(57)【要約】【課題】上電極及び下電極からの配線と配線部材とを高い信頼度で接合することができ、且つ、製造工程において不良が生じにくい液体吐出装置を提供すること。【解決手段】第１方向に沿って配置された複数の第１圧力室２６と、前記複数の第１圧力室２６を覆う絶縁膜３０とを有する圧力室形成部材２２と、前記圧力室形成部材２２と接合されたカバー６０であって、それぞれが前記圧力室形成部材２２との接合面を有する第１凸部６１ａ及び第２凸部６１ｂを有し、前記第１凸部６１ａ及び前記第２凸部６１ｂはそれぞれ前記第１方向に延びる、カバー６０と、前記圧力室形成部材２２に接合された配線部材５０とを備える。【選択図】図２
2019064163.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に沿って配置された複数の第１圧力室と、前記複数の第１圧力室を覆う絶縁膜とを有する圧力室形成部材と、
前記圧力室形成部材と接合されたカバーであって、それぞれが前記圧力室形成部材との接合面を有する第１凸部及び第２凸部を有し、前記第１凸部及び前記第２凸部はそれぞれ前記第１方向に延びる、カバーと、
前記圧力室形成部材に接合された配線部材とを備え、
前記複数の第１圧力室は、前記第１方向に並ぶ複数の第１端及び前記第１方向に並ぶ複数の第２端と、前記絶縁膜の面方向に沿い前記第１方向と直交する第２方向に関して、前記複数の第１端と前記複数の第２端との間に位置する複数の中心とを有し、各第１圧力室の前記中心は、前記第２方向に関して前記カバーの前記第１凸部と前記第２凸部との間に位置し、
前記圧力室形成部材は、
前記絶縁膜の面方向と直交する第３方向に前記絶縁膜を挟んで、前記複数の第１圧力室とそれぞれ前記第３方向に重なる複数の第１電極と、
前記絶縁膜及び前記複数の第１電極と前記第３方向に重なる圧電層と、
前記圧電層を挟んで前記複数の第１電極と前記第３方向に重なる第２電極と、
前記複数の第１電極とそれぞれ接続された複数の第１配線と、
前記第２電極と接続された第２配線とを有し、
前記圧電層は、前記絶縁膜及び前記複数の第１電極に面する第１面と、前記第１面に対して前記絶縁膜及び前記複数の第１電極と反対側の第２面とを有し、
前記第２配線は、前記配線部材と接合され、
前記第２配線は、前記第２電極から前記配線部材との接点まで連続して延びる延在部を備え、
前記圧電層は、前記第３方向に関して、前記絶縁膜と、前記第２配線の前記延在部との間に位置することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記圧電層には、前記複数の第１端に対して、前記複数の第２端とは前記第２方向の反対側に、前記第１方向に延びる第１貫通孔が形成されており、
前記圧電層は、前記第１貫通孔によって形成され、それぞれが前記第１方向に延びる第１内側面及び第２内側面を有し、
前記第１内側面は、前記第２方向に関して、前記第２内側面と前記複数の第１端との間に位置し、
前記第１凸部の前記圧力室形成基板との接合面の、前記第２方向における両端は、前記第２方向に関して、前記圧電層の前記第２面と前記第１内側面とによって形成される第１角部と、前記複数の第１端との間に位置することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記圧電層には、前記複数の第１端に対して、前記複数の第２端とは前記第２方向の反対側に、前記第１方向に延びる第１貫通孔が形成されており、
前記圧電層は、前記第１貫通孔によって形成され、それぞれが前記第１方向に延びる第１内側面及び第２内側面を有し、
前記第１内側面は、前記第２方向に関して、前記第２内側面と前記複数の第１端との間に位置し、
前記第１凸部の前記圧力室形成基板との接合面の、前記第２方向における両端は、前記圧電層の、前記第２面と前記第２内側面とによって形成される第２角部に対して、前記複数の第１端とは前記第２方向の反対側に位置することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記圧電層には、前記複数の第１端に対して、前記複数の第２端とは前記第２方向の反対側に、前記第１方向に延びる第１貫通孔が形成されており、
前記圧電層は、前記第１貫通孔によって形成され、それぞれが前記第１方向に延びる第１内側面及び第２内側面を有し、
前記第１内側面は、前記第２方向に関して、前記第２内側面と前記複数の第１端との間に位置し、
前記圧電層は、前記第２面と前記第１内側面によって形成される第１角部と、前記第２面と前記第２内側面によって形成される第２角部とを有し、
前記第１角部及び前記第２角部は、前記第２方向に関して、前記第１凸部の前記第２方向の両端の間に位置することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記圧電層は、前記複数の第１端に対して、前記複数の第２端とは前記第２方向の反対側に、前記第１方向に延びる第１側面と、前記複数の第２端に対して前記第１側面とは前記第２方向の反対側に、前記第１方向に延びる第２側面とを有し、
前記絶縁膜には、前記圧電層の前記第１側面に対して、前記第２側面とは前記第２方向の反対側に、第２圧電層がさらに重ねられ、
前記第２圧電層は、前記絶縁膜に面する第３面と、前記第３面に対して前記絶縁膜と反対側の第４面と、前記第２方向に離間した第３側面及び第４側面とを有し、
前記第４側面は、前記第３側面に対して、前記圧電層の前記第１側面とは第２方向の反対側に位置し、
前記第１凸部の前記圧力室形成基板との接合面の、前記第２方向における両端は、前記第２方向に関して、前記圧電層の前記第２面と前記第１側面とによって形成される第１角部と、前記複数の第１端との間に位置することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記圧電層は、前記複数の第１端に対して、前記複数の第２端とは前記第２方向の反対側に、前記第１方向に延びる第１側面と、前記複数の第２端に対して前記第１側面とは前記第２方向の反対側に、前記第１方向に延びる第２側面とを有し、
前記絶縁膜には、前記圧電層の前記第１側面に対して、前記第２側面とは前記第２方向の反対側に、第２圧電層がさらに重ねられ、
前記第２圧電層は、前記絶縁膜に面する第３面と、前記第３面に対して前記絶縁膜と反対側の第４面と、前記第２方向に離間した第３側面及び第４側面とを有し、
前記第４側面は、前記第３側面に対して、前記圧電層の前記第１側面とは第２方向の反対側に位置し、
前記第１凸部の前記圧力室形成基板との接合面の、前記第２方向における両端は、前記第２圧電層の、前記第４面と前記第３側面とによって形成される第２角部に対して、前記圧電層の前記第１側面とは前記第２方向の反対側に位置することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記圧電層は、前記複数の第１端に対して、前記複数の第２端とは前記第２方向の反対側に、前記第１方向に延びる第１側面と、前記複数の第２端に対して前記第１側面とは前記第２方向の反対側に、前記第１方向に延びる第２側面とを有し、
前記絶縁膜には、前記圧電層の前記第１側面に対して、前記第２側面とは前記第２方向の反対側に、第２圧電層がさらに重ねられ、
前記第２圧電層は、前記絶縁膜に面する第３面と、前記第３面に対して前記絶縁膜と反対側の第４面と、前記第２方向に離間した第３側面及び第４側面とを有し、
前記第４側面は、前記第３側面に対して、前記圧電層の前記第１側面とは第２方向の反対側に位置し、
前記圧電層は、前記第２面と前記第１側面によって形成される第１角部を有し、
前記第２圧電層は、前記第４面と前記第３側面によって形成される第２角部とを有し、
前記第１角部及び前記第２角部は、前記第２方向に関して、前記第１凸部の前記第２方向の両端の間に位置することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記複数の第１配線の各々は、第１電極から前記絶縁膜に沿って延びる第１延在部と、前記第１延在部の前記第２方向の一端部から前記第１貫通孔の内面に沿って延びる第２延在部と、前記第２延在部の前記第３方向の一端部から前記圧電層の前記第２面に沿って延び、前記配線部材との接点を有する第３延在部とを有し、
前記第２延在部の前記第１方向の幅が、前記第１延在部の前記第１方向の幅よりも広いことを特徴とする請求項２〜７の何れか一項に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記圧力室形成部材は、前記絶縁膜と前記圧電層の前記第１面との間に、前記複数の第１電極と同じ材料で形成され、前記第１方向及び前記第２方向に拡がる金属膜をさらに有し、
前記第１貫通孔は、前記第２方向に関して、前記金属膜と前記複数の第１端との間に位置し、
前記複数の第１配線と前記配線部材との複数の第１接点、及び、前記第２電極と前記配線部材との第２接点は、前記金属膜と前記第３方向に重なっていることを特徴とする請求項２〜８の何れか一項に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記圧力室形成部材は、
前記第１方向に沿って配置され、前記絶縁膜に覆われた、前記複数の第１圧力室とは異なる複数の第２圧力室と、
前記絶縁膜を挟んで前記複数の第２圧力室とそれぞれ重なる複数の第３電極と、
前記複数の第３電極とそれぞれ接続された複数の第３配線とをさらに有し、
前記第２電極は、前記圧電層を挟んで前記複数の第３電極と重なっており、
前記複数の第２圧力室は、前記第１方向に並ぶ複数の第３端と、前記第１方向に並ぶ複数の第４端とを有し、
前記複数の第３端は、前記第２方向に関して、前記複数の第４端と前記複数の第１端との間に位置し、
前記複数の第１配線と前記配線部材との複数の第１接点、前記第２配線と前記配線部材との第２接点、及び前記複数の第３配線と前記配線部材との複数の第３接点は、前記第２方向に関して、前記複数の第１端と前記複数の第３端との間に位置することを特徴とする請求項２〜９の何れか一項に記載の液体吐出装置。
【請求項１１】
前記圧力室形成部材は、
前記第１方向に沿って配置され、前記絶縁膜に覆われた、前記複数の第１圧力室とは異なる複数の第２圧力室と、
前記絶縁膜を挟んで前記複数の第２圧力室とそれぞれ前記第３方向に重なる複数の第３電極と、
前記圧電層を挟んで前記複数の第３電極と前記第３方向に重なる第４電極と、
前記複数の第３電極とそれぞれ接続された複数の第３配線と、
前記第４電極と接続された第４配線とをさらに有し、
前記複数の第２圧力室は、前記第１方向に並ぶ複数の第３端と、前記第１方向に並ぶ複数の第４端とを有し、
前記複数の第３端は、前記第２方向に関して、前記複数の第４端と前記複数の第１端との間に位置し、
前記複数の第１配線と前記配線部材との複数の第１接点、前記第２配線と前記配線部材との第２接点、前記複数の第３配線と前記配線部材との複数の第３接点、及び前記第４配線と前記配線部材との第４接点は、前記第２方向に関して、前記複数の第１端と前記複数の第３端との間に位置することを特徴とする請求項２〜９の何れか一項に記載の液体吐出装置。
【請求項１２】
第１方向に沿って配置された複数の第１圧力室と、前記複数の第１圧力室を覆う絶縁膜と、を有する圧力室形成部材と、
前記圧力室形成部材に接合された配線部材とを備え、
前記圧力室形成部材は、
前記絶縁膜の面方向と直交する第３方向に、前記絶縁膜を挟んで前記複数の第１圧力室それぞれと前記第３方向に重なる複数の第１電極と、
前記絶縁膜及び前記複数の第１電極と前記第３方向に重なる圧電層と、
前記圧電層を挟んで前記複数の第１電極と前記第３方向に重なる第２電極と、
前記複数の第１電極とそれぞれ接続された複数の第１配線と、
前記第２電極と接続された第２配線とを有し、
前記圧電層は、前記絶縁膜及び前記複数の第１電極に面する第１面と、前記第１面に対して前記絶縁膜及び前記複数の第１電極と反対側の第２面とを有し、
前記第２配線は、前記配線部材と接合され、
前記第２配線は、前記第２電極から前記配線部材との接点まで連続して延びる延在部を備え、
前記圧電層は、前記第３方向に関して、前記絶縁膜と、前記第２配線の前記延在部との間に位置し、
前記配線部材は、基材と、基材に形成された複数の配線とを有し、
前記配線部材の基材は、
前記圧力室形成部材に接合された第１部分と、
前記圧力室形成部材から離れる方向に引き出された第２部分と、
前記第１部分と前記第２部分の間の湾曲部分とを有することを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、複数の圧電素子を備えた液体吐出装置が知られている。従来の液体吐出装置では各圧電素子に対応して個別に設けられた個別電極と、複数の圧電素子に対して共通に設けられた共通電極とを備える。共通電極は、共通電極に重ねられた配線を介して、圧電素子を駆動する駆動信号を出力するドライバICが搭載された配線部材と接続される。また、各個別電極は、各個別電極に重ねられた配線を介して、前記配線部材と接続される。
【０００３】
共通電極は複数の圧電素子に対して共通に設けられているため、共通電極に重ねられた配線に流れる電流は、個別電極に重ねられた配線に流れる電流よりも多くなる。このため、配線と共通電極との接点と配線と配線部材との接点とを結ぶ経路の途中で、共通電極に重ねられた配線が細くなってしまうと、その部分での電気抵抗が大きくなる。共通電極の配線の抵抗が大きくなると、各圧電素子に伝播される駆動信号の波形が鈍ってしまうという虞や、共通電極での余分な発熱の虞がある。
【０００４】
特許文献１に開示されているインクジェットヘッドの各圧電素子は、互いに対向する上電極及び下電極と、上電極と下電極との間に挟まれた圧電体層とを有する。上電極は、複数の圧電素子に共有される共通電極である。上電極の上面には配線としての共通電極層が重ねられている。各圧電素子の上にはカバーとしての封止板が設けられており、封止板の下面に設けられた共通バンプ電極と共通電極層とが接合されている。また下電極の上面には配線としての個別電極層が重ねられている。個別電極層は下電極と重ねられた位置から、圧電体層の端部の段差を乗り越えて圧電層の上面まで延びている。個別電極層は圧電体層の上面の位置で封止板の下面に設けられた個別バンプ電極と接合されている。
【０００５】
特許文献１では、個別電極層は圧電層の端部近傍の段差にまたがって製膜されている。このため個別電極層の製膜時に、圧電層の端部近傍で個別電極層の厚みが所望の厚みよりも薄くなる虞がある。一方、共通電極層は、上電極と重ねられた位置から共通バンプ電極と接合された位置まで圧電層の段差を降りることなく延びている。このため共通電極層は、上電極が重ねられた位置と共通バンプ電極と接合された位置とを結ぶ経路において、共通電極層の厚みが薄くなる虞が小さい。このため、特許文献１のインクジェットヘッドによれば、共通電極の配線である共通電極層での駆動信号の鈍りや発熱が問題となりにくい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１６−１８５６０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１の封止板は、圧力室が形成される圧力室形成基板を所望の厚みまで研磨する工程において、圧力室形成基板を支持する基板として用いられている。この際、共通バンプ電極及び個別バンプ電極がそれぞれ、共通電極層及び個別電極層と接合された状態で、圧力室形成基板が研磨される。このとき、共通バンプ電極と共通電極層との接合部分、及び、個別バンプ電極と個別電極層との接合部分に荷重がかかり、これらの接合部分の近傍において、上電極や圧電体層にクラックが生じる虞がある。また、研磨工程において加えられる荷重によって接合部分が剥がれる虞がある。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、上電極及び下電極からの配線と配線部材とを高い信頼度で接合することができ、且つ、製造工程において不良が生じにくい液体吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の態様に従えば、第１方向に沿って配置された複数の第１圧力室と、前記複数の第１圧力室を覆う絶縁膜とを有する圧力室形成部材と、前記圧力室形成部材と接合されたカバーであって、それぞれが前記圧力室形成部材との接合面を有する第１凸部及び第２凸部を有し、前記第１凸部及び前記第２凸部はそれぞれ前記第１方向に延びる、カバーと、前記圧力室形成部材に接合された配線部材とを備え、前記複数の第１圧力室は、前記第１方向に並ぶ複数の第１端及び前記第１方向に並ぶ複数の第２端と、前記絶縁膜の面方向に沿い前記第１方向と直交する第２方向に関して、前記複数の第１端と前記複数の第２端との間に位置する複数の中心とを有し、各第１圧力室の前記中心は、前記第２方向に関して前記カバーの前記第１凸部と前記第２凸部との間に位置し、前記圧力室形成部材は、前記絶縁膜の面方向と直交する第３方向に前記絶縁膜を挟んで、前記複数の第１圧力室とそれぞれ前記第３方向に重なる複数の第１電極と、前記絶縁膜及び前記複数の第１電極と前記第３方向に重なる圧電層と、前記圧電層を挟んで前記複数の第１電極と前記第３方向に重なる第２電極と、前記複数の第１電極とそれぞれ接続された複数の第１配線と、前記第２電極と接続された第２配線とを有し、前記圧電層は、前記絶縁膜及び前記複数の第１電極に面する第１面と、前記第１面に対して前記絶縁膜及び前記複数の第１電極と反対側の第２面とを有し、前記第２配線は、前記配線部材と接合され、前記第２配線は、前記第２電極から前記配線部材との接点まで連続して延びる延在部を備え、前記圧電層は、前記第３方向に関して、前記絶縁膜と、前記第２配線の前記延在部との間に位置することを特徴とする液体吐出装置が提供される。
【００１０】
本発明の第２の態様に従えば、第１方向に沿って配置された複数の第１圧力室と、前記複数の第１圧力室を覆う絶縁膜と、を有する圧力室形成部材と、前記圧力室形成部材に接合された配線部材とを備え、前記圧力室形成部材は、前記絶縁膜の面方向と直交する第３方向に、前記絶縁膜を挟んで前記複数の第１圧力室それぞれと前記第３方向に重なる複数の第１電極と、前記絶縁膜及び前記複数の第１電極と前記第３方向に重なる圧電層と、前記圧電層を挟んで前記複数の第１電極と前記第３方向に重なる第２電極と、前記複数の第１電極とそれぞれ接続された複数の第１配線と、前記第２電極と接続された第２配線とを有し、前記圧電層は、前記絶縁膜及び前記複数の第１電極に面する第１面と、前記第１面に対して前記絶縁膜及び前記複数の第１電極と反対側の第２面とを有し、前記第２配線は、前記配線部材と接合され、前記第２配線は、前記第２電極から前記配線部材との接点まで連続して延びる延在部を備え、前記圧電層は、前記第３方向に関して、前記絶縁膜と、前記第２配線の前記延在部との間に位置し、前記配線部材は、基材と、基材に形成された複数の配線とを有し、前記配線部材の基材は、前記圧力室形成部材に接合された第１部分と、前記圧力室形成部材から離れる方向に引き出された第２部分と、前記第１部分と前記第２部分の間の湾曲部分とを有することを特徴とする液体吐出装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は本実施形態に係るプリンタの概略的な平面図である。
【図２】図２は圧力室形成基板を示し、図２（ａ）は圧力室形成基板の搬送方向の一端側を示す平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＩＩＢ−ＩＩＢ線断面図、図２（ｃ）は図２（ａ）のＩＩＣ−ＩＩＣ線断面図である。
【図３】図３は個別配線の拡大図であり、図３（ａ）は図２（ａ）のＡ部を拡大した斜視図であり、図３（ｂ）は図２（ａ）のＢ部を拡大した斜視図である。
【図４】図４はカバーが接合された圧力室形成基板を示し、図４（ａ）はカバーが接合された圧力室形成基板の搬送方向の一端側を示す平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＩＶＢ−ＩＶＢ線断面図、図４（ｃ）は図４（ａ）のＩＶＣ−ＩＶＣ線断面図である。
【図５】図５はカバーの底面図である。
【図６】図６は吐出モジュールの製造工程を示すフローチャートである。
【図７】図７は第１変更形態に係る吐出モジュールの、圧力室形成基板及びカバーを示し、図７（ａ）は図４（ａ）に相当する平面図、図７（ｂ）は図４（ｂ）に相当する断面図である。
【図８】図８は第２変更形態に係る吐出モジュールの、圧力室形成基板及びカバーを示し、図８（ａ）は図４（ａ）に相当する平面図、図８（ｂ）は図４（ｂ）に相当する断面図である。
【図９】図９は第３変更形態に係る吐出モジュールの圧力室形成基板を示し、図９（ａ）は図２（ｂ）に相当する断面図、図９（ｂ）は図２（ｃ）に相当する断面図である。
【図１０】図１０は第４変更形態に係る吐出モジュールの圧力室形成基板の図２（ａ）に相当する平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
次に、本発明の実施形態について説明する。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、図１に示す前後左右の各方向をプリンタの「前」「後」「左」「右」と定義する。また、紙面手前側を「上」、紙面向こう側を「下」とそれぞれ定義する。以下では、前後左右上下の各方向語を適宜使用して説明する。
【００１３】
＜プリンタの概略構成＞
図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２、キャリッジ３、インクジェットヘッド４、搬送機構５、コントローラ６等を備えている。
【００１４】
プラテン２の上面には、記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０，１１に沿って左右方向（以下、走査方向ともいう）に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１４が連結されている。キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が駆動されることにより、キャリッジ３は走査方向に移動される。
【００１５】
インクジェットヘッド４は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、走査方向に並ぶ４つの吐出モジュール１６を備えている。４つの吐出モジュール１６は、４つのインクカートリッジ１７が装着されるカートリッジホルダ７と、図示しないチューブによってそれぞれ接続されている。４つのインクカートリッジにはそれぞれ、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクが貯留されている。各吐出モジュール１６は、その下面（図１の紙面向こう側の面）に形成された複数のノズル２４（図２（ａ）参照）を有する。各吐出モジュール１６のノズル２４は、いずれか１つのインクカートリッジ１７から供給された１色のインクを、プラテン２に載置された記録用紙１００に向けて吐出する。
【００１６】
搬送機構５は、前後方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を前方（以下、搬送方向ともいう）に搬送する。
【００１７】
コントローラ６は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及び、各種制御回路を含むＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等を備える。コントローラ６は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＡＳＩＣにより、記録用紙１００への印刷等の各種処理を実行する。例えば、印刷処理において、コントローラ６は、ＰＣ等の外部装置から入力された印刷指令に基づいて、インクジェットヘッド４やキャリッジ駆動モータ１５等を制御して、記録用紙１００に画像等を印刷する。具体的には、キャリッジ３とともにインクジェットヘッド４を走査方向に移動させながらインクを吐出させるインク吐出動作と、搬送ローラ１８，１９によって記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。
【００１８】
次に、インクジェットヘッド４の吐出モジュール１６の構成について詳細に説明する。尚、４つの吐出モジュール１６はそれぞれ同じ構成を有するため、以下では、４つの吐出モジュール１６のうちの１つについて説明する。
【００１９】
図２（ａ）〜図４（ｃ）に示すように、吐出モジュール１６は、圧力室形成部材２２、ＣＯＦ（Chip On Film）５０、カバー６０等を備えている。圧力室形成部材２２は、ノズルプレート２０、流路基板２１、絶縁膜３０、下電極３２、圧電膜３３、上電極３４、個別配線４１、共通配線４２等を備えている。
【００２０】
＜ノズルプレート２０＞
ノズルプレート２０は、例えば、シリコン等で形成されたプレートである。ノズルプレート２０には、複数のノズル２４が形成されている。図２（ａ）に示すように、複数のノズル２４は、搬送方向に沿って配列され、走査方向に並ぶ２つのノズル列２７を構成している。また、１つのノズル列２７におけるノズル２４の配列ピッチをＰとしたときに、２つのノズル列２７の間で、ノズル２４の位置が搬送方向にＰ／２ずれている。
【００２１】
＜流路基板２１＞
流路基板２１は、２層のシリコン単結晶の基板２１ａ、２１ｂから構成される。基板２１ａには、複数の圧力室２６や、後述するマニホールド２５の一部が形成されている。基板２２ｂには、マニホールド２５の一部、複数の圧力室２６をそれぞれ複数のノズル２４と連通させる流路、複数の圧力室２６それぞれをマニホールド２５と連通させる流路等が形成されている。各圧力室２６は、走査方向に長い、矩形の平面形状を有する。以下、走査方向を「（圧力室の）長手方向」、搬送方向を「（圧力室の）短手方向」とも呼ぶ。複数の圧力室２６は、上述した複数のノズル２４の配列に応じて配列され、走査方向に並ぶ２つの圧力室列２８を構成している。流路基板２１の下面はノズルプレート２０で覆われている。上下方向に見ると、各圧力室２６の長手方向の一端部が、ノズル２４と重なっている。各圧力室２６の長手方向の一端部は、走査方向において、吐出モジュール１６の中心側の端部である。
【００２２】
流路基板２１の左右両端部には、２つの圧力室列２８にそれぞれ対応して搬送方向に延びる、２つのマニホールド２５が形成されている。１つの圧力室列２８を構成する圧力室２６の各々は、対応するマニホールド２５と連通している。
【００２３】
各マニホールド２５は、チューブ等を含むインク供給部材（図示省略）によって、カートリッジホルダ７と接続される。カートリッジホルダ７に装着されたインクカートリッジ１７のインクは、上記インク供給部材を介してマニホールド２５に流れ込み、マニホールド２５から各圧力室２６へ供給される。
【００２４】
＜絶縁膜３０＞
図２（ｂ）に示すように、絶縁膜３０は、流路基板２１に形成された複数の圧力室２６を覆っている。本実施形態の絶縁膜３０は、シリコンの流路基板２１の表面が酸化されることにより形成された二酸化シリコンの膜であり、流路基板２１と一体化した膜である。尚、絶縁膜３０はこのような構成には限られず、流路基板２１の表面に別の材料で成膜されてもよい。絶縁膜３０の厚みは、例えば、１〜２μｍである。
【００２５】
＜下電極３２＞
絶縁膜３０の上面の、複数の圧力室２６とそれぞれ重なる領域には、複数の下電極３２が配置されている。つまり、複数の下電極３２は、２つの圧力室列２８にそれぞれ対応して、走査方向に２列に配置されている。本実施形態において、各下電極３２は、走査方向に延びる第１部分３２ａと、第１部分３２ａの走査方向の一端（吐出モジュール１６の中心側の一端）からさらに走査方向に延びる第２部分３２ｂとを有する。第１部分３２ａは、各圧力室２６の平面形状よりも一回り小さい矩形状を有し、第１部分３２ａの全体が、１つの圧力室２６と重なる。第２部分３２ｂの搬送方向の幅は、第１部分３２ａの搬送方向の幅よりも小さい。下電極３２には、個別配線４１を介して、後述するドライバＩＣ５１から個別に駆動信号が供給される。即ち、下電極３２は、圧力室２６毎に個別に設けられた、いわゆる個別電極である。下電極３２は、例えば、白金（Ｐｔ）で形成されている。また、下電極３２の厚みは、例えば、０．０５〜０．３μｍである。
【００２６】
＜圧電膜３３＞
絶縁膜３０及び下電極３２の上には、圧電膜３３が形成されている。圧電膜３３は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料により形成される。あるいは、圧電膜３３は、鉛が含有されていない非鉛系の圧電材料で形成されていてもよい。圧電膜３３の厚みは、例えば、１〜２μｍである。
【００２７】
圧電膜３３には、走査方向に並ぶ２本の貫通孔３８が形成されている。各貫通孔３８は、圧電膜３３の搬送方向の両端よりも内側において、搬送方向に延びている。２本の貫通孔３８は、走査方向に関して、２つの圧力室列２８の内側に位置する。より詳細には、図２（ａ）に示されるように、２本の貫通孔３８は、左側の圧力室列２８を形成する各圧力室２６の右端部と、右側の圧力室列２８を形成する各圧力室２６の左端部との間に位置する。図２（ａ）、２（ｂ）に示されるように、各下電極３２の第２部分３２ｂは、貫通孔３８の内側まで走査方向に延びている。つまり、各下電極３２の第２部分３２ｂの先端部は、貫通孔３８から露出している。なお、以下の説明では、便宜上、圧電膜３３のうち、２本の貫通孔３８よりも走査方向の外側の部分を「活性部」と呼び、２本の貫通孔３８よりも走査方向の内側の部分を「接合部」と呼ぶ。そして、圧電膜３３のうち、走査方向に関して活性部と接合部の間の部分であって、貫通孔３８が形成されていない部分を「中間部」と呼ぶ。
【００２８】
＜上電極３４＞
圧電膜３３の上面３３ｂには、２つの圧力室列２８にそれぞれ対応して走査方向に並ぶ、２つの上電極３４が形成されている。各上電極３４は、搬送方向に長い矩形状を有し、対応する圧力室列２８を形成する複数の圧力室２６の全てと、上下方向に重なっている。より詳細には、各上電極３４の走査方向の両端よりも内側に、対応する圧力室列２８を形成する全ての圧力室２６が配置されている。つまり、各圧力室２６の走査方向の両端は、対応する上電極３４の走査方向の両端よりも内側に位置する。また、２つの上電極３４はそれぞれ、２つの下電極３２の列と、圧電膜３３を挟んで重なっている。上電極３４は、例えば、イリジウムで形成されている。上電極３４の厚みは、例えば、０．０１〜０．１μｍである。
【００２９】
＜個別配線４１＞
次に、個別配線４１について、図２（ａ）、２（Ｂ）、３（ａ）、３（ｂ）を参照しつつ説明する。２列に並んだ複数の下電極３２にはそれぞれ、複数の個別配線４１が接続されている。各個別配線４１は、貫通孔３８を跨いで、圧電膜３３の活性部の上面から接合部の上面まで引き延ばされている。各個別配線４１は、対応する下電極３２の第２部分３２ｂのうち、貫通孔３８から露出した先端部に接続されている。
【００３０】
各個別配線４１は、導電部４１ａと、導電部４１ａから連続する第１延在部４１ｂと、第１延在部４１ｂから連続する第２延在部４１ｃと、第２延在部４１ｃから連続する第３延在部４１ｄとからなる。導電部４１ａは、圧電膜３３の活性部の上面、及び、貫通孔３８によって形成された活性部側の内側面３３ｃに沿って形成されている。第１延在部４１ｂは、絶縁膜３０の上面に沿って形成されており、下電極３２の第２部分３２ｂのうち、貫通孔３８から露出した部分に重ねられている。第２延在部４１ｃは、貫通孔３８によって形成された接合部側の内側面３３ｄに沿って形成されている。第３延在部４１ｄは、圧電膜３３の接合部の上面に沿って形成されている。
【００３１】
第２延在部４１ｃは貫通孔３８の接合部側の内面３８ｂに沿って形成されるため、第２延在部４１ｃの厚みは、絶縁膜３０の上面に形成される第１延在部４１ｂの厚みよりも、薄くなりやすい。そこで、本実施形態では、第２延在部４１ｃの搬送方向の幅ｄ２が、第１延在部４１ｂの、走査方向中心部における搬送方向の幅ｄ１よりも広い。これにより、第２延在部４１ｃにおいて個別配線４１の電気抵抗が小さくなることを防止している。同様の理由から、導電部４１ａの搬送方向の幅ｄ５も、第１延在部４１ｂの、走査方向中心部における搬送方向の幅ｄ１よりも広い。
【００３２】
第３延在部４１ｄは、走査方向に連続する幅広部分４１ｄ１と幅狭部分４１ｄ２を有しており、幅広部分４１ｄ１の搬送方向の幅ｄ３は、幅狭部分４１ｄ２の搬送方向の幅ｄ４よりも広い。
【００３３】
本実施形態では、第１延在部４１ｂと第３延在部４１ｄは、走査方向に対してそれぞれ異なる角度で傾斜している。つまり、各個別配線４１は、上から見たとき、複数の箇所で屈曲しながら、走査方向に延びている。各個別配線４１は、例えば、金（Ａｕ）で形成されている。導電部４１ａの厚みは、例えば、０．５〜２μｍである。第１延在部４１ｂの厚みは、例えば、０．５〜２μｍである。第２延在部４１ｃの厚みは、例えば、０．３〜１．５μｍである。第３延在部４１ｄの厚みは、例えば、０．５〜２μｍである。
【００３４】
図２（ａ）、２（ｂ）に示すように、圧電膜３３の接合部の上には、左側の複数の下電極３２にそれぞれ対応する複数の第３延在部４１ｄと、右側の複数の下電極３２にそれぞれ対応する複数の第３延在部４１ｄとが、搬送方向に交互に並べられている。複数の第３延在部４１ｄには、後述するＣＯＦ５０が接合される。つまり、各第３延在部４１ｄには、ＣＯＦ５０との接点として、駆動接点４６が存在する。
【００３５】
＜共通配線４２＞
共通配線４２は、２つの上電極３４の上面にそれぞれ形成された２つの環状部４２ａと、２つの環状部４２ａの、搬送方向の先端部どうしを接続する２本の延在部４２ｂにより構成される。
【００３６】
図２（ａ）〜２（ｃ）に示すように、各上電極３４の上面には、共通配線４２の環状部４２ａが形成されている。環状部４２ａの走査方向及び搬送方向の中央部には、搬送方向に長い矩形状の開口４２ｃが形成されている。各開口４２ｃの搬送方向の両端は、対応する圧力室列２８を形成する複数の圧力室２６のうち、搬送方向の両端に位置する圧力室２６よりも外側に位置する。上電極３４の、開口４２ｃから露出している部分は、対応する複数の圧力室２６の全てと重なっている。
【００３７】
図２（ａ）に示すように、共通配線４２の２本の延在部４２ｂはそれぞれ、圧電膜３３の、搬送方向に関して２本の貫通孔３８よりも外側の部分に形成されている。換言すると、共通配線４２の２本の延在部４２ｂはそれぞれ、圧電膜３３の搬送方向の両端側の、貫通孔３８が形成されていない部分に形成されている。また、図２（ｃ）に示すように、各延在部４２ｂは、圧電膜３３の、活性部、中間部、及び接合部の上面に沿って、走査方向に対して傾斜しつつ延びている。そして、各延在部４２ｂの走査方向の両端は、２つの環状部４２ａに接続されている。つまり、各延在部４２ｂは、その全体が、圧電膜３３の上面３３ｂと重なっている。換言すれば、圧電膜３３は、上下方向に関して、絶縁膜３０と、各延在部４２ｂとの間に位置する。各延在部４２ｂの、圧電層３３の接合部と重なる部分には、後述するＣＯＦ５０が接合される。つまり、各延在部４２ｂの、圧電層３３の接合部と重なる部分には、ＣＯＦ５０との接点として、グランド接点４８が存在する。
【００３８】
共通配線４２は、例えば、金（Ａｕ）で形成されている。共通配線４２のうち、環状部４２ａの厚みは、例えば、０．５〜２μｍであり、延在部４２ｂの厚みは、例えば、０．５〜２μｍである。
【００３９】
＜ＣＯＦ５０＞
ＣＯＦ５０は、基材５１、基材５１に形成された複数の配線５２、基材５１に実装されたドライバＩＣ５３等を備える。図４（ｂ）、４（ｃ）において破線で示されるように、基材５１は、圧力室形成部材２２に接合され、圧電膜３３の上面に沿う接合部５１ａと、圧力室形成部材２２から離れるように上方に引き出された引き出し部５１ｂと、接合部５１Ａと引き出し部５１ｂの間の湾曲部５１ｃとを有する。なお、ＣＯＦ５０は、後述するカバー６０の貫通孔６２に挿通され、各個別配線４１の第３延在部４１ｄ、及び共通配線４２の延在部４２ｂに接合される。
【００４０】
図４（ｂ）、４（ｃ）に示すように、複数の駆動接点４６と２つのグランド接点４８が配置された、圧電膜３３の接合部の上面には、基材５１の接合部５１ａが接合されている。基材５１の引き出し部５１ｂには、ドライバＩＣ５３が実装されている。また、図示は省略するが、ＣＯＦ５０の他端部は、プリンタ１のコントローラ６（図１参照）に接続されている。ＣＯＦ５０が圧力室形成基板に接合されたときに、基材５１に形成された複数の配線５２の端部が、複数の駆動接点４６及び２つのグランド接点４８と電気的に接続される。
【００４１】
ドライバＩＣ５３は、コントローラ６からの制御信号に基づいて駆動信号を生成する。駆動信号は、配線５２を介して駆動接点４６に入力され、さらに、個別配線４１を介して対応する下電極３２に供給される。このとき、下電極３２の電位が、所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。一方、共通配線４２によってグランド接点４８と接続されている上電極３４には、グランド電位が付与される。
【００４２】
次に、ドライバＩＣ５１から駆動信号が供給されたときの、絶縁膜３０、下電極３２、圧電膜３３、及び上電極３４と、圧力室２６の相互作用について説明する。
【００４３】
駆動信号が入力されていない状態では、下電極３２の電位はグランド電位であり、上電極３４と同電位である。この状態から、下電極３２に駆動信号が入力されると、下電極３２と上電極３４との電位差により、圧電膜３３の、下電極３２と上電極３４とで挟まれた部分に、厚み方向の電界が作用する。このとき、圧電膜３３の、下電極３２と上電極３４とで挟まれた部分が、逆圧電効果により、面方向に収縮する。
【００４４】
このとき、絶縁膜３０、下電極３２、圧電膜３３、及び上電極３４の、圧力室２６と重なる部分が、圧力室２６に向かって凸となるように撓み、圧力室２６の容積が減少する。これにより、圧力室２６内に圧力波が発生し、圧力室２６に連通するノズル２４からインクの液滴が吐出される。以下の説明では、下電極３２、圧電膜３３、及び上電極３４の、１つの圧力室２６と重なる部分を、圧電素子３１と呼ぶ。つまり、絶縁膜３０の上には、複数の圧力室２６にそれぞれ対応して、複数の圧電素子３１が配置されている。そして、複数の圧電素子３１は、２つの圧力室列２８にそれぞれ対応して、走査方向に２列に配置されている。
【００４５】
＜カバー６０＞
図４（ａ）〜４（ｃ）に示すように、圧力室形成基板２２には、カバー６０が接着剤で接合される。カバー６０の外周は搬送方向に長い矩形状であり、搬送方向及び走査方向の中央部には、搬送方向に長い矩形状の貫通孔６２が形成されている。図５に示すように、カバー６０の下面には、貫通孔６２を挟んで走査方向に並ぶ２つの凹部６０ａが形成されている。各凹部６０ａは、搬送方向に長い矩形状の外縁を有する。各凹部６０ａは、各圧電素子３１の上下方向の駆動を妨げない程度の深さを有している。一方、カバー６０の下面の、貫通孔６２及び凹部６０ａが形成されていない部分は、各凹部６０ａの底面よりも下方に突出した凸部６１となっている。以下の説明では、凸部６１のうち、各凹部６０ａの一方の長辺に沿ってその凹部６０ａの２つの短辺まで延びる部分を第１凸部６１ａと呼び、各凹部６０ａの他方の長辺に沿ってその凹部６０ａの２つの短辺まで延びる部分を第２凸部６１ｂと呼ぶ。また、凸部６１のうち、第１凸部６１ａ及び第２凸部６１ｂを除く部分を第３凸部６１ｃと呼ぶ。
【００４６】
カバー６０は、第１凸部６１ａの下面、第２凸部６１ｂの下面、及び第３凸部６１ｃの下面において、圧力室形成基板２２と接合されている。より詳細には、第１凸部６１ａの下面は、各個別配線４１の導電部４１のうち、圧電膜３３の上面に形成された部分、及び、共通配線４２の環状部４２ａに接合されている。第２凸部６１ｂの下面、及び第３凸部６１ｃの下面は、共通配線４２の環状部４２ａに接合されている。
【００４７】
左の圧力室列２８を構成する各圧力室２６は、走査方向に関して、左の第１凸部６１ａと左の第２凸部６１ｂとの間に位置する。より詳細には、左の圧力室列２８を構成する各圧力室２６の走査方向の両端部は、走査方向に関して、左の第１凸部６１ａと左の第２凸部６１ｂとの間に位置し、各圧力室２６は、左の第１凸部６１ａ及び左の第２凸部６１ｂとは重なっていない。図４（ｂ）に示すように、左の第１凸部６１ａは、走査方向に関して、圧電膜３３の左側の貫通孔３８と、左側の各圧力室２６の右端部との間に位置する。より詳細には、左の第１凸部６１ａと圧力室形成基板２２との接合面の走査方向の両端は、走査方向に関して、圧電膜３３の上面３３ｂと左の活性部側の内側面３３ｃとによって形成される角部３３ｅと、左側の各圧力室２６の右端部との間に位置する。なお、以下の説明では、圧電膜３３の上面３３ｂと活性部側の内側面３３ｃとによって形成される外面のうち、曲率半径が最も小さい部分を角部３３ｅと呼ぶ。また、圧電膜３３の上面３３ｂと接合部側の内側面３３ｄとによって形成される外面のうち、曲率半径が最も小さい部分を角部３３ｆと呼ぶ。
【００４８】
同様に、右の圧力室列２８を構成する各圧力室２６は、走査方向に関して、右の第１凸部６１ａと右の第２凸部６１ｂとの間に位置する。より詳細には、右の圧力室列２８を構成する各圧力室２６の走査方向の両端部は、走査方向に関して、右の第１凸部６１ａと右の第２凸部６１ｂとの間に位置し、各圧力室２６は、右の第１凸部６１ａ及び右の第２凸部６１ｂとは重なっていない。図４（ｂ）に示すように、右の第１凸部６１ａは、走査方向に関して、圧電膜３３の右側の貫通孔３８と、右側の各圧力室２６の左端部との間に位置する。より詳細には、右の第１凸部６１ａと圧力室形成基板２２との接合面の走査方向の両端は、走査方向に関して、圧電膜３３の上面３３ｂと右の活性部側の内側面３３ｃとによって形成される角部３３ｅと、右側の各圧力室２６の左端部との間に位置する。
【００４９】
次に、図６を参照しつつ、上述した吐出モジュール１６の製造工程について説明する。
【００５０】
まず、流路基板２１のうち基板２１ａとなるシリコン単結晶基板の表面に、熱酸化等の方法により絶縁膜３０を形成する（ステップＳ１１）。次に、絶縁膜３０の上に、スパッタリング等により下電極３２用の導電膜を形成する。下電極３２用の導電膜をエッチングでパターニングし、第１部分３２ａと第２部分３２ｂとを有する下電極３２を形成する（ステップＳ１２）。
【００５１】
次に、下電極３２が形成された絶縁膜３０の上に、ゾルゲルやスパッタリング等により、圧電膜３３を成膜する。圧電膜３３に、エッチングにより貫通孔３８を形成する（ステップＳ１３）。
【００５２】
次に、圧電膜３３の上に、スパッタリング等により、上電極３４用の導電膜を形成する。上電極用の導電膜をエッチングでパターニングし、上電極３４を形成する（ステップＳ１４）。
【００５３】
次に、上記形状の個別配線４１、及び上記形状の共通配線４２を、メッキで形成する（ステップＳ１５）。
【００５４】
次に、カバー６０を、圧力室形成基板２２の上記位置に、接着剤で接合する（ステップＳ１６）。
【００５５】
次に、カバー６０が接合された圧力室形成基板２２を裏返し、圧力室形成基板２２をカバー６０で支持した状態で、流路基板２１の一部となる基板２１ａを研磨する。所定の厚さになるまで基板２１ａを研磨した後、基板２１ａの研磨した面にエッチングを行い、圧力室２６を形成する。圧力室２６を形成した後、予めエッチングを行うことにより圧力室２６と連通する各種流路が形成された基板２１ｂを、基板２１ａの研磨した面に接着する。（ステップＳ１７）。
【００５６】
基板２１ａに基板２１ｂを接着した後、基板２１ｂにノズルプレート２０を接合する（ステップＳ１８）。最後に、ＣＯＦ５０を圧力室形成基板２２の上記位置に接合する（ステップＳ１９）。
【００５７】
上記実施形態によれば、各個別配線４１の第３延在部４１ｄ、及び共通配線４２の延在部４２ｂが、いずれも圧電膜３３の接合部の上に配置されている。そして、ＣＯＦ５０は、圧電膜３３の接合部の上で、各個別配線４１の第３延在部４１ｄ、及び共通配線４２の延在部４２ｂと接合されている。各個別配線４１の第３延在部４１ｄと共通配線４２の延在部４２ｂとが同じ高さに位置するため、各個別配線４１及び共通配線４２と、ＣＯＦ５０とを、高い信頼度で接合することができる。
【００５８】
また、上記実施形態によれば、駆動接点４６及びグランド接点４８は、カバー６０で覆われていない。このため、圧力室形成基板２２をカバー６０で支持した状態で基板２１ａを研磨しても、駆動接点４６やグランド接点４８には荷重はかからない。従って、吐出モジュール１６の製造工程において、不良が生じにくい。
【００５９】
また、上記実施形態によれば、左の第１凸部６１ａは、走査方向に関して、圧電膜３３の左側の貫通孔３８の左に位置し、右の第１凸部６１ａは、走査方向に関して、圧電膜３３の右側の貫通孔３８の右に位置する。つまり、左の第１凸部６１ａ及び右の第１凸部６１ａは、圧電膜３３の２本の貫通孔３８に対して、走査方向の外側に位置する。このため、圧力室形成基板２２のうち、ＣＯＦ５０を接合するための領域を十分に確保することができる。
【００６０】
上記実施形態において、吐出モジュール１６が本発明の「液体吐出装置」に相当する。下電極３２が本発明の「第１電極」に相当する。上電極３４が本発明の「第２電極」に相当する。搬送方向（圧力室短手方向）が本発明の「第１方向」に相当し、走査方向（圧力室長手方向）が本発明の「第２方向」に相当する。また、上下方向が本発明の「第３方向」に相当する。圧電膜３３の内側面３３ｃが本発明の「第１内側面」に相当し、内側面３３ｄが本発明の「第２内側面」に相当する。角部３３ｅが本発明の「第１角部」に相当し、角部３３ｆが本発明の「第２角部」に相当する。
【００６１】
次に、上記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、上記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００６２】
上記実施形態では、左の圧力室列２８を構成する各圧力室２６の走査方向の両端部は、走査方向に関して、左の第１凸部６１ａと左の第２凸部６１ｂとの間に位置していたが、これに限られない。左の圧力室列２８を構成する各圧力室２６の走査方向の中心が、走査方向に関して、左の第１凸部６１ａと左の第２凸部６１ｂとの間に位置していればよい。同様に、右の圧力室列２８を構成する各圧力室２６の走査方向の中心が、走査方向に関して、右の第１凸部６１ａと右の第２凸部６１ｂとの間に位置していればよい。
【００６３】
左の第１凸部６１ａ、及び、右の第１凸部６１ａは、圧電膜３３の２本の貫通孔３８に対して、走査方向の外側に位置しなくてもよい。例えば、図７（ａ）、７（ｂ）に示すように、左の第１凸部１６１ａ、及び、右の第１凸部１６１ａは、圧電膜３３の２本の貫通孔３８に対して、走査方向の内側に位置してもよい（第１変更形態）。つまり、左の第１凸部１６１ａ、及び、右の第１凸部１６１ａは、左の第２角部３３ｆ及び右の第２角部３３ｆよりも、走査方向の内側に位置してもよい。この場合、各第１凸部１６１ａと圧力室形成基板２２との接合部分が、各圧電素子３１から走査方向に離れているため、各圧電素子３１に接着剤が流れ出し、複数の圧電素子３１の変位特性にバラツキが生じるのを防ぐことができる。
【００６４】
あるいは、図８（ａ）、８（ｂ）に示すように、左の第１凸部２６１ａ、及び、右の第１凸部２６１ａは、圧電膜３３の２本の貫通孔３８にそれぞれ重なってもよい（第２変更形態）。つまり、各第１凸部２６１ａの走査方向の幅が、各貫通孔３８の走査方向の幅、即ち、第１角部３３ｅと第２角部３３ｆとの間の走査方向の距離よりも大きくてもよい。この場合、カバー２６０を圧力室形成基板２２に接合する際に、各第１凸部２６１ａの角部が貫通孔３８に入り込んで、各個別配線４１の、貫通孔３８内に形成されている部分にダメージが与えられるのを防ぐことができる。
【００６５】
図９（ａ）、９（ｂ）に示すように、圧電膜３３の接合部と絶縁膜３０の間に、下電極３２と同じ材料で形成された膜３９が形成されてもよい（第３変更形態）。この膜３９は、下電極３２用の導電膜を形成した後、下電極３２とともにパターニングされてもよい。これにより、圧電膜３３の接合部の上面、並びに、圧電膜３３の接合部の上面に形成される各個別配線４１の第３延在部４１ｄ及び共通配線４２の延在部４２ｂに段差が生じる。このため、ＣＯＦ５０を、各個別配線４１の第３延在部４１ｄ及び共通配線４２の延在部４２ｂと、より確実に接合することができる。
【００６６】
図１０に示すように、圧電膜３３の走査方向及び搬送方向の中央部には、圧電膜３３の面方向に沿って環状に連続するスリット１３８が形成されていてもよい。これにより、圧電膜３３は、環状に連続するスリット１３８の内周よりも圧電膜３３の面方向の内側の第１部分と、環状に連続するスリット１３８の外周よりも圧電膜３３の面方向の外側且つ圧電膜３３の外縁よりも圧電膜３３の面方向の内側の第２部分に区画されてもよい（第４変更形態）。
【００６７】
２つの上電極３４は、搬送方向の端部どうしが、上電極３４と同じ材料で走査方向に接続されていてもよい。
【００６８】
カバー６０は、それぞれが１つの凹部６０ａを有する２つの別個のカバーとして形成されてもよい。
【００６９】
ＣＯＦ５０は、本発明の配線部材の一例に過ぎず、本発明の配線部材は、可撓性を有する基材と、基材に形成された複数の配線とを備えればよい。
【００７０】
絶縁膜３０と下電極３２の間、下電極３２と圧電膜３３の間、圧電膜３３と上電極３４の間、上電極３４と共通配線４２の間、圧電膜３３と共通配線４２の間、各個別配線４１と絶縁膜３０の間、各個別配線４１と圧電膜３３の間等には、圧電素子３１の駆動を妨げない範囲で、追加の層が含まれてもよい。
【００７１】
以上説明した実施形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットヘッドに適用したものであるが、画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置にも本発明は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を吐出して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本発明を適用することは可能である。
【符号の説明】
【００７２】
１６  吐出モジュール
２２  圧力室形成基板
２４  ノズル
２６  圧力室
３０  絶縁膜
３１  圧電素子
３２  下電極
３３  圧電膜
３４  上電極
３８  貫通孔
４１  個別配線
４２  共通配線
５０  ＣＯＦ
６０  カバー
【図１】
2019064163.tif 000003
【図２】
2019064163.tif 000004
【図３】
2019064163.tif 000005
【図４】
2019064163.tif 000006
【図５】
2019064163.tif 000007
【図６】
2019064163.tif 000008
【図７】
2019064163.tif 000009
【図８】
2019064163.tif 000010
【図９】
2019064163.tif 000011
【図１０】
2019064163.tif 000012