(57)【要約】【課題】簡素な構成でスムーズに液剤を塗布できる液剤塗布装置を提供する。【解決手段】液剤塗布装置１０は、液剤を貯留する圧力室１１ｃを有する液剤貯留部１１と、圧力室１１ｃ上に配置されるダイヤフラム１２と、ダイヤフラム１２を振動させる圧電素子１３と、圧電素子１３を制御する制御部１８とを備える。制御部１８は、圧電素子１３の発熱量を制御することによって、圧力室１１ｃ内の液剤の温度を調整する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液剤を貯留する圧力室を有する液剤貯留部と、
前記圧力室上に配置されるダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムを振動させる駆動部と、
前記駆動部を制御する制御部と、
を備え、
前記駆動部は、発熱体を有し、
前記制御部は、前記発熱体の発熱量を制御することによって、前記圧力室内の液剤の温度を調整する、
液剤塗布装置。
【請求項２】
前記発熱体は、圧電素子であり、
前記制御部は、前記圧電素子に印加する駆動電圧信号の電圧、周波数及びデューティ比の少なくとも一つを調整することによって、前記圧電素子の発熱量を制御する、
請求項１に記載の液剤塗布装置。
【請求項３】
前記駆動電圧信号は、
加圧用電圧信号と、
前記加圧用電圧信号よりも周波数の高い加振用電圧信号と、
を含み、
前記制御部は、前記加振用電圧信号の電圧、周波数及びデューティ比の少なくとも一つを調整することによって、前記圧電素子の発熱量を制御する、
請求項２に記載の液剤塗布装置。
【請求項４】
前記駆動部は、
加圧用電圧信号の印加に応じて加圧振動する加圧用圧電素子と、
前記加圧用電圧信号よりも周波数の高い加振用電圧信号の印加に応じて加振振動する加振用圧電素子と、
を有し、
前記発熱体は、前記加振用圧電素子であり、
前記制御部は、前記加振用電圧信号の電圧、周波数及びデューティ比の少なくとも一つを調整することによって、前記加振用圧電素子の発熱量を制御する、
請求項２に記載の液剤塗布装置。
【請求項５】
前記ダイヤフラム又は前記液剤貯留部に接続され、前記駆動部を固定する固定部と、
前記駆動部と前記固定部とに接続される伝熱部材と、
をさらに備える、
請求項２乃至４のいずれかに記載の液剤塗布装置。
【請求項６】
前記駆動部は、
圧電素子と、
前記圧電素子と電気的に接続される抵抗器と、
を有し、
前記発熱体は、前記抵抗器であり、
前記制御部は、前記抵抗器に供給する電流量を調整することによって、前記抵抗器の発熱量を制御する、
請求項１に記載の液剤塗布装置。
【請求項７】
前記抵抗器と前記液剤貯留部とに接続される伝熱部材をさらに備える、
請求項６に記載の液剤塗布装置。
【請求項８】
前記抵抗器は、前記液剤貯留部に形成された凹部内に配置される、
請求項６又は７に記載の液剤塗布装置。
【請求項９】
前記抵抗器は、可変抵抗器である、
請求項６乃至８のいずれかに記載の液剤塗布装置。
【請求項１０】
前記抵抗器は、抵抗値の異なる複数の固定抵抗器を含む、
請求項６乃至８のいずれかに記載の液剤塗布装置。
【請求項１１】
前記制御部は、前記圧力室内の液剤が所定の温度、又は、所定の温度範囲内に維持されるように、前記発熱体の発熱量を制御する、
請求項１に記載の液剤塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液剤塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電効果によって電気エネルギから機械エネルギへのエネルギ変換を行う圧電素子は、応答性に優れているため、半導体、印刷、化学薬品などの広い分野において、液剤を対象物の表面に塗布する液剤塗布装置に利用されている。
【０００３】
特許文献１，２では、液剤のスムーズな塗布を目的として、液剤を加熱して粘度を低下させるための加熱装置（ヒータ）を設ける手法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１０３２０７号公報
【特許文献２】特開２０００−３１７３７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１，２の手法では、液剤塗布装置の構成が複雑化又は大型化してしまうため、簡素な構成で液剤の温度を調整してスムーズな塗布を実現したいという要請がある。
【０００６】
本発明は、簡素な構成でスムーズに液剤を塗布できる液剤塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る液剤塗布装置は、液剤を貯留する圧力室を有する液剤貯留部と、圧力室上に配置されるダイヤフラムと、ダイヤフラムを振動させる駆動部と、駆動部を制御する制御部とを備える。駆動部は、発熱体を有する。制御部は、発熱体の発熱量を制御することによって、圧力室内の液剤の温度を調整する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一つの態様によれば、簡素な構成でスムーズに液剤を塗布できる液剤塗布装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、第１実施形態に係る液剤塗布装置の構成を示す模式図である。
【図２】図２は、駆動電圧信号の一例を示す波形図である。
【図３】図３は、加圧用電圧信号の一例を示す波形図である。
【図４】図４は、加振用電圧信号の一例を示す波形図である。
【図５】図５は、第１実施形態の変形例に係る液剤塗布装置の構成を示す模式図である。
【図６】図６は、第２実施形態に係る液剤塗布装置の構成を示す模式図である。
【図７】図７は、抵抗器の構成の一例を示す模式図である。
【図８】図８は、抵抗器の構成の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係る外観検査装置について説明する。ただし、本発明の範囲は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、各構造における縮尺および数等を、実際の構造における縮尺および数等と異ならせる場合がある。
【００１１】
［第１実施形態］
（液剤塗布装置１０の構成）
図１は、第１実施形態に係る液剤塗布装置１０の構成を示す模式図である。
【００１２】
液剤塗布装置１０は、液剤貯留部１１、ダイヤフラム１２、圧電素子１３、固定部１４、伝熱部材１５、保温カバー１６、温度センサ１７、及び制御部１８を備える。
【００１３】
（１）液剤貯留部１１
液剤貯留部１１は、ハウジング１１ａとノズル１１ｂとを有する。
【００１４】
ハウジング１１ａは、中空状に形成される。本実施形態において、ハウジング１１ａは筒状に形成されているが、これに限られるものではない。ハウジング１１ａは、例えば合金材料、セラミックス材料、及び合成樹脂材料などによって構成することができる。
【００１５】
ハウジング１１ａの内部には、圧力室１１ｃ、液剤供給路１１ｄ及び液剤排出路１１ｅが形成される。圧力室１１ｃは、液剤を貯留する。液剤としては、例えば、半田、熱硬化性樹脂、インク、或いは、機能性薄膜（配向膜、レジスト、カラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンスなど）を形成するための塗布液などが挙げられる。液剤供給路１１ｄは、圧力室１１ｃに連なる。液剤供給路１１ｄは、圧力室１１ｃに液剤を供給するための流路である。液剤排出路１１ｅは、圧力室１１ｃに連なる。液剤排出路１１ｅは、圧力室１１ｃから液剤を排出するための流路である。
【００１６】
ノズル１１ｂは、板状に形成される。ノズル１１ｂは、圧力室１１ｃの一端開口を塞ぐように配置される。ノズル１１ｂには、吐出口１１ｆが形成される。圧力室１１ｃ内の液剤は、吐出口１１ｆから液滴となって外部に吐出される。
【００１７】
（２）ダイヤフラム１２
ダイヤフラム１２は、圧力室１１ｃの他端開口を塞ぐように配置される。ダイヤフラム１２は、後述する圧電素子１３から振動が加えられると、弾性的に振動する。これにより、ダイヤフラム１２は、圧力室１１ｃの容積を変化させる。
【００１８】
ダイヤフラム１２を構成する材料は特に制限されないが、例えば合金材料、セラミックス材料、及び合成樹脂材料などを用いることができる。
【００１９】
（３）圧電素子１３
圧電素子１３は、ダイヤフラム１２上に配置される。圧電素子１３は、ダイヤフラム１２と固定部１４との間に挟まれる。本実施形態において、圧電素子１３は、ダイヤフラム１２を振動させる「駆動部」であり、かつ、圧力室１１ｃ内の液剤の加熱に用いられる「発熱体」である。
【００２０】
圧電素子１３は、複数の圧電体１３ａ、複数の内部電極１３ｂ、及び一対の側面電極１３ｃ，１３ｃを有する。各圧電体１３ａと各内部電極１３ｂは、交互に積層される。各圧電体１３ａは、例えばジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電セラミックスによって構成される。各電内部極１３ｂは、一対の側面電極１３ｃ，１３ｃのうちいずれか一方と電気的に接続される。すなわち、一方の側面電極１３ｃと電気的に接続された内部電極１３ｃは、他方の側面電極１３ｃから電気的に絶縁されている。このような構造は、一般に部分電極構造として称される。
【００２１】
ただし、圧電素子１３は、１つの圧電体と一対の電極とを少なくとも備えていればよく、圧電素子１３には周知の種々の圧電素子を用いることができる。
【００２２】
圧電素子１３は、後述する駆動電圧信号ＶＲ（すなわち、駆動パルス）の印加に応じて伸縮する。具体的には、後述する制御部１８から一対の側面電極１３ｃ，１３ｃに駆動電圧信号ＶＲが入力されると、ダイヤフラム１２に垂直な伸縮方向Ｄ１に沿って各圧電体１３ａが伸縮する。この圧電素子１３の伸縮動作に伴って、ダイヤフラム１２が振動する。
【００２３】
圧電素子１３は、駆動電圧信号ＶＲの印加に応じて発熱する。圧電素子１３の発熱量は、制御部１８によって制御される。圧電素子１３の熱は、後述する伝熱部材１５及び固定部１４を介して液剤貯留部１１に伝達され、これによって圧力室１１ｃ内の液剤の温度が調整される。
【００２４】
（４）固定部１４
固定部１４は、圧電素子１３を固定する。固定部１４は、ダイヤフラム１２に対する圧電素子１３の位置を固定する。
【００２５】
固定部１４は、液剤貯留部１１上に配置される。固定部１４は、液剤貯留部１１に接続される。固定部１４は、伝熱部材１５に接続される。固定部１４は、伝熱部材１５を介して、圧電素子１３と熱的に繋がる。固定部１４は、圧電素子１３の熱を液剤貯留部１１に伝える。
【００２６】
（５）伝熱部材１５
伝熱部材１５は、圧電素子１３と固定部１４との間に配置される。伝熱部材１５は、圧電素子１３と固定部１４とに接続される。伝熱部材１５は、圧電素子１３と固定部１４とを熱的に繋ぐ。これにより、圧電素子１３の熱は、伝熱部材１５及び固定部１４を介して、液剤貯留部１１に効率的に伝達される。
【００２７】
伝熱部材１５は、伝熱性の高い材料によって構成することが好ましい。伝熱性の高い材料としては、例えば、銀、銅、アルミニウム合金などの金属材料、高分子樹脂材料（例えば、シリコーンなど）にシリカ等の微粉末を配合したペースト状又は柔軟シート状の可撓性材料などが挙げられるが、これに限られない。また、圧電素子１３はＤ１方向に伸縮するため伝熱部材１５と圧電素子１３との当接面では両者が摺動してしまい、圧電素子１３の動きを妨害するものになるし、当接面の磨耗や破損も懸念される。従って、伝熱部材１５のうち圧電素子１３と接触する部分を可撓性材料で構成するとともに、伝熱部材１５のうち固定部１４に接続される部分を金属材料で構成することが望ましい。この場合、一般的に、可撓性材料の熱伝導率は金属材料の熱伝導率よりも低いため、可撓性材料の厚みは薄くすることが好ましい。
【００２８】
（６）保温カバー１６
保温カバー１６は、固定部１４を覆う。これにより、圧電素子１３の熱が固定部１４から外部に放出することを低減できるため、圧電素子１３の熱を液剤貯留部１１に効率的に伝達させることができる。その結果、圧力室１１ｃ内の液剤の温度を更に調整しやすくなる。
【００２９】
また、図１に示すように、固定部１４と保温カバー１６との間には、熱伝導率の低い空気層を設けることが好ましい。これにより、固定部１４から保温カバー１６への放熱を低減できるため、断熱効果を更に向上させることができる。
【００３０】
保温カバー１６は、遮熱性の高い材料によって構成することが好ましい。遮熱性の高い材料としては、例えば、グラスウールなどの繊維系断熱材や、ウレタン、シリコンスポンジなどの発砲系断熱材などが挙げられるが、これに限られない。
【００３１】
（７）温度センサ１７
温度センサ１７は、液剤貯留部１１上に配置される。温度センサ１７は、液剤貯留部１１の外表面に固定される。温度センサ１７は、液剤貯留部１１の外表面の温度を検出する。温度センサ１７は、検出した液剤貯留部１１の温度を制御部１８に出力する。温度センサ１７としては、例えばサーミスタなどを用いることができる。
【００３２】
なお、温度センサ１７は、液剤貯留部１１の温度を検出可能に構成されていればよく、液剤貯留部１１と接触していなくてよい。また、温度センサ１７は、圧力室１１ｃ内の液剤の温度を直接的に検出可能に構成されていてもよい。
【００３３】
（８）制御部１８
制御部１８は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）及びＤＳＰ（Digital Signal Processor）等のマイクロプロセッサー、又は、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等の演算装置と、パワーＭＯＳＦＥＴ（Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor）等で構成された電力増幅器とによって実現される。
【００３４】
制御部１８は、圧電素子１３を制御する。具体的に、制御部１８は、圧電素子１３に駆動電圧信号ＶＲを出力することによって、圧電素子１３を振動させる。
【００３５】
図２は、駆動電圧信号ＶＲの一例を示す波形図である。図３は、駆動電圧信号ＶＲの生成に用いられる加圧用電圧信号ＶＰの一例を示す波形図である。図４は、駆動電圧信号ＶＲの生成に用いられる加振用電圧信号ＶＱの一例を示す波形図である。
【００３６】
駆動電圧信号ＶＲは、液剤を吐出するための加圧用電圧信号ＶＰの波形と、液剤を加熱するための加振用電圧信号ＶＱの波形とを重畳させることによって生成される。
【００３７】
加圧用電圧信号ＶＰは、液剤が吐出される程度の大きな振動をダイヤフラム１２に加えるための電圧信号である。図２に示すように、加圧用電圧信号ＶＰでは、基準電圧区間ＶＰ１、電圧上昇区間ＶＰ２、電圧維持区間ＶＰ３、及び電圧下降区間ＶＰ４が順次繰り返される。基準電圧区間ＶＰ１では、電圧が基準電圧Ｐｇ（例えば、電圧０）に維持される。電圧上昇区間ＶＰ２では、電圧が基準電圧Ｐｇから駆動電圧Ｐｍ（＞Ｐｇ）まで上昇する。電圧維持区間ＶＰ３では、電圧が駆動電圧Ｐｍに維持される。電圧下降区間ＶＰ４では、電圧が駆動電圧Ｐｍから基準電圧Ｐｇまで下降する。駆動電圧Ｐｍは、例えば５０Ｖ〜１５０Ｖとすることができる。加圧用電圧信号ＶＰの周波数は、例えば１Ｈｚ〜５０００Ｈｚとすることができる。
【００３８】
加振用電圧信号ＶＱは、液剤が加熱される程度の小さな振動をダイヤフラム１２に加えるための電圧信号である。加振用電圧信号ＶＱは、加圧用電圧信号ＶＰよりも周波数の高い高周波信号である。図３に示すように、加振用電圧信号ＶＱでは、基準電圧区間ＶＱ１、電圧上昇区間ＶＱ２と電圧下降区間ＶＱ３とが順次繰り返されている。基準電圧区間ＶＱ１では、電圧が基準電圧Ｐｇ（例えば、電圧０）に維持される。電圧上昇区間ＶＱ２では、電圧が基準電圧Ｐｇから微小電圧Ｐｎまで上昇する。電圧下降区間ＶＱ３では、電圧が微小電圧Ｐｎから基準電圧Ｐｇまで下降する。微小電圧Ｐｎは、基準電圧Ｐｇよりも大きく、かつ、駆動電圧Ｐｍよりも小さい。微小電圧Ｐｎは、例えば駆動電圧Ｐｍの２０％以下にすることができる。加振用電圧信号ＶＱの周波数は、例えば２Ｈｚ〜３０ｋＨｚとすることができる。
【００３９】
本実施形態において、制御部１８は、加振用電圧信号ＶＱの電圧（Ｐｅａｋ  ｔｏ  Ｐｅａｋ）、周波数及びデューティ比の少なくとも一つを調整することによって、圧電素子１３の発熱量を制御する。詳細には、制御部１８は、温度センサ１７が検出した液剤貯留部１１の温度に基づいて、圧力室１１ｃ内の液剤の温度を推定し、その液剤の温度が所定の温度、又は、所定の温度範囲に維持されるように加振用電圧信号ＶＱの電圧、周波数及びデューティ比の少なくとも一つを調整する。圧電素子１３は等価回路としてはコンデンサであるため、印加電圧の変化時に電流が流れて発熱する。これにより、圧電素子１３の発熱量が制御されて、圧力室１１ｃ内の液剤が安定塗布に適した温度に維持されるため、加熱装置（ヒータ）を別に設ける場合に比べて簡素な構成でスムーズな液剤塗布を実現することができる。
【００４０】
なお、液剤の「所定の温度」及び「所定の温度範囲」は、液剤の種類、圧電素子１３の最大変位量、及び圧力室１１ｃの容積などを総合的に勘案して設定することができる。
【００４１】
また、実使用上、制御部１８は、加振用電圧信号ＶＱの電圧、周波数及びデューティ比を、液剤吐出性能に影響が出ない範囲内で調整する必要がある。
【００４２】
また、図４に例示した加振用電圧信号ＶＱは、パルス幅及び周期が一様な高周波信号であることとしたが、実際には、制御部１８による制御によって、加振用電圧信号ＶＱのパルス幅及び周期は適宜変更される。例えば、加振用電圧信号ＶＱは、加圧用電圧信号ＶＰの少なくとも一部に重畳されていればよく、微小電圧Ｐｎはパルス毎に異なっていてもよい。
【００４３】
また、液剤塗布装置１０では、圧電素子１３のみによって「駆動部」が構成されることとしたが、これに限られない。「駆動部」は、圧電素子１３と面接触し、かつ、ダイヤフラム１２と点接触する中間部材を備えていてもよい。「駆動部」は、圧電素子１３の振動を増幅するための錘（ホーン）を備えていてもよい。
【００４４】
［第１実施形態の変形例］
次に、第１実施形態の変形例について説明する。図５は、第１実施形態の変形例に係る液剤塗布装置２０の構成を示す模式図である。上記第１実施形態との相違点は、液剤塗布装置１０が加圧用圧電素子２１及び加振用圧電素子２２を備え、加圧用電圧信号ＶＰが加圧用圧電素子２１に印加される点にある。以下においては、当該相違点について主に説明する。
【００４５】
本変形例において、加圧用圧電素子２１と加振用圧電素子２２とは、ダイヤフラム１２を振動させる「駆動部」を構成し、加振用圧電素子２２は、圧力室１１ｃ内の液剤の加熱に用いられる「発熱体」である。
【００４６】
加圧用圧電素子２１は、加振用圧電素子２２と固定部１４との間に配置される。加圧用圧電素子２１の構成は、上記第１実施形態に係る圧電素子１３と同じである。加圧用圧電素子２１には、図３に示した加圧用電圧信号ＶＰが印加される。
【００４７】
加振用圧電素子２２は、ダイヤフラム１２と加圧用圧電素子２１との間に配置される。加振用圧電素子２２は、例えば半田ペースト、アンダーフィル材、及びエポキシ樹脂などの接着剤を介して、ダイヤフラム１２と加圧用圧電素子２１とに接続されていてもよい。
【００４８】
加振用圧電素子２２は、１つの圧電体と一対の電極とを少なくとも備える。加振用圧電素子２２としては、周知の種々の圧電素子を用いることができる。加振用圧電素子２２には、図４に示した加振用電圧信号ＶＱが印加される。
【００４９】
加振用圧電素子２２は、加振用電圧信号ＶＱの印加に応じて発熱する。加振用圧電素子２２の発熱量は、制御部１８によって制御される。加振用圧電素子２２の熱は、伝熱部材１５及び固定部１４を介して液剤貯留部１１に伝達され、これによって圧力室１１ｃ内の液剤の温度が調整される。
【００５０】
制御部１８は、加圧用圧電素子２１に加圧用電圧信号ＶＰを印加する。これによって、ノズル１１ｂから液剤が吐出される。制御部１８は、加振用圧電素子２２に加振用電圧信号ＶＱを印加する。これによって、加振用圧電素子２２が発熱する。
【００５１】
制御部１８は、加振用電圧信号ＶＱの電圧（Ｐｅａｋ  ｔｏ  Ｐｅａｋ）、周波数及びデューティ比の少なくとも一つを調整することによって、加振用圧電素子２２の発熱量を制御する。詳細には、制御部１８は、温度センサ１７が検出した液剤貯留部１１の温度に基づいて、圧力室１１ｃ内の液剤の温度を推定し、その液剤の温度が所定の温度、又は、所定の温度範囲に維持されるように加振用電圧信号ＶＱの電圧、周波数及びデューティ比の少なくとも一つを調整する。加振用圧電素子２２は等価回路としてはコンデンサであるため、印加電圧の変化時に電流が流れて発熱する。これにより、加振用圧電素子２２の発熱量が制御されて、圧力室１１ｃ内の液剤が安定塗布に適した温度に維持されるため、加熱装置（ヒータ）を別に設ける場合に比べて簡素な構成でスムーズな液剤塗布を実現することができる。
【００５２】
なお、加振用圧電素子２２の発熱を利用した液剤の温度調整は、液剤塗布前の準備段階（調整時や塗布待機時）に行われてもよい。すなわち、加圧用圧電素子２１に加圧用電圧信号ＶＰを印加する前に、加振用圧電素子２２に加振用電圧信号ＶＱを印加することによって、圧力室１１ｃ内の液剤を安定塗布に適した温度に予め調整しておくことができる。これにより、液剤塗布中に液剤温度を調整する必要がなくなるため、液剤塗布効率を向上させることができる。なお、液剤温度を予め調整しておく場合、加振用電圧信号ＶＱの周波数及びデューティ比は任意に調整できるが、加振用電圧信号ＶＱの電圧（Ｐｅａｋ  ｔｏ  Ｐｅａｋ）はノズル１１ｂから液剤が飛び出さない範囲で調整することが好ましい。
【００５３】
本変形例において、加振用圧電素子２２は、ダイヤフラム１２と加圧用圧電素子２１との間に配置されているが、加圧用圧電素子２１と固定部１４との間に配置されていてもよい。
【００５４】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係る液剤塗布装置３０の構成について説明する。図６は、第２実施形態に係る液剤塗布装置３０の構成を示す模式図である。上記第１実施形態との相違点は、液剤塗布装置３０が伝熱部材３１及び抵抗器３２を備え、制御部１８が圧電素子１３に加圧用電圧信号ＶＰ（図３参照）を印加する点にある。以下においては、当該相違点について主に説明する。
【００５５】
第２実施形において、圧電素子１３と抵抗器３２とは、ダイヤフラム１２を振動させる「駆動部」を構成し、抵抗器３２は、圧力室１１ｃ内の液剤の加熱に用いられる「発熱体」である。
【００５６】
伝熱部材３１は、液剤貯留部１１と抵抗器３２との間に配置される。伝熱部材３１は、液剤貯留部１１と抵抗器３２とを熱的に繋ぐ。これにより、抵抗器３２の熱は、伝熱部材３１を介して、液剤貯留部１１に効率的に伝達される。伝熱部材３１は、上記第１実施形態に係る伝熱部材１５と同様、伝熱性の高い材料によって構成することが好ましい。
【００５７】
抵抗器３２は、伝熱部材３１上に配置される。抵抗器３２は、圧電素子１３と制御部１８とに電気的に接続される。抵抗器３２は、制御部１８が圧電素子１３に印加する加圧用電圧信号ＶＰ（図３参照）にオーバーシュートが生じることを抑制する。オーバーシュートとは、電圧上昇区間ＶＰ２から電圧維持区間ＶＰ３へ移行する際に、駆動回路の負荷が急激に大きくなることに起因して、瞬間的に駆動電圧Ｐｍを大きく上回る電圧が発生する現象である。このようなオーバーシュートが発生すると、ダイヤフラム１２の振動が乱れてしまうため、安定塗布を維持できなくなるおそれがある。そこで、本実施形態では、瞬間的なダイヤフラム１２の過剰振動を抑えるため、圧電素子１３と制御部１８との間に抵抗器３２が設けられている。抵抗器３２は、加圧用電圧信号ＶＰの印加に応じて電流が供給されると発熱する。
【００５８】
ここで、図７及び図８それぞれは、抵抗器３２の構成の一例を示す模式図である。図７に示す抵抗器３２は、抵抗値を変更可能な可変抵抗器３２ａによって構成される。可変抵抗器３２ａの抵抗値は、オーバーシュートがダイヤフラム１２の振動に与える影響の度合いに基づいて適宜決定される。図８に示す抵抗器３２は、抵抗値の異なる３つの固定抵抗器３２ｂ〜３２ｄとスイッチ３２ｅとによって構成される。スイッチ３２ｅは、３つの固定抵抗器３２ｂ〜３２ｄのいずれか１つに切り換えられる。スイッチ３２ｅをいずれの固定抵抗器に切り換えるかは、オーバーシュートがダイヤフラム１２の振動に与える影響の度合いに基づいて適宜決定される。
【００５９】
制御部１８は、圧電素子１３に加圧用電圧信号ＶＰ（図３参照）を印加する。この際、制御部１８は、抵抗器３２に供給される電流量を調整することによって、抵抗器３２の発熱量を制御する。詳細には、制御部１８は、温度センサ１７が検出した液剤貯留部１１の温度に基づいて、圧力室１１ｃ内の液剤の温度を推定し、その液剤の温度が所定の温度、又は、所定の温度範囲に維持されるように、抵抗器３２に供給される単位時間当たりの平均電流量を調整する。これにより、抵抗器３２の発熱量が制御されて、圧力室１１ｃ内の液剤が安定塗布に適した温度に維持されるため、加熱装置（ヒータ）を別に設ける場合に比べて簡素な構成でスムーズな液剤塗布を実現することができる。また、上記第１実施形態で説明したように圧電素子１３を「発熱体」とする場合には、圧電素子１３に電流を流して発熱させるために印加電圧の周波数ならびに電圧を変化させなければならないが、抵抗器３２を「発熱体」とする場合には、電流が流れていれば発熱させることができるため、印加電圧の周波数には依存しない。従って、液剤の温度調整が容易なだけでなく、圧電素子１３の伸縮を繰り返す必要がないことから液剤吐出性能への影響も抑えることできる。
【００６０】
なお、第２実施形態において、伝熱部材３１及び抵抗器３２は、液剤貯留部１１の外部に配置されることとしたが、液剤貯留部１１の外表面に形成された凹部内に配置されてもよい。この場合、抵抗器３２の熱が外部に放出することを低減できるため、抵抗器３２の熱を圧力室１１ｃ内の液剤に効率的に伝達させることができる。また、凹部内に配置された抵抗器３２は、断熱材によって密閉されることが好ましい。これにより、抵抗器３２の熱が外部に放出することを更に低減できる。断熱材は、抵抗器３２のうち伝熱部材３１と接触する領域以外を覆っていてもよいし、凹部の開口を塞ぐように配置されていてもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１０，２０，３０      液剤塗布装置
１１      液剤貯留部
１１ａ    ハウジング
１１ｂ    ノズル
１１ｃ    圧力室
１２      ダイヤフラム
１３      圧電素子
１４      固定部
１５      伝熱部材
１６      保温カバー
１７      温度センサ
１８      制御部
２１      加圧用圧電素子
２２      加振用圧電素子
３１      伝熱部材
３２      抵抗器
ＶＲ      駆動電圧信号
ＶＰ      加圧用電圧信号
ＶＱ      加振用電圧信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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