(57)【要約】【課題】反射防止層及び金属層を有する光学部材において、反射防止層の外周縁を容易に保護することのできる光学部材を提供する。【解決手段】光学部材１１は、光透過部１１ａを有し、第１主面１２ａと第１主面１２ａの反対側の第２主面１２ｂとを有する基板１２と、第１主面１２ａの外周縁を除く部分に設けられる反射防止層１３と、基板１２の平面視で反射防止層１３の外周縁に沿った枠形状を有する金属層１４とを備える。光学部材１１の金属層１４は、反射防止層１３の主面に接合される第１接合部１４ａと、基板１２の第１主面１２ａに接合される第２接合部１４ｂとを有し、かつ第１接合部１４ａと第２接合部１４ｂとが連続した層構造を有する。【選択図】図２
2019201173.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光透過部を有する光学部材であって、
第１主面と前記第１主面の反対側の第２主面とを有する基板と、
前記第１主面の外周縁を除く部分に設けられる反射防止層と、
前記基板の平面視で前記反射防止層の外周縁に沿った枠形状を有する金属層と、を備え、
前記金属層は、前記反射防止層の主面に接合される第１接合部と、前記基板の前記第１主面に接合される第２接合部とを有し、かつ前記第１接合部と前記第２接合部とが連続していることを特徴とする光学部材。
【請求項２】
前記金属層の外周縁は、前記基板の平面視で前記基板の外周縁よりも内側に位置することを特徴とする請求項１に記載の光学部材。
【請求項３】
前記第１主面に沿った方向における前記第２接合部の幅寸法は、前記第１接合部の幅寸法よりも大きいことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学部材。
【請求項４】
前記基板は、ガラス基板又はサファイア基板であり、平面視で円形状を有し、
前記第１主面に設けられる前記反射防止層を第１の反射防止層とした場合、前記第２主面に設けられる第２の反射防止層をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光学部材。
【請求項５】
光透過部を有する光学部材に用いられる基板の製造方法であって、
第１形状を有する複数の第１板片を積層することで、第１柱状体を形成する第１工程と、
前記第１柱状体の外周面を研削することで、第２形状を有する複数の第２板片から構成される第２柱状体を形成する第２工程と、
前記第２柱状体を構成する前記複数の第２板片を分離することで、前記第２板片からなる基板を得る第３工程と、を備えることを特徴とする基板の製造方法。
【請求項６】
前記複数の第１板片は、ガラス板片又はサファイア板片であり、前記第１工程の前記第１柱状体を構成する前記複数のガラス板片又は前記複数のサファイア板片は、オプティカルコンタクトにより接合されることを特徴とする請求項５に記載の基板の製造方法。
【請求項７】
前記複数の第１板片は、オーバーフローダウンドロー法を用いて成形されたガラス板片であることを特徴とする請求項６に記載の基板の製造方法。
【請求項８】
前記第１形状は、平面視で角部を有する形状であり、前記第２工程では、前記第１柱状体を構成する前記複数の第１板片の少なくとも角部を研削することを特徴とする請求項５から請求項７のいずれか一項に記載の基板の製造方法。
【請求項９】
前記第１形状は、平面視で四角形状であり、前記第２形状は、平面視で円形状であることを特徴とする請求項８に記載の基板の製造方法。
【請求項１０】
光透過部を有する光学部材の製造方法であって、
第１形状を有する複数の第１板片を積層することで、第１柱状体を形成する第１工程と、
前記第１柱状体の外周面を研削することで、第２形状を有する複数の第２板片から構成される第２柱状体を形成する第２工程と、
前記第２柱状体を構成する前記複数の第２板片を分離することで、第２板片からなるとともに第１主面と前記第１主面とは反対側の第２主面を有する基板を得る第３工程と、
前記基板の前記第１主面の外周縁を除く部分に反射防止層を設ける第４工程と、
前記反射防止層を設けた基板に金属層を設ける第５工程と、を備え、
前記第５工程において、前記基板の平面視で前記反射防止層の外周縁に沿った枠形状となるように前記金属層を形成し、
前記金属層を、前記反射防止層の主面に接合される第１接合部と、前記基板の前記第１主面に接合される第２接合部と、を有し、かつ前記第１接合部と前記第２接合部とが連続している構造とすることを特徴とする光学部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部材、基板の製造方法、及び光学部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、光センサ等の光学デバイスを収容する筐体の開口部を閉塞する光学部材が知られている。特許文献１及び特許文献２に開示される光学部材は、光の透過性を高める反射防止層を備えている。光学部材の反射防止層には、半田等の接合材を用いて筐体に取り付ける際の取付部となる金属層が設けられる場合がある。上記文献の光学部材の金属層は、反射防止層上に設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−０７９１４６号公報
【特許文献２】特開２０１３−２１９２３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような従来の反射防止層及び金属層を有する光学部材において、反射防止層の外周縁は露出していた。そして反射防止層の外周縁が露出していると、反射防止層の外周縁から反射防止層が剥離し易くなるおそれがあった。
【０００５】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、反射防止層及び金属層を有する光学部材において、反射防止層の外周縁を容易に保護することのできる光学部材、並びにその光学部材に好適な基板の製造方法及び光学部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決する光学部材は、光透過部を有する光学部材であって、第１主面と前記第１主面の反対側の第２主面とを有する基板と、前記第１主面の外周縁を除く部分に設けられる反射防止層と、前記基板の平面視で前記反射防止層の外周縁に沿った枠形状を有する金属層と、を備え、前記金属層は、前記反射防止層の主面に接合される第１接合部と、前記基板の前記第１主面に接合される第２接合部とを有し、かつ前記第１接合部と前記第２接合部とが連続している。
【０００７】
この構成によれば、第１接合部と第２接合部とが連続した層構造を有する金属層によって、反射防止層の外周縁を被覆することができる。すなわち、金属層とは異なる保護層を別途設けずに、金属層を利用して反射防止層の外周縁を被覆することができる。
【０００８】
上記光学部材において、前記金属層の外周縁は、前記基板の平面視で前記基板の外周縁よりも内側に位置することが好ましい。
この構成によれば、例えば、基板の外周縁が他の部材に擦れたとしても、金属層の外周縁は他の部材に擦れ難くなる。
【０００９】
上記光学部材において、前記第１主面に沿った方向における前記第２接合部の幅寸法は、前記第１接合部の幅寸法よりも大きいことが好ましい。
この構成によれば、基板と金属層との密着面積をより広く確保することができる。
【００１０】
上記光学部材において、前記基板は、ガラス基板又はサファイア基板であり、平面視で円形状を有し、前記第１主面に設けられる前記反射防止層を第１の反射防止層とした場合、前記第２主面に設けられる第２の反射防止層をさらに備えてもよい。この構成によれば、光学部材の光透過性をさらに高めることが可能となる。
【００１１】
上記課題を解決する基板の製造方法は、光透過部を有する光学部材に用いられる基板の製造方法であって、第１形状を有する複数の第１板片を積層することで、第１柱状体を形成する第１工程と、前記第１柱状体の外周面を研削することで、第２形状を有する複数の第２板片から構成される第２柱状体を形成する第２工程と、前記第２柱状体を構成する前記複数の第２板片を分離することで、前記第２板片からなる基板を得る第３工程と、を備える。
【００１２】
上記基板の製造方法において、前記複数の第１板片は、ガラス板片又はサファイア板片であり、前記第１工程の前記第１柱状体を構成する前記複数のガラス板片又は前記複数のサファイア板片は、オプティカルコンタクトにより接合されることが好ましい。この方法によれば、第１柱状体の形状を容易に維持することができる。
【００１３】
上記基板の製造方法において、前記複数の第１板片は、オーバーフローダウンドロー法を用いて成形されたガラス板片であることが好ましい。
この方法によれば、第１板片であるガラス板片の両主面における平滑性が高いため、上記のオプティカルコンタクトの接合強度を容易に高めることができる。
【００１４】
上記基板の製造方法において、前記第１形状は、平面視で角部を有する形状であり、前記第２工程では、前記第１柱状体を構成する前記複数の第１板片の少なくとも角部を研削してもよい。
【００１５】
上記のように角部を有する形状の第１板片から、その角部を研削した形状の基板を容易に得ることができる。
上記基板の製造方法において、前記第１形状は、平面視で四角形状であり、前記第２形状は、平面視で円形状であってもよい。
【００１６】
この方法によれば、例えば、板材を格子状の切断線に沿って切断することで、複数の第１板片を効率的に得ることができる。こうして得られた複数の第１板片から平面視で円形状の基板を得ることができる。
【００１７】
上記課題を解決する光学部材の製造方法は、光透過部を有する光学部材の製造方法であって、第１形状を有する複数の第１板片を積層することで、第１柱状体を形成する第１工程と、前記第１柱状体の外周面を研削することで、第２形状を有する複数の第２板片から構成される第２柱状体を形成する第２工程と、前記第２柱状体を構成する前記複数の第２板片を分離することで、第２板片からなるとともに第１主面と前記第１主面とは反対側の第２主面を有する基板を得る第３工程と、前記基板の前記第１主面の外周縁を除く部分に反射防止層を設ける第４工程と、前記反射防止層を設けた基板に金属層を設ける第５工程と、を備え、前記第５工程において、前記基板の平面視で前記反射防止層の外周縁に沿った枠形状となるように前記金属層を形成し、前記金属層を、前記反射防止層の主面に接合される第１接合部と、前記基板の前記第１主面に接合される第２接合部と、を有し、かつ前記第１接合部と前記第２接合部とが連続している構造とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の一態様である光学部材によれば、反射防止層及び金属層を有する光学部材において、反射防止層の外周縁を容易に保護することができる。本発明の別の態様である基板の製造方法及び光学部材の製造方法によれば、光学部材を好適に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態における光学部材を模式的に示す平面図である。
【図２】図１の２−２線に沿った断面図である。
【図３】光学部材の使用状態を模式的に示す断面図である。
【図４】（ａ）は、基板の製造方法を示すフロー図であり、（ｂ）は、光学部材の製造方法を示すフロー図である。
【図５】第１板片の製造を説明する説明図である。
【図６】基板の製造方法を示し、（ａ）は、第１工程の説明図であり（ｂ）は、第２工程の説明図であり、（ｃ）及び（ｄ）は、第３工程の説明図である。
【図７】光学部材の変更例を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、光学部材、基板の製造方法、及び光学部材の製造方法の実施形態について図面を参照して説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張又は簡略化して示す場合がある。また、各部分の寸法比率についても、実際と異なる場合がある。
【００２１】
図１及び図２に示すように、光学部材１１は、光透過部１１ａを有し、基板１２と、基板１２上の外周縁を除く部分（中央部）に設けられる反射防止層１３と、基板１２の厚さ方向から見た場合に反射防止層１３の外周縁に沿った枠形状を有する金属層１４とを備えている。
【００２２】
基板１２は、第１主面１２ａと、第１主面１２ａの反対側の第２主面１２ｂを有している。基板１２の具体例としては、ガラス基板、サファイア基板、樹脂基板等が挙げられる。基板１２は、ガラス基板又はサファイア基板であることが好ましい。基板１２の外形としては、例えば、平面視で円形状、多角形状（四角形状等）等が挙げられる。基板１２の厚さは、０．１ｍｍ以上、１ｍｍ以下の範囲内であることが好ましく、より好ましくは０．２ｍｍ以上、０．５ｍｍ以下の範囲内である。
【００２３】
反射防止層１３は、光透過部１１ａの一部を構成する。反射防止層１３は、周知の誘電体多層膜から構成することができる。誘電体多層膜は、高屈折率膜と、高屈折率膜よりも屈折率が低い低屈折率膜とを交互に積層した構造を有する。高屈折率膜としては、例えば、酸化ニオブ、酸化チタン、酸化タンタル、酸化ランタン、酸化タングステン、及び酸化ジルコニウムから選ばれる少なくとも一種が挙げられる。低屈折率膜としては、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、及びフッ化マグネシウムから選ばれる少なくとも一種が挙げられる。
【００２４】
誘電体多層膜において、高屈折率膜と低屈折率膜との合計積層数は、例えば、４層以上、６０層以下である。なお、高屈折率膜から低屈折率膜に向けて屈折率が漸減または漸増する漸移層を高屈折率膜と低屈折率膜との間に設けてもよい。また、誘電体多層膜から基板１２に向けて屈折率が漸減または漸増する漸移層を基板１２と誘電体多層膜との間に設けてもよい。また、誘電体多層膜の積層構造では、高屈折率膜と低屈折率膜以外にも、屈折率が高屈折率膜よりも小さく、かつ、低屈折率膜よりも大きい中屈折率膜を設けてもよい。
【００２５】
図３に示すように、光学部材１１の金属層１４は、光学部材１１を筐体に取り付ける取付部１１ｂとして構成される。光学部材１１の金属層１４は、筐体の開口部を取り囲むように連続した枠形状に形成される。光学部材１１において、平面視で金属層１４の内側の領域が光透過部１１ａとして構成される。
【００２６】
光学部材１１の金属層１４は、基板１２側から順に、下地層、中間層、及び表層の三層から構成される。下地層に用いられる金属としては、例えば、Ｃｒ、Ｔａ、Ｗ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｎｉ、Ｐｔ等が挙げられる。中間層に用いられる金属としては、例えば、Ｎｉ、Ｐｔ、Ｐｄ等が挙げられる。表層に用いられる金属としては、例えば、Ａｕ、Ｓｎ、Ａｇ、Ｎｉ、Ｐｔ等が挙げられる。金属層１４に用いられる金属は、単体であってもよいし、合金であってもよい。
【００２７】
図１及び図２に示すように、光学部材１１の金属層１４は、反射防止層１３の主面（上表面）に接合される第１接合部１４ａと、基板１２の第１主面１２ａに接合される第２接合部１４ｂとを有している。光学部材１１の金属層１４は、第１接合部１４ａと第２接合部１４ｂとが連続した構造を有している。金属層１４の外周縁ＭＥ１は、基板１２の平面視で基板１２の外周縁ＢＥ１よりも内側（基板１２の中央側）に位置する。金属層１４の外周縁ＭＥ１から基板１２の外周面が突出する突出長さＬ１は、０．０１ｍｍ以上、０．１ｍｍ以下の範囲内であることが好ましく、より好ましくは０．０３ｍｍ以上、０．０７ｍｍ以下の範囲内である。
【００２８】
基板１２の第１主面１２ａに沿った方向における第２接合部１４ｂの幅寸法Ｗ２は、例えば、第１接合部１４ａの幅寸法Ｗ１の０．３倍以上、３倍以下の範囲内であることが好ましい。光学部材１１の金属層１４において、第２接合部１４ｂの幅寸法Ｗ２は、第１接合部１４ａの幅寸法Ｗ１よりも大きいことがさらに好ましい。
【００２９】
次に、光学部材の使用方法及び用途について説明する。
図３に示すように、光学部材１１は、筐体Ｃの開口部に取り付けられることで、筐体Ｃの開口部を封止する。詳述すると、光学部材１１の金属層１４は、筐体Ｃの開口部に接合材ＢＭを用いて接合される。接合材ＢＭは、半田材（例えば、リフロー半田材）やろう材として市販されるものを用いることができる。接合材ＢＭとしては、例えば、Ａｕ−Ｓｎ合金、Ｐｂ−Ｓｎ合金、Ａｕ−Ｇｅ合金等が挙げられる。光学部材１１は、筐体Ｃ内の気密性を保つように、接合材ＢＭを用いて筐体Ｃに取り付けられる。筐体Ｃの材質としては、例えば、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素等のセラミックス、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、Ｃｕ−Ｗ合金、Ｋｏｖａｒ（登録商標）等の合金等が挙げられる。筐体Ｃの開口部には、必要に応じて金属層を設けることができる。例えば、筐体Ｃがセラミックスから構成される場合、筐体Ｃの開口部に接合材ＢＭを構成する金属元素を含む金属層を設けることで、接合材との密着性（接合強度）を高めることができる。
【００３０】
筐体Ｃ内には、図示を省略するが、レーザーモジュール、光センサ、撮像素子、光スイッチ等の光学デバイスが収容される。
上記のように光学部材１１を用いることで、電子部品パッケージを得ることができる。すなわち、電子部品パッケージは、筐体Ｃと、筐体Ｃ内に収容される光学デバイスと、筐体Ｃに取り付けられる光学部材１１とを備えている。
【００３１】
次に、基板１２の製造方法について説明する。
図４（ａ）に示すように、基板１２の製造方法では、まず第１板片を準備するステップＳ１０を行う。図５に示すように、ステップＳ１０の第１板片の準備では、母材となる板材１５を図５の破線で示す格子状の切断線に沿って切断することで、図６（ａ）に示すように平面視で四角形状（正方形状）の第１板片１６を複数形成する。
【００３２】
図６（ａ）に示すように、基板１２の製造方法では、上記複数の第１板片１６を積層する第１工程を行う（ステップＳ１１）。図６（ｂ）に示すように、ステップＳ１１の第１工程では、第１板片１６が積層されてなる第１柱状体１７（角柱状体）を形成する。
【００３３】
ステップＳ１１の第１工程において、第１板片１６がガラス板片又はサファイア板片であり、かつこれら板片の両主面がオプティカルコンタクト可能な平滑性を有する場合、複数の板片をオプティカルコンタクトにより接合して第１柱状体１７を形成することができる。また、オーバーフローダウンドロー法を用いて成形されたガラス板片は、両主面の平滑性が高いため、両主面の研磨を簡略化又は省略したとしても、第１柱状体１７を構成する複数の第１板片１６（ガラス板片）をオプティカルコンタクトにより接合することができる。
【００３４】
図６（ｂ）に示すように、基板１２の製造方法では、第１柱状体１７の外周面を研削する第２工程を行う（ステップＳ１２）。図６（ｃ）に示すように、ステップＳ１２の第２工程では、平面視で円形状を有する複数の第２板片１８から構成される第２柱状体１９を形成する。
【００３５】
図６（ｂ）に示すように、第２工程では、中心軸回りに回転させた第１柱状体１７の外周面に研削刃ＢＬを当接することで、第１柱状体１７の外周面（第１柱状体１７の角部）を研削する。第１柱状体１７は、例えば、第１柱状体１７の上下面を挟持する支持具を回転駆動させることで、中心軸回りに回転させることができる。なお、第２工程では、研削刃ＢＬを第１柱状体１７の周方向に沿って移動させて第１柱状体１７の外周面を研削することもできる。すなわち、第２工程では、第１柱状体１７と研削刃ＢＬとを相対移動させることで、第１柱状体１７を研削する。
【００３６】
図６（ｃ）及び図６（ｄ）に示すように、基板１２の製造方法では、第２柱状体１９を構成する複数の第２板片１８を分離する第３工程を行う（ステップＳ１３）。ステップＳ１３の第３工程では、第２板片１８からなる複数の基板１２が得られる。
【００３７】
次に、光学部材１１の製造方法について説明する。
図４（ｂ）に示すように、光学部材１１の製造方法では、上記の基板１２の製造方法で得られた基板１２に反射防止層１３を設ける第４工程を行う（ステップＳ１４）。ステップＳ１４の第４工程では、基板１２の第１主面１２ａに上述した誘電体多層膜を成膜する。誘電体多層膜の成膜方法としては、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンアシスト又はイオンプレーティングを用いた真空蒸着法、及びＣＶＤ法が挙げられる。これらの成膜方法の中でも、各層の厚さを高精度で制御することができるとともに、安定した膜質の誘電体多層膜が得られることから、イオンアシストを用いた真空蒸着法、又はスパッタリング法が好ましい。基板１２の第１主面１２ａにおける所定の位置に反射防止層１３を形成するには、基板１２の第１主面１２ａの所定の位置（外周縁部分）を覆うマスクを用いればよい。
【００３８】
次に、光学部材１１の製造方法では、反射防止層１３を設けた基板１２に金属層１４を設ける第５工程を行う（ステップＳ１５）。ステップＳ１５の第５工程では、上述した金属層１４の配置となるように、反射防止層１３を設けた基板１２の第１主面１２ａ側の一部に金属膜を成膜する。金属膜の成膜方法としては、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンアシスト又はイオンプレーティングを用いた真空蒸着法、及びＣＶＤ法が挙げられる。
【００３９】
反射防止層１３を設けた基板１２の所定の位置に金属層１４を形成するには、基板１２及び反射防止層１３の所定の位置を覆うマスクを用いればよい。
次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。
【００４０】
（１）光透過部１１ａを有する光学部材１１は、基板１２と、基板１２の第１主面１２ａに設けられる反射防止層１３と、基板１２の平面視で反射防止層１３の外周縁に沿った枠形状を有する金属層１４とを備えている。光学部材１１の金属層１４は、反射防止層１３の主面に接合される第１接合部１４ａと、基板１２の第１主面１２ａに接合される第２接合部１４ｂとを有している。光学部材１１の金属層１４において、第１接合部１４ａと第２接合部１４ｂとは連続している。
【００４１】
この構成によれば、第１接合部１４ａと第２接合部１４ｂとが連続した層構造を有する金属層１４によって、反射防止層１３の外周縁を被覆することができる。すなわち、金属層１４とは異なる保護層を別途設けずに、金属層１４を利用して反射防止層１３の外周縁を被覆することができる。従って、反射防止層１３及び金属層１４を有する光学部材１１において、反射防止層１３の外周縁を容易に保護することができる。これにより、反射防止層１３の剥離を抑えることができる。
【００４２】
また、光学部材１１の金属層１４は、反射防止層１３の主面（外面）、反射防止層１３の側面、及び基板１２の第１主面１２ａにわたって設けられている。このため、例えば、平面視で所定の幅の金属層１４を反射防止層１３の主面のみ、又は基板１２の第１主面１２ａのみに設ける場合よりも、金属層１４の密着面積が広くなるため、金属層１４の密着強度を高めることが可能となる。
【００４３】
（２）光学部材１１の金属層１４の外周縁ＭＥ１は、基板１２の平面視で基板１２の外周縁ＢＥ１よりも内側に位置している。この場合、例えば、基板１２の外周縁ＢＥ１が他の部材に擦れたとしても、金属層１４の外周縁ＭＥ１は他の部材に擦れ難くなる。従って、金属層１４の剥離を抑えることができる。
【００４４】
（３）光学部材１１の金属層１４において、第２接合部１４ｂの幅寸法Ｗ２が、第１接合部１４ａの幅寸法Ｗ１よりも大きい場合、基板１２と金属層１４との密着面積をより広く確保することができる。従って、基板１２に対する金属層１４の密着性を利用して金属層１４の剥離を抑えることができる。
【００４５】
（４）基板１２の製造方法は、第１形状を有する複数の第１板片１６を積層することで、第１柱状体１７を形成する第１工程と、第１柱状体１７の外周面を研削することで、第２形状を有する複数の第２板片１８から構成される第２柱状体１９を形成する第２工程とを備えている。基板１２の製造方法は、第２柱状体１９を構成する複数の第２板片１８を分離することで、第２板片１８からなる基板１２を得る第３工程をさらに備えている。
【００４６】
この方法によれば、例えば、異なる寸法や異なる外形の第１板片１６を予め準備しておくことで、異なる寸法や異なる外形の第２板片１８（基板１２）を製造することができる。
【００４７】
（５）基板１２の製造方法において、複数の第１板片１６は、ガラス板片又はサファイア板片であり、第１工程の第１柱状体１７を構成する複数のガラス板片又はサファイア板片は、オプティカルコンタクトにより接合されることが好ましい。この場合、第１柱状体１７の形状を容易に維持することができる。なお、積層状態とした複数の第１板片１６の最上層の上面および最下層の下面を各々積層方向に押圧して挟持することで第１柱状体１７の形状を維持してもよい。また、オプティカルコンタクトで接合した状態で上記押圧挟持を行ってもよい。
【００４８】
（６）基板１２の製造方法において、複数の第１板片１６は、オーバーフローダウンドロー法を用いて成形されたガラス板片であることが好ましい。この場合、第１板片１６であるガラス板片の両主面における平滑性が高いため、上記のオプティカルコンタクトの接合強度を容易に高めることができる。
【００４９】
（７）基板１２の製造方法において、複数の第１板片１６の第１形状は、平面視で角部を有する形状であり、第２工程では、第１柱状体１７を構成する複数の第１板片１６の少なくとも角部を研削している。このように角部を有する形状の第１板片１６から、その角部を研削した形状の基板１２を容易に得ることができる。
【００５０】
（８）基板１２の製造方法において、第１形状は、平面視で四角形状であり、第２形状は、平面視で円形状である。この場合、例えば、板材１５を格子状の切断線に沿って切断することで、複数の第１板片１６を効率的に得ることができる。こうして得られた複数の第１板片１６から平面視で円形状の基板１２を得ることができる。
【００５１】
（変更例）
本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
【００５２】
・図７に示すように、光学部材１１は、基板１２の第１主面１２ａに設けられる反射防止層１３を第１の反射防止層１３とした場合、基板１２の第２主面１２ｂに設けられる第２の反射防止層２０をさらに備えてもよい。この光学部材１１では、第２の反射防止層２０は、基板１２の厚さ方向において第１の反射防止層１３と向かい合う位置に配置され、基板１２、第１の反射防止層１３、及び第２の反射防止層２０から光透過部１１ａが構成されている。この場合、光学部材１１の光透過性をさらに高めることが可能となる。従って、筐体Ｃ内に収容される光学デバイスの性能をより発揮させることができる。
【００５３】
・光学部材１１において、金属層１４における第２接合部１４ｂの幅寸法Ｗ２は、第１接合部１４ａの幅寸法Ｗ１と同一であってもよいし、第１接合部１４ａの幅寸法Ｗ１よりも小さくてもよい。第２接合部１４ｂの幅寸法Ｗ２を第１接合部１４ａの幅寸法Ｗ１よりも小さくした場合、基板１２の外周縁部分を利用して成膜治具に容易に着脱することが可能となる。これにより、例えば、光学部材１１の生産性を高めることが可能となる。
【００５４】
・光学部材１１において、金属層１４の外周縁ＭＥ１は、基板１２の平面視で基板１２の外周縁ＢＥ１よりも内側に位置しているが、金属層１４の外周縁ＭＥ１の位置は、基板１２の外周縁ＢＥ１と重なる位置に変更することもできる。
【００５５】
・上記基板１２の製造方法において、第１形状を有する第１板片１６は、板材１５を打ち抜くことで形成してもよい。また、上記基板１２を柱状であり、かつ断面が第１形状の基材に変更し、その基材を径方向に沿って切断することで、第１形状を有する第１板片１６を形成してもよい。
【００５６】
・基板１２は、上記基板１２の製造方法ではなく、別の製造方法によって得ることができる。例えば、板材１５に予め反射防止層１３を設けてもよい。すなわち、反射防止層１３付き板材１５を切断することで、反射防止層１３付き第１板片１６を形成した後、この反射防止層１３付き第１板片１６の外周面を研削することで、反射防止層１３付き基板１２を得ることができる。このようにして得られた反射防止層１３付き基板１２に金属層１４を設けることで、上記光学部材１１を得ることができる。なお、反射防止層１３に加えて金属層１４を設けた板材１５を用いて上記光学部材１１を得ることもできる。但し、反射防止層１３等予め板材１５に設けた場合、反射防止層１３付き板材１５を切断する際に板材１５から反射防止層１３が剥離するおそれがあることから、上記実施形態における基板１２の製造方法が好ましい。
【００５７】
・基板１２の製造方法において、第１板片１６であるガラス板片は、オーバーフローダウンドロー法以外の方法を用いて成形された板ガラスであってもよい。オーバーフローダウンドロー法以外の方法としては、例えば、ロールアウト法、リドロー法、スロットダウンドロー法、フロート法等が挙げられる。なお、各種方法で得られたガラス板片をオプティカルコンタクトにより接合して第１柱状体１７を形成する場合、ガラス板片の両主面をオプティカルコンタクト可能な平滑面となるまで研磨すればよい。また、ガラス板片の両主面の平滑性を高めるにつれて、オプティカルコンタクトを用いたガラス板片同士の接合強度を高めることができる。
【００５８】
・基板１２の製造方法において、第１板片１６の形状は、三角形状、六角形状等の多角形状であってもよいし、円形状であってもよい。第２板片１８の形状についても、各種形状の基板（光学部材）に応じて変更することができる。
【符号の説明】
【００５９】
１１…光学部材、１１ａ…光透過部、１２…基板、１２ａ…第１主面、１２ｂ…第２主面、１３…第１の反射防止層、１４…金属層、１４ａ…第１接合部、１４ｂ…第２接合部、１６…第１板片、１７…第１柱状体、１８…第２板片、１９…第２柱状体、２０…第２の反射防止層、ＭＥ１，ＢＥ１…外周縁、Ｗ１，Ｗ２…幅寸法。
【図１】
2019201173.tif 000003
【図２】
2019201173.tif 000004
【図３】
2019201173.tif 000005
【図４】
2019201173.tif 000006
【図５】
2019201173.tif 000007
【図６】
2019201173.tif 000008
【図７】
2019201173.tif 000009