(57)【要約】【課題】狭隘部における飛沫の付着状態を評価する。【解決手段】飛沫のモニタ対象に貼付される光ファイバセンサと、該光ファイバセンサと所定の光カプラとを含むリング状光導波路と、光源光を光カプラに出射する光源と、光カプラを介してリング状光導波路から入射する光ファイバセンサの検出光を検出信号に光電変換する光検出器と、検出信号に所定の信号処理を施すことによりモニタ対象に対する飛沫の付着状態を示すモニタ信号を生成する信号処理部とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
飛沫のモニタ対象に貼付される光ファイバセンサと、
該光ファイバセンサと所定の光カプラとを含むリング状光導波路と、
光源光を前記光カプラに出射する光源と、
前記光カプラを介して前記リング状光導波路から入射する前記光ファイバセンサの検出光を検出信号に光電変換する光検出器と、
前記検出信号に所定の信号処理を施すことにより前記モニタ対象に対する飛沫の付着状態を示すモニタ信号を生成する信号処理部と
を備えることを特徴とする飛沫モニタ装置。
【請求項２】
前記光カプラは、３つの一端側ポートと３つの他端側ポートとを有する３対３光カプラであり、
前記光源は、第１の前記一端側ポートに前記光源光を出射し、
前記リング状光導波路は、一端が第１の前記他端側ポートに接続されると共に他端が第２の前記他端側ポートに接続され、
前記光検出器は、入力端が第２の前記一端側ポートに接続される第１の光検出器と、入力端が第３の前記一端側ポートに接続される第２の光検出器とを備え、
前記信号処理部は、前記第１の光検出器から出力される第１の前記検出信号と前記第２の光検出器から出力される第２の前記検出信号との差分とることによりモニタ信号を生成することを特徴とする請求項１記載の飛沫モニタ装置。
【請求項３】
前記信号処理部は、前記モニタ信号の絶対値を示す絶対値信号を生成する絶対値変換器と、前記絶対値信号を積分処理する積分器と、該積分器の出力を時系列的に記憶するデータロガーを備えることを特徴とする請求項１または２記載の飛沫モニタ装置。
【請求項４】
前記光ファイバセンサは、光ファイバシートであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の飛沫モニタ装置。
【請求項５】
光ファイバセンサの１つである光ファイバシートをモニタ対象に貼付することにより当該モニタ対象に対する飛沫の付着状態を検出することを特徴とする飛沫モニタ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、飛沫モニタ装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記非特許文献１には、ＡＣＭ（Atmospheric Corrosion Monitor）センサを用いることにより鋼材の腐食速度や環境の腐食性を評価することが開示されている。このＡＣＭセンサは、対向配置された２つの電極、つまり鉄（Ｆｅ）からなる櫛状の電極と銀（Ａｇ）からなる櫛状の電極との間に流れるガルバニック電流が鋼材の腐食状態に応じて変化することを利用するものである。なお、このようなＡＣＭセンサについては、例えば下記非特許文献２等、複数のホームページに計測原理や概要（外形）が開示されている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】山本正弘、升田博之、小玉俊明 「海塩粒子の吸湿過程のＱＣＭを用いた検討」、Zairyo-to-Kankyo, 48, 633-638 (1999)
【非特許文献２】http://www.syrinx.co.jp/acm-spec/about-acm.htm（ＡＣＭセンサ計測の原理と概要）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記ＡＣＭセンサを用いることにより、例えば塩水飛沫等、鋼材（モニタ対象）の表面に付着する酸化性飛沫の付着状態、つまり当該酸化性飛沫の付着に起因するモニタ対象の腐食状態を評価することが可能である。
【０００５】
しかしながら、このようなＡＣＭセンサは、２つの電極の面積をある程度確保する必要等に起因して、平板状でありセンササイズが比較的大きい。したがって、例えばエンジンの内部等の狭隘部に設置して酸化性飛沫の付着状態を評価する用途には適用できない。
【０００６】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、狭隘部における飛沫の付着状態を評価することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明では、飛沫モニタ装置に係る第１の解決手段として、飛沫のモニタ対象に貼付される光ファイバセンサと、該光ファイバセンサと所定の光カプラとを含むリング状光導波路と、光源光を前記光カプラに出射する光源と、前記光カプラを介して前記リング状光導波路から入射する前記光ファイバセンサの検出光を検出信号に光電変換する光検出器と、前記検出信号に所定の信号処理を施すことにより前記モニタ対象に対する飛沫の付着状態を示すモニタ信号を生成する信号処理部とを備える、という手段を採用する。
【０００８】
本発明では、飛沫モニタ装置に係る第２の解決手段として、上記第１の解決手段において、前記光カプラは、３つの一端側ポートと３つの他端側ポートとを有する３対３光カプラであり、前記光源は、第１の前記一端側ポートに前記光源光を出射し、前記リング状光導波路は、一端が第１の前記他端側ポートに接続されると共に他端が第２の前記他端側ポートに接続され、前記光検出器は、入力端が第２の前記一端側ポートに接続される第１の光検出器と、入力端が第３の前記一端側ポートに接続される第２の光検出器とを備え、前記信号処理部は、前記第１の光検出器から出力される第１の前記検出信号と前記第２の光検出器から出力される第２の前記検出信号との差分をとることにより前記モニタ信号を生成する、という手段を採用する。
【０００９】
本発明では、飛沫モニタ装置に係る第３の解決手段として、上記第１または第２の解決手段において、前記信号処理部は、前記モニタ信号の絶対値を示す絶対値信号を生成する絶対値変換器と、前記絶対値信号を積分処理する積分器と、該積分器の出力を時系列的に記憶するデータロガーを備える、という手段を採用する。
【００１０】
本発明では、飛沫モニタ装置に係る第４の解決手段として、上記第１〜第３のいずれかの解決手段において、前記光ファイバセンサは、光ファイバシートである、という手段を採用する。
【００１１】
また、本発明では、飛沫モニタ方法に係る解決手段として、光ファイバセンサの１つである光ファイバシートをモニタ対象に貼付することにより当該モニタ対象に対する飛沫の付着状態を検出する、という手段を採用する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、従来のＡＣＭセンサに代えて光ファイバセンサを用いるので、狭隘部における飛沫の付着状態を評価することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係る飛沫モニタ装置の機能構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態におけるモニタ信号の一例を示す波形図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。
本実施形態に係る飛沫モニタ装置は、図１に示すように、ＳＬＤ光源１（光源）、光アイソレータ２、３対３光カプラ３、光ファイバ４、光ファイバセンサ５、遅延用光ファイバ６、２つのデポラライザ７Ａ，７Ｂ（第１、第２のデポラライザ）、２つの光検出器８Ａ，８Ｂ（第１、第２の光検出器）、差動増幅器９、絶対値変換器１０、積分器１１及びデータロガー１２を備えている。
【００１５】
ここで、上記各構成要素のうち、３対３光カプラ３、光ファイバ４、光ファイバセンサ５、遅延用光ファイバ６及び第１、第２のデポラライザ７Ａ，７Ｂは、本発明におけるリング状光導波路Ｒを構成している。また、差動増幅器９、絶対値変換器１０、積分器１１及びデータロガー１２は、本発明における信号処理部Ｍを構成している。
【００１６】
モニタ対象Ｗは、ガスタービンエンジンにおいて外気に曝される部位、例えば外気を圧縮する圧縮機の内部である。このようなモニタ対象Ｗは、外気に含まれる酸化性飛沫が付着する部位であり、かつ、比較的複雑な機械構造を備える狭隘部である。例えば、上記ガスタービンエンジンが海上を飛行する航空機のエンジンである場合、モニタ対象Ｗには腐食性の塩水飛沫（海水飛沫）が付着する場合がある。本実施形態に係る飛沫モニタ装置は、このようなモニタ対象Ｗ（狭隘部）における塩水飛沫等の酸化性飛沫の付着量をモニタ（計測）する装置である。
【００１７】
ＳＬＤ光源１は、スーパールミネッセント・ダイオード（ＳＬＤ：Superluminescent diode）を発光素子とする半導体光源であり、ＳＬＤ光を光源光として光アイソレータ２に出射する。すなわち、このＳＬＤ光源１は、光源光を光アイソレータ２を介してリング状光導波路Ｒを構成する３対３光カプラ３に出射する。なお、上記ＳＬＤ光は、一般的なレーザ光よりも広帯域のスペクトラムを有するレーザ光である。
【００１８】
光アイソレータ２は、上記ＳＬＤ光源１と３対３光カプラ３との間に挿入され、光源光が３対３光カプラ３で反射してＳＬＤ光源１に入射することを抑制する光学部品である。より正確には、この光アイソレータ２は、入射端がＳＬＤ光源１の出射端に接続され、出射端が３対３光カプラ３における第１の一端側ポートｘ１に接続されており、光を入射端から出射端に低損失で伝搬させるものの、出射端から入射端への光の伝搬損失が大きな方向性結合器である。
【００１９】
３対３光カプラ３は、３本の光ファイバの途中部位を融着させた光学部品であり、３つの一端側ポートｘ１〜ｘ３と３つの他端側ポートｙ１〜ｙ３とを備える。３つの一端側ポートｘ１〜ｘ３のうち、第１の一端側ポートｘ１は、上述したように光アイソレータ２の出射端に接続され、第２の一端側ポートｘ２は第１の光検出器８Ａの入射端に接続され、第３の一端側ポートｘ３は第２の光検出器８Ｂの入射端に接続されている。
【００２０】
また、上記３つの他端側ポートｙ１〜ｙ３のうち、第１の他端側ポートｙ１は光ファイバ４の一端に接続され、第２の他端側ポートｙ２は解放端であり、また第３の他端側ポートｙ３は光ファイバ４の他端に接続されている。
【００２１】
光ファイバ４は、所定長さ（光路長）の光導波路であり、一端が上記３対３光カプラ３における第１の他端側ポートｙ１に接続され、他端が３対３光カプラ３における第３の他端側ポートｙ３に接続される。この光ファイバ４は、上述したように光ファイバセンサ５及び３対３光カプラ３と共にリング状光導波路Ｒを形成している。
【００２２】
このリング状光導波路Ｒは、全体としてリング状（円環状）の導波路であり、３対３光カプラ３を介して光ファイバ４の一端及び他端から光源光が入射する。光ファイバ４の一端から入射する光源光は、リング状光導波路Ｒを反時計回りに伝搬するＣＣＷ光であり、また光ファイバ４の他端から入射する光源光は、リング状光導波路Ｒを時計回りに伝搬するＣＷ光である。すなわち、リング状光導波路Ｒには、伝搬方向が互いに逆向きの光源光つまりＣＷ光及びＣＣＷ光が伝搬する。
【００２３】
光ファイバセンサ５は、上記光ファイバ４の途中部位に挿入された光センサである。この光ファイバセンサ５は、モニタ対象Ｗ（狭隘部）に貼付されており、表面に付着する酸化性飛沫の量（付着瞬時値）に応じた側圧（圧力）を受ける。すなわち、この光ファイバセンサ５は、上記付着瞬時値に応じて屈折率が変化し、これに伴って内部を伝搬するＣＷ光及びＣＣＷ光を位相変調し、この結果として上記付着瞬時値を示す検出光を生成する。
【００２４】
このような光ファイバセンサ５は、細線である光ファイバ素線を酸化性飛沫の付着量を検出するためのセンサとして利用するものであり、従来のＡＣＭセンサよりも大幅に小面積（例えば数〜数十ｍｍ角）である。また、光ファイバセンサ５として、例えば光ファイバシートを採用した場合、厚さが極めて薄い（例えば１ｍｍ程度）であり、接着材等の粘着剤を用いることによりモニタ対象Ｗ（狭隘部）に容易に貼付することが可能である。
【００２５】
上記光ファイバシートは、所定の基材上に光ファイバ素線を複数本敷き詰め、この上に保護シートを被せたもの、つまり光ファイバ素線をラミネート加工したものである。このような光ファイバシートは、ＡＣＭセンサよりも大幅に小型（小面積）かつ薄型の光ファイバセンサ５である。
【００２６】
ここで、上述したリング状光導波路Ｒには、３対３光カプラ３を介して光ファイバ４の一端及び他端から光源光が入射することによりＣＷ光及びＣＣＷ光が伝搬すると共に、当該ＣＷ光及びＣＣＷ光が光ファイバセンサ５で位相変調されることによって生成された検出光が伝搬する。このようなＣＷ光及びＣＣＷ光に基づく２つの検出光（第１、第２の検出光）は、共通する導波路つまりリング状光導波路Ｒを伝搬することにより、互いに干渉して干渉光（ビート光）を生成する。
【００２７】
上記干渉光は、光ファイバ４の一端から３対３光カプラ３における第１の他端側ポートｙ１に入射すると共に、光ファイバ４の他端から３対３光カプラ３における第３の他端側ポートｙ３に入射する。また、３対３光カプラ３は、このような干渉光を位相が互いに１２０°（２π／３）異なる２つの干渉光として第２の一端側ポートｘ２及び第３の一端側ポートｘ３から出射する。
【００２８】
遅延用光ファイバ６は、光ファイバ４の途中部位に挿入され、リング状光導波路Ｒを伝搬するＣＷ光及びＣＣＷ光を遅延させる遅延用光導波路である。第１、第２のデポラライザ７Ａ，７Ｂは、図示するように光ファイバ４の途中部位に挿入されており、上記ＣＷ光及びＣＣＷ光を無偏光化する光学素子である。
【００２９】
上述したリング状光導波路Ｒ、ＳＬＤ光源１及び光アイソレータ２は、ＣＷ光及びＣＣＷ光に作用するサニャック効果を利用するサニャック型光干渉計を構成している。すなわち、このサニャック型光干渉計は、酸化性飛沫の光ファイバセンサ５への付着によって光ファイバセンサ５に作用する外力に基づいてＣＷ光及びＣＣＷ光の伝搬速度を変化させ、この結果としてＣＷ光及びＣＣＷ光が位相変調してなる第１、第２の検出光を発生させ、さらに第１、第２の検出光の相互干渉に基づいて干渉光を得るものである。
【００３０】
第１、第２の光検出器８Ａ，８Ｂは、３対３光カプラ３から入射する干渉光を光電変換する半導体素子（フォトダイオード）である。すなわち、第１、第２の光検出器８Ａ，８Ｂは、３対３光カプラ３を介してリング状光導波路Ｒから入射する干渉光を第１、第２の検出信号に変換する。この検出信号は、光ファイバセンサ５におけるＣＷ光及びＣＣＷ光の位相変調量、つまりモニタ対象Ｗ（狭隘部）における酸化性飛沫の付着量を示す電気信号である。
【００３１】
このような第１、第２の光検出器８Ａ，８Ｂのうち、第１の光検出器８Ａは、入射端が３対３光カプラ３における第２の一端側ポートｘ２に接続され、出力端が差動増幅器９の一方の入力端に接続されており、第１の検出信号を差動増幅器９に出力する。一方、第２の光検出器８Ｂは、入射端が３対３光カプラ３における第３の一端側ポートｘ３に接続され、出力端が差動増幅器９の他方の入力端に接続されており、第２の検出信号を差動増幅器９に出力する。
【００３２】
差動増幅器９は、第１の光検出器８Ａから入力された第１の検出信号と第２の光検出器８Ｂから入力された第２の検出信号とを差動増幅することにより、酸化性飛沫の付着瞬時値の時間変化を示すモニタ信号を生成する集積回路である。すなわち、この差動増幅器９は、第１の検出信号と第２の検出信号との差分をとることにより生成したモニタ信号を絶対値変換器１０に出力する。なお、このモニタ信号は、第１の検出信号と第２の検出信号とに含まれる同相ノイズ（コモン・モードノイズ）が減衰した電圧信号（交流信号）である。
【００３３】
絶対値変換器１０は、上記差動増幅器９から入力された電圧信号を絶対値に変換する電子回路である。すなわち、この絶対値変換器１０は、前処理として電圧信号にローパスフィル処理を施すことにより比較的高い周波数帯域のノイズ成分を減衰させ、このローパスフィル処理後の電圧信号を対値に変換する。なお、上記ローパスフィル処理におけるカットオフ周波数は、上記差分検出信号に含まれる酸化性飛沫の付着量の周波数成分に応じて適宜設定されるが、例えば２０ｋＨｚ程度である。このような絶対値変換器１０は、酸化性飛沫の付着瞬時値の時間変化を示す絶対値信号を積分器１１に出力する。
【００３４】
積分器１１は、上記絶対値信号を積分処理することにより所定期間に亘る酸化性飛沫のトータル的な付着状態を計算し、当該付着状態を示すデータ（飛沫付着データ）をデータロガー１２に出力する。データロガー１２は、上記積分器１１から順次入力される飛沫付着データを時系列データとして順次記憶する。
【００３５】
すなわち、本実施形態における信号処理部Ｍは、第１、第２の光検出器８Ａ，８Ｂから入力される第１、第２の検出信号に所定の信号処理を施すものである。また、この信号処理は、第１の検出信号と第２の検出信号とを差動増幅することによりモニタ信号を生成する信号生成に加え、上記モニタ信号に基づいて飛沫付着データを生成して順次記憶するデータ保存を含む。このような信号処理部Ｍには、ある期間に亘るモニタ対象Ｗの酸化性飛沫の付着状態が時系列的に保存される。
【００３６】
次に、本実施形態に係る飛沫モニタ装置の動作、つまり当該飛沫モニタ装置に基づく飛沫モニタ方法について、図１に加えて図２をも参照して詳しく説明する。
【００３７】
この飛沫モニタ装置では、ＳＬＤ光源１が光源光（ＳＬＤ光）を光アイソレータ２に出射すると、上記光源光は、ＳＬＤ光源１から３対３光カプラ３を介して光ファイバ４の両端に入射してＣＷ光及びＣＣＷ光となる。そして、これらＣＷ光及びＣＣＷ光は、光ファイバセンサ５内を伝搬する際に酸化性飛沫の付着に基づく光位相変調を受け、第１、第２の検出光となる。そして、ＣＷ光から生成された第１の検出光及びＣＣＷ光から生成された第２の検出光は、リング状光導波路Ｒを伝搬する間に相互干渉して干渉光（ビート光）となる。
【００３８】
ここで、光ファイバセンサ５は、狭隘部であるモニタ対象Ｗの表面に貼付されており、外部からモニタ対象Ｗ（狭隘部）に侵入して付着する酸化性飛沫の付着状態つまり酸化性飛沫の付着に起因する衝撃力を応答性良くＣＷ光及びＣＣＷ光の位相変化に変換する。したがって、酸化性飛沫の付着に基づいて光ファイバセンサ５で生成される各検出光は、酸化性飛沫の付着状態をＣＷ光及びＣＣＷ光の位相変化に忠実に変換した光信号である。
【００３９】
また、光ファイバセンサ５は、細線の光ファイバ素線からなる光学センサであり、モニタ対象Ｗ（狭隘部）の表面に容易に貼付することが可能である。したがって、本実施形態に係る飛沫モニタ装置の動作によれば、モニタ対象Ｗ（狭隘部）における酸化性飛沫の付着状態を的確に評価することが可能である。
【００４０】
そして、この干渉光は、３対３光カプラ３を介して第１、第２の光検出器８Ａ，８Ｂに入射して光電変換される。すなわち、第１の光検出器８Ａは干渉光を第１の検出信号に変換し、第２の光検出器８Ｂは、干渉光を第２の検出信号に変換する。第１の光検出器８Ａに入射する干渉光と第２の光検出器８Ｂに入射する干渉光とは３対３光カプラ３の性能に起因して位相が互いに１２０°異なった光信号であり、よって第１の検出信号と第２の検出信号とは、同様に位相が互いに１２０°異なると共に光ファイバセンサ５での光位相変調が電圧に変換された信号成分を含む電気信号（電圧信号）となる。
【００４１】
図２は、このような第１、第２の検出信号の一例を示す波形図である。この図２に示すように、モニタ対象Ｗ（狭隘部）への酸化性飛沫の付着状態に応じて振幅（電圧）が変化する電圧信号である。このような第１、第２の検出信号における振幅は、光ファイバセンサ５に作用する外力の大きさ、つまり酸化性飛沫の粒径（質量）や速度に応じて変化する。したがって、図２において、振幅が大きな時間領域は、例えば比較的大きな粒径（質量）の酸化性飛沫がモニタ対象Ｗ（狭隘部）に付着したことを示している。
【００４２】
そして、このような第１、第２の検出信号は、差動増幅器９で差動増幅されることにより、同相ノイズが低減されてＳ／Ｎ比が向上したモニタ信号となる。そして、このモニタ信号は、絶対値変換器１０に入力されることにより、高周波ノイズが低減された後に絶対値信号に変換される。この絶対値信号は、上述したＣＷ光及びＣＣＷ光の位相変化つまりモニタ対象Ｗ（狭隘部）における酸化性飛沫の付着状態を振幅変化とする電気信号（電圧信号）である。
【００４３】
このような絶対値信号は、積分器１１で積算されることにより飛沫付着データに変換される。そして、この飛沫付着データは、データロガー１２において、モニタ対象Ｗ（狭隘部）における酸化性飛沫の付着状態を時系列的に示す時系列データとして保存される。
【００４４】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
（１）上記実施形態では、モニタ対象Ｗ（狭隘部）にたいして腐食性を有する塩水飛沫（海水飛沫）等の酸化性飛沫の付着状態の評価に本発明を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。本発明は、光ファイバセンサ５で検出し得る種々の飛沫の付着状態の評価に適用することができる。
【００４５】
（２）上記実施形態では、従来のＡＣＭセンサに代えて光ファイバセンサ５を採用し、また光ファイバセンサ５として光ファイバシートを採用するものであるが、本発明はこれに限定されない。光ファイバシートを含む光ファイバセンサ５は、細線である光ファイバ素線を用いるので、小型化及び／あるいは薄型化が容易であり、狭隘部であるモニタ対象Ｗへの設置がＡＣＭセンサに比べて容易である。したがって、光ファイバシートに代えて他の光ファイバセンサを用いてもよい。
【００４６】
なお、一般的な光ファイバシートは、基材上に複数の光ファイバ素線を並べ、その上に保護フィルムを被せたものであり、平板フィルム状である。これに対して、ガスタービンエンジン等の狭隘部つまりモニタ対象Ｗは、必ずしも平面状ではない場合があり得る。このような事情を考慮すると、モニタ対象Ｗの表面形状に合致する形状に形成された光ファイバシートを用意し、このような形状の光ファイバシートをモニタ対象Ｗの表面に接着剤等を用いて貼付することが考えられる。
【００４７】
（３）上記実施形態では、サニャック型光干渉計を用いたが、本発明はこれに限定されない。サニャック型光干渉計以外の光干渉計、例えばマッハツェンダ型、マイケルソン型あるいはファイブリペロー型等の光干渉計を用いてもよい。
【００４８】
（４）上記実施形態では、光源としてＳＬＤ光源１を用いたが、本発明はこれに限定されない。ＳＬＤ光源１よりも波長帯域が狭い半導体レーザ等を用いてもよい。
【００４９】
（５）上記実施形態では、３対３光カプラ３を用いたが、本発明はこれに限定されない。例えば３対３光カプラ３に代えて２つの一端側ポートと２つの他端側ポートとを備える２対２光カプラを採用し、第１の一端側ポートに光源光を入射し、第２の一端側ポートから干渉光を第１の光検出器８Ａに入射させてもよい。この場合には、第２の光検出器８Ｂ及び差動増幅器９を省略することができる。
【００５０】
（６）さらに、上記実施形態における光アイソレータ２、遅延用光ファイバ６及び第１、第２のデポラライザ７Ａ，７Ｂは、必要に応じて付加されるべきものであり、必須の構成要素ではない。
【符号の説明】
【００５１】
１  ＳＬＤ光源（光源）
２  光アイソレータ
３  ３対３光カプラ
４  光ファイバ
５  光ファイバセンサ
６  遅延用光ファイバ
７Ａ，７Ｂ  第１、第２のデポラライザ
８Ａ，８Ｂ  第１、第２の光検出器
９  差動増幅器
１０  絶対値変換器
１１  積分器
１２  データロガー
【図１】
2019215199.tif 000003
【図２】
2019215199.tif 000004