(57)【要約】【課題】絶縁部材の絶縁露出部の表面に付着している異物を除去し易い微粒子センサを提供する。【解決手段】内側金具３０と放電電極体７０との間に介在して両者の間を電気的に絶縁する絶縁部材７５は、第１空間ＤＳ内に露出する絶縁露出部７５ｂを含む。放電対極部３５ｄは、当該放電対極部３５ｄのうち第１空間ＤＳと内側金具３０の外部との間を隔てる壁部３５ｋを貫通して、第１空間ＤＳと内側金具３０の外部との間を連通可能にする貫通孔３８を有する。微粒子センサ１は、貫通孔３８を閉塞する閉塞部材３６を有する。【選択図】図１０
2019052969.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に延びる形態のセンサ本体部を有し、前記センサ本体部のうち前記軸線方向の先端側の部位を通気管の内部に配置して、接地電位とされた前記通気管の内部を流通する被測定ガス中の微粒子の量を検知する微粒子センサであって、
前記微粒子センサは、前記センサ本体部の外部から内部にエアを取り入れるためのエア取入部を有し、
前記センサ本体部は、
前記通気管の管取付部に装着されて前記接地電位とされる筒状の外側金具と、
前記外側金具の径方向内側に前記外側金具と離間して配置され、前記接地電位とは異なる基準電位とされる内側金具と、
軸線方向に延びる形態をなし、前記接地電位及び前記基準電位とは異なる放電電位とされる放電電極体と、
前記内側金具と前記放電電極体との間に介在して両者の間を電気的に絶縁する絶縁部材と、を備え、
前記内側金具は、
前記放電電極体のうち前記軸線方向の先端側に位置する先端部が配置される第１空間を有し、この第１空間内において前記放電電極体の前記先端部との間で気中放電を発生させてイオンを生成する放電対極部と、
前記放電対極部に対し前記軸線方向の先端側に位置し、前記被測定ガスが導入される第２空間を構成する第２空間構成部と、を有し、
前記絶縁部材は、前記放電電極体の前記先端部よりも前記軸線方向の後端側に位置し、前記第１空間内に露出する絶縁露出部を含み、
前記放電対極部は、前記第１空間と前記第２空間との間を連通する孔であるオリフィスを有し、
前記微粒子センサは、
前記エア取入部から前記第１空間内に導入されたエアが、前記オリフィスを通じて前記第２空間内へ噴出されることによって、前記第１空間内で生じた前記イオンが前記エアと共に前記第２空間内に導入されて、前記第２空間内において、前記イオンと前記被測定ガスに含まれている前記微粒子とが混合される構成を有し、
前記放電対極部は、当該放電対極部のうち前記第１空間と前記内側金具の外部との間を隔てる壁部を貫通して、前記第１空間と前記内側金具の外部との間を連通可能にする貫通孔を有し、
前記微粒子センサは、前記貫通孔を閉塞する閉塞部材を有する
微粒子センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の微粒子センサであって、
前記外側金具は、
筒状の第１外側金具と、
前記第１外側金具に対し前記軸線方向の先端側に位置し、前記内側金具の前記放電対極部及び前記第２空間構成部の周囲を包囲する筒状の第２外側金具とを有し、
前記第２外側金具は、前記第１外側金具に対し取り外し可能に装着されており、
前記第２外側金具を前記第１外側金具から取り外すことにより、前記閉塞部材が前記微粒子センサの外部に露出するように構成されている
微粒子センサ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の微粒子センサであって、
前記閉塞部材は、当該閉塞部材の少なくとも一部が前記放電対極部の前記貫通孔内に配置される態様で前記貫通孔を閉塞する部材であり、前記放電対極部に対し着脱可能とされている
微粒子センサ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の微粒子センサであって、
前記気中放電で発生させた前記イオンを、前記被測定ガス中に含まれる前記微粒子に付着させることによって、帯電した帯電微粒子を生成し、前記基準電位と前記接地電位との間に前記帯電微粒子の量に応じて流れる信号電流を用いて、前記被測定ガス中の前記微粒子の量を検知する
微粒子センサ。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の微粒子センサであって、
前記通気管は、内燃機関の排気管であり、
前記被測定ガスは、排気ガスである
微粒子センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通気管内を流通する被測定ガス中の微粒子の量を検知する微粒子センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガス中の微粒子の量を計測したい場合がある。例えば、内燃機関（例えば、ディーゼルエンジン、ガソリンエンジン）では、その排気ガス中にススなどの微粒子を含むことがある。このような微粒子を含む排気ガスは、フィルタで微粒子を捕集して浄化することが行われている。しかるに、フィルタが破損するなどの不具合を生じた場合には、未浄化の排気ガスが直接、フィルタの下流に排出されることとなる。そこで、排気ガス中の微粒子の量を直接計測したり、フィルタの不具合を検知すべく、フィルタ下流の排気ガス中の微粒子の量を検知可能な微粒子センサが求められている。
【０００３】
このような微粒子センサとして、特許文献１には、軸線方向に延びる形態をなすセンサ本体部を有し、センサ本体部のうち軸線方向の先端側の部位を通気管（排気管）の内部に配置して、接地電位とされた通気管の内部を流通する被測定ガス（排気ガス）中の微粒子の量を検知する微粒子センサが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−３８２４８号公報
【０００５】
特許文献１の微粒子センサは、センサ本体部の外部から内部にエアを取り入れるためのエア取入部を有する。さらに、この微粒子センサ（センサ本体部）は、通気管の管取付部に装着されて接地電位とされる筒状の外側金具と、外側金具の径方向内側に外側金具と離間して配置され、接地電位とは異なる基準電位とされる内側金具と、軸線方向に延びる形態をなし、接地電位及び基準電位とは異なる放電電位とされる放電電極体と、内側金具と放電電極体との間に介在して両者の間を電気的に絶縁する絶縁部材（放電電極体の外周を被覆する絶縁パイプ）と、を備える。
【０００６】
このうち、内側金具は、放電電極体のうち軸線方向の先端側に位置する先端部が配置される第１空間を有し、この第１空間内において放電電極体の先端部との間で気中放電を発生させてイオンを生成する放電対極部を有する。さらに、この内側金具は、放電対極部に対し軸線方向の先端側に位置し、被測定ガスが導入される第２空間を構成する第２空間構成部を有する。なお、絶縁部材は、放電電極体の先端部よりも軸線方向の後端側に位置し、第１空間内に露出する絶縁露出部を含んでいる。また、放電対極部は、第１空間と第２空間との間を連通する孔であるオリフィスを有する。
【０００７】
この微粒子センサでは、エア取入部から第１空間内に導入されたエアが、オリフィスを通じて第２空間内へ噴出されることによって、第１空間内で生じたイオンがエアと共に第２空間内に導入される。さらには、エアが第１空間から第２空間へ噴出されることで、第２空間内の気圧が低下するため、通気管（排気管）内の被測定ガスが、第２空間構成部（第２空間を構成する部位）に形成されているガス導入口を通じて、第２空間内に導入される。このとき、第２空間内には、被測定ガスに含まれている微粒子（ススなど）も導入され、これにより、第２空間内において、気中放電により生じたイオンと被測定ガスに含まれている微粒子とが混合され、微粒子にイオンが付着することで、帯電した帯電微粒子が生成される。そして、この微粒子センサでは、基準電位と接地電位との間に帯電微粒子の量に応じて流れる信号電流を用いて、被測定ガス中の微粒子の量を検知する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上述の微粒子センサでは、内側金具と放電電極体との間に介在して両者の間を電気的に絶縁する絶縁部材のうち、第１空間内に露出する絶縁露出部の表面に、ススなどの異物が付着することがあった。具体的には、上述の微粒子センサでは、微粒子の検知を一旦停止したときに、エア取入部を通じてセンサ本体部の内部にエアを供給するためのエアポンプの駆動が停止したときは、エアが第１空間から第２空間へ噴出されなくなる。このような場合には、第２空間内に導入された被測定ガスが、オリフィスを通じて、第１空間内に進入することがあった。
【０００９】
このため、例えば、微粒子センサを、内燃機関の排気管（通気管）内を流通する排気ガス（被測定ガス）中の微粒子の量を検知するために使用している場合において、エア取入部を通じてセンサ本体部の内部にエアを供給するためのエアポンプの駆動を停止した場合で、且つ、内燃機関が駆動状態である場合には、第２空間内に導入された排気ガス（被測定ガス）が、オリフィスを通じて、第１空間内に進入することがあった。これにより、排気ガスに含まれているススなどの異物が、絶縁部材のうち第１空間内に露出する絶縁露出部の表面に付着することがあった。
【００１０】
これにより、基準電位とされる内側金具と放電電位とされる放電電極体との間の絶縁抵抗が低下し、放電電極体の先端部と放電対極部との間で、適切な気中放電（コロナ放電）を発生させることができなくなり、被測定ガス（排気ガス）に含まれる微粒子の量を適切に検知することができなくなる虞があった。
このように、絶縁部材の絶縁露出部の表面にススなどの異物が付着した場合には、微粒子センサにおいて、被測定ガスに含まれる微粒子の量を適切に検知することができなくなる虞があるため、当該異物を除去する必要があった。
【００１１】
絶縁露出部の表面に付着した異物を除去する方法としては、例えば、絶縁露出部の表面を超音波洗浄する方法を採用することが考えられる。具体的には、洗浄容器内に収容されている洗浄液に、微粒子センサの先端側の部位（少なくとも、軸線方向について、絶縁露出部の先端側の部位が配置されている位置まで）を浸漬することで、内側金具の内部に洗浄液を浸入させる。この状態で、洗浄容器内の洗浄液に超音波振動を与えることで、絶縁露出部の表面に付着した異物を除去する（超音波洗浄する）。
【００１２】
ところで、絶縁露出部が配置されている内側金具の第１空間は、微小な内径（例えば、直径０．５ｍｍ）のオリフィスによって連通する第２空間を通じてのみ、内側金具の外部と連通している。従って、上述のように絶縁露出部の表面を超音波洗浄する場合、洗浄液は、内側金具の第２空間からオリフィスを通じて第１空間内に浸入することになる。しかしながら、オリフィスは、微小な内径の孔であるため、洗浄液は、オリフィスを通じて第２空間から第１空間内に浸入し難い。このため、第１空間内に配置されている絶縁露出部は、超音波洗浄し難かった。このように、上述の微粒子センサでは、絶縁露出部の表面に付着した異物を除去し難くなっていた。
【００１３】
本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであって、絶縁部材の絶縁露出部（第１空間内に露出する部位）の表面に付着している異物を除去し易い微粒子センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の一態様は、軸線方向に延びる形態のセンサ本体部を有し、前記センサ本体部のうち前記軸線方向の先端側の部位を通気管の内部に配置して、接地電位とされた前記通気管の内部を流通する被測定ガス中の微粒子の量を検知する微粒子センサであって、前記微粒子センサは、前記センサ本体部の外部から内部にエアを取り入れるためのエア取入部を有し、前記センサ本体部は、前記通気管の管取付部に装着されて前記接地電位とされる筒状の外側金具と、前記外側金具の径方向内側に前記外側金具と離間して配置され、前記接地電位とは異なる基準電位とされる内側金具と、軸線方向に延びる形態をなし、前記接地電位及び前記基準電位とは異なる放電電位とされる放電電極体と、前記内側金具と前記放電電極体との間に介在して両者の間を電気的に絶縁する絶縁部材と、を備え、前記内側金具は、前記放電電極体のうち前記軸線方向の先端側に位置する先端部が配置される第１空間を有し、この第１空間内において前記放電電極体の前記先端部との間で気中放電を発生させてイオンを生成する放電対極部と、前記放電対極部に対し前記軸線方向の先端側に位置し、前記被測定ガスが導入される第２空間を構成する第２空間構成部と、を有し、前記絶縁部材は、前記放電電極体の前記先端部よりも前記軸線方向の後端側に位置し、前記第１空間内に露出する絶縁露出部を含み、前記放電対極部は、前記第１空間と前記第２空間との間を連通する孔であるオリフィスを有し、前記微粒子センサは、前記エア取入部から前記第１空間内に導入されたエアが、前記オリフィスを通じて前記第２空間内へ噴出されることによって、前記第１空間内で生じた前記イオンが前記エアと共に前記第２空間内に導入されて、前記第２空間内において、前記イオンと前記被測定ガスに含まれている前記微粒子とが混合される構成を有し、前記放電対極部は、当該放電対極部のうち前記第１空間と前記内側金具の外部との間を隔てる壁部を貫通して、前記第１空間と前記内側金具の外部との間を連通可能にする貫通孔を有し、前記微粒子センサは、前記貫通孔を閉塞する閉塞部材を有する微粒子センサである。
【００１５】
上述の微粒子センサでは、内側金具の放電対極部が、当該放電対極部のうち第１空間と内側金具の外部との間を隔てる壁部を貫通して、第１空間と内側金具の外部との間を連通可能にする貫通孔を有している。さらに、上述の微粒子センサは、この貫通孔を閉塞する閉塞部材を有している。このような微粒子センサでは、通気管の内部を流通する被測定ガス中の微粒子の量を検知するために使用するときは、放電対極部の前記貫通孔を閉塞部材で閉塞した状態にする。これにより、エア取入部から第１空間内に導入されたエアを、オリフィスを通じて適切に第２空間内へ噴出させることができる。これにより、第１空間内で生じたイオンをエアと共に第２空間内に導入させることができ、第２空間内において、イオンと被測定ガスに含まれている微粒子とを混合させることができる。
【００１６】
一方、絶縁露出部の表面に付着した異物を除去するときは、放電対極部の前記貫通孔を閉塞している閉塞部材を取り外すなどして、放電対極部の前記貫通孔を開放した状態にする。これにより、絶縁露出部の表面に付着している異物を除去し易くなる。具体的には、例えば、絶縁露出部の表面に付着した異物を除去する方法として、絶縁露出部の表面を超音波洗浄する方法を採用した場合について、以下に説明する。
【００１７】
まず、微粒子センサについて、放電対極部の前記貫通孔を閉塞している閉塞部材を取り外すなどして、放電対極部の前記貫通孔を開放した状態にする。そして、洗浄容器内に収容されている洗浄液に、微粒子センサのうち軸線方向の先端側に位置する部位を浸漬することで、内側金具の内部に洗浄液を浸入させる。但し、このとき、微粒子センサの先端から、少なくとも、絶縁露出部の先端側の部位が配置されている軸線方向位置、及び、前記貫通孔が形成されている軸線方向位置のうち、より後端側に位置する軸線方向位置に至るまでの部位が、洗浄容器内の洗浄液に浸漬するようにする。好ましくは、絶縁露出部の全体が洗浄容器内の洗浄液に浸漬するようにする。
【００１８】
これにより、洗浄液を、放電対極部のうち第１空間と内側金具の外部との間を隔てる壁部を貫通する貫通孔を通じて、内側金具の外部から直接、第１空間内に浸入させることができる。さらに、洗浄液を、内側金具の外部から第２空間及びオリフィスを通じて第１空間内に浸入させることもできる。これにより、洗浄容器内に収容されている洗浄液が、第１空間内に浸入し易くなり、第１空間内に配置されている絶縁露出部の表面を、超音波洗浄し易くなる。このように、上述の微粒子センサは、絶縁露出部の表面に付着した異物を除去し易い微粒子センサである。
【００１９】
なお、放電対極部の壁部を貫通する貫通孔の内径（最小径）は、使用する洗浄液がスムーズに（速やかに）当該貫通孔内を流通することが可能な大きさ（例えば、直径１ｍｍ以上）にするのが好ましい。
【００２０】
また、閉塞部材としては、以下のようなものを挙げることができる。
例えば、放電対極部の壁部のうち前記貫通孔を構成する孔内周面に雌ネジを形成することで、前記貫通孔の少なくとも一部を雌ネジ孔としておき、閉塞部材として、前記雌ネジに適合する雄ネジを有するネジ部材を用いる場合を挙げることができる。このネジ部材を、前記雌ネジ孔に螺合させて、このネジ部材の少なくとも一部を前記貫通孔内に配置することで、前記貫通孔（雌ネジ孔）を閉塞することができる。ネジ部材としては、例えば、止めネジやテーパネジなどを用いることができる。
【００２１】
なお、閉塞部材として止めネジを用いる場合は、先端部がテーパ形状（先端に向かうにしたがって外形が小さくなるテーパ形状）とされたテーパ部を有する止めネジを用いるのが好ましい。より具体的には、前記貫通孔の先端部（第１空間側の部位）を、止めネジのテーパ部に適合するテーパ部としておき、止めネジを前記雌ネジ孔に螺合させて、止めネジの先端部であるテーパ部を貫通孔のテーパ部に密着させることで、止めネジによって前記貫通孔を気密に閉塞する（封止する）ことができる。
【００２２】
また、閉塞部材として、前記貫通孔に蓋をする板状の蓋部材を用いるようにしても良い。この蓋部材を、例えば、放電対極部の壁部（外周面）のうち前記貫通孔の開口（内側金具の外部側の開口）の周囲に位置する開口周囲部に対し、ロウ材を用いて接合（ロウ付け）することで、前記貫通孔を閉塞することができる。この場合、絶縁露出部の表面に付着した異物を除去するときは、ロウ材を溶かして蓋部材（閉塞部材）を取り外すようにすれば良い。
【００２３】
また、閉塞部材として蓋部材を用いる場合は、前記貫通孔の開口部分（内側金具の外部側の開口部分）を、前記蓋部材を収容可能な座繰り穴としておくのが好ましい。この座繰り穴内に蓋部材（閉塞部材）を配置して、蓋部材が座繰り穴の底面に接触した状態にし、この状態で、蓋部材を、放電対極部の壁部のうち座繰り穴を構成する部位にロウ付けすることで、貫通孔を閉塞することができる。
【００２４】
また、閉塞部材として、貫通孔内に挿入して貫通孔を閉塞する挿入部材を用いるようにしても良い。この挿入部材を、例えば、貫通孔内に挿入し、この挿入部材の後端部を、放電対極部の壁部にロウ付けすることで、貫通孔を閉塞することができる。なお、この挿入部材を用いる場合は、先端部がテーパ形状（先端に向かうにしたがって外形が小さくなるテーパ形状）とされたテーパ部を有する挿入部材とするのが好ましい。具体的には、前記貫通孔の先端部（第１空間側の部位）を、挿入部材のテーパ部に適合するテーパ部としておき、挿入部材を貫通孔に挿入して、挿入部材の先端部であるテーパ部を貫通孔のテーパ部に密着させることで、挿入部材によって前記貫通孔を気密に閉塞する（封止する）ことが可能となる。
【００２５】
さらに、前記の微粒子センサであって、前記外側金具は、筒状の第１外側金具と、前記第１外側金具に対し前記軸線方向の先端側に位置し、前記内側金具の前記放電対極部及び前記第２空間構成部の周囲を包囲する筒状の第２外側金具とを有し、前記第２外側金具は、前記第１外側金具に対し取り外し可能に装着されており、前記第２外側金具を前記第１外側金具から取り外すことにより、前記閉塞部材が前記微粒子センサの外部に露出するように構成されている微粒子センサとすると良い。
【００２６】
上述の微粒子センサでは、外側金具が、筒状の第１外側金具と、第１外側金具に対し軸線方向の先端側に位置して内側金具の放電対極部及び第２空間構成部の周囲を包囲する筒状の第２外側金具と、を有している。この微粒子センサでは、内側金具のうち、放電対極部の壁部を貫通する貫通孔、及び、この貫通孔を閉塞する閉塞部材が、第２外側金具で覆われた形態となり、微粒子センサの先端側から見て、第２外側金具と内側金具との間の隙間の奥側（軸線方向の後端側）に、前記貫通孔と閉塞部材とが存在することになる。このような構造の微粒子センサでは、絶縁露出部の表面に付着した異物を除去するために、放電対極部の前記貫通孔を閉塞している閉塞部材を取り外すなどの、放電対極部の前記貫通孔を開放した状態にする作業を行うとき、第２外側金具が作業の妨げとなる。
【００２７】
これに対し、上述の微粒子センサでは、第２外側金具が、第１外側金具に対し取り外し可能に装着されている。そして、第２外側金具を第１外側金具から取り外すと、閉塞部材が微粒子センサの外部に露出するように構成されている。このため、上述の微粒子センサについて、絶縁露出部の表面に付着した異物を除去するときは、まず、第２外側金具を第１外側金具から取り外す。これにより、閉塞部材を、微粒子センサの外部に露出させることができる。これにより、閉塞部材を取り外すなど、放電対極部の貫通孔を開放した状態にする作業を、容易に行うことが可能となる。
【００２８】
さらには、閉塞部材を取り外すなどの作業をして、放電対極部の貫通孔を開放した状態にすると、貫通孔を、微粒子センサの外部に露出させることができる。これにより、洗浄液が、貫通孔を通じて第１空間内に浸入し易くなるので、絶縁露出部の表面に付着した異物を、より一層除去し易くなる。
【００２９】
さらに、前記いずれかの微粒子センサであって、前記閉塞部材は、当該閉塞部材の少なくとも一部が前記放電対極部の前記貫通孔内に配置される態様で前記貫通孔を閉塞する部材であり、前記放電対極部に対し着脱可能とされている微粒子センサとすると良い。
【００３０】
上述の微粒子センサでは、閉塞部材として、当該閉塞部材の少なくとも一部が放電対極部の貫通孔内に配置される態様で貫通孔を閉塞する閉塞部材を用いている。さらに、この閉塞部材は、放電対極部に対し着脱可能とされている。すなわち、閉塞部材が、放電対極部に対し着脱可能な機械的構造を有している。このような微粒子センサでは、閉塞部材の着脱を容易に行うことができる。このため、絶縁露出部の表面に付着した異物を除去する作業（前述の洗浄作業など）を行う際は、速やかに閉塞部材を放電対極部から取り外して、放電対極部の貫通孔を開放した状態にすることができ、速やかに洗浄作業等を行うことができる。さらに、洗浄作業等を終えた後は、速やかに閉塞部材を放電対極部に取り付けて貫通孔を閉塞することができ、速やかに微粒子センサを使用可能な状態に戻すことができる。
【００３１】
なお、このような閉塞部材としては、例えば、外周に雄ネジを有するネジ部材（止めネジやテーパネジなど）を挙げることができる。このネジ部材を閉塞部材として用いる場合は、放電対極部の壁部のうち前記貫通孔を構成する孔内周面の少なくとも一部に雌ネジを形成することで、前記貫通孔の少なくとも一部を雌ネジ孔としておき、着脱用工具（六角レンチやドライバ−など）を用いて、ネジ部材をこの雌ネジ孔に螺合させて、ネジ部材のネジ部の少なくとも一部を貫通孔内に配置することで、貫通孔（雌ネジ孔）を閉塞することができる。これにより、閉塞部材によって貫通孔を閉塞しつつ、放電対極部に閉塞部材を取り付けることができる。一方、放電対極部に装着されているネジ部材を取り外すときは、着脱用工具を用いて、貫通孔（雌ネジ孔）内からネジ部を取り出すことで、ネジ部材を放電対極部から取り外すことができる。
【００３２】
さらに、前記いずれかの微粒子センサであって、前記気中放電で発生させた前記イオンを、前記被測定ガス中に含まれる前記微粒子に付着させることによって、帯電した帯電微粒子を生成し、前記基準電位と前記接地電位との間に前記帯電微粒子の量に応じて流れる信号電流を用いて、前記被測定ガス中の前記微粒子の量を検知する微粒子センサとすると良い。
【００３３】
上述の微粒子センサは、気中放電を発生させることでイオンを生成し、このイオンを被測定ガス中に含まれる微粒子に付着させることによって、帯電した帯電微粒子を生成する。より具体的には、例えば、第１空間内において、放電電極体の先端部と放電対極部との間で気中放電を発生させ、その後、第２空間内において、当該気中放電により生じたイオンを被測定ガスに含まれる微粒子に付着させることで、帯電した帯電微粒子を生成する。そして、この帯電微粒子の量に応じて基準電位と接地電位との間に流れる信号電流を用いて、被測定ガス中の微粒子の量を検知する。
【００３４】
このような微粒子センサでは、被測定ガスに含まれるススなどの異物が、絶縁露出部の表面に付着することで、基準電位とされる内側金具と放電電位とされる放電電極体との間の絶縁抵抗が低下すると、放電電極体の先端部と放電対極部との間で適切な気中放電（コロナ放電）を発生させることができなくなり、被測定ガス（排気ガス）に含まれる微粒子の量を適切に検知することができなくなる虞がある。このため、絶縁露出部の表面に付着したススなどの異物を除去する必要があった。
【００３５】
これに対し、上述の微粒子センサでは、前述のように、内側金具の放電対極部が、第１空間と内側金具の外部との間を連通可能にする貫通孔と、貫通孔を閉塞する閉塞部材とを有している。このため、上述の微粒子センサでは、放電対極部の貫通孔を閉塞している閉塞部材を取り外すなどして、放電対極部の前記貫通孔を開放した状態にすることができ、これにより、絶縁露出部の表面に付着している異物を除去し易くなる。具体的には、前述したように、放電対極部の貫通孔を閉塞している閉塞部材を取り外すなどして、放電対極部の貫通孔を開放した状態で、絶縁露出部の表面を洗浄（超音波洗浄等）することで、絶縁露出部の表面に付着している異物が除去され易くなる。
【００３６】
さらに、前記いずれかの微粒子センサであって、前記通気管は、内燃機関の排気管であり、前記被測定ガスは、排気ガスである微粒子センサとすると良い。
【００３７】
上述の微粒子センサは、排気管の内部を流通する排気ガス中の微粒子（ススなど）の量を検知する微粒子センサである。従って、第１空間内には、オリフィスを通じて第２空間からススなどの微粒子を含む排気ガスが進入することがある。このような微粒子センサでは、排気ガスに含まれるススなどの微粒子が、絶縁露出部の表面に付着してゆくことで、基準電位とされる内側金具と放電電位とされる放電電極体との間の絶縁抵抗が低下し易い。
【００３８】
これに対し、上述の微粒子センサは、前述のように、絶縁露出部の表面に付着しているススなどを除去し易い構造となっている。このため、絶縁露出部の表面にススなどが付着した場合には、前述した超音波洗浄等によって絶縁露出部の表面に付着しているススなどを除去し、基準電位とされる内側金具と放電電位とされる放電電極体との間の絶縁抵抗を回復させることができる。これにより、上述の微粒子センサでは、排気ガスに含まれる微粒子の量を適切に検知することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】実施形態にかかる微粒子センサを車両のエンジンの排気管に装着した状態を示す概略図である。
【図２】実施形態にかかる微粒子センサの斜視図である。
【図３】同微粒子センサの縦断面図である。
【図４】同微粒子センサの他の縦断面図であり、図３とは直交する方向の縦断面図である。
【図５】同微粒子センサを排気管に取り付けた状態の縦断面図である。
【図６】同微粒子センサの分解斜視図である。
【図７】第２外側金具を第１外側金具から取り外した状態における微粒子センサの先端側部分の斜視図である。
【図８】第２外側金具を第１外側金具から取り外した状態における微粒子センサの先端側部分の縦断面図である。
【図９】図８のＢ−Ｂ断面図である。
【図１０】閉塞部材を放電対極部から取り外した状態における図８のＢ−Ｂ断面図である。
【図１１】第１ケーブル及び第２ケーブルの横断面図である。
【図１２】実施形態にかかる微粒子検知システムの概略構成を示す図である。
【図１３】微粒子センサにおける微粒子の取り入れ、帯電、排出の様子を模式的に示す図である。
【図１４】絶縁露出部の表面に付着した異物を除去する方法を説明する図である。
【図１５】変形形態１にかかる閉塞部材を説明する図である。
【図１６】同閉塞部材を放電対極部から取り外した状態を説明する図である。
【図１７】変形形態２にかかる閉塞部材を説明する図である。
【図１８】同閉塞部材を放電対極部から取り外した状態を説明する図である。
【図１９】変形形態３にかかる閉塞部材を説明する図である。
【図２０】同閉塞部材を放電対極部から取り外した状態を説明する図である。
【図２１】変形形態４にかかる閉塞部材を説明する図である。
【図２２】同閉塞部材を放電対極部から取り外した状態を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
（実施形態）
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図１は、実施形態にかかる微粒子センサ１を、車両ＡＭに搭載したエンジンＥＮＧ（内燃機関）の排気管ＥＰに装着した状態を示す概略図である。図２は、微粒子センサ１の斜視図である。図３は、微粒子センサ１の縦断面図である。図４は、微粒子センサ１の他の縦断面図であり、図３とは直交する方向の縦断面図である。図５は、センサ本体部５を排気管ＥＰに取り付けた状態の縦断面図である。図６は、微粒子センサ１の分解斜視図である。
なお、微粒子センサ１の軸線方向ＧＨ（軸線ＡＸに沿う方向、図３〜図５において上下方向）のうち、排気管ＥＰ（通気管）に装着される側（図３〜図５において下方）を先端側ＧＳ、排気管ＥＰの外部に配置される側（図３〜図５において上方）を後端側ＧＫとする。
【００４１】
まず、本実施形態の微粒子検知システム２００について説明する。微粒子検知システム２００は、図１に示すように、微粒子センサ１と、この微粒子センサ１を駆動する回路部２０１とを備える。
微粒子センサ１は、車両ＡＭに搭載したエンジンＥＮＧ（内燃機関）の排気管ＥＰに装着され、排気管ＥＰ内を流通する排気ガスＥＧ（被測定ガス）中のススなどの微粒子Ｓの量を検知する。詳細には、微粒子センサ１のセンサ本体部５が、排気管ＥＰに固定され、センサ本体部５の先端側ＧＳの部位が、排気管ＥＰ内に配置されて（図５参照）排気ガスＥＧに晒される。
【００４２】
回路部２０１は、排気管ＥＰの外部で、第１ケーブル９０及び第２ケーブル１００を通じて、微粒子センサ１のセンサ本体部５に接続されている。この回路部２０１は、微粒子センサ１を駆動するとともに、後述する信号電流を検知する回路を有している。
【００４３】
ここで、本実施形態の微粒子センサ１について詳細に説明する。微粒子センサ１は、センサ本体部５と、このセンサ本体部５と回路部２０１との間を電気的に接続するケーブル（第１ケーブル９０及び第２ケーブル１００）と、センサ本体部５から延出するエアチューブ２０とを備える（図２及び図３参照）。このうち、センサ本体部５は、軸線方向ＧＨに延びる形態をなし、センサ本体先端部６と、この後端側ＧＫに位置するセンサ本体後端部７とを有する。センサ本体先端部６は、接地電位ＰＶＥとされた金属製の排気管ＥＰの管取付部ＥＰＴに装着され、センサ本体後端部７が排気管ＥＰの外部に配置される（図５及び図１２参照）。
【００４４】
また、センサ本体部５から延出するエアチューブ２０は、外部の圧送ポンプ３０１に接続される（図１２参照）。また、センサ本体部５から延出する第１ケーブル９０及び第２ケーブル１００は、外部の回路部２０１に接続される（図１２参照）。
【００４５】
センサ本体部５は、外側金具１０、内側金具３０、放電電極体７０、第１絶縁パイプ７５（絶縁部材）、及び補助電極体８０を有する（図３参照）。このうち、外側金具１０は、金属からなり、軸線方向ＧＨに延びる円筒状であり、内側金具３０とは離間して絶縁された状態で、内側金具３０の径方向周囲を囲む。この外側金具１０は、接地電位ＰＶＥとされた排気管ＥＰの管取付部ＥＰＴに装着されて、接地電位ＰＶＥとされる（図５及び図１２参照）。外側金具１０は、第１外側金具１１と、第１外側金具１１に対し軸線方向ＧＨの先端側ＧＳに位置する第２外側金具１３と、第１外側金具１１の後端側ＧＫに溶接されたリアカバー１５とによって構成される。
【００４６】
第１外側金具１１は、図６に示すように、円筒状でステンレス製の部材である。この第１外側金具１１は、円筒状の第１本体部１１ａと、この第１本体部１１ａの先端側ＧＳに位置する円環状の外側保持部１１ｂと、この外側保持部１１ｂから径方向外側に膨出する円環状の金具取付部１１ｃとを有する。第１本体部１１ａの径方向周囲には、後述する締結部材６０が、第１外側金具１１に対し回転自在に配置されている（図３参照）。
【００４７】
外側保持部１１ｂは、後述する内側金具３０（ホルダ５０）の内側保持部５１ｆとの間に、円筒状でアルミナ製の絶縁スペーサ４７を保持する部位である（図４及び図８参照）。この外側保持部１１ｂには、先端側ＧＳで径方向内側に膨出する円環状の外側係合部１１ｂｅが設けられており、この外側係合部１１ｂｅが、円環状の第１介在部材４８を介して、絶縁スペーサ４７の先端面４７ｂに先端側ＧＳから全周にわたり係合している（図８参照）。
【００４８】
また、金具取付部１１ｃは、後述するように、締結部材６０が係合して、排気管ＥＰの管取付部ＥＰＴに取り付けられる部位である（図５参照）。この金具取付部１１ｃのうち径方向外側部分は、後端側ＧＫに凹んで軸線方向ＧＨの厚みが薄くされた第１係合部１１ｃｆとされている（図８参照）。この第１係合部１１ｃｆには、後述する第２外側金具１３の第２係合部１３ｂｆが全周にわたり係合している。
【００４９】
第２外側金具１３は、図６に示すように、円筒状でステンレス製の部材である。この第２外側金具１３は、第１外側金具１１に対し軸線方向ＧＨの先端側ＧＳに位置し、後述する内側金具３０の放電対極部３５ｄ及び第２空間構成部３５ｇ（先端側筒壁部３５ｂの一部）の外周を、隙間を介して包囲している（図３参照）。なお、この第２外側金具１３は、第１外側金具１１に溶接等で接合されておらず、第１外側金具１１に当接しているだけであるため、第１外側金具１１から取り外すことができる（図７及び図８参照）。すなわち、第２外側金具１３は、第１外側金具１１に対し取り外し可能に装着されている。
【００５０】
この第２外側金具１３は、円筒状の第２本体部１３ａと、この第２本体部１３ａの後端側ＧＫに位置する円環板状で第２本体部１３ａよりも径大の座面部１３ｂとを有する（図３及び図６参照）。第２本体部１３ａには、第２本体部１３ａの先端側ＧＳに開口する平面視Ｕ字状の切り欠きからなるガス導入窓１３ｈが形成されている。このガス導入窓１３ｈにより、第２外側金具１３の径方向外側を流れる排気ガスＥＧを、ガス導入窓１３ｈを通じて直接、後述する内側金具３０のガス導入口３５ｈまで導くことができる。
【００５１】
座面部１３ｂの円環状の先端面１３ｂｓは、微粒子センサ１を排気管ＥＰの管取付部ＥＰＴに装着する際に、管取付部ＥＰＴの管座面部ＥＰＺに、円環状でステンレス製のガスケット１８を介して間接に接する（図５参照）。また、座面部１３ｂの円環状の後端面１３ｂｋは、第１外側金具１１の先端面１１ｓに当接している。また、座面部１３ｂのうち径方向外側部分は、後端側ＧＫに突出する第２係合部１３ｂｆとされている（図８参照）。この第２係合部１３ｂｆは、前述のように、第１外側金具１１の第１係合部１１ｃｆに対し、全周にわたり係合している。これにより、第２外側金具１３は、第１外側金具１１に対して径方向に位置決めされる。
【００５２】
リアカバー１５は、図６に示すように、円筒状でステンレス製の部材であり、軸線方向ＧＨに延びる第１貫通孔１５ｂ及び第２貫通孔１５ｃを有する（図３参照）。このリアカバー１５の先端部は、第１外側金具１１の第１本体部１１ａ内に後端側ＧＫから挿入され、全周にわたり溶接されている。リアカバー１５には、後端側ＧＫに向けて突出する筒状のエア取入部１５ｔが設けられている（図４及び図６参照）。このエア取入部１５ｔは、センサ本体部５のうち軸線方向ＧＨの後端側ＧＫに位置し、センサ本体部５の外部から内部にエアＡＲを取り入れるための部位である。
【００５３】
このエア取入部１５ｔには、エアチューブ２０が接続され、円筒状の取付リング１６によって加締め固定されている。このエアチューブ２０は、エア取入部１５ｔから後端側ＧＫに向けて延出し、エアチューブ２０の他端部は、外部に設置された圧送ポンプ３０１（エアポンプ）に接続されている（図１２参照）。これにより、圧送ポンプ３０１で生成された清浄なエア（圧縮空気）ＡＲが、エアチューブ２０を介してリアカバー１５内（センサ本体部５内）に供給される。
【００５４】
また、リアカバー１５の内部から後端側ＧＫに向けて、２本のケーブル（第１ケーブル９０及び第２ケーブル１００）が延出している。具体的には、図３に示すように、リアカバー１５の第１貫通孔１５ｂの後端側ＧＫには、第１Ｏリング２３及び円筒状の第１リテーナ２５が挿入されており、これらに第１ケーブル９０が挿通された態様で、第１ケーブル９０がリアカバー１５に保持されている。
【００５５】
第１リテーナ２５は、軸線方向ＧＨの先端側ＧＳに位置する円筒状の挿入部２５ｃと、これよりも後端側ＧＫに位置する円筒状の加締め接続部２５ｂとを有する。このうち、挿入部２５ｃは、リアカバー１５の第１貫通孔１５ｂ内に、後端側ＧＫから挿入される部位である。また、加締め接続部２５ｂは、第１接地電位配線９７の先端部９７ｂに接続する部位である。この加締め接続部２５ｂは、自身の内部に第１接地電位配線９７の先端部９７ｂを挿入配置した状態で、径方向内側に加締められることで、第１接地電位配線９７の先端部９７ｂに圧接した状態で導通している。第１リテーナ２５のうち、挿入部２５ｃよりも後端側ＧＫの部位（加締め接続部２５ｂを含む部位）は、リアカバー１５の後端からリアカバー１５の外部に突出して配置されている。
【００５６】
さらに、リアカバー１５の第２貫通孔１５ｃの後端側ＧＫには、第２Ｏリング２４及び円筒状の第２リテーナ２６が挿入されており、これらに第２ケーブル１００が挿通された態様で、第２ケーブル１００がリアカバー１５に保持されている。
【００５７】
第２リテーナ２６は、軸線方向ＧＨの先端側ＧＳに位置する円筒状の挿入部２６ｃと、これよりも後端側ＧＫに位置する円筒状の加締め接続部２６ｂとを有する。このうち、挿入部２６ｃは、リアカバー１５の第２貫通孔１５ｃ内に、後端側ＧＫから挿入される部位である。また、加締め接続部２６ｂは、第２接地電位配線１０７の先端部１０７ｂに接続する部位である。この加締め接続部２６ｂは、自身の内部に第２接地電位配線１０７の先端部１０７ｂを挿入配置した状態で、径方向内側に加締められることで、第２接地電位配線１０７の先端部１０７ｂに圧接した状態で導通している。第２リテーナ２６のうち、挿入部２６ｃよりも後端側ＧＫの部位（加締め接続部２６ｂを含む部位）は、リアカバー１５の後端からリアカバー１５の外部に突出して配置されている。
【００５８】
なお、微粒子センサ１のセンサ本体部５のうち、第１外側金具１１の金具取付部１１ｃから先端側ＧＳの部分（金具取付部１１ｃを含む先端側ＧＳの部分）が、前述のセンサ本体先端部６であり、第１外側金具１１の第１本体部１１ａから後端側ＧＫの部分（第１本体部１１ａを含む後端側ＧＫの部分）が、前述のセンサ本体後端部７である。
【００５９】
次に、締結部材６０について説明する。この締結部材６０は、センサ本体後端部７の径方向周囲、具体的には、第１外側金具１１の第１本体部１１ａの径方向周囲に、回転自在に配置されている。締結部材６０は、雄ネジ部６１と、この雄ネジ部６１の後端側ＧＫに位置する工具係合部６３とからなる筒状の部材である（図３〜図６参照）。このうち雄ネジ部６１は、外周に雄ネジが形成された円筒状の部位である。一方、工具係合部６３は、外形が六角形状の筒状で、センサ本体部５を排気管ＥＰの管取付部ＥＰＴに取り付ける際に工具を係合させる部位である。
【００６０】
図５に示すように、排気管ＥＰの管取付部ＥＰＴは、円環状の管座面部ＥＰＺと、この管座面部ＥＰＺから排気管ＥＰの径方向外側に延出し、内周に雌ネジが形成された円筒状の雌ネジ部ＥＰＹとを有する。微粒子センサ１のセンサ本体部５を排気管ＥＰの管取付部ＥＰＴに装着するにあたり、締結部材６０の雄ネジ部６１を管取付部ＥＰＴの雌ネジ部ＥＰＹにねじ込むと、締結部材６０の雄ネジ部６１の先端が、センサ本体先端部６のうち第１外側金具１１の金具取付部１１ｃに係合して、第１外側金具１１を含むセンサ本体部５が先端側ＧＳに移動する。
【００６１】
そして、金具取付部１１ｃのうち先端側ＧＳに位置する座面部１３ｂが、管取付部ＥＰＴの管座面部ＥＰＺに、ガスケット１８を介して間接に接する。これにより、締結部材６０の雄ネジ部６１と管取付部ＥＰＴの管座面部ＥＰＺとの間に、第１外側金具１１の金具取付部１１ｃと第２外側金具１３の座面部１３ｂとガスケット１８が挟持される。これにより、第１外側金具１１及び第２外側金具１３が排気管ＥＰの管取付部ＥＰＴに保持され、管取付部ＥＰＴにセンサ本体部５が気密に固定される。なお、締結部材６０は、センサ本体部５に対して回転自在に配置されているので、上述のセンサ本体部５の管取付部ＥＰＴへの装着は、センサ本体部５を回転させることなく、締結部材６０のみを回転させることによって行うことができる。
【００６２】
絶縁スペーサ４７は、絶縁性セラミックからなり、内側金具３０（詳細には、ホルダ５０のうち円環状の内側保持部５１ｆ）と外側金具１０（詳細には、第１外側金具１１のうち円環状の外側保持部１１ｂ）との間に配置されて、内側金具３０と外側金具１０とを電気的に絶縁している。なお、絶縁スペーサ４７のうち、軸線方向ＧＨの先端側ＧＳを向く円環状の面を先端面４７ｂ、軸線方向ＧＨの後端側ＧＫを向く円環状の面を後端面４７ｃとする。
【００６３】
また、第１介在部材４８は、金属製（具体的には、ステンレス製）で、平板円環状をなしている。この第１介在部材４８は、外側金具１０（詳細には、第１外側金具１１の外側保持部１１ｂ）と絶縁スペーサ４７（詳細には、絶縁スペーサ４７の先端面４７ｂ）とに接触しつつ両者の間に介在している（軸線方向ＧＨに挟まれている）。
【００６４】
次に、第１ケーブル９０及び第２ケーブル１００について説明する。なお、図１１は、第１ケーブル９０及び第２ケーブル１００の横断面図である。
第１ケーブル９０は、トライアキシャルケーブルであり、図３及び図１１に示すように、銅の芯線からなる放電電位配線９１と、その径方向外側に位置し、銅細線を編んだ編組からなる円筒状の第１基準電位配線９３と、放電電位配線９１の径方向周囲を包囲し、放電電位配線９１と第１基準電位配線９３との間に配置されて両者を絶縁する、ＰＴＦＥからなる第１絶縁体層９２とを有している。さらに、第１ケーブル９０は、第１基準電位配線９３の径方向周囲を包囲し、銅細線を編んだ編組からなる円筒形状の第１接地電位配線９７と、第１基準電位配線９３の径方向周囲を包囲し、第１基準電位配線９３と第１接地電位配線９７との間に配置されて両者を絶縁する、ＰＴＦＥからなる絶縁性の第２絶縁体層９５とを有する。
【００６５】
さらに、第１ケーブル９０は、図１１に示すように、第２絶縁体層９５の径方向内側表面９５ｂに密着して径方向内側表面９５ｂを覆い、第１基準電位配線９３に接触する第１半導電被覆層９４と、第２絶縁体層９５の径方向外側表面９５ｃに密着して径方向外側表面９５ｃを覆い、第１接地電位配線９７に接触する第２半導電被覆層９６とを有する。第１半導電被覆層９４及び第２半導電被覆層９６は、カーボン入りＦＥＰからなり、半導電性（導電性）を有している。さらに、第１ケーブル９０は、第１接地電位配線９７の径方向周囲を被覆する、ＦＥＰからなる絶縁性の外側絶縁被覆層９８を有している。このように、第１ケーブル９０は、第１基準電位配線９３と第１接地電位配線９７とによって放電電位配線９１を二重に包囲すると共に、第１接地電位配線９７で第１基準電位配線９３を包囲する二重包囲ケーブルとなっている。
【００６６】
この第１ケーブル９０のうち、放電電位配線９１の先端部９１ｂは、第１絶縁体層９２の先端よりも第１ケーブル９０の先端側（図３において上方）に延びる形態で、第１ケーブル９０の外部に露出している。この放電電位配線９１の先端部９１ｂは、図３に示すように、第１接続端子７７による加締め接続により、放電電極体７０の第１延出部７１の後端部（露出部）に接続されている。これにより、放電電位配線９１が、放電電極体７０に導通する。
【００６７】
なお、放電電位配線９１の先端部９１ｂと放電電極体７０の第１延出部７１の後端部とが、第１接続端子７７を通じて接続された部位を、放電電位接続部１１１とする（図３参照）。放電電位接続部１１１は、放電電位配線９１の先端部９１ｂと放電電極体７０の第１延出部７１の後端部と第１接続端子７７とにより構成される。
【００６８】
また、第１基準電位配線９３の先端部９３ｂは、第１半導電被覆層９４の先端よりも第１ケーブル９０の先端側に延びる形態で、第１ケーブル９０の外部に露出している。この第１基準電位配線９３の先端部９３ｂは、図３に示すように、内側金具３０の内筒３１に接続されている。これにより、第１基準電位配線９３が、内側金具３０に導通する。
【００６９】
また、第１接地電位配線９７の先端部９７ｂは、外側絶縁被覆層９８の先端よりも第１ケーブル９０の先端側に延びる形態で、第１ケーブル９０の外部に露出している。この第１接地電位配線９７の先端部９７ｂは、図３に示すように、リアカバー１５の第１貫通孔１５ｂ内に挿入された筒状の第１金属部材２１が外嵌し、この第１金属部材２１を通じてリアカバー１５に接続されている。これにより、第１接地電位配線９７が、外側金具１０に導通する。
【００７０】
次に、第２ケーブル１００について説明する。この第２ケーブル１００も、トライアキシャルケーブルであり、図３及び図１１に示すように、銅の芯線からなる補助電位配線１０１と、その径方向外側に位置し、銅細線を編んだ編組からなる円筒状の第２基準電位配線１０３と、補助電位配線１０１の径方向周囲を包囲し、補助電位配線１０１と第２基準電位配線１０３との間に配置されて両者を絶縁する、ＰＴＦＥからなる第１絶縁体層１０２とを有している。さらに、第２ケーブル１００は、第２基準電位配線１０３の径方向周囲を包囲し、銅細線を編んだ編組からなる円筒形状の第２接地電位配線１０７と、第２基準電位配線１０３の径方向周囲を包囲し、第２基準電位配線１０３と第２接地電位配線１０７との間に配置されて両者を絶縁する、ＰＴＦＥからなる絶縁性の第２絶縁体層１０５とを有する。
【００７１】
さらに、第２ケーブル１００は、図１１に示すように、第２絶縁体層１０５の径方向内側表面１０５ｂに密着して径方向内側表面１０５ｂを覆い、第２基準電位配線１０３に接触する第１半導電被覆層１０４と、第２絶縁体層１０５の径方向外側表面１０５ｃに密着して径方向外側表面１０５ｃを覆い、第２接地電位配線１０７に接触する第２半導電被覆層１０６とを有する。第１半導電被覆層１０４及び第２半導電被覆層１０６は、カーボン入りＦＥＰからなり、半導電性（導電性）を有している。さらに、第２ケーブル１００は、第２接地電位配線１０７の径方向周囲を被覆する、ＦＥＰからなる絶縁性の外側絶縁被覆層１０８を有している。このように、第２ケーブル１００は、第２基準電位配線１０３と第２接地電位配線１０７とによって補助電位配線１０１を二重に包囲すると共に、第２接地電位配線１０７で第２基準電位配線１０３を包囲する二重包囲ケーブルとなっている。
【００７２】
この第２ケーブル１００のうち、補助電位配線１０１の先端部１０１ｂは、第１絶縁体層１０２の先端よりも第２ケーブル１００の先端側（図３において上方）に延びる形態で、第２ケーブル１００の外部に露出している。この補助電位配線１０１の先端部１０１ｂは、図３に示すように、第２接続端子８７による加締め接続により、補助電極体８０の第２延出部８１の後端部（露出部）に接続されている。これにより、補助電位配線１０１が、補助電極体８０に導通する。
【００７３】
なお、補助電位配線１０１の先端部１０１ｂと補助電極体８０の第２延出部８１の後端部とが、第２接続端子８７を通じて接続された部位を、補助電位接続部１１２とする（図３参照）。補助電位接続部１１２は、補助電位配線１０１の先端部１０１ｂと補助電極体８０の第２延出部８１の後端部と第２接続端子８７とにより構成される。
【００７４】
また、第２基準電位配線１０３の先端部１０３ｂは、第１半導電被覆層１０４の先端よりも第２ケーブル１００の先端側に延びる形態で、第２ケーブル１００の外部に露出している。この第２基準電位配線１０３の先端部１０３ｂは、図３に示すように、内側金具３０の内筒３１に接続されている。これにより、第２基準電位配線１０３が、内側金具３０に導通する。
【００７５】
また、第２接地電位配線１０７の先端部１０７ｂは、外側絶縁被覆層１０８の先端よりも第２ケーブル１００の先端側に延びる形態で、第２ケーブル１００の外部に露出している。この第２接地電位配線１０７の先端部１０７ｂは、図３に示すように、リアカバー１５の第２貫通孔１５ｃ内に挿入された筒状の第２金属部材２２が外嵌し、この第２金属部材２２を通じてリアカバー１５に接続されている。これにより、第２接地電位配線１０７が、外側金具１０に導通する。
【００７６】
次に、内側金具３０について説明する。この内側金具３０は、金属からなり、図３及び図４に示すように、軸線方向ＧＨに延びる外形円柱状であり、前述のように、外側金具１０の径方向内側に、外側金具１０とは離間し絶縁された状態で配置されている。内側金具３０は、第１ケーブル９０の第１基準電位配線９３及び第２ケーブル１００の第２基準電位配線１０３を通じて、外部の回路部２０１に接続され、接地電位ＰＶＥとは異なる基準電位ＰＶ１とされる。この内側金具３０は、後端側ＧＫから先端側ＧＳへ順に並ぶ、内筒３１と、ホルダ５０と、ノズル部材３５と、混合排出部材３７と、蓋部材３９とによって構成されている（図３、図４、図６参照）。
【００７７】
ホルダ５０は、ステンレス製で円柱状をなしている。このホルダ５０は、その後端側ＧＫの部位が内筒３１の先端部内に嵌め込まれた態様で固定されている（図４参照）。ホルダ５０は、ホルダ５０を軸線方向ＧＨに貫通する第１挿入孔５２及び第２挿入孔５３を有する（図３参照）。このうち、第１挿入孔５２内には、第１絶縁パイプ７５（絶縁部材）で被覆された放電電極体７０が挿入される。また、第２挿入孔５３内には。第２絶縁パイプ８５で被覆された補助電極体８０が挿入される（図３参照）。
【００７８】
また、第１挿入孔５２は、軸線方向ＧＨの後端側ＧＫに開口して接着剤５９を収容する接着剤収容部（接着剤収容空間）を有する。この接着剤収容部の内部には、放電電極体７０を被覆した第１絶縁パイプ７５（絶縁部材）が挿入（挿通）された状態で、接着剤５９が収容（充填）されている（図３参照）。これにより、放電電極体７０を被覆した第１絶縁パイプ７５（絶縁部材）がホルダ５０に接着されるので、第１絶縁パイプ７５と共に放電電極体７０を、ホルダ５０に固定することができる。
【００７９】
また、第２挿入孔５３は、軸線方向ＧＨの後端側ＧＫに開口して接着剤５９を収容する接着剤収容部（接着剤収容空間）を有する。この接着剤収容部の内部には、補助電極体８０を被覆した第２絶縁パイプ８５が挿入（挿通）された状態で、接着剤５９が収容（充填）されている（図３参照）。これにより、補助電極体８０を被覆した第２絶縁パイプ８５がホルダ５０に接着されるので、第２絶縁パイプ８５と共に補助電極体８０を、ホルダ５０に固定することができる。
【００８０】
さらに、ホルダ５０は、ホルダ５０を軸線方向ＧＨに貫通する通気孔５７を有している（図４参照）。この通気孔５７は、エア取入部１５ｔを通じてセンサ本体部５の内部に導入されたエアＡＲが、当該通気孔５７を通じて軸線方向ＧＨの後端側ＧＫから先端側ＧＳに流通する通気孔である。
【００８１】
また、ホルダ５０は、その外周面から径方向外側に膨出する円環状の部位を含むホルダ５０の先端側ＧＳの部位であって、外側金具１０の外側保持部１１ｂとの間で絶縁スペーサ４７を保持する内側保持部５１ｆを有している（図４、図６参照）。この内側保持部５１ｆは、円環状の第２介在部材４９を介して絶縁スペーサ４７に後端側ＧＫから全周にわたり係合して、第１外側金具１１の外側保持部１１ｂとの間に絶縁スペーサ４７を挟んで保持している（図３及び図４参照）。
【００８２】
第２介在部材４９は、金属製（具体的には、ステンレス製）で、平板円環状をなしている。この第２介在部材４９は、内側金具３０（詳細には、ホルダ５０のうち円環状の内側保持部５１ｆ）と絶縁スペーサ４７（詳細には、絶縁スペーサ４７の後端面４７ｃ）とに接触しつつ両者の間に介在している（軸線方向ＧＨに挟まれている）。
【００８３】
ノズル部材３５は、外形円柱状でステンレス製の部材であり、後端側ＧＫからホルダ５０の先端部が嵌め込まれて、これに固定されている。このノズル部材３５は、ホルダ５０よりも軸線方向ＧＨの先端側ＧＳに位置し、放電電極体７０の対極となる放電対極部３５ｄを有している。この放電対極部３５ｄは、放電電極体７０の先端部である針状先端部７３が配置される放電空間ＤＳ（第１空間）を有し、この放電空間ＤＳ内において放電電極体７０の針状先端部７３との間で気中放電を発生させる（図３及び図１３参照）。
【００８４】
詳細には、放電対極部３５ｄは、ノズル部３５ａと、このノズル部３５ａよりも後端側ＧＫに位置する後端側筒壁部３５ｃとを有する。このうち、ノズル部３５ａは、軸線方向ＧＨの後端側ＧＫから先端側ＧＳに向かうにしたがって縮径するテーパ形状の内面を有し、その先端部には、放電空間ＤＳ（第１空間）と後述する円筒状混合空間ＭＸ１（第２空間）とを連通する孔であるオリフィス３５ｆが形成されている。オリフィス３５ｆは、放電空間ＤＳから円筒状混合空間ＭＸ１へエアＡＲを噴射させるための孔であり、微小な内径（本実施形態では、直径０．５ｍｍ）の孔となっている（図３及び図１３参照）。
【００８５】
さらに、放電対極部３５ｄは、当該放電対極部３５ｄのうち放電空間ＤＳ（第１空間）と内側金具３０の外部との間を隔てる壁部３５ｋを貫通して、放電空間ＤＳと内側金具３０の外部との間を連通可能にする貫通孔３８を有している（図３、図８、図９、及び図１０参照）。すなわち、放電対極部３５ｄのうち放電空間ＤＳと内側金具３０の外部との間を隔てる壁部３５ｋには、当該壁部３５ｋを貫通して放電空間ＤＳと内側金具３０の外部との間を連通可能にする貫通孔３８が形成されている。
【００８６】
また、微粒子センサ１は、放電対極部３５ｄの貫通孔３８を閉塞する閉塞部材３６を有している。この閉塞部材３６は、放電対極部３５ｄに対し着脱可能とされている。すなわち、閉塞部材３６が、放電対極部３５ｄに対し着脱可能な機械的構造（本実施形態では、雄ネジ３６ｂ）を有している。この閉塞部材３６は、当該閉塞部材３６の少なくとも一部が放電対極部３５ｄの貫通孔３８内に配置される態様で、貫通孔３８を閉塞する（図９参照）。
【００８７】
なお、図８は、第２外側金具１３を第１外側金具１１から取り外した状態における微粒子センサ１の先端側ＧＳの部分の縦断面図である。また、図９は、図８のＢ−Ｂ断面図である。また、図１０は、閉塞部材３６を放電対極部３５ｄから取り外した状態における図８のＢ−Ｂ断面図である。
【００８８】
閉塞部材３６は、外周に雄ネジ３６ｂを有するネジ部材である。詳細には、閉塞部材３６は、その先端部がテーパ形状（先端に向かうにしたがって外形が小さくなるテーパ形状）とされたテーパ部３６ｄを有し、さらに、その後端部に六角穴３６ｆを有する止めネジである（図９及び図１０参照）。
【００８９】
また、放電対極部３５ｄの壁部３５ｋのうち貫通孔３８を構成する孔内周面３８ｈには、閉塞部材３６の雄ネジ３６ｂに適合する雌ネジ３８ｂが形成されている。これにより、貫通孔３８の一部（テーパ部３８ｄを除く部位）を雌ネジ孔３８ｃとしている。さらに、貫通孔３８を構成する孔内周面３８ｈの先端部（放電空間ＤＳ側の部位）は、閉塞部材３６のテーパ部３６ｄに適合するテーパ部３８ｄとされている（図９及び図１０参照）。
【００９０】
このため、六角穴３６ｆに適合する着脱用工具（六角レンチ）を用いて、閉塞部材３６の雄ネジ部３６ｃを雌ネジ孔３８ｃに螺合させて、閉塞部材３６を放電対極部３５ｄに取り付ける（閉塞部材３６の少なくとも一部を貫通孔３８内に配置する）と共に、閉塞部材３６の先端部であるテーパ部３６ｄを、貫通孔３８を構成する孔内周面３８ｈのテーパ部３８ｄに密着させた状態にすることで、閉塞部材３６によって貫通孔３８を気密に閉塞する（封止する）ことができる。
【００９１】
従って、本実施形態の微粒子センサ１では、排気ガスＥＧ中の微粒子Ｓの量を検知するために使用するときは、上述のように、放電対極部３５ｄの貫通孔３８を閉塞部材３６によって気密に閉塞した状態にする。これにより、エア取入部１５ｔから放電空間ＤＳ（第１空間）内に導入されたエアＡＲを、オリフィス３５ｆを通じて適切に円筒状混合空間ＭＸ１（第２空間）内へ噴出させることができる。
【００９２】
さらに、ノズル部材３５は、放電対極部３５ｄよりも軸線方向ＧＨの先端側ＧＳに位置する円筒状の先端側筒壁部３５ｂを有する（図３及び図６参照）。この先端側筒壁部３５ｂの一部（第２空間構成部３５ｇとする、図３参照）は、気中放電により生じたイオンと排気ガスＥＧ（被測定ガス）とが導入されて混合される円筒状混合空間ＭＸ１（第２空間）を構成している。この円筒状混合空間ＭＸ１は、放電空間ＤＳよりも先端側ＧＳに位置し、ノズル部３５ａのオリフィス３５ｆを通じて、放電空間ＤＳと連通している（図３及び図１３参照）。
【００９３】
また、この先端側筒壁部３５ｂには、排気管ＥＰの下流側に向けて開口し、この円筒状混合空間ＭＸ１に繋がる１つのガス導入口３５ｈが設けられている（図４参照）。排気管ＥＰ内を流通する排気ガスＥＧ（被測定ガス）は、第２外側金具１３のガス導入窓１３ｈ及び先端側筒壁部３５ｂのガス導入口３５ｈを通じて、円筒状混合空間ＭＸ１（第２空間）内に導入される。
【００９４】
混合排出部材３７は、外形円柱状でステンレス製の部材であり、後端側ＧＫからノズル部材３５の先端部内に嵌め込まれて、これに固定されている（図３及び図６参照）。この混合排出部材３７は、後端側ＧＫに位置する排出後端部３７ａと、この排出後端部３７ａの周縁から先端側ＧＳに延出した円筒状の筒壁部３７ｂとからなる。このうち、排出後端部３７ａには、径方向内側に膨出する捕集極３７ｃが設けられており、この捕集極３７ｃによって、スリット状の空間であるスリット状混合空間ＭＸ２が形成されている。このスリット状混合空間ＭＸ２は、前述の円筒状混合空間ＭＸ１と連通している（図４参照）。
【００９５】
一方、筒壁部３７ｂ内には、円柱状の空間であるガス排出路ＥＸが形成されている。このガス排出路ＥＸは、スリット状混合空間ＭＸ２と連通する。また、筒壁部３７ｂには、排気管ＥＰの下流側に向けて開口し、ガス排出路ＥＸに繋がる１つのガス排出口３７ｈが設けられている（図３及び図４参照）。
また、蓋部材３９は、円板状でステンレス製の部材であり、混合排出部材３７の先端側ＧＳを閉塞している。
【００９６】
内筒３１は、軸線方向ＧＨに延びる円筒形状をなすステンレス製の筒状部材である（図３、図４、図６参照）。この内筒３１は、半円筒状の第１部材３２と半円筒状の第２部材３４とからなり、第１部材３２と第２部材３４が組み合わされることで形成されている。第１部材３２と第２部材３４は、同一形状をなしている。具体的には、第１部材３２と第２部材３４は、内筒３１を軸線方向ＧＨに二等分した半筒状をなしている。
【００９７】
第１部材３２は、半円筒状をなすセパレータ被覆部３２ｂと、その後端側ＧＫに位置する半円柱状の接触導通部３２ｃとを有する。このうち、接触導通部３２ｃは、軸線方向ＧＨに接触導通部３２ｃを貫通する筒状の通気口を有する。なお、第２部材３４も、第１部材３２と同等の形態を有している。
【００９８】
上述の第１部材３２と第２部材３４とを組み合わせた内筒３１の内部には、電気絶縁性のセパレータ４１が収容されている（図３及び図４参照）。詳細には、第１部材３２のセパレータ被覆部３２ｂと第２部材３４のセパレータ被覆部とによって形成される円筒部内（円筒状のセパレータ収容空間）に、セパレータ４１が接触して収容されている。これにより、セパレータ４１が内筒３１によって保持されている。
【００９９】
また、第１部材３２の接触導通部３２ｃと第２部材３４の接触導通部３４ｃとによって形成される２つの円筒状接触面の内部には、それぞれ、第１基準電位配線９３と第２基準電位配線１０３とが接触して配置されている。これにより、内筒３１が、第１基準電位配線９３と第２基準電位配線１０３とに接触して導通する。
この内筒３１は、センサ本体部５の内部に固定されている。具体的には、内筒３１の先端部がホルダ５０の後端部に外嵌されて、この外嵌部分（内筒３１の先端部とホルダ５０の後端部）が溶接されることで、内筒３１の先端部がセンサ本体部５の内部に固定されている。
【０１００】
また、内筒３１は、その後端部が、円筒状の金属保持部材４２の内側に挿入されて固定された状態で、金属保持部材４２によって保持されている。これにより、第１部材３２と第２部材３４とが組み合わされて円筒状の内筒３１とされた状態を保つことができると共に、内筒３１の後端部がセンサ本体部５の内部に固定される。なお、内筒３１の後端部と金属保持部材４２とは、溶接されて固定されている。
【０１０１】
金属保持部材４２は、軸線方向ＧＨに延びる円筒状の側壁部４２ｂと、この側壁部４２ｂの後端部に接続する円環状の底部４２ｃとを有する（図４、図６参照）。底部４２ｃには、円形状の通気孔４２ｄが設けられている。前述のリアカバー１５内に供給されたエア（圧縮空気）ＡＲは、金属保持部材４２の通気孔４２ｄを通じて、センサ本体部５内を軸線方向ＧＨの後端側ＧＫから先端側ＧＳに流通する。
【０１０２】
金属保持部材４２の後端部は、半円筒状の２つの絶縁部材４３ｂと４３ｃを組み合わせた円筒状の絶縁部材４３内に配置されて、絶縁部材４３に保持されている。更に、この絶縁部材４３の後端側ＧＫには、円環状のゴム部材４４が配置され、更にその後端側ＧＫには、Ｃ環状のワッシャ４５が配置されている（図４、図６参照）。
【０１０３】
セパレータ４１は、電気絶縁性部材（アルミナを主成分としたセラミック）からなり、軸線方向ＧＨに延びる柱状をなしている（図３、図４、図６参照）。このセパレータ４１は、当該セパレータ４１を軸線方向ＧＨに貫通する第１貫通孔４１ｂ及び第２貫通孔４１ｃを有する。第１貫通孔４１ｂと第２貫通孔４１ｃは、別個独立した貫通孔であり、セパレータ４１の壁部を挟んで軸線方向ＧＨに直交する方向（図３において左右方向）に離間している。
【０１０４】
セパレータ４１の第１貫通孔４１ｂの内部には、第１ケーブル９０の先端部及び放電電極体７０の第１延出部７１が挿入されている。そして、第１貫通孔４１ｂの内部には、放電電位接続部１１１（放電電位配線９１の先端部９１ｂと放電電極体７０の第１延出部７１の後端部とが、第１接続端子７７を通じて接続された部位）が配置されている。
【０１０５】
また、セパレータ４１の第２貫通孔４１ｃの内部には、第２ケーブル１００の先端部及び補助電極体８０の第２延出部８１が挿入されている。そして、第２貫通孔４１ｃの内部には、補助電位接続部１１２（補助電位配線１０１の先端部１０１ｂと補助電極体８０の第２延出部８１の後端部とが、第２接続端子８７を通じて接続された部位）が配置されている。
【０１０６】
これにより、放電電位ＰＶ２となる放電電位接続部１１１と補助電位ＰＶ４となる補助電位接続部１１２とが、セパレータ４１によって電気的に絶縁されている。
従って、本実施形態の微粒子センサ１は、セパレータ４１によって、放電電位接続部１１１と補助電位接続部１１２とが適切に電気絶縁された微粒子センサとなる。
【０１０７】
次に、放電電極体７０について説明する。この放電電極体７０は、タングステン線からなり、図３に示すように、直棒状の第１延出部７１と、その先端部分に位置し、針状に尖った形状の針状先端部７３とを有する。この放電電極体７０（針状先端部７３）は、第１ケーブル９０の放電電位配線９１を通じて、外部の回路部２０１に接続され、放電電位ＰＶ２とされる。なお、放電電位ＰＶ２は、基準電位ＰＶ１に対し正の高電位であり、ピーク電位が１〜２ｋＶの電位とされる。
【０１０８】
第１延出部７１は、その径方向周囲が、第１絶縁パイプ７５（絶縁部材）で被覆されている。但し、第１延出部７１の後端部は、第１接続端子７７によって放電電位配線９１の先端部９１ｂと接続するために、第１絶縁パイプ７５（絶縁部材）で被覆されることなく露出している。
【０１０９】
針状先端部７３は、放電対極部３５ｄによって構成されている放電空間ＤＳ内に配置されており、放電対極部３５ｄと共にイオン源を構成する。即ち、後述するように、基準電位ＰＶ１とされる放電対極部３５ｄと、放電電位ＰＶ２とされる針状先端部７３とは、これらの間において気中放電を発生させ、この気中放電によって微粒子Ｓに付着させるイオンＣＰを生成する。
【０１１０】
第１絶縁パイプ７５（絶縁部材）は、円筒形状の絶縁セラミックからなり、放電電極体７０（第１延出部７１）の外周面を被覆する態様で、内側金具３０（ホルダ５０など）と放電電極体７０（第１延出部７１）との間に介在して両者の間を電気的に絶縁している。なお、第１絶縁パイプ７５は、放電電極体７０の先端部である針状先端部７３よりも軸線方向ＧＨの後端側ＧＫに位置している。また、第１絶縁パイプ７５（絶縁部材）のうち先端側ＧＳの部位は、放電空間ＤＳ（第１空間）内に露出する絶縁露出部７５ｂとなっている（図３参照）。
【０１１１】
次に、補助電極体８０について説明する。この補助電極体８０は、ステンレス線からなり、図３に示すように、直棒状の第２延出部８１と、その先端側ＧＳでＵ字状に曲げ返された曲げ返し部８２と、曲げ返し部８２から後端側ＧＫに延びる共に先端が針状に尖った形状の補助電極部８３とを有する。
【０１１２】
第２延出部８１は、その周囲を絶縁セラミックからなる円筒状の第２絶縁パイプ８５で被覆されている。但し、第２延出部８１の後端部は、第２接続端子８７によって補助電位配線１０１の先端部１０１ｂと接続するために、第２絶縁パイプ８５で被覆されることなく露出している。また、曲げ返し部８２は、ガス排出路ＥＸ内に配置されている。
【０１１３】
一方、補助電極部８３は、スリット状混合空間ＭＸ２内に配置されている。この補助電極体８０（補助電極部８３）は、第２ケーブル１００の補助電位配線１０１を通じて、外部の回路部２０１に接続され、補助電位ＰＶ４とされる。この補助電位ＰＶ４は、基準電位ＰＶ１に対して正の高電位であるが、放電電位ＰＶ２のピーク電位（１〜２ｋＶ）よりも低い、例えば、ＤＣ１００〜２００Ｖの電位にされている。
【０１１４】
ところで、本実施形態の微粒子センサ１では、セパレータ４１は、図６に示すように、その外周面に、軸線方向ＧＨに延びる溝部４１ｆを有している。溝部４１ｆは、セパレータ４１の外周面４１ｄの一部が径方向内側に凹んだ形態で、軸線方向ＧＨについてセパレータ４１の先端から後端にまで延びている。そして、内筒３１によってセパレータ４１の外周が覆われた状態において、セパレータ４１の溝部４１ｆと内筒３１の内周面とによって囲まれた通気孔ＡＨが形成されている（図４参照）。さらに、この通気孔ＡＨは、ホルダ５０の通気孔５７に連通している。
【０１１５】
従って、本実施形態の微粒子センサ１では、エア取入部１５ｔと放電空間ＤＳとの間にセパレータ４１を設けていても、エア取入部１５ｔを通じてセンサ本体部５の内部に取り入れたエアＡＲを、適切に、センサ本体部５内の軸線方向ＧＨの先端側の放電空間ＤＳ内に導入することができる。
【０１１６】
本実施形態の微粒子センサ１（センサ本体部５）は、エア取入部１５ｔを通じてセンサ本体部５の内部に導入されたエアＡＲが、センサ本体部５の内部を軸線方向ＧＨの後端側ＧＫから先端側ＧＳに流れてゆく、センサ内エア流路ＦＣを有している（図４、図１２参照）。より具体的には、このセンサ内エア流路ＦＣは、エア取入部１５ｔを通じてセンサ本体部５の内部に導入されたエアＡＲが、センサ本体部５の内部を軸線方向ＧＨの後端側ＧＫから先端側ＧＳに流れてゆき、セパレータ４１の溝部４１ｆと内筒３１の内周面とによって囲まれた通気孔ＡＨを通り、その後、ホルダ５０の通気孔５７内を軸線方向ＧＨの後端側ＧＫから先端側ＧＳに通過して放電空間ＤＳ（第１空間）内に導入された後、さらに、ノズル部３５ａのオリフィス３５ｆを通じて放電空間ＤＳから円筒状混合空間ＭＸ１（第２空間）へ導入される第１流路ＦＣ１を含んでいる（図４参照）。なお、エアＡＲが、ノズル部３５ａのオリフィス３５ｆを通じて放電空間ＤＳから円筒状混合空間ＭＸ１（第２空間）へ導入されるとき、放電空間ＤＳ内で生じたイオンが当該エアＡＲと共に円筒状混合空間ＭＸ１（混合空間）内に導入される（図４、図１２、図１３参照）。
【０１１７】
次いで、微粒子センサ１の電気的機能及び動作について説明する（図１２及び図１３参照）。まず、外部の回路部２０１の駆動により、基準電位ＰＶ１とされた内側金具３０のノズル部３５ａ（放電対極部３５ｄ）と、これよりも正の高電位である放電電位ＰＶ２とされた放電電極体７０の針状先端部７３との間において、気中放電（コロナ放電）を発生させる。この気中放電により、大気（空気）中のＮ2，Ｏ2 等が電離した正のイオンＣＰが発生する。一方で、エアＡＲが、センサ本体部５の後端側ＧＫから放電空間ＤＳ内に供給される。このため、発生したイオンＣＰの一部は、エアＡＲと共に、オリフィス３５ｆを通じて、放電空間ＤＳ（第１空間）から円筒状混合空間ＭＸ１（第２空間）に噴射される。
【０１１８】
このエアＡＲが、円筒状混合空間ＭＸ１に噴射されると、円筒状混合空間ＭＸ１の気圧が低下するため、排気管ＥＰ内を流通する排気ガスＥＧが、ガス導入口３５ｈから円筒状混合空間ＭＸ１に取り入れられる。この取入ガスＥＧＩは、エアＡＲと混合され、スリット状混合空間ＭＸ２及びガス排出路ＥＸを経由して、ガス排出口３７ｈから排出される。その際、排気ガスＥＧ中のススなどの微粒子Ｓも円筒状混合空間ＭＸ１内に取り入れられる。この微粒子Ｓは、イオンＣＰが付着して、正に帯電した帯電微粒子ＳＣとなり、この状態でガス排出口３７ｈからエアＡＲと共に排出される。一方、円筒状混合空間ＭＸ１に噴射されたイオンＣＰのうち、微粒子Ｓに付着しなかった浮遊イオンＣＰＦは、補助電位ＰＶ４とされた補助電極体８０の補助電極部８３から斥力を受け、捕集極３７ｃに付着することで、ガス排出口３７ｈからの排出が抑制される。
【０１１９】
前述の気中放電の際、外部の回路部２０１から放電電極体７０の針状先端部７３に、放電電流Ｉｄが供給される。この放電電流Ｉｄの多くは、ノズル部３５ａに受電電流Ｉｊとして流れ込み、回路部２０１に戻る。一方、捕集極３７ｃで捕集された浮遊イオンＣＰＦの電荷に起因する捕集電流Ｉｈも、回路部２０１に戻る。つまり、受電電流Ｉｊと捕集電流Ｉｈの和である受電捕集電流Ｉｊｈ（＝Ｉｊ＋Ｉｈ）が回路部２０１に戻る。
【０１２０】
但し、この受電捕集電流Ｉｊｈは、帯電微粒子ＳＣに付着して排出された排出イオンＣＰＨの電荷に対応する電流分だけ、放電電流Ｉｄよりも小さい値となる。このため、放電電流Ｉｄと受電捕集電流Ｉｊｈとの差分（放電電流Ｉｄ−受電捕集電流Ｉｊｈ）に相当する信号電流が、基準電位ＰＶ１と接地電位ＰＶＥとの間を流れる。
【０１２１】
従って、この帯電微粒子ＳＣにより排出された排出イオンＣＰＨの電荷量に対応する信号電流を回路部２０１で検知することにより、排気ガスＥＧ中の微粒子Ｓの量を検知できる。このため、本実施形態では、帯電微粒子ＳＣの電荷量に基づいて（詳細には、帯電微粒子ＳＣの電荷量に応じて、基準電位ＰＶ１と接地電位ＰＶＥとの間を流れる信号電流に基づいて）、排気ガスＥＧ（被測定ガス）中の微粒子Ｓの量を検知する。
【０１２２】
なお、微粒子センサ１によって検知する「微粒子Ｓの量」としては、排気ガスＥＧ中の微粒子Ｓの表面積の合計に比例する値を得てもよいし、微粒子Ｓの質量の合計に比例する値を得てもよい。また、排気ガスＥＧの単位体積中に含まれる微粒子Ｓの個数に比例する値（微粒子Ｓの濃度）を得てもよい。
【０１２３】
ところで、本実施形態の微粒子センサ１では、内側金具３０と放電電極体７０との間に介在して両者の間を電気的に絶縁する第１絶縁パイプ７５（絶縁部材）のうち、放電空間ＤＳ（第１空間）内に露出する絶縁露出部７５ｂの表面に、ススなどの異物が付着することがあった。具体的には、本実施形態の微粒子センサ１では、微粒子の検知を一旦停止するときに、エア取入部１５ｔを通じてセンサ本体部５の内部にエアＡＲを供給するための圧送ポンプ３０１の駆動を停止したときは、エアＡＲが放電空間ＤＳ（第１空間）から円筒状混合空間ＭＸ１（第２空間）へ噴出されなくなる。
【０１２４】
このような場合において、車両ＡＭのエンジンＥＮＧ（内燃機関）が駆動している場合は、排気管ＥＰ内を流通する排気ガスＥＧ（被測定ガス）が、円筒状混合空間ＭＸ１（第２空間）内に導入された後、オリフィス３５ｆを通じて放電空間ＤＳ（第１空間）内に進入することがあった。これにより、排気ガスＥＧに含まれているススなどの異物が、第１絶縁パイプ７５（絶縁部材）のうち、放電空間ＤＳ（第１空間）内に露出する絶縁露出部７５ｂの表面に付着し、絶縁露出部７５ｂの表面の絶縁抵抗が低下することがあった。
【０１２５】
これにより、基準電位ＰＶ１とされる内側金具３０と放電電位ＰＶ２とされる放電電極体７０との間の絶縁抵抗が低下し、放電電極体７０の先端部である針状先端部７３と放電対極部３５ｄとの間で、適切な気中放電（コロナ放電）を発生させることができなくなる虞があった。このために、排気ガスＥＧ（被測定ガス）に含まれる微粒子Ｓの量を適切に検知することができなくなる虞があった。従って、絶縁露出部７５ｂの表面にススなどの異物が付着した場合には、当該異物を除去する必要があった。
【０１２６】
これに対し、本実施形態の微粒子センサ１では、前述のように、内側金具３０に含まれる放電対極部３５ｄが、当該放電対極部３５ｄのうち放電空間ＤＳ（第１空間）と内側金具３０の外部との間を隔てる壁部３５ｋを貫通して、放電空間ＤＳと内側金具３０の外部との間を連通可能にする貫通孔３８を有している。さらに、微粒子センサ１は、この貫通孔３８を閉塞する閉塞部材３６（止めネジ）を有している（図９及び図１０参照）。この閉塞部材３６は、放電対極部３５ｄに対し着脱可能とされている。すなわち、閉塞部材３６を放電対極部３５ｄに取り付けることで、貫通孔３８を閉塞することができ、また、閉塞部材３６を放電対極部３５ｄから取り外すことで、貫通孔３８を開放する（放電空間ＤＳと内側金具３０の外部との間を連通させる）ことができる。
【０１２７】
従って、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を除去するときは、放電対極部３５ｄから閉塞部材３６を取り外して、放電対極部３５ｄの貫通孔３８を開放した状態（放電空間ＤＳと内側金具３０の外部との間が連通した状態）にする。これにより、絶縁露出部７５ｂの表面に付着している異物を除去し易くなる。ここで、絶縁露出部７５ｂの表面を超音波洗浄することにより、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を除去する方法について説明する。
【０１２８】
本実施形態の微粒子センサ１では、内側金具３０のうち、放電対極部３５ｄの貫通孔３８、及び、この貫通孔を閉塞する閉塞部材３６が、第２外側金具１３で覆われている（図３参照）。従って、微粒子センサ１を先端側ＧＳから見て、第２外側金具１３と内側金具３０との間の隙間の奥側（軸線方向ＧＨの後端側ＧＫ）に、貫通孔３８と閉塞部材３６とが存在することになる。このような構造の微粒子センサ１のままでは、放電対極部３５ｄから閉塞部材３６を取り外す作業を行うことは困難である。
【０１２９】
これに対し、本実施形態の微粒子センサ１では、前述したように、第２外側金具１３が、第１外側金具１１に対し取り外し可能に装着されている。そして、第２外側金具１３を第１外側金具１１から取り外すと、閉塞部材３６が微粒子センサ１の外部に露出するように構成されている。このため、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を除去するときは、まず、第２外側金具１３を第１外側金具１１から取り外す（図７参照）。これにより、閉塞部材３６を、微粒子センサ１の外部に露出させることができる。これにより、放電対極部３５ｄから閉塞部材３６を取り外す作業を容易に行うことが可能となる。
【０１３０】
次に、閉塞部材３６の六角穴３６ｆに適合する着脱用工具（六角レンチ、図示なし）を用いて、図７及び図１０に示すように、放電対極部３５ｄから閉塞部材３６を取り外して、放電対極部３５ｄの貫通孔３８を開放した状態にする。そして、図１４に示すように、洗浄容器５００内に収容されている洗浄液５１０（水やエタノールなど）に、微粒子センサ１のうち軸線方向ＧＨの先端側ＧＳに位置する部位を浸漬することで、内側金具３０の内部に洗浄液５１０を浸入させる。
【０１３１】
但し、微粒子センサ１（センサ本体部５）のうち、その先端（図１４において下端）から、少なくとも、絶縁露出部７５ｂの先端側ＧＳの部位が配置されている軸線方向位置（図１４において上下方向の位置）、及び、貫通孔３８が形成されている軸線方向位置のうち、より後端側ＧＫに位置する軸線方向位置に至るまでの部位が、洗浄容器５００内の洗浄液５１０に浸漬するようにする必要がある。図１４には、微粒子センサ１（センサ本体部５）のうち、その先端から、貫通孔３８が形成されている軸線方向位置よりも後端側ＧＫに位置する絶縁露出部７５ｂの後端側ＧＫの部位が配置されている軸線方向位置に至るまでの部位を、洗浄容器５００内の洗浄液５１０に浸漬した例を示している。この例では、絶縁露出部７５ｂの全体が洗浄容器５００内の洗浄液５１０に浸漬するようにしている。
【０１３２】
このようにすることで、放電対極部３５ｄのうち放電空間ＤＳ（第１空間）と内側金具３０の外部との間を隔てる壁部３５ｋを貫通する貫通孔３８を通じて、内側金具３０の外部から直接、洗浄容器５００内の洗浄液５１０を、放電空間ＤＳ（第１空間）内に浸入させることができる。また、これに加えて、内側金具３０の外部から、円筒状混合空間ＭＸ１（第２空間）及びオリフィス３５ｆを通じて、放電空間ＤＳ（第１空間）内に洗浄液５１０を浸入させることもできる。これにより、洗浄容器５００内に収容されている洗浄液５１０が、放電空間ＤＳ（第１空間）内に浸入し易くなり、放電空間ＤＳ（第１空間）内に配置されている絶縁露出部７５ｂの表面を、超音波洗浄し易くなる。
【０１３３】
上述のようにして、放電空間ＤＳ（第１空間）内に洗浄液５１０を浸入させて、絶縁露出部７５ｂを洗浄液５１０に浸漬させた状態で、洗浄液５１０を超音波振動させることで、絶縁露出部７５ｂを超音波洗浄して、絶縁露出部７５ｂの表面に付着したススなどの異物を除去することができる。以上説明したように、本実施形態の微粒子センサ１は、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を除去し易い微粒子センサとなっている。
【０１３４】
なお、本実施形態では、上述のように超音波洗浄する際、第２外側金具１３を第１外側金具１１から取り外すことで、貫通孔３８を、微粒子センサ１の外部に露出させることができる。これにより、洗浄液５１０が、貫通孔３８を通じて放電空間ＤＳ（第１空間）内に浸入し易くなるので、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を、より一層除去し易くなる。
【０１３５】
また、本実施形態では、上述のように、閉塞部材３６が、放電対極部３５ｄに対し着脱可能とされている。すなわち、閉塞部材３６が、放電対極部３５ｄに対し着脱可能な機械的構造（本実施形態では、雄ネジ３６ｂ）を有している。従って、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を除去する作業を行う際は、速やかに、閉塞部材３６を放電対極部３５ｄから取り外して、貫通孔３８を開放した状態にすることができるので、速やかに洗浄作業等を行うことができる。さらに、洗浄作業等を終えた後は、速やかに、閉塞部材３６を放電対極部３５ｄに取り付けて、貫通孔３８を閉塞することができるので、速やかに微粒子センサ１を使用可能な状態に戻すことができる。
【０１３６】
また、放電対極部３５ｄの貫通孔３８の内径（最小径）は、洗浄液５１０が、スムーズに（速やかに）、貫通孔３８内を流通する（貫通孔３８を通じて放電空間ＤＳ内に浸入する）ことが可能な大きさ（例えば、直径１ｍｍ以上）にするのが好ましい。
【０１３７】
また、本実施形態では、貫通孔３８の位置を、軸線方向ＧＨについて、絶縁露出部７５ｂの先端の位置と同等にしている（図８参照）。これにより、作業者等が、貫通孔３８を通じて、微粒子センサ１の外部から、絶縁露出部７５ｂの先端部の表面の状態を確認することができる。例えば、上述の超音波洗浄を行った後、絶縁露出部７５ｂの先端部の表面から、ススなどの異物が適切に除去されたか否かを確認することができる。また、絶縁露出部７５ｂの先端部の表面にススなどの異物が付着しているか否かを確認し、上述の超音波洗浄等を行う必要があるか否かを確認することもできる。
【０１３８】
なお、絶縁露出部７５ｂの先端部は、放電電極体７０の針状先端部７３との境界部であるため、絶縁露出部７５ｂの先端部の表面にススなどの異物が多く付着しているほど、放電電極体７０の先端部である針状先端部７３と放電対極部３５ｄとの間で、適切な気中放電が発生し難くなる。このため、本実施形態では、上述のように、作業者等が、貫通孔３８を通じて、微粒子センサ１の外部から、絶縁露出部７５ｂの先端部の表面にススなどの異物が付着しているか否かを確認できるようにしている。
【０１３９】
また、放電電極体７０の針状先端部７３の先端（尖った部分）にススなどの異物が付着した場合にも、放電電極体７０の針状先端部７３と放電対極部３５ｄとの間で、適切な気中放電（コロナ放電）が発生し難くなる。これに対し、上述したように、放電空間ＤＳ（第１空間）内に洗浄液５１０を浸入させて、絶縁露出部７５ｂを洗浄液５１０に浸漬させることで、放電電極体７０の針状先端部７３も洗浄液５１０に浸漬させることができる（図１４参照）。これにより、絶縁露出部７５ｂと共に、放電電極体７０の針状先端部７３も、超音波洗浄することができ、放電電極体７０の針状先端部７３の先端に付着した異物も除去することができる。
【０１４０】
以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることは言うまでもない。
【０１４１】
例えば、実施形態では、閉塞部材として、外周に雄ネジ３６ｂを有する止めネジである閉塞部材３６を用いた。
しかしながら、例えば、変形形態１にかかる微粒子センサ４０１のように、閉塞部材として、外周にテーパ雄ネジ１３６ｂを有するテーパネジである閉塞部材１３６を用いるようにしても良い（図１５及び図１６参照）。なお、図１５は、閉塞部材１３６を放電対極部１３５ｄに取り付けた状態における微粒子センサ４０１の横断面図であり、図８のＢ−Ｂ断面図に相当する図である。図１６は、閉塞部材１３６を放電対極部１３５ｄから取り外した状態における微粒子センサ４０１の横断面図であり、図８のＢ−Ｂ断面図に相当する図である。
【０１４２】
変形形態１の閉塞部材１３６は、図１５及び図１６に示すように、外周にテーパ雄ネジ１３６ｂを有し、さらに、後端部に六角穴１３６ｆを有するテーパネジである。この閉塞部材１３６も、放電対極部１３５ｄに対し着脱可能とされている。すなわち、閉塞部材１３６が、放電対極部１３５ｄに対し着脱可能な機械的構造（変形形態１では、テーパ雄ネジ１３６ｂ）を有している。また、変形形態１の放電対極部１３５ｄの壁部１３５ｋのうち貫通孔１３８を構成する孔内周面１３８ｈには、閉塞部材１３６のテーパ雄ネジ１３６ｂに適合するテーパ雌ネジ１３８ｂが形成されている（図１６参照）。これにより、貫通孔１３８の一部をテーパ雌ネジ孔１３８ｃとしている。
【０１４３】
本変形形態１では、六角穴１３６ｆに適合する着脱用工具（六角レンチ）を用いて、テーパ雄ネジ１３６ｂを有する閉塞部材１３６を、テーパ雌ネジ孔１３８ｃに螺合させて、放電対極部１３５ｄに取り付ける（閉塞部材１３６の少なくとも一部を貫通孔１３８内に配置する）ことで、閉塞部材１３６によって貫通孔１３８を気密に閉塞する（封止する）ことができる。一方、六角穴１３６ｆに適合する着脱用工具（六角レンチ）を用いて、閉塞部材１３６を放電対極部１３５ｄから取り外すことで、貫通孔１３８を開放状態にする（放電空間ＤＳと内側金具１３０の外部との間を連通させる）ことができる。これにより、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を除去し易くなり、前述した超音波洗浄等により、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を適切に除去することが可能となる。
【０１４４】
また、変形形態２にかかる微粒子センサ５０１のように、閉塞部材として、放電対極部２３５ｄの壁部２３５ｋを貫通する貫通孔２３８に蓋をする蓋部材である閉塞部材２３６を用いるようにしても良い（図１７及び図１８参照）。なお、図１７は、閉塞部材２３６を放電対極部２３５ｄに取り付けた状態における微粒子センサ５０１の横断面図であり、図８のＢ−Ｂ断面図に相当する図である。図１８は、閉塞部材２３６を放電対極部２３５ｄから取り外した状態における微粒子センサ５０１の横断面図であり、図８のＢ−Ｂ断面図に相当する図である。
【０１４５】
本変形形態２の閉塞部材２３６は、平面視円形状をなす曲板形状（放電対極部２３５ｄの壁部２３５ｋの外周に沿った曲面を有する曲板形状）である。また、貫通孔２３８は、円筒形状をなし、放電空間ＤＳと内側金具１３０の外部との間を連通可能とする貫通孔である。
【０１４６】
本変形形態２では、閉塞部材２３６を、放電対極部２３５ｄの壁部２３５ｋ（その外周面）のうち貫通孔２３８の開口２３８ｆ（内側金具２３０の外部側の開口）の周囲に位置する開口周囲部２３８ｇに対し、ロウ材（図示省略）を用いて接合（ロウ付け）することで、貫通孔２３８を閉塞することができる（図１７参照）。一方、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を除去するときは、ロウ材（図示省略）を溶かして閉塞部材２３６を放電対極部２３５ｄから取り外して、貫通孔２３８を開放するようにすれば良い（図１８参照）。これにより、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を除去し易くなり、前述した超音波洗浄等により、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を適切に除去することが可能となる。
【０１４７】
また、変形形態３にかかる微粒子センサ６０１のように、閉塞部材として、放電対極部３３５ｄの壁部３３５ｋを貫通する貫通孔３３８に蓋をする蓋部材である閉塞部材３３６を用いるようにしても良い（図１９及び図２０参照）。なお、図１９は、閉塞部材３３６を放電対極部３３５ｄに取り付けた状態における微粒子センサ６０１の横断面図であり、図８のＢ−Ｂ断面図に相当する図である。図２０は、閉塞部材３３６を放電対極部３３５ｄから取り外した状態における微粒子センサ６０１の横断面図であり、図８のＢ−Ｂ断面図に相当する図である。
【０１４８】
本変形形態３の閉塞部材３３６は、円板形状（平面視円形状をなす平板形状）をなしている。また、貫通孔３３８は、円筒形状をなし、放電空間ＤＳと内側金具３３０の外部との間を連通可能とする貫通孔である。この貫通孔３３８の開口部分３３８ｆ（内側金具３３０の外部側の開口部分）は、閉塞部材３３６を収容可能な座繰り穴３３８ｂとされている。
【０１４９】
本変形形態３では、閉塞部材３３６を貫通孔３３８の座繰り穴３３８ｂ内に配置して、閉塞部材３３６を座繰り穴３３８ｂの底面３３８ｃに接触した状態にして、ロウ材（図示省略）を用いて、閉塞部材３３６を、壁部３３５ｋのうち座繰り穴３３８ｂを構成する部位に接合（ロウ付け）することで、貫通孔３３８を閉塞することができる（図１９参照）。一方、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を除去するときは、ロウ材（図示省略）を溶かして閉塞部材３３６を放電対極部３３５ｄから取り外して（貫通孔３３８内から取り出して）、貫通孔３３８を開放するようにすれば良い（図２０参照）。これにより、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を除去し易くなり、前述した超音波洗浄等により、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を適切に除去することが可能となる。
【０１５０】
また、変形形態４にかかる微粒子センサ７０１のように、閉塞部材として、貫通孔４３８内に挿入して貫通孔４３８を閉塞する挿入部材である閉塞部材４３６を用いるようにしても良い（図２１及び図２２参照）。なお、図２１は、閉塞部材４３６を放電対極部４３５ｄに取り付けた状態における微粒子センサ７０１の横断面図であり、図８のＢ−Ｂ断面図に相当する図である。図２２は、閉塞部材４３６を放電対極部４３５ｄから取り外した状態における微粒子センサ７０１の横断面図であり、図８のＢ−Ｂ断面図に相当する図である。
【０１５１】
本変形形態４の閉塞部材４３６は、円柱形状をなし、先端部がテーパ形状（先端に向かうにしたがって外形が小さくなるテーパ形状）とされたテーパ部４３６ｄを有する。また、貫通孔４３８は、円筒形状をなし、放電空間ＤＳと内側金具１３０の外部との間を連通可能とする貫通孔である。この貫通孔４３８を構成する孔内周面４３８ｈの先端部（放電空間ＤＳ側の部位）は、閉塞部材４３６のテーパ部４３８ｄに適合するテーパ部４３８ｄとされている（図２１及び図２２参照）。
【０１５２】
本変形形態４では、閉塞部材４３６を貫通孔４３８内に挿入して、閉塞部材４３６の先端部であるテーパ部４３６ｄを、貫通孔４３８を構成する孔内周面４３８ｈのテーパ部４３８ｄに密着させる（図２１参照）。この状態で、閉塞部材４３６の後端部４３６ｂを、壁部４３５ｋのうち貫通孔４３８を構成する部位にロウ付けすることで、貫通孔４３８を気密に閉塞することができる。
【０１５３】
一方、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を除去するときは、ロウ材（図示省略）を溶かして閉塞部材４３６を放電対極部４３５ｄから取り外して（貫通孔４３８内から取り出して）、貫通孔４３８を開放するようにすれば良い（図２２参照）。これにより、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を除去し易くなり、前述した超音波洗浄等により、絶縁露出部７５ｂの表面に付着した異物を適切に除去することが可能となる。
【符号の説明】
【０１５４】
１，４０１，５０１，６０１，７０１  微粒子センサ
５  センサ本体部
１０  外側金具
１１  第１外側金具
１３  第２外側金具
１５ｔ  エア取入部
３０，１３０，２３０，３３０，４３０  内側金具
３１  内筒
３５ｄ，１３５ｄ，２３５ｄ，３３５ｄ，４３５ｄ  放電対極部
３５ｆ  オリフィス
３５ｇ  第２空間構成部
３５ｋ，１３５ｋ，２３５ｋ，３３５ｋ，４３５ｋ  壁部
３６，１３６，２３６，３３６，４３６  閉塞部材
３８，１３８，２３８，３３８，４３８  貫通孔
５０  ホルダ
７０  放電電極体
７３  針状先端部（先端部）
７５  第１絶縁パイプ（絶縁部材）
７５ｂ  絶縁露出部
８０  補助電極体
２０１  回路部
３０１  圧送ポンプ（エアポンプ）
ＡＲ  エア
ＤＳ  放電空間（第１空間）
ＭＸ１  円筒状混合空間（第２空間）
ＥＰ  排気管（通気管）
ＥＰＴ  管取付部
ＥＧ  排気ガス（被測定ガス）
ＧＨ  軸線方向
ＧＳ  軸線方向の先端側
ＧＫ  軸線方向の後端側
Ｓ  微粒子
ＳＣ  帯電微粒子
ＣＰ  イオン
ＰＶＥ  接地電位
ＰＶ１  基準電位
ＰＶ２  放電電位
【図１】
2019052969.tif 000003
【図２】
2019052969.tif 000004
【図３】
2019052969.tif 000005
【図４】
2019052969.tif 000006
【図５】
2019052969.tif 000007
【図６】
2019052969.tif 000008
【図７】
2019052969.tif 000009
【図８】
2019052969.tif 000010
【図９】
2019052969.tif 000011
【図１０】
2019052969.tif 000012
【図１１】
2019052969.tif 000013
【図１２】
2019052969.tif 000014
【図１３】
2019052969.tif 000015
【図１４】
2019052969.tif 000016
【図１５】
2019052969.tif 000017
【図１６】
2019052969.tif 000018
【図１７】
2019052969.tif 000019
【図１８】
2019052969.tif 000020
【図１９】
2019052969.tif 000021
【図２０】
2019052969.tif 000022
【図２１】
2019052969.tif 000023
【図２２】
2019052969.tif 000024