(57)【要約】【課題】簡易で安価でありながらもリテーナずれを防止できる直動案内機構を提供することにある。【解決手段】第１ガイドレールと第２ガイドレールとの間に転動体とリテーナとを挟んで第１ガイドレールと第２ガイドレールとが相対移動する。第１ガイドレールと第２ガイドレールとの間に線バネが配置されている。線バネは、第１ガイドレールと第２ガイドレールとの対向方向に垂直な面内においてＵ字状に湾曲させられている。線バネの第１端は第１ガイドレールの端部にバネ取付プレートを介して間接的に固定され、線バネの第２端は第２ガイドレールの端部にバネ取付プレートを介して間接的に固定されている。線バネのＵ字状湾曲部の外側がリテーナの側端面に当接している。【選択図】図３
2019178733.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ガイドレールと第２ガイドレールとの間に転動体とリテーナとを挟んで前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとが相対移動する直動案内機構において、
前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとの間に可撓性線状部材が配置されており、
前記可撓性線状部材は、前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとの対向方向に垂直な面内においてＵ字状に湾曲させられており、かつ、
前記可撓性線状部材の第１端は前記第１ガイドレールの端部に直接あるいは間接的に固定され、
前記可撓性線状部材の第２端は前記第２ガイドレールの端部に直接あるいは間接的に固定され、
前記可撓性線状部材のＵ字状湾曲部の外側が前記リテーナの側端面に当接している
ことを特徴とする直動案内機構。
【請求項２】
請求項１に記載の直動案内機構において、
前記第１ガイドレールの端面と前記第２ガイドレールの端面には板状の取付プレートがそれぞれ取り付けられており、
前記可撓性線状部材の前記第１端および前記第２端は前記取付プレートを介して前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールにそれぞれ固定されている
ことを特徴とする直動案内機構。
【請求項３】
請求項２に記載の直動案内機構において、
前記取付プレートは、プレート本体部の一側面から突き出た固定部を有し、
当該取付プレートを前記第１ガイドレールの端面に取り付けたときに、前記固定部は前記第１ガイドレールの側面よりも突き出し、かつ、前記第２ガイドレールに当たらない大きさである
ことを特徴とする直動案内機構。
【請求項４】
請求項３に記載の直動案内機構において、
前記固定部は前記可撓性線状部材の端部を挿通させるスリットまたは孔を有する
ことを特徴とする直動案内機構。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の直動案内機構において、
前記リテーナの側端面には、前記可撓性線状部材のＵ字状湾曲部を受け入れる凹部が設けられている
ことを特徴とする直動案内機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は直動案内機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械や精密測定装置にはワークを精密に移動させるため移動ステージ装置が付設される。
図１は、移動ステージ装置を例示する図である。
移動ステージ装置１０は、ベース部２０と、ベース部２０に対してスライド移動するスライドステージ部３０と、ベース部２０とスライドステージ部３０との間に介在配置された直動案内機構５０と、を備える。
【０００３】
ベース部２０は、スライドステージ部３０のスライド移動の方向に長さを有する長手状部材である。
説明のため、ベース部２０の長手方向をＸ方向として図１のように直交座標を設定しておく。
ベース部２０を長手方向に対して垂直な方向で断面したとき（つまりＹＺ面に平行な面で切断したとき）、ベース部２０の断面は逆Ｔ字型になっている。
すなわち、ベース部２０は、底板部２２と、凸条部２４と、を有する。平坦な底板部２２の中央部に凸条部２４が一体的に形成され、凸条部２４は、底板部２２の中央部において長手方向に延在している。
【０００４】
スライドステージ部３０は、断面コ字状の部材であって、コ字の開口側をベース部２０の側に向けた状態でベース部２０の上に配置されている。すなわち、スライドステージ部３０は、平坦な天板部３２の両サイドにおいて側壁部３４が垂設されている。
【０００５】
図２は直動案内機構５０の分解図である。
直動案内機構５０は、複数の転動体５２と、リテーナ５４と、一対のガイドレール６０Ａ、６０Ｂと、を有する。
【０００６】
転動体５２は、球状または円柱状のコロである。図２では、いわゆるクロスローラを採用している。リテーナ５４は、転動体５２を通す複数の孔を有する板であって、転動体同士の相対位置を保持する。
【０００７】
ガイドレール６０Ａ、６０Ｂは２本で一対であり、便宜上、一方のガイドレールを第１ガイドレール６０Ａとし、他方のガイドレールを第２ガイドレール６０Ｂとする。
ガイドレール６０Ａ、６０Ｂは、長手状部材であって、その一側面に軸方向に沿った溝条６４Ａ、６１Ｂを有する。ガイドレール６０Ａ、６０Ｂにおいて溝条６４Ａ、６４Ｂが形成されている側面をレール面６２Ａ、６２Ｂと称することにする。
ガイドレール６０Ａ、６０Ｂの端面６８Ａ、６８Ｂには、ネジ孔６６Ａ、６６Ｂが設けられており、このネジ孔６６Ａ、６６Ｂにはストッパネジ６７Ａ、６７Ｂを螺合できるようになっている。ストッパネジ６７Ａ、６７Ｂのネジ頭部は大きく張り出しており、ネジ頭部が溝条６４Ａ、６４Ｂにまで突き出ることでリテーナ５４の脱落を防止するストッパとなっている。
【０００８】
直動案内機構５０は、ベース部２０とスライドステージ部３０との間に配置される。
図１では、手前側と奥側とに二つの直動案内機構５０、５０が配置されている。
第１ガイドレール６０Ａがベース部２０に固定され、第２ガイドレール６０Ｂがスライドステージ部３０に固定される。具体的には、第１ガイドレール６０Ａは凸条部２４と底板部２２とで形成されるＬ字の座部２６に固定されている。第２ガイドレール６０Ｂは、天板部３２の裏面と側壁部３４の内側面とで形成される逆Ｌ字の座部３６に固定されている。
このとき、第１ガイドレール６０Ａの溝条６４Ａと第２ガイドレール６０Ｂの溝条６４Ａとが対向するようにし、さらに２本の溝条６４Ａ、６４Ｂの間に転動体５２とリテーナ５４とを挟み込む。転動体５２とリテーナ５４とを２本の溝条６４Ａ、６４Ｂの間に挟み込む際には、スライドステージ部３０が左右方向（Ｘ軸正負方向）にそれぞれフルストロークで移動できるように、ガイドレール６０Ａ、６０Ｂのちょうど中間にリテーナ５４をセットする。
【０００９】
直動案内機構５０の案内によりスライドステージ部３０は低抵抗かつ高い真直性をもってスライド移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許５０９１７２１
【特許文献２】実開昭６１−１９７３２８
【特許文献３】実公昭６２−７８５３
【特許文献４】特許５７３９２０５
【特許文献５】特許４２５２８８７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
第１ガイドレール６０Ａと第２ガイドレール６０Ｂとの相対移動は転動体５２のころがりによって行われるので相対移動の際の抵抗が小さくなるのであるが、往復運動を繰り返すうちに転動体５２およびリテーナ５４の位置が初期位置からずれてきてしまうことがある。
この現象をリテーナずれという。リテーナずれが生じてしまうと、スライドステージ部３０のストロークが短くなってしまう。スライドステージ部３０のストロークが短いと、スライドステージ部３０が設定された原点（アブソリュート原点）まで到達できなくなってしまう。
【００１２】
リテーナずれは、与圧や加速度、速度等の影響で転動体５２とガイドレール６０Ａ、６０Ｂとの間に滑りを生じることで発生する。転動体５２およびリテーナ５４をガイドレール６０Ａ、６０Ｂに固定（固着）することはできないのであるから、リテーナずれは、程度の差はあれ、使用によって原理的に必ず生じる現象である。
【００１３】
リテーナずれが生じた場合、工具でリテーナ５４を押して転動体５２を滑らせたり、スライドステージ部３０に力を掛けてフルストロークまで押したりしてリテーナ５４の位置を初期位置に戻していた。
【００１４】
近年では、直動案内機構のメーカにより、ガイドレール６０Ａ、６０Ｂとリテーナ５４とにラックアンドピニオン機構を設けて、リテーナずれが生じないようにした直動案内機構も提供されている。しかし、ガイドレール６０Ａ、６０Ｂとリテーナ５４とにラックアンドピニオン機構を設けた直動案内機構は高価であり、現在使用中の移動ステージ装置の直線案内機構を交換するとなると追加のコストが掛かり過ぎる。また、ラックアンドピニオン機構を内設すればリテーナずれが無くなるのはその通りかもしれないが、ガイドレール６０Ａ、６０Ｂとリテーナ５４との相対位置が組み立て時に固定的に設定されてしまう。すると、組み立て時の位置合わせに時間を要するし、組み立て後の微調整はもはや不可能となってしまう不都合がある。
【００１５】
本発明の目的は、簡易で安価でありながらもリテーナずれを防止できる直動案内機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の直動案内機構は、
第１ガイドレールと第２ガイドレールとの間に転動体とリテーナとを挟んで前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとが相対移動する直動案内機構において、
前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとの間に可撓性線状部材が配置されており、
前記可撓性線状部材は、前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとの対向方向に垂直な面内においてＵ字状に湾曲させられており、かつ、
前記可撓性線状部材の第１端は前記第１ガイドレールの端部に直接あるいは間接的に固定され、
前記可撓性線状部材の第２端は前記第２ガイドレールの端部に直接あるいは間接的に固定され、
前記可撓性線状部材のＵ字状湾曲部の外側が前記リテーナの側端面に当接している
ことを特徴とする。
【００１７】
本発明では、
前記第１ガイドレールの端面と前記第２ガイドレールの端面には板状の取付プレートがそれぞれ取り付けられており、
前記可撓性線状部材の前記第１端および前記第２端は前記取付プレートを介して前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールにそれぞれ固定されている
ことが好ましい。
【００１８】
本発明では、
前記取付プレートは、プレート本体部の一側面から突き出た固定部を有し、
当該取付プレートを前記第１ガイドレールの端面に取り付けたときに、前記固定部は前記第１ガイドレールの側面よりも突き出し、かつ、前記第２ガイドレールに当たらない大きさである
ことが好ましい。
【００１９】
本発明では、
前記固定部は前記可撓性線状部材の端部を挿通させるスリットまたは孔を有する
ことが好ましい。
【００２０】
本発明では、
前記リテーナの側端面には、前記可撓性線状部材のＵ字状湾曲部を受け入れる凹部が設けられている
ことが好ましい。
前記凹部は、前記リテーナの側端面を切り欠いて形成されてもよい。
あるいは、前記リテーナの側端面にバネ受け部材を付加し、バネ受け部材に前記凹部が設けられていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】移動ステージ装置を例示する図である。
【図２】直動案内機構の分解図である。
【図３】第１実施形態に係る直線案内機構の分解斜視図である。
【図４】直線案内機構の斜視図である。
【図５】第２実施形態を示す図である。
【図６】第２実施形態の分解斜視図である。
【図７】変形例１を例示する図である。
【図８】変形例１を例示する図である。
【図９】変形例２を例示する図である。
【図１０】変形例３を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の実施形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態を説明する。
図３は、第１実施形態に係る直線案内機構の分解斜視図である。
本実施形態の直線案内機構の基本的構成は背景技術で説明した直線案内機構と同じであるが、本実施形態では２本のガイドレール６０Ａ、６０Ｂの間にリテーナ位置保持用の線バネ（可撓性線状部材）１０５を配置している点に特徴を有する。
以下、具体的に説明する。
【００２３】
図３において、第１ガイドレール６０Ａ、第２ガイドレール６０Ｂ、転動体５２、リテーナ５４、ストッパネジ６７、は背景技術で説明したものと同じである。
ここで、第１ガイドレール６０Ａおよび第２ガイドレール６０Ｂの長手方向をＸ軸方向とする。
第１ガイドレール６０Ａと第２ガイドレール６０Ｂとは対向配置される（図４も参照されたい）。
いま、第１ガイドレール６０Ａと第２ガイドレール６０ＢとはＸＺ面に平行な面を挟んで対向している。
第１ガイドレール６０Ａから第２ガイドレール６０Ｂを見た方向（第２ガイドレール６０Ｂから第１ガイドレール６０Ａを見た方向）はＹ軸に平行な方向であって、これを対向方向と称することにする。
リテーナ５４は、第１ガイドレール６０Ａと第２ガイドレール６０Ｂとの間においてＸＺ面に平行に配置されていることになる。
【００２４】
本実施形態の直線案内機構５０は、さらに、リテーナ５４の位置を適正に保持するためのリテーナ保持ユニット１００を備える。
リテーナ保持ユニット１００は、線バネ（可撓性線状部材）１０５と、バネ取付けプレート１１０Ａ、１１０Ｂと、を有する。
本実施形態では、第１ガイドレール６０Ａと第２ガイドレール６０Ｂとの間に線バネ１０５を配置する。
線バネ１０５としては、図３では断面が偏平矩形の板バネを例示しているが、断面が円形のワイヤーであってもよい。
線バネ１０５は、所定以上の長さを有する弾性変形可能な線状（あるいは帯状）の部材である。
また、この線バネ１０５はＵ字状に湾曲させられた状態で使用され、この湾曲部の外側でリテーナ５４の位置を保持する。
すなわち、線バネ１０５のＵ字湾曲部の外側でリテーナ５４を押したり、あるいは、押し留めたりする。
したがって、線バネ１０５のＵ字湾曲部の外側がリテーナ５４を押したり押し留めたりできる程度には線バネ１０５の強度が必要である。
【００２５】
バネ取付けプレート１１０Ａ、１１０Ｂは、ガイドレール６０Ａ、６０Ｂの端面６８Ａ、６８Ｂに取り付けられる板状部材である。いま、図３において、第１ガイドレール６０Ａの端面６８Ａに取り付けられるバネ取付プレートを第１バネ取付プレート１１０Ａとする。
第２ガイドレール６０Ｂの端面６８Ａに取り付けられるバネ取付プレートを第２バネ取付プレート１１０Ｂとする。第１バネ取付プレート１１０Ａと第２バネ取付プレート１１０Ｂとは同じ形状でよい。
（第１バネ取付プレート１１０Ａを１８０度回転させると第２バネ取付プレート１１０Ｂになる。）
以下では主として第１バネ取付プレート１１０Ａを例にして構造を説明する。
【００２６】
第１バネ取付プレート１１０Ａは、矩形のプレート本体部１２０Ａの一側面にバネ固定部１３０Ａを有する。
いま、図３に図示するように、第１バネ取付プレート１１０ＡをＹＺ面に平行に配置したとすると、バネ固定部１３０Ａはプレート本体部１２０ＡからＹ方向に少し突き出すように設けられている。バネ固定部１３０Ａは、第１バネ取付プレート１１０Ａを第１ガイドレール６０Ａの端面６８Ａに取り付けたときに、第１ガイドレール６０Ａのレール面６２Ａよりも突き出る。なおかつ、バネ固定部１３０Ａは、第１バネ取付プレート１１０Ａを第１ガイドレール６０Ａの端面６８Ａに取り付けたときに、第２ガイドレール６０Ｂにかぶってしまうほど突き出てはいけない。
また、バネ固定部１３０Ａは、プレート本体部１２０Ａの一側面において、真ん中ではなくてどちらかの端寄りに配置されている。図３では、バネ固定部１３０Ａは、プレート本体部１２０Ａの一側面において上側寄り（Ｚ方向でプラス側寄り）に配置されている。
（第１バネ取付プレート１１０Ａを１８０度反転させた第２バネ取付プレート１１０Ｂではバネ固定部１３０Ｂはプレート本体部１２０Ｂの一側面において下側寄り（Ｚ方向でマイナス側寄り）にくることになる。）
【００２７】
バネ固定部１３０Ａにはスリット（または孔でもよい）１３１Ａが形成され、線バネ１０５の端部を挿入できるようになっている。バネ固定部１３０Ａにはスリット１３１Ａに通じる雌ネジ孔（図中では隠れてみえない）が設けられ、雄ネジ１４０Ａのねじ込みで線バネ１０５の端部を固定できるようになっている。この雄ネジをバネ固定ネジ１４０Ａと称することにする。また、プレート本体部１２０Ａのほぼ中央に孔が設けられ、ストッパネジ６７Ａでガイドレール６０Ａの端面６８Ａに取り付けられるようになっている。
【００２８】
このような構成を有する直線案内機構５０を移動ステージ装置１０に取り付ける。
まずは、従来同様に、第１ガイドレール６０Ａと第２ガイドレール６０Ｂとの間に転動体５２とリテーナ５４とを挟むようにして、第１ガイドレール６０Ａをベース部２０に取り付け、第２ガイドレール６０Ｂをスライドステージ部３０に取り付ける。そして、線バネ１０５の一端（第１端）を第１バネ取付プレート１１０Ａのバネ固定部１３０Ａに固定し、線バネ１０５の他端（第２端）を第２バネ取付プレート１１０Ｂのバネ固定部１３０Ａに固定する。さらに、線バネ１０５をＵ字に湾曲させつつ、線バネ１０５を第１ガイドレール６０Ａと第２ガイドレール６０Ｂとの間に挿入していく。
つまり、線バネ１０５はＸＺ面に平行な面内においてＵ字に湾曲した状態で第１ガイドレール６０Ａと第２ガイドレール６０Ｂとの間に挿入されている。
【００２９】
図４は、直線案内機構５０の斜視図である。
図を見やすくするため、第２ガイドレール６０Ｂおよび第２バネ取付プレート１１０Ｂを透視し、第２ストッパネジ６７Ｂは省略した。
【００３０】
ストッパネジ６７Ａ、６７Ｂでバネ取付プレート１１０Ａ、１１０Ｂをガイドレールの端面６８Ａ、６８Ｂに固定したあと、線バネ１０５のＵ字湾曲部がリテーナ５４の側端に当接するようにバネ固定ネジ１４０Ａ、１４０Ｂを緩めたり締めたりして線バネ１０５の長さを調整する。
（なお、図３や図４ではガイドレールの手前側の端部しか描いてないが、奥側の端部においても同じようにガイドレールの端面６８Ａにリテーナ保持ユニット１００を取り付ける。）
【００３１】
この構成において、第２ガイドレール６０Ｂがスライドステージ部３０とともに例えば距離Ｓだけ移動したときを考える。
第２ガイドレール６０Ｂが第１ガイドレール６０Ａに対して距離Ｓだけ相対移動するときに転動体５２とガイドレール６０Ａ、６０Ｂとの間に滑りがないとすると、転動体５２およびリテーナ５４はＳ／２だけ移動する。
このとき、線バネ１０５の第２端は第２ガイドレール６０Ｂとともに距離Ｓだけ移動するのであるが、線バネ１０５のＵ字湾曲部に注目すると、Ｕ字湾曲部の変位量はＳ／２である。つまり、転動体５２とガイドレール６０Ａ、６０Ｂとの間に滑りがないとすると、リテーナ５４の変位量と線バネ１０５のＵ字湾曲部の変位量とは常に同じになる。初期設定において線バネ１０５のＵ字湾曲部がリテーナ５４の側端に当接するようにしておけば、第２ガイドレール６０Ｂが移動してもリテーナ５４と線バネ１０５のＵ字湾曲部とはピッタリ同期した動きになる。
【００３２】
ここで、もし転動体５２とガイドレール６０Ａ、６０Ｂとの間に滑りが生じたときには、線バネ１０５のＵ字湾曲部がリテーナ５４を正しい位置に押す、あるいは、押し留める。したがって、転動体５２とガイドレール６０Ａ、６０Ｂとの間に一瞬滑りが生じたとしても、線バネ１０５のＵ字湾曲部がリテーナ５４の位置（ガイドレール６０Ａ、６０Ｂに対するリテーナ５４の相対位置）を適切に保持する。
【００３３】
また、上記のように、本実施形態は従来の構成に線バネ１０５を追加したものであるし、線バネ１０５を固定するためのバネ取付プレート１１０は簡単に交換できるものである。したがって、本実施形態は組み立てが容易であるし、なおかつ、組み立て後に調整を加えることも簡単である。また、既存の直線案内機構に対して本実施形態を追加するのも簡単である。
【００３４】
線バネ１０５は、ＸＺ面に平行な面内においてＵ字に湾曲した状態で第１ガイドレール６０Ａと第２ガイドレール６０Ｂとの間に挿入されている。
ここで、対比例として、実公昭６２−７８５３では、可撓部材が２本のガイドレールの間に挿入されるのではなくて、リテーナを貫くように配置されている。本願の図面に設定した座標系で表現すると、実公昭６２−７８５３の可撓部材はＸＹ面内ということになる。直動案内機構では、ローラやリテーナがどちらかのガイドレールに偏って接触することを避けたいので、リテーナが鉛直面に配置されるように直動案内機構を設置するのが通常である。すると、実公昭６２−７８５３の可撓部材は水平面内においてＵ字状に湾曲した状態で配設されることになる。ここで、線ばねには自重により撓みや曲りが必ず発生する。このとき、線バネがガイドレールに接触してしまうと、ガイドレールの動きを阻害する要因となり得る。
この点、本実施形態では、線バネ１０５は第１ガイドレール６０Ａと第２ガイドレール６０Ｂとの間でＸＺ面内に配置されているので、線バネ１０５がガイドレール６０Ａ、６０Ｂに接触してしまう心配はほぼ無い。
【００３５】
（第２実施形態）
第２実施形態を図５、図６を参照して説明する。
第２実施形態の基本的な構成は第１実施形態と同じであるが、第２実施形態では線バネ保持板１５０Ａ、１５０Ｂを備える点に特徴を有する。
線バネ保持板１５０Ａ、１５０Ｂは、ガイドレール６０Ａ、６０Ｂの直上または直下においてガイドレール６０Ａ、６０Ｂに沿って設けられている。
第２実施形態においては図６に例示するように、ガイドレール６０Ａ、６０Ｂの両端にあるバネ取付プレート１１０Ａ、１１０Ｂを利用し、バネ固定部１３０Ａ、１３０Ｂの側面に線バネ保持板１５０Ａ、１５０Ｂを固定している。この線バネ保持板１５０Ａ、１５０Ｂは、第１ガイドレール６０Ａのレール面６２Ａと第２ガイドレール６０Ｂのレール面６２Ｂとの間にある線バネ１０５が外に出てこないように押さえる役割をもつ。
【００３６】
（変形例１）
第２実施形態では線バネ保持板１５０Ａ、１５０Ｂをバネ取付プレート１１０Ａ、１１０Ｂに固定したが、図７や図８のようにベース部２０およびスライドステージ部３０に線バネ保持板１５０Ａ、１５０Ｂを固定するようにしてもよい。
もちろん、第２実施形態、図７、図８を適宜組み合わせてもよい。
【００３７】
（変形例２）
第１実施形態では、リテーナ５４の端面が直線状であって、リテーナ５４の端面と線バネ１０５のＵ字湾曲部とは点接触していた。
図９に例示するように、リテーナ５４の端面に線バネ１０５のＵ字湾曲部を受け入れる切欠き凹部５５を設けておいてもよい。切欠き凹部５５は、線バネ１０５のＵ字湾曲部の曲率に適合する曲率の曲面にしておくとよい。線バネ１０５が点接触でリテーナ５４に当たると点接触の部分が局所的に摩耗してしまう懸念があるが、切欠き凹部５５により線バネ１０５とリテーナ５４との接触が面接触になるので線バネ１０５およびリテーナ５４の寿命を延ばすことができる。
【００３８】
（変形例３）
変形例３として、図１０に例示するように、リテーナ５４の端面にバネ受け部材１６０を設けてもよい。
バネ受け部材１６０は偏平薄板状であって、リテーナ５４の端部を挟んでリテーナ５４に取り付くためのスリット１６１と、線バネ１０５を受け入れるバネ受け凹部１６２と、を有する。
溝条６４Ａ、６４ＡはＶ字に形成されており、Ｖ字の溝条６４Ａ、６４Ａの溝底にはさらに凹溝６３Ａが形成されている。
バネ受け部材１６０の厚みをこの凹溝６３Ａの幅以下にしておき、バネ受け部材１６０が凹溝６３Ａに入るようにしておく。
これにより、バネ受け部材１６０の位置がずれなくなる。
バネ受け部材１６０は金属でもよいが、交換コストを低廉にするため樹脂材で形成するとよい。
【００３９】
（変形例４）
線バネ１０５にはリテーナ５４を押す程度の強度が求められるが、線バネの強度が強すぎるとガイドレール６０Ａ、６０Ｂの動きにとっては障害となり得る。そこで、線バネ１０５の強度を自在に調整できるように、極薄の線バネを数枚用意しておき、極薄の線バネを貼り合わせる枚数を調整することで線バネ１０５の強度を調整できるようにしておくとよい。
【００４０】
また、可撓性線状部材としては、線バネ１０５に代えて、ローラーチェーンを採用してもよい。
【００４１】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
上記の説明では、線バネをバネ取付プレートに固定し、このバネ取付プレートをガイドレールに固定することで線バネの端をガイドレールの端部に間接的に固定する例を示した。もちろん、線バネの端をガイドレールの端部に直接固定するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１０…移動ステージ装置、
２０…ベース部、２２…底板部、２４…凸条部、２６…座部、
３０…スライドステージ部、３２…天板部、３４…側壁部、３６…座部、
５０…直線案内機構、５２…転動体、５４…リテーナ、
６０Ａ…第１ガイドレール、６０Ｂ…第２ガイドレール、６２Ａ、６２Ｂ…レール面、６４Ａ、６４Ｂ…溝条、６６Ａ、６６Ｂ…ネジ孔、６７Ａ、６７Ｂ…ストッパネジ、
１００…リテーナ保持ユニット、
１０５…線バネ、
１１０Ａ…第１バネ取付プレート、１１０Ｂ…第２バネ取付プレート、１２０Ａ、１２０Ｂ…プレート本体部、１３０Ａ、１３０Ｂ…バネ固定部、１３１Ａ、１３１Ｂ…スリット、１４０Ａ、１４０Ｂ…バネ固定ネジ、
１５０Ａ、１５０Ｂ…線バネ保持板。
【図１】
2019178733.tif 000003
【図２】
2019178733.tif 000004
【図３】
2019178733.tif 000005
【図４】
2019178733.tif 000006
【図５】
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【図６】
2019178733.tif 000008
【図７】
2019178733.tif 000009
【図８】
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【図９】
2019178733.tif 000011
【図１０】
2019178733.tif 000012