(57)【要約】【課題】物理量を検出精度に優れる物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、移動体、走行支援システム、および表示装置を提供する。【解決手段】物理量センサーとしての加速度センサー１００は、基板１２、内部に収納空間Ｓ２を構成するように基板１２に接合されている蓋体５０、および収納空間Ｓ２に収納され、物理量を検出可能な加速度センサー素子片１０、を含む加速度センサー素子１と、蓋体５０の面であって、加速度センサー素子片１０の側とは反対側の上面５０ｆに接着材１３１を介して接着されている回路素子２と、を含み、蓋体５０の上面５０ｆの外縁領域には、蓋体５０の外縁に沿って、凹部７０が設けられている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板、内部に収納空間を構成するように前記基板に接合されている蓋、および前記収納空間に収納され、物理量を検出可能な物理量センサー素子片、を含む物理量センサー素子と、
前記蓋の面であって、前記物理量センサー素子片の側とは反対側の面に接着材を介して接着されている回路素子と、
を含み、
前記蓋の前記反対側の面の外縁領域には、前記蓋の外縁に沿って、凹部が設けられていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
請求項１において、
前記凹部は、段差部であることを特徴とする物理量センサー。
【請求項３】
請求項１において、
前記凹部は、有底の穴であることを特徴とする物理量センサー。
【請求項４】
請求項３において、
前記有底の穴は、前記蓋の前記回路素子側の面側から前記基板側に向うに従って、穴の幅が狭くなっていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項５】
請求項４において、
前記有底の穴の壁面は、傾斜面であることを特徴とする物理量センサー。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れか一項において、
前記蓋は、四角形状であり、
前記蓋の少なくとも一対の辺に、前記凹部が設けられていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６の何れか一項において、
前記物理量は、加速度であることを特徴とする物理量センサー。
【請求項８】
請求項７に記載の物理量センサーと、
角速度センサーと、
を含むことを特徴とする複合センサー。
【請求項９】
請求項７に記載の物理量センサーと、
角速度センサーと、
前記物理量センサーおよび前記角速度センサーを制御する制御部と、
を備えていることを特徴とする慣性計測ユニット。
【請求項１０】
請求項９に記載の慣性計測ユニットと、
測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信する受信部と、
受信した前記衛星信号に基づいて、前記受信部の位置情報を取得する取得部と、
前記慣性計測ユニットから出力された慣性データに基づいて、移動体の姿勢を演算する演算部と、
算出された前記姿勢に基づいて前記位置情報を補正することにより、前記移動体の位置を算出する算出部と、
を含むことを特徴とする移動体測位装置。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーが収納されているケースと、
前記ケースに収納され、前記物理量センサーから出力された検出信号を処理する処理部と、
前記ケースに収納されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含むことを特徴とする携帯型電子機器。
【請求項１２】
請求項１１において、
衛星測位システムを含み、
ユーザーの移動距離や移動軌跡を計測することを特徴とする携帯型電子機器。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
を備えていることを特徴とする移動体。
【請求項１５】
請求項１４において、
エンジンシステム、ブレーキシステム、およびキーレスエントリーシステムの少なくとも何れかのシステムを含み、
前記制御部は、前記検出信号に基づいて、前記システムを制御することを特徴とする移動体。
【請求項１６】
請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて、加速、制動、および操舵の少なくとも何れかを制御する制御部と、
を含み、
自動運転の実施、或いは不実施は、前記物理量センサーから出力された検出信号の変化に応じて切り替えられることを特徴とする走行支援システム。
【請求項１７】
ユーザーの頭部に装着され、
ユーザーの眼に画像光を照射する表示部と、
請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載の物理量センサーと、
を含み、
前記物理量センサーは、
装着状態において前記頭部の中心より一方側に位置している第１のセンサーユニットと、
前記頭部の中心より他方側に位置している第２のセンサーユニットと、
を含んで構成されていることを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、移動体、走行支援システム、および表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１に記載されているように、加速度や角速度、等の物理量を検出する物理量センサーには、固定電極と、固定電極に対して間隙をもって並んで設けられるとともに一定方向に変位可能な可動電極と、を有する物理量センサー素子を備えたものが知られている。
この様な物理量センサー素子は、可動電極の変位に伴い、固定電極と、可動電極に設けられた可動電極と、の間隙が変化し、その間隙の変化によって、固定電極と可動電極との間に生じる静電容量の変化を検出することで、加速度や角速度等の物理量の変化を検出している。
【０００３】
特許文献１では、基板上に固定された物理量センサー素子上に、物理量センサー素子から出力される出力信号を所定の信号に変換して出力するＩＣチップ（回路素子）が接着材で固定された構造の物理量センサーが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１７−２０８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の物理量センサーでは、ＩＣチップを接着材により物理量センサー素子上に固定する際、接着材が物理量センサー素子の上部から下部の基板へ流れ出し、物理量センサー素子を基板に固定する接着材と接触した状態で滞留してしまう場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願の物理量センサーは、基板、内部に収納空間を構成するように前記基板に接合されている蓋、および前記収納空間に収納され、物理量を検出可能な物理量センサー素子片、を含む物理量センサー素子と、前記蓋の面であって、前記物理量センサー素子片の側とは反対側の面に接着材を介して接着されている回路素子と、を含み、前記蓋の前記反対側の面の外縁領域には、前記蓋の外縁に沿って、凹部が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
上述の物理量センサーにおいて、前記凹部は、段差部であることが好ましい。
【０００８】
上述の物理量センサーにおいて、前記凹部は、有底の穴であることが好ましい。
【０００９】
上述の物理量センサーにおいて、前記有底の穴は、前記蓋の前記回路素子側の面側から前記基板側に向うに従って、穴の幅が狭くなっていることが好ましい。
【００１０】
上述の物理量センサーにおいて、前記有底の穴の壁面は、傾斜面であることが好ましい。
【００１１】
上述の物理量センサーにおいて、前記蓋は、四角形状であり、前記蓋の少なくとも一対の辺に、前記凹部が設けられていることが好ましい。
【００１２】
上述の物理量センサーにおいて、前記物理量は、加速度であることが好ましい。
【００１３】
本願の複合センサーは、上記に記載の物理量センサーと、角速度センサーと、を含むことを特徴とする。
【００１４】
本願の慣性計測ユニットは、上記に記載の物理量センサーと、角速度センサーと、前記物理量センサーおよび前記角速度センサーを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする。
【００１５】
本願の移動体測位装置は、上記に記載の慣性計測ユニットと、測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信する受信部と、受信した前記衛星信号に基づいて、前記受信部の位置情報を取得する取得部と、前記慣性計測ユニットから出力された慣性データに基づいて、移動体の姿勢を演算する演算部と、算出された前記姿勢に基づいて前記位置情報を補正することにより、前記移動体の位置を算出する算出部と、を含むことを特徴とする。
【００１６】
本願の携帯型電子機器は、上記に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーが収容されているケースと、前記ケースに収容され、前記物理量センサーから出力された検出信号を処理する処理部と、前記ケースに収容されている表示部と、前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、を含むことを特徴とする。
【００１７】
上述の携帯型電子機器において、衛星測位システムを含み、ユーザーの移動距離や移動軌跡を計測することが好ましい。
【００１８】
本願の電子機器は、上記に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。
【００１９】
本願の移動体は、上記に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。
【００２０】
上述の移動体において、エンジンシステム、ブレーキシステムおよびキーレスエントリーシステムの少なくとも何れかのシステムを含み、前記制御部は、前記検出信号に基づいて前記システムを制御することが好ましい。
【００２１】
本願の走行支援システムは、上記に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて、加速、制動、および操舵の少なくとも何れかを制御する制御部と、を含み、自動運転の実施或いは不実施は、前記物理量センサーから出力された検出信号の変化に応じて切り替えられる、ことを特徴とする。
【００２２】
本願の表示装置は、ユーザーの頭部に装着され、前記ユーザーの眼に画像光を照射する表示部と、上記の物理量センサーと、を含み、前記物理量センサーは、装着状態において前記頭部の中心より一方側に位置している第１のセンサーユニットと、前記頭部の中心より他方側に位置している第２のセンサーユニットと、を含んで構成されていることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る物理量センサーの概略構成を模式的に示す側面図。
【図２】図１に示す物理量センサーが備える物理量センサー素子の概略構成を模式的に示す平面図。
【図３】図２および図５中のＡ−Ａ線断面図。
【図４】図２中のＢ−Ｂ線断面図。
【図５】図２の物理量センサー素子が備える物理量センサー素子片の概略構成を模式的に示す平面図。
【図６】本発明の第２実施形態に係る物理量センサーが備える物理量センサー素子の断面図。
【図７】図６中のＣ部の拡大図。
【図８】本発明の第３実施形態に係る物理量センサーが備える物理量センサー素子の断面図。
【図９】図８中のＤ部の拡大図。
【図１０】複合センサーの概略構成を示す機能ブロック図。
【図１１】慣性計測ユニットの概略構成を示す分解斜視図。
【図１２】慣性計測ユニットの慣性センサーの配置例を示す斜視図。
【図１３】移動体測位装置の全体システムを示すブロック図。
【図１４】移動体測位装置の作用を模式的に示す図。
【図１５】携帯型電子機器の構成を模式的に示す平面図。
【図１６】携帯型電子機器の概略構成を示す機能ブロック図。
【図１７】電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図。
【図１８】電子機器の一例であるスマートフォン（携帯電話機）の構成を模式的に示す斜視図。
【図１９】電子機器の一例であるディジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。
【図２０】移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図。
【図２１】走行支援システムの概略的な構成を示す図。
【図２２】走行支援システムの概略的な構成を示す機能ブロック図。
【図２３】頭部装着型表示装置の概略構成を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下で説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、本実施形態で説明される構成の全てが、本発明の必須構成要件であるとは限らない。また、各図では、説明の便宜上、一部の構成要素を省略することがある。また、各図において、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。また、以下では、説明の便宜上、各図において、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しており、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、Ｚ軸の矢印の方向である＋Ｚ軸側を「上」もしくは「上方」、−Ｚ軸側を「下」もしくは「下方」ともいう。また、Ｘ軸およびＹ軸についても矢印の方向を「＋」方向とする。
【００２５】
［物理量センサー］
＜第１実施形態＞
先ず、物理量センサー素子の一例としての加速度センサー素子１を備えた物理量センサーとしての加速度センサー１００について、図１を参照して説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーの概略構成を模式的に示す側面図である。
【００２６】
物理量センサーとしての加速度センサー１００は、図１に示すように、物理量センサー素子の一例としての加速度センサー素子１を備えており、１方向の加速度を独立して検知することのできる１軸加速度センサーとして利用可能である。このような加速度センサー１００は、パッケージ１２０と、パッケージ１２０内に収納された加速度センサー素子１および加速度センサー素子１上に接着された回路素子２と、を含み、接着材１３０によって加速度センサー素子１の下面１ｒがパッケージ１２０の内側（収納空間Ｓ１）、つまり第１の基材１１１の上面１１１ｆ上に取り付けられている。
【００２７】
パッケージ１２０は、第１の基材１１１、第２の基材１１２、および第３の基材１１３で構成されているベース部１１０と、封止部材１１４を介して第３の基材１１３に接合されている蓋体１１５と、を含み構成されている。なお、第１の基材１１１、第２の基材１１２、および第３の基材１１３は、この順で積層されてベース部１１０が構成される。第１の基材１１１は、平板状であり、第２の基材１１２、および第３の基材１１３は、中央部が除去された環状体であり、第３の基材１１３の上面の周縁にシールリングや低融点ガラス等の封止部材１１４が形成されている。
【００２８】
パッケージ１２０には、中央部が除去された環状体である第２の基材１１２および第３の基材１１３により、加速度センサー素子１および回路素子２を収納する凹部（キャビティー）が形成されている。そして、パッケージ１２０の凹部（キャビティー）の開口が蓋体１１５によって塞がれることによって密閉空間である収納空間（内部空間）Ｓ１が設けられ、この収納空間Ｓ１に加速度センサー素子１および回路素子２を収納することができる。このように、ベース部１１０と蓋体１１５との間に設けられている収納空間Ｓ１に、加速度センサー素子１および回路素子２が収納されていることにより、コンパクトな加速度センサー１００とすることができる。なお、第１の基材１１１や第２の基材１１２を含むベース部１１０に形成された配線パターンや電極パッド（端子電極）の一部は図示を省略してある。
【００２９】
第１の基材１１１、第２の基材１１２、および第３の基材１１３の構成材料には、セラミックなどが好適に用いられる。なお、第１の基材１１１、第２の基材１１２、および第３の基材１１３の構成材料は、セラミック以外に、ガラス、金属等を用いても良い。また、蓋体１１５の構成材料には、例えば、コバールなどの金属材料、ガラス材料、シリコン材料、セラミック材料などを用いることができる。
【００３０】
また、第２の基材１１２の上面には、複数の内部端子１１６が配置されており、第１の基材１１１の下面であるパッケージ１２０の外底面１２０ｒには、複数の外部端子１１７が配置されている。また、各内部端子１１６は、ベース部１１０に形成された図示しない内部配線などを介して対応する外部端子１１７に電気的に接続されている。また、内部端子１１６、および外部端子１１７は、例えばタングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）等の金属配線材料を、所定の位置にスクリーン印刷して焼成し、その上にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）等のめっきを施す方法などによって形成することができる。
【００３１】
加速度センサー素子１は、接着材１３０によって、ベース部１１０を構成する第１の基材１１１の上面１１１ｆに下面１ｒが接着され、パッケージ１２０の収納空間Ｓ１に収納されている。パッケージ１２０の収納空間Ｓ１は、大気圧よりも低い減圧雰囲気、または窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性気体雰囲気に気密封止されている。
【００３２】
回路素子２は、接着材１３１を介して加速度センサー素子１の上面５０ｆに接着されている。回路素子２には、例えば、加速度センサー素子１を駆動する駆動回路や、加速度センサー素子１からの信号に基づいて加速度を検出する検出回路や、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等が含まれている。また、回路素子２は、上面に複数の電極パッド（不図示）を有し、各電極パッドがボンディングワイヤーＢＷ１を介して第２の基材１１２の上面に設けられた内部端子１１６に電気的に接続され、他の各電極パッドがボンディングワイヤーＢＷ２を介して加速度センサー素子１に設けられた第１端子電極３４、第２端子電極４０、および第３端子電極４６に電気的に接続されている。これにより、加速度センサー素子１を制御することができる。
【００３３】
［物理量センサー素子］
次に、物理量センサー素子の一例としての加速度センサー素子１について、図２、図３、図４、および図５を参照して説明する。
図２は、図１に示す物理量センサーが備える物理量センサー素子の概略構成を模式的に示す平面図である。図３は、図２および図５中のＡ−Ａ線断面図（Ｘ軸方向から見た断面図）である。図４は、図２中のＢ−Ｂ線断面図（Ｙ軸方向から見た断面図）である。図５は、図２の物理量センサー素子が備える物理量センサー素子片の概略構成を模式的に示す平面図（Ｚ軸方向から見た平面図）である。なお、図５において、加速度センサー素子１の内部の構成を説明する便宜上、蓋体５０を取り外した状態を図示している。
【００３４】
加速度センサー素子１は、図２、図３、図４、および図５に示すように、四角形状の基板１２と、基板１２と向き合う側に凹部５０ａが設けられ、基板１２に接合されている四角形状の蓋としての蓋体５０と、基板１２と蓋体５０とで構成される収納空間Ｓ２に収納されている加速度センサー素子片１０と、を備えている。なお、上述した加速度センサー１００は、加速度センサー素子１の蓋体５０の面であって、加速度センサー素子片１０の側とは反対側の面である上面５０ｆにＩＣ（Integrated Circuit）として構成された回路素子２が接着材１３１（図１参照）を介して接着されている。
【００３５】
基板１２は、Ｚ軸と直交する平面であって、加速度センサー素子片１０を支持する複数の接合部１４１ａ，１４２ａ，１５１ａなどと接合される主面１２ｆを有している。主面１２ｆは、−（マイナス）Ｘ軸方向の端部に端子部２０が設けられ、端子部２０以外の領域は、主面１２ｆ側に凹部５０ａを有する蓋体５０により覆われている。主面１２ｆの略中央部には、可動部１５２と基板１２との干渉を回避するために平面形状が略矩形状の凹部１２ａが設けられている。これにより、可動部１５２の可動領域（変位領域）は、平面視で凹部１２ａ内に収まることになる。
【００３６】
主面１２ｆの端子部２０の側のＹ軸方向中央部には、凹部１２ａに向い、Ｘ軸に沿って延びる第１溝部２４が設けられている。また、主面１２ｆの端子部２０の側の第１溝部２４のＹ軸方向の一方の側には、第１溝部２４の外周に沿って第２溝部２６が設けられている。さらに、主面１２ｆの端子部２０側には、第１溝部２４を挟んで第２溝部２６の反対側に第３溝部２８が設けられている。
【００３７】
第１溝部２４の底面には、第１溝部２４に沿って第１配線３０が設けられている。第１配線３０は、後述する固定部１５１を介して可動部１５２の可動電極部１０６に設けられた第１可動電極指６１１および第２可動電極指６２１と電気的に接続される配線である。また、第２溝部２６の底面には、第２溝部２６に沿って第２配線３６が設けられている。第２配線３６は、固定電極部１０４に設けられた第１固定電極指４１２と電気的に接続される配線である。また、第３溝部２８の底面には、第３溝部２８に沿って第３配線４２が設けられている。第３配線４２は、固定電極部１０４に設けられた第２固定電極指４２２と電気的に接続される配線である。なお、第１配線３０、第２配線３６、第３配線４２の各端部（端子部２０に配置される端部）は、それぞれ第１端子電極３４、第２端子電極４０、第３端子電極４６となる。
【００３８】
第１配線３０は、第１溝部２４の底面から基板１２に設けられた凹部１２ａの底面１２ｅを介して、加速度センサー素子片１０の固定部１５１を固定するために設けられたマウント部２１に、配設されている。そして、マウント部２１において、加速度センサー素子片１０の接合部１５１ａと接合することで、第１配線３０と可動電極部１０６とが電気的に接続される。また、第２配線３６は、第２溝部２６の底面から基板１２に設けられた凹部１２ａの底面１２ｅを介して、加速度センサー素子片１０の第１固定電極部１４１（固定電極部１０４）を固定するために設けられたマウント部２２に、配設されている。そして、マウント部２２において、加速度センサー素子片１０の接合部１４１ａと接合することで、第２配線３６と第１固定電極部１４１（固定電極部１０４）とが電気的に接続される。また、第３配線４２は、第３溝部２８の底面から基板１２に設けられた凹部１２ａの底面１２ｅを介して、加速度センサー素子片１０の第２固定電極部１４２（固定電極部１０４）を固定するために設けられたマウント部２３に、配設されている。そして、マウント部２３において、加速度センサー素子片１０の接合部１４２ａと接合することで、第３配線４２と第２固定電極部１４２（固定電極部１０４）とが電気的に接続される。
【００３９】
基板１２の構成材料としては、ガラス、高抵抗シリコンなどの絶縁材料を用いるのが好ましい。特に、固定電極部１０４、可動電極部１０６、固定部１５１、および可動部１５２を備えた加速度センサー素子片１０となる半導体基板が、シリコンなどの半導体材料を主材料として構成されている場合には、基板１２の構成材料として、アルカリ金属イオン（可動イオン）を含むガラス（例えば、パイレックス（登録商標）のような硼珪酸ガラス）を用いるのが好ましい。これにより、加速度センサー素子１は、基板１２と半導体基板とを陽極接合することで形成することができる。また、加速度センサー素子１は、基板１２にアルカリ金属イオンを含むガラスを用いることにより、基板１２と半導体基板とを容易に絶縁分離することができる。
【００４０】
なお、基板１２は、必ずしも絶縁性を有さなくてもよく、例えば低抵抗シリコンからなる導電性基板であっても良い。この場合は、基板１２と半導体基板との間に絶縁膜を挟んで双方を絶縁分離することになる。また、基板１２の構成材料は、半導体基板の構成材料との熱膨張係数差ができるだけ小さいことが好ましく、具体的には、基板１２の構成材料と半導体基板の構成材料との熱膨張係数差が３ｐｐｍ／℃以下であることが好ましい。これにより、加速度センサー素子１は、基板１２と半導体基板との間の残留応力を低減することができる。本形態では、基板１２の主材料としてガラスを用いることを想定している。
【００４１】
第１配線３０、第２配線３６、第３配線４２の構成材料としては、それぞれ導電性を有するものであれば、特に限定されず、各種電極材料を用いることができるが、例えば、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）、ＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）、Ｉｎ3Ｏ3、ＳｎＯ2、Ｓｂ含有ＳｎＯ2、Ａｌ含有ＺｎＯなどの酸化物（透明電極材料）、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、またはこれらを含む合金などが挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４２】
なお、加速度センサー素子１は、各配線の構成材料が透明電極材料（特にＩＴＯ）であれば、基板１２が透明であった場合、第１固定電極指４１２および第２固定電極指４２２の面上に存在する異物などを基板１２の主面１２ｆ側とは反対側の面から容易に視認することができ、検査を効率的に行うことができる。
【００４３】
加速度センサー素子片１０は、図５に示すように、基板１２に取り付けられている第１固定電極指４１２および第２固定電極指４２２を含む固定電極部１０４と、基板１２に対してＸ軸方向（物理量の検出軸方向）にバネ部１５３を介して変位可能な可動部１５２と、可動部１５２に設けられている第１可動電極指６１１および第２可動電極指６２１を含む可動電極部１０６と、バネ部１５３を基板１２に固定している固定部１５１と、を有している。なお、加速度センサー素子片１０は、Ｘ軸方向の加速度Ａｘ（物理量）を検出する機能を有している。また、加速度センサー素子片１０は、固定電極部１０４の接合部１４１ａ，１４２ａおよび固定部１５１の接合部１５１ａにおいて、基板１２に設けられたマウント部２１，２２，２３の主面１２ｆや各配線（第１配線３０、第２配線３６、第３配線４２）に接合されている。従って、加速度センサー素子片１０は、基板１２に設けられたマウント部２１，２２，２３に接合されることによって、収納空間Ｓ２内に収納されている。
【００４４】
固定電極部１０４は、Ｙ軸方向（検出軸に交差（本実施形態では直交）する方向）に沿って並んで配置されている第１固定電極部１４１および第２固定電極部１４２を有している。第１固定電極部１４１は、第１幹部４１１と、第１幹部４１１のＹ軸方向の両側に設けられ、長手方向がＹ軸方向に沿っている複数の第１固定電極指４１２と、を有している。第２固定電極部１４２は、第２幹部４２１と、第２幹部４２１からＹ軸方向の両側に設けられ、長手方向がＹ軸方向に沿っている複数の第２固定電極指４２２と、を有している。
【００４５】
可動電極部１０６は、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている第１可動電極部１６１および第２可動電極部１６２を有している。第１可動電極部１６１の少なくとも一部は、第１幹部４１１のＹ軸方向の両側に位置され、長手方向がＹ軸方向に沿って、第１固定電極指４１２とＸ軸方向に対向している複数の第１可動電極指６１１を有している。第２可動電極部１６２の少なくとも一部は、第２幹部４２１のＹ軸方向の両側に位置され、長手方向がＹ軸方向に沿って、第２固定電極指４２２とＸ軸方向に対向している複数の第２可動電極指６２１を有している。
【００４６】
加速度センサー素子片１０は、第１固定電極指４１２と、第１固定電極指４１２にＸ軸方向に対向している第１可動電極指６１１との間、および第２固定電極指４２２と、第２固定電極指４２２にＸ軸方向に対向している第２可動電極指６２１との間でコンデンサーが形成される。この状態で、加速度センサー素子片１０に、例えば、Ｘ軸方向に沿った加速度が印加されると、第１可動電極部１６１の第１可動電極指６１１、および第２可動電極部１６２の第２可動電極指６２１が慣性によりＸ軸方向に変位する。加速度センサー素子片１０は、この変位によって生じるコンデンサーの静電容量の変化を検出することにより、Ｘ軸方向の加速度Ａｘを検出することができる。
【００４７】
加速度センサー素子片１０は、このような構成とすることで、第１可動電極指６１１および第１固定電極指４１２間の静電容量、第２可動電極指６２１および第２固定電極指４２２間の静電容量を十分に大きく保ちつつ、第１固定電極指４１２と第２固定電極指４２２、および第１可動電極指６１１と第２可動電極指６２１をそれぞれ短くすることができる。そのため、加速度センサー素子片１０は、第１固定電極指４１２、第２固定電極指４２２、第１可動電極指６１１、および第２可動電極指６２１が破損し難く、優れた耐衝撃性を有することができる。
【００４８】
なお、図示はしないが、図５に示して説明したＸ軸の加速度Ａｘを検出可能な加速度センサー素子１は、基板１２と、基板１２に設けられた加速度センサー素子片１０とがＹ軸方向に沿って並ぶ方向に配置することによって、Ｙ軸方向の加速度Ａｙを検出可能な加速度センサー素子とすることができる。
【００４９】
なお、加速度センサー素子片１０は、基板１２上に接合された図示しない半導体基板（シリコン基板）から、フォトリソグラフィーおよびエッチングによって形成されている。
【００５０】
蓋体５０は、図２、図３、および図４に示すように、平面形状が四角形状であり、基板１２と向き合う側に加速度センサー素子片１０を収納する凹部５０ａが設けられ、基板１２の主面１２ｆに接合部材６０によって接合されている。また、加速度センサー素子片１０の側とは反対側の面である上面５０ｆの外縁領域には、蓋体５０の外縁に沿って、凹部７０，７２が設けられている。そのため、蓋体５０（加速度センサー素子１）の上面５０ｆに回路素子２を接着する際に、余分な接着材１３１が蓋体５０の上面５０ｆを伝って流れ出ても、上面５０ｆの外縁に沿って設けられた凹部７０，７２において、流れ出た接着材１３１を滞留させることができる。従って、余分な接着材１３１が蓋体５０の上面５０ｆから側面を伝って加速度センサー素子１をパッケージ１２０に取り付けている接着材１３０と接触した状態で滞留することを低減することができる。そのため、接着材１３１の硬化時に起因して生じる応力や歪が加速度センサー素子１を取り付けている接着材１３０を介して加速度センサー素子１に伝わることを低減することができる。当該応力や歪の加速度センサー素子１への影響が低減できるので、例えば、加速度センサー素子１から出力されるバイアス出力信号が変動することを低減することができる。
【００５１】
また、図３において、本実施形態では、凹部７０は、上面５０ｆから基板１２側に向かって凹んでおり、段差部となっている。つまり、凹部７０は、上面５０ｆから一段低くなった面７０ｆ（蓋体５０の板厚が上面５０ｆより薄い面７０ｆ）を有している。そのため、余分な接着材１３１が蓋体５０の上面５０ｆから凹部７０の側面を伝って流れ出ると、後述するように、凹部７０が、例えば、ダイシング加工等で形成されているので、接着材１３１が毛細管現象により、凹部７０の側面や面７０ｆの全域に広がり、余分な接着材１３１を凹部７０に滞留させることができる。
【００５２】
なお、凹部７０は、蓋体５０の上面５０ｆにおいて、各配線（第１配線３０、第２配線３６、第３配線４２）の延在する方向（Ｘ軸方向）に沿った一対の辺に設けられており、回路素子２を挟み対向して配置されている。従って、接着材１３１が回路素子２の両側に流れ出ても、余分な接着材１３１を凹部７０に滞留させることができる。
【００５３】
一方、図４において、凹部７０が設けられた対向する一対の辺と交差する方向（Ｙ軸方向）に沿った辺には、傾斜面７２ａ，７２ｂを有する凹部７２が設けられている。傾斜面７２ａは、蓋体５０の上面５０ｆから基板１２側に向うに従って、蓋体５０の厚みが薄くなっていくように形成された面である。そのため、蓋体５０（加速度センサー素子１）の上面５０ｆに接着された回路素子２の有する複数の電極パッド（不図示）と加速度センサー素子１の第１端子電極３４、第２端子電極４０、および第３端子電極４６とを電気的に接続するボンディングワイヤーＢＷ２を蓋体５０の角部で断線するのを低減することができる。また、傾斜面７２ｂは、傾斜面７２ａとは逆に、凹部７２の底部から蓋体５０の上面５０ｆに向うに従って、蓋体５０の厚みが厚くなっていくように形成された面である。そのため、傾斜面７２ｂによって、蓋体５０（加速度センサー素子１）の上面５０ｆに回路素子２を接着する際に、接着材１３１が傾斜面７２ａを伝って基板１２の主面１２ｆへ滞留するのを低減させることができる。
【００５４】
なお、本実施形態では、段差部を有する凹部７０がＸ軸方向に沿った一対の辺に設けられ、傾斜面７２ａ，７２ｂを有する凹部７２がＹ軸方向に沿った辺に設けられているが、これに限定されることはなく、段差部を有する凹部７０がＹ軸方向に沿った辺又は一対の辺に設けられていても構わない。また、傾斜面７２ａ，７２ｂを有する凹部７２がＸ軸方向に沿った辺又は一対の辺に設けられていても構わない。また、段差部を有する凹部７０又は傾斜面７２ａ，７２ｂを有する凹部７２が蓋体５０の４辺に沿ってそれぞれ設けられていても構わない。
【００５５】
段差部を有する凹部７０の形成方法としては、例えば、蓋体５０と基板１２とを接合後、加速度センサー素子１に個片化するダイシングの歯厚よりも厚い歯厚で、蓋体５０の上面５０ｆをハーフダイシングし、その後、ハーフダイシングした領域をハーフダイシングに用いた歯厚より薄い歯厚でフルダイシングすることにより形成することができる。
【００５６】
また、傾斜面７２ａ，７２ｂを有する凹部７２の形成方法としては、先ず、蓋体５０の上面５０ｆに傾斜面７２ａ，７２ｂを有し、上面５０ｆとは反対側の面で、基板１２の端子部２０に相当する領域に上面５０ｆとは反対側に開口する凹部を有する蓋体５０を準備する。蓋体５０と基板１２とを接合後、蓋体５０の基板１２の端子部２０に相当する領域と傾斜面７２ｂの一部とをダイシングして除去し、その後、加速度センサー素子１にダイシングによって個片化することにより形成することができる。
【００５７】
また、蓋体５０は、図２および図３に示すように、凹部５０ａ（収納空間Ｓ２側の内面である天井面５０ｅ）と、収納空間Ｓ２の側と反対側の面である上面５０ｆとの間を貫通する孔部９０を有している。
【００５８】
孔部９０は、平面形状が略矩形状に形成されており、封止部材９４により封止されている。詳述すると、蓋体５０が基板１２の主面１２ｆに、例えば、接着剤を用いた接合法、陽極接合法、直接接合法などを用いて気密に接合（固定）された後、封止部材９４が孔部９０上に載置され、その後、レーザービームや電子ビームなどが封止部材９４に照射され、溶融した封止部材９４によって孔部９０が封止（閉塞）される。
【００５９】
なお、蓋体５０が接合部材６０により基板１２に接合され、基板１２の凹部１２ａと蓋体５０の凹部５０ａとを含んで構成される収納空間Ｓ２は、孔部９０の封止により、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填されて大気圧に近い状態、または減圧状態（真空度の高い状態）となっている。
【００６０】
また、封止部材９４の構成材料としては、特に限定されないが、Ａｕ−Ｇｅ合金、Ａｕ−Ｓｎ合金、Ｓｎ−Ｐｂ合金、Ｐｂ−Ａｇ合金などを好適に用いることができる。
【００６１】
［回路素子］
次に、回路素子２について、説明する。
回路素子２は、接着材１３１を介して加速度センサー素子１の上面５０ｆに接着されている。なお、接着材１３１としては、加速度センサー素子１上に回路素子２を固定することができれば、特に限定されず、例えば、半田、銀ペースト、樹脂系接着材（ダイアタッチ材）等を用いることができる。
【００６２】
回路素子２には、例えば、加速度センサー素子１を駆動する駆動回路や、加速度センサー素子１からの信号に基づいて加速度Ａｘを検出する検出回路や、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等が含まれている。また、回路素子２は、上面に複数の電極パッド（不図示）を有し、各電極パッドがボンディングワイヤーＢＷ２を介して加速度センサー素子１の基板１２に設けられた第１端子電極３４、第２端子電極４０、および第３端子電極４６に電気的に接続されている。これにより、加速度センサー素子片１０を含む加速度センサー素子１を制御することができる。
【００６３】
上述したような物理量センサーとしての加速度センサー１００によれば、蓋体５０の加速度センサー素子片１０の側とは反対側の面である上面５０ｆの外縁領域に、蓋体５０の外縁に沿って、凹部７０，７２が設けられている。そのため、蓋体５０（加速度センサー素子１）の上面５０ｆに回路素子２を接着する際に、余分な接着材１３１が蓋体５０の上面５０ｆを伝って流れ出ても、上面５０ｆの外縁に沿って設けられた凹部７０，７２において、流れ出た接着材１３１を滞留させることができる。従って、余分な接着材１３１が蓋体５０の上面５０ｆから側面を伝って加速度センサー素子１をパッケージ１２０に固定する接着材１３０と接触した状態で滞留することがない。そのため、滞留している接着材１３１の硬化時の歪が加速度センサー素子１を固定する接着材１３０を介して加速度センサー素子１に伝わり、加速度センサー素子１から出力されるバイアス出力信号が変動するのを減少させることができる。
【００６４】
また、凹部７０が上面５０ｆから一段低くなった面７０ｆ（蓋体５０の板厚が上面５０ｆより薄い面７０ｆ）を有する段差部であるため、余分な接着材１３１が蓋体５０の上面５０ｆから凹部７０の側面を伝って流れ出ると、凹部７０がダイシング加工等で形成されているので、接着材１３１が毛細管現象により、凹部７０の側面や面７１の全域に広がり、余分な接着材１３１を凹部７０に滞留させることができる。そのため、加速度センサー素子１から出力されるバイアス出力信号の変動を減少させることができる。
【００６５】
また、蓋体５０は、四角形状であり、蓋体５０の上面５０ｆにおいて、各配線（第１配線３０、第２配線３６、第３配線４２）の延在する方向（Ｘ軸方向）に沿った一対の辺に、凹部７０が設けられているので、回路素子２の両側から接着材１３１が流れ出ても、余分な接着材１３１を凹部７０に滞留させることができる。そのため、加速度センサー素子１から出力されるバイアス出力信号の変動を減少させることができる。
【００６６】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーが備える加速度センサー素子１ａについて、図６および図７を参照して説明する。
図６は、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーが備える物理量センサー素子の断面図である。図７は、図６中のＣ部の拡大図である。
【００６７】
本実施形態に係る加速度センサー素子１ａでは、上面５０ｆに設けられた凹部７０ａの構成以外は、前述した第１実施形態の加速度センサー素子１と同様である。
【００６８】
なお、以下の説明では、第２実施形態の加速度センサー素子１ａに関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図６および図７では前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【００６９】
本実施形態の加速度センサー素子１ａは、蓋体５０の外縁（Ｘ軸方向に沿った一対の辺）に沿って設けられた凹部７０ａを有している。図６および図７に示すように、上面５０ｆに設けられた凹部７０ａのＸ軸方向から見た断面形状は、底面７０ａｂを有する有底の穴である。
このような構成とすることで、回路素子２を蓋体５０に接着する際、余分な接着材１３１を凹部７０ａ内に滞留させることができる。そのため、このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００７０】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る物理量センサーが備える加速度センサー素子１ｂについて、図８および図９を参照して説明する。
図８は、本発明の第３実施形態に係る物理量センサーが備える物理量センサー素子の断面図である。図９は、図８中のＤ部の拡大図である。
【００７１】
本実施形態に係る加速度センサー素子１ｂでは、上面５０ｆに設けられた凹部７０ｂの構成以外は、前述した第１実施形態の加速度センサー素子１と同様である。
【００７２】
なお、以下の説明では、第３実施形態の加速度センサー素子１ｂに関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図８および図９では前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【００７３】
本実施形態の加速度センサー素子１ｂは、蓋体５０の外縁（Ｘ軸方向に沿った一対の辺）に沿って設けられた凹部７０ｂを有している。図８および図９に示すように、上面５０ｆに設けられた凹部７０ｂのＸ軸方向から見た断面形状は、底面７０ｂｂを有する有底の穴であり、蓋体５０の回路素子２側の上面５０ｆ側から基板１２側に向うに従って、穴の幅が狭くなっている。つまり、凹部７０ｂの底面７０ｂｂに近い領域の幅は、凹部７０ｂの上面５０ｆに近い領域の幅より狭い。また、凹部７０ｂの壁面は、傾斜面７０ｂａで構成されている。
【００７４】
このような構成とすることで、回路素子２を蓋体５０に接着する際、接着材１３１が凹部７０ｂ内により流れ込み易くなり、余分な接着材１３１を凹部７０ｂ内に滞留させることができる。そのため、このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００７５】
［複合センサー］
次に、上述した加速度センサー１００を備えた複合センサー９００の構成例について、図１０を参照して説明する。
図１０は、複合センサーの概略構成を示す機能ブロック図である。
【００７６】
複合センサー９００は、図１０に示すように、上述したような加速度を検出可能な加速度センサー１００を用いたＸ軸加速度センサー９５０ｘ、Ｙ軸加速度センサー９５０ｙ、およびＺ軸加速度センサー９５０ｚと、角速度センサー素子を含む角速度センサー９２０と、を備えている。Ｘ軸加速度センサー９５０ｘ、Ｙ軸加速度センサー９５０ｙ、およびＺ軸加速度センサー９５０ｚは、それぞれ１軸方向の加速度を高精度に計測することができる。角速度センサー９２０は、３軸方向の角速度をそれぞれ測定するために、三つの角速度センサー素子を備えている。また、複合センサー９００は、例えば、Ｘ軸加速度センサー９５０ｘ、Ｙ軸加速度センサー９５０ｙ、およびＺ軸加速度センサー９５０ｚを駆動する駆動回路や、Ｘ軸加速度センサー９５０ｘ、Ｙ軸加速度センサー９５０ｙ、およびＺ軸加速度センサー９５０ｚからの信号に基づいてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の加速度を検出する検出回路や、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等を含む制御回路部（ＩＣ）を備えることができる。
【００７７】
このような複合センサー９００によれば、上述した物理量センサーとしての加速度を検出可能な加速度センサー１００で構成されるＸ軸加速度センサー９５０ｘ、Ｙ軸加速度センサー９５０ｙ、およびＺ軸加速度センサー９５０ｚと、角速度センサー９２０とによって容易に複合センサー９００を構成することができ、例えば加速度データや角速度データを取得することができる。
【００７８】
［慣性計測ユニット］
次に、慣性計測ユニット（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）２０００について、図１１および図１２を参照して説明する。
図１１は、慣性計測ユニットの概略構成を示す分解斜視図である。図１２は、慣性計測ユニットの慣性センサーの配置例を示す斜視図である。なお、以下では、加速度Ａｘが検出可能である前述の加速度センサー１００を用いた例を示して説明する。
【００７９】
慣性計測ユニット２０００は、図１１に示すように、アウターケース３０１、接合部材３１０、慣性センサーを含むセンサーモジュール３２５などから構成されている。換言すれば、アウターケース３０１の内部３０３に、接合部材３１０を介在させて、センサーモジュール３２５を篏合（挿入）した構成となっている。センサーモジュール３２５は、インナーケース３２０と、基板３１５とから構成されている。なお、説明を解り易くするために、部位名をアウターケース、インナーケースとしているが、第１ケース、第２ケースと呼び換えても良い。
【００８０】
アウターケース３０１は、アルミニウムを箱状に削り出した台座である。材質は、アルミニウムに限定するものではなく、亜鉛やステンレスなど他の金属や、樹脂、または、金属と樹脂の複合材などを用いても良い。アウターケース３０１の外形は、前述した慣性計測ユニット２０００の全体形状と同様に、平面形状が略正方形の直方体であり、正方形の対角線方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に、それぞれ通し孔（馬鹿孔）３０２が形成されている。なお、通し孔（馬鹿孔）３０２に限定するものではなく、例えば、ネジによりネジ止めすることが可能な切り欠き（通し孔（馬鹿孔）３０２の位置するアウターケース３０１のコーナー部に切り欠きを形成する構造）を形成してネジ止めする構成としても良いし、あるいは、アウターケース３０１の側面にフランジ（耳）を形成して、フランジ部分をネジ止めする構成としても良い。
【００８１】
アウターケース３０１は、外形が直方体で蓋のない箱状であり、その内部３０３（内側）は、底壁３０５と側壁３０４とで囲まれた内部空間（容器）となっている。換言すれば、アウターケース３０１は、底壁３０５と対向する一面を開口面とする箱状をなしており、その開口面の開口部のほとんどを覆うように（開口部を塞ぐように）センサーモジュール３２５が収納され、センサーモジュール３２５が開口部から露出した状態となる（不図示）。ここで、底壁３０５と対向する開口面とは、アウターケース３０１の上面３０７と同一面である。また、アウターケース３０１の内部３０３の平面形状は、正方形の二つの頂点部分の角を面取りした六角形であり、面取りされた二つの頂点部分は通し孔（馬鹿孔）３０２の位置に対応している。また、内部３０３の断面形状（厚さ方向）において、底壁３０５には、内部３０３、即ち内部空間における周縁部に中央部よりも一段高い底壁としての第１接合面３０６が形成されている。即ち、第１接合面３０６は、底壁３０５の一部であり、平面的に底壁３０５の中央部を囲ってリング状に形成された一段の階段状の部位であり、底壁３０５よりも開口面（上面３０７と同一面）からの距離が小さい面である。
【００８２】
なお、アウターケース３０１の外形が、平面形状が略正方形の直方体で蓋のない箱状である一例について説明したが、これに限らず、アウターケース３０１の外形の平面形状は、例えば六角形や八角形などの多角形であっても良いし、その多角形の頂点部分の角が面取りされていたり、各辺が曲線である平面形状であったりしても良い。また、アウターケース３０１の内部３０３（内側）の平面形状も、上述した六角形に限らず、正方形などの方形（四角形）や、八角形などの他の多角形状であっても良い。また、アウターケース３０１の外形と内部３０３の平面形状とは相似形であっても良いし、相似形でなくても良い。
【００８３】
インナーケース３２０は、基板３１５を支持する部材であり、アウターケース３０１の内部３０３に収まる形状となっている。詳しくは、平面的には、正方形の二つの頂点部分の角を面取りした六角形であり、その中に長方形の貫通穴である開口部３２１と、インナーケース３２０の上面３２７とは反対側の基板３１５を支持する側の面に設けられた凹部３３１とが形成されている。面取りされた二つの頂点部分はアウターケース３０１の通し孔（馬鹿孔）３０２の位置に対応している。厚さ方向（Ｚ軸方向）の高さは、アウターケース３０１の上面３０７から第１接合面３０６までの高さよりも、低くなっている。好適例では、インナーケース３２０もアルミニウムを削り出して形成しているが、アウターケース３０１と同様に他の材質を用いても良い。
【００８４】
インナーケース３２０の裏面（アウターケース３０１側の面）には、基板３１５を位置決めするための案内ピンや、支持面（いずれも図示せず）が形成されている。基板３１５は、当該案内ピンや、支持面にセット（位置決め搭載）されてインナーケース３２０の裏面に接着される。なお、基板３１５の詳細については後述する。インナーケース３２０の裏面の周縁部は、リング状の平面からなる第２接合面３２２となっている。第２接合面３２２は、平面的にアウターケース３０１の第１接合面３０６と略同様な形状であり、インナーケース３２０をアウターケース３０１にセットした際には、接合部材３１０を挟持した状態で二つの面が向い合うことになる。なお、アウターケース３０１およびインナーケース３２０の構造については、一実施例であり、この構造に限定されるものではない。
【００８５】
図１２を参照して、慣性センサーが実装された基板３１５の構成について説明する。図１２に示すように、基板３１５は、複数のスルーホールが形成された多層基板であり、ガラスエポキシ基板（ガラエポ基板）を用いている。なお、ガラエポ基板に限定するものではなく、複数の慣性センサーや、電子部品、コネクターなどを実装可能なリジット基板であれば良い。例えば、コンポジット基板や、セラミックス基板を用いても良い。
【００８６】
基板３１５の表面（インナーケース３２０側の面）には、コネクター３１６、角速度センサー３１７ｚ、上述した物理量センサーとしての加速度センサー１００などが実装されている。コネクター３１６は、プラグ型（オス）のコネクターであり、Ｘ軸方向に等ピッチで配置された二列の接続端子を備えている。好適には、一列１０ピンで二列の合計２０ピンの接続端子としているが、端子数は、設計仕様に応じて適宜変更しても良い。
【００８７】
角速度センサー３１７ｚは、Ｚ軸方向における１軸の角速度を検出するジャイロセンサーである。好適例として、水晶を振動子として用い、振動する物体に加わるコリオリの力から角速度を検出する振動ジャイロセンサーを用いている。なお、振動ジャイロセンサーに限定するものではなく、角速度を検出可能なセンサーで有れば良い。例えば、振動子としてセラミックや、シリコンを用いたセンサーを用いても良い。
【００８８】
また、基板３１５のＸ軸方向の側面には、実装面（搭載面）がＸ軸と直交するように、Ｘ軸方向における１軸の角速度を検出する角速度センサー３１７ｘが実装されている。同様に、基板３１５のＹ軸方向の側面には、実装面（搭載面）がＹ軸と直交するように、Ｙ軸方向における１軸の角速度を検出する角速度センサー３１７ｙが実装されている。
【００８９】
なお、角速度センサー３１７ｘ，３１７ｙ，３１７ｚは、軸ごとの三つの角速度センサーを用いる構成に限定するものではなく、３軸の角速度が検出可能なセンサーであれば良く、一つのデバイス（パッケージ）で３軸の角速度が検出（検知）可能なセンサーデバイスを用いても良い。
【００９０】
上述した加速度センサー１００は、１軸方向の加速度を検出（検知）可能な、例えばシリコン基板をＭＥＭＳ技術で加工した静電容量型の加速度センサー素子片１０（図５参照）が用いられている。なお、加速度センサー１００は、必要に応じて、Ｘ軸、Ｙ軸の２軸方向の加速度を検出可能な加速度センサー素子、もしくは３軸方向の加速度を検出可能な加速度センサー素子を適用した加速度センサーとすることができる。
【００９１】
基板３１５の裏面（アウターケース３０１側の面）には、制御部としての制御ＩＣ３１９が実装されている。制御ＩＣ３１９は、ＭＣＵ（Micro Controller Unit）であり、不揮発性メモリーを含む記憶部や、Ａ／Ｄコンバーターなどを内蔵しており、慣性計測ユニット２０００の各部を制御する。記憶部には、加速度、および角速度を検出するための順序と内容を規定したプログラムや、検出データをデジタル化してパケットデータに組込むプログラム、付随するデータなどが記憶されている。なお、基板３１５には、その他にも複数の電子部品が実装されている。
【００９２】
このような慣性計測ユニット２０００によれば、上述した物理量センサーとしての加速度センサー１００を用いているため、加速度センサー１００に係る効果を享受した慣性計測ユニット２０００を提供することができる。
【００９３】
［移動体測位装置］
次に、移動体測位装置３０００について、図１３および図１４を参照して説明する。
図１３は、移動体測位装置の全体システムを示すブロック図である。図１４は、移動体測位装置の作用を模式的に示す図である。
【００９４】
図１３に示す移動体測位装置３０００は、移動体に装着して用い、当該移動体の測位を行うための装置である。移動体としては、特に限定されず、自転車、自動車（四輪自動車およびバイクを含む）、電車、飛行機、船等のいずれでも良いが、本実施形態では四輪自動車として説明する。移動体測位装置３０００は、慣性計測装置３１００（ＩＭＵ）と、演算処理部３２００と、ＧＰＳ受信部３３００と、受信アンテナ３４００と、位置情報取得部３５００と、位置合成部３６００と、処理部３７００と、通信部３８００と、表示部３９００と、を有している。
【００９５】
また、慣性計測装置３１００は、上述した加速度センサー１００を適用した３軸の加速度センサー３１１０と、３軸の角速度センサー３１２０と、を有している。なお、慣性計測装置３１００には、前述した加速度センサー１００を含む慣性計測ユニット２０００を用いることができる。演算処理部３２００は、加速度センサー３１１０からの加速度データおよび角速度センサー３１２０からの角速度データを受け、これらデータに対して慣性航法演算処理を行い、慣性航法測位データ（移動体の加速度および姿勢を含むデータ）を出力する。
【００９６】
また、ＧＰＳ受信部３３００は、受信アンテナ３４００を介してＧＰＳ衛星からの信号（ＧＰＳ搬送波。位置情報が重畳された衛星信号）を受信する。また、位置情報取得部３５００は、ＧＰＳ受信部３３００が受信した信号に基づいて、移動体測位装置３０００（移動体）の位置（緯度、経度、高度）、速度、方位を表すＧＰＳ測位データを出力する。このＧＰＳ測位データには、受信状態や受信時刻等を示すステータスデータも含まれている。
【００９７】
位置合成部３６００は、演算処理部３２００から出力された慣性航法測位データおよび位置情報取得部３５００から出力されたＧＰＳ測位データに基づいて、移動体の位置、具体的には移動体が地面のどの位置を走行しているかを算出する。例えば、ＧＰＳ測位データに含まれている移動体の位置が同じであっても、図１４に示すように、地面の傾斜等の影響によって移動体の姿勢が異なっていれば、地面の異なる位置を移動体が走行していることになる。そのため、ＧＰＳ測位データだけでは移動体の正確な位置を算出することができない。そこで、位置合成部３６００は、慣性航法測位データ（特に、移動体の姿勢に関するデータ）を用いて、移動体が地面のどの位置を走行しているのかを算出する。なお、当該算出は、三角関数（鉛直方向に対する傾きθ）を用いた演算によって比較的簡単に行うことができる。
【００９８】
位置合成部３６００から出力された位置データは、処理部３７００によって所定の処理が行われ、測位結果として、表示部３９００に表示されるようになっている。また、位置データは、通信部３８００によって外部装置に送信されるようになっていても良い。
【００９９】
以上、移動体測位装置３０００について説明した。このような移動体測位装置３０００は、前述したように、加速度センサー１００を適用した慣性計測装置３１００と、測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信するＧＰＳ受信部３３００（受信部）と、受信した衛星信号に基づいて、ＧＰＳ受信部３３００の位置情報を取得する位置情報取得部３５００（取得部）と、慣性計測装置３１００から出力された慣性航法測位データ（慣性データ）に基づいて、移動体の姿勢を演算する演算処理部３２００（演算部）と、算出された姿勢に基づいて位置情報を補正することにより、移動体の位置を算出する位置合成部３６００（算出部）と、を含んでいる。これにより、上述した物理量センサーとしての加速度センサー１００を備えた慣性計測ユニット２０００の効果を享受でき、信頼性の高い移動体測位装置３０００が得られる。
【０１００】
［携帯型電子機器］
次に、上述した加速度センサー１００を用いた携帯型電子機器について、図１５および図１６を参照して説明する。
図１５は、携帯型電子機器の構成を模式的に示す平面図である。図１６は、携帯型電子機器の概略構成を示す機能ブロック図である。以下、携帯型電子機器の一例として、腕時計型の活動計（アクティブトラッカー）を示して説明する。
【０１０１】
腕時計型の活動計（アクティブトラッカー）であるリスト機器１０００は、図１５に示すように、バンド１０３２，１０３７等によってユーザーの手首等の部位（被検体）に装着され、デジタル表示の表示部１０２３を備えるとともに無線通信が可能である。上述した本発明に係る物理量センサーとしての加速度センサー１００は、加速度を測定する加速度センサー１０１３（図１６参照）として、角速度を計測する角速度センサー１０１４（図１６参照）などと共にリスト機器１０００に組込まれている。
【０１０２】
リスト機器１０００は、少なくとも加速度センサー１０１３や角速度センサー１０１４（図１６参照）が収納されているケース１０３０と、ケース１０３０に収納され、加速度センサー１０１３や角速度センサー１０１４からの出力データを処理する処理部１０５０（図１６参照）と、ケース１０３０に収納されている表示部１０２３と、ケース１０３０の開口部を塞いでいる透光性カバー１０７１と、を備えている。ケース１０３０の透光性カバー１０７１のケース１０３０の外側には、ベゼル１０７８が設けられている。ケース１０３０の側面には、複数の操作ボタン１０８０，１０８１が設けられている。以下、図１６も併せて参照しながら、さらに詳細に説明する。
【０１０３】
加速度センサー１０１３は、互いに交差する（理想的には直交する）３軸方向の各々の加速度を検出し、検出した３軸加速度の大きさ、および向きに応じた信号（加速度信号）を出力する。また、角速度センサー１０１４は、互いに交差する（理想的には直交する）３軸方向の各々の角速度を検出し、検出した３軸角速度の大きさ、および向きに応じた信号（角速度信号）を出力する。
【０１０４】
リスト機器１０００は、ＧＰＳ（Global Positioning System）センサー１０１０を備えている。ＧＰＳは、全地球測位システムとも呼ばれ、複数の衛星信号に基づいて地球上の現在位置を測定するための衛星測位システムである。ＧＰＳは、ＧＰＳ時刻情報と軌道情報とを使用して測位計算をおこないユーザーの位置情報を取得する機能やユーザーの移動距離や移動軌跡を計測する機能、および時計機能における時刻修正機能を備えている。ＧＰＳセンサー１０１０は、ＧＰＳ衛星からの衛星信号に基づいて地球上の現在位置を測定することができる。
【０１０５】
表示部１０２３を構成する液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）では、種々の検出モードに応じて、例えば、ＧＰＳセンサー１０１０や地磁気センサー１０１１を用いた位置情報、移動量や加速度センサー１０１３、もしくは角速度センサー１０１４などを用いた運動量などの運動情報、脈拍センサー１０１５などを用いた脈拍数などの生体情報、もしくは現在時刻などの時刻情報などが表示される。なお、温度センサー１０１６を用いた環境温度を表示することもできる。
【０１０６】
通信部１０２５は、ユーザー端末と図示しない情報端末との間の通信を成立させるための各種制御を行う。通信部１０２５は、例えば、Bluetooth（登録商標）（BTLE：Bluetooth Low Energyを含む）、Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）（Wireless Fidelity）、Ｚｉｇｂｅｅ（登録商標）、ＮＦＣ（Near field communication）、ＡＮＴ＋（登録商標）等の近距離無線通信規格に対応した送受信機やＵＳＢ（Universal Serial Bus）等の通信バス規格に対応したコネクターを含んで構成される。
【０１０７】
処理部１０５０（プロセッサー）は、例えば、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等により構成される。処理部１０５０は、記憶部１０２２に格納されたプログラムと、操作部１０２０（例えば操作ボタン１０８０，１０８１）から入力された信号とに基づき、各種の処理を実行する。処理部１０５０による処理には、ＧＰＳセンサー１０１０、地磁気センサー１０１１、圧力センサー１０１２、加速度センサー１０１３、角速度センサー１０１４、脈拍センサー１０１５、温度センサー１０１６、計時部１０２１の各出力信号に対するデータ処理、表示部１０２３に画像を表示させる表示処理、音出力部１０２４に音を出力させる音出力処理、通信部１０２５を介して情報端末と通信を行う通信処理、バッテリー１０２６からの電力を各部へ供給する電力制御処理などが含まれる。
【０１０８】
このようなリスト機器１０００では、少なくとも以下のような機能を有することができる。
１．距離：高精度のＧＰＳ機能により計測開始からの合計距離を計測する。
２．ペース：ペース距離計測値から、現在の走行ペースを表示する。
３．平均スピード：走行開始から現在までの平均スピードを算出し表示する。
４．標高：ＧＰＳ機能により、標高を計測し表示する。
５．ストライド：ＧＰＳ電波が届かないトンネル内などでも歩幅を計測し表示する。
６．ピッチ：１分あたりの歩数を計測し表示する。
７．心拍数：脈拍センサーにより心拍数を計測し表示する。
８．勾配：山間部でのトレーニングやトレイルランにおいて、地面の勾配を計測し表示する。
９．オートラップ：事前に設定した一定距離や一定時間を走った時に、自動でラップ計測を行う。
１０．運動消費カロリー：消費カロリーを表示する。
１１．歩数：運動開始からの歩数の合計を表示する。
【０１０９】
なお、リスト機器１０００は、ランニングウォッチ、ランナーズウォッチ、デュアスロンやトライアスロン等マルチスポーツ対応のランナーズウォッチ、アウトドアウォッチ、および衛星測位システム、例えばＧＰＳを搭載したＧＰＳウォッチ、等に広く適用できる。
【０１１０】
また、上述では、衛星測位システムとしてＧＰＳ（Global Positioning System）を用いて説明したが、他の全地球航法衛星システム（ＧＮＳＳ：Global Navigation Satellite System）を利用しても良い。例えば、ＥＧＮＯＳ(European Geostationary Satellite Navigation Overlay Service)、ＱＺＳＳ（Quasi Zenith Satellite System）、ＧＬＯＮＡＳＳ（Global Navigation Satellite System）、ＧＡＬＩＬＥＯ、ＢｅｉＤｏｕ（BeiDou Navigation Satellite System）、等の衛星測位システムのうち１又は２以上を利用しても良い。また、衛星測位システムの少なくとも一つにＷＡＡＳ（Wide Area Augmentation System）、ＥＧＮＯＳ（European Geostationary Satellite Navigation Overlay Service）等の静止衛星型衛星航法補強システム（ＳＢＡＳ：Satellite based Augmentation System）を利用しても良い。
【０１１１】
このような携帯型電子機器は、上述した物理量センサーとしての加速度センサー１００、および処理部１０５０を備えているので、コンパクトで優れた信頼性を有している。
【０１１２】
［電子機器］
次に、上述した加速度センサー１００を用いた電子機器について、図１７、図１８、および図１９を参照して説明する。
【０１１３】
先ず、図１７を参照して、電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューター１１００について説明する。図１７は、電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図である。
【０１１４】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、上述した加速度センサー１００が内蔵されており、加速度センサー１００の検出データに基づいて制御部１１１０が、例えば姿勢制御などの制御を行なうことができる。
【０１１５】
次に、図１８を参照して、電子機器の一例であるスマートフォン１２００について説明する。図１８は、電子機器の一例であるスマートフォン（携帯電話機）の構成を模式的に示す斜視図である。
【０１１６】
この図において、スマートフォン１２００は、上述した加速度センサー１００が組込まれている。加速度センサー１００によって検出された検出データ（加速度データ）は、スマートフォン１２００の制御部１２０１に送信される。制御部１２０１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を含んで構成されており、受信した検出データからスマートフォン１２００の姿勢や、挙動を認識して、表示部１２０８に表示されている表示画像を変化させたり、警告音や、効果音を鳴らしたり、振動モーターを駆動して本体を振動させることができる。換言すれば、スマートフォン１２００のモーションセンシングを行い、計測された姿勢や、挙動から、表示内容を変えたり、音や、振動などを発生させたりすることができる。特に、ゲームのアプリケーションを実行する場合には、現実に近い臨場感を味わうことができる。
【０１１７】
次に、図１９を参照して、電子機器の一例であるディジタルスチールカメラ１３００について説明する。図１９は、電子機器の一例であるディジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
【０１１８】
この図において、ディジタルスチールカメラ１３００のケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとしても機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１１９】
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチールカメラ１３００では、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチールカメラ１３００には、上述した加速度センサー１００が内蔵されており、加速度センサー１００の検出データに基づいて制御部１３１６が、例えば手振れ補正などの制御を行なうことができる。
【０１２０】
このような電子機器は、上述した物理量センサーとしての加速度センサー１００、および制御部１１１０，１２０１，１３１６を備えているので、コンパクトで優れた信頼性を有している。
【０１２１】
なお、上述した物理量センサーとしての加速度センサー１００を備える電子機器は、図１７のパーソナルコンピューター１１００、図１８のスマートフォン１２００、図１９のディジタルスチールカメラ１３００の他にも、例えば、タブレット端末、時計、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、地震計、歩数計、傾斜計、ハードディスクの振動を計測する振動計、ロボットやドローンなど飛行体の姿勢制御装置、自動車の自動運転用慣性航法に使用される制御機器等に適用することができる。
【０１２２】
［移動体］
次に、上述した加速度センサー１００を用いた移動体について、図２０を参照して説明する。
図２０は、移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。
【０１２３】
図２０に示すように、自動車１５００には、物理量センサーの一例としての加速度センサー１００が内蔵されており、例えば、加速度センサー１００によって車体１５０１の移動（位置）や姿勢を検出することができる。加速度センサー１００の検出信号は、車体の移動や姿勢を制御する車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。
【０１２４】
なお、加速度センサー１００は、他にもキーレスエントリーシステム、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロールシステム（エンジンシステム）、自動運転用慣性航法の制御機器、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：Electronic Control Unit）に広く適用できる。
【０１２５】
また、移動体に適用される物理量センサーとしての加速度センサー１００は、上記の例示の他にも、例えば、二足歩行ロボットや電車などの移動や姿勢制御、ラジコン飛行機、ラジコンヘリコプター、およびドローンなどの遠隔操縦あるいは自律式の飛行体の移動や姿勢制御、農業機械（農機）、もしくは建設機械（建機）などの移動や姿勢制御、ロケット、人工衛星、船舶、およびＡＧＶ（無人搬送車）などの制御において利用することができる。以上のように、各種移動体の移動（位置）や姿勢制御の実現にあたって、加速度センサー１００、およびそれぞれの制御部（不図示）や姿勢制御部が組み込まれる。
【０１２６】
このような移動体は、上述した物理量センサーとしての加速度センサー１００、および制御部（例えば、姿勢制御部としての車体姿勢制御装置１５０２）を備えているので、コンパクトで優れた信頼性を有している。
【０１２７】
［走行支援システム］
以下、上述した加速度センサー１００を備えたセンサーユニット４０３２を用いた走行支援システム４０００について、図２１および図２２を参照して説明する。
図２１は、走行支援システムの概略的な構成を示す図である。図２２は、走行支援システムの概略的な構成を示す機能ブロック図である。
【０１２８】
［走行支援システムの概略構成］
図２１に示すように、走行支援システム４０００は、複数台の車両の各々に搭載された制御装置４１００および情報処理装置４２００を含んでいる。
【０１２９】
制御装置４１００は、加速、制動、および操舵の少なくとも何れかを自動で制御する自動運転を行う車両（以下、自動運転車両）に搭載されて、情報処理装置４２００と通信を行う。情報処理装置４２００は、例えばサーバー装置であり、複数台の自動運転車両に搭載されている各制御装置４１００から送信される車両情報を収集したり、収集した車両情報をもとに得られた情報を各制御装置４１００に送信したりする。なお、情報処理装置４２００は、１つのサーバー装置からなるものであっても良いし、複数のサーバー装置からなっているものであっても良い。
【０１３０】
［制御装置の概略構成］
続いて、図２２を用いて制御装置４１００の概略構成を説明する。制御装置４１００は、自動運転車両に搭載されるものであり、図２２に示すように、自動運転ユニット４０１０、通信機４０２０、ＡＤＡＳ（Advanced Driver Assistance Systems）ロケーター４０３０、ＨＭＩ（Human Machine Interface）システム４０４０、周辺監視センサー４０５０、および車両制御ユニット４０６０を含んでいる。制御部としての自動運転ユニット４０１０、通信機４０２０、ＡＤＡＳロケーター４０３０、ＨＭＩシステム４０４０、および車両制御ユニット４０６０は、例えば車内ＬＡＮに接続されており、通信によって互いに情報をやり取りすることができる。
【０１３１】
通信機４０２０は、自車の外部と通信を行う。通信機４０２０は、例えば自車の周辺車両に搭載された車載通信機、および路側に設置された路側機の少なくとも何れかとの間で、無線通信を行うことができる。例えば通信機４０２０は、車載通信機との車車間通信、路側機との路車間通信により、自車の周辺車両の位置情報および走行速度情報等を取得することができる。
【０１３２】
通信機４０２０は、情報処理装置４２００との間で通信を行う。情報処理装置４２００との間で通信を行う場合には、例えばＤＣＭ（Data Communication Module）といったテレマティクス通信に用いられる車載通信モジュールによって、テレマティクス通信で用いる通信網を介して情報処理装置４２００と通信を行う構成とすれば良い。なお、路側機およびその路側機と情報処理装置４２００との間の通信網を介して情報処理装置４２００と通信を行う構成としても良い。通信機４０２０は、情報処理装置４２００から取得した情報を車内ＬＡＮへ出力したり、車内ＬＡＮを介して自動運転ユニット４０１０から送信されてきた車両情報を送信したりする。
【０１３３】
なお、周辺車両に搭載された車載通信機、および路側に設置された路側機の少なくとも何れかとの間で、無線通信を行う車載通信モジュールと、テレマティクス通信に用いられる車載通信モジュールとが別体に設けられる構成としても良いし、一体に設けられる構成としても良い。
【０１３４】
ＡＤＡＳロケーター４０３０は、ＧＮＳＳ（Global Navigation Satellite System）受信機４０３１、上述した加速度センサー１００を含むセンサーユニット４０３２、および地図データを格納した地図データベース（以下、ＤＢ）４０３３を備えている。ＧＮＳＳ受信機４０３１は、複数の人工衛星からの測位信号を受信する。上述した加速度センサー１００を含むセンサーユニット４０３２は、例えば３軸ジャイロセンサー、および３軸加速度センサーを備える。地図ＤＢ４０３３は、不揮発性メモリーであって、リンクデータ、ノードデータ、道路形状、および構造物等の地図データを格納している。
【０１３５】
ＡＤＡＳロケーター４０３０は、ＧＮＳＳ受信機４０３１で受信する測位信号と、センサーユニット４０３２の計測結果とを組み合わせることにより、ＡＤＡＳロケーター４０３０を搭載した自車の車両位置を逐次測位する。なお、車両位置の測位には、自車に搭載された車輪速センサー（不図示）から逐次出力されるパルス信号から求めた走行距離も用いる構成としても良い。そして、測位した車両位置を車内ＬＡＮへ出力する。また、ＡＤＡＳロケーター４０３０は、地図ＤＢ４０３３から地図データを読み出し、車内ＬＡＮへ出力することも行う。なお、地図データは、自車に搭載された例えばＤＣＭといった車載通信モジュール（不図示）を用いて自車の外部から取得する構成としても良い。
【０１３６】
ＨＭＩシステム４０４０は、図２２に示すように、ＨＣＵ（Human Machine Interface Control Unit）４０４１、操作部４０４２、ステアリングセンサー４０４３、表示装置４０４４、および音声出力装置４０４５を備えており、自車の運転者からの入力操作を受け付けたり、自車の運転者に向けて情報を提示したり、自車の運転者の状態を検出したりする。
【０１３７】
操作部４０４２は、自車の運転者が操作するスイッチ群である。操作部４０４２は、各種の設定を行うために用いられる。例えば、操作部４０４２としては、自車のステアリングのスポーク部に設けられたステアリングスイッチ、表示装置４０４４と一体となったタッチスイッチ等がある。
【０１３８】
ステアリングセンサー４０４３は、自車のステアリングホイールに乗員が触れていることを検出するためのセンサーである。ステアリングセンサー４０４３の一例としては、ステアリングホイールに設けられたタッチセンサー、自車のステアリングの操舵トルクを検出する操舵トルクセンサー等が挙げられる。ステアリングセンサー４０４３での検出結果は、ＨＣＵ４０４１に出力される。
【０１３９】
表示装置４０４４としては、例えばコンビネーションメーター、ＣＩＤ（Center Information Display）、ＨＵＤ（Head Up Display）等がある。コンビネーションメーターは、自車の運転席前方に配置される。ＣＩＤは、自車室内にてセンタークラスターの上方に配置される。コンビネーションメーター、およびＣＩＤは、ＨＣＵ４０４１から取得した画像データに基づいて、情報提示のための種々の画像をディスプレイの表示画面に表示する。ＨＵＤは、ＨＣＵ４０４１から取得した画像データに基づく画像の光を、自車のウインドシールドに規定された投影領域に投影する。ウインドシールドによって車室内側に反射された画像の光は、運転席に着座する運転者によって知覚される。運転者は、ＨＵＤによって投影された画像の虚像を、自車の前方の外界風景と重ねて視認可能となる。
【０１４０】
音声出力装置４０４５としては、例えばオーディオスピーカー等がある。オーディオスピーカーは、例えば自車のドアの内張り内に配置される。オーディオスピーカーは、再生する音声によって運転者などの乗員への情報提示を行う。
【０１４１】
ＨＣＵ４０４１は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等のメモリー、Ｉ／Ｏ、これらを接続するバスを備え、メモリーに記憶された制御プログラムを実行することで各種の処理を実行する。例えば、ＨＣＵ４０４１は、自動運転ユニット４０１０からの指示に従って、表示装置４０４４および音声出力装置４０４５の少なくとも何れかに情報提示を行わせる。なお、ＨＣＵ４０４１が実行する機能の一部または全部を、一つあるいは複数のＩＣ等によりハードウェア的に構成しても良い。
【０１４２】
周辺監視センサー４０５０は、歩行者、人間以外の動物、自転車、オートバイ、および他車等の移動物体、さらに路上の落下物、ガードレール、縁石、および樹木等の静止物体といった障害物を検出する。他にも、走行区画線、停止線等の路面標示を検出する。周辺監視センサー４０５０は、例えば、自車周囲の所定範囲を撮像する周辺監視カメラ、自車周囲の所定範囲に探査波を送信するミリ波レーダー、ソナー、ＬＩＤＡＲ（Light Detection and Ranging／Laser Imaging Detect ion and Ranging）等のセンサーである。
【０１４３】
周辺監視カメラとしてはステレオカメラを用いる構成であっても、単眼カメラを用いる構成であっても良い。周辺監視カメラは、逐次撮像する撮像画像をセンシング情報として自動運転ユニット４０１０へ逐次出力する。ソナー、ミリ波レーダー、ＬＩＤＡＲ等の探査波を送信するセンサーは、障害物によって反射された反射波を受信した場合に得られる受信信号に基づく走査結果をセンシング情報として自動運転ユニット４０１０へ逐次出力する。なお、自車前方のセンシングを周辺監視カメラとミリ波レーダーとを併用して行う等、複数種類の周辺監視センサー４０５０が重複したセンシング範囲を有する構成としても良い。
【０１４４】
車両制御ユニット４０６０は、自車の加減速制御および操舵制御の少なくとも何れかを行う電子制御装置である。車両制御ユニット４０６０としては、操舵制御を行う操舵ＥＣＵ、加減速制御を行うパワーユニット制御ＥＣＵおよびブレーキＥＣＵ等がある。車両制御ユニット４０６０は、自車に搭載されたアクセルポジションセンサー、ブレーキ踏力センサー、舵角センサー、車輪速センサー等の各センサーから出力される検出信号を取得し、電子制御スロットル、ブレーキアクチュエーター、ＥＰＳ（Electric Power Steering）モーター等の各走行制御デバイスへ制御信号を出力する。また、車両制御ユニット４０６０は、上述の各センサーの検出信号を車内ＬＡＮへ出力可能である。
【０１４５】
制御部としての自動運転ユニット４０１０は、ＣＰＵ、揮発性メモリー、不揮発性メモリー、Ｉ／Ｏ、これらを接続するバスを備え、不揮発性メモリーに記憶された制御プログラムを実行することで各種の処理を実行する。例えば、自動運転ユニット４０１０は、周辺監視センサー４０５０でのセンシング結果から自車の走行環境を認識する。他にも、自動運転ユニット４０１０は、車両制御ユニット４０６０を制御することにより、運転者による運転操作の代行を行う。この自動運転ユニット４０１０が走行支援装置に相当する。なお、自動運転ユニット４０１０が実行する機能の一部または全部を、一つあるいは複数のＩＣ等によりハードウェア的に構成しても良い。
【０１４６】
制御部としての自動運転ユニット４０１０は、センサーユニット４０３２で検出された検出信号に基づいて、車両制御ユニット４０６０に指示し、加速、制動、および操舵の少なくとも何れかを制御することができる。また、自動運転ユニット４０１０は、センサーユニット４０３２で検出された検出信号の変化に応じて、自動運転の実施、或いは不実施を切り替えることができる。このように、加速、制動、および操舵の少なくとも何れかを制御する制御部としての自動運転ユニット４０１０によって、自動運転の実施或いは不実施をセンサーユニットで検出された検出信号の変化に応じて精度よく切り替えることができる。
【０１４７】
このような走行支援システム４０００は、上述した物理量センサーとしての加速度センサー１００を含むセンサーユニット４０３２、およびセンサーユニット４０３２を含む走行支援装置としての自動運転ユニット４０１０を備えているので、優れた信頼性を有している。
【０１４８】
［頭部装着型表示装置］
以下、上述した加速度センサー１００を備えたセンサーユニット（第１センサー５６６、第２センサー５６８）を用いた表示装置の一例としての頭部装着型表示装置５０００について、図２３を参照して説明する。
図２３は、頭部装着型表示装置の概略構成を示す説明図である。
【０１４９】
図２３に示すように、表示装置の一例としての頭部装着型表示装置５０００は、ユーザー（使用者）の頭部に装着された状態でユーザーに虚像を視認させる画像表示部５２０と、画像表示部５２０を制御する制御装置５１０と、を備えている。制御装置５１０は、ユーザーが頭部装着型表示装置５０００を操作するコントローラーとしても機能する。
【０１５０】
画像表示部５２０は、ユーザーの頭部に装着される装着体であり、本形態では眼鏡形状のフレーム５０２（本体）を有する。フレーム５０２は、右保持部５２１および左保持部５２３を有する。右保持部５２１は、右光学像表示部５２６の他端である端部ＥＲから、ユーザーが画像表示部５２０を装着した際のユーザーの側頭部に対応する位置にかけて、延伸して設けられた部材である。同様に、左保持部５２３は、左光学像表示部５２８の他端である端部ＥＬから、ユーザーが画像表示部５２０を装着した際のユーザーの側頭部に対応する位置にかけて、延伸して設けられた部材である。右保持部５２１はユーザーの頭部において右耳またはその近傍に当接し、左保持部５２３はユーザーの左耳またはその近傍に当接して、ユーザーの頭部に画像表示部５２０を保持する。
【０１５１】
フレーム５０２には、右表示駆動部５２２と、左表示駆動部５２４と、右光学像表示部５２６と、左光学像表示部５２８と、マイク５６３とが設けられる。本形態では本体の一例として、眼鏡型のフレーム５０２を例示する。本体の形状は眼鏡型に限定されず、ユーザーの頭部に装着され固定されるものであればよく、ユーザーの左右の眼の前に跨がって装着される形状であれば、より好ましい。例えば、ここで説明する眼鏡型の他に、ユーザーの顔の上部を覆うスノーゴーグル様の形状であっても良いし、双眼鏡のようにユーザーの左右の眼のそれぞれの前方に配置される形状であっても良い。
【０１５２】
眼鏡型のフレーム５０２は、ユーザーの右眼の前に位置する右部５０２Ａ、および、左眼の前に位置する左部５０２Ｂを有し、右部５０２Ａと左部５０２Ｂとがブリッジ部５０２Ｃ（連結部）で連結された形状である。ブリッジ部５０２Ｃは、ユーザーが画像表示部５２０を装着した際のユーザーの眉間に対応する位置で、右部５０２Ａと左部５０２Ｂとを互いに連結する。
【０１５３】
右部５０２Ａおよび左部５０２Ｂは、それぞれテンプル部５０２Ｄ，５０２Ｅに連結される。テンプル部５０２Ｄ，５０２Ｅは眼鏡のテンプルのようにして、フレーム５０２をユーザーの頭部に支持する。本実施形態のテンプル部５０２Ｄは右保持部５２１で構成され、テンプル部５０２Ｅは左保持部５２３で構成される。
【０１５４】
右光学像表示部５２６は右部５０２Ａに配置され、左光学像表示部５２８は左部５０２Ｂに配置される、それぞれ、ユーザーが画像表示部５２０を装着した際にユーザーの右および左の眼前に位置する。
【０１５５】
右表示駆動部５２２と左表示駆動部５２４とは、ユーザーが画像表示部５２０を装着した際のユーザーの頭部に対向する側に配置されている。なお、右表示駆動部５２２および左表示駆動部５２４を総称して単に「表示駆動部」とも呼び、右光学像表示部５２６および左光学像表示部５２８を総称して単に「光学像表示部」とも呼ぶ。また、表示駆動部５２２，５２４は、不図示の液晶ディスプレイ（Liquid Crystal Display）や投写光学系等を含む。
【０１５６】
右光学像表示部５２６および左光学像表示部５２８は、不図示の導光板と、調光板とを備える。導光板は、光透過性の樹脂等によって形成され、表示駆動部５２２，５２４が出力する画像光を、ユーザーの眼に導く。調光板は、薄板状の光学素子であり、ユーザーの眼の側とは反対の側である画像表示部５２０の表側を覆うように配置される。調光板は、光透過性がほぼ無いもの、透明に近いもの、光量を減衰させて光を透過するもの、特定の波長の光を減衰又は反射するもの等、種々のものを用いることができる。調光板の光学特性（光透過率など）を適宜選択することにより、外部から右光学像表示部５２６および左光学像表示部５２８に入射する外光量を調整して、虚像の視認のしやすさを調整できる。本形態では、少なくとも、画像表示部５２０を装着したユーザーが外の景色を視認できる程度の光透過性を有する調光板を用いる場合について説明する。調光板は、光学素子である右導光板および左導光板を保護し、右導光板および左導光板の損傷や汚れの付着等を抑制する。なお、調光板は、右光学像表示部５２６および左光学像表示部５２８に対し着脱可能としてもよく、複数種類の調光板を交換して装着可能としても良いし、省略しても良い。
【０１５７】
また、フレーム５０２には、カメラユニット５０３が設けられる。カメラユニット５０３は、上部カメラ５６１が配置されるカメラ台座部５０３Ｃと、カメラ台座部５０３Ｃを支持するアーム部５０３Ａ，５０３Ｂとを有する。アーム部５０３Ａは、右保持部５２１の先端部ＡＰに設けられたヒンジ５２１Ａにより、回動可能に右保持部５２１に連結される。アーム部５０３Ｂは、左保持部５２３の先端部ＡＰに設けられたヒンジ５２３Ａにより、回動可能に左保持部５２３に連結される。このため、カメラユニット５０３は全体として、図中矢印Ｋで示す方向、すなわち装着状態において上下に回動可能である。カメラユニット５０３は、回動範囲の下端でフレーム５０２に接する。また、カメラユニット５０３の回動範囲の上端はヒンジ５２１Ａ、５２３Ａの仕様等で決定される。
【０１５８】
カメラ台座部５０３Ｃは、右部５０２Ａ、左部５０２Ｂおよびブリッジ部５０２Ｃの上部に跨がって位置する板状または棒状部材であり、ブリッジ部５０２Ｃの上に相当する位置に、上部カメラ５６１が埋込設置される。上部カメラ５６１は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子および撮像レンズ等を備えるデジタルカメラであり、単眼カメラであってもステレオカメラであっても良い。
【０１５９】
上部カメラ５６１は、頭部装着型表示装置５０００の表側方向、換言すれば、画像表示部５２０を装着した状態におけるユーザーの視界方向の少なくとも一部の外景を撮像する。上部カメラ５６１の画角の広さは適宜設定可能であるが、例えばカメラユニット５０３の回動範囲の下端において、上部カメラ５６１の撮像範囲が、ユーザーが右光学像表示部５２６、左光学像表示部５２８を通して視認する外界を含むことが好ましい。さらに、調光板を通したユーザーの視界の全体を撮像できるように上部カメラ５６１の撮像範囲が設定されているとより好ましい。
【０１６０】
画像表示部５２０は、制御装置５１０に接続部５４０を介して接続する。接続部５４０は、制御装置５１０に接続される本体コード５４８、右コード５４２、左コード５４４、および、連結部材５４６を備える。右コード５４２および左コード５４４は、本体コード５４８が２本に分岐したコードである。右コード５４２は、右保持部５２１の延伸方向の先端部ＡＰから右保持部５２１の筐体内に挿入され、右表示駆動部５２２に接続される。同様に、左コード５４４は、左保持部５２３の延伸方向の先端部ＡＰから左保持部５２３の筐体内に挿入され、左表示駆動部５２４に接続される。
【０１６１】
連結部材５４６は、本体コード５４８と、右コード５４２および左コード５４４との分岐点に設けられ、イヤホンプラグ５３０を接続するためのジャックを有する。イヤホンプラグ５３０からは、右イヤホン５３２および左イヤホン５３４が延伸する。イヤホンプラグ５３０の近傍にはマイク５６３が設けられる。イヤホンプラグ５３０からマイク５６３までは一本のコードにまとめられ、マイク５６３からコードが分岐して、右イヤホン５３２と左イヤホン５３４のそれぞれに繋がる。
【０１６２】
マイク５６３は、マイク５６３の集音部がユーザーの視線方向を向くように配置され、音声を集音して、音声信号を音声処理部（不図示）に出力する。マイク５６３は、例えばモノラルマイクであってもステレオマイクであってもよく、指向性を有するマイクであっても良いし、無指向性のマイクであっても良い。
【０１６３】
右コード５４２、左コード５４４、および、本体コード５４８は、デジタルデータを伝送可能なものであればよく、例えば金属ケーブルや光ファイバーで構成できる。また、右コード５４２と左コード５４４とを一本のコードにまとめた構成としても良い。
【０１６４】
画像表示部５２０と制御装置５１０とは、接続部５４０を介して各種信号を伝送する。本体コード５４８の連結部材５４６とは反対側の端部、および、制御装置５１０には、互いに嵌合するコネクター（不図示）が設けられる。本体コード５４８のコネクターと制御装置５１０のコネクターとを嵌合し、或いは、この嵌合を外すことで、制御装置５１０と画像表示部５２０とを接離できる。
【０１６５】
制御装置５１０は、頭部装着型表示装置５０００を制御する。制御装置５１０は、決定キー５１１、点灯部５１２、表示切替キー５１３、輝度切替キー５１５、方向キー５１６、メニューキー５１７、および電源スイッチ５１８を含むスイッチ類を備える。また、制御装置５１０は、ユーザーが手指で操作するトラックパッド５１４を備える。
【０１６６】
決定キー５１１は、押下操作を検出して、制御装置５１０で操作された内容を決定する信号を出力する。点灯部５１２は、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の光源を備え、光源の点灯状態により、頭部装着型表示装置５０００の動作状態（例えば、電源のＯＮ／ＯＦＦ）を通知する。表示切替キー５１３は、押下操作に応じて、例えば、画像の表示モードの切り替えを指示する信号を出力する。
【０１６７】
トラックパッド５１４は、接触操作を検出する操作面を有し、操作面に対する操作に応じて操作信号を出力する。操作面における検出方式は限定されず、静電式、圧力検出式、光学式等を採用できる。輝度切替キー５１５は、押下操作に応じて画像表示部５２０の輝度の増減を指示する信号を出力する。方向キー５１６は、上下左右方向に対応するキーへの押下操作に応じて操作信号を出力する。電源スイッチ５１８は、頭部装着型表示装置５０００の電源オン／オフを切り替えるスイッチである。
【０１６８】
また、フレーム５０２には２つの動きセンサーが取り付けられる。本形態の動きセンサーは、慣性センサーであり、具体的には第１のセンサーユニットとしての第１センサー５６６および第２のセンサーユニットとしての第２センサー５６８である。なお、第１センサー５６６および第２センサー５６８として、上述した加速度センサー１００を適用することができる。第１センサー５６６は右部５０２Ａにおいてテンプル部５０２Ｄ側の端に配置され、第２センサー５６８は左部５０２Ｂにおいてテンプル部５０２Ｅ側の端部に設置される。すなわち、第１センサー５６６および第２センサー５６８は、頭部装着型表示装置５０００の装着状態において頭部の中心より一方側に位置している。第１センサー５６６および第２センサー５６８は、加速度センサーや角速度センサー（ジャイロセンサー）等の慣性センサーであり、本形態では、３軸のジャイロセンサーおよび３軸の加速度センサーを用いている。第１センサー５６６および第２センサー５６８は、それぞれ、内蔵する検出機構の測定基準点において、例えばＸ軸回りの回転（ピッチ）、Ｙ軸回りの回転（ヨー）、およびＺ軸回りの回転（ロール）を検出する。
【０１６９】
第１センサー５６６および第２センサー５６８の何れかのセンサーは、ユーザーの頭部の中心の一方側にあり、他のセンサーは、ユーザーの頭部の中心の他方側にある。具体的には、第１センサー５６６はユーザーの頭部の右側にあり、第２センサー５６８は左側にある。なお、本形態で、頭部の中心とは、ユーザーの身長に対し垂直な水平面における頭部の中心を指す。第１センサー５６６および第２センサー５６８の水平面における位置は、この水平面における頭部の中心を挟んで、右側と左側にある。
【０１７０】
このような構成の表示装置の一例としての頭部装着型表示装置５０００は、ユーザーの眼に画像光を照射する画像表示部５２０と、複数の動きセンサーとしての第１センサー５６６および第２センサー５６８とを備える。第１センサー５６６および第２センサー５６８の何れかは、装着状態において頭部の中心より一方側に位置し、他の動きセンサーは頭部の中心より他方側に位置する。このため、ユーザーの頭部が動いた場合に、運動中心における動き量や動きの方向等を速やかに求めることができる。
【０１７１】
また、頭部装着型表示装置５０００において、第１センサー５６６および第２センサー５６８の何れかは、装着状態において頭部の中心より左側に位置し、他の動きセンサーは頭部の中心より右側に位置する。このため、動きセンサーの検出結果に基づいて、頭部の運動中心における動きを速やかに求めることができる。
【０１７２】
このような表示装置の一例としての頭部装着型表示装置５０００は、第１センサー５６６および第２センサー５６８として上述した物理量センサーとしての加速度センサー１００を備えているので、優れた信頼性を有している。
【０１７３】
以上、物理量センサー（１００）、複合センサー９００、慣性計測ユニット２０００、移動体測位装置３０００、携帯型電子機器（１０００）、電子機器（１１００，１２００，１３００）、移動体（１５００）、走行支援システム４０００、および表示装置（５０００）を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置き換えることができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていても良い。
【０１７４】
また、前述した実施形態では、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸が互いに直交しているが、互いに交差していれば、これに限定されず、例えば、Ｘ軸がＹＺ平面の法線方向に対して若干傾いていても良いし、Ｙ軸がＸＺ平面の法線方向に対して若干傾いていても良いし、Ｚ軸がＸＹ平面の法線方向に対して若干傾いていても良い。なお、若干とは、加速度センサー１００がその効果を発揮することができる範囲を意味し、具体的な傾き角度（数値）は、構成等によって異なる。
【０１７５】
以下に、上述した実施形態から導き出される内容を、各態様として記載する。
【０１７６】
［態様１］本態様に係る物理量センサーは、基板、内部に収納空間を構成するように前記基板に接合されている蓋、および前記収納空間に収納され、物理量を検出可能な物理量センサー素子片、を含む物理量センサー素子と、前記蓋の面であって、前記物理量センサー素子片の側とは反対側の面に接着材を介して接着されている回路素子と、を含み、前記蓋の前記反対側の面の外縁領域には、前記蓋の外縁に沿って、凹部が設けられていることを特徴とする。
【０１７７】
本態様によれば、物理量センサー素子の蓋の回路素子が接着されている面の外縁領域に、蓋の外縁に沿って、凹部が設けられているので、回路素子を蓋に接着する際、余分な接着材が蓋の表面を伝って流れ出ても、凹部において、流れ出た接着材を滞留させることができる。そのため、蓋の側面を伝って流れ出た接着材が物理量センサー素子をパッケージ等に取り付けている接着材と接触した状態で滞留することを低減することができる。そのため、接着材の硬化時に起因して生じる応力や歪が物理量センサー素子を取り付けている接着材を介して物理量センサー素子に伝わることを低減することができる。当該応力や歪の物理量センサー素子への影響が低減できるので、例えば、物理量センサー素子から出力されるバイアス出力信号が変動するのを低減させることができる。
【０１７８】
［態様２］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記凹部は、段差部であることが好ましい。
【０１７９】
本態様によれば、凹部が段差部であるため、回路素子を蓋に接着する際、余分な接着材が蓋の表面を伝って流れ出ても、段差部において、流れ出た接着材を滞留させることができる。そのため、接着材の硬化に起因して生じる応力や歪が物理量センサー素子を取り付けている接着材を介して物理量センサー素子に伝わることを低減することができる。当該応力や歪の物理量センサー素子への影響が低減できるので、例えば、物理量センサー素子から出力されるバイアス出力信号の変動を低減させることができる。
【０１８０】
［態様３］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記凹部は、有底の穴であることが好ましい。
【０１８１】
本態様によれば、凹部が有底の穴であるため、回路素子を蓋に接着する際、余分な接着材を穴内に滞留させることができる。そのため、接着材の硬化に起因して生じる応力や歪が物理量センサー素子を取り付けている接着材を介して物理量センサー素子に伝わることを低減することができる。当該応力や歪の物理量センサー素子への影響が低減できるので、例えば、物理量センサー素子から出力されるバイアス出力信号の変動を低減させることができる。
【０１８２】
［態様４］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記有底の穴は、前記蓋の前記回路素子側の面側から前記基板側に向うに従って、穴の幅が狭くなっていることが好ましい。
【０１８３】
本態様によれば、凹部が有底の穴であり、蓋の回路素子側の面側から基板側に向うに従って、穴の幅が狭くなっているため、回路素子を蓋に接着する際、接着材が穴内により流れ込み安くなり、余分な接着材を穴内に滞留させることができる。そのため、接着材の硬化に起因して生じる応力や歪が物理量センサー素子を取り付けている接着材を介して物理量センサー素子に伝わることを低減することができる。当該応力や歪の物理量センサー素子への影響が低減できるので、例えば、物理量センサー素子から出力されるバイアス出力信号の変動を低減させることができる。
【０１８４】
［態様５］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記有底の穴の壁面は、傾斜面であることが好ましい。
【０１８５】
本態様によれば、凹部が有底の穴であり、穴の壁面が傾斜面となっているため、回路素子を蓋に接着する際、接着材が穴内に流れ込み安くなり、余分な接着材を穴内に滞留させることができる。そのため、接着材の硬化に起因して生じる応力や歪が物理量センサー素子を取り付けている接着材を介して物理量センサー素子に伝わることを低減することができる。当該応力や歪の物理量センサー素子への影響が低減できるので、例えば、物理量センサー素子から出力されるバイアス出力信号の変動を低減させることができる。
【０１８６】
［態様６］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記蓋は、四角形状であり、前記蓋の少なくとも一対の辺に、前記凹部が設けられていることが好ましい。
【０１８７】
本態様によれば、蓋は、四角形状であり、蓋の少なくとも一対の辺に、凹部が設けられているので、回路素子を蓋に接着する際、接着材が回路素子の両側に流れ出ても、余分な接着材を凹部に滞留させることができる。そのため、接着材の硬化に起因して生じる応力や歪が物理量センサー素子を取り付けている接着材を介して物理量センサー素子に伝わることを低減することができる。当該応力や歪の物理量センサー素子への影響が低減できるので、例えば、物理量センサー素子から出力されるバイアス出力信号の変動を低減させることができる。
【０１８８】
［態様７］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記物理量は、加速度であることが好ましい。
【０１８９】
本態様によれば、物理量センサー素子の接着状態の不安定に起因して生じるバイアス出力信号の変動を低減させた高精度の加速度データを検出することができる。
【０１９０】
［態様８］本態様に係る複合センサーは、上記態様７に記載の物理量センサーと、角速度センサーと、を含むことを特徴とする。
【０１９１】
本態様によれば、上述の物理量センサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い複合センサーが得られる。
【０１９２】
［態様９］本態様に係る慣性計測ユニットは、上記態様７に記載の物理量センサーと、角速度センサーと、前記物理量センサーおよび前記角速度センサーを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする。
【０１９３】
本態様によれば、上述の物理量センサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い慣性計測ユニットが得られる。
【０１９４】
［態様１０］本態様に係る移動体測位装置は、上記態様９に記載の慣性計測ユニットと、測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信する受信部と、受信した前記衛星信号に基づいて、前記受信部の位置情報を取得する取得部と、前記慣性計測ユニットから出力された慣性データに基づいて、移動体の姿勢を演算する演算部と、算出された前記姿勢に基づいて前記位置情報を補正することにより、前記移動体の位置を算出する算出部と、を含むことを特徴とする。
【０１９５】
本態様によれば、上述の物理量センサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い移動体測位装置が得られる。
【０１９６】
［態様１１］本態様に係る携帯型電子機器は、上記態様１乃至上記態様７の何れか一項に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーが収納されているケースと、前記ケースに収納され、前記物理量センサーから出力された検出信号を処理する処理部と、前記ケースに収納されている表示部と、前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、を含むことを特徴とする。
【０１９７】
本態様によれば、上述の物理量センサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い携帯型電子機器が得られる。
【０１９８】
［態様１２］上記態様に記載の携帯型電子機器において、衛星測位システムを含み、ユーザーの移動距離や移動軌跡を計測することが好ましい。
【０１９９】
本態様によれば、携帯型電子機器の利便性が向上する。
【０２００】
［態様１３］本態様に係る電子機器は、上記態様１乃至上記態様７の何れか一項に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。
【０２０１】
本態様によれば、上述の物理量センサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い電子機器が得られる。
【０２０２】
［態様１４］本態様に係る移動体は、上記態様１乃至上記態様７の何れか一項に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。
【０２０３】
本態様によれば、上述の物理量センサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い移動体が得られる。
【０２０４】
［態様１５］上記態様に記載の移動体において、エンジンシステム、ブレーキシステムおよびキーレスエントリーシステムの少なくとも何れかのシステムを含み、前記制御部は、前記検出信号に基づいて前記システムを制御することが好ましい。
【０２０５】
本態様によれば、エンジンシステム、ブレーキシステム、およびキーレスエントリーシステムの少なくとも何れかのシステムを精度よく制御することができる。
【０２０６】
［態様１６］本態様に係る走行支援システムは、上記態様１乃至上記態様７の何れか一項に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて、加速、制動、および操舵の少なくとも何れかを制御する制御部と、を含み、自動運転の実施或いは不実施は、前記物理量センサーから出力された検出信号の変化に応じて切り替えられることを特徴とする。
【０２０７】
本態様によれば、加速、制動、および操舵の少なくとも何れかを制御する制御部によって、自動運転の実施或いは不実施を物理量センサーで検出された検出信号の変化に応じて精度よく切り替えることができる。
【０２０８】
［態様１７］本態様に係る表示装置は、ユーザーの頭部に装着され、前記ユーザーの眼に画像光を照射する表示部と、上記態様１乃至上記態様７の何れか一項に記載の物理量センサーと、を含み、前記物理量センサーは、装着状態において前記頭部の中心より一方側に位置している第１のセンサーユニットと、前記頭部の中心より他方側に位置している第２のセンサーユニットと、を含んで構成されていることを特徴とする。
【０２０９】
本態様によれば、表示装置は、物理量センサーが装着状態において頭部の中心より一方側に位置している第１のセンサーユニットと、他方側に位置している第２のセンサーユニットと、を含んで構成されている。このため、ユーザーの頭部が動いた場合に、運動中心における動き量や動きの方向等を速やかに求めることができる。また、上述の物理量センサーの効果を享受でき、慣性の計測精度の高い表示装置が得られる。
【符号の説明】
【０２１０】
１，１ａ，１ｂ…物理量センサー素子としての加速度センサー素子、２…回路素子、１０…加速度センサー素子片、１２…基板、１２ａ…凹部、１２ｅ…底面、１２ｆ…主面、２０…端子部、２１，２２，２３…マウント部、２４…第１溝部、２６…第２溝部、２８…第３溝部、３０…第１配線、３４…第１端子電極、３６…第２配線、４０…第２端子電極、４２…第３配線、４６…第３端子電極、５０…蓋としての蓋体、５０ａ…凹部、５０ｅ…天井面、５０ｆ…上面、６０…接合部材、７０…凹部、７０ｆ…面、７２…凹部、７２ａ，７２ｂ…傾斜面、９０…孔部、９４…封止部材、１００…物理量センサーとしての加速度センサー、１２０…パッケージ、９００…複合センサー、１０００…リスト機器、１１００…パーソナルコンピューター、１２００…スマートフォン、１３００…ディジタルスチールカメラ、１５００…自動車、２０００…慣性計測ユニット、３０００…移動体測位装置、４０００…走行支援システム、５０００…頭部装着型表示装置、ＢＷ１，ＢＷ２…ボンディングワイヤー、Ｓ１，Ｓ２…収納空間。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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