(57)【要約】【課題】単結晶基板のウエハ状の中間品を、表面を乾燥させず、損傷なく輸送すること。【解決手段】単結晶基板中間品用ウエハケースＣは、上方が開口する箱状であり、ウエハ状の単結晶基板中間品を保持する保持部４を有する本体部１と、開口を密閉する蓋部２と、を備え、蓋部２は、その下部に凸部１１を有し、凸部１１の一部に空気栓１２が設けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方が開口する箱状であり、ウエハ状の単結晶基板中間品を保持する保持部を有する本体部と、
前記開口を密閉する蓋部と、を備え、
前記蓋部は、その下部に凸部を有し、前記凸部の一部に空気栓が設けられる、
単結晶基板中間品用ウエハケース。
【請求項２】
上方が開口する箱状であり、ウエハ状の単結晶基板中間品を保持する保持部を有する本体部と、
前記本体部の開口を閉じる内蓋部と、
上方が開口する箱状であり、前記本体部と前記内蓋部とを係合した状態で収容する外箱部と、
前記外箱部の開口を密閉する外蓋部と、を有し、
前記内蓋部の一部に空気栓が設けられる、単結晶基板中間品用ウエハケース。
【請求項３】
前記凸部は、前記蓋部の周辺部から中央部に向かって上方に傾斜し、
前記空気栓は、前記中央部に設けられる、請求項１に記載の単結晶基板中間品用ウエハケース。
【請求項４】
前記空気栓は、複数設けられる、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の単結晶基板中間品用ウエハケース。
【請求項５】
前記保持部は、前記本体部に対して着脱可能である、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の単結晶基板中間品用ウエハケース。
【請求項６】
ウエハ状の単結晶基板中間品を収納する方法であって、
蓋で閉じることが可能な容器の内部に前記中間品を保持し、前記中間品が保持された容器の内部を液体で満たし且つ空気を除去し、前記容器を蓋で閉じることを含む、単結晶基板中間品の収納方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、単結晶基板中間品用ウエハケース、及び単結晶基板中間品の収納方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、タンタル酸リチウムＬｉＴａＯ３（以下ＬＴ）やニオブ酸リチウムＬｉＮｂＯ３（以下ＬＮ）などの酸化物単結晶を用いて、携帯電話等に使用される各種の表面波デバイスが製造されている。特に、ＬＴ、ＬＮの結晶基板の製造にあたっては、製造原価を低減するため、結晶径の大口径化が進められている。例えば、ＬＴ基板の大きさは、４インチや６インチが主流であるが、半導体Ｓｉ基板同様に大口径化の流れがあり８インチの検討がなされてきている。
【０００３】
ところで、ＬＴ基板は脆いため、その取扱いにも注意が必要とされ、ＬＴ基板の輸送には、半導体Ｓｉ基板と同様にウエハケースやキャリアが用いられている。例えば、特許文献１では、取扱いが簡単で輸送中のウエハの損壊等の危険が少ないウエハケースが開示されている。このウエハケースは、ウエハを保管する箱状の本体、及び蓋を有し、本体側壁は上半部がそれぞれ直立し、下半部が内方に湾曲し、内側表面にはウエハを離間させる離間リブを有し、本体底部及び蓋部には、ウエハを弾性的に支える支持板が設けられる。このウエハケースでは、離間リブや支持板によりウエハの外周部の一部を固定することにより、輸送時の振動や落下時の衝撃を吸収することができるので、高価なウエハの損壊を防ぎ、安全に輸送することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特公平４−６０３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記した特許文献１等の従来のウエハケースは、半導体ウエハや単結晶基板の完成品の輸送に使用する場合には問題ないが、単結晶基板の製造加工途中の中間品については、以下の問題がある。単結晶基板は、以下の方法で製造される。まず、チョクラルスキー法（ＣＺ法）等の育成方法を用いて単結晶を得る。その後、育成された単結晶をマルチワイヤソー等で切断することで、単結晶ウエハ状の中間品が形成される。このウエハ状の中間品の両面及び端面に、表面加工を施して製品化する。この表面加工は、ウエハ表面のラップ加工やポリシュ加工等の加工方法により行われる。また、このような表面加工の工程間には、各工程で使用される研磨液等を除去するため洗浄工程や、ラップ工程等の加工によってウエハ表面に入った加工ダメージを除去するためエッチング工程を、追加する場合がある。これらの表面加工の工程間での輸送は、一般的に、同一建屋あるいは同一工場での輸送であり、また、短時間で次工程に投入されることが多いため、前述のウエハケース、これに類似した搬送用ケースを用いて行われる。また、ウエハ状の中間品を長時間保管する場合、ウエハの表面を乾燥させてしまうと研磨液等の残渣がウエハ表面に凝着して、洗浄工程やエッチング工程での処理を施しても除去できない場合があるので、純水槽等の容器内に浸漬して搬送する必要があった。
【０００６】
特に最近、上記したように単結晶基板の大口径化の流れがあり、例えば単結晶基板の直径が８インチの検討がなされてきている。このような大口径の単結晶基板を製造する場合、製造加工に用いる加工機が限定されるため、ウエハ状の中間品を別工場の次工程へ輸送することがある。このようなウエハ状の中間品の輸送では、上記のように、ウエハ状の中間品を、表面を乾燥させずに、かつ、損傷なく安全に輸送する必要があるが、前述の従来のウエハケースでは、表面を乾燥させずに輸送させることは困難であった。
【０００７】
そこで、本発明は、上記状況を鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、単結晶基板のウエハ状の中間品を、表面を乾燥させず損傷なく輸送することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記した課題を解決するため、本発明者は鋭意研究を重ねたところ、ウエハケースを所定の構造にすることにより、単結晶基板のウエハ状の中間品を、表面を乾燥させず損傷なく輸送できることを見出した。本発明はこのような技術的発見に基づき完成されている。
【０００９】
また、本発明の第１の態様によれば、上方が開口する箱状であり、ウエハ状の単結晶基板中間品を保持する保持部を有する本体部と、開口を密閉する蓋部と、を備え、蓋部は、その下部に凸部を有し、凸部の一部に空気栓が設けられる、単結晶基板中間品用ウエハケースが提供される。
【００１０】
また、本発明の第２の態様によれば、上方が開口する箱状であり、ウエハ状の単結晶基板中間品を保持する保持部を有する本体部と、本体部の開口を閉じる内蓋部と、上方が開口する箱状であり、本体部と内蓋部とを係合した状態で収容する外箱部と、外箱部の開口を密閉する外蓋部と、を有し、内蓋部の一部に空気栓が設けられる、単結晶基板中間品用ウエハケースが提供される。
【００１１】
また、本発明の第３の態様によれば、第１の態様において、蓋部の凸部は、周辺部から中央部に向かって上方に傾斜し、空気栓は、中央部に設けられる、単結晶基板中間品用ウエハケースが提供される。
【００１２】
また、本発明の第４の態様によれば、第１から第３のいずれかの態様において、空気栓は、複数設けられる、単結晶基板中間品用ウエハケースが提供される。
【００１３】
また、本発明の第５の態様によれば、第１から第４のいずれかの態様において、保持部は、本体部に対して着脱可能である、単結晶基板中間品用ウエハケースが提供される。
【００１４】
また、本発明の第６の態様によれば、ウエハ状の単結晶基板中間品を収納する方法であって、蓋で閉じることが可能な容器の内部に中間品を保持し、中間品が保持された容器の内部を液体で満たし且つ空気を除去し、容器を蓋で閉じることを含む、単結晶基板中間品の収納方法が提供される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の中間品用ウエハケース、及び収納方法は、単結晶基板のウエハ状の中間品を、表面を乾燥させず、損傷なく輸送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施形態に係る中間品用ウエハケースの斜視図である。
【図２】図１に示すＡ−Ａ線の断面図である。
【図３】中間品用ウエハケースの動作を示す図である。
【図４】中間品用ウエハケースの動作を示す図である。
【図５】従来技術のウエハケースの概要図である。
【図６】第２実施形態に係る中間品用ウエハケースの概要図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。また、以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。また、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のそれぞれについて、適宜、矢印の先の側を＋側（例、＋Ｘ側）と称し、その反対側を−側（例、−Ｘ側）と称する。
【００１８】
［第１実施形態］
第１実施形態に係る単結晶基板中間品用ウエハケース（以下、単に「ウエハケース」と称す。）について説明する。
【００１９】
まず、従来技術の半導体基板用ウエハケースについて説明する。図５は、従来技術のウエハケースの概要図である。図５のウエハケースＣｘは、ウエハＷの保管等に用いられる一般的なウエハケースである。このウエハケースＣｘは、ウエハＷを保管する箱状の本体部１、及び蓋部２Ｃを有する。本体部１は、上方が開口する箱状である。本体部１は、外形が直方体状の箱体１ａを含む。箱体１ａは、その上部に、上方に開口する開口部３を有する。開口部３は、ウエハＷあるいは保持部４を本体部１内部への出し入れする際に用いられる。蓋部２Ｃは、開口部３を上方から閉じる。
【００２０】
本体部１は、複数のウエハＷを保持する保持部４を備える。保持部４は、箱体１ａの内部に配置される。保持部４は、＋Ｘ方向から見て略Ｕ字状の形状である。保持部４の側壁（壁部）４ａは、保持部４のＹ方向における中心ＡＸ１に対して対称な形状である。保持部４の＋Ｙ側及び−Ｙ側の側壁４ａは、それぞれ、上半部が直立し、下半部が内側（中心ＡＸ１側）に、ウエハＷの外周と同様の円弧状（Ｒ形状）に湾曲する形状である。側壁４ａの上半部は、ウエハＷの＋Ｙ側及び−Ｙ側に配置されてウエハＷのＹ方向の移動を規制し、下半部はウエハＷの下方に接触し、ウエハＷを下方から支持する。
【００２１】
保持部４の内側（ＡＸ１側）の表面には、ウエハＷを離間させる離間リブ６が、Ｘ方向（ウエハＷが並ぶ方向）に等間隔で並んで複数設けられている（図１参照）。各離間リブ６は、保持部４の内側の表面の＋Ｙ側及び−Ｙ側から突出する板状の形状である。また、各離間リブ６は、上半部が直立し、下半部が内側（中心ＡＸ１側）に、ウエハＷの外周と同様の円弧状（Ｒ形状）に湾曲する形状である。ウエハＷは、離間リブ６と離間リブ６との間に配置される。離間リブ６と離間リブ６との間に配置されるウエハＷは、Ｘ方向の移動が規制され、且つ隣接する離間リブ６間に配置されるウエハＷから離間される。これにより、保持部４は、複数のウエハＷを１枚ずつ離間リブ６と離間リブ６との間に配置し、各ウエハＷが離間した状態でＸ方向に並べて保持することができる。
【００２２】
本体部１の底部、及び蓋部２Ｃの下部には、それぞれ、ウエハＷを弾性的に支持する支持部材７、８が設けられている。支持部材７、８は、それぞれ、Ｘ方向に延び、ウエハＷと接触する部分がゴムなどの弾性を有する部材で形成される板状の部材である。支持部材７、８は、それぞれ、ウエハケースＣｘにおけるＹ方向の中心ＡＸ１（図２参照）に対して対称に、一対で形成されている。支持部材７、８は、それぞれ、ウエハＷの上方あるいは下方に接触可能に形成される。支持部材７は、保持部４に配置（保持）されたウエハＷの下方に接触して弾性支持する。支持部材８は、蓋部２Ｃで本体部１を閉じたときにウエハＷの上方に接触して弾性支持する。このウエハケースＣｘは、離間リブ６及び支持部材７、８により、複数のウエハＷを離間リブ６で互いに離間した状態で、支持部材７と支持部材８とで上下から挟み込んで、それぞれのウエハＷの外周部（円周側面、側面）の一部を固定することにより、輸送時の振動や落下時の衝撃を吸収して、ウエハＷを保持することができる。これにより、高価なウエハＷの損壊を防ぎ、ウエハＷを安全に輸送することができる。
【００２３】
また、上記した保持部４は、本体部１の箱体１ａに対して着脱（分離および装着）可能な、別部品として本体部１（箱体１ａ）に組み込まれている。これにより、保持部４で複数のウエハＷを保持した状態で保持部４を本体部１の箱体１ａから分離させることができ、箱体１ａなしに保持部４だけでウエハＷを保持しウエハＷを露出させた状態で、次工程等の所定位置に設置することができる。なお、保持部４は、箱体１ａから着脱可能でなくてもよく、例えば、箱体１ａの内部に分離不能に設けられていてもよい。
【００２４】
以下に説明する第１実施形態のウエハケースＣでは、上記したウエハケースＣｘの輸送時の振動や落下時の衝撃を吸収する機構をそのまま活用する。
【００２５】
以下、第１実施形態に係るウエハケースＣについて詳細に説明する。図１及び図２は、第１実施形態に係るウエハケースを示す図であり、図１は斜視図、図２は図１に示すＡ−Ａ線に沿った断面図である。本実施形態に係るウエハケースＣは、ウエハ状の単結晶基板中間品Ｗｉ（以下、単に「中間品」と称す。）を収納するケースである。
【００２６】
中間品Ｗｉについて説明する。中間品Ｗｉは、ＣＺ法等の育成方法を用いて製造された単結晶がマルチワイヤソー等の切断装置で個々の厚みに切断されウエハ状に加工された状態から、両面及び端面を表面加工して表面を鏡面にして製品化されるまでの状態の単結晶基板である。上記の表面加工は、中間品Ｗｉの表面を、ラップ加工やポリシュ加工等の加工を施すことにより行われる。このような工程間には、各工程で使用される研磨液等を除去するため洗浄工程や、ラップ加工工程等の加工でウエハＷ表面に入った加工ダメージを除去するために行われるエッチング工程が含まれる。本実施形態のウエハケースＣは、例えば、上記のような工程間で、中間品Ｗｉを輸送あるいは保管する場合に用いられる。前述したように、中間品Ｗｉの輸送等の際、中間品Ｗｉの表面を乾燥させてしまうと、中間品Ｗｉの表面に研磨液等の残差が凝着して、洗浄工程やエッチング工程での処理を施しても除去できない場合がある。このため、中間品Ｗｉは、純水を満たした水槽等の容器内に浸漬した状態で搬送し、表面の乾燥を防止する必要がある。しかしながら、上記したように従来のウエハケースでは、これに対応していなかった。そこで、本実施形態のウエハケースＣでは以下に説明する構成にすることで、中間品Ｗｉを純水等の液体Ｌに浸漬した状態で簡単に輸送することができ、中間品Ｗｉの乾燥を確実に防止できるようにしている（図４（Ｂ）参照）。
【００２７】
ウエハケースＣは、図１及び図２に示すように、中間品Ｗｉを保持する箱状の本体部１と、本体部１を密閉する蓋部２と、で構成される。以下、個別に説明する。
【００２８】
本体部１は、中間品Ｗｉを保持する箱状の容器である。本体部１は、上記した図５に示す従来のウエハケースＣｘの本体部１と同様であり、中間品Ｗｉを輸送時の振動や落下時の衝撃を吸収して、中間品Ｗｉの損壊を防ぐ機構を備えている。また、保持部４は、上記したように、本体部１の箱体１ａから着脱（分離および装着）可能な、別部品として本体部１（箱体１ａ）に組み込まれている。なお、本体部１の形状は、上方が開口する箱状であれば、上記の例に限定されず、任意である。また、上記した保持部４は一例であって、他の態様でもよい。例えば、離間リブ６、支持部材７、８等は、複数の中間品Ｗｉを離間した状態で、それぞれの中間品Ｗｉの外周部の一部を固定することができる、他の周知の機構を用いてもよい。
【００２９】
蓋部２は、本体部１を密閉する蓋である。蓋部２は、図５に示す従来のウエハケースＣｘと異なっている。蓋部２は、本体部１の箱体１ａの開口部３を上部から密閉する。本実施形態では、箱体１ａと蓋部２とは、箱体１ａの上端部と蓋部２の下面の周縁部とが、シリコーンゴム等の密閉部材１０（シール部材）を介して（挟んで）係合される。密閉部材１０は、矩形環状（「ロ」の字状）のシート形状である。上記の構成により、箱体１ａの上端部、密閉部材１０、及び蓋部２の下面の周縁部が互いに密着して、本体部１を密閉する。この蓋部２による本体部１の密閉は、後に説明するように本体部１には純水等の液体Ｌを充填するため、液体Ｌが漏れない程度であればよい。なお、本体部１と蓋部２とを密閉する方法（機構）は、上記の例に限定はされず、他の方法（機構）を用いてもよい。また、本体部１及び蓋部２には、箱体１ａと蓋部２との密閉を保持する爪部等の機構（例、ロック機構）が設けられてもよい。
【００３０】
図１に示すように、蓋部２の下部には、支持部材８が一対設けられている。本実施形態の蓋部２では、一対の支持部材８は、それぞれ、箱体１ａの内壁側に沿ってＸ方向に延びて設けられる。また、支持部材８は、上記した図５に示す従来のウエハケースＣｘと同様にＹ方向の中心ＡＸ１と内壁との中間付近にＸ方向に延びて設けてもよい。本実施形態のウエハケースＣでも、離間リブ６及び支持部材７、８により、複数の中間品Ｗｉを離間リブ６で互いに離間した状態で、支持部材７と支持部材８とで挟み込んで、それぞれの中間品Ｗｉの外周部の一部を固定することにより、輸送時の振動や落下時の衝撃を吸収して、中間品Ｗｉを保持することができる。これにより、高価なウエハＷの損壊を防ぎ、中間品Ｗｉを安全に輸送することができる。
【００３１】
また、蓋部２は、その下部に凸部１１を有している。蓋部２の下部は本体部１側である。凸部１１は、下方に向けて突出する。凸部１１は、蓋部２の下面の周辺部（周縁部、±Ｘ側及び±Ｙ側の端部）Ｐｐから中央部Ｐｃに向かって上方（＋Ｚ方向）に傾斜する（図１、図２参照）。この時、凸部１１は、本体部１の箱体１ａの上方の内壁と係合するように形成され、支持部材８は箱体１ａの内壁側に沿ってＸ方向に延びて配置する。この場合、凸部１１の傾斜は、空気Ａ（図３（Ｂ）参照）が凸部１１の面に沿って上方に移動可能な程度であればよい。凸部１１は、本体部１を密閉して内部に液体Ｌを充填する際に、空気Ａを中央部Ｐｃに導く（図３（Ｂ）参照）。本体部１を密閉して内部に液体Ｌを充填する際、空気Ａは、蓋部２の凸部１１に沿って、周辺部Ｐｐから中央部Ｐｃに収集される（図３（Ｂ）参照）。なお、この中央部Ｐｃは、蓋部２の完全に中央でなくてもよく、中央付近であればよい。また、支持部材８を図５に示す従来のウエハケースＣｘと同様にＹ方向の中心ＡＸ１と内壁との中間付近にＸ方向に延びて配置する時は、支持部材８により仕切られるため、支持部材８付近の所定の箇所に後述する空気栓１２を配置し、その空気栓１２に向かって傾斜するように凸部１１を形成してもよい。
【００３２】
凸部１１の一部には、空気栓１２が設けられる（図１、図２参照）。本実施形態では、空気栓１２は、凸部１１の中央部Ｐｃに、２つ設けられる（図１参照）。各空気栓１２は、蓋部２を上下方向に貫通する貫通孔であり、蓋部２を閉じたときに本体部１の内部から外部に連通する。空気栓１２には、本体部１の外部側の端部において、空気栓１２を閉じる蓋１２ａが設けられている。この蓋１２ａは、空気栓１２に対して脱着可能である。空気栓１２は、本体部１を密閉して内部に液体Ｌを充填する際、空気Ａを本体部１の内部から外部へ排出するために用いられる（図３、図４参照）。なお、空気栓１２は、本実施形態のように、少なくとも２つ設置するのが好ましい。空気栓１２は、少なくとも２つ以上設置することにより、空気Ａの排出を良好にすることができる。
【００３３】
次に、本実施形態のウエハケースＣを使用した単結晶基板中間品の収納方法を説明する。本実施形態の収納方法は、ウエハ状の単結晶基板中間品Ｗｉを収納する方法であって、蓋で閉じることが可能な容器の内部に中間品Ｗｉを保持し、中間品Ｗｉが保持された容器の内部を液体Ｌで満たし且つ空気Ａを除去し、容器を蓋で閉じることを含む。
【００３４】
図３及び図４は、ウエハケースＣの使用時の動作を示す図である。ウエハケースＣの使用は、図３（Ａ）に示すように、本体部１（容器）の箱体１ａを純水等の液体Ｌで満たした状態で、保持部４で保持した中間品Ｗｉを収容し、その後、図３（Ｂ）から図４（Ｂ）に示すように、蓋部２（蓋）を閉じて本体部１を密閉させることにより行う。これにより、純水等の液体Ｌ中で、複数の中間品Ｗｉを離間した状態で、支持部材７と支持部材８とで挟み込んで、それぞれの中間品Ｗｉの外周部の一部を固定して保持することができる。
【００３５】
本願発明者は、上記（図４（Ｂ））の際、蓋部２を閉じて密閉した本体部１内に空気Ａが残っていると（図３（Ｂ）参照）、輸送中、本体部１内の液体Ｌが揺れることにより、中間品Ｗｉ（ウエハＷ）が割れる現象が発生することも見出した。このため、本体部１内には、空気Ａが残らないようにする必要がある。なお、上記の際、本体部１内に残る空気Ａの量は、本体部１の内容量の１％以下にすることが望ましい。これにより、上記の液体Ｌの揺れを抑制し、中間品Ｗｉの割れを防止できる。本実施形態では、上記した凸部１１及び空気栓１２を設置しているので、本体部１内の空気Ａを簡単に排出でき、本体部１内に残らないようにすることができる。
【００３６】
本実施形態のウエハケースＣでは、本体部１の内部に液体Ｌを充填して蓋部２を閉める際、図３（Ｂ）及び図４（Ａ）に示すように、空気栓１２を開けて、蓋部２を押し下げることにより、本体部１の内部の液体Ｌを空気栓１２からオーバーフローさせつつ空気Ａを外部に排出し、図４（Ｂ）に示すように、空気Ａが容器内に無くなった時点で空気栓１２を蓋１２ａで閉めることで、本体部１内に空気Ａが残らないようにすることができる。このように、本実施形態のウエハケースＣは、蓋部２が上記した凸部１１及び空気栓１２を有するので、本体部１を密閉して内部に液体Ｌを充填する際、空気Ａを中央部Ｐｃに導いて空気栓１２に移動させ、空気栓１２から容易に排出させることができる。本実施形態では、空気栓１２が２つ設けられているので、空気Ａを容易に排出することができる。
【００３７】
本実施形態のウエハケースＣは、上記した図４（Ｂ）に示す状態で、空気Ａを抜いた液体Ｌ中で、複数の中間品Ｗｉを離間した状態で、中間品Ｗｉの外周部の一部を固定して保持する。複数の中間品Ｗｉは、この状態で、上記した工程間の輸送、あるいは保管が行われる。ウエハケースＣは、輸送時の振動や落下時の衝撃を吸収して、複数の中間品Ｗｉを保持するので、高価な複数の中間品Ｗｉの損壊を防ぎ、複数の中間品Ｗｉを安全に輸送することができる。
【００３８】
以上説明したように、本実施形態のウエハケースＣ及び単結晶基板中間品の収納方法は、中間品Ｗｉを、表面を乾燥させず、損傷なく輸送することができる。また、ウエハケースＣは、上記したように、従来のウエハケースの構造を用いることができるので、簡単に製造することができる。また、ウエハケースＣは、上記したように、凸部１１及び空気栓１２を有するので、本体部１を密閉して内部に液体Ｌを充填する際、空気栓１２から空気Ａを容易に排出させることができる。これにより、本体部１内の液体Ｌが揺れることにより生じる中間品Ｗｉの割れを簡単に抑制することができる。
【００３９】
［第２実施形態］
本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。
【００４０】
次に、第２実施形態に係る中間品用ウエハケースについて、図６を用いて説明する。図６は、第２実施形態に係るウエハケースの概要図である。
【００４１】
図６に示すように、本実施形態のウエハケースＣＡは、本体部１と、本体部の開口を閉じる内蓋部１４と、本体部１と内蓋部１４とを係合した状態で収容する外箱部１５と、外箱部１５の開口を密閉する外蓋部１６と、を有する。
【００４２】
以下、個別に説明する。本体部１は、第１の実施形態と同様であり、中間品Ｗｉを保持する箱状の容器であり、中間品Ｗｉを輸送時の振動や落下時の衝撃を吸収してウエハＷの損壊を防ぐ機構を備えている。
【００４３】
内蓋部１４は、本体部１の開口部３を閉じる蓋である。この内蓋部１４は、第１実施形態の蓋部２とは異なり、本体部１の密閉を要しない。したがって、本体部１及び内蓋部１４は、上記した従来のウエハケースＣｘでもよい。本実施形態の内蓋部１４は、上記した従来のウエハケースＣｘの蓋部２Ｃに、第１実施形態の蓋部２と同様の空気栓１２が設けられたものであり、本体部１の開口部３を密閉せずに閉じる。また、本実施形態の内蓋部１４は空気栓１２を備えるので、上記した本体部１の内部に液体Ｌを充填する際、空気Ａ（図３（Ｂ）参照）を簡単に排出することができる。なお、この空気栓１２は、内蓋部１４を閉じた時、内部の空気Ａを排出しやすくするために、複数設けてもよい。
【００４４】
外箱部１５は、本体部１と内蓋部１４を係合させた状態で収容する箱状の容器である。外箱部１５は、上部に開口部１８を有する直方体状の箱状の容器である。この外箱部１５は、純水等の液体Ｌを内部に収容し、上記係合した本体部１と内蓋部１４を完全に水没させることができる大きさに形成される。外箱部１５は、本体部１及び内蓋部１４を、スペーサ１９を介して固定して、内部に収容する。スペーサ１９は、特に限定されず、位置、大きさ、数、形成材料は、それぞれ、任意に設定可能であるが、耐水性で弾力性があると、上記の固定が容易となる。スペーサ１９は、例えば、低発泡ポリエチレンなどである。スペーサ１９を用いることにより、本体部１を容易に外箱部１５に固定することができるとともに、外箱部１５に充填する液体Ｌの量を低減することができるので、輸送時の重量の軽減も図れる。
【００４５】
外蓋部１６は、外箱部１５の開口部１８を上部から密閉する蓋である。外箱部１５と外蓋部１６との密閉は、外箱部１５内の純水等の液体Ｌが外部へ漏れない程度の密閉性を保持できればよい。この密閉の方法（機構）は、特に限定されず、任意である。例えば、本実施形態では、外箱部１５と外蓋部１６との係合部分に、上記のようなシリコーンゴム等の密閉部材１０を挟んで、外箱部１５と外蓋部１６とを密閉する。
【００４６】
次に、本実施形態のウエハケースＣＡを使用した中間品Ｗｉの収納方法を説明する。本実施形態の収納方法は、ウエハ状の単結晶基板中間品Ｗｉを収納する方法であって、蓋で閉じることが可能な容器の内部に中間品Ｗｉを保持し、中間品Ｗｉが保持された容器の内部を液体Ｌで満たし且つ空気Ａを除去し、容器を蓋で閉じることを含む。
【００４７】
まず、外箱部１５を用意し、その内部に所定の純水等の液体Ｌを充填する。次に、外箱部１５の内部に本体部１（容器）を水没させる。この際、本体部１は、スペーサ１９を介して外箱部１５内に固定する。
【００４８】
次に、水没させた本体部１の保持部４に中間品Ｗｉを個々に保持させる。その後、内蓋部１４を外箱部１５内の液体Ｌに水没させ、本体部１の開口部３を内蓋部１４（蓋）で閉じる。この時、内蓋部１４の下部、本体部１内に空気Ａが残らないように、空気栓１２の栓を開けて空気Ａを排出してから、空気栓１２の蓋１２ａを閉める。本実施形態のウエハケースＣＡは、本体部１を外箱部１５内の液体Ｌに水没させるので、本体部１内に残存する空気Ａを簡単に抑制することができる。これにより、本体部１内の液体Ｌが揺れることにより生じる中間品Ｗｉの割れを簡単に抑制することができる。
【００４９】
次に、外箱部１５と外蓋部１６の係合部分に密閉部材１０を挟み、外蓋部１６で開口部１８を閉じて、外箱部１５を密閉する。この時、外蓋部１６と内蓋部１４との間にスペーサ１９を挟んで固定する。なお、外箱部１５内の液体Ｌは、本体部１及び内蓋部１４を完全に水没させることができる程度の貯水量であればよく、図６に示すように外箱部１５内に空気Ａがあってもよい。これは、輸送時、振動等により外箱部１５内の液体Ｌは流動するが、本体部１内の液体Ｌは本体部１及び内蓋部１４で隔離されて流動が極端に少なくなるため、中間品Ｗｉの割れ等の損傷が防止される。
【００５０】
以上説明したように、第２実施形態に係るウエハケースＣＡ及び単結晶基板中間品の収納方法は、中間品Ｗｉを、表面を乾燥させず、損傷なく輸送することができる。また、第２実施形態に係るウエハケースＣＡでは、第１実施形態のウエハケースＣに比べ、本体部１、内蓋部１４を従来のウエハケースを用いることが可能であり、また、外箱部１５及び外蓋部１６についても、市販の密閉用容器を使用することが可能である。この場合、製造コストを削減することができる。
【００５１】
なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
【符号の説明】
【００５２】
Ｃ…ウエハケース（第１実施形態）
ＣＡ…ウエハケース（第２実施形態）
Ｃｘ…ウエハケース（従来）
Ｗｉ…単結晶基板中間品（中間品）
Ｗ…ウエハ
１…本体部
１ａ…箱体
２、２Ｃ…蓋部
４…保持部
６…離間リブ
７、８…支持部材
１０…密閉部材
１１…凸部
１２…空気栓
１４…内蓋部
１５…外箱部
１６…外蓋部
１８…開口部
１９…スペーサ
Ｌ…液体
Ａ…空気
Ｐｃ…中央部
Ｐｐ…周辺部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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