(57)【要約】【課題】明るさの異なる複数の画像を表示させて液晶表示デバイスを検査する場合に従来よりも検査効率を向上できる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１は、位置決めステージ６０と光源１１と駆動制御部３１と減光フィルタ切り替え器５０とカメラ２４と検査判定部４３と投射レンズ２７とを備える。駆動制御部３１は液晶表示部７１に明るさの異なる画像ＩＭを表示させる。減光フィルタ切り替え器５０は複数の減光フィルタ５１〜５３を画像ＩＭの明るさに応じて切り替える。カメラ２４は画像ＩＭを減光フィルタ５１，５２，または５３を介して撮影し、画像データＩＤを生成する。検査判定部４３は画像データＩＤを解析することにより液晶表示デバイス７０が良品であるか否かを判定する。投射レンズ２７は明るさの異なる画像ＩＭを拡大投影する。【選択図】図１
2019028357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像を表示する液晶表示部を有する液晶表示デバイスを保持する位置決めステージと、
前記液晶表示部に照明光を照射する光源と、
前記液晶表示デバイスに印加される駆動電圧を制御し、前記照明光を光変調させて前記液晶表示部に明るさの異なる画像を表示させる駆動制御部と、
光学濃度または透過率が異なる複数の減光フィルタを有し、前記複数の減光フィルタを前記液晶表示部に表示される画像の明るさに応じて切り替える減光フィルタ切り替え器と、
前記液晶表示部に表示される画像を、前記減光フィルタ切り替え器により前記画像の明るさに応じて切り替えられた減光フィルタを介して撮影し、画像データを生成するカメラと、
前記画像データを解析することにより、前記液晶表示デバイスが良品であるか否かを判定する検査判定部と、
前記カメラと切り替え自在に配置され、前記明るさの異なる画像を拡大投影する投射レンズと、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記減光フィルタ切り替え器は、前記液晶表示部に第１の明るさを有する画像が表示される場合には、第１の光学濃度または第１の透過率を有する減光フィルタに切り替え、前記液晶表示部に第１の明るさよりも暗い第２の明るさを有する画像が表示される場合には、第１の光学濃度よりも小さい第２の光学濃度、または第１の透過率よりも大きい第２の透過率を有する減光フィルタに切り替えることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記位置決めステージは、前記液晶表示デバイスを前記照明光の光軸方向に移動させるフォーカス調整部を有し、
前記明るさの異なる画像ごとに前記フォーカス調整部を制御してフォーカス調整を実行させるステージ制御部をさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
液晶表示デバイスの液晶表示部に照明光を照射し、
前記液晶表示部に印加される駆動電圧を制御することによって、前記照明光を光変調させて、前記液晶表示部に明るさの異なる画像を表示させ、
前記液晶表示部に表示される画像の明るさに応じて、光学濃度または透過率が異なる複数の減光フィルタを切り替え、
前記液晶表示部に表示される画像を、前記画像の明るさに応じて切り替えられた減光フィルタを介して撮影して画像データを生成し、
前記画像データを解析することにより、前記液晶表示デバイスが良品であるか否かを判定する
ことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射型液晶表示デバイス等の表示装置を検査する検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置として液晶表示デバイスが用いられている。液晶表示デバイスは、画素ごとに液晶を駆動させて画像を表示する液晶表示部を有する。通常、液晶表示デバイスは、液晶表示部の傷、異物の付着、画素不良等の有無が検査される。特許文献１には、カメラで液晶表示部を検査する検査装置及び検査方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１７７３７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
反射型液晶表示デバイスは、液晶表示部に照射された照明光を光変調して反射させることにより、画像を表示させる。画像の明るさは、液晶表示デバイスに印加される駆動電圧に応じて調整される。従来の検査装置及び検査方法では、明るさの異なる複数の画像を検査する場合、画像の明るさに応じて露光時間を設定する。暗い画像を検査する場合には露光時間を長く設定する必要があり、検査時間が長くなるため、検査効率を悪化させる要因となっている。
【０００５】
本発明は、明るさの異なる複数の画像を表示させて液晶表示デバイスを検査する場合に従来よりも検査効率を向上させることができる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、画像を表示する液晶表示部を有する液晶表示デバイスを保持する位置決めステージと、前記液晶表示部に照明光を照射する光源と、前記液晶表示デバイスに印加される駆動電圧を制御し、前記照明光を光変調させて前記液晶表示部に明るさの異なる画像を表示させる駆動制御部と、光学濃度または透過率が異なる複数の減光フィルタを有し、前記複数の減光フィルタを前記液晶表示部に表示される画像の明るさに応じて切り替える減光フィルタ切り替え器と、前記液晶表示部に表示される画像を、前記減光フィルタ切り替え器により前記画像の明るさに応じて切り替えられた減光フィルタを介して撮影し、画像データを生成するカメラと、前記画像データを解析することにより、前記液晶表示デバイスが良品であるか否かを判定する検査判定部と、前記カメラと切り替え自在に配置され、前記明るさの異なる画像を拡大投影する投射レンズとを備えることを特徴とする検査装置を提供する。
【０００７】
また、本発明は、液晶表示デバイスの液晶表示部に照明光を照射し、前記液晶表示部に印加される駆動電圧を制御することによって、前記照明光を光変調させて、前記液晶表示部に明るさの異なる画像を表示させ、前記液晶表示部に表示される画像の明るさに応じて、光学濃度または透過率が異なる複数の減光フィルタを切り替え、前記液晶表示部に表示される画像を、前記画像の明るさに応じて切り替えられた減光フィルタを介して撮影して画像データを生成し、前記画像データを解析することにより、前記液晶表示デバイスが良品であるか否かを判定することを特徴とする検査方法を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の検査装置及び検査方法によれば、明るさの異なる複数の画像を表示させて液晶表示デバイスを検査する場合に従来よりも検査効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】一実施形態の検査装置を示す構成図である。
【図２】投射レンズが画像光の光軸上に配置されている状態を示す図である。
【図３】第１の減光フィルタとカメラ及びマクロレンズとが画像光の光軸上に配置されている状態を示す図である。
【図４】第２の減光フィルタとカメラ及びマクロレンズとが画像光の光軸上に配置されている状態を示す図である。
【図５】第３の減光フィルタとカメラ及びマクロレンズとが画像光の光軸上に配置されている状態を示す図である。
【図６】液晶表示デバイスの検査方法を説明するためのフローチャートである。
【図７】液晶表示デバイスの検査方法を説明するためのフローチャートである。
【図８】液晶表示デバイスの検査方法を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１を用いて、一実施形態の検査装置を説明する。本実施形態においては、表示装置の一例として反射型液晶表示デバイスを検査対象とする。検査装置１は、照明光学系１０と、撮像制御系２０と、画像処理制御系４０とを備える。照明光学系１０は、光源１１と偏光板１２とを有する。
【００１１】
撮像制御系２０は、減光フィルタ制御部２１と、減光フィルタ切り替え器５０と、減光フィルタ位置記憶部２２と、カメラ制御部２３と、カメラ２４と、マクロレンズ２５と、画像記録部２６と、投射レンズ２７とを有する。さらに、撮像制御系２０は、ステージ制御部２８と、ステージ駆動部２９と、位置決めステージ６０と、ステージ位置記憶部３０と、駆動制御部３１と、駆動回路３２とを有する。
【００１２】
減光フィルタ制御部２１、カメラ制御部２３、ステージ制御部２８、及び駆動制御部３１として、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてもよい。撮像制御系２０は、減光フィルタ制御部２１、カメラ制御部２３、ステージ制御部２８、及び駆動制御部３１を制御する主制御部を有する構成としてもよい。
【００１３】
減光フィルタ切り替え器５０は、光学濃度または透過率の異なる複数の減光フィルタ５１，５２，及び５３を有する。位置決めステージ６０は、検査対象となる液晶表示デバイス７０を保持する。ここでは、液晶表示デバイス７０は反射型液晶表示デバイスである。液晶表示デバイス７０は、画像を表示するための複数の画素が縦方向及び横方向に配置された矩形状の液晶表示部７１を有する。
【００１４】
位置決めステージ６０は、液晶表示デバイス７０を、Ｘ方向に移動させるＸ方向位置決め部６１と、Ｙ方向に移動させるＹ方向位置決め部６２と、Ｚ方向に移動させるフォーカス調整部６３とを有する。Ｘ方向とは液晶表示部７１の横方向に対応し、Ｙ方向とは液晶表示部７１の縦方向に対応する。Ｚ方向とは、液晶表示デバイス７０が光源１１に接近する、または離隔する方向である。位置決めステージ６０は、図１に示す構成に限定されるものではなく、Ｘ方向位置決め部６１とＹ方向位置決め部６２とフォーカス調整部６３とを任意に組み合わせてもよい。
【００１５】
画像処理制御系４０は、画像処理部４１と、画像蓄積部４２と、検査判定部４３と、検査データ蓄積部４４とを有する。
【００１６】
光源１１は照明光Ｌａ１を射出する。光源１１として、高圧水銀ランプ、ＬＥＤ、または半導体レーザを用いてもよい。光源１１として高圧水銀ランプを用いる場合、白色光を照明光Ｌａ１としてもよいし、色分離フィルタを用いて、光の三原色である赤色光、緑色光、または青色光の照明光Ｌａ１としてもよい。
【００１７】
光源１１としてＬＥＤを用いる場合、白色ＬＥＤ、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ、または青色ＬＥＤを用いてもよい。光源１１として半導体レーザを用いる場合も同様である。カメラ２４の波長毎の感度の特性に合わせて照明光Ｌａ１を選択することが好ましい。偏光板１２は、ｓ偏光またはｐ偏光のいずれか一方の偏光を透過させ、他方の偏光を反射させる。偏光板１２としてワイヤグリッドを用いてもよい。
【００１８】
光源１１から射出された照明光Ｌａ１は、一方の偏光（例えばｓ偏光）が含まれているため、偏光板１２を透過する。偏光板１２を透過した照明光Ｌａ２は、液晶表示デバイス７０の液晶表示部７１に照射される。駆動制御部３１は、駆動回路３２を制御して液晶表示デバイス７０に駆動電圧ＤＶを印加させる。液晶表示部７１に照射された照明光Ｌａ２は、駆動電圧ＤＶに応じて明るさが調整された画像光Ｌｂに光変調される。画像光Ｌｂは、他方の偏光（例えばｐ偏光）となり、偏光板１２により反射される。
【００１９】
駆動制御部３１は、液晶表示デバイス７０に印加される駆動電圧ＤＶを駆動回路３２を介して制御することにより、明るさの異なる画像ＩＭを液晶表示部７１に表示させる。液晶表示部７１に明るさの異なる３つの画像ＩＭａ，ＩＭｂ、及びＩＭｃを表示させて液晶表示デバイス７０を検査する場合について説明する。
【００２０】
画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃは、全面で明るさが均一である。画像ＩＭａは第１の明るさを有する。画像ＩＭｂは第１の明るさよりも暗い第２の明るさを有する。画像ＩＭｃは第２の明るさよりも暗い第３の明るさを有する。例えば画像ＩＭを２５６階調で表示させる場合、画像ＩＭａは階調数が２５５の白画像であり、画像ＩＭｂは階調数が１２８の中間の明るさの画像であり、画像ＩＭｃは階調数が０の黒画像である。
【００２１】
減光フィルタ５１，５２，及び５３は、偏光板１２とマクロレンズ２５との間隙に配置されている。減光フィルタ５１，５２，及び５３は、偏光板１２により反射された画像光Ｌｂの光軸上に切り替え自在に配置されている。
【００２２】
減光フィルタ５１は画像ＩＭａに対応し、減光フィルタ５２は画像ＩＭｂに対応し、減光フィルタ５３は画像ＩＭｃに対応して、画像光Ｌｂを減光させる。減光フィルタ５１は、第１の光学濃度または第１の透過率を有する。減光フィルタ５２は、第１の光学濃度よりも小さい第２の光学濃度、または第１の透過率よりも大きい第２の透過率を有する。減光フィルタ５３は、第２の光学濃度よりも小さい第３の光学濃度、または第２の透過率よりも大きい第３の透過率を有する。
【００２３】
減光フィルタ位置記憶部２２には、減光フィルタ５１，５２，または５３が画像光Ｌｂの光軸上に位置する場合の位置情報、及び、減光フィルタ５１，５２，及び５３が画像光Ｌｂの光軸上から退避する場合の位置情報が減光フィルタ位置情報ＧＪとして記憶されている。
【００２４】
減光フィルタ制御部２１は、減光フィルタ位置記憶部２２から読み出された減光フィルタ位置情報ＧＪに基づいて、画像光Ｌｂの光軸上に所望の減光フィルタ５１，５２，または５３を位置させ、画像光Ｌｂの光軸上から減光フィルタ５１，５２，及び５３を退避させるように、減光フィルタ切り替え器５０を制御する。
【００２５】
減光フィルタ切り替え器５０は、減光フィルタ５１，５２，または５３が画像光Ｌｂの光軸上に位置するように、減光フィルタ５１，５２，及び５３を切り替える。減光フィルタ切り替え器５０は、減光フィルタ５１，５２，及び５３が画像光Ｌｂの光軸上から退避するように減光フィルタ５１，５２，及び５３を移動させる。
【００２６】
ステージ位置記憶部３０には、液晶表示デバイス７０をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向の設定された位置に移動させるステージ位置情報ＳＪが記憶されている。ステージ制御部２８は、ステージ位置記憶部３０から読み出されたステージ位置情報ＳＪに基づいて、ステージ駆動部２９を制御する。
【００２７】
ステージ駆動部２９は、液晶表示デバイス７０が設定された位置に移動するように位置決めステージ６０を駆動させる。ステージ駆動部２９は、Ｘ方向位置決め部６１を駆動させて液晶表示デバイス７０をＸ方向に移動させる。ステージ駆動部２９は、Ｙ方向位置決め部６２を駆動させて液晶表示デバイス７０をＹ方向に移動させる。ステージ駆動部２９は、フォーカス調整部６３を駆動させて液晶表示デバイス７０をＺ方向に移動させる。ステージ駆動部２９として、ステッピングモータまたはサーボモータを用いてもよい。
【００２８】
画像光Ｌｂの光軸上において、カメラ２４及びマクロレンズ２５と投射レンズ２７とは切り替え自在に配置されている。具体的には、カメラ２４及びマクロレンズ２５が画像光Ｌｂの光軸上に配置されている状態では、投射レンズ２７は画像光Ｌｂの光軸上から退避した位置に配置される。また、投射レンズ２７が画像光Ｌｂの光軸上に配置されている状態では、カメラ２４及びマクロレンズ２５は画像光Ｌｂの光軸上から退避した位置に配置される。
【００２９】
作業者がカメラ２４及びマクロレンズ２５と投射レンズ２７とを手動で切り替えてもよいし、検査装置１がカメラ２４及びマクロレンズ２５と投射レンズ２７とを自動で切り替える切り替え装置を有する構成としてもよい。カメラ２４及びマクロレンズ２５が画像光Ｌｂの光軸上に配置されている状態において、減光フィルタ５１，５２，または５３は、画像光Ｌｂの光軸上に切り替え自在に配置される。
【００３０】
カメラ制御部２３は、カメラ２４を制御する。例えば、カメラ制御部２３はカメラ２４の露光時間を制御する。カメラ２４及びマクロレンズ２５が画像光Ｌｂの光軸上に配置されている状態では、カメラ２４は、液晶表示部７１に表示されている画像ＩＭａ，ＩＭｂ，またはＩＭｃを、マクロレンズ２５を介して撮影する。
【００３１】
カメラ２４は、撮影した画像ＩＭに基づいて画像データＩＤを生成し、カメラ制御部２３へ出力する。カメラ制御部２３は、画像データＩＤを画像記録部２６に記録する。投射レンズ２７が画像光Ｌｂの光軸上に配置されている状態では、投射レンズ２７は、液晶表示部７１に表示されている画像ＩＭａ，ＩＭｂ，またはＩＭｃを検査対象画像として、外部に設置されたスクリーン等へ拡大投影させる。
【００３２】
画像処理部４１は、画像記録部２６から画像データＩＤを読み出し、画像処理を実行する。画像処理部４１は、画像処理された画像データＩＤを検査判定部４３へ出力し、画像蓄積部４２に蓄積させる。検査判定部４３は画像データＩＤを解析し、液晶表示部７１の傷、異物の付着、画素不良の有無等を検査する。画素不良とは、白欠陥、黒欠陥、中間輝度欠陥、線欠陥等の欠陥画素を含む。
【００３３】
検査判定部４３は、検査結果に基づいて、検査対象の液晶表示デバイス７０が良品であるか否かを判定する。検査判定部４３は、検査結果及び判定結果を検査データ蓄積部４４に蓄積させる。
【００３４】
図２〜図５を用いて、カメラ２４及び投射レンズ２７と減光フィルタ５１，５２，及び５３との関係について説明する。図２〜図５は、図１に示す液晶表示部７１を光源１１側から見た状態を模式的に示している。
【００３５】
図２に示すように、投射レンズ２７が画像光Ｌｂの光軸上に配置されている状態では、減光フィルタ５１，５２，及び５３は画像光Ｌｂの光軸上から退避した状態にある。画像ＩＭａ，ＩＭｂ，またはＩＭｃは外部に設置されたスクリーンＳＣ等へ投射レンズ２７により拡大投影される。観察者は、拡大投影された画像ＩＭａ，ＩＭｂ，またはＩＭｃを目視で検査することにより、検査対象の液晶表示デバイス７０が良品であるか否かを判定する。
【００３６】
図３〜図５は、カメラ２４及びマクロレンズ２５が画像光Ｌｂの光軸上に配置されている状態を示している。図３に示すように、液晶表示部７１に画像ＩＭａが表示される場合には、減光フィルタ５１が画像光Ｌｂの光軸上に配置される。カメラ２４は減光フィルタ５１を介して画像ＩＭａを撮影する。
【００３７】
画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃを高コントラストで投射レンズ２７により拡大投影するためには、光源１１から高出力の照明光Ｌａ１が射出される。投射レンズ２７がカメラ２４に切り替えられた場合、カメラ２４には膨大な光量の画像光Ｌｂが入射されるため、カメラ２４の受光レベルが飽和してしまう。減光フィルタ５１は、画像光Ｌｂの光量を低減させることにより、カメラ２４の受光レベルの飽和を防止する。
【００３８】
画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃの中で画像ＩＭａが最も明るい画像である。そのため、減光フィルタ５１は、減光フィルタ５２及び５３と比較して、光学濃度が大きい、または透過率が小さい。
【００３９】
減光フィルタ５１として、例えば、光学濃度を示すＯＤ値が５．０、透過率が０．００１％である減光フィルタを用いることができる。減光フィルタ５１を用いて画像ＩＭａを撮影する場合のカメラ２４の露光時間は２０ｍｓである。検査装置１は、画像ＩＭａを撮影する場合には、液晶表示部７１の傷、異物の付着、画素不良として黒欠陥等の欠陥画素の有無を検査することができる。
【００４０】
図４に示すように、液晶表示部７１に画像ＩＭｂが表示される場合には、減光フィルタ５２が画像光Ｌｂの光軸上に配置される。カメラ２４は減光フィルタ５２を介して画像ＩＭｂを撮影する。画像ＩＭｂは画像ＩＭｃと比較して明るい画像である。そのため、減光フィルタ５２は、減光フィルタ５３と比較して、光学濃度が大きい、または透過率が小さい。
【００４１】
減光フィルタ５２として、例えば、光学濃度を示すＯＤ値が３．５、透過率が０．０３２％である減光フィルタを用いることができる。減光フィルタ５２を用いて画像ＩＭｂを撮影する場合のカメラ２４の露光時間は２０ｍｓである。検査装置１は、画像ＩＭｂを撮影する場合には、液晶表示部７１の傷、異物の付着、汚れ、画素不良として中間輝度欠陥、線欠陥等の欠陥画素の有無を検査ことができる。
【００４２】
図５に示すように、液晶表示部７１に画像ＩＭｃが表示される場合には、減光フィルタ５３が画像光Ｌｂの光軸上に配置される。カメラ２４は減光フィルタ５３を介して画像ＩＭｃを撮影する。画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃの中で画像ＩＭｃが最も暗い画像である。そのため、減光フィルタ５３は、減光フィルタ５１及び５２と比較して、光学濃度が小さい、または透過率が大きい。
【００４３】
減光フィルタ５３として、例えば、光学濃度を示すＯＤ値が２．５、透過率が０．３１６％である減光フィルタを用いることができる。減光フィルタ５３を用いて画像ＩＭｃを撮影する場合のカメラ２４の露光時間は２０ｍｓである。検査装置１は、画像ＩＭｃを撮影する場合には、液晶表示部７１の傷、異物の付着、画素不良として白欠陥等の欠陥画素の有無を検査することができる。
【００４４】
従って、画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃの明るさに応じて、光学濃度または透過率の異なる減光フィルタ５１，５２，及び５３を用いることにより、カメラ２４は、画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃを同じ露光時間で撮影することができる。
【００４５】
図６〜図８に示すフローチャートを用いて、液晶表示デバイス７０の検査方法を説明する。図６は撮像制御系２０のフローチャートであり、図７は画像処理制御系４０のフローチャートであり、図８は観察者のフローチャートである。検査精度を向上させるため、液晶表示部７１を分割してカメラ２４で撮影する場合について説明する。
【００４６】
照明光Ｌａ２が液晶表示部７１に照射され、カメラ２４及びマクロレンズ２５が画像光Ｌｂの光軸上に配置されている状態において、駆動制御部３１は、図６に示すステップＳ１にて、駆動回路３２が液晶表示部７１を駆動するよう駆動回路３２を制御する。液晶表示部７１は、照明光Ｌａ２を画像光Ｌｂに光変調し、画像ＩＭ（例えば画像ＩＭａ）を表示させる。
【００４７】
減光フィルタ制御部２１は、ステップＳ２にて、減光フィルタ位置記憶部２２から減光フィルタ位置情報ＧＪを読み出し、画像光Ｌｂの光軸上に減光フィルタ５１が配置されるように、減光フィルタ切り替え器５０を制御する。減光フィルタ制御部２１は、液晶表示部７１に画像ＩＭｂが表示される場合には画像光Ｌｂの光軸上に減光フィルタ５２が配置されるように、画像ＩＭｃが表示される場合には減光フィルタ５３が配置されるように減光フィルタ切り替え器５０を制御する。
【００４８】
ステージ制御部２８は、ステップＳ３にて、ステージ位置記憶部３０からステージ位置情報ＳＪを読み出す。ステージ制御部２８は、カメラ２４が鮮明な画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃを撮影できるように、ステージ位置情報ＳＪに基づいてステージ駆動部２９を制御する。ステージ駆動部２９は、フォーカス調整部６３を駆動させて液晶表示デバイス７０をＺ方向、即ち照明光Ｌａ２の光軸方向に移動させ、フォーカス調整を実行する。
【００４９】
カメラ２４で画像ＩＭａ，ＩＭｂ，またはＩＭｃを撮影する場合、または、投射レンズ２７により画像ＩＭａ，ＩＭｂ，またはＩＭｃをスクリーンＳＣ等へ拡大投影させる場合、被写界深度が浅いため、減光フィルタ５１，５２，及び５３の有無または選択によってフォーカスがずれる。
【００５０】
そこで、ステージ制御部２８は、鮮明な画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃが得られるように、画像ＩＭａ，ＩＭｂ，またはＩＭｃごとに、フォーカス調整部６３を駆動させてフォーカス調整を実行することが望ましい。ステージ位置記憶部３０には、ステージ位置情報ＳＪとして、カメラ２４及び投射レンズ２７を用いた場合の画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃに対する液晶表示部７１のＺ方向の位置情報が記憶されている。
【００５１】
ステージ制御部２８は、ステップＳ４にて、液晶表示部７１を分割する撮影領域をカメラ２４が撮影できるように、ステージ位置情報ＳＪに基づいてステージ駆動部２９を制御する。ステージ駆動部２９は、Ｘ方向位置決め部６１またはＹ方向位置決め部６２を駆動させて液晶表示デバイス７０をＸ方向またはＹ方向に移動させる。
【００５２】
カメラ２４は、ステップＳ５にて、偏光板１２及びマクロレンズ２５を介して撮影領域に表示されている画像ＩＭを撮影して画像データＩＤを生成し、カメラ制御部２３へ出力する。カメラ制御部２３は、画像データＩＤを画像記録部２６に記録する。
【００５３】
カメラ制御部２３は、ステップＳ６にて、液晶表示部７１を分割する全ての撮影領域に対して撮影が完了したか否かを判定する。全ての撮影領域に対して撮影が完了していない（ＮＯ）と判定された場合には、撮像制御系２０は処理をステップＳ４に戻す。ステージ駆動部２９は、カメラ２４が次の撮影領域を撮影できるように、Ｘ方向位置決め部６１またはＹ方向位置決め部６２を駆動させて液晶表示デバイス７０をＸ方向またはＹ方向に移動させる。全ての撮影領域に対して撮影が完了した（ＹＥＳ）と判定された場合には、撮像制御系２０は処理をステップＳ７に移行させる。
【００５４】
カメラ制御部２３は、ステップＳ７にて、全ての画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃに対して撮影が完了したか否かを判定する。全ての画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃに対して撮影が完了していない（ＮＯ）と判定された場合には、撮像制御系２０は処理をステップＳ１に戻す。駆動制御部３１は、駆動回路３２を制御して液晶表示部７１に次の画像ＩＭｂまたはＩＭｃを表示させる。全ての画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃに対して撮影が完了した（ＹＥＳ）と判定された場合には、撮像制御系２０は処理を終了させる。
【００５５】
ステップＳ６において、カメラ制御部２３に替えてステージ制御部２８または主制御部が、液晶表示部７１を分割する全ての撮影領域に対して撮影が完了したか否かを判定してもよい。ステップＳ７において、カメラ制御部２３に替えて減光フィルタ制御部２１、ステージ制御部２８、駆動制御部３１、またはメイン制御部が全ての画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃに対して撮影が完了したか否かを判定してもよい。
【００５６】
画像処理部４１は、図７に示すステップＳ１１にて、画像記録部２６からステップＳ５で記録された画像データＩＤを読み出して画像処理を実行し、画像蓄積部４２に蓄積させる。画像処理部４１は、ステップＳ１２にて、検査対象の液晶表示デバイス７０における全ての画像処理、具体的には液晶表示部７１を分割する全ての撮影領域、及び、全ての画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃに対する画像処理が完了したか否かを判定する。
【００５７】
検査対象の液晶表示デバイス７０に対して全ての画像処理が完了していない（ＮＯ）と判定された場合には、画像処理制御系４０は処理をステップＳ１１に戻す。画像処理部４１は、画像記録部２６から次に記録された画像データＩＤを読み出して画像処理を実行し、画像蓄積部４２に蓄積させる。検査対象の液晶表示デバイス７０に対する全ての画像処理が完了した（ＹＥＳ）と判定された場合には、画像処理制御系４０は処理をステップＳ１３に移行させる。
【００５８】
検査判定部４３は、ステップＳ１３にて、検査対象の液晶表示デバイス７０における全ての画像処理結果に基づいて、液晶表示デバイス７０を検査する。検査判定部４３は、ステップＳ１４にて、検査結果に基づいて、液晶表示デバイス７０が良品であるか否かを判定し、検査結果及び判定結果を検査データ蓄積部４４に蓄積させる。画像処理制御系４０は、ステップＳ１４を実行したら処理を終了させる。
【００５９】
観察者は、図８に示すステップＳ２１にて、検査結果に応じて、カメラ２４及びマクロレンズ２５を画像光Ｌｂの光軸上から退避させ、投射レンズ２７を画像光Ｌｂの光軸上に配置させる。観察者は、ステップＳ２２にて、スクリーンＳＣ等へ拡大投影された画像ＩＭａ，ＩＭｂ，及びＩＭｃを目視で検査することにより、液晶表示デバイス７０（液晶表示部７１）を検査する。観察者は、ステップＳ２３にて、検査結果に基づいて、検査対象の液晶表示デバイス７０が良品であるか否かを判定する。
【００６０】
カメラ２４の撮影による画像処理検査と、観察者による目視検査とにより、液晶表示デバイス７０が良品であるか否かを判定することで、判定精度を向上させることができる。なお、ステップＳ２１〜Ｓ２３は、図７におけるステップＳ１４で検査対象の液晶表示デバイス７０が良品でないと判定された場合、または良品か不良品か判断しにくい場合に実行してもよい。
【００６１】
本実施形態の検査装置１及び検査方法は、明るさの異なる複数の画像を表示させて表示装置を検査する場合に、表示される画像に応じて光学濃度または透過率が異なる減光フィルタを画像光の光軸上に配置する。これにより、本実施形態の検査装置１及び検査方法によれば、従来では長い露光時間が必要であった暗い画像に対しても明るい画像と同じ露光時間で撮影することができるため、従来よりも検査効率を向上させることができる。
【００６２】
本実施形態の検査装置１及び検査方法によれば、カメラと投射レンズとを切り替えて画像を表示させ、表示装置を検査することにより、従来よりも検査精度を向上させることができる。
【００６３】
本発明は、上述した本実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１  検査装置
１１  光源
２４  カメラ
２７  投射レンズ
３１  駆動制御部
５０  減光フィルタ切り替え器
４３  検査判定部
５１，５２，５３  減光フィルタ
６０  位置決めステージ
７０  液晶表示デバイス
７１  液晶表示部
ＩＭ，ＩＭａ，ＩＭｂ，ＩＭｃ  画像
Ｌａ１，Ｌａ２  照明光
ＤＶ  駆動電圧
ＩＤ  画像データ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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