(57)【要約】【課題】長尺状の粘着テープを所定の形状にプリカットして不要な部分の粘着テープを剥離する構成において、不要な部分の粘着テープのみを確実に剥離できる粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置を提供する。【解決手段】粘着テープＴの切断軌跡Ｋのうち、分離開始箇所Ｐを含む第１領域Ｋ１では粘着テープＴを比較的深く切断する。第１領域Ｋ１を除く第２領域Ｋ２では比較的浅く切断する。第１領域Ｋ１において粘着テープＴの層を確実かつ完全に切断されるので、不要テープＴｎのみがキャリアテープｃｔから剥離される。分離開始箇所Ｐにおいて不要テープＴｎのみが剥離されることにより、分離開始箇所Ｐを開始点として切断軌跡Ｋの全体に剪断力が連鎖的に作用する。その結果、切断軌跡Ｋの全体において切れ残り部分は剪断されるので、粘着テープ片Ｔｗがキャリアテープｃｔから剥離される事態を回避できる。【選択図】図７
2019186268.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアテープが添設された長尺の粘着テープを前記キャリアテープ上で切断して粘着テープ片を形成させ、不要となった部分の前記粘着テープである不要テープを前記キャリアテープから剥離させる粘着テープ剥離方法であって、
前記キャリアテープが添設された長尺の前記粘着テープを繰り出し供給するテープ供給過程と、
供給された前記粘着テープを切断機構によって所定形状の切断軌跡に沿って環状に切断し、粘着テープ片を形成させる切断過程と、
前記粘着テープ片の周囲に残る前記不要テープをキャリアテープから剥離する剥離過程と、
を備え、
前記切断過程は、
前記切断軌跡のうち少なくとも分離開始箇所を含む第１領域において前記粘着テープを切断する深さを、前記切断軌跡のうち前記第１領域以外の第２領域において前記粘着テープを切断する深さよりも深くする
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。  
【請求項２】
請求項１に記載の粘着テープ剥離方法であって、
前記切断軌跡は矩形であり、
前記剥離過程は、
前記不要テープを剥離する剥離方向を前記粘着テープの長尺方向から傾斜させる
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。  
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の粘着テープ剥離方法であって、
前記切断過程は、
前記第１領域において前記粘着テープを切断する深さを少なくとも前記キャリアテープの下面まで切断する深さとなるように制御する
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法であって、
前記剥離過程は、
前記粘着テープ片が前記キャリアテープから浮き上がることを抑止する抑止部材を、前記粘着テープのうち少なくとも前記分離開始箇所を含む領域に当接または近接させた状態で前記不要テープの剥離を開始する
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
【請求項５】
キャリアテープが添設された長尺の粘着テープを前記キャリアテープ上で切断して粘着テープ片を形成させ、不要となった部分の前記粘着テープである不要テープを前記キャリアテープから剥離させる粘着テープ剥離装置であって、
前記キャリアテープが添設された長尺の前記粘着テープを繰り出し供給するテープ供給部と、
供給された前記粘着テープを所定形状の切断軌跡に沿って環状に切断し、粘着テープ片を形成させる切断機構と、
前記粘着テープ片の周囲に残る前記不要テープをキャリアテープから剥離する剥離機構と、
剥離された前記不要テープを回収するテープ回収部と、
を備え、
前記切断機構は、
前記切断軌跡のうち少なくとも分離開始箇所を含む第１領域において前記粘着テープを切断する深さを、前記切断軌跡のうち前記第１領域以外の第２領域において前記粘着テープを切断する深さよりも深くするように調整される
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
【請求項６】
請求項５に記載の粘着テープ剥離装置であって、
前記切断軌跡は矩形であり、
前記剥離機構は、
前記不要テープを剥離する剥離方向を前記粘着テープの長尺方向から傾斜させる
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。  
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載の粘着テープ剥離装置であって、
前記切断機構は、
前記第１領域において前記粘着テープを切断する深さを少なくとも前記キャリアテープの下面まで切断する深さとなるように調整される
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
【請求項８】
請求項５ないし請求項７のいずれかに記載の粘着テープ剥離装置であって、
前記剥離機構は、
前記粘着テープ片が前記キャリアテープから浮き上がることを抑止する抑止部材を、前記粘着テープのうち少なくとも前記分離開始箇所を含む領域に当接または近接させた状態で前記不要テープの剥離を開始する
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャリアテープが添設された長尺の粘着テープをキャリアテープ上で粘着テープ片に切断し、粘着テープ片以外の不要となった部分の粘着テープをキャリアテープから剥離させる粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）の表面に回路パターンが形成された後、バックグラインド工程によってウエハの裏面を研削し、さらにダイシング工程によって当該ウエハを多数のチップ部品に分断する。この場合、ダイシング工程でウエハから分断されたチップ部品が飛散することを防ぐため、支持用の粘着テープ（ダイシングテープ）を、リングフレームとウエハの裏面とにわたって密着するように貼り付けて一体化させる方法が提案されている。
【０００３】
ダイシングテープをワーク（ここではリングフレームとウエハ）に貼り付ける処理を行う場合、一例として以下のように実施される。まず、図１６（ａ）に示すように、キャリアテープｃｔが添設された長尺の粘着テープＴを原反ロールから繰り出し供給する。次に、図１６（ｂ）に示すように、切断軌跡Ｋに沿って、当該粘着テープＴをキャリアテープｃｔ上でハーフカットする。当該ハーフカットにより粘着テープＴの層が厚み方向に切断され、切断軌跡Ｋに応じた所定形状の粘着テープ片Ｔｗが形成される。
【０００４】
ハーフカットを行った後、所定の形状にハーフカットされて形成された粘着テープ片Ｔｗの周囲に残される、不要な部分の粘着テープＴｎをキャリアテープから巻き上げて剥離する。なお、長尺の粘着テープＴにおいて、不要な粘着テープＴｎの剥離が進んでいく方向（剥離方向）については符号Ｍで示している。
【０００５】
当該剥離により、図１６（ｃ）に示すように、キャリアテープｃｔ上に粘着テープ片Ｔｗが貼残された、プリカットテープＰＴが作製される。最後に、当該プリカットテープＰＴの粘着テープ片Ｔｗをキャリアテープｃｔから剥離するとともに、リングフレームと当該リングフレームの中央に配置されたウエハとにわたって、粘着テープ片を貼り付ける（特許文献１、２を参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−０８４６８８号公報
【特許文献２】特開２０１４−０１７３５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。
【０００８】
すなわち従来の構成では、図１６（ｄ）に示すように、ハーフカットの後に不要な部分の粘着テープＴｎを巻き上げる際に、粘着テープ片Ｔｗが不要な部分の粘着テープＴｎとともにキャリアテープｃｔから剥離されるという事態が発生する。当該事態が発生すると、プリカットテープＰＴの作製にエラーが生ずるので、粘着テープをワークに貼り付けることができなくなるという問題が懸念される。
【０００９】
このような問題について、発明者は鋭意検討を重ねた結果、以下の結論に達した。従来の構成においてプリカットテープＰＴを作製する場合、図１７（ａ）に示すように、粘着テープＴを切断する環状の切断刃Ｒを下降させる。そして切断刃Ｒの下端の高さがキャリアテープｃｔの層に相当する所定の高さＨに到達するまで、切断刃Ｒを下降させる。
【００１０】
当該高さＨまで切断刃Ｒを下降させることにより、切断刃Ｒの形状に応じた所定の形状（一例として、円形や矩形）に粘着テープＴが切断され、当該所定形状の粘着テープ片Ｔｗが形成される。そのため、ハーフカットが完了すると、想定上は図１７（ｂ）に示す通り、高さＨへ下降した切断刃Ｒによって粘着テープＴの層が完全に切断される。すなわち、粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとは完全に分離されるはずである。
【００１１】
しかしながら、実際には図１７（ｃ）に示すように、切断刃Ｒが粘着テープＴを上方から押圧することによって、粘着テープＴの層とキャリアテープｃｔの層との界面Ｎが下方へ沈み込むように変形する。そのため、実際の切断過程では図１７（ｄ）で示すように、切断刃Ｒは高さＨへ下降しても粘着テープＴの層を完全に切断できておらず、結果として図１７（ｅ）において点線で示すような切れ残り部分Ｆが発生する場合がある。特にキャリアテープｃｔが軟質の材料で構成される場合、界面Ｎが変形する事態はより顕著に発生すると考えられる。
【００１２】
切れ残り部分Ｆが発生することにより、粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとが完全に分離されず、不要テープＴｎを巻き上げる際に粘着テープ片Ｔｗが不要テープＴｎとともに巻き上げられてキャリアテープｃｔから剥離されると考えられる。このように、従来の構成では、プリカットテープＰＴを好適に作製して粘着テープ片Ｔｗをワークに精度良く貼り付けることが困難である。
【００１３】
このような切れ残り部分Ｆの発生を回避するための別の方法として、プリカットにおいて高さＨより下方の高さにまで切断刃Ｒを下降させ、当該高さにわたって粘着テープＴを切断する方法が考えられる。しかし当該別の方法に係る構成を用いてプリカットテープＰＴの作製工程を行うと、切断軌跡Ｋの全体にわたって、切断刃Ｒが粘着テープＴの層のみならずキャリアテープｃｔの層まで完全に切断するという新たな問題が懸念される。
【００１４】
キャリアテープｃｔの層まで完全に切断された場合、プリカットテープＰＴの粘着テープ片Ｔｗをキャリアテープｃｔから剥離してワークに貼り付ける際に、キャリアテープｃｔのうち粘着テープ片Ｔｗと接している部分が粘着テープ片Ｔｗとともにキャリアテープｃｔから剥離される。その結果、粘着テープ片Ｔｗとワークとの間に当該剥離されたキャリアテープｃｔが入り込むので、粘着テープ片Ｔｗの貼り付けエラーが発生する事態が懸念される。
【００１５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、キャリアテープが添設されている長尺状の粘着テープを所定の形状にハーフカットして不要な部分の粘着テープを剥離する構成において、不要な部分の粘着テープのみを確実に剥離できる粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、キャリアテープが添設された長尺の粘着テープを前記キャリアテープ上で切断して粘着テープ片を形成させ、不要となった部分の前記粘着テープである不要テープを前記キャリアテープから剥離させる粘着テープ剥離方法であって、
前記キャリアテープが添設された長尺の前記粘着テープを繰り出し供給するテープ供給過程と、
供給された前記粘着テープを切断機構によって所定形状の切断軌跡に沿って環状に切断し、粘着テープ片を形成させる切断過程と、
前記粘着テープ片の周囲に残る前記不要テープをキャリアテープから剥離する剥離過程と、
を備え、
前記切断過程は、
前記切断軌跡のうち少なくとも分離開始箇所を含む第１領域において前記粘着テープを切断する深さを、前記切断軌跡のうち前記第１領域以外の第２領域において前記粘着テープを切断する深さよりも深くする
ことを特徴とするものである。  
【００１７】
（作用・効果）この構成によれば、切断過程において、キャリアテープが添設された長尺の粘着テープを切断機構によって所定形状の切断軌跡に沿って環状に切断し、粘着テープ片を形成させる。そして剥離過程において、粘着テープ片の周囲に残る不要テープをキャリアテープから剥離する。
【００１８】
このとき切断過程では、切断軌跡のうち少なくとも分離開始箇所を含む第１領域において粘着テープを切断する深さを、切断軌跡のうち第１領域以外の第２領域において前記粘着テープを切断する深さよりも深くする。そのため、分離開始箇所における粘着テープの層を、より確実に厚み方向全体にわたって切断できる。
【００１９】
分離開始箇所は、切断軌跡のうち粘着テープ片と不要テープとの分離が開始される箇所である。そのため、まず分離開始箇所において不要テープは粘着テープ片から分離されてキャリアテープから剥離される一方、粘着テープ片はキャリアテープの上に残ることとなる。そしてキャリアテープから剥離される不要テープと、キャリアテープ上に残る粘着テープ片との各々によって、切断軌跡のうち分離開始箇所に隣接する箇所に剪断力が発生する。
【００２０】
その結果、分離開始箇所に隣接する箇所においても、当該剪断力によって不要テープは粘着テープ片から分離されてキャリアテープから剥離され、粘着テープ片はキャリアテープの上に残ることとなる。このような剪断力は分離開始箇所から発生し、隣接する箇所へ連鎖的に作用する。連鎖的に作用することにより、切断軌跡の全体にわたって剪断力が作用して粘着テープの層は完全に断ち切られる。
【００２１】
従って、切断軌跡の全体において、不要テープは粘着テープ片から分離されてキャリアテープから剥離される一方、粘着テープ片はキャリアテープの上に残ることとなる。よって、粘着テープ片が不要テープとともにキャリアテープから剥離されるという事態の発生を確実に回避できる。
【００２２】
また、上述した発明において、前記切断軌跡は矩形であり、前記剥離過程は、前記不要テープを剥離する剥離方向を前記粘着テープの長尺方向から傾斜させることが好ましい。
【００２３】
（作用・効果）この構成によれば、剥離過程において、不要テープを剥離する剥離方向を粘着テープの長尺方向から傾斜させる。この場合、矩形の切断軌跡のうち分離開始箇所は辺に相当する比較的長い箇所ではなく、頂点部分に相当する比較的短い箇所となる。そのため、不要テープを剥離する際に分離開始箇所へ作用する力が分散されて低下することを防止できる。
【００２４】
分離開始箇所へ作用する力の低下を回避することにより、分離開始箇所に作用する剪断力はより大きくなるので、分離開始箇所において不要テープと粘着テープ片とを確実に分離できる。従って、分離開始箇所において確実に不要テープをキャリアテープから剥離させつつ粘着テープ片をキャリアテープの上に残すことができる。分離開始箇所において不要テープと粘着テープ片とを分離させることにより、分離開始箇所を始点として切断軌跡全体に剪断力を発生できるので、粘着テープ片の全体についてキャリアテープから剥離される事態を回避できる。
【００２５】
また、上述した発明において、前記切断過程は、前記第１領域において前記粘着テープを切断する深さを少なくとも前記キャリアテープの下面まで切断する深さとなるように制御することが好ましい。
【００２６】
（作用・効果）この構成によれば、第１領域において粘着テープを切断する深さを少なくともキャリアテープの下面まで切断する深さとなるように制御する。この場合、粘着テープの層は確実に切断機構によって厚み方向へ完全に切断されるので、第１領域に含まれる分離開始箇所において、不要テープと粘着テープ片とを確実に分離できる。よって、粘着テープの全体についてキャリアテープから剥離される事態を回避できる。
【００２７】
また、上述した発明において、前記剥離過程は、前記粘着テープ片が前記キャリアテープから浮き上がることを抑止する抑止部材を、前記粘着テープのうち少なくとも前記分離開始箇所を含む領域に当接または近接させた状態で前記不要テープの剥離を開始することが好ましい。
【００２８】
（作用・効果）この構成によれば、粘着テープのうち少なくとも分離開始箇所を含む領域に抑止部材を当接または近接させた状態で不要テープの剥離を開始する。抑止部材は、粘着テープ片がキャリアテープから浮き上がることを抑止する。そのため、不要テープを剥離しようとする力と粘着テープ片を抑止する力とによって、分離開始箇所により大きな剪断力が発生する。よって、分離開始箇所において、不要テープと粘着テープ片とをより確実に分離できる。
【００２９】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、キャリアテープが添設された長尺の粘着テープを前記キャリアテープ上で切断して粘着テープ片を形成させ、不要となった部分の前記粘着テープである不要テープを前記キャリアテープから剥離させる粘着テープ剥離装置であって、
前記キャリアテープが添設された長尺の前記粘着テープを繰り出し供給するテープ供給部と、
供給された前記粘着テープを所定形状の切断軌跡に沿って環状に切断し、粘着テープ片を形成させる切断機構と、
前記粘着テープ片の周囲に残る前記不要テープをキャリアテープから剥離する剥離機構と、
剥離された前記不要テープを回収するテープ回収部と、
を備え、
前記切断機構は、
前記切断軌跡のうち少なくとも分離開始箇所を含む第１領域において前記粘着テープを切断する深さを、前記切断軌跡のうち前記第１領域以外の第２領域において前記粘着テープを切断する深さよりも深くするように調整される
ことを特徴とするものである。
【００３０】
（作用・効果）この構成によれば、切断機構は、切断軌跡のうち少なくとも分離開始箇所を含む第１領域において粘着テープを切断する深さを、切断軌跡のうち第１領域以外の第２領域において前記粘着テープを切断する深さよりも深くする。そのため、分離開始箇所における粘着テープの層を、より確実に厚み方向全体にわたって切断できる。
【００３１】
切断軌跡のうち粘着テープ片と不要テープとの分離が開始される分離開始箇所において、不要テープは粘着テープ片から分離されてキャリアテープから剥離される一方で、粘着テープ片はキャリアテープの上に残ることとなる。その結果、分離開始箇所を始点として隣接する箇所へと順次伝わるように粘着テープの層を剪断する剪断力が発生する。
【００３２】
当該剪断力は連鎖的に伝達され、切断軌跡の全体に作用するので、切断軌跡全体において不要テープは粘着テープ片から分離されてキャリアテープから剥離され、粘着テープ片はキャリアテープの上に残ることとなる。よって、粘着テープ片が不要テープとともにキャリアテープから剥離されるという事態の発生を確実に回避できる。
【００３３】
また、上述した発明において、前記切断軌跡は矩形であり、前記剥離機構は、前記不要テープを剥離する剥離方向を前記粘着テープの長尺方向から傾斜させることが好ましい。
【００３４】
（作用・効果）この構成によれば、不要テープを剥離する剥離方向を粘着テープの長尺方向から傾斜させることにより、切断軌跡が矩形であっても分離開始箇所を狭い範囲とすることができる。そのため、分離開始箇所に作用する剪断力の分散を防止できるので、分離開始箇所において不要テープと粘着テープ片とが繋がったまま剥離される事態を回避できる。よって、粘着テープ片の全体においても不要テープと粘着テープ片とが繋がったまま剥離される事態を回避できる。
【００３５】
また、上述した発明において、前記切断機構は、前記第１領域において前記粘着テープを切断する深さを少なくとも前記キャリアテープの下面まで切断する深さとなるように調整されることが好ましい。
【００３６】
（作用・効果）この構成によれば、切断機構は、第１領域において粘着テープを切断する深さを少なくともキャリアテープの下面まで切断する深さとなるように調整される。この場合、粘着テープの層は確実に切断機構によって厚み方向へ完全に切断されるので、第１領域に含まれる分離開始箇所において、不要テープと粘着テープ片とを確実に分離できる。よって、粘着テープ片の全体についてキャリアテープから剥離される事態を回避できる。
【００３７】
また、上述した発明において、前記剥離機構は、前記粘着テープ片が前記キャリアテープから浮き上がることを抑止する抑止部材を、前記粘着テープのうち少なくとも前記分離開始箇所を含む領域に当接または近接させた状態で前記不要テープの剥離を開始することが好ましい。
【００３８】
（作用・効果）この構成によれば、粘着テープのうち少なくとも分離開始箇所を含む領域に抑止部材を当接または近接させた状態で不要テープの剥離を開始する。分離開始箇所において不要テープを剥離する際に、分離開始箇所における粘着テープ片が浮き上がる事態は抑止部材によって抑止される。従って、上記方法を好適に実施できる。
【発明の効果】
【００３９】
本発明の粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置によれば、キャリアテープ上で粘着テープを所定の切断軌跡に沿ってハーフカットして粘着テープ片を形成する際に、切断軌跡のうち分離開始箇所を含む第１領域においてより深く粘着テープを切断する。そのため、分離開始箇所において不要テープと粘着テープ片とをより確実に分離できるとともに、粘着テープの層を断ち切る剪断力が分離された分離開始箇所を始点として切断軌跡全体へ作用する。その結果、剥離過程において粘着テープ片が不要テープとくっついてキャリアテープから剥離されるという事態をより確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の基本構成を示す正面図である。
【図２】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の要部を示す図である。（ａ）はテーププリカット機構および粘着テープ回収部の構成を説明する斜視図であり、（ｂ）は切断ユニットの縦断面図であり、（ｃ）は切断ユニットの構成を示す底面斜視図である。
【図３】実施例１に係るテープ貼付けユニットの構成を示す図である。（ａ）はテープ貼付けユニットの平面図であり、（ｂ）はテープ貼付けユニットの正面図である。
【図４】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の動作を示すフローチャートである。
【図５】実施例１に係るステップＳ３の動作を示す図である。（ａ）は界面が変形しない理想状態において、切断位置へ切断ユニットが移動して粘着テープを切断する状態を示す縦断面図であり、（ｂ）は理想状態において、粘着テープが切断された状態を示す縦断面図であり、（ｃ）はステップＳ３の実行前における粘着テープの平面図であり、（ｄ）はステップＳ３の実行後における粘着テープの平面図である。
【図６】実施例１に係るステップＳ３の動作を示す図である。（ａ）は界面が変形した状態において、切断位置へ切断ユニットが移動して粘着テープを切断する状態を示す縦断面図であり、（ｂ）は界面が変形した状態において、粘着テープが切断された状態を示す縦断面図である。
【図７】実施例２に係るステップＳ４を説明する概略図である。（ａ）は境界線Ｖが分離開始箇所に接する前の状態を示す平面図（上）および正面図（下）であり、（ｂ）は分離開始箇所における粘着テープの長尺方向の縦断面図であり、（ｃ）は分離開始箇所において不要テープが分離および剥離される状態を示す、粘着テープの長尺方向の縦断面図であり、（ｄ）は境界線Ｖが第２領域に接している状態を示す平面図（上）および正面図（下）であり、（ｅ）は第２領域における粘着テープの幅方向の縦断面図であり、（ｆ）は剪断力によって第２領域の切れ残り部分が剪断される状態を示す、粘着テープの幅方向の縦断面図であり、（ｇ）は第２領域において不要テープと粘着テープ片とが分離される状態を示す、粘着テープの幅方向の縦断面図である。
【図８】実施例１に係るステップＳ５の動作を示す図である。（ａ）は粘着テープ片をリングフレーム上に供給する動作を示す斜視図であり、（ｂ）は粘着テープ片をリングフレーム上に供給する動作を示す縦断面図である。
【図９】実施例１に係るステップＳ５の動作を示す図である。（ａ）は粘着テープ片をリングフレームに貼り付ける動作を示すであり、（ｂ）は第２貼付けユニットが粘着テープ片をウエハに貼り付ける動作を開始する前の状態を示す右側面図であり、（ｃ）は第２貼付けユニットが粘着テープ片をウエハに貼り付ける動作を実行している状態を示す右側面図である。
【図１０】実施例２に係る粘着テープ貼付け装置の要部を示す図である。（ａ）はテーププリカット機構および粘着テープ回収部の構成を説明する斜視図であり、（ｂ）は抑止部材と粘着テープとの位置関係を示す平面図（上）および正面図（下）であり、（ｃ）は変形例に係る抑止部材と粘着テープとの位置関係を示す平面図（上）および正面図（下）であり（ｄ）は切断ユニットの縦断面図である。
【図１１】実施例２に係るステップＳ３を説明する概略図である。（ａ）は界面が変形しない理想状態において、切断位置へ切断ユニットが移動して粘着テープを切断する状態を示す縦断面図であり、（ｂ）は界面が変形した状態において、切断位置へ切断ユニットが移動して粘着テープを切断する状態を示す縦断面図であり、（ｃ）は界面が変形した状態において、粘着テープが切断された状態を示す縦断面図であり、（ｄ）は、粘着テープが切断された状態を示す平面図である。
【図１２】実施例２に係るステップＳ４を説明する概略図である。（ａ）は境界線Ｖが分離開始箇所に接している状態を示す平面図（上）および正面図（下）であり、（ｂ）は分離開始箇所に切れ残り部分が発生している状態を示す縦断面図であり、（ｃ）は剪断力によって分離開始箇所の切れ残り部分を剪断している状態を示す縦断面図であり、（ｄ）は分離開始箇所において不要テープと粘着テープ片とが分離される状態を示す縦断面図であり、（ｅ）は境界線Ｖが第２領域に接している状態を示す平面図（上）および正面図（下）である。
【図１３】変形例に係る構成を示す図である。（ａ）は変形例に係る切断軌跡を示す平面図であり、（ｂ）は実施例２をベースとする変形例に係る、粘着テープ片と抑止部材との位置関係を示す平面図である。
【図１４】変形例に係る粘着テープ貼付け装置の要部を示す図である。（ａ）はテーププリカット機構および粘着テープ回収部の構成を説明する斜視図であり、（ｂ）および（ｃ）は境界線Ｖが長尺方向と同じ方向に進行する構成を示す平面図であり、（ｄ）および（ｅ）は境界線Ｖが長尺方向に対して傾斜する方向に進行する構成を示す平面図である。
【図１５】実施例２およびその変形例に係る抑止部材の配置を比較説明する図である。（ａ）は実施例２に係るステップＳ４の当初における、抑止部材と粘着テープ片との位置関係を示す平面図（上）および正面図（下）であり、（ｂ）は実施例２に係るステップＳ４が進行した状態における、抑止部材と粘着テープ片との位置関係を示す平面図（上）および正面図（下）であり、（ｃ）は変形例に係るステップＳ４の当初における、抑止部材と粘着テープ片との位置関係を示す平面図（上）および正面図（下）であり、（ｄ）は変形例に係るステップＳ４が進行した状態における、抑止部材と粘着テープ片との位置関係を示す平面図（上）および正面図（下）であり、
【図１６】従来例の構成を説明する図である。（ａ）は粘着テープが切断される前の状態を示す図であり、（ｂ）は粘着テープが切断された後の状態を示す図であり、（ｃ）は不要テープのみが剥離される状態を示す平面図（上）および正面図（下）であり、（ｄ）は不要テープとともに粘着テープ片が剥離される状態を示す平面図（上）および正面図（下）である。
【図１７】従来例の問題点を説明する図である。（ａ）は界面が変形しない状態において粘着テープを切断する縦断面図であり、（ｂ）は界面が変形しない状態において粘着テープを切断した後の状態を示す縦断面図であり、（ｃ）は界面が変形した状態において粘着テープを切断する縦断面図であり、（ｄ）は界面が変形した状態において粘着テープの切れ残り部分が発生した状態を示す縦断面図であり、（ｅ）は粘着テープの切れ残り部分が発生した状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００４１】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。図１は、実施例１に係る粘着テープ剥離装置を備える、粘着テープ貼付け装置１の基本構成を示す正面図である。なお粘着テープ貼付け装置１を示す図において、各種構成を支持する支持手段、および各種構成を駆動させる駆動手段などについては図示を省略している。
【００４２】
実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１は、半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」と略称する）の一方の面とリングフレームｆとにわたって支持用の粘着テープＴを貼り付けて、マウントフレームＭＦを作製することを目的とする。なお本実施例において、ウエハＷの回路形成面には予め保護用の粘着テープＴｐが貼り付けられており、バックグラインド処理が行われているものとする。
【００４３】
なお、本実施例において「上流」および「下流」とは粘着テープＴの繰り出し方向Ｌに沿うものとして定義される。すなわち「上流」とは粘着テープＴの繰り出し方向Ｌにおいて、後述するテープ供給部２に近い側を意味するものとする。
【００４４】
＜全体構成の説明＞
本実施例に係る粘着テープ貼付け装置１は図１に示すように、テープ供給部２、テーププリカット機構３、粘着テープ回収部４、テープ貼付けユニット５、およびキャリアテープ回収部６を備えている。
【００４５】
テープ供給部２は、原反ロールＴＲを装着するボビンを備えている。原反ロールＴＲは、キャリアテープｃｔが添設された長尺の粘着テープＴをロール巻きした構成となっている。粘着テープＴはキャリアテープｃｔが添設された状態でテープ供給部２から繰り出し供給され、テーププリカット機構３を経由してテープ貼付けユニット５へと案内される。
【００４６】
テーププリカット機構３は、図１に示すように支持テーブル７と、切断ユニット９とを備えている。支持テーブル７は、テープ供給部２から繰り出し供給された粘着テープＴを水平に受け止めるように配設されている。切断ユニット９は支持テーブル７の上方に配設されており、図２（ｂ）に示すように可動台１１と切断刃１３とを備えている。切断ユニット９は本発明における切断機構に相当する。
【００４７】
可動台１１は、図示しない駆動機構により昇降移動が可能となるように構成されている。切断刃１３は可動台１１の下面に配設されており、可動台１１とともに昇降移動する。可動台１１の昇降移動により、切断ユニット９は支持テーブル７の上方である初期位置と、粘着テープＴを切断する切断位置との間を往復移動する（図５（ａ））。
【００４８】
本実施例において、切断刃１３は環状のトムソン刃で構成されている。切断刃１３の形状はワークの形状に応じて適宜変更可能であるが、本実施例ではリングフレームｆの形状に対応すべく円環状となっている。切断刃１３は図２（ａ）に示すように、環状の切断軌跡Ｋに沿って粘着テープＴを切断し、円形状の粘着テープ片Ｔｗを形成させる。
【００４９】
なお、本発明において「環状」とは、一端と他端とが繋がっており、全体として閉じている線の形状を全て含むものとして定義づけられる。一例として、円形状（円環状）、矩形状、多角形状の他、略円形状なども含まれる。略円形状の一例として、ノッチやオリエンテーションフラットが設けられているウエハの外形に沿った形状、すなわち円の一部に凹みや直線を含む形状が挙げられる。
【００５０】
環状の切断刃１３は、図２（ｂ）および図２（ｃ）に示すように、突出刃部１３ａと通常刃部１３ｂとを備えている。なお、図２（ａ）においては説明の便宜上、可動台１１を省略している。突出刃部１３ａは環状の切断刃１３の一部を構成しており、通常刃部１３ｂは切断刃１３のうち突出刃部１３ａ以外の部分に相当する。
【００５１】
図２（ｂ）に示すように、粘着テープＴの厚み方向において、通常刃部１３ｂの長さＱと比べて、突出刃部１３ａの長さＱｔの方が長くなるように構成される。すなわち、切断刃１３が粘着テープＴを切断する場合、突出刃部１３ａは通常刃部１３ｂと比べて粘着テープＴをより深く切断する。
【００５２】
図２（ａ）において示すように、切断刃１３が粘着テープＴを切断する環状の切断軌跡Ｋのうち、突出刃部１３ａが切断する部分を第１領域Ｋ１とする。また、切断軌跡Ｋのうち第２領域Ｋ１以外の部分、すなわち通常刃部１３ｂが切断する部分を第２領域Ｋ２とする。第１領域Ｋ１は、分離開始箇所Ｐを含む領域となるように、切断刃１３における突出刃部１３ａの配設位置は調整されている。
【００５３】
本発明において、分離開始箇所Ｐとは切断軌跡Ｋのうち、粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとの分離が開始される箇所を意味する。本実施例では、分離開始箇所Ｐは粘着テープ片Ｔｗにおいて最も下流に位置する部位に相当する。
【００５４】
切断ユニット９の切断位置、突出刃部１３ａの長さＱｔ、および通常刃部１３ｂの長さＱは、粘着テープＴおよびキャリアテープｃｔの厚み、および粘着テープＴの層とキャリアテープｃｔの層との界面Ｎの変形しやすさなどのパラメータによって定められる。
【００５５】
具体的には、切断位置へ切断ユニット９が移動した場合、通常刃部１３ｂがキャリアテープｃｔの層を完全に切断することがなく、かつ、突出刃部１３ａが確実に粘着テープＴの層を完全に切断するように、切断位置と長さＱｔと長さＱとが予め調整される。本実施例では好ましい一例として、図５（ａ）に示すように、突出刃部１３ａの先端がキャリアテープｃｔの下面に接するように調整されているものとする。このように突出刃部１３ａの刃の長さＱｔを調整することにより、粘着テープＴの層とキャリアテープｃｔの層との界面Ｎが変形する場合であっても突出刃部１３ａは確実に粘着テープＴの層を完全に切断できる。
【００５６】
粘着テープ回収部４は、切断軌跡Ｋの形状に切断された粘着テープ片Ｔｗの周囲に残される不要な粘着テープＴ、すなわち不要テープＴｎを回収する。不要テープＴｎは、送りローラ１５の直後にキャリアテープｃｔから剥離される。剥離された不要テープＴｎは案内ローラ１７によって回収ボビン１９へと案内される。回収ボビン１９は、キャリアテープｃｔから剥離された不要テープＴｎを巻き取り回収する。従って、キャリアテープｃｔに粘着テープ片Ｔｗが残された状態の粘着テープＴが、テープ貼付けユニット５へと案内される。粘着テープ回収部４は、本発明における剥離機構およびテープ回収部に相当する。
【００５７】
本実施例において、案内ローラ１７および回収ボビン１９は、各々の軸方向が粘着テープＴの長尺方向と交差する方向（粘着テープＴの幅方向）となるように配設されている。そのため、キャリアテープｃｔから剥離済みの不要テープＴｎと未剥離の不要テープＴｎとの境界線Ｖは、粘着テープＴの幅方向へと延びている。そして、粘着テープＴに対して境界線Ｖが相対的に移動する方向（剥離方向Ｍ）は、粘着テープＴの長尺方向と同じ方向となる（図７（ａ）を参照）。
【００５８】
テープ貼付けユニット５は、図１および図３（ａ）に示すように、第１貼付けユニット２１、第２貼付けユニット２３、および貼付けテーブル２５を備えている。第１貼付けユニット２１は、エッジ部材２６および貼付けローラ２７を備えており、リングフレームｆに粘着テープ片Ｔｗを貼り付ける。第１貼付けユニット２１は、貼付けテーブル２５の上方を往復移動するように構成されている。
【００５９】
エッジ部材２６は、テーププリカット機構３から案内されてきた粘着テープＴに添設されているキャリアテープｃｔを折り返して粘着テープ片Ｔｗを剥離する。またエッジ部材２６は、粘着テープ片Ｔｗが剥離されたキャリアテープｃｔをキャリアテープ回収部６へ案内する。
【００６０】
貼付けローラ２７は、エッジ部材２６の先端部の前方（図面では左方向）に配置されている。また貼付けローラ２７は、駆動シリンダ２８によって昇降可能に構成されている。すなわち、テーププリカット機構３から案内されてきた粘着テープ片Ｔｗは、エッジ部材２６の先端においてキャリアテープｃｔから剥離されて前方に押し出し移動される。そして押し出し移動された粘着テープ片Ｔｗは、貼付けローラ２７によって上方から押圧され、貼付けテーブル２５に保持されているリングフレームｆの上面に貼り付けられる。
【００６１】
第２貼付けユニット２３は、図示しない駆動シリンダによって昇降可能な貼付けローラ２９を備えており、ウエハＷに粘着テープ片Ｔｗを貼り付ける。第２貼付けユニット２３は、第１貼付けユニット２１の進路を妨げないよう、粘着テープＴの繰り出し方向Ｌと交差する方向へ往復移動するように構成されている。また、貼付けローラ２９は弾性体で被覆されている。
【００６２】
貼付けテーブル２５は、図３（ｂ）に示すように、可動台３１とフレーム保持部３３とウエハ保持部３５とを備えている。可動台３１は、左右両端のガイドレールに沿って前後方向（図ではｘ方向）へ水平移動するように構成される。フレーム保持部３３は、環状の保持面に載置されたリングフレームｆを保持する。ウエハ保持部３５は、ウエハＷを保持するとともに、昇降可能に構成されている。ウエハ保持部３５は内部に設けられた図示しない吸引機構などにより、ウエハＷを吸着保持することが好ましい。
【００６３】
キャリアテープ回収部６は、エッジ部材２６において折り返されたキャリアテープｃｔを、送りローラ３６を経由して回収ボビン３７に巻き取り回収するように構成されている。
【００６４】
＜テープ貼付け動作の概要＞
ここで、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１を用いてマウントフレームを作製するための一連の基本動作を説明する。図４は、ワークであるウエハＷおよびリングフレームｆに対し、粘着テープ片Ｔｗを貼り付ける工程を説明するフローチャートである。
【００６５】
ステップＳ１（ワークの載置）
貼付け指令が出されると、まず可動台３１が移動することにより貼付けテーブル２５が装置本体から引き出される（図３（ａ）、点線）。貼付けテーブル２５が引き出されると、リングフレームｆがフレーム保持部３３に載置されるとともに、ウエハＷがウエハ保持部３５に載置される。ウエハ保持部３５に載置されたウエハＷは旋回され、ウエハＷの中心がウエハ保持部３５の中心の上にあるように位置合わせされた状態で吸着保持される。
【００６６】
ステップＳ２（粘着テープの供給）
ワークを貼付けテーブル２５に載置させた後、テープ供給部２の原反ロールＴＲから一定量の粘着テープＴを繰り出し供給させる。供給された粘着テープＴは案内ローラに巻回され、テーププリカット機構３へと案内される。
【００６７】
ステップＳ３（粘着テープの切断）
テーププリカット機構３へと案内された粘着テープＴは、図２（ａ）に示すように支持テーブル７によって支持されて水平状態となる。次に、可動台１１を下降駆動させることにより、切断ユニット９を支持テーブル７の上方である初期位置から下降させる。
【００６８】
切断ユニット９は図５（ａ）に示すように、点線で示される初期位置から実線で示される切断位置へと下降する。当該下降により、支持テーブル７の上で走行停止している粘着テープＴに対して、切断刃１３が上方から押圧される。切断位置に移動した切断刃１３は、キャリアテープｃｔが添設された粘着テープＴをハーフカットする。
【００６９】
すなわち突出刃部１３ａおよび通常刃部１３ｂの各々は、図５（ｂ）に示すように、キャリアテープｃｔの上において粘着テープＴの層を厚み方向へ切断する。その結果、図５（ｃ）および図５（ｄ）に示すように、粘着テープＴは環状の切断軌跡Ｋに沿って切断され、切断軌跡Ｋに応じた形状の粘着テープ片Ｔｗが作製される。
【００７０】
ここで、図５（ａ）および図５（ｂ）は、キャリアテープｃｔと粘着テープＴとの界面Ｎが変形しない理想状態において、切断刃１３が粘着テープＴを切断する状態を示している。当該理想状態では、突出刃部１３ａおよび通常刃部１３ｂの各々は粘着テープＴの層を貫通し、キャリアテープｃｔの層へ到達できる。しかし実際に粘着テープＴを切断する工程では当該理想状態とはならず、図６（ａ）に示すように、切断刃１３が粘着テープＴを押圧する力などに起因して、界面Ｎが下方へ沈み込むように変形する場合がある。
【００７１】
通常刃部１３ｂは確実にキャリアテープｃｔを完全には切断しないことを目的として、通常刃部１３ｂの刃の長さＱは突出刃部１３ａより短くなるように調整されている。そのため、通常刃部１３ｂの刃先がキャリアテープｃｔの層まで届かないので、切断軌跡Ｋのうち通常刃部１３ｂが切断する第２領域Ｋ２において、粘着テープＴの層を完全には切断できない場合がある（図６（ｂ））。
【００７２】
その一方で、切断刃１３は、通常刃部１３ｂよりも刃が長い突出刃部１３ａを備えている。そして突出刃部１３ａは、界面Ｎが変形した場合であっても確実に粘着テープＴの層を完全に切断するように、刃の長さＱｔと切断位置とが予め調整されている。そのため、突出刃部１３ａの刃先はキャリアテープｃｔの層まで確実に届くので、切断軌跡Ｋのうち少なくとも突出刃部１３ａが切断する第１領域Ｋ１において、粘着テープＴの層は完全に切断される（図６（ｂ））。
【００７３】
第１領域Ｋ１は、分離開始箇所Ｐを確実に含むように設定される。そのため、分離開始箇所Ｐにおいて、粘着テープＴの層は確実かつ完全に切断されている。切断ユニット９による粘着テープＴの切断が完了し、切断ユニットが切断位置から初期位置へと復帰することによりステップＳ３の工程は完了する。
【００７４】
ステップＳ４（不要テープの剥離）
支持テーブル７の上で粘着テープＴが切断されて粘着テープ片Ｔｗが作製されると、粘着テープＴはさらに下流へと送られる。そして粘着テープ回収部４において、不要テープＴｎを剥離する工程が実行される。粘着テープ回収部４は図２（ａ）に示すように、粘着テープ片Ｔｗの周囲に残る不要テープＴｎを巻き上げることにより、当該不要テープＴｎをキャリアテープｃｔから剥離する。剥離された不要テープＴｎは、案内ローラ１７を経由して回収ボビン１９に巻き取り回収される。
【００７５】
案内ローラ１７および回収ボビン１９の軸方向は、粘着テープＴの長尺方向と交差しており、不要テープＴｎは粘着テープＴの幅方向にわたって同じタイミングで剥離されていく。すなわちキャリアテープｃｔから剥離された不要テープＴｎと、キャリアテープｃｔの上に残っている不要テープＴｎとの境界線Ｖは、図７（ａ）の上図で示すように、粘着テープＴの幅方向に延びている。当該境界線Ｖは、不要テープＴｎをキャリアテープｃｔから剥離する動作が実行される領域に相当する。
【００７６】
粘着テープＴが下流へと流れて不要テープＴｎの剥離工程が進行するにつれて、境界線Ｖは、粘着テープＴの長尺方向と平行な剥離方向Ｍへと粘着テープＴに対して相対的に移動していく。すなわち剥離方向Ｍは不要テープＴｎを剥離する領域が進行する方向でもある。境界線Ｖが剥離方向Ｍへと相対移動することにより、境界線Ｖは分離開始箇所Ｐにおいて初めて切断軌跡Ｋと接する。そして分離開始箇所Ｐにおいて、不要テープＴｎと粘着テープ片Ｔｗとを分離する動作が開始される。
【００７７】
図７（ｂ）および図７（ｃ）は、図７（ａ）の上図において符号Ｄ１に相当する部分について、粘着テープＴの長尺方向における縦断面図を示す。本実施例において、分離開始箇所Ｐは第１領域Ｋ１に確実に含まれるように、切断刃１３における突出刃部１３ａの配設位置が予め調整されている。そのため、図７（ｂ）で示すように、分離開始箇所Ｐにおいて粘着テープＴの層は確実かつ完全に切断されている。
【００７８】
すなわち、分離開始箇所Ｐにおいて、不要テープＴｎと粘着テープ片Ｔｗとが一部繋がっているという事態は確実に回避されている。すなわち図７（ｃ）に示すように、粘着テープ回収部４が不要テープＴｎを巻き上げる力Ｊ１が不要テープＴｎに作用することにより、分離開始箇所Ｐにおける不要テープＴｎは容易に粘着テープ片Ｔｗと分離してキャリアテープｃｔから剥離される。
【００７９】
一方、分離開始箇所Ｐにおける粘着テープ片Ｔｗは不要テープＴｎと分離しているので、分離開始箇所Ｐの不要テープＴｎがキャリアテープｃｔから剥離されても、分離開始箇所Ｐの粘着テープ片Ｔｗは当該不要テープＴｎとともに巻きとられることを防止できる。そのため、不要テープＴｎから分離された粘着テープ片Ｔｗがキャリアテープｃｔの上に残ることとなる。その結果、分離開始箇所Ｐにおいて粘着テープ片Ｔｗがキャリアテープｃｔから剥離されるという事態を回避できる。
【００８０】
この後、粘着テープＴをさらに下流へと送りつつ粘着テープ回収部４は不要テープＴｎを巻き取っていく。境界線Ｖは剥離方向Ｍへとさらに相対移動して第１領域Ｋ１と接し、第１領域Ｋ１において不要テープＴｎがキャリアテープｃｔから剥離される。上述した通り、第１領域Ｋ１は確実に粘着テープＴの層が完全に切断されているので、第１領域Ｋ１においても粘着テープ片Ｔｗが不要テープＴｎとともに剥離される事態を確実に回避できる。
【００８１】
さらに、粘着テープ片Ｔｗが下流へと送られ、粘着テープ回収部４が不要テープＴｎを巻き取っていく。そして図７（ｄ）の上図に示すように、境界線Ｖは剥離方向Ｍへと進行して第２領域Ｋ２と接する。そして、第２領域Ｋ２における不要テープＴｎ（不要テープＴｎ２）の剥離が行われる。図７（ｅ）ないし図７（ｇ）は、図７（ｄ）の上図において符号Ｄ２に相当する部分について、粘着テープＴの幅方向における縦断面図を示している
【００８２】
第２領域Ｋ２は通常刃部１３ｂによって切断されているので、第１領域Ｋ１と比べて比較的浅く切断されている。そのため、界面Ｎの変形などに起因して、通常刃部１３ｂの少なくとも一部が粘着テープＴの層を貫通していない場合がある。この場合、切断ユニット９が粘着テープＴを切断軌跡Ｋに沿って切断しても、第２領域Ｋ２において切れ残り部分Ｆが発生する（図６（ｂ））。
【００８３】
しかし、図７（ｅ）のように、第２領域Ｋ２において切れ残り部分Ｆが発生している場合であっても、第１領域Ｋ１における不要テープＴｎ１は、既にキャリアテープｃｔから剥離されている。そして当該不要テープＴｎ１は、確実に第１領域Ｋ１の粘着テープ片Ｔｗと分離された状態となっている。
【００８４】
そして、粘着テープ回収部４が不要テープＴｎ１を巻き上げる力Ｊ１は、不要テープＴｎ１と繋がっている不要テープＴｎ２にも作用する。すなわち不要テープＴｎ２に対して上方向の力Ｊ１が作用する。一方、第１領域Ｋ１における粘着テープ片Ｔｗはキャリアテープｃｔの上に確実に残っているので、第１領域Ｋ１の粘着テープ片Ｔｗの粘着力に起因して下向きの力Ｊ２が作用する。当該下向きの力Ｊ２は、第１領域Ｋ１の粘着テープ片Ｔｗと繋がっている第２領域Ｋ２の粘着テープ片Ｔｗにも作用する。
【００８５】
このように互いに逆方向の力である力Ｊ１および力Ｊ２が作用することにより、不要テープＴｎ２と第２領域Ｋ２における粘着テープ片Ｔｗとの間に、より強い剪断力が発生する。その結果、第２領域Ｋ２において粘着テープＴに切れ残り部分Ｆが発生していた場合であっても、図７（ｆ）に示すように、第２領域Ｋ２における粘着テープＴの層は当該剪断力によって完全に切断される。
【００８６】
切れ残り部分Ｆが剪断されることにより、図７（ｇ）に示すように、第２領域Ｋ２においても粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎ２とは確実に分離され、不要テープＴｎ２はキャリアテープｃｔから剥離されて巻き取られていく。一方、第２領域Ｋ２の粘着テープ片Ｔｗは巻き取られることなくキャリアテープｃｔの上に残ることとなる。
【００８７】
このように、切断軌跡Ｋのうち所定の部分において粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとが分離されていることに起因して、当該所定の部分に隣接する部分において切れ残り部分Ｆが確実に剪断されるという現象が、切断軌跡Ｋの全体にわたって連鎖的に発生する。すなわち、少なくとも分離開始箇所Ｐにおいて確実に粘着テープＴの層を切断して粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとを分離させることにより、当該現象を切断軌跡Ｋの全体にわたって連鎖的に発生させ、切断軌跡Ｋの全体にわたって粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとを確実に分離させることができる。
【００８８】
このように、ステップＳ３の完了時おいて第２領域Ｋ２に切れ残り部分Ｆが発生していた場合であっても、ステップＳ４において当該切れ残り部分Ｆは確実に剪断される。従って、ステップＳ４において粘着テープ片Ｔｗが不要テープＴｎとともにキャリアテープｃｔから剥離される事態を回避できる。
【００８９】
粘着テープ回収部４はさらに不要テープＴｎを剥離回収していくことにより、粘着テープ片Ｔｗの周囲における不要テープＴｎはキャリアテープｃｔから剥離される。そしてキャリアテープｃｔの上に粘着テープ片Ｔｗが貼残されている、プリカットテープＰＴが作製される（図２（ａ）を参照）。作製されたプリカットテープＰＴは繰り出し方向Ｌに沿ってさらに下流へと送られ、テープ貼付けユニット５へと案内される。不要テープＴｎが剥離されてプリカットテープＰＴが作製されることにより、ステップＳ４の工程は完了する。
【００９０】
ステップＳ５（粘着テープの貼付け）
テープ貼付けユニット５は、プリカットテープＰＴを用いて、粘着テープ片ＴをウエハＷおよびリングフレームｆに貼り付ける工程を行う。当該工程が開始されると、まず第１貼付けユニット２１は図３（ａ）において実線で示される初期位置から、点線で示されるテープ貼付け位置へと前方に移動する。
【００９１】
第１貼付けユニット２１がテープ貼付け位置へと移動すると、エッジ部材２６によって折り返されているキャリアテープｃｔがキャリアテープ回収部６の回収ボビン３７へと巻き取り回収される。キャリアテープｃｔが巻き取られていくことにより、図８（ａ）に示すように、粘着テープ片Ｔｗは折り返されて走行するキャリアテープｃｔから剥離され、エッジ部材２６の上面に沿って前方へ突出していく。
【００９２】
粘着テープ片Ｔｗの前端がエッジ２６の先端を越えて貼付けローラ２７の真下に到達すると、図８（ｂ）に示すように、貼付けローラ２７が下降され、エッジ部材２６から前方に突出している粘着テープ片Ｔｗの前端部分を、貼付けテーブル２５に保持されているリングフレームｆの前端部表面に押し付ける。
【００９３】
その後、図９（ａ）に示すように、第１貼付けユニット２１はテープ貼付け位置から後方の初期位置へと移動していく。このときの第１貼付けユニット２１の移動速度は、キャリアテープｃｔから剥離されながら前方に移動してゆく粘着テープ片Ｔｗの前方移動速度およびキャリアテープｃｔの巻き取り速度に同調させる。すなわち、後方へと水平移動する第１貼付けユニット２１の貼付けローラ２７によって、キャリアテープｃｔから剥離された粘着テープ片Ｔｗがリングフレームｆの表面に貼付けられてゆく。
【００９４】
リングフレームｆの表面にわたって粘着テープ片Ｔｗが貼り付けられると、第２貼付けユニット２３は貼付け位置へと移動する。貼付け位置は一例として、図１における手前側の位置である。第２貼付けユニット２３の当該移動と同調させ、ウエハ保持部３５を適宜昇降させてウエハＷを粘着テープ片Ｔｗに近づける。
【００９５】
第２貼付けユニット２３が所定の貼付け位置に到達すると、図９（ｂ）に示すように、貼付けローラ２９を下降させてリングフレームｆの一端から他端に向けて、図１における手前側から奥側へと移動させる。このとき、図９（ｃ）に示すように、貼付けローラ２９が弾性変形しながら粘着テープ片Ｔｗに近接対向しているウエハＷの裏面に当該粘着テープ片Ｔｗを貼り付けてゆく。
【００９６】
貼付けローラ２９が終端位置に到達すると、第２貼付けユニット２３は貼付けローラ２９を上昇させ、初期位置へと復帰する。第１貼付けユニット２１および第２貼付けユニット２３によって、粘着テープ片ＴｗがウエハＷとリングフレームｆとにわたって密着するように貼り付けられ、マウントフレームが作製される。
【００９７】
ステップＳ６（マウントフレームの回収）
マウントフレームが作製された後、可動台３１を装置本体から引き出し、貼付けテーブル２５に載置されているマウントフレームを回収する。以上でワークに粘着テープＴを貼り付ける一巡の動作が終了し、以後、規定数のマウントフレームが作製されるまで、ステップＳ１からステップＳ６までの工程が繰り返される。
【００９８】
＜実施例１の構成による効果＞
実施例１に係る粘着テープ剥離装置によれば、粘着テープＴを環状の切断軌跡Ｋに沿って切断して粘着テープ片Ｔｗを作製する際に、切断軌跡Ｋのうち少なくとも第１領域Ｋ１において、第２領域Ｋ２よりも粘着テープＴを深く切断するように構成される。
【００９９】
第１領域Ｋ１は分離開始箇所Ｐを含む領域であり、分離開始箇所Ｐは分離開始箇所Ｐとは切断軌跡Ｋのうち、粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとの分離が開始される箇所である。そのため、少なくとも分離開始箇所Ｐを含む第１領域Ｋ１において、より確実に粘着テープＴの層は完全に切断される。そのため、不要テープＴｎを剥離する際に、分離開始箇所Ｐおよび第１領域Ｋ１における粘着テープ片Ｔｗは確実に不要テープＴｎから分離されてキャリアテープｃｔの上に残ることとなる。
【０１００】
また、第２領域Ｋ２に接する不要テープＴｎを巻き上げる際に、キャリアテープｃｔ上に残る第１領域Ｋ１の粘着テープ片Ｔｗと、既に剥離されてさらに巻き上げられていく不要テープＴｎとによって、第２領域Ｋ２に対してより強い剪断力が発生する。そのため、第２領域Ｋ２において切れ残りが発生していた場合であっても、当該剪断力が作用することにより、第２領域Ｋ２における粘着テープ片Ｔｗも確実に不要テープＴｎから分離されてキャリアテープｃｔの上に残ることとなる。従って、切断軌跡Ｋにおける切れ残りの発生に起因して、粘着テープ片Ｔｗが不要テープＴｎとともにキャリアテープｃｔから剥離されるという事態をより確実に回避できる。
【０１０１】
さらに、第２領域Ｋ２においては、第１領域Ｋ１よりも粘着テープＴの層を浅く切断する。すなわち、通常刃部１３ｂはキャリアテープｃｔの層を完全には切断しないように構成されている。そのため、切断軌跡Ｋのうち、少なくとも第２領域Ｋ２においてはキャリアテープｃｔが下面まで切断されることを確実に回避できる。
【０１０２】
従って、第１領域Ｋ１において粘着テープＴを深く切断するように突出刃部１３ａを構成させたとしても、粘着テープ片Ｔｗを作製する際にキャリアテープｃｔが切断軌跡Ｋに沿って切り抜かれるという事態を確実に回避できる。その結果、プリカットテープＰＴをエッジ部材２６に案内させてキャリアテープｃｔを折り返し走行させる際に、粘着テープ片Ｔｗとともにキャリアテープｃｔの一部がプリカットテープＰＴから剥離されることを防止できる。
【実施例２】
【０１０３】
次に、本発明の実施例２を説明する。なお、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置と同一構成については同一符号を付すに留め、異なる構成部分について詳述する。
【０１０４】
実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１は、切断軌跡Ｋのうち少なくとも分離開始箇所Ｐを含む第１領域Ｋ１において粘着テープＴを切断する深さが、当該第１領域Ｋ１以外の第２領域Ｋ２において粘着テープＴを切断する深さよりも深くなるように構成される。
【０１０５】
一方、実施例２に係る粘着テープ貼付け装置１Ａは、図１０（ａ）に示すように、粘着テープ回収部４Ａが抑止部材４１を備えるという点で実施例１と相違する。抑止部材４１は、不要テープＴｎをキャリアテープｃｔから剥離する際に、粘着テープ片Ｔｗの少なくとも一部に当接し、粘着テープ片Ｔｗがキャリアテープｃｔから浮き上がることを抑止する。粘着テープ片Ｔｗの浮き上がりを抑止できる構成であれば、抑止部材４１は粘着テープ片Ｔｗに対して、微小距離を空けて近づく構成（近接する構成）であってもよい。
【０１０６】
抑止部材４１は、粘着テープＴの上方に配置されており、図示しない駆動機構によって昇降移動および水平移動を可能とする。抑止部材４１が下降することにより、粘着テープ片Ｔｗの少なくとも一部に対して抑止部材４１が当接する。当該当接により、キャリアテープｃｔから粘着テープ片Ｔｗが浮き上がることを抑止できる。
【０１０７】
実施例２では、抑止部材４１の形状は図１０（ｂ）の平面図に示すように、粘着テープ片Ｔｗの表面全体のうち分離開始箇所Ｐを含む一部に当接する形状となっている。言い換えれば、抑止部材４１は切断軌跡Ｋのうち分離開始箇所Ｐを含む第１領域Ｋ１に当接している。但し、粘着テープ片Ｔｗに接する不要テープＴｎの剥離を開始する際において、粘着テープＴのうち少なくとも粘着テープ片Ｔｗの分離開始箇所Ｐを含む領域に当接する形状であれば、抑止部材４１の形状を適宜変更できる。一例として図１０（ｃ）に示すように、粘着テープ片Ｔｗの表面全体に当接する形状でもよい。
【０１０８】
なお、実施例２では分離開始箇所Ｐを含む第１領域Ｋ１において、第２領域Ｋ２よりも粘着テープＴを深く切断する構成に限られない。すなわち、実施例２に係る切断ユニット９Ａは、突出刃部１３ａを備える構成に限ることはない。実施例２において、切断ユニット９Ａは図１０（ｄ）に示すように、粘着テープＴの厚み方向における刃の長さＱが一様となっている環状の切断刃４３を備えている。すなわち実施例２では、刃の長さが一様となっている一般的なトムソン刃を切断刃として利用しつつ、粘着テープ片Ｔｗが不要テープＴｎとともに剥離されるという事態を確実に回避する構成を実現できる。
【０１０９】
切断刃４３の構成は、実施例１に係る通常刃部１３ｂの構成に相当する。すなわち、切断刃４３の刃の長さＱおよび切断刃４３の切断位置は、切断位置に移動した切断刃４３は確実にキャリアテープｃｔの層を貫通しないように調整される。また、少なくとも界面Ｎが変形しない理想状態において、切断位置に移動した切断刃４３は粘着テープＴの層を貫通するように調整されることが好ましい。
【０１１０】
なお、実施例２の構成と実施例１の構成とを組み合わせ、実施例１に係る切断刃１３を実施例２に係る切断ユニット９Ａに適用してもよい。この場合、突出刃部１３ａによる効果と抑止部材４１による効果との相乗効果により、粘着テープ片Ｔｗが不要テープＴｎとともに剥離されるという事態をより確実に回避できる。
【０１１１】
ここで、実施例２に係る粘着テープ貼付け装置１Ａを用いてマウントフレームを作製するためのテープ貼付け工程について、一連の動作を説明する。実施例２に係るテープ貼付け工程のフローチャートは、ステップＳ３およびＳ４を除いて実施例１のフローチャートと共通する（図４）。そのため、実施例２に係るテープ貼付け工程の説明については、ステップＳ３およびステップＳ４に留めることとする。
【０１１２】
ステップＳ３（粘着テープの切断）
ステップＳ２において粘着テープＴをテーププリカット機構３へと案内させた後、支持テーブル７によって水平支持されている粘着テープＴに対して、切断ユニット９Ａを初期位置から下降させる。
【０１１３】
切断ユニット９Ａは図１１（ａ）に示すように、点線で示される初期位置から実線で示される切断位置へと下降する。当該下降により、支持テーブル７の上で走行停止している粘着テープＴに対して、切断刃４３が上方から押圧される。切断位置に移動した切断刃４３は、キャリアテープｃｔが添設された粘着テープＴをハーフカットする。その結果、実施例１と同様に粘着テープＴは環状の切断軌跡Ｋに沿って切断され、切断軌跡Ｋに応じた形状の粘着テープ片Ｔｗが形成される（図５（ｄ）を参照）。
【０１１４】
ここで、図１１（ａ）はキャリアテープｃｔと粘着テープＴとの界面Ｎが変形しない理想状態において切断刃４３が粘着テープＴを切断する状態を示している。この場合、切断位置に移動した切断刃４３の先端は粘着テープＴの層を貫通し、粘着テープＴの層は切断軌跡Ｋに沿って完全に切断される。
【０１１５】
一方、実際には図１１（ｂ）に示すように、切断刃１３が粘着テープＴを押圧する力などに起因して、界面Ｎが下方へ沈み込むように変形する場合がある。界面Ｎの変形に起因して切断刃４３の先端がキャリアテープｃｔの層に到達しない場合、切断軌跡Ｋの少なくとも一部において、粘着テープＴの層を完全に切断できない事態が発生する。その結果、図１１（ｃ）および図１１（ｄ）に示すように、切断軌跡Ｋのうち粘着テープＴの層が完全に切断されていない箇所において切れ残り部分Ｆが発生する。
【０１１６】
実施例１では切断軌跡Ｋのうち、分離開始箇所Ｐを含む第１領域Ｋ１は突出刃部１３ａを用いて切断するので、第１領域Ｋ１においては確実に切れ残り部分Ｆが発生しない。一方、実施例２では突出刃部１３ａを有しない切断刃４３を用いて粘着テープＴを切断するため、分離開始箇所Ｐにおいても切れ残りＦが発生する場合がある。切れ残り部分Ｆの有無に関わらず、切断刃４３による粘着テープＴの切断が完了して切断ユニット９Ａが切断位置から初期位置へと復帰することにより、ステップＳ３の工程は完了する。
【０１１７】
ステップＳ４（不要テープの剥離）
粘着テープ片Ｔｗが作製されると粘着テープＴはさらに下流へと送られ、粘着テープ回収部４において不要テープＴｎを剥離する工程が実行される。実施例２に係る案内ローラ１７および回収ボビン１９の軸方向は、実施例１と同様に粘着テープＴの長尺方向と交差する。そのため、粘着テープＴが繰り出し方向Ｌへ移動するにつれて、キャリアテープｃｔから剥離された不要テープＴｎと、キャリアテープｃｔの上に残っている不要テープＴｎとの境界線Ｖは、剥離方向Ｍへと相対的に移動する。剥離方向Ｍは実施例１と同様に、粘着テープＴの長尺方向に平行な方向であり、粘着テープＴの下流から上流へと向かう方向である。
【０１１８】
実施例２に係るステップＳ４では、抑止部材４１を初期位置から下降させ、粘着テープ片Ｔｗに当接させる（図１２（ａ）、下図）。このとき、抑止部材４１は切断軌跡Ｋのうち少なくとも分離開始箇所Ｐを含む第１領域Ｋ１に当接するように、抑止部材４１の位置が調整される（図１２（ａ）、上図）。
【０１１９】
そして抑止部材４１が少なくとも分離開始箇所Ｐに当接している状態で、粘着テープＴを下流へ繰り出させる。当該繰り出しにより、粘着テープ片Ｔｗに対する境界線Ｖの相対的な位置は剥離方向Ｍへ移動し、境界線Ｖは分離開始箇所Ｐに接する。そして分離開始箇所Ｐにおいて、粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとを分離して不要テープＴｎをキャリアテープｃｔから剥離する動作が開始される。
【０１２０】
分離開始箇所Ｐにおいて粘着テープＴの層が既に断ち切られている場合、ボビン１９の巻き取りによって不要テープＴｎが引き上げられることによって、粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとは容易に分離される（図７（ｃ）を参照）。そのため、粘着テープ片Ｔｗをキャリアテープｃｔの上に残した状態で、不要テープＴｎのみをキャリアテープｃｔから剥離できる。
【０１２１】
一方、界面Ｎの変形などによって分離開始箇所Ｐにおいて切れ残り部分Ｆが発生している場合、当該箇所において粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとは一部繋がっている（図１２（ｂ））。しかし、回収ボビン１９が分離開始箇所Ｐの不要テープＴｎを巻き取って上向きに引き上げる一方、分離開始箇所Ｐの粘着テープ片Ｔｗはキャリアテープｃｔから浮き上がることがないよう、抑止部材４１によって抑止される。
【０１２２】
すなわち、回収ボビン１９が不要テープＴｎを巻き取ることに起因する上向きの力Ｊ１と、抑止部材４１が粘着テープ片Ｔｗの浮き上がりを抑止することに起因する下向きの力Ｊ３との各々が分離開始箇所Ｐに作用する。これらの互いに逆向きの力が作用することにより、分離開始箇所Ｐにおいて強い剪断力が発生する。
【０１２３】
当該剪断力が分離開始箇所Ｐの切れ残り部分Ｆに作用することにより、切れ残り部分Ｆは剪断されて粘着テープＴの層は完全に切断されることとなる（図１２（ｃ））。粘着テープＴの層が完全に切断されることにより、分離開始箇所Ｐにおいて粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとは分離され、不要テープＴｎのみがキャリアテープｃｔから剥離される（図１２（ｄ））。
【０１２４】
分離開始箇所Ｐにおいて不要テープＴｎをキャリアテープｃｔから剥離することにより、粘着テープＴを下流へと移動させる。粘着テープＴの移動により、境界線Ｖの相対的位置は剥離方向Ｍへ進行して第１領域Ｋ１および第２領域Ｋ２と順次接する（図１２（ｅ））。
【０１２５】
第１領域または第２領域Ｋ２において切れ残り部分Ｆが発生している場合であっても、抑止部材４１が粘着テープ片Ｔｗの浮き上がりを抑止しているので、不要テープＴｎを引き上げる力の影響も加わり、粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとの間に強い剪断力が作用する。
【０１２６】
さらに、分離開始箇所Ｐにおいて既に不要テープＴｎと粘着テープ片Ｔｗとは分離されているので、粘着テープ片Ｔｗから分離された不要テープＴｎが巻き上げられる上向きの力Ｊ１とキャリアテープｃｔ上に残っている粘着テープ片Ｔｗに起因する下向きの力Ｊ２とが分離開始箇所Ｐに隣接する切断領域Ｋへと順次作用する。そのため、分離開始箇所Ｐに隣接する切断領域Ｋにおいて、実施例１と同様、力Ｊ１と力Ｊ２とに起因する剪断力が切断領域Ｋの全体にわたって連鎖的に作用していく。
【０１２７】
従って、実施例２では切断軌跡Ｋの全体にわたって切れ残り部分Ｆはより確実に剪断され、粘着テープＴの層が完全に切断される。その結果、粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとは確実に分離され、粘着テープ片Ｔｗをキャリアテープｃｔ上に残しつつ、不要テープＴｎのみを確実にキャリアテープｃｔから剥離できる。
【０１２８】
粘着テープ回収部４はさらに不要テープＴｎを剥離回収していくことにより、粘着テープ片Ｔｗの周囲に残った不要テープＴｎがキャリアテープｃｔから剥離されてプリカットテープＰＴが作製される。作製されたプリカットテープＰＴは、テープ貼付けユニット５へと案内され、ステップＳ４の工程は完了する。そして実施例１と同様にステップＳ５およびステップＳ６の工程を行うことにより、ワークに粘着テープＴを貼り付けてマウントフレームを作製する工程について、一連の動作が完了する。
【０１２９】
実施例２では、切断軌跡Ｋのうち少なくとも分離開始箇所Ｐを含む第１領域Ｋ１に当接し、粘着テープ片Ｔｗの浮き上がりを抑止する抑止部材４１を備えている。そして抑止部材４１が分離開始箇所Ｐに当接している状態で粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとの分離を開始する。抑止部材４１が分離開始箇所Ｐに当接し、粘着テープ片Ｔｗの浮き上がりを抑止している状態で不要テープＴｎを剥離することにより、分離開始箇所Ｐに強い剪断力が作用する。
【０１３０】
そのため、分離開始箇所Ｐにおいて切れ残り部分Ｆが発生している場合であっても、強い剪断力によって切れ残り部分Ｆは完全に切断される。従って、分離開始箇所Ｐにおいて確実に粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとを分離できる。当該剪断力は切断軌跡Ｋに沿って分離開始箇所Ｐに隣接する箇所へと順次作用するので、切断軌跡Ｋの全体にわたって切れ残り部分Ｆは確実に解消され、粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとは分離される。その結果、粘着テープ片Ｔｗが不要テープＴｎと繋がったまま不要テープＴｎとともにキャリアテープｃｔから剥離されるという事態を確実に防止できる。
【０１３１】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【０１３２】
（１）各実施例において、粘着テープ片Ｔｗが円形である場合を例にとって説明したが、本発明の構成は粘着テープ片Ｔｗが長方形や正方形を例とする矩形である場合にも適用できる。この場合、図１３（ａ）で示すように切断軌跡Ｋは矩形となっており、太線で示されている切断軌跡Ｋの辺の部分が分離開始箇所Ｐに相当する。なお、本発明において矩形とは、図１３（ａ）に示される切断軌跡Ｋのように、４つの頂点部分が丸みを帯びている形状も含むものとする。
【０１３３】
実施例１において切断軌跡Ｋを矩形とする場合、切断軌跡Ｋのうち直線状の分離開始箇所Ｐを少なくとも含む第１領域Ｋ１において粘着テープＴを切断する深さを、切断軌跡Ｋのうち第１領域Ｋ１を除く第２領域Ｋ２において粘着テープを切断する深さよりも深くする。
【０１３４】
実施例２において切断軌跡Ｋを矩形とする場合、図１３（ｂ）で示すように抑止部材４１の形状は、粘着テープＴにおいて少なくとも直線状の分離開始箇所Ｐを含む領域を抑止できる形状であればよい。そして抑止部材４１が少なくとも分離開始箇所Ｐに当接している状態で分離開始箇所Ｐにおける不要テープＴｎの剥離を行うことにより、分離開始箇所Ｐにおいて確実に粘着テープ片Ｔｗと不要テープＴｎとを分離させることができる。
【０１３５】
（２）各実施例では境界線Ｖの延びる方向は粘着テープＴの長尺方向と交差する構成を例示したが、特に切断軌跡Ｋが矩形である変形例においては、境界線Ｖの延びる方向を粘着テープＴの長尺方向から傾斜するように調整することが好ましい。このような変形例に係る粘着テープ貼付け装置１Ｂを図１４（ａ）に示す。なお、粘着テープ貼付け装置１Ｂは実施例１の構成をベースとしており、切断ユニット９は突出刃部１３ａを有する切断刃１３を備えている。切断刃１３は切断軌跡Ｋの形状に応じて、矩形の環状となっているトムソン刃によって構成されている。
【０１３６】
粘着テープ貼付け装置１Ｂにおいて、粘着テープ回収部４Ｂが備えている案内ローラ１７Ｂおよび回収ボビン１９Ｂは、それぞれの軸方向が粘着テープＴの繰り出し方向Ｌに対して傾斜するように調整されている。そのため、境界線Ｖの延びる方向は粘着テープＴの繰り出し方向Ｌに対して傾斜する。
【０１３７】
従って、粘着テープＴに対して境界線Ｖが相対的に移動する方向である剥離方向Ｍは、図１４（ｂ）および図１４（ｃ）に示すように、粘着テープＴの繰り出し方向Ｌに対して傾斜することとなる。一般的に矩形の粘着テープ片Ｔｗを作製する場合、粘着テープＴの廃棄量を低減すべく粘着テープ片Ｔｗの長辺と粘着テープＴの長尺方向とを平行にさせる。
【０１３８】
そのため、剥離方向Ｍを粘着テープＴの長尺方向から傾斜させることにより、境界線Ｖが最初に粘着テープ片Ｔｗと接する箇所は図１４（ｂ）などに示すように、切断軌跡Ｋにおける頂点部分となる。すなわち、境界線Ｖを粘着テープ分離開始箇所Ｐは、切断軌跡Ｋにおける頂点部分に相当する。
【０１３９】
切断軌跡Ｋを矩形とする変形例において境界線Ｖを粘着テープＴの長尺方向と平行に相対移動させる場合、図１３（ｂ）に示すように分離開始箇所Ｐが比較的長い線状となる。この場合、ステップＳ４において分離開始箇所Ｐで不要テープＴｎと粘着テープ片Ｔｗとを分離させる際に、少なくとも不要テープＴｎを巻き取ることによって発生する上方向の力Ｊ１は、比較的長い分離開始箇所Ｐの全体に分散する。
【０１４０】
すなわち、単位長さの分離開始箇所Ｐに対して作用する力Ｊ１の大きさが低下するので、単位長さの分離開始箇所Ｐに対して作用する剪断力が低下する。その結果、不要テープＴｎの粘着層と粘着テープ片Ｔｗの粘着層同士の粘着力より当該剪断力が低くなる事態や、分離開始箇所Ｐにおいて発生した切れ残り部分Ｆを当該剪断力によって剪断できない事態が発生する。これらの事態が発生した場合、分離開始箇所Ｐにおいて不要テープＴｎと粘着テープ片Ｔｗとを分離することができず、結果として粘着テープ片Ｔｗが不要テープＴｎとともにキャリアテープｃｔから剥離されることとなる。
【０１４１】
一方、分離開始箇所Ｐが切断軌跡Ｋにおける頂点部分となるように境界線Ｖの方向を調整した場合、分離開始箇所Ｐの長さは短くなる。この場合、分離開始箇所Ｐで不要テープＴｎと粘着テープ片Ｔｗとを分離させる際に、短くなっている分離開始箇所Ｐに対して、巻き取られる不要テープＴｎに起因する上方向の力Ｊ１が集中する。
【０１４２】
力Ｊ１を集中させることにより、分離開始箇所Ｐに作用する剪断力の大きさを向上できるので、分離開始箇所Ｐにおいて不要テープＴｎと粘着テープ片Ｔｗとを確実に分離できる。従って、境界線Ｖの方向を粘着テープＴの長尺方向から傾斜させることにより、粘着テープ片Ｔｗが不要テープＴｎとともにキャリアテープｃｔから剥離される事態をより確実に防止できる。
【０１４３】
このような（２）に係る変形例、すなわち切断軌跡Ｋを矩形とし、かつ境界線Ｖを粘着テープＴの長尺方向から傾斜させて分離開始箇所Ｐを短く調整する変形例は、実施例１のみならず実施例２にも適用できる。当該変形例を実施例２に適用した場合、分離開始箇所Ｐが短くなるので、抑止部材４１を小型化しても当該抑止部材４１は確実に分離開始箇所Ｐにおける粘着テープ片Ｔｗの浮き上がりを抑止できる。
【０１４４】
（３）各実施例および各変形例において、粘着テープＴの例として、ウエハＷをリングフレームｆとにわたって支持する支持用粘着テープ（ダイシングテープ）を例に挙げて説明したがこれに限られない。すなわちダイシングテープの他、半導体ウエハの回路面を保護する保護用の粘着テープ（保護テープ）など、長尺状の粘着テープを切断して粘着テープ片を作製する構成であれば、本発明に係る粘着テープ貼付け装置の構成を適用できる。
【０１４５】
（４）各実施例および各変形例において、リングフレームｆおよびウエハＷをワークとして、当該ワークに支持用の粘着テープ片Ｔｗを貼り付ける粘着テープ貼付け装置を例示したが、粘着テープを貼り付ける対象となるワークは、リングフレームｆおよびウエハＷに限られない。他の例として、リングフレームｆを用いることなく、ウエハＷまたは矩形の基板に回路保護用の粘着テープ片を貼り付ける構成などが挙げられる。
【０１４６】
（５）各実施例および各変形例において、ステップＳ４は粘着テープＴを繰り出し方向Ｌへ移動させることにより、剥離済みの不要テープＴｎと未剥離の不要テープＴｎとの境界線Ｖを、粘着テープＴに対して剥離方向Ｍへ相対的に移動させるがこれに限られない。すなわち、粘着テープ回収部４を移動させることによって境界線Ｖを粘着テープＴに対して相対的に移動させてもよく、粘着テープ回収部４と粘着テープＴとの各々を移動させることによって境界線Ｖを剥離方向Ｍへ移動させてもよい。
【０１４７】
（６）実施例１および実施例１をベースとする各変形例において、粘着テープＴの切断領域Ｋのうち、第１領域Ｋ１を第２領域Ｋ２より深く切断する構成であれば切断ユニット９の構成を適宜変更できる。一例として、突出刃部１３ａをそなえる切断刃１３の代わりに、カッタ刃と当該カッタ刃の高さを制御する制御部を備える構成であってもよい。すなわち、カッタ刃が第２領域Ｋ２を切断する場合と比べて、カッタ刃が第１領域Ｋ１を切断する場合において、カッタ刃をより深く下降させて粘着テープＴを切断させることによっても本発明の効果を実現できる。
【０１４８】
（７）実施例２および実施例２をベースとする各変形例において、キャリアテープｃｔから剥離済みの不要テープＴｎと未剥離の不要テープＴｎとの境界線Ｖが剥離方向Ｍへ相対移動することに同期して、粘着テープＴに対する抑止部材４１の相対的な位置を変位させることが好ましい。
【０１４９】
実施例２ではステップＳ４において、粘着テープＴと抑止部材４１との相対的な位置を変えることなく不要テープＴｎを粘着テープ片Ｔｗの周囲から剥離している。すなわち、抑止部材４１は分離開始箇所Ｐに当接し続けている。そのため実施例２では分離開始箇所Ｐにおいて不要テープＴｎをキャリアテープｃｔから剥離する場合、図１５（ａ）に示すように抑止部材４１は境界線Ｖと近接している。一方、ステップＳ４の工程が進行し、境界線Ｖが分離開始箇所Ｐから離れると、抑止部材４１も分離開始箇所Ｐとともに境界線Ｖから離れていく（図１５（ｂ））。
【０１５０】
一方、抑止部材４１を境界線Ｖと同期的に相対移動させる変形例では、分離開始箇所Ｐにおいて不要テープＴｎをキャリアテープｃｔから剥離する場合、図１５（ｃ）に示すように抑止部材４１は分離開始箇所Ｐに当接している。このとき、抑止部材４１は分離開始箇所Ｐにおける粘着テープ片Ｔｗの浮き上がりを抑止しているので、分離開始箇所Ｐにおいて不要テープＴｎは粘着テープ片Ｔｗから確実に分離され、不要テープＴｎのみがキャリアテープｃｔから剥離される。
【０１５１】
そして、ステップＳ４の工程を進行させて境界線Ｖを剥離方向Ｍへ相対移動させると、粘着テープＴに対する抑止部材４１の相対的位置も同期的に変位する。そのため図１５（ｄ）に示すように、抑止部材４１と境界線Ｖとの距離が変わることなく、抑止部材４１は分離開始箇所Ｐから離れる。このとき、抑止部材４１は、切断軌跡Ｍのうち不要テープＴｎを粘着テープ片Ｔｗから分離させてキャリアテープｃｔから剥離させる箇所（図面では第２領域Ｋ２）に当接している。
【０１５２】
抑止部材４１は不要テープＴｎと粘着テープ片Ｔｗとの分離を行う箇所において粘着テープ片Ｔｗに当接し、当該箇所における粘着テープ片Ｔｗの浮き上がりを好適に抑止する。そのため、不要テープＴｎと粘着テープ片Ｔｗとの分離を行う箇所において切れ残り部分Ｆが発生している場合であっても、当該箇所における粘着テープ片Ｔｗの浮き上がりを抑止することによって切れ残り部分Ｆを確実に剪断できる。
【０１５３】
このように、（７）に係る変形例では、境界線Ｖの相対的移動により不要テープＴｎと粘着テープ片Ｔｗとの分離を行う箇所が変位することに同期して、粘着テープＴにおいて抑止部材４１が当接または近接する領域も変位させる。このような構成を備えることにより、不要テープＴｎをキャリアテープｃｔから剥離させる箇所が剥離方向Ｍへ移動しても、移動後の当該箇所における粘着テープ片Ｔｗは、同期的に変位した抑制部材４１によって当接されている。
【０１５４】
言い換えれば、抑止部材４１を境界線Ｖと同期的に移動させることにより、抑止部材４１と境界線Ｖとの距離が近い状態を維持しつつ、不要テープＴｎを剥離するステップＳ４の工程を実行できる。そのため、境界線Ｖと抑止部材４１との距離が離れることに起因して、粘着テープ片Ｔｗの浮き上がりを抑止する効果が低下するという事態を回避できる。
【０１５５】
さらに（７）に係る変形例の構成、すなわち抑止部材４１を境界線Ｖと同期的に相対移動させる構成では、粘着テープＴの平面視における抑止部材４１の形状を、粘着テープ片Ｔｗよりも広くしても、剥離済みの不要テープＴｎと抑止部材４１との干渉を回避することができる。
【０１５６】
抑止部材４１の形状を、粘着テープ片Ｔｗよりも広くする構成の一例を図１５（ｃ）に示す。すなわち、粘着テープ片Ｔｗの分離開始箇所Ｐを含み、かつ境界線Ｖと同じ方向に延びる幅広の板状となるように抑止部材４１の形状が構成されている。抑止部材４１をより幅広とする場合、粘着テープＴの浮き上がりを抑止できる範囲をより広くできるので、粘着テープ片Ｔｗがキャリアテープｃｔから浮き上がる事態を確実に防止できる。また、抑止部材４１は粘着テープＴの幅方向にわたって当接するので、抑止部材４１が粘着テープ片Ｔｗの浮き上がりを抑止する力Ｊ２を、粘着テープＴの幅方向にわたって均一に作用させることができる。
【符号の説明】
【０１５７】
１    …  粘着テープ貼付け装置
２    …  テープ供給部
３    …  テーププリカット機構
４    …  粘着テープ回収部
５    …  テープ貼付けユニット
６    …  キャリアテープ回収部
９    …  切断ユニット
１３    …  切断刃
１３ａ  …  突出刃部
１３ｂ  …  通常刃部
１７    …  案内ローラ
１９    …  ボビン
２１  …  第１貼付けユニット
２３  …  第２貼付けユニット
２５  …  貼付けテーブル
２６  …  エッジ部材
２７  …  貼付けローラ
４１  …  抑止部材
４３  …  切断刃
ｆ  …  リングフレーム
Ｔ  …  粘着テープ
Ｔｗ  …  粘着テープ片
Ｔｎ  …  不要テープ
ｃｔ  …  キャリアテープ
Ｗ  …  半導体ウエハ
Ｖ  …  境界線
Ｋ  …  切断軌跡
Ｋ１  …  第１領域
Ｋ２  …  第２領域
【図１】
2019186268.tif 000003
【図２】
2019186268.tif 000004
【図３】
2019186268.tif 000005
【図４】
2019186268.tif 000006
【図５】
2019186268.tif 000007
【図６】
2019186268.tif 000008
【図７】
2019186268.tif 000009
【図８】
2019186268.tif 000010
【図９】
2019186268.tif 000011
【図１０】
2019186268.tif 000012
【図１１】
2019186268.tif 000013
【図１２】
2019186268.tif 000014
【図１３】
2019186268.tif 000015
【図１４】
2019186268.tif 000016
【図１５】
2019186268.tif 000017
【図１６】
2019186268.tif 000018
【図１７】
2019186268.tif 000019