(57)【要約】【課題】アウターライナーへの蒸着物の堆積量を低減することが可能な間接加熱蒸着源を提供する。【解決手段】間接加熱蒸着源２１は、蒸着材料４を充填した容器（ライナー２２）を電子源６から放出された熱電子により加熱し、蒸着材料４を加熱蒸発させるものであり、アウターライナー３１と、インナーライナー３２と、電子源６と、リフレクター２３とを備える。インナーライナー３２は、アウターライナー３１の内側に配置され、蒸着材料４が充填される。電子源６は、アウターライナーを電子衝撃加熱するための電子を供給する。リフレクター２３は、インナーライナー３２とアウターライナー３１との間に配置され、アウターライナー３１から放出される輻射熱を反射する。【選択図】図２
2019002038.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着材料を充填した容器を電子源から放出された熱電子により加熱し、蒸着材料を加熱蒸発させる間接加熱蒸着源において、
アウターライナーと、
前記アウターライナーの内側に配置され、前記蒸着材料が充填されるインナーライナーと、
前記アウターライナーを電子衝撃加熱するための電子を供給する前記電子源と、
前記インナーライナーと前記アウターライナーとの間に配置され、前記アウターライナーから放出される輻射熱を反射するリフレクターと、を備える
ことを特徴とする間接加熱蒸着源。
【請求項２】
前記リフレクターは、前記アウターライナーの前記熱電子が照射される電子照射部分と、前記インナーライナーの前記電子照射部分に対向する対向部分との間に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の間接加熱蒸着源。
【請求項３】
前記リフレクターは、複数設けられており、
複数のリフレクターは、適当な距離を空けて並んでいる
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の間接加熱蒸着源。
【請求項４】
前記アウターライナーの外壁面に対向する外側リフレクターを備える
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の間接加熱蒸着源。
【請求項５】
前記外側リフレクターの上端の高さは、前記アウターライナーの上端の高さ以下である
ことを特徴とする請求項４に記載の間接加熱蒸着源。
【請求項６】
前記電子源は、熱電子を加速して前記アウターライナーに照射することにより、前記アウターライナーを加熱する
ことを特徴とする請求項１に記載の間接加熱蒸着源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着材料を充填した容器を電子ビーム衝撃（ボンバード）により加熱し、蒸着材料を加熱、蒸発させる間接加熱蒸着源に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、真空チャンバー内に基板を配置して、この基板に向けて蒸着源を設置した蒸着装置が知られており、間接加熱蒸着源としては、蒸着材料を充填した容器に電子ビーム（熱電子）を放出する電子線衝撃型蒸着源がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載された電子線衝撃型蒸着源では、フィラメント５と坩堝１との間に可変電圧電源２２が接続されている。可変電圧電源２２は、坩堝１側が正になるような加速電圧をフィラメント５に印加する。これにより、フィラメント５から放出された熱電子ｅ−が加速され、坩堝１の底面に衝突して、坩堝１が加熱される。その結果、坩堝１中の蒸発材料２が加熱、溶融、蒸発され、蒸発材料２の蒸気が基板１７の表面に凝着して薄膜が形成される。
【０００４】
また、間接加熱蒸着源としては、図１に示すような間接加熱蒸着源１がある。間接加熱蒸着源１は、ライナー２と、ホルダー３と、電子源６とを備えている。ライナー２は、アウターライナー１１と、インナーライナー１２とを有している。アウターライナー１１は、モリブデンやセラミックスなどの高融点材料からなり、有底の筒状に形成されている。また、アウターライナー１１は、ホルダー３に保持されている。
【０００５】
インナーライナー１２は、有底の筒状に形成されている。インナーライナー１２の底部１２ａの径は、アウターライナー１１における底部１１ａの径よりも小さく設定されており、インナーライナー１２は、アウターライナー１１の内側に収容されている。インナーライナー１２には、蒸着材料４が充填される。そのため、インナーライナー１２は、蒸着材料４との反応性が低い材料により形成されている。
【０００６】
電子源６は、アウターライナー１１の下方に配置されており、タングステン材からなるフィラメントを有している。このフィラメントに不図示の外部加熱電源から所定の値の電流が供給されると、フィラメントは、ジュール加熱により熱電子放出が可能な温度に加熱される。
【０００７】
フィラメントが熱電子放出可能な温度まで加熱されると、フィラメントから放出された熱電子は、電界により加速され、アウターライナー１１が電子衝撃加熱される。インナーライナー１２は、アウターライナー１１からの熱伝導或いは熱輻射により加熱され、蒸着材料４は、インナーライナー１２からの熱伝導或いは熱輻射により加熱され、蒸発する。
【０００８】
図１に示すような間接加熱蒸着源１では、蒸着材料４がインナーライナー１２に対して濡れ性が高い場合に、溶融した蒸着材料４がインナーライナー１２の壁面に濡れ広がり、インナーライナー１２の外壁面まで到達する。そして、溶融した蒸着材料４がインナーライナー１２の外壁面まで到達すると、アウターライナー１１からの輻射熱により加熱されて蒸発する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−３７１３５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、電子衝撃間接加熱蒸着源では、アウターライナー１１の直下から熱電子を照射するため、インナーライナー１２の底部が最も効率的に加熱される。そして、壁面の加熱効率が相対的に低くなる。アウターライナー１１の上部の温度が低い場合は、インナーライナー１２の外壁面に達した蒸着材料４が、アウターライナー１１の上部の輻射熱では蒸発せずに、インナーライナー１２の外壁面を伝って下部まで入り込んでしまう。
【００１１】
インナーライナー１２の下部まで入り込んだ蒸着材料４は、アウターライナー１１の下部の輻射熱により蒸発し、アウターライナー１１に蒸着される。その結果、アウターライナー１１とインナーライナー１２との間に蒸着物が堆積し、蒸着物とアウターライナー１１とが化学反応を起こすことにより、アウターライナー１１が浸食されるという問題があった。
【００１２】
本発明は、上記状況に鑑みてなされたものであり、アウターライナーへの蒸着物の堆積量を低減することが可能な間接加熱蒸着源を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の間接加熱蒸着源の一態様は、蒸着材料を充填した容器を電子源から放出された熱電子により加熱し、蒸着材料を加熱蒸発させるものであり、アウターライナーと、インナーライナーと、電子源と、リフレクターとを備える。インナーライナーは、アウターライナーの内側に配置され、蒸着材料が充填される。電子源から放出された熱電子は、加速され、アウターライナーを電子衝撃加熱する。リフレクターは、インナーライナーとアウターライナーとの間に配置され、アウターライナーから放出される輻射熱を反射する。
【発明の効果】
【００１４】
上述のように、本発明の一態様は、インナーライナーとアウターライナーとの間に配置されたリフレクターがインナーライナーへの熱の到達を妨げる。これにより、所定の蒸着速度を得るために電子の照射量を多くすることになり、アウターライナー全体の温度が高くなる。その結果、インナーライナーの外壁面まで達した蒸着材料が、アウターライナーの上部の輻射熱で蒸発する。したがって、インナーライナー１２の下部まで蒸着材料が入り込まないようにして、アウターライナーへの蒸着物の堆積量を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】従来の間接加熱蒸着源の概略構成図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る間接加熱蒸着源の概略構成図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る間接加熱蒸着源における電子源の構成を示す説明図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る間接加熱蒸着源の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態の例について、添付図面を参照しながら説明する。なお、各図において実質的に同一の機能又は構成を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００１７】
＜第１の実施形態＞
［間接加熱蒸着源の構成］
まず、第１の実施形態に係る間接加熱蒸着源の構成について、図２を参照して説明する。
図２は、本発明の第１の実施形態に係る間接加熱蒸着源の概略構成図である。
【００１８】
図２に示す間接加熱蒸着源２１は、真空チャンバー内に設置され、容器に充填された蒸着材料を加熱、蒸発させて基板に蒸着させる。
間接加熱蒸着源２１は、容器の第１の具体例を示すライナー２２と、容器保持部の一具体例を示すホルダー３と、複数のリフレクター２３と、電子源６を備えている。
【００１９】
ホルダー３は、円形の板状に形成されており、ライナー２２を貫通させる保持用孔３ａを有している。ホルダー３の材料は、熱抵抗の大きいものであればよい。したがって、ホルダー３には、ライナー２２の熱が伝達され難くなっている。なお、図２では、ホルダー３が１つの保持用孔３ａを有しているが、本発明に係るホルダー（容器保持部）としては、複数の保持用孔を有し、複数のライナー（容器）を保持するものであってもよい。
【００２０】
ホルダー３の中心部には、駆動機構の一具体例を示す回転駆動軸１４が接続されている。回転駆動軸１４は、ホルダー３を回転駆動させて、ホルダー３に保持されたライナー２２を水平方向に移動させる。この回転駆動軸１４は、回転機能を損なわないよう冷却されている。
【００２１】
電子源６は、ホルダー３の下方において、ライナー２２の回転軌道上の任意の位置に配置されている。これにより、ホルダー３に保持されたライナー２２がる蒸着位置に配置されると、ライナー２２は、電子源６の上方に位置する。なお、電子源６の構成及び回路については、後で図３を参照して説明する。
【００２２】
ホルダー３の上方には、基板保持部１５が配置されている。この基板保持部１５は、円形の板状に形成されており、下面において基板５を保持する。また、基板保持部１５における上面の中心部には、回転駆動軸１６が接続されている。回転駆動軸１６は、基板保持部１５を回転駆動させて、基板保持部１５に保持された基板５を水平方向に移動させる。また、回転駆動軸１６は、回転機能を損なわないよう冷却されている。
【００２３】
基板５に蒸着膜を付着させる場合は、回転駆動軸１６によって基板保持部１５を回転駆動させて、基板５をライナー２２の上方に移動させる。これにより、ライナー２２内の蒸着材料４が溶融して蒸発すると、その蒸発粒子が基板５に堆積する。なお、図２では、基板保持部１５が１つの基板５を保持しているが、本発明に係る基板保持部としては、複数の基板を保持するものであってもよい。
【００２４】
ライナー２２は、アウターライナー３１と、インナーライナー３２とを有している。アウターライナー３１は、有底の筒状に形成されており、円形の底部３１ａと、底部３１ａの周縁に連続する周壁部３１ｂと、周壁部３１ｂの上端に連続するフランジ部３１ｃとを有している。アウターライナー３１の材料としては、例えば、タモリブデンやセラミックスなどの高融点材料を挙げることができる。
【００２５】
アウターライナー３１の底部３１ａには、リフレクター用凹部３４が形成されている。このリフレクター用凹部３４には、複数のリフレクター２３が配置される。リフレクター用凹部３４は、底部３１ａの内側の面に設けられており、上方から見た形状が円形に形成されている。また、アウターライナー３１の底部３１ａには、インナーライナー３２の後述する底部３２ａが載置される載置部（不図示）が形成されている。
【００２６】
アウターライナー３１の周壁部３１ｂは、ホルダー３の保持用孔３ａを貫通する。また、アウターライナー３１のフランジ部３１ｃは、ホルダー３の上面に係合する。これにより、アウターライナー３１がホルダー３に保持される。このように、ホルダー３の上面にフランジ部３１ｃを係合させることで、アウターライナー３１とホルダー３との接触面積を小さくすることができ、アウターライナー３１からホルダー３への熱伝導による熱損失を少なくすることができる。
【００２７】
インナーライナー３２は、有底の筒状に形成されており、底部３２ａと、底部３２ａの周縁に連続する周壁部３２ｂとを有している。インナーライナー３２における底部３２ａの径は、アウターライナー３１における底部３１ａの径よりも小さく設定されており、インナーライナー３２は、アウターライナー３１の内側に収容されている。
【００２８】
インナーライナー３２には、蒸着材料４が充填される。インナーライナー３２の材料としては、蒸着材料４との反応性が低い材料が好ましい。例えば、蒸着材料４としてアルミ材を適用する場合は、インナーライナー３２の材料として、比較的アルミ材との反応性が低いセラミックスであるカーボンを適用することができる。
【００２９】
インナーライナー３２の底部３２ａは、アウターライナー３１の載置部（不図示）に載置されている。これにより、インナーライナー３２における底部３２ａの外側の面は、アウターライナー３１のリフレクター用凹部３４に対向している。また、インナーライナー３２の周壁部３２ｂとアウターライナー３１の周壁部３１ｂとの間には、適当な距離（例えば、１〜３ｍｍ）の間隙が形成されている。したがって、インナーライナー３２は、底部３２ａのみでアウターライナー３１に接触している。
【００３０】
インナーライナー３２がアウターライナー３１の内側に収容された状態において、インナーライナー３２の上端（周壁部３２ｂの上端）は、アウターライナー３１の上端（フランジ部３１ｃ）よりも上方に突出している。これにより、溶融した蒸着材料４がアウターライナー３１に蒸着されることを抑制或いは防止することができ、アウターライナー３１の蒸気汚染を防止することができる。
【００３１】
インナーライナー３２は、アウターライナー３１の載置部（不図示）との熱伝導、及びアウターライナー３１からの輻射熱により加熱される。蒸着材料４は、主にインナーライナー３２との熱伝導により加熱され、蒸発可能な温度以上に昇温されると、蒸着が開始される。この際、インナーライナー３２の温度は、例えば１２００℃以上に、アウターライナー３１は、それ以上の温度に達する。
【００３２】
例えば、インナーライナー３２に蒸着材料４としてアルミ材を充填すると、アルミ材は溶融し蒸発を開始する。そして、発生した蒸発粒子が真空中を移動して、基板保持部１５に保持された基板５のインナーライナー３２と対向した面に堆積する。その結果、所望の厚さの蒸着膜が基板５に付着する。なお、基板５の蒸着膜の付着速度は、インナーライナー３２の温度を調整して蒸発粒子の量を制御することにより、所望の値に設定することができる。
【００３３】
複数のリフレクター２３は、アウターライナー３１のリフレクター用凹部３４に配置されている。各リフレクター２３は、リフレクター用凹部３４と略等しい直径の円板状に形成されており、平面が上下方向に向いている。なお、アウターライナー３１の底部３１ａとインナーライナー３２の底部３２ａは、上下方向で対向している。そして、複数のリフレクター２３は、上下方向に適当な間隔を空けて並んでいる。
【００３４】
リフレクター用凹部３４には、リフレクター２３の周縁部の一部を保持する保持部が設けられている。また、リフレクター２３の周縁部には、リフレクター用凹部３４に設けた保持部との干渉を避けるための切欠きが形成されている。これにより、リフレクター用凹部３４において、複数のリフレクターを上下方向に適当な間隔を空けて配置することができる。なお、複数のリフレクター２３の材料としては、反射率が高く、放射率が低いものが好ましく、例えば、タングステンやモリブデンを挙げることができる。
【００３５】
図３は、間接加熱蒸着源２１における電子源６の構成を示す説明図である。
図３に示すように、電子源６は、フィラメント７と、電界分布を形成するウェネルト８とを有している。ウェネルト８には、フィラメント７を露出させる開口部が形成されている。
【００３６】
フィラメント７は、タングステン材からなる線材によって形成されている。このフィラメント７には、フィラメント電源９を介して加速電源１０が接続されている。加速電源１０は、接地されており、アース電位に対して負の高電圧、例えば３００Ｖ〜６ｋＶの電圧が印加される。ホルダー３は、アース電位となっており、ホルダー３に保持されたライナー２２（アウターライナー３１）は、アース電位となる。フィラメント７に所定の値の電流が供給されると、フィラメント７は、ジュール加熱により熱電子供給が可能な温度、例えば２３００℃前後に加熱される。
【００３７】
加速電源１０によりアース電位に対して負の高電圧を印加すると、フィラメント７から放出された熱電子がアース電位のアウターライナー３１に向けて加速し、アウターライナー３１は電子衝撃加熱される。
【００３８】
例えば、ライナー２２（インナーライナー３２）に蒸着材料４としてアルミ材を充填すると、アルミ材は溶融し蒸発を開始する。そして、発生した蒸発粒子は、真空中を移動して、基板保持部１５に保持された基板５のライナー２と対向した面に堆積する。その結果、所望の厚さの蒸着膜が基板５に付着する。なお、基板５の蒸着膜の付着速度（成膜レート）は、ライナー２２（インナーライナー３２）の温度を調整して蒸発粒子の量を制御することにより、所望の値に設定することができる。
【００３９】
インナーライナー３２に濡れ性が高い蒸着材料４を充填した場合は、溶融した蒸着材料４がインナーライナー３２の周壁部３１ｂから濡れ広がり、インナーライナー３２の上端を越えて周壁部３１ｂの外側の面まで到達する。
【００４０】
一方、アウターライナー３１のリフレクター用凹部３４には、複数のリフレクター２３が配置されている。したがって、アウターライナー３１の底部３１ａから放出される輻射熱が、複数のリフレクター２３によって反射され、インナーライナー３２の底部３２ａへの熱の到達が抑制される。
【００４１】
インナーライナー３２の底部３２ａへの熱の到達が抑制された状態において、蒸着膜の付着速度（成膜レート）を所定の値にするには、アウターライナー３１の底部３１ａから放出される輻射熱を多くする必要がある。そのため、フィラメント電源９から供給されるフィラメント電流の値を大きくして、アウターライナー３１の底部３１ａに対する熱電子の照射量を多くする。その結果、アウターライナー３１全体の温度が高くなる。
【００４２】
したがって、インナーライナー３２における周壁部３１ｂの外側の面まで到達した蒸着材料４が、アウターライナー３１における周壁部３１ｂからの輻射熱により加熱され、蒸発する。これにより、インナーライナー３２における周壁部３２ｂの外側の面の下部まで入り込むことを抑制或いは防止することができ、アウターライナー３１への蒸着物の堆積量を低減することができる。
【００４３】
このように、アウターライナー３１とインナーライナー３２との間に複数のリフレクター２３を設けることにより、インナーライナー３２の底部３２ａの加熱効率が下がり、アウターライナー３１の周壁部３１ｂの加熱効率が上がる。その結果、インナーライナー３２の上端を乗り越える蒸着材料４を、インナーライナー３２における周壁部３２ｂの外側の面の下部まで入り込む前に蒸発させることができ、アウターライナー３１への蒸着物の堆積を抑制或いは防止することができる。そして、アウターライナー３１への蒸着物の堆積を抑制することにより、蒸着物との化学反応によるアウターライナー３１の劣化を抑制し、装置（間接加熱蒸着源）の長寿命化を実現することができる。
【００４４】
なお、本発明に係る間接加熱蒸着源としては、リフレクターを複数設けることに限定されず、１つのリフレクターを設ける構成としてもよい。リフレクターを複数設けた場合は、リフレクターの枚数に比例して、インナーライナー３２へ伝わる熱量が減少する。
【００４５】
＜第２の実施形態＞
［間接加熱蒸着源の構成］
次に、第２の実施形態に係る間接加熱蒸着源の構成について、図４を参照して説明する。
図４は、本発明の第２の実施形態に係る間接加熱蒸着源の概略構成図である。
【００４６】
第２の実施形態に係る間接加熱蒸着源４１は、第１の実施形態に係る間接加熱蒸着源２１（図２参照）と同様の構成を備えており、異なる点は、ライナーの構造である。そこで、ここでは、間接加熱蒸着源４１のライナー４２について説明し、間接加熱蒸着源２１（図２参照）と同じ構成の説明を省略する。
【００４７】
図４に示すように、間接加熱蒸着源４１は、容器の第２の具体例を示すライナー４２と、ホルダー３と、複数のリフレクター２３と、複数の外側リフレクター２４と、電子源６とを備えている。
【００４８】
ライナー４２は、アウターライナー５１と、インナーライナー５２と、保持部材５３とを有している。アウターライナー５１は、有底の筒状に形成されており、円形の底部５１ａと、底部５１ａの周縁に連続する周壁部５１ｂとを有している。アウターライナー５１の材料としては、例えば、モリブデンやセラミックスなどの高融点材料を挙げることができる。
【００４９】
アウターライナー５１の底部５１ａには、リフレクター用凹部５４が形成されている。このリフレクター用凹部５４には、複数のリフレクター２３が配置される。リフレクター用凹部５４は、底部５１ａの内側の面に設けられており、上方から見た形状が円形に形成されている。また、アウターライナー５１の底部５１ａには、インナーライナー５２の後述する底部５２ａが載置される載置部（不図示）が形成されている。
【００５０】
また、アウターライナー５１における底部５１ａの外側の面には、係合段部５５が設けられている。この係合段部５５は、底部５１ａの周縁部に形成されており、保持部材５３の後述する底部５３ａに係合する。
【００５１】
インナーライナー５２は、有底の筒状に形成されており、底部５２ａと、底部５２ａの周縁に連続する周壁部５２ｂとを有している。インナーライナー５２における底部５２ａの径は、アウターライナー５１における底部５１ａの径よりも小さく設定されており、インナーライナー５２は、アウターライナー５１の内側に収容されている。
【００５２】
インナーライナー５２には、蒸着材料４が充填される。インナーライナー５２の材料としては、蒸着材料４との反応性が低い材料が好ましい。インナーライナー５２の底部５２ａは、アウターライナー５１の載置部（不図示）に載置されている。これにより、インナーライナー５２における底部５２ａの外側の面は、アウターライナー５１のリフレクター用凹部５４に対向している。また、インナーライナー５２の周壁部５２ｂとアウターライナー５１の周壁部３１ｂとの間には、適当な距離（例えば、１〜３ｍｍ）の間隙が形成されている。したがって、インナーライナー５２は、底部５２ａのみでアウターライナー５１に接触している。
【００５３】
インナーライナー５２がアウターライナー５１の内側に収容された状態において、インナーライナー５２の上端（周壁部５２ｂの上端）は、アウターライナー５１の上端（フランジ部３１ｃ）よりも上方に突出している。これにより、溶融した蒸着材料４がアウターライナー５１に蒸着されることを抑制或いは防止することができ、アウターライナー５１の蒸気汚染を防止することができる。
【００５４】
インナーライナー５２は、アウターライナー５１の載置部（不図示）との熱伝導、及びアウターライナー５１からの輻射熱により加熱される。蒸着材料４は、主にインナーライナー５２との熱伝導により加熱され、蒸発可能な温度以上に昇温されると、蒸着が開始される。この際、インナーライナー５２の温度は、例えば１２００℃以上に、アウターライナー５１は、それ以上の温度に達する。
【００５５】
保持部材５３は、有底の筒状に形成されており、円形の底部５３ａと、底部５３ａの周縁に連続する周壁部５３ｂと、周壁部５３ｂの上端に連続するフランジ部５３ｃとを有している。保持部材５３の材料としては、例えば、モリブデンやセラミックスを挙げることができる。
【００５６】
保持部材５３の底部５３ａには、円形の貫通孔５６が形成されている。この貫通孔５６には、アウターライナー５１の底部５１ａが挿入される。そして、アウターライナー５１の底部５１ａは、保持部材５３の下方に配置された電子源６に対向する。なお、本発明に係る間接加熱蒸着源としては、アウターライナー５１の底部５１ａが保持部材５３の貫通孔５６を貫通する構造であってもよい。
【００５７】
保持部材５３の周壁部５３ｂは、ホルダー３の保持用孔３ａを貫通する。また、保持部材５３のフランジ部５３ｃは、ホルダー３の上面に係合する。これにより、保持部材５３がホルダー３に保持される。
【００５８】
複数のリフレクター２３は、アウターライナー５１のリフレクター用凹部５４に配置されている。各リフレクター２３は、リフレクター用凹部５４と略等しい直径の円板状に形成されており、平面が上下方向に向いている。そして、複数のリフレクター２３は、上下方向に適当な間隔を空けて並んでいる。
【００５９】
複数の外側リフレクター２４は、保持部材５３の底部５３ａに載置され、アウターライナー５１の周壁部５１ｂと保持部材５３の周壁部５３ｂとの間に介在されている。複数の外側リフレクター２４は、それぞれ円筒状に形成されており、且つ、それぞれ直径が異なっている。外側リフレクター２４の直径は、アウターライナー５１の外径よりも大きく、保持部材５３の内径よりも小さい。そして、複数の外側リフレクター２４は、アウターライナー５１（保持部材５３）の径方向に適当な間隔を空けて並んでいる。
【００６０】
第１実施形態と同様に、第２実施形態においても、アウターライナー５１のリフレクター用凹部５４に、複数のリフレクター２３が配置されている。したがって、アウターライナー５１の底部５１ａから放出される輻射熱が、複数のリフレクター２３によって反射され、インナーライナー５２の底部５２ａへの熱の到達が抑制される。
【００６１】
インナーライナー５２の底部５２ａへの熱の到達が抑制された状態において、蒸着膜の付着速度（成膜レート）を所定の値にするには、アウターライナー５１の底部５１ａから放出される輻射熱を多くする必要がある。そのため、電子源６のフィラメント電源９から供給されるフィラメント電流の値を大きくして、アウターライナー５１の底部５１ａに対する熱電子の照射量を多くする。その結果、アウターライナー５１全体の温度が高くなる。
【００６２】
また、アウターライナー５１の周壁部５１ｂと保持部材５３の周壁部５３ｂとの間には、複数の外側リフレクター２４が介在されている。これにより、複数の外側リフレクター２４が、アウターライナー５１の周壁部５１ｂから放出される輻射熱を反射するため、周壁部５１ｂの保温効果を得ることができ、温度が低下することを抑制し、アウターライナー５１全体の温度が高くなる。
【００６３】
したがって、インナーライナー５２における周壁部５１ｂの外側の面まで到達した蒸着材料４が、アウターライナー５１における周壁部５１ｂからの輻射熱により加熱され、蒸発する。これにより、インナーライナー５２における周壁部５２ｂの外側の面の下部まで入り込むことを抑制或いは防止することができ、アウターライナー５１への蒸着物の堆積量を低減することができる。
【００６４】
このように、アウターライナー５１とインナーライナー５２との間に複数のリフレクター２３を設けることにより、インナーライナー５２の底部５２ａの加熱効率が下がり、アウターライナー５１の周壁部５１ｂの加熱効率が上がる。また、アウターライナー５１と保持部材５３との間に複数の外側リフレクター２４を設けることにより、アウターライナー５１の保温効果を得る。
【００６５】
その結果、インナーライナー５２の上端を乗り越える蒸着材料４を、インナーライナー５２における周壁部５２ｂの外側の面の下部まで入り込む前に蒸発させることができ、アウターライナー５１への蒸着物の堆積を抑制或いは防止することができる。そして、アウターライナー５１への蒸着物の堆積を抑制することにより、蒸着物との化学反応によるアウターライナー５１の劣化を抑制し、装置（間接加熱蒸着源）の長寿命化を実現することができる。
【００６６】
なお、第２の実施形態においても、リフレクター及び外側リフレクターを複数設けることに限定されず、１つのリフレクター又は１つの外側リフレクターを設ける構成としてもよい。なお、リフレクターを複数設けた場合は、その枚数に比例して、インナーライナー５２へ伝達される熱量が減少する。また、外側リフレクターを複数設けた場合は、その枚数に比例して、アウターライナー５１の保温効果が高まる。
【００６７】
複数の外側リフレクター２４が保持部材５３の底部５３ａに載置された状態において、複数の外側リフレクター２４の上端の高さは、アウターライナー５１の上端の高さ以下であることが好ましい。例えば、複数の外側リフレクター２４の上端の高さが、アウターライナー５１の上端の高さよりも高い場合は、アウターライナー５１の保温効果が高まる。しかし、溶融した蒸着材料４が外側リフレクター２４に蒸着され、外側リフレクター２４が汚染される可能性がある。
【００６８】
一方、複数の外側リフレクター２４の上端の高さが、アウターライナー５１の上端の高さ以下である場合は、アウターライナー５１の保温効果を確保しつつ、溶融した蒸着材料４が外側リフレクター２４に蒸着されることを抑制或いは防止することができる。
【００６９】
＜３．変形例＞
以上、本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能である。
【００７０】
例えば、上述した第１及び第２の実施形態では、アウターライナーの底部とインナーライナーの底部との間にリフレクターを配置する構成とした。しかし、本発明に係る間接加熱蒸着源としては、アウターライナーとインナーライナーとの間において、インナーライナーの上端を乗り越える蒸着材料を蒸発させる輻射熱を阻害しない位置であれば、リフレクターを設ける位置を適宜設定することができる。例えば、両者の周壁部間にリフレクターを介在させてもよい。
【００７１】
なお、本発明に係る間接加熱蒸着源としては、アウターライナーの熱電子が照射される電子照射部分と、インナーライナーにおけるアウターライナーの電子照射部分に対向する対向部分との間にリフレクターを配置することが好ましい。これにより、インナーライナーの加熱効率を容易に下げることができる。
【００７２】
また、上述した第１及び第２の実施形態では、移動機構として回転駆動軸１４を適用した。しかし、本発明に係る移動機構としては、ホルダー３を回転させる機構に限定されるものではなく、ホルダー及びライナーを移動させるものであればよい。本発明に係る移動機構としては、例えば、ホルダー及びライナーを直線移動させる直線移動機構を採用してもよい。この場合は、電子源は、ホルダーの下方において、ライナーの軌道上の任意の位置に配置されている。
【００７３】
また、上述した第２の実施形態では、複数の外側リフレクター２４を載置する保持部材５３が、ライナー４２の一部を構成するようにした。しかし、本発明に係る複数の外側リフレクターとしては、アウターライナーの外壁面に対向していればよく、例えば、ホルダー３に保持されるようにしてもよい。これは、第２の実施形態における保持部材をホルダー３と一体に構成することで実現できる。
【符号の説明】
【００７４】
３・・・ホルダー、  ４・・・蒸着材料、  ５・・・基板、  ６・・・電子源、  ７・・・フィラメント、  ８・・・ウェネルト、  ９・・・フィラメント電源、  １０・・・加速電源、  ２１，４１・・・間接加熱蒸着源、  ２２，４２・・・ライナー（容器）、  ３１，５１・・・アウターライナー、  ３２，５２・・・インナーライナー、  １４・・・回転駆動軸、  １５・・・基板保持部、  １６・・・回転駆動軸、  ２２・・・ライナー（容器）、  ２３・・・リフレクター、  ２４・・・外側リフレクター、  ３４，５４・・・リフレクター用凹部、  ５３・・・保持部材、  ５５・・・係合段部、  ５６・・・貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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