(57)【要約】【課題】  超小型であっても容器と圧電振動片との接続信頼性が高く、良好な特性を有する圧電振動デバイスを提供することを目的とする。【解決手段】  水晶振動子１は、絶縁材料を基材とする容器３の凹部７に水晶振動片２が収容され、蓋４で凹部７が気密封止された構成となっている。容器３の基材と同材料からなる一対の突起部５，５は、凹部７の内底面７０から突出し、凹部７を構成する側壁３２から離間した位置に形成されている。一対の突起部５，５の上面には、水晶振動片２と導電性接着剤Ｓ，Ｓを介して接合される導体膜６，６が形成されている。水晶振動片２の一端部は、導電性接着剤Ｓ，Ｓの一部が平面視で導体膜６，６の上面からはみ出して、一対の突起部５，５の互いに対向しない側面５１，５１に接した状態で、突起部５，５の上に接合されている【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁材料を基材とする容器の凹部に圧電振動片を収容し、蓋で前記凹部を気密封止した圧電振動デバイスであって、
前記容器の基材と同材料からなり前記凹部の内底面から突出する一対の突起部が、当該凹部を構成する側壁から離間した位置に設けられ、
前記一対の突起部の各上面には、前記圧電振動片と導電性接着剤を介して接合される導体膜が形成されてなり、
圧電振動片の端部が、前記導電性接着剤の一部が平面視で前記導体膜の上面からはみ出して前記一対の突起部の互いに対向しない側面に接した状態で、前記突起部上に接合されていることを特徴とする圧電振動デバイス。
【請求項２】
前記導電性接着剤の一部が、平面視で前記導体膜の上面からはみ出して前記一対の突起部の互いに対向しない側面に接するとともに、前記凹部の内底面の素地に及んでいることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動デバイス。
【請求項３】
前記導電性接着剤の一部が、平面視で前記導体膜の上面からはみ出して前記一対の突起部の互いに対向しない側面に接するとともに、前記凹部の内底面の素地であって前記突起部と当該突起部に近接する前記側壁の間の領域に及んでいることを特徴とする請求項２に記載の圧電振動デバイス。
【請求項４】
前記容器が平面視矩形状であり、前記突起部が前記容器の一辺と平行に一対で整列形成され、前記導体膜の上面における前記導電性接着剤の位置が、平面視で前記一対の突起部の互いに最近となる内側の縁部に対して外側に離間した位置であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電振動デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器のタイミングデバイスとして用いられる圧電振動デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種電子機器に用いられる圧電振動デバイス(水晶振動子や水晶発振器等)は超小型になってきている。例えば、平面視略矩形の表面実装型の水晶振動子の外形寸法は、長辺が１．０ｍｍ以下で、短辺が０．８ｍｍ以下にまで小さくなってきている。
【０００３】
前記水晶振動子は、上方に開口した凹部を有する容器と、前記凹部の内底面に設けられた電極パッド上に導電性接着剤を介して接合される水晶振動片と、前記凹部を覆うように容器に接合される蓋によって構成されている。前記電極パッドは、容器の外底面の外部接続端子と水晶振動片との電気的接続の役割を担っている。また、近年の水晶振動子の薄型化により、水晶振動片と容器の凹部の内底面との間の隙間を確保する役割も担っている。このような構成の水晶振動子は、例えば特許文献１に開示されている。
【０００４】
水晶振動子が超小型になってくると、前記電極パッドの上面の面積も非常に小さくなり、当該電極パッドの上面の領域内に塗布される導電性接着剤の量も極少となるため、電極パッドと導電性接着剤との密着力が低下してしまうという問題が生じる。さらに、導電性接着剤の塗布径が、ばらつきによって小さくなった場合、電極パッドと導電性接着剤との密着力が更に低下して導通が不安定になる虞がある。
【０００５】
前記電極パッドは、例えば複数のセラミックシートが積層された焼成体から成る容器の前記凹部の内底面上にメタライズの印刷処理を行い、その表面にメッキ処理を施すことによって形成されている。しかし、前記印刷処理の場合、印刷ずれが生じることがある。また、水晶振動子の薄型化対応のために容器を構成するセラミックシートの積層数を最低限の層数とすると、水晶振動片と凹部の内底面との間の隙間を確保するための段部を形成することができなくなる。したがって、電極パッドの高さ（厚み）によって前記隙間を稼ごうとすると、前記印刷処理を複数回行う必要があり、これに伴って印刷ずれがより拡大してしまうという問題がある。
【０００６】
また、前記電極パッドは少なくとも２つ形成されるが、メタライズの印刷処理時の厚みばらつきや印刷ずれの影響で、２つの電極パッドの間で高低差（厚み差）が生じることがある。このような高低差は水晶振動子が超小型になると、その影響が顕在化し、導電性接着剤を介して電極パッド上に接合される水晶振動片が傾いて不安定になったり、接続信頼性の低下によって水晶振動子の特性劣化等につながってしまう。
【０００７】
前述したメタライズの印刷処理による電極パッドの形成に係る問題を解決する方法として、所定形状の金型で焼成前のセラミックシートを加圧することによってセラミックを基材とする上凸状の突起を成形し、その後に焼成を行い前記突起の上面にメタライズ処理等を施すことによって電極パッドを製造する方法が例えば特許文献２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−１４８２８０号
【特許文献２】特開２０１６−５８９５５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献２における水晶振動子では、容器の凹部の内底面の突起（基台）の上面にのみ導電性接着剤が及んだ状態で水晶振動片が接合されている。そのため導電性接着剤の塗布領域は微小であり、前述した電極パッドと導電性接着剤との密着力の低下の問題が存在する。
【００１０】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、超小型であっても容器と圧電振動片との接続信頼性が高く、良好な特性を有する圧電振動デバイスを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、絶縁材料を基材とする容器の凹部に圧電振動片を収容し、蓋で前記凹部を気密封止した圧電振動デバイスであって、前記容器の基材と同材料からなり前記凹部の内底面から突出する一対の突起部が、当該凹部を構成する側壁から離間した位置に設けられ、前記一対の突起部の各上面には、前記圧電振動片と導電性接着剤を介して接合される導体膜が形成されてなり、圧電振動片の端部が、前記導電性接着剤の一部が平面視で前記導体膜の上面からはみ出して前記一対の突起部の互いに対向しない側面に接した状態で、前記突起部上に接合されていることを特徴とする圧電振動デバイスとなっている。
【００１２】
上記発明によれば、超小型の圧電振動デバイスにおける容器と圧電振動片との接続信頼性を向上させることができる。これは、前記容器の基材と同材料からなり前記凹部の内底面から突出する突起部が、当該凹部を構成する側壁から離間した位置に設けられ、前記突起部の上面には、圧電振動片と導電性接着剤を介して接合される導体膜が形成され、圧電振動片の端部が、導電性接着剤の一部が平面視で前記導体膜の上面からはみ出して前記一対の突起部の側面に接した状態で、前記突起部上に接合されているからである。すなわち、導電性接着剤の一部が、前記導体膜に比べて導電性接着剤との密着性に優れた絶縁材料からなる突起部の側面にも及ぶことによって、微小領域である突起部の上面の導体膜における接合強度を補うことができる。
【００１３】
また上記発明によれば、圧電振動片の端部が、導電性接着剤の一部が平面視で前記導体膜の上面からはみ出して前記一対の突起部の互いに対向しない側面に接した状態で、前記突起部上に接合されているため、一対の突起部の間の領域への導電性接着剤の流出を抑制することができる。これにより、圧電振動片の絶縁不良を防止することができる。
【００１４】
上記目的を達成するために請求項２の発明は、前記導電性接着剤の一部が、平面視で前記導体膜の上面からはみ出して前記一対の突起部の互いに対向しない側面に接するとともに、前記凹部の内底面の素地に及んでいることをことを特徴とする圧電振動デバイスとなっている。
【００１５】
上記発明によれば、超小型の圧電振動デバイスにおける容器と圧電振動片との接続信頼性を更に向上させることができる。これは、前記容器の基材と同材料からなり前記凹部の内底面から突出する突起部が、当該凹部を構成する側壁から離間した位置に設けられ、前記突起部の上面には、圧電振動片と導電性接着剤を介して接合される導体膜が形成され、圧電振動片の端部が、導電性接着剤の一部が平面視で前記導体膜の上面からはみ出して前記一対の突起部の互いに対向しない側面に接するとともに、前記凹部の内底面の素地に及んだ状態で突起部上に接合されているからである。すなわち、導電性接着剤の一部が、前記導体膜に比べて導電性接着剤との密着性に優れた絶縁材料である一対の突起部の側面だけでなく、凹部の内底面の素地上にも及んでいるため、微小領域である突起部の上面の導体膜における接合強度を更に補うことができる。
【００１６】
また、上記目的を達成するために請求項３の発明は、前記導電性接着剤の一部が、平面視で前記導体膜の上面からはみ出して前記一対の突起部の互いに対向しない側面に接するとともに、前記凹部の内底面の素地であって前記突起部と当該突起部に近接する前記側壁の間の領域に及んでいる。
【００１７】
上記発明によれば、前記導電性接着剤の一部が、前記凹部の内底面の素地であって前記突起部と当該突起部に近接する前記側壁の間の領域に及ぶため、凹部の内底面の中心方向への導電性接着剤の流出を防止することができる。これにより、圧電振動片に形成される励振電極等との接触による絶縁不良を防止することができる。
【００１８】
また、上記目的を達成するために請求項４の発明は、前記容器が平面視矩形状であり、前記突起部が前記容器の一辺と平行に一対で整列形成され、前記導体膜の上面における前記導電性接着剤の位置が、平面視で前記一対の突起部の互いに最近となる内側の縁部に対して外側に離間した位置となっている。
【００１９】
上記発明によれば、一対の突起部の間の領域への導電性接着剤の流出を抑制することができるので、圧電振動片の絶縁不良を防止することができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上のように、本発明によれば、超小型であっても容器と圧電振動片との接続信頼性が高く、良好な特性を有する圧電振動デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係る水晶振動子の断面模式図
【図２】本発明の実施形態に係る水晶振動子の蓋を除いた上面模式図
【図３】本発明の他の実施形態に係る水晶振動子の断面模式図
【図４】図３の部分拡大断面図
【図５】本発明の実施形態の変形例に係る水晶振動子の蓋を除いた断面模式図
【図６】本発明の実施形態の変形例に係る水晶振動子の部分拡大断面図
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイスとして水晶振動子を例に挙げ、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明の実施形態に係る水晶振動子の図２のＡ−Ａ線における断面模式図である。本実施形態における水晶振動子１は、略直方体状のパッケージからなる表面実装型の圧電振動デバイスであり、その平面視形状は略矩形となっている。本実施形態では水晶振動子１の平面視の外形寸法は、長辺が約１．０ｍｍ、短辺が約０．８ｍｍとなっている。なお、前記外形寸法は一例であり、他の外形寸法であっても本発明は適用可能である。
【００２３】
図１に示すように水晶振動子１は、容器３の凹部７の内底面７０から突出する一対の突起部５，５の上に水晶振動片２が導電性接着剤Ｓ，Ｓを介して片持ち支持接合された構成となっている。そして、容器３の凹部７を構成する枠状の側壁３２の上面３２０に、蓋４が封止材（図示省略）を介して接合されることによって、水晶振動片２がパッケージ内に気密封止されている。
【００２４】
容器３は絶縁材料を基材とする平面視矩形状の容器体であり、上方に開口した凹部７を備えている。この容器３は、下層３０と上層３１の２層から成るセラミックグリーンシートの焼成体となっている。上層３１は枠状の側壁３２を備えており、側壁３２の上面３２０は平坦面となっている。この側壁３２の上面３２０には、図示しない金属膜が枠状に形成されている。この封止材を介して容器３と蓋４とが溶着される。
【００２５】
容器３の凹部７の内底面７０には、上方に突出する突起部５が、側壁３２の内壁面から内側に離間した位置に一対で形成されている。この一対の突起部５，５は平面視矩形状であり、図２に示すように平面視矩形状の容器３の短辺方向に対して、その長辺側が平行となるように互いに離間した状態で整列して形成されている。
【００２６】
突起部５は容器３の基材と同じ絶縁材料から成り、その上面には導体膜６が形成されている。導体膜６は水晶振動片２と導電性接着剤Ｓを介して導電接合される電極パッドの役割を担っている。本実施形態では前記導体膜６は、モリブデンのメタライズ層の上に電解ニッケルめっき層が形成され、さらにその上に電解金めっき層が形成された積層構成となっている。
【００２７】
突起部５は、焼成前のシート状の成形体を所定形状の金型で加圧することによって成形されている。前記金型には、枠状の側壁３２を形成する部分が窪んでおり、突起部５および枕部８に対応する部分が凹部となる形状のものが使用されている。加圧後の成形体を所定温度で焼成されることによって容器３が得られる。
【００２８】
導体膜６，６は、絶縁材料からなる一対の突起部５，５の内部を厚さ方向に貫通する貫通孔の内部に導体が充填されたビア（図示省略）や、積層間の内部配線（図示省略）を経由して容器３の外底面に設けられた４つの外部接続端子９，９，９，９のうちの２つと各々電気的に接続されている。この外部接続端子９および、前述した側壁３２の上面３２０の金属膜も、モリブデンのメタライズ層の上に、ニッケルめっき層、金めっき層の順で積層された構成となっている。前記メタライズ層には、モリブデンの以外に、タングステン（Ｗ）やチタン（Ｔｉ）を用いてもよい。
【００２９】
前記４つの外部接続端子９，９，９，９のうちの１つはアース用の外部接続端子となっており、当該外部接続端子は容器３の内部配線およびビアを経由し、枠状の側壁３２の一長辺側の内壁面の導体Ｍを経て、側壁３２の上面３２０の金属膜に電気的に接続されている。容器３が金属製の蓋４（後述）と封止材を介して接合されることにより、アース用の外部接続端子がグランド接続されるようになっている。
【００３０】
凹部７の内底面７０の領域のうち、水晶振動片の自由端の下方に対応する位置には枕部８が形成されている。当該枕部８によって、水晶振動子１が外部衝撃等を受けて内部の水晶振動片２の自由端側（水晶振動板の他端側２Ｂ）が鉛直下方へ撓んだ場合であっても、水晶振動片２の自由端側と枕部８とが接触して励振電極（２２ａ，２２ｂ）と凹部７の内底面７０とが接触するのを防止することができる。枕部８は突起部５と同様に絶縁材料となっており、その上面に導体膜は形成されていない。
【００３１】
蓋４は、コバールを基材として、その外周面にニッケルめっき層、金めっき層の順でめっき層が積層された構成となっている。そして蓋４の容器３と接合される側の面の外周部には、金錫合金（ＡｕＳｎ）が枠状に被着されている。この金錫合金が封止材となっており、当該金錫合金と容器３の側壁３２０の上面の金属膜とが接触した状態で所定温度に加熱されることによって容器３と蓋４とが溶着される。
【００３２】
図２に示す水晶振動片２はＡＴカット水晶振動板であり、平面視では矩形状となっている。前記水晶振動板は、励振電極が形成される厚肉領域の振動部２０と、振動部２０の周囲に振動部２０よりも薄肉で成形された領域である薄肉部２１とによって構成されている。つまり、水晶振動片２の断面視の形状は、水晶振動板の表裏主面の各々の中央部分が突出した「バイメサ形状」となっている。振動部２０は、図２に示すように平面視で薄肉部２１に比べて一回り小さく成形されている。このような水晶振動板の外形形状は、ＡＴカット水晶ウエハをフォトリソグラフィ技術およびウエットエッチング法を用いることによって成形されている。なお、水晶振動片の形状は「バイメサ形状」に限定されるものではない。例えば平板状や、振動部と当該振動部よりも厚肉に成形された外周部とからなる「逆メサ形状」などであってもよい。
【００３３】
水晶振動板の一主面と、当該一主面に対向する他主面の各々の中央側には、水晶振動板を駆動させるための励振電極２２ａ，２２ｂが一対で対向形成されている。なお、図面において、水晶振動板の一主面側における各種電極については符号の末尾にａを付し、他主面側における各種電極については符号の末尾にｂを付して表裏の電極の区別をしている。
【００３４】
前記一対の励振電極２２ａ，２２ｂの各々からは、同一方向に引き出される引出電極２３ａ，２３ｂが形成されている。そして水晶振動板の一端側２Ａには、引出電極２３ａ，２３ｂの各終端と接続され、前述した容器３の一対の導体膜６，６と各々導電接合される一対の接続電極２４１，２４２が形成されている。
【００３５】
一方の接続電極２４１は、その一部が水晶振動板の他主面の接続電極２４１ｂ（図１参照）から水晶振動板の一端側２Ａの短辺側面を経由して、一主面の接続電極２４１ａに接続されている。同様に、他方の接続電極２４２は、その一部が水晶振動板の一主面の接続電極２４２ａから水晶振動板の一端側２Ａの短辺側面を経由して、他主面の接続電極２４２ｂ（図２において符号の記載省略）に接続されている。
【００３６】
容器３の一対の突起部５，５の上面の導体膜６，６と、水晶振動片２の他主面の接続電極２４１ｂ，２４２ｂとの電気機械的接続は導電性接合材Ｓ，Ｓを介して行われる。具体的には導電性接着剤Ｓ，Ｓが、一対の導体膜６，６の上面に画像認識手段を用いて塗布される。そして、一対の導体膜６，６の各上面に塗布された導電性接着剤Ｓ，Ｓに対して、水晶振動片２を位置決め載置する。このとき導電性接着剤Ｓ，Ｓの水晶振動片２の短辺の外側方向（図２における上下方向）における各外縁が、平面視で水晶振動片２の一端側２Ａの一短辺の両角部Ｃ１，Ｃ１よりも内側（図２において一短辺の中央寄り）に位置するようになっている。
【００３７】
このように導電性接着剤Ｓ，Ｓが水晶振動片２の一短辺の両角部Ｃ１，Ｃ１よりも内側に位置していることによって、外部基板に接合された水晶振動子１の容器３から伝わる応力が、水晶振動片２に伝わる影響を抑制することができる。これにより、水晶振動子１の発振周波数の安定性を高めることができる。なお、本発明における水晶振動片に対する導電性接着剤の平面視の塗布位置は、水晶振動片の一短辺の両角部に対して内側に限定されるものではなく、前記両角部を含む位置であってもよい。
【００３８】
本実施形態では導電性接合材Ｓとして、シリコーン系の樹脂接着剤が使用されている。この導電性接合材Ｓは、シリコーン樹脂に金属フィラーが含有された接着剤であり、塗布後には所定の温度プロファイルに管理された乾燥炉内で硬化処理が行われる。これにより接着剤に含まれる溶剤が揮発し、金属フィラーによる導通経路が形成されるようになる。
なお、本発明の適用はシリコーン系の樹脂接着剤に限定されるものではない。
【００３９】
導電性接着剤Ｓ，Ｓの上に水晶振動片２が位置決め載置された際には、水晶振動片２の自重および鉛直下方への押込み動作によって、導電性接着剤Ｓ，Ｓの各々の一部が一対の突起部５，５と、当該突起部に近接する側壁３２Ａの間の領域７１，７１の方向へ押し拡げられる（図１、図２参照）。この状態で所定温度に加熱された雰囲気下に晒されることによって導電性接着剤Ｓが硬化し、図１に示すように水晶振動片２の一端部２Ａが、導電性接着剤Ｓの一部が平面視で導体膜６の上面からはみ出して、一対の突起部６，６の互いに対向しない側面（本実施形態では、突起部５の側壁３２Ａに対向する側面５１）に接した状態で突起部上に片持ち支持接合される。本実施形態では、導電性接着剤Ｓが硬化した状態で、導体膜６からはみ出した導電性接着剤Ｓが突起部５の側面５１に及ぶように、導電性接着剤の塗布量および塗布位置がコントロールされている。
【００４０】
上記構成によれば、導電性接着剤Ｓの一部が、導体膜６に比べて導電性接着剤Ｓとの密着性に優れた絶縁材料からなる突起部５の側面５１にも及ぶことによって、微小領域である突起部５の上面の導体膜６における接合強度を補うことができる。これにより、超小型の水晶振動子における容器３と水晶振動片２との接続信頼性を向上させることができる。
【００４１】
また上記構成によれば、導電性接着剤Ｓ，Ｓの一部が、平面視で導体膜６，６の上面からはみ出して、一対の突起部５，５の互いに対向しない側面のうち側壁３２Ａに対向する側面５１，５１に接しているため、内底面７０の中心方向への導電性接着剤Ｓの流出を防止することができる。これにより、水晶振動片２に形成された励振電極等（励振電極２２ｂや引出電極２３ｂ等）との接触による絶縁不良を防止することができる。
【００４２】
また、本実施形態に係る構成によれば、突起部５が平面視矩形状の容器３の一辺と平行に一対で整列して形成され、導体膜６，６の上面における導電性接着剤Ｓ，Ｓの位置が、平面視で一対の突起部５，５の互いに最近となる内側の縁部５０，５０に対して外側に離間した位置となっている。
【００４３】
このような位置に導電性接着剤Ｓ，Ｓが配されることによって、一対の突起部５，５の間の領域７３への導電性接着剤Ｓ，Ｓの流出を抑制することができるため、水晶振動片２の絶縁不良を防止することができる。
【００４４】
−本発明の他の実施形態−
次に、本発明の他の実施形態について図３、４を参照しながら説明する。なお、前述した本発明の実施形態と同様の構成については同一の符号を用いて、その説明を割愛する。以下、前述した本発明の実施形態との相違点を中心に説明する。
【００４５】
本発明の他の実施形態では、導電性接着剤の塗布状態が前述した本発明の実施形態と異なっている。具体的には図３に示すように、導電性接着剤Ｓ，Ｓの各々の一部が、一対の突起部５，５の側面５１，５１と、凹部７の内底面７０の素地上とに及んでいる。このように導電性接着剤Ｓの一部が、絶縁材料である突起部５の側面５１と凹部７の内底面７０の素地の両方に接しているので、絶縁材料との接触面積が増大し、接合強度をより向上させることができる。
【００４６】
本発明の他の実施形態では導電性接着剤Ｓ，Ｓの各々の一部が、一対の導体膜６，６の上面と、一対の突起部５，５の側面５１、５１に近接する側壁３２Ａの間の領域７１，７１とに跨るように、画像認識手段を用いて塗布される。
【００４７】
そして、一対の導体膜６，６の各上面に塗布された導電性接着剤Ｓ，Ｓに対して、水晶振動片２を位置決め載置する。その後、前述した押込み動作によって、導電性接着剤Ｓ，Ｓの各々の一部が突起部５，５と、当該突起部に近接する側壁３２Ａの間の領域７１，７１の方へ更に押し拡げられる。
【００４８】
この状態で所定温度に加熱された雰囲気下に晒されることによって導電性接着剤Ｓが硬化し、図３に示すように水晶振動片２の一端部２Ａが、導電性接着剤Ｓの一部が平面視で導体膜６の上面からはみ出して凹部７の内底面７０の素地（７１）に及んだ状態で突起部５上に片持ち支持接合される。
【００４９】
本実施形態では、図４に示すように導電性接着剤Ｓが硬化した状態で、導体膜６からはみ出した導電性接着剤Ｓが側壁３２Ａの内壁面から突起部の側面５１までの水平方向（容器の長辺方向）の距離ｄの範囲内に収まるように、導電性接着剤の塗布量および塗布位置がコントロールされている。なお、導電性接着剤を一対の導体膜６，６の上面のみに塗布しておき、前述した押込み動作によって導電性接着剤Ｓ，Ｓの各々の一部を一対の導体膜６，６の上面からはみ出させて、凹部７の内底面７０の素地に及ぶようにしてもよい。
【００５０】
本発明の他の実施形態に係る上記構成によれば、超小型の水晶振動子における容器と水晶振動片との接続信頼性を更に向上させることができる。これは、水晶振動片２の端部が、導電性接着剤Ｓ，Ｓの各々の一部が平面視で導体膜６，６の上面からはみ出して、容器３の基材と同材料からなる一対の突起部５，５の側面５１，５１に接するとともに凹部７の内底面７０の素地に及んだ状態で、一対の突起部５，５の上に接合されているからである。すなわち、導電性接着剤Ｓ，Ｓの各々の一部が、導体膜６に比べて導電性接着剤Ｓとの密着性に優れた絶縁材料である一対の突起部５，５の側面だけでなく、凹部７の内底面７０の素地上にも及んでいるため、微小領域である導体膜６における接合強度を更に補うことができる。
【００５１】
−本発明の実施形態の変形例−
次に、本発明の実施形態の変形例について図５、６を参照しながら説明する。以下、前述した本発明の実施形態との相違点を中心に説明する。
【００５２】
本発明の実施形態の変形例では、水晶振動片の形状と導電性接着剤の塗布形態が前述した本発明の実施形態および本発明の他の実施形態と異なっている。水晶振動片の形状は図５に示すように、水晶振動片２５の固定端となる部分が厚肉になっている（厚肉部２８）。この厚肉部２８の厚みは振動部２６の厚みと同一となっており、振動部２６と厚肉部２８との間には薄肉部２７が設けられている。振動部２６に対して水晶振動片２５の自由端側の薄肉部分は薄肉部２７の厚みと同一となっている。なお、厚肉部２８は平面視矩形状の水晶振動片２５の固定端側の一短辺全体に沿って厚肉となっているが、当該形態に限らず水晶振動片の一短辺側のうち一対の突起部５，５に対応する領域のみが厚肉となってもよい。
【００５３】
一方、導電性接着剤Ｓは前述した本発明の実施形態と同材料のものが用いられているが、導電性接着剤Ｓの硬化後の状態において導体膜６の上面全体から、突起部に近接する側壁３２Ａと、凹部の内底面の中心寄りの両方の方向（図５における左右方向）にはみ出している。
【００５４】
具体的には図６に示すように、導電性接着剤Ｓは突起部５の側面５１と側面５２の両方に接した状態で容器３の素地（７１，７２）上に及んでいる。図６では、側壁３２Ａ側にはみ出した接着剤をＳ１、内底面７０の中心方向にはみ出した接着剤をＳ２としてそれぞれ表示している。なお図６で示す符号７２は、凹部７の内底面７０のうち、突起部に対して容器の中心に向かう方向（図６の突起部に対して右側）における領域のことを表している。このように導電性接着剤Ｓの一部が、絶縁材料である突起部５の側面５１，５２と容器３の素地（７１，７２）の両方に接しているため接合強度を更に向上させることができる。これにより、超小型の水晶振動子における容器と水晶振動片との接続信頼性を更に向上させることができる。
【００５５】
本発明の実施形態の変形例では、前述したように水晶振動片２５の固定端となる部分が厚肉になっている（厚肉部２８）。この厚肉部２８が薄肉部２７と連続して形成されていることによって段差が生じるため、前述した本発明の実施形態における水晶振動片の固定端側の形状に比べて、水晶振動片の長辺方向における固定端から振動部に至る経路長が相対的に長くなる。これにより、ＥＳＤ（静電気放電）の現象を抑制することができる。
【００５６】
また、図６に示すように振動部２６と厚肉部２８との間に薄肉部２７が存在している。これにより、導電性接着剤の塗布ばらつきによって凹部７の内底面７０の中心方向（図６の矢印で示す方向）にはみ出した導電性接着剤Ｓ２がＳ２´で示す位置まで及んだ場合であっても、水晶振動片２の窪み１０の内壁面に導電性接着剤が入り込みやすくなる。これにより、流出した導電性接着剤Ｓ２´が窪み１０の内部に留まり、凹部７の内底面７０の水晶振動片の励振電極に対応する位置まで到達するのを防止することができる。
【００５７】
前述した本発明の実施形態および他の実施形態や変形例では、突起部５に近接する容器の側壁３２Ａに対して対向する突起部の側面（５１）や、当該側面とは反対側となる側壁（５２）に導電性接着剤が及んだ構成を示した。しかしながら、本発明の適用は、一対の突起部の互いに対向しない側壁以外であればよく、平面視矩形状の一対の突起部の各外側（図２における上下方向）の短辺側の側壁にも及んでいてもよい。また、本発明に係る導電性接着剤の塗布形態は、突起部の容器の凹部の内底面の中心側に面する側面（５２）や、突起部に対して容器の凹部の内底面の中心側となる凹部の内底面（７２）に導電性接着剤が及ぶことを除外するものではない。
【００５８】
前述した本発明の実施形態および他の実施形態や変形例では、水晶振動片は片持ち状態で突起部上面の導体膜上に導電接合されていたが、水晶振動片の自由端側にも突起部や段部を形成して両持ち状態で導電接合するようにしてもよい。また、前述した本発明の実施形態およびその変形例では、水晶振動片と容器とを導電接合する接続数は２つとなっていたが、当該接続数は２つに限定されるものではなく、２つ以上であってもよい。
【００５９】
前述した本発明の実施形態および他の実施形態や変形例では、導電性接着剤は一対の導体膜の上面と、突起部の側面または／および前記突起部に近接する側壁の間の領域とに及ぶように塗布されていたが（いわゆる「下塗り」）、このように下塗りされた導電性接着剤の上に、更に導電性接着剤を重ね塗りしてもよい（いわゆる「上塗り」）。
【００６０】
前述した本発明の実施形態および他の実施形態や変形例では、圧電振動デバイスとして水晶振動子を例に挙げたが、本発明は水晶振動子に限らず、水晶発振器にも適用可能である。また、水晶振動片と温度センサとを容器に収容した温度センサ内蔵型水晶振動子にも適用可能である。
【００６１】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
圧電振動デバイスの量産に適用できる。
【符号の説明】
【００６３】
１    水晶振動子
２、２５    水晶振動片
３    容器
４    蓋
５    突起部
６    導体膜
７    凹部
３２    側壁
Ｓ    導電性接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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