(57)【要約】【課題】放電の発生を抑制できるＸ線管を提供する。【解決手段】Ｘ線管３は、真空筐体１０と、電子銃１１と、Ｘ線を発するターゲットＴ及びターゲットＴを支持するターゲット支持部６０を含む陽極６１と、を備える。ターゲット支持部６０は、陽極本体部６２と、側面部６３１を含む突出部６３と、を有する。陽極本体部６２は、管軸ＡＸの方向に延びる外周面６２１ａと、突出部６３の側面部６３１と外周面６２１ａとの間に形成された接続部６２２と、を含む。外周面６２１ａと接続部６２２とのなす角度は、鈍角である。【選択図】図２
2019186091.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空筐体と、
前記真空筐体に収容され、電子を出射する電子銃と、
前記真空筐体に収容され、前記電子銃から提供された電子を受けてＸ線を発するターゲット及び前記ターゲットを支持するターゲット支持部を含む陽極と、を備え、
前記ターゲット支持部は、
軸線の方向に延びる円柱状の本体部と、
前記本体部から前記軸線の方向に延びる側面部、及び前記側面部に連続すると共に前記軸線に対して交差し、前記ターゲットが配置される傾斜面を含む突出部と、を有し、
前記突出部は、前記軸線と交差する断面の面積が前記本体部よりも小さく、
前記本体部は、
軸線の方向に延びる外周面と、
前記突出部の前記側面部と前記外周面との間に形成された接続部と、を含み、
前記外周面と前記接続部とのなす角度は、鈍角である、Ｘ線管。
【請求項２】
前記側面部は、
前記電子銃に対面する主面と、
前記主面に対して交差する一対の側面と、を含み、
前記接続部は、
前記外周面と前記主面との間に形成された第１接続面と、
前記外周面と前記側面との間に形成された第２接続面と、を含み、
前記外周面と前記第１接続面とのなす角度は、鈍角であり、
前記外周面と前記第２接続面とのなす角度は、鈍角である、請求項１に記載のＸ線管。
【請求項３】
前記本体部は、前記第１接続面と前記第２接続面との間に形成される第１面取り部を含む、請求項２に記載のＸ線管。
【請求項４】
前記突出部は、前記主面と前記側面との間に形成される第２面取り部を含む、請求項２又は３に記載のＸ線管。
【請求項５】
前記本体部は、前記第１接続面と前記外周面との間に形成される第３面取り部と、
前記第２接続面と前記外周面との間に形成される第４面取り部と、を含む、請求項２〜４の何れか一項に記載のＸ線管。
【請求項６】
前記外周面と前記接続部とのなす角度は、先端面と前記傾斜面とのなす角度より小さい、請求項１〜５のいずれか一項に記載のＸ線管。
【請求項７】
前記軸線は、前記本体部の中心軸線であり、
前記ターゲットは、前記軸線に対して交差する位置に配置される、請求項１〜６の何れか一項に記載のＸ線管。
【請求項８】
前記真空筐体は、前記突出部及び前記本体部の少なくとも一部を収容する金属製の金属筐体部を含み、
前記金属筐体部は、前記接続部と対面する内周面部を含み、
前記内周面部は、前記接続部の傾きに対応するように、前記軸線に対して傾いている、請求項１〜７の何れか一項に記載のＸ線管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一側面は、Ｘ線管に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１、２、３は、Ｘ線管に関する技術を開示する。Ｘ線管は、ターゲットに電子を衝突させてＸ線を発生させる。特許文献１は、ターゲットに対する電子銃の焦点に着目し、ターゲットに対して好適な焦点を形成可能な陽極の形状を開示する。特許文献２は、特性の向上に着目し、ターゲットの形状の改良に関する技術を開示する。
特許文献３は、Ｘ線アセンブリの組立方法を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１０３３１６号公報
【特許文献２】実開昭５２−２０１７１号公報
【特許文献３】特開２０１６−１１１０１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
Ｘ線管は、ターゲットに電子を衝突させるために、ターゲットを保持する陽極に電圧を印加する。その結果、陽極の周囲には、陽極に印加された電圧に応じた電界が生じる。陽極に印加される電圧は、取り出したいＸ線のエネルギに応じる。例えば、高エネルギのＸ線を得る場合には、陽極には高電圧が印加される。そうすると、陽極と陽極を収容する真空筐体との間で電位差が大きくなり、放電が発生しやすくなる。
【０００５】
そこで、本発明の一側面は、放電の発生を抑制できるＸ線管を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面に係るＸ線管は、真空筐体と、真空筐体に収容され、電子を出射する電子銃と、真空筐体に収容され、電子銃から提供された電子を受けてＸ線を発するターゲット及びターゲットを支持するターゲット支持部を含む陽極と、を備え、ターゲット支持部は、軸線の方向に延びる円柱状の本体部と、本体部から軸線の方向に延びる側面部、及び側面部に連続すると共に軸線に対して交差し、ターゲットが配置される傾斜面を含む突出部と、を有し、突出部は、軸線と交差する断面の面積が本体部よりも小さく、本体部は、軸線の方向に延びる外周面と、突出部の側面部と外周面との間に形成された接続部と、を含み、外周面と接続部とのなす角度は、鈍角である。
【０００７】
陽極のターゲット支持部には、電圧が印加される。そして、当該電圧は、ターゲット支持部の周囲に電界を生じさせる。当該電界にあっては、電界の強さ（単位距離当たりの電位差）が大きい領域において放電が生じやすく、ターゲット支持部における形状の変化が大きいほど、変化部における電界の強さは大きくなる。ここで、ターゲット支持部は、突出部の側面部と本体部の外周面との間に形成された接続部を有する。そして、外周面と接続部とのなす角度は、鈍角である。このように、本体部と突出部との間の形状の変化を接続部によって緩やかなものにすることで、本体部から突出部に至る形状変化領域の周囲に形成される電界の強さが低下する。その結果、放電の発生を抑制することができる。
【０００８】
上記のＸ線管において、側面部は、電子銃に対面する主面と、主面に対して交差する一対の側面と、を含み、接続部は、外周面と主面との間に形成された第１接続面と、外周面と側面との間に形成された第２接続面と、を含み、外周面と第１接続面とのなす角度は、鈍角であり、外周面と第２接続面とのなす角度は、鈍角であってもよい。この構成によれば、本体部は、段差を有することなく緩やかな角度をもって突出部に接続される。従って、放電の発生を好適に抑制することができる。
【０００９】
上記のＸ線管において、本体部は、第１接続面と第２接続面との間に形成される第１面取り部を含んでもよい。この構成によれば、放電が生じやすい鋭角の箇所が少なくなる。従って、放電の発生をさらに抑制することができる。
【００１０】
上記のＸ線管において、突出部は、主面と側面との間に形成される第２面取り部を含んでもよい。この構成によれば、放電が生じやすい鋭角の箇所がさらに少なくなる。従って、放電の発生をいっそう抑制することができる。
【００１１】
上記のＸ線管において、本体部は、第１接続面と外周面との間に形成される第３面取り部と、第２接続面と外周面との間に形成される第４面取り部と、を含んでもよい。この構成によれば、放電が生じやすい鋭角の箇所がいっそう少なくなる。従って、放電の発生をさらに好適に抑制することができる。
【００１２】
上記のＸ線管において、外周面と接続部とのなす角度は、先端面と傾斜面とのなす角度より小さくてもよい。この構成によれば、本体部と突出部との間の形状の変化をより緩やかなものとし、放電の発生を好適に抑制することができる。
【００１３】
上記のＸ線管において、軸線は、本体部の中心軸線であり、ターゲットは、軸線に対して交差する位置に配置されてもよい。この構成によれば、ターゲットに対する電子銃の位置決めを精度良く行うことが可能になる。従って、所望の条件を満たすように、ターゲットに対して電子線を入射することができる。
【００１４】
上記のＸ線管において、真空筐体は、突出部及び本体部の少なくとも一部を収容する金属製の金属筐体部を含み、金属筐体部は、接続部と対面する内周面部を含み、内周面部は、接続部の傾きに対応するように、軸線に対して傾いてもよい。この構成によれば、接続部の近傍に発生する電界の強度がより小さくなる。従って、放電の発生を好適に抑制することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の一側面によれば、放電の発生を抑制できるＸ線管を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】Ｘ線管の構成を示す断面図である。
【図２】陽極の要部を拡大して示す斜視図及び正面図である。
【図３】陽極の要部を拡大して示す別の角度から見た斜視図である。
【図４】陽極の要部の形状を示す図である。
【図５】比較例及び実施形態の陽極の周囲における電界の解析結果である。
【図６】第１変形例に係るＸ線管が備える陽極の要部を拡大して示す斜視図及び正面図である。
【図７】第２変形例に係るＸ線管が備える陽極の要部を拡大して示す斜視図及び正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、「上」、「下」等の所定の方向を示す語は、図面に示される状態に基づいており、便宜的なものである。
【００１８】
Ｘ線管３の構成について説明する。図１に示されるように、Ｘ線管３は、いわゆる反射型Ｘ線管と呼ばれるものであり、内部を真空に保持する真空外囲器としての真空筐体１０と、電子発生ユニットとしての電子銃１１と、ターゲットＴとを備えている。電子銃１１は、例えば、高融点金属材料等からなる基体に易電子放射物質を含浸させたカソードＣを有する。また、ターゲットＴは、例えば、タングステン等の高融点金属材料からなる板状部材である。ターゲットＴの中心は、Ｘ線管３の管軸ＡＸ上に位置している。電子銃１１及びターゲットＴは、真空筐体１０の内部に収容されており、電子銃１１から出射された電子がターゲットＴに入射するとＸ線が発生する。発生したＸ線は、Ｘ線出射窓３３ａを介して外部に照射される。
【００１９】
真空筐体１０は、主として、絶縁性材料（例えばガラス）により形成された絶縁バルブ１２と、Ｘ線出射窓３３ａを有する金属部１３とから構成されている。金属部１３は、陽極となるターゲットＴが収容される本体部３１（金属筐体部）と、陰極となる電子銃１１が収容される電子銃収容部３２とを有する。
【００２０】
本体部３１は、筒状に形成されており、内部空間Ｓを有している。本体部３１の一端部（外側端部）には、Ｘ線出射窓３３ａを有する蓋板３３が固定されている。Ｘ線出射窓３３ａの材料は、Ｘ線透過材料であって、例えばベリリウムやアルミニウム等である。蓋板３３によって、内部空間Ｓの一端側が閉鎖されている。本体部３１は、フランジ部３１１と、円筒部３１２と、テーパ部３１３とを有する。フランジ部３１１は、本体部３１の外周に設けられており、Ｘ線発生装置に固定される部分である。円筒部３１２は、本体部３１の一端部側において円筒状に形成された部分である。テーパ部３１３は、円筒部３１２の他端部に接続され、Ｘ線管３の管軸方向（Ｚ方向）に沿って円筒部３１２から遠ざかるにつれて拡径する部分である。
【００２１】
電子銃収容部３２は、円筒状に形成されており、本体部３１の一端部側の側部に固定されている。本体部３１の中心軸線（すなわち、Ｘ線管３の管軸ＡＸ）と電子銃収容部３２の中心軸線とは、略直交している。電子銃収容部３２の内部は、電子銃収容部３２の本体部３１側の端部に設けられた開口３２ａを介して、本体部３１の内部空間Ｓと連通している。
【００２２】
電子銃１１は、カソードＣと、ヒータ１１１と、第１グリッド電極１１２と、第２グリッド電極１１３とを備えており、各構成の協働によって発生する電子ビームの径を小さくすること（微小焦点化）ができる。カソードＣ、ヒータ１１１、第１グリッド電極１１２及び第２グリッド電極１１３は、それぞれ平行に延びる複数の給電ピン１１４を介して、ステム基板１１５に取り付けられている。カソードＣ、ヒータ１１１、第１グリッド電極１１２及び第２グリッド電極１１３は、それぞれに対応する給電ピン１１４を介して外部から給電される。
【００２３】
絶縁バルブ１２は、略筒状に形成されている。絶縁バルブ１２の一端側は、本体部３１に接続されている。
【００２４】
絶縁バルブ１２は、その他端側において、ターゲットＴが先端に固定されたターゲット支持部６０を保持している。ターゲット支持部６０は、例えば銅材等により円柱状に形成されており、Ｚ方向に延在している。ターゲット支持部６０の先端側には、絶縁バルブ１２側から本体部３１側に向かうにつれて電子銃１１から遠ざかるように傾斜する傾斜面６０ａが形成されている。ターゲットＴは、傾斜面６０ａと面一になるように、ターゲット支持部６０の端部に埋設されている。
【００２５】
ターゲット支持部６０の基端部６０ｂは、絶縁バルブ１２の下端部よりも外側に突出しており、電源に接続されている。本実施形態では、真空筐体１０（金属部１３）が接地電位とされており、電源においてターゲット支持部６０にプラスの高電圧が供給されるが、それとは異なる電圧印加形態を用いても良い。
【００２６】
以下、図２及び図３を参照しつつ、Ｘ線管３が備える陽極６１について更に詳細に説明する。以下の説明において、陽極６１とは、ターゲット支持部６０と、ターゲットＴと、を有する要素を言う。
【００２７】
ターゲット支持部６０は、傾斜面６０ａを備える突出部６３と、基端部６０ｂ（図１参照）を備える陽極本体部６２と、を有する。ターゲット支持部６０は、一本の棒材から旋盤加工などによって、これらの部分が削り出された一体の部品である。
【００２８】
陽極本体部６２は、基端部６０ｂから管軸ＡＸの方向に延びる棒状の部分である。陽極本体部６２は、円柱形状を有する。陽極本体部６２の先端側には、突出部６３が連続する。突出部６３は、陽極本体部６２の先端から管軸ＡＸの方向に延びる棒状の部分である。陽極本体部６２が円柱形状を有するのに対し、突出部６３は、略四角柱形状を有する。突出部６３の基端側は、陽極本体部６２の先端と連続する。突出部６３の先端には、傾斜面６０ａが設けられる。
【００２９】
さらに、陽極本体部６２は、棒状部６２１と、接続部６２２と、を有する。棒状部６２１は、基端側（基端部６０ｂ側）に形成されている。棒状部６２１は、円柱形状を呈する陽極本体部６２の外周面６２１ａを含む。
【００３０】
突出部６３は、管軸ＡＸの方向に延びる側面部６３１と、管軸ＡＸに対して斜めに交差する傾斜面６０ａと、管軸ＡＸに対して直交する先端面６３２と、を含む。側面部６３１は、さらに、主面６３１ａと、第１側面６３１ｂと、湾曲側面６３１ｃと、第２側面６３１ｄと、を含む。主面６３１ａ、第１側面６３１ｂ及び第２側面６３１ｄは、平面である。一方、湾曲側面６３１ｃは、曲面である。
【００３１】
主面６３１ａは、電子銃１１に対して対面する。湾曲側面６３１ｃは、主面６３１ａに対して逆側の面である。第１側面６３１ｂ及び第２側面６３１ｄは、主面６３１ａと湾曲側面６３１ｃとの間に延びる面である。
【００３２】
ここで、陽極本体部６２及び突出部６３を側面視する（図４参照）。まず、湾曲側面６３１ｃは、外周面６２１ａから形状の変化なく連続した円柱状面の一部であり、同一の曲面に含まれる。換言すると、管軸ＡＸの方向において、湾曲側面６３１ｃと外周面６２１ａとの間に高さの差異（段差）はない。ここでいう「高さ」は、管軸ＡＸと直交する方向に沿った長さである。つまり、管軸ＡＸから湾曲側面６３１ｃまでの距離は、管軸ＡＸから外周面６２１ａまでの距離に等しい。
【００３３】
一方、主面６３１ａは、外周面６２１ａと、同一の平面に含まれない。換言すると、主面６３１ａと外周面６２１ａとの間に高さの差異が存在する。つまり、管軸ＡＸから主面６３１ａまでの距離は、管軸ＡＸから外周面６２１ａまでの距離と異なる。より詳細には、管軸ＡＸから主面６３１ａまでの距離は、管軸ＡＸから外周面６２１ａまでの距離より小さい。第１側面６３１ｂ及び第２側面６３１ｄについても同様である。つまり、管軸ＡＸから第１側面６３１ｂまでの距離は、管軸ＡＸから外周面６２１ａまでの距離より小さい。また、管軸ＡＸから第２側面６３１ｄまでの距離は、管軸ＡＸから外周面６２１ａまでの距離より小さい。ここでは、管軸ＡＸから主面６３１ａまでの距離、管軸ＡＸから第１側面６３１ｂまでの距離、管軸ＡＸから第１側面６３１ｂまでの距離は、互いに等しいが、異なっていてもよい。
【００３４】
このような構成によれば、突出部６３を所定の形状とすることで、電子銃１１からの電子ビームを、ターゲットＴに対して所望の形状で入射させることができる。さらに、陽極本体部６２の管軸ＡＸと交差する断面の断面積は、突出部６３の断面積よりも大きいため、陽極本体部６２によって効率よく熱を伝導させ、放熱させることができる。
【００３５】
ここで、外周面６２１ａと主面６３１ａとの間には、高さの差異が存在すると述べた。そうすると、外周面６２１ａと主面６３１ａとの間には、最大で、高さの差異の分の急激な段差が生じ得る。ここで、実施形態に係るターゲット支持部６０は、当該段差を生じさせないようにする（極力小さくする）ため、陽極本体部６２に接続部６２２を設けた。
【００３６】
再び図２及び図３を参照すると、接続部６２２は、陽極本体部６２の先端側（突出部６３側）に形成されている。接続部６２２は、棒状部６２１の外周面６２１ａと突出部６３の側面部６３１とを連結する。より詳細には、接続部６２２は、第１接続面６２２ａと、第２接続面６２２ｂと、湾曲側面６２２ｃ（図２の（ｂ）部参照）と、第３接続面６２２ｄ（図３参照）と、を含む。要するに、接続部６２２は、管軸ＡＸに対して傾く３つの斜面を有する。
【００３７】
第１接続面６２２ａは主面６３１ａと外周面６２１ａとを連結する。具体的には、第１接続面６２２ａは、主面６３１ａと共有する縁部Ｅ４ａと、外周面６２１ａと共有する縁部Ｅ３ａと、を含む。第１接続面６２２ａは平面であり、主面６３１ａも平面である。従って、第１接続面６２２ａ及び主面６３１ａが連続する縁部Ｅ４ａは、直線である。一方、外周面６２１ａは曲面であり、主面６３１ａは平面である。従って、第１接続面６２２ａ及び外周面６２１ａが連続する縁部Ｅ３ａは、曲線である。
【００３８】
第２接続面６２２ｂは第１側面６３１ｂと外周面６２１ａとを連結する。第１接続面６２２ａと同様に、第２接続面６２２ｂは、第１側面６３１ｂと共有する縁部Ｅ４ｂと、外周面６２１ａと共有する縁部Ｅ３ｂと、を含む。第３接続面６２２ｄは第２側面６３１ｄと外周面６２１ａとを連結する。第１接続面６２２ａと同様に、第３接続面６２２ｄは、第２側面６３１ｄと共有する縁部Ｅ４ｄと、外周面６２１ａと供給する縁部Ｅ３ｄと、を含む。
【００３９】
図４を参照すると、第１接続面６２２ａは、管軸ＡＸに対して傾いている。換言すると、第１接続面６２２ａは、管軸ＡＸに直交しない。より詳細には、第１接続面６２２ａと外周面６２１ａとのなす角度Ｋ１は、鈍角である。また、第１接続面６２２ａと主面６３１ａとのなす角度Ｋ２も、鈍角である。このような場合、例えば、第１接続面６２２ａの法線ベクトルＮＶを規定したとき、当該法線ベクトルＮＶは電子銃１１と対面する方向を向く。また、より好ましくは、管軸ＡＸに対する第１接続面６２２ａの傾きは、管軸ＡＸに対する傾斜面６０ａの傾きよりも小さい。また、より好ましくは、第１接続面６２２ａの管軸ＡＸに沿った長さＬ１は、第１接続面６２２ａの管軸ＡＸと交差する方向の長さＬ２よりも長い。なお、上記した関係のうち、法線ベクトルＮＶ以外は、Ｘ線管３に求められる特性によっては逆の関係となる可能性もある。
【００４０】
次に、Ｘ線管３を構成する他の部品と陽極６１との位置関係について説明する。再び図１を参照すると、陽極本体部６２及び突出部６３は、絶縁バルブ１２及び金属部１３に囲まれる閉鎖空間に配置される。
【００４１】
陽極本体部６２の一部及び突出部６３は、本体部３１の内部に配置される。具体的には、陽極本体部６２のうち、少なくとも接続部６２２の一部は、テーパ部３１３に囲まれる空間に配置される。突出部６３は、円筒部３１２に囲まれる空間に配置される。つまり、陽極本体部６２（接続部６２２）と突出部６３との境界（縁部Ｅ４ａ、Ｅ４ｂ、Ｅ４ｃ、Ｅ４ｄ）は、円筒部３１２とテーパ部３１３との境界（縁部３１２ｂ）の位置におおむね対応する。
【００４２】
テーパ面３１３ａは、陽極本体部６２の接続部６２２を構成する第１接続面６２２ａ、第２接続面６２２ｂ、湾曲側面６２２ｃ及び第３接続面６２２ｄに対面する。そして、第１接続面６２２ａ、第２接続面６２２ｂ及び第３接続面６２２ｄは、管軸ＡＸに対して傾斜している。テーパ面３１３ａとの関係で言えば、例えば、第１接続面６２２ａとテーパ面３１３ａとの間の管軸ＡＸに垂直な方向における間隔Ｄ１は、管軸ＡＸに沿って略一定である。
【００４３】
突出部６３の主面６３１ａ、第１側面６３１ｂ、湾曲側面６３１ｃ、第２側面６３１ｄは、円筒部３１２の内周面部３１２ａと対面する。主面６３１ａ、第１側面６３１ｂ、湾曲側面６３１ｃ、第２側面６３１ｄは、管軸ＡＸに対して平行である。また、円筒部３１２も管軸ＡＸに沿って延びている。従って、例えば、主面６３１ａと内周面部３１２ａとの間の管軸ＡＸに垂直な方向における間隔Ｄ２は、管軸ＡＸに沿って略一定である。同様に第１側面６３１ｂと内周面部３１２ａとの間の管軸ＡＸに垂直な方向における間隔（不図示）、湾曲側面６３１ｃと内周面部３１２ａとの間の管軸ＡＸに垂直な方向における間隔（不図示）、及び第２側面６３１ｄと内周面部３１２ａとの間の管軸ＡＸに垂直な方向における間隔（不図示）も、一定である。
【００４４】
これらの間隔Ｄ１、Ｄ２は、例えば互いに等しくてもよい。このような構成によれば、電子銃１１と対向する側において、陽極６１と金属製の本体部３１との間に一定の間隔が設けられる。従って、電子銃１１からの電子に起因する影響を受けやすい側の空間における電界を安定化し、放電の発生を抑制し易くなる。
【００４５】
［作用効果］
陽極６１のターゲット支持部６０には、電圧が印加される。そして、当該電圧は、ターゲット支持部６０の周囲に電界を生じさせる。そして、当該電界にあっては、電界の強さ（単位距離当たりの電位差）が大きい領域において放電が生じやすく、ターゲット支持部６０における形状の変化が大きいほど、変化部における電界の強さは大きくなる。ここで、ターゲット支持部６０は、突出部６３の側面部６３１と陽極本体部６２の外周面６２１ａとの間に形成された接続部６２２を有する。そして、外周面６２１ａと接続部６２２とのなす角度は、鈍角である。このように、陽極本体部６２と突出部６３との間の形状の変化を接続部６２２によって緩やかなものにすることで、陽極本体部６２から突出部６３に至る形状変化領域の周囲に形成される電界の強さが低下する。その結果、放電の発生を抑制することができる。
【００４６】
接続部６２２の効果は数値解析によって確認できた。図５の（ａ）部及び（ｂ）部は、陽極６１、９１と本体部３１との間に形成される電界の数値解析結果を示す。図５の（ａ）部は、比較例に係る陽極９１の結果である。図５の（ｂ）部は、実施形態に係る陽極６１の結果である。図５の（ａ）部及び（ｂ）部は、等電位線を示す。
【００４７】
比較例の陽極９１では、突出部９３は、陽極本体部９２に対して接続面９２ａを介して接続されている。この接続面９２ａは、管軸ＡＸに対して直交する。つまり、接続面９２ａと陽極本体部９２の外周面との間の角度は、直角である。このような角部の近傍では、等電位線の間隔が狭い（つまり、電位の変化が急峻）領域が生じる。（図５の（ａ）部、領域Ｒ１参照）。これは、単位距離当たりの電位差が大きく、電界の強度が大きいことを示しており、このような電界が生じた領域では、放電が生じやすい。
【００４８】
一方、実施形態に係る陽極６１は、傾斜した接続部６２２を有する。そうすると、陽極本体部６２の外周面６２１ａから突出部６３の主面６３１ａの間において、比較例の陽極９１と比べて等電位線の間隔が狭い領域は生じ難くなる（図５の（ｂ）部、領域Ｒ２参照）。従って、陽極本体部６２、接続部６２２及び突出部６３の近傍においては、比較例の陽極９１と比べて単位距離当たりの電位差が小さく、電界の強度が小さいことを示しており、その結果、放電の発生を抑制することができる。
【００４９】
Ｘ線管３において、側面部６３１は、電子銃１１に対面する主面６３１ａと、主面６３１ａに対して略直交する第１側面６３１ｂ及び第２側面６３１ｄと、を含む。接続部６２２は、外周面６２１ａと主面６３１ａとの間に形成された第１接続面６２２ａと、外周面６２１ａと第１側面６３１ｂとの間に形成された第２接続面６２２ｂと、外周面６２１ａと第２側面６３１ｄとの間に形成された第３接続面６２２ｄと、を含む。外周面６２１ａと第１接続面６２２ａとのなす角度Ｋ１は、鈍角である。外周面６２１ａと第２接続面６２２ｂとのなす角度及び外周面６２１ａと第３接続面６２２ｄとのなす角度も、鈍角である。この構成によれば、陽極本体部６２は、段差を有することなく緩やかな角度をもって突出部６３に接続される。従って、放電の発生を好適に抑制することができる。
【００５０】
Ｘ線管３において、外周面６２１ａと接続部６２２とのなす角度Ｋ１は、先端面６３２と傾斜面６０ａとのなす角度Ｋ３より小さくてもよい。この構成によれば、陽極本体部６２と突出部６３との間の形状の変化をより緩やかなものとし、放電の発生を好適に抑制することができる。
【００５１】
Ｘ線管３において、陽極本体部６２の中心軸線は、管軸ＡＸに重複し、ターゲットＴは、管軸ＡＸに対して交差する位置に配置される。この構成によれば、所望の条件を満たすように、ターゲットＴに対して電子線を入射することができる。
【００５２】
Ｘ線管３において、真空筐体１０は、突出部６３及び陽極本体部６２の少なくとも一部を収容する金属製の本体部３１を含み、本体部３１は、接続部６２２と対面する内周面部３１２ａを含み、内周面部３１２ａは、接続部６２２の傾きに対応するように、管軸ＡＸに対して傾く。この構成によれば、接続部６２２の近傍に発生する電界の強さがより小さくなる。従って、放電の発生を好適に抑制することができる。
【００５３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
【００５４】
例えば、陽極本体部６２及び突出部６３の角部には、面取りが設けられてもよい。面取りによって形成された面は、曲面でもよいし平面でもよい。
【００５５】
［第１変形例］
図６の（ａ）部、同（ｂ）部及び同（ｃ）部に示すように、陽極本体部６２Ａは、面取りＣ１ａ、Ｃ１ｂ（第１面取り部）を有する。面取りＣ１ａは、第１接続面６２２ａと第２接続面６２２ｂ（図６の（ｃ）部参照）とを連結する角部Ｅ１ａに設けられる。面取りＣ１ｂは、第１接続面６２２ａと第２接続面６２２ｂとを連結する角部Ｅ１ｂに設けられる。
【００５６】
突出部６３Ａは、面取りＣ２ａ、Ｃ２ｂ（第２面取り部）、Ｃ２ｃ、Ｃ２ｄを有する。面取りＣ２ａは、第２側面６３１ｄと主面６３１ａとを連結する角部Ｅ２ａに設けられる。角部Ｅ２ａは、角部Ｅ１ａと連続する。従って、面取りＣ２ａも面取りＣ１ａと連続する。面取りＣ２ｂは、主面６３１ａと第１側面６３１ｂとを連結する角部Ｅ２ｂに設けられる。角部Ｅ２ｂは、角部Ｅ１ｂと連続する。従って、面取りＣ２ｂも面取りＣ１ｂと連続する。面取りＣ２ｃは、第１側面６３１ｂと湾曲側面６３１ｃとを連結する角部Ｅ２ｃに設けられる。面取りＣ２ｄは、湾曲側面６３１ｃと第２側面６３１ｄとを連結する角部Ｅ２ｄに設けられる。
【００５７】
この構成によれば、放電が生じやすい角部Ｅ１ａ、Ｅ１ｂ、Ｅ２ａ、Ｅ２ｂ、Ｅ２ｃ、Ｅ２ｄが丸められる。その結果、放電が生じやすい箇所が少なくなる。従って、放電の発生をさらに抑制することができる。
【００５８】
さらに、Ｘ線管の組立て時には、治具が用いられる。例えば、ターゲット支持部６０の中心軸が管軸ＡＸと一致するようにＸ線管３を組み立てるとき、突出部６３Ａは、矩形穴を有する治具に挿し込まれる。ここで、治具の矩形穴は、機械加工上の理由から、角部を厳密な鋭角に加工することができない。従って、矩形穴の角部は、エンドミルといったカッターの直径に起因する丸みが生じる。このような矩形穴に対し、突出部６３Ａは、面取りＣ２ａ、Ｃ２ｂ、Ｃ２ｃ、Ｃ２ｄを有する。そうすると、突出部６３Ａの角部は、矩形穴の角部に干渉することがなく、容易に挿し込むことができる。
【００５９】
［第２変形例］
図７の（ａ）部、同（ｂ）部及び同（ｃ）部に示すように、陽極本体部６２Ｂは、陽極本体部６２Ａが有する面取りＣ１ａ、Ｃ１ｂに加えて、さらに、面取りＣ３ａ（第３面取り部）、Ｃ３ｂ（第４面取り部）、Ｃ３ｃ（不図示）を有する。面取りＣ３ａは、縁部Ｅ３ａに設けられる。円弧状の面取りＣ３ａは、一端が面取りＣ１ａに連続し、他端が面取りＣ２ａに連続する。面取りＣ３ｂは、縁部Ｅ３ｂに設けられる。円弧状の面取りＣ３ｂは、一端が面取りＣ１ｂに連続し、他端が面取りＣ２ｃに連続する。面取りＣ３ｂは、縁部Ｅ３ｃ（図２参照）に設けられる。円弧状の面取りＣ３ｃは、一端が面取りＣ１ａに連続し、他端が面取りＣ２ｄに連続する。この構成によれば、放電が生じやすい鋭角の箇所がいっそう少なくなる。従って、放電の発生をさらに好適に抑制することができる。
【００６０】
また、第１接続面６２２ａ、第２接続面６２２ｂ、第３接続面６２２ｄを加工したときに、縁部Ｅ３ａ、Ｅ３ｂ、Ｅ３ｃにはバリが残ることがある。陽極本体部６２Ｂは、縁部Ｅ３ａ、Ｅ３ｂ、Ｅ３ｃのそれぞれに対して、面取りＣ３ａ、Ｃ３ｂ、Ｃ３ｃを設ける。従って、縁部Ｅ３ａ、Ｅ３ｂ、Ｅ３ｃのバリが除去されるので、放電をし難くすることができる。
【符号の説明】
【００６１】
３…Ｘ線管、１０…真空筐体、１１…電子銃、６０…ターゲット支持部、６１…陽極、６２…陽極本体部、６２１ａ…外周面、６２２…接続部、６３…突出部、６３１…側面部、ＡＸ…管軸、Ｔ…ターゲット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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