(57)【要約】【課題】三次元計測装置において、撮影部や投影部における光透過部の付着物等を適切に検知するための技術を提供する。【解決手段】三次元計測装置は、計測対象に対してパターン光又はスリット光を投影する投影部１と、光が投影された計測対象の撮影画像を取得する撮影部２と、撮影画像に基づき計測対象との距離の情報を取得する距離取得部５を有する。また、撮影画像を計測対象との距離の情報に応じて１以上の領域に分割する領域分割部７と、領域のコントラストを取得し、距離の情報に応じて定めたコントラストの許容範囲と領域のコントラストとを比較するコントラスト比較部８と、を有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測対象に対してパターン光又はスリット光を投影する投影部と、
前記パターン光又はスリット光が投影された前記計測対象を撮影し、前記計測対象の撮影画像を取得する撮影部と、
前記撮影画像に基づき前記計測対象との距離の情報を取得する距離取得部と、
前記撮影画像を前記計測対象との距離の情報に応じて１以上の領域に分割する領域分割部と、
前記領域のコントラストを取得し、前記距離の情報に応じて定めたコントラストの許容範囲と前記領域のコントラストとを比較するコントラスト比較部と、を有することを特徴とする三次元計測装置。
【請求項２】
前記コントラスト比較部による比較の結果に基づき、前記投影部及び／又は前記撮影部の光透過部の異常を検知することを特徴とする請求項１に記載の三次元計測装置。
【請求項３】
前記コントラスト比較部による比較の結果に基づき、前記投影部及び／又は前記撮影部の光透過部に付着した付着物を検知することを特徴とする請求項２に記載の三次元計測装置。
【請求項４】
前記コントラスト比較部は、全ての前記領域について前記比較を行い、所定の割合以上の前記領域のコントラストが前記許容範囲外であると判定された場合に前記異常検知の警告を発することを特徴とする請求項２又は３に記載の三次元計測装置。
【請求項５】
前記コントラスト比較部は、前記コントラストの許容範囲を、前記計測対象の種類によって切り替えることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載の三次元計測装置。
【請求項６】
前記コントラスト比較部は、前記コントラストの許容範囲を、前記計測対象の姿勢および前記計測対象の各部の表面反射率によって切り替えることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載の三次元計測装置。
【請求項７】
計測対象に対してパターン光又はスリット光を投影する投影工程と、
前記パターン光又はスリット光が投影された前記計測対象を撮影し、前記計測対象の撮影画像を取得する撮影工程と、
前記撮影画像に基づき前記計測対象との距離の情報を取得する距離取得工程と、
前記撮影画像を前記計測対象との距離の情報に応じて１以上の領域に分割する領域分割工程
前記領域のコントラストを取得し、前記距離の情報に応じて定めたコントラストの許容範囲と前記領域のコントラストとを比較するコントラスト比較工程と、
前記コントラスト比較工程における比較の結果に基づき、前記投影工程で使用する投影部の光透過部及び／又は前記撮影工程で使用する撮影部の光透過部の異常を検知する検知工程と、
を有することを特徴とする三次元計測装置における異常検知方法。
【請求項８】
前記検知工程では、前記投影工程で用いる投影部及び／又は前記撮影工程で用いる撮影部に付着した付着物を検知することを特徴とする請求項７に記載の異常検知方法。
【請求項９】
前記コントラスト比較工程では、全ての前記領域について前記比較を行い、前記検知工程では、所定の割合以上の前記領域のコントラストが前記許容範囲外であると判定された場合に前記異常検知の警告を発することを特徴とする請求項７又は８に記載の異常検知方法。
【請求項１０】
前記コントラスト比較工程では、前記コントラストの許容範囲を、前記計測対象の種類によって切り替えることを特徴とする請求項７から９の何れか一項に記載の異常検知方法。
【請求項１１】
前記コントラスト比較工程は、前記コントラストの許容範囲を、前記計測対象の姿勢および前記計測対象の各部の表面反射率によって切り替えることを特徴とする請求項７から９の何れか一項に記載の異常検知方法。
【請求項１２】
請求項７から１１の何れか一項に記載の異常検知方法の各工程を実行する手段としてコンピュータを機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項１３】
把持部により把持されるべき物体の位置および姿勢の情報を得る請求項１から６の何れか一項に記載の三次元計測装置と、
前記三次元計測装置により得られた前記情報に基づいて前記物体を把持して移動させるロボットと、
を有することを特徴とするシステム。
【請求項１４】
溶接ツールにより溶接されるべき物体の位置および姿勢の情報を得る請求項１から６の何れか一項に記載の三次元計測装置と、
前記三次元計測装置により得られた前記情報に基づいて前記溶接ツールを前記物体の被溶接部に移動させるロボットと、
を有することを特徴とするシステム。
【請求項１５】
把持部により把持されるべき物体の位置および姿勢の情報を得る請求項１から６の何れか一項に記載の三次元計測装置により得られた前記情報に基づいて前記物体を把持して移動させる移動工程と、
前記移動工程で移動させられた前記物体に対して処理を行う処理工程と、
を有し、
前記処理が行われた前記物体から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
【請求項１６】
前記処理工程では、溶接ツールにより溶接されるべき物体の位置および姿勢の情報を得る請求項１から６の何れか一項に記載の三次元計測装置により得られた前記情報に基づいてロボットにより前記溶接ツールを前記物体の被溶接部に移動させて前記物体に対して溶接処理を施すことを特徴とする請求項１５に記載の物品製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、三次元物体（計測対象）の位置と姿勢を認識する部品認識装置などの三次元計測装置、三次元計測装置において光が通る部分の所望状態からの変化（異常ないし不具合）を検知する方法、等に関する。
【背景技術】
【０００２】
計測対象の三次元位置情報を取得する技術の一つとして、パターン投影法によって距離画像を計測する技術がある。パターン投影法では、二次元パターン光を投影手段によって被計測空間に投影する。そして、撮影手段で被計測空間を撮影した画像からパターンを検知し、検知されたパターンを用いた三角測量法により計測対象までの距離を計測し、それに基づいて計測対象の三次元位置情報を取得する。
【０００３】
部品認識装置はさまざまな環境で使用されるが、例えばオイルミストの濃度が高い工場などの環境では、空気中に油の微粒子が浮遊している。投影手段や撮影手段の装置の外部との境界にはガラス等の光透過性板状部材が一般に設けられているが、このガラス上に油の微粒子が付着すると、それに起因して投影手段による投影光量が落ちたり撮影手段による撮影画像がぼやけたりする。
【０００４】
特許文献１には、溶接センサが撮像したスリット光の画像を用いて溶接センサ自体に発生した異常ないし変化を検知する技術が開示されている。撮像した画像と基準画像との差分画像を生成し、差分画像の輝度分布を用いて窓板の異常を判別している。
【０００５】
特許文献２には、距離測定装置のカバーガラスの曇りや汚れ、光センサアレイ内の不良画素を検知する技術が開示されている。２つの受光器の像の一致度をコントラスト低下の指標とし、光学系の曇りや汚れの検知を行なっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−１５３１５５号公報
【特許文献２】特開平１１−２５１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した様に、オイルミストの濃度が高い環境では、投影光量が落ちたり撮影画像がぼやけたりする。よって、汚れがひどくなると部品を誤認識するなどの問題が生じる。部品認識装置では、通常、認識した部品をロボットが取り出す工程があるため、撮影対象となる部品の状態は認識するたびに異なる。従って、こうした三次元計測装置ないし認識装置に、特許文献１に開示の差分画像によって異常を判別する方法をそのまま適用することはできない。
【０００８】
また、通常、部品はパレット内に山積みされて置かれるため、パレットの上方にある部品と底にある部品との高さの差が大きく、すべての部品がジャストフォーカスの位置にはない。そのため、たとえ部品が被写界深度内に存在したとしても、撮影画像のコントラストは或る程度の分布を持つ値となる。従って、低下したコントラストの値を用いて汚れ検知を行なう場合には、コントラストの許容範囲を広く取らないと誤検知が生じてしまうことになり易い。こうした課題に対して、特許文献２に開示の技術は解決法を教示するものではない。
【０００９】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、計測対象との距離の情報に基づいて撮影画像を分割して分割域のコントラストを取得し、それに基づき、撮影部や投影部における光透過部の付着物等の異常を適切に検知することを可能とした技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一側面による三次元計測装置は、計測対象に対してパターン光又はスリット光を投影する投影部と、前記パターン光又はスリット光が投影された前記計測対象を撮影し、前記計測対象の撮影画像を取得する撮影部と、前記撮影画像に基づき前記計測対象との距離の情報を取得する距離取得部と、前記撮影画像を前記計測対象との距離の情報に応じて１以上の領域に分割する領域分割部と、前記領域のコントラストを取得し、前記距離の情報に応じて定めたコントラストの許容範囲と前記領域のコントラストとを比較するコントラスト比較部と、を有する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の一側面によれば、投影部や撮影部における光透過部の付着物等の異常の存在を適切に検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る三次元計測装置ないし部品認識装置の一例の構成を示す図。
【図２】画面分割および領域分割の概略を説明する図。
【図３】部品認識装置の処理全体を示すフローチャート。
【図４】付着物検知方法を示すフローチャート。
【図５】コントラストの許容範囲を説明する図。
【図６】他の付着物検知方法を示すフローチャート。
【図７】計測装置が把持装置に備え付けられて使用される制御システムを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の一側面では、パターン光又はスリット光が投影された計測対象の撮影画像に基づき計測対象との距離の情報を取得し、その距離の情報に基づいて計測対象の三次元形状などを計測する。ここにおいて、投影工程で使用する投影部及び／又は撮影工程で使用する撮影部の光透過部の付着物等の異常を検知するために、次のことを行う。すなわち、計測対象との距離の情報に応じて撮影画像を１以上の領域に分割し、分割領域のコントラストを取得し、分割領域のコントラストと距離の情報に応じて定めたコントラストの許容範囲とを比較する。そして、比較の結果に基づき、前記異常の存否を検知する。計測対象との距離の情報に応じて撮影画像を１以上の領域に別けて、分割領域でコントラストを取得するため、距離に応じた分割領域内では各部のコントラストの変動が過度に大きくないという特徴を利用できて、分割領域のコントラストの信頼性が向上する。
【００１４】
従って、同じく距離の情報に応じて定めたコントラストの許容範囲と分割領域のコントラストとを比較することで、異常検知について信頼性の向上した結果が得られる。よって、これに基づいて、投影部や撮影部における光透過部の付着物等の異常に対して適切に対処することができる。
【００１５】
以下、本発明の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。ただし、本発明の範囲はこれらの具体例に限定されるものではない。
【００１６】
〔第１実施形態〕
図１は、本実施形態における三次元計測装置である部品認識装置の構成を示す図である。部品認識装置は、投影部であるプロジェクタ１、撮影部であるカメラ２を有する。また、計測制御部３、画面分割部４、距離情報を取得する距離取得部を含む距離画像生成部５、部品認識部６、領域分割部７、コントラスト比較部８、コントラスト表９、表示部１０を備える。
【００１７】
プロジェクタ１によって投影されたパターン光の反射光をカメラ２で撮影し、撮影された画像は画面分割部４および距離画像生成部５に送られる。距離画像生成部５では、三角測量法として一般的に知られている原理を用いて、計測対象の各部の距離情報を生成する。部品認識部６では、計測対象の距離情報を用いて部品形状（計測対象の姿勢、位置など）を認識し、ロボットコントローラやシーケンスコントローラなど（例えば後述の図７の制御部４２０）に認識結果を伝える。
【００１８】
画面分割部４では、カメラ２の撮影画像を予め定めた有限個の区域に分割する。領域分割部７では、距離画像生成部５によって求められた距離情報を用いて、予め定めた距離の範囲ごとに前記区域をさらに有限個の領域に分割する。ここでは画面分割部によって撮影画像を有限個（複数個）の区域に分割した後、領域分割部によってそれぞれの区域を更に分割しているがこの限りではない。例えば、撮影画像のサイズがさほど大きくない（データ量が比較的小さい）場合や、コントラスト比較部による処理がかなり高速な場合は、画面分割部による処理は省いても良い。
【００１９】
コントラスト比較部８では、前記領域のコントラスト値を計算し、予め定めた許容範囲外であった場合、例えば、プロジェクタ１又は／及びカメラ２に付着物などがあると検知したというメッセージを表示部１０に表示させる。前記領域のコントラスト値は、領域の中で最も暗い部分と最も明るい部分の輝度の差であり、その計算式は一般によく知られている。領域内の輝度値の最大値をLmax、最小値をLminとしたとき、例えば、マイケルソン（Michelson）コントラストは次の式１で計算できる。
（Lmax−Lmin）／（Lmax＋Lmin）        式１
マイケルソンコントラストの代わりに、輝度の比 Lmax／Lminを用いることもできる。
【００２０】
コントラスト表９は、距離範囲に応じたコントラストの許容範囲の値を格納した表である。計測対象によって、例えば色や材質および光の反射率が異なるため、許容範囲の値は計測対象ごとに予め定めておく。一般的に、カメラやプロジェクタには光学レンズが用いられるが、レンズの被写界深度を超える範囲ではピントが合わなくなる。ピントが合わない範囲では、撮影対象のエッジが不鮮明となりコントラストが低下する。ピントが合っている範囲でも、撮影対象との距離によってコントラストは変わるので、どこまでのボケを許容するかによって部品認識装置の認識性能が決まる。このため、付着物などの検知を適切に行う為には、比較的ピントが合っている領域に対しては、撮影対象との距離に応じて、コントラストの許容範囲を比較的大きい値に達する範囲に設定するのがよい。反対に、ピントがあまり合っていない領域に対しては、撮影対象との距離に応じて、コントラストの許容範囲を比較的小さい値まで及ぶ範囲に設定するのがよい。
【００２１】
画面分割および領域分割の概略を図２を用いて説明する。図２(A)は計測対象空間を分割した様子を示した図であり、XとYが撮影された二次元画像の座標軸、Zが三角測量法で求められた距離の座標軸である。生成される距離画像の画素は、この分割された領域のいずれかに属する。
【００２２】
説明を簡単にするため、計測対象を円柱状の物体とし、撮影画像内の一つの区域に一本の円柱が収まっている状態をカメラから見た図を図２(B)とする。この区域を真横から見た図が図２(C)である。ここで、前記区域への分割の単位長さは予め定めた値とするが、その値は、検知したい最小サイズの汚れなどによるコントラスト低下を識別できる長さに取るとよい。図２(C)は、計測対象までの距離が0からh1の領域Z0、h1からh2の領域Z1、h2以上の領域Z2の３つの領域に分けた場合を示しており、説明の便宜上分かり易いようにZ0を白塗り、Z1をハッチング、Z2を黒塗りで表記している。同様に、図２(B)においても領域を塗り分けて表記している。図２(B)のように、二次元分割の区域をさらに距離によって領域に分割し、それぞれの領域ごとにコントラスト値の計算を行なう。上述した様に、距離によって分割された領域では、計算されるコントラスト値の信頼性は高いものとなる。
【００２３】
例えば、同一区域内のすべての領域のコントラストが許容範囲外であった場合、光透過部であるレンズやガラス等の光透過性部材などの汚れなどによる不具合によるコントラスト低下が起きていると判定できる。あるいは、コントラストが許容範囲外である領域が同一区域内で多数（例えば２／３以上）であった場合に、コントラスト低下が起きていると判定してもよい。１つの区域についてのみ上記判定を行って異常存否の判断結果を出すのではなく、コントラスト低下が起きていると判定できる区域が所定の割合以上（例えば２／３以上）ある場合にのみ、異常があると判定するようにしてもよい。付着物である場合、上記判定に基づき、人の手や、設置されたワイパーなどで付着物を除去すれば良い。後者では、付着物検知の判定に応答してワイパーを動かして自動化することができる。
【００２４】
本実施形態の部品認識装置の処理全体の概略の流れを図３のフローチャートを用いて説明する。パレット内に山積みにされたすべての計測対象に対して（ステップS101からS106の繰り返し）、プロジェクタ１によってパターン光を計測対象空間に投影し、反射光をカメラ２で撮影する（ステップS102）。ここで、パターン光は明暗の縞パターンを用いる。次いで、撮影画像から距離情報を生成する（ステップS103）。距離情報を生成する方法は、例えば空間コード化法として一般に知られている。ステップS102で撮影した画像を用いて例えば付着物の検知を行なう（ステップS104）。次いで、距離情報から物体の三次元認識を行ない（ステップS105）、すべての対象に対して部品を認識し終えたら終了する。
【００２５】
さらに付着物などの検知処理の動作を図４のフローチャートを用いて詳しく説明する。図２の説明として前述したように、撮影画像の分割（ステップS201）を行ない、画像分割したすべての区域に対して（ステップS202からS211の繰り返し）、部品認識装置から計測対象までの距離に応じて領域分割を行なう（ステップS203）。分割した領域に対して（ステップS204からS209の繰り返し）、領域ごとに例えば上記式１を用いてコントラストを計算する（ステップS205）。予め定めたコントラストの許容範囲をコントラスト表９から取り出し（ステップS206）、コントラストの計算値が許容範囲に入っているかどうか比較を行なう（ステップS207）。許容範囲外であった領域を記憶しておき（ステップS208）、区域内のすべて或いは大半の領域のコントラストが許容範囲外であった場合に警告表示を行なう（ステップS210）。ここでは、１つの区域内の複数の領域についてコントラストが許容範囲内か否かを判定し、その結果に基づいて警告を発するか否かを判断することができる。しかし、上述した様に、コントラスト比較部８は、全ての区域の領域について前記比較を行い、所定の割合以上の区域において所定の割合以上の領域のコントラストが前記許容範囲外であると判定された場合にのみ、異常検知の警告を発するようにしてもよい。
【００２６】
図５を用いて、コントラストと許容範囲との関係を説明する。グラフの横軸は計測対象との距離、縦軸はコントラストである。そして、(A)はレンズ等に付着物などがない場合、(B)はレンズ等に小さい付着物などがある場合、(C)はレンズ等に大きな付着物などがある場合を示し、これらを一つのグラフに重ねて示したものである。ここにおいて、各領域のコントラストが曲線で表現されているが、実際には、各領域では１つのコントラスト値が計算されている。従って、各領域のコントラストは、或るレベルの横軸に平行な横線として表わされる。
【００２７】
レンズ等に付着物などがない場合、距離を考慮せずに(A)のコントラスト変化をすべて包含する範囲を考えると、汚れなどを誤検知しないためには、距離に関わらず(A)の値を包含するc0からc2という広い許容範囲に設定する必要がある。一方、距離h1からh2の領域に限ると（すなわち、他の領域を判定の考慮外とすると）、汚れなどを誤検知しないためには、例えばc1からc2という狭い許容範囲を設定すればよい。
【００２８】
付着物などが小さい場合には、(B)のようにコントラストの低下はそれほど大きくなく、c0からc2の許容範囲では汚れなどを検知できないが、距離を考慮したc1からc2の許容範囲に設定すれば小さい汚れなども検知することができる。すなわち、c0からc2の許容範囲では、(A)と(B)についてZ0、Z1、Z2の全て領域で許容範囲内にあることになって「付着物無し」と判定される。しかし、c1からc2の許容範囲に設定すれば、領域Z0、Z2は考慮外として、(B)についてZ1の領域でコントラスト値は許容範囲外と判定され、小さい付着物を検知することができる。ここでは、ピントはh1からh2の領域Z1に合っていて、その両側の領域Z0、Z2ではピントの外れによりコントラストが下がっていると考えられる。従って、これらの領域Z0、Z2は、コントラストの低下が汚れなどに依るのかピント外れに依るのかが明瞭とは言えないので、誤検知を避けるために、上記の様に判定の考慮外としてもよい。或いは、領域Z0、Z2では、距離範囲に応じたコントラストの許容範囲の値を格納したコントラスト表９から、低めに設定された許容範囲を選択し、判定を行うようにしてもよい。レンズ等に大きな付着物などがある場合を示す(C)は、各領域に対してどのような許容範囲を設定するにせよ、コントラスト値は許容範囲外であると判断されて汚れなどがあると判定されるようにする。
【００２９】
本実施形態において、コントラスト計算に必要な画像を撮影するときのパターン光を空間コード化法で用いる縞パターンとしたが、それとは異なるパターン、例えば市松模様など、コントラストがより顕著になるようなパターンであってもよい。また、光切断法によって三次元形状を計測するとともにコントラスト計算に必要な画像を撮影するために、計測対象にスリット光を投影することもできる。上記説明では、便宜上、画面分割および領域分割を円柱状の計測対象を用いて説明したが、計測対象の形状は任意である。
【００３０】
さらに、計測対象によっては、表面処理の違いや複合材料などにより、部分的に異なる反射率分布を有する場合がある。その場合、部品認識部６によって認識した計測対象の姿勢を用いて、パターン光を反射している面を求める。そして、コントラスト表に格納された許容範囲から、その面の表面反射率を考慮したコントラストの許容範囲を選んでそれに切り替えることにより対応することができる。
【００３１】
前述した様に、コントラスト表における許容範囲の値を、計測対象の種類、すなわち、計測対象の色、材質、反射率などを考慮して定めることができるが、動作をより確実にするため学習によって値を調整することもできる。
【００３２】
図６に、学習時の付着物検知処理の動作を示す。図４と同じ機能には同じ番号を付けている。コントラスト値と許容範囲を比較した結果を表示部１０に表示し（ステップS301）、装置調整担当者が結果の可否を判断して許容範囲の値を調整する（ステップS302）。値の調整幅は装置調整担当者が入力してもよいし、一般に知られている学習アルゴリズムを利用して生成してもよい。例えば、結果の可否を自動的に判断できるシステム（例えば監視用カメラなどを含むもの）を設けておいて、その判断に基づいて許容範囲の値を調整する。汚れなどを検知したという判定の可否を判断したところ、間違っていた（実際には汚れなどは存在しなかった）という場合は、許容範囲の値を低めに設定し直す。反対に、汚れなどを検知しないという判定の可否を判断したところ、間違っていた（実際には汚れなどが存在した）という場合は、許容範囲の値を高めに設定し直す。
【００３３】
本実施形態によれば、通常は、投影手段や撮影手段の付着物等の異常を直接監視するカメラ等を別に設けることなく、上記の如き異常ないし不具合の存在を適切に検知することができる。勿論、判定結果の可否を判断する監視カメラ等を別に設けることもできる。
【００３４】
〔第２実施形態〕
上述の本発明の三次元計測装置は、ロボットアームと連携した状態で使用されうる。この三次元計測装置は、上述した様な判定に基づいて汚れなどが除かれている。本実施形態では、一例として、図７のように計測装置４００がロボットアーム４１０（把持装置）に備え付けられて使用される制御システムについて説明する。計測装置４００は、支持台４５０に置かれた計測対象（ワーク）４６０にパターン光を投影して撮像し、画像を取得する。そして、計測装置４００は、取得した画像データから計測対象４６０の位置及び姿勢を求める。制御部４２０は、計測装置４００からの計測対象４６０の位置及び姿勢に基づいて、どの計測対象を如何なる把持姿勢のハンドで把持するかを決定する。ここにおいて、計測装置は把持装置の外部に設けられており、これから制御部４２０に指令を出力する様にしてもよい。
【００３５】
その後、制御部４２０は、上記決定された位置及び姿勢の情報に基づいて、ロボットアーム４１０に駆動指令を送ってロボットアームを制御する。ロボットアーム４１０は先端のロボットハンド（把持部）で計測対象４６０を保持して、並進や回転などの移動をさせる。さらに、ロボットアーム４１０によって計測対象４６０を他の部品に組み付けることにより、複数の部品で構成された物品、例えば電子回路基板や機械などを製造することができる。また、移動された計測対象４６０を加工することにより、物品製造を行うことができる。例えば、把持部に溶接ツールを備えた他のロボットアームを用いて、移動させた計測対象４６０の適宜の被溶接部に対して溶接処理を施すことができる。このロボットアームも本発明の計測装置を備えていて、これからの情報に基づいて、把持部の溶接ツールの位置や姿勢を制御する。こうした溶接ツールがある環境では、空気中に微粒子などが浮遊しやすいので、本発明の異常検知技術が適用された計測装置は、より効果を発揮することができる。
【００３６】
制御部４２０は、ＣＰＵなどの演算装置やメモリなどの記憶装置を有する。また、計測装置４００により計測された計測データや得られた画像をディスプレイなどの表示部４３０（図１に示す表示部１０を兼ねてもよい）に表示してもよい。
【００３７】
〔その他の実施形態〕
本発明は、上述の実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、システム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサーがプログラムを読み出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１：プロジェクタ（投影部）
２：カメラ（撮影部）
４：画面分割部
５：距離画像生成部（距離取得部）
６：部品認識部
７：領域分割部
８：コントラスト比較部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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