(57)【要約】【課題】より効果的に画質の低下を抑制可能なインクジェットヘッド及び画像形成装置を提供する。【解決手段】インクジェットヘッドは、複数のノズルと、ノズルに各々インクを供給する複数の供給流路と、複数の供給流路にそれぞれ一端で接続されて供給流路のインクを排出する個別排出流路２１４と、個別排出流路の一端とは反対側の他端がそれぞれ接続された共通排出流路２２２と、を備える。共通排出流路のインク排出方向について最上流側の第３の端部と、最も第３の端部に近い他端との間には、インクが流入する開口２２６ａが設けられている。複数の他端は、列に沿って配置され、列ごとに２つの範囲に区分されて、２つの範囲で互いに異なる第２排出流路に接続されている。２つの共通排出流路は、第３の端部及び第３の端部とは反対側の第４の端部のうち一方同士が隣り合わせであり、他方同士が両端となっている。【選択図】図６
2019214169.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出する複数のノズルと、
前記ノズルに各々インクを供給する複数の供給流路と、
前記複数の供給流路にそれぞれ第１の端部で接続されて当該供給流路のインクを排出する第１排出流路と、
複数の前記第１排出流路の前記第１の端部とは反対側の第２の端部がそれぞれ接続された第２排出流路と、
を備え、
前記第２排出流路のインク排出方向について最上流側の第３の端部と、前記インク排出方向について最も前記第３の端部に近い前記第２の端部との間には、前記供給流路を経ずに供給されるインクの流入口が設けられ、
複数の前記第２の端部は、一又は複数の列に沿って配置され、前記列ごとに当該列に沿った方向について互いに異なる２つの範囲に区分されて、当該２つの範囲で互いに異なる前記第２排出流路に接続されており、
前記第２排出流路は、前記２つの範囲の前記第２の端部に接続される２つの前記第２排出流路における前記第３の端部及び当該第３の端部とは反対側の第４の端部のうち一方同士が隣り合わせであり、他方同士が両端となっている
ことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
一の前記第２排出流路に対して複数の前記流入口が設けられていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記２つの範囲の前記第２の端部にそれぞれ接続される前記２つの第２排出流路は、前記第３の端部同士が隣り合わせに配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記複数の供給流路に供給するインクを貯留する第１インク貯留部と、
前記第１インク貯留部と前記流入口とを接続するバイパス流路と、
を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
一の前記バイパス流路は、複数の前記流入口に接続していることを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記２つの範囲の前記第２の端部にそれぞれ接続される前記２つの第２排出流路は、前記第３の端部同士が隣り合わせに配置され、
前記バイパス流路は、隣り合わせの前記第３の端部の間に設けられていることを特徴とする請求項４又は５記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
一の前記第２排出流路に接続される前記バイパス流路は、当該一の第２排出流路に接続される前記第１排出流路の合成流路抵抗よりも当該バイパス流路の合成流路抵抗が大きくなる数及び形状で設けられていることを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記第２排出流路の内壁面のうち前記第３の端部から所定の範囲は、前記インク排出方向に垂直な断面積が当該インク排出方向の下流に向けて単調非減少となる形状であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記所定の範囲の前記内壁面には、曲面形状が含まれることを特徴とする請求項８記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
前記２つの範囲に各々設けられた前記第２排出流路の長さは等しいことを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備える画像形成装置。
【請求項１２】
前記複数の供給流路及び前記流入口を介して前記第２排出流路に供給するインクを貯留する第２インク貯留部と、
前記第２排出流路から排出されたインクを前記第２インク貯留部に戻す循環部と、
を備えることを特徴とする請求項１１記載の画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、インクジェットヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルからインクを吐出させて媒体上に着弾させ、画像などを記録する画像形成装置（インクジェット記録装置）がある。この画像形成装置では、各ノズルに連通するインク流路中でインクに対して圧力変動を付与することで、当該圧力変動に応じたインク量及び速度の液滴をノズルから吐出させる。
【０００３】
しかしながら、インク中に気泡や異物などが混入すると、インクに対して適正な圧力変動が付与されなくなったり、ノズルにこれら気泡や異物が詰まったりして、吐出不良が生じるという問題がある。また、インクが吐出されない状態でインク流路中に留められると、インクの成分が分離したりノズルの開口から水分が揮発したりすることにより、適正なインク状態から外れて画質の低下が生じるという問題がある。これらに対し、ノズルに供給するインクを流すインク流路からノズルとは別個にインクを排出させる排出流路を設け、インク、気泡や異物を効果的に排出させる技術がある。排出流路としては、各インク流路から各々分岐する第１排出流路と、複数の第１排出流路の排出インク流下流側がそれぞれ接続される第２排出流路とを組み合わせ、第２排出流路の断面積を第１排出流路より十分に大きくすることで、排出流路の配置スペース削減と排出効率向上の両立が図られている（特許文献１、２）。
【０００４】
また、特許文献３には、第２排出流路の最上流端部にノズルへの供給インクの一部を流すバイパス流路を設けることで、第２排出流路内で排出インク（すなわち、気泡、異物や滞留インク）の流れによどみを生じさせず、これにより各第１排出流路から適切に第２排出流路へインクを排出される技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２４１１２０号公報
【特許文献２】特表２０１５−５０９４５４号公報
【特許文献３】特開２０１５−３６２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら画像形成装置の高解像度化や高速化の要求に応じてノズルの数や配置密度が増加するにつれて、従来の排出流路では、第２排出流路が長くなり、各第１排出流路と第２排出流路との接続位置、すなわち、第２排出流路への各流入位置から第２排出流路の出口、すなわち、第２排出流路からの出口までの距離の差が大きくなる。これにより、第２排出流路内の排出インク流の圧力損失に応じて圧力分布が生じ、第１排出流路における排出インクの流出特性に差が出て、結局画質の低下につながるという課題がある。
【０００７】
この発明の目的は、より効果的に画質の低下を抑制することのできるインクジェットヘッド及び画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、
インクを吐出する複数のノズルと、
前記ノズルに各々インクを供給する複数の供給流路と、
前記複数の供給流路にそれぞれ第１の端部で接続されて当該供給流路のインクを排出する第１排出流路と、
複数の前記第１排出流路の前記第１の端部とは反対側の第２の端部がそれぞれ接続された第２排出流路と、
を備え、
前記第２排出流路のインク排出方向について最上流側の第３の端部と、前記インク排出方向について最も前記第３の端部に近い前記第２の端部との間には、前記供給流路を経ずに供給されるインクの流入口が設けられ、
複数の前記第２の端部は、一又は複数の列に沿って配置され、前記列ごとに当該列に沿った方向について互いに異なる２つの範囲に区分されて、当該２つの範囲で互いに異なる前記第２排出流路に接続されており、
前記第２排出流路は、前記２つの範囲の前記第２の端部に接続される２つの前記第２排出流路における前記第３の端部及び当該第３の端部とは反対側の第４の端部のうち一方同士が隣り合わせであり、他方同士が両端となっている
ことを特徴とするインクジェットヘッドである。
【０００９】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載のインクジェットヘッドにおいて、
一の前記第２排出流路に対して複数の前記流入口が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記２つの範囲の前記第２の端部にそれぞれ接続される前記２つの第２排出流路は、前記第３の端部同士が隣り合わせに配置されていることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記複数の供給流路に供給するインクを貯留する第１インク貯留部と、
前記第１インク貯留部と前記流入口とを接続するバイパス流路と、
を備えることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項５記載の発明は、請求項４記載のインクジェットヘッドにおいて、
一の前記バイパス流路は、複数の前記流入口に接続していることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項６記載の発明は、請求項４又は５記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記２つの範囲の前記第２の端部にそれぞれ接続される前記２つの第２排出流路は、前記第３の端部同士が隣り合わせに配置され、
前記バイパス流路は、隣り合わせの前記第３の端部の間に設けられていることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項７記載の発明は、請求項４〜６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
一の前記第２排出流路に接続される前記バイパス流路は、当該一の第２排出流路に接続される前記第１排出流路の合成流路抵抗よりも当該バイパス流路の合成流路抵抗が大きくなる数及び形状で設けられていることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項８記載の発明は、請求項１〜７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記第２排出流路の内壁面のうち前記第３の端部から所定の範囲は、前記インク排出方向に垂直な断面積が当該インク排出方向の下流に向けて単調非減少となる形状であることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項９記載の発明は、請求項８記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記所定の範囲の前記内壁面には、曲面形状が含まれることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項１０記載の発明は、請求項１〜９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記２つの範囲に各々設けられた前記第２排出流路の長さは等しいことを特徴とする。
【００１８】
また、請求項１１記載の発明は、
請求項１〜１０のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備える画像形成装置である。
【００１９】
また、請求項１２記載の発明は、請求項１１記載の画像形成装置において、
前記複数の供給流路及び前記流入口を介して前記第２排出流路に供給するインクを貯留する第２インク貯留部と、
前記第２排出流路から排出されたインクを前記第２インク貯留部に戻す循環部と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に従うと、より効果的に画質の低下を抑制することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】インクジェット記録装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】ヘッドユニットのインク吐出面側を見た底面図である。
【図３】インクジェットヘッドの外観を示す斜視図である。
【図４】インクの流路構成の全体を示す模式図である。
【図５】ヘッドチップの断面の一部を示す図である。
【図６】ヘッドチップにおけるインク排出流路の構造について説明する図である。
【図７】ヘッドチップにおけるインク排出流路の構造について説明する図である。
【図８】ヘッドチップの断面図である。
【図９】バイパス流路の変形例１を説明する図である。
【図１０】バイパス流路の変形例２を説明する図である。
【図１１】バイパス流路の変形例３を説明する図である。
【図１２】バイパス流路の変形例４を説明する図である。
【図１３】第２実施形態のインクジェットヘッドを含むインクの流路構成の全体を示す模式図である。
【図１４】共通排出流路からのインクの排出について説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
［第１実施形態］
図１は、本発明の画像形成装置の第１実施形態であるインクジェット記録装置１の概略構成を示す斜視図である。インクジェット記録装置１は、搬送部２と、ヘッドユニット３などを備える。
【００２３】
搬送部２は、２本の搬送ローラー２ａ、２ｂと、輪状の搬送ベルト２ｃなどを備える。搬送ローラー２ａ、２ｂは、Ｘ方向に回転軸が延びる向きで平行に配置されている。搬送ベルト２ｃは、搬送ローラー２ａ、２ｂの間に架け渡されて、搬送ローラー２ａが図示略の搬送モーターの動作に応じて回転することで周回移動する。搬送ローラー２ｂは、搬送ベルト２ｃの周回移動に従って回転する。搬送ベルト２ｃの外周面（搬送面）がＺ方向に向いている（上向きの）区間で、当該外周面上に載置された記録媒体Ｍが搬送ベルト２ｃの周回移動に従ってＹ方向に搬送される。
【００２４】
ヘッドユニット３は、搬送部２により搬送される記録媒体Ｍに対して画像データに基づいて適切なタイミングでインクを吐出して画像を記録する。ヘッドユニット３は、記録媒体Ｍが搬送面上に載置される範囲で当該搬送面方向にインクを吐出可能に、ここでは、搬送面とインクの吐出面とが対向するように配置されている。このインクジェット記録装置１では、複数、例えば、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）及び黒色（Ｋ）の４色のインクをそれぞれ吐出する４つのヘッドユニット３が、例えば、記録媒体Ｍの搬送方向について上流側からＹ、Ｍ、Ｃ、Ｋの色の順に所定の間隔で配列されている。ヘッドユニット３の数は４つでなくてもよく、ヘッドユニット３の数に応じた色数のインクが吐出可能とされ得る。また、有色インクだけではなく、被膜などを形成する透明インクなどが含まれていてもよい。
【００２５】
図２は、ヘッドユニット３のインク吐出面側を見た底面図である。ヘッドユニット３は、各々複数、ここでは８個ずつのインクジェットヘッド１００を有し、これらのインクジェットヘッド１００を支持部材に固定保持している。各インクジェットヘッド１００には、それぞれ、ヘッドチップ１０１の吐出面側の面（ノズル面）に複数のノズルの開口Ｎが配列されている。ここでは、開口Ｎは、Ｙ方向（搬送方向）について４箇所の位置でそれぞれＸ方向（搬送方向に垂直な方向）に延びるノズル列上に設けられている。開口Ｎは、全体として、Ｘ方向について記録媒体Ｍへの画像記録可能幅にわたって連続して所定の間隔（ノズル間隔）で配置されている。
【００２６】
記録媒体Ｍは、特には限られないが、一定の寸法に裁断された枚葉紙であってよい。記録媒体Ｍは、図示略の媒体供給部から搬送ベルト２ｃ上に供給され、ヘッドユニット３から吐出されたインクが着弾して画像が記録（必要に応じて乾燥、定着動作を含んでもよい）された後に搬送部２から媒体排出部に送られる。あるいは、記録媒体Ｍとしては、ロール紙が用いられてもよい。また、記録媒体Ｍとして、普通紙や塗工紙といった紙のほか、布帛又はシート状の樹脂など、表面に着弾したインクを定着させることが可能な種々の媒体が用いられてもよい。
【００２７】
図３は、ヘッドユニット３が備えるインクジェットヘッド１００の外観を示す斜視図である。本実施形態のインクジェットヘッド１００は、ヘッドチップ１０１と、保持部１０２と、共通インク室１０３などを備える。インクジェットヘッド１００は、ヘッドチップ１０１が搬送ベルト２ｃと対向する向きでヘッドユニット３により保持されている。
【００２８】
上述のように、ヘッドチップ１０１には、ノズルの開口Ｎが二次元配列されており、当該ノズルの開口Ｎからそれぞれインクが吐出される。なお、図３（ｂ）における開口Ｎの配置は説明のためのものであり、実際のノズル間隔や開口Ｎの数などを反映したものではない。
保持部１０２は、ヘッドチップ１０１の上面（ノズル面側とは反対側。＋Ｚ側）に接合されており、また、共通インク室１０３を支持している。
【００２９】
図３（ａ）に示すように、共通インク室１０３には、開口Ｎに供給するインクを貯留する共通供給インク室１０３１（第１インク貯留部）と、開口Ｎから吐出されずに回収（排出）されたインクを貯留する２つの共通排出インク室１０３２とが含まれる。それぞれのインク室には、各ヘッドユニット３から吐出される色（ここでは、ＹＭＣＫのうちいずれか）のインクが貯留される。ここでは、共通供給インク室１０３１が共通インク室１０３の中央に設けられ、上方からの平面視で当該共通供給インク室１０３１のＸ方向について両側に共通排出インク室１０３２が設けられている。
【００３０】
共通インク室１０３（共通供給インク室１０３１）の略中央には、ヘッドチップ１０１に接続されるフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ１１１）が貫通する空間が設けられている。共通供給インク室１０３１には、供給口１０３３（インレット）を介してインクが供給される。共通排出インク室１０３２からは、排出口１０３４（アウトレット）を介してインクが排出される。
【００３１】
図４は、インクの流路構成の全体を示す模式図である。インクジェット記録装置１は、メインタンク９１と、供給用サブタンク９２（第２インク貯留部）と、還流用サブタンク９３などを備える。
【００３２】
メインタンク９１は、供給用サブタンク９２に供給されるインクを貯留する。メインタンク９１は、送液ポンプ８１を介してインク流路７１によって供給用サブタンク９２と接続されている。送液ポンプ８１の動作により、インクは、メインタンク９１から供給用サブタンク９２に送液される。
【００３３】
供給用サブタンク９２は、インクジェットヘッド１００の共通供給インク室１０３１に供給されるインクを貯留する。供給用サブタンク９２は、インク流路７２によって供給口１０３３と接続されている。
【００３４】
還流用サブタンク９３は、共通排出インク室１０３２から排出されたインクを貯留する。還流用サブタンク９３は、インク流路７３によって２つの排出口１０３４に接続されている。
【００３５】
供給用サブタンク９２と還流用サブタンク９３との間は、送液ポンプ８２を介してインク流路７４によって接続されている。送液ポンプ８２の動作により、還流用サブタンク９３内のインクが供給用サブタンク９２に戻される。
インク流路７３、７４、還流用サブタンク９３及び送液ポンプ８２が本実施形態の画像形成装置（インクジェット記録装置１）における循環部を構成している。
【００３６】
供給用サブタンク９２は、ヘッドチップ１０１のインク吐出面よりも鉛直方向について高い位置に設けられ、還流用サブタンク９３は、インク吐出面よりも鉛直方向について低い位置に設けられている。したがって、供給用サブタンク９２の液面とインク吐出面との間の水頭差による圧力Ｐ１と、インク吐出面と還流用サブタンク９３との間の水頭差による圧力Ｐ２に応じて、供給口１０３３におけるインクの圧力は、排出口１０３４におけるインクの圧力よりも高くなる。供給用サブタンク９２及び還流用サブタンク９３の鉛直方向についての高さ（すなわち、圧力Ｐ２）は、変更可能であってよい。
【００３７】
図５は、ヘッドチップ１０１の断面の一部を示す図である。ここでは、１つのノズル２１１及び接続部３５を含む図３の断面線ＡＡにおける断面を示す。
【００３８】
ヘッドチップ１０１は、ノズル基板２１と、中間基板２２と、アクチュエーター基板２３と、保護基板２４などを有する。これらのノズル基板２１、中間基板２２、アクチュエーター基板２３及び保護基板２４は、順番に積層されている。
【００３９】
ノズル基板２１は、例えば、Ｓｉ層のノズル層２１ａ及びノズル支持層２１ｃの間に酸化膜層２１ｂを挟んだＳＯＩ基板（Silicon on Insulator）である。あるいは、ノズル基板２１は、ポリイミドなどの樹脂材料やＳＵＳなどの金属材料によって形成されていてもよい。
【００４０】
ノズル層２１ａには、インクの液滴を吐出するノズル２１１が複数形成されている。ノズル層２１ａのＺ方向についての厚さは、例えば、１０〜２０μｍである。ここでは、例えば、Ｘ方向に所定の間隔で配列されたノズル２１１の並び（ノズル列）がＹ方向（搬送方向）に互いに異なる位置に複数列（例えば４列）設けられている。
【００４１】
ノズル支持層２１ｃは、例えば、厚さ１００〜３００μｍである。ノズル支持層２１ｃには、インク流路となる貫通孔２１３と、個別排出流路２１４（第１排出流路）などが設けられている。個別排出流路２１４は、一端（第１の端部）が貫通孔２１３（すなわち後述の供給流路）に接続しており、他端（第２の端部）がノズル支持層２１ｃの＋Ｚ側の面（上面）で共通排出流路２２２（第２排出流路）に接続している。個別排出流路２１４は、ここでは、ノズル支持層２１ｃの−Ｚ側（底面）に開放しており、酸化膜層２１ｂが当該底面側の内壁面をなしている。あるいは、個別排出流路２１４に面する部分の酸化膜層２１ｂが除去されて、ノズル層２１ａの上面が個別排出流路２１４の底面側の内壁面をなしていてもよい。また、ノズル基板２１の強度が得られる範囲でノズル層２１ａにまたがって個別排出流路２１４が設けられていてもよい。
【００４２】
酸化膜層２１ｂは、例えば、厚さ０．３〜１．０μｍのＳｉＯ２層である。酸化膜層２１ｂには、ノズル層２１ａのノズル２１１とノズル支持層２１ｃの貫通孔２１３との間を連通させる貫通孔２１２が設けられている。貫通孔２１２、２１３は、平面視でノズル２１１と同心であり、貫通孔２１２、２１３の内径は、ノズル２１１の内径よりも大きい。ノズル２１１は、逆テーパー形状を有し、開口Ｎに近いほど内径が小さい。
【００４３】
中間基板２２は、例えば、厚さ１００〜３００μｍのＳｉ基板からなる。中間基板２２には、貫通孔２２１と、共通排出流路２２２と、圧力緩衝部２２３（ダンパー）などが設けられている。
【００４４】
貫通孔２２１は、中間基板２２をＺ方向に貫通し、貫通孔２１３と接続している。貫通孔２２１の形状は、単純な円柱状に限られない。貫通孔２２１の径（断面積）が非一様とされるなどにより圧力損失の大きさ、すなわち、インクの吐出時の運動エネルギーが適宜な大きさに調整されるように構成されていてもよい。
【００４５】
共通排出流路２２２には、上述のように個別排出流路２１４の他端側（貫通孔２１３に接続する側とは反対側の端部）が接続している。共通排出流路２２２は共通排出インク室１０３２につながっている（図示略）。なお、個別排出流路２１４が中間基板２２内に設けられて、当該中間基板２２の内部で貫通孔２２１と共通排出流路２２２とを接続していてもよい。
【００４６】
圧力緩衝部２２３は、可撓性を有する程度の薄さ（厚さ）の薄板２２３ａと、空気室２２３ｂとを有する。薄板２２３ａは、ここでは、共通排出流路２２２の上側壁面の少なくとも一部をなしている。空気室２２３ｂは、当該薄板２２３ａを挟んで共通排出流路２２２とは反対側（ここでは、薄板２２３ａの上側）に設けられている。空気室２２３ｂの高さ方向についての厚さは、少なくとも薄板２２３ａの変形を妨げない程度（例えば、１〜１００μｍ）である。また、空気室２２３ｂの容積は、共通排出流路２２２の容積よりも小さい。空気室２２３ｂは、大気連通されていてもよいし、密閉されていてもよい。また、大気連通用の孔部を開閉する蓋部材などが設けられていてもよい。
【００４７】
圧力緩衝部２２３は、共通排出流路２２２内のインク圧が変化した場合や、当該インク中を圧力波が伝わる場合に、インクの圧力と空気室２２３ｂ内の空気圧との差に応じて薄板２２３ａが変形、振動することで圧力変化を緩和、減衰させる。また、薄板２２３ａは、インク圧と空気室２２３ｂ内の空気圧との差に応じて弾性（伸縮）変形するものであってもよく、あるいは、弾性変形する部材が薄板２２３ａの表面（共通排出流路２２２の側）に設けられていてもよい。
【００４８】
中間基板２２は、共通排出流路２２２及び薄板２２３ａを含む部分と、空気室２２３ｂを含む部分とで別個の基板により構成されて積層されたものであってもよい。
【００４９】
アクチュエーター基板２３は、圧力室層２３ａと、振動層２３ｂを含む。圧力室層２３ａは、例えば、１００〜３００μｍ程度のＳｉ基板からなる。圧力室層２３ａには、インクに圧力変動を付与するための圧力室２３１を含むインクの流路が設けられている。このインク流路の一端が中間基板２２の貫通孔２２１と接続されている。ここでは、インク流路は、圧力室層２３ａを上下に貫通して設けられ、中間基板２２の上面が下側の壁面となり、振動層２３ｂが上側の壁面となる。
【００５０】
振動層２３ｂは、例えば、１〜１０μｍ程度の薄い弾性変形可能なＳｉ基板であり、圧力室層２３ａの上面に接して設けられている。振動層２３ｂには、圧力室層２３ａのインク流路の他端（貫通孔２２１と接続される側と反対側の端部）と共通供給インク室１０３１とを連通させるための貫通孔２３２が設けられている。
【００５１】
振動層２３ｂの上面上（圧力室層２３ａとは反対側の面上）には、上方から見た平面視で圧力室２３１の位置に合わせて加圧部３１が設けられている。加圧部３１は、下部電極３１１と、圧電体層３１２と、上部電極３１３とを有し、これらが順番に積層、固着されている。下部電極３１１が振動層２３ｂの上面に固定されており、上部電極３１３と下部電極３１１との間に印加された電圧差に応じて圧電体層３１２が伸縮変形することで振動層２３ｂが歪む。上部電極３１３と下部電極３１１との間の電圧を周期的に変化させることで振動層２３ｂの歪みパターンを周期的に変化させて、当該歪みに応じて圧力室２３１の容積を変化させ、圧力室２３１内部のインクに圧力変化を付与する。
【００５２】
下部電極３１１は、例えば、チタン（Ｔｉ）や白金（Ｐｔ）等の薄膜状の層である。圧電体層３１２は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などである。上部電極３１３は、例えば、クロム（Ｃｒ）や金（Ａｕ）などの薄膜である。これらは、それぞれ振動層２３ｂの上面に順番に成膜されて形成されてよい。
【００５３】
アクチュエーター基板２３の上面には、下部電極３１１及び上部電極３１３に駆動電圧信号を供給するための信号配線３６と、当該信号配線３６を駆動部に接続する配線とを接続するための接続部３５とが設けられている。ここでは、接続部３５は、例えば、駆動ＩＣが設けられたＦＰＣ１１１のアクチュエーター基板２３への接続部分である。上述のように、ＦＰＣ１１１は、共通供給インク室１０３１の略中央部から上方に引き出されている。ＦＰＣ１１１の回路配線とアクチュエーター基板２３上の信号配線３６とは、接続部３５において、例えば、間に挟まれた異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を介して熱圧着されている。あるいは、異方性導電ペースト（ＡＣＰ）や銀ペーストなどが用いられて接続されていてもよい。信号配線３６と振動層２３ｂとの間は、適宜絶縁層（例えば、ＳｉＯ２膜など）により絶縁されている。ここでは、下部電極３１１には共通電位（例えば、接地電位）が供給され、上部電極３１３に対して個別配線により個別の駆動電圧信号が送られる。
【００５４】
保護基板２４は、例えば、４２アロイにより構成された基板であり、アクチュエーター基板２３との接触面側には、加圧部３１などを収容する空間が形成されている。また、保護基板２４には、上下方向に貫通孔２４１が形成されている。貫通孔２４１は、共通供給インク室１０３１と貫通孔２３２との間を接続している。
【００５５】
すなわち、供給用サブタンク９２から供給口１０３３を経て共通供給インク室１０３１に供給されたインクは、貫通孔２４１、２３２、圧力室２３１を含むインクの流路、貫通孔２２１、２１３をそれぞれ通ってノズル２１１に送られる。すなわち、共通供給インク室１０３１における貫通孔２４１への入口から貫通孔２１３のノズル２１１との境界までが各ノズルにインクを供給する供給流路となる。貫通孔２１３に送られたインクのうちノズル２１１から吐出されないインクは、個別排出流路２１４及び共通排出流路２２２を通って共通排出インク室１０３２に流れ、さらに、排出口１０３４から還流用サブタンク９３に戻される。このインクは、適宜、異物などを除去するフィルターなどを介して、還流用サブタンク９３から再び供給用サブタンク９２に送られることで循環する。
【００５６】
図６及び図７は、ヘッドチップ１０１におけるインク排出流路の構造について説明する図である。図６（ａ）は、インク排出流路を上方から透視して見た図である。図６（ｂ）は、共通排出流路２２２のＸ方向について略中央で隣り合う端部付近を拡大して示した図である。図７（ａ）は、図６（ａ）の断面線ＢＢにおける断面図である。図７（ｂ）は、図６（ａ）の断面線ＣＣにおける断面図である。図８は、図６（ａ）の断面線ＤＤにおける断面図である。
【００５７】
複数の個別排出流路２１４が第２の端部で接続する共通排出流路２２２は、ノズル列（ノズル列に沿った第２の端部の列）ごとに当該ノズル列方向（Ｘ方向）について中央付近で互いに異なる２つの範囲に区分されて２本ずつがそれぞれ±Ｘ方向に延在して設けられている。共通排出流路２２２は、両端側（ここでは、第４の端部。第３の端部に対する他方）でそれぞれ、ヘッドチップ１０１の±Ｘ方向について両端付近に設けられたインク排出室２２５に接続されている。
【００５８】
共通排出流路２２２の中央寄りの端（ここでは、第３の端部）同士は、壁面を挟んで隣り合って配置され、当該第３の端部付近には、それぞれ開口２２６ａ（流入口）が設けられている。壁面は２つの共通排出流路２２２を分離してさえいればよく、十分に薄くてよい。開口２２６ａは、貫通孔２２６、２３３、２４２によるバイパス流路を介して共通供給インク室１０３１と共通排出流路２２２とをつないでいる。すなわち、共通供給インク室１０３１のインクの一部は、バイパス流路を介して開口２２６ａから共通排出流路２２２の第３の端部付近に流入可能となっている。壁面に隔てられる共通排出流路２２２の長さが等しいほど、長い方の共通排出流路２２２による圧力分布の差が小さく抑えられるが、ノズル２１１の配置などに応じて２つの共通排出流路２２２の長さが多少（すなわち、例えば、ノズル間隔の数倍程度の範囲で）異なっていてもよい。
【００５９】
貫通孔２２６、２３３、２４２の口径（流路の延在方向に垂直な面における断面積）は、同一であっても同一でなくてもよく、また、一部又は全体で連続的に口径が変化するように、例えば、テーパー形状などを有していてもよい。流路抵抗（流れるインクの圧力損失）が適切な値となるようにこれらの口径（形状）とバイパス流路の長さとが定められればよい。特に、一つの共通排出流路２２２に接続されている複数の個別排出流路２１４の合成流路抵抗がバイパス流路の流路抵抗（後述のように複数のバイパス流路が接続される場合には合成流路抵抗）よりも小さくなるようにバイパス流路の形状や長さ（複数の場合は、これらに加えて数）が定められるとよい。これにより、インクジェットヘッド１００において、個別排出流路２１４から排出されたインクがバイパス流路へ逆流したり、バイパス流路から流入する多量のインクによって個別排出流路２１４のインクの流入が妨げられたりするのを抑制することができる。
【００６０】
開口２２６ａから流入するインクは、個別排出流路２１４から流入するインク、気泡や異物などをよどませずにインク排出室２２５に送出する共通排出流路２２２内のインク流を形成する。すなわち、第３の端部がインク排出方向について最上流側となる。個別排出流路２１４の排出側端部（第２の端部）がいずれも開口２２６ａ（インク流の最上流）とインク排出室２２５ａ（インク流の最下流）との間に設けられていることで（言い換えると、開口２２６ａが第３の端部と、インク排出方向について当該第３の端部に最も近い第２の端部との間に設けられていることで）、個別排出流路２１４から排出されるインクがインク排出室２２５に排出されるまでによどまない。
【００６１】
共通排出流路２２２は、Ｘ方向について区分されている分、各個別排出流路２１４との接続位置からインク排出室２２５までの距離の差が小さく抑えられる。これにより、各個別排出流路２１４のインク流路からの分岐位置（第１の端部）からインク排出室２２５（第４の端部）までのインク圧の差（すなわち、圧力損失の違い）が小さく抑えられ、流出特性の差が低減される。
【００６２】
インク排出室２２５の上方（＋Ｚ側）には、排出連通口２２８ａが設けられている。排出連通口２２８ａは、貫通孔２２８、２３４、２４３など（まとめてバイパス流路）を介して供給流路を経ずに共通排出インク室１０３２とインク排出室２２５とをつないでいる。共通排出流路２２２からインク排出室２２５に流入したインクは、排出連通口２２８ａから共通排出インク室１０３２へ流出する。
【００６３】
図９は、バイパス流路の変形例１を説明する図である。図６〜図８に符号を付して示した構成と同一の構成（場所が変更されているものを含む）に対しては、同一の符号を用いている。
【００６４】
隣り合う共通排出流路２２２のそれぞれ第１の端部に設けられた複数（２つ）の開口２２６ａに対して一つの共通のバイパス流路（貫通孔２２６、２３３、２４２）が設けられて（接続されて）いてもよい。図９（ｂ）に示すように、ここでは、貫通孔２３３、２４２の位置は、Ｘ方向について２つの開口２２６ａの中央の位置ではないが、中央に設けられていてもよい。また、上記実施形態と同様に、貫通孔２３３、２４２は、延在方向（Ｚ方向）について途中で口径が変化していてもよい。貫通孔２３３、２４２の位置は、他の構成との位置関係、例えば、アクチュエーター基板２３上に設けられる電気配線を避けるように適宜定められればよい。
【００６５】
図１０は、バイパス流路の変形例２を説明する図である。図６〜図８に符号を付して示した構成と同一の構成（場所が変更されているものを含む）に対しては、同一の符号を用いている。
【００６６】
ここでは、各共通排出流路２２２に対してそれぞれ２つ（複数）ずつ開口２２６ａが設けられている。共通排出流路２２２と共通供給インク室１０３１との間の構成、例えば、電気配線などとの位置関係上、十分な口径のバイパス流路を形成することができない場合には、複数のバイパス流路を一つの共通排出流路２２２に対して接続することで、合成された流路抵抗を低減させて適切な圧力で共通排出流路２２２に対してインクを流入させることができる。
【００６７】
ここでは、各共通排出流路２２２の第３の端部付近のＹ方向について両端付近にそれぞれ開口２２６ａを設けることとしたが、共通排出流路２２２に対して最も上流側で排出口（第２の端部）が開口している個別排出流路２１４の当該第２の端部より上流側であれば、Ｘ方向について異なる位置に開口２２６ａが設けられていてもよい。
【００６８】
この場合、変形例１と同様に、隣り合わせの共通排出流路２２２におけるＹ方向について等しい位置（厳密に等しくなくてもよい）の開口２２６ａを介して、一のバイパス流路からそれぞれの共通排出流路２２２にインクを流入させてもよい。
【００６９】
図１１は、バイパス流路の変形例３を説明する図である。図６〜図８に符号を付して示した構成と同一の構成（場所が変更されているものを含む）に対しては、同一の符号を用いている。
【００７０】
ここでは、開口２２６ａは、共通排出流路２２２の上面（＋Ｚ側の面）に設けられる代わりに、側面（＋Ｙ側の面。すなわち、共通排出流路２２２に接続される個別排出流路２１４が設けられている側とは反対側の面）に設けられている。共通排出流路２２２の直上に他の構成、例えば、電気配線などにより空きスペースがない場合には、このように側面側に開口２２６ａを設けて、上方（＋Ｚ側）からのバイパス流路内のインク流が孔部２２６１で−Ｙ方向に向きを変えながら共通排出流路２２２に流入することとしてもよい。
【００７１】
また、ここでは、共通排出流路２２２が直方体形状ではなく、第３の端部の−Ｙ側、すなわち、開口２２６ａから流入したインクの流入方向の角が曲面形状となっている。この曲面形状は、インクの排出方向に垂直な断面積が当該排出方向の下流に向けて大きくなっていく（単調非減少）ように定められる。これにより、共通排出流路２２２に流入したインクが第３の端部や上流側の個別排出流路２１４の第２の端部付近でよどみやすくなるのを抑制する。ここでは、側面のみを丸めているが、これに加えて／代えて、側面と上面（＋Ｚ側）や底面（−Ｚ側）との接続部分などが丸められていてもよい。また、孔部２２６１の底面と開口２２６ａの対面（＋Ｙ側）との接続部分などで丸められていてもよい。
【００７２】
図１２は、バイパス流路の変形例４を説明する図である。図６〜図８に符号を付して示した構成と同一の構成（場所が変更されているものを含む）に対しては、同一の符号を用いている。
【００７３】
ここでは、開口２２６ａは、共通排出流路２２２の第３の端部間の側の側面に設けられている。これに伴って、第３の端部が隣り合う２つの共通排出流路２２２間の壁の厚さは、２つの孔部２２６２を間に設けるのに十分な厚さとされる。一方で、ノズル２１１の開口Ｎ及びこれに対応する貫通孔２２１、２１３の配置は、予めノズル間隔及び加圧部３１の配置間隔に応じて定められているので、個別排出流路２１４が貫通孔２１３と共通排出流路２２２との間でＹ方向に対して傾いて延在している。
【００７４】
この場合には、バイパス流路から開口２２６ａを経て共通排出流路２２２へのインク流は、第３の端部から±Ｘ方向に共通排出流路２２２内を流れて、インク排出室２２５へ流出する。上記実施形態及び各変形例と同様に、一の共通排出流路２２２に対して設けられる開口２２６ａの数、開口面積及び壁面に対する開口位置は、他の構成、例えば、電気配線との位置関係などに応じて適宜定められてよい。
【００７５】
以上のように、第１実施形態のインクジェットヘッド１００は、インクを吐出する複数のノズル２１１と、ノズル２１１に各々インクを供給する複数の供給流路と、複数の供給流路にそれぞれ第１の端部で接続されて当該供給流路のインクを排出する個別排出流路２１４と、複数の個別排出流路２１４の第１の端部とは反対側の第２の端部がそれぞれ接続された共通排出流路２２２と、を備える。共通排出流路２２２のインク排出方向について最上流側の第３の端部と、インク排出方向について最も第３の端部に近い第２の端部との間には、供給流路を経ずに供給されるインクの流入口となる開口２２６ａが設けられている。複数の第２の端部は、一又は複数の列に沿って配置され、列ごとに当該列に沿った方向（Ｘ方向）について互いに異なる２つの範囲に区分されて、当該２つの範囲で互いに異なる共通排出流路２２２に接続されている。共通排出流路２２２は、２つの範囲の第２の端部に接続される２つの共通排出流路２２２における第３の端部及び当該第３の端部とは反対側の第４の端部のうち一方同士が隣り合わせであり、他方同士が両端となっている。
このように、従来ノズル列ごとに一つながりで形成されていた共通排出流路を２本に分けることで、共通排出流路に沿った方向についての圧力差の増大を抑えて、各個別排出流路２１４からのインク流入の不均等を抑制する。これにより、インクジェットヘッド１００では、インク吐出動作への影響の不均一性を低減させることができる。また、その一方付近をバイパス流路に接続し、他方をインク排出室２２５に接続することで、各々適切にインク流を生じさせて、共通排出流路２２２内（更にさかのぼって個別排出流路２１４内や供給流路内）でインクが滞留しないようにすることができる。すなわち、インクジェットヘッド１００では、供給流路内の気泡や異物を適正に排除し、また、供給流路内部でのインク成分の偏りや粘度や温度の変化などを適切に抑制することができる。そして、流入側と排出側のいずれか同士が隣り合わせになるように配置することで、バイパス流路とインク排出流路の構成を適切に分離し、また、適宜共通化することができるので、インクジェットヘッドの構造を複雑化せず、また、効率的に配置してその大型化を抑えることができる。よって、このインクジェットヘッド１００では、より効果的に画質の低下を抑制することができる。
【００７６】
また、インクジェットヘッド１００には、一の共通排出流路２２２に対して複数の開口２２６ａが設けられている。すなわち、電気配線などの他の構成との位置関係上、必要な太さのバイパス流路を形成できない場合などには、複数本に分割して共通排出流路２２２にインクを供給する形状とすることで、適正に共通排出流路２２２内のインクを排出させることができる。
【００７７】
また、列状に配置された個別排出流路２１４の２つの範囲の第２の端部に対してそれぞれ接続される２つの共通排出流路２２２は、第３の端部同士が隣り合わせに配置されている。このように、特に、流入側をヘッドチップ１０１の中央側に設けることで、ヘッドチップ１０１の周縁部のスペースを用いてインクの排出流路を統合整理して共通排出インク室１０３２へ排出しやすくなる。よって、スペースを有効利用して効率よくインクを排出させて、画質の低下を抑制することができる。
【００７８】
また、インクジェットヘッド１００は、複数の供給流路に供給するインクを貯留する共通供給インク室１０３１と、共通供給インク室１０３１と開口２２６ａとを接続するバイパス流路と、を備える。ノズルへのインク供給用の共通供給インク室１０３１から供給流路をバイパスして直接共通排出流路２２２にインクを供給する構成により、簡便かつ適正にノズル近傍の異物や気泡などを排出させることができ、安定して画質の低下を抑えることができる。
【００７９】
また、変形例２の例では、一のバイパス流路は、複数の開口２２６ａに接続している。特に、ヘッドチップ１０１の中央付近に隣り合わせに開口２２６ａを設ける場合に、共通のバイパス流路からこれらの開口２２６ａを経て共通排出流路２２２にインクを流入させることで、より簡便な構造でより適正に異物や気泡などを排出させ、安定した画質で画像形成動作を行わせることができる。
【００８０】
また、変形例４の例では、バイパス流路は、隣り合わせの第３の端部の間に設けられている。これにより、共通排出流路２２２の最上流側からより均一かつスムーズにインクを流入させて、共通排出流路２２２の内部に安定したインク流を生じさせることができる。これにより、より確実に異物や気泡を排出させ、また、各ノズル２１１からのインク吐出特性への影響を低減させることができる。
【００８１】
また、一の共通排出流路２２２に接続されるバイパス流路は、当該一の共通排出流路２２２に接続される個別排出流路２１４の合成流路抵抗よりも当該バイパス流路の合成流路抵抗が大きくなる数及び形状で設けられている。これにより、個別排出流路２１４から共通排出流路２２２へのインクの流入及び共通排出流路２２２からインク排出室２２５への流出を妨げず、インク吐出特性に与える影響を抑えながら適切に気泡や異物などを排出させることができる。
【００８２】
また、共通排出流路２２２の内壁面のうち第３の端部から所定の範囲は、インク排出方向に垂直な断面積が当該インク排出方向の下流に向けて徐々に増大していく（単調非減少）となる形状である。これにより、開口２２６ａから流入したインクが共通排出流路２２２内で滞留せずにより安定したインク流を生じさせることができる。
【００８３】
また、上記所定の範囲の内壁面には、曲面形状が含まれる。すなわち、平面の組み合わせによる角などでインクがよどむのをより効果的に抑制することができる。
【００８４】
また、個別排出流路２１４の第２の端部の配列に係る２つの範囲に各々設けられた共通排出流路２２２の長さは等しい。ここでいう等しいとは、設計に対する製造上の微小なずれなどが含まれていてよい。このように、共通排出流路２２２を均等な長さとすることで、共通排出流路２２２内での最大圧力差を最小限に抑えることができる。これにより、インク吐出特性のむらを可能な限り低減させることができる。
【００８５】
また、本実施形態のインクジェット記録装置１は、上記のインクジェットヘッドを備える。このようなインクジェット記録装置１では、安定してムラの少ない高画質な画像を形成することができる。
【００８６】
また、複数の供給流路、及び開口２２６ａを介して共通排出流路２２２に供給するインクを貯留する供給用サブタンク９２と、共通排出流路２２２から排出されたインクを前記第２インク貯留部に戻す循環部（インク流路７３、７４、還流用サブタンク９３及び送液ポンプ８２）、を備える。このように、適切にインクを循環させて気泡や異物が除かれ、また、均一に戻されたインクを吐出可能とすることで、インクジェット記録装置１では、インクの無駄な消費を極力抑えつつ、安定したインクの吐出を行い、画質の低下を抑制することができる。
【００８７】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態のインクジェットヘッド１００ａについて説明する。
図１３は、本実施形態のインクジェットヘッド１００ａを含むインクの流路構成の全体を示す模式図である。
【００８８】
このインクジェットヘッド１００ａでは、共通供給インク室１０３１と共通排出インク室１０３２の配置が入れ替えられており、これに応じて供給口１０３３と排出口１０３４が入れ替えられている。すなわち、インクは、共通インク室１０３のＸ方向について中央に共通排出インク室１０３２が位置し、その両側に２つの共通供給インク室１０３１が設けられている。その他の構成の配置は、図４に示した第１実施形態のインクジェットヘッド１００を含む流路構成と同一であり、同一の符号を用いて示している。
【００８９】
図１４は、共通排出流路２２２からのインクの排出について説明する図である。
図１４（ａ）は、インク排出流路を上方から透視して見た図である。図１４（ｂ）は、共通排出流路２２２のＸ方向について略中央で隣り合う端部付近を拡大して示した図である。
【００９０】
搬送方向について同一位置（同一のＹ座標位置）に位置する２本の共通排出流路２２２は、Ｘ方向について隣り合う端部側に排出連通口２２８ａが設けられており、各々共通排出インク室１０３２に連通している。これら２本の共通排出流路２２２における反対側の端部には、それぞれ開口２２６ａが設けられて、それぞれ両側の共通供給インク室１０３１からバイパス流路を介してインクが流入可能となっている。
【００９１】
この場合も、共通排出流路２２２間の間隔は、排出連通口２２８ａが２つ設けられるのに十分な幅を有する。ノズル２１１（開口Ｎ）及びこれに対応する貫通孔２２１、２１３の配置は、予めノズル間隔及び加圧部３１の配置間隔に応じて定められているので、個別排出流路２１４が貫通孔２１３と共通排出流路２２２との間でＹ方向に対して傾いて延在している。
【００９２】
なお、複数の共通排出流路２２２から各々別個に排出連通口２２８ａ（貫通孔２２８など）が設けられる代わりに、複数の共通排出流路２２２の端部同士をつなぐインク排出室２２５が設けられて、共通の排出連通口２２８ａから共通排出インク室１０３２にインクが排出されてもよい。
【００９３】
以上のように、第２実施形態のインクジェットヘッド１００ａのように、共通排出流路２２２への開口２２６ａと排出側端部の排出連通口２２８ａとの位置関係が上記第１実施形態とは反対とされてもよい。この場合でも、インクジェットヘッド１００ａでは、共通排出流路に沿った方向についての圧力差の増大を抑えて、インク吐出動作への影響の不均一性を低減させることができる。また、その一方付近をバイパス流路に接続し、他方をインク排出室２２５に接続することで、各々適切にインク流を生じさせて、共通排出流路２２２内でインクが滞留しないようにすることができる。そして、インクジェットヘッドの構造を複雑化せず、また、効率的に配置してその大型化を抑えることができる。よって、このインクジェットヘッド１００ａでは、より効果的に画質の低下を抑制することができる。
【００９４】
なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。
例えば、上記実施の形態では、隣り合う２本の共通排出流路２２２が同一の直線上に配置されることとしたが、１本の共通排出流路２２２を含む直線から当該直線に垂直な方向に他方の共通排出流路２２２が若干ずれていてもよい。また、２本の共通排出流路２２２の延在方向が若干傾いて（異なって）いてもよい。
【００９５】
また、上記実施の形態では、個別排出流路２１４の第２の端部は、共通排出流路２２２のインク排出方向に垂直な方向について同一位置に等間隔で配列されたが、これに限られるものではない。インク排出方向に垂直な方向について異なる位置に適宜配置されていてもよい。
【００９６】
また、複数の共通排出流路２２２に設けられる開口２２６ａの位置、形状やサイズなどは、同一でなくてもよい。例えば、複数のバイパス流路の長さや形状を同一にできない場合などには、個々のバイパス流路に応じて互いに異なる適切な開口２２６ａが設けられてもよい。また、バイパス流路は、共通供給インク室１０３１から直線状である必要はない。
【００９７】
また、上記実施の形態では、第３の端部側の形状が直方体又は曲面状のものを示したが、他の形状、例えば、平面で囲まれた断面積が下流方向へ増大するような形状や、より複雑な形状であってもよい。また、流入するインクの流れをガイドする部分的な突起や凹部などが設けられていてもよい。
【００９８】
また、上記実施の形態では、インクを還流用サブタンク９３から供給用サブタンク９２に戻すことで循環させることとしたが、このような循環に係る構成に限られない。直接供給用サブタンク９２に戻される構成であってもよい。また、循環しない構成を排除するものでもない。
【００９９】
また、上記実施の形態では、個別排出流路２１４がノズル基板に設けられ、共通排出流路２２２が中間基板に設けられたが、他の基板に設けられたり複数の基板をまたいで設けられたりしていてもよい。
その他、上記実施の形態で示した構成、構造、位置関係、サイズや形状などの具体的な細部は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【符号の説明】
【０１００】
１     インクジェット記録装置
２     搬送部
２ａ   搬送ローラー
２ｂ   搬送ローラー
２ｃ   搬送ベルト
３     ヘッドユニット
２１   ノズル基板
２１ａ ノズル層
２１ｂ 酸化膜層
２１ｃ ノズル支持層
２１１ ノズル
２１２、２１３       貫通孔
２１４ 個別排出流路
２２   中間基板
２２１、２２６、２２８      貫通孔
２２２ 共通排出流路
２２３ 圧力緩衝部
２２３ａ      薄板
２２３ｂ      空気室
２２５ インク排出室
２２５ａ      インク排出室
２２６ａ      開口
２２６１、２２６２   孔部
２２８ａ      排出連通口
２３   アクチュエーター基板
２３ａ 圧力室層
２３ｂ 振動層
２３１ 圧力室
２３２、２３３       貫通孔
２４   保護基板
２４１ 貫通孔
３１   加圧部
３１１ 下部電極
３１２ 圧電体層
３１３ 上部電極
３５   接続部
３６   信号配線
７１〜７４    インク流路
８１、８２    送液ポンプ
９１   メインタンク
９２   供給用サブタンク
９３   還流用サブタンク
１００、１００ａ     インクジェットヘッド
１０１ ヘッドチップ
１０２ 保持部
１０３ 共通インク室
１０３１      共通供給インク室
１０３２      共通排出インク室
１０３３      供給口
１０３４      排出口
Ｎ     開口
【図１】
2019214169.tif 000003
【図２】
2019214169.tif 000004
【図３】
2019214169.tif 000005
【図４】
2019214169.tif 000006
【図５】
2019214169.tif 000007
【図６】
2019214169.tif 000008
【図７】
2019214169.tif 000009
【図８】
2019214169.tif 000010
【図９】
2019214169.tif 000011
【図１０】
2019214169.tif 000012
【図１１】
2019214169.tif 000013
【図１２】
2019214169.tif 000014
【図１３】
2019214169.tif 000015
【図１４】
2019214169.tif 000016