(57)【要約】      （修正有）【課題】誤検出の発生確率を低減させて、結露状態の判定の信頼性を向上させる。【解決手段】真空ポンプ用制御装置４０は、真空ポンプを制御するポンプ制御部と、ポンプ制御部を冷却する冷却装置５０と、ポンプ制御部を収容する筐体４１と、筐体内の第１の位置および第１の位置よりも高温となる第２の位置のうちの一方における温度を検出する温度センサ１６０と、筐体内の第２の位置における湿度を検出する湿度センサ１７０と、第１の位置および第２の位置のうちの他方における温度を、温度センサで検出された温度に基づいて推定する温度推定部と、温度推定部で推定された推定温度と、温度センサで検出された温度と、湿度センサで検出された湿度とに基づいて、冷却装置による冷却動作の実行および停止を制御する冷却制御部とを備える。【選択図】図２
2019023472.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプを制御するポンプ制御部と、
前記ポンプ制御部を冷却する冷却装置と、
前記ポンプ制御部を収容する筐体と、
前記筐体内の前記冷却装置近傍である第１の位置における温度を検出する温度センサと、
前記筐体内の前記第１の位置よりも高温となる第２の位置における湿度を検出する湿度センサと、
前記第２の位置における温度を、前記温度センサで検出された温度に基づいて推定する温度推定部と、
前記温度推定部で推定された推定温度と、前記温度センサで検出された温度と、前記湿度センサで検出された湿度とに基づいて、前記冷却装置による冷却動作の実行および停止を制御する冷却制御部とを備える真空ポンプ用制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプ用制御装置において、
前記温度推定部は、前記温度センサによって検出された前記第１の位置の温度に定数を乗算または加算することで前記第２の位置の温度を推定する、真空ポンプ用制御装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の真空ポンプ用制御装置において、
前記冷却制御部は、
前記湿度が所定湿度よりも高い場合に、結露状態であると判定し、前記湿度が前記所定湿度よりも低い場合に、前記結露状態でないと判定する条件判定部と、
前記結露状態であると判定されている状態が所定時間継続された場合、前記冷却動作を停止する動作制御部とを有し、
前記所定時間は、前記筐体内の温度分布が安定していることを表す時間として設定され、
前記動作制御部は、
前記冷却動作が停止している場合、前記筐体内の温度が第１温度よりも高くなると、前記冷却動作を実行させる、真空ポンプ用制御装置。
【請求項４】
請求項３に記載の真空ポンプ用制御装置において、
前記動作制御部は、
前記冷却動作が実行されている場合、前記筐体内の温度が前記第１温度よりも低い第２温度よりも低くなるまでは、前記結露状態であるか否かにかかわらず前記冷却動作を実行し、
前記筐体内の温度が前記第２温度よりも低くなると、前記冷却動作を停止する、真空ポンプ用制御装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の真空ポンプ用制御装置において、
前記冷却動作が実行されているときの前記第１の位置における温度と前記第２の位置における温度との関係を示す第１の定数と、前記冷却動作が停止されているときの前記第１の位置における温度と前記第２の位置における温度との関係を示し、前記第１の定数よりも小さな値である第２の定数とを予め記憶する記憶部をさらに備え、
前記冷却動作が実行されているとき、前記温度推定部は、前記温度センサによって検出された前記第１の位置の温度に前記記憶部に記憶されている前記第１の定数を乗算または加算することで前記第２の位置における温度を推定し、前記冷却動作が停止されているとき、前記温度推定部は、前記温度センサによって検出された前記第１の位置の温度に前記記憶部に記憶されている前記第２の定数を乗算または加算することで前記第２の位置における温度を推定する、真空ポンプ用制御装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の真空ポンプ用制御装置において、
前記温度推定部は、前記真空ポンプを駆動するモータの負荷が所定負荷よりも高い場合には、前記モータの負荷が前記所定負荷よりも低い場合に比べて、前記温度センサで検出された温度と前記推定温度との差が大きくなるように、前記推定温度を推定する、真空ポンプ用制御装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか一項に記載の真空ポンプ用制御装置において、
前記冷却装置は、前記ポンプ制御部を冷却する冷媒を流通させる冷却流路を形成する流路形成体を備え、
前記流路形成体には、熱伝導可能に金属製の基板が接続され、
前記温度センサは、前記第１の位置である前記基板に表面実装されている、真空ポンプ用制御装置。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか一項に記載の真空ポンプ用制御装置において、
前記温度センサは、前記冷却装置に接続された基板に実装されている、真空ポンプ用制御装置。
【請求項９】
請求項１に記載の真空ポンプ用制御装置において、
前記冷却制御部は、
前記湿度が所定湿度よりも高い場合に、結露状態であると判定し、前記湿度が前記所定湿度よりも低い場合に、前記結露状態でないと判定し、第１冷却動作実行条件、第２冷却動作実行条件および冷却動作停止条件のうちのいずれが成立しているかをさらに判定する条件判定部と、
前記第１冷却動作実行条件、又は、前記第２冷却動作実行条件が成立していると判定されたとき、前記冷却動作を実行させ、前記冷却動作停止条件が成立していると判定されたとき前記冷却動作を停止する動作制御部とを含む、真空ポンプ用制御装置、
ここで、前記第１冷却動作実行条件は、下記（条件１）または（条件２）が満たされたときに成立する、
（条件１）停止中の前記真空ポンプの電源がオンされたこと
（条件２）前記冷却動作停止条件が成立した後、前記温度センサで検出された温度が第１温度閾値Ｔ１以下であり、かつ、結露状態でないと判定された状態が第２時間閾値ｔ２を超えて継続されたこと、
前記冷却動作停止条件は、下記（条件３）または（条件４）が満たされたときに成立する、
（条件３）前記第１冷却動作実行条件が成立した後、結露状態であると判定された状態が第１時間閾値ｔ１を超えて継続され、かつ、前記温度センサで検出された温度が前記第１温度閾値Ｔ１以下であること、
（条件４）前記第２冷却動作実行条件が成立した後、前記温度センサで検出された温度が第２温度閾値Ｔ２以下であること、
前記第２冷却動作実行条件は、下記（条件５）が満たされたときに成立する、
（条件５）前記冷却動作停止条件が成立した後、前記温度センサで検出された温度が前記第１温度閾値Ｔ１を超えたこと、
ここで、前記第１温度閾値Ｔ１は、前記真空ポンプ用制御装置が安定的に動作する内部温度の上限温度であり、前記第２温度閾値Ｔ２は、前記真空ポンプ用制御装置が安定的に動作する内部温度の下限温度であり、前記第１時間閾値ｔ１は、前記筐体内の温度分布が安定するまでの時間として設定され、前記第２時間閾値ｔ２は、結露が解消した後、冷却動作により直ちに結露が発生することを防止するために設定される時間である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ用制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置等の外部装置の真空排気に用いられる真空ポンプは、ポンプ本体とそのポンプ本体を制御する制御装置とを備えている。制御装置は、冷却水などの冷媒によって冷却される。通常、制御装置は半密閉型構造となっており、制御装置の内部の露点温度は制御装置の外部、すなわち外気と同じになっている。このため、制御装置が冷媒により冷却されると、制御装置内において局所的に露点温度よりも低温となる部分が発生し、結露が生じるおそれがある。  
【０００３】
特許文献１には、制御装置内の低温部に第１温度検出手段を設け、制御装置内の高温部に第２温度検出手段および湿度検出手段を設け、各検出手段で検出された情報によって算出された低温部の相対湿度に基づいて、冷却装置の動作を制御する真空ポンプが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−４３８２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の技術では、３つの検出手段（センサ）のうち１つでも誤検出が発生すると、適切に結露状態を判定することができないという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプ用制御装置は、真空ポンプを制御するポンプ制御部と、ポンプ制御部を冷却する冷却装置と、ポンプ制御部を収容する筐体と、筐体内の第１の位置および第１の位置よりも高温となる第２の位置のうちの一方における温度を検出する温度センサと、筐体内の第２の位置における湿度を検出する湿度センサと、第１の位置および第２の位置のうちの他方における温度を、温度センサで検出された温度に基づいて推定する温度推定部と、温度推定部で推定された推定温度と、温度センサで検出された温度と、湿度センサで検出された湿度とに基づいて、冷却装置による冷却動作の実行および停止を制御する冷却制御部とを備える。  さらに好ましい実施形態では、温度推定部は、温度センサによって検出された第１の位置の温度に定数を乗算または加算することで第２の位置の温度を推定する、あるいは、温度センサによって検出された第２の位置の温度に定数を除算または減算することで第１の位置の温度を推定する。  さらに好ましい実施形態では、冷却制御部は、湿度が所定湿度よりも高い場合に、結露状態であると判定し、湿度が所定湿度よりも低い場合に、結露状態でないと判定する条件判定部と、結露状態であると判定されている状態が所定時間継続された場合、冷却動作を停止する動作制御部とを有し、所定時間は、筐体内の温度分布が安定していることを表す時間として設定され、動作制御部は、冷却動作が停止している場合、筐体内の温度が第１温度よりも高くなると、冷却動作を実行させる。  さらに好ましい実施形態では、動作制御部は、冷却動作が実行されている場合、筐体内の温度が第１温度よりも低い第２温度よりも低くなるまでは、結露状態であるか否かにかかわらず冷却動作を実行し、筐体内の温度が第２温度よりも低くなると、冷却動作を停止する。  さらに好ましい実施形態では、温度推定部は、冷却動作が実行されている場合には、冷却動作が停止されている場合に比べて、温度センサで検出された温度と推定温度との差が大きくなるように、推定温度を推定する。  さらに好ましい実施形態では、温度推定部は、真空ポンプを駆動するモータの負荷が所定負荷よりも高い場合には、モータの負荷が所定負荷よりも低い場合に比べて、温度センサで検出された温度と推定温度との差が大きくなるように、推定温度を推定する。  さらに好ましい実施形態では、冷却装置は、ポンプ制御部を冷却する冷媒を流通させる冷却流路を形成する流路形成体を備え、流路形成体には、熱伝導可能に金属製の基板が接続され、温度センサは、第１の位置である基板に表面実装されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、検出する情報の数を低減することができるので、誤検出の発生確率を低減させて、結露状態の判定の信頼性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプを示す図。
【図２】第１の実施の形態に係る制御装置内の温度センサおよび湿度センサの位置を示す模式図。
【図３】ターボ分子ポンプの構成を示す機能ブロック図。
【図４】飽和蒸気圧曲線を表す図。
【図５】第１の実施の形態に係る電磁弁切換処理の動作を示したフローチャート。
【図６】第１の実施の形態に係る結露状態判定処理の動作を示したフローチャート。
【図７】第２の実施の形態に係る制御装置内の温度センサおよび湿度センサの位置を示す模式図。
【図８】第２の実施の形態に係る結露状態判定処理の動作を示したフローチャート。
【図９】第３の実施の形態に係る電磁弁切換処理の動作を示したフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して、真空ポンプの一実施の形態について説明する。−第１の実施の形態−  図１は、真空ポンプの一例であるターボ分子ポンプ１を示す図である。なお、説明の便宜上、本明細書では、図１に記載したように上下方向を規定する。  
【００１０】
ターボ分子ポンプ１はポンプ本体１０と、ポンプ本体１０を駆動制御する制御装置４０と、ポンプ本体１０と制御装置４０との間に配置される冷却装置５０とを備えている。ポンプ本体１０に設けられた吸気口フランジ１１を半導体製造装置や液晶パネル製造装置、分析装置等の外部装置（不図示）の真空チャンバに固定することにより、ターボ分子ポンプ１が外部装置（不図示）に取り付けられる。ポンプ本体１０の内部には、回転翼が形成された回転体（不図示）と、回転体を回転駆動するモータ（図１において不図示）とが収容されている。なお、回転体は、磁気軸受（図１において不図示）を構成する電磁石によって非接触支持される。  
【００１１】
ポンプ本体１０は、上部ケーシング２０と、上部ケーシング２０の下方に取り付けられる下部ケーシング３０とを有するポンプケーシングを備えている。上部ケーシング２０と下部ケーシング３０とは、両者のフランジ２１，３１がボルトで締結されることで結合され、一体化されている。  
【００１２】
下部ケーシング３０の下端に設けられるフランジ３２が冷却装置５０の冷却ブロック５１にボルトで固定されることで、下部ケーシング３０と冷却ブロック５１とが結合され、一体化されている。制御装置４０の筐体４１は、ボルトにより冷却ブロック５１に結合され、一体化されている。筐体４１は、上部に開口を有する略矩形箱状に形成され、上部の開口が冷却ブロック５１によって塞がれている。筐体４１は、外部と連通する構成であるが、液滴や粉塵の侵入が防止された半密閉型構造とされている。  
【００１３】
冷却装置５０は、ポンプ本体１０および制御装置４０を冷却する装置であり、冷却ブロック５１と、冷却管５２と、三方弁１５０とを備えている。冷却ブロック５１は、平板状であり、ポンプ本体１０に熱伝導可能に接続される上面と、制御装置４０に熱伝導可能に接続される下面とを有する。冷却ブロック５１は、内部に冷却管５２が配設されている。冷却管５２は、水を冷媒として流通させる冷却流路を形成するものであり、冷媒入口部５２ｉおよび冷媒出口部５２ｏが、冷却ブロック５１から側方に突出して設けられている。  
【００１４】
三方弁１５０は、冷却装置５０に供給される冷媒の流量を調節する電磁駆動式の切換弁である。図２は冷却装置５０の構成と制御装置４０の内部構成を示す模式図であり、図２では制御装置４０内の温度センサ１６０および湿度センサ１７０の位置を示している。図２に示すように、三方弁１５０は、冷媒入口部５２ｉに設けられ、バイパス流路５２ｂを介して冷媒出口部５２ｏに接続されている。  
【００１５】
三方弁１５０は、冷却ブロック５１内に冷媒を供給する切換位置（以下、供給位置と記す）と、冷却ブロック５１内への冷媒の供給を遮断し、バイパス流路５２ｂに冷媒を供給する切換位置（以下、迂回位置と記す）との間で切り換えられる。  
【００１６】
制御装置４０の筐体４１の内部には、複数の電子部品が実装された複数の基板４５ａ，４５ｂ，４６が収容されており、各電子部品は、冷却ブロック５１に冷媒が供給されることで冷却される。複数の基板４５ａ，４５ｂ，４６のうち、基板４５ａ，４５ｂには、後述する電源部１５１やモータ駆動回路１５２、磁気軸受駆動回路１５３が実装され、基板４６には、後述する主制御部１４０や三方弁駆動回路１５４が実装されている。  
【００１７】
基板４５ａ，４５ｂには、発熱量の大きい電子部品（たとえば、電解効果トランジスタ（ＦＥＴ）やダイオード等）が実装されており、基板４５ａ，４５ｂに実装されている電子部品は、基板４６に実装されている電子部品に比べて温度が高くなる。基板４５ａ，４５ｂは、金属製の回路基板であり、冷却ブロック５１の下面に熱伝導可能に接続された状態で、冷却ブロック５１に固定されている。このため、基板４５ａ，４５ｂは、冷却ブロック５１内に冷媒が供給されることで効率よく冷却される。基板４６は、支持部材により冷却ブロック５１に固定されている。ここでは、基板を２層構造としたが３層以上としても良く、発熱量の大きい電子部品ほど冷却ブロック５１に近い位置に配置するのが好ましい。また、制御装置４０の筐体４１に、たとえば金属製の上蓋を設ける場合には、基板４５ａ，４５ｂを上蓋を介して冷却ブロック５１に取り付け、冷却すればよい。  
【００１８】
制御装置４０の筐体４１の内部には、サーミスタ等の感熱素子を備える温度センサ１６０と、抵抗式や静電容量式の湿度センサ１７０とが設けられている。温度センサ１６０は基板４５ａに表面実装され、湿度センサ１７０は基板４６に表面実装されている。  
【００１９】
本明細書では、筐体４１の内部における冷却ブロック５１近傍であって、冷却ブロック５１内に冷媒が供給されているときに低温となり、特に結露が発生しやすい位置を「低温部１８１」と記し、低温部１８１に比べて冷却ブロック５１からの距離が遠い位置であって、低温部１８１よりも高温となる位置を以下では「高温部１８２」と記す。本実施の形態では、低温部１８１に温度センサ１６０が設けられ、高温部１８２に湿度センサ１７０が設けられている。  
【００２０】
湿度センサ１７０を低温部１８１に設けた場合、湿度センサ１７０に結露水が付着してしまい、湿度センサ１７０に付着した結露水が蒸発するまでの間、湿度の検出ができなくなってしまうおそれがある。本実施の形態では、結露が発生しにくい高温部１８２に湿度センサ１７０を設けているので、湿度センサ１７０に結露水が付着することを防止できる。  
【００２１】
図３は、ターボ分子ポンプ１の構成を示す機能ブロック図である。ターボ分子ポンプ１は、主制御部１４０、電源部１５１、モータ１０１、磁気軸受１０２、三方弁１５０、温度センサ１６０、湿度センサ１７０、モータ駆動回路１５２、磁気軸受駆動回路１５３および三方弁駆動回路１５４を備えている。  
【００２２】
電源部１５１は、ＡＣ／ＤＣ変換回路およびＤＣ／ＤＣコンバータ等を含んで構成される。ＡＣ／ＤＣ変換回路は制御装置４０に入力される交流電力を直流電力に変換する。ＡＣ／ＤＣ変換回路で変換された直流電力は、モータ駆動回路１５２や磁気軸受駆動回路１５３、三方弁駆動回路１５４等に供給される。ＡＣ／ＤＣ変換回路で変換された直流電力は、ＤＣ／ＤＣコンバータにより低電圧の直流電力に変換され、主制御部１４０に供給される。  
【００２３】
主制御部１４０は、ＣＰＵや記憶装置であるＲＯＭ，ＲＡＭ，その他の周辺回路などを有する演算処理装置を含んで構成され、ターボ分子ポンプ１の動作を制御する。主制御部１４０は、モータ制御部１４１と、磁気軸受駆動制御部１４２と、温度推定部１４３と、条件判定部１４４と、弁制御部１４５と、結露カウンタ１４９とを機能的に備えている。  
【００２４】
モータ駆動回路１
５２は、モータ制御部１４１から入力された制御信号に基づいてモータ１０１を駆動制御する。磁気軸受駆動回路１５３は、磁気軸受駆動制御部１４２から入力された制御信号に基づいて磁気軸受１０２を駆動する。三方弁駆動回路１５４は、弁制御部１４５から入力された制御信号に基づいて三方弁１５０を駆動する。  
【００２５】
結露カウンタ１４９は、結露が発生している状態の継続時間、ならびに、結露が発生していない状態の継続時間を計時するためのタイマである。  
【００２６】
温度推定部１４３は、温度センサ１６０で検出された低温部１８１の温度ＴＬに基づいて、高温部１８２の温度を推定する。温度推定部１４３により推定された温度を以下では「推定温度」と記す。低温部１８１の温度ＴＬから、高温部１８２の温度ＴＨを推定するために、予め低温部１８１の温度ＴＬと高温部１８２の温度ＴＨの関係を調べておく。なお、低温部１８１の温度ＴＬと高温部１８２の温度ＴＨとの関係は、制御装置４０の大きさ、発熱源となる電子部品の配置等により異なる。たとえば、高温部１８２の温度ＴＨは、低温部１８１の温度ＴＬに対して、約１．７倍となる関係であることがわかったとする。この場合、高温部１８２の推定温度ＴＨは、温度を推定するための定数α＝１．７として、式（１）によって表される。    
【数１】
2019023472.tif 000003
定数αは、主制御部１４０の記憶装置に予め記憶されている。  
【００２７】
条件判定部１４４は、第１冷却動作実行条件、第２冷却動作実行条件および冷却動作停止条件のうちのいずれが成立しているかを判定する。  
【００２８】
第１冷却動作実行条件は、（条件１）または（条件２）が満たされたときに成立する。（条件１）停止中のターボ分子ポンプ１の電源スイッチがオンされたこと（条件２）冷却動作停止条件が成立した後、制御装置４０の筐体４１内の温度が第１温度閾値Ｔ１以下であり、かつ、結露が発生していない状態が第２時間閾値ｔ２を超えて継続されたこと  
【００２９】
冷却動作停止条件は、（条件３）または（条件４）が満たされたときに成立する。（条件３）第１冷却動作実行条件が成立した後、結露が発生している状態が第１時間閾値ｔ１を超えて継続され、かつ、制御装置４０の筐体４１内の温度が第１温度閾値Ｔ１以下であること（条件４）第２冷却動作実行条件が成立した後、制御装置４０の筐体４１内の温度が第２温度閾値Ｔ２以下であること  
【００３０】
第２冷却動作実行条件は、（条件５）が満たされたときに成立する。（条件５）冷却動作停止条件が成立した後、制御装置４０の筐体４１内の温度が第１温度閾値Ｔ１を超えたこと  
【００３１】
なお、条件判定部１４４は、湿度センサ１７０で検出された高温部１８２の相対湿度ＲＨが湿度閾値Ｒ０よりも高い場合（ＲＨ＞Ｒ０）には、結露が発生している状態であると判定する。条件判定部１４４は、湿度センサ１７０で検出された高温部１８２の相対湿度ＲＨが湿度閾値Ｒ０以下の場合（ＲＨ≦Ｒ０）には、結露が発生していない状態であると判定する。  
【００３２】
第１温度閾値Ｔ１は、制御装置４０が安定的に動作する内部温度の上限温度であり、予め主制御部１４０の記憶装置に記憶されている。第１温度閾値Ｔ１は、電子部品の許容温度以下に設定される温度異常報知温度よりも低い温度に設定される。第２温度閾値Ｔ２は、制御装置４０が安定的に動作する内部温度の下限温度であり、予め主制御部１４０の記憶装置に記憶されている。第２温度閾値Ｔ２は、結露が発生しにくい温度として、周囲環境温度（たとえば、室温）よりも高い温度が設定される。  
【００３３】
第１時間閾値ｔ１は、制御装置４０の筐体４１内の温度分布が安定するまでの時間として設定され、第２時間閾値ｔ２は、結露が解消した後、冷媒の供給により直ちに結露が発生することを防止するために設定される時間である。第１時間閾値ｔ１および第２時間閾値ｔ２は、たとえば、１時間程度であり、予め主制御部１４０の記憶装置に記憶されている。なお、第１時間閾値ｔ１と第２時間閾値ｔ２とは、同じ時間を設定することもできるし、異なる時間を設定することもできる。  
【００３４】
湿度閾値Ｒ０は、低温部１８１での飽和蒸気圧ＰＬ、および高温部１８２での飽和蒸気圧ＰＨを用いて設定することができ、式（２）によって表される。    
【数２】
2019023472.tif 000004
以下、湿度閾値Ｒ０について詳細に説明する。  
【００３５】
図４は、飽和蒸気圧曲線を表す図であり、横軸は温度Ｔを表し、縦軸は水蒸気の飽和蒸気圧Ｐを表している。飽和蒸気圧ＰＬ，ＰＨは、飽和蒸気圧曲線から求められる。本実施の形態では、飽和蒸気圧曲線の近似式が予め記憶装置に記憶されている。飽和蒸気圧曲線の近似式である関数ｆ（Ｔ）は、様々なものが提案されているが、たとえば、Ｔｅｔｅｎｓの式（３）で表される。    
【数３】
2019023472.tif 000005
【００３６】
式（３）に低温部１８１の温度ＴＬを代入することで、低温部１８１での飽和蒸気圧ＰＬは式（４）により表される。    
【数４】
2019023472.tif 000006
式（３）に高温部１８２の推定温度ＴＨを代入することで、高温部１８２での飽和蒸気圧ＰＨは式（５）により表される。    
【数５】
2019023472.tif 000007
【００３７】
低温部１８１で結露が発生している状態であるか否かは、式（６）によって判定できる。    
【数６】
2019023472.tif 000008
ここで、ＰOは制御装置４０の筐体４１内の水蒸気圧である。つまり、低温部１８１での飽和蒸気圧ＰＬに対して水蒸気圧ＰOが高い場合には、低温部１８１で結露が発生していると判定することができる。  
【００３８】
高温部１８２の相対湿度ＲＨは、式（７）によって表される。    
【数７】
2019023472.tif 000009
【００３９】
式（７）を式（６）に代入すると、式（８）が得られる。    
【数８】
2019023472.tif 000010
このため、式（８）の右辺が、結露が発生している状態であるか否かを判定するための湿度閾値Ｒ０であり、湿度閾値Ｒ０は式（２）で表されるように制御装置４０の筐体４１内の温度変化にしたがって変化する。  
【００４０】
図３に示す弁制御部１４５は、第１冷却動作実行条件および第２冷却動作実行条件が成立しているときに、三方弁１５０を供給位置に切り換え（すなわち、冷却装置５０を動作させ）、冷却動作停止条件が成立しているときに、三方弁１５０を迂回位置に切り換える（すなわち、冷却装置５０を停止させる）。  
【００４１】
図５は第１の実施の形態に係る制御装置４０の主制御部１４０による電磁弁切換処理の動作を示したフローチャートであり、図６は結露状態判定処理の動作を示したフローチャートである。ターボ分子ポンプ１の電源スイッチがオンされると弁制御プログラムが実行され、図示しない初期設定を行った後、所定の制御周期ごとにステップＳ１００以降の処理が繰り返し実行される。初期設定において、主制御部１４０は、第１冷却動作実行条件が成立したと判定し、三方弁１５０を供給位置に切り換える制御信号を出力する。また、初期設定において、結露カウンタ１４９はリセットされる。  
【００４２】
図５に示すように、ステップＳ１００において、主制御部１４０は、結露が発生している状態であるか否かを判定する。ステップＳ１００は肯定判定されるまで繰り返され、肯定判定されるとステップＳ１０５へ進む。結露が発生している状態であるか否かは、図６に示す処理にしたがって判定される。  
【００４３】
図６に示すように、ステップＳ１０において、主制御部１４０は、温度センサ１６０および湿度センサ１７０からの情報である低温部１８１の温度ＴＬおよび高温部１８２の相対湿度ＲＨを取得し、ステップＳ２０へ進む。  
【００４４】
ステップＳ２０において、主制御部１４０は、ステップＳ１０で取得した低温部１８１の温度ＴＬに基づいて、高温部１８２の推定温度ＴＨを演算し、ステップＳ３０へ進む。  
【００４５】
ステップＳ３０において、主制御部１４０は、ステップＳ１０で取得した低温部１８１の温度ＴＬに基づいて、低温部１８１の飽和蒸気圧ＰＬを演算し、ステップＳ４０へ進む。  
【００４６】
ステップＳ４０において、主制御部１４０は、ステップＳ２０で得られた高温部１８２の推定温度ＴＨに基づいて、高温部１８２の飽和蒸気圧ＰＨを演算し、ステップＳ５０へ進む。  
【００４７】
ステップＳ５０において、主制御部１４０は、ステップＳ３０で得られた低温部１８１の飽和蒸気圧ＰＬと、ステップＳ４０で得られた高温部１８２の飽和蒸気圧ＰＨとに基づいて、湿度閾値Ｒ０を演算し、ステップＳ６０へ進む。  
【００４８】
ステップＳ６０において、主制御部１４０は、ステップＳ１０で取得した高温部１８２の相対湿度ＲＨがステップＳ５０で得られた湿度閾値Ｒ０よりも高いか否かを判定する。ステップ６０で肯定判定されるとステップＳ７０へ進み、否定判定されるとステップＳ８０へ進む。  
【００４９】
ステップＳ７０において、主制御部１４０は、結露が発生している状態であると判定し、結露が発生している状態であることを示すフラグを立てる。ステップＳ８０において、主制御部１４０は、結露が発生していない状態であると判定し、結露が発生していない状態であることを示すフラグを立てる。  
【００５０】
図５に示すように、ステップＳ１００で結露が発生している状態であると判定された場合、ステップＳ１０５において、主制御部１４０は、結露カウンタ１４９の時間を積算してステップＳ１１０へ進む。  
【００５１】
ステップＳ１１０において、主制御部１４０は、結露カウンタ１４９で計時された時間ｔが、第１時間閾値ｔ１を超えたか否かを判定する。ステップＳ１１０において、肯定判定されるとステップＳ１１５へ進み、否定判定されるとステップＳ１００へ戻る。  
【００５２】
ステップＳ１１５において、主制御部１４０は、結露カウンタ１４９をリセット、すなわち積算した時間ｔを０に設定し、ステップＳ１２０へ進む。  
【００５３】
ステップＳ１２０において、主制御部１４０は、温度センサ１６０からの情報である低温部１８１の温度ＴＬを筐体４１内の温度として取得し、ステップＳ１３０へ進む。ステップＳ１３０において、主制御部１４０は、温度ＴＬが第１温度閾値Ｔ１以下であるか否かを判定する。ステップＳ１３０で肯定判定されるとステップＳ１４０へ進み、否定判定されるとステップＳ１８０へ進む。  
【００５４】
ステップＳ１４０において、主制御部１４０は、三方弁１５０を迂回位置に切り換えるための制御信号を出力して、ステップＳ１５１へ進む。  
【００５５】
ステップＳ１５１において、主制御部１４０は、ステップＳ１００（ステップＳ１０〜Ｓ８０）と同様に、結露が発生している状態であるか否かを判定する。ステップＳ１５１で肯定判定されるとステップＳ１２０へ戻り、否定判定されるとステップＳ１５６へ進む。  
【００５６】
ステップＳ１５６において、主制御部１４０は、結露カウンタ１４９の時間を積算してステップＳ１６１へ進む。  
【００５７】
ステップＳ１６１において、主制御部１４０は、結露カウンタ１４９で計時された時間ｔが、第２時間閾値ｔ２を超えたか否かを判定する。ステップＳ１６１で肯定判定されるとステップＳ１６６へ進み、否定判定されるとステップＳ１２０へ戻る。  
【００５８】
ステップＳ１６６において、主制御部１４０は、結露カウンタ１４９をリセット、すなわち積算した時間ｔを０に設定し、ステップＳ１７１へ進む。ステップＳ１７１において、主制御部１４０は、三方弁１５０を供給位置に切り換えるための制御信号を出力して、ステップＳ１００へ戻る。  
【００５９】
ステップＳ１
３０において、温度ＴＬが第１温度閾値Ｔ１よりも高いと判定されると、ステップＳ１８０へ進み、ステップＳ１８０において、主制御部１４０は、三方弁１５０を供給位置に切り換えるための制御信号を出力して、ステップＳ１８５へ進む。  
【００６０】
ステップＳ１８５において、主制御部１４０は、温度センサ１６０からの情報である低温部１８１の温度ＴＬを筐体４１内の温度として取得し、ステップＳ１９０へ進む。ステップＳ１９０において、主制御部１４０は、温度ＴＬが第２温度閾値Ｔ２以下であるか否かを判定する。ステップＳ１９０で肯定判定されるとステップＳ１４０へ進み、否定判定されるとステップＳ１８０へ戻る。  
【００６１】
第１の実施の形態の動作をまとめると次のようになる。使用者が、ターボ分子ポンプ１の電源スイッチをオンすると、ターボ分子ポンプ１が起動する。第１冷却動作実行条件が成立しているため、三方弁１５０は供給位置に切り換えられる。  
【００６２】
ターボ分子ポンプ１のモータの駆動を指令するための駆動スイッチがオフされていると、制御装置４０内の冷却ブロック５１近傍は低温の状態となる。制御装置４０内の低温部１８１で結露が発生し（ステップＳ１００でＹｅｓ）、その状態が第１時間閾値ｔ１（たとえば１時間）継続され（ステップＳ１１０でＹｅｓ）、さらに制御装置４０の筐体４１内の温度が第１温度閾値Ｔ１以下であれば（ステップＳ１３０でＹｅｓ）、冷却動作停止条件が成立するため、三方弁１５０が迂回位置に切り換えられ、冷却ブロック５１への冷媒の供給が遮断される（ステップＳ１４０）。  
【００６３】
冷却ブロック５１への冷媒の供給が遮断された状態、すなわち冷却装置５０が停止している状態で、モータが回転していると、制御装置４０の温度が徐々に上昇する。制御装置４０の筐体４１内の温度が第１温度閾値Ｔ１を超えると（ステップＳ１３０でＮｏ）、第２冷却動作実行条件が成立するので、三方弁１５０が供給位置に切り換えられ、冷却ブロック５１へ冷媒が供給される（ステップＳ１８０）。  
【００６４】
冷却ブロック５１に冷媒が供給されると、制御装置４０の温度が徐々に低下する。制御装置４０内の温度が第２温度閾値Ｔ２よりも高い場合には、結露が発生しにくい状態であるため、冷媒の供給を継続する（ステップＳ１９０でＮｏ）。  
【００６５】
モータ駆動スイッチがオフされ、モータ１０１の回転が停止するなどして、制御装置４０の温度が、第２温度閾値Ｔ２以下になると（ステップＳ１９０でＹｅｓ）、冷却動作停止条件が成立するので、三方弁１５０が迂回位置に切り換えられ、冷却ブロック５１への冷媒の供給が遮断される（ステップＳ１４０）。つまり、一旦、温度上昇に起因して冷却動作が実行されると、結露状態であるか否かにかかわらず、制御装置４０内の温度が第２温度閾値Ｔ２以下となるまで、冷却動作を実行し続ける。  
【００６６】
冷却ブロック５１への冷媒の供給が遮断された状態での温度上昇が緩やか、あるいは一定であり、制御装置４０の筐体４１内の温度が第１温度閾値Ｔ１以下である場合であって（ステップＳ１３０でＹｅｓ）、結露が発生していない状態が第２時間閾値ｔ２（たとえば１時間）継続されると（ステップＳ１６１でＹｅｓ）、第１冷却動作実行条件が成立するので、三方弁１５０が供給位置に切り換えられ、冷却ブロック５１へ冷媒が供給される（ステップＳ１７１）。  
【００６７】
このように、本実施の形態によれば、結露の発生状態および筐体４１内の温度に基づいて冷却動作の実行および停止を制御しているので、結露の発生を抑制して、結露に起因した誤作動の発生等を防止しつつ、制御装置４０の温度上昇を効果的に抑制することができる。  
【００６８】
上述した第１の実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。（１）温度センサ１６０で検出された低温部１８１の温度ＴＬに基づいて、高温部１８２における温度ＴＨを推定し、推定された高温部１８２の推定温度ＴＨと、温度センサ１６０で検出された低温部１８１の温度ＴＬと、湿度センサ１７０で検出された高温部１８２の相対湿度ＲＨとに基づいて、冷却装置５０の冷却動作の実行および停止を制御する主制御部１４０を備えるようにした。  
【００６９】
冷却動作を制御するために必要な検出情報を２つに抑えたので、３つ以上の情報を検出して冷却動作を制御する場合に比べて、誤検出の発生確率を低減させて、結露状態の判定の信頼性を向上できる。  
【００７０】
（２）また、特許文献１に記載の技術（以下、従来技術と記す）に比べて、センサの数を低減することができるので、低コスト化および軽量化を図ることができる。  
【００７１】
（３）冷却流路を形成する冷却ブロック５１に熱伝導可能に接続された金属製の基板４５ａ上に温度センサ１６０を表面実装するようにした。これにより、冷却ブロック５１に直接に温度センサを固定する場合に比べて、小型化および低コスト化を図ることができる。冷却ブロック５１に直接に温度センサを取付ける場合、ねじ固定などをするための取付具や、温度センサと基板とを接続するための専用のハーネスが必要となる。これに対して、本実施の形態では、サーミスタ等の感熱素子を備える温度センサ１６０が基板４５ａに表面実装されているので、取付具や専用のハーネスが不要となる。  
【００７２】
（４）冷却動作停止条件が成立していることを判定するための条件として、結露が発生している状態が所定時間ｔ１継続されることを採用した。ここで、所定時間は、制御装置４０の筐体４１内の温度分布が安定していることを表す時間として設定されている。これにより、筐体４１内の温度分布が安定した状態で結露が発生していることを判定できるので、不安定な状態において誤った結露状態の判定がなされることを防止できる。  
【００７３】
（５）結露が発生していない状態が所定時間ｔ２継続されたことをもって冷媒を供給するようにした。ここで、所定時間ｔ２は、結露が解消した後、冷媒の供給により直ちに結露が発生することを防止するための時間として設定されている。結露が発生していない状態が所定時間ｔ２継続されているか否かを判定しない場合、結露が発生していないことが判定されると直ちに三方弁１５０が供給位置に切り換えられるため（ステップＳ１７１）、低温部１８１が冷却されることで、すぐに結露が発生してしまうおそれがある。これに対して、本実施の形態では、結露が発生していない状態が所定時間ｔ２継続されたことをもって冷媒を供給するようにしたので、結露解消後の冷媒の供給により直ちに結露が発生することが防止され、結露が発生しない安定した状態を維持させることができる。  
【００７４】
（６）冷却装置５０の動作が停止している場合、制御装置４０の筐体４１内の温度が第１温度閾値Ｔ１よりも高くなると、冷却動作を実行させるようにした（ステップＳ１３０でＮｏ）。これにより、制御装置４０の温度上昇を抑え、温度上昇に起因した温度異常を知らせるアラーム等の報知装置の動作や機器が停止することを防止できる。  
【００７５】
（７）冷却動作が実行されている場合、筐体４１内の温度が第１温度閾値Ｔ１よりも低い第２温度閾値Ｔ２よりも低くなるまでは、結露状態であるか否かにかかわらず、冷却動作を実行し（ステップＳ１９０でＮｏ）、筐体４１内の温度が第２温度閾値Ｔ２よりも低くなると、冷却動作を停止するようにした（ステップＳ１９０でＹｅｓ）。なお、第２温度閾値Ｔ２は、周囲環境温度よりも高くなるように設定されている。このため、第２温度閾値Ｔ２よりも高い場合に、結露が発生している状態と判定されるような温度情報や相対湿度情報が検出された場合であっても冷却動作の実行が継続されるので、温度情報や相対湿度情報の誤検知に起因する冷却動作の停止を防止することができる。  
【００７６】
−第２の実施の形態−  図７および図８を参照して、第２の実施の形態に係るターボ分子ポンプ１を説明する。第２の実施の形態に係るターボ分子ポンプ１は、第１の実施の形態と同様の構成を備えている。なお、図中、第１の実施の形態と同一もしくは相当部分には同一の参照番号を付し、相違点を主に説明する。図７は、図２と同様の図であり、第２の実施の形態に係る制御装置４０内の温度センサ１６０および湿度センサ１７０の位置を示す模式図である。  
【００７７】
第１の実施の形態では、低温部１８１に温度センサ１６０が配置されている例について説明した（図２参照）。これに対して、第２の実施の形態では、高温部１８２に温度センサ１６０が配置され、温度センサ１６０によって高温部１８２の温度ＴＨが検出される。  
【００７８】
第２の実施の形態では、図３に示す温度推定部１４３が、温度センサ１６０で検出された高温部１８２の温度ＴＨに基づいて、低温部１８１の温度ＴＬを推定する。低温部１８１の推定温度ＴＬは、式（１）を変形した式（９）によって表される。    
【数９】
2019023472.tif 000011
ここで、αは、温度を推定するための定数であり、本実施の形態では、α＝１．７である。定数αは、主制御部１４０の記憶装置に予め記憶されている。  
【００７９】
図８は、第２の実施の形態に係る結露状態判定処理の動作を示したフローチャートであり、図６のフローチャートのステップＳ１０およびステップＳ２０に代えて、ステップＳ１０ＢおよびステップＳ２０Ｂを追加したものである。  
【００８０】
図８に示すように、第２の実施の形態では、ステップ１０Ｂにおいて、主制御部１４０は、温度センサ１６０および湿度センサ１７０からの情報である高温部１８２の温度ＴＨおよび高温部１８２の相対湿度ＲＨを取得し、ステップＳ２０Ｂへ進む。  
【００８１】
ステップＳ２０Ｂにおいて、主制御部１４０は、ステップＳ１０Ｂで取得した高温部１８２の温度ＴＨに基づいて、低温部１８１の推定温度ＴＬを演算し、ステップＳ３０へ進む。  
【００８２】
このように、第２の実施の形態では、温度センサ１６０で検出された高温部１８２の温度ＴＨと、湿度センサ１７０で検出された高温部１８２の相対湿度ＲＨと、推定された低温部１８１の推定温度ＴＬとに基づいて、結露状態を判定し、冷却流路内の冷媒の流れを制御する構成とされている。  
【００８３】
第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の作用効果を奏する。  
【００８４】
−第３の実施の形態−  図９を参照して、第３の実施の形態に係るターボ分子ポンプ１を説明する。第３の実施の形態に係るターボ分子ポンプ１は、第１の実施の形態と同様の構成を備えている。以下、第１の実施の形態との相違点について説明する。図９は、第３の実施の形態に係る電磁弁切換処理の動作を示したフローチャートである。  
【００８５】
第１の実施の形態では、制御装置４０の筐体４１内の温度を加味して、三方弁１５０の切換制御を実行していた。これに対して、第３の実施の形態では、制御装置４０の筐体４１内の温度にかかわらず、結露が発生しているか否かに基づいて三方弁１５０の切換制御を実行する。以下、具体的に説明する。  
【００８６】
図３に示す条件判定部１４４は、冷却動作実行条件および冷却動作停止条件のうちのいずれが成立しているかを判定する。  
【００８７】
冷却動作実行条件は、（条件１Ｃ）または（条件２Ｃ）が満たされたときに成立する。（条件１Ｃ）停止中にターボ分子ポンプ１の電源スイッチがオンされたこと（条件２Ｃ）冷却動作停止条件が成立した後、結露が発生していない状態が第２時間閾値ｔ２を超えて継続されたこと  
【００８８】
冷却動作停止条件は、（条件３Ｃ）が満たされたときに成立する（条件３Ｃ）冷却動作実行条件が成立した後、結露が発生している状態が第１時間閾値ｔ１を超えて継続されたこと  
【００８９】
図９に示すステップＳ２００，Ｓ２０５，Ｓ２１０，２１５の処理は、図５に示すステップＳ１００，Ｓ１０５，Ｓ１１０，Ｓ１１５の処理と同じである。また、図９に示すステップＳ２４０，Ｓ２５１，Ｓ２
５６，Ｓ２６１，Ｓ２６６，Ｓ２７１の処理は、図５に示すステップＳ１４０，Ｓ１５１，Ｓ１５６，Ｓ１６１，Ｓ１６６，Ｓ１７１の処理と同じである。すなわち、図９に示すフローチャートは、図５に示すフローチャートにおけるステップＳ１２０，Ｓ１３０，Ｓ１８０，Ｓ１８５，Ｓ１９０の処理が省略されたものである。  
【００９０】
ステップＳ２１５の処理が完了すると、ステップＳ２４０へ進み、主制御部１４０は、ステップＳ１４０と同様に三方弁１５０を迂回位置へ切り換える制御を実行し、ステップＳ２５１へ進む。  
【００９１】
ステップＳ２５１において、主制御部１４０は、結露が発生している状態であるか否かを判定する。ステップＳ２５１は否定判定されるまで繰り返され、否定判定されるとステップＳ２５６へ進む。結露が発生している状態であるか否かは、図６に示す処理にしたがって判定される。  
【００９２】
ステップＳ２５１で結露が発生していない状態であると判定された場合、ステップＳ２５６において、主制御部１４０は、結露カウンタ１４９の時間を積算してステップＳ２６１へ進む。  
【００９３】
ステップＳ２６１において、主制御部１４０は、結露カウンタ１４９で計時された時間ｔが、第２時間閾値ｔ２を超えたか否かを判定する。ステップＳ２６１において、肯定判定されるとステップＳ２６６へ進み、否定判定されるとステップＳ２５１へ戻る。  
【００９４】
ステップＳ２６６において、主制御部１４０は、結露カウンタ１４９をリセット、すなわち積算した時間ｔを０に設定し、ステップＳ２７１へ進む。ステップＳ２７１において、主制御部１４０は、ステップＳ１７１と同様に三方弁１５０を供給位置に切り換えるための制御信号を出力して、ステップＳ２００へ進む。  
【００９５】
このような第３の実施の形態によれば、第１の実施の形態で説明した（１）〜（５）と同様の作用効果を奏する。  
【００９６】
次のような変形も本発明の範囲内であり、変形例の一つ、もしくは複数を上述の実施形態と組み合わせることも可能である。（変形例１）  上述した実施の形態では、温度を推定するための値として、定数αを用いる例について説明したが、本発明はこれに限定されない。  
【００９７】
（変形例１−１）  たとえば、ターボ分子ポンプ１の運転状態に基づいて、複数の定数の中から運転状態に適した定数を選択するようにしてもよい。冷却ブロック５１内に冷媒が供給されている場合、すなわち冷却動作が実行されている場合と、冷却ブロック５１内への冷媒の供給が遮断されている場合、すなわち冷却動作が停止されている場合とでは、低温部１８１の温度と高温部１８２の温度との関係が異なる。このため、三方弁１５０の各切換位置において、予め低温部１８１の温度と高温部１８２の温度の関係を調べておくことが好ましい。  
【００９８】
低温部１８１の温度と高温部１８２の温度との差は、冷却動作停止時に比べて冷却動作実行時の方が大きくなる。たとえば、冷却ブロック５１内に冷媒が供給されている運転状態における高温部１８２の温度は、低温部１８１の温度に対して、約１．７倍となる関係であることがわかり、冷却ブロック５１内への冷媒の供給が遮断されている運転状態における高温部１８２の温度は、低温部１８１の温度に対して、約１．３倍となる関係であることがわかったとする。  
【００９９】
この場合、主制御部１４０の記憶装置には、予め第１定数α１＝１．７および第２定数α２＝１．３を記憶させておく。主制御部１４０は、三方弁１５０が供給位置に切り換えられているときには温度を推定するための定数αとして第１定数α１を選択し（α＝α１）、式（１）や式（９）により温度を推定する。主制御部１４０は、三方弁１５０が迂回位置に切り換えられているときには温度を推定するための定数αとして第２定数α２を選択し（α＝α２）、式（１）や式（９）により温度を推定する。  
【０１００】
このような（変形例１−１）によれば、第１の実施の形態と同様の作用効果に加え、次の作用効果を奏する。  （８）主制御部１４０は、冷却動作が実行されている場合には、冷却動作が停止されている場合に比べて、温度センサ１６０で検出された温度ＴＨ（あるいはＴＬ）と推定温度ＴＬ（あるいはＴＨ）との差が大きくなるように、推定温度を推定するようにした。これにより、温度の推定精度を向上することができるので、結露状態の推定精度を向上することができる。  
【０１０１】
（変形例１−２）  ターボ分子ポンプ１のポンプ本体１０を駆動するモータ１０１の負荷が所定負荷よりも高い場合には、モータ１０１の負荷が所定負荷よりも低い場合に比べて、温度センサ１６０で検出された温度と推定温度との差が大きくなるように、推定温度を推定してもよい。たとえば、モータが回転駆動しているのか、それとも停止しているのかを検出して、モータが回転駆動している場合には、停止している場合に比べて、温度センサ１６０で検出された温度と推定温度との差が大きくなるように、推定温度を推定する構成とすることができる。このような（変形例１−２）によれば、（変形例１−１）と同様に、運転状態に適合した温度の推定を行うことができるので、結露状態の推定精度を向上することができる。  
【０１０２】
（変形例１−３）  温度を推定するための値αは、定数とすることに代えて、変数としてもよい。たとえば、温度センサ１６０で検出された温度に応じた関数α（Ｔ）を温度を推定するための値として用いてもよい。このような（変形例１−３）によれば、（変形例１−１）と同様に、運転状態に適合した温度の推定を行うことができるので、結露状態の推定精度を向上することができる。  
【０１０３】
（変形例１−４）  モータの消費電力を演算し、消費電力が大きいほど温度センサ１６０で検出された温度と推定温度との差が大きくなるように、温度を推定するための値αを設定してもよい。このような（変形例１−４）によれば、（変形例１−１）と同様に、運転状態に適合した温度の推定を行うことができるので、結露状態の推定精度を向上することができる。  
【０１０４】
（変形例２）  第１の実施の形態では、低温部１８１で検出された温度に定数αを乗算して、高温部１８２の温度を推定する例について説明し、第２の実施の形態では、高温部１８２で検出された温度に定数αを除算して、低温部１８１の温度を推定する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。定数αを乗算するあるいは除算することに代えて、低温部１８１で検出された温度に定数βを加算して高温部１８２の温度を推定する、あるいは、高温部１８２で検出された温度に定数βを減算して低温部１８１の温度を推定してもよい。制御装置４０の形状、大きさ、電子部品の配置等によって変化する低温部１８１の温度と高温部１８２の温度との関係に応じて、より精度よく温度を推定できる方法を採用することが好ましい。  
【０１０５】
（変形例３）  上述した実施の形態では、三方弁１５０により、冷却ブロック５１への冷媒の供給／迂回を切り換える例について説明したが、本発明はこれに限定されない。三方弁１５０に代えて、冷却ブロック５１への冷媒の供給／遮断を切り換えられる電磁式の開閉弁を採用してもよい。  
【０１０６】
（変形例４）  上述した実施の形態では、冷却ブロック５１への冷媒の供給を遮断する、すなわち冷却ブロック５１への冷媒の供給流量を０とすることを冷却動作の停止として説明したが、本発明はこれに限定されない。冷却動作が実行されているときに比べて、冷媒の流量を低減し、結露が発生しない状態に復帰させることができる程度の冷媒の供給流量であれば、冷媒が供給されている状態であっても冷却動作が停止されていることを意味する。  
【０１０７】
（変形例５）  上述した実施の形態では、ポンプ本体１０の下方に制御装置４０を配置した構成について説明したが、本発明はこれに限定されない。たとえば、ポンプ本体１０の下部ケーシング３０の側方に制御装置４０を配置してもよい。また、ポンプ本体１０と制御装置４０とを結合した一体構造とする場合に限定されることもなく、両者を個別に配置して用いるようにしてもよい。この場合、冷却装置５０は、制御装置４０およびポンプ本体１０のそれぞれに設けられる。  
【０１０８】
（変形例６）  上述した実施の形態では、ステップＳ１３０において、筐体４１内の温度として低温部１８１の温度ＴＬが第１温度閾値Ｔ１以下であるか否かを判定し、ステップＳ１９０において、低温部１８１の温度ＴＬが第２温度閾値Ｔ２以下であるか否かを判定する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。低温部１８１の温度ＴＬに代えて、高温部１８２の温度ＴＨを所定の閾値と比較してもよい。低温部１８１の温度ＴＬに代えて、低温部１８１の温度ＴＬと高温部１８２の温度ＴＨの平均値を所定の閾値と比較してもよい。  
【０１０９】
（変形例７）  上述した実施の形態では、冷媒として水を用いる場合に限定されることもなく、種々の冷却液を冷媒として使用することができる。  
【０１１０】
（変形例８）  上述した実施の形態では、冷却管５２に冷媒を流す冷却装置５０を例に説明したが、本発明はこれに限定されない。たとえば、冷却ファンにより発生した冷却風によって冷却ブロック５１を冷却する冷却装置を採用してもよい。冷却風の流量を制御することで、結露の発生を抑制しつつ、制御装置４０を冷却することができる。  
【０１１１】
（変形例９）  上述した実施の形態では、真空ポンプとしてターボ分子ポンプを採用した例について説明したが、本発明はこれに限定されず、種々の真空ポンプに本発明を適用することができる。たとえば、本発明は、ジーグバーンポンプやＨｏｌｗｅｃｋポンプなどのドラッグポンプのみを備えた真空ポンプにも適用することができる。  
【０１１２】
本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の形態についても、本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【０１１３】
１  ターボ分子ポンプ、１０  ポンプ本体、１１  吸気口フランジ、２０  上部ケーシング、２１  フランジ、３０  下部ケーシング、３２  フランジ、４０  制御装置、４１  筐体、４５ａ  基板、４６  基板、５０  冷却装置、５１  冷却ブロック、５２  冷却管、５２ｂ  バイパス流路、５２ｉ  冷媒入口部、５２ｏ  冷媒出口部、１０１  モータ、１０２  磁気軸受、１４０  主制御部、１４１  モータ制御部、１４２  磁気軸受駆動制御部、１４３  温度推定部、１４４  条件判定部、１４５  弁制御部、１４９  結露カウンタ、１５０  三方弁、１５１  電源部、１５２  モータ駆動回路、１５３  磁気軸受駆動回路、１５４  三方弁駆動回路、１６０  温度センサ、１７０  湿度センサ、１８１  低温部、１８２  高温部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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