(57)【要約】【課題】炭化炉から排出された炭化物からの熱分解ガスの発生を抑制可能な炭化物製造方法を提供すること。【解決手段】炭化物製造方法であって、バイオマスを加熱することによって当該バイオマスから炭化物を生成する炭化物生成工程と、前記炭化物生成工程で生成された炭化物を収容部（４２）内に収容するとともに、前記収容部（４２）内を陰圧にすることによって前記炭化物に吸着されている熱分解ガスを除去する除去工程と、を備えること。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バイオマスを加熱することによって当該バイオマスから炭化物を生成する炭化物生成工程と、
前記炭化物生成工程で生成された炭化物を当該炭化物を収容可能な収容部内に収容するとともに、前記収容部内を陰圧にすることによって前記炭化物に吸着されている熱分解ガスを除去する除去工程と、を備える、炭化物製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の炭化物製造方法において、
前記除去工程の後に、前記収容部内の圧力が前記除去工程終了時の前記収容部内の圧力よりも高くなるように当該収容部内にガスを供給するガス供給工程をさらに備える、炭化物製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の炭化物製造方法において、
前記ガス供給工程では、前記ガスとして酸素を含むガスを供給する、炭化物製造方法。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の炭化物製造方法において、
前記ガス供給工程の後に前記収容部を再度減圧する再減圧工程をさらに備える、炭化物製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の炭化物製造方法において、
前記再減圧工程後、前記ガス供給工程と前記再減圧工程とを複数回繰り返す、炭化物製造方法。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の炭化物製造方法において、
前記収容部内の熱分解ガスの量が基準量未満になったこと及び／又は前記収容部内の炭化物の発熱が終了したことを示す条件が成立したときに、前記収容部から前記炭化物を取り出す取出工程をさらに備える、炭化物製造方法。
【請求項７】
バイオマスを加熱することによって当該バイオマスから炭化物を生成する炭化炉と、
前記炭化炉から排出された炭化物を収容する収容部と、
前記収容部内を陰圧にすることが可能な減圧手段と、を備える、炭化物製造設備。
【請求項８】
請求項７に記載の炭化物製造設備において、
前記収容部内が陰圧であるときに前記収容部内の圧力が前記陰圧であるときの前記収容部内の圧力よりも高くなるように当該収容部内にガスを供給することが可能なガス供給手段をさらに備える、炭化物製造設備。
【請求項９】
請求項８に記載の炭化物製造設備において、
前記ガス供給手段は、前記ガスとして酸素を含むガスを供給する、炭化物製造設備。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載の炭化物製造設備において、
前記収容部内の熱分解ガスの量が基準量未満になったこと及び／又は前記収容部内の炭化物の発熱が終了したことを示す条件が成立したときに、前記収容部から前記炭化物を排出させる制御部をさらに備える、炭化物製造設備。
【請求項１１】
請求項７ないし１０のいずれかに記載の炭化物製造設備において、
切替部をさらに備え、
前記収容部は、
前記炭化炉から排出された炭化物を収容する第１収容室と、
前記炭化炉から排出された炭化物を収容する第２収容室と、を有し、
前記切替部は、前記炭化炉から排出された炭化物が前記第１収容室に流入する第１状態と、前記炭化炉から排出された炭化物が前記第２収容室に流入する第２状態と、を切り替える、炭化物製造設備。
【請求項１２】
請求項７ないし１１のいずれかに記載の炭化物製造設備において、
前記炭化炉と前記収容部との間に設けられており、前記炭化炉から排出された炭化物を冷却する冷却ユニットをさらに備える、炭化物製造設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、炭化物を製造する炭化物製造設備に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、下水の汚泥や畜産排泄物や廃木材等のバイオマスから炭化物を製造する炭化物製造設備が知られている。例えば、特許文献１には、下水の汚泥や、牛糞、鶏糞、酒かす、珈琲かす、廃木材、竹材などの被処理物を加熱することによって当該被処理物から炭化物を生成する炭化炉を備える炭化物製造設備が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１２４８９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されるような炭化物製造設備では、製造された炭化物から熱分解ガスが発生する場合がある。この熱分解ガスは、通常、一酸化炭素、水素ガス、メタンガス等の可燃性ガスや、二酸化炭素、水蒸気、その他臭気成分を含有している。製造された炭化物から熱分解ガスが発生すると、炭化物のハンドリングに際して不便である。
【０００５】
本発明の目的は、炭化炉から排出された炭化物からの熱分解ガスの発生を抑制可能な炭化物製造方法及び炭化物処理設備を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するために鋭意検討した結果、本発明者らは、炭化炉で生成される炭化物が多孔質であるため、炭化炉でのバイオマス（汚泥等）の加熱処理中に発生する熱分解ガスが当該炭化炉内において炭化物に吸着され、その結果、炭化炉から排出された炭化物から熱分解ガスが発生することを見出した。よって、炭化物に吸着された熱分解ガスを除去することにより、上記課題を解決できることに想到した。
【０００７】
本発明は、このような観点からなされたものである。具体的に、本発明は、バイオマスを加熱することによって当該バイオマスから炭化物を生成する炭化物生成工程と、前記炭化物生成工程で生成された炭化物を当該炭化物を収容可能な収容部内に収容するとともに、前記収容部内を陰圧にすることによって前記炭化物に吸着されている熱分解ガスを除去する除去工程と、を備える、炭化物製造方法を提供する。
【０００８】
本炭化物製造方法では、除去工程において、収容部内を陰圧にすることによって収容部に収容されている炭化物に吸着されていた熱分解ガスが炭化物から除去される。よって、この製造方法で製造された炭化物からの熱分解ガスの発生が抑制される。
【０００９】
この場合において、前記除去工程の後に、前記収容部内の圧力が前記除去工程終了時の前記収容部内の圧力よりも高くなるように当該収容部内にガスを供給するガス供給工程をさらに備えることが好ましい。
【００１０】
このようにすれば、前記収容部から取り出された炭化物からの熱分解ガスの発生が抑制される。具体的に、除去工程において収容部内が減圧された後にガス供給工程において収容部内にガスが供給されることにより、その供給されたガスは、収容部内での撹拌等の物理的な操作を伴わなくても差圧に起因して炭化物の表面に有効に接触するので、炭化物に吸着されていた熱分解ガスが供給されたガスに置き換えられる。よって、収容部から取り出された炭化物からの熱分解ガスの発生が抑制される。
【００１１】
この場合において、前記ガス供給工程では、前記ガスとして酸素を含むガスを供給することが好ましい。
【００１２】
このようにすれば、炭化物の発熱がより確実に抑制される。具体的に、減圧された収容部内に酸素を含むガスが供給されることにより、炭化物の表面に対して酸素が有効に接触する。このため、収容部内において炭化物が酸化される（炭化物のうち活性しやすい部位が消失する）ので、収容部から取り出された炭化物が収容部外で空気中の酸素と接触して発熱することが抑制される。すなわち、当該製造方法で製造された炭化物が発熱することが抑制される。
【００１３】
さらに、前記ガス供給工程の後に前記収容部を再度減圧する再減圧工程をさらに備えることが好ましい。
【００１４】
このようにすれば、ガス供給工程において酸素を含むガスを供給した場合に炭化物と酸素との反応によって熱分解ガスが発生したとしても、再減圧工程によって収容部内を減圧することにより、その熱分解ガスも除去される。また、ガス供給工程において酸素を含まないガスを供給した場合においては、１回目の除去工程で熱分解ガスが除去しきれずに炭化物内や収容部内に残存していたとしても、再減圧工程によって収容部内を減圧することにより、その熱分解ガスも除去される。
【００１５】
この場合において、前記再減圧工程後、前記ガス供給工程と前記再減圧工程とを複数回繰り返すことが好ましい。
【００１６】
このようにすれば、収容部内の熱分解ガスがより確実に除去される。
【００１７】
さらにこの場合において、前記収容部内の熱分解ガスの量が基準量未満になったこと及び／又は収容部内の炭化物の発熱が終了したことを示す条件が成立したときに、前記収容部から前記炭化物を取り出す取出工程をさらに備えることが好ましい。
【００１８】
このようにすれば、当該製造方法で製造された炭化物から熱分解ガスが発生することや炭化物が発熱することがより確実に抑制される。
【００１９】
また、本発明は、バイオマスを加熱することによって当該バイオマスから炭化物を生成する炭化炉と、前記炭化炉から排出された炭化物を収容する収容部と、前記収容部内を陰圧にすることが可能な減圧手段と、を備える、炭化物製造設備を提供する。
【００２０】
本炭化物製造設備では、減圧手段が収容部内を陰圧にすることにより、収容部に収容されている炭化物に吸着されていた熱分解ガスが炭化物から除去される。よって、当該設備で製造された炭化物からの熱分解ガスの発生が抑制される。
【００２１】
この場合において、前記収容部内が陰圧であるときに前記収容部内の圧力が前記陰圧であるときの前記収容部内の圧力よりも高くなるように当該収容部内にガスを供給することが可能なガス供給手段をさらに備えることが好ましい。
【００２２】
このようにすれば、前記収容部から取り出された炭化物からの熱分解ガスの発生が抑制される。具体的に、減圧手段によって収容部内が一度減圧された後にガス供給手段が収容部内にガスを供給することにより、その供給されたガスは、収容部内での撹拌等の物理的な操作を伴わなくても差圧に起因して炭化物の表面に有効に接触するので、炭化物に吸着されていた熱分解ガスが供給されたガスに置き換えられる。よって、収容部から取り出された炭化物からの熱分解ガスの発生が抑制される。
【００２３】
この場合において、前記ガス供給手段は、前記ガスとして酸素を含むガスを供給することが好ましい。
【００２４】
このようにすれば、炭化物の発熱がより確実に抑制される。具体的に、ガス供給部から収容部内に供給されるガスが空気等の酸素を含むガスであるので、炭化物の表面に対して酸素が有効に接触する。これにより、収容部内において炭化物が酸化される（炭化物のうち活性しやすい部位が消失する）ので、収容部から取り出された炭化物が収容部外で空気中の酸素と反応することによる発熱が抑制される。さらに、炭化物と酸素との反応によって熱分解ガスが発生したとしても、再度減圧手段によって収容部内を減圧することにより、その熱分解ガスも除去される。
【００２５】
この場合において、前記収容部内の熱分解ガスの量が基準量未満になったこと及び／又は収容部内の炭化物の発熱が終了したことを示す条件が成立したときに、前記収容部から前記炭化物を排出させる制御部をさらに備えることが好ましい。
【００２６】
このようにすれば、前記条件の成立後、つまり、収容部内の熱分解ガスの量が基準量未満となり、且つ／又は収容部内の炭化物の発熱が終了したときに収容部から炭化物が排出されるので、収容部から排出された炭化物から熱分解ガスが発生することや炭化物が発熱することがより確実に抑制される。なお、前記熱分解ガスの量が基準量未満となったことを示す条件としては、収容部から抜き出されたガスのある特定の成分の測定値が所定値未満になることや、収容部内を陰圧にする操作と当該操作終了後に収容部内にガスを供給する操作とが所定回繰り返されたこと等が挙げられ、前記収容部内の炭化物の発熱が終了したことを示す条件としては、収容部内の温度が所定値未満になることや、ガス供給工程の開始時における収容部内の温度とガス供給工程の終了時における収容部内の温度との温度差が所定値未満になることや、収容部から抜き出されたガスの成分うち炭化物の酸化によって発生する一酸化炭素及び二酸化炭素の測定値が所定値以下になることや、収容部内を陰圧にする操作と当該操作終了後に収容部内に酸素を含むガスを供給する操作とが所定回繰り返されたこと等が挙げられる。
【００２７】
また、前記炭化物製造設備において、切替部をさらに備え、前記収容部は、前記炭化炉から排出された炭化物を収容する第１収容室と、前記炭化炉から排出された炭化物を収容する第２収容室と、を有し、前記切替部は、前記炭化炉から排出された炭化物が前記第１収容室に流入する第１状態と、前記炭化炉から排出された炭化物が前記第２収容室に流入する第２状態と、を切り替えることが好ましい。
【００２８】
このようにすれば、連続的に炭化物の減圧処理を行うことが可能となる。具体的に、第１収容室内を減圧している間に切替部を第２状態とすることで炭化炉から排出された炭化物を第２収容室に導くこと、及び、第２収容室内を減圧している間に切替部を第１状態とすることで炭化炉から排出された炭化物を第１収容室に導くこと、を繰り返すことにより、炭化炉から排出された炭化物の連続的な減圧処理が可能となる。
【００２９】
また、前記炭化物製造設備において、前記炭化炉と前記収容部との間に設けられており、前記炭化炉から排出された炭化物を冷却する冷却ユニットをさらに備えることが好ましい。
【００３０】
このようにすれば、炭化炉から排出された炭化物が収容部に流入する前に有効に冷却される。
【発明の効果】
【００３１】
以上のように、本発明によれば、炭化炉から排出された炭化物からの熱分解ガスの発生を抑制可能な炭化物製造方法及び炭化物処理設備を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１実施形態の炭化物製造設備の概略を示す図である。
【図２】本発明の第２実施形態の炭化物製造設備の概略を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
本発明の好ましい実施形態について、以下、図面を参照しながら説明する。
【００３４】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態の炭化物製造設備について、図１を参照しながら説明する。
【００３５】
図１に示されるように、本実施形態の炭化物製造設備は、バイオマス（例えば、下水の乾燥汚泥）を貯留するホッパ１０と、炭化炉２０と、冷却ユニット３０と、減圧ユニット４０と、ガス供給手段５０と、制御部７０と、を備えている。
【００３６】
炭化炉２０は、ホッパ１０から供給されるバイオマスを加熱することによって当該バイオマスから炭化物を生成する。この炭化炉２０は、バイオマスを加熱しながら搬送する。なお、バイオマスを加熱しながら搬送する過程で発生した熱分解ガスは、燃焼装置に供給される。一方、炭化炉２０から排出された炭化物は、冷却ユニット３０に供給される。
【００３７】
冷却ユニット３０は、炭化炉２０から排出された炭化物を冷却する装置である。具体的に、冷却ユニット３０は、炭化炉２０から排出された炭化物を受け入れるケース３２と、ケース３２内の炭化物を搬送する搬送部３４と、炭化物に給水する給水部３６と、を有している。ケース３２は、下流に向かうにしたがって次第に高さ位置が高くなる姿勢で配置されている。給水部３６は、ケース３２に設けられており、ケース３２内を搬送される炭化物に水を供給（噴霧）する。本実施形態では、給水部３６は、ケース３２のうち当該ケース３２の長手方向についてケース３２の中央部よりも下流側の部位に接続されている。
【００３８】
減圧ユニット４０は、冷却ユニット３０から排出された炭化物を陰圧下におくことが可能なユニットである。具体的に、減圧ユニット４０は、冷却ユニット３０から排出された炭化物を収容する収容部４２と、収容部４２に接続されており収容部４２内を陰圧にする減圧手段４４と、を有している。収容部４２は、炭化物を受け入れる受入口（図示略）、炭化物を取り出すことが可能な取出口（図示略）及び取出口を開閉可能な開閉部（図示略）を有している。収容部４２には、収容部４２内の圧力（負圧及び正圧）を測定可能な圧力計（図示略）が設けられている。減圧手段４４として、ロータリポンプ、ダイヤフラムポンプ、スクリューポンプ、ルーツポンプ等が挙げられる。
【００３９】
ガス供給手段５０は、収容部４２内が例えば常圧となるように当該収容部４２内にガスを供給する。具体的に、ガス供給手段５０は、収容部４２内に酸素を含むガス（空気等）を供給する。
【００４０】
制御部７０は、収容部４２内の熱分解ガスの量が基準量未満になったこと及び収容部４２内の炭化物の発熱が終了したことを示す条件が成立したときに、収容部４２の取出口から炭化物を排出させる（収容部４２の開閉部を開く）。前記条件としては、収容部４２に設けられた温度センサ７１の検出値が所定値以下になること（炭化物の発熱が実質的に終了したこと）や、収容部４２にガス抜出流路（図示略）と当該流路の下流側の端部にガスのある特定の成分を測定可能な測定装置（図示略）とが設けられ、この測定装置の測定値が所定値以下になることや、収容部４２内を陰圧にする操作と常圧に戻す操作とが所定回繰り返されたこと等が挙げられる。なお、前記ガス抜出流路から抜き出されたガスは、袋等の容器に収容され、所定の施設に輸送されてそこで分析されてもよい。
【００４１】
次に、以上に説明した炭化物製造設備の運転方法について説明する。
【００４２】
まず、ホッパ１０からバイオマスが炭化炉２０に供給される。そして、炭化炉２０は、ホッパ１０から供給されたバイオマスを加熱しながら搬送する。この過程でバイオマスが炭化し、これにより炭化物が生成される。このとき、熱分解されることによって多孔質体となった炭化物は、炭化炉２０内で生じる熱分解ガスの一部を吸着する。
【００４３】
次に、炭化炉２０で生成された炭化物は、冷却ユニット３０のケース３２に送られる。炭化物は、ケース３２内を下流側に向かって搬送部３４で搬送されながら給水部３６から供給される水で冷却される。
【００４４】
そして、冷却ユニット３０から排出された炭化物は、収容部４２内に収容され、減圧手段４４が収容部４２内を陰圧にする（収容部４２内を排気する）。これにより、多孔質体である炭化物に吸着されている一酸化炭素等の熱分解ガスが除去される（収容部４２外に排出される）。
【００４５】
続いて、ガス供給手段５０は、収容部４２内が例えば常圧になるまで収容部４２内に酸素を含むガスを供給する。その後、減圧手段４４は、再度収容部４２内を陰圧にする。この収容部４２内を陰圧にする操作と常圧に戻す操作とが複数回繰り返された後、収容部４２の取出口から炭化物が取り出される。具体的に、前記条件が成立したときに、制御部７０が収容部４２の開閉部を開く。なお、制御部７０が省略され、前記条件が成立したときに収容部４２の開閉部を開く操作が手動で行われてもよい。
【００４６】
以上に説明したように、本実施形態の炭化物製造設備では、減圧手段４４が収容部４２内を陰圧にすることにより、収容部４２に収容されている炭化物に吸着されていた熱分解ガスが炭化物から除去される。よって、炭化物からの熱分解ガスの発生が抑制される。
【００４７】
また、ガス供給手段５０は、収容部４２内が常圧となるように当該収容部４２内に酸素を含むガスを供給するので、収容部４２から取り出された炭化物が発熱することが抑制される。具体的に、減圧手段４４によって収容部４２内が一度減圧された後にガス供給手段５０が収容部４２内に酸素を含むガス（空気等）を供給することにより、炭化物のほとんどすべての表面に対して酸素が有効に接触する。これにより、炭化物が酸化される（炭化物のうち活性しやすい部位が消失する）ので、収容部４２から取り出された炭化物が空気中の酸素と反応することによる発熱が抑制される。さらに、ガス供給手段５０によって収容部４２内にガスを供給した際（ガス供給工程において）炭化物と酸素との反応によって熱分解ガスが発生したとしても、再度減圧手段４４によって収容部４２内を減圧することにより、その熱分解ガスも除去される。
【００４８】
（第２実施形態）
次に、図２を参照しながら、本発明の第２実施形態の炭化物製造設備について説明する。なお、第２実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明を行い、第１実施形態と同じ構造、作用及び効果の説明は省略する。
【００４９】
本実施形態の炭化物製造設備は、切替ユニット６０をさらに備えており、減圧ユニット４０の収容部４２は、複数の（この実施形態では２つの）収容室４２ａ，４２ｂを有し、減圧手段４４は、複数の（この実施形態では２つの）減圧部４４ａ，４４ｂを有し、ガス供給手段５０は、複数の（この実施形態では２つの）供給部５０ａ，５０ｂを有している。
【００５０】
具体的に、収容部４２は、冷却ユニット３０から排出された炭化物の一部を収容する第１収容室４２ａと、冷却ユニット３０から排出された炭化物の残部を収容する第２収容室４２ｂと、を有している。各収容室４２ａ，４２ｂには、それぞれ温度センサ７１ａ，７１ｂが設けられている。減圧手段４４は、第１収容室４２ａ内を陰圧にすることが可能な第１減圧部４４ａと、第２収容室４２ｂ内を陰圧にすることが可能な第２減圧部４４ｂと、を有している。ガス供給手段５０は、第１収容室４２ａ内が例えば常圧となるように当該第１収容室４２ａ内に酸素を含むガスを供給することが可能な第１供給部５０ａと、第２収容室４２ｂ内が例えば常圧となるように当該第２収容室４２ｂ内に酸素を含むガスを供給することが可能な第２供給部５０ｂと、を有している。
【００５１】
切替ユニット６０は、第１流路６１と、第２流路６２と、切替部６３と、を有している。第１流路６１は、冷却ユニット３０から排出された炭化物を第１収容室４２ａに導く。第２流路６２は、冷却ユニット３０から排出された炭化物を第２収容室４２ｂに導く。切替部６３は、冷却ユニット３０から排出された炭化物が第１収容室４２ａに流入する第１状態と、冷却ユニット３０から排出された炭化物が第２収容室４２ｂに流入する第２状態と、を切り替える。具体的に、切替部６３は、第１状態において第１収容室４２ａの炭化物の収容量が基準量に達したときに第２状態に切り替え、第２状態において第２収容室４２ｂの炭化物の収容量が基準量に達したときに第１状態に切り替える。なお、各収容室４２ａ，４２ｂにおける炭化物の収容量は、それぞれの収容室４２ａ，４２ｂに設けられたレベルセンサ等で検知される。
【００５２】
この実施形態の炭化物製造設備では、連続的に炭化物の減圧処理を行うことが可能となる。具体的に、第１収容室４２ａ内を第１減圧部４４ａが減圧している間に切替部６３を第２状態とすることで冷却ユニット３０から排出された炭化物を第２収容室４２ｂに導くこと、及び、第２収容室４２ｂ内を第２減圧部４４ｂが減圧している間に切替部６３を第１状態とすることで冷却ユニット３０から排出された炭化物を第１収容室４２ａに導くこと、を繰り返すことにより、冷却ユニット３０から排出された炭化物の連続的な減圧処理が可能となる。
【００５３】
本実施形態では、例えば切替部６３が第２状態である場合において第１減圧部４４ａによる第１収容室４２ａの減圧処理が終了した後、切替部６３が第１状態に切り替わる前に第１供給部５０ａにより第１収容室４２ａを常圧とする操作と陰圧とする操作とが繰り返される。そして、制御部７０は、第２状態において、第１収容室４２ａ内の熱分解ガスの量が基準量未満になったこと及び第１収容室４２ａ内の炭化物の発熱が終了したことを示す条件が成立したときに、第１収容室４２ａの開閉部を開く。
【００５４】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００５５】
例えば、切替部６３は、一定時間ごとに第１状態と第２状態とを切り替えてもよいし、各収容室を陰圧とする操作と常圧とする操作とが所定回繰り返されたときに第１状態と第２状態とを切り替えてもよい。
【００５６】
また、ガス供給手段５０は、収容部４２内が常圧になるまでガスを供給するものに限られない。ガス供給手段５０は、収容部４２内の圧力が、減圧手段４４によって収容部４２内の排気が終了したときの当該収容部４２の圧力よりも高くなるように収容部４２内にガスを供給すればよい。
【００５７】
また、ガス供給手段５０は、ガス供給工程を複数回繰り返す場合において、毎回、酸素を含むガスを供給するもの、又は、毎回、酸素を含まないガスを供給するものに限られない。例えば、ガス供給工程において酸素を含まないガスを供給した後、再度のガス供給工程おいて酸素を含むガスを供給するものであってもよい。
【符号の説明】
【００５８】
１０    ホッパ
２０    炭化炉
３０    冷却ユニット
４０    減圧ユニット
４２    収容部
４２ａ  第１収容室
４２ｂ  第２収容室
４４    減圧手段
５０    ガス供給手段
５０ａ  第１供給部
５０ｂ  第２供給部
６０    切替ユニット
６３    切替部
７０    制御部
【図１】
2019043988.tif 000003
【図２】
2019043988.tif 000004