(57)【要約】【課題】センサ素子の実装に係る構成がセンサ素子の振動に及ぼす影響を低減できる角速度センサを提供する。【解決手段】角速度センサ１において、絶縁基体３５は、センサ素子５が固定されている対向面３５ｂを有している。センサ素子５の圧電体１３は、対向面３５ｂの平面視において、基部２１と、基部２１から延びている複数の駆動腕２３および検出腕２５と、基部２１に接続されている支持部２７とを有している。支持部２７は、対向面３５ｂの平面視において、基部２１、駆動腕２３および検出腕２５の周囲で延びている実装部３１を有している。実装部３１は、対向面３５ｂに固定されている被固定部３１ｅを有している。対向面３５ｂは、被固定部３１ｅに固定されている固定面３５ｃと、固定面３５ｃに対して低くなっている退避面３５ｄとを有している。退避面３５ｄは、実装部３１の一部に対向している。【選択図】図２
2019215271.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体を含んでいるセンサ素子と、
前記センサ素子が固定されている対向面を有している絶縁基体と、
を有しており、
前記圧電体は、前記対向面の平面視において、
基部と、
前記基部から延びている複数の腕と、
前記基部に接続されている支持部と、を有しており、
前記支持部は、前記対向面の平面視において、前記基部および前記複数の腕の周囲で延びている実装部を有しており、
前記実装部は、前記対向面に固定されている被固定部を有しており、
前記対向面は、
前記被固定部に固定されている固定面と、
前記固定面に対して低くなっている退避面と、を有しており、
前記退避面は、前記実装部のうちの前記被固定部以外の少なくとも一部に対向している
角速度センサ。
【請求項２】
前記実装部は、前記基部および複数の腕を挟んで前記複数の腕に並列に延びる１対の延在部を有しており、
前記退避面は、前記１対の延在部の少なくとも一部に対向している
請求項１に記載の角速度センサ。
【請求項３】
前記１対の延在部それぞれは、その長手方向の中途位置に前記被固定部を有しており、
前記退避面は、前記１対の延在部の端部に対向している
請求項２に記載の角速度センサ。
【請求項４】
前記実装部は、前記基部および前記複数の腕を囲む矩形の環状の形状を有しており、
前記退避面は、前記矩形の４隅に対向している
請求項３に記載の角速度センサ。
【請求項５】
前記複数の腕は、前記対向面に直交するｚ軸を有する直交座標系ｘｙｚのｚ方向に見て、
前記基部からｙ方向の一方側へ互いに並列に延びている１対の第１腕と、
前記基部からｙ方向の他方側へ互いに並列に延びている１対の第２腕と、を有しており、
前記実装部は、ｚ方向に見て、
前記１対の第２腕の間で前記基部からｙ方向の前記他方側へ延びており、前記１対の第２腕の先端よりもｙ方向の前記他方側へ延び出ている保持部と、
前記保持部の前記基部とは反対側の端部からｘ側および−ｘ側へ延びている第１延在部と、
前記第１延在部の、前記１対の第２腕双方よりも＋ｘ側および−ｘ側の位置からｙ方向の前記一方側へ延びている１対の第２延在部と、を有しており、
前記退避面は、前記１対の第２延在部の−ｙ側の端部および＋ｙ側の端部の少なくとも１つに面している
請求項１〜４のいずれか１項に記載の角速センサ。
【請求項６】
前記被固定部には端子が位置しており、
前記固定面には、導電性のバンプを介して前記端子に接合されているパッドが位置しており、
前記固定面のうち前記パッドと重なる領域は、前記対向面の平面視において前記退避面内へ突出する形状を有している
請求項１〜５のいずれか１項に記載の角速度センサ。
【請求項７】
前記固定面に固定されており、前記対向面の平面視において前記固定面内に収まっている電子素子をさらに有している
請求項１〜６のいずれか１項に記載の角速度センサ。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の角速度センサの製造方法であって、
第１セラミックグリーンシートに開口を形成する開口形成ステップと、
前記開口が形成された前記第１セラミックグリーンシートと、第２セラミックグリーンシートとを重ねて前記開口を前記第２セラミックグリーンシートによって塞ぐ積層ステップと、
積層された前記第１および第２セラミックグリーンシートを焼成する焼成ステップと、
を有しており、
前記第１セラミックグリーンシートの前記第２セラミックグリーンシートとは反対側の面によって前記固定面を構成し、前記第２セラミックグリーンシートの前記開口から露出する面によって前記退避面を構成する
角速度センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、角速度センサおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
角速度センサ（ジャイロスコープ）のセンサ素子として、圧電振動式のものが知られている（例えば特許文献１および２）。
【０００３】
特許文献１のセンサ素子の圧電体は、基部と、基部から互いに並列に延びる１対の駆動腕と、基部から１対の駆動腕とは反対側へ延びる１対の検出腕とを有している。駆動腕が励振された状態でセンサ素子が回転すると、コリオリの力が生じ、角速度に応じた振幅で検出腕が振動する。これにより、検出腕にて角速度に応じた電気信号が生成される。また、特許文献１のセンサ素子の圧電体は、１対の検出腕の間で基部から１対の検出腕と並列に延び、検出腕の先端よりも基部とは反対側へ延び出る支持棒と、支持棒の基部とは反対側の端部に接続されている固定板とを有している。基部は、支持棒によって支持されている。
【０００４】
特許文献２のセンサ素子の圧電体は、基部と、基部から互いに同一方向に延びている駆動腕および検出腕と、基部から延び出ている支持部を有している。基部は、支持部によって支持されている。支持部は、基部、駆動腕および検出腕を囲む枠体を有している（図１１および図１３）。枠体は、基部、駆動腕および検出腕をパッケージングするパッケージの外壁の一部を構成している。
【０００５】
センサ素子は、例えば、凹部を有するパッケージに収容される。この場合、一般には、センサ素子は、特許文献２の図２に開示されているように、導電性接着剤またははんだからなるバンプによって、凹部の底面に実装（固定）される。これにより、センサ素子は、バンプの厚さで凹部の底面から離され、振動可能な状態とされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−５４７２５号公報
【特許文献２】特開２０１５−１４９５９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
センサ素子の実装に係る構成がセンサ素子の振動に及ぼす影響を低減できる角速度センサおよびその製造方法が提供されることが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の一態様に係る角速度センサは、圧電体を含んでいるセンサ素子と、前記センサ素子が固定されている対向面を有している絶縁基体と、を有しており、前記圧電体は、前記対向面の平面視において、基部と、前記基部から延びている複数の腕と、前記基部に接続されている支持部と、を有しており、前記支持部は、前記対向面の平面視において、前記基部および前記複数の腕の周囲で延びている実装部を有しており、前記実装部は、前記対向面に固定されている被固定部を有しており、前記対向面は、前記被固定部に固定されている固定面と、前記固定面に対して低くなっている退避面と、を有しており、前記退避面は、前記実装部のうちの前記被固定部以外の少なくとも一部に対向している。
【０００９】
一例において、前記実装部は、前記基部および複数の腕を挟んで前記複数の腕に並列に延びる１対の延在部を有しており、前記退避面は、前記１対の延在部の少なくとも一部に対向している。
【００１０】
一例において、前記１対の延在部それぞれは、その長手方向の中途位置に前記被固定部を有しており、前記退避面は、前記１対の延在部の端部に対向している。
【００１１】
一例において、前記実装部は、前記基部および前記複数の腕を囲む矩形の環状の形状を有しており、前記退避面は、前記矩形の４隅に対向している。
【００１２】
一例において、前記複数の腕は、前記対向面に直交するｚ軸を有する直交座標系ｘｙｚのｚ方向に見て、前記基部からｙ方向の一方側へ互いに並列に延びている１対の第１腕と、前記基部からｙ方向の他方側へ互いに並列に延びている１対の第２腕と、を有しており、前記実装部は、ｚ方向に見て、前記１対の第２腕の間で前記基部からｙ方向の前記他方側へ延びており、前記１対の第２腕の先端よりもｙ方向の前記他方側へ延び出ている保持部と、前記保持部の前記基部とは反対側の端部からｘ側および−ｘ側へ延びている第１延在部と、前記第１延在部の、前記１対の第２腕双方よりも＋ｘ側および−ｘ側の位置からｙ方向の前記一方側へ延びている１対の第２延在部と、を有しており、前記退避面は、前記１対の第２延在部の−ｙ側の端部および＋ｙ側の端部の少なくとも１つに面している。
【００１３】
一例において、前記被固定部には端子が位置しており、前記固定面には、導電性のバンプを介して前記端子に接合されているパッドが位置しており、前記固定面のうち前記パッドと重なる領域は、前記対向面の平面視において前記退避面内へ突出する形状を有している。
【００１４】
一例において、前記固定面に固定されており、前記対向面の平面視において前記固定面内に収まっている電子素子をさらに有している。
【００１５】
本開示の一態様に係る上記角速度センサの製造方法は、第１セラミックグリーンシートに開口を形成する開口形成ステップと、前記開口が形成された前記第１セラミックグリーンシートと、第２セラミックグリーンシートとを重ねて前記開口を前記第２セラミックグリーンシートによって塞ぐ積層ステップと、積層された前記第１および第２セラミックグリーンシートを焼成する焼成ステップと、を有しており、前記第１セラミックグリーンシートの前記第２セラミックグリーンシートとは反対側の面によって前記固定面を構成し、前記第２セラミックグリーンシートの前記開口から露出する面によって前記退避面を構成する。
【発明の効果】
【００１６】
上記の構成または手順によれば、実装に係る構成が振動に及ぼす影響を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１実施形態に係る角速度センサの概略構成を示す分解斜視図である。
【図２】図２（ａ）は図１のIIａ−IIａ線における断面図であり、図２（ｂ）は図１のIIｂ−IIｂ線における断面図である。
【図３】図１の角速度センサのセンサ素子の要部構成を示す斜視図である。
【図４】図４のセンサ素子の要部構成を示す平面図である。
【図５】図５（ａ）は図４のＶａ−Ｖａ線における断面図であり、図５（ｂ）は図４のＶｂ−Ｖｂ線における断面図である。
【図６】図１の角速度センサの実装基体を示す平面図である。
【図７】図６の実装基体の製造方法の手順の一例を示すフローチャートである。
【図８】図８（ａ）および図８（ｂ）は図７のフローチャートを補足する斜視図である。
【図９】第２実施形態に係るセンサ素子を示す平面図である。
【図１０】第３実施形態に係るセンサ素子を示す平面図である。
【図１１】第４実施形態に係るセンサ素子を示す平面図である。
【図１２】第５実施形態に係るセンサ素子を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図面は模式的なものであり、図面上の各種の寸法同士の比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。また、複数の図面相互間においても、各種の寸法同士の比率は必ずしも一致していない。便宜上、層状の部材の表面（すなわち断面でない面）にハッチングを付すことがある。
【００１９】
また、各図には、説明の便宜のために、直交座標系ｘｙｚを付している。直交座標系ｘｙｚは、センサ素子（圧電体）の形状に基づいて定義されている。すなわち、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸は、結晶の電気軸、機械軸および光軸を示すとは限らない。角速度センサおよびセンサ素子は、いずれの方向が上方または下方として使用されてもよいものであるが、以下では、便宜上、ｚ方向の正側を上方として、上面または下面等の用語を用いることがある。また、単に平面視という場合、特に断りがない限り、ｚ方向に見ることをいうものとする。
【００２０】
同一または類似する構成については、「第１駆動腕２３Ａ」、「第２駆動腕２３Ｂ」のように、互いに異なる番号（「第１」、「第２」）および／または互いに異なるアルファベットの付加符号（「Ａ」、「Ｂ」）を付すことがある。また、この場合において、単に「駆動腕２３」といい、これらを区別しないことがある。
【００２１】
第２実施形態以降において、既に説明された実施形態の構成と共通または類似する構成について、既に説明された実施形態の構成に付した符号を用い、また、図示または説明を省略することがある。なお、既に説明された実施形態の構成と対応（類似）する構成については、既に説明された実施形態の構成と異なる符号を付した場合においても、特に断りがない点は、既に説明された実施形態の構成と同様とされてよい。すなわち、第２実施形態以降においては、基本的に、既に説明された実施形態との相違部分についてのみ説明する。
【００２２】
［第１実施形態］
（角速度センサの全体構成）
図１は、本開示の実施形態に係る角速度センサ１（以下、「角速度」は省略することがある。）の概略構成を示す分解斜視図である。図２（ａ）は、図１のIIａ−IIａ線におけるセンサ１の断面図である。図２（ｂ）は、図１のIIｂ−IIｂ線における断面図である。
【００２３】
センサ１は、本実施形態では、ｙ軸回りの角速度を検出するように構成されている。センサ１は、例えば、全体として、概略、薄型の直方体状とされる電子部品である。その寸法は適宜に設定されてよい。比較的小型な態様に係る寸法の一例を挙げると、平面視の１辺の長さは１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、厚さ（ｚ方向）は０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下（ただし、平面視の短辺の長さよりも小さい）である。
【００２４】
センサ１は、例えば、凹部３ａが形成された実装基体３と、凹部３ａに収容されたセンサ素子５および電子素子７と、凹部３ａを塞ぐ蓋９とを有している。センサ素子５は、角速度の検出を直接に担う部分である。電子素子７は、例えば、センサ１の多機能化に寄与している電子部品である。実装基体３および蓋９は、センサ素子５（および電子素子７）をパッケージングするパッケージ１１を構成している。
【００２５】
（センサ素子の全体構成）
図３は、センサ素子５の要部構成を示す斜視図である。図４は、センサ素子５の要部構成を示す平面図（底面図）である。なお、ｚ軸の方向から理解されるように、図４では、センサ素子５の上面および下面のうち下面（実装基体３に固定される側）が示されている。また、図４では、後述する退避面３５ｄの外縁も点線で示されている。
【００２６】
センサ素子５は、圧電振動式のものである。センサ素子５は、使用時に逆圧電効果を利用してｘ方向に励振される。この状態でセンサ素子５がｙ軸回りに回転すると、ｚ方向のコリオリ力が生じ、センサ素子５は、角速度に応じた振幅でｚ方向に振動する。この振動が圧電効果によって電気信号に変換されることによって角速度が検出される。
【００２７】
本実施形態に係るセンサ素子５は、後述する支持部２７に係る構成を除いて、特開２０１５−１４１１８４号公報に記載のセンサ素子と同様とされてよい。従って、当該公報の内容は、参照による援用（Incorporation by Reference）がなされてよく、また、センサ素子５の説明においては、支持部２７以外の構成について、細部の説明を省略することがある。
【００２８】
センサ素子５は、圧電体１３と、圧電体１３に電圧を印加するための第１励振電極１５Ａおよび第２励振電極１５Ｂ（図３）と、圧電体１３に生じた電気信号を取り出すための第１検出電極１７Ａ（図３）および第２検出電極１７Ｂ（図３）と、センサ素子５を実装基体３に実装するための素子端子１９（図４）とを有している。
【００２９】
なお、励振電極１５および検出電極１７の付加符号Ａ、Ｂは、直交座標系ｘｙｚに基づいて付されている。従って、後述するように、一の第１励振電極１５Ａと、他の第１励振電極１５Ａとは同電位とは限らない。第２励振電極１５Ｂ、第１検出電極１７Ａおよび第２検出電極１７Ｂについても同様である。
【００３０】
励振電極１５、検出電極１７、素子端子１９およびこれらを接続する配線３３（図５（ａ）および図５（ｂ）にて模式的に示す。）は、圧電体１３の表面に設けられた導体層によって構成されている。その材料は、例えば、Ｃｕ，Ａｌ等の適宜な金属である。これらの導体層は、互いに異なる材料からなる層が積層されて構成されていても構わない。
【００３１】
（圧電体）
圧電体１３は、その全体が一体的に形成されている。圧電体１３は、単結晶であってもよいし、多結晶であってもよい。また、圧電体１３の材料は適宜に選択されてよく、例えば、水晶（ＳｉＯ２），ＬｉＴａＯ３，ＬｉＮｂＯ３，ＰＺＴである。
【００３２】
圧電体１３において、電気軸乃至は分極軸（以下、両者を代表して分極軸のみに言及することがある。）は、ｘ軸に一致するように設定されている。なお、分極軸は、所定の範囲（例えば１５°以内）でｘ軸に対して傾斜していてもよい。また、圧電体１３が単結晶である場合において、機械軸および光軸の方向は、適宜な方向とされてよいが、例えば、機械軸はｙ軸に概ね平行とされ、光軸はｚ軸に概ね平行とされている。
【００３３】
圧電体１３は、例えば、全体として厚さ（ｚ方向）が概ね一定にされている。また、圧電体１３は、例えば、概略、ｙ軸に平行な不図示の対称軸に対して線対称の形状に形成されている。また、圧電体１３は、例えば、基部２１と、基部２１から延び出ている駆動腕２３（第１駆動腕２３Ａ〜第４駆動腕２３Ｄ）および検出腕２５（第１検出腕２５Ａおよび第２検出腕２５Ｂ）と、基部２１に接続されている支持部２７とを含んでいる。
【００３４】
１対の駆動腕２３は、電圧（電界）が印加されることによってｘ方向に励振される。検出腕２５は、コリオリの力によってｚ方向に振動し、角速度に応じた電気信号を生成する。基部２１は、例えば、駆動腕２３および検出腕２５の支持、および駆動腕２３から検出腕２５への振動の伝達に寄与する。支持部２７は、例えば、基部２１の支持、および実装基体３へのセンサ素子５の実装に寄与する。これらの具体的な構成は、例えば、以下のとおりである。
【００３５】
（基部、駆動腕および検出腕）
基部２１は、例えば、概略、一定の幅でｘ方向に直線状に延びる直方体状に形成されている。
【００３６】
複数の駆動腕２３は、互いに同一方向（＋ｙ側）に互いに並列に（例えば平行に）延びており、その先端は自由端とされている。駆動腕２３の数は、例えば、偶数（本実施形態では４）である。
【００３７】
各駆動腕２３の平面視における形状は、例えば、いわゆるハンマ形状とされている。すなわち、駆動腕２３は、基部２１から＋ｙ側に一定の幅で延びている本体部２３ａと、本体部２３ａの先端に位置しており、本体部２３ａよりも幅（ｘ方向）が広い拡幅部２３ｂとを有している。これにより、駆動腕２３の質量が先端において確保される。ひいては、感度を向上させつつ小型化を図ることが可能になっている。
【００３８】
より具体的には、４本の駆動腕２３のうち内側の駆動腕２３（第２駆動腕２３Ｂおよび第３駆動腕２３Ｃ）においては、拡幅部２３ｂは、例えば、本体部２３ａに対して内側へ広がっている。４本の駆動腕２３のうち外側の駆動腕２３（第１駆動腕２３Ａおよび第４駆動腕２３Ｄ）においては、拡幅部２３ｂは、例えば、本体部２３ａに対して外側へ広がっている。
【００３９】
圧電体１３の不図示の中心線の両側かつ当該中心線に対して最寄りに位置している１対の駆動腕２３（第２駆動腕２３Ｂおよび第３駆動腕２３Ｃ）同士の距離は、上記のように拡幅部２３ｂが設けられていることにより、根元側（本体部２３ａの側方）における距離よりも、先端側（拡幅部２３ｂの側方）における距離の方が短くなっている。
【００４０】
なお、図示の例とは異なり、各駆動腕２３において、拡幅部２３ｂは、本体部２３ａに対して両側に広がっていてもよい。また、各駆動腕２３において、拡幅部２３ｂは設けられなくてもよい。
【００４１】
駆動腕２３がｘ方向（励振方向）またはｚ方向（コリオリの力の方向）に大きくなると、駆動腕２３のｘ方向またはｚ方向における固有振動数は高くなり、駆動腕２３が延在方向（ｙ方向）に大きくなると、駆動腕２３のｘ方向またはｚ方向における固有振動数は低くなる。従って、例えば、駆動腕２３の幅（ｘ方向）および長さ（ｙ方向）の寸法の比率は、駆動腕２３の励振方向（ｘ方向）の固有振動数が駆動腕２３を励振する周波数に近づくように設定されてよい。また、駆動腕２３のｘｚ断面の形状および寸法は、例えば、駆動腕２３のｘ方向の固有振動数とｚ方向の固有振動数とが近づくように設定されてよい。
【００４２】
複数の検出腕２５は、複数の駆動腕２３の延びる方向とは反対方向（−ｙ側）に互いに並列に（例えば平行に）延びており、その先端は自由端とされている。検出腕２５の数は、例えば、偶数（本実施形態では２）である。
【００４３】
各検出腕２５の平面視における形状は、例えば、駆動腕２３と同様に、ハンマ形状とされている。すなわち、検出腕２５は、基部２１から−ｙ側に一定の幅で延びている本体部２５ａと、本体部２５ａの先端に位置しており、本体部２５ａよりも幅（ｘ方向）が広い拡幅部２５ｂとを有している。これにより、検出腕２５の質量が先端において確保される。ひいては、感度を向上させつつ小型化を図ることが可能になっている。
【００４４】
より具体的には、拡幅部２５ｂは、例えば、本体部２５ａに対してｘ方向両側へ広がっている。これにより、１対の検出腕２５同士の距離は、根元側（本体部２５ａの側方）における距離よりも、先端側（拡幅部２５ｂの側方）における距離の方が短くなっている。なお、図示の例とは異なり、拡幅部２５ｂは、本体部２５ａに対してｘ方向の一方側（例えば１対の検出腕２５の外側）のみに広がっていてもよい。また、拡幅部２５ｂは設けられなくてもよい。
【００４５】
各検出腕２５（例えばそのうちの本体部２５ａ）は、例えば、当該検出腕２５をｚ方向に貫通し、ｙ方向に延びる１または複数（図示の例では４つ）の貫通溝（符号省略）が形成された形状とされている。別の観点では、各検出腕２５は、互いに並列に延びる複数（図示の例では５つ）の分割腕２５ｃを有している。検出腕２５が複数の分割腕２５ｃを有していることにより、例えば、後述の説明から理解されるように、検出電極１７の配置数を増やして検出感度を向上させることができる。
【００４６】
検出腕２５がｘ方向（励振方向）またはｚ方向（コリオリの力の方向）に大きくなると、検出腕２５のｘ方向またはｚ方向における固有振動数は高くなり、検出腕２５が延在方向（ｙ方向）に大きくなると、検出腕２５のｘ方向およびｚ方向における固有振動数は低くなる。従って、例えば、検出腕２５の厚さ（ｚ方向）および長さ（ｙ方向）の寸法の比率は、検出腕２５のｚ方向の固有振動数が、駆動腕２３を励振させる周波数に近づくように設定されてよい。また、例えば、検出腕２５の幅（ｘ方向）および長さ（ｙ方向）の寸法の比率は、検出腕２５のｘ方向の固有振動数が駆動腕２３を励振させる周波数から離れるように設定されてよい。なお、図示の例では、上記のような設定の結果、検出腕２５の幅は、駆動腕２３の幅および検出腕２５（駆動腕２３）の厚さよりも大きくされている。
【００４７】
（支持部）
支持部２７は、例えば、基部２１から延びている保持部２９と、保持部２９の基部２１とは反対側の端部に接続されている実装部３１とを有している。実装部３１が実装基体３に固定されることにより、基部２１は、実装部３１および保持部２９を介して実装基体３に支持される。基部２１は、その両端が実装部３１に支持されるのではなく、保持部２９を介して実装部３１に支持されていることから、例えば、実装部３１と実装基体３との熱膨張差等によって実装部３１に応力が生じても、当該応力は、基部２１に伝わりにくい。
【００４８】
保持部２９は、例えば、１対の検出腕２５の間で基部２１から−ｙ側へ検出腕２５に並列に（例えば平行に）延びている。保持部２９は、検出腕２５よりも長く、検出腕２５の先端よりも−ｙ側に延び出ている。
【００４９】
保持部２９は、例えば、図示の例では保持部２９の大部分を構成している主部２９ａと、主部２９ａと基部２１とを接続している接続部２９ｂとを有している。接続部２９ｂの幅（ｘ方向）は、主部２９ａよりも広くされている。これにより、保持部２９と基部２１との接続位置における強度が向上している。
【００５０】
主部２９ａは、例えば、平面視において、概略、実装部３１から基部２１へ一定の幅（ｘ方向）で直線状に延びる長尺形状を有している。換言すれば、主部２９ａは、１対の検出腕２５の先端（拡幅部２５ｂ）の間に位置する部分の幅と同程度以上の幅を維持しつつ、１対の検出腕２５の先端の間から接続部２９ｂまで延びている。すなわち、主部２９ａ（保持部２９）は、基部２１側に幅が狭くなっている部分（くびれ）を有していない。主部２９ａの横断面（ｘｚ断面）の形状は、例えば、矩形である。
【００５１】
接続部２９ｂは、例えば、主部２９ａの幅よりも広い一定の幅でｙ方向に延びている部分を有している。すなわち、接続部２９ｂは、平面視において矩形部分を有している。当該矩形は、正方形であってもよいし、ｘ方向およびｙ方向のいずれかが長い長方形であってもよい。接続部２９ｂの横断面（ｘｚ断面）の形状は、例えば、矩形である。
【００５２】
主部２９ａおよび接続部２９ｂの寸法は、適宜に設定されてよい。例えば、これらの幅は、角速度の検出のための振動等によって保持部２９と１対の検出腕２５とが当接しないように、かつ最大限の大きさとされてよい。具体的には、例えば、保持部２９の幅は、１対の検出腕２５同士の距離から、１対の検出腕２５に関して通常の使用態様で想定されているｘ方向の変位、および所定の余裕量を差し引いた長さとされてよい。この際、ｙ方向における主部２９ａの位置と接続部２９ｂの位置とで、１対の検出腕２５同士の距離および／または１対の検出腕２５の変位が異なることが考慮されてよい。
【００５３】
具体的には、主部２９ａの幅は、１対の検出腕２５の先端（拡幅部２５ｂ）同士の距離の１倍未満であり、また、例えば、当該距離の１／３以上または２／５以上とされてよい。また、接続部２９ｂの幅は、１対の検出腕２５の根元側部分（本体部２５ａ）同士の距離の１倍未満であり、例えば、１対の検出腕２５の先端同士の距離の１倍未満であってもよいし、１倍以上とされてもよく、例えば、１対の検出腕２５の先端同士の距離の１．１倍以上とされてよい。また、接続部２９ｂの幅と主部２９ａの幅との相対的な大きさの観点においても、両者の幅は適宜に設定されてよい。例えば、接続部２９ｂの幅は、主部２９ａの幅の１．１倍以上２倍以下とされてよい。
【００５４】
なお、上述のように、圧電体１３の厚さ（ｚ方向）は、基本的には圧電体１３の全体に亘って一定であり、主部２９ａおよび接続部２９ｂの厚さは互いに同一である。
【００５５】
実装部３１は、例えば、基部２１、駆動腕２３および検出腕２５の周囲において延びているフレーム状（骨組み状）に形成されている。本実施形態では、フレームは、基部２１、駆動腕２３および検出腕２５を囲む環状である。環状は、例えば、概略矩形であり、実装部３１は、検出腕２５側（−ｙ側）にてｘ方向に（例えばｘ方向に平行に）延びている検出側延在部３１ａと、ｙ方向に（例えばｙ方向に平行に）延び、ｘ方向において互いに対向する１対の側方延在部３１ｂと、駆動腕２３側（＋ｙ側）にてｘ方向に（例えばｘ方向に平行に）延びている駆動側延在部３１ｃとを有している。なお、矩形の４隅は、検出側延在部３１ａまたは駆動側延在部３１ｃの端部と捉えられてもよいし、１対の側方延在部３１ｂの端部と捉えられてもよい。保持部２９は、基部２１と検出側延在部３１ａとを接続している。
【００５６】
実装部３１の大きさ（長辺および短辺の長さ等）は適宜に設定されてよい。例えば、実装部３１は、角速度の検出のための振動等によって駆動腕２３および検出腕２５に当接しないようにこれらの腕から適宜な距離で離されつつ、極力小さくされてよい。側方延在部３１ｂは、例えば、検出側延在部３１ａおよび駆動側延在部３１ｃよりも長い。ただし、両者の長さは同等とされてもよいし、長短の関係が図示の例とは逆とされてもよい。
【００５７】
実装部３１（各延在部）の横断面の形状は、例えば、実装部３１の全長に亘って概略矩形である。実装部３１の厚さ（ｚ方向）は、例えば、実装部３１の全長に亘って一定である。実装部３１の幅は、例えば、各延在部（各辺）において一定である。また、図示の例では、側方延在部３１ｂの幅は、検出側延在部３１ａの幅よりも大きくなっており、検出側延在部３１ａの幅は、駆動側延在部３１ｃの幅よりも大きくなっている。ただし、各延在部において幅が変化していたり、辺同士の幅の大小関係が上記とは異なるものとされたりしてもよい。
【００５８】
（素子端子）
素子端子１９の数は、センサ素子５の構成に応じて適宜に設定されてよい。本実施形態では、励振電極１５に印加される駆動信号が入力される２つの素子端子１９と、検出電極１７からの検出信号を出力する２つの素子端子１９と、基準電位が付与される２つの素子端子１９との合計で６つの素子端子１９が設けられている場合を例示している。
【００５９】
なお、基準電位用の２つの素子端子１９は、例えば、特に図示しないが、基部２１等において、駆動信号用の配線３３と検出信号用の配線３３との間に配置されるシールド用の配線に接続されている。このような基準電位用の素子端子１９および配線は省略されても構わない。また、基部２１における基準電位用の配線は、例えば、特開２０１５−１４１１８３号公報に記載のものと同様とされてよく、当該公報の内容は、参照による援用（Incorporation by Reference）がなされてよい。
【００６０】
素子端子１９は、例えば、実装部３１の下面（−ｚ側の面）に設けられている。複数の素子端子１９の平面視における位置、形状および大きさは適宜に設定されてよい。図示の例では、６つの素子端子１９は、１対の側方延在部３１ｂにおいて、実装部３１の４隅から離れて配置されている。換言すれば、全ての素子端子１９は、検出側延在部３１ａよりも＋ｙ側かつ駆動側延在部３１ｃよりも−ｙ側に位置している。より詳細には、例えば、全ての素子端子１９は、ｙ方向において、駆動腕２３の先端と検出腕２５の先端との間に位置している。また、複数の素子端子１９は、例えば、概略、センサ素子５の重心を通り、ｘ軸に平行な対称軸およびｙ軸に平行な対称軸に対して線対称に配置されている。各素子端子１９は、例えば、側方延在部３１ｂの幅と同程度またはこれよりも若干小さい幅を有する矩形に形成されている。
【００６１】
（励振電極）
図５（ａ）は、図４のＶａ−Ｖａ線における断面図である。なお、ｘ軸の方向から理解されるように、図４と図５（ａ）とでは、ｘ軸の正負と紙面左右方向との関係が逆である。
【００６２】
励振電極１５（紙面右側の第４駆動腕２３Ｄに符号を付す）は、駆動腕２３の表面に形成された層状導体である。第１励振電極１５Ａは、各駆動腕２３において、上面および下面（＋ｚ側の面および−ｚ側の面）にそれぞれ設けられている。一方、第２励振電極１５Ｂは、各駆動腕２３において、側面（＋ｘ側の面および−ｘ側の面）にそれぞれ設けられている。
【００６３】
各励振電極１５は、例えば、駆動腕２３の本体部２３ａの各面の大部分を覆うように設けられている（図３および図４も参照）。ただし、第１励振電極１５Ａおよび第２励振電極１５Ｂは、互いに短絡しないように、少なくとも一方（本実施形態では第１励振電極１５Ａ）が各面よりも幅方向において小さく形成されている。また、本体部２３ａの根元側および先端側の一部も、励振電極１５の非配置位置とされてよい。
【００６４】
各駆動腕２３において、２つの第１励振電極１５Ａは、例えば互いに同電位とされる。例えば、２つの第１励振電極１５Ａは、圧電体１３上の配線３３により互いに接続されている。また、各駆動腕２３において、２つの第２励振電極１５Ｂは、例えば互いに同電位とされる。例えば、２つの第２励振電極１５Ｂは、圧電体１３上の配線３３により互いに接続されている。
【００６５】
このような励振電極１５の配置および接続関係において、第１励振電極１５Ａと第２励振電極１５Ｂとの間に電圧を印加すると、例えば、駆動腕２３においては、上面から１対の側面（ｘ方向の両側）に向かう電界および下面から１対の側面に向かう電界が生じる。一方、分極軸は、ｘ方向に一致している。従って、電界のｘ方向の成分に着目すると、駆動腕２３のうちｘ方向の一方側部分においては電界の向きと分極軸の向きは一致し、他方側部分においては電界の向きと分極軸の向きは逆になる。
【００６６】
その結果、駆動腕２３のうちｘ方向の一方側部分はｙ方向において収縮し、他方側部分はｙ方向において伸長する。そして、駆動腕２３は、バイメタルのようにｘ方向の一方側へ湾曲する。第１励振電極１５Ａおよび第２励振電極１５Ｂに印加される電圧が逆にされると、駆動腕２３は逆方向に湾曲する。交流電圧が第１励振電極１５Ａおよび第２励振電極１５Ｂに印加されると、駆動腕２３はｘ方向において振動する。
【００６７】
なお、特に図示しないが、駆動腕２３の上面および／または下面に、駆動腕２３の長手方向に沿って延びる１以上の凹溝が設けられ、第１励振電極１５Ａは、この凹溝内に亘って設けられてもよい。この場合、第１励振電極１５Ａと第２励振電極１５Ｂとが凹溝の壁部を挟んでｘ方向において対向することになり、励振の効率が向上する。凹溝は、複数の凹部が駆動腕２３の長手方向に配列されて構成されてもよい。
【００６８】
互いに隣接する２本の駆動腕２３（第１駆動腕２３Ａおよび第２駆動腕２３Ｂの２本、または第３駆動腕２３Ｃおよび第４駆動腕２３Ｄの２本）の間においては、第１励振電極１５Ａ同士が同電位とされ、第２励振電極１５Ｂ同士が同電位とされる。同電位とされるべき励振電極１５同士は、例えば、圧電体１３上の配線３３によって接続されている。
【００６９】
このような接続関係において第１励振電極１５Ａと第２励振電極１５Ｂとの間に交流電圧を印加すると、互いに隣接する２本の駆動腕２３は、互いに同一の位相の電圧が印加されることになり、ｘ方向において互いに同一の向きに撓み変形するように振動する。互いに隣接する２本の駆動腕２３は、１本の駆動腕を分割したものに相当すると捉えられてよい。なお、互いに隣接する２本の駆動腕２３は、根元部分が一体化されて１本となっていてもよい（図１０参照）。
【００７０】
線対称に配置された１対の駆動腕２３（第１駆動腕２３Ａおよび第４駆動腕２３Ｄからなる１対、または第２駆動腕２３Ｂおよび第３駆動腕２３Ｃからなる１対）においては、第１励振電極１５Ａと第２励振電極１５Ｂとが同電位とされる。同電位とされるべき励振電極１５同士は、例えば、圧電体１３上の配線３３によって接続されている。
【００７１】
このような接続関係において第１励振電極１５Ａと第２励振電極１５Ｂとの間に交流電圧を印加すると、線対称に配置された１対の駆動腕２３は、互いに逆の位相の電圧が印加されることになり、ｘ方向において互いに逆向きに（線対称に）撓み変形するように振動する。
【００７２】
（検出電極）
図５（ｂ）は、図４のＶｂ−Ｖｂ線における断面図である。なお、ｘ軸の方向から理解されるように、図４と図５（ｂ）とでは、ｘ軸の正負と紙面左右方向との関係が逆である。
【００７３】
検出電極１７（紙面右側の分割腕２５ｃに符号を付す）は、検出腕２５（分割腕２５ｃ）の表面に形成された層状導体である。検出電極１７は、各分割腕２５ｃに設けられている。
【００７４】
より具体的には、第１検出電極１７Ａは、各分割腕２５ｃにおいて、−ｘ側の面のうちの＋ｚ側（例えば当該面の中央よりも＋ｚ側。以下、同様。）の領域、および＋ｘ側の面のうちの−ｚ側の領域にそれぞれ設けられている。第２検出電極１７Ｂは、各分割腕２５ｃにおいて、−ｘ側の面のうちの−ｚ側の領域、および＋ｘ側の面のうちの＋ｚ側の領域にそれぞれ設けられている。
【００７５】
分割腕２５ｃの各側面において、第１検出電極１７Ａおよび第２検出電極１７Ｂは、互いに短絡しないように適宜な間隔を空けて、分割腕２５ｃに沿って延びている。検出電極１７は、分割腕２５ｃの概ね全長に亘って延びている。各分割腕２５ｃにおいて、２つの第１検出電極１７Ａ同士は接続され、２つの第２検出電極１７Ｂ同士は接続される。当該接続は、例えば、圧電体１３上の配線３３によってなされる。
【００７６】
このような検出電極１７の配置および接続関係において、分割腕２５ｃがｚ方向に撓み変形すると、例えば、ｚ方向に平行な電界が生じる。すなわち、分割腕２５ｃの各側面においては、第１検出電極１７Ａと第２検出電極１７Ｂとの間に電圧が生じる。電界の向きは、分極軸の向きと、湾曲の向き（−ｚ側または＋ｚ側）とで決定され、分割腕２５ｃの−ｘ側と＋ｘ側とで互いに逆である。この電圧（電界）が第１検出電極１７Ａおよび第２検出電極１７Ｂに出力される。分割腕２５ｃがｚ方向に振動すると、電圧は交流電圧として検出される。なお、電界は、上記のようにｚ方向に平行な電界が支配的であってもよいし、上記とは異なり、ｘ方向に平行で、分割腕２５ｃの−ｚ側と＋ｚ側とで互いに逆向きな電界の割合が大きくてもよい。いずれにせよ、分割腕２５ｃのｚ方向への撓み変形に応じた電圧が第１検出電極１７Ａと第２検出電極１７Ｂとの間に生じる。
【００７７】
各検出腕２５の、複数の分割腕２５ｃの間においては、第１検出電極１７Ａ同士が接続され、第２検出電極１７Ｂ同士が接続される。当該接続は、例えば、圧電体１３上の配線３３によってなされる。このような接続関係においては、複数の分割腕２５ｃがｚ方向において互いに同一側に曲がるように撓み変形すると、複数の分割腕２５ｃにおいて検出された信号が加算される。
【００７８】
２つの検出腕２５の間においては、第１検出電極１７Ａと第２検出電極１７Ｂとが接続される。当該接続は、例えば、圧電体１３上の配線３３によってなされる。このような接続関係においては、２つの検出腕２５がｚ方向において互いに逆側に曲がるように撓み変形すると、２つの検出腕２５において検出された信号が加算される。
【００７９】
（配線）
複数の配線３３は、上述したように励振電極１５および検出電極１７を接続している。また、複数の配線３３は、電位の観点から２組に分けられた励振電極１５と、電位の観点から２組に分けられた検出電極１７との合計４組の電極と、４つの素子端子１９（図４）とをそれぞれ接続している。
【００８０】
複数の配線３３は、特に図示しないが、圧電体１３の種々の部分の上面、下面および／または側面において適宜に配されることによって、その全体が圧電体１３の表面に設けられる態様で、互いに短絡することなく、上述した接続を実現可能である。ただし、圧電体１３上に位置する配線３３の上に絶縁層を設け、その上に他の配線３３を設けることによって、立体配線部が形成されても構わない。
【００８１】
（駆動回路および検出回路）
図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、励振電極１５には、ここでは不図示の２つの素子端子１９を介して、励振電極１５に電圧を印加する駆動回路１０３が接続される。また、検出電極１７には、ここでは不図示の２つの素子端子１９を介して、検出電極１７からの電気信号を検出する検出回路１０５が接続される。
【００８２】
なお、センサ素子５（または角速度センサ１）と、駆動回路１０３および検出回路１０５との組み合わせは、角速度センサ５１として概念されてよい。駆動回路１０３および検出回路１０５は、全体として制御回路１０７を構成している。制御回路１０７は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）によって構成されている。このようなＩＣは、センサ素子５とともに実装基体３に実装されてパッケージングされていてもよいし、センサ１が実装される不図示の回路基板等に実装され、回路基板および実装基体３を介してセンサ素子５と接続されていてもよい。
【００８３】
駆動回路１０３は、例えば、発振回路あるいは増幅器を含んで構成されており、所定の周波数の交流電圧を第１励振電極１５Ａと第２励振電極１５Ｂとの間に印加する。なお、周波数は、角速度センサ５１内にて予め定められていてもよいし、外部の機器等から指定されてもよい。
【００８４】
検出回路１０５は、例えば、増幅器あるいは検波回路を含んで構成されており、第１検出電極１７Ａと第２検出電極１７Ｂとの電位差を検出し、その検出結果に応じた電気信号を外部の機器等に出力する。より具体的には、例えば、上記の電位差は、交流電圧として検出され、検出回路１０５は、検出した交流電圧の振幅に応じた信号を出力する。この振幅に基づいて角速度が特定される。また、検出回路１０５は、駆動回路１０３の印加電圧と検出した電気信号との位相差に応じた信号を出力する。この位相差に基づいて回転の向きが特定される。
【００８５】
（センサ素子の動作説明）
上述のように、第１駆動腕２３Ａおよび第２駆動腕２３Ｂのグループと、第３駆動腕２３Ｃおよび第４駆動腕２３Ｄのグループとは、励振方向（ｘ方向）において互いに逆側へ変形するように互いに逆の位相（１８０°ずれた位相）で励振される。
【００８６】
この状態で、センサ素子５がｙ軸回りに回転すると、駆動腕２３は、励振方向（ｘ方向）と回転方向（ｙ方向）とに直交する方向（ｚ方向）にコリオリの力を受ける。これにより、駆動腕２３は、ｚ方向に振動する。また、第１駆動腕２３Ａおよび第２駆動腕２３Ｂのグループと、第３駆動腕２３Ｃおよび第４駆動腕２３Ｄのグループとは、互いに逆の位相で励振されていることから、ｚ方向において互いに逆側へ湾曲するように振動する。
【００８７】
駆動腕２３および検出腕２５は、基部２１によって連結されている。従って、駆動腕２３の振動は、基部２１を介して検出腕２５に伝達され、検出腕２５も振動する。具体的には、第１検出腕２５Ａは、ｚ方向において第１駆動腕２３Ａおよび第２駆動腕２３Ｂとは逆側へ湾曲するように振動する。また、第２検出腕２５Ｂは、ｚ方向において第３駆動腕２３Ｃおよび第４駆動腕２３Ｄとは逆側へ湾曲するように振動する。別の観点では、第１検出腕２５Ａおよび第２検出腕２５Ｂは、ｚ方向において互いに逆側に湾曲するように振動する。従って、複数の検出電極１７の接続関係の説明で述べたように、両検出腕２５において生じた電気信号は加算される。
【００８８】
なお、上記では、駆動腕２３のｚ方向の振動が検出腕２５に伝わるものとして説明した。換言すれば、検出腕２５のｘ方向の振動については無視して説明した。実際には、駆動腕２３のｘ方向の振動が検出腕２５に伝わって検出腕２５がｘ方向に振動し、検出腕２５にてコリオリの力が生じることによって検出腕２５がｚ方向に振動する作用も生じる。この２種の作用のいずれが検出腕２５のｚ方向の振動に関して支配的であってもよい。本実施形態では、基本的に、駆動腕２３のｚ方向の振動が検出腕２５に伝わる作用が支配的である態様（検出腕２５のｘ方向の振動は相対的に小さい態様）を例にとる。このような場合、例えば、既に触れたように、駆動腕２３のｘ方向の固有振動数と、駆動腕２３のｚ方向の固有振動数と、検出腕２５のｚ方向の固有振動数との間の差に比較して、これらの固有振動数に対する検出腕２５のｘ方向の固有振動数の差を大きくしてよい。
【００８９】
（電子素子）
図１および図２（ａ）に示す電子素子７は、適宜なものとされてよい。例えば、電子素子７は、サーミスタ等の温度センサとされてもよいし、上述した駆動回路１０３および検出回路１０５を含むＩＣとされてもよい。別の観点では、電子素子７は、センサ素子５に接続されないものとされてもよいし、センサ素子５に接続されるものとされてもよい。また、図示の例では、１つの電子素子７が設けられているが、複数の電子素子７が設けられてもよい。なお、センサ１において、電子素子７は設けられなくてもよい。
【００９０】
なお、以下の説明では、基本的に、電子素子７は、センサ素子５に電気的に接続されないもの（例えば温度センサ）であり、センサ素子５および電子素子７が互いに独立にパッケージ１１を介して外部の機器に電気的に接続されている態様を例にとる。
【００９１】
（実装基体）
図１、図２（ａ）および図２（ｂ）に示す実装基体３は、例えば、実装基体３の主体となる絶縁基体３５と、センサ素子５を実装基体３に実装するための複数（図示の例では６つ）の第１パッド３７と、電子素子７を実装基体３に実装するための複数（図示の例では２つ）の第２パッド３９と、センサ１を不図示の回路基板等に実装するための複数（図示の例では８つ）の外部端子４１とを有している。
【００９２】
絶縁基体３５は、上述した凹部３ａを有している。絶縁基体３５の外形および凹部３ａの形状は適宜に設定されてよい。図示の例では、絶縁基体３５の外形は、ｘ方向を長手方向とする直方体状に構成されている。
【００９３】
凹部３ａの形状は、概略、絶縁基体３５と同様に、ｘ方向を長手方向とする直方体状である。ただし、凹部３ａの底面は、センサ素子５と対向する領域において、第１パッド３７の配置領域を残してさらに掘り下げられている。すなわち、凹部３ａの底面（対向面３５ｂ）は、センサ素子５が固定される固定面３５ｃと、固定面３５ｃよりも低い位置にあり、センサ素子５の大部分と対向している退避面３５ｄとを有している。これにより、センサ素子５は、対向面３５ｂと接触しにくくなっている。なお、凹部３ａは、第１の凹部（固定面３５ｃの部分）と、その底面に形成された第２の凹部（退避面３５ｄの部分）とを有していると捉えられてもよい。
【００９４】
絶縁基体３５は、例えば、図２（ａ）および図２（ｂ）に示すように、複数の絶縁層４３（図示の例では３つの絶縁層４３Ａ〜４３Ｃ）が積層されることによって構成されている。そして、上側（＋ｚ側）の一部の絶縁層４３（４３Ａおよび４３Ｂ）に開口が形成されることによって、凹部３ａが形成されている。
【００９５】
より具体的には、絶縁基体３５においては、＋ｚ側から順に、絶縁層４３Ａ、絶縁層４３Ｂおよび絶縁層４３Ｃが積層されている。そして、絶縁層４３Ａおよび絶縁層４３Ｂそれぞれに開口が形成されることによって凹部３ａが構成されている。絶縁層４３Ｂの開口は−ｚ側において絶縁層４３Ｃによって塞がれている。絶縁層４３Ｃの＋ｚ側の面のうち絶縁層４３Ｂの開口から露出している領域は、退避面３５ｄを構成している。絶縁層４３Ｂの＋ｚ側の領域のうち絶縁層４３Ａの開口から露出している領域は固定面３５ｃを構成している。
【００９６】
各絶縁層４３は、例えば、セラミックス、樹脂もしくはアモルファス状態の無機材料またはこれらの組み合わせによって構成されている。なお、図２（ａ）および図２（ｂ）では、便宜上、３層の絶縁層４３を示しているが、各絶縁層４３が複数の絶縁層から構成されていてもよい。完成後のセンサ１において、絶縁層同士の境界は、必ずしも特定可能でなくてよい。
【００９７】
第１パッド３７および第２パッド３９は、例えば、金属等の導体からなり、対向面３５ｂ（固定面３５ｃ）に重なる導電層によって構成されている。第１パッド３７および第２パッド３９の材料、平面形状および各種の寸法等は適宜に設定されてよい。導電層は複数の層から構成されていてもよい。
【００９８】
センサ素子５は、例えば、複数の素子端子１９が複数の第１パッド３７と対向するように配置される。そして、複数の素子端子１９と複数の第１パッド３７とはその間に介在する複数の導電性のバンプ４５（図２（ａ）および図２（ｂ））によって接合されている。これにより、センサ素子５は、実装基体３に支持されるとともに、実装基体３に電気的に接続される。なお、以下では、実装部３１のうち、素子端子１９と重なる部分を被固定部３１ｅということがある。バンプ４５は、例えば、はんだ（鉛フリーはんだを含む。）または導電性接着剤によって構成されている。導電性接着剤は、例えば、導電性のフィラーが熱硬化性樹脂に混ぜ込まれて構成されている。
【００９９】
なお、上記の説明から明らかなように、複数の第１パッド３７の数および配置位置は、複数の素子端子１９の数および配置位置と対応している。第１パッド３７の形状および大きさは、素子端子１９の形状および大きさと同様であってもよいし、異なっていてもよい。また、電子素子７は、例えば、センサ素子５と同様に、バンプ（符号省略）を介して第２パッド３９と接合される。
【０１００】
外部端子４１は、例えば、金属等の導体からなり、絶縁基体３５の下面に重なる導体層によって構成されている。外部端子４１の材料、平面形状および各種の寸法は適宜に設定されてよい。導電層は複数の層から構成されていてもよい。また、複数の外部端子４１の数および位置は、センサ素子５および電子素子７の構成等に応じて適宜に設定されてよい。図示の例では、８つの外部端子４１が絶縁基体３５の下面の外縁に沿って配置されている。
【０１０１】
複数の外部端子４１のうち４つの外部端子４１は、４つの第１パッド３７に対して絶縁基体３５の表面または内部に設けられた配線導体（符号省略）を介して互いに独立に接続されている。この４つの第１パッド３７は、４つの素子端子１９を介して互いに独立に２組の励振電極１５および２組の検出電極１７に接続されている。また、残りの４つの外部端子４１は、絶縁基体３５の表面または内部に設けられた配線導体（符号省略）を介して、基準電位が付与されるべき２つの第１パッド３７、および電子素子７のための第２パッド３９に接続されている。
【０１０２】
（退避面）
図６は、実装基体３を示す平面図である。なお、図６は、センサ素子５の外縁も点線で示されている。
【０１０３】
平面視において、退避面３５ｄの概略形状（第１パッド３７の配置領域を無視した形状）の外縁は、例えば、センサ素子５の外縁と概ね一致する位置、またはセンサ素子５の外縁よりも若干外側に位置している。具体的には、本実施形態では、退避面３５ｄの概略形状は、ｙ方向を長手方向とする長方形状となっている。
【０１０４】
また、固定面３５ｃのうち第１パッド３７の配置領域は、例えば、平面視において退避面３５ｄ内へ突出している（突部を有している。）。当該突部は、例えば、第１パッド３７の形状および大きさと概ね同様の形状および大きさを有している。ここでいう形状および大きさが同じとは、例えば、突部の外縁（図示の例では、概略、矩形の３辺）が第１パッド３７の外縁に沿って延びており、突部と第１パッド３７との面積の差が第１パッド３７の面積の２割以内となっている状態とされてよい。なお、図示の例では、厳密には、突部は、根元側において第１パッド３７よりも幅広になるように形成されている。
【０１０５】
退避面３５ｄは、上記のような形状であることから、図４から理解されるように、例えば、基部２１、全ての駆動腕２３、全ての検出腕２５および保持部２９の全体に対向している。また、退避面３５ｄは、実装部３１のうち、素子端子１９の配置領域を除く略全体に対向している。換言すれば、退避面３５ｄは、例えば、実装部３１の矩形の４隅、１対の側方延在部３１ｂの少なくとも一端（本実施形態では両端）、あるいは実装部３１（または１対の側方延在部３１ｂ）のうち全ての素子端子１９よりもｙ方向の外側に対向している。
【０１０６】
平面視において、第１パッド３７の外縁と、退避面３５ｄの外縁とは、図示のように一致していてもよいし、図示とは異なり、第１パッド３７の外縁が退避面３５ｄの外縁から固定面３５ｃの内側へ離れていてもよい。なお、微視的には両外縁が互いにずれていても、そのずれが加工精度等に起因する比較的小さなもの（例えば、第１パッド３７の最大径の５％以下または１０μｍ以下）である場合においては、両外縁は一致していると捉えられても構わない。
【０１０７】
同様に、平面透視において、素子端子１９の外縁と、退避面３５ｄの外縁とは、図示のように一致していてもよいし、図示とは異なり、互いにずれていてもよい。なお、素子端子１９の外縁は、退避面３５ｄの外縁に対して、退避面３５ｄの内側および外側のいずれへずれてもよい。なお、両外縁が互いにずれていても、そのずれが加工精度等に起因する比較的小さなもの（例えば、素子端子１９の最大径の５％以下または１０μｍ以下）である場合においては、両外縁は一致していると捉えられても構わない。
【０１０８】
絶縁基体３５の上面（凹部３ａを囲む壁部の上面）から固定面３５ｃまでの深さ、および固定面３５ｃから退避面３５ｄまでの深さは適宜に設定されてよい。例えば、絶縁基体３５の上面から固定面３５ｃまでの深さは、センサ素子５の厚さよりも大きい。固定面３５ｃから退避面３５ｄまでの深さは、センサ素子５の厚さよりも小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよく、また、絶縁基体３５の上面から固定面３５ｃまでの深さよりも小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。また、絶縁基体３５の上面から固定面３５ｃまでの深さは、固定面３５ｃから退避面３５ｄまでの深さの自然数倍（例えば１倍または２倍）であってもよい。
【０１０９】
上記の深さに係る寸法の一例を挙げると、センサ素子５の厚さは、例えば、５０μｍ以上２００μｍ以下である。絶縁基体３５の上面から固定面３５ｃまでの深さは、例えば、１００μｍ以上３００μｍ以下（ただし、センサ素子５の厚さよりも大きい）である。固定面３５ｃから退避面３５ｄまでの深さは、例えば、１００μｍ以上３００μｍ以下である。
【０１１０】
（蓋）
蓋９は、例えば、金属から構成されている。蓋９は、実装基体３の上面にシーム溶接等により接合されている。これにより、凹部３ａ内は気密封止される。気密封止された凹部３ａ内は、例えば、真空とされ、または適宜なガス（例えば窒素）が封入されている。なお、図２（ａ）および図２（ｂ）に示す、蓋９の接合に寄与する導電層（符号省略）の図示は、図１および図６では省略している。
【０１１１】
（センサの実装）
以上のセンサ１は、例えば、不図示の回路基板の実装面に実装基体３の下面を対向させて配置され、外部端子４１が半田などにより回路基板のパッドに接合されることによって回路基板に実装される。回路基板には、例えば、既述の駆動回路１０３および検出回路１０５が構成されている。
【０１１２】
（角速度センサの製造方法）
図７は、センサ１の製造方法の手順の一例を示すフローチャートである。より詳細には、このフローチャートは、センサ１の製造方法のうち、実装基体３の製造方法の手順の概要を示している。センサ１の製造方法のうち、センサ素子５および蓋９の製造方法、センサ素子５の実装基体３に対する実装方法、ならびに蓋９の実装基体３に対する接合方法（凹部３ａの封止方法）は、センサ素子５の具体的な形状等を除いては、公知の種々の方法と同様とされてよく、ここでは説明を省略する。また、図８（ａ）および図８（ｂ）は、図７のフローチャートを補足する斜視図である。
【０１１３】
ここでは、セラミックスによって絶縁基体３５を形成する場合を例に取る。以下の説明では、便宜上、製造工程の進行に伴って部材の形状または特性が変化しても、その変化の前後で同一の符号を用いることがある。
【０１１４】
ステップＳＴ１では、図８（ａ）に示すように、絶縁層４３Ａ〜４３Ｃとなるセラミックグリーンシート５３Ａ〜５３Ｃ（以下、単に「シート」ということがある。）を準備する。なお、シート５３は、例えば、複数の絶縁層４３を多数個取りできる広さを有していてよいが、図８（ａ）は、１つの実装基体３に相当する広さについてのみ、シート５３を図示している。
【０１１５】
ステップＳＴ２では、図８（ｂ）に示すように、絶縁層４３Ａとなるシート５３Ａおよび絶縁層４３Ｂとなるシート５３Ｂに、凹部３ａとなる開口５３ａおよび５３ｂを形成する。なお、シート５３には、その他、例えば、絶縁層４３を貫通する導体を配置するためのビア５５が形成される。
【０１１６】
ステップＳＴ３では、各シート５３に、各種の導体（例えば第１パッド３７、第２パッド３９、外部端子４１、これらを接続する配線導体）となる導電ペーストを配置する。
【０１１７】
ステップＳＴ４では、シート５３Ａ〜５３Ｃを積層する。これにより、シート５３Ａの開口５３ａの一部はシート５３Ｂによって塞がれ、また、シート５３Ｂの開口５３ｂはシート５３Ｃによって塞がれる。
【０１１８】
ステップＳＴ５では、積層されたシート５３Ａ〜５３Ｃを焼成する。これにより、絶縁基体３５に各種の導体が配置された実装基体３が作製される。
【０１１９】
以上のとおり、本実施形態の角速度センサ１は、センサ素子５と、絶縁基体３５とを有している。センサ素子５は、圧電体１３を含んでいる。絶縁基体３５は、センサ素子５が固定されている対向面３５ｂを有している。圧電体１３は、対向面３５ｂの平面視において、基部２１と、基部２１から延びている複数の腕（駆動腕２３および検出腕２５）と、基部２１に接続されている支持部２７と、を有している。支持部２７は、対向面３５ｂの平面視において、基部２１、駆動腕２３および検出腕２５の周囲で延びている実装部３１を有している。実装部３１は、対向面３５ｂに固定されている被固定部３１ｅ（素子端子１９と重なる部分。）を有している。対向面３５ｂは、被固定部３１ｅに固定されている固定面３５ｃと、固定面３５ｃに対して低くなっている退避面３５ｄと、を有している。退避面３５ｄは、実装部３１のうちの被固定部３１ｅ以外の少なくとも一部に対向している。
【０１２０】
従って、例えば、実装部３１の被固定部３１ｅ以外の部分が対向面３５ｂに接触するおそれが低減され、ひいては、実装に係る構成が駆動腕２３および／または検出腕２５の振動に及ぼす影響が低減される。その結果、例えば、センサ１の検出精度が向上する。実装部３１と対向面３５ｂとの接触が生じる要因としては、例えば、駆動腕２３の励振に起因して実装部３１に生じる振動、センサ１に衝撃が加えられることによる実装部３１の変形、実装基体３の製造誤差および実装基体３の熱による変形が挙げられる。実装部３１は、基部２１および駆動腕２３等の周囲で延びる形状であることから、被固定部３１ｅと他の部分との距離が長くなりやすく、また、撓み変形しやすい。すなわち、実装部３１は、対向面３５ｂに接触しやすい。そのような実装部３１を有するセンサ１においては、退避面３５ｄが設けられることによる検出精度の向上の効果が得られやすい。
【０１２１】
また、本実施形態では、実装部３１は、基部２１、駆動腕２３および検出腕２５を挟んで駆動腕２３および検出腕２５に並列に延びる１対の側方延在部３１ｂを有している。退避面３５ｄは、１対の側方延在部３１ｂの少なくとも一部に対向している。
【０１２２】
従って、例えば、側方延在部３１ｂおよび駆動側延在部３１ｃが設けられず、検出側延在部３１ａに素子端子１９が設けられているような態様（特に図示しないが、このような態様も本開示に係る技術に含まれる）に比較して、センサ素子５を安定して支持しやすく、また、センサ素子５を対向面３５ｂに対して平行に実装しやすい。その一方で、実装部３１が長くなりやすいが、退避面３５ｄによって、実装部３１と対向面３５ｂとの接触のおそれは低減される。
【０１２３】
また、本実施形態では、１対の側方延在部３１ｂそれぞれは、その長手方向の中途位置に被固定部３１ｅを有している。退避面３５ｄは、１対の側方延在部３１ｂの端部に対向している。
【０１２４】
従って、例えば、側方延在部３１ｂの端部と基部２１とを検出側延在部３１ａおよび保持部２９を介して接続して、基部２１から被固定部３１ｅまでの距離を長くすることができる。その結果、例えば、基部２１は弾性的に支持されやすくなり、被固定部３１ｅが基部２１を介して駆動腕２３および／または検出腕２５の振動に及ぼす影響が低減される。その一方で、被固定部３１ｅから離れて側方延在部３１ｂの端部が存在することになり、当該端部が対向面３５ｂに接触するおそれが生じるが、当該おそれは退避面３５ｄによって低減される。また、別の観点では、退避面３５ｄによって、実装部３１が弾性的に基部２１を支持することに伴う実装部３１の変形を許容する空間が構成される。
【０１２５】
また、本実施形態では、実装部３１は、基部２１および駆動腕２３および検出腕２５を囲む矩形の環状の形状を有している。退避面３５ｄは、前記矩形の４隅に対向している。
【０１２６】
従って、例えば、１対の側方延在部３１ｂ同士の変形が駆動側延在部３１ｃおよび検出側延在部３１ａによって規制される。その結果、例えば、基部２１の実装部３１に対する姿勢変化が抑制され、また、駆動腕２３の励振に起因する側方延在部３１ｂの振動が低減される。その結果、角速度の検出精度が向上する。その一方で、実装部３１は、被固定部３１ｅから離れた４隅において対向面３５ｂに接触する蓋然性が高くなるが、当該蓋然性は、退避面３５ｄによって低減される。
【０１２７】
また、本実施形態では、基部２１から延びる複数の腕は、対向面３５ｂに直交するｚ軸を有する直交座標系ｘｙｚのｚ方向に見て、基部２１からｙ方向の一方側（＋ｙ側）へ互いに並列に延びている１対の第１腕（駆動腕２３）と、基部２１からｙ方向の他方側（−ｙ側）へ互いに並列に延びている１対の第２腕（検出腕２５）と、を有している。実装部３１は、ｚ方向に見て、保持部２９、第１延在部（検出側延在部３１ａ）および１対の第２延在部（側方延在部３１ｂ）を有している。保持部２９は、１対の検出腕２５の間で基部２１から−ｙ側へ延びており、１対の検出腕２５の先端よりも−ｙ側へ延び出ている。検出側延在部３１ａは、保持部２９の基部２１とは反対側の端部からｘ側および−ｘ側へ延びている。１対の側方延在部３１ｂは、検出側延在部３１ａの、１対の検出腕２５双方よりも＋ｘ側および−ｘ側の位置から＋ｙ側へ延びている。退避面３５ｄは、１対の側方延在部３１ｂの−ｙ側の端部および＋ｙ側の端部の少なくとも１つ（本実施形態では全て）に面している。
【０１２８】
従って、例えば、実装部３１の変形（応力）は、基部２１を変位させるに留まり、ひいては、実装に係る構成が基部２１を介して駆動腕２３および／または検出腕２５の振動に及ぼす影響が低減される。また、例えば、保持部２９の−ｙ側の先端に、素子端子１９が配置される板状部が接続される態様に比較して、−ｙ側の小型化を図ることができる。一方で、実装部３１は、フレーム状となることから、撓み変形しやすく、対向面３５ｂに接触する蓋然性が高くなるが、当該蓋然性は、退避面３５ｄによって低減される。
【０１２９】
また、本実施形態では、被固定部３１ｅには素子端子１９が位置している。固定面３５ｃには、導電性のバンプ４５を介して被固定部３１ｅに接合されている第１パッド３７が位置している。固定面３５ｃのうち第１パッド３７と重なる領域は、対向面３５ｂの平面視において退避面３５ｄ内へ突出する形状を有している。換言すれば、退避面３５ｄは、第１パッド３７の周囲にまで形成されている。
【０１３０】
従って、例えば、退避面３５ｄの面積が極力大きくされることになり、実装部３１が対向面３５ｂに接触するおそれを低減する効果が向上する。また、固定面３５ｃのうち第１パッド３７が重なる領域は、固定面３５ｃの他の領域に対して離島状に形成されるのではなく、半島状に形成されるから、固定面３５ｃの他の領域とともにセラミックグリーンシート５３Ｂの一部として形成することが可能である。なお、このとき、固定面３５ｃのうち第１パッド３７が重なる領域（突部）の根元側の幅が広くされていると、例えば、当該領域が他の領域に対して曲がるおそれが低減される。
【０１３１】
また、本実施形態では、センサ１は、固定面３５ｃに固定されており、対向面３５ｂの平面視において固定面３５ｃ内に収まっている（退避面３５ｄに対向していない）電子素子７をさらに有している。別の観点では、センサ素子５および電子素子７の位置関係は、並列的なものであり、センサ素子５の下で退避面３５ｄに電子素子７が固定されるような積層的なもの（当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。）ではない。
【０１３２】
従って、例えば、退避面３５ｄの深さおよび面積は、基本的には、電子素子７の厚さおよび面積を考慮せずに設定可能であり、設計の自由度が高い。その結果、例えば、退避面３５ｄの深さを必要最小限に留め、角速度センサ１を薄型化することが可能である。また、固定面３５ｃは、少なくとも電子素子７の面積および複数の第１パッド３７の面積を有しており、比較的広い。その結果、例えば、絶縁基体３５の底が厚い部分を広く確保して絶縁基体３５の強度を向上させることができる。
【０１３３】
また、本実施形態に係る角速度センサ１の製造方法は、第１セラミックグリーンシート（シート５３Ｂ）に開口５３ｂを形成する開口形成ステップ（ステップＳＴ２）と、開口５３ｂが形成されたシート５３Ｂと、第２セラミックグリーンシート（シート５３Ｃ）とを重ねて開口５３ｂをシート５３Ｃによって塞ぐ積層ステップ（ステップＳＴ４）と、積層されたシート５３Ｂおよび５３Ｃを焼成する焼成ステップ（ステップＳＴ５）と、を有している。シート５３Ｂのシート５３Ｃとは反対側の面によって固定面３５ｃが構成される。シート５３Ｃの開口５３ｂから露出する面によって退避面３５ｄが構成される。
【０１３４】
従って、例えば、センサ素子５を対向面３５ｂから離すために、第１パッド３７の下に絶縁性の小片を配置して第１パッド３７の位置を高くしたり（当該態様は本開示に係る技術に含まれてよい。）、導電性のバンプ４５の厚みを大きくしたりする態様に比較して、センサ素子５と退避面３５ｄとの距離のばらつきを低減することができ、また、センサ素子５と対向面３５ｂとを平行にすることも容易である。その結果、例えば、角速度センサ１の検出精度を向上させることができる。
【０１３５】
なお、以上の実施形態において、駆動腕２３および／または検出腕２５は腕の一例である。駆動腕２３は第１腕の一例である。検出腕２５は第２腕の一例である。側方延在部３１ｂは、延在部および第２延在部の一例である。検出側延在部３１ａは第１延在部の一例である。シート５３Ｂは第１セラミックグリーンシートの一例である。シート５３Ｃは第２セラミックグリーンシートの一例である。
【０１３６】
［第２実施形態］
図９は、第２実施形態に係るセンサ素子２０５を示す平面図であり、第１実施形態の図４に対応している。
【０１３７】
第１実施形態に係るセンサ素子５では、実装部３１の形状は、環状（具体的には矩形）とされた。一方、本実施形態に係るセンサ素子２０５（圧電体２１３、支持部２２７）では、実装部２３１は、環状とされていない。
【０１３８】
具体的には、実装部２３１は、第１実施形態に係る実装部３１から駆動腕２３が延びる側（保持部２９とは反対側、＋ｙ側）の一部を無くした形状とされている。換言すれば、実装部２３１は、例えば、第１実施形態と同様の検出側延在部２３１ａと、第１実施形態の１対の側方延在部３１ｂから＋ｙ側の一部を無くした１対の側方延在部２３１ｂとを有しており、また、第１実施形態の駆動側延在部３１ｃを有していない。その結果、実装部２３１は、１対の側方延在部２３１ｂの＋ｙ側の端部において途切れている。換言すれば、１対の側方延在部２３１ｂの＋ｙ側の端部は、実装部２３１の両端を構成している。
【０１３９】
側方延在部２３１ｂの＋ｙ側の端部のｙ方向における位置（別の観点では側方延在部２３１ｂの長さ）は、適宜に設定されてよい。図示の例では、当該端部は、例えば、ｙ方向において、駆動腕２３の先端よりも−ｙ側に位置している。より詳細には、例えば、当該端部は、駆動腕２３の先端と基部２１との間に位置している。なお、図示の例とは異なり、当該端部は、ｙ方向において、基部２１と同等の位置または基部２１よりも検出側延在部２３１ａ側の位置に位置していてもよい。最も＋ｙ側の素子端子１９は、例えば、側方延在部２１３ｂの上記の端部に位置している。
【０１４０】
このような構成においては、例えば、第１実施形態に比較して、センサ素子２０５を＋ｙ側において小型化することができる。なお、第１実施形態は、第２実施形態に比較して、例えば、１対の側方延在部３１ｂ同士の変形が駆動側延在部３１ｃによって規制される。その結果、例えば、基部２１の実装部３１に対する姿勢変化が抑制され、角速度の検出精度が向上することが期待される。
【０１４１】
本実施形態においても、退避面３５ｄが設けられており、退避面３５ｄは、実装部２３１のうちの被固定部２３１ｅ（素子端子１９と重なる領域）以外の少なくとも一部（図示の例では全部）に対向している。退避面３５ｄの平面形状は、第１実施形態と同様でもよいが、図９では、実装部２３１が実装部３１の＋ｙ側の部分を無くした形状であることに対応して、＋ｙ側において幅が狭くされた形状とされた場合を例示している。
【０１４２】
［第３実施形態］
図１０は、第３実施形態に係るセンサ素子３０５を示す平面図であり、第１実施形態の図４に対応している。
【０１４３】
第１実施形態に係るセンサ素子５では、基部２１は、保持部２９を介して実装部３１に支持された。一方、本実施形態に係るセンサ素子３０５では、基部２１は、その両端において直接的に実装部３３１に支持されている。別の観点では、基部２１を支持する支持部３２７は、実装部３３１のみによって構成されている。
【０１４４】
実装部３３１は、例えば、第１実施形態の実装部３１と同様に、環状（例えば矩形）とされており、検出側延在部３３１ａ、１対の側方延在部３３１ｂおよび駆動側延在部３３１ｃを有している。各延在部の幅は、第１実施形態と同様に、全長に亘って一定でもよいが、図１０では、側方延在部３３１ｂが、基部２１との接続位置と側方延在部３３１ｂの端部（実装部３３１の４隅）との間に幅が狭い部分を有している態様を例示している。この幅が狭い部分は、例えば、基部２１の支持を弾性的なものにすることに寄与している。
【０１４５】
また、第１実施形態に係るセンサ素子５では、素子端子１９は、矩形の実装部３１の４隅から離れた位置に配置された。一方、本実施形態に係るセンサ素子３０５では、素子端子１９は、矩形の実装部３３１の４隅に配置されている。なお、本実施形態では、励振電極１５および検出電極１７に接続される４つの素子端子１９のみが設けられ、基準電位用の素子端子１９は設けられていない。
【０１４６】
本実施形態においても、退避面３５ｄが設けられており、退避面３５ｄは、実装部３３１のうちの被固定部３３１ｅ（素子端子１９と重なる領域）以外の少なくとも一部（図示の例では全部）に対向している。ただし、第１実施形態では、退避面３５ｄは、矩形の実装部３１の４隅等に対向していたのに対して、本実施形態では、退避面３５ｄは、矩形の実装部３３１の各辺（延在部）の中途に対向しており、４隅には対向していない。
【０１４７】
このような構成においても、退避面３５ｄが設けられていることにより、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、実装部３３１の撓み等に起因する実装部３３１の対向面３５ｂ（図１参照）に対する接触のおそれが低減される。
【０１４８】
［第４実施形態］
図１１は、第４実施形態に係るセンサ素子４０５を示す平面図であり、第１実施形態の図４に対応している。
【０１４９】
第３実施形態に係るセンサ素子３０５では、基部２１の両端を支持する環状の実装部３３１に素子端子１９が設けられた。これに対して、本実施形態に係るセンサ素子４０５では、圧電体４１３は、基部２１の両端を支持する枠部４２８と、枠部４２８からその外側へ突出する突部４２９と、突部４２９の先端に接続されている実装部４３１とを有しており、実装部４３１に複数の素子端子１９が設けられている。換言すれば、基部２１を支持する支持部４２７は、枠部４２８、突部４２９および実装部４３１を有している。
【０１５０】
このような構成では、例えば、枠部４２８が突部４２９によって１点において支持されていることから、第１実施形態と同様に、実装部４３１の応力が基部２１に伝わるおそれを低減することができる。
【０１５１】
枠部４２８は、例えば、第３実施形態の実装部３３１と同様の形状である。突部４２９は、枠部４２８の適宜な位置から突出してよく、図示の例では、検出腕側の辺の中央から突出している。実装部４３１は、例えば、枠部４２８を囲む環状（例えば矩形）に形成されている。素子端子１９は、例えば、第３実施形態と同様に、矩形の実装部４３１の４隅に位置している。
【０１５２】
本実施形態においても、退避面３５ｄが設けられており、退避面３５ｄは、実装部４３１のうちの被固定部４３１ｅ（素子端子１９と重なる領域）以外の少なくとも一部（図示の例では全部）に対向している。従って、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、実装部４３１の撓み等に起因する実装部４３１の対向面３５ｂ（図１参照）に対する接触のおそれが低減される。
【０１５３】
［第５実施形態］
図１２は、第５実施形態に係るセンサ素子５０５を示す平面図であり、第１実施形態の図４に対応している。
【０１５４】
センサ素子５０５は、まず、駆動腕５２３および検出腕５２５の構成および振動態様が第１実施形態のセンサ素子５と相違する。駆動腕５２３および検出腕５２５の構成および振動態様は、国際公開第２０１８／０２１１６６号に開示されているものと同様とされてよい。従って、当該公報の内容は、参照による援用（Incorporation by Reference）がなされてよい。駆動腕５２３および検出腕５２５の構成および振動態様の概要は、以下のとおりである。
【０１５５】
センサ素子５０５においては、＋ｙ側および−ｙ側のそれぞれにおいて、基部５２１と、基部５２１から互いに並列に延びる駆動腕５２３および検出腕５２５とが設けられている。検出腕５２５は、例えば、基部５２１のｘ方向の中央に位置しており、駆動腕５２３は、検出腕５２５を挟んで少なくとも１対（図示の例では２対）設けられている。
【０１５６】
複数の駆動腕５２３のうち検出腕５２５を挟んで対をなすものは、第１実施形態と同様に、ｘ方向において互いに逆側に曲がるように励振される。これにより、両端が支持されている基部５２１は、中央側をｙ方向へ変位させるように撓む（振動する。）。ひいては、検出腕５２５は、ｙ方向において変位する（振動する。）。
【０１５７】
上記のように検出腕５２５がｙ方向に振動している状態で、例えば、センサ素子５０５がｘ軸回りに回転すると、検出腕５２５は、コリオリの力によってｚ方向に振動する。従って、第１実施形態の検出電極１７と同様の配置および接続関係で検出電極１７を設けることにより、ｘ軸回りの角速度を検出することができる。
【０１５８】
また、上記のように検出腕５２５がｙ方向に振動している状態で、例えば、センサ素子５０５がｚ軸回りに回転すると、検出腕５２５は、コリオリの力によってｘ方向に振動する。従って、第１実施形態の励振電極１５と同様の配置および接続関係の電極を検出電極として設けることにより、ｚ軸回りの角速度を検出することができる。
【０１５９】
このような振動態様のセンサ素子５０５においては、基部５２１は、例えば、基部５２１の両端において支持される。これにより、撓み変形による基部５２１の中央位置のｙ方向への変位が容易化される。
【０１６０】
基部５２１の両端を支持する支持部５２７の構成は、第３および第４実施形態と同様とされてもよいが、図１２では、第３および第４実施形態とは異なる構成が例示されている。具体的には、支持部５２７は、基部５２１の両端を支持する枠部５２８と、枠部５２８からその外側へ突出する２つの突部５２９と、２つの突部５２９の先端に接続されている２つの実装部５３１とを有している。なお、２つの実装部５３１で１つの実装部と捉えられても構わない。
【０１６１】
枠部５２８は、例えば、環状（例えば矩形）であり、例えば、基部５２１との接続位置において幅が狭くされている。これにより、基部５２１の撓み変形を許容しやすくなっている。また、突部５２９は、枠部５２８の適宜な位置から突出してよく、図示の例では、ｙ方向の両側から突出している。実装部５３１は、突部５２９からｘ方向の両側へ枠部５２８に沿って延び、さらに基部５２１の側方（ｘ方向両側）となる位置にて折り返して延びている。なお、４本の実装部５３１ｆが設けられていると捉えられてもよい。素子端子１９は、例えば、実装部５３１ｆの先端に位置している。
【０１６２】
このような実装部５３１は、例えば、弾性変形しやすい。その結果、例えば、センサ素子５０５と実装基体３との熱膨張差が生じても、その熱膨張差は実装部５３１によって吸収され、基部５２１に応力が生じにくい。その結果、角速度の検出精度が向上する。
【０１６３】
本実施形態においても、退避面３５ｄが設けられており、退避面３５ｄは、実装部５３１のうちの被固定部５３１ｅ（素子端子１９と重なる領域）以外の少なくとも一部（図示の例では全部）に対向している。従って、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、実装部５３１の撓み等に起因する実装部５３１の絶縁基体３５の対向面３５ｂ（図１参照）への接触のおそれが低減される。
【０１６４】
本開示に係るセンサ素子および角速度センサは、以上の実施形態および変形例に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【０１６５】
上述した実施形態および変形例は適宜に組み合わされてよい。例えば、第１〜第４実施形態の振動態様と、第５実施形態の支持部の形状とが組み合わされてもよいし、逆に、第５実施形態の振動態様と第３または第４実施形態の支持部の形状とが組み合わされてもよい。また、例えば、第１実施形態の素子端子の配置（矩形の実装部の４隅から離した位置に素子端子を配置する構成）は、第４実施形態の支持部の形状と組み合わされてもよい。
【０１６６】
駆動腕および検出腕の振動態様は、実施形態に例示したものに限定されない。例えば、実施形態とは逆に、駆動腕がｚ方向に互いに逆側に振動され、ｙ軸回りの回転が検出腕のｘ方向の互いに逆側への振動によって検出されてもよい。なお、この態様と実施形態とでは、励振電極の構成および接続と検出電極の構成および接続とが逆になる。
【０１６７】
第１および第２実施形態のように、支持部が、基部から延びる保持部と、保持部の基部とは反対側に接続される実装部とを有している場合において、保持部は、実施形態とは逆に、基部から駆動腕側に延びていてもよい。また、基部に対して＋ｙ側および−ｙ側の双方に保持部が延びて、２つの保持部によって基部が支持されてもよい。第４実施形態の突部４２９についても同様である。
【０１６８】
平面視における退避面の概略形状は、センサ素子の外形の概略形状（例えば平面視においてセンサ素子を包含する最小の矩形）と概ね同様の形状に限定されず、全く異なった形状であったり、寸法が大きく異なっていたりしてもよい。また、例えば、固定面のうちパッドの配置領域は、パッドと同様の形状および大きさに限定されない。例えば、当該領域は、平面視において、パッドの退避面側への径に比較して長く退避面内へ延びていてもよいし、逆に、パッドの退避面側への径に比較して短く退避面内へ突出していてもよいし、パッドよりも幅が広くてもよい。
【０１６９】
固定面およびこれよりも低い退避面の形成方法は、積層される絶縁層の一部に開口を形成する方法に限定されない。例えば、１枚のセラミックグリーンシートをプレスしてその表面に凹部を形成し、その凹部の底面によって退避面を構成してもよいし、１枚のセラミックグリーンシートをプレスしてその表面に２段の深さを有する凹部を形成し、その凹部の底面によって固定面および退避面を構成してもよい。
【０１７０】
センサ素子の被固定部と絶縁基体の固定面との固定は、センサ素子を電気的に実装基体に接続するための導電性の接着剤（実施形態ではバンプ４５）によるものに限定されない。例えば、当該固定は、絶縁性の接着剤によってなされ、電気的な接続は、センサ素子の上面に設けられた端子にボンディングワイヤが接続されることによってなされてもよい。
【０１７１】
センサ素子または角速度センサは、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）の一部として構成されてよい。この場合、例えば、ＭＥＭＳの基板上にセンサ素子を構成する圧電体が実装されてよい。
【符号の説明】
【０１７２】
１…角速度センサ、５…センサ素子、１３…圧電体、２１…基部、２３…駆動腕（腕）、２５…検出腕（腕）、２７…支持部、２９…保持部、３１…実装部、３１ｅ…被固定部、３５…絶縁基体、３５ｂ…対向面、３５ｃ…固定面、３５ｄ…退避面。
【図１】
2019215271.tif 000003
【図２】
2019215271.tif 000004
【図３】
2019215271.tif 000005
【図４】
2019215271.tif 000006
【図５】
2019215271.tif 000007
【図６】
2019215271.tif 000008
【図７】
2019215271.tif 000009
【図８】
2019215271.tif 000010
【図９】
2019215271.tif 000011
【図１０】
2019215271.tif 000012
【図１１】
2019215271.tif 000013
【図１２】
2019215271.tif 000014