(57)【要約】【課題】光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差を低減することを課題とする。【解決手段】光源からの光を偏向して被走査領域１５を光走査する光走査装置であって、前記光源からの光を偏向する光偏向手段１３と、前記光源から前記光偏向手段へ至る光路上に配置される平板状光透過部材６１とを有し、前記平板状光透過部材は、前記光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差による非点隔差が小さくなるように、前記光路の光軸Ｌ０方向に対して傾斜して配置されている。【選択図】図１６
2019164213.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を偏向して被走査領域を光走査する光走査装置であって、
前記光源からの光を偏向する光偏向手段と、
前記光源から前記光偏向手段へ至る光路上に配置される平板状光透過部材とを有し、
前記平板状光透過部材は、前記光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差による非点隔差が小さくなるように、前記光路の光軸方向に対して傾斜して配置されていることを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光走査装置において、
前記平板状光透過部材は、前記光源からの光の透過光量を調整する光量調整部材であることを特徴とする光走査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の光走査装置において、
前記平板状光透過部材は、光路合成素子であることを特徴とする光走査装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の光走査装置において、
前記光偏向手段は、トーションバーにより軸支された反射ミラーを該トーションバーの軸回りで回動させることにより光を偏向するものであることを特徴とする光走査装置。
【請求項５】
請求項４に記載の光走査装置において、
前記平板状光透過部材は、前記光源からの光の光軸と前記トーションバーの軸とに直交する軸の回りで該平板状光透過部材を回動させることにより、前記光軸に対して傾斜して配置されている光走査装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の光走査装置において、
前記平板状光透過部材は、前記光源からの光の透過光量が互いに異なる複数の光透過領域を有し、
前記平板状光透過部材の平板面に平行な方向へ該平板状光透過部材を移動させることにより、前記光路上に介在する光透過領域を切り替える透過光量切替手段を有することを特徴とする光走査装置。
【請求項７】
画像情報に基づいて変調された光により被走査領域を走査して画像を投写する画像投写装置であって、
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の光走査装置と、
前記光走査装置から出射された光を前記被走査領域に向けて投写する投写光学系とを有することを特徴とする画像投写装置。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の光走査装置、又は、請求項７に記載の画像投写装置を備えることを特徴とする移動体。
【請求項９】
光源からの光を偏向して被走査領域を光走査する光走査装置の製造方法であって、
前記光源からの光が偏向する光偏向手段へと至る光路上に配置される平板状光透過部材を、前記光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差による非点隔差が小さくなるように、前記光路の光軸方向に対して傾斜して配置することを特徴とする光走査装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の光走査装置の製造方法において、
前記非点収差による非点隔差が無くなるように、前記光路の光軸方向に対する前記平板状光透過部材の傾斜角を設定することを特徴とする光走査装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９に記載の光走査装置の製造方法において、
前記非点収差による非点隔差が無くなるように、前記平板状光透過部材の厚さを設定することを特徴とする光走査装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査装置、画像投写装置、移動体、及び、光走査装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光源からの光を偏向して被走査領域を光走査する光走査装置が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、光源からの光を主走査方向及び副走査方向へ偏向する光偏向器を備えた光走査装置が開示されている。この光走査装置が備える光偏向器は、トーションバーにより軸支された反射ミラーをトーションバーの軸回りで回動させることにより、反射ミラーに入射してくる光源からの光を反射して偏向するＭＥＭＳ（Micro Electromechanical Systems）デバイスである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、ＭＥＭＳデバイス等の光偏向手段においては、偏向した光に非点収差が生じ得ることが判明し、偏向された光のビームスポット径がその非点収差によって広がり、所望の走査光を得ることができないという課題が生じた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決するために、本発明は、光源からの光を偏向して被走査領域を光走査する光走査装置であって、前記光源からの光を偏向する光偏向手段と、前記光源から前記光偏向手段へ至る光路上に配置される平板状光透過部材とを有し、前記平板状光透過部材は、前記光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差による非点隔差が小さくなるように、前記平板状光透過部材を前記光路の光軸方向に対して傾斜して配置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施形態における光走査装置の一例を示す概略図。
【図２】同光走査装置の一例のハードウェア構成図。
【図３】同光走査装置の制御装置の一例の機能ブロック図。
【図４】同光走査装置に係る処理の一例のフローチャート。
【図５】同光走査装置の光偏向器の一例を＋Ｚ方向から見たときの平面図。
【図６】図５に示す光偏向器のＰ−Ｐ’断面図。
【図７】図５に示す光偏向器のＱ−Ｑ’断面図。
【図８】光偏向器の第二駆動部の変形を模式的に表した模式図。
【図９】（ａ）は、光偏向器の圧電駆動部群Ａに印加される駆動電圧Ａの波形の一例を示すグラフ図。（ｂ）は、光偏向器の圧電駆動部群Ｂに印加される駆動電圧Ｂの波形の一例を示すグラフ図。（ｃ）は、（ａ）の駆動電圧の波形と（ｂ）の駆動電圧の波形を重ね合わせた一例を示すグラフ図。
【図１０】同光走査装置による光走査を説明する図。
【図１１】同光走査装置の光量調整装置の要部を示す斜視図。
【図１２】同光走査装置において光量調整部材をＨＰに移動させた状態を示す斜視図。
【図１３】制御装置によって実施される起動時ルーチン処理のフローを示すフローチャート。
【図１４】変形例に係る光量調整装置の要部を示す斜視図。
【図１５】同光走査装置の光偏向器の反射面が湾曲した様子を示す、トーションバーの軸に直交する断面で切断したときの断面図。
【図１６】光量調整部材の傾斜方向を示す説明図。
【図１７】光量調整部材の傾斜によって非点隔差を修正する原理を説明するための説明図であり、（ａ）は、主走査方向（ｘ方向）に直交する断面に沿って光量調整部材を切断したときの説明図であり、（ｂ）は、副走査方向（ｙ方向）に直交する断面に沿って光量調整部材を切断したときの説明図。
【図１８】変形例における光源装置の概略構成を示す説明図である。
【図１９】ヘッドアップディスプレイ装置を搭載した自動車の一例の概略図。
【図２０】ヘッドアップディスプレイ装置の一例の概略図。
【図２１】光書込装置を搭載した画像形成装置の一例の概略図。
【図２２】光書込装置の一例の概略図。
【図２３】レーザレーダ装置を搭載した自動車の一例の概略図。
【図２４】レーザレーダ装置の一例の概略図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
【０００９】
＜第１実施形態＞
まず、図面を参照して、本実施形態に係る光走査装置について詳細に説明する。
図１は、本実施形態の光走査装置の一例を示す概略図である。
【００１０】
図１に示すように、光走査装置１０は、制御装置１１の制御に従って光源装置１２から照射された光を光偏向器１３が有する反射面１４により偏向して被走査面１５を光走査する。光偏向器１３により光走査可能な領域である走査可能領域１６は、有効走査領域１７を含む。被走査面１５には、走査可能領域１６内、かつ、有効走査領域１７外に、受光器１８が設けられている。光走査装置１０は、制御装置１１、光偏向器１３、受光器１８、光量調整装置６０により構成される。
【００１１】
制御装置１１は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）およびＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）等を備えた電子回路ユニットである。光源装置１２は、例えばレーザ光を照射するレーザ装置である。光偏向器１３は、例えば反射面１４を有し、反射面１４を可動可能なＭＥＭＳデバイスである。被走査面１５は、例えばスクリーンである。受光器１８は、例えば光を受光して受光信号を出力するＰＤ（Photo Diode）である。
【００１２】
制御装置１１は、外部装置等から取得した光走査情報に基づいて光源装置１２および光偏向器１３の制御信号を生成し、制御信号に基づいて光源装置１２および光偏向器１３に駆動信号を出力する。また、光源装置１２から出力される信号、光偏向器１３から出力される信号、受光器１８から出力される受光信号に基づいて、光源装置１２と光偏向器１３の同期や制御信号の生成を行う。また、制御装置１１は、受光器１８の光量検知結果に基づいて光量調整装置６０の制御信号を生成し、制御信号に基づいて光量調整装置６０に駆動信号を出力する。
【００１３】
光源装置１２は、制御装置１１から入力された駆動信号に基づいて光源の照射を行う。
【００１４】
光偏向器１３は、制御装置１１から入力された駆動信号に基づいて反射面１４を一軸方向（一次元方向）または二軸方向（二次元方向）の少なくともいずれかに可動させ、光源装置１２からの光を偏向する。なお、本実施形態の光偏向器１３は、少なくとも、走査線の並び方向に対応する副走査方向へ偏向する光偏向手段であればよい。したがって、走査線の延び方向に対応する主走査方向と副走査方向の両方についての光走査を１つの光偏向手段によって実現してもよいし、主走査方向と副走査方向の各光走査を異なる光偏向手段によって実現してもよい。なお、駆動信号は、所定の駆動周波数を有する信号である。光偏向器１３は、所定の固有振動数（共振周波数とも呼ぶ。）を有している。
【００１５】
これにより、例えば、光走査情報の一例である画像情報に基づいた制御装置１１の制御によって、光偏向器１３の反射面１４を所定の範囲で二軸方向に往復可動させ、反射面１４に入射する光源装置１２からの照射光を偏向して光走査することにより、被走査面１５に任意の画像を投写することができる。
【００１６】
なお、光偏向器１３の詳細および制御装置１１による制御の詳細については後述する。
【００１７】
光量調整装置６０は、制御装置１１から入力された駆動信号に基づいて、光源からの光の透過光量を調整する。光量調整装置６０の詳細および制御装置１１による制御の詳細については後述する。
【００１８】
次に、図２を参照して、光走査装置の一例のハードウェア構成について説明する。
図２は、光走査装置の一例のハードウェア構成図である。
図２に示すように、光走査装置１０は、制御装置１１、光源装置１２、光偏向器１３、受光器１８を備え、それぞれが電気的に接続されている。その中でも制御装置１１の詳細について以下に説明する。
【００１９】
制御装置１１は、ＣＰＵ２０、ＲＡＭ２１（Random Access Memory）、ＲＯＭ２２（Read Only Memory）、ＦＰＧＡ２３、外部Ｉ／Ｆ２４、光源装置ドライバ２５、光偏向器ドライバ２６、光量調整装置ドライバ２７を備えている。
【００２０】
ＣＰＵ２０は、ＲＯＭ２２等の記憶装置からプログラムやデータをＲＡＭ２１上に読み出し、処理を実行して、制御装置１１の全体の制御や機能を実現する演算装置である。ＲＡＭ２１は、プログラムやデータを一時保持する揮発性の記憶装置である。
【００２１】
ＲＯＭ２２は、電源を切ってもプログラムやデータを保持することができる不揮発性の記憶装置であり、ＣＰＵ２０が光走査装置１０の各機能を制御するために実行する処理用プログラムやデータを記憶している。
【００２２】
ＦＰＧＡ２３は、ＣＰＵ２０の処理に従って、光源装置ドライバ２５、光偏向器ドライバ２６及び光量調整装置ドライバ２７に適した制御信号を出力する回路である。また、光源装置ドライバ２５、光偏向器ドライバ２６及び光量調整装置ドライバ２７を介して、光源装置１２、光偏向器１３及び光量調整装置６０の出力信号を取得し、さらに受光器１８から受光信号を取得し、出力信号および受光信号に基づいて制御信号を生成する。
【００２３】
外部Ｉ／Ｆ２４は、例えば外部装置やネットワーク等とのインタフェースである。外部装置には、例えば、ＰＣ（Personal Computer）等の上位装置、ＵＳＢメモリ、ＳＤカード、ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤＤ、ＳＳＤ等の記憶装置が含まれる。また、ネットワークは、例えば自動車のＣＡＮ(Controller Area Network)やＬＡＮ（Local Area Network）、車車間通信、インターネット等である。外部Ｉ／Ｆ２４は、外部装置との接続または通信を可能にする構成であればよく、外部装置ごとに外部Ｉ／Ｆ２４が用意されてもよい。
【００２４】
光源装置ドライバ２５は、入力された制御信号に従って光源装置１２に駆動電圧等の駆動信号を出力する電気回路である。
【００２５】
光偏向器ドライバ２６は、入力された制御信号に従って光偏向器１３に駆動電圧等の駆動信号を出力する電気回路である。
【００２６】
光量調整装置ドライバ２７は、入力された制御信号に従って光量調整装置６０に駆動電圧等の駆動信号を出力する電気回路である。
【００２７】
制御装置１１において、ＣＰＵ２０は、外部Ｉ／Ｆ２４を介して外部装置やネットワークから光走査情報を取得する。なお、ＣＰＵ２０が光走査情報を取得することができる構成であればよく、制御装置１１内のＲＯＭ２２やＦＰＧＡ２３に光走査情報を格納する構成としてもよいし、制御装置１１内に新たにＳＳＤ等の記憶装置を設けて、その記憶装置に光走査情報を格納する構成としてもよい。
【００２８】
ここで、光走査情報とは、光源装置１２と光偏向器１３により被走査面１５にどのように光走査させるかを示した情報であり、例えば、光走査により画像を表示する場合は、光走査情報は画像データである。また、例えば、光走査により光書込みを行う場合は、光走査情報は書込み順や書込み箇所を示した書込みデータである。他にも、例えば、光走査により物体認識を行う場合は、光走査情報は物体認識用の光を照射するタイミングと照射範囲を示す照射データである。
【００２９】
次に、図３を参照して、光走査装置１０の制御装置１１の機能構成について説明する。
図３は、光走査装置１０の制御装置の一例の機能ブロック図である。
本実施形態に係る制御装置１１は、ＣＰＵ２０の命令および図２に示したハードウェア構成によって、次に説明する機能構成を実現することができる。
【００３０】
図３に示すように、制御装置１１は、機能として制御部３０と駆動信号出力部３１とを有する。制御部３０は、例えばＣＰＵ２０、ＦＰＧＡ２３等により実現される制御手段であり、光走査情報や各デバイスからの信号を取得し、それらに基づいて制御信号を生成して駆動信号出力部３１に出力する。
【００３１】
例えば、制御部３０は、外部装置等から画像データを光走査情報として取得し、所定の処理により画像データから制御信号を生成して駆動信号出力部３１に出力する。また、制御部３０は、駆動信号出力部３１を介して光源装置１２、光偏向器１３、光量調整装置６０の各出力信号を取得し、各出力信号に基づいて制御信号を生成する。さらに、制御部３０は、受光器１８の受光信号を取得し、取得した受光信号に基づいて制御信号を生成する。
【００３２】
駆動信号出力部３１は、光源装置ドライバ２５、光偏向器ドライバ２６、光量調整装置ドライバ２７等により実現され、入力された制御信号に基づいて光源装置１２、光偏向器１３及び光量調整装置６０に駆動信号を出力する。駆動信号出力部３１は例えば駆動電圧を光源装置１２、光偏向器１３及び光量調整装置６０に印加する印加手段として機能する。駆動信号出力部３１は、駆動信号を出力する対象ごとに設けられてもよい。
【００３３】
なお、駆動信号は、光源装置１２、光偏向器１３及び光量調整装置６０の駆動を制御するための信号である。例えば、光源装置１２においては、光源の照射タイミングおよび照射強度を制御する駆動電圧である。また、例えば、光偏向器１３においては、光偏向器１３の有する反射面１４を可動させるタイミングおよび可動範囲を制御する駆動電圧である。また、例えば、光量調整装置６０においては、後述する光量調整部材を可動させるタイミングおよび可動範囲を制御する駆動電圧である。
【００３４】
次に、図４を参照して、光走査装置１０が被走査面１５を光走査する処理について説明する。
図４は、光走査装置に係る処理の一例のフローチャートである。
ステップＳ１１において、制御部３０は、外部装置等から光走査情報を取得する。また、制御部３０は、駆動信号出力部３１を介して光源装置１２、光偏向器１３の各出力信号をそれぞれ取得し、また受光器１８の受光信号を取得する。
【００３５】
ステップＳ１２において、制御部３０は、取得した光走査情報、各出力信号、受光信号から制御信号を生成し、制御信号を駆動信号出力部３１に出力する。このとき、起動時は各出力信号、受光信号を取得できない場合があるため、起動時は別ステップにより所定動作を行ってもよい。
【００３６】
ステップＳ１３において、駆動信号出力部３１は、入力された制御信号に基づいて駆動信号を光源装置１２、光偏向器１３及び光量調整装置６０に出力する。
【００３７】
ステップＳ１４において、光源装置１２は、入力された駆動信号に基づいて光照射を行う。また、光偏向器１３は、入力された駆動信号に基づいて反射面１４の可動を行う。光源装置１２および光偏向器１３の駆動により、任意の方向に光が偏向され、光走査される。また、光量調整装置６０は入力された駆動信号に基づいて、光量調整部材上に形成されている互いに透過光量の異なる複数の光透過領域のうちの所望の光透過領域が光路上に位置するように光量調整部材を移動させる。
【００３８】
なお、本実施形態の光走査装置１０では、１つの制御装置１１が光源装置１２、光偏向器１３及び光量調整装置６０を制御する装置および機能を有しているが、光源装置用の制御装置、光偏向器用の制御装置、光量調整装置用の制御装置を別体に設けてもよい。
【００３９】
また、本実施形態の光走査装置１０では、一つの制御装置１１に光源装置１２、光偏向器１３及び光量調整装置６０の制御部３０の機能および駆動信号出力部３１の機能を設けているが、これらの機能は別体として存在していてもよく、例えば制御部３０を有した制御装置１１とは別に駆動信号出力部３１を有した駆動信号出力装置を設ける構成としてもよい。
【００４０】
次に、図５〜図７を参照して、光偏向器について詳細に説明する。
図５は、二軸方向に光偏向可能な両持ちタイプの光偏向器の平面図である。
図６は、図５のＰ−Ｐ’断面図である。
図７は図５のＱ−Ｑ’断面図である。
【００４１】
図５に示すように、光偏向器１３は、入射した光を反射するミラー部１０１と、ミラー部に接続され、ミラー部をＹ軸に平行な第一軸周りに駆動する第一駆動部１１０ａ，１１０ｂと、ミラー部および第一駆動部を支持する第一支持部１２０と、第一支持部に接続され、ミラー部および第一支持部をＸ軸に平行な第二軸周りに駆動する第二駆動部１３０ａ，１３０ｂと、第二駆動部を支持する第二支持部１４０と、第一駆動部および第二駆動部および制御装置に電気的に接続される電極接続部１５０と、を有する。
【００４２】
光偏向器１３は、例えば、１枚のＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板上に反射面１４や第一圧電駆動部１１２ａ，１１２ｂ、第二圧電駆動部１３１ａ〜１３１ｆ、１３２ａ〜１３２ｆ、電極接続部１５０等を形成した後にエッチング処理等で基板を成形することで、各構成部が一体的に形成されている。なお、前記の各構成部の形成は、ＳＯＩ基板の成形後に行ってもよいし、ＳＯＩ基板の成形中に行ってもよい。
【００４３】
ＳＯＩ基板は、単結晶シリコン（Ｓｉ）からなる第一シリコン層の上に酸化シリコン層１６２が設けられ、その酸化シリコン層１６２の上にさらに単結晶シリコンからなる第二シリコン層が設けられている基板である。以降、第一シリコン層をシリコン支持層１６１、第二シリコン層をシリコン活性層１６３とする。なお、ＳＯＩ基板は、焼結してシリコン活性層１６３の表面に酸化シリコン層１６４を形成した後に使用される。
【００４４】
シリコン活性層１６３は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に対してＺ軸方向への厚みが小さいため、シリコン活性層１６３、またはシリコン活性層１６３と酸化シリコン層１６４で構成された部材は、弾性を有する弾性部としての機能を備える。なお、本実施形態では、シリコン活性層１６３と下部電極２０１の電気的接触を抑制するために酸化シリコン層１６４を設けているが、酸化シリコン層１６４は絶縁性を有する別の材質に置き換えてもよい。
【００４５】
なお、ＳＯＩ基板は、必ず平面状である必要はなく、曲率等を有していてもよい。また、エッチング処理等により一体的に成形でき、部分的に弾性を持たせることができる基板であれば光偏向器１３の形成に用いられる部材はＳＯＩ基板に限られない。
【００４６】
ミラー部１０１は、例えば、円形状のミラー部基体１０２と、ミラー部基体の＋Ｚ側の面上に形成された反射面１４とから構成される。ミラー部基体１０２は、例えば、シリコン活性層１６３と酸化シリコン層１６４から構成される。
【００４７】
反射面１４は、例えば、アルミニウム、金、銀等を含む金属薄膜で構成される。また、ミラー部１０１は、ミラー部基体１０２の−Ｚ側の面にミラー部補強用のリブが形成されていてもよい。
【００４８】
リブは、例えば、シリコン支持層１６１および酸化シリコン層１６２から構成され、可動によって生じる反射面１４の歪みを抑制することができる。
【００４９】
第一駆動部１１０ａ，１１０ｂは、ミラー部基体１０２に一端が接続し、第一軸方向にそれぞれ延びてミラー部１０１を可動可能に支持する２つのトーションバー１１１ａ，１１１ｂと、一端がトーションバーに接続され、他端が第一支持部の内周部に接続される第一圧電駆動部１１２ａ，１１２ｂと、から構成される。
【００５０】
図６に示すように、トーションバー１１１ａ，１１１ｂはシリコン活性層１６３と酸化シリコン層１６４から構成される。また、第一圧電駆動部１１２ａ，１１２ｂは、弾性部であるシリコン活性層１６３と酸化シリコン層１６４の＋Ｚ側の面上に下部電極２０１、圧電部２０２、上部電極２０３の順に形成されて構成される。
【００５１】
上部電極２０３および下部電極２０１は、例えば金（Ａｕ）または白金（Ｐｔ）等から構成される。圧電部２０２は、例えば、圧電材料であるＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなる。
【００５２】
図５に戻り、第一支持部１２０は、例えば、シリコン支持層１６１、酸化シリコン層１６２、シリコン活性層１６３、酸化シリコン層１６４から構成され、ミラー部１０１を囲うように形成された矩形形状の支持体である。
【００５３】
第二駆動部１３０ａ，１３０ｂは、例えば、折り返すように連結された複数の第二圧電駆動部１３１ａ〜１３１ｆ、１３２ａ〜１３２ｆから構成されており、第二駆動部１３０ａ，１３０ｂの一端は第一支持部１２０の外周部に接続され、他端は第二支持部１４０の内周部に接続されている。このような蛇行状構造をミアンダ構造とよぶ。また、第二圧電駆動部のように１つの梁と駆動力を有する部材で構成されている構造を駆動カンチレバーともよぶ。
【００５４】
このとき、第二駆動部１３０ａと第一支持部１２０の接続箇所および第二駆動部１３０ｂと第一支持部１２０の接続箇所、さらに第二駆動部１３０ａと第二支持部１４０の接続箇所および第二駆動部１３０ｂと第二支持部１４０の接続箇所は、反射面１４の中心に対して点対称となっている。
【００５５】
図７に示すように、第二駆動部１３０ａ，１３０ｂは、弾性部であるシリコン活性層１６３、酸化シリコン層１６４の＋Ｚ側の面上に下部電極２０１、圧電部２０２、上部電極２０３の順に形成されて構成される。上部電極２０３および下部電極２０１は、例えば金（Ａｕ）または白金（Ｐｔ）等から構成される。圧電部２０２は、例えば、圧電材料であるＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなる。
【００５６】
図５に戻り、第二支持部１４０は、例えば、シリコン支持層１６１、酸化シリコン層１６２、シリコン活性層１６３、酸化シリコン層１６４から構成され、ミラー部１０１、第一駆動部１１０ａ，１１０ｂ、第一支持部１２０および第二駆動部１３０ａ，１３０ｂを囲うように形成された矩形の支持体である。
【００５７】
電極接続部１５０は、例えば、第二支持部１４０の＋Ｚ側の面上に形成され、第一圧電駆動部１１２ａ，１１２ｂ、第二圧電駆動部１３１ａ〜１３１ｆの各上部電極２０３および各下部電極２０１，および制御装置１１にアルミニウム（Ａｌ）等の電極配線を介して電気的に接続されている。
【００５８】
なお、本実施形態では、圧電部２０２が弾性部であるシリコン活性層１６３、酸化シリコン層１６４の一面（＋Ｚ側の面）のみに形成された場合を一例として説明したが、弾性部の他の面（例えば−Ｚ側の面）に設けても良いし、弾性部の一面および他面の双方に設けても良い。
【００５９】
また、ミラー部１０１を第一軸周りまたは第二軸周りに駆動可能であれば、各構成部の形状は実施形態の形状に限定されない。例えば、トーションバー１１１ａ，１１１ｂや第一圧電駆動部１１２ａ，１１２ｂが曲率を有した形状を有していてもよい。
【００６０】
さらに、第一駆動部１１０ａ，１１０ｂの上部電極２０３の＋Ｚ側の面上、第一支持部の＋Ｚ側の面上、第二駆動部１３０ａ，１３０ｂの上部電極２０３の＋Ｚ側の面上、第二支持部の＋Ｚ側の面上の少なくともいずれかに酸化シリコン膜からなる絶縁層が形成されていてもよい。このとき、絶縁層の上に電極配線を設け、また、上部電極２０３または下部電極２０１と電極配線とが接続される接続スポットに、開口部として部分的に絶縁層を除去または絶縁層を形成しないことにより、第一駆動部１１０ａ，１１０ｂ、第二駆動部１３０ａ，１３０ｂおよび電極配線の設計自由度をあげ、さらに電極同士の接触による短絡を抑制することができる。なお、絶縁層は絶縁性を有する部材であればよく、また、薄膜化等により反射防止材としての機能を備えさせてもよい。
【００６１】
次に、光偏向器の第一駆動部および第二駆動部を駆動させる制御装置の制御の詳細について説明する。
第一駆動部１１０ａ，１１０ｂ、第二駆動部１３０ａ，１３０ｂが有する圧電部２０２は、分極方向に正または負の電圧が印加されると印加電圧の電位に比例した変形（例えば、伸縮）が生じ、いわゆる逆圧電効果を発揮する。第一駆動部１１０ａ，１１０ｂ，第二駆動部１３０ａ，１３０ｂは、前記の逆圧電効果を利用してミラー部１０１を可動させる。このとき、ミラー部１０１の反射面１４に入射した光束が偏向される角度を振れ角とよぶ。振れ角は光偏向器１３による偏向度合いを示している。圧電部２０２に電圧を印加していないときの振れ角をゼロとし、その角度よりも偏向角度が大きい場合を正の振れ角、小さい場合を負の振れ角とする。
【００６２】
まず、第一駆動部１１０ａ，１１０ｂを駆動させる制御装置１１の制御について説明する。
第一駆動部１１０ａ，１１０ｂでは、第一圧電駆動部１１２ａ，１１２ｂが有する圧電部２０２に、上部電極２０３および下部電極２０１を介して駆動電圧が並列に印加されると、それぞれの圧電部２０２が変形する。この圧電部２０２の変形による作用により、第一圧電駆動部１１２ａ，１１２ｂが屈曲変形する。
【００６３】
その結果、２つのトーションバー１１１ａ，１１１ｂのねじれを介してミラー部１０１に第一軸周りの駆動力が作用し、ミラー部１０１が第一軸周りに可動する。第一駆動部１１０ａ，１１０ｂに印加される駆動電圧は、制御装置１１によって制御される。
【００６４】
このとき、制御装置１１によって、第一駆動部１１０ａ，１１０ｂが有する第一圧電駆動部１１２ａ，１１２ｂに所定の正弦波形の駆動電圧を並行して印加することで、ミラー部１０１を、第一軸周りに所定の正弦波形の駆動電圧の周期で可動させることができる。さらに、例えば、正弦波形電圧の周波数がトーションバー１１１ａ，１１１ｂの共振周波数と同程度である約２０ｋＨｚに設定された場合、トーションバー１１１ａ，１１１ｂのねじれによる共振が生じるのを利用して、ミラー部１０１を約２０ｋＨｚで共振振動させることができる。
【００６５】
次に、図８を参照して、第二駆動部を駆動させる制御装置の制御について説明する。
図８は、光偏向器の第二駆動部１３０ａ，１３０ｂの駆動を模式的に表した模式図である。斜線で表されている領域がミラー部１０１等である。
【００６６】
第二駆動部１３０ａが有する複数の第二圧電駆動部１３１ａ〜１３１ｆのうち、最もミラー部に距離が近い第二圧電駆動部１３１ａから数えて偶数番目の第二圧電駆動部、すなわち第二圧電駆動部１３１ｂ，１３１ｄ，１３１ｆを圧電駆動部群Ａ（第一アクチュエータとも呼ぶ。）とする。
【００６７】
また、さらに第二駆動部１３０ｂが有する複数の第二圧電駆動部１３２ａ〜１３２ｆのうち、最もミラー部に距離が近い第二圧電駆動部１３２ａから数えて奇数番目の第二圧電駆動部、すなわち第二圧電駆動部１３２ａ，１３２ｃ，１３２ｅを同様に圧電駆動部群Ａとする。圧電駆動部群Ａは、駆動電圧が並行に印加されると、図８（ａ）に示すように、圧電駆動部群Ａが同一方向に屈曲変形し、正の振れ角となるようにミラー部１０１が第二軸周りに可動する。
【００６８】
また、第二駆動部１３０ａが有する複数の第二圧電駆動部１３１ａ〜１３１ｆのうち、最もミラー部に距離が近い第二圧電駆動部１３１ａから数えて奇数番目の第二圧電駆動部、すなわち第二圧電駆動部１３１ａ，１３１ｃ，１３１ｅを圧電駆動部群Ｂ（第二アクチュエータとも呼ぶ。）とする。
【００６９】
また、さらに第二駆動部１３０ｂが有する複数の第二圧電駆動部１３２ａ〜１３２ｆのうち、最もミラー部に距離が近い第二圧電駆動部１３２ａから数えて偶数番目の第二圧電駆動部、すなわち第二圧電駆動部１３２ｂ，１３２ｄ，１３２ｆを同様に圧電駆動部群Ｂとする。圧電駆動部群Ｂは、駆動電圧が並行に印加されると、図８（ｃ）に示すように、圧電駆動部群Ｂが同一方向に屈曲変形し、負の振れ角となるようにミラー部１０１が第二軸周りに可動する。
【００７０】
また、図８（ｂ）に示すように、電圧が印加されていない、又は、電圧印加による圧電駆動部群Ａによるミラー部１０１の可動量と電圧印加による圧電駆動群Ｂによるミラー部１０１の可動量が釣り合っている時は、振れ角はゼロとなる。
【００７１】
図８（ａ）、（ｃ）に示すように、第二駆動部１３０ａ，１３０ｂでは、圧電駆動部群Ａが有する複数の圧電部２０２又は圧電駆動部群Ｂが有する複数の圧電部２０２を屈曲変形させることにより、屈曲変形による可動量を累積させ、ミラー部１０１の第二軸周りの振れ角を大きくすることができる。また、図８（ａ）〜図８（ｃ）を連続的に繰り返すように第二圧電駆動部に駆動電圧を印加することにより、ミラー部を第二軸周りに駆動させることができる。
【００７２】
第二駆動部１３０ａ，１３０ｂに印加される駆動信号（駆動電圧）は、制御装置１１によって制御される。
図９を参照して、圧電駆動部群Ａに印加される駆動電圧（以下「駆動電圧Ａ」という。）、圧電駆動部群Ｂに印加される駆動電圧（以下「駆動電圧Ｂ」という。）について説明する。また、駆動電圧Ａ（第一駆動電圧）を印加する印加手段を第一印加手段、駆動電圧Ｂ（第二駆動電圧）を印加する印加手段を第二印加手段とする。
【００７３】
図９（ａ）は、光偏向器の圧電駆動部群Ａに印加される駆動電圧Ａの波形の一例である。図９（ｂ）は、光偏向器の圧電駆動部群Ｂに印加される駆動電圧Ｂの波形の一例である。図９（ｃ）は、駆動電圧Ａの波形と駆動電圧Ｂの波形を重ね合わせた図である。
【００７４】
図９（ａ）に示すように、圧電駆動部群Ａに印加される駆動電圧Ａの波形は、例えば、ノコギリ波状の波形であり、周波数は、例えば６０Ｈｚである。また、駆動電圧Ａの波形は、電圧値が極小値から次の極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅をＴｒＡ、電圧値が極大値から次の極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅をＴｆＡとしたとき、例えば、ＴｒＡ：ＴｆＡ＝８．５：１．５となる比率があらかじめ設定されている。このとき、一周期に対するＴｒＡの比率を駆動電圧Ａのシンメトリという。
【００７５】
図９（ｂ）に示すように、圧電駆動部群Ｂに印加される駆動電圧Ｂの波形は、例えば、ノコギリ波状の波形であり、周波数は、例えば６０Ｈｚである。また、駆動電圧Ｂの波形は、電圧値が極小値から次の極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅をＴｒＢ、電圧値が極大値から次の極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅をＴｆＢとしたとき、例えば、ＴｆＢ：ＴｒＢ＝８．５：１．５となる比率があらかじめ設定されている。このとき、一周期に対するＴｆＢの比率を駆動電圧Ｂのシンメトリという。
【００７６】
また、図９（ｃ）に示すように、例えば、駆動電圧Ａの波形の周期ＴＡと駆動電圧Ｂの波形の周期ＴＢは、同一となるように設定されている。このとき、駆動電圧Ａと駆動電圧Ｂは位相差ｄを有している。
【００７７】
なお、駆動電圧Ａ及び駆動電圧Ｂのノコギリ波状の波形は、例えば、正弦波の重ね合わせによって生成される。また、駆動電圧Ａ及び駆動電圧Ｂの周波数（駆動周波数ｆｓ）は、光偏向器１３の最低次の固有振動数（ｆ（１））の半整数倍であることが望ましい。例えば、ｆｓをｆ（１）の１／５．５倍、１／６．５倍、１／７．５倍のいずれかにするのが望ましい。これにより、半整数倍にすることで駆動周波数の高調波成分による振動を抑制できる。このような光走査にとって悪影響をおよぼす振動を不要振動とよぶ。
【００７８】
また、本実施形態では、駆動電圧Ａ，Ｂとしてノコギリ波状の波形の駆動電圧を用いているが、これに限らず、ノコギリ波状の波形の頂点を丸くした波形の駆動電圧や、ノコギリ波状の波形の直線領域を曲線とした波形の駆動電圧など、光偏向器のデバイス特性に応じて波形を変えることも可能である。この場合、シンメトリは、一周期に対する立ち上がり時間の比率、又は一周期に対する立ち下がり時間の比率となる。このとき、立ち上がり時間、立ち下がり時間のどちらを基準にするかは、任意に設定してもよい。
【００７９】
図１０を参照して、光走査装置１０による光走査方式について説明する。
図１０は、光走査装置１０による光走査を説明する図である。
光走査装置１０は、光源装置１２からの光を光偏向器１３によって主走査方向及び副走査方向の２方向に光を偏向し、図１０に示すように被走査面１５上の有効走査領域１７を含む走査可能領域１６を光走査する。上述したように、２方向のうちの１方向である主走査方向（以下「Ｘ軸方向」ともいう。）には正弦波駆動信号によって光偏向器の反射面を共振による高速駆動を用いて光走査し、もう１方向である副走査方向（以下「Ｙ軸方向」ともいう。）にはノコギリ波状駆動信号によって光偏向器の反射面を非共振による低速駆動を用いて光走査する。このような２方向の光走査によりジグザグに光走査する駆動方式はラスタースキャン方式ともよばれる。
【００８０】
前記駆動方式においては、有効走査領域１７では副走査方向（Ｙ軸方向）は一定の速度で光走査できることが望ましい。これは、副走査方向の走査速度が一定でないと（副走査方向の走査速度にムラがあると）、例えば光走査による画像投写を行う際に、投写画像の輝度ムラや揺らぎ等が生じ、投写画像の劣化を招くためである。このような副走査方向の走査速度は、光偏向器１３の反射面１４の第二軸周りの可動速度、すなわち、反射面１４の第二位軸周りの振れ角の時間変化を有効走査領域１７において一定にすることが求められる。
【００８１】
次に、光量調整装置６０の構成及び動作について説明する。
図１１は、光量調整装置６０の要部を示す斜視図である。
光量調整装置６０は、光量調整部材６１、保持部材６２、送りネジ６３、ステッピングモーターからなるネジモーター６４、ホームポジション（以下、ＨＰという）ＨＰセンサー６５などを有している。
【００８２】
光量調整部材６１は、第一光透過領域である第一減光部６１ａと、これよりも光透過率の低い第二光透過領域である第二減光部６１ｂとを具備している。図１１では、第一減光部６１ａを光路上に位置させている状態の光量調整部材６１を示している。
【００８３】
光量調整部材６１を保持している保持部材６２には雌ネジが設けられており、この雌ネジには送りネジ６３が螺合している。また、送りネジ６３は、ネジモーター６４のモーター軸と一体となって回転するように、モーター軸に固定されている。
【００８４】
ネジモーター６４が正転駆動したり、逆転駆動したりすることで、送りネジ６３が光量調整部材６１を保持部材６２とともに昇降させる。これにより、図１１に示すように、第一減光部６１ａを光路上におく位置に光量調整部材６１を移動させたり、図１２に示すように、第二減光部６１ｂを光路上におく位置に光量調整部材６１を移動させたりする。このように、光路上に位置させる減光部（光透過領域）を第一減光部６１ａと第二減光部６１ｂとで切り替えることで、光量調整部材６１を経由した後の光Ｌの光量を変化させることができる。
【００８５】
なお、光量調整装置６０による光量の調整量は比較的大きい。微妙な光量調整については、光源装置１２における光源の発光量の調整によって行われる。
【００８６】
第二減光部６１ｂが光路上に位置決めされる光量調整部材６１の位置は、光量調整部材６１のＨＰになっている。ＨＰに位置している光量調整部材６１は、図１２に示すように、ＨＰセンサー６５の検知部材６５ａを押し上げている。これにより、光量調整部材６１がＨＰに位置していることが検知され、ＨＰセンサー６５の検知信号が制御装置１１へ出力される。
【００８７】
図１３は、制御装置１１によって実施される起動時ルーチン処理のフローを示すフローチャートである。
光走査装置１０に電源が供給され始めると、この起動時ルーチン処理が実行される。起動時ルーチン処理を開始した制御装置１１は、まず、カウント値をゼロにセットした後（Ｓ１）、ＨＰセンサー６５からの検知信号の有無、すなわち、光量調整部材６１がＨＰに位置しているか否かを判定する（Ｓ２）。光量調整部材６１がＨＰに位置する場合（Ｓ２のＹ）、制御装置１１は、後述する光源光量検知処理（Ｓ４）を実施する。一方、光量調整部材６１がＨＰに位置しない場合（Ｓ２のＮ）、制御装置１１は、光量調整部材６１をＨＰに移動させる（Ｓ３）。具体的には、ＨＰセンサー６５から検知信号が出力されるまで、ネジモーター６４を正転駆動する。その後、後述する光源光量検知処理（Ｓ４）を実施する。
【００８８】
光源光量検知処理（Ｓ４）を実施する直前には、光量調整部材６１がＨＰに位置していることから、光路上には光透過率の低い第二減光部６１ｂが存在しており、光源装置１２ではまだ発光していない状態である。よって、その後に、光源装置１２が何らかの不具合で異常発光しても、ユーザーに眩しさを感じさせてしまうことを軽減することができる。
【００８９】
光源光量検知処理（Ｓ４）を開始した制御装置１１は、光偏向器１３に駆動信号を送った後、光源装置１２に光量検知用発光命令である制御信号を送る。この制御信号を受信した光源装置１２は、受光器１８に受光されるタイミングを測って、光源装置１２の光源を瞬間点灯させる。一方、制御装置１１は、受光器１８から送られてくる受光信号に基づいて、光源装置１２の光源光量を特定する。
【００９０】
このような光量検知処理を終えた制御装置１１は、カウント値を１増加させた後（Ｓ５）、特定した光源光量が上限値を上回っているか否かを判定する（Ｓ６）。そして、光源光量が上限値を上回っていない場合（Ｓ６のＮ）には、明るさセンサー等の出力に基づいて周囲環境の明るさを特定した後（Ｓ７）、光量調整処理（Ｓ８）を実施する。その後、一連の処理フローを終了する。
【００９１】
光量調整処理（Ｓ８）では、周囲環境の明るさの検知結果と、光源光量検知処理で特定した光源光量の結果とに基づいて、光源光量を調整する。このとき、光量調整部材６１の第一減光部６１ａを光路上に位置させる必要がある場合には、ネジモーター６４の逆転駆動によって光量調整部材６１をＨＰから移動させる。また、光源の発光量を微調整する必要がある場合には、その微調整を行う。
【００９２】
なお、制御装置１１は、起動後にＨＰセンサー６５からの検知信号が送られてきた後は、電源が切られるまで、ネジモーター６４の累積正転数、及び累積逆転数をカウントする。累積正転数と累積逆転数との加算により、現時点の光量調整部材６１についてどの位置にあるのかを特定する。
【００９３】
上述した処理ステップＳ６において、光源光量が上限値を上回っている場合、制御装置１１は、カウント値について１よりも大きいか否かを判定する（Ｓ９）。１よりも大きくない場合は、起動後の初回の光量検知結果で光源光量が上限値を上回ったことになる。この場合、制御装置１１は、光源装置リセット処理（Ｓ１０）を実施した後、光源光量検知処理（Ｓ４）を再び実施する。光源装置リセット処理（Ｓ１０）では、光源装置１２への電源供給を一旦停止させた後、再び開始する。
【００９４】
光源装置リセット処理（Ｓ１０）の実施後にも光源光量が上限値を超えた場合には、処理ステップＳ９の判定処理でカウント値が１よりも大きくなる（Ｓ９のＹ）。この場合、何らかの異常を引き起こしている可能性が高いので、制御装置１１は、光量異常フラグをセットした後（Ｓ１１）、光源装置１２を停止して（Ｓ１２）、一連の処理フローを終了する。
【００９５】
制御装置１１は、光量異常フラグをセットしているときには、ユーザーにエラーを報知する割り込み処理を最優先にする。これにより、ユーザーに異常が発生していることを報知して、保守点検を促す。
【００９６】
本実施形態では、互いに光透過率の異なる第一減光部６１ａ及び第二減光部６１ｂという２つの光透過領域を備えた光量調整部材６１の例で説明したが、図１４に示すように、互いに光透過率の異なる３つ以上の光透過領域（第一減光部６１ａ、第二減光部６１ｂ、第三減光部６１ｃ）を備えたものであってもよい。
【００９７】
次に、本発明の特徴部分である、光偏向器１３によって偏向された光に生じている非点収差による非点隔差の抑制について説明する。
光偏向器１３は、その製造工程での影響や誤差などにより、光を偏向させる反射面１４が所望形状である平面形状から外れるなどして、偏向した光に非点収差が生じ得る。本実施形態の光偏向器１３を構成するＭＥＭＳデバイスは、上述したように、ＳＯＩ基板をエッチング処理等により成形する。反射面１４の基材となるＳＯＩ基板は、その形成工程や研磨工程の際に生じる内部応力が残留しており、基板裏面側をエッチングして内部応力が開放されると、表面と裏面とで内部応力の差が生じる。その結果、図１５に示すように、ミラー部基体１０２が第一軸に平行な曲率中心軸をもつように湾曲し、ミラー部基体１０２上の反射面１４が凸状に湾曲（主走査方向に沿って接線方向が変化するように湾曲）する。以下、この湾曲を、主走査方向の湾曲という。
【００９８】
このように反射面１４が湾曲していると、本来は平面ミラーとして機能するはずの反射面１４が凸面ミラーとして機能してしまうため、反射面１４で偏向された光の主走査方向における結像位置（焦点位置）は、光軸方向にシフトしてしまう。なお、発生する主走査方向の湾曲の曲率半径はおおよそ５０〜１００ｍｍであり、この場合、目標の焦点位置である被走査面１５上に対し、焦点位置が数ｍｍ程度ずれてしまう。
【００９９】
一方、第一軸に対して直交する第二軸に平行な曲率中心軸をもつ湾曲（副走査方向に沿って接線方向が変化するような湾曲）については、ミラー部基体１０２における当該第一軸方向の両端がトーションバー１１１ａ，１１１ｂによって保持されているため、主走査方向の湾曲よりも湾曲度合い（曲率）は大きくない。したがって、反射面１４で偏向された光の副走査方向における結像位置（焦点位置）が、主走査方向ほど大きくシフトすることはない。
【０１００】
その結果、例えば、主走査方向について被走査面１５上で焦点を結ぶように調整した場合、副走査方向についての焦点位置は、被走査面１５よりも手前側に位置し、非点収差が発生する。そして、主走査方向の焦点位置と副走査方向の焦点位置とのずれ量である非点隔差により、例えば、被走査面１５上における副走査方向のビームスポット長が広がり、ランダムノイズなどの投写画像の品質劣化を招くという問題が生じる。
【０１０１】
そこで、本実施形態は、光源から光偏向器１３へ至る光路上に配置されている光量調整装置６０において、図１１及び図１２に示すように、平板状光透過部材としての光量調整部材６１を、当該光路の光軸方向に対して傾斜して配置している。すなわち、図１１及び図１２において、光量調整部材６１は、その平板面の法線Ｎが当該光路の光軸Ｌ０に対して傾斜するように配置されている。
【０１０２】
図１６は、光量調整部材６１の傾斜方向を示す説明図である。
図１７は、光量調整部材６１の傾斜によって非点隔差を修正する原理を説明するための説明図であり、図１７（ａ）は、主走査方向（ｘ方向）に直交する断面に沿って光量調整部材６１を切断したときの説明図であり、図１７（ｂ）は、副走査方向（ｙ方向）に直交する断面に沿って光量調整部材６１を切断したときの説明図である。
なお、図１６及び図１７におけるｘ、ｙ、ｚの３次元直交座標系は、光量調整部材６１において、光量調整部材６１を透過する光の光軸方向をｚ方向とし、主走査方向に対応する方向をｘ方向とし、副走査方向に対応する方向をｙ方向とするものである。
【０１０３】
本実施形態において、上述したとおり、反射面１４は、主走査方向に対応する方向に沿って湾曲（主走査方向において接線方向が変化するように湾曲）しているが、副走査方向に対応する方向にはほとんど湾曲（副走査方向において接線方向が変化するように湾曲）していない。そのため、反射面１４で偏向された光は、副走査方向における焦点位置が主走査方向における焦点位置よりも手前側に位置し、非点隔差が生じている。この非点隔差を小さくするためには、副走査方向における焦点位置を遠い位置へシフトさせるか、主走査方向における焦点位置を近い位置にシフトさせればよい。
【０１０４】
本実施形態において、光源から光偏向器１３の反射面１４に向かう光は、収束光であるため、図１７（ａ）に示すように、光量調整部材６１を傾斜させると、焦点位置が遠い位置へシフトする。すなわち、光量調整部材６１を主走査方向（ｘ方向）に平行な軸回りで回動させることで光路の光軸Ｌ０の方向に対して傾斜させているため、副走査方向（ｙ方向）における光束間の光路が相対的に変化し、副走査方向（ｙ方向）における焦点位置を遠い位置へシフトさせることができる。
【０１０５】
一方、図１７（ｂ）に示すように、副走査方向（ｙ方向）と光路の光軸Ｌ０の方向（ｚ方向）とに直交する方向（主走査方向：ｘ方向）における光束間の光路は相対的に変化しないので、主走査方向における焦点位置は変化しない。その結果、副走査方向（ｙ方向）と主走査方向（ｘ方向）との焦点位置のずれ量すなわち非点隔差を小さくすることができる。
【０１０６】
そこで、本実施形態では、図１６及び図１７に示すように、光源からの光の光軸Ｌ０とトーションバー１１１ａ，１１１ｂの軸（副走査方向：ｙ方向）とに直交する方向（ｘ方向）の軸の回りで光量調整部材６１を回動させることにより傾斜して配置している。これにより、図１７（ａ）に示すように、副走査方向（ｙ方向）における焦点位置を遠い位置へシフトさせることができ、主走査方向（ｘ方向）における焦点位置とのずれ量（非点隔差）ΔＦを小さくすることができる。
【０１０７】
ここで、光量調整部材６１は、ガラス基板の表面に誘電体膜等の光学薄膜を蒸着して形成されたものであり、通常、光軸Ｌ０に対する光量調整部材６１の平板面の傾斜角αに応じて膜設計がなされる。非点隔差ΔＦは、平板状光透過部材である光量調整部材６１の場合、光量調整部材６１の板厚ｔ、傾斜角α、主走査方向における光の入射収束角θｘ、副走査方向における光の入射収束角θｙから求めることができる。したがって、入射収束角θｘ，θｙと光量調整部材６１の板厚ｔが規定されている場合、まず、主走査方向における焦点位置が目標位置（被走査面１５上）となるように調整したうえで、傾斜角αを調整することにより、反射面１４の湾曲による非点隔差をキャンセルすることができる。
【０１０８】
また、光量調整部材６１の板厚ｔが規定されていない段階であれば、例えば、主走査方向における焦点位置が目標位置（被走査面１５上）となるように調整したうえで、傾斜角αを調整し、このときの副走査方向における焦点位置が目標位置（被走査面１５上）となるように光量調整部材６１の板厚ｔを選定するようにしても、反射面１４の湾曲による非点隔差をキャンセルすることができる。
【０１０９】
なお、反射面１４の湾曲による非点隔差、すなわち、主走査方向と副走査方向との焦点位置のずれは、例えば、いずれか一方向に曲率を有するシリンドリカルレンズを用いる等によって補正することが可能である。しかしながら、後述するように、波長の異なる複数の光源を用いる場合には、それぞれの光源に対して各々曲率が異なるレンズを設ける必要がある。本実施形態は、単一の光量調整部材６１を傾斜させることで反射面１４の湾曲による非点隔差を小さくできるので、より低コストで非点隔差を小さくできる。
【０１１０】
＜変形例＞
次に、上述した第１実施形態に係る光走査装置の一変形例について説明する。
上述した第１実施形態では、光源装置１２と光偏向器１３との間に配置される光量調整装置６０に設置された光量調整部材６１を、光路の光軸方向に対して傾斜して配置することで、非点隔差を小さくしたものである。これに対し、本変形例では、光源装置１２内に設置されている光路合成部材を光路の光軸方向に対して傾斜して配置することで、非点隔差を小さくする。
【０１１１】
図１８は、本変形例における光源装置１２の概略構成を示す説明図である。
以下、図１８に示すα、β、γの３次元直交座標系を適宜用いて説明する。
光源装置１２は、図１８に示すように、単数あるいは複数の発光点を有する複数（例えば３つ）の発光素子であるレーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｂ，５０１Ｇ、複数（例えば３つ）のカップリングレンズ５０７Ｒ，５０７Ｇ，５０７Ｂ、複数（例えば３つ）のアパーチャ部材５０８Ｒ，５０８Ｇ，５０８Ｂ、２つの光路合成素子５１２，５１３、集光レンズ１１６、光検出器５１５などを備えている。
【０１１２】
各レーザ光源は、例えばＬＤ（レーザダイオード）であり、互いに異なる波長λＲ，λＧ，λＢの光束を出射する。例えばλＲ＝６４０ｎｍ、λＧ＝５３０ｎｍ、λＢ＝４４５ｎｍである。ここでは、レーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇの出射方向は＋β方向であり、レーザ光源５０１Ｂの出射方向は＋α方向である。各レーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｂ，５０１Ｇは、制御装置１１の光源装置ドライバ２５を介して駆動される。
【０１１３】
各レーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，５０１Ｂから出射された波長λＲ，λＧ，λＢの光束は、対応するカップリングレンズ５０７Ｒ，５０７Ｇ，５０７Ｂにより後続の光学系にカップリングされる。カップリングされた光束は、対応するアパーチャ部材５０８Ｒ，５０８Ｇ，５０８Ｂにより成形される。各アパーチャ部材５０８Ｒ，５０８Ｇ，５０８Ｂの開口形状は、光束の発散角等に応じて円形、楕円形、長方形、正方形等、様々な形状とすることができる。
【０１１４】
アパーチャ部材５０８Ｂ，５０８Ｇをそれぞれ介した波長λＢ，λＧの光束は、光路合成素子５１２（例えばダイクロイックミラー）で光路合成される。詳述すると、アパーチャ部材５０８Ｂを介した波長λＢの光束は、光路合成素子５１２の中心を＋α方向に透過し、アパーチャ部材５０８Ｇを介した波長λＧの光束は光路合成素子５１２の中心で＋α方向に反射される。
【０１１５】
そして、波長λＢ，λＧの光束が合成された合成光束λＢＧと、アパーチャ部材５０８Ｒを介した波長λＲの光束とが、光路合成素子５１３（例えばダイクロイックミラー）で光路合成される。詳述すると、合成光束λＢＧは、一部が光路合成素子５１３の中心を＋α方向に透過し、残部が光路合成素子５１３の中心で＋β方向に反射される。アパーチャ部材５０８Ｒを介した波長λＲの光束は、一部が光路合成素子５１３の中心で＋α方向に反射され、残部が光路合成素子５１３の中心を＋β方向に透過する。すなわち、光路合成素子５１３から、合成光束λＢＧの一部と光束λＲの一部が合成された合成光束λＲＧＢ１が＋α方向に出射され、合成光束λＢＧの残部と光束λＲの残部が合成された合成光束λＲＧＢ２が＋β方向に出射される。 
【０１１６】
合成光束λＲＧＢ１は、光偏向器１３に照射され、被走査面１５上での画像形成に用いられる。なお、光路合成素子５１３と光偏向器１３との間に、例えば光偏向器１３側に凹面が向くメニスカスレンズを設置しても良い。また、本変形例では、２つの光路合成素子５１２，５１３は、別体とされているが、一体的に設けられても良い。
【０１１７】
合成光束λＲＧＢ２は、集光レンズ５１４を介して光検出器５１５に照射され、画像の色や明るさを調整するための入射光量のモニタに利用される。詳述すると、光検出器５１５は、上述の受光器１８に代えて、又は、上述の受光器１８とともに用いられるものであり、光検出器５１５としては、例えばフォトダイオード（ＰＤ）やフォトトランジスタを用いることができる。光検出器５１５は、受光した合成光束λＲＧＢ２の光量に応じた信号を、制御装置１１のＦＰＧＡ２３に出力する。ＦＰＧＡ２３は、光検出器５１５の出力信号に基づいて、合成光束λＲＧＢ１の光量が所望の光量になり、かつ、合成光束λＲＧＢ１のＲ、Ｇ、Ｂの光量の比が表示すべき色に応じた比となるように、各レーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，５０１Ｂの発光パワー（光出力）を設定し、その設定値を光源装置ドライバ２５に送る。光源装置ドライバ２５は、レーザ光源毎に設定された発光パワーの設定値に応じた駆動電流をレーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，５０１Ｂに印加する。
【０１１８】
各レーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，５０１Ｂから光路合成素子５１３までの光路長は互いに異なる。具体的には、レーザ光源５０１Ｂから光路合成素子５１３までの光路長が最長であり、レーザ光源５０１Ｒから光路合成素子５１３までの光路長が最短である。これは、画像で白を構成する際、ＲＧＢの合成比率が約２．５：１：０．５であり、赤の光量が多く必要であり、逆に青の光量は小さくてよいことに由来しており、レーザ光源による光利用効率の低下を抑制するためである。
【０１１９】
本変形例においては、平板状光透過部材である光路合成素子５１３を、光源から光偏向器１３へ至る光路の光軸方向に対して傾斜して配置している。すなわち、図１８において、光量調整部材６１は、その平板面の法線Ｎが当該光路の光軸Ｌ０に対して傾斜するように配置されている。このような光路合成素子５１３を用いる場合でも、副走査方向又は主走査方向の焦点位置をシフトさせ、偏向器１３によって偏向された光に生じている非点収差による非点隔差ΔＦを小さくすることができる。
【０１２０】
＜第２実施形態＞
次に、図１９及び図２０を参照して、本実施形態の光走査装置１０を適用した画像投写装置について詳細に説明する。
画像投写装置は、光走査により画像を投写する装置であり、例えばヘッドアップディスプレイ装置である。
図１９は、画像投写装置の一例であるヘッドアップディスプレイ装置５００を搭載した自動車４００の実施形態に係る概略図である。
図２０は、ヘッドアップディスプレイ装置５００の一例の概略構成図である。
【０１２１】
図１９に示すように、ヘッドアップディスプレイ装置５００は、例えば、自動車４００のウインドシールド（フロントガラス４０１等）の付近に設置される。ヘッドアップディスプレイ装置５００から発せられる投写光Ｌがフロントガラス４０１で反射され、ユーザーである観察者（運転者４０２）に向かう。これにより、運転者４０２は、ヘッドアップディスプレイ装置５００によって投写された画像等を虚像として視認することができる。なお、ウインドシールドの内壁面にコンバイナを設置し、コンバイナによって反射する投写光によってユーザーに虚像を視認させる構成にしてもよい。
【０１２２】
図２０に示すように、ヘッドアップディスプレイ装置５００は、赤色、緑色、青色のレーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，５０１Ｂからレーザ光が出射される。出射されたレーザ光は、各レーザ光源に対して設けられるコリメータレンズ５０２，５０３，５０４と、２つのダイクロイックミラー５０５，５０６と、光量調整装置５０７と、から構成される入射光学系を経た後、反射面１４を有する光偏向器１３にて偏向される。
【０１２３】
そして、偏向されたレーザ光は、自由曲面ミラー５０９と、中間スクリーン５１０と、投写ミラー５１１から構成される投写光学系とを経て、投写される。中間スクリーン５１０には受光器１８が設けられており、受光器１８からの受光信号を用いて光走査装置１０の調整が行われる。
【０１２４】
なお、前記ヘッドアップディスプレイ装置５００では、レーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，５０１Ｂ、コリメータレンズ５０２，５０３，５０４、ダイクロイックミラー５０５，５０６は、光源ユニット５３０として光学ハウジングによってユニット化されている。
【０１２５】
前記ヘッドアップディスプレイ装置５００は、中間スクリーン５１０に表示される中間像を自動車４００のフロントガラス４０１に投写することで、その中間像を運転者４０２に虚像として視認させる。
【０１２６】
レーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，５０１Ｂから発せられる各色レーザ光は、それぞれ、コリメータレンズ５０２，５０３，５０４で略平行光とされ、２つのダイクロイックミラー５０５，５０６により合成される。合成されたレーザ光は、光量調整装置６０で光量が調整された後、反射面１４を有する光偏向器１３によって二次元走査される。光偏向器１３で二次元走査された投写光Ｌは、自由曲面ミラー５０９で反射されて歪みを補正された後、中間スクリーン５１０に集光され、中間像を表示する。中間スクリーン５１０は、マイクロレンズが二次元配置されたマイクロレンズアレイで構成されており、中間スクリーン５１０に入射してくる投写光Ｌをマイクロレンズ単位で拡大する。
【０１２７】
光偏向器１３は、反射面１４を二軸方向に往復可動させ、反射面１４に入射する投写光Ｌを二次元走査する。この光偏向器１３の駆動制御は、レーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，５０１Ｂの発光タイミングに同期して行われる。
【０１２８】
以上、画像投写装置の一例としてのヘッドアップディスプレイ装置５００の説明をしたが、画像投写装置は、反射面１４を有した光偏向器１３により光走査を行うことで画像を投写する装置であればよい。
【０１２９】
例えば、表示スクリーン上に画像を投写するプロジェクタや、観測者の頭部等に装着される装着部材に搭載され、装着部材が有する反射透過スクリーンに投写、または眼球をスクリーンとして画像を投写するヘッドマウントディスプレイ装置等にも、同様に適用することができる。
【０１３０】
また、画像投写装置は、車両や装着部材だけでなく、例えば、航空機、船舶、移動式ロボット等の移動体、あるいは、その場から移動せずにマニピュレータ等の駆動対象を操作する作業ロボットなどの非移動体に搭載されてもよい。
【０１３１】
＜第３実施形態＞
次に、図２１及び図２２を参照して、本実施形態の光走査装置１０を適用した光書込装置について詳細に説明する。
図２０は、光書込装置６００を組み込んだ画像形成装置の一例である。
図２１は、光書込装置の一例を示す概略構成図である。
【０１３２】
図２０に示すように、前記光書込装置６００は、レーザ光によるプリンタ機能を有するレーザプリンタ６５０等に代表される画像形成装置の構成部材として使用される。画像形成装置において光書込装置６００は、１本または複数本のレーザビームで被走査面１５である感光体ドラムを光走査することにより、感光体ドラムに光書込を行う。
【０１３３】
図２１に示すように、光書込装置６００において、レーザ素子などの光源装置１２からのレーザ光は、コリメータレンズなどの結像光学系６０１を経た後、反射面１４を有する光偏向器１３により一軸方向または二軸方向に偏向される。
【０１３４】
そして、光偏向器１３で偏向されたレーザ光は、その後、第一レンズ６０２ａと第二レンズ６０２ｂ、反射ミラー部６０２ｃからなる走査光学系６０２を経て、被走査面１５（例えば感光体ドラムや感光紙）に照射し、光書込みを行う。走査光学系６０２は、被走査面１５にスポット状に光ビームを結像する。このとき、受光器１８は、光偏向器の被走査面でもある走査光学系６０２に設けられる。
【０１３５】
このように前記光書込装置６００は、レーザ光によるプリンタ機能を有する画像形成装置の構成部材として使用することができる。
【０１３６】
また、レーザ光をサーマルメディアに偏向して光走査し、加熱することで印字するレーザラベル装置等の画像形成装置の構成部材として使用することができる。
【０１３７】
前記光書込装置に適用される反射面１４を有した光偏向器１３は、ポリゴンミラー等を用いた回転多面鏡に比べ駆動のための消費電力が小さいため、光書込装置の省電力化に有利である。
【０１３８】
また、光偏向器１３の振動時における風切り音は回転多面鏡に比べ小さいため、光書込装置の静粛性の改善に有利である。光書込装置は回転多面鏡に比べ設置スペースが圧倒的に少なくて済み、また光偏向器１３の発熱量もわずかであるため、小型化が容易であり、よって画像形成装置の小型化に有利である
【０１３９】
＜第４実施形態＞
次に、図２３及び図２４を参照して、本実施形態の光走査装置１０を適用した物体認識装置について詳細に説明する。
物体認識装置は、対象方向の物体を認識する装置であり、例えばレーザレーダ装置である。
図２３は、物体認識装置の一例であるレーザレーダ装置を搭載した自動車の概略図である。
図２４は、レーザレーダ装置の一例を示す概略構成図である。
【０１４０】
図２３に示すように、レーザレーダ装置７００は、例えば自動車７０１に搭載され、対象方向を光走査して、対象方向に存在する被対象物７０２からの反射光を受光することで、被対象物７０２を認識する。
【０１４１】
図２４に示すように、光源装置１２から出射されたレーザ光は、発散光を略平行光とする光学系であるコリメートレンズ７０３と、平面ミラー７０４とから構成される入射光学系を経て、反射面１４を有する光偏向器１３で一軸もしくは二軸方向に走査される。そして、投光光学系である投光レンズ７０５等を経て自動車前方の被対象物７０２に照射される。被走査面でもある投光レンズ７０５には、受光器１８が設けられている。
【０１４２】
被対象物７０２で反射された反射光は、光検出器７０９により光検出される。詳しくは、反射光は受光光学系である集光レンズ７０６等を経て撮像素子７０７により受光され、撮像素子７０７は検出信号を信号処理回路７０８に出力する。信号処理回路７０８は、入力された検出信号に２値化やノイズ処理等の所定の処理を行い、結果を測距回路７１０に出力する。
【０１４３】
測距回路７１０は、光源装置１２がレーザ光を発光したタイミングと、光検出器７０９でレーザ光を受光したタイミングとの時間差、または受光した撮像素子７０７の画素ごとの位相差によって、被対象物７０２の有無を認識し、さらに被対象物７０２との距離情報を算出する。
【０１４４】
反射面１４を有する光偏向器１３は多面鏡に比べて破損しづらく、小型であるため、耐久性の高い小型のレーダ装置を提供することができる。
【０１４５】
このようなレーダレーダ装置は、例えば車両、航空機、船舶、ロボット等に取り付けられ、所定範囲を光走査して障害物の有無や障害物までの距離を認識することができる。
【０１４６】
前記物体認識装置では、一例としてのレーザレーダ装置７００の説明をしたが、物体認識装置は、反射面１４を有した光偏向器１３を制御装置１１で制御することにより光走査を行い、光検出器により反射光を受光することで被対象物７０２を認識する装置であればよく、上述した実施形態に限定されるものではない。
【０１４７】
例えば、手や顔を光走査して得た距離情報から形状等の物体情報を算出し、記録と参照することで対象物を認識する生体認証や、対象範囲への光走査により侵入物を認識するセキュリティセンサ、光走査により得た距離情報から形状等の物体情報を算出して認識し、３次元データとして出力する３次元スキャナの構成部材などにも同様に適用することができる。
【０１４８】
以上、本発明の各種実施形態について説明したが、上述した実施形態は本発明の一適用例を示したものである。本発明は、上述した実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で様々な変形や変更を加えて具体化することができる。
【０１４９】
以上に説明したものは一例であり、次の態様毎に特有の効果を奏する。
［第１態様］
第１態様は、光源（例えばレーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，５０１Ｂ）からの光を偏向して被走査領域（例えば被走査面１５）を光走査する光走査装置１０であって、前記光源からの光を偏向する光偏向手段（例えば光偏向器１３）と、前記光源から前記光偏向手段へ至る光路上に配置される平板状光透過部材（例えば光量調整部材６１）とを有し、前記平板状光透過部材は、前記光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差による非点隔差ΔＦが小さくなるように、前記光路の光軸Ｌ０方向に対して傾斜して配置されていることを特徴とする。
光偏向手段においては、その製造工程での影響（応力等）や誤差などにより、光を偏向させる面が所望の形状から外れるなどして、偏向した光に非点収差が生じ得る。本態様は、光源から光偏向手段へ至る光路上に配置される平板状光透過部材を、光路の光軸方向に対して傾斜して配置することで、光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差による非点隔差を小さくするものである。光路の光軸方向に対して直交する回動軸回りに平板状光透過部材を回動させることにより光路の光軸方向に対して平板状光透過部材を傾斜させたとき、当該回動軸の方向と光軸方向との両方に直交する方向（補正方向）における光束間の光路が相対的に変化し、当該補正方向における焦点位置を変化させることができる。一方、回動軸に平行な方向（非補正方向）における光束間の光路は相対的に変化しないので、当該非補正方向における焦点位置は変化しない。その結果、補正方向と非補正方向とで焦点位置が異なることにより生じる非点収差による非点隔差（これらの焦点位置間のずれ量）を小さくすることができる。その結果、光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差を低減することができる。
【０１５０】
［第２態様］
第２態様は、第１態様において、前記平板状光透過部材は、前記光源からの光の透過光量を調整する光量調整部材６１であることを特徴とする。
これによれば、既存の光量調整部材を利用して、光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差を低減することができる。
【０１５１】
［第３態様］
第３態様は、前記第１態様において、前記平板状光透過部材は、光路合成素子（例えばダイクロイックミラー）であることを特徴とする。
これによれば、既存の光路合成素子を利用して、光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差を低減することができる。
【０１５２】
［第４態様］
第４態様は、第１乃至第３態様において、前記光偏向手段は、トーションバー１１１ａ，１１１ｂにより軸支された反射ミラー（例えばミラー部１０１）を該トーションバーの軸回りで回動させることにより光を偏向するものであることを特徴とする。
このような構成の光偏向手段の場合、反射ミラーにおいて、トーションバーの軸の方向に対して直交する第一方向の湾曲（当該第一方向に沿って接線方向が変化するような湾曲）が発生しても、トーションバーの軸方向である第二方向の湾曲（当該第二方向に沿って接線方向が変化するような湾曲）は、当該第二方向における反射ミラーの両端がトーションバーによって保持されているため、発生しにくい。そのため、第一方向と第二方向との湾曲度合いに違いが生じ、非点収差が発生しやすい。本態様によれば、このような非点収差を低減することができる。
【０１５３】
［第５態様］
第５態様は、第４態様において、前記平板状光透過部材は、前記光源からの光の光軸Ｌ０と前記トーションバーの軸とに直交する軸の回りで該平板状光透過部材を回動させることにより、前記光軸に対して傾斜して配置されていることを特徴とする。
これによれば、トーションバーにより軸支された反射ミラーを該トーションバーの軸回りで回動させることにより光を偏向する光偏向手段で発生する非点収差を低減することができる。
【０１５４】
［第６態様］
第６態様は、第１乃至第５態様のいずれかにおいて、前記平板状光透過部材は、前記光源からの光の透過光量が互いに異なる複数の光透過領域（例えば減光部６１ａ，６１ｂ，６１ｃ）を有し、前記平板状光透過部材の平板面に平行な方向へ該平板状光透過部材を移動させることにより、前記光路上に介在する光透過領域を切り替える透過光量切替手段（例えば送りネジ６３及びネジモーター６４等）を有することを特徴とする。
これによれば、このようにして光路上に存在する光透過領域が切り替えられる平板状光透過部材を利用して光偏向手段で発生する非点収差を低減する場合でも、当該平板状光透過部材の光透過領域の切り替えを妨げることはない。
【０１５５】
［第７態様］
第７態様は、画像情報に基づいて変調された光により被走査領域を走査して画像を投写する画像投写装置（例えばヘッドアップディスプレイ装置５００）であって、第１乃至第５態様のいずれかに係る光走査装置１０と、前記光走査装置から出射された光を前記被走査領域に向けて投写する投写光学系（例えば投写ミラー５１１）とを有することを特徴とする。
これによれば、非点収差が低減された投写画像を投写することができる。
【０１５６】
［第８態様］
第８態様は、移動体（例えば自動車４００，７０１）であって、第１乃至第６態様のいずれかに係る光走査装置１０、又は、第７態様に係る画像投写装置を備えることを特徴とする。
これによれば、非点収差が低減された光走査が可能な移動体を実現することができる。
【０１５７】
［第９態様］
第９態様は、光源からの光を偏向して被走査領域を光走査する光走査装置の製造方法であって、前記光源からの光が偏向する光偏向手段へと至る光路上に配置される平板状光透過部材を、前記光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差による非点隔差が小さくなるように、前記光路の光軸方向に対して傾斜して配置することを特徴とする。
これによれば、光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差を低減できる光走査装置を製造することができる。
【０１５８】
［第１０態様］
第１０態様は、第９態様において、前記非点収差による非点隔差が無くなるように、前記光路の光軸方向に対する前記平板状光透過部材の傾斜角αを設定することを特徴とする。
これによれば、光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差をより低減できる光走査装置を製造することができる。
【０１５９】
［第１１態様］
第１１態様は、第９態様において、前記非点収差による非点隔差が無くなるように、前記平板状光透過部材の厚さを設定することを特徴とする。
これによれば、光偏向手段によって偏向された光に生じている非点収差をより低減できる光走査装置を製造することができる。
【符号の説明】
【０１６０】
１０      ：光走査装置
１１      ：制御装置
１２      ：光源装置
１３      ：光偏向器
１４      ：反射面
１５      ：被走査面
１８      ：受光器
３０      ：制御部
６０      ：光量調整装置
６１      ：光量調整部材
６１ａ，６１ｂ，６１ｃ：減光部
６２      ：保持部材
６３      ：送りネジ
６４      ：ネジモーター
６５      ：ＨＰセンサー
１０１    ：ミラー部
１０２    ：ミラー部基体
１１１ａ，１１１ｂ：トーションバー
４００    ：自動車
５００    ：ヘッドアップディスプレイ装置
５０１Ｂ  ：レーザ光源
５０１Ｇ  ：レーザ光源
５０１Ｒ  ：レーザ光源
５０９    ：自由曲面ミラー
５１０    ：中間スクリーン
５１１    ：投写ミラー
５１２，５１３：光路合成素子
５１５    ：光検出器
５３０    ：光源ユニット
６００    ：光書込装置
６５０    ：レーザプリンタ
７００    ：レーザレーダ装置
７０１    ：自動車
７０２    ：被対象物
Ｌ０      ：光軸
Ｎ        ：法線
ｔ        ：板厚
ΔＦ      ：非点隔差
α        ：傾斜角
θｘ      ：入射収束角
θｙ      ：入射収束角
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１６１】
【特許文献１】特開２００４−１１００３０号公報
【図１】
2019164213.tif 000003
【図２】
2019164213.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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