(57)【要約】      （修正有）【課題】再分配構造体と、ダイと、少なくとも１つの接続モジュールと、第１絶縁カプセル材と、チップ積層体と、第２絶縁カプセル材と、を含むパッケージ構造体を提供する。【解決手段】ダイ３００は、再分配構造体２００上に配置され、再分配構造体に電気的に接続される。接続モジュール５００は、再分配構造体上に配置される。接続モジュールは、保護層５０８と複数の導電バー５０２とを有する。導電バーは、保護層に埋め込まれる。保護層は導電バーに対応する複数の開口部を含む。第１絶縁カプセル材６１０は、ダイ及び接続モジュールをカプセル化する。チップ積層体７１０は、第１絶縁カプセル材及びダイの上に配置される。チップ積層体は、接続モジュールに電気的に接続される。第２絶縁カプセル材６２０は、チップ積層体をカプセル化する。【選択図】図１Ｋ
2019096875.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
再分配構造体と、
前記再分配構造体上に配置され、前記再分配構造体に電気的に接続されるダイと、
前記再分配構造体上に配置され、保護層及び複数の導電バーを有する少なくとも１つの接続モジュールと、
前記ダイ及び前記接続モジュールをカプセル化する第１絶縁カプセル材と、
前記第１絶縁カプセル材及び前記ダイの上に配置され、前記接続モジュールに電気的に接続されるチップ積層体と、
前記チップ積層体をカプセル化する第２絶縁カプセル材と、
を備えるパッケージ構造体であり、
前記導電バーは前記保護層に埋め込まれ、前記保護層は前記導電バーに対応する複数の開口部を含む、パッケージ構造体。
【請求項２】
前記再分配構造体の前記ダイ及び前記接続モジュールとは反対側に配置される複数の導電端子を更に備える、請求項１に記載のパッケージ構造体。
【請求項３】
前記再分配構造体と前記ダイとの間に配置されるアンダーフィルを更に備える、請求項１に記載のパッケージ構造体。
【請求項４】
前記保護層の材料が前記第１絶縁カプセル材の材料とは異なる、請求項１に記載のパッケージ構造体。
【請求項５】
前記第２絶縁カプセル材に埋め込まれる複数の導電線を更に備え、
前記チップ積層体は前記導電線を通じて前記接続モジュールに電気的に接続され、
前記導電線は前記保護層の前記開口部内へ延在する、請求項１に記載のパッケージ構造体。
【請求項６】
前記接続モジュールは、前記導電バーと前記再分配構造体との間に挟まれる複数の導電バンプを更に備える、請求項１に記載のパッケージ構造体。
【請求項７】
前記接続モジュールは、導電バー上に対応して配置される複数の導電キャップを更に備え、
前記保護層の前記開口部は、それぞれの導電キャップの少なくとも一部を露出させる、請求項１に記載のパッケージ構造体。
【請求項８】
前記導電バーの材料は、前記導電キャップの材料とは異なる、請求項７に記載のパッケージ構造体。
【請求項９】
前記第２絶縁カプセル材は、前記保護層の前記開口部を充填する、請求項１に記載のパッケージ構造体。
【請求項１０】
前記ダイと前記接続モジュールとの間に配置される複数のダミーダイを更に備える、請求項１に記載のパッケージ構造体。
【請求項１１】
キャリアを提供するキャリア提供ステップと、
前記キャリア上に再分配構造体を形成する再分配構造体形成ステップと、
複数のダイ及び複数の接続モジュールを前記再分配構造体上に配置する配置ステップと、
第１絶縁カプセル材を形成して前記ダイ及び前記接続モジュールをカプセル化する第１絶縁カプセル材形成ステップと、
前記キャリアを前記再分配構造体から除去する除去ステップと、
導電バーに対応する複数の開口部を前記接続モジュールの保護層に形成する開口部形成ステップと、
前記接続モジュールに電気的に接続されるチップ積層体を、前記ダイ及び前記第１絶縁カプセル材の、前記再分配構造体とは反対側に配置するチップ積層体配置ステップと、
前記チップ積層体を第２絶縁カプセル材によってカプセル化するチップ積層体カプセル化ステップと、
を含む、パッケージ構造体の製造方法であり、
前記接続モジュールのそれぞれは前記保護層及び複数の前記導電バーを有し、前記導電バーは前記保護層に埋め込まれる、パッケージ構造体の製造方法。
【請求項１２】
複数の導電端子を前記再分配構造体の前記ダイ及び前記接続モジュールとは反対側に形成するステップを更に含む、請求項１１に記載のパッケージ構造体の製造方法。
【請求項１３】
前記第２絶縁カプセル材に埋め込まれる複数の導電線を形成するステップを更に含み、
前記チップ積層体は前記導電線を通じて前記接続モジュールに電気的に接続され、
前記導電線は前記保護層の前記開口部内へ延在する、請求項１１に記載のパッケージ構造体の製造方法。
【請求項１４】
シンギュレーションプロセスを行うステップを更に備える、請求項１１に記載のパッケージ構造体の製造方法。
【請求項１５】
前記再分配構造体と前記ダイとの間にアンダーフィルを形成するステップを更に備える、請求項１１に記載のパッケージ構造体の製造方法。
【請求項１６】
前記ダイはフリップチップボンディングによって前記再分配構造体に接続される、請求項１１に記載のパッケージ構造体の製造方法。
【請求項１７】
それぞれの接続モジュールが複数の導電バンプを更に備え、
前記接続モジュールはつまみ上げ配置プロセスによって前記再分配構造体上に配置されて、前記導電バンプは前記再分配構造体と直接接触する、請求項１１に記載のパッケージ構造体の製造方法。
【請求項１８】
それぞれの接続モジュールは、前記導電バー上に対応して配置される複数の導電キャップを更に備え、
前記保護層の前記開口部は、それぞれの導電キャップの少なくとも一部を露出させる、請求項１１に記載のパッケージ構造体の製造方法。
【請求項１９】
複数のダミーダイを前記ダイと前記接続モジュールとの間に設置するステップを更に含む、請求項１１に記載のパッケージ構造体の製造方法。
【請求項２０】
前記ダイは、有効面と前記有効面とは反対側の裏面とを有し、
前記ダイは、前記有効面上に位置付けられる複数の導電コネクタを備え、
前記第１絶縁カプセル材形成ステップは、絶縁材を前記再分配構造体上に形成して前記ダイ及び前記接続モジュールを被覆するステップと、前記絶縁材の一部を除去して前記接続モジュールの前記保護層及び前記ダイの前記裏面を露出させるステップと、を含む、請求項１１に記載のパッケージ構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は一般に、パッケージ構造体及びパッケージ構造体の製造方法に関するものであり、特に、接続モジュールを有するパッケージ構造体及びパッケージ構造体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体パッケージ技術の開発では、より小さな体積で、より軽量で、集積レベルが高く、製造コストが低い製品の輸送に着目されてきた。多機能半導体パッケージに対して、チップを積層する技術を用いて、データを保存し処理する容量がより大きなパッケージが提供されている。所望機能を増やすことが当該分野における研究者にとって挑戦となり、多機能電子部品に対する需要が急速に高まってきた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本開示は、パッケージ構造体の高さが効果的に低くなり、パッケージ構造体の製造コストがより低くなる、パッケージ構造体及びパッケージ構造体の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本開示は、再分配構造体と、ダイと、少なくとも１つの接続モジュールと、第１絶縁カプセル材と、チップ積層体と、第２絶縁カプセル材と、を含むパッケージ構造体を提供する。ダイは、再分配構造体上に配置され、再分配構造体に電気的に接続される。接続モジュールは、再分配構造体上に配置される。接続モジュールは、保護層と複数の導電バーとを有する。導電バーは保護層に埋め込まれる。保護層は導電バーに対応する複数の開口部を含む。第１絶縁カプセル材は、ダイ及び接続モジュールをカプセル化する。チップ積層体は、第１絶縁カプセル材及びダイの上に配置される。チップ積層体は、接続モジュールに電気的に接続される。第２絶縁カプセル材は、チップ積層体をカプセル化する。
【０００５】
本開示は、パッケージ構造体の製造方法を提供する。本方法は、少なくとも以下のステップを含む。キャリアを提供する。キャリア上に再分配構造体を形成する。複数のダイ及び複数の接続モジュールを再分配構造体上に配置する。接続モジュールのそれぞれは保護層と保護層に埋め込まれる複数の導電バーとを有する。第１絶縁カプセル材を形成してダイ及び接続モジュールをカプセル化する。キャリアを再分配構造体から除去する。複数の開口部を接続モジュールの保護層に形成する。開口部は導電バーに対応する。チップ積層体を、ダイ及び第１絶縁カプセル材の、再分配構造体とは反対側に配置する。チップ積層体は接続モジュールに電気的に接続される。チップ積層体を第２絶縁カプセル材によってカプセル化する。
【発明の効果】
【０００６】
上記記載に基づいて、すぐに利用できる、前もって製造された接続モジュールは、パッケージ構造体内の垂直接続機構としての機能を果たすことができる。接続モジュールの厚さが薄くなるため、パッケージ構造体のサイズを有効に減少させることができる。また、接続モジュールの適応によって、従来のパッケージ構造体における、付加的なキャリアを除去し又は銅ピラーをより薄くすることができ、これにより、製造コストを削減する。
【０００７】
上記記載をよりわかりやすくするため、添付の図面とともにいくつかの実施形態を以下詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１Ａ】本開示のある実施形態に従うパッケージ構造体の製造方法を示す模式断面図である。
【図１Ｂ】本開示のある実施形態に従うパッケージ構造体の製造方法を示す模式断面図である。
【図１Ｃ】本開示のある実施形態に従うパッケージ構造体の製造方法を示す模式断面図である。
【図１Ｄ】本開示のある実施形態に従うパッケージ構造体の製造方法を示す模式断面図である。
【図１Ｅ】本開示のある実施形態に従うパッケージ構造体の製造方法を示す模式断面図である。
【図１Ｆ】本開示のある実施形態に従うパッケージ構造体の製造方法を示す模式断面図である。
【図１Ｇ】本開示のある実施形態に従うパッケージ構造体の製造方法を示す模式断面図である。
【図１Ｈ】本開示のある実施形態に従うパッケージ構造体の製造方法を示す模式断面図である。
【図１Ｉ】本開示のある実施形態に従うパッケージ構造体の製造方法を示す模式断面図である。
【図１Ｊ】本開示のある実施形態に従うパッケージ構造体の製造方法を示す模式断面図である。
【図１Ｋ】本開示のある実施形態に従うパッケージ構造体の製造方法を示す模式断面図である。
【図２Ａ】本開示の様々な実施形態に従う図１Ｃの接続モジュールを示す平面模式図である。
【図２Ｂ】本開示の様々な実施形態に従う図１Ｃの接続モジュールを示す平面模式図である。
【図２Ｃ】本開示の様々な実施形態に従う図１Ｃの接続モジュールを示す平面模式図である。
【図２Ｄ】本開示の様々な実施形態に従う図１Ｃの接続モジュールを示す平面模式図である。
【図３】本開示のある代替的実施形態に従うパッケージ構造体を示す模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明を更に理解するために図面を添付する。添付の図面をこの明細書に組み込んで、当該明細書の一部を構成する。図面は、本発明の実施形態を示し、本開示が表す原理を本明細書と共に説明するのに役立つ。図面全体にわたって、同一の又は類似する符号は、同一の又は類似する構成要素を指す。
【００１０】
これから、本発明の好ましい実施形態に詳細に言及する。本発明の実施例は、添付の図面に図示されている。可能な限り、同一又は類似の部分に言及するために同一の参照番号を図面及び明細書で使用する。
【００１１】
図１Ａから図１Ｋは、本開示のある実施形態に従うパッケージ構造体１０の製造方法を示す模式断面図である。図１Ａを参照して、その上に剥離層１０２が形成される、キャリア１００が提供される。キャリア１００をガラス基板又はガラス支持板とすることができる。しかしながら、これらの構成は本開示を限定すると解釈されるものではない。その上のパッケージ構造体を構造的に支持しながら続いて起こるプロセスに耐え得る限り、他の適切な基板材料を適合し得る。剥離層１０２は、光熱変換（ＬＴＨＣ）材料、エポキシ樹脂、無機材料、有機高分子材料又は他の適切な接着材を含み得る。しかしながら、本開示はこれらの構成に限定されるものではなく、ある代替的実施形態では、他の適切な剥離層を使用することができる。
【００１２】
図１Ｂを参照して、キャリア１００上に再分配構造体２００を形成する。再分配構造体２００は、少なくとも一層の誘電層２０２と、複数の導電パターン２０４と、複数の導電ビア２０６とを含み得る。スピンオンコーティング、化学蒸着（ＣＶＤ）又はプラズマＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）等の適切な製造技術で誘電層２０２を形成することができる。誘電層２０２を、シリコン酸化物、シリコン窒化物、炭化珪素、オキシ窒化ケイ素、ポリイミド又はベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）等の、無機又は有機誘電材料で製造することができる。導電パターン２０４及び導電ビア２０６を、スパッタリング、エバポレーション、無電解メッキ又は電気メッキによって形成することができる。導電パターン２０４及び導電ビア２０６は、誘電層２０２に埋め込まれる。誘電層２０２及び導電パターン２０４を交互に形成することができる。導電ビア２０６は、誘電層２０２を貫通し、導電パターン２０４を互いに電気的に接続する。導電パターン２０４及び導電ビア２０６を、銅、アルミニウム、ニッケル、金、銀、スズ若しくはこれらの組み合わせ、銅／ニッケル／金の複合構造又は他の適切な導電材料で製造し得る。
【００１３】
図１Ｂの例示的実施形態において、再分配層２００は４つの誘電層２０２を含む。しかしながら、誘電層２０２の数は限定されず、回路設計に基づいて誘電層の数を調節することができる。最上部誘電層２０２は、続いて起こるプロセスで電気接続するために最上部導電パターン２０４を露出させる複数の開口部ＯＰ１を持つことができる。底部誘電層２０２は、底部導電パターン２０４の一部を露出させて、導電ビア２０６を通じて底部導電パターン２０４を他の導電パターン２０４と相互に接続する。
【００１４】
図１Ｃを参照して、複数のダイ３００及び複数の接続モジュール５００を再分配構造体２００上に配置する。ダイ３００は、デジタルダイ、アナログダイ又は混合信号ダイを含み得る。例えば、ダイ３００を、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）ダイ、論理ダイ又は他の適切なダイとすることができる。それぞれのダイ３００は、半導体基板３０２と、複数の導電パッド３０４と、不活性化層３０６と、複数の導電コネクタ３０８とを含む。ある実施形態では、半導体基板３０２を、その中に形成される能動素子（例えばトランジスタ等）及び任意に受動素子（例えば抵抗器、コンデンサ又はインダクタ等）を含む、シリコン基板とすることができる。導電パッド３０４は、半導体基板３０２にわたって分布する。導電パッド３０４は、アルミニウムパッド、銅パッド又は他の適切な金属パッドを含むことができる。不活性化層３０６は、半導体基板３０２にわたって形成されて、各接続パッド３０４を部分的に被覆する。言い換えれば、不活性化層３０６は、各接続パッド３０４の少なくとも一部をあらわにする複数のコンタクト開口部を有する。不活性化層３０６を、シリコン酸化層、シリコン窒化層、シリコン酸窒化層若しくは高分子材料で形成される誘電層、又は他の適切な誘電材料とすることができる。導電コネクタ３０８は、導電パッド３０４上に配置される。例えば、導電コネクタ３０８を部分的に不活性化層３０６のコンタクト開口部に配置して、導電パッド３０４と電気的に接続することができる。ある実施形態では、それぞれの導電コネクタ３０８は、導電ポスト３０８ａと、導電ポスト３０８ａ上に配置される導電バンプ３０８ｂとを含むことができる。導電ポスト３０８ａを導電パッド３０４上にメッキすることができる。メッキプロセスは例えば、電気メッキ、無電解メッキ又は浸漬メッキ等である。導電ポスト３０８ａは、銅又は銅合金等を含むことができる。導体バンプ３０８ｂを、銅、ニッケル、スズ、銀又はこれらの組み合わせで製造し得る。ある実施形態では、導電ポスト３０８ａを省略することができる。言い換えれば、導電コネクタ３０８は、Ｃ２（チップ接続）バンプ又はＣ４（制御コラプスチップ接続、Controlled Collapse Chip Connection）バンプを含むことができる。
【００１５】
ある実施形態では、各ダイ３００は、有効面３００ａと、有効面３００ａの反対側の裏面３００ｂとを有する。図１Ｃに示すように、ダイ３００は、ダイ３００の有効面３００ａが再分配構造体２００を向くように、表を下にして配置される。ダイ３００をフリップチップボンディングによって再分配構造体２００に電気的に接続することができる。例えば、ダイ３００の導電コネクタ３０８を最上部誘電層２０２の開口部ＯＰ１の一部に配置して、導電コネクタ３０８を再分配層２００の上部導電パターン２０４と直接接触させることができる。かくしてダイ３００と再分配構造体２００とを電気的に接触させることができる。再分配構造体２００を使用して、ダイ３００への又はダイ３００からの電気信号の経路を変えることができ、再分配構造体２００は、ダイ３００よりも広い領域に拡張することができる。したがって、ある実施形態では、再分配構造体２００を「ファンアウト再分配構造体」と呼ぶことができる。
【００１６】
ある実施形態では、再分配構造体２００とダイ３００との間にアンダーフィル４００を形成して、導電コネクタ３０８と最上部導電パッド２０４との間の接続を保護し絶縁する。ある実施形態では、アンダーフィル４００は、最上部誘電層２０２の開口部ＯＰ１を充填する。キャピラリーアンダーフィル（ＣＵＦ）によってアンダーフィル４００を形成することができ、アンダーフィル４００は高分子材料、樹脂又はシリカ添加剤を含み得る。
【００１７】
図１Ｃの例示的実施形態において、ダイ３００を囲むように接続モジュール５００を配置する。それぞれの接続モジュール５００は、複数の導電バー５０２と、複数のバリア層５０４と、複数の導電キャップ５０６と、保護層５０８とを含む。導電バー５０２を円柱状カラムとして成形することができる。しかしながら、本開示はこの構成に限定されるものではない。ある代替的実施形態では、導電バー５０２は多角柱状又は他の適切な形状をとることができる。導電ポストバー５０２の材料は、銅、アルミニウム、ニッケル、スズ、金、銀又はこれらの合金等を含む。導電キャップ５０６は、導電バー５０２上に対応して配置されて、接続モジュール５００の続いて形成される他の要素との電気的接続性及びワイヤボンディング性を更に高める。ある実施形態では、導電キャップ５０６の材料は、導電バー５０２の材料とは異なる。例えば、導電キャップ５０６は、金、又は電気伝導性に優れワイヤボンディング性が良好な他の金属材料を含むことができる。いくつかの実施形態では、バリア層５０４は、ニッケル、はんだ、銀又は他の適切な導電材料を含むことができる。それぞれのバリア層５０４が、導電キャップ５０６と導電バー５０２との間に挟まれて、導電キャップ５０６と導電バー５０２との間の原子の拡散を妨げる。例えば、導電バー５０２、バリア層５０４及び導電キャップ５０６がそれぞれ、銅、ニッケル及び金で製造されるときには、ニッケルで製造されるバリア層５０４は、導電バー５０２の銅原子が導電キャップ５０６に拡散することを妨げることができる。導電キャップ５０６が銅で汚染されると、導電キャップ５０６が酸化しやすくなり、そのためワイヤボンディング性が悪化する。しかしながら、バリア層５０４によって、上述した悪影響を十分に抑えることができる。ある実施形態では、導電バー５０２が後に形成される構成要素と既に十分なワイヤボンディング性を有しているときに、導電キャップ５０６及びバリア層５０４を省略することができる。
【００１８】
図１Ｃの例示的実施形態において、導電バー５０２、バリア層５０４及び導電キャップ５０６は、保護層５０８に埋め込まれる。言い換えれば、導電バー５０２、バリア層５０４及び導電キャップ５０６は、保護層５０８によって外部要素から保護される。保護層５０８の材料は、ポリマー、エポキシ、成形コンパウンド又は他の適切な誘電材料を含むことができる。
【００１９】
ある実施形態では、それぞれの接続モジュール５００は、複数の導電バンプ５１０を更に含むことができる。導電バンプ５１０は、導電バー５０２上に対応して配置される。導電バンプ５１０は、導電バー５０２の、導電キャップ５０６から離れる方向を向く表面上に配置される。導電バンプ５１０は、はんだバンプ等を含み得る。導電バンプ５１０を、再分配層２００の開口部ＯＰ１の他の部分に配置して、接続モジュール５００と再分配構造体２００との間で電気的接続を形成することができる。導電バンプ５１０を、導電バー５０２と再分配構造体２００との間に挟むことができる。
【００２０】
ある実施形態では、接続モジュール５００を再分配構造体２００上に設置する前に、接続モジュール５００を前もって製造する。ある実施形態では、ダイボンダ、チップソータ又はＳＭＴ（表面実装技術）機械によって、接続モジュール５００をつまみ上げて再分配構造体上に配置することができる。各接続モジュール５００内の導電バー５０２の数は、設計要件によって変わり得る。図２Ａから２Ｄとともに、接続モジュール５００の構成を以下説明する。
【００２１】
図２Ａから２Ｄは、本開示の様々な実施形態に従う図１Ｃの接続モジュール５００を示す平面模式図である。図２Ａを参照して、それぞれの接続モジュール５００は、平面視で矩形状である。ある実施形態では、接続モジュール５００の長さＬは５ミリメートルから１５ミリメートルであり、接続モジュール５００の幅Ｗは１．５ミリメートルから２ミリメートルである。図２Ａに示すように、保護層５０８内に導電バー５０２を分布させて、導電バー５０２同士の電気的絶縁を効果的に維持しながら、導電バー５０２同士の距離を最小化する。接続モジュール５００が矩形であるときには、多数の接続モジュール５００をつまみ上げて再分配構造体２００上に配置して、各ダイ３００の４つの側面を取り囲むことができる。
【００２２】
図２Ｂを参照して、それぞれの接続モジュール５００は、平面視で正方形状である。ある実施形態では、接続モジュール５００の各側面の長さＬを、５ミリメートル〜１５ミリメートルの範囲内とし得る。接続モジュール５００が正方形であるときには、多数の接続モジュール５００をつまみ上げて再分配構造体２００上に配置して、各ダイ３００の４つの側面を取り囲むことができる。
【００２３】
図２Ｃを参照して、それぞれの接続モジュール５００は、平面視でリング形状である。言い換えれば、接続モジュール５００は、ダイ３００を収容するための空洞Ｃを囲い込むことができる。すなわち、多数の接続モジュール５００をつまみ上げて再分配構造体２００上に配置して、様々なダイ３００を取り囲むことができる。
【００２４】
図２Ｄを参照して、各接続モジュール５００は、複数の空洞Ｃを囲い込むことができる。ある実施形態では、それぞれの空洞Ｃは１つのダイ３００を収容することができる。すなわち、バッチ生産を達成するために、１つの接続モジュール５００をつまみ上げて再分配構造体２００上に配置して多数のダイ３００を取り囲むことができる。
【００２５】
図１Ｄに戻って、再分配構造体２００上に絶縁材６１２を形成して、ダイ３００、アンダーフィル４００及び接続モジュール５００をカプセル化する。絶縁材６１２の材料を、接続モジュール５００の保護層５０８の材料とは異なる材料とすることができる。例えば、絶縁材６１２は、成形プロセスによって形成される成形コンパウンド、又はエポキシ、シリコーン若しくは他の適切な樹脂等の絶縁材を含むことができる。
【００２６】
図１Ｅを参照して、絶縁材６１２を形成した後に、剥離層１０２及びキャリア１００を再分配構造体２００から除去する。上述したように、剥離層１０２をＬＴＨＣ層とすることができる。紫外レーザ光を露光すると、剥離層１０２及びキャリア１００が剥がれて再分配構造体２００の底部誘電層２０２及び底部導電パターン２０４から分離する。ある実施形態では、剥離層１０２及びキャリア１００を除去した後、図１Ｅに示す構造体をのこぎりで切断して、従来のワイヤボンディング組立用のストリップ形状にすることができる。
【００２７】
図１Ｆを参照して、絶縁材６１２の厚さを薄くして、第１絶縁カプセル材６１０を形成する。絶縁材６１２の一部を除去して、接続モジュール５００の保護層５０８及び任意にダイ３００の裏面３００ｂを露出させることができる。一方、導電キャップ５０６は依然として保護層５０８によって良好に保護される。ある実施形態では、平坦化プロセスによって絶縁材６１２を除去することができる。平坦化プロセスは例えば、化学機械研磨（ＣＭＰ）、機械的研磨、エッチング又は他の適切なプロセスを含む。ある実施形態では、接続モジュール５００の保護層５０８及びダイ３００の裏面３００ｂを露出させた後に、接続モジュール５００、絶縁材６１２及びダイ３００を更に研磨して、後に形成するパッケージ構造体１０の全厚を薄くすることができる。平坦化プロセス後、第１絶縁カプセル材６１０を再分配構造体２００上に配置して、ダイ３００及び接続モジュール５００を横方向にカプセル化する。ある実施形態では、保護層５０８の上面５０８ａ、第１絶縁カプセル材６１０の上面６１０ａ及びダイ３００の裏面３００ｂは実質的に互いに同一平面上に存在する。上述したように、第１絶縁カプセル材６１０及び接続モジュール５００の保護層５０８は、異なる材料で製造されるため、これら２つの層は２つの別個の層として考えられる。言い換えれば、これら２つの構成要素の間には、はっきりした境界面が見られ得る。なお、ある代替的実施形態では、図１Ｅに表す剥離プロセスの前に、薄化プロセスを行うことができる。
【００２８】
図１Ｇを参照して、接続モジュール５００の保護層５０８に複数の開口部ＯＰ２を形成する。ある実施形態では、レーザ穴あけプロセスによって開口部ＯＰ２が形成される。例えば、導電キャップ５０６上に直接設置される保護層５０８を部分的に除去して、開口部ＯＰ２を設けることができる。言い換えれば、開口部ＯＰ２の位置は、導電キャップ５０６、バリア層５０４及び導電バー５０２の位置に対応する。それぞれの開口部ＯＰ２は、接続モジュール５００のそれぞれの導電キャップ５０６の少なくとも一部を露出させる。
【００２９】
図１Ｈを参照して、チップ積層体７１０をダイ３００及び第１絶縁カプセル材６１０の、再分配構造体２００とは反対側に配置する。チップ積層体７１０を、ダイ３００の裏面３００ｂ及び第１絶縁カプセル材６１０の上面６１０ａの上に設置することができる。ある実施形態では、チップ積層体７１０を、互いに積層される複数のチップによって構成することができる。チップは、ＮＡＮＤフラッシュ等の不揮発性メモリーを有するメモリチップを含み得る。しかしながら、本開示はこの構成に限定されるものではない。ある代替的実施形態では、チップ積層体７１０のチップを、論理機能又は演算機能等の他の機能を実施できるチップとすることができる。チップ積層体７１０の隣接する２つのチップ間に、これら２つのチップ間の付着性を高めるためのチップ装着層が見られ得る。
【００３０】
チップ積層体７１０を、複数の導電線７２０によって、接続モジュール５００の導電キャップ５０６に電気的に接続することができる。例えば、チップ積層体７１０をダイ３００及び第１絶縁カプセル材６１０の上に配置した後に、複数の導電線７２０をワイヤボンディングプロセスによって形成することができる。導電線７２０の一端部は、チップ積層体７１０の少なくとも１つのチップに接続される。他方では、導電線７２０の他端部は、保護層５０８の開口部ＯＰ２内へ延在して、導電キャップ５０６と接続する。導電線７２０の材料は、金、アルミニウム又は他の適切な導電材料を含み得る。ある実施形態では、導電線７２０の材料は、導電キャップ５０６の材料と同じである。
【００３１】
図１Ｉを参照して、第２絶縁カプセル材６２０を、第１絶縁カプセル材６１０及び接続モジュール５００の上に形成して、チップ積層体７１０及び導電線７２０をカプセル化する。第２絶縁カプセル材６２０の材料を、第１絶縁カプセル材６１０と同じ材料とすることができ、又は第１絶縁カプセル材６１０とは異なる材料とすることができる。例えば、第２絶縁カプセル材６２０の材料は、エポキシ、成形コンパウンド又は他の適切な絶縁材を含むことができる。ある実施形態では、第２絶縁カプセル材６２０の材料の吸湿度を低くすることができる。第２絶縁カプセル材６２０を、圧縮成形、トランスファー成型又は他のカプセル化プロセスによって形成することができる。図１Ｉに示すように、第２絶縁カプセル材６２０は、接続モジュール５００の保護層５０８の開口部ＯＰ２を充填して、導電線７２０の開口部ＯＰ２に存在する部分を保護する。第２絶縁カプセル材６２０は、チップ積層体７１０及び導電線７２０に対して、物理的支持、機械的保護並びに電気的絶縁及び環境的分離をもたらす。言い換えれば、チップ積層体７１０及び導電線７２０は、第２絶縁カプセル材６２０に埋め込まれる。
【００３２】
図１Ｊを参照して、複数の導電端子８００が、再分配構造体２００のダイ３００及び接続モジュール５００とは反対側に形成される。ある実施形態では、導電端子８００は、再分配構造体２００の底部導電パターン２０４上に配置される。言い換えれば、再分配構造体２００の底部導電パターン２０４を、アンダーボール金属被覆法（ＵＢＭ）パターンと呼ぶことができる。導電端子８００を、ボール載置プロセス及び／又はリフロープロセスによって形成することができる。導電端子８００を、はんだボール等の導電バンプとすることができる。しかしながら、本開示はこの構成に限定されるものではない。ある代替的実施形態では、導電端子８００は、設計要件に基づいて他の可能な形態及び形状をとることができる。例えば、導電端子８００は、導電ピラー又は導電ポストの形状をとることができる。
【００３３】
図１Ｋを参照して、導電端子８００を形成した後に、シンギュレーションプロセスを行って、複数のパッケージ構造体１０を得る。シンギュレーションプロセスは例えば、回転ブレード又はレーザ光線を用いた切断を含む。
【００３４】
すぐに利用できる、前もって製造された接続モジュールを、パッケージ構造体１０内の垂直接続機構として使用することで、接続モジュール５００の厚さが薄くなるため、パッケージ構造体１０のサイズを有効に減少させることができる。また、接続モジュール５００の適応によって、従来のパッケージ構造体における、付加的なキャリアを除去し又は銅ピラーをより薄くすることができ、これにより、製造コストを削減する。
【００３５】
図３は、本開示のある代替的実施形態に従うパッケージ構造体２０を示す模式断面図である。図３を参照して、図３のパッケージ構造体２０は、図１Ｋのパッケージ構造体１０に類似するため、類似する構成要素を同じ符号によって示し、ここでは類似する構成要素の詳細な説明を省略する。図３のパッケージ構造体２０と図１Ｋのパッケージ構造体１０との間の相違点は、パッケージ構造体２０が更に、ダイ３００と接続モジュール５００との間に配置される複数のダミーダイ９１０を含む点である。第１絶縁カプセル材６１０を形成する前に、ダミーダイ９１０を再分配構造体２００上に配置することができる。つまみ上げ配置プロセスによって、ダミーダイ９１０を再分配構造体２００上に設置することができる。図３に示すように、第１絶縁カプセル材６１０の上面６１０ａ、ダミーダイ９００の上面９１０ａ、ダイ３００の裏面３００ａ及び保護層５０８の上面５０８ａは互いに、実質的に同一平面上に存在する。
【００３６】
ある実施形態では、ダミーダイ９１０は電気的にフローティングしている。ダミーダイ９１０を、再分配構造体２００、ダイ３００、接続モジュール５００及びチップ積層体７１０から電気絶縁することができる。ある実施形態では、ダミーダイ９１０には能動素子が無い。言い換えれば、ダミーダイ９１０は、パッケージ構造体２０の動作に寄与しないことがある。
【００３７】
ある実施形態では、それぞれのダミーダイ９１０を、接着層９２０によって再分配構造体２００に付着させることができる。例えば、接着層９２０を、ダミーダイ９１０と再分配構造体２００との間に配置することができる。接着層９２０は、再分配構造体２００を、ダミーダイ９１０の設置によるインデンテーションから保護することができ、ダミーダイ９１０の再分配構造体２００上での変位を最小化することができる。ある実施形態では、接着層９２０は、ダイ装着フィルム（ＤＡＥ）又は他の類似する材料を含むことができる。
【００３８】
ある実施形態では、ダイ３００のサイズがチップ積層体よりも小さいときに、ダミーダイ９１０はスペーサとしての機能を果たすことができる。すなわち、ダミーダイ９１０を使用して、チップ積層体７１０に対して追加的な物理的支持を提供することができる。なお、図３には２つのダミーダイ９１０が図示されているが、本開示はこの構成に限定されるものではない。チップ積層体７１０及びダイ３００のサイズに基づいて、ダミーダイ９１０の数を調整することができる。
【００３９】
上記記載に基づいて、すぐに利用できる、前もって製造された接続モジュールは、パッケージ構造体内の垂直接続機構としての機能を果たすことができる。接続モジュールの厚さが薄くなるため、パッケージ構造体のサイズを有効に減少させることができる。また、接続モジュールの適応によって、従来のパッケージ構造体における、付加的なキャリアを除去し又は銅ピラーをより薄くすることができ、これにより、製造コストを削減する。
【００４０】
本発明の範囲又は精神から離れることなく、本明細書で開示される実施形態及び概念に対して様々な変更及び変形を加えることができることが、当業者にとって明らかであろう。前述したことを考慮して、本発明の変更又は変形は、特許請求の範囲及び特許請求の範囲の均等物に該当するときには、本開示に含まれることを意図する。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本開示は、パッケージ構造体及びパッケージ構造体の製造方法を提供する。パッケージ構造体を、電気製品で利用することができる。本開示の小型化されるパッケージ構造体を利用することで、電気製品のサイズを十分に減少させることができる。
【符号の説明】
【００４２】
１０、２０：パッケージ構造体
１００：キャリア
１０２：剥離層
２００：再分配構造体
２０２：誘電層
２０４：導電パターン
２０６：導電ビア
３００：ダイ
３００ａ：有効面
３００ｂ：裏面
３０２：半導体基板
３０４：導電パッド
３０６：不活性化層
３０８：導電コネクタ
３０８ａ：導電ポスト
３０８ｂ、５１０：導電バンプ
４００：アンダーフィル
５００：接続モジュール
５０２：導電バー
５０４：バリア層
５０６：導電キャップ
５０８：保護層
５０８ａ、６１０ａ、９１０ａ：上面
６１０：第１絶縁カプセル材
６１２：絶縁材
６２０：第２絶縁カプセル材
７１０：チップ積層体
７２０：導電線
８００：導電端子
９１０：ダミーダイ
９２０：付着層
Ｃ：空洞
ＯＰ１、ＯＰ２：開口部
Ｌ：長さ
Ｗ：幅
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図１Ｅ】
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【図１Ｆ】
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【図１Ｇ】
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【図１Ｈ】
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【図１Ｉ】
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【図１Ｊ】
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【図１Ｋ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図３】
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【外国語明細書】
2019096875000001.pdf