(57)【要約】【課題】一の操作で二種類の流体を択一的に流出させることのできるコンパクトな流体制御機器を提供する。【解決手段】流体制御機器Ｖ１は、第一流体が流入する流入口１０と、第二流体が流入する流入口２０と、第一流体及び第二流体が流出する流出口３０とからなるバルブボディＶ１１と、流入口１０から流出口３０に至る第一流路を連通又は遮断して第一流体を制御する制御機構Ｖ１２１と、流入口２０から流出口３０に至る第二流路を連通又は遮断して第二流体を制御する制御機構Ｖ１２２と、制御機構Ｖ１２１、Ｖ１２２に対し、駆動圧を供給する駆動圧供給部を有する。制御機構Ｖ１２１、Ｖ１２２は一体的に構成されており、一のバルブボディＶ１１内に、流入口１０、流入口２０、及び流出口３０が設けられている。制御機構Ｖ１２１は、駆動圧の導入によって第一流路を連通させ、制御機構Ｖ１２２は、駆動圧の導入によって第二流路を遮断させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
二種類の流体を択一的に流出させる流体制御機器であって、
第一流体が流入する第一流入口と、
第二流体が流入する第二流入口と、
前記第一流体及び前記第二流体が流出する流出口と、からなるバルブボディと、
前記第一流入口から前記流出口に至る第一流路を連通又は遮断することにより、前記第一流体を制御する第一制御機構と、
前記第二流入口から前記流出口に至る第二流路を連通又は遮断することにより、前記第二流体を制御する第二制御機構と、
前記第一制御機構と前記第二制御機構に対し、駆動圧を供給する駆動圧供給部と、を有し、
前記第一制御機構と前記第二制御機構が一体的に構成されていると共に、一の前記バルブボディ内に、前記第一流入口、前記第二流入口、及び前記流出口が設けられ、
前記第一制御機構は、前記駆動圧の導入によって前記第一流路を連通させ、
前記第二制御機構は、前記駆動圧の導入によって前記第二流路を遮断させる、
流体制御機器。
【請求項２】
前記駆動圧供給部は、前記第一制御機構の第一駆動圧供給路及び前記第二制御機構の第二駆動圧供給路に駆動圧を供給する第三駆動圧供給路、を備え、
前記第一駆動圧供給路と前記第三駆動圧供給路、及び前記第二駆動圧供給路と前記第三駆動圧供給路は連通している、
請求項１記載の流体制御機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一の操作で二種類の流体を択一的に流通させることのできる流体制御機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、二種類の流体を流出させる単一の流体制御機器として、例えば、特許文献１記載の二方向分岐制御機器が提案されている。この二方向分岐制御機器は、正面視略三角形状とされその頂部に第１開口部を有し、底面に第２及び第３開口部を有してなる弁箱と、この弁箱の左右の傾斜側面にそれぞれ配設されてなる二つの弁本体とから構成され、前記第１開口部からの通路は弁箱内部で左右方向に分岐されて前記傾斜側面に弁本体入口部として開口してなるとともに、これら弁本体入口部に隣接して弁本体出口部が形成され、この弁本体出口部から前記第１開口部の軸線と平行に前記第２及び第３開口部と連通する流路が形成されてなり、前記第１開口部は前記弁本体のダイヤフラムの上昇操作により前記第２及び第３開口部と連通可能とされている。
【０００３】
また、特許文献２では、複数の弁体およびこれを保持するボディを含む複数の部品の組立体であるボディアッセンブリと、複数のピストンおよびこれと一体で上下移動することで各弁体を開閉する複数のステムを含む複数の部品の組立体であるアクチュエータアッセンブリとを備えており、それぞれ予め組み立てられたボディアッセンブリとアクチュエータアッセンブリとが分解可能に結合された流体制御器が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３９７１５０８号公報
【特許文献２】特許第５５６０２７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１記載の流体制御機器は、外観上、弁本体が別体として設けられているために、機器がコンパクトにまとまっていない。そのため、複数の流体制御機器を一の装置として構成するような場合、各種の装置等が集積した場所に配設するような場合には好適でない。
特許文献２記載の流体制御機器は複数の流体を流出させる際、複数の弁体を個別に操作、制御する必要があるため、操作が煩雑であった。
【０００６】
そこで、本発明は、一の操作で二種類の流体を択一的に流出させることのできるコンパクトな流体制御機器を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に係る流体制御機器は、二種類の流体を択一的に流出させる流体制御機器であって、第一流体が流入する第一流入口と、第二流体が流入する第二流入口と、前記第一流体及び前記第二流体が流出する流出口と、からなるバルブボディと、前記第一流入口から前記流出口に至る第一流路を連通又は遮断することにより、前記第一流体を制御する第一制御機構と、前記第二流入口から前記流出口に至る第二流路を連通又は遮断することにより、前記第二流体を制御する第二制御機構と、前記第一制御機構と前記第二制御機構に対し、駆動圧を供給する駆動圧供給部と、を有し、前記第一制御機構と前記第二制御機構が一体的に構成されていると共に、一の前記バルブボディ内に、前記第一流入口、前記第二流入口、及び前記流出口が設けられ、前記第一制御機構は、前記駆動圧の導入によって前記第一流路を連通させ、前記第二制御機構は、前記駆動圧の導入によって前記第二流路を遮断させる。
【０００８】
また、前記駆動圧供給部は、前記第一制御機構の第一駆動圧供給路及び前記第二制御機構の第二駆動圧供給路に駆動圧を供給する第三駆動圧供給路、を備え、前記第一駆動圧供給路と前記第三駆動圧供給路、及び前記第二駆動圧供給路と前記第三駆動圧供給路は連通しているものとしてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、小型化された一つの流体制御機器で二種類の流体を択一的に流通させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る流体制御機器の内部構造を模式的に示した模式図である。
【図２】本実施形態に係る流体制御機器の外観を示した（ａ）正面図、（ｂ）側面図である。
【図３】本実施形態に係る流体制御機器のバルブボディの流路を示した部分透視図である。
【図４】本発明の第二の実施形態に係る流体制御機器の内部構造を模式的に示した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１１】
以下、本発明の第一の実施形態に係る流体制御機器Ｖ１について、図を参照して説明する。
図１〜図３に示されるように、本実施形態に係る流体制御機器Ｖ１は、二種類の流体（以下、第一流体と第二流体と称して区別することがある）を択一的に流出させる機能をもったものである。
【００１２】
この流体制御機器Ｖ１は、流路が形成されたバルブボディＶ１１、弁体を制御する制御機構Ｖ１２によって構成されている。
【００１３】
バルブボディＶ１１内には、第一流体又は第二流体が流入又は流出する開口部として、第一流体が流入する流入口１０、第二流体が流入する流入口２０、第一流体及び第二流体が流出する流出口３０が設けられている。
【００１４】
流入口１０には順次、流入路１１、弁室１２、流出路１３が連通しており、これらは第一流体が流通する流路（以下、「流路Ｒ１」と称する）を一体的に構成している。
流入路１１と弁室１２とが連通する箇所の周縁には環状のシート１１１が設けられ、シート１１１上にはダイヤフラム１１２が設けられている。そして、ダイヤフラム１１２がシート１１１に当接離反することによって、流入路１１から流出路１３へ第一流体が流通させられたり、遮断させられたりする。
【００１５】
流入口２０には順次、流入路２１、弁室２２、流出路２３が連通しており、これらは第二流体が流通する流路（以下、「流路Ｒ２」と称する）を一体的に構成している。
流入路２１と弁室２２が連通する箇所の周縁には環状のシート２１１が設けられ、シート２１１上にはダイヤフラム２１２が設けられている。そして、ダイヤフラム２１２がシート２１１に当接離反することによって、流入路２１から流出路２３へ第二流体が流通させられたり、遮断させられたりする。
【００１６】
制御機構Ｖ１２は、二つの制御機構Ｖ１２１、Ｖ１２２によって構成されている。二つの制御機構Ｖ１２１、Ｖ１２２には夫々に対応した別々の駆動圧供給部から駆動圧が供給され、夫々独立して動作する。
【００１７】
なお、二つの制御機構Ｖ１２１、Ｖ１２２からなる制御機構Ｖ１２は、外観上、ボンネットＢ１によって一体的に覆われ、コンパクトに構成されている。また、ボンネットＢ１とバルブボディＶ１１には、互いと結合するための結合ネジ１４が適所に螺合されており、一体となっている。
【００１８】
第一流体の流通又は遮断は、制御機構Ｖ１２１が制御している。この制御機構Ｖ１２１は、ノーマルクローズ（N.C.：常時閉）のエア式作動弁によって構成され、既知のノーマルクローズのエア式作動弁が開閉動作を実行するのに必要なアダプタ１１３、ディスク１１４、ピストン１１５、バネ１１６、シート１１１、ダイヤフラム１１２などの機構のほか、駆動圧導入路１１７、駆動圧導入室Ｓ１を備えている。
なお、アダプタ１１３はダイヤフラム１１２の周縁を押さえる部材、ディスク１１４はダイヤフラム１１２を押圧する部材、ピストン１１５は上下に摺動する部材、バネ１１６はピストン１１５の外周面上に巻回されてピストン１１５をダイヤフラム１１２の方向に付勢する部材であり、なお、これら各部品の機能は後述する制御機構Ｖ１２２や第二の実施形態についても同様である。
【００１９】
制御機構Ｖ１２１による制御動作について言及する。開弁させる際には、駆動圧の供給に応じてバネ１１６を付勢方向とは反対の向きに押し縮めると、ディスク１１４による押圧からダイヤフラム１１２が開放される。これにより、ダイヤフラム１１２が自身の復元力や流路Ｒ１内の圧力によって中央部がシート１１１から離反する方向に変位してシート１１１から離反する。その結果、弁室１２が開放され、流入路１１と流出路１３とが連通した状態となる。
【００２０】
また、閉弁させる際には、駆動圧の供給停止に応じてバネ１１６が付勢方向にディスク１１４を付勢すると、ダイヤフラム１１２がディスク１１４によって押圧される。これにより、シート１１１に対してダイヤフラム１１２の中央部がシート１１１に当接する方向に変位してシート１１１に当接する。その結果、弁室１２が遮断され、流入路１１と流出路１３が遮断された状態となる。
これにより第一流体は、流入口１０から順次、連通する流入路１１、弁室１２、流出路１３を経由して流出口３０へ流通させられる。
【００２１】
第二流体の流通又は遮断は、制御機構Ｖ１２２が制御している。この制御機構Ｖ１２２は制御機構Ｖ１２１と同様、ノーマルクローズのエア式作動弁によって構成され、既知のノーマルクローズのエア式作動弁が開閉動作を実行するのに必要なアダプタ２１３、ディスク２１４、ピストン２１５、バネ２１６、シート２１１、ダイヤフラム２１２などの機構のほか、駆動圧導入路２１７、駆動圧導入室Ｓ２を備えている。
【００２２】
制御機構Ｖ１２２による制御動作について言及する。開弁させる際には、駆動圧の供給に応じてバネ２１６を付勢方向とは反対の向きに押し縮めると、ディスク２１４による押圧からダイヤフラム２１２が開放される。これにより、ダイヤフラム２１２が自身の復元力や流路Ｒ２内の圧力によって中央部がシート２１１から離反する方向に変位してシート２１１から離反する。その結果、弁室２２が開放され、流入路２１と流出路２３とが連通した状態となる。
【００２３】
また、閉弁させる際には、駆動圧の供給停止に応じてバネ２１６が付勢方向にディスク２１４を付勢すると、ダイヤフラム２１２がディスク２１４によって押圧される。これにより、シート２１１に対してダイヤフラム２１２の中央部がシート２１１に当接する方向に変位してシート２１１に当接する。その結果、弁室２２が遮断され、流入路２１と流出路２３が遮断された状態となる。
これにより第二流体は、流入口２０から順次、連通する流入路２１、弁室２２、流出路２３を経由して流出口３０へ流通させられる。
【００２４】
なお、本実施形態では、制御機構Ｖ１２１、Ｖ１２２をノーマルクローズのエア式作動弁として構成した例を示したが、これに限らず、ノーマルオープン（N.O.：常時開）のエア式作動弁として構成することもできる。また、ダイヤフラム弁に限らず、ベローズ弁等であってもよいし、エア式作動弁に限らず、電磁駆動弁であってもよく、第一流体又は第二流体の流通又は遮断を制御し得る限り、他の構造を採用することができる。
【００２５】
次に、この流体制御機器Ｖ１を使用する場合について説明する。
まず、第一流体を流出させる場合には、制御機構Ｖ１２１に駆動圧を供給する一方、制御機構Ｖ１２２は駆動圧の供給が停止された状態とする。
これにより、制御機構Ｖ１２１によって制御されている流路Ｒ１が連通した状態となり、第一流体が流通する。
一方、制御機構Ｖ１２２によって制御されている流路Ｒ２は遮断された状態となり、第二流体は流通が遮断された状態となる。
【００２６】
次に、第二流体を流出させる場合には、制御機構Ｖ１２２に駆動圧を供給する一方、制御機構Ｖ１２１は駆動圧の供給が停止された状態とする。
これにより、制御機構Ｖ１２２によって制御されている流路Ｒ２が連通した状態なり、第二流体が流通する。
一方、制御機構Ｖ１２１によって制御されている流路Ｒ１は遮断された状態となり、第一流体は流通が遮断された状態となる。
【００２７】
本実施形態に係る流体制御機器Ｖ１によれば、二種類の流体を択一的に流通させることができる。またそのような機能を保持しつつ、機器自体をコンパクトなものとすることができる。
【００２８】
なお、本実施形態では、二つの制御機構Ｖ１２１、Ｖ１２２には夫々に対応した別々の駆動圧供給部から駆動圧が供給され、夫々独立して動作するものとしたが、二つの制御機構Ｖ１２１、Ｖ１２２を連携させて、一方に対して駆動圧が供給されている場合には他方に対して駆動圧の供給を停止又は規制し、一方に対して駆動圧が供給されていない場合には、他方に対して駆動圧の供給を実行又は許可するようにすることもできる。これにより、人為的な操作の結果、意図せずに第一流体と第二流体が同時に流出する状況を防ぐことができる。
【実施例２】
【００２９】
続いて、本発明の第二の実施形態に係る流体制御機器Ｖ２について、図を参照して説明する。
図４に示されるように、本実施形態に係る流体制御機器Ｖ２は流体制御機器Ｖ１と同様、二種類の流体を択一的に流出させる機能をもったものである。他方、流体制御機器Ｖ１では、制御機構Ｖ１２１、Ｖ１２２が夫々、独立して制御されたのに対し、本実施形態では、互いに連関して制御される。
【００３０】
この流体制御機器Ｖ２は、流路が形成されたバルブボディＶ２１、弁体を制御する制御機構Ｖ２２によって構成されている。
【００３１】
バルブボディＶ２１内には、第一流体又は第二流体が流入又は流出する開口部として、第一流体が流入する流入口４０、第二流体が流入する流入口５０、第一流体及び第二流体が流出する流出口６０が設けられている。
【００３２】
流入口４０には順次、流入路４１、弁室４２、流出路４３が連通しており、これらは第一流体が流通する流路（以下、「流路Ｒ４」と称する）を一体的に構成している。
流入路４１と弁室４２とが連通する箇所の周縁には環状のシート４１１が設けられ、シート４１１上にはダイヤフラム４１２が設けられている。そして、ダイヤフラム４１２がシート４１１に当接離反することによって、流入路４１から流出路４３へ第一流体が流通させられたり、遮断させられたりする。
【００３３】
流入口５０には順次、流入路５１、弁室５２、流出路５３が連通しており、これらは第二流体が流通する流路（以下、「流路Ｒ５」と称する）を一体的に構成している。
流入路５１と弁室５２が連通する箇所の周縁には環状のシート５１１が設けられ、シート５１１上にはダイヤフラム５１２が設けられている。そして、ダイヤフラム５１２がシート５１１に当接離反することによって、流入路５１から流出路５３へ第二流体が流通させられたり、遮断させられたりする。
【００３４】
制御機構Ｖ２２は、二つの制御機構Ｖ２２１、Ｖ２２２によって構成されている。二つの制御機構Ｖ２２１、Ｖ２２２には同一の駆動圧供給部から駆動圧が供給され、互いに連関して動作する。即ち、駆動圧供給部が有する駆動圧供給路ＡＲは、駆動圧導入路４１７及び駆動圧導入路５１７と連通している。これにより、一方の制御機構Ｖ２２１（Ｖ２２２）に対して駆動圧が供給されているときには、他方の制御機構Ｖ２２２（Ｖ２２１）に対しても駆動圧が供給され、一方の制御機構Ｖ２２１（Ｖ２２２）に対して駆動圧が供給されていないときには、他方の制御機構Ｖ２２２（Ｖ２２１）に対しても駆動圧が供給されない。
【００３５】
なお、二つの制御機構Ｖ２２１、Ｖ２２２からなる制御機構Ｖ２２は、外観上、ボンネットＢ２によって一体的に覆われ、コンパクトに構成されている。また、ボンネットＢ２とバルブボディＶ２１には、互いと結合するための結合ネジ４４が適所に螺合されており、一体となっている。
【００３６】
第一流体の流通又は遮断は、制御機構Ｖ２２１が制御している。この制御機構Ｖ２２１は、ノーマルオープンのエア式作動弁によって構成され、既知のノーマルオープンのエア式作動弁が開閉動作を実行するのに必要なアダプタ４１３、ディスク４１４、ピストン４１５、バネ４１６、シート４１１、ダイヤフラム４１２などの機構のほか、駆動圧導入路４１７、駆動圧導入室Ｓ４を備えている。
【００３７】
制御機構Ｖ２２１による制御動作について言及する。開弁させる際には、駆動圧の供給停止に応じてバネ４１６が付勢方向にピストン４１５を付勢すると、ディスク４１４による押圧からダイヤフラム４１２が開放される。これにより、ダイヤフラム４１２が自身の復元力や流路Ｒ４内の圧力によって中央部がシート４１１から離反する方向に変位してシート４１１から離反する。その結果、弁室４２が開放され、流入路４１と流出路４３とが連通した状態となる。
【００３８】
また、閉弁させる際には、駆動圧の供給に応じてバネ４１６を付勢方向とは反対の向きに押し縮めると、ダイヤフラム４１２がディスク４１４によって押圧される。これにより、シート４１１に対してダイヤフラム４１２の中央部がシート４１１に当接する方向に変位してシート４１１に当接する。その結果、弁室４２が遮断され、流入路４１と流出路４３が遮断された状態となる。
これにより第一流体は、流入口４０から順次、連通する流入路４１、弁室４２、流出路４３を経由して流出口６０へ流通させられる。
【００３９】
第二流体の流通又は遮断は、制御機構Ｖ２２２が制御している。この制御機構Ｖ２２２はノーマルクローズのエア式作動弁によって構成され、既知のノーマルクローズのエア式作動弁が開閉動作を実行するのに必要なアダプタ５１３、ディスク５１４、ピストン５１５、バネ５１６、シート５１１、ダイヤフラム５１２などの機構のほか、駆動圧導入路５１７、駆動圧導入室Ｓ５を備えている。
【００４０】
制御機構Ｖ２２２による制御動作について言及する。開弁させる際には、駆動圧の供給に応じてバネ５１６を付勢方向とは反対の向きに押し縮めると、ディスク５１４による押圧からダイヤフラム５１２が開放される。これにより、ダイヤフラム５１２が自身の復元力や流路内Ｒ５の圧力によって中央部がシート５１１から離反する方向に変位してシート５１１から離反する。その結果、弁室５２が開放され、流入路５１と流出路５３とが連通した状態となる。
【００４１】
また、閉弁させる際には、駆動圧の供給停止に応じてバネ５１６が付勢方向にディスク５１４を付勢すると、ダイヤフラム５１２がディスク５１４によって押圧される。これにより、シート５１１に対してダイヤフラム５１２の中央部がシート５１１に当接する方向に変位してシート５１１に当接する。その結果、弁室５２が遮断され、流入路５１と流出路５３が遮断された状態となる。
これにより第二流体は、流入口５０から順次、連通する流入路５１、弁室５２、流出路５３を経由して流出口６０へ流通させられる。
【００４２】
この流体制御機器Ｖ２において、制御機構Ｖ２２１、Ｖ２２２は同一の駆動圧供給部から駆動圧の供給を受ける。そのため、制御機構Ｖ２２１、Ｖ２２２には同時に駆動圧が供給又は停止される。
駆動圧供給部から制御機構Ｖ２２１、Ｖ２２２に対して駆動圧が供給されていない状態では、制御機構Ｖ２２１が弁開状態にあり、制御機構Ｖ２２２は弁閉状態にある。その結果、第一流体のみが流通させられる。
一方、駆動圧供給部から制御機構Ｖ２２１、Ｖ２２２に対して駆動圧が供給された状態では、制御機構Ｖ２２１が弁閉状態になり、制御機構Ｖ２２２は弁開状態になる。その結果、第二流体のみが流通させられる。
【００４３】
なお、本実施形態では、制御機構Ｖ２２１をノーマルオープンとし、制御機構Ｖ２２２をノーマルクローズとして構成したが、これに限らず、制御機構Ｖ２２１をノーマルクローズ、制御機構Ｖ２２２をノーマルオープンとして構成することもできる。ただし、流体制御機器Ｖ２の開閉動作を減らす観点からは、プロセスガスを流通させる側の流路を制御する制御機構Ｖ２２１（Ｖ２２２）をノーマルオープンとし、パージガスを流通させる側の流路を制御する制御機構Ｖ２２２（Ｖ２２１）をノーマルクローズとするのが好適である。一方で、プロセスガスとして毒性を有するガスが用いられる場合には、安全性の観点から、プロセスガスを流通させる側の流路を制御する制御機構Ｖ２２１（Ｖ２２２）をノーマルクローズとし、パージガスを流通させる側の流路を制御する制御機構Ｖ２２２（Ｖ２２１）をノーマルオープンとするのが好適である。
【００４４】
次に、この流体制御機器Ｖ２を使用する場合について説明する。
まず、第一流体を流出させる場合には、制御機構Ｖ２２１、Ｖ２２２について、駆動圧の供給が停止された状態とする。
これにより、制御機構Ｖ２２１によって制御されている流路Ｒ４が連通した状態となり、第一流体が流通する。
一方、制御機構Ｖ２２２によって制御されている流路Ｒ５は遮断された状態となり、第二流体は流通が遮断された状態となる。
【００４５】
次に、第二流体を流出させる場合には、制御機構Ｖ２２１、Ｖ２２２に駆動圧を供給する。
これにより、制御機構Ｖ２２２によって制御されている流路Ｒ５が連通した状態なり、第二流体が流通する。
一方、制御機構Ｖ２２１によって制御されている流路Ｒ４は遮断された状態となり、第一流体は流通が遮断された状態となる。
【００４６】
本実施形態に係る流体制御機器Ｖ２によっても、二種類の流体を択一的に流通可能としつつ、機器自体をコンパクトなものとすることができる。
また、制御機構Ｖ２２１、Ｖ２２２を個別に制御することなく、一の操作で二種類の流体の流通を制御することができ、操作も簡便である。
また、二種類の流体を択一的に流通させるのに一つの駆動圧供給部しか用いないため、第一流体又は第二流体ごとに駆動圧供給部を設ける場合に比べ、駆動圧供給部に接続する配線等を減らすことができ、流体制御機器まわりをすっきりさせることができる。
【００４７】
なお、以上の本実施形態に係る流体制御機器V１、Ｖ２において、駆動圧は同時でなく、時間差あるいは異なるタイミングで供給又は供給停止することもできる。
また、流体制御機器V２において、制御機構V２２１、V２２２に対しては別々の駆動圧供給部からそれぞれのタイミングで駆動圧を供給することもできる。
【符号の説明】
【００４８】
Ｖ１、Ｖ２      流体制御機器
Ｖ１１、Ｖ２１    バルブボディ
Ｖ１２、Ｖ２２    制御機構
Ｖ１２１、Ｖ１２２、Ｖ２２１、Ｖ２２２  制御機構
１０、２０、４０、５０      流入口
１１、２１、４１、５１      流入路
１２、２２、４２、５２      弁室
１３、２３、４３、５３      流出路
【図１】
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【図２】
2019178718.tif 000004
【図３】
2019178718.tif 000005
【図４】
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