(57)【要約】【課題】フロートガラスの面内全体での板厚偏差を低減し、且つフロートガラスの狭い範囲での板厚の急激な変動を抑制した、フロートガラス製造装置の提供。【解決手段】溶融金属を収容する浴槽を備え、溶融ガラスを前記溶融金属上で流動させながらガラスリボンに成形するフロートガラス製造装置であって、前記浴槽は、箱状の金属ケーシングと、前記金属ケーシングの底面に載置され前記溶融金属の下面に接する複数のボトム煉瓦とを有し、前記ガラスリボンの幅方向に隣り合う前記ボトム煉瓦の間には目地が形成され、前記ガラスリボンの幅方向に一列に並ぶ複数の前記ボトム煉瓦でボトム煉瓦列が構成され、前記ガラスリボンの流動方向に隣り合う前記ボトム煉瓦列の間には境界線が形成され、少なくとも１つの前記境界線において、上流側の前記ボトム煉瓦列の前記目地と、下流側の前記ボトム煉瓦列の前記目地とが１箇所以上で不連続であることを特徴とするフロートガラス製造装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融金属を収容する浴槽を備え、該浴槽内の溶融金属上に連続的に供給される溶融ガラスを前記溶融金属上で流動させながらガラスリボンに成形するフロートガラス製造装置であって、
前記浴槽は、箱状の金属ケーシングと、前記金属ケーシングの底面に載置され前記溶融金属の下面に接する複数のボトム煉瓦とを有し、
前記ガラスリボンの幅方向に隣り合う前記ボトム煉瓦の間には目地が形成され、前記ガラスリボンの幅方向に一列に並ぶ複数の前記ボトム煉瓦でボトム煉瓦列が構成され、
前記ガラスリボンの流動方向に隣り合う前記ボトム煉瓦列の間には境界線が形成され、
少なくとも１つの前記境界線において、上流側の前記ボトム煉瓦列の前記目地と、下流側の前記ボトム煉瓦列の前記目地とが１箇所以上で不連続であることを特徴とするフロートガラス製造装置。
【請求項２】
前記浴槽は、前記ガラスリボンの流動方向の下流端から上流側に向けて、前記浴槽の幅方向寸法が一定であるナロー域、前記浴槽の幅方向寸法が徐々に大きくなる中間域、前記浴槽の幅方向寸法が前記ナロー域よりも大きく且つ一定であるワイド域をこの順で有し、
前記ワイド域において、少なくとも１つの前記境界線では、上流側の前記ボトム煉瓦列の前記目地と、下流側の前記ボトム煉瓦列の前記目地とが１箇所以上で不連続である、請求項１に記載のフロートガラス製造装置。
【請求項３】
前記ガラスリボンの流動方向に沿って間隔をおいて設けられ、前記ガラスリボンの幅方向両端部を支持する複数対のトップロールを備え、
最上流の一対のトップロールと前記ガラスリボンとの接触位置から最下流の一対のトップロールと前記ガラスリボンとの接触位置までの成形域において、少なくとも１つの前記境界線では、上流側の前記ボトム煉瓦列の前記目地と、下流側の前記ボトム煉瓦列の前記目地とが１箇所以上で不連続である、請求項１または２に記載のフロートガラス製造装置。
【請求項４】
前記溶融金属の上方に設けられる複数のヒータと、複数の制御器とを備え、複数の前記ヒータを設けるヒータ領域を前記ガラスリボンの流動方向に複数の列に分割し、各列を前記ガラスリボンの幅方向に区割りしてなる各区画には、それぞれ、複数の前記ヒータが設けられ、対応する１つの前記制御器で一括制御される、請求項１〜３のいずれか一項に記載のフロートガラス製造装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のフロートガラス製造装置を用いて前記溶融ガラスを前記ガラスリボンに成形し、
前記ガラスリボンからガラス板を切り出す、フロートガラス製造方法。
【請求項６】
縦方向寸法が９５０ｍｍ以上、横方向寸法が１０００ｍｍ以上および平均板厚が０．７５ｍｍ以下の平面視矩形状のフロートガラスであって、
面内全体における板厚の最大値と最小値との差が２０μｍ以下であり、
面内における任意の点を中心点とし、縦方向および横方向の寸法が１５０ｍｍである正方形の範囲では、前記板厚の最大値と最小値との差が４．０μｍ以下であることを特徴とするフロートガラス。
【請求項７】
面内全体における前記板厚の最大値と最小値との差が１０μｍ以下である、請求項６に記載のフロートガラス。
【請求項８】
前記平均板厚が０．４５ｍｍ以下である、請求項６または７に記載のフロートガラス。
【請求項９】
縦方向寸法が１７００ｍｍ以上および横方向寸法が２０００ｍｍ以上である、請求項６〜８のいずれか一項に記載のフロートガラス。
【請求項１０】
酸化物基準の質量％表示で、
ＳｉＯ２：５４〜６６％、
Ａｌ２Ｏ３：１０〜２３％、
Ｂ２Ｏ３：０〜１２％、
ＭｇＯ：０〜１２％、
ＣａＯ：０〜１５％、
ＳｒＯ：０〜１６％、
ＢａＯ：０〜１５％、
ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：８〜２６％
を含有する無アルカリガラスで構成される、請求項６〜９のいずれか一項に記載のフロートガラス。
【請求項１１】
前記無アルカリガラスは、酸化物基準の質量％表示で、Ｂ２Ｏ３の含有量が５％以下である、請求項１０に記載のフロートガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フロートガラス製造装置、フロートガラス製造方法、およびフロートガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス基板の面内全体での板厚偏差は、フォトリソグラフィ工程における露光機の焦点ずれに影響する。ＦＰＤ用ガラス基板、特に液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用ガラス基板は、板厚偏差に対する要求が厳しく、例えば１５００ｍｍの範囲で２０μｍ以下であることが求められる。板厚偏差とは、板厚の最大値と板厚の最小値との差のことである。
【０００３】
板厚偏差を低減する方法として、特許文献１には、フロートバスのヒータ領域をガラスリボンの流動方向および幅方向に区画し、各区画に複数のヒータを設け、複数のヒータを区画毎に制御する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１３９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、ＬＣＤの高精細化に伴い板厚偏差に対する要求が一段と厳しくなっており、特にモバイル用途では、従来の板厚規格を満たしていても、露光機の焦点ずれが生じる場合があった。この問題は、狭い範囲で板厚が急激に変わる場合に発生することが分かった。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、フロートガラスの面内全体での板厚偏差を低減し、且つフロートガラスの狭い範囲での板厚の急激な変動を抑制した、フロートガラス製造装置の提供を主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、
溶融金属を収容する浴槽を備え、該浴槽内の溶融金属上に連続的に供給される溶融ガラスを前記溶融金属上で流動させながらガラスリボンに成形するフロートガラス製造装置であって、
前記浴槽は、箱状の金属ケーシングと、前記金属ケーシングの底面に載置され前記溶融金属の下面に接する複数のボトム煉瓦とを有し、
前記ガラスリボンの幅方向に隣り合う前記ボトム煉瓦の間には目地が形成され、前記ガラスリボンの幅方向に一列に並ぶ複数の前記ボトム煉瓦でボトム煉瓦列が構成され、
前記ガラスリボンの流動方向に隣り合う前記ボトム煉瓦列の間には境界線が形成され、
少なくとも１つの前記境界線において、上流側の前記ボトム煉瓦列の前記目地と、下流側の前記ボトム煉瓦列の前記目地とが１箇所以上で不連続であることを特徴とするフロートガラス製造装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一態様によれば、フロートガラスの面内全体での板厚偏差を低減し、且つフロートガラスの狭い範囲での板厚の急激な変動を抑制した、フロートガラス製造装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、一実施形態によるフロートガラス製造装置の断面図である。
【図２】図２は、図１のII−II線に沿ったフロートガラス製造装置の断面図である。
【図３】図３は、一実施形態による浴槽、ガラスリボンおよびトップロールを示す平面図である。
【図４】図４は、実施例１による浴槽を構成するボトム煉瓦およびサイド煉瓦の配置を示す平面図である。
【図５】図５は、実施例１によるヒータ制御区画の配置を示す平面図である。
【図６】図６は、実施例１および比較例１による横方向寸法１０００ｍｍのフロートガラスのＹ方向における板厚分布を示す図である。
【図７】図７は、実施例１および比較例１による横方向寸法２０００ｍｍのフロートガラスのＹ方向における板厚分布を示す図である。
【図８】図８は、比較例１による浴槽のボトム煉瓦およびサイド煉瓦の配置を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。各図面において、同一の又は対応する構成には、同一の又は対応する符号を付して説明を省略する。
【００１１】
（フロートガラス製造装置の概略）
図１は、一実施形態によるフロートガラス製造装置の断面図である。図２は、図１のII−II線に沿ったフロートガラス製造装置の断面図である。図１および図２において、図３に示すトップロール６０の図示を省略する。図３は、一実施形態による浴槽、ガラスリボンおよびトップロールを示す平面図である。各図面において、Ｘ方向はガラスリボン６の流動方向、Ｙ方向はガラスリボン６の幅方向、Ｚ方向は鉛直方向である。Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、互いに垂直な方向である。
【００１２】
フロートガラス製造装置１０は、溶融ガラス４が浮かぶ溶融金属２を収容する浴槽２０を有する。溶融金属２としては、代表的には溶融スズまたは溶融スズ合金が用いられる。溶融ガラス４は、浴槽２０に収容される溶融金属２の上に連続的に供給され、溶融金属２の上において上流側から下流側に流動されながら板状のガラスリボン６に成形される。ガラスリボン６は、溶融金属２の液面上を矢印Ａ方向に流動しながら徐々に冷却され固くなる。ガラスリボン６は、浴槽２０の下流域において溶融金属２から引き上げられ、徐冷炉に向けて送られる。徐冷炉で徐冷されたガラスリボン６を所定の寸法に切断することで、ガラス板（フロートガラス）が製造される。
【００１３】
フロートガラス製造装置１０は、浴槽２０の上方に設けられる天井３０と、天井３０から吊り下げられる複数のヒータ４０と、複数のヒータ４０を制御する複数の制御器５０とを有する。複数のヒータ４０は、複数の制御器５０の制御下で、下方を通過するガラスリボン６を加熱する。各ヒータ４０には、例えば、通電加熱される電気ヒータが使用される。各ヒータ４０の形状は、特に限定されないが、例えば棒状であってよい。各ヒータ４０の発熱量を制御することによって、ガラスリボン６の温度分布が制御される。複数の制御器５０は、複数のヒータ４０の発熱量を制御する機器である。各制御器５０は、マイクロコンピュータなどで構成される。
【００１４】
フロートガラス製造装置１０は、ガラスリボン６の流動方向に沿って間隔をおいて設けられ、ガラスリボン６の幅方向両端部を支持する複数対のトップロール６０（図３参照）を有する。複数対のトップロール６０は、ガラスリボン６の幅方向両端部を支持することにより、ガラスリボン６の幅が表面張力によって狭まるのを抑制する。各トップロール６０は、ガラスリボン６の幅方向端部を支持する円盤状のトップロール本体６１と、トップロール本体６１に連結される回転軸６２とで構成される。円盤状のトップロール本体６１と回転軸６２とは同軸的に設けられる。回転軸６２を電気モータなどの駆動装置で回転駆動させると、トップロール本体６１が回転してガラスリボン６を下流側に送り出す。
【００１５】
（浴槽）
浴槽２０は、図３に示すように、下流端から上流側に向けて、浴槽２０の幅方向寸法が一定であるナロー域Ａ１、浴槽２０の幅方向寸法が徐々に大きくなる中間域Ａ２、浴槽２０の幅方向寸法がナロー域Ａ１よりも大きく且つ一定であるワイド域Ａ３をこの順で有する。ワイド域Ａ３のＸ方向寸法Ｘ１は、例えば、浴槽２０に収容されている溶融金属２のＸ方向寸法Ｘ０の３０％以上８０％以下である。
【００１６】
複数対のトップロール６０は、ワイド域Ａ３においてガラスリボン６の幅方向両端部を支持する。最上流の一対のトップロール６０とガラスリボン６との接触位置から最下流の一対のトップロール６０とガラスリボン６との接触位置までの領域を、成形域Ａ４とも呼ぶ。成形域Ａ４では、ガラスリボン６の幅方向中心（Ｙ方向中心）の粘度は、例えば１０４．５ｄＰａ・ｓ以上１０７．５ｄＰａ・ｓ以下である。
【００１７】
浴槽２０は、図２に示すように、箱状の金属ケーシング２１と、金属ケーシング２１の底面に載置され溶融金属２の側面に接する複数のサイド煉瓦２２と、金属ケーシング２１の底面に載置され溶融金属２の下面に接する複数のボトム煉瓦２３とを有する。複数のサイド煉瓦２２は、金属ケーシング２１の側面に近接して並べられ、複数のボトム煉瓦２３は、複数のサイド煉瓦２２の内側にＸ方向およびＹ方向に並べられる。
【００１８】
Ｙ方向に隣り合うボトム煉瓦２３の間には、目地２４が形成される。目地２４とは隙間のことである。目地２４への溶融金属２の流れ込みを防止することは困難である。目地２４に流れ込んだ溶融金属２は、金属ケーシング２１の底面まで達する。
【００１９】
金属ケーシング２１と溶融金属２との反応を抑制するため、金属ケーシング２１の下方には金属ケーシング２１の下面に空気などの冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル２５が設けられる。冷却ノズル２５は、冷却ガスを矢印Ｂ方向（上向き）に噴射する。これにより、金属ケーシング２１の温度を溶融金属２の融点以下に低減でき、溶融金属２と金属ケーシング２１との反応を抑制できる。
【００２０】
図４は、実施例１による浴槽を構成するボトム煉瓦およびサイド煉瓦の配置を示す平面図である。ボトム煉瓦２３は、Ｘ方向およびＹ方向に複数配設される。Ｙ方向に一列に並ぶ複数のボトム煉瓦２３でボトム煉瓦列２６が構成される。ボトム煉瓦列２６はＸ方向に複数並べられ、Ｘ方向に隣り合うボトム煉瓦列２６の間には境界線２７が形成される。尚、ボトム煉瓦列２６の数は、図４に示すものには限定されない。また、各ボトム煉瓦列２６におけるボトム煉瓦２３の数は、図４に示すものには限定されない。
【００２１】
ところで、目地２４には溶融金属２が流れ込み、溶融金属２はボトム煉瓦２３に比べて高い熱伝導率を有する。そのため、目地２４は、ボトム煉瓦２３に比べて、冷却ノズル２５によって冷えやすく、低温になる傾向にある。目地２４とボトム煉瓦２３とは交互にＹ方向に並ぶため、Ｙ方向に温度ムラが形成される。
【００２２】
そこで、本実施形態では、少なくとも一つの境界線２７において、上流側のボトム煉瓦列２６の目地２４と、下流側のボトム煉瓦列２６の目地２４とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。例えば、上流側（図４では左側）からｋ番目の境界線２７−ｋにおいて、上流側からｋ番目のボトム煉瓦列２６−ｋの目地２４と、上流側からｋ＋１番目のボトム煉瓦列２６−ｋ＋１の目地２４とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。ここで、ｋは、１以上の少なくとも１つの自然数であって、例えば図４では１以上１１以下の任意の自然数である。
【００２３】
ガラスリボン６のうち、ｋ番目のボトム煉瓦列２６−ｋにおいて低温の目地２４の上方を通過した部位は、続くｋ＋１番目のボトム煉瓦列２６−ｋ＋１において高温のボトム煉瓦２３の上方を通過する。また、ガラスリボン６のうち、ｋ番目のボトム煉瓦列２６−ｋにおいて高温のボトム煉瓦２３の上方を通過した部位は、続くｋ＋１番目のボトム煉瓦列２６−ｋ＋１において低温の目地２４の上方を通過する。従って、ガラスリボン６のＹ方向における温度ムラを抑制でき、ガラスリボン６のＹ方向における板厚ムラを低減できる。
【００２４】
ガラスリボン６のＹ方向における板厚ムラを低減できれば、ガラスリボン６のＸ方向には板厚ムラは生じないため、ガラスリボン６の全体における板厚ムラを低減できる。ここで、ガラスリボン６のＸ方向の板厚ムラは、トップロール６０による引張力が支配的なＹ方向の板厚ムラとは異なり、徐冷炉における搬送ロールによる引張力が支配的である。そのため、徐冷炉におけるガラスリボン６の搬送速度が一定であれば、搬送ロールによる引張力が一定になり、ガラスリボン６のＸ方向の板厚ムラは生じない。
【００２５】
その結果、縦方向寸法が９５０ｍｍ以上、横方向寸法が１０００ｍｍ以上および平均板厚が０．７５ｍｍ以下の平面視矩形状のフロートガラスであって、面内全体における板厚の最大値と最小値との差が２０μｍ以下であり、面内における任意の点を中心点とし、縦方向および横方向の寸法が１５０ｍｍである正方形の範囲では板厚の最大値と最小値との差が４．０μｍ以下であるフロートガラスが得られる。ここで、縦方向寸法とは平面視矩形状のフロートガラスの短辺方向寸法のことであり、横方向寸法とは平面視矩形状のフロートガラスの長辺方向寸法のことである。平面視とは、図４等ではＺ方向から見ることを意味する。
【００２６】
本実施形態では、ワイド域Ａ３において、少なくとも一つの境界線２７では、上流側のボトム煉瓦列２６の目地２４と、下流側のボトム煉瓦列２６の目地２４とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。ワイド域Ａ３は中間域Ａ２やナロー域Ａ１に比べて高温であり、ワイド域Ａ３においてガラスリボン６の寸法や形状の調整が行われるためである。中間域Ａ２やナロー域Ａ１では、ガラスリボン６の粘度が高いため、ガラスリボン６の寸法や形状の調整は困難である。
【００２７】
本実施形態では、成形域Ａ４において、少なくとも一つの境界線２７では、上流側のボトム煉瓦列２６の目地２４と、下流側のボトム煉瓦列２６の目地２４とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。ワイド域Ａ３の中でも成形域Ａ４において、トップロール６０を用いてガラスリボン６の寸法や形状の調整が行われるためである。
【００２８】
本実施形態では、溶融金属２の上流端からのＸ方向距離が０．１×Ｘ０以上０．５×Ｘ０以下の領域Ａ５において、少なくとも一つの境界線２７では、上流側のボトム煉瓦列２６の目地２４と、下流側のボトム煉瓦列２６の目地２４とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。
【００２９】
各ボトム煉瓦列２６において、複数の目地２４は、浴槽２０のＹ方向中心線２０Ｌを中心に線対称に設けられてよい。これにより、溶融金属２の温度分布、ひいてはガラスリボン６の温度分布を、浴槽２０のＹ方向中心線２０Ｌを中心に線対称にすることができる。その結果、ガラスリボン６の板厚分布の制御が容易である。
【００３０】
（ヒータ）
図５は、実施例１によるヒータ制御区画の配置を示す平面図である。図５には、ワイド域Ａ３におけるヒータ制御区画の配置を図示し、中間域Ａ２やナロー域Ａ１におけるヒータ制御区画の配置の図示を省略する。ワイド域Ａ３のみならず、中間域Ａ２やナロー域Ａ１にもヒータ４０を設けてよい。
【００３１】
図５に示すように、複数のヒータ４０を設けるヒータ領域は、Ｘ方向に複数のヒータ制御列４１に分割される。各ヒータ制御列４１は、Ｙ方向に複数のヒータ制御区画４２に区割りされる。尚、ヒータ制御列４１の数は、図５に示すものには限定されない。また、各ヒータ制御列４１におけるヒータ制御区画４２の数は、図５に示すものには限定されない。
【００３２】
各ヒータ制御区画４２には、それぞれ、複数のヒータ４０が設けられており、対応する１つの制御器５０（図１参照）によって一括制御される。これにより、制御器５０の数を低減することができる。なお、１つのヒータ制御区画４２に設けられる複数のヒータ４０は、それぞれの発熱量が略同一となるように、対応する１つの制御器５０によって一括制御される。
【００３３】
Ｘ方向に隣接する２つのヒータ制御列４１は、１本の分割線４５で分割されている。この分割線４５は、Ｘ方向に隣り合う実際のヒータ４０間のほぼ中央に位置する。一方、Ｙ方向に隣接する２つのヒータ制御区画４２は、１本の区割り線４６で分割されている。この区割り線４６は、Ｙ方向に隣り合う実際のヒータ４０間のほぼ中央に位置する。
【００３４】
ところで、１つのヒータ制御列４１において、Ｙ方向に隣接する２つのヒータ制御区画４２で、単位面積あたりの発熱量が異なると、区割り線４６付近においてＹ方向に急激な温度変化が生じる。
【００３５】
そこで、本実施形態では、少なくとも一つの分割線４５において、上流側のヒータ制御列４１の区割り線４６と、下流側のヒータ制御列４１の区割り線４６とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。例えば、上流側（図５では左側）からｍ番目の分割線４５−ｍにおいて、上流側からｍ番目のヒータ制御列４１−ｍの区割り線４６と、上流側からｍ＋１番目のヒータ制御列４１−ｍ＋１の区割り線４６とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。ここで、ｍは、１以上の少なくとも１つの自然数であって、例えば図５では１以上６以下の任意の自然数である。
【００３６】
ガラスリボン６のうち、ｍ番目のヒータ制御列４１−ｍにおいて温度変化が急激な区割り線４６の下方を通過した部位は、続くｍ＋１番目のヒータ制御列４１−ｍ＋１において温度変化が緩やかなヒータ制御区画４２の下方を通過する。従って、ガラスリボン６のＹ方向における温度ムラを抑制でき、ガラスリボン６のＹ方向における板厚ムラを低減できる。
【００３７】
本実施形態では、Ｚ方向視で、ワイド域Ａ３において、少なくとも一つの分割線４５では、上流側のヒータ制御列４１の区割り線４６と、下流側のヒータ制御列４１の区割り線４６とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。ワイド域Ａ３は中間域Ａ２やナロー域Ａ１に比べて高温であり、ワイド域Ａ３においてガラスリボン６の寸法や形状の調整が行われるためである。中間域Ａ２やナロー域Ａ１では、ガラスリボン６の粘度が高いため、ガラスリボン６の寸法や形状の調整は困難である。
【００３８】
本実施形態では、Ｚ方向視で、成形域Ａ４において、少なくとも一つの分割線４５では、上流側のヒータ制御列４１の区割り線４６と、下流側のヒータ制御列４１の区割り線４６とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。ワイド域Ａ３の中でも成形域Ａ４において、トップロール６０を用いてガラスリボン６の寸法や形状の調整が行われるためである。
【００３９】
本実施形態では、溶融金属２の上流端からのＸ方向距離が０．１×Ｘ０以上０．５×Ｘ０以下の領域Ａ５において、少なくとも一つの分割線４５では、上流側のヒータ制御列４１の区割り線４６と、下流側のヒータ制御列４１の区割り線４６とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。
【００４０】
各ヒータ制御列４１において、複数の区割り線４６は、浴槽２０のＹ方向中心線２０Ｌを中心に線対称に設けられてよい。これにより、溶融金属２の温度分布、ひいてはガラスリボン６の温度分布を、浴槽２０のＹ方向中心線２０Ｌを中心に線対称にすることができる。その結果、ガラスリボン６の板厚分布の制御が容易である。
【００４１】
（フロートガラス）
フロートガラスは、平面視形状が矩形状、縦方向寸法が９５０ｍｍ以上、横方向寸法が１０００ｍｍ以上および平均板厚が０．７５ｍｍ以下である。フロートガラスの面内全体における板厚の最大値と最小値との差は、２０μｍ以下である。フロートガラスの面内における任意の点を中心点とし、縦方向および横方向の寸法が１５０ｍｍである正方形の範囲では、板厚の最大値と最小値との差が４．０μｍ以下である。このフロートガラスをＦＰＤ用ガラス基板に使用すれば、ＦＰＤ用ガラス基板の面内全体での板厚偏差を低減し、且つＦＰＤ用ガラス基板の狭い範囲での板厚の急激な変動を抑制でき、露光装置の焦点ずれを抑制できる。なお、平面視矩形状のフロートガラスは、コーナーカット用の砥石によって角部が研削加工されたフロートガラスを含む。この研削加工部分をコーナーカット部と呼び、コーナーカット部の大きさは、例えば数ｍｍである。
【００４２】
フロートガラスの面内全体における板厚の最大値と最小値との差は、好ましくは１０μｍ以下である。
【００４３】
フロートガラスの平均板厚は、好ましくは０．４５ｍｍ以下である。
【００４４】
フロートガラスは、好ましくは、縦方向寸法が１７００ｍｍ以上であり、横方向寸法が２０００ｍｍ以上である。
【００４５】
フロートガラスは、例えば、酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ２：５４〜６６％、Ａｌ２Ｏ３：１０〜２３％、Ｂ２Ｏ３：０〜１２％、ＭｇＯ：０〜１２％、ＣａＯ：０〜１５％、ＳｒＯ：０〜１６％、ＢａＯ：０〜１５％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：８〜２６％を含有する無アルカリガラスで構成される。ここで、「ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ」とは、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯの総含有量を意味する。また、「無アルカリガラス」とは、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２ＯおよびＫ２Ｏ等のアルカリ金属酸化物の総含有量が０．１質量％未満であることを意味する。無アルカリガラスは、好ましくは、酸化物基準の質量％表示で、Ｂ２Ｏ３の含有量が５％以下である。
【実施例】
【００４６】
以下、実施例および比較例を用いて本発明をさらに説明する。なお、本発明はこれらの記載に限定されるものではない。実施例１および比較例１において、縦方向はＸ方向、横方向はＹ方向にそれぞれ対応する。
【００４７】
［実施例１］
実施例１では、図４に示すボトム煉瓦の配置および図５に示すヒータ制御区画の配置を有するフロートガラス製造装置を用いてガラスリボンを製造し、製造したガラスリボンから横方向寸法１０００ｍｍのフロートガラスおよび横方向寸法２０００ｍｍのフロートガラスを切り出した。フロートガラスは、酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ２：６０％、Ａｌ２Ｏ３：１７％、Ｂ２Ｏ３：８％、ＭｇＯ：３％、ＣａＯ：４％、ＳｒＯ：８％、ＢａＯ：０％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：１５％を含有する無アルカリガラスで構成した。
【００４８】
横方向寸法１０００ｍｍのフロートガラスは、図３〜図５に示す領域Ｙ１から切り出した。得られたフロートガラスの板厚分布を図６に示す。図６において、縦軸は板厚であり、横軸はガラスリボン６の幅方向中心線６Ｌからの距離である。その距離は、図３中下側を負で、図３中上側を正で表す。
【００４９】
図６に示すように、実施例１で得られた横方向寸法が１０００ｍｍのフロートガラスは、平均板厚が０．５０ｍｍであり、全体での板厚偏差が３．３μｍであり、任意の１５０ｍｍの範囲での板厚偏差が４．０μｍ以下であった。Ｙ方向位置０ｍｍからＹ方向位置１５０ｍｍまでの範囲での板厚偏差は、１．０μｍであった。
【００５０】
また、横方向寸法２０００ｍｍのフロートガラスは、図３〜図５に示す領域Ｙ２から切り出した。得られたフロートガラスの板厚分布を図７に示す。図７において、縦軸は板厚であり、横軸はガラスリボン６の幅方向中心線６Ｌからの距離である。その距離は、図３中下側を負で、図３中上側を正で表す。
【００５１】
図７に示すように、実施例１で得られた横方向寸法が２０００ｍｍのフロートガラスは、平均板厚が０．５０ｍｍであり、全体での板厚偏差が３．３μｍであり、任意の１５０ｍｍの範囲での板厚偏差が４．０μｍ以下であった。Ｙ方向位置０ｍｍからＹ方向位置１５０ｍｍまでの範囲での板厚偏差は、３．３μｍであった。
【００５２】
［比較例１］
図８は、比較例１による浴槽のボトム煉瓦およびサイド煉瓦の配置を示す平面図である。比較例１では、図４に示すボトム煉瓦の配置に代えて、図８に示すボトム煉瓦の配置を用いた。これ以外、実施例１と同じ条件で、横方向寸法１０００ｍｍのフロートガラスおよび横方向寸法２０００ｍｍのフロートガラスを製造した。
【００５３】
横方向寸法１０００ｍｍのフロートガラスは、図３、図５、図８に示す領域Ｙ１から切り出した。得られたフロートガラスの板厚分布を図６に示す。
【００５４】
図６に示すように、比較例１で得られた横方向寸法が１０００ｍｍのフロートガラスは、平均板厚が０．５１ｍｍであり、全体での板厚偏差が５．２μｍであり、Ｙ方向位置０ｍｍからＹ方向位置１５０ｍｍまでの範囲での板厚偏差が４．６μｍであった。
【００５５】
また、横方向寸法２０００ｍｍのフロートガラスは、図３、図５、図８に示す領域Ｙ２から切り出した。得られたフロートガラスの板厚分布を図７に示す。
【００５６】
図７に示すように、比較例１で得られた横方向寸法が２０００ｍｍのフロートガラスは、平均板厚が０．５１ｍｍであり、全体での板厚偏差が１１μｍであり、Ｙ方向位置０ｍｍからＹ方向位置１５０ｍｍまでの範囲での板厚偏差が４．６μｍであった。
【００５７】
［まとめ］
図４に示すボトム煉瓦の配置を採用した実施例１では、図８に示すボトム煉瓦の配置を採用した比較例１に比べて、全体での板厚偏差が小さく、任意の１５０ｍｍの範囲での板厚偏差が小さかった。少なくとも一つの境界線２７において、上流側のボトム煉瓦列２６の目地２４と、下流側のボトム煉瓦列２６の目地２４とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれたことで、ガラスリボン６のＹ方向における温度ムラを抑制でき、ガラスリボン６のＹ方向における板厚ムラを低減できた。
【００５８】
以上、フロートガラス製造装置、フロートガラス製造方法、およびフロートガラスなどの実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態などに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、改良が可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１０  フロートガラス製造装置
２０  浴槽
２１  金属ケーシング
２２  サイド煉瓦
２３  ボトム煉瓦
２４  目地
２５  冷却ノズル
２６  ボトム煉瓦列
２７  境界線
３０  天井
４０  ヒータ
４１  ヒータ制御列
４２  ヒータ制御区画
４５  分割線
４６  区割り線
５０  制御器
６０  トップロール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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