(57)【要約】【課題】従来の蓄電デバイスに対して積層数を減らした蓄電デバイス構造を提供することを目的とする。【解決手段】本発明による蓄電デバイスは、導電性電極と、絶縁体及びｎ型金属酸化物半導体を有し、電荷を蓄積する充電層と、固体エレクトロクロミック素子の誘電体層に使用されている材料である酸化イリジウムからなる酸化イリジウム層とを順に積層した。酸化イリジウムは低抵抗率であるため、酸化イリジウム層に導電性電極の機能を持たせて、導電性電極を無くし積層数を減少させた。【選択図】図１
2019080010.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性電極と、
絶縁体及びｎ型金属酸化物半導体で構成された電荷を蓄積する充電層と、
エレクトロクロミック素子で使用される材料より形成される電極層と、
を順に積層した構造である蓄電デバイス。
【請求項２】
前記エレクトロクロミック素子で使用される材料は、酸化イリジウムである請求項１に記載の蓄電デバイス。
【請求項３】
前記酸化イリジウムで形成される電極層には、抵抗調整材が添加されている請求項２に記載の蓄電デバイス。
【請求項４】
前記抵抗調整材は、マグネシウム、アルミニウム、タングステン、コバルト及びニッケルの少なくとも１つの金属元素である請求項３に記載の蓄電デバイス。
【請求項５】
前記抵抗調整材は、フッ素である請求項３に記載の蓄電デバイス。
【請求項６】
前記酸化イリジウムより形成される電極層は、抵抗率が２×１０−５Ωｍ以下である請求項３又は５のいずれか１項に記載の蓄電デバイス。
【請求項７】
前記電極層の厚さは、２００ｎｍ以上である請求項２に記載の蓄電デバイス。
【請求項８】
導電性電極と、
電子を輸送する電子輸送層と、
絶縁体及びｎ型の金属酸化物半導体を有し、電荷を蓄積する充電層と、
酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層と、
を順に積層した構造である蓄電デバイス。
【請求項９】
負極導電性電極と、
絶縁体及びｎ型の金属酸化物半導体を有し、電荷を蓄積する充電層と、
電子のリークを抑制するリーク抑制層と、
酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層と、
を順に積層した構造である蓄電デバイス。
【請求項１０】
負極導電性電極と、
電子を輸送する電子輸送層と、
絶縁体及びｎ型の金属酸化物半導体を有し、電荷を蓄積する充電層と、
電子のリークを抑制するリーク抑制層と、
酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層と、
を順に積層した構造である蓄電デバイス。
【請求項１１】
負極導電性電極と、
電子を輸送する電子輸送層と、
絶縁体及び第１のｎ型金属酸化物半導体を有し、電荷を蓄積する第１充電層と、
前記絶縁体及び前記第１充電層と異なる材料である第２のｎ型金属酸化物半導体を有した第２充電層と、
酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層と、
を順に積層した構造である蓄電デバイス。
【請求項１２】
前記充電層で使用されている前記絶縁体は、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム及び酸化マグネシウムの少なくとも１つで構成されている、請求項８乃至１０のいずれか１項に記載の蓄電デバイス。
【請求項１３】
前記第１充電層で使用されている前記第１のｎ型金属酸化物半導体は、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛の少なくとも１つである請求項１１に記載の蓄電デバイス。
【請求項１４】
前記第２充電層で使用されている前記第２のｎ型金属酸化物半導体は、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛の少なくとも１つであり、前記第１の第１のｎ型金属酸化物半導体と異なる材料である請求項１１に記載の蓄電デバイス。
【請求項１５】
前記電子輸送層は、ニオブ酸化物、タングステン酸化物、酸化スズ若しくは酸化チタンの少なくとも１つを含んでいる請求項８、１０又は１１のいずれか１項に記載の蓄電デバイス。
【請求項１６】
前記リーク抑制層は、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化マグネシウム及び酸化アルミニウムの少なくとも１つで構成された請求項９又は１０のいずれか１項に記載の蓄電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能層を電極と一体化した簡易な構造の蓄電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
蓄電デバイスである二次電池には、酸化還元反応を用いて電気化学エネルギーとして蓄電する二次電池や電気化学キャパシタ、電気二重層の容量変化として貯蔵可能なキャパシタなどがある。また、二次電池としては、ニッケル水素二次電池などの水系二次電池のほか、イオンの挿入反応に有効な活物質を用いるリチウムイオン二次電池などの非水系二次電池が知られている。
【０００３】
リチウムイオン二次電池は携帯機器等の電子機器を中心に広く用いられている。これは、リチウムイオン二次電池が高い電圧を有すること、及び充放電容量が大きいこと等が理由である。
【０００４】
しかし、最近では携帯機器等の薄型化、小型化を可能とし、さらに安全性のために、電解液ではなくゲル状の電解質を用いるポリマー電池や固体電解質を用いる薄膜固体二次電池が開発されている。
【０００５】
特許文献１、２には、金属酸化物半導体を用いた全固体二次電池が開示されている。
【０００６】
特許文献３には、基板上に第一電極、電子輸送層、充電層、電子ブロック層、第二電極がこの順に積層されている薄膜固体二次電池素子が記載されている。充電層は、無機材料を含む。電子輸送層は、無機酸化物材料からなり、無機材料酸化物がニオブ酸化物またはタングステン酸化物を含んでいる。
【０００７】
特許文献４には、導電性の第１電極と、絶縁材料及びｎ型半導体粒子を含む蓄電層（充電層）と、リーク抑制層と、ｐ型半導体層と、第２電極とがこの順で積層された構造を有する蓄電素子が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】ＷＯ２０１２／０４６３２５号公報
【特許文献２】ＷＯ２０１３／０６５０９３号公報
【特許文献３】特開２０１４−１５４５０５号公報
【特許文献４】特開２０１６−８２１２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
複数の機能層を積層して構成する蓄電デバイスは、例えば特許文献１〜４に記載された構成であり、積層数が多いほど積層数に伴い製造工程も多くなり、コストの増加につながる。このため、積層数を低減させることが望まれている。
【００１０】
本発明は、従来の蓄電デバイスに対して積層数を減らした蓄電デバイス構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明による蓄電デバイスは、導電性電極と、絶縁体及びｎ型金属酸化物半導体を有し、電荷を蓄積する充電層と、エレクトロクロミック素子の材料より形成される電極層と、を順に積層した構造である。
【００１２】
ここで、エレクトロクロミック素子の材料より形成される電極層は酸化イリジウムが望ましい。酸化イリジウムで形成される電極層には、抵抗調整材を添加して低抵抗化を図ってもよい。抵抗調整材は、マグネシウム、アルミニウム、タングステン、コバルト及びニッケルの金属元素の少なくとも１つである。また、抵抗調整材としてフッ素をドープしてもよい。抵抗調整材により低抵抗化された酸化イリジウム層は、抵抗率が２×１０−５Ωｍ以下で、厚さは２００ｎｍ以上が望ましい。
【００１３】
本発明による蓄電デバイスの第１の態様は、負極導電性電極と、絶縁体とｎ型金属酸化物半導体を備えた充電層と、酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層とを順に積層したことを特徴としている。電極層を酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層で形成している。
【００１４】
本発明による蓄電デバイスの第２の態様は、負極導電性電極と、電子輸送層と、絶縁体とｎ型金属酸化物半導体を備えた充電層と、酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層とを順に積層したことを特徴としている。第１の態様に対して、負極導電性電極と充電層の間に電子輸送層を加え、充電層で蓄積された電子の輸送効率を上げている。
【００１５】
本発明による蓄電デバイスの第３の態様は、負極導電性電極と、絶縁体とｎ型金属酸化物半導体を備えた充電層と、リーク抑制層と、酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層とを順に積層したことを特徴とする。第１の態様に対して、充電層と酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層の間にリーク抑制層を加え、充電層で蓄積された電子のリークを抑制することにより、蓄電後の電圧保持時間を向上させることが可能である。
【００１６】
本発明による蓄電デバイスの第４の態様は、負極導電性電極と、電子輸送層と、絶縁体とｎ型金属酸化物半導体を備えた充電層と、リーク抑制層と、酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層とを順に積層したことを特徴とする。第１の態様に対して、負極導電性電極と充電層の間に電子輸送層を加え、さらに、充電層と酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層の間にリーク抑制層を加えている。これにより、負極側への電子の輸送効率を上げるとともに、充電層で蓄積された電子の正極側へのリークを抑制している。
【００１７】
本発明による蓄電デバイスの第５の態様は、負極導電性電極と、電子を輸送する電子輸送層と、絶縁体及び第１のｎ型金属酸化物半導体を有し、電荷を蓄積する第１充電層と、前記絶縁体及び前記第１充電層と異なる材料である第２のｎ型金属酸化物半導体を有した第２充電層と、酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層と、を順に積層したことを特徴としている。
【００１８】
第５の態様は、第３の態様に対して充電層を二重にした構造としている。第３の態様では、充電容量を増大するために充電層の厚さを厚くしても充電容量がそれに伴って必ずしも容量が増大するわけではなかった。このため、ｎ型金属酸化物半導体の材料を変えて、第二の充電層を形成し、充電容量を増大させている。
【００１９】
本発明による第１〜４の態様における蓄電デバイス、及び第５の態様における第１充電層と第２充電層において、絶縁体は、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム及び酸化マグネシウムの少なくとも１つで構成される。ｎ型金属酸化物半導体は、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛の少なくとも１つで構成されている。
【００２０】
第５の態様においては、第１充電層のｎ型金属酸化物半導体は、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛の少なくとも１つで構成されている。第２充電層のｎ型金属酸化物半導体も、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛の少なくとも１つで構成されているが、第１充電層に使用したｎ型金属酸化物半導体とは異なる材料とする。
【００２１】
本発明による第２、４及び５の態様の蓄電デバイスにおいて、電子輸送層は、ニオブ酸化物、タングステン酸化物、酸化チタン、酸化スズ若しくは酸化チタンの少なくとも１つを含んでいる。
【００２２】
本発明による第３及び４の態様の蓄電デバイスにおいて、リーク抑制層は、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化マグネシウム及び酸化アルミニウムの少なくとも１つで構成されている。
【００２３】
上記説明した実施に係る第１〜５の態様は、積層順を逆にしてもよい。この場合、絶縁性の基板（絶縁基板）の上に酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層を成膜する。これにより、酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層の作製が容易になる場合もあるからである。
【００２４】
第１の態様に対しては、絶縁基板上に、酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層と、絶縁体とｎ型金属酸化物半導体を備えた充電層と、負極導電性電極とを順に積層する。
【００２５】
第２の態様に対しては、絶縁基板上に、酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層と、絶縁体とｎ型金属酸化物半導体を備えた充電層と、電子輸送層と、負極導電性電極とを順に積層する。
【００２６】
第３の態様に対しては、絶縁基板上に、酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層と、リーク抑制層と、絶縁体とｎ型金属酸化物半導体を備えた充電層と、負極導電性電極とを順に積層する。
【００２７】
第４の態様に対しては、絶縁基板上に、酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層と、リーク抑制層と、絶縁体とｎ型金属酸化物半導体を備えた充電層と、電子輸送層と、負極導電性電極とを順に積層する。
【００２８】
第５の態様に対しては、絶縁基板上に、酸化イリジウムより形成される酸化イリジウム層と、絶縁体と第２のｎ型金属酸化物半導体を備えた第２充電層と、絶縁体と第１のｎ型金属酸化物半導体を備えた第１充電層と、電子輸送層と、負極導電性電極とを順に積層する。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、従来の蓄電デバイスに対して積層数を減らした蓄電デバイス構造を提供することできる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施形態１に係る蓄電デバイスの模式的断面構造図。
【図２】従来の蓄電デバイスを示す模式的構造図。
【図３】実施形態２に係る従来の蓄電デバイスと本発明による蓄電デバイスの模式的断面構造図。
【図４】実施形態３に係る従来の蓄電デバイスと本発明による蓄電デバイスの模式的断面構造図。
【図５】実施形態４に係る従来の蓄電デバイスと本発明による蓄電デバイスの模式的断面構造図。
【図６】実施形態５に係る従来の蓄電デバイスと本発明による蓄電デバイスの模式的断面構造図。
【図７】実施形態１の積層順を逆にした蓄電デバイスの模式的断面構造図。
【図８】本発明の実施形態５に係る蓄電デバイスの製造方法を示すフローチャート。
【図９】蓄電デバイスの充放電特性を測定するための充放電特性測定システム。
【図１０】本発明の実施形態４における従来の蓄電デバイスと本発明による蓄電デバイスの充放電特性を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
次に、図面を参照して、実施の形態について説明する。以下に説明する図面の記載において、同一または類似の部分には同一または類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００３２】
また、以下に示す実施の形態は、技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、各構成部品の材質、形状、構造、配置などを特定するものではない。
【００３３】
本発明が対象とする蓄電デバイスは、導電性の正極にｐ型金属酸化物半導体が積層された蓄電デバイスである。ｐ型金属酸化物半導体層は、例えば、充電層からの電子のリークをブロックし抑制する機能を持っている。この機能を備えた従来の蓄電デバイスとしては、例えば特許文献１〜４に開示されている蓄電デバイスがある。
【００３４】
これらの蓄電デバイスは、電荷を蓄積する充電層、及び、蓄電デバイスの性能を向上させるための複数の機能層を積層した構造体を、正負の導電性電極で挟む構造となっている。製造工程の簡略化やコスト的な側面からは、積層する層の数を減らすことが有効な手段である。
【００３５】
そこで、ｐ型酸化物半導体層の酸化ニッケル（ＮｉＯ）に注目し、以下の検討を行った。
【００３６】
酸化ニッケル（ＮｉＯ）はｐ型半導体としての性質を有し、エレクトロクロミック素子にも使用されている。エレクトロクロミック素子は、正電極と負電極の間に、エレクトロクロミック物質層と誘電体層を積層した構造である。
【００３７】
この固体エレクトロクロミック素子は、正電極と負電極の間に直流電圧を印加して、酸化還元反応により発色させている。この時、直接発色に寄与しない漏れ電流が流れる問題があり、特開昭５５−８８０２８号公報では、漏れ電流を阻止するために、誘電体層と固体エレクトロクロミック物質層の間に、電流阻止層を設けている。
【００３８】
本発明の対象とする蓄電デバイスは、充電層を酸化チタン（ＴｉＯ２）と絶縁物質としての二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）で構成し、紫外線処理による製造方法で充電能力を向上させている。
【００３９】
酸化ニッケル（ＮｉＯ）は、電子阻止層を備えた固体エレクトロクロミック素子では誘電体層に使用されている。本発明の対象とする蓄電デバイスは、電子阻止層を備えた固体エレクトロクロミック素子の誘電体層に使用可能な材料が適用できるものと考えられる。
【００４０】
このため、固体エレクトロクロミック素子の誘電体層に使用されている材料に注目し、低抵抗物質を検討した。詳細には、本発明の対象とする蓄電デバイスでは、酸化ニッケルは電極と接するｐ型金属酸化物半導体層として使用されており、固体エレクトロクロミック素子での誘電体層に使用されている材料から、低抵抗物質を探すことによりｐ型金属酸化物半導体層と正電極を一体化できる可能性を検討した。
【００４１】
そこで、固体エレクトロクロミック素子の誘電体層に使用されている材料から、低抵抗の酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）に注目した。酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）は不溶性で化学的に安定なこと、発色特性を備えることからエレクトロクロミック素子の対向電極にも使用されており、固体エレクトロクロミック素子の誘電体層は、電極層と捉えてもよい。抵抗率は、４９×１０−８Ωｍである。このため、酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）をｐ型金属酸化物半導体として使用すれば、電極の機能を持たせて一体化した簡易な構成の蓄電デバイスを実現できる。
【００４２】
一般的に電極の抵抗は低く、金属電極の場合は、例えば銀の抵抗率は１．５９×１０−８Ωｍ、銅の抵抗率は１．６８×１０−８Ωｍ、アルミニウムの抵抗率は２．８２×１０−８Ωｍである。また透明電極として一般に広く知られているＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘａｉｄ）の抵抗率が約１．５×１０−６Ωｍである。
【００４３】
酸化イリジウムを低抵抗で成膜するのは難しく、抵抗率は製造条件に大きく依存する。何より低抵抗の酸化イリジウム膜を量産するには厳格な条件管理が必要となり高コストとなる。このため、ＩＴＯの抵抗率レベルが実現できれば実用的には十分である。例えば、安定に製造できる量産時の製造条件を考えて試作したレベルでは、５．０５×１０−６Ωｍであった。
【００４４】
この量産時の製造条件においても、酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）の抵抗率をさらに下げるためには、抵抗調整材を加えてもよい。抵抗調整材は、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、タングステン（Ｗ）、コバルト（Ｃｏ）及びニッケル（Ｎｉ）等の金属元素がある。金属は導電性がよく、マグネシウムの抵抗率は４．４２×１０−８Ωｍ、アルミニウムの抵抗率は２．８２×１０−８Ωｍ、タングステンの抵抗率は５．２９×１０−８Ωｍ、コバルトの抵抗率は５．８１×１０−８Ωｍ、ニッケルの抵抗率は６．９９×１０−８Ωｍであるから、低抵抗化するための抵抗調整材として使用できる。
【００４５】
この他、酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）の抵抗率を下げるためには、フッ素（Ｆ）原子をドープしてもよい。フッ素（Ｆ）原子はハロゲン元素の一種で１７属の元素であり、最外殻電子が７個である。酸素は１６族の元素であるから最外殻電子が６個であり、フッ素（Ｆ）の方が電子を受け取る数が少なくなり、酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）の酸素がフッ素（Ｆ）に置き換わると、全体として電子の数が多くなり、キャリア密度が上がる。このため、酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）にフッ素をドープすることにより、抵抗率を下げることができる。
【００４６】
酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）の抵抗率は、抵抗調整材としての金属元素の添加、さらにはフッ素（Ｆ）のドープにより、２×１０−５Ωｍ以下にすることが可能である。このため、酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）をｐ型金属酸化物半導体と電極を兼ね備えた物質と考えて扱うことができる。なお、以下では酸化イリジウムよりなる誘電体層を単に酸化イリジウム層と呼ぶ。
【００４７】
次に、酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）が適用可能な蓄電デバイスの構造と適用した実施の形態について説明する。
＜実施の形態１＞
【００４８】
図１は、本発明による蓄電デバイス１０を示す模式的断面構造を示す。蓄電デバイス１０は、負極導電性電極１２、電荷を充電する充電層１４、及び、酸化イリジウム層１６が順に積層された構造となっている。
【００４９】
蓄電デバイス１０は、絶縁性の基板に、負極導電性電極１２、充電層１４と酸化イリジウム層１６を順に積層して作製してもよい。絶縁基板としては、例えば、ガラス基板や高分子フィルムの樹脂シートが使用可能である。
【００５０】
負極導電性電極１２の材料として、例えば、アルミニウム（Ａｌ）を含む銀（Ａｇ）合金等がある。負極導電性電極１２の形成方法としては、スパッタリング、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着、真空蒸着、化学蒸着等の気相成膜法を挙げることができる。また、負極導電性電極１２は、電解メッキ法、無電解メッキ法等により形成してもよい。メッキに使用される金属としては、一般に銅（Ｃｕ）、銅合金、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、亜鉛（Ｚｎ）又はスズ（Ｓｎ）等を使用することが可能である。
【００５１】
一方、基板を導電性の金属箔シート、例えば、銅箔シート、アルミ箔シートやステンレスシートとすれば、基板を負極導電性電極１２として使用可能である。
【００５２】
充電層１４は、絶縁物質とｎ型金属酸化物半導体から形成される層である。絶縁物質は、例えば、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）あるいはシロキサン結合を備えたシリコーンオイルである。ｎ型金属酸化物半導体は、例えば、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、あるいは酸化亜鉛（ＺｎＯ）が好適である。また、ｎ型金属酸化物半導体は、（ＴｉＯ２）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、又は酸化亜鉛（ＺｎＯ）のうち、いずれか２つを組み合わせた材料、あるいは３つを組み合わせた材料としてもよい。
【００５３】
具体的な充電層１４の構造は、絶縁物質とｎ型金属酸化物半導体の層構造によって形成されていてもよく、あるいは、微粒子形状のｎ型金属酸化物半導体の周囲を絶縁物質によって被覆した構造、微粒子形状のｎ型金属酸化物半導体が絶縁物質に埋もれて混在している構造であってもよい。
【００５４】
ｎ型金属酸化物半導体は、紫外線照射による光励起構造変化（光誘起相転移）による改質を行うため、特に酸化チタン（ＴｉＯ２）が望ましい。
【００５５】
充電層１４に使用されるｎ型金属酸化物半導体は、金属の脂肪族酸塩から製造工程で分解して生成される。このため、金属の脂肪族酸塩としては、酸化性雰囲気下で紫外線を照射すること、又は焼成することにより分解又は燃焼し、金属酸化物に変化しうるものが使用される。脂肪族酸としては、例えば、脂肪族モノカルボン酸や、脂肪族ジカルボン酸、脂肪族トリカルボン酸、脂肪族テトラカルボン酸等の脂肪族ポリカルボン酸が使用可能である。
【００５６】
より具体的には、飽和脂肪族モノカルボン酸として、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、カプロン酸、エナント酸、カプリル酸、ペラルゴン酸、カプリン酸、ステアリン酸等が挙げられる。不飽和脂肪族モノカルボン酸としては、アクリル酸、ブテン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、リノレン酸、オレイン酸等の高度不飽和モノカルボン酸が使用可能である。
【００５７】
また、脂肪族酸塩は、加熱により分解又は燃焼しやすく、溶剤溶解性が高く、分解又は燃焼後の膜が緻密であり、取り扱い易く安価で、金属とは塩の合成が容易である等の理由から、脂肪族酸と金属との塩が好ましい。
【００５８】
絶縁物質は、無機絶縁物の他、絶縁性樹脂が使用可能であり、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリブタジエン、ポリ塩化ビニル、ポリメチルメタクリレート、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリイミド、酢酸セルロースなどの熱可塑性樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アリル樹脂、アルキド樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタンなどの熱硬化性樹脂でもよい。
【００５９】
充電層１４を形成する製造方法は、スピンコートによって行う。まず、例えば脂肪酸チタンとシリコーンオイルを溶媒と共に攪拌して溶液を作製する。この溶液を、スピン塗布装置を用いて、負極導電性電極１２上に塗布する。回転数は、例えば約５００〜３０００ｒｐｍである。塗布後、ホットプレート上で乾燥させる。ホットプレート上の乾燥温度は、例えば、約３０℃〜２００℃程度、乾燥時間は、例えば約５分〜３０分程度である。乾燥した後に焼成する。焼成は、焼成炉を用いて焼成する。焼成温度は例えば、約３００℃〜６００℃程度、焼成時間は例えば、約１０分〜６０分程度である。
【００６０】
これにより、脂肪族酸塩が分解してシリコーンオイルの絶縁膜に覆われた酸化チタン（ＴｉＯ２）の微粒子層が形成される。上記製造方法は、塗布熱分解法と呼ばれている。
【００６１】
この微粒子層は、具体的にはた酸化チタン（ＴｉＯ２）の金属塩がシリコーンオイル層中に埋められている構造である。焼成後、低圧水銀ランプによるＵＶ（紫外線）照射を実施する。ＵＶ照射時間は例えば、約１０分〜１００分程度である。ＵＶ照射は、エキシマランプであってもよい。
【００６２】
この焼成工程とＵＶ照射により、シリコーンオイルを二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）の絶縁膜にしている。また、ＵＶ照射により、酸化チタン（ＴｉＯ２）の光励起構造変化を促し、電子をトラップするエネルギー準位を形成する。
【００６３】
次に、酸化イリジウム層１６の作製方法について説明する。
【００６４】
酸化イリジウム層１６は、反応性スパッタリング法、電子ビーム加熱蒸着法、ＭＯＣＶＤ法等で、充電層１４上に酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）を堆積して作製する。また、金属イリジウムを酸化させながら薄膜形成する方法として、ＡＩＲＯＦ（Ａｎｏｄｉｃ  ＩＲｉｄｉｕｍ  Ｏｘｉｄｅ  Ｆｉｌｍ）と呼ばれる方法がある。ＡＩＲＯＦ法は、金属イリジウムを硫酸溶液中で陽極酸化させ、酸化イリジウム膜にする方法である。
【００６５】
通常これらの堆積方法で堆積した酸化イリジウム膜は、微結晶を含有する非晶質構造となっており、微結晶の粒界に欠陥が存在する場合がある。この場合は、酸化イリジウムの電気抵抗を高くする原因ともなる。
【００６６】
このため、酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）に酸化スズを（ＳｎＯ２）混合させて酸化イリジウム層を作製し、酸化イリジウム層の電気抵抗を下げる方法が考えられる。酸化スズ（ＳｎＯ２）は、高い導電性を持ち化学的に安定で、酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）に近い格子定数を有しているからである。
【００６７】
酸化スズはｎ型半導体の特性を有しているが、酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）に混合する割合は２０ｗｔ％以下であり、酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）に酸化スズ（ＳｎＯ２）を混合させても、ｎ型半導体とはならない。
【００６８】
本発明の畜電デバイスを従来の蓄電デバイスと比較するため、図２に従来の蓄電デバイスの模式的断面構造を示す。図２に示した従来の蓄電デバイス１０−１は、負極導電性電極１２、電荷を充電する充電層１４とｐ型金属酸化物半導体層１８と正極導電性電極２０が順に積層された構造となっている。
【００６９】
負極導電性電極１２は、例えば、アルミニウムを含む銀合金等を使用してスパッタリング、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着、真空蒸着や化学蒸着等の気相成膜法等で作製される。
【００７０】
充電層１４は、絶縁物質とｎ型金属酸化物半導体から形成される層である。絶縁物質は、例えば、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）あるいはシロキサン結合を備えたシリコーンオイルである。ｎ型金属酸化物半導体は、例えば、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、あるいは酸化亜鉛（ＺｎＯ）が使用される。ｎ型金属酸化物半導体は、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）のうちいずれか２つを組み合わせた材料、あるいは３つを組み合わせた材料としてもよい。
【００７１】
充電層１４の作製方法は、まず、脂肪酸チタンとシリコーンオイルを溶媒と共に攪拌した溶液を作製し、スピンコート法によりその溶液を負極導電性電極１２上に塗布する。回転数は例えば、約５００〜３０００ｒｐｍである。塗布後、温度約３０℃〜２００℃で、乾燥時間約５分〜３０分程度で乾燥する。乾燥後、焼成炉を用いて温度約３００℃〜６００℃程度、焼成時間約１０分〜６０分程度焼成する。
【００７２】
充電層１４上に形成したｐ型金属酸化物半導体層１８は、上部の正極導電性電極２０への電子のリークを防止するために設けられている。ｐ型金属酸化物半導体層の形成は、ｐ型金属酸化物半導体をスパッタデポジション法等により成膜される。ｐ型金属酸化物半導体層１８の具体的な材料は、酸化ニッケル（ＮｉＯ）、銅アルミ酸化物（ＣｕＡｌＯ２）等である。その他、金属酸化物に限らず各種ｐ型有機半導体材料や無機半導体材料でもよい。
【００７３】
正極導電性電極２０の材料としては、公知の金属、金属酸化物、有機導電材料を使用する事が可能である。導電性物質であれば特に限定されるものではない。
【００７４】
例えば、正極導電性電極２０の材料として、インジウム・スズ酸化物（ＩＴＯ）、フッ素ドープ酸化スズ（ＦＴＯ）、アンチモンドープ酸化スズ（ＡＴＯ）、インジウム・亜鉛酸化物、ニオブ・チタン酸化物、カーボンナノチューブ、グラフェン等、アルミニウム、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）等の金属が挙げられる。これら材料は、単独で使用してもよいが、複数の材料で積層された層としてもよい。
【００７５】
正極導電性電極２０の形成方法は、公知のスパッタリング、蒸着などの真空成膜や、各種印刷法による成膜方式がある。これらプロセスでは、シャドーマスクなどを用いてのパターニングが可能である。
【００７６】
以上説明したように、従来の蓄電デバイス１０−１は、負極導電性電極１２、充電層１４、ｐ型金属酸化物半導体層１８と正極導電性電極２０の積層構造である。充電層に蓄積された電子のリークをブロックするためのブロッキング機能をｐ型金属酸化物半導体層が、導電性の電極機能を正極導電性電極２０がそれぞれ分担し、これらの層を形成するために、それぞれの製造工程を必要としていた。
【００７７】
本発明の主題は蓄電デバイスの積層数を減少させ、それに伴い製造工程も減少させることであり、ｐ型金属酸化物半導体層１８と正極導電性電極２０で２層となる構造を一体化して、酸化イリジウム層１６のみの１層としている。図１で示した本発明による蓄電デバイスは、図２で示した従来の蓄電デバイスより積層数を減少させ、それに伴い製造工程も減少させることができる。
【００７８】
本発明は、図２で示した従来の蓄電デバイス構造だけでなく、従来開示されている他の蓄電デバイス構造に対しても適用可能であり、以下に説明する。
＜実施の形態２＞
【００７９】
図３は、本発明が対象とする従来の蓄電デバイス１０−２（特許文献３等参照）と、本発明による蓄電デバイスの模式的断面構造を示している。図３（Ａ）は、従来の蓄電デバイス構造であり、図２に示した従来の蓄電デバイス１０−１に対して、負極導電性電極１２と充電層１４の間に、電子輸送層２２が追加して積層された構造である。
【００８０】
実施の形態２において、従来の蓄電デバイス１０−１に追加された電子輸送層２２は、電子を輸送するために設けられている。電子輸送層に使用される材料は、電子輸送特性を有し、充電層材料との整合性や充電層の作製プロセスに対する耐性を考慮して選択される。例えば、無機酸化物材料が適しており、ｎ型金属酸化物半導体である酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）等が適している。また、ニオブ酸化物、タングステン酸化物の何れかもしくは両方の元素を含む酸化物でもよい。更にニオブ酸化物、タングステン酸化物に他の酸化物を含有した複合酸化物材料であってもよい。
【００８１】
電子輸送層２２の作製方法は、例えばスパッタ法により、酸化チタン（ＴｉＯ２）あるいはニオブ酸化物、タングステン酸化物の何れかもしくは両方の元素を含む酸化物チタンをターゲットとして成膜形成される。
【００８２】
図３（Ｂ）は、本発明による蓄電デバイスの模式的断面構造を示している。従来の蓄電デバイス１０−２に対して、ｐ型金属酸化物半導体層１８と正極導電性電極２０が、酸化イリジウム層１６により一体化され、積層数を減少させた構造にしている。
＜実施の形態３＞
【００８３】
図４は、本発明が対象とする従来の蓄電デバイス１０−３（特許文献４等参照）と、本発明による蓄電デバイスの模式的断面構造を示している。図４（Ａ）は、従来の蓄電デバイス構造であり、図２に示した従来の蓄電デバイス１０−１に対して、電荷を充電する充電層１４とｐ型金属酸化物半導体層１８間に、リーク抑制層２４が積層された構造である。
【００８４】
リーク抑制層２４は、充電層１４をｐ型金属酸化物半導体層１８から隔てることによって電子又は正孔のリークを抑制する目的で、充電層１４とｐ型金属酸化物半導体層１８との間に配置されている。リーク抑制層２４を構成する材料の伝導帯下端のエネルギーは、充電層１４におけるｎ型金属酸化物半導体の伝導帯下端のエネルギーよりも高く、価電子帯上端のエネルギーは、ｐ型金属酸化物半導体層１８を構成するｐ型金属酸化物半導体の価電子帯上端のエネルギーよりも低いことが望ましい。これらの関係を満たすことによって、リークを抑制する効果を得ることができる。
【００８５】
リーク抑制層２４を構成する材料は、典型的には、絶縁材料である。そのような絶縁材料としては、無機絶縁材料、絶縁性樹脂などが挙げられる。これらの材料としては、充電層１４を構成する絶縁材料として列挙したものを使用できる。典型的には、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）及び酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）からなる群より選ばれる少なくとも１つである。リーク抑制層２４は、充電層１４を構成した絶縁材料とは異なる絶縁材料とすることにより、よりリークを抑制する効果を得ることができる。これらの材料を用いたリーク抑制層２４は、スパッタリング法などの既存の成膜方法で容易に形成されうる。
【００８６】
図４（Ｂ）は、本発明による蓄電デバイスの模式的断面構造を示している。従来の蓄電デバイス１０−３に対して、ｐ型金属酸化物半導体層１８と正極導電性電極２０が、酸化イリジウム層１６により一体化され、積層数を減少させた構造にしている。
＜実施の形態４＞
【００８７】
図５は、本発明が対象とする従来の蓄電デバイス１０−４の構造（特許文献２〜４等参照）と、本発明による蓄電デバイスの模式的断面構造を示している。図５（Ａ）は、従来の蓄電デバイス１０−４の構造であり、図２に示した従来の蓄電デバイス１０−１に対して、負極導電性電極１２と電荷を充電する充電層１４の間に電子輸送層２２が積層され、電荷を充電する充電層１４とｐ型金属酸化物半導体層１８の間に、リーク抑制層２４が積層された構造である。
【００８８】
電子輸送層２２及びリーク抑制層２４は、実施の形態２及び３で説明した材料及び製造方法で成膜される。
【００８９】
図５（Ｂ）は、本発明による蓄電デバイスの模式的断面構造を示している。従来の蓄電デバイス１０−４に対して、ｐ型金属酸化物半導体層１８と正極導電性電極２０が、酸化イリジウム層１６により一体化され、積層数を減少させた構造にしている。
＜実施の形態５＞
【００９０】
図６は、本発明が対象とする従来の蓄電デバイス１０−５と、本発明による蓄電デバイスの模式的断面構造を示している。図６（Ａ）は、従来の蓄電デバイス構造であり、図３に示した従来の蓄電デバイス１０−２の充電層１４を２層として、第１充電層２６と第２充電層２７を積層している。
【００９１】
従来の蓄電デバイス１０−５の第１充電層２６及び第２充電層は、第１充電層２６及び第２充電層は、絶縁物質とｎ型金属酸化物半導体から形成される層であり、第１充電層２６と第２充電層２７は、ｎ型金属酸化物半導体を異なる材料で形成する。絶縁物質は、例えば、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）である。ｎ型金属酸化物半導体は、例えば、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、あるいは酸化亜鉛（ＺｎＯ）が使用される。ｎ型金属酸化物半導体は、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）のうちいずれか２つを組み合わせた材料で形成するが、第１充電層２６と第２充電層は異なる材料とする。
【００９２】
第１充電層２６を、例えば酸化チタン（ＴｉＯ２）と二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）で構成する場合は、まず、脂肪酸チタンとシリコーンオイルを溶媒と共に攪拌した溶液を作製し、スピンコート法によりその溶液を負極導電性電極１２上に塗布する。回転数は例えば、約５００〜３０００ｒｐｍである。塗布後、温度約３０℃〜２００℃で、乾燥時間約５分〜３０分程度で乾燥する。乾燥後、焼成炉を用いて温度約３００℃〜６００℃程度、焼成時間約１０分〜６０分程度焼成する。焼成後、低圧水銀ランプによるＵＶ照射を実施する。ＵＶ照射時間は例えば、約１０分〜１００分程度である。
【００９３】
第２充電層を、例えば酸化スズ（ＳｎＯ２）と二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）で構成する場合は、まず、脂肪酸スズとシリコーンオイルを溶媒と共に攪拌した溶液を作製し、スピンコート法によりその溶液を負極導電性電極１２上に塗布する。この溶液を、スピン塗布装置を用いて、第１充電層２６上に塗布する。回転数は例えば、約５００−３０００ｒｐｍである。塗布後、温度約３０℃〜２００℃で、乾燥時間約５分〜３０分程度で乾燥する。乾燥後、焼成炉を用いて温度約３００℃〜６００℃程度、焼成時間約１０分〜６０分程度焼成する。焼成後、低圧水銀ランプによるＵＶ照射を実施する。ＵＶ照射時間は例えば、約１０分〜１００分程度である。
【００９４】
第２充電層を、第１充電層と異なるｎ型金属酸化物半導体を使用して作製するのは、充電容量アップのためである。実験結果では、第１充電層の厚さを厚くしていった場合、ある程度の厚さ以上では充電容量は増加せず、むしろ充電容量の低下する傾向にあった。このため、第１充電層のｎ型金属酸化物の材料を変えた第２充電層を、第１充電層に積層したところ、充電容量が増加する結果が得られた。この結果より、充電層をｎ型金属酸化物の材料が異なる二層にしている。
【００９５】
図６（Ｂ）は、本発明による蓄電デバイスの模式的断面構造を示している。従来の蓄電デバイス１０−５に対して、ｐ型金属酸化物半導体層１８と正極導電性電極２０が、酸化イリジウム層１６により一体化され、積層数を減少させた構造にしている。
＜実施の形態６＞
【００９６】
図７は、図１の蓄電デバイス１０の積層順を逆にして、絶縁基板２８に酸化イリジウム層１６、充電層１４と負極導電性電極１２を順に形成した構造である。これは、酸化イリジウム層１６を最初に製作して、安定な蓄電デバイスを作製するための１つの方法である。酸化イリジウム層１６の作製方法はいろいろあるが、作製方法によっては、それまで作製してきた充電層１４等の機能層に影響を与える方法もあるからである。
【００９７】
例えば酸化イリジウムの薄膜形成についてについて、金属イリジウムを硫酸溶液中で陽極酸化し酸化イリジウム膜にするＡＩＲＯＦ（Ａｎｏｄｉｃ  ＩＲｉｄｉｕｍ  Ｏｘｉｄｅ  Ｆｉｌｍ）と呼ばれる方法で作製した場合は、試料を硫酸溶液中に浸漬する必要があり、他の機能層を溶解してしまう場合もある。さらにスパッタ法で酸化イリジウム膜を成膜する場合でも成膜温度等の条件が他の機能層に影響する場合もある。このような場合は、まず酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）の薄膜を基板上に成膜することが必要になってくるからである。耐溶液性、耐熱性のある絶縁基板に、最初に酸化イリジウム膜を成膜することで安定な蓄電デバイスを作製することができる。
【００９８】
積層順を逆にする構造は、図７に示した構造に限らず、他の構成の蓄電デバイスでも可能である。例えば、実施の形態２で示した蓄電デバイスに対しては、絶縁基板２８上に、酸化イリジウム層１６、充電層１４、電子輸送層２２と負極導電性電極１２を順に積層する。実施の形態３で示した蓄電デバイスに対しては、絶縁基板２８上に、酸化イリジウム層１６、リーク抑制層２４、充電層１４と負極導電性電極１２を順に積層する。
【００９９】
実施の形態４で示した蓄電デバイスに対しては、絶縁基板２８上に、酸化イリジウム層１６、リーク抑制層２４、電荷を充電する充電層１４、電子輸送層２２と負極導電性電極１２を順に積層する。実施の形態５で示した蓄電デバイスに対しては、酸化イリジウム層１６、第２充電層２７、第１充電層２６、電子輸送層２２と負極導電性電極１２を順に積層する。
【０１００】
以上説明したように、本発明は従来から開示されている様々な蓄電デバイスに適用可能である。
（実施例）
【０１０１】
本発明による蓄電デバイスを実際に作製し、本発明の効果を確認するため特性評価を行った。まず作製した蓄電デバイスは、図６（Ｂ）で示した蓄電デバイスであり、作製方法について以下に説明する。
【０１０２】
図８は、本発明による蓄電デバイスの作製フローを示している。作製する蓄電デバイスは、絶縁物質であるガラスを基板とし、作製ステップＳ１〜Ｓ５の工程により作製した。
【０１０３】
ステップＳ１では、洗浄したガラス基板を用意し、クロムをターゲットとしてスパッタデポジション法を用いて、１００〜３００ｎｍの膜厚で負極導電性電極を成膜した。製造装置としては、ＲＦスパッタリング装置を用いた。
【０１０４】
ステップＳ２では、負極導電性電極に積層する電子輸送層として、ｎ型金属酸化物半導体であるアナターゼ型結晶構造の酸化チタンを、スパッタデポジション法により成膜した。電子輸送層の膜厚は、５０ｎｍ〜２００ｎｍとした。
【０１０５】
ステップＳ３では、第１充電層を作製した。第１充電層の作製方法は、まず、酸化チタンの前駆体である脂肪酸チタンとシリコーンオイルの混合液を、成膜した電子輸送層上に塗布した。塗布はスピンコート法で行い、負極導電性電極と電子輸送層が積層されたガラス基板を、例えば、約５００〜３０００ｒｐｍで回転させながら混合液を滴下して、０．３〜２μｍ程度の厚さの塗布膜を形成した。
【０１０６】
塗布後、ホットプレート上で乾燥させた。ホットプレート上の乾燥温度は例えば、約５０℃〜１００℃程度、乾燥時間は例えば、約５分〜３０分程度である。さらに、乾燥後に焼成した。乾燥後の焼成には焼成炉を用い、大気中で焼成する。焼成温度は例えば、約２００℃〜４００℃程度、焼成時間は例えば、約１０分〜６０分程度である。
【０１０７】
焼成後に、低圧水銀ランプによるＵＶ照射を行った。ＵＶ照射時間は例えば、約１０分〜１００分程度である。低圧水銀ランプは、波長が１８５ｎｍと２５４ｎｍに強いスペクトルを持っている。このため、例えばＣ＝Ｃ結合種の結合エネルギーが５５８．７ＫＪ／ｍｏｌ、Ｏ−Ｈ結合種の結合エネルギーが４５７．０ＫＪ／ｍｏｌ、Ｃ−Ｈ結合種の結合エネルギーが４０８．９ＫＪ／ｍｏｌであるから、シリコーンオイルのメチル基やフェニル基等の結合を切断してＣやＨを離脱させることで、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）の絶縁膜とすることができる。この時、酸化チタン（ＴｉＯ２）は光励起構造変化（光誘起相転移）により電子を蓄積するためのエネルギー準位を形成する。
【０１０８】
ＵＶ照射はエキシマランプでもよい。低圧水銀ランプは、波長が１８５ｎｍと２５４ｎｍに強いスペクトルを持っているが、キセノンエキシマランプは、より短波長の１７２ｎｍに発光中心波長を持っており、シリコーンオイルのメチル基やフェニル基等の結合を切断するには十分な波長である。また、酸化チタン（アナターゼ型）のバンドギャップは、３．２ｅＶであり、波長３８７ｎｍより短い波長の光、即ち、紫外線を吸収して価電子帯の電子が伝導体に励起されるから、１７２ｎｍの波長をもつエキシマランプでも光励起構造変化を生じさせることができる。
【０１０９】
ステップＳ４では、第２充電層を作製した。第２充電層の作製方法は、まず、酸化スズ（ＳｎＯ２）の前駆体である脂肪酸スズとシリコーンオイルの混合液を、成膜した第１充電層上に塗布した。塗布はスピンコート法で行い、負極導電性電極、電子輸送層及び第１充電層が積層されたガラス基板を、例えば、約５００〜３０００ｒｐｍで回転させながら混合液を滴下して、０．３〜２μｍ程度の厚さの塗布膜を形成した。
【０１１０】
塗布後、ホットプレート上で乾燥させた。ホットプレート上の乾燥温度は例えば、約５０℃〜１００℃程度、乾燥時間は例えば、約５分〜３０分程度である。さらに、乾燥後に焼成した。乾燥後の焼成には焼成炉を用い、大気中で焼成する。焼成温度は例えば、約２００℃〜４００℃程度、焼成時間は例えば、約１０分〜６０分程度である。
【０１１１】
焼成後に、低圧水銀ランプによるＵＶ照射を行った。ＵＶ照射時間は例えば、約１０分〜１００分程度である。低圧水銀ランプは、波長が１８５ｎｍと２５４ｎｍに強いスペクトルを持っている。このため、例えばＣ＝Ｃ結合種の結合エネルギーが５５８．７ＫＪ／ｍｏｌ、Ｏ−Ｈ結合種の結合エネルギーが４５７．０ＫＪ／ｍｏｌ、Ｃ−Ｈ結合種の結合エネルギーが４０８．９ＫＪ／ｍｏｌであるから、シリコーンオイルのメチル基やフェニル基等の結合を切断してＣやＨを離脱させることで、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）の絶縁膜とすることができる。
【０１１２】
ＵＶ照射はエキシマランプでもよい。低圧水銀ランプは、波長が１８５ｎｍと２５４ｎｍに強いスペクトルを持っているが、キセノンエキシマランプは、より短波長の１７２ｎｍに発光中心波長を持っており、シリコーンオイルのメチル基やフェニル基等の結合を切断するには十分な波長である。
【０１１３】
ステップＳ５では、本発明による酸化イリジウム層をスパッタリング法で成膜した。酸化イリジウム層用のターゲット材料としてはイリジウム金属や、酸化イリジウム（Ｉｒ２Ｏ３）及びハロゲン化イリジウムの燃結したターゲット等が適している。またこれらのターゲット材料を複数組み合わせてターゲット材料として使用してもよい。
【０１１４】
スパッタリング用の材料ガスとしては、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅ等の不活性ガスが適している。また更にスパッタリング中に気相反応を生じさせるための原料ガスとしては、酸素導入用の原料ガスとしては酸素（Ｏ２）が特に適し、二酸化窒素（ＮＯ２）、二酸化炭素（ＣＯ２）等でもよい。またこれらのガスはスパッタリング用の機能も兼ねてもよい。
【０１１５】
スパッタリング法で酸化イリジウム層を形成する条件としては、温度、圧力等がある。まず、酸化イリジウム層を形成する基板温度は３００℃以下が好ましい。酸化イリジウム層中の酸素含有量は基板温度でコントロールでき、酸素含有量を多くしたい場合には、基板温度を比較的低く設定する方がよく、酸化イリジウム層中の酸素含有量を少なくしたい場合には基板温度を比較的高く設定する方がよい。
【０１１６】
スパッタリング時の内圧は１×１０−４〜１Ｔｏｒｒで、スパッタリング用電源の周波数としては直流から高周波までの広い範囲が使用可能である。
【０１１７】
成膜した酸化イリジウム層の膜厚は５００〜１０００ｎｍであり、望ましくは２００〜１０００ｎｍである。１０００ｎｍ以上では製造性が悪く、欠陥が生じる可能性がある。特性を測定した蓄電デバイスの酸化イリジウム膜厚は２００ｎｍと４００ｎｍの２つである。
（比較例）
【０１１８】
本発明による効果を確認するために、比較用として従来の構造を持つ蓄電デバイスを作製した。従来の蓄電デバイス構造は、図６（Ａ）で示した構造の蓄電デバイスである。
【０１１９】
従来の蓄電デバイスは、図８に示した作製フローの酸化イリジウム層を形成するステップＳ５に替えて第２充電層の上にｐ型金属酸化物半導体層を形成するステップ、及びｐ型金属酸化物半導体層の上に正極導電性電極を作製するステップを行って作製した。
【０１２０】
ｐ型金属酸化物半導体層は、スパッタデポジション法により酸化ニッケル膜を形成した。ｐ型金属酸化物半導体層としての酸化ニッケル膜の膜厚は、例えば１００〜１０００ｎｍである。なお、ｐ型金属酸化物半導体層の形成方法は、スパッタ法に限らず、蒸着法、イオンプレーティング法、ＭＢＥ法等の薄膜形成方法を用いることができる。
【０１２１】
正極導電性電極は、アルミニウムを材料としてスパッタデポジション法により成膜し、例えば厚さ１００〜３００ｎｍのアルミニウムを成膜した。
（充放電特性）
【０１２２】
上記実施例１と比較例で作製した蓄電デバイスの特性を測定して本発明の効果を確認する。測定する特性は、充放電特性である。
【０１２３】
図９に、充放電特性測定システムの一例を示す。
【０１２４】
充放電特性測定システムは、電圧電流源３０と、電圧計３２と、電流計３４と、制御装置３６と、抵抗３８とを備えている。電圧電流源３０と被測定蓄電デバイス４０との間に抵抗３８を接続し、電圧電流源３０は、被測定蓄電デバイス４０の負極導電性電極１２と、酸化イリジウム層１６又は正極導電性電極２０と抵抗３８を介して接続されている。電圧電流源３０と被測定蓄電デバイス４０との間には、電圧計３２と電流計３４が接続されている。被測定蓄電デバイス４０は、作製した蓄電デバイスである。
【０１２５】
制御装置３６は、電圧電流源３０、電圧計３２、及び電流計３４に接続されている。制御装置３６は、負極導電性電極１２を接地して、酸化イリジウム層１６又は正極導電性電極２０に正電圧を印加する充電プロセスと、酸化イリジウム層１６又は正極導電性電極２０からの放電特性を測定する放電プロセスとを制御し、電圧及び電流のデータを取得する。
【０１２６】
図１０は、実施例１で作製した本発明の蓄電デバイス（酸化イリジウム層の膜厚４００ｎｍ）と、比較例で作製した従来の蓄電デバイスの充放電特性５０を示している。横軸は測定時間であり、放電開始時を０として、充電時をマイナスとしている。蓄電デバイスへの充電は、定電流で行った。縦軸は電圧である。
【０１２７】
いずれも蓄電デバイスとしての特性が得られているが、本発明の蓄電デバイスは、従来の蓄電デバイスに対して、放電終了時間は、従来の蓄電デバイスが約３９０秒であるのに対して、約７２０秒と長かった。この結果より、従来の蓄電デバイスのｐ型金属酸化物半導体層と正極導電性電極２０を、酸化イリジウム層に置き換えても十分な性能を持つことが確認された。
（その他の実施の形態）
【０１２８】
本発明はこの他にも従来から開示されている様々な蓄電デバイスに適用可能である。
【０１２９】
例えば、適用可能な蓄電デバイスは、図１の蓄電デバイス（以下、蓄電デバイスＡという。）、図３（Ｂ）の蓄電デバイス（以下、蓄電デバイスＢという。）、図４（Ｂ）の蓄電デバイス（以下、蓄電デバイスＣという。）と図５（Ｂ）の蓄電デバイス（以下、蓄電デバイスＤという。）である。
【０１３０】
蓄電デバイスＡは、図８に示した蓄電デバイスの製作フローにおいて、ステップＳ１、ステップＳ３とステップＳ５により作製した。蓄電デバイスＢは、図８に示した蓄電デバイスの製作フローにおいて、ステップＳ１、ステップＳ２、ステップＳ３とステップＳ５により作製できる。
【０１３１】
蓄電デバイスＣは、図８に示した蓄電デバイスの製作フローにおいて、ステップＳ１、ステップＳ３の後、リーク抑制層を形成する。リーク抑制層は、絶縁物質からなるリーク抑制層を形成する。リーク抑制層は、シリコンをターゲットとし、酸化ケイ素の薄膜をスパッタデポジション法により成膜する。リーク抑制層は、厚さによって絶縁抵抗値のコントロールも可能であり、１０〜１００ｎｍの厚さである。その後、図８に示した蓄電デバイスの製作フローのステップＳ５でｐ型導電性酸化物層を形成する。
【０１３２】
蓄電デバイスＤは、図８に示した蓄電デバイスの製作フローにおいて、ステップＳ１の後に、電子輸送層を形成し、Ｓ３の後にリーク抑性層を形成し、更にステップＳ５により形成する。
【０１３３】
これら作製した蓄電デバイスＡ〜Ｄは、図１０に示した本発明の蓄電デバイスの充放電特性と充電容量に差はあるものの、ほぼ同様な結果が得られ、ｐ型金属酸化物半導体層と正極導電性電極を、酸化イリジウム層に置き換えられる。
【０１３４】
本発明の蓄電デバイスは、正極側のｐ型金属酸化物半導体層と導電性の電極の積層構造を、酸化イリジウム層としたことを特徴としているが、使用した酸化イリジウムは、金属電極と比較すると抵抗が高い。しかしながら、透明性を必要としないことから、フッ素のドープや金属元素の添加によって十分な低抵抗化を図ることができ、充放電特性の改良が行えることは当業者であれば容易に想到することである。
【０１３５】
上記のように、いくつかの実施の形態について記載したが、開示の一部をなす論述及び 図面は例示的なものであり、限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【０１３６】
このように、本実施の形態は、ここでは記載していない様々な実施の形態などを含む。
【符号の説明】
【０１３７】
１０  蓄電デバイス
１０−１、１０−２、１０−３、１０−４、１０−５  従来の蓄電デバイス
１２  負極導電性電極
１４  充電層
１６  酸化イリジウム層
１８  ｐ型金属酸化物半導体層
２０  正極導電性電極
２２  電子輸送層
２４  リーク抑制層
２６  第１充電層
２７  第２充電層
２８  絶縁基板
３０  電圧電流源
３２  電圧計
３４  電流計
３６  制御装置
３８  抵抗
４０  被測定蓄電デバイス
５０  充放電特性
５２  酸化イリジウム層の膜厚と充放電特性
【図１】
2019080010.tif 000003
【図２】
2019080010.tif 000004
【図３】
2019080010.tif 000005
【図４】
2019080010.tif 000006
【図５】
2019080010.tif 000007
【図６】
2019080010.tif 000008
【図７】
2019080010.tif 000009
【図８】
2019080010.tif 000010
【図９】
2019080010.tif 000011
【図１０】
2019080010.tif 000012