(57)【要約】      （修正有）【課題】太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集、取得、保護方法及び装置を提供する。【解決手段】プロセス編集方法は、編集端末において、太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報を記憶することＳ０１、プロセスエディタによって指定生産設備のプロセスデータを編集することＳ０２及び記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得ることＳ０３を含む。編集端末と生産設備とを別々としているため、周辺のオペレータがプロセスデータを取得する可能性を低下させるとともに、編集完了後に、指定された生産設備のプロセスデータ暗号化を行うことが可能であり、ハードウェア情報は唯一無二の特性を有するため、プロセスファイルを解読されにくく、データのセキュリティー性を大幅に増加させている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集方法であって、
プロセス編集端末において、太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報を記憶することと、
プロセス編集端末において、プロセスエディタによって指定生産設備のプロセスデータを編集することと、
プロセス編集端末に記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得ることと、を含むことを特徴とするプロセス編集方法。
【請求項２】
前記プロセスファイルは、さらに編集パスワードを含み、編集パスワードが認証をパスした場合、プロセスファイルに対してプロセスデータの編集を行うことを特徴とする請求項１に記載のプロセス編集方法。
【請求項３】
前記指定生産設備は、１台又は複数台の同一機種の生産設備であり、前記プロセスエディタは１台又は複数台の同一機種の生産設備のプロセスファイルをバッチで生成することを特徴とする請求項１に記載のプロセス編集方法。
【請求項４】
前記プロセス編集方法はさらに、
移動記憶設備又はネットワーク通信方式によって、プロセスファイルを指定生産設備に伝送することを含むことを特徴とする請求項１に記載のプロセス編集方法。
【請求項５】
太陽エネルギー電池生産設備のプロセス取得方法であって、
太陽エネルギー電池生産ラインの各生産設備に、それぞれプロセスデコーダを設置し、各プロセスデコーダには唯一の生産設備のハードウェア情報があることと、
生産設備はプロセスファイルを受信した後、生産設備のプロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致するか否かを検証することと、
一致すれば、復号された後のプロセスデータを生産設備に導入することとを含むこととを特徴とするプロセス取得方法。
【請求項６】
前記生産設備は、
プラズマ増強化学気相成長設備、物理気相成長設備、ドライエッチング設備、スクリーン印刷設備、拡散設備、研磨設備、ウェットエッチング設備、ラミネータ又は溶接機を含むことを特徴とする請求項５に記載のプロセス取得方法。
【請求項７】
太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集装置であって、
太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報を記憶するためのハードウェア情報記憶モジュールと、
指定生産設備のプロセスデータを編集し、またハードウェア情報記憶モジュールに記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得るためのプロセスエディタと、を含むことを特徴とする太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集装置。
【請求項８】
前記プロセスエディタは、
プロセスパラメータのデータを編集するためのプロセスデータ編集ユニットと、
プロセスファイルを生成するためのファイル生成ユニットと、を含み、或いは、
前記プロセスエディタは、
プロセスパラメータのデータを編集するためのプロセスデータ編集ユニットと、
編集パスワード及び／又はプロセスファイル暗号化パスワードを設置するためのパスワード設置ユニットと、
プロセスファイルを生成するためのファイル生成ユニットと、
編集パスワードを検証するためのパスワード検証ユニットと、
編集パスワードが検証をパスした場合にプロセスファイルに対して復号を行うための復号ユニットと、を含むことを特徴とする請求項７に記載のプロセス編集装置。
【請求項９】
太陽エネルギー電池生産設備であって、
制御ホスト及び実行装置を含み、
前記制御ホストにプロセスデコーダを設置し、該プロセスデコーダには前記制御ホスト及び／又は前記実行装置のハードウェア情報があり、
前記制御ホストはプロセスファイルを受信した後、プロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダに記憶されているハードウェア情報とが一致するか否かを検証し、一致すれば、実行装置が復号された後のプロセスデータを実行するように制御することを特徴とする太陽エネルギー電池生産設備。
【請求項１０】
前記生産設備は、
プラズマ増強化学気相成長設備、物理気相成長設備、ドライエッチング設備、スクリーン印刷設備、拡散設備、研磨設備、ウェットエッチング設備、ラミネータ又は溶接機を含み、前記生産設備がプラズマ増強化学気相成長設備である場合、前記プロセスデータは、プロセス気体、プロセス温度、プロセス時間及び気体流量を含むことを特徴とする請求項９に記載の太陽エネルギー電池生産設備。
【請求項１１】
太陽エネルギー電池生産設備のプロセスデータ保護方法であって、
太陽エネルギー電池生産設備の制御ホストにプロセスエディタ、プロセスデコーダ及び実行装置制御ソフトウェアを設置し、ここで、制御ホストには太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報が記憶されており、プロセスデコーダには唯一の生産設備のハードウェア情報があり、前記プロセスデコーダは前記実行装置制御ソフトウェアに集成されており、前記プロセスエディタと前記実行装置制御ソフトウェアとの間で直接プロセスデータを伝送することは禁止されていることと、
プロセスエディタによって指定生産設備のプロセスデータを編集することと、
記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得ることと、
前記プロセスファイルを指定生産設備の制御ホストの実行装置制御ソフトウェアに伝送することと、
前記実行装置制御ソフトウェアはプロセスファイルを受信した後、プロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致するか否かを検証することと、
一致すれば、実行装置制御ソフトウェアは実行装置が復号された後のプロセスデータを実行するように制御すること含むこととを特徴とするプロセスデータ保護方法。
【請求項１２】
前記プロセスファイルは、さらに編集パスワードを含み、編集パスワードが認証をパスした場合、プロセスファイルに対してプロセスデータの編集を行うことを特徴とする請求項１１に記載のプロセスデータ保護方法。
【請求項１３】
前記プロセスデータ保護方法はさらに、
他の生産設備から発信されたプロセスファイルを受信し、かつプロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致すると検証された場合、復号されたプロセスデータを同一生産設備におけるプロセスエディタに発信することと、
編集パスワードが検証をパスした場合、プロセスファイルに対してプロセスデータ編集を行って、プリセット生産設備のプロセスファイルを得ることと、
移動記憶設備又はネットワーク通信方式によって、プロセスファイルをプリセット生産設備に伝送することと、を含むことを特徴とする請求項１２に記載のプロセスデータ保護方法。
【請求項１４】
太陽エネルギー電池生産設備のプロセスデータ保護装置であって、
制御ホスト及び実行装置を含み、制御ホストにプロセスエディタ、プロセスデコーダ及び実行装置制御ソフトウェアを設置し、ここで、制御ホストには太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報が記憶されており、プロセスデコーダには唯一の生産設備のハードウェア情報があり、前記プロセスデコーダは前記実行装置制御ソフトウェアに集成されており、前記プロセスエディタと前記実行装置制御ソフトウェアとの間で直接プロセスデータを伝送することは禁止されており、
プロセスエディタは指定生産設備のプロセスデータを編集し、その後、記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化行って、指定生産設備のプロセスファイルを得て、続いて、前記プロセスファイルを指定生産設備の制御ホストの実行装置制御ソフトウェアに伝送するために用いられ、
実行装置制御ソフトウェアはプロセスファイルを受信した後、プロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致するか否かを検証し、一致すれば、実行装置制御ソフトウェアは実行装置が復号された後のプロセスデータを実行するように制御するために用いられることを特徴とするプロセスデータ保護装置。
【請求項１５】
前記プロセスエディタは、
プロセスパラメータのデータを編集するためのプロセスデータ編集ユニットと、
プロセスファイルを生成するためのファイル生成ユニットと、を含み、或いは、
前記プロセスエディタは、
プロセスパラメータのデータを編集するためのプロセスデータ編集ユニットと、
編集パスワード及び／又はプロセスファイル暗号化パスワードを設置するためのパスワード設置ユニットと、
プロセスファイルを生成するためのファイル生成ユニットと、
編集パスワードを検証するためのパスワード検証ユニットと、
編集パスワードが検証をパスした場合にプロセスファイルに対して復号を行うための復号ユニットと、を含むことを特徴とする請求項１４に記載のプロセスデータ保護装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、出願番号が２０１７１１０８６４６８．７で、出願日が２０１７年１１月７日の中国特許出願に基づいて提出し、かつ該中国特許出願の優先権を請求し、該中国特許出願のすべての内容は参照として本願に引用する。
【０００２】
本発明は、太陽エネルギー生産設備の技術分野に関し、特に太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集、取得、保護方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
太陽エネルギー電池シート生産設備のプロセスデータは、複雑で、かつ、特に核心生産設備、例えば、プラズマ増強化学気相成長設備  （Ｐｌａｓｍａ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＥＣＶＤ）のデータのセキュリティーは極めて重要である。
【０００４】
現在、太陽エネルギー電池シート生産設備のプロセスデータは、主に特定の権限を有するプロセスオペレータにより生産設備のソフトウェアにて現場で作成している。現場のオペレータは複雑であるため、非常にデータの漏洩を招きやすい。なお、オペレータのケアレスミスによって入力されるプロセスデータが間違ってしまう問題を招きやすい。
【０００５】
従来技術における太陽エネルギー電池シート生産設備のプロセスデータには、主に２種類の記憶方式がある。１種は、ソフトウェア内部データの記憶方式で、もう１種はプロセスファイルの記憶方式である。第１種の方式のプロセスデータは、セキュリティー性が高く、不法にコピーされることは不可能であるが、データを他の機台に移行することができず、プロセスデータを間違えて入力しやすい。第２種の方式のデータは、移行しやすいが、不法にコピーされやすく、プロセスデータの漏洩を招く。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集方法及びシステムを提供するものであって、従来技術におけるプロセスデータの漏洩されやすい問題を解決する。
【０００７】
本発明は、太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集方法を提供するものであって、
プロセス編集端末において、太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報を記憶することと、
プロセス編集端末において、プロセスエディタによって指定生産設備のプロセスデータを編集することと、
プロセス編集端末に記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得ることを含む。
【０００８】
好ましくは、前記プロセスファイルは、さらに編集パスワードを含み、編集パスワードが認証をパスした場合、プロセスファイルに対してプロセスデータの編集を行う。
【０００９】
好ましくは、前記指定生産設備は、１台又は複数台の同一機種の生産設備であり、前記プロセスエディタは１台又は複数台の同一機種の生産設備のプロセスファイルをバッチで生成する。
【００１０】
好ましくは、前記プロセス編集方法はさらに、
移動記憶設備又はネットワーク通信方式によって、プロセスファイルを指定生産設備に伝送することを含む。
【００１１】
対応して、本発明はさらに、太陽エネルギー電池生産設備のプロセス取得方法を提供するものであって、
太陽エネルギー電池生産ラインの各生産設備に、それぞれプロセスデコーダを設置し、各プロセスデコーダには唯一の生産設備のハードウェア情報があることと、
生産設備はプロセスファイルを受信した後、生産設備のプロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致するか否かを検証することと、
一致すれば、復号された後のプロセスデータを生産設備に導入することとを含む。
【００１２】
好ましくは、前記生産設備は、
プラズマ増強化学気相成長設備、物理気相成長設備、ドライエッチング設備、スクリーン印刷設備、拡散設備、研磨設備、ウェットエッチング設備、ラミネータ又は溶接機を含む。
【００１３】
好ましくは、前記生産設備はプラズマ増強化学気相成長設備であり、前記プロセスデータは、プロセス気体、プロセス温度、プロセス時間及び気体流量を含む。
【００１４】
対応して、本発明はさらに、太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集装置を提供するものであって、
太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報を記憶するためのハードウェア情報記憶モジュールと、
指定生産設備のプロセスデータを編集し、またハードウェア情報記憶モジュールに記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得るプロセスエディタと、を含む。
【００１５】
好ましくは、前記プロセスエディタは、
プロセスパラメータのデータを編集するためのプロセスデータ編集ユニットと、
プロセスファイルを生成するためのファイル生成ユニットと、を含み、或いは、
前記プロセスエディタは、
プロセスパラメータのデータを編集するためのプロセスデータ編集ユニットと、
編集パスワード及び／又はプロセスファイル暗号化パスワードを設置するためのパスワード設置ユニットと、
プロセスファイルを生成するためのファイル生成ユニットと、
編集パスワードを検証するためのパスワード検証ユニットと、
編集パスワードが検証をパスした場合にプロセスファイルに対して復号を行うための復号ユニットと、を含む。
【００１６】
好ましくは、前記プロセスエディタはさらに、指定生産設備が１台又は複数台の同一機種の生産設備である場合、該プロセスエディタは１台又は複数台の同一機種の生産設備のプロセスファイルをバッチで生成するために用いられる。
【００１７】
好ましくは、前記プロセス編集装置はさらに、
プロセスファイルを指定生産設備に伝送するための移動記憶設備、及び／又は、
各生産設備のホストを接続し、ネットワーク通信方式によってプロセスファイルを指定生産設備に伝送するためのネットワークを含む。
【００１８】
対応して、本発明はさらに太陽エネルギー電池生産設備を提供するものであって、
制御ホスト及び実行装置を含み、
前記制御ホストにプロセスデコーダを設置し、該プロセスデコーダには前記制御ホスト及び／又は前記実行装置のハードウェア情報があり、
前記制御ホストはプロセスファイルを受信した後、プロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダに記憶されているハードウェア情報とが一致するか否かを検証し、一致すれば、実行装置が復号された後のプロセスデータを実行するように制御する。
【００１９】
好ましくは、前記生産設備は、
プラズマ増強化学気相成長設備、物理気相成長設備、ドライエッチング設備、スクリーン印刷設備、拡散設備、研磨設備、ウェットエッチング設備、ラミネータ又は溶接機を含み、前記生産設備がプラズマ増強化学気相成長設備である場合、前記プロセスデータは、プロセス気体、プロセス温度、プロセス時間及び気体流量を含む。
【００２０】
対応して、本発明はさらに、太陽エネルギー電池生産設備のプロセスデータ保護方法を提供するものであって、
太陽エネルギー電池生産設備の制御ホストにプロセスエディタ、プロセスデコーダ及び実行装置制御ソフトウェアを設置し、ここで、制御ホストには太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報が記憶されており、プロセスデコーダには唯一の生産設備のハードウェア情報があり、前記プロセスデコーダは前記実行装置制御ソフトウェアに集成されており、前記プロセスエディタと前記実行装置制御ソフトウェアとの間で直接プロセスデータを伝送することは禁止されていることと、
プロセスエディタによって指定生産設備のプロセスデータを編集することと、
記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得ることと、
前記プロセスファイルを指定生産設備の制御ホストの実行装置制御ソフトウェアに伝送することと、
前記実行装置制御ソフトウェアはプロセスファイルを受信した後、プロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致するか否かを検証することと、
一致すれば、実行装置制御ソフトウェアは実行装置が復号された後のプロセスデータを実行するように制御することとを含む。
【００２１】
好ましくは、前記プロセスファイルは、さらに編集パスワードを含み、編集パスワードが認証をパスした場合、プロセスファイルに対してプロセスデータ編集を行う。
【００２２】
好ましくは、前記プロセスデータ保護方法はさらに、
他の生産設備から発信されたプロセスファイルを受信し、かつプロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致すると検証された場合、復号されたプロセスデータを同一生産設備におけるプロセスエディタに発信することと、
編集パスワードが検証をパスした場合、プロセスファイルに対してプロセスデータ編集を行って、プリセット生産設備のプロセスファイルを得ることと、
移動記憶設備又はネットワーク通信方式によって、プロセスファイルをプリセット生産設備に伝送することを含む。
【００２３】
好ましくは、前記指定生産設備又は前記プリセット生産設備は、１台又は複数台の同一機種の生産設備であり、前記プロセスエディタは１台又は複数台の同一機種の生産設備のプロセスファイルをバッチで生成する。
対応して、本発明はさらに、太陽エネルギー電池生産設備のプロセスデータ保護装置を提供するものであって、
制御ホスト及び実行装置を含み、制御ホストにプロセスエディタ、プロセスデコーダ及び実行装置制御ソフトウェアを設置し、ここで、制御ホストには太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報が記憶されており、プロセスデコーダには唯一の生産設備のハードウェア情報があり、前記プロセスデコーダは前記実行装置制御ソフトウェアに集成されており、前記プロセスエディタと前記実行装置制御ソフトウェアとの間で直接プロセスデータを伝送することは禁止されており、
プロセスエディタは指定生産設備のプロセスデータを編集して、その後、記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化行って、指定生産設備のプロセスファイルを得て、続いて、前記プロセスファイルを指定生産設備の制御ホストの実行装置制御ソフトウェアに伝送するために用いられ、
実行装置制御ソフトウェアはプロセスファイルを受信した後、プロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致するか否かを検証し、一致すれば、実行装置制御ソフトウェアは実行装置が復号された後のプロセスデータを実行するように制御するために用いられる。
【００２４】
好ましくは、前記プロセスエディタは、
プロセスパラメータのデータを編集するためのプロセスデータ編集ユニットと、
プロセスファイルを生成するためのファイル生成ユニットと、を含み、或いは、
前記プロセスエディタは、
プロセスパラメータのデータを編集するためのプロセスデータ編集ユニットと、
編集パスワード及び／又はプロセスファイル暗号化パスワードを設置するためのパスワード設置ユニットと、
プロセスファイルを生成するためのファイル生成ユニットと、
編集パスワードを検証するためのパスワード検証ユニットと、
編集パスワードが検証をパスした場合にプロセスファイルに対して復号を行うための復号ユニットと、を含む。
【００２５】
好ましくは、前記プロセスデコーダは具体的に、他の生産設備から発信されたプロセスファイルを受信し、かつプロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致すると検証された場合、復号されたプロセスデータを同一生産設備におけるプロセスエディタに伝送するために用いられ、
前記プロセスエディタは具体的に、編集パスワードが検証をパスした場合、プロセスファイルに対してプロセス編集を行って、プリセット生産設備のプロセスファイルを得て、その後、移動記憶設備又はネットワーク通信方式によって、プロセスファイルをプリセット生産設備に伝送するために用いられる。
【００２６】
好ましくは、前記指定生産設備又は前記プリセット生産設備は１台又は複数台の同一機種の生産設備であり、前記プロセスエディタは１台又は複数台の同一機種の生産設備のプロセスファイルをバッチで生成する。
【００２７】
好ましくは、前記生産設備は、
プラズマ増強化学気相成長設備、物理気相成長設備、ドライエッチング設備、スクリーン印刷設備、拡散設備、研磨設備、ウェットエッチング設備、ラミネータ又は溶接機を含み、前記生産設備がプラズマ増強化学気相成長設備である場合、前記プロセスデータは、プロセス気体、プロセス温度、プロセス時間及び気体流量を含む。
【００２８】
本発明により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集、取得、保護方法及び装置は、プロセス編集端末において、太陽エネルギー電池の生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報を記憶することと、プロセス編集端末において、プロセスエディタによって指定生産設備のプロセスデータを編集することと、プロセス編集端末に記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得ることとを含む。プロセス編集用の端末と生産設備とを別々にしているため、例えば、現場の生産設備のコンピュータを使用してプロセス編集を行うことではなく、セキュリティーレベルのより高いコンピュータを使用してオフラインのプロセス編集を行い、生産設備の周辺のオペレータがプロセスデータを取得する可能性を効果的に低下させるとともに、プロセスデータを編集完了した後に、プロセスデータに対して指定された生産設備によって暗号化行うことが可能であり、従来のアルゴリズムのみに基づいて暗号化を行う方法に比べ、本発明は、コンピュータのハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣ  ＣＰＵ番号等の、設備の一部のハードウェア情報が唯一無二の特性を有することを考慮しており、暗号化規則が解読されても、ハードウェア情報の唯一無二の特性によって、最終のプロセスパラメータが解読されないようにして、データのセキュリティー性を大幅に向上させている。
【００２９】
さらに、本発明の実施例により提供される前記プロセスファイルは、さらに編集パスワードを含み、編集パスワードが認証をパスした場合、プロセスファイルに対してプロセスデータの編集を行う。よって、パスワードによって編集権限を保護して、データのセキュリティー性をさらに強化させることが可能である。
【００３０】
さらに、本発明の実施例により提供される前記指定生産設備は、１台又は複数台の同一機種の生産設備であり、前記プロセスエディタは１台又は複数台の同一機種の生産設備のプロセスファイルをバッチで生成する。よって、バッチのプロセス編集を実現して、プロセス編集の効率を大幅に向上させることが可能であり、かつ現場で各生産設備のためにプロセス編集を行って、データを間違えて入力してしまう状況が発生することを回避することが可能である。
【００３１】
さらに、本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセス取得方法において、各プロセスデコーダには唯一の生産設備のハードウェア情報がある。よって、１台の生産設備がそれ自体と対応するプロセスファイルしか実行できないようにして、プロセスデータを間違えて使ってしまう状況の発生を回避すると同時に、他の生産設備の復号プロセスファイルを用いてプロセスデータが漏洩されてしまう状況の発生を回避することが可能である。
【００３２】
さらに、本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセスデータ保護方法において、前記プロセスエディタと前記実行装置制御ソフトウェアとの間で直接プロセスデータを伝送することは禁止され、プロセスファイルしか伝送できず、プロセスデコーダがバックグラウンドで実行されることは、オペレータが実行装置制御ソフトウェアでプロセスデータを見てしまうことを回避して、データのセキュリティー性をさらに向上させることが可能である。
【００３３】
さらに、本発明の実施例により提供される前記プロセスファイルは、さらに編集パスワードを含み、編集パスワードが認証をパスした場合、プロセスファイルに対してプロセスデータ編集を行う。プロセスオペレータがプロセスを作成する途中で一時的にその場を離れる必要がある場合、プロセスエディタはロックし、設備ソフトウェアは通常通りに実行するようにすることが可能であり、こうすると、プロセスデータが作成過程において漏洩されないように保証できる。
【００３４】
さらに、本発明の実施例により提供されるプロセスデータ保護方法は、プロセスファイルの検証が完了した後に、他の機台に移行する必要がある場合、プロセスエディタによってプロセスファイルを開いてから、他の設備のプロセスファイルをバッチで生成すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
本願の実施例又は従来技術における技術方案をより明確に説明するために、以下、実施例において使用する図面について簡単に説明するが、以下の説明における図面は本発明に記載されている一部の実施例に過ぎず、当業者にとって、これらの図面に基づいて他の図面を取得可能であることは明らかである。
【図１】本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集方法のフローチャートである。
【図２】本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセス取得方法のフローチャートである。
【図３】本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集装置の構造模式図である。
【図４】本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備の構造模式図である。
【図５】本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセスデータ保護方法のフローチャートである。
【図６】本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセスデータ保護装置の構造模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本願の実施例について詳しく説明するが、説明する実施例の例示は図面に示されており、全文において、同じ又は類似した番号は、同じ又は類似した素子或いは同じ又は類似した機能を有する素子を示す。以下、図面を参照しながら説明する実施例は例示的なものであり、本発明の解釈のみに用いられ、本発明に対する制限と解釈されてはならない。
【００３７】
本発明により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集、取得、保護方法及び装置は、従来技術におけるプロセスデータが漏洩されやすい問題を解決する。
【００３８】
本発明の技術方案と技術的効果をより理解しやすくするために、フロー模式図に基づいて、具体的実施例について詳しい説明を行う。図１に示すように、本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集方法の第１フローチャートであって、該方法は以下のステップ、即ち、ステップＳ０１、ステップＳ０２、及びステップＳ０３を含んでもよい。
【００３９】
ステップＳ０１、プロセス編集端末において、太陽エネルギー電池の生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報を記憶する。
【００４０】
本実施例において、前記生産設備は、プラズマ増強化学気相成長設備、物理気相成長設備、ドライエッチング設備、スクリーン印刷設備、拡散設備、研磨設備、ウェットエッチング設備、ラミネータ又は溶接機等を含んでもよい。各種の生産設備はいずれも１台又は複数台存在してもよいが、各生産設備はいずれもそれ自身の唯一無二のハードウェア情報を有する。
【００４１】
該ハードウェア情報は、設備コンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣ  ＣＰＵ番号等の複数種類の設備ハードディスクの特徴を含むが、これらに限られない。
【００４２】
ステップＳ０２、プロセス編集端末において、プロセスエディタによって指定生産設備のプロセスデータを編集する。
【００４３】
本実施例において、指定生産設備はプロセスデータを取得すべき生産設備であり、前記指定生産設備は１台又は複数台の同一機種の生産設備であり、前記プロセスエディタは１台又は複数台の同一機種の生産設備のプロセスファイルをバッチで生成する。即ち、生産ラインにおけるある１台の生産設備であっても、同じタイプの複数台の設備であってもよく、特に限定されない。異なる種類の生産設備のプロセスデータはすべて異なり、例えば、前記生産設備はプラズマ増強化学気相成長設備であり、前記プロセスデータは、プロセス気体、プロセス温度、プロセス時間及び気体流量を含む。説明すべきことは、例えば、すべてのプロセスデータをすべてプロセスエディタで編集を行わなくてもよく、核心のプロセスデータのみをプロセスエディタにおいて編集を行い、通常のデータ、例えば、チャンバ圧力、真空度、プリベイク温度等の重要でないプロセスパラメータは現場の生産設備ホストにて編集を行ってもよいことである。なお、例えば、本機台の１００℃は他の機台の１０３℃に相当するように、同一種類の設備の異なる設備の間にも一定の固体差が存在し、各機台に標定修正値を設定して、統一的に編集したプロセスパラメータが各機台でいずれも高精度で実行できるようにして、優れたプロセスの一致性を得てもよい。
【００４４】
ステップＳ０３、プロセス編集端末に記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得る。
【００４５】
本実施例において、暗号化方式は、当業者が実際の状況に基づいて、例えば、暗号化アルゴリズムのような任意の暗号化方式を採用してもよく、例えば、ＤＥＳ、３ＤＥＳ、ＩＤＥＡ、ＲＳＡ、ＡＥＳ、ＢＬＯＷＦＩＳＨ等のアルゴリズムはいずれも採用可能である。さらに、鍵を生成する過程において、暗号化の回数を変更してもよく、例えば、複層暗号化で単層暗号化を代替し、及び複層暗号化において、各層の暗号化方法は異なる組み合わせである。例えば、プロセスエディタには、生産ラインにおけるＰＥＣＶＤ機台のハードウェア情報が記憶されており、プロセスデータを生成する際、対応する機台を選んでからそのハードウェア情報に基づいてプロセスファイルを生成する必要がある。なお、プロセスエディタは、生産設備の同一機種規格の１つのロットの設備のプロセスファイルを編集することが可能であり、この場合、鍵には生産設備のハードウェア情報は含まれておらず、その後、生産設備のハードウェア情報、例えばプロセスファイル暗号化パスワードを利用してプロセスファイルに対して暗号化を行う。
【００４６】
好ましくは、前記プロセスファイルはさらに、編集パスワードを含み、プロセスファイルを生成した後、プロセスファイルに対して編集を望むなら、編集パスワードが検証をパスした場合にプロセスファイルに対してプロセスデータの編集を行う必要がある。即ち、プロセスファイルを生成する際、独自のパスワードを設定する必要があり、プロセスエディタを用いて再び該プロセスファイルを開く場合、パスワードが検証をパスして初めて編集可能である。プロセスファイルは多重の暗号化を経ており、情報のセキュリティー性を効果的に保証している。
【００４７】
さらに、前記プロセス編集方法はさらに、移動記憶設備又はネットワーク通信等の方式によって、プロセスファイルを指定生産設備に伝送することを含む。
【００４８】
一具体的実施例において、ＰＥＣＶＤを例として説明を行うと、プロセスエディタは暗号化プロセスファイルの新規作成、オープン、作成及び生成を担当し、プロセスファイルの内容はファイル自身のパスワード、対応するＰＥＣＶＤ設備の複数種類のハードウェア情報（設備コンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣ  ＣＰＵ番号等の複数種類の設備ハードディスク特徴を含む）及びプロセスデータそれ自体を含む。
【００４９】
本発明により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集方法は、プロセス編集端末において、太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報を記憶することと、プロセス編集端末において、プロセスエディタによって指定生産設備のプロセスデータを編集することと、プロセス編集端末に記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得ることとを含む。プロセス編集用の端末と生産設備とを別々にしたため、例えば、現場の生産設備のコンピュータを使用してプロセス編集を行うことではなく、セキュリティーレベルのより高いコンピュータでオフラインのプロセス編集を行い、生産設備の周辺のオペレータがプロセスデータを取得する可能性を効果的に低下させるとともに、プロセスデータを編集完了した後に、指定された生産設備に基づいてプロセスデータに対して暗号化を行っており、従来のアルゴリズムのみによって暗号化を行う方法に比べ、本発明は、コンピュータのハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣ  ＣＰＵ番号等の、設備の一部のハードウェア情報が唯一無二の特性を有することを考慮しており、暗号化の規則が解読されても、ハードウェア情報の唯一無二の特性によって、最終のプロセスパラメータが解読されないようにして、データのセキュリティー性を大幅に向上させている。
【００５０】
図２に示すように、本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセス取得方法のフローチャートである。
【００５１】
本実施例において、該プロセス取得方法は、ステップＳ２１、ステップＳ２２、及びステップ２３を含む。
【００５２】
ステップＳ２１、太陽エネルギー電池生産ラインの各生産設備においてそれぞれプロセスデコーダを設置し、各プロセスデコーダには唯一の生産設備のハードウェア情報がある。
【００５３】
本実施例において、各生産設備には１つのプロセスデコーダがあり、かつ該生産設備と対応付けられ、例えば、各プロセスデコーダには唯一の生産設備のハードウェア情報が記憶されており、プロセスエンコーダを取り付ける際に、実装オペレータが入力する当該生産設備のハードウェア情報であってもよく、プロセスエンコーダを実装する際に、自動的に読み取る当該生産設備のハードウェア情報であってもよく、その後、プロセスデコーダに固定され、該ハードウェア情報は、設備コンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣ  ＣＰＵ番号等の複数種類の設備ハードディスク特徴を含むが、これらに限られない。なお、プロセスデコーダがプロセスファイルを受信した後、まず、当該生産設備のハードウェア情報を読み取って、プロセスファイルの復号に用いてもよい。
【００５４】
こうすると、実質的に、プロセスエディタとプロセスデコーダとをそれぞれ異なる端末に設置しており、オフラインのプロセス編集を実現されるようにし、かつプロセス編集の過程がセキュリティーかつ確実な環境にて行えるようにし、その後、暗号化を行ってプロセスファイルを得て、生産設備のオペレータは暗号化されたプロセスファイルしか見ることができず、プロセスデータは見ることができないため、漏洩を効果的に防止できる。
【００５５】
具体的に、前記生産設備は、プラズマ増強化学気相成長設備、物理気相成長設備、ドライエッチング設備、スクリーン印刷設備、拡散設備、研磨設備、ウェットエッチング設備、ラミネータ又は溶接機を含む。
【００５６】
ステップＳ２２、生産設備はプロセスファイルを受信した後、生産設備のプロセスデコーダによって、プロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致するか否かを検証する。
【００５７】
本実施例において、プロセスデコーダの復号過程及び検証過程は従来技術と同様であってもよく、例えば、プロセスデコーダの復号過程及び検証過程は、まず、プロセスファイルを識別してから、復号を行い、続いて、プロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致するか否かを判断することを含んでもよい。
【００５８】
ステップＳ２３、一致すれば、復号された後のプロセスデータを生産設備に導入する。
【００５９】
具体的に、ＰＥＣＶＤを例として説明を行うが、プロセスデコーダによってプロセスファイルが復号された後、ＰＥＣＶＤ機台のハードウェア情報とプロセスファイルとが一致するか否かを検証し、一致すれば、プロセスデータをＰＥＣＶＤ設備のソフトウェア又はＰＥＣＶＤ設備のＰＬＣに導入する。ＰＥＣＶＤ設備を例とすると、前記プロセスデータは、プロセス気体、プロセス温度、プロセス時間及び気体流量を含む。
【００６０】
本発明により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセス取得方法は、生産設備にプロセスデコーダのみ設置し、プロセスエディタは設置せず、生産設備が受信したプロセスファイルは暗号化されたファイルであり、設備のオペレータはプロセスデータを見ることができず、データのセキュリティー性を大幅に向上させている。
【００６１】
図３に示すように、本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集装置の構造模式図である。
【００６２】
本実施例において、該太陽エネルギー電池生産設備のプロセス編集装置は、ハードウェア情報記憶モジュール、及びプロセスエディタを含む。
【００６３】
ハードウェア情報記憶モジュールは、太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報を記憶するために用いられる。プロセスエディタは、プロセスエディタにおいて指定生産設備のプロセスデータを編集し、かつ、ハードウェア情報記憶モジュールに記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得るために用いられる。
【００６４】
好ましくは、前記プロセスエディタは、プロセスパラメータのデータを編集するためのプロセスデータ編集ユニットと、プロセスファイルを生成するためのファイル生成ユニットとを含み、或いは前記プロセスエディタは、プロセスパラメータのデータを編集するためのプロセスデータ編集ユニットと、編集パスワード及び／又はプロセスファイル暗号化パスワードを設置するためのパスワード設置ユニットと、プロセスファイルを生成するためのファイル生成ユニットと、編集パスワードを検証するためのパスワード検証ユニットと、編集パスワードが検証をパスした場合にプロセスファイルに対して復号を行うための復号ユニットと、を含む。
【００６５】
生産ラインにおける同一種類の機種の設備は通常、複数台あり、そのプロセスデータはすべて同じであり、人手によるコピーの過程においてミスが起こる状況の発生を回避するために、前記プロセスエディタはさらに、指定生産設備が１台又は複数台の同一機種の生産設備である場合、該プロセスエディタは１台又は複数台の同一機種の生産設備のプロセスファイルをバッチで生成するためにも用いられる。
【００６６】
さらに、プロセスファイルの伝送を容易にするために、前記プロセス編集装置はさらに、移動記憶設備を含み、移動記憶設備によってプロセスファイルを指定生産設備に伝送するために用いられる。及び／又は、ネットワークを含み、各生産設備のホストを接続し、ネットワークによってプロセスファイルを指定生産設備に伝送するために用いられる。
【００６７】
図４に示すように、本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備の構造模式図である。
【００６８】
本実施例において、該太陽エネルギー電池生産設備は制御ホスト及び実行装置を含む。
【００６９】
ここで、前記制御ホストにプロセスデコーダを設置し、該プロセスデコーダには前記制御ホスト及び／又は前記実行装置のハードウェア情報があり、前記制御ホストはプロセスファイルを受信した後、プロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダに記憶されているハードウェア情報とが一致するか否かを検証し、一致すれば、実行装置が復号された後のプロセスデータを実行するように制御する。該ハードウェア情報は、設備コンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣ  ＣＰＵ番号等の複数種類の設備ハードディスク特徴を含むが、これらに限られない。
【００７０】
具体的に、前記生産設備は、プラズマ増強化学気相成長設備、物理気相成長設備、ドライエッチング設備、スクリーン印刷設備、拡散設備、研磨設備、ウェットエッチング設備、ラミネータ又は溶接機を含み、前記生産設備がプラズマ増強化学気相成長設備である場合、前記プロセスデータは、プロセス気体、プロセス温度、プロセス時間及び気体流量を含む。
【００７１】
他の実施例において、本発明はさらにプロセスデータ保護方法を提供するものであって、本実施例において、プロセスエディタとプロセスデコーダを同一の生産設備に設置してもよく、こうすると、オンラインのプロセス編集の機能を実現することが可能である。図５に示すように、本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセスデータ保護方法のフローチャートである。
【００７２】
本実施例において、太陽エネルギー電池生産設備のプロセスデータ保護方法は、ステップＳ５１、ステップＳ５２、ステップＳ５３、ステップＳ５４、ステップＳ５５、及びステップＳ５６を含む。
【００７３】
ステップＳ５１、太陽エネルギー電池生産設備の制御ホストにプロセスエディタ、プロセスデコーダ及び実行装置制御ソフトウェアを設置し、ここで、制御ホストには太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報が記憶されており、プロセスデコーダには唯一の生産設備のハードウェア情報があり、前記プロセスデコーダは前記実行装置制御ソフトウェアに集成されており、前記プロセスエディタと前記実行装置制御ソフトウェアとの間で直接プロセスデータを伝送することは禁止されており、プロセスファイルのみ伝送可能である。
【００７４】
本実施例において、ハードウェア情報は、設備コンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣ  ＣＰＵ番号等の複数種類の設備ハードディスク特徴を含むが、これらに限られない。前記プロセスエディタと前記実行装置制御ソフトウェアとの間では、プロセスファイルのみ伝送可能である。プロセスエディタを有しているため、オンラインのプロセスデータ編集を実現することが可能である。
【００７５】
ステップＳ５２、プロセスエディタによって指定生産設備のプロセスデータを編集する。
【００７６】
ステップＳ５３、記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得る。
【００７７】
ステップＳ５４、前記プロセスファイルを指定生産設備の制御ホストの実行装置制御ソフトウェアに伝送する。
【００７８】
本実施例において、該指定生産設備は、プロセスエディタが存在する生産設備であっても、他の生産設備であってもよい。移動メモリ又はネットワークによってファイルの伝送を行ってもよい。
【００７９】
ステップＳ５５、前記実行装置制御ソフトウェアはプロセスファイルを受信した後、プロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致するか否かを検証する。
【００８０】
ステップＳ５６、一致すれば、実行装置制御ソフトウェアは実行装置が復号された後のプロセスデータを実行するように制御する。
【００８１】
好ましくは、前記プロセスファイルは、さらに編集パスワードを含む。プロセスファイルを生成した後、プロセスファイルに対して編集を望むなら、編集パスワードが検証をパスした場合にプロセスファイルに対してプロセスデータ編集を行う必要がある。プロセスオペレータがプロセスの作成の途中で一時的にその場を離れる必要がある場合、プロセスエディタはロックし、設備ソフトウェアは通常通りに実行するようにすることが可能であり、こうすると、プロセスデータが作成過程において漏洩されないように保証できる。
【００８２】
さらに、前記プロセスデータ保護方法はさらに以下の内容を含む。
【００８３】
他の生産設備から発信されたプロセスファイルを受信し、かつプロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報とが一致すると検証された場合、復号されたプロセスデータを同一生産設備におけるプロセスエディタに伝送する。よって、生産設備のプロセスエディタが外部から伝送されてきたプロセスファイルを取得できるようにして、ローカルでの編集を容易にする。なお、ローカル編集後のプロセスファイルはさらに他の生産設備に伝送可能であり、プロセス編集とファイル伝送の自由度と容易性を大幅に向上させている。
【００８４】
編集パスワードが検証をパスした場合、プロセスファイルに対してプロセス編集を行って、プリセット生産設備のプロセスファイルを得る。前記プリセット生産設備は当該生産設備であってもよく、他の生産設備であってもよい。
移動記憶設備又はネットワークによって、プロセスファイルをプリセット生産設備に伝送する。
【００８５】
具体的に、前記指定生産設備又は前記プリセット生産設備は、１台又は複数台の同一機種の生産設備であり、前記プロセスエディタは１台又は複数台の同一機種の生産設備のプロセスファイルをバッチで生成する。ここで、前記生産設備は、プラズマ増強化学気相成長設備、物理気相成長設備、ドライエッチング設備、スクリーン印刷設備、拡散設備、研磨設備、ウェットエッチング設備、ラミネータ又は溶接機の中のいずれか１種又は複数種を含む。
【００８６】
図６に示すように、本発明の実施例により提供される太陽エネルギー電池生産設備のプロセスデータ保護装置の構造模式図であり、該太陽エネルギー電池生産設備のプロセスデータ保護装置は、制御ホスト及び実行装置を含み、制御ホストにプロセスエディタ、プロセスデコーダ及び実行装置制御ソフトウェアを設置し、ここで、制御ホストには太陽エネルギー電池生産ラインにおける各生産設備のハードウェア情報が記憶されており、プロセスデコーダには唯一の生産設備のハードウェア情報があり、前記プロセスデコーダは前記実行装置制御ソフトウェアに集成されており、前記プロセスエディタと前記実行装置制御ソフトウェアとの間で直接プロセスデータを伝送することは禁止されている。
【００８７】
プロセスエディタは指定生産設備のプロセスデータを編集し、その後、記憶されている指定生産設備のハードウェア情報及び暗号化方式に基づいて、プロセスデータに対して暗号化を行って、指定生産設備のプロセスファイルを得て、続いて、前記プロセスファイルを指定生産設備の制御ホストの実行装置制御ソフトウェアに伝送するために用いられる。
【００８８】
実行装置制御ソフトウェアはプロセスファイルを受信した後、プロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報が一致するか否かを検証し、一致すれば、実行装置制御ソフトウェアは実行装置が復号された後のプロセスデータを実行するように制御するために用いられる。
【００８９】
具体的に、前記プロセスエディタは、プロセスパラメータのデータを編集するためのプロセスデータ編集ユニットと、プロセスファイルを生成するためのファイル生成ユニットとを含み、或いは前記プロセスエディタは、プロセスパラメータのデータを編集するためのプロセスデータ編集ユニットと、編集パスワード及び／又はプロセスファイル暗号化パスワードを設置するためのパスワード設置ユニットと、プロセスファイルを生成するためのファイル生成ユニットと、編集パスワードを検証するためのパスワード検証ユニットと、編集パスワードが検証をパスした場合にプロセスファイルに対して復号を行うための復号ユニットと、を含む。
【００９０】
ここで、前記プロセスデコーダは、具体的に、他の生産設備から発信されたプロセスファイルを受信し、かつプロセスデコーダによってプロセスファイルにおけるハードウェア情報とプロセスデコーダにおけるハードウェア情報が一致すると検証された場合、復号されたプロセスデータを同一生産設備におけるプロセスエディタに伝送するために用いられる。前記プロセスエディタは、具体的に、編集パスワードが検証をパスした場合、プロセスファイルに対してプロセス編集を行って、プリセット生産設備のプロセスファイルを得て、その後、移動記憶設備又はネットワークによってプロセスファイルをプリセット生産設備に伝送するために用いられる。
【００９１】
例えば、前記指定生産設備又は前記プリセット生産設備は、１台又は複数台の同一機種の生産設備であり、前記プロセスエディタは１台又は複数台の同一機種の生産設備のプロセスファイルをバッチで生成する。前記生産設備は、プラズマ増強化学気相成長設備、物理気相成長設備、ドライエッチング設備、スクリーン印刷設備、拡散設備、研磨設備、ウェットエッチング設備、ラミネータ又は溶接機の中のいずれか１種又は複数種を含み、前記生産設備がプラズマ増強化学気相成長設備である場合、前記プロセスデータは、プロセス気体、プロセス温度、プロセス時間及び気体流量を含む。
【００９２】
ここで提出する明細書において、多くの具体的な詳細について説明している。しかしながら、本発明の実施例はこのような具体的な詳細がない状況で実践可能であることは理解できるものである。一部の実例において、本明細書に対する理解をはっきりするように、周知の方法、構造及び技術については詳しく示していない。
【００９３】
同様に、理解すべきこととして、本公開を簡潔にし、かつ各発明の１つ又は複数の側面を理解しやすくするために、上記における本発明の例示的実施例の説明において、本発明の各特徴は一緒に１つの実施例、図、或いはその説明に組み合わせられる場合がある。しかしながら、該公開の方法を、保護を請求する本発明が各請求項に明記されている特徴より多い特徴を請求しているという意図を反映すると解釈してはならない。
【００９４】
当業者であれば、実施例の装置におけるモジュールに対して適宜変更するとともに、それらを該実施例と異なる１つ又は複数の設備に設置可能であることは理解できるはずである。実施例におけるモジュール又はユニット又は部品を１つのモジュール又はユニット又は部品に組み合せてもよく、さらに、これらを複数のサブモジュール又はサブユニット又はサブ部品に分けてもよい。このような特徴及び／又は過程或いはユニットにおける少なくとも一部は相互排他的である以外に、いずれかの組み合わせを採用して、本明細書（付随する請求項、要約書及び図面を含む）に開示されているすべての特徴及びこのように開示されるいずれかの方法或いは設備のすべての過程又はユニットに対して組合せを行ってもよい。他に明記しない限り、本明細書（付随する請求項、要約書及び図面を含む）に開示されている各特徴は、同じ、等同又は類似した目的の代替特徴を提供することによって代替されてもよい。
【００９５】
なお、当業者であれば、ここに記載されている実施例は、他の特徴ではなく、他の実施例に含まれているある特徴を含んでいるが、異なる実施例の特徴の組み合わせは、本発明の範囲内に属し、かつ異なる実施例を形成することは理解できるはずである。例えば、以下の特許請求の範囲において、保護を請求する実施例のいずれか１つはいずれも任意の組み合わせ方式で使用することが可能である。
【００９６】
本発明の各部材の実施例は、ハードディスクで実現可能であり、或いは１つ又は複数のプロセッサにて実行されるソフトウェアモジュールで実現可能であり、或いはこれらの組み合わせで実現される。当業者であれば、実践において、マイクロプロセッサ或いはデジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）を用いて、本発明の実施例に基づく、複数の操作端末で単一の操作対象をリモートコントロールするため、システムにおける一部或いはすべての機能を実現できることは、理解できるはずである。本発明はさらに、ここで説明する方法の一部或いはすべてを実行するために用いられる設備或いはシステムプログラム（例えば、コンピュータプログラムとコンピュータプログラム製品）として実現されてもよい。このように実現される本発明のプログラムは、コンピュータで読み取り可能な媒体に記憶されてもよく、或いは１つ或いは複数の信号の形式を有してもよい。このような信号は、インターネットのウェブサイトからダウンロードして取得してもよく、キャリア信号において提供してもよく、或いはいずれかの他の形式で提供してもよい。
【００９７】
注意すべきことは、上記実施例は本発明に対する制限ではなく、本発明に対する説明であり、かつ、当業者は添付されている特許請求の範囲を逸脱しない前提で代替実施例を設計してもよいことである。請求項において、括弧の間に位置するいずれかの参照符号を請求項に対する制限として構成してはならない。「含む」という語彙は、請求項に羅列されていない素子或いはステップ等の存在を除外しない。素子の前に位置する「一」又は「１つ」という語彙は、このような素子が複数存在する場合を除外しない。本発明は、幾つかの異なる素子を含むハードディスク及び適切にプログラミングされたコンピュータによって実現されてもよい。幾つかのシステムのユニットを羅列した請求項において、これらのシステムにおける幾つかは同一のハードディスク項目によって具体的に体現されてもよい。第１、第２及び第３等のような語彙の使用は何らかの順序を示すものではない。これらの語彙を名称として解釈することが可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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