(57)【要約】【課題】テーブルに保持された被加工物を搬送部材に受け渡して搬送する場合、搬送部材吸着面と被加工物との間に異物が存在していたとしても、被加工物にクラック等を発生させないようにする。【解決手段】一方の面（表面）Ｗａがテーブル３０に吸引保持された被加工物Ｗのもう一方の面（裏面）Ｗｂを搬送部材４に吸着させるステップと、被加工物Ｗを吸着する搬送部材４の吸着圧力を測定し、しきい値と比較するステップと、を備え、測定した吸着圧力がしきい値より高い場合は、搬送部材４の吸着面４００ａに異物の付着なしと判断し、保持テーブル３０の吸引を停止し、被加工物Ｗを搬送部材４に受け渡すステップを実施し、測定した吸着圧力がしきい値より低い場合は、搬送部材４の吸着面４００ａに異物の付着ありと判断し、搬送部材４の吸着を停止し、被加工物Ｗの搬送部材４への受け渡しを中止するステップを実施する被加工物の搬送方法。【選択図】図５
2019220634.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面が保持テーブルに保持された被加工物を搬送部材に受け渡して搬送する被加工物の搬送方法であって、
該保持テーブルに吸引保持された該被加工物のもう一方の面を該搬送部材に吸着させる搬送部材吸着ステップと、
該保持テーブルに吸引保持された状態の該被加工物のもう一方の面を吸着する該搬送部材の吸着圧力を測定し、該吸着圧力と予め登録したしきい値と比較する吸着圧力測定ステップと、を備え、
該吸着圧力測定ステップにて測定した吸着圧力が該しきい値より高い場合は、該搬送部材の吸着面に異物が付着していないと判断し、該保持テーブルの吸引を停止し、該被加工物を該搬送部材に受け渡す被加工物受け渡しステップを実施し、
該吸着圧力測定ステップにて測定した吸着圧力が該しきい値より低い場合は、該搬送部材の吸着面に異物が付着していると判断し、該搬送部材の吸着を停止し、該被加工物の該搬送部材への受け渡しを中止する受け渡し中止ステップを実施することを特徴とする被加工物の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持テーブルに保持された被加工物を搬送部材に受け渡して搬送する被加工物の搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程においては、被加工物の表面に格子状にストリート（分割予定ライン）が形成され、ストリートによって区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成される。これらの被加工物は、裏面が研削されて所定の厚みへと薄化された後、ストリートに沿って切削装置等によって分割されることで個々の半導体デバイスチップが製造される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１３４３９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
半導体デバイスの製造では、各工程において保持テーブルで被加工物を保持した状態で、切削、研削、洗浄、又は検査等を実施する。そして、各工程が実施された後に、被加工物は保持テーブルから搬送部材に受け渡されて、搬送部材の吸着面で吸着保持された状態で搬送部材によって次工程で用いられる装置の保持テーブルへ搬送されたり、ウェーハカセットへ収納されたりする。
【０００５】
被加工物の保持テーブルから搬送部材への受け渡しの際に、搬送部材の吸着面と被加工物の被吸着面との間に加工屑などの異物が存在していた場合、搬送部材が被加工物を吸着保持すると被加工物の被吸着面上の異物が存在している箇所に応力が集中し、被加工物に割れやクラックが発生し製品不良につながる。
【０００６】
よって、保持テーブルに保持された被加工物を搬送部材に受け渡して搬送する場合には、搬送部材の吸着面と被加工物の被吸着面との間に加工屑などの異物が存在していたとしても、被加工物に異物を原因とする割れやクラックを発生させないようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明は、一方の面が保持テーブルに保持された被加工物を搬送部材に受け渡して搬送する被加工物の搬送方法であって、該保持テーブルに吸引保持された該被加工物のもう一方の面を該搬送部材に吸着させる搬送部材吸着ステップと、該保持テーブルに吸引保持された状態の該被加工物のもう一方の面を吸着する該搬送部材の吸着圧力を測定し、該吸着圧力と予め登録したしきい値とを比較する吸着圧力測定ステップと、を備え、該吸着圧力測定ステップにて測定した吸着圧力が該しきい値より高い場合は、該搬送部材の吸着面に異物が付着していないと判断し、該保持テーブルの吸引を停止し、該被加工物を該搬送部材に受け渡す被加工物受け渡しステップを実施し、該吸着圧力測定ステップにて測定した吸着圧力が該しきい値より低い場合は、該搬送部材の吸着面に異物が付着していると判断し、該搬送部材の吸着を停止し、該被加工物の該搬送部材への受け渡しを中止する受け渡し中止ステップを実施することを特徴とする被加工物の搬送方法である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る被加工物の搬送方法は、一方の面が保持テーブルに吸引保持された被加工物のもう一方の面を搬送部材に吸着させる搬送部材吸着ステップと、該保持テーブルに吸引保持された状態の被加工物のもう一方の面を吸着する搬送部材の吸着圧力を測定し、吸着圧力と予め登録したしきい値と比較する吸着圧力測定ステップと、を備え、吸着圧力測定ステップにて測定した吸着圧力が該しきい値より高い場合は、搬送部材の吸着面に異物が付着していないと判断し、保持テーブルの吸引を停止し、被加工物を搬送部材に受け渡す被加工物受け渡しステップを実施し、吸着圧力測定ステップにて測定した吸着圧力がしきい値より低い場合は、搬送部材の吸着面に異物が付着していると判断し、搬送部材の吸着を停止し、被加工物の搬送部材への受け渡しを中止する受け渡し中止ステップを実施することで、搬送部材の吸着面と被加工物の被吸着面であるもう一方の面との間に加工屑などの異物が存在していた場合であっても、被加工物に異物を原因とする割れやクラックを発生させないようにすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】搬送部材の吸着面と被加工物の裏面との間に異物が存在していない場合において、保持テーブルに吸引保持された被加工物の裏面を搬送部材に吸着させている状態を説明する断面図である。
【図２】搬送部材の吸着面と被加工物との間に異物が存在している場合又は異物が存在していない場合それぞれにおいて、被加工物の搬送方法を実施している最中に圧力計が測定した搬送部材の吸着圧力の時間経過による推移を示すグラフである。
【図３】搬送部材の吸着面と被加工物の裏面との間に異物が存在していない場合において、保持テーブルの吸引を停止し、被加工物を搬送部材に受け渡している状態を説明する断面図である。
【図４】搬送部材の吸着面と被加工物の裏面との間に異物が存在している場合において、保持テーブルに吸引保持された被加工物の裏面を搬送部材に吸着させている状態を説明する断面図である。
【図５】搬送部材の吸着面と被加工物の裏面との間に異物が存在している場合において、搬送部材の吸着を停止し、被加工物の搬送部材への受け渡しを中止している状態を説明する断面図である。
【図６】従来の被加工物の搬送方法において、搬送部材の吸着面で被加工物の裏面を吸着する状態を説明する断面図である。
【図７】従来の被加工物の搬送方法において、搬送部材が吸着面で被加工物を吸着保持した後直ぐに、保持テーブルによる被加工物の吸引保持が停止することで、被加工物が異物を吸着面上で覆い囲み搬送部材のみが被加工物を吸着保持した状態を説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示す保持テーブル３０は、例えば、回転する研削砥石で被加工物Ｗを研削して薄化する研削装置に備えられている。なお、保持テーブル３０は、被加工物Ｗに対して回転する切削砥石を切込ませて被加工物Ｗをカットする切削装置、被加工物Ｗに対してレーザー照射によって被加工物Ｗに所望の加工を施すレーザー加工装置、研磨パッドで被加工物Ｗを研磨する研磨装置、被加工物Ｗに保護テープを貼着するテープマウンタ、又は、被加工物Ｗに貼着された保護テープを拡張して被加工物Ｗに外力を加えて分割するエキスパンド装置等に備えられているものであってもよい。
【００１１】
被加工物Ｗは、例えば、母材をシリコンとする円形板状の半導体ウェーハであり、図１において下方を向いている被加工物Ｗの一方の面Ｗａ（本実施形態においては、表面Ｗａ）上には、分割予定ラインによって区画された格子状の領域に図示しないデバイスが形成されている。被加工物Ｗの表面Ｗａは、例えば、図示しない保護テープが貼着されて保護されている。図１において上方を向いている被加工物Ｗのもう一方の面Ｗｂ（本実施形態においては、裏面Ｗｂ）は、例えば、既に研削加工が施された被研削面となっている。なお、被加工物Ｗは本実施形態に示す例に限定されるものではない。
【００１２】
保持テーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材などからなり被加工物Ｗを吸引保持する保持部３００と、保持部３００を囲繞して支持する枠体３０１とを備える。保持部３００は、コンプレッサーやエジェクター等の真空発生装置である第１の吸引源３９にエア流路３９０を介して連通する。そして、図１においては、第１の吸引源３９が作動することで、第１の吸引源３９が生み出す吸引力が保持部３００の露出面である保持面３００ａに伝達され、保持テーブル３０は保持面３００ａ上で被加工物Ｗの表面Ｗａを吸引保持した状態になっている。
なお、保持テーブル３０は本実施形態に示す例に限定されるものではなく、保持面に吸引溝が形成された保持テーブルや、複数の支持ピンにより保持面が形成されるピンチャックテーブルであってもよい。
【００１３】
例えば、エア流路３９０には、圧縮エアを供給可能なエア源３８が接続されている。エア源３８は、保持テーブル３０により吸引保持されている被加工物Ｗを、保持面３００ａから離脱させる際に用いられる。即ち、エア源３８からエア流路３９０に供給されたエアは、エア流路３９０を通り保持部３００に到り、保持面３００ａから上方に向かって噴出する。このエアの噴出圧力で被加工物Ｗを保持面３００ａから押し上げ、保持面３００ａと被加工物Ｗとの間に残存する真空吸着力（第１の吸引源３９による吸引を止めた後に残る真空吸着力）を排除し、被加工物Ｗを保持テーブル３０から確実に離脱可能とする。なお、エア流路３９０には、例えば図示しない切換弁が配設されており、切換弁の切り換え動作により、エア流路３９０と第１の吸引源３９とが繋がった状態とエア流路３９０とエア源３８とが繋がった状態とを切り換え可能となっている
【００１４】
図１に示す搬送部材４は、例えば、搬送パッド４０を支持するアーム部４１と、アーム部４１の下面側に配設され被加工物Ｗを吸着保持する搬送パッド４０と、を備えている。
搬送パッド４０は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材などからなり被加工物Ｗを吸着する吸着部４００と、吸着部４００を囲繞して支持する枠体４０１とを備える。吸着部４００は、コンプレッサーやエジェクター等の真空発生装置である第２の吸引源４９に吸引路４９０を介して連通する。そして、第２の吸引源４９が作動することで、第２の吸引源４９が生み出す吸引力が吸着部４００の露出面である平坦な吸着面４００ａに伝達され、搬送部材４は吸着面４００ａで保持テーブル３０に吸引保持された被加工物Ｗの裏面Ｗｂを吸着できる。吸着面４００ａの径は、例えば、被加工物Ｗの径よりも小さく設定されている。
【００１５】
例えば、吸引路４９０上には、吸引路４９０内に流れるエアの圧力、即ち、被加工物Ｗの裏面Ｗｂを吸着する搬送部材４の吸着圧力を測定する圧力計４８が配設されている。圧力計４８は、ＣＰＵ及び記憶素子等から構成される圧力判断部４７に電気的に接続されており、搬送部材４が稼動している最中において吸引路４９０内の圧力についての測定情報を圧力判断部４７に逐次送ることができる。
圧力判断部４７には、予め、保持テーブル３０に吸引保持された状態の被加工物Ｗの裏面Ｗｂを吸着する搬送部材４の吸着圧力についてのしきい値（例えば、−５０ＭＰａとする）が設定されている。なお、圧力判断部４７の役割を、しきい値を記憶している作業者が圧力計４８の目盛を監視することで果たしてもよい。
【００１６】
アーム部４１は、図示しない移動手段によって水平方向及び鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。アーム部４１と搬送パッド４０の枠体４０１とは固定ボルト４３によって繋がれており、本実施形態に示す例においては、アーム部４１と搬送パッド４０の枠体４０１との間にはスプリング４４が配設されている。スプリング４４は、被加工物Ｗを吸着保持するために被加工物Ｗに搬送パッド４０を接触させる際に収縮し、これに伴いアーム部４１が固定ボルト４３に対して相対的に僅かに下降することで、搬送パッド４０の重量が被加工物Ｗに多くかかることを防ぎ、被加工物Ｗが搬送パッド４０から受ける押圧力によって破損することを防ぐ。なお、搬送部材４は、スプリング４４を備えない構成としてもよい。
【００１７】
以下に、図１に示すように、搬送部材４の吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとの間に異物が存在していない場合において、表面Ｗａが保持テーブル３０に保持された被加工物Ｗを搬送部材４に受け渡して搬送する本発明に係る被加工物Ｗの搬送方法の各ステップについて説明する。なお、本発明に係る被加工物Ｗの搬送方法は、装置から装置間への被加工物の搬送、又は、１つの装置内における保持テーブル３０（例えば、保持テーブル３０が加工テーブルである場合）から図示しない洗浄テーブルへの搬送、若しくは保持テーブル３０（例えば、保持テーブル３０が洗浄テーブルである場合）からのウェーハカセットへの搬送を行う際に実施される。
【００１８】
（１）搬送部材吸着ステップ
まず、表面Ｗａが保持テーブル３０に吸引保持された被加工物Ｗの裏面Ｗｂを搬送部材４に吸着させる。即ち、図示しない移動手段により、搬送部材４が水平方向に移動して、搬送パッド４０の中心が被加工物Ｗの中心と略合致するように搬送パッド４０が被加工物Ｗの上方に位置付けられる。また、第２の吸引源４９が作動することで、第２の吸引源４９が生み出す吸引力が搬送パッド４０の吸着面４００ａに伝達される。また、圧力計４８による搬送部材４の吸着圧力の測定が開始され、測定情報が逐次圧力判断部４７に送信される。
図２に示す二点鎖線で示すグラフＧ１は、搬送部材４の吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとの間に異物が存在していない場合において、本発明に係る被加工物の搬送方法を実施している最中に圧力計４８が測定した搬送部材４の吸着圧力の時間経過による推移を示すグラフである。そして搬送部材吸着ステップ開始時（０秒時）において、圧力計４８が測定した搬送部材４の吸着圧力は約−２ＭＰａと低い（弱い）値になっている。なお、吸着圧力は−（負）の値で示され、−（負）の値が高いほど強い力となる。
【００１９】
さらに、図１に示す搬送パッド４０の吸着面４００ａが被加工物Ｗの裏面Ｗｂに接触する高さ位置まで搬送パッド４０が−Ｚ方向へと降下した後、該高さ位置で降下が停止する。そして、第２の吸引源４９により生み出され吸着面４００ａに伝達されている吸引力により、搬送部材４は吸着面４００ａで被加工物Ｗの裏面Ｗｂを吸着する。
【００２０】
（２）吸着圧力測定ステップ
搬送部材４が吸着面４００ａで被加工物Ｗの裏面Ｗｂを吸着し、かつ保持テーブル３０による被加工物Ｗの吸引保持が継続してなされた状態で、搬送部材４の吸着圧力を測定する圧力計４８の測定値（例えば、搬送部材吸着ステップ開始から約５秒経過時における測定値）が、図２に示すグラフＧ１のようにしきい値（−５０ＭＰａ）より高い値（例えば、約−６０ＭＰａ）まで急激に上昇する。これは、保持テーブル３０により被加工物Ｗが下方に引き寄せられているものの、搬送部材４の吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとの間に異物が存在していないことで、吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとの間でバキュームリークは発生していないためである。そして、圧力計４８から送られてくる測定値としきい値とを逐次比較し続けている圧力判断部４７が、保持テーブル３０に被加工物Ｗが吸引保持されている状態で搬送部材４の吸着圧力がしきい値より高くなったと判断する。
【００２１】
（３）被加工物受け渡しステップ
吸着圧力と予め登録したしきい値と比較する圧力判断部４７は、上記のように吸着圧力がしきい値より高くなったと判断すると、搬送部材４の吸着面４００ａに異物が付着していないとさらに判断する。そして圧力判断部４７が該判断をすると、保持テーブル３０による被加工物Ｗの吸引保持を停止させる制御が行われる。即ち、第１の吸引源３９が停止する、又は、エア流路３９０に配設された図示しない切換弁がエア流路３９０を第１の吸引源３９と連通しない状態に切り換える。さらに、図３に示すように、エア源３８が圧縮エアをエア流路３９０に供給して、保持面３００ａから噴出したエアによって保持面３００ａと被加工物Ｗとの間に残存する真空吸着力が排除され、被加工物Ｗが搬送部材４の吸着面４００ａのみで吸着保持され、被加工物Ｗの搬送部材４への受け渡しがなされた状態になる。
【００２２】
図３に示すように、保持テーブル３０による被加工物Ｗの吸引保持が解除されると、圧力計４８が測定する受け渡された被加工物Ｗの裏面Ｗｂを吸着している搬送部材４の吸着圧力値（例えば、搬送部材吸着ステップ開始から約３０秒経過時における測定値）が、図２に示すグラフＧ１のように、例えば、約−９５ＭＰａまで急激に上昇する。これは、搬送部材４の吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとの間に異物が存在していないことで、吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとの間でバキュームリークが発生しておらず、かつ、保持テーブル３０による被加工物Ｗの吸引保持が解除されたこと（被加工物Ｗを下方に引き寄せる力が解除されたこと）による。
そして、圧力計４８から圧力判断部４７に送られてくる測定値が上記のようにさらに上昇したことで、圧力判断部４７は、被加工物Ｗの搬送部材４への受け渡しが完了し、搬送部材４のみが被加工物Ｗを吸着保持しており、搬送部材４の移動が可能となったと判断する。該判断が圧力判断部４７によって行われる理由は、保持テーブル３０からの被加工物Ｗの離脱が完全に行われていない状態で、被加工物Ｗを吸着保持する搬送部材４の移動が行われると、被加工物Ｗの破損事故が起きる場合があるためである。
そして、搬送パッド４０を上昇させて、さらに水平方向に移動させる制御が実施される。
【００２３】
以下に、図４に示すように、搬送部材４の吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとの間に異物Ｍが存在している場合において、表面Ｗａが保持テーブル３０に保持された被加工物Ｗを搬送部材４に受け渡して搬送する本発明に係る被加工物Ｗの搬送方法の各ステップについて説明する。なお、異物Ｍとは、先に施された加工時に洗浄しきれず被加工物Ｗの裏面Ｗｂに付着している加工屑、又は、搬送部材４の吸着面４００ａに付着しているテープ屑等であり、本実施形態においては、例えば、約１５０μｍ程度の大きさを備えている。
【００２４】
（１）搬送部材吸着ステップ
まず、保持テーブル３０に表面Ｗａが吸引保持された被加工物Ｗの裏面Ｗｂを搬送部材４に吸着させる。即ち、搬送部材４が水平方向に移動して、搬送パッド４０の中心が被加工物Ｗの中心と略合致するように搬送パッド４０が被加工物Ｗの上方に位置付けられる。また、第２の吸引源４９が作動することで、吸引力が搬送パッド４０の吸着面４００ａに伝達される。また、圧力計４８による搬送部材４の吸着圧力の測定が開始され、測定情報が逐次圧力判断部４７に送信される。
図２に示す一点鎖線で示すグラフＧ２は、搬送部材４の吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとの間に異物Ｍが存在している場合において、本発明に係る被加工物の搬送方法を実施している最中に圧力計４８が測定した搬送部材４の吸着圧力の時間経過による推移を示すグラフである。そして搬送部材吸着ステップ開始時（０秒時）において、圧力計４８が測定した搬送部材４の吸着圧力は約−２ＭＰａと低い（弱い）値になっている。
【００２５】
さらに、搬送パッド４０の吸着面４００ａが被加工物Ｗの裏面Ｗｂに接触する高さ位置まで搬送パッド４０が−Ｚ方向へと降下した後、該高さ位置で降下が停止する。この状態において、搬送パッド４０の吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとにより異物Ｍが挟まれた状態になる。そして、第２の吸引源４９により生み出され吸着面４００ａに伝達されている吸引力により、搬送部材４は吸着面４００ａで被加工物Ｗの裏面Ｗｂを異物Ｍを挟んだ状態で吸着する。
【００２６】
（２）吸着圧力測定ステップ
搬送部材４が吸着面４００ａで被加工物Ｗの裏面Ｗｂを吸着し、かつ保持テーブル３０による被加工物Ｗの吸引保持が継続してなされた状態で、搬送部材４の吸着圧力を測定する圧力計４８の測定値（例えば、搬送部材吸着ステップ開始から約５秒経過時における測定値）が、図２に示すグラフＧ２のように急激に上昇する。しかし、該測定値は、例えば、しきい値−５０ＭＰａより低い約−４０ＭＰａでしかない。これは、保持テーブル３０による被加工物Ｗの吸引保持がなされているため、搬送部材４の吸着面４００ａに被加工物Ｗが十分に馴染まず、かつ、搬送部材４の吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとの間に異物Ｍが存在していることで、吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとの間でバキュームリークが発生しているためである。そして、圧力計４８から送られてくる測定値としきい値とを逐次比較し続けている圧力判断部４７が、保持テーブル３０に被加工物Ｗが吸引保持されている状態で搬送部材４の吸着圧力がしきい値より低くなったと判断する。
【００２７】
（３）受け渡し中止ステップ
吸着圧力と予め登録したしきい値と比較する圧力判断部４７は、上記のように吸着圧力がしきい値より低くなったと判断すると、搬送部材４の吸着面４００ａに異物Ｍが付着しているとさらに判断する。その結果、搬送部材４による被加工物Ｗの吸着保持を停止させる制御が行われる。即ち、図５に示すように、第２の吸引源４９が停止することで搬送部材４の吸着圧力が無くなり、被加工物Ｗが保持テーブル３０の保持面３００ａのみで吸引保持され、被加工物Ｗの搬送部材４への受け渡しが中止される。
したがって、圧力計４８が測定する被加工物Ｗの裏面Ｗｂを吸着していない搬送部材４の吸着圧力値（例えば、搬送部材吸着ステップ開始から約３０秒経過時における測定値）が、図２に示すグラフＧ２のように、例えば、約−２ＭＰａまで急激に下降する。
例えば、被加工物Ｗの搬送部材４への受け渡しが中止された後、作業者等によって搬送部材４の吸着面４００ａが洗浄されて異物Ｍが取り除かれる、又は、被加工物Ｗが保持テーブル３０から洗浄装置等に搬送されて裏面Ｗｂの洗浄がなされて異物Ｍが除去される。
【００２８】
ここで、従来の被加工物の搬送方法における被加工物Ｗの搬送部材４への受け渡しについて、図６、７を用いて以下に説明する。従来の被加工物の搬送方法における被加工物Ｗの搬送部材４への受け渡しでは、図６に示すように、搬送パッド４０の吸着面４００ａが被加工物Ｗの裏面Ｗｂに接触する高さ位置まで搬送パッド４０が−Ｚ方向へと降下した後、該高さ位置で停止する。そして、第２の吸引源４９により生み出され吸着面４００ａに伝達されている吸引力により、搬送部材４は吸着面４００ａで被加工物Ｗの裏面Ｗｂを吸着する。また、搬送部材４が吸着面４００ａで被加工物Ｗを吸着保持した後直ぐに、保持テーブル３０による被加工物Ｗの吸引保持を停止させる制御が行われる。即ち、第１の吸引源３９が停止し、さらに、図７に示すように、エア源３８が圧縮エアをエア流路３９０に供給して、保持面３００ａから噴出したエアによって保持面３００ａと被加工物Ｗとの間に残存する真空吸着力が排除され、被加工物Ｗが搬送部材４の吸着面４００ａのみで吸着保持され、被加工物Ｗの搬送部材４への受け渡しがなされた状態になる。
【００２９】
その結果、搬送部材４は、吸着面４００ａに被加工物Ｗが十分に馴染んだ状態、即ち、被加工物Ｗが異物Ｍを吸着面４００ａ上で覆い囲み込んだ状態で、被加工物Ｗを吸着面４００ａで吸着保持する。そして、保持テーブル３０による被加工物Ｗの吸引保持が解除された状態で、圧力計４８が吸着面４００ａで被加工物Ｗの裏面Ｗｂを吸着している搬送部材４の吸着圧力を測定すると、圧力計４８の測定値が例えば、約−９５ＭＰａまで急激に上昇する。これは、搬送部材４の吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとの間に異物Ｍが存在していても、被加工物Ｗが異物Ｍを吸着面４００ａ上で覆い囲み込んだ状態となっているため、吸着面４００ａと被加工物Ｗの裏面Ｗｂとの間でバキュームリークが発生していないことによる。その結果、搬送部材４のみが被加工物Ｗを吸着保持していると判断され、搬送パッド４０を上昇させて、さらに水平方向に移動させる制御がなされる。
このように、搬送部材４による被加工物Ｗの搬送は可能となるが、保持テーブル３０による被加工物Ｗの吸引保持が解除されることで、被加工物Ｗが異物Ｍを吸着面４００ａ上で覆い囲み込んだ状態となるため、被加工物Ｗの該異物Ｍが存在している箇所は変形による負荷が掛かり割れてしまい、該箇所からクラックが周囲に伸長してしまう。
【００３０】
一方、先に説明したように、本発明に係る被加工物の搬送方法は、一方の面Ｗａ（本実施形態においては、表面Ｗａ）が保持テーブル３０に吸引保持された被加工物Ｗのもう一方の面Ｗｂ（本実施形態においては、裏面Ｗｂ）を搬送部材４に吸着させる搬送部材吸着ステップと、該保持テーブル３０に吸引保持された状態の被加工物Ｗの裏面Ｗｂを吸着する搬送部材４の吸着圧力を測定し、吸着圧力と予め登録したしきい値と比較する吸着圧力測定ステップと、を備え、吸着圧力測定ステップにて測定した吸着圧力が該しきい値より高い場合は、搬送部材４の吸着面４００ａに異物が付着していないと判断し、保持テーブル３０の吸引を停止し、被加工物Ｗを搬送部材４に受け渡す被加工物Ｗ受け渡しステップを実施し、吸着圧力測定ステップにて測定した吸着圧力がしきい値より低い場合は、搬送部材４の吸着面４００ａに異物Ｍが付着していると判断し、搬送部材４の吸着を停止し、被加工物Ｗの搬送部材４への受け渡しを中止する受け渡し中止ステップを実施することで、搬送部材４の吸着面４００ａと被加工物Ｗの被吸着面である裏面Ｗｂとの間に加工屑などの異物Ｍが存在していた場合であっても、被加工物Ｗを搬送部材４の吸着面４００ａに無理に馴染ませて吸着させることが無いようにして、被加工物Ｗに異物Ｍを原因とする割れやクラックを発生させないようにすることが可能となる。
【００３１】
なお、本発明に係る被加工物の搬送方法は上記の例に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている保持テーブル３０及び搬送部材４等の構成についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
例えば、保持テーブル３０に吸引保持された被加工物Ｗの一方の面が裏面Ｗｂとなっており、保持テーブル３０上で上方に露出している被加工物Ｗのもう一方の面（この場合は、表面Ｗａ）を搬送部材４に吸着させる際に、本発明に係る被加工物の搬送方法を実施してもよい。
【符号の説明】
【００３２】
Ｗ：被加工物  Ｗａ：被加工物の一方の面（表面）  Ｗｂ：被加工物のもう一方の面（裏面）
３０：保持テーブル  ３００：保持部  ３００ａ：保持面  ３０１：枠体  
３９：第１の吸引源  ３９０：エア流路  ３８：エア源
４：搬送部材  ４０：搬送パッド  ４００：吸着部  ４００ａ：吸着面  ４０１：枠体  ４１：アーム部  ４３：固定ボルト  ４４：スプリング
４９：第２の吸引源  ４９０：吸引路
４８：圧力計  ４７：圧力判断部
Ｍ：異物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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