(57)【要約】【課題】検出精度が向上した回転角度検出装置を提供する。【解決手段】回転角度検出装置１０は、回転体５と共に回転する磁石部１２と、磁石部１２に対して径方向外側に離間して配置され、磁場の接線方向磁束成分および径方向磁束成分を検出する磁気検出部１３とを備える。磁石部１２は、回転体５の回転方向に並ぶ偶数個の磁石１４を有する。磁石１４は、回転体５の回転軸心ＡＸに垂直な径方向に着磁されている。偶数個の磁石１４は、回転方向で隣り合う磁石１４間で径方向外側の極が異なるように配置されている。回転方向で隣り合う磁石１４間にはギャップ１５が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体（５）の回転角度を検出する回転角度検出装置であって、
前記回転体と共に回転する磁石部（１２、４２、５２）と、
前記磁石部に対して径方向外側に離間して配置され、磁場の接線方向磁束成分および径方向磁束成分を検出する磁気検出部（１３、７３）と、
を備え、
前記磁石部は、前記回転体の回転方向に並ぶ偶数個の磁石（１４１〜１４８、４４１〜４４４）を有し、
前記磁石は、前記回転体の回転軸心（ＡＸ）に垂直な径方向に着磁されており、
前記偶数個の磁石は、回転方向で隣り合う前記磁石間で径方向外側の極が異なるように配置されており、
回転方向で隣り合う前記磁石間にはギャップ（１５）が設けられている回転角度検出装置。
【請求項２】
前記磁石部および前記磁気検出部を囲むように、且つ、前記回転軸心と同心になるように配置された磁性部（２１、６１）をさらに備える請求項１に記載の回転角度検出装置。
【請求項３】
前記磁性部はリング形状である請求項２に記載の回転角度検出装置。
【請求項４】
前記磁性部（６１）は、前記回転体の回転角度が所定角度であるときに径方向で前記磁石に対向するように径方向内側に突き出す、前記磁石と同数の凸部（６１２）を有する請求項２または３に記載の回転角度検出装置。
【請求項５】
前記偶数個の磁石は、前記回転軸心に垂直な仮想線（Ｌ）に対して線対称となるように配置されている請求項１〜４のいずれか一項に記載の回転角度検出装置。
【請求項６】
前記磁石（１４１〜１４８）は、前記回転軸心に垂直な断面形状が扇形である請求項１〜５のいずれか一項に記載の回転角度検出装置。
【請求項７】
前記磁石と前記回転体との間に配置され、前記磁石と共に回転する磁性体のヨーク（３１）をさらに備える請求項１〜６のいずれか一項に記載の回転角度検出装置。
【請求項８】
前記磁性部は、前記磁石と一体に設けられる磁束整流体（５１）をさらに有し、
前記磁束整流体は、磁性材からなり、前記回転軸心に垂直な断面形状が扇形である請求項１〜７のいずれか一項に記載の回転角度検出装置。
【請求項９】
前記磁気検出部（７３）は、第１磁気検出センサ（７３１）と、当該第１磁気検出センサに対して回転方向に離間して配置されている第２磁気検出センサ（７３２）とを含む請求項１〜８のいずれか一項に記載の回転角度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転角度検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、周方向に着磁されたリング形磁石を回転軸に取り付けつつ、リング形磁石に対して径方向外側に離間して磁気検出部を配置し、磁気検出部の出力値に基づき回転体の回転角度を検出する回転角度検出装置が知られている。特許文献１では、磁気検出部は、回転方向に９０°離れて配置された２つのホール素子である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭５８−１６２８１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
リング形磁石の着磁は、着磁コイルにて磁力を印加して実施される。その際、リング形磁石の極が隣接する箇所では、着磁コイルの極が反対となり磁束を打ち消し合ったり、磁石材料の配向により着磁し易さが異なったりする。そのため、極の回転方向両端位置のばらつきが大きくなり、回転軸の回転時の磁束密度変化がばらつくおそれがある。そのため、磁気検出部の出力波形が歪み、検出精度が低下する。
【０００５】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、その目的は、検出精度が向上した回転角度検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の回転角度検出装置は、回転体（５）と共に回転する磁石部（１２、４２、５２）と、磁石部に対して径方向外側に離間して配置され、磁場の接線方向磁束成分および径方向磁束成分を検出する磁気検出部（１３、７３）とを備える。磁石部は、回転体の回転方向に並ぶ偶数個の磁石（１４１〜１４８、４４１〜４４４）を有する。磁石は、回転体の回転軸心（ＡＸ）に垂直な径方向に着磁されている。偶数個の磁石は、回転方向で隣り合う磁石間で径方向外側の極が異なるように配置されている。回転方向で隣り合う磁石間にはギャップ（１５）が設けられている。
【０００７】
これにより、磁気検出部の検出磁束値に対応するｓｉｎ波形信号およびｃｏｓ波形信号に基づきａｒｃｔａｎ演算を行うことで、回転体の３６０°の回転角度を算出することができる。
【０００８】
また、回転方向で分かれた偶数個の磁石から磁石部を構成し、各磁石の着磁方向を径方向とすることで、１つの磁石の径方向外側には１つの極が配置される。つまり、磁石の径方向外側には、回転方向で極の切り替わる箇所が無い。そのため、着磁ばらつきによる極の回転方向両端位置のばらつきが抑制される。そのため、磁気検出部の出力磁束波形の歪みが抑えられ、検出精度が向上する。
【０００９】
また、回転方向で隣接する磁石間にギャップが設けられることで、それら磁石間で磁束が流れやすくなり、回転体の回転時の磁束密度変化を均一にすることができる。そのため、磁気検出部の出力波形が理想のｓｉｎ波形およびｃｏｓ波形に近づき、精度の良い検出が可能となる。また、磁石の個数により検出周期を変更可能である。また、従来のリング形磁石と比べると、回転方向で分かれた磁石は着磁および組み付けが容易であり、製造し易いというメリットがある。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態の回転角度検出装置の模式図である。
【図２】第１実施形態の磁気検出部のブロック図である。
【図３】第１実施形態において、回転体の回転角度と第１ホール素子の検出磁束との関係を示す図である。
【図４】第１実施形態において、回転体の回転角度と第２ホール素子の検出磁束との関係を示す図である。
【図５】第１実施形態の変形例の回転角度検出装置の模式図である。
【図６】図１に対応する図であって、磁石部が発生する磁束を破線の矢印で示す図である。
【図７】図６のＶＩＩ部拡大図である。
【図８】回転体の回転角度と磁場の接線方向磁束成分に対応する磁気検出部の検出磁束との関係を第１実施形態と比較形態とで比較して示す図である。
【図９】第２実施形態の回転角度検出装置の模式図である。
【図１０】第３実施形態の回転角度検出装置の模式図である。
【図１１】第４実施形態の回転角度検出装置の模式図である。
【図１２】第５実施形態の回転角度検出装置の模式図である。
【図１３】第６実施形態の回転角度検出装置の模式図である。
【図１４】回転体の回転角度と磁場の径方向磁束成分に対応する磁気検出部の検出磁束との関係を図１３の磁性部の凸部の有無で比較して示す図である。
【図１５】第７実施形態の回転角度検出装置の模式図である。
【図１６】第１の他の実施形態の回転角度検出装置の模式図である。
【図１７】第１の他の実施形態において、回転体の回転角度と第１ホール素子の検出磁束との関係を示す図である。
【図１８】第１の他の実施形態において、回転体の回転角度と第２ホール素子の検出磁束との関係を示す図である。
【図１９】第２の他の実施形態の回転角度検出装置の模式図である。
【図２０】第２の他の実施形態において、回転体の回転角度と第１ホール素子の検出磁束との関係を示す図である。
【図２１】第２の他の実施形態において、回転体の回転角度と第２ホール素子の検出磁束との関係を示す図である。
【図２２】比較形態において、リング形磁石が発生する磁束を破線の矢印で示す図である。
【図２３】図２２のＸＸＩＩＩ部拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、複数の実施形態を図面に基づき説明する。実施形態同士で実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。装置の構造を示す図面は、構成を分かり易くするために模式的に示している。各部の寸法、角度および寸法比は必ずしも正確なものではない。
【００１２】
［第１実施形態］
第１実施形態の回転角度検出装置１０を図１に示す。回転角度検出装置１０は、回転体５の回転角度を検出する装置であり、磁石部１２および磁気検出部１３を備えている。磁気検出部１３からの回転角度信号は、外部の図示しないＥＣＵ（Electronic Control Unit）等に伝達される。
【００１３】
以下の説明において、回転体５の回転軸心ＡＸに垂直な方向のことを「径方向」と記載する。また、回転体５の横断面において回転軸心ＡＸを中心とする円の接線方向のことを単に「接線方向」と記載する。また、回転体５の回転方向のことを単に「回転方向」と記載する。
【００１４】
磁石部１２は、回転体５の外壁部に固定されており、回転体５と共に回転する。磁石部１２は、回転方向に並ぶ偶数個の磁石１４１〜１４４を有している。以降、磁石１４１〜１４４を特に区別しない場合、単に磁石１４と記載する。磁石１４は、径方向に着磁されている。各磁石１４は、回転方向で隣り合う一対の磁石１４間で径方向外側の極が異なるように配置されている。回転方向で隣り合う一対の磁石１４間にはギャップ１５が設けられている。
【００１５】
各磁石１４は、回転軸心ＡＸに垂直な仮想線Ｌに対して線対称となるように配置されている。第１実施形態では、磁石１４は４個設けられている。各磁石１４は、大きさが同じであり、回転方向で等間隔に配置されている。回転体５の回転角度が０°であるときに０°と１８０°を結ぶ線を仮想線Ｌとすると、径方向外側がＮ極となる２つの磁石１４１、１４３が仮想線Ｌ上に位置している。また、径方向外側がＳ極となる２つの磁石１４２、１４４が９０°と２７０°を結ぶ線上に位置している。
【００１６】
磁石１４は、回転方向に沿う円弧状の磁石である。すなわち、磁石１４は、回転軸心ＡＸに垂直な断面形状が扇形である。磁石１４の径方向外側がＮ極およびＳ極の一方に着磁されており、また、磁石１４の径方向内側がＮ極およびＳ極の他方に着磁されている。図１および以降の図面において、１つの磁石におけるＮ極とＳ極との境界を細実線で示す。
【００１７】
磁気検出部１３は、磁石部１２に対して径方向外側に離間して配置され、磁場の磁束密度の接線方向成分（以下、接線方向磁束成分）および磁束密度の径方向成分（以下、径方向磁束成分）を検出する。磁気検出部１３は、例えば図示しない固定部材などに一体に保持される。
【００１８】
第１実施形態では、磁気検出部１３は、図２に示すように第１ホール素子２７、第２ホール素子２８、および回転角演算回路２９を有している。
【００１９】
第１ホール素子２７および第２ホール素子２８は、検出面の向きが互いに９０°異なるように配置されている。第１ホール素子２７は、磁気検出部１３の配置箇所の磁場の接線方向磁束成分を検出し、図３に示すような検出磁束Ｓｙを出力する。検出磁束Ｓｙはｓｉｎ波形信号である。第２ホール素子２８は、磁気検出部１３の配置箇所の磁場の径方向磁束成分を検出し、図４に示すような検出磁束Ｓｘを出力する。検出磁束Ｓｘはｃｏｓ波形信号である。ｓｉｎ波形信号とｃｏｓ波形信号は、互いに９０°の位相差を有する信号である。
【００２０】
第１実施形態では、磁気検出部１３は図１に示す向き（すなわち、横向き）に配置されている。これに対して、図５に示す変形例のように、磁気検出部１３は、図１に示す向きから９０°回転させた向き（すなわち、縦向き）に配置されてもよい。これにより、検出磁束Ｓｙおよび検出磁束Ｓｘの振幅の差を第１のホール素子２７と第２のホール素子２８の感度差によって調整できる。他の実施形態においても同様にホール素子の向きを変えてもよい。また、磁気検出部１３の向きに関わらず、検出磁束Ｓｙおよび検出磁束Ｓｘの振幅の差を例えば磁気検出部１３等で補正してもよい。
【００２１】
図２に戻って、回転角演算回路２９は、これらの検出磁束Ｓｙおよび検出磁束Ｓｘに基づきａｒｃｔａｎ演算を行い、回転体５の３６０°の回転角度を算出する。
【００２２】
ここで、第１実施形態と比較形態との比較により、第１実施形態の有利な点を明らかにする。図２２に示すように、比較形態の回転角度検出装置９０は、磁石部として、周方向に着磁されたリング形磁石９２を備えている。リング形磁石９２の径方向外側には、回転方向で極の切り替わる箇所、すなわち極の境界部位が４箇所ある。
【００２３】
リング形磁石９２の着磁は、着磁コイルにて磁力を印加して実施される。その際、リング形磁石９２の極が隣接する箇所では、着磁コイルの極が反対となり磁束を打ち消し合ったり、磁石材料の配向により着磁し易さが異なったりする。そのため、図２３に示すように、極の境界部位は、二点鎖線で示す所望の位置から外れることがある。これにより、リング形磁石９２の極の回転方向両端位置が大きくばらつく。また、極同士が回転方向で隙間無く連続して設けられているため、極の角部の磁束は強く、極の境界部分で磁束が乱れる。そのため、回転体５の回転時の磁束密度変化がばらつき、磁気検出部９３の出力波形が歪む。図８に破線で示すように、磁場の接線方向磁束成分に対応する磁気検出部９３の検出磁束Ｓｙ１の波形は、理想波形Ｓｙ０とは一致せず、三角波形に近くなる。
【００２４】
これに対して、第１実施形態では、図１に示すように、１つの磁石１４の径方向外側には１つの極が配置される。つまり、磁石１４の径方向外側には、回転方向で極の切り替わる箇所が無い。そのため、着磁ばらつきによる極の回転方向両端位置のばらつきが抑制される。そのため、磁気検出部１３の出力波形の歪みが抑えられる。また、回転方向で隣接する磁石１４間にギャップ１５が設けられることで、図６、図７に示すようにそれら磁石１４間で磁束が流れやすくなり、回転体５の回転時の磁束密度変化を均一にすることができる。そのため、図８に実線で示すように、磁場の接線方向磁束成分に対応する磁気検出部１３の検出磁束Ｓｙの波形は、理想波形Ｓｙ０と略一致する。
【００２５】
（効果）
以上説明したように、第１実施形態では、回転角度検出装置１０は、回転体５と共に回転する磁石部１２と、磁石部１２に対して径方向外側に離間して配置され、磁場の接線方向磁束成分および径方向磁束成分を検出する磁気検出部１３とを備える。磁石部１２は、回転体５の回転方向に並ぶ偶数個の磁石１４を有する。磁石１４は、回転体５の回転軸心ＡＸに垂直な径方向に着磁されている。偶数個の磁石１４は、回転方向で隣り合う磁石１４間で径方向外側の極が異なるように配置されている。回転方向で隣り合う磁石１４間にはギャップ１５が設けられている。
【００２６】
これにより、磁気検出部１３の検出値に対応するｓｉｎ波形信号およびｃｏｓ波形信号に基づきａｒｃｔａｎ演算を行うことで、回転体５の３６０°の回転角度を算出することができる。
【００２７】
また、回転方向で分かれた偶数個の磁石１４から磁石部１２を構成し、各磁石１４の着磁方向を径方向とすることで、１つの磁石１４の径方向外側には１つの極が配置される。つまり、磁石１４の径方向外側には、回転方向で極の切り替わる箇所が無い。そのため、着磁ばらつきによる極の回転方向両端位置のばらつきが抑制される。そのため、磁気検出部１３の出力波形の歪みが抑えられ、検出精度が向上する。
【００２８】
また、回転方向で隣接する磁石１４間にギャップ１５が設けられることで、それら磁石１４間で磁束が流れやすくなり、回転体５の回転時の磁束密度変化を均一にすることができる。そのため、磁気検出部１３の出力波形が理想のｓｉｎ波形およびｃｏｓ波形に近づき、精度の良い検出が可能となる。また、磁石１４の個数により検出周期を変更可能である。また、リング形磁石９２と比べると、回転方向で分かれた磁石１４は着磁および組み付けが容易であり、製造し易いというメリットがある。
【００２９】
また、第１実施形態では、各磁石１４は、回転軸心ＡＸに垂直な仮想線Ｌに対して線対称となるように配置されている。これにより、回転体５の回転時の磁束密度変化を一層均一にすることができる。そのため、磁気検出部１３の出力波形が理想のｓｉｎ波形およびｃｏｓ波形に近づき、精度の良い検出が可能となる。
【００３０】
また、第１実施形態では、磁石１４は、回転軸心ＡＸに垂直な断面形状が扇形である。これにより、回転方向で隣り合う一対の磁石１４において、径方向外側の角部間で磁束が流れやすくなる。そのため、磁気検出部１３の出力波形が理想のｓｉｎ波形およびｃｏｓ波形に近づき、精度の良い検出が可能となる。
【００３１】
［第２実施形態］
第２実施形態では、図９に示すように、回転角度検出装置２０は、磁石部１２および磁気検出部１３を囲むように、且つ、回転軸心ＡＸと同心になるように配置された磁性部２１を備えている。磁性部２１はリング形状である。第２実施形態では、磁性部２１は、筒状の磁性体である。磁性部２１の軸方向長さは磁石部１２よりも長く、また、磁性部２１は軸方向で磁石部１２と重なるように配置されている。
【００３２】
このように磁性部２１を設けることで、磁石部１２による磁界が閉磁界となる。そのため、外乱磁界の影響が軽減され、検出精度が向上する。
【００３３】
［第３実施形態］
第３実施形態では、図１０に示すように、回転角度検出装置３０は、磁石１４と回転体５との間に配置され、磁石１４と共に回転する磁性体のヨーク３１を備えている。ヨーク３１は、筒状であり、回転体５に嵌合して固定されている。磁石１４は、ヨーク３１の外壁に固定されている。
【００３４】
このようにヨーク３１を設けることで、ヨーク３１と磁石１４とを組み合わせた後に、ヨーク３１を回転体５に組み合わせるという手順で磁石１４を回転体５に組み付けることができる。これにより、回転体５の形状に関わらず磁石１４を組み付けることができ、磁石１４の組み付け性が向上する。また、ヨーク３１が磁性体であることから、磁石部１２による磁場の磁束密度が大きくなりロバスト性が向上する。
【００３５】
［第４実施形態］
第４実施形態では、図１１に示すように、回転角度検出装置４０の磁石部４２の磁石４４１〜４４４は、接線方向に沿う矩形状の磁石である。磁石４４は、以降、磁石４４１〜４４４を特に区別しない場合、単に磁石４４と記載する。磁石４４は、径方向に着磁されている。磁石４４の径方向外側がＮ極およびＳ極の一方に着磁されており、また、磁石４４の径方向内側がＮ極およびＳ極の他方に着磁されている。各磁石４４は、回転方向で隣り合う一対の磁石４４間で径方向外側の極が異なるように配置されている。回転方向で隣り合う一対の磁石４４間にはギャップ１５が設けられている。
【００３６】
各磁石４４は、回転軸心ＡＸに垂直な仮想線Ｌに対して線対称となるように配置されている。第４実施形態では、磁石４４は４個設けられている。各磁石４４は、大きさが同じであり、回転方向で等間隔に配置されている。回転体５の回転角度が０°であるときに０°と１８０°を結ぶ線を仮想線Ｌとすると、径方向外側がＮ極となる２つの磁石４４１、４４３が仮想線Ｌ上に位置している。また、径方向外側がＳ極となる２つの磁石４４２、４４４が９０°と２７０°を結ぶ線上に位置している。
【００３７】
このように磁石４４の断面形状は扇形状ではなく矩形状であってもよい。それでも、磁石４４の着磁方向が径方向であり、各磁石４４間にギャップ１５が設けられることで、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、磁石４４の形状が単純形状となることで、磁石４４の製造が容易になる。
【００３８】
［第５実施形態］
第５実施形態では、図１２に示すように、回転角度検出装置５０の磁石部５２は、偶数個の磁石４４と、磁石４４と同数の磁束整流体５１とを有している。磁束整流体５１は、磁性材からなり、磁石４４と一体に設けられている。磁束整流体５１は、回転軸心ＡＸに垂直な断面形状が第１実施形態の磁石１４と略同じ扇形である。回転方向で隣り合う一対の磁束整流体５１間にはギャップ１５が設けられている。
【００３９】
このように矩形状の磁石４４と一体に扇形の磁束整流体５１を設けることで、磁石４４の形状を簡易にしつつ、磁気検出部１３の出力波形を理想のｓｉｎ波形およびｃｏｓ波形に近づけることができる。そのため、製造コストを低減しつつ精度の良い検出が可能となる。
【００４０】
［第６実施形態］
第６実施形態では、図１３に示すように、回転角度検出装置６０の磁性部６１は、筒状の本体部６１１と、回転体５の回転角度が所定角度（例えば０°）であるときに径方向で磁石１４に対向するように径方向内側に突き出す凸部６１２とを有している。本体部６１１は、第２実施形態の磁性部２１と同じ形状である。凸部６１２は磁石１４と同数設けられる。磁性部６１は、仮想線Ｌに対して線対称となるように形成されている。
【００４１】
このように磁性部６１に凸部６１２を設けることで、凸部６１２により磁束が集められるので、磁石部１２により磁気検出部１３周りに形成される磁場の磁束密度が大きくなりロバスト性が向上する。図１４に示すように、凸部６１２が有る第６実施形態での検出磁束Ｓｘ１（図１４中の実線）は、凸部６１２が無い形態での検出磁束Ｓｘ２（図１４中の一点鎖線）と比べて大きくなる。
【００４２】
［第７実施形態］
第７実施形態では、図１５に示すように、回転角度検出装置７０の磁気検出部７３は、第１磁気検出センサ７３１と、第１磁気検出センサ７３１に対して回転方向に離間して配置されている第２磁気検出センサ７３２とを含む。第７実施形態では、第２磁気検出センサ７３２は、第１磁気検出センサ７３１に対して回転方向に９０°離間して配置されている。第１磁気検出センサ７３１は、第１実施形態の磁気検出部１３と同じ構成である。また、第２磁気検出センサ７３２は、配置位置が異なることを除けば第１実施形態の磁気検出部１３と同じ構成である。
【００４３】
このように磁気検出センサが２つ設けられることで、例えば第１磁気検出センサ７３１が故障した場合、第２磁気検出センサ７３２を用いて角度検出が可能となる。また、第１磁気検出センサ７３１と第２磁気検出センサ７３２とが互いに回転方向に９０°離間して配置されることで、それぞれのセンサにおいて磁場の接線方向磁束成分と径方向磁束成分とが９０°位相がずれた検出磁束を得ることができる。そのため、相互の検出角度を比べることで異常の有無をチェックすることができる。
【００４４】
［他の実施形態］
他の実施形態では、磁石部は、４個の磁石に限らず、例えば図１６に示すように６個の磁石１４１〜１４６を有していてもよい。図１６の磁気検出部１３は、図１７に示すような検出磁束Ｓｙを出力し、また、図１８に示すような検出磁束Ｓｘを出力する。また、磁石部は、図１９に示すように８個の磁石１４１〜１４８を有していてもよい。図１９の磁気検出部１３は、図２０に示すような検出磁束Ｓｙを出力し、また、図２１に示すような検出磁束Ｓｘを出力する。
【００４５】
他の実施形態では、回転角演算回路は、磁気検出部ではなく、その外部に設けられてもよい。また、他の実施形態では、磁気検出部は、ホール素子に限らず、ＭＲ素子等の他の磁気センサを用いてもよい。また、他の実施形態では、磁気検出部は、１つの素子で接線方向磁束成分と径方向磁束成分とを検出してもよい。
【００４６】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【００４７】
５・・・回転体
１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０・・・回転角度検出装置
１２、４２、５２・・・磁石部
１３、７３・・・磁気検出部
１４、１４１〜１４８、４４１〜４４４・・・磁石
１５・・・ギャップ
ＡＸ・・・回転軸心
【図１】
2019174316.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2019174316.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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