(57)【要約】【課題】針部と凹部の接続部分から液体等の流体が漏れることを抑制した針部材、流路ユニット、及び、液体噴射装置を提供する。【解決手段】第１の流路（導入流路６９）が凹部（液体流入口４６）内に開口された流路部材（圧力調整部材１４）の第１の流路と連通される第２の流路（接続流路６３）と、第１の方向に沿って延在され、凹部の内側に配置された環状の弾性部材（シール部材７０）に挿通される針部（液体流出針部４２）と、を備えた針部材（上流部材１３）であって、針部は、第１の方向における第１の流路の開口側の部分であって、先端に第２の流路が開口した先端部（６０）と、第１の方向における第１の流路の開口側とは反対側の部分である後端部（６１）と、を有し、後端部は、第１の方向に直交する第２の方向において、先端部の外面よりも第２の流路に対して外側に形成され規制面（６２）を備えたことを特徴とする針部材（上流部材１３）。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の流路が凹部内に開口された流路部材の前記第１の流路と連通される第２の流路と、第１の方向に沿って延在され、前記凹部の内側に配置された環状の弾性部材に挿通される針部と、を備えた針部材であって、
前記針部は、前記第１の方向における前記第１の流路の開口側の部分であって、先端に前記第２の流路が開口した先端部と、前記第１の方向における前記第１の流路の開口側とは反対側の部分である後端部と、を有し、
前記後端部は、前記第１の方向に直交する第２の方向において、前記先端部の外面よりも前記第２の流路に対して外側に形成され規制面を備え、
前記第１の流路と前記第２の流路とが接続された状態において、前記先端部の外面は、前記弾性部材の前記第１の方向における前記第１の流路の開口側の部分を前記凹部の内周面側に押圧可能であり、前記規制面は、前記先端部の外面よりも前記第２の方向の外側で前記弾性部材の前記第１の方向における前記第１の流路の開口とは反対側の部分を前記凹部の内周面側に押圧可能であることを特徴とする針部材。
【請求項２】
前記規制面は、前記先端部に向けて前記第１の方向に対して斜めに延在することを特徴とする請求項１に記載の針部材。
【請求項３】
前記規制面は、前記第１の流路と前記第２の流路とが接続された状態において、前記凹部の内周面と前記弾性部材とが密着する部分と前記第２の方向に重なることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の針部材。
【請求項４】
前記規制面は、前記後端部の周りに形成された連続的な面であることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の針部材。
【請求項５】
前記規制面は、前記後端部の周りに形成された断続的な面であることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の針部材。
【請求項６】
前記後端部における前記第２の流路の内壁面と前記規制面との間に空間が設けられたことを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の針部材。
【請求項７】
前記針部は基部に突設され、
前記第２の方向における前記規制面の外側の前記基部に溝が設けられたことを特徴とする請求項１から請求項６の何れか一項に記載の針部材。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れか一項に記載の針部材、前記流路部材、及び、前記弾性部材を備えた流路ユニットであって、
前記凹部の開口縁に、前記凹部の内側に向けて延出した庇部を備え、
前記庇部により前記凹部に配置された弾性部材の少なくとも一部が覆われたことを特徴とする流路ユニット。
【請求項９】
請求項１から請求項７の何れか一項に記載の針部材、前記流路部材、及び、前記弾性部材を備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路部材に接続され、流路部材との間で液体等の流体を流通させる針部を備えた針部材、流路ユニット、及び、液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は、液体噴射ヘッドを備え、液体噴射ヘッドのノズルから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置、バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
このような液体噴射装置としては、複数の流路部材を備え、一の流路部材に設けられた針状の部分と、他の流路部材に設けられた凹状の部分とを接続させて、両者に設けられた液体流路を接続する構造を有するものがある。具体的には、図１３及び図１４に示す従来の液体噴射ヘッドにおける２つの流路部材（ここでは、針部材９１と流路部材９２）の接続部分を例示して説明する。流路部材９２は、内部に形成された第１の流路９３と、この第１の流路９３の一端が開口する凹部９４とを備えた流路部材である。また、凹部９４の内部には、貫通孔９８を有する環状の弾性部材９５が配置されている。針部材９１は、内部に形成された第２の流路９６と、この第２の流路９６の一端が開口する針部９７とを備えた流路部材である。そして、凹部９４の内部に配置された弾性部材９５の貫通孔９８に針部９７を挿通して流路部材９２と針部材９１とを接続すれば、弾性部材９５により凹部９４の内周面と針部９７の外周面との間がシールされ、第１の流路９３と第２の流路９６とが液密に接続される。ここで、図１３に示すように、弾性部材９５の貫通孔９８は、針部材９１と流路部材９２とが接続される前の状態において、針部材９１側（図１３における上側。以下、便宜上、同側を上側として説明する。）に向けて幅が広がるように形成されている。これにより、針部材９１と流路部材９２とを接続する際に、針部９７が弾性部材９５の挿通開口に挿通し易くなる。そして、図１４に示すように、流路部材９２と針部材９１とが接続された状態においては、弾性部材９５の上側の部分と、針部９７の上側（根元側）の部分との間に隙間９９が形成される。
【０００４】
ところで、第１の流路９３及び第２の流路９６には、例えば、これらの内部を流れる液体の流量を増やすために意図的に圧力を加えたり、或いは、液体の温度の上昇により、意図せず内部の圧力が上昇したりする場合がある。このような場合、第１の流路９３と第２の流路９６との接続部分から漏れ出た液体が弾性部材９５と凹部９４の内周面との間を通じて上側に移動し（図１４に示す破線矢印参照）、弾性部材９５を内側（換言すると、第２の流路９６側）に押圧する。その結果、弾性部材９５の上部（すなわち、隙間９９に対応する部分）が内側に撓み（図１４に示す白抜き矢印参照）、弾性部材９５と凹部９４の内周面との間から液体が漏れる虞があった。一方、針部（凸部）と凹部との接続部分から液体が漏れることを抑制する技術として、弾性部材（シール部材）が凹部の内周面から離間する方向へ移動することを規制する規制部材を設ける技術が開示されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１８３７４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記した特許文献１のように、規制部材を別途設けるだけでは、十分に液体の漏れを防ぐことができなかった。なお、このような問題は、液体が流れる液体流路の接続部分に限られず、気体が流れる気体流路の接続部分においても同様に存在する。また、液体噴射ヘッドの流路部材に限られず、その他の装置における流体が流れる流路部材にも同様に存在する。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、針部と凹部の接続部分から液体等の流体が漏れることを抑制した針部材、流路ユニット、及び、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の針部材は、上記目的を達成するために提案されたものであり、第１の流路が凹部内に開口された流路部材の前記第１の流路と連通される第２の流路と、第１の方向に沿って延在され、前記凹部の内側に配置された環状の弾性部材に挿通される針部と、を備えた針部材であって、
前記針部は、前記第１の方向における前記第１の流路の開口側の部分であって、先端に前記第２の流路が開口した先端部と、前記第１の方向における前記第１の流路の開口側とは反対側の部分である後端部と、を有し、
前記後端部は、前記第１の方向に直交する第２の方向において、前記先端部の外面よりも前記第２の流路に対して外側に形成され規制面を備え、
前記第１の流路と前記第２の流路とが接続された状態において、前記先端部の外面は、前記弾性部材の前記第１の方向における前記第１の流路の開口側の部分を前記凹部の内周面側に押圧可能であり、前記規制面は、前記先端部の外面よりも前記第２の方向の外側で前記弾性部材の前記第１の方向における前記第１の流路の開口とは反対側の部分を前記凹部の内周面側に押圧可能であることを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、規制面により弾性部材の撓みを抑制できる。その結果、第１の流路及び第２の流路を流れる液体等の流体が弾性部材と凹部の内周面との間から漏れることを抑制できる。また、後端部の規制面が先端部の外面よりも外側に形成されたので、換言すると、先端部が後端部よりも細く形成されたので、針部材を弾性部材に挿通させ易くなる。さらに、規制面が針部の後端部に形成されたので、弾性部材の撓みを抑制する規制部材を別途設ける必要が無く、流路部材の構成を簡略化できる。
【００１０】
上記構成において、前記規制面は、前記先端部に向けて前記第１の方向に対して斜めに延在することが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、針部を凹部側に押圧すればするほど、規制面により弾性部材を凹部の内周面側に押圧することができる。その結果、流体が弾性部材と凹部の内周面との間から漏れることを一層抑制できる。
【００１２】
また、上記各構成の何れかにおいて、前記規制面は、前記第１の流路と前記第２の流路とが接続された状態において、前記凹部の内周面と前記弾性部材とが密着する部分と前記第２の方向に重なることが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、凹部の内周面と弾性部材との密着性を高めることができる。その結果、流体が弾性部材と凹部の内周面との間から漏れることをより確実に抑制できる。
【００１４】
さらに、上記各構成の何れかにおいて、前記規制面は、前記後端部の周りに形成された連続的な面であることが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、弾性部材の内周面全体を凹部の内周面に押圧することができる。その結果、流体が弾性部材と凹部の内周面との間から漏れることを更に抑制できる。
【００１６】
又は、上記各構成の何れかにおいて、前記規制面は、前記後端部の周りに形成された断続的な面であることが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、規制面と弾性部材との間の摩擦を低減でき、針部材を弾性部材に一層挿通させ易くなる。
【００１８】
また、上記各構成の何れかにおいて、前記後端部における前記第２の流路の内壁面と前記規制面との間に空間が設けられたことが望ましい。
【００１９】
この構成によれば、規制面が撓んで弾性部材に追従し易くなる。これにより、たとえ針部材が位置ずれしたとしても、弾性部材の周り全体を均等に押圧し易くなる。その結果、流体が弾性部材と凹部の内周面との間から漏れることを一層確実に抑制できる。
【００２０】
さらに、上記各構成の何れかにおいて、前記針部は基部に突設され、
前記第２の方向における前記規制面の外側の前記基部に溝が設けられたことが望ましい。
【００２１】
この構成によれば、規制面が撓んで弾性部材に追従し易くなる。これにより、たとえ針部材が位置ずれしたとしても、弾性部材の周り全体を均等に押圧し易くなる。その結果、流体が弾性部材と凹部の内周面との間から漏れることを一層確実に抑制できる。
【００２２】
そして、本発明の流路ユニットは、上記各構成の何れかの針部材、前記流路部材、及び、前記弾性部材を備えた流路ユニットであって、
前記凹部の開口縁に、前記凹部の内側に向けて延出した庇部を備え、
前記庇部により前記凹部に配置された弾性部材の少なくとも一部が覆われたことを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、凹部から針部を抜く際に、弾性部材が凹部から離脱することを抑制できる。
【００２４】
また、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の何れかの針部材、前記流路部材、及び、前記弾性部材を備えたことを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、流体の漏れが抑制されるため、液体噴射装置の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】プリンターの内部構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドを斜め上方から観た分解斜視図である。
【図３】記録ヘッドの側面図である。
【図４】単位ヘッドの断面図である。
【図５】上流部材と圧力調整部材との接続箇所における拡大断面図である。
【図６】上流部材と圧力調整部材との接続を説明する拡大断面図である。
【図７】図６におけるＡ−Ａ断面図である。
【図８】第２の実施形態における液体流出針部のＸ−Ｙ面方向における断面図である。
【図９】第３の実施形態における液体流出針部の拡大断面図である。
【図１０】図９におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図１１】第４の実施形態における液体流出針部の拡大断面図である。
【図１２】第５の実施形態における上流部材と圧力調整部材との接続箇所の拡大断面図である。
【図１３】従来の液体噴射ヘッドの針部材との接続を説明する拡大断面図である。
【図１４】従来の液体噴射ヘッドの針部材と流路部材との接続箇所を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、針部材及び流路ユニットを備えた液体噴射装置の一種として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）３が搭載されたインクジェット式プリンター（以下、プリンター）１を例に挙げて説明する。
【００２８】
プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２の表面に対してインク（液体の一種）を噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、複数の液体噴射ユニット８及びこれらにインクを供給する流路ユニット９を備える記録ヘッド３、記録媒体２を搬送する搬送機構４、並びに、液体噴射ユニット８の下面に対向する位置に搬送された記録媒体２を支持する媒体支持部５（プラテンとも呼ばれる）等を筐体６の内部に備えている。
【００２９】
本実施形態における記録ヘッド３は、記録媒体２の搬送方向（図１等におけるＸ方向）に交差する方向（図１等におけるＹ方向）に複数（本実施形態では４つ）の液体噴射ユニット８を並べて取り付けた当該方向（Ｙ方向）に長尺なラインヘッドである。この記録ヘッド３には、液体の一種であるインクを貯留したインクカートリッジ７の内部と連通する液体供給チューブ１０が接続されている。インクカートリッジ７からのインクは、液体供給チューブ１０を介して記録ヘッド３に供給される。なお、インクカートリッジを記録ヘッド上に装着する構成を採用することもできる。また、記録ヘッド３には、図示しないポンプを用いて気体（本実施形態では空気）を記録ヘッド３側に送る気体供給チューブ１１が接続されている。
【００３０】
搬送機構４は、媒体支持部５よりも記録媒体２の搬送方向における上流側に上下一対に配置された第１の搬送ローラー１２ａと、媒体支持部５よりも搬送方向における下流側に上下一対に配置された第２の搬送ローラー１２ｂと、を備えている。供給側からの記録媒体２は、これらの搬送ローラー１２ａ，１２ｂの駆動により、上下のローラーに挟まれた状態で媒体支持部５上を通過して排出側に向けて搬送される。なお、図１において、上下一対のローラーのうち、上側のローラーの図示は省略されている。また、搬送機構が、無端ベルトやドラムにより構成されるものもあり、このような構成では、ベルトやドラムが媒体支持部として機能する。さらに、媒体支持部としては、記録媒体を静電力により吸着させる構成のものや、負圧を発生させることで記録媒体を吸着させる構成のものを採用することもできる。
【００３１】
図２は、記録ヘッド３の構成を示す分解斜視図である。図３は、記録ヘッド３の長手方向（Ｙ方向）から見た側面図である。なお、以下においては、記録ヘッド３の各構成部材の積層方向（図２等におけるＺ方向）を、適宜上下方向として説明する。本実施形態における記録ヘッド３は、図２及び図３に示すように、金属製の金属ベース５１、金属ベース５１の上方に固定された流路ユニット９、及び、金属ベース５１の下面に固定された液体噴射ユニット８を備えている。流路ユニット９は、各液体噴射ユニット８にインクを供給する部材であり、本実施形態では、液体供給チューブ１０からのインクや気体供給チューブ１１からの空気が導入される上流部材１３（本発明における針部材の一種）と、内部を流れるインクの圧力を調整する圧力調整部材１４（本発明における流路部材の一種）とから成る。
【００３２】
上流部材１３は、インクが流れる液体流路及び空気が流れる気体流路（何れも図示せず）が内部に形成された合成樹脂（例えば、ＰＰ（ポリプロピレン））製の板状部材である。この上流部材１３は、例えば、ねじや接着剤、或いは、係止部を係止させること等により流路部材の上部に固定されている。図２及び図３に示すように、この上流部材１３の上面には、各色に対応した液体供給チューブ１０が接続される液体供給チューブ接続部４１が複数（本実施形態では４つ）形成されている。液体供給チューブ接続部４１は、上流部材１３の内部の液体流路を介して上流部材１３の下面に形成された液体流出針部４２（本発明における針部の一種）と連通されている。本実施形態における液体流路は、１つの液体供給チューブ接続部４１から流入したインクが４つの液体噴射ユニット８に分配されるように途中で分岐され、４つの液体流出針部４２と連通されている。すなわち、１つの液体供給チューブ接続部４１は、液体流路を介して４つの液体流出針部４２と連通する。また、上流部材１３の上面には、気体供給チューブ１１が接続される気体供給チューブ接続部４３が複数（本実施形態では２つ）形成されている。気体供給チューブ接続部４３は、上流部材１３の内部の気体流路を介して上流部材１３の下面に形成された気体流出針部４４（本発明における針部の一種）と連通されている。本実施形態における気体流路も途中で分岐され、４つの気体流出針部４４と連通されている。すなわち、１つの気体供給チューブ接続部４３は、気体流路を介して４つの気体流出針部４４と連通する。
【００３３】
なお、本実施形態における気体流出針部４４は、図２に示すように、上流部材１３の長手方向（Ｙ方向）に直交する方向（Ｘ方向）の略中央において、上流部材１３の長手方向（Ｙ方向）に沿って複数（具体的には、８つ）形成されている。また、本実施形態における液体流出針部４２は、気体流出針部４４の列のＸ方向の両側において、それぞれＹ方向に沿って並設されている。すなわち、複数（具体的には、８つ）の液体流出針部４２が並べられてなる液体流出針部４２の列が、気体流出針部４４の列を挟んで２列に形成されている。さらに、液体流出針部４２及び気体流出針部４４は、円筒状（針状）に形成され、上流部材１３の下面から下方に向けて突設されている。本実施形態においては、液体流出針部４２の径が、気体流出針部４４の径よりも小さくなるように形成されている。なお、液体流出針部４２及び気体流出針部４４の形状に関し、詳しくは後述する。
【００３４】
圧力調整部材１４は、上流部材１３の下方（液体噴射ユニット８側）に接続された合成樹脂（例えば、ＰＰ（ポリプロピレン））製の部材である。この圧力調整部材１４の上面には、上流部材１３の液体流出針部４２に対応する液体流入口４６（本発明における凹部の一種）、及び、上流部材１３の気体流出針部４４に対応する気体流入口４７（本発明における凹部の一種）がそれぞれ複数形成されている。なお、液体流入口４６及び気体流入口４７の形状に関し、詳しくは後述する。圧力調整部材１４の上面に上流部材１３が固定されると、対応する液体流出針部４２と液体流入口４６、及び、気体流出針部４４と気体流入口４７が接続されるように構成されている。液体流入口４６は、圧力調整部材１４の内部に形成された図示しない液体流路を介して圧力調整部材１４の下方に突設された液体流出管４８と連通されている。また、気体流入口４７は、圧力調整部材１４の内部に形成された図示しない気体流路と連通する。気体流路は、その一部に薄い膜を介して液体流路の一部と接する部分を有しており、当該気体流路内の圧力を調整することで、液体流路内の圧力を調整できるように構成されている。例えば、ポンプを駆動させて気体供給チューブ１１、上流部材１３及び気体流入口４７を介して圧力調整部材１４の気体流路に空気を送れば、液体流路内の圧力を高めることができ、ひいては、液体噴射ユニット８内の圧力を高めることができる。そして、この液体噴射ユニット８内のインクの圧力を制御することで、例えば、各ノズル２４からインクを溢れさせた状態において図示しないワイパー等で液体噴射ユニット８の下面（すなわち、ノズルプレート２３の下面）を払拭するクリーニング動作等を行うことができる。
【００３５】
圧力調整部材１４が固定される金属ベース５１は、図２に示すようにＹ方向に長尺なＸ−Ｙ面に沿った硬質な板材である。この金属ベース５１は、図３に示す接地線Ｇに電気的に接続されることで接地されている。また、金属ベース５１の圧力調整部材１４が固定される領域には、圧力調整部材１４の液体流出管４８が挿通されるベース貫通孔５２が板厚方向に貫通した状態で複数開設されている。図３に示すように、圧力調整部材１４の液体流出管４８は、ベース貫通孔５２に挿通されて液体噴射ユニット８（詳しくは、液体導入口５８）と接続されている。
【００３６】
本実施形態における液体噴射ユニット８は、金属ベース５１の下面（すなわち、媒体支持部５側の面）において、それぞれ相対位置が規定された状態でＹ方向に並べてねじ止め若しくは接着剤により固定されている。図２に示すように、各液体噴射ユニット８は、複数の単位ヘッド１６（ヘッドチップともいう）と、各単位ヘッド１６に供給するインクが流れる供給流路（図示せず）が形成された流路構造体５５と、各単位ヘッド１６を保護する保護板５６とを備えている。流路構造体５５は、インクカートリッジ７から送られてきたインクを、当該流路構造体５５の下面側に接合された各単位ヘッド１６に分配・供給する複数の部材が積層されてなる部材である。この流路構造体５５の上面には、複数の液体導入口５８が開設されており、この液体導入口５８から内部の流路にインクを導入する。本実施形態においては、合計４色のインクに対応して液体導入口５８が４つ流路構造体５５に設けられている。流路構造体５５の内部の各色に対応した供給流路の途中には、図示しないフィルターがそれぞれ配設されており、供給流路を流れるインクから気泡や異物を除去する。各供給流路は、流路構造体５５の内部において液体噴射ユニット８に設けられた単位ヘッド１６の数に応じた数の分岐流路に分岐され、当該複数の単位ヘッド１６の液体導入路２１と連通する。
【００３７】
単位ヘッド１６は、後述するようにノズル２４が開設されたノズルプレート２３や、ノズル２４と連通する流路が形成された基板や、インクを噴射（吐出）させる駆動源であるアクチュエーターユニット１７等の構成部材が積層されて成る。本実施形態における単位ヘッド１６は、ノズルプレート２３の下面からの平面視で、ノズル列方向（Ｘａ方向）に長尺な略平行四辺形状を呈している。また、本実施形態においては、各液体噴射ユニット８に合計６つの単位ヘッド１６が、液体噴射ユニット８の並設方向であるＹ方向に沿って並べて配置され、１つの単位ヘッド１６に合計２条のノズル列が設けられている。従って、各液体噴射ユニット８に１２条のノズル列が並設されている。保護板５６は、液体噴射ユニット８に設けられている各単位ヘッド１６に共通な金属製の板状板材である。この保護板５６には、各単位ヘッド１６のノズルプレート２３に対応する位置に、当該ノズルプレート２３に形成されたノズル２４を露出させるノズル露出開口５７が開口されている。本実施形態におけるノズル露出開口５７は、ノズル列方向（Ｘａ方向）に長尺な平行四辺形状を呈している。各単位ヘッド１６は、対応するノズル露出開口５７にノズル２４を露出させた状態で、保護板５６の上面（媒体支持部５側とは反対側の面）に接着剤により接合される。
【００３８】
本実施形態における単位ヘッド１６は、図４に示すように、アクチュエーターユニット１７及び単位流路ユニット１８が積層された状態でヘッドケース１９に取り付けられている。
【００３９】
本実施形態におけるヘッドケース１９は、合成樹脂製の箱体状部材である。図４に示すように、ヘッドケース１９の中央部には、ノズル列方向に沿って長尺な空間であるアクチュエーター収容空間２０及び貫通空間２２が形成されている。アクチュエーター収容空間２０は、アクチュエーターユニット１７が収容される空間であり、アクチュエーターユニット１７の厚さの分だけヘッドケース１９の下面から板厚方向（すなわち、下面に直交する方向）の途中まで凹んだ状態に形成されている。貫通空間２２は、このアクチュエーター収容空間２０の上面側の天井面に連通し、ヘッドケース１９を板厚方向に貫通した状態に形成されている。なお、貫通空間２２及びアクチュエーター収容空間２０には、圧電素子３２に駆動信号を供給するフレキシブル基板３５が配置されている。また、図４に示すように、ヘッドケース１９の内部にはインクが流れる液体導入路２１が形成されている。この液体導入路２１の下端は、後述する共通液室２６と連通する。本実施形態では、２列に形成されたノズル列に対応して、液体導入路２１が２つ形成されている。
【００４０】
ヘッドケース１９の下面には、単位流路ユニット１８が接続されている。この単位流路ユニット１８は、連通基板２５、ノズルプレート２３、及びコンプライアンス基板３７が積層されて成るノズル列方向に沿って長尺な基板である。連通基板２５は、例えばシリコン単結晶基板から作製される基板である。この連通基板２５には、図４に示すように、液体導入路２１と連通し、各圧力室３０に共通なインクが貯留される共通液室２６と、この共通液室２６からのインクを各圧力室３０に個別に供給する個別連通路２７と、圧力室３０とノズル２４とを連通するノズル連通路２８とが、異方性エッチングにより形成されている。共通液室２６は、ノズル列方向に沿った長尺な空部であり、液体導入路２１に対応して２列に形成されている。個別連通路２７及びノズル連通路２８は、圧力室３０の並設方向（換言すると、ノズル列方向）に沿って複数形成されている。
【００４１】
ノズルプレート２３は、連通基板２５の下面（すなわち、圧力室形成基板２９とは反対側の面）に接合されたシリコン製の基板（例えば、シリコン単結晶基板）である。本実施形態のノズルプレート２３は、コンプライアンス基板３７と重ならないように、コンプライアンス基板３７から外れた領域に接合されている。換言すると、ノズルプレート２３は、連通基板２５の共通液室２６の下面側の開口から外れた中央の領域に接合されている。このノズルプレート２３には、複数のノズル２４がノズルプレート２３の長手方向に沿って直線状（換言すると、列状）に開設されている。すなわち、複数のノズル２４からなるノズル列が形成されている。この並設された複数のノズル２４（すなわち、ノズル列）は、一端側のノズル２４から他端側のノズル２４までドット形成密度に対応したピッチで等間隔に設けられている。
【００４２】
コンプライアンス基板３７は、連通基板２５の下面であって、共通液室２６に対応する領域に接合された可撓性を有する基板である。すなわち、コンプライアンス基板３７は、連通基板２５のノズルプレート２３に覆われていない領域に接合されている。本実施形態におけるコンプライアンス基板３７は、金属等の硬質な材料からなる固定基板３８に、剛性が低く可撓性を有する封止膜３９が積層された板材である。固定基板３８の共通液室２６に対向する領域は、厚さ方向に除去された開口部となっている。このため、共通液室２６の下面は、封止膜３９のみで封止され、共通液室２６内のインクの圧力変動を吸収するコンプライアンス部として機能する。
【００４３】
本実施形態におけるアクチュエーターユニット１７は、図４に示すように、圧力室形成基板２９、振動板３１、及び、封止板３３等の基板が積層されて成る複合基板である。このアクチュエーターユニット１７は、ヘッドケース１９のアクチュエーター収容空間２０内に収容可能な大きさに形成され、このアクチュエーター収容空間２０内に収容されている。
【００４４】
圧力室形成基板２９は、例えばシリコン単結晶基板から作製される基板である。この圧力室形成基板２９には、異方性エッチング等により一部が板厚方向に完全に除去されて、圧力室３０となるべき空間がノズル列方向に沿って複数並設されている。この空間は、下方が連通基板２５により区画され、上方が振動板３１により区画されて、圧力室３０を構成する。また、この空間、すなわち圧力室３０は、ノズル列方向に直交する方向に長尺に形成され、長手方向の一側の端部に個別連通路２７が連通すると共に、他側の端部にノズル連通路２８が連通する。また、本実施形態における圧力室３０は、ノズル列方向に沿って複数形成されている。
【００４５】
振動板３１は、例えば、圧力室形成基板２９の上面（すなわち、連通基板２５側とは反対側の面）に形成された二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された二酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜と、から成る薄膜状の部材である。この振動板３１によって、圧力室３０となるべき空間の上部開口が封止されている。換言すると、振動板３１によって、圧力室３０の上面が区画されている。この振動板３１における圧力室３０（詳しくは、圧力室３０の上部開口）に対応する部分は、圧電素子３２の撓み変形に伴ってノズル２４から遠ざかる方向あるいは近接する方向に変位する変位部として機能する。すなわち、振動板３１における圧力室３０の上部開口に対応する領域が、撓み変形が許容される駆動領域となる。そして、この駆動領域（変位部）の変形（変位）により、圧力室３０の容積は変化する。一方、振動板３１における圧力室３０の上部開口から外れた領域が、撓み変形が阻害される非駆動領域となる。
【００４６】
振動板３１（詳しくは振動板３１の絶縁体膜）の上面（すなわち、振動板３１の圧力室形成基板２９側とは反対側の面）における各圧力室３０に対応する領域（すなわち、駆動領域）には、圧電素子３２がそれぞれ積層されている。本実施形態における圧電素子３２は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子３２は、各ノズル２４に対応してノズル列方向に沿って複数並設されている。各圧電素子３２は、例えば、振動板３１上から順に、個別電極となる下電極層、圧電体層及び共通電極となる上電極層が順次積層されてなる。なお、駆動回路や配線の都合によって、下電極層を共通電極、上電極層を個別電極にすることもできる。このように構成された圧電素子３２は、下電極層と上電極層との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると、ノズル２４から遠ざかる方向あるいは近接する方向に撓み変形する。
【００４７】
封止板３３は、図４に示すように、圧電素子３２を収容可能な圧電素子収容空間３４が形成された基板である。この封止板３３は、圧電素子収容空間３４内に圧電素子３２を収容した状態で、振動板３１上に接合されている。本実施形態では、２列に形成された圧電素子３２の列に対応して、圧電素子収容空間３４が２列形成されている。この２つの圧電素子収容空間３４の間には、封止板３３が板厚方向に除去された接続空間３６が形成されている。接続空間３６は貫通空間２２と連通し、その内部には貫通空間２２に挿通されたフレキシブル基板３５の端部が配置される。そして、この接続空間３６において、フレキシブル基板３５と圧電素子３２から延在したリード配線（図示せず）と、が接続されている。
【００４８】
このように形成された記録ヘッド３においては、インクカートリッジ７に貯留されたインクを上記した各部材の液体流路を通じて圧力室３０内に導入する。そして、圧力室３０内にインクが満たされた状態で、制御部からの駆動信号が圧電素子３２に供給されると、圧電素子３２が駆動され、圧力室３０の容積が変化する。この容積の変化に伴う圧力室３０内のインクの圧力変動を利用することにより、記録ヘッド３はノズル２４からインク滴を噴射する。
【００４９】
次に、上流部材１３と圧力調整部材１４との流路の接続部分、すなわち、液体流出針部４２と液体流入口４６との接続部分、及び、気体流出針部４４と気体流入口４７との接続部分について詳しく説明する。なお、液体流出針部４２の形状と気体流出針部４４の形状とは、大きさ（具体的には、外径の大きさ）が異なることを除いてほぼ同じ形状であり、また、これらが接続される液体流入口４６の形状と気体流入口４７の形状とは、大きさ（具体的には、内径の大きさ）が異なることを除いてほぼ同じ形状であるため、以下の説明においては、液体流出針部４２と液体流入口４６との接続部分を代表して例示する。図５は、液体流出針部４２と液体流入口４６とが接続された後の状態を表した接続部分の拡大断面図である。図６は、液体流出針部４２と液体流入口４６とが接続される前の状態を表した接続部分の拡大断面図である。図７は、図６におけるＡ−Ａ断面図、すなわち、Ｘ−Ｙ面方向における断面図である。
【００５０】
液体流出針部４２は、図５及び図６に示すように、上流部材１３の下端面（本発明における基部に相当）から圧力調整部材１４側に向けてＺ方向（本発明における第１の方向に相当）に沿って延在された針状の部分である。本実施形態においては、液体流出針部４２の外周形状が円形になるように形成されている（図７参照）。この液体流出針部４２の内部には、上流部材１３に形成された一連の液体流路の下端部を成す接続流路６３（本発明における第２の流路に相当）がＺ方向に沿って形成されている。また、液体流出針部４２は、Ｚ方向における液体流入口４６側（すなわち、液体流出針部４２の先端側）の部分である先端部６０と、Ｚ方向における液体流入口４６側とは反対側（すなわち、液体流出針部４２の後端側）の部分である後端部６１と、を有している。本実施形態における先端部６０は、外径が略一定の大きさに揃えられた円筒形状に形成され、その先端に接続流路６３の下端が開口する。また、先端部６０の先端面（すなわち、接続流路６３が開口した面）と側面（換言すると、外周面）とが交差する角部は、面取りされている。
【００５１】
後端部６１は、その側面に後述するシール部材７０の位置を規制する規制面６２を備えている。本実施形態における後端部６１は、先端部６０側に向けて縮径した円錐台形状に形成され、その外周面全体が規制面６２となっている。すなわち、規制面６２は、図７に示すように、後端部６１の周りに形成された連続的な面となっている。また、規制面６２は、図５及び図６に示すように、先端部６０に向けてＺ方向に対して斜めに延在した面となっている。この規制面６２（すなわち、後端部６１の外周面）は、Ｚ方向に直交する方向（本発明における第２方向に相当）において、先端部６０の外面（外周面）よりも外側に形成されている。換言すると、規制面６２は、Ｘ−Ｙ面内の一の方向（例えば、Ｘ方向）において、先端部６０の外面よりも接続流路６３に対して外側に形成されている。なお、本実施形態における規制面６２は、全面が先端部６０の外面よりも外側に形成されているが、これには限られず、少なくとも一部が先端部６０の外面よりも外側に形成されていれば良い。
【００５２】
液体流入口４６は、上流部材１３側からこれとは反対側に向けてＺ方向に凹んだ凹部である。本実施形態における液体流入口４６は、圧力調整部材１４の上端面に突設された凸部６６の内側に形成されている。また、本実施形態における液体流入口４６は、液体流出針部４２の形状に合わせて、平面視において、換言するとＸ−Ｙ面方向の断面において円形に形成されている。さらに、本実施形態における液体流入口４６は、凸部６６の上端面に開口した第１の凹部６７と、この第１の凹部６７の底面から更にＺ方向に凹んだ第２の凹部６８とを備えている。第１の凹部６７と第２の凹部６８とは、同心円状に形成され、第１の凹部６７の内径は第２の凹部６８の内径よりも大きく形成されている。また、第１の凹部６７の内径は、液体流出針部４２の最大外径（すなわち、後端部６１の後端側の外径）よりも大きく形成されている。第２の凹部６８の内径は、後端部６１の最小外径よりも小さく、且つ先端部６０の外径よりも大きく形成されている。そして、第２の凹部６８の底面には、圧力調整部材１４に形成された一連の液体流路の上端部を成す導入流路６９（本発明における第１の流路に相当）の上端が開口されている。この導入流路６９は、液体流入口４６と液体流出針部４２とが接続された状態で、接続流路６３に連通され、上流部材１３側からのインクを圧力調整部材１４の内部へ導入する。なお、第１の凹部６７の底面と第２の凹部６８の内周面との間の角部は、面取りされている。
【００５３】
液体流入口４６の内側には、液体流出針部４２と液体流入口４６との間を密封し、接続流路６３と導入流路６９とを液密に連通させる環状のシール部材７０（本発明における弾性部材に相当）が配置されている。このシール部材７０は、ブチルゴム等のゴム材料やエラストマー等の樹脂から成る弾性を有する部材である。本実施形態におけるシール部材７０は、第１の凹部６７内にほぼ収まる大きさに形成され、第１の凹部６７の底部に載置されている。シール部材７０の内部には、図６に示すように、液体流出針部４２と液体流入口４６とが接続されていない状態で、上流部材１３側に向けて幅が広がるように形成された、すなわち上流部材１３側に向けて拡径された挿通開口７１が形成されている。具体的には、この挿通開口７１は、シール部材７０の導入流路６９側に開口する小径部７２と、この小径部７２から上流部材１３側に向けて拡径した拡径部７３と、シール部材７０の上流部材１３側に開口する大径部７４とから成る。小径部７２は、先端部６０の外径よりも小さい径に形成されている。また、大径部７４は、上流部材１３側に向けて僅かに拡径し、後端部６１の最小外径（すなわち、後端部６１の先端部６０側の外径）と略同じ径、又は、これよりも僅かに小さい径に形成されている。拡径部７３は、小径部７２と大径部７４とを接続する部分である。そして、この挿通開口７１に液体流出針部４２が挿通されることで、液体流出針部４２と液体流入口４６とが接続される。なお、シール部材７０の側面部には、一部が外側（すなわち、第１の凹部６７の内周面側）に僅かに隆起した凸条部７５が外周に亘って形成されている。これにより、シール部材７０によるシール性を高めることができる。
【００５４】
次に、液体流入口４６と液体流出針部４２との接続について説明する。液体流入口４６と液体流出針部４２とを接続する際には、図６における白抜き矢印に示すように、上流部材１３又は圧力調整部材１４の何れか一方を他方に向けて相対的に移動させ、液体流入口４６内に配置されたシール部材７０の挿通開口７１に液体流出針部４２を挿入する。この際、シール部材７０の挿通開口７１は、上流部材１３側に向けて拡径され、大径部７４の外径は、先端部６０の外径よりも大きく形成されているため、液体流出針部４２をシール部材７０に挿通させ易くなる。また、液体流出針部４２の形状も、先端部６０が後端部６１よりも細く形成されているため、換言すると先細り形状になっているため、液体流出針部４２をシール部材７０に一層挿通させ易くなる。液体流出針部４２の先端部６０を、大径部７４を通じて拡径部７３に進入させ、さらに小径部７２側に進入させると、小径部７２が外側に押し広げられる。すなわち、液体流出針部４２の先端部６０の外周面により、小径部７２が第１の凹部６７の内周面側に押圧され、これに伴って小径部７２に対応する部分のシール部材７０の外周面が第１の凹部６７の内周面に密着する。これにより、液体流出針部４２の先端部６０と液体流入口４６（詳しくは、第１の凹部６７の内周面）との間を密封することができる。
【００５５】
また、液体流出針部４２をさらに導入流路６９側に移動させ、液体流出針部４２の後端部６１を大径部７４及び拡径部７３に進入させると、後端部６１の規制面６２が大径部７４及び拡径部７３の内周面に当接する。この状態から液体流出針部４２をさらに導入流路６９側に移動させ、接続流路６３の開口と導入流路６９の開口とを、両者の間に僅かな空間を設けて、或いは、空間を設けずに対向させると、後端部６１の規制面６２により、大径部７４及び拡径部７３の内周面が第１の凹部６７の内周面側に押圧される。これにより、大径部７４及び拡径部７３に対応する部分のシール部材７０の外周面が第１の凹部６７の内周面に密着し、液体流入口４６と液体流出針部４２とが接続される。すなわち、図５に示すように、先端部６０の外面によりシール部材７０の先端部分（詳しくは、Ｚ方向における導入流路６９の開口側の部分）が液体流入口４６の内周面側に押圧され、先端部６０よりもＺ方向に直交する方向の外側において、後端部６１の規制面６２によりシール部材７０の後端部分（詳しくは、シール部材７０のＺ方向における導入流路６９の開口とは反対側の部分）が液体流入口４６の内周面側に押圧される。その結果、液体流出針部４２と液体流入口４６との間を、シール部材７０を介して密封することができる。
【００５６】
このように、規制面６２によりシール部材７０の先端部分だけでなくシール部材７０の後端部分を押圧できるため、たとえ液体流路内の圧力の上昇により接続流路６３と導入流路６９との間からインクが漏れ出たとしても、シール部材７０が内側に撓むことを抑制できる。これにより、接続流路６３及び導入流路６９を流れるインクがシール部材７０と液体流入口４６（詳しくは、第１の凹部６７）の内周面との間から漏れることを抑制できる。特に、規制面６２が先端部６０に向けてＺ方向に対して斜めに延在したので、液体流出針部４２を液体流入口４６側に押圧すればするほど、規制面６２によりシール部材７０を液体流入口４６の内周面側に押圧することができる。その結果、インクがシール部材７０と液体流入口４６の内周面との間から漏れることを一層抑制できる。また、後端部６１の外周面を規制面６２として利用したので、弾性部材の撓みを抑制する規制部材等を別途設ける必要が無く、上流部材１３の構成を簡略化できる。
【００５７】
さらに、図５に示すように、接続流路６３と導入流路６９とが接続された状態において、液体流入口４６内の密封部分（すなわち、液体流入口４６の内周面とシール部材７０とが密着する部分）と、規制面６２とがＺ方向に直交する方向に重なるため、液体流入口４６の内周面とシール部材７０との密着性をより高めることができる。その結果、インクがシール部材７０と液体流入口４６の内周面との間から漏れることをより確実に抑制できる。そして、本実施形態においては、規制面６２を後端部６１の外周面、すなわち後端部６１の周りに形成された連続的な面としたので、シール部材７０の挿通開口７１の内周面全体を液体流入口４６の内周面側に押圧することができる。その結果、シール部材７０を液体流入口４６の内周面側に略均一に押圧することが可能となり、インクがシール部材７０と液体流入口４６の内周面との間から漏れることを更に抑制できる。したがって、記録ヘッド３、ひいてはプリンター１の信頼性を高めることができる。
【００５８】
ところで、液体流出針部４２の形状は、上記した第１の実施形態で例示したものに限られない。例えば、図８に示す第２の実施形態においては、規制面６２が、後端部６１の周りに形成された断続的な面となっている。なお、図８は、液体流出針部４２のＸ−Ｙ面方向における断面図であり、第１の実施形態における図７に対応する図である。本実施形態における液体流出針部４２の後端部６１は、その外周面に複数（具体的には、６つ）の切欠き７７が形成されている。この切欠き７７は、外周面から凹んだ状態に形成され、Ｚ方向に沿って形成されている。そして、切欠き７７により後端部６１の最外周の面、すなわち規制面６２が複数（具体的には、６つ）に分断されている。なお、切欠き７７が形成されているところ以外の規制面６２の形状は、上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。また、本実施形態における切欠き７７の底面は、先端部６０の外周面の形状に揃えられている。すなわち、切欠き７７の底面と接続流路６３との距離（Ｚ方向に直交する方向おける寸法）は、先端部６０の外周面と接続流路６３との距離に揃えられている。換言すると、液体流出針部４２の規制面６２が形成されていない部分は、先端部６０から後端部６１に亘って、Ｚ方向に外面が揃っている。なお、その他の構成は、上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００５９】
このように、規制面６２を後端部６１の周りに形成された断続的な面としたので、液体流出針部４２を液体流入口４６に接続する際に、規制面６２とシール部材７０との間の摩擦を低減できる。その結果、液体流出針部４２をシール部材７０に一層挿通させ易くなる。なお、後端部６１の外周面に形成される切欠き７７の数、及び、規制面６２の数は、適宜に設定し得る。また、切欠き７７の深さも適宜に設定し得る。
【００６０】
また、図９及び図１０に示す第３の実施形態においては、後端部６１における接続流路６３と規制面６２との間に空間７８が設けられている。なお、図９は、第３の実施形態における液体流出針部４２の拡大断面図であり、図１０は、図９におけるＢ−Ｂ断面図である。また、本実施形態においても、第２の実施形態と同じく切欠き７７が形成され、後端部６１の規制面６２が複数に分断されている。本実施形態における空間７８は、図９に示すように、接続流路６３（詳しくは接続流路６３の内壁面）と規制面６２との間において、後端部６１の先端部６０側の端から後端部６１の根元付近までＺ方向に沿って延在された溝状の空間７８である。また、この空間７８は、図１０に示すように、隣り合う切欠き７７同士を繋ぐように、接続流路６３と同心円の円周方向に沿って形成されている。なお、その他の構成は、上記した第２の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００６１】
このように、後端部６１の接続流路６３と規制面６２との間に空間７８を設けたので、規制面６２が形成された部分が内側に撓み易くなる。すなわち、液体流出針部４２を液体流入口４６に接続する際に、規制面６２が内側に変形し、シール部材７０に追従し易くなる。これにより、たとえ液体流出針部４２が液体流入口４６に対して、Ｘ−Ｙ平面方向に位置ずれしたとしても、規制面６２がこれに応じて撓み、シール部材７０の周り全体を均等に押圧し易くなる。その結果、インクがシール部材７０と液体流入口４６の内周面との間から漏れることを一層確実に抑制できる。なお、本実施形態においては、規制面６２が断続的な面である場合において空間７８を形成した例を示したが、これには限られない。第１の実施形態で例示したような規制面６２が連続的な面で形成された場合にも、上記のような空間を形成し得る。この場合、この空間は、接続流路６３の周りを囲うように形成される。なお、空間７８の深さや幅等の各部の寸法は適宜に設定し得る。また、空間７８は、溝状の空間に限られず、例えば、閉鎖された空間であっても良い。
【００６２】
さらに、図１１に示す第４の実施形態においては、Ｚ方向に直交する方向における規制面６２の外側の上流部材１３に溝７９が形成されている。具体的には、図１１に示すように、上流部材１３の下端面において、液体流出針部４２の周りを囲うように溝７９が形成されている。このような溝７９を設けることで、液体流出針部４２の後端部６１の剛性を弱めて、規制面６２を内側に撓み易くさせることができる。すなわち、液体流出針部４２を液体流入口４６に接続する際に、規制面６２が内側に変形し、シール部材７０に追従し易くなる。これにより、たとえ液体流出針部４２が液体流入口４６に対して、Ｘ−Ｙ平面方向に位置ずれしたとしても、規制面６２がこれに応じて撓み、シール部材７０の周り全体を均等に押圧し易くなる。その結果、インクがシール部材７０と液体流入口４６の内周面との間から漏れることを一層確実に抑制できる。なお、溝７９の位置や形状等は、例示したものに限られず、溝７９を設けない構成と比べて液体流出針部４２の後端部６１の剛性を弱めることができれば、どのような構成であっても良い。また、このような溝７９を設ける構成は、上記した各実施形態（すなわち、第１乃至第３の実施形態）で例示した何れの上流部材１３にも適用することができる。
【００６３】
また、図１２に示す第５の実施形態においては、圧力調整部材１４における液体流入口４６の開口縁（詳しくは、第１の凹部６７の開口縁）に、液体流入口４６の内側に向けて延出した庇部８０を備えている。この庇部８０は、例えば、接着剤やねじを用いて液体流入口４６の開口縁に固定したり、液体流入口４６の開口縁の一部を加熱によりかしめたりすることで形成される。本実施形態における庇部８０は、液体流入口４６の開口縁の全周に亘って形成されている。なお、液体流入口４６の開口縁の一部のみに庇部８０を設ける構成を採用することもできる。そして、この庇部８０により液体流入口４６に配置されたシール部材７０が覆われている。これにより、例えば、上流部材１３の検査や交換等において、液体流入口４６に接続された液体流出針部４２を当該液体流入口４６から抜く際に、シール部材７０が離脱することを抑制できる。すなわち、シール部材７０が液体流出針部４２に追従して、液体流入口４６の外側に移動しようとしても、庇部８０によりその移動が規制される。その結果、液体流出針部４２を液体流入口４６から抜く作業が容易になる。なお、庇部８０は、シール部材７０が容易に抜けないように、シール部材７０の少なくとも一部を覆っていれば良い。また、このような庇部８０を設ける構成は、上記した各実施形態（すなわち、第１乃至第４の実施形態）で例示した何れの圧力調整部材１４にも適用することができる。
【００６４】
ところで、上記した各実施形態では、上流部材１３のインクの流路と、圧力調整部材１４のインクの流路との接続部分、すなわち、液体流出針部４２と液体流入口４６との接続部分を例示したが、本発明は当該接続部分に限られない。例えば、上記した気体流出針部４４と気体流入口４７との接続部分のほか、液体供給チューブ１０と液体供給チューブ接続部４１との接続部分、気体供給チューブ１１と気体供給チューブ接続部４３との接続部分、又は、圧力調整部材１４の液体流出管４８と液体噴射ユニット８の液体導入口５８との接続部分等にも本発明を適用できる。要するに、一の部材に設けられた液体や気体等の流体が流れる流路と、他の部材に形成された流体が流れる流路との接続部分において、本発明を適用できる。また、上記した各実施形態では、上流部材１３に設けられた液体流出針部４２を本発明における針部として例示し、圧力調整部材１４に設けられた液体流入口４６を本発明における凹部として例示したがこれには限られない。例えば、圧力調整部材に針部を設け、上流部材に凹部を設ける構成を採用することもできる。この場合、圧力調整部材が本発明における針部材となり、上流部材が本発明における流路部材となる。
【００６５】
また、上記した各実施形態では、圧力室３０内のインクに圧力変動を生じさせる駆動素子として、所謂撓み振動型の圧電素子３２を例示したが、これには限られない。例えば、所謂縦振動型の圧電素子や、発熱素子、静電気力を利用して圧力室の容積を変動させる静電アクチュエーター等の各種アクチュエーターを採用することができる。さらに、上記した各実施形態では、液体噴射ヘッドとして、液体噴射ユニット８を複数備えた記録ヘッド３（所謂ラインヘッド）を例示したが、これには限られない。記録媒体の搬送方向と直交する方向（Ｙ方向）に走査（往復移動）しつつインクの噴射を行う液体噴射ヘッド（所謂シリアルヘッド）にも本発明を適用できる。なお、このようなシリアルヘッドの場合、一般的には、液体噴射ヘッドの上方にインクカートリッジを取り付ける構成になっている。このような構成において、インクカートリッジと記録ヘッドとの接続部分にも本発明を適用できる。さらに、流体が流れる流路を備え、これを他の部材に形成された流路に接続する構成を備えたものであれば、プリンター以外の装置にも本発明を適用できる。
【００６６】
そして、以上においては、液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド３を備えたインクジェット式プリンター１を例に挙げて説明したが、本発明は、他の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッドを備えた液体噴射装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッドを備えた液体噴射装置、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドを備えた液体噴射装置等にも本発明を適用することができる。ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドでは液体の一種としてＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液体の一種として液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは液体の一種として生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００６７】
１…プリンター，２…記録媒体，３…記録ヘッド，４…搬送機構，５…媒体支持部，６…筐体，７…インクカートリッジ，８…液体噴射ユニット，９…流路ユニット，１０…液体供給チューブ，１１…気体供給チューブ，１２ａ…第１の搬送ローラー，１２ｂ…第２の搬送ローラー，１３…上流部材，１４…圧力調整部材，１６…単位ヘッド，１７…アクチュエーターユニット，１８…単位流路ユニット，１９…ヘッドケース，２０…アクチュエーター収容空間，２１…液体導入路，２２…貫通空間，２３…ノズルプレート，２４…ノズル，２５…連通基板，２６…共通液室，２７…個別連通路，２８…ノズル連通路，２９…圧力室形成基板，３０…圧力室，３１…振動板，３２…圧電素子，３３…封止板，３４…圧電素子収容空間，３５…フレキシブル基板，３６…接続空間，３７…コンプライアンス基板，３８…固定基板，３９…封止膜，４１…液体供給チューブ接続部，４２…液体流出針部，４３…気体供給チューブ接続部，４４…気体流出針部，４６…液体流入口，４７…気体流入口，４８…液体流出管，５１…金属ベース，５２…ベース貫通孔，５５…流路構造体，５６…保護板，５７…ノズル露出開口，５８…液体導入口，６０…先端部，６１…後端部，６２…規制面，６３…接続流路，６６…凸部，６７…第１の凹部，６８…第２の凹部，６９…導入流路，７０…シール部材，７１…挿通開口，７２…小径部，７３…拡径部，７４…大径部，７５…凸条部，７７…切欠き，７８…空間，７９…溝，８０…庇部，９１…針部材，９２…流路部材，９３…第１の流路，９４…凹部，９５…弾性部材，９６…第２の流路，９７…針部，９８…貫通孔，９８…隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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