(57)【要約】【課題】工具本体の長手方向における任意の位置でスロットの開口幅の拡大と縮小の調整を塗布作業中であっても行うことを可能とする。【解決手段】複数のヘッド部材２、３が長手方向に延びる内側面２ａ、３ａを対向させて取り付けられることにより工具本体１が形成され、工具本体１内にはマニホールド５とマニホールドから工具本体１の先端部に開口するスロット６が形成され、少なくとも１つのヘッド部材３の外側面３ｃには、工具本体１の先端側にスロット６に向けて延びるスリット８が長手方向に沿って形成され、このスリット８よりも後端側には、スリット８よりも先端側の部分を電気的駆動手段１０によって押し引きしてスリット８の開口幅を調整することによりスロット６の開口幅を調整する調整機構９が、電気的移動手段１１によって長手方向に移動可能に備えられている。【選択図】図２
2019171292.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のヘッド部材が長手方向に延びる内側面を対向させて取り付けられることにより工具本体が形成され、この工具本体内には、上記長手方向に延びるマニホールドと、このマニホールドから上記ヘッド部材の内側面に沿って延びて上記工具本体の先端部に開口するスロットとが形成されており、上記工具本体の先端部を被塗布物に対向させつつ該工具本体を上記被塗布物に対して上記長手方向に交差する方向に相対的に移動させ、上記マニホールドに供給された塗布液を、上記スロットを通して上記工具本体の先端部から吐出して上記被塗布物に塗布することにより塗布膜を形成する塗布工具であって、
上記複数のヘッド部材のうち少なくとも１つのヘッド部材の上記内側面とは反対側を向く外側面には、上記工具本体の先端側に、上記スロットに向けて延びるスリットが上記長手方向に沿って形成されるとともに、
このスリットよりも上記工具本体の後端側の上記外側面には、上記スリットよりも先端側の部分を電気的駆動手段によって上記マニホールドから上記スロットが延びる方向または上記内側面が対向する方向に押し引きして上記スリットの開口幅を調整することにより上記スロットの開口幅を調整する調整機構が、電気的移動手段によって上記長手方向に移動可能に備えられていることを特徴とする塗布工具。
【請求項２】
上記電気的移動手段による上記調整機構の上記長手方向における移動位置と、上記電気的駆動手段による上記スロットの開口幅の調整量とは、上記被塗布物に形成された上記塗布膜の厚さを検出する塗布膜厚検出手段による検出結果に基づいて制御されることを特徴とする請求項１に記載の塗布工具。
【請求項３】
上記調整機構には、上記電気的移動手段による上記長手方向における上記調整機構の位置を検出する位置検出手段が備えられていることを請求項１または請求項２に記載の塗布工具。
【請求項４】
上記スリットよりも上記工具本体の後端側の上記外側面には、複数の上記調整機構が備えられているとともに、
上記電気的移動手段には、複数の上記調整機構同士の接触を防止する接触防止手段が備えられていることを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の塗布工具。
【請求項５】
請求項２に記載の塗布工具を用いて、上記被塗布物に形成された上記塗布膜の厚さを検出する上記塗布膜厚検出手段による検出結果に基づき、上記電気的移動手段による上記調整機構の上記長手方向における移動位置と、上記電気的駆動手段による上記スロットの開口幅の調整量とを制御しつつ、上記塗布液を上記被塗布物に塗布して上記塗布膜を形成することを特徴とする塗布方法。
【請求項６】
上記塗布膜厚検出手段は、上記長手方向における上記塗布膜の位置のデータと、各位置における上記塗布膜の厚さのデータとを継続的に取得し、
上記塗布膜の位置のデータと上記塗布膜の厚さのデータをネットワークを介して外部サーバに収集し、
上記塗布膜の厚さのデータと予め設定された基準の塗布膜の厚さのデータとの塗布膜の厚さの差を算出して予め設定された閾値と比較し、
上記塗布膜の厚さの差が上記閾値を超えた場合には、上記長手方向において上記閾値を超えた位置に上記電気的移動手段により上記調整機構を移動させ、上記電気的駆動手段により上記スロットの開口幅を調整することを特徴とする請求項５に記載の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のヘッド部材によって形成された工具本体のマニホールドに供給された塗布液を、このマニホールドからヘッド部材の長手方向に延びる内側面に沿って工具本体の先端部に開口するスロットを通して吐出して被塗布物に塗布する塗布工具および塗布方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
このような塗布工具において、上記スロットの開口幅を調整することによって上記長手方向における塗布液の吐出量を部分的に調整することにより、塗布膜の膜厚の均一化を図るようにしたものが特許文献１〜４に記載されている。すなわち、特許文献１に記載された塗布工具は、工具本体の長手方向に沿って配列されたスロットの短手方向の隙間を調節することが可能な複数の調節ボルトを有している。
【０００３】
また、特許文献２に記載された塗布工具は、回転軸と、回転軸に螺合するナットと、回転軸より大きな外周を有する固定リングとを備え、これらナットと固定リングとの間において回転軸がスロットと直交し、かつ回転軸の一方の端部がヘッド部材の外方に突出した状態で、ヘッド部材の長手方向の略全幅に形成されたリップ幅調節手段収容溝に収容されるリップ幅調節手段を有している。
【０００４】
さらに、特許文献３に記載された塗布工具では、ヘッド部材のスロットを画成する側面とは反対側の側面に塗布液の流通方向であるスロットの延在方向に沿った方向を向いて互いに対向する一対の壁面を備えた凹部が形成され、この凹部内に、流体圧室に封入された流体を圧縮して生じる流体圧やクサビ部材による押圧力によって上記一対の壁面同士の間の距離が大きくなるようにヘッド部材を変形させてスロットの幅を調整可能な調整ユニットが設けられ、この調整ユニットがスロットの長手方向の任意の位置に移動および固定可能とされている。
【０００５】
さらにまた、特許文献４に記載された塗布工具では、スロットを形成する面の背後に平行に形成されたギャップ調整用溝に、積層型圧電素子と拡大用取り付け治具とを備えた溝拡大用ギャップ調整具と、積層型圧電素子と縮小用取り付け治具とを備えた溝縮小用ギャップ調整具とが、ギャップ調整溝内をスライド可能に設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４７５２２７５号公報
【特許文献２】特許第５４９８８２６号公報
【特許文献３】特許第３５０１１５９号公報
【特許文献４】特許第４５９２４５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載された塗布工具では、複数の調節ボルトが配設された箇所でしかスロットの開口幅を調整することができない。また、この特許文献１や特許文献２、３に記載された塗布工具では、調節ボルトや回転軸の回転、または流体圧や押圧力の調節を手作業で行うことになり、スロットの開口幅の調整が不正確になるおそれがあるとともに、特に固定された被塗布物に対して工具本体が移動して塗布を行う場合には塗布作業を停止しなければならず、非効率的である。
【０００８】
さらに、特許文献３に記載された塗布工具では、スロットの開口幅を狭めることしかできず、特許文献４に記載された塗布工具でも、溝拡大用ギャップ調整具が配設された位置ではスロットの開口幅の拡大だけ、溝縮小用ギャップ調整具が配設された位置ではスロットの開口幅の縮小だけしか行うことができない。さらに、特許文献２〜４に記載された塗布工具では、工具本体の長手方向においてスロットの開口幅を調整する位置を変更する場合も手作業で行うことになり、調整位置が不正確になるとともに、やはり固定された被塗布物に対して工具本体が移動して塗布を行う場合には塗布作業を中断しなければならず、非効率的である。
【０００９】
本発明は、このような背景の下になされたもので、工具本体の長手方向における任意の位置でスロットの開口幅の拡大と縮小の調整が可能であるのは勿論、このような調整を塗布作業中であっても行うことが可能な塗布工具および塗布方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決して、このような目的を達成するために、本発明の塗布工具は、複数のヘッド部材が長手方向に延びる内側面を対向させて取り付けられることにより工具本体が形成され、この工具本体内には、上記長手方向に延びるマニホールドと、このマニホールドから上記ヘッド部材の内側面に沿って延びて上記工具本体の先端部に開口するスロットとが形成されており、上記工具本体の先端部を被塗布物に対向させつつ該工具本体を上記被塗布物に対して上記長手方向に交差する方向に相対的に移動させ、上記マニホールドに供給された塗布液を、上記スロットを通して上記工具本体の先端部から吐出して上記被塗布物に塗布することにより塗布膜を形成する塗布工具であって、上記複数のヘッド部材のうち少なくとも１つのヘッド部材の上記内側面とは反対側を向く外側面には、上記工具本体の先端側に、上記スロットに向けて延びるスリットが上記長手方向に沿って形成されるとともに、このスリットよりも上記工具本体の後端側の上記外側面には、上記スリットよりも先端側の部分を電気的駆動手段によって上記マニホールドから上記スロットが延びる方向または上記内側面が対向する方向に押し引きして上記スリットの開口幅を調整することにより上記スロットの開口幅を調整する調整機構が、電気的移動手段によって上記長手方向に移動可能に備えられていることを特徴とする。
【００１１】
このように構成された塗布工具では、塗布膜の膜厚に不均一な部分が生じた場合には、調整機構を上記電気的移動手段によって工具本体の長手方向に移動させて膜厚が不均一な部分に配置し、この部分の膜厚が厚い場合には上記電気的駆動手段によってスリットよりも先端側の部分を上記マニホールドからスロットが延びる方向または上記内側面が対向する方向に押し出してスリットの開口幅を広げることによりスロットの開口幅を狭め、膜厚が薄い場合にはスリットよりも先端側の部分をスロットが延びる方向または内側面が対向する方向に引き込んでスリットの開口幅を狭めることによりスロットの開口幅を広げ、スロットの開口幅を調整する。
【００１２】
そして、上記構成の塗布工具では、このような工具本体の長手方向への調整機構の移動と調整機構によるスロットの開口幅の調整とが、作業者による手作業では無く、いずれも電気的な移動手段と駆動手段によって行われる。このため、正確に塗布膜の膜厚の均一化を図ることができるとともに、たとえ固定された被塗布物に対して工具本体が移動して塗布を行う塗布工具であっても塗布作業中に調整を行うことが可能となり、塗布作業を中断する必要がなくなって効率的な塗布膜の形成を行うことができる。
【００１３】
また、上記電気的移動手段による上記調整機構の上記長手方向における移動位置と、上記電気的駆動手段による上記スロットの開口幅の調整量とを、上記被塗布物に形成された上記塗布膜の厚さを検出する塗布膜厚検出手段による検出結果に基づいて制御することにより、均一な膜厚の塗布膜の形成を自動的に行うことが可能となる。
【００１４】
すなわち、本発明の塗布方法は、上記構成の塗布工具を用いて、上記被塗布物に形成された上記塗布膜の厚さを検出する上記塗布膜厚検出手段による検出結果に基づき、上記電気的移動手段による上記調整機構の上記長手方向における移動位置と、上記電気的駆動手段による上記スロットの開口幅の調整量とを制御しつつ、上記塗布液を上記被塗布物に塗布して上記塗布膜を形成することを特徴とする。
【００１５】
ここで、このような塗布方法では、具体的に、上記塗布膜厚検出手段は、上記長手方向における上記塗布膜の位置のデータと、各位置における上記塗布膜の厚さのデータとを継続的に取得し、上記塗布膜の位置のデータと上記塗布膜の厚さのデータをネットワークを介して外部サーバに収集し、上記塗布膜の厚さのデータと予め設定された基準の塗布膜の厚さのデータとの塗布膜の厚さの差を算出して予め設定された閾値と比較し、上記塗布膜の厚さの差が上記閾値を超えた場合には、上記長手方向において上記閾値を超えた位置に上記電気的移動手段により上記調整機構を移動させ、上記電気的駆動手段により上記スロットの開口幅を調整する。
【００１６】
特に、この場合には、上記調整機構に、上記電気的移動手段による上記長手方向における上記調整機構の位置を検出する位置検出手段を備えることにより、この位置検出手段による検出結果に基づいて長手方向の調整機構の移動位置を制御することもでき、一層確実な塗布膜の膜厚の均一化を図ることが可能となる。
【００１７】
なお、上記スリットよりも上記工具本体の後端側の上記外側面には、複数の上記調整機構が備えられていてもよいが、この場合には、上記電気的移動手段に、これら複数の調整機構同士の接触を防止する接触防止手段を備えることにより、調整機構の衝突による損傷等を防止して円滑な塗布膜の膜厚の均一化を促すことができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明によれば、電気的移動手段によって調整機構を工具本体の長手方向に移動させた上で電気的駆動手段によってスロットの開口幅を調整するので、調整作業に人手を要することが無く、塗布作業中であっても正確なスロットの開口幅の調整を行うことができて効率的である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す実施形態の塗布液の供給溝が形成された位置における工具本体の長手方向に垂直な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１および図２は、本発明の一実施形態を示すものである。本実施形態において、工具本体１は、横長ブロック状で長手方向（図１において左上から右下に向かう方向。図２においては図面に直交する方向）から見て図２に示すような台形状である鋼材等の金属材料によって形成された外形が略同形同大の複数（本実施形態では２つ）のヘッド部材２、３が、長手方向に延びる幅広の互いの１つの内側面２ａ、３ａを突き合わせるように対向させるとともに、本実施形態ではこれらの内側面２ａ、３ａ間に同じく鋼材等の金属材料よりなる薄板状のシム４を介装させて、ボルト止め等によって取り付けられることにより、上記長手方向から見て断面がホームベース状の五角形をなすように形成される。
【００２１】
これら２つのヘッド部材２、３のうち第１のヘッド部材（図１および図２において右側のヘッド部材）２には、第２のヘッド部材（図１および図２において左側のヘッド部材）３の上記内側面３ａと突き合わされる内側面２ａに、上記長手方向に垂直な断面が例えば半円状をなして該内側面２ａに開口する凹溝状のマニホールド５が、該長手方向に延びるように、また内側面２ａの四辺と間隔をあけて形成されている。
【００２２】
また、シム４は、このマニホールド５の部分から工具本体１の先端部（図１および図２において下側部分）にかけて切り欠かれており、このシム４の切り欠かれた部分が工具本体１において塗布液が流れるスロット６とされる。なお、このようなシム４を用いるほかに、ヘッド部材２、３の内側面２ａ、３ａの少なくとも一方に段差面を彫り込むようにしてスロット６を形成してもよい。さらに、第１のヘッド部材２の後端部（図１および図２において上側部分）からマニホールド５にかけては孔状の塗布液の供給路７が形成されて、マニホールド５の長手方向中央部に接続されている。なお、２つのヘッド部材２、３とシム４の先端部は、長手方向に垂直な断面が長方形状とされて先端側に突き出すように形成され、リップ部２ｂ、３ｂとされる。
【００２３】
このような塗布工具は、本実施形態では図１および図２に示すように上記長手方向を水平にするとともに、本実施形態では長手方向に見て三角形状に突出する工具本体１の先端部を下向きにして支持され、この先端部の下方に僅かな間隔をあけて対向するように配設された基板等の被塗布物に対して相対的に上記長手方向に垂直に交差する水平な移動方向に移動させられつつ、供給路７を通ってマニホールド５に供給されてマニホールド５の長手方向に行き渡らされた塗布液を、スロット６を通して工具本体１先端部のスロット６の開口部から吐出し、上記被塗布物の表面（上面）に塗布して塗布膜を形成する。
【００２４】
一方、第２のヘッド部材３の上記内側面３ａとは反対側を向く外側面３ｃには、その先端側に、本実施形態では内側面３ａに垂直にスロット６に向けて延びる長手方向に垂直な断面がＵ字状をなすスリット８がスロット６と間隔をあけて形成されており、第２のヘッド部材３のスリット８よりも先端側の部分（以下、先端部３ｄと称する。）はスリット８を起点に弾性変形可能とされる。また、この第２のヘッド部材３の先端部３ｄには、スリット８の外側面３ｃ側の開口部に隣接して、内側面３ａとは反対側に突出する長手方向に垂直な断面が方形状の被係合部３ｅが形成されている。
【００２５】
さらに、この第２のヘッド部材３の外側面３ｃには、上記スロット６の工具本体１先端部における開口幅を調整する調整機構９が設けられている。この調整機構９には、工具本体１の先端側から後端側に向けて延びる調整機構本体９ａの工具本体１先端部に、第２のヘッド部材３の外側面３ｃに形成された上記被係合部３ｅに係合する断面「コ」字状の係合部１０ａと、この係合部１０ａをロッド１０ｂにより工具本体１の先端側に押し出し、または工具本体１の後退側に引き込む図示されない直動型ステッピングモーター等の電気的な駆動装置を有する駆動部１０ｃとを備えた電気的駆動手段１０が設けられている。
【００２６】
また、この調整機構９には、調整機構本体９ａの工具本体１後端部に、第２のヘッド部材３の外側面３ｃに上記長手方向に延びるように固定されたネジ軸１１ａにねじ合う図示されないナットと、このナットを回転させるやはり図示されないシャフトモーター等の電気的な移動装置を有する移動部１１ｂとを備えた電気的移動手段１１が設けられており、移動装置によってナットを回転させることにより、調整機構本体９ａはネジ軸１１ａに沿って上記長手方向に移動させられる。このとき、上記被係合部３ｅと係合した電気的駆動手段１０の係合部１０ａは、移動の際の調整機構本体９ａのガイドとなる。
【００２７】
さらに、本実施形態では、この調整機構９には、調整機構本体９ａの電気的駆動手段１０と電気的移動手段１１との間に、電気的移動手段１１による上記長手方向における調整機構９の位置を検出する位置検出手段１２が備えられている。この位置検出手段１２は、本実施形態では、上記長手方向に沿って第２のヘッド部材３の外側面３ｃに配設されたエンコーダースケール１２ａと、このエンコーダースケール１２ａに対向するように調整機構本体９ａに配設されたエンコーダーヘッド１２ｂとを備えたものであり、エンコーダーヘッド１２ｂがエンコーダースケール１２ａを電気的（静電式）、光学的、または磁気的に読み取って調整機構本体９ａの上記長手方向の位置を検出する。
【００２８】
また、本実施形態では、このような調整機構９が、工具本体１の長手方向に複数（図１では３つ）設けられている。なお、電気的駆動手段１０の駆動装置や電気的移動手段１１の移動装置に電力を供給するケーブルや位置検出手段１２のエンコーダーヘッド１２ｂからの調整機構本体９ａの位置情報を出力するケーブルは、各調整機構９ごとに断面方形等の屈曲自在なケーブルキャリア９ｂにまとめて収容され、図示されないコンピューターのような制御手段に接続されている。
【００２９】
さらに、こうして複数の調整機構９を有する本実施形態の塗布工具では、上記電気的移動手段１１に、複数の調整機構９同士の接触を防止する接触防止手段が備えられている。この接触防止手段は、例えば位置検出手段１２による調整機構９の位置情報に基づき、隣接する調整機構９の調整機構本体９ａ同士の間隔を計算して、移動する調整機構本体９ａが接触しそうになったときには移動を停止したり、移動方向側の調整機構本体９ａを同じ移動方向に移動させて逃がしたりするものでもよく、また調整機構本体９ａの上記長手方向両端部にセンサーを取り付け、このセンサーにより他の調整機構本体９ａの接近を感知して接触を防止するようなものでもよい。
【００３０】
さらにまた、本実施形態では、工具本体１の被塗布物に対する相対的な移動方向とは反対側に、被塗布物に塗布された塗布膜の厚さを検出する図示されない塗布膜厚検出手段が備えられており、上記電気的移動手段１１による調整機構９の長手方向における移動位置と、上記電気的駆動手段１０によるスロット６の開口幅の調整量とは、この塗布膜厚検出手段による検出結果に基づいて上記制御手段により制御される。この塗布膜厚検出手段は塗布膜に対して非接触に上記長手方向における塗布膜の膜厚を測定する。
【００３１】
このような構成の塗布工具では、塗布膜の膜厚に上記長手方向において不均一な部分が生じた場合、本実施形態においてはこれが上記塗布膜厚検出手段によって検出され、この不均一な部分に最も近い位置にある調整機構９の電気的移動手段１１に制御手段から電力が供給されて調整機構本体９ａが移動させられる。そして、この部分の膜厚が厚い場合には、上記電気的駆動手段１０の駆動部１０ｃによってロッド１０ｂが押し出されることにより、その先端の係合部１０ａに被係合部３ｅが係合した第２のヘッド部材３の上記先端部３ｄがスリット８の溝底を中心に図２において反時計回り方向に傾くように弾性変形してスロット６の開口幅が狭められ、塗布液の吐出量が低減させられる。
【００３２】
また、これとは逆に、塗布膜の膜厚が薄い場合には、電気的駆動手段１０の駆動部１０ｃによってロッド１０ｂが引き込まれることにより、第２のヘッド部材３の先端部３ｄはスリット８の溝底を中心に図２において時計回り方向に傾くように弾性変形してスロット６の開口幅が広げられ、塗布液の吐出量が増加させられる。なお、このスロット６の開口幅の増減量は、第２のヘッド部材３の被係合部３ｅの変動量とスリット８の溝底から第２のヘッド部材３のリップ部３ｂまでの距離との積を、スリット８の溝底から被係合部３ｅまでの距離で割った商から概ね算出することができ、この商や、あるいは予め測定した駆動部１０ｃによる係合部１０ａの駆動量とスロット６の開口幅の変化量とのデータから所定の大きさにスロット６の開口幅を調整することができる。従って、上記構成の塗布工具によれば、塗布膜の膜厚を均一に維持することが可能となる。
【００３３】
そして、上記構成の塗布工具おいては、このような工具本体１の長手方向への調整機構９の移動と調整機構９によるスロット６の開口幅の調整とが、作業者による手作業では無く、いずれもシャフトモーター等の電気的移動手段１１と直動型ステッピングモーター等の電気的駆動手段１０によって行われる。このため、正確に塗布膜の膜厚の均一化を図ることができるとともに、たとえ固定された被塗布物に対して工具本体１が移動して塗布を行う場合でも、塗布作業を中断する必要がなくなって塗布作業中に調整を行うことが可能となり、効率的な塗布膜の形成を行うことができる。
【００３４】
また、本実施形態では、上述のように被塗布物に形成された塗布膜の厚さを検出する塗布膜厚検出手段が備えられており、電気的移動手段１１による調整機構９の上記長手方向における移動位置と、電気的駆動手段１０によるスロット６の開口幅の調整量とが、この塗布膜厚検出手段による検出結果に基づいて上記制御手段により制御される。このため、上述のような塗布膜の厚さの均一化を自動的に行うことが可能となり、例えば無人の工場などでも均一な塗布膜の塗布作業を行うことができる。
【００３５】
具体的には、上記塗布膜厚検出手段は、上記長手方向における塗布膜の位置のデータと、各位置における塗布膜の厚さのデータとを継続的に取得し、これら塗布膜の位置のデータと塗布膜の厚さのデータをネットワークを介して図示されない外部サーバに収集し、塗布膜の厚さのデータと予め設定された基準の塗布膜の厚さのデータとの塗布膜の厚さの差を算出して予め設定された閾値と比較し、上記塗布膜の厚さの差が上記閾値を超えた場合には、上記長手方向において閾値を超えた位置に電気的移動手段１１によって調整機構９を移動させ、電気的駆動手段１０によりスロット６の開口幅を調整する。
【００３６】
さらに、本実施形態では、調整機構９に、上記電気的移動手段１１による長手方向における調整機構９（調整機構本体９ａ）の位置を検出するエンコーダースケール１２ａおよびエンコーダーヘッド１２ｂよりなる位置検出手段１２が備えられている。従って、特に上述のように塗布膜厚検出手段による検出結果に基づいて電気的移動手段１１により調整機構９を上記長手方向に移動させる場合でも、この位置検出手段１２による検出結果に基づいて調整機構９の長手方向の移動位置を制御することができ、より正確に調整機構９を膜厚の不均一な部分に移動させて確実な膜厚の均一化を図ることができる。
【００３７】
さらにまた、本実施形態では、第２のヘッド部材３の外側面３ｃに複数の調整機構９が備えられており、塗布膜の膜厚に不均一な部分が発生した場合には長手方向に最も近くの調整機構９を移動させることによって速やかに膜厚の均一化を図ることができる。また、塗布膜の複数箇所に膜厚の不均一な部分が生じた場合でも、これに対応することが可能である。
【００３８】
そして、このように複数の調整機構９を設けた場合に、本実施形態では、上記電気的移動手段１１に、これら複数の調整機構９同士の接触を防止する接触防止手段が備えられており、これにより調整機構９の衝突による損傷等を防ぐことができるので、円滑に塗布膜の膜厚の均一化を図ることができる。
【００３９】
なお、このように複数の調整機構９を設ける場合には、電気的駆動手段１０の係合部１０ａの上記長手方向の幅が広い調整機構９と狭い調整機構９とを備えることにより、膜厚が不均一な部分の上記長手方向の幅に適した調整機構９による膜厚の均一化を図ることができる。
【００４０】
また、こうして複数の調整機構９を設ける場合には、それぞれの調整機構９に対して個別のネジ軸１１ａと被係合部３ｅとを備えて調整機構本体９ａ同士の長手方向への移動が干渉しないようにすることにより、接触防止手段を備えなくてもこれらの調整機構本体９ａ同士の接触を防止することができる。この場合には、調整機構本体９ａの電気的移動手段１１における移動部１１ｂにナットを回転させるシャフトモーター等の電気的な移動装置を設けずに、ネジ軸１１ａを回転させて調整機構本体９ａを移動させるようにしてもよい。
【００４１】
さらに、電気的駆動手段１０の駆動装置や電気的移動手段１１の移動装置は、直動型ステッピングモーターやシャフトモーター以外の、例えばリニアモーターのような他の電気的な駆動装置、移動装置であってもよい。また、調整機構９は、第１のヘッド部材２にも設けられていてもよい。さらに、電気的駆動手段１０は、第２のヘッド部材３の上記先端部３ｄを内側面２ａ、３ａが対向する方向に押し引きするものであってもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１  工具本体
２、３  ヘッド部材
２ａ、３ａ  ヘッド部材２、３の内側面
２ｂ、３ｂ  リップ部
３ｃ  ヘッド部材３の外側面
３ｄ  ヘッド部材３の先端部（スリット８よりも先端側の部分）
３ｅ  被係合部
４  シム
５  マニホールド
６  スロット
８  スリット
９  調整機構
９ａ  調整機構本体
１０  電気的駆動手段
１０ａ  係合部
１０ｂ  ロッド
１０ｃ  駆動部
１１  電気的移動手段
１１ａ  ネジ軸
１１ｂ  移動部
１２  位置検出手段
１２ａ  エンコーダースケール
１２ｂ  エンコーダーヘッド
【図１】
2019171292.tif 000003
【図２】
2019171292.tif 000004