(57)【要約】      （修正有）【課題】被駆動部を好適に駆動させる。【解決手段】駆動装置１０１は、第１ベース部１１０と、第１ベース部の外部に配置される第２ベース部１２０と、第２ベース部に回転可能に支持される被駆動部４００と、第１ベース部に対して、当該第１ベース部を回転させる駆動力を付与する当該第１ベース部に配置されたコイル３００と、コイルの近傍に配置されたヨークとを有する駆動力付与部と、第１ベース部と第２ベース部とを連結し、被駆動部を回転させるように第１ベース部に付与された駆動力を前記第２ベース部に伝達する弾性部２１０とを備える。【選択図】図１
2019091048.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ベース部と、
前記第１ベース部の外部に配置される第２ベース部と、
前記第２ベース部に回転可能に支持される被駆動部と、
前記第１ベース部に対して、当該第１ベース部を回転させる駆動力を付与する当該第１ベース部に配置されたコイルと、前記コイルの近傍に配置されたヨークとを有する駆動力付与部と、
前記第１ベース部と前記第２ベース部とを連結し、前記被駆動部を回転させるように前記第１ベース部に付与された前記駆動力を前記第２ベース部に伝達する弾性部と
を備えることを特徴とする駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばミラー等の被駆動物を駆動させるＭＥＭＳスキャナ等の駆動装置の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ディスプレイ、プリンティング装置、精密測定、精密加工、情報記録再生などの多様な技術分野において、半導体工程技術によって製造されるＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）デバイスについての研究が活発に進められている。このようなＭＥＭＳデバイスとして、例えば、光源から入射された光を所定の画面領域に対して走査して画像を具現するディスプレイ分野、または所定の画面領域に対して光を走査して反射された光を受光して画像情報を読み込むスキャニング分野では、微小構造のミラー駆動装置（光スキャナないしはＭＥＭＳスキャナ）が注目されている。
【０００３】
ミラー駆動装置では、コイルと磁石を用いてミラーを駆動する構成が一般的である。この場合、コイルに電流を流すことで生ずる磁界と磁石の磁界との間の相互作用によってミラーに対して回転方向の力が加えられ、その結果、ミラーが回転させられる（例えば、特許文献１から３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２０３４９７号公報
【特許文献２】米国特許出願公開第２０１１／０１９９１７２号明細書
【特許文献３】特開２０１１−１８０３２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した特許文献１から３には、駆動力が付与されるベース（或いは、フレーム）に一体的に被駆動部が支持される駆動装置が開示されている。このような従来の駆動装置に対して、本発明は、例えば、新たな態様で被駆動部を駆動させることが可能な駆動装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、駆動装置は、第１ベース部と、前記第１ベース部の外部に配置される第２ベース部と、前記第２ベース部に回転可能に支持される被駆動部と、前記第１ベース部に対して、当該第１ベース部を回転させる駆動力を付与する当該第１ベース部に配置されたコイルと、前記コイルの近傍に配置されたヨークとを有する駆動力付与部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを連結し、前記被駆動部を回転させるように前記第１ベース部に付与された前記駆動力を前記第２ベース部に伝達する弾性部とを備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナを表側から見た場合の構成を示す平面図である。
【図２】第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナを裏側から見た場合の構成を示す平面図である。
【図３】第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナの積層構造を示す断面図である。
【図４】第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナにおける第１ベースの動作の態様を概念的に示す断面図（その１）である。
【図５】第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナにおける第１ベースの動作の態様を概念的に示す断面図（その２）である。
【図６】第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナの動作の態様を概念的に示す側面図である。
【図７】第１比較例に係るＭＥＭＳスキャナにおける支持層の境界周辺の構成を示す拡大断面図である。
【図８】第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナのバネ部の構成を示す拡大平面図である。
【図９】第１変形例に係るＭＥＭＳスキャナのバネ部の構成を示す拡大平面図である。
【図１０】第２変形例に係るＭＥＭＳスキャナのバネ部の構成を示す拡大平面図である。
【図１１】第３変形例に係るＭＥＭＳスキャナのバネ部の構成を示す拡大平面図である。
【図１２】第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を示す平面図である。
【図１３】第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を示す断面図である。
【図１４】第２比較例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を示す平面図である。
【図１５】第２比較例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を示す断面図である。
【図１６】第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を示す平面図である。
【図１７】第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナの動作の態様を概念的に示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、駆動装置の実施形態について順に説明する。
【０００９】
＜１＞
本実施形態の駆動装置は、第１ベース部と、第２ベース部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを連結する弾性部と、駆動可能な態様で前記第２ベース部に支持される被駆動部とを備える。
【００１０】
本実施形態の駆動装置によれば、第１ベース部と第２ベース部とが、弾性を有する弾性部（例えば、後述するバネ部等）によって直接的に又は間接的に連結（言い換えれば、接続）されている。ここで、弾性部が弾性を有していることに起因して、弾性部の剛性は、第１ベース部及び第２ベース部の双方又は一方の剛性よりも低いことが好ましい。言い換えれば、弾性部は、第１ベース部及び第２ベース部の双方又は一方よりも相対的に変形しやすいことが好ましい。更に言い換えれば、弾性部が相対的に変形し易い一方で第１ベース部及び第２ベース部の双方又は一方は相対的に変形しにくいことが好ましい。
【００１１】
第２ベース部は、被駆動部を支持している。このとき、第２ベース部は、被駆動部が駆動可能（例えば、回転可能又は移動可能）となるように被駆動部を支持している。例えば、第２ベース部と被駆動部とが弾性を有する弾性部によって連結されることで、第２ベース部は、駆動可能な態様で第１被駆動部を支持していてもよい。
【００１２】
このような構成を有する本実施形態の駆動装置は、被駆動部を好適に駆動させる（例えば、回転させる又は移動させる）ことができる。つまり、このような構成を有する本実施形態の駆動装置によれば、被駆動部は好適に駆動する（例えば、回転する又は移動する）ことができる。具体的には、例えば、第１ベース部が動くと、弾性部を介して第１ベース部に連結されている第２ベース部もまた、当該第１ベース部の動きに伴って動くことになる。第２ベース部が動くと、第２ベース部によって支持されている被駆動部もまた、当該第２ベース部の動きに伴って動くことになる。その結果、被駆動部は好適に駆動することができる。
【００１３】
ここで、上述した被駆動部の具体的な駆動態様は、２つの剛体（即ち、第１ベース部及び第２ベース部に相当）が１つのバネ（即ち、弾性部に相当）で接続されている系を考えることで理解できる。このような系では、複数の固有振動モード、及びその固有振動モードの各々に対する固有振動数を持つようになると考えられる。この場合、所定の固有振動数に相当する周波数で一方の剛体に偶力を与えると、一方の剛体を回転運動させることができる。そして、一方の剛体の回転運動は、慣性モーメントとしてバネを介して他方の剛体に伝達される。よって、所定の固有振動数に対応した固有振動モードを実現できる。
【００１４】
尚、被駆動部を好適に駆動させるという点から言えば、第１ベース部と第２ベース部とは、弾性部以外の構造体（例えば、弾性を有していない又は第１ベース部及び第２ベース部よりも変形し易いという性質を有していない構造体）によって連結されていてもよい。この場合であっても、第１ベース部の動きに伴って被駆動部を駆動することができる。
【００１５】
＜２＞
本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記第１ベース部に対して、前記被駆動部を駆動させるための駆動力を付与する駆動力付与部を更に備え、前記被駆動部は、前記第１ベース部から前記弾性部を介して前記第２ベース部に伝達される駆動力により駆動する。
【００１６】
この態様によれば、第１ベース部に付与される駆動力に起因して、第１ベース部は動く。第１ベース部が動くと、第１ベース部に連結されている第２ベース部もまた動くことになる。第２ベース部が動くと、被駆動部もまた動くことになる。このように、被駆動部は、第１ベース部に付与される駆動力（つまり、第１ベース部から弾性部を介して実質的に伝達される駆動力）によって好適に駆動することができる。
【００１７】
＜３＞
上述の如く駆動力付与部を備える態様では、前記第１ベース部は、前記駆動力付与部から付与される駆動力により、第１の方向及び該第１の方向とは異なる第２の方向に沿った軸を回転軸として回転可能であり、前記被駆動部は、前記第１ベース部から前記弾性部を介して前記第２ベース部に伝達される駆動力により、前記第１の方向及び前記第２の方向に沿った軸を回転軸として回転可能であってもよい。
【００１８】
この場合、駆動力付与部から付与される駆動力によって、第１ベース部が第１の方向に沿った軸を回転軸として回転されると、第１ベース部の回転による駆動力が弾性部により第２ベース部へと伝達され、第２ベース部もまた第１の方向に沿った軸を回転軸として回転される。同様に、第１ベース部が第２の方向に沿った軸を回転軸として回転されると、第１ベース部の回転による駆動力が弾性部により第２ベース部へと伝達され、第２ベース部もまた第２の方向に沿った軸を回転軸として回転される。
【００１９】
このように、第２ベース部は、第１ベース部の回転軸と同じ方向の回転軸で回転される。よって、第１のベース部の回転方向を変化させれば、第２ベース部の回転方向（言い換えれば、被駆動部の回転方向）も変化する。従って、第１ベース部に付与する駆動力を変更することで、被駆動部の回転方向を変化させることができる。
【００２０】
＜４＞
或いは駆動力付与部を備える態様では、前記駆動力付与部は、前記第１ベース部の開孔部の周囲に配置されたコイルと、前記第１ベース部の開孔部に挿通されたヨークとを有してもよい。
【００２１】
この場合、第１ベース部は開孔部を有するように構成される。例えば、第１ベース部は、枠状のフレームとして構成される。第１ベース部の開孔部の周囲には、駆動力付与部の一部として機能するコイルが配置される。コイルは、例えば開孔部を周回するように巻回されている。
【００２２】
他方、第１ベース部の開孔部には、磁束を集束するためのヨークが挿通されている。ヨークは例えば純鉄、パーマロイ、ケイ素鉄、センダスト等の比透磁率が高い軟磁性材料を含んで構成されることが好ましい。開孔部にヨークを配置することで、コイルに制御電流を流すことで発生するローレンツ力を高めることができる。即ち、駆動力付与部により付与可能な駆動力を大きくすることができる。よって、例えば磁束を与える磁石等の小型化を実現でき、装置全体としても小型化が可能となる。
【００２３】
尚、ヨークによる磁束の集束効果を高めるためには、ヨークとコイルとの距離は小さい方が好ましい。このためヨークは、コイルの配置された第１ベース部の駆動を妨げない範囲で大きくされることが好ましい。また、ヨークの断面は、第１ベース部の開孔部の形状に近い形状であることが好ましい。
【００２４】
更に、ヨークは、例えば第１ベース部の下方側から上方側へ挿通されるが、ヨークによる磁束の集束効果を高めるためには、ヨークをある程度上方まで延びるように構成することが好ましい。このためヨークは、コイルの配置された第１ベース部の駆動を妨げない範囲で長く構成されることが好ましい。
【実施例】
【００２５】
以下、図面を参照しながら、本発明の駆動装置の実施例について説明する。尚、以下では、駆動装置をＭＥＭＳスキャナに適用した例について説明する。但し、本発明の駆動装置をＭＥＭＳスキャナ以外の任意の駆動装置に適用してもよいことは言うまでもない。
【００２６】
（１）第１実施例
先ず、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１について、図１から図１１を参照して説明する。
【００２７】
（１−１）基本構成
初めに、図１から図３を参照して、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の構成について説明する。ここに、図１は、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１を表側から見た場合の構成を示す平面図であり、図２は、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１を裏側から見た場合の構成を示す平面図である。また図３は、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の積層構造を示す断面図である。
【００２８】
図１及び図２に示すように、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１は、第１ベース１１０と、第２ベース１２０と、バネ部２１０と、配線バネ部２２０と、コイル３００と、ミラー４００と、トーションバー４５０とを備えて構成されている。
【００２９】
第１ベース１１０は、内部に空隙（開孔部）を備える枠形状を有している。つまり、第１ベース１１０は、図中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図中のＸ軸方向（つまり、Ｙ軸方向に直交する方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。なお、図１及び図２に示す例では、第１ベース１１０は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。また、第１ベース１１０は、枠形状に限定されるものでものない。
【００３０】
第１ベース１１０は、不図示の基板ないしは支持部材等に対して固定されている（言い換えれば、ＭＥＭＳスキャナ１０１という系の内部においては固定されている）。或いは、第１ベース１１０は、不図示のサスペンション等によって吊り下げられていてもよい。
【００３１】
第１ベース１１０上には、コイル３００が配置されている。コイル３００は、例えば相対的に導電率の高い材料（例えば、金や銅等）から構成される複数の巻き線である。本実施例では、コイル３００は、第１ベース１１０に沿った正方形の形状を有している。但し、コイル３００は、任意の形状（例えば、長方形やひし形や平行四辺形や円形や楕円形やその他の任意のループ形状）を有していてもよい。
【００３２】
コイル３００には、図示せぬ電源端子等を介して、電源から制御電流が供給される。尚、電源は、ＭＥＭＳスキャナ１０１自身が備えている電源であってもよいし、ＭＥＭＳスキャナ１０１の外部に用意される電源であってもよい。コイル３００の周辺には、図示せぬ磁石が配置されており、コイル３００に制御電流を流すことで生ずる磁界と磁石の磁界との間の相互作用によって回転方向の力が加えられ、その結果、コイル３００が設けられている第１ベース１１０が、磁界と制御電流の方向に応じた方向に回転させられる。コイル３００は、「駆動力付与部」の一具体例である。
【００３３】
第２ベース部１２０は、第１ベース部１１０と同様に、内部に空隙を備える枠形状を有している。そして、第２ベース１２０の空隙内には、ミラー４００が配置されている。ミラー４００は、トーションバー４５０によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。
【００３４】
トーションバー４５０は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。トーションバー４５０は、図１中Ｙ軸方向に延伸するように配置される。言い換えれば、トーションバー４５０は、Ｙ軸方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸方向に延伸する短手を有する形状を有している。トーションバー４５０の一方の端部は、第２ベース１１０に接続される。また、トーションバー４５０の他方の端部は、ミラー４００に接続される。このため、ミラー４００は、トーションバー１２０の弾性によって、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転可能となる。ミラー４００は、「被駆動部」の一具体例である。
【００３５】
第１ベース１１０及び第２ベース１２０間は、バネ部２１０によって互いに連結されている。バネ部２１０は、「弾性部」の一具体例であり、第１ベース１１０においてコイル３００から得られた駆動力を、第２ベース１２０に伝達する機能を有している。また、第１ベース１１０及び第２ベース１２０間には、配線バネ部２２０が設けられている。配線バネ部２２０は、第１ベース１１０及び第２ベース１２０の電気的接続を実現するために設けられている。具体的には、配線バネ部２２０には、第１ベース１１０のコイル３００と、第２ベース１２０の配線５００とを接続するための接続配線２２５が配置されている。
【００３６】
図３に示すように、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１は、支持層１０、活性層２０、ＢＯＸ層３０及び金属層４０の積層構造によって構成されている。ただし、他の層を含む積層構造とされても構わない。
【００３７】
支持層１０及び活性層２０の各々は、例えばシリコン等を含んで構成されている。ＢＯＸ層３０は、例えばＳｉＯ２等の酸化膜等によって構成されており、支持層１０及び活性層２０間に配置されている。ＢＯＸ層３０は、支持層１０と活性層２０とを絶縁している。金属層４０は、例えば導電率の高い金属等を含んで構成されており、活性層２０上に配置されている。金属層４０は、第１ベース１１０におけるコイル３００や、第２ベース１２０における配線５００、配線バネ部２２０における接続配線２２５等を構成している。
【００３８】
ここで本実施例では特に、支持層１０は、第１ベース１１０から、バネ部２１０及び第２ベース１２０に至るまで延在するように形成されている（具体的には、図２を参照）。一方で、活性層２０、ＢＯＸ層３０及び金属層４０は、第１ベース１１０及び第２ベース１２０には夫々形成されているものの、バネ部２１０には形成されていない。言い換えれば、バネ部２１０は、支持層２０のみによって構成されている。また、バネ部２１０は、第１ベース１１０の支持層１０及び第２ベース１２０の支持層と一体的に構成されている。なお、バネ部２１０には活性層２０が形成されていないが、配線バネ部２２０には活性層２０が形成されている（図１を参照）。このため、第１ベース１１０と第２ベース１２０の電気的接続を実現できる。
【００３９】
（１−２）ＭＥＭＳスキャナの動作
次に、図４から図６を参照して、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の動作について説明する。ここに図４及び図５は夫々、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１における第１ベースの動作の態様を概念的に示す断面図である。また図６は、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の動作の態様を概念的に示す側面図である。なお、図４以降の図では、説明の便宜上、図１から図３等に記載したＭＥＭＳスキャナ１０１を構成する詳細な部材について、適宜省略して簡略的に図示している。
【００４０】
本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の動作時には、まず、コイル３００に制御電流が供給される。制御電流は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として第１ベース１１０を回転させるための電流成分（つまり、Ｙ軸駆動用制御電流）を含んでいる。
【００４１】
図４に示すように、コイル３００には、磁石によりＸ軸マイナス方向の磁界が付与されている。従って、コイル３００には、コイル３００に供給されているＸ軸駆動用制御電流とコイル３００に付与されているＹ軸駆動用磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力が発生することになる。
【００４２】
ここで、図１における時計周りの方向に流れるＹ軸駆動用制御電流がコイル３００に供給された場合について説明する。この場合、図４（ａ）に示すコイル３００の２つの長辺のうちの右側（つまり、図１では上側）の長辺には、図４（ａ）における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図４（ａ）に示すように、コイル３００の２つの長辺のうちの左側（つまり、図１では下側）の長辺には、図４（ａ）における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル３００の２つの長辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。言い換えれば、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル３００の２つの長辺には、偶力となるローレンツ力が発生する。従って、コイル３００は、図４（ａ）における時計周りの方向に向かって回転する。
【００４３】
一方で、制御電流が交流電流であるため、コイル３００に対して図１における反時計周りの方向にＹ軸駆動用制御電流が供給される場合も生ずる。この場合、図４（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル３００の２つの長辺のうちの右側（つまり、図１では上側）の長辺には、図４（ｂ）における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図４（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル３００の２つの長辺のうちの左側（つまり、図１では下側）の長辺には、図４（ｂ）における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル３００の２つの長辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。言い換えれば、Ｘ軸方向に沿って対向するコイル３００の２つの長辺には、偶力となるローレンツ力が発生する。従って、コイル３００は、図４（ｂ）における半時計周りの方向に向かって回転する。
【００４４】
このようなローレンツ力によって、コイル３００は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する（より具体的には、回転するように往復駆動する）。
【００４５】
他方、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の動作時には、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第１ベース１１０を回転させるための電流成分（つまり、Ｘ軸駆動用制御電流）を含む制御電流がコイル３００に供給される。
【００４６】
図５に示すように、コイル３００には、磁石によりＹ軸プラス方向の磁界が付与されている。従って、コイル３００には、コイル３００に供給されているＸ軸駆動用制御電流とコイル３００に付与されているＸ軸駆動用磁界との間の電磁相互作用に起因したローレンツ力が発生することになる。
【００４７】
ここで、図１における時計周りの方向に流れるＸ軸駆動用制御電流がコイル３００に供給された場合について説明する。この場合、図５（ａ）に示すコイル３００の２つの長辺のうちの右側の長辺には、図５（ａ）における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図５（ａ）に示すように、コイル３００の２つの長辺のうちの左側の長辺には、図５（ａ）における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル３００の２つの長辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。言い換えれば、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル３００の２つの長辺には、偶力となるローレンツ力が発生する。従って、コイル３００は、図５（ａ）における反時計周りの方向に向かって回転する。
【００４８】
一方で、制御電流が交流電流であるため、コイル３００に対して図１における反時計周りの方向にＸ軸駆動用制御電流が供給される場合も生ずる。この場合、図５（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル３００の２つの長辺のうちの右側の長辺には、図５（ｂ）における下側の方向に向かうローレンツ力が発生する。同様に、図５（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル３００の２つの長辺のうちの左側の長辺には、図５（ｂ）における上側の方向に向かうローレンツ力が発生する。つまり、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル３００の２つの長辺には、相互に異なる方向のローレンツ力が発生する。言い換えれば、Ｙ軸方向に沿って対向するコイル３００の２つの長辺には、偶力となるローレンツ力が発生する。従って、コイル３００は、図５（ｂ）における時計周りの方向に向かって回転する。
【００４９】
このようなローレンツ力によって、コイル３００は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する（より具体的には、回転するように往復駆動する）。
【００５０】
以上説明したコイル３００の回転動作は、第１ベース１１０からバネ部２１０を介して第２ベース１２０へと伝達される。これにより、第２ベース１２０が駆動される。即ち、第２ベース１２０は、第１ベース１１０におけるコイル３００に付与された駆動力によって駆動される。
【００５１】
図６に示すように、特にコイル３００がＸ軸方向に沿った軸を回転軸とする回転動作（図５参照）を行う場合には、ミラー４００が、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする回転方向に大きく駆動される。
【００５２】
具体的には、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、第１ベース１１０が時計周りの方向に回転する場合、第２ベース１２０は反時計周りの方向に回転する。これにより、図６（ａ）のように、第２ベース１２０に配置されたミラー４００は、反時計周りの方向（即ち、第２ベース１２０と同じ回転方向）に大きく回転する。或いは図６（ｂ）のように、第２ベース１２０に配置されたミラー４００は、時計周りの方向（即ち、第２ベース１２０と異なる回転方向）に大きく回転する。なお、図６（ａ）のような回転をさせるか、或いは図６（ｂ）のような回転をさせるかは、各部バネの硬さ等の設計によって選択できる。
【００５３】
一方、図６（ｃ）に示すように、第１ベース１１０が反時計周りの方向に回転する場合、第２ベース１２０は時計周りの方向に回転する。これにより、第２ベース１２０に配置されたミラー４００は、時計周りの方向（即ち、第２ベース１２０と同じ回転方向）に大きく回転する。
【００５４】
（１−３）ＭＥＭＳ駆動時の応力集中
次に、既出の図６に加えて図７を参照して、ＭＥＭＳスキャナの駆動時に発生し得る問題点について説明する。ここに図７は、第１比較例に係るＭＥＭＳスキャナにおける支持層の境界周辺の構成を示す拡大断面図である。
【００５５】
図６に示すようなＭＥＭＳスキャナ１０１の駆動において、第１ベース１１０のコイル３００で発生した駆動力は、バネ部２１０を介して、第２ベース１２０のミラー４００に伝達される。よって、図６を見ても分かるように、バネ部２１０は、駆動によって大きく変形することになる。バネ部２１０の形状や硬さは、駆動の共振モードの態様やその共振周波数に大きく影響するため、求められるデバイスの特性を満たすために適した形状、硬さにすることが望まれる。また、バネ部２１０は、強度に関する要件（例えば、駆動による変形等で破損しないような強度）も満たすことが望まれる。
【００５６】
ここで特に、バネ部２１０と、第１ベース１１０及び第２ベース１２０との境界周辺には、駆動力を伝達する場合に応力が集中し易い。よって、一定以上の強度を有さないバネ部２１０は、第１ベース１１０及び第２ベース１２０との境界周辺において、駆動時に破損してしまうおそれがある。
【００５７】
ここで図７に示すように、支持層１０が一体的に形成されていない第１比較例を考える。即ち、本実施例（図３参照）のように、支持層１０が第１ベース１１０からバネ部２１０、第２ベース１２０に至るまで延在するよう形成されておらず、部分的に支持層が存在しない例を考える。
【００５８】
このような第１比較例では、支持層１０が一体的に形成されていないため、図に示すような支持層１０の境界が存在することになる。そして、この支持層１０の境界部分では、加工の都合上、図の破線で囲う領域のようなノッチが入りやすい。よって、応力に対して更に弱い形状となってしまう。
【００５９】
これに対し、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１では、図３等に示したように、応力が集中し易いバネ部２１０が、第１ベース１１０及び第２ベース１２０の支持層１０と同じ層によって一体的に構成されている。よって、上述したような応力集中による破損を効果的に防止することができる。
【００６０】
また、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１では、図３等に示したように、バネ部２１０が支持層１０のみで構成されているため、例えば支持層１０と他の層（例えば、活性層２０やＢＯＸ層３０）との境界部分に駆動時の応力が集中することで、バネ部２１０が破損してしまうことを効果的に防止できる。ただし、バネ部２１０が単一の層で構成されない場合（例えば、ＢＯＸ層３０等を含む場合）であっても、バネ部２１０が第１ベース１１０及び第２ベース１２０の支持層１０と同じ層によって一体的に構成されている限り、破損耐性を向上させる効果は相応に得られる。
【００６１】
（１−４）バネ部の具体的構成
次に、図８を参照して、本実施例に係るバネ部２１０の具体的な構成について詳細に説明する。ここに図８は、実施例に係るＭＥＭＳスキャナのバネ部の構成を示す拡大平面図である。
【００６２】
図８に示すように、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１のバネ部２１０は、Ｘ軸方向に沿う方向に延在する部分（以下、適宜「第１部分」と称する）と、Ｙ軸方向に沿う方向に延在する部分（以下、適宜「第２部分」と称する）とを夫々有している。具体的には、第１ベース１１０及び第２ベース１２０の各々には、第１部分が夫々接続されており、これら２つの第１部分間に第２部分が設けられている。
【００６３】
このような形状とすれば、バネ部２１０が互いに異なる方向に延びる第１部分及び第２部分を有するため、応力の集中を低減でき、破損耐性を効果的に高めることができる。具体的には、連結方向に交わる方向（即ち、Ｙ軸方向に沿った方向）に延びる第２部分が曲がる（ねじれる）ことによって、破損を効果的に防止できる。
【００６４】
また本実施例では特に、上述した第１部分の幅Ｌ１は、第２部分の幅Ｌ２より太くなるように形成されている。このようにすれば、連結方向（即ち、Ｘ軸方向に沿った方向）に延びる第１部分が比較的太く形成されるため、接続部材としての強度を効果的に高めることができる。一方で、連結方向に交わる方向（即ち、Ｙ軸方向に沿った方向）に延びる第２部分が比較的細く形成されるため、より曲がり易くなり、効果的に破損耐性を高めることができる。
【００６５】
加えて本実施例では、バネ部２１０と、第１ベース１１０及び第２ベース１２０の各々との接続部分において、活性層２０が部分的に存在しない領域が設けられている（図中の破線で囲った領域を参照）。この場合、応力の集中し易い接続部分に、破損耐性の低い活性層２０の境界が存在してしまうことを防止できる、従って、より効果的に破損耐性を高めることが可能である。
【００６６】
以上説明したように、本実施例に係るバネ部２１０によれば、駆動時における破損を効果的に抑制できる。
【００６７】
なお、バネ部２１０の構造は、図８で示すものに限られる訳ではない。以下では、図９から図１１を参照して、上述したバネ部の変形例について説明する。ここに図９は、第１変形例に係るＭＥＭＳスキャナのバネ部の構成を示す拡大平面図であり、図１０は、第２変形例に係るＭＥＭＳスキャナのバネ部の構成を示す拡大平面図である。また図１１は、第３変形例に係るＭＥＭＳスキャナのバネ部の構成を示す拡大平面図である。
【００６８】
図９に示すように、第１変形例に係るバネ部２１１は、第１部分における第１ベース１１０及び第２ベース１２０との接続部分周辺が、より太くなるように形成されている（図中の破線で囲った領域を参照）。このように構成すれば、第１部分の中でも特に応力の集中し易い接続部分が太く形成されるため、効果的に破損耐性を高めることができる。
【００６９】
図１０に示すように、第２変形例に係るバネ部２１２は、２つのバネ部が一体的に構成されている。即ち、図１等において、ＭＥＭＳスキャナ１０１をＸ軸方向に沿った方向で見た場合に、対照的な位置に配置される２つのバネ部が、１つのバネ部として構成されている。具体的には、第１ベース１１０から延びる１つの第１部分、及び第２ベース１２０から延びる２つの第１部分が、１つの第２部分によって互いに連結されている。このように構成した場合であっても、第１部分及び第２部分を上述した各種構成とすることで、破損耐性を高める効果を得ることができる。
【００７０】
図１１に示すように、第３変形例に係るバネ部２１３は、第１変形例に係るバネ部２１１と同様の形状として構成されている。一方で、第３変形例では、配線バネ部２２３の幅Ｌ３が、バネ部２１３の第２部分の幅Ｌ２よりも小さい幅Ｌ３を有するように構成されている。また、配線バネ部２２３を延ばした場合の全長は、バネ部２１３を延ばした場合の全長より長くなるように構成されている。このような構成によれば、配線バネ部２２３の硬さを柔らかくすることができる。よって、バネ部２１３とは異なり、活性層２０のみで構成される配線バネ部２２３の破損耐性を、効果的に高めることができる。
【００７１】
尚、本実施例及び第１変形例から第３変形例で説明した各構成の一部を適宜組み合わせてもよい。この場合であっても、上述した各種構成に対応する各種効果を好適に享受することができる。
【００７２】
（２）第２実施例
次に、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２について、図１２から図１５を参照して説明する。尚、第２実施例は、上述した第１実施例と比べて一部の構成が異なるのみであり、その他の構成については概ね同様である。このため、以下では第１実施形態と異なる部分について詳細に説明し、他の重複する部分については適宜説明を省略するものとする。
【００７３】
（２−１）基本構成
先ず、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２の構成について、図１２及び図１３を参照して説明する。ここに図１２は、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を示す平面図である。また図１３は、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を示す断面図である。
【００７４】
図１２において、第２実施形態に係るＭＥＭＳスキャナ１０２は、第１実施形態に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の構成（例えば、図１参照）に加えて、第１ベース１１０の開孔部に挿通されるヨーク６００を備えて構成されている。ヨーク６００は、例えば純鉄、パーマロイ、ケイ素鉄、センダスト等の比透磁率が高い軟磁性材料を含んで構成されることが好ましい。
【００７５】
図１３において、ヨーク６００は、ＭＥＭＳスキャナ１０１の下方側に配置された下部ヨーク６５０から、ＭＥＭＳスキャナ１０１の上方側に延びるように形成されている。ヨーク６００の側方には、磁束を発生させる第１磁石７１０及び第２磁石７２０が配置されている。第１磁石７１０は、上面（即ち、ＭＥＭＳスキャナ１０２に対向する面）がＳ極とされており、第２磁石７２０は、上面がＮ極（即ち、第１磁石７１０とは異なる極）とされている。よって、磁束は第２磁石７２０の上面から第１磁石７１０の上面に向かう。尚、第１磁石７１０及び第２磁石７２０の上面側には、図示せぬミドルヨークが設けられてもよい。また、コイル３００の外側には、図示せぬヨークポストが設けられてもよい。
【００７６】
ヨーク６００を配置することで、上述した第１磁石７１０及び第２磁石７２０によって発生される磁束を集束することができる。これにより、コイル３００に制御電流を流すことで発生するローレンツ力を高めることができる。即ち、ヨーク６００によれば、コイル３００や第１磁石７１０及び第２磁石７２０を大きくせずとも、第１ベース１１０に付与可能な駆動力を大きくすることができる。よって、装置の小型化が実現できる。
【００７７】
尚、ヨーク６００による磁束の集束効果を高めるためには、ヨーク６００とコイル３００との距離Ｌ４（図１２参照）は小さい方が好ましい。このためヨーク６００は、コイル３００の配置された第１ベース１１０の駆動を妨げない範囲で大きくされることが好ましい。また、ヨーク６００の断面は、第１ベース１１０の開孔部の形状に近い形状であることが好ましい。
【００７８】
更に、ヨーク６００による磁束の集束効果を高めるためには、ヨーク６００をある程度ＭＥＭＳスキャナ１０２の上方まで延びるように構成することが好ましい。このためヨーク６００は、コイル３００の配置された第１ベース１１０の駆動を妨げない範囲で、或いはミラー４００に入射するレーザ光の経路を妨げない範囲で長く構成されることが好ましい。
【００７９】
（２−２）第２比較例との比較
次に、図１４及び図１５を参照して説明する第２比較例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２ｂとの比較により、第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２の有利な点について具体的に説明する。ここに図１４は、第２比較例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を示す平面図である。また図１５は、第２比較例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を示す断面図である。
【００８０】
図１４において、第２比較例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２ｂでは、コイル３００が設けられる第１ベース１１０にミラー４００が設けられている。より具体的には、第２比較例に係るミラー４００は、第１ベース１１０の開孔部にトーションバー４５０で支持されている。このような構成によれば、コイル３００によって付与される駆動力により第１ベース１１０が駆動されると、それに伴いミラー４００も駆動されることになる。
【００８１】
図１５において、第２比較例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２ｂは、第１ベース１１０の開孔部にミラー４００が配置されているため、第２実施形態に係るＭＥＭＳスキャナ１０２（例えば、図１３参照）のように、ヨーク６００を挿通させることができない。即ち、第２比較例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２ｂでは、ヨーク６００をＭＥＭＳスキャナ１０２ｂの下方までしか伸ばすことができない。よって、第２比較例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２ｂは、第２実施形態に係るＭＥＭＳスキャナ１０２と比較して、ヨーク６００の磁束の集束効果が劣る。
【００８２】
従って、例えば第２比較例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２ｂにおいて、第２実施形態に係るＭＥＭＳスキャナ１０２と同等の駆動力を付与したい場合、コイル３００や第１磁石７１０及び第２磁石７２０の大型化が要求される。或いは、図１５にも示すように、ＭＥＭＳスキャナ１０２ｂの上方に他の磁束発生手段（具体的には、第３磁石７３０、第４磁石７４０、第１上部ヨーク６６０及び第２上部ヨーク６７０）を配置することが要求される。このような設計変更は、装置の大型化を避けることが困難である。
【００８３】
以上説明したように、第２実施形態に係るＭＥＭＳスキャナ１０２によれば、第１ベース１１０の開孔部にヨーク６００を挿通させることができるため、装置の大型化を回避しつつ、極めて効果的に磁束の集束効果を高めることができる。よって、駆動力の大きい装置が求められる場合であっても、装置の小型化を実現できる。
【００８４】
（３）第３実施例
次に、第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０３について、図６及び図７を参照して説明する。尚、第３実施例は、上述した第２実施例と比べて一部の構成及び動作が異なるのみであり、その他の部分については概ね同様である。このため、以下では第２実施形態と異なる部分について詳細に説明し、他の重複する部分については適宜説明を省略するものとする。
【００８５】
（３−１）基本構成
先ず第３実施形態に係るＭＥＭＳスキャナ１０３の構成について、図１６を参照して説明する。ここに図１６は、第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を示す平面図である。
【００８６】
図１６において、第３実施形態に係るＭＥＭＳスキャナ１０３は、第２ベース１２０から見て、第１ベース１１０とは反対側に、第３ベース１３０が設けられている。第３ベース１３０には、第１ベース１１０と同様に、コイル３００ｂが設けられており、開孔部にヨーク６００ｂが挿通されている。また、第３ベース１３０は、バネ部２１０ｂ及び配線バネ部２２０ｂによって第２ベース１２０と物理的に接続されており、配線バネ部２２０ｂに設けられた接続配線２２５ｂにより電気的にも接続されている。即ち、第３ベース１３０は、第１ベース１１０と同様に、第２ベース１２０に支持されたミラー４００に駆動力を伝達させるものとして構成されている。
【００８７】
（３−２）ＭＥＭＳスキャナの動作
次に、図１７を参照して、第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０３の動作について説明する。ここに図１７は、第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナの動作の態様を概念的に示す側面図である。なお、図１７では、説明の便宜上、図１６に記載したＭＥＭＳスキャナ１０３を構成する詳細な部材について、適宜省略して簡略的に図示している。
【００８８】
図３（ａ）に示すように、例えば第１ベース１１０の右端周辺に下向きのローレンツ力を発生させ、左端周辺に上向きのローレンツ力を発生させると共に、第３ベース１３０の右端周辺に下向きのローレンツ力を発生させ、左端周辺に上向きのローレンツ力を発生させると、第１ベース１１０及び第３ベース１３０の各々は、それぞれ時計回りに回転運動する。これにより、第２ベース１２０及びミラー４００は、反時計回りに回転運動する。
【００８９】
他方、図３（ｂ）に示すように、例えば第１ベース１１０の右端周辺に上向きのローレンツ力を発生させ、左端周辺に下向きのローレンツ力を発生させると共に、第３ベース１３０の右端周辺に上向きのローレンツ力を発生させ、左端周辺に下向きのローレンツ力を発生させると、第１ベース１１０及び第３ベース１３０の各々は、それぞれ反時計回りに回転運動する。これにより、第２ベース１２０及びミラー４００は、時計回りに回転運動する。
【００９０】
このように、第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０３においても、第１ベース１１０及び第３ベース１３０の各々にローレンツ力を発生させることで、ミラー４００を所望の向きに回転させることができる。特に第３実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０３では、第１ベース１１０に設けられたコイル３００及び第３ベース１３０に設けられたコイル３００ｂの各々においてローレンツ力が発生するため、第１実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１１０や第２実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０２と比較して、大きな駆動力を得ることができる。
【００９１】
また、第３ベース１３０においても、第１ベース１１０と同様に開孔部にヨーク６００ｂを挿通させることで、磁束を効果的に集束させることができる。よって、装置が大型化してしまうことを抑制できる。
【００９２】
なお、上述した各実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１、１０２及び１０３は、例えば、ヘッドアップディスプレイや、ヘッドマウントディスプレイや、レーザスキャナや、レーザプリンタや、走査型駆動装置等の各種電子機器に対して適用することができる。従って、これらの電子機器もまた、本発明の範囲に含まれるものである。
【００９３】
また、本発明は、請求の範囲及び明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨又は思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う駆動装置もまた本発明の技術思想に含まれる。
【符号の説明】
【００９４】
１０  支持層
２０  活性層
３０  ＢＯＸ層
４０  金属層
１０１，１０２，１０３  ＭＥＭＳスキャナ
１１０  第１ベース
１２０  第２ベース
１３０  第３ベース
２１０  バネ部
２２０  配線バネ部
２２５  接続配線
３００  コイル
４００  ミラー
４５０  トーションバー
５００  配線
６００  ヨーク
６５０  下部ヨーク
６６０  第１上部ヨーク
６７０  第２上部ヨーク
７１０  第１磁石
７２０  第２磁石
７３０  第３磁石
７４０  第４磁石
【図１】
2019091048.tif 000003
【図２】
2019091048.tif 000004
【図３】
2019091048.tif 000005
【図４】
2019091048.tif 000006
【図５】
2019091048.tif 000007
【図６】
2019091048.tif 000008
【図７】
2019091048.tif 000009
【図８】
2019091048.tif 000010
【図９】
2019091048.tif 000011
【図１０】
2019091048.tif 000012
【図１１】
2019091048.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2019091048.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2019091048.tif 000017
【図１６】
2019091048.tif 000018
【図１７】
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