(57)【要約】【課題】  無機質からなる誘電体膜を有する多層膜が巻回されたロール素子を有する、低背化が可能なロールコンデンサを提供する。【解決手段】  多層膜３が巻回されたロール素子２を有し、多層膜３が、少なくとも、第１誘電体膜４と、第１電極膜５と、第２誘電体膜６と、第２電極膜７と、を有し、第１誘電体膜４および第２誘電体膜６が、それぞれ、無機質からなり、ロール素子２の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、ロール素子２の重心からロール素子２の外周までの長さが一定でないようにする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多層膜が巻回されたロール素子を有する、ロールコンデンサであって、
前記多層膜が、少なくとも、第１誘電体膜と、第１電極膜と、第２誘電体膜と、第２電極膜と、を有し、
前記第１誘電体膜および前記第２誘電体膜が、それぞれ、無機質からなり、
前記ロール素子の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、前記ロール素子の重心から前記ロール素子の外周までの長さが一定でない、ロールコンデンサ。
【請求項２】
前記第１誘電体膜および前記第２誘電体膜が、それぞれ、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＨｆＯ２から選ばれた１種である、請求項１に記載されたロールコンデンサ。
【請求項３】
前記第１誘電体膜の厚み、および、前記第２誘電体膜の厚みが、それぞれ、０．１μｍ以下である、請求項１または２に記載されたロールコンデンサ。
【請求項４】
前記ロール素子の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、
前記ロール素子の重心から前記ロール素子の外周までの最長の長さをＡとし、
前記ロール素子の重心から前記ロール素子の外周までの最短の長さをＢとしたとき、
長さＡ÷長さＢが、１．５以上、５．０以下である、請求項１ないし３のいずれか１項に記載されたロールコンデンサ。
【請求項５】
前記ロール素子の重心からみた前記長さＡが存在する方向と、
前記ロール素子の重心からみた前記長さＢが存在する方向とが垂直である、請求項４に記載されたロールコンデンサ。
【請求項６】
前記ロール素子の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、
前記ロール素子が楕円形状である、請求項１ないし５のいずれか１項に記載されたロールコンデンサ。
【請求項７】
前記ロール素子の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、
前記ロール素子の外周の表裏相対向する２つの部分が相互に近接している、請求項１ないし５のいずれか１項に記載されたロールコンデンサ。
【請求項８】
前記ロール素子が封止樹脂に封止された、請求項１ないし７のいずれか１項に記載されたロールコンデンサ。
【請求項９】
前記封止樹脂が、下から順に、第１樹脂層、第２樹脂層、第３樹脂層からなり、
前記第１樹脂層と前記第３樹脂層とが同一の樹脂からなり、
前記ロール素子が前記第２樹脂層に封止された、請求項８に記載されたロールコンデンサ。
【請求項１０】
未硬化の状態における前記第２樹脂層を構成する樹脂の流動性が、
未硬化の状態における前記第１樹脂層および前記第３樹脂層を構成する樹脂の流動性よりも高い、請求項９に記載されたロールコンデンサ。
【請求項１１】
前記ロール素子の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、前記ロール素子が空芯部を有し、
前記空芯部に前記封止樹脂が充填された、請求項８ないし１０のいずれか１項に記載されたロールコンデンサ。
【請求項１２】
前記ロール素子の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、前記ロール素子が空芯部を有し、
前記空芯部に前記封止樹脂が充填されていない、請求項８ないし１０のいずれか１項に記載されたロールコンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロールコンデンサに関し、さらに詳しくは、低背化が可能なロールコンデンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
小型で高容量のコンデンサとして、無機質からなる極めて薄い誘電体膜と、その誘電体膜上に形成された電極膜とを有する多層膜を、ロール状に巻回してロール素子を形成したロールコンデンサが研究、開発されている。
【０００３】
そのようなロールコンデンサが、特許文献１（ＷＯ２０１６／０３１０７７Ａ１公報）に開示されている。図１５に、特許文献１に開示されたロールコンデンサ（キャパシタ）１０００を示す。
【０００４】
ロールコンデンサ１０００は、次の方法によって作製されたものである。
【０００５】
まず、基板１０１を用意し、基板１０１上に、エッチングによって取り除くことが可能な材質によって犠牲層１０２を形成する。次に、犠牲層１０２上に、順に、第１誘電体膜（拡散防止層）１０３、第１電極膜（下部電極層）１０４、第２誘電体膜（誘電体層）１０５、第２電極膜（上部電極層）１０６を形成して、多層膜（ラミネート；laminate）１０７を作製する。
【０００６】
次に、エッチングによって、犠牲層１０２を一方側（図１５における右側）から取り除く。この結果、多層膜１０７の内部ストレス（internal stress）により、多層膜１０７が自ら巻回して、ロール素子（メインボディ；main body）１０８が形成される。
【０００７】
最後に、第１電極膜１０４に第１端子１０９、第２電極膜１０６に第２端子１１０を接続して、ロールコンデンサ１０００は完成する。
【０００８】
完成したロールコンデンサ１０００のロール素子１０８には、空芯部１１１が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】ＷＯ２０１６／０３１０７７Ａ１公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述したロールコンデンサ１０００は、ロール素子１０８に大きな空芯部１１１が形成されているため、高さ寸法が大きいという問題があった。また、ロールコンデンサ１０００は、ロール素子１０８に大きな空芯部１１１が形成されているため、単位体積あたりの容量密度が小さいという問題があった。
【００１１】
本発明は、上述した従来の問題を解決するためになされたものであり、無機質からなる誘電体膜を使用したロールコンデンサにおいて、低背化を可能にすることや、単位体積当たりの容量密度を大きくすることを目的とする。
【００１２】
なお、樹脂などの有機質からなる誘電体フィルムを使用したフィルムコンデンサ（ロールコンデンサ）が実用化されているが、有機質からなる誘電体フィルムは高い強度を備えており、割れたり破れたりしにくい。これに対し、本発明のロールコンデンサは、割れたり破れたりしやすい無機質からなる誘電体膜を使用しているため、フィルムコデンサとは全く異なった設計が必要になる。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、その手段として本発明のロールコンデンサは、多層膜が巻回されたロール素子を有する、ロールコンデンサであって、多層膜が、少なくとも、第１誘電体膜と、第１電極膜と、第２誘電体膜と、第２電極膜と、を有し、第１誘電体膜および第２誘電体膜が、それぞれ、無機質からなり、ロール素子の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、ロール素子の重心からロール素子の外周までの長さが一定でないようにする。
【００１４】
第１誘電体膜および第２誘電体膜は、それぞれ、たとえば、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＨｆＯ２から選ばれた１種とすることができる。これらの材質は高い絶縁抵抗を有するため、第１誘電体膜の厚みや第２誘電体膜の厚みを小さくすることが可能になり、ロールコンデンサの小型化や、ロールコンデンサの単位体積あたりの容量密度を大きくすることが可能になる。
【００１５】
第１誘電体膜の厚み、および、第２誘電体膜の厚みは、それぞれ、０．１μｍ以下であることが好ましい。この場合には、ロールコンデンサの小型化や、ロールコンデンサの単位体積あたりの容量密度を大きくすることが可能になる。なお、上述した従来のフィルムコンデンサ（ロールコンデンサ）の有機質からなる誘電体フィルムの厚みは、通常、１μｍよりも大きい。
【００１６】
ロール素子の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、ロール素子の重心からロール素子の外周までの最長の長さをＡとし、ロール素子の重心から前記ロール素子の外周までの最短の長さをＢとしたとき、長さＡ÷長さＢが、１．５以上、５．０以下であることが好ましい。長さＡ÷長さＢが、１．５未満であると、ロールコンデンサの低背化や、ロールコンデンサの単位体積あたりの容量密度を向上させる効果が小さいからである。また、長さＡ÷長さＢが、５を超えると、無機質からなる第１誘電体膜および第２誘電体膜が、割れたり破れたりする虞があるからである。
【００１７】
ロール素子の重心からみた長さＡが存在する方向と、ロール素子の重心からみた長さＢが存在する方向とが垂直であることも好ましい。この場合には、長さＢが存在する方向を、上下方向とすることにより、ロールコンデンサの低背化をはかることができる。
【００１８】
ロール素子の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、ロール素子が楕円形状であることも好ましい。この場合には、ロールコンデンサの低背化をはかることができる。なお、楕円形状は、数学的な楕円には限定されず、楕円に類似する形状を含む。
【００１９】
ロール素子の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、ロール素子の外周の表裏相対向する２つの部分が相互に近接していることも好ましい。この場合には、それらの２つの部分を上下に配置することにより、ロールコンデンサの低背化をはかることができる。なお、２つの部分が相互に近接するとは、他の部分に比較して、両者が相互に近づいていることをいう。
【００２０】
ロール素子が封止樹脂に封止されることも好ましい。この場合には、封止樹脂によって、ロール素子を外力や湿度から保護することができる。
【００２１】
封止樹脂が、下から順に、第１樹脂層、第２樹脂層、第３樹脂層からなり、第１樹脂層と第３樹脂層とが同一の樹脂からなり、ロール素子が第２樹脂層に封止されることも好ましい。この場合において、未硬化の状態における第２樹脂層を構成する樹脂の流動性が、未硬化の状態における第１樹脂層および第３樹脂層を構成する樹脂の流動性よりも高いことがさらに好ましい。この場合には、無機質からなる第１誘電体膜や第２誘電体膜が割れたり破れたりすることなく、ロールコンデンサの低背化をはかり、ロールコンデンサの単位体積あたりの容量密度を大きくすることが可能になる。
【００２２】
ロール素子の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、ロール素子が空芯部を有し、空芯部に封止樹脂が充填されることも好ましい。この場合には、ロールコンデンサの強度を向上させることができる。
【００２３】
あるいは、ロール素子の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、ロール素子が空芯部を有し、空芯部に封止樹脂が充填されていないことも好ましい。この場合には、ロールコンデンサの製造が容易になるとともに、ロールコンデンサの軽量化をはかることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明のロールコンデンサは、低背化が可能である。また、本発明のロールコンデンサは、単位体積あたりの容量密度を大きくすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１（Ａ）は、第１実施形態にかかるロールコンデンサ１００を示す斜視図である。図１（Ｂ）は、ロールコンデンサ１００の透視斜視図である。
【図２】ロールコンデンサ１００の断面図である。
【図３】ロールコンデンサ１００の要部断面図である。
【図４】ロールコンデンサ１００の要部分解斜視図である。
【図５】図５（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ、ロールコンデンサ１００の製造方法の一例において実施される工程を示す工程説明図である。
【図６】図６（Ｄ）〜（Ｆ）は、図５（Ｃ）の続きであり、それぞれ、ロールコンデンサ１００の製造方法の一例において実施される工程を示す工程説明図である。
【図７】図７（Ｇ）、（Ｈ）は、図６（Ｆ）の続きであり、それぞれ、ロールコンデンサ１００の製造方法の一例において実施される工程を示す工程説明図である。
【図８】図８（Ｉ）〜（Ｌ）は、図７（Ｈ）の続きであり、それぞれ、ロールコンデンサ１００の製造方法の一例において実施される工程を示す工程説明図である。
【図９】第２実施形態にかかるロールコンデンサ２００の断面図である。
【図１０】第３実施形態にかかるロールコンデンサ３００の断面図である。
【図１１】第４実施形態にかかるロールコンデンサ４００の断面図である。
【図１２】第５実施形態にかかるロールコンデンサ５００の断面図である。
【図１３】第６実施形態にかかるロールコンデンサ６００の断面図である。
【図１４】第７実施形態にかかるロールコンデンサ７００の断面図である。
【図１５】特許文献１に開示されたロールコンデンサ１０００を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。
【００２７】
なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、明細書の理解を助けるためのものであって、模式的に描画されている場合があり、描画された構成要素または構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。
【００２８】
［第１実施形態］
第１実施形態にかかるロールコンデンサ１００を、図１（Ａ）、（Ｂ）、図２、図３、図４に示す。ただし、図１（Ａ）は、ロールコンデンサ１００の斜視図である。図１（Ｂ）は、ロールコンデンサ１００の透視斜視図である。図２は、ロールコンデンサ１００の断面図であり、図１（Ａ）、（Ｂ）に一点鎖線で示すＸ−Ｘ部分を示している。図３は、ロールコンデンサ１００の要部断面図であり、図２に破線で囲んだＹ部分を示している。図４は、ロールコンデンサ１００のロール素子２を構成する多層膜３を示した要部分解斜視図であり、ロール素子２の巻回を解き、さらに多層膜３を構成する各膜を分離させた状態で示している。
【００２９】
ロールコンデンサ１００は、封止樹脂１を備えている。封止樹脂１は、図２に示すように、下から順に、第１樹脂層１ａ、第２樹脂層１ｂ、第３樹脂層１ｃの３層で構成されている。
【００３０】
本実施形態においては、第１樹脂層１ａと第３樹脂層１ｃに、同じ樹脂が使用されている。また、本実施形態においては、未硬化の状態における第２樹脂層１ｂを構成する樹脂の流動性が、未硬化の状態における第１樹脂層１ａおよび第３樹脂層１ｃを構成する樹脂の流動性よりも高くされている。
【００３１】
第１樹脂層１ａ、第２樹脂層１ｂ、第３樹脂層１ｃの材質は任意であるが、たとえば、エポキシ樹脂を使用することができる。なお、樹脂の流動性は、樹脂の組成や、フィラー添加の有無や、添加するフィラーの粒径や添加量などによって調整することができる。
【００３２】
封止樹脂１の封止樹脂１に、ロール素子２が封止されている。より詳しくは、ロール素子２は、封止樹脂１の第２樹脂層１ｂに封止されている。ロール素子２は、両端部２ａ、２ｂが封止樹脂１から外部に露出されている。
【００３３】
ロール素子２は、多層膜３が巻回されたものからなる。
【００３４】
多層膜３は、図３、図４に示すように、第１誘電体膜４、第１電極膜５、第２誘電体膜６、第２電極膜７が積層されたものからなる。より具体的には、第１誘電体膜４上に第１電極膜５が形成され、第１電極膜５上に第２誘電体膜６が形成され、第２誘電体膜６上に第２電極膜７が形成されている。なお、図１（Ｂ）、図２においては、多層膜３を第１誘電体膜４、第１電極膜５、第２誘電体膜６、第２電極膜７に細分化して示さず、1層に簡略化して示している。
【００３５】
第１誘電体膜４の幅と第２誘電体膜６の幅が等しい。また、第１電極膜５の幅と第２電極膜７の幅とが等しい。そして、第１誘電体膜４および第２誘電体膜６の幅が、第１電極膜５および第２電極膜７の幅よりも大きい。
【００３６】
第１電極膜５は、第１誘電体膜４の図４における手前側の辺に沿って形成されている。第２電極膜７は、第２誘電体膜６の図４における奥側の辺に沿って形成されている。
【００３７】
多層膜３は、図４に矢印で示す巻回方向に巻回されて、ロール素子２を構成している。なお、第１電極膜５はロール素子２の端部２ａから外部に露出し、第２電極膜７はロール素子２の端部２ｂから外部に露出している（図１（Ｂ）参照）。
【００３８】
ロール素子２に空芯部２ｃが形成され、空芯部２ｃに封止樹脂１（第２樹脂層１ｂ）が充填されている。なお、空芯部２ｃに封止樹脂１を充填したことにより、ロールコンデンサ１００は強度が向上している。
【００３９】
第１誘電体膜４および第２誘電体膜６は、無機質によって作製されている。無機質の種類は任意であるが、たとえば、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＨｆＯ２などを使用することができる。これらの材質は、高い絶縁抵抗を有するため、第１誘電体膜４の厚みや第２誘電体膜６の厚みを小さくすることができる。
【００４０】
第１誘電体膜４および第２誘電体膜６の厚みは任意であるが、たとえば、０．１μｍ以下にされる。第１誘電体膜４および第２誘電体膜６の厚みを小さくすることによって、ロール素子２の小型化をはかり、ロールコンデンサ１００の小型化をはかることができる。あるいは、第１誘電体膜４および第２誘電体膜６の厚みを小さくすることによって、ロール素子２の巻回数を増やし、ロールコンデンサ１００の単位体積あたりの容量密度を大きくすることができる。
【００４１】
第１電極膜５および第２電極膜７は金属によって作製されている。金属の種類は任意であるが、たとえば、Ｎｉ、Ｃｒなどを使用することができる。
【００４２】
第１電極膜５および第２電極膜７の厚みは任意であるが、たとえば、０．１μｍ以下にされる。
【００４３】
図２に示すように、ロール素子２の軸心に対して垂直な断面をみた場合に、ロール素子２の重心Ｃから外周までの長さは一定でない。すなわち、ロール素子２は、重心Ｃから外周までの最長の長さＡと、重心Ｃから外周までの最長の長さＢを有している。すなわち、ロール素子２は、軸心に対して垂直な断面をみた場合に、略楕円形状をしている。
【００４４】
長さＡ÷長さＢの値は、１．５以上、５．０以下であることが好ましい。長さＡ÷長さＢの値が１．５未満であると、ロールコンデンサ１００の低背化や、単位体積あたりの容量密度を向上させる効果が小さいからである。また、長さＡ÷長さＢが５．０を超えると、無機質からなる第１誘電体膜４および第２誘電体膜６が、割れたり破れたりする虞があるからである。
【００４５】
ロールコンデンサ１００は、ロール素子２の重心Ｃからみた長さＡが存在する方向と、ロール素子２の重心Ｃからみた長さＢが存在する方向とが、垂直になっている。そして、ロールコンデンサ１００は、重心Ｃからみて長さＢが存在する方向を、上下方向とすることにより、低背化がはかられている。
【００４６】
ロールコンデンサ１００は、封止樹脂１の両端に、外部電極８、９が形成されている。外部電極８、９は、それぞれ、封止樹脂１の端面に形成され、そこから封止樹脂１の上側主面および下側主面に延出して形成されている。外部電極８、９の材質および構造は任意であるが、たとえば、それぞれ、第１層がＴｉ、第２層がＣｕの２層構造に形成することができる。
【００４７】
外部電極８が、ロール素子２の端部２ａにおいて、第１電極膜５に接続されている。外部電極９が、ロール素子２の端部２ｂにおいて、第２電極膜７に接続されている。
【００４８】
以上の構造からなる、第１実施形態にかかるロールコンデンサ１００は、たとえば、次の方法で製造することができる。
【００４９】
まず、図５（Ａ）に示すように、ロールコンデンサの製造に使用する基板１１を用意した。基板１１は、たとえばＳｉによって作製されている。
【００５０】
次に、図５（Ｂ）に示すように、基板１１上に、所定のエッチング液によって選択的にエッチングされる犠牲層１２を形成した。犠牲層１２の平面方向の形状、大きさは、作製するロール素子２の形状、大きさに合わせて、任意に設定することができる。なお、本実施形態においては、犠牲層１２の厚みを５００ｎｍとした。
【００５１】
本実施形態においては、犠牲層１２に酸化ゲルマニウムを使用した。酸化ゲンルマニウムは、高温においても比較的安定している。ただし、犠牲層１２の材質は任意であり、ポリアクリル酸などであっても良い。また、本実施形態においては、犠牲層１２を真空蒸着法によって形成した。ただし、犠牲層１２の形成方法は任意であり、化学蒸着法、スパッタ法、ＰＬＤ法（パルスレーザー堆積法；pulsed laser deposition method）などによっても良い。
【００５２】
次に、図５（Ｃ）に示すように、犠牲層１２上に、無機質からなる第１誘電体膜４を形成した。本実施形態においては、ＡＬＤ法（原子層堆積法；atomic layer deposition method）によって第１誘電体膜４を形成した。ただし、第１誘電体膜４の形成方法は任意であり、真空蒸着法、化学蒸着法、スパッタ法、ＰＬＤ法などによっても良い。また、第１誘電体膜４の寸法は任意であるが、本実施形態においては、長さ１０００μｍ、幅６００μｍ、厚み１０ｎｍとした。
【００５３】
次に、図６（Ｄ）に示すように、第１誘電体膜４上に、第１電極膜５を形成した。本実施形態においては、真空蒸着法によって第１電極膜５を形成した。ただし、第１電極膜５の形成方法は任意であり、化学蒸着法、スパッタ法、ＰＬＤ法、ＡＬＤ法などによっても良い。また、第１電極膜５の寸法は任意であるが、本実施形態においては、長さ１０００μｍ、幅５００μｍ、厚み２５ｎｍとした。
【００５４】
次に、図６（Ｅ）に示すように、第１電極膜５上に、無機質からなる第２誘電体膜６を形成した。本実施形態においては、ＡＬＤ法によって第１誘電体膜４を形成した。ただし、第２誘電体膜６の形成方法は任意であり、真空蒸着法、化学蒸着法、スパッタ法、ＰＬＤ法などによっても良い。また、第２誘電体膜６の寸法は任意であるが、本実施形態においては、長さ１０００μｍ、幅６００μｍ、厚み１０ｎｍとした。
【００５５】
次に、図６（Ｆ）に示すように、第２誘電体膜６上に、第２電極膜７を形成した。本実施形態においては、真空蒸着法によって第２電極膜７を形成した。ただし、第２電極膜７の形成方法は任意であり、化学蒸着法、スパッタ法、ＰＬＤ法、ＡＬＤ法などによっても良い。また、第２電極膜７の寸法は任意であるが、本実施形態においては、長さ１０００μｍ、幅５００μｍ、厚み２５ｎｍとした。
【００５６】
以上により、基板１１上に形成された犠牲層１２上に、第１誘電体膜４、第１電極膜５、第２誘電体膜６、第２電極膜７が積層された多層膜３が形成された。
【００５７】
次に、図７（Ｇ）に示すように、犠牲層１２を、エッチング液によって、一方の端部（図における右側の端部）側からエッチングした。エッチング液には、ＥＤＴＡ水溶液を使用した。この結果、多層膜３が基板１１から分離するとともに、多層膜３の裏面側の張力と表面側の張力の差により、多層膜３が自ら巻回して、図７（Ｈ）に示すロール素子２が形成された。なお、多層膜３の裏面側の張力と表面側の張力の差は、多層膜３の内部の応力と表現することもできる。
【００５８】
次に、未硬化の第１樹脂層１ａ’と未硬化の第２樹脂層１ｂ’が積層された下側樹脂シート１０ａと、未硬化の第２樹脂層１ｂ’と未硬化の第３樹脂層１ｃ’が積層された上側樹脂シート１０ｂを用意した。そして、図８（Ｉ）に示すように、下側樹脂シート１０ａ上に複数のロール素子２を並べて配置し、それらのロール素子２を上側樹脂シート１０ｂによって覆った。続いて、真空状態にしたうえで、加熱し、下側樹脂シート１０ａの第２樹脂層１ｂ’および上側樹脂シート１０ｂの第２樹脂層１ｂ’を溶融させた。
【００５９】
この結果、図８（Ｊ）に示すように、ロール素子２がそれぞれ略楕円形状に変形するとともに、ロール素子２の内部にそれぞれ未硬化の第２樹脂層１ｂ’の樹脂が充填され、未硬化のマザー封止樹脂１’が形成された。なお、上述したとおり、また、未硬化の第２樹脂層１ｂ’の樹脂の流動性を、未硬化の第１樹脂層１ａ’および第３樹脂層１ｃ’の樹脂の流動性よりも高くしたため、ロール素子２の変形に際して、多層膜３を構成する第１誘電体膜４、第１電極膜５、第２誘電体膜６、第２電極膜７に、割れや破れが発生しなかった。また、未硬化の第２樹脂層１ｂ’の樹脂の流動性を、未硬化の第１樹脂層１ａ’および第３樹脂層１ｃ’の樹脂の流動性よりも高くしたため、未硬化の第２樹脂層１ｂ’の樹脂は、ロール素子２の空芯部２ｃ内に容易に充填された。
【００６０】
次に、複数のロール素子２が内部に封止された未硬化のマザー封止樹脂１’を、所定の温度および時間で加熱して、硬化させた。なお、ロール素子２の端部２ａ、２ｂがマザー封止樹脂１’に埋もれている場合は、硬化の前、または、硬化の後に、ダイサーなどの方法によって、マザー封止樹脂１’の端面を削り、ロール素子２の端部２ａ、２ｂをマザー封止樹脂１’の端面から外部に露出させた。
【００６１】
次に、図８（Ｋ）に示すように、複数のロール素子２が内部に封止されたマザー封止樹脂１’の端部に、外部電極８、９を形成した。具体的には、まず、スパッタリングによって、Ｔｉからなる第１層を形成した。続いて、めっきによって、Ｃｕからなる第２層を形成した。この結果、ロール素子２を構成する多層膜３の第１電極膜５が、外部電極８に接続された。また、ロール素子２を構成する多層膜３の第２電極膜７が、外部電極９に接続された。なお、スパッタリングによる外部電極８、９のＴｉからなる第１層は、ロール素子２の両端部２ａ、２ｂにおいて、多層膜３を構成する各膜の隙間に深く入り込んで形成された。
【００６２】
図８（Ｌ）に示すように、複数のロール素子２が封止されたマザー封止樹脂１’を、１つのロール素子２が封止された封止樹脂１ごとに分割した。
【００６３】
以上により、ロールコンデンサ１００が完成した。
【００６４】
［第２実施形態］
第２実施形態にかかるロールコンデンサ２００を、図９に示す。図９は、ロールコンデンサ２００の断面図である。
【００６５】
ロールコンデンサ２００は、第１実施形態にかかるロールコンデンサ１００に変更を加えた。具体的には、ロールコンデンサ１００では、軸心に対して垂直な断面をみた場合に、ロール素子２が略楕円形状であった。これに対し、ロールコンデンサ２００は、ロール素子２２を、さらに平らにした。すなわち、ロール素子２２の下側主面と上側主面とが、ほぼ平行になるように、ロール素子２２を変形させた。
【００６６】
ロール素子２２を平らにする方法としては、たとえば、未硬化の状態における第２樹脂層１ｂを構成する樹脂の流動性を第１実施形態に比べて低くする方法や、未硬化の状態で第１樹脂層１ａと第３樹脂層１ｃとを上下から押圧する方法などを用いることができる。
【００６７】
ロールコンデンサ２００は、ロールコンデンサ１００よりも、さらに、低背化され、単位体積あたりの容量密度が大きくなっている。
【００６８】
［第３実施形態］
第３実施形態にかかるロールコンデンサ３００を、図１０に示す。図１０は、ロールコンデンサ３００の断面図である。
【００６９】
ロールコンデンサ３００では、ロール素子３２の上側主面の中央部分と下側主面の中央部分とを相互に近接させた。
【００７０】
ロールコンデンサ３００は、このようなロール素子３２の断面形状を採ることにより、多層膜３を構成する、第１誘電体膜４、第１電極膜５、第２誘電体膜６、第２電極膜７の割れや破れを防止している。
【００７１】
［第４実施形態］
第４実施形態にかかるロールコンデンサ４００を、図１１に示す。図１１は、ロールコンデンサ４００の断面図である。
【００７２】
ロールコンデンサ４００は、第３実施形態にかるロールコンデンサ３００に、さらに変更を加えた。具体的には、ロールコンデンサ４００は、ロール素子４２の上側主面の中央部分と下側主面の中央部分とを、ロールコンデンサ３００のロール素子３２よりも、より大きく近接させた。ロールコンデンサ４００では、ロール素子４２の上側部分と下側部分とが接触している。
【００７３】
［第５実施形態］
第５実施形態にかかるロールコンデンサ５００を、図１２に示す。図１２は、ロールコンデンサ５００の断面図である。
【００７４】
ロールコンデンサ５００は、第１実施形態にかるロールコンデンサ１００に変更を加えた。具体的には、ロールコンデンサ１００では、ロール素子２の空芯部２ｃに封止樹脂１（第２樹脂層１ｂの樹脂）が充填されていたが、ロールコンデンサ５００では、ロール素子５２の空芯部５２ｃに封止樹脂１（第２樹脂層１ｂの樹脂）を充填せず、中空のままとした。
【００７５】
ロールコンデンサ５００は、空芯部５２ｃに封止樹脂１（第２樹脂層１ｂの樹脂）を充填しなくてもよい分だけ、ロールコンデンサ１００に比べて製造が容易になっている。また、ロールコンデンサ５００は、ロールコンデンサ１００よりも、軽量化がはかられている。
【００７６】
［第６実施形態］
第６実施形態にかかるロールコンデンサ６００を、図１３に示す。図１３は、ロールコンデンサ６００の断面図である。
【００７７】
ロールコンデンサ６００は、第１実施形態にかるロールコンデンサ１００に変更を加えた。具体的には、ロールコンデンサ１００では、封止樹脂１に１個のロール素子２を封止していたが、ロールコンデンサ６００では、封止樹脂１に４個のロール素子６２を封止した。
【００７８】
ロールコンデンサ６００は、ロールコンデンサ１００よりも、容量が大きくなっている。
【００７９】
［第７実施形態］
第７実施形態にかかるロールコンデンサ７００を、図１４に示す。図１４は、ロールコンデンサ７００の断面図である。
【００８０】
ロールコンデンサ７００は、第６実施形態にかるロールコンデンサ６００に、さらに変更を加えた。具体的には、ロールコンデンサ６００では、封止樹脂１に４個のロール素子２を１段にならべて封止していたが、ロールコンデンサ７００では、封止樹脂１に１１個のロール素子７２を３段にならべて封止した。
【００８１】
ロールコンデンサ７００は、ロールコンデンサ６００よりも、さらに容量が大きくなっている。
【００８２】
以上、本発明の実施形態について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って、種々の変更をなすことができる。
【００８３】
たとえば、上記の実施形態においては、多層膜３を、第１誘電体膜４、第１電極膜５、第２誘電体膜６、第２電極膜７の４層で構成していたが、誘電体膜や電極膜は、さらに層数を増やしても良い。
【００８４】
また、上記の実施形態においては、封止樹脂１を、第１樹脂層１ａ、第２樹脂層１ｂ、第３樹脂層１ｃの３層で構成していたが、封止樹脂の構造は任意であり、単層に構成しても良い。あるいは、封止樹脂そのものを省略し、ロール素子２などの両端に、それぞれ外部電極を形成して、ロールコンデンサを構成しても良い。
【００８５】
また、上記の実施形態においては、第１誘電体膜４、第１電極膜５、第２誘電体膜６、第２電極膜７を、それぞれＡＬＤ法によって形成していたが、ＡＬＤ法に代えて、スパッタリングなどによって形成しても良い。あるいは、膜ごとに、ＡＬＤ法とスパッタリングなどを使い分けても良い。
【符号の説明】
【００８６】
１・・・封止樹脂
１ａ・・・第１樹脂層
１ｂ・・・第２樹脂層
１ｃ・・・第３樹脂層
２、２２、３２、４２、５２、６２、７２・・・ロール素子
２ａ、２ｂ・・・端部
２ｃ、５２ｃ・・・空芯部
３・・・多層膜
４・・・第１誘電体膜
５・・・第１電極膜
６・・・第２誘電体膜６
７・・・第２電極膜
８、９・・・外部電極
１０ａ・・・下側樹脂シート
１０ｂ・・・上側樹脂シート
１’・・・マザー封止樹脂
１１・・・基板
１２・・・犠牲層
１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００・・・ロールコンデンサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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