(57)【要約】【課題】空気を確実に浄化しつつ消費電力を抑えることができ、かつ製作コストの低減を図ることができるプラズマリアクタを提供すること。【解決手段】本発明のプラズマリアクタは、貫通部３１が形成された基板と、基板に形成された第１放電電極４１と、基板に形成され第１放電電極４１とは極性が異なる第２放電電極４２とを備える。貫通部３１は、基板平面視で第１放電電極４１と第２放電電極４２との間に挟まれるように配置される。そして、プラズマリアクタは、貫通部３１を横断して第１放電電極４１及び第２放電電極４２間に生じる放電により、プラズマを発生させる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の主面を有するとともに前記一対の主面を貫通する貫通部が形成された誘電体製の基板と、前記基板に形成された第１放電電極と、前記基板に形成され前記第１放電電極とは極性が異なる第２放電電極とを備えたプラズマリアクタにおいて、
前記貫通部が、基板平面視で前記第１放電電極と前記第２放電電極との間に挟まれるように配置されるとともに、
前記貫通部を横断して前記第１放電電極及び前記第２放電電極間に生じる放電により、プラズマを発生させる
ことを特徴とするプラズマリアクタ。
【請求項２】
前記第１放電電極及び前記第２放電電極のうちの少なくとも一方が、前記貫通部の内壁面にて非露出の状態となっていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマリアクタ。
【請求項３】
前記第１放電電極及び前記第２放電電極は、基板平面方向に延びる層状の電極であることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマリアクタ。
【請求項４】
前記第１放電電極及び前記第２放電電極は、基板内部に埋設された層状の電極であることを特徴とする請求項３に記載のプラズマリアクタ。
【請求項５】
前記第１放電電極及び前記第２放電電極は、基板内部における同一の深さに埋設された層状の電極であることを特徴とする請求項３または４に記載のプラズマリアクタ。
【請求項６】
前記第１放電電極及び前記第２放電電極は、基板平面方向に延びるとともに前記基板の前記主面上に設けられた層状の電極であって、誘電体からなる保護層により被覆されていることを特徴とする請求項３に記載のプラズマリアクタ。
【請求項７】
前記貫通部は溝状の貫通部であり、前記第１放電電極及び前記第２放電電極は、前記溝状の貫通部の長さ方向に沿って延びるように配置されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項８】
複数の前記溝状の貫通部が並列に配置され、前記第１放電電極及び前記第２放電電極は、前記溝状の貫通部の幅方向に沿って交互に配置されていることを特徴とする請求項７に記載のプラズマリアクタ。
【請求項９】
前記溝状の貫通部は、端部が幅広に形成されていることを特徴とする請求項７または８に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１０】
前記第１放電電極及び前記第２放電電極の材料がタングステンであり、前記誘電体の材料がアルミナであることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１１】
前記基板は、基板厚さ方向に複数枚積層されていることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のプラズマリアクタと、
前記プラズマリアクタにプラズマを発生させるための電圧を印加する電源と、
前記貫通部に空気を流すとともに、前記プラズマリアクタにて発生したオゾンを前記空気とともに放出する送風手段と
を備えたことを特徴とする空気清浄器。
【請求項１３】
前記オゾンの濃度を測定するオゾン濃度センサと、
前記オゾン濃度センサによって測定された前記オゾンの濃度が許容値を超えた場合に、前記電源から前記プラズマリアクタに印加する電力を低下させる制御を行う制御手段と
を備えることを特徴とする請求項１２に記載の空気清浄器。
【請求項１４】
前記制御手段は、前記オゾン濃度センサによって測定された前記オゾンの濃度が許容値を超えた場合に、前記送風手段の出力を低下させる制御を行うことを特徴とする請求項１３に記載の空気清浄器。
【請求項１５】
前記送風手段は、前記プラズマリアクタよりも上流側に配置されることを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか１項に記載の空気清浄器。
【請求項１６】
前記プラズマリアクタは、電圧波形の中心周波数が２０ｋＨｚ以上の電源を用いて駆動されることを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか１項に記載の空気清浄器。
【請求項１７】
前記電源は、バッテリーであることを特徴とする請求項１２乃至１６のいずれか１項に記載の空気清浄器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気を浄化するプラズマリアクタ及びそれを使用した空気清浄器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
農作物を保管する倉庫や農作物を輸送するコンテナでは、保管期間や輸送期間が長くなると、農作物に付着していた菌が繁殖して農作物が腐敗する可能性がある。そして、繁殖した菌が倉庫内やコンテナ内に拡散すると、農作物の被害はさらに大きくなってしまう。また、例えばリンゴ等の青果物をコンテナで輸送する場合、リンゴの出荷量がコンテナを満杯にするほどの量ではないときには、リンゴとともに他の青果物（柿、柑橘類など）がコンテナに積載されることが多い。しかし、この場合、リンゴから発生したエチレンが他の青果物を腐敗させてしまうという問題がある。そこで、従来では、プラズマリアクタを用いることにより、菌の殺菌、ウイルスの不活性化、エチレンの分解等の各種処理を行うことが考えられている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００３】
例えば、特許文献１には、隣接する電極パネル間にプラズマを発生させることにより、電極パネル間を流れる空気の浄化（菌の殺菌、ウイルスの不活性化、エチレンの分解等）を行うことが開示されている。また、特許文献２には、セラミック基板に貫通孔を包囲する第１電極及び第２電極を埋設し、両電極間にプラズマを発生させることにより、貫通孔を通過する空気を浄化する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４９２６６５３号公報（図３等）
【特許文献２】ＷＯ２０１３／０３１８００号公報（図３等）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、倉庫やコンテナに空気清浄器を設置する場合には、設置スペースに限りがあるため、空気清浄器の小型化が求められる。また、コンテナに空気清浄器を設置する際には、空気清浄器の動力源としてバッテリーが必要になるが、コンテナを長期間輸送するとバッテリーを消耗してしまうため、空気清浄器の省電力化が求められる。
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の技術は、構造上、複数の電極パネルを積層する必要があるため、プラズマリアクタの部品コストや組立コストが高いという問題がある。また、特許文献１のプラズマリアクタは、複数の電極パネルを積層する構造であるため、静電容量が大きくなる傾向にある。よって、プラズマリアクタを駆動させるためには、大きな電力を印加しなければならないため、省電力化が困難であるという問題がある。なお、プラズマリアクタをパルス電源を用いて駆動し、パルス電源のパルス印加周波数を例えば１００Ｈｚ程度に低くすることにより、省電力化を図ることも考えられる。しかし、この場合、パルス印加周波数が可聴域内まで低下するため、プラズマリアクタの駆動時に発生する騒音が大きくなるという問題がある。
【０００７】
また、特許文献２に記載の従来技術は、セラミック基板に設けた貫通孔の内側面に沿ってプラズマを発生させる構造を有している。よって、空気が貫通孔を通過する際の圧力損失を低減させるために、貫通孔の内径を大きくすると、貫通孔の中央部にプラズマが行き届かなくなり、空気を確実に浄化できないという問題がある。
【０００８】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、空気を確実に浄化しつつ消費電力を抑えることができ、かつ製作コストの低減を図ることができるプラズマリアクタ及びそれを用いた空気清浄器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための手段（手段１）としては、一対の主面を有するとともに前記一対の主面を貫通する貫通部が形成された誘電体製の基板と、前記基板に形成された第１放電電極と、前記基板に形成され前記第１放電電極とは極性が異なる第２放電電極とを備えたプラズマリアクタにおいて、前記貫通部が、基板平面視で前記第１放電電極と前記第２放電電極との間に挟まれるように配置されるとともに、前記貫通部を横断して前記第１放電電極及び前記第２放電電極間に生じる放電により、プラズマを発生させることを特徴とするプラズマリアクタがある。
【００１０】
従って、上記手段１に記載の発明では、プラズマを発生させる第１放電電極及び第２放電電極と、プラズマで浄化する空気が通過する貫通部とが同一の基板に形成されるため、複数の基板を用いなくてもプラズマリアクタを構成することができる。従って、プラズマリアクタの製作コストを低減することができる。また、プラズマリアクタを複数枚の基板で構成する場合に比べて、プラズマリアクタの静電容量が小さくなる。その結果、プラズマリアクタを駆動させる際に、大きな電力を印加しなくても済むため、消費電力を抑えることができる。さらに、手段１に記載の発明では、貫通部を横断する放電によってプラズマが発生するため、貫通部全体にプラズマが行き届くようになる。その結果、貫通部を通過する空気を確実に浄化することができる。
【００１１】
上記プラズマリアクタは、誘電体製の基板と、基板に形成された第１放電電極と、基板に形成され第１放電電極とは極性が異なる第２放電電極とを備える。ここで、第１放電電極及び第２放電電極の形成材料としては、例えば、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、酸化ルテニウム（ＲｕＯ２）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）などを挙げることができる。また、誘電体の形成材料としては、例えば、ガラス（ＳｉＯ２）、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）等のセラミックやそれらの混合物を挙げることができる。なお、第１放電電極及び第２放電電極の材料がタングステンであり、誘電体の材料がアルミナであれば、窒化アルミニウム等よりも焼成温度が低いため、プラズマリアクタを容易にかつ安価に形成することができる。
【００１２】
また、第１放電電極及び第２放電電極のうちの少なくとも一方は、貫通部の内壁面にて非露出の状態となっていることが好ましい。仮に、第１放電電極及び第２放電電極が貫通孔の内壁面に露出すると、放電によりそれらの放電電極が消耗する虞がある。
【００１３】
さらに、第１放電電極及び第２放電電極は、基板平面方向に延びる層状の電極であることが好ましい。このようにすれば、第１放電電極及び第２放電電極を貫通孔の外周部に沿って延びるように配置できるため、貫通部を横断する放電を広範囲に亘って行うことができる。また、第１放電電極及び第２放電電極は、基板内部に埋設された層状の電極であることが好ましい。仮に、第１放電電極及び第２放電電極が基板の外部に露出すると、放電によりそれらの放電電極が消耗する虞がある。なお、第１放電電極及び第２放電電極は、基板内部における同一の深さに埋設された層状の電極であることが好ましい。このようにすれば、第１放電電極及び第２放電電極を同一工程で同時に形成できるため、プラズマリアクタを容易に形成することができる。
【００１４】
また、第１放電電極及び第２放電電極は、基板平面方向に延びるとともに基板の主面上に設けられた層状の電極であって、誘電体からなる保護層により被覆されていてもよい。この場合、第１放電電極及び第２放電電極は、基板外部に露出するようになる。しかし、第１放電電極及び第２放電電極には保護層が被覆されているため、放電による放電電極の消耗を防止することができる。また、第１放電電極及び第２放電電極は、基板内部に埋設されるのではなく、基板外部に位置するようになる。しかも、第１放電電極及び第２放電電極は同じ主面上に設けられるため、第１放電電極及び第２放電電極を同一工程で同時に形成することが可能である。従って、第１放電電極及び第２放電電極、ひいては、プラズマリアクタを容易に形成することができる。
【００１５】
さらに、上記基板には、一対の主面を貫通する貫通部が形成される。ここで、貫通部の平面視の形状としては、例えば、平面視円形状、平面視楕円形状、平面視矩形状、平面視三角形状などを挙げることができる。なお、貫通部は溝状の貫通部であり、第１放電電極及び第２放電電極は、溝状の貫通部の長さ方向に沿って延びるように配置されていることが好ましい。このようにすれば、貫通部の開口面積が大きくなるため、空気が貫通部を通過する際の圧力損失を低減させることができる。また、第１放電電極及び第２放電電極が貫通部の長さ方向に沿って延びるように配置されるため、貫通部を横断する放電をより広範囲に亘って行うことができる。さらに、貫通部が溝状の貫通部である場合、複数の溝状の貫通部が並列に配置され、第１放電電極及び第２放電電極は、溝状の貫通部の幅方向に沿って交互に配置されていることが好ましい。このようにすれば、プラズマの発生量が大きくなるため、貫通部を通過する空気を効率良く浄化することができる。
【００１６】
なお、溝状の貫通部は、端部が幅広に形成されていてもよい。このようにした場合、貫通部の内壁面において隣接する第１放電電極及び第２放電電極間の沿面距離が長くなるため、隣接する第１放電電極及び第２放電電極間での沿面放電を抑制することができる。また、基板は、基板厚さ方向に複数枚積層されていてもよい。このようにした場合、プラズマの発生量がいっそう大きくなるため、貫通部を通過する空気をより効率良く浄化することができる。
【００１７】
上記課題を解決するための別の手段（手段２）としては、上記手段１に記載のプラズマリアクタと、前記プラズマリアクタにプラズマを発生させるための電圧を印加する電源と、前記貫通部に空気を流すとともに、前記プラズマリアクタにて発生したオゾンを前記空気とともに放出する送風手段とを備えたことを特徴とする空気清浄器がある。
【００１８】
従って、上記手段２に記載の発明では、プラズマを発生させる第１放電電極及び第２放電電極と、プラズマで浄化する空気が通過する貫通部とが同一の基板に形成されるため、複数の基板を用いなくてもプラズマリアクタを構成することができる。従って、プラズマリアクタの製作コスト、ひいては、空気清浄器の製作コストを低減することができる。また、プラズマリアクタを複数枚の基板で構成する場合に比べて、プラズマリアクタの静電容量が小さくなる。その結果、プラズマリアクタを駆動させる際に、大きな電力を印加しなくても済むため、プラズマリアクタの消費電力、ひいては、空気清浄器の消費電力を抑えることができる。さらに、プラズマリアクタでは、貫通部を横断する放電によってプラズマが発生するため、貫通部全体にプラズマが行き届くようになる。その結果、貫通部を通過する空気を確実に浄化することができる。
【００１９】
なお、プラズマリアクタは、電圧波形の中心周波数が２０ｋＨｚ以上の電源を用いて駆動されることが好ましい。この場合、電源の中心周波数が可聴域よりも高くなるため、プラズマリアクタの駆動時に発生する騒音を低減することができる。また、電源は、バッテリーであってもよい。このようにした場合、電源を小型化できるため、倉庫やコンテナ等に対して電源を確実に設置することができる。
【００２０】
上記空気清浄器を構成する送風手段は、貫通部に空気を流すとともに、プラズマリアクタにて発生したオゾンを空気とともに放出する機能を有する。ここで、送風手段の種類は特に限定される訳ではなく、例えば、回転翼を有するファンなどを挙げることができる。このようなファンは、送風手段の中でも比較的小型、安価かつ省電力なものであるため、空気清浄器に設置するのに適している。また、送風手段としては、回転翼のような回転運動をする部材を有していないもの、例えば、流路内を真空状態にして空気を流路内に流すものを選択することも可能である。なお、送風手段の位置は特に限定される訳ではないが、例えば、送風手段は、プラズマリアクタよりも上流側に配置されることが好ましい。仮に、送風手段をプラズマリアクタの下流側に配置すると、プラズマリアクタにて発生したオゾンにより、送風手段を構成する部品が劣化等してしまう可能性がある。
【００２１】
ところで、プラズマリアクタにて発生したオゾンの濃度が高くなると、オゾンが作業者等に影響を及ぼす可能性がある。そこで、上記空気清浄器は、オゾンの濃度を測定するオゾン濃度センサと、オゾン濃度センサによって測定されたオゾンの濃度が許容値を超えた場合に、電源からプラズマリアクタに印加する電力を低下させる制御を行う制御手段とを備えることが好ましい。このようにすれば、オゾンの濃度が許容値を超えた場合にプラズマリアクタに印加する電力を低下させることにより、オゾンの発生量自体が低下するようになる。よって、オゾンの濃度を確実に制御することができる。
【００２２】
さらに、制御手段は、オゾン濃度センサによって測定されたオゾンの濃度が許容値を超えた場合に、送風手段の出力を低下させる制御を行うようにしてもよい。このようにすれば、送風手段の出力を低下させることにより、貫通部への空気の流入量やオゾンの放出量が低下するようになる。よって、オゾンの濃度をより確実に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１実施形態において、空気清浄器が設置された倉庫を示す概略断面図。
【図２】空気清浄器を示す概略断面図。
【図３】プラズマリアクタを示す斜視図。
【図４】プラズマリアクタを示す正面図。
【図５】図４のＡ−Ａ線断面図。
【図６】プラズマリアクタを示す要部正面図。
【図７】図５のＢ−Ｂ線断面図。
【図８】貫通孔を示す要部正面図。
【図９】貫通孔の幅が一定である場合の問題点を示す要部正面図。
【図１０】第１のセラミックグリーンシートを示す要部正面図。
【図１１】第２のセラミックグリーンシートを示す要部正面図。
【図１２】第１のセラミックグリーンシートに対して未焼成電極を印刷した状態を示す要部正面図。
【図１３】第２実施形態におけるプラズマリアクタを示す斜視図。
【図１４】図１３のＣ−Ｃ線断面図。
【図１５】他の実施形態において、プラズマリアクタを示す要部正面図。
【図１６】他の実施形態において、プラズマリアクタを示す部分断面図。
【図１７】他の実施形態において、空気清浄器が設置されたコンテナを示す概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
［第１実施形態］
以下、本発明の空気清浄器を具体化した第１実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
【００２５】
図１に示されるように、本実施形態の空気清浄器１は、農作物を保管する倉庫２に設置された農業用の空気清浄器である。空気清浄器１は、倉庫２の内部空間から取り込んだ空気Ａ１を浄化し、浄化した空気Ａ１を再び内部空間に供給するようになっている。また、空気清浄器１を構成する装置本体３は、倉庫２内の床部８上に設置されており、装置本体３の内部領域は、区画板６によって上部領域４と下部領域５とに区画されている。
【００２６】
図１，図２に示されるように、空気清浄器１は、プラズマリアクタ１１、電源１２及びファン１３（送風手段）を備えている。プラズマリアクタ１１は、上部領域４内に収容されたハウジング１４内に収容されている。
【００２７】
なお、ハウジング１４は、例えばステンレス（本実施形態ではＳＵＳ３１６）を用いて矩形筒状に形成されている。ハウジング１４の第１端部（図１，図２では左端部）は上流側に位置しており、ハウジング１４の第２端部（図１，図２では右端部）は下流側に位置している。なお、倉庫２内の空気Ａ１は、第１端部を介してハウジング１４内に流入し、ハウジング１４内を通過した後、第２端部を介して倉庫２内に流出する。
【００２８】
図２〜図７に示されるように、プラズマリアクタ１１は、電源１２（図１参照）を用いて駆動され、セラミック基板２０を備えている。本実施形態のセラミック基板２０は、厚さ方向において互いに反対側に位置する一対の主面（第１主面２１及び第２主面２２）を有し、一辺が９５ｍｍであって、厚さが１．０ｍｍの略矩形平板状を成している。なお、セラミック基板２０は、第１主面２１をハウジング１４の上流側（図２では左端側）に向け、かつ、第２主面２２をハウジング１４の下流側（図２は右端側）に向けた状態で、直立するようになっている。
【００２９】
そして、セラミック基板２０には、第１主面２１及び第２主面２２を貫通し、第１主面２１と第２主面２２とにおいて開口する貫通孔３１（貫通部）が複数箇所に形成されている。各貫通孔３１は、長さが７０ｍｍ以上８０ｍｍ以下（本実施形態では７８ｍｍ）となる溝状の貫通部である。また、各貫通孔３１は、同貫通孔３１の幅方向に沿って等間隔に配置され、かつ並列に配置されている。
【００３０】
図３，図４，図６，図７に示されるように、各貫通孔３１は、同貫通孔３１の長さ方向に沿って延びる中央部３２と、一対の端部（第１端部３３及び第２端部３４）とによって構成されている。中央部３２は、長さが７０ｍｍ以上８０ｍｍ以下（本実施形態では７４ｍｍ）であって、幅が１ｍｍ以上２ｍｍ以下（本実施形態では１ｍｍ）となる矩形状の貫通部である。また、第１端部３３及び第２端部３４は、長さが１ｍｍ以上５ｍｍ以下（本実施形態では２ｍｍ）であって、幅が１ｍｍ以上５ｍｍ以下（本実施形態では１．５ｍｍ）となる略矩形状の貫通部である。即ち、本実施形態の貫通孔３１は、端部３３，３４が中央部３２よりも幅広に形成されている。なお、端部３３，３４における中央部３２との接続部分は、中央部３２に近付くに従って徐々に幅狭となるように形成されている。
【００３１】
図５，図７に示されるように、セラミック基板２０は、複数の第１放電電極４１と、第１放電電極４１とは極性が異なる複数の第２放電電極４２とを、矩形板状の誘電体２３に内蔵してなる構造を有している。本実施形態では、第１放電電極４１及び第２放電電極４２の材料がタングステン（Ｗ）であり、誘電体２３の材料がアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）である。また、各第１放電電極４１及び各第２放電電極４２は、誘電体２３を構成する第１及び第２のセラミック絶縁層２４，２５の間に配置されている。即ち、各第１放電電極４１及び各第２放電電極４２は、セラミック基板２０の内部における同一の深さに埋設され、基板平面方向に延びる層状の電極である。
【００３２】
なお、図７に示されるように、各第１放電電極４１及び各第２放電電極４２は、各貫通孔３１の長さ方向に沿って延びるように配置されている。また、各第１放電電極４１及び各第２放電電極４２は、各貫通孔３１の幅方向に沿って交互に配置されている。なお、各貫通孔３１は、基板平面視で第１放電電極４１と第２放電電極４２との間に挟まれるように配置される。
【００３３】
詳述すると、各第１放電電極４１の基端部は、同第１放電電極４１とは直交する方向に延びる第１連結部４３に接続されている。つまり、各第１放電電極４１は、第１連結部４３を介して互いに電気的に接続されている。そして、各第１放電電極４１の先端は、貫通孔３１における中央部３２と第２端部３４との接続部分の近傍に位置している。同様に、各第２放電電極４２の基端部は、同第２放電電極４２とは直交する方向に延びる第２連結部４４に接続されている。つまり、各第２放電電極４２は、第２連結部４４を介して互いに電気的に接続されている。そして、各第２放電電極４２の先端は、中央部３２と第１端部３３との接続部分の近傍に位置している。以上の結果、各貫通孔３１は、第１放電電極４１と第２放電電極４２とによってほぼ包囲されるようになる。換言すると、第１放電電極４１及び第２放電電極４２は、基板平面視でいずれも単独では貫通孔３１を包囲しないようになっている。
【００３４】
図７に示されるように、各放電電極４１，４２は、長さ８７ｍｍ×幅０．４ｍｍ×厚さ１０μｍの帯板状を成している。なお、第１放電電極４１の外周縁と貫通孔３１の開口縁との距離、及び、第２放電電極４２の外周縁と貫通孔３１の開口縁との距離は、消費電力の抑制という観点から言えば、できるだけ小さい方が好ましい。しかしながら、セラミック（誘電体２３）の材料としてアルミナを用いた本実施形態では、耐電圧が１５ｋＶ／ｍｍとなるため、ピーク電圧９ｋＶの電源１２を用いる場合には、第１放電電極４１の外周縁と第２放電電極４２の外周縁との距離を０．６ｍｍ以上確保する必要がある。そのため、第１放電電極４１の外周縁と貫通孔３１の開口縁との距離の最小値や、第２放電電極４２の外周縁と貫通孔３１の開口縁との距離の最小値は、０．３ｍｍ以上（本実施形態では０．３ｍｍ）であることが好ましい。仮に、上記した距離の最小値が０．３ｍｍ未満になると、セラミックを貫通する放電が発生し、正常な放電ができなくなる虞がある。
【００３５】
また、貫通孔３１の中央部３２の幅は、プラズマの形成に必要な電圧のレベルに応じて変化する。一般的に、大気の絶縁破壊電圧は３ｋＶ／ｍｍ程度であり、放電電極４１，４２間に印加される電圧は、１０ｋＶ未満（本実施形態では９ｋＶ）である。従って、本実施形態では、安定した放電を行うために、中央部３２の幅を１ｍｍに設定している。
【００３６】
さらに、貫通孔３１の端部３３，３４の内壁面において隣接する放電電極４１，４２間の沿面距離も、プラズマの形成に必要な電圧のレベルに応じて変化する。一般的に、沿面放電の発生を防止するためには、３ｋＶ当り１ｍｍ程度離間させればよい。従って、沿面距離は、放電電極４１，４２間に印加される電圧（９ｋＶ）に応じた距離とすることが好ましく、例えば３ｍｍ以上に設定されることが好ましい。そこで、本実施形態の貫通孔３１では、端部３３，３４を中央部３２よりも幅広に形成することにより、沿面距離Ｌ１を３ｍｍ以上（本実施形態では３．５ｍｍ）に設定している（図８参照）。なお、沿面距離Ｌ１は、例えば、貫通孔３０の幅が一定（例えば１ｍｍ）である場合の沿面距離Ｌ２（図９参照）よりも長いため、沿面放電の発生をより確実に防止することができる。
【００３７】
図３〜図７に示されるように、セラミック基板２０を構成する第１のセラミック絶縁層２４の表面上には、第１放電電極４１に電圧を印加するための第１パッド部３５と、第２放電電極４２に電圧を印加するための第２パッド部３６とが形成されている。第１パッド部３５は、第１連結部４３の両端（上端及び下端）にそれぞれ接続され、第２パッド部３６は、第２連結部４４の両端（上端及び下端）にそれぞれ接続されている。また、第１パッド部３５は、セラミック基板２０の四隅のうちの２箇所（図４では右上部及び右下部）に配置され、第２パッド部３６は、セラミック基板２０の四隅のうちの２箇所（図４では左上部及び左下部）に配置されている。第１パッド部３５及び第２パッド部３６は、それぞれ平面視矩形状を成しており、表面にＮｉ等のめっきが施されている。なお、セラミック基板２０の右上部に位置する第１パッド部３５には、第１の配線（図示略）がはんだ付けによって接続され、セラミック基板２０の左上部に位置する第２パッド部３６には、第２の配線（図示略）がはんだ付けによって接続されている。第１の配線は、電源１２の第１の端子に電気的に接続され、第２の配線は、電源１２の第２の端子に電気的に接続されている。なお、パッド部３５，３６にコンタクトピンを接触させることにより、パッド部３５，３６に第１及び第２の配線を接続するようにしてもよい。
【００３８】
なお、図２〜図４に示されるように、本実施形態のプラズマリアクタ１１は、貫通孔３１を通過する空気Ａ１の浄化（菌の殺菌、ウイルスの不活性化、倉庫２内の農作物から発生したエチレンの分解）に用いられる。この場合、電源１２（本実施形態では交流電源）から隣接する放電電極４１，４２間に電圧（例えば、ピーク電圧：９ｋＶ、電圧波形の中心周波数：２０ｋＨｚ）が印加されると、貫通孔３１を通過する空気Ａ１に含まれる菌がセラミック基板２０に静電捕集される。また、隣接する放電電極４１，４２間に電圧が印加されると、貫通孔３１を横断して放電電極４１，４２間に誘電体バリア放電が生じ、プラズマが発生される。そして、誘電体バリア放電による電撃により、貫通孔３１を通過する空気Ａ１に含まれる菌が殺菌され、同じく貫通孔３１を通過する空気Ａ１に含まれるウイルスが不活性化される。また、プラズマにより、貫通孔３１を通過する空気Ａ１に含まれるエチレンが分解される。即ち、セラミック基板２０は、空気Ａ１に含まれる菌及びウイルスを静電捕集する捕集部としての機能と、空気Ａ１に含まれる菌及びセラミック基板２０に静電捕集された菌を殺菌する殺菌部としての機能と、空気Ａ１に含まれるウイルス及びセラミック基板２０に静電捕集されたウイルスを不活性化する不活性化部としての機能と、空気Ａ１に含まれるエチレンを分解する分解部としての機能とを兼ねている。
【００３９】
図１，図２に示されるように、ファン１３は、装置本体３の上部領域４内においてプラズマリアクタ１１よりも上流側に配置されており、プラズマリアクタ１１に空気Ａ１を送る機能を有している。また、ファン１３は、貫通孔３１内に空気Ａ１を流す機能も有している。さらに、ファン１３は、プラズマリアクタ１１にて誘電体バリア放電を行った際に発生したオゾンを、空気Ａ１とともに倉庫２内に放出する機能も有している。なお、オゾンは、装置本体３よりも上方にて開口するダクト７を介して排出される。
【００４０】
図１に示されるように、装置本体３の下部領域５は、上流側（図１では左端側）に位置する吸気口５１と、下流側（図１では右端側）に位置する排気口５２とを有している。そして、排気口５２には、下部領域５内を換気するファン５３が取り付けられている。即ち、本実施形態では、装置本体３においてハウジング１４の第１端部と同じ側に位置する吸気口５１から下部領域５内に空気Ａ１を導入し、装置本体３においてハウジング１４の第２端部と同じ側に位置する排気口５２から下部領域５外に空気Ａ１を排出するようになっている。
【００４１】
そして、下部領域５内には、吸気口５１と排気口５２とを繋ぐ直線状の流路が設けられ、流路上には、オゾン濃度センサ５４、電源１２及び制御装置６０が上流側から順番に配置されている。オゾン濃度センサ５４は、下部領域５内に導入されてきた空気Ａ１に含まれるオゾンの濃度（オゾン濃度）を測定して、制御装置６０のＣＰＵ６１にオゾン濃度検出信号を出力するようになっている。また、電源１２及び制御装置６０は、ファン１３によって冷却されるようになっている。
【００４２】
次に、空気清浄器１の電気的構成について説明する。
【００４３】
図１に示されるように、空気清浄器１は、設備全体を統括的に制御するための制御装置６０を備えている。制御装置６０は、ＣＰＵ６１（制御手段）、ＲＯＭ６２、ＲＡＭ６３及び入出力回路等により構成されている。ＣＰＵ６１は、プラズマリアクタ１１、電源１２及びファン１３に電気的に接続されており、各種の駆動信号によってそれらを制御する。
【００４４】
また、ＣＰＵ６１は、空気清浄器１が備える操作盤７１に有線で電気的に接続されている。操作盤７１は、ＣＰＵ６１との間で信号の送受信を行うようになっている。また、操作盤７１は、空気清浄器１の装置本体３から離間して配置されている。具体的に言うと、操作盤７１は、倉庫２の外側に配置され、倉庫２の壁部７２に対して取り付けられている。操作盤７１の表示画面には、例えば、倉庫２内のオゾン濃度を示す情報などが表示されるようになっている。なお、操作盤７１は、無線（例えば、電話回線、インターネット回線等）でＣＰＵ６１に接続されていてもよい。また、操作盤７１は、パーソナルコンピュータや、スマートフォン等の携帯機器であってもよい。
【００４５】
次に、空気清浄器１による空気Ａ１の浄化方法を説明する。
【００４６】
まず、ＣＰＵ６１は、プラズマリアクタ１１を駆動させる制御を行い、プラズマリアクタ１１の第１放電電極４１及び第２放電電極４２間にパルス電圧を印加して誘電体バリア放電を発生させる制御を行う。その結果、第１放電電極４１及び第２放電電極４２間に誘電体バリア放電によるプラズマが発生する。これに伴い、オゾンを含む活性酸素（活性種）が発生する。なお、プラズマ発生時のプラズマリアクタ１１の温度は、３０℃以下（本実施形態では２３℃）となっている。
【００４７】
次に、ＣＰＵ６１は、ファン１３を駆動する制御を行い、プラズマリアクタ１１にて発生したオゾンを含む活性酸素を倉庫２内に放出させる。その結果、活性酸素の接触により、倉庫２内の空気Ａ１に含まれている菌（具体的には、倉庫２内に浮遊する菌や倉庫２内の農作物に付着した菌）が殺菌される。また、活性酸素の接触により、倉庫２内の空気Ａ１に含まれているウイルスが不活性化され、倉庫２内の農作物から発生したエチレンが分解される。
【００４８】
また、ファン１３を駆動した際には、活性酸素が倉庫２内に放出されるのに伴い、倉庫２内の空気Ａ１が空気清浄器１に取り込まれる。この場合、空気清浄器１に取り込まれた空気Ａ１は、ファン１３を通過してプラズマリアクタ１１に導かれる。プラズマリアクタ１１に導かれた空気Ａ１がセラミック基板２０の貫通孔３１を通過すると、空気Ａ１に含まれている菌やウイルスが第１放電電極４１及び第２放電電極４２に静電捕集される。そして、誘電体バリア放電による電撃により、菌が殺菌され、ウイルスが不活性化される。さらに、誘電体バリア放電で発生したプラズマに含まれている陽イオンが衝突することにより、菌が殺菌され、ウイルスが不活性化され、空気Ａ１に含まれているエチレンが分解される。また、誘電体バリア放電により発生した活性酸素の接触により、菌が殺菌され、ウイルスが不活性化される。なお、菌やウイルスの一部は、誘電体バリア放電において発生する熱により燃焼する。その後、発生した活性酸素の一部と、菌が殺菌され、ウイルスが不活性化され、エチレンが分解された空気Ａ１は、倉庫２内に放出される。
【００４９】
なお、空気清浄器１から放出されたオゾンが倉庫２内に充満していくと、倉庫２内のオゾン濃度は、作業者や農作物に悪影響を及ぼす程度の濃度に達してしまう。そこで、本実施形態では、オゾン濃度センサ５４を用いてオゾン濃度を監視し、許容値を超えた場合に、プラズマリアクタ１１に印加する電力やファン１３の出力に制限をかけることで、倉庫２内のオゾン濃度を低下させる制御を行っている。
【００５０】
詳述すると、ＣＰＵ６１は、オゾン濃度センサ５４から出力されたオゾン濃度検出信号が入力された際に、オゾン濃度検出信号が示すオゾン濃度が許容値（本実施形態では、環境基準値である０．１ｐｐｍ）を超えているか否かを判定する。そして、オゾン濃度が許容値を超えていると判定された場合、ＣＰＵ６１は、プラズマリアクタ１１に印加する電力を低下させる制御を行う。例えば、本実施形態のＣＰＵ６１は、第１放電電極４１及び第２放電電極４２間に印加する電圧を９ｋＶから６ｋＶに低下させる制御を行う。なお、本実施形態では、オゾン濃度が許容値を超えている場合に、第１放電電極４１及び第２放電電極４２間に印加する電圧を低下させる制御を行っているが、第１放電電極４１及び第２放電電極４２間に印加する電圧を遮断する（０ｋＶに低下させる）制御を行ってもよい。それとともに、ＣＰＵ６１は、ファン１３の出力（本実施形態では、ファン１３の駆動電圧）を低下させる制御を行う。本実施形態では、オゾン濃度が許容値を超えている場合に、ファン１３の駆動電圧を低下させる制御を行っているが、ファン１３の駆動電圧を遮断する（０Ｖに低下させる）制御を行ってもよい。以上の結果、プラズマリアクタ１１にて発生するオゾンの発生量が減少するとともに、倉庫２内に放出されるオゾンの供給量が減少するため、倉庫２内のオゾン濃度が低下する。
【００５１】
そして、倉庫２内のオゾン濃度が低下し、オゾン濃度が許容値以下であると判定されると、ＣＰＵ６１は、プラズマリアクタ１１に印加する電力を元に戻す制御を行うとともに、ファン１３の出力を元に戻す制御を行う。また、ＣＰＵ６１は、操作盤７１に対して表示信号を出力し、操作盤７１の表示画面に対して、倉庫２内への立ち入りを許可する旨をイラストや文字にて表示する制御を行う。
【００５２】
次に、プラズマリアクタ１１の製造方法を説明する。
【００５３】
まず、アルミナ粉末を主成分とするセラミック材料を用いて、誘電体２３となる第１，第２のセラミックグリーンシート８１，８２を形成する（図１０，図１１参照）。なお、セラミックグリーンシート８１，８２の形成方法としては、テープ成形や押出成形などの周知の成形法を用いることができる。そして、各セラミックグリーンシート８１，８２に対してパンチング加工を行い、貫通孔３１となる孔部８３を形成する。また、第２のセラミックグリーンシート８２の四隅に対してパンチング加工を行い、パッド部３５，３６を露出させる切欠部８４を形成する。なお、孔部８３及び切欠部８４の形成を、レーザ加工、ドリル加工等によって行ってもよい。
【００５４】
次に、第１のセラミックグリーンシート８１を支持台（図示略）に載置する。さらに、従来周知のペースト印刷装置（図示略）を用いて、第１のセラミックグリーンシート８１の主面８５上に導電性ペースト（本実施形態では、タングステンペースト）を印刷する。その結果、第１のセラミックグリーンシート８１の主面８５上に、放電電極４１，４２、連結部４３，４４及びパッド部３５，３６となる厚さ１０μｍの未焼成電極８６が形成される。なお、第１のセラミックグリーンシート８１に対する未焼成電極８６の印刷方法としては、スクリーン印刷などの周知の印刷法を用いることができる。
【００５５】
そして、導電性ペーストの乾燥後、未焼成電極８６が印刷された第１のセラミックグリーンシート８１の主面８５上に第２のセラミックグリーンシート８２を積層し、シート積層方向に押圧力を付与する。その結果、各セラミックグリーンシート８１，８２が一体化され、セラミック積層体が形成される。次に、周知の手法に従って乾燥工程や脱脂工程などを行った後、セラミックグリーンシート８１，８２及び未焼成電極８６をアルミナ及びタングステンが焼結しうる所定の温度（例えば、１４００℃〜１６００℃程度）に加熱する同時焼成を行う。その結果、第１，第２のセラミックグリーンシート８１，８２中のアルミナ、及び、導電性ペースト中のタングステンが同時焼結し、誘電体２３、放電電極４１，４２、連結部４３，４４及びパッド部３５，３６が同時焼成によって形成され、第１，第２のセラミックグリーンシート８１，８２がセラミック基板２０となる。その後、第１パッド部３５に第１の配線を接続するとともに、第２パッド部３６に第２の配線を接続する。以上のプロセスを経て、プラズマリアクタ１１が完成する。
【００５６】
従って、本実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
【００５７】
（１）従来、放電電極を内蔵した電極パネルと、隣接する電極パネル間に空間を形成させるためのスペーサとを交互に積層することによって、プラズマリアクタを形成することが提案されている。しかし、この場合、プラズマリアクタを構成する部品点数や工数の増加が避けられなくなり、製作コストの上昇につながってしまうという問題がある。
【００５８】
一方、本実施形態の空気清浄器１では、プラズマを発生させる第１放電電極４１及び第２放電電極４２と、プラズマで浄化する空気Ａ１が通過する貫通孔３１とが１枚のセラミック基板２０に形成されるため、複数のセラミック基板２０を用いなくてもプラズマリアクタ１１が構成されるようになる。従って、プラズマリアクタ１１の製作コストを大幅に低減することができる。また、プラズマリアクタ１１を複数枚のセラミック基板２０で構成する場合に比べて、プラズマリアクタ１１の静電容量が小さくなる。その結果、プラズマリアクタ１１を駆動させる際に、大きな電力を印加しなくても済むため、消費電力を抑えることができる。さらに、本実施形態では、貫通孔３１を横断する放電によってプラズマが発生するため、貫通孔３１全体にプラズマが行き届くようになる。その結果、貫通孔３１を通過する空気Ａ１を確実に浄化することができる。
【００５９】
（２）本実施形態では、プラズマの接触に加えて、誘電体バリア放電による電撃やオゾンを含む活性種の接触によっても、菌の殺菌やウイルスの不活性化が行われる。さらに、本実施形態では、プラズマの接触に加えて、オゾンを含む活性種の接触によっても、エチレンの分解が行われる。このため、空気Ａ１の処理量が増加したとしても、放電電極４１，４２間（貫通孔３１内）に高電圧を印加しなくても済み、プラズマリアクタ１１の消費電力の増加が抑えられる。しかも、貫通孔３１内への高電圧の印加を可能とするためにプラズマリアクタ１１を大型化しなくても済むため、空気清浄器１の小型化を図ることができる。
【００６０】
（３）本実施形態では、第１放電電極４１及び第２放電電極４２がセラミック基板２０の中央部に配置され、第１パッド部３５及び第２パッド部３６がセラミック基板２０の外周部（具体的には、セラミック基板２０の四隅）に配置されている。このため、放電電極４１，４２とパッド部３５，３６とを離間して配置できるため、放電電極４１，４２及びパッド部３５，３６間で発生する異常放電を回避することができる。
【００６１】
［第２実施形態］
以下、本発明を具体化した第２実施形態を図面に基づいて説明する。ここでは、前記第１実施形態と相違する部分を中心に説明する。本実施形態では、プラズマリアクタの構造が前記第１実施形態とは異なっている。
【００６２】
詳述すると、図１３，図１４に示されるように、本実施形態のプラズマリアクタ９１は、セラミック基板９２を基板厚さ方向に複数枚積層することによって構成されている。なお、各セラミック基板９２は、第１のセラミック絶縁層９３を厚さ方向に貫通するスルーホール導体９４を備えている。スルーホール導体９４の上流側（図１４では左側）の端部は、パッド部９５に電気的に接続されており、スルーホール導体の下流側（図１４では右側）の端部は、セラミック基板９２の第２主面９６に露出している。
【００６３】
また、プラズマリアクタ９１は、各セラミック基板９２を互いに導通させる電気導通部９７が形成されている。本実施形態の電気導通部９７は、導電性金属ペーストの硬化物から成る。また、電気導通部９７は、各セラミック基板９２を互いに固定保持する機能を有している。具体的に言うと、電気導通部９７は、互いに隣接する一対のセラミック基板９２の間に充填されている。詳述すると、電気導通部９７は、所定のセラミック基板９２の第２主面９６と、下流側に隣接するセラミック基板９２に設けられたパッド部９５の表面と、切欠部９８の内面９９とによって囲まれた空間内に充填されている。そして、電気導通部９７は、第２主面９６に露出したスルーホール導体９４の端面と、パッド部９５の表面とに電気的に接続されている。その結果、隣接するセラミック基板９２のパッド部９５同士が、電気導通部９７及びスルーホール導体９４を介して電気的に接続される。なお、セラミック基板９２の端面１００は、電気導通部９７に覆われることなく露出している。
【００６４】
従って、本実施形態では、セラミック基板９２を基板厚さ方向に複数枚積層することにより、プラズマの発生量がいっそう大きくなるため、貫通孔１０１（貫通部）を通過する空気Ａ１をより効率良く浄化することができる。また、セラミック基板９２を複数枚積層する場合には、プラズマリアクタ９１を構成する部品点数が増加するため、製作コストの上昇につながる虞がある。しかし、本実施形態では、隣接するセラミック基板９２間に、空気Ａ１の通過空間を確保するためのスペーサを介在させなくても済むため、セラミック基板９２を複数枚積層したとしても、製作コストの上昇を抑えることができる。しかも、スペーサを介在させる工程が不要になるため、プラズマリアクタ９１を容易に製作することができる。
【００６５】
なお、上記各実施形態を以下のように変更してもよい。
【００６６】
・上記各実施形態では、第１放電電極４１及び第２放電電極４２の両方が、貫通孔３１，１０１の内壁面にて非露出の状態となっていた。しかし、第１放電電極４１及び第２放電電極４２のうちのいずれか一方が、貫通孔３１，１０１の内壁面に露出していてもよいし、第１放電電極４１及び第２放電電極４２の両方が、貫通孔３１，１０１の内壁面に露出していてもよい。
【００６７】
・上記各実施形態では、第１放電電極４１及び第２放電電極４２が、セラミック基板２０，９２の内部における同一の深さに埋設されていたが、セラミック基板２０，９２の内部において異なる深さに埋設されていてもよい。例えば、セラミック基板を第１〜第３のセラミック絶縁層によって構成し、第１放電電極を第１のセラミック絶縁層の表面上に形成するとともに、第２放電電極を第２のセラミック絶縁層の表面上に形成してもよい。
【００６８】
・図１５のプラズマリアクタ１１１に示されるように、第１放電電極１１２及び第２放電電極１１３は、基板平面方向に延びるとともにセラミック基板１１４の主面１１５上に設けられた層状の電極であって、誘電体からなる保護層（図示略）により被覆されるものであってもよい。この場合、第１放電電極１１２及び第２放電電極１１３は、セラミック基板１１４の外部に露出するようになる。しかし、第１放電電極１１２及び第２放電電極１１３には保護層が被覆されているため、放電による放電電極１１２，１１３の消耗を防止することができる。なお、保護層を構成する誘電体としては、ガラス、アルミナなどを挙げることができる。
【００６９】
なお、プラズマリアクタ１１１は以下のように形成される。まず、アルミナ粉末を主成分とするセラミック材料を用いて、セラミック基板１１４となるセラミックグリーンシートを形成する。そして、各セラミックグリーンシートに対してパンチング加工を行い、貫通孔１１６（貫通部）となる孔部を形成する。次に、セラミックグリーンシートを支持台に載置する。さらに、ペースト印刷装置を用いて、セラミックグリーンシートの主面上に導電性ペースト（ここでは、タングステンペースト）を印刷する。その結果、セラミックグリーンシートの主面上に、放電電極１１２，１１３、連結部１１７及びパッド部１１８となる未焼成電極が形成される。そして、導電性ペーストの乾燥後、未焼成電極を覆うように保護層となる誘電体（ここでは、アルミナ）をコーティングする。次に、周知の手法に従って乾燥工程や脱脂工程などを行った後、セラミックグリーンシート、未焼成電極及び誘電体をアルミナ、タングステンが焼結しうる所定の温度（１４００℃〜１６００℃程度）に加熱する同時焼成を行う。その結果、プラズマリアクタ１１１が完成する。
【００７０】
・上記第２実施形態では、複数のセラミック基板９２を互いに固定保持する電気導通部９７が、所定のセラミック基板９２の第２主面９６と、下流側に隣接するセラミック基板９２に設けられたパッド部９５の表面と、切欠部９８の内面９９とによって囲まれた空間内に充填されていた。そして、セラミック基板９２の端面１００は、電気導通部９７に覆われることなく露出していた。しかし、図１６に示されるように、電気導通部１２１は、所定のセラミック基板１２２の第２主面１２３と、下流側に隣接するセラミック基板１２２に設けられたパッド部１２４の表面と、切欠部の内面１２５とによって囲まれた空間内に充填されるとともに、各セラミック基板１２２の端面１２６を覆っていてもよい。
【００７１】
・上記各実施形態では、オゾン濃度センサ５４によって測定されたオゾン濃度が許容値を超えた場合に、プラズマリアクタ１１，９１に印加する電力を低下させる制御を行うとともに、ファン１３の出力を低下させる制御を行っていた。しかし、オゾン濃度が許容値を超えた場合に、プラズマリアクタ１１，９１に印加する電力を低下させる制御のみを行ってもよいし、ファン１３の出力を低下させる制御のみを行ってもよい。また、オゾン濃度が許容値を超えた場合に、警報を鳴らす制御を行ってもよいし、警告する旨を示す文字を操作盤７１の表示画面に表示させる制御を行ってもよい。さらに、オゾン濃度が許容値を超えた場合に、倉庫２の換気用のファン（図示略）を駆動させる制御を行ってもよいし、倉庫２の窓（図示略）を開放させる制御を行ってもよい。また、オゾン濃度が許容値を超えた場合に、倉庫２のドア（図示略）を施錠する制御を行ってもよい。
【００７２】
・上記各実施形態のオゾン濃度センサ５４は、装置本体３の下部領域５内に配置されていたが、他の場所に配置されていてもよい。例えば、オゾン濃度センサ５４は、空気清浄器１を構成するプラズマリアクタ１１，９１とファン１３との間に配置されていてもよいし、倉庫２内（例えば壁部７２）に配置されていてもよい。また、オゾン濃度センサ５４は複数設けられていてもよい。この場合、ＣＰＵ６１は、例えば、それぞれのオゾン濃度センサ５４によって測定された測定値の平均値を算出し、算出した平均値を倉庫２内のオゾン濃度としてもよい。なお、各オゾン濃度センサ５４は、互いに離間した位置に配置されることが好ましい。このようにすれば、倉庫２内のオゾン濃度をより正確に測定することができる。また、一部のオゾン濃度センサ５４が故障したとしても、オゾン濃度を確実に測定することができる。
【００７３】
・上記各実施形態の空気清浄器１では、プラズマリアクタ１１，９１の上流側にファン１３が配置されていたが、プラズマリアクタ１１，９１の下流側にファン１３が配置されていてもよい。
【００７４】
・上記各実施形態のプラズマリアクタ１１，９１は、交流電源を用いて駆動されていたが、パルス電源を用いて駆動されていてもよい。なお、パルス電源を用いる場合も、周波数は可聴域よりも高い２０ｋＨｚ以上であることが好ましい。このようにすれば、プラズマリアクタ１１，９１の駆動時に発生する騒音を低減することができる。
【００７５】
・上記各実施形態の空気清浄器１を構成する装置本体３は、倉庫２内の床部８上に設置されていた。しかし、装置本体３は、壁部７２に設置されていてもよいし、天井部９に設置されていてもよい。
【００７６】
・上記各実施形態の空気清浄器１は、農作物を保管する倉庫２内において、菌の殺菌、ウイルスの不活性化及びエチレンの分解を行うものであった。しかし、空気清浄器１は、農作物を栽培するビニールハウス内などにおいて、菌の殺菌、ウイルスの不活性化及びエチレンの分解を行うものであってもよい。
【００７７】
さらに、図１７に示されるように、空気清浄器１３１は、農作物を輸送するコンテナ１３２内において、菌の殺菌、ウイルスの不活性化及びエチレンの分解を行うものであってもよい。なお、空気清浄器１３１は、コンテナ１３２内の冷蔵機１３３に設けられた空気Ａ２の出口近傍に配置される。また、プラズマリアクタ（図示略）に電圧を印加する電源１３４は、バッテリーである。このようにすれば、電源１３４を小型化できるため、コンテナ１３２に対して電源１３４を確実に設置することができる。
【００７８】
次に、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技術的思想を以下に列挙する。
【００７９】
（１）上記手段１において、前記基板はセラミック基板であることを特徴とするプラズマリアクタ。
【００８０】
（２）上記手段１において、前記貫通部は、前記一対の主面において開口する貫通孔であることを特徴とするプラズマリアクタ。
【００８１】
（３）上記手段１において、前記第１放電電極及び前記第２放電電極は、基板平面視でいずれも単独では前記貫通部を包囲していないことを特徴とするプラズマリアクタ。
【００８２】
（４）上記手段１において、前記貫通部は配列された複数の貫通孔であり、前記第１放電電極及び前記第２放電電極は、配列された前記複数の貫通孔の長さ方向に沿って延びるように配置されていることを特徴とするプラズマリアクタ。
【符号の説明】
【００８３】
１，１３１…空気清浄器
１１，９１，１１１…プラズマリアクタ
１２，１３４…電源
１３…送風手段としてのファン
２０，９２，１１４，１２２…基板としてのセラミック基板
２１…主面としての第１主面
２２，９６，１２３…主面としての第２主面
２３…誘電体
３１，１０１，１１６…貫通部としての貫通孔
３３…貫通部の端部としての第１端部
３４…貫通部の端部としての第２端部
４１，１１２…第１放電電極
４２，１１３…第２放電電極
５４…オゾン濃度センサ
６１…制御手段としてのＣＰＵ
１１５…主面
Ａ１，Ａ２…空気
【図１】
2019017538.tif 000003
【図２】
2019017538.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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