(57)【要約】【課題】照明装置の小型化を図りつつ当該照明装置により安定して照明する。【解決手段】照射ユニットから出射された光をコリメート光学系を介して照射する照明装置であって、前記照射ユニットが、複数の発光素子と、前記発光素子毎に、入射面を前記発光素子側に向けるとともに出射面を前記コリメート光学系側に向けて配置された複数のロッドレンズと、前記複数のロッドレンズを互いに離間させた状態で保持するレンズ保持部と、前記レンズ保持部に対して前記複数のロッドレンズを固定するレンズ固定部とを備えている。【選択図】図３
2019003762.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照射ユニットから出射された光をコリメート光学系を介して照射する照明装置であって、
前記照射ユニットが、
複数の発光素子と、
前記発光素子毎に、入射面を前記発光素子側に向けるとともに出射面を前記コリメート光学系側に向けて配置された複数のロッドレンズと、
前記複数のロッドレンズを互いに離間させた状態で保持するレンズ保持部と、
前記レンズ保持部に対して前記複数のロッドレンズを固定するレンズ固定部と
を備えることを特徴とする照明装置。
【請求項２】
請求項１に記載の照明装置であって、
前記ロッドレンズは、前記入射面から前記出射面に向けて断面積が拡大するテーパー形状を有し、
前記ロッドレンズの側面のうち前記出射面側の端部が前記レンズ保持部と係合して支持されるとともに前記レンズ固定部により前記レンズ保持部に固定される照明装置。
【請求項３】
請求項２に記載の照明装置であって、
前記レンズ保持部は、前記発光素子に対向する入射側主面および前記コリメート光学系に対向する出射側主面を有する平板部材と、前記ロッドレンズ毎に前記出射面側の端部を嵌入可能に設けられた複数の貫通孔とを有し、
前記出射側主面における前記貫通孔の開口の形状およびサイズはそれぞれ前記ロッドレンズの前記出射面の形状およびサイズと同一であり、前記ロッドレンズの前記出射面と前記出射側主面とを一致させて保持する照明装置。
【請求項４】
請求項３に記載の照明装置であって、
前記入射側主面における前記貫通孔の開口は前記ロッドレンズを遊挿可能となっており、
前記レンズ固定部は前記貫通孔と前記ロッドレンズの側面との間に充填された接着剤である照明装置。
【請求項５】
請求項４に記載の照明装置であって、
前記ロッドレンズは多角錐台形状を有し、
前記レンズ保持部では、前記貫通孔の内壁のうち前記ロッドレンズの稜線に対応する領域に溝部が設けられている照明装置。
【請求項６】
請求項４に記載の照明装置であって、
前記ロッドレンズは前記入射面から前記出射面に向けて断面積が拡大するテーパー形状を有し、
前記レンズ保持部では、前記貫通孔の内壁が前記入射面から前記出射面に向けて断面積が縮小する逆テーパー形状を有する照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数のＬＥＤ（light emitting diode）などの発光素子を用いて照射面を照明する照明装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子や液晶基板等を製造するために露光装置が使用されている。この露光装置では、大面積の露光エリアを均一に照明するために、水銀ランプ、集光鏡、フライアイレンズおよび凹面鏡を基本構成とする照明装置が広く用いられている（例えば特許文献１参照）。この特許文献１に記載された装置では、水銀ランプより発せられた露光光が集光鏡および平面鏡を介してフライアイレンズに入射する。そして、当該フライアイレンズを通過した光が凹面鏡を介して露光照射面に照射される。これにより、露光照射面が均一に、かつ安定して照明される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１３３０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記照明装置では、光源として水銀ランプが用いられており、照明装置の大型化は避けられず、このことが当該照明装置を装備する露光装置の大型化の主要因の一つとなっていた。
【０００５】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、照明装置の小型化を図りつつ当該照明装置により安定して照明することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、照射ユニットから出射された光をコリメート光学系を介して照射する照明装置であって、照射ユニットが、複数の発光素子と、発光素子毎に、入射面を発光素子側に向けるとともに出射面をコリメート光学系側に向けて配置された複数のロッドレンズと、複数のロッドレンズを互いに離間させた状態で保持するレンズ保持部と、レンズ保持部に対して複数のロッドレンズを固定するレンズ固定部とを備えることを特徴としている。
【０００７】
このように構成された発明では、複数の発光素子と、複数のロッドレンズとが１対１対１の対応関係で配置されている。ここで、１つの発光素子に着目すると、当該発光素子および当該発光素子に対応するロッドレンズによって、当該発光素子から発光された発光光をコリメート光学系に向けて照射する光学要素（以下「単位照射部」という）が構成されている。そして、単位照射部毎に光をコリメート光学系に入射し、単位照射部の個数に相当する数の光がコリメート光学系によりコリメートされる。このように複数の発光素子を光源として用いて広い範囲にわたって照射面を照明することが可能となっており、単一光源（水銀ランプ）を用いた従来装置に比べて装置を小型化することができる。また、単位照射部の配置によってコリメーション半角を変更可能となっており、多様なニーズに応じた照明装置を提供することが可能となる。
【０００８】
また、複数のロッドレンズは互いに離間された状態でレンズ保持部に保持されるとともに、レンズ保持部に対して複数のロッドレンズがレンズ固定部により固定される。したがって、ロッドレンズの組立精度を向上させることができる。さらに、振動や温度変化などの外乱による位置ずれが防止され、光損失の発生が抑制される。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように、本発明によれば、照明装置の小型化を図りつつ当該照明装置により安定して照明することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明にかかる照明装置の第１実施形態を示す図である。
【図２】図１の照明装置で用いる照射ユニットの構成を示す図である。
【図３】図２の照射ユニットの構成を示す図である。
【図４】図１の照明装置におけるコリメーション半角の調整動作を示す図である。
【図５】本発明にかかる照明装置の第２実施形態を示す図である。
【図６】本発明にかかる照明装置の第３実施形態を示す図である。
【図７】本発明にかかる照明装置の第４実施形態を示す図である。
【図８】本発明にかかる照明装置の第５実施形態を示す図である。
【図９】本発明にかかる照明装置の第６実施形態を示す図である。
【図１０】本発明にかかる照明装置の第７実施形態を示す図である。
【図１１】本発明にかかる照明装置の第８実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１は本発明にかかる照明装置の第１実施形態を示す図である。また、図２は図１の照明装置で用いる照射ユニットの構成を示す図である。さらに、図３は図２の照射ユニットで採用している光源部およびテーパーロッドレンズユニットの構成を示す斜視図である。この照明装置１００は、複数の光を照射するＬＥＤ照射ユニット１と、コリメーションミラー２と、ＬＥＤ照射ユニット１でのＬＥＤ点灯を制御するコントローラ３とを備えており、コントローラ３によるＬＥＤ点灯により照射面（露光面）Ｓを均一に照明する機能を有している。
【００１２】
ＬＥＤ照射ユニット１は、複数（本実施形態では４９個）の紫外線ＬＥＤ１１（以下単に「ＬＥＤ１１」という）を有する光源部１０と、複数（本実施形態では４９本）のテーパーロッドレンズ１２１を複数のレンズ保持部１２３で保持するテーパーロッドレンズユニット１２と、入射側フライアイレンズ１３と、出射側フライアイレンズ１４とを備えている。図示を省略しているが、光源部１０では、平板状基板１１１の一方主面上にＬＥＤ１１が７×７の二次元マトリックス状に配置されている（なお、図２では、１つのＬＥＤ列（またはＬＥＤ行）が図示されている）。各ＬＥＤ１１はコントローラ３と電気的に接続されており、コントローラ３のＬＥＤ点灯制御部３１からの指令に応じて独立して点灯および消灯可能となっている。なお、いずれのＬＥＤ１１を点灯させるかについては、後述するようにコリメーション半角や照射面Ｓでの照度などの照明条件に応じてコントローラ３の照明条件設定部３２からＬＥＤ点灯制御部３１に与えられる情報によって決定される。
【００１３】
また、テーパーロッドレンズユニット１２では、４９本のテーパーロッドレンズ１２１が、図３に示すように、ＬＥＤ１１と同様に７×７の二次元マトリックス状で、しかも、それぞれＬＥＤ１１と１対１で対応して配置されている。より詳しくは、各テーパーロッドレンズ１２１は入射面１２１ａから出射面１２１ｂに向けて断面積が拡大するテーパー形状を有している。そして、テーパーロッドレンズ１２１は、図２に示すように、ＬＥＤ１１毎にテーパーロッドレンズ１２１の入射面１２１ａがＬＥＤ１１の発光面１１ａと対向するように配置されるとともに、ＬＥＤ１１の出射面とコンタクトされている。
【００１４】
ここで、テーパーロッドレンズ１２１が設計位置からずれると、ＬＥＤ１１とテーパーロッドレンズ１２１の入射面１２１ａとの間、ならびにテーパーロッドレンズ１２１の出射面１２１ｂとレンズエレメント１３１との間で光損失が発生する。そこで、本実施形態では。例えば図３に示すように、７本のテーパーロッドレンズ１２１を１つのロッドレンズグループ１２２とし、ロッドレンズグループ１２２毎にテーパーロッドレンズ１２１をレンズ保持部１２３により一体的に保持している。
【００１５】
レンズ保持部１２３は図３中の破線領域に示すように短冊状の金属プレート１２３ａで構成されている。金属プレート１２３ａには、複数（本実施形態では７個）の貫通孔１２３ｂがテーパーロッドレンズ１２１の配列ピッチと同じピッチで設けられている。金属プレート１２３ａの両主面のうちＬＥＤ１１と対向する側（同図の右手側）の入射側主面１２３ｃにおける貫通孔１２３ｂの開口も、コリメーションミラー２に対向する側（同図の左手側）の出射側主面１２３ｄにおける貫通孔１２３ｂの開口も、テーパーロッドレンズ１２１の出射面１２１ｂと同一形状および同一サイズを有している。このため、テーパーロッドレンズ１２１の出射面１２１ｂ側の端部、つまり反ＬＥＤ側端部１２１ｄを貫通孔１２３ｂに嵌入すると、複数のテーパーロッドレンズ１２１は、互いに離間された状態でしかもテーパーロッドレンズ１２１の出射面１２１ｂが金属プレート１２３ａの出射側主面１２３ｄと面一となっている状態で、レンズ保持部１２３に保持される。一方、金属プレート１２３ａの入射側主面１２３ｃにおいてはテーパーロッドレンズ１２１は遊挿された状態となっており、隙間領域が形成されている。本実施形態では、隙間領域に接着剤１２４が充填され、金属プレート１２３ａに対してテーパーロッドレンズ１２１を強固に固定している。このように、本実施形態では、接着剤１２４が本発明の「レンズ固定部」として機能している。なお、図３の破線領域では、隙間領域の内部に入り込んだ接着剤１２４を模式的に示すために、ドットを付している。
【００１６】
また、本実施形態では、隙間領域に対して接着剤１２４を円滑にかつ均等に充填するために、レンズ保持部１２３では、貫通孔１２３ｂの内壁のうちテーパーロッドレンズ１２１の稜線１２１ｃに対応する領域に溝部１２３ｅが設けられている。これによって、外部から注入された接着剤１２４が溝部１２３ｅを介して隙間領域全体に広がって比較的大きな接合面積が得られ、固定強度を高めることができる。なお、溝部１２３ｅを設けることは接着剤１２４による固定のための必須要件ではなく、例えば後で説明する図５に示すように溝部１２３ｅを設けることなく接着剤１２４を上記隙間領域に充填するように構成してもよい。
【００１７】
このように本実施形態では、テーパーロッドレンズ１２１の反ＬＥＤ側端部１２１ｄ（図３の左手側端部）をレンズ保持部１２３で保持するとともに接着剤１２４で固定している。このため、テーパーロッドレンズユニット１２の組立精度の向上ならびに振動や温度変化などの外乱による位置ずれを効果的に防止することができ、光損失の発生を効果的に抑制することができる。すなわち、各ＬＥＤ１１において、ＬＥＤ１１の発光光が効率良く入射面１２１ａを介してテーパーロッドレンズ１２１に入射される。また、入射された光はテーパーロッドレンズ１２１の内部で複数回繰り返して反射されながら出射面１２１ｂに進行する。このため、輝度ムラの少ない光が出射面１２１ｂから入射側フライアイレンズ１３に向けて照射される。
【００１８】
この入射側フライアイレンズ１３は４９個のレンズエレメント１３１を有している。これらのレンズエレメント１３１は、ＬＥＤ１１やテーパーロッドレンズ１２１と同様に７×７の二次元マトリックス状で、しかも、それぞれテーパーロッドレンズ１２１と１対１で対応して配置されている。より詳しくは、図２に示すように、テーパーロッドレンズ１２１毎にレンズエレメント１３１がテーパーロッドレンズ１２１の出射面１２１ｂとコンタクトするように配置されている。このようにレンズエレメント１３１とテーパーロッドレンズ１２１の出射面１２１ｂとをコンタクトさせることでテーパーロッドレンズ１２１からレンズエレメント１３１に光を効率的に入射させることができる。
【００１９】
また、本実施形態では、このように構成された入射側フライアイレンズ１３から反ＬＥＤ側（図２の左手側）に離れた位置に出射側フライアイレンズ１４が配置されている。この出射側フライアイレンズ１４も入射側フライアイレンズ１３と同様に４９個のレンズエレメント１４１を有している。そして、図２に示すように、レンズエレメント１４１はレンズエレメント１３１と１対１で対応して設けられている。
【００２０】
このように本実施形態では、１つのＬＥＤ１１からの発光光は、当該ＬＥＤ１１と対応するテーパーロッドレンズ１２１、レンズエレメント１３１、１４１を介してコリメーションミラー２に照射される。これらのＬＥＤ１１、テーパーロッドレンズ１２１、レンズエレメント１３１、１４１によってＬＥＤ１１からの発光光をコリメーションミラー２に向けて照射する光学要素、つまり単位照射部１５（図２参照）が構成されている。すなわち、本実施形態のＬＥＤ照射ユニット１では、４９個の単位照射部１５が７×７の二次元マトリックス状に設けられている。そして、ＬＥＤ１１の点灯により各単位照射部１５から光がコリメーションミラー２に照射され、当該コリメーションミラー２によりコリメートされて照射面Ｓに照射される。
【００２１】
さらに、本実施形態では、上記したようにコントローラ３により点灯させるＬＥＤ１１を選択することでコリメーションミラー２に向けて光を照射する単位照射部１５の個数および配置を変更させることが可能となっており、これによってコリメーション半角を変更可能となっている。この点について、図４を参照しつつ詳述する。
【００２２】
図４は、図１の照明装置におけるコリメーション半角の調整動作を示す図である。同図の右欄に示す図はコリメーションミラー２側からＬＥＤ照射ユニット１を見たときの模式図であり、レンズエレメント１４１のうちハッチングが付されたものは当該レンズエレメント１４１に対応するＬＥＤ１１を消灯していることを示し、それ以外は対応するＬＥＤ１１が点灯されていることを示している。つまり、同図（ａ）は全ＬＥＤ１１を点灯させたときを示し、同図（ｂ）は中央５×５のＬＥＤ１１を点灯させたときを示している。
【００２３】
図４の左欄には、照射面Ｓに照射される光線の一部を２点鎖線で示しているが、これらから明らかなように、ＬＥＤ１１を全部点灯（７×７）から部分点灯（５×５）に変更することでコリメーション半角はコリメーション半角（θａ／２）からコリメーション半角（θｂ／２）への小さくなる。また、図４への図示を省略しているが、中央３×３のＬＥＤ１１のみを点灯させると、コリメーション半角をさらに小さくすることができる。このように点灯しているＬＥＤ１１（単位照射部１５）の配置によってコリメーション半角を変更することができる。また、図４ではコリメーション半角のみを図示しているが、照射面Ｓにおける照度や照度分布についても、ＬＥＤ１１の点灯／消灯制御によって変化させることが可能となっている。
【００２４】
以上のように、本実施形態では、複数の単位照射部１５を二次元配置して照射面Ｓを照明するように構成している。したがって、単一光源（水銀ランプ）を用いた従来装置に比べて照明装置１００の小型化が可能となる。また、ＬＥＤ１１を独立して点灯／消灯制御することでコリメーション半角、照度および照度分布を変更制御することができ、多様なニーズに応じた照明が可能となっている。
【００２５】
また上記したようにレンズ保持部１２３に矩形の貫通孔１２３ｂを設け、各貫通孔１２３ｂにテーパーロッドレンズ１２１の反ＬＥＤ側端部１２１ｄを嵌入してレンズ保持部１２３で保持させるとともに接着剤１２４によって固定している。したがって、テーパーロッドレンズユニット１２の組立精度の向上ならびに振動や温度変化などの外乱による位置ずれの防止効果によって上記光損失の発生を効果的に抑制することができる。また、上記実施形態ではテーパーロッドレンズ１２１の入射面１２１ａおよび出射面１２１ｂをそれぞれＬＥＤ１１およびレンズエレメント１３１とコンタクトさせているため、外乱による位置ずれによりコンタクト面に傷が付いてしまう可能性がある。しかしながら、本実施形態では、上記したようにレンズ保持部１２３による位置ずれ防止効果によってコンタクト面が傷付くのを効果的に防止することができる。
【００２６】
このように上記第１実施形態では、ＬＥＤ１１が本発明の「発光素子」の一例に相当している。また、コリメーションミラー２が本発明の「コリメート光学系」の一例に相当している。また、金属プレート１２３ａが本発明の「平板部材」の一例に相当している。
【００２７】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記第１実施形態では、入射側主面１２３ｃおよび出射側主面１２３ｄにおける貫通孔１２３ｂの開口がともに同一形状および同一サイズとなっているが、これらを相互に相違させてもよい。例えば図５に示すように、出射側主面１２３ｄにおける貫通孔１２３ｂの開口をテーパーロッドレンズ１２１の出射面１２１ｂと同一形状および同一サイズとする一方、入射側主面１２３ｃにおける貫通孔１２３ｂの開口をそれよりも広げてもよい（第２実施形態）。この場合、貫通孔１２３ｂが入射面１２１ａから出射面１２１ｂに向けて断面積が縮小する逆テーパー形状を有しており、入射側主面１２３ｃにおけるテーパーロッドレンズ１２１の遊挿度合は大きく、隙間領域が広がっている。このため、溝部１２３ｅを設けるまでもなく、隙間領域全体に接着剤１２４を良好に充填することができる。
【００２８】
また、上記第１実施形態および第２実施形態では、接着剤１２４を本発明の「レンズ固定部」として機能させているが、これ以外の方式、例えば図６ないし図９に示す機械的なレンズ固定部によりテーパーロッドレンズ１２１をレンズ保持部１２３に固定させてもよい（第３実施形態ないし第６実施形態）。
【００２９】
図６に示すように、金属プレート１２３ａに対して貫通孔１２３ｂと連通する貫通孔１２３ｆを設けるとともに、当該貫通孔１２３ｆにボールプランジャー１２５を装着することで貫通孔１２３ｂに嵌入されたテーパーロッドレンズ１２１の反ＬＥＤ側端部１２１ｄを押圧して固定してもよい（第３実施形態）。
【００３０】
また、図７に示すように、貫通孔１２３ｂの形状を矩形から円形に変更するとともに、当該貫通孔１２３ｂにロッドリング１２６ａを挿入した後、貫通孔１２３ｆおよびロッドリング１２６ａに設けられた貫通孔にボールプランジャー１２６ｂを装着することでロッドリング１２６ａに嵌入されたテーパーロッドレンズ１２１の反ＬＥＤ側端部１２１ｄを押圧して固定してもよい（第４実施形態）。このように、図７に示す実施形態では、ロッドリング１２６ａおよびボールプランジャー１２６ｂによりレンズ固定部１２６が構成されている。
【００３１】
また、図８に示すように、ロッドホールド板１２７ａで構成されたレンズ固定部１２７を用いてもよい（第５実施形態）。ロッドホールド板１２７ａには、テーパーロッドレンズ１２１の稜線１２１ｃと係合可能な貫通孔１２７ｂが設けられている。テーパーロッドレンズ１２１の入射面１２１ａ側からロッドホールド板１２７ａを装着し、キャップビス１２７ｃによりレンズ保持部１２３に取り付けることでテーパーロッドレンズ１２１を固定することができる。
【００３２】
また、図９に示すように、テーパーロッドレンズ１２１を遊挿自在な貫通孔１２８ａを有するロッドレンズホルダ１２８ｂと、２種類のロッドリング１２８ｃ、１２８ｄと、スズ（Ｚｎ）板１２８ｅとを備えたレンズ固定部１２８を用いてもよい（第６実施形態）。ここでは、ロッドレンズホルダ１２８ｂがキャップビス１２８ｆによりレンズ保持部１２３に取り付けられている。また、ロッドレンズホルダ１２８ｂの貫通孔１２８ａを介してテーパーロッドレンズ１２１が挿入され、テーパーロッドレンズ１２１の反ＬＥＤ側端部１２１ｄが貫通孔１２３ｂに嵌入される。さらに、当該テーパーロッドレンズ１２１に対してロッドリング１２８ｃ、１２８ｄが外嵌されるとともにスズ板１２８ｅがテーパーロッドレンズ１２１とロッドリング１２８ｃ、１２８ｄとの間に圧入される。さらに、ロッドリング１２８ｃ、１２８ｄがセットビス１２８ｇによりロッドレンズホルダ１２８ｂに対して固定される。このようにテーパーロッドレンズ１２１はレンズ保持部１２３に嵌入されて保持されるのみならずレンズ固定部１２８によりロッドレンズホルダ１２８ｂに固定される。
【００３３】
また、上記実施形態では、コリメート光学系としてコリメーションミラー２を用いているが、例えば図１０に示すようにコリメーションレンズ４を用いてもよく（第７実施形態）、当該コリメーションレンズ４を用いた照明装置２００においても、第１実施形態ないし第６実施形態にかかる照明装置１００と同様の作用効果が得られる。
【００３４】
また、第１実施形態では、「レンズアレイ」としてフライアイレンズを用いているが、例えば図１１に示すようにドラムレンズアレイを上記「レンズアレイ」として用いてもよい（第８実施形態）。すなわち、この第８実施形態では、ＬＥＤ照射ユニット１は、５×５の合計２５個のＬＥＤ１１と、５×５の合計２５個のテーパーロッドレンズ１２１で構成されるテーパーロッドレンズユニット１２と、５×５の合計２５個のドラムレンズ１６１で構成されるドラムレンズアレイ１６とを備えている。ＬＥＤ１１、テーパーロッドレンズ１２１およびドラムレンズ１６１はいずれも５×５の二次元マトリックス状に配置されている。これらのうちテーパーロッドレンズ１２１は第１実施形態や第２実施形態と同様にレンズ保持部１２９により保持されるとともに接着剤（図示省略）により固定されている。そして、１つのＬＥＤ１１からの発光光は、当該ＬＥＤ１１と対応するテーパーロッドレンズ１２１、ドラムレンズ１６１を介してコリメーションミラー２やコリメーションレンズ４などのコリメート光学系に照射される。このように第８実施形態では、２５個の単位照射部１５（＝ＬＥＤ１１＋テーパーロッドレンズ１２１＋ドラムレンズ１６１）が５×５の二次元マトリックス状に設けられている。そして、ＬＥＤ１１の点灯により各単位照射部１５から光がコリメート光学系に照射され、当該コリメート光学系によりコリメートされて照射面Ｓに照射される。なお、第８実施形態では、ドラムレンズ１６１が「レンズエレメント」に相当している。また、第１実施形態ないし第７実施形態と同様に、複数のテーパーロッドレンズ１２１を複数のロッドレンズグループ１２２に区分けし、ロッドレンズグループ１２２毎にテーパーロッドレンズ１２１をレンズ保持部１２３で一体的に保持してもよい。
【００３５】
また、上記第１実施形態ないし第７実施形態では、複数のロッドレンズグループ１２２に区分けし、ロッドレンズグループ１２２毎にテーパーロッドレンズ１２１をレンズ保持部１２３で一体的に保持しているが、第８実施形態と同様に、全テーパーロッドレンズ１２１を１つのレンズ保持部で一体的に保持するように構成してもよい。
【００３６】
また、上記実施形態では、コントローラ３によって各ＬＥＤ１１を独立して点灯／消灯制御することでコリメーション半角を変更可能としているが、複数のＬＥＤ１１を独立して制御することは本発明の必須要件ではなく、任意要件である。例えば照明装置１００、２００の仕様（コリメーション半角を含む）が予め決まっている場合には、上記コリメーション半角に応じて単位照射部１５の数や配置を設定すればよく、本発明によれば、種々のニーズに対応した照明装置を提供することが可能である。
【００３７】
また、上記実施形態では、紫外線ＬＥＤ１１を発光素子として用いているが、発光素子の種類はこれに限定されるものではなく、例えば紫外線以外のＬＥＤを発光素子として用いてもよい。
【００３８】
また、上記実施形態では、本発明の「ロッドレンズ」として四角錐台形状のテーパーロッドレンズ１２１を用いているが、その他の形状のロッドレンズを用いてもよく、例えば多角錐台形状や円錐台形状のロッドレンズなどを用いてもよい。また、テーパーロッドレンズ１２１の入射面１２１ａおよび出射面１２１ｂをそれぞれＬＥＤ１１およびレンズエレメント１３１とコンタクトさせているが、コンタクトさせることは必須事項ではなく、任意である。つまり、テーパーロッドレンズ１２１の入射面１２１ａとＬＥＤ１１との間、および／またはテーパーロッドレンズ１２１の出射面１２１ｂとレンズエレメント１３１との間に隙間を設けて傷が付くのを防止してもよい。ただし、光損失を抑制するためには、上記隙間のサイズを可能な限り小さくするのが望ましく、第４実施形態や第５実施形態と同様にレンズ保持部１２３を用いてテーパーロッドレンズ１２１をＬＥＤ１１およびレンズエレメント１３１に対して精密に位置決めするのが好適である。
【００３９】
また、上記実施形態では、ＬＥＤ１１などの発光素子を二次元マトリックス状に配置しているが、発光素子の配置パターンはこれに限定されるものではなく、任意である。
【００４０】
さらに、本発明にかかる照明装置の適用対象は、露光装置に限定されるものではなく、光学検査用の照明装置などが含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
この発明は、複数の発光素子を用いて照射面を照明する照明装置全般に適用することができる。
【符号の説明】
【００４２】
１…ＬＥＤ照射ユニット
２…コリメーションミラー（コリメート光学系）
４…コリメーションレンズ（コリメート光学系）
１１…ＬＥＤ（発光素子）
１２…テーパーロッドレンズユニット
１２１…テーパーロッドレンズ
１２１ａ…（テーパーロッドレンズの）入射面
１２１ｂ…（テーパーロッドレンズの）出射面
１２３、１２９…レンズ保持部
１２４…接着剤（レンズ固定部）
１２５…ボールプランジャー（レンズ固定部）
１２６、１２７、１２８…レンズ固定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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