(57)【要約】【課題】熱処理装置において、被処理物から気化した成分が熱処理室内部で液化して滞留することを抑制する。【解決手段】熱処理装置１は、ヒータ３と、開口部５ｃを有しヒータ３に対向して配置される熱処理室５と、開口部５ｃを開閉するための扉８と、不活性ガス供給口６３（６３ａ〜６３ｄ）と、を有している。不活性ガス供給口６３（６３ａ〜６３ｄ）は、ヒータ３が配置されている箇所から開口部５ｃ側に進んだ箇所に設置されており、熱処理室５内のうち開口部５ｃの周囲へ不活性ガスを供給する。【選択図】        図３
2019052790.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヒータと、
開口部を有し前記ヒータに対向して配置される熱処理室と、
前記開口部を開閉するための扉と、
前記ヒータが配置されている箇所から前記開口部側に進んだ箇所に設置され前記熱処理室内のうち前記開口部の周囲へ不活性ガスを供給するための不活性ガス供給口と、
を備えていることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の熱処理装置であって、
前記不活性ガス供給口は、前記扉に設けられていることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の熱処理装置であって、
前記熱処理室に設置された第１カーテン部材と、
前記扉に設置され前記扉が閉じられているときに前記第１カーテン部材と協働して前記熱処理室内における前記開口部側の空間と奥側の空間とを区切る第２カーテン部材と、
をさらに備え、
前記不活性ガス供給口は、前記開口部側の空間に向けて前記不活性ガスを供給するように構成されていることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の熱処理装置であって、
各前記カーテン部材は、前記熱処理室の周方向に沿って延びており、
前記開口部側の空間と前記奥側の空間とを連通させ、前記不活性ガスが通過する連通部をさらに備えていることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項５】
請求項４に記載の熱処理装置であって、
前記扉の周囲において前記熱処理室内の径方向中央から外周部へ向かう気流を発生させるファンをさらに備え、
前記第２カーテン部材は、前記気流を前記熱処理室の奥側へ向かうようにガイドするガイド部を含んでいることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項６】
請求項３〜請求項５の何れか１項に記載の熱処理装置であって、
前記扉が閉じられているときに前記扉と前記開口部との間を塞ぐシール部材をさらに備え、
前記開口部側の空間は、前記扉と、前記シール部材と、前記熱処理室と、各前記カーテン部材と、によって区切られていることを特徴とする、熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加熱された雰囲気下で被処理物を処理するための、熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被処理物（ワーク）に熱処理を行うための、熱処理装置が知られている（例えば、特許文献１，２参照）。このような熱処理装置の一例として、マッフル炉が知られている。マッフル炉は、円筒形状のマッフル内に被処理物を収容し、このマッフル内で熱処理を行う。マッフル炉における熱処理として、バインダを含む被処理物の当該バインダを被処理物から放出する熱処理（脱バインダ処理）が挙げられる。脱バインダ処理が行われる被処理物は、マッフル炉内でヒータによって加熱されることで、バインダ成分が被処理物から蒸散する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０―１２３６２４号公報
【特許文献２】特開２００５―１９７５４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
マッフル炉内で気化したバインダは、例えば、マッフル炉に接続された排気管によって吸引されることで、マッフル炉の外部に排出される。しかしながら、気化したバインダが、マッフル炉内における比較的低温の箇所、例えば、マッフル炉の扉側部分に到達する場合がある。この場合、低温の箇所で液化したバインダが、マッフル炉内においてマッフル炉と扉との隙間に滞留してしまう。その結果、扉が開かれたときに液状のバインダがマッフル炉の外部に垂れてしまう。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みることにより、バインダ等、被処理物から気化した成分が熱処理室内部で液化して滞留することを抑制できる熱処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる熱処理装置は、ヒータと、開口部を有し前記ヒータに対向して配置される熱処理室と、前記開口部を開閉するための扉と、前記ヒータが配置されている箇所から前記開口部側に進んだ箇所に設置され前記熱処理室内のうち前記開口部の周囲へ不活性ガスを供給するための不活性ガス供給口と、を備えている。
【０００７】
この構成によると、熱処理室のうちヒータ側から開口部側に進んだ箇所は、ヒータからの熱が比較的届きにくいため、ヒータに近接している箇所と比べて温度が低くなり易い。この温度が低くなり易い箇所に、不活性ガス供給口から不活性ガスが供給される。このため、熱処理室内に配置された被処理物に含まれる成分がヒータの熱によって気化した場合、この気化した成分は、不活性ガス供給口から供給された不活性ガスによって、ヒータからの熱が比較的届きにくい箇所へ向かうことを妨げられる。これにより、熱処理室の開口部側、すなわち、熱処理室のうち比較的低温になり易い箇所に、被処理物から気化した成分が到達することを、より確実に抑制できる。その結果、被処理物から気化した成分が、熱処理室内で液化して滞留することを抑制できる。
【０００８】
（２）前記不活性ガス供給口は、前記扉に設けられている場合がある。
【０００９】
この構成によると、熱処理室内において温度が低くなり易い箇所である扉に不活性ガス供給口が設けられている。よって、被処理物から気化した成分が扉付近に到達することを、不活性ガスによってより確実に抑制できる。
【００１０】
（３）前記熱処理装置は、前記熱処理室に設置された第１カーテン部材と、前記扉に設置され前記扉が閉じられているときに前記第１カーテン部材と協働して前記熱処理室内における前記開口部側の空間と奥側の空間とを区切る第２カーテン部材と、をさらに備え、  前記不活性ガス供給口は、前記開口部側の空間に向けて前記不活性ガスを供給するように構成されている場合がある。
【００１１】
この構成によると、２つのカーテン部材の協働によって開口部側の空間と奥側の空間とが区切られている。よって、熱処理室の奥側の空間に配置された被処理物から気化した成分が開口部側の空間に到達することを、より確実に抑制できる。また、熱処理室の開口部側の空間に不活性ガスが供給されるので、被処理物から気化した成分が熱処理室の開口部側の空間に侵入することは、より一層確実に抑制される。
【００１２】
（４）各前記カーテン部材は、前記熱処理室の周方向に沿って延びており、前記熱処理装置は、前記開口部側の空間と前記奥側の空間とを連通させ、前記不活性ガスが通過する連通部をさらに備えている場合がある。
【００１３】
この構成によると、熱処理室の開口部側の空間が、熱処理室の周方向における広い範囲に形成されることとなり、不活性ガスによる、被処理物からの気化成分の侵入防止効果をより高くできる。また、連通部を通して、熱処理室の開口部側の空間から奥側の空間に向けて不活性ガスが流れることとなる。これにより、熱処理室の開口部側の空間から奥側の空間に向かう気流が発生するので、被処理物から気化した成分が熱処理室の開口部側の空間に到達することは、より一層確実に抑制される。
【００１４】
（５）前記熱処理装置は、前記扉の周囲において前記熱処理室内の径方向中央から外周部へ向かう気流を発生させるファンをさらに備え、前記第２カーテン部材は、前記気流を前記熱処理室の奥側へ向かうようにガイドするガイド部を含んでいる場合がある。
【００１５】
この構成によると、ファンで発生した気流によって、熱処理室内の温度をより均等にできる。さらに、ファンで発生した気流は、ガイド部によって、熱処理室の奥側に案内される。これにより、被処理物から気化した成分が熱処理室内において開口部側に侵入することをより確実に抑制できる。
【００１６】
（６）前記熱処理装置は、前記扉が閉じられているときに前記扉と前記開口部との間を塞ぐシール部材をさらに備え、前記開口部側の空間は、前記扉と、前記シール部材と、前記熱処理室と、各前記カーテン部材と、によって区切られている場合がある。
【００１７】
この構成によると、熱処理室内において、開口部側の空間を、奥側の空間と物理的により確実に隔離できる。これにより、被処理物から気化した成分が開口部側の空間に侵入することをより確実に抑制できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によると、被処理物から気化した成分が熱処理室内部で液化して滞留することを抑制できる熱処理装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る熱処理装置の断面図であり、熱処理装置を側方から見た状態を示している。
【図２】熱処理装置の正面図である。
【図３】図１に示す熱処理装置の主要部を拡大して示す図であり、区切り部の周辺を示している。
【図４】図２の主要部を拡大して示す図であり、不活性ガス供給部の周囲を示している。
【図５】図４の矢印Ｖ方向から見た主要部の図であり、一部を断面で示している。
【図６】変形例の主要部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態に係る熱処理装置１の断面図であり、熱処理装置１を側方から見た状態を示している。図２は、熱処理装置１の正面図である。図３は、図１に示す熱処理装置１の主要部を拡大して示す図であり、区切り部１４の周辺を示している。
【００２２】
図１〜図３を参照して、熱処理装置１は、被処理物１００に含まれているバインダを蒸発させることによって被処理物１００からバインダを除去する脱バインダ装置（マッフル炉）として用いられる。脱バインダ装置としての熱処理装置１では、熱処理として、バインダを含む被処理物のバインダを被処理物から蒸発させる処理が行われる。本実施形態では、被処理物１００は、直方体状に形成されているけれども、具体的な形状は限定されない。
【００２３】
なお、熱処理装置１は、上述したバインダ処理に限らず、熱処理装置１の後述する熱処理室５内において、所定のガスが扉８側に到達することを抑制されることが好ましい状況下において行われる熱処理にも適用することができる。
【００２４】
熱処理装置１は、横型の熱処理装置である。被処理物１００は、熱処理装置１に出し入れされる際に、水平方向に移動される。
【００２５】
熱処理装置１は、筐体２と、ヒータ３と、支持部材４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅと、熱処理室５と、排気管６と、一対のレール７Ｌ，７Ｒと、扉８と、扉開閉機構９と、ファンユニット１０と、熱処理室５内の空間１１における開口部側の空間１２および奥側の空間１３を区切る区切り部１４と、熱処理室５内に不活性ガスを供給するための不活性ガス供給口６３（６３ａ〜６３ｄ、図４参照）を含む不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒと、を有している。
【００２６】
筐体２は、ヒータ３と、支持部材４ａ〜４ｅと、熱処理室５と、排気管６の一部と、一対のレール７Ｌ，７Ｒと、ファンユニット１０と、区切り部１４と、を収容している。筐体２は、例えば、形鋼等を組み合わせて形成された骨組みに、外壁を取り付けた構造を有している。筐体２は、本実施形態では、直方体形状に形成されている。
【００２７】
筐体２は、底壁２ａと、一対の側壁２ｂ，２ｃと、天壁２ｄと、後壁２ｅと、前壁２ｆと、を有している。
【００２８】
これらの壁２ａ〜２ｆで形成された空間に、上述した各部材を収容している。底壁２ａは、支持部材４ａを介して熱処理室５を支持している。一対の側壁２ｂ，２ｃは、左右に並んでおり、これら一対の側壁２ｂ，２ｃの間に熱処理室５が配置されている。後壁２ｅは、熱処理室５の後方を覆うように配置されている。前壁２ｆは、熱処理室５の前方に配置されており、熱処理室５の周囲を当該熱処理室５の前方から覆うように配置されている。前壁２ｆには、開口部２ｇが形成されている。この開口部２ｇは、筐体２内に配置された熱処理室５へ被処理物１００を出し入れするために形成されており、前壁２ｆを貫通している。
【００２９】
開口部２ｇの形状は、熱処理室５の開口部５ｃに対応する形状（本実施形態では、円形状）に形成されている。前壁２ｆの外側面（前側面）において、開口部２ｇの周囲に、扉受けプレート２ｈが設けられている。扉受けプレート２ｈは、例えば、円環状に形成されており、扉８の後述する扉本体３１の外周縁部を受けることで、筐体２（熱処理室５）の内部と外部との間を遮蔽する。筐体２の天壁２ｄ寄りに、ヒータ３が配置されている。
【００３０】
ヒータ３は、熱処理室５内の雰囲気を加熱するために設けられている。ヒータ３は、例えば、電熱ヒータである。ヒータ３によって、被処理物１００は、２００℃程度まで加熱される。ヒータ３は、全体として筐体２の前後方向Ｘ１に延びるブロック状に形成されている。ヒータ３は、前後方向Ｘ１における熱処理室５の大部分（本実施形態では、開口部５ｃを除く領域）と上下に向かい合っている。ヒータ３の前端部は、筐体２に設けられた梁状の支持部材４ｂに支持されている。また、ヒータ３の後端部は、筐体２に設けられた柱状の支持部材４ｃに支持されている。ヒータ３の下方において、ヒータ３と対向して熱処理室５が配置されている。
【００３１】
熱処理室５は、被処理物１００を収容し且つ熱処理（本実施形態では脱バインダ処理）するための空間１１を形成している。熱処理室５内の空間１１として、開口部側の空間１２と、この空間の奥側の空間１３と、が画成されている。熱処理室５は、筐体２の開口部２ｇから後方に向けて延びる形状に形成されており、本実施形態では、円筒状に形成されている。なお、熱処理室５の形状は、被処理物１００を収容可能な形状であればよく、円筒形状以外の形状であってもよい。
【００３２】
熱処理室５は、筐体２内に配置されて支持部材４ａに下方から支持されており、この支持部材４ａを介して底壁２ａに支持されている。支持部材４ａは、例えばブロック状に形成されているけれども、具体的な形状は限定されない。支持部材４ａは、前後方向Ｘ１における熱処理室５の大部分を受けている。なお、支持部材４ａは、熱処理室５のうち開口部５ｃ側部分とは接触していない。本実施形態では、熱処理室５の直径は、筐体２の高さの半分程度に設定されている。
【００３３】
熱処理室５は、周壁５ａと、周壁５ａの後端を塞ぐ端壁５ｂと、を有している。
【００３４】
周壁５ａは、円筒状部分であり、支持部材４ａによって支持される部分である。周壁５ａの前端部の開口部は、熱処理室５の開口部５ｃとして設けられている。この開口部５ｃは、熱処理室５内の円筒状の空間を熱処理室５の外部に開放するために設けられており、筐体２の前壁２ｆの開口部２ｇに接続されている。換言すれば、周壁５ａの前端部５ｄは、筐体２の前壁２ｆに隣接している。開口部２ｇの内径と周壁５ａの外径とは略同じに設定されている。周壁５ａの前端部５ｄは、ヒータ３とは前後方向Ｘ１と直交する方向（上下方向Ｚ１）に向かい合っていない。一方、周壁５ａのうち前端部５ｄ以外の部分は、ヒータ３とは前後方向Ｘ１と直交する方向（上下方向Ｚ１）に向かい合っている。
【００３５】
周壁５ａ内（熱処理室５内）には、一対のレール７Ｌ，７Ｒが配置されている。一対のレール７Ｌ，７Ｒは、熱処理室５内において被処理物１００を支持するとともに、熱処理室５に対して被処理物１００を出し入れする際に被処理物１００を移動するために設けられている。本実施形態では、一対のレール７Ｌ，７Ｒは、左右方向Ｙ１に離隔して配置されており、左右方向Ｙ１に対称に配置されている。各レール７Ｌ，７Ｒは、周壁５ａの下部付近に配置されている。
【００３６】
各レール７Ｌ，７Ｒは、前後方向Ｘ１に細長く延びる水平板状部分を含んでおり、この平板状部分を、被処理物１００が前後方向Ｘ１にスライドする。なお、被処理物１００は、一対のレール７Ｌ，７Ｒに直接接触していてもよいし、図示しないトレイに載せられた状態で一対のレール７Ｌ，７Ｒ上に載せられてもよい。各レール７Ｌ，７Ｒは、前後方向Ｘ１における熱処理室５の大部分に亘って延びている。各レール７Ｌ，７Ｒの前端部は、扉８に隣接している。一対のレール７Ｌ，７Ｒは、支持部材４ｄ，４ｅに支持されており、これらの支持部材４ｄ，４ｅを介して周壁５ａの下部に支持されている。支持部材４ｄ，４ｅは、対応するレール７Ｌ，７Ｒの下方に配置されており、前後方向Ｘ１に沿って延びている。
【００３７】
熱処理室５の端壁５ｂは、前後方向Ｘ１と直交する方向に延びる円板状部分であり、端壁５ｂの外周部が周壁５ａの後端部に接続されている。端壁５ｂには、排気管６が接続されている。
【００３８】
排気管６は、熱処理室５内の空間１１における気体を熱処理室５の外部に排出するために設けられている。排気管６の一端は、端壁５ｂの上部に接続されている。排気管６の途中部は、支持部材４ｃに支持されている。排気管６の他端は、筐体２の天壁２ｄを貫通し、筐体２の外部に延びている。排気管６と前後方向Ｘ１に向かい合うようにして、扉８が配置されている。
【００３９】
扉８は、筐体２の開口部２ｇおよび熱処理室５の開口部５ｃを開閉するために設けられている。扉８は、扉開閉機構９によって支持されており、この扉開閉機構９によって開閉動作される。
【００４０】
扉８は、扉本体３１と、扉本体３１に固定された断熱材ケース３２と、この断熱材ケース３２に収容された断熱材３３と、扉本体３１に取り付けられたシール部材３４と、を有している。
【００４１】
扉本体３１は、円板状の金属板部材であり、扉開閉機構９に連結されている。扉本体３１は、開口部２ｇ，５ｃを塞ぐことが可能な大きさに形成されている。扉本体３１の内側面３１ａに、断熱材３３が取り付けられている。
【００４２】
断熱材３３は、扉本体３１の熱伝導率よりも低い熱伝導率を有する材料を用いて形成されている。断熱材３３は、本実施形態では、円柱状に形成されており、全体として中空の円柱状に形成された金属製の断熱材ケース３２に収容されている。断熱材ケース３２は、円筒状の部分が扉本体３１に固定され、この円筒状部分の後端が、円板状の後端部３２ａによって塞がれた構成を有している。断熱材３３は、扉８が閉じられた状態において、熱処理室５の開口部５ｃおよび周壁５ａの前端部５ｄに取り囲まれているけれども、ヒータ３とは前後方向Ｘ１の位置がずらされている。
【００４３】
すなわち、断熱材３３は、扉８が閉じられている状態において、ヒータ３の前方側に位置している。なお、本実施形態では、特に説明無き場合、扉８が閉じられた状態を基準として説明する。断熱材ケース３２の外径は、熱処理室５の周壁５ａの内径よりも小さく設定されており、これにより、断熱ケース３２の外周面と熱処理室５の周壁５ａの内周面５ｅとの間には、開口部側の空間１２の一部を構成する隙間が設けられている。
【００４４】
シール部材３４は、ゴム等の弾力性を有する材料を用いて形成された環状部材であり、例えば、Ｏリングである。シール部材３４は、扉本体３１の内側面３１ａの外周部に形成された環状の溝に収容されている。そして、シール部材３４は、扉８が閉じられているときに扉受けプレート２ｈと扉本体３１との間で挟まれることで、扉本体３１と筐体２の前壁２ｆ（熱処理室５の開口部５ｃ）との間を液密的および気密的に封止している。この構成により、扉８が閉じられるとき、扉本体３１の外周部が扉受けプレート２ｈに受けられ、扉本体３１と扉受けプレート２ｈと前壁２ｆによって、熱処理室５の開口部５ｃが塞がれる。
【００４５】
扉８には、ファンユニット１０が取り付けられている。ファンユニット１０は、熱処理室５内の空間１１、特に、奥側の空間１３において、熱処理室５内を循環する気流を発生するために設けられている。
【００４６】
ファンユニット１０は、モータ３６と、ファン３７と、を含んでいる。
【００４７】
モータ３６は、電動モータであり、モータ３６のハウジングが扉本体３１の外側面に固定されている。扉本体３１の中央、断熱材ケース３２の後端部３２ａの中央、および断熱材３３の中央には、モータ３６の出力軸が貫通する貫通孔３８が形成されている。モータ３６の出力軸の先端に、ファン３７が一体回転可能に連結されている。
【００４８】
ファン３７は、扉８の周囲において熱処理室５内の径方向Ｒ１の中央から外周部へ向かう気流Ａ１を発生することにより、熱処理室５内のガスを撹拌するように構成されている。これにより、熱処理室５内の温度分布がより均等になる。ファン３７は、熱処理室５の奥側の空間１３に配置されている。ファン３７が回転すると、当該ファン３７から当該ファン３７の径方向外方に向かう気流Ａ１が、発生する。この気流Ａ１は、ファン３７の径方向外側部分において周壁５ａに当たることで後方に向かう。上記の構成を有するファンユニット１０は、扉開閉機構９による扉８の開閉動作に伴って扉８と一体的に変位する。
【００４９】
本実施形態では、扉開閉機構９は、筐体２の外側に配置されており、ヒンジ式の開閉機構として設けられている。
【００５０】
扉開閉機構９は、前壁２ｆに設置された上下一対のベース３９，４０と、一対のベース３９，４０に支持された支軸４１と、支軸４１から延びて扉本体３１に固定されたアーム４２と、を含んでいる。
【００５１】
上下一対のベース３９，４０は、前壁２ｆの例えば右端側に配置されており、前壁２ｆを支持する骨組みに固定されている。支軸４１は、上下方向Ｚ１に延びており、支軸４１の両端部は、図示しない軸受を介して対応するベース３９，４０に回転可能に支持されている。支軸４１の例えば上部および下部に、アーム４２の一端部が固定されている。アーム４２は、支軸４１から扉本体３１に向けて延びており、アーム４２の他端部がモータ３６のハウジングの周囲において扉本体３１に固定されている。上記の構成により、扉８およびファンユニット１０は、支軸４１回りを回転可能である。支軸４１回りの扉８の動作により、扉８が開閉される。
【００５２】
次に、熱処理室５内の空間１１を開口部側の空間１２と奥側の空間１３とに区切る区切り部１４の構成を説明する。
【００５３】
区切り部１４は、熱処理室５のうち、断熱材ケース３２の後端部付近に配置されている。また、前後方向Ｘ１において、区切り部１４の位置は、ヒータ３の前端部３ａの位置と揃えられている。これにより、区切り部１４は、ヒータ３の前端部３ａの下方に位置している。なお、区切り部１４は、ヒータ３と上下に向かい合っていなくてもよい。区切り部１４は、一対のレール７Ｌ，７Ｒの上側に配置されている部分と、一対のレール７Ｌ，７Ｒの下側に配置されている部分とに分けられて形成されている。
【００５４】
区切り部１４は、上下一対の第１カーテン部材４５Ｕ，４５Ｄと、上下一対の第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄと、を有している。そして、上側の第１カーテン部材４５Ｕおよび第２カーテン部材４６Ｕによって、区切り部１４の上側部４３が形成されている。上側部４３は、区切り部１４のうち一対のレール７Ｌ，７Ｒの上側に配置されている。また、下側の第１カーテン部材４５Ｄおよび第２カーテン部材４６Ｄによって、区切り部１４の下側部４４が形成されている。下側部４４は、区切り部１４のうち一対のレール７Ｌ，７Ｒの下側に配置されている。
【００５５】
上側部４３および下側部４４の各カーテン部材４５Ｕ，４６Ｕ，４５Ｄ，４６Ｄは、熱処理室５の周方向Ｃ１に沿って延びている。上側部４３の第１カーテン部材４５Ｕおよび第２カーテン部材４６Ｕは、周方向Ｃ１の半分より多い範囲に亘って延びている。一方、下側部４４の第１カーテン部材４５Ｄおよび第２カーテン部材４６Ｄは、周方向Ｃ１の半分未満の範囲に亘って延びている。上側の第１カーテン部材および第２カーテン部材４５Ｕ，４６Ｕと、下側の第１カーテン部材および第２カーテン部材４５Ｄ，４６Ｄとは、レール７Ｌ，７Ｒを境にして互いに分離されている。
【００５６】
上側部４３と下側部４４との間の隙間部分が、連通部４７Ｌ，４７Ｒとして設けられている。連通部４７Ｌ，４７Ｒは、熱処理室５内の空間１１のうち開口部側の空間１２と奥側の空間１３とを互いに連通させ、不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒからの不活性ガスが開口部側の空間１２から奥側の空間１３へ通過するように構成されている。
【００５７】
連通部４７Ｌ，４７Ｒは、それぞれ、対応するレール７Ｌ，７Ｒが配置されている箇所に形成されており、対応するレール７Ｌ，７Ｒの前端部が当該連通部４７Ｌ，４７Ｒを通っている。このように、連通部４７Ｌ，４７Ｒは熱処理室５の下部において、周方向Ｃ１に離隔した２箇所に設けられている。本実施形態では、連通部４７Ｌ，４７Ｒは、左右方向Ｙ１に対称な形状に形成されている。また、連通部４７Ｌ，４７Ｒは、対応するレール７Ｌ，７Ｒを通すことが可能な程度の大きさに形成されており、可及的に小さなガスの通路を形成している。これにより、奥側の空間１３から開口部側の空間１２へ向かうガスの量を少なくしつつ、開口部側の空間１２の気圧を奥側の空間１３の気圧よりも高く維持できるので、開口部側の空間１２から奥側の空間１３へ向けて不活性ガスを確実に送り出すことができる。
【００５８】
また、連通部４７Ｌ，４７Ｒにレール７Ｌ，７Ｒの前端部が配置されている。これにより、開口部側の空間１２に供給された不活性ガスが連通部４７Ｌ，４７Ｒを通過する際、レール７Ｌ，７Ｒは、不活性ガスを当てられる。これにより、不活性ガスによるガスバリア効果をレール７Ｌ，７Ｒに作用させることができるので、被処理物１００からのバインダガスがレール７Ｌ，７Ｒに晒されることによるレール７Ｌ，７Ｒへのバインダの付着を抑制できる。
【００５９】
また、開口部側の空間１２と奥側の空間１３とが連通部４７Ｌ，４７Ｒで連通されていることにより、開口部側の空間１２内でのガスの流動性は、より高くされている。これにより、開口部側の空間１２に供給された不活性ガスは、開口部側の空間１２内を万遍なく拡がることができる。このように、連通部４７Ｌ，４７Ｒによって、開口部側の空間１２内でのガスの整流効果を発揮できる。
【００６０】
一対の第１カーテン部材４５Ｕ，４５Ｄは、それぞれ、熱処理室５の周壁５ａに設置されている。周壁５ａの内周面５ｅからの各第１カーテン部材４５Ｕ，４５Ｄの高さ（径方向Ｒ１の高さ）は、内周面５ｅと断熱材ケース３２の外周面との間の隙間よりも大きいけれども、周壁５ａの半径よりは十分に小さく設定されている。これにより、各第１カーテン部材４５Ｕ，４５Ｄに被処理物１００が接触することは、確実に抑制されている。
【００６１】
図３を参照して、第１カーテン部材４５Ｕ，４５Ｄは、クランプ部材４８Ｕ，４８Ｄと、第１カーテン部材本体４９Ｕ，４９Ｄと、を有している。すなわち、上側の第１カーテン部材４５Ｕは、クランプ部材４８Ｕと、第１カーテン部材本体４９Ｕと、を有している。同様に、下側の第１カーテン部材４５Ｄは、クランプ部材４８Ｄと、第１カーテン部材本体４９Ｄと、を有している。
【００６２】
各クランプ部材４８Ｕ，４８Ｄは、周方向Ｃ１に延びる円弧状の金属板を用いて形成されている。本実施形態では、クランプ部材４８Ｕ，４８Ｄは、周壁５ａの内周面５ｅに固定された第１部分５１Ｕ，５１Ｄと、この第１部分５１Ｕ，５１Ｄに対して着脱可能な第２部分５２Ｕ，５２Ｄと、を含んでいる。第１部分５１Ｕ，５１Ｄは、それぞれ、単一部材でもよいし、周方向Ｃ１に複数に分割された部材を組み合わせることで形成されていてもよい。同様に、第２部分５２Ｕ，５２Ｄは、それぞれ、単一部材でもよいし、周方向Ｃ１に複数に分割された部材を組み合わせることで形成されていてもよい。
【００６３】
第１部分５１Ｕ，５１Ｄおよび第２部分５２Ｕ，５２Ｄには、それぞれ、貫通孔が形成されている。これらの貫通孔を貫通するねじ部材５３Ｕ，５３Ｄと、このねじ部材５３Ｕ，５３Ｄにねじ結合するナット５４Ｕ，５４Ｄを用いて形成された固定部材によって、第１部分５１Ｕ，５１Ｄと対応する第２部分５２Ｕ，５２Ｄとが互いに締結されている。各クランプ部材４８Ｕ，４８Ｄは、対応する第１カーテン部材本体４９Ｕ，４９Ｄの一部を挟むことで当該対応する第１カーテン部材本体４９Ｕ，４９Ｄを保持している。
【００６４】
各第１カーテン部材本体４９Ｕ，４９Ｄは、周方向Ｃ１に延びる円弧状形状で且つ可撓性を有する薄い金属板を用いて形成されており、本実施形態では、上下方向Ｚ１に立てられた姿勢に配置されている。各第１カーテン部材本体４９Ｕ，４９Ｄは、それぞれ、単一部材でもよいし、周方向Ｃ１に複数に分割された部材を組み合わせることで形成されていてもよい。各第１カーテン部材本体４９Ｕ，４９Ｄの基端部（径方向Ｒ１の外側端部）は、対応するねじ部材５３Ｕ，５３Ｄによって貫通されているとともに、対応するクランプ部材４８Ｕ，４８Ｄに挟まれている。一方、各第１カーテン部材本体４９Ｕ，４９Ｄの先端部（径方向Ｒ１の内側端部）は、自由端であり、外力を受けることで前後方向Ｘ１に撓む。
【００６５】
一対の第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄは、扉８が閉じられているときに対応する第１カーテン部材４５Ｕ，４５Ｄと協働して熱処理室５内における開口部側の空間１２と奥側の空間１３とを区切るために設けられている。一対の第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄは、それぞれ、扉８の断熱材ケース３２の後端部３２ａの外周部に固定されている。
【００６６】
断熱材ケース３２の後端部３２ａからの、各第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄの後方への突出量は、後端部３２ａからファン３７の後端部までの距離よりも小さく設定されている。これにより各第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄは、ファン３７の後方へは突出しない程度の長さに設定されている。各第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄは、周方向Ｃ１に延びる円弧状に形成されている。本実施形態では、各第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄは、周方向Ｃ１と直交する断面（図１、図３に示す断面）において三角形形状に形成されている。
【００６７】
第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄは、ベースプレート５５Ｕ，５５Ｄと、対応するベースプレート５５Ｕ，５５Ｄから径方向Ｒ１の外方に突出する突出片部５６Ｕ，５６Ｄと、対応するベースプレート５５Ｕ，５５Ｄから径方向Ｒ１の内方に向かう第２ガイド部５７Ｕ，５７Ｄと、を有している。すなわち、上側の第２カーテン部材４６Ｕは、ベースプレート５５Ｕと、突出片部５６Ｕと、第２ガイド部５７Ｕと、を有している。同様に、下側の第２カーテン部材４６Ｄは、ベースプレート５５Ｄと、突出片部５６Ｄと、第２ガイド部５７Ｄと、を有している。
【００６８】
各ベースプレート５５Ｕ，５５Ｄは、周方向Ｃ１に延びる円弧状の金属板を用いて形成されており、前後方向Ｘ１に真っ直ぐに延びている。各ベースプレート５５Ｕ，５５Ｄは、対応する第１カーテン部材４９Ｕ，４９Ｄと径方向Ｒ１に向かい合っている。各ベースプレート５５Ｕ，５５Ｄの後端部から第２ガイド部５７Ｕ，５７Ｄが延びている。
【００６９】
第２ガイド部５７Ｕ，５７Ｄは、ファン３７によって生じた気流Ａ１を熱処理室５の奥側（後側）へ向かうようにガイドするために設けられている。第２ガイド部５７Ｕ，５７Ｄは、周方向Ｃ１に延びる円弧状の金属板を用いて形成されており、後方に向かうに従い径方向Ｒ１の外側に進むように傾斜した姿勢で配置されている。各第２ガイド部５７Ｕ，５７Ｄの前端部は、断熱材ケース３２の後端部３２ａに固定されている。また、各第２ガイド部５７Ｕ，５７Ｄの後端部は、対応するベースプレート５５Ｕ，５５Ｄに固定されている。本実施形態では、各第２ガイド部５７Ｕ，５７Ｄは、水平方向に対して約４５度の角度で傾斜している。各ベースプレート５５Ｕ，５５Ｄのうち、前後方向Ｘ１の中間部における外周面に、対応する突出片部５６Ｕ，５６Ｄが固定されている。
【００７０】
各突出片部５６Ｕ，５６Ｄは、対応する第１カーテン部材本体４９Ｕ，４９Ｄの先端部と接触する部分として設けられている。各突出片部５６Ｕ，５６Ｄは、周方向Ｃ１に延びる円弧状の金属板を用いて形成された剛体状の部材であり、対応するベースプレート５５Ｕ，５５Ｄから径方向Ｒ１の外方に向けて突出している。扉８が閉じられるとき、各突出片部５６Ｕ，５６Ｄの先端部は、扉８とともに支軸４１回りを回転し、その結果、対応する第１カーテン部材４５Ｕ，４５Ｄの先端部と接触する。これにより、各第１カーテン部材本体４９Ｕ，４９Ｄの先端部が後方に向けて撓みつつ、対応する突出片部５６Ｕ，５６Ｄとの間の隙間を塞ぐ。その結果、扉８の後方において、各第１カーテン部材４５Ｕ，４５Ｄと、対応する各第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄとが、扉８の断熱材ケース３２と周壁５ａとの間の隙間を後方から塞ぐ。
【００７１】
一方、扉８が開かれると、各第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄは、扉８とともに支軸４１回りを回転することで、熱処理室５の外側に移動し、対応する第１カーテン部材本体４９Ｕ，４９Ｄとの接触を解除される。
【００７２】
図１〜図３を参照して、扉８が閉じられているとき、各第１カーテン部材４５Ｕ，４５Ｄ、各第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄ、熱処理室５の周壁５ａの前端部５ｄ、筐体２の前壁２ｆ、扉受けプレート２ｈ、扉８の扉本体３１、シール部材３４、および、断熱材ケース３２によって囲まれた空間が、開口部側の空間１２である。また、断熱材ケース３２の後端部３２ａ、各第１カーテン部材４５Ｕ，４５Ｄ、各第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄ、熱処理室５の周壁５ａのうちの前端部５ｄ以外の部分、および、熱処理室５の端壁５ｂによって囲まれた空間が、奥側の空間１３である。そして、これら開口部側の空間１２と奥側の空間１３との間は、連通部４７Ｌ，４７Ｒ以外では、遮断されている。
【００７３】
上側の第１カーテン部材４５Ｕおよび第２カーテン部材４６Ｕは、それぞれ、周方向Ｃ１の両端部が、左右方向Ｙ１に沿って延びている。一方、下側の第１カーテン部材４５Ｄおよび第２カーテン部材４６Ｄは、それぞれ、周方向Ｃ１の両端部が、上下方向Ｚ１に沿って延びている。
【００７４】
図４は、図２の主要部を拡大して示す図であり、不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒの周囲を示している。図５は、図４の矢印Ｖ方向から見た主要部の図であり、一部を断面で示している。図１〜図５を参照して、不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒは、開口部側の空間１２に窒素ガス等の不活性ガスを供給するために設けられている。不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒは、本実施形態では、扉８の扉本体３１に設けられている。
【００７５】
不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒとして、ヒータ３寄りに配置された上側の一対の不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒと、ヒータ３から遠い箇所に配置された下側の一対の不活性ガス供給部２２Ｌ，２２Ｒと、が設けられている。
【００７６】
上側の一対の不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒは、扉本体３１の上部に設けられており、左右方向Ｙ１に離隔した状態で左右方向Ｙ１に対称に配置されている。また、下側の一対の不活性ガス供給部２２Ｌ，２２Ｒは、扉本体３１の下部に設けられており、左右方向Ｙ１に離隔した状態で左右方向Ｙ１に対称に配置されている。また、本実施形態では、上側の一対の不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒと、下側の一対の不活性ガス供給部２２Ｌ，２２Ｒは、上下方向Ｚ１に対称に配置されている。
【００７７】
上側の一対の不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒは、開口部側の空間１２のうち上側の第１カーテン部材４５Ｕおよび第２カーテン部材４６Ｕで区切られた領域、特に、開口部側の空間１２の上部に向けて不活性ガスを供給する。一方、下側の一対の不活性ガス供給部２２Ｌ，２２Ｒは、開口部側の空間１２のうち下側の第１カーテン部材４５Ｄおよび第２カーテン部材４６Ｄで区切られた領域、特に、開口部側の空間１２の下部に向けて不活性ガスを供給する。
【００７８】
各不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒは、周方向Ｃ１に細長く延びるブロック状に形成されており、開口部側の空間１２に配置され、扉本体３１の内側面３１ａに固定されている。各不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒは、前後方向Ｘ１において、ヒータ３の前端部３ａの位置よりも前方に配置されている。
【００７９】
各不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒには、不活性ガスが通過するための通路６１が形成されている。各通路６１の一端は、扉本体３１の内側面３１ａを向いている。そして、扉本体３１には、各不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒの通路６１の一端に対応する箇所のそれぞれに貫通孔３１ｂ（ポート）が形成されている。この貫通孔３１ｂには、対応する配管６２が接続されている。この配管６２は、例えば、フレキシブル配管を含んでおり、扉８の開閉動作に合わせて配管６２が変形するように構成されている。配管６２は、図示しないガスタンク等の不活性ガス供給源に接続されており、この不活性ガス供給源からの不活性ガスを、扉本体３１の貫通孔３１ｂを通して対応する不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒの通路６１に供給する。
【００８０】
上右側の不活性ガス供給部２１Ｒにおいて、通路６１は、当該通路６１の一端から右側に延びており、不活性ガス供給部２１Ｒの右側面に形成されたポートとしての不活性ガス供給口６３（６３ａ）から、周方向Ｃ１に沿って右側に向けて不活性ガスを供給する。また、上左側の不活性ガス供給部２１Ｌにおいて、通路６１は、当該通路６１の一端から左側に延びており、不活性ガス供給部２１Ｌの左側面に形成されたポートとしての不活性ガス供給口６３（６３ｂ）から、周方向Ｃ１に沿って左側に向けて不活性ガスを供給する。この構成により、開口部側の空間１２の上部において、左右方向Ｙ１の中間部から、不活性ガス供給口６３ａ，６３ｂが、右側および左側に向けて不活性ガスを放出する。
【００８１】
上記と同様に、下右側の不活性ガス供給部２２Ｒにおいて、通路６１は、当該通路６１の一端から右側に延びており、不活性ガス供給部２２Ｒの右側面に形成されたポートとしての不活性ガス供給口６３（６３ｃ）から、周方向Ｃ１に沿って右側に向けて不活性ガスを供給する。また、下左側の不活性ガス供給部２２Ｌにおいて、通路６１は、当該通路６１の一端から左側に延びており、不活性ガス供給部２２Ｌの左側面に形成されたポートとしての不活性ガス供給口６３（６３ｄ）から、周方向Ｃ１に沿って左側に向けて不活性ガスを供給する。この構成により、開口部側の空間１２の下部において、左右方向Ｙ１の中間部から、不活性ガス供給口６３ｃ，６３ｄが、右側および左側に向けて不活性ガスを放出する。
【００８２】
上記の構成により、各不活性ガス供給部２１Ｌ，２１Ｒ，２２Ｌ，２２Ｒの不活性ガス供給口６３（６３ａ〜６３ｄ）は、ヒータ３が配置されている箇所から開口部５ｃ側（前側）に進んだ箇所に配置されており、熱処理室５内のうち開口部５ｃの周囲へ不活性ガスを供給する。本実施形態では、各不活性ガス供給口６３は、開口部側の空間１２のうち、筐体２の前壁２ｆと前後方向Ｘ１に向かい合う箇所に不活性ガスを供給する。
【００８３】
上記の構成により、不活性ガスは、開口部側の空間１２の上部および下部から周方向Ｃ１の両方向に向けて放出され、開口部側の空間１２に満たされる。そして、不活性ガスの一部は、連通部４７Ｌ，４７Ｒを通して奥側の空間１３へ向かう。この構成であれば、奥側の空間１３に配置された被処理物１００をヒータ３で加熱することで被処理物１００からバインダ成分が蒸発したとき、バインダガスは、不活性ガスによって排気管６側（奥側）へ押される。これにより、バインダガスは、開口部側の空間１２（扉８の扉本体３１の周囲）に至ることを阻止される。
【００８４】
以上説明したように、熱処理装置１によると、不活性ガス供給口６３（６３ａ〜６３ｄ）は、ヒータ３が配置されている箇所から開口部５ｃ側に進んだ箇所に設置されており、熱処理室５内のうち開口部５ｃの周囲へ不活性ガスを供給する。この構成によると、熱処理室５のうちヒータ３側から開口部５ｃ側に進んだ箇所は、ヒータ３からの熱が比較的届きにくいため、ヒータ３に近接している箇所と比べて温度が低くなり易い。この温度が低くなり易い箇所に、不活性ガス供給口６３から不活性ガスが供給される。このため、熱処理室５内に配置された被処理物１００に含まれるバインダ成分がヒータ３の熱によって気化した場合、バインダガスは、不活性ガス供給口６３から供給された不活性ガスによって、ヒータ３からの熱が比較的届きにくい開口部５ｃへ向かうことを妨げられる。これにより、熱処理室５の開口部５ｃ側、すなわち、熱処理室５のうち比較的低温になり易い箇所に、被処理物１００からのバインダガスが到達することを、より確実に抑制できる。その結果、被処理物１００から気化した成分が、熱処理室５内で液化して滞留することを抑制できる。
【００８５】
また、熱処理装置１によると、不活性ガス供給口６３は、扉８の扉本体３１に設けられている。この構成によると、熱処理室５内において温度が低くなり易い箇所である扉８に不活性ガス供給口６３が設けられている。よって、被処理物１００からのバインダガスが扉８付近に到達することを、不活性ガスによってより確実に抑制できる。
【００８６】
また、熱処理装置１によると、２つのカーテン部材４５Ｕ，４６Ｕ；４５Ｄ，４６Ｄの協働によって開口部側の空間１２と奥側の空間１３とが区切られている。よって、奥側の空間１３に配置された被処理物１００からのバインダガスが開口部側の空間１２に到達することをより確実に抑制できる。また、開口部側の空間１２に不活性ガスが供給されるので、被処理物１００からのバインダガスが開口部側の空間１２に侵入することは、より一層確実に抑制される。
【００８７】
また、熱処理装置１によると、各カーテン部材４５Ｕ，４６Ｕ；４５Ｄ，４６Ｄは、熱処理室５の周方向Ｃ１に沿って延びている。この構成によると、開口部側の空間１２が、熱処理室５の周方向Ｃ１における広い範囲に形成されることとなり、不活性ガスによる、被処理物１００からのバインダガスの侵入防止効果をより高くできる。また、連通部４７Ｌ，４７Ｒを通して、開口部側の空間１２から奥側の空間１３に向けて不活性ガスが流れることとなる。これにより、開口部側の空間１２から奥側の空間１３に向かう気流Ａ１が発生するので、被処理物１００からのバインダガスが開口部側の空間１２に到達することは、より一層確実に抑制される。
【００８８】
また、熱処理装置１によると、ファン３７で発生した気流Ａ１によって、熱処理室５内の温度をより均等にできる。さらに、ファン３７で発生した気流Ａ１は、第２ガイド部５７Ｕ，５７Ｄによって、熱処理室５の奥側（排気管６）に案内される。これにより、被処理物１００からのバインダガスが熱処理室５内において開口部５ｃ側に侵入することをより確実に抑制できる。
【００８９】
また、開口部側の空間１２は、扉８と、シール部材３４と、熱処理室５の端壁５ｂと、各カーテン部材４５Ｕ，４６Ｕ；４５Ｄ，４６Ｄと、によって区切られている。この構成によると、熱処理室５内において、開口部側の空間１２を、奥側の空間１３と物理的により確実に隔離できる。これにより、被処理物１００からのバインダガスが開口部側の空間１２に侵入することをより確実に抑制できる。
【００９０】
以上、本発明の実施形態について説明したけれども、本発明は上述の実施の形態に限られない。本発明は、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能である。
【００９１】
（１）上記実施形態では、第１カーテン部材本体４９Ｕ，４９Ｄが可撓性を有する構造である形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、第１カーテン部材本体４９Ｕ，４９Ｄを撓みの生じない剛体状に形成し、第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄの突出片部５６Ｕ，５６Ｄの先端部を、前後方向Ｘ１の力を受けたときに撓むように構成してもよい。
【００９２】
（２）また、上述の実施形態では、区切り部１４が第１カーテン部材４５Ｕ，４５Ｄと第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄとを有する形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、第１カーテン部材４５Ｕ，４５Ｄおよび第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄの何れか一方を省略してもよい。第２カーテン部材４６Ｕ，４６Ｄを省略する場合の一例が、図６に示されている。この場合、第１カーテン部材４５ＵＡ，４５ＤＡは、円弧状に形成され周壁５ａの内周面５ｅに固定された金属板等で形成することができる。各第１カーテン部材４５ＵＡ，４５ＤＡは、扉８の断熱材ケース３２の後端部３２ａの外周縁部の後方に配置されこの外周縁部と距離をあけて前後方向Ｘ１に対向する。この構成であれば、第１カーテン部材４５ＵＡ，４５ＤＡと断熱材ケース３２との間にラビリンス構造が形成される。この構成により、開口部側の空間１２と奥側の空間１３とを区切ることができ、被処理物１００からのバインダガスが開口部側の空間１２に侵入することを抑制できる。また、第１カーテン部材４５ＵＡ，４５ＤＡと断熱材ケース３２の後端部３２ａとの間から不活性ガスが奥側の空間１３に向けて流れることとなる。このような構成を、第２カーテン部材の無い簡素な構成で実現できる。
【００９３】
（３）また、上述の実施形態では、４つの不活性ガス供給口６３（６３ａ〜６３ｄ）が設けられる形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。不活性ガス供給口は、少なくとも１つ設けられていればよく、また、具体的な配置は、上述の実施形態に限定されない。
【００９４】
（４）また、上述の実施形態では、不活性ガス供給口６３が扉８に設けられた形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、不活性ガス供給口６３は、周壁５ａの内周面５ｅから不活性ガスを開口部側の空間１２に供給してもよい。
【００９５】
（５）以上、本発明の実施形態について説明した。しかしながら、本発明の熱処理装置は、ヒータが配置されている箇所から開口部側に進んだ箇所に設置され熱処理室内のうち開口部の周囲へ不活性ガスを供給するための不活性ガス供給口が設けられていればよく、上述の形態には限定されない。
【産業上の利用可能性】
【００９６】
本発明は、熱処理装置として広く適用することができる。
【符号の説明】
【００９７】
１  熱処理装置
３  ヒータ
５  熱処理室
５ｃ  開口部
８  扉
１２  開口部側の空間
１３  奥側の空間
３４  シール部材
３７  ファン
４５Ｕ，４５Ｄ，４５ＵＡ，４５ＤＡ  第１カーテン部材
４６Ｕ，４６Ｄ  第２カーテン部材
４７Ｌ，４７Ｒ  連通部
５７Ｕ，５７Ｄ  第２ガイド部（ガイド部）
６３（６３ａ〜６３ｄ）  不活性ガス供給口
Ｃ１  周方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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