(57)【要約】      （修正有）【課題】気体を単一方向の流動に制御し、且つ限られた容積のチャンバ或いは流道で気体を蓄積し、気体輸送量を上昇させることが可能な気体輸送装置を提供する。【解決手段】気体輸送装置１であり、入口板１７、基材１１、共振板１３、アクチュエータ板１４、圧電ユニット１５、出口板１６を順に積み重ね、更に少なくとも一つのバルブ１０を包含し、前記バルブ１０が入口孔１７０及び出口孔１６０の内の少なくとも一者に設置され、合流チャンバ１２、第一チャンバ１８及び第二チャンバ１９が備わる。圧電ユニット１５がアクチュエータ板１４を駆動すると、第一チャンバ１８及び第二チャンバ１９は圧力差を形成し、この時バルブ１０は開放され、気体が入口孔１７０から合流チャンバ１２へ進入し、共振板１３の中空孔洞を経由し第一チャンバ１８内に進入し、アクチュエータ板１４の空隙から第二チャンバ１９内に導入され、最後に出口孔１６０から導出される。【選択図】図１
2019052643.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体輸送装置であり、入口板と、基材と、共振板と、アクチュエータ板と、圧電ユニットと、出口板と、少なくとも一つのバルブと、を包含し、
前記入口板が、少なくとも一つの入口孔を備え、
前記共振板が、中空孔洞を備え、且つ前記共振板と前記入口板との間に合流チャンバが備えられ、
前記アクチュエータ板が、懸吊部と、外枠部と、少なくとも一つの空隙と、を備え、
前記圧電ユニットが、前記アクチュエータ板の前記懸吊部の表面に貼付され、
前記出口板が、出口孔を備え、
少なくとも一つの前記バルブが、前記入口孔と前記出口孔の内の少なくとも一者に設置され、
前記入口板、前記基材、前記共振板、前記アクチュエータ板、前記出口板が順に対応して積重なって設置され、前記共振板と前記アクチュエータ板との間に間隙が備えられ第一チャンバが形成され、前記アクチュエータ板と前記出口板との間に第二チャンバが形成され、前記圧電ユニットが前記アクチュエータ板を駆動して湾曲を生じさせて共振させ、前記第一チャンバと前記第二チャンバに圧力差を形成させ、前記バルブを開放させ、気体を前記入口孔から前記合流チャンバに進入させ、前記共振板の前記中空孔洞を経由して、前記第一チャンバ内に進入させ、そして少なくとも一つの前記空隙から前記第二チャンバ内に導入し、最後に前記出口板の前記出口孔から導出し、気体の流動を伝送することを特徴とする、気体輸送装置。
【請求項２】
前記バルブが、保持部と、密封部と、バルブ片と、を包含し、前記保持部と前記密封部との間で容置空間が保持され、前記バルブ片が前記容置空間内に設置され、前記保持部上に少なくとも二つの通気孔が備えられ、前記バルブ片が前記保持部の前記通気孔と対応する位置に通気孔が設置され、前記保持部の前記通気孔と、前記バルブ片の前記通気孔の位置がおおよそ相互に照準し、前記密封部上に少なくとも一つの通気孔が備えられ、且つ前記保持部の前記通気孔の位置とでズレを形成し、照準しないことを特徴とする、請求項１に記載の気体輸送装置。
【請求項３】
前記バルブが、グラフェン材で製成される保持部と、密封部と、バルブ片と、を包含し、前記保持部と前記密封部との間で容置空間が保持され、前記バルブ片が前記容置空間内に設置され、前記保持部上に少なくとも二つの通気孔が備えられ、前記バルブ片が前記保持部の前記通気孔と対応する位置に通気孔が設置され、前記保持部の前記通気孔と、前記バルブ片の前記通気孔の位置がおおよそ相互に照準し、前記密封部上に少なくとも一つの通気孔が備えられ、且つ前記保持部の前記通気孔の位置とでズレを形成し、照準しないことを特徴とする、請求項１に記載の気体輸送装置。
【請求項４】
前記バルブ片が帯電荷材料からなり、前記保持部が両極性の導電材料であり、制御回路によりその極性を制御し、前記バルブ片と前記保持部が異なる極性を維持する時、前記バルブ片が前記保持部に向かって接近し、前記バルブの開放を構成し、前記バルブ片と前記保持部が同じ極性を保持する時、前記バルブ片が前記密封部に向かって接近し、前記バルブの閉鎖を構成することを特徴とする請求項２または請求項３に記載の気体輸送装置。
【請求項５】
前記バルブ片が帯磁性材料からなり、前記保持部が制御を受け極性を変換させる磁性材料であり、制御回路によりその極性を制御し、前記バルブ片と前記保持部とが異なる極性を維持する時、前記バルブ片が前記保持部に向かって接近し、前記バルブの開放を構成し、前記バルブ片と前記保持部が同じ極性を維持する時、前記バルブ片が前記密封部に向かって接近し、前記バルブの閉鎖を構成することを特徴とする請求項２または請求項３に記載の気体輸送装置。
【請求項６】
前記バルブが、保持部と、密封部と、ソフト膜と、を包含し、前記保持部と前記密封部との間に容置空間が保持され、前記ソフト膜が前記保持部の表面上に貼付され、並びに前記容置空間内に設置され、前記保持部上に少なくとも二つの通気孔が備えられ、前記ソフト膜が前記保持部の前記通気孔と対応する位置に通気孔が設置され、前記保持部の前記通気孔と、前記ソフト膜の前記通気孔の位置がおおよそ相互に照準し、前記密封部上に少なくとも一つの通気孔が備えられ、且つ前記保持部の前記通気孔の位置とでズレを形成し、照準しないこと特徴とする、請求項１に記載の気体輸送装置。
【請求項７】
前記保持部が熱膨張材料であり、制御回路によりその受熱を制御し、前記保持部が熱を受けて膨張する時、前記ソフト膜が前記密封部に向かって抵触し、前記密封部の少なくとも一つの前記通気孔を密封することで、前記バルブの閉鎖を構成し、前記保持部が熱を受けて膨張しない時、前記密封部と前記保持部は前記容置空間の距離を保持し、前記バルブの開放を構成することを特徴とする、請求項６に記載の気体輸送装置。
【請求項８】
前記保持部が圧電材料であり、制御回路によりその変形を制御し、前記保持部が変形する時、前記ソフト膜が前記密封部に向かって抵触し、前記密封部の複数個の前記通気孔を密封することで、前記バルブの閉鎖を構成し、前記保持部が変形しない時、前記密封部と前記保持部は前記容置空間の距離を保持し、前記バルブの開放を構成することを特徴とする、請求項６に記載の気体輸送装置。
【請求項９】
気体輸送装置であり、少なくとも一つの入口板と、少なくとも一つの基材と、少なくとも一つの共振板と、少なくとも一つのアクチュエータ板と、少なくとも一つの圧電ユニットと、少なくとも一つの出口板と、少なくとも一つのバルブと、を包含し、
少なくとも一つの前記入口板が、少なくとも一つの入口孔を備え、
少なくとも一つの前記共振板が、少なくとも一つの中空孔洞を備え、且つ前記共振板と前記入口板との間に少なくとも一つの合流チャンバが備えられ、
少なくとも一つの前記アクチュエータ板が、少なくとも一つの懸吊部と、少なくとも一つの外枠部と、少なくとも一つの空隙と、を備え、
少なくとも一つの前記圧電ユニットが、前記アクチュエータ板の前記懸吊部の表面に貼付され、
少なくとも一つの前記出口板が、少なくとも一つの出口孔を備え、
少なくとも一つの前記バルブが、前記入口孔と前記出口孔の内の少なくとも一者に設置され、
前記入口板、前記基材、前記共振板、前記アクチュエータ板、前記出口板が順に対応して積重なって設置され、前記共振板と前記アクチュエータ板との間に少なくとも一つの間隙が備えられ少なくとも一つの第一チャンバが形成され、前記アクチュエータ板と前記出口板との間に少なくとも一つの第二チャンバが形成され、前記圧電ユニットが前記アクチュエータ板を駆動して湾曲を生じさせて共振させ、前記第一チャンバと前記第二チャンバに少なくとも一つの圧力差を形成させ、前記バルブを開放させ、気体を前記入口孔から前記合流チャンバに進入させ、前記共振板の前記中空孔洞を経由して、前記第一チャンバ内に進入させ、そして少なくとも一つの前記空隙から前記第二チャンバ内に導入し、最後に前記出口板の前記出口孔から導出し、気体の流動を伝送することを特徴とする、気体輸送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は気体輸送装置に関するものであって、とりわけバルブにより気体の流動を制御する気体輸送装置である。
【背景技術】
【０００２】
現在、各分野の、医薬や、パソコンに係るテクノロジー、印刷、エネルギー源等の工業において、製品は精密化、マイクロ化へと向かっており、中でも、マイクロポンプや、噴霧器、インクジェットヘッド、産業用プリンター等製品に含まれる流体輸送構造は、目下の趨勢において要となる技術であり、どのようにして、創造的な構造により現段階の技術の限界を突破するかは、今後の発展において重要である。  
【０００３】
テクノロジーの進歩に伴い、流体輸送装置の応用は日を追うごとに多元化の様相を呈し、例えば工業での応用、生体医療での応用、医療介護、電子冷却等が挙げられ、更に近年注目を集めるウェアラブル装置にも総じてその形跡が見られる。従来の流体輸送装置は、すでに段々と装置のマイクロ化、流量の最大化に向かっている。
【０００４】
然し、現在のマイクロ型の流体輸送装置は、継続して気体を伝送することは出来ても、マイクロ型の限られた容積のチャンバ或いは流道の設計においては多くの気体の伝送が求められ、それを上昇させるには一定の困難がある。よって、バルブの設計を取入れることで、気流輸送の継続或いは中断を制御し、気体を単一方向の流動に制御し、且つ限られた容積のチャンバ或いは流道で気体を蓄積し、気体輸送量を上昇させることは、本発明の主な課題となる。
【発明の概要】
【０００５】
本発明の主な目的は気体輸送装置を提供し、その入口孔と出口孔の内の少なくとも一者にバルブを設置し、限られた容積のチャンバで気体を蓄積し、気体輸送量を上昇させることである。
【０００６】
上述の目的を達成するため、本発明の比較的広義の実施態様は、気体輸送装置を提供し、それは、入口板と、基材と、共振板と、アクチュエータ板と、圧電ユニットと、出口板と、少なくとも一つのバルブと、を包含し、前記入口板が、少なくとも一つの入口孔を備え、前記共振板が、中空孔洞を備え、且つ前記共振板と前記入口板との間に合流チャンバが備えられ、前記アクチュエータ板が、懸吊部と、外枠部と、少なくとも一つの空隙と、を備え、前記圧電ユニットが、前記アクチュエータ板の前記懸吊部の表面に貼付され、前記出口板が、出口孔を備え、少なくとも一つの前記バルブが、前記入口孔と前記出口孔の内の少なくとも一つに設置され、前記入口板、前記基材、前記共振板、前記アクチュエータ板、前記出口板が順に対応して積重なって設置され、前記共振板と前記アクチュエータ板との間に間隙が備えられ第一チャンバが形成され、前記アクチュエータ板と前記出口板との間に第二チャンバが形成され、前記圧電ユニットが前記アクチュエータ板を駆動して湾曲を生じさせて共振させ、前記第一チャンバと前記第二チャンバに圧力差を形成させ、前記バルブを開放させ、気体を前記入口孔から前記合流チャンバに進入させ、前記共振板の前記中空孔洞を経由して、前記第一チャンバ内に進入させ、そして少なくとも一つの前記空隙から前記第二チャンバ内に導入し、最後に前記出口板の前記出口孔から導出し、気体の流動を伝送する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の好実施例の気体輸送装置の構造指示図である。
【図２Ａ】本発明の好実施例の気体輸送装置の作動指示図である。
【図２Ｂ】本発明の好実施例の気体輸送装置の作動指示図である。
【図２Ｃ】本発明の好実施例の気体輸送装置の作動指示図である。
【図３Ａ】本発明のバルブの第一、第二、第三実施態様の作動指示図である。
【図３Ｂ】本発明のバルブの第一、第二、第三実施態様の作動指示図である。
【図４Ａ】本発明のバルブの第四、第五実施態様の作動指示図である。
【図４Ｂ】本発明のバルブの第四、第五実施態様の作動指示図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本発明の特徴と利点を体現するいくつかの典型的実施例については、後方で詳しく説明する。本発明は異なる態様において各種の変化が可能であり、そのいずれも本発明の範囲を脱せず、且つ本発明の説明および図面は本質的に説明のために用いられ、本発明を制限するものではないことが理解されるべきである。
【０００９】
図１を参照すると、本発明が提供する気体輸送装置１は、少なくとも一つの入口板１７と、少なくとも一つの入口孔１７０と、少なくとも一つの基材１１と、少なくとも一つの共振板１３と、少なくとも一つの中空孔洞１３０と、少なくとも一つの合流チャンバ１２と、少なくとも一つのアクチュエータ板１４と、少なくとも一つの懸吊部１４１と、少なくとも一つの外枠部１４２と、少なくとも一つの空隙１４３と、少なくとも一つの圧電ユニット１５と、少なくとも一つの出口板１６と、少なくとも一つの出口孔１６０と、少なくとも一つのバルブ１０と、少なくとも一つの間隙ｇ０と、少なくとも一つの第一チャンバ１８と、少なくとも一つの第二チャンバ１９と、少なくとも一つの圧力差と、を包含し、以下の実施例において、入口板１７と、基材１１と、共振板１３と、中空孔洞１３０と、合流チャンバ１２と、アクチュエータ板１４と、懸吊部１４１と、外枠部１４２と、圧電ユニット１５と、出口板１６と、出口孔１６０と、間隙ｇ０と、第一チャンバ１８と、第二チャンバ１９と、圧力差と、は数量を一つとして説明しているが、これに限らず、入口板１７と、基材１１と、共振板１３と、中空孔洞１３０と、合流チャンバ１２と、アクチュエータ板１４と、懸吊部１４１と、外枠部１４２と、圧電ユニット１５と、出口板１６と、出口孔１６０と、間隙ｇ０と、第一チャンバ１８と、第二チャンバ１９と、圧力差と、は複数個の組合せとすることもできる。  
【００１０】
図１、即ち本発明の好実施例の気体輸送装置の構造指示図を参照する。本発明の好実施例において、前記気体輸送装置１は、基材１１、共振板１３、アクチュエータ板１４、圧電ユニット１５、出口板１６が順に対応して積重なることで主体を構成し、更に入口板１７が基材１１底部を閉蓋することで組成される。そのうち、前記基材１１はシリコン材或いはグラフェン材から製成される板材であり、半導体製造過程を通じて、貫通する合流チャンバ１２を製出し、入口板１７は、前記基材１１底部の閉蓋に用いられ、並びに前記合流チャンバ１２と対応して連通する少なくとも一つの前記入口孔１７０を備える。前記共振板１３は撓性板であり、前記基材１１上方に貼合して積重ねて固定され、また前記合流チャンバ１２に対応する位置に中空孔洞１３０を備え、前記共振板１３の前記基材１１と貼合する部分以外の懸吊部分は可動部１３１を形成し、共振周波数により湾曲変形することができる。前記アクチュエータ板１４は懸吊部１４１と、外枠部１４２と、少なくとも一つの空隙１４３を備える板構造であり、前記懸吊部１４１は中間に設置されて前記外枠部１４２と連接して支持を受け、且つ前記懸吊部１４１と前記外枠部１４２の未連接部分は多数の前記空隙１４３を保持し、前記アクチュエータ板１４の前記外枠部１４２は、前記共振板１３上に貼合して積重ねて固定され、前記懸吊部１４１と前記共振板１３との間に間隙ｇ０を備えることで、第一チャンバ１８を形成し、前記懸吊部１４１は任意の幾何学形状とすることができ、正方形が好ましい。前記圧電ユニット１５は、圧電材料から製成される板状構造であり、前記アクチュエータ板１４の前記懸吊部１４１の表面上に貼付され、そのサイズは懸吊部１４１よりも若干小さい。前記出口板１６は隔離パーツ（例えば導電ペースト等）により、前記アクチュエータ板１４の前記外枠部１４２上に貼合して積重ねることで、前記出口板１６と前記アクチュエータ板１４との間に第二チャンバ１９を形成し、前記出口板１６は出口孔１６０を備え、前記第二チャンバ１９と連通する。
【００１１】
本発明の前記気体輸送装置１は、マイクロ型設計が限られた容積のチャンバで気体を累積することで気体の送出量を上昇させるために、更に少なくとも一つの前記バルブ１０を備える。前記バルブ１０は、入口孔１７０または出口孔１６０の内の任意の一つに設置でき、または同時に両者に設置でき、これにより、気体を累積して気体の送出量を上昇させる。
【００１２】
図２Ａ乃至図２Ｃ、即ち本発明の好実施例の気体輸送装置の作動指示図を参照する。前記気体輸送装置１の圧電ユニット１５は、電圧を印加して前記アクチュエータ板１４が湾曲と共振を発生し、前記アクチュエータ板１４は垂直方向に往復式運動する。図２Ａに示すように、前記アクチュエータ板１４が上向きに振動した場合、第一チャンバ１８の体積が増加し、吸引力を生成し、外部の気体を前記入口孔１７０から前記合流チャンバ１２内に導入し、且つ第二チャンバ１９内の気体は圧縮を受け、前記出口孔１６０から排出される。同時に、図２Ｂが示す様に、前記アクチュエータ板１４の振動により前記共振板１３が共振を生じるため、前記共振板１３の前記可動部１３１が上向きに変形し、気体が前記共振板１３の中空孔洞１３０を経由して前記第一チャンバ１８に進入し、前記第一チャンバ１８中の気体を周辺に向けて押圧する。更に図２Ｃの示す様に、前記アクチュエータ板１４が下向きに振動した際、更に前記第一チャンバ１８の体積を圧縮することで、その中の気体が前記空隙１４３を通じて上向きに前記第二チャンバ１９に流入し、更に図２Ａの作動を繰返すことで、前記第二チャンバ１９内の気体が圧縮を受け、前記出口孔１６０から排出され、再度外部の気体を前記合流チャンバ１２内に導入する。前記気体輸送装置１は、図２Ａ乃至図２Ｃの作動を繰返すことで、継続的に気体輸送を行うことができる。
【００１３】
図３Ａ及び図３Ｂ、即ち本発明の前記バルブ１０の第一実施態様の作動指示図を参照する。図３Ａの示す様に、前記バルブ１０の第一好実施態様は、保持部１０１と、密封部１０２と、バルブ片１０３と、を包含する。本発明の好実施例において、前記保持部１０１と、前記密封部１０２と、前記バルブ片１０３と、はいずれもグラフェン材から製成されるが、これに限らない。前記保持部１０１上には少なくとも二つの通気孔１０１ａを備え、前記バルブ片１０３は、前記保持部１０１及び前記密封部１０２間に形成される容置空間１０５中に設置され、且つ、前記保持部１０１の前記通気孔１０１ａに対応する位置に前記通気孔１０３ａを設置し、前記保持部１０１の通気孔１０１ａ及び前記バルブ片１０３の前記通気孔１０３ａの位置はおおよそ相互に照準する。前記密封部１０２上に少なくとも一つの通気孔１０２ａを備え、且つ前記密封部１０２の前記通気孔１０２ａと、前記保持部１０１の前記通気孔１０１ａの位置はズレを形成し、照準しない。
【００１４】
同時に図１乃至図３Ｂを参照する。本発明の第一好実施例において、前記バルブ１０は図３Ａに示す第一実施例の態様の様に、前記入口板１７の入口孔１７０に設置する。前記気体輸送装置１が起動していると、前述の図２Ａ乃至図２Ｃに示す作動を開始し、気体を継続的に前記入口板１７の前記入口孔１７０から前記気体輸送装置１内部に導入し、この時、図３Ｂに示す様に、前記気体輸送装置１内部は吸引力を形成し、前記バルブ片１０３は、図面に示す様に、矢印方向の気流に沿って前記バルブ片１０３を上に押し上げることで、前記バルブ片１０３を前記保持部１０１に抵触させ、同時に前記密封部１０２の前記通気孔１０２ａを開放し、前記バルブ片１０３の前記通気孔１０３ａの位置が、おおよそ前記保持部１０１の前記通気孔１０１ａに照準するため、気体は前記密封部１０２の前記通気孔１０２ａから導入され、更に前記バルブ片１０３の前記通気孔１０３ａと、前記保持部１０１の前記通気孔１０１ａとの連通により、気流を上向きに流動させる。前記気体輸送装置１の前記アクチュエータ板１４が下向きに振動する時、更に前記第一チャンバ１８の体積を圧縮することで、気体が前記空隙１４３を通じて上向きに前記第二チャンバ１９に流入し、同時に前記バルブ１０の前記バルブ片１０３が気体の押圧を受け、前記３Ａに示す前記密封部１０２の前記通気孔１０２ａの作動を回復し、気体の単一方向の流動を形成し前記合流チャンバ１２へ進入させ、並びに前記合流チャンバ１２内に気体を累積して、前記気体輸送装置１の前記アクチュエータ板１４が上向きに振動する際、比較的多くの気体を前記出口孔１６０から排出することができ、気体の送出量を上昇させる。
【００１５】
本発明の前記バルブ１０の前記バルブ片１０３、前記密封部１０２、前記保持部１０１はグラフェン材から製成し、マイクロ型のバルブ部品を形成する。本発明の前記バルブ１０の第二実施例の態様において、前記バルブ片１０３は帯電荷材料とし、前記保持部１０１は両極性の導電材料とする。前記保持部１０１は制御回路（図示していない）と電気的接続し、前記制御回路は前記保持部１０１の極性（プラス極或いはマイナス極）を制御するために用いられる。もし、前記バルブ片１０３がマイナス電荷を帯びる材料である場合、前記バルブ１０が制御を受け開放する時、前記制御回路は前記保持部１０１を制御しプラス極を形成させ、この時、前記バルブ片１０３と前記保持部１０１は異なる極性を維持することで、前記バルブ片１０３が前記保持部１０１に向かって接近し、前記バルブ１０の開放（図３Ｂ参照）を構成する。対照的に、もし、前記バルブ片１０３がマイナス電荷を帯びる材料である場合、前記バルブ１０が制御を受け閉鎖する時、前記制御回路は前記保持部１０１を制御しマイナス極を形成させ、この時、前記バルブ片１０３と前記保持部１０１が同様の極性を維持することで、前記バルブ片１０３が前記密封部１０２に向かって接近し、前記バルブ１０の閉鎖（図３Ａ参照）を構成する。  
【００１６】
本発明の前記バルブ１０の第三実施例の態様において、前記バルブ１０は帯磁性材料とし、前記保持部１０１は、制御を受け極性が変化する磁性材料とすることができる。前記保持部１０１は、制御回路（図示していない）と電気的接続し、前記制御回路は前記保持部１０１の極性（プラス極或いはマイナス極）を制御するために用いられる。もし前記バルブ片１０３がマイナス極を帯びる磁性材料である場合、前記バルブ１０が制御を受け開放する時、前記制御回路は前記保持部１０１を制御してプラス極の磁性を形成させ、この時、前記バルブ片１０３と前記保持部１０１は異なる極性を維持することで、前記バルブ片１０３が前記保持部１０１に向かって接近し、前記バルブ１０の開放（図３Ｂ参照）を構成する。対照的に、もし前記バルブ片１０３がマイナス極を帯びる磁性材料である場合、前記バルブ１０が制御を受け閉鎖する時、前記制御電路は前記保持部１０１を制御してマイナス極の磁性を形成させ、この時、前記バルブ片１０３と前記保持部１０１は同様の極性を維持することで、前記バルブ片１０３は前記密封部１０２に向かって接近し、前記バルブ１０の閉鎖（図３Ａ参照）を構成する。  
【００１７】
図４Ａ及び図４Ｂ、即ち本発明のバルブの第四実施態様の作動指示図を参照する。図４Ａに示す様に、前記バルブ１０が、前記保持部１０１と、前記密封部１０２と、ソフト膜１０４と、を備える。前記保持部１０１上には、少なくとも二つの前記通気孔１０１ａを備え、前記保持部１０１と前記密封部１０２との間には前記容置空間１０５を備える。前記ソフト膜１０４は、可撓性材料から製成され、前記保持部１０１の表面上に貼付され、前記容置空間１０５内に設置され、且つ前記保持部１０１の前記通気孔１０１ａに対応する位置に前記通気孔１０４ａを設け、前記保持部１０１の前記通気孔１０１ａ及び前記ソフト膜１０４の前記通気孔１０４ａの位置は、おおよそ相互に照準する。前記密封部１０２上には少なくとも一つの通気孔１０２ａを備え、且つ前記密封部１０２の前記通気孔１０２ａと、前記保持部１０１の前記通気孔１０１ａの位置はズレを形成し、照準しない。  
【００１８】
続けて図４Ａ及び図４Ｂを参照する。本発明の前記バルブ１０の第四実施態様において、前記保持部１０１は、熱を受けて膨張する材料とし、且つ制御回路（図示していない）と電気的接続し、前記制御回路は前記保持部１０１の受熱を制御する。前記バルブ１０が制御を受け開放する時、前記制御回路は前記保持部１０１を制御して熱を受けて膨張しないようにし、前記保持部１０１と前記密封部１０２は前記容置空間１０５の距離を保持し、前記バルブ１０の開放（図４Ａ参照）を構成する。対照的に、前記バルブ１０が制御を受けて閉鎖する時、前記制御回路が前記保持部１０１を制御して熱を受けて膨張させ、前記保持部１０１を前記密封部１０２に向かって抵触させ、この時、前記ソフト膜１０４は前記密封部１０２の少なくとも一つの前記通気孔１０２ａを密封し、前記バルブ１０の閉鎖（図４Ｂ参照）を構成する。  
【００１９】
本発明の前記バルブ１０の第五実施態様において、前記保持部１０１は圧電材料とし、且つ制御回路（図示していない）と電気的接続し、前記制御回路は前記保持部１０１の変形を制御する。前記バルブ１０が制御を受け開放する時、前記制御回路は前記保持部１０１を制御して変形を生じないようにし、前記保持部１０１と前記密封部１０２は前記容置空間１０５の距離を保持し、前記バルブ１０の開放（図４Ａ参照）を構成する。対照的に、前記バルブ１０が制御を受けて閉鎖する時、前記制御回路は前記保持部１０１を制御し変形を生じさせ、前記保持部１０１を前記密封部１０２に向かって抵触させ、この時、前記ソフト膜１０４は、前記密封部１０２の少なくとも一つの前記通気孔１０２ａを密封し、前記バルブ１０の閉鎖（図４Ｂ参照）を構成する。当然、前記密封部１０２の複数個の前記通気孔１０２ａが対応する各間隔のブロックである前記保持部１０１は、独立して制御回路の制御を受けることもでき、可変調の前記バルブ１０の流通作動を形成し、適切に気体流量を調整する作用を達成する。
【００２０】
以上をまとめると、本発明の気体輸送装置は、入口孔及び出口孔の内の少なくとも一つにバルブを設置し、容積の限られたチャンバ内で気体を累積し、気体送出量を上昇させ、故に極めて高い産業利用性を備える。
【００２１】
発明は当業者であれば諸般の修飾が可能であるが、いずれも後付の特許請求の範囲の保護範囲に含まれる。  
【符号の説明】
【００２２】
１                                      気体輸送装置
１０                                    バルブ
１０１                                  保持部
１０２                                  密封部
１０３                                  バルブ片
１０４                                  ソフト膜
１０１ａ、１０２ａ、１０３ａ、１０４ａ  通気孔
１０５                                  容置空間
１１                                    基材
１２                                    合流チャンバ
１３                                    共振板
１３０                                  中空孔洞
１３１                                  可動部
１４                                    アクチュエータ板
１４１                                  懸吊部
１４２                                  外枠部
１４３                                  空隙
１５                                    圧電ユニット
１６                                    出口板
１６０                                  出口孔
１７                                    入口板
１７０                                  入口孔
１８                                    第一チャンバ
１９                                    第二チャンバ
ｇ０                                    間隙
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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