(57)【要約】【課題】センサの検出精度の向上を図ること。【解決手段】端末は、センサと制御部と記憶部とを有し、制御部は、端末が存在する第２環境においてセンサに第１入力信号を出力させる較正信号を算出し、較正信号に基づいてセンサを振動が検出可能な状態にする第２入力信号を生成してセンサに入力し、第２環境においてセンサに第１入力信号を出力させる第２入力値を算出し、第１入力値と、第２入力値と、第２環境における特定環境因子と、対応情報と、に基づいて、対応情報を更新することにより、更新後の対応情報から特定環境因子に対応する特定補正係数を取得し、第２環境において端末の外部からの振動によりセンサが出力する実測データと、特定補正係数と、を出力する。【選択図】図１
2019215280.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動を検出するセンサと、前記センサを制御する制御部と、前記制御部がアクセス可能な記憶部と、を有する端末であって、
前記記憶部は、
前記端末が存在する第１環境で前記端末の外部からの振動として前記センサに入力する第１入力信号と、前記センサに前記第１入力信号を出力させる第１入力値と、前記第１環境に関する環境因子と前記環境因子の補正係数との対応情報と、を記憶しており、
前記制御部は、
前記端末が存在する第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる較正信号を算出し、
前記較正信号に基づいて前記センサを振動が検出可能な状態にする第２入力信号を生成して前記センサに入力し、
前記第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる第２入力値を算出し、
前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記対応情報と、に基づいて、前記対応情報を更新することにより、更新後の対応情報から前記特定環境因子に対応する特定補正係数を取得し、
前記第２環境において前記端末の外部からの振動により前記センサが出力する実測データと、前記特定補正係数と、を出力する、
ことを特徴とする端末。
【請求項２】
請求項１に記載の端末であって、
前記制御部は、
前記実測データと、前記特定補正係数と、に基づいて、前記実測データを補正し、
補正後の実測データを出力する、
ことを特徴とする端末。
【請求項３】
請求項１に記載の端末であって、
前記制御部は、前記実測データと前記特定補正係数とを前記記憶部に出力する、
ことを特徴とする端末。
【請求項４】
請求項１に記載の端末であって、
コンピュータと通信可能な通信部を有し、
前記通信部は、前記実測データと前記特定補正係数とを、前記コンピュータに送信する、
ことを特徴とする端末。
【請求項５】
請求項１に記載の端末であって、
前記制御部は、
前記対応情報に基づいて、前記特定環境因子が異常値であるか否かを判断し、
前記異常値でないと判断された場合、前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記特定環境因子と、前記対応情報と、に基づいて、前記対応情報を更新することにより、更新後の対応情報から前記特定環境因子に対応する特定補正係数を取得する、
ことを特徴とする端末。
【請求項６】
請求項１に記載の端末であって、
前記制御部は、前記第２入力信号を生成して前記センサに入力する都度、前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記対応情報と、に基づいて、前記対応情報を更新することにより、更新後の対応情報から前記特定環境因子に対応する特定補正係数を取得する、ことを特徴とする端末。
【請求項７】
請求項１に記載の端末であって、
前記制御部は、前記第１入力信号および前記第２入力信号を周波数変換して比較し、前記第２入力値を算出する、ことを特徴とする端末。
【請求項８】
請求項１に記載の端末であって、
前記制御部は、
前記端末に対する認証結果に基づいて、前記較正信号の算出、第２入力信号の生成および前記センサへの入力、前記第２入力値の算出、前記特定補正係数の取得を許可するように制御する、ことを特徴とする端末。
【請求項９】
請求項８に記載の端末であって、
コンピュータと通信可能な通信部を有し、
前記通信部は、前記実測データを第１ポートから前記コンピュータに送信し、前記特定補正係数を第２ポートから前記コンピュータに送信する、ことを特徴とする端末。
【請求項１０】
請求項１に記載の端末であって、
前記記憶部は、前記第１環境において前記端末の外部からの振動に対する前記センサの出力の感度を示す感度情報を記憶しており、
前記制御部は、
前記感度情報と、前記特定補正係数と、に基づいて、前記実測データを補正し、
補正後の実測データを出力する、
ことを特徴とする端末。
【請求項１１】
請求項１０に記載の端末であって、
前記記憶部は、
複数の前記第２入力信号の各々について前記対応情報を有し、
前記制御部は、
前記複数の第２入力信号のうち任意の第２入力信号を基準信号に設定し、
前記複数の第２入力信号の各々が前記センサに入力された場合、前記第２入力信号ごとに、前記対応情報から前記特定環境因子における特定補正係数を取得し、前記複数の第２入力信号のうち前記基準信号を除く他の第２入力信号の特定補正係数と、前記基準信号の特定補正係数とに基づいて、前記感度情報を更新し、
更新後の感度情報と、前記基準信号の特定補正係数と、に基づいて、前記実測データを補正し、
補正後の実測データを出力する、
ことを特徴とする端末。
【請求項１２】
振動を検出するセンサと、前記センサを制御する制御部と、前記制御部がアクセス可能な記憶部と、コンピュータと通信可能な通信部と、を有する端末であって、
前記記憶部は、
前記端末が存在する第１環境で前記端末の外部からの振動として前記センサに入力する第１入力信号と、前記センサに前記第１入力信号を出力させる第１入力値と、を記憶しており、
前記制御部は、
前記端末が存在する第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる較正信号を算出し、
前記較正信号に基づいて前記センサを振動が検出可能な状態にする第２入力信号を生成して前記センサに入力し、
前記第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる第２入力値を算出し、
前記第２環境において前記端末の外部からの振動により前記センサが出力する実測データを取得し、
前記通信部は、
前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記実測データとを、前記コンピュータに送信した結果、前記コンピュータから補正後の実測データを受信する、
ことを特徴とする端末。
【請求項１３】
振動を検出するセンサと、前記センサを制御する制御部と、前記制御部がアクセス可能な記憶部と、コンピュータと通信可能な通信部と、を有する端末であって、
前記記憶部は、
前記端末が存在する第１環境で前記端末の外部からの振動として前記センサに入力する第１入力信号と、前記センサに前記第１入力信号を出力させる第１入力値と、前記第１環境において前記端末の外部からの振動に対する前記センサの出力の感度を示す感度情報とを記憶しており、
前記制御部は、
前記端末が存在する第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる較正信号を算出し、
前記較正信号に基づいて前記センサを振動が検出可能な状態にする第２入力信号を生成して前記センサに入力し、
前記第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる第２入力値を算出し、
前記第２環境において前記端末の外部からの振動により前記センサが出力する実測データを取得し、
前記通信部は、
前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記実測データとを、前記コンピュータに送信した結果、前記コンピュータから前記特定環境因子に対応する特定補正係数を受信し、
前記制御部は、
前記感度情報と、前記特定補正係数と、に基づいて、前記実測データを補正し、
補正後の実測データを出力する、
ことを特徴とする端末。
【請求項１４】
端末と、前記端末と通信可能なコンピュータと、を有するシステムであって、
前記端末は、
振動を検出するセンサと、前記センサを制御する制御部と、前記制御部がアクセス可能な記憶部と、前記コンピュータと通信可能な通信部と、を有し、
前記記憶部は、前記端末が存在する第１環境で前記端末の外部からの振動として前記センサに入力する第１入力信号と、前記センサに前記第１入力信号を出力させる第１入力値と、を記憶しており、
前記制御部は、
前記端末が存在する第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる較正信号を算出し、
前記較正信号に基づいて前記センサを振動が検出可能な状態にする第２入力信号を生成して前記センサに入力し、
前記第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる第２入力値を算出し、
前記第２環境において前記端末の外部からの振動により前記センサが出力する実測データを取得し、
前記通信部は、
前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記実測データとを、前記コンピュータに送信した結果、前記コンピュータから補正後の実測データを受信し、
前記コンピュータは、
前記第１環境に関する環境因子と前記環境因子の補正係数との対応情報と、前記第１環境において前記端末の外部からの振動に対する前記センサの出力の感度を示す感度情報とを、記憶しており、
前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記実測データとを、前記コンピュータから受信すると、前記対応情報と、に基づいて、前記対応情報を更新することにより、更新後の対応情報から前記特定環境因子に対応する特定補正係数を取得し、
前記感度情報と、前記特定補正係数と、に基づいて、前記実測データを補正し、
補正後の実測データを前記端末に送信する、
ことを特徴とするシステム。
【請求項１５】
端末と、前記端末と通信可能なコンピュータと、を有するシステムであって、
前記端末は、
振動を検出するセンサと、前記センサを制御する制御部と、前記制御部がアクセス可能な記憶部と、前記コンピュータと通信可能な通信部と、を有し、
前記記憶部は、前記端末が存在する第１環境で前記端末の外部からの振動として前記センサに入力する第１入力信号と、前記センサに前記第１入力信号を出力させる第１入力値と、前記第１環境において前記端末の外部からの振動に対する前記センサの出力の感度を示す感度情報とを記憶しており、
前記制御部は、
前記端末が存在する第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる較正信号を算出し、
前記較正信号に基づいて前記センサを振動が検出可能な状態にする第２入力信号を生成して前記センサに入力し、
前記第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる第２入力値を算出し、
前記第２環境において前記端末の外部からの振動により前記センサが出力する実測データを取得し、
前記通信部は、
前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記実測データとを、前記コンピュータに送信した結果、前記コンピュータから前記特定環境因子に対応する特定補正係数を受信し、
前記感度情報と、前記特定補正係数と、に基づいて、前記実測データを補正し、
補正後の実測データを出力し、
前記コンピュータは、
前記第１環境に関する環境因子と前記環境因子の補正係数との対応情報を、記憶しており、
前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記実測データとを、前記コンピュータから受信すると、前記対応情報と、に基づいて、前記対応情報を更新することにより、更新後の対応情報から前記特定環境因子に対応する特定補正係数を取得し、
前記特定補正係数を前記端末に送信する、
ことを特徴とするシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサを有する端末およびシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、長期間に亘る計測時に生じるゼロ点変動を温度に応じて補正する振動計測装置がある（たとえば、下記特許文献１を参照）。この振動計測装置は、振動を検出し、検出した振動に応じて振動データを出力する振動検出部と、静止状態と判断された際に振動検出部が出力する振動データに基づいて静止状態データを生成する静止状態データ生成部と、温度を検出し、検出した温度に応じて温度データを出力する温度検出部と、温度データが所定温度を示す場合、所定温度に対応する基準値と、温度データに対応する静止状態データと、に基づいて補正情報を算出する補正値算出部と、補正情報を記憶する記憶部と、記憶部が記憶する補正情報に基づいて振動データを補正し、補正した振動データを含む振動情報を生成するデータ補正部と、を備える。
【０００３】
また、自己診断、自己較正または補正機能付の静電容量式加速度センサがある（たとえば、下記特許文献２を参照）。この静電容量式加速度センサは、第１の電極と、前記第１の電極に対向して配置され、ばね手段により支持され、前記第１の電極に向かって変位する第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極との間の静電容量に基づいて加速度を検出する検出手段と、前記第２の電極を変位させるように前記第１の電極と前記第２の電極との間に較正電圧を与える刺激手段と、前記較正電圧によって引き起こされる前記第２の電極の変位を測定する測定手段と、前記第２の電極の変位に基づいて、前記検出手段の較正を行う較正手段と、を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１７−１６１３８４号公報
【特許文献２】特開平９−１３３７０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
Ｉｎｔｅｒｎｅｔ  ｏｆ  Ｔｈｉｎｇｓ（ＩｏＴ）の普及に伴い、センサアレイや当該センサアレイを用いたセンサネットシステムの利用や利用する分野が拡大している。たとえば、超高精度のセンサを１，０００，０００個規模で接続するセンサアレイシステムが石油探査用に検討されている。このようなセンサアレイシステムでは、個々のセンサの較正や補正の方法が、センサアレイシステムのスケールアウトと各センサの高精度化の両立に対する障害となる。
【０００６】
したがって、将来的に、大規模でかつ高精度なセンサアレイシステムを運用するためには、
（１）気温などの環境変化を想定して工数をかけ、事前に調整されたセンサを用い、
（２）事前作成された較正および補正データを用いてデータ処理を実施し、
（３）経時変化対策としてオフサイト（たとえば、製油所において精製設備以外の付帯設備のある地域）での定期較正を実施する、
ことが必要となる。しかしながら、センサのコスト上昇やセンサアレイシステム運用の可用性低下を招く問題があり、次世代の大規模でかつ高精度なセンサアレイシステムの実用化を阻んでいる。
【０００７】
また、上記特許文献１の振動計測装置は、信号無入力状態での出力値をゼロ点と定義し、その推移からゼロ点オフセットの補正をおこなうため、標準信号入力を現地で生成して感度補正を実施しない。すなわち、事前作成された較正および補正データを用いていないことになる。
【０００８】
また、上記特許文献２の静電容量式加速度センサは、主にセンサ内部のばね機構の経時劣化を想定して、センサ内部に変位を与えるアクチュエータを新たに搭載し、加速度測定中に極短時間での補正作業を実施する。したがって、標準信号自体を現地で較正しない。
【０００９】
本発明は、
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願において開示される発明の第１側面となる端末は、振動を検出するセンサと、前記センサを制御する制御部と、前記制御部がアクセス可能な記憶部と、を有する端末であって、前記記憶部は、前記端末が存在する第１環境で前記端末の外部からの振動として前記センサに入力する第１入力信号と、前記センサに前記第１入力信号を出力させる第１入力値と、前記第１環境に関する環境因子と前記環境因子の補正係数との対応情報と、を記憶しており、前記制御部は、前記端末が存在する第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる較正信号を算出し、前記較正信号に基づいて前記センサを振動が検出可能な状態にする第２入力信号を生成して前記センサに入力し、前記第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる第２入力値を算出し、前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記対応情報と、に基づいて、前記対応情報を更新することにより、更新後の対応情報から前記特定環境因子に対応する特定補正係数を取得し、前記第２環境において前記端末の外部からの振動により前記センサが出力する実測データと、前記特定補正係数と、を出力する、ことを特徴とする。
【００１１】
本願において開示される発明の第２側面となる端末は、振動を検出するセンサと、前記センサを制御する制御部と、前記制御部がアクセス可能な記憶部と、コンピュータと通信可能な通信部と、を有する端末であって、前記記憶部は、前記端末が存在する第１環境で前記端末の外部からの振動として前記センサに入力する第１入力信号と、前記センサに前記第１入力信号を出力させる第１入力値と、を記憶しており、前記制御部は、前記端末が存在する第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる較正信号を算出し、前記較正信号に基づいて前記センサを振動が検出可能な状態にする第２入力信号を生成して前記センサに入力し、前記第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる第２入力値を算出し、前記第２環境において前記端末の外部からの振動により前記センサが出力する実測データを取得し、前記通信部は、前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記実測データとを、前記コンピュータに送信した結果、前記コンピュータから補正後の実測データを受信する、ことを特徴とする。
【００１２】
本願において開示される発明の第３側面となる端末は、振動を検出するセンサと、前記センサを制御する制御部と、前記制御部がアクセス可能な記憶部と、コンピュータと通信可能な通信部と、を有する端末であって、前記記憶部は、前記端末が存在する第１環境で前記端末の外部からの振動として前記センサに入力する第１入力信号と、前記センサに前記第１入力信号を出力させる第１入力値と、前記第１環境において前記端末の外部からの振動に対する前記センサの出力の感度を示す感度情報とを記憶しており、前記制御部は、前記端末が存在する第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる較正信号を算出し、前記較正信号に基づいて前記センサを振動が検出可能な状態にする第２入力信号を生成して前記センサに入力し、前記第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる第２入力値を算出し、前記第２環境において前記端末の外部からの振動により前記センサが出力する実測データを取得し、前記通信部は、前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記実測データとを、前記コンピュータに送信した結果、前記コンピュータから前記特定環境因子に対応する特定補正係数を受信し、前記制御部は、前記感度情報と、前記特定補正係数と、に基づいて、前記実測データを補正し、補正後の実測データを出力する、ことを特徴とする。
【００１３】
本願において開示される発明の第１側面となるシステムは、端末と、前記端末と通信可能なコンピュータと、を有するシステムであって、前記端末は、振動を検出するセンサと、前記センサを制御する制御部と、前記制御部がアクセス可能な記憶部と、前記コンピュータと通信可能な通信部と、を有し、前記記憶部は、前記端末が存在する第１環境で前記端末の外部からの振動として前記センサに入力する第１入力信号と、前記センサに前記第１入力信号を出力させる第１入力値と、を記憶しており、前記制御部は、前記端末が存在する第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる較正信号を算出し、前記較正信号に基づいて前記センサを振動が検出可能な状態にする第２入力信号を生成して前記センサに入力し、前記第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる第２入力値を算出し、前記第２環境において前記端末の外部からの振動により前記センサが出力する実測データを取得し、前記通信部は、前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記実測データとを、前記コンピュータに送信した結果、前記コンピュータから補正後の実測データを受信し、前記コンピュータは、前記第１環境に関する環境因子と前記環境因子の補正係数との対応情報と、前記第１環境において前記端末の外部からの振動に対する前記センサの出力の感度を示す感度情報とを、記憶しており、前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記実測データとを、前記コンピュータから受信すると、前記対応情報と、に基づいて、前記対応情報を更新することにより、更新後の対応情報から前記特定環境因子に対応する特定補正係数を取得し、前記感度情報と、前記特定補正係数と、に基づいて、前記実測データを補正し、補正後の実測データを前記端末に送信する、ことを特徴とする。
【００１４】
本願において開示される発明の第１側面となるシステムは、端末と、前記端末と通信可能なコンピュータと、を有するシステムであって、前記端末は、振動を検出するセンサと、前記センサを制御する制御部と、前記制御部がアクセス可能な記憶部と、前記コンピュータと通信可能な通信部と、を有し、前記記憶部は、前記端末が存在する第１環境で前記端末の外部からの振動として前記センサに入力する第１入力信号と、前記センサに前記第１入力信号を出力させる第１入力値と、前記第１環境において前記端末の外部からの振動に対する前記センサの出力の感度を示す感度情報とを記憶しており、前記制御部は、前記端末が存在する第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる較正信号を算出し、前記較正信号に基づいて前記センサを振動が検出可能な状態にする第２入力信号を生成して前記センサに入力し、前記第２環境において前記センサに前記第１入力信号を出力させる第２入力値を算出し、前記第２環境において前記端末の外部からの振動により前記センサが出力する実測データを取得し、前記通信部は、前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記実測データとを、前記コンピュータに送信した結果、前記コンピュータから前記特定環境因子に対応する特定補正係数を受信し、前記感度情報と、前記特定補正係数と、に基づいて、前記実測データを補正し、補正後の実測データを出力し、前記コンピュータは、前記第１環境に関する環境因子と前記環境因子の補正係数との対応情報を、記憶しており、前記第１入力値と、前記第２入力値と、前記第２環境における特定環境因子と、前記実測データとを、前記コンピュータから受信すると、前記対応情報と、に基づいて、前記対応情報を更新することにより、更新後の対応情報から前記特定環境因子に対応する特定補正係数を取得し、前記特定補正係数を前記端末に送信する、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の代表的な実施の形態によれば、センサの検出精度の向上を図ることができる。前述した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施例の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、油田探査システムの運用例を示す説明図である。
【図２】図２は、端末内のセンサの側断面図である。
【図３】図３は、端末の構成例を示すブロック図である。
【図４】図４は、コンピュータ（運用管理システム、コンテナ型データセンタ、データ解析センタ）のハードウェア構成例を示すブロック図である。
【図５】図５は、センサ補正例１を示す図表である。
【図６】図６は、内部標準信号の補正処理手順例を示すフローチャートである。
【図７】図７は、出荷前のセンサに対する処理を示す説明図である。
【図８】図８は、Ｃｄ（ｔ）とＶｓ（ｔ）との相関関係を示すグラフである。
【図９】図９は、環境因子測定および仮補正（ステップＳ６０８）の具体例を示す説明図である。
【図１０】図１０は、センサ補正例２を示す図表である。
【図１１】図１１は、現地設置後のＬＳＩの動作処理手順例１を示すフローチャートである。
【図１２】図１２は、補正用出力検波時の信号処理方法例を示す図表である。
【図１３】図１３は、内部標準信号の現地での他の較正例を示す説明図である。
【図１４】図１４は、現地設置後のＬＳＩの動作処理手順例２を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
＜油田探査システム＞
図１は、油田探査システムの運用例を示す説明図である。油田探査システム１００は、上述したセンサアレイシステムをオイルガス分野に適用した例である。以下、油田探査システム１００の運用例を（１）〜（９）の順に説明する。
【００１８】
（１）端末１０１が開発される。端末１０１は、センサと通信機能とを搭載する。センサは、振動を検出する。センサは、たとえば、サーボ式のＭＥＭＳ加速度センサである。開発時では、標準温度（たとえば、２０［℃］）での入力加速度に対するセンサ出力（出力電圧）に基づいて、センサ個体差の影響を排除するため、ユニバーサルな感度直線が取得される。また、外部標準信号（たとえば、０．６［ｇ］）での温度に対する標準補正係数（温度誤差）に基づいて、外部環境変動の影響を排除するため、ユニバーサルな補正直線が取得される。外部標準信号とは、端末１０１の外部からセンサを振動させるために与えられる基準となる加速度となる入力信号である。
【００１９】
（２）端末群が量産されて出荷される。端末群（センサアレイ）は、端末１０１の集合である。センサごとに、標準温度での外部標準信号（複数の入力加速度）に対応するセンサ出力電圧に基づいて、センサ個体差の影響を排除するため、補正した感度直線が取得される。
【００２０】
（３）端末群（たとえば、１００万個）が探査対象領域１１０に敷設される。また、データ収集機構１０２も探査対象領域に敷設されてもよい。データ収集機構１０２が敷設された場合、データ収集機構１０２は、各端末１０１の通信機能により各端末１０１から検出信号を受信可能である。
【００２１】
（４）起震車（パイブロサイス車とも呼ばれる）１０３が地面を叩いて人工的に起震する。これにより、地震波が探査対象領域の地中に伝搬する。端末１０１は、地中からの反射波ｗｂをセンサにより検出する。反射波ｗｂは、地震波ｗａが地中の地層で反射された振動波である。反射波ｗｂの値は、反射層（ガス、オイル、水など）により異なる。検出された反射波ｗｂは、端末１０１に保持され、または、端末１０１からデータ収集機構１０２に転送される。
【００２２】
（５）回収車１０４が端末１０１およびデータ収集機構１０２を回収する。
（６）観測車１０５内の運用管理システム１０６が、回収した端末１０１およびデータ収集機構１０２から検出データを取得する。
（７）コンテナ型データセンタ１０７が、取得された検出データ群を蓄積する。
（８）コンテナ型データセンタ１０７が、蓄積した検出データ群をデータ解析センタ１０８に転送する。
（９）データ解析センタ１０８が、受信した検出データ群を用いてデータ解析する。
【００２３】
なお、本実施例では、油田探査システム１００を例に挙げて、以降説明を行うが、油田探査システム１００に限らず、センサアレイを大規模で使用するシステムであれば、侵入者の歩行により発生する振動を検知して当該侵入者がセキュリティポイントに到着までの時間を予測して対策を講じるセキュリティシステムや、トンネルの崩落、地震後の地すべりなどの兆候（地盤の動き）を事前に検知することで構造物の寿命や欠陥を予測する構造物のモニタリングシステムにも適用可能である。
【００２４】
＜端末１０１の構成例＞
図２は、端末１０１内のセンサの側断面図である。センサ２０１は、筐体１を有する。（Ａ）および（Ｂ）において、センサ２０１は、筐体１の内部空間であるキャビティ７に、上部電極群（３ａ１，４ａ１，５ａ１，３ｂ１，４ｂ１，５ｂ１）と、下部電極群（３ａ２，４ａ２，５ａ２，３ｂ２，４ｂ２，５ｂ２）と、シーソー型可動構造体２と、を有する。
【００２５】
シーソー型可動構造体２は、左右非対称であり、図２では、中心から左側を重い大質量側２ａ、右側を小質量側２ｂとする構造体である。シーソー型可動構造体２は、図面を貫通する方向に支持バネ２ｃを有し、シーソー型可動構造体２を揺動可能に支持する。
【００２６】
図２の構成の符号ｎｘｍ（ｎ，ｍは数字、ｘはアルファベット小文字のａまたはｂ）について、ｘは大質量側２ａ（ｘ＝ａ）または小質量側２ｂ（ｘ＝ｂ）を示し、ｍは上部（ｍ＝１）または下部（ｍ＝２）を示す。ｍを表記しない場合は、上部および下部を区別しない。また、ａ，ｂではなくｘと表記した場合は、大質量側２ａおよび小質量側２ｂを区別しない。
【００２７】
シーソー型可動構造体２は、電極３〜５を保護するために、その上面２ｄ両端に下部ストッパ６ａ２，６ｂ２を有する。下部ストッパ６ａ２，６ｂ２は、筐体１の天井面８に設けられた上部ストッパ６ａ１，６ｂ１に対向配置される。
【００２８】
また、シーソー型可動構造体２は、その上面２ｄ両端の下部ストッパ６ａ２，６ｂ２間に、下部電極群として下部検出電極３ａ２，３ｂ２を有する。下部検出電極３ａ２，３ｂ２は、下部電極群中最も下部ストッパ６ａ２，６ｂ２に近接配置される。下部検出電極３ａ２，３ｂ２は、筐体１の天井面８に設けられた上部検出電極３ａ１，３ｂ１に対向配置される。
【００２９】
また、シーソー型可動構造体２は、下部検出電極３ａ２，３ｂ２間に、下部電極群として下部ＡＣサーボ電極４ａ２，４ｂ２を有する。下部ＡＣサーボ電極４ａ２，４ｂ２は、下部検出電極３ａ２，３ｂ２に近接配置される。下部ＡＣサーボ電極４ａ２，４ｂ２は、筐体１の天井面８に設けられた上部ＡＣサーボ電極４ａ１，４ｂ１に対向配置される。
【００３０】
また、シーソー型可動構造体２は、下部ＡＣサーボ電極４ａ２，４ｂ２間に、下部電極群として下部ＤＣサーボ電極５ａ２，５ｂ２を有する。下部ＤＣサーボ電極５ａ２，５ｂ２は、下部ＡＣサーボ電極４ａ２，４ｂ２に近接配置される。下部ＤＣサーボ電極５ａ２，５ｂ２は、筐体１の天井面８に設けられた上部ＤＣサーボ電極５ａ１，５ｂ１に対向配置される。なお、電極３〜５の配列は、図２に限定されず、他の配列でもよい。
【００３１】
検出電極３は、シーソー型可動構造体２の揺動を検出する。具体的には、たとえば、シーソー型可動構造体２が揺動すると、検出電極３ａ１，３ａ２間および検出電極３ｂ１，３ｂ２間の距離が変化してその静電容量も変化する。この静電容量の変化により、シーソー型可動構造体２の小質量側２ｂが上昇すると、水平時に比べて角度誤差が生じる。
【００３２】
ＤＣサーボ電極５は、ＤＣサーボ電圧の印加により、シーソー型可動構造体２を（Ｂ）に示すように水平に維持する。具体的には、たとえば、ＤＣサーボ電極５ａが吸着するように、または、ＤＣサーボ電極５ｂが反発するように、ＤＣサーボ電圧がＤＣサーボ電極５に印加されると、シーソー型可動構造体２は水平になる。
【００３３】
ＡＣサーボ電極４は、ＡＣサーボ電圧の印加により、シーソー型可動構造体２の揺動を抑制する。具体的には、たとえば、（Ｂ）のように、シーソー型可動構造体２が揺動していない水平状態において、（Ａ）のように、センサ２０１が反射波ｗｂを受けるとシーソー型可動構造体２が揺動しようとして、検出電極３ａ１，３ａ２間および検出電極３ｂ１，３ｂ２間の静電容量が変化する。この変化が生じたら、当該揺動を抑えようとするために同相のＡＣサーボ電圧がＡＣサーボ電極４に印加される。この印加されたＡＣサーボ電圧が、当該揺動に対応する加速度として検出される。
【００３４】
なお、ストッパ６は、検出電極３の吸着を規制し、かつ、ストッパ６が当接したときにＡＣサーボ電圧の最大振幅となる高さを有する。
【００３５】
図３は、端末１０１の構成例を示すブロック図である。端末１０１は、センサ２０１と、ＬＳＩ３０１と、データメモリ３０２と、通信ＩＦ３０３と、を有する。ＬＳＩ３０１は、センサ２０１にＤＣサーボ電圧を印加したり、センサ２０１からの検出データ（たとえば、検出電極３の静電容量）を検出するとセンサ２０１にＡＣサーボ電圧を印加したりする。
【００３６】
ＬＳＩ３０１は、印加したＡＣサーボ電圧をシーソー型可動構造体２の揺動による加速度に換算して、加速度データとして通信ＩＦ３０３に出力する制御部である。データメモリ３０２は、ＬＳＩ３０１で計算されたデータ（加速度データ含む）を記憶する記憶部である。通信ＩＦ３０３は、ＬＳＩ３０１からの各種出力データをデータ収集機構１０２に送信する。なお、図３では、ＬＳＩ３０１を実装する例を説明したが、ＬＳＩ３０１に替えて、ＬＳＩ３０１による処理は、データメモリ３０２に記憶されたプログラムをプロセッサに実行させることで実現してもよい。
【００３７】
このほか、図示はしないが、端末１０１は、端末１０１内部の温度を検出する温度センサを有してもよい。これにより、端末１０１は、環境温度を検出することができる。なお、検出した温度は、ＬＳＩ３０１によりデータメモリ３０２に格納される。
【００３８】
＜コンピュータのハードウェア構成例＞
図４は、コンピュータ（運用管理システム１０６、コンテナ型データセンタ１０７、データ解析センタ１０８）のハードウェア構成例を示すブロック図である。コンピュータ４００は、プロセッサ４０１と、記憶デバイス４０２と、入力デバイス４０３と、出力デバイス４０４と、通信インターフェース（通信ＩＦ）４０５と、を有する。プロセッサ４０１、記憶デバイス４０２、入力デバイス４０３、出力デバイス４０４、および通信ＩＦ４０５は、バス４０６により接続される。プロセッサ４０１は、コンピュータ４００を制御する。記憶デバイス４０２は、プロセッサ４０１の作業エリアとなる。また、記憶デバイス４０２は、各種プログラムやデータを記憶する非一時的なまたは一時的な記録媒体である。記憶デバイス４０２としては、たとえば、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ）、フラッシュメモリがある。入力デバイス４０３は、データを入力する。入力デバイス４０３としては、たとえば、キーボード、マウス、タッチパネル、テンキー、スキャナがある。出力デバイス４０４は、データを出力する。出力デバイス４０４としては、たとえば、ディスプレイ、プリンタがある。通信ＩＦ４０５は、ネットワークと接続し、データを送受信する。
【００３９】
＜センサ２０１の補正例１＞
図５は、センサ２０１の補正例１を示す図表である。センサ２０１の補正例１は、センサ２０１の一般的な補正例である。図５では、（１）開発時、（２）出荷前、（３）現地設置後の時期において、目的（Ａ），（Ｂ）別にセンサ２０１の補正方法を説明する。なお、以降、説明で登場するグラフは、直線に限らず、曲線でもよく、また、換算テーブルでもよく、また、データメモリ３０２に格納される。
【００４０】
（１）開発時
［（Ａ）センサ２０１の個体差の影響排除］
グラフ５０１Ａは、入力加速度に対するセンサ出力電圧の変化を示す。入力加速度とはセンサ２０１に与えられる加速度である。センサ出力電圧とは、センサ２０１から出力されるＡＣサーボ電圧である。
【００４１】
開発時では、センサ２０１の個体差の影響排除のため、標準温度において、複数のサンプル（図５では、例としてセンサ２０１のサンプルＡ〜Ｃ）についてセンサ２０１に入力加速度を与えたときのセンサ出力電圧が計測され、統計処理によりユニバーサルな感度直線５０１ａを示すデータ１−Ａが得られる。データ１−Ａは、ユニバーサルな感度直線５０１ａのパラメータ（ａ，ｂ）である。下記式（１）により、開発時における標準温度での入力加速度とセンサ出力電圧との関係が得られる。
【００４２】
入力加速度＠標準温度＝ａ×センサ出力電圧＋ｂ・・・式（１）
【００４３】
［（Ｂ）外部環境変動の影響排除］
グラフ５０１Ｂは、温度に対する標準補正係数の変化を示す。ここでは、２０℃を標準温度とする。標準補正係数とは温度変化によって生じる温度誤差を示すあらかじめ設定された係数である。標準補正係数が「１．０」であれば、温度誤差がないことを示す。
【００４４】
開発時では、外部環境変動の影響排除のため、外部標準信号において、複数のサンプル（図５では、例としてセンサ２０１のサンプルＡ〜Ｃ）について環境温度に対する標準補正係数があらかじめ与えられており、統計処理によりユニバーサルな補正直線５０１ｂを示すデータ１−Ｂが得られる。ユニバーサルな補正直線５０１ｂは、出荷前の環境温度と環境温度の補正係数との対応関係を示す対応情報である。ユニバーサルな補正直線５０１ｂは、標準温度（２０℃）で標準補正係数が１．０となるように調整される。このため、ある環境温度での外部標準信号入力時にセンサ２０１が示す加速度は、下記式（２）によって求められる。
【００４５】
外部標準信号入力時にセンサ２０１が示す加速度＠環境温度＝外部標準信号入力時にセンサ２０１が示す加速度＠標準温度×標準補正係数＠環境温度
・・・式（２）
【００４６】
外部標準信号は、具体的には、たとえば、外部からセンサ２０１に振動を与えた場合にシーソー型可動構造体２に生じる加速度であり、データメモリ３０２に格納される。標準補正係数＠環境温度は、ある環境温度での標準補正係数であり、補正直線５０１ｂから特定される。
【００４７】
（２）出荷前
［（Ａ）センサ２０１の個体差の影響排除］
グラフ５０２Ａは、入力加速度に対するセンサ出力電圧の変化を示す。出荷前では、センサ２０１のサンプルごとに、標準温度での入力加速度を与えたときのセンサ出力電圧が計測され、統計処理によりセンサ２０１個別で補正した感度直線５０２ａを示すデータ２−Ａが得られる。データ２−Ａは、センサ２０１個別で補正した感度直線５０２ａのパラメータ（ａ´，ｂ´）である。感度直線５０２ａは、出荷前において端末１０１の外部からの振動に対するセンサ２０１の出力の感度を示す感度情報である。下記式（２）により、出荷前における標準温度での入力加速度とセンサ出力電圧との関係が得られる。
【００４８】
入力加速度＠標準温度＝ａ´×センサ出力電圧＋ｂ´・・・式（３）
【００４９】
（３）現地設置後
現地設置後では、センサ出力電圧と、データ２−Ａと、現地での実測の環境温度と、データ１−Ｂと、を用いて、ＬＳＩ３０１は、下記式（４）により、加速度を算出する。この加速度は、センサ２０１個体差および外部環境変動の影響がある程度軽減されたデータとなる。
【００５０】
現地での実測加速度＝（ａ´×センサ出力電圧＋ｂ´）×標準補正係数＠実測環境温度
・・・式（４）
【００５１】
＜センサ２０１の補正例２＞
つぎに、センサ２０１の補正例２について、図６〜図１１を用いて説明する。センサ２０１の補正例２は、センサ２０１の補正例１を改善した補正例である。
【００５２】
図６は、内部標準信号の補正処理手順例を示すフローチャートである。図７は、出荷前のセンサ２０１に対する処理を示す説明図である。ステップＳ６０１〜Ｓ６０４は、出荷前に実施される処理であり、ステップＳ６０５〜Ｓ６０９は、端末１０１の現地設置後に実施される処理である。内部標準信号とは、センサ２０１から外部標準信号相当の加速度を出力させるためにセンサ２０１に印加される電圧である。ユーザは、センサ２０１の較正を実施しておく（ステップＳ６０１）。
【００５３】
具体的には、たとえば、ＬＳＩ３０１は、ＤＣサーボ電極５に対しＤＣサーボ電圧Ｖｈ１（ＡＣサーボ電圧でもよいが、ここでは、ＤＣサーボ電圧とする。また、大質量側２ａのＤＣサーボ電極への印加を想定しているが、小質量側２ｂまたは両方も可能）をバイアス印加して、シーソー型可動構造体２を水平に維持する（定常状態、図７の処理（ａ）を参照）。
【００５４】
つぎに、ユーザは、センサ２０１内のシーソー型可動構造体２の最大振幅を確認する（ステップＳ６０２）。具体的には、たとえば、ＬＳＩ３０１は、定常状態からスタートして、ＤＣサーボ電極５にＤＣサーボ電圧を徐々に印加していく。この場合、定常状態を基準に片側（大質量側２ａまたは小質量側２ｂ）振幅のみで実施してもよいが、両側振幅で実施したほうが望ましい。
【００５５】
そして、ＬＳＩ３０１は、ストッパ６の接触時、すなわち、検出電極３の静電容量変化がなくなる際（印加電圧を変えても検出電極３の数値が変わらない、または静電容量の変化率が大きく変化する印加電圧で定義）における、検出電極３の静電容量Ｃｄｔ１とＬＳＩ３０１がＤＣサーボ電極５に出力したＤＣサーボ電圧の変化量Ｖｓｔ１とを、シーソー型可動構造体２の最大振幅として測定し、データメモリ３０２に格納する（図７の処理（ｂ）を参照）。
【００５６】
ストッパ６は、上部電極３ｘ１，４ｘ１，５ｘ１と下部電極３ｘ２，４ｘ２，５ｘ２との接触による破損や貼り付きを防止する目的で設置されている。すなわち、ＤＣサーボ電極５への電圧印加の方法次第では、電極間距離が一定値より狭くなると、クーロン力＞バネの復元力となって、上部電極３ｘ１，４ｘ１，５ｘ１と下部電極３ｘ２，４ｘ２，５ｘ２とが貼り付いてしまう。ストッパ６にはこの張り付きを防止する効果もある。
【００５７】
つぎに、ＬＳＩ３０１は、外部標準信号を決定する（ステップＳ６０３）。具体的には、たとえば、センサ２０１が外部から揺らされ、シーソー型可動構造体２が揺動する。このときにシーソー型可動構造体２に発生する加速度を外部標準信号となる加速度Ｓｒとする。ＬＳＩ３０１は、加速度Ｓｒが発生したときの検出電極３の変位ｔｒに相当する検出電極３の静電容量Ｃｄｒ１と、ＬＳＩ３０１がＤＣサーボ電極５に出力したＤＣサーボ電圧の変化量Ｖｓｒ１とを、外部標準信号となる加速度Ｓｒに対応する電圧情報として測定し、データメモリ３０２に格納する（図７の処理（ｃ）を参照）。
【００５８】
つぎに、ＬＳＩ３０１は、実際に内部標準信号に相当するＤＣサーボ電圧を測定する（ステップＳ６０４）。具体的には、たとえば、ＬＳＩ３０１は、下記式（５）により、内部標準信号となるＤＣサーボ電圧Ｖ１を算出する。
【００５９】
Ｖ１＝Ｖｓｒ１・ｓｉｎωｔ＋Ｖｈ１・・・・・・・・式（５）
【００６０】
ωはＤＣサーボ電圧Ｖ１の角周波数である。ＬＳＩ３０１は、算出したＤＣサーボ電圧Ｖ１をＤＣサーボ電極５に印加して励振させる。ここでは正弦波を使用したが、これに限らず矩形波等を使用してもよい。
【００６１】
そして、ＬＳＩ３０１は、検出電極３の静電容量の変化を抑制するＡＣサーボ力をシーソー型可動構造体２に与えるために、外部標準信号となる加速度Ｓｒに相当するＡＣサーボ電圧の出力電圧ピーク値Ｖａｒ１を取得して、データメモリ３０２に格納する。出力電圧ピーク値Ｖａｒ１はセンサ２０１のシーソー型可動構造体２に入力（印加）される入力値である。出力電圧ピーク値Ｖａｒ１が印加されたときのシーソー型可動構造体２の揺動で発生する加速度が、外部標準信号に相当する。これにより、出荷前の補正が終了する。
【００６２】
ステップＳ６０５以降が、現地設置後の処理となる。現地設置後、ＬＳＩ３０１は内部標準信号を較正する（ステップＳ６０５）。具体的には、たとえば、ＬＳＩ３０１は、ＤＣサーボ電極５に対しＤＣサーボ電圧Ｖｈ２（ＡＣサーボ電圧でもよいが、ここでは、ＤＣサーボ電圧とする。また、大質量側２ａのＤＣサーボ電極５への印加を想定しているが、小質量側２ｂまたは両方も可能）をバイアス印加して、シーソー型可動構造体２を水平に維持する（定常状態）。
【００６３】
ＬＳＩ３０１は、定常状態からスタートして、ＤＣサーボ電極５にＤＣサーボ電圧を徐々に印加していく（定常状態を基準に片側（大質量側２ａまたは小質量側２ｂ）振幅のみで実施してもよいが、両側振幅で実施したほうが望ましい）。そして、ＬＳＩ３０１は、ストッパ６の接触時、すなわち、検出電極３の静電容量変化がなくなる際（印加電圧を変えても検出電極の数値が変わらない、または静電容量の変化率が大きく変化する印加電圧で定義）における、検出電極３の静電容量Ｃｄｔ２と、ＬＳＩ３０１がＤＣサーボ電極５に出力したＤＣサーボ電圧の変化量がバイアスであるＤＣサーボ電圧Ｖｈ２からＶｓｔ２に至るまでのＣｄ（ｔ）とＶｓ（ｔ）との相関関係と、を測定する。
【００６４】
Ｖｓｔ２は、検出電極３の静電容量変化がなくなる際のＤＣサーボ電圧の変化量である。Ｃｄ（ｔ）は検出電極３の静電容量の時間的変化、Ｖｓ（ｔ）はＤＣサーボ電極５への出力電圧の時間的変化を示す。相関関係とは、Ｖｓ（ｔ）の変化に対応するＣｄ（ｔ）の変化である。
【００６５】
図８は、Ｃｄ（ｔ）とＶｓ（ｔ）との相関関係を示すグラフである。相関関係Ｒ１は、出荷前におけるＣｄ（ｔ）とＶｓ（ｔ）との相関関係であり、相関関係Ｒ２は、現地設置後におけるＣｄ（ｔ）とＶｓ（ｔ）との相関関係である。横軸は、ＤＣサーボ電極５への出力電圧のバイアスＶｈからの変化量を示し、縦軸は、検出電極３の静電容量を示す。相関関係Ｒ１、Ｒ２は、データメモリ３０２に格納されている。
【００６６】
静電容量Ｃｄｔ１および変化量Ｖｓｔ１は、ステップＳ６０２（図７の処理（ｂ）に対応）で得られる。静電容量Ｃｄｒ１および変化量Ｖｓｒ１は、ステップＳ６０３（図７の処理（ｃ）に対応）で得られる。
【００６７】
ステップＳ６０５では、ＬＳＩ３０１は、現地にて外部標準信号となる加速度Ｓｒが印加されたときのピーク変位量ｔｒを与えるＡＣサーボ出力電圧Ｖｓｒ２を決定する。ＡＣサーボ出力電圧Ｖｓｒ２は、現地設置後においてセンサ２０１に外部標準信号を出力させる較正信号である。ピーク変位量ｔｒに相当する検出電極容量Ｃｄｒ２は、近似的に下記式（６）で求められる。
【００６８】
Ｃｄｒ２＝Ｃｄｔ２×Ｃｄｒ１／Ｃｄｔ１・・・（６）
【００６９】
このように、ＬＳＩ３０１は、上記式（６）で求められたＣｄｒ２を相関関係Ｒ２に与えることにより、外部標準信号となる加速度Ｓｒが与えられたときのピーク変位量ｔｒを与えるＡＣサーボ出力電圧Ｖｓｒ２を算出する。
【００７０】
これにより、電源やＬＳＩ３０１の誤差、環境変化による電極３〜５の変形の影響が軽減された外部標準信号となる加速度Ｓｒを得るためのＡＣサーボ出力電圧Ｖｓｒ２が決定される。これにより、内部標準信号が較正されたことになる。
【００７１】
図６において、ＬＳＩ３０１は、現地較正済内部標準信号であるＤＣサーボ電圧Ｖ２を算出してＤＣサーボ電極５に印加することで、ＤＣサーボ電極５を励振させる（ステップＳ６０６）。すなわち、ＬＳＩ３０１は、センサ２０１を振動が検出可能な状態にする。具体的には、たとえば、ＬＳＩ３０１は、下記式（７）により、ＤＣサーボ電圧Ｖ２を算出する。
【００７２】
Ｖ２＝Ｖｓｒ２×ｓｉｎωｔ＋Ｖｈ２・・・（７）
【００７３】
ＤＣサーボ電極５の励振により、シーソー型可動構造体２が揺動して加速度が発生可能な状態にする。したがって、端末１０１の現地設置の影響を軽減し、より高精度な内部標準信号を得るためのＤＣサーボ電圧の印加が可能となる。
【００７４】
つぎに、ＬＳＩ３０１は、補正用出力検波を実行する（ステップＳ６０７）。具体的には、たとえば、ＬＳＩ３０１は、検出電極３の静電容量変化を抑制するＡＣサーボ力をシーソー型可動構造体２に与えるために、外部標準信号に相当するＡＣサーボ電極４へのＡＣサーボ出力電圧Ｖａｒ２を算出する。ＡＣサーボ出力電圧Ｖａｒ２は、設置環境やセンサ２０１の経時変化起因の誤差が生じた場合の補正用データとなる。
【００７５】
つぎに、ＬＳＩ３０１は、環境因子測定および仮補正を実行する（ステップＳ６０８）。環境因子とは、センサ２０１が存在する環境においてセンサ２０１に影響を与える因子であり、たとえば、現地の環境温度である。仮補正とは、環境因子測定で得られた環境因子、ここでは、現地の環境温度を用いて、内部標準信号Ｖ２が印加されたときの現地測定に基づく補正直線を更新する処理である。
【００７６】
図９は、環境因子測定および仮補正（ステップＳ６０８）の具体例を示す説明図である。図９の各グラフ９０２Ｂ−０，９０２Ｂ−１，９０２Ｂ−２，…，９０２Ｂ−ｎ−１，９０２Ｂ−ｎ（ｎは、１以上の整数）は、横軸を現地環境温度（出荷前のみ標準温度）、縦軸を補正係数とする。仮補正１，２，…，ｎ−１，ｎを実行するごとに現地で計測した現地環境温度とその補正係数とを特定する点Ｐ１，Ｐ２，…，Ｐｎ−１，Ｐｎがプロットされ、たとえば、仮補正１，２，…，ｎ−１，ｎの都度、最小二乗法を用いて近似直線として補正直線９０１ｂ１，９０１ｂ２，…，９０１ｂｎ−１，９０１ｂｎが生成される。
【００７７】
まず、点Ｐ０は、たとえば、標準温度を２０［℃］、外部標準信号を０．６［ｇ］とした場合に、ユニバーサルな補正直線５０１ｂにおいて標準補正係数が１．０となる点である。
【００７８】
点Ｐ１，Ｐ２，…，Ｐｎ−１，Ｐｎの補正係数は、出荷前にステップＳ６０４で求めた外部標準信号である加速度Ｓｒに相当するＡＣサーボ電圧の出力電圧ピーク値Ｖａｒ１と、現地設置後にステップＳ６０７で求めたＡＣサーボ出力電圧Ｖａｒ２との比（Ｖａｒ１／Ｖａｒ２）である。ＡＣサーボ出力電圧Ｖａｒ２の値は、仮補正１，２，…，ｎ−１，ｎごとに異なる値となる。
【００７９】
また、図９は、補正直線９０１ｂ１，９０１ｂ２，…，９０１ｂｎ−１，９０１ｂｎを求めたが直線に限らず曲線でもよい。
【００８０】
図６に戻り、ＬＳＩ３０１は、ステップＳ６０８で求めた補正直線との比較による補正異常検知を実行する（ステップＳ６０９）。具体的には、たとえば、ＬＳＩ３０１は、更新前後の補正直線で傾きまたは／および切片の変化割合が所定の変化割合を超えたか否かを判断する。超えた場合は、ＬＳＩ３０１は、更新後の補正直線を採用せず、更新前の補正直線を維持する。超えていない場合は、ＬＳＩ３０１は、更新後の補正直線を採用する。
【００８１】
また、ＬＳＩ３０１は、更新前の補正直線９０１ｂｎ−１と既存プロット点Ｐ０〜Ｐｎ−１との距離の分布から求めた標準偏差をσとした際に、更新前の補正直線９０１ｂｎ−１と新規プロット点Ｐｎとの距離が、予め規定したｋに対して、平均値±ｋσを超えたか否かを判断してもよい。平均値±ｋσを超えた場合は、ＬＳＩ３０１は、更新後の補正直線を採用せず、更新前の補正直線を維持する。超えていない場合は、ＬＳＩ３０１は、更新後の補正直線を採用する。
【００８２】
図１０は、センサ２０１の補正例２を示す図表である。図１０では、（１）開発時、（２）出荷前、（３）現地設置後の時期において、目的（Ａ），（Ｂ）別にセンサ２０１の補正方法を説明する。なお、（１）開発時、および（２）出荷前の（Ａ）センサ２０１個体差の影響排除については、図５のセンサ２０１の補正例１と同一内容であるため、説明を省略する。また、（２）出荷前の（Ｂ）外部環境変動の影響排除については、図９で説明したので、ここでの説明を省略する。
【００８３】
（３）現地設置後
［（Ｃ）現地較正後の内部標準信号Ｖ２］
外部標準信号である加速度Ｓｒが外部から印加されると、シーソー型可動構造体２に当該加速度に相応した力が働き、結果として変位（揺動）が発生する。この外部標準信号（加速度Ｓｒ）によらず、当該変位を電圧としてセンサ２０１自身が発生できれば、当該変位を標準信号とすることができる。ここでいう電圧とは、出荷前において、この変位を与えるためにＤＣサーボ電極５に重畳させる電圧である。
【００８４】
Ｖｓｒ１は、出荷前において、外部標準信号である加速度Ｓｒに相当する変位を与える電圧である。Ｖｓｒ２は、現地において、外部標準信号である加速度Ｓｒ相当の変位を与える電圧である。Ｖｓｒ１およびＶｓｒ２は、この変位を与えるためにＤＣサーボ電極５に重畳させる電圧である。このＶｓｒ２が、現地にて内部標準信号をＶ１からＶ２に較正するために用いられるデータ３−Ｂ１である。
【００８５】
電圧Ｖｓｒ２について具体的に説明すると、現地にて、ＤＣサーボ電極５の定常状態（Ｖｈ２）から、ＤＣサーボ電極５に電圧を徐々に印加していき、検出電極３を用いて、予め設置されたストッパの接触時、すなわち、容量変化がなくなる際の検出電極容量Ｃｄｔ２とＬＳＩ３０１のＤＣサーボ電極５への出力電圧変化分Ｖｓｔ２に至るまでのＣｄ（ｔ）とＶｓ（ｔ）の相関関係を測定しておく。
【００８６】
電圧と変位の関係から、現地にて外部標準信号印加時のピーク変位量ｔｒを与える電圧Ｖｓｒ２を決定する。ピーク変位量ｔｒに相当する検出電極容量Ｃｄｒ２は、近似的に上記式（６）で決定される。したがって、Ｃｄ（ｔ）とＶｓ（ｔ）の相関関係を示す関係式内のＣｄ（ｔ）にＣｄｒ２を代入することで、Ｖｓ（ｔ）＝電圧Ｖｓｒ２が決定される。そして、式（７）に電圧Ｖｓｒ２およびバイアスであるＤＣサーボ電圧Ｖｈ２を与えることで、現地較正済内部標準信号Ｖ２が決定される。
【００８７】
［（Ｄ）現地較正済内部標準信号Ｖ２を用いた測定］
現地較正済内部標準信号Ｖ２がセンサ２０１に印加された状態で、図９で説明したように、ＬＳＩ３０１は、実測された現地環境温度と比（Ｖａｒ１／Ｖａｒ２）とにより決定される点Ｐｎがグラフ９０２Ｂ−ｎにプロットし、最新の補正直線９０１ｂｎを生成する。最新の補正直線９０１ｂｎがデータ３−Ｂ２である。開発時において標準温度での外部標準信号である加速度に、データ３−Ｂ２（補正直線９０１ｂｎ）における現地環境温度での補正係数を乗じることで、現地較正済内部標準信号Ｖ２がセンサ２０１に印加されたときにセンサ２０１が示す現地環境温度での加速度を得ることができる。
【００８８】
現地設置後では、ＬＳＩは、現地較正済内部標準信号Ｖ２をセンサ２０１に印加する。そして、センサが反射波ｗｂを受けると、センサ２０１が示す現地環境温度での加速度に応じて、ＬＳＩ３０１は、実測データとなるセンサ出力電圧（生データ）を出力する。このセンサ出力電圧（生データ）と、データ２−Ａ（ａ´，ｂ´）と、実測した現地環境温度と、データ３−Ｂ２（補正直線９０１ｂｎ）と、を用いて、ＬＳＩ３０１は、下記式（８）により、現地加速度を出力する。
【００８９】
現地加速度＝（ａ´×センサ出力電圧（生データ）＋ｂ´）×現地補正係数＠現地環境
温度・・・（８）
【００９０】
このように、現地加速度を出力することで、センサ２０１の個体差および外部環境変動の影響が従来よりも軽減される。
【００９１】
＜現地設置後のＬＳＩ３０１の動作処理手順例１＞
図１１は、現地設置後のＬＳＩ３０１の動作処理手順例１を示すフローチャートである。まず、ＬＳＩ３０１は、動作モードの確認をする（ステップＳ１１０１）。動作モードは、「測定」および「待機」の２種類である。動作モードは、たとえば、動作モードを選択するボタン（不図示）の入力により、「測定」および「待機」のいずれかに選択される。
【００９２】
動作モード「測定」が選択されると（ステップＳ１１０１：測定）、ＬＳＩ３０１は、たとえば、センサ２０１が地震の反射波ｗｂを信号検波することで入力加速度に相当する電圧を検出する（ステップＳ１１０２）。ＬＳＩ３０１は検出した電圧についてデジタル化およびノイズ除去を施す（ステップＳ１１０３）ことで、センサ出力電圧（生データ）を生成する。つぎに、ＬＳＩ３０１は、センサ２０１個体差較正をおこなう（ステップＳ１１０４）。具体的には、たとえば、ＬＳＩ３０１は、データメモリ３０２からデータ２−Ａ（ａ´，ｂ´）を読み出して、式（３）を用いて入力加速度を較正する。
【００９３】
つぎに、ＬＳＩ３０１は、たとえば、温度センサ（不図示）から現地環境温度を実測する（ステップＳ１１０５）。そして、ＬＳＩ３０１は、最新の補正直線９０１ｂｎをデータメモリ３０２から読み出して、ステップＳ１１０５で実測した現地環境温度から補正係数を特定する（ステップＳ１１０６）。なお、当該現地での最初の測定の場合（仮補正未実施）、最新の補正直線９０１ｂｎは、ユニバーサルな補正直線５０１ｂである。
【００９４】
このあと、ＬＳＩ３０１は、温度補正処理を実行する（ステップＳ１１０７）。具体的には、たとえば、ＬＳＩ３０１は、式（８）により、ステップＳ１１０４で求めた入力加速度に、ステップＳ１１０６で特定した補正係数を乗算することで、入力加速度を補正する。
【００９５】
このあと、ＬＳＩ３０１は、補正した入力加速度をディスプレイ（不図示）に表示したり、データ収集機構１０２に送信したり、データメモリ３０２に格納し、動作モードを「待機」に設定する（ステップＳ１１０８）。そして、ステップＳ１１０１に戻る。
【００９６】
また、ステップＳ１１１において、動作モード「待機」が選択されると（ステップＳ１１０１：待機）、ＬＳＩ３０１は、更新ボタン（不図示）からの現地更新入力を待ち受ける（ステップＳ１１０９）。現地更新入力がない場合（ステップＳ１１０９：Ｎｏ）、ステップＳ１１０１に戻る。一方、現地更新入力があった場合（ステップＳ１１０９：Ｙｅｓ）、ＬＳＩ３０１は、補正直線更新処理を実行する（ステップＳ１１１０）。
【００９７】
補正直線更新処理（ステップＳ１１１０）により補正直線が更新されると、ＬＳＩ３０１は更新確認を実行する（ステップＳ１１１１）。更新確認とは、たとえば、更新候補の補正直線の了承および拒否のいずれかの入力である。この場合、ＬＳＩ３０１は、ユーザによる了承および拒否の判断のため、更新候補の補正直線をディスプレイ（不図示）に表示してもよい。
【００９８】
拒否が選択された場合（ステップＳ１１１１：拒否）、ステップＳ１１１１に戻る。一方、了承が選択された場合（ステップＳ１１１１：了承）、ＬＳＩ３０１は、最終的に更新候補の補正直線に更新して（ステップＳ１１１２）、ステップＳ１１０１に戻る。すなわち、ＬＳＩ３０１は、データメモリ３０２において、既存補正直線を更新候補の補正直線で上書き保存する。これにより、以降の動作モード「測定」（ステップＳ１１０２〜Ｓ１１０８）においては、ステップＳ１１１２で更新された最新の補正直線９０１ｂｎがステップＳ１１０６で適用される。
【００９９】
つぎに、補正直線更新処理（ステップＳ１１１０）について説明する。ＬＳＩ３０１は、ステップＳ６０５で説明したように、内部標準信号をＶ１からＶ２に較正する（ステップＳ１１２１）。具体的には、たとえば、ＬＳＩ３０１は、式（７）により現地較正済内部標準信号Ｖ２を生成する。つぎに、ＬＳＩ３０１は、ステップＳ６０６で説明したように、現地較正済内部標準信号Ｖ２をセンサ２０１のＤＣサーボ電極５に印加して、ＤＣサーボ電極５を励振させる（ステップＳ１１２２）。
【０１００】
つぎに、ＬＳＩ３０１は、ステップＳ６０７で説明したように、補正用出力検波をおこなう（ステップＳ１１２３）。具体的には、たとえば、ＬＳＩ３０１は、検出電極３の静電容量変化を抑制するＡＣサーボ力をシーソー型可動構造体２に与えるために、現地較正済内部標準信号Ｖ２に相当するＡＣサーボ電極４へのＡＣサーボ出力電圧Ｖａｒ２を算出する。
【０１０１】
つぎに、ＬＳＩ３０１は、ステップＳ６０８で説明したように、環境因子測定および仮補正を実行する（ステップＳ１１２４）。これにより、現地環境温度を用いて、現地較正済内部標準信号Ｖ２が印加されたときの補正直線９０１ｂｎを更新することができる。
【０１０２】
このあと、ＬＳＩ３０１は、既存補正直線９０１ｂｎ−１との比較による補正異常検知をおこなう（ステップＳ１１２５）。具体的には、たとえば、直線近似で補正直線９０１ｂｎに更新する場合、既存補正直線９０１ｂｎ−１と比べて、傾きまたは／および切片が予め規定した変化割合を超えた場合、補正異常を検知したとして、ＮＧに遷移する。変化割合を超えていない場合は、正常であるため、ＯＫに遷移する。
【０１０３】
また、たとえば、既存補正直線９０１ｂｎ−１と既存プロット点Ｐ０〜Ｐｎ−１との距離の分布から求めた標準偏差をσとした際に、既存補正直線９０１ｂｎ−１と新規プロット点Ｐｎとの距離Ｄｎが、予め規定したｋに対して、Ｄｎ＞平均値±ｋσとなった場合、補正異常を検知したとして、ＮＧに遷移する。Ｄｎ＞平均値±ｋσでない場合は、正常であるため、ＯＫに遷移する。ＯＫに遷移した場合、ＬＳＩ３０１は、新規生成した補正直線９０１ｂｎを更新候補として設定し（ステップＳ１１２６）、ステップＳ１１１１に移行する。
【０１０４】
これにより、補正係数および内部標準信号Ｖ１を現地の環境に応じて適切に較正することができ、高精度なセンシングが可能となる。
【０１０５】
＜補正用出力検波時の信号処理方法例＞
図１２は、補正用出力検波時の信号処理方法例を示す図表である。方式Ｉは、信号電圧を時間空間処理であつかう方式であり、方式ＩＩは、信号電圧を周波数空間処理であつかう方式である。また、方式Ｉおよび方式ＩＩのいずれにおいても、枝番のｉ）は、信号処理を実行するＬＳＩ３０１が端末１０１に実装されている方式であり、枝番のｉｉ）は、信号処理を実行するＬＳＩ３０１が端末１０１以外（データ収集機構１０２、観測車１０５、データ解析センタ１０８）に実装されている方式である。
【０１０６】
枝番ｉ）の方式の場合、各端末１０１で信号処理が実行され、実行後に端末１０１が回収される。したがって、上位装置（データ収集機構１０２、観測車１０５、データ解析センタ１０８）へのデータ転送が低減される。
【０１０７】
枝番ｉｉ）の方式の場合、信号処理の処理速度が速く、大容量データに対応することが端末１０１よりも容易であるため、センシング精度の向上が容易になる。また、データセンタが実行主体の場合、データを保存できるため、信号処理のやり直しも可能となる。
【０１０８】
方式Ｉでは、時間空間での出力波形の振幅の標準波形との差が確認される（図１０のデータ３−Ｂ１を参照）。また、取得した信号波形をそのまま使用することができる。また、時間空間処理のため、計算処理が簡便である。なお、方式Ｉの信号波形は正弦波や余弦波に限らず、有限時間の定数を示す矩形波でもよい。矩形波の場合、定電圧発生回路がＬＳＩ３０１に存在すれば、当該波形の生成は不要となり、信号処理が簡便化される。
【０１０９】
方式ＩＩでは、周波数空間での着目周波数帯域の信号強度の標準波形との差が確認される。具体的には、たとえば、時間空間の信号波形に対してフーリエ変換が実施される。また、周波数帯域に変換されると、環境ノイズの影響が低減される。また、周波数空間処理のため、内部標準信号に特徴のある信号（例：ｓｉｎωｔ）が使用された場合、その周波数帯域を対象とすることで、精度確保が可能となる。また、周波数空間処理のため、環境ノイズや内部ノイズの影響を受け難い周波数帯域を対象とすることで、精度低減を抑制することができる。
【０１１０】
＜現地での感度較正例＞
図１３は、現地での感度較正例を示す説明図である。図１３では、図１０と比較して説明する。図１０では、外部標準信号を１つとしたが、図１３のグラフ１３０２Ａでは、複数の外部標準信号および複数の内部標準信号が用いられる。具体的には、たとえば、出荷前のデータ２−Ａに示したグラフ５０２Ａにおいて、複数の外部標準信号（ここでは、入力加速度Ｓｒを−０．６［ｇ］、−０．３［ｇ］，０．０［ｇ］，０．３［ｇ］，０．６［ｇ］とする）におけるセンサ出力電圧を、外部標準信号の各々について外部標準信号である加速度Ｓｒ相当の変位を与える電圧Ｖｓｒ１とする。また、複数の内部標準信号を、複数の加速度（−０．６［ｇ］、−０．３［ｇ］，０．０［ｇ］，０．３［ｇ］，０．６［ｇ］）Ｓｒ相当の変位を与える電圧Ｖｓｒ２とする。これにより、上記式（７）により、現地較正済内部標準信号Ｖ２が複数生成される。
【０１１１】
図９および図１０に示したデータ３−Ｂ２は、現地較正済内部標準信号Ｖ２ごとに生成される。具体的には、たとえば、入力加速度の基準値をたとえば０．６［ｇ］とする（以下、基準入力加速度）。現地環境温度が検出されると、ＬＳＩは、基準入力加速度０．６［ｇ］に対応する現地較正済内部標準信号Ｖ２での補正直線９０１ｂｎにおいて、検出した現地環境温度に対応する現地補正係数（以下、基準現地補正係数）を特定する。そして、ＬＳＩは、グラフ５０３Ａに、入力加速度（横軸）の基準値０．６［ｇ］における加速度効果修正係数（縦軸）として１．００をプロットする。加速度効果修正係数とは、入力加速度に応じて感度直線５０２ａを修正するために用いられる修正係数である。
【０１１２】
ＬＳＩは、他の５つの入力加速度（−０．６［ｇ］、−０．３［ｇ］，０．０［ｇ］，０．３［ｇ］）についても、同様に、ＬＳＩは、当該各入力加速度に対応する現地較正済内部標準信号Ｖ２での補正直線９０１ｂｎにおいて、検出した現地環境温度に対応する現地補正係数を特定する。そして、ＬＳＩは、グラフ５０３Ａに、当該各入力加速度（横軸）における加速度効果修正係数（縦軸）として、特定した現地補正係数を基準現地補正係数で割った値をプロットする。
【０１１３】
これにより、加速度効果修正係数の変化を示す折れ線グラフ５０３ａがデータ３−Ｃとして生成される。他の５つの入力加速度については、現地での測定の都度、ＬＳＩは、加速度効果修正係数がグラフ５０３Ａにプロットし、入力加速度ごとに、加速度効果修正係数の平均値を算出する。これにより、折れ線グラフ５０３ａがデータ３−Ｃとして更新される。
【０１１４】
つぎに、ＬＳＩは、感度直線５０２ａを補正する。具体的には、たとえば、上述した６つの入力加速度の加速度効果修正係数をそれぞれ読み出して、各々対応する入力加速度に乗算する。たとえば、データ３−Ｃにおいて、入力加速度が−０．６［ｇ］，０．０［ｇ］，０．６［ｇ］の加速度効果修正係数は、１．０であるため、−０．６［ｇ］，０．０［ｇ］，０．６［ｇ］は変更されない。
【０１１５】
一方、入力加速度が−０．３［ｇ］，０．３［ｇ］の加速度効果修正係数は、それぞれ０．９９であるため、ＬＳＩは、−０．３［ｇ］，０．３［ｇ］の各々に０．９９を乗じて入力加速度を−０．３［ｇ］，０．３［ｇ］から−０．２９７［ｇ］，０．２９７［ｇ］に更新する。これにより、感度直線５０２ａは折れ線となる感度直線５０４ａに更新される。
【０１１６】
つぎに、ＬＳＩは、基準入力加速度０．６［ｇ］に対応する現地較正済内部標準信号Ｖ２がセンサ２０１に印加する。そして、センサが反射波ｗｂを受けると、センサ２０１が示す現地環境温度での加速度に応じて、ＬＳＩ３０１はセンサ出力電圧（生データ）を出力する。
【０１１７】
ＬＳＩは、グラフ５０４を参照して、感度直線５０４ａの折れ線の区間Ｓ１〜Ｓ５からセンサ出力電圧（生データ）に対応する区間を特定する。ＬＳＩは、特定した区間の折れ線の傾きａ”および切片ｂ”を、データ４−Ａとして感度直線５０４ａから取得する。
【０１１８】
そして、ＬＳＩは、出力したセンサ出力電圧（生データ）と、データ４−Ａ（ａ”，ｂ”）と、実測した現地環境温度と、データ３−Ｂ２（補正直線９０１ｂｎ）と、を用いて、ＬＳＩ３０１は、下記式（９）により、現地加速度を出力する。
【０１１９】
現地加速度＝（ａ”×センサ出力電圧（生データ）＋ｂ“）×基準現地補正係数＠現地
環境温度・・・・（９）
【０１２０】
このように、現地加速度を出力することで、センサ２０１の個体差および外部環境変動の影響が従来よりも軽減される。これにより、端末１０１内部の電子回路の経時変化や、環境因子（ここでは環境温度）の影響を軽減した上での現地での内部標準信号の較正と、それを利用した環境因子の影響の軽減が可能となる。したがって、端末１０１の長期的な精度の維持や向上を図ることができる。
【０１２１】
＜現地設置後のＬＳＩ３０１の動作処理手順例２＞
図１４は、現地設置後のＬＳＩ３０１の動作処理手順例２を示すフローチャートである。動作処理手順例２は、事前にライセンスキーの認証有無を確認する例である。図１１と同一ステップには同一ステップ番号を付し、その説明を省略する。まず、ＬＳＩ３０１は、端末１０１がライセンスキーの認証済みか否かを判断する（ステップＳ１４００）。
【０１２２】
たとえば、端末１０１と認証元のコンピュータ４００とが通信可能な状態とし、認証元のコンピュータ４００は、端末１０１から入力されたライセンスキーと、認証元のコンピュータ４００が保持するライセンスキーとが一致するか否かを判定する。
【０１２３】
不一致の場合、端末１０１は認証されておらず、端末１０１のＬＳＩ３０１は、ステップＳ１１０１、Ｓ１１０９〜Ｓ１１１２の実行が禁止されたままである。一方、一致した場合、認証元のコンピュータ４００は、端末１０１のＬＳＩ３０１で実行が禁止されているステップＳ１１０１、Ｓ１１０９〜Ｓ１１１２が実行できるように設定する。これにより、端末１０１が認証される。
【０１２４】
認証済みの場合（ステップＳ１４００：Ｙｅｓ）、ステップＳ１１０１に遷移し、認証済みでない場合（ステップＳ１１４０：Ｎｏ）、ステップＳ１１０２に移行する。したがって、認証済みでない端末１０１は、ステップＳ１１０２〜Ｓ１１０８を繰り返し実行することになる。
【０１２５】
このように、認証済みの確認をおこなうことで、たとえば、端末１０１のユーザ群のうち有償のライセンシーの端末１０１のみが、ステップＳ１１０１、Ｓ１１０９〜Ｓ１１１２が実行することができる。
【０１２６】
また、上述した例において、端末１０１の通信ＩＦ３０３は専用ポートを有し、端末は、通常ポートから、現地加速度やセンサ出力電圧（生データ）を上位装置に送信し、専用ポートから、補正用のデータ（Ｖｓｒ２，データ２−Ａ，３−Ｂ１，３−Ｂ２，４−Ａ）を上位装置に送信してもよい。これにより、上位装置は、専用ポートの使用回数、すなわち、専用ポートからの受信回数を管理することで、現地更新の使用頻度を特定することができる。また、図１４に示したように、ライセンスキーを設定した場合には、上位装置は、現地更新の使用頻度に応じて、課金額を増減するように管理してもよい。
【０１２７】
また、上述した例において、センサ２０１は加速度を出力することとしたが、加速度の替わりに角速度を出力してもよい。この場合、ＬＳＩ３０１は、角速度をそのまま用いてもよく、加速度に変換してもよい。
【０１２８】
なお、本発明は前述した実施例に限定されるものではなく、添付した特許請求の範囲の趣旨内における様々な変形例及び同等の構成が含まれる。例えば、前述した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに本発明は限定されない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えてもよい。また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えてもよい。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加、削除、または置換をしてもよい。
【０１２９】
また、前述した各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部又は全部を、例えば集積回路で設計する等により、ハードウェアで実現してもよく、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し実行することにより、ソフトウェアで実現してもよい。
【０１３０】
各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリ、ハードディスク、ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｄｒｉｖｅ）等の記憶装置、又は、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）カード、ＳＤカード、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）の記録媒体に格納することができる。
【０１３１】
また、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、実装上必要な全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には、ほとんど全ての構成が相互に接続されていると考えてよい。
【符号の説明】
【０１３２】
２  シーソー型可動構造体
１００  油田探査システム
１０１  端末
１０２  データ収集機構
１０６  運用管理システム
１０７  コンテナ型データセンタ
１０８  データ解析センタ
２０１  センサ
３０１  ＬＳＩ
３０２  データメモリ
４００  コンピュータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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