(57)【要約】      （修正有）【課題】蛍光射出量が低下することを低減できる、波長変換素子及び波長変換素子の製造方法を提供する。また、当該波長変換素子を備えた光源装置を提供する。また、当該光源装置を備えたプロジェクターを提供する。【解決手段】波長変換素子４０は、複数の気孔４２ｃを有するとともに、第１の波長帯の光により励起されることによって第１の波長帯とは異なる第２の波長帯の光を生成する波長変換層４２と、気孔によって波長変換層の第１面４２Ｂに生じる凹部４２ｄを封孔する透明部材４５と、波長変換層の第１面に対向して設けられる反射部材４３と、反射部材に対向して設けられる基材４１と、を備え、透明部材は、複数の気孔の一部に設けられていることを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の気孔を有するとともに、第１の波長帯の光により励起されることによって前記第１の波長帯とは異なる第２の波長帯の光を生成する波長変換層と、
前記気孔によって前記波長変換層の第１面に生じる凹部を封孔する透明部材と、
前記波長変換層の前記第１面に対向して設けられる反射層と、
前記反射層に対向して設けられる基材と、を備え、
前記透明部材は、前記複数の気孔の一部に設けられている
ことを特徴とする波長変換素子。
【請求項２】
前記透明部材は、前記波長変換層における側面の少なくとも一部にも設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の波長変換素子。
【請求項３】
前記波長変換層と前記反射層との間に設けられた第１層をさらに備えており、
前記透明部材は、前記反射層に対して前記第１層とは反対側に設けられている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の波長変換素子。
【請求項４】
前記透明部材が、前記第１層の側面に設けられている
ことを特徴とする請求項３に記載の波長変換素子。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の波長変換素子と、
前記波長変換素子に向けて前記第１の波長帯の光を射出する光源と、を備える
ことを特徴とする光源装置。
【請求項６】
請求項５に記載の光源装置と、
前記光源装置からの光を画像情報に応じて変調することにより画像光を形成する光変調装置と、
前記画像光を投写する投写光学系と、を備える
ことを特徴とするプロジェクター。
【請求項７】
複数の気孔を有する波長変換層を形成する波長変換層形成工程と、
前記波長変換層のうち前記気孔によって生じた凹部を有する第１面を少なくとも所定の溶液に浸した後、前記所定の溶液を焼成することで前記凹部を封孔する透明部材を形成する透明部材形成工程と、
前記波長変換層の前記第１面に対向する位置に反射層を形成する反射層形成工程と、を備える
ことを特徴とする波長変換素子の製造方法。
【請求項８】
前記透明部材形成工程では、前記波長変換層における前記第１面と交差する側面の少なくとも一部を前記溶液に浸す
ことを特徴とする請求項７に記載の波長変換素子の製造方法。
【請求項９】
複数の気孔と前記気孔によって生じた凹部を有する波長変換層を形成する波長変換層形成工程と、
前記波長変換層の第１面に対向する位置に第１層を形成する第１層形成工程と、
前記第１層の前記波長変換層と反対側に反射層を形成する反射層形成工程と、
前記反射層形成工程の後、前記第１層及び前記反射層を所定の溶液に浸した後、前記所定の溶液を焼成することで前記凹部を封孔する透明部材を形成する透明部材形成工程と、を備える
ことを特徴とする波長変換素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長変換素子、波長変換素子の製造方法、光源装置及びプロジェクターに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、プロジェクター用の照明装置として照明光として蛍光を利用するものがある。例えば、下記特許文献１には、レーザー光を射出する光源と、レーザー光の入射によって蛍光を発光する蛍光発光部とを備えた発光装置が開示されている。この発光装置において、蛍光発光部は、蛍光体層と、該蛍光体層を支持する基板と、基板と蛍光体層との間に設けられた反射層とを備えている。そして、蛍光発光部は、蛍光体層で生成した蛍光を反射層で反射することで照明光として取り出している。
【０００３】
上述のような反射層としては耐久性に優れたものが望ましい。例えば、下記特許文献２には、熱や光に強い反射層としてＡｇ膜を用いることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１１９０４６号公報
【特許文献２】国際公開第２０１５／１９４４５５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、蛍光体層で生成した蛍光を反射する反射層としてＡｇを用いることも考えられる。しかしながら、反射層としてＡｇを用いた場合、熱によるマイグレーションの発生により、Ａｇ原子が凝集することで反射層の反射率が低下して蛍光体から射出される蛍光量が減少する。
【０００６】
これに対し、蛍光体層の内部に気孔を形成することで蛍光を拡散させて蛍光の取り出し効率を向上させることも考えられる。しかしながら、蛍光体層に気孔を形成する場合、蛍光体層の表面に凹部が生じるため、蛍光体層上に形成された反射層は均一性が低くなる虞があるとともに、膜に欠陥が生じている可能性がある。反射層の欠陥部分は上述したＡｇ原子の凝集経路となり得るため、凝集による反射率の低下が促進されて蛍光体層から射出される蛍光量が減少する虞があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決することを目的としたものであり、蛍光射出量が低下することを低減できる、波長変換素子及び波長変換素子の製造方法を提供することを目的の１つとする。また、当該波長変換素子を備えた光源装置を提供することを目的の１つとする。また、当該光源装置を備えたプロジェクターを提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１態様に従えば、複数の気孔を有するとともに、第１の波長帯の光により励起されることによって前記第１の波長帯とは異なる第２の波長帯の光を生成する波長変換層と、前記気孔によって前記波長変換層の第１面に生じる凹部を封孔する透明部材と、前記波長変換層の前記第１面に対向して設けられる反射層と、前記反射層に対向して設けられる基材と、を備え、前記透明部材は、前記複数の気孔の一部に設けられている波長変換素子が提供される。
【０００９】
上記第１態様において、前記透明部材は、前記波長変換層における側面の少なくとも一部にも設けられているのが好ましい。
【００１０】
上記第１態様において、前記波長変換層と前記反射層との間に設けられた第１層をさらに備えており、前記透明部材は、前記反射層に対して前記第１層とは反対側に設けられているのが好ましい。
【００１１】
さらに、前記透明部材は、前記透明部材が、前記第１層の側面に設けられているのがより望ましい。
【００１２】
本発明の第２態様に従えば、上記第１態様に係る波長変換素子と、前記励起光を射出する光源と、を備える光源装置が提供される。
【００１３】
本発明の第３態様に従えば、上記第２態様に係る光源装置と、前記光源装置からの光を画像情報に応じて変調することにより画像光を形成する光変調装置と、前記画像光を投写する投写光学系と、を備えるプロジェクターが提供される。
【００１４】
本発明の第４態様に従えば、複数の気孔を有する波長変換層を形成する波長変換層形成工程と、前記波長変換層のうち前記気孔によって生じた凹部を有する第１面を少なくとも所定の溶液に浸した後、前記所定の溶液を焼成することで前記凹部を封孔する透明部材を形成する透明部材形成工程と、前記波長変換層の前記第１面に対向する位置に反射層を形成する反射層形成工程と、を備える波長変換素子の製造方法が提供される。
【００１５】
上記第４態様において、前記透明部材形成工程では、前記波長変換層における前記第１面と交差する側面の少なくとも一部を前記溶液に浸すのが好ましい。
【００１６】
本発明の第５態様に従えば、複数の気孔と前記気孔によって生じた凹部を有する波長変換層を形成する波長変換層形成工程と、前記波長変換層の第１面に対向する位置に第１層を形成する第１層形成工程と、前記第１層の前記波長変換層と反対側に反射層を形成する反射層形成工程と、前記反射層形成工程の後、前記第１層及び前記反射層を所定の溶液に浸した後、前記所定の溶液を焼成することで前記凹部を封孔する透明部材を形成する透明部材形成工程と、を備える波長変換素子の製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第一実施形態に係るプロジェクターの概略構成を示す図である。
【図２】照明装置の概略構成を示す図である。
【図３】波長変換素子の要部構成を示す断面図である。
【図４】蛍光体層の要部構成を示す断面図である。
【図５Ａ】波長変換素子の製造プロセスを示す図である。
【図５Ｂ】波長変換素子の製造プロセスを示す図である。
【図５Ｃ】波長変換素子の製造プロセスを示す図である。
【図５Ｄ】波長変換素子の製造プロセスを示す図である。
【図６】第二実施形態に係る波長変換素子の要部構成を示す断面図である。
【図７】第三実施形態に係る波長変換素子の要部構成を示す断面図である。
【図８】変形例に係る波長変換素子の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１９】
（第一実施形態）
まず、本実施形態に係るプロジェクターの一例について説明する。
図１は、本実施形態に係るプロジェクターの概略構成を示す図である。
図１に示すように、本実施形態のプロジェクター１は、スクリーンＳＣＲ上にカラー映像を表示する投射型画像表示装置である。プロジェクター１は、照明装置２と、色分離光学系３と、光変調装置４Ｒ，光変調装置４Ｇ，光変調装置４Ｂと、合成光学系５と、投写光学系６とを備えている。
【００２０】
色分離光学系３は、照明光ＷＬを赤色光ＬＲと、緑色光ＬＧと、青色光ＬＢとに分離する。色分離光学系３は、第１のダイクロイックミラー７ａ及び第２のダイクロイックミラー７ｂと、第１の全反射ミラー８ａ、第２の全反射ミラー８ｂ及び第３の全反射ミラー８ｃと、第１のリレーレンズ９ａ及び第２のリレーレンズ９ｂとを概略備えている。
【００２１】
第１のダイクロイックミラー７ａは、照明装置２からの照明光ＷＬを赤色光ＬＲと、その他の光（緑色光ＬＧ及び青色光ＬＢ）とに分離する。第１のダイクロイックミラー７ａは、分離された赤色光ＬＲを透過すると共に、その他の光（緑色光ＬＧ及び青色光ＬＢ）を反射する。一方、第２のダイクロイックミラー７ｂは、緑色光ＬＧを反射すると共に青色光ＬＢを透過することによって、その他の光を緑色光ＬＧと青色光ＬＢとに分離する。
【００２２】
第１の全反射ミラー８ａは、赤色光ＬＲの光路中に配置されて、第１のダイクロイックミラー７ａを透過した赤色光ＬＲを光変調装置４Ｒに向けて反射する。一方、第２の全反射ミラー８ｂ及び第３の全反射ミラー８ｃは、青色光ＬＢの光路中に配置されて、第２のダイクロイックミラー７ｂを透過した青色光ＬＢを光変調装置４Ｂに導く。緑色光ＬＧは、第２のダイクロイックミラー７ｂから光変調装置４Ｇに向けて反射される。
【００２３】
第１のリレーレンズ９ａ及び第２のリレーレンズ９ｂは、青色光ＬＢの光路中における第２のダイクロイックミラー７ｂの後段に配置されている。
【００２４】
光変調装置４Ｒは、赤色光ＬＲを画像情報に応じて変調し、赤色光ＬＲに対応した画像光を形成する。光変調装置４Ｇは、緑色光ＬＧを画像情報に応じて変調し、緑色光ＬＧに対応した画像光を形成する。光変調装置４Ｂは、青色光ＬＢを画像情報に応じて変調し、青色光ＬＢに対応した画像光を形成する。
【００２５】
光変調装置４Ｒ，光変調装置４Ｇ，光変調装置４Ｂには、例えば透過型の液晶パネルが用いられている。また、液晶パネルの入射側及び射出側各々には、偏光板（図示せず。）が配置されている。
【００２６】
また、光変調装置４Ｒ，光変調装置４Ｇ，光変調装置４Ｂの入射側には、それぞれフィールドレンズ１０Ｒ，フィールドレンズ１０Ｇ，フィールドレンズ１０Ｂが配置されている。フィールドレンズ１０Ｒ，フィールドレンズ１０Ｇ，フィールドレンズ１０Ｂは、光変調装置４Ｒ，光変調装置４Ｇ，光変調装置４Ｂそれぞれに入射する赤色光ＬＲ，緑色光ＬＧ，青色光ＬＢそれぞれを平行化する。
【００２７】
合成光学系５には、光変調装置４Ｒ，光変調装置４Ｇ，光変調装置４Ｂからの画像光が入射する。合成光学系５は、各々が赤色光ＬＲ，緑色光ＬＧ，青色光ＬＢに対応した画像光を合成し、この合成された画像光を投写光学系６に向けて射出する。合成光学系５には、例えばクロスダイクロイックプリズムが用いられている。
【００２８】
投写光学系６は、投射レンズ群からなり、合成光学系５により合成された画像光をスクリーンＳＣＲに向けて拡大投射する。これにより、スクリーンＳＣＲ上には、拡大されたカラー映像が表示される。
【００２９】
（照明装置）
続いて、本実施形態に係る照明装置２について説明する。図２は照明装置２の概略構成を示す図である。図２に示すように、照明装置２は、光源装置２Ａと、インテグレーター光学系３１と、偏光変換素子３２と、重畳レンズ３３ａとを備えている。本実施形態において、インテグレーター光学系３１と重畳レンズ３３ａとは重畳光学系３３を構成している。
【００３０】
光源装置２Ａは、アレイ光源２１Ａと、コリメーター光学系２２と、アフォーカル光学系２３と、第１の位相差板２８ａと、偏光分離素子２５と、第１の集光光学系２６と、波長変換素子４０と、第２の位相差板２８ｂと、第２の集光光学系２９と、拡散反射素子３０とを備える。
【００３１】
アレイ光源２１Ａと、コリメーター光学系２２と、アフォーカル光学系２３と、第１の位相差板２８ａと、偏光分離素子２５と、第２の位相差板２８ｂと、第２の集光光学系２９と、拡散反射素子３０とは、光軸ａｘ１上に順次並んで配置されている。一方、波長変換素子４０と、第１の集光光学系２６と、偏光分離素子２５と、インテグレーター光学系３１と、偏光変換素子３２と、重畳レンズ３３ａとは、照明光軸ａｘ２上に順次並んで配置されている。光軸ａｘ１と照明光軸ａｘ２とは、同一面内にあり、互いに直交する。
【００３２】
アレイ光源２１Ａは、固体光源としての複数の半導体レーザー２１１を備える。複数の半導体レーザー２１１は光軸ａｘ１と直交する面内において、アレイ状に並んで配置されている。半導体レーザー２１１は、例えば青色の光線ＢＬ（例えばピーク波長が４６０ｎｍのレーザー光）を射出する。アレイ光源２１Ａは、複数の光線ＢＬからなる光線束を射出する。本実施形態において、アレイ光源２１Ａは特許請求の範囲の「光源」に相当する。
【００３３】
アレイ光源２１Ａから射出された光線ＢＬは、コリメーター光学系２２に入射する。コリメーター光学系２２は、アレイ光源２１Ａから射出された光線ＢＬを平行光に変換する。コリメーター光学系２２は、例えばアレイ状に並んで配置された複数のコリメーターレンズ２２ａから構成されている。複数のコリメーターレンズ２２ａは、複数の半導体レーザー２１１に対応して配置されている。
【００３４】
コリメーター光学系２２を通過した光線ＢＬは、アフォーカル光学系２３に入射する。
アフォーカル光学系２３は、光線ＢＬの光束径を調整する。アフォーカル光学系２３は、例えば凸レンズ２３ａ，凹レンズ２３ｂから構成されている。
【００３５】
アフォーカル光学系２３を通過した光線ＢＬは第１の位相差板２８ａに入射する。第１の位相差板２８ａは、例えば回転可能とされた１／２波長板である。半導体レーザー２１１から射出された光線ＢＬは直線偏光である。第１の位相差板２８ａの回転角度を適切に設定することにより、第１の位相差板２８ａを透過する光線ＢＬを、偏光分離素子２５に対するＳ偏光成分とＰ偏光成分とを所定の比率で含む光線とすることができる。第１の位相差板２８ａを回転させることにより、Ｓ偏光成分とＰ偏光成分との比率を変化させることができる。
【００３６】
第１の位相差板２８ａを通過することで生成されたＳ偏光成分とＰ偏光成分とを含む光線ＢＬは偏光分離素子２５に入射する。偏光分離素子２５は、例えば波長選択性を有する偏向ビームスプリッターから構成されている。偏光分離素子２５は、光軸ａｘ１及び照明光軸ａｘ２に対しても４５°の角度をなしている。
【００３７】
偏光分離素子２５は、光線ＢＬを、偏光分離素子２５に対するＳ偏光成分の光線ＢＬｓとＰ偏光成分の光線ＢＬｐとに分離する偏光分離機能を有している。具体的に、偏光分離素子２５は、Ｓ偏光成分の光線ＢＬｓを反射させ、Ｐ偏光成分の光線ＢＬｐを透過させる。
【００３８】
また、偏光分離素子２５は光線ＢＬとは波長帯が異なる蛍光ＹＬを、その偏光状態にかかわらず透過させる色分離機能を有している。
【００３９】
偏光分離素子２５から射出されたＳ偏光の光線ＢＬｓは、第１の集光光学系２６に入射する。第１の集光光学系２６は、光線ＢＬｓを波長変換素子４０に向けて集光させる。
【００４０】
本実施形態において、第１の集光光学系２６は、例えば第１レンズ２６ａ及び第２レンズ２６ｂから構成されている。第１の集光光学系２６から射出された光線ＢＬｓは、波長変換素子４０に集光した状態で入射する。
【００４１】
波長変換素子４０で生成された蛍光ＹＬは、第１の集光光学系２６で平行化された後、偏光分離素子２５に入射する。蛍光ＹＬは、偏光分離素子２５を透過する。
【００４２】
一方、偏光分離素子２５から射出されたＰ偏光の光線ＢＬｐは、第２の位相差板２８ｂに入射する。第２の位相差板２８ｂは、偏光分離素子２５と拡散反射素子３０との間の光路中に配置された１／４波長板から構成されている。したがって、偏光分離素子２５から射出されたＰ偏光の光線ＢＬｐは、この第２の位相差板２８ｂによって、例えば、右回り円偏光の青色光ＢＬｃ１に変換された後、第２の集光光学系２９に入射する。
第２の集光光学系２９は、例えば凸レンズ２９ａ，２９ｂから構成され、青色光ＢＬｃ１を集光させた状態で拡散反射素子３０に入射させる。
【００４３】
拡散反射素子３０は、偏光分離素子２５における蛍光体層４２の反対側に配置され、第２の集光光学系２９から射出された青色光ＢＬｃ１を偏光分離素子２５に向けて拡散反射させる。拡散反射素子３０としては、青色光ＢＬｃ１をランバート反射させつつ、且つ、偏光状態を乱さないものを用いることが好ましい。
【００４４】
以下、拡散反射素子３０によって拡散反射された光を青色光ＢＬｃ２と称する。本実施形態によれば、青色光ＢＬｃ１を拡散反射させることで略均一な照度分布の青色光ＢＬｃ２が得られる。例えば、右回り円偏光の青色光ＢＬｃ１は左回り円偏光の青色光ＢＬｃ２として反射される。
【００４５】
青色光ＢＬｃ２は第２の集光光学系２９によって平行光に変換された後に再び第２の位相差板２８ｂに入射する。
【００４６】
左回り円偏光の青色光ＢＬｃ２は、第２の位相差板２８ｂによってＳ偏光の青色光ＢＬｓ１に変換される。Ｓ偏光の青色光ＢＬｓ１は、偏光分離素子２５によってインテグレーター光学系３１に向けて反射される。
【００４７】
これにより、青色光ＢＬｓ１は、偏光分離素子２５を透過した蛍光ＹＬと共に、照明光ＷＬとして利用される。すなわち、青色光ＢＬｓ１及び蛍光ＹＬは、偏光分離素子２５から互いに同一方向に向けて射出され、青色光ＢＬｓ１と蛍光（黄色光）ＹＬとが混ざった白色の照明光ＷＬが生成される。
【００４８】
照明光ＷＬは、インテグレーター光学系３１に向けて射出される。インテグレーター光学系３１は、例えば、レンズアレイ３１ａ，レンズアレイ３１ｂから構成されている。レンズアレイ３１ａ，３１ｂは、複数の小レンズがアレイ状に配列されたものからなる。
【００４９】
インテグレーター光学系３１を透過した照明光ＷＬは、偏光変換素子３２に入射する。
偏光変換素子３２は、偏光分離膜と位相差板とから構成されている。偏光変換素子３２は、非偏光の蛍光ＹＬを含む照明光ＷＬを直線偏光に変換する。
【００５０】
偏光変換素子３２を透過した照明光ＷＬは、重畳レンズ３３ａに入射する。重畳レンズ３３ａはインテグレーター光学系３１と協同して、被照明領域における照明光ＷＬによる照度の分布を均一化する。このようにして、照明装置２は照明光ＷＬを生成する。
【００５１】
（波長変換素子）
波長変換素子４０は、図２に示すように、基材４１及び蛍光体層４２を備え、回転しない固定型の構成となっている。基材４１は、第１の集光光学系２６側となる第１面４１ａと、第１面４１ａとは反対側となる第２面４１ｂとを有している。波長変換素子４０は、第１面４１ａと蛍光体層４２との間に設けられた反射部材４３と、第２面４１ｂに設けられた放熱部材４４と、をさらに備える。本実施形態において、蛍光体層４２は特許請求の範囲に記載の「波長変換層」に相当する。
【００５２】
基材４１の材料としては、熱伝導性が高く放熱性に優れた材料を用いることが好ましく、例えば、アルミニウム、銅等の金属、窒化アルミ、アルミナ、サファイア、ダイヤモンド等のセラミクスが挙げられる。本実施形態では、銅を用いて基材４１を形成した。
【００５３】
本実施形態において、蛍光体層４２は、基材４１の第１面４１ａ上に後述する接合材を介して保持される。蛍光体層４２は、入射された光の一部を蛍光ＹＬに変換して射出する。また、反射部材４３は、蛍光体層４２から入射した光を第１の集光光学系２６に向けて反射させる。
【００５４】
放熱部材４４は、例えば、ヒートシンクから構成され、複数のフィンを有した構造からなる。放熱部材４４は、基材４１における蛍光体層４２と反対側の第２面４１ｂに設けられている。なお、放熱部材４４は例えば金属ろうによる接合（金属接合）によって基材４１に固定される。波長変換素子４０では、この放熱部材４４を介して放熱できるため、蛍光体層４２の熱劣化を防ぐことができる。
【００５５】
本実施形態において、反射部材４３は複数の膜を積層した多層膜から構成されている。図３は波長変換素子４０の要部構成を示す断面図である。具体的に、図３は反射部材４３の断面を示す図である。なお、図３では放熱部材４４の図示を省略した。以下、第１の集光光学系２６から射出され、蛍光体層４２に入射する光線ＢＬｓを励起光ＢＬｓと称す。
【００５６】
図３に示すように、蛍光体層４２は、励起光ＢＬｓが入射されるとともに、蛍光ＹＬが射出される光入射面４２Ａと、当該光入射面４２Ａに対向する面、すなわち、反射部材４３が設けられる底面４２Ｂとを備える。本実施形態において、底面４２Ｂは特許請求の範囲に記載の「第１面」に相当する。
【００５７】
本実施形態において、蛍光体層４２は、蛍光体粒子を焼成することで形成されたセラミックス蛍光体である。蛍光体層４２を構成する蛍光体粒子として、Ｃｅイオンを含んだＹＡＧ（Yttrium Aluminum Garnet）蛍光体が用いられる。
【００５８】
なお、蛍光体粒子の形成材料は、１種であってもよいし、２種以上の材料を用いて形成された粒子が混合されたものが用いられてもよい。蛍光体層４２として、アルミナ等の無機バインダー中に蛍光体粒子を分散させた蛍光体層、無機材料であるガラスバインダーと蛍光体粒子とを焼成することで形成された蛍光体層などが好適に用いられる。また、バインダーを用いることなく蛍光体粒子を焼成することにより、蛍光体層を形成しても良い。
【００５９】
反射部材４３は、蛍光体層４２の底面４２Ｂ側に設けられる。反射部材４３が形成された蛍光体層４２は接合材５５を介して基材４１に接合されている。接合材５５としては、例えば、ナノ銀ペーストが用いられる。なお、接合材５５としては、例えば、金属ろうによる金属接合を用いても良い。
【００６０】
本実施形態の反射部材４３は、蛍光体層４２の底面４２Ｂ側から順に、多層膜５０と、反射層５２とを積層して構成される。反射部材４３の詳細については後述する。
【００６１】
透明部材４５は、蛍光体層４２の底面４２Ｂと多層膜５０（後述する全反射層５０ａ）との間に設けられる。透明部材４５の詳細については後述する。
【００６２】
図４は蛍光体層４２の要部構成を示す断面図である。
図４に示すように、本実施形態において、蛍光体層４２は、内部に設けられた複数の気孔４２ｃを有している。これにより、蛍光体層４２は、複数の気孔４２ｃにより光散乱特性を有する。
【００６３】
複数の気孔４２ｃの一部は、蛍光体層４２の表面（底面４２Ｂ）に形成されるため、蛍光体層４２の底面４２Ｂには気孔４２ｃによって凹部４２ｄが生じる。本実施形態において、波長変換装置２０は、蛍光体層４２の底面４２Ｂに形成された透明部材４５を有している。
【００６４】
透明部材４５の材料としては、透光性を有する無機材料、例えば、ＳｉＯ２が用いられる。本実施形態では、後述するように、ポリシラザン溶液（所定の溶液）を焼成することでＳｉＯ２からなる透明部材４５を形成する。
【００６５】
透明部材４５は、底面４２Ｂの凹部４２ｄ内に入り込むことで該凹部４２ｄを封孔するとともに、底面４２Ｂを略平坦化する。さらに、透明部材４５は気孔４２ｃの一部に入り込んだ状態で設けられている。このように透明部材４５が凹部４２ｄ及び気孔４２ｃの一部に入り込むことで、蛍光体層４２における機械的強度を向上させることができる。
【００６６】
透明部材４５は蛍光体層４２に生じる熱による応力を緩和する応力緩和層としての機能も有する。本実施形態において、透明部材４５は、蛍光体層４２の厚さの半分以下の厚みに設定した。このような厚みに設定することで上述した応力緩和機能を良好に発揮させることができる。
【００６７】
本実施形態では、透明部材４５の材料として、例えば、後述する反射部材４３の全反射層５０ａと同一材料（ＳｉＯ２）を用いている。これにより、透明部材４５と全反射層５０ａ（反射部材４３の第１層）との密着性が向上する。
【００６８】
図３に示した多層膜５０は、無機酸化物を含有する層であり、蛍光体層４２で生成された蛍光ＹＬの臨界角以上の角度の光を全反射する全反射層５０ａと、増反射層５０ｂ、５０ｃ、５０ｄとを含む。増反射層５０ｂ、５０ｃ、５０ｄは、増反射効果を奏するためのものであり、蛍光ＹＬの取り出し効率を向上させる。多層膜５０は特許請求の範囲に記載の「第１層」に相当する。多層膜５０（全反射層５０ａ）は、蛍光体層４２の底面４２Ｂに当接または積層して設けられる。
【００６９】
本実施形態において、全反射層５０ａとして、例えばＳｉＯ２を用いた。ＳｉＯ２を用いることで蛍光ＹＬを良好に全反射させることができる。
【００７０】
また、増反射層５０ｂとしてはＴｉＯ２、増反射層５０ｃとしてはＳｉＯ２、増反射層５０ｄとしてはＡｌ２Ｏ３を用いた。
【００７１】
本実施形態において、反射層５２の材料としては高い反射率を得るＡｇを用いた。反射層５２は、蛍光体層４２の底面４２Ｂに対向して設けられ、蛍光体層４２で生成されて基材４１側に向かう蛍光ＹＬの一部を光入射面４２Ａ側に向けて反射する。また、反射層５２は、蛍光体層４２に入射し蛍光ＹＬに変換されずに反射部材４３に入射した励起光ＢＬｓを反射して蛍光体層４２内に戻す。これにより、蛍光ＹＬを効率良く蛍光体層４２の外部に取り出すことができる。
【００７２】
なお、基材４１または接合材５５と反射層５２との間に、反射層５２を保護する保護層を設けるようにしてもよい。例えば、保護層は金属を含有し、反射層５２（Ａｇ膜）の耐久性を向上させる。
【００７３】
また、基材４１と反射層５２との間に、接合材５５による反射部材４３及び基材４１の接合に対する信頼性を向上させる接合補助層を設けるようにしてもよい。例えば、接合補助層としてＡｇ層を用いることで、反射部材４３と基材４１との間における熱伝導性を向上させることができる。接合補助層は、反射層５２と接合材５５との間、または接合材５５と基材４１との間に設けるようにしてもよい。
【００７４】
上述したように反射部材４３は蛍光体層４２の底面４２Ｂに複数の層を成膜することで構成される。ここで、仮に底面４２Ｂの平坦度が低い場合について考える。この場合、反射部材４３を構成する各層を良好に成膜することが難しくなる。底面４２Ｂに対して反射部材４３を良好に成膜できないと、蛍光ＹＬを光入射面４２Ａに向けて反射できず、蛍光ＹＬの取り出し効率が低下する。
【００７５】
これに対し、本実施形態の波長変換素子４０では、凹部４２ｄを封孔することで、略平坦化された表面を有する透明部材４５を底面４２Ｂ上に形成している。ここで、略平坦化された表面とは、蒸着等によって反射部材４３を構成する各層を良好に成膜できる程度の平面度を意味し、反射部材４３を成膜可能な程度の凹凸については許容される。
【００７６】
本実施形態の波長変換素子４０は、透明部材４５上に形成された均一な膜（多層膜５０及び反射層５２）を有したものとなる。すなわち、本実施形態の波長変換素子４０は、底面４２Ｂ上の全域に亘って、反射部材４３（反射層５２）が均一に形成されている。
【００７７】
本実施形態の波長変換素子４０は、例えば以下に示す製造方法により製造される。図５Ａ〜図５Ｄは波長変換素子４０の製造プロセスの一部を示す図である。
【００７８】
まず、蛍光体層４２を構成する蛍光体粒子及び有機物からなる混合物を調整し、当該混合物を所定の温度にて焼成する。焼成によって、有機物が蒸発し、図５Ａに示すように、複数の気孔４２ｃを含む蛍光体４６が形成される。なお、気孔４２ｃの大きさ或いは数は、焼成温度や有機物の材質等で調整可能である。
【００７９】
続いて、図５Ｂに示すように、蛍光体４６の両面を研削研磨し、光入射面４２Ａと底面４２Ｂとを有した蛍光体層４２を形成する。研削研磨により気孔４２ｃの一部が外部に露出し、蛍光体層４２の底面４２Ｂには凹部４２ｄが形成される。以上により、複数の気孔４２ｃを有した蛍光体層４２が形成される（波長変換層形成工程）。
【００８０】
続いて、蛍光体層４２の底面４２Ｂに透明部材４５を形成する（透明部材形成工程）。図５Ｃに示すように、蛍光体層４２の底面４２Ｂを容器４９に貯留されたポリシラザン溶液Ｒに浸漬する。例えば、蛍光体層４２の厚さを５０μｍとした場合、底面４２Ｂから５μｍ程度の深さまでポリシラザン溶液Ｒが染み込むように蛍光体層４２を浸漬する。なお、本実施形態では、蛍光体層４２の側面にテープ（不図示）を貼り付けた状態で蛍光体層４２をポリシラザン溶液Ｒに浸漬した後、テープを剥がすことでポリシラザン溶液Ｒを底面４２Ｂのみに付着させた。なお、蛍光体層４２の側面に平行な平面は、蛍光体層４２の光入射面４２Ａまたは底面４２Ｂに交差する平面である。よって、蛍光体層４２の側面は、光入射面４２Ａまたは底面４２Ｂに交差する。
【００８１】
これにより、底面４２Ｂに形成された凹部４２ｄ内にポリシラザン溶液Ｒを良好に入り込ませる（染み込ませる）ことができる。例えば、真空雰囲気下でポリシラザン溶液Ｒに浸漬した後、加圧雰囲気とすることでポリシラザン溶液Ｒをより良好に染み込ませることができる。
【００８２】
なお、ポリシラザン溶液Ｒは、蛍光体層４２における半分以下の厚さまで染み込ませるのが望ましい。これは、ポリシラザン溶液Ｒが多く染み込むと、蛍光体層４２に含まれる気孔４１ｃの数が減少して光散乱性能が低下し、蛍光ＹＬの取り出し効率が低下するためである。
【００８３】
蛍光体層４２の内部は多孔質状であるため、凹部４２ｄは蛍光体層４２の内部に位置する気孔４２ｃに連通する。そのため、図５Ｃに示すように、ポリシラザン溶液Ｒは凹部４２ｄを介して複数の気孔４２ｃの一部にも入り込んだ状態となる。
【００８４】
続いて、底面４２Ｂに付着したポリシラザン溶液を焼成する。これにより、ポリシラザン溶液が硬化することで、図５Ｄに示したように底面４２Ｂ上には、凹部４２ｄを封孔する透明部材４５が形成される。また、上述のように気孔４２ｃに入り込んだポリシラザン溶液は硬化することで気孔４２ｃの一部に透明部材４５が入り込んだ状態となる。なお、ポリシラザン溶液Ｒを焼成させる際の温度は、蛍光体粒子及び有機物からなる混合物を焼成させる際の温度よりも低い。
【００８５】
以上のようにして、蛍光体層４２の底面４２Ｂ上に、凹部４２ｄを封孔するとともに略平坦面を有する透明部材４５が形成される。
【００８６】
続いて、透明部材４５上（底面４２Ｂに対向する位置）に蒸着やスパッタリング等によって各層（多層膜５０及び反射層５２）を順次成膜することで反射部材４３を形成する（反射層形成工程）。
【００８７】
本実施形態において、透明部材４５は多層膜５０を構成する全反射層５０ａと同一の材料（ＳｉＯ２）から構成される。そのため、透明部材４５と多層膜５０（全反射層５０ａ）とは良好に密着した状態に形成される。なお、上述のように透明部材４５の表面は略平坦面となっているため、多層膜５０及び反射層５２をそれぞれ均一に成膜することができる。
【００８８】
続いて、反射部材４３、透明部材４５及び蛍光体層４２の積層体と基材４１とを接合材５５を介して固定する。最後に、基材４１における蛍光体層４２と反対側の面に放熱部材４４を固定することで波長変換素子４０が製造される。
【００８９】
なお、上記製造方法において、複数の蛍光体層４２を含む大型サイズの蛍光体基板に透明部材４５及び反射部材４３を形成した後、ダイシングで個片化することで反射部材４３、透明部材４５及び蛍光体層４２の積層体を所定サイズに形成してもよい。
【００９０】
以上説明したように、本実施形態の波長変換素子４０によれば、蛍光体層４２の凹部４２ｄを透明部材４５で埋め込んで表面を平坦化するので、該透明部材４５上に形成される反射部材４３（反射層５２）の均一性を向上させることができる。
これにより、蛍光体層４２で生成された蛍光ＹＬのうち底面４２Ｂ側に入射した成分は、反射部材４３の反射層５２で良好に反射されて光入射面４２Ａから射出される。従って、蛍光体層４２から射出される蛍光量の低下を抑制することができる。
【００９１】
ここで、比較例として、透明部材４５を設けなかった場合について説明する。透明部材４５を設けなかった場合、底面４２Ｂの気孔４２ｃによって底面４２Ｂ上に多層膜５０がうまく成膜されず、多層膜５０は凹凸や開口等の欠陥を有したものとなる。
【００９２】
ところで、反射層５２の材料であるＡｇは蛍光ＹＬの生成時の発熱により熱マイグレーションによってＡｇ原子の凝集が発生するおそれがある。仮に上述のように透明部材４５を設けない場合、多層膜５０に生じた欠陥部がＡｇ原子の凝集経路として機能し、反射層５２の反射率を低下させてしまう。
【００９３】
これに対し、本実施形態の波長変換素子４０によれば、透明部材４５を設けることで平坦化した面上に欠陥部の少ない多層膜５０を形成することができる。よって、Ａｇ原子の凝集経路（多層膜５０の欠陥部）を少なくできるので、結果的に、凝集に起因する、反射層５２における反射率の低下を低減できる。
【００９４】
また、透明部材４５によって蛍光体層４２内の気孔４２ｃの一部が埋め込まれるため、気孔４２ｃ内に空気が介在している場合に比べて、蛍光体層４２から反射部材４３側への熱伝導性を向上することができる。
【００９５】
これにより、蛍光体層４２で発生した熱は反射部材４３を介して基材４１及び放熱部材４４側へと伝達されるため、蛍光体層４２の放熱性が高くなる。このように蛍光体層４２の放熱性が高くなることで放熱部材４４を小さくできるので、結果的に、波長変換素子４０を小型化できる。
【００９６】
また、本実施形態の波長変換素子４０によれば、蛍光体層４２の放熱性を高めることで、蛍光体層４２の温度上昇が低減され、蛍光体層４２の発光効率の低下を抑制できる。よって、この波長変換素子４０を備えた光源装置２Ａは、入射される励起光量に対する蛍光ＹＬの損失を低減することができる。
【００９７】
また、本実施形態のプロジェクター１によれば、上記光源装置２Ａを備えるため、当該プロジェクター１は高輝度な画像を形成できる。
【００９８】
本実施形態の波長変換素子４０の製造方法によれば、蛍光体層４２の凹部４２ｄを透明部材４５で埋め込んで表面を平坦化することで蛍光体層４２からの光射出量の低下を抑制した波長変換素子４０を製造できる。
【００９９】
（第二実施形態）
続いて、本発明の第二実施形態に係る波長変換素子について説明する。上記実施形態と共通の部材については同じ符号を付し、詳細な説明については省略する。
【０１００】
図６は本実施形態の波長変換素子１４０の要部構成を示す断面図である。
図６に示すように、波長変換素子１４０は、基材４１と、反射部材４３と、透明部材１４５と、蛍光体層４２と、放熱部材４４とを備えている。
【０１０１】
蛍光体層４２の側面には、例えば、ダイシングによって生じた微小クラック（不図示）や、気孔４１ｃによって生じた凹部（不図示）が存在する場合がある。このような微小クラックや気孔は蛍光体層４２を破損させる起点となり得る。
【０１０２】
これに対し、本実施形態の波長変換素子１４０では、底面４２Ｂを平坦化する透明部材１４５が側面４２Ｃを覆うように設けられている。本実施形態の波長変換素子１４０によれば、透明部材１４５によって側面４２Ｃの微小クラック及び気孔が覆われることで、側面４２Ｃを覆わない第一実施形態の構成よりも高い機械的強度を有したものとなる。
なお、蛍光体層４２の側面４２Ｃは、光入射面４２Ａまたは底面４２Ｂに交差する面である。
【０１０３】
続いて、本実施形態の波長変換素子１４０の製造方法について説明する。
まず、蛍光体粒子及び有機物からなる混合物を調整し、当該混合物を所定の温度にて焼成することで複数の気孔４２ｃを含む蛍光体４６を形成する（図５Ａ参照）。
【０１０４】
本実施形態では、大型サイズの蛍光体を形成した後、ダイシングで個片化することで蛍光体４６を形成している。ダイシングによって形成した蛍光体４６は、その側面にダイシングによる微小クラックが形成されたものとなる。
【０１０５】
続いて、蛍光体４６の両面を研削研磨し、光入射面４２Ａと底面４２Ｂとを有した蛍光体層４２を形成する（図５Ｂ参照）。研削研磨により気孔４２ｃの一部が外部に露出し、蛍光体層４２の底面４２Ｂには凹部４２ｄが形成される。以上により、複数の気孔４２ｃを有した蛍光体層４２が形成される（波長変換層形成工程）。なお、蛍光体層４２の側面４２Ｃは、ダイシングによる微小クラックを有している。
【０１０６】
続いて、側面４２Ｃ及び底面４２Ｂが溶液に浸されるように、蛍光体層４２をポリシラザン溶液に浸漬する。本実施形態では、蛍光体層４２の光入射面４２Ａにテープ（不図示）を貼り付けた状態で蛍光体層４２の全体をポリシラザン溶液Ｒに浸漬する。そして、蛍光体層４２をポリシラザン溶液Ｒから引き揚げた後、テープを剥がすことで側面４２Ｃ及び底面４２Ｂのみにポリシラザン溶液Ｒを付着させることができる。
【０１０７】
これにより、ポリシラザン溶液が、底面４２Ｂに形成された凹部４２ｄ内、及び側面４２Ｃの近傍に形成された凹部並びに側面４２Ｃに生じている微小クラックに良好に染み込む。例えば、真空雰囲気下でポリシラザン溶液中に浸漬した後、加圧雰囲気とすることでポリシラザン溶液をより良好に染み込ませることができる。
【０１０８】
続いて、底面４２Ｂ及び側面４２Ｃに付着したポリシラザン溶液を焼成する。これにより、ポリシラザン溶液が硬化することで、図６に示したように底面４２Ｂ及び側面４２Ｃを覆うように透明部材１４５が形成される。このようにして、蛍光体層４２の底面４２Ｂ上に、凹部４２ｄを封孔するとともに略平坦面からなる表面を有する透明部材１４５が形成される。
【０１０９】
以下、第一実施形態と同様、透明部材４５上に多層膜５０及び反射層５２を順次成膜することで反射部材４３を形成する（反射層形成工程）。そして、基材４１及び放熱部材４４を固定することで波長変換素子１４０が製造される。
【０１１０】
以上説明したように、本実施形態の波長変換素子１４０によれば、第１実施形態の波長変換素子４０が有する効果に加えて、透明部材１４５が蛍光体層４２の側面４２Ｃの少なくとも一部を覆っているので、蛍光体層４２の強度を向上させることができる。したがって、波長変換素子１４０は、蛍光体層４２の応力による破損や欠けを低減することで信頼性に優れたものとなる。
なお、本実施形態において、透明部材１４５は蛍光体層４２の側面４２Ｃの一部を覆う場合を例に挙げたが、側面４２Ｃの全体を覆っていてもよい。
【０１１１】
（第三実施形態）
続いて、本発明の第三実施形態に係る波長変換素子について説明する。第一実施形態と共通の部材については同じ符号を付し、詳細な説明については省略する。
【０１１２】
図７は本実施形態の波長変換素子２４０の要部構成を示す断面図である。図７では、基材４１、接合材５５及び放熱部材４４の図示を省略している。
図７に示すように、本実施形態の波長変換素子２４０では、蛍光体層４２の底面４２Ｂに多層膜５０が直接形成される。そのため、気孔４２ｃによって底面４２Ｂ上に多層膜５０がうまく成膜されないため、多層膜５０は欠陥５１ａを有している。欠陥５１ａとは、例えば、膜の成膜不良によって生じた孔部や凹凸に相当する。
また、欠陥５１ａを有した多層膜５０上に形成される反射層５２は、多層膜５０と同様に、欠陥５１ｂを有している。
【０１１３】
本実施形態において、透明部材２４５は反射層５２の下面５２ａ（基材４１側の面）から反射層５２の側面５２Ｄ及び多層膜５０の側面５０Ｄを覆うとともに、蛍光体層４２の側面４２Ｃも覆うように形成されている。なお、図７では、図を簡単にするため、欠陥５１ａ，５１ｂが直線状に連通した状態としている。
なお、蛍光体層４２の側面４２Ｃは、光入射面４２Ａまたは底面４２Ｂに交差する。また、反射層５２の側面５２Ｄ及び多層膜５０の側面５０Ｄは、それぞれ反射層５２及び多層膜５０の膜厚方向に沿う断面である。
【０１１４】
また、透明部材２４５は、欠陥５１，５１ｂを介して蛍光体層４２の凹部４２ｄに入り込むことで凹部４２ｄを封孔している。さらに、透明部材２４５は気孔４２ｃの一部に入り込んだ状態で設けられている。
【０１１５】
すなわち、透明部材２４５は、蛍光体層４２の側面４２Ｃ及び反射層５２における多層膜５０の反対側に、設けられている。本実施形態において、透明部材２４５は側面４２Ｃの全部を覆っているが、側面４２Ｃの一部を覆う構成でも良い。
【０１１６】
続いて、本実施形態の波長変換素子２４０の製造方法について説明する。
まず、蛍光体粒子及び有機物からなる混合物を調整し、当該混合物を所定の温度にて焼成することで複数の気孔４２ｃを含む蛍光体４６を形成した後、両面を研削研磨することで複数の気孔４２ｃを有する蛍光体層４２を形成する（図５Ａ及び図５Ｂ参照）。なお、上記第二実施形態と同様に、大型サイズの蛍光体を形成した後、ダイシングで個片化した蛍光体４６の両面を研削研磨することで蛍光体層４２を形成してもよい。
【０１１７】
続いて、蛍光体層４２の底面４２Ｂ上に多層膜５０及び反射層５２を順次成膜することで反射部材４３を形成する（第１層形成工程及び反射層形成工程）。
【０１１８】
本実施形態では、蛍光体層４２の底面４２Ｂに多層膜５０及び反射層５２を直接形成するため、多層膜５０及び反射層５２は上述のように欠陥５１ａ，５１ｂを有したものとなる。多層膜５０の欠陥５１ａと反射層５２の欠陥５１ｂとは不図示の領域において連通している。これら欠陥５１ａ、５１ｂは蛍光体層４２の底面４２Ｂの凹部４２ｄに起因して生じたものであることから、凹部４２ｄにも連通している。また、凹部４２ｄは蛍光体層４２の内部に位置する気孔４２ｃにも不図示の領域で連通している。
【０１１９】
続いて、反射部材４３及び蛍光体層４２の側面４２Ｃをポリシラザン溶液に浸漬する。このとき、ポリシラザン溶液は欠陥５１ａ，５１ｂを介して底面４２Ｂに形成された凹部４２ｄ内に入り込むとともに凹部４２ｄを介して気孔４２ｃの一部にも入り込む。また、ポリシラザン溶液は、反射部材４３の側面（反射層５２の側面５２Ｄ及び多層膜５０の側面５０Ｄ）に付着する。また、ポリシラザン溶液は、蛍光体層４２の側面４２Ｃに形成された凹部並びに微小クラック内に良好に染み込む。例えば、真空雰囲気下でポリシラザン溶液中に浸漬した後、加圧雰囲気とすることでポリシラザン溶液をより良好に染み込ませることができる。
【０１２０】
続いて、反射層５２の下面５２ａ、反射部材４３の側面（反射層５２の側面５２Ｄ及び多層膜５０の側面５０Ｄ）、及び蛍光体層４２の側面４２Ｃに付着したポリシラザン溶液を焼成する。これにより、ポリシラザン溶液が硬化することで、図７に示したように、反射層５２の下面５２ａから反射層５２の側面５２Ｄ及び多層膜５０の側面５０Ｄを通って蛍光体層４２の側面４２Ｃまで至る、透明部材２４５が形成される。また、透明部材２４５は、蛍光体層４２の側面４２Ｃの全体を覆った状態に形成される。なお、透明部材２４５が側面４２Ｃの一部を覆うように形成してもよい。
最後に、上記実施形態と同様、基材４１及び放熱部材４４を固定することで波長変換素子２４０が製造される。
【０１２１】
以上説明したように、本実施形態の波長変換素子２４０によれば、第１実施形態の波長変換素子４０が有する効果に加えて、以下のような効果を有する。
上述したように反射層５２の材料であるＡｇは蛍光ＹＬの生成時の発熱により熱マイグレーションによってＡｇ原子の凝集が発生するおそれがある。これに対し、本実施形態の波長変換素子２４０によれば、多層膜５０の欠陥５１ａ及び反射層５２の欠陥５１ｂが透明部材２４５によって閉塞されるため、これら欠陥５１ａ，５１ｂはＡｇ原子の凝集経路として機能しない。よって、凝集による反射層５２の反射率の低下が生じることを抑制できる。
【０１２２】
また、透明部材２４５が側面４２Ｃを覆うため、第二実施形態の波長変換素子１４０と同様の効果を奏することができる。また、欠陥５１ａ，５１ｂを介して蛍光体層４２の凹部４２ｄに透明部材２４５が入り込むことで凹部４２ｄを封孔している。さらに、透明部材２４５は気孔４２ｃの一部に入り込んでいる。
【０１２３】
このように透明部材２４５は、欠陥５１，５１ｂ、凹部４２ｄ及び気孔４２ｃに入り込むことで、蛍光体層４２における機械的強度を向上させることができる。また、透明部材２４５は、反射部材４３の側面（反射層５２の側面５２Ｄ及び多層膜５０の側面５０Ｄ）を覆うので、反射部材４３の側面からの劣化を低減できる。これにより、反射部材４３の耐久性を向上させることができる。
【０１２４】
また、本実施形態の波長変換素子２４０の製造方法によれば、多層膜５０及び反射層５２に生じた欠陥５１ｂが透明部材２４５により埋め込まれる。これにより、反射層５２に生じた欠陥５１ｂが凝集経路として機能しないので、凝集による劣化を低減した反射層５２を製造できる。よって、蛍光体層４２からの光射出量の低下を抑制した波長変換素子２４５を製造することができる。
【０１２５】
本発明は上記実施形態の内容に限定されることはなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【０１２６】
図８は変形例に係る波長変換素子の構成を示す図である。図８は第二実施形態の変形例に係るものである。
図８に示すように、本変形例に係る波長変換素子３４０では、透明部材３４５が蛍光体層４２の光入射面４２Ａも覆っている。光入射面４２Ａには、底面４２Ｂと同様に、気孔４２ｃによって凹部４２ｅが生じている。透明部材３４５は光入射面４２Ａの凹部４２ｅ内に入り込むことで該凹部４２ｅを封孔するとともに、その表面が略平坦化されている。なお、透明部材３４５は、複数の気孔４２ｃの一部に入り込んだ状態とされている。
【０１２７】
また、本変形例においては、光入射面４２Ａを覆う透明部材３４５上に反射防止膜１４６（ＡＲコート膜）が設けられている。本変形例によれば、平坦面（透明部材３４５の表面）に形成された反射防止膜１４６を有している。そのため、反射防止膜１４６は均一性の高いものとなるので、光入射面４２Ａに対して励起光ＢＬｓを効率良く入射させることができる。
【０１２８】
同様に、上記第三実施形態の波長変換素子２４０において、透明部材２４５が蛍光体層４２の光入射面４２Ａを覆っており、光入射面４２Ａを覆う透明部材２４５上に反射防止膜（ＡＲコート膜）を設けてもよい。
【０１２９】
また、上記実施形態では本発明による光源装置をプロジェクターに搭載した例を示したが、これに限られない。本発明による光源装置は、照明器具や自動車のヘッドライト等にも適用することができる。
【符号の説明】
【０１３０】
１…プロジェクター、２Ａ…光源装置、４Ｂ，４Ｇ，４Ｒ…光変調装置、６…投写光学系、４０，１４０，２４０，３４０…波長変換素子、４１…基材、４１ａ…第１面、４１ｃ，４２ｃ…気孔、４１Ｃ，４２Ｃ，５０Ｄ，５２Ｄ…側面、４２ｄ，４２ｅ…凹部、４５，１４５，２４５，３４５…透明部材、５２…反射層。
【図１】
2019164258.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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