(57)【要約】      （修正有）【課題】可及的に大きな磁気吸引力でワークを吸引保持することができるマグネットチャック及びピストンの位置、ワークの有無等の動作状態を簡単な構成で検出できるマグネットチャックを提供する。【解決手段】マグネットチャック１０は、筒状の永久磁石４２とコアヨーク４０を含むピストンアセンブリ１４がシリンダチューブ１２の内部で移動可能に設けられたものであって、永久磁石４２は、コアヨーク４０の外周に設けられ、径方向に着磁されており、シリンダチューブ１２の側面に磁気センサが取り付けられている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の永久磁石とコアヨークを含むピストンアセンブリがシリンダチューブの内部で移動可能に設けられたマグネットチャックであって、
前記永久磁石は、前記コアヨークの外周に設けられ、径方向に着磁されており、シリンダチューブの側面に前記永久磁石の磁束を検出する磁気センサが取り付けられていることを特徴とするマグネットチャック。
【請求項２】
請求項１記載のマグネットチャックにおいて、
前記永久磁石の外周にカバーヨークが設けられている
ことを特徴とするマグネットチャック。
【請求項３】
請求項１記載のマグネットチャックにおいて、
前記磁気センサは、ピストンアセンブリの位置を検出できるように取り付けられている
ことを特徴とするマグネットチャック。
【請求項４】
請求項１記載のマグネットチャックにおいて、
前記磁気センサは、ワークが吸引保持されているか否かを検出できるように取り付けられている
ことを特徴とするマグネットチャック。
【請求項５】
請求項１記載のマグネットチャックにおいて、
前記ピストンアセンブリの移動端において前記ピストンアセンブリの外周側で対向するアウタヨークが前記シリンダチューブの軸方向一端側に設けられている
ことを特徴とするマグネットチャック。
【請求項６】
請求項１記載のマグネットチャックにおいて、
前記コアヨークと対向するボトムヨークが前記シリンダチューブの軸方向一端側に設けられている
ことを特徴とするマグネットチャック。
【請求項７】
請求項６記載のマグネットチャックにおいて、
前記ピストンアセンブリの移動端において前記ボトムヨークが前記コアヨークの凹部に入り込む
ことを特徴とするマグネットチャック。
【請求項８】
請求項１記載のマグネットチャックにおいて、
前記ピストンアセンブリと対向するラッチヨークが前記シリンダチューブの軸方向他端側に設けられている
ことを特徴とするマグネットチャック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、永久磁石の力でワークを吸引保持するマグネットチャックに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、シリンダ内部のピストンに永久磁石を連結し、ピストンとともに永久磁石を変位させるマグネットチャックが知られている（例えば、特許文献１参照）。このようなマグネットチャックでは、流体圧を受けたピストンの変位に追従して永久磁石がワークに接近することに伴い、ワークが吸引保持される。また、ピストンがワークから離間する方向に変位すると、ワークが解放される。
【０００３】
マグネットチャックによって重量が大きいワークを吸着するときは、吸引力を大きくする必要があるが、ワークが薄板である場合、ワークの内部で磁気飽和が起きるため、吸引力を大きくすることは容易でない。また、単に、永久磁石として磁力が大きいものを選定することは、装置の大型化につながってしまう。
【０００４】
永久磁石を用いたマグネットチャックにおいて、ワークを通る磁束を多くしてワークに対して大きな吸引力を発現するようにした技術が本出願人により提案されている（特許文献２参照）。このマグネットチャックは、ワーク着磁面にＮ極とＳ極の組合せが１組以上存在するように複数個の永久磁石を配列したものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開昭５１−１０２１７４号公報
【特許文献２】特開２０１６−１２４０９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
永久磁石を用いたマグネットチャックにおいては、ワークを通る磁束をさらに多くして、できるだけ大きな吸引力でワークを吸引保持できるようにすることが望まれている。また、マグネットチャックの動作状態を検出するための有用な手段を得ることが求められている。
【０００７】
本発明は、上記事情を背景としてなされたもので、可及的に大きな磁気吸引力でワークを吸引保持することができるマグネットチャックを提供することを目的とする。また、ピストンの位置、ワークの有無等の動作状態を簡単な構成で検出できるマグネットチャックを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るマグネットチャックは、筒状の永久磁石とコアヨークを含むピストンアセンブリがシリンダチューブの内部で移動可能に設けられたマグネットチャックであって、永久磁石は、コアヨークの外周に設けられ、径方向に着磁されており、シリンダチューブの側面に永久磁石の磁束を検出する磁気センサが取り付けられていることを特徴とする。
【０００９】
上記マグネットチャックによれば、永久磁石の内周側に強磁性体としてのコアヨークが配設されているので、永久磁石からの磁束を集中させることができ、ワークに作用する磁気吸引力を大きくすることができる。また、永久磁石の移動やワークの有無によって変動する磁束をシリンダチューブの側面に取り付けた磁気センサで検出できるので、マグネットチャックの動作状態を簡単な構成で検出することができる。
【００１０】
上記マグネットチャックにおいて、永久磁石の外周にカバーヨークが設けられているのが好ましい。これによれば、磁気センサが取り付けられるシリンダチューブの側面において、磁気センサを反応させるのに適切な大きさの磁束密度にすることができる。
【００１１】
また、磁気センサは、ピストンアセンブリの位置を検出できるように取り付けられていてもよく、マグネットチャックにワークが吸引保持されているか否かを検出できるように取り付けられていてもよい。
【００１２】
また、ピストンアセンブリの移動端においてピストンアセンブリの外周側で対向するアウタヨークがシリンダチューブの軸方向一端側に設けられているのが好ましい。これによれば、ワークに作用する磁気吸引力をさらに大きくすることができる。しかも、ピストンアセンブリの移動端において、アウタヨークとピストンアセンブリとの間で働く磁気吸引力が弱められるので、ピストンアセンブリを該移動端から動かすのに必要なエア圧を小さくすることができる。
【００１３】
また、コアヨークと対向するボトムヨークがシリンダチューブの軸方向一端側に設けられているのが好ましく、この場合、ピストンアセンブリの移動端においてボトムヨークがコアヨークの凹部に入り込むのが好ましい。これによれば、ワークに作用する磁気吸引力をさらに大きくすることができる。しかも、ピストンアセンブリの移動端において、ボトムヨークとピストンアセンブリとの間で働く磁気吸引力が弱められるので、ピストンアセンブリを該移動端から動かすのに必要なエア圧を小さくすることができる。
【００１４】
また、ピストンアセンブリと対向するラッチヨークがシリンダチューブの軸方向他端側に設けられているのが好ましい。これによれば、ピストンアセンブリは、前記移動端と反対側の移動端において、所定の磁気吸引力でラッチヨークに吸引されるので、ピストンアセンブリが不意に移動してワークが吸着されるおそれがない。さらには、マグネットチャックの搬送時等において、マグネットチャックが周囲の鉄材等を吸着するという不測の事態が回避され、安全が図られる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係るマグネットチャックによれば、永久磁石の内周側に強磁性体としてのコアヨークが配設されているので、永久磁石からの磁束を集中させることができ、ワークに作用する磁気吸引力を大きくすることができる。また、永久磁石の移動やワークの有無によって変動する磁束をシリンダチューブの側面に取り付けた磁気センサで検出できるので、マグネットチャックの動作状態を簡単な構成で検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係るマグネットチャックの斜視図である。
【図２】ピストンアセンブリが上死点にあるときの図１のマグネットチャックの縦断面図である。
【図３】図１のマグネットチャックの部品展開図である（但しセンサを除く）。
【図４】図３のピストンアセンブリをさらに展開した図である。
【図５】図２のＶ部拡大図である。
【図６】ピストンアセンブリが下死点にあるときの図１のマグネットチャックの縦断面図である。
【図７】図７Ａは、図１のマグネットチャックのピストンアセンブリが上死点にあるときの磁束線を示す図であり、図７Ｂおよび図７Ｃは、該ピストンアセンブリがそれぞれ所定の位置にあるときの磁束線を示す図であり、図７Ｄは、該ピストンアセンブリが下死点にあるときの磁束線を示す図である。
【図８】図１のマグネットチャックについて、ピストンアセンブリの位置とピストンアセンブリに作用する磁気吸引力の大きさとの関係を示す図である。
【図９】図１のマグネットチャックについて、ピストンアセンブリの位置とプレートに作用する磁気吸引力の大きさとの関係を示す図である。
【図１０】図１のマグネットチャックについて、ピストンアセンブリの複数の位置ごとに、取付溝の長手方向に沿った磁束密度の変化を示した図である。
【図１１】図１のマグネットチャックについて、取付溝における複数の位置ごとに、ピストンアセンブリの位置と磁束密度との関係を示した図である。
【図１２】図１のマグネットチャックについて、ピストンアセンブリが下死点にあるとき、取付溝の長手方向に沿った磁束密度の変化をプレートの有無で対比して示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係るマグネットチャックについて好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。
【００１８】
マグネットチャック１０は、シリンダチューブ１２、ピストンアセンブリ１４、トップカバー１６、ボトムカバー１８およびラッチヨーク２０を含む。マグネットチャック１０は、例えば、図示しないロボットの先端アームに取り付けられる。
【００１９】
シリンダチューブ１２は、アルミニウム合金等の常磁性体金属からなる。シリンダチューブ１２の横断面の外形は、シリンダチューブ１２の下端に設けられた嵌合部２２を除いて矩形状であり、シリンダチューブ１２は４つの側面を有する。シリンダチューブ１２の嵌合部２２は、横断面の外形が円形である。シリンダチューブ１２には、断面円形のシリンダ孔２４がシリンダチューブ１２の軸線方向に貫通して設けられている。
【００２０】
シリンダチューブ１２の一つの側面には、エア給排用の第１ポート２６が設けられている。第１ポート２６は、シリンダチューブ１２の壁の内部を軸方向に延びる第１エア給排孔２８の上端に繋がっている。図５に示されるように、シリンダチューブ１２の嵌合部２２の内周側には、下方に開口する環状凹部３０が形成され、第１エア給排孔２８の下端は該環状凹部３０に臨む。
【００２１】
第１ポート２６が開口するシリンダチューブ１２の側面とこれに対向するシリンダチューブ１２の側面には、それぞれ２本の取付溝３４が形成されている。これらの取付溝３４は、シリンダチューブ１２の軸線方向に沿ってその上下両端まで延在し、そのうちの１本の取付溝３４に磁気センサ３６が取り付けられている。
【００２２】
磁気センサ３６は、取付溝３４の長手方向の磁束密度と、該長手方向に直交し、かつ、シリンダ孔２４の中心軸線を通る方向の磁束密度との差分を検出する無接点スイッチとして構成されている。磁気センサ３６は、ピストンアセンブリ１４の位置またはワークの有無を検出できるように、取付溝３４の長手方向の所定の位置に取り付けられている。磁気センサ３６の取付位置については、後に詳しく述べる。
【００２３】
シリンダチューブ１２の嵌合部２２の先端には、後述する第３シール材９６を装着するための段部が設けられている。シリンダ孔２４の上端側には、ラッチヨーク２０を取り付けるための段部３２が設けられている。シリンダチューブ１２の４つの隅部、すなわち、各側面同士が繋がる部位は肉厚になっており、この肉厚部に後述するタイロッド９４が挿通される挿通孔３５が形成されている。
【００２４】
ピストンアセンブリ１４は、シールホルダ３８、コアヨーク４０、永久磁石４２、カバーヨーク４４およびリングプレート４５を含む。
【００２５】
シールホルダ３８は、アルミニウム合金等の常磁性体金属から円板状に形成されている。シールホルダ３８の外周には凹溝を介してピストンシール４６が設けられ、ピストンシール４６はシリンダ孔２４の壁面に摺接する。シールホルダ３８の中央には貫通孔４８が設けられ、シールホルダ３８の上端部には、貫通孔４８から内方に突出する内向きフランジ５０が設けられている。トップカバー１６に対向するシールホルダ３８の上面には、環状凹部５１が設けられている。
【００２６】
コアヨーク４０は、強磁性体である鉄鋼材からなり、概ね円柱状に構成されている。コアヨーク４０の上端部の中央には、小径の筒状突出部５２が設けられている。コアヨーク４０は、筒状突出部５２の先端に開口する有底のねじ孔５４を有する。コアヨーク４０の下端部には、下方に開口する断面円形の凹部５６が形成されている。凹部５６の底面には、底面から若干突出するように第１ダンパ５８が取り付けられ、第１ダンパ５８は、ピストンアセンブリ１４が下死点まで下降した際にボトムヨーク８０に当接し、衝撃を緩和する機能を有する（図６参照）。
【００２７】
シールホルダ３８の貫通孔４８の下端側からコアヨーク４０の筒状突出部５２がシールホルダ３８の内向きフランジ５０に当接するまで嵌合され、貫通孔４８の上端側から固定ネジ６０がコアヨーク４０のねじ孔５４に向けて挿入・螺合される。これにより、シールホルダ３８とコアヨーク４０とが一体的に連結される。コアヨーク４０の筒状突出部５２の根元には第１シール材６２が装着される。第１シール材６２は、シールホルダ３８とコアヨーク４０との間をシールする。
【００２８】
筒状の永久磁石４２がコアヨーク４０の外周に配置され、シールホルダ３８とコアヨーク４０とカバーヨーク４４とリングプレート４５とで囲まれるようにして取り付けられる。永久磁石４２は径方向に着磁されている。すなわち、永久磁石４２は、内周側がＮ極、外周側がＳ極となっている。これとは逆に、内周側がＳ極、外周側がＮ極であってもよい。図４に示されるように、本実施形態では、永久磁石４２は、周方向に分割されたもの、すなわち、複数の扇形状の磁石片４２ａを組み合わせた円筒状となっているが、単一の部材から構成されてもよい。また、複数の平板状の磁石片を組み合わせて横断面が多角形である角筒状の永久磁石としてもよい。永久磁石が角筒状である場合は、その中心軸に対して垂直に交差する向きを永久磁石の「径方向」という。
【００２９】
筒状のカバーヨーク４４が永久磁石４２の外周に配置される。カバーヨーク４４は、強磁性体である鉄鋼材からなる。カバーヨーク４４の外周面は、上方側が大径に形成され、下方側が小径に形成されている。すなわち、カバーヨーク４４は、段部６５を挟んで上方側の大径部６４と下方側の小径部６６とを有する。大径部６４には、互いに軸方向に離間する２つの環状溝６８ａ、６８ｂが設けられ、これらの環状溝６８ａ、６８ｂにウエアリング７０ａ、７０ｂが装着される。ピストンアセンブリ１４は、ウエアリング７０ａ、７０ｂを介してシリンダ孔２４に案内支持される。
【００３０】
トップカバー１６は、アルミニウム合金等の常磁性体金属からなり、平面視でシリンダチューブ１２の外形と同じ矩形の板状に構成される。トップカバー１６の下面には、２つの段差面を有する円形凹部７２が設けられている。すなわち、円形凹部７２は、シリンダチューブ１２に近い側から順に大径部７２ａ、中径部７２ｂ、小径部７２ｃを有し、大径部７２ａと中径部７２ｂとの境界には第１段差面７２ｄが形成され、中径部７２ｂと小径部７２ｃとの境界には第２段差面７２ｅが形成されている。
【００３１】
中径部７２ｂと第２段差面７２ｅは、ラッチヨーク２０を位置決めするためのものである。小径部７２ｃは、ピストンアセンブリ１４の上昇時に固定ネジ６０の頭部を受容可能とするためのものである（図２参照）。大径部７２ａと第１段差面７２ｄにより形成される環状の隙間には、環状の第２シール材７４が装着される。第２シール材７４は、シリンダチューブ１２とトップカバー１６との間をシールする。
【００３２】
トップカバー１６には第２ポート７６が設けられている。第２ポート７６の一端は、第１ポート２６が開口するシリンダチューブ１２の側面に対応するトップカバー１６の側面に開口する。第２ポート７６の他端は、トップカバー１６の第２段差面７２ｅに開口する。
【００３３】
第２ポート７６が開口するトップカバー１６の側面と、これに対向するトップカバー１６の側面には、シリンダチューブ１２の取付溝３４と整合する溝７８が設けられている。この溝７８は、シリンダチューブ１２の取付溝３４に磁気センサ３６を取り付ける際に利用される。矩形状のトップカバー１６の四隅には、後述するタイロッド９４が挿通される挿通孔７９がトップカバー１６の厚み方向に貫通して設けられている。
【００３４】
ボトムカバー１８は、ボトムヨーク８０、アウタヨーク８２、第１ハウジング８６および第２ハウジング１００を含む。
【００３５】
ボトムヨーク８０は、強磁性体である鉄鋼材から円柱状に構成される。ボトムヨーク８０は、ピストンアセンブリ１４の下降時にコアヨーク４０の凹部５６に入り込む（図６参照）。ボトムヨーク８０の下部には、径方向外方に突出する下部フランジ８０ａが設けられている。
【００３６】
ボトムヨーク８０の外側にアウタヨーク８２が配置される。アウタヨーク８２は、強磁性体である鉄鋼材から円筒状に構成される。アウタヨーク８２の上部には、径方向外方に突出する上部フランジ８２ａが設けられ、アウタヨーク８２の下方寄りの外周面には、径方向内方に凹む外周凹部８２ｂが設けられている。アウタヨーク８２の下端部内周側には段部８２ｃが設けられている。
【００３７】
ボトムヨーク８０の下部フランジ８０ａとアウタヨーク８２の段部８２ｃとの間に環状の連結板８４が取り付けられる。これにより、アウタヨーク８２はボトムヨーク８０に固定される。連結板８４は、アルミニウム合金等の常磁性体金属からなる。
【００３８】
第１ハウジング８６は、アルミニウム合金等の常磁性体金属から筒状に構成される。第１ハウジング８６の横断面の外形は、シリンダチューブ１２と同じ形状である。第１ハウジング８６は、上下方向に貫通する横断面円形の貫通孔８８を有し、貫通孔８８の下端部において内方に突出する下部フランジ９０を備える。第１ハウジング８６の貫通孔８８にシリンダチューブ１２の嵌合部２２が嵌合される。
【００３９】
第１ハウジング８６の４つの側面のうち相対向する一対の側面には、シリンダチューブ１２の取付溝３４と整合する溝９２が設けられている。この溝９２は、シリンダチューブ１２の取付溝３４に磁気センサ３６を取り付ける際に利用される。第１ハウジング８６の四隅には、後述するタイロッド９４が螺合されるねじ孔９３が設けられている。
【００４０】
４本のタイロッド９４がトップカバー１６の挿通孔７９とシリンダチューブ１２の挿通孔３５に挿通され、その端部が第１ハウジング８６のねじ孔９３に螺合される。これにより、トップカバー１６とシリンダチューブ１２と第１ハウジング８６の三者が相互に連結固定される。また、アウタヨーク８２の上部フランジ８２ａがシリンダチューブ１２の嵌合部２２の端面と第１ハウジング８６の下部フランジ９０との間で挟持されることで、アウタヨーク８２も連結固定される。
【００４１】
シリンダチューブ１２の嵌合部２２の先端に設けられた段部とアウタヨーク８２の上面とで形成される隙間に第３シール材９６が装着される。第３シール材９６は、シリンダチューブ１２とアウタヨーク８２との間をシールする。
【００４２】
シリンダチューブ１２の下端とアウタヨーク８２の上面との間であって、シリンダチューブ１２の環状凹部３０に臨む位置に環状の第２ダンパ９８が装着される。第２ダンパ９８は、ピストンアセンブリ１４が下死点まで下降した際にカバーヨーク４４の段部６５に当接し、衝撃を緩和する機能を有する。図３に示されるように、第２ダンパ９８の上面には、内周端から外周端まで延びる複数のスリット９８ａが周方向に等間隔で設けられている。このスリット９８ａは、第１エア給排孔２８をシリンダ孔２４に連通させる役割を担う。
【００４３】
第２ハウジング１００は、樹脂材料またはゴム材料からなり、アウタヨーク８２の外周凹部８２ｂに嵌合されて取り付けられる。第２ハウジング１００は、ボトムヨーク８０およびアウタヨーク８２よりも僅かに下方に突出する。これにより、第２ハウジング１００が吸着対象である鉄製のプレート（ワーク）Ｗに接触したとき、ボトムヨーク８０およびアウタヨーク８２とプレートＷとの間には僅かなギャップが形成される。
【００４４】
ラッチヨーク２０は、強磁性体である鉄鋼材から円板状に構成され、トップカバー１６の円形凹部７２とシリンダ孔２４の上端側に設けられた段部３２とにまたがって配置される。ラッチヨーク２０の中央には、上下方向に貫通する中央貫通孔１０２が設けられている。中央貫通孔１０２の上部は、トップカバー１６の小径部７２ｃと整合する小径部１０２ａとなっており、ピストンアセンブリ１４の上昇時に固定ネジ６０の頭部を受容可能である（図２参照）。中央貫通孔１０２は、小径部１０２ａに続く大径部１０２ｂを有し、大径部１０２ｂに環状の第３ダンパ１０４が装着される。図２に示されるように、第３ダンパ１０４は、ピストンアセンブリ１４が上昇した際に、シールホルダ３８の内向きフランジ５０に当接し、衝撃を緩和する機能を有する。大径部１０２ｂの下端はテーパ状に拡径して環状突出部１０６が形成され、環状突出部１０６は、ピストンアセンブリ１４が上昇した際に、シールホルダ３８の環状凹部５１に入り込むことができる。
【００４５】
ラッチヨーク２０の上面には環状溝１０８が設けられ（図３参照）、環状溝１０８の底面からラッチヨーク２０の下面まで延びる複数の第２エア給排孔１１０が設けられている。トップカバー１６の第２段差面７２ｅに開口する第２ポート７６の他端はこの環状溝１０８に臨む。すなわち、第２ポート７６は、ラッチヨーク２０の環状溝１０８と第２エア給排孔１１０を介してシリンダ孔２４に連通する。
【００４６】
シリンダチューブ１２の内側の空間は、シールホルダ３８のピストンシール４６よりも下方に存在する第１圧力室１１２と、シールホルダ３８のピストンシール４６よりも上方に存在する第２圧力室１１４とに区画される。第１ポート２６は、第１エア給排孔２８と第２ダンパ９８のスリット９８ａを介して第１圧力室１１２に連通し、第２ポート７６は、ラッチヨーク２０の環状溝１０８と第２エア給排孔１１０を介して第２圧力室１１４に連通する。
【００４７】
本実施形態に係るマグネットチャック１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、以下、主に図７Ａ〜図９を参照しながら、その作用について説明する。図２に示すように、ピストンアセンブリ１４が上死点（上昇端）にある状態を初期状態とする。
【００４８】
初期状態における磁束線を図７Ａに示す。本図を含め、磁束線を示す図は、コンピュータによる計算に基づく。磁束線を示す図においては、便宜上、マグネットチャック１０を構成する部材は、永久磁石４２と強磁性体（コアヨーク４０、カバーヨーク４４、ボトムヨーク８０、アウタヨーク８２およびラッチヨーク２０）のみがその輪郭をもって示されている。
【００４９】
Ｎ極である永久磁石４２の内周側から出た磁束線の相当数は、コアヨーク４０とラッチヨーク２０とカバーヨーク４４を経由して、Ｓ極である永久磁石４２の外周側に戻っている。一方、永久磁石４２から離れた距離にあるボトムヨーク８０またはアウタヨーク８２を経由して永久磁石４２に戻る磁束線はほとんどない。永久磁石４２を含むピストンアセンブリ１４は、所定の磁気吸引力でラッチヨーク２０に吸引される。
【００５０】
マグネットチャック１０が使用に供される前の搬送時等においては、マグネットチャック１０にエアが供給されなくても、ラッチヨーク２０の作用でピストンアセンブリ１４が上死点の位置に保持される。これにより、マグネットチャック１０が周囲の鉄材等を吸着するという不測の事態が回避され、安全が図られる。
【００５１】
初期状態において、例えば図示しないロボットを駆動して、マグネットチャック１０を吸着対象である鉄製のプレート（ワーク）Ｗに近づけ、第２ハウジング１００をプレートＷに当接させる。これと同時に、図示しない切換弁を操作して、第２ポート７６から第２圧力室１１４内にエアを供給するとともに、第１圧力室１１２内のエアを第１ポート２６から排出する。
【００５２】
第２圧力室１１４と第１圧力室１１２との差圧によってピストンアセンブリ１４を下方へ駆動させようとする力は、ピストンアセンブリ１４の上死点においてラッチヨーク２０とピストンアセンブリ１４との間に働く磁気吸引力を上回り、ピストンアセンブリ１４は下降を始める。
【００５３】
ピストンアセンブリ１４が下降するにつれて、ラッチヨーク２０とピストンアセンブリ１４との間に働く磁気吸引力は次第に小さくなる一方、ボトムヨーク８０またはアウタヨーク８２とピストンアセンブリ１４との間に働く磁気吸引力は次第に大きくなる。後者の磁気吸引力が前者の磁気吸引力を上回ると、ピストンアセンブリ１４を下降させる力は、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との差圧に基づく力のほかに、後者の磁気吸引力と前者の磁気吸引力との差分が加わる。
【００５４】
ここで、ピストンアセンブリ１４がラッチヨーク２０よりもボトムヨーク８０に近い位置にあるときの磁束線を図７Ｂに示す。
【００５５】
永久磁石４２の内周側から出た磁束線の相当数が少なくともボトムヨーク８０またはアウタヨーク８２を経由して永久磁石４２の外周側に戻っている。一方、ラッチヨーク２０を経由して永久磁石４２に戻る磁束線はほとんどない。このボトムヨーク８０またはアウタヨーク８２を経由して永久磁石４２に戻る磁束線には、主に次の３つの経路が含まれる。
【００５６】
第１の経路は、永久磁石４２を出た後、コアヨーク４０、ボトムヨーク８０、プレートＷ、アウタヨーク８２およびカバーヨーク４４の順に経由して永久磁石４２に戻る経路である。第２の経路は、永久磁石４２を出た後、コアヨーク４０、ボトムヨーク８０、アウタヨーク８２およびカバーヨーク４４の順に経由して永久磁石４２に戻る経路である。第３の経路は、永久磁石４２を出た後、コアヨーク４０、アウタヨーク８２およびカバーヨーク４４の順に経由して永久磁石４２に戻る経路である。プレートＷは、上記第１の経路に含まれており、マグネットチャック１０から磁気吸引力を受ける。
【００５７】
ピストンアセンブリ１４がさらに下降すると、ボトムヨーク８０がコアヨーク４０の凹部５６に入り込む。そして、カバーヨーク４４の段部６５が第２ダンパ９８に当接するとともに、第１ダンパ５８がボトムヨーク８０に当接して、ピストンアセンブリ１４は下死点（下降端）に到達する。ボトムヨーク８０がコアヨーク４０の凹部５６に進入し始めたときの磁束線が図７Ｃに示されている。また、ピストンアセンブリ１４が下死点に到達したときの磁束線が図７Ｄに示されている。
【００５８】
これらの図から分かるように、ピストンアセンブリ１４が下死点近傍にあるとき、永久磁石４２から出て永久磁石４２に戻る磁束線の大半は、コアヨーク４０、ボトムヨーク８０、プレートＷ、アウタヨーク８２およびカバーヨーク４４の順に経由するものとなる。
【００５９】
さらに具体的には、永久磁石４２の内周面から出た磁束線は、下方に向きを変えながらコアヨーク４０またはボトムヨーク８０の内部を通り、磁束密度を高めながらプレートＷに入る。そして、この磁束線は、プレートＷから上方に出た後、アウタヨーク８２とカバーヨーク４４を経由して永久磁石４２の外周面に戻っている。プレートＷに入る磁束密度が大きいことは、プレートＷに大きな磁気吸引力が作用することを意味する。ピストンアセンブリ１４が下死点にあるとき、プレートＷを通る磁束密度は最大になり、プレートＷは最大の磁気吸引力でマグネットチャック１０に吸引保持される。
【００６０】
ところで、ピストンアセンブリ１４が下死点にあるとき、コアヨーク４０から出てボトムヨーク８０に入る磁束線の多くは、コアヨーク４０の凹部５６の壁面から略水平方向に延びている。この磁束線の水平方向成分は、円周方向全体では打ち消し合って、コアヨーク４０とボトムヨーク８０との間で働く磁気吸引力に寄与しない。また、アウタヨーク８２から出てカバーヨーク４４に入る磁束線の大半は、カバーヨーク４４の小径部６６において略水平方向に延びている。この磁束線の水平方向成分は、円周方向全体では打ち消し合って、カバーヨーク４４とアウタヨーク８２との間で働く磁気吸引力に寄与しない。すなわち、ピストンアセンブリ１４の下死点近傍では、アウタヨーク８２がカバーヨーク４４を含むピストンアセンブリ１４の外周側で対向するほか、ボトムヨーク８０がコアヨーク４０の凹部５６に入り込むため、ピストンアセンブリ１４がボトムヨーク８０およびアウタヨーク８２に吸引される力が弱められる。
【００６１】
ピストンアセンブリ１４の下死点位置でマグネットチャック１０がプレートＷを吸引保持した状態で、プレートＷが所定位置まで搬送される。その後、プレートＷを解放するため、図示しない切換弁を操作して、第１ポート２６から第１圧力室１１２内にエアを供給するとともに、第２圧力室１１４内のエアが第２ポート７６から排出される。
【００６２】
第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との差圧によってピストンアセンブリ１４を上方へ駆動させようとする力は、ピストンアセンブリ１４の下死点およびその近傍においてボトムヨーク８０およびアウタヨーク８２とピストンアセンブリ１４との間に働く磁気吸引力を上回り、ピストンアセンブリ１４は上昇する。前述のとおり、ピストンアセンブリ１４の下死点近傍において、ボトムヨーク８０およびアウタヨーク８２とピストンアセンブリ１４との間で働く磁気吸引力は弱められているので、ピストンアセンブリ１４を上昇させるために必要なエア圧をその分だけ小さくすることができる。
【００６３】
ピストンアセンブリ１４の上昇は、シールホルダ３８の内向きフランジ５０が第３ダンパ１０４に当接することで止まる。すなわち、ピストンアセンブリ１４が上死点に到達する。プレートＷに作用する磁気吸引力は、ピストンアセンブリ１４の上昇途中から次第に小さくなり、プレートＷは吸着から解放される。ピストンアセンブリ１４は、ラッチヨーク２０が作用するのに加えて、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との差圧が継続して作用するので、上死点の位置に確実に保持される。これにより、ピストンアセンブリ１４が不意に下降してプレートＷが吸着されるおそれがない。
【００６４】
プレートＷがない場合と、厚さ２ｍｍのプレートＷがある場合と、厚さ５ｍｍのプレートＷがある場合のそれぞれについて、ピストンアセンブリ１４の位置とピストンアセンブリ１４に作用する磁気吸引力の大きさとの関係を図８に示す。ピストンアセンブリ１４の位置は、ピストンアセンブリ１４が下死点にあるときをゼロとし、下死点からの移動距離で表している。本実施形態では、ピストンアセンブリ１４が上死点にあるとき、ピストンアセンブリ１４の位置は２５ｍｍとなっている。また、磁気吸引力は、上方に向かう力を正とし、下方に向かう力を負としている。すなわち、ピストンアセンブリ１４がラッチヨーク２０に吸引されるときは正とし、ピストンアセンブリ１４がボトムヨーク８０またはアウタヨーク８２に吸引されるときは負としている。
【００６５】
図８から分かるように、ピストンアセンブリ１４が上死点にあるとき、ピストンアセンブリ１４に作用する上方への磁気吸引力は最大である。ピストンアセンブリ１４が上死点から下降していくと、上方への磁気吸引力は小さくなり、磁気吸引力の向きが下方へと転じた後に極大値をとる。プレートＷがない場合および厚さ２ｍｍのプレートＷがある場合は、この極大値をとるとき、下方への磁気吸引力が最大になる。
【００６６】
一方、プレートＷの厚みが２ｍｍである場合と、プレートＷの厚みが５ｍｍである場合のそれぞれについて、ピストンアセンブリ１４の位置とプレートＷに作用する磁気吸引力の大きさとの関係を図９に示す。同図から分かるように、プレートＷに作用する磁気吸引力は、ピストンアセンブリ１４が上死点から所定距離下降するまでの間はほとんどゼロであり、その後、下降するにつれて大きくなる。プレートＷに作用する磁気吸引力は、ピストンアセンブリ１４の下死点で最大となる。
【００６７】
次に、図１０〜図１２を参照しながら、シリンダチューブ１２の側面に形成された取付溝３４における磁束密度について説明し、さらに、マグネットチャック１０の動作状態を検出するための磁気センサ３６の取付位置について説明する。取付溝３４での磁束は、永久磁石４２と取付溝３４との間に存在するカバーヨーク４４によって大きな影響を受ける。
【００６８】
図１０は、ピストンアセンブリ１４の位置がゼロ（下死点）、５ｍｍ、１０ｍｍ、１５ｍｍ、２０ｍｍおよび２５ｍｍ（上死点）のそれぞれの場合について、取付溝３４の長手方向に沿った磁束密度の変化を理論計算の結果に基づいて示したものである。横軸には、取付溝３４における長手方向の位置をとり、その範囲を２０ｍｍ〜７０ｍｍとしている。この数値は、ピストンアセンブリ１４が下死点にあるときのピストンアセンブリ１４の下端に対応する取付溝３４の位置を基準とするものである。縦軸には、取付溝３４の長手方向の磁束密度の絶対値と、該長手方向に直交しシリンダ孔２４の中心軸線を通る方向の磁束密度の絶対値との差分をとっている。なお、同図は、プレートＷが存在しない場合を想定している。
【００６９】
以下において、取付溝３４の長手方向の磁束密度の絶対値を「軸方向磁束密度」といい、取付溝３４の長手方向に直交しシリンダ孔２４の中心軸線を通る方向の磁束密度の絶対値を「径方向磁束密度」という。また、単に「磁束密度」というときは、「軸方向磁束密度」と「径方向磁束密度」との差分をいう。
【００７０】
図１０に示されるように、磁束密度の変化を示す波形は、ピストンアセンブリ１４が上昇するにつれて、少しずつ右方にシフトする。磁気センサ３６は、軸方向磁束密度が径方向磁束密度よりも僅かに大きくなったときに反応する。したがって、例えば、磁気センサ３６を５０ｍｍの位置に置けば、ピストンアセンブリ１４の位置が１５ｍｍを超えたときに反応する。本実施形態では、この５０ｍｍの位置は、概ねラッチヨーク２０に対応する位置となっている。また、磁気センサ３６を３５ｍｍの位置に置けば、ピストンアセンブリ１４が下降してその位置が５ｍｍを下回ったときに反応が停止する。このように磁気センサ３６を適当な位置に置くことで、ピストンアセンブリ１４が上死点に到達しようとしていることや下死点に到達しようとしていることを検出することができる。
【００７１】
以上を踏まえると、ピストンアセンブリ１４が上昇して下死点よりも上死点に近い位置となったこと、すなわち、ピストンアセンブリ１４が引き込まれたことを検出するためには、磁気センサ３６を概ね４５〜５２ｍｍの位置に取り付ければよい。このことをさらに分かり易く示したものが図１１である。同図は、図１０に基づくもので、取付溝３４の長手方向の位置が４５ｍｍ、４７．５ｍｍ、５０ｍｍおよび５２ｍｍのそれぞれの場合について、ピストンアセンブリ１４の位置と磁束密度との関係を示したものである。
【００７２】
図１２は、ピストンアセンブリ１４が下死点にあるとき、磁気センサ３６の取付溝３４の長手方向に沿った磁束密度の変化を、プレートＷがない場合と厚さ２ｍｍのプレートＷがある場合とで対比して示した図である。
【００７３】
図１２から分かるように、磁気センサ３６を概ね３２ｍｍの位置に置くと、プレートＷがない場合は、ピストンアセンブリ１４が下死点にあるとき磁気センサ３６は反応しないのに対して、厚さ２ｍｍのプレートＷがある場合は、ピストンアセンブリ１４が下死点にあるとき磁気センサ３６が反応する。したがって、磁気センサ３６を概ね３２ｍｍの位置に置くことによって、マグネットチャック１０にプレートＷが吸引保持されているか否か、すなわちプレートＷの有無を検出することができる。
【００７４】
本実施形態によれば、永久磁石４２の内周側に強磁性体としてのコアヨーク４０が配設されているので、永久磁石４２からの磁束を集中させることができ、プレートＷに作用する磁気吸引力を大きくすることができる。また、シリンダチューブ１２の側面に形成された取付溝３４の長手方向所定位置に磁気センサ３６が取り付けられているので、ピストンアセンブリ１４の位置またはプレートＷの有無を検出することができる。
【００７５】
本実施形態では、複数の取付溝３４のうち１本のみを使って、ピストンアセンブリ１４の位置を検出する磁気センサ３６またはプレートＷの有無を検出する磁気センサ３６のいずれか一方を取り付けることとしたが、２本の取付溝３４を使って、ピストンアセンブリ１４の位置を検出する磁気センサ３６とプレートＷの有無を検出する磁気センサ３６の両方を取り付けるようにしてもよい。
【００７６】
本発明に係るマグネットチャックは、上述の実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することのない範囲で、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【符号の説明】
【００７７】
１０…マグネットチャック            １２…シリンダチューブ
１４…ピストンアセンブリ            ２０…ラッチヨーク
３６…磁気センサ                    ４０…コアヨーク
４２…永久磁石                      ４４…カバーヨーク
８０…ボトムヨーク                  ８２…アウタヨーク
Ｗ…プレート（ワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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