(57)【要約】【課題】テープの貼付に関わる作業時間を良好に短縮できるテープ貼付装置及びテープ貼付方法を提供する。【解決手段】テープ貼付装置１１は、引き出し可能に設けられた長尺のテープ１２における長さ方向の中途部分を巻き掛けて移動することによりテープを引き出し可能であり且つテープをワーク６１のテープ貼付面６２に押圧しながら移動することによりテープをテープ貼付面に対して貼り付け可能な移動部材の一例である支持部１５と、支持部をワークにおけるテープ貼付面と交差する第１方向の一例である鉛直方向Ｚにおいて移動させる第１移動機構と、支持部をワークにおけるテープ貼付面に沿う第２方向の一例である前後方向Ｙにおいて移動させる第２移動機構と、を備える。【選択図】図１３
2019091760.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
引き出し可能に設けられた長尺のテープにおける長さ方向の一部を係合させて移動することにより前記テープを引き出し可能であり且つ前記テープをワークのテープ貼付面に押圧しながら移動することにより前記テープを前記テープ貼付面に対して貼り付け可能な移動部材と、
前記移動部材を前記ワークにおける前記テープ貼付面と交差する第１方向において移動させる第１移動機構と、
前記移動部材を前記ワークにおける前記テープ貼付面に沿う第２方向において移動させる第２移動機構と、
を備えることを特徴とするテープ貼付装置。
【請求項２】
前記移動部材は、前記第１移動機構により前記第１方向において前記ワークの前記テープ貼付面から浮上する方向に移動させられつつ、前記第２移動機構により前記第２方向において前記テープが引き出される方向に移動させられることを特徴とする請求項１に記載のテープ貼付装置。
【請求項３】
前記移動部材は、前記第１移動機構と前記第２移動機構により前記ワークの前記テープ貼付面から浮上した位置であって且つ前記テープ貼付面に対する前記テープの貼付長さに対応する距離だけ前記テープが引き出された位置まで移動させられた後、その位置からその時点で前記テープに掛かっている張力を緩和する方向に前記張力を緩和し得る距離だけ前記第２移動機構により移動させられると共に、前記テープが前記テープ貼付面に接触する位置まで前記第１移動機構により移動させられることを特徴とする請求項２に記載のテープ貼付装置。
【請求項４】
前記移動部材は、前記第１移動機構により前記テープが前記テープ貼付面に接触する位置まで移動させられた後において、前記第２移動機構により前記第２方向において前記テープが引き出されるときの方向とは反対方向に前記テープを押圧しながら移動させられることを特徴とする請求項３に記載のテープ貼付装置。
【請求項５】
引き出し可能に設けられた長尺のテープにおける長さ方向の一部を係合させて移動することにより前記テープを引き出し可能であり且つ前記テープをワークのテープ貼付面に押圧しながら移動することにより前記テープを前記テープ貼付面に対して貼り付け可能な移動部材を、前記テープ貼付面と交差する方向において前記ワークの前記テープ貼付面から浮上する方向に移動させつつ前記テープ貼付面に沿う方向において前記テープが引き出される方向に移動させた後、その位置からその時点で前記テープに掛かっている張力を緩和する方向に前記張力を緩和し得る距離だけ移動させると共に巻き掛けている前記テープが前記テープ貼付面に接触する位置まで移動させ、その後において、前記テープが引き出されるときの方向とは反対方向に前記テープを押圧しながら移動させることにより、前記ワークの前記テープ貼付面に前記テープを貼り付けることを特徴とするテープ貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープ貼付装置及びテープ貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ロール状に巻かれた状態から引き出し可能な粘着テープにおける長さ方向の中途部分を貼付ローラー（移動部材）に巻き掛け、その状態から貼付ローラーをウエハの表面の一端側から他端側に移動させることで、その貼付ローラーが粘着テープをウエハの表面に張力を掛けつつ押圧して貼り付けるテープ貼付装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２２７５５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ロール状に巻かれた状態にある粘着テープをウエハの表面に沿って移動する貼付ローラーにより引き出しながら順次にウエハの表面に押圧して貼り付ける場合には、粘着テープにおけるウエハに対する貼付済みの部分の接着力が貼付ローラーによって粘着テープを引き出すときに大きな抵抗になる。そのため、テープの引き出し及び貼り付けに関わる作業時間を短縮しようとして、貼付ローラーの移動速度を上げると、粘着テープの長さ方向においてウエハの表面に貼付済みの部分と貼付ローラーに対する巻き掛け部分との境界部分に過大な張力が掛かって粘着テープが破断する虞があった。
【０００５】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、テープの破断を抑制してテープの貼付に関わる作業性を高めることができるテープ貼付装置及びテープ貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決するテープ貼付装置は、引き出し可能に設けられた長尺のテープにおける長さ方向の一部を係合させて移動することにより前記テープを引き出し可能であり且つ前記テープをワークのテープ貼付面に押圧しながら移動することにより前記テープを前記テープ貼付面に対して貼り付け可能な移動部材と、前記移動部材を前記ワークにおける前記テープ貼付面と交差する第１方向において移動させる第１移動機構と、前記移動部材を前記ワークにおける前記テープ貼付面に沿う第２方向において移動させる第２移動機構と、を備える。
【０００７】
この構成によれば、移動部材を、第１移動機構により第１方向においてワークのテープ貼付面から浮上する方向に移動させた状態で第２移動機構により第２方向においてテープが引き出される方向に移動させると、テープ貼付面に対するテープの貼り付けを伴わずにテープを引き出すことができる。そして、その後に、移動部材を、第１移動機構により第１方向においてワークのテープ貼付面に近づく方向へ移動させてテープをテープ貼付面に接触させた状態で第２移動機構により第２方向においてテープが引き出された方向と反対方向に移動させると、テープの引き出しを伴わずにテープを貼り付けることができる。すなわち、移動部材はテープの引き出しとテープの貼り付けとを別々のタイミングで行うことができる。そのため、移動部材の移動速度を上げた場合でも、例えばテープの引き出し時にテープが破断したりする虞を低減できると共に貼り付け作業も迅速に行うことができるので、テープの貼付に関わる作業時間を良好に短縮できる。
【０００８】
上記テープ貼付装置において、前記移動部材は、前記第１移動機構により前記第１方向において前記ワークの前記テープ貼付面から浮上する方向に移動させられつつ、前記第２移動機構により前記第２方向において前記テープが引き出される方向に移動させられることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、ワークのテープ貼付面におけるテープを貼付済みの位置を基準位置として、移動部材を、基準位置から浮上した位置であって且つテープがテープ貼付面への貼付長さに対応する距離だけ引き出される位置まで、第１方向及び第２方向のベクトルを合成した斜め方向の最短距離で迅速に移動させることができる。したがって、この点でも作業時間の短縮に貢献できる。
【００１０】
上記テープ貼付装置において、前記移動部材は、前記第１移動機構と前記第２移動機構により前記ワークの前記テープ貼付面から浮上した位置であって且つ前記テープ貼付面に対する前記テープの貼付長さに対応する距離だけ前記テープが引き出された位置まで移動させられた後、その位置からその時点で前記テープに掛かっている張力を緩和する方向に前記張力を緩和し得る距離だけ前記第２移動機構により移動させられると共に、前記テープが前記テープ貼付面に接触する位置まで前記第１移動機構により移動させられることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、テープ貼付面に対するテープの貼付長さに対応する距離だけテープを移動部材により引き出した時点で当該テープに掛かっている大きな張力を緩和してからテープ貼付面にテープを貼り付けすることが可能とされる。そのため、テープに強い張力が残留したままでテープ貼付面にテープを貼り付けた場合には、その後にテープの収縮に起因するワークの歪みやテープの剥がれ等という弊害が生じる虞があるが、上記の構成によれば、そのような虞を低減できる。
【００１２】
上記テープ貼付装置において、前記移動部材は、前記第１移動機構により前記テープが前記テープ貼付面に接触する位置まで移動させられた後において、前記第２移動機構により前記第２方向において前記テープが引き出されるときの方向とは反対方向に前記テープを押圧しながら移動させられることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、移動部材は、第２方向においてワークのテープ貼付面の一端側から他端側への移動によりテープを引き出すことができる一方で、そのテープ貼付面の他端側から一端側への移動によりテープを貼り付けることができる。すなわち、移動部材が第２方向において一往復することでテープの引き出しと貼り付けを行うことができ、この点でも作業時間の短縮に貢献できる。
【００１４】
上記課題を解決するテープ貼付方法は、引き出し可能に設けられた長尺のテープにおける長さ方向の一部を係合させて移動することにより前記テープを引き出し可能であり且つ前記テープをワークのテープ貼付面に押圧しながら移動することにより前記テープを前記テープ貼付面に対して貼り付け可能な移動部材を、前記テープ貼付面と交差する方向において前記ワークの前記テープ貼付面から浮上する方向に移動させつつ前記テープ貼付面に沿う方向において前記テープが引き出される方向に移動させた後、その位置からその時点で前記テープに掛かっている張力を緩和する方向に前記張力を緩和し得る距離だけ移動させると共に巻き掛けている前記テープが前記テープ貼付面に接触する位置まで移動させ、その後において、前記テープが引き出されるときの方向とは反対方向に前記テープを押圧しながら移動させることにより、前記ワークの前記テープ貼付面に前記テープを貼り付ける。
【００１５】
この構成によれば、上記のテープ貼付装置の場合と同様に、移動部材の移動速度を上げた場合でも、例えばテープの引き出し時にテープが破断したりする虞を低減できると共に貼り付け作業も迅速に行うことができるので、テープの貼付に関わる作業時間を良好に短縮できる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、テープの破断を抑制してテープの貼付に関わる作業性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】テープ貼付装置の一実施形態について、その一部を示す斜視図。
【図２】テープ貼付装置の一部を模式的に示す正面図。
【図３】図２における３−３線矢視断面図。
【図４】テープ貼付装置のブロック図。
【図５】テープ貼付処理ルーチンのフローチャート。
【図６】テープがセットされたテープ貼付装置の模式断面図。
【図７】テープの先端が切断されたテープ貼付装置の模式断面図。
【図８】テープの先端に摘みを形成したテープ貼付装置の模式断面図。
【図９】摘みを押さえローラーで保持したテープ貼付装置の模式断面図。
【図１０】貼付開始前位置にセットされたテープ貼付装置の模式断面図。
【図１１】貼付開始位置に移動したテープ貼付装置の模式断面図。
【図１２】ワークにテープの始端部を貼り付けているテープ貼付装置の模式断面図。
【図１３】テープの張力を緩和する方向に移動中のテープ貼付装置の模式断面図。
【図１４】テープがワークに接触する位置に移動したテープ貼付装置の模式断面図。
【図１５】ワークにテープの終端部を貼り付けているテープ貼付装置の模式断面図。
【図１６】貼付開始位置まで戻りながらワークにテープを貼り付けているテープ貼付装置の模式断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、テープ貼付装置及び同装置を用いたテープ貼付方法の一実施形態について図面を参照して説明する。
図１及び図２に示すように、本実施形態のテープ貼付装置１１は、セラミックグリーンシートやフレキシブルプリント基板などのシート状のワーク６１を枠状のワークホルダー７１に対して粘着テープ（以下、「テープ」ともいう。）１２を用いて貼り付ける装置である。すなわち、テープ貼付装置１１は、水平に保持されたワークホルダー７１に対してワーク６１をその表面であるテープ貼付面６２が水平面となるようにテープ１２（図１において二点鎖線で図示）を用いて貼り付ける。そのため、テープ貼付装置１１は、長尺のテープ１２をロール状に巻かれた状態から引き出し可能に保持するテープ保持部１３（図２参照）と、テープ保持部１３から引き出されたテープ１２における長さ方向の中途部分を巻き掛けて支持可能な支持部１５と、その支持部１５との間にテープ１２を挟み込み可能なニップローラー１４と、を備える。
【００１９】
図１に示すように、テープ貼付装置１１は、ワークホルダー７１の上方領域を移動自在に設けられた基体部７２を有している。基体部７２は、例えばワーク６１のテープ貼付面６２と交差（好ましくは直交）する第１方向の一例である鉛直方向Ｚに伸縮動作するシリンダー等を含んで構成された第１移動機構２１（図４参照）の作動に伴い、鉛直方向（第１方向）Ｚに移動可能とされている。また、基体部７２は、例えばテープ保持部１３からテープ１２が引き出される方向であり且つテープ貼付面６２に沿う方向でもある第２方向の一例である前後方向Ｙに伸縮動作するシリンダー等を含んで構成された第２移動機構２２（図４参照）の作動に伴い、前後方向（第２方向）Ｙに移動可能とされている。
【００２０】
また、基体部７２は、その形状が鉛直方向Ｚ及び前後方向Ｙに沿って側面が延びる平板状であって、その一方側の側面に、ブラケット７３ａを介して支持部１５が左右方向Ｘに延びる駆動軸１６と一体的に回転するように取り付けられている。すなわち、支持部１５は、第１移動機構２１及び第２移動機構２２により、基体部７２と共に鉛直方向（第１方向）Ｚ及び前後方向（第２方向）Ｙにおいて移動可能とされている。なお、基体部７２には、ニップローラー１４も揺動アーム７４を介して変位自在に取り付けられている。
【００２１】
テープ保持部１３は、テープ１２をロール状に巻かれた状態にして保持可能な円筒状の芯部２３と、芯部２３よりも径が大きい少なくとも１つ（本実施形態では一対）のフランジ２４と、を備える。一対のフランジ２４のうち少なくとも一方のフランジ２４は、芯部２３に対して着脱可能に設けられている。芯部２３は、セットされたテープ１２を回転可能に保持する。なお、テープ１２は、表裏両面の一方が粘着面とされ、他方が非粘着面とされている。そのため、テープ保持部１３において、芯部２３は、テープ１２を粘着面が内側となるようにロール状に巻いて保持する。
【００２２】
図２及び図３に示すように、支持部１５は、テープ保持部１３及びニップローラー１４よりも鉛直方向Ｚの下側に設けられている。支持部１５は、略円板形状もしくは略円柱形状をなすドラム２６と、左右方向Ｘの両側からドラム２６を挟むように設けられた少なくとも１つ（本実施形態では一対）のガイド２７と、を備える。ドラム２６の周面は、支持部１５においてテープ１２を非粘着面側から巻き掛けた状態にして支持可能な円筒面形状の支持面１５ａを構成し、その支持面１５ａの一部には、支持面１５ａに巻き掛けたテープ１２を湾曲させて受け入れ可能に窪んだ溝２０が形成されている。
【００２３】
ドラム２６の中心には駆動軸１６が固定されており、モーター等の駆動源１７の駆動力が第３移動機構１８（図４参照）により伝達されて駆動軸１６が回転すると、支持部１５はドラム２６の周面である支持面１５ａが周方向に移動するように回転する。なお、本実施形態において支持部１５は図２及び図３に示す姿勢を基準姿勢とする。
【００２４】
一方、ガイド２７は、略円板形状もしくは略円柱形状をなし、ドラム２６よりも径が大きい。そのため、ガイド２７は、支持面１５ａに支持されたテープ１２を軸方向でもある左右方向Ｘの両側から位置ずれしないようにガイドする。溝２０は、ドラム２６に軸方向（左右方向Ｘ）に亘って形成され、軸方向（左右方向Ｘ）における溝２０の両端は、ガイド２７に塞がれている。
【００２５】
ニップローラー１４は、揺動アーム７４の先端に左右方向Ｘに延びるように支持された軸１９に対して回動自在に取り付けられており、揺動アーム７４がカム機構（図示略）を含む第４移動機構２５（図４参照）の作動に伴って揺動すると、その揺動方向に移動するように構成されている。すなわち、ニップローラー１４は、支持部１５の支持面１５ａから離間した離間位置Ｐ１（図３参照）と、支持部１５の支持面１５ａに対してテープ１２を粘着面側から押し付けるニップ位置Ｐ２（図７参照）との間を移動可能に設けられている。そして、ニップローラー１４は、ニップ位置Ｐ２に位置した状態において支持部１５が回転もしくはテープ１２が長さ方向に移動すると、テープ１２を押さえつつ連れ回りする。因みに、ニップローラー１４の表面には、例えばローレット加工などの非粘着加工が施されていることが好ましい。
【００２６】
図２及び図３に示すように、支持部１５には、支持面１５ａに開口する複数の吸引孔２９と、複数の吸引孔２９が接続された少なくとも１つ（本実施形態では２つ）の吸引流路３０と、が形成されている。第１吸引流路３０ａには、溝２０を挟んで周方向の一方に形成された複数の吸引孔２９が接続され、第２吸引流路３０ｂには、周方向の他方に形成された複数の吸引孔２９が接続される。すなわち、基準姿勢の支持部１５において、溝２０よりも鉛直方向Ｚの上側に位置する吸引孔２９は、第１吸引流路３０ａに接続され、溝２０よりも鉛直方向Ｚの下側に位置する吸引孔２９は、第２吸引流路３０ｂに接続される。本実施形態では、第１吸引流路３０ａに接続された複数の吸引孔２９を第１吸引部３１とし、第２吸引流路３０ｂに接続された複数の吸引孔２９を第２吸引部３２とする。
【００２７】
テープ貼付装置１１は、吸引流路３０を介して第１吸引部３１及び第２吸引部３２を吸引する吸引機構３３を備える。吸引機構３３は、第１吸引流路３０ａ及び第２吸引流路３０ｂが接続される吸引ポンプ３４と、第１吸引流路３０ａに設けられた第１吸引弁３５と、第２吸引流路３０ｂに設けられた第２吸引弁３６と、を備える。吸引機構３３は、第１吸引弁３５及び第２吸引弁３６を開閉し、第１吸引部３１及び第２吸引部３２の吸引状態を変更する。
【００２８】
図２及び図３に示すように、ドラム２６及びガイド２７は、弓状に欠けた弦部３８を有する。基準姿勢では、支持部１５の下端に弦部３８が位置する。ドラム２６には、弦部３８に開口し、その内部に支持部１５の一部として機能する押さえローラー３９を収容する収容部４０が形成されている。収容部４０の左右方向Ｘの両側は、ガイド２７により塞がれている。押さえローラー３９は、一部が弦部３８から突出するように収容部４０に収容され、ドラム２６もしくはガイド２７に回転自在に支持されている。因みに、押さえローラー３９は、例えば粘着性、柔軟性などを有するゴムやシリコンにより形成され、押さえローラー３９に接触したテープ１２を非粘着面側から保持可能である。押さえローラー３９の粘着力は、テープ１２の粘着面の粘着力よりも小さいことが好ましい。
【００２９】
図３に示すように、テープ貼付装置１１は、支持部１５に形成された溝２０に向かって空気を吹き付け可能な吹付部４２と、吹付部４２に接続された加圧ポンプ４３と、を備える。吹付部４２は、例えば空気を噴出するエアパイプやエアノズルである。吹付部４２には、加圧ポンプ４３から供給された加圧空気を噴出する噴出口４４が形成されている。吹付部４２は、噴出口４４が支持面１５ａに対して傾いて設けられている。そのため、吹付部４２は、例えば図８に白抜き矢印で示すように、支持面１５ａに対して斜めに空気を吹き付ける。
【００３０】
テープ貼付装置１１は、テープ１２を切断可能なカッターなどの切断部４６と、切断部４６を支持部１５に対して相対移動させるソレノイド等の第５移動機構４７（図４参照）と、を備える。第５移動機構４７は、支持部１５から離間した図３に実線で示す非切断位置Ｐ３と、支持部１５に支持されたテープ１２を切断する図３に二点鎖線で示す切断位置Ｐ４と、の間で切断部４６を移動させる。具体的には、図１に示すように、基体部７２の下端にブラケット７３ｂを介して揺動自在に支持された揺動アーム４５が、第５移動機構４７の作動に基づき揺動したときに、その揺動アーム４５の先端に取り付けられた切断部４６が非切断位置Ｐ３と切断位置Ｐ４との間を移動する。
【００３１】
ドラム２６及びガイド２７には、切断位置Ｐ４に移動する切断部４６を受け入れる凹部４９が形成されている。本実施形態では、支持部１５が基準姿勢のときの支持面１５ａにおいて凹部４９が開口する位置を、テープ１２が切断部４６に切断される切断位置Ｐ４とする。溝２０と凹部４９は、支持面１５ａの周方向において第１吸引部３１と第２吸引部３２との間の位置に形成されている。具体的には、溝２０は、第１吸引部３１と切断位置Ｐ４との間に位置し、切断位置Ｐ４は、溝２０と第２吸引部３２との間に位置する。第１吸引部３１、溝２０、凹部４９、第２吸引部３２、弦部３８、及び押さえローラー３９は、駆動軸１６を中心とする半円周上に位置する。溝２０は、駆動軸１６を中心として押さえローラー３９から約９０度離れた位置に位置する。
【００３２】
図４に示すように、テープ貼付装置１１は、装置全体の駆動を統括的に制御する制御部５７を備えている。制御部５７は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等を含んで構成されたマイクロコンピューターであり、その入力側インターフェース（図示略）には、テープ貼付装置１１に操作情報を入力する際に使用される例えばタッチパネルやボタン等の操作部５８が接続されている。一方、制御部５７の出力側インターフェース（図示略）には、駆動源１７、第１移動機構２１、第２移動機構２２、第３移動機構１８、第４移動機構２５、第５移動機構４７、吸引機構３３、及び吹付部４２が接続されている。
【００３３】
次に、図５に示すフローチャートを参照し、制御部５７がテープ貼付装置１１における支持部１５等の駆動状態を制御してワーク６１のテープ貼付面６２に対してテープ１２を貼り付けるテープ貼付方法について説明する。なお、図５のフローチャートに示すテープ貼付処理ルーチンは、支持部１５の支持面１５ａに先端が自由端とされて巻き掛けられたテープ１２の自由端に吹付部４２からの空気吹き付けにより摘み６０（図８参照）が形成されたタイミングで実行される。
【００３４】
図５に示すように、本ルーチンがスタートすると、制御部５７は、ステップＳ１０１において、その時点で吸引中だった第１吸引部３１の吸引を吸引機構３３の第１吸引弁３５を閉弁させるか又は吸引ポンプ３４の駆動を停止させるかにより解除する。そして、次のステップＳ１０２において、制御部５７は、第４移動機構２５の駆動により、ニップローラー１４をニップ位置Ｐ２から離間位置Ｐ１に移動させる。
【００３５】
すると、制御部５７は、次のステップＳ１０３において、第３移動機構１８の駆動により、支持部１５を反時計方向に所定角度（この場合は２７０度）だけ回転させる。なお、このときテープ１２は支持部１５の支持面１５ａに対して滑る状態となっており、テープ１２の非粘着面に対して支持部１５の支持面１５ａは摺動する。そして、制御部５７は、次のステップＳ１０４において、その時点で吸引を停止中だった第１吸引部３１及び第２吸引部３２の吸引を吸引機構３３の第１吸引弁３５及び第２吸引弁３６を開弁させた状態で吸引ポンプ３４を駆動することにより再開させる。この吸引再開により、支持部１５の支持面１５ａに巻き掛けられた状態にあるテープ１２は、その巻き掛けられた状態が保持される。
【００３６】
すると、制御部５７は、次のステップＳ１０５において、再び第３移動機構１８の駆動により、支持部１５を反時計方向にステップＳ１０３の場合よりも小さな所定角度（この場合は９０度）だけ回転させた後、次のステップＳ１０６において、第１移動機構２１の駆動により、基体部７２と共に支持部１５を鉛直方向Ｚにおいて下降するように移動させる。そして、この状態から、次のステップＳ１０７において、制御部５７は、第２移動機構２２の駆動により、基体部７２と共に支持部１５を前後方向Ｙにおいて少しの距離だけ（例えば、２０ｍｍ程度だけ）前進するように移動させる。なお、この場合の支持部１５の移動速度は、テープ貼付面６２に対するテープ１２の貼り付けを伴うため、テープ１２の破断の抑制、及び、テープ１２が張力の残留を少なくした状態で貼り付けられるようにするべく、相対的に低速（例えば、２０ｍｍ／秒）である。
【００３７】
そして、制御部５７は、次のステップＳ１０８において、第１移動機構２１と第２移動機構２２の双方を同時に駆動することにより、基体部７２と共に支持部１５を鉛直方向Ｚにおいて上昇しつつ前後方向Ｙにおいて前進するように移動させる。すなわち、支持部１５を基体部７２と共にテープ貼付面６２から浮上させた状態で前方斜め上方に向けて移動させる。なお、この場合の支持部１５の移動速度は、テープ貼付面６２に対するテープ１２の貼り付けを伴わずに浮上して移動するため、相対的に高速（例えば、３００ｍｍ／秒）である。また、この場合に支持部１５が鉛直方向Ｚにおいて上昇する移動距離は、先のステップＳ１０６で下降したときの移動距離と略同じであり、前後方向Ｙにおいて前進する移動距離は、テープ貼付面６２に対するテープ１２の貼付長さに対応する距離よりも少し短い。
【００３８】
そして、この状態から、次のステップＳ１０９において、制御部５７は、第２移動機構２２の駆動により、基体部７２と共に支持部１５をテープ貼付面６２から浮上させた状態で前後方向Ｙにおいて少しの距離だけ後退するように移動させる。なお、この場合の支持部１５の移動速度は、テープ貼付面６２から浮上した状態で行うため、相対的に中速〜高速（例えば、１００〜３００ｍｍ／秒）である。また、この場合に支持部１５が前後方向Ｙにおいて後退する移動距離は、その時点で支持部１５に巻き掛けられているテープ１２に掛かっている張力を略ゼロにし得る一方でテープ１２を垂れた状態にはしないようにできる程度の僅かな距離である。
【００３９】
そして、この状態から、次のステップＳ１１０において、制御部５７は、第１移動機構２１の駆動により、基体部７２と共に支持部１５を鉛直方向Ｚにおいて下降するように移動させる。なお、この場合の支持部１５の移動速度は、テープ貼付面６２に対する接触を伴うため、相対的に低速（例えば、４０ｍｍ／秒）である。また、この場合の鉛直方向Ｚにおいて下降する移動距離は、先のステップＳ１０６で下降したときの移動距離及び先のステップＳ１０８で上昇したときの移動距離と略同じである。そして、この状態から、次のステップＳ１１１において、制御部５７は、第２移動機構２２の駆動により、基体部７２と共に支持部１５を前後方向Ｙにおいて少しの距離だけ前進するように移動させる。なお、この場合の支持部１５の移動速度は、実際には直前にテープ１２が所定長さに切断されているため、相対的に高速（例えば、６００ｍｍ／秒）である。また、この場合の前後方向Ｙにおいて前進する移動距離は、先のステップＳ１０７で少し前進したときの移動距離と略同じである。
【００４０】
そして次に、制御部５７は、ステップＳ１１２において、第２移動機構２２の駆動により、基体部７２と共に支持部１５を前後方向Ｙにおいて後退するように移動させる。なお、この場合の支持部１５の移動速度は、テープ貼付面６２に対するテープ１２の貼り付けを伴うが、そのテープ１２は既に所定長さに切断済みであるため、先のステップＳ１０７の場合よりも、相対的に高速（例えば、６００ｍｍ／秒）である。この場合の前後方向Ｙにおいて後退する移動距離は、先のステップＳ１０８で浮上して前進したときの移動距離と先のステップＳ１１１でテープ１２を押圧しつつ前進したときの少しの移動距離との合計距離に略等しい。そして、このステップＳ１１２の処理が終わると、制御部５７は、テープ貼付処理ルーチンを終了する。
【００４１】
次に、上記のように構成された本実施形態のテープ貼付装置１１の作用について、図面を参照して説明する。まず、テープ１２の先端に摘み６０が形成される場合について説明し、その後に、そのような摘み６０が先端に形成されたテープ１２を用いてワーク６１をワークホルダー７１に貼り付ける方法について説明する。
【００４２】
さて、図６に示すように、テープ貼付装置１１では、支持部１５が基準姿勢をとり、ニップローラー１４が離間位置Ｐ１に位置し、切断部４６が非切断位置Ｐ３に位置する初期状態において、まず、ユーザーにより、テープ保持部１３にセットされているテープ１２が引き出される。そして、引き出されたテープ１２は、ニップローラー１４と支持部１５との間を通され、支持部１５の支持面１５ａに非粘着面が接触する状態で支持される。このとき、テープ１２は、その先端が支持面１５ａの凹部４９よりもテープ保持部１３から離れた位置まで引き出される。このようにテープ１２が支持面１５ａにおける溝２０及び凹部４９を跨いで延びる状態を、テープ１２が支持部１５に巻き掛けられてセットされた状態とする。
【００４３】
そして次に、図７に示すように、テープ１２がセットされた状態でユーザーにより操作部５８が操作されて制御部５７による摘み形成処理が実行される。まず、第１吸引部３１が図７中の第１吸引流路３０ａ内に吸引方向の白抜き矢印で示すように吸引を開始すると共に、第４移動機構２５の駆動によりニップローラー１４がニップ位置Ｐ２に移動する。すると、テープ１２は、その長さ方向において支持部１５の支持面１５ａに巻き掛けられた部分が、第１吸引部３１の吸引動作とニップローラー１４のニップ動作とにより支持面１５ａに保持される。そして、この状態において、第５移動機構４７の駆動により切断部４６が切断位置Ｐ４に移動してテープ１２を切断する。これにより、テープ１２は、その長さ方向において支持面１５ａの溝２０よりも先端側に位置する部分が、支持部１５に吸着及びニップされていない自由端となる。
【００４４】
すると次に、図８に示すように、テープ１２に覆われた状態の溝２０に向かって吹付部４２から一定時間（例えば１秒）空気が吹き付けられ、テープ１２はその自由端の部分が溝２０に押し込まれる。このとき吹付部４２は、斜め下方から溝２０内に向かって空気を吹き付けるため、テープ１２は、溝２０の内面のうち下方に向いた内面部分にテープ１２の非粘着面側が支持された状態で、その自由端の部分が溝２０内に引き込まれる。これにより、テープ１２は、その自由端の部分が溝２０内において粘着面同士が内側となるように折り曲げられ、その折り曲げによって対向し合う粘着面同士が張り合わされることで、外面側に非粘着面が位置する形態の摘み６０が形成される。
【００４５】
次に、上記のように先端に摘み６０が形成されたテープ１２を使用してワークホルダー７１にワーク６１を貼り付ける際に、テープ１２をワーク６１のテープ貼付面６２に貼り付けるときの手順について説明する。
【００４６】
まず、図９に示すように、制御部５７によるテープ貼付処理ルーチンが始まると、それまでの第１吸引部３１の吸引が解除されると共に、第４移動機構２５の駆動によりニップローラー１４が離間位置Ｐ１に移動する。そして、テープ１２において支持面１５ａに接触している非粘着面が支持面１５ａに対して滑る状態となり、第３移動機構１８の駆動により支持部１５が図９において反時計回り方向に約２７０度回転する。
【００４７】
すると、テープ１２の先端部に形成された摘み６０の部分と、支持部１５の弦部３８に位置する押さえローラー３９とが、支持部１５における支持面１５ａの周方向において位置合わせされる。これにより、テープ１２は、その先端部である摘み６０の部分がゴム等からなる押さえローラー３９に接触した状態となり、適度の粘着力でもって保持される。そして、図示はしないが、制御部５７により第２吸引部３２が吸引状態にされると共に、第４移動機構２５の駆動によりニップローラー１４がニップ位置Ｐ２に移動した後、第３移動機構１８の駆動により支持部１５が更に反時計回り方向に約９０度回転する。
【００４８】
すると、図１０に示すように、支持部１５は、テープ１２の先端部である摘み６０を保持した押さえローラー３９が鉛直方向Ｚにおいて駆動軸１６の下側に位置する基準姿勢となり、その姿勢において制御部５７により第２吸引部３２と共に第１吸引部３１も吸引状態とされる。そして、第４移動機構２５の駆動によりニップローラー１４が離間位置Ｐ１に移動すると共に、支持部１５においてテープ１２の摘み６０を保持している押さえローラー３９が、ワーク６１におけるテープ貼付面６２の上方に位置させられる。なお、この場合のワーク６１におけるテープ貼付面６２のうちで、支持部１５の押さえローラー３９の直下となる位置は、ワーク６１のテープ貼付面６２に対するテープ１２の貼付開始位置Ｐ１１となる。
【００４９】
そして次に、図１１に示すように、第１移動機構２１の駆動により支持部１５が基体部７２と共に鉛直方向（第１方向）Ｚの下側に移動する。すなわち、支持部１５は、鉛直方向Ｚにおいてワーク６１のテープ貼付面６２に近づく方向に移動し、支持面１５ａに巻き掛けたテープ１２の長さ方向において押さえローラー３９が保持している摘み６０の部分を、ワーク６１のテープ貼付面６２における貼付開始位置Ｐ１１に接触させる。
【００５０】
すると次に、図１２に示すように、それまでの第１吸引部３１と第２吸引部３２の吸引が解除されると共に、第２移動機構２２の駆動により支持部１５が基体部７２と共に白抜き矢印Ａ１で示すように前後方向（第２方向）Ｙにおいて少しの距離だけ前進するように移動する。詳しくは、図１２に示すように、前後方向Ｙにおいてテープ貼付面６２の一端部に設定される貼付開始位置Ｐ１１から前方に少しの距離だけ離間した浮上開始位置Ｐ１２まで移動する。この移動により、支持部１５は、押さえローラー３９がテープ１２における粘着面側をワーク６１のテープ貼付面６２に接触させた状態で反対側の非粘着面を押圧しつつ貼付開始位置Ｐ１１から浮上開始位置Ｐ１２までの少しの距離を前方に転動する。その結果、テープ１２は、その長さ方向において摘み６０から基端側に続く少しの長さ分だけ、ワーク６１のテープ貼付面６２に貼り付けられる。
【００５１】
そして次に、図１２において二点鎖線で示すように、第１移動機構２１と第２移動機構２２の駆動により支持部１５が基体部７２と共にテープ貼付面６２から浮上した状態で白抜き矢印Ａ２で示すように前方斜め上方に向けて移動する。すなわち、支持部１５は、テープ保持部１３から引き出されたテープ１２の長さ方向の中途部分（一部）を巻き掛けた（係合させた）状態で、第１移動機構２１の駆動により鉛直方向Ｚでテープ貼付面６２から浮上する上方に移動しながら、第２移動機構２２の駆動により前後方向Ｙでテープ１２がテープ保持部１３から引き出される前方に移動する。換言すると、支持部１５は、テープ１２の摘み６０の部分を貼り付けたテープ貼付面６２における一端部の浮上開始位置Ｐ１２から上方に浮上した位置であって且つテープ１２がテープ貼付面６２に対する貼付長さに対応する距離だけ引き出される空中引出位置Ｐ１３まで、鉛直方向Ｚ及び前後方向Ｙのベクトルを合成した最短距離で移動する。
【００５２】
すると次に、図１３に示すように、第２移動機構２２の駆動により支持部１５が基体部７２と共に白抜き矢印Ａ３で示すように前後方向Ｙにおいて僅かな距離だけ後退するように移動する。詳しくは、図１３に示すように、支持部１５に巻き掛けられた状態で空中引出位置Ｐ１３まで最大の張力が掛かるように引き出されたテープ１２から当該張力を緩和する方向である後方に僅かに位置ずれした張力緩和位置Ｐ１４まで支持部１５は移動する。すなわち、支持部１５は、空中引出位置Ｐ１３からその時点でテープ１２に掛かっている張力を略ゼロにし得る一方でテープ１２を垂れた状態にはしないようにできる程度の僅かな距離だけを後方に向けて移動する。これにより、支持部１５に巻き掛けられているテープ１２は、張力が略ゼロにされた所謂テンションフリーの状態になる。
【００５３】
そして次に、図１４に示すように、第４移動機構２５の駆動によりニップローラー１４がニップ位置Ｐ２に移動した後、第１移動機構２１の駆動により支持部１５が基体部７２と共に白抜き矢印Ａ４で示すように鉛直方向Ｚにおいてワーク６１のテープ貼付面６２に近づくように下方に向けて移動する。詳しくは、図１４に示すように、支持部１５は、巻き掛けているテープ１２が下方のテープ貼付面６２に接触するように、それまでの張力緩和位置Ｐ１４から鉛直方向Ｚで直下となる浮上終了位置Ｐ１５まで下降する。これにより、移動する支持部１５により巻き掛けられた状態で引き出されたテープ１２は、所謂テンションフリーの状態でテープ貼付面６２に対して予定する貼付長さに略対応する（詳しくは少しだけ短い）長さ分だけ粘着面がテープ貼付面６２上に接触した状態となる。そして、その状態において、第５移動機構４７の駆動により切断部４６が非切断位置Ｐ３から切断位置Ｐ４まで移動することで、テープ１２がテープ貼付面６２に対する貼付長さとなるように切断される。
【００５４】
すると次に、図１５に示すように、第２移動機構２２の駆動により支持部１５が基体部７２と共に白抜き矢印Ａ５で示すように前後方向Ｙにおいて少しの距離だけ前進するように移動する。詳しくは、図１５に示すように、支持部１５は、それまでの浮上終了位置Ｐ１５から前後方向Ｙにおいてテープ貼付面６２の他端部（この場合は、前端部）に設定される貼付終了位置Ｐ１６まで移動する。この移動により、支持部１５は、押さえローラー３９がテープ１２の長さ方向において直前に切断されて自由端となっている前端部分における粘着面側をワーク６１のテープ貼付面６２に接触させた状態で反対側の非粘着面から押圧しつつ少しの距離を前方に転動する。その結果、テープ１２は、その長さ方向において摘み６０が形成された後端とは反対側の前端から少しの距離だけ後方に続く少しの長さ分だけ、ワーク６１のテープ貼付面６２に貼り付けられる。
【００５５】
そして次に、図１６に示すように、第２移動機構２２の駆動により支持部１５が基体部７２と共に白抜き矢印Ａ６で示すように前後方向Ｙにおいて後退するように移動する。すなわち、支持部１５は、図１６に示すように、所定長さに切断されて長さ方向の一端部（後端部）と他端部（前端部）をテープ貼付面６２に貼付済みであり且つ中途部分をテープ貼付面６２に接触させた状態にあるテープ１２をテープ貼付面６２に押圧しつつ貼付終了位置Ｐ１６から浮上開始位置Ｐ１２又は貼付開始位置Ｐ１１まで移動する。
【００５６】
このように支持部１５がテープ１２の長さ方向の中途部分（一部）を巻き掛けた（係合させた）状態で貼付を伴わずに浮上した状態で移動することにより、テープ１２は、予定する貼付長さに相当する長さ分だけ張力が緩和された状態で引き出される。そして、その後において、所定長さに切断されてワーク６１のテープ貼付面６２に接触した状態にあるテープ１２をテープ貼付面６２側に押圧しつつ支持部１５が移動することにより、テープ１２は、その長さ方向の全体がテープ貼付面６２に対して過大な張力を掛けられずに貼り付けられる。この点で、支持部１５は、引き出し可能に設けられた長尺のテープ１２における長さ方向の一部を係合させて移動することによりテープ１２を引き出し可能であり且つテープ１２をワーク６１のテープ貼付面６２に押圧しながら移動することによりテープ１２をテープ貼付面６２に対して貼り付け可能な移動部材に相当する。
【００５７】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）支持部（移動部材）１５を、第１移動機構２１により鉛直方向（第１方向）Ｚにおいてテープ貼付面６２から浮上する上方に移動させた状態で第２移動機構２２により前後方向（第２方向）Ｙにおいてテープ１２が引き出される前方に移動させると、テープ貼付面６２に対するテープ１２の貼り付けを伴わずにテープ１２を引き出すことができる。そして、その後に、支持部（移動部材）１５を、鉛直方向（第１方向）Ｚにおいてテープ貼付面６２に近づく下方へ移動させてテープ１２をテープ貼付面６２に接触させた状態で前後方向（第２方向）Ｙにおいてテープ１２が引き出された方向と反対方向の後方に移動させると、テープ１２の引き出しを伴わずにテープ１２を貼り付けることができる。すなわち、支持部（移動部材）１５はテープ１２の引き出しとテープ１２の貼り付けとを別々のタイミングで行うことができる。そのため、支持部（移動部材）１５の移動速度を上げた場合でも、例えばテープ１２の引き出し時にテープ１２が破断したりする虞を低減できると共に貼り付け作業も迅速に行うことができるので、テープ１２の貼付に関わる作業時間を良好に短縮できる。すなわち、テープ１２の破断を抑制してテープ１２の貼付に関わる作業性を高めることができる。
【００５８】
（２）ワーク６１のテープ貼付面６２におけるテープ１２を貼付済みの位置を基準位置として、支持部（移動部材）１５を、基準位置から浮上した位置であって且つテープがテープ貼付面６２への貼付長さに対応する距離だけ引き出される位置まで、鉛直方向Ｚ及び前後方向Ｙのベクトルを合成した斜め方向の最短距離で迅速に移動させることができる。したがって、この点でも作業時間の短縮に貢献できる。
【００５９】
（３）テープ貼付面６２に対するテープ１２の貼付長さに対応する距離だけテープ１２を支持部（移動部材）１５により引き出した時点で当該テープ１２に掛かっている大きな張力を緩和してからテープ貼付面６２にテープ１２を貼り付けすることが可能とされる。そのため、テープ１２に強い張力が残留したままでテープ貼付面６２にテープ１２を貼り付けた場合には、その後にテープ１２の収縮に起因するワーク６１の歪みやテープ１２の剥がれ等という弊害が生じる虞があるが、本実施形態のテープ貼付装置１１によれば、そのような虞を低減できる。
【００６０】
（４）支持部（移動部材）１５は、前後方向（第２方向）Ｙにおいてワーク６１のテープ貼付面６２の一端側から他端側への移動によりテープ１２を引き出すことができる一方で、そのテープ貼付面６２の他端側から一端側への移動によりテープ１２を貼り付けることができる。すなわち、支持部（移動部材）１５が前後方向（第２方向）Ｙにおいて一往復することでテープ１２の引き出しと貼り付けを行うことができ、この点でも作業時間の短縮に貢献できる。
【００６１】
上記実施形態は以下に示す変更例のように変更してもよい。上記実施形態と下記変更例とは、任意に組み合わせてもよい。
・支持部１５は、その全体がテープ１２の長さ方向の中途部分を巻き掛けた状態で鉛直方向（第１方向）Ｚ及び前後方向（第２方向）Ｙに移動すると共に、テープ１２をワーク６１のテープ貼付面６２に押圧しつつ転動する一つのローラーにより構成してもよい。このように構成された支持部１５でも、引き出し可能に設けられた長尺のテープ１２における長さ方向の一部を係合させて移動することによりテープ１２を引き出し可能であり且つテープ１２をワーク６１のテープ貼付面６２に押圧しながら移動することによりテープ１２をテープ貼付面６２に対して貼り付け可能な移動部材に相当する。
【００６２】
・支持部１５は、テープ１２の長さ方向の一部をチャックする等して係合させる構成を有し、そのテープ１２の一部を係合させて移動することによりテープ１２をテープ保持部１３から引き出す構成であってもよい。
【００６３】
・テープ１２は、支持部１５が第２移動機構２２の駆動により前後方向（第２方向）Ｙにおいてテープ１２を引き出したときの移動方向とは反対方向に移動しつつテープ１２をワーク６１のテープ貼付面６２に押圧して貼り付けた後において、所定の貼付長さに相当する長さ分に切断される構成であってもよい。
【００６４】
・引き出されたテープ１２に掛かっている張力を緩和する方向に支持部１５を移動させるとき、支持部１５は、前後方向（第２方向）Ｙにおいてテープ１２を引き出したときの方向とは反対方向に後退するように移動する以外に、後方斜め下方に向けて移動する構成であってもよい。例えば、実施形態における空中引出位置Ｐ１３から張力緩和位置Ｐ１４を経由することなく浮上終了位置Ｐ１５まで後方斜め下方に向けてダイレクトに移動する構成であってもよい。この場合、さらに一層、作業時間の短縮に貢献できる。
【００６５】
・引き出されたテープ１２に掛かっている張力を緩和する方向に支持部１５を移動させる場合、支持部１５の駆動軸１６を中心とする周方向において支持部１５をテープ１２の張力が緩和される方向（例えば、図１３では反時計方向）に回転させることにより支持面１５ａを周方向に移動させる構成も採用可能である。
【００６６】
・支持部１５は、テープ１２を引き出すために浮上開始位置Ｐ１２から空中引出位置Ｐ１３まで前方斜め上方に向けて移動するとき、まず第１移動機構２１により上方に向けて垂直に移動させられた後に、第２移動機構２２により前方に向けて水平に移動させられる構成であってもよい。この場合も、貼り付けを伴わずにテープ１２を支持部１５の移動速度を上げて迅速に引き出すことができる。
【００６７】
・支持部（移動部材）１５を鉛直方向（第１方向）Ｚと前後方向（第２方向）Ｙに移動させる第１移動機構２１及び第２移動機構２２は、シリンダー等を含んで構成される以外に、例えば往復移動するチェーン機構やベルト機構、正転及び逆転する複数の歯車で輪列を構成する歯車機構など他の機構であってもよい。
【００６８】
・支持部（移動部材）１５を鉛直方向（第１方向）Ｚと前後方向（第２方向）Ｙに移動させる第１移動機構２１及び第２移動機構２２は、一つの機構が支持部（移動部材）１５を鉛直方向（第１方向）Ｚと前後方向（第２方向）Ｙに移動させる兼用移動機構であってもよい。
【００６９】
・空中引出位置Ｐ１３まで引き出したテープ１２から張力を緩和するために支持部１５を空中引出位置Ｐ１３から張力緩和位置Ｐ１４まで移動させるときの移動距離は、テープ１２の種類、材質、粘着力などの条件の違いに応じて適宜に調整される。
【００７０】
・テープ１２は、表裏両面ともに非粘着面のテープ１２であってもよい。この場合は、ワーク６１のテープ貼付面６２が粘着面であることが好ましい。
・テープ１２は、一面が粘着面とされた粘着テープ１２であって、その粘着面には剥離可能なセパレータ（剥離紙）が付着している構成であってもよい。この場合、テープ貼付装置１１には、粘着テープ１２からセパレータを剥離する剥離機構を備えることが好ましい。
【００７１】
・制御部５７は、貼り付けを伴わずにテープ１２を引き出す際のテープ引出速度に関連する支持部１５の移動速度や加速度、テープ１２から張力を緩和するために支持部１５を移動させる際の移動距離、テープ１２の粘着力などの各種条件を加味して、最適に支持部１５が移動されるように第１移動機構２１及び第２移動機構２２を制御可能である。
【００７２】
・ワーク６１におけるテープ貼付面６２がテープ貼付方向（この場合、前後方向Ｙ）と交差する方向において段差を有する場合、支持部１５を鉛直方向Ｚの高さ位置を変更して前後方向Ｙに２往復させることにより、テープ１２を段差付きのテープ貼付面６２に貼り付けることもできる。
【００７３】
・テープ保持部１３は、長尺のテープ１２をロール状に巻かれた状態で保持する以外にジグザク状にして開口付きの容器内に保持するなど、要するに、長尺のテープ１２を引き出し可能に保持する構成であれば、実施形態の構成に限定されない。
【００７４】
・テープ１２は、その自由端とされる先端部分に摘み６０が形成されなくてもよい。
・テープ貼付装置１１は、切断部４６を備えない構成としてもよい。すなわち、装置のユーザーが鋏などを用いて切断する構成でもよい。
【００７５】
・支持部１５には、凹部４９を形成しなくてもよい。例えば、切断部４６は、テープ１２に沿って刃を移動させてこのテープ１２を切断するスライドカッターとしてもよい。切断部４６は、テープ１２を表裏両面から挟んで切断する鋏としてもよい。
【００７６】
・支持部１５は、ガイド２７を備えない構成としてもよい。
【符号の説明】
【００７７】
１１…テープ貼付装置、１２…テープ、１５…支持部（移動部材の一例）、２１…第１移動機構、２２…第２移動機構、６１…ワーク、６２…テープ貼付面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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