(57)【要約】【課題】切断刃の切断性能の低下を抑制すると共に、粘着テープの打ち抜き不良の抑制を図ったテープ貼着装置を提供すること。【解決手段】粘着テープ１４と剥離シート１５とが仮接着された積層シート１２の粘着テープ１４のみを所定形状に打ち抜く打ち抜きユニット３０と、打ち抜かれた粘着テープを剥離シート１５から剥離してウエーハに貼着する貼着ユニットと、を備え、打ち抜きユニット３０は、積層シート１２の粘着テープ１４に向かって切り込む切断刃３４が外周面３１Ａに装着された打ち抜きローラ３１と、積層シート１２の剥離シート１５側に打ち抜きローラ３１と対面して平行に位置付けられ、切断刃３４の押圧力を受けとめる受圧ローラ３２と、切断刃３４に超音波振動を付与する超音波振動体３５と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面に粘着層を備える帯状の粘着テープと剥離シートとが仮接着された積層シートが巻回される積層シートローラと、
該積層シートローラから該積層シートを繰り出す繰り出しユニットと、
繰り出された該積層シートの該粘着テープのみを所定形状に打ち抜く打ち抜きユニットと、
打ち抜かれた該粘着テープを該剥離シートから剥離して被着体に貼着する貼着ユニットと、を備え、
該打ち抜きユニットは、
該積層シートの該粘着テープに向かって切り込む切断刃が外周面に装着された打ち抜きローラと、
該積層シートの該剥離シート側に該打ち抜きローラと対面して平行に位置付けられ、該切断刃の押圧力を受けとめる受圧ローラと、
該切断刃又は該受圧ローラの外周面に超音波振動を付与する振動付与部と、
を備えるテープ貼着装置。
【請求項２】
該振動付与部は、該打ち抜きローラの外周面に装着された超音波振動体であり、該超音波振動体を介して該切断刃が該打ち抜きローラに固定されている請求項１記載のテープ貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着テープを被着体に貼着するテープ貼着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体ウエーハやパッケージ基板など、各種電子デバイスを備える板状の被加工物を、研削砥石で薄化する研削加工装置や、切削ブレードやレーザービームで個々のチップに分割する切削加工装置もしくはレーザー加工装置が知られている。これら各種加工装置では、被加工物はチャックテーブルに保持されるが、チャックテーブルとの接触面が傷付くのを防ぐ必要がある。このため、従来、チャックテーブルに保持される被加工物に対して、保護テープやダイシングテープなどの粘着テープを貼着するテープ貼着装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１２９８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、粘着テープが貼着される被着体としての被加工物は、大きさや形状の異なる複数の種類が存在する。このため、帯状に形成された粘着テープに剥離シートが仮接着された積層シートの状態で、被着体の大きさに合わせた所定形状に粘着テープがカットされた後、カットされた粘着テープが剥離シートから剥がされて被着体に貼着されている。剥離シートから粘着テープをカットする場合は、例えば、彫刻刃、トムソン刃もしくはピナクルダイ（登録商標）などの切断刃が外周面に装着された打ち抜きローラと、この打ち抜きローラと並列に配設されて切断刃に対向する受圧ローラとを備える打ち抜きユニットが用いられる。
【０００５】
上記した構成では、粘着テープのみをカットする際に、切り残しや形状不良などの打ち抜き不良（カット不良）が発生しないことが望まれる。このため、打ち抜きローラの切断刃と受圧ローラとの間隔が積層シートの厚み未満の一様な間隔となるように、打ち抜きローラと受圧ローラとは精密に位置付けられることにより、打ち抜きローラと受圧ローラの設置は非常に難度の高い作業となっている。また、積層シートは、一定以上の張力で張られていないと、積層シートの送り速度が変わるため、粘着テープを所定の形状にカットする（打ち抜く）ことができない。このため、積層シートに常にテンション（張力）をかけた状態で粘着テープをカットしているが、テンションのかかった積層シートを切断刃でカットする場合、積層シートに引きずられて切断刃の刃先（先端）が曲がるといった問題が想定される。この問題は、積層シートが比較的硬い基材で形成されている場合に顕著となり、切断刃の刃先が曲がったり、使用に伴い摩耗したりすることにより、切断性能が低下する問題が生じるおそれがあった。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、切断刃の切断性能の低下を抑制すると共に、粘着テープの打ち抜き不良の抑制を図ったテープ貼着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るテープ貼着装置は、片面に粘着層を備える帯状の粘着テープと剥離シートとが仮接着された積層シートが巻回される積層シートローラと、該積層シートローラから該積層シートを繰り出す繰り出しユニットと、繰り出された該積層シートの該粘着テープのみを所定形状に打ち抜く打ち抜きユニットと、打ち抜かれた該粘着テープを該剥離シートから剥離して被着体に貼着する貼着ユニットと、を備え、該打ち抜きユニットは、該積層シートの該粘着テープに向かって切り込む切断刃が外周面に装着された打ち抜きローラと、該積層シートの該剥離シート側に該打ち抜きローラと対面して平行に位置付けられ、該切断刃の押圧力を受けとめる受圧ローラと、該切断刃又は該受圧ローラの外周面に超音波振動を付与する振動付与部と、を備えるものである。
【０００８】
この構成によれば、切断刃又は受圧ローラの外周面に超音波振動を付与する振動付与部を備えるため、振動付与部が切断刃又は受圧ローラの外周面を超音波振動させることにより、粘着テープを切断する際の抵抗を低減して、切断刃の切断性能の低下を抑制することができ、粘着テープの打ち抜き不良を低減することができる。また、振動付与部が切断刃又は受圧ローラの外周面を超音波振動させることにより、積層シート（粘着テープ）の進行方向に付加された張力が切断刃にかかる時間を低減できるため、切断刃の曲がりの発生を抑制する効果も奏することができる。
【０００９】
この構成において、該振動付与部は、該打ち抜きローラの外周面に装着された超音波振動体であり、該超音波振動体を介して該切断刃が該打ち抜きローラに固定されてもよい。この構成によれば、振動付与部が発生させる超音波振動を切断刃の振動に効果的に利用することができ、振動付与部の小型化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、粘着テープを切断する際の抵抗を低減して、切断刃の切断性能の低下を抑制すると共に、粘着テープの打ち抜き不良を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本実施形態に係るテープ貼着装置を用いて粘着テープが貼着されたウエーハと環状フレームとを示す斜視図である。
【図２】図２は、本実施形態に係るテープ貼着装置の概略構成図である。
【図３】図３は、打ち抜きユニットの概略構成図である。
【図４】図４は、打ち抜きローラの平面図である。
【図５】図５は、打ち抜きローラが備える切断刃と受圧ローラとで粘着テープを打ち抜く状態を示す断面模式図である。
【図６】図６は、別の形態に係る打ち抜きユニットの概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１３】
図１は、本実施形態に係るテープ貼着装置を用いて粘着テープが貼着されたウエーハと環状フレームとを示す斜視図である。図２は、本実施形態に係るテープ貼着装置の概略構成図である。
【００１４】
本実施形態において、粘着テープが貼着される被着体としてのウエーハは、シリコンを母材とする円板状の半導体ウエーハやサファイア、ＳｉＣ（炭化ケイ素）などを母材とする光デバイスウエーハ、パッケージ樹脂基板、セラミックス基板、ガラス基板などである。ウエーハ１００は、図１に示すように、表面１０１に形成された格子状の分割予定ライン１０２によって区画された複数の領域にデバイス１０３が形成されている。ウエーハ１００は、裏面１０４に貼着された粘着テープ（例えば、ダイシングテープ）１０５を介して、環状フレーム１０６に支持されている。粘着テープ１０５は、環状フレーム１０６と同等の大きさ及び形状にカットされている。本実施形態では、環状フレーム１０６の内側にウエーハ１００を配置した状態で、環状フレーム１０６の裏面１０６Ａ及びウエーハ１００の裏面１０４に粘着テープ１０５を貼着する。
【００１５】
テープ貼着装置１０は、図２に示すように、ウエーハ１００及び環状フレーム１０６を保持するチャックテーブル１１を備える。チャックテーブル１１は、該チャックテーブル１１を水平移動可能な移動機構（不図示）を備え、ウエーハ１００及び環状フレーム１０６を保持した状態で水平方向（図中矢印Ｘ方向）に移動する。ウエーハ１００は表面１０１に保護テープ１０７が貼り付けられ、この保護テープ１０７を介してチャックテーブル１１に保持されている。環状フレーム１０６は、ウエーハ１００を囲むようにウエーハ１００の外側に配置されている。本実施形態では、ウエーハ１００及び環状フレーム１０６は、それぞれ裏面１０４，１０６Ａを露出した状態でチャックテーブル１１上に保持されている。
【００１６】
また、テープ貼着装置１０は、長尺の積層シート１２をロール状に巻回した積層ロールシート１２Ａを支持する積層シートローラ１３と、この積層シートローラ１３に支持された積層ロールシート１２Ａから積層シート１２を繰り出す繰り出しユニット２０とを備える。積層シート１２は、片面に粘着層１４Ａを有する帯状の粘着テープ１４と、この粘着テープ１４に仮接着された帯状の剥離シート１５とを積層して形成されている。ウエーハ１００及び環状フレーム１０６に貼着される粘着テープ１０５は、帯状の粘着テープ１４を所定形状（例えば円形状）にカットすることにより形成される。繰り出しユニット２０は、モータの動力によって回転する駆動ローラ２１と、この駆動ローラ２１との間に積層シート１２を挟んで配置される従動ローラ２２とを備え、駆動ローラ２１の回転によって、この駆動ローラ２１と従動ローラ２２とで挟持された積層シート１２が所定の搬送方向に搬送される。積層シートローラ１３は、積層シート１２の搬送に合わせて積層ロールシート１２Ａを回転させることにより、積層シート１２が繰り出される。
【００１７】
また、テープ貼着装置１０は、繰り出された積層シート１２の粘着テープ１４のみを所定形状にカットする（打ち抜く）打ち抜きユニット３０と、カットされた粘着テープ１０５（図１）を剥離シート１５から剥離してウエーハ１００及び環状フレーム１０６に貼着する貼着ユニット４０と、剥離シート１５を巻き取る剥離シート巻取ローラ５０と、粘着テープ１０５が貼着された後の不要な粘着テープ１４を巻き取る廃棄テープ巻取ローラ５１とを備えている。また、テープ貼着装置１０は、打ち抜きユニット３０と貼着ユニット４０との間に、積層シート１２を搬送する複数の搬送ローラ５２と、搬送される積層シート１２に当接して積層シート１２に張力を与える張力付与ローラ５３とを備えている。
【００１８】
貼着ユニット４０は、チャックテーブル１１の上方に配置されるピールプレート４１と、このピールプレート４１の先端側に配置される押圧ローラ４２とを備える。ピールプレート４１は、先端が楔形状に形成されており、粘着テープ１４から剥離シート１５を剥離シート巻取ローラ５０側に折り返して剥離する。押圧ローラ４２は、水平方向に直交する上下方向に移動可能に構成されている。押圧ローラ４２は、ピールプレート４１により剥離シート１５が剥離された粘着テープ１４に対して、所定形状にカットされた粘着テープ１０５（図１）部分を下方に押圧し、該粘着テープ１０５をチャックテーブル１１に保持された環状フレーム１０６及びウエーハ１００に貼着する。チャックテーブル１１は、粘着テープ１０５の送り方向の先端部が剥離シート１５から剥離されたタイミングに合わせて、矢印Ｘ方向に水平移動し、押圧ローラ４２は、下方に移動することで粘着テープ１０５を環状フレーム１０６及びウエーハ１００に向けて押し付けて貼着する。
【００１９】
次に、打ち抜きユニット３０について説明する。図３は、打ち抜きユニットの概略構成図である。図４は、打ち抜きローラの平面図である。図５は、打ち抜きローラが備える切断刃と受圧ローラとで粘着テープを打ち抜く状態を示す断面模式図である。打ち抜きユニット３０は、図３に示すように、例えば、積層シートローラ１３（図２）と繰り出しユニット２０の駆動ローラ２１との間に配置され、打ち抜きローラ３１と受圧ローラ３２と張力付与ローラ３３とを備える。受圧ローラ３２は、積層シート１２の剥離シート１５側に位置し、打ち抜きローラ３１と張力付与ローラ３３とは、それぞれ積層シート１２を挟んで、該積層シート１２の粘着テープ１４側に位置している。
【００２０】
張力付与ローラ３３は、受圧ローラ３２よりも小径に形成され受圧ローラ３２と共に積層シート１２を挟持する。また、張力付与ローラ３３は、受圧ローラ３２を挟んで駆動ローラ２１の反対側に配置され、張力付与ローラ３３、受圧ローラ３２及び駆動ローラ２１が同一直線状に配列されている。この構成では、積層シート１２は、図３に示すように、張力付与ローラ３３と駆動ローラ２１によって、受圧ローラ３２の外周面３２Ａに押しつけられ、積層シート１２に弛みやしわが生じることを防止できる。また、受圧ローラ３２は、積層シート１２の搬送に伴い所定の搬送速度で回転する。
【００２１】
打ち抜きローラ３１は、受圧ローラ３２と略同径に形成されており、受圧ローラ３２に対面して受圧ローラ３２と平行に配置されている。打ち抜きローラ３１は、モータの動力によって回転可能に構成され、積層シート１２の搬送速度と同一の速度で、受圧ローラ３２と反対方向に回転する。打ち抜きローラ３１の外周面には、積層シート１２の粘着テープ１４に向けて切り込む切断刃３４と、この切断刃３４に超音波振動を付与する超音波振動体（振動付与部）３５とが設けられている。
【００２２】
切断刃３４は、例えば、彫刻刃、トムソン刃もしくはピナクルダイ（登録商標）が用いられる。切断刃３４は、図４に示すように、カットする粘着テープ１０５（図１）に合わせた形状（例えば円形状）に形成され、打ち抜きローラ３１の外周面３１Ａに取り付けられている。打ち抜きローラ３１は、積層シート１２の搬送速度と同一速度で軸心Ｐ周りに回転することにより、受圧ローラ３２の外周面３２Ａに押しつけられた積層シート１２の粘着テープ１４を所定形状にカットすることができる。ここで、打ち抜きローラ３１は、図５に示すように、切断刃３４の刃先３４Ａと受圧ローラ３２の外周面３２Ａとの隙間が積層シート１２の剥離シート１５の厚みよりも小さくなるよう設置されている。受圧ローラ３２は、外周面３２Ａで積層シート１２を保持しつつ切断刃３４の押圧力を受け止めるため、切断刃３４は、粘着テープ１４のみを所定形状にカットすることができる。
【００２３】
また、打ち抜きローラ３１の外周面３１Ａの一部を切り欠いた平坦部３１Ｂを有する。この平坦部３１Ｂは、打ち抜きローラ３１の長さ方向に亘って形成されており、該平坦部３１Ｂには切断刃３４が設けられていない。このため、平坦部３１Ｂを受圧ローラ３２と対面させることにより、切断刃３４で粘着テープ１４を所定形状にカットすることなく、粘着テープ１４（積層シート１２）を容易に繰り出すことができる。
【００２４】
上述したように、本実施形態では、積層シート１２の搬送方向下流側に設けた駆動ローラ２１と、上流側に設けた張力付与ローラ３３とで、積層シート１２を受圧ローラ３２の外周面３２Ａに押しつけているため、積層シート１２の搬送速度を一定に保つことができると共に、積層シート１２に弛みやしわが生じることを防止でき、所望する形状の粘着テープ１０５（図１）にカットすることができる。一方、張力のかかった積層シート１２を切断刃３４でカットする場合、積層シート１２に引きずられて切断刃３４の刃先３４Ａが曲がることが想定される。この問題は、積層シート１２（粘着テープ１４）が比較的硬い基材で形成されている場合に顕著となり、切断刃３４の刃先３４Ａが曲がったり、使用に伴い摩耗したりすることにより、切断性能が低下するおそれがある。
【００２５】
このため、本構成では、打ち抜きローラ３１の外周面には、切断刃３４に超音波振動を付与する超音波振動体３５が設けられている。超音波振動体３５は、上面が開放した箱部３５Ａと、この箱部３５Ａの上面を覆う蓋部３５Ｂと、箱部３５Ａ内に収容される超音波振動子（不図示）とを備える。超音波振動子は、例えば、圧電セラミックスである。この圧電セラミックスに所定周波数（例えば２０ｋＨｚ以上）の交流電圧を印加すると、圧電効果により超音波振動を発生する。超音波振動子は、打ち抜きローラ３１の内部に設けられるブラシ手段によって、回転中であっても交流電圧が印加される。
【００２６】
超音波振動体３５の箱部３５Ａ及び蓋部３５Ｂは、鉄等の磁性体によって形成されており、切断刃３４は、磁石３６（固定手段）を介して、超音波振動体３５に固定されている。切断刃３４と超音波振動体３５との固定は磁石３６に限るものではなく、接着剤などの固定手段を用いても良い。
【００２７】
超音波振動子が発生した超音波振動は、超音波振動体３５の箱部３５Ａ及び蓋部３５Ｂを通じて切断刃３４に伝達され、この切断刃３４が振動する。この振動によって、粘着テープ１４を切断する際の抵抗を低減して、切断刃３４の切断性能の低下を抑制することができ、粘着テープ１０５の打ち抜き不良を低減することができる。また、この構成では、積層シート１２（粘着テープ１４）の搬送方向に付与された張力が切断刃３４にかかる時間を低減できるため、切断刃３４の曲がりや切断刃３４の刃先３４Ａの摩耗の発生を抑制する効果を奏することもできる。
【００２８】
ところで、切断刃３４を振動させる構成としては、打ち抜きローラ３１に振動を与える振動体を連結し、切断刃３４を打ち抜きローラ３１ごと振動させることも想定される。しかし、打ち抜きローラ３１は、切断刃３４に比べて重量が格段に重いため、打ち抜きローラ３１を振動させるには、振動体の構成が大型化し、ひいては、テープ貼着装置が大型化してしまう問題がある。これに対して、本構成では、打ち抜きローラ３１の外周面３１Ａに超音波振動体３５を設け、この超音波振動体３５の蓋部３５Ｂに切断刃３４を固定しているため、超音波振動子が発生した超音波振動を切断刃３４の振動に、より効果的に利用することができ、超音波振動体３５の小型化を図ることができる。
【００２９】
また、超音波振動体３５の蓋部３５Ｂを超音波振動子に支持させて、箱部３５Ａから独立させることもできる。この構成では、超音波振動子の振動を蓋部３５Ｂ及び切断刃３４により効果的に伝達することができる。
【００３０】
次に、別の形態に係る打ち抜きユニット１３０について説明する。図６は、別の形態に係る打ち抜きユニットの概略構成図である。打ち抜きユニット１３０は、上記した打ち抜きユニット３０と同様に、例えば、積層シートローラ１３（図２）と繰り出しユニット２０の駆動ローラ２１との間に配置され、打ち抜きローラ１３１と受圧ローラ１３２と張力付与ローラ３３とを備える。打ち抜きローラ１３１と受圧ローラ１３２との配置関係は、上記した打ち抜きユニット３０と同様であるため、説明を省略する。
【００３１】
打ち抜きローラ１３１と受圧ローラ１３２とは同径に形成されている。打ち抜きローラ１３１は、モータの動力によって回転可能に構成され、積層シート１２の搬送速度、すなわち受圧ローラ１３２の回転速度と同一の速度で、該受圧ローラ１３２と反対方向に回転する。
【００３２】
この形態では、打ち抜きローラ１３１の外周面１３１Ａには切断刃１３４が設けられ、受圧ローラ１３２の外周面１３２Ａに超音波振動体（振動付与部）１３５が設けられている。超音波振動体１３５は、受圧ローラ１３２の外周面１３２Ａの一部領域１３２Ｂを除いた領域、例えば切断刃と対面する領域の全域に装着され、受圧ローラ１３２の外周面１３２Ａ（超音波振動体１３５）に押しつけられた積層シート１２に超音波振動を付与する。この構成では、積層シート１２に超音波振動を付与することにより、切断刃１３４は相対的に振動することにより、粘着テープ１４を切断する際の抵抗を低減して、切断刃１３４の切断性能の低下を抑制することができ、粘着テープ１０５の打ち抜き不良を低減することができる。また、この構成においても、積層シート１２（粘着テープ１４）の搬送方向に付与された張力が切断刃１３４にかかる時間を低減できるため、切断刃１３４の曲がりや切断刃１３４の刃先の摩耗の発生を抑制する効果を奏することもできる。
【００３３】
打ち抜きローラ１３１は、外周面１３１Ａの一部を切り欠いた平坦部１３１Ｂを備え、この平坦部１３１Ｂは、打ち抜きローラ１３１の長さ方向に亘って形成されており、該平坦部１３１Ｂには切断刃１３４が設けられていない。この形態では、打ち抜きローラ１３１と受圧ローラ１３２とは同径に形成され、打ち抜きローラ１３１は、受圧ローラ１３２の同一の速度で回転している。打ち抜きローラ１３１の平坦部１３１Ｂは、受圧ローラ１３２の一部領域１３２Ｂと対向するように配置されるため、この一部領域１３２Ｂに超音波振動体１３５が設けられていなくても、粘着テープ１０５のカットに影響を及ぼすものではない。
【００３４】
以上、説明したように、本実施形態に係るテープ貼着装置１０は、片面に粘着層１４Ａを備える帯状の粘着テープ１４と剥離シート１５とが仮接着された積層シート１２が巻回される積層シートローラ１３と、該積層シートローラ１３から該積層シート１２を繰り出す繰り出しユニット２０と、繰り出された積層シート１２の粘着テープ１４のみを所定形状に打ち抜く打ち抜きユニット３０，１３０と、打ち抜かれた粘着テープ１０５を剥離シート１５から剥離してウエーハ１００に貼着する貼着ユニット４０と、を備え、打ち抜きユニット３０，１３０は、積層シート１２の粘着テープ１４に向かって切り込む切断刃３４，１３４が外周面３１Ａ，１３１Ａに装着された打ち抜きローラ３１，１３１と、積層シート１２の剥離シート１５側に打ち抜きローラ３１，１３１と対面して平行に位置付けられ、切断刃３４，１３４の押圧力を受けとめる受圧ローラ３２，１３２と、切断刃３４，１３４又該受圧ローラ３２，１３２の外周面３２Ａ，１３２Ａに超音波振動を付与する超音波振動体３５，１３５と、を備える。この構成によれば、切断刃３４，１３４又該受圧ローラ３２，１３２の外周面３２Ａ，１３２Ａに超音波振動を付与する超音波振動体３５，１３５を備えるため、超音波振動体３５，１３５が切断刃３４，１３４又該受圧ローラ３２，１３２の外周面３２Ａ，１３２Ａを超音波振動させることにより、粘着テープ１４を切断する際の抵抗を低減して、切断刃３４，１３４の切断性能の低下を抑制することができ、粘着テープ１０５の打ち抜き不良を低減することができる。また、超音波振動体３５，１３５が切断刃３４，１３４又該受圧ローラ３２，１３２の外周面３２Ａ，１３２Ａを超音波振動させることにより、積層シート１２（粘着テープ１４）の搬送方向に付加された張力が切断刃３４，１３４にかかる時間を低減できるため、切断刃３４，１３４の曲がりや切断刃３４，１３４の刃先の摩耗の発生を抑制する効果も奏することができる。
【００３５】
また、本実施形態によれば、超音波振動体３５は、打ち抜きローラ３１の外周面３１Ａに装着され、該超音波振動体３５を介して切断刃３４が打ち抜きローラ３１に固定されているため、超音波振動を切断刃３４の振動に効果的に利用することができ、超音波振動体３５の小型化を図ることができる。
【００３６】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本実施形態では、環状フレーム１０６の内側にウエーハ１００を配置した状態で、環状フレーム１０６の裏面１０６Ａ及びウエーハ１００の裏面１０４に粘着テープ（ダイシングテープ）１０５を貼着する構成について説明したが、ウエーハ１００の表面１０１に粘着テープとして保護テープ１０７を貼着してもよい。
【符号の説明】
【００３７】
１０  テープ貼着装置
１１  チャックテーブル
１２  積層シート
１３  積層シートローラ
１４  粘着テープ
１４Ａ  粘着層
１５  剥離シート
２０  繰り出しユニット
２１  駆動ローラ
２２  従動ローラ
３０，１３０  打ち抜きユニット
３１，１３１  打ち抜きローラ
３１Ａ，１３１Ａ  外周面
３１Ｂ，１３１Ｂ  平坦部
３２，１３２  受圧ローラ
３２Ａ，１３２Ａ  外周面
３３  張力付与ローラ
３４，１３４  切断刃
３４Ａ  刃先
３５，１３５  超音波振動体（振動付与部）
３５Ａ  箱部
３５Ｂ  蓋部
４０  貼着ユニット
１００  ウエーハ（被着体）
１０４  裏面
１０５  粘着テープ
１０６  環状フレーム
【図１】
2019087633.tif 000003
【図２】
2019087633.tif 000004
【図３】
2019087633.tif 000005
【図４】
2019087633.tif 000006
【図５】
2019087633.tif 000007
【図６】
2019087633.tif 000008