(57)【要約】【課題】駆動特性のばらつきを低減する。【解決手段】各列の圧電素子１１２の共通外部電極１２４に接続された共通電極配線部材１１６は、圧電素子１１２の積層方向と直交する方向に沿う部分１１６ｂで、圧電部材１２の底面とベース部材１３との間を通ってベース部材１３の外側面１３ａ、１３ａ側に引き出され、圧電素子１１２の積層方向に沿う方向に折り曲げられて、圧電素子１１２の積層方向に沿う方向の部分１１６ａが、ベース部材１３の側面１３ａに沿ってベース部材１３の圧電部材１２を保持する面と反対側に引き出されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電層と内部電極が交互に積層され、前記内部電極は交互に異なる端面に引き出されてそれぞれ端面電極に接続されている柱状の圧電素子が複数列並べて配置され、
各列の前記圧電素子の一方の端面電極に接続された個別電極配線部材と、
各列の前記圧電素子の他方の端面電極に接続された共通電極配線部材と、を有し、
前記各列の前記共通電極配線及び前記個別電極配線部材の少なくとも一方は、前記圧電素子の積層方向に沿う部分と前記積層方向と直交する方向に沿う部分とを含んで配置されている
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
前記複数列の圧電素子はベース部材上に保持され、
各列の前記共通電極配線部材及び前記個別電極配線部材の一方は、前記積層方向と直交する方向に折り曲げられ、前記圧電素子と前記ベース部材との間を通って前記ベース部材の外側面側に引き出され、前記積層方向に沿う方向に折り曲げられて配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
前記複数列の圧電素子はベース部材上に保持され、
前記ベース部材には、各列の間に、前記積層方向に沿う方向に貫通穴が設けられ、
各列の前記共通電極配線部材及び前記個別電極配線部材の一方は、前記貫通穴を通って前記ベース部材の前記圧電素子を保持する面と反対の面に引き出され、前記積層方向と直交する方向に折り曲げられて配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
前記個別電極配線には前記圧電素子を駆動する駆動ＩＣが搭載され、
前記駆動ＩＣは前記ベース部材に接触している
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１ないし４に記載の圧電アクチュエータを備えている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項７】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ユニット。
【請求項８】
請求項５に記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項６しくは７に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、圧電アクチュエータを使用するものがある。
【０００３】
従来、複数の柱状の積層型圧電素子が配列された圧電部材を有し、配列方向両端部の非駆動部分で他方の端面電極を一方の端面電極側に内部電極を通じて引出し、圧電素子の同じ面に、個別電極となる端面電極と、共通電極となる端面電極を配置し、個別電極配線及び共通電極配線を有するフレキシブル配線基板を接続するようにしたものが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−２８６９５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示の構成にあっては、フレキシブル配線基板の両端部に配置される共通電極配線から各圧電素子の共通電極となる端面電極までの距離に差が生じることになる。そのため、圧電素子の配列方向において、中央部のインピーダンスが両端部のインピーダンスよりも大きくなり、電圧変動による駆動特性のばらつきが生じるという課題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、駆動特性のばらつきを低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係る圧電アクチュエータは、
圧電層と内部電極が交互に積層され、前記内部電極は交互に異なる端面に引き出されてそれぞれ端面電極に接続されている柱状の圧電素子が複数列並べて配置され、
各列の前記圧電素子の一方の端面電極に接続された個別電極配線部材と、
各列の前記圧電素子の他方の端面電極に接続された共通電極配線部材と、を有し、
前記各列の前記共通電極配線及び前記個別電極配線部材の少なくとも一方は、前記圧電素子の積層方向に沿う部分と前記積層方向と直交する方向に沿う部分とを含んで配置されている
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、駆動特性のばらつきを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータの分解斜視説明図である。
【図２】同じく圧電素子の配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図３】同じく圧電素子の配列方向に沿う一方の端面電極（個別外部電極）側の側面説明図である。
【図４】同じく圧電素子の配列方向に沿う他方の端面電極（共通外部電極）側の側断面説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータの圧電素子の配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図６】本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の外観斜視説明図である。
【図７】同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。
【図８】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の概略説明図である。
【図９】同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。
【図１０】液体循環装置の一例のブロック説明図である。
【図１１】本発明に係る液体を吐出する装置の他の例の要部平面説明図である。
【図１２】同装置の要部側面説明図である。
【図１３】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図１４】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態について図１ないし図４を参照して説明する。図１は同実施形態に係る圧電アクチュエータの分解斜視説明図、図２は同じく圧電素子の配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。図３は同じく圧電素子の配列方向に沿う一方の端面電極（個別外部電極）側の側面説明図、図４は同じく圧電素子の配列方向に沿う他方の端面電極（共通外部電極）側の側面説明図である。
【００１１】
圧電アクチュエータ１１は、ベース部材１３上に接着剤１１４で接合保持した２つの積層型圧電部材１２、１２を備えている。圧電部材１２は、ハーフカットダイシングによって溝１３０を加工することで、所要数の柱状の圧電素子１１２（１１２Ａ、１１２Ｂ）を所定の間隔で櫛歯状に形成している。これにより、ベース部材１３上には、柱状の圧電素子１１２が複数列（ここでは、２列）並べて配置される。
【００１２】
なお、本実施形態では、圧電素子１１２Ａは駆動する圧電素子、圧電素子１１２Ｂは非駆動の圧電素子として使用するバイピッチ構成としている。ただし、圧電素子１１２Ａ、１１２Ｂのいずれも駆動する圧電素子として使用するノーマルピッチ構成とすることもできる。
【００１３】
圧電素子１１２（圧電部材１２）は、圧電層１２１と内部電極１２２（１２２Ａ、１２２Ｂ）を交互に積層したものである。なお、圧電部材１２の最も下側（ベース部材１３側）の内部電極１２２よりも下方部分は、内部電極１２２が設けられないで圧電層１２１のみで形成されている。
【００１４】
そして、圧電素子１１２の配列方向と直交する方向の両端面には、内部電極１２２Ａ、１２２Ｂが交互に引き出されて、端面電極である個別外部電極１２３及び共通外部電極１２４にそれぞれ接続されている。
【００１５】
このとき、２つの圧電部材１２、１２は、圧電素子１１２の共通外部電極１２４が対向する関係で配置されている。
【００１６】
そして、圧電素子１１２（本実施形態では圧電素子１１２Ａ）の一方の端面電極である個別外部電極１２３に接続された個別電極配線部材１１５と、圧電素子１１２の他方の端面電極である共通外部電極１２４に接続された共通電極配線部材１１６とを有している。
【００１７】
個別電極配線部材１１５は、圧電素子１１２Ａの個別外部電極１２３に接続する配線パターン１１５Ａが形成されている。この個別電極配線部材１１５は、圧電素子１１２の積層方向に沿う方向で、ベース部材１３の外側面１３ａに沿って配置され、ベース部材１３の圧電部材１２を保持する面と反対側に引き出されている。
【００１８】
共通電極配線部材１１６は、圧電素子１１２Ａの共通外部電極１２４に接続する配線パターン１１６Ａが形成されている。配線パターン１１６Ａの圧電素子配列方向の幅は共通外部電極１２４の幅よりも広くしているが、これに限定されるものではない。
【００１９】
共通電極配線部材１１６は、圧電部材１２の底面側に折り曲げられ、圧電素子１１２の積層方向と直交する方向に沿う部分１１６ｂで、圧電部材１２の底面とベース部材１３との間を通ってベース部材１３の外側面１３ａ側に引き出されている。
【００２０】
そして、共通電極配線部材１１６は、ベース部材１３の外側面１３ａで圧電素子１１２の積層方向に沿う方向に折り曲げられ、圧電素子１１２の積層方向に沿う方向の部分１１６ａが、ベース部材１３の側面１３ａに沿ってベース部材１３の圧電部材１２を保持する面と反対側に引き出されている。
【００２１】
このようにして個別電極配線部材１１５と共通電極配線部材１１６は、圧電素子１１２の積層方向に沿って引き出されて一体化部材１１７で一体化されている。本実施形態では、ベース部材１３の圧電部材１２を保持する面と反対側の近傍で一体化されている。
【００２２】
このように、圧電素子１１２Ａの対向する端面電極である共通外部電極１２４に接続した共通電極配線部材１１６は、圧電素子１１２の積層方向に沿う部分１１６ａと積層方向と直交する方向に沿う部分１１６ｂとを含んで配置されている。
【００２３】
これにより、２列の対向する端面電極である共通外部電極１２４に接続した共通電極配線部材１１６をベース部材１３の外側に引出して、個別電極配線部材１１５と一体化することができる。
【００２４】
したがって、圧電部材１２の圧電素子配列方向において、各圧電素子１１２Ａの共通外部電極１２４には共通電極配線部材１１６の配線パターン１１６Ａをそれぞれ接続することができる。
【００２５】
これにより、各圧電素子１１２Ａ間において、配線パターン１１６Ａから共通外部電極１２４までの距離の差によるインピーダンスのばらつきが低減するので、駆動特性のばらつきが低減する。
【００２６】
次に、本発明の第２実施形態について図５を参照して説明する。図５は同実施形態に係る圧電アクチュエータの圧電素子の配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【００２７】
本実施形態では、ベース部材１３に、圧電素子１１２の積層方向に沿う貫通穴１１３を形成している。
【００２８】
そして、各圧電部材１２、１２に接続した共通電極配線部材１１６、１１６は、圧電素子１１２の積層方向に沿う方向の部分１１６ａを貫通穴１１３に通した後折り曲げて、圧電素子１１２の積層方向と直交する方向に沿う方向の部分１１６ｂをベース部材１３の圧電部材１２を保持する面と反対面１３ｃに沿って外側面１３ａ、１３ａまで引出している。
【００２９】
ベース部材１３の側面１３ａ、１３ａまで引出した共通電極配線部材１１６は個別電極配線部材１１５と一体化されている。
【００３０】
このように構成することで、圧電部材１２とベース部材１３との間を共通電極配線部材１１６が通らないので、圧電部材１２のベース部材１３に対する接合強度が高くなり、圧電素子１１２を駆動したときの駆動特性が向上する。
【００３１】
また、本実施形態では、個別電極配線部材１１５に圧電素子１１２Ａを駆動するドライバＩＣ（駆動ＩＣ）１５０を実装し、このドライバＩＣ１５０はベース部材１３に接触させて配置している。
【００３２】
これにより、ベース部材１３をドライバＩＣ１５０の放熱部材として兼用することができる。
【００３３】
また、上記各実施形態では、２つの圧電素子１１２の列の対向する端面電極が共通外部電極である例で説明しているが、各列の端面電極がいずれも個別外部電極であって、個別電極配線部材を接続する構成とすることもできる。また、２つの圧電素子１１２の列の対向する端面電極の一方が個別外部電極、他方が共通外部電極であって、個別電極配線部材、共通電極部材をそれぞれ接続する構成とすることもできる。
【００３４】
さらに、圧電素子の列は３列以上の構成とすることもできる。また、各列の圧電素子は一体になっておらず、それぞれ個別にベース部材に接合保持されている構成とすることもできる。
【００３５】
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図６及び図７を参照して説明する。図６は同ヘッドの外観斜視説明図、図７は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。なお、ここでは、圧電素子１列分だけ図示している。
【００３６】
この液体吐出ヘッド１００は、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材としての振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３の振動領域（振動板）３０を変位させる本発明に係る圧電アクチュエータ１１と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通流路部材２０とを備えている。
【００３７】
ノズル板１は、液体を吐出する複数のノズル４を有している。
【００３８】
流路板２は、複数のノズル４に各々ノズル連通路５を介して通じる複数の個別液室６と、複数の個別液室６に各々通じる複数の供給側流体抵抗部７と、１又は２以上供給側流体抵抗部７に通じる１又は複数の供給側液導入部８などを形成している。供給側液導入部８は、振動板部材３の供給側開口部９を介して供給側共通流路１０に通じている。
【００３９】
本実施形態では、供給側開口部９、供給側液導入部８及び供給側流体抵抗部７で供給流路４１を構成し、供給流路４１と供給側共通流路１０で供給側流路を構成している。なお、本実施形態では、流路板２は、複数枚の板状部材２Ａ〜２Ｅを積層して構成しているが、これに限るものではない。
【００４０】
振動板部材３は、流路板２の個別液室６の壁面を形成する変形可能な振動領域３０を有する。ここでは、振動板部材３は２層構造（限定されない）とし、流路板２側から薄肉部を形成する第１層と、厚肉部を形成する第２層で形成され、第１層で個別液室６に対応する部分に変形可能な振動領域３０を形成している。
【００４１】
そして、振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる圧電アクチュエータ１１を配置している。圧電アクチュエータ１１の圧電素子１１２Ａを振動板部材３の振動領域（振動板）３０に接合している。
【００４２】
また、流路板２は、複数の個別液室６にノズル連通路５を介して各々通じる流路板２の面方向に沿う複数の個別回収流路５６と、１又は２以上の個別回収流路５６に通じる１又は複数の回収側液導出部５８を形成している。回収側液導出部５８は、振動板部材３の回収側開口部５９を介して回収側共通流路５０に通じている。
【００４３】
共通流路部材２０は、供給側共通流路１０と回収側共通流路５０を形成する。供給側共通流路１０は供給ポート７１に通じ、回収側共通流路５０は回収ポート７２に通じている。
【００４４】
この液体吐出ヘッド１００においては、例えば圧電素子１１２Ａに与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子１１２Ａが収縮し、振動板部材３の振動領域３０が引かれて個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入する。
【００４５】
その後、圧電素子１１２Ａに印加する電圧を上げて圧電素子１１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４に向かう方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させることにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液体が吐出される。
【００４６】
また、ノズル４から吐出されない液体はノズル４を通過して個別回収流路５６から回収側共通流路５０に回収され、回収側共通流路５０から外部の循環経路を通じて供給側共通流路１０に再度供給される。
【００４７】
なお、ヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。
【００４８】
このように、この液体吐出ヘッド１００は本発明に係る圧電アクチュエータ１１を備えているので、駆動特性のばらつきによる吐出特性のばらつきが低減する。
【００４９】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図８及び図９を参照して説明する。図８は同装置の概略説明図、図９は同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。
【００５０】
この液体を吐出する装置である印刷装置５００は、連続体５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連続体５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連続体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連続体５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連続体５１０を搬出する搬出手段５０９などを備えている。
【００５１】
連続体５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。
【００５２】
この連続体５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上をヘッドユニット５５０及びヘッドユニット５５５に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が形成され、ヘッドユニット５５５から吐出される処理液で後処理が行われる。
【００５３】
ここで、ヘッドユニット５５０には、例えば、搬送方向上流側から、４色分のフルライン型ヘッドアレイ５５１Ａ、５５１Ｂ、５５１Ｃ、５５１Ｄ（以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ５５１」という。）が配置されている。
【００５４】
各ヘッドアレイ５５１は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続体５１０に対してブラックＫ，シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。
【００５５】
ヘッドアレイ５５１は、例えば、本発明に係る液体吐出ヘッド（これを、単に「ヘッド」ともいう。）１００をベース部材５５２上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。
【００５６】
次に、液体循環装置の一例について図１０を参照して説明する。図１０は同循環装置のブロック説明図である。なお、ここでは１つのヘッドのみ図示しているが、複数のヘッドを配列する場合には、マニホールドなどを介して複数のヘッドの供給側、回収側にそれぞれ供給側液体経路、回収側液体経路を接続することになる。
【００５７】
液体循環装置６００は、供給タンク６０１、回収タンク６０２、メインタンク６０３、第１送液ポンプ６０４、第２送液ポンプ６０５、コンプレッサ６１１、レギュレータ６１２、真空ポンプ６２１、レギュレータ６２２、供給側圧力センサ６３１、回収側圧力センサ６３２などで構成されている。
【００５８】
ここで、コンプレッサ６１１及び真空ポンプ６２１は、供給タンク６０１内の圧力と回収タンク６０２内の圧力とに差圧を生じさせる手段を構成している。
【００５９】
供給側圧力センサ６３１は、供給タンク６０１とヘッド１００との間であって、ヘッド１００の供給ポート７１に繋がった供給側液体経路に接続されている。回収側圧力センサ６３２は、ヘッド１と回収タンク６０２との間であって、ヘッド１００の回収ポート７２に繋がった回収側液体経路に接続されている。
【００６０】
回収タンク６０２の一方は、第１送液ポンプ６０４を介して供給タンク６０１と接続されており、回収タンク６０２の他方は第２送液ポンプ６０５を介してメインタンク６０３と接続されている。
【００６１】
これにより、供給タンク６０１から供給ポート７１を通ってヘッド１００内に液体が流入し、回収ポート７２から回収タンク６０２へ回収され、第１送液ポンプ６０４によって回収タンク６０２から供給タンク６０１へ液体が送られることによって、液体が循環する循環経路が構成される。
【００６２】
ここで、供給タンク６０１にはコンプレッサ６１１がつなげられており、供給側圧力センサ６３１で所定の正圧が検知されるように制御される。一方、回収タンク６０２には真空ポンプ６２１がつなげられており、回収側圧力センサ６３２で所定の負圧が検知されるよう制御される。
【００６３】
これにより、ヘッド１００内を通って液体を循環させつつ、メニスカスの負圧を一定に保つことができる。
【００６４】
また、ヘッド１００のノズル４から液体を吐出すると、供給タンク６０１及び回収タンク６０２内の液体量が減少していく。そのため、適宜、第２送液ポンプ６０５を用いて、メインタンク６０３から回収タンク６０２に液体を補充する。
【００６５】
なお、メインタンク６０３から回収タンク６０２への液体補充のタイミングは、回収タンク６０２内の液体の液面高さが所定高さよりも下がったときに液体補充を行うなど、回収タンク６０２内に設けた液面センサなどの検知結果によって制御することができる。
【００６６】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の他の例について図１１及び図１２を参照して説明する。図１１は同装置の要部平面説明図、図１２は同装置の要部側面説明図である。
【００６７】
この印刷装置５００は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【００６８】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド１００及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド１００は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１００は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【００６９】
液体吐出ヘッド１００は、前述した液体循環装置６００と接続されて、所要の色の液体が循環供給される。
【００７０】
この印刷装置５００は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【００７１】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド１００に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【００７２】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【００７３】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１００の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【００７４】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド１００のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【００７５】
主走査移動機構４９３、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【００７６】
このように構成したこの印刷装置５００においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【００７７】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１００を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。
【００７８】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１３を参照して説明する。図１３は同ユニットの要部平面説明図である。
【００７９】
この液体吐出ユニット４４０、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド１００で構成されている。
【００８０】
なお、この液体吐出ユニット４４０の例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０を更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【００８１】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１４を参照して説明する。図１４は同ユニットの正面説明図である。
【００８２】
この液体吐出ユニット４４０は、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド１００と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【００８３】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１００と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【００８４】
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【００８５】
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
【００８６】
「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【００８７】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【００８８】
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【００８９】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【００９０】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【００９１】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【００９２】
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
【００９３】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【００９４】
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【００９５】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【００９６】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【００９７】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【００９８】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【００９９】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【０１００】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【０１０１】
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【０１０２】
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【０１０３】
１００  液体吐出ヘッド
１  ノズル板
４  ノズル
２  流路板
３  振動板部材
６  個別液室
１０  供給側共通流路
１１  圧電アクチュエータ
１２  圧電部材
１３  ベース部材
２０  共通流路部材
４１  供給流路
４２  回収流路
５０  回収側共通流路
１１２  圧電素子
１１５  個別電極配線部材
１１６  共通電極配線部材
１２１  圧電層
１２２Ａ、１２２Ｂ  内部電極
１２３  個別外部電極（端面電極
１２４  共通外部電極（端面電極
４０３  キャリッジ
４４０  液体吐出ユニット
５００  印刷装置（液体を吐出する装置）
５５０  ヘッドユニット
６００  液体循環装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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