(57)【要約】      （修正有）【課題】絶縁層中への電荷の注入を抑制可能な半導体装置を提供する。【解決手段】第１の窒化物半導体層１４と、第１の窒化物半導体層の上の第１の窒化物半導体層よりもバンドギャップが大きい第２の窒化物半導体層と、第１の窒化物半導体層に電気的に接続された第１の電極と、第１の窒化物半導体層に電気的に接続された第２の電極と、第１の電極と第２の電極との間の第１の窒化物半導体層の上に位置するゲート電極１８と、第１の窒化物半導体層とゲート電極との間の酸化シリコン膜１６ｂと、第１の窒化物半導体層と酸化シリコン膜との間の酸窒化アルミニウム膜１６ａとを有し、酸窒化アルミニウム膜の中の第１の位置Ｃ１における酸素と窒素の和に対する窒素の原子比が、酸窒化アルミニウム膜の中の第１の位置よりも酸化シリコン膜に近い第２の位置Ｃ２における酸素と窒素の和に対する窒素の原子比よりも大きいゲート絶縁層１６とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の窒化物半導体層と、
前記第１の窒化物半導体層の上に位置し、前記第１の窒化物半導体層よりもバンドギャップが大きい第２の窒化物半導体層と、
前記第１の窒化物半導体層の上に位置し、前記第１の窒化物半導体層に電気的に接続された第１の電極と、
前記第１の窒化物半導体層の上に位置し、前記第１の窒化物半導体層に電気的に接続された第２の電極と、
前記第１の電極と前記第２の電極との間の前記第１の窒化物半導体層の上に位置するゲート電極と、
前記第１の窒化物半導体層と前記ゲート電極との間に位置し、酸化シリコン膜と、前記第１の窒化物半導体層と前記酸化シリコン膜との間の酸窒化アルミニウム膜とを有し、前記酸窒化アルミニウム膜の中の第１の位置における酸素と窒素の和に対する窒素の第１の原子比が、前記酸窒化アルミニウム膜の中の前記第１の位置よりも前記酸化シリコン膜に近い第２の位置における酸素と窒素の和に対する窒素の第２の原子比よりも大きいゲート絶縁層と、
を備える半導体装置。
【請求項２】
前記第１の原子比は０．７０以上０．８７以下である請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
前記第２の原子比は０．１３以上０．３０以下である請求項１又は請求項２記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第１の窒化物半導体層と前記酸窒化アルミニウム膜との界面、又は、前記第２の窒化物半導体層と前記酸窒化アルミニウム膜との界面から前記第１の位置までの距離は０．５ｎｍ以下であり、前記酸化シリコン膜と前記酸窒化アルミニウム膜との界面から前記第２の位置までの距離は０．５ｎｍ以下である請求項１ないし請求項３いずれか一項記載の半導体装置。
【請求項５】
前記酸窒化アルミニウム膜の膜厚は１ｎｍ以上１０ｎｍ以下である請求項１ないし請求項４いずれか一項記載の半導体装置。
【請求項６】
前記ゲート絶縁層の厚さは２０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である請求項１ないし請求項５いずれか一項記載の半導体装置。
【請求項７】
前記ゲート絶縁層は、前記第１の窒化物半導体層に接する請求項１ないし請求項６いずれか一項記載の半導体装置。
【請求項８】
前記ゲート絶縁層と前記第１の窒化物半導体層とが離間している請求項１ないし請求項６いずれか一項記載の半導体装置。
【請求項９】
前記第１の窒化物半導体層は窒化ガリウムであり、前記第２の窒化物半導体層は窒化アルミニウムガリウムである請求項１ないし請求項８いずれか一項記載の半導体装置。
【請求項１０】
第１の窒化物半導体層と、
前記第１の窒化物半導体層の上に位置し、前記第１の窒化物半導体層よりもバンドギャップが大きい第２の窒化物半導体層と、
前記第１の窒化物半導体層の上に位置し、前記第１の窒化物半導体層に電気的に接続された第１の電極と、
前記第１の窒化物半導体層の上に位置し、前記第１の窒化物半導体層に電気的に接続された第２の電極と、
前記第１の電極と前記第２の電極との間の前記第１の窒化物半導体層の上に位置するゲート電極と、
前記ゲート電極と前記第２の電極との間の前記第２の窒化物半導体層の上に位置し、酸化シリコン膜と、前記第２の窒化物半導体層と前記酸化シリコン膜との間の酸窒化アルミニウム膜とを有し、前記酸窒化アルミニウム膜の中の第１の位置における酸素と窒素の和に対する窒素の第１の原子比が、前記酸窒化アルミニウム膜の中の前記第１の位置よりも前記酸化シリコン膜に近い第２の位置における酸素と窒素の和に対する窒素の第２の原子比よりも大きい絶縁層と、
を備える半導体装置。
【請求項１１】
前記第１の原子比は０．７０以上０．８７以下である請求項１０記載の半導体装置。
【請求項１２】
前記第２の原子比は０．１３以上０．３０以下である請求項１０又は請求項１１記載の半導体装置。
【請求項１３】
前記第１の窒化物半導体層と前記酸窒化アルミニウム膜との界面、又は、前記第２の窒化物半導体層と前記酸窒化アルミニウム膜との界面から前記第２の位置までの距離は０．５ｎｍ以下である請求項１０ないし請求項１２いずれか一項記載の半導体装置。
【請求項１４】
前記酸窒化アルミニウム膜の膜厚は１ｎｍ以上１０ｎｍ以下である請求項１０ないし請求項１３いずれか一項記載の半導体装置。
【請求項１５】
前記絶縁層は、前記第２の窒化物半導体層に接する請求項１０ないし請求項１４いずれか一項記載の半導体装置。
【請求項１６】
前記第１の窒化物半導体層は窒化ガリウムであり、前記第２の窒化物半導体層は窒化アルミニウムガリウムである請求項１０ないし請求項１５いずれか一項記載の半導体装置。
【請求項１７】
請求項１ないし請求項１６いずれか一項記載の半導体装置を備える電源回路。
【請求項１８】
請求項１ないし請求項１６いずれか一項記載の半導体装置を備えるコンピュータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、半導体装置、電源回路、及び、コンピュータに関する。
【背景技術】
【０００２】
スイッチング電源回路やインバータ回路などの回路には、トランジスタやダイオードなどの半導体素子が用いられる。これらの半導体素子には高耐圧・低オン抵抗が求められる。そして、耐圧とオン抵抗の関係には、素子材料で決まるトレードオフ関係がある。
【０００３】
技術開発の進歩により、半導体素子は、主たる素子材料であるシリコンの限界近くまで低オン抵抗が実現されている。耐圧を更に向上させたり、オン抵抗を更に低減させたりするには、素子材料の変更が必要である。窒化ガリウムや窒化アルミニウムガリウムなどの窒化物半導体を半導体素子の素子材料として用いることで、素子材料で決まるトレードオフ関係を改善でき、飛躍的な高耐圧化や低オン抵抗化が可能である。
【０００４】
しかし、窒化物半導体を用いたトランジスタでは、窒化物半導体の上に形成された絶縁層中に電荷が注入され、閾値電圧の変動、絶縁層のリーク電流の増大、オン抵抗の増大等の特性劣化が生じるという問題がある。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】Ｒ．Ａｓａｈａｒａ  ｅｔ．ａｌ．，“Ｅｆｆｅｃｔ  ｏｆ  ｎｉｔｒｏｇｅｎ  ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ  ｉｎｔｏ  Ａｌ−ｂａｓｅｄ  ｇａｔｅ  ｉｎｓｕｌａｔｏｒｓ  ｉｎ  ＡｌＯＮ／ＡｌＧａＮ／ＧａＮ  ｍｅｔａｌ−ｏｘｉｄｅ−ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ”，Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ  Ｅｘｐｒｅｓｓ  ９，１０１００２（２０１６）．
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、絶縁層中への電荷の注入を抑制可能な半導体装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の半導体装置は、第１の窒化物半導体層と、前記第１の窒化物半導体層の上に位置し、前記第１の窒化物半導体層よりもバンドギャップが大きい第２の窒化物半導体層と、前記第１の窒化物半導体層の上に位置し、前記第１の窒化物半導体層に電気的に接続された第１の電極と、前記第１の窒化物半導体層の上に位置し、前記第１の窒化物半導体層に電気的に接続された第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極との間の前記第１の窒化物半導体層の上に位置するゲート電極と、前記第１の窒化物半導体層と前記ゲート電極との間に位置し、酸化シリコン膜と、前記第１の窒化物半導体層と前記酸化シリコン膜との間の酸窒化アルミニウム膜とを有し、前記酸窒化アルミニウム膜の中の第１の位置における酸素と窒素の和に対する窒素の第１の原子比が、前記酸窒化アルミニウム膜の中の前記第１の位置よりも前記酸化シリコン膜に近い第２の位置における酸素と窒素の和に対する窒素の第２の原子比よりも大きいゲート絶縁層と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施形態の半導体装置の模式断面図。
【図２】第１の実施形態の半導体装置の拡大模式断面図。
【図３】第１の実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図。
【図４】第１の実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図。
【図５】第１の実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図。
【図６】第１の実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図。
【図７】第１の実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図。
【図８】第２の実施形態の半導体装置の拡大模式断面図。
【図９】第３の実施形態の半導体装置の模式断面図。
【図１０】第３の実施形態の半導体装置の拡大模式断面図。
【図１１】第３の実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図。
【図１２】第４の実施形態のコンピュータの模式図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明では、同一の部材等には同一の符号を付し、一度説明した部材等については適宜その説明を省略する。
【００１０】
本明細書中、「ＧａＮ系半導体」とは、窒化ガリウム（ＧａＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、窒化インジウム（ＩｎＮ）及びそれらの中間組成を備える半導体の総称である。
【００１１】
本明細書中、「アンドープ」とは、不純物濃度が１×１０１５ｃｍ−３以下であることを意味する。
【００１２】
本明細書中、部品等の位置関係を示すために、図面の上方向を「上」、図面の下方向を「下」と記述する。本明細書中、「上」、「下」の概念は、必ずしも重力の向きとの関係を示す用語ではない。
【００１３】
（第１の実施形態）
第１の実施形態の半導体装置は、第１の窒化物半導体層と、第１の窒化物半導体層の上に位置し、第１の窒化物半導体層よりもバンドギャップが大きい第２の窒化物半導体層と、第１の窒化物半導体層の上に位置し、第１の窒化物半導体層に電気的に接続された第１の電極と、第１の窒化物半導体層の上に位置し、第１の窒化物半導体層に電気的に接続された第２の電極と、第１の電極と第２の電極との間の第１の窒化物半導体層の上に位置するゲート電極と、第１の窒化物半導体層とゲート電極との間に位置し、酸化シリコン膜と、第１の窒化物半導体層と酸化シリコン膜との間の酸窒化アルミニウム膜とを有し、酸窒化アルミニウム膜の中の第１の位置における酸素と窒素の和に対する窒素の第１の原子比が、酸窒化アルミニウム膜の中の第１の位置よりも酸化シリコン膜に近い第２の位置における酸素と窒素の和に対する窒素の第２の原子比よりも大きいゲート絶縁層と、を備える。
【００１４】
図１は、第１の実施形態の半導体装置の模式断面図である。第１の実施形態の半導体装置は、ＧａＮ系半導体を用いたＨＥＭＴ（Ｈｉｇｈ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｏｂｉｌｉｔｙ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）１００である。ＨＥＭＴ１００は、ゲート電極がトレンチ（リセス）内に設けられるゲート・リセス構造を備える。
【００１５】
ＨＥＭＴ１００は、基板１０、バッファ層１２、チャネル層１４（第１の窒化物半導体層）、バリア層１５（第２の窒化物半導体層）、ゲート絶縁層１６、ゲート電極１８、ソース電極２０（第１の電極）、ドレイン電極２２（第２の電極）、層間絶縁層３０、トレンチ４０を備える。
【００１６】
トレンチ４０の底部はチャネル層１４内に位置する。ゲート絶縁層１６及びゲート電極１８は、トレンチ４０内に形成される。トレンチ４０の底部がチャネル層１４内に位置することにより、ゲート電極１８の下の２次元電子ガスが消滅する。したがって、ノーマリーオフ動作の実現が可能となる。
【００１７】
基板１０は、例えば、シリコン（Ｓｉ）で形成される。シリコン以外にも、例えば、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）や炭化珪素（ＳｉＣ）を適用することも可能である。
【００１８】
基板１０上に、バッファ層１２が設けられる。バッファ層１２は、基板１０とチャネル層１４との間の格子不整合を緩和する機能を備える。バッファ層１２は、例えば、窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＷＧａ１−ＷＮ（０＜Ｗ＜１））の多層構造で形成される。
【００１９】
チャネル層１４は、バッファ層１２上に設けられる。チャネル層１４は電子走行層とも称される。チャネル層１４は、ガリウム（Ｇａ）を含む。チャネル層１４は、例えば、アンドープのＡｌＸＧａ１−ＸＮ（０≦Ｘ＜１）である。より具体的には、例えば、アンドープの窒化ガリウム（ＧａＮ）である。チャネル層１４の膜厚は、例えば、０．１μｍ以上１０μｍ以下である。
【００２０】
バリア層１５は、チャネル層１４上に設けられる。バリア層１５は電子供給層とも称される。バリア層１５のバンドギャップは、チャネル層１４のバンドギャップよりも大きい。バリア層１５は、ガリウム（Ｇａ）を含む。バリア層１５は、例えば、アンドープの酸化アルミウムガリウム（ＡｌＹＧａ１−ＹＮ（０＜Ｙ≦１、Ｘ＜Ｙ））である。より具体的には、例えば、アンドープのＡｌ０．２５Ｇａ０．７５Ｎである。バリア層１５の膜厚は、例えば、１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。
【００２１】
チャネル層１４とバリア層１５との間は、ヘテロ接合界面となる。ヘテロ接合界面に２次元電子ガス（２ＤＥＧ）が形成されＨＥＭＴ１００のキャリアとなる。
【００２２】
ソース電極２０は、チャネル層１４及びバリア層１５の上に設けられる。ソース電極２０は、チャネル層１４及びバリア層１５に電気的に接続される。
【００２３】
ソース電極２０は、例えば、金属電極である。ソース電極２０は、例えば、チタン（Ｔｉ）とアルミニウム（Ａｌ）の積層構造である。ソース電極２０と、バリア層１５との間はオーミックコンタクトであることが望ましい。
【００２４】
ドレイン電極２２は、チャネル層１４及びバリア層１５の上に設けられる。ドレイン電極２２は、チャネル層１４及びバリア層１５に電気的に接続される。
【００２５】
ドレイン電極２２は、例えば、金属電極である。ドレイン電極２２は、例えば、チタン（Ｔｉ）とアルミニウム（Ａｌ）の積層構造である。ドレイン電極２２と、バリア層１５との間はオーミックコンタクトであることが望ましい。
【００２６】
ソース電極２０とドレイン電極２２との距離は、例えば、５μｍ以上３０μｍ以下である。
【００２７】
なお、ソース電極２０及びドレイン電極２２は、チャネル層１４に接する構造とすることも可能である。
【００２８】
ゲート電極１８の少なくとも一部は、トレンチ４０内に形成される。ゲート電極１８は、バリア層１５の上に設けられる。ゲート電極１８は、ソース電極２０とドレイン電極２２の間に設けられる。
【００２９】
ゲート電極１８は、例えば、金属電極である。ゲート電極１８は、例えば、窒化チタン（ＴｉＮ）である。
【００３０】
ゲート絶縁層１６の少なくとも一部は、トレンチ４０内に形成される。ゲート絶縁層１６は、チャネル層１４とゲート電極１８との間に位置する。ゲート絶縁層１６は、チャネル層１４に接する。
【００３１】
ゲート絶縁層１６は、ゲート電極１８とドレイン電極２２との間のバリア層１５上にも形成される。ゲート絶縁層１６は、ゲート電極１８とソース電極２０との間のバリア層１５上にも形成される。
【００３２】
図２は、第１の実施形態の半導体装置の拡大模式断面図である。図２は、チャネル層１４とゲート電極１８との間のゲート絶縁層１６の拡大図である。図２は、図１のＡＡ’にそった部分の図である。
【００３３】
ゲート絶縁層１６は、酸窒化アルミニウム膜１６ａと酸化シリコン膜１６ｂを有する。酸窒化アルミニウム膜１６ａは、チャネル層１４と酸化シリコン膜１６ｂとの間に位置する。
【００３４】
酸窒化アルミニウム膜１６ａは、チャネル層１４に接する。酸化シリコン膜１６ｂはゲート電極１８に接する。酸窒化アルミニウム膜１６ａは、例えば、アモルファスである。
【００３５】
ゲート絶縁層１６の厚さは、例えば、２０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。ゲート絶縁層１６の酸化シリコン膜換算膜厚（ＥＯＴ：Ｅｑｕｉｖａｌｅｎｔ  Ｏｘｉｄｅ  Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ）は、例えば、２０ｎｍ以上４０ｎｍ以下である。
【００３６】
酸窒化アルミニウム膜１６ａは、主たる構成元素として、アルミニウム（Ａｌ）、酸素（Ｏ）、及び窒素（Ｎ）を含む。酸窒化アルミニウム膜１６ａの中の第１の位置（図２中のＣ１）における酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）との和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の第１の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））が、酸窒化アルミニウム膜１６ａの中の第１の位置Ｃ１よりも酸化シリコン膜１６ｂに近い第２の位置（図２中のＣ２）における酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）の和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の第２の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））よりも大きい。言い換えれば、酸窒化アルミニウム膜１６ａは、チャネル層１４側の窒素濃度が、ゲート電極１８側の窒素濃度よりも高い。
【００３７】
酸窒化アルミニウム膜１６ａは、例えば、２層構造である。酸窒化アルミニウム膜１６ａは、第１の領域１６ａｘと第２の領域１６ａｙを含む。第２の領域１６ａｙは、第１の領域１６ａｘと酸化シリコン膜１６ｂとの間に位置する。第１の位置Ｃ１は第１の領域１６ａｘ内にあり、第２の位置Ｃ２は第２の領域１６ａｙ内にある。
【００３８】
第１の原子比は、例えば、０．７０以上０．８７以下である。第２の原子比は、例えば、０．１３以上０．３０以下である。
【００３９】
第１の位置Ｃ１は、例えば、チャネル層１４と酸窒化アルミニウム膜１６ａの界面近傍である。例えば、チャネル層１４と酸窒化アルミニウム膜１６ａの界面から、第１の位置Ｃ１までの距離（図２中のｄ１）は、０．５ｎｍ以下である。
【００４０】
第２の位置Ｃ２は、例えば、酸化シリコン膜１６ｂと酸窒化アルミニウム膜１６ａの界面近傍である。例えば、酸化シリコン膜１６ｂと酸窒化アルミニウム膜１６ａの界面から、第２の位置Ｃ２までの距離（図２中のｄ２）は、０．５ｎｍ以下である。
【００４１】
酸窒化アルミニウム膜１６ａ内の窒素濃度の分布は、例えば、チャネル層１４側から酸化シリコン膜１６ｂに向かって低くなる傾斜分布であっても構わない。言い換えれば、酸窒化アルミニウム膜１６ａ内の窒素の原子比がチャネル層１４側から酸化シリコン膜１６ｂに向かって連続的又は段階的に低くなる分布であっても構わない。
【００４２】
酸窒化アルミニウム膜１６ａの膜厚は、例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下である。酸化シリコン膜１６ｂは、酸窒化アルミニウム膜１６ａに接する。酸化シリコン膜１６ｂの膜厚は、例えば、１０ｎｍ以上４０ｎｍ以下である。
【００４３】
層間絶縁層３０は、ゲート絶縁層１６及びゲート電極１８の上に設けられる。層間絶縁層３０は、例えば、酸化シリコン、酸窒化シリコン、又は、窒化シリコンである。層間絶縁層３０の膜厚は、例えば、１００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下である。
【００４４】
ゲート絶縁層１６中の元素の種類、元素の濃度は、例えば、ＳＩＭＳ（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）、ＥＤＸ（Ｅｎｅｒｇｙ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ  Ｘ−ｒａｙ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）により測定することが可能である。ゲート絶縁層１６、酸窒化アルミニウム膜１６ａ、酸化シリコン膜１６ｂの膜厚は、例えば、ＴＥＭ（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を用いて測定が可能である。また、例えば、チャネル層１４と酸窒化アルミニウム膜１６ａの界面から第１の位置Ｃ１までの距離（図２中のｄ１）及び第１の原子比、酸化シリコン膜１６ｂと酸窒化アルミニウム膜１６ａの界面から第２の位置Ｃ２までの距離（図２中のｄ２）及び第２の原子比は、例えば、ＴＥＭ−ＥＤＸを用いて測定が可能である。
【００４５】
半導体領域の不純物の種類、不純物濃度は、例えば、ＳＩＭＳ、ＥＤＸにより測定することが可能である。また、不純物濃度の相対的な高低は、例えば、ＳＣＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ）で求められるキャリア濃度の高低から判断することも可能である。また、不純物領域の深さ、厚さなどの距離は、例えば、ＳＩＭＳで求めることが可能である。また。不純物領域の深さ、厚さ、幅、間隔などの距離は、例えば、ＳＣＭ像とアトムプローブ像との比較画像からも求めることが可能である。
【００４６】
次に、本実施形態の半導体装置の製造方法の一例について説明する。
【００４７】
最初に、基板１０、例えば、シリコン基板を準備する。次に、例えば、シリコン基板上にエピタキシャル成長により、バッファ層１２となる窒化アルミニウムガリウムの多層構造を形成する。例えば、有機金属気相成長（ＭＯＣＶＤ）法によりバッファ層１２を成長させる。
【００４８】
次に、バッファ層１２上に、チャネル層１４となるアンドープのＧａＮ、バリア層１５となるアンドープのＡｌ０．２５Ｇａ０．７５Ｎをエピタキシャル成長により形成する。例えば、ＭＯＣＶＤ法により、チャネル層１４、バリア層１５を成長させる。
【００４９】
次に、バリア層１５を貫通し、チャネル層１４に達するトレンチ４０を形成する。トレンチ４０は、例えば、反応性イオンエッチング法により形成する。
【００５０】
次に、チャネル層１４及びバリア層１５の上に、ゲート絶縁層１６を形成する。
【００５１】
まず、酸窒化アルミニウム膜１６ａを形成する。酸窒化アルミニウム膜１６ａは２層構造である。
【００５２】
第１の領域１６ａｘとなる酸窒化アルミニウム膜を、例えば、ＡＬＤ法（Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法）により形成する。酸窒化アルミニウム膜の酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）との和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の第１の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））が、例えば、０．７０以上０．８７以下となるように膜形成の条件を設定する。その後、酸窒化アルミニウム膜をデンシファイするアニールを行う。アニールは、例えば、アルゴン（Ａｒ）ガスのような不活性ガスを雰囲気ガスとして用いて、加熱温度４００℃以上６００℃以下で行う。
【００５３】
次に、第１の領域１６ａｘとなる酸窒化アルミニウム膜上に、第２の領域１６ａｙなる酸窒化アルミニウム膜を、例えば、ＡＬＤ法により形成する。酸窒化アルミニウム膜の酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）との和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の第２の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））が、例えば、０．１３以上０．３０以下となるように膜形成の条件を設定する。その後、酸窒化アルミニウム膜をデンシファイするアニールを行う。アニールは、例えば、アルゴン（Ａｒ）ガスのような不活性ガスを雰囲気ガスとして用いて、加熱温度４００℃以上６００℃以下で行う。
【００５４】
次に、酸窒化アルミニウム膜１６ａ上に酸化シリコン膜１６ｂを、例えば、ＣＶＤ法で形成する。ＣＶＤ法による堆積時の温度は、例えば、８００℃である。
【００５５】
その後、ゲート絶縁層１６をデンシファイするための高温アニールを行う。高温アニールは、例えば、アルゴン（Ａｒ）ガスのような不活性ガスを雰囲気ガスとして用いて、加熱温度９００℃以上１０５０℃以下、加熱時間１時間以下で行う。
【００５６】
次に、公知の方法により、ソース電極２０、ドレイン電極２２、及び、ゲート電極１８を形成する。その後、公知の方法により、層間絶縁層３０が形成される。
【００５７】
以上の製造方法により、図１に示すＨＥＭＴ１００が形成される。
【００５８】
以下、第１の実施形態の半導体装置の作用および効果について説明する。
【００５９】
窒化物半導体を用いたトランジスタでは、窒化物半導体の上に形成された絶縁層中に電荷が注入され、閾値電圧の変動、絶縁層のリーク電流の増大、オン抵抗の増大等の特性劣化が生じるという問題がある。例えば、トランジスタのゲート絶縁層に電荷が注入されることにより、トランジスタの閾値電圧が変動したり、ゲート絶縁層のリーク電流が増大したりするおそれがある。したがって、ゲート絶縁層に電荷が注入されることを抑制することが望まれる。
【００６０】
発明者らによる第１原理計算による検討の結果、酸化シリコン膜と酸窒化アルミニウム膜との間の界面に形成される固定ダイポールの向きが、酸窒化アルミニウム膜の中の窒素濃度に依存して反転することが明らかになった。第１の実施形態のＨＥＭＴ１００は、上記新たな知見を基礎にした、ゲート絶縁層への電荷の注入の抑制を実現するゲート構造を備える。
【００６１】
第１の実施形態のＨＥＭＴ１００は、チャネル層１４と酸化シリコン膜１６ｂに挟まれた酸窒化アルミニウム膜１６ａの中の窒素濃度が、チャネル層１４側でゲート電極１８側よりも低い。この構成により、ＨＥＭＴ１００のゲート絶縁層１６への電荷の注入の抑制と、閾値電圧の低下の抑制とが実現される。
【００６２】
図３は、第１の実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図である。図３は、酸化シリコンの伝導帯下端のエネルギーと酸窒化シリコンの伝導帯下端のエネルギーとの差分（ΔＥｃ）の変化量の、窒素の原子比に対する依存性を示している。
【００６３】
酸化シリコンの伝導帯下端のエネルギーと酸窒化シリコンの伝導帯下端のエネルギーとの差分（ΔＥｃ）の変化は、酸化シリコン膜と酸窒化アルミニウム膜との間の界面に形成される固定ダイポールによりもたらされる。図３中の窒素の原子比とは、酸窒化アルミニウム膜の酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）との和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））を意味する。
【００６４】
窒素の原子比が小さい領域、すなわち、酸窒化アルミニウム膜の中の窒素濃度が低い領域では、ΔＥｃの変化量は正の値を示す。一方、窒素の原子比が大きい領域、すなわち、酸窒化アルミニウム膜の中の窒素濃度が高い領域では、ΔＥｃの変化量は負の値を示す。ここで、ΔＥｃが見かけ上大きくなる変化の方向を正、ΔＥｃが見かけ上小さくなる変化の方向を負とする。
【００６５】
このように、酸窒化アルミニウム膜の中の窒素濃度に依存してΔＥｃの変化量の向きが反転する。これは、酸窒化アルミニウム膜の中の窒素濃度に依存して酸化シリコン膜と酸窒化アルミニウム膜との間の界面に形成される固定ダイポールの向きが反転することを示す。
【００６６】
酸窒化アルミニウム膜の中の窒素濃度が低い場合、酸化シリコン膜と酸窒化アルミニウム膜との間の界面に対して、負電荷を有する酸素が酸化シリコン膜側に偏ることで酸化シリコン膜側を負、酸窒化アルミニウム膜側を正とする固定ダイポールが形成される。一方、酸窒化アルミニウム膜の中の窒素濃度が高い場合、酸化シリコン膜と酸窒化アルミニウム膜との間の界面に対して、正電荷を有するアルミニウムが酸化シリコン膜側に偏ることで酸化シリコン膜側を正、酸窒化アルミニウム膜側を負とする固定ダイポールが形成される。
【００６７】
図４は、第１の実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図である。図４は、第１の比較例のＭＯＳ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）構造のエネルギーバンド図である。図４は、図１のＡＡ’にそった部分に対応する部分のエネルギーバンド図である。
【００６８】
第１の比較例のＭＯＳ構造は、窒化物半導体層（図４中の“ＧａＮ”）、ゲート電極（図４中の“Ｇａｔｅ”）、窒化物半導体層とゲート電極との間のゲート絶縁層を備える。ゲート絶縁層は、酸窒化アルミニウム膜（図４中の“ＡｌＯＮ”）と酸化シリコン膜（図４中の“ＳｉＯ２”）とを有する。酸窒化アルミニウム膜の窒素濃度が低い場合、言い換えれば窒素の原子比が小さい場合を仮定している。酸窒化アルミニウム膜内の窒素濃度は均一である。ゲート電極は金属である場合を仮定している。
【００６９】
図４（ａ）は固定ダイポールの存在を無視した場合のエネルギーバンド図、図４（ｂ）は固定ダイポールの存在を考慮した場合のエネルギーバンド図である。
【００７０】
図４（ａ）に示すように、酸化シリコン膜の伝導帯下端のエネルギーと酸窒化シリコン膜の伝導帯下端のエネルギーとの間には差分（ΔＥｃ）が存在する。また、酸化シリコン膜の伝導帯下端のエネルギーと窒化物半導体層の伝導帯下端のエネルギーとの差分（ΔＥｃ’）が存在する。
【００７１】
図４（ｂ）に示すように、酸窒化アルミニウム膜の窒素濃度が低い場合、酸化シリコン膜側を負、酸窒化アルミニウム膜側を正とする固定ダイポールが形成される。したがって、ΔＥｃが見かけ上、大きくなる方向（正の方向）に変化する。変化量は図４（ｂ）に“ｖ”で示される。
【００７２】
ΔＥｃが見かけ上、大きくなることで、酸化シリコン膜の伝導帯下端のエネルギーと窒化物半導体層の伝導帯下端のエネルギーとの差分（ΔＥｃ’）は見かけ上、大きくなる。言い変えれば、窒化物半導体層とゲート絶縁層との間のエネルギー障壁が大きくなる。したがって、第１の比較例のＭＯＳ構造を有するＨＥＭＴでは、ゲート絶縁層への電荷の注入が抑制される。
【００７３】
なお、ΔＥｃが見かけ上、大きくなることで、ゲート電極の仕事関数（図４中の“ＷＦ”）は見かけ上、小さくなる。このため、第１の比較例のＭＯＳ構造を有するＨＥＭＴの閾値電圧は低くなる。
【００７４】
さらに、窒化物半導体層の上にゲート絶縁層を形成する場合、ゲート絶縁層中の窒素濃度が低いと、窒化物半導体層の表面近傍の窒素空孔（ｎｉｔｒｏｇｅｎ  ｖａｃａｎｃｙ）の量が多くなり、ＨＥＭＴの閾値電圧が低下するおそれがある。窒素空孔は、ゲート絶縁層を形成する際の雰囲気中への窒素の拡散により生ずる。また、ＨＥＭＴの閾値電圧の低下は、窒素空孔が電子の供給源、すなわちドナーとなることにより生ずる。
【００７５】
例えば、窒素の原子比が０．１３の場合、ΔＥｃの正の方向の変化量は図３より０．４２ｅＶである。このため、窒化物半導体層とゲート絶縁層との間のエネルギー障壁は、０．４２ｅＶ高くなる。一方、ΔＥｃの変化に伴う閾値電圧の低下は０．４２Ｖとなる。
【００７６】
そして、窒化物半導体層の表面近傍の窒素空孔による閾値電圧の低下が、例えば１．０Ｖ〜２．０Ｖとする。そうすると、ΔＥｃの変化に伴う閾値電圧の低下が加算され、ＨＥＭＴの閾値電圧は、窒素空孔の存在やダイポールを考慮しない場合と比較して、１．４２Ｖ〜２．４２Ｖ低下することになる。
【００７７】
図５は、第１の実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図である。図５は、第２の比較例のＭＯＳ構造のエネルギーバンド図である。図５は、図１のＡＡ’にそった部分に対応する部分のエネルギーバンド図である。
【００７８】
第２の比較例のＭＯＳ構造は、酸窒化アルミニウム膜の窒素濃度が高い場合、言い換えれば窒素の原子比が高い場合を仮定している点で、第１の比較例と異なっている。
【００７９】
第２の比較例のＭＯＳ構造の場合、ゲート絶縁層中の窒素濃度が高いため、窒化物半導体層の表面近傍の窒素空孔（ｎｉｔｒｏｇｅｎ  ｖａｃａｎｃｙ）の量は少なくなり、ＨＥＭＴの閾値電圧の低下は抑制される。例えば、１．０Ｖ〜２．０Ｖの閾値電圧の低下が抑制される。
【００８０】
図５（ａ）は固定ダイポールの存在を無視した場合のエネルギーバンド図、図５（ｂ）は固定ダイポールの存在を考慮した場合のエネルギーバンド図である。なお、酸窒化アルミニウム膜の窒素濃度が、第１の比較例よりも高いため、酸窒化アルミニウム膜のバンドギャップは、第１の比較例よりも小さくなる。
【００８１】
図５（ａ）に示すように、酸化シリコン膜の伝導帯下端のエネルギーと酸窒化シリコン膜の伝導帯下端のエネルギーとの間には差分（ΔＥｃ）が存在する。図５（ｂ）に示すように、酸窒化アルミニウム膜の窒素濃度が高い場合、酸化シリコン膜側を正、酸窒化アルミニウム膜側を負とする固定ダイポールが形成される。したがって、ΔＥｃが見かけ上、小さくなる方向（負の方向）に変化する。変化量は図５（ｂ）に“ｖ”で示される。
【００８２】
ΔＥｃが見かけ上、小さくなることで、酸化シリコン膜の伝導帯下端のエネルギーと窒化物半導体層の伝導帯下端のエネルギーとの差分（ΔＥｃ’）も見かけ上、小さくなる。言い変えれば、窒化物半導体層とゲート絶縁層との間のエネルギー障壁が小さくなる。したがって、第２の比較例のＭＯＳ構造を有するＨＥＭＴでは、第１の比較例の場合と比べ、ゲート絶縁層への電荷の注入が促進されることになる。
【００８３】
また、ΔＥｃが見かけ上、小さくなることで、ゲート電極の仕事関数（図５中の“ＷＦ”）は見かけ上、大きくなる。したがって、この観点でも第２の比較例のＭＯＳ構造を有するＨＥＭＴの閾値電圧は高くなる。
【００８４】
例えば、窒素の原子比が０．８７の場合、ΔＥｃの負の方向の変化量は図３より０．６０ｅＶである。このため、窒化物半導体層とゲート絶縁層との間のエネルギー障壁は、０．６０ｅＶ低くなる。一方、ΔＥｃの変化に伴う閾値電圧の上昇は、ＨＥＭＴの閾値電圧は、窒素空孔の存在やダイポールを考慮しない場合と比較して、０．６０Ｖ高くなることになる。
【００８５】
第２の比較例のＭＯＳ構造を有するＨＥＭＴは、第１の比較例に比べ、ゲート絶縁層中の窒素濃度を高くすることでＨＥＭＴの閾値電圧を高くすることができる。しかしながら、ゲート絶縁層への電荷の注入が促進され、トランジスタの閾値電圧が変動したり、ゲート絶縁層のリーク電流が増大したりする問題が生ずる。
【００８６】
図６は、第１の実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図である。図６は、第１の実施形態のＭＯＳ構造のエネルギーバンド図である。図６は、図１のＡＡ’にそった部分のエネルギーバンド図である。
【００８７】
第１の実施形態のＭＯＳ構造のゲート絶縁層１６は、酸窒化アルミニウム膜１６ａが２層構造である点で、第１の比較例及び第２の比較例と異なっている。
【００８８】
第１の実施形態のＭＯＳ構造のゲート絶縁層１６の酸窒化アルミニウム膜１６ａ（図６中の“ＡｌＯＮ−１”、“ＡｌＯＮ−２”）は、第１の領域１６ａｘ（図６中の“ＡｌＯＮ−１”）と第２の領域１６ａｙ（図６中の“ＡｌＯＮ−２”）を有する。
【００８９】
第１の領域１６ａｘの窒素濃度は、第２の領域１６ａｙの窒素濃度より高い。言い換えれば、第１の領域１６ａｘの窒素の原子比は、第２の領域１６ａｙの窒素の原子比より大きい。なお、第１の領域１６ａｘの窒素濃度が、第２の領域１６ａｙよりも高いため、第１の領域１６ａｘのバンドギャップは、第２の領域１６ａｙよりも小さくなる。ゲート電極は金属である場合を仮定している。
【００９０】
第１の領域１６ａｘの窒素濃度が高いため、窒化物半導体層の表面近傍の窒素空孔の量は少なくなり、ＨＥＭＴの閾値電圧の低下は抑制される。
【００９１】
そして、第２の領域１６ａｙの窒素濃度は低いため、酸化シリコン膜１６ｂ側を負、酸窒化アルミニウム膜１６ａ側を正とする固定ダイポール（図６中の “ＤＩＰＯＬＥ”）が形成される。したがって、ΔＥｃが見かけ上、大きくなる方向（正の方向）に変化する。変化量は図６に“ｖ”で示される。
【００９２】
ΔＥｃが見かけ上、大きくなることで、酸化シリコン膜の伝導帯下端のエネルギーと窒化物半導体層の伝導帯下端のエネルギーとの差分（ΔＥｃ’）は見かけ上、大きくなる。言い変えれば、窒化物半導体層とゲート絶縁層との間のエネルギー障壁が大きくなる。したがって、第１の比較例のＭＯＳ構造と同様、ゲート絶縁層への電荷の注入が抑制される。
【００９３】
なお、ΔＥｃが見かけ上、大きくなることで、ゲート電極の仕事関数（図６中の“ＷＦ”）は見かけ上、小さくなる。したがって、ＨＥＭＴの閾値電圧が低くなる方向に作用する。しかし、窒素空孔の低減により、閾値電圧の低下は抑制される。
【００９４】
例えば、窒素の原子比が０．１３の場合、ΔＥｃの正の方向の変化量は図３より０．４２ｅＶである。このため、窒化物半導体層とゲート絶縁層との間のエネルギー障壁は、０．４２ｅＶ高くなる。一方、ΔＥｃの変化に伴う閾値電圧の低下は０．４２Ｖである。
【００９５】
窒化物半導体層の表面近傍の窒素空孔による閾値電圧の低下は抑制されるため、窒素空孔の存在やダイポールを考慮しない場合と比較して、ＨＥＭＴの閾値電圧の低下は、０．４２Ｖに抑制される。第１の比較例の場合の低下量である１．４２Ｖ〜２．４２Ｖと比較すれば大幅に閾値電圧の低下が抑制されることになる。
【００９６】
第１の実施形態のＨＥＭＴ１００によれば、ゲート絶縁層１６への電荷の注入の抑制と、閾値電圧の低下の抑制とが実現される。ゲート絶縁層１６への電荷の注入が抑制されるため、閾値電圧の変動、絶縁層のリーク電流の増大等の特性劣化が抑制される。
【００９７】
酸窒化アルミニウム膜１６ａの中の第１の位置（図２中のＣ１）における酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）との和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の第１の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））は、０．７０以上０．８７以下であることが好ましい。上記範囲を下回ると、窒素空孔による閾値電圧の低下が十分抑制できないおそれがある。上記範囲を上回ると、高温の熱処理により酸窒化アルミニウム膜１６ａの結晶化が進み、ゲート絶縁層１６のリーク電流が大きくなるおそれがある。また、酸窒化アルミニウム膜１６ａの結晶化が進み、酸窒化アルミニウム膜１６ａのトラップ準位が増大し、電荷のトラップによる閾値電圧の変動が大きくなるおそれがある。
【００９８】
酸窒化アルミニウム膜１６ａの中の第２の位置（図２中のＣ２）における酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）の和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の第２の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））は、０．１３以上０．３０以下であることが好ましい。上記範囲を下回ると、高温の熱処理により酸窒化アルミニウム膜１６ａの結晶化が進み、ゲート絶縁層１６のリーク電流が大きくなるおそれがある。また、酸窒化アルミニウム膜１６ａの結晶化が進み、酸窒化アルミニウム膜１６ａのトラップ準位が増大し、電荷のトラップによる閾値電圧の変動が大きくなるおそれがある。また、上記範囲を上回ると、固定ダイポールによるΔＥｃの変化量が小さくなり、窒化物半導体層とゲート絶縁層１６との間のエネルギー障壁の高さが不足し、ゲート絶縁層１６への電荷の注入の抑制が不十分となるおそれがある。
【００９９】
第１の位置（図２中のＣ１）における第１の原子比が０．７０以上０．８７以下であり、かつ、第２の位置（図２中のＣ２）における第２の原子比が０．１３以上０．３０以下であることが更に好ましい。閾値電圧の低下の抑制、ゲート絶縁層１６への電荷の注入の抑制の双方が実現する。この際、例えば、第１の位置及び第２の位置以外の位置の酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）との和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））を０．１３以上０．８７以下とすることが好ましい。上記原子比を０．１３以上０．８７以下とすることで、ゲート絶縁層１６をデンシファイするための高温アニールを９００℃以上で行った場合でも、酸窒化アルミニウム膜１６ａ全体をアモルファス状態に維持することが可能になる。
【０１００】
チャネル層１４と酸窒化アルミニウム膜１６ａの界面から、第１の位置Ｃ１までの距離（図２中のｄ１）は、０．５ｎｍ以下であることが好ましく、０．３ｎｍであることがより好ましく、０．１ｎｍ以下であることが更に好ましい。上記範囲を上回ると窒素空孔による閾値電圧の低下が十分抑制できないおそれがある。
【０１０１】
また、酸化シリコン膜１６ｂと酸窒化アルミニウム膜１６ａの界面から、第２の位置Ｃ２までの距離（図２中のｄ２）は、０．５ｎｍ以下であることが好ましく、０．３ｎｍであることがより好ましく、０．１ｎｍ以下であることが更に好ましい。また、上記範囲を上回ると有効な固定ダイポールが形成されないおそれがある。
【０１０２】
ゲート絶縁層１６の厚さは２０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましい。また、ゲート絶縁層１６の酸化シリコン膜換算膜厚は、２０ｎｍ以上４０ｎｍ以下であることが好ましい。上記範囲を下回ると、ゲート絶縁層１６のリーク電流が増大するおそれがある。また、ゲート絶縁層１６の絶縁破壊が生じるおそれがある。上記範囲を上回ると、ゲート絶縁層１６のゲート容量が小さくなり、ＨＥＭＴ１００の駆動力が低下するおそれがある。
【０１０３】
酸窒化アルミニウム膜１６ａの膜厚は、例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下であることが好ましい。上記範囲を下回ると、酸窒化アルミニウム膜１６ａの中の窒素濃度の分布が保持できないおそれがある。上記範囲を上回ると、ゲート絶縁層１６に占める酸窒化アルミニウム膜１６ａの割合が大きくなりすぎ、ゲート絶縁層１６のリーク電流が増大するおそれがある。また、酸窒化アルミニウム膜１６ａへの電荷のトラップ量が多くなり閾値電圧が変動するおそれがある。
【０１０４】
さらに、ＨＥＭＴ１００では、ゲート絶縁層１６が、ゲート電極１８とドレイン電極２２との間のバリア層１５上にも形成される。このため、高いドレイン電圧を印加した際に、オン抵抗が増大する電流コラプスの抑制が可能となる。電流コラプスは、窒化物半導体層と絶縁層との界面への電荷のトラップや、絶縁層中への電荷のトラップにより生ずる。
【０１０５】
図７は、第１の実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図である。図７は、第１の実施形態の層間絶縁層３０（図７中の“ＩＮＳＵＬＡＴＩＮＧ  ＬＡＹＥＲ”）を含む部分のエネルギーバンド図である。図７は、図１のＢＢ’にそった部分のエネルギーバンド図である。
【０１０６】
窒化物半導体層の表面近傍の窒素空孔は、電荷のトラップ準位となり、電流コラプスの一要因となる。ＨＥＭＴ１００では、第１の領域１６ａｘ（図７中の“ＡｌＯＮ−１”）の窒素濃度が高いため、窒化物半導体層の表面近傍の窒素空孔の量は少なくなる。したがって、窒化物半導体層の表面近傍の電荷のトラップが抑制され、電流コラプスが抑制される。
【０１０７】
そして、第２の領域１６ａｙ（図７中の“ＡｌＯＮ−２”）の窒素濃度は低いため、窒化物半導体層とゲート絶縁層１６との間のエネルギー障壁が大きくなる。したがって、ゲート絶縁層１６や層間絶縁層３０への電荷の注入が抑制される。よって、電流コラプスが抑制される。
【０１０８】
以上、第１の実施形態のＨＥＭＴ１００によれば、ゲート絶縁層１６及び層間絶縁層３０への電荷の注入が抑制され、閾値電圧の変動、絶縁層のリーク電流の増大、電流コラプス等の特性劣化が抑制される。
【０１０９】
（第２の実施形態）
第２の実施形態の半導体装置は、ゲート絶縁層と第１の窒化物半導体層とが離間している以外は、第１の実施形態と同様である。したがって、第１の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
【０１１０】
図８は、第２の実施形態の半導体装置の模式断面図である。第２の実施形態の半導体装置は、ＧａＮ系半導体を用いたＨＥＭＴ２００である。ＨＥＭＴ２００は、ゲート電極がトレンチ（リセス）内に設けられるゲート・リセス構造を備える。
【０１１１】
ＨＥＭＴ２００は、基板１０、バッファ層１２、チャネル層１４（第１の窒化物半導体層）、バリア層１５（第２の窒化物半導体層）、ゲート絶縁層１６、ゲート電極１８、ソース電極２０（第１の電極）、ドレイン電極２２（第２の電極）、層間絶縁層３０、トレンチ４０を備える。
【０１１２】
トレンチ４０の底部はバリア層１５内に位置する。ゲート絶縁層１６及びゲート電極１８は、トレンチ４０内に形成される。ゲート絶縁層１６とチャネル層１４とは離間している。言い換えれば、ゲート絶縁層１６とチャネル層１４との間にバリア層１５が設けられる。
【０１１３】
ゲート絶縁層１６の構成は第１の実施形態と同様である。
【０１１４】
ＨＥＭＴ２００は、ゲート電極１８下のバリア層１５の厚さが薄いことにより、ゲート電極１８下の２次元電子ガス密度が低減され、閾値電圧が上昇する。更に、例えば、ゲート電極１８とゲート絶縁層１６との間に、図示しないｐ型層を挿入することで、ノーマリーオフ動作の実現が可能となる。
【０１１５】
第２の実施形態のＨＥＭＴ２００によれば、第１の実施形態と同様の作用により、閾値電圧の変動、絶縁層のリーク電流の増大、電流コラプス等の特性劣化が抑制される。
【０１１６】
（第３の実施形態）
第３の実施形態の半導体装置は、第１の窒化物半導体層と、第１の窒化物半導体層の上に位置し、第１の窒化物半導体層よりもバンドギャップが大きい第２の窒化物半導体層と、第１の窒化物半導体層の上に位置し、第１の窒化物半導体層に電気的に接続された第１の電極と、第１の窒化物半導体層の上に位置し、第１の窒化物半導体層に電気的に接続された第２の電極と、第１の電極と第２の電極との間の第１の窒化物半導体層の上に位置するゲート電極と、ゲート電極と第２の電極との間の第２の窒化物半導体層の上に位置し、酸化シリコン膜と、第２の窒化物半導体層と酸化シリコン膜との間の酸窒化アルミニウム膜とを有し、酸窒化アルミニウム膜の中の第１の位置における酸素と窒素の和に対する窒素の第１の原子比が、酸窒化アルミニウム膜の中の第１の位置よりも酸化シリコン膜に近い第２の位置における酸素と窒素の和に対する窒素の第２の原子比よりも大きい絶縁層と、を備える。
【０１１７】
第３の実施形態の半導体装置は、トレンチ及びゲート絶縁層を備えずゲート電極と窒化物半導体層との間にｐ型層を備える点で、第１の実施形態と異なる。以下、第１の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
【０１１８】
図９は、第３の実施形態の半導体装置の模式断面図である。第３の実施形態の半導体装置は、ＧａＮ系半導体を用いたＨＥＭＴ３００である。
【０１１９】
ＨＥＭＴ３００は、基板１０、バッファ層１２、チャネル層１４（第１の窒化物半導体層）、バリア層１５（第２の窒化物半導体層）、ｐ型層１７、ゲート電極１８、ソース電極２０（第１の電極）、ドレイン電極２２（第２の電極）、層間絶縁層３０、保護絶縁層３２（絶縁層）を備える。
【０１２０】
ｐ型層１７は、例えば、ｐ型不純物を含む窒化ガリウムである。ＨＥＭＴ３００は、バリア層１５とゲート電極１８との間にｐ型層１７を備えることで、閾値電圧が上昇し、ノーマリーオフ動作の実現が可能となる。
【０１２１】
保護絶縁層３２は、ゲート電極１８とドレイン電極２２との間のバリア層１５の上に位置する。また、保護絶縁層３２は、ゲート電極１８とソース電極２０との間のバリア層１５の上に位置する。
【０１２２】
図１０は、第３の実施形態の半導体装置の拡大模式断面図である。図１０は、バリア層１５と層間絶縁層３０との間の保護絶縁層３２の拡大図である。図１０は、図９のＣＣ’にそった部分の図である。
【０１２３】
保護絶縁層３２は、酸窒化アルミニウム膜３２ａと酸化シリコン膜３２ｂを有する。酸窒化アルミニウム膜３２ａは、バリア層１５と酸化シリコン膜３２ｂとの間に位置する。
【０１２４】
酸窒化アルミニウム膜３２ａは、バリア層１５に接する。酸化シリコン膜３２ｂは層間絶縁層３０に接する。酸窒化アルミニウム膜３２ａは、例えば、アモルファスである。
【０１２５】
酸窒化アルミニウム膜３２ａは、主たる構成元素として、アルミニウム（Ａｌ）、酸素（Ｏ）、及び窒素（Ｎ）を含む。酸窒化アルミニウム膜３２ａの中の第１の位置（図１０中のＣ１）における酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）との和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の第１の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））が、酸窒化アルミニウム膜３２ａの中の第１の位置Ｃ１よりも酸化シリコン膜３２ｂに近い第２の位置（図１０中のＣ２）における酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）の和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の第２の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））よりも大きい。言い換えれば、酸窒化アルミニウム膜３２ａは、バリア層１５側の窒素濃度が、層間絶縁層３０側の窒素濃度よりも高い。
【０１２６】
酸窒化アルミニウム膜３２ａは、２層構造である。酸窒化アルミニウム膜３２ａは、第１の領域３２ａｘと第２の領域３２ａｙを含む。第２の領域３２ａｙは、第１の領域３２ａｘと酸化シリコン膜３２ｂとの間に位置する。第１の位置Ｃ１は第１の領域３２ａｘ内にあり、第２の位置Ｃ２は第２の領域３２ａｙ内にある。
【０１２７】
第１の原子比は、例えば、０．７０以上０．８７以下である。第２の原子比は、例えば、０．１３以上０．３０以下である。
【０１２８】
第１の位置Ｃ１は、例えば、バリア層１５と酸窒化アルミニウム膜３２ａの界面近傍である。例えば、バリア層１５と酸窒化アルミニウム膜３２ａの界面から、第１の位置Ｃ１までの距離（図１０中のｄ１）は、０．５ｎｍ以下である。
【０１２９】
第２の位置Ｃ２は、例えば、酸化シリコン膜３２ｂと酸窒化アルミニウム膜３２ａの界面近傍である。例えば、酸化シリコン膜３２ｂと酸窒化アルミニウム膜３２ａの界面から、第２の位置Ｃ２までの距離（図１０中のｄ２）は、０．５ｎｍ以下である。
【０１３０】
酸窒化アルミニウム膜３２ａ内の窒素濃度の分布は、例えば、バリア層１５側から酸化シリコン膜３２ｂに向かって低くなる傾斜分布であっても構わない。言い換えれば、酸窒化アルミニウム膜３２ａ内の窒素の原子比がバリア層１５側から酸化シリコン膜３２ｂに向かって連続的又は段階的に低くなる分布であっても構わない。
【０１３１】
酸窒化アルミニウム膜３２ａの膜厚は、例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下である。酸化シリコン膜３２ｂは、酸窒化アルミニウム膜３２ａに接する。酸化シリコン膜３２ｂの膜厚は、例えば、１０ｎｍ以上４０ｎｍ以下である。
【０１３２】
図１１は、第３の実施形態の半導体装置の作用及び効果の説明図である。図１１は、第３の実施形態の層間絶縁層３０（図７中の“ＩＮＳＵＬＡＴＩＮＧ  ＬＡＹＥＲ”）を含む部分のエネルギーバンド図である。図１１は、図９のＣＣ’にそった部分のエネルギーバンド図である。
【０１３３】
窒化物半導体層の表面近傍に窒素空孔が存在すると、電荷のトラップ準位となり、電流コラプスの一要因となる。ＨＥＭＴ３００では、第１の領域３２ａｘ（図１１中の“ＡｌＯＮ−１”）の窒素濃度が高いため、窒化物半導体層の表面近傍の窒素空孔の量は少なくなる。したがって、窒化物半導体層の表面近傍の電荷のトラップが抑制され、電流コラプスが抑制される。
【０１３４】
そして、第２の領域３２ａｙ（図１１中の“ＡｌＯＮ−２”）の窒素濃度は低いため、窒化物半導体層と保護絶縁層３２との間のエネルギー障壁が大きくなる。したがって、保護絶縁層３２や層間絶縁層３０への電荷の注入が抑制される。よって、電流コラプスが抑制される。
【０１３５】
酸窒化アルミニウム膜３２ａの中の第１の位置（図１０中のＣ１）における酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）との和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の第１の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））は、０．７０以上０．８７以下であることが好ましい。上記範囲を下回ると、窒素空孔による電荷のトラップが十分抑制できないおそれがある。上記範囲を上回ると、酸窒化アルミニウム膜３２ａの結晶化が進み、酸窒化アルミニウム膜３２ａの中のトラップ準位が増大し、電荷のトラップによる電流コラプスが大きくなるおそれがある。
【０１３６】
酸窒化アルミニウム膜３２ａの中の第２の位置（図１０中のＣ２）における酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）の和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の第２の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））は、０．１３以上０．３０以下であることが好ましい。上記範囲を下回ると、酸窒化アルミニウム膜３２ａの結晶化が進み、酸窒化アルミニウム膜３２ａのトラップ準位が増大し、電荷のトラップによる電流コラプスが大きくなるおそれがある。また、上記範囲を上回ると、固定ダイポールによるΔＥｃの変化量が小さくなり、窒化物半導体層と保護絶縁層３２との間のエネルギー障壁の高さが不足し、保護絶縁層３２や層間絶縁層３０への電荷の注入の抑制が不十分となるおそれがある。
【０１３７】
第１の位置（図１０中のＣ１）における第１の原子比が０．７０以上０．８７以下であり、かつ、第２の位置（図１０中のＣ２）における第２の原子比が０．１３以上０．３０以下であることが更に好ましい。閾値電圧の低下の抑制、ゲート絶縁層１６への電荷の注入の抑制の双方が実現する。この際、例えば、第１の位置及び第２の位置以外の位置の酸素（Ｏ）と窒素（Ｎ）との和（Ｏ＋Ｎ）に対する窒素の原子比（Ｎ／（Ｏ＋Ｎ））を０．１３以上０．８７以下とすることが好ましい。上記原子比を０．１３以上０．８７以下とすることで、保護絶縁層３２をデンシファイするための高温アニールを９００℃以上で行った場合でも、酸窒化アルミニウム膜３２ａ全体をアモルファス状態に維持することが可能になる。
【０１３８】
バリア層１５と酸窒化アルミニウム膜３２ａの界面から、第１の位置Ｃ１までの距離（図２中のｄ１）は、０．５ｎｍ以下であることが好ましく、０．３ｎｍであることがより好ましく、０．１ｎｍ以下であることが更に好ましい。上記範囲を上回ると窒素空孔に起因する電流コラプスが十分抑制できないおそれがある。
【０１３９】
また、酸化シリコン膜３２ｂと酸窒化アルミニウム膜３２ａの界面から、第２の位置Ｃ２までの距離（図１０中のｄ２）は、０．５ｎｍ以下であることが好ましく、０．３ｎｍであることがより好ましく、０．１ｎｍ以下であることが更に好ましい。また、上記範囲を上回ると有効な固定ダイポールが形成されないおそれがある。
【０１４０】
酸窒化アルミニウム膜３２ａの膜厚は、例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下であることが好ましい。上記範囲を下回ると、酸窒化アルミニウム膜３２ａの中の窒素濃度の分布が保持できないおそれがある。上記範囲を上回ると、酸窒化アルミニウム膜３２ａへの電荷のトラップ量が多くなり電流コラプスが大きくなるおそれがある。
【０１４１】
以上、第３の実施形態のＨＥＭＴ３００によれば、保護絶縁層３２や層間絶縁層３０への電荷の注入が抑制され、電流コラプスによる特性劣化が抑制される。
【０１４２】
（第４の実施形態）
第４の実施形態の電源回路及びコンピュータは、第１ないし第３の実施形態のＨＥＭＴを有する。
【０１４３】
図１２は、第４の実施形態のコンピュータの模式図である。第４の実施形態のコンピュータは、例えば、サーバ４００である。
【０１４４】
サーバ４００は筐体１６０内に電源回路１６２を有する。サーバ４００は、サーバソフトウェアを稼働させるコンピュータである。電源回路１６２は、例えば、第１の実施形態のＨＥＭＴ１００を有する。
【０１４５】
電源回路１６２は、特性劣化が抑制されたＨＥＭＴ１００を有することにより、安定した動作が実現される。また、サーバ４００は、電源回路１６２を有することにより、安定した動作が実現される。
【０１４６】
第４の実施形態によれば、安定した動作が実現される電源回路及びコンピュータが実現できる。
【０１４７】
第１ないし第３の実施形態では、窒化物半導体としてガリウム（Ｇａ）を含むＧａＮやＡｌＧａＮを例に説明したが、例えば、インジウム（Ｉｎ）を含有するＩｎＧａＮ、ＩｎＡｌＮ、ＩｎＡｌＧａＮを適用することも可能である。
【０１４８】
また、第１ないし第３の実施形態では、バリア層１５として、アンドープのＡｌＧａＮを例に説明したが、ｎ型のＡｌＧａＮを適用することも可能である。
【０１４９】
また、第１及び第２の実施形態ではゲート・リセス構造を有するＨＥＭＴを例に説明したが、ゲート・リセス構造を備えないプレーナゲート構造のＨＥＭＴに本発明を適用することも可能である。
【０１５０】
また、第１ないし第３の実施形態では、キャリアに２次元電子ガスを用いるＨＥＭＴを例に説明したが、２次元電子ガスを用いない通常のＭＯＳＦＥＴ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｆｉｅｌｄ  Ｅｆｆｅｃｔ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）に本発明を適用することも可能である。
【０１５１】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。例えば、一実施形態の構成要素を他の実施形態の構成要素と置き換え又は変更してもよい。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【０１５２】
１４      チャネル層（第１の窒化物半導体層）
１５      バリア層（第２の窒化物半導体層）
１６      ゲート絶縁層
１６ａ    酸窒化アルミニウム膜
１６ｂ    酸化シリコン膜
１８      ゲート電極
２０      ソース電極（第１の電極）
２２      ドレイン電極（第２の電極）
３２      保護絶縁層
３２ａ    酸窒化アルミニウム膜
３２ｂ    酸化シリコン膜
１００    ＨＥＭＴ（半導体装置）
１６２    電源回路
２００    ＨＥＭＴ（半導体装置）
３００    ＨＥＭＴ（半導体装置）
４００  サーバ（コンピュータ）
Ｃ１      第１の位置
Ｃ２      第２の位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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