(57)【要約】【課題】収納容器の搬送中に、当該収納容器に収納された被収納物を検出することが可能な技術を実現する。【解決手段】搬送車は、搬送設備に備えられて、被収納物を収納する収納容器を搬送設備内に設けられた搬送対象場所に搬送する。収納容器は、当該収納容器の外部と内部との間で光を透過可能な窓部を有している。搬送車は、収納容器を保持する容器保持部と、容器保持部に保持された状態の収納容器を覆うカバー部と、収納容器を保持した状態の容器保持部の姿勢を変更する姿勢変更部と、カバー部に設けられて、窓部を通して収納容器の内部の被収納物を検出する検出部と、を備えている。姿勢変更部は、収納容器の搬送中に検出部と窓部とが対向していない場合には、検出部と窓部とが対向する対向状態となるように、容器保持部の姿勢を変更する。【選択図】図６
2019094201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送設備に備えられて、被収納物を収納する収納容器を前記搬送設備内に設けられた搬送対象場所に搬送する搬送車であって、
前記収納容器は、当該収納容器の外部と内部との間で光を透過可能な窓部を有し、
前記収納容器を保持する容器保持部と、
前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器を覆うカバー部と、
前記収納容器を保持した状態の前記容器保持部の姿勢を変更する姿勢変更部と、
前記カバー部に設けられて、前記窓部を通して前記収納容器の内部の前記被収納物を検出する検出部と、を備え、
前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中に前記検出部と前記窓部とが対向していない場合には、前記検出部と前記窓部とが対向する対向状態となるように、前記容器保持部の姿勢を変更する搬送車。
【請求項２】
前記姿勢変更部は、旋回軸回りに前記容器保持部を旋回させるように構成され、
前記窓部は、前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器における、前記旋回軸を基準とした周方向の一部の領域に設けられ、
前記検出部の前記旋回軸に沿う方向の位置が、前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器の前記窓部の位置に対応するように、前記検出部が配置され、
前記対向状態は、前記検出部と前記窓部とが、前記旋回軸を基準とした径方向に対向する状態である請求項１に記載の搬送車。
【請求項３】
前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中は、前記検出部と前記窓部とが前記対向状態となるように前記容器保持部の姿勢を維持し、
前記搬送対象場所との間で前記収納容器を移載する際は、前記収納容器の姿勢が前記搬送対象場所に対応した姿勢となるように前記容器保持部の姿勢を制御する請求項１又は２に記載の搬送車。
【請求項４】
搬送元から前記搬送対象場所まで前記収納容器を搬送する場合において、前記搬送元に対応した前記収納容器の姿勢と前記搬送対象場所に対応した前記収納容器の姿勢とが同じである場合であって、その収納容器の姿勢が前記対向状態とならない姿勢である場合には、前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中に一時的に前記対向状態となるように、前記容器保持部の姿勢を変更する請求項１又は２に記載の搬送車。
【請求項５】
前記容器保持部及び前記カバー部は、前記収納容器としての第１種収納容器に加えて、前記第１種収納容器とは形状が異なる第２種収納容器にも対応しており、
前記第２種収納容器には、前記被収納物としての第１種被収納物とは異なる第２種被収納物が収納され、
前記検出部は、前記第１種収納容器に対応し、前記第２種収納容器に対応していない請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送車。
【請求項６】
前記検出部により前記第１種収納容器の内部に前記第１種被収納物が有ることを検出した場合には、前記収納容器を一時的に保管するための一時保管場所が前記搬送対象場所とされることを規制する請求項５に記載の搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送設備に備えられて、被収納物を収納する収納容器を前記搬送設備内に設けられた搬送対象場所に搬送する搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような搬送車が備えられる搬送設備として、例えば、半導体基板を製造するための半導体製造設備が挙げられる。通常、半導体製造設備には、半導体基板に対して各種の処理を行うための処理装置が複数備えられている。搬送車は、このような処理装置を搬送対象場所の１つとして、当該処理装置に、被収納物（例えばレチクル）を収納するための収納容器（例えばレチクルポッド）を搬送するように構成される。
【０００３】
例えば、下記の特許文献１（特開平１０−１５４６４６号公報）には、半導体製造設備に用いられる処理装置（露光装置）の内部構造が開示されている。特許文献１の技術では、処理装置の内部において、レチクル（Ｒ）を用いた露光処理が行われている。そして、処理装置の内部において、収納分離ユニット（１１）に配設されたレチクル収納判別センサ（１５）によって、収納容器（３０）内におけるレチクル（Ｒ）の有無を検出している。特許文献１の技術では、レクチル（Ｒ）の有無の検出により、既にレチクル（Ｒ）が収納されている収納容器（３０）に対して他のレチクル（Ｒ）が更に収納されることを回避し、収納容器（３０）内においてレチクル（Ｒ）同士が衝突することを防止している。これにより、特許文献１の技術では、レチクル（Ｒ）同士の衝突に起因した、収納容器（３０）内におけるレチクル（Ｒ）の破損の抑制等が図られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１５４６４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のように、特許文献１の技術では、収納容器内における被収納物の有無の検出が、処理装置の内部において行われている。ところで、そのような処理装置までの搬送過程においても、収納容器内における被収納物を検出することができれば、搬送先の選択や搬送速度の設定等に有効に利用することができる。しかしながら、特許文献１には、処理装置の外部、例えば搬送車による搬送過程において、収納容器の内部の被収納物を検出する技術については開示されていない。
【０００６】
そこで、収納容器の搬送中に、当該収納容器に収納された被収納物を検出することが可能な技術が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記に鑑みた、搬送設備に備えられて、被収納物を収納する収納容器を前記搬送設備内に設けられた搬送対象場所に搬送する搬送車の特徴構成は、
前記収納容器は、当該収納容器の外部と内部との間で光を透過可能な窓部を有し、
前記収納容器を保持する容器保持部と、
前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器を覆うカバー部と、
前記収納容器を保持した状態の前記容器保持部の姿勢を変更する姿勢変更部と、
前記カバー部に設けられて、前記窓部を通して前記収納容器の内部の前記被収納物を検出する検出部と、を備え、
前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中に前記検出部と前記窓部とが対向していない場合には、前記検出部と前記窓部とが対向する対向状態となるように、前記容器保持部の姿勢を変更する点にある。
【０００８】
本構成によれば、収納容器が容器保持部に保持された状態で搬送されている途中に、カバー部に備えられた検出部によって、収納容器の窓部を通して当該収納容器の内部の被収納物を検出することができる。また、このような被収納物の検出に際して、検出部と収納容器の窓部とが対向していない場合には、姿勢変更部によって容器保持部の姿勢を変更し、検出部と収納容器の窓部とを対向状態とすることができる。従って、搬送中の収納容器の向きに関わらず、収納容器の内部の被収納物を検出することができる。
【０００９】
本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】搬送設備のレイアウトの一例を示す平面図
【図２】収納容器が移載される様子を示す説明図
【図３】搬送車の側面図
【図４】搬送設備の制御ブロック図
【図５】収納容器の窓部と検出部との配置関係を示す平面模式図
【図６】搬送車の動作処理を示すフローチャート
【図７】確認処理を示すフローチャート
【図８】第２実施形態に係る搬送先姿勢変更処理の実行時期の判定処理を示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１１】
１．第１実施形態
第１実施形態に係る搬送車について図面を参照して説明する。図１及び２に示すように、搬送車１は、搬送設備１００に備えられて、被収納物７を収納する収納容器８を搬送設備１００内に設けられた搬送対象場所Ｔに搬送する。
【００１２】
本実施形態では、搬送車１は、収納容器８としての第１種収納容器８１に加えて、この第１種収納容器８１とは形状が異なる第２種収納容器８２を搬送する。そして、第２種収納容器８２には、被収納物７としての第１種被収納物７１とは異なる第２種被収納物７２が収納される。このように、搬送車１は、第１種被収納物７１を収納するための第１種収納容器８１と、第２種被収納物７２を収納するための第２種収納容器８２と、を搬送する。搬送設備１００は、例えば、半導体基板を製造するための半導体製造設備に適用することができる。この場合、搬送車１は、半導体製造設備において各種物品を搬送するために用いられる。以下、搬送車１および搬送設備１００が、半導体製造設備に適用される場合を例に説明する。
【００１３】
１−１．搬送設備及び搬送車の機械的構成
図１に示すように、搬送設備１００には、露光処理やエッチング処理などの各種の処理を行うための処理装置９１が複数設けられている。搬送設備１００では、半導体基板の材料とされるウエハや、半導体基板の製造過程においてウエハの露光処理に用いられるレチクルなどが搬送される。例えば、レチクルは、レチクルポッドと呼ばれる専用の容器に収納された状態で搬送される。また、ウエハは、いわゆるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれる専用の容器に収納された状態で搬送される。本実施形態では、レチクルが「第１種被収納物」に相当し、レチクルを収納するためのレチクルポッドが「収納容器としての第１種収納容器」に相当する。また、ウエハが「第２種被収納物」に相当し、ＦＯＵＰが「第２種収納容器」に相当する。なお、搬送車１は、状況に応じて、第１種被収納物７１が収納された第１種収納容器８１を搬送することもあれば、第１種被収納物７１が収納されていない空の第１種収納容器８１を搬送することがある。同様に、搬送車１は、状況に応じて、第２種被収納物７２が収納された第２種収納容器８２を搬送することもあれば、第２種被収納物７２が収納されていない空の第２種収納容器８２を搬送することがある。
【００１４】
図１に示すように、搬送設備１００には、第１種収納容器８１（第１種被収納物７１）又は第２種収納容器８２（第２種被収納物７２）を保管するための保管庫９２と、これらを一時的に保管するための一時保管場所９３と、が設けられている。保管庫９２には、例えば、使用前または使用後の第１種被収納物７１が収納された第１種収納容器８１や、製造途中の第２種被収納物７２が収納された第２種収納容器８２が保管される。また、図１に示すように、一時保管場所９３は、例えば、処理装置９１の近傍に設けられる。例えば、一時保管場所９３には、他の第２種被収納物７２が処理装置９１によって処理されている間、次に処理されるのを待つ第２種被収納物７２が、第２種収納容器８２に収納された状態で一時的に保管される。または、第２種被収納物７２の処理が終えるのを待つ空の第２種収納容器８２が一時的に保管される。更には、第１種被収納物７１の処理が終えるのを待つ空の第１種収納容器８１が一時的に保管される場合もある。本実施形態では、処理装置９１、保管庫９２、及び一時保管場所９３のいずれかが、「搬送元」となり、当該搬送元以外のいずれかが「搬送先」としての搬送対象場所Ｔとなる。すなわち、搬送車１は、第１種収納容器８１（第１種被収納物７１）又は第２種収納容器８２（第２種被収納物７２）を、搬送元Ｆとなる処理装置９１、保管庫９２、及び一時保管場所９３のいずれかから、搬送対象場所Ｔとなる別の処理装置９１、保管庫９２、及び一時保管場所９３のいずれかに搬送する。
【００１５】
搬送車１は、搬送元Ｆとの間で第１種収納容器８１又は第２種収納容器８２の移載（受け取り）を行い、搬送対象場所Ｔとの間で第１種収納容器８１又は第２種収納容器８２の移載（引き渡し）を行う。ここで、本実施形態において「移載」とは、搬送車１と搬送元Ｆ又は搬送対象場所Ｔとの間で、第１種収納容器８１又は第２種収納容器８２の授受を行うことをいうものとする。また、本実施形態において「搬送」とは、搬送元Ｆに対応する位置から搬送対象場所Ｔに対応する位置まで第１種収納容器８１又は第２種収納容器８２を移動させることをいうものとする。例えば、搬送車１は、搬送元Ｆに対応する位置において第１種収納容器８１又は第２種収納容器８２を移載した後（受け取った後）、搬送対象場所Ｔに対応する位置に向けて搬送を開始する。そして、搬送車１は、搬送対象場所Ｔに対応する位置に到達することで搬送を終了すると共に、第１種収納容器８１又は第２種収納容器８２を移載する（引き渡す）。
【００１６】
図１〜３に示すように、搬送車１は、処理装置９１、保管庫９２及び一時保管場所９３等の複数の搬送対象場所Ｔ（又は搬送元Ｆ）を経由する搬送経路９９に沿って走行するように構成されている。本実施形態では、搬送経路９９は、設備の天井に吊り下げられた走行レールＲａにより構成され、搬送車１は、天井搬送車として構成されている。
【００１７】
搬送元Ｆまたは搬送対象場所Ｔとしての処理装置９１、保管庫９２及び一時保管場所９３のそれぞれは、第１種収納容器８１又は第２種収納容器８２を載置するための載置台Ｓｔ（ステーション）を有している。ここでは、各載置台Ｓｔは、搬送経路９９（走行レールＲａ）と平面視で重なるように配置されている。例えば、処理装置９１においてレチクル（第１種被収納物７１）を用いた露光処理が行われる場合、図２に示すように、処理装置９１には、レチクル（第１種被収納物７１）が載置されるための第１種載置台Ｓｔ１と、ウエハ（第２種被収納物７２）が載置されるための第２種載置台Ｓｔ２と、が設けられる。第１種載置台Ｓｔ１の下方には、処理装置９１の内部において昇降自在な昇降台９１Ａが備えられている。また、処理装置９１の処理部９１Ｃにおける第２種載置台Ｓｔ２に隣接する部分には、当該処理部９１Ｃの内部に連通する扉部９１Ｂが備えられている。
【００１８】
ここで、図２及び図３に示すように、第１種収納容器８１（レチクルポッド）は、本体部８１Ａと、当該本体部８１Ａから上側に突出するフランジ部８１Ｂと、第１種収納容器８１の底部を構成すると共に本体部８１Ａに対して着脱自在な底蓋部８１Ｃと、を有している。第１種被収納物７１は、底蓋部８１Ｃに載置された状態で第１種収納容器８１に収納される。第１種被収納物７１を収納している第１種収納容器８１が処理装置９１の第１種載置台Ｓｔ１に載置された場合には、不図示の蓋部着脱装置により第１種被収納物７１ごと底蓋部８１Ｃが取り外される。そして、底蓋部８１Ｃとこれに載置された第１種被収納物７１とは、昇降台９１Ａに預けられると共に下降し、処理装置９１の処理部９１Ｃ内に運ばれる。そして、第１種被収納物７１（レチクル）は、処理装置９１の処理部９１Ｃ内で第２種被収納物７２（ウエハ）の処理に用いられる。
【００１９】
また、図２に示すように、第２種収納容器８２（ＦＯＵＰ）は、本体部８２Ａと、当該本体部８２Ａから上側に突出するフランジ部８２Ｂと、第２種収納容器８２の側壁部を構成すると共に本体部８２Ａに対して着脱自在な側蓋部８２Ｃと、を有している。第２種被収納物７２を収納している第２種収納容器８２が処理装置９１の第２種載置台Ｓｔ２に載置された場合には、不図示の蓋部着脱装置により側蓋部８２Ｃが取り外される。そして、第２種被収納物７２が第２種収納容器８２から取り出されて、扉部９１Ｂを通じて処理装置９１の処理部９１Ｃ内に運ばれる。そして、第２種被収納物７２（ウエハ）は、処理装置９１の処理部９１Ｃ内で処理される。
【００２０】
処理装置９１における処理が終了すると、第１種被収納物７１（レチクル）は第１種収納容器８１（レチクルポッド）に戻され、第２種被収納物７２（ウエハ）は第２種収納容器８２（ＦＯＵＰ）に戻される。そして、第１種収納容器８１及び第２種収納容器８２は、搬送車１によって次の搬送対象場所Ｔへと搬送される。
【００２１】
図３に示すように、搬送車１は、車体走行部１１と、車体本体部１３と、これら車体走行部１１と車体本体部１３とを連結する連結部１２と、を備えている。車体走行部１１は、走行レールＲａの上側に配置されている。車体本体部１３は、連結部１２により車体走行部１１に連結されて、走行レールＲａの下側に配置されている。
【００２２】
車体走行部１１は、走行レールＲａ上を転動する複数の走行輪１１Ａを有している。複数の走行輪１１Ａのうち少なくともいずれかは、走行用モータ１１Ｍにより駆動されて走行レールＲａ上を転動する。
【００２３】
また、搬送車１は、第１種収納容器８１を保持する容器保持部１４と、容器保持部１４に保持された状態の第１種収納容器８１を覆うカバー部１７と、第１種収納容器８１を保持した状態の容器保持部１４の姿勢を変更する姿勢変更部１５と、を備えている。更に本実施形態では、搬送車１は、容器保持部１４を昇降させる昇降部１６を備えている。
【００２４】
また、容器保持部１４は、第１種収納容器８１の被把持部を把持することにより、当該第１種収納容器８１を保持するように構成されている。容器保持部１４は、第１種収納容器８１の被把持部であるフランジ部８１Ｂを把持する一対の把持爪１４Ａと、一対の把持爪１４Ａを駆動する把持用モータ１４Ｍ（図４参照）と、を有している。一対の把持爪１４Ａは、把持用モータ１４Ｍにより駆動されて、互いに接近する方向に移動してフランジ部８１Ｂを把持する把持姿勢と、互いに離間する方向に移動してフランジ部８１Ｂの把持を解除する解除姿勢と、に変更自在に構成されている。
【００２５】
昇降部１６は、容器保持部１４及びこれに保持された第１種収納容器８１を昇降させる。昇降部１６は、図３に示すように、昇降範囲における上方の位置であって第１種収納容器８１又は第２種収納容器８２がカバー部１７に覆われた状態となるホームポジションＨＰと、図２に示すように、昇降範囲における下方の位置であって第１種収納容器８１又は第２種収納容器８２の底部が載置台Ｓｔに接する高さとなる移載ポジションＴＰと、の間で容器保持部１４を昇降させることが可能に構成されている。本実施形態では、昇降部１６は、容器保持部１４に連結された昇降ベルト１６Ａと、昇降ベルト１６Ａが巻回される昇降ドラム１６Ｂと、昇降ドラム１６Ｂを回転駆動する昇降用モータ１６Ｍと、を有している。昇降用モータ１６Ｍによって昇降ドラム１６Ｂが駆動されることにより、昇降ベルト１６Ａの巻き取り又は繰り出しが行われ、容器保持部１４が昇降する。また、本実施形態では、昇降部１６は、容器保持部１４の昇降量を検出する昇降量センサ１６Ｓを更に有している（図４参照）。昇降量センサ１６Ｓは、例えば、昇降ドラム１６Ｂの回転数や回転する時間等に基づいて容器保持部１４の昇降量を検出可能に構成されている。搬送車１は、昇降量センサ１６Ｓによって、上下方向における容器保持部１４の位置を把握可能となっている。これにより、搬送車１は、容器保持部１４がホームポジションＨＰに在るか否か、又は、移載ポジションＴＰに在るか否かも把握可能となっている。
【００２６】
カバー部１７は、搬送車１の走行方向の前側に設けられた前部１７Ａと、後側に設けられた後部１７Ｃと、前部１７Ａと後部１７Ｃとを繋ぐ中間部１７Ｂと、を有している。前部１７Ａは、ホームポジションＨＰに在る容器保持部１４を走行方向の前側から覆っている。後部１７Ｃは、ホームポジションＨＰに在る容器保持部１４を走行方向の後側から覆っている。中間部１７Ｂは、ホームポジションＨＰに在る容器保持部１４を上側から覆っている。本実施形態では、カバー部１７は、平面視で走行方向に直交する幅方向の一方側からホームポジションＨＰに在る容器保持部１４を覆う側部１７Ｄを更に有している。側部１７Ｄの前端部は、カバー部１７の前側において前部１７Ａと連結している。側部１７Ｄの後端部は、カバー部１７の後側において後部１７Ｃと連結している。側部１７Ｄの上端部は、カバー部１７の上側において中間部１７Ｂと連結している。換言すれば、カバー部１７は、平面視で走行方向に直交する幅方向の一方側及び下方が開放された形状となっている。
【００２７】
本実施形態では、容器保持部１４及びカバー部１７は、第１種収納容器８１に加えて、第１種収納容器８１とは形状が異なる第２種収納容器８２にも対応している。すなわち、容器保持部１４は、第１種収納容器８１に加えて、第２種収納容器８２を保持可能に構成されている。より具体的には、容器保持部１４は、一対の把持爪１４Ａによって、第２種収納容器８２のフランジ部８２Ｂ（図２参照）を把持可能に構成されている。また、カバー部１７は、第１種収納容器８１に加えて、第２種収納容器８２を覆うことが可能に構成されている。より具体的には、カバー部１７は、ホームポジションＨＰに在る容器保持部１４によって保持された状態の第２種収納容器８２を覆うことが可能に構成されている。
【００２８】
ここで、各搬送元Ｆ、又は、各搬送対象場所Ｔには、それらの各場所に移載する際の第１種収納容器８１の姿勢が予め設定されている。例えば、各処理装置９１に関しては、図２に示すように、当該処理装置９１の処理部９１Ｃ内において用いられる際の第１種被収納物７１の向きに応じて、第１種収納容器８１が移載される際の姿勢が設定されている。これにより、各処理装置９１において適切な処理が行われる。なお、各保管庫９２及び各一時保管場所９３に関しても同様に、第１種収納容器８１が移載される際の姿勢が設定されている。以下では、第１種収納容器８１が移載される際の各搬送元Ｆ、又は、各搬送対象場所Ｔに対応した姿勢を「移載姿勢ＴＡ」と称する。更に、搬送元Ｆと搬送対象場所Ｔとにおける移載姿勢ＴＡを区別する場合には、搬送元Ｆに対応した姿勢を「搬送元移載姿勢ＴＡＦ」と称し、搬送先としての搬送対象場所Ｔに対応した姿勢を「搬送先移載姿勢ＴＡＴ」と称して説明する。
【００２９】
姿勢変更部１５は、第１種収納容器８１を保持した状態の容器保持部１４の姿勢を変更する。換言すれば、姿勢変更部１５は、容器保持部１４を介して、第１種収納容器８１の姿勢を変更する。図３に示すように、本実施形態では、姿勢変更部１５は、旋回軸１５Ａと、旋回軸１５Ａを駆動する旋回用モータ１５Ｍと、を有しており、旋回軸１５Ａ回りに容器保持部１４を旋回させるように構成されている。ここでは、姿勢変更部１５は、容器保持部１４を介して、第１種収納容器８１の姿勢を旋回軸１５Ａ回りに変更するように構成されている。本例では、旋回軸１５Ａは、上下方向に沿って配置されている。すなわち、本実施形態において、旋回軸１５Ａに沿う方向Ｌ（または、軸方向Ｌともいう）は、上下方向に等しく、また、高さ方向と言い換えることもできる。但し、このような構成に限定されることなく、旋回軸１５Ａは、上下方向に対して交差する方向に沿って配置されていても良い。また、本実施形態では、姿勢変更部１５は、容器保持部１４の旋回量を検出する旋回量センサ１５Ｓを更に有している（図４参照）。旋回量センサ１５Ｓは、例えば、旋回軸１５Ａの回転数や回転する時間等に基づいて容器保持部１４の旋回量を検出可能に構成されている。
【００３０】
ここで、図３に示すように、第１種収納容器８１は、当該第１種収納容器８１の外部と内部との間で光を透過可能な窓部８１Ｄを更に有している。窓部８１Ｄは、例えば、第１種収納容器８１（レチクルポッド）の内部を作業者によって目視可能とするために設けられる。
【００３１】
搬送車１は、カバー部１７に設けられて、窓部８１Ｄを通して第１種収納容器８１の内部の第１種被収納物７１を検出する検出部１７Ｓを備えている。検出部１７Ｓは、カバー部１７の内方（図示の例では、前部１７Ａ、中間部１７Ｂ、後部１７Ｃ、及び側部１７Ｄによって囲まれた空間）を向くように、当該カバー部１７に設けられている。本実施形態では、検出部１７Ｓは、カバー部１７の前部１７Ａに取り付けられ、後部１７Ｃ側を向くように配置されている。但し、このような構成に限定されることなく、検出部１７Ｓは、カバー部１７の後部１７Ｃに取り付けられていても良い。この場合には、検出部１７Ｓは、前部１７Ａ側を向くように配置されていると良い。
【００３２】
なお、本願において「被収納物を検出する」とは、被収納物７の有無、位置、或いは、枚数など、被収納物７の存在を検出することによる被収納物７に関する様々な情報の検出を含む意味として用いている。但し、本実施形態では、検出部１７Ｓは、このような様々な情報の中で、少なくとも、第１種収納容器８１内における第１種被収納物７１の有無を検出するように構成されている。
【００３３】
本実施形態では、検出部１７Ｓには、光を投光する投光部と、光を受光する受光部と、を有する光学式のセンサを用いる。検出部１７Ｓは、第１種収納容器８１を保持した容器保持部１４がホームポジションＨＰに在る状態で、投光部によって、窓部８１Ｄを通して第１種収納容器８１の内部に光を投光するように構成されている。そして、第１種収納容器８１の内部に第１種被収納物７１が有る場合には、この第１種被収納物７１に反射された反射光を受光部により受光するように構成されている。これにより、検出部１７Ｓは、第１種収納容器８１の内部における第１種被収納物７１の有無を検出することができる。但し、このような構成に限定されることなく、検出部１７Ｓは、例えば、撮像装置として構成されていても良い。この場合に、検出部１７Ｓは、投光部を備えず２次元的に配置された受光部を備える。そして、検出部１７Ｓは、撮像した画像に基づいて第１種収納容器８１の内部の第１種被収納物７１の有無を検出する。
【００３４】
本実施形態では、検出部１７Ｓは、第１種収納容器８１に対応し、第２種収納容器８２に対応していない。すなわち、本例では、第２種収納容器８２は、第１種収納容器８１が有する窓部８１Ｄのように、容器の外部と内部との間で光を透過可能な構成を有していない。そのため、検出部１７Ｓは、第２種収納容器８２の内部における第２種被収納物７２を検出できない。
【００３５】
上記のように、検出部１７Ｓは、光を透過可能な窓部８１Ｄを通して第１種被収納物７１の検出を行う。そのため、第１種被収納物７１の検出時には、検出部１７Ｓと第１種収納容器８１の窓部８１Ｄとが対向している必要がある。そこで、上述のように、搬送車１は、第１種収納容器８１を保持した状態の容器保持部１４の姿勢を変更する姿勢変更部１５を備えている。また、各搬送元Ｆには、それぞれに対応した移載姿勢ＴＡ（搬送元移載姿勢ＴＡＦ）が設定されている。そのため、搬送車１が搬送元Ｆにおいて第１種収納容器８１を受け取り、当該第１種収納容器８１を保持した容器保持部１４を上昇させてホームポジションＨＰに移動させた場合に、搬送元移載姿勢ＴＡＦによっては、第１種収納容器８１の搬送中に窓部８１Ｄと検出部１７Ｓとが対向しないことがある。そこで、第１種収納容器８１の搬送中に検出部１７Ｓと窓部８１Ｄとが対向していない場合には、検出部１７Ｓと窓部８１Ｄとが対向する対向状態となるように、姿勢変更部１５が容器保持部１４の姿勢を変更する。これにより、第１種収納容器８１の受け取り時には、第１種収納容器８１の姿勢が、当該第１種収納容器８１を保持した容器保持部１４をホームポジションＨＰに移動させた際に窓部８１Ｄと検出部１７Ｓとが対向しないような姿勢であっても、第１種収納容器８１の搬送中に第１種収納容器８１の姿勢を変更し、当該第１種収納容器８１の内部の第１種被収納物７１を検出することができる。以下、第１種収納容器８１を保持した容器保持部１４がホームポジションＨＰに在る場合に窓部８１Ｄと検出部１７Ｓとが対向する対向状態となる第１種収納容器８１の姿勢を、「検出姿勢ＤＡ」と称して説明する。
【００３６】
ここで、第１種収納容器８１を保持した容器保持部１４がホームポジションＨＰに在る状態での、窓部８１Ｄと検出部１７Ｓとの配置関係について、図５を参照して説明する。図５では、平面視における窓部８１Ｄと検出部１７Ｓとの配置関係を模式的に示している。図５の上図が、第１種収納容器８１の姿勢が姿勢Ａである場合における検出部１７Ｓとの配置関係を示すものである。図５の下図が、第１種収納容器８１の姿勢が姿勢Ｂである場合における検出部１７Ｓとの配置関係を示すものである。
【００３７】
図５に示すように、本実施形態では、窓部８１Ｄは、容器保持部１４（図３等参照）に保持された状態の第１種収納容器８１における、旋回軸１５Ａを基準とした周方向Ｃの一部の領域に設けられている。本例では、窓部８１Ｄは、平面視で矩形状の第１種収納容器８１の一つの側面に設けられている。そして、図５の上図に示すように、検出部１７Ｓと窓部８１Ｄとが対向する対向状態は、検出部１７Ｓと窓部８１Ｄとが、旋回軸１５Ａを基準とした径方向Ｒに対向する状態である。すなわち、図５の上図に示す姿勢Ａは、検出部１７Ｓによって第１種被収納物７１を検出可能な検出姿勢ＤＡを示している。一方、図５の下図に示す姿勢Ｂでは、検出部１７Ｓと窓部８１Ｄとが径方向Ｒにおいて対向しておらず、検出部１７Ｓによって第１種被収納物７１を検出することができない。このような姿勢Ｂは、検出姿勢ＤＡには該当しない。なお、図５に示す姿勢Ａおよび姿勢Ｂは、搬送元Ｆまたは搬送対象場所Ｔによっては、移載姿勢ＴＡに該当し得る。
【００３８】
図３に示すように、本実施形態では、検出部１７Ｓの旋回軸１５Ａに沿う方向Ｌ（軸方向Ｌ）の位置が、容器保持部１４に保持された状態の第１種収納容器８１の窓部８１Ｄの位置に対応するように、検出部１７Ｓが配置されている。より具体的には、検出部１７Ｓは、第１種収納容器８１を保持した容器保持部１４がホームポジションＨＰに在る状態において、窓部８１Ｄと対向する位置関係になるように配置されている。本例では、窓部８１Ｄが軸方向Ｌに直交する方向を向くように第１種収納容器８１に設けられている。そのため、検出部１７Ｓは、窓部８１Ｄと同じ軸方向Ｌの位置（上下方向の位置）となるように配置され、軸方向Ｌに直交する方向（ここでは水平方向）に沿って光を投光するように構成されている。但し、このような構成に限定されることなく、検出部１７Ｓは、窓部８１Ｄと対向する位置関係にあればよく、軸方向Ｌにおける位置が窓部８１Ｄと異なるように（窓部８１Ｄとは異なる高さとなるように）配置されていても良い。
【００３９】
１−２．搬送設備及び搬送車の制御構成
次に、搬送設備１００の制御構成について図４を参照して説明する。搬送設備１００は、設備全体を制御する統括制御装置Ｈｔと、搬送車１の動作を制御する個別制御装置Ｈｍと、を備えている。個別制御装置Ｈｍは、複数の搬送車１のそれぞれに備えられている。これらの制御装置は、例えば、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアと、コンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムと、の協働により、各機能が実現される。
【００４０】
統括制御装置Ｈｔは、複数の搬送車１（個別制御装置Ｈｍ）のそれぞれと通信可能に構成されている。統括制御装置Ｈｔは搬送車１に対して各種の指令を行うように構成され、搬送車１は統括制御装置Ｈｔからの指令に従い各種の動作を行う。例えば、統括制御装置Ｈｔが搬送指令を行った場合、当該搬送指令を受けた搬送車１は指定された搬送元Ｆから指定された搬送対象場所Ｔへ、第１種収納容器８１又は第２種収納容器８２を搬送する。
【００４１】
個別制御装置Ｈｍは、走行用モータ１１Ｍを制御することにより搬送車１の走行を制御し、昇降用モータ１６Ｍを制御することにより容器保持部１４の昇降を制御し、把持用モータ１４Ｍを制御することにより一対の把持爪１４Ａの姿勢を把持姿勢と解除姿勢とに制御し、旋回用モータ１５Ｍを制御することにより容器保持部１４の旋回量（姿勢）を制御する。また、個別制御装置Ｈｍは、検出部１７Ｓを制御することにより投光部による投光を制御すると共に、受光部による受光の有無を検出可能となっている。
【００４２】
個別制御装置Ｈｍは、容器保持部１４の昇降を制御することにより、容器保持部１４に保持された状態の第１種収納容器８１の高さ（軸方向Ｌにおける位置）を制御することができる。この際、昇降量センサ１６Ｓの検出値に基づいて第１種収納容器８１の高さを制御することができる。また、個別制御装置Ｈｍは、容器保持部１４の旋回量（姿勢）を制御することにより、容器保持部１４に保持された状態の第１種収納容器８１の姿勢を検出姿勢ＤＡと移載姿勢ＴＡとに変更することができる。この際、旋回量センサ１５Ｓの検出値に基づいて第１種収納容器８１の旋回量を制御することができる。
【００４３】
１−３．搬送車の動作処理
次に、搬送車１（個別制御装置Ｈｍ）が、統括制御装置Ｈｔから搬送指令を受けてから、搬送対象場所Ｔに第１種収納容器８１を引き渡す（移載する）までに実行される動作処理について、図６を参照して説明する。
【００４４】
個別制御装置Ｈｍは、統括制御装置Ｈｔからの搬送指令があった場合には（＃１：Ｙｅｓ）、搬送車１を搬送元Ｆへ走行させると共に、搬送元Ｆから第１種収納容器８１を受け取る（＃２）。そして、個別制御装置Ｈｍは、搬送車１の搬送対象場所Ｔ（搬送先）に向けた走行を開始する、換言すれば、第１種収納容器８１の搬送を開始する（＃３）。
【００４５】
次に、個別制御装置Ｈｍは、現時点での第１種収納容器８１の姿勢、すなわち搬送元Ｆに対応した搬送元移載姿勢ＴＡＦが検出姿勢ＤＡと同じであるか否かを判定する（＃４）。搬送元移載姿勢ＴＡＦが検出姿勢ＤＡと異なる場合には（＃４：Ｎｏ）、第１種収納容器８１の姿勢を搬送元移載姿勢ＴＡＦから検出姿勢ＤＡに変更する（＃５）。搬送元移載姿勢ＴＡＦが検出姿勢ＤＡと同じである場合（＃４：Ｙｅｓ）、又は、第１種収納容器８１の姿勢を検出姿勢ＤＡに変更した後は（＃５）、個別制御装置Ｈｍは、検出部１７Ｓにより、第１種収納容器８１の内部における第１種被収納物７１の有無を検出する被収納物検出処理を行う（＃６）。なお、個別制御装置Ｈｍは、搬送元移載姿勢ＴＡＦが検出姿勢ＤＡと異なると判定した場合には（＃４：Ｎｏ）、直ぐに、第１種収納容器８１の姿勢を搬送元移載姿勢ＴＡＦから検出姿勢ＤＡに変更し（＃５）、被収納物検出処理（＃６）をできるだけ早期に実行すると好適である。
【００４６】
そして、被収納物検出処理（＃６）を実行した後、個別制御装置Ｈｍは、確認処理を実行する（＃７）。確認処理（＃７）は、第１種収納容器８１の内部に第１種被収納物７１が収納されているか否かに基づき、必要に応じて搬送対象場所Ｔ（搬送先）の確認を行う処理である。この確認処理（＃７）の内容については後述する。次に、個別制御装置Ｈｍは、搬送対象場所Ｔ（搬送先）に対応した搬送先移載姿勢ＴＡＴが検出姿勢ＤＡと同じであるか否かを判定する（＃８）。搬送先移載姿勢ＴＡＴが検出姿勢ＤＡと異なる場合には（＃８：Ｎｏ）、第１種収納容器８１の姿勢を検出姿勢ＤＡから搬送先移載姿勢ＴＡＴに変更する（＃９）。本実施形態では、個別制御装置Ｈｍは、姿勢変更部１５を制御し、基本的には、第１種収納容器８１の搬送中は、第１種収納容器８１の姿勢を検出姿勢ＤＡに維持する。そして、搬送対象場所Ｔ（搬送先）との間で第１種収納容器８１を移載する際に、第１種収納容器８１の姿勢を検出姿勢ＤＡから搬送先移載姿勢ＴＡＴに変更する処理（以下、「搬送先姿勢変更処理」という。）を実行する（＃９）。この搬送先姿勢変更処理（＃９）を実行する時期は、搬送車１の走行中であっても良いし、搬送車１が搬送対象場所Ｔに到着した後、搬送対象場所Ｔにおいて第１種収納容器８１を引き渡す（＃１０）前であっても良い。搬送先姿勢変更処理（＃９）を搬送車１の走行中に行う場合には、基本的には、搬送車１が搬送対象場所Ｔに到着する直前に実行する。搬送先姿勢変更処理（＃９）の実行後、又は、ステップ＃８において搬送先移載姿勢ＴＡＴと検出姿勢ＤＡとが同じであると判定された後は（＃８：Ｙｅｓ）、搬送車１は、指定された搬送対象場所Ｔにおいて第１種収納容器８１を引き渡す（＃１０）。
【００４７】
１−３−１．確認処理
ここで、被収納物検出処理（＃６）の直後に行う確認処理（＃７）について説明する。図７に示すように、確認処理（＃７）では、被収納物検出処理（＃６）の実行により第１種収納容器８１の内部に第１種被収納物７１が有ると判定された場合には（＃１０１；Ｙｅｓ）、個別制御装置Ｈｍは、統括制御装置Ｈｔにより指定された搬送対象場所Ｔ（搬送先）が一時保管場所９３であるか否かを判定する（＃１０２）。そして、搬送対象場所Ｔ（搬送先）が一時保管場所９３であると判定された場合には（＃１０２；Ｙｅｓ）、個別制御装置Ｈｍは、その旨を統括制御装置Ｈｔに報知すると共に（＃１０３）、搬送指令を再度要求する（＃１０４）。これにより、統括制御装置Ｈｔは、一時保管場所９３以外の他の搬送対象場所Ｔへ搬送するように、搬送車１に対して搬送指令を行う。すなわち、個別制御装置Ｈｍは、一時保管場所９３以外の新たな搬送対象場所Ｔへ搬送するように、統括制御装置Ｈｔから指令される。そして、個別制御装置Ｈｍは、行先を新たな搬送対象場所Ｔ（搬送先）に変更し（＃１０５）、当該新たな搬送対象場所Ｔ（搬送先）に向けた第１種収納容器８１の搬送を実行する。なお、ステップ＃１０１において第１種収納容器８１の内部に第１種被収納物７１が無いと判定された場合（＃１０１；Ｎｏ）、及び、ステップ＃１０２において搬送対象場所Ｔ（搬送先）が一時保管場所９３でないと判定された場合は（＃１０２；Ｎｏ）、個別制御装置Ｈｍは、元々指定されている搬送対象場所Ｔに向かう第１種収納容器８１の搬送を継続する。その後、個別制御装置Ｈｍは、上述したステップ＃８以降の処理を実行する。
【００４８】
このように、搬送車１は、検出部１７Ｓにより第１種収納容器８１の内部に第１種被収納物７１が有ることを検出した場合には、第１種収納容器８１を一時的に保管するための一時保管場所９３が搬送対象場所Ｔとされることを規制する。本実施形態のように、第１種被収納物７１が、より清潔な環境下での管理が必要となるレチクルである場合には、一時的であっても一時保管場所９３に保管されることは好ましくない。上記構成によれば、このような事態を避けることができる。
【００４９】
２．第２実施形態
次に、搬送車１の第２実施形態について説明する。本実施形態に係る搬送車１は、動作処理が上記第１の実施形態と異なる。なお、特に説明しない点については上記第１の実施形態と同様である。
【００５０】
本実施形態では、搬送先姿勢変更処理を実行する時期を、搬送元移載姿勢ＴＡＦ、搬送先移載姿勢ＴＡＴ、及び検出姿勢ＤＡの関係によって異ならせている。
【００５１】
本実施形態でも、個別制御装置Ｈｍは、基本的には、第１種収納容器８１の搬送中は、第１種収納容器８１の姿勢を検出姿勢ＤＡに維持する。そして、搬送対象場所Ｔ（搬送先）との間で第１種収納容器８１を移載する際に、搬送先姿勢変更処理を実行する。但し、本実施形態では、例外として、搬送元Ｆに対応した搬送元移載姿勢ＴＡＦと搬送対象場所Ｔに対応した搬送先移載姿勢ＴＡＴとが同じである場合であって、当該搬送元移載姿勢ＴＡＦ及び搬送先移載姿勢ＴＡＴが検出姿勢ＤＡと異なる場合には、個別制御装置Ｈｍは、姿勢変更部１５を制御し、第１種収納容器８１の姿勢が第１種収納容器８１の搬送中に一時的に窓部８１Ｄと検出部１７Ｓとが対向する対向状態（検出姿勢ＤＡ）となるように、容器保持部１４の姿勢を変更する。つまり、この場合には、第１種収納容器８１の姿勢を、被収納物検出処理（＃６）の実行に必要な期間に限り、検出姿勢ＤＡとし、その他の期間は、互いに同じである搬送元移載姿勢ＴＡＦ及び搬送先移載姿勢ＴＡＴに維持する制御を行う。
【００５２】
このような、本実施形態に係る搬送先姿勢変更処理の実行時期の判定処理を、図８に示すフローチャートを参照して説明する。なお、図８では、図６におけるステップ＃７以降の動作処理を示しており、ステップ＃７よりも前の動作処理については第１実施形態と同様であるため省略している。この判定に際しても、まず、個別制御装置Ｈｍは、搬送対象場所Ｔ（搬送先）に対応した搬送先移載姿勢ＴＡＴが、検出姿勢ＤＡと同じであるか否かを判定する（＃８）。ここで、搬送先移載姿勢ＴＡＴが検出姿勢ＤＡと同じ場合には（＃８：Ｙｅｓ）、個別制御装置Ｈｍは、姿勢変更部１５による姿勢変更を行わず、搬送対象場所Ｔ（搬送先）において第１種収納容器８１を引き渡す（＃１０）。
【００５３】
一方、搬送先移載姿勢ＴＡＴが検出姿勢ＤＡと異なる場合には（＃８：Ｎｏ）、次に、搬送元Ｆに対応した搬送元移載姿勢ＴＡＦが搬送先移載姿勢ＴＡＴと同じであるか否かを判定する（＃２２）。そして、搬送元移載姿勢ＴＡＦが搬送先移載姿勢ＴＡＴと同じである場合には（＃２２：Ｙｅｓ）、個別制御装置Ｈｍは、姿勢変更部１５を制御して、被収納物検出処理（＃６）が完了した後、直ぐに搬送先姿勢変更処理を実行する（＃２３）。一方、搬送元移載姿勢ＴＡＦと搬送先移載姿勢ＴＡＴとが異なる場合（＃２２：Ｎｏ）には、個別制御装置Ｈｍは、姿勢変更部１５を制御して、搬送車１が搬送対象場所Ｔに到着する直前、又は、搬送対象場所Ｔに到着した直後に搬送先姿勢変更処理を実行する（＃２４）。
【００５４】
３．その他の実施形態
次に、搬送車１又は搬送設備１００のその他の実施形態について説明する。
【００５５】
（１）上記の実施形態では、姿勢変更部１５が、単一の旋回軸１５Ａ回りに容器保持部１４を旋回させることにより、容器保持部１４及びこれに保持された第１種収納容器８１の姿勢を変更するように構成されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、姿勢変更部１５は、例えば、異なる方向に沿って配置される複数の旋回軸を有し、これら複数の旋回軸回りに容器保持部１４を旋回させることにより、容器保持部１４及びこれに保持された第１種収納容器８１の姿勢を変更するように構成されていても良い。
【００５６】
（２）上記の実施形態では、検出部１７Ｓにより第１種収納容器８１の内部に第１種被収納物７１が有ることを検出した場合には、第１種収納容器８１を一時的に保管するための一時保管場所９３が搬送対象場所Ｔとされることを規制するように構成されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、検出部１７Ｓにより第１種収納容器８１の内部に第１種被収納物７１が有ることを検出した場合であっても、状況に応じて、一時保管場所９３が搬送対象場所Ｔとされることを許容するように構成されていても良い。
【００５７】
（３）上記の実施形態では、窓部８１Ｄが、第１種収納容器８１における旋回軸１５Ａを基準とした周方向Ｃの一部の領域に設けられている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、窓部８１Ｄは、第１種収納容器８１における旋回軸１５Ａを基準とした周方向Ｃの複数の領域、或いは、周方向Ｃの全域に設けられていても良い。
【００５８】
（４）上記の実施形態では、搬送車１が、第１種収納容器８１の他、第２種収納容器８２を搬送可能に構成されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、搬送車１は、第１種収納容器８１のみを搬送する第１種収納容器８１の搬送専用の搬送車として構成されていても良い。換言すれば、搬送車１が備える容器保持部１４及びカバー部１７は、第１種収納容器８１のみに対応し、当該第１種収納容器８１とは形状が異なる第２種収納容器８２には対応しないように構成されていても良い。或いは、搬送車は、第１種収納容器８１を含む３種類以上の収納容器８を搬送可能に構成されていても良い。
【００５９】
（５）上記の実施形態では、搬送車１が天井に吊り下げられた走行レールＲａに沿って走行する天井搬送車として構成されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、搬送車１は、床面上を走行する無人搬送車として構成されていても良い。
【００６０】
（６）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【００６１】
４．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した搬送車の概要について説明する。
【００６２】
搬送設備に備えられて、被収納物を収納する収納容器を前記搬送設備内に設けられた搬送対象場所に搬送する搬送車であって、
前記収納容器は、当該収納容器の外部と内部との間で光を透過可能な窓部を有し、
前記収納容器を保持する容器保持部と、
前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器を覆うカバー部と、
前記収納容器を保持した状態の前記容器保持部の姿勢を変更する姿勢変更部と、
前記カバー部に設けられて、前記窓部を通して前記収納容器の内部の前記被収納物を検出する検出部と、を備え、
前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中に前記検出部と前記窓部とが対向していない場合には、前記検出部と前記窓部とが対向する対向状態となるように、前記容器保持部の姿勢を変更する。
【００６３】
本構成によれば、収納容器が容器保持部に保持された状態で搬送されている途中に、カバー部に備えられた検出部によって、収納容器の窓部を通して当該収納容器の内部の被収納物を検出することができる。また、このような被収納物の検出に際して、検出部と収納容器の窓部とが対向していない場合には、姿勢変更部によって容器保持部の姿勢を変更し、検出部と収納容器の窓部とを対向状態とすることができる。従って、搬送中の収納容器の向きに関わらず、収納容器の内部の被収納物を検出することができる。
【００６４】
ここで、
前記姿勢変更部は、旋回軸回りに前記容器保持部を旋回させるように構成され、
前記窓部は、前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器における、前記旋回軸を基準とした周方向の一部の領域に設けられ、
前記検出部の前記旋回軸に沿う方向の位置が、前記容器保持部に保持された状態の前記収納容器の前記窓部の位置に対応するように、前記検出部が配置され、
前記対向状態は、前記検出部と前記窓部とが、前記旋回軸を基準とした径方向に対向する状態であると好適である。
【００６５】
本構成によれば、容器保持部に保持された状態の収納容器の姿勢の変更を、容器保持部の旋回という比較的簡単な動作によって実現可能となる。また、旋回軸に沿う方向における検出部の配置位置が、容器保持部に保持された状態の収納容器の窓部の位置に対応しているため、容器保持部を旋回動作させるだけで、検出部と窓部とを対向状態とすることができる。従って、比較的簡素な構成により、収納容器の搬送中に、当該収納容器の内部の被収納物を検出することができる。
【００６６】
また、
前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中は、前記検出部と前記窓部とが前記対向状態となるように前記容器保持部の姿勢を維持し、
前記搬送対象場所との間で前記収納容器を移載する際は、前記収納容器の姿勢が前記搬送対象場所に対応した姿勢となるように前記容器保持部の姿勢を制御すると好適である。
【００６７】
本構成によれば、収納容器の搬送中の比較的長い時間を使って被収納物の検出を行うことができる。従って、確実性高く、収納容器の内部の被収容物を検出することができる。そして、搬送対象場所に到達した場合には、当該搬送対象場所に対応した姿勢で収納容器を移載することができる。
【００６８】
また、
搬送元から前記搬送対象場所まで前記収納容器を搬送する場合において、前記搬送元に対応した前記収納容器の姿勢と前記搬送対象場所に対応した前記収納容器の姿勢とが同じである場合であって、その収納容器の姿勢が前記対向状態とならない姿勢である場合には、前記姿勢変更部は、前記収納容器の搬送中に一時的に前記対向状態となるように、前記容器保持部の姿勢を変更すると好適である。
【００６９】
搬送元に対応した収納容器の姿勢と搬送対象場所に対応した収納容器の姿勢とが同じである場合には、通常、搬送中に収納容器の姿勢を変更させる必要がない。しかし、当該収納容器の姿勢が前記対向状態とならない姿勢である場合には、収納容器の姿勢を変更させなければ、検出部によって収納容器内部の被収納物の検出作業を行うことができない。本構成によれば、上記のような場合であっても、一時的に検出部と窓部とが対向状態となるように前記容器保持部の姿勢を変更するため、収納容器の内部の被収納物を適切に検出することができる。また、容器保持部の姿勢の変更が一時的であるため、被収納物の検出後は、収納容器の姿勢を搬送対象場所に対応した元の姿勢に戻すことが可能となる。これにより、収納容器の内部の被収納物の適切な検出を可能としつつ、搬送対象場所との間での円滑な移載が可能となる。
【００７０】
また、
前記容器保持部及び前記カバー部は、前記収納容器としての第１種収納容器に加えて、前記第１種収納容器とは形状が異なる第２種収納容器にも対応しており、
前記第２種収納容器には、前記被収納物としての第１種被収納物とは異なる第２種被収納物が収納され、
前記検出部は、前記第１種収納容器に対応し、前記第２種収納容器に対応していないと好適である。
【００７１】
本構成によれば、第１種収納容器と第２種収納容器とを区別し、第１種収納容器の内部の第１種被収納物の検出を適切に行うことができる。従って、搬送車が複数種類の収納容器及び被収納物を搬送するように構成されている場合であっても、特定の種類の収納容器及びその被収納物を、搬送中に適切に検出することができる。
【００７２】
また、上記の構成において、
前記検出部により前記第１種収納容器の内部に前記第１種被収納物が有ることを検出した場合には、前記収納容器を一時的に保管するための一時保管場所が前記搬送対象場所とされることを規制すると好適である。
【００７３】
被収納物の種類によっては、一時保管場所において一時的に保管されることが好ましくないものがある。例えば、収納容器がレチクルポッドの場合、その内部に収納する物品は非常に壊れ易い物（レチクル）である場合が多く、このような収納容器を一時保管場所で保管することは極力避けるのが望ましい。本構成によれば、第１種収納容器の内部に第１種被収納物が有る場合には、当該第１種収納容器が一時保管場所に搬送されて保管されることを抑制できる。これにより、例えば、一時保管場所以外の適切な搬送対象場所に、第１種被収納物を搬送することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本開示に係る技術は、搬送設備に備えられて、被収納物を収納する収納容器を前記搬送設備内に設けられた搬送対象場所に搬送する搬送車に利用することができる。
【符号の説明】
【００７５】
１００  ：搬送設備
１      ：搬送車
７      ：被収納物
８      ：収納容器
１４    ：容器保持部
１５    ：姿勢変更部
１５Ａ  ：旋回軸
１７Ｓ  ：検出部
７１    ：第１種被収納物
７２    ：第２種被収納物
８１    ：第１種収納容器
８１Ｄ  ：窓部
８２    ：第２種収納容器
９３    ：一時保管場所
Ｔ      ：搬送対象場所
Ｆ      ：搬送元
Ｌ      ：軸方向（旋回軸に沿う方向）
Ｒ      ：径方向
Ｃ      ：周方向
【図１】
2019094201.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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