(57)【要約】【課題】ウエハを保持するトレイをケースにしっかりと固定する。【解決手段】ウエハキャリアケースＣｓ１は、蓋としてのケースＣｓ１ａと、ケースＣｓ１ａを支持するケースＣｓ１ｂとを含む。ケースＣｓ１ａには、ウエハ押さえＸ１が設けられている。ウエハＷ１を保持するウエハトレイＴｒ１が、ウエハキャリアＣｒ１を介してケースＣｓ１ｂに固定されるように、ウエハ押さえＸ１はウエハトレイＴｒ１の一部を押さえる。【選択図】図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハを保持するウエハトレイと、
前記ウエハトレイを保持するスロットを有するウエハキャリアと、
前記ウエハキャリアを収容するウエハキャリアケースと、を備え、
前記ウエハトレイは、
前記ウエハの側面を覆うカバー部を有し、
前記ウエハキャリアケースは、
蓋としての第１ケースと、
前記第１ケースを支持する第２ケースとを含み、
前記第１ケースには、ウエハ押さえが設けられており、
前記ウエハを保持する前記ウエハトレイが、前記ウエハキャリアを介して前記第２ケースに固定されるように、前記ウエハ押さえは前記ウエハトレイの一部を押さえる
ウエハ容器。
【請求項２】
前記ウエハ押さえは、前記ウエハトレイの一部である前記カバー部を押さえる
請求項１に記載のウエハ容器。
【請求項３】
前記ウエハは、半導体素子が形成されているチップ領域を有し、
前記ウエハトレイには、座繰りが形成されており、
前記座繰りは、前記ウエハトレイが前記チップ領域に接触しないように、当該ウエハトレイに形成されている
請求項１または２に記載のウエハ容器。
【請求項４】
前記ウエハトレイの前記カバー部は、断面の形状がＬ字状であるＬ字部を有する
請求項１から３のいずれか１項に記載のウエハ容器。
【請求項５】
前記ウエハトレイの前記カバー部は、断面の形状がＵ字状であるＵ字部を有する
請求項１から４のいずれか１項に記載のウエハ容器。
【請求項６】
前記ウエハトレイは、取っ手を有する
請求項１から５のいずれか１項に記載のウエハ容器。
【請求項７】
前記ウエハトレイは、金属、または、導電性の樹脂で構成されている
請求項１から６のいずれか１項に記載のウエハ容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハを収容するためのウエハ容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、以下の理由により、半導体ウエハ（以下、「ウエハ」ともいう）の薄型化が進んでいる。当該理由は、例えば、ウエハプロセスにおいて、アセンブリの小型化が要求されているという理由である。また、当該理由は、例えば、パワーデバイスを有するウエハにおいて、当該パワーデバイスの抵抗を下げる必要があるという理由である。また、当該理由は、ウエハにおいて、研削された面にイオンを注入する必要があるという理由である。
【０００３】
ウエハの薄型化の工程では、ウエハの表面側に半導体素子が形成された後、ウエハの裏面側が研削される。なお、Ｓｉで構成されたウエハについては、厚みが数十μｍから２００μｍ程度になるように、当該ウエハが研削される。このような、薄いウエハは反り易く、かつ、割れ易い。そのため、薄いウエハの運搬には注意が必要である。
【０００４】
特許文献１には、ウエハの運搬に使用されるウエハキャリアの構成（以下、「関連構成Ａ」ともいう）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開平０２−０２６２４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ウエハを運搬する場合、ウエハが割れることを抑制するために、当該ウエハを保持するトレイが、当該トレイを収容するケースにしっかりと固定されることが要求される。関連構成Ａでは、この要求を満たす構成は開示されていない。
【０００７】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、ウエハを保持するトレイをケースにしっかりと固定することが可能なウエハ容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係るウエハ容器は、ウエハを保持するウエハトレイと、前記ウエハトレイを保持するスロットを有するウエハキャリアと、前記ウエハキャリアを収容するウエハキャリアケースと、を備え、前記ウエハトレイは、前記ウエハの側面を覆うカバー部を有し、前記ウエハキャリアケースは、蓋としての第１ケースと、前記第１ケースを支持する第２ケースとを含み、前記第１ケースには、ウエハ押さえが設けられており、前記ウエハを保持する前記ウエハトレイが、前記ウエハキャリアを介して前記第２ケースに固定されるように、前記ウエハ押さえは前記ウエハトレイの一部を押さえる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、前記ウエハキャリアケースは、蓋としての第１ケースと、当該第１ケースを支持する第２ケースとを含む。前記第１ケースには、ウエハ押さえが設けられている。前記ウエハを保持する前記ウエハトレイが、前記ウエハキャリアを介して前記第２ケースに固定されるように、前記ウエハ押さえは前記ウエハトレイの一部を押さえる。これにより、ウエハを保持するトレイをケースにしっかりと固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施の形態１に係るウエハ容器の外観図である。
【図２】実施の形態１に係るウエハ容器に含まれる複数の構成要素を示す図である。
【図３】実施の形態１に係るウエハトレイを示す平面図である。
【図４】ウエハキャリアケースの断面図である。
【図５】ウエハを示す平面図である。
【図６】実施の形態１に係るウエハトレイの側面側の構成を示す図である。
【図７】実施の形態１に係るウエハトレイの別の側面側の構成を示す図である。
【図８】実施の形態１に係るウエハトレイの一部の拡大図である。
【図９】載置状態のウエハトレイを示す図である。
【図１０】トレイ保持状態を示す図である。
【図１１】実施の形態１に係るウエハ容器の断面図である。
【図１２】ウエハ押さえの状態を示す図である。
【図１３】別の形態のウエハを示す図である。
【図１４】実施の形態１の変形例１に係る構成を説明するための図である。
【図１５】実施の形態１の変形例１の構成におけるトレイ保持状態を示す図である。
【図１６】実施の形態１の変形例２の構成を有するウエハトレイを示す平面図である。
【図１７】比較例Ａにおける、ウエハキャリアケースの断面図である。
【図１８】比較例Ａを説明するための図である。
【図１９】比較例Ｂに係るウエハ容器の構成を説明するための図である。
【図２０】比較例Ｂに係るウエハ容器の構成を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の図面では、同一の各構成要素には同一の符号を付してある。同一の符号が付されている各構成要素の名称および機能は同じである。したがって、同一の符号が付されている各構成要素の一部についての詳細な説明を省略する場合がある。
【００１２】
なお、実施の形態において例示される各構成要素の寸法、材質、形状、当該各構成要素の相対配置などは、本発明が適用される装置の構成、各種条件等により適宜変更されてもよい。また、各図における各構成要素の寸法は、実際の寸法と異なる場合がある。
【００１３】
＜実施の形態１＞
図１は、実施の形態１に係るウエハ容器１００の外観図である。図１において、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、互いに直交する。以下の図に示されるＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向も、互いに直交する。以下においては、Ｘ方向と、当該Ｘ方向の反対の方向（−Ｘ方向）とを含む方向を「Ｘ軸方向」ともいう。また、以下においては、Ｙ方向と、当該Ｙ方向の反対の方向（−Ｙ方向）とを含む方向を「Ｙ軸方向」ともいう。また、以下においては、Ｚ方向と、当該Ｚ方向の反対の方向（−Ｚ方向）とを含む方向を「Ｚ軸方向」ともいう。
【００１４】
また、以下においては、Ｘ軸方向およびＹ軸方向を含む平面を、「ＸＹ面」ともいう。また、以下においては、Ｘ軸方向およびＺ軸方向を含む平面を、「ＸＺ面」ともいう。また、以下においては、Ｙ軸方向およびＺ軸方向を含む平面を、「ＹＺ面」ともいう。
【００１５】
図２は、実施の形態１に係るウエハ容器１００に含まれる複数の構成要素を示す図である。図３は、実施の形態１に係るウエハトレイＴｒ１を示す平面図である。図１、図２および図３を参照して、ウエハ容器１００は、ウエハキャリアケースＣｓ１と、ウエハトレイＴｒ１と、ウエハキャリアＣｒ１とを備える。
【００１６】
ウエハキャリアケースＣｓ１は、ウエハキャリアＣｒ１を収容するケースである。ウエハキャリアケースＣｓ１は、例えば、ウエハ製造メーカーが、ウエハの運搬に使用するケースである。
【００１７】
ウエハキャリアケースＣｓ１は、ケースＣｓ１ａと、ケースＣｓ１ｂとを含む。ケースＣｓ１ｂは、ウエハキャリアケースＣｓ１の下部に相当する。ケースＣｓ１ｂは、ウエハキャリアＣｒ１の下部を収容するためのケースである。ケースＣｓ１ａは、ウエハキャリアケースＣｓ１の上部に相当する。ケースＣｓ１ａは、ケースＣｓ１ｂの蓋である。ケースＣｓ１ｂに対しケースＣｓ１ａが着脱自在なように、ケースＣｓ１ａは構成されている。
【００１８】
以下においては、ケースＣｓ１ａがケースＣｓ１ｂに取り付けられている状態を、「取り付け状態」ともいう。取り付け状態において、ケースＣｓ１ｂは、ケースＣｓ１ａを支持する。以下においては、取り付け状態におけるウエハキャリアケースＣｓ１が、ウエハキャリアＣｒ１を収容している状態を、「収容状態」ともいう。図４は、取り付け状態および収容状態における、ウエハキャリアケースＣｓ１の、ＸＺ面に沿った断面図である。
【００１９】
図２のように、ウエハキャリアＣｒ１は、スロット構成部Ｃｒ１ｓを有する。スロット構成部Ｃｒ１ｓは、複数のスロットＳＬ１を有する。各スロットＳＬ１は、ウエハトレイＴｒ１を保持する構成を有する。各スロットＳＬ１は、１つのウエハトレイＴｒ１を保持するための溝である。各スロットＳＬ１は、スロットＳＬ１ａと、スロットＳＬ１ｂとから構成される。
【００２０】
ウエハトレイＴｒ１は、ウエハＷ１を保持する構成を有する。ウエハトレイＴｒ１は、例えば、金属、または、導電性の樹脂で構成されている。
【００２１】
図５は、ウエハＷ１を示す平面図である。ウエハＷ１は、側面Ｗ１ｓを有する。図６は、実施の形態１に係るウエハトレイＴｒ１の側面側の構成を示す図である。図６（ａ）は、ウエハトレイＴｒ１の側面図である。図６（ｂ）は、図３のＡ１−Ａ２線に沿った、ウエハトレイＴｒ１の断面図である。図７は、実施の形態１に係るウエハトレイＴｒ１の別の側面（底面）側の構成を示す図である。図７（ａ）は、ウエハトレイＴｒ１の底面図である。図７（ｂ）は、図３のＢ１−Ｂ２線に沿った、ウエハトレイＴｒ１の断面図である。
【００２２】
図８は、図６（ｂ）のウエハトレイＴｒ１の下方側の拡大図である。なお、図８では、後述の開口Ｈ１を示していない。図８（ａ）は、ウエハトレイＴｒ１に、ウエハＷ１が載置されていない状態を示す図である。図８（ｂ）は、ウエハトレイＴｒ１に、ウエハＷ１が載置されている状態を示す図である。
【００２３】
図３、図６、図７および図８を参照して、ウエハトレイＴｒ１は、開口Ｈ１を有する。また、ウエハトレイＴｒ１は、カバー部１０を有する（図８参照）。平面視（ＸＺ面）におけるカバー部１０の形状は、リング状（閉ループ状）である（図３参照）。カバー部１０は、面１１および側面１３を有する（図８参照）。平面視（ＸＺ面）における面１１の形状は、リング状（閉ループ状）である（図３参照）。面１１は、ウエハＷ１を載置するための面である。側面１３は、ウエハＷ１の側面Ｗ１ｓを覆うための面である。カバー部１０の側面１３の高さは、ウエハＷ１の厚みより大きい。なお、図３には、ウエハトレイＴｒ１の輪郭を示す輪郭線１４が示される。
【００２４】
本実施の形態では、カバー部１０全体が、Ｌ字部１０ａである。すなわち、カバー部１０は、Ｌ字部１０ａを有する。平面視（ＸＺ面）におけるＬ字部１０ａの形状は、リング状（閉ループ状）である。また、図８（ａ）のように、Ｌ字部１０ａの断面の形状はＬ字状である。
【００２５】
以下においては、ウエハトレイＴｒ１の面１１に、ウエハＷ１が載置されている場合における、当該ウエハトレイＴｒ１の状態を、「載置状態」ともいう。図８（ｂ）および図９は、載置状態のウエハトレイＴｒ１を示す図である。載置状態のウエハトレイＴｒ１は、ウエハＷ１を保持する。具体的には、載置状態のウエハトレイＴｒ１では、カバー部１０が、ウエハＷ１の側面Ｗ１ｓを覆う（図８（ｂ）参照）。より具体的には、載置状態のウエハトレイＴｒ１では、カバー部１０の側面１３が、ウエハＷ１の側面Ｗ１ｓを覆う。
【００２６】
なお、ウエハＷ１は、半導体素子が形成されているチップ領域Ｒｇｃを有する（図８参照）。ウエハトレイＴｒ１には、くぼみとしての座繰りＶ１が形成されている。具体的には、座繰りＶ１は、ウエハトレイＴｒ１がチップ領域Ｒｇｃに接触しないように、当該ウエハトレイＴｒ１に形成されている。
【００２７】
また、ウエハＷ１は、チップ領域Ｒｇｃを囲む周縁領域Ｒｇｅを有する。平面視（ＸＺ面）における周縁領域Ｒｇｅの形状は、リング状（閉ループ状）である。
【００２８】
以下においては、載置状態のウエハトレイＴｒ１を、「載置状態トレイＴｒ１ａ」ともいう。また、以下においては、載置状態トレイＴｒ１ａが、ウエハキャリアＣｒ１のスロットＳＬ１に保持されている状態を、「トレイ保持状態」ともいう。
【００２９】
図１０は、トレイ保持状態を示す図である。なお、本実施の形態と構成との比較のために、図１０には、ウエハＷ１がスロットＳＬ１に、直接、保持されている状態も示す。トレイ保持状態では、図１０のように、スロットＳＬ１が、ウエハトレイＴｒ１を保持する。具体的には、スロットＳＬ１ａ，ＳＬ１ｂにより、ウエハトレイＴｒ１は保持される。
【００３０】
図１０のトレイ保持状態では、載置状態トレイＴｒ１ａのカバー部１０（Ｌ字部１０ａ）が、ウエハキャリアＣｒ１のスロットＳＬ１に隙間なく挟まれている。これにより、載置状態トレイＴｒ１ａは、ウエハキャリアＣｒ１に確実に固定される。また、前述したように、カバー部１０の側面１３の高さは、ウエハＷ１の厚みより大きい。そのため、トレイ保持状態において、ウエハＷ１の周縁領域Ｒｇｅは、ウエハキャリアＣｒ１のスロット構成部Ｃｒ１ｓに接触しない（図８（ｂ）、図１０参照）。すなわち、トレイ保持状態において、ウエハＷ１の周縁領域Ｒｇｅは、カバー部１０（Ｌ字部１０ａ）により、保護されている。
【００３１】
また、トレイ保持状態では、図８（ｂ）のように、カバー部１０の側面１３が、ウエハＷ１の側面Ｗ１ｓを覆う。そのため、ウエハＷ１の側面Ｗ１ｓは、ウエハトレイＴｒ１のカバー部１０（Ｌ字部１０ａ）により保護されている。
【００３２】
図１１は、取り付け状態、収容状態およびトレイ保持状態における、ウエハ容器１００の、ＸＺ面に沿った断面図である。図１１を参照して、ウエハ容器１００のケースＣｓ１ａには、ウエハ押さえＸ１が設けられている。図１１のように、載置状態のウエハトレイＴｒ１が、ウエハキャリアＣｒ１を介してケースＣｓ１ｂに固定されるように、ウエハ押さえＸ１はウエハトレイＴｒ１の一部（上部）を押さえる。
【００３３】
なお、ケースＣｓ１ａには、複数のウエハ押さえＸ１が設けられている。図１２は、取り付け状態、収容状態およびトレイ保持状態における、各ウエハ押さえＸ１の状態を示す図である。なお、本実施の形態と構成との比較のために、図１２には、ウエハ押さえＸ１が、直接、ウエハＷ１を押さえている状態も示す。また、図１２では、構成を分かりやすくするために、ケースＣｓ１ａは示していない。
【００３４】
図１１および図１２を参照して、取り付け状態、収容状態およびトレイ保持状態において、ウエハ押さえＸ１は、ウエハトレイＴｒ１の一部（上部）を押さえる。具体的には、ウエハ押さえＸ１は、ウエハトレイＴｒ１の一部であるカバー部１０を押さえる。ウエハ押さえＸ１はカバー部１０を押さえるため、ウエハＷ１の周縁領域Ｒｇｅ（側面Ｗ１ｓ）は、ウエハ押さえＸ１に接触しない。そのため、ウエハＷ１の周縁領域Ｒｇｅは、カバー部１０（Ｌ字部１０ａ）により、保護されている。
【００３５】
また、図３のように、ウエハトレイＴｒ１は、取っ手２１ａ，２１ｂ，２１ｃを有する。取っ手２１ａは、ウエハトレイＴｒ１の左側に存在する。取っ手２１ｂは、ウエハトレイＴｒ１の右側に存在する。取っ手２１ａは、ウエハトレイＴｒ１の上部（中央部）に存在する。以下においては、取っ手２１ａ，２１ｂ，２１ｃの各々を、「取っ手２１」ともいう。取っ手２１は、例えば、産業用ロボットまたは作業者が、つかむための部分である。
【００３６】
以上説明したように、本実施の形態によれば、ウエハキャリアケースＣｓ１は、蓋としてのケースＣｓ１ａと、ケースＣｓ１ａを支持するケースＣｓ１ｂとを含む。ケースＣｓ１ａには、ウエハ押さえＸ１が設けられている。ウエハＷ１を保持するウエハトレイＴｒ１が、ウエハキャリアＣｒ１を介してケースＣｓ１ｂに固定されるように、ウエハ押さえＸ１はウエハトレイＴｒ１の一部を押さえる。これにより、ウエハＷ１を保持するトレイ（ウエハトレイＴｒ１）をケースにしっかりと固定することができる。
【００３７】
また、本実施の形態によれば、図１０のトレイ保持状態では、載置状態トレイＴｒ１ａのカバー部１０（Ｌ字部１０ａ）が、ウエハキャリアＣｒ１のスロットＳＬ１に隙間なく挟まれている。これにより、載置状態トレイＴｒ１ａは、ウエハキャリアＣｒ１に確実に固定される。また、前述したように、カバー部１０の側面１３の高さは、ウエハＷ１の厚みより大きい。そのため、トレイ保持状態において、ウエハＷ１の周縁領域Ｒｇｅは、スロット構成部Ｃｒ１ｓに接触しない。すなわち、トレイ保持状態において、ウエハＷ１の周縁領域Ｒｇｅは、カバー部１０（Ｌ字部１０ａ）により、保護されている。
【００３８】
また、トレイ保持状態では、図８（ｂ）のように、カバー部１０の側面１３が、ウエハＷ１の側面Ｗ１ｓを覆う。すなわち、ウエハＷ１の側面Ｗ１ｓは、ウエハトレイＴｒ１のカバー部１０（Ｌ字部１０ａ）により保護されている。つまり、ウエハトレイＴｒ１に保持されているウエハＷ１はウエハキャリアＣｒ１にしっかりと固定されている。
【００３９】
したがって、本実施の形態のウエハ容器１００を使用することにより、ウエハＷ１が割れることを抑制しつつ、当該ウエハＷ１を運搬することができる。当該ウエハＷ１は、例えば、厚みが薄く、割れ易いウエハである。また、ウエハＷ１が運搬されている最中に振動が発生した場合でも、当該ウエハＷ１が割れることを抑制でき、当該ウエハＷ１を確実に保護することができる。
【００４０】
また、本実施の形態によれば、ウエハ製造メーカーが使用するウエハキャリアケースＣｓ１を利用することができる。
【００４１】
また、本実施の形態によれば、ウエハＷ１の周縁領域Ｒｇｅのみが、ウエハトレイＴｒ１と接触している。すなわち、ウエハＷ１のチップ領域Ｒｇｃは、ウエハトレイＴｒ１に接触しない。そのため、ウエハＷ１のチップ領域Ｒｇｃに傷がつくことを抑制することができる。また、チップ領域Ｒｇｃに異物が付着する確率を低減することができる。
【００４２】
また、本実施の形態によれば、ウエハトレイＴｒ１は、取っ手２１（取っ手２１ａ，２１ｂ，２１ｃ）を有する。そのため、取っ手２１を使用することにより、載置状態のウエハトレイＴｒ１をウエハキャリアＣｒ１から出す動作、ウエハトレイＴｒ１をウエハキャリアＣｒ１に収容する動作等を、容易に行うことができる。
【００４３】
また、本実施の形態によれば、ウエハトレイＴｒ１は、例えば、金属、または、導電性の樹脂で構成されている。そのため、静電気等により、ゴミが、ウエハトレイＴｒ１に付着することを抑制することができる。
【００４４】
なお、図１０に示すように、ウエハＷ１を保持する載置状態トレイＴｒ１ａは、ウエハキャリアＣｒ１のスロットＳＬ１に隙間なく固定される必要がある。そのため、ウエハＷ１の厚みに基づいて、必要に応じて、カバー部１０のうち、ウエハＷ１の周縁領域Ｒｇｅを支持する部分の厚みＴｈ１（図８（ａ）参照）は調整される。
【００４５】
また、本実施の形態によれば、図１３のような、ウエハＷ１Ａにも対応することができる。ウエハＷ１Ａは、当該ウエハＷ１Ａが反らないように構成されたウエハである。図１３（ａ）は、ウエハＷ１Ａの平面図である。図１３（ｂ）は、Ｃ１−Ｃ２線に沿った、ウエハＷ１Ａの断面図である。ウエハＷ１Ａは、ウエハの中央部が研削されることにより、くぼみが形成されたウエハである。ウエハＷ１Ａは、リング部Ｗ１ｘを有する。リング部Ｗ１ｘの形状は、リング状である。
【００４６】
ウエハＷ１Ａを使用する場合、前述の厚みＴｈ１が調整されることにより、ウエハトレイＴｒ１にウエハＷ１Ａが載置されたものを、ウエハキャリアＣｒ１のスロットＳＬ１に隙間なく固定することができる。
【００４７】
ここで、本実施の形態の比較の対象となる比較例について説明する。まず、ウエハキャリアケースＣｓ１およびウエハキャリアＣｒ１を使用して、ウエハＷ１を運搬するための比較例（以下、「比較例Ａ」ともいう）について説明する。
【００４８】
以下においては、ウエハキャリアケースＣｓ１に収容されたウエハキャリアＣｒ１のスロットＳＬ１が、直接、ウエハＷ１を保持している状態を、「直接保持状態」ともいう。
【００４９】
図１７は、取り付け状態および収容状態および直接保持状態における、ウエハキャリアケースＣｓ１の断面図である。図１８は、比較例Ａを説明するための図である。図１８（ａ）は、ウエハ押さえＸ１が、ウエハＷ１の上部（側面）を、直接、押さえている状態を示す図である。図１８（ｂ）は、ウエハキャリアＣｒ１のスロットＳＬ１が、直接、ウエハＷ１を保持している状態を示す拡大図である。
【００５０】
図１７および図１８（ａ）および図１８（ｂ）を参照して、比較例Ａの構成では、ウエハ押さえＸ１が、ウエハＷ１の上部を、直接、押さえる。すなわち、比較例Ａの構成では、ウエハ押さえＸ１によりウエハＷ１が押さえられるため、ウエハＷ１が薄い場合、当該ウエハＷ１が割れる可能性が高いという問題がある。
【００５１】
また、比較例Ａでは、図１８（ｂ）のように、ウエハＷ１は、ウエハキャリアＣｒ１にしっかり固定されていない。そのため、比較例Ａの構成では、ウエハＷ１の運搬時の振動により、当該ウエハＷ１が割れる可能性が高いという問題がある。
【００５２】
次に、ウエハＷ１の割れを防ぐために、以下のウエハ容器４０を使用して、ウエハＷ１を運搬するための比較例（以下、「比較例Ｂ」ともいう）について説明する。
【００５３】
図１９および図２０は、比較例Ｂに係るウエハ容器４０の構成を説明するための図である。図１９（ａ）は、ウエハ容器４０の分解図である。図１９（ｂ）は、ウエハ容器４０の側面図である。図２０（ａ）は、ウエハ容器４０の上面図である。図２０（ｂ）は、図２０（ａ）のＦ１−Ｆ２線に沿った、ウエハ容器４０の断面図である。
【００５４】
ウエハ容器４０は、ウエハＷ１の主面が水平方向と平行な状態で、当該ウエハＷ１を収容する。具体的には、図１９および図２０を参照して、ウエハ容器４０は、蓋４１と、ケース４２とを含む。図２０（ｂ）のように、蓋４１がケース４２に取り付けられた状態において、ウエハＷ１は、複数の隔離シート４４に含まれる、隣接する２枚の隔離シート４４の間に挟まれる。また、複数の隔離シート４４は、２つのスポンジ４３に挟まれる。
【００５５】
このような、比較例Ｂの構成では、隔離シート４４が、ウエハＷ１のチップ領域Ｒｇｃに接触する。そのため、比較例Ｂの構成では、ウエハＷ１のチップ領域Ｒｇｃに、異物、汚染、傷等が付く可能性が高いという問題がある。また、比較例Ｂの構成では、ウエハ容器４０からウエハＷ１を取り出す作業、ウエハ容器４０にウエハＷ１を収容する作業といった手間がかかるという問題がある。
【００５６】
そこで、本実施の形態のウエハ容器１００は、上記のような構成を有する。そのため、本実施の形態のウエハ容器１００により、比較例Ａおよび比較例Ｂの各々における上記の各問題を解決することができる。
【００５７】
＜実施の形態１の変形例１＞
実施の形態１では、ウエハトレイＴｒ１のカバー部１０全体が、Ｌ字部１０ａであるとした。以下においては、本変形例の構成を「構成Ｃｔｍ１」ともいう。構成Ｃｔｍ１は、カバー部１０の一部が、Ｌ字部１０ａの形状と異なる形状を有する構成である。構成Ｃｔｍ１は、実施の形態１のウエハトレイＴｒ１に適用される。
【００５８】
図１４は、実施の形態１の変形例１に係る構成Ｃｔｍ１を説明するための図である。図１４（ａ）は、ウエハトレイＴｒ１に、ウエハＷ１が載置されていない状態を示す図である。図１４（ｂ）は、ウエハトレイＴｒ１に、ウエハＷ１が載置されている状態を示す図である。なお、本変形例で使用されるウエハＷ１の厚みは、一例として、図８のウエハＷ１の厚みより小さい。
【００５９】
図１４を参照して、構成Ｃｔｍ１では、カバー部１０は、Ｕ字部１０ｂを有する。Ｕ字部１０ｂの断面の形状はＵ字状である。載置状態のウエハトレイＴｒ１では、図１４（ｂ）のように、Ｕ字部１０ｂは、ウエハＷ１の側面Ｗ１ｓと、ウエハＷ１の側面Ｗ１ｓ側の上面とを覆う。Ｕ字部１０ｂは、リング状のカバー部１０のうち、例えば、図３の領域Ｒｇ１，Ｒｇ２の各々に設けられる。すなわち、カバー部１０は、２つのＵ字部１０ｂを有する。領域Ｒｇ１，Ｒｇ２の各々にＵ字部１０ｂが設けられる構成では、カバー部１０のうち、領域Ｒｇ１，Ｒｇ２以外の領域には、Ｌ字部１０ａが設けられる。この場合、カバー部１０は、複数のＬ字部１０ａと、２つのＵ字部１０ｂを有する。
【００６０】
なお、カバー部１０が有するＵ字部１０ｂの数は、２に限定されず、１または３以上であってもよい。また、Ｕ字部１０ｂが設けられる領域は、領域Ｒｇ１，Ｒｇ２以外の領域であってもよい。
【００６１】
以下においては、構成Ｃｔｍ１における、載置状態のウエハトレイＴｒ１を、「載置状態トレイＴｒ１ａ」ともいう。また、以下においては、構成Ｃｔｍ１において、載置状態トレイＴｒ１ａが、ウエハキャリアＣｒ１のスロットＳＬ１に保持されている状態を、「トレイ保持状態」ともいう。
【００６２】
図１５は、実施の形態１の変形例１の構成Ｃｔｍ１における、トレイ保持状態を示す図である。なお、構成Ｃｔｍ１との比較のために、図１５には、ウエハＷ１がスロットＳＬ１に、直接、保持されている状態も示す。図１５のトレイ保持状態では、載置状態トレイＴｒ１ａのカバー部１０（Ｕ字部１０ｂ）が、ウエハキャリアＣｒ１のスロットＳＬ１に隙間なく挟まれている。
【００６３】
これにより、構成Ｃｔｍ１における載置状態トレイＴｒ１ａは、ウエハキャリアＣｒ１に確実に固定される。また、Ｕ字部１０ｂは、ウエハＷ１の側面Ｗ１ｓ側の上面を覆う（図１４（ｂ）参照）。そのため、トレイ保持状態において、ウエハＷ１の周縁領域Ｒｇｅは、スロット構成部Ｃｒ１ｓに接触しない。すなわち、トレイ保持状態において、ウエハＷ１の周縁領域Ｒｇｅは、カバー部１０（Ｕ字部１０ｂ）により、保護されている。
【００６４】
以上説明したように、本変形例によれば、厚みがさらに小さいウエハＷ１を使用した場合における、図１５のトレイ保持状態においても、ウエハＷ１の周縁領域Ｒｇｅを、確実に保護することができる。そのため、ウエハＷ１が割れることを抑制することができる。また、Ｕ字部１０ｂの構成によれば、ウエハＷ１に反りが発生することを抑制することができる。
【００６５】
なお、本変形例では、カバー部１０は、Ｌ字部１０ａと、Ｕ字部１０ｂとを有するとしたが、これに限定されない。カバー部１０は、例えば、Ｕ字部１０ｂのみを有する構成としてもよい。当該構成では、Ｕ字部１０ｂは、例えば、ウエハトレイＴｒ１のうち、図２のウエハキャリアＣｒ１のスロットＳＬ１に挿入される部分の全体に設けられる。
【００６６】
＜実施の形態１の変形例２＞
以下においては、本変形例の構成を「構成Ｃｔｍ２」ともいう。構成Ｃｔｍ２は、取っ手２１のサイズを、実施の形態１の取っ手２１のサイズよりも、大きくした構成である。
【００６７】
図１６は、実施の形態１の変形例２の構成Ｃｔｍ２を有するウエハトレイＴｒ１を示す平面図である。図１６を参照して、構成Ｃｔｍ２を有するウエハトレイＴｒ１の取っ手２１ａ，２１ｂのサイズは、実施の形態１の取っ手２１ａ，２１ｂのサイズより大きい。具体的には、構成Ｃｔｍ２を有するウエハトレイＴｒ１の取っ手２１ａ，２１ｂは、図２のウエハキャリアＣｒ１の上端まで延在している。
【００６８】
以上説明したように、本変形例によれば、取っ手２１ａ，２１ｂのサイズが大きいため、当該取っ手２１ａ，２１ｂ（ウエハトレイＴｒ１）における、作業者が両手でつかむ部分の面積が大きい。そのため、構成Ｃｔｍ２を有するウエハトレイＴｒ１は扱いやすいという効果が得られる。
【００６９】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態、実施の形態の変形例を自由に組み合わせたり、実施の形態、実施の形態の変形例を適宜、変形、省略することが可能である。
【００７０】
例えば、実施の形態１のウエハトレイＴｒ１に載置されるウエハＷ１は、例えば、図１４（ａ）が示す、薄いウエハＷ１であってもよい。
【符号の説明】
【００７１】
１０  カバー部、１０ａ  Ｌ字部、１０ｂ  Ｕ字部、２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｃ  取っ手、４０，１００  ウエハ容器、Ｃｒ１  ウエハキャリア、Ｃｓ１  ウエハキャリアケース、Ｃｓ１ａ，Ｃｓ１ｂ  ケース、Ｔｒ１  ウエハトレイ、Ｖ１  座繰り、Ｗ１，Ｗ１Ａ  ウエハ、Ｘ１  ウエハ押さえ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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