(57)【要約】【課題】走行レールの一部が破断した後に他の走行レール等との干渉を回避し、走行レールの損傷を低減する。【解決手段】走行レール１００は、第１レール１０と、第２レール２０と、第１レール１０と第２レール２０との間から落下可能な中間レール３０と、第１レール１０と中間レール３０とを接続し、第１所定値以上の応力が加わると接続が破断される第１接続部材５０と、第２レール２０と中間レール３０とを接続し、第２所定値以上の応力が加わると接続が破断される第２接続部材６０と、を備える。【選択図】図１
2019186428.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送車が走行する走行面を有し、第１方向に延びて第１建屋と第２建屋とにわたって設けられる走行レールであって、
前記走行レールは、
前記第１建屋に固定される第１レールと、
少なくとも一部が前記第２建屋に固定される第２レールと、
前記第１レールと前記第２レールとの間に配置されて前記第１レールの走行面及び前記第２レールの走行面と連続する走行面を備え、かつ前記第１レールと前記第２レールとの間から落下可能な中間レールと、
前記第１レールと前記中間レールとを接続し、第１所定値以上の応力が加わると接続が破断される第１接続部材と、
前記第２レールと前記中間レールとを接続し、第２所定値以上の応力が加わると接続が破断される第２接続部材と、を備える、走行レール。
【請求項２】
前記中間レールを支持し、前記中間レールが前記第１レール又は前記第２レールに対して、水平面内において前記第１方向と直交する第２方向に相対的に移動すると前記中間レールの支持を解除する支持部を備える、請求項１に記載の走行レール。
【請求項３】
前記支持部は、
前記第２方向に沿って所定長さに設けられたガイドと、
前記ガイドにガイドされて前記第２方向に移動可能であり、かつ前記所定長さを超えると前記ガイドから外れるスライダと、を備える、請求項２に記載の走行レール。
【請求項４】
前記支持部は、上下方向の軸周り方向に前記中間レールを回転可能に支持する旋回部を備える、請求項２又は請求項３に記載の走行レール。
【請求項５】
前記中間レールは、
前記第１方向における一方の端部として、水平面内において前記第１方向と直交する第２方向に対して傾いて設けられる第１端部と、
前記第１方向における他方の端部として、前記第２方向に対して前記第１端部の傾きと逆に傾いて設けられる第２端部と、を有する、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の走行レール。
【請求項６】
前記第１レール、前記第２レール、及び前記中間レールの少なくとも１つは、
前記第１方向に沿って配置された複数のセグメント構造体と、
隣り合う前記セグメント構造体にわたって設けられた弾性部材と、を備え、
前記弾性部材により前記第１方向に伸縮可能である、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の走行レール。
【請求項７】
前記中間レールは、上下方向の軸周り方向に前記中間レールの一部を回転可能とする第１クロスローラを有し、
前記第２レールは、上下方向の軸周り方向に前記第２レールの前記中間レール側の先端部分を回転可能とする第２クロスローラを有する、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の走行レール。
【請求項８】
前記第１接続部材及び前記第２接続部材のうち一方又は双方は、
貫通孔を備え、かつ前記第１レール又は前記第２レールに固定される板状部材と、
前記貫通孔を貫通して前記中間レールに備えている孔部に挿入されるピンと、を備え、
前記板状部材と前記中間レールとの水平面に沿った相対的な移動により前記ピンがせん断されることで前記中間レールと前記第１レール又は前記第２レールとの接続が破断される、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の走行レール。
【請求項９】
前記第２レールと前記中間レールとにわたって連結部が設けられ、
前記連結部は、
前記第２レール及び前記中間レールのいずれか一方の、水平面内において前記第１方向と直交する第２方向における側面に、前記第２方向に突出して取り付けられ、前記第２レール又は前記中間レールに対して離れた上下方向の辺部から前記第２レール又は前記中間レールに向けて前記第２方向に切り欠くように形成された切り欠きを有するプレートと、
前記第２レール及び前記中間レールのいずれか他方の側面に取り付けられ、前記プレートに向けて前記第１方向に延び、一部が前記切り欠きに入り込んだ状態となる棒状体と、を備え、
前記中間レールが前記第２レールに対して前記第２方向のうちの一方向に移動した場合に前記棒状体が前記切り欠きから外れる、請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の走行レール。
【請求項１０】
前記第２レールの前記中間レール側に配置された構造体を前記第２レールに保持する保持部材を備える、請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の走行レール。
【請求項１１】
前記中間レールの下方に、落下する前記中間レールを受け止めるための架台を備える、請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載の走行レール。
【請求項１２】
前記第１レールと前記中間レールとの間の接続状態、及び前記第２レールと前記中間レールとの間の接続状態のうち一方又は双方を検出する検出部を備える、請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の走行レール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行レールに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場などでは、半導体ウエハまたはレチクルなどを収容した各種容器（ＦＯＵＰ、レチクルポッドなど）を搬送するため、天井に敷設された走行レールに沿って走行する走行車システムが用いられている。走行車システムは、複数の建屋にわたって走行レールが敷設される場合がある。このような建屋間をわたる走行レールは、地震等により各建屋が互いに異なる周波数、振幅で揺れるとレールが延びる方向及びその方向と交差する方向の一方又は双方に力を受けて、湾曲あるいは破損する場合がある。
【０００３】
そのため、建屋間をわたる走行レールの一部を破断可能として、地震等の際に、走行レールに所定の応力以上の応力が作用すると走行レールの一部を破断させて、走行レールの湾曲あるいは破損を抑制することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−２５００３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した特許文献１では、走行レールの一部が破断した後、破断面を含む一方の走行レールの一部を、上下方向を軸として回転させる構成（すなわち走行レールの一部を首振りさせる構成）となっている。スペースの制限がある場合に、特許文献１の技術を適用すると、走行レールの一部が他の走行レールに接触して走行レール同士の干渉が起こる可能性がある。
【０００６】
本発明は、走行レールの一部が破断した後に他の走行レール（又は走行レール近傍に設けられる構造物）との干渉を回避し、走行レールの損傷を低減することが可能な走行レールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る走行レールは、搬送車が走行する走行面を有し、第１方向に延びて第１建屋と第２建屋とにわたって設けられる走行レールであって、走行レールは、第１建屋に固定される第１レールと、少なくとも一部が第２建屋に固定される第２レールと、第１レールと第２レールとの間に配置されて第１レールの走行面及び第２レールの走行面と連続する走行面を備え、かつ第１レールと第２レールとの間から落下可能な中間レールと、第１レールと中間レールとを接続し、第１所定値以上の応力が加わると接続が破断される第１接続部材と、第２レールと中間レールとを接続し、第２所定値以上の応力が加わると接続が破断される第２接続部材と、を備える。
【０００８】
また、中間レールを支持し、中間レールが第１レール又は第２レールに対して、水平面内において第１方向と直交する第２方向に相対的に移動すると中間レールの支持を解除する支持部を備えてもよい。また、支持部は、第２方向に沿って所定長さに設けられたガイドと、ガイドにガイドされて第２方向に移動可能であり、かつ所定長さを超えるとガイドから外れるスライダと、を備えてもよい。また、支持部は、上下方向の軸周り方向に中間レールを回転可能に支持する旋回部を備えてもよい。また、中間レールは、第１方向における一方の端部として、水平面において第１方向と直交する第２方向に対して傾いて設けられる第１端部と、第１方向における他方の端部として、第２方向に対して第１端部の傾きと逆に傾いて設けられる第２端部と、を有してもよい。
【０００９】
また、第１レール、第２レール、及び中間レールの少なくとも１つは、第１方向に沿って配置された複数のセグメント構造体と、隣り合うセグメント構造体にわたって設けられた弾性部材と、を備え、弾性部材により第１方向に伸縮可能であってもよい。また、中間レールは、上下方向の軸周り方向に中間レールの一部を回転可能とする第１クロスローラを有し、第２レールは、上下方向の軸周り方向に第２レールの中間レール側の先端部分を回転可能とする第２クロスローラを有してもよい。また、第１接続部材及び第２接続部材のうち一方又は双方は、貫通孔を備え、かつ第１レール又は第２レールに固定される板状部材と、貫通孔を貫通して中間レールに備えている孔部に挿入されるピンと、を備え、板状部材と中間レールとの水平面に沿った相対的な移動によりピンがせん断されることで中間レールと第１レール又は第２レールとの接続が破断されてもよい。
【００１０】
また、第２レールと中間レールとにわたって連結部が設けられ、連結部は、第２レール及び中間レールのいずれか一方の側面に、水平面内において第１方向と直交する第２方向に突出して取り付けられ、第２レール又は中間レールに対して離れた上下方向の辺部から第２レール又は中間レールに向けて第２方向に切り欠くように形成された切り欠きを有するプレートと、第２レール及び中間レールのいずれか他方の側面に取り付けられ、プレートに向けて第１方向に延び、一部が切り欠きに入り込んだ状態となる棒状体と、を備え、中間レールが第２レールに対して第２方向のうちの一方向に移動した場合に棒状体が切り欠きから外れる構成であってもよい。また、第２レールの中間レール側に配置された構造体を第２レールに保持する保持部材を備えてもよい。また、中間レールの下方に、落下する中間レールを受け止めるための架台を備えてもよい。また、第１レールと中間レールとの間の接続状態、及び第２レールと中間レールとの間の接続状態のうち一方又は双方を検出する検出部を備えてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、地震等により第１建屋と第２建屋との揺れが異なったときに、第１接続部材及び第２接続部材にそれぞれ所定値以上の応力が作用すると、第１接続部材及び第２接続部材による接続を破断させ、第１レール又は第２レールに対して中間レールを落下させる（すなわち走行レールの一部である中間レールを第１レール又は第２レールに対して上下方向にずらす）ので、第１レール及び第２レールに与える影響（湾曲又は損傷等）を軽減しつつ、例えば、狭いスペースに複数の走行レールが並列して配置された場合であっても、中間レールを落下させることにより、第１レール及び第２レールと並列して配置される他の走行レールと接触することを回避することができる。従って、走行レール全体の損傷を低減することができる。
【００１２】
また、中間レールを支持し、中間レールが第１レール又は第２レールに対して、水平面内において第１方向と直交する第２方向に相対的に移動すると中間レールの支持を解除する支持部を備える構成では、平常時においては中間レールを支持部により確実に支持しつつ、中間レールが第１レール又は第２レールに対して相対的に移動したときには中間レール落下させることができる。また、支持部が、第２方向に沿って所定長さに設けられたガイドと、ガイドにガイドされて第２方向に移動可能であり、かつ所定長さを超えるとガイドから外れるスライダと、を備える構成では、中間レールが第２方向に移動する際、ガイドの所定長さをスライドするまでは支持部で支持され、所定長さ以上にスライドするとガイドから落下するため、中間レールが第２方向に移動した場合に直ちに落下することを防止できる。また、支持部が、上下方向の軸周り方向に中間レールを回転可能に支持する旋回部を備える構成では、中間レールが上下方向の軸周り方向に回転する場合であっても支持部によって中間レールを支持することができる。また、中間レールが、第１方向における一方の端部として、水平面において第１方向と直交する第２方向に対して傾いて設けられる第１端部と、第１方向における他方の端部として、第２方向に対して第１端部の傾きと逆に傾いて設けられる第２端部と、を有する構成では、第１レールと第２レールとが第１方向に近接する際、第１接続部材及び第２接続部材を容易にせん断させることができ、かつ第１端部及び第２端部により中間レールを同一の方向に移動させることができる。
【００１３】
また、第１レール、第２レール、及び中間レールの少なくとも１つが、第１方向に沿って配置された複数のセグメント構造体と、隣り合うセグメント構造体にわたって設けられた弾性部材と、を備え、弾性部材により第１方向に伸縮可能である構成では、第１所定値未満の応力及び第２所定値未満の応力を弾性部材の伸縮により吸収することができるため、中間レールが小さい応力（負荷）で落下してしまうのを防止できる。また、中間レールが、上下方向の軸周り方向に中間レールの一部を回転可能とする第１クロスローラを有し、第２レールが、上下方向の軸周り方向に第２レールの中間レール側の先端部分を回転可能とする第２クロスローラを有する構成では、第１レールと第２レールとが第２方向にずれても、中間レールの一部、及び第２レールの先端部分が上下方向の軸周り方向に回転することで第１レール及び第２レールに与える影響（曲げモーメント等）を軽減できる。また、第１接続部材又は第２接続部材が、貫通孔を備え、かつ第１レール又は第２レールに固定される板状部材と、貫通孔を貫通して中間レールに備えている孔部に挿入されるピンと、を備え、板状部材と中間レールとの水平面に沿った相対的な移動によりピンがせん断されることで中間レールと第１レール又は第２レールとの接続が破断される構成では、第１方向及び第２方向における中間レールと第１レール又は第２レールとの位置決めをピンによって容易に行いつつ、地震等の発生時にピンをせん断することで中間レールと第１レール又は第２レールとの接続を容易に破断させることができる。さらに、ピンを交換することで容易に修復することができる。
【００１４】
また、第２レールと中間レールとにわたって連結部が設けられ、連結部は、第２レール及び中間レールのいずれか一方の側面に、水平面内において第１方向と直交する第２方向に突出して取り付けられ、第２レール又は中間レールに対して離れた上下方向の辺部から第２レール又は中間レールに向けて第２方向に切り欠くように形成された切り欠きを有するプレートと、第２レール及び中間レールのいずれか他方の側面に取り付けられ、プレートに向けて第１方向に延び、一部が切り欠きに入り込んだ状態となる棒状体と、を備え、中間レールが第２レールに対して第２方向のうちの一方向に移動した場合に棒状体が切り欠きから外れる構成では、中間レールが第２方向のうち一方向に移動した際には第２レールから中間レールを落下させることができ、中間レールが第２方向のうち他の方向に移動した際には第２レールに対して中間レールを保持することができる。また、第２レールの中間レール側に配置された構造体を第２レールに保持する保持部材を備える構成では、第２レールの中間レール側の端部が下方に傾いた場合、構造体が第２レールから抜け落ちることを保持部材によって防止できる。また、中間レールの下方に、落下する中間レールを受け止めるための架台を備える構成では、落下する中間レールを架台により受け止めるため、中間レールが床面に落下するのを防止できる。また、第１レールと中間レールとの間の接続状態、及び第２レールと中間レールとの間の接続状態のうち一方又は双方を検出する検出部を備える構成では、検出部からの検出結果を参照することにより、各接続状態を容易に把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態に係る走行レールの一例を示す平面図である。
【図２】第１レールと第２レールとが第２方向にずれた状態を示す平面図である。
【図３】第１レールと第２レールとが上下方向にずれた状態を示す側面図である。
【図４】支持部の一例を示す斜視図である。
【図５】第１スライダと第１ガイドとの位置関係を示し、（Ａ）は第１スライダが第１ガイドに係止されている図であり、（Ｂ）は第１スライダが第１ガイドから外れた図である。
【図６】第２スライダと第２ガイドとの位置関係を示し、（Ａ）は第２スライダが第２ガイドに係止されている図であり、（Ｂ）は第２スライダが第２ガイドから外れた図である。
【図７】第１接続部材の一例を示す図である。
【図８】板状部材とピンとの接続状態を示し、（Ａ）はピンがせん断される前の図であり、（Ｂ）はピンがせん断された図である。
【図９】連結部の一例を示す斜視図である。
【図１０】（Ａ）は、第２レールと中間レールとを連結している状態を示す平面図であり、（Ｂ）は、第２レールと中間レールとが分離した状態を示す平面図である。
【図１１】ホルダ及び給電線の配置示す平面図である。
【図１２】（Ａ）は、第２レール及び中間レールの伸縮部の一例を示す側面図であり、（Ｂ）は、一部を拡大した側面図である。
【図１３】（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）は、地震等が発生した場合の走行レールの状態の一例を時系列で示す図である。
【図１４】（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）は、地震等が発生した場合の走行レールの状態の他の例を時系列で示す図である。
【図１５】（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）は、地震等が発生した場合の走行レールの状態の他の例を時系列で示す図である。
【図１６】（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）は、地震等が発生した場合の走行レールの状態の他の例を時系列で示す図である。
【図１７】（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）は、地震等が発生した場合の走行レールの状態の他の例を時系列で示す図である。
【図１８】第２レールの中間レール側に配置された構造体を第２レールに保持する保持部材の一例を示す図である。
【図１９】架台の一例を示す図である。
【図２０】検出部の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において搬送車Ｍの走行方向をＸ方向と表記し、水平方向のうちＸ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。なお、搬送車Ｍの走行方向は、以下の図に示された状態から他の方向に変化するが、本明細書において搬送車Ｍの走行方向をＸ方向として説明する。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、矢印の指す方向とは反対の方向が−方向であるとして説明する。
【００１７】
図１は、本実施形態に係る走行レールの一例を示す平面図である。図２は、第１レールと第２レールとがＹ方向（第２方向）にずれた状態を示す平面図である。本走行レール１００の一例を示す平面図である。図３は、第１レールと第２レールとが第３方向（Ｚ方向又は上下方向）にずれた状態を示す側面図である。図１から図３に示すように、走行レール１００は、例えば半導体製造工場等において、半導体ウエハまたはレチクルなどを収容した容器などを搬送する走行車システムに用いられる。走行レール１００は、搬送車Ｍが走行する走行面１００ｓを有する。走行レール１００は、第１方向Ｄ１（本実施形態ではＸ方向）に延びて、第１建屋１０１と第２建屋１０２とにわたって設けられている。第１建屋１０１と第２建屋１０２とは、地震等により互いに別の揺れ方をする場合がある。走行レール１００は、このような別の揺れ方をする建屋にわたって設けられている。なお、本実施形態では、第１建屋１０１と第２建屋１０２とにわたって走行レール１００が設けられる例を示しているが、第１建屋１０１と第２建屋１０２との間に棟間を備える場合は、走行レール１００は、棟間内を延びるように設けられる。
【００１８】
走行レール１００は、第１レール１０と、第２レール２０と、中間レール３０と、を備える。第２レール２０の一部、及び中間レール３０は、支持部４０により支持されている。第１レール１０は、吊り金具Ｔにより第１建屋１０１の天井等に吊り下げられた状態で固定される。第１レール１０は、第１方向Ｄ１における中間レール３０側の端部１０ａが、第２方向Ｄ２（あるいは第１方向Ｄ１）に対して傾いた形状を有する。また、第１レール１０は、第１方向Ｄ１において中間レール３０とは反対側の棟内に向けて延びている。
【００１９】
第２レール２０は、固定部２１と、中間部２２と、先端部分２３とを有する。第２レール２０は、これら固定部２１、中間部２２及び先端部分２３に分割されている。固定部２１は、吊り金具Ｔにより第２建屋１０２の天井等に吊り下げられた状態で固定される。このように、第２レール２０は、少なくとも一部が第２建屋１０２に固定される。中間部２２は、第２建屋１０２から建屋外部に延びて配置されている。先端部分２３は、第１建屋１０１に挿入されて配置されている。
【００２０】
中間部２２は、２つのピン構造部２４が設けられる。ピン構造部２４は、第１方向Ｄ１において中間部２２の＋Ｘ側及び−Ｘ側の両端にそれぞれ配置される。第１方向Ｄ１において固定部２１側（＋Ｘ側）の端部に配置されるピン構造部２４は、中間部２２と固定部２１とを連結する。第１方向Ｄ１において先端部分２３側（−Ｘ側）の端部に配置されるピン構造部２４は、中間部２２と先端部分２３とを連結する。ピン構造部２４は、第２方向Ｄ２の軸まわり方向に中間部２２を回転可能とする。この構成により、図３に示すように、第２建屋１０２と第１建屋１０１との間（固定部２１と先端部分２３との間）が第３方向Ｄ３（上下方向）にずれる場合であっても、２つのピン構造部２４のピンを支点として中間部が動く（傾く）ことにより、中間部２２が固定部２１及び先端部分２３の双方と連結した状態を維持する。
【００２１】
先端部分２３は、基部２５と、伸縮部２６と、第２クロスローラＲ２とを有する。基部２５は、ピン構造部２４を介して中間部２２に連結される。伸縮部２６は、第１方向Ｄ１において基部２５と中間レール３０との間に配置される。伸縮部２６は、複数のセグメント構造体２７が第１方向Ｄ１に間隔を空けて並んで配置されており、第１方向Ｄ１に伸縮可能である。複数のセグメント構造体２７のそれぞれは、ガイドＧを介して支持部４０に吊り下げられた状態で支持されており、ガイドＧに沿って第１方向Ｄ１に移動可能である。なお、伸縮部２６の構成については後述する。第２クロスローラＲ２は、基部２５と伸縮部２６とを連結する。第２クロスローラＲ２は、Ｚ方向に平行な第３方向Ｄ３（上下方向）に沿った軸線を中心として伸縮部２６を基部２５に対して回転させることを可能とする。なお、本明細書において、回転は、揺動、回動を含む意味で用いている。
【００２２】
なお、第２レール２０のうち、中間レール３０側の端部２０ａは、第２方向Ｄ２（あるいは第１方向Ｄ１）に対して傾いた形状を有する。端部２０ａの傾斜方向は、第１レール１０の端部１０ａの傾斜方向とは、第２方向Ｄ２（あるいは第１方向Ｄ１）に対して逆方向である。従って、端部１０ａと端部２０ａとは、平面視において対称となるように傾斜している。また、中間レール３０は、第１レール１０と第２レール２０との間に配置される。中間レール３０は、第１レール１０の走行面１０ｓ及び第２レール２０の走行面２０ｓと連続する走行面３０ｓを備える。これら走行面１０ｓ、走行面２０ｓ、及び走行面３０ｓは、走行レール１００の走行面１００ｓを形成する。中間レール３０は、第１レール１０及び第２レール２０に対して落下可能に支持されている。
【００２３】
中間レール３０は、基部３１と、伸縮部３２と、第１クロスローラＲ１とを有する。基部３１は、後述する第１接続部材５０により第１レール１０に接続される。基部３１のうち第１レール１０側の第１端部３１ａは、第１方向Ｄ１における中間レール３０の一方の端部である。この第１端部３１ａは、第１レール１０の端部１０ａの傾斜方向に沿うように、第２方向Ｄ２（あるいは第１方向Ｄ１）に対して傾斜している。つまり、第１端部３１ａと端部１０ａとは、第２方向Ｄ２に対して傾いた状態で対向して配置される。また、第１端部３１ａと端部１０ａとは、第２方向Ｄ２（あるいは第１方向Ｄ１）に対して同一又はほぼ同一の角度で傾斜している。
【００２４】
伸縮部３２は、第１方向Ｄ１において基部３１と第２レール２０との間に配置される。伸縮部３２は、複数のセグメント構造体３４が第１方向Ｄ１に間隔を空けて並んで配置されており、第１方向Ｄ１に伸縮可能である。複数のセグメント構造体３４のそれぞれは、ガイドＧを介して支持部４０に吊り下げられた状態で支持されており、ガイドＧに沿って第１方向Ｄ１に移動可能である。なお、伸縮部３２の構成については後述する。伸縮部３２のうち第２レール２０側の第２端部３２ｂは、第１方向Ｄ１における中間レール３０の他方の端部である。この第２端部３２ｂは、第２レール２０の端部２０ａの傾斜方向に沿うように、第２方向Ｄ２（あるいは第１方向Ｄ１）に対して傾斜している。つまり、第２端部３２ｂと端部２０ａとは、第２方向Ｄ２に対して傾いた状態で対向して配置される。また、第２端部３２ｂと端部２０ａとは、第２方向Ｄ２（あるいは第１方向Ｄ１）に対して同一又はほぼ同一の角度で傾斜している。
【００２５】
第１クロスローラＲ１は、基部３１と伸縮部３２とを連結する。第１クロスローラＲ１は、Ｚ方向に平行な第３方向Ｄ３（上下方向）に沿った軸線を中心として伸縮部３２を基部３１に対して回転させることを可能とする。この第１クロスローラＲ１と、上述した第２クロスローラＲ２とにより、図２に示すように、第１レール１０と第２レール２０とがＹ方向にずれた場合でも、第１クロスローラＲ１及び第２クロスローラＲ２により、第２レール２０の伸縮部２６及び中間レール３０の伸縮部３２を回転させ、第１レール１０及び第２レール２０に過大な応力が作用しないようにしている。
【００２６】
中間レール３０は、上記のように第１方向Ｄ１における第１端部３１ａ及び第２端部３２ｂを有しており、第１方向Ｄ１における一方の端部である第１端部３１ａと、第１方向Ｄ１における他方の端部である第２端部３２ｂとは、第２方向Ｄ２（あるいは第１方向Ｄ１）に対して傾きが逆に設けられている。端部１０ａと端部２０ａとは、平面視において対称となるように傾斜している。従って、第１端部３１ａと第２端部３２ｂとを有する中間レール３０は、平面視において台形状に形成されている。
【００２７】
支持部４０は、第２レール２０の先端部分２３である基部２５及び伸縮部２６、並びに中間レール３０の基部３１及び伸縮部３２をそれぞれ支持する。支持部４０は、第１建屋１０１の天井部Ｃ（図３参照）、あるいは天井部Ｃの近傍に設けられているシステム天井等に吊り下げられた状態で取り付けられている。第２レール２０の伸縮部２６は、第１方向Ｄ１に離間した２つの支持部４０によりガイドＧを介して支持されている。中間レール３０の伸縮部３２は、第１方向Ｄ１に離間した２つの支持部４０によりガイドＧを介して支持されている。図４は、支持部４０の一例を示す斜視図である。図４に示すように、支持部４０は、第１スライダ４１と、第１ガイド４２と、第２スライダ（スライダ）４３と、第２ガイド（ガイド）４４と、旋回部４５と、吊り部４６とを備える。
【００２８】
図５は、第１スライダ４１と第１ガイド４２との位置関係を示している。図５（Ａ）は第１スライダ４１が第１ガイド４２に係止されている図であり、図５（Ｂ）は第１スライダ４１が第１ガイド４２から外れた図である。図４及び図５に示すように、第１スライダ４１は、中間レール３０のガイドＧの上面側（＋Ｚ側）に、第１方向Ｄ１（本実施形態ではＸ方向）に沿って設けられる。第１ガイド４２は、第１スライダ４１をスライド可能に支持しており、第１方向Ｄ１に沿って第１所定長さＷ１に設けられる。第１スライダ４１は、第１ガイド４２にガイドされて第１方向Ｄ１に第１ガイド４２に対してスライド可能（相対的に移動可能）である。
【００２９】
図６は、第２スライダ４３と第２ガイド４４との位置関係を示している。図６（Ａ）は第２スライダ４３が第２ガイド４４に係止されている図であり、図６（Ｂ）は第２スライダが第２ガイドから外れた図である。図４及び図６に示すように、第２スライダ４３は、第１ガイド４２の上面側（＋Ｚ側）に、水平面において第１方向Ｄ１と直交する第２方向Ｄ２（本実施形態ではＹ方向）に沿って設けられる。第２スライダ４３は、第１ガイド４２に固定されており、一体となっている。第２ガイド４４は、第２スライダ４３をスライド可能に支持しており、第２方向Ｄ２に沿って第２所定長さ（所定長さ）Ｗ２に設けられる。第２スライダ４３は、第２ガイド４４にガイドされて第２方向Ｄ２に第２ガイド４４に対してスライド可能（相対的に移動可能）である。
【００３０】
第２ガイド４４の上面には、ベース４７が配置される。ベース４７は、第２ガイド４４に固定されており、一体となっている。旋回部４５は、外側環状部４５ａと内側環状部４５ｂとを備える。外側環状部４５ａと内側環状部４５ｂとは、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２にそれぞれ直交する第３方向Ｄ３（Ｚ方向、上下方向）の軸周り方向に相対的に回転可能である。旋回部４５の外側環状部４５ａは、ベース４７の上面に固定される。旋回部４５の内側環状部４５ｂは、ベース４７の下面側に配置された板状の支持部材４６ｂに固定される。支持部材４６ｂは、支持部材４６ａを介して吊り部４６によって第１建屋１０１の天井部Ｃ（図３参照）に吊り下げられる。
【００３１】
ベース４７は、旋回部４５を介して支持部材４６ｂに接続される。外側環状部４５ａと内側環状部４５ｂとが相対的に回転可能であるので、ベース４７は、支持部材４６ｂ（吊り部４６又は天井部Ｃ）に対して回転可能となっている。すなわち、ベース４７に固定された第２ガイド４４（さらには第２スライダ４３、第１ガイド４２、及び第１スライダ４１）は、ベース４７の回転により第３方向Ｄ３の軸周り方向に回転する。
【００３２】
第１スライダ４１と第１ガイド４２との動作について説明する。中間レール３０が支持部４０に対して第１方向Ｄ１に移動する場合、図５（Ａ）の矢印に示すように、第１スライダ４１は、第１ガイド４２に対して第１方向Ｄ１に相対的に移動することで、中間レール３０の移動を案内する。この構成により、中間レール３０は、支持部４０に支持された状態で支持部４０に対して第１方向Ｄ１に移動可能となる。また、第１スライダ４１は、第１方向Ｄ１において支持部４０の中央の位置から、第１所定長さＷ１を超えて長さＬ１を第１方向Ｄ１に移動すると、図５（Ｂ）に示すように、第１ガイド４２から外れた状態となる。長さＬ１は、第１スライダ４１が第１方向Ｄ１において支持部４０の中央にある場合、第１所定長さＷ１の半分の長さと、第１スライダ４１の半分の長さとを加えた長さより長い。第１スライダ４１が第１ガイド４２から外れると、中間レール３０は、支持部４０による支持が解除される。
【００３３】
次に、第２スライダ４３と第２ガイド４４との動作について説明する。中間レール３０が支持部４０に対して第２方向Ｄ２に移動する場合、図６（Ａ）の矢印に示すように、第２スライダ４３は、第２ガイド４４に対して第２方向Ｄ２に相対的に移動することで、中間レール３０の移動を案内する。この構成により、中間レール３０は、支持部４０に支持された状態で支持部４０に対して第２方向Ｄ２に移動可能となる。また、第２スライダ４３は、第２方向Ｄ２において支持部４０の中央の位置から、第２所定長さＷ２を超えて長さＬ２を第２方向Ｄ２に移動すると、図６（Ｂ）に示すように、第２ガイド４４から外れた状態となる。長さＬ２は、第２スライダ４３が第２方向Ｄ２において支持部４０の中央にある場合、第２所定長さＷ２の半分の長さと、第２スライダ４３の半分の長さとを加えた長さより長い。第２スライダ４３が第２ガイド４４から外れると、中間レール３０は、支持部４０による支持が解除される。
【００３４】
このように、支持部４０は、中間レール３０が支持部４０（すなわち第１建屋１０１の天井部Ｃ）に対して第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２に第１所定長さＷ１又は第２所定長さＷ２の範囲内で相対的に移動する際は中間レール３０の支持を維持しているが、中間レール３０が支持部４０に対して第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２に第１所定長さＷ１又は第２所定長さＷ２を超えて相対的に移動すると中間レール３０の支持を解除する。
【００３５】
また、図１から図３に示すように、走行レール１００は、第１接続部材５０と、第２接続部材６０とを備える。第１接続部材５０は、第１レール１０と中間レール３０とを接続する。第１接続部材５０は、第１所定値以上の応力が加わると接続が破断される。第２接続部材６０は、第２レール２０と中間レール３０とを接続する。第２接続部材６０は、第２所定値以上の応力が加わると接続が破断される。なお、第２所定値は、第１所定値と同一の値であってもよいし、異なる値であってもよい。例えば、第２所定値は、第１所定値より大きくてもよいし、逆に、第１所定値は、第２所定値より大きくてもよい。
【００３６】
図７は、第１接続部材５０の一例を示す図である。図８は、後述する板状部材５１、５３とピン５２との接続状態を示している。図８（Ａ）はピン５２がせん断される前の図であり、図８（Ｂ）はピン５２がせん断された図である。なお、第２接続部材６０は、第１接続部材５０を第１方向Ｄ１（Ｘ方向）について対称にした構成である。従って、第１接続部材５０に関する図面を用いて第２接続部材６０を説明する。なお、図７及び図８において、第２接続部材６０の構成要素について、第１接続部材５０の構成要素の符号に対して括弧書きで符号を付している。
【００３７】
図７及び図８に示すように、第１接続部材５０は、板状部材５１と、ピン５２とを有する。板状部材５１は、貫通孔５１ａを備え、ボルト等の固定部材により第１レール１０上に備えるカバー部材５４に固定される。中間レール３０上に備えるプレート５５には、板状部材５３が固定される。板状部材５３には、孔部５３ａが設けられる。板状部材５１、５３は、平面視において貫通孔５１ａと孔部５３ａとが重なる位置に配置される。ピン５２は、貫通孔５１ａを貫通して中間レール３０の孔部５３ａに挿入される。ピン５２は、下端がプレート５５に当接した状態で保持される。ピン５２が貫通孔５１ａ及び孔部５３ａに挿入されることにより、第１レール１０と中間レール３０とは第１方向Ｄ１（Ｘ方向）及び第２方向Ｄ２（Ｙ方向）の双方において位置決めされた状態となる。第１接続部材５０は、第２方向Ｄ２に離間して２か所に設けられている。
【００３８】
中間レール３０側のプレート５５には、図７に示すように、第１レール１０側に突出する突出部５５ａが設けられる。突出部５５ａは、第１レール１０側のカバー部材５４に備える段部５４ａ上に配置される。また、カバー部材５４には、押さえ部材５６が設けられる。押さえ部材５６は、段部５４ａの上方に突出した状態でボルト等の固定部材によりカバー部材５４に固定される。突出部５５ａは、第３方向Ｄ３において段部５４ａとカバー部材５４とに挟まれた状態となる。押さえ部材５６は、突出部５５ａの上方への移動を規制する。この構成により、第１レール１０と中間レール３０とは第３方向Ｄ３（Ｚ方向、上下方向）において位置決めされた状態となる。
【００３９】
第２接続部材６０は、図７の第１接続部材５０と同様に、板状部材６１と、ピン６２とを有する。板状部材６１は、貫通孔６１ａを備え、ボルト等の固定部材により第２レール２０上のカバー部材６４に固定される。中間レール３０上のプレート５５には、板状部材６３が固定される。板状部材６３には、孔部６３ａが設けられる。板状部材６１、６３は、平面視において貫通孔６１ａと孔部６３ａとが重なる位置に配置される。ピン６２は、貫通孔６１ａを貫通して孔部６３ａに挿入される。ピン６２は、下端がプレート６５に当接した状態で保持される。ピン６２が貫通孔６１ａ及び孔部６３ａに挿入されることにより、第２レール２０と中間レール３０とは第１方向Ｄ１（Ｘ方向）及び第２方向Ｄ２（Ｙ方向）の双方において位置決めされた状態となる。第２接続部材６０は、第２方向Ｄ２に離間して２か所に設けられている。
【００４０】
また、プレート５５には、第２レール２０側に突出する突出部６５ａが設けられる。突出部６５ａは、カバー部材６４に備える段部６４ａ上に配置される。また、カバー部材６４には、押さえ部材６６が設けられる。押さえ部材６６は、段部６４ａの上方に突出した状態でカバー部材６４に固定される。突出部６５ａは、第３方向Ｄ３において段部６４ａとカバー部材６４とに挟まれた状態となる。押さえ部材６６は、突出部５５ａの上方への移動を規制する。この構成により、第２レール２０と中間レール３０とは第３方向Ｄ３（Ｚ方向、上下方向）において位置決めされた状態となる。
【００４１】
第１接続部材５０において、板状部材５１とピン５２との動作について説明する。第１接続部材５０は、図８（Ａ）に示す状態から、第１レール１０と中間レール３０とが水平面内において相対的に移動すると（例えば第１方向Ｄ１であるＸ方向に相対的に移動すると）、板状部材５１と板状部材５３とが相対的に移動し、ピン５２をせん断する。第１接続部材５０は、ピン５２がせん断されることで、図８（Ｂ）に示すように、第１レール１０と中間レール３０との間の接続を破断する。同様に、第２接続部材６０は、板状部材６１と板状部材６３とが相対的に移動してピン６２をせん断することで、第２レール２０と中間レール３０との間の接続を破断する。
【００４２】
また、図３に示すように、第２レール２０と中間レール３０とにわたって、連結部７０が設けられる（図１及び図２では図示を省略している）。連結部７０は、中間レール３０の第２端部３２ｂを第２レール２０に係止し、かつ中間レール３０が第２レール２０に対して第２方向Ｄ２のうち一方向に移動した場合に中間レール３０の第２端部３２ｂの係止を外すように構成される。連結部７０は、第２レール２０と中間レール３０との間に隙間を設けた状態で両者を連結する。この隙間は、搬送車Ｍが通過可能な隙間である。
【００４３】
図９は、連結部７０の一例を示す斜視図である。連結部７０は、図７に示すように、第２レール側プレート７１と、中間レール側プレート７２と、棒状体７３と、弾性部材７４とを有する。第２レール側プレート７１は、第２レール２０の−Ｙ側の側面から第２方向Ｄ２（−Ｙ方向）に突出するように第２レール２０に取り付けられる。中間レール側プレート７２は、中間レール３０の−Ｙ側の側面から第２方向Ｄ２（−Ｙ方向）に突出するように取り付けられる。第２レール側プレート７１と中間レール側プレート７２とは、第１方向Ｄ１に離間しかつ対向して配置される。中間レール側プレート７２は、第２方向Ｄ２（Ｙ方向）の切り欠き７２ａを備える。切り欠き７２ａは、中間レール３０に対して離れた上下方向（第３方向Ｄ３、Ｚ方向）の辺部から中間レール３０に向けて第２方向Ｄ２に切り欠くように形成される。棒状体７３は、第２レール側プレート７１に取り付けられ、中間レール側プレート７２に向けて第１方向Ｄ１に延びている。棒状体７３は、一部が切り欠き７２ａに入り込んだ状態となっており、先端にナット７３ａが取り付けられる。第２レール２０と中間レール３０とが第１方向Ｄ１に相対的に移動する場合、棒状体７３は、切り欠き７２ａに入り込んだ状態のままとなる。ただし、第２レール２０と中間レール３０とが第１方向Ｄ１に互いに離れる方向には、ナット７３ａが中間レール側プレート７２に係止される範囲に規制される。
【００４４】
弾性部材７４は、第２レール側プレート７１と中間レール側プレート７２との間に挟まれた状態で配置される。弾性部材７４としては、例えばコイルばね等が用いられる。弾性部材７４が収縮又は伸長することにより、第２レール２０と中間レール３０との間隔を伸縮可能である。弾性部材７４は、自然長に対して収縮しかつさらに収縮する余地を残した状態で第２レール側プレート７１と中間レール側プレート７２との間に配置される。
【００４５】
図１０（Ａ）は、連結部７０により第２レール２０と中間レール３０とを連結している状態を示す平面図であり、図１０（Ｂ）は、第２レール２０と中間レール３０とが分離した状態を示す平面図である。図１０（Ａ）に示すように、連結部７０は、Ｙ方向の両側に配置される。以下、図１０に示すように、＋Ｙ側に配置される連結部７０を連結部７０Ａと表記し、−Ｙ側に配置される連結部７０を連結部７０Ｂと表記して区別する。上記した図９の連結部７０は、連結部７０Ｂについて表記している。連結部７０Ａは、図１０（Ａ）に示すように、第２レール側プレート７１が、第２レール２０の＋Ｙ側の側面に取り付けられ、中間レール側プレート７２が、中間レール３０の＋Ｙ側の側面に取り付けられる。第２レール側プレート７１は、第２方向Ｄ２（Ｙ方向）の切り欠き７１ａを備える。切り欠き７１ａは、第２レール２０に対して離れた上下方向の辺部から第２レール２０に向けて第２方向Ｄ２に切り欠くように形成される。棒状体７３は、中間レール側プレート７２に取り付けられ、第２レール側プレート７１に向けて第１方向Ｄ１に延びている。棒状体７３は、一部が切り欠き７１ａに入り込んだ状態となっており、先端にはナット７３ａが取り付けられている。
【００４６】
連結部７０Ａでは、棒状体７３が第２レール側プレート７１に対して＋Ｙ方向に移動すると切り欠き７１ａから外れることになる。すなわち、連結部７０Ａでは、棒状体７３が、第２レール２０から第２方向Ｄ２に離れる方向（＋Ｙ方向）に移動した際に、切り欠き７１ａから外れる。一方、連結部７０Ｂでは、中間レール側プレート７２が棒状体７３に対して＋Ｙ方向に移動すると、棒状体７３が切り欠き７２ａから外れることになる。すなわち、連結部７０Ｂでは、棒状体７３が、中間レール３０から第２方向Ｄ２に離れる方向（−Ｙ方向）に移動した際に、切り欠き７２ａから外れる。この構成により、中間レール３０が第２レール２０に対して＋Ｙ方向に移動するときには、図１０（Ｂ）に示すように、連結部７０Ａの棒状体７３が切り欠き７１ａから外れ、かつ、連結部７０Ｂの棒状体７３が切り欠き７２ａから外れた状態となる。このため、第２レール２０と中間レール３０との間の連結状態が解除される。すなわち、中間レール３０は、第２レール２０に対して＋Ｙ方向に相対的に移動可能となっている
【００４７】
また、中間レール３０が第２レール２０に対して−Ｙ方向に移動しようとする場合には、連結部７０Ａの棒状体７３が切り欠き７１ａにより係止され、かつ、連結部７０Ｂの棒状体７３が切り欠き７２ａに係止される。このため、第２レール２０と中間レール３０とは相対的に移動せず、両者間の連結状態が維持される。このように、連結部７０（連結部７０Ａ、７０Ｂ）は、中間レール３０が第２レール２０に対して第２方向Ｄ２のうち一方向（本実施形態では、＋Ｙ方向）に移動した場合に連結部７０による連結を解除し、第２方向Ｄ２のうち他の方向（本実施形態では、−Ｙ方向）に移動する場合には、連結を解除しない。すなわち、連結部７０は、中間レール３０の＋Ｙ方向への移動についてのみ、第２レール２０に対して相対的に移動可能にしている。
【００４８】
また、図３に示すように、第１レール１０、第２レール２０、及び中間レール３０の下面側には、複数のホルダＨ、Ｈ１が設けられている。給電線は、搬送車Ｍに電力を供給するために走行レール１００に沿って配置されている。複数のホルダＨは、走行レール１００が伸びる方向に沿って（第１方向Ｄ１に沿って）並んだ状態で設けられる。なお、中間レール３０に対応するホルダＨは、中間レール３０と一体に設けられており、中間レール３０が落下する際には一体として落下する。
【００４９】
また、図３に示すように、第１レール１０、第２レール２０、及び中間レール３０（走行レール１００）の下方（下方かつ側方）には、ホルダＨ、Ｈ１が設けられている。図１１は、ホルダＨ、Ｈ１及び給電線Ｆの配置を示す平面図である。ホルダＨ、Ｈ１は、図１１に示すように、平面視において走行レール１００の＋Ｙ側及び−Ｙ側の側方に、走行レール１００に沿って設けられている。ホルダＨ、Ｈ１は、搬送車Ｍに対して電力を供給するための給電線Ｆを支持する。なお、第１レール１０及び第２レール２０においては、＋Ｙ側及び−Ｙ側のいずれか一方にホルダＨが配置されてもよいし、＋Ｙ側及び−Ｙ側の双方にホルダＨが配置されてもよい。
【００５０】
第１レール１０に対応するホルダＨは、第１レール１０又は第１建屋１０１に取り付けられる。第２レール２０に対応するホルダＨの一部は、第２レール２０又は第２建屋１０２に取り付けられる。第２レール２０の伸縮部２６に対応するホルダＨは、プレート等の接続部材Ｓ１を介してガイドＧに取り付けられる。
【００５１】
中間レール３０に対応するホルダＨ１は、プレート等の接続部材Ｓ２を介してガイドＧに取り付けられる。ホルダＨ１は、接続部材Ｓ２を介してガイドＧと一体となっているが、この構成に限定されず、例えば、中間レール３０の一部に取り付けられてもよい。ホルダＨ１は、中間レール３０が落下した際、中間レール３０とともに落下する。図１１では、ホルダＨ１にハッチングを施している。ホルダＨとホルダＨ１との間、及びホルダＨ１同士の間は、隙間Ｌが設けられている。この隙間Ｌにより、第２レール２０の伸縮部２６及び中間レール３０が第１クロスローラＲ１、第２クロスローラＲ２により回転した際、ホルダＨとホルダＨ１とが接触して、又はホルダＨ１同士が接触して、ホルダＨ、Ｈ１が破損するのを防止している。また隙間Ｌにより、中間レール３０が、第１レール１０又は第２レール２０に対して第２方向Ｄ２（＋Ｙ方向）に相対的に移動する際、中間レール３０に備えるホルダＨ１が第１レール１０又は第２レール２０に干渉せず、また、中間レール３０に備えるホルダＨ１が第１レール１０又は第２レール２０に干渉しない。
【００５２】
また、第１レール１０の−Ｙ側に配置されたホルダＨは、中間レール３０の−Ｙ側まで延びている。この延びた部分が長いと、中間レール３０が第１クロスローラＲ１により回転した際に、ホルダＨの＋Ｘ側端部が中間レール３０等と干渉する可能性がある。従って、このホルダＨは、第２方向Ｄ２に第１レール１０から離して配置されてもよい。また、中間レール３０の＋Ｙ側かつ−Ｘ側に配置されたホルダＨ１は、第１レール１０の＋Ｙ側まで延びている。この延びた部分が長いと、中間レール３０が第１クロスローラＲ１により回転した際に、ホルダＨ１の−Ｘ側端部が中間レール３０等と干渉する可能性がある。従って、このホルダＨ１は、第２方向Ｄ２に中間レール３０から離して配置されてもよい。
【００５３】
また、第２レール２０の＋Ｙ側かつかつ−Ｘ側に配置されたホルダＨは、第２レール２０の伸縮部２６の＋Ｙ側まで延びている。この延びた部分が長いと、伸縮部２６が第２クロスローラＲ２により回転した際に、ホルダＨの−Ｘ側端部が伸縮部２６等と干渉する可能性がある。従って、このホルダＨは、第２方向Ｄ２に第２レール２０から離して配置されてもよい。また、伸縮部２６の−Ｙ側に配置されたホルダＨは、第２レール２０の−Ｙ側まで延びている。この延びた部分が長いと、伸縮部２６が第２クロスローラＲ２により回転した際に、ホルダＨの＋Ｘ側端部が第２レール２０等と干渉する可能性がある。従って、このホルダＨは、第２方向Ｄ２に伸縮部２６から離して配置されてもよい。
【００５４】
給電線Ｆの配置について説明する。以下の説明では、給電線Ｆが、第１レール１０から順に第２レール２０に至るまでの配置を例に挙げて説明する。給電線Ｆは、図１１に示すように、第１レール１０の−Ｙ側のホルダＨの＋Ｘ側端部から中間レール３０の上側を−Ｘ方向に戻りつつ引き回されて、＋Ｙ側かつ−Ｘ側のホルダＨ１の−Ｘ側端部に入り込む。続いて、給電線Ｆは、このホルダＨ１の＋Ｘ側端部から中間レール３０の上側を−Ｘ方向に戻りつつ引き回されて、−Ｙ側のホルダＨ１の−Ｘ側端部に入り込む。続いて、給電線Ｆは、このホルダＨ１の＋Ｘ側端部から中間レール３０の上側を−Ｘ方向に戻りつつ引き回されて、＋Ｙ側かつ＋Ｘ側のホルダＨ１の−Ｘ側端部に入り込む。続いて、給電線Ｆは、このホルダＨ１の＋Ｘ側端部から中間レール３０の上側を−Ｘ方向に戻りつつ引き回されて、第２レール２０の＋Ｙ側のホルダＨの−Ｘ側端部に入り込み、複数のホルダＨに沿って＋Ｘ方向に延びて配置される。
【００５５】
このように、走行レール１００を走行する搬送車Ｍに対して、＋Ｙ側又は−Ｙ側のいずれか一方に給電線Ｆを配置して、搬送車Ｍの走行中に給電線Ｆからの電力の供給が途切れることを回避している。また、上記した給電線Ｆの配置において、＋Ｙ側から−Ｙ側に引き回される場合、及び、−Ｙ側から＋Ｙ側に引き回される場合のいずれについても中間レール３０等の上側を−Ｘ方向に戻りつつ引き回されている。すなわち、給電線Ｆがきつく張られていると、第１レール１０、第２レール２０、及び中間レール３０が相対的に移動した際（例えば、第１方向Ｄ１への伸縮、第２方向Ｄ２へのずれなど）にすぐに断線する場合があり、上記のように給電線Ｆを引き回すことにより、第１レール１０、第２レール２０、及び中間レール３０の相対的な移動時に、給電線Ｆが容易に断線しないようにしている。また、中間レール３０が落下したときには、ガイドＧとともにホルダＨ１も落下し、このホルダＨ１に指示されていた給電線Ｆも落下する。その際、給電線Ｆは、図１１に示す２つのポイントＰ又はこれらポイントＰの近傍でそれぞれ切断される。給電線Ｆの切断箇所がほぼ特定されるので、再度、中間レール３０を設置する際に、給電線Ｆの接続を容易に行うことが可能となる。
【００５６】
また、図１１に示すように、第１レール１０のホルダＨは、中間レール３０の−Ｙ側に延びて配置されている。また、中間レール３０の＋Ｙ側かつ＋Ｘ側のホルダＨ１は、第２レール２０の伸縮部２６の＋Ｙ側まで延びている。上記したように、連結部７０は、中間レール３０が第２レール２０に対して＋Ｙ方向についてのみ移動可能となるように構成されている。従って、中間レール３０が第１レール１０又は第２レール２０に対して＋Ｙ方向に移動しても、第１レール１０のホルダＨ、及び中間レール３０のホルダＨ１が他の部分と干渉しないようにしている。すなわち、連結部７０は、このようなホルダＨ、Ｈ１の一部が他の部分と干渉しないように、中間レール３０を第２レール２０に対して第２方向Ｄ２の一方向にのみ移動可能としている。
【００５７】
図１２（Ａ）は、第２レール２０及び中間レール３０の伸縮部２６、３２の一例を示す側面図であり、（Ｂ）は、一部を拡大した側面図である。図１２（Ａ）に示すように、第２レール２０の伸縮部２６は、第１方向Ｄ１に並んで配置される複数のセグメント構造体２７がガイドＧに吊り下げられて、ガイドＧによりガイドされて第１方向Ｄ１に移動可能な状態となっている。同様に、中間レール３０の伸縮部３２は、第１方向Ｄ１に並んで配置される複数のセグメント構造体３４がガイドＧに吊り下げられて、ガイドＧによりガイドされて第１方向Ｄ１に移動可能な状態となっている。各セグメント構造体２７、３４間には隙間が設けられている。この隙間は、搬送車Ｍが通過可能な隙間である。
【００５８】
各セグメント構造体２７同士は、フランジ部２７ａ、２７ｂ及び軸部２８により連結されている。また、各セグメント構造体３４同士は、フランジ部３４ａ、３４ｂ及び軸部３５により連結されている。図１２（Ｂ）に示すように、軸部２８、３５は、隣り合うセグメント構造体２７の一方のフランジ部２７ａ、３４ａに取り付けられ、他方のフランジ部２７ｂ、３４ｂの貫通孔２７ｃ、３４ｃを貫通してナット２８ａ、３５ａが取り付けられている。フランジ部２７ａ、３４ａとフランジ部２７ｂ、３４ｂとの間には、コイルばね等の弾性部材２９、３６が配置されている。弾性部材２９、３５のそれぞれは、例えば、Ｘ方向の寸法、弾性定数等において同一である。この構成により、伸縮部２６、３２が伸縮する場合に、各セグメント構造体２７、３４間の隙間が同一又はほぼ同一となる。弾性部材２９、３５は、自然長に対して収縮しかつさらに収縮する余地を残した状態でフランジ部２７ａ、２７ｂ間及びフランジ部３４ａ、３４ｂ間に配置される。
【００５９】
伸縮部２６は、Ｘ方向の両端のセグメント構造体２７の間に収縮方向又は伸長方向への力が作用することで伸縮可能である。同様に、伸縮部３２は、Ｘ方向の両端のセグメント構造体３４の間に収縮方向又は伸長方向への力が作用することで伸縮可能である。また、伸縮部２６と伸縮部３２との間は、連結部７０により連結されている。連結部７０は上記したように第１方向Ｄ１に伸縮可能であるため、伸縮部２６及び伸縮部３２は全体として第１方向Ｄ１に伸縮可能となり、長さＬ３が可変となっている。
【００６０】
続いて、上記した走行レール１００の動作あるいは機能について説明する。走行レール１００が第１建屋１０１と第２建屋１０２とにわたって形成された状態で地震等が発生した場合、第１建屋１０１と第２建屋１０２とが互いに異なる周波数及び振幅で揺れることから、建屋間の走行レール１００には、両側の建屋の揺れによって第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２あるいは第３方向Ｄ３に力を受けることになる。
【００６１】
図１３から図１７は、地震等が発生した場合の走行レール１００の状態の一例を示す図である。図１３及び図１４は、走行レール１００に対して第１方向Ｄ１の力が加えられる場合の一例を示す図である。例えば、第１建屋１０１と第２建屋１０２との間が第１方向Ｄ１に近づく場合、図１３（Ａ）に示すように、第１レール１０と第２レール２０との間には圧縮力が作用し、第２レール２０の伸縮部２６及び中間レール３０の伸縮部３２が縮められる。従って、走行レール１００に加えられる第１方向Ｄ１の圧縮力は、伸縮部２６、３２により吸収される。
【００６２】
次に、走行レール１００に作用する第１方向Ｄ１の圧縮力が伸縮部２６、３２の収縮限界を超える場合、つまり、圧縮力が伸縮部２６、３２により吸収できない場合には、中間レール３０が第２レール２０に押されることにより、第１レール１０と中間レール３０との間の第１接続部材５０に対して圧縮力（応力）が集中する。この圧縮力により、中間レール３０及び第１レール１０に対して端部１０ａ、第１端部３１ａ（図１等参照）の傾き方向に沿う方向にせん断力（応力）が作用して、このせん断力が第１所定値以上になると第１接続部材５０のピン５２が破断し（図８参照）、図１３（Ｂ）に示すように、第１レール１０と中間レール３０とが分断される。この場合、中間レール３０が第１レール１０の端部１０ａの傾き方向に沿って第２方向Ｄ２の一方（本実施形態では、＋Ｙ方向）に移動する。
【００６３】
次に、図１３（Ｂ）に示す状態から、さらに走行レール１００に第１方向Ｄ１の圧縮力が作用する場合には、中間レール３０が第１レール１０に当たっていることから、第２レール２０と中間レール３０との間の第２接続部材６０に対して圧縮力が集中する。この圧縮力により、中間レール３０及び第２レール２０に対して端部２０ａ、第２端部３２ｂ（図１等参照）の傾き方向に沿う方向にせん断力が作用して、このせん断力が第２所定値以上になると第２接続部材６０のピン６２が破断し、さらに連結部７０の連結が解除され（図１０参照）、図１３（Ｃ）に示すように、中間レール３０が第２方向Ｄ２の一方（本実施形態では、＋Ｙ方向）に移動する。このとき、第２レール２０の伸縮部２６が伸びることにより、第２方向Ｄ２の他方（本実施形態では、−Ｙ方向）に移動する場合もある。
【００６４】
中間レール３０は、第２方向Ｄ２の一方（＋Ｙ方向）に移動する際、第２所定長さＷ２を超えて移動することにより、支持部４０から外れて落下する（図６参照）。図１３（Ｃ）では、支持部４０から外れた部分にハッチングを施している。また、第２レール２０の伸縮部２６は、第２方向Ｄ２の他方（−Ｙ方向）に第２所定長さＷ２を超えて移動した場合、支持部４０から外れて垂れ下がった状態となる。
【００６５】
次に、第１建屋１０１と第２建屋１０２との間が第１方向Ｄ１に離れる場合、図１４（Ａ）に示すように、走行レール１００は、第１レール１０と第２レール２０との間に張力が作用し、第２レール２０の伸縮部２６及び中間レール３０の伸縮部３２が伸長される。従って、走行レール１００に作用する第１方向Ｄ１の張力は、伸縮部２６、３２により吸収される。
【００６６】
次に、走行レール１００に作用する第１方向Ｄ１の張力が伸縮部２６、３２の伸長限界を超える場合、つまり、張力を伸縮部２６、３２で吸収できない場合には、第２レール２０と中間レール３０との間が連結部７０により連結されていることから、第１レール１０と中間レール３０との間の第１接続部材５０に対してせん断力が集中する。このせん断力が第１所定値以上になると、第１接続部材５０のピン５２が破断され、図１４（Ｂ）に示すように、第１レール１０と中間レール３０とが分断される。中間レール３０及び第２レール２０の伸縮部２６は、第１レール１０から第１方向Ｄ１に離れる方向（本実施形態では、＋Ｘ方向）に移動する。
【００６７】
中間レール３０及び第２レール２０の伸縮部２６（先端部分２３）が第１所定長さＷ１を超えて第１方向Ｄ１に移動することにより、支持部４０から外れて（図５参照）、図１４（Ｃ）に示すように、中間レール３０及び第２レール２０の伸縮部２６（先端部分２３）が垂れ下がった状態となる。図１４（Ｃ）では、支持部４０から外れて垂れ下がった部分にハッチングを施している。
【００６８】
図１５から図１７は、走行レール１００に対して第２方向Ｄ２の力が作用する場合の例を示している。図１５（Ａ）に示すように、第２建屋１０２が第１建屋１０１に対して−Ｙ方向にずれる場合、中間レール３０及び第２レール２０の伸縮部２６は第１クロスローラＲ１、第２クロスローラＲ２により第１建屋１０１及び第２建屋１０２の移動に追従するが、第１レール１０と第２レール２０との間が拡がることから、走行レール１００には張力が作用して第２レール２０の伸縮部２６及び中間レール３０の伸縮部３２が伸長される。従って、第１建屋１０１と第２建屋１０２とのＹ方向のずれは、伸縮部２６、３２等により吸収される。
【００６９】
次に、第１建屋１０１と第２建屋１０２とのＹ方向のずれが大きくなり、走行レール１００に作用する第１方向Ｄ１の張力が伸縮部２６、３２の伸長限界を超える場合、つまり、張力を伸縮部２６、３２で吸収できない場合には、第１接続部材５０及び第２接続部材６０の一方又は双方に対してせん断力が集中する。まず、第１接続部材５０に対して先にせん断力が集中する場合について説明する。第１接続部材５０に作用するせん断力が第１所定値以上になると、図１５（Ｂ）に示すように、第１接続部材５０のピン５２が破断し、第１レール１０と中間レール３０とが端部１０ａ、第１端部３１ａに沿って互いに第２方向Ｄ２の反対方向に移動することで第１レール１０と中間レール３０とが分断される。
【００７０】
さらに第１建屋１０１と第２建屋１０２とのＹ方向のずれが大きくなると、第２レール２０と中間レール３０との間の第２接続部材６０に対してせん断力が集中する。この場合、第２レール２０及び中間レール３０の端部２０ａ、第２端部３２ｂの傾き方向に沿った方向にせん断力が作用する。このせん断力が第２所定値以上になると、図１５（Ｃ）に示すように、第２接続部材６０のピン６２が破断し、第２レール２０と中間レール３０とが端部２０ａ、第２端部３２ｂに沿って互いに第２方向Ｄ２の反対方向に移動することで連結部７０の連結が解除され、第２レール２０と中間レール３０とが分断される。
【００７１】
第１レール１０及び第２レール２０から分断された中間レール３０は、第２所定長さＷ２を超えて第２方向Ｄ２に移動することにより、支持部４０から外れて落下する。また、第２レール２０の伸縮部２６（先端部分２３）は、第２所定長さＷ２を超えて第２方向Ｄ２に移動することにより支持部４０から外れて垂れ下がった状態となる。図１５（Ｃ）では、支持部４０から外れて落下した部分及び垂れ下がった部分にハッチングを施している。
【００７２】
次に、図１６（Ａ）に示すように、第２レール２０の伸縮部２６及び中間レール３０の伸縮部３２が伸長された状態（図１５（Ａ）と同様の状態）から、第２接続部材６０に対して先にせん断力が集中する場合について説明する。中間レール３０及び第２レール２０の伸縮部２６は第１クロスローラＲ１、第２クロスローラＲ２により第１建屋１０１及び第２建屋１０２のずれに追従しているが、このとき、せん断力が第２接続部材６０に先に作用する場合がある。第２建屋１０２が第１建屋１０１に対して−Ｙ方向にずれる場合、中間レール３０の第１端部３１ａの傾斜が第１レール１０の端部１０ａの傾斜に係止されているので、第２接続部材６０に対してせん断力が集中する場合がある。このせん断力が第２所定値以上になると、図１６（Ｂ）に示すように、第２接続部材６０のピン６２が破断し、第２レール２０と中間レール３０とが端部２０ａ、第２端部３２ｂに沿って互いに第２方向Ｄ２の反対方向に移動することで連結部７０の連結が解除され、第２レール２０と中間レール３０とが分断される。
【００７３】
さらに第１建屋１０１と第２建屋１０２とのＹ方向のずれが大きくなると、第２レール２０の伸縮部２６が第２所定長さＷ２を超えて第２方向Ｄ２に移動することにより支持部４０から外れ、図１６（Ｃ）に示すように、第２レール２０の伸縮部２６（先端部分２３）は、垂れ下がった状態となる。図１６（Ｃ）では、支持部４０から外れて垂れ下がった部分にハッチングを施している。
【００７４】
次に、第１建屋１０１に対して第２建屋１０２が＋Ｙ方向にずれる場合、図１７（Ａ）に示すように、中間レール３０及び第２レール２０の伸縮部２６は第１クロスローラＲ１、第２クロスローラＲ２により第１建屋１０１及び第２建屋１０２の移動に追従するが、第１レール１０と第２レール２０との間が拡がることから、走行レール１００には張力が作用して第２レール２０の伸縮部２６及び中間レール３０の伸縮部３２が伸長される。従って、第１建屋１０１と第２建屋１０２とのＹ方向のずれは、伸縮部２６、３２により吸収される。
【００７５】
次に、第２建屋１０２が第１建屋１０１に対して−Ｙ方向のずれが大きくなると、中間レール３０の第２端部３２ｂの傾斜が第２レール２０の端部２０ａの傾斜に係止されているので、第１接続部材５０に対してせん断力が集中する。走行レール１００に作用する第１方向Ｄ１の張力が伸縮部２６、３２の伸長限界を超える場合、つまり、張力を伸縮部２６、３２で吸収できない場合、第１接続部材５０に対するせん断力が第１所定値以上になると、図１７（Ｂ）に示すように、第１接続部材５０のピン５２が破断し、第１レール１０と中間レール３０とが端部１０ａ、第１端部３１ａに沿って互いに第２方向Ｄ２の反対方向に移動することで第１レール１０と中間レール３０とが分断される。
【００７６】
図１７（Ｃ）に示すように、中間レール３０及び第２レール２０の伸縮部２６が第２所定長さＷ２を超えて第２方向Ｄ２に移動することにより、支持部４０から外れて垂れ下がった状態となる。図１７（Ｃ）では、支持部４０から外れて垂れ下がった部分にハッチングを施している。
【００７７】
このように、本実施形態によれば、第１接続部材５０又は第２接続部材６０にそれぞれ所定値以上のせん断力（応力）が作用すると、第１接続部材５０又は第２接続部材６０による接続を破断させ、中間レール３０を落下あるいは垂れ下がった状態とすることができるので、第１レール１０及び第２レール２０に与える影響（湾曲又は損傷等）を軽減しつつ、例えば、狭いスペースに配置された中間レール３０が例えば隣接する他の走行レール１００（又は走行レール１００の近傍に設けられる構造物）等に接触することを回避して、走行レール１００の損傷を低減できる。また、平常時には、第１接続部材５０により第１レール１０と中間レール３０とが接続され、第２接続部材６０により第２レール２０と中間レール３０とが接続されるため、中間レール３０が第１レール１０及び第２レール２０に対して位置決めされることにより、両者間がずれて段差が生じることを抑制でき、搬送車Ｍを円滑に走行させることができる。
【００７８】
図１８は、第２レール２０の中間レール３０側に配置された構造体Ｖを第２レール２０に保持する保持部材８０の一例を示す図である。図１８では、走行レール１００を第２方向Ｄ２から見た場合の一例を示している。図１８に示すように、本実施形態において、構造体Ｖは、第２レール２０の伸縮部２６上に配置されているガイドＧと、伸縮部２６の下方に配置されているホルダＨとを含む。ガイドＧとホルダＨとは、プレート等の接続部材Ｓ１により一体となって構造体Ｖを形成する。保持部材８０は、例えばワイヤ、チェーンなどが用いられる。保持部材８０は、伸縮部２６に対応するホルダＨと、第２建屋１０２内の第２レール２０の固定部２１とを連結している。この構成により、構造体Ｖは、保持部材８０によって第２レール２０の固定部２１に連結された状態となっている。
【００７９】
従って、図１８に示すように、第２レール２０の伸縮部２６が垂れ下がった状態となっても、保持部材８０により構造体Ｖを固定部２１に保持するため、この構造体Ｖが伸縮部２６から抜け落ちることを防止している。なお、構造体Ｖは、ガイドＧとホルダＨとで構成されることに限定されず、ガイドＧのみであってもよいし、ホルダＨのみであってもよい。また、ガイドＧ及びホルダＨ以外の部材がガイドＧ又はホルダＨに連結されて構造体Ｖが構成されてもよい。
【００８０】
図１９は、走行レール１００に配置された架台８５の一例を示す図である。図１９では、走行レール１００を第１方向Ｄ１から見た場合の一例を示している。図１９に示すように、走行レール１００のうち中間レール３０の下方に、落下する中間レール３０を受け止めるための架台８５が設けられている。架台８５は、吊り金具８５ａによって第１建屋１０１の天井部Ｃ（図３参照）等から吊り下げられた状態で配置される。架台８５の高さは、搬送車Ｍが通過可能な高さに設定される。架台８５は、板状であってもよいし、梯子状として隙間を備える形態のいずれであってもよい。架台８５は、落下する中間レール３０を受け止めるため、中間レール３０が床面に落下するのを防止できる。また、架台８５は、中間レール３０の下方に加えて、例えば、第２レール２０の伸縮部２６の下方にまで延びて設置されてもよい。
【００８１】
図２０は、走行レール１００に設けられた検出部９０の一例を示す図である。検出部９０は、例えば、第２レール２０の基部２５に対する伸縮部２６の向き、第１レール１０と中間レール３０との接続状態、第２レール２０と中間レール３０との接続状態などを検出する。図２０に示すように、検出部９０は、複数の光センサ９１、９２、９３、９４と、この光センサ９１等のそれぞれが電気的に接続される回路基板９５とを備える。光センサ９１等は、検出結果を回路基板９５に出力する。回路基板９５は、光センサ９１等からの出力を処理する処理回路を備え、処理結果を不図示の制御装置等に送信する。
【００８２】
光センサ９１、９２は、第２レール２０の基部２５と伸縮部２６との間において＋Ｙ側と−Ｙ側に設置される。光センサ９１、９２は、基部２５に対する伸縮部２６の水平方向及び鉛直方向における向きを検出する。光センサ９３は、第２レール２０と中間レール３０との間に設置され、両者間のずれを検出する。光センサ９４は、第１レール１０と中間レール３０との間に設置され、両者間のずれを検出する。検出部９０は、伸縮部２６の向き、第１レール１０と中間レール３０とのずれ、及び第２レール２０と中間レール３０とのずれを検出するので、第１レール１０、第２レール２０、及び中間レール３０の配置及び接続状態を容易に把握することができる。
【００８３】
なお、検出部９０は、光センサ９１等を用いることに限定されない。例えば、光センサに代えて、磁気センサ又は静電容量センサなどの非接触型のセンサが用いられてもよいし、プローブ等を用いた接触型のセンサが用いられてもよい。
【００８４】
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。上記した実施形態では、第２レール２０が伸縮部２６を備える構成を例に挙げているが、この構成に限定されない。例えば、伸縮部２６に相当する構成を第２レール２０に代えて第１レール１０が備えていてもよいし、第１レール１０及び第２レール２０の双方が伸縮部２６に相当する構成を備えていてもよい。
【００８５】
また、上記した実施形態では、第２レール２０と中間レール３０とにわたって連結部７０が設けられる構成を例に挙げて説明してるが、さらに、第１レール１０と中間レール３０とにわたって連結部７０が設けられてもよい。この構成により、中間レール３０が第１レール１０又は第２レール２０に対して相対的に第２方向Ｄ２に移動する場合に、中間レール３０に備えるホルダＨ１が第１レール１０又は第２レール２０に干渉すること、及び第１レール１０又は第２レール２０に備えるホルダＨが中間レール３０に干渉することを防止できる。また、第２レール２０と中間レール３０とにわたって設けられる連結部７０と、第１レール１０と中間レール３０とにわたって設けられる連結部７０とを併せることで、中間レール３０が第１レール１０又は第２レール２０に対して移動する方向（第２方向Ｄ２のうちの一方向）を限定することができる。
【符号の説明】
【００８６】
Ｄ１・・・第１方向
Ｄ２・・・第２方向
Ｄ３・・・第３方向
Ｇ・・・ガイド
Ｈ、Ｈ１・・・ホルダ
Ｍ・・・搬送車
Ｒ１・・・第１クロスローラ
Ｒ２・・・第２クロスローラ
Ｖ・・・構造体
Ｗ１・・・第１所定長さ
Ｗ２・・・第２所定長さ
１０・・・第１レール
１０ｓ、２０ｓ、３０ｓ、１００ｓ・・・走行面
２０・・・第２レール
２１・・・固定部
２２・・・中間部
２３・・・先端部分
２３２４・・・ピン構造部
２７、３４・・・セグメント構造体
２９、３６、７４・・・弾性部材
３０・・・中間レール
３１ａ・・・第１端部
３２ｂ・・・第２端部
４０・・・支持部
４１・・・第１スライダ
４２・・・第１ガイド
４３・・・第２スライダ
４４・・・第２ガイド
４５・・・旋回部
５０・・・第１接続部材
５１、６１・・・板状部材
５１ａ、６１ａ・・・貫通孔
５２、６２・・・ピン
５３ａ、６３ａ・・・孔部
６０・・・第２接続部材
７０、７０Ａ、７０Ｂ・・・連結部
８０・・・保持部材
８５・・・架台
９０・・・検出部
１００・・・走行レール
１０１・・・第１建屋
１０２・・・第２建屋
【図１】
2019186428.tif 000003
【図２】
2019186428.tif 000004
【図３】
2019186428.tif 000005
【図４】
2019186428.tif 000006
【図５】
2019186428.tif 000007
【図６】
2019186428.tif 000008
【図７】
2019186428.tif 000009
【図８】
2019186428.tif 000010
【図９】
2019186428.tif 000011
【図１０】
2019186428.tif 000012
【図１１】
2019186428.tif 000013
【図１２】
2019186428.tif 000014
【図１３】
2019186428.tif 000015
【図１４】
2019186428.tif 000016
【図１５】
2019186428.tif 000017
【図１６】
2019186428.tif 000018
【図１７】
2019186428.tif 000019
【図１８】
2019186428.tif 000020
【図１９】
2019186428.tif 000021
【図２０】
2019186428.tif 000022