(57)【要約】【課題】本発明は、脆性材料基板の分断工程時に分断テーブルが3軸で同時に動作して脆性材料基板を分断することにより、分断された脆性材料基板のカッティング面に発生し得る割れやもがれ現象による不良を防止することができる脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置及び分断方法を提供する。【解決手段】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置は、回転部(110)を有する上部ユニット(100)と、昇降支持部(210)と、前記昇降支持部(210)の側部に結合される昇降部(220)を有する中間ユニット(200)と、平板プレート(320)と、前記平板プレート(320)の下部に長手方向に移動する長手方向移動部(310)を有する下部ユニット(300)を含む。【選択図】図１
2019043837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転部(110)を有する上部ユニット(100)と、
昇降支持部(210)と、前記昇降支持部(210)の側部に結合される昇降部(220)を有する中間ユニット(200)と、
平板プレート(320)と、前記平板プレート(320)の下部に長手方向に移動する長手方向移動部(310)を有する下部ユニット(300)を含む脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置。
【請求項２】
前記回転部(110)は、
複数のテーブルを有する分離テーブル(111)と、
前記分離テーブル(111)を回転させる回転駆動部材(113)と、
前記分離テーブル(111)と、前記回転駆動部材(113)を連結する連結ブラケット(112)をさらに含む請求項1に記載の脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置。
【請求項３】
前記分離テーブル(111)は、空気を吸着する複数の貫通ホールをさらに含む請求項2に記載の脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置。
【請求項４】
前記昇降部(220)は、
複数の傾斜板(222)と、
前記傾斜板(222)の傾斜面に位置する傾斜レール(223)と、
前記傾斜レール(223)に沿って移動する複数の傾斜レール移動部材(224)と、
前記傾斜板(222)の間に位置し、前記傾斜レール移動部材(224)を駆動する昇降駆動部材(221)と、
前記傾斜レール移動部材(224)に連結された昇降キャップ(225)をさらに含むが、
前記昇降駆動部材(221)の駆動時に、前記昇降キャップ(225)が、前記傾斜レール移動部材(224)によって昇下降する請求項1に記載の脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置。
【請求項５】
前記長手方向に移動部(310)は、
前記平板プレート(320)の下部に連結される複数のレール移動部材(313)と、
前記レール移動部材(313)が移動するように長手方向に沿って位置する複数のレール(312)と、
前記レール(312)の間で長手方向に沿って位置し、前記レール移動部材(313)を駆動する長手方向駆動部材(311)と、
両端が互いに反対方向に曲がるが、一端が前記長手方向駆動部材(311)に連結され、他端が前記平板プレート(320)に連結されるバー型ブラケット(314)をさらに含むが、
前記長手方向駆動部材(311)が駆動時に、前記レール移動部材(313)と前記バー型ブラケット(314)の他端に連結された前記平板プレート(320)が長手方向に沿って移動可能な請求項1に記載の脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置。
【請求項６】
予め定められた間隔を置いて位置する複数の高さ方向支持台(411)と、前記高さ方向支持台(411)を連結する水平方向支持台(412)を有する支持部(410)と、
記水平方向支持台(412)の予め定められた領域に位置する押さえ軸部材(421)と、前記押さえ軸部材(421)の一側に連結されて昇下降する押さえバー部材(422)を有する押さえ部(420)を含む押さえユニット(400)をさらに含むが、
順次結合された前記上部ユニット(100)と、前記中間ユニット(200)と、前記下部ユニット(300)が、前記押さえユニット(400)の下部に予め定められた間隔を置いて離隔されて位置する請求項1に記載の脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置。
【請求項７】
分離テーブル(111)と、前記分離テーブル(111)と、予め定められた間隔を置いて向かい合う固定テーブル(600)が水平を維持するようにする第1段階(S100)と、
水平が維持された前記分離テーブル(111)及び前記固定テーブル(600)上に脆性材料基板(500)を安着する第2段階(S200)と、
回転部(110)の回転軸(θ)の中心を第1脆性材料基板(510)と第2脆性材料基板(520)との間のスクライブラインの中心下面に位置させる第3段階(S300)と、
押さえ部材(400)の押さえバー部材(422)が下降して、前記第2脆性材料基板(520)の上部面を押さえ、前記第2脆性材料基板(520)を前記固定テーブル(600)に固定する第4段階(S400)を含む脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法。
【請求項８】
前記回転軸(θ)を中心に回転する回転部(110)と、高さ方向に昇下降する昇降部(220)と、長手方向に沿って移動する長手方向移動部(310)が同時に動作して、前記分離テーブル( 111)を前記固定テーブル(600)から分離することにより、前記第1脆性材料基板(510)と前記第2脆性材料基板(520)との間のスクライブラインを完全に分断させる第5段階(S500)をさらに含む請求項7に記載の脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法。
【請求項９】
前記回転軸(θ)を中心に回転する回転部(110)と、高さ方向に昇下降する昇降部(220)と、長手方向に沿って移動する長手方向移動部(310)の一つ以上が動作して、前記分離テーブル(111)を前記固定テーブル(600)から分離することにより、前記第1脆性材料基板(510)と前記第2脆性材料基板(520)との間のスクライブラインを完全に分断させる第5段階(S500)をさらに含む請求項7に記載の脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法。
【請求項１０】
前記第2段階(S200)にて、
前記分離テーブル(111)及び前記固定テーブル(600)上に前記脆性材料基板(500)が安着時に、前記分離テーブル(111)の複数の貫通ホールと前記固定テーブル(600)の複数の貫通ホールにて空気が吸着され、前記分離テーブル(111)及び前記固定テーブル(600)上に前記脆性材料基板(500)が固定される請求項7に記載の脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置及び分断方法に関するもので、より詳細には、脆性材料基板の分断工程時に分断テーブルが3軸で同時に動作して脆性材料基板を分断する脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置及び分断方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、ガラス基板などの脆性材料基板では、基板を分断加工するために、基板上に分断予定線に沿ってスクライブラインを形成した後、分断(breaking)工程を通じて基板を分断する。
【０００３】
基板にスクライブラインを形成する方法には、カッターホィールなどによる機械的加工やレーザービームの照射による非接触式加工方法がある。
【０００４】
また、基板に分断予定線に沿ってスクライブラインが形成された後には、基板を完全に分断するために分断工程を進行するが、基板の分断方法には、ローラー(roller)やプッシャー(pusher)などを使用して、基板に衝撃を加える接触式方法とレーザー又はスチーム(steam)などを使用して基板を加熱した後に冷却させる非接触式方法がある。
【０００５】
ところで、OLEDガラス又は薄板ガラスのような脆性材料基板を分断時には、カッティング面の割れやもがれ現象による不良が発生して、脆性材料基板の生産歩留まりが低下し、生産品質が低下する問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】韓国公開特許公報第２０１４−００１８５０４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明は、前記のような要求を解消するために提案されたものであって、その目的は、脆性材料基板の分断工程時に分断テーブルが3軸で同時に動作して脆性材料基板を分断することにより、分断された脆性材料基板のカッティング面に発生し得る割れやもがれ現象による不良を防止することができる脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置及び分断方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明の一実施例による脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置は、回転部(110)を有する上部ユニット(100)と、昇降支持部(210)と、前記昇降支持部(210)の側部に結合される昇降部(220)を有する中間ユニット(200)と、平板プレート(320)と、前記平板プレート(320)の下部に長手方向に移動する長手方向移動部(310)を有する下部ユニット(300)を含む。
【０００９】
また、本発明の一実施例による脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置において、前記回転部(110)は、複数のテーブルを有する分離テーブル(111)と、前記分離テーブル(111)を回転させる回転駆動部材(113)と、前記分離テーブル(111)と、前記回転駆動部材(113)を連結する連結ブラケット(112)をさらに含む。
【００１０】
また、本発明の一実施例による脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置において、前記分離テーブル(111)は、空気を吸着する複数の貫通ホールをさらに含む。
【００１１】
また、本発明の一実施例による脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置において、前記昇降部(220)は、複数の傾斜板(222)と、前記傾斜板(222)の傾斜面に位置する傾斜レール(223)と、前記傾斜レール(223)に沿って移動する複数の傾斜レール移動部材(224)と、前記傾斜板(222)の間に位置し、前記傾斜レール移動部材(224)を駆動する昇降駆動部材(221)と、前記傾斜レール移動部材(224)に連結された昇降キャップ(225)をさらに含むが、前記昇降駆動部材(221)の駆動時に前記昇降キャップ(225)が、前記傾斜レール移動部材(224)により昇下降する。
【００１２】
また、本発明の一実施例による脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置において、前記長手方向移動部(310)は、前記平板プレート(320)の下部に連結される複数のレール移動部材(313)と、前記レール移動部材(313)が移動するように長手方向に沿って位置する複数のレール(312)と、前記レール(312)の間で長手方向に沿って位置し、前記レール移動部材(313)を駆動する長手方向駆動部材(311)と、両端が互いに反対方向に曲がるが、一端が前記長手方向駆動部材(311)に連結され、他端が前記平板プレート(320)に連結されるバー型ブラケット(314)をさらに含むが、前記長手方向駆動部材(311)が駆動時に、前記レール移動部材(313)と前記バー型ブラケット(314)の他端に 連結された前記平板プレート(320)が長手方向に沿って移動可能である。
【００１３】
また、本発明の一実施例による脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置において、予め定められた間隔を置いて位置する複数の高さ方向支持台(411)と、前記高さ方向支持台(411)を連結する水平方向支持台(412)を有する支持部(410)と、前記水平方向支持台(412)の予め定められた領域に位置する押さえ軸部材(421)と、前記押さえ軸部材(421)の一側に連結されて昇下降する押さえバー部材(422)を有する押さえ部(420)を含む押さえユニット(400)をさらに含むが、順次結合された前記上部ユニット(100)と、前記中間ユニット(200)と、前記下部ユニット(300)が前記押さえユニット(400)の下部に予め定められた間隔を置いて離隔して位置する。
【００１４】
また、前記目的を達成するために、本発明の一実施例による脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法は、分離テーブル(111)と、前記分離テーブル(111)と予め定められた間隔を置いて向かい合う固定テーブル(600)が水平を維持するようにする第1段階(S100)と、水平が維持された前記分離テーブル(111)及び前記固定テーブル(600)上に脆性材料基板(500)を安着する第2段階(S200 )と、回転部(110)の回転軸(θ)の中心を第1脆性材料基板(510)と第2脆性材料基板(520)との間のスクライブラインの中心下面に位置させる第3段階(S300)と、押さえ部材(400)の押さえバー部材(422)が下降して前記第2脆性材料基板(520)の上部面を押さえて、前記第2脆性材料基板(520)を前記固定テーブル(600)に固定する第4段階(S400)を含む。
【００１５】
また、本発明の一実施例による脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法は、前記回転軸(θ)を中心に回転する回転部(110)と、高さ方向に昇下降する昇降部(220)と、長手方向に沿って移動する長手方向移動部(310)が同時に動作して、前記分離テーブル(111)を前記固定テーブル(600)から分離することにより、前記第1脆性材料基板(510)と前記第2脆性材料基板(520)との間のスクライブラインを完全に分断させる第5段階(S500)をさらに含む。
【００１６】
また、本発明の一実施例による脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法は、前記回転軸(θ)を中心に回転する回転部(110)と、高さ方向に昇下降する昇降部(220)と、長手方向に沿って移動する長手方向移動部(310)の一つ以上が動作して、前記分離テーブル(111)を前記固定テーブル(600)から分離することにより、前記第1脆性材料基板(510)と前記第2脆性材料基板(520)との間のスクライブラインを完全に分断させる第5段階(S500)をさらに含む。
【００１７】
また、本発明の一実施例による脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法は、前記第2段階(S200)において、前記分離テーブル(111)及び前記固定テーブル(600)上に前記脆性材料基板(500)が安着時に、前記分離テーブル(111)の複数の貫通ホールと前記固定テーブル(600)の複数の貫通ホールから空気が吸着され、前記分離テーブル(111)及び前記固定テーブル(600)上に前記脆性材料基板(500)が固定される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、脆性材料基板の分断工程時に分断テーブルが3軸で同時に動作して脆性材料基板を分断することにより、分断された脆性材料基板のカッティング面に発生し得る割れやもがれ現象による不良を防止することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】(a)及び(b)は、本発明の一実施例による脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置の分解された状態を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置にて上部ユニットの分解された状態を示す分解斜視図である。
【図４】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置にて中間ユニットの分解された状態を示す分解斜視図である。
【図５】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置にて下部ユニットの分解された状態を示す分解斜視図である。
【図６】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置にて押さえユニットの分解された状態を示す分解斜視図である。
【図７】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法の第1段階を示す図である。
【図８】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法の第2段階を示す図である。
【図９】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法の第3段階を示す図である。
【図１０】図10は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法の第4段階を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明は、多様な変換を加えることができ、種々の実施例を有することができるところ、特定の実施例を図面に例示し、詳細な説明で詳細に説明しようとする。しかし、これは、本発明を特定の実施形態について限定しようとするものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変換、均等物乃至代替物を含むものと理解されるべきである。
【００２１】
第1、第2などの用語は、多様な構成要素を説明することに使用され得るが、前記構成要素は、前記用語によって限定されてはならない。前記用語は、1つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみに使用される。
【００２２】
本明細書で使用した用語は、単に特定の実施例を説明するために使用されたもので、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は、文脈上、明白に異なる意味ではない限り、複数の表現を含む。本明細書にて、「含む」又は「有する」などの用語は、明細書に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品又はこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとするものであって、一つ又はそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部品又はこれらを組み合わせたものの存在又は付加可能性を予め排除しないものと理解されるべきである。
【００２３】
また、本発明を説明することにおいて、関連する公知技術に対する具体的な説明が本発明の要旨を不必要に曖昧にし得ると判断される場合、その詳細な説明を省略する。
【００２４】
以下、本発明の実施例について関連図面を参照して、詳細に説明することにする。
【００２５】
図1の(a)及び図1の(b)は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置の全体構成を示す斜視図であり、図2は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置の分解された状態を示す分解斜視図である。
【００２６】
正面から見た図1の(a)及び後面から見た図1の(b)と、図2を参照すると、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置(1000)は、上部ユニット( 100)と、中間ユニット(200)と、下部ユニット(300)を含む。
【００２７】
すなわち、上部ユニット(100)と、中間ユニット(200)と、下部ユニット(300)が順次に連結されて脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置(1000)を形成するようになる。
【００２８】
ここで、上部ユニット(100)は、回転部(110)を有する。
【００２９】
また、中間ユニット(200)は、昇降支持部(210)と、この昇降支持部(210)側部に結合される昇降部(220)を有する。
【００３０】
一方、下部ユニット(300)は、平板プレート(320)と、この平板プレート(320)の下部に長手方向に移動する長手方向移動部(310)を有する。
【００３１】
このような上部ユニット(100)と、中間ユニット(200)と、下部ユニット(300)は、図(図3−図5)を参照して、さらに詳細に説明する。
【００３２】
次に、図3は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置にて上部ユニットの分解された状態を示す分解斜視図である。
【００３３】
図3を参照すると、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置(1000)の回転部(110)は、複数のテーブルを有する分離テーブル(111)と、分離テーブル(111)を回転させる回転駆動部材(113)と、分離テーブル(111)と、回転駆動部材(113)を連結する連結ブラケット(112)をさらに含む。
【００３４】
例えば、本実施例では、脆性材料基板(500)の大きさを考慮して、3つのテーブルを用いて分離テーブル(111)を形成するが、これに限定されるものではなく、脆性材料基板(500)の大きさに合わせて適切な分離テーブル(111)を形成するようにする。
【００３５】
また、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置(1000)において、分離テーブル(111)は、空気を吸着する複数の貫通ホール(未図示)をさらに含む。
【００３６】
すなわち、分離テーブル(111)は、必要に応じて、複数の貫通ホールを通じて空気の吸着が行われる。これにより、分離テーブル(111)上に安着される脆性材料基板(500)が分離テーブル(111)に固定される。
【００３７】
一方、分離テーブル(111)は、内部に空気の吸着を遂行できる空圧部(図示省略)が形成されたり、または外部にある空圧部とノズルなどで連結されて空気の吸着を遂行することができる。
【００３８】
このような分離テーブル(111)は、連結ブラケット(112)によって回転駆動部材(113)に連結され、回転駆動部材(113)の駆動時の分離テーブル(111)は、回転軸(θ)方向に回転するようになる。
【００３９】
次に、図4は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置にて中間ユニットの分解された状態を示す分解斜視図である。
【００４０】
図4を参照すると、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置(1000)の昇降部(220)は、傾斜板(222)と、傾斜レール(223)と、傾斜レール移動部材(224)と、昇降駆動部材(221)と、昇降キャップ(225)を含む。
【００４１】
ここで、傾斜板(222)は複数からなり、互いに所定の間隔を置いてベース板(図示省略)上に形成される。
【００４２】
傾斜レール(223)は、傾斜板(222)の傾斜面に沿って位置する。
【００４３】
このとき、複数の傾斜レール移動部材(224)が傾斜レール(223)に沿って移動するようになり、このような傾斜レール移動部材(224)は、昇降駆動部材(221)により駆動される。
【００４４】
このような昇降駆動部材(221)は、複数の傾斜板(222)の間に位置する。
【００４５】
昇降キャップ(225)は、傾斜レール移動部材(224)に連結されており、昇降駆動部材(221)の駆動時に昇降キャップ(225)が傾斜レール移動部材(224)によって昇下降するようになる。
【００４６】
すなわち、このような昇降部(220)の昇下降動作によって分離テーブル(111)が昇下降動作を遂行するようになる。
【００４７】
次に、図5は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置にて下部ユニットの分解された状態を示す分解斜視図である。
【００４８】
図5を参照すると、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置(1000)の長手方向移動部(310)は、レール移動部材(313)と、レール(312)と、長手方向駆動部材(311)と、バー型ブラケット(314)を含む。
【００４９】
ここで、レール移動部材(313)は、複数個からなり、このようなレール移動部材(313)の上面が平板プレート(320)の下部に連結される。
【００５０】
レール(312)は、レール移動部材(313)が移動するように長手方向に沿って位置する。このとき、レール(312)は、複数個が互いに予め定められた間隔を置いて離隔されている。これは、分離テーブル(111)の大きさによるもので、分離テーブル(111)の大きさが大きい場合には、複数本のレール(312)の間の予め定められた間隔が大きく、分離テーブル(111)の大きさが小さい場合には、複数本のレール(312)の間の予め定められた間隔が小さい。
【００５１】
同様に、平板プレート(320)の大きさも分離テーブル(111)の大きさに応じて、予め定められた大きさに形成される。
【００５２】
長手方向駆動部材(311)は、レール移動部材(313)を駆動し、レール(312)の間に位置する。
【００５３】
バー型ブラケット(314)は、両端が互いに反対方向に曲がって形成され、このようなバー型ブラケット(314)の一端は、長手方向駆動部材(311)に連結され、バー型ブラケット(314)の他端は、平板プレート(320)に連結される。バー型ブラケット(314)は、平板プレート(320)と長手方向駆動部材(311)を連結するブラケットであって、このようなバー型ブラケット(314)は、長手方向駆動部材(311)によって駆動される。
【００５４】
より詳細に説明すると、下部ユニット(300)の長手方向移動部(310)は、上部ユニット(100)の分離テーブル(111)を長手方向に移動させるために動作する。これのために、平板プレート(320)は、レール移動部材(313)の上面と、バー型ブラケット(314)の他端にそれぞれ連結される。
【００５５】
したがって、長手方向駆動部材(311)が駆動時に、レール移動部材(313)とバー型ブラケット(314)の他端に連結された前記平板プレート(320)が長手方向に沿って移動可能である。
【００５６】
長手方向駆動部材(311)は、複数のレール(312)の間に位置し、レール移動部材(313)を前進及び後退させるサーボモータから構成されることができる。
【００５７】
上述したように、バー型ブラケット(314)は、長手方向の駆動部材(311)により駆動される。このとき、バー型ブラケット(314)の他面に連結される平板プレート(320)が長手方向駆動部材(311)の駆動時にバー型ブラケット(314)と共に駆動するようになる。
【００５８】
また、長手方向駆動部材(311)の駆動時のレール移動部材(313)がレール(312)に沿って長手方向に移動するようになる。このとき、レール移動部材(313)の上面に連結される平板プレート(320)が長手方向駆動部材(311)の駆動時のレール移動部材(313)と共に駆動するようになる。
【００５９】
一方、バー型ブラケット(314)の他面とレール移動部材(313)の上面には、平板プレート(320)が連結されている。
【００６０】
このような構造により、長手方向駆動部材(311)が駆動時の平板プレート(320)が長手方向に沿って前進及び後退動作を遂行するようになる。
【００６１】
また、平板プレート(320)と連結された上部部材(100)の分離テーブル(111)も長手方向に沿って前進及び後退動作を遂行できるようになる。
【００６２】
前述したように、分離テーブル(111)は、長手方向移動部(310)によって長手方向に沿って前進又は後退動作を遂行するようになる。また、分離テーブル(111)は、昇降部(220)によって高さ方向に沿って昇降又は下降動作を遂行するようになる。
【００６３】
次に、図6は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置にて押さえユニットの分解された状態を示す分解斜視図である。
【００６４】
図6を参照すると、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置(1000)は、押さえユニット(400)をさらに含む。
【００６５】
このような押さえユニット(400)は、支持部(410)と、押さえ部(420)を含んでいる。
【００６６】
ここで、支持部(410)は、高さ方向支持台(411)と、水平方向支持台(412)を有する。
【００６７】
高さ方向支持台(411)は、複数個であって、予め定められた間隔を置いて離隔されて位置する。
【００６８】
水平方向支持台(412)は、このように離隔されて位置する複数の高さ方向支持台(411)を水平方向に連結する。
【００６９】
一方、押さえ部(420)は、押さえ軸部材(421)と、押さえバー部材(422)を有する。
【００７０】
ここでは、押さえ軸部材(421)は、水平方向支持台(412)の予め定められた領域に位置する。
【００７１】
押さえバー部材(422)は、押さえ軸部材(421)の一側に連結されて昇下降する。
【００７２】
すなわち、押さえ軸部材(421)は、押さえバー部材(422)が昇下降できるようにする軸台の役割を遂行する。
【００７３】
前述したように、順次結合された上部ユニット(100)と、中間ユニット(200)と、下部ユニット(300)は、押さえユニット(400)の下部に予め定められた間隔を置いて離隔されて位置するようになる。
【００７４】
次に、図7乃至図10を参照して、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法を説明する。
【００７５】
まず、図7は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法の第1段階を示す図である。
【００７６】
図7を参照すると、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法は、分離テーブル(111)と、分離テーブル(111)と、予め定められた間隔を置いて向かい合う固定テーブル(600)が水平を維持するようにした状態で、水平が維持された分離テーブル(111)及び固定テーブル(600)上に脆性材料基板(500)を安着する。
【００７７】
ここで、脆性材料基板(500)は、基板間(例えば、第1脆性基板(510)と第2脆性基板(520)との間)のクラック(crack)が約80％程度できた状態の脆性材料である。分断工程を遂行する以前に脆性材料基板(500)が分断テーブル(111)へ搬送時に、基板間の完全分断が発生し得る。このとき、脆性材料の断面が引っ掻かれるチッピング(chipping)不良が発生し得るので、脆性材料基板(500)の分断テーブル(111)への搬送時には完全分断が発生してはならない。
【００７８】
また、脆性材料基板(500)が分離テーブル(111)と、固定テーブル(600)上に安着するためには、分離テーブル(111)の複数の貫通ホールと固定テーブル(600)の複数の貫通ホールにてそれぞれ空気が吸着されて固定された状態にならなければならない。
【００７９】
次に、図8は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法の第2段階を示す図である。
【００８０】
図8を参照すると、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法は、回転部(110)の回転軸(θ)の中心を第1脆性材料基板(510)と第2脆性材料基板(520)との間のスクライブラインの中心下面に位置させる。
【００８１】
例えば、回転軸(θ)の中心が前方(front)脆性材料基板である第1脆性材料基板(510)と、後方(rear)脆性材料基板である第2脆性材料基板(520)のカッティング面であるスクライブラインのセンタ、すなわち中心の下面に位置させる。
【００８２】
次に、図9は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法の第3段階を示す図である。
【００８３】
図3を参照すると、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法は、押さえ部材(400)の押さえバー部材(422)が下降して第2脆性材料基板(520)の上部面を押さえて、第2脆性材料基板(520)を固定テーブル(600)に固定する。
【００８４】
このように、押さえバー部材(422)が下降して、第2脆性材料基板(520)の上部面を押える理由は、第1脆性材料基板(510)を第2脆性材料基板(520)から完全分断時に、第2脆性材料基板(520)が上部に浮き上がる現象を防止するためである。すなわち、押さえバー部材(422)が第2脆性材料基板(520)を押さえることにより、第2脆性材料基板(520)が固定テーブル(600)に完全に固定される。これにより、第2脆性材料基板(520)が上部に浮き上がらない状態にて第1脆性材料基板(510)が第2脆性材料基板(520)から完全に分断される。
【００８５】
最後に、図10は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法の第4段階を示す図である。
【００８６】
図4を参照すると、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の傾斜タイプ分断方法は、回転軸(θ)を中心に回転する回転部(110)と、高さ方向に昇下降する昇降部(220)と、長手方向に沿って移動する長手方向移動部(310)が同時に動作して分離テーブル(111)を固定テーブル(600)から分離することにより、第1脆性材料基板(510)と第2脆性材料基板(520)との間のスクライブラインを完全に分断させる。
【００８７】
すなわち、長手方向移動部(310)によって長手方向に沿って移動する動作と、昇降部(220)によって昇下降する動作と、回転部(110)によって回転する動作が同時に遂行されることにより、第1脆性材料基板(510)が第2脆性材料基板(520)から完全に分断することができる。
【００８８】
もちろん、脆性材料基板(500)の特性に応じて回転軸(θ)を中心に回転する回転部(110)と、高さ方向に昇下降する昇降部(220)と、長手方向に沿って移動する長手方向移動部(310)の一つ以上が動作して、第1脆性材料基板(510)が第2脆性材料基板(520)から完全に分断されることもできる。
【００８９】
前述したように、本実施例によれば、脆性材料基板の分断工程時に分断テーブルが3軸で同時に動作して脆性材料基板を分断することにより、分断された脆性材料基板のカッティング面に発生することができる割れやもがれ現象による不良を防止することができる。
【００９０】
以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したものに過ぎないものであり、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者であれば、本発明の本質的な特性から外れない範囲で多様な修正及び変形が可能である。したがって、本発明に開示された実施例は、本発明の技術思想を限定するためのものではなく、説明するためのものであり、このような実施例により、本発明の技術思想の範囲が限定されるものではない。本発明の保護範囲は、次の請求範囲により解釈されるべきであり、その同等の範囲内にある全ての技術思想は、本発明の権利範囲に含まれるものと解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００９１】
100  上部ユニット
110  回転部
111  分離テーブル
112  連結ブラケット
113  回転駆動部材
200  中間ユニット
210  昇降支持部
220  昇降部
221  昇降駆動部材
222  傾斜板
223  傾斜レール
224  傾斜レール移動部材
225  昇降キャップ
300  下部ユニット
310  長手方向移動部
311  長手方向駆動部材
312  レール
313  レール移動部材
314  バー型ブラケット
320  平板プレート
400  押さえユニット
410  支持部
411  方向支持台
412  水平方向支持台
420  押さえ部
421  押さえ軸部材
422  押さえバー部材
500  脆性材料基板
1000  脆性材料基板の傾斜タイプ分断装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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