(57)【要約】【課題】燃料ガスに対する十分な低透過性を維持しつつ低温下で十分な柔軟性を有する圧力調整用のダイヤフラムを提供する。【解決手段】ダイヤフラム１は、フッ素濃度７０質量％以上の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムで構成され、膜形状の厚さ方向の中心に位置する中間フッ素ゴム層５と、フッ素濃度７０質量％未満の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムでそれぞれ構成され、未架橋時のフッ素濃度が高い順に、中間フッ素ゴム層の第１面および第２面にそれぞれ順次積層する１つ以上のフッ素ゴム層（たとえば第１のフッ素ゴム層４および第２のフッ素ゴム層６）を備えている。これら１つ以上のフッ素ゴム層は、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）におけるＴＲ１０の値が−３０℃以下のフッ素ゴムで構成された同数のフッ素ゴム層であり、第１面および第２面からの積層順位が同一のフッ素ゴム層は、同一のフッ素ゴムで構成され同程度の層厚を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
膜形状を有し、周縁部が筐体の内壁に固定された状態で該筐体内に配置され、該筐体の内部空間を、内燃機関の燃料タンクと連通する燃料タンク側空間と、大気と連通する大気側空間とに区分しつつ、変形することにより前記燃料タンク側空間内の圧力を調整する圧力調整用のダイヤフラムにおいて、
フッ素濃度７０質量％以上の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムで構成され、前記膜形状の厚さ方向の中心に位置する中間フッ素ゴム層と、
フッ素濃度７０質量％未満の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムでそれぞれ構成され、未架橋時のフッ素濃度が高い順に、前記中間フッ素ゴム層の２つの面のうちの第１面に順次積層する１つ以上のフッ素ゴム層と、
フッ素濃度７０質量％未満の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムでそれぞれ構成され、未架橋時のフッ素濃度が高い順に、前記中間フッ素ゴム層の２つの面のうちの、前記第１面とは反対側の第２面に順次積層する１つ以上のフッ素ゴム層と、を備え、
前記第１面に積層する前記１つ以上のフッ素ゴム層、および、前記第２面に積層する前記１つ以上のフッ素ゴム層は、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下であるフッ素ゴムでそれぞれ構成された同数の１つ以上のフッ素ゴム層であって、
前記第１面に積層する前記１つ以上のフッ素ゴム層、および、前記第２面に積層する前記１つ以上のフッ素ゴム層における、前記第１面からの積層順位および前記第２面からの積層順位が同一の２つのフッ素ゴム層は、同一のフッ素ゴムで構成され同程度の層厚を有するものである圧力調整用のダイヤフラム。
【請求項２】
前記第１面に積層する前記１つ以上のフッ素ゴム層は、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下であるフッ素ゴムで構成された単層の第１のフッ素ゴム層であり、
前記第２面に積層する前記１つ以上のフッ素ゴム層は、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下である単層の第２のフッ素ゴム層であり、  
前記第１のフッ素ゴム層および前記第２のフッ素ゴム層は、同一のフッ素ゴムで構成され同程度の層厚を有するものである請求項１に記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【請求項３】
前記中間フッ素ゴム層、前記第１のフッ素ゴム層、および前記第２のフッ素ゴム層のそれぞれは、同一の架橋系によって架橋されたものである請求項２に記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【請求項４】
前記同一の架橋系は、パーオキサイド架橋系（有機過酸化物架橋系）である請求項３に記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【請求項５】
前記中間フッ素ゴム層と前記第１のフッ素ゴム層とは、前記同一の架橋系によって互いに架橋されることで接合されたものであり、
前記中間フッ素ゴム層と前記第２のフッ素ゴム層とは、前記同一の架橋系によって互いに架橋されることで接合されたものである請求項３又は４に記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【請求項６】
前記圧力調整用のダイヤフラムの全体の層厚は、０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下である請求項２〜５のいずれかに記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【請求項７】
前記圧力調整用のダイヤフラムの全体の層厚は、０．５ｍｍ以上２．０ｍｍ以下である請求項６に記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【請求項８】
前記中間フッ素ゴム層は、所定の色を発現する顔料を含むことで、前記第１のフッ素ゴム層および前記第２のフッ素ゴム層とは異なる色を有するものである請求項２〜７のいずれかに記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動車等の内燃機関において、燃料タンクと連通する空間内の圧力を調整する圧力調整用のダイヤフラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、石油を動力源とする自動車等の内燃機関が環境に与える影響について関心が高まりつつある。こうした環境への影響の１つとして、内燃機関の燃料タンクから、気化した燃料（以下、燃料ガスと呼ぶ）が大気中に漏れ出すことで、光化学スモッグ等の大気汚染が生じることが知られている。
【０００３】
燃料ガスに起因するこうした大気汚染を防ぐため、世界の主要各国では、燃料ガスの漏れ出しに対する規制が設けられている。規制に対応して、内燃機関には、内燃機関内部の燃料と内燃機関外部の大気とをつなぐ経路上に、活性炭等の吸着材を有するキャニスタが備えられていることが多い。燃料ガスは大気中に放出される前にキャニスタの吸着材に吸着され、この結果、内燃機関から大気中へ燃料ガスがそのまま排気されることが阻止される。
【０００４】
しかしながら、燃料ガスの大気中への漏れ出しを十分に防ぐためには、内燃機関から大気中への燃料ガスの直接的な排気を阻止するだけでは十分ではない。燃料タンクの空間と直接あるいは間接に連通する管や、そうした管同士の接続具の中のシールリングや、燃料タンクと連通する空間内の圧力を調整する圧力調整用のダイヤフラム、といった部材においては、密封性や柔軟性を持たせるために、構成材料にゴムが用いられることが多い。こうしたゴム中に燃料ガスが分子レベルで浸透し、そのままゴムを透過して大気中に漏れ出すことがある。
【０００５】
こうした分子レベルでの燃料ガスの漏れ出しを抑制するため、燃料ガスが透過不能な非ゴム製のフィルムを中間層としその両面にゴム層が形成された３層の積層構造を持つ圧力調整用のダイヤフラムが提案されている（たとえば特許文献１参照）。このダイヤフラムは、中間層のフィルムにより燃料ガスの浸透を遮断しつつ、その両面側のゴム層によって、ダイヤフラム全体の柔軟性を確保しようとするものである。
【０００６】
一般に、圧力調整用のダイヤフラムは、その変形により、圧力の急激な変化や圧力のゆらぎを抑えて圧力をなるべく所望の圧力となるように調整する役割を果たすものであるため、きわめて高い柔軟性が求められる。しかしながら、特許文献１のダイヤフラムでは、フィルムにより燃料ガスの透過は抑制できるものの、フィルムが伸縮変形できないためダイヤフラム全体の伸縮変形が制限されてしまう。このため、ダイヤフラムの柔軟性が低く、ダイヤフラムとしての本来の機能が十分に発揮されないことがある。
【０００７】
そこで、ダイヤフラムの十分な柔軟性を確保する観点から考えるとダイヤフラム全体をゴムで構成することが好ましい。さらには、ゴムの中でも、分子レベルでの燃料ガスの漏れ出しを抑制する観点から燃料ガスに対する透過性がなるべく低いゴムが好ましい。ここで、フッ素ゴム（より典型的にはフッ化ビニリデン系ゴム（ＦＫＭ））は、燃料ガスに対する透過性が他のゴムよりも低いことで従来からよく知られている。しかしながら、フッ素ゴムには、低温下では柔軟性が低下してしまってゴムとしての本来の機能が十分に果たされないという欠点がある。
【０００８】
ここで、燃料ガスに対する低透過性の確保と、柔軟性の確保とを両立させるため、燃料ガスと接触する側にフッ素ゴムの層が設けられ、その反対側に、フッ素ゴムよりも柔軟性が高い他のゴム（ニトリルゴムやシリコーンゴム等）の層が設けられた積層構造が提案されている（たとえば特許文献２の図１、特許文献３の図３、特許文献４の図１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平８−２１９２８３号公報
【特許文献２】特開２００１−１８２８３７号公報
【特許文献３】特開２００５−２８２８２０号公報
【特許文献４】特開２０１５−５６５９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献２〜４の積層構造をダイヤフラムに適用した場合、柔軟性が異なるゴムの積層構成に起因して、ダイヤフラムのたわみ変形に偏りが生じ得る。たとえば、一方向へのダイヤフラムのたわみ変形に比べ、逆方向へのダイヤフラムのたわみ変形は相対的に制限されるといった事態が生じやすい。この傾向は、低温下でフッ素ゴムの柔軟性が減少したときには特に顕著なものになる。このため、特許文献２〜４のような積層構造を適用したダイヤフラムには柔軟性が不十分という問題がある。
【００１１】
特に、最近では、世界の主要各国において、燃料ガスの漏れ出しに対する規制がますます強化されつつあり、圧力調整用のダイヤフラムにおいても、燃料ガスに対する、これまで以上に厳しい低透過性の基準を満たす必要が生じている。このため、フッ素ゴムといえども、特許文献２〜４の積層構造で用いられるような通常のフッ素ゴムでは、こうした厳しい基準を満たせない可能性がある。また、内燃機関が非常に低い温度環境で使用されることも多くなっており、低温下でも十分な柔軟性を有するダイヤフラムへの要請も増している。特許文献２〜４の積層構造をそのまま適用したダイヤフラムでは、上述したような問題があるため、燃料ガスに対する十分な低透過性を維持しつつ低温下での十分な柔軟性を実現するのは困難である。
【００１２】
上記の事情を鑑み、本発明は、燃料ガスに対する十分な低透過性を維持しつつ低温下で十分な柔軟性を有する圧力調整用のダイヤフラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述の課題を解決するため、本発明は、以下のシール部材を提供する。
［１］  膜形状を有し、周縁部が筐体の内壁に固定された状態で該筐体内に配置され、該筐体の内部空間を、内燃機関の燃料タンクと連通する燃料タンク側空間と、大気と連通する大気側空間とに区分しつつ、変形することにより前記燃料タンク側空間内の圧力を調整する圧力調整用のダイヤフラムにおいて、フッ素濃度７０質量％以上の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムで構成され、前記膜形状の厚さ方向の中心に位置する中間フッ素ゴム層と、フッ素濃度７０質量％未満の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムでそれぞれ構成され、未架橋時のフッ素濃度が高い順に、前記中間フッ素ゴム層の２つの面のうちの第１面に順次積層する１つ以上のフッ素ゴム層と、フッ素濃度７０質量％未満の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムでそれぞれ構成され、未架橋時のフッ素濃度が高い順に、前記中間フッ素ゴム層の２つの面のうちの、前記第１面とは反対側の第２面に順次積層する１つ以上のフッ素ゴム層と、を備え、前記第１面に積層する前記１つ以上のフッ素ゴム層、および、前記第２面に積層する前記１つ以上のフッ素ゴム層は、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下であるフッ素ゴムでそれぞれ構成された同数の１つ以上のフッ素ゴム層であって、前記第１面に積層する前記１つ以上のフッ素ゴム層、および、前記第２面に積層する前記１つ以上のフッ素ゴム層における、前記第１面からの積層順位および前記第２面からの積層順位が同一の２つのフッ素ゴム層は、同一のフッ素ゴムで構成され同程度の層厚を有するものである圧力調整用のダイヤフラム。
【００１４】
上記において、「同一のフッ素ゴム」とは、同一の分子構造を有する未架橋ゴムを同一の架橋系によって架橋させてなるフッ素ゴムを指す。また、「同程度の層厚」とは、このように同一のフッ素ゴムで構成された２つのフッ素ゴムの層が、それぞれが単層のときに、同じ重さの負荷に対するたわみの度合いや伸縮の度合いが同程度となるような層厚を指す。典型的には、一方の層が、他方の層の層厚の０．８０倍〜１．２５倍（１／０．８倍）の範囲内の層厚を持つことを指す。ここで、ゴムの架橋とは、一般には、ポリマー構造を有する未架橋ゴムの分子鎖同士の一部分を種々の架橋剤を用いて互いに結合させて編み目状の構造（架橋構造）を持たせることをいう。このような架橋構造を持つことでゴムは弾性を持つようになる。このときの架橋のさせ方を架橋系と呼ぶ。なお、歴史的な理由により、「架橋」は、「加硫」と呼ばれることもある。本明細書では、「未架橋フッ素ゴム」は、ポリマー構造を有する未架橋の状態のフッ素ゴム材料（いわゆる生ゴム）を指しており、「未架橋時」は、ポリマー構造が形成されているが未架橋の状態となっている時を指している。
【００１５】
［２］  前記第１面に積層する前記１つ以上のフッ素ゴム層は、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下であるフッ素ゴムで構成された単層の第１のフッ素ゴム層であり、前記第２面に積層する前記１つ以上のフッ素ゴム層は、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下である単層の第２のフッ素ゴム層であり、前記第１のフッ素ゴム層および前記第２のフッ素ゴム層は、同一のフッ素ゴムで構成され同程度の層厚を有するものである[１］に記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【００１６】
［３］  前記中間フッ素ゴム層、前記第１のフッ素ゴム層、および前記第２のフッ素ゴム層のそれぞれは、同一の架橋系によって架橋されたものである［２］に記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【００１７】
［４］  前記同一の架橋系は、パーオキサイド架橋系（有機過酸化物架橋系）である［３］に記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【００１８】
［５］  前記中間フッ素ゴム層と前記第１のフッ素ゴム層とは、前記同一の架橋系によって互いに架橋されることで接合されたものであり、前記中間フッ素ゴム層と前記第２のフッ素ゴム層とは、前記同一の架橋系によって互いに架橋されることで接合されたものである［３］又は［４］に記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【００１９】
［６］  前記圧力調整用のダイヤフラムの全体の層厚は、０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下である［２］〜［５］のいずれかに記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【００２０】
［７］  前記圧力調整用のダイヤフラムの全体の層厚は、０．５ｍｍ以上２．０ｍｍ以下である［６］に記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【００２１】
［８］  前記中間フッ素ゴム層は、所定の色を発現する顔料を含むことで、前記第１のフッ素ゴム層および前記第２のフッ素ゴム層とは異なる色を有するものである［２］〜［７］のいずれかに記載の圧力調整用のダイヤフラム。
【発明の効果】
【００２２】
一般にフッ素ゴムにおいて、フッ素原子には、きわめて強いＣ−Ｆ（炭素−フッ素）間結合をするとともに他のＣ−Ｃ（炭素−炭素）間やＣ−Ｈ（炭素−水素）間等の結合を強化する働きがある。そこで、非常に大雑把にいえば、フッ素原子が多いほど固いゴムとなって分子レベルでの燃料ガスの透過をブロックしやすくなる。このため、フッ素ゴムは、未架橋時のフッ素濃度が高いほど、燃料ガスに対する透過性が低くなる。その一方で、非常に大雑把にいえばフッ素原子が多いほど、低温時に固くなるゴムになりやすい。このため、未架橋時のフッ素濃度が高いほど低温時の柔軟性が悪化する。
【００２３】
本発明の圧力調整用のダイヤフラムでは、未架橋時のフッ素濃度が７０質量％以上という未架橋時のフッ素濃度がきわめて高い中間フッ素ゴム層により、燃料ガスに対する十分な低透過性が実現する。
【００２４】
また、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下という、低温下でも十分な柔軟性を発揮するフッ素ゴムでそれぞれ構成された１つ以上のフッ素ゴム層が中間フッ素ゴム層の両面に積層することで低温下での十分な柔軟性が実現する。
【００２５】
特に、本発明の圧力調整用のダイヤフラムでは、これら１つ以上のフッ素ゴム層が、中間フッ素ゴム層に対して未架橋時のフッ素濃度が高い順に積層するため、滑らかな変形が可能である。大雑把にいえば、積層構造の中央に近いフッ素ゴム層ほど固く、積層構造の外側のフッ素ゴム層ほど相対的に軟らかいフッ素ゴム層となっているため、中間フッ素ゴム層の変形に追従して、外側のフッ素ゴム層ほど大きく伸縮できる。このため、ダイヤフラム全体の滑らかな変形が可能となっている。
【００２６】
さらに、これら１つ以上のフッ素ゴム層は、各フッ素ゴム層の膜厚や材質に関し、中間フッ素ゴム層の両側にほぼ対称的な態様で積層するため、特許文献２〜４の積層構造をダイヤフラムに適用した場合とは異なり、いずれの方向へも同様のたわみ変形を起こすことができる。
【００２７】
この結果、本発明の圧力調整用のダイヤフラムでは、燃料ガスに対する十分な低透過性を維持しつつ低温下で十分な柔軟性を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の圧力調整用のダイヤフラムの一実施形態であるダイヤフラムを圧力調整に用いた圧力調整機構を表す模式的な断面図である。
【図２】３層の積層構成を有する図１のダイヤフラムの模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、適宜設計の変更、改良等が加えられることが理解されるべきである。
【００３０】
図１は、本発明の圧力調整用のダイヤフラムの一実施形態であるダイヤフラム１を圧力調整に用いた圧力調整機構を表す模式的な断面図である。
【００３１】
図１に示す圧力調整機構では、第１の筐体部２ａおよび第２の筐体部２ｂが結合することで筐体２が形成されており、ダイヤフラム１は、この筐体２内に配置されている。ダイヤフラム１は膜形状を有しており、ダイヤフラム１の周縁部３は、第１の筐体部２ａおよび第２の筐体部２ｂが結合する際に第１の筐体部２ａと第２の筐体部２ｂとの間に挟み込まれる。このような挟み込みにより、ダイヤフラム１の周縁部３は、筐体２の内壁に固定される。なお、ダイヤフラム１の膜形状としては、筐体２の形状（より正確には筐体２の内部空間の形状）に合わせた形状を採用できる。たとえば、円筒形状の筐体２であれば、円形の膜形状を採用できる。この場合、周縁部３は、円形の膜形状の円周に沿って存在することとなる。以下では、このような円形の膜形状を持つダイヤフラム１を例にとって説明を行う。ただし、本発明のダイヤフラムは、その中央部を、主弁となる軸状部材が貫通し、この軸状部材に内側の周縁部が固定されて、この軸状部材の軸方向の移動に連動して変形する、環状の膜形状を持つダイヤフラム１であってもよい。
【００３２】
ダイヤフラム１の存在により、筐体２の内部空間は、第１の筐体部２ａとダイヤフラム１とで囲まれた空間と、第２の筐体部２ｂとダイヤフラム１とで囲まれた空間との２つの空間に区分される。第１の筐体部２ａとダイヤフラム１とで囲まれた空間は、筐体２外部の大気と連通する空間であり、第２の筐体部２ｂとダイヤフラム１とで囲まれた空間は、不図示の内燃機関が有する不図示の燃料タンクと連通する空間である。ここで、「連通する」とは、管等により直接につながっている状態や、何らかの部材や装置が間に介在するものの、それらの部材や装置の内部の隙間を通して気体が行き来できるため間接につながっている状態を指す。以下では、区分された２つの空間を明確に区別するため、第１の筐体部２ａとダイヤフラム１とで囲まれた空間を大気側空間と呼び、第２の筐体部２ｂとダイヤフラム１とで囲まれた空間を燃料タンク側空間と呼ぶ。
【００３３】
巨視的に考えると、大気側空間に存在する気体（大気中の空気）と、燃料タンク側空間に存在する気体（後述の燃料ガスや空気等を含む気体）とは、ダイヤフラム１が存在することで互いに遮断されているため、両空間の間を自由に行き来することはできない。ただし、分子レベルの微視的な観点で考えると、燃料ガスの分子がダイヤフラム１に浸透してダイヤフラム１を透過する可能性を考慮する必要がある。この点については後述する。
【００３４】
ダイヤフラム１は圧力調整用のダイヤフラムであり、以下では、ダイヤフラム１が果たす圧力調整の機能について詳しく説明する。
【００３５】
ダイヤフラム１はゴム材料で構成されている。このため、筐体２の内壁に固定された周縁部３を除き、自由に変形することができる。たとえば、燃料タンク側空間の圧力が大気側空間の圧力に比べて相対的に高い状態では、図１の点線で示すように、伸長しながら矢印Ａ方向にたわんだ形状に変形する。逆に、燃料タンク側空間の圧力が大気側空間の圧力に比べて相対的に低い状態では、図１の一点鎖線で示すように、伸長しながら矢印Ｂ方向にたわんだ形状に変形する。このようにダイヤフラム１が変形することにより、燃料タンク側空間における圧力の急激な変化や圧力のゆらぎが緩和され、燃料タンク側空間の圧力がなるべく所望の圧力となるように調整される。
【００３６】
一般に、圧力調整用のダイヤフラムでは、内燃機関の燃料タンクから気化した燃料（以下、燃料ガスと呼ぶ）が、ダイヤフラムが配置されている場所まで到達し、ダイヤフラムに分子レベルで浸透してそのままダイヤフラムを透過して大気中に漏れ出すことがある。大気中に漏れ出した燃料ガスは大気汚染の原因となるため、燃料ガスによるダイヤフラムの透過を抑制することが必要となる。単純には、燃料ガスの透過性が低いことで知られるフッ素ゴム（より典型的にはフッ化ビニリデン系ゴム（ＦＫＭ））でダイヤフラムを構成することが考えられる。ただし、フッ素ゴムには、低温下では柔軟性が低下してしまってゴムとしての本来の機能が十分に果たされないという欠点がある。
【００３７】
そこで、特許文献２〜４のように、フッ素ゴムと他のゴム（たとえばニトリルゴムやシリコーンゴム）との積層構造を採用することで、燃料ガスに対する低透過性の確保と、低温下での柔軟性の確保との両立を図ることが考えられる。しかしながら、特許文献２〜４の積層構造をダイヤフラムに適用した場合、柔軟性が異なるゴムの積層構成に起因して、ダイヤフラムのたわみ変形に偏りが生じ得る。たとえば、一方向へのダイヤフラムのたわみ変形に比べ、逆方向へのダイヤフラムのたわみ変形は相対的に制限されるといった事態が生じやすい。この傾向は、低温下でフッ素ゴムの柔軟性が減少したときには特に顕著なものになる。このため、特許文献２〜４のような積層構造を適用したダイヤフラムには柔軟性が不十分という問題がある。
【００３８】
ここで、図１のダイヤフラム１には、燃料ガスに対する十分な低透過性を維持しつつ低温下で十分な柔軟性を実現するための工夫がなされている。以下では、この工夫について詳しく説明する。
【００３９】
図１のダイヤフラム１は、ダイヤフラム１の膜形状の厚さ方向の中心に位置する中間フッ素ゴム層と、中間フッ素ゴム層の２つの面のうちの第１面に順次積層する１つ以上のフッ素ゴム層と、この第１面とは反対側の中間フッ素ゴム層の第２面に順次積層する１つ以上のフッ素ゴム層と、を備えている。
【００４０】
中間フッ素ゴム層は、フッ素濃度７０質量％以上の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムで構成されている。なお、未架橋時のフッ素濃度については、ＢＵＮＳＥＫＩ  ＫＡＧＡＫＵ  Ｖｏｌ．６６，  Ｎｏ．２，  ｐｐ．８１−８７  （２０１７）  （Ｔｈｅ  Ｊａｐａｎ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｆｏｒ  Ａｎａｌｙｔｉｃａｌ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ  により２０１７年に発行）の「燃焼イオンクロマトグラフィーによる有機化合物中のハロゲン及び硫黄の高速一斉分析」（論文投稿者：長嶋  潜および出羽  好）に記載されている測定方法によって測定することができる。
【００４１】
中間フッ素ゴム層の２つの面のうちの第１面に順次積層する１つ以上のフッ素ゴム層は、フッ素濃度７０質量％未満の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムでそれぞれ構成されている。これら１つ以上のフッ素ゴム層は、未架橋時のフッ素濃度が高い順に、中間フッ素ゴム層の第１面に順次積層している。
【００４２】
中間フッ素ゴム層の２つの面のうちの第２面に順次積層する１つ以上のフッ素ゴム層も、フッ素濃度７０質量％未満の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムでそれぞれ構成されている。これら１つ以上のフッ素ゴム層は、未架橋時のフッ素濃度が高い順に、中間フッ素ゴム層の第２面に順次積層している。
【００４３】
ここで、第１面および第２面にそれぞれ積層する１つ以上のフッ素ゴム層は、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下であるフッ素ゴムでそれぞれ構成された同数のフッ素ゴム層である。
【００４４】
また、第１面および第２面にそれぞれ積層する１つ以上のフッ素ゴム層における、第１面からの積層順位および第２面からの積層順位が同一の２つのフッ素ゴム層は、同一のフッ素ゴムで構成され同程度の層厚を有している。
【００４５】
ここで、「同一のフッ素ゴム」とは、同一の分子構造を有する未架橋ゴムを同一の架橋系によって架橋させてなるフッ素ゴムを指す。また、「同程度の層厚」とは、このように同一のフッ素ゴムで構成された２つのフッ素ゴムの層が、それぞれが単層のときに、同じ重さの負荷に対するたわみの度合いや伸縮の度合いが同程度となるような層厚を指す。典型的には、一方の層が、他方の層の層厚の０．８０倍〜１．２５倍（１／０．８倍）の範囲内の層厚を持つことを指す。ここで、ゴムの架橋とは、一般には、ポリマー構造を有する未架橋ゴムの分子鎖同士の一部分を種々の架橋剤を用いて互いに結合させて編み目状の構造（架橋構造）を持たせることをいう。このような架橋構造を持つことでゴムは弾性を持つようになる。このときの架橋のさせ方を架橋系と呼ぶ。なお、歴史的な理由により、「架橋」は、「加硫」と呼ばれることもある。本明細書では、「未架橋フッ素ゴム」は、ポリマー構造を有する未架橋の状態のフッ素ゴム材料（いわゆる生ゴム）を指しており、「未架橋時」は、ポリマー構造が形成されているが未架橋の状態となっている時を指している。
【００４６】
一般にフッ素ゴムにおいて、フッ素原子には、きわめて強いＣ−Ｆ（炭素−フッ素）間結合をするとともに他のＣ−Ｃ（炭素−炭素）間やＣ−Ｈ（炭素−水素）間等の結合を強化する働きがある。そこで、非常に大雑把にいえばフッ素原子が多いほど固いゴムとなって分子レベルでの燃料ガスの透過をブロックしやすくなる。このため、フッ素ゴムは、未架橋時のフッ素濃度が高いほど、燃料ガスに対する透過性が低くなる。その一方で、非常に大雑把にいえばフッ素原子が多いほど、低温時に固くなるゴムになりやすい。このため、未架橋時のフッ素濃度が高いほど低温時の柔軟性が悪化する。
【００４７】
図１のダイヤフラム１では、未架橋時のフッ素濃度が７０質量％以上という未架橋時のフッ素濃度がきわめて高い中間フッ素ゴム層により、燃料ガスに対する十分な低透過性が実現する。
【００４８】
また、図１のダイヤフラム１では、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下という、低温下でも十分な柔軟性を発揮するフッ素ゴムでそれぞれ構成された１つ以上のフッ素ゴム層が中間フッ素ゴム層の両面に積層することで、低温下での十分な柔軟性が実現する。
【００４９】
特に、図１のダイヤフラム１では、これら１つ以上のフッ素ゴム層が、中間フッ素ゴム層に対して未架橋時のフッ素濃度が高い順に積層するため、滑らかな変形が可能である。大雑把にいえば、積層構造の中央に近いフッ素ゴム層ほど固く、積層構造の外側のフッ素ゴム層ほど相対的に軟らかいフッ素ゴム層となっているため、中間フッ素ゴム層の変形に追従して、外側のフッ素ゴム層ほど大きく伸縮できる。このため、ダイヤフラムの全体の滑らかな変形が可能となっている。
【００５０】
さらに、これら１つ以上のフッ素ゴム層は、各フッ素ゴム層の膜厚や材質に関し、中間フッ素ゴム層の両側にほぼ対称的な態様で積層するため、特許文献２〜４の積層構造をダイヤフラムに適用した場合とは異なり、いずれの方向へも同様のたわみ変形を起こすことができる。
【００５１】
この結果、図１のダイヤフラム１では、燃料ガスに対する十分な低透過性を維持しつつ低温下で十分な柔軟性を実現することができる。
【００５２】
ここで、第１面に積層する１つ以上のフッ素ゴム層は、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下であるフッ素ゴムで構成された単層の第１のフッ素ゴム層であり、第２面に積層する１つ以上のフッ素ゴム層は、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下である単層の第２のフッ素ゴム層であり、第１のフッ素ゴム層および第２のフッ素ゴム層は、同一のフッ素ゴムで構成され同程度の層厚を有するものであることが好ましい。
【００５３】
このような形態によれば、中間フッ素ゴム層と、その両側の第１のフッ素ゴム層および第２のフッ素ゴム層の３層のみの積層構成となるため、ダイヤフラム１の構成が単純であり、ダイヤフラム１の製造コストを低減することができる。以下では、このような３層の積層構成のダイヤフラム１を具体例として説明を続ける。
【００５４】
図２は、３層の積層構成を有する図１のダイヤフラム１の模式的な断面図である。
【００５５】
図２のダイヤフラム１は、ダイヤフラム１の膜形状の厚さ方向の中心に位置する中間フッ素ゴム層５と、中間フッ素ゴム層５の２つの面のうちの第１面に積層する第１のフッ素ゴム層４と、この第１面とは反対側の中間フッ素ゴム層の第２面に積層する第２のフッ素ゴム層６と、を備えている。
【００５６】
中間フッ素ゴム層５は、フッ素濃度７０質量％以上の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムで構成されている。また、第１のフッ素ゴム層４および第２のフッ素ゴム層６は、いずれもフッ素濃度７０質量％未満の未架橋フッ素ゴムを架橋させてなるフッ素ゴムでそれぞれ構成されている。
【００５７】
ここで、第１のフッ素ゴム層４および第２のフッ素ゴム層６は、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下である同一のフッ素ゴムで構成されており、同程度の層厚を有している。
【００５８】
図２のダイヤフラム１では、未架橋時のフッ素濃度が７０質量％以上という未架橋時のフッ素濃度がきわめて高い中間フッ素ゴム層５により、燃料ガスに対する十分な低透過性が実現する。また、ＪＩＳ  Ｋ６２６１（２００６）に規定されている低温弾性回復試験（ＴＲ試験）で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下という、低温下でも十分な柔軟性を発揮するフッ素ゴムでそれぞれ構成された第１のフッ素ゴム層４および第２のフッ素ゴム層６が中間フッ素ゴム層５の両面に積層することで、低温下での十分な柔軟性が実現する。特に図２のダイヤフラム１では、第１のフッ素ゴム層４および第２のフッ素ゴム層６が、中間フッ素ゴム層５よりもフッ素濃度が低いため、ダイヤフラム１全体の滑らかな変形が可能である。大雑把にいえば、中間フッ素ゴム層５の変形に追従して、相対的に軟らかい第１のフッ素ゴム層４および第２のフッ素ゴム層６が大きく伸縮できる。このため、ダイヤフラムの全体の滑らかな変形が可能となっている。さらに図２のダイヤフラム１では、同一のフッ素ゴムで構成され同程度の層厚を有する第１のフッ素ゴム層４および第２のフッ素ゴム層６が中間フッ素ゴム層５の両側にほぼ対称的な態様で積層している。このため、特許文献２〜４の積層構造をダイヤフラムに適用した場合とは異なり、図２のダイヤフラム１は、いずれの方向へも同様のたわみ変形を起こすことができる。
【００５９】
この結果、図２のダイヤフラム１では、燃料ガスに対する十分な低透過性を維持しつつ低温下で十分な柔軟性を実現することができる。
【００６０】
ここで、図２のダイヤフラム１においては、中間フッ素ゴム層５、第１のフッ素ゴム層４、および第２のフッ素ゴム層６のそれぞれは、同一の架橋系によって架橋されたものであることが好ましい。
【００６１】
このような形態によれば、中間フッ素ゴム層５、第１のフッ素ゴム層４、および第２のフッ素ゴム層６、を互いに接合しやすい。
【００６２】
ここで、同一の架橋系によって架橋された上述の形態においては、上記の「同一の架橋系」は、パーオキサイド架橋系（有機過酸化物架橋系）であることが好ましい。ここで、フッ素ゴムの架橋系としては、ポリオール架橋系（ビスフェノール架橋系）、パーオキサイド架橋系（有機過酸化物架橋系）、ポリアミン架橋系(アミン架橋系、ジアミン架橋系）、等が知られている。ポリオール架橋系（ビスフェノール架橋系）、パーオキサイド架橋系（有機過酸化物架橋系）、ポリアミン架橋系(アミン架橋系、ジアミン架橋系）の架橋系の中では、パーオキサイド架橋系（有機過酸化物架橋系）が最も好ましい。
【００６３】
「同一の架橋系」がパーオキサイド架橋系（有機過酸化物架橋系）である形態によれば、上述のＴＲ試験で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下という、低温下でも十分な柔軟性を発揮するフッ素ゴムで構成された第１のフッ素ゴム層および第２のフッ素ゴム層を形成するのが容易となる。
【００６４】
ここで、同一の架橋系によって架橋された上述の形態においては、中間フッ素ゴム層５と第１のフッ素ゴム層４とは、この「同一の架橋系」によって互いに架橋されることで接合されたものであり、中間フッ素ゴム層５と第２のフッ素ゴム層６もこの「同一の架橋系」によって互いに架橋されることで接合されたものであることが好ましい。なお、こうした架橋系による具体的な層間の接合方法としては、従来から知られている層間の接合方法を採用できる。
【００６５】
このような形態によれば、中間フッ素ゴム層５と第１のフッ素ゴム層４との接合、および、中間フッ素ゴム層５と第２のフッ素ゴム層６との接合が強固となる。さらに、接着剤を用いたときのように、異なる材質の接着層を層間に別途形成する必要がないため、接着剤を用いたときと比べると、ダイヤフラム全体の層厚を小さくできるとともに、より滑らかな変形が可能である。
【００６６】
ここで、図２のダイヤフラム１においては、ダイヤフラムの全体の層厚は、０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００６７】
このような形態によれば、ダイヤフラムの滑らかな変形と、圧力に対するダイヤフラムの十分な耐久性とが両立しやすくなる。実際、層厚が５．０ｍｍを超えると、膜厚が大きすぎて滑らかな変形が難しくなり、圧力調整用のダイヤフラムとしての機能に支障が生じ得る。また、層厚が０．５ｍｍ未満だと、膜厚が小さすぎて、ダイヤフラムの変形が繰り返されたときにダイヤフラムが破損するといった、ダイヤフラムの耐久性の問題が生じ得る。さらに、層厚が０．５ｍｍ未満の場合には、膜厚が小さすぎて、製造過程において破損してしまうといった問題も生じ得る。
【００６８】
ここで、ダイヤフラムの全体の層厚が０．５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下である図２のダイヤフラム１においては、ダイヤフラムの全体の層厚は、０．５ｍｍ以上２．０ｍｍ以下であることがさらに好ましい。
【００６９】
このような形態によれば、ダイヤフラムの滑らかな変形と、圧力に対するダイヤフラムの十分な耐久性とが、より一層両立しやすくなる。
【００７０】
ここで、図２のダイヤフラム１においては、中間フッ素ゴム層５は、所定の色を発現する顔料を含むことで、第１のフッ素ゴム層４および第２のフッ素ゴム層６とは異なる色を有するものであることが好ましい。
【００７１】
このような形態によれば、中間フッ素ゴム層５を第１のフッ素ゴム層４や第２のフッ素ゴム層６から識別しやすい。このため、たとえば、製造過程の製品チェックの段階等のように製品の良・不良の判断をする際に中間フッ素ゴム層５の有無やその層厚を容易に確認できるので便利である。
【００７２】
また、図２のダイヤフラム１においては、第１のフッ素ゴム層４や第２のフッ素ゴム層６の層厚は、中間フッ素ゴム層５の層厚の０．５〜３．０倍であることが好ましく、１．０〜３．０倍であることがさらに好ましい。
【００７３】
第１のフッ素ゴム層４や第２のフッ素ゴム層６の層厚が中間フッ素ゴム層５の層厚の０．５〜３．０倍であると、燃料ガスに対する十分な低透過性と、低温下で十分な柔軟性とが両立しやすくなる。実際、第１のフッ素ゴム層４や第２のフッ素ゴム層６の層厚が、中間フッ素ゴム層５の層厚の０．５倍未満の場合、第１のフッ素ゴム層４や第２のフッ素ゴム層６に比して相対的に中間フッ素ゴム層５が分厚すぎるため、低温下で十分な柔軟性が得にくくなることがある。逆に、第１のフッ素ゴム層４や第２のフッ素ゴム層６の層厚が、中間フッ素ゴム層５の層厚の３．０倍を超える場合、第１のフッ素ゴム層４や第２のフッ素ゴム層６に比して相対的に中間フッ素ゴム層５が薄すぎるため、燃料ガスに対する十分な低透過性が得にくくなることがある。第１のフッ素ゴム層４や第２のフッ素ゴム層６の層厚が中間フッ素ゴム層５の層厚の１．０〜３．０倍であると、燃料ガスに対する十分な低透過性と、低温下で十分な柔軟性とが、より一層両立しやすくなる。
【００７４】
次に、図２のダイヤフラム１の製造方法について簡単に説明する。
【００７５】
図２のダイヤフラム１は、中間フッ素ゴム層５、第１のフッ素ゴム層４、および第２のフッ素ゴム層６のそれぞれについて、原型となるシートを後述の方法で作製し、これら３枚のシートを重ねて、所定の形状へのプレス成型、および、架橋処理を行うことで作製される。ここで、所定の形状とは、図１の筐体２の形状（より正確には筐体２の内部空間の形状）に合わせた膜の形状（たとえば円形など）のことである。また、架橋処理とは、ゴム材料（いわゆる生ゴム）に架橋反応を起こさせるための処理であり、プレス成型と同時に行われる。この架橋処理により、３つの層それぞれで架橋反応が生じるとともに、隣接する２つの層の間でも架橋反応が生じてこれら２つの層の接合が実現する。プレス成型や架橋処理については、従来から知られた方法を採用してもよい。なお、図１の周縁部３については、金型を用いて、図１に示すように他の部分よりも膨らんだ形状にすることができる。
【００７６】
中間フッ素ゴム層５のシートは、以下のようにして作製する。まず、未架橋時のフッ素濃度が７０質量％以上のゴム材料（いわゆる生ゴム）に対し、カーボンブラック等の充填材、架橋系に応じた架橋剤／架橋促進剤、および、必要であれば酸化マグネシウムや水酸化カルシウム等の受酸剤、を配合する。ここでいうフッ素ゴムのゴム材料（生ゴム）とは、所定の構造式を持つフッ素ゴムのモノマーを、レドックス系触媒を用いた乳化重合等の手法により重合させたポリマーの状態のものであって架橋処理を行う前のものである。中間フッ素ゴム層５のゴム材料（生ゴム）としては、たとえば、フッ化ビニリデン系のフッ素ゴム材料を用いることができ、特に、フッ素含有量が多い三元系（三元共重合体系）のものを用いることができる。ここで、三元系（三元共重合体系）とは、構造式が（−ＣＦ２−ＣＨ２−）ｎ（ＣＦ２−ＣＦＣＦ３−）ｍ（−ＣＦ２−ＣＦ２−）ｌで定まるビニリデンフルオライド/ヘキサフルオロプロピレン/テトラフルオロエチレン共重合体のことである（ｎ、ｍ、およびｌは整数）。以上のようにして配合した材料を、ニーダーやロール（３本ロール）等の混練手段を用いて混練する。そして、プレス成型や架橋処理の後で所望の膜厚が実現するように、カレンダロールにて、所望の膜厚よりも若干大きな膜厚を持つシートの形状に成型する。
【００７７】
第１のフッ素ゴム層４および第２のフッ素ゴム層６のシートは、以下のようにして作製する。まず、未架橋時のフッ素濃度が７０質量％未満のゴム材料（生ゴム）に対し、カーボンブラック等の充填材、架橋系に応じた架橋剤／架橋促進剤、および、必要であれば酸化マグネシウムや水酸化カルシウム等の受酸剤、を配合する。ここでいうフッ素ゴムのゴム材料（生ゴム）も、フッ素ゴムのモノマーを、レドックス系触媒を用いた乳化重合等の手法により重合させたポリマーの状態のものであって架橋処理を行う前のものである。上述したように、第１のフッ素ゴム層４および第２のフッ素ゴム層６を構成するフッ素ゴムは、上述のＴＲ試験で測定したＴＲ１０の値が−３０℃以下という、低温下でも十分な柔軟性を発揮するフッ素ゴムである。このような耐寒性を有するフッ素ゴムは、たとえば、未架橋時のフッ素濃度が７０質量％未満であり耐寒性を発揮する所定のゴム材料（生ゴム）を用いて作製できる。このような所定のゴム材料（生ゴム）については、いくつかのゴム材料メーカー（たとえばダイキン工業株式会社など）によって開発されており、それらをそのまま用いることもできる。以上のようにして配合した材料を、ニーダーやロール（３本ロール）等の混練手段を用いて混練する。そして、プレス成型や架橋処理の後で所望の膜厚が実現するように、カレンダロールにて、所望の膜厚よりも若干大きな膜厚を持つシートの形状に成型する。
【００７８】
一般に、架橋反応を起こさせる架橋系としては、ポリオール架橋系（ビスフェノール架橋系）、パーオキサイド架橋系（有機過酸化物架橋系）、ポリアミン架橋系(アミン架橋系、ジアミン架橋系）、等が従来から知られている。図２のダイヤフラム１の製造方法で用いられる架橋反応としては、これらの中では、パーオキサイド架橋系が好ましい。その理由は、第１のフッ素ゴム層４および第２のフッ素ゴム層６の作製に用いられる、耐寒性を発揮する上述の所定のゴム材料（生ゴム）の架橋にはパーオキサイド架橋系が有利なため、３つの層の架橋（および隣接する層間の接合）を同時に行うのに際し、架橋系をパーオキサイド架橋系に統一する必要があるためである。なお、中間フッ素ゴム層５の架橋に限って考えるのであれば、ポリオール架橋系（ビスフェノール架橋系）、パーオキサイド架橋系（有機過酸化物架橋系）、ポリアミン架橋系(アミン架橋系、ジアミン架橋系）、等の従来から知られた架橋系を採用することができる。パーオキサイド架橋系では、受酸剤は特に用いなくてもよく、架橋剤／架橋促進剤としてはトリアリルイソシアヌレートやパーオキサイドを用いることができる。このとき、架橋反応を起こさせる手法としては、従来の手法を採用できる。たとえば、１００℃〜２００℃の温度環境下で数分〜数時間の間、プレス架橋やオーブン架橋を行うことで架橋反応を起こさせることができる。
【００７９】
以上のようにして、最終的に図１および図２に示すダイヤフラム１が完成する。
【実施例】
【００８０】
以下では、本発明の具体的な実施例について説明する。以下では、図２に示すダイヤフラム１と同様の３層の積層構成を有する実施例について説明する。なお、以下では、この実施例のダイヤフラムが内径５ｃｍの円筒形状の筐体の内部に配置されるものとして説明する。
【００８１】
中間フッ素ゴム層のゴム材料（生ゴム）としては、ダイキン工業株式会社の商品である、未架橋時のフッ素濃度が７０．５質量％のダイエル  Ｇ−９０２（商品名）を用いた。ダイエル  Ｇ−９０２（商品名）１００質量部に対し、充填材としてカーボンブラック２０質量部、架橋剤／架橋促進剤としてトリアリルイソシアヌレート４質量部およびパーオキサイド１．５質量部を配合し、ニーダーやロール（３本ロール）を用いて混練した。そして、プレス成型や架橋処理の後で所望の膜厚が実現するように、カレンダロールにて、所望の膜厚よりも若干大きな膜厚を持つシートの形状に成型した。
【００８２】
第１のフッ素ゴム層および第２のフッ素ゴム層のゴム材料（生ゴム）としては、ダイキン工業株式会社の商品である、未架橋時のフッ素濃度が６５質量％のダイエル  ＬＴ−３０３Ｌ（商品名）を用いた。具体的には、ダイエル  ＬＴ−３０３Ｌ（商品名）１００質量部に対し、充填材としてカーボンブラック２０質量部、架橋剤／架橋促進剤としてトリアリルイソシアヌレート４質量部およびパーオキサイド１．５質量部を配合し、ニーダーやロール（３本ロール）を用いて混練した。そして、プレス成型や架橋処理の後で所望の膜厚が実現するように、カレンダロールにて、所望の膜厚よりも若干大きな膜厚を持つシートの形状に成型した。
【００８３】
成型したこれら３枚のシートを重ねて、図１に示すような態様で内径５ｃｍの円筒形状の内壁に固定可能な円形の形状にプレス成型した。このプレス成型と同時にパーオキサイド架橋系により架橋処理を行った。この架橋処理により、３つの層それぞれで架橋反応が生じるとともに、隣接する２つの層の間でも架橋反応が生じてこれら２つの層の接合が実現した。なお、架橋処理の具体的な内容は、１６０℃の温度環境下における１０分間のプレス架橋と、１８０℃の温度環境下における４時間のオーブン架橋であった。なお、図１の周縁部３については、金型を用いて、図１に示すように他の部分よりも膨らんだ形状にした。
【００８４】
このようにして実施例のダイヤフラムが完成した。この実施例のダイヤフラムの層厚は０．６ｍｍであった。このとき、中間フッ素ゴム層は０．２ｍｍであり、第１のフッ素ゴム層および第２のフッ素ゴム層はいずれも０．２ｍｍであった。
【産業上の利用可能性】
【００８５】
本発明は、自動車等の内燃機関において、燃料タンクと連通する空間内の圧力を調整する圧力調整用のダイヤフラムにおいて、燃料ガスに対する十分な低透過性を維持しつつ低温下で十分な柔軟性を実現するのに有用である。
【符号の説明】
【００８６】
１：ダイヤフラム、２：筐体、２ａ：第１の筐体部、２ｂ：第２の筐体部、３：周縁部、４：第１のフッ素ゴム層、５：中間フッ素ゴム層、６：第２のフッ素ゴム層。
【図１】
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【図２】
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