(57)【要約】      （修正有）【課題】膜厚ばらつきが大きくなりやすいレンズスキャン方式で露光した場合においても、画素の色差を低減することのできるカラーフィルタ基板の製造方法を提供する。【解決手段】基板上に３色以上の画素を有するカラーフィルタ基板の製造方法であって、少なくとも着色剤、光重合開始剤、ラジカル重合性多官能モノマーおよびアルカリ可溶性バインダーを含む感光性着色樹脂組成物を基板上に塗布し、プリベイクして２５℃における粘度が１．０×１０６Ｐａ・ｓ以上であるプリベイク膜を得て、レンズスキャン露光機によりプリベイク膜を露光し、現像し、ポストベイクすることにより１色目の画素を形成する工程を有するカラーフィルタ基板の製造方法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に３色以上の画素を有するカラーフィルタ基板の製造方法であって、少なくとも着色剤、光重合開始剤、ラジカル重合性多官能モノマーおよびアルカリ可溶性バインダーを含む感光性着色樹脂組成物を基板上に塗布し、プリベイクして２５℃における粘度が１．０×１０６Ｐａ・ｓ以上であるプリベイク膜を得て、レンズスキャン露光機によりプリベイク膜を露光し、現像し、ポストベイクすることにより１色目の画素を形成する工程を有するカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２】
前記１色目の画素の色差ΔＥａｂが０．３以下である請求項１記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項３】
前記１色目の画素のＣ光源における色度Ｇｙが０．６１０〜０．６４０であり、Ｇｘが０．２２０〜０．２４０である請求項１または２記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項４】
前記着色剤がＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８およびＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５９を含有する請求項３記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタ基板を用いた液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置は、軽量、薄型、低消費電力等の特性を活かし、テレビ、ノートパソコン、携帯情報端末、デジタルカメラ、デスクトップモニタ等、様々な用途で使用されている。
【０００３】
近年、従来のＣＲＴテレビでは表現できなかった真紅のバラの鮮やかな赤色や、南国の海の美しい緑色等を忠実に再現するため、従来のｓＲＧＢと比べて、赤方向と緑方向の色再現範囲が広いＤＣＩ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｃｉｎｅｍａ  Ｉｎｉｔｉａｔｉｖｅｓ）等の表示を可能とする、高色純度化の要求が高まりつつある。
【０００４】
カラーフィルタ基板の画素形成方法としては、基板上に形成した感光性着色樹脂組成物の膜に、フォトマスクを介して所望のエリアを露光し、現像するフォトリソグラフィー方式が一般的である。カラーフィルタ画素の色を濃くする方法としては、感光性着色樹脂組成物に含まれる着色剤の濃度を高くする方法や、高着色顔料を用いる方法が挙げられる。しかしながら、着色剤の濃度を高くすると、フォトリソグラフィーに必要な感光性樹脂成分が相対的に少なくなり、パターン加工性が低下しやすいことから、高着色顔料の開発が盛んに進められている。色再現性に優れたカラーフィルタ用感光性着色樹脂組成物として、特定の色剤と、特定の分散剤と、アルカリ可溶性樹脂と、多官能モノマーと、光開始剤と、溶剤とを含有するカラーフィルタ用感光性着色樹脂組成物（例えば、特許文献１参照）が提案されている。
【０００５】
一方で、面取り数を増やして歩留まりを向上させるために、マザーガラス基板の大型化が進んでおり、小さなマスクを使用して広い露光領域を有する基板を露光する技術として、基板搬送手段によって一定速度で一定方向に搬送されている状態の基板に対して、露光部で連続光源からの露光光を露光光学系の光路上に設けたマスクの開口部を通して照射し、前記基板上に前記開口部の像を転写するスキャン露光方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１７−４００９号公報
【特許文献２】特開２００６−２９２９５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述のスキャン露光方法において、特に複数のレンズを二列に並べるレンズスキャン方式の露光においては、通常部よりも露光量が低くなるレンズとレンズとの継目の部分において、２回の露光で通常部と同一露光量になるように設計されており、広範囲の焼付けが可能となっている。しかしながら、特許文献１に記載される高色純度の組成物を用いた場合であっても、レンズスキャン方式により露光すると、レンズとレンズとの継目の部分で形成される膜厚ばらつきにより、カラーフィルタ基板の画素に色差が発生する課題があった。
【０００８】
そこで本発明は、膜厚ばらつきが大きくなりやすいレンズスキャン方式で露光した場合においても、画素の色差を低減することのできるカラーフィルタ基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明は、主として下記の構成を有する。
基板上に３色以上の画素を有するカラーフィルタ基板の製造方法であって、少なくとも着色剤、光重合開始剤、ラジカル重合性多官能モノマーおよびアルカリ可溶性バインダーを含む感光性着色樹脂組成物を基板上に塗布し、プリベイクして２５℃における粘度が１．０×１０６Ｐａ・ｓ以上であるプリベイク膜を得て、レンズスキャン露光機によりプリベイク膜を露光し、現像し、ポストベイクすることにより１色目の画素を形成する工程を有するカラーフィルタ基板の製造方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の製造方法によれば、カラーフィルタ基板における画素の色差を低減することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明のカラーフィルタ基板の製造方法は、基板上に３色以上の画素を有するカラーフィルタ基板を製造するにあたり、後述する感光性着色樹脂組成物を基板上に塗布し、プリベイクして２５℃における粘度が１．０×１０６Ｐａ・ｓ以上であるプリベイク膜を得て、レンズスキャン露光機によりプリベイク膜を露光し、現像し、ポストベイクすることにより１色目の画素を形成する工程を有することを特徴とする。３色以上の画素を有するカラーフィルタ基板の製造方法において、１色目の画素を形成する際には、その周囲に他色の画素が形成されていないことから、前述のとおり、レンズスキャン露光により画素を形成すると、レンズとレンズとの継目の部分で膜厚ばらつきが大きくなりやすい傾向にある。本発明者らの検討により、露光時のプリベイク膜の粘度を１．０×１０６Ｐａ・ｓ以上とすることにより、かかる膜厚ばらつきを抑制し、画素の色差を低減することができることを見出した。以下に各工程について説明する。
【００１２】
まず、後述する感光性着色樹脂組成物を基板上に塗布する。
【００１３】
基板としては、例えば、石英ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸塩ガラス、アルカリアルミノケイ酸塩ガラス、表面をシリカコートしたソーダライムガラス等の無機ガラス板；有機プラスチックのフィルムやシートなどが挙げられる。反射型の表示装置に用いられる場合は、基板は不透明であってもよい。
【００１４】
感光性着色樹脂組成物の塗布方法としては、例えば、スピンコーター、バーコーター、ブレードコーター、ロールコーター、ダイコーターなどを用いて塗布する方法；スクリーン印刷法；基板を感光性着色樹脂組成物中に浸漬する方法；感光性着色樹脂組成物を基板に噴霧する方法などが挙げられる。
【００１５】
塗布後、プリベイク前に、常温における風乾や減圧乾燥により、感光性着色樹脂組成物中の有機溶剤を除去してもよい。
【００１６】
感光性着色樹脂組成物の塗布膜をプリベイクすることにより、プリベイク膜を形成する。プリベイク方法としては、例えば、オーブンやホットプレートなどの加熱装置を用いて加熱乾燥することにより、感光性着色樹脂組成物中の有機溶剤を除去することが好ましい。プリベイクは減圧下で行ってもよいし、大気圧下で行ってもよい。減圧下でプリベイクした後、大気圧下でプリベイクすることが好ましく、対流による塗布欠陥を抑制することができる。減圧下でプリベイクを行う場合、プリベイク温度は１００℃以下が好ましく、プリベイク時間は５秒間〜１０分間が好ましく、プリベイク時の絶対圧は４０Ｐａ以下が好ましい。大気圧下でプリベイクを行う場合、プリベイク温度は５０〜１２０℃が好ましく、プリベイク時間は１０秒間〜３０分間が好ましい。
【００１７】
プリベイク後、必要に応じて、プリベイク膜上に酸素遮断膜を設けてもよい。
【００１８】
本発明においては、プリベイク膜の２３℃における粘度が１．０×１０６Ｐａ・ｓ以上であることが必要である。２３℃における粘度が１．０×１０６Ｐａ・ｓ以上であるプリベイク膜に露光することにより、プリベイク膜の流動性を抑え、レンズとレンズとの継目の部分で膜厚ばらつきが生じやすいレンズスキャン露光においても、膜厚ばらつきを抑制し、画素の色差を低減することができる。プリベイク膜の２３℃における粘度が１．０×１０６Ｐａ・ｓ未満であると、レンズスキャン露光において、レンズとレンズとの継目の部分で膜厚ばらつきが生じやすいことから、画素の色差が増大する。プリベイク膜の２３℃における粘度は、５．０×１０６Ｐａ・ｓ以上が好ましい。一方、２３℃における粘度は１．０×１０８Ｐａ・ｓ以下が好ましく、現像性を向上させることができる。ここで、プリベイク膜の２３℃における粘度とは、プリベイク膜９０ｍｍ３以上を採取し、レオメーター（ＭＣＲ−３０２；アントンパール（株）製）とφ１５ｍｍのプレートを用いて、測定厚み：０．５ｍｍ、周波数：１Ｈｚ、歪み：０．５％の条件で、２０℃から１１０℃まで０．０８３℃／ｓｅｃの昇温速度で昇温しながら測定したときの２３℃における粘度を言う。なお、カラーフィルタ基板上への画素の製造工程において、プリベイク膜の温度はプリベイク工程で前述の温度まで加熱されるが、露光前の冷却により室温（約２３℃）程度となることが一般的である。このため、本発明においては、一般的な露光時のプリベイク膜温度として、２３℃における粘度に着目した。なお、プリベイク膜の２３℃における粘度を上記範囲にする方法としては、例えば、後述する好ましい組成の感光性着色樹脂組成物を用いる方法、プリベイク温度を高くする方法、プリベイク時間を長くする方法などが挙げられる。
【００１９】
得られたプリベイク膜に、レンズスキャン露光することにより露光部分を硬化させ、現像することにより未露光部を除去し、パターン形成することが好ましい。
【００２０】
露光光源としては、ｉ線、ｈ線、ｇ線などの紫外線や、ＫｒＦ（波長２４８ｎｍ）レーザー、ＡｒＦ（波長１９３ｎｍ）レーザーなどが挙げられる。露光量は１０〜５００ｍＪ／ｃｍ２程度（波長３６５ｎｍ露光量換算）が好ましい。所望のマスクを介して露光してもよいし、マスクを介さずに露光してもよい。
【００２１】
露光後、現像により未露光部を溶解してネガ型のパターンを得ることができる。現像方法としては、例えば、シャワー、ディッピング、パドルなどの方法が挙げられる。露光後の膜を現像液に５秒間〜１０分間浸漬することが好ましい。現像液としては、例えば、アルカリ金属の水酸化物、炭酸塩、リン酸塩、ケイ酸塩、ホウ酸塩などの無機アルカリ、２−ジエチルアミノエタノール、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどのアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、コリンなどの４級アンモニウム塩を含む水溶液などのアルカリ現像液が挙げられる。これらに、非イオン系界面活性剤などの界面活性剤を添加してもよい。
【００２２】
現像後、水でリンスすることが好ましい。
【００２３】
得られたパターンをポストベイクすることにより、１色目の画素を形成する。ポストベイクの加熱装置としては、例えば、ホットプレート、オーブンなどが挙げられる。ポストベイク温度は８０〜２５０℃が好ましい。ポストベイク時間は１〜６０分間が好ましい。
【００２４】
本発明において、１色目の画素の色差ΔＥａｂは、０．３以下が好ましく、０．１以下がより好ましい。ここで、画素の色差ΔＥａｂは、１色目の画素のうち、レンズとレンズとの継目の部分に該当する部分を中心として、基板面内で複数のレンズが二列に並ぶ方向に対する平行方向に２ｍｍの間隔で５０ｍｍの範囲に対して、高精細色度顕微鏡（大塚電子（株）製）を用いて色度Ｙ、明度Ｌおよび色相ａ＊、ｂ＊を測定し、下記式（１）から算出することができる。
ΔＥａｂ＝（（Ｌ（ＭＡＸ）−Ｌ（ＭＩＮ））２＋（ａ＊（ＭＡＸ）−ａ＊（ＭＩＮ））２＋（ｂ＊（ＭＡＸ）−ｂ＊（ＭＩＮ））２）１／２    （１）
ただし、上記式（１）において、Ｌ（ＭＡＸ）、ａ＊（ＭＡＸ）、ｂ＊（ＭＡＸ）は、それぞれ色度Ｙが最大となった測定点におけるＬ、ａ＊、ｂ＊の値を示し、Ｌ（ＭＩＮ）、ａ＊（ＭＩＮ）、ｂ＊（ＭＩＮ）は、それぞれ色度Ｙが最小となった測定点におけるＬ、ａ＊、ｂ＊の値を示す。色差ΔＥａｂを上記範囲にする方法としては、例えば、２３℃における粘度が前述の好ましい範囲にあるプリベイク膜にスキャン露光する方法などが挙げられる。
【００２５】
本発明において、１色目が緑色画素である場合、そのＣ光源における色度Ｇｙは０．６１０〜０．６４０が好ましく、Ｇｘは０．２２０〜０．２４０が好ましい。色度を前記範囲にすることにより、ＤＣＩ色を再現することができ、表示装置の色再現範囲を向上させることができる。ここで、色度ｘ、ｙは、１色目の画素のうち、レンズとレンズとの継目の部分を除く部分から、基板面内で複数のレンズが二列に並ぶ方向に対する平行方向に２ｍｍの間隔で設けた１３箇所の測定点について、高精細色度顕微鏡（大塚電子（株）製）を用いて測定した値の数平均値から算出することができる。色度を上記範囲にする方法としては、例えば、後述する好ましい着色剤を用いて、その含有量を後述する好ましい範囲にした感光性着色樹脂組成物を用いる方法などが挙げられる。
【００２６】
１色目の画素を形成した後、同様に２色目、３色目の画素を形成することが好ましい。ポストベイクの熱による色度変化を抑制する観点から、３色目に青色画素を形成することが好ましい。
【００２７】
次に、本発明に用いられる感光性着色樹脂組成物について説明する。本発明における感光性着色樹脂組成物は、少なくとも着色剤、光重合開始剤、ラジカル重合性多官能モノマーおよびアルカリ可溶性バインダーを含む。着色剤を含むことにより、画素を所望の色に着色することができる。光重合開始剤、ラジカル重合性多官能モノマーおよびアルカリ可溶性バインダーを含むことにより、露光部が光硬化し、未露光部がアルカリ現像液に可溶なネガ型の感光性を有する。
【００２８】
＜着色剤＞
着色剤としては、顔料や染料などが挙げられる。これらを２種以上含んでもよい。顔料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基処理、塩基性処理等の表面処理がされていてもよい。染料は、必要に応じて、レーキ化されていてもよく、含窒素化合物との造塩化合物として用いてもよい。着色剤は、感光性着色樹脂組成物中に溶解されていても分散されていてもよい。
【００２９】
赤色顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド（以下、「ＰＲ」）ＰＲ７、ＰＲ９、ＰＲ１４、ＰＲ４１、ＰＲ４８、ＰＲ４８：１、ＰＲ４８：２、ＰＲ４８：３、ＰＲ４８：４、ＰＲ５７：１、ＰＲ８１、ＰＲ８１：１、ＰＲ８１：２、ＰＲ８１：３、ＰＲ８１：４、ＰＲ９７、ＰＲ１２２、ＰＲ１２３、ＰＲ１４４、ＰＲ１４６、ＰＲ１４９、ＰＲ１６６、ＰＲ１６８、ＰＲ１６９、ＰＲ１７６、ＰＲ１７７、ＰＲ１７８、ＰＲ１７９、ＰＲ１８０、ＰＲ１８４、ＰＲ１８５、ＰＲ１８７、ＰＲ１９２、ＰＲ２００、ＰＲ２０２、ＰＲ２０８、ＰＲ２０９、ＰＲ２１０、ＰＲ２１５、ＰＲ２１６、ＰＲ２１７、ＰＲ２２０、ＰＲ２２３、ＰＲ２２４、ＰＲ２２６、ＰＲ２２７、ＰＲ２２８、ＰＲ２４０、ＰＲ２４２、ＰＲ２４６、ＰＲ２５４，ＰＲ２５５、ＰＲ２５５、ＰＲ２６４、ＰＲ２７０、ＰＲ２７２、ＰＲ２７３、ＰＲ２７４、ＰＲ２７６、ＰＲ２７７、ＰＲ２７８、ＰＲ２７９、ＰＲ２８０、ＰＲ２８１，ＰＲ２８３、ＰＲ２８４、ＰＲ２８５、ＰＲ２８６、ＰＲ２８７や、臭素化ジケトピロロピロールなどが挙げられる。画素の色純度、透過率、コントラストおよび耐熱性を向上させる観点から、ＰＲ１７７、ＰＲ２５４、ＰＲ２６９、臭素化ジケトピロロピロールが好ましい。
【００３０】
黄色顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー（以下、「ＰＹ」）１２、ＰＹ１３、ＰＹ１７、ＰＹ２０、ＰＹ２４、ＰＹ８３、ＰＹ８６、ＰＹ９３、ＰＹ９５、ＰＹ１０９、ＰＹ１１０、ＰＹ１１７、ＰＹ１２５、ＰＹ１２９、ＰＹ１３７、ＰＹ１３８、ＰＹ１３９、ＰＹ１４７、ＰＹ１４８、ＰＹ１５０、ＰＹ１５３、ＰＹ１５４、ＰＹ１６６、ＰＹ１６８、ＰＹ８５などが挙げられる。画素の色純度、透過率およびコントラストを向上させる観点から、ＰＹ１２９、ＰＹ１３８、ＰＹ１３９、ＰＹ１５０が好ましく、ＰＹ１３８、ＰＹ１５０がより好ましく、ＰＹ１５０がさらに好ましい。
【００３１】
オレンジ色顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ（以下、「ＰＯ」）１３、ＰＯ３１、ＰＯ３６、ＰＯ３８、ＰＯ４０、ＰＯ４２、ＰＯ４３、ＰＯ５１、ＰＯ５５、ＰＯ５９、ＰＯ６１、ＰＯ６４、ＰＯ６５、ＰＯ７１などが挙げられる。
【００３２】
緑色顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン（以下、「ＰＧ」）７、ＰＧ１０、ＰＧ３６、ＰＧ３７、ＰＧ５８、ＰＧ５９などが挙げられる。画素の色純度、透過率およびコントラストを向上させる観点から、ＰＧ５８、ＰＧ５９が好ましい。
【００３３】
青色顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー（以下、「ＰＢ」）１５：３、ＰＢ１５：４、ＰＢ１５：６、ＰＢ２１、ＰＢ２２、ＰＢ６０、ＰＢ６４などが挙げられる。
【００３４】
紫色顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット（以下「ＰＶ」）１９、ＰＶ２３、ＰＶ２９、ＰＶ３０、ＰＶ３７、ＰＶ４０、ＰＶ５０などが挙げられる（以上、番号はいずれもカラーインデックスＮｏ．）。
【００３５】
染料としては、例えば、アゾ系染料、ベンゾキノン系染料、ナフトキノン系染料、アントラキノン系染料、キサンテン系染料、ローダミン系染料、シアニン系染料、スクアリリウム系染料、クロコニウム系染料、メロシアニン系染料、スチルベン系染料、ジアリールメタン系染料、トリアリールメタン系染料、フルオラン系染料、スピロピラン系染料、フタロシアニン系染料、インジゴ系染料、フルギド系染料、ニッケル錯体系染料、アズレン系染料が挙げられる。
【００３６】
感光性着色樹脂組成物における着色剤の含有量は、赤色着色剤の場合、全固形分中３０〜５０重量％が好ましく、緑色着色剤の場合、全固形分中３５〜５０重量％が好ましく、青色着色剤の場合、全固形分中３５〜５０重量％が好ましい。着色剤の含有量を３０重量％または３５重量％以上とすることにより、色純度を向上させることができる。また、プリベイク膜の２３℃における粘度を前述の範囲に容易に調整することができる。一方、着色剤の含有量を５０重量％以下とすることにより、アルカリ可溶性バインダーなどの着色剤以外の成分を相対的に十分含有することができ、パターン加工性を向上させることができる。ここで、ここで全固形分とは、感光性着色樹脂組成物における、溶剤以外の全成分をいう。
【００３７】
感光性着色樹脂組成物が緑色着色剤を含有する場合、近年のカラーフィルタの高色純度化に伴い、緑色画素には濃色化が求められることから、青味の緑色を呈し、比較的着色力の強いＰＧ５８が好ましく用いられる。一方、ＤＣＩ色で用いられる０．２２０＜Ｇｘ＜０．２４０、０．６１０＜Ｇｙ＜０．６４０の色度範囲を実現しながら、着色剤の含有量を前述の好ましい範囲にしてプリベイク膜の２３℃における粘度を所望の範囲に容易に調整する観点からは、比較的着色力の弱いＰＧ５８を組み合わせることが好ましい。ＰＧ５８の含有量に対するＰＧ５９の含有量の比（ＰＧ５９／ＰＧ５８）は、０．７以下が好ましく、０．２以下がより好ましい。
【００３８】
＜光重合開始剤＞
本発明において、光重合開始剤とは、光（紫外線又は電子線を含む）により分解及び／又は反応し、ラジカルを発生させる化合物をいう。光重合開始剤としては、例えば、オキシムエステル系化合物、α−アミノアセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物、オキサントン系化合物、イミダゾール系化合物、ベンゾチアゾール系化合物、ベンゾオキサゾール系化合物、カルバゾール系化合物、トリアジン系化合物、リン系化合物、チタノセン系化合物などが挙げられる。これらを２種以上含んでもよい。これらの中でも、感光性着色樹脂組成物の感度を向上させる観点から、オキシムエステル系化合物が好ましい。
【００３９】
オキシムエステル系化合物としては、例えば、１，２−オクタンジオン，１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−，２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−〔９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−，１−（ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−〔９−エチル−６−｛２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル｝−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−，１−（ｏ−アセチルオキシム）、“オプトマー”（商標登録）Ｎ−１９１９、“オプトマー”ＮＣＩ−８３１、“オプトマー”ＮＣＩ−９３０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、“ＩＲＧＡＣＵＲＥ”（商標登録）ＯＸＥ０１、“ＩＲＧＡＣＵＲＥ”ＯＸＥ０２（以上、いずれもチバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）などが挙げられる。これらの中でも、感光性着色樹脂組成物の感度を向上させる観点から、“オプトマー”Ｎ−１９１９、“ＩＲＧＡＣＵＲＥ”ＯＸＥ−０２、“オプトマー”ＮＣＩ−９３０、“オプトマー”ＮＣＩ−８３１がより好ましい。
【００４０】
感光性着色樹脂組成物における光重合開始剤の含有量は、後述するラジカル重合性多官能モノマーとアルカリ可溶性バインダーの合計含有量１００重量部に対して、０．０１〜２０重量部が好ましい。光重合開始剤の含有量を０．０１重量部以上とすることにより、光硬化を効率よく進めることができる。光重合開始剤の含有量は、０．１重量部以上がより好ましい。一方、光重合開始剤の含有量を２０重量部以下とすることにより、残存した光重合開始剤の溶出を抑制し、耐溶剤性を向上させることができる。
【００４１】
＜ラジカル重合性多官能モノマー＞
本発明において、ラジカル重合性多官能モノマーとは、分子中に２つ以上のエチレン性不飽和結合を有する化合物をいう。
【００４２】
ラジカル重合性多官能モノマーとしては、例えば、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル（メタ）アクリレート、ポリ（メタ）アクリレートカルバメート、変性ビスフェノールＡエポキシ（メタ）アクリレート、アジピン酸１，６−ヘキサンジオール（メタ）アクリル酸エステル、無水フタル酸プロピレンオキサイド（メタ）アクリル酸エステル、トリメリット酸ジエチレングリコール（メタ）アクリル酸エステル、ロジン変性エポキシジ（メタ）アクリレート、アルキッド変性（メタ）アクリレート等のオリゴマー、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリアクリルホルマール、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、９，９−ビス［４−（２−アクリロイルオキシエトキシ）フェニル］フルオレンなどが挙げられる。これらを２種以上含んでもよい。
【００４３】
ラジカル重合性多官能モノマーは、カルボキシル基などの酸性基をさらに有してもよく、アルカリ溶解性を向上させ、パターン加工性を向上させることができる。酸性基を有するラジカル重合性多官能モノマーとしては、例えば、ジカルボン酸などの多価カルボン酸と、遊離水酸基含有ポリ（メタ）アクリレート類および多価アルコールなどの水酸基含有化合物とのエステル化物等が挙げられる。多価カルボン酸類としては、例えば、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、テレフタル酸などのジカルボン酸；シクロヘキサン−１，３，４−トリカルボン酸などのトリカルボン酸；ブタンテトラカルボン酸などのテトラカルボン酸などが挙げられる。遊離水酸基含有ポリ（メタ）アクリレート類としては、例えば、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート等のモノヒドロキシオリゴ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。多価アルコールとしては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン、トリエタノールアミン、ペンタエリスリトール、ジグリセリン、キシロース、ソルビタンなどが挙げられる。
【００４４】
感光性着色樹脂組成物におけるラジカル重合性多官能モノマーの含有量は、後述するアルカリ可溶性バインダー、必要に応じて含有される高分子分散剤およびラジカル重合性多官能モノマーの合計含有量１００重量部に対して、２０〜９０重量部が好ましい。ラジカル重合性多官能モノマーの含有量を２０重量部以上とすることにより、光硬化を効率よく進めることができる。ラジカル重合性多官能モノマーの含有量は、２０重量部以上がより好ましい。一方、ラジカル重合性多官能モノマーの含有量を９０重量部以下とすることにより、現像時の残渣を抑制し、パターン加工性を向上させることができる。ラジカル重合性多官能モノマーの含有量は、７０重量部以下がより好ましい。
【００４５】
＜アルカリ可溶性バインダー＞
本発明において、アルカリ可溶性バインダーとは、カルボキシル基を有する樹脂をいう。不飽和カルボン酸またはその酸無水物と、不飽和カルボン酸エステルとの共重合体が好ましい。
【００４６】
不飽和カルボン酸としては、例えば、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、ビニル酢酸等のモノカルボン酸；イタコン酸、マレイン酸、フマル酸等のジカルボン酸などが挙げられる。これらの中でも、メタクリル酸が好ましい。
【００４７】
不飽和カルボン酸エステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｓｅｃ−ブチル、（メタ）アクリル酸イソ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔｅｒｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｎ−ペンチル、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートなどのなどの不飽和カルボン酸アルキルエステル；ベンジル（メタ）アクリレート；イソボルニル（メタ）アクリレート；アミノエチルアクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル；グリシジル（メタ）アクリレートおよびグリシジル（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル；フタル酸モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）等の多価カルボン酸モノエステルなどが挙げられる。
【００４８】
その他の共重合成分として、例えば、スチレン、ｐ−メチルスチレン、ｏ−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル；アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロルアクリロニトリル等のシアン化ビニル化合物；１，３−ブタジエン、イソプレン等の脂肪族共役ジエン；末端に（メタ）アクリロイル基を有するポリスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリブチル（メタ）アクリレート、ポリブチル（メタ）アクリレート、ポリシリコーン等のマクロモノマーなどが挙げられる。
【００４９】
アクリル系ポリマーは、側鎖にビニル基、アリル基、（メタ）アクリル基などのエチレン性不飽和基を有することが好ましく、感度を向上させることができる。アクリル系ポリマーの側鎖にエチレン性不飽和基を導入する方法としては、例えば、アクリル系ポリマーが有するカルボキシル基や水酸基に対して、エポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物や（メタ）アクリル酸クロライドを付加反応させる方法、アクリル系ポリマーの共重合成分としてエポキシ基を有するものを使用し、このエポキシ基に、カルボキシル基や水酸基を有するエチレン性不飽和化合物を付加させる方法などが挙げられる。エポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物としては、グリシジル基や脂環式エポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物が好ましく、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル、α−エチルアクリル酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、（イソ）クロトン酸グリシジルエーテル、Ｎ−（３，５−ジメチル−４−グリシジル）ベンジルアクリルアミド、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。カルボキシル基や水酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸などが挙げられる。
【００５０】
アルカリ可溶性バインダーの重量平均分子量（Ｍｗ）は、５，０００〜１００，０００が好ましい。Ｍｗを５，０００以上とすることにより、硬化膜の強度を向上させることができる。一方、Ｍｗを１００，０００以下とすることにより、現像性を向上させることができる。ここで、アルカリ可溶性バインダーのＭｗは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定した、標準ポリスチレンによる換算値をいう。
【００５１】
アルカリ可溶性バインダーの酸価は、現像性を適度に向上させる観点から、３０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。
【００５２】
感光性樹脂組成物におけるアルカリ可溶性バインダーの含有量は、アルカリ可溶性バインダーとラジカル重合性多官能モノマーの合計含有量１００重量部に対して、１０〜８０重量部が好ましい。アルカリ可溶性バインダーの含有量を１０重量部以上とすることにより、現像時の残渣を抑制し、パターン加工性を向上させることができる。一方、アルカリ可溶性バインダーの含有量を８０重量部以下とすることにより、光硬化を効率よく進めることができる。
【００５３】
感光性着色樹脂組成物は、さらに他の成分を含有してもよい。
【００５４】
例えば、着色剤として顔料を含有する場合、さらに分散剤を含有することが好ましい。分散剤としては、例えば、顔料の中間体や顔料の誘導体等の低分子分散剤、高分子分散剤などが挙げられる。
【００５５】
顔料の誘導体としては、例えば、顔料の適度な湿潤や安定化を保つ、主顔料構造のアルキルアミン変性体、カルボン酸誘導体、スルホン酸誘導体が挙げられる。これらの中でも、微細顔料をより安定化させる観点から、顔料骨格のスルホン酸誘導体が好ましい。
【００５６】
高分子分散剤としては、例えば、ポリエステル、ポリアルキルアミン、ポリアリルアミン、ポリイミン、ポリアミド、ポリウレタン、ポリアクリレート、ポリイミド、ポリアミドイミドや、これらの共重合体等が挙げられる。これらの中でも、塩基性基を有する高分子分散剤が好ましい。塩基性基を有する市販品の高分子分散剤としては、例えば、“ソルスパース”（登録商標）（アビシア社製）、“ＥＦＫＡ”（登録商標）（エフカ社製）、“アジスパー”（登録商標）（味の素ファインテクノ（株）製）、“Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ”（登録商標）（ビックケミー社製）などが挙げられる。これらの中でも、“ソルスパース”２４０００、“ＥＦＫＡ”４３００、４３３０、４３４０、“アジスパー”ＰＢ８２１、ＰＢ８２２、“Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ”１６１、１６１、１６３、２０００、２００１、６９１９、２１１１６が好ましい。
【００５７】
高分子分散剤の含有量は、顔料１００重量部に対して、２〜１００重量部が好ましい。高分子分散剤を２重量部以上含有することにより、顔料分散安定性を向上させることができる。高分子分散剤の含有量は、１０重量部以上がより好ましい。一方、高分子分散剤の含有量を１００重量部以下とすることにより、現像性を向上させることができる。高分子分散剤の含有量は、５０重量部以下がより好ましい。
【００５８】
感光性着色樹脂組成物に、さらに溶剤を含んでもよい。アルカリ可溶性バインダーの種類等に応じて、溶剤を適宜選択することができる。例えば、アルカリ可溶性バインダーとしてアクリル系ポリマーを含む場合、溶剤としては、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチルカルビトール、エチルカルビトール、プロピレングリコールモノエチルエーテル等のエチレングリコールまたはプロピレングリコール誘導体；プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート（以下、「ＰＧＭＥＡ」）、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート（以下、「ＤＰＭＡ」）、アセト酢酸エチル、メチル−３−メトキシプロピオネート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート等の脂肪族エステル類；エタノール、３−メチル−３−メトキシブタノール等の脂肪族アルコール類；シクロペンタノン、シクロヘキサノン等のケトン類などが挙げられる。これらを２種以上含んでもよい。さらに、これらの溶剤とともに、副溶剤として、アルカリ可能性バインダーに対する貧溶媒を含んでもよい。
【００５９】
感光性着色樹脂組成物において、溶剤の含有量は、５０〜９０％重量％が好ましい。溶剤の含有量を５０重量％以上とすることにより、各成分の溶解性を向上させ、感度不良や不溶物の発生を抑制することができる。溶剤の含有量は、７０重量％以上がより好ましい。一方、溶剤の含有量を９０重量％以下とすることにより、プリベイクにおける塗布不良やムラを抑制することができる。
【００６０】
感光性着色樹脂組成物に、その他の添加剤を含んでもよい。その他の添加剤としては、例えば、増感補助剤、密着改良剤、界面活性剤、重合禁止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤、アルカリ可溶性バインダー以外の樹脂などが挙げられる。
【００６１】
増感補助剤を含むことにより、感度を向上させることができる。増感補助剤としては、例えば、芳香族または脂肪族の第３級アミンなどが挙げられる。
【００６２】
密着改良剤を含むことにより、現像密着性を向上させることができる。密着改良剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のシランカップリング剤などが挙げられる。現像密着性をより向上させる観点から、感光性着色樹脂組成物における密着改良剤の含有量は、固形分中、０．５重量％以上が好ましい。一方、アルカリ可溶性バインダーの凝集を抑制する観点から、密着改良剤の含有量は、固形分中、１０重量％以下が好ましい。
【００６３】
界面活性剤としては、例えば、ラウリル硫酸アンモニウム、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸トリエタノールアミン等の陰イオン界面活性剤；ステアリルアミンアセテート、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド等の陽イオン界面活性剤；ラウリルジメチルアミンオキサイド、ラウリルカルボキシメチルヒドロキシエチルイミダゾリウムベタイン等の両性界面活性剤；ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ソルビタンモノステアレート等の非イオン界面活性剤；フッ素系界面活性剤；シリコン系界面活性剤などが挙げられる。感光性着色樹脂組成物の塗布性を向上させる観点から、感光性着色樹脂組成物における界面活性剤の含有量は、固形分中、０．０１重量%以上が好ましい。一方、塗布膜の表面均一性を向上させる観点から、界面活性剤の含有量は、固形分中、１重量％以下が好ましい。
【００６４】
重合禁止剤としては、例えば、ヒドロキノン系重合禁止剤、カテコール系重合禁止剤などが挙げられる。ヒドロキノン系重合禁止剤としては、例えば、ヒドロキノン、ｔｅｒｔ−ブチルヒドロキノン、２，５−ビス（１，１，３，３−テトラメチルブチル）ヒドロキノン、２，５−ビス（１，１−ジメチルブチル）ヒドロキノンなどが挙げられ、カテコール系重合禁止剤としては、例えば、カテコール又はｔｅｒｔ−ブチルカテコールなどが挙げられる。感光性着色樹脂組成物の経時安定性を向上させる観点から、感光性着色樹脂組成物における重合禁止剤の含有量は、固形分中、０．０１重量％以上が好ましい。一方、極性溶剤浸漬時のシミの発生を抑制する観点から、重合禁止剤の含有量は、固形分中、５重量％以下が好ましい。
【００６５】
アルカリ可溶性バインダー以外の樹脂としては、例えば、アルカリ可溶性基を有しないアクリル系ポリマー、ポリシロキサン、エポキシ系樹脂等が挙げられる。
【００６６】
次に、本発明に用いられる感光性着色樹脂組成物の製造方法について、顔料を含む場合を例に説明する。例えば、顔料、アルカリ可溶性バインダー、溶剤および必要に応じて分散剤を、分散機により分散して顔料分散液を調製した後、光重合開始剤、ラジカル重合性多官能モノマーおよび必要に応じてその他添加剤を加え、撹拌する方法などが挙げられる。顔料分散剤において、顔料は、二次粒子（粒子径１〜５０μｍ程度）が微細化されていることが好ましい。分散機としては、例えば、サンドミル、ボールミル、ビーズミル、３本ロールミル、アトライター等が挙げられる。これらの中でも、分散効率に優れることから、ビーズミルが好ましい。ビーズミルに用いられる分散ビーズとしては、例えば、ジルコニアビーズ、アルミナビーズ、ガラスビーズなどが挙げられる。これらの中でも、ジルコニアビーズが好ましい。
【実施例】
【００６７】
各実施例および比較例における評価方法を以下に示す。
【００６８】
（１）プリベイク膜の粘度
各実施例および比較例により得られたプリベイク膜の粘度特性を再現するサンプルとして、無アルカリガラス基板（旭硝子（株）製、ＡＮ−１００：５０ｍｍ×７０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ）上に、各実施例および比較例の条件によりプリベイク膜を作製した。得られたプリベイク膜を、スパーテルを用いて９０ｍｍ３以上集め、レオメーター（ＭＣＲ−３０２；アントンパール（株）製）とφ１５ｍｍのプレートを用いて、測定厚み：０．５ｍｍ、周波数：１Ｈｚ、歪み：０．５％の条件で、２０℃から１１０℃まで０．０８３℃／ｓｅｃの昇温速度で昇温しながら、２３℃における粘度を測定した。
【００６９】
（２）１色目の画素の色特性
各実施例および比較例により得られたカラーフィルタ基板について、１色目の画素のうち、レンズとレンズとの継目の部分に該当する部分を中心として、基板面内で複数のレンズが二列に並ぶ方向に対する平行方向に２ｍｍの間隔で５０ｍｍの範囲に対して、高精細色度顕微鏡（大塚電子（株）製）を用いて色度Ｙ、明度Ｌおよび色相ａ＊、ｂ＊を測定し、下記式（１）からΔＥａｂを算出した。
ΔＥａｂ＝（（Ｌ（ＭＡＸ）−Ｌ（ＭＩＮ））２＋（ａ＊（ＭＡＸ）−ａ＊（ＭＩＮ））２＋（ｂ＊（ＭＡＸ）−ｂ＊（ＭＩＮ））２）１／２    （１）
ただし、上記式（１）において、Ｌ（ＭＡＸ）、ａ＊（ＭＡＸ）、ｂ＊（ＭＡＸ）は、それぞれ色度Ｙが最大となった測定点におけるＬ、ａ＊、ｂ＊の値を示し、Ｌ（ＭＩＮ）、ａ＊（ＭＩＮ）、ｂ＊（ＭＩＮ）は、それぞれ色度Ｙが最小となった測定点におけるＬ、ａ＊、ｂ＊の値を示す。
【００７０】
また、１色目の画素のうち、レンズとレンズとの継目の部分を除く部分から、基板面内で複数のレンズが二列に並ぶ方向に対する平行方向に２ｍｍの間隔で１３箇所の測定点について、高精細色度顕微鏡（大塚電子（株）製）を用いて色度ｘ、ｙを測定し、その数平均値を算出した。
【００７１】
各実施例および比較例に用いた材料を以下に示す。
【００７２】
（アクリル系ポリマー（ポリマーＡ）の合成）
５００ｍＬの三口フラスコに、３３ｇのメタクリル酸メチル（０．３ｍｏｌ）、３３ｇのスチレン（０．３ｍｏｌ）、３４ｇのメタクリル酸（０．４ｍｏｌ）、３ｇの２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）（０．０２ｍｏｌ）及び１５０ｇのＰＧＭＥＡを仕込み、９０℃で２時間撹拌してから内温を１００℃に昇温して、さらに１時間撹拌して反応させた。得られた反応溶液に、３３ｇのメタクリル酸グリシジル（０．２ｍｏｌ）、１．２ｇのジメチルベンジルアミン（０．００９ｍｏｌ）及び０．２ｇのｐ−メトキシフェノール（０．００２ｍｏｌ）を添加して、９０℃で４時間撹拌し、反応終了時に５０ｇのＰＧＭＥＡを添加して、ポリマーＡのＰＧＭＥＡ溶液（固形分濃度４０重量％）を得た。ポリマーＡの酸価は８０．０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、Ｍｗは２２，０００であった。
【００７３】
（ＰＧ５８分散液の調製）
顔料としてＰＧ５８を１４重量部、高分子分散剤として“Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ”（登録商標）２００１を１．９重量部、アルカリ可溶性バインダーとしてポリマーＡを９．３重量部、溶剤としてＰＧＭＥＡ７４．８重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、ＰＧ５８分散液を得た。
【００７４】
（ＰＧ５９分散液の調製）
顔料としてＰＧ５９を１３．７重量部、高分子分散剤として“Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ”２００１を５．６重量部、アルカリ可溶性バインダーとしてポリマーＡを３．４重量部、溶剤としてＰＧＭＥ７７．３重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、ＰＧ５９分散液を得た。
【００７５】
（ＰＹ１５０分散液の調製）
顔料としてＰＹ１５０を１２．０重量部、高分子分散剤として“Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ”２００１を６．０重量部、アルカリ可溶性バインダーとしてポリマーＡを５．４重量部、溶剤としてＰＧＭＥ７７．３重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、ＰＹ１５０分散液を得た。
【００７６】
（ＰＲ２５４分散液の調製）
顔料としてＰＲ２５４を１３重量部、高分子分散剤として“Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ”２００１を５．３重量部、アルカリ可溶性バインダーとしてポリマーＡを４．３重量部、溶剤としてＰＧＭＥＡ７７．４重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、ＰＲ２５４分散液を得た。
【００７７】
（ＰＢ１５：６／Ｖ２３混合分散液の調製）
顔料としてＰＢ１５：６を９．６重量部、ＰＶ２３を２．４重量部、高分子分散剤として“Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ”２００１を５．２重量部、アルカリ可溶性バインダーとしてポリマーＡを４．０重量部、溶剤としてＰＧＭＥ７７．３重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、ＰＢ１５：６／Ｖ２３混合分散液を得た。
【００７８】
実施例１
（感光性着色樹脂組成物の調製）
前記方法により得られたＰＧ５８分散液１９．４８重量部、ＰＧ５９分散液１１．７８重量部、ＰＹ１５０分散液７．６７重量部、ポリマーＡのＰＧＭＥＡ溶液１．９３重量部、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物と無水コハク酸との反応物（ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）２．９４重量部、“オプトマー”ＮＣＩ８３１（ＡＤＥＫＡ（株）製）０．３１重量部、“ＢＹＫ”（登録商標）３３３（シリコン系界面活性剤）（ビックケミー社製）０．４０重量部、ＰＧＭＥＡとＤＰＭＡとの１：１（重量比）混合溶剤５５．６３重量部、ｔ−ブチルカテコール（ＴＢＣ：ＤＩＣ（株）製）０．０１重量部を撹拌して、感光性着色樹脂組成物１を調製した。
【００７９】
（カラーフィルタ基板の作製）
得られた感光性着色樹脂組成物１を、無アルカリガラス（旭硝子（株）製、ＡＮ−１００：１５００ｍｍ×１８５０ｍｍ、厚さ０．５ｍｍ）基板表面上に、スリットコーターを用いて塗布した後、絶対圧３０Ｐａ、温度６０℃の真空乾燥オーブンで１８０秒間、次いで１１０℃のホットプレートにより大気圧下で１５５秒間プリベイクし、プリベイク膜を得た。プリベイク膜を形成した基板を室温に冷却した後、レンススキャン露光機ＦＸ−６５Ｓ（（株）ニコン製）を用いて、フォトマスク（ＨＯＹＡ（株）製）を介して、ｊ線：３１３ｎｍ、ｉ線：３６５ｎｍ、ｈ線：４０５ｎｍおよびｇ線：４３６ｎｍの各波長を含む紫外線で６０ｍＪ／ｃｍ２（ｉ線換算）露光した。このときの照度は６５０ｍＷ／ｃｍ２であった。
【００８０】
次に、ＴＭＡＨ０．２重量％と“エマルゲン”（登録商標）Ａ−６０（花王（株）製）０．３重量％を含む２３℃の水溶液を現像液に用いて、現像装置（芝浦メカエレクトロニクス（株）製）を用いて５０秒間パドル現像した後、純水で洗浄し、風乾した。さらに２３０℃のオーブンを用いて３０分間ポストベイクを行い、基板上に１色目の画素を形成し、カラーフィルタ基板を得た。
【００８１】
得られたプリベイク膜および１色目の色画素について、前記方法により評価した。感光性着色樹脂組成物の主な組成と、評価結果を表１に示す。
【００８２】
（実施例２〜５、比較例１〜３）
感光性着色樹脂組成物１にかえて、表１に示す組成の感光性着色樹脂組成物２〜８を用いたこと以外は実施例１と同様にしてプリベイク膜およびカラーフィルタ基板を得た。感光性着色樹脂組成物の主な組成と、評価結果を表１〜２に示す。
【００８３】
【表１】
2019174602.tif 000002
【００８４】
【表２】
2019174602.tif 000003