(57)【要約】【課題】大型で板厚偏差が小さいフロートガラスが得られる、フロートガラス製造方法の提供。【解決手段】溶融ガラスを浴槽内の溶融金属の上に連続的に供給し、前記溶融金属の上で前記溶融ガラスを流動させながらガラスリボンに成形し、前記ガラスリボンを徐冷炉内で搬送しながら徐冷するフロートガラス製造方法であって、前記溶融金属の上における前記ガラスリボンの幅方向中心の粘度が１０４．５ｄＰａ・ｓ以上１０７．５ｄＰａ・ｓ以下の領域を成形域と呼ぶときに、前記成形域における前記溶融金属の深さをＤ０（単位：ｍｍ）とし、前記徐冷炉における前記ガラスリボンの搬送速度をＶ（単位：ｍ／ｍｉｎ）として、下記式（１）を満たすことを特徴とするフロートガラス製造方法。Ｄ０≧１．０×Ｖ＋３０・・・（１）【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融ガラスを浴槽内の溶融金属の上に連続的に供給し、前記溶融金属の上で前記溶融ガラスを流動させながらガラスリボンに成形し、前記ガラスリボンを徐冷炉内で搬送しながら徐冷するフロートガラス製造方法であって、
前記溶融金属の上における前記ガラスリボンの幅方向中心の粘度が１０４．５ｄＰａ・ｓ以上１０７．５ｄＰａ・ｓ以下の領域を成形域と呼ぶときに、
前記成形域における前記溶融金属の深さをＤ０（単位：ｍｍ）とし、前記徐冷炉における前記ガラスリボンの搬送速度をＶ（単位：ｍ／ｍｉｎ）として、下記式（１）を満たすことを特徴とするフロートガラス製造方法。
Ｄ０≧１．０×Ｖ＋３０・・・（１）
【請求項２】
前記搬送速度Ｖが３〜１１ｍ／ｍｉｎである、請求項１に記載のフロートガラス製造方法。
【請求項３】
前記深さＤ０が３５〜６０ｍｍである、請求項１または２に記載のフロートガラス製造方法。
【請求項４】
前記搬送速度Ｖが４〜８ｍ／ｍｉｎであり、且つ、前記深さＤ０が３５〜５０ｍｍである、請求項１〜３のいずれか一項に記載のフロートガラス製造方法。
【請求項５】
前記溶融金属の上における前記ガラスリボンの幅方向外側において、前記溶融金属に浸された障壁で前記溶融金属の流れを遮る、請求項１〜４のいずれか一項に記載のフロートガラス製造方法。
【請求項６】
前記溶融金属の上方に設けられる複数のヒータを設けるヒータ領域を前記ガラスリボンの流れ方向に複数の列に分割し、各列を前記ガラスリボンの幅方向に区割りしてなる区画毎に、複数の前記ヒータを制御器で制御する、請求項１〜５のいずれか一項に記載のフロートガラス製造方法。
【請求項７】
縦方向寸法が２１００ｍｍ以上、横方向寸法が２２００ｍｍ以上および平均板厚が０．７５ｍｍ以下の平面視矩形状のフロートガラスであって、
面内全体における板厚の最大値と最小値との差が１２μｍ以下であることを特徴とするフロートガラス。
【請求項８】
縦方向寸法が２９００ｍｍ以上、横方向寸法が３０００ｍｍ以上である、請求項７に記載のフロートガラス。
【請求項９】
前記平均板厚が０．４５ｍｍ以下である、請求項７または８に記載のフロートガラス。
【請求項１０】
酸化物基準の質量％表示で、
ＳｉＯ２：５４〜６６％
Ａｌ２Ｏ３：１０〜２３％
Ｂ２Ｏ３：０〜１２％
ＭｇＯ：０〜１２％
ＣａＯ：０〜１５％
ＳｒＯ：０〜１６％
ＢａＯ：０〜１５％
ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：８〜２６％
を含有する無アルカリガラスで構成される、請求項７〜９のいずれか１項に記載のフロートガラス。
【請求項１１】
前記無アルカリガラスは、酸化物基準の質量％表示で、Ｂ２Ｏ３の含有量が５％以下である、請求項１０に記載のフロートガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フロートガラス製造方法、およびフロートガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス基板の面内全体での板厚偏差は、フォトリソグラフィ工程における露光機の焦点ずれに影響する。ＦＰＤ用ガラス基板、特に液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用ガラス基板は、板厚偏差に対する要求が厳しく、例えば１５００ｍｍの範囲で２０μｍ以下であることが求められる。板厚偏差とは、板厚の最大値と板厚の最小値との差のことである。
【０００３】
板厚偏差を低減する方法として、特許文献１には、フロートバスのヒータ領域をガラスリボンの流動方向および幅方向に区画し、各区画に複数のヒータを設け、複数のヒータを区画毎に制御する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１３９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、ＦＰＤの大型化の需要が高まり、ＦＰＤ用ガラス基板の大型化が望まれている。しかし、ガラス基板の大型化と板厚偏差の低減を両立するのは容易でない。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、大型で板厚偏差が小さいフロートガラスが得られる、フロートガラス製造方法の提供を主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、
溶融ガラスを浴槽内の溶融金属の上に連続的に供給し、前記溶融金属の上で前記溶融ガラスを流動させながらガラスリボンに成形し、前記ガラスリボンを徐冷炉内で搬送しながら徐冷するフロートガラス製造方法であって、
前記溶融金属の上における前記ガラスリボンの幅方向中心の粘度が１０４．５ｄＰａ・ｓ以上１０７．５ｄＰａ・ｓ以下の領域を成形域と呼ぶときに、
前記成形域における前記溶融金属の深さをＤ０（単位：ｍｍ）とし、前記徐冷炉における前記ガラスリボンの搬送速度をＶ（単位：ｍ／ｍｉｎ）として、下記式（１）を満たすことを特徴とするフロートガラス製造方法が提供される。
Ｄ０≧１．０×Ｖ＋３０・・・（１）
が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一態様によれば、大型で板厚偏差が小さいフロートガラスが得られる、フロートガラス製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、一実施形態によるフロートガラス製造装置の断面図である。
【図２】図２は、図１のII−II線に沿ったフロートガラス製造装置の断面図である。
【図３】図３は、一実施形態による浴槽、ガラスリボンおよびトップロールを示す平面図である。
【図４】図４は、実施例１による溶融金属の深さを示す断面図である。
【図５】図５は、変形例による浴槽、ガラスリボン、トップロールおよび障壁を示す平面図である。
【図６】図６は、図５に示す障壁の断面図である。
【図７】図７は、一実施形態によるヒータ制御区画の配置を示す平面図である。
【図８】図８は、実施例１〜５および比較例１〜３における搬送速度Ｖと深さＤとの関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。各図面において、同一の又は対応する構成には、同一の又は対応する符号を付して説明を省略する。
【００１１】
（フロートガラス製造装置の概略）
図１は、一実施形態によるフロートガラス製造装置の断面図である。図２は、図１のII−II線に沿ったフロートガラス製造装置の断面図である。図１および図２において、図３に示すトップロール６０の図示を省略する。図３は、一実施形態による浴槽、ガラスリボンおよびトップロールを示す平面図である。各図面において、Ｘ方向はガラスリボン６の流動方向、Ｙ方向はガラスリボン６の幅方向、Ｚ方向は鉛直方向である。Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、互いに垂直な方向である。
【００１２】
フロートガラス製造装置１０は、溶融ガラス４が浮かぶ溶融金属２を収容する浴槽２０を有する。溶融金属２としては、代表的には溶融スズまたは溶融スズ合金が用いられる。溶融ガラス４は、浴槽２０に収容される溶融金属２の上に連続的に供給され、溶融金属２の上において上流側から下流側に流動されながら板状のガラスリボン６に成形される。ガラスリボン６は、溶融金属２の液面上を矢印Ａ方向に流動しながら徐々に冷却され固くなる。ガラスリボン６は、浴槽２０の下流域において溶融金属２から引き上げられ、続いて徐冷炉７０の入口から出口に向かって徐冷炉７０内を搬送されながら徐冷される。徐冷炉７０で徐冷されたガラスリボン６を所定の寸法に切断することで、ガラス板（フロートガラス）が製造される。
【００１３】
フロートガラス製造装置１０は、浴槽２０の上方に設けられる天井３０と、天井３０から吊り下げられる複数のヒータ４０と、複数のヒータ４０を制御する複数の制御器５０とを有する。複数のヒータ４０は、複数の制御器５０の制御下で、下方を通過するガラスリボン６を加熱する。各ヒータ４０には、例えば、通電加熱される電気ヒータが使用される。各ヒータ４０の形状は、特に限定されないが、例えば棒状であってよい。各ヒータ４０の発熱量を制御することによって、ガラスリボン６の温度分布が制御される。複数の制御器５０は、複数のヒータ４０の発熱量を制御する機器である。各制御器５０は、マイクロコンピュータなどで構成される。
【００１４】
フロートガラス製造装置１０は、ガラスリボン６の流動方向に沿って間隔をおいて設けられ、ガラスリボン６の幅方向両端部を支持する複数対のトップロール６０（図３参照）を有する。複数対のトップロール６０は、ガラスリボン６の幅方向両端部を支持することにより、ガラスリボン６の幅が表面張力によって狭まるのを抑制する。各トップロール６０は、ガラスリボン６の幅方向端部を支持する円盤状のトップロール本体６１と、トップロール本体６１に連結される回転軸６２とで構成される。円盤状のトップロール本体６１と回転軸６２とは同軸的に設けられる。回転軸６２を電気モータなどの駆動装置で回転駆動させると、トップロール本体６１が回転してガラスリボン６を下流側に送り出す。
【００１５】
（浴槽）
浴槽２０は、図３に示すように、下流端から上流側に向けて、浴槽２０の幅方向寸法が一定であるナロー域Ａ１、浴槽２０の幅方向寸法が徐々に大きくなる中間域Ａ２、浴槽２０の幅方向寸法がナロー域Ａ１よりも大きく且つ一定であるワイド域Ａ３をこの順で有する。ワイド域Ａ３のＸ方向寸法Ｘ１は、例えば、浴槽２０に収容されている溶融金属２のＸ方向寸法Ｘ０の３０％以上８０％以下である。
【００１６】
複数対のトップロール６０は、ワイド域Ａ３においてガラスリボン６の幅方向両端部を支持する。各トップロール本体６１とガラスリボン６との接触点は、成形域Ａ４の上流端から成形域Ａ４の下流端までの間に間隔をおいて設けられる。成形域Ａ４とは、ガラスリボン６の幅方向中心（Ｙ方向中心）の粘度が１０４．５ｄＰａ・ｓ以上１０７．５ｄＰａ・ｓ以下の領域である。
【００１７】
浴槽２０は、図２に示すように、箱状の金属ケーシング２１と、金属ケーシング２１の底面に載置され溶融金属２の側面に接する複数のサイド煉瓦２２と、金属ケーシング２１の底面に載置され溶融金属２の下面に接する複数のボトム煉瓦２３とを有する。複数のサイド煉瓦２２は、金属ケーシング２１の側面に近接して並べられ、複数のボトム煉瓦２３は、複数のサイド煉瓦２２の内側にＸ方向およびＹ方向に並べられる。
【００１８】
Ｙ方向に隣り合うボトム煉瓦２３の間には、目地２４が形成される。目地２４とは隙間のことである。目地２４への溶融金属２の流れ込みを防止することは困難である。目地２４に流れ込んだ溶融金属２は、金属ケーシング２１の底面まで達する。
【００１９】
金属ケーシング２１と溶融金属２との反応を抑制するため、金属ケーシング２１の下方には金属ケーシング２１の下面に空気などの冷却ガスを吹き付ける冷却ノズル２５が設けられる。冷却ノズル２５は、冷却ガスを矢印Ｂ方向（上向き）に噴射する。これにより、金属ケーシング２１の温度を溶融金属２の融点以下に低減でき、溶融金属２と金属ケーシング２１との反応を抑制できる。
【００２０】
図４は、実施例１による溶融金属の深さを示す断面図である。なお、図４は、金属ケーシング２１、およびボトム煉瓦２３の下部を省略したものである。本明細書において溶融金属２の深さＤとは、図２に示すように、溶融金属２の液面（上面）からボトム煉瓦２３の上面までの距離のことであり、ガラスリボン６とサイド煉瓦２２との間（より詳細にはガラスリボン６の幅方向外側で且つサイド煉瓦２２の幅方向内側）において測定する。
【００２１】
図４に示すように、溶融金属２の深さＤは、溶融金属２の上流端から溶融金属２の下流端にかけて変化してよい。溶融金属２の深さＤは、できるだけ浅く設定される。溶融金属２の使用量を必要最小限に抑え、フロートガラスの製造コストを低減するためである。
【００２２】
本実施形態では、成形域Ａ４における溶融金属２の深さＤ０（図４参照）は、徐冷炉７０におけるガラスリボン６の搬送速度Ｖに基づき設定され、下記式（１）を満たすように設定される。
Ｄ０≧１．０×Ｖ＋３０・・・（１）
上記式（１）において、Ｄ０の単位はｍｍであり、Ｖの単位はｍ／ｍｉｎである。Ｖは、フロートガラスの厚さ等に応じて設定され、例えば３〜１１ｍ／ｍｉｎである。Ｄ０は、例えば３５〜６０ｍｍである。好ましくは、Ｖは４〜８ｍ／ｍｉｎであり、且つＤ０は３５〜５０ｍｍである。Ｄ０は、さらに好ましくは３５〜４５ｍｍである。
【００２３】
上記式（１）が成立すると、ガラスリボン６の寸法や形状を整える成形域Ａ４において、図３に矢印Ｃで示す溶融金属２の逆流する流速を低減できる。その結果、溶融金属２の逆流によるガラスリボン６の寸法や形状の崩れを抑制することができ、大型で板厚偏差が小さいフロートガラスを得ることができる。
【００２４】
先ず、図３に矢印Ｃで示す溶融金属２の逆流が生じる理由について説明する。徐冷炉７０においてガラスリボン６を搬送速度Ｖで搬送すると、成形域Ａ４よりも下流では搬送速度Ｖと同じ速度でガラスリボン６が溶融金属２上で徐冷炉７０に向って流動する。このとき、ガラスリボン６直下の溶融金属２が、ガラスリボン６に引き摺られ、ガラスリボン６と同じ速度で徐冷炉７０に向って流動する。その溶融金属２の流れは、浴槽２０の下流端において遮られ、向きを反転する。その結果、ガラスリボン６の幅方向外側において、溶融金属２の逆流が生じる。
【００２５】
次に、溶融金属２の逆流する体積流量Ｑについて説明する。溶融金属２の逆流は、上述の如く、ガラスリボン６が溶融金属２を引き摺ることによって生じる。そのため、体積流量Ｑは、ガラスリボン６の搬送速度Ｖおよびガラスリボン６の幅方向寸法に比例する。体積流量Ｑは、溶融金属２の深さＤにはほとんど依存しない。溶融金属２のうち、ガラスリボン６に引き摺られるのは、ガラスリボン６近傍の部分のみのためである。
【００２６】
次に、溶融金属２の逆流する流速ｕについて説明する。一般的に、流速ｕと断面積ＳＡとの積が体積流量Ｑ（＝ｕ×ＳＡ）である。ここで、Ｑの単位はｍ３／ｓであり、ｕの単位はｍ／ｓであり、ＳＡの単位はｍ２である。溶融金属２の逆流する流路の断面積ＳＡは、溶融金属２の深さＤ（図２参照）と、ガラスリボン６とサイド煉瓦２２とのＹ方向における間隔Ｗ（図２参照）との積の２倍（ＳＡ＝Ｄ×Ｗ×２×１０−３）で表される。なお、この式におけるＤの単位はｍｍであり、Ｗの単位はｍである。ＤとＷの積を２倍するのは、溶融金属２の逆流する流路がガラスリボン６を幅方向に挟んで両側に設けられるためである。そうすると、体積流量Ｑ＝ｕ×Ｄ×Ｗ×２×１０−３となる。一方、体積流量Ｑは、上述の如く、ガラスリボン６の搬送速度Ｖに比例する。従って、Ｗが一定の場合、流速ｕはＶ／Ｄに比例することが分かる。
【００２７】
本発明者は、流速ｕがＶ／Ｄに比例する点に着目し、溶融金属２の逆流によるガラスリボン６の寸法や形状の崩れを抑制するためのＶとＤとの関係を一次方程式で表すことができると考え、実験等により上記式（１）の関係式を得た。なお、具体的な実験については、実施例の欄で説明する。
【００２８】
上記式（１）が成立すると、上述の如く、ガラスリボン６の寸法や形状を整える成形域Ａ４において、図３に矢印Ｃで示す溶融金属２の逆流する流速ｕを低減できる。その結果、溶融金属２の逆流によるガラスリボン６の寸法や形状の崩れを抑制することができ、大型で板厚偏差が小さいフロートガラスを得ることができる。
【００２９】
この効果は、ガラスリボン６の幅方向寸法が大きいほど顕著に得られる。溶融金属２の逆流する体積流量Ｑは、ガラスリボン６の幅方向寸法に比例するためである。本実施形態によれば、縦方向寸法が２１００ｍｍ以上、横方向寸法が２２００ｍｍ以上および平均板厚が０．７５ｍｍ以下の平面視矩形状のフロートガラスであって、面内全体における板厚の最大値と最小値との差が１２μｍ以下であるフロートガラスが得られる。ここで、縦方向寸法とは平面視矩形状のフロートガラスの短辺方向寸法のことであり、横方向寸法とは平面視矩形状のフロートガラスの長辺方向寸法のことである。平面視とは、図３等ではＺ方向から見ることを意味する。
【００３０】
本実施形態では、ＨＯＴ領域Ａ５（図４参照）における溶融金属２の深さＤ１（図４参照）は、例えば成形域Ａ４における溶融金属２の深さＤ０の１．６倍以上２．０倍以下である。ＨＯＴ領域Ａ５とは、溶融ガラス４が重力作用によって溶融金属２上で拡がる領域のことである。Ｄ１がＤ０の１．６倍以上であると、溶融ガラス４の注ぎ込みによる溶融ガラス４とボトム煉瓦２３との接触を抑制できる。また、Ｄ１がＤ０の２．０倍以下であると、無駄な溶融金属２の使用を抑制でき、フロートガラスの製造コストを低減できる。
【００３１】
本実施形態では、ナロー域Ａ１（図４参照）の上流端における溶融金属２の深さＤ２（図４参照）は、例えば成形域Ａ４における溶融金属２の深さＤ０の２．０倍以上２．５倍以下である。Ｄ２がＤ０の２．０倍以上であると、熱伝導率の高い溶融金属２の深さＤが深くなり、熱伝導率の低いボトム煉瓦２３の厚さが薄くなるため、ボトム煉瓦２３の下方に設置される冷却ノズル２５（図１および図２参照）によってガラスリボン６が冷えやすく固まりやすい。また、Ｄ２がＤ０の２．５倍以下であると、無駄な溶融金属２の使用を抑制でき、フロートガラスの製造コストを低減できる。
【００３２】
図５は、変形例による浴槽、ガラスリボン、トップロールおよび障壁を示す平面図である。図６は、図５に示す障壁の断面図である。図５および図６に示す浴槽２０は、図４に示す浴槽２０とは、障壁２７が取り外し可能に取り付けられる点で相違する。以下、相違点について主に説明する。
【００３３】
障壁２７は、溶融金属２上におけるガラスリボン６の幅方向外側において溶融金属２の流れを遮り、成形域Ａ４における溶融金属２の逆流する流速を低減する。その結果、溶融金属２の逆流によるガラスリボン６の寸法や形状の崩れをより抑制することができ、大型で板厚偏差が小さいフロートガラスを得ることができる。障壁２７は、図５に示すように、ワイド域Ａ３のうち、成形域Ａ４よりも下流に設けられてよい。
【００３４】
障壁２７は、図６に示すように、ボトム煉瓦２３の上面から溶融金属２の液面まで溶融金属２のＺ方向全体に亘って設けられ、さらに溶融金属２の液面から上方に突出して設けられる。なお、障壁２７は、溶融金属２のＺ方向一部のみに設けられてもよい。その場合、障壁２７は、ボトム煉瓦２３の上面と接するように設けられてよい。溶融金属２の逆流は、溶融金属２を引き摺るガラスリボン６から離れた領域で生じやすく、ボトム煉瓦２３の上面付近で生じやすいためである。
【００３５】
障壁２７は、例えばカーボンなどで形成され、溶融金属２に浸漬される。障壁２７の密度が溶融金属２の密度よりも低い場合、密度差によって障壁２７が浮き上がらないように障壁２７を押さえる押さえ部材２８（図６参照）がサイド煉瓦２２に固定されてもよい。
【００３６】
（ヒータ）
図７は、一実施形態によるヒータ制御区画の配置を示す平面図である。図７には、ワイド域Ａ３におけるヒータ制御区画の配置を図示し、中間域Ａ２やナロー域Ａ１におけるヒータ制御区画の配置の図示を省略する。ワイド域Ａ３のみならず、中間域Ａ２やナロー域Ａ１にもヒータ４０を設けてよい。
【００３７】
図７に示すように、複数のヒータ４０を設けるヒータ領域は、Ｘ方向に複数のヒータ制御列４１に分割される。各ヒータ制御列４１は、Ｙ方向に複数のヒータ制御区画４２に区割りされる。なお、ヒータ制御列４１の数は、図７に示すものには限定されない。また、各ヒータ制御列４１におけるヒータ制御区画４２の数は、図７に示すものには限定されない。
【００３８】
各ヒータ制御区画４２には、それぞれ、複数のヒータ４０が設けられており、対応する１つの制御器５０（図１参照）によって一括制御される。これにより、制御器５０の数を低減することができる。なお、１つのヒータ制御区画４２に設けられる複数のヒータ４０は、それぞれの発熱量が略同一となるように、対応する１つの制御器５０によって一括制御される。
【００３９】
Ｘ方向に隣接する２つのヒータ制御列４１は、１本の分割線４５で分割されている。この分割線４５は、Ｘ方向に隣り合う実際のヒータ４０間のほぼ中央に位置する。一方、Ｙ方向に隣接する２つのヒータ制御区画４２は、１本の区割り線４６で分割されている。この区割り線４６は、Ｙ方向に隣り合う実際のヒータ４０間のほぼ中央に位置する。
【００４０】
ところで、１つのヒータ制御列４１において、Ｙ方向に隣接する２つのヒータ制御区画４２で、単位面積あたりの発熱量が異なると、区割り線４６付近においてＹ方向に急激な温度変化が生じる。
【００４１】
そこで、本実施形態では、少なくとも一つの分割線４５において、上流側のヒータ制御列４１の区割り線４６と、下流側のヒータ制御列４１の区割り線４６とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。例えば、上流側（図７では左側）からｍ番目の分割線４５−ｍにおいて、上流側からｍ番目のヒータ制御列４１−ｍの区割り線４６と、上流側からｍ＋１番目のヒータ制御列４１−ｍ＋１の区割り線４６とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。ここで、ｍは、１以上の少なくとも１つの自然数であって、例えば図７では１以上６以下の任意の自然数である。
【００４２】
ガラスリボン６のうち、ｍ番目のヒータ制御列４１−ｍにおいて温度変化が急激な区割り線４６の下方を通過した部位は、続くｍ＋１番目のヒータ制御列４１−ｍ＋１において温度変化が緩やかなヒータ制御区画４２の下方を通過する。従って、ガラスリボン６のＹ方向における温度ムラを抑制でき、ガラスリボン６のＹ方向における板厚ムラを低減できる。
【００４３】
本実施形態では、Ｚ方向視で、ワイド域Ａ３において、少なくとも一つの分割線４５では、上流側のヒータ制御列４１の区割り線４６と、下流側のヒータ制御列４１の区割り線４６とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。ワイド域Ａ３は中間域Ａ２やナロー域Ａ１に比べて高温であり、ワイド域Ａ３においてガラスリボン６の寸法や形状の調整が行われるためである。中間域Ａ２やナロー域Ａ１では、ガラスリボン６の粘度が高いため、ガラスリボン６の寸法や形状の調整は困難である。
【００４４】
本実施形態では、Ｚ方向視で、成形域Ａ４において、少なくとも一つの分割線４５では、上流側のヒータ制御列４１の区割り線４６と、下流側のヒータ制御列４１の区割り線４６とが、１箇所以上で不連続とされ、１箇所以上でずれる。ワイド域Ａ３の中でも成形域Ａ４において、トップロール６０を用いてガラスリボン６の寸法や形状の調整が行われるためである。
【００４５】
各ヒータ制御列４１において、複数の区割り線４６は、浴槽２０のＹ方向中心線２０Ｌを中心に線対称に設けられてよい。これにより、溶融金属２の温度分布、ひいてはガラスリボン６の温度分布を、浴槽２０のＹ方向中心線２０Ｌを中心に線対称にすることができる。その結果、ガラスリボン６の板厚分布の制御が容易である。
【００４６】
（フロートガラス）
フロートガラスは、平面視形状が矩形状、縦方向寸法が２１００ｍｍ以上、横方向寸法が２２００ｍｍ以上および平均板厚が０．７５ｍｍ以下である。フロートガラスの面内全体における板厚の最大値と最小値との差は、１２μｍ以下である。このフロートガラスをＦＰＤ用ガラス基板に使用すれば、大面積の面内全体での板厚偏差を低減でき、露光装置の焦点ずれを抑制できる。なお、平面視矩形状のフロートガラスは、コーナーカット用の砥石によって角部が研削加工されたフロートガラスを含む。この研削加工部分をコーナーカット部と呼び、コーナーカット部の大きさは、例えば数ｍｍである。
【００４７】
フロートガラスは、好ましくは、縦方向寸法が２９００ｍｍ以上であり、横方向寸法が３０００ｍｍ以上である。
【００４８】
フロートガラスの平均板厚は、好ましくは０．４５ｍｍ以下である。
【００４９】
フロートガラスは、例えば、酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ２：５４〜６６％、Ａｌ２Ｏ３：１０〜２３％、Ｂ２Ｏ３：０〜１２％、ＭｇＯ：０〜１２％、ＣａＯ：０〜１５％、ＳｒＯ：０〜１６％、ＢａＯ：０〜１５％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：８〜２６％を含有する無アルカリガラスで構成される。ここで、「ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ」とは、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯの総含有量を意味する。また、「無アルカリガラス」とは、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２ＯおよびＫ２Ｏ等のアルカリ金属酸化物の総含有量が０．１質量％未満であることを意味する。無アルカリガラスは、好ましくは、酸化物基準の質量％表示で、Ｂ２Ｏ３の含有量が５％以下である。
【実施例】
【００５０】
以下、実施例および比較例を用いて本発明をさらに説明する。なお、本発明はこれらの記載に限定されるものではない。実施例および比較例において、縦方向はＸ方向、横方向はＹ方向にそれぞれ対応する。
【００５１】
図８は、実施例１〜５および比較例１〜３における搬送速度Ｖと深さＤとの関係を示す図である。実施例１〜５および比較例１〜３の実験条件および実験結果を表１および図８に示す。また、実施例１〜５および比較例１〜３で用いた硝材１〜３の化学組成を表２に示す。
【００５２】
【表１】
2019094245.tif 000003
【００５３】
【表２】
2019094245.tif 000004
【００５４】
［実施例１〜５］
実施例１では、図３および図４に示す浴槽２０を有するフロートガラス製造装置１０を用いて、幅方向寸法が４０００ｍｍ以上のガラスリボン６を製造した。ガラスリボンの原料である硝材は、表２に示す硝材１を用いた。溶融金属２である溶融スズの成形域Ａ４での深さＤ０は３８ｍｍとした。また、徐冷炉７０におけるガラスリボン６の搬送速度Ｖは４．２ｍ／ｍｉｎとした。
【００５５】
製造したガラスリボン６から、横方向寸法２５００ｍｍのフロートガラスおよび横方向寸法３５００ｍｍのフロートガラスを切り出した。各フロートガラスは、ガラスリボンの幅方向中心線を中心に左右対称に切り出した。各フロートガラスの平均板厚は０．５０ｍｍであった。
【００５６】
実施例２〜４では、それぞれ、溶融スズの使用量を増減させて溶融スズの成形域Ａ４での深さＤ０を３７ｍｍ、３９ｍｍ、４０ｍｍに設定変更すると共に、徐冷炉７０におけるガラスリボン６の搬送速度Ｖを大きくして４．９ｍ／ｍｉｎ、５．３ｍ／ｍｉｎ、６．７ｍ／ｍｉｎに設定変更した以外、実施例１と同じ条件でフロートガラスを得た。
【００５７】
実施例５では、硝材として表２に示す硝材３を用い、溶融スズの使用量を増やして溶融スズの成形域Ａ４での深さＤ０を４５ｍｍに設定変更すると共に、徐冷炉７０におけるガラスリボン６の搬送速度Ｖを大きくして１０ｍ／ｍｉｎに設定変更した以外、実施例１と同じ条件でフロートガラスを得た。
【００５８】
［比較例１〜３］
比較例１では、溶融スズの使用量を減らして溶融スズの成形域Ａ４での深さＤ０を３３ｍｍに設定変更すると共に、徐冷炉７０におけるガラスリボン６の搬送速度Ｖを大きくして４．９ｍ／ｍｉｎに設定変更した以外、実施例１と同じ条件でフロートガラスを得た。
【００５９】
比較例２では、硝材として表２に示す硝材２を用い、溶融スズの使用量を減らして溶融スズの成形域Ａ４での深さＤ０を３５．５ｍｍに設定変更すると共に、徐冷炉７０におけるガラスリボン６の搬送速度Ｖを大きくして７．６ｍ／ｍｉｎに設定変更した以外、実施例１と同じ条件でフロートガラスを得た。
【００６０】
比較例３では、硝材として表２に示す硝材３を用い、徐冷炉７０におけるガラスリボン６の搬送速度Ｖを大きくして１０．３ｍ／ｍｉｎに設定変更した以外、実施例１と同じ条件でフロートガラスを得た。
【００６１】
［まとめ］
表１および図８から明らかなように、実施例１〜５では、比較例１〜３とは異なり、上記式（１）を満たす条件実験を行ったため、大型で板厚偏差が小さいフロートガラスを得ることができた。具体的には、横方向寸法２５００ｍｍのフロートガラスおよび横方向寸法３５００ｍｍのフロートガラスで、板厚偏差が１２μｍ以下であった。
【００６２】
以上、フロートガラス製造方法、およびフロートガラスなどの実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態などに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、改良が可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１０  フロートガラス製造装置
２０  浴槽
２１  金属ケーシング
２２  サイド煉瓦
２３  ボトム煉瓦
２５  冷却ノズル
３０  天井
４０  ヒータ
４１  ヒータ制御列
４２  ヒータ制御区画
４５  分割線
４６  区割り線
５０  制御器
６０  トップロール
７０  徐冷炉
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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