(57)【要約】【課題】作業工数の適正化を図ることができ、しかも、不良品を良品としての流出を防止でき、また、歩留まりの悪化が改善される検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】検査パラメータ記憶手段に記憶されている所望の検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を検査画像表示部に表示させる。異なる２つの時の検査画像を比較する。これによって、検査結果が正常か否かを判断する。【選択図】図１
2019178928.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの被検査対象部位の画像に基づいてその被検査対象部位の欠陥を検査する検査装置であって、
ワークの被検査対象部位の検査画像を撮像する撮像手段と、
被検査対象部位における検査画像を記憶する画像記憶手段と、
被検査対象部位に対する検査パラメータを記憶する検査パラメータ記憶手段と、
検査パラメータ記憶手段に記憶されている検査パラメータを変更するパラメータ変更手段と、
被検査対象部位の異なる２つの時の検査画像をそれぞれ表示する第１・第２検査画像表示部を有する画像表示手段とを備え、
検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を第１・第２検査画像表示部にそれぞれ表示させ、異なる２つの時の検査画像を比較して、検査結果が正常か否かを判断し、検査結果が正常でない場合、パラメータ変更手段にて検査パラメータを調整して、この変更した検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を比較することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
被検査対象部位における検査画像を前記画像記憶手段は記憶していくことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
被検査対象部位の第１検査画像表示部の検査画像と第２検査画像表示部の検査画像との相違箇所を、第１検査画像表示部の検査画像及び／又は第２検査画像表示部の検査画像に識別表示することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記相違箇所を他の部位と相違する色に着色されて表示されることを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記相違箇所を、ワーク上の座標位置で示すことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
ワークの被検査対象部位の画像に基づいてその被検査対象部位の欠陥を検査する検査方法であって、
被検査対象部位の異なる２つの時の検査画像をそれぞれ表示する第１・第２検査画像表示部を有する画像表示手段を用い、所望の検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を第１・第２検査画像表示部にそれぞれ表示させ、この異なる２つの時の検査画像を比較して、検査結果が正常か否か判断し、検査結果が正常でない場合に、前記所望の検査パラメータを調整して、この調整した検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を順次比較していくことを特徴とする検査方法。
【請求項７】
２つの異なる時の検査画像の相違箇所が、ワーク欠陥か否かを判断することを特徴とする請求項６に記載の検査方法。
【請求項８】
相違箇所がワーク欠陥であれば、前工程である製造工程のプロセス改善を行うことを特徴とする請求項７に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板上に形成されたパッド等に欠陥を有するか否かを検査する場合、一般的には、画像処理で行っていた。この場合、検査パラメータを設定する必要がある。ここで、検査パラメータとは、検査に用いるパラメータであり、例えば、画像上におけるノイズ除去のフィルタの設定値、パッド欠陥を判断するためのしきい値となる設定値等である。このため、検査しようとする被検査対象部位に対して検査に最適となる検査パラメータを設定する必要がある。この設定は、各検査パラメータのパラメータ基準（しきい値等）を試行錯誤（Try and Error）で追い込んで決定（設定）することになる。
【０００３】
従って、検査パラメータ変更（調整）を順次行うことになる。そして、検査パラメータ変更後（検査パラメータ決定後）は、画像検査システム上の画像表示部を目視で確認し、その検査結果が正常か否かを判断するのが一般的である。検査結果が正常と判断した場合、自動運転による画像検査のＮ増し確認を実施する。そして、自動検査結果と、画像表示部および実際の被検査対象部位の目視検査結果とを比較して相関関係を有することを確認することになる。
【０００４】
ところで、従来には、検査パラメータ毎の画像の比較が可能となって、条件選択が容易になり、条件設定に要する労力および時間を低減できるようにしたものがある（特許文献１）。
【０００５】
この場合、まず、画像取得条件パラメータと検査条件パラメータとを変えて基板を撮像して複数の画像を取得する。そして、これらの複数の画像をそれぞれ評価指票とともに画面に表示する。次に、この画面上で検査条件を設定し、この設定条件に基づいて、基板上に形成されたパターンの欠陥を検査するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２９４３５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
検査パラメータ変更後（検査パラメータ決定後）において、画像検査システム上の画像表示部を目視で確認し、検査結果が正常か否かを判断する一般的なものでは、目視で確認することになるので、例えば、大型ワーク上の画像検査では、パラメータ変更による検査結果への影響範囲と結果の変化点が、情報量が膨大という理由で確認が容易ではなかった。
【０００８】
このような確認の難しさから、本来、正常でない欠陥があっても、画像表示部および実際の被検査対象部位の目視確認では見逃すおそれがあった。このように欠陥を見逃せば、そのままの状態で製品化され、不良品を良品として流出させたり、歩留まりが悪くなったりした。このため、検査パラメータを再変更（調整）することになって、工数の増加を招き、また、画像検査結果と目視検査結果の合わせ込みにも工数を費やすことなる。
【０００９】
また、特許文献１では、画像取得条件パラメータ（画像サイズ、焦点位置のオフセット量、照明波長および光量、各種フィルタ設定条件、開口絞り等）、及び検査パラメータ（検出した画像から、欠陥部のみを２値化抽出するための２値化しきい値、欠陥とは関係ない微小な面積の領域をノイズとして除去するノイズ除去しきい値、エッジにおける感度低下パラメータ等）を変更し、条件の違いによる画像上の相違点見分けるものである。このように構成することによって、被検査パターンの欠陥（ショートや断線等）検査に用いる検査条件の設定を支援するためのものである。
【００１０】
しかしながら、特許文献１に記載のものでは、条件の違いによる画像上の相違点を見分けるものであるので、同じ条件（検査パラメータ）でワークの被検査対象部位の過去のデータ（画像）と現在のデータ（画像）との比較を行うことができない。このため、ワークの被検査対象部位の同じ検査パラメータでの欠陥を検出することができなかった。
【００１１】
本発明は、上記課題に鑑みて、作業工数の適正化を図ることができ、しかも、不良品を良品としての流出を防止でき、また、歩留まりの悪化が改善される検査装置および検査方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の検査装置は、ワークの被検査対象部位の画像に基づいてその被検査対象部位の欠陥を検査する検査装置であって、ワークの被検査対象部位の検査画像を撮像する撮像手段と、被検査対象部位における検査画像を記憶する画像記憶手段と、被検査対象部位に対する検査パラメータを記憶する検査パラメータ記憶手段と、検査パラメータ記憶手段に記憶されている検査パラメータを変更するパラメータ変更手段と、被検査対象部位の異なる２つの時の検査画像をそれぞれ表示する第１・第２検査画像表示部を有する画像表示手段とを備え、検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を第１・第２検査画像表示部にそれぞれ表示させ、異なる２つの時の検査画像を比較して、検査結果が正常か否かを判断し、検査結果が正常でない場合、パラメータ変更手段にて検査パラメータを調整して、この調整（変更）した検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を比較するものである。ここで、異なる２つの時とは、現在とある過去の時の場合と、ある過去の時とこの過去の時よりも過去の時の場合等がある。
【００１３】
本発明の検査装置によれば、検査パラメータ記憶手段に記憶されている所望の検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を比較できる。このため、検査パラメータに基づいた検査結果が正常か否かを判断できる。また、検査結果が正常であれば、この検査パラメータにおけるパラメータ基準（欠陥を判断するためのしきい値となる設定値）が最適となる。これに対して、検査結果が正常でなければ、検査パラメータにおけるパラメータ基準が最適でないことになる。このため、検査パラメータにおけるパラメータ基準を調整（変更）してこの変更した検査パラメータにて、再度検査結果が正常か否かを判断できる。これによって、検査しようとする被検査対象部位（例えば、パッド）に対して最適となる検査パラメータに追い込むことができ、検査パラメータを設定できる。
【００１４】
すなわち、本発明の検査装置では、検査パラメータの変更による検査結果への影響範囲と結果の変化点が容易に確認できる。しかも、検査結果とそれに紐づくパラメータ値も記憶することができ、これによって、値に差異がある検査パラメータの特定が可能となる。また、検査パラメータも任意に変更（調整）可能であり、変更した検査パラメータを元の検査パラメータのパラメータ基準に戻すことがきる。さらに、画像表示手段は、被検査対象部位の異なる２つの時の検査画像をそれぞれ表示する第１・第２検査画像表示部を有するものであり、これらの表示部の画像の比較が容易となる。
【００１５】
検査画像を前記画像記憶手段は記憶することができる。このように設定することによって、検査画像のデータ数を増やすことができ、検査精度の向上を図ることができる。
【００１６】
また、被検査対象部位の第１検査画像表示部の検査画像と第２検査画像表示部の検査画像との相違箇所を、第１検査画像表示部の検査画像及び／又は第２検査画像表示部の検査画像に識別表示するように設定できる。このように構成することによって、相違箇所の確認性の向上を図ることができる。
【００１７】
前記相違箇所を他の部位と相違する色に着色されて表示されるのが好ましく、着色されて表示されることによって、相違箇所の確認がより行いやすくなる。また、相違箇所をワーク上の座標位置で示すものであってもよい。このように、座標位置で示すようにすれば、欠陥位置の特定が安定する。
【００１８】
本発明の検査方法は、ワークの被検査対象部位の画像に基づいてその被検査対象部位の欠陥を検査する検査方法であって、被検査対象部位の異なる２つの時の検査画像をそれぞれ表示する第１・第２検査画像表示部を有する画像表示手段を用い、検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を第１・第２検査画像表示部にそれぞれ表示させ、この異なる２つの時の検査画像を比較して、検査結果が正常か否か判断し、検査結果が正常でない場合に、前記検査パラメータを調整して、この調整した検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を順次比較していくものである。
【００１９】
本発明の検査方法は、検査パラメータに基づいた検査結果が正常か否かを判断できる。また、検査結果が正常であれば、この検査パラメータにおけるパラメータ基準が最適となる。これに対して、検査結果が正常でなければ、検査パラメータにおけるパラメータ基準が最適でないことになる。このため、検査パラメータにおけるパラメータ基準を変更してこの変更した検査パラメータにて、再度検査結果が正常か否かを判断できる。これによって、検査しようとする被検査対象部位（例えば、パッド）に対して検査に最適となる検査パラメータを設定することができる。
【００２０】
２つの異なる時の検査画像の相違箇所が、ワーク欠陥か否かを判断することができる。すなわち、相違箇所があっても、それが、このワークの欠陥でない場合がある。このような場合には、欠陥がないと判断できる。なお、欠陥がないとの判断は、判定基準（しきい値）を設定し、このしきい値を越えなれれば、欠陥がないと判断する。
【００２１】
相違箇所がワーク欠陥であれば、前工程である製造工程のプロセス改善を行うことができる。すなわち、このようにプロセス改善を行うことによって、この検出されたワーク欠陥を生じるのを有効に防止できる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明では、検査パラメータの追い込みに費やす工数を適性化することができる。画像検査結果と画像表示部および実際の被検査対象部位の目視検査結果の合わせ込みの工数を削減することができる。しかも、不良品を良品としての流出を防止でき、また、歩留まりの悪化が改善される。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の検査装置の簡略構成図である。
【図２】本発明の検査方法の簡略構成図である。
【図３】本発明の検査方法のフローチャート図である。
【図４】過去画像表示部と検査画像表示部とを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下本発明の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明する。本発明に係る検査装置は、図４に示すようなワークＷである基板１上に形成された被検査対象部位Ｓに欠陥部３を有するか否かを検査するものであり、図１に示すように、被検査対象部位Ｓにおける画像及び画像上の検査結果を記憶する画像記憶手段５と、被検査対象部位Ｓに対する複数種の検査パラメータを記憶することが可能な検査パラメータ記憶手段６と、被検査対象部位Ｓを撮像する撮像手段７と、この撮像手段７にて撮像された被検査対象部位Ｓを表示する画像表示手段８とを備える。画像表示手段８は、図４に示すように、少なくとも異なる２つの時の検査画像を同時に表示する２画面を有するモニタ８ａを備える。
【００２５】
ここで、異なる２つの時とは、現在とある過去の時の場合と、ある過去の時とこの過去よりもさらに過去の時の場合とがある。このため、この実施形態では、一方の画面が、被検査対象部位Ｓの過去の検査画像を表示する第１検査画像表示部（過去画像表示部）９であり、他方の画面が、被検査対象部位Ｓの現在の検査画像を表示する第２検査画像表示部（検査画像表示部）１０である。
【００２６】
撮像手段７は、ＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラ等からなる画像認識カメラを備える。この撮像手段７にて撮像されたデータは、画像記憶手段５及び制御手段１１に入力される。制御手段１１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を中心としてＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等がバスを介して相互に接続されたマイクロコンピュータである。画像記憶手段（記憶装置）５及び検査パラメータ記憶手段（記憶装置）６は、それぞれ、ＨＤＤ（Hard Disc Drive）やＤＶＤ（Digital Versatile Disk）ドライブ、ＣＤ−Ｒ（Compact Disc-Recordable）ドライブ、ＥＥＰＲＯＭ（Electronically Erasable and Programmable Read Only Memory）等からなる。なお、ＲＯＭには、ＣＰＵが実行するプログラムやデータが格納されている。
【００２７】
撮像手段７の画像のデータは、記憶手段５に入力されて記憶され、また、制御手段１１に入力されて画像表示手段８の検査画像表示部１０にて表示される。そして、この画像記憶手段５に記憶された検査画像が過去の検査画像として画像表示手段８の過去画像表示部９にて表示される。画像記憶手段５は後述する検査結果も記憶する。このため、モニタ８ａには、検査画像以外に、検査結果（欠陥等を数値化したもの等）を表示する画面、さらには、検査パラメータを表示する画面を設けてもよい。このため、モニタ８ａとして２画面を有するものに限らず、２画面上の複数画面を有するものであってもよい。なお、検査画像上に検査パラメータや検査結果を表示するようにしてもよい。
【００２８】
検査パラメータとは、パッド有無判定のための輝度率や画像２値化のしきい値等であり、この検査パラメータに基づいた画像、つまり、検査パラメータがパッド有無判定のための輝度率であれば、被検査対象部位Ｓを設定する輝度率とし、画像２値化のしきい値であれば、設定したしきい値を上回っていれば被検査対象部位Ｓを白と、下回っていれば被検査対象部位Ｓを黒とする。
【００２９】
また、制御手段１１はパラメータ変更手段１２及び欠陥抽出手段１３とを備える。このパラメータ変更手段１２は、検査パラメータ記憶手段６に記憶された検査パラメータのパラメータ基準（しきい値等）を変更（調整）したりすることができる。欠陥抽出手段１３とは、後述する欠陥抽出工程１８を行うための手段である。
【００３０】
次に、前記のように構成された検出装置にて、ワークＷである基板１上に形成された被検査対象部位Ｓに欠陥部３を有する否かを検査する方法を図２と図３を用いて説明する。この場合、検査しようとする被検査対象部位Ｓに対して検査に最適となる検査パラメータを設定し、この検査パラメータを用いて検査するものである。
【００３１】
検査する方法（検査方法）は、図２に示すように、画像取得工程１５と、画像・検査結果比較工程１６と、検査パラメータ設定工程１７と、欠陥抽出工程１８等を備える。すなわち、図３に示すように、まず、検査パラメータを調整する（ステップＳ１）。次に、この検査パラメータに対応する被検査対象部位Ｓの過去の検査画像(検査パラメータ記憶手段６に記憶されている画像)を、過去画像表示部９に表示するとともに、検査パラメータに対応する被検査対象部位の検査画像（現在検査している検査画像）を検査画像表示部１０に表示する（ステップＳ２）。この場合、画像処理及び調整を行って検査画像表示部１０に表示することになる。すなわち、図２に示す画像取得工程１５を行う。
【００３２】
その後、過去画像表示部９に表示されている画像と、検査画像表示部１０に表示されている画像とを比較する（ステップＳ３）。この比較によって、検査結果が正常か否かを判断する(ステップＳ４)。検査結果が正常か否かの判断は、作業者が目視で行うものである。すなわち、図２の画像・検査結果比較工程１６を行う。この場合、検査結果が正常であれば、両画像に相違点が無く、検査結果が正常でなければ、両画像に相違点があることになる。ここで、検査結果が正常である場合、被検査対象部位Ｓにこの検査パラメータに対する欠陥を両画像に有さない場合と、被検査対象部位Ｓにこの検査パラメータに対する欠陥を両画像に有する場合とがある。前記記憶手段５は、検査画像及び検査結果を記憶する。
【００３３】
ステップＳ４で正常と判断すれば、ステップＳ５へ移行して、欠陥を有するか否かを判断する。ステップＳ４で正常でないと判断すれば、ステップＳ１に戻って検査パラメータを調整する。ここで検査パラメータの調整とは、パラメータ基準（しきい値等）の変更であり、しきい値を高くしたり、低くしたりする。なお、検査パラメータの変更には、検査パラメータ自体の変更（カテゴリの変更）を含むものとする。ステップＳ４で正常と判断すれば、この検査パラメータは、検査パラメータにおけるパラメータ基準（例えば、しきい値）が最適となっている。
【００３４】
ステップＳ５で欠陥が有ると判断すれば、ステップＳ６へ移行して、この欠陥が製品としての欠陥か否かを判断する。ステップＳ５で欠陥を有さないと判断されれば、ステップＳ７へ移行する。この場合、この検査パラメータは、検査パラメータにおけるパラメータ基準（例えば、しきい値）が最適となっている。
【００３５】
このため、検査しようとする被検査対象部位Ｓ（例えば、パッド２）に対して検査に最適となる検査パラメータを設定することができ、図２に示す検査パラメータ設定工程１７が終了する。
【００３６】
ステップＳ６で製品として欠陥であれば、ステップＳ７へ移行し、ステップＳ６で製品として欠陥でなければ、ステップＳ１に戻る。ステップＳ７では、この検査を終了するかが判断され、終了する場合、終了し、終了しない場合、ステップＳ１へ戻る。ステップＳ６で製品として欠陥であると判断され、図２に示す欠陥抽出工程１８が終了する。その後は、検査に最適となっている検査パラメータを用いて、ワークＷの被検査対象部位Ｓの検査を行うことになる。
【００３７】
本発明に係る検査装置にて検査を行えば、検査パラメータ記憶手段６に記憶されている検査パラメータから所望の指定（調整）した検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を比較できる。このため、この検査パラメータに基づいた検査結果が正常か否かを判断できる。また、検査結果が正常であれば、この検査パラメータにおけるパラメータ基準が最適となる。これに対して、検査結果が正常でなければ、検査パラメータにおけるパラメータ基準が最適でないことになる。このため、検査パラメータにおけるパラメータ基準を変更（調整）してこの変更した検査パラメータにて、再度検査結果が正常か否かを判断できる。これによって、検査しようとする被検査対象部位Ｓに対して検査に最適となる検査パラメータに追い込むことができる。
【００３８】
このため、検査パラメータの変更（調整）による検査結果への影響範囲と結果の変化点が容易に確認できる。検査結果とそれに紐づくパラメータ値も記憶することができ、これによって、値に差異がある検査パラメータの特定が可能となる。また、検査パラメータも任意に変更（調整）可能であり、変更した検査パラメータを元の検査パラメータのパラメータ基準に戻すことがきる。しかも、画像表示手段８は、被検査対象部位の現在の画像を表示する検査画像表示部１０と、画像記憶手段にて記憶されている過去の画像を表示する過去画像表示部９とを有するものであり、これらに表示部９，１０の画像の比較が容易となる。
【００３９】
従って、本検査装置では、図３のフローチャートで示すように、検査パラメータの追い込みに費やす工数を適性化することができる。画像検査結果と目視検査結果の合わせ込みの工数を削減することができる。しかも、不良品を良品としての流出を防止でき、また、歩留まりの悪化が改善される。
【００４０】
現在の検査画像を被検査対象部位における過去の検査画像として、前記画像記憶手段５は記憶することができる。このように設定することによって、過去の検査画像のデータ数を増やすことができ、検査精度の向上を図ることができる。
【００４１】
また、被検査対象部位の現在の検査画像と過去の検査画像との相違箇所を、現在の検査画像及び／又は過去の検査画像に識別表示するように設定できる。図４では、識別表示として、両画像において欠陥３を有するパッド２を四角枠で囲っている。例えば、画面上において他の部位とが相違する色を着色したり、この相違箇所の周りが黒であれば、相違箇所を白としたりできる。このように構成することによって、相違箇所の確認性の向上を図ることができる。
【００４２】
前記相違箇所を他の部位と相違する色に着色表示されることによって、相違箇所の確認がより行いやすくなる。また、ワークＷに座標軸を設け、相違箇所をこの座標軸上に表すようにしてもよい。このように、座標位置で示すようにすれば、欠陥位置の特定が安定する。
【００４３】
被検査対象部位Ｓの現在の画像における過去の画像との相違箇所が、ワーク欠陥か否かを判断することができる。すなわち、相違箇所があっても、それが、このワークの欠陥でない場合がある。このような場合には、欠陥がないと判断できる。なお、欠陥がないとの判断は、判定基準（しきい値）を設定し、このしきい値を越えなければ、欠陥がないと判断する。
【００４４】
相違箇所がワーク欠陥であれば、前工程である製造工程のプロセス改善を行うことができる。すなわち、このようにプロセス改善を行うことによって、ワーク生産工程において、この検出されたワーク欠陥を生じるのを有効に防止できる。
【００４５】
本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、画像記憶手段５に記録される過去の検査画像や検査パラメータ記憶手段６に記憶される検査パラメータとしては、コンピュータネットワーク経由で制御手段１１に入力されるものであってもよい。また、検査パラメータを変更（調整）した場合、新たに画像を撮像することなく、画像の再検査も可能である。ワークＷの被検査対象部位Ｓとして、基板１のパッド２に限ることなく、回路パターン等であってもよい。
【００４６】
被検査対象部位Ｓの現在の検査画像と過去の検査画像との相違箇所を識別表示する場合、現在の検査画像側に識別表示したり、過去の検査画像側に識別表示したり、両画像側に識別表示したりできる。また、過去の検査画像と現在の検査画像とを比較する場合、前記実施形態では、作業者の目視で行っていたが、相違する場合、その相違部位を自動的に検出できる構成であってもよい。
【００４７】
ところで、前記実施形態として、異なる２つの時の検査画像は、現在の検査画像と、ある過去の検査画像であったが、現在の検査画像を用いることなく、ある過去の時の検査画像と、この過去よりもさらに過去の時の検査画像とを用いるものであってよい。また、異なる２つの時に限るものではなく、異なる２つ以上の時の検査画像を画像表示手段８に表示させるようにしてもよい。なお、図４においては、第１検査画像表示部を過去画像表示部９とし、第２検査画像表示部を検査画像表示部（現在画像表示部）１０としたが、逆に、第１検査画像表示部を検査画像表示部（現在画像表示部）１０し、第２検査画像表示部を過去画像表示部９としてもよい。
【符号の説明】
【００４８】
５     画像記憶手段
６     検査パラメータ記憶手段
７     撮像手段
８     画像表示手段
９     第１画像表示部（過去画像表示部）
１０   第２画像表示部（検査画像表示部）
Ｓ     被検査対象部位
Ｗ     ワーク
【図１】
2019178928.tif 000003
【図２】
2019178928.tif 000004
【図３】
2019178928.tif 000005
【図４】
2019178928.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】令和1年5月10日(2019.5.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの被検査対象部位の画像に基づいてその被検査対象部位における、２つの時の検査画像を比較する検査を行う検査装置であって、
ワークの被検査対象部位の検査画像を撮像する撮像手段と、
被検査対象部位における検査画像を記憶する画像記憶手段と、
被検査対象部位に対する検査パラメータを記憶する検査パラメータ記憶手段と、
検査パラメータ記憶手段に記憶されている検査パラメータを変更するパラメータ変更手
段と、
被検査対象部位の異なる２つの時の検査画像をそれぞれ表示する第１・第２検査画像表
示部を有する画像表示手段とを備え、
検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を第１・第２検査画像表示部にそれぞれ表示させ、異なる２つの時の検査画像を比較して、検査結果が正常か否かを判断し、検査結果が正常でない場合、パラメータ変更手段にて検査パラメータを調整して、この変更した検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を比較する前記検査を行うことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
被検査対象部位における検査画像を前記画像記憶手段は記憶していくことを特徴とする
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
被検査対象部位の第１検査画像表示部の検査画像と第２検査画像表示部の検査画像との
相違箇所を、第１検査画像表示部の検査画像及び／又は第２検査画像表示部の検査画像に
識別表示することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記相違箇所を他の部位と相違する色に着色されて表示されることを特徴とする請求項
３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記相違箇所を、ワーク上の座標位置で示すことを特徴とする請求項３又は請求項４に
記載の検査装置。
【請求項６】
ワークの被検査対象部位の画像に基づいてその被検査対象部位における、２つの時の検査画像を比較する検査を行う検査方法であって、
被検査対象部位の異なる２つの時の検査画像をそれぞれ表示する第１・第２検査画像表示部を有する画像表示手段を用い、所望の検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を第１・第２検査画像表示部にそれぞれ表示させ、この異なる２つの時の検査画像を比較して、検査結果が正常か否か判断し、検査結果が正常でない場合に、前記所望の検査パラメータを調整して、この調整した検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を順次比較する前記検査を行うことを特徴とする検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の検査装置は、ワークの被検査対象部位の画像に基づいてその被検査対象部位における、２つの時の検査画像を比較する検査を行う検査装置であって、ワークの被検査対象部位の検査画像を撮像する撮像手段と、被検査対象部位における検査画像を記憶する画像記憶手段と、被検査対象部位に対する検査パラメータを記憶する検査パラメータ記憶手段と、検査パラメータ記憶手段に記憶されている検査パラメータを変更するパラメータ変更手段と、被検査対象部位の異なる２つの時の検査画像をそれぞれ表示する第１・第２検査画像表示部を有する画像表示手段とを備え、検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を第１・第２検査画像表示部にそれぞれ表示させ、異なる２つの時の検査画像を比較して、検査結果が正常か否かを判断し、検査結果が正常でない場合、パラメータ変更手段にて検査パラメータを調整して、この変更した検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を比較する前記検査を行うものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の検査方法は、ワークの被検査対象部位の画像に基づいてその被検査対象部位における、２つの時の検査画像を比較する検査を行う検査方法であって、被検査対象部位の異なる２つの時の検査画像をそれぞれ表示する第１・第２検査画像表示部を有する画像表示手段を用い、所望の検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を第１・第２検査画像表示部にそれぞれ表示させ、この異なる２つの時の検査画像を比較して、検査結果が正常か否か判断し、検査結果が正常でない場合に、前記所望の検査パラメータを調整して、この調整した検査パラメータに基づいた異なる２つの時の検査画像を順次比較する前記検査を行うものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】