(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の及び／又は大きな開口を有する及び／又はたわみの生じた支持体であっても確実な固定を容易な方途で可能にする、電子回路基板、金属板、薄片等のような支持体の保持装置及び当該支持体を保持するための方法、及び、支持体のいっそう速やか、ないしより効率的な加工を可能にする、シンプルで低コストかつ柔軟な保持装置を提供する。【解決手段】低圧供給装置は、すべての吸引ノズル５の累積圧力降下と、すべての吸引ノズル及び低圧供給装置に至るまでの吸引ノズルの導管の累積圧力降下との比が、０．２５％を上回り、特に１％を上回り、好ましくは２５％を上回り、とりわけ３５％を上回り、好ましくは４０％を上回るように、低圧を供給する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子回路基板、金属板、薄片等のような支持体を保持するための吸引面（３）を含む保持装置であって、
前記吸引面（３）は複数の吸引ノズル（５）を有し、
前記吸引ノズル（５）は、一つ又は複数の支持体のための保持力を供給するための低圧供給装置（６、９）によって、当該周囲圧力に比較して低圧を与え得るように構成された保持装置において、
前記低圧供給装置（６、９）は、すべての吸引ノズル（５）の累積圧力降下と、すべての吸引ノズル（５）及び当該低圧供給装置（６、９）に至るまでの前記吸引ノズルの導管（６ａ、６ｂ）の累積圧力降下との比が、０．２５％を上回り、特に１％を上回り、好ましくは２５％を上回り、とりわけ３５％を上回り、好ましくは４０％を上回るように、低圧を供給することを特徴とする保持装置。
【請求項２】
前記吸引ノズル（５）のうちの少なくとも一つが一つの吸引開口（４）を有し、当該吸引開口（４）の断面積は前記吸引ノズル（５）の断面積よりも大きいことを特徴とする、請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
前記吸引開口（４）の断面積（１００）と、前記吸引ノズル（５）の断面積（１０１）との比が、０．０１〜１００００の範囲内、好ましくは１〜４００の範囲内、特に４〜１４４の範囲内、とりわけ２５〜８１の範囲内、好ましくは３６〜６４の範囲内にあることを特徴とする、請求項２に記載の保持装置。
【請求項４】
前記低圧供給装置（６、９）は、前記吸引ノズル（５）に吸引流れを分配するための分配装置（６）を含むことを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載の保持装置。
【請求項５】
前記分配装置（６）によって、前記吸引板（２）の複数の吸引領域（７ａ、７ｂ）が画定可能であると共に、別々に制御可能であることを特徴とする、請求項４に記載の保持装置。
【請求項６】
前記分配装置（６）は、前記吸引面（３）又は一つ又は複数の吸引領域（７ａ、７ｂ）の前記吸引ノズル（５）に供給するための一つ又は複数の導管（６ａ、６ｂ）を有し、
その際、前記吸引面（３）又はそれぞれの吸引領域（７ａ、７ｂ）につき、それぞれの導管（６ａ、６ｂ）の累積断面積と、前記吸引面（３）又は前記吸引領域（７ａ、７ｂ）における前記吸引ノズル（５）の累積断面積との比が、少なくとも０．３、好ましくは１〜２０の範囲内、特に１．５〜６の範囲内にあることを特徴とする、請求項４又は５に記載の保持装置。
【請求項７】
前記分配装置（６）は、異なった吸引領域（７ａ、７ｂ）を制御するために、切替弁（８）を有することを特徴とする、請求項４から６のいずれか一項に記載の保持装置。
【請求項８】
前記低圧供給装置（６、９）は吸引パルス装置（１０）を有し、
特に、当該吸引パルス装置（１０）は、流体力学的に吸引装置（９）と前記分配装置（６）との間に配置されて、最初の吸引パルスを供給することを特徴とする、請求項７に記載の保持装置。
【請求項９】
前記吸引パルス装置（１０）は低圧チャンバ（１１）を有することを特徴とする、請求項８に記載の保持装置。
【請求項１０】
前記吸引流れの低圧の測定及び制御をするために、低圧測定装置（１２）及び／又は前記導管（６ａ、６ｂ）を通過する当該流量を測定するための流量測定装置が配置されていることを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項に記載の保持装置。
【請求項１１】
前記低圧測定装置（１２）及び／又は前記流量測定装置によって、異なった吸引領域（７ａ、７ｂ）の低圧が、測定可能かつ調節可能であることを特徴とする、請求項１０に記載の保持装置。
【請求項１２】
認識装置（１３）が、前記吸引板（２）のうち、支持体で被覆されていない空領域を認識するために、配置されていることを特徴とする、請求項１から１１のいずれか一項に記載の保持装置。
【請求項１３】
前記認識装置（１３）は、光学式及び／又は音響式の認識手段を含むことを特徴とする、請求項１２に記載の保持装置。
【請求項１４】
前記認識装置（１３）は、空領域が認識された際に、当該空領域は前記分配装置（６）によって遮断され得るように、前記分配装置（６）と接続されていることを特徴とする、請求項３又は１２に記載の保持装置。
【請求項１５】
前記吸引ノズル及び／前記吸引開口は、規則的に、特に等間隔に分散配置されていることを特徴とする、請求項１から１４のいずれか一項に記載の保持装置。
【請求項１６】
基本的に、隣接した列の吸引ノズル及び／又は吸引開口は、互いにずらして配置され及び／又は別様に形成されていることを特徴とする、請求項１５に記載の保持装置。
【請求項１７】
前記吸引面の周端領域において、前記吸引ノズル及び／又は前記吸引開口は異なった配置密度を有し及び／又は別様に形成されていることを特徴とする、請求項１５又は１６に記載の保持装置。
【請求項１８】
異なった吸引領域は、異なって配置された及び／又は別様に形成された吸引ノズル及び／又は吸引開口を有することを特徴とする、請求項５に記載の保持装置。
【請求項１９】
前記異なった吸引領域は、異なった強度及び／又は異なった厚さの支持体を保持するために形成されていることを特徴とする、請求項５又は１８に記載の保持装置。
【請求項２０】
電子回路基板、金属板、薄片等のような支持体を保持するための方法であって、
一つ又は複数の支持体は吸引面（３）によって保持され、前記吸引面（３）は複数の吸引ノズル（５）を有し、前記吸引ノズル（５）は、一つ又は複数の支持体のための保持力を供給するために、当該周囲圧力に比較して低圧を与え得るように構成された方法において、
低圧供給装置によって、すべての吸引ノズル（５）の累積圧力降下と、すべての吸引ノズル（５）及び当該低圧供給装置（６、９）に至るまでの前記吸引ノズルの導管（６ａ、６ｂ）の累積圧力降下との比が、０．２５％を上回り、特に１％を上回り、好ましくは２５％を上回り、とりわけ３５％を上回り、好ましくは４０％を上回るように、低圧が供給されることを特徴とする方法。
【請求項２１】
請求項１から１９のいずれか一項に記載の保持装置を有するインクジェット印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子回路基板、金属板、薄片等のような支持体を保持するための吸引面を含む保持装置であって、前記吸引面は複数の吸引ノズルを有し、前記吸引ノズルは、一つ又は複数の支持体のための保持力を供給するための低圧供給装置によって、当該周囲圧力に比較して低圧を与え得るように構成された保持装置に関する。
【０００２】
本発明は、同じく、電子回路基板、金属板、薄片等のような支持体を保持するための方法であって、一つ又は複数の支持体は吸引面によって保持され、前記吸引面は複数の吸引ノズルを有し、前記吸引ノズルは、一つ又は複数の支持体のための保持力を供給するために、当該周囲圧力に比較して低圧を与え得るように構成された方法に関する。
【０００３】
本発明はさらに、インクジェット印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００４】
電子回路基板、金属板、薄片、紙等―以下では一般に、支持体、と称する―は、適用分野及び製造方法に応じ、極めて異なった強度を有している。当該強度は剛性から高度柔軟性に至るまでの範囲に及んでいる。さらに、支持体は、広い面積の開口にまで及ぶ貫通孔を有していることが多い。例えば、電子回路基板は、ねじ留めによってそれをキャリアに固定するための孔を有している。
【０００５】
支持体は、先行段階の加工又は製造プロセスに起因して、もはや真に平らではなく、たわみを生じていない支持体の対角線に対して垂直方向の最大反りとして測定して、数パーセントの対角線たわみを有していることが多い。これらの支持体をさらに加工するために、加工、例えば、支持体の表面への印刷、切断、穿孔、レーザ加工、搬送又は自動光学的検査を可能とすべく、該支持体を平らな加工テーブル上に配置して、一時的に固定することが通例である。該支持体は、その際、正確かつ速やかな加工を可能にするために、加工の間ずっと、多くの場合に可動式の平らな加工テーブル上に非常に確実に固定されていなければならない。そのために、公知のように、支持体は、吸引板の吸引面上にポジショニングされて、低圧ないし吸引流れによってテーブル上に定置保持ないし固定される。
【０００６】
その際の問題の一つは、吸引面のうち支持体で被覆されていない空領域が保持力の崩壊を招来することがあり、そのために、支持体が加工用の加工テーブル上にもはや正しく定置保持ないし固定されていないことである。この問題を解決するために、保持力の崩壊を阻止すべく、吸引面のうち支持体によって覆われていない領域及び支持体のうちの開口領域を被覆すること、例えばマスキングすることが知られている。
【０００７】
さらに、支持体を、例えば、表面に突出したマッシュルームヘッド、枠材等の形の保持要素により、周端をクランプすることによって、加工テーブルの表面に引き付けることが知られるに至った。
【０００８】
その際の短所は、手間とコストをかけて、加工テーブル上の領域並びに支持体の開口がマスキングないし被覆されなければならないことであり、これは、とりわけ、開口が大きかったり、複数の小さな開口があったりする場合に、多大な時間を要することになる。さらに、これらのマスキングないし被覆は、支持体の処理ないし加工後に、再び取り去るための時間とコストを要する。また、それにより、処理された支持体が損傷を蒙る可能性も存在する。さらにまた、吸引テーブル上に接着残滓が残ったままであることがあり、これはさらに別の支持体の処理を行う前に手間とコストをかけて除去されなければならない。同じく、支持体の処理中に、カバーないしマスキングが外れてしまうこともあり、その結果、支持体の処理にエラーが生じ及び／又は加工装置が損傷を蒙ることもある。これにより、全体として、製造コストが高まり、しかも、支持体の加工に際する信頼度が低下する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで、本発明の目的の一つは、複数の及び／又は大きな開口を有する及び／又はたわみの生じた支持体であっても確実な固定を容易な方途で可能にする、電子回路基板、金属板、薄片等のような支持体の保持装置及び当該支持体を保持するための方法を提供することである。本発明のさらにもう一つの目的は、支持体のいっそう速やかないしより効率的な加工を可能にする、シンプルで低コストかつ柔軟な保持装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を、電子回路基板、金属板、薄片等のような支持体を保持するための吸引面を含む保持装置であって、当該吸引面は複数の吸引ノズルを有し、当該吸引ノズルは、一つ又は複数の支持体のための保持力を供給するための低圧供給装置によって、当該周囲圧力に比較して低圧を与え得るように構成された保持装置において、当該低圧供給装置は、すべての吸引ノズルの累積圧力降下と、すべての吸引ノズル及び当該低圧供給装置に至るまでの当該吸引ノズルの導管の累積圧力降下との比が、０．２５％を上回り、特に１％を上回り、好ましくは２５％を上回り、とりわけ３５％を上回り、好ましくは４０％を上回るように、低圧を供給することによって達成する。
【００１１】
本発明は、上記目的を、同じく、電子回路基板、金属板、薄片等のような支持体を保持するための方法であって、一つ又は複数の支持体は吸引面によって保持され、当該吸引面は複数の吸引ノズルを有し、当該吸引ノズルは、一つ又は複数の支持体のための保持力を供給するために、当該周囲圧力に比較して低圧を与え得るように構成された方法において、低圧供給装置によって、すべての吸引ノズルの累積圧力降下と、すべての吸引ノズル及び当該低圧供給装置に至るまでの当該吸引ノズルの導管の累積圧力降下との比が、０．２５％を上回り、特に１％を上回り、好ましくは２５％を上回り、とりわけ３５％を上回り、好ましくは４０％を上回るように、低圧が供給されることによって達成する
【００１２】
本発明は、上記目的を、同じく、請求項１から１９のいずれか一項に記載の保持装置を有するインクジェット印刷装置によって達成する。
【００１３】
換言すれば、一つ又は複数の支持体のために十分な保持力を供給するために、特に、一つ又は複数又は、一つの吸引開口を除く、すべての吸引開口が一つ又は複数の支持体によって被覆されていない場合にあっても、被覆されている当該吸引ノズルに、引き続き、当該周囲圧力に比較して顕著な圧力差が供給される、ということである。かくてこの場合、低圧供給装置に至るまでの圧力降下に比較した、無被覆の吸引ノズルに沿った圧力降下は、吸引ノズルの圧力降下が、すべてのノズルが無被覆である場合にも、単一又は複数の支持体を確実に吸引して定置保持するのに十分な高さであるように、設計されている。無被覆の吸引ノズルによる最大漏れ流れは以下によって制限される。つまり、一つ又は複数の支持体によって被覆される吸引ノズルが多ければ多いほど、すべての吸引ノズルの累積圧力降下と、すべての吸引ノズル並びに低圧供給装置に至るまでの吸引ノズルの導管の累積圧力降下との比はますます大きくなる、ということである。その際、低圧供給装置に至るまでの総圧力降下に比較した、吸引ノズルの累積圧力降下は、例えば、１％を上回り、好ましくは１０％を上回り、とりわけ５０％を上回り、好ましくは７０％を上回っていてよい。
【００１４】
上記によって達成される一連の利点のうちの一つは、保持装置による支持体の保持のために、マッシュルームヘッド、クランプ枠等の形の付加的な保持要素を不要とすることができることである。これは、一方で、処理のための所要時間を低下させ、つまり、手間とコストを要する保持要素の操作を不要とする。さらに、保持要素による支持体の損傷が回避されるため、比較的大きな支持体面積の加工が可能となり、これによりまたも、一つの支持体に要する製造コストを低下することができる。さらにその他の利点は、吸引板の開放領域及び／又は支持体の、手間とコストを要するマスキングないし被覆を回避することができ、これにより、さまざまな支持体のいっそう速やかな処理が容易化されることとなる。同じく、支持体の加工に際する精度が大幅に引き上げられることとなるが、これは支持体が、一方で、極めて確実に固定され得るからであり、また他方で、周端領域も確実に加工され得ることとなるが、それは特に保持要素が支持体表面の一部を覆っていないからである。これにより、特にインクジェット印刷の場合に、印刷間隔を減少させることができると共に、印刷精度を向上させることが可能である。
【００１５】
本発明のその他の特徴、利点及びその他の実施形態を以下に記述し、又は明らかにする。
【００１６】
好適な発展態様において、当該吸引ノズルの少なくとも一つは、当該吸引開口の断面積が当該吸引ノズルの当該断面積よりも大きい、一つの吸引開口を有する。このようにして、支持体のための保持力供給の信頼度が大幅に高められる。
【００１７】
好適な発展態様において、当該吸引開口の当該断面積と、当該吸引ノズルの断面積との比は、０．０１〜１００００の範囲内、好ましくは１〜４００の範囲内、特に４〜１４４の範囲内、とりわけ２５〜８１の範囲内、好ましくは３６〜６４の範囲内にある。このようにして、吸引ノズルによる最大漏れ流れを確実に最小化ないし制限することができる。
【００１８】
さらに別の好適な発展態様において、当該低圧供給装置は、当該吸引ノズルに吸引流れを分配するための分配装置を含んでいる。これによって、確実な方途で、一連の吸引ノズルに吸引流れを供給することができる。
【００１９】
さらに別の好適な発展態様において、当該分配装置によって、当該吸引板の複数の吸引領域が画定可能であると共に、別々に制御可能である。利点の一つは、一方で、支持体の吸引に不要な領域を容易に遮断することができるために、効率が引き上げられ、他方で、不要な領域の遮断によって漏れ流れを大幅に減少させることができるために、保持装置の信頼度が全体として高められるという点である。
【００２０】
さらに別の好適な発展態様において、当該分配装置は、当該吸引面又は一つ又は複数の吸引領域の当該吸引ノズルに供給するための一つ又は複数の導管を有し、その際、当該吸引面又はそれぞれの吸引領域につき、それぞれの導管の累積断面積と、当該吸引面又は当該吸引領域における当該吸引ノズルの累積断面積との比が、少なくとも０．３、好ましくは１〜２０の範囲内、特に１．５〜６の範囲内にある。これによって、吸引ノズルへの吸引流れの確実な分配供給が保証される。この場合、導管は、異なった領域において異なった断面を有すると共に、異なった累積断面積を有していてもよい。その場合、上記の比については、例えば、吸引板の内部ないし下側の導管を使用することができ、及び／又は低圧供給装置から出発してそれらの導管に至る分配導管を使用することができる。
【００２１】
さらに別の好適な発展態様において、当該分配装置は、異なった吸引領域を制御するために、切替弁を有している。これにより、容易かつ同時に確実な方途で、異なった吸引領域を一つの吸引流れで制御することができる。
【００２２】
さらに別の好適な発展態様において、当該低圧供給装置は吸引パルス装置を有し、特に、当該吸引パルス装置は、流体力学的に吸引装置と当該分配装置との間に配置されて、最初の吸引パルスを供給する。これの利点は、支持体の最初の吸引のために、時間的に限定された低圧パルスを生成することができることであり、これによって、支持体の固定は大幅に容易化されることになる。
【００２３】
さらに別の好適な発展態様において、当該吸引パルス装置は低圧チャンバを有している。これによって、確実かつ速やかな方途で最初の吸引パルスを供給することが可能である。
【００２４】
さらに別の好適な発展態様において、当該吸引流れの低圧の測定及び制御をするために、低圧測定装置及び／又は当該導管を通過する当該流量を測定するための流量測定装置が配置されている。これによって、吸引流れの圧力を求め、必要に応じ、再調節することが可能である。こうして、全体として、保持装置による支持体のいっそう確実な固定を可能とすることができる。
【００２５】
さらに別の好適な発展態様において、当該低圧測定装置及び／又は当該流量測定装置によって、異なった吸引領域の低圧が、測定可能かつ調節可能である。これにより、相応して、異なった領域の低圧の制御も行うことができ、こうして、全体として、支持体のための保持装置の信頼度が高められる。
【００２６】
さらに別の好適な発展態様において、認識装置が、当該吸引板のうち、支持体で被覆されていない空領域を認識するために、配置されている。これにより、保持装置の不要な吸引領域の完全に自動化された認識及び遮断が行われることができ、こうして、異なった支持体の処理を大幅に容易化することが可能である。
【００２７】
さらに別の好適な発展態様において、当該認識装置は、光学式及び／又は音響式の認識手段を含んでいる。これにより、柔軟かつ同時に確実な方途で、空領域を認識することができる。光学式認識手段は、例えば、カメラ、光学センサ等を含んでいてよい。音響式認識手段は、例えば、超音波センサ等によって提供されることができる。空領域は、漏れ流れ測定及び／又は低圧測定によっても認識可能である。こうした漏れ流れ測定は、空領域の認識の信頼度及び精度を高めるために、光学式認識方法と組み合わされてもよい。
【００２８】
さらに別の好適な発展態様において、当該吸引ノズル及び／当該吸引開口は、規則的に、特に等間隔に分散配置されている。これによって、支持体の容易な保持と同時に支持体の一様な定置保持が可能となる。吸引開口及び／又は吸引ノズルの網目状の配置は、例えば、０．５ｍｍ〜５０ｍｍの範囲内にあってよい。規則的な形成及び／又は配置の他に、直線的に上昇又は下降する網目状の配置も同じく可能である。
【００２９】
さらに別の好適な発展態様において、基本的に、隣接した列の吸引ノズル及び／又は吸引開口は、互いにずらして配置され及び／又は別様に形成されている。これによって達成される利点の一つは、それによって、場合により不規則な形状を有する支持体の保持又は支持体の不正確な載置に際する柔軟性が高められることである。つまり、当該吸引ノズル及び／又は吸引開口の配置の点で不規則な辺縁を有する支持体を、それにもかかわらず、保持装置によって確実に保持ないし固定することができる、ということである。
【００３０】
さらに別の好適な発展態様において、当該吸引面の周端領域において、当該吸引ノズル及び／又は当該吸引開口は異なった配置密度を有し及び／又は別様に形成されている。これにより、吸引面の周端領域において、支持体の特に確実な固定が可能である。
【００３１】
さらに別の好適な発展態様において、異なった吸引領域は、異なって配置された及び／又は別様に形成された吸引ノズル及び／又は吸引開口を有している。これにより、極めて多様な形の支持体が確実に保持され得ることから、支持体を固定する際の柔軟性がさらに高められることとなる。
【００３２】
さらに別の好適な発展態様において、当該異なった吸引領域は、異なった強度及び／又は異なった厚さの支持体を保持するために形成されている。これにより、特に確実な方途で、たわみの点で異なった強度を有する支持体を固定することが可能である。したがって、薄片と同様に電子回路基板を、確実にかつ、必要に応じ、同時に吸引面に固定することができる。
【００３３】
本発明のその他の重要な特徴及び利点は、従属請求項、図面及び、当該図面に基づく図面の説明から判明するとおりである。
【００３４】
上記の特徴及びさらに下記に説明される特徴は、その都度記載された組み合わせで使用可能であるのみならず、本発明の範囲を逸脱することなく、その他の組み合わせによってもあるいは単独であっても使用可能であることは自明である。
【００３５】
本発明の好ましい実施例及び実施形態を図面によって示し、下記記述において詳細に説明するが、その際、同一又は類似又は機能的に同一の部材ないし要素には同一の符号が付されている。ここで、各図は以下を示している。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施形態による保持装置の一部を上方から眺めた図である。
【図２】本発明の一実施形態による保持装置の断面の一部を示す図である。
【図３】図２に示した実施形態の断面の詳細図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
図１は、本発明の一実施形態による保持装置の一部を上方から眺めた図を示している。
【００３８】
図１において、保持装置１は、上方から眺めた図によって示されている。保持装置１は、支持体用の吸引面３を有する方形の真空吸引板２を有している。その際、当該真空吸引板は、円形、楕円形又はその他の形状を有していてもよい。吸引面３には、吸引面３全体にわたって等間隔ないし一様に分散配置された吸引開口４が配置されている。真空吸引板２の上側面には、真空吸引板２上に配置された支持体を定置保持する低圧が生成される。さらに、図１には、一例として、別々に制御可能であって、それぞれの領域７ａ、７ｂにおける支持体の定置保持に資する吸引領域７ａ、７ｂが示されている。吸引領域７ａ、７ｂは、それらの数の点でも、それらの形及び当該吸引面上の位置の点でも、基本的に任意に定義可能及び調整可能である。吸引面３上の空領域、したがって、支持体が載置されていない領域を認識するために―図中に示したように―カメラ１３が配置されていてよく、該カメラは、評価のため、真空吸引板２の無被覆領域の遮断のため、及び、支持体で被覆された領域７ａ、７ｂの制御のために、図中不図示の制御装置、例えばコンピュータに接続されている。その際、当該制御装置は、例えば、図２で説明する吸引装置９、分配装置６、吸引パルス装置１０及び／又は切替弁８を制御するために形成されていてよい。
【００３９】
当該吸引開口は、この場合、例えば１０ｍｍの相互間隔を有し、その際、吸引装置９は、支持体によって被覆された吸引ノズル５における累積圧力降下（当該吸引ノズルは全体として当該吸引面の約５０％を占めている）と、すべての吸引ノズル５並びに吸引装置９に至るまでの当該吸引ノズルの導管６ａ、６ｂの累積圧力降下との比が２０％であるようにして、低圧を供給する。状況次第で、例えば、四倍の数の当該吸引開口が配置され、吸引装置９により、一つ又は複数の支持体によって被覆されていない吸引ノズル５における累積圧力降下と、すべての吸引ノズル５並びに吸引装置９に至るまでの当該吸引ノズルの導管６ａ、６ｂの累積圧力降下との比が５％となるようにすることによって、相応した比例変化により同一の当該保持力を実現することができる。
【００４０】
図２は、本発明の一実施形態による保持装置の断面の一部を示している。
【００４１】
図２には、基本的に真空吸引板２の断面が示されている。吸引板２の当該右側面には、吸引面３が見出され、他方、吸引板２の当該左側面には、支持構造物又は類似の構造物上に真空吸引板２を載設するための載設面１４が位置している。図２の当該左側面を基本として、最初に、低圧チャンバ１１を有する吸引パルス装置１０と接続された吸引装置９、例えば真空ポンプが概略的に示されている。さらに、吸引パルス装置１０の上流には、当該領域７ａの一定数の吸引ノズル５のための吸引流れをオン及びオフないし制御するために使用される切替弁８が示されている。図２には、一例として、一つの切替弁８が示されているにすぎないが、複数の切替弁、例えば、吸引ノズルごと又は分配導管ごとに一つの切替弁、を配置し得ることは自明である。同じく、複数の分配導管６ａ又は吸引ノズル５を一つの切替弁８によって制御することも可能である。
【００４２】
図示した切替弁８の上流には、真空分配装置６の分配導管６ａ、６ｂが図示されている。これらの分配導管は、吸引ノズル５と最終的に吸引装置９との間の当該流体連通に使用され、真空吸引板２の下側面１４に相応して接続されている。分配導管６ａは真空吸引板２内において分配導管６ｂと連結され、これらの分配導管は吸引ノズル５と連結されている。吸引装置９又は吸引パルス装置１０はそれぞれ、一時的な圧縮空気衝撃を供給するために形成されていてもよい。これは、当該空気流れ方向の一時的な逆転によって、定置保持された支持体の容易な引き離しを可能とする。
【００４３】
分配導管６ａ、６ｂ内の低圧の監視のために、低圧測定装置１２及び／又は流量測定装置が配置されており、これらの装置は、制御のために、吸引装置９、吸引パルス装置１０及び／又は切替弁８と接続されていてよい。その際、分配導管６ａ、６ｂの断面積は、当該断面積が、当該分配導管によって低圧が供給されるそれぞれの部分領域７ａ、７ｂの吸引ノズル５の累積断面積の少なくとも二倍、特に、少なくとも三倍に等しいように、選択される。
【００４４】
図３は、図２に示した実施形態の断面の詳細図を示している。
【００４５】
図３には、真空吸引板２内で分配導管６ｂと接続された一つの吸引ノズル５の詳細が示されている。その際、吸引開口４の断面の直径１００と、吸引ノズル５の断面の直径１０１との比は、好ましくは１〜２０の範囲内、特に２〜１２の範囲内、とりわけ５〜９の範囲内、好ましくは６〜８の範囲内で選択されており、したがって、両者の断面積の比は、０．０１〜１００００の範囲内、好ましくは１〜４００の範囲内、特に４〜１４４の範囲内、とりわけ２５〜８１の範囲内、好ましくは３６〜６４の範囲内にある。その際、それぞれの吸引ノズル５の境界断面により、真空吸引板２の表面が部分的に開放し、したがって、支持体によって被覆されていない領域があっても、真空吸引流れは崩壊せずに、むしろ基本的に一定のままであることとなり、その際、吸引開口４の断面の形成が吸引による所要の保持力の発生に資することとなる。換言すれば、吸引開口の断面積が適切な大きさであれば、特に、それが吸引ノズルの断面積よりも大きければ、前者に圧力差が生じている、ということである。これは、支持体用の保持力が、基本的に、周囲圧力に対する吸引開口の圧力差及び吸引開口の断面積に比例していることから、好適である。
【００４６】
その際、吸引開口４は、吸引開口４に連結される吸引ノズル５の一部であるか又は別個に形成されていてもよい。その際、吸引開口４及び／又は吸引ノズル５の断面形状は、特に、円筒形であるか又は楕円形に形成されていてよい。その際、吸引開口４を有する吸引ノズル５の製造は、ドリルビット及び／又は斜角用ビットによる穿孔によって行うことができる。
【００４７】
その際、吸引ノズルは、長さ数ミリメートルの小さな孔部又は口部の形で形成されていてよい。別法として又はさらに加えて、当該孔部又は口部は、分配装置と吸引開口との間に配置されていてよく、さらに小さな断面の一つ又は複数の孔を有する薄片、特に、金属箔によって代替されるか又は補われていてよい。当該吸引ノズルの口部と吸引開口との間の連結は漏斗状に形成されていてよく、つまり、当該吸引開口は吸引ノズルの形状寸法に合わせて円錐状に形成されている。同じく、吸引ノズル用の口部として多孔箔を使用することもできる。さらに、吸引ノズル（単数／複数）の形状寸法は適切に、例えば、円形、方形、楕円形等に、形成することが可能である。
【００４８】
総じて、本発明及び、特に、少なくとも一つの実施形態は、以下の利点を提供し得るか又はそれらの利点を可能とすることができる。
・支持体のより確実な定置保持
・支持体のより容易な固定／定置保持
・コストの低下
・高い効率
・手間とコストの低減化
・高度な処理安全性
・高度な柔軟性
【００４９】
本発明は、特に、インクジェット印刷、レーザ加工、レーザパターン形成の分野において使用することができると共に、測定システム、例えば、支持体、支持体搬送に関するエラー検知のためのカメラシステム、による支持体の精密測定にも使用することが可能である。
【００５０】
本発明の説明は好ましい実施例を参照して行われたが、本発明はそれらに限定されるものではなく、多様な方途による改良が可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１          保持装置
２          吸引板
３          吸引面
４          吸引開口
５          吸引ノズル
６          分配装置
６ａ、６ｂ  分配導管
７ａ、７ｂ  吸引領域
８          切替弁
９          吸引装置
１０        吸引パルス装置
１１        低圧チャンバ
１２        低圧測定装置
１３        認識装置
１００      吸引開口の断面
１０１      吸引ノズルの断面
【図１】
2019171556.tif 000003
【図２】
2019171556.tif 000004
【図３】
2019171556.tif 000005
【外国語明細書】
2019171556000001.pdf
2019171556000002.pdf
2019171556000003.pdf
2019171556000004.pdf