(57)【要約】【課題】保持部に保持された物品への走行部側からの振動の伝達を弾性体を用いて抑制する場合に、弾性体に要求される弾性変形特性の制約を緩和することが可能な物品搬送体を実現する。【解決手段】支持部４は、走行部に支持された第１部分４１と、保持部３に連結された第２部分４２と、第１部分４１と第２部分４２との間に設けられたダンパ部４３と、を備える。ダンパ部４３は、第２部分４２に対する第１部分４１の移動を特定の案内方向に沿って案内する案内部５０と、第１部分４１及び第２部分４２のそれぞれに連結されて、第２部分４２に対する第１部分４１の移動に連動するリンク機構７０と、弾性体６０と、を備える。弾性体６０は、リンク機構７０の動作を減衰させるようにリンク機構７０に連結されている。【選択図】図２
2019218180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行部と、物品を保持する保持部と、前記走行部に対して前記保持部を支持する支持部と、を備えた物品搬送体であって、
前記支持部は、前記走行部に支持された第１部分と、前記保持部に連結された第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間に設けられたダンパ部と、を備え、
前記ダンパ部は、前記第２部分に対する前記第１部分の移動を特定の案内方向に沿って案内する案内部と、前記第１部分及び前記第２部分のそれぞれに連結されて、前記第２部分に対する前記第１部分の移動に連動するリンク機構と、弾性体と、を備え、
前記弾性体は、前記リンク機構の動作を減衰させるように前記リンク機構に連結されている、物品搬送体。
【請求項２】
前記第１部分が前記第２部分に対して前記案内方向に沿って移動した場合における、前記第２部分に対する前記第１部分の変位量よりも前記弾性体の変形量が小さくなるように、前記弾性体が前記リンク機構に連結されている、請求項１に記載の物品搬送体。
【請求項３】
前記リンク機構は、前記第１部分が前記第２部分に対して前記案内方向に沿って移動した場合における、前記第２部分に対する前記第１部分の変位量よりも前記第２部分に対する変位量が小さくなる低変位部を有し、
前記弾性体は、前記低変位部と一体的に移動するように連結された部分と、前記第１部分及び前記第２部分の一方と一体的に移動するように連結された部分とを有している、請求項２に記載の物品搬送体。
【請求項４】
前記リンク機構は、前記第１部分が前記第２部分に対して前記案内方向に沿って移動した場合に、前記案内方向に交差する回転軸心周りに相対的に回転する第１部材と第２部材とを有し、
前記弾性体は、前記第１部材に一体的に連結された部分と、前記第２部材に一体的に連結された部分とを有している、請求項２に記載の物品搬送体。
【請求項５】
前記リンク機構は、連結部において前記案内方向に交差する回転軸心周りに回転自在に連結された第１リンク体及び第２リンク体を備え、
前記第１リンク体は、前記連結部とは異なる位置において前記第１部分に対して回転自在に連結され、
前記第２リンク体は、前記連結部とは異なる位置において前記第２部分に対して回転自在に連結され、
前記弾性体は、前記連結部に連結されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送体。
【請求項６】
前記案内方向は、前記走行部の走行方向に沿う方向である、請求項１から５のいずれか一項に記載の物品搬送体。
【請求項７】
前記保持部は、前記支持部によって、前記走行部に吊り下げ支持されている、請求項１から６のいずれか一項に記載の物品搬送体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行部と、物品を保持する保持部と、走行部に対して保持部を支持する支持部と、を備えた物品搬送体に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような物品搬送体の一例が、特開２０１６−９４２６３号公報（特許文献１）に開示されている。以下、背景技術の説明において括弧内に示す符号は特許文献１のものである。特許文献１には、走行移動部（１６）と、搬送物（６）を保持する搬送物支持部（３２）と、走行移動部（１６）に対して搬送物支持部（３２）を支持する支持機構（２３）とを備えた天井搬送車（１）が開示されている。支持機構（２３）は、昇降操作機構（２４）を介して走行移動部（１６）に支持された昇降体（３１）と、搬送物支持部（３２）を支持する案内支持部（３５）とを備えている。そして、この天井搬送車（１）では、ゴム材等の弾性部材により構成されて上下方向に弾性変形自在な緩衝体（３６）を、昇降体（３１）と案内支持部（３５）との間に設けることで、搬送物支持部（３２）に保持された搬送物（６）への走行移動部（１６）側からの振動の伝達を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−９４２６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のように、特許文献１に記載の構成では、振動の抑制対象となる方向（以下、「対象方向」という。）に変形可能な弾性体を、対象方向に相対変位可能に設けられた２つの部材（特許文献１の構成では昇降体と案内支持部）で挟持することで、２つの部材の間での対象方向の振動の伝達を抑制して、保持部に保持された物品への走行部側からの振動の伝達を抑制している。このような構成では、２つの部材の対象方向における相対変位に応じて、２つの部材の相対変位量と同程度に弾性体が対象方向に変形することで、２つの部材の間での対象方向の振動の伝達が抑制されるため、弾性体として、所望の弾性変形特性（荷重に対する変形量等）を対象方向において有するものを用いる必要がある。しかしながら、弾性体の配置スペースの制約等により、所望の弾性変形特性を対象方向において有する弾性体を用いることが困難な場合がある。
【０００５】
そこで、保持部に保持された物品への走行部側からの振動の伝達を弾性体を用いて抑制する場合に、弾性体に要求される弾性変形特性の制約を緩和することが可能な物品搬送体の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係る物品搬送体は、走行部と、物品を保持する保持部と、前記走行部に対して前記保持部を支持する支持部と、を備え、前記支持部は、前記走行部に支持された第１部分と、前記保持部に連結された第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間に設けられたダンパ部と、を備え、前記ダンパ部は、前記第２部分に対する前記第１部分の移動を特定の案内方向に沿って案内する案内部と、前記第１部分及び前記第２部分のそれぞれに連結されて、前記第２部分に対する前記第１部分の移動に連動するリンク機構と、弾性体と、を備え、前記弾性体は、前記リンク機構の動作を減衰させるように前記リンク機構に連結されている。
【０００７】
この構成では、第１部分と第２部分との間に設けられるダンパ部が、第２部分に対する第１部分の移動を特定の案内方向に沿って案内する案内部と、第２部分に対する第１部分の移動に連動するリンク機構と、弾性体とを備え、弾性体が、リンク機構の動作を減衰させるようにリンク機構に連結される。よって、第１部分と第２部分との間での案内方向の振動の伝達を、ダンパ部によって抑制することができる。この際、弾性体は、リンク機構の動作を減衰させるようにリンク機構に連結されるため、リンク機構による変位量や変位方向の変換作用により、弾性体の変形量を第２部分に対する第１部分の変位量に対して異ならせることや、弾性体の変形方向を第２部分に対する第１部分の変位方向（すなわち、案内方向）と異ならせることが可能となる。よって、弾性体が第１部分と第２部分とで挟持される場合とは異なり、弾性体に要求される弾性変形特性を、リンク機構の構成やリンク機構に対する弾性体の連結構成等によって調整することができ、弾性体に要求される弾性変形特性の制約を緩和することができる。そして、上記の構成では、第１部分が走行部に支持され、第２部分が物品を保持する保持部に連結されるため、保持部に保持された物品への走行部側からの案内方向の振動の伝達を、弾性体を用いて抑制することができる。
このように、上記の構成によれば、保持部に保持された物品への走行部側からの振動の伝達を弾性体を用いて抑制する場合に、弾性体に要求される弾性変形特性の制約を緩和することができる。
【０００８】
物品搬送体の更なる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下の記載から明確となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態に係る物品搬送体の側面図
【図２】第１の実施形態に係る支持部の縦断正面図
【図３】第１の実施形態に係る支持部の横断平面図
【図４】第１の実施形態に係る支持部の第１部分が第２部分に対して案内方向第１側に変位している状態を示す図
【図５】第１の実施形態に係る支持部の第１部分が第２部分に対して案内方向第２側に変位している状態を示す図
【図６】第２の実施形態に係る支持部の縦断正面図
【図７】第２の実施形態に係る支持部の横断平面図
【図８】第２の実施形態に係る支持部の第１部分が第２部分に対して案内方向第１側に変位している状態を示す図
【図９】第２の実施形態に係る支持部の第１部分が第２部分に対して案内方向第２側に変位している状態を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
〔第１の実施形態〕
物品搬送体の第１の実施形態について、図面（図１〜図５）を参照して説明する。
【００１１】
図１に示すように、物品搬送体１は、走行部２と、物品９を保持する保持部３と、走行部２に対して保持部３を支持する支持部４と、を備えている。走行部２は、走行レール８（ここでは、一対の走行レール８）に沿って走行するように構成されている。具体的には、走行部２が備える走行機構２１は、走行レール８上を転動する走行輪２３と、走行輪２３を駆動する走行用モータ２２（駆動力源の一例）とを備えている。走行輪２３が走行用モータ２２により駆動されることで、走行部２が走行レール８に沿って走行する。走行機構２１は、走行部２の走行レール８に沿った走行を案内する案内輪２４を備えており、案内輪２４が走行レール８の側面に接触案内された状態で、走行部２が走行レール８に沿って走行する。このように、走行部２の走行方向Ａは、走行レール８の延在方向である。
【００１２】
走行レール８は、天井から吊り下げ支持される状態で天井に固定されている。すなわち、物品搬送体１は、天井側に設けられた走行レール８に沿って走行する天井搬送車である。そして、支持部４は、保持部３が走行部２に対して下側（鉛直方向Ｖの下側）に配置されるように、保持部３を走行部２に対して支持している。具体的には、支持部４は、走行部２が備える昇降機構２５によって吊り下げ支持されている。
【００１３】
昇降機構２５は、ベルトやワイヤ等の伝動部材２８と、伝動部材２８が巻回された巻回体２７と、巻回体２７を回転させる昇降用モータ２６（駆動力源の一例）と、を備えている。伝動部材２８の先端部には支持部４（後述する第１部分４１）が連結されており（図２参照）、巻回体２７が昇降用モータ２６により正方向又は逆方向に回転されて伝動部材２８が巻き取り又は繰り出されることで、伝動部材２８により吊り下げ支持された状態で支持部４が上昇又は下降される。昇降機構２５は、走行部２の走行時の高さである第１高さ（図１に示す高さ）と、第１高さよりも低い高さであって物品９の移載対象箇所（例えば、処理装置のロードポート）との間で物品９を受け渡す高さである第２高さとの間で、支持部４を昇降させる。走行部２はカバー部２０を備えており、支持部４が第１高さに位置する状態で、保持部３に保持された物品９の上側（鉛直方向Ｖの上側）及び走行方向Ａの両側がカバー部２０により覆われる。詳細は後述するが、保持部３は、このように走行部２に吊り下げ支持された支持部４（後述する第２部分４２）に連結されている。これにより、保持部３は、支持部４によって、走行部２に吊り下げ支持されている。
【００１４】
保持部３は、物品９を上側から保持するように構成されている。ここでは、物品搬送体１が搬送する物品９は、半導体ウェハを収容する容器であり、具体的には、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）である。そして、保持部３は、物品９の上部に形成されたフランジ部９ａを把持する把持部３０（ここでは、一対の把持部３０）を備えている。すなわち、保持部３は、物品９を把持することで当該物品９を保持する。フランジ部９ａの上面には、下側に窪む凹部が形成されており、物品９が把持部３０に把持されている状態で、保持部３が備える係合部３２が当該凹部に対して上側から嵌合するように構成されている。これにより、保持部３による物品９の保持の安定性を向上させることが可能となっている。
【００１５】
保持部３は、把持部３０の状態を切り替える把持用モータ３１（図２参照）を備えており、把持部３０の状態は、把持用モータ３１の駆動により、フランジ部９ａを支持する支持状態（図１に示す状態）と、フランジ部９ａに対する支持を解除する解除状態とに切り替えられる。具体的には、一対の把持部３０のそれぞれの位置及び姿勢の少なくとも一方を切り替えて一対の把持部３０を互いに接近させることで、把持部３０の状態が解除状態から支持状態に切り替えられ、一対の把持部３０のそれぞれの位置及び姿勢の少なくとも一方を切り替えて一対の把持部３０を互いに離間させることで、把持部３０の状態が支持状態から解除状態に切り替えられる。物品９を物品搬送体１から移載対象箇所に移載する場合には、支持部４が上述した第２高さに位置する状態で把持部３０の状態が支持状態から解除状態に切り替えられ、物品９を移載対象箇所から物品搬送体１に移載する場合には、支持部４が第２高さに位置する状態で把持部３０の状態が解除状態から支持状態に切り替えられる。
【００１６】
以下、本開示の要部である支持部の構成について説明する。図２に示すように、支持部４は、走行部２に支持された第１部分４１と、保持部３に連結された第２部分４２と、第１部分４１と第２部分４２との間に設けられたダンパ部４３と、を備えている。図２に示すように、伝動部材２８の先端部が第１部分４１に連結されることで、第１部分４１が走行部２に吊り下げ支持されている。第１部分４１は板状に形成されており、第１部分４１は、水平面に沿う向きで配置されるように走行部２に支持されている。ここでは、支持部４は、ダンパ部４３の収容空間を形成する箱状に形成されたケースを備え、当該ケースにおける上壁部（当該収容空間を上側から覆う部分）が第１部分４１を構成している。
【００１７】
第２部分４２は、案内方向Ｇ（後述する）に交差する方向（ここでは、案内方向Ｇに直交する方向）に第１部分４１と対向するように配置されている。具体的には、第２部分４２は、第１部分４１と鉛直方向Ｖに対向するように、第１部分４１に対して下側に配置されている。第２部分４２は平板状に形成されており、第２部分４２は、水平面に沿う向きで配置されるように第１部分４１に支持されている。第２部分４２は、ダンパ部４３が備える後述する案内部５０によって、第１部分４１に対する鉛直方向Ｖ及び水平方向Ｈ（案内方向Ｇに直交する水平方向）の移動が規制された状態で、案内方向Ｇに沿って移動可能に第１部分４１に支持されている。
【００１８】
第２部分４２は、保持部３に連結されることで、保持部３を支持している。上述したように、保持部３は把持部３０を備えており、把持部３０は、支持状態と解除状態とに把持部３０の状態を切り替えることが可能に第２部分４２に支持されることで、第２部分４２に連結されている。図２に示すように、ここでは、一対の把持部３０が、案内レールと案内レールに案内支持される案内ブロックとを備えた直動機構によって、互いに接近及び離間することが可能に第２部分４２に支持されている。
【００１９】
図２及び図３に示すように、支持部４は、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合に（言い換えれば、第２部分４２が第１部分４１に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合に）、第２部分４２に対する第１部分４１の位置を中立位置（図３に示す位置）に復帰させるための付勢部材９０を備えている。支持部４は、第１部分４１を第２部分４２に対して案内方向Ｇの一方側である案内方向第１側Ｇ１に付勢する付勢部材９０と、第１部分４１を第２部分４２に対して案内方向Ｇの他方側である案内方向第２側Ｇ２に付勢する付勢部材９０との、２種類の付勢部材９０を備えている。ここでは、付勢部材９０として、案内方向Ｇに沿って伸縮する引張ばね（引張コイルばね）を用いている。
【００２０】
第１部分４１を第２部分４２に対して案内方向第１側Ｇ１に付勢する付勢部材９０は、案内方向第２側Ｇ２の端部に設けられたフックが第１部分４１に固定された第１固定部９１に引っ掛けられ、案内方向第１側Ｇ１の端部に設けられたフックが第２部分４２に固定された第２固定部９２に引っ掛けられている。また、第１部分４１を第２部分４２に対して案内方向第２側Ｇ２に付勢する付勢部材９０は、案内方向第１側Ｇ１の端部に設けられたフックが第１部分４１に固定された第１固定部９１に引っ掛けられ、案内方向第２側Ｇ２の端部に設けられたフックが第２部分４２に固定された第２固定部９２に引っ掛けられている。そして、これら２種類の付勢部材９０の付勢力が釣り合う位置が中立位置とされている。これにより、第１部分４１が第２部分４２に対して中立位置から案内方向Ｇのいずれの側に移動した場合であっても、これら２種類の付勢部材９０によって第２部分４２に対する第１部分４１の位置が中立位置に復帰される。
【００２１】
図２に示すように、ダンパ部４３は、鉛直方向Ｖにおける第１部分４１と第２部分４２との間に設けられている。ダンパ部４３は、案内部５０と、リンク機構７０と、弾性体６０と、を備えている。案内部５０は、第２部分４２に対する第１部分４１の移動を特定の案内方向Ｇに沿って案内する。すなわち、第１部分４１と第２部分４２とは、案内部５０によって、案内方向Ｇに沿って相対移動可能に構成されている。ここでは、ダンパ部４３は、水平方向Ｈの互いに異なる位置に配置された２つの案内部５０を備えている。これら２つの案内部５０は水平方向Ｈの配置位置を除いて同様に構成されているため、以下ではこれら２つの案内部５０を区別することなく説明する。
【００２２】
図２及び図３に示すように、案内部５０は、案内方向Ｇに沿って設けられる案内レール５２と、案内レール５２によって案内方向Ｇに沿って案内支持される案内ブロック５１と、を備えている。案内ブロック５１は、案内レール５２に対する案内方向Ｇに直交する各方向（鉛直方向Ｖや水平方向Ｈ等）の移動が規制されるように案内レール５２に嵌合しており、第１部分４１と第２部分４２とは、案内方向Ｇに直交する各方向の相対移動が規制された状態で、案内方向Ｇに沿って相対移動可能に構成されている。ここでは、案内部５０は、案内方向Ｇの互いに異なる位置において案内レール５２に案内支持される一対の案内ブロック５１を備えている。図３に示すように、案内レール５２は、走行部２の走行方向Ａに沿うように設けられている。すなわち、案内方向Ｇは、走行方向Ａに沿う方向である。
【００２３】
図２に示すように、案内ブロック５１は、第１部分４１における第２部分４２との対向面（ここでは、第１部分４１の下面）に固定され、案内レール５２は、第２部分４２における第１部分４１との対向面（ここでは、第２部分４２の上面）に固定されている。このような構成とは異なり、案内レール５２が、第１部分４１における第２部分４２との対向面に固定され、案内ブロック５１が、第２部分４２における第１部分４１との対向面に固定される構成とすることもできる。また、案内部５０として、案内ブロック５１と案内レール５２とを用いる構成以外の構成を採用することも可能である。
【００２４】
リンク機構７０は、第１部分４１及び第２部分４２のそれぞれに連結されて、第２部分４２に対する第１部分４１の移動に連動するように構成されている。すなわち、リンク機構７０は、第１部分４１と第２部分４２との案内方向Ｇに沿った相対移動に連動するように構成されている。そして、弾性体６０は、リンク機構７０の動作を減衰させるようにリンク機構７０に連結されている。これにより、第１部分４１と第２部分４２との間での案内方向Ｇの振動の伝達を、ダンパ部４３によって抑制することが可能となっている。後述するように、ダンパ部４３は複数（具体的には、２つ）のリンク機構７０を備えており、弾性体６０はリンク機構７０のそれぞれに連結されている。なお、弾性体６０には、弾性に加えて粘性を有する粘弾性体を含む。弾性体６０として粘弾性体を用いることで、振動エネルギの吸収性能（振動の減衰性能）を高めて、第１部分４１と第２部分４２との間での案内方向Ｇの振動の伝達を抑制しやすくなる。例えば、弾性体６０として、アクリルゴムやウレタンゴム等のゴムにより形成された粘弾性体を用いることができる。
【００２５】
以下、本実施形態に係るリンク機構７０及び弾性体６０の具体的構成について説明する。なお、図３に示すように、ダンパ部４３は、水平方向Ｈの互いに異なる位置に配置された２つのリンク機構７０を備えている。これら２つのリンク機構７０は、水平方向Ｈに互いに反転させた構成（水平方向Ｈに直交する面を対称面として鏡像対称の関係となる構成）を有しているため、以下ではこれら２つのリンク機構７０を区別することなく説明する。なお、ダンパ部４３が備えるリンク機構７０の数は適宜変更可能であり、ダンパ部４３がリンク機構７０を１つのみ又は３つ以上備える構成とすることも可能である。
【００２６】
図２及び図３に示すように、リンク機構７０は、連結部７３において案内方向Ｇに交差する回転軸心Ｒ周りに回転自在に連結された第１リンク体７１及び第２リンク体７２を備えている。ここでは、回転軸心Ｒは、案内方向Ｇに直交する軸心である。支持部４は、この回転軸心Ｒが鉛直方向Ｖに沿うように走行部２に支持される。第１リンク体７１及び第２リンク体７２は、回転軸心Ｒに沿って延びるように連結部７３に配置された第３連結部材１３（ここでは、連結ピン）を介して、連結部７３において回転自在に互いに連結されている。
【００２７】
第１リンク体７１は、連結部７３とは異なる位置において第１部分４１に対して回転自在に連結されている。第１リンク体７１は、第１部分４１に対して回転軸心Ｒに平行な軸心周りに回転自在に連結されている。ここでは、第１リンク体７１は、鉛直方向Ｖに沿った鉛直方向視（図３参照）で直線状に延びるように形成されている。そして、鉛直方向視で、第１リンク体７１の一端部に連結部７３が形成され、第１リンク体７１の他端部に第１リンク体７１と第１部分４１との連結部が形成されている。具体的には、第１リンク体７１は、回転軸心Ｒに平行な軸心に沿って延びるように配置された第１連結部材１１（ここでは、連結ピン）を介して、第１部分４１に固定された取付部材１０に回転自在に連結されている。取付部材１０は、案内方向Ｇにおける一対の案内ブロック５１の間において第１部分４１に固定されている。なお、第１リンク体７１が、第１連結部材１１を介して案内ブロック５１に回転自在に連結される構成や、第１リンク体７１が、第１連結部材１１を介して、第１部分４１における取付部材１０や案内ブロック５１が固定されない部分に回転自在に連結される構成とすることもできる。
【００２８】
第２リンク体７２は、連結部７３とは異なる位置において第２部分４２に対して回転自在に連結されている。第２リンク体７２は、第２部分４２に対して回転軸心Ｒに平行な軸心周りに回転自在に連結されている。ここでは、第２リンク体７２は、鉛直方向視で直線状に延びるように形成されている。そして、鉛直方向視で、第２リンク体７２の一端部に連結部７３が形成され、第２リンク体７２の他端部に第２リンク体７２と第２部分４２との連結部が形成されている。具体的には、第２リンク体７２は、回転軸心Ｒに平行な軸心に沿って延びるように配置された第２連結部材１２（ここでは、連結ピン）を介して、第２部分４２に回転自在に連結されている。
【００２９】
第１リンク体７１における第１部分４１との連結部と、第２リンク体７２における第２部分４２との連結部とは、水平方向Ｈの同じ位置に配置されている。すなわち、ここでは、第１リンク体７１及び第２リンク体７２を、鉛直方向視で互いに同じ長さの直線状に形成している。そして、図３に示すように、第２部分４２に対する第１部分４１の位置が中立位置である状態で、第１リンク体７１及び第２リンク体７２は、回転軸心Ｒ周りの相対角度がゼロとなるように（すなわち、鉛直方向視で互いに重なるように）配置される。
【００３０】
リンク機構７０がこのように構成されるため、図４に示すように、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向第１側Ｇ１に移動した場合には（言い換えれば、第２部分４２が第１部分４１に対して案内方向第２側Ｇ２に移動した場合には）、連結部７３の第２部分４２に対する案内方向第１側Ｇ１への変位量は、第１部分４１の第２部分４２に対する案内方向第１側Ｇ１への変位量の半分の値となる。また、図５に示すように、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向第２側Ｇ２に移動した場合には（言い換えれば、第２部分４２が第１部分４１に対して案内方向第１側Ｇ１に移動した場合には）、連結部７３の第２部分４２に対する案内方向第２側Ｇ２への変位量は、第１部分４１の第２部分４２に対する案内方向第２側Ｇ２への変位量の半分の値となる。すなわち、図４及び図５に示すように、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇのいずれの側に変位する場合でも、連結部７３の第２部分４２に対する案内方向Ｇに沿った移動量である第２変位量ΔＤ２は、第２部分４２に対する第１部分４１の案内方向Ｇに沿った変位量である第１変位量ΔＤ１の半分の値となる。
【００３１】
なお、図３〜図５において、“Ｐ１”は第１部分４１の案内方向Ｇの位置（ここでは、第１連結部材１１の位置）を表し、“Ｐ２”は第２部分４２の案内方向Ｇの位置（ここでは、第２連結部材１２の位置）を表している。また、図４及び図５では、第２部分４２に対する第１部分４１の位置が中立位置である場合の取付部材１０、案内ブロック５１、及び第３連結部材１３の各位置を、２点鎖線で示している。
【００３２】
このように、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合における、連結部７３の第２部分４２に対する案内方向Ｇに沿った変位量（第２変位量ΔＤ２）は、第２部分４２に対する第１部分４１の案内方向Ｇに沿った変位量（第１変位量ΔＤ１）の半分の値となる。第１部分４１は第２部分４２に対して水平方向Ｈに移動しないため、第１変位量ΔＤ１は、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合における、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量（ここでは、水平面での変位量）に等しい。一方、連結部７３は第２部分４２に対して水平方向Ｈに移動するが、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合における、第２部分４２に対する連結部７３の変位量（ここでは、水平面での変位量）は、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量よりも小さくなり、第２部分４２に対する第１部分４１の位置が中立位置の近傍にある状態では、第２部分４２に対する連結部７３の変位量は、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量の半分程度の値となる。すなわち、リンク機構７０は、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合における、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量よりも第２部分４２に対する変位量が小さくなる連結部７３を有している。
【００３３】
このように、リンク機構７０は、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合における、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量よりも第２部分４２に対する変位量が小さくなる低変位部８０を有している。そして、弾性体６０は、低変位部８０に連結されている。ここでは、弾性体６０は、低変位部８０である連結部７３に連結されている。
【００３４】
具体的には、図２に示すように、弾性体６０は、低変位部８０（ここでは、連結部７３）と一体的に移動するように連結された部分である第１連結部６１と、第１部分４１及び第２部分４２の一方（ここでは、第２部分４２）と一体的に移動するように連結された部分である第２連結部６２と、を有している。弾性体６０と連結対象部分との連結（例えば、第２連結部６２と第２部分４２との連結）は、例えば、接着固定による連結とすることができる。弾性体６０と連結対象部分との連結を、ボルト等による締結固定としても好適である。第１連結部６１は、弾性体６０における第１部分４１に対向する面（ここでは、弾性体６０の上面）に形成され、第２連結部６２は、弾性体６０における第２部分４２に対向する面（ここでは、弾性体６０の下面）に形成されている。弾性体６０は、鉛直方向Ｖが厚さ方向となる板状（ここでは、鉛直方向視で矩形の板状）に形成されており、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合には、案内方向Ｇに沿ったせん断荷重が弾性体６０に作用する。
【００３５】
低変位部８０は、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量よりも第２部分４２に対する変位量が小さくなる部分（リンク機構７０の一部）である。そのため、このように弾性体６０を低変位部８０に連結することで、図４及び図５に示すように、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合において、弾性体６０の変形量は、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量（第１変位量ΔＤ１）よりも小さくなる。具体的には、弾性体６０の変形量は、第２部分４２に対する低変位部８０（連結部７３）の変位量に応じた比較的小さい量となる。単純化して考えると、図４及び図５に示すように、弾性体６０の案内方向Ｇに沿った変形量（せん断荷重による変形量）は、上述した第２変位量ΔＤ２と同程度となる。
【００３６】
このように、弾性体６０は、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合における、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量よりも弾性体６０の変形量が小さくなるように、リンク機構７０に連結されている。これにより、弾性体６０の変形量が、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量と同じ又はそれよりも大きくなる場合に比べて、弾性体６０を配置するために必要なスペースを小さく抑えることが可能となっている。また、荷重に対する弾性体６０の変形量が必要とされる変形量に比べて小さい特性を有する弾性体６０であっても、適切に用いることが容易となっている。
【００３７】
なお、ここでは、弾性体６０の第２連結部６２が第２部分４２と一体的に移動するように連結される構成としたが、第２連結部６２が第１部分４１と一体的に移動するように連結される構成とすることもできる。この場合、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合における弾性体６０の変形量は、低変位部８０（連結部７３）に対する第１部分４１の変位量に応じた変形量となる。また、ここでは、第１リンク体７１及び第２リンク体７２の双方が、弾性体６０に対して回転軸心Ｒ周りに回転自在な構成としているが、第１リンク体７１及び第２リンク体７２の一方を、弾性体６０に対して回転軸心Ｒ周りに一体的に回転するように連結することで、弾性体６０を積極的にねじり変形させてもよい。また、ここでは、弾性体６０が連結部７３に連結される構成としたが、弾性体６０が、リンク機構７０における連結部７３以外の低変位部８０（例えば、第１リンク体７１又は第２リンク体７２の中間部分）に連結される構成とすることもできる。
【００３８】
〔第２の実施形態〕
物品搬送体の第２の実施形態について、図面（図６〜図９）を参照して説明する。本実施形態では、弾性体６０のリンク機構７０に対する連結構造が、上記第１の実施形態とは異なっている。以下では、本実施形態の物品搬送体について、第１の実施形態との相違点を中心に説明する。特に明記しない点については、第１の実施形態と同様であり、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００３９】
本実施形態の物品搬送体１は、上記第１の実施形態と同様の構成のリンク機構７０を備えている。すなわち、リンク機構７０は、案内方向Ｇに交差する回転軸心Ｒ周りに回転自在に連結された第１リンク体７１及び第２リンク体７２を備えている。そして、図７〜図９に示すように、第１リンク体７１及び第２リンク体７２は、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合に、回転軸心Ｒ周りに相対的に回転する。すなわち、リンク機構７０は、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合に、案内方向Ｇに交差する回転軸心Ｒ周りに相対的に回転する第１部材８１と第２部材８２とを有しており、ここでは、第１リンク体７１が第１部材８１であり、第２リンク体７２が第２部材８２である。なお、図６〜図９は、上記第１の実施形態での図２〜図５に対応する図面である。
【００４０】
図６に示すように、弾性体６０は、第１部材８１（ここでは、第１リンク体７１）に一体的に連結された部分である第１連結部６１と、第２部材８２（ここでは、第２リンク体７２）に一体的に連結された部分である第２連結部６２とを有している。具体的には、弾性体６０は、上記第１の実施形態と同様に、連結部７３に連結されている。そして、第１連結部６１は、弾性体６０における第１部分４１に対向する面（ここでは、弾性体６０の上面）に形成され、第２連結部６２は弾性体６０における第２部分４２に対向する面（ここでは、弾性体６０の下面）に形成されている。弾性体６０は、第１連結部６１において第１部材８１と一体的に回転軸心Ｒ周りに回転するように連結されると共に、第２連結部６２において第２部材８２と一体的に回転軸心Ｒ周りに回転するように連結されている。
【００４１】
弾性体６０は、鉛直方向Ｖが厚さ方向となる板状（ここでは、鉛直方向視で円形の板状）に形成されており、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合には、回転軸心Ｒ周りのねじり荷重が弾性体６０に作用する。すなわち、図８及び図９に示すように、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合における弾性体６０の変形量（ねじり荷重による変形量）は、第１部材８１と第２部材８２との回転軸心Ｒ周りの相対回転量（相対的な回転変位量、相対的な角度変位量）である第３変位量ΔＤ３に応じた変形量となる。
【００４２】
単純化して考えると、弾性体６０の第３変位量ΔＤ３に応じた変形量を、弾性体６０の外周面（鉛直方向視での外周面）における回転軸心Ｒ周りの変形量（当該外周面の半径に第３変位量ΔＤ３を乗算した値）とみなすことができる。このように考えると、図８及び図９から明らかなように、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合における弾性体６０の変形量（第３変位量ΔＤ３に応じた変形量）を、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量（第１変位量ΔＤ１）よりも小さくすることができる。すなわち、本実施形態においても、上記第１の実施形態と同様に、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合において、弾性体６０の変形量は、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量よりも小さくなっている。
【００４３】
なお、ここでは、第１リンク体７１が第１部材８１であり、第２リンク体７２が第２部材８２である構成（すなわち、弾性体６０が連結される、第１部材８１と第２部材８２との連結部が、第１リンク体７１と第２リンク体７２との連結部７３である構成）としたが、弾性体６０連結される、第１部材８１と第２部材８２との連結部が、連結部７３ではない構成とすることもできる。例えば、第１リンク体７１が第１部材８１であり、第１部分４１が第２部材８２である構成（すなわち、弾性体６０が、第１連結部材１１と同軸の回転軸心周りに相対的に回転する第１リンク体７１と第１部分４１との連結部に連結される構成）とすることや、第２リンク体７２が第１部材８１であり、第２部分４２が第２部材８２である構成（すなわち、弾性体６０が、第２連結部材１２と同軸の回転軸心周りに相対的に回転する第２リンク体７２と第２部分４２との連結部に連結される構成）とすることもできる。また、ここでは、弾性体６０が、鉛直方向Ｖが厚さ方向となる板状に形成される構成としたが、弾性体６０が、鉛直方向Ｖに延びる円柱状に形成される構成等とすることもできる。
【００４４】
〔その他の実施形態〕
次に、物品搬送体のその他の実施形態について説明する。
【００４５】
（１）上記の各実施形態で示したリンク機構７０の構成は一例であり、リンク機構７０の構成は適宜変更することが可能である。例えば、上記の各実施形態では、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合における、連結部７３の第２部分４２に対する案内方向Ｇに沿った変位量（第２変位量ΔＤ２）が、第２部分４２に対する第１部分４１の案内方向Ｇに沿った変位量（第１変位量ΔＤ１）の半分の値となるようにリンク機構７０を構成したが、第２変位量ΔＤ２が第１変位量ΔＤ１の半分とは異なる値となるようにリンク機構７０を構成してもよい。また、例えば、上記の各実施形態では、リンク機構７０が、リンク体（アーム）を２つのみ備える構成としたが、リンク機構７０が、第１リンク体７１及び第２リンク体７２以外にもリンク体を備える構成とすることもできる。この場合、例えば、第１リンク体７１が、他のリンク体を介して第１部分４１に連結される構成や、第２リンク体７２が、他のリンク体を介して第２部分４２に連結される構成とすることができる。
【００４６】
（２）上記の各実施形態では、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合における、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量よりも弾性体６０の変形量が小さくなるように、弾性体６０がリンク機構７０に連結される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第１部分４１が第２部分４２に対して案内方向Ｇに沿って移動した場合における、第２部分４２に対する第１部分４１の変位量よりも弾性体６０の変形量が大きくなるように、弾性体６０がリンク機構７０に連結される構成とすることも可能である。
【００４７】
（３）上記の各実施形態では、保持部３が物品９を上側から保持する構成、具体的には、保持部３が物品９のフランジ部９ａを把持する把持部３０を備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、保持部３が、物品９を下側から保持する構成とすることもできる。具体的には、保持部３が、物品９を下側から支持する支持部を備える構成とすることができる。すなわち、保持部３が、物品９を支持（下側から支持）することで当該物品９を保持する構成とすることができる。このような場合等において、保持部３における物品９を保持する部分が、第２部分４２と一体的に形成されることで、第２部分４２が保持部３に連結される構成（例えば、第２部分４２における第１部分４１と対向する側とは反対側の面が、物品９の保持部（支持部）として機能する構成）とすることもできる。
【００４８】
（４）上記の各実施形態では、支持部４が、保持部３が走行部２に対して下側に配置されるように、保持部３を走行部２に対して支持する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、支持部４が、保持部３が走行部２に対して上側に配置されるように、保持部３を走行部２に対して支持する構成とすることもできる。すなわち、上記の各実施形態のような保持部３が支持部４によって走行部２に吊り下げ支持される構成ではなく、保持部３が支持部４によって走行部２に下側から支持される構成とすることができる。このような構成とする場合等において、上記の実施形態とは異なり、第２部分４２が第１部分４１に対して上側に配置される構成とすることもできる。
【００４９】
（５）上記の各実施形態では、案内方向Ｇが、走行部２の走行方向Ａに沿う方向である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、案内方向Ｇが走行方向Ａ以外の方向（例えば、走行方向Ａに直交する水平方向）に沿う方向となる構成とすることもできる。
【００５０】
（６）上記の各実施形態では、物品搬送体１が、天井側に設けられた走行レール８に沿って走行する天井搬送車である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、物品搬送体１が、床面に設けられた走行レール８に沿って走行する床面走行式の物品搬送車である構成とすることもできる。このように物品搬送体１が床面走行式の物品搬送車である場合等において、走行レール８が設けられない構成、すなわち、走行部２が走行レール８に沿わずに（すなわち、走行レール８に案内されずに）走行する構成とすることもできる。
【００５１】
（７）上記の各実施形態では、物品９がＦＯＵＰである構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、物品９を、レチクルを収容する容器や、ガラス基板を収容する容器等とすることもできる。また、物品９が容器以外の物品であってもよい。
【００５２】
（８）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用すること（その他の実施形態として説明した実施形態同士の組み合わせを含む）も可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【００５３】
〔上記実施形態の概要〕
以下、上記において説明した物品搬送体の概要について説明する。
【００５４】
物品搬送体は、走行部と、物品を保持する保持部と、前記走行部に対して前記保持部を支持する支持部と、を備え、前記支持部は、前記走行部に支持された第１部分と、前記保持部に連結された第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間に設けられたダンパ部と、を備え、前記ダンパ部は、前記第２部分に対する前記第１部分の移動を特定の案内方向に沿って案内する案内部と、前記第１部分及び前記第２部分のそれぞれに連結されて、前記第２部分に対する前記第１部分の移動に連動するリンク機構と、弾性体と、を備え、前記弾性体は、前記リンク機構の動作を減衰させるように前記リンク機構に連結されている。
【００５５】
この構成では、第１部分と第２部分との間に設けられるダンパ部が、第２部分に対する第１部分の移動を特定の案内方向に沿って案内する案内部と、第２部分に対する第１部分の移動に連動するリンク機構と、弾性体とを備え、弾性体が、リンク機構の動作を減衰させるようにリンク機構に連結される。よって、第１部分と第２部分との間での案内方向の振動の伝達を、ダンパ部によって抑制することができる。この際、弾性体は、リンク機構の動作を減衰させるようにリンク機構に連結されるため、リンク機構による変位量や変位方向の変換作用により、弾性体の変形量を第２部分に対する第１部分の変位量に対して異ならせることや、弾性体の変形方向を第２部分に対する第１部分の変位方向（すなわち、案内方向）と異ならせることが可能となる。よって、弾性体が第１部分と第２部分とで挟持される場合とは異なり、弾性体に要求される弾性変形特性を、リンク機構の構成やリンク機構に対する弾性体の連結構成等によって調整することができ、弾性体に要求される弾性変形特性の制約を緩和することができる。そして、上記の構成では、第１部分が走行部に支持され、第２部分が物品を保持する保持部に連結されるため、保持部に保持された物品への走行部側からの案内方向の振動の伝達を、弾性体を用いて抑制することができる。
このように、上記の構成によれば、保持部に保持された物品への走行部側からの振動の伝達を弾性体を用いて抑制する場合に、弾性体に要求される弾性変形特性の制約を緩和することができる。
【００５６】
ここで、前記第１部分が前記第２部分に対して前記案内方向に沿って移動した場合における、前記第２部分に対する前記第１部分の変位量よりも前記弾性体の変形量が小さくなるように、前記弾性体が前記リンク機構に連結されていると好適である。
【００５７】
この構成によれば、弾性体の変形量が、第２部分に対する第１部分の変位量と同じ又はそれよりも大きくなる場合に比べて、弾性体を配置するために必要なスペースを小さく抑えることが可能となる。また、荷重に対する弾性体の変形量が必要とされる変形量に比べて小さい特性を有する弾性体であっても、適切に用いることが容易となる。
【００５８】
また、前記リンク機構は、前記第１部分が前記第２部分に対して前記案内方向に沿って移動した場合における、前記第２部分に対する前記第１部分の変位量よりも前記第２部分に対する変位量が小さくなる低変位部を有し、前記弾性体は、前記低変位部と一体的に移動するように連結された部分と、前記第１部分及び前記第２部分の一方と一体的に移動するように連結された部分とを有していると好適である。
【００５９】
この構成によれば、第１部分が第２部分に対して案内方向に沿って移動した場合における弾性体の変形量を、第２部分に対する第１部分の変位量よりも小さい変位量（具体的には、第２部分に対する低変位部の変位量、又は低変位部に対する第１部分の変位量）に応じた変形量とすることができる。よって、上記のように第２部分に対する第１部分の変位量よりも弾性体の変形量が小さくなる構成を、適切に実現することができる。
【００６０】
また、前記リンク機構は、前記第１部分が前記第２部分に対して前記案内方向に沿って移動した場合に、前記案内方向に交差する回転軸心周りに相対的に回転する第１部材と第２部材とを有し、前記弾性体は、前記第１部材に一体的に連結された部分と、前記第２部材に一体的に連結された部分とを有していると好適である。
【００６１】
この構成によれば、第１部分が第２部分に対して案内方向に沿って移動した場合における弾性体の変形量を、第１部材と第２部材との間の回転軸心周りの相対回転量に応じた比較的小さい変形量とすることが可能となる。よって、上記のように第２部分に対する第１部分の変位量よりも弾性体の変形量が小さくなる構成を、適切に実現することができる。
【００６２】
また、前記リンク機構は、連結部において前記案内方向に交差する回転軸心周りに回転自在に連結された第１リンク体及び第２リンク体を備え、前記第１リンク体は、前記連結部とは異なる位置において前記第１部分に対して回転自在に連結され、前記第２リンク体は、前記連結部とは異なる位置において前記第２部分に対して回転自在に連結され、前記弾性体は、前記連結部に連結されていると好適である。
【００６３】
この構成によれば、リンク機構の構成を比較的簡素なものとしつつ、第２部分に対する第１部分の移動に連動するようにリンク機構を適切に設けることができる。そして、例えば、連結部を上述した低変位部として用い、又は、第１リンク体及び第２リンク体を上述した第１部材及び第２部材として用いることで、上述したような第２部分に対する第１部分の変位量よりも弾性体の変形量が小さくなる構成を、適切に実現することができる。
【００６４】
また、前記案内方向は、前記走行部の走行方向に沿う方向であると好適である。
【００６５】
一般的に、走行部には、加減速等により比較的大きな走行方向の振動が発生し得る。この構成によれば、走行方向をダンパ部による振動の抑制対象の方向としているので、保持部に保持された物品に対して走行部側から大きな振動が伝達されることを適切に抑制することができる。
【００６６】
また、前記保持部は、前記支持部によって、前記走行部に吊り下げ支持されていると好適である。
【００６７】
このような構成では、保持部及び保持部に保持された物品が、走行部に対して吊り下げられた状態で支持されることになるため、走行部の加減速等による振動によって保持部が大きく揺れ動き易い。従って、このように保持部が走行部に吊り下げ支持されている場合には、上記のような構成を用いることによって、保持部に保持された物品への走行部側からの振動の伝達を、特に有効に抑制することができる。
【００６８】
本開示に係る物品搬送体は、上述した各効果のうち、少なくとも１つを奏することができれば良い。
【符号の説明】
【００６９】
１：物品搬送体
２：走行部
３：保持部
４：支持部
９：物品
４１：第１部分
４２：第２部分
４３：ダンパ部
５０：案内部
６０：弾性体
７０：リンク機構
７１：第１リンク体
７２：第２リンク体
７３：連結部
８０：低変位部
８１：第１部材
８２：第２部材
Ａ：走行方向
Ｇ：案内方向
Ｒ：回転軸心
【図１】
2019218180.tif 000003
【図２】
2019218180.tif 000004
【図３】
2019218180.tif 000005
【図４】
2019218180.tif 000006
【図５】
2019218180.tif 000007
【図６】
2019218180.tif 000008
【図７】
2019218180.tif 000009
【図８】
2019218180.tif 000010
【図９】
2019218180.tif 000011