(57)【要約】【課題】内部に実際に人がいるか否かを検出できる搬送チャンバを提供する。【解決手段】基板を搬送する搬送装置が内部に設置されるチャンバメイン部１１と、チャンバメイン部１１とともに内部空間を形成するチャンバサイド部１２ａ，１２ｂを有する搬送チャンバ１Ａであって、搬送チャンバ１Ａは、その上部に開口部２４を有し、開口部２４の周縁の少なくとも一部に反射部材４１（４１ａ，４１ｂ）が設けられている。【選択図】図４
2019091759.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する搬送装置が内部に設置されるチャンバメイン部と、前記チャンバメイン部とともに内部空間を形成するチャンバサイド部を有する搬送チャンバであって、
前記搬送チャンバは、その上部に開口部を有し、
前記開口部の周縁の少なくとも一部に反射部材が設けられている、搬送チャンバ。
【請求項２】
前記開口部の周縁に、前記反射部材と対向して設置され、前記内部空間を撮像する撮像ユニットを有する、請求項１に記載の搬送チャンバ。
【請求項３】
前記撮像ユニットをチルト駆動及び／又はパン駆動させる第一駆動ユニットを有する、請求項２に記載の搬送チャンバ。
【請求項４】
前記反射部材をチルト駆動及び／又はパン駆動させる第二駆動ユニットを有する、請求項１に記載の搬送チャンバ。
【請求項５】
前記撮像ユニットを上下方向および左右方向の少なくとも一つの方向へ移動させる第三駆動ユニットを有する、請求項２又は３に記載の搬送チャンバ。
【請求項６】
前記撮像ユニットで撮像した前記内部空間の映像をデータとして送信する送信ユニットを有する、請求項２に記載の搬送チャンバ。
【請求項７】
前記送信ユニットが送信した前記データを受信し、表示する表示ユニットを有する、請求項６に記載の搬送チャンバ。
【請求項８】
前記内部空間の映像を解析して前記内部空間における異常の有無を判定し、異常があったときに異常を報知する異常報知ユニットを有する、請求項７に記載の搬送チャンバ。
【請求項９】
前記反射部材は、前記開口部の上側周縁に設けられている、請求項１に記載の搬送チャンバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルや有機ELパネルなどの製造工程において、ガラス基板等の搬送等に使用される搬送チャンバに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１などにより、半導体装置などの製造に使用される基板処理装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−６４３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１は、作業者がチャンバ（クリーン空間）内にいるか否かを把握できる装置を提案している。特許文献１の装置においては、基板処理装置を包囲装置で包囲し、包囲装置内への人の立ち入りを検出する検出装置を用いて、包囲装置内部への人の立ち入りを検出している。
【０００５】
ところで、基板処理装置として、搬送ロボットが収められた搬送チャンバ（例えば、真空チャンバ）の周囲に、複数のプロセスチャンバをクラスター状に配置したものがある。近年の基板の大型化の結果、搬送チャンバはその内部に人が出入りすることが可能なくらいにまで大型化している。実際、搬送チャンバや搬送ロボットの点検時などにおいて、搬送チャンバ内に人が出入りすることがある。特許文献１の装置においては、包囲装置への人の立ち入りは検出できても、チャンバ内に実際に人がいるか否かを検出することはできない。また、大型の搬送チャンバにおいては、内部空間も広大であることから、チャンバ上部の開口部から視認する際に死角が生じる。この死角の解消のために搬送チャンバにのぞき窓を設ける手段が考えられる。しかし、のぞき窓を設けるということは、のぞき窓と搬送チャンバとの間のシール性を確保しなければならないということであり、製造、管理上の観点からはあまり好ましくない。
【０００６】
そこで、本発明は、内部に実際に人がいるか否かを検出できる搬送チャンバを提案することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の搬送チャンバは、
基板を搬送する搬送装置が内部に設置されるチャンバメイン部と、前記チャンバメイン部とともに内部空間を形成するチャンバサイド部を有する搬送チャンバであって、
前記搬送チャンバは、その上部に開口部を有し、
前記開口部の周縁の少なくとも一部に反射部材が設けられている。
【０００８】
上記構成によれば、反射部材により搬送チャンバの内部空間を直接観察することができるので、確実に内部空間に人がいるか否かを把握できる。
【０００９】
また、本発明の搬送チャンバにおいて、
前記開口部の周縁に、前記反射部材と対向して設置され、前記内部空間を撮像する撮像ユニットを有することが好ましい。
【００１０】
上記構成によれば、撮像ユニットを使って内部空間に人がいるか否かをシステム上で判定できる。
【００１１】
また、本発明の搬送チャンバにおいて、
前記撮像ユニットをチルト駆動及び／又はパン駆動させる第一駆動ユニットを有することが好ましい。
【００１２】
上記構成によれば、一台の撮像ユニットで内部空間の広い範囲を撮像できる。複数台の撮像ユニットを用いる場合でも、より少ない台数で全体を撮像できる。
【００１３】
また、本発明の搬送チャンバにおいて、
前記反射部材をチルト駆動及び／又はパン駆動させる第二駆動ユニットを有することが好ましい。
【００１４】
上記構成によれば、反射面積の小さい反射部材であっても、搬送チャンバの内部空間を広い範囲で観察することができる。
【００１５】
また、本発明の搬送チャンバにおいて、
前記撮像ユニットを上下方向および左右方向の少なくとも一つの方向へ移動させる第三駆動ユニットを有することが好ましい。
【００１６】
上記構成によれば、一台の撮像ユニットであっても、搬送チャンバの内部空間を広い範囲で撮像できる。複数台の撮像ユニットを用いる場合でも、より少ない台数で、搬送チャンバの内部空間全体を撮像できる。
【００１７】
また、本発明の搬送チャンバにおいて、
前記撮像ユニットで撮像した前記内部空間の映像をデータとして送信する送信ユニットを有することが好ましい。
【００１８】
上記構成によれば、遠隔地からでも、搬送チャンバの内部空間の様子を確認できる。
【００１９】
また、本発明の搬送チャンバにおいて、
前記送信ユニットが送信した前記データを受信し、表示する表示ユニットを有することが好ましい。
【００２０】
上記構成によれば、例えば遠隔地からでも、表示ユニットに表示されるデータに基づいて搬送チャンバの内部空間の様子を確認できる。
【００２１】
また、本発明の搬送チャンバにおいて、
前記内部空間の映像を解析して前記内部空間における異常の有無を判定し、異常があったときに異常を報知する異常報知ユニットを有することが好ましい。
【００２２】
上記構成によれば、搬送チャンバの内部空間に異常があることを、例えば音や光などを用いて報知することも可能である。
【００２３】
また、本発明の搬送チャンバにおいて、
前記反射部材は、前記開口部の上側周縁に設けられていることが好ましい。
【００２４】
搬送チャンバの内部空間内に反射部材を設ける場合には、搬送装置と反射部材との干渉を避けるために搬送チャンバの高さを余分に高くする必要があり、内部空間の容積が大きくなってしまう。反射部材を開口部の上側周縁に設けることで、搬送装置と反射部材との干渉をなくし、内部空間の容積が大きくなることを抑制することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の搬送チャンバによれば、内部に実際に人がいるか否かを検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】搬送チャンバを備える基板処理装置の概要図である。
【図２】搬送チャンバの斜視図である。（ａ）は天板が外された状態、（ｂ）は天板が嵌めこまれた状態を示す。
【図３】本発明の第一実施形態に係る搬送チャンバ（メンテナンス時）の斜視図である。
【図４】図３に示す搬送チャンバのIV−IV線断面図である。
【図５】第二実施形態に係る搬送チャンバの上面図である。
【図６】第二実施形態に係る搬送チャンバの側面図である。
【図７】第三実施形態に係る搬送チャンバの上面図である。
【図８】第三実施形態に係る搬送チャンバの側面図である。
【図９】第四実施形態に係る搬送チャンバの上面図である。
【図１０】第四実施形態に係る搬送チャンバの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本実施形態に係る搬送チャンバの一例について、図面を参照しつつ説明する。
ここでは、先ず、搬送チャンバを備える基板処理装置について説明を行う。ここで挙げる基板処理装置は、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス基板（以下、単に「基板」と称する）Ｐに対してエッチング処理を行なうためのマルチチャンバータイプの装置である。ＦＰＤとしては、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）ディスプレイ、エレクトロルミネセンス（ＥＬ）ディスプレイ、蛍光表示管（ＶＦＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等が挙げられる。
【００２８】
図１は、基板処理装置の概要図である。図１に示すように、基板処理装置１００は、その中央部に搬送チャンバ１が配置されている。搬送チャンバ１の周囲には、真空予備室であるロードロック室７と、真空処理室である複数（本例では５つ）のプロセスチャンバ８ａ〜８ｅが配置されている。プロセスチャンバ８ａ〜８ｅは、成膜処理室、エッチング処理室、アッシング処理室等として構成することが可能である。なお、本例の搬送チャンバ１は、ロードロック室７と、プロセスチャンバ８ａ〜８ｅとの計６つの室が周囲に配置される形状、例えば平面視で略六角形状、全体として六面体形状に構成されているが、室の配置数および全体の形状はこれに限定されない。
【００２９】
搬送チャンバ１とロードロック室７との間には、これらの間を気密にシールし、かつ開閉可能に構成されるゲートバルブ１５が設けられている。また、搬送チャンバ１と各プロセスチャンバ８ａ〜８ｅとの間、およびロードロック室７と外側の大気雰囲気とを連通する開口部にも、同様にゲートバルブ１５がそれぞれ設けられている。
【００３０】
ロードロック室７の外側には、基板Ｐを収容する３つのカセット９が配置されている。これらカセット９には、例えば未処理の基板や処理済みの基板が収容されている。これら３つのカセット９の間には、基板搬送装置９０が配置されている。基板搬送装置９０は、基板Ｐを載せるスライドアーム部と、スライドアーム部を進出退避および回転可能に支持する基部とを有している。
【００３１】
搬送チャンバ１は、基板Ｐを搬送するための搬送装置１３が内部に設置されるチャンバメイン部１１と、チャンバメイン部１１と共に搬送チャンバ１の内部空間を形成するチャンバサイド部１２とを有している。搬送チャンバ１は、その内部空間を所定の減圧雰囲気（例えば、真空環境下）に保持することができるように構成されている。
【００３２】
搬送チャンバ１では、チャンバメイン部１１に設置される搬送装置１３により、ロードロック室７およびプロセスチャンバ８ａ〜８ｅ間において基板Ｐの移載が行われる。搬送装置１３は、ベース部と、下段ハンドベース１３ｂと、上段ハンドベース１３ｄと、を有している。ベース部は、チャンバメイン部１１のほぼ中央部に設けられ、搬送装置１３を昇降および旋回させる駆動機構部と、駆動機構部に対して旋回および昇降自在に設けられる被駆動部とを備える。この被駆動部に、下段ハンドベース１３ｂおよび上段ハンドベース１３ｄが設けられる。
【００３３】
被駆動部は、下段ハンドベース１３ｂおよび上段ハンドベース１３ｄを、被駆動部に対して進退動させるためのアクチュエータ、ガイド部およびスライダを備える。各スライダに、下段ハンドベース１３ｂおよび上段ハンドベース１３ｄが固定される。いずれかのスライダを駆動させることにより、下段ハンドベース１３ｂまたは上段ハンドベース１３ｄが進退動される。下段ハンドベース１３ｂおよび上段ハンドベース１３ｄに、それぞれ下段ハンド１３ｃおよび上段ハンド１３ｅ（例えば、図１中では４本のフォークハンド）が設けられる。駆動機構部の駆動により、被駆動部が搬送チャンバ１の内部空間で旋回、昇降され、下段ハンドベース１３ｂまたは上段ハンドベース１３ｄを進退動させることで、ロードロック室７およびプロセスチャンバ８ａ〜８ｅ間において基板Ｐの移載が行われる。
【００３４】
ロードロック室７およびプロセスチャンバ８ａ〜８ｅは、搬送チャンバ１と同様に、それぞれの内部空間を所定の減圧雰囲気に保持することができるように構成されている。プロセスチャンバ８ａ〜８ｅの内部では、例えば成膜や、プラズマによるエッチングまたはアッシングなどの処理が行なわれる。プロセスチャンバ８ａ〜８ｅは、同様に構成されている。
【００３５】
次に、図２〜図１０を参照して、搬送チャンバ１について詳しく説明する。
図２は、搬送チャンバ１の構成を説明するための斜視図である。図２の（ａ）は天板１４が外された状態、図２の（ｂ）は天板１４が嵌めこまれた状態を示す。図２の（ａ）および（ｂ）に示すように、搬送チャンバ１のチャンバメイン部１１は、平面視および側面視が長方形の部位である。また、一対のチャンバサイド部１２ａ，１２ｂは、平面視が略台形の部位である。一対のチャンバサイド部１２ａ，１２ｂは、搬送装置１３が旋回し得る搬送用空間を確保するための部位であり、チャンバメイン部１１の長辺の対向する側部から外方にそれぞれ延出される。そして、チャンバメイン部１１の上面には、後述する開口部２４を塞ぐ天板１４が着脱自在に接合される。なお、図１は、天板１４を取り外した状態の搬送チャンバ１を示している。また、図２の（ａ）および（ｂ）に示したチャンバメイン部１１とチャンバサイド部１２a，１２ｂは一体に設けられるものである。もちろん、３つを別体に設けてもよいことは言うまでもない。
【００３６】
チャンバメイン部１１は、搬送チャンバ１の底部を構成する底板２１を備えている。チャンバメイン部１１の上部は、ほぼ全面が開口された開口部２４となっている。
【００３７】
チャンバメイン部１１には、ロードロック室７（図１参照）との間で基板Ｐを搬入出するための搬送用開口２６が形成されている。また、上記搬送用開口２６と対向する位置に、プロセスチャンバ８ｃとの間で基板Ｐを搬入出するための搬送用開口２７が形成されている。さらに、チャンバメイン部１１の底板２１には、搬送装置１３（図１参照）を設置するための開口２８が形成されている。
【００３８】
天板１４は、チャンバメイン部１１における開口部２４の内縁に、落とし込みで嵌入される。天板１４は、チャンバメイン部１１と同じ構成材で構成されており、開口部２４の内縁に、例えばボルト等の固定部材によって固定される。天板１４は、搬送チャンバ１の実使用時、すなわち内部空間を真空環境下に保持する際に装着され、搬送チャンバ１の内部空間および搬送装置１３をメンテナンス等するときに脱着される。
【００３９】
チャンバサイド部１２ａ，１２ｂとチャンバメイン部１１とにより、チャンバメイン部１１の内部空間Ｓ１と、各チャンバサイド部１２ａ，１２ｂの内部空間Ｓ２ａ，Ｓ２ｂとが合わさって、一つの搬送用空間が形成される。
【００４０】
チャンバサイド部１２ａの両側壁３３ａ，３４ａには、搬送用空間と、図１に示したプロセスチャンバ８ａ，８ｂとの間で基板Ｐを搬入出するための搬送用開口３５ａ，３６ａが形成されている。また、チャンバサイド部１２ｂの両側壁３３ｂ，３４ｂには、搬送用空間と、図１に示したプロセスチャンバ８ｄ，８ｅとの間で基板Ｐを搬入出するための搬送用開口３５ｂ，３６ｂが形成されている。また、チャンバサイド部１２ａ，１２ｂの上部には、上壁３２ａ，３２ｂが設けられている。
【００４１】
（第一実施形態）
図３および図４は、第一実施形態に係る搬送チャンバ１Ａを示す図である。図３は、搬送チャンバ１Ａの斜視図を示す。図４は、図３の搬送チャンバ１ＡにおけるIV−IV線断面図を示す。図３および図４には、メンテナンス時の搬送チャンバ１Ａが示されており、天板１４が取り外されて開口部２４が露出された状態が示されている。図３および図４に示すように、搬送チャンバ１Ａは、チャンバメイン部１１の開口部２４の周縁に鏡４１（反射部材の一例）を備えている。
【００４２】
鏡４１（４１ａ，４１ｂ）は、チャンバメイン部１１の開口部２４の上側周縁にそれぞれ設けられている。開口部２４に天板１４が装着された場合、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）は、天板１４よりも上側に位置するように、すなわちチャンバメイン部１１の外側に配置されるように設けられている。例えば、開口部２４の周囲を取り囲むように、上方へ延びる安全柵４４が設けられる。鏡４１（４１ａ，４１ｂ）は、安全柵４４の開口部２４の長辺側における上下に二分割された下枠部分４４ｂに設けられる。安全柵４４の下枠部分４４ｂに鏡４１（４１ａ，４１ｂ）を設けることで、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）を設置するための新たなスペースが不要となる。また、下枠部分４４ｂに鏡４１（４１ａ，４１ｂ）を設けることで、鏡が遮蔽物となり、チャンバメイン部１１およびチャンバサイド部１２ａ，１２ｂの上部におかれたメンテナンス用の工具等が、誤って搬送用空間内に落下することがなくなる。その結果、落下物等による搬送用空間の破損がなくなる。
【００４３】
鏡４１（４１ａ，４１ｂ）は、反射面を対向させて、チャンバメイン部１１の開口部２４の長辺側にそれぞれ設けられている。鏡４１（４１ａ，４１ｂ）は、向きを上下に動かすチルト駆動と、向きを左右に動かすパン駆動と、ができるように構成されている。鏡４１（４１ａ，４１ｂ）には、各鏡をチルト駆動およびパン駆動させるための鏡駆動ユニット４３ａ，４３ｂ（第二駆動ユニットの一例）が接続されている。鏡駆動ユニット４３ａ，４３ｂは、例えば、作業者（観察者）がティーチペンダントなどの携帯型情報端末等を用いて操作することができるように構成されている。
【００４４】
本形態では、チャンバメイン部１１の長辺の長さの略半分の鏡４１（４１ａ，４１ｂ）が、下枠部分４４ｂに２つ設けた場合を例に挙げたが、これに限定するものではない。例えば長辺の長さと略同じ長さの鏡を下枠部分４４ｂに１つだけ設けてもよく、また、長辺の長さよりも短い鏡を下枠部分４４ｂに３つ以上設けてもよい。さらに、長辺の長さよりも短い鏡を、下枠部分４４ｂの少なくとも一部だけに設けるようにしてもよい。また、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）の形状は、本形態のように平板状の平面鏡であってもよいし、あるいは反射面側が凹んだ凹面鏡であってもよい。
【００４５】
例えばメンテナンス時に観察者がチャンバサイド部１２ａ，１２ｂの上壁３２ａ，３２ｂ上に立つ場合、その観察者は、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）を用いて搬送チャンバ１Ａの内部空間を直接観察できる。例えば、図４に示すように、観察者がチャンバサイド部１２ａの上壁３２ａ上に立つと観察者は、チャンバメイン部１１を挟んで反対側に設けられているチャンバサイド部１２ｂの内部空間Ｓ２ｂの様子、およびチャンバメイン部１１の内部空間Ｓ１の様子を直接的に視認できる。そして、観察者が立っている場所の下側に設けられているチャンバサイド部１２ａの内部空間Ｓ２ａの様子、およびチャンバメイン部１１の内部空間Ｓ１の様子を鏡４１ｂに映った像により確認することができる。したがって、観察者は、観察場所を移動することなく、すなわちチャンバサイド部１２ａの上壁３２ａ上に立ったまま、搬送チャンバ１Ａの内部空間全体の様子を確認でき、内部空間内に作業者がいるか否かを検出することができる。
【００４６】
また、本実施形態の搬送チャンバ１Ａによれば、観察者は観察場所を移動することなく、２つのチャンバサイド部１２ａ，１２ｂの内部空間Ｓ２ａ，Ｓ２ｂおよびチャンバメイン部１１の内部空間Ｓ１を略同時に確認することが可能である。このとき、内部空間の全体の様子を確認する際、観察者が観察場所を移動する必要があると、観察者が移動している間に、一度確認した内部空間内の領域に作業者が移動、侵入してしまうおそれがある。これは、内部空間にいる作業者を見落とす原因になってしまう。これに対して、本実施形態の搬送チャンバ１Ａは、内部空間全体を略同時に確認できるので、確実に内部空間に人がいるか否かを検出することができる。
【００４７】
また、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）の向きを上下左右に変化させることができるので、例え鏡４１の表面積が小さくても内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）の様子を広範囲に、容易に確認することが可能である。
【００４８】
また、図４に示すように、観察者がチャンバメイン部１１の開口部２４から離れた位置に立っている場合だけでなく、例えば開口部２４の近くに立っている場合でも、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）の向きを上下左右に変化させることで内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）の全体の様子を確認することができる。また、観察者の身長（目線位置高さ）に左右されることなく、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）の向きを変化させることで、内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）の全体の様子を確認することができる。
【００４９】
ところで、例えば、本形態とは異なり、内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）内に鏡４１（４１ａ，４１ｂ）を設ける場合には、搬送装置１３と鏡４１（４１ａ，４１ｂ）との干渉を避けるために、チャンバメイン部１１およびチャンバサイド部１２ａ，１２ｂの高さを高くする必要がある。その結果、内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）が大型化してしまう。これに対して、搬送チャンバ１Ａは、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）を開口部２４の上側周縁に設けているので、搬送装置１３と鏡４１（４１ａ，４１ｂ）との干渉の心配がなく、内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）が大型化するのを抑制することができる。
【００５０】
また、搬送チャンバ１Ａは、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）を用いることで内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）の全体の様子を確認することができるので、搬送チャンバ１Ａ内を視認するためののぞき窓をチャンバ本体に形成する必要がない。その結果、チャンバ本体のシール性を確保する必要が無くなり、気密性の高い搬送チャンバ１Ａを得ることができる。
また、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）が安全柵４４の下枠内に取り付け可能であるため、搬送チャンバ１Ａ自体に鏡４１（４１ａ，４１ｂ）を取り付けるための孔加工等を施す必要がなく、搬送チャンバ１Ａの気密性を確保することができる。また、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）を安全柵４４に取り付ける際に、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）の取り付け、取り外し、調整等を特別な工具を要することなく容易に行うことができる。
【００５１】
（第二実施形態）
図５および図６は、第二実施形態に係る搬送チャンバ１Ｂを示す模式図である。図５は、搬送チャンバ１Ｂの上面図を示す。図６は、搬送チャンバ１Ｂの側面図を示す。なお、第一実施形態と同様の構成については同じ符号を付し、その説明を適宜省略する。
図５および図６に示すように、搬送チャンバ１Ｂは、搬送チャンバ１Ｂの内部空間を撮像するカメラ５１（撮像ユニットの一例）を備えている。
【００５２】
カメラ５１は、開口部２４の周縁に、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）と対向して設置される。本形態ではチャンバサイド部１２ａ側にカメラ５１を設置して、チャンバサイド部１２ｂ側に鏡４１ｂを設けているが、これとは反対に、チャンバサイド部１２ｂ側にカメラ５１を設置して、チャンバサイド部１２ａ側に鏡４１ａを設ける構成としてもよい。あるいは、チャンバサイド部１２ａ側にもチャンバサイド部１２ｂ側にもそれぞれカメラと鏡の両方を設けるようにしてもよい。また、カメラ５１の設置位置は、開口部２４の周縁に限定されず、チャンバサイド部１２ａの上壁３２ａ上、チャンバサイド部１２ｂの上壁３２ｂ上のいずれかであればよい。
【００５３】
カメラ５１は、チルト駆動（図６の矢印Ｂ参照）およびパン駆動（図５の矢印Ｃ参照）できるように構成されている。また、カメラ５１は、上下移動（図６の矢印Ｄ参照）できるように構成されている。カメラ５１には、カメラをチルト駆動、パン駆動、および上下移動させるためのカメラ駆動ユニット５２（第一駆動ユニットの一例）が接続されている。カメラ駆動ユニット５２は、例えば、作業者がティーチペンダントやリモコン等を用いて遠隔操作することができるように構成されている。あるいは、カメラ駆動ユニット５２は、設置されている搬送チャンバ１Ｂの内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）の全体を撮像できるように、チルト角度、パン角度等が予めプログラムされており、そのプログラムに従ってカメラ５１が駆動される。
【００５４】
カメラ５１には、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）カメラ等が用いられる。カメラ駆動ユニット５２は、カメラ５１で撮像した内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）の映像をデータとして送信する送信ユニット５３を備えている。データは、例えば、ティーチペンダント等のモバイル端末、遠隔地の管理室に設置された端末などの受信ユニットで受信することが可能である。受信されたデータは、受信ユニットに設けられている表示ユニットに映像表示される。なお、カメラ５１としては、例えば、暗視カメラやサーモグラフィカメラ等を用いてもよい。
【００５５】
受信ユニットは、受信したデータを解析し、内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）における異常の有無を判定する判定装置（異常報知ユニットの一例）を有している。判定装置は、例えば、暗視カメラやサーモグラフィカメラ等で撮影（測定）されたデータを解析あるいは監視し、内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）内に作業者が残っているか否かを判定する。また、受信ユニットは、判定装置の判定結果を報知する報知装置（異常報知ユニットの一例）を有している。報知装置は、判定装置の判定結果で異常があると判定された場合、例えば警告マークを表示ユニットに表示することにより、あるいは警告音を出力することにより、その旨を報知する。なお、報知装置は、カメラ駆動ユニット５２に設けられていてもよい。カメラ駆動ユニット５２は、上記判定装置から送信されてくる信号に基づいて、異常があった場合に例えば警告音の出力や警告ランプの点灯等でその旨を報知する。
【００５６】
なお、本形態の鏡４１（４１ａ，４１ｂ）も、第一実施形態の鏡と同様にチルト駆動およびパン駆動できるように構成されている。
【００５７】
このような構成の搬送チャンバ１Ｂによれば、例えばメンテナンス時に、カメラ５１を使用して搬送チャンバ１Ｂの内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）を観察することができる。このため、観察者がチャンバサイド部１２ａ，１２ｂ上に乗って作業をしなくても、例えば搬送チャンバ１Ｂから離れた場所で、送信ユニット５３から送信されてくるデータを表示ユニットで監視しながら内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）の様子を確認できる。これにより、内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）内に作業者がいるか否かを検出することができる。
【００５８】
また、カメラ５１をチルト駆動およびパン駆動することができるので、一台のカメラ５１で内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）の広範囲を撮像することが可能である。また、例えば複数台のカメラを用いる場合でも、より少ない台数で内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）の全体を撮像することができる。
【００５９】
また、カメラ５１だけでなく鏡４１（４１ａ，４１ｂ）もチルト駆動およびパン駆動することができるので、さらに確実に内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）の様子を確認でき、内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）内に作業者がいるか否かを検出することができる。また、内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）に異常がある場合、異常報知ユニットからの警告音や警告ランプなどにより認識できるので、内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）に作業者が残っているか否かをさらに確実に検出することができる。
もっとも、上述した形態とは異なり、カメラ５１のみをチルト駆動およびパン駆動可能に構成し、鏡４１（４１ａ，４１ｂ）はチルト駆動およびパン駆動不能に固定してもよい。
【００６０】
（第三実施形態）
図７および図８は、第三実施形態に係る搬送チャンバ１Ｃを示す模式図である。図７は、搬送チャンバ１Ｃの上面図を示す。図８は、搬送チャンバ１Ｃの側面図を示す。
図７および図８に示すように、第三実施形態の搬送チャンバ１Ｃは、カメラ５１が開口部２４の周縁に沿って左右方向（図７の矢印Ｅ方向）に移動することが可能な点で、上記第二実施形態の搬送チャンバ１Ｂと相違する。したがって、第二実施形態と同様の構成については同じ符号を付し、その説明を適宜省略する。
【００６１】
開口部２４には、周縁に沿ってレール部材６１が設置されている。カメラ５１は、レール部材６１に沿って左右方向に移動する。レール部材６１には、例えばレール部材６１を両側から走行輪で挟み込み、その走行輪をモータ駆動させて走行する走行機構６２が取り付けられている。カメラ５１は、その走行機構６２に搭載され、走行機構６２と共に移動する。また、カメラ５１は、上記第二実施形態のカメラと同様に、チルト駆動、パン駆動および上下移動も可能である。
【００６２】
カメラ５１には、カメラをチルト駆動、パン駆動、上下移動および左右移動させるためのカメラ駆動ユニット６３（第三駆動ユニットの一例）が接続されている。カメラ駆動ユニット６３は、例えば、作業者がリモコン等を用いて遠隔操作することができるように構成されている。あるいは、カメラ駆動ユニット６３は、搬送チャンバ１Ｃの内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）全体を撮像できるように、チルト角度、パン角度、および上下左右の移動量等が予めプログラムされており、そのプログラムに従ってカメラ５１を駆動する。
【００６３】
このような構成の搬送チャンバ１Ｃによれば、例えばメンテナンス時において、カメラ５１をレール部材６１に沿って移動させることで、搬送チャンバ１Ｃの内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）の様子を確認でき、内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）内に作業者がいるか否かを検出することができる。また、レール部材６１として開口部２４の周縁に設置されるレールを採用した場合、走行機構６２を走行させたときの発塵が少なく、エッチング処理やアッシング処理等が行われる基板処理装置に好適である。
【００６４】
（第四実施形態）
図９および図１０は、第四実施形態に係る搬送チャンバ１Ｄを示す模式図である。図９は、搬送チャンバ１Ｄの上面図を示す。図１０は、搬送チャンバ１Ｄの側面図を示す。
図９および図１０に示すように、第四実施形態の搬送チャンバ１Ｄは、カメラ５１が開口部２４の周縁に沿って全周（図７の矢印Ｅ，Ｆ参照）を移動することが可能な点で、上記第三実施形態の搬送チャンバ１Ｃと相違する。したがって、第三実施形態と同様の構成については同じ符号を付し、その説明を適宜省略する。
【００６５】
開口部２４の周縁には、全周に亘ってレール部材６１（６１ａ〜６１ｄ）が設置されている。カメラ５１は、このレール部材６１（６１ａ〜６１ｄ）に沿って開口部２４の全周を移動する。レール部材６１（６１ａ〜６１ｄ）には、上記第三実施形態と同様に、カメラ５１が搭載される走行機構６２が取り付けられている。カメラ５１の台数は、単数でも複数でもよい。なお、カメラ５１は、上記第三実施形態のカメラと同様に、チルト駆動、パン駆動および上下移動も可能である。
【００６６】
また、開口部２４の周縁には、全周に亘って鏡４１（４１ａ〜４１ｄ）が設けられている。
なお、レール部材６１と鏡４１は、開口部２４の周縁の半周に亘って設けるようにしてもよい。例えば、図９において、レール部材６１ａと６１ｂを設置した場合、鏡４１ｂと４１ｄを設けるようにすればよい。同様に、レール部材６１ｃと６１ｄを設置した場合、鏡４１ａと４１ｃを設けるようにすればよい。
【００６７】
カメラ５１には、カメラをチルト駆動、パン駆動、上下方向の移動および周方向の移動をさせるためのカメラ駆動ユニット６４（第三駆動ユニットの一例）が接続されている。カメラ駆動ユニット６４は、例えば、作業者がリモコン等を用いて遠隔操作することができるように構成されている。あるいは、カメラ駆動ユニット６４は、搬送チャンバ１Ｄの内部空間（Ｓ１、Ｓ２ａおよびＳ２ｂ）全体を撮像できるように、チルト角度、パン角度、上下方向の移動量、および周方向の移動量等が予めプログラムされており、そのプログラムに従ってカメラ５１を駆動する。
【００６８】
なお、本形態では、平面視が長方形の開口部２４に沿って直線状のレール部材６１（６１ａ〜６１ｄ）が設置されているが、例えば、開口部２４の形状が丸孔や長孔の場合には、その形状に対応して曲線状のレール部材を設置するようにしてもよい。
【００６９】
このような構成の搬送チャンバ１Ｄの場合にも、上記第三実施形態の搬送チャンバ１Ｃと同様の効果を奏することができる。
【００７０】
上述した実施形態においては、真空処理を行う基板処理装置に用いる搬送チャンバを説明したが、本発明は大気圧下で用いる搬送チャンバに用いてもよい。
【００７１】
また、本発明に係る搬送チャンバは、チャンバメイン部とチャンバサイド部が一体の一体構造のチャンバに適用してもよいし、チャンバメイン部とチャンバサイド部が別体の分割構造のチャンバに適用してもよい。
【００７２】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、適宜、変形、改良等が自在である。その他、上述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数値、形態、数、配置場所等は、本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。
【符号の説明】
【００７３】
１：搬送チャンバ
７：ロードロック室
８ａ〜８ｅ：プロセスチャンバ
１１：チャンバメイン部
１２（１２ａ，１２ｂ）：チャンバサイド部
１３：搬送装置
１４：天板
２４：開口部
Ｓ１，Ｓ２ａ，Ｓ２ｂ：内部空間
４１（４１ａ〜４１ｄ）：鏡（反射部材の一例）
４３ａ，４３ｂ：鏡駆動ユニット（第二駆動ユニットの一例）
５１：カメラ（撮像ユニットの一例）
５２：カメラ駆動ユニット（第一駆動ユニットの一例）
５３：送信ユニット
６１（６１ａ〜６１ｄ）：レール部材
６２：走行機構
６３：カメラ駆動ユニット（第三駆動ユニットの一例）
６４：カメラ駆動ユニット（第三駆動ユニットの一例）
１００：基板処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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