(57)【要約】【課題】  角速度検出素子の検出軸が基部の基準面に対して所定の傾きとなるように調整できるジャイロセンサー並びにそれを用いた電子機器及び移動体を提供すること。【解決手段】  ジャイロセンサー１は、検出軸回りの角速度を検出する角速度検出素子４と、検出軸の傾きを調整する傾き調整機構６と、回路装置５と、角速度検出素子が傾き調整機構を介して接続される基部２と、を有する。回路装置５は、角速度検出素子を駆動する駆動回路５１と、基部に対する前記検出軸の傾きに対応する傾きデータを記憶するメモリー５３と、を含む。【選択図】      図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出軸回りの角速度を検出する角速度検出素子と、
前記角速度検出素子の前記検出軸の傾きを調整する傾き調整機構と、
回路装置と、
前記角速度検出素子が前記傾き調整機構を介して接続される基部と、
を有し、
前記回路装置は、
前記角速度検出素子からの検出信号に基づいて角速度を検出する検出回路と、
前記基部に対する前記検出軸の傾きに対応する傾きデータを記憶するメモリーと、
を含むことを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項２】
請求項１において、
前記回路装置は、前記傾きデータに基づく調整信号を前記傾き調整機構に出力する調整信号出力回路を含み、
前記傾き調整機構は、前記調整信号に基づいて前記検出軸の前記傾きを変更することを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記角速度検出素子は支持基板を含み、
前記傾き調整機構は、前記支持基板の前記基部に対する傾きを調整することで、前記検出軸の前記傾きを調整することを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記傾き調整機構は、少なくとも３つのアクチュエーターを有し、
前記少なくとも３つのアクチュエーターにより前記検出軸の前記傾きを調整することを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項５】
請求項４において、
前記少なくとも３つのアクチュエーターの各々は、一端が前記角速度検出素子に取り付けられ、他端が前記基部に取り付けられることを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記傾き調整機構は、前記検出軸の前記傾きとして、前記基部の外側表面の一部である基準面の法線に対する傾きを調整することを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項７】
請求項６において、
前記傾き調整機構は、前記検出軸の前記傾きとして、前記基部の前記基準面に平行な面内の第１軸周りの傾きと、前記基準面に平行な面内で前記第１軸に直交する第２軸周りの傾きとを調整することを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項において、
前記基部に接続される傾き検出素子をさらに有し、前記傾き検出素子は水平面に対する前記傾き検出素子の検出軸の傾きを検出することを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項９】
請求項２において、
前記回路装置は、命令受付部を含み、
前記命令受付部が受け付けた命令により、前記調整信号出力回路から前記調整信号を出力し、前記検出回路による角速度の検出処理が行われることを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載のジャイロセンサーと、
前記ジャイロセンサーに接続される処理装置と、
を有することを特徴とする電子機器。
【請求項１１】
請求項９に記載のジャイロセンサーと、
前記ジャイロセンサーに接続される処理装置と、
を有し、
前記処理装置は、前記命令を出力する命令出力部を含むことを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
ボディーと、
前記ボディーに搭載され、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の回路装置を含む制御装置と、
を有することを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出軸の傾きを調整できるジャイロセンサー並びにそれを用いた電子機器及び移動体等に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、基準軸に対して感度軸が傾斜している角速度センサーと、感度軸に沿った方向の加速度を検出する加速度センサーと、基準軸の方向に検査用加速度たる重力加速度を作用させたときに加速度センサーで検出された加速度の値に基づいて、感度軸の基準軸に対する傾斜角度を演算する傾斜角度検出部と、角速度センサーで検出された角速度の値と傾斜角度検出部で演算された傾斜角度とに基づいて、基準軸回りの角速度の値を算出する制御部と、を備える車載用装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−５８０４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１によれば、車載用装置が車体に取り付けられた後に感度軸の基準軸に対する傾斜角度を演算し、その演算結果に基づいて角速度センサーで検出される角速度の値を補正するものである。これはキャリブレーションと称される。しかし、このキャリブレーションでは、角速度センサーが検出する感度軸回りの角速度の大きさを基準軸まわりの角速度の大きさに補正できるが、基準軸に直交する軸であって検出されないように設定されるべき不感度軸回りの角速度が感度軸の基準軸に対する傾斜によって検出されている場合に、これを低減する補正はできない。
【０００５】
本発明の幾つかの態様は、角速度検出素子の検出軸が基部の基準面に対して所定の傾きとなるように調整できるジャイロセンサー並びにそれを用いた電子機器及び移動体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の一態様は、
検出軸回りの角速度を検出する角速度検出素子と、
前記角速度検出素子の前記検出軸の傾きを調整する傾き調整機構と、
回路装置と、
前記角速度検出素子が前記傾き調整機構を介して接続される基部と、
を有し、
前記回路装置は、
前記角速度検出素子からの検出信号に基づいて角速度を検出する検出回路と、
前記基部に対する前記検出軸の傾きに対応する傾きデータを記憶するメモリーと、
を含むジャイロセンサーに関する。
【０００７】
（２）本発明の一態様（１）において、前記回路装置は、前記傾きデータに基づく調整信号を前記傾き調整機構に出力する調整信号出力回路を含み、前記傾き調整機構は、前記調整信号に基づいて前記検出軸の前記傾きを変更することができる。
【０００８】
（３）本発明の一態様（１）または（２）において、前記角速度検出素子は支持基板を含み、前記傾き調整機構は、前記支持基板の前記基部に対する傾きを調整することで、前記検出軸の前記傾きを調整することができる。
【０００９】
（４）本発明の一態様（１）〜（３）のいずれかにおいて、前記傾き調整機構は、少なくとも３つのアクチュエーターを有し、前記少なくとも３つのアクチュエーターにより前記検出軸の前記傾きを調整することができる。
【００１０】
（５）本発明の一態様（４）において、前記少なくとも３つのアクチュエーターの各々は、一端が前記角速度検出素子に取り付けられ、他端が前記基部に取り付けられてもよい。
【００１１】
（６）本発明の一態様（１）〜（５）のいずれかにおいて、前記傾き調整機構は、前記検出軸の前記傾きとして、前記基部の外側表面の一部である基準面の法線に対する傾きを調整することができる。
【００１２】
（７）本発明の一態様（６）において、前記傾き調整機構は、前記検出軸の前記傾きとして、前記基部の前記基準面に平行な面内の第１軸周りの傾きと、前記基準面に平行な面内で前記第１軸に直交する第２軸周りの傾きとを調整することができる。
【００１３】
（８）本発明の一態様（１）〜（７）のいずれかにおいて、前記基部に接続される傾き検出素子をさらに有し、前記傾き検出素子は水平面に対する前記傾き検出素子の検出軸の傾きを検出することができる。
【００１４】
（９）本発明の一態様（２）において、前記回路装置は、命令受付部を含み、前記命令受付部が受け付けた命令により、前記調整信号出力回路から前記調整信号を出力し、前記検出回路による角速度の検出処理を行うことができる。
【００１５】
（１０）本発明の他の態様は、
上述の（１）〜（９）のいずれかに記載のジャイロセンサーと、
前記ジャイロセンサーに接続される処理装置と、
を有する電子機器に関する。
【００１６】
（１１）本発明の他の態様は、
上述の（９）に記載のジャイロセンサーと、
前記ジャイロセンサーに接続される処理装置と、
を有し、
前記処理装置は、前記命令を出力する命令出力部を含む電子機器に関する。
【００１７】
（１２）本発明のさらに他の態様は、
ボディーと、
前記ボディーに搭載され、上述の（１）〜（９）のいずれかに記載の回路装置を含む制御装置と、
を有する移動体に関する。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係るジャイロセンサーの断面図である。
【図２】ジャイロセンサーの角速度検出素子を示す平面図である。
【図３】図２に示す角速度検出素子の作動を説明する平面図である。
【図４】図２に示す角速度検出素子の作動を説明する平面図である。
【図５】傾き調整機構の平面視でのレイアウトを示す図である。
【図６】傾き調整機構の平面視での他のレイアウトを示す図である。
【図７】ジャイロセンサーおよび処理装置を含む電子機器のブロック図である。
【図８】Ｘ方向成分の傾斜角を説明する図である。
【図９】Ｙ方向成分の傾斜角を説明する図である。
【図１０】ジャイロセンサーの出荷前の動作を説明するフローチャートである。
【図１１】ジャイロセンサーの実使用時の動作を説明するフローチャートである。
【図１２】本発明の他の実施形態に係る移動体を示す図である。
【図１３】傾き調整機構の変形例を示す図である。
【図１４】図１３に示す傾き調整機構の動作を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【００２０】
１．ジャイロセンサー
図１に示すジャイロセンサー１は、基部、例えば内部空間３を有するパッケージ２と、角速度検出素子４と、回路装置であるＩＣ５と、傾き調整機構６と、を有する。角速度検出素子４は、支持基板４Ａを有することができる。図１では、傾き調整機構６は支持基板４Ａの傾きを調整するように構成される。図１ではさらに、傾き検出素子７をさらに設けている。角速度検出素子４、ＩＣ５、傾き調整機構６、および傾き検出素子７はパッケージ２の内部空間３に収容される。
【００２１】
１．１．パッケージ
パッケージ２は、図１に示すように、凹部２１１を有するベース２１と、凹部２１１の開口を塞いでベース２１に接合される板状のリッド２２と、を有している。内部空間３は、気密封止され、減圧状態（好ましくは真空状態）となっている。本実施形態ではパッケージ２の下面を基準面２Ａとする。
【００２２】
ベース２１の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、酸化アルミニウム等の各種セラミックス、ガラス材料、金属材料等を用いることができる。また、リッド２２の構成材料としては、特に限定されないが、ベース２１の構成材料と線膨張係数が近似する部材であると良い。例えば、ベース２１の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金とするのが好ましい。なお、ベース２１とリッド２２の接合方法は、特に限定されず、例えば、メタライズ層を介して接合してもよいし、接着材を介して接合してもよい。
【００２３】
また、図１に示すように、ベース２１には、内部空間３に臨む複数の内部端子２３が設けられている（図１では一つの内部端子２３を示す）。この内部端子２３には、角速度検出素子４用の内部端子と、ＩＣ５用の内部端子と、傾き検出素子７用の内部端子とを含む。
【００２４】
１．２．角速度検出素子
角速度検出素子４は、所定の軸まわりの角速度を検出することができれば、特に限定されないが、例えば、次のような構成とすることができる。本実施形態の角速度検出素子４は、図２に示すように、水晶基板をパターニングしてなる振動片４１と、振動片４１に設けられた電極と、を有している。本実施形態の角速度検出素子４は、図１に示すＺ（Ｙａｗ）軸回りの角速度を検出する。例えば、このジャイロセンサー１が車体に取付けられると、Ｙａｗ軸回りの角速度を検出するジャイロセンサー１の検出信号に基づいて、車体の横滑りを検出できる。
【００２５】
振動片４１は、基部４２と、基部４２からＸ軸方向両側に延出した検出腕４３１、４３２と、基部４２からＹ軸方向両側に延出した連結腕４４１、４４２と、連結腕４４１からＸ軸方向両側に延出した駆動腕４５１、４５２と、連結腕４４２からＸ軸方向両側に延出した駆動腕４５３、４５４と、を有している。
【００２６】
また、電極は、検出信号電極４６１と、検出信号端子４６２と、検出接地電極４７１と、検出接地端子４７２と、駆動信号電極４８１と、駆動信号端子４８２と、駆動接地電極４９１と、駆動接地端子４９２と、を有している。
【００２７】
検出信号電極４６１は、検出腕４３１、４３２の上面および下面に配置されている。また、検出接地電極４７１は、検出腕４３１、４３２の両側面に配置されている。また、駆動信号電極４８１は、駆動腕４５１、４５２の上下面および駆動腕４５３、４５４の両側面に配置されている。また、駆動接地電極４９１は、駆動腕４５３、４５４の上下面および駆動腕４５１、４５２の両側面に配置されている。
【００２８】
また、基部４２の下面には、２つの検出信号端子４６２と、２つの検出接地端子４７２と、駆動信号端子４８２と、駆動接地端子４９２と、が配置されている。そして、一方の検出信号端子４６２は、検出腕４３１上の検出信号電極４６１に接続され、他方の検出信号端子４６２は、検出腕４３２上の検出信号電極４６１に接続されている。また、一方の検出接地端子４７２は、検出腕４３１上の検出接地電極４７１に接続され、他方の検出接地端子４７２は、検出腕４３２上の検出接地電極４７１に接続されている。また、駆動信号端子４８２は、駆動腕４５１〜４５４上の駆動信号電極４８１に接続されている。また、駆動接地端子４９２は、駆動腕４５１〜４５４上の駆動接地電極４９１に接続されている。
【００２９】
以上のような構成の角速度検出素子４は、次のようにして角速度を検出する。角速度検出素子４に角速度が加わらない状態において、駆動信号電極４８１および駆動接地電極４９１の間に駆動信号を印加すると、図３に示すように、駆動腕４５１〜４５４が矢印Ａに示す方向に屈曲振動する。このときは、駆動腕４５１〜４５４が対称的に振動するため、検出腕４３１、４３２は、ほとんど振動しない。そして、この状態で、Ｚ軸まわりの角速度が加わると、図４に示すように、駆動腕４５１〜４５４にコリオリの力が作用して矢印Ｂに示す方向の振動が励振され、この振動に呼応するように、検出腕４３１、４３２が矢印Ｃに示す方向に屈曲振動する。このような振動によって検出腕４３１、４３２に発生した電荷を、検出信号電極４６１および検出接地電極４７１の間から検出信号として取り出し、この信号に基づいてＩＣ５が角速度を検出する。
【００３０】
１．３．ＩＣ
ＩＣ５は、図１に示すように、ベース２１の凹部２１１の底面に、例えば、銀ペースト、接着材等の固定部材を介して固定されている。また、ＩＣ５は、傾き検出素子７と横に並ぶように配置されていると共に、角速度検出素子４および支持基板４Ａと、縦に重なるように配置されている。すなわち、＋Ｚ軸方向から見た平面視で、ＩＣ５は、傾き検出素子７と重ならないように配置されており、角速度検出素子４および支持基板４Ａとは重なるように配置されている。ただし、角速度検出素子４、ＩＣ５及び傾き検出素子７の配置関係はこれに限定されない。
【００３１】
１．４．傾き調整機構
パッケージ２内に配置される傾き調整機構６は、図５に示すように平面視で少なくとも３ケ所に、あるいは図６に示すように平面視で４か所に配置される。傾き調整機構６は、平面視で５ケ所以上に配置しても良い。傾き調整機構６は、ＩＣ５からの駆動信号に基づいて図１に示すＺ方向に変位して傾きを調整できるアクチュエーターで構成される。この種のアクチュエーターとしては、ピエゾアクチュエーター、電磁アクチュエーター等を挙げることができる。
【００３２】
２．ジャイロセンサーおよび処理装置
図７は、ジャイロセンサー１および処理装置１０のブロック図である。ジャイロセンサー１のＩＣ５は、駆動回路５１、検出回路５２、メモリー５３、制御部５４、インターフェース回路（Ｉ／Ｆ）５５および命令受付部５６を含むことができる。駆動回路５１は、角速度検出素子４を駆動する。検出回路５２は、角速度検出素子４からの検出信号に基づいて角速度を検出する。メモリー５３は、パッケージ２の基準面２Ａに対する角速度検出素子４の検出軸の傾きを調整する傾き調整データを記憶する。メモリー５３は、不揮発性メモリーであれば種類は問わない。制御部５４は、メモリー５３に対するデータのリード／ライトを制御する。特に制御部５４は、メモリー５３から読み出された傾き調整データに基づく調整信号を、傾き調整機構６に出力する調整信号出力回路として機能する。Ｉ／Ｆ５５は、ＩＣ５の外部と通信する。ＩＣ５内の命令受付部５６は、処理装置１０の命令出力部１０Ａから出力される命令を、ＩＣ５内のＩ／Ｆ５５を介して受け付ける。
【００３３】
２．１．ジャイロセンサーの製品出荷前の動作
以下、ジャイロセンサー１の製品出荷前の動作について、図１０のフローチャートを参照して説明する。
【００３４】
２．１．１．他軸感度と検出軸感度の測定
図１０に示す動作は、工場内の調整装置を用いて行われる。先ず、ジャイロセンサー１の基準面、本実施形態ではパッケージ２の基準面２Ａを、調整装置の水平な基盤上に載置する（ステップＳ１１）。これにより、基準面２Ａは水平面となる。
【００３５】
次に、図１０のステップＳ１２を実施して、他軸感度と検出軸感度を測定する。先ず、他軸感度について説明する。ここで、他軸感度とは、検出軸であるＹａｗ軸回りの角速度を検出する角速度検出素子４にて、Ｙａｗ軸以外のＲｏｌｌ軸及びＰｉｔｃｈ軸回りの角速度が検出されることを意味する。そこで、調整装置により、ジャイロセンサー１を、角速度検出素子４の検出軸（Ｙａｗ軸、Ｚ軸、感度軸ともいう）以外の不感度軸（Ｒｏｌｌ軸、Ｘ軸）の回りに既知の角速度ω０で回転させて、角速度検出素子４の出力信号から出力ωを検出し、これをωｘ１とする。同様に、ジャイロセンサー１を、角速度検出素子４の感度軸（Ｚ軸）以外の不感度軸（Ｐｉｔｃｈ軸、Ｙ軸）の回りに既知の角速度ω０で回転させて、角速度検出素子４の出力信号から出力ωを検出し、これをωｙ１とする。
【００３６】
次に、検出軸感度について説明する。検出軸（Ｚ軸、Ｙａｗ）について、感度を求める。感度の測定は、Ｚ軸回りの既知の角速度ω０を与えた時のＺ軸回りの出力ωｚ１を求める。このように、Ｒｏｌｌ軸及びＰｉｔｃｈ軸周りの他軸感度は、それぞれωｘ１／ωｚ１、ωｙ１／ωｚ１となり、これらの他軸感度データを、調整装置内の記憶部に格納する。
【００３７】
２．１．２．傾き検出素子による傾斜角１の収集
傾き検出素子７は、例えば重力加速度（１Ｇ）が水平面の法線方向（水平面に対して垂直方向）に作用することを利用して、水平面に対する傾き検出素子７の検出軸の傾きを検出することができる。傾き検出素子７は、加速度検出素子で構成することができる。加速度検出素子７は、図７に示すように、図１に示すＸ軸を検出軸とする第１の加速度検出素子７Ａと、図１に示すＹ軸を検出軸とする第２の加速度検出素子７Ｂと、を含むことができる。
【００３８】
次に、加速度検出素子７を構成する第１の加速度検出素子７Ａおよび第２の加速度検出素子７Ｂから、検出信号Ａｘ，Ａｙが出力される。第１の加速度検出素子７Ａは、図８に示すようにＸ方向水平基準線ＨＳ（Ｘ）に対する支持基板４Ａの傾斜角θｘ１１を求める。第１の加速度検出素子７Ａからの信号に基づいて検出される加速度をＡｘとすると、
Ａｘ＝１Ｇ×ｓｉｎθｘ１１…（１）
の関係が成立する。式（１）に基づいて、傾斜角θｘ１１を求めることができる。よって、パッケージ２の基準面２Ａを水平面上に載置して計測される加速度Ａｘから、水平面に対する第１の加速度検出素子７Ａの検出軸（Ｘ軸）の傾きを検出することができる。
【００３９】
同様に、第２の加速度検出素子７Ｂは、図９に示すようにＹ方向水平基準線ＨＳ（Ｙ）に対する支持基板４Ａの傾斜角θｙ１１を求める。第２の加速度検出素子７Ｂからの信号に基づいて検出される加速度をＡｙとすると、
Ａｙ＝１Ｇ×ｓｉｎθｙ１１…（２）
の関係が成立する。式（２）に基づいて、傾斜角θｙ１１を求めることができる。従って、上記と同様にして、水平面に対する第２の加速度検出素子７Ｂの検出軸（Ｙ軸）の傾きを検出することができる。
【００４０】
もし、検出された加速度Ａｘ＝０，ＡＹ＝０であれば、第１，第２の加速度検出素子７Ａ，７Ｂの検出軸（Ｘ，Ｙ軸）は基準面２Ａ（水平面）と平行であることが分かる。
【００４１】
一方、検出された加速度Ａｘ≠０及び／又はＡｙ≠０であれば、第１，第２の加速度検出素子７Ａ，７Ｂの検出軸（Ｘ，Ｙ軸）は基準面２Ａ（水平面）と平行ではないことが分かる。傾きθｘ１１、θｙ１１は、検出された加速度Ａｘ及び／又はＡｙに基づいて求められ、傾斜角１としてメモリー５３に記憶される（ステップＳ１３）。なお、傾斜角１の利用については後述する。
【００４２】
２．１．３．調整データのメモリーへの格納
先ず、ステップＳ１２で求められたＲｏｌｌ及びＰｉｔｃｈの他軸感度を、調整装置からジャイロセンサー１に入力させる。ステップＳ１２で求められた角速度ωｘ１及びωｙ１が共に零であれば、角速度検出素子４の検出軸は基準面２Ａの法線に対する傾きが無く、法線と平行であることが分かる。一方、角速度ωｘ１及びωｙ１のいずれか一方又は双方が零以外であれば、角速度検出素子４の検出軸は基準面２Ａの法線に対して傾いていることが分かる。この場合には、角速度ωｘ１，ωｙ１に基づいて、角速度検出素子４の検出軸を基準面２Ａの法線と平行となるように、図８及び図９に示す支持基板４ＡのＸ成分の傾斜角θｘ２１とＹ成分の傾斜角θｙ２１が求められる。なお、本明細書において「傾き」とは、傾きの大きさを意味する一次元量でなく、図８及び図９に示すような方向を含んだ２次元量である。これらが調整データ１であるθｘ２１，θｙ２１として、メモリー５３に格納される（ステップＳ１５）。調整データ１であるθｘ２１，θｙ２１は、他軸感度を求める時の既知の角速度をωｘ０、ωｙ０として、次の式から求められる。
ωｘ１＝ωｘ０×ｓｉｎθｘ２１…（３）
ωｙ１＝ωｙ０×ｓｉｎθｙ２１…（４）
【００４３】
以上の説明から明らかなように、工場出荷前に傾き調整データ１をメモリー５３に格納するためには、傾き検出素子７は不要であり、基準面２Ａが水平面に載置されれば、角速度検出素子４と、調整装置とにより実施することができる。
【００４４】
さらに、確認のためにステップＳ１６，１７を実施しても良い、ステップＳ１６では、メモリー５３内の調整データ１であるθｘ２１，θｙ２１が読み出され、図７の制御部５４が傾き調整機構６を駆動する駆動信号を演算し、Ｉ／Ｆ５５を介して傾き調整機構６に出力する。傾き調整機構６は、調整データ１であるθｘ２１，θｙ２１に従って傾き調整を実施する。
【００４５】
ステップＳ１７では、再度、ステップＳ１２と同様にして他軸感度が求められる。それにより、今回測定された角速度ωｘ１及びωｙ１が共に零であれば他軸感度補正は不要であり、零でなければ他軸感度補正が必要であることが確認される。他軸感度補正が必要であれば、式（３）（４）に従ってθｘ２１，θｙ２１を再度求め、補正された調整データ１としてメモリー５３に格納する。この調整データ１が傾きデータとなり、傾きデータに基づいて傾き調整機構６を傾斜させれば、工場出荷前に他軸感度を零にすることができる。
【００４６】
２．２．ジャイロセンサーおよび処理装置の機器搭載時での動作
ジャイロセンサー１および処理装置１０が機器（移動体）に搭載された場合の動作について、図１１に示すフローチャートを参照して説明する。先ず、ジャイロセンサー１が実装された取付板を移動体に取付ける（ステップＳ２１）。次に、図７の処理装置１０内の命令出力部１０Ａから発せられた命令が、ＩＣ５のＩ／Ｆ５５を介して命令受付部５６で受け付けられる。
【００４７】
次に、ステップＳ２３を実施する、ステップＳ２３はステップ１３と同様にして、加速度センサー７Ａ，７Ｂにより求められる加速度から、式（１）（２）に従って、移動体への取付後のＲｏｌｌ（Ｘ）軸及びＰｉｔｃｈ（ｙ）軸の傾斜角２であるθｘ１２、θｙ１２を求める。実使用時にあっては、移動体に取り付けられたジャイロセンサー１の基準面２Ａは、車両への取付位置に依存して、必ずしも水平とはならないからである。傾斜角２であるθｘ１２、θｙ１２は、メモリー５３に記憶される。
【００４８】
さらに、ステップＳ２４を実施する。ステップＳ２４では、傾斜角１であるθｘ１１、θｙ１１と傾斜角２であるθｘ１２、θｙ１２ｓとのＸ，Ｙ軸についての差分（θｘ１１−θｘ１２、θｙ１１−θｙ１２）を制御部５４が演算し、その差分から、角速度検出素子４のＲｏｌｌ、Ｐｉｔｃｈ方向の傾き角調整データを求め、それを調整データ２としてメモリー５３に記憶する。調整データ２は、基準面２Ａが水平ではない状態で使用されるジャイロセンサー１について、ジャイロセンサー１の基準面２Ａが水平であった時に取得された調整データ１を補正するものである。よって、メモリー５３には、調整データ１，２が加算された調整データ３を記憶しても良い。
【００４９】
ステップＳ２５では、制御部５４が、メモリー５３に記憶されたＲｏｌｌ、Ｐｉｔｃｈ方向の傾き角調整データ１，２から駆動信号を演算し、Ｉ／Ｆ５５を介して傾き調整機構６に駆動信号を出力する。傾き調整機構６は、駆動信号に基づいて、Ｘ，Ｙ軸についてそれぞれ傾き調整する。調整データ１，２の傾きデータにより、検出軸であるＹａｗ軸（Ｚ軸）を所定の傾き、すなわち水平面に垂直な姿勢に調整できるので、水平面内の回転、所謂ヨーイングによる角速度を検出し、ピッチングおよびローリングによる角速度は検出しないことを実現できる。これにより、本実施形態のジャイロセンサー１をナビゲーション等の走行制御に用いると、方向誤差が小さく精度の高い走行制御が可能となる。なお、メモリー５３は不揮発性メモリーであるので、移動体の調整時に移動体の制御部または外部装置などから他軸感度調整データの補正を指示する命令を受け付けると、ステップ２３以降の動作を行って調整データ２を更新することができる。そして傾き調整機構６により更新された傾き調整を行うことができる。
【００５０】
３．移動体
図１２は、本実施形態のジャイロセンサー１を含む回路装置９００を含む移動体の例である。本実施形態の回路装置９００は、例えば、車、飛行機、バイク、自転車、ロボット、あるいは船舶等の種々の移動体に組み込むことができる。移動体は、例えばエンジンやモーター等の駆動機構、ハンドルや舵等の操舵機構、各種の電子機器（車載機器）を備えて、地上や空や海上を移動する機器・装置である。図１１は移動体の具体例としての自動車１０００を概略的に示している。自動車１０００には、本実施形態の回路装置９００を含む発振器（不図示）が組み込まれる。制御装置１１００は、この発振器により生成された発振信号（クロック信号）に基づいて種々の制御処理を行う。制御装置１１００は、例えば車体（ボディー）１２００の姿勢に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１３００のブレーキを制御する。なお本実施形態の回路装置６０や回路装置９００（発振器）が組み込まれる機器は、自動車１０００やロボット等の移動体や電子機器に組み込むことができる。
【００５１】
なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また本実施形態及び変形例の全ての組み合わせも、本発明の範囲に含まれる。またジャイロセンサー、電子機器又は移動体の構成及び動作等も、本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形実施が可能である。
【００５２】
例えば、図１に示す支持基板４Ａは必ずしも基板でなくても良く、例えば金属製のリード等であっても良い。さらには、角速度検出素子４は支持基板やリードに支持されなくても良い。図１３に示すように、角速度検出素子４を傾き調整機構８を介してパッケージ２に指示しても良い。この傾き調整機構８は、ベース板８Ａの両側にピエゾ素子８Ｂ，８Ｃを有する。ピエゾ素子８Ｂ，８Ｃへの通電により、傾き調整機構８が図１４に示す矢印Ａに向けて凸となるアーチ状、あるいは矢印Ａに向けて凸となるアーチ状に変形させ、かつ、その変形量を調整できる。傾き調整機構８が図１４に示す矢印Ａに向けて凸となるアーチ状に変形すると、角速度検出素子４の高さ位置は矢印Ｃ方向に下げられる。傾き調整機構８が図１４に示す矢印Ｂに向けて凸となるアーチ状に変形すると、角速度検出素子４の高さ位置は矢印Ｄ方向に上げられる。それにより、角速度検出素子４の検出軸の傾きを調整することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１…ジャイロセンサー、２…基部（パッケージ）、２Ａ  基準面、４…角速度検出素子、４Ａ…支持基板、５…ＩＣ（回路装置）、６…傾き調整機構、７，７Ａ，７Ｂ…傾き検出素子（加速度検出素子）、８，８Ａ，８Ｂ，８Ｃ…傾き調整機構、５１…駆動回路、５２…検出回路、５３メモリー、５４…制御部（調整信号出力回路）、５６…命令受付部、１０…処理回路、１０Ａ…命令出力部、１０００…移動体、１１００…制御装置、１２００…ボディー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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