(57)【要約】【課題】液体供給ユニットにおいてノズルから液だれしないようにする。【解決手段】第１配管５に配設されポンプ４からタンク３への液体の流れを止める第１逆止手段５０と、第２配管６に配設されノズル２からポンプ３への液体の流れを止める第２逆止手段６０と、を備え、第１逆止手段５０は、第１球体５０１を収容し立設する筒状の第１部屋５００を備え、第２逆止手段６０は、磁力で引きつけられる材質からなる第２球体６０１を収容し立設する筒状の第２部屋６００と、第２部屋６００外側に配設される第２電磁石６０２と、第２電磁石６０２に電力供給し第２部屋６００内壁に磁着させる第２電力供給部６０３と、を備え、ノズル２から液体を滴下させ、第２電磁石６０２に電力供給し第２部屋６００内壁に磁着させた第２球体６０１と第２部屋６００内壁間に流路形成し、ポンプ３室内を拡張させ第２配管６経路を負圧にしノズル２から液だれを防止させる液体供給ユニット１である。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハに上方から液体を供給するとともに液だれ防止機能を備える液体供給ユニットであって、
ウェーハに液体を滴下させるノズルと、液体を貯めるタンクと、室内を拡張および収縮させ該タンクから該ノズルに液体を送るポンプと、
該ポンプと該タンクとを接続する第１の配管と、該第１の配管に配設され該ポンプから該タンクに向かう方向の液体の流れを止める第１の逆止手段と、該ノズルと該ポンプとを接続する第２の配管と、該第２の配管に配設され該ノズルから該ポンプに向かう方向の液体の流れを止める第２の逆止手段と、を備え、
該第１の逆止手段は、第１の球体と、該第１の球体を移動自在に収容し立設する筒状の第１の部屋と、を備え、
該第２の逆止手段は、磁力で引きつけられる材質からなる第２の球体と、該第２の球体を移動自在に収容し立設する筒状の第２の部屋と、該第２の部屋外側に配設される第２の電磁石と、該第２の電磁石に電力を供給し該第２の配管経路を遮断しないように該第２の球体を該第２の部屋内壁に磁着させる第２の電力供給部と、を備え、
該ポンプの室内を拡張させ該タンクから液体を吸い出してから該ポンプの該室内を収縮させ該ノズルからウェーハに液体を滴下させ、該第２の逆止手段の該第２の電磁石に電力を供給し該第２の部屋の内壁に磁着させた該第２の球体と該第２の部屋の内壁との間に流路を形成させてから、該ポンプの該室内を拡張させ該第２の配管経路を負圧にさせて該ノズルからの液だれを防止させる、液体供給ユニット。
【請求項２】
前記第２の逆止手段は、前記第２の部屋の外側の上端部に配設される前記第２の電磁石に電力を供給して該第２の部屋の上端部の内壁に前記第２の球体を磁着させたときに、該第２の部屋内において流路を形成する流路形成部を備え、
該流路形成部により該第２の部屋内に流路を形成し、前記ポンプの該室内を拡張させ前記第２の配管経路を負圧にさせて前記ノズルからの液だれを防止させる、請求項１記載の液体供給ユニット。
【請求項３】
前記第１の逆止手段は、前記第１の部屋の外側の上端部又は下端部に配設される第１の電磁石と、該第１の電磁石に電力を供給する第１の電力供給部とを備え、前記第１の球体は磁力でひきつけられる材質からなり、前記ノズルからの液だれを防止させる際、該第１の電力供給部から該第１の電磁石に電力を供給させて前記第１の配管経路を遮断する、請求項１又は２記載の液体供給ユニット。
【請求項４】
前記第１の逆止手段は、前記ノズルからの液だれを防止させる際、前記第１の球体の自重により前記第１の配管経路を遮断する請求項１又は２記載の液体供給ユニット。
【請求項５】
前記第１の逆止手段は、前記第１の部屋内の上部に配設され前記第１の球体を該第１の部屋の下端部側に付勢させるスプリングを備え、前記ノズルからの液だれを防止させる際、該スプリングの反発力で該第１の球体を該第１の部屋の下端部に押し付けて前記第１の配管経路を遮断する請求項１又は２記載の液体供給ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの上面に液体を滴下させる液体供給ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
表面の分割予定ラインによって区画された領域にＩＣやＬＳＩ等のデバイスが形成されたウェーハは、例えば、分割予定ラインに沿ってウェーハに対して吸収性を有する波長のレーザービームが照射され、個々のデバイスチップに分割されて各種電子機器に利用される。
【０００３】
このようなレーザー加工方法においては、レーザービームの照射によりウェーハが溶解したデブリが発生する。そして、デブリを発生直後に吸引ノズルで吸い取っているが、全てのデブリは吸い取れない。そのため、レーザー加工を実施する前に、特許文献１に示すような液体供給ユニットを使ってウェーハの表面に水溶性保護膜を形成して、レーザー加工を実施した際のデブリのウェーハ表面への付着を防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１０９３０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に示すような液体供給ユニットにおいては、保持テーブルにより保持されたウェーハの上方に位置付けられたノズルからウェーハの中心に所定量の液状樹脂を滴下して供給した後、ウェーハを高速回転させ遠心力でウェーハの上面全面に液状樹脂を引き延ばして保護膜を形成している。ここで、液状樹脂をウェーハに供給後、ノズルをウェーハの中心からウェーハの外側へ移動させるときに、ノズルの供給口付近に残った液状樹脂が形成後の保護膜上に液だれすることがあり、その液だれにより保護膜の厚みが不均一になるという問題がある。
【０００６】
よって、ウェーハの上面に液体を滴下して例えば保護膜を形成する液体供給ユニットにおいては、形成された保護膜にノズルの先端から液体が液だれしないようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明は、ウェーハに上方から液体を供給するとともに液だれ防止機能を備える液体供給ユニットであって、ウェーハに液体を滴下させるノズルと、液体を貯めるタンクと、室内を拡張および収縮させ該タンクから該ノズルに液体を送るポンプと、該ポンプと該タンクとを接続する第１の配管と、該第１の配管に配設され該ポンプから該タンクに向かう方向の液体の流れを止める第１の逆止手段と、該ノズルと該ポンプとを接続する第２の配管と、該第２の配管に配設され該ノズルから該ポンプに向かう方向の液体の流れを止める第２の逆止手段と、を備え、該第１の逆止手段は、第１の球体と、該第１の球体を移動自在に収容し立設する筒状の第１の部屋と、を備え、該第２の逆止手段は、磁力で引きつけられる材質からなる第２の球体と、該第２の球体を移動自在に収容し立設する筒状の第２の部屋と、該第２の部屋外側に配設される第２の電磁石と、該第２の電磁石に電力を供給し該第２の配管経路を遮断しないように該第２の球体を該第２の部屋内壁に磁着させる第２の電力供給部と、を備え、該ポンプの室内を拡張させ該タンクから液体を吸い出してから該ポンプの該室内を収縮させ該ノズルからウェーハに液体を滴下させ、該第２の逆止手段の該第２の電磁石に電力を供給し該第２の部屋の内壁に磁着させた該第２の球体と該第２の部屋の内壁との間に流路を形成させてから、該ポンプの該室内を拡張させ該第２の配管経路を負圧にさせて該ノズルからの液だれを防止させる、液体供給ユニットである。
【０００８】
前記第２の逆止手段は、前記第２の部屋の外側の上端部に配設される前記第２の電磁石に電力を供給して該第２の部屋の上端部の内壁に前記第２の球体を磁着させたときに、該第２の部屋内において流路を形成する流路形成部を備え、該流路形成部により該第２の部屋内に流路を形成し、前記ポンプの該室内を拡張させ前記第２の配管経路を負圧にさせて前記ノズルからの液だれを防止させるものとすると好ましい。
【０００９】
前記第１の逆止手段は、前記第１の部屋の上端部又は下端部の外側に配設される第１の電磁石と、該第１の電磁石に電力を供給する第１の電力供給部とを備え、前記第１の球体は磁力で引きつけられる材質からなり、前記ノズルからの液だれを防止させる際、該第１の電力供給部から該第１の電磁石に電力を供給させて前記第１の配管経路を遮断するものとすると好ましい。
【００１０】
前記第１の逆止手段は、前記ノズルからの液だれを防止させる際、前記第１の球体の自重により前記第１の配管経路を遮断するものとしてもよい。
【００１１】
前記第１の逆止手段は、前記第１の部屋内の上部に配設され前記第１の球体を該第１の部屋の下端部側に付勢させるスプリングを備え、前記ノズルからの液だれを防止させる際、該スプリングの反発力で該第１の球体を該第１の部屋の下端部に押し付けて前記第１の配管経路を遮断するものとしてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る液体供給ユニットは、ポンプとタンクとを接続する第１の配管と、第１の配管に配設されポンプからタンクに向かう方向の液体の流れを止める第１の逆止手段と、ノズルとポンプとを接続する第２の配管と、第２の配管に配設されノズルからポンプに向かう方向の液体の流れを止める第２の逆止手段と、を備え、第１の逆止手段は、第１の球体と、第１の球体を移動自在に収容し立設する筒状の第１の部屋と、を備え、第２の逆止手段は、磁力で引きつけられる材質からなる第２の球体と、第２の球体を移動自在に収容し立設する筒状の第２の部屋と、第２の部屋外側に配設される第２の電磁石と、第２の電磁石に電力を供給し第２の配管経路を遮断しないように第２の球体を第２の部屋内壁に磁着させる第２の電力供給部と、を備えているため、ポンプの室内を拡張させタンクから液体を吸い出してからポンプの室内を収縮させノズルからウェーハに液体を滴下させ、第２の逆止手段の第２の電磁石に電力を供給し第２の部屋の内壁に磁着させた第２の球体と第２の部屋の内壁との間に流路を形成させてから、ポンプの室内を拡張させ第２の配管経路を負圧にさせてノズルからの液だれを防止させることが可能となる。
【００１３】
第２の逆止手段は、第２の部屋の外側の上端部に配設される第２の電磁石に電力を供給して第２の部屋の上端部の内壁に第２の球体を磁着させたときに、第２の部屋内において流路を形成する流路形成部を備えるものとすることで、第２の電力供給部から第２の電磁石に電力を供給させ第２の部屋に第２の球体を磁着させた際に、サックバックする分量の液体を流路形成部により形成された流路を通してポンプ側に確実に流せるようになるため、ポンプの室内を拡張させ第２の配管経路をより確実に負圧にさせてノズルからの液だれを防止させることが可能となる。
【００１４】
第１の逆止手段は、第１の部屋の上端部又は下端部の外側に配設される第１の電磁石と、第１の電磁石に電力を供給する第１の電力供給部とを備え、第１の球体は磁力で引きつけられる材質からなるため、ノズルからの液だれを防止させる際、第１の電力供給部から第１の電磁石に電力を供給させて第１の配管経路を遮断することで、第１の配管経路側の液体の流動を確実に止めてノズルからの液だれをより確実に防止させることが可能となる。
【００１５】
第１の逆止手段は、ノズルからの液だれを防止させる際、第１の球体の自重により第１の配管経路を遮断することで、第１の配管経路側の液体の流動を確実に止めてノズルからの液だれをより確実に防止させることが可能となる。
【００１６】
第１の逆止手段は、第１の部屋内の上部に配設され第１の球体を第１の部屋の下端部側に付勢させるスプリングを備え、ノズルからの液だれを防止させる際、スプリングの反発力で第１の球体を第１の部屋の下端部に押し付けて第１の配管経路を遮断するものとすることで、第１の配管経路側の液体の流動を確実に止めてノズルからの液だれをより確実に防止させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】液体供給ユニットの構造の一例を示す斜視図である。
【図２】液体供給ユニットの構造の一例を示す断面図である。
【図３】ポンプによりノズルに液体を供給して、ウェーハの上面に液体を滴下させて保護膜を形成している状態を示す断面図である。
【図４】第２の逆止手段の第２の電磁石に電力を供給し第２の部屋の内壁に磁着させた第２の球体と第２の部屋の内壁との間に流路を形成させてから、ポンプ室内を拡張させ第２の配管経路を負圧にさせてノズルからの液だれを防止させている状態を示す断面図である。
【図５】図５（Ａ）は、第２の部屋の側壁外側に第２の電磁石が配設された第２の逆止手段を示す断面図である。図５（Ｂ）は、第２の部屋の上壁外側に第２の電磁石が配設された第２の逆止手段を示す断面図である。
【図６】第１の部屋の上端部の外側に第１の電磁石が配設された第１の逆止手段を示す断面図である。
【図７】ノズルからの液だれを防止させる際に第１の球体の自重により第１の配管経路を遮断する第１の逆止手段を示す断面図である。
【図８】ノズルからの液だれを防止させる際にスプリングの反発力で第１の球体を第１の部屋の下端部に押し付けて第１の配管経路を遮断する第１の逆止手段を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１に示す本発明に係る液体供給ユニット１は、例えば、液体供給ユニット１の各構成を収容するハウジング１０と、ウェーハＷを吸引保持する保持テーブル１１と、ウェーハＷに上方から液体を滴下させるノズル２と、液体を溜めるタンク３と、タンク３からノズル２に室内４０を拡張および収縮させて液体を送るポンプ４と、ポンプ４とタンク３とを接続する第１の配管５と、第１の配管５に配設されポンプ４からタンク３に向かう方向の液体の流れを止める第１の逆止手段５０と、ノズル２とポンプ４とを接続する第２の配管６と、第２の配管６に配設されノズル２からポンプ４に向かう方向の液体の流れを止める第２の逆止手段６０と、を備えている。液体供給ユニット１は、これ単独で用いることができ、また、レーザー加工装置等に組み込んで使用することもできる。
【００１９】
図１に示すウェーハＷは、例えば、シリコン等を母材とする円形の半導体ウェーハであり、ウェーハＷの上面Ｗａには複数の分割予定ラインＳがそれぞれ直交差するように設定されており、分割予定ラインＳによって区画された格子状の領域には、デバイスＤがそれぞれ形成されている。ウェーハＷの下面Ｗｂには、ウェーハＷより大径の保護テープＴが貼着されている。保護テープＴの粘着面の外周部は円形の開口を備える環状フレームＦに貼着されており、ウェーハＷは保護テープＴを介して環状フレームＦにより支持されている。
【００２０】
ハウジング１０は、上部に円形の開口を備えたテーブル収容部１００を備えており、テーブル収容部１００内に保持テーブル１１が配設されている。なお、図１において、ハウジング１０の側壁の一部を切欠いて内部が把握できるように示している。
【００２１】
図１に示す保持テーブル１１は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなりウェーハＷを吸着する吸着部１１０と、吸着部１１０を支持する枠体１１１とを備える。吸着部１１０は図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部１１０の露出面であり枠体１１１と面一に形成された水平な保持面１１０ａに伝達されることで、保持テーブル１１は保持面１１０ａ上でウェーハＷを吸引保持する。
【００２２】
保持テーブル１１の下側には、保持テーブル１１をＺ軸方向の軸心周りに回転させる回転手段１１３が配設されている。また、保持テーブル１１の外周部には、環状フレームＦを固定する４つの固定クランプ１１２が周方向に均等に配設されている。
【００２３】
ノズル２は、例えば、テーブル収容部１００の底部から立設しており、外形が側面視略Ｌ字状となっている。ノズル２の先端部分に形成された供給口２０は、保持テーブル１１の保持面１１０ａに向かって開口している。ノズル２の根元側には第２の配管６の他端６ｂが接続されている。第２の配管６の一端６ａはポンプ４の室内４０に連通している。ノズル２は、Ｚ軸方向の軸心周りに旋回可能となっており、保持テーブル１１の上方から退避位置まで供給口２０を移動することができる。
【００２４】
タンク３は、例えば、ハウジング１０内部の下方に設置されており、例えばその側面には液体を供給する供給口３０が形成されている。そして、供給口３０には、第１の配管５の一端５ａが接続されている。タンク３に溜められた液体は、例えば、水溶性樹脂（ポリビニルピロリドンやポリビニルアルコール）からなる保護膜形成剤であり、一例としては、株式会社ディスコ製のＨｏｇｏＭａｘである。
【００２５】
第１の配管５の他端５ｂには、ポンプ４が接続されている。図１、２に示す例においては、ポンプ４は、シリンダーポンプであり、内部にピストン４１を備える円筒状のシリンダ４２と、シリンダ４２に挿入され一端がピストン４１に取り付けられたピストンロッド４３（図２参照）とを備える。ピストンロッド４３は、図示しない移動手段又は作業者から力が加えられることでＹ軸方向に移動可能となっている。ピストン４１が＋Ｙ方向に移動し室内４０が拡張されることで、タンク３から第１の配管５を介して液体を吸引でき、ピストン４１が−Ｙ方向に移動し室内４０が収縮されることで、ポンプ４から第２の配管６を介して液体をノズル２へと供給できる。
ポンプ４は、例えば筒状に蛇腹が形成された蛇腹ポンプであってもよい。この場合には、蛇腹を収縮した後拡張させることで、タンク３から第１の配管５へと液体を吸引するための吸引力を生み出すことができる。
【００２６】
図２に示すように、ＳＵＳ、樹脂等からなる第１の配管５に配設された第１の逆止手段５０は、例えば、磁力で引きつけられる材質（例えば、鉄、コバルト、ニッケル等の金属又はフェライト等のセラミックス）からなる第１の球体５０１と、第１の球体５０１を移動自在に収容し立設する筒状の第１の部屋５００と、を備えている。
第１の部屋５００は、第１の配管５の内径よりも大きな内径を備えており、タンク３側方向へ向かうにつれ内径が第１の球体５０１の直径以下に縮径し第１の球体５０１が閉弁時に着座する逆錐状の着座面５００ｃを備えている。例えば、ポンプ４によりタンク３から第１の配管５を介して液体が吸引されると、第１の球体５０１が開弁する（第１の部屋５００内に浮遊する）。ポンプ４の室内４０から液体が押し出されると、第１の球体５０１が閉弁する（着座面５００ｃに着座する）。本実施形態において、第１の球体５０１は、表面に液体による腐食を防止するためのコーティングが施された鉄球である。
【００２７】
第１の逆止手段５０は、例えば、第１の部屋５００の下端部の外側に配設される第１の電磁石５０２と、第１の電磁石５０２に電力を供給する第１の電力供給部５０３とを備えている。第１の電磁石５０２は、例えば、軟鉄心にコイルを巻きつけて構成され、第１の部屋５００の下端部を外側から囲繞するように取り付けられている。ノズル２からの液だれを防止させる際、第１の電力供給部５０３から第１の電磁石５０２に電力を供給させて第１の電磁石５０２に磁力を発生させる。そして、磁力で引きつけられる材質からなる第１の球体５０１を第１の部屋５００の着座面５００ｃに磁着させて第１の部屋５００の下端部側を閉じた状態にして第１の配管５経路を遮断させる。
【００２８】
図２に示すように、第２の逆止手段６０は、磁力で引きつけられる材質（例えば、鉄、コバルト、ニッケル等の金属又はフェライト等のセラミックス）からなる第２の球体６０１と、第２の球体６０１を移動自在に収容し立設する筒状の第２の部屋６００と、第２の部屋６００の外側に配設される第２の電磁石６０２と、第２の電磁石６０２に電力を供給し第２の配管６経路を遮断しないように第２の球体６０１を第２の部屋６００内壁に磁着させる第２の電力供給部６０３と、を備えている。図２に示す例においては、第２の電磁石６０２は、例えば、軟鉄心にコイルを巻きつけて構成され、第２の部屋６００の上端部を外側から囲繞するように取り付けられている。本実施形態において、第２の球体６０１は、表面に液体による腐食を防止するためのコーティングが施された鉄球である。
【００２９】
第２の部屋６００は、第２の配管６の内径よりも大きな内径を備えており、ポンプ４側方向へ向かうにつれ内径が第２の球体６０１の直径以下に縮径し第２の球体６０１が閉弁時に着座する逆錐状の着座面６００ｃを備えている。ポンプ４によりタンク３から第１の配管５を介して液体が吸引されると、第２の球体６０１が閉弁し（着座面６００ｃに着座する）、ポンプ４の室内４０から液体がノズル２に向かって送り出されると、第２の球体６０１が開弁する（第２の部屋６００内に浮遊する）。
【００３０】
以下に、液体供給ユニット１を用いて、ウェーハＷの上面Ｗａに保護膜を形成する場合について説明する。
まず、図２に示すように、ウェーハＷが保持テーブル１１上に搬送され、上面Ｗａが上側になるように保持面１１０ａ上に載置される。そして、図示しない吸引源により生み出される吸引力が保持面１１０ａに伝達されることにより、保持テーブル１１が保持面１１０ａ上でウェーハＷを吸引保持する。また、固定クランプ１１２によって、環状フレームＦが挟持固定される。
【００３１】
ノズル２が旋回し、供給口２０がウェーハＷの上面Ｗａの中央上方に位置付けられる。ピストン４１が＋Ｙ方向に移動し室内４０が拡張されることで、タンク３から第１の配管５を介して液体が吸引されていき、第１の球体５０１が第１の部屋５００に流れ込んだ液体によって第１の部屋５００内に浮遊することで第１の逆止手段５０は開かれ、ポンプ４の室内４０に液体が流入していく。一方、第２の逆止手段６０は、第２の球体６０１が自重により第２の部屋６００の着座面６００ｃに着座しているため、室内４０が拡張されポンプ４がタンク３から液体を吸引しているときポンプ４と第２の逆止手段６０との間の第２の配管６には負圧が生じているので第２の配管６が閉じられた状態で維持される。
例えば、ピストン４１がシリンダ４２の＋Ｙ方向側の端まで移動して停止すると室内４０に液体が十分に溜められた状態になる。また、第１の配管５経路内のポンプ４側に向かう液体の流れが無くなるため、第１の逆止手段５０の第１の球体５０１は自重により下降して着座面５００ｃに着座するので、第１の逆止手段５０は閉じた状態となる。
【００３２】
図３に示すように、ピストン４１が−Ｙ方向に移動し室内４０が収縮されることで、ポンプ４から第２の部屋６００内に液体が流れ込み、第２の球体６０１が第２の部屋６００内に浮遊することで第２の逆止手段６０が開かれ、ノズル２に液体が流入していく。一方で、第１の配管５経路内の液体の流れは、第１の球体５０１が自重により着座面５００ｃに着座している状態で第１の部屋５００内の内圧が上がることで閉じた状態が維持されている第１の逆止手段５０によって止められる。そして、保持テーブル１１上で吸引保持されたウェーハＷの上面Ｗａの略中心部にノズル２の供給口２０から液体が滴下されつつ、保持テーブル１１が所定の回転速度で回転する。
【００３３】
滴下された液体が遠心力によりウェーハＷの上面Ｗａの中心側から外周側に向けて広がっていき、上面Ｗａの略全面に液体が塗布された状態になる。即ち、図３に示すように、ほぼ一様な所定の厚さの保護膜ＪがウェーハＷの上面Ｗａに形成される。
【００３４】
例えば、ピストン４１がシリンダ４２の−Ｙ方向側の端まで移動して停止すると、ポンプ４の室内４０から液体がほとんど排出された状態になり、ポンプ４からノズル２への液体の供給が停止される。その結果、第２の配管６経路内のノズル２側に向かう液体の流れが無くなるため、第２の逆止手段６０の第２の球体６０１は自重により第２の部屋６００内を下降するが、例えば、ピストン４１がシリンダ４２の−Ｙ方向に動作開始から−Ｙ方向の端に到達する少し前までに、第２の電力供給部６０３から第２の電磁石６０２に電力を供給させることで第２の電磁石６０２から磁力を発生させて、第２の球体６０１を第２の部屋６００の上端部側の内壁に引きつけて磁着させる。
【００３５】
ここで、図４に示すように、例えば、本実施形態における第２の逆止手段６０の第２の部屋６００内部の上端部側は、第２の球体６０１の直径以下に縮径した錐状のテーパー面を備えており、該テーパー面には流路形成部６０４が配設されている。ブロック状の流路形成部６０４は、例えば、錐状のテーパー面に周方向に所定の隙間を空けて複数配設されている。先に説明したように第２の電磁石６０２により第２の部屋６００の上端部の内壁に第２の球体６０１を磁着させたときに、第２の部屋６００の上端部の内壁と第２の球体６０１との間に各流路形成部６０４が挟まれた状態になり、各流路形成部６０４間の隙間が第２の部屋６００から液体を流動させる流路となる。なお、ピストン４１がシリンダ４２の−Ｙ方向に動作開始から−Ｙ方向の端に到達する少し前まで、即ち、ノズル２に液体を供給している段階において、第２の球体６０１は第２の部屋６００内を浮遊して部屋内の上部側に位置しているため、第２の電磁石６０２の磁力によって第２の部屋６００の上端部側の内壁に第２の球体６０１を引きつけやすくなっており、該内壁に第２の球体６０１は直ぐに磁着し、また、流路形成部６０４によって流路が形成される。
【００３６】
第２の逆止手段６０の構成は図２〜４に示す実施形態に限定されるものではない。例えば、図５（Ａ）又は図５（Ｂ）に示すように、第２の逆止手段６０は流路形成部６０４を備えない構成であってもよい。図５（Ａ）に示す第２の逆止手段６０において、第２の電磁石６０２は、第２の部屋６００の中間部を外側から囲繞するように取り付けられている。
図５（Ｂ）に示す第２の逆止手段６０において、第２の部屋６００内の上端部は平坦面となっており、第２の電磁石６０２は、第２の部屋６００の上端部の外側に配設されている。
例えば、図３に示すピストン４１がシリンダ４２の−Ｙ方向側の端に到達する少し前の段階、即ち、ノズル２に液体を供給している段階で、第２の電力供給部６０３から第２の電磁石６０２に電力を供給させることで、図５（Ａ）に示す第２の逆止手段６０の第２の電磁石６０２の磁力によって第２の部屋６００の中間部の内壁に第２の球体６０１が磁着し、かつ、第２の部屋６００の上端部側に流路が形成される。又は、図５（Ｂ）に示す第２の逆止手段６０の第２の電磁石６０２の磁力によって第２の部屋６００の上端部の平坦面に第２の球体６０１が磁着し、かつ、第２の部屋６００の上端部側に流路が形成される。
【００３７】
図４に示すように、第２の球体６０１と第２の部屋６００の内壁との間に流路を形成させてから、図示しない移動手段又は作業者によってピストンロッド４３が＋Ｙ方向側に少しだけ移動されて室内４０が拡張されることで、第２の配管６経路内が負圧になる、即ち、ノズル２の供給口２０から第２の配管６経路内を大気圧が押して第２の配管６経路内にポンプ４側に向かう力が発生する。その結果、ノズル２の供給口２０内付近に残留している液体がノズル２の供給口２０内付近からをポンプ４側方向に引き込まれて後退する（サックバックされる）ため、ノズル２からの液だれを防止させることができる。なお、サックバックできる液体の体積は、室内４０を拡張する体積で調整できる。
【００３８】
上記のようにノズル２からの液だれを防止させる際に、室内４０が拡張されることで第１の配管５経路側からも液体が吸引される可能性があるが、これを防ぐために、図４に示す第１の電力供給部５０３から第１の電磁石５０２に電力を供給させて第１の電磁石５０２に磁力を発生させる。そして、磁力で引きつけられる材質からなる第１の球体５０１を第１の部屋５００の下端部側の逆錐状の着座面５００ｃに磁着させて第１の部屋５００の下端部側を閉じた状態にして第１の配管５経路を遮断させる。その結果、第１の配管５経路側のタンク３からポンプ４ヘ向かう液体の流動をより確実に停止させることができ、ノズル２からの液だれをより確実に防止させることが可能となる。
【００３９】
第１の逆止手段５０の構成は図１〜４に示す実施形態に限定されるものではない。例えば、図６に示すように、第１の電磁石５０２が第１の部屋５００の外側の上端部に配設されていてもよいし、第１の電磁石５０２が第１の部屋５００の外側の上端部及び下端部の両方に配設されていてもよい。図６において、第１の電磁石５０２は、第１の部屋５００の上端部を外側から囲繞するように取り付けられている。図４に示すノズル２からの液だれを防止させる際、第１の電力供給部５０３から第１の電磁石５０２に電力を供給させて第１の電磁石５０２に磁力を発生させる。そして、磁力で引きつけられる材質からなる第１の球体５０１を第１の部屋５００の上端部側の錐状のテーパー面に確実に磁着させて、第１の部屋５００の上端部側を閉じた状態にして第１の配管５経路を遮断させる。
【００４０】
図７は第１の逆止手段５０の別形態であり、第１の球体５０１は、例えばタンク３に蓄えられる液体よりも比重の大きな材質、および液体より比重が大きく磁力で引きつけられる材質（金属又はセラミックス等）からなる。そして、第１の逆止手段５０は、図４に示すノズル２からの液だれを防止させる際に、第１の球体５０１が自重により第１の部屋５００内を下降し着座面５００ｃに着座することで、第１の部屋５００の下端部側を閉じた状態にして第１の配管５経路を遮断させる。
【００４１】
図８は第１の逆止手段５０の別形態であり、第１の逆止手段５０は、第１の部屋５００内の上部に配設され第１の球体５０１を第１の部屋５００の下端部側に付勢させるスプリング５０７を備えている。スプリング５０７は、縮むことで下端側に固定された第１の球体５０１を下側に押し戻そうとする付勢力を蓄える圧縮コイルバネである。そして、第１の逆止手段５０は、図２に示すピストン４１が＋Ｙ方向に移動し室内４０が拡張されることで、タンク３から第１の配管５を介して液体が吸引されていき第１の部屋５００内に流れ込み、第１の部屋５００内をポンプ４側に向かって流れる液体によって第１の球体５０１がスプリング５０７の反発力に反して第１の部屋５００内の上部側に移動することで、第１の逆止手段５０が開かれてポンプ４の室内４０に液体が流入していく。図４に示すノズル２からの液だれを防止させる際においては、スプリング５０７の反発力で第１の球体５０１を第１の部屋５００の下端部の着座面５００ｃに押し付けることで、第１の部屋５００の下端部側を閉じた状態にして第１の配管５経路を遮断させる。
【００４２】
図４に示すように、ノズル２からの液体の供給を停止した後、さらに、保持テーブル１１の回転を継続して保護膜Ｊを回転乾燥させる。なお、一度の液体の供給でウェーハＷの上面Ｗａに所望厚みの保護膜Ｊを形成するのではなく、少量の液体の塗布と乾燥とを複数回繰り返して所望の厚みの保護膜ＪをウェーハＷの上面Ｗａに形成するものとしてもよい。
その後、保持テーブル１１からウェーハＷを搬出するために、保持テーブル１１の上方から退避位置まで供給口２０を移動するべくノズル２が旋回する。ここで、ノズル２の供給口２０内付近からは液体が上記のようにサックバックされているため、旋回に伴いノズル２に加わる振動等によってノズル２から不要な液体がウェーハＷの上面Ｗａの保護膜Ｊ上に液だれしてしまうといった事態が生じるのを防ぐことができる。
【００４３】
以上、本発明に係る液体供給ユニット１は、ポンプ４とタンク３とを接続する第１の配管５と、第１の配管５に配設されポンプ４からタンク３に向かう方向の液体の流れを止める第１の逆止手段５０と、ノズル２とポンプ４とを接続する第２の配管６と、第２の配管６に配設されノズル２からポンプ４に向かう方向の液体の流れを止める第２の逆止手段６０と、を備え、第１の逆止手段５０は、第１の球体５０１と、第１の球体５０１を移動自在に収容し立設する筒状の第１の部屋５００と、を備え、第２の逆止手段６０は、磁力で引きつけられる材質からなる第２の球体６０１と、第２の球体６０１を移動自在に収容し立設する筒状の第２の部屋６００と、第２の部屋６００外側に配設される第２の電磁石６０２と、第２の電磁石６０２に電力を供給し第２の配管６経路を遮断しないように第２の球体６０１を第２の部屋６００内壁に磁着させる第２の電力供給部６０３と、を備えているため、ポンプ４の室内を拡張させタンク３から液体を吸い出してからポンプ４の室内を収縮させノズル２からウェーハＷに液体を滴下させ、第２の逆止手段６０の第２の電磁石６０２に電力を供給し第２の部屋６００の内壁に磁着させた第２の球体６０１と第２の部屋６００の内壁との間に流路を形成させてから、ポンプ４の室内４０を拡張させ第２の配管６経路を負圧にさせてノズル２からの液だれを防止させることが可能となる。
【００４４】
第２の逆止手段６０は、第２の部屋６００の外側の上端部に配設される第２の電磁石６０２に電力を供給して第２の部屋６００の上端部の内壁に第２の球体６０１を磁着させたときに、第２の部屋６００内において流路を形成する流路形成部６０４を備えるものとすることで、ノズル２に液体を供給するときに第２の電力供給部６０３から第２の電磁石６０２に電力を供給させ第２の部屋６００に第２の球体６０１を磁着させた際に、サックバックする分量の液体を流路形成部６０４により形成された流路を通してポンプ４側に確実に流せるようになるため、ポンプ４の室内４０を拡張させ第２の配管６経路をより確実に負圧にさせてノズル２からの液だれを防止させることが可能となる。
【００４５】
なお、本発明に係る液体供給ユニット１は上記に説明した形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている各構成の大きさや形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１：液体供給ユニット  １０：ハウジング  １００：テーブル収容部
１１：保持テーブル  １１０：吸着部  １１０ａ：保持面  １１１：枠体  １１２：固定クランプ  １１３：回転手段  
２：ノズル  ２０：供給口  ３：タンク  ３０：供給口
４：ポンプ  ４０：室内  ４１：ピストン  ４２：シリンダ  ４３：ピストンロッド  
５：第１の配管  ５０：第１の逆止手段  ５００：第１の部屋  ５００ｃ：着座面  ５０１：第１の球体  ５０２：第１の電磁石  ５０３：第１の電力供給部  ５０７：スプリング
６：第２の配管  ６０：第２の逆止手段  ６００：第２の部屋  ６０１：第２の球体
６０２：第２の電磁石  ６０３：第２の電力供給部  ６０４：流路形成部  
Ｗ：ウェーハ  Ｆ：環状フレーム  Ｔ：保護テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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