(57)【要約】      （修正有）【課題】複数のウェハを同時に操作し、装置の繰り返し動作に要する時間を短縮させることができるウェハ位置決め及び載置システムを提供する。【解決手段】ピックアップ機構２は、Ｘ方向ピックアップロボット及びＹＺ方向搬送ユニットを備える。Ｘ方向ピックアップロボットには、間隔をあけて設置された、ウェハ１を吸着するための複数の第１の真空吸盤が設置され、複数の第１の真空吸盤の分布は複数のサブアライメントプラットフォームと１対１で対応する。視覚位置決めシステム３は、アライメントプラットフォームシステム４の上方に架け渡され、ウェハ１の位置を取得するためのものである。それぞれのサブアライメントプラットフォームは、取得したウェハ位置に基づいて、ウェハ位置が予め設定された基準位置と一致するように調整する。給送機構５は、複数のサブアライメントプラットフォームで調整された複数のウェハ１を搬送先に搬送する。【選択図】図１
2019091883.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピックアップ機構と、視覚位置決めシステムと、給送機構と、複数のサブアライメントプラットフォームを含むアライメントプラットフォームシステムを備え、
前記ピックアップ機構は、Ｘ方向ピックアップロボット及びＹＺ方向搬送ユニットを備え、
前記Ｘ方向ピックアップロボットには、間隔をあけて設置された、ウェハを吸着するための複数の第１の真空吸盤が設置され、
複数の前記第１の真空吸盤の分布は複数の前記サブアライメントプラットフォームと１対１で対応し、
前記ＹＺ方向搬送ユニットは、前記Ｘ方向ピックアップロボットに接続され、複数の前記第１の真空吸盤に吸着されたウェハを同時にそれぞれ対応する前記サブアライメントプラットフォームに搬送するためのものであり、
前記視覚位置決めシステムは、前記アライメントプラットフォームシステムの上方に架け渡され、それぞれの前記サブアライメントプラットフォームでのウェハの位置を取得するためのものであり、
それぞれの前記サブアライメントプラットフォームは、前記視覚位置決めシステムで取得されたそれぞれの前記ウェハの位置に基づいて、前記ウェハの位置が予め設定された基準位置と一致するように前記ウェハを調整し、
前記給送機構は、複数の前記サブアライメントプラットフォームで調整された複数の前記ウェハを搬送先に搬送するためのものであることを特徴とする、ウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項２】
前記ＹＺ方向搬送ユニットは、Ｙ方向セグメント、及びＹ方向セグメントの両端にそれぞれ接続された二つのＺ方向セグメントを含むガイドレールを備え、
二つの前記Ｚ方向セグメントはいずれも前記Ｙ方向セグメントの下方に位置し、
前記Ｘ方向ピックアップロボットの一端が前記ガイドレールに摺動可能に接続されていることを特徴とする、請求項１に記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項３】
前記ＹＺ方向搬送ユニットは、前記Ｘ方向ピックアップロボットを、前記ガイドレール内を摺動させるように駆動するための駆動装置を更に備えることを特徴とする、請求項２に記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項４】
前記ＹＺ方向搬送ユニットは、Ｙ方向ガイドレール及びＺ方向ガイドレールを含むガイドレールを備え、
前記Ｚ方向ガイドレールが前記Ｙ方向ガイドレールに摺動可能に接続され、
前記Ｘ方向ピックアップロボットの一端が前記Ｚ方向ガイドレールに摺動可能に接続されていることを特徴とする、請求項１に記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項５】
前記ＹＺ方向搬送ユニットは、前記Ｘ方向ピックアップロボットを、前記Ｚ方向ガイドレール上を摺動させるように駆動するための第１の駆動装置、及び前記Ｚ方向ガイドレールを、前記Ｙ方向ガイドレール上を摺動させるように駆動するための第２の駆動装置を更に備えることを特徴とする、請求項４に記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項６】
複数の前記サブアライメントプラットフォームは一の字状に配列されていることを特徴とする、請求項１に記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項７】
前記アライメントプラットフォームシステムの上方に架け渡されているＸ方向スライドレールを更に備え、
前記視覚位置決めシステムは前記Ｘ方向スライドレールに摺動可能に接続されていることを特徴とする、請求項６に記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項８】
複数の前記サブアライメントプラットフォームはＭ×Ｎアレイとなり、Ｍ≧２、Ｎ≧２であることを特徴とする、請求項１に記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項９】
前記アライメントプラットフォームシステムの上方に架け渡されているＸ方向スライドレールを更に備え、
前記視覚位置決めシステムは前記Ｘ方向スライドレールに摺動可能に接続され、
前記Ｘ方向スライドレールの下端にはＹ方向スライドレールが設置され、
前記Ｘ方向スライドレールは前記Ｙ方向スライドレールに摺動可能に接続されていることを特徴とする、請求項８に記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項１０】
前記サブアライメントプラットフォームはＵＶＷアライメントプラットフォームであることを特徴とする、請求項１に記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項１１】
前記給送機構は、Ｘ方向給送ロボットと、前記アライメントプラットフォームシステムの上方に設置されたＹ方向給送ガイドレールとを備え、
前記Ｘ方向給送ロボットには複数の第２の真空吸盤が設置され、
複数の前記第２の真空吸盤の分布は複数の前記サブアライメントプラットフォームと１対１で対応し、
前記Ｘ方向ピックアップロボットは前記Ｙ方向ガイドレールに摺動可能に接続され、
前記アライメントプラットフォームシステムはＺ方向に沿って昇降することができることを特徴とする、請求項１に記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項１２】
前記給送機構は、Ｘ方向給送ロボットと、前記アライメントプラットフォームシステムの上方に設置された給送ガイドレールとを更に備え、
前記給送ガイドレールは、Ｙ方向セグメント、及び前記Ｙ方向セグメントに接続されたＺ方向セグメントを備え、
前記Ｚ方向セグメントは、前記Ｙ方向セグメントの下方に位置し、前記アライメントプラットフォームシステムに対応し、
前記Ｚ方向セグメントは、前記Ｙ方向セグメントを、前部に位置する第１の部分及び後部に位置する第２の部分に分け、
前記Ｘ方向ピックアップロボットの一端は前記給送ガイドレールに摺動可能に接続されていることを特徴とする、請求項１に記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項１３】
検出ユニット及びアラームユニットを含むアラーム装置を更に備え、
前記検出ユニットは、前記第１の真空吸盤の同一のウェハに対する吸着がＡ回連続して失敗したかどうかを検出するためのものであり、
Ａ＞２であり、吸着が連続して失敗したことを検出した場合、指令を前記アラームユニットに送信し、
前記アラームユニットはアラームを発報することを特徴とする、請求項１〜１２のいずれかに記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【請求項１４】
前記第１の真空吸盤はゴム製又はプラスチック製であるか、又は、前記第１の真空吸盤は金属製であって、前記真空吸盤の表面に可撓性材料層が塗布されていることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれかに記載のウェハ位置決め及び載置システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造技術分野に関し、特に、ウェハ位置決め及び載置システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在の太陽電池及び半導体ウェハの製造プロセスでは、ウェハの載置のプロセス全体は１つのロボットにより達成されることが多い。ロボットは、まずウェハセット内からウェハを取り出して、アライメントプラットフォームに置いて撮影して位置決めを行い、ウェハの中心位置を調整した後、ロボットは、更にウェハを吸着して湿式装置又は所定の容器内に置く。１つのロボットによりウェハのピックアップ、配置、移送等の動作を完成するため、プロセス全体のサイクル時間が長くなり、製造効率が低くなり、大量製造の需要を満たすことができず、複数のロボット及びアライメントプラットフォームを使用すると、コストが高くなる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、従来技術又は関連技術に存在する技術問題の少なくとも１つを解決するウェハ位置決め及び載置システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記技術問題を解決するために、本発明は、ウェハ位置決め及び載置システムを提供し、ピックアップ機構、視覚位置決めシステム、給送機構、及び複数のサブアライメントプラットフォームを含むアライメントプラットフォームシステムを備え、前記ピックアップ機構は、Ｘ方向ピックアップロボット及びＹＺ方向搬送ユニットを備え、前記Ｘ方向ピックアップロボットには、間隔をあけて設置された、ウェハを吸着するための複数の第１の真空吸盤が設置され、複数の前記第１の真空吸盤の分布は複数の前記サブアライメントプラットフォームと１対１で対応し、前記ＹＺ方向搬送ユニットは、前記Ｘ方向ピックアップロボットに接続され、複数の前記第１の真空吸盤に吸着されたウェハを同時にそれぞれ対応する前記サブアライメントプラットフォームに搬送するためのものであり、前記視覚位置決めシステムは、前記アライメントプラットフォームシステムの上方に架け渡され、それぞれの前記サブアライメントプラットフォームでのウェハの位置を取得するためのものであり、それぞれの前記サブアライメントプラットフォームは、前記視覚位置決めシステムで取得された前記それぞれのウェハの位置に基づいて、前記ウェハの位置が予め設定された基準位置と一致するように前記ウェハを調整し、前記給送機構は、複数の前記サブアライメントプラットフォームで調整された複数の前記ウェハを搬送先に搬送するためのものであることを特徴とする。
【０００５】
そのうち、前記ＹＺ方向搬送ユニットは、Ｙ方向セグメント、及びＹ方向セグメントの両端にそれぞれ接続されたＺ方向セグメントを含むガイドレールを備え、２つの前記Ｚ方向セグメントはいずれも前記Ｙ方向セグメントの下方に位置し、前記Ｘ方向ピックアップロボットの一端が前記ガイドレールに摺動可能に接続されていてもよい。
【０００６】
そのうち、前記ＹＺ方向搬送ユニットは、前記Ｘ方向ピックアップロボットを前記ガイドレール内を摺動させるように駆動するための駆動装置を更に備えていてもよい。
【０００７】
そのうち、前記ＹＺ方向搬送ユニットは、Ｙ方向ガイドレール及びＺ方向ガイドレールを含むガイドレールを備え、Ｚ方向ガイドレールがＹ方向ガイドレールに摺動可能に接続され、前記Ｘ方向ピックアップロボットの一端が前記Ｚ方向ガイドレールに摺動可能に接続されていてもよい。
【０００８】
そのうち、前記ＹＺ方向搬送ユニットは、前記Ｘ方向ピックアップロボットを、前記Ｚ方向ガイドレール上を摺動させるように駆動するための第１の駆動装置、及び前記Ｚ方向ガイドレールを、前記Ｙ方向ガイドレール上を摺動させるように駆動するための第２の駆動装置を更に備えていてもよい。
【０００９】
そのうち、複数の前記サブアライメントプラットフォームは一の字状に配列されていてもよい。
【００１０】
そのうち、前記アライメントプラットフォームシステムの上方に架け渡されているＸ方向スライドレールを更に備え、前記視覚位置決めシステムは前記Ｘ方向スライドレールに摺動可能に接続されていてもよい。
【００１１】
そのうち、複数の前記サブアライメントプラットフォームはＭ×Ｎアレイとなり、そのうち、Ｍ≧２、Ｎ≧２であってもよい。
【００１２】
そのうち、前記アライメントプラットフォームシステムの上方に架け渡されているＸ方向スライドレールを更に備え、前記視覚位置決めシステムは前記Ｘ方向スライドレールに摺動可能に接続され、前記Ｘ方向スライドレールの下端にはＹ方向スライドレールが設置され、前記Ｘ方向スライドレールは前記Ｙ方向スライドレールに摺動可能に接続されていてもよい。
【００１３】
そのうち、前記サブアライメントプラットフォームはＵＶＷアライメントプラットフォームであってもよい。
【００１４】
そのうち、前記給送機構は、Ｘ方向給送ロボット、及び前記アライメントプラットフォームシステムの上方に設置されたＹ方向給送ガイドレールを備え、前記Ｘ方向給送ロボットには複数の第２の真空吸盤が設置され、複数の前記第２の真空吸盤の分布は複数の前記サブアライメントプラットフォームと１対１で対応し、前記Ｘ方向ピックアップロボットは前記Ｙ方向ガイドレールに摺動可能に接続され、前記アライメントプラットフォームシステムはＺ方向に沿って昇降することができてもよい。
【００１５】
そのうち、前記給送機構は、Ｘ方向給送ロボット、及び前記アライメントプラットフォームシステムの上方に設置された給送ガイドレールを更に備え、前記給送ガイドレールは、Ｙ方向セグメント、及び前記Ｙ方向セグメントに接続されたＺ方向セグメントを備え、前記Ｚ方向セグメントは、前記Ｙ方向セグメントの下方に位置し、前記アライメントプラットフォームシステムに対応し、前記Ｚ方向セグメントは、前記Ｙ方向セグメントを、前部に位置する第１の部分及び後部に位置する第２の部分に分け、前記Ｘ方向ピックアップロボットの一端は前記給送ガイドレールに摺動可能に接続されていてもよい。
【００１６】
そのうち、検出ユニット及びアラームユニットを含むアラーム装置を更に備え、前記検出ユニットは、前記第１の真空吸盤の同一のウェハに対する吸着がＡ回連続して失敗したかどうかを検出するためのものであり、そのうち、Ａ＞２であり、吸着が連続して失敗したことを検出した場合、指令を前記アラームユニットに送信し、前記アラームユニットはアラームを発報してもよい。
【００１７】
そのうち、前記第１の真空吸盤はゴム製又はプラスチック製であり、又は、前記第１の真空吸盤は金属製であり、前記真空吸盤の表面には可撓性材料層が塗布されていてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係るウェハ位置決め及び載置システムは、複数のウェハを同時に操作して、装置の繰り返し動作に要する時間を短縮させることができるため、作業効率を向上させ、コストを削減させる。
【００１９】
更に、本発明に係るウェハ位置決め及び載置システムは、複数のカメラを用いて１対１でウェハ位置を撮影するのではなく、移動可能な視覚位置決めシステムを用いて複数のウェハの位置を１つずつ撮影して各ウェハの位置を取得することにより、コストをさらに削減させる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係るウェハ位置決め及び載置システムの一つの好適な実施例の構造の模式図である。
【図２】本発明に係るウェハ位置決め及び載置システムのプロセスフローチャートである。
【図３】本発明に係るウェハ位置決め及び載置システムの他の好適な実施例の構造の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面及び実施例を参照しながら、本発明の具体的な実施形態を更に詳しく説明する。以下の実施例は本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を制限するものではない。
【００２２】
本発明の説明において、「中心」、「縦方向」、「横方向」、「長さ」、「幅」、「厚み」、「上」、「下」、「前」、「後」、「左」、「右」、「鉛直」、「水平」、「頂」、「底」、「内」、「外」、「時計回り」、「逆時計回り」、「軸方向」、「半径方向」、「周方向」などの用語が示す方位又は位置関係は、図面に示す方位又は位置関係に基づき、本発明を便利にまたは簡単に説明するために使用されるものであり、指定された装置又は部品が特定の方位にあり、特定の方位において構成されて操作されると指示又は暗示するものではないため、本発明に対する限定であると理解されるものではない。
【００２３】
なお、「第１の」、「第２の」という用語は、説明するためのものに過ぎず、相対的な重要性を指示または暗示するもの、又は、示された技術的特徴の数を暗示的に示すものとして解釈されるべきではない。従って、「第１の」、「第２の」によって限定されている特徴は少なくとも１つの当該特徴を含むことを明示又は暗示するものである。本発明の説明において、明確且つ具体的な限定がない限り、「複数」とは、少なくとも２つ、例えば、２つ、３つなどを意味する。
【００２４】
本発明において、明確的な限定がない限り、「取り付け」、「互いに接続」、「接続」、「固定」等の用語の意味は広く理解されるべきである。特に明記していない限り、例えば、固定接続や、着脱可能な接続、あるいは一体的な接続でも可能であり、機械的な接続や、電気的な接続や、互いに通信することも可能であり、直接的に互いに接続することや、中間媒体を介して間接的に互いに接続することでも可能であり、２つの部品の内部が連通することや、２つ素子のインタラクション関係でも可能である。当業者にとって、具体的な状況に応じて上記用語の本発明での具体的な意味を理解することができる。
【００２５】
＜実施例１＞
図１は本発明に係るウェハ位置決め及び載置システムの一つの好適な実施例を示す。図に示すように、当該ウェハ位置決め及び載置システムは、ピックアップ機構２、視覚位置決めシステム３、給送機構５、及び複数のサブアライメントプラットフォームを含むアライメントプラットフォームシステム４を備える。そのうち、ピックアップ機構２は、Ｘ方向ピックアップロボット及びＹＺ方向搬送ユニットを備え、Ｘ方向ピックアップロボットには、Ｘ方向ピックアップロボットにより複数のウェハ１を同時にピックアップするように、間隔をあけて設置された、ウェハ１を吸着するための複数の第１の真空吸盤が設置される。具体的には、第１の真空吸盤は、排気管を介して真空装置に接続され、第１の真空吸盤は、吸着面が下向きにＸ方向ピックアップロボットの底端に設置されている。複数の第１の真空吸盤の分布は複数の前記サブアライメントプラットフォームと１対１で対応する。ＹＺ方向搬送ユニットは、Ｘ方向ピックアップロボットに接続され、複数の第１の真空吸盤に吸着されたウェハ１を同時にそれぞれ対応するサブアライメントプラットフォームに搬送するためのものである。視覚位置決めシステム３は、アライメントプラットフォームシステム４の上方に架け渡され、それぞれのサブアライメントプラットフォームでのウェハ１の位置（好ましくは中心位置）を取得するためのものであり、それぞれのサブアライメントプラットフォームは、視覚位置決めシステム３で取得されたそれぞれのウェハ１の位置に基づいて、ウェハ１の位置が予め設定された基準位置と一致するようにウェハ１を調整する。給送機構５は、複数のサブアライメントプラットフォームで調整された複数のウェハ１を搬送先、例えば、湿式装置又は所定の容器に搬送するためのものである。
【００２６】
本発明に係るウェハ位置決め及び載置システムによれば、Ｘ方向ピックアップロボットにおける、間隔をあけて設置された複数の第１の真空吸盤を採用することにより、複数のウェハ１を同時にピックアップすることができ、ＹＺ方向搬送ユニットにより複数のウェハ１をそれぞれ対応するサブアライメントプラットフォームに同時に搬送した後、視覚位置決めシステム３により複数のサブアライメントプラットフォームに配置されているそれぞれのウェハ１の位置を取得し、それぞれのサブアライメントプラットフォームにより、視覚位置決めシステム３で取得されたそれぞれのウェハ１の位置に基づいてそれぞれ調整し、最後に、給送機構５により、複数のサブアライメントプラットフォームで調整された複数のウェハ１を搬送先に搬送する。本発明に係るウェハ位置決め及び載置システムによれば、複数のウェハ１を同時に操作して、装置の繰り返し動作に要する時間を短縮させることができるため、作業効率を向上させ、コストを削減させる。
【００２７】
具体的には、当該実施例では、ＹＺ方向搬送ユニットは、Ｙ方向ガイドレール及びＺ方向ガイドレールを含むガイドレールを備え、そのうち、Ｚ方向ガイドレールがＹ方向ガイドレールに摺動可能に接続され、Ｘ方向ピックアップロボットの一端がＺ方向ガイドレールに摺動可能に接続されている。好ましくは、当該ＹＺ方向搬送ユニットは、Ｘ方向ピックアップロボットを、Ｚ方向ガイドレール上を摺動させるように駆動するための第１の駆動装置、及びＺ方向ガイドレールを、Ｙ方向ガイドレール上を摺動させるように駆動するための第２の駆動装置を更に備える。ＹＺ方向搬送ユニットが作動する場合、まず、Ｘ方向ピックアップロボットはＺ方向ガイドレールに沿って上へ所望の位置まで摺動した後停止し、次に、Ｚ方向ガイドレールはＹ方向ガイドレールに沿って水平に摺動し、このように、Ｚ方向ガイドレールに接続されているＸ方向ピックアップロボットは連動してＹ方向ガイドレールに沿って所望の位置まで水平に摺動した後停止し（当該位置において、Ｘ方向ピックアップロボットにおける複数の第１の真空吸盤はアライメントプラットフォームシステム４における複数のサブアライメントプラットフォームと１対１で対応する）、その後、Ｘ方向ピックアップロボットは、Ｚ方向ガイドレールに沿って下へ摺動し、このように、ウェハ１をアライメントプラットフォームシステム４に配置する。この時、Ｘ方向ピックアップロボットにおける複数の第１の真空吸盤は、吸着されたウェハ１をそれぞれ対応するサブアライメントプラットフォームに解放した後、元の経路に沿って戻って、次のバッチのウェハ１をピックアップする。
【００２８】
なお、当業者であれば、本発明の他のいくつかの実施例では、ＹＺ方向搬送ユニットは、Ｘ方向ピックアップロボットをアライメントプラットフォームシステム４に対応する位置まで移動させることができれば（即ち、Ｘ方向ピックアップロボットにおける複数の第１の真空吸盤とアライメントプラットフォームシステム４における複数のサブアライメントプラットフォームとを１対１で対応させることができれば）、他の構成を採用してもよいことが理解できるはずである。例えば、当該ＹＺ方向搬送ユニットは、Ｙ方向セグメント、及びＹ方向セグメントの両端にそれぞれ接続された２つのＺ方向セグメントを含むガイドレールを備え、２つのＺ方向セグメントは、いずれもＹ方向セグメントの下方に位置し（即ち、当該ガイドレールは逆「Ｕ」形状である）、Ｘ方向ピックアップロボットの一端がガイドレールに摺動可能に接続されている。好ましくは、ＹＺ方向搬送ユニットは、Ｘ方向ピックアップロボットを、ガイドレール内を摺動させるように駆動するための駆動装置を更に備え、これにより、駆動装置の駆動により、Ｘ方向ピックアップロボットがガイドレール内を摺動する。具体的には、まず、ガイドレールのＺ方向セグメントに沿って上へ摺動し、その後、Ｙ方向セグメントに沿って水平に移動し、最後に他のＺ方向セグメントに沿って下へ摺動することにより、第１の真空吸盤に吸着されたウェハ１をアライメントプラットフォームシステム４に搬送する。
【００２９】
なお、当該実施例ではアライメントプラットフォームシステム４におけるサブアライメントプラットフォームの数が４つであり、かつ４つのサブアライメントプラットフォームが一の字状となることを示したが、当業者であれば、本発明の他のいくつかの実施例では、アライメントプラットフォームシステム４におけるサブアライメントプラットフォームの数が、例えば、２つ、５つ又は８つ等の他の数値であってもよいことが理解できるはずである。
【００３０】
当該実施例では、当該ウェハ位置決め及び載置システムは、前記アライメントプラットフォームシステム４の上方に架け渡されているＸ方向スライドレール及び１つの視覚位置決めシステム３を更に備え、当該視覚位置決めシステム３は前記Ｘ方向ブラケットに摺動可能に接続され、このように、当該視覚位置決めシステム３を移動させることにより、複数のサブアライメントプラットフォームでのウェハ１の位置を順次に取得する。使用する時、当該視覚位置決めシステム３は、１つのウェハ１の位置を取得した後、次のウェハ１の位置まで移動して、他のウェハ１を検出し、視覚位置決めシステム３が１つのウェハ１を撮影した後、当該ウェハ１と対応するサブアライメントプラットフォームは、視覚位置決めシステム３で取得された当該ウェハ１の位置に基づいてウェハ１を調整することができるため、作業効率を更に向上させ、製造コストを低減させる。
【００３１】
なお、当業者であれば、本発明のいくつかの実施例では、複数の固定視覚位置決めシステム３を使用して、それぞれの視覚位置決めシステム３が１つのサブアライメントプラットフォームと対応して、１対１の形で撮影してもよいことが理解できるはずである。
【００３２】
好ましくは、サブアライメントプラットフォームはＵＶＷアライメントプラットフォームを採用する。更に、それぞれのサブアライメントプラットフォームのゼロ点は、湿式装置又は所定の容器等の搬送先をもって基準位置を取得する。ウェハ１の中心位置がサブアライメントプラットフォームの設定値と一致する場合、湿式装置又は所定の容器の中心位置とも一致することに相当し、これにより、湿式装置又は所定の容器内でのウェハ１の配置精度を確保する。
【００３３】
給送機構５は、Ｘ方向給送ロボット、及びアライメントプラットフォームシステム４の上方に設置されたＹ方向ガイドレールを備え、Ｘ方向給送ロボットには複数の第２の真空吸盤が設置され、Ｘ方向ピックアップロボットはＹ方向ガイドレールに摺動可能に接続され、アライメントプラットフォームシステム４はＺ方向に沿って昇降することができ、具体的には、アライメントプラットフォームシステム４は、Ｚ軸に沿って昇降することができるように、リフトシリンダにより制御される基板に取り付けられている。視覚位置決めシステム３がウェハ１の中心位置を取得した後、サブアライメントプラットフォームは、予め設定された基準位置に基づいて、ウェハ１の中心位置を設定された位置と一致させるように調整する。Ｘ方向給送ロボットがアライメントプラットフォームシステム４の上方まで移動した時、複数の第２の真空吸盤は、アライメントプラットフォームシステム４における複数のサブアライメントプラットフォームと１対１で対応して、複数のサブアライメントプラットフォームでのウェハ１を同時にピックアップし、ウェハ１を搬送先に搬送する。
【００３４】
なお、当業者であれば、本発明の他のいくつかの実施例では、アライメントプラットフォームシステム４をＺ方向に移動させずに、第２の真空吸盤がアライメントプラットフォームシステム４でのウェハ１を吸着するように給送機構５を押し下げてもよいことが理解できるはずである。具体的には、給送機構５は、Ｘ方向給送ロボット、及びアライメントプラットフォームシステム４の上方に設置された給送ガイドレールを更に備え、当該給送ガイドレールは、Ｙ方向セグメント及びＹ方向セグメントに接続されたＺ方向セグメントを備え、Ｚ方向セグメントは、Ｙ方向セグメントの下方に位置し、前記Ｚ方向セグメントは、Ｙ方向セグメントを、前部に位置する第１の部分及び後部に位置する第２の部分に分け、Ｘ方向給送ロボットの一端は給送ガイドレールに摺動可能に接続され、それぞれの前記サブアライメントプラットフォームが、前記視覚位置決めシステム３で取得された前記それぞれのウェハ１の位置に基づいて前記ウェハ１を調整した後、給送機構５のＸ方向給送ロボットは、給送ガイドレールのＹ方向セグメントの第１の部分に沿ってＺ方向セグメントまで水平に移動した時、複数の第２の真空吸盤の位置は複数のサブアライメントプラットフォームでのウェハ１の位置と対応し、Ｘ方向給送ロボットがＺ方向セグメントに沿って下へ摺動して、アライメントプラットフォームシステム４でのウェハ１を吸着した後、更にＺ方向セグメントに沿って上へ摺動し、Ｙ方向セグメントの第２の部分に沿ってウェハ１を湿式装置又は所定の容器に搬送した後、更にＹ方向セグメントに沿って戻る。
【００３５】
更に、当該ウェハ位置決め及び載置システムは、検出ユニット及びアラームユニットを含むアラーム装置を更に備え、そのうち、検出ユニットは、第１の真空吸盤の同一のウェハ１に対する吸着がＡ回連続して失敗したかどうかを検出するためのものであり、好ましくはＡ＞２であり、吸着が連続して失敗したことを検出した場合、指令をアラームユニットに送信し、アラームユニットはアラームを発報する。つまり、ピックアップ機構２の第１の真空吸盤がウェハ１を吸着する時の真空度により判断し、真空を形成できず、Ａ回繰り返し試みる場合、ウェハ１が破損したことが確認されて、アラーム処理を行う。
【００３６】
また、ウェハ１の損傷を防止するためには、好ましくは、真空吸盤はゴム製又はプラスチック製であり、本発明の他のいくつかの実施例では、真空吸盤は金属製であってもよく、金属材料を採用する場合、好ましくは、真空吸盤の表面には可撓性材料層、例えば、ゴム層又はプラスチック層が塗布されている。
【００３７】
当該ウェハ位置決め及び載置システムの作動フローは下記の通りであり、図２に示すように、容器内に配置されているウェハ１が前端装置により指定された位置のプラットホーム上に配置され、位置決めして固定され、ウェハ１が所定位置に配置された後、ピックアップ機構２はウェハ１の上方に移動して、ウェハ１を押すまで下へ移動し、第１の真空吸盤は４つのウェハ１を同時に吸着した後、端部を上昇させ、アライメントプラットフォームシステム４の上方に移動し、最後に、ウェハをアライメントプラットフォームシステム４に置く。ウェハがアライメントプラットフォームシステム４に配置された後、視覚位置決めシステム３は、ウェハ１を１つずつ撮影し始め、ウェハ１の位置を確定する。視覚位置決めシステム３がウェハの位置を取得した後、アライメントプラットフォームシステム４は、予め設定された基準位置に基づいて、ウェハ１の位置が設定された位置と一致するように調整する。ウェハ１の位置を調整した後、給送機構５が、アライメントプラットフォームシステム４に移動し、リフトシリンダがアライメントプラットフォームシステム４を所定の高さまで持ち上げ、給送機構５の端部の第２の真空吸盤が４つのウェハを同時に吸着した後、前へ移動してウェハを湿式装置内に置く。一回の載置プロセスを終了してから、動作を繰り返す。
【００３８】
＜実施例２＞
本実施例は、実施例１と基本的に同様であり、説明を簡単にするために、本実施例の説明中においては、実施例１と同様の技術的特徴についての説明を省略し、実施例１と異なる点のみを説明する。
【００３９】
図３に示すように、当該実施例では、複数のサブアライメントプラットフォームは４Ｘ２行列に配列され、この場合、Ｘ方向ピックアップロボットは板状を採用し、その上に設置された複数の第１の真空吸盤も４Ｘ２行列に配列されている。なお、当該実施例では、アライメントプラットフォームシステム４におけるサブアライメントプラットフォームは４Ｘ２行列に配列されていることを示したが、当業者であれば、本発明の他のいくつかの実施例では、アライメントプラットフォームシステム４におけるサブアライメントプラットフォームが、例えば、３Ｘ３、又は５Ｘ３等の他のＭ×Ｎ行列に配列されてもよく、そのうち、Ｍ≧２、Ｎ≧２であることが理解できるはずである。
【００４０】
当該ウェハ位置決め及び載置システムは、前記アライメントプラットフォームシステム４の上方に架け渡されているＸ方向スライドレール及び１つの視覚位置決めシステム３を更に備え、当該視覚位置決めシステム３は前記Ｘ方向ブラケットに摺動可能に接続され、Ｘ方向ブラケットの下端にはＹ方向スライドレール６が更に設置され、Ｘ方向ブラケットはＹ方向スライドレール６に摺動可能に接続され、これにより、Ｘ方向ブラケットにおいて当該視覚位置決めシステム３を移動して同一のＸ方向に位置するサブアライメントプラットフォームでの複数のウェハ１の位置を順次に取得させた後、Ｘ方向ブラケットをＹ方向スライドレール６に沿って移動させて、当該視覚位置決めシステム３が他のＸ方向に位置するサブアライメントプラットフォームでの複数のウェハ１の位置を順次に取得する。視覚位置決めシステム３の１つのウェハ１に対する撮影は終了した後、当該ウェハ１と対応するサブアライメントプラットフォームは、視覚位置決めシステム３で取得された当該ウェハ１の位置に基づいてウェハ１を調整することができるため、作業効率を更に向上させ、製造コストを低減させる。
【００４１】
本発明の他のいくつかの実施例では、アライメントプラットフォームシステム４の複数のサブアライメントプラットフォームがＭ×Ｎ行列に配列されている。この場合、当該ウェハ位置決め及び載置システムは、アライメントプラットフォームシステム４の上方に架け渡されているＸ方向ブラケット、及びＸ方向ブラケットに設置されているＮ個のＹ方向サブスライドレールを更に備え、Ｎ個のＹ方向サブスライドレールは、複数のサブアライメントプラットフォームのＮ列と１対１で対応し、かつ当該視覚位置決めシステム３の数もＮ個であり、それぞれの視覚位置決めシステム３は対応するＹ方向サブスライドレールに摺動可能に接続され、これにより、１つの視覚位置決めシステム３により、Ｍ×Ｎ行列のうちの対応する１列のサブアライメントプラットフォームでのウェハ１を撮影し、且つＮ個の視覚位置決めシステム３は、同時に操作することができ、作業効率を更に向上させる。
【００４２】
以上は、本発明の好適な実施例に過ぎず、本発明を制限するためのものではなく、本発明の趣旨及び範囲内に行われた全ての変更、同等の置換、改良などは、いずれも本発明の保護範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００４３】
１  ウェハ
２  ピックアップ機構
３  視覚位置決めシステム
４  アライメントプラットフォームシステム
５  給送機構
６  Ｙ方向スライドレール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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