(57)【要約】      （修正有）【課題】制限された数のアクチュエータしか光学系内に組み込まれる必要がない新規の可変ミラーを提供する。【解決手段】本発明は、反射面４及び反対側の隠面を有するプレート２であって、その形状が中心Ｃ及び半径ｒを有する、プレート２と、プレート２を変形させるために隠面に力を加えるように意図された少なくとも１つのアクチュエータと、を備える可変ミラー１に関する。プレート２は、複数の主部６及び副部７を備え、副部７は、主部６間に介在し、主部６の各々は、半径ｒの内の該当する半径ｒ’の両側において該半径ｒ’に実質的に沿って局部的に延在し、隣接する副部７の剛性と異なる剛性を有することを特徴とする。本発明による可変ミラーは、光ビームの光学収差の導入又は矯正を行うように特に意図されてる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射面（４）及び反対側の隠面（５）を有するプレート（２）であって、その形状が中心（Ｃ）及び半径（ｒ）を有する、プレート（２）と、前記プレート（２）を変形させるために前記隠面（５）に力を加えるように意図された少なくとも１つのアクチュエータと、を備える可変ミラー（１）であって、前記プレート（２）は、複数の主部（６）及び副部（７）を備え、前記副部（７）は、前記主部（６）間に介在し、前記主部（６）の各々は、前記半径（ｒ）の内の該当する半径（ｒ’）の両側において前記半径（ｒ’）に実質的に沿って局部的に延在し、前記隣接する副部（７）の剛性と異なる剛性を有することを特徴とする、可変ミラー（１）。
【請求項２】
前記プレート（２）の前記形状は、実質的に円形又は楕円形であることを特徴とする、先行する請求項１に記載の可変ミラー（１）。
【請求項３】
前記主部（６）は、前記反射面（４）と平行になる方向において局部的に前記半径（ｒ’）を実質的に横断する寸法（Ｌ）を有し、前記寸法（Ｌ）は、前記半径（ｒ’）に沿って変化することを特徴とする、請求項１又は２に記載の可変ミラー（１）。
【請求項４】
前記横断寸法（Ｌ）は、前記中心（Ｃ）から前記半径（ｒ’）の前記中心（Ｃ）から距離を隔てた主点（Ａ）まで、前記半径（ｒ’）に沿って外方に増大することを特徴とする、請求項３に記載の可変ミラー（１）。
【請求項５】
前記中心（Ｃ）と前記主点（Ａ）との間の距離は、前記半径（ｒ’）の長さの少なくとも３０％、好ましくは、少なくとも５０％、さらに好ましくは、少なくとも８０％、さらに一層好ましくは、前記半径（ｒ’）の全長であることを特徴とする、先行する請求項に記載の可変ミラー（１）。
【請求項６】
前記横断寸法（Ｌ）は、前記半径（ｒ’）の周端点（Ｐ）及び／又は前記プレート（２）の縁（３）から前記中心（Ｃ）に向かって、前記半径（ｒ’）の周端点（Ｐ）及び／又は前記縁（３）から距離を隔てた副点（Ｂ）まで、前記半径（ｒ’）に沿って増大することを特徴とする、請求項３−５のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項７】
前記周端点（Ｐ）及び／又は前記縁（３）と前記副点（Ｂ）との間の距離は、前記半径（ｒ’）の長さの少なくとも３０％、さらに好ましくは、少なくとも５０％であることを特徴とする、先行する請求項に記載の可変ミラー（１）。
【請求項８】
前記主点（Ａ）及び前記副点（Ｂ）は、互いに一致することを特徴とする、請求項４又は５又は６又は７に記載の可変ミラー（１）。
【請求項９】
前記主点（Ａ）及び前記副点（Ｂ）は、互いに一致しないことを特徴とする、請求項４又は５又は６又は７に記載の可変ミラー（１）。
【請求項１０】
前記横断寸法（Ｌ）は、前記主点（Ａ）と前記副点（Ｂ）との間で前記半径（ｒ’）に沿って実質的に一定であることを特徴とする、先行する請求項に記載の可変ミラー（１）。
【請求項１１】
前記横断寸法（Ｌ）は、前記半径（ｒ’）に沿って増大し、次いで減少することを特徴とする、請求項３−１０のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項１２】
前記主部（６）は、花弁状の一般形状を有することを特徴とする、先行する請求項１−１１のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項１３】
前記主部（６）は、前記隣接する副部（７）の剛性よりも高い剛性を有することを特徴とする、先行する請求項１−１２のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項１４】
前記主部（６）は、前記隣接する副部（７）の剛性よりも低い剛性を有することを特徴とする、先行する請求項１−１３のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項１５】
前記主部（６）に隣接する前記副部（７）の各々は、同一の剛性を有することを特徴とする、先行する請求項１−１４のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）．
【請求項１６】
前記主部（６）は、前記中心（Ｃ）を中心として等角で分配されることを特徴とする、先行する請求項１−１５のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項１７】
少なくとも８片の主部（６），好ましくは、少なくとも１０片の主部（６）を備えることを特徴とする、先行する請求項１−１６のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項１８】
前記主部（６）は、連続構造を有することを特徴とする、先行する請求項１−１７のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項１９】
前記主部（６）は、前記隣接する副部（７）に対して厚い表面部又は薄い表面部を有することを特徴とする、先行する請求項１−１８のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項２０】
前記厚い表面部は、前記プレート（２）に取り付けられた、例えば、接合された変形可能な切片によって少なくとも部分的に形成され、これによって、前記主部（６）を形成するようになっていることを特徴とする、先行する請求項に記載の可変ミラー（１）。
【請求項２１】
少なくとも部分的に前記厚い表面部又は前記薄い表面部を形成するために、前記プレート（２）の機械加工が前記隠面（５）の側において行われることを特徴とする、請求項１９又は２０に記載の可変ミラー（１）。
【請求項２２】
前記主部（６）は、離散構造を有することを特徴とする、先行する請求項１−２１のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項２３】
前記主部（６）は、その厚みを横切って形成された一組の空洞（９，１０）又は突起（１１）を備え、前記主部（６）に前記隣接する副部（７）の剛性と異なる剛性を与えるようになっていることを特徴とする、請求項１８を除く先行する請求項１−２２のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項２４】
前記主部（６）は、前記プレート（２）を構成する材料の物理的特性が変更された前記プレート（２）の部分によって形成され、これによって、前記主部（６）の剛性を変更するようになっていることを特徴とする、先行する請求項１−２３のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項２５】
各主部（６）は、１つ又は複数の第１の材料から形成され、各副部（７）は、１つ又は複数の第２の材料から形成され、前記第１及び第２の材料は、互いに異なる剛性を有することを特徴とする、先行する請求項１−２４のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項２６】
前記主部（６）は、前記プレート（２）の各円区域によって形成されることを特徴とする、請求項２及び請求項１−５及び１３−２５のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項２７】
前記プレート（２）の周辺を支持する固定された支持体をさらに備えることを特徴とする、先行する請求項１−２６のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項２８】
前記アクチュエータは、前記中心（Ｃ）に前記力を加えるように設計されることを特徴とする、先行する請求項１−２７のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項２９】
前記力は、前記反射面（４）と局部的に実質的に直交する方向に加えられることを特徴とする、先行する請求項１−２８のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項３０】
前記半径（ｒ’）の点（Ｆ）における前記横断寸法（Ｌ）は、式Ｌ＝−Ｌｏ×Ｎ２×Ｌｎ（Ｎ２）の式を満たし、該式において、Ｎは、前記中心（Ｃ）と前記点（Ｆ）との間の距離（ＣＦ）と前記半径（ｒ’）の全長との間の比率であり、Ｌｏは、重ならないように配置された主部（６）の数によって調整される定数であることを特徴とする、先行する請求項１−２９のいずれか１つに記載の可変ミラー（１）。
【請求項３１】
可変ミラー（１）を製造するための方法であって、
−プレート（２）を作製する少なくとも１つのステップであって、前記プレート（２）は、反射面（４）及び反対側の隠面（５）を有し、その形状が中心（Ｃ）及び半径（ｒ）を有し、前記プレート（２）は、複数の主部（６）及び副部（７）を備え、前記副部（６）は、前記主部（６）間に介在し、前記主部（６）の各々は、前記半径（ｒ）の内の該当する半径（ｒ’）の両側において前記半径（ｒ’）に実質的に沿って局部的に延在し、前記隣接する副部（７）の剛性と異なる剛性を有する、少なくとも１つのステップと、
−前記プレート（２）を変形させるために前記隠面（５）に力を加えるように意図された少なくとも１つのアクチュエータを適所に設置する少なくとも１つのステップと、
を含むことを特徴とする、方法。
【請求項３２】
前記プレート（２）を作製する前記ステップ中、前記主部（６）は、前記主部（６）の各々が寸法（Ｌ）を有するように作製され、前記寸法（Ｌ）は、前記反射面（４）と平行になる方向において前記半径（ｒ’）を局部的に実質的に横断し、かつ前記半径（ｒ’）に沿って変化するようになっていることを特徴とする、先行する請求項１−３０のいずれか１に記載の可変ミラー（１）を作製するための方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、種々の用途、例えば、天文学、医学、特に、眼科、レーザー用途、顕微鏡検査、マイクロエレクトロニクス、等において、補償光学系に用いられる可変ミラーの一般分野に関する。
【０００２】
さらに詳細には、本発明は、反射面及び反対側の隠面を有するプレートであって、その形状が中心及び半径を有する、プレートと、該プレートを変形させるために隠面に力を加えるように意図された少なくとも１つのアクチュエータと、を備える可変ミラーに関する。
【０００３】
本発明は、このようなミラーを製造するための方法にも関する。
【背景技術】
【０００４】
例えば、このようなミラー、特に、円形ミラーの表面に凹面又は凸面を生じさせることによって、例えば、乱視を生じる光ビームの波面の光学収差、すなわち、凹凸をシミュレート又は矯正するために、可変ミラーを用いることが知られている。
【０００５】
このようなミラーは、反射面及び反対側の隠面を有する柔軟プレートを備えている。隠面は、いくつかのアクチュエータに連結されている。アクチュエータは、プレートを局部的に前後に動かし、これによって、プレートの反射面で反射する光ビームを構成する種々の光線が辿る光学経路を変更するように意図されている。このように、該ミラーは、波面変形の発端において位相を変位させることができる。
【０００６】
しかし、このような周知のミラーは、ミラーを単純に変形させる場合であっても、例えば、単純に凹状曲率又は凸状曲率を生じさせる場合であっても、多数のアクチュエータを必要とし、これによって、このようなミラーの設置が複雑になり、製造コストが著しく高くなり、さらに壊れやすくなり、１つのアクチュエータの誤動作が可変プレートの変形不良を招く可能性もある、という欠点を有してる。加えて、隠面に対する多数のアクチュエータの連係によって、製造が比較的複雑になり、又使用寿命が制限され、これによって、コストがさらに増大し、これらの連係を修復するための休止期間が著しく延長されることになる。この休止期間は、破損した多数のアクチュエータの１つの交換に費やされる時間によって、さらに悪化する。
【０００７】
円形の可変ミラーと単一アクチュエータとを備える光学系を用いることも知られている。この単一アクチュエータは、ミラーの隠面に流体を接触させる吸引／圧縮式、又は隠面にネジを接触させる機械式である。このようなミラーは、特定の厚み輪郭を有する円形の可変プレートを備えている。この厚みは、アクチュエータ及びミラー支持体の種類、円形ミラーの半径のような因子を含む１つ又は複数の数学的公式に従って、ミラーの中心からその周辺まで軸対称的に連続的に減少するようになっている。
【０００８】
しかし、このような構成は、その実施が困難であり、かつ複雑である。この種のシステムは、特にプレートの特定の厚み輪郭を正確に形成するのが困難である。実際、該厚み輪郭が基づく数学的公式は、極めて複雑であり、多数の因子、例えば、アクチュエータ及び一般的な支持体構造の種類、並びに製造中にエラーが生じやすい円形ミラーの半径を含んでいる。円形ミラーの半径に従ってプレートの厚みを正確に減少させることによって、このような特定の数学的公式に基づくこの特定のプレート厚み輪郭を有するミラーを作製することは、困難であり、かつ高価になる。最後に、このような光学系の製造が高価になる１つの理由は、前述の厚み輪郭を形成するための方法にあるが、他の理由は、可変ミラーの用途が一般的に極めて高精度の製造を必要とすることによって、厚み輪郭が数学的公式に完全に対応しない場合に該ミラーを廃棄する比率が高くなることにある。
【０００９】
また、円形の可変プレートと、プレートを変形させるためにプレートの中心を引き込むか又は押し込むように意図された単一の機械的アクチュエータと、を備える光学系も知られている。このプレートは、その中心からその円縁まで（連続的にかつ軸対称的に千鳥配置されるように）階段のように減少する厚みを有している。
【００１０】
しかし、このような構成は、前述の理由と同じ理由によって、その実施が困難であり、かつ複雑である。実際、プレートの厚みに刻まれる段は、その作製が困難であり、またミラーの廃棄率が高くなるので、高価になる。例えば、段の１つが正確に作製されず、広すぎるか又は厚すぎる場合、ミラーが廃棄されることになる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
従って、本発明の目的は、前述の種々の欠点を解消し、製造が安価でそれほど複雑ではない信頼性のある小型の新規の可変ミラーを提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、簡素な頑強構造を有する新規の可変ミラーを提供することにある。
【００１３】
本発明の他の目的は、光学系内への設置が容易、迅速、かつ安価である新規の可変ミラーを提供することにある。
【００１４】
本発明の他の目的は、光ビームの焦点を正確かつ迅速に合わせることができ又は外すことができる新規の可変ミラーを提供することにある。
【００１５】
本発明の他の目的は、望まれる光学収差の導入又は矯正に容易に適合可能な新規の可変ミラーを提供することにある。
【００１６】
本発明の他の目的は、凹状曲率又は凸状曲率のような曲率の生成に特に適合する新規の可変ミラーを提供することにある。
【００１７】
最後に、本発明の目的は、制限された数のアクチュエータしか光学系内に組み込まれる必要がない新規の可変ミラーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明の目的は、反射面及び反対側の隠面を有するプレートであって、その形状が中心及び半径を有する、プレートと、プレートを変形させるために隠面に力を加えるように意図された少なくとも１つのアクチュエータと、を備える可変ミラーによって、達成される。プレートは、複数の主部及び副部を備え、副部は、主部間に介在し、主部の各々は、半径の内の該当する半径の両側において該半径に実質的に沿って局部的に延在し、隣接する副部の剛性と異なる剛性を有することを特徴とする。
【００１９】
本発明の目的は、可変ミラーを製造するための方法によっても達成される。この方法は、
−プレートを作製する少なくとも１つのステップであって、プレートは、反射面及び反対側の隠面を有し、その形状が中心及び半径を有し、プレートは、複数の主部及び副部を備え、副部は、主部間に介在し、主部の各々は、半径の内の該当する半径の両側において該半径に実質的に沿って局部的に延在し、隣接する副部の剛性と異なる剛性を有する、少なくとも１つのステップと、
−プレートを変形させるために隠面に力を加えるように意図された少なくとも１つのアクチュエータを適所に設置する少なくとも１つのステップと、
を含むことを特徴とする。
【００２０】
本発明の他の特性及び利点は、例示的な非制限的実例としてのみ提示される以下の説明を添付の図面を参照して読むことによって、さらに詳細に明らかになるだろう。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１の実施形態による可変ミラーを隠面の側から見た斜視図である。
【図２】１つの主部のみが示されている、本発明の第２の実施形態による可変ミラーの隠面の正面図である。
【図３】１つの主部のみが示されている、本発明の第３の実施形態による可変ミラーの隠面を示す図である。
【図４】本発明の第４の実施形態による可変ミラーの隠面の正面図である。
【図５】１つの主部のみが示されている、本発明の第５の実施形態による可変ミラーの隠面の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図１−５に示される第１の態様によれば、本発明は、可変ミラー１に関する。
【００２３】
具体的には、ミラー１は、補償光学を用いる必要のあるシステム、例えば、天文観察システム又は眼科撮像システムに用いられることが意図されている。特に、ミラー１は、光ビームの光学収差を導入又は矯正することを意図している。
【００２４】
本発明によれば、図１に示されるように、ミラー１は、反射面４及び反対側の隠面５を有するプレート２を備えている。好ましくは、反射面４は、隠面５と局部的に平行であり、反射面４及び隠面５は、プレート２の互いに反対側の面に位置している。
【００２５】
有利には、外部影響力が作用しない場合、プレート２は、実質的に平坦な一般形状、又はいくらか反った形状、すなわち、いくらか凸状（又は視点によっては、いくらか凹状）の形状を有し、好ましくは、少なくとも１つの仕上縁３を備えている。プレート２のこの凸性（又は視点によって、凹性）は、好ましくは、十分にわずかであり、すなわち、プレート２の寸法と比べて比較的大きい曲率半径を有し、この反ったプレート２の面は、局部的に（すなわち、プレート２の表面積のごくわずかな一部において）、平坦面と見なされる。
【００２６】
好ましくは、外部影響力が作用しない場合及び／又は作用する場合、プレート２は、実質的に平面状の一般形状を有するか、又は（裸眼によって見えないか又は殆ど目立たないほど十分にわずかな凸性又は凹性を有する）いくらか反った一般形状を有している。プレート２のこの凸性又は凹性は、プレート２にとって十分に小さく、例えば、球のかなりの部分、例えば、球の１／２、１／３、１／４、又は１／５を超えるものではない。いずれにしても、好ましくは、プレート２の凸性又は凹性は、有意な内部空間の境界線を定めるものではない。
【００２７】
好ましくは、プレート２は、比較的柔軟な材料から作製されるが、十分な外部圧力又は外部張力が加えられない限り、殆ど又は全く変形しない程度の機械的強度を有している。従って、プレート２は、有利には、機械的強度を本来的に備え、たるむことなく、にもかかわらず、わずかな弾性変形を生じるのに十分な柔軟性、すなわち、特に曲げ付勢された時の可逆性を有している。
【００２８】
有利には、プレートは、薄くて、変形可能である。このプレートは、特に、その表面に加えられた外部力、具体的には、アクチュエータによって加えられた力の作用によって、変形する。
【００２９】
有利には、プレート２は、５０μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下、さらに実質的に３μｍ〜５μｍの平均厚みを有している。好ましくは、本発明によって意図される機能に関して、プレート２は、比較的小さい寸法を有し、例えば、３０μｍ以下、好ましくは、２０μｍ以下、さらに好ましくは、１５μｍ以下の直径を有している。
【００３０】
好ましくは、プレート２は、シリコン、金属（例えば、鋼又はアルミニウム）、合金、ポリマー、複合材料、セラミック、又はいくつかの異なる材料、特に、前述の材料の組合せから本質的に作製されている。
【００３１】
有利には、外部圧力又は外部張力、例えば、中心圧力又は中心張力が加えられた時、プレート２は、プレート２が実質的に平面状に作製されている場合、凸性（又は視点によっては、凹性）をもたらすように変形され、又はプレートが実質的に反っている場合又は凸面の場合、凸性（又は視点によっては、凹性）を大きくし、又は凸性（又は視点によっては、凹性）を小さくするように変形される。例えば、プレート２が実質的に反っている場合又は凸面（又は視点によっては、凹面）の場合、プレート２の適切な箇所に加えられた十分な外部圧力又は外部張力によって、該圧力又は張力が加えられている限り、プレート２が実質的に平面状に保たれるようになっているとよい。
【００３２】
本発明によれば、図示されるように、プレート２の形状は、中心Ｃ及び半径ｒを有してる。
【００３３】
好ましくは、中心Ｃは、プレート２の形状の幾何学的中心、例えば、重力の中心及び／又は質量中心である。
【００３４】
好ましくは、半径ｒの各々は、中心Ｃと一致する第１の端と周端点Ｐ、すなわち、プレート２の縁３の点である第２の端とを有する線分である。
【００３５】
有利には、図示されるように、プレート２の形状は、実質的に円形又は楕円形である。円形プレート２の場合、上記の半径の線分は、いずれも実質的に同一長さを有している。また、プレート２は、円板の形状にあり、プレート２の縁が円を画定している。
【００３６】
代替的に、プレート２の形状は、三角形、矩形、正方形、台形、又は任意の他の適切な多角形状であってもよい。
【００３７】
好ましくは、プレート２がいくらか反っている場合（凹面又は視点によっては、凸面の場合）、プレート２の形状は、反ったプレート２が平坦に置かれた時、前述の特性を有することになる。
【００３８】
好ましくは、反射面４は、実質的になめらかな表面を有しており、該反射面は、光ビームを反射するように、及びミラー１が能動的に変形した時に光学収差を導入又は矯正するように意図されている。従って、反射面４は、有利には、不均一又は凹凸のない（光が入射及び反射する）面からなっており、好ましくは、入射光ビームを受光し、該光ビームを、入射ビームに存在しない光学収差を含む反射ビームとして、又は入射ビームに存在する光学収差が矯正された反射ビームとして、又はそれらの両方を含む反射ビームとして、反射することになる。
【００３９】
隠面５は、好ましくは、プレート２を適切に変形させることを可能にする圧力又は張力を受けるように、すなわち、ミラー１が補償光学系内においてその機能を満足に果たすように意図されている。
【００４０】
従って、プレート２は、有利には、プレート２の厚みによって分離された互いに反対側に位置する反射面４及び隠面５を有する、平坦な形状又はいくらか反った形状を有している。この厚みは、好ましくは、プレート２の該面４，５の全寸法と比較して比較的小さいものである。
【００４１】
プレート２の反射面４及び隠面５は、好ましくは、プレート２と一体に作製され、例えば、同一材料から機械加工されている。
【００４２】
代替的に、プレート２は、互いに取り付けられ、かつ接合されたいくつかのプレート部分から構成されている。プレート２のこれらの部分の一方は、例えば、反射面４を含み、他方は、例えば、隠面５を含んでいる。
【００４３】
本発明によれば、可変ミラー１は、プレート２を変形させるために、隠面５に力を加えるように意図された（図示されない）少なくとも１つのアクチュエータも備えている。換言すれば、プレート２を効果的に変形させることによって、さらに具体的には、プレート２の曲率（さらに一般的には、ミラーの曲率、さらに正確には、反射面４の曲率）を局部的に変形させることによって、反射面４から反射した光ビームの光学収差を導入又は矯正するために、可変ミラー１は、プレート２の隠面５の側に圧力又は張力を加えるように設計された少くなくとも１つのアクチュエータを備えている。その結果、該曲率は、アクチュエータによって隠面５に加えられた力によって、少なくとも部分的に変化することになる
【００４４】
有利には、アクチュエータは、力を中心Ｃに加えるように設計されている。
【００４５】
好ましくは、力は、反射面４と局部的に実質的に直交する方向に加えられるようになっている。
【００４６】
好ましくは、可変ミラー１は、固定支持体をさらに備え、該支持体にプレート２の周囲が支持されている。固定支持体は、好ましくは、フレームに連結されている。にも関わらず、仮に該支持体上に配置されていたとしても、プレート２は、有利には、十分に頑丈かつ固形化されており、その固有の機械的強度を確保するために、保持構造体、例えば、枠体を必要としない。換言すれば、プレート２は、好ましくは、どのような枠体、ハッチ、骨格、又は任意の補強構造を必要とすることなく、それ自体の構造によって、その固有の機械的強度を維持することになる。
【００４７】
代替的に、可変ミラー１は、プレート２の周辺を支持する周辺アクチュエータを（単独で又は上記の固定支持体と組み合わせて）備えていてもよい。
【００４８】
有利には、１つ又は複数のアクチュエータは、当業者によって知られるどのような形式のもの（圧電アクチュエータ、磁気アクチュエータ、２部品アクチュエータ、機械的アクチュエータ、スクリューアクチュエータ、等）であってもよい。例えば、該アクチュエータは、接合点を介して隠面５に連結され、隠面５の表面に張力又は圧力を局部的に伝達し、プレート２を変形させるものであり、該力は、好ましくは、反射面４を実質的に横断する方向に局部的に加えられる。
【００４９】
有利には、プレート２は、少なくとも１つの縁３を備えている。縁３は、固定支持体に取り付けられるか、又は１つ又は複数のアクチュエータに連結されるか、又はそれらの組合せによって保持される（すなわち、縁３のいくつかの部分がアクチュエータに取り付けられ、縁の他の部分が固定支持体に取り付けられる）。
【００５０】
図１−５は、アクチュエータ及びフレームが省略された可変ミラー１の隠面５を示している。
【００５１】
好ましくは、ミラー１は、その補償光学機能を果たすために、すなわち、光ビームの光学収差を導入するか又は矯正するために、１つのみのアクチュエータ又は限られた数、例えば、１つ、２つ、又は３つのアクチュエータを備えている。
【００５２】
例えば、隠面５は、１つ又は一組のアクチュエータ、好ましくは、単一又は一組の中心アクチュエータ、すなわち、プレート２の中心Ｃに集中された領域及び／又は中心Ｃの周りの領域に力を加える単一又は一組のアクチュエータの張力及び／又は圧力を受けることが意図されている。
【００５３】
他の例によれば、隠面５は、流体式の加圧／減圧アクチュエータの圧力及び／又は張力を受けることが意図されている。加圧又は減圧は、該支持体内において生じ、プレート２の反射面の側に凸面又は凹面を生成するようになっている。
【００５４】
さらに他の例によれば、複数のアクチュエータが隠面５に均一に分布されるように、すなわち、隠面５に規則的に連結されるように意図されている。アクチュエータ／隠面５の連係の密度は、隠面５の全体にわたってほぼ均等である。
【００５５】
本発明によれば、プレート２は、複数の主部６及び副部７を備えており、副部７は、主部６間に介在している。換言すれば、プレート２は、交互配置された主部６及び副部７に分割されている。有利には、主部６の各々は、少なくとも２つの副部７と境界を接しており、逆に副部７の各々は、少なくとも２つの主部６と境界を接している。好ましくは、主部６及び副部７は、隠面５の表面積の少なくとも一部を占め、さらに好ましくは、隠面５の全表面積を占めている。従って、主部６及び副部７の各々は、有利には、隠面５の全表面積よりも小さい表面積を有し、複数の主部６及び複数の副部７は、それぞれ、隠面５の全表面積よりも小さい表面積を有している。
【００５６】
好ましくは、プレート２は、副部７と同数の主部６を備えている。
【００５７】
本発明によれば、図示されるように、主部６の各々は、半径ｒの内の該当する半径ｒ’の両側において該半径ｒ’に実質的に沿って局部的に延在している。換言すれば、主部６は、少なくともかなりの部分にわたって、プレート２の半径ｒの内の該当する半径ｒ’に追従する実質的に細長の形状を有している。半径ｒ’は、有利には、主部６を少なくとも２つの部分６ａ，６ｂに分割している。以下、明瞭にするために、複数の主部６の内、前述の各半径ｒ’に関連する単数の主部を「主部６」と呼ぶ。他の主部６の各々は、異なる半径ｒ’（すなわち、主部６ごとに異なる半径ｒ’、好ましくは、同一長さを有する半径ｒ’）に関連し、有利には、以下に述べる主部６の特性と同じ特性を有することになる。従って、例えば、「複数の主部６の各々」という表現は、「主部６」という表現と等価である。好ましくは、複数の主部６は、いずれも、それらの空間的な配置を除けば、同等である。  
【００５８】
好ましくは、図示されるように、半径ｒ’は、主部６を２つの部分６ａ，６ｂに分割している。これらの部分６ａ，６ｂは、有利には、実質的に等しい表面積を有している。さらに好ましくは、部分６ａ，６ｂは、実質的に対称的であり、半径ｒ’は、これらの部分６ａ，６ｂの対称軸を形成している。
【００５９】
好ましくは、図示されるように、半径ｒ’は、主部６内に完全に含まれている。代替的に、半径ｒ’の一部のみが主部６内に含まれていてもよく、半径ｒ’のこの一部は、有利には、連続しており、すなわち、１つの区分のみからなっている。
【００６０】
有利には、図１，４に示されるように、これらの主部６は、中心Ｃを中心として等角に分配されている。換言すれば、これらの主部６の各々は、好ましくは、異なる半径ｒ’に沿って延在しており、互いに隣接する２つの半径ｒ’を分割する角度は、常に実質的に同じである。  
【００６１】
有利には、図１，４に示されるように、可変ミラー１は、少なくとも８片の主部６，好ましくは、少なくとも１０片の主部６を備えている。例えば、図１，４に示されるように、可変ミラー１は、８つの主部６、従って、８つの半径ｒ’を備えており、これらの８つの半径ｒ’の各々は、隣接する半径ｒ’から約４５°の角度だけ離間している。
【００６２】
本発明によれば、図示されるように、主部６の各々は、隣接する副部７の剛性と異なる剛性を有している。換言すれば、プレート２の主部６は、好ましくは少なくとも２つの隣接する副部７よりも変形しにくいか又は変形しやすくなっている。これは、各主部６が隣接する副部７と異なる弾性変形抵抗を有することを意味している。さらに換言すれば、主部６は、（特に１つ又は複数のアクチュエータの作用による曲げによって、主部６に隣接する副部７を構成するプレート２の他の部分よりも変形しにくいか又は変形しやすい）プレート２の部分である。当然のことではあるが、各副部７は、有利には、隣接する主部６の剛性と異なる剛性を有している。
【００６３】
有利には、主部６に隣接する副部８の各々は、同じ剛性を有している。
【００６４】
好ましくは、主部６は、いずれも同一の主たる剛性を有しており、副部７は、いずれも同一の副次的剛性を有しており、主部及び副部のそれぞれの剛性は、実質的に互いに異なっている。
【００６５】
本発明の変更例によれば、図１に示されるように、主部６は、隣接する副部７の剛性よりも高い剛性を有している。
【００６６】
本発明の他の変更例によれば、図４に示されるように、主部６は、隣接する副部７の剛性よりも低い剛性を有している。
【００６７】
好ましくは、図示されるように、主部６は、隣接する副部７に対して厚い表面部又は薄い表面部を有している。
【００６８】
従って、図１は、主部６が厚い表面部を有する可変ミラー１を示しており、図４は、主部６が薄い表面部を有する可変ミラー１を示している。図２，３，５の各々は、主部６が厚い表面をもたらす浮出部又は薄い表面部をもたらす凹部を有する可変ミラー１を示している。
【００６９】
好ましくは、主部６の厚い表面部又は薄い表面部は、隣接する副部７の剛性よりも高いか又は低い剛性を主部７にもたらすことになる。例えば、図１は、主部６の（隣接する副部７の剛性と比べて高い）剛性が隣接する副部７に対する主部６の厚い表面部によって得られるミラー１を示している。
【００７０】
好ましくは、厚い表面部又は薄い表面部を少なくとも部分的に形成するために、プレート２の隠面５の側の機械加工が行われる。従って、特に、主部６が厚い表面部を有することが望まれる場合、例えば、主部６に隣接する副部７の機械加工が行われる。逆に、主部６が薄い表面部１を有することが望まれる場合、主部６の機械加工が行われる。好ましくは、主部６が機械加工される場合、主部６は、該主部に隣接する副部７の剛性よりも低い剛性を有し、逆に、主部６に隣接する副部７が機械加工される場合、主部６は、該主部６に隣接する副部７の剛性よりも高い剛性を有することになる。
【００７１】
代替的に、厚い表面部は、プレート２に変形可能な切片を取り付けることによって、例えば、接合することによって、少なくとも部分的に形成され、これによって、主部６を形成してもよい。好ましくは、該切片は、プレート２の残りと同じ材料から作製される。代替的に、該切片は、プレート２の残りと異なる柔軟材料から作製される。一般的に、切片（実際には、厚い表面部）は、好ましくは、主部６の剛性を増大させることが意図されている。例えば、厚い表面部は、プレート２上に取り付けられた変形可能な切片によって形成され、これによって、隣接する副部７の機械加工によって、主部６が形成される。
【００７２】
主部６又は隣接する副部７のいずれかの厚い表面部又は薄い表面部は、どのような適切な方法、例えば、選択的エッチング、選択的蒸着、等によって作製されてもよい。厚い表面部又は薄い表面部は、前述の方法及び手段の組合せによって、例えば、主部６に切片を接合し、これに続いて、主部６に隣接する副部７を機械加工することによって作製されてもよい。
【００７３】
代替的に、図１，３に示されるように、主部６は、連続構造を有していてもよい。換言すれば、主部６は、互いに隔てられたまだらな点によって形成されるのではなく、好ましくは、実質的になめらかな局部的に平坦な表面部を有している。このような連続構造の例は、図１，３に示されている。この例では、主部６は、有利には、花弁状又は紡錘状の一般形状をさらに有しており、該花弁は、単一体に作製されている。
【００７４】
図２，４，５に示される本発明の実施形態の他の代替例によれば、主部６は、離散構造を有している。換言すれば、主部６は、互いに隔てられたまばらな点によって形成された構造を有している。
【００７５】
このような離散構造の例は、図４，５に示されている。この例では、主部６は、その厚みを横切って形成された一組の空洞９，１０又は突起１１を備え、これによって、隣接する副部（７）の剛性と異なる剛性を主部（６）に与えることになる。
【００７６】
具体的には、図４は、主部６が該主部の表面に均一に分布された一組の空洞９を有するミラー１を示している。空洞９は、隣接する副部７と比較して主部６の剛性を低下させる。主部６の空洞９は、主部６に非連続的な特性、すなわち、離散特性をもたらすと共に、主部６に隣接する副部７に対して薄い表面部をもたらす。実際、図４に示されるミラー１の主部６の剛性は、主部６に隣接する副部７の剛性よりも低い。
【００７７】
具体的には、図５は、主部６が、該主部の表面に不規則に分布する一組の空洞１０又は突起１１（黒丸は、第１又は第２の黒丸を表している）を有するミラー１を示している。空洞１０又は突起１１は、それぞれ、隣接する副部７と比較して主部６の剛性を低下又は増大させるものである。例えば、プレート２の中心Ｃの近くで縁３よりも密集して分布する空洞１０又は突起１１の有利な不規則分布によって、空洞１０又は突起１１が殆ど分布しない箇所（すなわち、ここでは中心Ｃ）において、隣接する副部７の剛性に近い剛性が主部６に与えられ、逆に、この不規則分布によって、空洞１０又は突起１１が最も密集して分布する箇所（すなわち、ここでは、縁３）において、隣接する副部７の剛性と異なる剛性が与えられる。好ましくは、空洞又は突起１１は、比較的小さく、すなわち、隠面５の全表面よりも著しく小さい（好ましくは、少なくとも１／１０、さらに好ましくは。少なくとも１／２０、さらに一層好ましくは、少なくとも１／５０の）個々の表面積を有している。
【００７８】
このような離散構造の他の例が、特に図２に示されている。この例では、主部６は、花弁状又は紡錘状の一般形状を有している。主部６のこの形状は、いくつかの湾曲した細長タブ８に分割されている。これらのタブ８は、（一定又は可変）幅及び長さを有し、これらのタブが交差する両端を除いて、互いに異なって離間している。タブが交差する両端の一方は、プレート２の中心Ｃであり、他方は、プレート周端点Ｐである。実際には、タブ８は、好ましくは、プレート２の隠面の側に形成された厚い表面部又は薄い表面部からなっている。
【００７９】
他の実施形態によれば、主部６は、プレート２の（プレート２を構成する材料の物理的特性の変更によって剛性が修正された）部分から形成されている。
【００８０】
（図示されない）さらに他の実施形態によれば、各主部６が１つ又は複数の材料から形成され、各副部７も１つ又は複数の材料から形成され、第１及び第２の材料は、互いに異なる剛性を有している。従って、この場合、剛性の差は、主部６及び副部７を形成する互いに異なる材料によって得られ、その結果として、プレート２は、複合特性を有することになる。
【００８１】
好ましくは、図示されるように、主部６は、寸法Ｌも有している。寸法Ｌは、反射面４と平行になる方向において局部的に半径ｒ’を実質的に横断している。この寸法Ｌは、半径ｒ’に沿って変化している。換言すれば、半径ｒ’に実質的に沿って局部的に延在する（半径ｒ’以下の長さを有する）主部６は、局部的に該長さと実質的に直交する幅を有している。この幅は、プレート２に沿って、従って、プレート２の厚みの延長方向と局部的に直交して延在している。この幅は、可変である。ここで、「局部的に（locally）」又は「局部的な（local）」という用語は、可変ミラー１がいくらか反っている場合（いくらか凹面又は凸面の場合）、プレート２を局部的に実質的に平坦なプレートとして近似し、上記寸法を局限的又近視的な視点から考察するために用いられる。実際、主部６は、プレート２の半径方向堅さ又は剛性を著しくかつ差別的に変更し、これによって、主部６は、半径ｒ’に沿って変形しにくく又は変形しやすくなる。換言すれば、これによって、アクチュエータを用いて、（半径ｒ’のある区分からなる）プレートの一部を（半径ｒ’の残りの区分からなる）プレート２の他の部分に接近又は離反させることによって、プレート２の一部を変形されることが可能になる。
【００８２】
代替的に、横断寸法Ｌは、半径ｒ’の全体に沿って実質的に一定であってもよい。
【００８３】
好ましくは、図示されるように、横断寸法Ｌは、中心Ｃから半径ｒ’の（中心Ｃから距離を隔てた）主点Ａまで、半径ｒ’に沿って外方に増大するようになっている。
【００８４】
代替的に、横断寸法Ｌは、中心Ｃから半径ｒ’の（中心Ｃから距離を隔てた）第３の点まで、半径ｒ’に沿って外方に減少するようになっていてもよい。
【００８５】
好ましくは、横断寸法Ｌは、著しく制御された連続的かつ規則的な態様で半径ｒ’に沿って変化するようになっている。
【００８６】
好ましくは、横断寸法Ｌは、最小値及び最大値を有し、その間で変化するようになっている。有利には、最小値と最大値との間の差は、著しく大きくかつ制御されており、すなわち、明確になっており、無作為ではなく、例えば、半径ｒ’の少なくとも５％、好ましくは、少なくとも１０％、さらに少なくとも３０％、又は例えば、少なくとも５０％である。好ましくは、横断寸法Ｌは、関連する主部６が一組の有意な固有の特性、すなわち、プレート２の寸法と比較して明確かつ無視できない大きさ、表面、及び表面積をもたらすように変化するようになっている。有利には、横断寸法Ｌの変化は、可変ミラー１、特に、プレート２、さらに具体的には、横断寸法Ｌに関連する主部６の偶発的な動き、エラー、又は接近から得られるものではない。
【００８７】
有利には、中心Ｃと主点Ａ（代替的に第３の点）との間の距離は、図１−３に示されるように、半径ｒ’の長さの少なくとも３０％、好ましくは、少なくとも５０％、さらに好ましくは、図４，５に示されるように少なくとも８０％、さらに一層好ましくは、半径ｒ’の全長である。有利には、この最後の例は、特に円形又は楕円形のプレート２の場合、横断寸法Ｌが、中心Ｃからプレート２の縁３（代替的に、半径ｒ’の縁３又は周端点）まで、好ましくは連続的に増大（代替的に、減少）している状態を指すものと理解されたい。
【００８８】
代替的に、特に横断寸法Ｌが中心Ｃから半径ｒ’の全体に沿って外方に連続的に単に増大する場合、主部６は、プレート２の各扇形部によって形成されることになる。
【００８９】
好ましくは、図１−３に示されるように、横断寸法Ｌは、半径ｒ’の周端点Ｐ及び／又はプレート２の縁３から中心Ｃに向かって（すなわち、プレート２の内部に向かって）、半径ｒ’の（周縁点Ｐ及び／又は縁３から距離を隔てた）副点Ｂまで半径ｒ’に沿って単に増大している。
【００９０】
好ましくは、図１−３に示されるように、周縁点Ｐ及び／又は縁４と副点Ｂとの間の距離は、半径ｒ’の長さの少なくとも３０％、さらに好ましくは、少なくとも５０％である。
【００９１】
代替的に、横断寸法Ｌは、プレート２の縁３から中心Ｃに向かって、半径ｒ’の（縁３から距離を隔てた）第４の点Ｄまで半径ｒ’に沿って減少するようになっている。特定の例によれば、図４，５に示されるように、第４の点Ｄは、中心Ｃと一致し、横断寸法Ｌは縁３から中心Ｃまで半径ｒ’に沿って減少する。これは、横断寸法Ｌが中心Ｃからプレート２の縁３まで増大する場合に相当する。
【００９２】
好ましくは、縁３は、半径ｒ’を制限する。さらに好ましくは、縁３は、半径ｒ’によって、同一長さを有する対称的な２つの部分に分割される。
【００９３】
本発明の変更例によれば、図１−３に示されるように、主点Ａ及び副点Ｂは、一致している。
【００９４】
図示されない本発明の他の変更例によれば、主部Ａ及び副部Ｂは、一致しない。代替的に、横断寸法Ｌは、半径ｒ’に沿って、主点Ａと副点Ｂとの間で実質的に一定である。
【００９５】
従って、前述の最後の２つの変更例では、方向とは無関係に、横断寸法Ｌは、半径ｒ’の一端から他端（例えば、中心Ｃ及び周縁点Ｐ）まで半径ｒ’に沿って増大し、次いで、減少する。
【００９６】
図示されない本発明のさらに他の変更例によれば、第３の点及び第４の点は、一致している。
【００９７】
図示されない本発明のさらに他の変更例によれば、第３の点及び第４の点Ｄは、一致しない。
【００９８】
この最後の変更例では、例えば、横断寸法Ｌは、第３の点と第４の点Ｐとの間で半径ｒ’に沿って実質的に一定である。
【００９９】
従って、前述の最後の２つの変更例では、横断寸法Ｌは、半径ｒ’の一端から他端（例えば、中心Ｃ及び周端点Ｐ）まで、半径ｒ’に沿って増大し、次いで、減少する。これは、方向と無関係である。
【０１００】
好ましくは、半径ｒ’の点Ｆにおける横断寸法Ｌは、Ｌ＝−Ｌｏ×Ｎ２×Ｌｎ（Ｎ２）の式を満たし、該式において、Ｎは、中心Ｃと点Ｐとの間の距離ＣＦと半径ｒ’の全長との比率であり、Ｌｏは、（重ならないように配置された）主部６の数に応じて調整される定数である。
【０１０１】
勿論、適切な可変ミラーの作製を望む当業者に明らかなように、前述の種々の変更例及び実例のどのような組合せも可能である。
【０１０２】
好ましくは、図３に示されるように、ミラー１は、特にプレート２が円形又は楕円形の場合、プレート２の隠面５の側にリング１２の形態にあるプレート２の１つ又は複数の領域を備えている。これらのリング１２は、主部６及び／又は副部７の剛性と異なる剛性を有している。また、これらのリング１２は、その中心として中心Ｃを有している。好ましくは、図３に示されるように、１つ又は複数のリングは、主部６及び／又は副部７に対して厚い表面部又は薄い表面部を備え、プレート２上に形成されるか又は取り付けられている。さらに好ましくは、これらのリング１２は、主部６を制限する。実際には、これらのリングは、半径方向の堅さ又は剛性を殆ど変更しないが、主部６の形状のエラー又は主部６間の共鳴モードを低減することになる。
【０１０３】
有利には、副部７の各々は、半径ｒの内の該当する半径ｒ’の両側において該半径ｒ’に実質的にに沿って局部的に延在している。従って、主部６及び副部７の各々は、好ましくは、半径ｒの内の該当する半径ｒ’の両側において該半径ｒ’に実質的に沿って局部的に延在している。具体的には、副部７は、（該当する）寸法Ｌを有している。この寸法Ｌは、反射面４と平行になる方向において局部的に半径ｒ’を実質的に横断し、かつ半径ｒ’に沿って変化している。特に、副部７の横断寸法Ｌは、主部６の横断寸法と同様の寸法特性を有しているとよい。例えば、各横断寸法Ｌは、中心Ｃから半径ｒ’の（中心Ｃから距離を隔てた）主点Ａまで半径ｒ’に沿って外方に増大している。図１の実施形態によれば、図示されるように、主部６の横断寸法Ｌは、中心Ｃから半径ｒ’に沿って増大し、次いで、減少し、その一方、副部７の横断寸法Ｌは、半径ｒ’に沿って単に増大している。
【０１０４】
有利には、副部７は、主部６の形状と相補的な形状を有している。例えば、図１に示されるように、各主部６が花柄形状を有し、プレート２が実質的に円形又は楕円形の一般形状を有する場合、これに応じて、各副部７は、有利には、２つの隣接する花弁を分割するプレート２の部分によって形成される。
【０１０５】
好ましくは、副部７は、中心Ｃを中心として等角に分布されている。好ましくは、可変ミラー１は、少なくとも８片の副部７、さらに少なくとも１０片の副部７を備えている。
【０１０６】
例えば、副部７は、図１に示されるように、連続構造を有している。他の例によれば、副部７は、図４に示されるように、離散構造を有している。一実施形態によれば、各主部及び／又は副部７は、プレート２の隠面５の側を機械加工することによって、形成される。一実施形態によれば、副部７は、その厚みを横切って形成された一組の空洞又は突起を備え、これによって、隣接する主部６の剛性と異なる剛性が副部７に与えられる。特定の実施形態によれば、副部７は、プレート２を構成する材料の物理的特性が変更されたプレートのそれぞれの部分によって形成され、これによって、副部７の剛性が修正されることになる。一例によれば、各副部７は、プレート２のそれぞれの扇形部によって形成される。さらに他の例によれば、各副部７は、図４に示されるように、花柄状又は紡錘状の一般形状を有している。
【０１０７】
他の態様によれば、本発明は、可変ミラー１を製造するための方法に関する。好ましくは、この方法は、前述の可変ミラー１を製造するために実施されるが、本発明の範囲から逸脱することなく、他のミラーを製造するために実施されてもよい。従って、可変ミラー１に関する前述の説明は。必要な変更を加えることによって、本発明による方法に適用可能である。
【０１０８】
本発明によれば、この方法は、
−プレート２を作製する少なくとも１つのステップであって、プレート２は、反射面４及び反対側の隠面５を有し、その形状が中心Ｃ及び半径ｒを有し、プレート２は、複数の主部６及び副部７を備え、副部７は、主部６間に介在し、主部６の各々は、半径ｒの内の該当する半径ｒ’の両側において該半径ｒ’に実質的に沿って局部的に延在し、隣接する副部７の剛性と異なる剛性を有する、少なくとも１つのステップと、
−プレート７を変形させるために隠面５に力を加えるように意図された少なくとも１つのアクチュエータを適所に設置する少なくとも１つのステップと、
を含んでいる。
【０１０９】
好ましくは、プレート２を作製するステップ中に、主部６は、該主部６の各々が寸法Ｌを有するように作製され、該寸法Ｌは、反射面４と平行になる方向において局部的に半径ｒ’を実質的に横断し、かつ当該半径ｒ’に沿って変化するようになっている。
【０１１０】
代替的に、主部６は、横断寸法Ｌが、当該半径ｒ’の全体に沿って一定であるように、作製されてもよい。
【０１１１】
有利には、プレート２を作製するステップ中に、主部６の各々は、半径ｒ’の内の該当する半径ｒ’の両方において該半径ｒ’に実質的に沿って局部的に延在するように、作製されるとよい。さらに一層有利には、プレート２を作製するステップ中に、副部７は、該副部の各々が寸法Ｌを有するように、作製され、該寸法Ｌは、反射面４と平行になる方向において局部的に半径ｒ’を実質的に横断し、かつ半径ｒ’に沿って変化するようになっている。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【外国語明細書】
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