(57)【要約】【課題】キャリアに保持された複数枚の個片基板に対し、マスクに供給された印刷材料を印刷する印刷技術において、各個片基板への印刷材料の印刷を精度良く行う。【解決手段】個片基板単位で個片基板（Ｂ）を支持可能なサポート部（２３）と、複数枚の個片基板（Ｂ）のうち１枚がサポート部（２３）に位置するようにキャリア（Ｃ）を搬送する搬送機構と、サポート部（２３）をマスク（Ｍ）に移動させるサポート駆動部（２４２）と、サポート部（２３）に位置する個片基板（Ｂ）とマスク（Ｍ）との相対的な位置合せを行う位置合せ機構とを備え、搬送機構によるキャリア（Ｃ）の搬送毎に、サポート部（２３）に位置する個片基板（Ｂ）をマスク（Ｍ）と位置合せした後でマスク（Ｍ）に移動させて印刷材料を印刷する。【選択図】図５
2019064171.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアに保持された複数枚の個片基板に対し、マスクに供給された印刷材料を印刷する印刷装置であって、
個片基板単位で前記個片基板を支持可能なサポート部と、
前記複数枚の個片基板のうち１枚が前記サポート部に位置するように前記キャリアを搬送する搬送機構と、
前記サポート部を前記マスクに移動させるサポート駆動部と、
前記サポート部に位置する前記個片基板と前記マスクとの相対的な位置合せを行う位置合せ機構とを備え、
前記搬送機構による前記キャリアの搬送毎に、前記サポート部に位置する前記個片基板を前記マスクと位置合せした後で前記マスクに移動させて前記印刷材料を印刷する
ことを特徴とする印刷装置。
【請求項２】
請求項１に記載の印刷装置であって、
前記サポート駆動部は、前記サポート部を移動させることで前記サポート部に位置する前記個片基板を選択的に前記キャリアから持ち上げて前記マスクに移動させる印刷装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の印刷装置であって、
前記搬送機構は、前記個片基板が前記サポート部に位置する毎に、前記キャリアの搬送を停止する印刷装置。
【請求項４】
請求項３に記載の印刷装置であって、
前記搬送機構は、前記キャリアが搬送される搬送経路と平行に移動可能に設けられたストッパー部と、前記ストッパー部を駆動するストッパー駆動部とを有し、
前記ストッパー駆動部は、前記個片基板への前記印刷材料の印刷毎に、前記搬送経路において前記ストッパー部を前記キャリアよりも下流側に移動させて位置決めし、位置決めされた位置で前記搬送経路に沿って搬送されてくる前記キャリアと係合して前記キャリアの搬送を停止させることで前記個片基板を前記サポート部に位置させる印刷装置。
【請求項５】
キャリアに保持された複数枚の個片基板に対し、マスクに供給された印刷材料を印刷する印刷方法であって、
個片基板単位で前記個片基板を支持可能なサポート部に前記複数枚の個片基板のうち１枚が位置するように前記キャリアを搬送し、前記サポート部に位置する前記個片基板を前記マスクと位置合せした後で前記サポート部により支持しながら前記マスクに移動させて前記印刷材料を印刷する個片印刷工程を繰り返して実行することを特徴とする印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャリアに保持された複数枚の個片基板に対し、マスクに供給された印刷材料を印刷する印刷装置および印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の印刷装置の一例として、例えば特許文献１に記載されたスクリーン印刷装置が知られている。このスクリーン印刷装置は、キャリアに保持された複数の個片基板に電子部品接合用のペースト（本発明の「印刷材料」の一例に相当）を一括して印刷する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５３１０８６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
キャリア上に複数の個片基板を保持する場合、個片基板間での配置のばらつきを完全に排除することは難しい。したがって、キャリアに保持された複数の個片基板に対してペーストを一括して印刷する印刷装置では、印刷精度が悪いという問題があった。
【０００５】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、キャリアに保持された複数枚の個片基板に対し、マスクに供給された印刷材料を印刷する印刷技術において、各個片基板への印刷材料の印刷を精度良く行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１態様は、キャリアに保持された複数枚の個片基板に対し、マスクに供給された印刷材料を印刷する印刷装置であって、個片基板単位で個片基板を支持可能なサポート部と、複数枚の個片基板のうち１枚がサポート部に位置するようにキャリアを搬送する搬送機構と、サポート部をマスクに移動させるサポート駆動部と、サポート部に位置する個片基板とマスクとの相対的な位置合せを行う位置合せ機構とを備え、搬送機構によるキャリアの搬送毎に、サポート部に位置する個片基板をマスクと位置合せした後でマスクに移動させて印刷材料を印刷することを特徴としている。
【０００７】
また、本発明の第２態様は、キャリアに保持された複数枚の個片基板に対し、マスクに供給された印刷材料を印刷する印刷方法であって、個片基板単位で個片基板を支持可能なサポート部に複数枚の個片基板のうち１枚が位置するようにキャリアを搬送し、サポート部に位置する個片基板をマスクと位置合せした後でサポート部により支持しながらマスクに移動させて印刷材料を印刷する個片印刷工程を繰り返して実行することを特徴としている。
【０００８】
このように構成された発明（印刷装置および印刷方法）では、個片基板単位で個片基板を支持可能なサポート部に１枚の個片基板が位置するようにキャリアを搬送した後、当該個片基板をマスクと位置合せした後でサポート部により支持してマスクに移動させて印刷材料を印刷している。このような個片印刷工程を個片基板毎に行っているため、キャリアに保持された複数の個片基板間で配置のばらつきが生じていたとしても、各個片基板はマスクとの位置合せを受けた後で印刷されるため、当該個片基板に対して印刷材料を高精度に印刷することができる。
【０００９】
ここで、サポート駆動部が、サポート部を移動させることでサポート部に位置する個片基板を選択的にキャリアから持ち上げてマスクに移動させるように構成してもよい。このようにサポート部に支持された個片基板以外の個片基板、つまり残留個片基板をキャリアに保持したまま、サポート部に支持された個片基板を選択的にキャリアから持ち上げて印刷材料の印刷（以下「印刷処理」という）を行っているため、この印刷処理時に残留個片基板に印刷材料が付着するのを確実に防止することができ、高品質な印刷を行うことができる。
【００１０】
また、搬送機構によって、個片基板がサポート部に位置する毎に、キャリアの搬送を停止させるように構成してもよい。これによって、個片基板単位での個片印刷工程を確実に行うことができる。また、キャリアの搬送停止によって所望の個片基板がサポート部に位置し、この時点で当該個片基板とマスクとの予備的な位置合せ（プリアライメント）が行われ、その上で位置合せ機構による高精度な位置合せ（ファインアライメント）を行ってもよく、これによって、高精度な位置合せを安定して行うことができる。
【００１１】
なお、上記キャリアの搬送を行うために、搬送機構が、キャリアが搬送される搬送経路と平行に移動可能に設けられたストッパー部と、ストッパー部を駆動するストッパー駆動部とを有し、ストッパー駆動部が、個片基板への印刷材料の印刷毎に、搬送経路においてストッパー部をキャリアよりも下流側に移動させて位置決めし、位置決めされた位置で搬送経路に沿って搬送されてくるキャリアと係合してキャリアの搬送を停止させることで個片基板をサポート部に位置させるように構成してもよい。このようにストッパー部を用いることでキャリアを安定的、かつ高精度に搬送停止させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように、本発明によれば、個片基板単位で個片基板をマスクと位置合せした後でサポート部により支持しながらマスクに移動させて印刷材料を印刷しているので、各個片基板への印刷材料の印刷を精度良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係る印刷装置の一実施形態の主要構成を示す図である。
【図２】図１のＢ−Ｂ線矢視図である。
【図３】図１に示す印刷装置の電気的な構成を示すブロック図である。
【図４】図１に示す印刷装置によりキャリアに保持された複数の個片基板に半田ペーストを印刷する動作を示すフローチャートである。
【図５】図４に示す印刷動作の途中経過を模式的に示す図である。
【図６】図４に示す印刷動作の途中経過を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１は本発明に係る印刷装置の一実施形態の主要構成を示す図である。また、図２は図１のＢ−Ｂ線矢視図である。さらに図３は図１に示す印刷装置の電気的な構成を示すブロック図である。この印刷装置１００は、図２に示すように、キャリアＣに保持される複数枚（本実施形態では２枚）の個片基板ＢにマスクＭに形成された開口パターン（図示省略）で半田ペーストを本発明の「印刷材料」の一例として印刷する装置である。なお、本明細書では、水平方向のうちキャリアＣの搬送方向を「Ｘ方向」とし、それと直交する水平方向を「Ｙ方向」としている。また、鉛直方向を「Ｚ方向」とするとともに、鉛直軸まわりの回転方向を「Ｒ方向」としている。さらに、２枚の個片基板Ｂ、Ｂを個別に明示する際には、適宜、キャリアＣの搬送方向Ｘにおける上流側の個片基板Ｂを「個片基板Ｂ１」と称する一方、下流側の個片基板Ｂを「個片基板Ｂ２」と称する。
【００１５】
印刷装置１００は、図２に示すように、基台１と、基台１上に設けられてキャリアＣの搬送とマスクＭに対して個片基板Ｂの位置合わせを行う基板テーブル２と、基板テーブル２の上方に配置されたマスクＭ上に供給される半田ペーストをマスクＭを介して各個片基板Ｂ１、Ｂ２に印刷するスキージユニット３とを備えている。そして、印刷装置１００は、搬入コンベア４ａにより搬入されるキャリアＣに保持された個片基板Ｂ毎に個片印刷工程を施し、全個片基板Ｂについて半田ペーストの印刷が完了すると、これら印刷済みの個片基板Ｂを保持したキャリアＣを搬出コンベア４ｂにより搬出する機能を有している。
【００１６】
基板テーブル２は、一対のコンベア２１、２１と、一対のクランププレート２２、２２と、サポート部２３と、ストッパー部２４とを有している。
【００１７】
これらのうち一対のコンベア２１、２１はコンベア駆動部２１１と接続されており、装置全体を制御する制御ユニット９からの搬送指令に応じてコンベア駆動部２１１が作動する。これによって、一対のコンベア２１、２１により搬入コンベア４ａから搬入されたキャリアＣが搬送方向Ｘに搬送され、また印刷済みの個片基板Ｂを保持したキャリアＣが搬出コンベア４ｂに搬出される。
【００１８】
また、一対のクランププレート２２はクランプ駆動部２２１と接続されており、制御ユニット９からのクランプ指令に応じてクランプ駆動部２２１が作動する。これによって、コンベア２１上のキャリアＣをクランプして固定する。逆にクランプ解除指令が与えられると、クランプ駆動部２２１はキャリアＣのクランプを解除し、コンベア２１によるキャリアＣの搬送が可能となる。
【００１９】
サポート部２３は、図１に示すように、ＸＺ断面において凸形状を有しており、その上端部２３１はキャリアＣの開口部Ｃ１に対して挿脱自在となっている。ここで、キャリアＣの構成について説明しておく。本実施形態で使用しているキャリアＣは図１（および後で説明する図５、６）に示すように、アルミニュームなどの金属板で形成されており、キャリアＣの上面に個片基板Ｂに対応した形状を有する基板位置決め部Ｃ２を有している。つまり、キャリアＣのうち基板位置決め部Ｃ２により規定された基板保持領域に個片基板Ｂを載置することでキャリアＣの上面と基板位置決め部Ｃ２とにより個片基板Ｂが保持される。また、基板保持領域の内側に上記開口部Ｃ１が設けられている。このため、コンベア２１によりキャリアＣがＸ方向に搬送され、個片基板Ｂ１（またはＢ２）がサポート部２３に位置決めされると、サポート部２３の上端部２３１が開口部Ｃ１を介して個片基板Ｂ１（またはＢ２）の底面中央領域と対向する。この状態で、サポート部２３に接続されたサポート駆動部２３２に対して制御ユニット９から上昇指令が与えられると、サポート部２３が上昇して上端部２３１が個片基板Ｂ１（またはＢ２）と当接し、さらに上昇が継続されることでサポート部２３が個片基板Ｂ１（またはＢ２）を選択的にキャリアＣから持ち上げ、マスクＭに移動させる。逆に、制御ユニット９からの下降指令に応じてサポート部２３が鉛直下方に下降すると、マスクＭに移動していた個片基板Ｂ１（またはＢ２）が下降してキャリアＣの基板保持領域に戻される。
【００２０】
このサポート部２３では、図１に示すように、その下端部２３３の内部にマニホールド空間２３４が形成されるとともに、上端部２３１に吸着孔２３５が複数個形成されており、これらの吸着孔２３５がマニホールド空間２３４に連通されている。また、マニホールド空間２３４はサポート吸着駆動部２３６（図３）と接続されている。このため、制御ユニット９からの吸着指令に応じてサポート吸着駆動部２３６が作動すると、サポート吸着駆動部２３６によりマニホールド空間２３４および吸着孔２３５が排気され、サポート部２３で支持する個片基板Ｂ１（またはＢ２）を下面側から吸着保持する。
【００２１】
ストッパー部２４は一対のコンベア２１によるキャリアＣの搬送経路２４１（図２）と平行に移動可能となっている。ストッパー部２４はストッパー駆動部２４２と接続されており、ストッパー駆動部２４２が制御ユニット９からの移動指令にしたがって作動することで搬送方向Ｘに移動して複数の搬送停止位置に位置決めされる。本実施形態では上記したようにキャリアＣは２枚の個片基板Ｂ１、Ｂ２を保持し、各個片基板Ｂ１、Ｂ２に対して個片印刷工程を実行するためにキャリアＣを２箇所で位置決めさせるため、２つの搬送停止位置Ｐ１、Ｐ２が設定されている。つまり、後で詳述するように上流側の個片基板Ｂ１に対して個片印刷工程を施す際には、ストッパー部２４は上流搬送停止位置Ｐ１に移動されて位置決めされ、キャリアＣが搬送経路２４１に沿って搬送されてくるのを待つ。そして、キャリアＣの下流側端部が上流搬送停止位置Ｐ１まで移動してくると、キャリアＣはストッパー部２４により係止されて搬送を停止する。これによって、上流側の個片基板Ｂ１がサポート部２３の直上位置に位置決めされる。また、下流側の個片基板Ｂ２に対して個片印刷工程を施す際には、ストッパー部２４は下流搬送停止位置Ｐ２に移動され、上流側と同様にして下流側の個片基板Ｂ２をサポート部２３の直上位置に位置決めする。なお、本実施形態では、ストッパー駆動部２４２はストッパー部２４を搬送方向Ｘに移動させる機能のみならず、ストッパー部２４を搬送経路２４１から退避させて搬送経路２４１に沿って搬送されるキャリアＣとの干渉を避ける機能も有している。なお、退避動作については後で詳述する。
【００２２】
このように構成されたコンベア２１、クランププレート２２、サポート部２３およびストッパー部２４を一体的にＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向およびＲ方向に回転させる移動機構（図示省略）を基板テーブル２は有している。この移動機構はテーブルＸ軸駆動部２５１、テーブルＹ軸駆動部２５２、テーブルＺ軸駆動部２５３およびテーブルＲ軸駆動部２５４と接続されている。そして、制御ユニット９からの移動指令に応じてテーブルＸ軸駆動部２５１、テーブルＹ軸駆動部２５２、テーブルＺ軸駆動部２５３およびテーブルＲ軸駆動部２５４がそれぞれ作動することでキャリアＣをＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向およびＲ方向に移動させてマスクＭに対してキャリアＣに保持された個片基板Ｂ１、Ｂ２を位置合せ可能となっている。
【００２３】
この位置合せを行うために、印刷装置１００は２種類のカメラを備えている。そのうちのひとつはマスクＭに設けられたマスク側の位置補正マーク（図示省略）を撮像するマスク撮像カメラ２６であり、他方はサポート部２３の直上位置に位置する個片基板Ｂ１（またはＢ２）に設けられた位置補正マークＭＫｂを撮像する基板撮像カメラ２７である。マスク撮像カメラ２６および基板撮像カメラ２７で撮像された位置補正マーク画像が制御ユニット９に与えられる。そして、これらの画像情報に基づいて制御ユニット９はマスクＭに対する個片基板Ｂ１（またはＢ２）の相対的な位置ずれを補正するための補正量を算出し、それに対応した移動指令をテーブルＸ軸駆動部２５１、テーブルＹ軸駆動部２５２、テーブルＺ軸駆動部２５３およびテーブルＲ軸駆動部２５４に与える。これによって、マスクＭに対する個片基板Ｂ１（またはＢ２）の位置合せが行われる。
【００２４】
マスクＭは、図１に示すように、基板テーブル２の鉛直上方に配置され、さらに当該マスクＭの鉛直上方にスキージ３１を有するスキージユニット３が配置されている。スキージユニット３はスキージ３１を印刷方向（Ｙ方向）に移動させるスキージＹ軸駆動部３２と、スキージ３１を上下方向（Ｚ方向）に移動させるスキージＺ軸駆動部３３と、スキージ３１をＸ軸方向を回動中心に回動させるスキージＲ軸駆動部３４とを含んでいる。これらスキージＹ軸駆動部３２、スキージＺ軸駆動部３３およびスキージＲ軸駆動部３４はスキージ３１を移動させるスキージ移動機構（図示省略）と接続され、制御ユニット９からの移動指令に応じて作動することでスキージ３１を移動させる。これによって、マスクＭの上面上に供給された半田ペーストがマスクＭの上面に沿ってローリングしながら移動し、マスクＭに形成された開口（図示省略）を介して個片基板Ｂ１（またはＢ２）の表面に半田ペーストが印刷される。
【００２５】
制御ユニット９は、演算処理部９１、記憶部９２、駆動制御部９３、吸着制御部９４、画像処理部９５およびＩＯ制御部９６を有している。演算処理部９１はＣＰＵ（Central Processing Unit）からなり、記憶部９２に記憶された印刷プログラムに基づいて駆動制御部９３、吸着制御部９４、画像処理部９５およびＩＯ制御部９６を制御して次に説明する印刷動作を実行する。なお、図３中の符号５は入力・表示ユニットであり、ＩＯ制御部９６を介して印刷装置１００の運転状態を入力・表示ユニット５に表示させ、また作業者が入力・表示ユニット５を介して入力する各種情報をＩＯ制御部９６を介して受け付けるように構成されている。
【００２６】
図４は図１に示す印刷装置によりキャリアに保持された複数の個片基板に半田ペーストを印刷する動作を示すフローチャートである。また、図５および図６は図４に示す印刷動作の途中経過を模式的に示す図である。印刷可能な状態になると、制御ユニット９は記憶部９２に記憶された印刷プログラムにしたがって装置各部を以下のように制御する。すなわち、印刷処理を受けていない個片基板Ｂ１、Ｂ２を保持するキャリアＣが搬入コンベア４ａから一対のコンベア２１、２１に搬入され、さらに一対のコンベア２１、２１によって搬送方向Ｘに搬送される（ステップＳ１）。こうして上流側の個片基板Ｂ１のサポート部２３への搬入が開始される。これと同時あるいはこれに前後して、ストッパー駆動部２４２が制御ユニット９からの移動指令を受けてストッパー部２４を１回目の上流搬送停止位置Ｐ１に移動させ、位置決めする（ステップＳ２）。そして、図５の（ａ）欄に示すようにコンベア２１、２１によってキャリアＣが上流搬送停止位置Ｐ１に搬送されてくるのを待つ。
【００２７】
そして、キャリアＣが上流搬送停止位置Ｐ１に搬送される（ステップＳ３で「ＹＥＳ」）と、キャリアＣに保持された個片基板Ｂのうち上流側の個片基板Ｂ１がサポート部２３の直上位置に位置する。そこで、図５の（ｂ）欄に示すように、クランプ駆動部２２１が作動して一対のクランププレート２２によってキャリアＣをクランプする（なお、このクランプ動作は後で説明する上流側の個片印刷工程が完了するまで継続される）。それに続いて、サポート駆動部２３２が作動してサポート部２３を上昇させる。そして、上端部２３１が個片基板Ｂ１と当接した時点でサポート駆動部２３２がサポート部２３の上昇を停止するとともに、サポート吸着駆動部２３６が作動を開始し、図５の（ｂ）欄に示すように、サポート部２３に対して個片基板Ｂ１を吸着保持する。
【００２８】
これに続いて、制御ユニット９は次のようにしてマスクＭに対する上流側の個片基板Ｂ１の位置合せを行う（ステップＳ４）。具体的には、制御ユニット９はマスク撮像カメラ２６および基板撮像カメラ２７をそれぞれ撮像可能位置に一時的に移動させ、マスクＭおよび個片基板Ｂ１にそれぞれ予め設けられた位置補正マークを撮像する。そして、これらの画像データに基づいて制御ユニット９の演算処理部９１はマスクＭに対する個片基板Ｂ１の相対的な位置ずれを補正するための補正量を算出し、さらにそれらに基づいてテーブルＸ軸駆動部２５１、テーブルＹ軸駆動部２５２、テーブルＺ軸駆動部２５３およびテーブルＲ軸駆動部２５４を制御することでキャリアＣとともに基板テーブル２を移動させ、これによってマスクＭに対する個片基板Ｂ１の位置合せを行う。
【００２９】
この位置合せ後、個片基板Ｂ１のみを吸着保持したサポート部２３の上昇動作がサポート駆動部２３２により再開される。これによって、図５の（ｃ）欄に示すように、個片基板Ｂ１のみがキャリアＣから持ち上げられ、マスクＭに移動される。そして、スキージＹ軸駆動部３２がスキージ３１を印刷方向（Ｙ方向）に移動させ、これによってマスクＭの上面上に供給された半田ペーストがマスクＭに形成された開口（図示省略）を介して個片基板Ｂ１の表面に印刷される（ステップＳ５）。こうしたキャリア搬送（ステップＳ１）、位置合せ（ステップＳ４）および個片基板Ｂ１への印刷（ステップＳ５）が本発明の「個片印刷工程」の一例に相当しており、これによって上流側の個片基板Ｂ１への半田ペーストの印刷が完了する。
【００３０】
１回目の個片印刷工程の完了後に、印刷済の個片基板Ｂ１を吸着保持したサポート部２３をサポート駆動部２３２が下降し、個片基板Ｂ１がキャリアＣに保持されると、サポート吸着駆動部２３６が作動を停止して個片基板Ｂ１の吸着保持を解除する。この後、サポート駆動部２３２によりサポート部２３が下降してキャリアＣの開口部Ｃ１を介してキャリアＣの下方位置に移動する。これによって、印刷済の個片基板Ｂ１がキャリアＣに移載される。そして、クランプ駆動部２２１が作動して一対のクランププレート２２によるキャリアＣのクランプを解除し、その後で当該キャリアＣがコンベア２１、２１によるキャリアＣの搬送方向Ｘへの搬送が再開される（図５の（ｃ）欄参照）。また、これと同時あるいはこれに前後して、ストッパー駆動部２４２が制御ユニット９からの移動指令を受けてストッパー部２４を２回目の下流搬送停止位置Ｐ２に移動させ、位置決めする（ステップＳ６）。そして、図５の（ｄ）欄に示すようにコンベア２１、２１によってキャリアＣは下流搬送停止位置Ｐ２に搬送されてくるのを待つ。
【００３１】
そして、キャリアＣが下流搬送停止位置Ｐ２に搬送される（ステップＳ７で「ＹＥＳ」）と、キャリアＣに保持された個片基板Ｂ、Ｂのうち下流側の個片基板Ｂ２がサポート部２３の直上位置に位置する。そこで、図６の（ａ）欄に示すように、クランプ駆動部２２１が作動して一対のクランププレート２２によってキャリアＣを再度クランプする（なお、このクランプ動作は後で説明する下流側の個片印刷工程が完了するまで継続される）。それに続いて、上流側の個片基板Ｂ１に対して実行されたと同様の処理が実行される、つまりマスクＭに対する個片基板Ｂ２の位置合せ（ステップＳ８）および下流側の個片基板Ｂ２への半田ペーストの印刷（ステップＳ９）が実行される（図６の（ｂ）欄参照）。
【００３２】
こうしたキャリア搬送（ステップＳ６）、位置合せ（ステップＳ８）および個片基板Ｂ２への印刷（ステップＳ９）も本発明の「個片印刷工程」の一例に相当しており、これによって下流側の個片基板Ｂ２への半田ペーストの印刷が完了する。
【００３３】
下流側の個片印刷工程の完了後に、印刷済の個片基板Ｂ２を吸着保持したサポート部２３をサポート駆動部２３２が下降し、個片基板Ｂ２がキャリアＣに保持されると、サポート吸着駆動部２３６が作動を停止して個片基板Ｂ２の吸着保持を解除する。この後、ストッパー駆動部２４２がストッパー部２４を搬送経路２４１から退避させ（ステップＳ１０）、こうしてキャリアＣとの干渉を回避した上で、コンベア２１、２１によるキャリアＣの搬送方向Ｘへの搬送が再開される（図６の（ｃ）欄参照）。これによって、印刷済の個片基板Ｂ１、Ｂ２を保持したキャリアＣが搬出コンベア４ｂに送られ、印刷装置１００から搬出される（ステップＳ１１）。
【００３４】
以上のように、本実施形態では、１枚の個片基板Ｂがサポート部２３の直上位置に位置するようにキャリアＣを搬送した後で当該個片基板ＢをマスクＭと位置合せするとともにサポート部２３により支持してマスクＭに移動させて半田ペーストを当該個片基板Ｂに印刷する。このような個片印刷工程を個片基板Ｂ１、Ｂ２毎、つまり個片基板単位で行っているため、例えば図２に示すようにキャリアＣに保持された個片基板Ｂ１、Ｂ２間で配置のばらつきが生じていたとしても、各個片基板Ｂ１、Ｂ２に対して半田ペーストを高精度に印刷することができる。
【００３５】
また、個片基板Ｂ１（またはＢ２）について印刷処理を行う際に、もう一方の個片基板Ｂ２（またはＢ１）をキャリアＣに保持したまま、個片基板Ｂ１（またはＢ２）を選択的にキャリアＣから持ち上げて離間させた状態で印刷処理を行っている。このため、この印刷処理時にもう一方の個片基板Ｂ２（またはＢ１）に半田ペーストが付着するのを確実に防止することができ、高品質な印刷を行うことができる。
【００３６】
また、搬送機構によって、個片基板Ｂ１、Ｂ２がサポート部２３に位置する毎に、キャリアＣの搬送を停止させており、この段階で個片印刷工程の対象となっている個片基板Ｂ１（またはＢ２）は予め設定された位置、つまりサポート部２３の上方位置に位置し、当該個片基板Ｂ１（またはＢ２）とマスクＭとの予備的な位置合せ（プリアライメント）が完了している。そして、その後で位置補正マークを利用した高精度な位置合せ（ファインアライメント）が実行される。このように実質的に２段階の位置合せを行っているため、個片基板Ｂ１、Ｂ２とマスクＭとの位置合せを安定して高精度に行うことができる。
【００３７】
さらに、キャリアＣが上流搬送停止位置Ｐ１および下流搬送停止位置Ｐ２に搬送される前にストッパー部２４が上流搬送停止位置Ｐ１および下流搬送停止位置Ｐ２に移動して位置決めされ、キャリアＣが搬送されてくるのを待っている。したがって、キャリアＣを安定的、かつ高精度に搬送停止させることができる。
【００３８】
上記のように本実施形態では、一対のコンベア２１、２１がキャリアＣを搬送する搬送部として機能し、ストッパー部２４によりキャリアＣの搬送を停止させ、これらによってキャリアＣを間欠的に搬送している。つまり、一対のコンベア２１、２１とストッパー部２４との組み合わせによって、搬入コンベア４ａから上流搬送停止位置Ｐ１への搬送、上流搬送停止位置Ｐ１から下流搬送停止位置Ｐ２への搬送および下流搬送停止位置Ｐ２から搬出コンベア４ｂへの搬送が行われており、上記組み合わせが本発明の「搬送機構」として機能している。また、基板テーブル２に設けられた移動機構、テーブルＸ軸駆動部２５１、テーブルＹ軸駆動部２５２、テーブルＺ軸駆動部２５３およびテーブルＲ軸駆動部２５４が本発明の「位置合せ機構」として機能している。
【００３９】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、ストッパー部２４を用いてキャリアＣを上流搬送停止位置Ｐ１および下流搬送停止位置Ｐ２に停止させて位置決めしているが、一対のコンベア２１、２１による搬送および搬送停止のみによって上記位置決めを行ってもよい。
【００４０】
また、上記実施形態では、キャリアＣで保持した状態で位置合せを行っているが、サポート部２３にＸ方向、Ｙ方向およびＲ方向に移動させる移動機構を設け、個片基板Ｂを持ち上げてキャリアＣから離間させた状態で上記移動機構によってサポート部２３をＸ方向、Ｙ方向およびＲ方向に移動させて位置合せさせるように構成してもよい。また、個片基板Ｂを移動させて位置合せを行っているが、マスクＭを移動させて位置合せを行ってもよい。さらに、個片基板ＢおよびマスクＭの両方を移動させて位置合せを行うように構成してもよい。
【００４１】
さらに、上記実施形態では、キャリアＣに２枚の個片基板Ｂ１、Ｂ２を保持させているが、キャリアＣに３枚以上の個片基板Ｂを保持させた場合についても本発明を適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
この発明は、キャリアに保持された複数枚の個片基板に対し、マスクに供給された印刷材料を印刷する印刷技術全般に適用することができる。
【符号の説明】
【００４３】
２…基板テーブル
９…制御ユニット
２１…コンベア（搬送機構）
２３…サポート部
２４…ストッパー部（搬送機構）
１００…印刷装置
２３２…サポート駆動部
２４２…ストッパー駆動部
２５１…テーブルＸ軸駆動部（位置合せ機構）
２５２…テーブルＹ軸駆動部（位置合せ機構）
２５３…テーブルＺ軸駆動部（位置合せ機構）
２５４…テーブルＲ軸駆動部（位置合せ機構）
Ｂ，Ｂ１，Ｂ２…個片基板
Ｃ…キャリア
Ｍ…マスク
Ｐ１…上流搬送停止位置
Ｐ２…下流搬送停止位置
Ｘ…搬送方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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