(57)【要約】【課題】光学部品を所定の位置に破損無くかつ精度よく設置できる光学装置の製造装置および光学装置の製造方法を提供する。【解決手段】実装面１４ａ上に発振装置１１を配列方向Ｘに設置された状態で、合波部品１３を設置する光学装置の製造装置であって、合波部品１３を把持方向Ｚから把持する一対の把持爪４８、４９と、一対の把持爪４８、４９の把持方向Ｚの間隔を制御して、把持力を付加するシリンダ機構部４１と、一対の把持爪４８、４９の把持力を調整する圧縮ばね５０と、一対の把持爪４８、４９の、配列方向Ｘ、対向方向Ｚ、および鉛直方向Ｙの各位置の移動を制御する移動部３６と、合波部品１３に塗布されたＵＶ硬化型接着剤にＵＶ光を照射して硬化させるＵＶ照射部３４とを備える。【選択図】図１
2019186472.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の一方面上であって、予め定められた配列方向に設置された複数の光学品と、
前記基板の前記一方面上であって、各前記光学品と対向する位置に、前記基板の前記一方面上と当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤にて接着され設置される光学部品とを有する光学装置の、前記基板の前記一方面上に各前記光学品が配列方向に設置された状態で、前記光学部品を設置する光学装置の製造装置であって、
前記基板の前記一方面上の配列方向に対して垂直方向となる方向を対向方向、配列方向および対向方向に鉛直となる方向を鉛直方向とし、
前記光学部品を対向方向または配列方向のいずれか一方の把持方向から把持する一対の把持爪と、
一対の前記把持爪の把持方向の間隔を制御して、一対の前記把持爪に把持力を付加する開閉部と、
一対の前記把持爪の把持力を調整する調整部と、
一対の前記把持爪の、配列方向、対向方向、および鉛直方向の各位置の移動を制御する移動部と、
前記光学部品の前記基板の前記一方面上と当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤にＵＶ光を照射して硬化させるＵＶ照射部とを備えた光学装置の製造装置。
【請求項２】
前記移動部は、一対の前記把持爪の、配列方向を軸として回転する第一回転方向、および、鉛直方向を軸として回転する第二回転方向の各位置の移動を制御する請求項１に記載の光学装置の製造装置。
【請求項３】
前記調整部は、一対の前記把持爪の把持力を、一対の前記把持爪の把持方向の間隔において狭める方向を抑制して調整する請求項１または請求項２に記載の光学装置の製造装置。
【請求項４】
前記調整部は、一対の前記把持爪の把持力を、一対の前記把持爪の把持方向の間隔において広げる方向を抑制して調整する請求項１または請求項２に記載の光学装置の製造装置。
【請求項５】
前記ＵＶ照射部は、前記光学部品の前記基板の前記一方面上と対向する面側から前記光学部品にＵＶ光を照射し、
一対の前記把持爪の前記光学部品の前記基板と対向する面と接する把持面の面積は、当該対向する面の面積の２０％以下にて形成される請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の光学装置の製造装置。
【請求項６】
前記光学装置の前記基板は、上面が開放された筐体の底面であって、
一対の前記把持爪の把持方向の間隔の広げる方向を抑制する抑制部を備えた請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の光学装置の製造装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の光学装置の製造装置を用いた、光学装置の製造方法において、
前記開閉部および前記調整部を用いて一対の前記把持爪にて前記光学部品を把持し、
前記移動部にて、一対の前記把持爪に把持された前記光学部品を複数の前記光学品に対して所定の位置に移動し、
前記ＵＶ照射部により前記光学部品の前記基板の前記一方面上と当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤にＵＶ光を照射して硬化させ、前記光学部品を前記基板の前記一方面上に設置する光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、光学装置の製造装置および光学装置の製造方法に関し、特に光学部品を所定の位置に破損なくかつ精度よく設置できるものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、光ネットワークの通信量（または、トラフィック）が増大している。したがって、通信速度が早く、小型で、かつ消費電力の低い光学装置が求められる。小型で消費電力の低い光学装置を得るために、光学装置の集積化が進められる。例えば、互いに波長の異なるレーザ光を放射する複数のレーザ装置を１つの光学装置内に集積する。そして、この複数のレーザ装置から出射したレーザ光を合波して波長多重レーザ光を出力するように構成された光学装置としての光送信モジュールが開発される。
【０００３】
また、１つの光学装置内に複数の受光素子を実装する。そして、１つのファイバから出力された波長多重化した光を、複数の受光素子に受光させるために、異なる波長の複数の光に分波し、複数の受光素子で光信号を電気信号に変換させる光受信モジュールが開発される。
【０００４】
いずれも集積化実現のため、モジュール筐体と構成する光学部品の小型化が進められる。それに伴い、光学装置の組立工程においては、筐体内部の微小領域において合波または分波部品の位置調整および固定をすることが課題である。また、光学部品は主にガラスの脆性部材から成り、把持による部品破損が要因で光学損失が増大することも課題である。そのため、光学部品を破損なく把持し、筐体内部の微小領域へ搬送して位置調整可能な機構を有する光学装置の製造装置が提案されている。
【０００５】
例えば、特許文献１には、パッケージに極小部品を接着して実装する搬送装置、組立装置および組立方法が開示されている。自在に部品を搬送および位置決めするように、回転するベース部材と、部品を吸着するノズルと、ノズル搬送手段とからなる。ノズルは吸着方法に沿った自転軸周りに回転自在であると共に、自転軸方向に沿って往復移動自在である。ノズルの先端およびノズルで保持される部品の上下を反転させて、接着剤を塗布して、カメラによって姿勢を画像認識して姿勢および位置の制御を行う。
【０００６】
例えば、特許文献２には、平面上にマトリクス状に高密度に形成されたマイクロチップを、第一ステップで一方にピッチを拡大した状態に移載し、第二ステップで異なる他方にピッチを拡大する状態に移載して製造する製造方法が開示されている。この製造方法は、マイクロチップのような微小部品を把持または解放して移載する移載冶具を用いて製造する。
【０００７】
ここで、把持の方法は２種類、示されており、静電気による把持と、表面張力による把持とがある。静電気による吸着は、吸着台の内部電極に電圧印加することで可能である。表面張力による吸着は、多孔質材料のピックアップ部に水分を含ませることで可能であるし、更に気圧制御を用いることにより、水分の蒸発量を制御して表面張力をコントロールして把持力を制御することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１６−９２３９１号公報
【特許文献２】特開２００１−３３２６８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来の光学装置の製造装置および光学装置の製造方法である、例えば、特許文献１に記載の部品把持搬送方法では、部品の１つの面を吸着して把持するので、把持時に吸着するノズルを軸とする吸着面上の回転姿勢を制御することはできないという問題点がある。また、微小部品は吸着面積が小さく吸着力が小さいので、搬送時に姿勢ずれが発生するという問題点がある。
【００１０】
また、例えば、特許文献２に記載の部品把持移載方法では、ピックアップ部に静電気を帯電させて部品を吸着するので、ピックアップ部に異物が付着するという問題点がある。また、ピックアップ部に水分を含ませて表面張力によって部品を吸着するので、部品に水分が付着するという問題点がある。
【００１１】
本願は、上記のような課題を解決するための技術を開示するものであり、光学部品を所定の位置に破損なくかつ精度よく設置できる光学装置の製造装置および光学装置の製造方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本願に開示される光学装置の製造装置は、
基板の一方面上であって、予め定められた配列方向に設置された複数の光学品と、
前記基板の前記一方面上であって、各前記光学品と対向する位置に、前記基板の前記一方面上と当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤にて接着され設置される光学部品とを有する光学装置の、前記基板の前記一方面上に各前記光学品が配列方向に設置された状態で、前記光学部品を設置する光学装置の製造装置であって、
前記基板の前記一方面上の配列方向に対して垂直方向となる方向を対向方向、配列方向および対向方向に鉛直となる方向を鉛直方向とし、
前記光学部品を対向方向または配列方向のいずれか一方の把持方向から把持する一対の把持爪と、
一対の前記把持爪の把持方向の間隔を制御して、一対の前記把持爪に把持力を付加する開閉部と、
一対の前記把持爪の把持力を調整する調整部と、
一対の前記把持爪の、配列方向、対向方向、および鉛直方向の各位置の移動を制御する移動部と、
前記光学部品の前記基板の前記一方面上と当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤にＵＶ光を照射して硬化させるＵＶ照射部とを備えたものである。
また、本願に開示される光学装置の製造方法は、上記に示した光学装置の製造装置を用い、
前記開閉部および前記調整部を用いて一対の前記把持爪にて前記光学部品を把持し、
前記移動部にて、一対の前記把持爪に把持された前記光学部品を複数の前記光学品に対して所定の位置に移動し、
前記ＵＶ照射部により前記光学部品の前記基板の前記一方面上と当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤にＵＶ光を照射して硬化させ、前記光学部品を前記基板の前記一方面上に設置する。
【発明の効果】
【００１３】
本願に開示される光学装置の製造装置および光学装置の製造方法によれば、光学部品を所定の位置に破損なくかつ精度よく設置できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態１の光学装置の製造装置により製造される光送信モジュールの構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示した光送信モジュールの構成を示す平面図である。
【図３】図１に示した光送信モジュールの光学部品の構成を示す斜視図である。
【図４】図３に示した光学部品の機能を説明するための平面図である。
【図５】実施の形態１の光学装置の製造装置により製造される他の光送信モジュールの構成を示す斜視図である。
【図６】図５に示した光送信モジュールの構成を示す平面図である。
【図７】図５に示した光送信モジュールの光学部品の構成を示す斜視図である。
【図８】図７に示した光学部品の機能を説明するための平面図である。
【図９】実施の形態１の光学装置の製造装置の構成を示す斜視図である。
【図１０】図９に示した光学装置の製造装置の構成を示す斜視図である。
【図１１】図１０に示した把持機能を有する部分の構成を示す平面図である。
【図１２】図１０に示した把持機能を有する部分の構成を示す側面図である。
【図１３】図１０に示した把持機能の一対の把持爪の構成を示す斜視図である。
【図１４】図１３に示した一対の把持爪の動作を説明するための斜視図である。
【図１５】実施の形態２の光学装置の製造装置の把持機能を有する部分の構成を示す斜視図である。
【図１６】図１５に示した把持機能を有する部分の構成を示す平面図である。
【図１７】実施の形態３の光学装置の製造装置の把持機能を有する部分の構成を示す斜視図である。
【図１８】図１７に示した把持機能を有する部分の構成を示す平面図である。
【図１９】図１７に示した把持機能を有する部分の一対の把持爪の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、各実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。各図において、同一または同様の構成要素には同一の符号を付している。また、説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするため、既に知られた事項の詳細な説明を省略することがある。
【００１６】
実施の形態１．
本実施の形態は、光学装置の製造装置であるが、まず、当該光学装置の製造装置にて製造される光学装置の構成および動作について説明する。また、光学装置として、光送信モジュールおよび光受信モジュールについてそれぞれ説明する。
【００１７】
図１は実施の形態１による光学装置の製造装置にて製造される光送信モジュールの構成を示す斜視図である。図２は図１に示した光送信モジュールの構成を示す平面図である。尚、後述する合波部品１３の筐体１４の上面側からみた外形形状は、実際には、図２および図４に示した形状であるが、他の図において示す合波部品１３は、便宜上、直方体にて示している。
【００１８】
図において、光送信モジュール１０は、レーザ光を発振する複数のレーザ発振装置（以下、発振装置と称す）１１と、複数のコリメータ１２と、レーザ光を合波する光学部品としての合波部品１３と、筐体１４とを備える。筐体１４は開口部１４１を備える。開口部１４１には、導波路を有するレセプタクル（図示せず）が設けられてもよい。複数の発振装置１１、複数のコリメータ１２および合波部品１３は、これらを実装するためのベース、すなわち、基板の一方面上として機能する、筐体１４内の底面である実装面１４ａ上に固定される。
【００１９】
合波部品１３は筐体１４の実装面１４ａと当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤にて接着され設置される。複数の発振装置１１は、実装面１４ａ上であって、予め定められた一直線上を配列方向Ｘとして並べて配置される。複数の発振装置１１は、各発振装置１１から出射するレーザ光の光軸が互いに平行に配置される。複数の発振装置１１は、互いに異なる波長のレーザ光を放射するよう構成される。図示を省略するが、発振装置１１は、レーザ素子とペルチェ素子とを有す。レーザ素子は、例えば、半導体レーザ素子（レーザダイオード）、固体レーザ素子、ガスレーザ素子などが用いられる。発振装置１１は、例えば、面発光レーザ、端面発光レーザが用いられる。
【００２０】
発振装置１１の数は、ｎ（ｎは２以上の整数）個である。つまり、複数の発振装置１１、第一、第二、・・・第ｎ発振装置が設置される。本実施の形態１では、便宜上、４個（ｎ＝４）の発振装置１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが用いられる例を示す。以下の説明では、第一発振装置１１ａ、第二発振装置１１ｂ、第三発振装置１１ｃ、第四発振装置１１ｄとそれぞれ称して説明する場合がある。
【００２１】
一例では、第一、第二、第三、第四発振装置１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄから出射するレーザ光１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄの波長帯域中心はそれぞれλａ：１２９５．５ｎｍ、λｂ：１３００．０ｎｍ、λｃ：１３０４．５ｎｍ、λｄ：１３０９．０ｎｍであってもよい。
【００２２】
ここで、筐体１４の実装面１４ａ、すなわち、各発振装置１１、各コリメータ１２および合波部品１３が固定される面の面内方向を水平方向と称す。各発振装置１１から出射するレーザ光１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄの光軸（上述したように互いに平行である）は、水平方向のうちＺ方向に平行な方向である。このＺ方向を、レーザ光の出射方向Ｚまたは対向方向Ｚと称す。水平方向のうち、レーザ光の出射方向（Ｚ方向）に対して垂直な方向、つまり複数の発振装置１１が並べられている方向を、発振装置１１の配列方向ＸまたはＸ方向と称している。
【００２３】
水平方向に対して垂直な方向、つまり実装面１４ａの面直方向を鉛直方向ＹまたはＹ方向と称す。但し、これらの各方向は本実施の形態１の説明を簡便に行うための記載であり、これらの各方向により本実施の形態が限定されるものではない。また、このことは、以下の実施の形態においても同様であるためその説明は適宜省略する。
【００２４】
複数のコリメータ１２は、複数の発振装置１１から出射したレーザ光１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄをそれぞれ平行化（コリメート）する機能を有する。発振装置１１の数がｎ個である場合、コリメータ１２の数もｎ個である。第一、第二、・・・第ｎ発振装置に対応するコリメータを、第一、第二、・・・第ｎコリメータとする。第一、第二、・・・第ｎコリメータは、第一、第二、・・・第ｎ発振装置からレーザ光の出射方向（Ｚ方向）にそれぞれ所定の距離を隔てて配置される。第一、第二、・・・第ｎ発振装置が一直線上（Ｘ方向）に並べて配置されていることに対応して、第一、第二、・・・第ｎコリメータも一直線上（Ｘ方向に対して平行な方向）に並べて配置されている。
【００２５】
本実施の形態１においては、上記において示したように第一、第二、第三、第四発振装置１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが設けられ、これに対応して、第一コリメータ１２ａ、第二コリメータ１２ｂ、第三コリメータ１２ｃ、第四コリメータ１２ｄが設けられる場合について説明する。図面では、各コリメータ１２は別個の光学素子（またはレンズ）であるように示しているが、これに限定されるものではなく、各コリメータ１２はコリメートレンズアレイであってもよい。
【００２６】
また、図においては、各コリメータ１２は１つのレンズであるように示しているが、これに限定されるものではなく、複数のレンズで構成されてもよい。コリメータ１２について要求される例示的な位置決め精度は、発振装置１１の配列方向（Ｘ方向）と鉛直方向（Ｙ方向）とでは０．１μｍ、レーザ光の出射方向（Ｚ方向）では１．０μｍが要求される。
【００２７】
図３は図１に示した光送信モジュール１０に備えられる合波部品１３の構成を示す斜視図である。図４は図３に示した合波部品１３の構成を示す平面図である。図において、合波部品１３は、複数のコリメータ１２から出射したレーザ光を合波する機能を有する。複数の発振装置１１からそれぞれ波長の異なるレーザ光が出射することにより、合波部品１３から（つまり光送信モジュール１０から）は波長多重レーザ光１０１が出力される。
【００２８】
合波部品１３は、フィルタブロック１３１、バンドパスフィルタ１３２およびミラー１３３を有している。フィルタブロック１３１は、例えば、平行六面体形状、または、直方体形状にて構成される。フィルタブロック１３１は、例えば、ガラス材にて作成される。バンドパスフィルタ１３２とミラー１３３とは、フィルタブロック１３１の対向する面に接着剤で貼り付けられ、これにより対向配置される。バンドパスフィルタ１３２は、例えば、誘電体多層膜にて形成される。バンドパスフィルタ１３２の個数は、発振装置１１の個数より１個少なく形成される。
【００２９】
本実施の形態１では、上記に示したように４個の発振装置１１を備えるため、これに対し１個少ない、３個のバンドパスフィルタ１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃが形成される。バンドパスフィルタ１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃはそれぞれ、第一、第二、第三発振装置１１ａ、１１ｂ、１１ｃから出射する波長帯域のレーザ光１００ａ、１００ｂ、１００ｃを透過させ、それ以外の波長帯域のレーザ光を反射する。
【００３０】
例えば、第一、第二、第三、第四発振装置１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄから出射するレーザ光１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄの波長がそれぞれλａ：１２９５．５ｎｍ、λｂ：１３００．０ｎｍ、λｃ：１３０４．５ｎｍ、λｄ：１３０９．０ｎｍである場合、バンドパスフィルタ１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃの透過波長帯域はそれぞれ１２９３．５ｎｍ以上１２９７．５ｎｍ以下、１２９８．０ｎｍ以上１３０２．０ｎｍ以下、１３０２．５ｎｍ以上１３０６．５ｎｍ以下であってもよい。
【００３１】
ミラー１３３は、第一、第二、第三、第四発振装置１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄから出射する波長帯域のレーザ光をすべて反射する。ミラー１３３には、例えば、表面に多層膜コート、金コートなどが形成される。
【００３２】
上記のように構成された光送信モジュール１０の動作について説明する。まず第一、第二、第三、第四発振装置１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄから出射したレーザ光１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄは、第一、第二、第三、第四コリメータ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄによりそれぞれ平行化され、合波部品１３に入射する。レーザ光１００ａ、１００ｂ、１００ｃはバンドパスフィルタ１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃを透過してフィルタブロック１３１に入射し、レーザ光１００ｄは直接にフィルタブロック１３１に入射する。
【００３３】
フィルタブロック１３１に入射した各レーザ光１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄは、ミラー１３３とバンドパスフィルタ１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃ（ここでは、図４に示すように反射ミラーとして機能する）により順次反射される。例えば、レーザ光１００ｃは、バンドパスフィルタ１３２ｃを透過してフィルタブロック１３１に入射した後、ミラー１３３、バンドパスフィルタ１３２ｂ、ミラー１３３およびバンドパスフィルタ１３２ａの順で順次反射される。そして、レーザ光１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄは合波されて波長多重レーザ光１０１として筐体１４の開口部１４１から出射する。
【００３４】
次に他の光受信モジュール２０について説明する。図５は実施の形態１による光学装置の製造装置にて製造される光受信モジュールの構成を示す斜視図である。図６は図５に示した光受信モジュールの構成を示す平面図である。尚、後述する分波部品２３の筐体１４の上面側からみた外形形状は、実際には、図６および図８に示した形状であるが、他の図において示す分波部品２３は、便宜上、直方体にて示している。
【００３５】
図において、光受信モジュール２０は、レーザ光を受信する複数のレーザ受信装置（以下、受信装置と称す）２１と、複数のコリメータ２２と、レーザ光を分波する光学部品としての分波部品２３と、筐体２４とを備える。筐体２４は開口部２４１を備える。開口部２４１には、導波路を有するレセプタクル（図示せず）が設けられてもよい。複数の受信装置２１、複数のコリメータ２２および分波部品２３は、これらを実装するためのベース、すなわち、基板の一方面上として機能する筐体２４内の底面である実装面２４ａ上に固定される。
【００３６】
分波部品２３は筐体２４の実装面２４ａと当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤にて接着され設置される。複数の受信装置２１は、実装面２４ａ上であって、予め定められた一直線上を配列方向Ｘとして並べて配置される。複数の受信装置２１は、各受信装置２１に入射するレーザ光の光軸が互いに平行に配置される。
【００３７】
受信装置２１の数は、ｎ（ｎは２以上の整数）個である。つまり、複数の受信装置２１は、第一、第二、・・・第ｎ受信装置が設置される。本実施の形態１では、便宜上、４個（ｎ＝４）の受信装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄが用いられる例を示す。以下の説明では、第一受信装置２１ａ、第二受信装置２１ｂ、第三受信装置２１ｃ、第四受信装置２１ｄとそれぞれ称して説明する場合がある。
【００３８】
一例では、第一、第二、第三、第四受信装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄにて入射するレーザ光２００ａ、２００ｂ、２００ｃ、２００ｄの波長帯域中心はそれぞれλａ：１２９５．５ｎｍ、λｂ：１３００．０ｎｍ、λｃ：１３０４．５ｎｍ、λｄ：１３０９．０ｎｍであってもよい。
【００３９】
ここで、筐体２４の実装面２４ａ、すなわち各受信装置２１、各コリメータ２２および分波部品２３が固定された面の面内方向を水平方向と称す。各受信装置２１に入射するレーザ光２００ａ、２００ｂ、２００ｃ、２００ｄの光軸（上述したように互いに平行である）は、水平方向のうちＺ方向に平行な方向である。このＺ方向を、レーザ光の入射方向Ｚまたは対向方向Ｚと称す。水平方向のうち、レーザ光の入射方向（Ｚ方向）に対して垂直な方向、つまり複数の受信装置２１が並べられている方向を、受信装置２１の配列方向ＸまたはＸ方向と称している。水平方向に対して垂直な方向、つまり実装面２４ａの面直方向を鉛直方向ＹまたはＹ方向と称す。
【００４０】
複数のコリメータ２２は、複数の受信装置２１に入射するレーザ光２００ａ、２００ｂ、２００ｃ、２００ｄをそれぞれ平行化（コリメート）する機能を有する。受信装置２１の数がｎ個である場合、コリメータ２２の数もｎ個である。第一、第二、・・・第ｎ受信装置に対応するコリメータを、第一、第二、・・・第ｎコリメータとする。第一、第二、・・・第ｎコリメータは、第一、第二、・・・第ｎ受信装置からレーザ光の入射方向（Ｚ方向）にそれぞれ所定の距離を隔てて配置される。第一、第二、・・・第ｎ受信装置が一直線上（Ｘ方向）に並べて配置されていることに対応して、第一、第二、・・・第ｎコリメータも一直線上（Ｘ方向に対して平行な方向）に並べて配置されている。
【００４１】
本実施の形態１においては、上記において示したように第一、第二、第三、第四受信装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄが設けられ、これに対応して、第一コリメータ２２ａ、第二コリメータ２２ｂ、第三コリメータ２２ｃ、第四コリメータ２２ｄが設けられる場合について説明する。図面では、各コリメータ２２は別個の光学素子（またはレンズ）であるように示しているが、これに限定されるものではなく、各コリメータ２２はコリメートレンズアレイであってもよい。
【００４２】
また、図において、各コリメータ２２は１つのレンズであるように示しているが、これに限定されるものではなく、複数のレンズで構成されてもよい。コリメータ２２について要求される例示的な位置決め精度は、受信装置２１の配列方向（Ｘ方向）と鉛直方向（Ｙ方向）では０．１μｍ、レーザ光の入射方向（Ｚ方向）では１．０μｍが要求される。
【００４３】
図７は図５に示した光受信モジュール２０に備えられる分波部品２３の構成を示す斜視図である。図８は図７に示した分波部品２３の構成を示す平面図である。図において、分波部品２３は、筐体２４から入射するレーザ光を分波する機能を有する。複数の受信装置２１はそれぞれ波長の異なるレーザ光が入射することにより、分波部品２３で（つまり光受信モジュール２０から）波長多重レーザ光２０１が受光される。
【００４４】
分波部品２３は、フィルタブロック２３１、バンドパスフィルタ２３２およびミラー２３３を有している。フィルタブロック２３１は、例えば、平行六面体形状、または、直方体形状にて構成される。フィルタブロック２３１は、例えば、ガラス材にて作成される。バンドパスフィルタ２３２とミラー２３３とは、フィルタブロック２３１の対向する面に接着剤で貼り付けられ、これにより対向配置される。バンドパスフィルタ２３２は、例えば、誘電体多層膜にて形成される。バンドパスフィルタ２３２の個数は、受信装置２１の個数より１個少なく形成される。
【００４５】
本実施の形態１では、上記に示したように４個の受信装置２１を備えるため、これに対し１個少ない、３個のバンドパスフィルタ２３２ｂ、２３２ｃ、２３２ｄが形成される。バンドパスフィルタ２３２ｂ、２３２ｃ、２３２ｄはそれぞれ、第二、第三、第四受信装置２１ｂ、２１ｃ、２１ｄへ入射する波長帯域のレーザ光２００ｂ、２００ｃ、２００ｄを透過させ、それ以外の波長帯域のレーザ光を反射する。
【００４６】
例えば、第一、第二、第三、第四受信装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄへ入射するレーザ光２００ａ、２００ｂ、２００ｃ、２００ｄの波長がそれぞれλａ：１２９５．５ｎｍ、λｂ：１３００．０ｎｍ、λｃ：１３０４．５ｎｍ、λｄ：１３０９．０ｎｍである場合、バンドパスフィルタ２３２ｂ、２３２ｃ、２３２ｄの透過波長帯域はそれぞれ１２９８．０ｎｍ以上１３０２．０ｎｍ以下、１３０２．５ｎｍ以上１３０６．５ｎｍ以下、１３０７．０ｎｍ以上１３１１．０ｎｍ以下であってもよい。
【００４７】
ミラー２３３は、第一、第二、第三、第四受信装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄへ入射する波長帯域のレーザ光をすべて反射する。ミラー２３３には、例えば、表面に多層膜コート、金コートなどが形成される。
【００４８】
上記のように構成された光受信モジュール２０の動作について説明する。まず、筐体２４の開口部２４１から入射した波長多重レーザ光２０１は分波部品２３に入射して、分波されてレーザ光２００ａ、２００ｂ、２００ｃ、２００ｄが第一、第二、第三、第四受信装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄへそれぞれ入射する。レーザ光２００ｂ、２００ｃ、２００ｄはフィルタブロック２３１に入射してバンドパスフィルタ２３２ｂ、２３２ｃ、２３２ｄを透過し、レーザ光２００ａは直接にフィルタブロック２３１から入射する。
【００４９】
フィルタブロック２３１に入射した波長多重レーザ光２０１は、ミラー２３３とバンドパスフィルタ２３２ｂ、２３２ｃ、２３２ｄ（ここでは、図８に示すように反射ミラーとして機能する）により順次反射される。例えば、レーザ光２００ｂは、波長多重レーザ光２０１がフィルタブロック２３１に入射した後、バンドパスフィルタ２３２ｄ、ミラー２３３、バンドパスフィルタ２３２ｃ、ミラー２３３の順で順次反射され、バンドパスフィルタ２３２ｂを透過して作成される。第一、第二、第三、第四受信装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄへ入射するレーザ光２００ａ、２００ｂ、２００ｃ、２００ｄは、第一、第二、第三、第四コリメータ２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄによりそれぞれ平行化される。
【００５０】
光学装置として、上記に示したような、光送信モジュール１０、または、光受信モジュール２０を製造する場合、上述したように、光学部品としての合波部品１３および分波部品２３を筐体１４、２４内に設置する位置精度は極めて高い精度が求められる。また、光学部品としての合波部品１３および分波部品２３とも、ガラス材で形成されており、大変脆いため、設置が非常に困難である。また、合波部品１３および分波部品２３は極めて小さい構造物（１ｍｍ角程度）であり、その設置の困難性がさらに増す。
【００５１】
このように、光学部品はレーザ光およびＵＶ光を損失なく透過させるために脆性部材からなるが、例えば、ガラス材である場合、端部（光学部品が直方体の場合はその辺の部分）を把持することで、当該端部の加工粗さに応力が集中してき裂が発生する。き裂の発生を防ぐためには、端部の面取り加工を実施することが考えられるが、光学部品のような極めて小さな構造物（１ｍｍ角程度）では、精度と費用との面から面取り加工は困難である。
【００５２】
具体的に、このように形成される、光送信モジュール１０、または、光受信モジュール２０の合波部品１３または分波部品２３について要求される例示的な位置精度は、発振装置１１または受信装置２１の配列方向Ｘおよび鉛直方向Ｙでは１０μｍ程度、レーザ光の出射方向または入射方向である対向方向Ｚでは５０μｍ程度が要求される。さらに、配列方向Ｘを軸として回転する第一回転方向θＸ、および、鉛直方向Ｙを軸として回転する第二回転方向θＹの位置精度は、０．０２度程度が要求される。
【００５３】
このような位置精度が求められ、かつ、壊すことなく光学部品を、所定の位置に設置可能な実施の形態１による光学装置の製造装置（以下、製造装置と称す）について説明する。尚、以下の製造装置の説明、および、以下の他の実施の形態においては、便宜上、上記に示した光送信モジュール１０を例に説明する。当然のことながら、光受信モジュール２０、および、他の同様な構成を有する光学装置において、当該光学装置の製造装置が利用可能であり、その説明は適宜省略する。
【００５４】
また、本実施の形態１および以下の実施の形態において、当該製造装置は、実装面１４ａ上に各発振装置１１が配列方向Ｘに設置された状態である、半製品に対して、光学部品としての合波部品１３を設置する製造装置について説明する。
【００５５】
図９は本実施の形態１による製造装置の構成を示す斜視図である。図１０は図９に示した製造装置の把持機能を有する部分の構成を示す斜視図である。図１１は図１０に示した把持機能を有する部分の構成を示す上面図である。図１２は図１０に示した把持機能を有する部分の構成を示す側面図である。図１３は図１０に示した把持機能の一対の把持爪の構成を示す斜視図である。図１４は図１３に示した一対の把持爪の動作を説明するための斜視図である。
【００５６】
尚、各図において合波部品１３は、バンドパスフィルタ１３２とミラー１３３とを省略して、さらに直方体として図示する。但し、後述する合波部品１３を挟持する一対の把持爪４８、４９にて挟持される箇所に、バンドパスフィルタ１３２およびミラー１３３が形成されていることはない。
【００５７】
図９に示すように、製造装置３０は、ステージ３１、給電部３２、撮影部３３、ＵＶ（ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）照射部３４、保持部３５、移動部３６、測定部３７および把持部４０を備える。ステージ３１は、上面に光送信モジュール１０の半製品の筐体１４が載置される。この半製品とは、先に示したように、筐体１４内の実装面１４ａ上に複数の光学品としての発振装置１１が実装された状態である。給電部３２は、リード線３２１を介して複数の発振装置１１にそれぞれ接続され、発振装置１１の例えば、レーザ素子とペルチェ素子とにそれぞれ独立した電流を供給する。
【００５８】
撮影部３３は、合波部品１３および筐体１４を撮影する。撮影部３３は、例えば、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）カメラを用いる。ＵＶ照射部３４は、合波部品１３の実装面１４ａ上と対向する面側、すなわち上面側からＵＶ光を照射し、筐体１４の実装面１４ａと合波部品１３との間に介在するＵＶ硬化型接着剤をＵＶ硬化させる。
【００５９】
保持部３５は、撮影部３３を保持する第一保持部３５１と、ＵＶ照射部３４を保持する第二保持部３５２とを有する。保持部３５は、発振装置１１の配列方向Ｘ、鉛直方向Ｙおよび対向方向Ｚにそれぞれ独立して移動可能なモータステージ（図示せず）を有す。これにより、保持部３５は撮影部３３とＵＶ照射部３４とを配列方向Ｘ、鉛直方向Ｙおよび対向方向Ｚの各位置への移動を制御する。移動部３６は、合波部品１３を把持するための後述する一対の把持爪４８、４９を有する把持部４０と、把持部４０に加わる鉛直方向Ｙの力（重力）を測定する荷重検知部３６１とを有する。
【００６０】
移動部３６は、把持部４０の一対の把持爪４８、４９を、発振装置１１に対して配列方向Ｘ、鉛直方向Ｙおよび対向方向Ｚにそれぞれ独立して移動を制御するモータステージ（図示せず）を有す。さらに、このモータステージは一対の把持爪４８、４９を、対向方向Ｚに対して垂直な２つの方向、つまり発振装置１１の配列方向Ｘと鉛直方向Ｙとに延びる軸周りにそれぞれ独立して回転して移動を制御する。これらの回転方向とは、先に示したように、配列方向Ｘを軸として回転する第一回転方向θＸ、および、鉛直方向Ｙを軸として回転する第二回転方向θＹである。
【００６１】
これにより、移動部３６は合波部品１３を第一回転方向θＸおよび第二回転方向θＹに回転できる。当該モータステージは、移動部３６内に収容されていてもよい。給電部３２からリード線３２１を介して複数の発振装置１１に給電され、発振装置１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄから出射したレーザ光１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄのいずれかに由来するレーザ光が、合波部品１３から出射したレーザ光をレーザ光１０２とする。そして、測定部３７は、この合波部品１３から出射したレーザ光１０２の光量および位置もしくは角度を測定する機能を有する。
【００６２】
次に把持部４０を含む把持機能を有する部分の構成について図１０から図１３を用いて説明する。把持部４０は、開閉部としてのシリンダ機構部４１、ガイド部４２、保持具４３、抑制部としてのストッパ部４４、フィンガ部４５、接合部４６、根元部４７、一対の把持爪４８、４９および調整部としての圧縮ばね５０を備える。一対の把持爪４８、４９は、合波部品１３を対向方向Ｚまたは配列方向Ｘのいずれか一方の把持方向ここでは、対向方向Ｚを把持方向Ｚとして把持する。尚、配列方向Ｘが把持方向となる場合も同様に行うことができるため、その説明は適宜省略する。
【００６３】
一対の把持爪４８、４９は、根元部４７、接合部４６、およびフィンガ部４５を介してガイド部４２に保持される。一対の把持爪４８、４９は、図１３に示したように、合波部品１３の端部（直方体の辺の部分）に接触しないように、かつ、合波部品１３の外形基準で把持することが可能な形状にて形成される。具体的には、一対の把持爪４８、４９は、爪内側に端部を肉抜きした構造となっており、一対の把持爪４８、４９が把持方向Ｚへの閉じる動作で合波部品１３の端部（直方体の辺の部分）と接触しない。
【００６４】
さらに、一対の把持爪４８、４９は合波部品１３を把持した状態で、一対の把持爪４８、４９の合波部品１３の実装面１４ａと対向する面と接する把持面の面積は、合波部品１３の対向する面の面積の２０％以下にて形成される。シリンダ機構部４１は、フィンガ部４５を把持方向Ｚに開閉して、フィンガ部４５に接合部４６にて接続された根元部４７を介して一対の把持爪４８、４９の把持方向Ｚの間隔を制御して、一対の把持爪４８、４９に把持力を付加する。これにより、一対の把持爪４８、４９にて、合波部品１３の把持および解放を行う。シリンダ機構部４１は、例えば、空気圧による開閉、油圧による開閉、または、モータによる開閉にて構成される。
【００６５】
圧縮ばね５０は、一対の把持爪４８、４９の根元部４７の把持方向Ｚ間に設置される。よって、圧縮ばね５０は、シリンダ機構部４１にて付加される一対の把持爪４８、４９の把持力を、一対の把持爪４８、４９の把持方向Ｚの間隔において狭める方向を抑制して調整する。これにより、合波部品１３が破損することなく把持可能な規定値以下の把持力となるように調整する。ストッパ部４４は、保持具４３に固定される。ストッパ部４４は、一対の把持爪４８、４９が合波部品１３の把持を解放した場合に、把持方向Ｚの間隔の広げる方向を抑制する。この抑制距離は、例えば２００μｍ程度とし、一対の把持爪４８、４９が、筐体１４に衝突するのが防止される。
【００６６】
上記のように構成された実施の形態１の製造装置の光学装置の製造方法について説明する。まず、シリンダ機構部４１がフィンガ部４５を把持方向Ｚに開いて、フィンガ部４５に接合部４６にて接続された根元部４７を介して一対の把持爪４８、４９の間隔を把持方向Ｚに開く。また、合波部品１３には、筐体１４の実装面１４ａと当接する側にＵＶ硬化型接着剤を塗布しておく。
【００６７】
次に、一対の把持爪４８、４９にて合波部品１３を把持する位置には、撮影部３３によって合波部品１３を撮像して、合波部品１３の位置を測定して移動部３６により移動して調整する。さらに、一対の把持爪４８、４９の合波部品１３を把持する高さ（鉛直方向Ｙ）位置の調整は、一対の把持爪４８、４９が合波部品１３と接触する高さを荷重検知部３６１で荷重を検知した高さとする。
【００６８】
そこから一定量、例えば１００μｍだけ上昇させた高さを移動部３６の鉛直方向Ｙのモータステージに記録して、把持高さを調整する。尚、高さの調整は毎度する必要はなく、モータステージにパラメータとして記録してもよい。次に、シリンダ機構部４１がフィンガ部４５を把持方向Ｚに閉じて、フィンガ部４５に接合部４６にて接続された根元部４７を介して一対の把持爪４８、４９に把持力を付加して閉じ、合波部品１３を把持する。
【００６９】
この際、圧縮ばね５０が、一対の把持爪４８、４９の把持方向Ｚの間隔を狭める方向を抑制して制御するため、シリンダ機構部４１にて付加される一対の把持爪４８、４９の把持力は、合波部品１３が破損することなく把持可能な規定値以下の把持力となるように調整される。次に、図１４に示すように、一対の把持爪４８、４９が合波部品１３を把持搬送する位置は、撮影部３３によって合波部品１３と筐体１４とを撮像して、合波部品１３と筐体１４との位置を測定して移動部３６の制御により、配列方向Ｘ、対向方向Ｚ、鉛直方向Ｙの各位置が所定の位置となるように移動される。
【００７０】
次に、合波部品１３の第一回転方向θＸおよび第二回転方向θＹの各位置の移動を制御する。具体的には、給電部３２からリード線３２１を介して複数の発振装置１１に給電する。次に、発振装置１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄから出射したレーザ光１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄのいずれかからのレーザ光が、合波部品１３からレーザ光１０２を出射させる。そして、測定部３７にて、この合波部品１３から出射されたレーザ光１０２の光量および位置もしくは角度を測定する。
【００７１】
そして、それぞれの値が所定の値となるように、合波部品１３の第一回転方向θＸおよび第二回転方向θＹを移動部３６により制御して移動する。第二回転方向θＹの回転により、合波部品１３の発振装置１１に対する傾きを制御する。また、第一回転方向θＸの回転により、合波部品１３の筐体１４の実装面１４ａに対する傾きを制御する。当該傾きの制御は、合波部品１３の筐体１４の実装面１４ａと当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤の厚みにより調整可能である。
【００７２】
よって、この状態にて、ＵＶ照射部３４から合波部品１３の上面のＵＶ光を照射して、筐体１４の実装面１４ａと合波部品１３との間に介在するＵＶ硬化型接着剤を硬化させて固定し設置する。この際、一対の把持爪４８、４９は合波部品１３を把持した状態で、一対の把持爪４８、４９の合波部品１３の実装面１４ａと対向する面と接する把持面の面積は、合波部品１３の対向する面の面積の２０％以下にて形成される。よって、ＵＶ光は合波部品１３の実装面１４ａと対向する面の８０％以上の面積に照射される。よって、ＵＶ光は鉛直方向Ｙに広がるため、合波部品１３の実装面１４ａ側に至ると、合波部品１３の実装面１４ａ側のほぼ１００％の面積に照射される。
【００７３】
これにより、合波部品１３の実装面１４ａ側に塗布されているＵＶ硬化型接着剤のほぼすべてにＵＶ光が照射され硬化する。次に、シリンダ機構部４１がフィンガ部４５を把持方向Ｚに開いて、フィンガ部４５に接合部４６にて接続された根元部４７を介して一対の把持爪４８、４９を開く。この際、ガイド部４２に保持具４３を介して設置されたストッパ部４４により、シリンダ機構部４１による一対の把持爪４８、４９の解放位置が抑制され、筐体１４に衝突することが防止され筐体１４の破損を防止できる。
【００７４】
上記のように構成された実施の形態１の光学装置の製造装置によれば、基板の一方面上であって、予め定められた配列方向に設置された複数の光学品と、前記基板の前記一方面上であって、各前記光学品と対向する位置に、前記基板の前記一方面上と当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤にて接着され設置される光学部品とを有する光学装置の、前記基板の前記一方面上に各前記光学品が配列方向に設置された状態で、前記光学部品を設置する光学装置の製造装置であって、前記基板の前記一方面上の配列方向に対して垂直方向となる方向を対向方向、配列方向および対向方向に鉛直となる方向を鉛直方向とし、前記光学部品を対向方向または配列方向のいずれか一方の把持方向から把持する一対の把持爪と、一対の前記把持爪の把持方向の間隔を制御して、一対の前記把持爪に把持力を付加する開閉部と、一対の前記把持爪の把持力を調整する調整部と、一対の前記把持爪の、配列方向、対向方向、および鉛直方向の各位置の移動を制御する移動部と、前記光学部品の前記基板の前記一方面上と当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤にＵＶ光を照射して硬化させるＵＶ照射部とを備えたので、光学装置の光学部品を、破損することなく所定の箇所に設置できる。
【００７５】
また、前記移動部は、一対の前記把持爪の、配列方向を軸として回転する第一回転方向、および、鉛直方向を軸として回転する第二回転方向の各位置の移動を制御するので、光学装置の光学部品を、破損することなく所定の箇所に確実に設置できる。
【００７６】
また、前記調整部は、一対の前記把持爪の把持力を、一対の前記把持爪の把持方向の間隔において狭める方向を抑制して調整するので、一対の前記把持爪の把持力の調整が確実にできる。
【００７７】
また、前記ＵＶ照射部は、前記光学部品の前記基板の前記一方面上と対向する面側から前記光学部品にＵＶ光を照射し、一対の前記把持爪の前記光学部品の前記基板と対向する面と接する把持面の面積は、当該対向する面の面積の２０％以下にて形成されるので、光学部品の基板に当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤を確実に硬化でき、光学部品を所定の箇所に確実に設置できる。
【００７８】
また、前記光学装置の前記基板は、上面が開放された筐体の底面であって、一対の前記把持爪の把持方向の間隔の広げる方向を抑制する抑制部を備えたので、一対の把持爪での筐体の損傷を防止できる。
【００７９】
また、上記実施の形態１に示したように構成された光学装置の製造装置を用いた、光学装置の製造方法によれば、前記開閉部および前記調整部を用いて一対の前記把持爪にて前記光学部品を把持し、前記移動部にて、一対の前記把持爪に把持された前記光学部品を複数の前記光学品に対して所定の位置に移動し、前記ＵＶ照射部により前記光学部品の前記基板の前記一方面上と当接する側に塗布されたＵＶ硬化型接着剤にＵＶ光を照射して硬化させ、前記光学部品を前記基板の前記一方面上に設置するので、光学装置の光学部品を、破損することなく所定の箇所に確実に設置できる。
【００８０】
実施の形態２．
上記実施の形態１においては調整部として圧縮ばね５０を設置し、一対の把持爪４８、４９の把持力を、一対の把持爪４８、４９の把持方向Ｚの間隔において狭める方向を抑制して調整する例を示したが、これに限られることはなく、本実施の形態２においては、調整部として、一対の前記把持爪４８、４９の把持力を、一対の前記把持爪４８、４９の把持方向Ｚの間隔において広げる方向を抑制して調整する例について説明する。
【００８１】
図１５は実施の形態２の光学装置の製造装置の把持機能を有する部分の構成を示す斜視図である。図１６は図１５に示した把持機能を有する部分の構成を示す平面図である。図において、上記実施の形態１と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。本実施の形態２における把持部４０は、上記実施の形態１の圧縮ばね５０に代えて、調整部としてのショックアブソーバ５１と第三保持部５２とを備える。
【００８２】
シリンダ機構部４１による把持力の制御はシリンダ機構部４１の開閉力の調整で行うが、規格値以下の力で把持するためにショックアブソーバ５１を設けて把持力を調整するものである。尚、一対の把持爪４８、４９の把持力の調整以外は、上記実施の形態１と同様であるため、その説明は省略する。
【００８３】
このショックアブソーバ５１は、ガイド部４２に設置された第三保持部５２を介して保持され、接合部４６が開く軌跡上に配置される。そして、一対の把持爪４８、４９の把持方向Ｚの間隔において広げ、一対の把持爪４８、４９を、根元部４７を介して接合部４６を介してショックアブソーバ５１に当接されて制御することにより、一対の前記把持爪４８、４９の把持力は調整される。
【００８４】
上記実施の形態２の光学装置の製造装置によれば、上記実施の形態１と同様の効果を奏するのはもちろんのこと、前記調整部は、一対の前記把持爪の把持力を、一対の前記把持爪の把持方向の間隔において広げる方向を抑制して調整するので、一対の前記把持爪の把持力の調整が確実にできる。
【００８５】
実施の形態３．
図１７は実施の形態３による光学装置の製造装置の把持機能を有する部分の構成を示す斜視図である。図１８は図１７に示した把持機能を有する部分の構成を示す平面図である。図１９は図１７に示した把持機能を有する部分の一対の把持爪の構成を示す斜視図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
【００８６】
実施の形態３における把持部４０は、上記実施の形態１の圧縮ばね５０に代えて、根元部５３、ピン５４、圧縮ばね５５、倣い接合具５６、および押さえ板５７を備える。把持部４０において、シリンダ機構部４１による把持力の制御はシリンダ機構部４１の開閉力の調整で行うが、規格値以下の力の把持力とするために、一方の把持爪４８に、調整部としてのピン５４、圧縮ばね５５、倣い接合具５６を設けて把持力を調整する。
【００８７】
当該調整部は、上記実施の形態１の圧縮ばね５０と同様に、一対の把持爪４８、４９の把持力を、一対の把持爪４８、４９の把持方向Ｚの間隔において狭める方向を抑制して調整するものである。但し、当該実施の形態３においては、調整部が形成されていない側の、他方の把持爪４９は固定されている。尚、他方の把持爪４９にも、同様の調整部を形成して、一対の把持爪４８、４９の両方を移動させても可能である。
【００８８】
具体的には、例えば、一対の把持爪４８、４９が合波部品１３を把持した状態で、把持力が一定の力（２Ｎ程度）以上では、圧縮ばね５５の反発力が小さいため、ピン５４を軸として倣い接合具５６および一方の把持爪４８が回転して、把持力を調整する。把持していない状態では、倣い接合具５６および把持爪４８は押さえ板５７によって抑制される。尚、一対の把持爪４８、４９の把持力の調整以外は、上記実施の形態１と同様であるため、その説明は省略する。
【００８９】
上記実施の形態３の光学装置の製造装置によれば、上記各実施の形態と同様の効果を奏するのはもちろんのこと、前記調整部は、一対の前記把持爪の把持力を、一対の前記把持爪の把持方向の間隔において狭める方向を抑制して調整するので、一対の前記把持爪の把持力の調整が確実にできる。
【００９０】
本開示は、様々な例示的な実施の形態および実施例が記載されているが、１つ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、および機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。従って、例示されていない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも１つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
【符号の説明】
【００９１】
１０  光送信モジュール、１１  発振装置、１１ａ  第一発振装置、
１１ｂ  第二発振装置、１１ｃ  第三発振装置、１１ｄ  第四発振装置、
１２  コリメータ、１２ａ  第一コリメータ、１２ｂ  第二コリメータ、
１２ｃ  第三コリメータ、１２ｄ  第四コリメータ、１３  合波部品、１４  筐体、
１４ａ  実装面、２０  光受信モジュール、２１  受信装置、２１ａ  第一受信装置、
２１ｂ  第二受信装置、２１ｃ  第三受信装置、２１ｄ  第四受信装置、
２２  コリメータ、２２ａ  第一コリメータ、２２ｂ  第二コリメータ、
２２ｃ  第三コリメータ、２２ｄ  第四コリメータ、２３  分波部品、２４  筐体、
２４ａ  実装面、１００ａ  レーザ光、１００ｂ  レーザ光、１００ｃ  レーザ光、
１００ｄ  レーザ光、１０１  波長多重レーザ光、１３１  フィルタブロック、
１３２  バンドパスフィルタ、１３２ａ  バンドパスフィルタ、
１３２ｂ  バンドパスフィルタ、１３２ｃ  バンドパスフィルタ、１３３  ミラー、
１４１  開口部、２００ａ  レーザ光、２００ｂ  レーザ光、２００ｃ  レーザ光、
２００ｄ  レーザ光、２０１  波長多重レーザ光、２３１  フィルタブロック、
２３２  バンドパスフィルタ、２３２ｂ  バンドパスフィルタ、
２３２ｃ  バンドパスフィルタ、２３２ｄ  バンドパスフィルタ、２３３  ミラー、
２４１  開口部、３０  製造装置、３１  ステージ、３２  給電部、３３  撮影部、
３４  ＵＶ照射部、３５  保持部、３６  移動部、３７  測定部、４０  把持部、
４１  シリンダ機構部、４２  ガイド部、４３  保持具、４４  ストッパ部、
４５  フィンガ部、４６  接合部、４７  根元部、４８  把持爪、４９  把持爪、
５０  圧縮ばね、５１  ショックアブソーバ、５２  第三保持部、５３  根元部、
５４  ピン、５５  圧縮ばね、５６  倣い接合具、５７  押さえ板、３２１  リード線、
３５１  第一保持部、３５２  第二保持部、３６１  荷重検知部、Ｘ  配列方向、
Ｙ  鉛直方向、Ｚ  対向方向、θＸ  第一回転方向、θＹ  第二回転方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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