(57)【要約】【課題】フィルタ機能の向上と流路抵抗の低減とを共に実現する。【解決手段】共通流路の供給口に設けられた第１フィルタ６１には、供給方向（貯留室から供給口にインクが供給される際に第１フィルタ６１をインクが通過する方向）Ｄ１に沿った複数の第１貫通孔７１が形成されている。共通流路の排出口に設けられた第２フィルタには、排出方向（排出口から貯留室にインクが排出される際に第２フィルタをインクが通過する方向）に沿った複数の第１貫通孔が形成されている。第１フィルタ６１及び第２フィルタは、１つのフィルタ部材から構成されており、断面構成が互いに同じである。供給方向Ｄ１と排出方向とは互いに逆である。各第１貫通孔７１は、供給方向Ｄ１の上流端の開口７１ｘが、供給方向Ｄ１の下流端の開口７１ｙよりも小さい。各第２貫通孔は、排出方向の上流端の開口が、排出方向の下流端の開口よりも大きい。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルをそれぞれ含む複数の個別流路と、
前記複数の個別流路と液体を貯留する貯留室とに連通する共通流路であって、前記貯留室の出口と前記複数の個別流路との間に配置された供給部分と、前記複数の個別流路と前記貯留室の入口との間に配置された帰還部分とを含む共通流路と、
前記供給部分に設けられた第１フィルタであって、前記貯留室から前記供給部分に液体が供給される際に前記第１フィルタを液体が通過する方向である供給方向に沿った複数の第１貫通孔が形成された第１フィルタと、
前記帰還部分に設けられた第２フィルタであって、前記帰還部分から前記貯留室に液体が排出される際に前記第２フィルタを液体が通過する方向である排出方向に沿った複数の第２貫通孔が形成された第２フィルタと、を備え、
前記複数の第１貫通孔は、それぞれ、前記供給方向の上流端の開口が、前記供給方向の下流端の開口よりも小さく、
前記複数の第２貫通孔は、それぞれ、前記排出方向の上流端の開口が、前記排出方向の下流端の開口よりも大きいことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１フィルタ及び前記第２フィルタは、１つのフィルタ部材から構成されていることを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１フィルタ及び前記第２フィルタは、それぞれ、電鋳フィルタであることを特徴とする、請求項１又は２項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記複数の第１貫通孔は、それぞれ、前記供給方向に沿った断面が台形状であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記複数の第２貫通孔は、それぞれ、前記排出方向に沿った断面が台形状であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記複数の第１貫通孔のうち、前記供給部分の周縁に設けられる第１貫通孔は、前記供給部分の中央に設けられる第１貫通孔よりも、径が大きいことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記複数の第２貫通孔のうち、前記帰還部分の周縁に設けられる第２貫通孔は、前記帰還部分の中央に設けられる第２貫通孔よりも、径が大きいことを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記複数の第１貫通孔のうち、前記供給部分の中央に設けられる複数の第１貫通孔は、前記供給部分の周縁に設けられる複数の第１貫通孔よりも、疎に配置されていることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記複数の第２貫通孔のうち、前記帰還部分の中央に設けられる複数の第２貫通孔は、前記帰還部分の周縁に設けられる複数の第２貫通孔よりも、疎に配置されていることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記複数の第１貫通孔は、前記供給部分の長手方向及び前記供給部分の幅方向に沿って配列され、
前記複数の第１貫通孔における前記供給部分の長手方向の間隔が、前記複数の第１貫通孔における前記供給部分の幅方向の間隔よりも小さいことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記複数の第２貫通孔は、前記帰還部分の長手方向及び前記帰還部分の幅方向に沿って配列され、
前記複数の第２貫通孔における前記帰還部分の長手方向の間隔が、前記複数の第２貫通孔における前記帰還部分の幅方向の間隔よりも小さいことを特徴とする、請求項１〜５、１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記第１フィルタの外縁を前記供給方向の上流及び下流から支持する第１支持部材をさらに備え、
前記第１支持部材は、前記第１フィルタの外縁における前記供給方向の上流の面と接触する第１上流部と、前記第１フィルタの外縁における前記供給方向の下流の面と接触する第１下流部とを含み、
前記第１下流部における前記第１フィルタの外縁から前記第１フィルタの中央に向かう方向の突出量は、前記第１上流部における前記突出量よりも大きいことを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記第２フィルタの外縁を前記排出方向の上流及び下流から支持する第２支持部材をさらに備え、
前記第２支持部材は、前記第２フィルタの外縁における前記排出方向の上流の面と接触する第２上流部と、前記第２フィルタの外縁における前記排出方向の下流の面と接触する第２下流部とを含み、
前記第２下流部における前記第２フィルタの外縁から前記第２フィルタの中央に向かう方向の突出量は、前記第２上流部における前記突出量よりも大きいことを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記共通流路は、
前記供給部分を含み、前記複数の個別流路の入口に接続する供給流路と、
前記帰還部分を含み、前記複数の個別流路の出口に接続する帰還流路と、を含むことを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記複数の個別流路及び前記共通流路が形成され、前記共通流路の入口である供給口及び前記共通流路の出口である排出口が開口した流路基板を備え、
前記第１フィルタは、前記供給部分である前記供給口を覆うように前記流路基板に固定され、
前記第２フィルタは、前記帰還部分である前記排出口を覆うように前記流路基板に固定されていることを特徴とする、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記第１フィルタにおける前記複数の第１貫通孔のパターンと、前記第２フィルタにおける前記複数の第２貫通孔のパターンとが、互いに同じであることを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】
前記貯留室と前記供給部分との間に設けられたポンプを備え、
前記複数の第１貫通孔は、前記複数の第２貫通孔よりも、径が大きいことを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１８】
前記貯留室と前記供給部分との間に設けられたポンプを備え、
前記複数の第２貫通孔は、前記複数の第１貫通孔よりも、密に配置されていることを特徴とする、請求項１〜１５、１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルをそれぞれ含む複数の個別流路を備えた液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルをそれぞれ含む複数の個別流路と、複数の個別流路に連通する共通流路とを備えた液体吐出ヘッドが知られている（特許文献１参照）。特許文献１（図３、段落００４６）には、共通流路として、供給部分を含む第１マニホールドと、帰還部分を含む第２マニホールドとが示されている。第１マニホールドの入口である供給口及び第２マニホールドの出口である排出口のそれぞれに、フィルタが設けられている。また、特許文献１（段落００４８）では、排出口を介した異物（塵など）の侵入頻度が比較的低いことから、流路抵抗を抑制するため、排出口に設けられたフィルタ（第２フィルタ）の貫通孔（第２貫通孔）を、供給口に設けられたフィルタ（第１フィルタ）の貫通孔（第１貫通孔）よりも大きくすることが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１９０４３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、第１貫通孔の大きさと第２貫通孔の大きさとの相対関係が示されているものの、第１貫通孔及び第２貫通孔それぞれの構成が具体的に示されていない。
【０００５】
貯留室から供給部分を介して複数の個別流路に液体が供給され、複数の個別流路から帰還部分を介して貯留室に液体が戻される、という液体の流れが形成されているとき（通常時）、帰還部分では、複数の個別流路に存在する異物が、第２フィルタの第２貫通孔から排出され得る。一方、ノズルからの液体の吐出量の増加等によって、複数の個別流路の液体の圧力が大きく低下し、帰還部分において通常時とは逆方向の液体の流れが形成されたとき（逆流時）、帰還部分では、第２フィルタによって、複数の個別流路への異物の侵入が防止される。供給部分では、逆流時も通常時と同様の液体の流れが形成され、第１フィルタによって、複数の個別流路への異物の侵入が防止される。
【０００６】
第１フィルタは、通常時及び逆流時共に、当該フィルタを通過する液体の圧力によって、供給方向（貯留室から供給部分に液体が供給される際に第１フィルタを液体が通過する方向）に凸となるように撓む。これにより、第１貫通孔は、供給方向の上流端の開口が当初よりも小さく、供給方向の下流端の開口が当初よりも大きくなる。このとき、第１貫通孔において上流端の開口が下流端の開口よりも大きい構成であると、小さい方の下流端の開口が大きくなる。したがって、第１貫通孔の最小径が大きくなるため、異物が第１貫通孔を通って複数の個別流路に侵入し易くなる。
【０００７】
第２フィルタは、通常時、当該フィルタを通過する液体の圧力によって、排出方向（帰還部分から貯留室に液体が排出される際に第２フィルタを液体が通過する方向）に凸となるように撓む。これにより、第２貫通孔は、排出方向の上流端の開口が当初よりも小さく、排出方向の下流端の開口が当初よりも大きくなる。このとき、第２貫通孔において上流端の開口が下流端の開口よりも小さい構成であると、小さい方の上流端の開口がさらに小さくなる。したがって、第２貫通孔の最小径が小さくなるため、複数の個別流路に存在する異物が第２貫通孔を通って排出され難くなる。
【０００８】
第２フィルタは、逆流時、当該フィルタを通過する液体の圧力によって、排出方向と逆の方向に凸となるように撓む。これにより、第２貫通孔は、上流端の開口が当初よりも大きく、下流端の開口が当初よりも小さくなる。このとき、第２貫通孔において上流端の開口が下流端の開口よりも小さい構成であると、小さい方の上流端の開口が大きくなる。したがって、第２貫通孔の最小径が大きくなるため、異物が第２貫通孔を通って複数の個別流路に侵入し易くなる。
【０００９】
また、第１貫通孔及び第２貫通孔それぞれにおいて、上流端の開口及び下流端の開口の大きさが互いに同じ場合に、異物の侵入防止のために各開口を小さくすると、流路抵抗が増加し得る。
【００１０】
本発明の目的は、フィルタ機能の向上と流路抵抗の低減とを共に実現可能な液体吐出ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の液体吐出ヘッドは、ノズルをそれぞれ含む複数の個別流路と、前記複数の個別流路と液体を貯留する貯留室とに連通する共通流路であって、前記貯留室の出口と前記複数の個別流路との間に配置された供給部分と、前記複数の個別流路と前記貯留室の入口との間に配置された帰還部分とを含む共通流路と、前記供給部分に設けられた第１フィルタであって、前記貯留室から前記供給部分に液体が供給される際に前記第１フィルタを液体が通過する方向である供給方向に沿った複数の第１貫通孔が形成された第１フィルタと、前記帰還部分に設けられた第２フィルタであって、前記帰還部分から前記貯留室に液体が排出される際に前記第２フィルタを液体が通過する方向である排出方向に沿った複数の第２貫通孔が形成された第２フィルタと、を備え、前記複数の第１貫通孔は、それぞれ、前記供給方向の上流端の開口が、前記供給方向の下流端の開口よりも小さく、前記複数の第２貫通孔は、それぞれ、前記排出方向の上流端の開口が、前記排出方向の下流端の開口よりも大きいことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の平面図である。
【図２】ヘッド１の平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったヘッド１の断面図である。
【図４】（ａ）は、図２のＩＶＡ−ＩＶＡ線に沿った第１フィルタ６１近傍の断面図である。（ｂ）は、図４（ａ）の領域ＩＶＢの拡大図である。
【図５】（ａ）は、図２のＶＡ−ＶＡ線に沿った第２フィルタ６２近傍の断面図である。（ｂ）は、図５（ａ）の領域ＶＢの拡大図である。
【図６】プリンタ１００の電気的構成を示すブロック図である。
【図７】第１フィルタ６１を通過するインクの圧力により第１フィルタ６１が撓んだ状態を示す図４（ｂ）に対応する図である。
【図８】第２フィルタ６２を通過するインクの圧力により第２フィルタ６２が撓んだ状態を示す図５（ｂ）に対応する図であり、（ａ）は通常時、（ｂ）は逆流時における状態を示す。
【図９】（ａ）は、本発明の第２実施形態に係る第１フィルタ２６１及び第２フィルタ２６２を示す平面図である。（ｂ）は、本発明の第３実施形態に係る第１フィルタ３６１及び第２フィルタ３６２を示す平面図である。（ｃ）は、本発明の変形例に係るフィルタ４６１，４６２を示す図４（ｂ），図５（ｂ）に対応する図である。
【図１０】（ａ）は、本発明の第１変形例に係るヘッド１０１の平面図である。（ｂ）は、本発明の第２変形例に係るヘッド２０１の平面図である。（ｃ）は、本発明の第３変形例に係るヘッド３０１の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。
【００１４】
プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。
【００１５】
プラテン３の上面に、用紙９が載置される。
【００１６】
搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ４ｍ（図６参照）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。
【００１７】
ヘッドユニット１ｘは、ライン式（位置が固定された状態でノズル２１（図２及び図３参照）から用紙９に対してインクを吐出する方式）であって、紙幅方向に長尺である。４つのヘッド１は、紙幅方向に千鳥状に配置されている。
【００１８】
ここで、紙幅方向は、搬送方向と直交する。紙幅方向及び搬送方向は、共に、鉛直方向と直交する。
【００１９】
制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ１ｄ（図３及び図６参照）及び搬送モータ４ｍを制御し、用紙９上に画像を記録する。
【００２０】
次いで、図２〜図５を参照し、ヘッド１の構成について説明する。
【００２１】
ヘッド１は、流路基板１１、アクチュエータユニット１２、第１フィルタ６１、第２フィルタ６２及びフレーム１３を有する。
【００２２】
流路基板１１は、図３に示すように、互いに接着された６枚のプレート１１ａ〜１１ｆを有する。プレート１１ｄには、共通流路３０が形成されている。プレート１１ａ〜１１ｆには、共通流路３０に連通する複数の個別流路２０が形成されている。
【００２３】
共通流路３０は、図２に示すように、搬送方向に配列された供給流路３１及び帰還流路３２を含む。供給流路３１及び帰還流路３２は、紙幅方向に延びている。供給流路３１における紙幅方向の一方の端部には、供給流路３１の入口である供給口３１ｘが設けられている。帰還流路３２における紙幅方向の一方の端部には、帰還流路３２の出口である排出口３２ｙが設けられている。
【００２４】
供給口３１ｘ及び排出口３２ｙは、それぞれ、プレート１１ａ（図３参照）の上面に開口している。供給口３１ｘは、貯留室７ａの出口と複数の個別流路２０との間に配置されており、本発明の「供給部分」に相当する。排出口３２ｙは、複数の個別流路２０と貯留室７ａの入口との間に配置されており、本発明の「帰還部分」に相当する。
【００２５】
供給流路３１は、供給口３１ｘを介してサブタンク７の貯留室７ａと連通している。帰還流路３２は、排出口３２ｙを介して貯留室７ａと連通している。供給流路３１は各個別流路２０の上流に位置し、帰還流路３２は各個別流路２０の下流に位置している。
【００２６】
サブタンク７は、ヘッド１に搭載されている。貯留室７ａは、インクを貯留するメインタンク（図示略）と連通し、メインタンクから供給されたインクを貯留する。貯留室７ａと供給口３１ｘとを繋ぐ流路に、ポンプＰが設けられている。
【００２７】
図２及び図３中の太矢印は、インクの流れを示す。
【００２８】
図２に示すように、貯留室７ａ内のインクは、制御部５の制御によりポンプＰが駆動されることで、供給口３１ｘから供給流路３１に供給される。供給流路３１に供給されたインクは、供給流路３１内を紙幅方向の一方から他方に向かって移動しつつ、各個別流路２０に供給される。各個別流路２０に供給されたインクは、帰還流路３２に流入し、帰還流路３２内を紙幅方向の他方から一方に向かって移動する。そして当該インクは、排出口３２ｙを介して帰還流路３２から排出され、貯留室７ａに戻される。このように貯留室７ａと複数の個別流路２０との間でインクを循環させることで、インク内の気泡の除去やインクの増粘防止が実現される。
【００２９】
各個別流路２０は、ノズル２１、連通路２２、２つの圧力室２３、２つの接続流路２４及び２つの連結流路２５を含む。図３に示すように、ノズル２１は、プレート１１ｆに形成された貫通孔で構成されている。連通路２２は、ノズル２１の直上を通る流路であり、プレート１１ｅに形成された貫通孔で構成されている。圧力室２３は、プレート１１ａに形成された貫通孔で構成されている。接続流路２４は、プレート１１ｂ〜１１ｄに形成された貫通孔で構成され、鉛直方向に延びている。連結流路２５は、プレート１１ｂ，１１ｃに形成された貫通孔で構成されている。
【００３０】
圧力室２３、接続流路２４及び連結流路２５は、第１圧力室２３ａ、第１接続流路２４ａ及び第１連結流路２５ａと、第２圧力室２３ｂ、第２接続流路２４ｂ及び第２連結流路２５ｂとに分類される。第１圧力室２３ａ、第１接続流路２４ａ及び第１連結流路２５ａと、第２圧力室２３ｂ、第２接続流路２４ｂ及び第２連結流路２５ｂとは、搬送方向にノズル２１を挟んでいる。第１圧力室２３ａ、第１接続流路２４ａ及び第１連結流路２５ａは、搬送方向においてノズル２１と供給流路３１との間、又は、鉛直方向において供給流路３１と重なる位置にある。第２圧力室２３ｂ、第２接続流路２４ｂ及び第２連結流路２５ｂは、搬送方向においてノズル２１と帰還流路３２との間、又は、鉛直方向において帰還流路３２と重なる位置にある。第１圧力室２３ａの一部及び第１連結流路２５ａは、鉛直方向において供給流路３１と重なっている。第２圧力室２３ｂの一部及び第２連結流路２５ｂは、鉛直方向において帰還流路３２と重なっている。
【００３１】
第１圧力室２３ａは、第１接続流路２４ａ及び連通路２２を介して、ノズル２１と連通している。第２圧力室２３ｂは、第２接続流路２４ｂ及び連通路２２を介して、ノズル２１と連通している。第１圧力室２３ａ及び第２圧力室２３ｂは、第１接続流路２４ａ、連通路２２及び第２接続流路２４ｂを介して、互いに連通している。第１接続流路２４ａは、第１圧力室２３ａにおける搬送方向においてノズル２１により近い一端と、連通路２２における搬送方向において供給流路３１により近い一端とを接続している。第２接続流路２４ｂは、第２圧力室２３ｂにおける搬送方向においてノズル２１により近い一端と、連通路２２における搬送方向の他端とを接続している。第１連結流路２５ａは、供給流路３１と、第１圧力室２３ａにおける搬送方向の他端とを連結している。第２連結流路２５ｂは、帰還流路３２と、第２圧力室２３ｂにおける搬送方向の他端とを連結している。連通路２２における搬送方向の中央に、ノズル２１が配置されている。
【００３２】
各個別流路２０は、供給流路３１に接続する入口２０ａ、及び、帰還流路３２に接続する出口２０ｂを有する。入口２０ａは、第１連結流路２５ａにおける第１圧力室２３ａと反対側の端部に相当する。出口２０ｂは、第２連結流路２５ｂにおける第２圧力室２３ｂと反対側の端部に相当する。
【００３３】
各個別流路２０に供給されたインクは、入口２０ａから第１連結流路２５ａ及び第１圧力室２３ａを通って略水平に移動し、さらに第１接続流路２４ａを通って下方に移動して、連通路２２に流入する。当該インクは、連通路２２を通って水平に移動し、一部がノズル２１から吐出され、残りが第２接続流路２４ｂを通って上方に移動し、第２圧力室２３ｂ及び第２連結流路２５ｂを通って略水平に移動して、出口２０ｂから帰還流路３２に流入する。
【００３４】
流路基板１１の上面（プレート１１ａの上面）には、図２に示すように、複数の圧力室２３が開口している。圧力室２３は、２つの圧力室列２３Ｒ１，２３Ｒ２を形成している。２つの圧力室列２３Ｒ１，２３Ｒ２は、それぞれ紙幅方向に延び、搬送方向に配列されている。各圧力室列２３Ｒ１，２３Ｒ２において、圧力室２３は、搬送方向に同じ位置で、かつ、紙幅方向に等間隔で配置されている。一方、圧力室列２３Ｒ１，２３Ｒ２間においては、圧力室２３の紙幅方向の位置がずれている。これにより、全ての圧力室２３において、紙幅方向の位置が、当該圧力室２３以外の圧力室２３と異なっている。
【００３５】
流路基板１１の下面（プレート１１ｆの下面）において、複数のノズル２１は、搬送方向に同じ位置で、かつ、紙幅方向に等間隔で配置されており、１つのノズル列２１Ｒ１を形成している。
【００３６】
アクチュエータユニット１２は、流路基板１１の上面に配置され、複数の圧力室２３を覆っている。
【００３７】
アクチュエータユニット１２は、図３に示すように、下から順に、振動板１２ａ、共通電極１２ｂ、複数の圧電体１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄを含む。振動板１２ａ及び共通電極１２ｂは、流路基板１１の上面の略全体に配置されており、複数の圧力室２３を覆っている。一方、圧電体１２ｃ及び個別電極１２ｄは、圧力室２３毎に設けられており、圧力室２３のそれぞれと対向している。
【００３８】
複数の個別電極１２ｄ及び共通電極１２ｂは、ドライバＩＣ１ｄと電気的に接続されている。ドライバＩＣ１ｄは、共通電極１２ｂの電位をグランド電位に維持する一方、個別電極１２ｄの電位を変化させる。具体的には、ドライバＩＣ１ｄは、制御部５からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、当該駆動信号を個別電極１２ｄに付与する。これにより、個別電極１２ｄの電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。このとき、振動板１２ａ及び圧電体１２ｃにおいて個別電極１２ｄと圧力室２３とで挟まれた部分（アクチュエータ１２ｘ）が、圧力室２３に向かって凸となるように変形することにより、圧力室２３の容積が変化し、圧力室２３内のインクに圧力が付与され、ノズル２１からインクが吐出される。
【００３９】
アクチュエータユニット１２は、複数の圧力室２３のそれぞれと対向する複数のアクチュエータ１２ｘを有する。本実施形態では、各個別流路２０において、２つの圧力室２３と対向するアクチュエータ１２ｘを同時に駆動させることで、ノズル２１から吐出されるインクの飛翔速度を増大させることができる。
【００４０】
第１フィルタ６１及び第２フィルタ６２は、図２に示すように、１つのフィルタ部材６０から構成されており、それぞれ供給口３１ｘ及び排出口３２ｙを覆うように流路基板１１に固定されている。具体的には、図４（ａ）及び図５（ａ）に示すように、フィルタ部材６０は、プレート１１ａの上面に配置され、鉛直方向においてプレート１１ａとフレーム１３とに挟持されている。フレーム１３は、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙに対応する部分に貫通孔１３ｘ，１３ｙを有する矩形状の平板である。各フィルタ６１，６２の外縁は、下面がプレート１１ａと接触し、上面がフレーム１３と接触している。
【００４１】
プレート１１ａ及びフレーム１３は、図４（ａ）に示すように、第１フィルタ６１の外縁を供給方向（貯留室７ａから供給口３１ｘにインクが供給される際に第１フィルタ６１をインクが通過する方向）Ｄ１の上流及び下流から支持しており、本発明の「第１支持部材」に相当する。フレーム１３は、第１フィルタ６１の外縁における供給方向Ｄ１の上流の面と接触しており、本発明の「第１上流部」に相当する。プレート１１ａは、第１フィルタ６１の外縁における供給方向Ｄ１の下流の面と接触しており、本発明の「第１下流部」に相当する。ここで、プレート１１ａにおける第１フィルタ６１の外縁から第１フィルタ６１の中央に向かう方向の突出量は、フレーム１３における上記突出量よりも（例えば０．１ｍｍ以上）大きい。
【００４２】
また、プレート１１ａ及びフレーム１３は、図５（ａ）に示すように、第２フィルタ６２の外縁を排出方向（排出口３２ｙから貯留室７ａにインクが排出される際に第２フィルタ６２をインクが通過する方向）Ｄ２の上流及び下流から支持しており、本発明の「第２支持部材」に相当する。プレート１１ａは、第２フィルタ６２の外縁における排出方向Ｄ２の上流の面と接触しており、本発明の「第２上流部」に相当する。フレーム１３は、第２フィルタ６２の外縁における排出方向Ｄ２の下流の面と接触しており、本発明の「第２下流部」に相当する。ここで、フレーム１３における第２フィルタ６２の外縁から第２フィルタ６２の中央に向かう方向の突出量は、プレート１１ａにおける上記突出量よりも（例えば０．１ｍｍ以上）大きい。
【００４３】
第１フィルタ６１には、図４（ａ），（ｂ）に示すように、供給方向Ｄ１に沿った複数の第１貫通孔７１が形成されている。第２フィルタ６２には、図５（ａ），（ｂ）に示すように、排出方向Ｄ２に沿った複数の第２貫通孔７２が形成されている。
【００４４】
フィルタ６１，６２は、上記のとおり１つのフィルタ部材６０から構成されており、第１フィルタ６１における複数の第１貫通孔７１のパターンと、第２フィルタ６２における複数の第２貫通孔７２のパターンとは、互いに同じである。
【００４５】
具体的には、平面構成については、図２に示すように、第１貫通孔７１及び第２貫通孔７２は、共に、紙幅方向及び搬送方向に沿って配列されている。そして、第１貫通孔７１及び第２貫通孔７２は、それぞれ、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの中央に近いものほど、径が小さく、かつ、疎に配置されている。つまり、複数の第１貫通孔７１のうち、供給口３１ｘの周縁（即ち、第１フィルタ６１における供給口３１ｘと対向する部分の周縁）に設けられる第１貫通孔は、供給口３１ｘの中央（即ち、第１フィルタ６１における供給口３１ｘと対向する部分の中央）に設けられる第１貫通孔よりも、径が大きい。複数の第２貫通孔７２のうち、排出口３２ｙの周縁（即ち、第２フィルタ６２における排出口３２ｙと対向する部分の周縁）に設けられる第２貫通孔は、排出口３２ｙの中央（即ち、第２フィルタ６２における排出口３２ｙと対向する部分の中央）に設けられる第２貫通孔よりも、径が大きい。また、複数の第１貫通孔７１のうち、供給口３１ｘの中央に設けられる複数の第１貫通孔は、供給口３１ｘの周縁に設けられる複数の第１貫通孔よりも、疎に配置されている。複数の第２貫通孔７２のうち、排出口３２ｙの中央に設けられる複数の第２貫通孔は、排出口３２ｙの周縁に設けられる複数の第２貫通孔よりも、疎に配置されている。
【００４６】
例えば、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの中央に設けられる貫通孔７１，７２の最小径は１０μｍ、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの周縁に設けられる貫通孔７１，７２の最小径は１２μｍであってよい。また、フィルタ６１，６２はノズル２１に異物（塵など）が詰まることを防止する機能を有する点から、貫通孔７１，７２の径はノズル２１の径に基づいて決定されてよい（例えば、ノズル２１の径が大きいほど、貫通孔７１，７２の径を大きくしてよい）。
【００４７】
例えば、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの中央に設けられる貫通孔７１，７２の密度（フィルタ６１，６２の中央の開口率）は、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの周縁に設けられる貫通孔７１，７２の密度（フィルタ６１，６２の周縁の開口率）の８割程度であってよい。
【００４８】
なお、フィルタ６１，６２における供給口３１ｘ及び排出口３２ｙと対向する部分の周縁は、フィルタ６１，６２の外縁（プレート１１ａとフレーム１３とに挟持された部分）よりも内側の部分である。周縁は流路を構成し、外縁は流路を構成しない。
【００４９】
断面構成については、図４（ｂ）及び図５（ｂ）に示すように、複数の第１貫通孔７１及び複数の第２貫通孔７２は、それぞれ、供給方向Ｄ１及び排出方向Ｄ２に沿った断面が台形状であり、鉛直方向上方の開口が鉛直方向下方の開口よりも小さくなっている。つまり、複数の第１貫通孔７１は、それぞれ、供給方向Ｄ１の上流端の開口７１ｘが、供給方向Ｄ１の下流端の開口７１ｙよりも小さい。複数の第２貫通孔７２は、それぞれ、排出方向Ｄ２の上流端の開口７２ｘが、排出方向Ｄ２の下流端の開口７２ｙよりも大きい。
【００５０】
例えば、開口７１ｘ，７２ｙの径は１２μｍ、開口７１ｙ，７２ｘの径は１３μｍ、断面の台形の底角は７０〜８０度であってよい。製造方法や、フィルタ６１，６２を構成する部材の厚みにもよるが、開口７１ｘ，７２ｙの径と開口７１ｙ，７２ｘの径との差は最大で２〜３μｍ、底角は最小で７０度程度となり得る。底角が小さいほど、フィルタ６１，６２の後述のような撓みが生じ易くなり、本実施形態による効果が好適に得られる。
【００５１】
フィルタ部材６０は、電鋳フィルタであり、複数の貫通孔７１，７２に対応する複数の突起が形成された母型の表面に、ニッケル等の金属を析出させることによって形成されたものである。
【００５２】
貯留室７ａから供給流路３１を介して複数の個別流路２０にインクが供給され、複数の個別流路２０から帰還流路３２を介して貯留室７ａにインクが戻される、というインクの流れが形成されているとき（通常時）、排出口３２ｙでは、複数の個別流路２０に存在する異物が、第２フィルタ６２の第２貫通孔７２から排出され得る。一方、ノズル２１からのインクの吐出量の増加等によって、複数の個別流路２０内のインクの圧力が大きく低下し、排出口３２ｙにおいて通常時とは逆方向のインクの流れが形成されたとき（逆流時）、排出口３２ｙでは、第２フィルタ６２によって、複数の個別流路２０への異物の侵入が防止される。供給口３１ｘでは、逆流時も通常時と同様のインクの流れが形成され、第１フィルタ６１によって、複数の個別流路２０への異物の侵入が防止される。
【００５３】
以下、図７及び図８を参照し、通常時及び逆流時におけるフィルタ６１，６２及びその貫通孔７１，７２の状態について説明する。
【００５４】
第１フィルタ６１は、通常時及び逆流時共に、当該フィルタ６１を通過するインクの圧力によって、図７に示すように、供給方向Ｄ１に凸となるように撓む。これにより、第１貫通孔７１は、上流端の開口７１ｘが当初（当該フィルタにインクの圧力が付与されておらず、当該フィルタが平坦なとき）よりも小さく、下流端の開口７１ｙが当初よりも大きくなる。
【００５５】
第２フィルタ６２は、通常時、当該フィルタ６２を通過するインクの圧力によって、図８（ａ）に示すように、排出方向Ｄ２に凸となるように撓む。これにより、第２貫通孔７２は、上流端の開口７２ｘが当初よりも小さく、下流端の開口７２ｙが当初よりも大きくなる。
【００５６】
第２フィルタ６２は、逆流時、当該フィルタ６２を通過するインクの圧力によって、図８（ｂ）に示すように、排出方向Ｄ２と逆の方向Ｄ２’に凸となるように撓む。これにより、第２貫通孔７２は、上流端の開口７２ｘが当初よりも大きく、下流端の開口７２ｙが当初よりも小さくなる。
【００５７】
なお、供給方向Ｄ１及び排出方向Ｄ２は互いに逆であり、方向Ｄ２’及び供給方向Ｄ１は互いに同じである。また、上記のような撓みによる各開口７１ｘ，７１ｙ，７２ｘ，７２ｙのサイズの変化は、例えば１μｍ程度であってよい。
【００５８】
以上に述べたように、本実施形態によれば、第１貫通孔７１は、供給方向Ｄ１の上流端の開口７１ｘが、供給方向Ｄ１の下流端の開口７１ｙよりも小さい（図４（ｂ）参照）。通常時及び逆流時共に、第１フィルタ６１が供給方向Ｄ１に凸となるように撓むと、小さい方の上流端の開口７１ｘはさらに小さくなる（図７参照）。したがって、第１貫通孔７１の最小径が小さくなるため、異物が第１貫通孔７１を通って複数の個別流路２０に侵入し難くなる。一方、第２貫通孔７２は、排出方向Ｄ２の上流端の開口７２ｘが、排出方向Ｄ２の下流端の開口７２ｙよりも大きい（図５（ｂ）参照）。通常時に、第２フィルタ６２が排出方向Ｄ２に凸となるように撓むと、小さい方の下流端の開口７２ｙは当初よりも大きくなる（図８（ａ）参照）。したがって、第２貫通孔７２の最小径が大きくなるため、異物が第２貫通孔７２を通って排出され易くなる。逆流時には、第２フィルタ６２は排出方向Ｄ２と逆の方向Ｄ２’に凸となるように撓み、小さい方の下流端の開口７２ｙがさらに小さくなる（図８（ｂ）参照）。したがって、第２貫通孔７２の最小径が小さくなるため、異物が第２貫通孔７２を通って複数の個別流路２０に侵入し難くなる。また、第１貫通孔７１及び第２貫通孔７２それぞれにおいて、上流端の開口及び下流端の開口の一方が大きいことから、上流端の開口及び下流端の開口の大きさが互いに同じで各開口を小さくした場合に比べ、流路抵抗を低減できる。
【００５９】
フィルタ６１，６２は、１つのフィルタ部材６０から構成されている（図２参照）。この場合、フィルタ６１，６２を個別の部材で構成する場合に比べ、部品点数を低減できる。
【００６０】
フィルタ６１，６２は、電鋳フィルタである。電鋳は、小型な部品を作るのに適した方法であり、特に薄くて小さいフィルタが要求される場合に適している。また、貫通孔にテーパーが付き易いため、第１貫通孔７１及び第２貫通孔７２それぞれにおいて上流端の開口及び下流端の開口の一方が大きいという構成を容易に実現できる。
【００６１】
第１貫通孔７１は、供給方向Ｄ１に沿った断面が台形状である（図４（ｂ）参照）。また、第２貫通孔７２は、排出方向Ｄ２に沿った断面が台形状である（図５（ｂ）参照）。この場合、当該断面が段差を有する場合に比べ、インクの流れが阻害され難く、流路抵抗をより確実に低減できる。
【００６２】
複数の第１貫通孔７１のうち、供給口３１ｘの周縁に設けられる第１貫通孔は、供給口３１ｘの中央に設けられる第１貫通孔よりも、径が大きい。複数の第２貫通孔７２のうち、排出口３２ｙの周縁に設けられる第２貫通孔は、排出口３２ｙの中央に設けられる第２貫通孔よりも、径が大きい（図２参照）。インクは、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの中央に多く流れ、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの周縁に流れ難い傾向にある。この点、本実施形態では、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの周縁に設けられる貫通孔７１，７２の径を大きくすることで、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙにおけるインクの流れのばらつきを抑制し、ひいてはノズル２１からのインク吐出性能を安定化できる。
【００６３】
複数の第１貫通孔７１のうち、供給口３１ｘの中央に設けられる複数の第１貫通孔は、供給口３１ｘの周縁に設けられる複数の第１貫通孔よりも、疎に配置されている。複数の第２貫通孔７２のうち、排出口３２ｙの中央に設けられる複数の第２貫通孔は、排出口３２ｙの周縁に設けられる複数の第２貫通孔よりも、疎に配置されている（図２参照）。インクは、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの中央に多く流れ、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの周縁に流れ難い傾向にある。また、これにより、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの中央を流れるインクの圧力によって、フィルタ６１，６２が破損し得る。この点、本実施形態では、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの中央に設けられる貫通孔７１，７２を疎に配置したことで、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙにおけるインクの流れのばらつきを抑制し、ひいては供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの中央を流れるインクの圧力によるフィルタ６１，６２の破損を抑制できる。
【００６４】
第１フィルタ６１の外縁は、プレート１１ａ及びフレーム１３によって、供給方向Ｄ１の上流及び下流から支持されている。ここで、プレート１１ａにおける第１フィルタ６１の外縁から第１フィルタ６１の中央に向かう方向の突出量は、フレーム１３における上記突出量よりも大きい（図４（ａ）参照）。これにより、通常時に第１フィルタ６１を通過するインクの圧力によって第１フィルタ６１が供給方向Ｄ１に押圧されても、プレート１１ａにより第１フィルタ６１が適切に支持され、第１フィルタ６１がフレーム１３から剥がれ難い。
【００６５】
第２フィルタ６２の外縁は、プレート１１ａ及びフレーム１３によって、排出方向Ｄ２の上流及び下流から支持されている。ここで、フレーム１３における第２フィルタ６２の外縁から第２フィルタ６２の中央に向かう方向の突出量は、プレート１１ａにおける上記突出量よりも大きい（図５（ａ）参照）。これにより、通常時に第２フィルタ６２を通過するインクの圧力によって第２フィルタ６２が排出方向Ｄ２に押圧されても、フレーム１３により第２フィルタ６２が適切に支持され、第２フィルタ６２がフレーム１３から剥がれ難い。
【００６６】
共通流路３０は、複数の個別流路２０の入口２０ａに接続する供給流路３１と、複数の個別流路２０の出口２０ｂに接続する帰還流路３２と、を含む（図２参照）。この場合、貯留室７ａから供給流路３１、各個別流路２０及び帰還流路３２を通って貯留室７ａに戻るインクの流れ（循環）により、ノズル２１近傍のインクの増粘解消や増粘防止を実現できる。
【００６７】
第１フィルタ６１及び第２フィルタ６２は、それぞれ、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙを覆うように流路基板１１に固定されている（図２参照）。第１フィルタ６１及び第２フィルタ６２を、流路基板１１内や貯留室７ａと供給口３１ｘ又は排出口３２ｙとを繋ぐ流路（チューブ内等）にフィルタ６１，６２を設ける場合、流路基板１１の内部やチューブの内部にフィルタ６１，６２を固定するための固定部材を設ける必要があり、フィルタ６１，６２の固定作業が困難になり得る。これに対し、本実施形態では、流路基板１１の外側に固定部材を設けることができ、フィルタ６１，６２の固定作業が容易である。
【００６８】
第１フィルタ６１における複数の第１貫通孔７１のパターンと、第２フィルタ６２における複数の第２貫通孔７２のパターンとが、互いに同じである（図２参照）。この場合、例えば貫通孔７１，７２を同一のマスク部材を用いて形成でき、フィルタ６１，６２の形成が容易である。
【００６９】
＜第２実施形態＞
続いて、図９（ａ）を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッドについて説明する。本実施形態は、第１貫通孔２７１及び第２貫通孔２７２の構成が第１実施形態と異なる。
【００７０】
第１貫通孔２７１及び第２貫通孔２７２は、共に、第１実施形態の第１貫通孔７１及び第２貫通孔７２と同様、紙幅方向及び搬送方向に沿って配列されている。しかし、第１貫通孔２７１及び第２貫通孔２７２は、第１実施形態の第１貫通孔７１及び第２貫通孔７２とは異なり、径が一定である。即ち、第１フィルタ２６１に設けられた複数の貫通孔２７１は互いに同じ径を有し、第２フィルタ２６２に設けられた複数の貫通孔２７２は互いに同じ径を有する。第１貫通孔２７１の径及び第２貫通孔２７２の径は、互いに同じである。
【００７１】
各フィルタ２６１，２６２において、貫通孔２７１，２７２は、それぞれ、間隔Ｌ１をなして搬送方向に配列され、かつ、間隔Ｌ２（＞Ｌ１）をなして紙幅方向に配列されている。例えば、間隔Ｌ１は２０μｍ、間隔Ｌ２は３０μｍであってよい。間隔Ｌ１，Ｌ２は、フィルタ２６１，２６２の縦横比に基づいて決定されてよい（例えば、縦横比が大きいほど、間隔Ｌ１，Ｌ２の比を大きくしてよい）。
【００７２】
ここで、搬送方向は、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの長手方向である。紙幅方向は、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの幅方向である。
【００７３】
供給口３１ｘ及び排出口３２ｙが搬送方向に細長い形状であって、貫通孔２７１，２７２が均一に配置されていると、フィルタ２６１，２６２が搬送方向（供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの長手方向）に沿って撓み易くなる。
【００７４】
この点、本実施形態では、貫通孔２７１，２７２における搬送方向の間隔Ｌ１が、貫通孔２７１，２７２における紙幅方向（供給口３１ｘ及び排出口３２ｙの幅方向）の間隔Ｌ２よりも小さい。即ち、貫通孔２７１，２７２は、紙幅方向よりも搬送方向において密に配置されている。これにより、フィルタ２６１，２６２は、搬送方向に沿った剛性が、紙幅方向に沿った剛性よりも低くなり、紙幅方向に沿った撓みが生じ易くなる。したがって、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙが一方向に細長い形状であっても、フィルタ２６１，２６２の紙幅方向及び搬送方向における撓みのばらつきを抑制し、ひいてはフィルタ２６１，２６２全体におけるフィルタ機能のばらつきを抑制できる。
【００７５】
＜第３実施形態＞
続いて、図９（ｂ）を参照し、本発明の第３実施形態に係るヘッドについて説明する。本実施形態は、第１貫通孔３７１及び第２貫通孔３７２の構成が第１実施形態と異なる。
【００７６】
第１貫通孔３７１及び第２貫通孔３７２は、共に、第１実施形態の第１貫通孔７１及び第２貫通孔７２と同様、紙幅方向及び搬送方向に沿って配列されている。しかし、第１貫通孔３７１及び第２貫通孔３７２は、第１実施形態の第１貫通孔７１及び第２貫通孔７２とは異なり、それぞれ、径が一定である。即ち、第１フィルタ３６１に設けられた複数の貫通孔３７１は互いに同じ径（例えば、１０μｍ）を有し、第２フィルタ３６２に設けられた複数の貫通孔３７２は互いに同じ径（例えば、１２μｍ）を有する。第１貫通孔３７１は、第２貫通孔３７２よりも径が大きい。
【００７７】
第１フィルタ３６１において、第１貫通孔３７１は、間隔Ｓ１をなして搬送方向に配列され、かつ、間隔Ｓ２（＝Ｓ１）をなして紙幅方向に配列されている。第２フィルタ３６２において、第２貫通孔３７２は、間隔Ｓ１’をなして搬送方向に配列され、かつ、間隔Ｓ２’（＝Ｓ１’）をなして紙幅方向に配列されている。間隔Ｓ１’，Ｓ２’は、間隔Ｓ１，Ｓ２よりも小さい。つまり、第２貫通孔３７２は、第１貫通孔３７１よりも、密に配置されている。例えば、間隔Ｓ１，Ｓ２は３０μｍ、間隔Ｓ１’，Ｓ２’は２０μｍであってよい。
【００７８】
ここで、本実施形態においても、第１実施形態と同様、貯留室７ａと供給流路３１との間にポンプＰが設けられている（図２参照）。当該構成において、第１フィルタ３６１における第１貫通孔のパターンと第２フィルタ３６２における第２貫通孔のパターンとが互いに同じであると、第１フィルタ３６１の方が第２フィルタ３６２よりもポンプＰの近くに位置することから、ポンプＰの圧力の影響を大きく受け、当該圧力により大きく撓み易くなる。この場合、第１フィルタ３６１が大きく撓むことで、第１貫通孔における上流端の開口がより小さくなり、第１フィルタ３６１において流路抵抗が大きくなってしまう。また、第２フィルタ３６２においては、撓み量が比較的小さくなることで、第２貫通孔における下流端の開口の増大が抑制され、第２貫通孔から異物が排出され難くなり得る。さらに、フィルタ３６１，３６２間で、撓み量に差が生じることで、フィルタ機能のばらつきが生じ得る。
【００７９】
この点、本実施形態では、第１フィルタ３６１における第１貫通孔のパターンと第２フィルタ３６２における第２貫通孔のパターンとが互いに同じではなく、第１貫通孔３７１は第２貫通孔３７２よりも径が大きく、また、第２貫通孔３７２は第１貫通孔３７１よりも密に配置されている。貫通孔の径が大きいほど、フィルタに付与される圧力が貫通孔を介して逃げることで、フィルタが撓み難くなる。また、貫通孔の密度が高いほど、フィルタの剛性が低下し、フィルタが撓み易くなる。したがって、本実施形態では、第１フィルタ３６１が撓み難く、第２フィルタ３６２が撓み易くなる。そのため、流路抵抗が特に第１フィルタ３６１において大きくなる問題や、第２フィルタ３６２の第２貫通孔から異物が排出され難くなる問題や、フィルタ３６１，３６２間でのフィルタ機能のばらつきが生じる問題を抑制できる。
【００８０】
なお、第１貫通孔３７１の径と、第２貫通孔３７２の径との差は、当該フィルタ３６１，３６２に付与される圧力の差によって決定されてよい。
【００８１】
＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
【００８２】
第１貫通孔及び第２貫通孔の断面形状は、台形に限定されない。例えば、図９（ｃ）の変形例において、フィルタ４６１，４６２の貫通孔４７１，４７２の断面形状は、段差が設けられた凸形状である。
【００８３】
第１貫通孔及び第２貫通孔のパターンは、任意に変更可能である。例えば、第１貫通孔及び第２貫通孔は、列を形成せず、ランダムに配置されてもよい。また、第１貫通孔のパターンと第２貫通孔のパターンとは、互いに同じでなくてもよい（第３実施形態参照）。
【００８４】
供給口及び排出口の位置やサイズは、特に限定されない。例えば、上述の実施形態では、供給流路３１及び帰還流路３２それぞれにおける紙幅方向の一方の端部に供給口３１ｘ及び排出口３２ｙが設けられており、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙが搬送方向に並んでいるが、これに限定されない。図１０（ａ）の第１変形例に係るヘッド１０１において、供給口３１ｘは、供給流路３１における紙幅方向の他方の端部に設けられている。排出口３２ｙは、帰還流路３２における紙幅方向の一方の端部に設けられている。供給口３１ｘ及び排出口３２ｙは、搬送方向に並んでいない。また、この変形例では、供給流路３１でのインクの流れが上述の実施形態と異なり、供給流路３１に供給されたインクは、供給流路３１内を紙幅方向の他方から一方に向かって移動しつつ、各個別流路２０に供給される。
【００８５】
共通流路は、供給流路及び帰還流路を含むことに限定されない。
【００８６】
例えば、図１０（ｂ）の第２変形例に係るヘッド２０１は、１つの共通流路２３０を有する。共通流路２３０は、鉛直方向から見てＵ字形状であり、それぞれ紙幅方向に延びる第１部分２３１及び第２部分２３２と、第１部分２３１及び第２部分２３２を繋ぐように搬送方向に延びる第３部分２３３とを含む。第１部分２３１における紙幅方向の一方の端部に、供給口３１ｘが設けられている。第２部分２３２における紙幅方向の一方の端部に、排出口３２ｙが設けられている。
【００８７】
図１０（ｃ）の第３変形例に係るヘッド３０１は、１つの共通流路３３０を有する。共通流路３３０は、紙幅方向に延び、紙幅方向の一方の端部に供給口３１ｘが設けられ、紙幅方向の他方の端部に排出口３２ｙが設けられている。共通流路３３０は、供給部分３３０Ａ（複数の個別流路３２０の上流に位置する部分）と、帰還部分３３０Ｂ（複数の個別流路３２０の下流に位置する部分）とを含む。当該変形例では、供給口３１ｘ及び排出口３２ｙではなく、供給部分３３０Ａ及び帰還部分３３０Ｂに、フィルタ６１，６２が設けられている。
【００８８】
本発明の「供給部分」「帰還部分」は、共通流路の端部である供給口及び排出口に限定されない。例えば、本発明の「供給部分」「帰還部分」は、共通流路の内部であってもよい（図１０（ｃ）参照）。また、本発明の「供給部分」「帰還部分」は、流路基板に設けられることに限定されず、貯留室と流路基板との間（例えば、貯留室７ａと供給口３１ｘ又は排出口３２ｙとを繋ぐ流路を構成するチューブ内）に設けられてもよい。
【００８９】
個別流路に含まれる圧力室の数は、上述の実施形態では２つであるが、１つ又は３つ以上であってもよい。例えば図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）において、個別流路２２０，３２０は１つの圧力室２３を含む。
【００９０】
第１フィルタ及び第２フィルタは、１つのフィルタ部材から構成されず、別々の部材から構成されてもよい。
【００９１】
第１フィルタ及び第２フィルタは、電鋳フィルタに限定されず、任意の製法（例えば、エッチング等）で作製されたものであってよい。
【００９２】
ポンプは、上述の実施形態では貯留室と供給部分との間に設けられているが、これに限定されない。例えば、貯留室の出口と供給部分との間、及び、帰還部分と貯留室の入口との間のそれぞれに、ポンプを設けてもよい。
【００９３】
アクチュエータは、圧電素子を用いたピエゾ方式のものに限定されず、その他の方式（例えば、発熱素子を用いたサーマル方式、静電力を用いた静電方式等）のものであってもよい。
【００９４】
ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式（紙幅方向と平行な走査方向に移動しつつノズルから吐出対象に対して液体を吐出する方式）であってもよい。
【００９５】
吐出対象は、用紙に限定されず、例えば布、基板等であってもよい。
【００９６】
ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。
【００９７】
本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。
【符号の説明】
【００９８】
１；１０１；２０１；３０１  ヘッド（液体吐出ヘッド）
７ａ  貯留室
１１  流路基板
１１ａ  プレート（第１支持部材，第２支持部材，第１下流部，第２上流部）
１３  フレーム（第１支持部材，第２支持部材，第１上流部，第２下流部）
２０；２２０；３２０  個別流路
２０ａ  入口
２０ｂ  出口
２１  ノズル
３０；２３０；３３０  共通流路
３１  供給流路
３１ｘ  供給口（供給部分）
３２  帰還流路
３２ｙ  排出口（帰還部分）
６０  フィルタ部材
６１；２６１；３６１；４６１  第１フィルタ
７１；２７１；３７１；４７１  第１貫通孔
７１ｘ  上流端の開口
７１ｙ  下流端の開口
６２；２６２；３６２；４６２  第２フィルタ
７２；２７２；３７２；４７２  第２貫通孔
７２ｘ  上流端の開口
７２ｙ  下流端の開口
２３０Ａ；３３０Ａ  供給部分
２３０Ｂ；３３０Ｂ  帰還部分
Ｐ  ポンプ
Ｄ１  供給方向
Ｄ２  排出方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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