(57)【要約】【課題】受光素子から保護部材が剥離することを抑制して信頼性を保つとともに高精度化を図ることができる受光装置の提供。【解決手段】受光装置４は、基礎となる基部５と、一方側の板面６１が基部５と接触するとともに光を受光する板状の受光素子６と、受光素子６の他方側の板面６２と接触する板面７１を有し、受光素子６を保護する板状の保護部材７と、受光素子６に保護部材７を固定する固定部材８と、受光素子６の側面６０および保護部材７の側面７０の合計面積よりも固定部材８との接触面積を拡張する面積拡張部９と、を備える。固定部材８は、基部５と、受光素子６の側面６０と、保護部材７の側面７０と、面積拡張部９と、に亘って固定する。【選択図】図１
2019002810.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基礎となる基部と、一方側の板面が前記基部と接触するとともに光を受光する板状の受光素子と、前記受光素子の他方側の板面と接触する板面を有し、前記受光素子を保護する板状の保護部材と、前記受光素子に前記保護部材を固定する固定部材と、を備えた受光装置であって、
前記受光素子の側面および前記保護部材の側面の合計面積よりも前記固定部材との接触面積を拡張する面積拡張部を備え、
前記固定部材は、
前記基部と、前記受光素子の側面と、前記保護部材の側面と、前記面積拡張部と、に亘って固定することを特徴とする受光装置。
【請求項２】
請求項１に記載された受光装置において、
前記面積拡張部は、
前記保護部材の側面に設けられることを特徴とする受光装置。
【請求項３】
請求項２に記載された受光装置において、
前記面積拡張部は、
前記保護部材の側面の全面に設けられることを特徴とする受光装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載された受光装置において、
前記面積拡張部は、
前記受光素子の他方側の板面と接触する前記保護部材の一方側の板面よりも前記保護部材の一方側の板面とは反対側の前記保護部材の他方側の板面の面積が小さくなるように設けられることを特徴とする受光装置。
【請求項５】
光を照射する光源と、
前記光源から光が照射されるスケールと、
前記スケールを介して前記光源からの光を受光する請求項１から請求項４のいずれかに記載された受光装置と、を備えることを特徴とする光電式エンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、受光装置およびこれを備えた光電式エンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、目盛を有するスケールと、スケールに沿って相対移動するヘッドと、を備え、スケールとヘッドとの相対移動量を検出する光電式エンコーダが知られている。ヘッドは、スケールに光を照射する光源と、光源から照射された光をスケールを介して受光する受光素子を有する受光装置と、を備える。スケールおよび受光装置は、外部からの汚れ等から目盛や受光素子を保護する保護部材を備える。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載の光学式変位検出装置（光電式エンコーダ）は、照明手段（光源）と、メインスケール（スケール）と、メインスケールを挟んで照明手段とは反対側に配置される受光器（受光装置）と、を備える。受光器は、受光器の基礎となる基板（基部）と、メインスケールと対向する基板の板面に配置される受光素子と、受光素子の受光面を保護するカバープレート（保護部材）と、基板、受光素子およびカバープレートを固定する耐熱性樹脂（固定部材）と、を備える。
受光素子の受光面には、透光性の接着剤を介してカバープレートが直接貼り付けられている。耐熱性樹脂は、カバープレートが貼り付けられた受光素子の受光面およびメインスケールと対向するカバープレートの板面を除いた、基板、受光素子およびカバープレートの外表面と接触して、これらを一体に固定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１８９５１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような光電式エンコーダでは、保護部材と固定部材との間に隙間ができることがある。この隙間は、受光装置の内部に湿気や空気等が侵入する通路となる。この通路を通ることにより、受光素子と保護部材との間に湿気や空気等が侵入することがある。この侵入した湿気や空気等は、受光素子から保護部材を浮かせて剥離させるという問題がある。
また、保護部材と受光素子との間に侵入した湿気や空気等は、受光素子が受光する光を屈折等させることがある。このため、光電式エンコーダは、測定精度を保つことができないという問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、受光素子から保護部材が剥離することを抑制して信頼性を保つとともに高精度化を図ることができる受光装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の受光装置は、基礎となる基部と、一方側の板面が基部と接触するとともに光を受光する板状の受光素子と、受光素子の他方側の板面と接触する板面を有し、受光素子を保護する板状の保護部材と、受光素子に保護部材を固定する固定部材と、を備えた受光装置であって、受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積よりも固定部材との接触面積を拡張する面積拡張部を備え、固定部材は、基部と、受光素子の側面と、保護部材の側面と、面積拡張部と、に亘って固定することを特徴とする。
【０００８】
ここで、受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積とは、加工等がされていない状態の受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積である。また、固定部材とは、例えば、透光素材の樹脂や、接着剤等である。また、面積拡張部とは、例えば、スケールと対向する保護部材の板面である。または、面積拡張部は、例えば、保護部材に加工等をすることによって設けられた粗面等である。
【０００９】
このような本発明によれば、面積拡張部は、受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積よりも固定部材との接触面積を拡張させることができるため、受光素子までの通路の距離を長くすることができる。したがって、受光装置は、面積拡張部を備えていない場合と比べて、受光素子から保護部材が剥離することを抑制して湿気や空気等の侵入を防ぎ、信頼性を保つとともに高精度化を図ることができる。
【００１０】
例えば、面積拡張部は、スケールと対向する保護部材の板面である場合、固定部材は、基部と、受光素子と、保護部材と、スケールと対向する保護部材の板面と、に亘って固定することで、スケールと対向する保護部材の板面を覆う状態となるため、密封して保護部材を固定することができる。したがって、受光装置は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材と固定部材との間に発生することを抑制し、受光素子から保護部材が剥離することを抑制することができる。
また、例えば、面積拡張部は、保護部材を加工することにより設けられた粗面である場合、面積拡張部は、容易に加工することができる。
【００１１】
この際、面積拡張部は、保護部材の側面に設けられることが好ましい。
【００１２】
ここで、例えば、面積拡張部がスケールと対向する保護部材の板面である場合、スケールを介した光源からの光が入射する受光装置の入射面に固定部材等による凹凸が形成されると、光は、凹凸により屈折した状態で受光素子に入射される。また、例えば、面積拡張部がスケールと対向する保護部材の板面に加工された粗面である場合、粗面により入射面に凹凸が生じ、光は、この凹凸により屈折した状態で受光素子に入射される。これらの場合、光電式エンコーダは、精度を保つことができないという問題がある。
【００１３】
しかしながら、本発明によれば、面積拡張部は、保護部材の側面に設けられるため、スケールを介した光源からの光が入射する受光装置の入射面に固定部材による凹凸や粗面等は形成されない。したがって、光電式エンコーダは、高精度化を図ることができる。
【００１４】
また、面積拡張部は、保護部材の側面に設けられることにより、受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積よりも固定部材と接触する面積を拡張することができる。また、面積拡張部は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材と固定部材との間に発生してしまったとしても、固定部材との接触面積を拡張するため、受光素子までの通路の距離を長くすることができる。したがって、受光装置は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材と固定部材との間に発生することを抑制し、受光素子から保護部材が剥離することを抑制することができる。
【００１５】
この際、面積拡張部は、保護部材の側面の全面に設けられることを特徴とする。
【００１６】
このような構成によれば、面積拡張部は、保護部材の側面の全面に設けられることにより、受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積よりも固定部材と接触する面積を拡張することができる。また、面積拡張部は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材と固定部材との間に発生してしまったとしても、固定部材との接触面積を拡張するため、受光素子までの通路の距離を長くすることができる。したがって、受光装置は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材と固定部材との間に発生することを抑制し、受光素子から保護部材が剥離することをさらに抑制することができる。
【００１７】
この際、面積拡張部は、受光素子の他方側の板面と接触する保護部材の一方側の板面よりも保護部材の一方側の板面とは反対側の保護部材の他方側の板面の面積が小さくなるように設けられることが好ましい。
【００１８】
このような構成によれば、面積拡張部は、受光素子の他方側の板面と接触する保護部材の一方側の板面よりも保護部材の一方側の板面とは反対側の保護部材の他方側の板面の面積が小さくなるように設けられるため、固定部材および基部で保護部材および受光素子を挟むような構造となり、外力に強くすることができる。したがって、受光装置は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材と固定部材との間に発生することを抑制し、受光素子から保護部材が剥離することをさらに抑制することができる。
【００１９】
本発明の光電式エンコーダは、光を照射する光源と、光源から光が照射されるスケールと、スケールを介して光源からの光を受光する前述の受光装置と、を備えることを特徴とする。
【００２０】
このような本発明によれば、光電式エンコーダは、本発明における受光装置を備えることで、測定における信頼性を保つとともに測定精度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図
【図２】本発明の第１実施形態に係る受光装置の製造工程を示す図
【図３】本発明の第２実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図
【図４】本発明の第３実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図
【図５】本発明の第４実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図
【図６】本発明の変形例に係る受光装置を示す断面図
【発明を実施するための形態】
【００２２】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図である。
エンコーダ１は、図１に示すように、光を照射する光源２と、光源２に対向して配置されるとともに光源２から光が照射されるスケール３と、スケール３を介して光源２からの光を受光するとともに受光した光を電気信号にする受光装置４と、を備える光電式エンコーダである。
【００２３】
スケール３は、ガラス等の透光素材で長尺状に形成されている。スケール３は、スケール３の長手方向（紙面左右方向）に沿って図示しない目盛を備えている。
光源２からの光は、スケール３の目盛を介して受光装置４に照射されると、受光装置４上に目盛と同じ周期の干渉縞を生成する。
光源２は、例えば発光ダイオード（Light Emitting Diode）である。
【００２４】
受光装置４は、基礎となる基部５と、一方側の板面６１が基部５と接触するとともに光を受光する板状の受光素子６と、受光素子６の他方側の板面６２と接触する板面７１を有し、受光素子６を保護する板状の保護部材７と、受光素子６に保護部材７を固定する固定部材８と、固定部材８の形状を規定する枠体１０と、を備える。
基部５は、受光装置４の基礎として略矩形板状に形成されている。
【００２５】
受光素子６は、基部５上に設けられたＰＤＡ（Photo Diode Array）である。ＰＤＡは、１度に複数の干渉縞を測定することができる性質を持つ検出器である。なお、受光素子６はＰＤＡに限らず、ＰＳＤ（Position Sensitive Detector）やＣＣＤ（Charge-Coupled Device）等の任意の検出器を用いてもよい。
【００２６】
保護部材７は、受光素子６の他方側の板面６２と接触する一方側の板面７１と、保護部材７の一方側の板面７１とは反対側の保護部材７の他方側の板面７２と、を有する。保護部材７は、透光素材であるガラスで略矩形板状に形成されている。保護部材７の側面の全面には、固定部材８との接触面積を受光素子６の側面６０および保護部材７の側面７０の合計面積よりも拡張する面積拡張部９が設けられている。
保護部材７の一方側の板面７１および他方側の板面７２は、スケール３の目盛を備える板面と平行な平滑面である。
【００２７】
面積拡張部９は、保護部材７の一方側の板面７１よりも他方側の板面７２の面積が小さくなるように設けられている。具体的には、面積拡張部９は、保護部材７の他方側の板面７２の端部や角をヤスリ等で面取りすることで形成されている。
【００２８】
固定部材８は、基部５と、受光素子６の側面６０と、保護部材７の側面７０と、面積拡張部９と、に亘って一体に固定する接着剤である。なお、固定部材８は、透明素材の樹脂等であってもよく、基部５と、受光素子６の側面６０と、保護部材７の側面７０と、面積拡張部９等と、を固定することができればよい。
枠体１０は、固定部材８が基部５上を流れないように、受光素子６の側面６０および保護部材７の側面７０を囲うように配置された板状部材である。
【００２９】
図２は、本発明の第１実施形態に係る受光装置の製造工程を示す図である。
以下、受光装置４の製造工程について、図２を参照して説明する。
図２（Ａ）に示すように、先ず、基部５上に、受光素子６および枠体１０を設置する。この際、基部５と受光素子６の一方側の板面６１および枠体１０を接着剤等で固定する。なお、基部５と受光素子６の一方側の板面６１および枠体１０は、接着剤等を用いずに固定してもよく、密着させて設置してもよい。
【００３０】
次に、図２（Ｂ）に示すように、基部５上に設置された受光素子６上に保護部材７を接触させて設置する。この際、受光素子６の他方側の板面６２および保護部材７の一方側の板面７１との間に湿気や空気等が混入しないように密着させて設置する。なお、受光素子６の他方側の板面６２および保護部材７の一方側の板面７１は、接着剤等で固定してもよい。
続いて、図２（Ｃ）に示すように、固定部材８を用いて、基部５と、受光素子６と、保護部材７と、面積拡張部９と、を固定する。なお、枠体１０は、固定部材８が凝固した後、取り外してもよい。
【００３１】
このような本実施形態によれば、以下の作用・効果を奏することができる。
（１）面積拡張部９は、受光素子６の側面６０および保護部材７の側面７０の合計面積よりも固定部材８との接触面積を拡張させることができる。そして、面積拡張部９は、固定部材８との接触面積を拡張するため、受光素子６までの通路の距離を長くすることができる。したがって、受光装置４は、面積拡張部９を備えていない場合と比べて、受光素子６から保護部材７が剥離することを抑制して湿気や空気等の侵入を防ぎ、信頼性を保つとともに高精度化を図ることができる。
【００３２】
（２）面積拡張部９は、保護部材７の側面７０に設けられるため、スケール３を介した光源２からの光が入射する受光装置４の入射面に固定部材８による凹凸や粗面等は形成されない。したがって、エンコーダ１は、高精度化を図ることができる。
（３）面積拡張部９は、保護部材７の側面７０の全面に設けられることにより、受光素子６の側面６０および保護部材７の側面７０の合計面積よりも固定部材８と接触する面積を拡張することができる。また、面積拡張部９は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材７と固定部材８との間に発生してしまったとしても、固定部材８との接触面積を拡張するため、受光素子６までの通路の距離を長くすることができる。したがって、受光装置４は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材７と固定部材８との間に発生することを抑制し、受光素子６から保護部材７が剥離することをさらに抑制することができる。
【００３３】
（４）面積拡張部９は、受光素子６の他方側の板面６２と接触する保護部材７の一方側の板面７１よりも保護部材７の他方側の板面７２の面積が小さくなるように設けられるため、固定部材８および基部５で保護部材７および受光素子６を挟むような構造となり、外力に強くすることができる。したがって、受光装置４は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材７と固定部材８との間に発生することを抑制し、受光素子６から保護部材７が剥離することをさらに抑制することができる。
（５）エンコーダ１は、本発明における受光装置４を備えることで、測定における信頼性を保つとともに測定精度の向上を図ることができる。
【００３４】
〔第２実施形態〕
以下、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００３５】
図３は、本発明の第２実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図である。
前記第１実施形態では、エンコーダ１の受光装置４における保護部材７は、ガラスで形成されていた。
本実施形態のエンコーダ１Ａの受光装置４Ａにおける保護部材７Ａは、透光素材であるプラスチックで形成されている点で前記第１実施形態の保護部材７と異なる。
保護部材７Ａは、プラスチックで形成されることにより、ガラスで形成される場合と比較して、容易に加工することができる。
【００３６】
前記第１実施形態では、保護部材７の面積拡張部９は、保護部材７の他方側の板面７２の端部や角をヤスリ等で面取りすることで形成されていた。
本実施形態の保護部材７Ａの面積拡張部９Ａは、図３に示すように、保護部材７Ａの一方側の板面７１Ａよりも保護部材７Ａの他方側の板面７２Ａの面積が小さくなるように、断面略台形状に形成されている点で、前記第１実施形態の面積拡張部９と異なる。
【００３７】
面積拡張部９Ａは、保護部材７Ａの側面７０Ａの全面に断面略台形状に形成されることで、保護部材７Ａと固定部材８との接触面積を拡張させることができる。また、面積拡張部９Ａは、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材７Ａと固定部材８との間に発生してしまったとしても、固定部材８との接触面積を拡張し、受光素子６までの通路の距離を長くすることができるため、湿気や空気等の侵入を抑制することができる。
【００３８】
このような本実施形態においても、前記第１実施形態における（１）〜（５）と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
（６）保護部材７Ａの面積拡張部９Ａは、断面略台形状に形成されることで、固定部材８と保護部材７Ａとの接触面積を拡張し、受光素子６から保護部材７Ａが剥離することを抑制することができる。
【００３９】
〔第３実施形態〕
以下、本発明の第３実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００４０】
図４は、本発明の第３実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図である。
前記第２実施形態では、エンコーダ１Ａの受光装置４Ａにおける保護部材７Ａの面積拡張部９Ａは、保護部材７Ａの一方側の板面７１Ａよりも保護部材７Ａの他方側の板面７２Ａの面積が小さくなるように、断面略台形状に形成されていた。
本実施形態のエンコーダ１Ｂの受光装置４Ｂにおける保護部材７Ｂの面積拡張部９Ｂは、図４に示すように、保護部材７Ｂの板面７１Ｂよりも保護部材７Ｂの板面７２Ｂの面積が小さくなるように、断面略階段状に形成されている点で、前記第２実施形態の面積拡張部９Ａと異なる。
【００４１】
面積拡張部９Ｂは、保護部材７Ｂの側面７０Ｂの全面に断面略階段状に形成されることで、保護部材７Ｂと固定部材８との接触面積を拡張させることができる。また、面積拡張部９Ｂは、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材７Ｂと固定部材８との間に発生してしまったとしても、固定部材８との接触面積を拡張し、受光素子６までの通路の距離を長くすることができるため、湿気や空気等の侵入を抑制することができる。
【００４２】
このような本実施形態においても、前記第１実施形態における（１）〜（５）と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
（７）保護部材７Ｂの面積拡張部９Ｂは、断面略階段状に形成されることで、固定部材８と保護部材７Ｂとの接触面積を拡張し、受光素子６から保護部材７Ｂが剥離することを抑制することができる。
【００４３】
〔第４実施形態〕
以下、本発明の第４実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００４４】
図５は、本発明の第４実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図である。
前記第３実施形態では、エンコーダ１Ｂの受光装置４Ｂにおける保護部材７Ｂの面積拡張部９Ｂは、保護部材７Ｂの一方側の板面７１Ｂよりも保護部材７Ｂの他方側の板面７２Ｂの面積が小さくなるように、断面略階段状に形成されていた。
本実施形態のエンコーダ１Ｃの受光装置４Ｃにおける保護部材７Ｃの面積拡張部９Ｃは、図５に示すように、保護部材７Ｃの一方側の板面７１Ｃおよび保護部材７Ｃの他方側の板面７２Ｃは、ほぼ同じ大きさの面積になるように断面略工字状に形成されるとともに、粗面に加工されている点で、前記第３実施形態の面積拡張部９Ｂと異なる。
【００４５】
面積拡張部９Ｃは、例えばサンドブラストやヤスリ等で荒らすことにより加工される。面積拡張部９Ｃは、保護部材７Ｃの側面７０Ｃの全面を粗面にすることで、保護部材７Ｃと固定部材８との接触面積を拡張させることができる。また、面積拡張部９Ｃは、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材７Ｃと固定部材８との間に発生してしまったとしても、固定部材８との接触面積を拡張し、受光素子６までの通路の距離を長くすることができるため、湿気や空気等の侵入を抑制することができる。
【００４６】
このような本実施形態においても、前記第１実施形態における（１）〜（５）と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
（８）保護部材７Ｃの面積拡張部９Ｃは、粗面に形成されることで、固定部材８と保護部材７Ｃとの接触面積を拡張し、受光素子６から保護部材７Ｃが剥離することを抑制することができる。
（９）面積拡張部９Ｃは、粗面であるため、容易に加工することができる。
【００４７】
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、エンコーダ１に本発明である受光装置４，４Ａ〜４Ｃを用いる場合を説明したが、その他の測定器等においても利用可能であり、受光装置４，４Ａ〜４Ｃを何に実装するかについては、特に限定されるものではない。
【００４８】
前記第各実施形態では、面積拡張部９，９Ａ〜９Ｃは、保護部材７，７Ａ〜７Ｃの側面７０，７０Ａ〜７０Ｃの全面に形成されていたが、保護部材７，７Ａ〜７Ｃの側面７０，７０Ａ〜７０Ｃの一部に形成されていてもよいし、保護部材７，７Ａ〜７Ｃの板面７２，７２Ａ〜７２Ｃに亘って形成されていてもよい。また、前記第１実施形態〜第３実施形態では、面積拡張部９，９Ａ，９Ｂは、粗面に加工されていなかったが、粗面に加工されていてもよい。
【００４９】
また、前記第１実施形態〜前記第３実施形態では、保護部材７，７Ａ、７Ｂの面積拡張部９，９Ａ，９Ｂは、保護部材７，７Ａ、７Ｂの一方側の板面７１，７１Ａ，７１Ｂよりも保護部材７，７Ａ、７Ｂの他方側の板面７２，７２Ａ，７２Ｂの面積が小さくなるように形成されていたが、面積拡張部は、保護部材の一方側の板面よりも保護部材の他方側の板面の面積が小さくなるように形成されていなくてもよい。例えば、面積拡張部は、保護部材の一方側の板面よりも保護部材の他方側の板面の面積が大きくなるように形成されていてもよいし、保護部材の一方側の板面および保護部材の他方側の板面の面積がほぼ同じ大きさになるように形成されていてもよい。
【００５０】
図６は、本発明の変形例に係る受光装置を示す断面図である。
前記各実施形態では、固定部材８は、保護部材７，７Ａ〜７Ｃの他方側の板面７２，７２Ａ〜７２Ｃとは接触せずに設けられていたが、図６（Ａ）に示すように、受光装置４Ｄの保護部材７Ｄの他方側の板面７２Ｄを面積拡張部９Ｄとした場合、固定部材８は、保護部材７Ｄの他方側の板面７２Ｄの全面を覆うように設けられていてもよい。このような構成により、面積拡張部９Ｄは、受光素子６の側面６０および保護部材７Ｄの側面７０Ｄの合計面積よりも固定部材８との接触面積を拡張することができる。
【００５１】
また、固定部材８は、基部５と、受光素子６と、保護部材７Ｄの他方側の板面７２Ｄと、に亘って固定することで、密封して保護部材７Ｄを固定することができる。
したがって、受光装置４Ｄは、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材７Ｄと固定部材８との間に発生することを抑制し、受光素子６から保護部材７Ｄが剥離することを抑制することができる。
【００５２】
また、図６（Ｂ）に示すように、受光装置４Ｅの保護部材７Ｅの他方側の板面７２Ｅを面積拡張部９Ｅとした場合、保護部材７Ｅの他方側の板面７２Ｅの一部を覆うように、受光装置４Ｅの入射面への光の入射を阻害しない範囲に固定部材８が設けられていてもよい。
このような構成により、面積拡張部９Ｅは、受光素子６の側面６０および保護部材７Ｅの側面７０Ｅの合計面積よりも固定部材８との接触面積を拡張することができる。
すなわち、面積拡張部は、受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積よりも固定部材との接触面積を拡張することができればよい。
【００５３】
前記第１実施形態では、保護部材７はガラスで形成され、前記第２実施形態〜前記第４実施形態では、保護部材７Ａ〜７Ｃはプラスチックで形成されていたが、保護部材は、透光素材で形成されていればどのような素材を用いて形成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
以上のように、受光素子から保護部材が剥離することを抑制して信頼性を保つとともに高精度化を図ることができる受光装置に好適に利用できる。
【符号の説明】
【００５５】
１，１Ａ〜１Ｃ            エンコーダ
２                        光源
３                        スケール
４，４Ａ〜４Ｅ            受光装置
５                        基部
６                        受光素子
７，７Ａ〜７Ｅ            保護部材
８                        固定部材
９，９Ａ〜９Ｅ            面積拡張部
６０                        受光素子の側面
７０                        保護部材の側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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