(57)【要約】【課題】  真空ポンプにおいて、排気効率を損なわずにパーティクルの逆流を抑制する。【解決手段】  この真空ポンプは、ロータ中心部１２と、ロータ中心部１２から延び、所定の仰角を有する複数段のロータ翼部３ａとを備えるロータ１１と、そのロータを収容するケーシング１とを備える。このロータ１１は、ロータフィン２１をさらに備え、ロータフィン２１は、ロータ中心部１２の端部に接続されるフィン軸部３１と、フィン軸部３１から延び、吸気口７を介して上述の端部に向かって落下してくるパーティクル１０１をロータ１１の外周方向に向けて反跳させる移送翼３２とを備える。そして、移送翼３２のロータ軸方向の高さおよび枚数は、パーティクル１０１が移送翼３２に衝突せずに上述の端部に落下しないように、パーティクル１０１の落下速度およびロータ１１の回転速度に基づいて設定されている。【選択図】  図３
2019082120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータ中心部と、前記ロータ中心部から延び、所定の仰角を有する複数段のロータ翼部とを備えるロータと、
前記ロータを収容するケーシングとを備えた真空ポンプにおいて、
前記ロータは、ロータフィンをさらに備え、
前記ロータフィンは、前記ロータ中心部の端部に接続されるフィン軸部と、前記フィン軸部から延び、吸気口を介して前記端部に向かって落下してくるパーティクルを前記ロータの外周方向に向けて反跳させる移送翼とを備え、
前記移送翼のロータ軸方向の高さおよび枚数は、前記パーティクルが前記移送翼に衝突せずに前記端部に落下しないように、前記パーティクルの落下速度および前記ロータの回転速度に基づいて設定されていること、
を特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記移送翼は、前記移送翼から反跳した前記パーティクルが別の前記移送翼に衝突しないように、配置されていることを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記移送翼は、９０度未満の仰角で配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記移送翼の上端の少なくとも一部は、断面が鋭角な上端エッジとなっていることを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれか１項記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記移送翼の上面の少なくとも一部は、半径方向に沿って傾斜していることを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれか１項記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記ケーシングの内周面は、高さ方向において、前記移送翼の上端より低くかつ初段の前記ロータ翼部より高い位置に、傾斜面を有し、
前記傾斜面は、前記移送翼から反跳した前記パーティクルを前記ロータ翼部へ反跳または落下させること、
を特徴とする請求項１から請求項５のうちのいずれか１項記載の真空ポンプ。
【請求項７】
ロータ中心部と、前記ロータ中心部から延び、所定の仰角を有する複数段のロータ翼部とを備える真空ポンプのロータにおいて、
前記ロータは、ロータフィンを備え、
前記ロータフィンは、前記ロータ中心部の端部に接続されるフィン軸部と、前記フィン軸部から延び、吸気口を介して前記端部に向かって落下してくるパーティクルを前記ロータの外周方向に向けて反跳させる移送翼とを備え、
前記移送翼のロータ軸方向の高さおよび枚数は、前記パーティクルが前記移送翼に衝突せずに前記端部に落下しないように、前記パーティクルの落下速度および前記ロータの回転速度に基づいて設定されていること、
を特徴とする真空ポンプのロータ。
【請求項８】
ロータ中心部と、前記ロータ中心部から延び、所定の仰角を有する複数段のロータ翼部とを備える真空ポンプのロータにおけるロータフィンであって、
前記ロータフィンは、前記ロータ中心部の端部に接続されるフィン軸部と、前記フィン軸部から延び、吸気口を介して前記端部に向かって落下してくるパーティクルを前記ロータの外周方向に向けて反跳させる移送翼とを備え、
前記移送翼のロータ軸方向の高さおよび枚数は、前記パーティクルが前記移送翼に衝突せずに前記端部に落下しないように、前記パーティクルの落下速度および前記ロータの回転速度に基づいて設定されていること、
を特徴とするロータフィン。
【請求項９】
ロータ中心部と、前記ロータ中心部から延び、所定の仰角を有する複数段のロータ翼部とを備えるロータを収容する真空ポンプのケーシングにおいて、
前記ケーシングは、当該ケーシングの内周面に傾斜面を備え、
前記ロータは、ロータフィンをさらに備え、前記ロータフィンは、前記ロータ中心部の端部に接続されるフィン軸部と、前記フィン軸部から延び、吸気口を介して前記端部に向かって落下してくるパーティクルを前記ロータの外周方向に向けて反跳させる移送翼とを備え、
前記傾斜面は、高さ方向において、前記移送翼の上端より低くかつ初段の前記ロータ翼部より高い位置にあり、
前記傾斜面は、前記移送翼から反跳した前記パーティクルを前記ロータ翼部へ反跳または落下させること、
を特徴とする真空ポンプのケーシング。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ、ロータ、ロータフィン、およびケーシングに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１０は、従来の真空ポンプの内部構成を示す図である。図１０に示す真空ポンプは、ターボ分子ポンプであり、モータにより回転するロータ２０１を備え、吸気口から進入してくる気体分子を、ロータ２０１のロータ翼２１１とステータ翼２０２とに衝突させて排気口に向けて移送させる。このようなロータ２０１のうち、ロータ翼２１１は、所定の仰角を有し、衝突した気体分子をステータ翼２０２に向けて移送させている。
【０００３】
このような真空ポンプの吸気口には、チャンバ（例えば半導体製造装置のチャンバなど）が接続され、チャンバ内の気体分子（例えば半導体製造工程のプロセスガス）がこのような真空ポンプによって排気される。
【０００４】
その際、そのようなチャンバ内で生成された反応生成物の微粒子などであるパーティクル３０１が、吸気口を介して真空ポンプのロータ２０１上に落下してくることがある。そのようなパーティクル３０１は、ロータ翼２１１に落下した場合には、ロータ翼２１１およびステータ翼２０２によってそれらの翼形状により決まる確率で排出される。しかしながら、ロータ２０１のうち、ロータ翼２１１以外の部分、つまりロータ２０１の中心部２１２に落下した場合、パーティクル３０１は、接触した面に対して入射とは反対方向に反跳するため、チャンバ内へ戻る確率が高い。このようなパーティクル３０１の逆流は、チャンバ内でのプロセスに影響を与えるため、好ましくない。
【０００５】
ある真空ポンプでは、ケーシングの吸気口に配置されるバッフルに、ロータの中央部分の上方に配置される円盤を設け、ロータの中央部分にパーティクルが落下するのを防いでいる（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
別の真空ポンプでは、吸気口の前段に円筒部材を配置し、その円筒部材の内周面に、環状の凹凸を設けて、真空ポンプから逆流してきたパーティクルを捕捉している（例えば特許文献２参照）。
【０００７】
図１１は、従来の別の真空ポンプの内部構成を示す図である。図１２および図１３は、図１１に示す従来の別の真空ポンプにおける円錐部材の例を示す図である。図１１に示す別の真空ポンプでは、排気効率を高めるために、ロータ２２１中心部分の上に円錐部材が設けられており、その円錐部材は、円錐状のボス部２２２と案内翼２２３とを備え、ボス部２２２と案内翼２２３とで、気体分子がロータ２２１のロータ翼２２４へ案内されるようになっている（例えば特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１０−２２３２１３号公報
【特許文献２】特開２００６−３０７８２３号公報
【特許文献３】特開２０００−３３７２９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１や特許文献２に記載の真空ポンプの場合、吸気経路に種々の部材が配置されることから、ポンプの排気効率が低下し、かつポンプも大きくなってしまう。
【００１０】
また、特許文献３に記載の真空ポンプの場合、図１２および図１３に示すように、排気効率の改善を目的としているため、案内翼が大きく翼枚数が多くなるので、ボス部２２２や案内翼２２３で反跳したパーティクル３０１がチャンバへ逆流する可能性があり、また、案内翼２２３で反跳したパーティクルが翼の形成面２２２や別の案内翼２２３に捕捉されて滞留してしまい、その後、チャンバへ逆流する可能性があり、反跳パーティクル防止には効果が低く、かつポンプも大きくなってしまう。
【００１１】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、排気効率を損なわずにパーティクルの逆流を抑制するコンパクトな真空ポンプ、並びに、その真空ポンプに使用可能なロータ、ロータフィン、およびケーシングを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る真空ポンプは、ロータ中心部と、ロータ中心部から延び、所定の仰角を有する複数段のロータ翼部とを備えるロータと、そのロータを収容するケーシングとを備える。ロータは、ロータフィンをさらに備え、ロータフィンは、ロータ中心部の端部に接続されるフィン軸部と、フィン軸部から延び、吸気口を介して端部に向かって落下してくるパーティクルをロータの外周方向に向けて反跳させる移送翼とを備える。そして、移送翼のロータ軸方向の高さおよび枚数は、パーティクルが移送翼に衝突せずに端部に落下しないように、パーティクルの落下速度およびロータの回転速度に基づいて設定されている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、排気効率を損なわずにパーティクルの逆流を抑制する真空ポンプ、並びに、その真空ポンプに使用可能なロータ、ロータフィン、およびケーシングが得られる。
【００１４】
本発明の上記又は他の目的、特徴および優位性は、添付の図面とともに以下の詳細な説明から更に明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係る真空ポンプの内部構成を示す図である。
【図２】図２は、実施の形態１におけるロータフィンの一例を示す図である。
【図３】図３は、実施の形態１に係る真空ポンプの動作について説明する図である。
【図４】図４は、実施の形態２におけるロータフィンの一例を示す図である。
【図５】図５は、実施の形態３におけるロータフィンの一例を示す図である。
【図６】図６は、実施の形態４におけるロータフィンの一例を示す図である。
【図７】図７は、実施の形態５におけるロータフィンの一例を示す図である。
【図８】図８は、実施の形態６におけるケーシングの例を示す図である。
【図９】図９は、実施の形態７におけるケーシングの一例を示す図である。
【図１０】図１０は、従来の真空ポンプの内部構成を示す図である。
【図１１】図１１は、従来の別の真空ポンプの内部構成を示す図である。
【図１２】図１２は、図１１に示す従来の別の真空ポンプにおける円錐部材の一例を示す図である（１／２）。
【図１３】図１３は、図１１に示す従来の別の真空ポンプにおける円錐部材の一例を示す図である（２／２）。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
【００１７】
実施の形態１．
【００１８】
図１は、本発明の実施の形態１に係る真空ポンプの内部構成を示す図である。図１に示す真空ポンプは、ターボ分子ポンプであって、ケーシング１、ステータ翼２、ロータ翼３、ロータ軸４、軸受部５、モータ部６、吸気口７、および排気口８を備える。ロータ翼３はロータ軸４に固定されており、ロータ翼３およびロータ軸４によってロータ１１が構成されている。
【００１９】
ケーシング１は、略円筒形状を有し、その内部空間に、ロータ１１、軸受部５、モータ部６などを収容し、その内周面に複数段のステータ翼２を固定されている。ステータ翼２は、所定の仰角で配置されている。
【００２０】
ケーシング１内では、複数段のロータ翼部３ａと複数段のステータ翼２とが、ロータ軸の高さ方向（ロータ軸方向高さ）において交互に配置されている。ロータ翼３は、複数段のロータ翼部３ａと、ロータ内筒部３ｂとを備える。各ロータ翼部３ａは、ロータ内筒部３ｂから延び、所定の仰角を有する。ロータ内筒部３ｂは、半径方向において、ロータ１１の中心に近い方のロータ翼部３ａ（初段のロータ翼部３ａ）の端までの範囲である。つまり、ロータ内筒部３ｂは、ロータ翼３のうち、ロータ翼部３ａ以外の部分である。また、ロータ軸４とロータ円筒部３ｂによってロータ中心部１２が構成される。したがって、ロータ中心部１２は、半径方向において、ロータ１１の中心から、ロータ１１の中心に近い方のロータ翼部３ａ（初段のロータ翼部３ａ）の端までの範囲である。ロータ中心部１２にはボス凹部３ｃが形成されており、ボス凹部３ｃ内で、ネジ止めなどでロータ軸４とロータ翼３とが接続されている。  
【００２１】
軸受部５は、ロータ軸４の軸受であって、この実施の形態では、磁気浮上式の軸受であり、軸方向および半径方向のロータ軸４の偏位を検出するセンサ、軸方向および半径方向のロータ軸４の偏位を抑制する電磁石などを備える。なお、軸受部５の軸受方式は、磁気浮上式に限定されるものでない。モータ部６は、電磁力でロータ軸４を回転させる。
【００２２】
吸気口７は、ケーシング１の上端開口部であって、フランジ形状を有し、図示せぬチャンバなどに接続される。吸気口７には、熱運動などで、そのチャンバなどから気体分子が飛来してくる。排気口８は、フランジ形状を有し、ロータ翼部３ａおよびステータ翼２から送られてきた気体分子などを排出する。
【００２３】
なお、図１に示す真空ポンプは、上述のステータ翼２およびロータ翼部３ａによるターボ分子ポンプ部の後段にネジ溝ポンプ部を備える複合翼式であるが、全翼式でもよい。
【００２４】
さらに、図１に示す真空ポンプは、ロータフィン２１を備える。図２は、実施の形態１におけるロータフィン２１の一例を示す図である。図２（Ａ）は、実施の形態１におけるロータフィン２１の一例を示す上面図である。図２（Ｂ）は、実施の形態１におけるロータフィン２１の一例を示す側面図である。
【００２５】
実施の形態１では、ロータフィン２１は、フィン軸部３１と、移送翼３２とを備える。フィン軸部３１は、ロータ中心部１２の端部に接続される。移送翼３２は、フィン軸部３１から延び、吸気口７を介して当該端部に向かって落下してくるパーティクルをロータ１１の外周方向に向けて反跳させる。この実施の形態１では、各移送翼３２は、フィン軸部３１から直立した（つまり、軸方向に平行な）平板とされ、上面面積が小さくなるように薄い平板とされる。また、フィン軸部３１と移送翼３２は、一部材としてもよいし、複数部材を接続して構成してもよい。
【００２６】
また、移送翼３２は、ロータフィン２１の中心から延び、半径方向において、ロータ中心部１２の半径（Ｄ／２）程度の長さｒを有することが好ましい。
【００２７】
ここで、移送翼３２の高さｈおよび数は、パーティクルが回転中のいずれの移送翼３２に衝突せずにロータ中心部１２の端部に落下しないように、パーティクルの落下速度およびロータ１１の回転速度に基づいて設定されている。
【００２８】
実施の形態１では、移送翼３２の数は２とされ、ロータ１１が１／２回転（つまり、移送翼３２の数の逆数分の回転）するのに要する時間でパーティクルが落下する距離（高さ）以上となるように、移送翼３２の高さｈが設定される。
【００２９】
なお、パーティクルの落下速度（上限値）は、吸気口７に接続されるチャンバの形状やサイズ（特に高さ）、吸気口７に接続される配管やバルブの配置位置などから特定される落下高さから特定される。
【００３０】
すべての移送翼３２は、ある移送翼３２で反跳したパーティクルが別の移送翼３２に衝突しないように、配置されている。
【００３１】
移送翼３２に衝突したパーティクルは、水平面において、衝突位置の移送翼３２の面に対して入射とは反対方向に反跳するので、ある移送翼３２の面に対して垂直方向に別の移送翼３２が存在しないように、すべての移送翼３２を配置すればよい。
【００３２】
実施の形態１では、平板状の２枚の移送翼３２が、１８０度間隔で配置されており、２枚の移送翼３２が互いに連続している。
【００３３】
なお、ロータフィン２１は、ロータ中心部１２において、ロータ翼３および／またはロータ軸４に接続されている。例えば、ロータフィン２１は、ネジ機構でロータ軸４に接続、固定するようにしてもよい。その場合、例えば、ロータ軸４の先端部分およびロータフィン２１のフィン軸３１の一方にメスネジが、他方にオスネジが形成される。また、例えば、例えば、ロータフィン２１のフィン軸３１の下端に円筒状のフランジを設け、そのフランジをロータ翼３に接続、固定するようにするようにしてもよい。その場合、ネジ止めでロータ翼３をロータ軸４に固定する際に併せてそのフランジをロータ翼３に固定するようにしてもよい。
【００３４】
次に、実施の形態１に係る真空ポンプの動作について説明する。図３は、実施の形態１に係る真空ポンプの動作について説明する図である。
【００３５】
当該真空ポンプの吸気口７にチャンバなどが接続されるとともに、図示せぬ制御装置が電気的に当該真空ポンプ（モータ部６など）に接続され、制御装置によりモータ部６を動作させることで、ロータ軸４が回転し、ロータ翼部３ａも回転する。
【００３６】
これにより、ロータ翼部３ａおよびステータ翼２によって、吸気口７を介して飛来した気体分子が排気口８から排出される。また、半径方向においてロータ翼部３ａが通過する位置に、吸気口７を介してパーティクル１０１がチャンバなどから落下してきた場合、そのパーティクル１０１は、初段のロータ翼部３ａに衝突してステータ翼２側へ反跳し、チャンバなどに逆流することなく、ロータ翼部３ａおよびステータ翼２によって排気口８から排出される。
【００３７】
さらに、ロータ１１が回転することで、ロータ１１に接続されているロータフィン２１も回転する。したがって、図３に示すように、ロータ中心部１２に向けて、吸気口７を介してパーティクル１０１がチャンバなどから落下してきた場合、そのパーティクル１０１は、ロータフィン２１の移送翼３２に衝突して、移送翼３２に対して垂直方向の運動量を与えられる。このとき、自由落下による下方向の運動量と移送翼３２に対して垂直方向の運動量（ここでは水平方向の運動量）とが合成され、パーティクル１０１は、斜め下方向へ反跳し、ロータ翼部３ａに衝突する。これにより、そのパーティクル１０１は、初段のロータ翼部３ａに衝突してステータ翼２側へ反跳し、チャンバなどに逆流することなく、ロータ翼部３ａおよびステータ翼２によって排気口８から排出される。
【００３８】
以上のように、上記実施の形態１に係る真空ポンプでは、ロータ１１は、ロータ中心部１２と、ロータ中心部１２から延び所定の仰角を有する複数段のロータ翼部３ａとを備える。このロータ１１は、ロータフィン２１をさらに備え、ロータフィン２１は、ロータ中心部１２の端部に接続されるフィン軸部３１と、フィン軸部３１から延び、吸気口７を介して上述の端部に向かって落下してくるパーティクル１０１をロータ１１の外周方向に向けて反跳させる移送翼３２とを備える。そして、移送翼３２の高さｈおよび数は、パーティクル１０１が移送翼３２に衝突せずに上述の端部に落下しないように、パーティクル１０１の落下速度およびロータ１１の回転速度に基づいて設定されている。
【００３９】
回転速度Ｎ、パーティクルの落下速度ｖｐ、移送翼の高さｈ、および移送翼の数ｎｂとすると、次の関係式となる。
【００４０】
【数１】
2019082120.tif 000003
【００４１】
これにより、ロータフィン２１によって、パーティクル１０１がロータ中心部１２に衝突しにくくなる。他方、ロータフィン２１は、ロータ中心部に配置されているため、気体分子がチャンバなどからロータ翼部３ａへ飛来する経路には影響しない。したがって、排気効率を損なわずにパーティクル１０１の逆流が抑制される。
【００４２】
実施の形態２．
【００４３】
実施の形態２に係る真空ポンプは、実施の形態１に係る真空ポンプとは異なるロータフィン２１を備える。図４は、実施の形態２におけるロータフィン２１の一例を示す図である。図４（Ａ）は、実施の形態２におけるロータフィン２１の一例を示す上面図である。図４（Ｂ）は、実施の形態２におけるロータフィン２１の一例を示す側面図である。
【００４４】
図４に示すように、実施の形態２におけるロータフィン２１は、フィン軸部３１と同様のフィン軸部４１と、４枚の移送翼４２を備える。４枚の移送翼４２は、等角度間隔（つまり、９０度間隔）で配置されており、各移送翼４２は、移送翼３２と同様のものである。
【００４５】
実施の形態２では、移送翼４２の数は４とされ、ロータ１１が１／４回転するのに要する時間でパーティクルが落下する距離（高さ）以上となるように、移送翼４２の高さｈが設定される。したがって、パーティクルの落下速度およびロータ１１の回転速度が同じであれば、移送翼が２枚である場合（実施の形態１の場合）の移送翼３２の高さに比べ、移送翼４２の高さは、１／２で足りる。
【００４６】
なお、実施の形態２に係る真空ポンプのその他の構成および動作については実施の形態１と同様であるので、その説明を省略する。
【００４７】
実施の形態３．
【００４８】
実施の形態３に係る真空ポンプは、実施の形態１に係る真空ポンプとは異なるロータフィン２１を備える。図５は、実施の形態３におけるロータフィン２１の一例を示す図である。図５（Ａ）は、実施の形態３におけるロータフィン２１の一例を示す上面図である。図５（Ｂ）および図５（Ｃ）は、実施の形態３におけるロータフィン２１の一例を示す側面図である。
【００４９】
図５に示すように、実施の形態３におけるロータフィン２１は、フィン軸部５１と、２枚の移送翼５２を備える。フィン軸部５１は、ロータ中心部１２の端部（ここでは、ロータ軸４の端部）に接続される。移送翼５２は、移送翼３２と同様であるが、図５（Ｃ）に示すように９０度未満の仰角ｓを有する。これにより、移送翼３２の仰角が９０度である場合（つまり、実施の形態１の場合）に比べ、移送翼３２に衝突するパーティクルは、より下向きに反跳する。なお、この仰角ｓは、移送翼３２で反跳したパーティクルがロータ中心部１２に衝突しない角度とされる。
【００５０】
例えば、ロータ１１の半径が小さく、仰角９０度の移送翼３２の場合では、移送翼３２で反跳したパーティクルが、ロータ翼部３ａに衝突せずにケーシング１の内周面に衝突してしまう場合、仰角ｓを９０度未満として移送翼３２で反跳したパーティクルをロータ翼部３ａに衝突させる。
【００５１】
図５に示すように、この実施の形態３では、２枚の移送翼５２が、フィン軸部５１の円柱状の先端部５１ａから垂直に延びているが、先端部５１ａを無くし、中心において２枚の移送翼５２が互いに連続するようにしてもよい。
【００５２】
なお、実施の形態３に係る真空ポンプのその他の構成および動作については実施の形態１と同様であるので、その説明を省略する。
【００５３】
実施の形態４．
【００５４】
実施の形態４に係る真空ポンプは、実施の形態１に係る真空ポンプとは異なるロータフィン２１を備える。図６は、実施の形態４におけるロータフィン２１の一例を示す図である。図６（Ａ）は、実施の形態４におけるロータフィン２１の一例を示す上面図である。図６（Ｂ）および図６（Ｃ）は、実施の形態４におけるロータフィン２１の一例を示す側面図である。
【００５５】
図６に示すように、実施の形態４におけるロータフィン２１は、フィン軸部３１と同様のフィン軸部６１と、移送翼６２を備える。移送翼６２は、移送翼３２と同様であるが、図６（Ｃ）に示すように、上面を有さず１本の鋭角な上端エッジを有する。これにより、移送翼の上面でのパーティクルの反跳を抑制できる。なお、移送翼６２の上端の全部を上述の上端エッジとしてもよいし、移送翼６２の上端の一部を上述の上端エッジとしてもよい。
【００５６】
なお、実施の形態４に係る真空ポンプのその他の構成および動作については実施の形態１または実施の形態３と同様であるので、その説明を省略する。
【００５７】
実施の形態５．
【００５８】
実施の形態５に係る真空ポンプは、実施の形態１に係る真空ポンプとは異なるロータフィン２１を備える。図７は、実施の形態５におけるロータフィン２１の一例を示す図である。図７（Ａ）は、実施の形態５におけるロータフィン２１の一例を示す上面図である。図７（Ｂ）は、実施の形態５におけるロータフィン２１の一例を示す側面図である。
【００５９】
図７に示すように、実施の形態５におけるロータフィン２１は、フィン軸部３１と同様のフィン軸部７１と、移送翼７２を備える。移送翼７２は、移送翼３２と同様であるが、図７（Ｃ）に示すように、上面７２ａを傾斜面とした形状を有する。つまり、実施の形態５では、移送翼７２の高さが、半径方向に沿ってロータ１１の外周側に向かって徐々に小さくなっている。これにより、仮に移送翼７２の上面７２ａでパーティクルが反跳しても、ケーシング１の内周面に衝突することで、チャンバなどに逆流しにくくなる。なお、移送翼７２の上面７２ａの全部を上述の傾斜面としてもよいし、移送翼７２の上面７２ａの一部を上述の傾斜面としてもよい。
【００６０】
なお、実施の形態５に係る真空ポンプのその他の構成および動作については実施の形態１，３，４のいずれかと同様であるので、その説明を省略する。
【００６１】
実施の形態６．
【００６２】
実施の形態６に係る真空ポンプでは、ケーシング１の内周面は、高さ方向において、移送翼３２の上端より低くかつ初段のロータ翼部３ａより高い位置に、下向きの傾斜面を有する。この傾斜面は、移送翼３２から反跳してきたパーティクル１０１をロータ翼部３ａへ反跳または落下させる。
【００６３】
図８は、実施の形態６におけるケーシング１の例を示す図である。図８（Ａ）は、先端に傾斜面を有する円環凸条８１が吸気口７に隣接して設けられているケーシング１を示す断面図である。円環凸条８１の傾斜面は、上述したような、移送翼３２の上端より低くかつ初段のロータ翼部３ａより高い位置を含む高さ範囲に形成されている。
【００６４】
図８（Ｂ）は、先端が鋸刃状となる断面を有する円環凸条８２が吸気口７に隣接して設けられているケーシング１を示す断面図である。円環凸条８２の鋸刃状に連なる複数の傾斜面は、上述したような、移送翼３２の上端より低くかつ初段のロータ翼部３ａより高い位置を含む高さ範囲に形成されている。
【００６５】
なお、図８（Ａ）および図８（Ｂ）に示す円環凸条８１，８２は、吸気口７の半径が、ロータ翼部３ａの位置する高さでのケーシング１の内周半径と同一であるケーシングの内周面に設けられている。
【００６６】
図８（Ｃ）は、吸気口７の半径が、ロータ翼部３ａの位置する高さでのケーシング１の内周半径より小さくなっているケーシング１を示す断面図である。ケーシング１のテーパ部８３によって形成される傾斜面は、上述したような、移送翼３２の上端より低くかつ初段のロータ翼部３ａより高い位置を含む高さ範囲に形成されている。
【００６７】
これにより、例えば、パーティクル１０１の落下速度が遅く、移送翼３２から反跳してきたパーティクル１０１が直接ロータ翼部３ａへ反跳しない場合でも、上述の傾斜面によってロータ翼部３ａへ反跳または落下させることができる。
【００６８】
なお、実施の形態６に係る真空ポンプのその他の構成および動作については実施の形態１，３〜５のいずれかと同様であるので、その説明を省略する。
【００６９】
実施の形態７．
【００７０】
図９は、実施の形態７におけるケーシングの一例を示す図である。実施の形態７に係る真空ポンプでは、ケーシング１の内周面に、吸気口７に隣接して円環凸条９１を設け、その上端部にさらに円環凸条９２を設けている。これにより、移送翼３２から反跳したパーティクル１０１がロータ翼部３ａの上面などに衝突してステータ翼２とは反対方向に反跳した場合でも、パーティクル１０１が逆流しにくくなる。
【００７１】
なお、実施の形態７に係る真空ポンプのその他の構成および動作については実施の形態１，３〜６のいずれかと同様であるので、その説明を省略する。例えば、実施の形態６における円環凸条８１，８２に、上端部の円環凸条９２を設けるようにしてもよい。
【００７２】
なお、上述の実施の形態に対する様々な変更および修正については、当業者には明らかである。そのような変更および修正は、その主題の趣旨および範囲から離れることなく、かつ、意図された利点を弱めることなく行われてもよい。つまり、そのような変更および修正が請求の範囲に含まれることを意図している。
【００７３】
例えば、上記各実施の形態において、移送翼３２，４２，５２，６２，７２は、曲面板（つまり、半径方向において曲率を有する板）であってもよい。また、移送翼３２，４２，５２，６２，７２は、所定の角度で屈曲して連続する複数の平板からなる部材（部分）であってもよい。
【００７４】
また、実施の形態１では、移送翼３２は２枚であり、実施の形態２では、移送翼４２は４枚であるが、実施の形態１または実施の形態２において上述した枚数以外の枚数（１枚、３枚など）の移送翼としてもよい。また、実施の形態３〜７では、移送翼５２，６２，７２は、２枚であるが、それ以外の枚数（１枚、３枚、４枚など）でもよいただし、移送翼全体の重心が、ロータフィン２１の中心（フィン軸部３１，４１，５１，６１，７１またはその延長線上）にあるのが好ましい。
【００７５】
また、上記各実施の形態において、ロータフィン２１に、移送翼３２，４２，５２，６２，７２の下端に接触するようにあるいは移送翼３２，４２，５２，６２，７２の下端より低い位置に、円盤状の底板を設けてもよい。これにより、ボス凹部３ｃが底板により覆われ、プロセスガスなどがボス凹部３ｃに進入しにくくなる。したがって、例えば、プロセスガスに起因して、ボス凹部３ｃ内のネジ止め部分の腐食などを抑制できる。なお、底板を設けた場合でも、パーティクル１０１は移送翼３２，４２，５２，６２，７２に衝突し底板には到達しない。
【００７６】
本発明の実施形態及び各変形例は、必要に応じて組み合わせる構成にしてもよい。また、本発明は、以上説明した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により多くの変形が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明は、例えば、真空ポンプに適用可能である。
【符号の説明】
【００７８】
１  ケーシング
３ａ  ロータ翼部
４  ロータ軸
７  吸気口
１１  ロータ
１２  ロータ中心部
２１  ロータフィン
３１，４１，５１，６１，７１  フィン軸部
３２，４２，５２，６２，７２  移送翼
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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