(57)【要約】【課題】位置決め装置、ローディングおよび／またはアンローディングシステムならびに位置決め装置を動作させる方法を提供すること。【解決手段】本発明は、少なくともウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）からウェハ（１２ａ〜ｄ）をローディングおよび／またはアンローディングするように構成されるローディングおよび／またはアンローディングステーション（１４ａ〜ｄ）のローディングおよび／またはアンローディング位置にウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）を位置決めするための位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置から展開する。位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置は、ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）とローディングおよび／またはアンローディングステーション（１４ａ〜ｄ）との間の連結プロセスにおいて、ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）を非接触式に位置決めするように構成される位置決め機構（１６ａ〜ｄ）を含むことが提案される。【選択図】図１
2019186543.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）からウェハ（１２ａ〜ｄ）をローディングおよび／またはアンローディングするように構成されるローディングおよび／またはアンローディングステーション（１４ａ〜ｄ）のローディングおよび／またはアンローディング位置に前記ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）を位置決めするための位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置であって、
前記ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）と前記ローディングおよび／またはアンローディングステーション（１４ａ〜ｄ）との連結プロセスにおいて、前記ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）を非接触式に位置決めするように構成される位置決め機構（１６ａ〜ｄ）によって特徴付けられる、位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置。
【請求項２】
前記位置決め機構（１６ａ〜ｄ）が、前記ローディングおよび／またはアンローディング位置において前記ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）を近接して位置決めするように構成されることを特徴とする、請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記位置決め機構（１６ａ〜ｄ）が、理想的なローディングおよび／またはアンローディング位置からのずれが３ｍｍ以下であるような方式で前記ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）を位置決めすることを目的として構成されることを特徴とする、請求項１または２に記載の位置決め装置。
【請求項４】
前記位置決め機構（１６ａ〜ｄ）によって前記ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）の位置決めを制御および／または調節することを目的として構成される制御および／または調節ユニット（１８ａ〜ｄ）によって特徴付けられる、請求項１〜３のいずれか一項に記載の位置決め装置。
【請求項５】
前記位置決め機構（１６ａ〜ｄ）が、少なくとも１つの位置決め用力場を生成することを目的として構成される少なくとも１つの位置決め要素（２０ａ〜ｄ、２０’ａ〜ｄ、２２ａ〜ｄ、２２’ａ〜ｄ、２４ａ〜ｄ、２４’ａ〜ｄ、９２ｂ〜ｄ）を含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の位置決め装置。
【請求項６】
前記位置決め機構（１６ａ〜ｄ）が、少なくとも１つのさらなる位置決め用力場を生成することを目的として構成される少なくとも１つのさらなる位置決め要素（２０ａ〜ｄ、２０’ａ〜ｄ、２２ａ〜ｄ、２２’ａ〜ｄ、２４ａ〜ｄ、２４’ａ〜ｄ、９２ｂ〜ｄ）を含むことを特徴とする、請求項５に記載の位置決め装置。
【請求項７】
前記位置決め機構（１６ａ〜ｄ）が、位置決めのための少なくとも１つの反発力を生成することを目的として構成されることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の位置決め装置。
【請求項８】
少なくとも１つの位置決め要素（２０ａ〜ｄ、２０’ａ〜ｄ、２２ａ〜ｄ、２２’ａ〜ｄ、２４ａ〜ｄ、２４’ａ〜ｄ、９２ｂ〜ｄ）が、磁場として実現される少なくとも１つの位置決め用力場を生成することを少なくとも目的として構成されることを特徴とする、少なくとも請求項５に記載の位置決め装置。
【請求項９】
少なくとも１つの位置決め要素（２０ａ〜ｄ、２０’ａ〜ｄ、２２ａ〜ｄ、２２’ａ〜ｄ、２４ａ〜ｄ、２４’ａ〜ｄ、９２ｂ〜ｄ）が、永久磁石（２６ａ〜ｄ）として少なくとも部分的に実現されることを特徴とする、少なくとも請求項５に記載の位置決め装置。
【請求項１０】
少なくとも１つの位置決め要素（２０’ａ、２２’ａ、２４’ａ）が、前記ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）と少なくとも部分的に一体的に実現されることを特徴とする、少なくとも請求項５に記載の位置決め装置。
【請求項１１】
少なくとも１つの位置決め要素（２０ａ〜ｄ、２０’ａ〜ｄ、２２ａ〜ｄ、２２’ａ〜ｄ、２４ａ〜ｄ、２４’ａ〜ｄ、９２ｂ〜ｄ）が、前記ローディングおよび／またはアンローディングステーション（１４ａ〜ｄ）に捕捉された方式で接続されることを特徴とする、少なくとも請求項５に記載の位置決め装置。
【請求項１２】
前記位置決め要素（２０ｂ〜ｃ、２０’ｂ〜ｃ、２２ｂ〜ｃ、２２’ｂ〜ｃ、２４ｂ〜ｃ、２４’ｂ〜ｃ、９２ｄ）が、前記ローディングおよび／またはアンローディングステーション（１４ｂ〜ｃ）に対して移動可能であるように支持されることを特徴とする、請求項１１に記載の位置決め装置。
【請求項１３】
少なくとも１つの位置決め要素（２０ｃ〜ｄ、２２ｃ〜ｄ、２４ｃ〜ｄ、９２ｃ〜ｄ）が、流動ガスの流れ場として実現される少なくとも１つの位置決め用力場を生成することを目的として構成されることを特徴とする、少なくとも請求項５に記載の位置決め装置。
【請求項１４】
前記位置決め機構（１６ｄ）が、少なくとも部分的に方向付けられたガス流を生成するための少なくとも１つのノズル（２８ｄ）を含み、前記ガス流が、前記位置決め装置の連結方向（３０ｄ）に少なくとも実質的に平行に整列されることを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の位置決め装置。
【請求項１５】
前記位置決め要素（２０ｃ〜ｄ、２２ｃ〜ｄ、２４ｃ〜ｄ）の少なくとも１つのガス流が、前記位置決め装置の連結方向（３０ｃ〜ｄ）に対して少なくとも実質的に垂直に整列されることを特徴とする、請求項１３または１４に記載の位置決め装置。
【請求項１６】
前記連結プロセス中の前記ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）の実際の位置の位置点検および／または位置調節のための点検ユニット（３２ａ〜ｄ）によって特徴付けられる、請求項１〜１５のいずれか一項に記載の位置決め装置。
【請求項１７】
前記点検ユニット（３２ａ〜ｄ）が、少なくとも１つのセンサユニット（３４ａ〜ｄ）を含み、前記センサユニット（３４ａ〜ｄ）が、前記位置決め機構（１６ａ〜ｄ）と少なくとも部分的に一体的に実現されることを特徴とする、請求項１６に記載の位置決め装置。
【請求項１８】
最終位置決め機構（３６ａ〜ｄ）によって特徴付けられ、前記位置決め機構（１６ａ〜ｄ）が、前記最終位置決め機構（３６ａ〜ｄ）と少なくとも部分的に個別に実現される、請求項１〜１７のいずれか一項に記載の位置決め装置。
【請求項１９】
ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）からウェハ（１２ａ〜ｄ）をローディングおよび／またはアンローディングするためのローディングおよび／またはアンローディングシステム（３８ａ〜ｄ）であって、
ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）、ローディングおよび／またはアンローディングステーション（１４ａ〜ｄ）、および請求項１〜１８のいずれか一項に記載の位置決め装置を備えた、ローディングおよび／またはアンローディングシステム（３８ａ〜ｄ）。
【請求項２０】
特に請求項１〜１８のいずれか一項に記載の位置決め装置ならびに／または請求項１９に記載のローディングおよび／もしくはアンローディングシステム（３８ａ〜ｄ）を動作させる方法であって、
ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）とローディングおよび／またはアンローディングステーション（１４ａ〜ｄ）との間の連結プロセスにおいて、前記ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）が、前記ローディングおよび／またはアンローディングステーション（１４ａ〜ｄ）に対して非接触式に位置決めされることを特徴とする、方法。
【請求項２１】
前記ウェハ搬送容器（１０ａ〜ｄ）が、外側の粗い位置決めの直後に位置決めされることを特徴とする、請求項２０に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の前提部による位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置、請求項１９によるローディングおよび／またはアンローディングシステム、ならびに請求項２０の前提部による位置決め装置を動作させる方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
少なくともウェハ搬送容器からウェハをローディングおよび／またはアンローディングするように構成されるローディングおよび／またはアンローディングステーションのローディングおよび／またはアンローディング位置にウェハ搬送容器を位置決めするための位置決め装置は、既に提案されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の目的は、特に、ウェハ搬送容器からのウェハのためのローディングおよび／またはアンローディングステーションにおいて、ウェハ搬送容器を位置決めすることに関して有利な特徴を備えた一般的装置を提供することを含む。この目的は、請求項１、１９および２０の特徴によって本発明により達成される一方、本発明の有利な設計およびさらなる発展形態は、従属請求項に見出され得る。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、少なくともウェハ搬送容器からウェハをローディングおよび／またはアンローディングするように構成されるローディングおよび／またはアンローディングステーションのローディングおよび／またはアンローディング位置にウェハ搬送容器を位置決めするための位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置から展開する。
【０００５】
位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置は、ウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとの間の連結プロセスにおいて、ウェハ搬送容器を非接触式に位置決めするように構成される位置決め機構を含むことが提案される。結果として、ウェハ搬送容器からのウェハのためのローディングおよび／またはアンローディングステーションにおいて、ウェハ搬送容器を位置決めすることに関して有利な特性を達成することが可能である。特に、固定されたボディ間、特にウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとの間の、特に粒子の生成をもたらす外部摩擦を特に回避できることにより、連結プロセス中の粒子の生成を本位置決め機構によって低減および／または回避することが有利に可能である。粒子の回避は、クリーンルーム条件下で特に有利である。特に、ウェハ製造工場内でのウェハ製造および／またはウェハ処理は、クリーンルーム条件下で典型的に行われる。なぜなら、ウェハの最小粒子さえも損傷を引き起こし得るからである。加えて、粒子は、真空シールの平常の機能を損なう可能性があり、また例えば真空シール要素間に沈降することにより、真空シールの気密性の低減を特にもたらす可能性がある。粒子の生成を回避することによる真空シールの周囲領域内の粒子数の対応する低減は、したがって、特に真空シールが頻繁に開閉される場所でも真空シールの高い気密レベルを有利に可能にし得る。さらに、非接触式の位置決めの結果として表面の接触を回避することにより、材料の摩耗を低減することが可能であり、その結果、長い動作寿命を達成することが有利に可能であり、特に高いレベルの位置決め精度が動作寿命にわたり持続される。接触式位置決め機構の接触式案内要素は、例えば、経時的に摩滅する可能性があり、その結果、位置決め中に遊隙が増大し得る。そのような影響は、非接触式の位置決めによって有利に回避することができる。加えて、特に例えば静的な摩擦の結果としておよび／または接触表面の少なくとも１つ内の不規則性の結果として、加速がぎこちないものになる可能性があり、これにより、ウェハ搬送容器内に支持されたウェハが滑り得る接触式の位置決めとは対照的に、特に均一でかつ／またはぎこちなさのない位置決めが非接触式位置決め機構によって有利な方式で可能になり得る。結果的に、滑りによって引き起こされるウェハの損傷を有利に回避することが可能になる。
【０００６】
「位置決め装置」、特に「ウェハ搬送容器位置決め装置」は、特に、ウェハ搬送容器が、ローディングおよび／もしくはアンローディング位置に接近しつつあるとき、かつ／またはローディングおよび／もしくはアンローディング位置に置かれつつあるときに提供された空間的位置合わせを取るような方式において、特に連結プロセスでウェハ搬送容器の特に少なくとも２次元、好ましくは３次元の移動に影響を及ぼし、好ましくはそれを操縦および／または制御することを目的として構成される。位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置は、特に、ローディングおよび／もしくはアンローディング位置に関する理想的な位置合わせからの、かつ／またはローディングおよび／もしくはアンローディング位置におけるウェハ搬送容器の理想的な位置からのウェハ搬送容器の位置合わせのずれができるだけ小さくなるように、ウェハ搬送容器がローディングおよび／またはアンローディング位置に接近するときにウェハ搬送容器の少なくとも１つの予備位置決めを実行することを目的として構成され得る。「ずれができるだけ小さい」という表現は、特に、ウェハ搬送容器が２°以下、好ましくは１°以下、有利には０．６°以下、好ましい方式では０．３°以下、および特に好ましくは０．１°以下だけ理想のローディングおよび／またはアンローディング位置に対して回転され、および／またはウェハ搬送容器が３ｍｍ以下、好ましくは２ｍｍ以下、有利には１ｍｍ以下、特に好ましくは０．６ｍｍ以下、好ましい方式では０．３ｍｍ以下、および特に好ましい方式では０．１ｍｍ以下だけ理想のローディングおよび／またはアンローディング位置に対して任意の方向にオフセットされるものとして理解されるべきである。「位置決め」とは、特に、理想的なローディングおよび／またはアンローディング位置に対する回転的および／または並進的な位置決めとして理解されるべきである。理想的な位置合わせおよび／または理想的な位置決めの場合、連結するように構成されるウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとの接触領域は、完全に重なる。位置決めは、好ましくは、特に粗い位置決め後に実行される予備位置決めとして理解され、粗い位置決めは、例えば、ウェハ製造工場のウェハ搬送容器位置決めシステムによる送達によって達成される。加えて、位置決め、特に予備位置決めは、最終位置決め前に実行される。最終位置決めは、例えば、位置決めおよび／または案内ピンによって達成可能であり、位置決めおよび／または案内ピンは、好ましくは、ローディングおよび／またはアンローディング位置におけるウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとの間の確実なロック式の閉鎖をもたらすように構成される。ウェハ搬送容器は、特に最終位置決め後、理想的なローディングおよび／またはアンローディング位置に配置される。「構成される」という用語は、特に、特別にプログラムされ、設計され、かつ／または装備されるものとして理解されるべきである。特別な機能に対して構成される物体は、特に、少なくとも１つの適用および／または動作状態において前記特別な機能を満たしかつ／または実行する物体として理解される��きである。
【０００７】
「ウェハ搬送容器」は、特に閉鎖可能な内側を有する搬送容器として理解されるべきであり、内側は、ウェハを受け入れるように構成される。ウェハ搬送容器は、特に、少なくとも２００ｍｍ、好ましくは少なくとも３００ｍｍ、および好ましい方式では少なくとも４５０ｍｍの直径を有するウェハを少なくとも搬送するように構成される。ウェハ搬送容器は、特に、少なくとも１つのウェハ、好ましくは少なくとも３つのウェハ、有利には少なくとも５つのウェハ、特に有利には少なくとも１０個のウェハ、好ましい方式では少なくとも２５個のウェハ、および特に好ましい方式では１００個以下のウェハを少なくとも搬送するように構成される。これの代わりにまたはこれに加えて、ウェハ搬送容器は、ウェハと異なって実現された少なくとも１つの物体、例えば露光マスクを受け入れるように構成される。ウェハ搬送容器は、特に持ち運び可能であるように実現される。ウェハ搬送容器は、特に真空気密式に閉鎖可能であるように実現される。ウェハ搬送容器は、特に、その内部に真空雰囲気を提供および／または維持することを目的として構成される真空ウェハ搬送容器として好ましくは実現される。ウェハ搬送容器は、特に真空雰囲気中でウェハを保管するように構成される。「真空雰囲気」は、特に、その圧力が３００ｈＰａ未満、好ましくは１ｈＰａ未満、好ましい方式では１０−３ｈＰａ未満、および特に好ましい方式では１０−６ｈＰａ未満である雰囲気として理解されるべきである。ウェハ搬送容器は、特に真空雰囲気中で高いレベルの気密性を含み、特に、ウェハ搬送容器の漏れ率は、１０−４ｍｂａｒ＊ｌ／ｓ未満、好ましくは１０−５ｍｂａｒ＊ｌ／ｓ未満、有利には１０−６ｍｂａｒ＊ｌ／ｓ未満、特に有利には１０−７ｍｂａｒ＊ｌ／ｓ未満、好ましい方式では１０−８ｍｂａｒ＊ｌ／ｓ未満、および特に好ましい方式では１０−９ｍｂａｒ＊ｌ／ｓ未満である。これの代わりに、ウェハ搬送容器は、標準大気中および／または特別にコンパイルされた雰囲気、例えば窒素雰囲気中でウェハを保管および／または維持するように構成可能である。ウェハ搬送容器は、特に、好ましくは外部磁場によって反発および／または引き付けられる特に反磁性、常磁性または強磁性の材料から少なくとも部分的に実現される外殻部を含む。
【０００８】
「ローディングおよび／またはアンローディング位置」は、少なくとも１つのウェハをウェハ搬送容器からローディングおよび／もしくはアンローディングステーションにリローディングするように構成されるか、または少なくとも１つのウェハをローディングおよび／もしくはアンローディングステーションからウェハ搬送容器にリローディングするように構成されるローディングおよび／またはアンローディングステーションに対するウェハ搬送容器の位置として理解されるべきである。ローディングおよび／またはアンローディング位置において、ウェハ搬送容器、特にウェハ搬送容器の内側は、ローディングおよび／またはアンローディングステーション、特にローディングおよび／またはアンローディングステーションの内側に好ましくは真空気密式に接続可能である。特に、ローディングおよび／またはアンローディング位置において、ウェハ搬送容器開封要素は、ウェハ搬送容器のベース本体から解放可能であり、特に少なくとも部分的にローディングおよび／またはアンローディングステーションの内側の中に降下可能である。特に、ローディングおよび／またはアンローディング位置にあるウェハ搬送容器は、例えば、真空クランプ装置による真空クランプによってローディングおよび／またはアンローディングステーションの表面に確実に固定可能である。特に、ウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとは、特に、ウェハ搬送容器がローディングおよび／またはアンローディング位置においてローディングおよび／またはアンローディングステーションの表面に固定された連結状態において、共通の小さい環境を実現することを目的として構成される。「小さい環境」は、特に周囲大気から隔絶された雰囲気、例えば真空を備えた包囲空間として理解されるべきである。「連結プロセス」は、この関連において、特にウェハ搬送容器をローディングおよび／もしくはアンローディングステーションに近づけかつ／またはウェハ搬送容器をローディングおよび／もしくはアンローディングステーションから取り除き、それに続いてウェハ搬送容器をローディングおよび／またはアンローディング位置においてローディングおよび／またはアンローディングステーションに固定するプロセスとして理解されるべきである。「ウェハ」は、特に電子部品の基板として理解されるべきである。ローディングおよび／またはアンローディングステーションは、特に、ウェハの少なくとも１つの処理および／または製造ステップを実行するように特に構成されるウェハ処理モジュールに対し、ウェハをウェハ搬送容器から前進させることを目的として、かつ／または処理済みウェハをウェハ処理モジュールから、例えばさらなるウェハ処理モジュールへのさらなる搬送のためにウェハ搬送容器に導くようにさらに構成される。
【０００９】
「位置決め機構」は、特に、ウェハ搬送容器の場所および／または位置を調整する役割を果たす力および／または加速を生成、制御および／または調節することを目的として構成される。ウェハ搬送容器を「非接触式に位置決めする」位置決め機構は、特に、少なくとも部分的に非接触式に実行される、ウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとの間に作用する位置決め機構の位置決め力の力の伝達として理解されるべきであり、特にウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとに相互接触点がない。特に、非接触式の位置決めは、ロープおよび／もしくはケーブルから、またはロープおよび／もしくはケーブルによって生成される力および／または加速から独立し、ウェハ製造工場内のウェハ搬送容器の物流向けに特に構成されるウェハ搬送容器搬送システムの位置決めから独立し、かつ／あるいはウェハ搬送容器ならびに／またはローディングおよび／もしくはアンローディングステーションの案内要素および／または確実ロック要素、例えば案内ピンなどから独立している。非接触式の位置決めは、例えば、磁力、静電力および／または流動流体、特にガスの衝撃力によって実行することができる。
【００１０】
位置決め機構による位置決めは、特に、連結方向に対して少なくとも実質的に垂直方向に位置する平面内で実行される。「連結方向」は、特に、主移動方向として理解され、この方向に沿って連結プロセス中にウェハ搬送容器が移動する。連結方向は、特に、ウェハ搬送容器開封要素の主拡張平面に対して少なくとも実質的に垂直に延びる。連結方向は、好ましくは、重力の方向に対して少なくとも実質的に平行に実現される。構造ユニットの「主拡張平面」は、特に、構造ユニットをかろうじて完全に取り囲む最小の仮想立方体の最大の側表面に対して平行な平面であって、特に立方体の中心点を通って広がる平面として理解されるべきである。「実質的に平行」は、特に、特に１つの平面内における基準方向に対する方向の整列としてここでは理解されるべきであり、この方向は、基準方向に対して特に８°未満、有利には５°未満、および特に有利には２°未満のずれを含む。「実質的に垂直」という表現は、特に基準方向に対する方向の整列をここで定義し、方向および基準方向は、特に１つの平面内で見るときに９０°の角度を囲み、その角度は、特に、８°未満、有利には５°未満、および特に有利には２°未満の最大のずれを含む。これの代わりにまたはこれに加えて、位置決め機構による位置決めは、連結方向に平行に延びる方向において実行可能である。
【００１１】
位置決め機構は、ローディングおよび／またはアンローディング位置にウェハ搬送容器を近接して位置決めするように構成されることがさらに提案される。ローディングおよび／またはアンローディング位置におけるウェハ搬送容器の正確な位置決め、特に予備位置決めが結果として有利に可能になり得る。さらに、既に設定された位置決め、特に予備位置決めは、ウェハ搬送容器をローディングおよび／またはアンローディングステーションに近接して位置決めする結果として、ローディングおよび／またはアンローディング位置への後続のさらなる接近の場合に再調整されることを有利に防止され得る。結果的に、位置決めの高いレベルの効果を有利に達成可能である。位置決め前に、特に近接領域の外側で迅速な粗い位置決めが実行される。「近接位置決め」は、特にローディングおよび／またはアンローディングステーションのローディングおよび／またはアンローディング位置に近接するウェハ搬送容器の位置決めを意味する。位置決め機構は、特にローディングおよび／またはアンローディングステーションに近接して配置される。位置決め機構は、特に、好ましくはローディングおよび／もしくはアンローディングステーションに近接して作用し、かつ／またはローディングおよび／もしくはアンローディングステーションに近接してその最大効果を発展させる力を生成することを目的として構成される。物体への「近接」は、特に空間における地点の領域として理解されるべきであり、空間における各地点は、物体、特にローディングおよび／またはアンローディング位置において接触式にウェハ搬送容器と接触することを目的として好ましくは構成されるローディングおよび／またはアンローディングステーションの接触表面から１ｍ以下、好ましくは２０ｃｍ以下、有利には１０ｃｍ以下、特に有利には５ｃｍ以下、好ましい方式では２ｃｍ以下、および特に好ましい方式では０．５ｃｍ以下だけ移動される。ウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとは、特に直近の領域において相互の接触がない。直近の領域は、特に、ウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとが相互に互いに接触する接触領域と異なって実現される。
【００１２】
さらに、位置決め機構は、特に、連結方向に対して垂直な平面における理想的なローディングおよび／またはアンローディング位置からのずれが３ｍｍ以下、好ましくは２．５ｍｍ以下、有利には２ｍｍ以下、好ましい方式では１．５ｍｍ以下、および特に好ましい方式では１ｍｍ以下であるようにウェハ搬送容器を位置決めするように構成されることが提案される。結果として、ローディングおよび／またはアンローディング位置におけるウェハ搬送容器の特に正確な位置決めを達成することが有利に可能である。特に、結果として、位置決め機構による予備位置決めの、位置決めピンを含む最終位置決め機構との非常に正確な一致を達成することが可能であり、その結果、特に最終位置決め機構によって生成される摩擦の結果としての粒子の生成を低く抑えることが有利に可能である。クリーンルーム適合性および／または位置決め機構の真空適合性に関する特に有利な特性を結果としてもたらすことができる。位置決め機構は、特に力を生成することを目的として構成され、その力の効果および／またはその力の勾配は、特に位置決め装置の制御および／または調節ユニットによってミリメートル範囲内で調整可能である。「制御および／または調節ユニット」は、特に、少なくとも位置決め機構、特に位置決め機構の少なくとも１つの位置決め要素を制御および／または調節することを目的として好ましくは構成される電子ユニットとして理解されるべきである。制御ユニットは、好ましくは、コンピューティングユニットと、特にコンピューティングユニットに加えて、コンピューティングユニットによって実行されるように構成される制御および／または調節プログラムをその中に格納する記憶ユニットとを含む。「理想的なローディングおよび／またはアンローディング位置」は、特に、ウェハ搬送容器、特にウェハ搬送容器開封要素の接触領域と、ローディングおよび／またはアンローディングステーションの開封要素の接触領域とが、特にウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとの間の接続の最大気密性が達成されるような方式で理想的に重なるウェハ搬送容器の位置として理解される。特に、ウェハ搬送容器開封要素の接触領域により、かつローディングおよび／またはアンローディングステーションの開封要素の接触領域により実現される特に連結方向において見た場合の全重なり領域は、理想的な重なりが存在する場所で最小化される。「理想的な最終位置からのずれ」は、特に、位置決め機構に追従する最終位置決め機構によって設定される最終位置決めからの、位置決め機構によって設定された位置決めの特に空間的および／または回転的なずれとして理解されるべきである。
【００１３】
さらに、位置決め装置は、特に少なくともローディングおよび／またはアンローディング位置に対して平行な平面内において、位置決め機構によってウェハ搬送容器の位置決めを制御および／または調節するように構成される制御および／または調節ユニットを含むことが提案される。位置決め装置によって達成可能な位置決めの高いレベルの精度が結果として有利に可能になり得る。加えて、位置決めを初期位置決めまたは粗い位置決めに対して柔軟に適合させることが有利に可能である。加えて、位置決めを、異なる、特に異なって形成されたウェハ搬送容器に対して柔軟に適合させることが有利に可能である。特に、制御および／または調節ユニットは、少なくとも位置決め機構の磁場を制御するように構成される。特に、制御および／または調節ユニットは、少なくとも位置決め機構の静電場を制御することを目的として構成される。特に、制御および／または調節ユニットは、少なくとも位置決め機構の流動流体の流れ場を制御することを目的として構成される。特に、制御および／または調節ユニットは、磁場、静電場および／または流れ場の強度、位置合わせ、場所および／または位置を制御および／または調節することを少なくとも目的として提供される。
【００１４】
位置決め機構は、少なくとも１つの特に非接触式に伝達可能な位置決め用力場を生成することを目的として構成される少なくとも１つの位置決め要素を含むことがさらに提案される。結果として、ウェハ搬送容器からのウェハのためのローディングおよび／またはアンローディングステーションにおいて、ウェハ搬送容器を位置決めすることに関して有利な特性を達成することが可能である。特に、中実ボディ間、特にウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとの間の、特に粒子の生成をもたらす外部摩擦を特に回避できることにより、連結プロセス中の粒子の生成を低減および／または回避することが位置決め機構によって有利に可能である。位置決め要素は、特に、磁場、電場、特に静電場および／または流れ場を生成することを目的として構成される。位置決め要素は、特に、少なくとも１つの磁気コイル、少なくとも１つの電気的にチャージ可能な、好ましくは電気的に絶縁可能なコンダクタ表面および／または少なくとも１つの流体用ノズルを含む。位置決め要素は、特に、ローディングおよび／もしくはアンローディングステーション、特にローディングおよび／もしくはアンローディングステーションの開封要素ならびに／またはウェハ搬送容器と少なくとも部分的に一体化されて実現される。位置決め用力場は、特に、磁場、電場、静電場および／または流体、特に気体の流れ場として実現される。１つの個別の位置決め要素および／または複数の位置決め要素の複数の同様のタイプおよび／または異なるタイプの位置決め用力場が重なることが考えられる。特に位置決め要素の少なくとも１つの位置決め用力場を制御可能および／または調節可能な方式で実現することが考えられる。位置決め要素の少なくとも１つの位置決め用力場を静的な方式で実現することがさらに考えられる。「一体的に」は、特に、例えば溶接プロセス、接着プロセス、射出プロセスおよび／または当業者が合理的であると考える別のプロセスの結果として少なくとも実体同士の結合において接続されたと理解されるべきであり、かつ／あるいは例えば鋳造からの製造の結果としておよび／または単一部品もしくは多部品射出成形法を用いた有利には単一ブランクからの製造の結果としてなど、有利に一部品で形成されたと理解されるべきである。
【００１５】
位置決め機構は、少なくとも１つのさらなる位置決め用力場、好ましくは少なくとも２つのさらなる、好ましい方式では少なくとも３つのさらなる、および特に好ましい方式では４つ以上のさらなる特に非接触式に伝達可能な位置決め用力場を生成することを目的として構成される少なくとも１つのさらなる位置決め要素、好ましくは少なくとも２つのさらなる、好ましい方式では少なくとも３つのさらなる、および特に好ましい方式では４つ以上のさらなる位置決め要素を含むことがさらに提案される。結果として、特に正確な位置決めが有利に可能である。特に、結果として、位置決めの制御および／または調節の特に高いレベルの精度を達成することが可能である。結果として、特に制御精度の向上のために、異なるおよび／または同様のタイプの力場を重ねることが有利に可能である。特に、さらなる位置決め要素は、位置決め要素に対応する位置決め要素として実現可能である。例えば、ローディングおよび／またはアンローディングステーションに配置される位置決め要素は、永久磁石として実現されかつウェハ搬送容器に配置された対応する位置決め要素の静的な磁場と相互作用することを目的として構成される磁気コイルによって制御可能および／または調節可能な磁場を発生させることが考えられる。
【００１６】
位置決め機構、特に位置決め要素が、特にウェハ搬送容器に対して反発するように作用する少なくとも１つの反発力を位置決めのために生成することを目的として構成される場合、位置決め機構および位置決め要素によって位置決めされる物体および／またはさらなる物体間の、例えば引き付け力を誘導しすぎることによる意図しない粒子生成接触の危険性は、有利に回避され、その結果、位置決め機構によって生成される粒子の数を低く抑えることが有利に可能である。「反発力」は、特に、反発力を発生する位置決め要素から離れる方を指向して整列された方向にウェハ搬送容器を変位および／または押すことを目的として構成される力として理解されるべきである。
【００１７】
少なくとも１つの位置決め要素は、磁場として実現される少なくとも１つの位置決め用力場を生成することを少なくとも目的として構成されることがさらに提案される。結果として、効果的な非接触式の力の伝達を達成することが可能であり、その結果、特に粒子の生成を低減および／または回避可能である。さらに、特に１つの磁場および／または磁場の組み合わせが簡単にかつ／または正確に制御可能および／または調節可能であり、磁場の組み合わせは、特に小さい空間において特に変えることができる。
【００１８】
少なくとも１つの特に対応する位置決め要素が少なくとも部分的に永久磁石として実現される場合、位置決め用力場を無電流式に生成することが有利に可能である。永久磁石として実現された位置決め要素は、制御可能な位置決め要素によって生成されかつ永久磁石として実現された位置決め要素の位置決め用力場と重なる位置決め用力場の変化に対する反応を有利に強化し、その結果、位置決め動作を作動するために必要な出力は、有利に小さく維持することができる。永久磁石として実現される位置決め要素は、特にウェハ搬送容器上に配置される。
【００１９】
少なくとも１つの位置決め要素がウェハ搬送容器と少なくとも部分的に一体的に実現される場合、簡単な設計の位置決め機構が有利に可能にされる。特に、ウェハ搬送容器と一体的に実現された位置決め要素は、永久磁石ならびに／または反磁性、常磁性および／もしくは強磁性要素として実現される。位置決め要素は、特に反磁性、常磁性および／または強磁性材料から少なくとも部分的に実現される。特に、ウェハ搬送容器と一体的に実現される位置決め要素は、ウェハ搬送容器開封要素および／またはウェハ搬送容器のベース本体と一体的に実現される。ウェハ搬送容器は、好ましくは、複数の位置決め要素を含み、好ましくは、その少なくとも一部は、ウェハ搬送容器と少なくとも部分的に一体的に実現される。ウェハ搬送容器の外殻部は、特に対応する位置決め要素を実現することがさらに考えられる。
【００２０】
少なくとも１つの位置決め要素は、ローディングおよび／またはアンローディングステーションに捕捉された方式で接続されることがさらに提案される。結果として、ローディングおよび／またはアンローディングステーション、特にローディングおよび／またはアンローディングステーションの表面に対する位置決めが有利に可能にされる。「捕捉された方式で接続される」という用語は、特に、位置決め要素とローディングおよび／またはアンローディングステーションとが、いかなる提供された動作状態でも一緒に接続されるものとして理解されるべきである。有利な方式では、位置決め要素とローディングおよび／またはアンローディングステーションとは、工具によってのみ、破壊の結果としてのみ、および／または機能の損失によってのみ互いに分離可能である。位置決め要素は、ローディングおよび／またはアンローディングステーションの非可動式構成要素に捕捉された方式で好ましくは接続される。これの代わりに、位置決め要素は、ローディングおよび／またはアンローディングステーションの移動可能に支持される構成要素、例えばローディングおよび／またはアンローディングステーションの開封要素に捕捉された方式で接続することもできる。
【００２１】
位置決め要素がローディングおよび／またはアンローディングステーションに対して移動可能であるように支持される場合、位置決め用力場の特に幅広い多様性が有利に可能にされ得、その結果として特にウェハ搬送容器の特に正確な位置決めが可能にされ得る。位置決め要素は、特に、例えば連結プロセスおよび／または切離しプロセス中、ローディングおよび／もしくはアンローディング位置の方向またはローディングおよび／もしくはアンローディングユニットの開封要素の表面の方向におけるウェハ搬送容器の鉛直移動に追従することを少なくとも部分的に目的として構成されることが考えられる。「移動可能であるように支持される」という語句は、特に、少なくとも並進式に支持され、少なくとも回動可能に支持され、かつ／または少なくとも回転式に支持されることを意味する。位置決め要素は、少なくともローディングおよび／もしくはアンローディングステーションの表面ならびに／またはローディングおよび／もしくはアンローディングステーションの開封要素に対して移動可能であるように好ましくは支持される。特に、位置決め要素は、少なくとも１つ、好ましくは少なくとも２つの軸、好ましくはローディングおよび／またはアンローディングステーションの表面に対して垂直または水平に整列された少なくとも１つの軸の周囲で回動可能であるように取り付けられる。特に、位置決め要素は、少なくとも１つ、好ましくは少なくとも２つ、好ましい方式では少なくとも３つ、および特に好ましい方式では少なくとも４つの空間的方向に並進式に移動可能であるように支持され、空間的方向は、ローディングおよび／もしくはアンローディングステーションの表面に平行に延びる少なくとも１つ、好ましい方式では少なくとも２つの方向、ローディングおよび／もしくはアンローディングステーションの表面に対して垂直に延びる少なくとも１つの方向、ならびに／またはローディングおよび／もしくはアンローディングステーションの表面から垂直方向に離れる方を指向する仮想シリンダのシリンダマントルに沿って円周方向に延びる少なくとも１つの方向を含む。
【００２２】
少なくとも１つ、特に１つのさらなる位置決め要素は、電場、特に静電場として実現される少なくとも１つの位置決め用力場を生成することを目的として構成されることがさらに提案される。結果として、効果的な非接触式の力の伝達を達成することが有利に可能であり、その結果として特に粒子の生成を低減および／または回避することが可能である。
【００２３】
少なくとも１つの特に追加的なさらなる位置決め要素は、流動ガスの流れ場として実現される少なくとも１つの位置決め用力場を生成することを目的として構成されることがさらに提案される。結果として、効果的な非接触式の力の伝達を達成することが有利に可能であり、その結果として特に粒子の生成を低減および／または回避することが可能である。
【００２４】
位置決め機構は、少なくとも部分的に方向付けられるガス流を生成するための少なくとも１つのノズルを含み、ガス流、特にノズルによって生成される流れ場の平均全体ガス流は、位置決め装置の連結方向に少なくとも実質的に平行に整列されることがさらに提案される。結果として、ウェハ搬送容器を連結方向に案内することが有利に可能である。ノズルは、特にローディングおよび／またはアンローディングステーションの表面に配置される。ノズルは、特にローディングおよび／またはアンローディングステーションの開封要素の周囲に円周方向に配置される。ノズルは、ローディングおよび／またはアンローディングステーションの開封要素の周囲にエアカーテンを生成することを目的として好ましくは提供される。ローディングおよび／またはアンローディングステーションの表面に対して垂直なガス流のそのような整列の結果として、粒子をローディングおよび／またはアンローディングステーションの表面から離した状態に有利に維持することができる。ノズルは、特に吸引機能のために構成される。これの代わりに、ノズルは、吹出し機能のために構成することもできる。
【００２５】
位置決め要素の少なくとも１つの特にさらなるガス流、特に流れ場の平均全体ガス流が位置決め装置の連結方向に対して少なくとも実質的に垂直に整列される場合、ウェハ搬送容器の非接触式の位置決めは、ローディングおよび／またはアンローディングステーションの表面に対して平行な平面内で有利に可能にされ得る。特に、位置決め要素は、特に、流動ガス、特に流動空気のための出口開口および／または入口開口を提供することを目的として構成される少なくとも１つのノズルを含む。ノズルは、特に移動可能であるように実現される。特に、ノズルから現れるガス流の方向は、制御および／または調節ユニットによって調整可能である。位置決め要素のノズルは、特に吹出し機能のために構成される。吹出し機能の場合、ガス流は、ウェハ搬送容器を、特に位置決め要素、特にノズルから離れる方を指向する方向に押す。これの代わりに、ノズルは、吸引機能のためにも提供され得る。吸引機能の場合、ガス流は、ウェハ搬送容器を、特に位置決め要素、特にノズルの方を指向する方向に引く。
【００２６】
位置決め装置は、連結プロセス中、ウェハ搬送容器の特に３次元の位置点検、特にリアルタイム位置点検および／または好ましくは制御される実際の位置の位置調節のための点検ユニットを含むことがさらに提案される。結果として、特に位置決めプロセスを能動的に制御および／または調節することにより、高いレベルの位置決めの精度を達成することが有利に可能である。さらに、特にウェハ搬送容器を開封する前に、実行されたウェハ搬送容器の位置決めの点検を可能にすることにより、結果として動作信頼性を高めることが同じく有利に可能である。特に、点検ユニットは、ウェハ搬送容器の現在の位置を検出することを目的として構成され、および適用可能な場合、特に位置決め要素の位置決め用力場を変えることにより、かつ／または位置決め要素の空間的位置および／もしくは空間的向きを変えることにより、位置修正のために少なくとも１つの位置決め要素を作動させることを目的として構成される。「３次元の位置点検」は、特に、ローディングおよび／またはアンローディングステーションの表面に平行な平面内のウェハ搬送容器の空間的位置の少なくとも１つの位置点検および／またはウェハ搬送容器の回転位置の位置点検として理解されるべきである。「リアルタイム位置点検」は、特に、点検ユニットによって検出されたウェハ搬送容器の空間的および／または回転的実際位置が制御および／または調節ユニットによって直接的に読み出され、それから特に空間的および／または回転的に要求されるウェハ搬送容器の位置が制御および／または調節ユニットによって決定され、およびそれから特にウェハ搬送容器の実際の位置の位置修正のための少なくとも１つの制御および／または調節コマンドが制御および／または調節ユニットによって少なくとも１つの位置決め要素に出力される、少なくとも１つの位置点検として理解されるべきである。「位置調節」は、特に、点検ユニットによって認識されるウェハ搬送容器の実際の位置が、少なくとも１つの位置決め用力場を制御および／または調節することによってウェハ搬送容器の所定の要求される位置に近づくように移動されるプロセスとして理解されるべきである。特に、ウェハ搬送容器がローディングおよび／またはアンローディングステーションと連結されている状態において、ウェハ搬送容器の要求される位置は、理想的なローディングおよび／もしくはアンローディング位置、ならびに／またはウェハ搬送容器とローディングおよび／もしくはアンローディングステーションとが特に連結方向に沿って理想的な方式で重なる位置を実現する。
【００２７】
点検ユニットは、少なくとも１つのセンサユニットを含み、センサユニットは、位置決め機構、特に位置決め要素と少なくとも部分的に一体的に実現されることがさらに提案される。結果として、特に１つの個別の構成要素に複数のタスクを割り当てることができることにより、複雑さを低減することが可能である。「少なくとも部分的に一体的に」実現される２つのユニットは、特に、２つのユニットの構成要素部分、特に機能的に重要な構成要素部分である少なくとも１つ、特に少なくとも２つ、有利には少なくとも３つの共通の要素を含むユニットとして理解されるべきである。センサユニットは、特に少なくとも１つのセンサ要素を含む。センサ要素は、特に、位置決め装置、ウェハ搬送容器ならびに／またはローディングおよび／もしくはアンローディングステーションのパラメータを感知することを少なくとも目的として構成される。位置決め装置のパラメータは、特に、ウェハ搬送容器の回転位置および／もしくは移動、ウェハ搬送容器の空間位置および／もしくは移動、ならびに／またはウェハ搬送容器とセンサ要素との間の距離および／もしくは距離修正を含み得る。センサ要素は、ローディングおよび／またはアンローディングステーションの表面に対するウェハ搬送容器の空間位置および／または移動を感知することを少なくとも目的として好ましくは構成される。特に、センサ要素は、磁場として実現される位置決め用力場を生成することを目的として好ましくは構成される少なくとも１つの磁気コイルとして実現される。特に、センサ要素は、好ましくは、位置決め用力場の生成と同時に、特に磁気コイルの伝導経路において、特に位置決め用力場を重ねることにより、磁場によって誘導される向流の測定によって位置決め装置のパラメータを感知することを目的として構成される。これの代わりにまたはこれに加えて、センサユニットは、位置決め機構、特に位置決め要素と個別に実現される少なくとも１つのセンサ要素を含むことができる。特に、センサユニットは、光学センサとして実現される少なくとも１つのセンサ要素、例えばカメラおよび／または光バリヤを含むことができる。
【００２８】
位置決め装置が最終位置決め機構を含み、位置決め機構が最終位置決め機構と少なくとも部分的に個別に実現される場合、ウェハ搬送容器からのウェハのためのローディングおよび／またはアンローディングステーションにおいて、ウェハ搬送容器を位置決めすることに関して有利な特性を達成することが可能である。特に、特に中実ボディ間、特にウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとの間の、特に粒子の生成をもたらす外部摩擦を位置決め、特に予備位置決め中に位置決め機構によって回避できることにより、好ましくは最終位置決め機構に制限できることにより、位置決め機構による連結プロセス中の粒子の生成を低減することが有利に可能である。特に最終位置決めに達するまでの正確な位置決めの結果として、最終位置決め中の摩擦は、有利な方式で最小限に抑えることができる。最終位置決め機構は、特に、案内ユニットの案内レール中で案内ユニットの案内要素を案内することにより、理想的なローディングおよび／またはアンローディング位置におけるウェハ搬送容器の最終的な位置決めを決定することを特に目的として構成される案内ユニットを含む。案内ユニットは、複数の案内要素および案内レールを好ましくは含む。特に、案内ユニットおよび／または案内レールは、ウェハ搬送容器開封要素の表面、特にウェハ搬送容器の外側に配置され、ローディングおよび／またはアンローディングステーションの表面、特にローディングおよび／もしくはアンローディングステーションならびに／またはローディングおよび／もしくはアンローディングステーションの開封要素の外側に配置される。さらに、位置決め装置は、位置決め機構および／または最終位置決め機構から少なくとも部分的に分離されて実現された粗い位置決め機構を含む。特に、粗い位置決め機構は、ロープおよび／またはケーブルによってウェハ搬送容器を特に保持し、ローディングおよび／またはアンローディングステーションに対して粗く位置決めするウェハ製造工場のウェハ搬送容器搬送システムによる位置決めを含む。
【００２９】
さらに提案されるのは、ウェハ搬送容器からウェハをローディングおよび／またはアンローディングするためのローディングおよび／またはアンローディングシステムであって、ウェハ搬送容器を有し、ローディングおよび／またはアンローディングステーションを有し、かつ位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置を有するローディングおよび／またはアンローディングシステムである。本発明によるローディングおよび／またはアンローディングシステムの結果として、ウェハ搬送容器からのウェハのためのローディングおよび／またはアンローディングステーションにおいて、ウェハ搬送容器を位置決めすることに関して有利な特性を達成することが可能である。特に、ウェハ搬送容器がローディングおよび／またはアンローディングステーションに位置決めされるときに粒子の生成を有利に低減することができる。
【００３０】
同じく提案されるのは、位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置ならびに／またはローディングおよび／もしくはアンローディングシステムを動作させる方法であり、ウェハ搬送容器とローディングおよび／またはアンローディングステーションとの間の連結プロセスの場合、ウェハ搬送容器は、ローディングおよび／またはアンローディングステーションに対して非接触式に位置決めされる。結果として、位置決め中の粒子の生成を低く抑えることが可能である。
【００３１】
ウェハ搬送容器は、外側の粗い位置決めに続いて、特に位置決め装置によって位置決めされることがさらに提案される。結果として、位置決めの高い有効性を有利に達成可能である。
【００３２】
本発明による位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置、本発明によるローディングおよび／もしくはアンローディングシステムならびに／または本発明による方法は、この関連において、上述の用途および実施形態に限定されない。特に、本発明による位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置、本発明によるローディングおよび／もしくはアンローディングシステムならびに／または本発明による方法は、本明細書に記載の機能を満たすために、本明細書に記載された数から逸脱する数の個別の要素、構成要素、ユニットおよび方法ステップを含むことができる。
【００３３】
さらなる利点は、以下の図面の記載から生じる。本発明の４つの例示的な実施形態が図面に示されている。図面、記載および特許請求の範囲は、多数の特徴を組み合わせて含む。当業者は、各特徴を都合よく個別に見て、合理的なさらなる組合せを形成するためにそれらを組み合わせるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】ウェハ搬送容器を備え、ローディングおよび／またはアンローディングステーションを備え、かつ位置決め装置を備えたローディングおよび／またはアンローディングシステムの概略図を示す。
【図２】位置決め装置を動作させる方法の流れ図を示す。
【図３】代替的な位置決め装置を備えた代替的なローディングおよび／またはアンローディングシステムの概略図を示す。
【図４】代替的な位置決め装置の代替的な位置決め要素の概略図を示す。
【図５】さらなる代替的な位置決め装置のさらなる代替的な位置決め要素の概略図を示す。
【図６】追加のさらなる代替的な位置決め装置の追加の代替的な位置決め要素を備えた追加の代替的なローディングおよび／またはアンローディングステーションの上面概略図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
図１は、ローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ａを示す。ローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ａは、ウェハ搬送容器１０ａを含む。ウェハ搬送容器１０ａは、ウェハ１２ａを搬送および／または保管するように構成される。ローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ａは、ウェハ搬送容器１０ａからウェハ１２ａをローディングおよび／またはアンローディングするように構成される。ウェハ搬送容器１０ａは、ウェハ搬送容器開封要素６２ａを含む。ウェハ搬送容器１０ａは、ベース本体６４ａを含む。ウェハ搬送容器開封要素６２ａは、ウェハ搬送容器１０ａのベース本体６４ａの開口を閉鎖するように構成される。ウェハ搬送容器開封要素６２ａは、ウェハ搬送容器１０ａのベース本体６４ａから取り外し可能であるように実現される。
【００３６】
ローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ａは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａを含む。ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａは、ウェハ１２ａをウェハ搬送容器１０ａからローディングおよび／またはアンローディングするように構成される。ウェハ１２ａをローディングおよび／またはアンローディングするために、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａは、ウェハ搬送容器開封要素６２ａをウェハ搬送容器１０ａのベース本体６４ａから解放することによってウェハ搬送容器１０ａを開封する。ウェハ搬送容器１０ａを開封するために、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａは、ウェハ搬送容器開封要素６２ａをローディングおよび／またはアンローディング方向６６ａに移動する。ローディングおよび／またはアンローディング方向６６ａは、ウェハ搬送容器開封要素６２ａの主拡張面に対して少なくとも実質的に垂直に延在する。開封されると、ウェハ搬送容器開封要素６２ａは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａによってローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａの内側に下げられる。ウェハ搬送容器１０ａがローディングおよび／またはアンローディングされると、ウェハ搬送容器１０ａのベース本体６４ａの内側は、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａの内側に真空気密式に接続される。ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａは、ウェハ搬送容器１０ａからアンローディングされたウェハ１２ａを少なくとも１つのウェハ処理モジュール（図示せず）にさらに搬送するように構成される。
【００３７】
ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａは、ウェハ搬送容器１０ａを接触した状態でその上に配置するように構成される表面４０ａを含む。ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａは、ローディングおよび／またはアンローディング位置を含む。ローディングおよび／またはアンローディング位置は、ウェハ搬送容器１０ａがローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに配置される位置として実現され、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａの内側と、ウェハ搬送容器１０ａの内側との間の真空気密式の接続を実現することにより、ローディングおよび／またはアンローディングされることが可能である。ローディングおよび／またはアンローディング位置は、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａの表面４０ａに配置される。図１に示す図において、ローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ａは、非結合状態で位置している。ウェハ搬送容器１０ａは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａと接触していない。ウェハ搬送容器１０ａは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに近接して位置している。
【００３８】
ローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ａは、ウェハ搬送容器搬送システム５０ａを含む。ウェハ搬送容器搬送システム５０ａは、ウェハ搬送容器１０ａを異なるローディングおよび／もしくはアンローディングシステム３８ａ間かつ／またはウェハ製造工場のさらなる装置間で搬送するように構成されている。ウェハ搬送容器搬送システム５０ａは、クリーンルーム適合性天井走行式無人搬送車（ＯＨＴ：Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）システムとして実現される。これの代わりに、ウェハ搬送容器搬送システム５０ａは、ウェハ搬送容器１０ａの別のタイプの搬送システムとして実現することもできる。例えば、自己飛行式ドローンのシステムは、ウェハ搬送容器１０ａをローディングおよび／もしくはアンローディングステーション１４ａに向けて、またはローディングおよび／もしくはアンローディングステーション１４ａから搬送するように構成され得る。ウェハ搬送容器搬送システム５０ａは、レールシステム５６ａを含む。レールシステム５６ａは、搬送経路を予め定めることを目的として構成される少なくとも１つのレールを含む。
【００３９】
ウェハ搬送容器搬送システム５０ａは、搬送キャリッジ５４ａを含む。搬送キャリッジ５４ａは、レールシステム５６ａのレールに沿って移動されるかまたは移動することを目的として構成される。搬送キャリッジ５４ａは、ベース本体７０ａを含む。搬送キャリッジ５４ａは、ホルダ５８ａを含む。ホルダ５８ａは、ウェハ搬送容器１０ａを受けることを目的として構成される。ホルダ５８ａは、搬送キャリッジ５４ａによる搬送中、粗い位置決め中、位置決め中、予備位置決め中および／または最終位置決め中にウェハ搬送容器１０ａを保持することを目的として構成される。ホルダ５８ａは、ウェハ搬送容器１０ａを解放可能に保持することを目的として構成される。搬送キャリッジ５４ａは、複数の保持要素５２ａを含む。保持要素５２ａは、長尺状に実現される。保持要素５２ａは、柔軟な方式で実現される。保持要素５２ａは、ケーブルおよび／またはロープとして実現される。保持要素５２ａは、ホルダ５８ａと搬送キャリッジ５４ａのベース本体７０ａとの間の接続部分を実現する。搬送キャリッジ５４ａのベース本体７０ａとホルダ５８ａとの間の距離は、可変である。保持要素５２ａは、搬送キャリッジ５４ａのベース本体７０ａとホルダ５８ａとの間の距離を変えるために巻くことができる。搬送キャリッジ５４ａは、ウェハ搬送容器１０ａの粗い位置決め機構６０ａを実現する。粗い位置決め機構６０ａは、ウェハ搬送容器１０ａをローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに対して粗く位置決めするように構成される。
【００４０】
搬送キャリッジ５４ａは、制御ユニット６８ａを含む。搬送キャリッジ５４ａの制御ユニット６８ａは、ホルダ５８ａ、保持要素５２ａ、特に保持要素５２ａの長さを制御および／または調節するように構成される。搬送キャリッジ５４ａの制御ユニット６８ａは、粗い位置決め機構６０ａを制御および／または調節するように構成される。搬送キャリッジ５４ａの制御ユニット６８ａは、レールシステム５６ａに沿った搬送キャリッジ５４ａの移動を制御および／または調節するように構成される。搬送キャリッジ５４ａの制御ユニット６８ａは、通信モジュール７４ａを含む。搬送キャリッジ５４ａの制御ユニット６８ａの通信モジュール７４ａは、搬送キャリッジ５４ａ、ホルダ５８ａおよび／または保持要素５２ａを制御および／または調節するための制御および／または調節コマンドを受信することを目的として構成される。搬送キャリッジ５４ａの制御ユニット６８ａの通信モジュール７４ａは、搬送キャリッジ５４ａの制御ユニット６８ａの制御および／または調節コマンドを例えばさらなる搬送キャリッジならびに／またはさらなるローディングおよび／もしくはアンローディングステーション１４ａのさらなる制御ユニットに発信することを目的として構成される。
【００４１】
ローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ａは、位置決め装置を含む。位置決め装置は、ウェハ搬送容器位置決め装置を実現する。位置決め装置は、ウェハ搬送容器１０ａをローディングおよび／またはアンローディング位置に位置決めするように構成される。位置決め装置は、ウェハ搬送容器１０ａをローディングおよび／またはアンローディング位置に予備位置決めするように構成される。ローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ａは、位置決め機構１６ａを含む。位置決め機構１６ａは、ウェハ搬送容器１０ａとローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａとの間の連結プロセスにおいて、ウェハ搬送容器１０ａを接触なしに位置決めするように構成される。位置決め機構１６ａは、位置決めのための反発力および／または引き付け力を生成することを目的として構成される。位置決め機構１６ａは、粗い位置決め機構６０ａと個別に実現される。位置決め機構１６ａは、ウェハ搬送容器搬送システム５０ａから独立して、特にウェハ搬送容器搬送システム５０ａの動きから独立して実現される。位置決め機構１６ａは、保持要素５２ａから独立して実現される。
【００４２】
位置決め機構１６ａは、ローディングおよび／またはアンローディング位置にウェハ搬送容器１０ａを近接して位置決めするように構成される。位置決め機構１６ａは、ウェハ搬送容器を水平面に位置決めするように構成される。水平面は、連結方向３０ａに対して垂直方向に位置する。位置決め機構１６ａは、理想的なローディングおよび／またはアンローディング位置からのずれが３ｍｍ以下であるような方式でウェハ搬送容器１０ａを位置決めすることを目的として構成される。位置決め装置は、制御および／または調節ユニット１８ａを含む。制御および／または調節ユニット１８ａは、位置決め機構１６ａによってウェハ搬送容器１０ａの位置決めを制御および／または調節することを目的として構成される。制御および／または調節ユニット１８ａは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに割り当てられる。位置決め機構１６ａの制御および／または調節ユニット１８ａは、通信モジュール７２ａを含む。位置決め機構１６ａの制御および／または調節ユニット１８ａの通信モジュール７２ａは、ウェハ搬送容器１０ａの位置決めプロセスを制御するための制御および／または調節コマンドを受信することを目的として構成される。位置決め機構１６ａの制御および／または調節ユニット１８ａの通信モジュール７２ａは、位置決め機構１６ａの制御および／または調節ユニット１８ａの制御および／または調節コマンドを例えば搬送キャリッジ５４ａのさらなる制御ユニットに発信することを目的として構成される。
【００４３】
位置決め装置は、最終位置決め機構３６ａを含む。最終位置決め機構３６ａは、位置決め機構１６ａと個別に実現される。最終位置決め機構３６ａは、接触するように実現される。ローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ａは、案内ユニット４２ａを含む。案内ユニット４２ａは、最終位置決め機構３６ａの主要機能的構成要素である。案内ユニット４２ａは、案内要素４４ａを含む。案内要素４４ａは、ボルト状突起として実現される。案内要素４４ａは、ピンとして実現される。案内要素４４ａは、その端部に向かってテーパ状に実現される。案内要素４４ａは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａの表面４０ａに配置される。案内ユニット４２ａは、案内レール４６ａを含む。案内レール４６ａは、凹部として実現される。案内レール４６ａは、ウェハ搬送容器開封要素６２ａの外面に配置される。案内要素４４ａは、最終位置決め中に案内レール４６ａ内に係合することを目的として構成される。案内レール４６ａは、案内要素４４ａと相補的な外側形状部分を含む。案内要素４４ａの表面が案内レール４６ａの表面に沿って摺動することにより、最終位置決め機構３６ａは、案内ユニット４２ａによってローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに対してウェハ搬送容器１０ａを整列させる。
【００４４】
位置決め機構１６ａは、位置決め要素２０ａ、２０’ａ、２２ａ、２２’ａ、２４ａ、２４’ａを含む。位置決め要素２０ａ、２０’ａ、２２ａ、２２’ａ、２４ａ、２４’ａは、それぞれ位置決め用力場を生成するように構成される。位置決め要素２０ａ、２０’ａ、２２ａ、２２’ａ、２４ａ、２４’ａは、磁場として実現される位置決め用力場を生成することを目的として構成される。これの代わりにまたはこれに加えて、位置決め要素２０ａ、２０’ａ、２２ａ、２２’ａ、２４ａ、２４’ａは、電場、特に静電場として実現される位置決め用力場を生成することを目的として構成される。３つの位置決め要素２０ａ、２２ａ、２４ａは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに配置される。ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに配置される３つの位置決め要素２０ａ、２２ａ、２４ａは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに捕捉された方式で接続される。ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに配置される３つの位置決め要素２０ａ、２２ａ、２４ａは、能動的に制御可能および／または調節可能である。ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに配置される３つの位置決め要素２０ａ、２２ａ、２４ａは、制御および／または調節ユニット１８ａに動作可能に接続される。制御および／または調節ユニット１８ａは、能動的に制御可能および／または調節可能な位置決め要素２０ａ、２２ａ、２４ａの位置決め用力場を制御および／または調節することを目的として構成される。制御および／または調節ユニット１８ａは、位置決め用力場の強さおよび／または方向を制御および／または調節することを目的として構成される。各位置決め要素２０ａ、２２ａ、２４ａは、個々に作動可能である。位置決め要素２０ａ、２２ａ、２４ａの位置決め用力場は、それぞれ個別に作動可能および／または調節可能である。位置決め要素２０ａ、２２ａ、２４ａの作動は、制御および／または調節ユニット１８ａの通信モジュール７２ａを介してウェハ搬送容器搬送システム５０ａの制御と調和可能である。
【００４５】
３つのさらなる位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａは、対応する位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａとして実現される。さらなる位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａは、受動的な位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａとして実現される。さらなる位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａは、永久磁石２６ａとして実現される。これの代わりにまたはこれに加えて、さらなる位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａは、強磁性物質から実現される。さらなる位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａは、静的な位置決め用力場を含む。さらなる位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａの静的な位置決め用力場は、位置決め要素２０ａ、２２ａ、２４ａの能動的に調節可能および／または制御可能な位置決め用力場と相互作用することを目的として構成される。さらなる位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａは、ウェハ搬送容器１０ａに配置される。さらなる位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａは、ウェハ搬送容器開封要素６２ａに配置される。さらなる位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａは、ウェハ搬送容器１０ａと一体的に実現される。さらなる位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａは、ウェハ搬送容器開封要素６２ａと一体的に実現される。さらなる位置決め要素２０’ａ、２２’ａ、２４’ａの位置決め用力場は、電源から独立して実現される。これの代わりにまたはこれに加えて、能動的な位置決め要素２０ａ、２０’ａ、２２ａ、２２’ａ、２４ａ、２４’ａをウェハ搬送容器１０ａに割り当てること、および／または受動的な位置決め要素２０ａ、２０’ａ、２２ａ、２２’ａ、２４ａ、２４’ａをローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに割り当てることが考えられる。
【００４６】
位置決め装置は、点検ユニット３２ａを含む。点検ユニット３２ａは、連結プロセス中のウェハ搬送容器１０ａの実際の位置の位置点検および／または位置調節のために構成される。点検ユニット３２ａは、センサユニット３４ａを含む。センサユニット３４ａは、位置決め機構１６ａと一体的に実現される。センサユニット３４ａは、センサ要素４８ａを含む。センサ要素４８ａは、位置決め要素２０ａ、２０’ａ、２２ａ、２２’ａ、２４ａ、２４’ａと一体的に実現される。これの代わりにまたはこれに加えて、センサユニット３４ａは、位置決め要素２０ａ、２０’ａ、２２ａ、２２’ａ、２４ａ、２４’ａと個別に実現されるセンサ要素４８ａを含むことができる。センサユニット３４ａは、センサデータをセンサ要素４８ａから制御および／または調節ユニット１８ａに伝送する。制御および／または調節ユニット１８ａは、センサユニット３４ａからのデータに依存して、位置決め要素２０ａ、２０’ａ、２２ａ、２２’ａ、２４ａ、２４’ａの位置決め用力場の制御および／または調節を実行することを目的として構成される。制御および／または調節ユニット１８ａは、センサユニット３４ａからの位置データにより、ウェハ搬送容器１０ａの実際の位置とウェハ搬送容器１０ａの要求された位置との間の比較を実行することと、ローディングおよび／またはアンローディング位置におけるウェハ搬送容器１０ａの制御および／または調節された位置決めを実行することとを目的として構成される。
【００４７】
図２は、位置決め装置ならびに／またはローディングおよび／もしくはアンローディングシステム３８ａを動作させる方法の流れ図を示す。少なくとも１つの方法ステップ７６ａにおいて、ウェハ搬送容器１０ａは、ウェハ搬送容器搬送システム５０ａにより、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに関連付けられるレールシステム５６ａの接続部分に送達される。少なくとも１つのさらなる方法ステップ７８ａにおいて、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａの表面４０ａに対するウェハ搬送容器１０ａの粗い位置決めは、粗い位置決め機構６０ａによって実行される。この場合、ウェハ搬送容器１０ａは、ホルダ５８ａによって搬送キャリッジ５４ａに接続されており、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａの近くに移動されるまで保持要素５２ａ上で下ろされ、連結方向３０ａに沿って鉛直に吊り下げられる。少なくとも１つのさらなる方法ステップ８０ａにおいて、ウェハ搬送容器１０ａは、粗い位置決め後に位置決めされる、特に予備位置決めされる。同時に、ウェハ搬送容器１０ａとローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａとの間の連結プロセス中、ウェハ搬送容器１０ａは、位置決め機構１６ａにより、接触しない方式でローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに位置決めされる、特に予備位置決めされる。少なくとも１つのさらなる方法ステップ８２ａにおいて、位置決めした後、特に予備位置決めした後のウェハ搬送容器１０ａは、最終位置決め機構３６ａによって最終的に位置決めされる。同時に、既に予備位置決めされたウェハ搬送容器１０ａの案内レール４６ａは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａの案内要素４４ａと係合するように移動される。位置決め機構１６ａによる位置決め後、理想のローディングおよび／またはアンローディング位置からのわずかなずれが依然として存在する場合、それらは、案内ユニット４２ａの部品の相互係合によって修正される。少なくとも１つのさらなる方法ステップ８４ａにおいて、ウェハ搬送容器１０ａは、開封され、その中に入れて搬送されたウェハ１２ａは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａを介してウェハ処理モジュールにリローディングされる。少なくとも１つのさらなる方法ステップ８６ａにおいて、ウェハ１２ａは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａを介してウェハ搬送容器１０ａにローディングされる。開封されたウェハ搬送容器１０ａは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａにドッキングされており、方法ステップ８６ａにおいて再び閉鎖される。少なくとも１つのさらなる方法ステップ８８ａにおいて、閉鎖されたウェハ搬送容器１０ａは、ウェハ搬送容器搬送システム５０ａによって上昇され、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａから取り除かれる。少なくとも１つのさらなる方法ステップ９０ａにおいて、ウェハ搬送容器１０ａは、ウェハ搬送容器搬送システム５０ａにより、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ａに関連付けられるレールシステム５６ａの接続部分から移動される。
【００４８】
図３〜６は、本発明の３つのさらなる例示的な実施形態を示す。以下の記載および図は、実質的に例示的な実施形態間の差に限定され、ここで、全く同様に割り当てられた構成要素への言及、特に同一の参照符号を有する構成要素への言及に関して、他の例示的な実施形態、特に図１および２の例示的な実施形態の図面および／または記載が原則的に言及され得る。例示的な実施形態を差別化するために、図１および２の例示的な実施形態の参照符号の後に文字ａが置かれる。文字ａは、図３〜６の例示的な実施形態において文字ｂ〜ｄによって置き換えられる。
【００４９】
図３は、ウェハ搬送容器１０ｂと、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｂと、位置決め装置とを有するローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ｂの概略図を示す。図３に示す概略図において、ローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ｂは、結合されない状態で配置されている。ウェハ搬送容器１０ｂは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｂと接触していない。ウェハ搬送容器１０ｂは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｂに近接した状態で配置される。位置決め装置は、位置決め機構１６ｂを含む。位置決め機構１６ｂは、位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂを含む。位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂは、それぞれ位置決め用力場を生成することを目的として構成される。位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂは、磁場として実現される位置決め用力場を生成することを目的として構成される。位置決め用力場は、ウェハ搬送容器１０ｂと相互作用することを目的として構成される。ウェハ搬送容器１０ｂは、外殻部９６ｂを含む。外殻部９６ｂは、外部磁場によって反発および／または引き付けられる材料から少なくとも部分的に実現される。位置決め用力場は、ウェハ搬送容器１０ｂの外殻部９６ｂの材料と相互作用することを目的として構成される。これの代わりにまたはこれに加えて、位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂは、電場、特に静電場として実現される位置決め用力場を生成することを目的として構成され得る。
【００５０】
位置決め装置は、結合ユニット９４ｂを含む。結合ユニット９４ｂは、位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂのローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｂに対する支持構造として構成される。結合ユニット９４ｂは、位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂを捕捉された状態でローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｂに接続する２つの二重レールを含む。位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｂの表面４０ｂに対して移動可能、特に摺動可能かつ回動可能であるように支持される。位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂは、ウェハ搬送容器１０ｂが連結方向３０ｂに移動する場合、少なくとも部分的にウェハ搬送容器１０ｂの移動に追従することを目的として構成される。結果として、ウェハ搬送容器１０ｂとローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｂとの間の連結プロセスにおいて、位置決め用力場による位置設定の有利な方式において良好な安定を達成することができる。図３に示す位置決め装置は、二重レール上に２つずつそれぞれ取り付けられた４つの位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂを含む。
【００５１】
これの代わりに、位置決め装置は、４つではない複数の位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂ、１つの二重レールあたり２つではない複数の位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂ、および／または２つではない複数の二重レールを含むことができる。さらに、位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｂに対して移動可能および／または回動可能であるように別の方式で、例えば３次元に回動可能かつ並進式に摺動可能に回転可能なチルトテーブルおよび／もしくはスイベルテーブルにより、かつ／または変位可能に支持されるボールジョイント（図４も参照されたい）により支持され得る。
【００５２】
図４は、多方向に回動可能かつ並進可能な位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂの概略図を示す。示される位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂは、並進移動可能であり、例として３つの並進軸９８ｂに沿ってｘ、ｙおよびｚ方向に並進移動可能である。示される位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂは、回動可能であり、例として水平方向、鉛直方向、および水平方向に対して±４５°傾斜した角度に整列された４つの回動軸１００ｂの周りを回動可能である。さらなる回動軸および／または並進軸がこれの代わりに考えられる。有利な方式では、位置決め要素２０ｂ、２２ｂ、２４ｂ、９２ｂの可能な特に作動可能な回動および／または並進位置の数が多いほど、非接触式位置決めの精度が向上され得る。
【００５３】
図５は、さらなる代替的な位置決め装置のさらなる代替的な位置決め要素２０ｃ、２２ｃ、２４ｃ、９２ｃの概略図を示す。位置決め要素２０ｃ、２２ｃ、２４ｃ、９２ｃは、流動ガスの流れ場として実現される位置決め用力場を生成することを目的として構成される。位置決め要素２０ｃ、２２ｃ、２４ｃ、９２ｃは、ノズル２８ｃを含む。ノズル２８ｃは、部分的に方向付けられたガス流を生成するように構成される。部分的に方向付けられたガス流は、能動的な位置決め中にノズル２８ｃから現れる。位置決め要素２０ｃ、２２ｃ、２４ｃ、９２ｃのノズル２８ｃのガス流は、位置決め装置の連結方向３０ｃに対して実質的に垂直に整列される。部分的に方向付けられたガス流がノズル２８ｃから現れると、ノズル２８ｃは、吹出しモードで配置される。吹出しモードにおいて、ノズル２８ｃは、物体、特にウェハ搬送容器１０ｃを位置決め要素２０ｃ、２２ｃ、２４ｃ、９２ｃから押しやるように構成される。これの代わりにまたはこれに加えて、ノズル２８ｃは、吸引モードで構成され得る。吸引モードにおいて、ガス流は、実質的にノズル２８ｃに対して方向付けられる。位置決め要素２０ｃ、２２ｃ、２４ｃ、９２ｃは、５つの個別のノズル２８ｃを含む。ノズル２８ｃは、ガス流を生成するための共通のポンプシステムに接続可能であり、かつ／またはノズル２８ｃの少なくとも２つに対して個別のポンプシステムを含むことができる。これの代わりに、位置決め要素２０ｃ、２２ｃ、２４ｃ、９２ｃは、５つではない複数のノズル２８ｃを含むことができる。
【００５４】
図６は、ローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ｄのさらなる代替的なローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｄの上面概略図である。ローディングおよび／またはアンローディングシステム３８ｄは、位置決め装置を含む。位置決め装置は、位置決め機構１６ｄを含む。位置決め機構１６ｄは、ノズル２８ｄを含む。ノズル２８ｄは、部分的に方向付けられたガス流を生成するように構成される。ガス流は、位置決め装置の連結方向３０ｄと実質的に平行に整列される。連結方向３０ｄは、図６の描画面に対して垂直である。ノズル２８ｄは、リング状に実現される。ノズル２８ｄは、閉鎖環状形態を実現する。これの代わりに、ノズル２８ｄは、環状の形態から逸脱する閉鎖形態、またはリング状に実現可能でありかつ／もしくは環状の形態から逸脱可能な部分的に中断された形態を含むことができる。ノズル２８ｄは、ウェハ搬送容器１０ｄを受け入れるように構成されるローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｄの領域の周囲にリング状の形態で配置される。ノズル２８ｄは、ウェハ搬送容器１０ｄを開封するためにローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｄの内部空間に下げられるように構成されるローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｄの領域の周囲にリング状の形態で配置される。ノズル２８ｄは、ローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｄの開封要素１０２ｄの周囲にリング状の形態で配置される。ノズル２８ｄは、能動的な動作においてローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｄの開封要素１０２ｄの周囲にエアカーテンを実現することを目的として構成される。ノズル２８ｄは、能動的な動作において、ウェハ搬送容器１０ｄを受け入れることを目的として構成されるローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｄの領域の周囲にエアカーテンを実現することを目的として構成される。ノズル２８ｄは、能動的な動作において、ウェハ搬送容器１０ｄの開封のためにローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｄの内側に下げられるローディングおよび／またはアンローディングステーション１４ｄの領域の周囲にエアカーテンを実現することを目的として構成される。
【符号の説明】
【００５５】
１０…ウェハ搬送容器、１２…ウェハ、１４…ローディングおよび／またはアンローディングステーション、１６…位置決め機構、１８…制御および／または調節ユニット、２０…位置決め要素、２２…位置決め要素、２４…位置決め要素、２６…永久磁石、２８…ノズル、３０…連結方向、３２…点検ユニット、３４…センサユニット、３６…最終位置決め機構、３８…ローディングおよび／またはアンローディングシステム、４０…表面、４２…案内ユニット、４４…案内要素、４６…案内レール、４８…センサ要素、５０…ウェハ搬送容器搬送システム、５２…保持要素、５４…搬送キャリッジ、５６…レールシステム、５８…ホルダ、６０…粗い位置決め機構、６２…ウェハ搬送容器開封要素、６４…ベース本体、６６…ローディングおよび／またはアンローディング方向、６８…制御ユニット、７０…ベース本体、７２…通信モジュール、７４…通信モジュール、７６…方法ステップ、７８…方法ステップ、８０…方法ステップ、８２…方法ステップ、８４…方法ステップ、８６…方法ステップ、８８…方法ステップ、９０…方法ステップ、９２…位置決め要素、９４…結合ユニット、９６…外殻部、９８…並進軸、１００…回動軸、１０２…開封要素。
【図１】
2019186543.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【外国語明細書】
2019186543000001.pdf