(57)【要約】【課題】優れた噴射特性を得ることが可能な液体噴射ヘッドチップを提供する。【解決手段】液体噴射ヘッドチップは、所定の配列方向に配列されると共に複数のチャネルを画定する複数の駆動壁を含み、複数の駆動壁のそれぞれが配列方向において互いに反対の方向を向く第１端面および第２端面と第１端面および第２端面のそれぞれに連結された第３端面とを有する本体部と、第１端面のうちの少なくとも一部から第３端面のうちの一部に至る範囲を被覆する第１駆動電極と、を含むアクチュエータプレートを備える。【選択図】図６Ｂ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の配列方向に配列されると共に複数のチャネルを画定する複数の駆動壁を含み、前記複数の駆動壁のそれぞれが、前記配列方向において互いに反対の方向を向く第１端面および第２端面と、前記第１端面および前記第２端面のそれぞれに連結された第３端面とを有する、本体部と、
前記第１端面のうちの少なくとも一部から前記第３端面のうちの一部に至る範囲を被覆する第１駆動電極と、
を含むアクチュエータプレートを備えた、液体噴射ヘッドチップ。
【請求項２】
前記複数のチャネルは、液体を噴射させる複数の噴射チャネルと、前記液体を噴射させない複数の非噴射チャネルとを含み、
前記第１端面は、前記非噴射チャネルを画定している、
請求項１記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項３】
前記第１駆動電極は、めっき膜である、
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項４】
さらに、前記第２端面のうちの少なくとも一部から前記第３端面のうちの一部に至る範囲を被覆する第２駆動電極を含み、
前記第１駆動電極と前記第２駆動電極とが互いに離間されることにより、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極との間に前記第３端面のうちの一部を露出させるための非被覆空間が設けられている、
請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項５】
前記複数のチャネルは、液体を噴射させる複数の噴射チャネルと、前記液体を噴射させない複数の非噴射チャネルとを含み、
前記複数の噴射チャネルおよび前記複数の非噴射チャネルは、前記配列方向において交互に配置されており、
前記第１端面は、前記非噴射チャネルを画定しており、
前記第２端面は、前記噴射チャネルを画定している、
請求項４記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項６】
前記第１駆動電極および前記第２駆動電極のそれぞれは、めっき膜である、
請求項４または請求項５に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項７】
さらに、前記アクチュエータプレートを被覆するカバープレートを備え、
前記第１駆動電極のうちの前記第３端面を被覆している部分は、前記駆動壁と前記カバープレートとにより挟まれている、
請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項８】
さらに、前記第２端面のうちの少なくとも一部から前記第３端面のうちの一部に至る範囲を被覆する第２駆動電極を含み、
前記第２駆動電極のうちの前記第３端面を被覆している部分は、前記駆動壁と前記カバープレートとにより挟まれている、
請求項７記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項９】
前記第１駆動電極と前記第２駆動電極とが互いに離間されることにより、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極との間に前記第３端面のうちの一部を露出させるための非被覆空間が設けられており、
前記アクチュエータプレートおよび前記カバープレートは、前記非被覆空間に供給された接着剤を介して互いに貼り合わされている、
請求項８記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載され、液体を噴射する液体噴射ヘッドチップと、
前記液体噴射ヘッドチップに前記液体を供給する供給部と
備えた、液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
請求項１０に記載され、被記録媒体に液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた、液体噴射記録装置。
【請求項１２】
基体の上に、所定の配列方向に配列された複数の開口部を有するマスクを形成し、
前記複数の開口部のそれぞれよりも前記配列方向における内側の領域において前記基体を部分的に除去することにより、前記配列方向において互いに反対の方向を向く第１端面および第２端面と前記第１端面および前記第２端面のそれぞれに連結された第３端面とを有する複数の駆動壁を含むと共に、前記複数の駆動壁により複数のチャネルが画定されるように、本体部を形成し、
前記マスクを用いて、前記マスクの表面および前記複数の駆動壁を含む前記本体部の表面のそれぞれに電極材料を成膜し、
前記電極材料のうちの一部が成膜された前記マスクを除去することにより、前記第１端面のうちの少なくとも一部から前記第３端面に至る範囲を被覆すると共に前記電極材料を含む第１駆動電極、および前記第２端面のうちの少なくとも一部から前記第３端面に至る範囲を被覆すると共に前記電極材料を含む第２駆動電極のうちの少なくとも一方を形成する、
液体噴射ヘッドチップの製造方法。
【請求項１３】
前記基体を切削加工することにより、前記基体を部分的に除去する、
請求項１２記載の液体噴射ヘッドチップの製造方法。
【請求項１４】
湿式めっき法を用いて前記電極材料を成膜する、
請求項１２または請求項１３に記載の液体噴射ヘッドチップの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、液体を噴射する液体噴射ヘッドチップ、その液体噴射ヘッドチップを備えた液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置、ならびにその液体噴射ヘッドチップの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
被記録媒体に画像を記録する記録装置として、液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置が知られており、その液体噴射ヘッドは、液体を噴射する液体噴射ヘッドチップを含んでいる。この液体噴射記録装置では、液体噴射ヘッドチップから被記録媒体に液体が噴射されるため、その被記録媒体に画像が記録される。
【０００３】
この液体噴射ヘッドチップは、液体を噴射させるために電気的に駆動するアクチュエータプレートを備えており、そのアクチュエータプレートは、駆動電極を含んでいる。この駆動電極は、複数のチャネルの容積を電気的に変化させることにより、その複数のチャネルに収容された液体を放出させる。
【０００４】
アクチュエータプレートを備えた液体噴射ヘッドチップの構成に関しては、様々な検討がなされている。具体的には、アクチュエータプレートの形成工程において駆動電極が短絡することを防止するために、無電解めっき法を用いて駆動電極をパターン形成している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０８−２６７７６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
アクチュエータプレートを備えた液体噴射ヘッドチップの構成に関して様々な検討がなされているが、その液体噴射ヘッドチップの噴射特性は未だ十分でないため、改善の余地がある。
【０００７】
そこで、優れた噴射特性を得ることが可能な液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置、ならびに液体噴射ヘッドチップの製造方法を提供することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドチップは、所定の配列方向に配列されると共に複数のチャネルを画定する複数の駆動壁を含み、複数の駆動壁のそれぞれが配列方向において互いに反対の方向を向く第１端面および第２端面と第１端面および第２端面のそれぞれに連結された第３端面とを有する本体部と、第１端面のうちの少なくとも一部から第３端面のうちの一部に至る範囲を被覆する第１駆動電極と、を含むアクチュエータプレートを備えたものである。
【０００９】
本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドは、液体を噴射する液体噴射ヘッドチップと、その液体噴射ヘッドチップに液体を供給する供給部と備え、その液体噴射ヘッドチップが上記した本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドチップと同様の構成を有するものである。
【００１０】
本開示の一実施形態の液体噴射記録装置は、被記録媒体に液体を噴射する液体噴射ヘッドと、その液体を収容する収容部とを備え、その液体噴射ヘッドチップが上記した本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドチップと同様の構成を有するものである。
【００１１】
本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドチップの製造方法は、基体の上に、所定の配列方向に配列された複数の開口部を有するマスクを形成し、複数の開口部のそれぞれよりも配列方向における内側の領域において基体を部分的に除去することにより、その配列方向において互いに反対の方向を向く第１端面および第２端面と第１端面および第２端面のそれぞれに連結された第３端面とを有する複数の駆動壁を含むと共にその複数の駆動壁により複数のチャネルが画定されるように本体部を形成し、マスクを用いて、そのマスクの表面および複数の駆動壁を含む本体部の表面のそれぞれに電極材料を成膜し、その電極材料のうちの一部が成膜されたマスクを除去することにより、第１端面のうちの少なくとも一部から第３端面に至る範囲を被覆すると共に電極材料を含む第１駆動電極および第２端面のうちの少なくとも一部から第３端面に至る範囲を被覆すると共に電極材料を含む第２駆動電極のうちの少なくとも一方を形成するものである。
【発明の効果】
【００１２】
本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッドまたは液体噴射記録装置によれば、アクチュエータプレートにおいて第１駆動電極が第１端面のうちの少なくとも一部から第３端面のうちの一部に至る範囲を被覆しているので、優れた噴射特性を得ることができる。
【００１３】
本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドチップの製造方法によれば、マスクに設けられた複数の開口部のそれぞれよりも内側の領域において基体を部分的に除去することにより、複数のチャネルが画定された本体部を形成したのち、そのマスクを用いて電極材料を成膜することにより、第１駆動電極および第２駆動電極のうちの少なくとも一方を形成しているので、優れた噴射特性が得られる液体噴射ヘッドチップを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本開示の一実施形態の液体噴射記録装置の構成を表す斜視図である。
【図２】図１に示した液体噴射ヘッドの構成を拡大して表す斜視図である。
【図３】図２に示した液体噴射ヘッドチップの構成を表す斜視図である。
【図４】図２に示した液体噴射ヘッドチップの構成を表す他の斜視図である。
【図５】図４に示した液体噴射ヘッドチップの構成を表す断面図である。
【図６Ａ】図５に示したアクチュエータプレートの構成のうちの一部を拡大した平面図である。
【図６Ｂ】図５に示したアクチュエータプレートの構成のうちの一部を拡大した断面図である。
【図７Ａ】本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドチップの製造方法を説明するための平面図である。
【図７Ｂ】本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドチップの製造方法を説明するための断面図である。
【図８Ａ】図７Ａに続く液体噴射ヘッドチップの製造工程を説明するための平面図である。
【図８Ｂ】図７Ｂに続く液体噴射ヘッドチップの製造工程を説明するための断面図である。
【図９Ａ】図８Ａに続く液体噴射ヘッドチップの製造工程を説明するための平面図である。
【図９Ｂ】図８Ｂに続く液体噴射ヘッドチップの製造工程を説明するための断面図である。
【図１０Ａ】図９Ａに続く液体噴射ヘッドチップの製造工程を説明するための平面図である。
【図１０Ｂ】図９Ｂに続く液体噴射ヘッドチップの製造工程を説明するための断面図である。
【図１１Ａ】比較例の液体噴射ヘッドチップの製造方法を説明するための平面図である。
【図１１Ｂ】図１１Ａに続く液体噴射ヘッドチップの製造方法を説明するための断面図である。
【図１２】比較例の液体噴射ヘッドチップの製造方法に関する課題を説明するための断面図である。
【図１３】本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドチップの製造方法に関する利点を説明するための断面図である。
【図１４】液体噴射ヘッドチップの構成に関する変形例１を表す断面図である。
【図１５Ａ】変形例１の液体噴射ヘッドチップの製造方法を説明するための平面図である。
【図１５Ｂ】図１５Ａに続く液体噴射ヘッドチップの製造工程を説明するための断面図である。
【図１６】液体噴射ヘッドチップの構成に関する変形例２を表す断面図である。
【図１７Ａ】変形例２の液体噴射ヘッドチップの製造方法を説明するための平面図である。
【図１７Ｂ】図１７Ａに続く液体噴射ヘッドチップの製造工程を説明するための断面図である。
【図１８Ａ】変形例３の液体噴射ヘッドチップの製造方法を説明するための平面図である。
【図１８Ｂ】図１８Ａに続く液体噴射ヘッドチップの製造工程を説明するための断面図である。
【図１９】液体噴射ヘッドチップの構成に関する変形例４を表す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本開示の一実施形態に関して、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、説明する順序は、下記の通りである。
１．液体噴射記録装置（液体噴射ヘッドチップおよび液体噴射ヘッド）
１−１．全体構成
１−２．液体噴射ヘッドの構成
１−３．液体噴射ヘッドチップの構成
１−４．液体噴射ヘッドチップのうちの主要部の構成
１−５．動作
１−６．製造方法
１−７．作用および効果
２．変形例
【００１６】
＜１．液体噴射記録装置（液体噴射ヘッドチップおよび液体噴射ヘッド）＞
本開示の一実施形態の液体噴射記録装置に関して説明する。
【００１７】
なお、本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドチップおよび液体噴射ヘッドのそれぞれは、ここで説明する液体噴射記録装置のうちの一部である。そこで、液体噴射ヘッドチップおよび液体噴射ヘッドのそれぞれに関しては、以下で併せて説明する。
【００１８】
ここで説明する液体噴射記録装置は、例えば、被記録媒体に画像を形成するプリンタである。被記録媒体の種類は、特に限定されないが、例えば、紙およびフィルムなどである。
【００１９】
＜１−１．全体構成＞
最初に、液体噴射記録装置の全体構成に関して説明する。
【００２０】
図１は、液体噴射記録装置の一具体例であるプリンタ１の斜視構成を表している。ただし、図１では、筐体１０の外縁（輪郭）を破線で示すことにより、その筐体１０の内部を示している。
【００２１】
このプリンタ１は、主に、被記録媒体である記録紙Ｐに対して、後述する記録用の液体であるインク９（図２参照）を用いて画像を記録（印刷）するインクジェット方式の記録装置であり、いわゆるインクジェットプリンタである。
【００２２】
なお、プリンタ１は、例えば、図示しない循環機構において循環されているインク９を用いるインク循環方式のインクジェットプリンタでもよいし、その循環機構において循環されていないインク９を用いる非インク循環方式のインクジェットプリンタでもよい。
【００２３】
具体的には、プリンタ１は、例えば、図１に示したように、筐体１０の内部に、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、供給チューブ５０と、走査機構６とを備えている。
【００２４】
なお、図１および後述する各図面では、プリンタ１の一連の構成要素を認識しやすくするために、適宜、各構成要素の縮尺を変更している。
【００２５】
［搬送機構］
搬送機構２ａ，２ｂは、プリンタ１に投入された記録紙Ｐを搬送方向Ｄ（Ｘ軸方向）に搬送させる機構である。
【００２６】
搬送機構２ａ，２ｂのそれぞれは、例えば、グリッドローラ２１およびピンチローラ２２を含んでいる。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２のそれぞれは、例えば、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）に延在しており、その方向に延在する回転軸を中心として回転可能である。また、搬送機構２ａ，２ｂのそれぞれは、例えば、図示しないモータなどの駆動源に接続されており、その駆動源の動力を利用して回転する。
【００２７】
ここでは、記録紙Ｐの平面形状は、例えば、一対の長辺および一対の短辺により画定される矩形（長方形）である。このため、搬送方向Ｄは、例えば、記録紙Ｐの長手方向に沿った方向（Ｘ軸方向）であると共に、搬送方向Ｄに交差する方向は、例えば、記録紙Ｐの短手方向に沿った方向（Ｙ軸方向）である。
【００２８】
［インクタンク］
インクタンク３は、インク９を貯蔵する器である。ここで、インクタンク３は、本開示の「収容部」の一実施形態である。
【００２９】
インクタンク３の数は、特に限定されないため、１個だけでもよいし、２個以上でもよい。ここでは、プリンタ１は、例えば、互いに異なる色のインク９を収容する４個のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）を備えている。インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂは、例えば、搬送方向Ｄにおいて上流側から下流側に向かってこの順に配列されている。
【００３０】
インクタンク３Ｙは、例えば、イエロー（Ｙ）のインク９を貯蔵している。インクタンク３Ｍは、例えば、マゼンタ（Ｍ）のインク９を貯蔵している。インクタンク３Ｃは、例えば、シアン（Ｃ）のインク９を貯蔵している。インクタンク３Ｂは、例えば、ブラック（Ｂ）のインク９を収容している。
【００３１】
インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂのそれぞれは、例えば、インク９の種類（色）が互いに異なることを除いて、互いに同様の構成を有している。以下では、必要に応じて、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋを「インクタンク３」と総称する。
【００３２】
［インクジェットヘッド］
インクジェットヘッド４は、記録紙Ｐに画像を記録するために、その記録紙Ｐに液滴状のインク９を噴射するデバイス（ヘッド）である。ここで、インクジェットヘッド４は、本開示の「液体噴射ヘッド」の一実施形態である。
【００３３】
ここで説明するインクジェットヘッド４は、例えば、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドである。
【００３４】
具体的には、エッジシュートタイプのインクジェットヘッド４では、後述するように、複数のチャネルＣ１のそれぞれが所定の方向（例えば、Ｚ軸方向）に延在している場合において、複数のノズル孔Ｈ２のそれぞれから複数のチャネルＣ１のそれぞれの延在方向と同様の方向（Ｚ軸方向）にインク９が噴射される（図３参照）。すなわち、各チャネルＣ１の延在方向と各ノズル孔Ｈ２からインク９が噴射される方向とは、互いに一致している。
【００３５】
インクジェットヘッド４の数は、特に限定されないため、１個だけでもよいし、２個以上でもよい。ここでは、プリンタ１は、例えば、図１に示したように、上記した４個のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）に対応して、互いに異なる色のインク９を噴射する４個のインクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）を備えている。インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、例えば、搬送方向Ｄと交差する方向においてこの順に配列されている。
【００３６】
インクジェットヘッド４Ｙは、例えば、イエローのインク９を噴射する。インクジェットヘッド４Ｍは、例えば、マゼンタのインク９を噴射する。インクジェットヘッド４Ｃは、例えば、シアンのインク９を噴射する。インクジェットヘッド４Ｂは、例えば、ブラックのインク９を噴射する。
【００３７】
インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂのそれぞれは、例えば、インク９の種類（色）が互いに異なることを除いて、互いに同様の構成を有している。以下では、必要に応じて、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂを「インクジェットヘッド４」と総称する。
【００３８】
なお、インクジェットヘッド４の詳細な構成に関しては、後述する（図２参照）。
【００３９】
［供給チューブ］
供給チューブ５０は、インクタンク３からインクジェットヘッド４にインク９を供給する供給管である。
【００４０】
［走査機構］
走査機構６は、搬送方向Ｄと交差する方向においてインクジェットヘッド４を走査させる機構である。
【００４１】
この走査機構６は、例えば、一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、キャリッジ６２と、駆動機構６３とを含んでいる。
【００４２】
ガイドレール６１ａ，６１ｂのそれぞれは、例えば、搬送方向Ｄと交差する方向に延在している。キャリッジ６２は、例えば、ガイドレール６１ａ，６１ｂにより支持されており、そのガイドレール６１ａ，６１ｂに沿って搬送方向Ｄと交差する方向に移動可能である。駆動機構６３は、例えば、一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、無端状のベルト６３２と、駆動モータ６３３とを含んでいる。
【００４３】
プーリ６３１ａ，６３１ｂは、例えば、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置されている。プーリ６３１ａ，６３１ｂのそれぞれは、例えば、ガイドレール６１ａ，６１ｂの両端近傍に対応する位置に、Ｙ軸方向に延在するように配置されている。ベルト６３２は、例えば、プーリ６３１ａ，６３１ｂの間において巻回されている。このベルト６３２は、例えば、キャリッジ６２に連結されており、そのキャリッジ６２の上には、例えば、インクジェットヘッド４が載置されている。キャリッジ６２は、例えば、インクジェットヘッド４が載置される平板状の基台６２ａと、その基台６２ａと交差するように立設された平板状の壁部６２ｂとを含んでいる。
【００４４】
搬送機構２ａ，２ｂおよび走査機構６を移動機構として利用することにより、記録紙Ｐおよびインクジェットヘッド４は相対的に移動可能である。
【００４５】
＜１−２．液体噴射ヘッドの構成＞
次に、液体噴射ヘッドであるインクジェットヘッド４の構成に関して説明する。
【００４６】
図２は、図１に示したインクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）の斜視構成を拡大して表している。
【００４７】
このインクジェットヘッド４は、例えば、図２に示したように、固定板４０と、インクジェットヘッドチップ４１と、供給機構４２と、制御機構４３と、ベースプレート４４とを備えている。ここで、インクジェットヘッドチップ４１は、本開示の「液体噴射ヘッドチップ」の一実施形態であると共に、供給機構４２は、本開示の「供給部」の一実施形態である。
【００４８】
［固定板］
固定板４０は、インクジェットヘッド４の一連の構成要素が固定される板状の部材である。具体的には、固定板４０の一面には、例えば、インクジェットヘッドチップ４１と、供給機構４２（後述する流路部材４２ａ）と、ベースプレート４４とが固定されている。
【００４９】
［インクジェットヘッドチップ］
インクジェットヘッドチップ４１は、インクジェットヘッド４のうちの主要部であり、インク９を噴射する。なお、インクジェットヘッドチップ４１の詳細な構成に関しては、後述する（図３〜図６Ａおよび図６Ｂ参照）。
【００５０】
［供給機構］
供給機構４２は、供給チューブ５０を介して供給されたインク９をインクジェットヘッドチップ４１（後述するインク導入孔４１０ａ：図３および図４参照）に供給する機構である。この供給機構４２は、例えば、インク連結管４２ｃを介して互いに連結された流路部材４２ａおよび圧力緩衝器４２ｂを含んでいる。
【００５１】
流路部材４２ａは、インク９が流れる流路として機能する部材であり、固定板４０の一面に固定されている。圧力緩衝器４２ｂは、例えば、インク９が貯留される貯留室を有している。この圧力緩衝器４２ｂは、ベースプレート４４により支持された状態において流路部材４２ａの上方に配置されており、その圧力緩衝器４２ｂには、供給チューブ５０が取り付けられている。
【００５２】
この供給機構４２では、供給チューブ５０を介して圧力緩衝器４２ｂにインク９が供給されると、その圧力緩衝器４２ｂのうちの貯留室にインク９が貯留される。この圧力緩衝器４２ｂは、流路部材４２ａおよびインク連結管４２ｃを介して、貯留室に貯留されているインク９をインクジェットヘッドチップ４１（インク導入孔４１０ａ）に供給する。
【００５３】
［制御機構］
制御機構４３は、インクジェットヘッドチップ４１の動作を制御する機構である。この制御機構４３は、例えば、回路基板４３ａと、駆動回路４３ｂと、フレキシブル基板４３ｃとを含んでいる。
【００５４】
回路基板４３ａは、例えば、インクジェットヘッドチップ４１を駆動させるための駆動回路４３ｂを搭載する基板であり、その駆動回路４３ｂは、例えば、集積回路（ＩＣ：Integrated Circuit）などを含んでいる。この回路基板４３ａは、例えば、固定板４０と交差するように立設されており、ベースプレート４４に固定されている。
【００５５】
フレキシブル基板４３ｃは、駆動回路４３ｂとインクジェットヘッドチップ４１（後述する駆動電極Ｅｄ：図５、図６Ａおよび図６Ｂ参照）とを互いに電気的に接続させる基板である。フレキシブル基板４３ｃの一面には、例えば、図示しない複数の引き出し電極が設けられている。
【００５６】
［ベースプレート］
ベースプレート４４は、固定板４０と交差するように立設された板状の部材である。このベースプレート４４は、固定板４０の一面に固定されており、例えば、アルミニウムなどの金属材料を含んでいる。
【００５７】
＜１−３．液体噴射ヘッドチップの構成＞
次に、液体噴射ヘッドチップであるインクジェットヘッドチップ４１の構成に関して説明する。
【００５８】
図３および図４のそれぞれは、図２に示したインクジェットヘッドチップ４１の斜視構成を表している。図５は、図４に示したインクジェットヘッドチップ４１の断面構成（ＸＹ面に沿った断面）を表している。
【００５９】
ただし、図３では、インクジェットヘッドチップ４１の一連の構成要素が互いに組み合わされた状態を示している。一方、図４では、インクジェットヘッドチップ４１の一連の構成要素を見やすくするために、その一連の構成要素が互いに離間された状態を示している。
【００６０】
また、図５では、アクチュエータプレート４１１とノズルプレート４１２との位置関係を分かりやすくするために、そのノズルプレート４１２に設けられている複数のノズル孔Ｈ２を破線で示している。
【００６１】
このインクジェットヘッドチップ４１は、例えば、図３および図４に示したように、カバープレート４１０と、アクチュエータプレート４１１と、ノズルプレート（噴射孔プレート）４１２と、支持プレート４１３とを含んでいる。
【００６２】
具体的には、カバープレート４１０およびアクチュエータプレート４１１のそれぞれは、ＸＺ面に沿うように延在しており、カバープレート４１０およびアクチュエータプレート４１１は、Ｙ軸方向において互いに重ねられている。ノズルプレート４１２および支持プレート４１３のそれぞれは、ＸＹ面に沿うように延在しており、ノズルプレート４１２および支持プレート４１３は、後述する嵌合孔４１３ａにカバープレート４１０およびアクチュエータプレート４１１が嵌め込まれた状態において、Ｚ軸方向において互いに重ねられている。
【００６３】
カバープレート４１０は、後述する接着剤Ｄ（図５）を介してアクチュエータプレート４１１に貼り付けられている。ノズルプレート４１２は、Ｚ軸方向におけるカバープレート４１０およびアクチュエータプレート４１１の一端部に接着剤を介して取り付けられている。
【００６４】
［カバープレート］
カバープレート４１０は、アクチュエータプレート４１１を被覆する部材である。
【００６５】
具体的には、カバープレート４１０は、例えば、図３〜図５に示したように、複数のスリット４１０ｂが設けられたインク導入孔４１０ａを有している。インク導入孔４１０ａは、例えば、Ｘ軸方向に延在する窪みである。複数のスリット４１０ｂのそれぞれは、例えば、複数のチャネルＣ１のそれぞれの延在方向（Ｚ軸方向）と同様の方向に延在すると共にＹ軸方向においてカバープレート４１０を貫通する溝（貫通溝）である。複数のスリット４１０ｂは、例えば、Ｘ軸方向において間隔を隔てながら配列されている。
【００６６】
ここで、後述するように、アクチュエータプレート４１１に設けられている複数のチャネルＣ１は、インク９が噴射される複数の噴射チャネルＣ１ｅと、インク９が噴射されない複数のダミーチャネルＣ１ｄとを含んでいる。ここで、複数のダミーチャネルＣ１ｄは、本開示の「非噴射チャネル」の一実施形態である。
【００６７】
複数のスリット４１０ｂのそれぞれの位置は、例えば、複数の噴射チャネルＣ１ｅのそれぞれの位置に対応している。このため、インク導入孔４１０ａは、各スリット４１０ｂを介して各噴射チャネルＣ１ｅに連通されているが、各ダミーチャネルＣ１ｄに連通されていない。複数のダミーチャネルＣ１ｄのそれぞれは、インク導入孔４１０ａのうちの非貫通部分（複数のスリット４１０ｂが設けられていない部分）により遮蔽されている。
【００６８】
これにより、複数の噴射チャネルＣ１ｅに複数のスリット４１０ｂを介してインク９が供給されるため、その複数の噴射チャネルＣ１ｅにインク９が充填される。これに対して、複数のダミーチャネルＣ１ｄにインク９が供給されないため、その複数のダミーチャネルＣ１ｄにインク９が充填されない。
【００６９】
なお、カバープレート４１０は、例えば、後述するアクチュエータプレート４１１の形成材料と同様の材料を含んでいる。
【００７０】
［アクチュエータプレート］
アクチュエータプレート４１１は、複数のノズル孔Ｈ２からインク９を噴射させるために電気的に駆動する部材である。
【００７１】
具体的には、アクチュエータプレート４１１は、例えば、図３〜図５に示したように、複数のチャネルＣ１を有している。複数のチャネルＣ１のそれぞれは、Ｚ軸方向に延在しており、その複数のチャネルＣ１は、Ｘ軸方向において間隔を隔てながら配列されている。
【００７２】
すなわち、アクチュエータプレート４１１は、複数のチャネルＣ１を画定する複数の駆動壁Ｗｄを含んでいる。複数の駆動壁Ｗｄのそれぞれは、Ｚ軸方向に延在しており、その複数の駆動壁Ｗｄは、所定の配列方向（Ｘ軸方向）において間隔を隔てながら配列されている。これにより、チャネルＣ１のうちの一部（噴射チャネルＣ１ｅ）は、互いに隣り合う２個の駆動壁Ｗｄの間に形成されている。
【００７３】
複数のチャネルＣ１のそれぞれは、Ｙ軸方向において貫通しないように後述する本体部Ｂｄに設けられた溝（非貫通溝）である。複数のチャネルＣ１のうち、複数の噴射チャネルＣ１ｅのそれぞれは、例えば、インク９に圧力を付与する圧力室として機能する。この圧力室として機能する複数の噴射チャネルＣ１ｅを利用して、アクチュエータプレート４１１は、複数の噴射チャネルＣ１ｅに収容されたインク９を噴射させる。
【００７４】
複数のチャネルＣ１のそれぞれは、Ｚ軸方向において、本体部Ｂｄの一端部（ノズルプレート４１２に近い側の端部）から、その本体部Ｂｄの他端部（ノズルプレート４１２から遠い側の端部）に向かって延在している。ただし、複数のダミーチャネルＣ１ｄのそれぞれは、例えば、本体部Ｂｄの他端部まで延在しているため、その本体部Ｂｄの他端部において終端している。これに対して、複数の噴射チャネルＣ１ｅのそれぞれは、例えば、本体部Ｂｄの他端部まで延在しておらずに、その本体部Ｂｄの途中（一端部と他端部との間の位置）において終端している。
【００７５】
なお、例えば、図３、図４および後述する図１８Ｂに示したように、各噴射チャネルＣ１ｅを画定する内壁面Ｃ１Ｍは、ノズルプレート４１２から遠い側における各噴射チャネルＣ１ｅの端部近傍において切り上がっている。
【００７６】
これにより、アクチュエータプレート４１１は、例えば、一端部側に位置すると共に複数の噴射チャネルＣ１ｅおよび複数のダミーチャネルＣ１ｄの双方が設けられている第１チャネル形成部分４１１ａと、他端部側に位置すると共に複数の噴射チャネルＣ１ｅが設けられておらずに複数のダミーチャネルＣ１ｄだけが設けられている第２チャネル形成部分４１１ｂとを含んでいる。上記した複数の駆動壁Ｗｄは、複数のチャネルＣ１（複数の噴射チャネルＣ１ｅおよび複数のダミーチャネルＣ１ｄ）を画定しているため、上記した第１チャネル形成部分４１１ａに設けられている。
【００７７】
上記したように、各噴射チャネルＣ１ｅは、インク９を噴射させるのに対して、各ダミーチャネルＣ１ｄは、インク９を噴射させない。複数の噴射チャネルＣ１ｅおよび複数のダミーチャネルＣ１ｄは、例えば、Ｘ軸方向において交互に配置されている。
【００７８】
複数の噴射チャネルＣ１ｅのそれぞれは、複数のノズル孔Ｈ２のそれぞれに連通されているのに対して、複数のダミーチャネルＣ１ｄのそれぞれは、複数のノズル孔Ｈ２のそれぞれに連通されていない。これにより、上記したように、各噴射チャネルＣ１ｅにインク９が充填されるのに対して、各ダミーチャネルＣ１ｄにインク９が充填されない。
【００７９】
複数の駆動壁Ｗｄのそれぞれの側面には、Ｚ軸方向に延在する駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄは、噴射チャネルＣ１ｅを画定する駆動壁Ｗｄの側壁に設けられた一対のコモン電極Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄを画定する駆動壁Ｗｄの側壁に設けられた一対のアクティブ電極Ｅｄａとを含んでいる。噴射チャネルＣ１ｅの内部において互いに対向する一対のコモン電極Ｅｄｃは、例えば、図示しないコモン端子を介して互いに電気的に接続されている。ダミーチャネルＣ１ｄの内部において互いに対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａは、例えば、図示しないアクティブ端子を介して互いに電気的に接続されている。ただし、図３および図４では、複数の駆動電極Ｅｄの図示を省略している。ここで、アクティブ電極Ｅｄａは、本開示の「第１駆動電極」の一実施形態であると共に、コモン電極Ｅｄｃは、本開示の「第２駆動電極」の一実施形態である。
【００８０】
各アクティブ電極Ｅｄａは、例えば、カバープレート４１０とアクチュエータプレート４１１との界面から駆動壁Ｗｄの側面の途中まで延在しているため、その側面のうちの一部を被覆している。また、各コモン電極Ｅｄｃは、例えば、カバープレート４１０とアクチュエータプレート４１１との界面から駆動壁Ｗｄの側面の途中まで延在しているため、その側面のうちの一部を被覆している。
【００８１】
複数の駆動電極Ｅｄおよび回路基板４３ａ（駆動回路４３ｂ）は、例えば、フレキシブル基板４３ｃに設けられた図示しない複数の引き出し電極を介して互いに電気的に接続されている。これにより、フレキシブル基板４３ｃを介して駆動回路４３ｂから複数の駆動電極Ｅｄに駆動電圧が印加される。この場合には、例えば、コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａのそれぞれに対して、互いに極性が異なる駆動電圧が印加される。図３では、フレキシブル基板４３ｃのうちの一部（複数の駆動電極Ｅｄに接続されている部分）の輪郭だけを破線で示していると共に、図４では、フレキシブル基板４３ｃの図示を省略している。
【００８２】
なお、アクチュエータプレート４１１は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。より具体的には、アクチュエータプレート４１１は、例えば、Ｙ軸方向における分極方向が一方向となるように設定された１枚の圧電基板である（カンチレバータイプ）。
【００８３】
［ノズルプレート］
ノズルプレート４１２は、インク９の噴射口である複数のノズル孔Ｈ２が設けられた部材である。
【００８４】
このノズルプレート４１２は、例えば、Ｚ軸方向において互いに反対の方向を向く一対の面（対向面および接着面）を有している。これにより、ノズルプレート４１２は、例えば、接着面において中間プレート４１３の一面に接着されていると共に、対向面において記録紙Ｐに対向する。この対向面には、例えば、インク９の付着などを防止するために、図示しない撥液膜が設けられている。
【００８５】
複数のノズル孔Ｈ２は、例えば、Ｘ軸方向において間隔を隔てながら配列されている。各ノズル孔Ｈ２は、例えば、Ｚ軸方向においてノズルプレート４１２を貫通する開口（貫通口）であり、アクチュエータプレート４１１に設けられた各噴射チャネルＣ１ｅに連通されている。このため、Ｘ軸方向における複数のノズル孔Ｈ２の形成ピッチ（互いに隣り合う２個のノズル孔Ｈ２間の距離）は、例えば、Ｘ軸方向における複数の噴射チャネルＣ１ｅの形成ピッチ（互いに隣り合う２個の噴射チャネルＣ１ｅ間の距離）と同様である。なお、各ノズル孔Ｈ２は、例えば、Ｘ軸方向における各噴射チャネルＣ１ｅの中心に対応する位置に配置されている。これにより、複数の噴射チャネルＣ１ｅに充填されたインク９は、複数のノズル孔Ｈ２から噴射される。ノズル孔Ｈ２からインク９が噴射される方向は、上記したように、各噴射チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｚ軸方向）と同様の方向である。
【００８６】
ノズル孔Ｈ２の開口形状、すなわちＺ軸方向から見たノズル孔Ｈ２の形状は、特に限定されないが、例えば、円形である。ただし、ノズル孔Ｈ２の内径は、例えば、インク９が噴射される方向において次第に小さくなっている。このため、ノズル孔Ｈ２は、例えば、テーパ状の貫通口である。このノズル孔Ｈ２は、例えば、エキシマレーザ装置などを用いて形成されている。
【００８７】
なお、ノズルプレート４１２は、例えば、ポリイミドなどの絶縁性材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。ただし、ノズルプレート４１２は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などの導電性材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいてもよい。
【００８８】
［支持プレート］
支持プレート４１３は、カバープレート４１０、アクチュエータプレート４１１およびノズルプレート４１２を支持する部材である。
【００８９】
この支持プレート４１３は、例えば、図４に示したように、Ｘ軸方向に延在する嵌合孔４１３ａを有している。この嵌合孔４１３ａには、例えば、カバープレート４１０およびアクチュエータプレート４１１が互いに積層された状態で嵌め込まれる。
【００９０】
なお、支持プレート４１３は、例えば、嵌合孔４１３ａにカバープレート４１０およびアクチュエータプレート４１１が嵌め込まれた状態において、ノズルプレート４１２に当接されている。これにより、カバープレート４１０およびアクチュエータプレート４１１は、支持プレート４１４により支持されている。
【００９１】
＜１−４．液体噴射ヘッドチップのうちの主要部の構成＞
次に、インクジェットヘッドチップ４１のうちの主要部であるアクチュエータプレート４１１の構成に関して説明する。
【００９２】
ここでは、図５、図６Ａおよび図６Ｂを参照しながら、アクチュエータプレート４１１の詳細な構成に関して説明する。図６Ａは、図５に示したアクチュエータプレート４１１の平面構成のうちの一部を拡大していると共に、図６Ｂは、図５に示したアクチュエータプレート４１１のうちの断面構成のうちの一部を拡大している。
【００９３】
アクチュエータプレート４１１は、図５、図６Ａおよび図６Ｂに示したように、複数の駆動壁Ｗｄを含む本体部Ｂｄと、その本体部Ｂｄに設けられた複数の駆動電極Ｅｄ（複数のアクティブ電極Ｅｄａおよび複数のコモン電極Ｅｄｃ）とを含んでいる。
【００９４】
［本体部］
本体部Ｂｄは、アクチュエータプレート４１１のうちの複数のチャネルＣ１が設けられている部分である。
【００９５】
複数の駆動壁Ｗｄは、上記したように、Ｘ軸方向において間隔を隔てながら配列されているため、その複数の駆動壁Ｗｄにより複数のチャネルＣ１（複数の噴射チャネルＣ１ｅおよび複数のダミーチャネルＣ１ｄ）が画定されている。これにより、複数のチャネルＣ１は、上記したように、複数の駆動壁Ｗｄと同様にＸ軸方向において間隔を隔てながら配列されている。この場合には、上記したように、複数の噴射チャネルＣ１ｅおよび複数のダミーチャネルＣ１がＸ軸方向において交互に配置されている。
【００９６】
本体部Ｂｄに設けられている複数のチャネルＣ１のそれぞれは、上記したように、非貫通溝である。このため、各駆動壁Ｗｄは、図６Ｂに示したように、一側面Ｍ１、他側面Ｍ２および上面Ｍ３を有している。
【００９７】
一側面Ｍ１は、駆動壁Ｗｄが有する２つの側面のうちの一方であると共に、他側面Ｍ２は、上記した２つの側面のうちの他方である。このため、一側面Ｍ１および他側面Ｍ２は、複数の駆動壁Ｗｄの配列方向（Ｘ軸方向）において互いに反対の方向を向いている。上面Ｍ３は、一側面Ｍ１および他側面Ｍ２のそれぞれに連結されている。これにより、複数の駆動壁Ｗｄのそれぞれの断面形状は、上記した一側面Ｍ１、他側面Ｍ２および上面Ｍ３により画定されている。ここで、一側面Ｍ１は、本開示の「第１端面」の一実施形態である。他側面Ｍ２は、本開示の「第２端面」の一実施形態である。上面Ｍ３は、本開示の「第３端面」の一実施形態である。
【００９８】
ＸＹ面に沿った駆動壁Ｗｄの断面の形状は、特に限定されないが、例えば、矩形（長方形）である。
【００９９】
ここで、複数の駆動壁Ｗｄは、上記したように、複数のチャネルＣ１を画定している。このため、一側面Ｍ１および他側面Ｍ２のそれぞれは、複数のチャネルＣ１を画定しており、より具体的には、噴射チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄのいずれかを画定している。
【０１００】
駆動壁Ｗｄが有する２つの側面と一側面Ｍ１および他側面Ｍ２との対応関係は、その２つの側面とチャネルＣ１の種類（噴射チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄ）との関係に応じて決定される。
【０１０１】
ここでは、例えば、一側面Ｍ１は、ダミーチャネルＣ１ｄを画定する駆動壁Ｗｄの側面である。この場合には、互いに隣り合う２個の駆動壁Ｗｄにより、ダミーチャネルＣ１ｄが画定されている。このため、ダミーチャネルＣ１ｄを画定している一方の駆動壁Ｗｄの側面（一側面Ｍ１）に駆動電極Ｅｄが設けられていると共に、ダミーチャネルＣ１ｄを画定している他方の駆動壁Ｗｄの側面（一側面Ｍ１）に駆動電極Ｅｄが設けられている。これにより、ダミーチャネルＣ１ｄの内部では、一方の駆動壁Ｗｄの一側面Ｍ１に設けられた駆動電極Ｅｄと他方の駆動壁Ｗｄの一側面Ｍ１に設けられた駆動電極Ｅｄとが互いに対向している。
【０１０２】
また、例えば、他側面Ｍ２は、噴射チャネルＣ１ｅを画定する駆動壁Ｗｄの側面である。この場合には、互いに隣り合う２個の駆動壁Ｗｄにより、噴射チャネルＣ１ｅが画定されている。このため、噴射チャネルＣ１ｅを画定している一方の駆動壁Ｗｄの側面（他側面Ｍ２）に駆動電極Ｅｄが設けられていると共に、噴射チャネルＣ１ｅを画定している他方の駆動壁Ｗｄの側面（他側面Ｍ２）に駆動電極Ｅｄが設けられている。これにより、噴射チャネルＣ１ｅの内部では、一方の駆動壁Ｗｄの他側面Ｍ２に設けられた駆動電極Ｅｄと他方の駆動壁Ｗｄの他側面Ｍ２に設けられた駆動電極Ｅｄとが互いに対向している。
【０１０３】
［駆動電極］
駆動電極Ｅｄは、複数の噴射チャネルＣ１ｅを圧力室として機能させるために、駆動壁Ｗｄを電気的に駆動（変形）させる電極である。
【０１０４】
複数の駆動電極Ｅｄのそれぞれは、図６Ａに示したように、複数のチャネルＣ１のそれぞれの延在方向（Ｚ軸方向）と同様の方向に延在するように、一側面Ｍ１および他側面Ｍ２のそれぞれに設けられている。
【０１０５】
ただし、複数の駆動電極Ｅｄは、一側面Ｍ１のうちの一部だけを被覆していてもよいし、その一側面Ｍ１の全体を被覆していてもよい。また、複数の駆動電極Ｅｄは、他側面Ｍ２のうちの一部だけを被覆していてもよいし、その他側面Ｍ２の全体を被覆していてもよい。ここでは、一側面Ｍ１に設けられている複数の駆動電極Ｅｄは、例えば、その一側面Ｍ１のうちの一部だけを被覆していると共に、他側面Ｍ２に設けられている複数の駆動電極Ｅｄは、その他側面Ｍ２のうちの一部だけを被覆している。
【０１０６】
各駆動電極Ｅｄが一側面Ｍ１のうちの一部を被覆している範囲は、特に限定されない。ここでは、例えば、Ｙ軸方向における駆動壁Ｗｄの寸法（高さ）がＨ１である場合、そのＹ軸方向において各駆動電極Ｅｄが一側面Ｍ１のうちの一部を被覆している範囲の寸法（高さ）Ｈ２は、Ｈ２＝Ｈ１／２という関係を満たしている。
【０１０７】
上記した高さＨ１，Ｈ２に関する関係は、例えば、各駆動電極Ｅｄが他側面Ｍ２のうちの一部を被覆している範囲に関しても同様である。
【０１０８】
ここで、複数の駆動電極Ｅｄは、複数の駆動壁Ｗｄを電気的に駆動させるために、上記したように、複数のアクティブ電極Ｅｄａおよび複数のコモン電極Ｅｄｃを含んでいる。
【０１０９】
ここでは、例えば、上記したように、一側面Ｍ１がダミーチャネルＣ１ｄを画定しているため、そのダミーチャネルＣ１ｄを画定している駆動壁Ｗｄの側面（一側面Ｍ１）に設けられている駆動電極Ｅｄは、アクティブ電極Ｅｄａである。これにより、ダミーチャネルＣ１ｄの内部では、一対のアクティブ電極Ｅｄａが互いに対向している。
【０１１０】
また、例えば、上記したように、他側面Ｍ２が噴射チャネルＣ１ｅを画定しているため、その噴射チャネルＣ１ｅを画定している駆動壁Ｗｄの側面（他側面Ｍ２）に設けられている駆動電極Ｅｄは、コモン電極Ｅｄｃである。これにより、噴射チャネルＣ１ｅの内部では、一対のコモン電極Ｅｄｃが互いに対向している。
【０１１１】
なお、コモン電極Ｅｄｃは、例えば、ノズルプレート４１２から遠い側における噴射チャネルＣ１ｅの端部近傍から本体部Ｂｄの上面に引き出された上面引き出し部Ｅｄｃ１を含んでいる。
【０１１２】
（アクティブ電極）
アクティブ電極Ｅｄａは、図６Ｂに示したように、一側面Ｍ１のうちの一部から上面Ｍ３のうちの一部に至る範囲を被覆しているため、一側面Ｍ１および上面Ｍ３のそれぞれに沿うように連続的に延在している。これにより、ＸＹ面に沿ったアクティブ電極Ｅｄａの断面の形状は、途中で折れ曲がった形状である。
【０１１３】
アクティブ電極Ｅｄａが一側面Ｍ１だけでなく上面Ｍ３まで被覆しているのは、そのアクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなるため、そのアクティブ電極Ｅｄａを用いた駆動壁Ｗｄの駆動動作が安定に維持されるからである。
【０１１４】
詳細には、アクティブ電極Ｅｄａが上面Ｍ３まで被覆しておらずに一側面Ｍ１だけを被覆している場合には、駆動壁Ｗｄのうちの１つの面（一側面Ｍ１）、すなわち１つの平坦な領域だけがアクティブ電極Ｅｄａにより被覆されるため、その平坦な領域だけにアクティブ電極Ｅｄａが密着される。この場合には、駆動壁Ｗｄに対するアクティブ電極Ｅｄａの密着力が不十分であるため、そのアクティブ電極Ｅｄａの形成時、より具体的にはアクティブ電極Ｅｄａの形成材料の成膜時などにおいて、駆動壁Ｗｄからアクティブ電極Ｅｄａが剥離しやすくなる。アクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄから剥離すると、そのアクティブ電極Ｅｄａを用いて駆動壁Ｗｄが継続的に駆動されにくくなるため、その駆動壁Ｗｄの駆動動作が安定に維持されにくくなる。もちろん、アクティブ電極Ｅｄａは、そのアクティブ電極Ｅｄａの形成時に限らず、そのアクティブ電極Ｅｄａの形成後（プリンタ１の使用時）においても駆動壁Ｗｄから剥離しやすくなる。
【０１１５】
これに対して、アクティブ電極Ｅｄａが一側面Ｍ１だけでなく上面Ｍ３まで被覆している場合には、駆動壁Ｗｄのうちの２つの面（一側面Ｍ１および上面Ｍ３）、すなわち途中で折れ曲がった領域がアクティブ電極Ｅｄａにより被覆されるため、その途中で折れ曲がった領域にアクティブ電極Ｅｄａが密着される。この場合には、駆動壁Ｗｄに対するアクティブ電極Ｅｄａの密着力が高くなるため、そのアクティブ電極Ｅｄａの形成時（成膜時）などにおいて、駆動壁Ｗｄからアクティブ電極Ｅｄａが剥離しにくくなる。これにより、アクティブ電極Ｅｄａを用いて駆動壁Ｗｄが継続的に駆動されやすくなるため、その駆動壁Ｗｄの駆動動作が安定に維持されやすくなる。
【０１１６】
特に、アクティブ電極Ｅｄａは、後述するように、コモン電極Ｅｄｃとは異なり、実質的に駆動壁Ｗｄを駆動させる電極である。このため、アクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなることにより、コモン電極Ｅｄｃが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなる場合と比較して、駆動電極Ｅｄ（アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃ）を用いた駆動壁Ｗｄの駆動動作がより安定に維持されやすくなる。
【０１１７】
アクティブ電極Ｅｄａの形成材料は、特に限定されないため、そのアクティブ電極Ｅｄａの形成方法などとの関係において、任意に設定可能である。具体的には、アクティブ電極Ｅｄａの形成材料は、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）およびアルミニウム（Ａｌ）などの金属材料のうちのいずれか１種類または２種類以上などである。ただし、アクティブ電極Ｅｄａは、例えば、単層でもよいし、多層でもよい。アクティブ電極Ｅｄａが多層である場合には、例えば、各層が互いに異なる種類の金属材料を含んでいてもよい。
【０１１８】
中でも、アクティブ電極Ｅｄａは、湿式めっき法を用いて形成されていることが好ましい。すなわち、アクティブ電極Ｅｄａは、めっき膜であることが好ましい。アクティブ電極Ｅｄａがめっき膜であることが好ましいのは、例えば、湿式めっき法を用いることにより、一側面Ｍ１だけでなく上面Ｍ３まで十分に被覆するようにアクティブ電極Ｅｄａが容易かつ安定に形成されやすくなるからである。
【０１１９】
なお、上記したように、カバープレート４１０およびアクチュエータプレート４１１は、互いに重ねられている。このため、アクティブ電極Ｅｄａのうちの一部、すなわちアクティブ電極Ｅｄａのうちの上面Ｍ３を被覆している部分Ｔａは、例えば、図５に示したように、駆動壁Ｗｄとカバープレート４１０とにより挟まれている。
【０１２０】
部分Ｔａが駆動壁Ｗｄとカバープレート４１０とにより挟まれているのは、その部分Ｔａが駆動壁Ｗｄおよびカバープレート４１０により挟持されるため、プリンタ１（インクジェットヘッドチップ４１）の使用時などにおいて、アクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなるからである。これにより、駆動壁Ｗｄの駆動動作がより安定に維持されやすくなる。
【０１２１】
（コモン電極）
なお、コモン電極Ｅｄｃは、アクティブ電極Ｅｄａと同様の構成を有していてもよいし、アクティブ電極Ｅｄａと異なる構成を有していてもよい。コモン電極Ｅｄｃがアクティブ電極Ｅｄａと異なる構成を有していても、そのアクティブ電極Ｅｄａが上記した構成（上面Ｍ３まで被覆している構成）を有していれば、アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃがいずれも上記した構成を有していない場合と比較して、駆動壁Ｗｄの駆動動作が安定に維持されやすくなるからである。
【０１２２】
ここでは、例えば、図６Ｂに示したように、コモン電極Ｅｄｃは、アクティブ電極Ｅｄａと同様の構成を有している。すなわち、コモン電極Ｅｄｃは、例えば、他側面Ｍ２のうちの一部から上面Ｍ３のうちの一部に至る範囲を被覆しているため、他側面Ｍ２および上面Ｍ３のそれぞれに沿うように連続的に延在している。ＸＹ面に沿ったコモン電極Ｅｄｃの断面の形状は、途中で折れ曲がった形状である。
【０１２３】
コモン電極Ｅｄｃが他側面Ｍ２だけでなく上面Ｍ３まで被覆していると、アクティブ電極Ｅｄａが一側面Ｍ１だけでなく上面Ｍ３まで被覆している場合と同様の理由により、そのコモン電極Ｅｄｃが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなる。これにより、駆動電極Ｅｄ（アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃ）を用いた駆動壁Ｗｄの駆動動作がより安定に維持されやすくなる。
【０１２４】
なお、コモン電極Ｅｄｃの形成材料は、特に限定されないため、そのコモン電極Ｅｄｃの形成方法などとの関係において、任意に設定可能である。コモン電極Ｅｄｃの形成材料に関する詳細は、例えば、上記したアクティブ電極Ｅｄａの形成材料に関する詳細と同様である。ただし、コモン電極Ｅｄｃの形成材料およびアクティブ電極Ｅｄａの形成材料は、互いに同じでもよいし、互いに異なってもよい。
【０１２５】
中でも、コモン電極Ｅｄｃは、上記したアクティブ電極Ｅｄａと同様に、めっき膜であることが好ましい。コモン電極Ｅｄｃがめっき膜であると、アクティブ電極Ｅｄａがめっき膜である場合と同様の理由により、他側面Ｍ２だけでなく上面Ｍ３まで十分に被覆するようにコモン電極Ｅｄｃが容易かつ安定に形成されやすくなる。
【０１２６】
なお、コモン電極Ｅｄｃのうちの一部、すなわちコモン電極Ｅｄｃのうちの上面Ｍ３を被覆している部分Ｔｃは、例えば、図５に示したように、上記した部分Ｔａと同様に、駆動壁Ｗｄとカバープレート４１０とにより挟まれている。部分Ｔｃが駆動壁Ｗｄとカバープレート４１０とにより挟まれていると、部分Ｔａが駆動壁Ｗｄとカバープレート４１０とにより挟まれている場合と同様の理由により、プリンタ１の使用時などにおいてコモン電極Ｅｄｃが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなるため、その駆動壁Ｗｄの駆動動作がより安定に維持されやすくなるからである。
【０１２７】
（非被覆空間）
ただし、アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃは、例えば、図５、図６Ａおよび図６Ｂに示したように、互いに離間されている。このため、アクティブ電極Ｅｄａとコモン電極Ｅｄｃとの間には、例えば、上面Ｍ３のうちの一部を露出させるための非被覆空間Ｓが設けられている。
【０１２８】
より具体的には、上記したように、アクティブ電極Ｅｄａは上面Ｍ３のうちの一部を被覆していると共に、コモン電極Ｅｄｃも上面Ｍ３のうちの一部を被覆している。しかしながら、アクティブ電極Ｅｄａのうちの上面Ｍ３を被覆している部分Ｔａとコモン電極Ｅｄｃのうちの上面Ｍ３を被覆している部分Ｔｃとは、互いに連結されておらずに、互いに離間されている。
【０１２９】
アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃが非被覆空間Ｓを介して互いに離間されているのは、アクティブ電極Ｅｄａとコモン電極Ｅｄｃとが互いに接続されることに起因した短絡の発生を防止するためである。
【０１３０】
Ｘ軸方向における非被覆空間Ｓの寸法（幅）Ｗは、特に限定されないため、任意に設定可能である。
［接着剤］
カバープレート４１０およびアクチュエータプレート４１１は、例えば、図５に示したように、接着剤Ｄを用いて互いに貼り合わされている。
【０１３１】
具体的には、例えば、図５、図６Ａおよび図６Ｂに示したように、カバープレート４１０とアクチュエータプレート４１１とを互いにを重ね合わせた場合に生じる空間、すなわち非被覆空間Ｓに接着剤Ｄが供給されている。これにより、カバープレート４１０およびアクチュエータプレート４１１は、例えば、非被覆空間Ｓに充填された接着剤Ｄを介して互いに貼り合わされている。
【０１３２】
非被覆空間Ｓに供給された接着剤Ｄを介してカバープレート４１０およびアクチュエータプレート４１１が互いに貼り合わされているのは、その非被覆空間Ｓ以外の場所に供給された接着剤Ｄを介してカバープレート４１０およびアクチュエータプレート４１１が互いに貼り合わされる場合と比較して、駆動壁Ｗｄの駆動動作が安定化するからである。
【０１３３】
詳細には、カバープレート４１０にアクチュエータプレート４１１が密接された状態において、そのカバープレート４１０にアクチュエータプレート４１１を固定するためには、十分な量の接着剤Ｄを用いてカバープレート４１０とアクチュエータプレート４１１とを互いに貼り合わせることが望ましい。
【０１３４】
しかしながら、非被覆空間Ｓ以外の場所に接着剤Ｄが供給される場合には、その接着剤Ｄの量が十分に多くなると、その接着剤Ｄの存在に起因して、カバープレート４１０とアクチュエータプレート４１１との間の距離が大きくなりすぎると共に、その距離がばらつきやすくなる。この場合には、カバープレート４１０からアクチュエータプレート４１１に至るインク９の流路長が大きくなりすぎると共に、その流路長がばらつきやすくなる。これにより、接着剤Ｄを介してカバープレート４１０がアクチュエータプレート４１１に強固に固定される一方で、駆動壁Ｗｄの駆動動作が安定化しにくくなる。
【０１３５】
これに対して、非被覆空間Ｓに接着剤Ｄが供給される場合には、その接着剤Ｄの量が十分に多くなっても、その接着剤Ｄが非被覆空間Ｓから溢れない限り、その接着剤Ｄの存在はカバープレート４１０とアクチュエータプレート４１１との間の距離に影響を及ぼさない。この場合には、十分な量の接着剤Ｄを用いても、カバープレート４１０とアクチュエータプレート４１１との間の距離が大きくなりすぎないと共に、その距離がばらつきにくくなる。これにより、カバープレート４１０からアクチュエータプレート４１１に至るインク９の流路長が小さくなると共に、その流路長がばらつきにくくなる。よって、駆動壁Ｗｄの駆動動作が安定化しながら、接着剤Ｄを介してカバープレート４１０がアクチュエータプレート４１１に強固に固定される。
【０１３６】
なお、接着剤Ｄは、例えば、図５に示したように、非被覆空間Ｓに供給されるだけでなく、カバープレート４１０とアクチュエータプレート４１１とを互いに重ね合わせた際に生じる隙間Ｇに供給されてもよい。接着剤Ｄが非被覆空間Ｓだけでなく隙間Ｇにも供給されていると、その接着剤Ｄを介してカバープレート４１０がアクチュエータプレート４１１により強固に固定されるからである。
【０１３７】
＜１−５．動作＞
次に、プリンタ１の動作に関して説明する。以下では、プリンタ１の動作に関して説明したのち、そのプリンタ１のうちの主要部であるインクジェットヘッド４の動作に関して説明する。
【０１３８】
［プリンタの動作］
このプリンタ１では、例えば、以下の手順により、記録紙Ｐに画像などが記録される。
【０１３９】
初期状態（記録前の準備状態）では、図１に示したように、４個のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）に互いに異なる４色（イエロー、マゼンタ、シアンおよびブラック）のインク９が収容されている。
【０１４０】
各インクタンク３に収容されているインク９は、いわゆる水頭差を利用して、供給チューブ５０を介して圧力緩衝器４２ｂに供給されている。これにより、インクジェットヘッド４では、インク連結管４２ｃおよび流路部材４２ａを介してインク導入孔４１０ａにインク９が供給されているため、そのインク９がスリット４１０ｂを介して噴射チャネルＣ１ｅに充填されている。
【０１４１】
この初期状態において、プリンタ１が稼働すると、搬送機構２ａ，２ｂのそれぞれのグリッドローラ２１が回転するため、グリッドローラ２１およびピンチローラ２２により記録紙Ｐが搬送方向Ｄに搬送される。この場合には、駆動機構６３（駆動モータ６３３）が駆動するため、プーリ６３１ａ，６３１ｂのそれぞれが回転することにより、ベルト６３２が作動する。また、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂを介して搬送方向Ｄと交差する方向において往復移動する。これにより、４個のインクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）から記録紙Ｐに４色のインク９が噴射されるため、その記録紙Ｐに画像が記録される。
【０１４２】
［インクジェットヘッドの動作］
このインクジェットヘッド４では、例えば、以下の手順により、せん断（シェア）モードを用いて記録紙Ｐにインク９が噴射される。
【０１４３】
最初に、キャリッジ６２が往復移動すると、図２〜図６Ａおよび図６Ｂに示したように、駆動回路４３ｂは、フレキシブル基板４３ｃを介して、アクチュエータプレート４１１に設けられた複数の駆動電極Ｅｄに駆動電圧を印加する。より具体的には、駆動回路４３ｂは、複数の駆動電極Ｅｄ（複数のアクティブ電極Ｅｄａおよび複数のコモン電極Ｅｄｃ）のうちの複数のアクティブ電極Ｅｄａに駆動電圧を印加する。これにより、噴射チャネルＣ１ｅを画定している一対の駆動壁Ｗｄは、その噴射チャネルＣ１ｅに隣接されている２個のダミーチャネルＣ１ｄに向かって突出するように変形する。
【０１４４】
ここで、上記したように、アクチュエータプレート４１１は、Ｙ軸方向における分極方向が一方向となるように設定された１枚の圧電基板である。また、アクティブ電極Ｅｄａは、一側面Ｍ１のうちの一部だけを被覆していると共に、コモン電極Ｅｄｃは、他側面Ｍ２のうちの一部だけを被覆している。この場合には、各アクティブ電極Ｅｄａに駆動電圧が印加されることにより、いわゆる圧電厚み滑り効果を利用して各駆動壁ＷｄがＹ軸方向において屈曲変形する。これにより、各噴射チャネルＣ１ｅは、上記した各駆動壁Ｗｄの屈曲変形を利用して、あたかも膨らむように変形する。
【０１４５】
各駆動壁Ｗｄの屈曲変形を利用して、各噴射チャネルＣ１ｅの容積が増大する。これにより、インク導入孔４１０ａに供給されたインク９は、各スリット４１０ｂを介して各噴射チャネルＣ１ｅに誘導される。
【０１４６】
続いて、各噴射チャネルＣ１ｅに誘導されたインク９は、圧力波として各噴射チャネルＣ１ｅの内部に伝播する。この場合には、ノズルプレート４１０に設けられたノズル孔Ｈ２に圧力波が到達したタイミングにおいて、各アクティブ電極Ｅｄａに印加される駆動電圧がゼロ（０Ｖ）になる。これにより、屈曲変形した各駆動壁Ｗｄが元の状態に戻るため、各噴射チャネルＣ１ｅの容積が元に戻る。
【０１４７】
最後に、各噴射チャネルＣ１ｅの容積が元に戻ると、各噴射チャネルＣ１ｅの内部において圧力が増加するため、各噴射チャネルＣ１に誘導されたインク９が加圧される。これにより、各ノズル孔Ｈ２から外部（記録紙Ｐ）に液滴状のインク９が噴射される。
【０１４８】
この場合には、例えば、上記したように、各ノズル孔Ｈ２がテーパ状の貫通口であるため、インク９の噴射速度が増加すると共に、そのインク９の直進性が向上する。これにより、記録紙Ｐに記録される画像などの品質が向上する。
【０１４９】
＜１−６．製造方法＞
次に、プリンタ１の製造方法に関して説明する。ここでは、インクジェットヘッドチップ４１のうちの主要部であるアクチュエータプレート４１１の形成工程に関して説明する。
【０１５０】
図７Ａおよび図７Ｂ〜図１０Ａ〜図１０Ｂは、アクチュエータプレート４１１の形成工程を表している。ただし、図７Ａ、図８Ａ、図９Ａおよび図１０Ａのそれぞれは、図６Ａに対応する平面構成を示していると共に、図７Ｂ、図８Ｂ、図９Ｂおよび図１０Ｂのそれぞれは、図６Ｂに対応する断面構成を示している。
【０１５１】
アクチュエータプレート４１１を形成する場合には、最初に、図７Ａおよび図７Ｂに示したように、基体１００を準備する。この基体１００は、後工程において複数のチャネルＣ１が形成されることにより、本体部Ｂｄになる。
【０１５２】
図７Ａ中に破線で示した複数のチャネル形成領域Ｒは、後工程において複数のチャネルＣ１（複数の噴射チャネルＣ１ｅおよび複数のダミーチャネルＣ１ｄ）が形成される領域を表している（図９Ａおよび図９Ｂ参照）。このため、複数のチャネル形成領域Ｒの構成は、複数のチャネルＣ１の構成に対応している。
【０１５３】
具体的には、複数のチャネル形成領域Ｒのそれぞれは、Ｚ軸方向に延在していると共に、その複数のチャネル形成領域Ｒは、所定の配列方向（Ｘ軸方向）において間隔を隔てながら配列されている。特に、複数の噴射チャネルＣ１ｅに対応する複数のチャネル形成領域Ｒ１のそれぞれの平面形状は、例えば、Ｘ軸方向の寸法（幅Ｗ１）およびＺ軸方向の寸法（長さＬ１）により画定される矩形（長方形）である。また、複数のダミーチャネルＣ１ｄに対応する複数のチャネル形成領域Ｒのそれぞれは、上記した幅Ｗ１を有している。
【０１５４】
続いて、図８Ａおよび図８Ｂに示したように、基体１００の上に、複数の開口部１０１Ｋを有するマスク１０１を形成する。
【０１５５】
マスク１０１の種類は、複数の開口部１０１Ｋが設けられたパターン形成物であれば、特に限定されない。具体的には、マスク１０１は、例えば、レジストパターンである。
【０１５６】
ここでは具体的に図示しないが、レジストパターンであるマスク１０１の形成手順は、例えば、以下の通りである。最初に、基体１００の表面にフォトレジストを塗布したのち、そのフォトレジストを加熱することにより、フォトレジスト層を形成する。続いて、フォトレジスト層の上に、パターニング用のマスクを配置する。続いて、パターニング用のマスクを用いてフォトレジスト層を選択的に露光する。これにより、複数の開口部１０１Ｋが形成されるため、その複数の開口部１０１Ｋを有するレジストパターン（マスク１０１）が形成される。最後に、パターニング用のマスクを除去する。
【０１５７】
複数の開口部１０１Ｋの構成は、上記した複数のチャネル形成領域Ｒの構成に対応している。具体的には、複数の開口部１０１Ｋのそれぞれは、Ｚ軸方向に延在していると共に、その複数の開口部１０１Ｋは、上記した所定の配列方向（Ｘ軸方向）において間隔を隔てながら配列されている。特に、複数の噴射チャネルＣ１ｅに対応する複数の開口部１０１Ｋは、Ｘ軸方向の寸法（幅Ｗ２）を有している。また、複数のダミーチャネルＣ１ｄに対応する複数の開口部１０１Ｋのそれぞれは、上記した幅Ｗ２を有している。
【０１５８】
ただし、マスク１０１を形成する場合には、例えば、開口部１０１Ｋの幅Ｗ２をチャネル形成領域Ｒの幅Ｗ１よりも大きくする。これにより、開口部１０１Ｋの開口面積をチャネル形成領域Ｒの面積よりも大きくする。
【０１５９】
ここでは、例えば、上記したように、噴射チャネルＣ１ｅに対応する開口部１０１Ｋにおいて、幅Ｗ２が幅Ｗ１よりも大きくなると共に、Ｚ軸方向における寸法（長さ）が長さＬ１よりも大きくなるようにする。また、例えば、上記したように、ダミーチャネルＣ１ｄに対応する開口部１０１Ｋにおいて、幅Ｗ２が幅Ｗ１よりも大きくなると共に、長さが長さＬ１よりも大きくなるようにする。
【０１６０】
この場合には、例えば、Ｘ軸方向における一方側（例えば、右側）において、開口部１０１Ｋを画定するマスク１０１の端縁（開口端）がチャネル形成領域Ｒの外縁よりも外側にシフトすると共に、そのＸ軸方向における他方側（例えば、左側）において、マスク１０１の開口端がチャネル形成領域Ｒの外縁よりも外側にシフトするようにする。これにより、Ｘ軸方向における両側においてチャネル形成領域Ｒが拡張された領域に相当するように、開口部１０１Ｋを形成する。
【０１６１】
また、マスク１０１を形成する場合には、例えば、上面引き出し部Ｅｄｃ１のうちの一部をＺ軸方向において噴射チャネルＣ１ｅよりも外側に待避させるために、その噴射チャネルＣ１ｅに対応する開口部１０１Ｋの内部に孤立パターン部１０１Ａを設ける。この場合には、例えば、Ｚ軸方向において孤立パターン部１０１Ａの端部の位置とチャネル形成領域Ｒの外縁の位置とを互いに一致させる。
【０１６２】
続いて、マスク１０１が設けられた基体１００を部分的に除去することにより、図９Ａおよび図９Ｂに示したように、複数のチャネルＣ１を形成する。これにより、複数のチャネルＣ１を有する本体部Ｂｄが形成される。
【０１６３】
この場合には、Ｘ軸方向において複数の開口部１０１Ｋのそれぞれよりも内側の領域（各チャネル形成領域Ｒ）を途中まで掘り下げる。これにより、Ｘ軸方向において間隔を隔てながら配列されると共に、上記した一側面Ｍ１、他側面Ｍ２および上面Ｍ３を有するように、複数の駆動壁Ｗｄが形成される。よって、複数の駆動壁Ｗｄにより複数のチャネルＣ１が画定される。
【０１６４】
基体１００を部分的に除去する方法は、その基体１００をＹ軸方向において貫通しないように途中まで掘り下げることが可能な方法のうちのいずれか１種類または２種類以上であれば、特に限定されない。中でも、基体１００を切削加工する方法が好ましい。切削加工する方法が好ましいのは、細長いチャネル形領域Ｒにおいて基体１００が効率よく短時間で除去されるため、複数のチャネルＣ１が容易かつ高精度に形成されるからである。切削加工に用いる加工機の種類は、特に限定されないが、例えば、ダイサーなどである。
【０１６５】
複数のチャネルＣ１を有する本体部Ｂｄが形成される場合には、図９Ｂから明らかなように、各駆動壁Ｗｄにおいて、上面Ｍ３のうちの一部（略中央部）だけがマスク１０１により被覆される。これにより、Ｘ軸方向におけるマスク１０１の両側（一側面Ｍ１に近い側および他側面Ｍ２に近い側）において上面Ｍ３が露出する。
【０１６６】
続いて、マスク１０１を用いて、本体部Ｂｄの表面に駆動電極Ｅｄの形成材料（電極材料）を成膜することにより、図１０Ａおよび図１０Ｂに示したように、その電極材料を含む電極膜Ｆを形成する。この場合には、本体部Ｂｄの表面に電極材料が成膜されるだけでなく、孤立パターン部１０１Ａを含むマスク１０１の表面にも電極材料が成膜される。
【０１６７】
これにより、各駆動壁Ｅｄでは、一側面Ｍ１から上面Ｍ３のうちの一部に至る範囲を被覆するように電極膜Ｆ１が形成されると共に、他側面Ｍ２から上面Ｍ３のうちの一部に至る範囲を被覆するように電極膜Ｆ２が形成される。また、孤立パターン部１０１Ａを含むマスク１０１の表面を被覆するように電極膜Ｆ３が形成される。
【０１６８】
電極膜Ｆ１を形成する場合には、例えば、電極材料の成膜量を調整することにより、その電極膜Ｆ１が一側面Ｍ１のうちの一部を被覆するようにする。また、電極膜Ｆ２を形成する場合には、例えば、電極材料の成膜量を調整することにより、その電極膜Ｆ２が他側面Ｍ２のうちの一部を被覆するようにする。電極材料の成膜量は、例えば、電極材料の成膜時間などの条件に応じて調整可能である。
【０１６９】
電極材料の成膜方法は、マスク１０１を用いて電極材料を選択的に成膜することが可能な方法のうちのいずれか１種類または２種類以上であれば、特に限定されない。具体的には、成膜方法は、例えば、蒸着法、化学気相成長（ＣＶＤ）法、スパッタリング法、電解めっき法および無電解めっき法などである。ただし、めっき法は、例えば、湿式めっき法に限られず、乾式めっき法でもよい。中でも、湿式めっき法が好ましい。湿式めっき法が好ましいのは、電極材料の成膜工程においてめっき膜が成長することにより、一側面Ｍ１、他側面Ｍ２および上面Ｍ３のそれぞれを十分に被覆するように電極膜Ｆが容易に形成されやいからである。
【０１７０】
最後に、孤立パターン部１０１Ａを含むマスク１０１を除去する。この場合には、マスク１０１と一緒に電極膜Ｆ３を除去することにより、電極膜Ｆ１，Ｆ２だけを残存させる。
【０１７１】
これにより、図６Ａおよび図６Ｂに示したように、残存した電極膜Ｆにより駆動電極Ｅｄが形成される。具体的には、電極膜Ｆ１により、一側面Ｍ１のうちの一部から上面Ｍ３のうちの一部に至る範囲を被覆するようにアクティブ電極Ｅａｃが形成されると共に、電極膜Ｆ２により、他側面Ｍ２のうちの一部から上面Ｍ３のうちの一部に至る範囲を被覆するようにコモン電極Ｅｄｃが形成される。
【０１７２】
この場合には、マスク１０１が存在していた場所では上面Ｍ３が電極膜Ｆにより被覆されていなかったため、そのマスク１０１が除去されることにより、非被覆空間Ｓが形成される。これにより、アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃは、非被覆空間Ｓを介して互いに離間される。
【０１７３】
孤立パターン部１０１Ａが存在していた場所では、その孤立パターン部１０１Ａの表面を被覆するように電極膜Ｆ３が形成されるため、その電極膜Ｆ３が孤立パターン部１０１Ａと一緒に除去されることにより、上面引き出し部Ｅｄｃ１のうちの一部がＺ軸方向において噴射チャネルＣ１ｅよりも外側に待避する。
【０１７４】
よって、本体部Ｂｄに複数の駆動電極Ｅｄ（複数のアクティブ電極Ｅａｃおよび複数のコモン電極Ｅｄｃ）が設けられるため、その本体部Ｂｄおよび複数の駆動電極Ｅｄを含むアクチュエータプレート４１１が完成する。
【０１７５】
＜１−７．作用および効果＞
最後に、プリンタ１およびその製造方法の作用および効果に関して説明する。
【０１７６】
［プリンタに関する作用および効果］
このプリンタ１では、アクチュエータプレート４１１において駆動壁Ｗｄに駆動電極Ｅｄが設けられており、その駆動電極Ｅｄが一側面Ｍ１または他側面Ｍ２だけでなく上面Ｍ３も被覆している。この場合には、上記したように、駆動電極Ｅｄが上面Ｍ３まで被覆しておらずに一側面Ｍ１または他側面Ｍ２だけを被覆している場合と比較して、駆動壁Ｗｄに対する駆動電極Ｅｄの密着力が向上する。これにより、駆動電極Ｅｄの形成時などにおいて、その駆動電極Ｅｄが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなるため、その駆動電極Ｅｄを用いて駆動壁Ｗｄが継続的に駆動しやすくなる。よって、アクチュエータプレート４１１の駆動動作が安定に維持されるため、優れた噴射特性を得ることができる。
【０１７７】
特に、駆動電極Ｅｄにより被覆されている一側面Ｍ１がダミーチャネルＣ１ｄを画定していれば、その駆動電極Ｅｄは、いわゆるアクティブ電極Ｅｄａである。この場合には、実質的にアクチュエータプレート４１１を駆動させるアクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなるため、コモン電極Ｅｄｃが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなる場合と比較して、その駆動壁Ｗｄの駆動動作がより安定に維持されやすくなる。よって、アクチュエータプレート４１１の駆動動作がより安定に維持されるため、より高い効果を得ることができる。
【０１７８】
この場合には、アクティブ電極Ｅｄａがめっき膜であれば、一側面Ｍ１だけでなく上面Ｍ３まで十分に被覆するようにアクティブ電極Ｅｄａが容易かつ安定に形成されると共に、そのアクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄに対して十分に密着する。これにより、アクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄからさらに剥離しにくくなるため、その駆動壁Ｗｄの駆動動作がさらに安定に維持されやすくなる。よって、アクチュエータプレート４１１の駆動動作がさらに安定に維持されるため、さらに高い効果を得ることができる。
【０１７９】
また、駆動電極Ｅｄにより被覆されている他側面Ｍ２が噴射チャネルＣ１ｅを画定していれば、その駆動電極Ｅｄは、いわゆるコモン電極Ｅｄｃである。この場合には、アクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなるだけでなく、コモン電極Ｅｄａも駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなるため、駆動壁Ｗｄの駆動動作がより安定に維持されやすくなる。よって、アクチュエータプレート４１１の駆動動作がより安定化するため、より高い効果を得ることができる。
【０１８０】
この場合には、コモン電極Ｅｄｃがめっき膜であれば、他側面Ｍ２だけでなく上面Ｍ３まで十分に被覆するようにコモン電極Ｅｄｃが容易かつ安定に形成されると共に、そのコモン電極Ｅｄｃが駆動壁Ｗｄに対して十分に密着する。これにより、コモン電極Ｅｄｃが駆動壁Ｗｄからさらに剥離しにくくなるため、その駆動壁Ｗｄの駆動動作がさらに安定に維持されやすくなる。よって、アクチュエータプレート４１１の駆動動作がさらに安定に維持されるため、さらに高い効果を得ることができる。
【０１８１】
また、アクティブ電極Ｅｄａのうちの一部（部分Ｔａ）が駆動壁Ｗｄとカバープレート４１０とにより挟まれていれば、その部分Ｔａが駆動壁Ｗｄおよびカバープレート４１０により挟持される。これにより、プリンタ１の使用時などにおいてアクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄからより剥離しにくくなるため、その駆動壁Ｗｄの駆動動作がより安定に維持されやすくなる。よって、アクティブ電極Ｅｄａを用いたアクチュエータプレート４１１の駆動動作がより安定化するため、より高い効果を得ることができる。
【０１８２】
この場合には、コモン電極Ｅｄｃのうちの一部（部分Ｔｃ）も駆動壁Ｗｄとカバープレート４１０とにより挟まれていれば、その部分Ｔｃが駆動壁Ｗｄおよびカバープレート４１０により挟持される。よって、上記した部分Ｔａが駆動壁Ｗｄとカバープレート４１０とにより挟まれている場合と同様の理由により、プリンタ１の使用時などにおいてコモン電極Ｅｄｃが駆動壁Ｗｄからより剥離しにくくなるため、その駆動壁Ｗｄの駆動動作がさらに安定に維持されやすくなる。よって、コモン電極Ｅｄｃを用いたアクチュエータプレート４１１の駆動動作がより安定化するため、より高い効果を得ることができる。
【０１８３】
また、アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃが非被覆空間Ｓを介して互いに離間されていれば、アクティブ電極Ｅｄａとコモン電極Ｅｄｃとが互いに接続されることに起因した短絡の発生が防止されるため、より高い効果を得ることができる。
【０１８４】
この場合には、非被覆空間Ｓに供給された接着剤Ｄを介してアクチュエータプレート４１１とカバープレート４１０とが互いに貼り合わされていれば、その非被覆空間Ｓに供給された十分な量の接着剤Ｄを介してアクチュエータプレート４１１とカバープレート４１０とが互いに強固に接着される。しかも、十分な量の接着剤Ｄを用いた場合においても、アクチュエータプレート４１１とカバープレート４１０との間の距離が大きくなりすぎないと共に、その距離がばらつきにくくなる。よって、アクチュエータプレート４１１の駆動動作がより安定化するため、より高い効果を得ることができる。
【０１８５】
上記した一連のプリンタ１に関する作用および効果は、インクジェットヘッドチップ４１およびインクジェットヘッド４のそれぞれにおいても同様に得られる。
【０１８６】
［プリンタの製造方法に関する作用および効果］
また、プリンタ１（インクジェットヘッドチップ４１）の製造方法では、マスク１０１に設けられた複数の開口部１０１Ｋのそれぞれよりも内側の領域（チャネル形成領域Ｒのそれぞれ）において基体１００を部分的に除去することにより、複数のチャネルＣ１が画定された本体部Ｂｄを形成したのち、そのマスク１０１を用いて電極材料を成膜することにより、その電極材料を含む駆動電極Ｅｄ（アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃ）を形成している。
【０１８７】
この場合には、各チャネルＣ１の幅Ｗ１よりも各開口部１０１Ｋの幅Ｗ２が大きくなるように調整するだけで、上面Ｍ３まで被覆するようにアクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃのそれぞれが既存の方法を用いて容易に形成される。よって、優れた噴射特性が得られるインクジェットヘッドチップ４１を製造することができる。
【０１８８】
特に、基体１００を部分的に除去する際に、その基体１００を切削加工すれば、細長いチャネル形領域Ｒにおいて基体１００が効率よく短時間で除去される。よって、複数のチャネルＣ１が容易かつ高精度に形成されるため、より高い効果を得ることができる。
【０１８９】
また、電極材料を成膜するために、湿式めっき法を用いて電極材料を成膜すれば、一側面Ｍ１、他側面Ｍ２および上面Ｍ３のそれぞれを十分に被覆するように電極膜Ｆが容易に形成されると共に、その電極膜Ｆが駆動壁Ｗｄに対して十分に密着するため、より高い効果を得ることができる。
【０１９０】
特に、本実施形態のインクジェットヘッドチップ４１の製造方法では、以下で説明する観点においても利点が得られる。
【０１９１】
図１１Ａおよび図１１Ｂは、比較例のインクジェットヘッドチップ４１の製造方法を説明するために、図９Ａおよび図９Ｂに対応する平面構成および断面構成を表している。
【０１９２】
図１２は、比較例のインクジェットヘッドチップ４１の製造方法に関する課題を説明するために、図６Ｂのうちの一部に対応する断面構成を表している。図１３は、本実施形態のインクジェットヘッドチップ４１の製造方法に関する利点を説明するために、図６Ｂのうちの一部に対応する断面構成を表している。ただし、図１２および図１３のそれぞれでは、マスク１０１を用いて電極材料が成膜されることにより、電極膜Ｆ（Ｆ１〜Ｆ３）が形成された状態を示している。
【０１９３】
比較例のインクジェットヘッドチップ４１の製造方法は、例えば、図１１Ａおよび図１１Ｂに示したように、開口部１０１Ｋの幅Ｗ２をチャネル形成領域Ｒの幅Ｗ１に等しくすることを除いて、本実施形態のインクジェットヘッドチップ４１の製造方法と同様である。
【０１９４】
この比較例のインクジェットヘッドチップ４１の製造方法では、図１２に示したように、上面Ｍ３まで被覆せずに一側面Ｍ１だけを被覆するように電極膜Ｆ１（アクティブ電極Ｅｄａ）が形成されると共に、上面Ｍ３まで被覆せずに他側面Ｍ２だけを被覆するように電極膜Ｆ２（コモン電極Ｅｄｃ）が形成される。この場合には、上記したように、アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃのそれぞれが駆動壁Ｗｄから剥離しやすくなるだけでなく、短絡が発生しやすくなるため、インクジェットヘッドチップ４１の正常な動作を担保しにくくなる可能性がある。
【０１９５】
詳細には、幅Ｗ２が幅Ｗ１に等しい場合（図１１Ａおよび図１１Ｂ）には、開口部１０１Ｋを画定するマスク１０１の開口端の位置とチャネル形成領域Ｒの外縁の位置とが互いに一致している。この場合には、複数のチャネルＣ１を形成するために基体１００を部分的に除去する工程において、その除去処理時の負荷（いわゆる加工負荷）がマスク１０１に及びやすくなる。これにより、図１２に示したように、マスク１０１では、上面Ｍ３を被覆していた部分１０１Ｘが加工負荷に起因して浮きやすくなるため、その部分１０１Ｘと上面Ｍ３との間に空間Ｙが生じやすくなる。
【０１９６】
この空間Ｙが生じると、例えば、電極材料の成膜方法として湿式めっき法を用いた場合において、部分１０１Ｘと駆動壁Ｗｄとの間の隙間Ｇを通じて空間Ｙの内部にめっき液が浸入しやすくなるため、その空間Ｙの内部に不要な電極膜Ｚが形成されやすくなる。この電極膜Ｚが成長すると、アクティブ電極Ｅｄａとコモン電極Ｅｄｃとが意図せずに電極膜Ｚを介して互いに電気的に接続されるため、短絡が発生しやすくなる。短絡が発生すると、インクジェットヘッドチップ４１の噴射特性が低下するどころか、そのインクジェットヘッドチップ４１は動作不能になる可能性がある。
【０１９７】
これに対して、本実施形態のインクジェットヘッドチップ４１の製造方法では、図９Ａおよび図９Ｂに示したように、開口部１０１Ｋの幅Ｗ２をチャネル形成領域Ｒの幅Ｗ１よりも大きくしている。これにより、図１３に示したように、一側面Ｍ１だけでなく上面Ｍ３まで被覆するように電極膜Ｆ１（アクティブ電極Ｅｄａ）が形成されると共に、他側面Ｍ２だけでなく上面Ｍ３まで被覆するように電極膜Ｆ２（コモン電極Ｅｄｃ）が形成される。
【０１９８】
この場合には、幅Ｗ２が幅Ｗ１よりも大きいため、開口部１０１Ｋを画定するマスク１０１の開口端の位置がチャネル形成領域Ｒの外縁の位置よりも外側にずれており、すなわち開口端がＸ軸方向において外縁よりも外側に待避している。これにより、基体１００を部分的に除去する工程において、マスク１０１に加工負荷が及びにくくなる。よって、マスク１０１では、部分１０１Ｘが浮きにくくなるため、その部分１０１Ｘと上面Ｍ３との間に空間Ｙが生じにくくなる。
【０１９９】
この空間Ｙが生じにくくなることにより、上記した比較例のインクジェットヘッドチップ４１の製造方法を用いた場合とは異なり、例えば、電極材料の成膜方法として湿式めっき法を用いても、不要な電極膜Ｚが形成されにくくなる。これにより、電極膜Ｚに起因した短絡が発生しにくくなるため、インクジェットヘッドチップ４１の正常な動作を担保することができる。
【０２００】
この他、本実施形態のインクジェットヘッドチップ４１の製造方法では、さらに、以下で説明する利点も得られる。
【０２０１】
比較例のインクジェットヘッドチップ４１の製造方法では、図１２に示したように、電極膜Ｆ１が一側面Ｍ１を被覆するだけでなくマスク１０１の側面も広範囲において被覆する。この場合には、電極膜Ｆ３と一緒にマスク１０１が除去されると、そのマスク１０１の側面を広範囲において被覆していた電極膜Ｆ１のうちの一部も一緒に除去されるため、その電極膜Ｆ１が途中でちぎれやすくなる。よって、アクティブ電極Ｅｄａの端部にいわゆるバリが発生しやすくなるため、そのバリに起因してアクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄから剥離しやすくなる。この問題は、電極膜Ｆ２（コモン電極Ｅｄｃ）に関しても同様に得られる。
【０２０２】
これに対して、本実施形態のインクジェットヘッドチップ４１の製造方法では、図１３に示したように、電極膜Ｆ１が上面Ｍ３を被覆すると共にマスク１０１の側面も僅かに被覆する。この場合には、電極膜Ｆ３と一緒にマスク１０１が除去されても、そのマスク１０１の側面を被覆していた電極膜Ｆ１のうちの一部が一緒に除去されないため、その電極膜Ｆ１が途中でちぎれにくくなる。よって、アクティブ電極Ｅｄａの端部にバリが発生しにくくなるため、そのアクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなる。この利点は、電極膜Ｆ２（コモン電極Ｅｄｃ）に関しても同様に得られる。
【０２０３】
＜２．変形例＞
上記したプリンタ１の構成および製造方法に関しては、適宜、変更可能である。なお、以下で説明する一連の変形例に関しては、任意の２種類以上が互いに組み合わされてもよい。
【０２０４】
［変形例１］
図６Ａおよび図６Ｂでは、アクティブ電極Ｅｄａが一側面Ｍ１だけでなく上面Ｍ３まで被覆すると共に、コモン電極Ｅｄｃが他側面Ｍ２だけでなく上面Ｍ３まで被覆するようにした。しかしながら、例えば、図６Ｂに対応する図１４に示したように、アクティブ電極Ｅｄａが一側面Ｍ１だけでなく上面Ｍ３まで被覆する一方で、コモン電極Ｅｄｃが上面Ｍ３まで被覆せずに他側面Ｍ２だけを被覆するようにしてもよい。ここで、アクティブ電極Ｅｄａは、本開示の「第１駆動電極」の一実施形態である。また、一側面Ｍ１は、本開示の「第１端面」の一実施形態であり、他側面Ｍ２は、本開示の「第２端面」の一実施形態であり、上面Ｍ３は、本開示の「第３端面」の一実施形態である。
【０２０５】
図１４に示したアクチュエータプレート４１１の構成は、例えば、上記したように、コモン電極Ｅｄｃが上面Ｍ３まで被覆せずに他側面Ｍ２だけを被覆していることを除いて、図６Ｂに示したアクチュエータプレート４１１の構成と同様である。
【０２０６】
図１４に示したアクチュエータプレート４１１の形成手順は、例えば、以下で説明することを除いて、図６Ｂに示したアクチュエータプレート４１１の形成手順と同様である。
【０２０７】
基体１００の上にマスク１０１を形成する場合には、例えば、図８Ａに対応する図１５Ａに示したように、噴射チャネルＣ１ｅに対応する開口部１０１Ｋにおいて、幅Ｗ２が幅Ｗ１に等しくなるようにする。一方、ダミーチャネルＣ１ｄに対応する開口部１０１Ｋでは、図８Ａに示した場合と同様に、幅Ｗ２が幅Ｗ１よりも大きくなるようにする。
【０２０８】
このマスク１０１を用いて電極材料を成膜することにより、例えば、図１０Ｂに対応する図１５Ｂに示したように、噴射チャネルＣ１ｅでは、上面Ｍ３まで被覆せずに他側面Ｍ２だけを被覆するように電極膜Ｆ２が形成されると共に、ダミーチャネルＣ１ｄでは、図１０Ｂに示した場合と同様に、一側面Ｍ１だけでなく上面Ｍ３まで被覆するように電極膜Ｆ１が形成される。この電極膜Ｆ２は、例えば、上面Ｍ３を被覆する代わりに、マスク１０１の側面を被覆する。
【０２０９】
電極材料の成膜後、電極膜Ｆ３と一緒にマスク１０１を除去する。この場合には、マスク１０１の側面を被覆していた電極膜Ｆ２の一部も併せて除去する。これにより、図１４に示したように、電極膜Ｆ１により、一側面Ｍ１だけでなく上面Ｍ３も被覆するようにアクティブ電極Ｅｄａが形成されると共に、電極膜Ｆ２により、上面Ｍ３まで被覆せずに他側面Ｍ２だけを被覆するようにコモン電極Ｅｄｃが形成される。この場合には、アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃが非被覆空間Ｓを介して互いに離間される。
【０２１０】
これにより、アクティブ電極Ｅｄａが一側面Ｍ１だけでなく上面Ｍ３まで被覆しているため、上記したように、そのアクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなる。この場合には、アクティブ電極Ｅｄａが上面Ｍ３まで被覆せずに一側面Ｍ１だけを被覆していると共に、コモン電極Ｅｄｃも上面Ｍ３まで被覆せずに他側面Ｍ２だけを被覆している場合と比較して、アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃを用いたアクチュエータプレート４１１の駆動動作が安定に維持される。よって、図６Ｂに示した場合と同様の効果を得ることができる。
【０２１１】
［変形例２］
なお、例えば、図６Ｂに対応する図１６に示したように、アクティブ電極Ｅｄａが上面Ｍ３まで被覆せずに一側面Ｍ１だけを被覆すると共に、コモン電極Ｅｄｃが他側面Ｍ２だけでなく上面Ｍ３まで被覆するようにしてもよい。ここで、コモン電極Ｅｄｃは、本開示の「第１駆動電極」の一実施形態である。また、他側面Ｍ２は、本開示の「第１端面」の一実施形態であり、一側面Ｍ１は、本開示の「第２端面」の一実施形態であり、上面Ｍ３は、本開示の「第３端面」の一実施形態である。
【０２１２】
図１６に示したアクチュエータプレート４１１の構成は、例えば、上記したように、アクティブ電極Ｅｄａが上面Ｍ３まで被覆せずに一側面Ｍ１だけを被覆していることを除いて、図６Ｂに示したアクチュエータプレート４１１の構成と同様である。
【０２１３】
図１６に示したアクチュエータプレート４１１の形成手順は、例えば、以下で説明することを除いて、図６Ｂに示したアクチュエータプレート４１１の形成手順と同様である。
【０２１４】
基体１００の上にマスク１０１を形成する場合には、例えば、図８Ａに対応する図１７Ａに示したように、ダミーチャネルＣ１ｄに対応する開口部１０１Ｋにおいて、幅Ｗ２が幅Ｗ１に等しくなるようにする。一方、噴射チャネルＣ１ｅに対応する開口部１０１Ｋでは、図８Ｂに示した場合と同様に、幅Ｗ２が幅Ｗ１よりも大きくなるようにする。
【０２１５】
このマスク１０１を用いて電極材料を成膜することにより、例えば、図１０Ｂに対応する図１７Ｂに示したように、ダミーチャネルＣ１ｄでは、上面Ｍ３まで被覆せずに一側面Ｍ１だけを被覆するように電極膜Ｆ１が形成されると共に、噴射チャネルＣ１ｅでは、図１０Ｂに示した場合と同様に、他側面Ｍ２だけでなく上面Ｍ３まで被覆するように電極膜Ｆ２が形成される。この電極膜Ｆ１は、例えば、上面Ｍ３を被覆する代わりに、マスク１０１の側面を被覆する。
【０２１６】
電極材料の成膜後、電極膜Ｆ３と一緒にマスク１０１を除去する。この場合には、マスク１０１の側面を被覆していた電極膜Ｆ１の一部も併せて除去する。これにより、図１６に示したように、電極膜Ｆ１により、上面Ｍ３まで被覆せずに一側面Ｍ１だけを被覆するようにアクティブ電極Ｅｄａが形成されると共に、電極膜Ｆ２により、他側面Ｍ２だけでなく上面Ｍ３も被覆するようにコモン電極Ｅｄｃが形成される。この場合には、アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃが非被覆空間Ｓを介して互いに離間される。
【０２１７】
これにより、コモン電極Ｅｄｃが他側面Ｍ２だけでなく上面Ｍ３まで被覆しているため、上記したように、そのコモン電極Ｅｄｃが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなる。この場合には、アクティブ電極Ｅｄａが上面Ｍ３まで被覆せずに一側面Ｍ１だけを被覆していると共に、コモン電極Ｅｄｃも上面Ｍ３まで被覆せずに他側面Ｍ２だけを被覆している場合と比較して、アクティブ電極Ｅｄａおよびコモン電極Ｅｄｃを用いたアクチュエータプレート４１１の駆動動作が安定に維持される。よって、図６Ｂに示した場合と同様の効果を得ることができる。
【０２１８】
［変形例３］
図８Ａでは、上記したように、基体１００を部分的に除去する工程において、マスク１０１に加工負荷が及びにくくするために、開口部１０１Ｋの幅Ｗ２をチャネル形成領域Ｒの幅Ｗ１よりも大きくした。
【０２１９】
この場合には、例えば、図８Ａに対応する図１８Ａに示したように、チャネル形成領域Ｒよりも離れる方向に孤立パターン部１０１Ａの位置をずらしてもよい。
【０２２０】
この場合には、マスク１０１が設けられた基体１００を部分的に除去することにより、例えば、図１８Ａに対応する図１８Ｂに示したように、複数のチャネルＣ１（噴射チャネルＣ１ｅ）が形成される。ただし、図１８Ｂでは、ＹＺ面に沿った断面を示している。
【０２２１】
これにより、孤立パターン部１０１Ａの端部がＺ軸方向においてチャネル形成領域Ｒの外縁よりも外側に待避する。この場合には、基体１００を部分的に除去する工程において、孤立パターン１０１Ａに加工負荷が及びにくくなるため、その孤立パターン１０１Ａが浮きにくくなる。よって、不要な電極膜Ｚ（図１２）がより形成されにくくなることにより、短絡がより発生しにくくなるため、インクジェットヘッドチップ４１の正常な動作を担保しやすくなる。
【０２２２】
ただし、ここでは具体的に図示しないが、孤立パターン部１０１Ａを形成しなくてもよい。この場合には、孤立パターン部１０１Ａの形成場所を被覆するように上面引き出し部Ｅｄｃ１が形成される。
【０２２３】
［変形例４］
図６Ｂでは、上記したように、アクティブ電極Ｅｄａが一側面Ｍ１のうちの一部を被覆すると共に、コモン電極Ｅｄｃが他側面Ｍ２のうちの一部を被覆するようにした。しかしながら、例えば、図６Ｂに対応する図１９に示したように、アクティブ電極Ｅｄａが一側面Ｍ１のうちの全体を被覆すると共に、コモン電極Ｅｄｃが他側面Ｍ２のうちの全体を被覆するようにしてもよい。この場合には、例えば、上記したように、電極材料の成膜時間などの条件を調整することにより、アクティブ電極Ｅｄａによる一側面Ｍ１の被覆範囲を制御可能であると共に、コモン電極Ｅｄｃによる他側面Ｍ２の被覆範囲を制御可能である。なお、図１９に示したアクチュエータプレート４１１は、例えば、Ｙ軸方向における分極方向が互いに異なる方向となるように設定された２枚の圧電基板が積層された積層体である（シェブロンタイプ）。
【０２２４】
この場合においても、アクティブ電極Ｅｄａが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなると共に、コモン電極Ｅｄｃが駆動壁Ｗｄから剥離しにくくなるため、図６Ｂに示した場合と同様の効果を得ることができる。
【０２２５】
以上、一実施形態を挙げながら本開示に関して説明したが、本開示の態様は上記した一実施形態において説明された態様に限定されず、種々の変形が可能である。
【０２２６】
具体的には、例えば、１個の液体噴射ヘッド（液体噴射ヘッドチップ）が１色の液体（インク）を噴射せずに、その１個の液体噴射ヘッドが互いに異なる複数色（例えば、２色など）の液体を噴射してもよい。
【０２２７】
また、例えば、液体噴射ヘッドは、上記したエッジシュートタイプの液体噴射ヘッドに限定されず、サイドシュートタイプの液体噴射ヘッドでもよい。このサイドシュートタイプの液体噴射ヘッドでは、アクチュエータプレートに設けられた各チャネルが特定の方向に延在している場合において、ノズルプレートに設けられた各ノズル孔から各チャネルの延在方向と交差する方向にインクが噴射される。
【０２２８】
また、例えば、本開示の液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置のそれぞれが適用される用途は、インクジェットプリンタに限定されず、他の用途でよい。他の用途は、例えば、ファクシミリおよびオンデマンド印刷機などの他の装置である。
【０２２９】
なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
【０２３０】
また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
所定の配列方向に配列されると共に複数のチャネルを画定する複数の駆動壁を含み、前記複数の駆動壁のそれぞれが、前記配列方向において互いに反対の方向を向く第１端面および第２端面と、前記第１端面および前記第２端面のそれぞれに連結された第３端面とを有する、本体部と、
前記第１端面のうちの少なくとも一部から前記第３端面のうちの一部に至る範囲を被覆する第１駆動電極と、
を含むアクチュエータプレートを備えた、液体噴射ヘッドチップ。
（２）
前記複数のチャネルは、液体を噴射させる複数の噴射チャネルと、前記液体を噴射させない複数の非噴射チャネルとを含み、
前記第１端面は、前記非噴射チャネルを画定している、
上記した（１）に記載の液体噴射ヘッドチップ。
（３）
前記第１駆動電極は、めっき膜である、
上記した（１）または（２）に記載の液体噴射ヘッドチップ。
（４）
さらに、前記第２端面のうちの少なくとも一部から前記第３端面のうちの一部に至る範囲を被覆する第２駆動電極を含み、
前記第１駆動電極と前記第２駆動電極とが互いに離間されることにより、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極との間に前記第３端面のうちの一部を露出させるための非被覆空間が設けられている、
上記した（１）ないし（３）のいずれかに記載の液体噴射ヘッドチップ。
（５）
前記複数のチャネルは、液体を噴射させる複数の噴射チャネルと、前記液体を噴射させない複数の非噴射チャネルとを含み、
前記複数の噴射チャネルおよび前記複数の非噴射チャネルは、前記配列方向において交互に配置されており、
前記第１端面は、前記非噴射チャネルを画定しており、
前記第２端面は、前記噴射チャネルを画定している、
上記した（４）に記載の液体噴射ヘッドチップ。
（６）
前記第１駆動電極および前記第２駆動電極のそれぞれは、めっき膜である、
上記した（４）または（５）に記載の液体噴射ヘッドチップ。
（７）
さらに、前記アクチュエータプレートを被覆するカバープレートを備え、
前記第１駆動電極のうちの前記第３端面を被覆している部分は、前記駆動壁と前記カバープレートとにより挟まれている、
上記した（１）ないし（６）のいずれかに記載の液体噴射ヘッドチップ。
（８）
さらに、前記第２端面のうちの少なくとも一部から前記第３端面のうちの一部に至る範囲を被覆する第２駆動電極を含み、
前記第２駆動電極のうちの前記第３端面を被覆している部分は、前記駆動壁と前記カバープレートとにより挟まれている、
上記した（７）に記載の液体噴射ヘッドチップ。
（９）
前記第１駆動電極と前記第２駆動電極とが互いに離間されることにより、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極との間に前記第３端面のうちの一部を露出させるための非被覆空間が設けられており、
前記アクチュエータプレートおよび前記カバープレートは、前記非被覆空間に供給された接着剤を介して互いに貼り合わされている、
上記した（８）に記載の液体噴射ヘッドチップ。
（１０）
上記した（１）ないし（９）のいずれかに記載され、液体を噴射する液体噴射ヘッドチップと、
前記液体噴射ヘッドチップに前記液体を供給する供給部と
備えた、液体噴射ヘッド。
（１１）
上記した（１０）に記載され、被記録媒体に液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた、液体噴射記録装置。
（１２）
基体の上に、所定の配列方向に配列された複数の開口部を有するマスクを形成し、
前記複数の開口部のそれぞれよりも前記配列方向における内側の領域において前記基体を部分的に除去することにより、前記配列方向において互いに反対の方向を向く第１端面および第２端面と前記第１端面および前記第２端面のそれぞれに連結された第３端面とを有する複数の駆動壁を含むと共に、前記複数の駆動壁により複数のチャネルが画定されるように、本体部を形成し、
前記マスクを用いて、前記マスクの表面および前記複数の駆動壁を含む前記本体部の表面のそれぞれに電極材料を成膜し、
前記電極材料のうちの一部が成膜された前記マスクを除去することにより、前記第１端面のうちの少なくとも一部から前記第３端面に至る範囲を被覆すると共に前記電極材料を含む第１駆動電極、および前記第２端面のうちの少なくとも一部から前記第３端面に至る範囲を被覆すると共に前記電極材料を含む第２駆動電極のうちの少なくとも一方を形成する、
液体噴射ヘッドチップの製造方法。
（１３）
前記基体を切削加工することにより、前記基体を部分的に除去する、
上記した（１２）に記載の液体噴射ヘッドチップの製造方法。
（１４）
湿式めっき法を用いて前記電極材料を成膜する、
上記した（１２）または（１３）に記載の液体噴射ヘッドチップの製造方法。
【符号の説明】
【０２３１】
１…プリンタ、３…インクタンク、４…インクジェットヘッド、９…インク、４２…供給機構、１００…基体、１０１…マスク、１０１Ｋ…開口部、４１０…カバープレート、４１１…アクチュエータプレート、Ｂｄ…本体部、Ｃ１…チャネル、Ｃ１ｄ…ダミーチャネル、Ｃ１ｅ…噴射チャネル、Ｅｄ…駆動電極、Ｅｄａ…アクティブ電極、Ｅｄｃ…コモン電極、Ｆ（Ｆ１〜Ｆ３）…電極膜、Ｈ２…ノズル孔、Ｍ１…一側面、Ｍ２…他側面、Ｍ３…上面、Ｐ…記録紙、Ｓ…非被覆空間、Ｗｄ…駆動壁。
【図１】
2019111744.tif 000003
【図２】
2019111744.tif 000004
【図３】
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【図４】
2019111744.tif 000006
【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
2019111744.tif 000010
【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
2019111744.tif 000012
【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
2019111744.tif 000014
【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
2019111744.tif 000016
【図１０Ｂ】
2019111744.tif 000017
【図１１Ａ】
2019111744.tif 000018
【図１１Ｂ】
2019111744.tif 000019
【図１２】
2019111744.tif 000020
【図１３】
2019111744.tif 000021
【図１４】
2019111744.tif 000022
【図１５Ａ】
2019111744.tif 000023
【図１５Ｂ】
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【図１６】
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【図１７Ａ】
2019111744.tif 000026
【図１７Ｂ】
2019111744.tif 000027
【図１８Ａ】
2019111744.tif 000028
【図１８Ｂ】
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【図１９】
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