(57)【要約】      （修正有）【課題】容易かつ確実に吸着に使用する吸着口の個数を変更することができる吸着保持装置を提供する。【解決手段】複数の対象物を吸着保持可能な吸着保持装置３３であって、複数の吸着口３８が形成され、上記複数の吸着口に接続される負圧路を有する筐体３７と、上記筐体３７に接続可能であり、上記負圧路を介して上記吸着口と連通されることで上記吸着口が吸引力を発揮する脱気口３６が形成された吸引具３４と、脱気口と連通する上記吸着口の数を変更する吸着数変更機構４２Ａとを備える。吸着数変更機構４２Ａは、脱気口との相対位置応じて脱気口と複数の吸着口との連通状態を変更させる状態変更部材４２と、連通状態の変更のために状態変更部材を変位移動させる駆動機構とを有している。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の対象物を吸着保持可能な吸着保持装置であって、
複数の吸着口が形成され、上記複数の吸着口に接続される負圧路を有する筐体と、
上記筐体に接続可能であり、上記負圧路を介して上記吸着口と連通されることで上記吸着口が吸引力を発揮する脱気口が形成された吸引具と、
上記脱気口と連通する上記吸着口の数を変更する吸着数変更機構と、
を備えた吸着保持装置。
【請求項２】
上記吸着数変更機構は、上記脱気口との相対位置に応じて上記脱気口と上記複数の吸着口との連通状態を変更させる状態変更部材と、上記状態変更部材を変位させる駆動機構とを有している、
請求項１に記載の吸着保持装置。
【請求項３】
上記筐体は、それぞれ異なる数の吸着口に接続された複数の負圧路を有しており、
上記吸着数変更機構は、上記脱気口を接続させる上記吸着口を変更する、
請求項１又は２に記載の吸着保持装置。
【請求項４】
上記状態変更部材は、筐体であり、
上記駆動機構は筐体を回転移動させる、
請求項２に記載の吸着保持装置。
【請求項５】
上記状態変更部材は、上記複数の吸着口に対する状態に応じた数の上記吸着口が上記脱気口と連通するのを遮断するカバーを有し、
上記駆動機構は、上記カバーを上記複数の吸着口に対する状態を変更させるよう駆動させる、
請求項２に記載の吸着保持装置。
【請求項６】
上記カバーは、上記吸着口が並ぶ方向に沿った回転軸を有する筒状であり、回転角度ごとに異なる数の吸着口を覆う、
請求項５に記載の吸着保持装置。
【請求項７】
上記カバーは、所定方向に移動可能なプレート状であり、上記所定方向への移動量に応じてカバーする上記吸着口の数が変わる
請求項５に記載の吸着保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一列に並べられた複数の部品を同時に吸着するために、複数の吸着口が一列に並べられ、この複数の吸着口によって複数の部品を保持する吸着保持装置が公知である（例えば特開２０１１−９１０７６号公報参照）。
【０００３】
このような吸着保持装置では、一般的に各吸着口が連通路等を介して同一の脱気口に連通しており、脱気口から吸気され連通路が負圧となることで、各吸着口に吸引力が生じ、各吸着口が部品を吸着することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−９１０７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、この吸着保持装置では、各吸着口が一つの脱気口に連通しているため、いずれかの吸着口に部品が吸着されていない場合、その吸着口から流入する気体によって連通路に十分に負圧が発生せず、その他の吸着口の吸引力が低下し、部品が保持できなくなるおそれがある。
【０００６】
このような不都合は、吸着したい部品の個数が変化する場合に顕著となる。例えば、８つの吸着口を有する吸着保持部材において７つの吸着口のみによって部品を吸着したい場合、部品を吸着しない１つの吸着口の存在によって吸着を目的とする７つの吸着口の吸引力が低下し、吸着保持装置として十分に機能しないおそれがある。
【０００７】
かかる不都合を解決するために各吸着口に弁等の開閉機構を設けることも考えられるが、部品点数が増加するという不都合を招く。また、小型の吸着保持装置を複数並べる構成は、これらの装置を設置する際に各吸着保持装置の配線等により各装置の間にある程度の間隔が必要となるために、吸着したい部品どうしの間隔が狭い場合には対応できないおそれもある。
【０００８】
本発明はこのような不都合に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、吸着する部品などの個数を容易かつ確実に変更することができ、吸着する部品どうしの間隔が狭い場合であっても複数の部品等を確実に吸着保持可能な吸着保持装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するためになされた発明は、
複数の対象物を吸着保持可能な吸着保持装置であって、
複数の吸着口が形成され、上記複数の吸着口に接続される負圧路を有する筐体と、
上記筐体に接続可能であり、上記負圧路を介して上記吸着口と連通されることで上記吸着口が吸引力を発揮する脱気口が形成された吸引具と、
上記脱気口と連通する上記吸着口の数を変更する吸着数変更機構と、
を備えている。
【００１０】
当該吸着保持装置は、上記吸着数変更機構によって複数の吸着口と脱気口との連通状態が変更され、複数の吸着口のうち脱気口と連通する吸着口は吸引力を発揮することができ、複数の吸着口のうちその他の吸着口は脱気口と連通されない。このため、吸着数変更機構によって所望の吸着口のみによって物品を吸着し、その他の吸着口から流入する気体による負圧の減少を回避することができ、これにより所望の吸着口によって好適に物品を吸着できる。
【００１１】
当該吸着保持装置にあっては、上記吸着数変更機構は、上記脱気口との相対位置応じて上記脱気口と上記複数の吸着口との連通状態を変更させる状態変更部材と、連通状態の変更のために状態変更部材を変位させる駆動機構とを有しているとよい。これにより、駆動機構によって状態変更部材を変位させることで、脱気口と複数の吸着口との連通状態を変更させることができる。
【００１２】
当該吸着保持装置にあっては、上記筐体は、それぞれ異なる数の吸着口に接続された複数の負圧路を有しており、上記吸着数変更機構は、上記脱気口を接続させる上記吸着口を変更するとよい。これにより、吸着数変更機構が脱気口を接続させる吸着口を変更することで、所望の吸着口の吸引力を発揮させることができる。
【００１３】
当該吸着保持装置にあっては、上記状態変更部材は、筐体であり、上記駆動機構は筐体を回転移動させるとよい。これにより、駆動機構が筐体を回転移動させることで、所望の吸着口の吸引力を発揮させることができる。
【００１４】
当該吸着保持装置にあっては、上記吸着数変更機構は、上記複数の吸着口に対する状態に応じた数の上記吸着口が上記脱気口と連通するのを遮断するカバーをさらに有し、上記駆動機構は、上記カバーを上記複数の吸着口に対する状態を変更させるよう駆動させるとよい。これより、カバーを複数の吸着口に対する状態を変更させるよう駆動機構が駆動させることで、所望の吸引口の吸引力を発揮させることができる。
【００１５】
上記カバーは、上記吸着口が並ぶ方向に沿った回転軸を有する筒状であり、回転角度ごとに異なる数の吸着口を覆うとよい。これにより、カバーの回転角度を変更させることで、所望の吸引口の吸引力を発揮させることができる。
【００１６】
上記カバーは、所定方向に移動可能なプレート状であり、上記所定方向への移動量に応じてカバーする上記吸着口の数が変わるとよい。これにより、カバーの移動量を変更することで、所望の吸引口の吸引力を発揮させることができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明の吸着保持装置は、容易かつ確実に吸着に使用する吸着口の個数を変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る吸着保持装置が用いられる電子部品取付装置の構成を説明するための模式的平面図である。
【図２】電子部品取付装置の模式的側面図である。
【図３】電子部品取付装置に用いられる吸着保持装置の模式的側面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】吸着保持装置に用いられるコレット部の底面図である。
【図６】吸着保持装置に用いられる変位体の側面図である。
【図７】電子部品取付装置において電子部品が取り出された状態の載置台の状態を順次模式的に説明するための模式的要部拡大平面図である。
【図８】電子部品取付装置において電子部品が取り出された状態の載置台の状態を順次模式的に説明するための模式的要部拡大平面図である。
【図９】本発明の他実施形態の吸着保持装置の筐体の内部構造を説明するための模式的平面図である。
【図１０】本発明の他実施形態の吸着保持装置の模式的側面図である。
【図１１】図１０の吸着保持装置に用いられる回転体の模式的正面図である。
【図１２】本発明の他実施形態の回転体の模式的斜視図である。
【図１３】本発明の他実施形態の吸着保持装置の模式的正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の一実施形態を詳説するが、以下の実施形態の構成に本発明は限定されるものではない。
【００２０】
［電子部品取付装置］
図１及び図２の電子部品取付装置１００は、本発明の一実施形態に係る吸着保持装置３３が用いられる装置である。電子部品取付装置１００は、複数列かつ複数行に整列された状態で多数の電子部品としてのＩＣチップＣが密接して配置されたものから、複数個のＩＣチップＣを取出し、それらのＩＣチップＣを被着物であるＲＦＩＤタグＡのアンテナに取付ける装置である。ＩＣチップＣは、例えば多数の回路パターンが形成された薄板円盤状の半導体ウエハＷが格子状に切断されて形成されている。当該電子部品取付装置１００は、隙間なく複数列かつ複数行に整列された多数のＩＣチップＣから複数のＩＣチップＣを列状で取出し、そのＩＣチップＣをＲＦＩＤタグＡに取付ける装置である。ここで、「行」と「列」は、それぞれ図１におけるＸ方向への配列とＹ方向への配列を意味している。なお、各図は模式的図面であり、各部材のサイズ、個数等を模式的に示すものである。
【００２１】
＜全体構成＞
電子部品取付装置１００は、半導体ウエハＷが載置される載置台１と、ＲＦＩＤタグＡが多数形成されたシートを搬送する搬送機構２と、載置台１から搬送機構２までＩＣチップＣを移送する移送機構３とを有している。また、電子部品取付装置１００は、各部材の動作を制御する制御部を有している。
【００２２】
＜載置台＞
載置台１は、上述のように多数のＩＣチップＣが隙間なく複数列かつ複数行に整列された半導体ウエハＷが載置される。この載置台１への半導体ウエハＷの載置は、従来公知の搬入装置（図示省略）によって行うことができる。また、載置台１は、載置されたＩＣチップＣの整列方向を調整する調整手段を有している。具体的には、載置台１は、載置された半導体ウエハＷを撮像する撮像装置（図示省略）と、ＩＣチップＣの整列方向が正しくない場合（図１のＸＹ方向に合致していない場合）に半導体ウエハＷの位置を回転して修正する回転部（図示省略）とを有している。
【００２３】
＜移送機構＞
移送機構３は、載置台１及び搬送機構２の間でＩＣチップＣが仮置きされる載置テーブル１０と、載置台１から載置テーブル１０までＩＣチップＣを移送する第一移送機構３０と、載置テーブル１０からＲＦＩＤタグＡまでＩＣチップＣを移送する第二移送機構５０とを有する。つまり、移送機構３は、載置台１上のＩＣチップＣを、まず載置テーブル１０まで第一移送機構３０によって移送して載置テーブル１０に仮置きし、そして、この載置テーブル１０上のＩＣチップＣを第二移送機構５０によってＲＦＩＤタグＡのシートまで移送してアンテナに載置する。本実施形態においては、第一移送機構３０は一方向（図１のＸ方向）にＩＣチップＣを移送し、第二移送機構５０は一方向に直交する方向（図１のＹ方向）にＩＣチップＣを移送する。
【００２４】
第一移送機構３０は、載置台１から複数個のＩＣチップＣを同時に吸着する。そして、第一移送機構３０は、載置テーブル１０にＩＣチップＣが列間に間隔Ｄを有する状態で複数列（本実施形態では８列）並べる（図１参照）。第一移送機構３０は、既に載置テーブル１０に載置された他のＩＣチップＣの列と間隔Ｄをあけて、吸着しているＩＣチップＣを載置テーブル１０に受け渡す。これにより、載置テーブル１０には、ＩＣチップＣが列間に間隔Ｄを有する状態で複数列（８列）並べられる。第二移送機構５０は、このように列間に間隔Ｄを有する状態でＩＣチップＣが並べられた載置テーブル１０から、同一行複数個（８個）のＩＣチップＣを同時に吸着すると共に、同一行複数個（８個）のＩＣチップＣをＲＦＩＤタグＡのアンテナに同時に載置する機構である。
【００２５】
（載置テーブル）
載置テーブル１０は、上述のように第一移送機構３０からＩＣチップＣを受け取り、第二移送機構５０によってＩＣチップＣが受け取られる。載置テーブル１０は、第二移送機構５０に接近及び離反するようスライド移動する。つまり、載置テーブル１０は、第二移送機構５０から離反して第一移送機構３０とＩＣチップＣを受け渡す第一受渡位置Ｐ１と、第二移送機構５０に接近して第二移送機構５０とＩＣチップＣを受け渡す第二受渡位置Ｐ２とを移動する。なお、載置テーブル１０は、第一受渡位置Ｐ１と第二受渡位置Ｐ２との間に配された図示省略のレールにスライド可能に支持されている。
【００２６】
（第一移送機構）
第一移送機構３０は、１列複数個（８個）のＩＣチップＣを同時に載置台１から取り出し、載置テーブル１０に受け渡す。第一移送機構３０は、水平方向（図１及び図２のＸ方向及びＹ方向）並びに上下方向（図１の紙面に直交する方向）に移動可能な吸着保持装置３３を有している（図２参照）。また、第一移送機構３０は、図２に示すように、柱部３０ａと、走行体３１と、上下動体３２とを有している。柱部３０ａは、第一移送機構３０の移送方向に沿ってレールが配される。走行体３１は、柱部３０ａに沿って走行する。上下動体３２は、走行体３１に上下動可能に支持されると共に吸着保持装置３３を第一移送機構３０の搬送方向と垂直方向（図１及び図２のＹ方向）に移動可能に支持する。
【００２７】
｛吸着保持装置｝
本発明の一実施形態に係る吸着保持装置３３は、上述のように載置台１から１列複数個（８個）のＩＣチップＣを吸着することができ、さらに吸着するＩＣチップＣの個数（８個）を変更可能に設けられている。吸着保持装置３３は、図３〜図６を参照して、複数の吸着口３８が形成され、複数の吸着口３８に接続される負圧路としての負圧室３５を有する筐体３７と、筐体３７に接続可能であり、負圧室３５を介して吸着口３８と連通されることで吸着口３８が吸引力を発揮する脱気口３６が形成された吸引具３４と、脱気口３６と連通する吸着口３４の数を変更する吸着数変更機構４２Ａに含まれる変位体４２とを備えている。具体的には、吸着保持装置３３は、図３〜図６に示すように、脱気口３６（図４参照）が形成された吸引具３４と、吸引具３４に対して相対的に移動（図３に示す回転軸Ｘ周りに回転）する変位体４２とを備えている。この吸着保持装置３３では、脱気口３６に連通することで吸着口３８（図４及び図５参照）は吸引力を発揮する。変位体４２は、吸引具３４に対する状態（回転位置）によって脱気口３６に連通する吸着口３８の数を変更可能に設けられている。つまり、吸着数変更機構は、脱気口３６との相対位置に応じて脱気口３６と複数の吸着口３８との連通状態を変更させる状態変更部材としての変位体４２と、連通状態の変更のために変位体４２を変位移動させる駆動機構４４とを有している。この変位体４２は、複数の吸着口３８に対する状態に応じた数の吸着口３８が脱気口３６と連通するのを遮断するカバーから構成され、駆動機構４４は、変位体４２を複数の吸着口３８に対する状態を変更させるよう駆動させる。変位体４２は、吸着口３８が並ぶ方向に沿った回転軸Ｘを有する筒状であり、回転角度ごとに異なる数の吸着口３８を覆う。
【００２８】
吸引具３４が、上述のように脱気口３６の吸引によって内部が負圧となる負圧室３５（図３及び図４参照）を有している。吸引具３４に対する変位体４２の状態に応じて吸着口３８が負圧室３５に連通可能に形成されている。変位体４２は、負圧室３５内に配されている。変位体４２と吸引具３４との相対位置によって、複数の吸着口３８と負圧室３５との連通状態が選択的に変更可能に設けられている。変位体４２は、負圧室３５の内壁に周壁が接しつつ回転軸Ｘを中心として回転可能な筒体である。筒体の周壁には、筒体の回転軸Ｘとそれぞれ平行で且つ長さの異なる複数の長孔４３（図６参照）が貫通して形成されている。長さの異なる長孔４３は、周方向に沿って段々短く（又は長く）なっていくように順に周方向Ｒに並べられている。
【００２９】
より具体的に説明すると、吸引具３４は、図３及び図４に示すように内部に負圧室３５が形成されると共に脱気口３６が形成される筐体３７と、この筐体３７の下部に付設され吸着口３８が形成されるコレット部３９とを有している。コレット部３９の複数の吸着口３８は、図５に示すように複数の吸着口３８が一列で並んでいる。このコレット部３９は図４に示すように下端につれて幅が狭くなるよう形成されている。また、コレット部３９は筐体３７の下側面に着脱可能に付設されており、このため吸着したい対象の変更等に伴い吸着口３８の配置の異なる新たなコレット部３９を付設することができる。コレット部３９のそれぞれの吸着口３８は、変位体４２がない状態で負圧室３５に向けて開口し、負圧室３５と連通している。
【００３０】
吸引具３４には図３に示すように吸引ホース４０が付設され、この吸引ホース４０は脱気口３６に接続されている。また、筐体３７は、軸受部４１を介して回転軸Ｘを中心として回転可能に変位体４２である筒体を支持している。なお、吸引ホース４０は真空ポンプ、ブロア等の減圧手段に接続されている。
【００３１】
変位体４２は、円筒状に設けられ、図３及び図４に示すように筐体３７内でコレット部３９の内壁（上面）と周壁（円筒の側面）が接しつつ回転可能に設けられている。このため、コレット部３９の吸着口３８が変位体４２の周壁と接している場合、すなわち変位体４２の周壁に孔が存在しない箇所が吸着口３８と重なり合っている場合には吸着口３８と負圧室３５との連通状態が阻害される。また、変位体４２の周壁に複数の長孔４３が形成されている（図６参照）。複数の長孔４３は、変位体４２を貫通して設けられている。長孔４３がコレット部３９の吸着口３８に相当する部位に位置する場合には吸着口３８と負圧室３５とが長孔４３を介して連通する。
【００３２】
複数の長孔４３は変位体４２の回転軸Ｘとそれぞれ平行で且つ長さが異なるので、変位体４２の筐体３７の底面に接する位置によってコレット部３９の吸着口３８に相当する部位に位置する長孔４３が変更される。このため、吸着保持装置３３では、変位体４２を回転させ、筐体３７の底面と接触する変位体４２の位置を変更して、負圧室３５に連通する吸着口３８を選択的に変更できる。言い換えると、吸着保持装置３３は、筐体３７と接触する位置Ｆ（図４参照）における長孔４３の長さに応じて、コレット部３９の吸着口３８を覆う数が変わるため、吸引具３４が吸着できる対象物の数が変わる。複数の長孔４３は、図６に示すように、回転軸Ｘ方向において、一端の位置が同じであり、他端の位置がそれぞれ異なっている。
【００３３】
（第二移送機構）
第二移送機構５０は、図２に示すように、載置テーブル１０から同一行複数個のＩＣチップＣを同時に吸着して取り出す取出手段６０と、この同一行複数個のＩＣチップＣが受け渡される仮置部７０と、この仮置部７０に受け渡された同一行複数個のＩＣチップＣを吸着すると共にＲＦＩＤタグＡまで移送してＲＦＩＤタグＡに取付ける取付移送手段８０とを有する。つまり、第二移送機構５０は、載置テーブル１０上から同一行複数個のＩＣチップＣを取出手段６０によって取出して、この取り出されたＩＣチップＣを一度仮置部７０に仮置きし、そして、この仮置部７０上のＩＣチップＣを、取付移送手段８０によってＲＦＩＤタグＡまで移送してＲＦＩＤタグＡに載置するものである。
【００３４】
また、第二移送機構５０は、取出手段６０から同一行複数個のＩＣチップＣが載置されると共に、載置されたＩＣチップＣを反転して仮置部７０に受け渡す反転手段９０をさらに有している。つまり、第二移送機構５０にあっては、取出手段６０と仮置部７０との間に反転手段９０が設けられ、取出手段６０からまず仮置部７０にＩＣチップＣが受け渡され、反転手段９０が表裏反転した状態でＩＣチップＣを仮置部７０に受け渡している。仮置部７０にＩＣチップＣが受け渡される位置を、以下第三受渡位置Ｐ３ということがある。なお、図１において反転手段の図示を省略している。
【００３５】
取出手段６０は、第二受渡位置Ｐ２の載置テーブル１０から同一行複数個のＩＣチップＣを同時に取り出す。この取出手段６０は、第二受渡位置Ｐ２と第三受渡位置Ｐ３との間を移動可能に設けられ、上述のように第二受渡位置Ｐ２でＩＣチップＣを受け取った後に第三受渡位置Ｐ３まで移動することでＩＣチップＣを移送し、第三受渡位置Ｐ３においてＩＣチップＣを受け渡す。
【００３６】
取出手段６０は、載置テーブル１０（第二受渡位置Ｐ２の載置テーブル１０）と仮置部７０との上に移動可能かつ上下動可能な吸着部６１と、この吸着部６１を上下動可能に支持すると共に水平方向（図１及び図２のＹ方向）に移動可能な支持部６２を有している。第二移送機構５０は、図２に示すようにＩＣチップＣの列形成方向（Ｙ方向）に沿って配されたレール５１を有し、このレール５１に沿って支持部６２が水平方向に移動可能に支持されている。
【００３７】
反転手段９０は、第三受渡位置Ｐ３において取出手段６０からＩＣチップＣが受け渡される。この反転手段９０は、受け渡されたＩＣチップＣを吸着可能に設けられている。また、反転手段９０は、吸着するＩＣチップＣを反転可能に設けられると共に上下動可能に設けられている。これにより、反転手段９０は、受け渡され吸着したＩＣチップＣを反転させ、仮置部７０に近接するよう上下動して、仮置部７０にＩＣチップＣを受け渡す。また、反転手段９０は、第三受渡位置Ｐ３から離反するよう水平移動可能に設けられている。具体的には、仮置部７０から取付移送手段８０がＩＣチップＣを受け取る際に反転手段９０は第三受渡位置Ｐ３から離反する。
【００３８】
仮置部７０は、載置されたＩＣチップＣの位置を修正する修正手段７１を備えている。ここで、修正手段７１は特に限定されないが、修正手段７１として図示例では凹部が上面に形成されている。つまり、反転手段９０から受け渡されたＩＣチップＣが凹部に嵌まり込むことによって、ＩＣチップＣの位置（ＩＣチップＣ間の間隔）及びＩＣチップＣの角度が修正される。なお、この修正手段としては、例えば仮置部７０に載置されたＩＣチップＣに接近離反可能に設けられ、接近することでＩＣチップＣを挟持するよう当接する一対の板状部材であってもよい。本実施形態において、仮置部７０は第二移送機構５０のＩＣチップＣの移送方向（Ｙ方向）に移動しない。なお、仮置部７０が第二受渡位置Ｐ２と第三受渡位置Ｐ３との間を移動するように設け、取出手段６０がＹ方向に移動しないように設けることも可能である。
【００３９】
取付移送手段８０は、第三受渡位置Ｐ３において仮置部７０から同一行複数個のＩＣチップＣを同時に受け取る。この取付移送手段８０は、第三受渡位置Ｐ３とＩＣチップＣの取付対象であるＲＦＩＤタグＡとの間を移動可能に設けられている。本実施形態においては、取付移送手段８０は、仮置部７０に載置されている全てのＩＣチップＣを受け取るよう構成されている。なお、取付移送手段８０が、仮置部７０に載置されている一部かつ複数のＩＣチップＣを受け取るよう構成することも可能である。具体的には、例えば仮置部７０に１列８個のＩＣチップＣが載置されている状態から、取付移送手段８０が１列４個のＩＣチップＣを受け取るよう構成することも可能であり、この場合、二つの取付移送手段８０を設けることも可能である。但し、仮置部７０に、取出手段６０によって同時に受け渡された同一行複数個のＩＣチップＣの全てを取付移送手段８０が同時に受け取るよう構成することが好ましく、これにより装置全体の複雑化を避けることができると共に取付作業の効率化が図られる。
【００４０】
取付移送手段８０は、仮置部７０とＲＦＩＤタグＡとの上に移動可能かつ上下動可能な保有部８１と、この保有部８１を上下動可能に支持すると共に水平方向（図１及び図２のＹ方向）に移動可能な移動部材８２とを有している。この移動部材８２は、レール５１に沿って水平方向に移動可能に支持されている。
【００４１】
＜搬送機構＞
搬送機構２は、上述のようにＩＣチップＣを取付けるＲＦＩＤタグＡであるアンテナ部材を搬送する機構である。本実施形態においては、搬送機構２は、多数のアンテナ部材が形成された長尺状シートＳを搬送している。搬送機構２は、取付移送手段８０が吸着保持する複数のＩＣチップＣの整列方向（載置テーブル１０における行形成方向（図１のＸ方向））に沿って長尺状シートＳを搬送する。
【００４２】
本実施形態において、長尺状シートＳは、シート長手方向（図１のＸ方向）に複数のＲＦＩＤタグＡが等間隔で形成されており、この複数のＲＦＩＤタグＡであるアンテナ部材に取付移送手段８０によって同時に１行複数個のＩＣチップＣが同時に載置される。また、長尺状シートＳには、シート短手方向（図１のＹ方向）にも複数のアンテナが形成されている。
【００４３】
搬送機構２は、長尺状シートＳの原反から長尺状シートＳを巻出す供給装置９５と、ＩＣチップＣが取付けられた長尺状シートＳを回収する回収装置９６とを備え、この供給装置９５と回収装置９６との間において長尺状シートＳのＲＦＩＤタグＡに対して移送機構３によってＩＣチップＣが載置される。なお、回収装置９６は、長尺状シートＳを巻き取る巻取装置とすること、及び長尺状シートＳをカットするカット装置等とすることが可能である。また、搬送機構２は、上述のようにＩＣチップＣが載置された長尺状シートＳをキュアリングするキュアリング装置９７を備えている。さらに、搬送機構２は、ＩＣチップＣを被着物に固定するための接着剤やメタルボンド等の固定部材を塗布する装置をさらに備えることも可能である。
【００４４】
［電子部品の取付方法］
次に、上記構成からなる電子部品取付装置１００を用いたＩＣチップＣの取付方法について説明する。
【００４５】
このＩＣチップＣの取付方法は、載置台１から第一移送機構３０によってＩＣチップＣが載置テーブル１０に移送され載置される第一移送工程と、載置テーブル１０から第二移送機構５０によってＩＣチップＣがＲＦＩＤタグＡまで移送されＲＦＩＤタグＡに載置される第二移送工程とを有する。
【００４６】
＜第一移送工程＞
第一移送工程は、載置台１から複数個のＩＣチップＣが同時に吸着され、吸着されたＩＣチップＣが載置テーブル１０に移送され、載置テーブル１０に受け渡される。この第一移送工程が繰り返し行われることで、載置テーブル１０にはＩＣチップＣが列間に間隔を有する状態で複数列で並べられる。
【００４７】
より詳細には、以下のような動作が行われる。例えば、１列に８個のＩＣチップＣを並べる場合、吸着保持装置３３では、８個の部品が吸着できる長さの長孔４３が接触位置Ｆに位置するよう、変位体４２が回転させられる。この状態では、コレット部３９に形成された８個の吸着口３８が長孔４３を介して吸引ホース４０と連通している。すなわち、吸着保持装置３３は、８個の吸着口３８で対象物を吸引することができる状態となっている。なお、コレット部３９には、２２個の吸着口３８が形成されているため、吸着保持装置３３は、コレット部３９を用いて２２個までの対象物を一度に吸着保持できる。
【００４８】
第一移送工程において、通常、吸着保持装置３３は、１列所定個数（例えば８個）のＩＣチップＣを吸着する。しかし、第一移送工程が繰り返され、載置台１のＩＣチップＣの数が少なくなり、載置台１のＩＣチップＣの１列におけるＩＣチップＣの個数が所定個数未満となった場合、所定個数未満のＩＣチップＣを吸着保持装置３３は吸着する。
【００４９】
より具体的に図７及び図８を参照しつつ説明する。図７（Ａ）〜（Ｆ）及び図８（Ａ）〜（Ｆ）は、ＩＣチップＣが取り出された状態の載置台１の状態を順次模式的に説明するための図面であり、ハッチングされた箇所は次に取り出されるＩＣチップＣを示し、破線で示された箇所は既にＩＣチップＣが取り出された箇所を示し、所定個数（通常時の取出個数）として８個で記載している。なお、図７は、一つの半導体ウエハＷにおいて第一搬送工程によるＩＣチップＣの取出しが開始された直後の図面であり、図８は、一つの半導体ウエハＷにおいて第一搬送工程によるＩＣチップＣの取出しが終了する直前の図面である。
【００５０】
図７（Ａ）の段階では、図示中の最も右列の手前（図面の下側）の８個のＩＣチップＣが取り出される。その後、図７（Ｂ）に示すように隣の列の８個のＩＣチップＣが順次取り出される。ここで、半導体ウエハＷは薄板円盤状に形成されているため、全列において行数が一致していないため、図７（Ｃ）のように前回取り出された列と異なる行からＩＣチップＣを取り出す必要が生じる。そして、図７（Ｄ）〜（Ｆ）に示すように、順次第一移送工程によるＩＣチップＣの取出しがなされる。なお、図７（Ａ）〜（Ｆ）において、取り出されるＩＣチップＣの個数は同一である。
【００５１】
そして、図８（Ａ）及び（Ｂ）においては、取り出される列にＩＣチップＣが所定個数以上あるため、取り出されるＩＣチップＣの個数は所定個数である。しかし、図８（Ｃ）〜（Ｆ）においては、取り出される列にＩＣチップＣが所定個数以上なく、このため列に残存する個数（所定個数未満）のＩＣチップＣが取り出される。
【００５２】
このように所定個数未満のＩＣチップＣを吸着する際に、所定個数のＩＣチップＣを吸着する時と同様の方法で吸着すると、ＩＣチップＣを吸着しない吸着口３８から気体が負圧室３５に流入し、十分な負圧が発生せず、ＩＣチップＣの吸着口３８の吸引力が低下するおそれがある。このため、図８（Ｃ）〜（Ｆ）の段階においては、吸着保持装置３３の変位体４２を吸引具３４に対して相対的に移動させることで吸着を行う吸着口３８のみを負圧室３５と連通させることで、十分な吸着力を確保することができる。
【００５３】
より詳細には、次に吸着する対象物（ＩＣチップＣ）の個数に対応した長孔４３が接触位置Ｆに位置するように、変位体４２が回転させられる。この状態では、コレット部３９に形成された吸着口３８のうち、次に吸着する対象物（ＩＣチップＣ）の個数と同じ数の吸着口３８が長孔４３を介して吸引ホース４０と連通している。このようにして、吸着する対象物の数を変更して、十分な吸着力で吸着を行う。その後、再度吸着する対象物の数を変更する場合には、これと同様の動作を行って吸着数が変更される。
【００５４】
＜第二移送工程＞
第二搬送工程は、載置テーブル１０から１行複数個のＩＣチップＣを取出手段６０が取出す工程と、この取出手段６０が取り出したＩＣチップＣを反転手段９０が反転する工程と、反転手段９０が反転したＩＣチップＣを仮置部７０に載置する工程と、仮置部７０に載置された１行複数個のＩＣチップＣを取付移送手段８０がＲＦＩＤタグＡまで移送しＲＦＩＤタグＡに載置する工程とを有する。
【００５５】
図１で示す例にあっては、また、長尺状シートＳにはシート短手方向（図１のＹ方向）にも４つのアンテナが形成されているため、ＩＣチップＣを取付移送手段８０がＲＦＩＤタグＡに載置する工程が４回なされた後に、搬送機構２は長尺状シートＳを搬送する。つまり、搬送機構２は間欠的にＲＦＩＤタグＡを搬送する。
【００５６】
［利点］
当該電子部品取付装置１００にあっては、第一移送機構３０は、載置台１から複数個のＩＣチップＣを同時に吸着することで取り出し、第二移送機構５０は、載置テーブル１０から、列間に間隔を有する状態の同一行複数個のＩＣチップＣを同時に吸着することで取出し、この同一行複数個のＩＣチップＣをＲＦＩＤタグＡに同時に載置する。このように当該電子部品取付装置１００は、複数のＩＣチップＣを同時にＲＦＩＤタグＡに載置することができるため、ＩＣチップＣの取付を効率的に行うことができる。
【００５７】
また、当該電子部品取付装置１００にあっては、ＲＦＩＤタグＡの種類の変更などによってＲＦＩＤタグＡの取付箇所の間隔が変更された場合にあっても、載置テーブル１０に載置するＩＣチップＣの列間の間隔を変更するだけで対応することができる。しかも、仮置部７０は、載置されたＩＣチップＣの位置を修正する修正手段を備えているので、仮置部７０で載置テーブル１０に載置されている状態よりもさらに正確な位置でＩＣチップＣをＲＦＩＤタグＡに載置することができる。
【００５８】
また、第二移送機構５０が、載置テーブル１０とＲＦＩＤタグＡとの間に仮置部７０を有しているため、取出手段５０によって載置テーブル１０からＩＣチップＣを受け取るタイミングと、取出手段５０によって仮置部７０への受け渡すタイミングと、取付移送手段８０によって仮置部７０からＩＣチップＣを受け取るタイミングと、取付移送手段８０によってＲＦＩＤタグＡにＩＣチップＣを際するタイミングとを調整することができ、これによってＩＣチップＣの取付作業の効率化をより図ることができる。
【００５９】
載置テーブル１０は、載置されたＩＣチップＣを、第一移送機構３０とＩＣチップＣを受け渡す第一受渡位置Ｐ１と、第二移送機構５０とＩＣチップＣを受け渡す第二受渡位置Ｐ２との間を移動するため、第一移送機構３０の構成要素と第二移送機構５０の構成要素との配設箇所の自由度が向上する。
【００６０】
さらに、吸着保持装置３３が、吸着するＩＣチップＣの個数を変更可能に設けられているため、載置台１から第一移送機構３０が吸着するＩＣチップＣの個数を変更することができる。このため、載置台１に残存するＩＣチップＣの個数が減った場合であっても、的確にＩＣチップＣを吸着できる。
【００６１】
特に、変位体４２は、複数の吸着口３８のうち脱気口３６と連通する吸着口３８は吸引力を発揮することができ、且つ複数の吸着口３８のうちその他の吸着口３８は脱気口３６と連通されないため、変位体４２はその他の吸着口３８から流入する気体による負圧の減少を回避することができ、所望の吸着口３８では十分な吸着力によって物品を吸着できる。
【００６２】
さらに、一つの部材を変位させることで吸引する吸着口３８の数を変更できる。本実施形態では、変位体４２を回転移動させる動作を行うだけで、変位体４２は吸引する吸着口３８の数を選択可能であるため、吸着口３８ごとに開閉機構を設ける構成に比べて、部品点数が少なく、小型化が図られる。
【００６３】
さらに、１つの対象物を吸着可能な吸着装置を複数並べる場合には、吸着装置同士の間隔を狭くすることは難しく、対象物を狭い間隔で並べるのは難しいが、本発明の吸着保持装置３３では、コレット部３９に形成される吸着口３８の間隔を小さくすることで、吸着対象物を狭い間隔で並べることが必要な場合であっても対応可能である。
【００６４】
［その他の実施形態］
上記実施形態は上記構成から上述の利点を奏するものであったが、本発明は上記実施形態の構成に限定されるものではなく、本発明の意図する範囲内において適宜設計変更可能である。
【００６５】
つまり、上記実施形態においては、本発明に係る吸着保持装置が上記電子部品取付装置に用いられるものについて説明したが、本発明に係る吸着保持装置はこれに限定されるものではない。例えば、本発明の吸着保持装置を電子部品以外の部品や部材搬送に用いたり、保持に用いたりしてもよい。
【００６６】
さらに、上記実施形態においては、吸着すべき対象物品としてＩＣチップを例に挙げて説明したが、その他、ＬＥＤ等の種々の電子部品、さらには他の物品を吸着するために当該吸着保持装置を用いることができる。また、上記実施形態にあっては、複数の物品を同時に吸着するものについて説明したが、本発明は、例えば大きさの異なる多種の物品を吸着するために用いることも可能である。具体的には、大きな物品を吸着する際には多くの吸着口によって吸着し、小さな物品を吸着する際には複数の吸着口のうち一部の吸着口のみによって吸着して他の吸着口において吸引させないように、当該吸着保持装置を用いることができる。
【００６７】
また、上記実施形態においては吸着保持装置３３の変位体４２が筒体であるものについて説明したが、変位体４２が負圧室の内壁と接しつつスライド移動するプレートであってもよい。例えば、図９に示すように、階段状の外形を有するプレート１４２から変位体を構成し、このプレート１４２が負圧室の内壁と接しつつ矢印Ｔの方向にスライド移動させることで、所望の吸着口１３８を負圧室と連通させ、且つその他の吸着口１３８を閉塞させることで負圧室と連通不能とすることも可能である。なお、プレート１４２の形状は一例であり、他の形状であってもよい。スライド移動させることで移動量に応じて吸着口３８を覆う数が変わるような形状であれば長方形上であっても他の形状であってもよい。
【００６８】
上記実施形態における、変位体４２（図６参照）に設けられた長孔４３の数や長さ、配置順番等は一例に過ぎず、これに限られない。
【００６９】
さらに、上記実施形態においては負圧室を設ける構成について説明したが、上記筐体は、それぞれ異なる数の吸着口に接続された複数の負圧路を有しており、上記吸着数変更機構は、上記脱気口を接続させる上記吸着口を変更する構成を採用してもよい。例えば、図１０及び図１１に示すような構成を採用可能である。図１０及び図１１の吸着保持装置２３３は、複数の吸着口（図示省略）が形成されたコレット部２３９を含む吸引具２３４を有している。複数の吸着口は、コレット部２３９を上下方向（図１０の上下方向）に貫通して設けられている。そして、吸引具２３４との相対位置によって吸着口と脱気口２３６との連通状態を選択的に変更するための変位体は、コレット部２３９に対して回転可能な回転体２４２から構成されている。この回転体２４２は、所定回転角度で脱気口２３６に連通可能で回転方向に並べて形成された複数の連通孔２３５、及び外面からそれぞれ連通孔２３５まで形成され、回転軸とそれぞれ平行で且つ長さの異なる複数の長孔２４３とを有している。
【００７０】
さらに詳述すると、この吸着保持装置２３３は、吸引具２３４が、図１０に示すように、円柱状の回転体２４３を回転可能に両側から支持する一対の支持部２３４ａと、この一対の支持部２３４ａを連結する連結部２３４ｂとを有し、この連結部２３４ｂにコレット部２３９が付設されている。また、一方の支持部２３４ａに脱気口２３６が形成され、この脱気口２３６が吸引ホース２４０に接続されている。このため、回転体２４３が相対的に回転することによって脱気口２３６に連通する連通孔２３５が変更され、脱気口２３６と連通する連通孔２３５に連通する長孔２４３が負圧となり、コレット部２３９の複数の吸気口のうち上記負圧となった長孔２４３と連通する吸気口によって吸引を行うことができる。
【００７１】
また、回転体から変位体を構成する場合であっても、形状は円筒状又は円柱状のものに限定されるものではなく、図１２に示すように角形であってもよい。図１２に示す回転体３４２（変位体）の形状は、多角柱状である。この構成では、回転体３４２は、所定位置で脱気口３３６に連通可能となっている。回転体３４２には、回転軸方向に沿って形成された複数の連通孔３３５が形成されている。また、回転体３４２の各側面３４２ａに１又は複数の吸着口３３８が形成され、同一の側面３４２ａの吸着口３３８はそれぞれ同一の連通孔３３５に連通している。さらに、回転体３４２は、回転軸Ｌを中心として回転可能である。回転体３４２が回転軸Ｌ周りに回転し、連通孔３３５のうちの１つが脱気口３３６と連結して、吸着口３３８で吸着対象を吸着できる。ここで、各側面３４２ａの吸着口３３８の数が異なっており、これによって吸着する電子物品の個数の変化に対応できる。なお、図１２では、脱気口３３６は図面の見やすさのため鎖線で示しており、脱気口３３６には吸引ホース等が接続されている。このため、脱気口３３６と連通する吸着口３３８は吸着対象物を保持可能となる。
【００７２】
なお、上記実施形態にあっては、吸着保持装置３３が１列のみＩＣチップＣを吸着するものについて説明したが、本発明の吸着保持装置は複数列の部品を吸着できるものであってもよい。つまり、当該吸着保持装置が上記実施形態のような電子部品取付装置に用いられる場合を例にとり説明すると、１回の第一移送工程において複数列の電子部品を当該吸着保持装置によって吸着して搬送することも可能である。なお、この際には、整列棚に電子部品を載置する際に列間に間隔を有するよう１列ずつ並べるとよい。
【００７３】
より具体的に説明すると、図１３に示すように吸着保持装置４３３が複数の回転体４４２及び複数のコレット部４３９を有する構成を採用することも可能である。図１３は模式的に示しているが、筐体４３７内の負圧室（図示省略）に３つの回転体４４２が内蔵され、筐体４３７の３つの側面に複数の吸着口（図示省略）が形成されたコレット部４３９が付設され、それぞれ回転体４４２の回転によって各コレット部４３９において選択された吸着口のみによって電子物品を吸着できる。また、この筐体４３７は、各側面が下方に向くように回転可能に支持されている。このため、例えば整列部に物品を受け渡す際、各側面が下方に向くように筐体４３７が回転することで各コレット部４３９が吸着している部品を整列部に受け渡すことができる。
【００７４】
また、当該吸着保持装置が上記実施形態のような電子部品取付装置に用いられる場合にあっても、載置テーブル１０が第一受渡位置Ｐ１と第二受渡位置Ｐ２との間を移動するものについて説明したが、載置テーブル１０が水平移動しないものであってもよい。
【００７５】
また、載置テーブル１０が第一受渡位置Ｐ１と第二受渡位置Ｐ２との間を移動するよう設けられる場合であっても、上記実施形態のように載置テーブル１０がスライド移動するものに限定されず、載置テーブルが回転移動するものであってもよい。具体的には、第一受渡位置Ｐ１と第二受渡位置Ｐ２と等距離かつ鉛直方向の軸を中心に回転する回転テーブルを整列部として採用し、第一受渡位置Ｐ１で電子部品を載置して整列させた後に、載置テーブルを回転させて電子部品が第二受渡位置Ｐ２に位置させるものであってもよい。さらには、載置テーブル１０がテーブルでなくとも、コンベアベルトであってもよい。
【００７６】
さらに、第二移送機構５０が、取出手段６０、仮置き部７０、反転手段９０及び取付移送手段８０を有するものに限定されるものではない。また、第二移送機構５０が、取出手段６０、仮置き部７０及び取付移送手段８０を有する場合であっても、第二移送機構５０が反転手段９０を有するものに限定されない。但し、ＩＣチップＣによっては表裏の区別がなされている場合があり（例えば一方の面のみに回路が形成されている場合があり）、このような場合にあっても第二移送機構５０が反転手段９０を有することで、ＩＣチップＣの所望の面をＲＦＩＤタグＡに載置することができる。
【００７７】
上記実施形態にあっては、第二移送機構５０が載置テーブル１０から１行分のＩＣチップＣを同時に吸着するものについて説明したが、第二移送機構が整列部から複数行のＩＣチップＣを同時に吸着するものであってもよい。これにより、第二移送機構による整列部からの電子部品の取出作業の効率化が図られる。例えば、取出手段が整列部から２行複数個の電子部品を同時に吸着し、この２行複数個の電子部品を反転手段又は仮置部に受け渡すものであってもよい。
【００７８】
また、上記実施形態にあっては、第二移送機構５０が１行分のＩＣチップＣを同時にＲＦＩＤタグＡに載置するものについて説明したが、第二移送機構は、複数行の電子部品を同時に被着物に載置するものであってもよい。これにより、第二移送機構による電子部品の取付作業の効率化が図られる。例えば、取付移送手段が仮受部から２行複数個の電子部品を同時に受け取り、この２行複数個の電子部品を被着物に載置するものであってもよい。
【００７９】
また、上記実施形態においては、一つの載置テーブル１０、一つの第一移送機構３０及び一つの第二移送機構５０を設けたものについて説明したが、整列部、第一搬送機構及び第二搬送機構の数はこれに限定されない。つまり、一つの整列部に対して、複数の載置台又は複数の第一搬送機構を有するものであってもよく、また一つの載置台に対して複数の整列部を有するものであってもよい。
【００８０】
また、上記実施形態においては載置台に電子部品が隙間なく密接して整列されたものについて説明したが、載置台に電子部品が隙間をもった状態で整列されているものについても当該電子部品取付装置は有効に用いることができる。つまり、本発明は、載置台に密接に整列された電子部品を、第一移送機構によって、列間に間隔を有する状態となるよう整列部において並べることで、その後に同一行複数個の電子部品を同時に被着物に取付けることができるものであり、載置台に整列された電子部品の間隔が被着物における複数の電子部品の取付箇所の間隔と同一でないものであれば効果的に適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明の吸着保持装置は、上述のように容易かつ確実に吸着に使用する吸着口の個数を変更することができるため、例えば半導体ウエハのＩＣチップをアンテナ部材に取付ける際にＩＣチップを搬送する場合など、種々の物品を搬送する際に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００８２】
１  載置台
２  搬送機構
３  移送機構
１０  載置テーブル
３０  第一移送機構
５０  第二移送機構
３０ａ  柱部
３１  走行体
３２  上下動体
３３  吸着保持装置
３４  吸引具
３５  負圧室
３６  脱気口
３７  筐体
３８  吸着口
３９  コレット部
４０  吸引ホース
４１  軸受部
４２  変位体
４３  長孔
４４  駆動機構
５０  第二移送機構
５１  レール
６０  取出手段
６１  吸着部
６２  支持部
７０  仮置部
７１  修正手段
８０  取付移送手段
８１  保有部
８２  移動部材
９０  反転手段
９５  供給装置
９６  回収装置
Ｃ  ＩＣチップ
Ａ  ＲＦＩＤタグ
Ｗ  半導体ウエハ
Ｓ  長尺状シート
Ｐ１  第一受渡位置
Ｐ２  第二受渡位置
Ｐ３  第三受渡位置
【図１】
2019096703.tif 000003
【図２】
2019096703.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2019096703.tif 000008
【図７】
2019096703.tif 000009
【図８】
2019096703.tif 000010
【図９】
2019096703.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2019096703.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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