(57)【要約】【課題】真空吸着装置においてフレキシブルシートを吸着する際にしわが生じないようにすること。【解決手段】テーブル１０内に空洞部１２ａを設け、上面に向けて多数の貫通孔１４を形成しておく。空洞部には電磁弁２３を介して真空ポンプ２４と加圧ポンプ２５を接続する。そしてフレキシブルシート３１をテーブル１０に搬送し、真空ポンプ２４を動作させ負圧とする。その後、一旦加圧ポンプ２５を用いて空洞部内の圧力を上昇させ、大気圧となる直前の所定値に達したら再び吸引してフレキシブルシート３１をテーブル１０上に吸着させる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に面に沿った空洞部を有し、上面に向けて複数の貫通孔が形成され、フレキシブルシートが載置されるテーブルと、
空気を吸引する真空ポンプと、
空気を圧送する加圧ポンプと、
前記テーブル内の空洞部と前記真空ポンプ及び加圧ポンプとを連結するダクトと、
前記真空ポンプ及び加圧ポンプのいずれか一方と前記ダクトとを連結する電磁弁と、
前記テーブルの空洞部内の圧力を検出する圧力センサと、
前記テーブル上に前記フレキシブルシートが載置されたときに、前記圧力センサの圧力に基づいて前記電磁弁を開閉し、前記真空ポンプ及び加圧ポンプのいずれか一方を前記空洞部に連結するよう制御するコントローラと、を具備する真空吸着装置。
【請求項２】
請求項１記載の真空吸着装置を用いた真空吸着方法であって、
フレキシブルシートが前記テーブルに載置されたときに前記ダクトを真空ポンプ側に切換え、真空ポンプを駆動することによって前記テーブルの空洞部の圧力を低下させ、
前記空洞部内の圧力が第１の負圧に達したときに前記ダクトを前記加圧ポンプ側に切換えて前記空洞部内の圧力を上昇させ、
前記空洞部内の圧力が第２の負圧に達したときに前記ダクトを前記真空ポンプに切換えて前記空洞部内の圧力を低下させ、
前記空洞部内の圧力が第３の負圧に達したときにその負圧を維持するよう制御する真空吸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスクライブ装置やブレイク装置などフレキシブルシートを加工する装置に用いられ、テーブル上にフレキシブルシートを吸着する真空吸着方法及び真空吸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
脆性材料基板を所定の形状に裁断する際に真空吸着装置が用いられる。例えば特許文献１には基板をスクライブするスクライブ装置及びブレイク装置においてテーブル上に基板を吸着し、基板をテーブル上に固定した後、スクライビングホイールを転動させてスクライブしたりブレイクバーを押し付けてブレイクする装置が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】ＷＯ２００４／０７３９４６公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような真空吸着装置を用いてフレキシブルシートを加工する場合に、テーブル上に載置し、テーブルから真空で吸着する際、フレキシブルシートが薄く柔軟であるので変形することがある。例えば図１（ａ）に示すようにテーブル１０１上にフレキシブルシート１０２を載置した場合に、その中央部分のテーブルとの間に空気が含まれていれば、テーブルに設けられた多数の貫通孔から負圧で吸引すると、図１（ｂ）に示すようにフレキシブルシート１０２の一部に線状又は円形状のしわ１０３が生じることがあるという問題点があった。
【０００５】
本発明はこのような従来の真空吸着装置の問題点に着目してなされたものであって、フレキシブルシートを加工する際にフレキシブルシートを吸着してもしわ等を生じることがなく、テーブル上に真空吸着して保持できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題を解決するために、本発明の真空吸着装置は、内部に面に沿った空洞部を有し、上面に向けて複数の貫通孔が形成され、フレキシブルシートが載置されるテーブルと、空気を吸引する真空ポンプと、空気を圧送する加圧ポンプと、前記テーブル内の空洞部と前記真空ポンプ及び加圧ポンプとを連結するダクトと、前記真空ポンプ及び加圧ポンプのいずれか一方と前記ダクトとを連結する電磁弁と、前記テーブルの空洞部内の圧力を検出する圧力センサと、前記テーブル上に前記フレキシブルシートが載置されたときに、前記圧力センサの圧力に基づいて前記電磁弁を開閉し、前記真空ポンプ及び加圧ポンプのいずれか一方を前記空洞部に連結するよう制御するコントローラと、を具備するものである。
【０００７】
この課題を解決するために、本発明の真空吸着方法は、前記真空吸着装置を用いた真空吸着方法であって、フレキシブルシートが前記テーブルに載置されたときに前記ダクトを真空ポンプ側に切換え、真空ポンプを駆動することによって前記テーブルの空洞部の圧力を低下させ、前記空洞部内の圧力が第１の負圧に達したときに前記ダクトを前記加圧ポンプ側に切換えて前記空洞部内の圧力を上昇させ、前記空洞部内の圧力が第２の負圧に達したときに前記ダクトを前記真空ポンプに切換えて前記空洞部内の圧力を低下させ、前記空洞部内の圧力が第３の負圧に達したときにその負圧を維持するよう制御するものである。
【発明の効果】
【０００８】
このような特徴を有する本発明によれば、フレキシブルシートを搬送した後、一旦吸引し、再び大気圧に近い値まで戻した後吸引しているため、テーブル上ではフレキシブルシートを平坦に保ち、しわ無く保持することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は従来の真空吸着装置においてフレキシブルシートのテーブルとの間に空気が入っている状態及びしわが生じている状態を示す図である。
【図２】図２は本実施の形態による真空吸着装置を示す概略図である。
【図３】図３は本実施の形態における真空吸着装置にフレキシブルシートが搬送された状態を示す図である。
【図４】図４は本実施の形態における真空吸着装置においてフレキシブルシートが搬送された後、空洞部内の圧力の変化を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の実施の形態におけるフレキシブルシートの真空吸着装置について、図２を用いて説明する。図２は本実施の形態における真空吸着装置とその加工用のテーブルを示す模式図である。この図ではテーブル１０の断面構造を示している。テーブル１０は第１のサブテーブル１１，第２のサブテーブル１２を含んで構成される。フレキシブルシートは、柔軟性を有するシートであり、テーブル上に載置したときにしわが生じ得るシートである。フレキシブルシートとしては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ＰＥＴ等のポリエステル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル等のポリビニル樹脂等の樹脂シートを例示することができ、複数の樹脂シートが積層された積層シートも含まれる。
【００１１】
第１のサブテーブル１１は図示しない加工装置のワーキングテーブルに固定される平板状の部材であり、ワーキングテーブルに対しては着脱自在である。第２のサブテーブル１２は第１のサブテーブルと同一形状でその上に積み重ねて設けられる。第２のサブテーブル１２の下面には周辺を除く大部分の板厚が薄い窪みを有しており、第１のサブテーブル１１上に重ねることによって空洞部１２ａが形成される。
【００１２】
空洞部１２ａから第２のテーブル１２の上面に向けて多数の貫通孔１３が形成されている。貫通孔１３は後述するフレキシブルシートを吸着するもので、フレキシブルシートの載置範囲に渡って第２のサブテーブル１２の格子状の位置にあって垂直に貫通する孔である。尚、第２のサブテーブル１２の下面に窪みを設けて空洞部１２ａとする代わりに、第１のサブテーブル１１の上面に窪みを設けて空洞部としてもよい。
【００１３】
又基板吸着装置の上部にはテーブル上に搬送されてきたフレキシブルシートを認識するための画像センサ１４が設けられている。
【００１４】
このテーブルの空洞部１２ａには図示のようにダクト２１が連結されており、ダクト２１に圧力センサ２２が設けられる。圧力センサ２２は大気圧を０とした相対的な負圧を検出する圧力センサであって、０．０ｋＰａ〜−１００ｋＰａまでの範囲が測定可能な圧力センサとする。更にこのダクト２１の他端には図示のように電磁弁２３が設けられ、電磁弁２３に真空ポンプ２４及び加圧ポンプ２５が設けられている。真空ポンプ２４は空洞部１２ａの圧力を減じるものであり、加圧ポンプ２５は空洞部１２ａの圧力を上昇させるものである。又コントローラ２６には画像センサ１４，圧力センサ２２と、電磁弁２３，搬送機構２７とが接続されている。電磁弁２３はコントローラ２６からの指示に基づいて真空ポンプ２４と加圧ポンプ２５とを択一的に切換えるものである。コントローラ２６は画像センサ１４，圧力センサ２２からの出力に基づいて電磁弁２３，真空ポンプ２４及び加圧ポンプ２５の動作を制御し、テーブル１０上に載置されるフレキシブルシートのしわを取り除いてテーブル１０上に吸着するものである。
【００１５】
次にテーブル１０に搬送されたフレキシブルシートを吸着する際の動作について説明する。テーブルにフレキシブルシートが搬送されてくるまでの間に真空ポンプ２４を動作させると、空気が貫通孔１３より吸引されるが、上部が開放されているためテーブル１０の空洞部１２ａは大気圧（０Ｐａ）に近い状態となっている。さて図３に示すようにテーブル１０上にフレキシブルシート３１が搬入されると、画像センサ１４はこれを検知する。そして図４に示すように真空ポンプ２４によりダクト２１を介して空気が吸引されるため、空洞部１２ａが負圧となり、圧力センサ２２で検出される圧力は図示のように徐々に低下する。そして所定の第１の負圧、例えば−３０ｋＰａに達したときに画像センサ１４を用いてしわの有無を確認してもよい。このときしわが無ければ、そのまま加工することができる。一方しわが生じている場合には、電磁弁２３を加圧ポンプ２５側に切換え、加圧ポンプ２５を動作させる。こうすれば加圧ポンプ２５からテーブル内の空洞部１２ａに空気が送り込まれ、図４に示すように空洞部１２ａ内の圧力が徐々に上昇する。
【００１６】
そして圧力が上昇して大気圧となる直前の第２の負圧、例えば−１ｋＰａとなれば、フレキシブルシート３１を吸引する力はほとんど残っておらず、しかもフレキシブルシート３１とテーブル１０の間に空気が残っていないため、しわは無くなっている。ここで再び電磁弁２３を真空ポンプ２４側に切換える。こうすれば圧力センサ２２で検出される圧力は再び徐々に低下するが、この間にしわが寄ることはない。そしてフレキシブルシート３１をテーブル１０上に確実に保持できる第３の負圧、例えば−３０ｋＰａに達すると、真空ポンプ２４を停止し、その圧力を保つ。そしてこの状態を保ちつつテーブル１０上に保持されているフレキシブルシート３１に対してレーザ加工など必要な処理を行う。
【００１７】
尚この実施の形態では、テーブル１０にフレキシブルシート３１が搬送される前に既に真空ポンプ２４を動作させるようにしているが、フレキシブルシート３１がテーブル１０上に載置された後に真空ポンプ２４を動作させ、空洞部１２ａを負圧になるように制御してもよい。
【００１８】
又この実施の形態では、第１の負圧と第３の負圧とを同一の値（−３０ｋＰａ）としているが、これらは必ずしも同一の値とする必要はない。例えば第３の負圧を−５０ｋＰａとしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００１９】
本発明の真空吸着装置は、フレキシブルシート等の基板に対しレーザ加工を行ったりスクライブを行い、又はスクライブラインに沿って切断加工するブレイク装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００２０】
１０  テーブル
１１  第１のサブテーブル
１２  第２のサブテーブル
１２ａ  空洞部
１３  貫通孔
１４  画像センサ
２１  ダクト
２２  圧力センサ
２３  電磁弁
２４  真空ポンプ
２５  加圧ポンプ
２６  コントローラ
２７  搬送機構
３１  フレキシブルシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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