５１２からの気体の吸引を停止し、成形対象物載置部２５等を昇降機構２６により下降させる。
【００５２】
さらに、回動フレーム２３を左周りに回動させることにより、端縁規制部材２７を成形対象物載置部２５の内部側に移動させ（図６(b-1), (b-2)）、樹脂成形品ＰＳの外縁に当接させる。これにより、成形対象物Ｓの表面に樹脂がモールドされた樹脂成形品ＰＳが成形対象物保持部２８に保持されている状態となる。このとき、樹脂成形品ＰＳが未だ十分に冷却されておらず、樹脂成形前の成形対象物Ｓよりも外郭寸法が大きくなっていることがあるが、そのような場合にも、端縁規制部材２７が移動することによって樹脂成形品ＰＳを保持することができる。同様に、成形対象物Ｓの外郭よりも外側にまで樹脂がモールドされたオーバーモールドの樹脂成形品ＰＳも、端縁規制部材２７が移動することによって保持することができる。以上で搬出時成形対象物保持工程が完了する。
【００５３】
その後、搬送装置２０を成形型１５の外に移動させる（搬出工程）。そして、回動フレーム２３を回動フレーム２３を右方向に回動させることで端縁規制部材２７を成形対象物載置部２５の外部側に移動させた状態で、樹脂成形品ＰＳを成形対象物載置部２５から取り外すことにより、1個の樹脂成形品ＰＳの製造が終了する。
【００５４】
ここまでに述べた搬送装置２０の動作、具体的には回動フレーム２３の回動、レール１６に沿った移動、及び昇降機構２６による成形対象物載置部２５等の昇降は、動力を用いて自動で行ってもよいし、作業者が手動で行ってもよい。
【００５５】
(3) 本実施形態の搬送装置の変形例
図９〜図１１を用いて、本実施形態の搬送装置の変形例を示す。これら変形例の搬送装置はいずれも、上記実施形態の樹脂成形装置１０において搬送装置２０の代わりに用いることができるものである。
【００５６】
図９に、第１の変形例の搬送装置２０Ｂの上面図を(a)に、縦断面図を(b)に、それぞれ示す。本変形例における搬送装置２０Ｂは、回動フレーム及び非回動フレームは有さず、昇降フレーム２２Ｂの上に直接、円形の成形対象物載置部２５Ｂが設けられている。成形対象物載置部２５Ｂには端縁規制部材収容孔２５２Ｂが9個設けられており、各端縁規制部材収容孔２５２Ｂに1つずつ、端縁規制部材２７Ｂ及び端縁規制部材移動部２７５Ｂが設けられている。端縁規制部材２７Ｂと端縁規制部材移動部２７５Ｂは連結棒２７６Ｂで連結されている。端縁規制部材移動部２７５Ｂは、端縁規制部材２７Ｂを成形対象物載置部２５Ｂの内部（中央）側及び外部側に移動させる。各端縁規制部材移動部２７５Ｂは連動して、成形対象物載置部２５Ｂの中心と各端縁規制部材２７Ｂの距離が等しくなるように、制御部（図示せず）により制御される。また、搬送装置２０Ｂは、前述の搬送装置２０に設けられているものと同様のベースフレーム２１Ｂと、昇降フレーム２２Ｂを昇降させる昇降機構２６Ｂを有する。なお、この例では省略されているが、上記実施形態における端縁規制部材２７Ａと同様に、成形対象物の切れ込みに対応した位置に端縁規制部材及び端縁規制部材収容孔を設けてもよい。また、端縁規制部材移動部２７５Ｂは、エアシリンダやサーボモータ等であってもよい。
【００５７】
搬送装置２０Ｂの詳細な動作は、端縁規制部材２７Ｂが端縁規制部材移動部２７５Ｂによって成形対象物載置部２５Ｂの内部側及び外部側に移動する点を除いて、前述の搬送装置２０と同様である。
【００５８】
図１０に、第２の変形例の搬送装置２０Ｃにつき、成形対象物載置部２５Ｃ及び端縁規制部材２７Ｃの上面を示す。
【００５９】
成形対象物載置部２５Ｃは上面視で正方形の形状を有し、該正方形の4辺よりも内側にそれぞれ、端縁規制部材通過孔２５２Ｃが2個ずつ並んで、合計8個設けられている。各端縁規制部材通過孔２５２Ｃにはそれぞれ1個ずつ、端縁規制部材２７Ｃが通過している。端縁規制部材２７Ｃは、前述のものと同様の端縁規制部材本体、端縁規制部材収容部及び弾性部材から成る。端縁規制部材通過孔２５２Ｃは、端縁規制部材収容部２７２Ｃの直径よりも、前記正方形の中央から辺に向かって延び、それに垂直な方向にはほぼ同じ大きさを有するという平面形状を呈している。
【００６０】
各端縁規制部材通過孔２５２Ｃにはそれぞれ、第１の変形例の端縁規制部材移動部２７５Ｂと同様の端縁規制部材移動部２７５Ｃが設けられている。
【００６１】
第２の変形例の樹脂成形装置は、正方形の板状の成形対象物Ｓ’を成形対象物載置部２５Ｃに載置したうえで、端縁規制部材２７Ｃを成形対象物載置部２５Ｃの内部の方向に移動させ、成形対象物Ｓ’の外縁を端縁規制部材２７Ｃで保持した状態で、成形型への成形対象物Ｓ’の搬入及び成形型からの樹脂成形品の搬出を行う。搬送装置２０Ｃの詳細な動作は、端縁規制部材２７Ｃの動作が第１の変形例の搬送装置２０Ｂと同様である点を除いて、前述の搬送装置２０の動作と同様である。
【００６２】
図１１に、第３の変形例の搬送装置２０Ｄの上面図を(a)に、縦断面図を(b)に、それぞれ示す。本変形例における搬送装置２０Ｄは、昇降フレーム２２Ｄの上に直接、円形の成形対象物載置部２５Ｄが設けられている。昇降フレーム２２Ｄの下には、前述の搬送装置２０に設けられているものと同様のベースフレーム２１Ｄと、昇降フレーム２２Ｄを昇降させる昇降機構２６Ｄが設けられている。成形対象物載置部２５Ｄの上面には、可撓性のピンから成る端縁規制部材２７Ｄが4個設けられている。端縁規制部材２７Ｄは、円形の成形対象物Ｓよりもわずかに径が大きい円周上に等間隔（90°毎）に配置されている。各端縁規制部材２７Ｄにはそれぞれ、昇降フレーム２２に載置され成形対象物載置部２５Ｄの外側に配置されたクランパ２９が設けられている。クランパ２９は、成形対象物載置部２５Ｄの上面に平行な軸を中心に回動する棒状材であって、該上面への射影が成形対象物載置部２５Ｄの中心を向くように配置されている。成形対象物載置部２５Ｄの一端は、回動によって下降すると端縁規制部材２７Ｄに接触し、端縁規制部材２７Ｄを成形対象物載置部２５Ｄの中心に向かって押し出すようになっている。
【００６３】
第３の変形例における搬送装置２０Ｄにより成形対象物Ｓを搬送する際には、成形対象物載置部２５Ｄに円形の成形対象物Ｓを載置したうえで、クランパ２９を回動させることにより、成形対象物載置部２５Ｄの中心側のクランパ２９の端部が降下し、可撓性のピンから成る端縁規制部材２７Ｄを該中心側に向かって押し出す（図１２）。これにより、成形対象物Ｓの端部に端縁規制部材２７Ｄが押しつけられ、成形対象物Ｓが成形対象物載置部２５Ｄに固定される。ここで、4個のクランパ２９を同期させることにより、成形対象物Ｓを成形対象物載置部２５Ｄの中央に配置することができる。
【００６４】
本発明は上記実施形態及び変形例には限定されない。例えば、上記実施形態では圧縮成形装置を用いる場合を例として説明したが、圧縮成形装置の代わりに移送（トランスファー）成形装置を用いても、上記と同様の搬送装置２０、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄを備える構成を取ることができる。
【００６５】
搬送装置２０に設けられたストッパ２２５及び切り欠き２３５から成る付勢部材制御部の代わりに、以下のストッパ２２５Ａ及び溝２２６Ａを用いることができる。図１３(a)に、ストッパ２２５Ａ及び溝２２６Ａを設けた搬送装置２０につき、昇降フレーム２２の上面の一部を拡大して示す。ストッパ２２５Ａは回動フレーム２３に取り付けられており、回動フレーム２３の中心から外に向かう方向に延びるレバー２２５１Ａと、レバー２２５１Ａに接続されたローラ２２５２Ａと、レバー２２５１Ａを昇降フレーム２２の中心の方向に付勢する弾性部材２２５３Ａを有する。溝２２６Ａは昇降フレーム２２に設けられており、昇降フレーム２２の中心の方向及びそれに垂直な方向にそれぞれ延びるようにＬ字状の形状を有している。ローラ２２５２Ａは溝２２６Ａに嵌められている。
【００６６】
この構成において回動フレーム２３を回動させると、それに伴ってレバー２２５１Ａも回動する。そして、回動フレーム２３を右回りに一杯回動させたとき、すなわち端縁規制部材２７をいちばん外側まで移動させたとき、ローラ２２５２Ａは、溝２２６Ａのうち昇降フレーム２２の中心の方向に延びる部分の、外側の端に達する。すると、レバー２２５１Ａが弾性部材２２５３Ａで付勢されていることにより、ローラ２２５２Ａが溝２２６Ａの当該部分に引き込まれる（図１３(b)）。そうすると、回動フレーム２３の回動は、溝２２６Ａの当該部分によって規制され、回動フレーム２３が固定される。これにより、端縁規制部材２７はいちばん外側の位置で固定される。そして、レバー２２５１Ａを外側の方向に引くと、回動の規制が解除されたうえで、トーションばね２３４の作用によって回動フレーム２３が左回りに回動し、端縁規制部材２７が内側に移動して成形対象物Ｓの端縁を規制する。
【００６７】
あるいは、図１４(a)に示すように、軸の周りに回動可能なレバー２２５１Ｂを回動フレーム２３に取り付け、レバー２２５１Ｂにフック２２５２Ｂを設け、昇降フレーム２２に溝２２６Ｂを設けた付勢部材制御部を用いることもできる。この場合、回動フレーム２３を右回りに一杯回動させたときに、レバー２２５１Ｂを軸の周りに回動させることによりフック２２５２Ｂを溝２２６Ｂに嵌め（図１４(a)）、それによって回動フレーム２３の回動を規制する。
【００６８】
また、上記実施形態では、1組の圧縮成形装置に対して搬送装置を1台設けた例を示したが、複数組の圧縮成形装置で1台の搬送装置を共用するようにしてもよい。成形型への成形対象物の取り付けと、成形型からの樹脂成形品の搬出の間には、樹脂成形を行うための時間を要するため、この樹脂成形を行うための時間を利用して、他の圧縮成形装置の成形型に成形対象物を取り付けたり、他の成形型から樹脂成形品を搬出することが可能である。これにより、搬送装置に要するコストを抑えることができる。
【００６９】
複数組の圧縮成形装置で1台の搬送装置を共用する例として、以下に述べる図１５に示す樹脂成形ユニット３０が挙げられる。この樹脂成形ユニット３０は、1台の材料受入モジュール３１、複数台の成形モジュール３２、及び1台の払出モジュール３３を有する。材料受入モジュール３１は、樹脂材料Ｐ及び成形対象物Ｓを外部から受け入れて成形モジュール３２に送出するための装置であって、成形対象物受入部３１１と樹脂材料供給装置３１２を有する。1台の成形モジュール３２は、上記実施形態の樹脂成形装置１０のうち圧縮成形装置１０１を有する。図１５には成形モジュール３２が3台示されているが、樹脂成形ユニット３０には成形モジュール３２を任意の台数設けることができる。また、樹脂成形ユニット３０を組み上げて使用を開始した後であっても、成形モジュール３２を増減することができる。払出モジュール３３は、成形モジュール３２で製造された樹脂成形品ＰＳを成形モジュール３２から搬入して保持しておくものであって、樹脂成形品保持部３３１を有する。搬送装置２０は、樹脂成形ユニット３０内に設けられた搬送レール３５に沿って、材料受入モジュール３１内の成形対象物受入部３１１から成形モジュール３２内の成形型の成形対象物取付部に成形対象物を搬入すると共に、成形モジュール３２で成形された樹脂成形品を成形対象物取付部から払出モジュール３３内の樹脂成形品保持部３３１に搬出する。その他、樹脂成形ユニット３０には、樹脂材料Ｐを材料受入モジュール３１内の樹脂材料供給装置３１２から成形モジュール３２内の成形型のキャビティに搬送する樹脂材料搬送装置が設けられる。
【符号の説明】
【００７０】
１０…樹脂成形装置
１０１…圧縮成形装置
１１１…基盤
１１２…タイバー
１１３…トグルリンク
１２１…可動プラテン
１２２…固定プラテン
１４１…断熱材
１４２…ヒータ
１５…成形型
１５１…上型（第１型）
１５１１…成形対象物取付部
１５１２…気体吸引孔
１５１３…気体吸引管
１５２…下型（第２型）
１５２１…周壁部材
１５２２…底面部材
１５２３…弾性部材
１６…レール
２０、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ…搬送装置（搬送機構）
２１、２１Ｂ、２１Ｄ…ベースフレーム
２１１…凸状レール
２２…昇降フレーム
２２１…軸体
２２２、２２２Ａ…端縁規制部材案内凹部
２２４１、２２４２、２２４３、２２４４…位置決め具
２２５、２２５Ａ…ストッパ
２２５１Ａ、２２５１Ｂ…レバー
２２５２Ａ…ローラ
２２５２Ｂ…フック
２２５３Ａ…弾性部材
２２６Ａ、２２６Ｂ…溝
２２Ｂ、２２Ｄ…昇降フレーム
２３…回動フレーム
２３１…孔
２３２、２３２Ａ…端縁規制部材案内長孔
２４…非回動フレーム
２４２…端縁規制部材通過孔
２５、２５Ｂ、２５Ｃ、２５Ｄ…成形対象物載置部
２５２、２５２Ｃ…端縁規制部材通過孔
２５２Ｂ…端縁規制部材収容孔
２６、２６Ｂ、２６Ｄ…昇降機構
２７、２７Ａ、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｄ…端縁規制部材
２７１…端縁規制部材本体
２７２、２７２Ｃ…端縁規制部材収容部
２７３…弾性部材
２７５Ｂ、２７５Ｃ…端縁規制部材移動部
２７６Ｂ…連結棒
２８…成形対象物保持部
２９…クランパ
３０…樹脂成形ユニット
３１…材料受入モジュール
３１１…成形対象物受入部
３１２…樹脂材料供給装置
３２…成形モジュール
３３…払出モジュール
３３１…樹脂成形品保持部
３５…搬送レール
Ｃ…キャビティ
Ｆ…離型フィルム
Ｐ…樹脂材料
ＰＳ…樹脂成形品
Ｓ…成形対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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