(57)【要約】【課題】アニール工程とエッチング工程とシーリング工程との各工程の間において、水晶振動子の載せ替え作業を行わずに済む水晶振動子加工用パレットを提供する。【解決手段】水晶振動子加工用パレット（パレット１）は、検査対象の水晶振動子３０の外径より小さく、検査用の電極を挿通するのに十分な大きさを有する検査孔２１Ａ及び水晶振動子３０を収容するのに十分な大きさを有する収納孔２１Ｂを有する載置部２１を備える本体部２０と、載置部２１に対応する位置に配置され、水晶振動子３０の外径より小さく、エッチング用のイオンビームを通過させるのに十分な大きさを有するエッチング孔１１を備える蓋部１０と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の水晶振動子の外径より小さく、検査用の電極を挿通するのに十分な大きさを有する検査孔及び前記水晶振動子を収容するのに十分な大きさを有する収納孔を有する載置部を備える本体部と、
前記載置部に対応する位置に配置され、前記水晶振動子の外径より小さく、エッチング用のイオンビームを通過させるのに十分な大きさを有するエッチング孔を備える蓋部と、
を備える水晶振動子加工用パレット。
【請求項２】
前記載置部は、
前記本体部にマトリックス状に複数個配置される請求項１に記載の水晶振動子加工用パレット。
【請求項３】
前記蓋部が前記本体部から離脱することを規制するロックをさらに備える請求項１又は請求項２に記載の水晶振動子加工用パレット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動子加工用パレットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水晶振動子の加工工程には、アニール工程と、エッチング工程と、シーリング工程とが含まれる。
【０００３】
アニール工程においては、マウンターによって複数の水晶振動子をアニール装置用のパレットに載せ、その後アニール装置によってアニール工程を実施する。
【０００４】
従来は、マウンターによってアニール装置用のパレットに水晶振動子をマウントし、アニール工程の後エッチング装置用のパレットに水晶振動子を上下反転させて載せ替え、その後エッチング装置にとって周波数の検査とエッチング工程とを実施していた。水晶振動子を上下反転させるのは、水晶振動子の載置方向がエッチング装置のエッチング用のビームの照射方向に依存するためである。また、シーリング工程においては、アニール装置用のパレットからさらにシーリング装置用のパレットに水晶振動子を載せ換え、その後シーリング装置によってシーリンゴ工程を実施していた。
【０００５】
従って、従来の加工工程においては、アニール工程用のパレットと、エッチング工程用のパレットと、シーリング工程用のパレットと、を用意し、水晶振動子の載せ替え作業が２回も発生していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第５６７１２４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、アニール工程とエッチング工程とシーリング工程との各工程の間において、水晶振動子の載せ替え作業を行わずに済む水晶振動子加工用パレットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、検査対象の水晶振動子の外径より小さく、検査用の電極を挿通するのに十分な大きさを有する検査孔及び前記水晶振動子を収容するのに十分な大きさを有する収納孔を有する載置部を備える本体部と、前記載置部に対応する位置に配置され、前記水晶振動子の外径より小さく、エッチング用のイオンビームを通過させるのに十分な大きさを有するエッチング孔を備える蓋部と、を備える水晶振動子加工用パレットを提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、アニール工程とエッチング工程とシーリング工程との各工程の間において、水晶振動子の載せ替え作業を行わずに済む水晶振動子加工用パレットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】水晶振動子加工用パレットの分離状態を示す斜視図。
【図２】水晶振動子加工用パレットの合体状態を示す斜視図。
【図３】蓋部の平面図。
【図４】蓋部の底面図。
【図５】本体部の斜視図。
【図６】載置部付近の本体部２０の拡大斜視図
【図７】ロックを解除した状態の図２における水晶振動子加工用パレットのＡ−Ａ断面図。
【図８】ロックした状態の図２における水晶振動子加工用パレットのＡ−Ａ断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施形態に係る水晶振動子加工用パレット（以下、パレット１という。）を、図面を参照しながら説明する。
【００１２】
図１は本実施形態のパレット１の分離状態を示す斜視図、図２はパレット１の合体状態を示す斜視図である。図１及び図２に示すように、パレット１は、本体部２０と、蓋部１０と、を備える。パレット１は、アニール装置、エッチング／周波数調整装置（以下、エッチング装置という。）、及びシーリング装置に対して共通に使用できる形状および大きさを有する。
【００１３】
本体部２０は平面視がほぼ矩形の板状をなす。本体部２０は、後述する水晶振動子３０を載置するための載置部２１を平面部分に複数個備える。載置部２１は、省スペースの点、並びに、作業効率、作業精度等の点からマトリックス状に配置されることが望ましい。
【００１４】
本体部２０はさらに、ロック孔２２を複数個所に備える。ロック孔２２は、本体部の縁の部分に設けることが、操作性の点から望ましい。
【００１５】
蓋部１０は、平面視が本体部の平面視の形状と略同じ形状をなす。蓋部１０はさらに、本体部２０と合体させた場合に、各載置部２１に対応する位置にそれぞれエッチング孔１１を備える。本体部２０に載置部２１がマトリックス状に配置された場合、蓋部１０のエッチング孔１１もマトリックス状に配置される。
【００１６】
蓋部１０は、本体部２０と合体させた場合に、各ロック孔２２に対応する位置にそれぞれロック１２を備える。
【００１７】
図３は蓋部１０の平面図、図４は蓋部１０の底面図である。図３及び図４に示すように、蓋部１０は、第１プレート１０Ａと、第１プレート１０Ａの上に配置される第２プレート１０Ｂと、を備える。
【００１８】
第１プレート１０Ａは、矩形のエッチング孔１１をマトリックス状に備える。エッチング孔１１は加工対象の水晶振動子３０の外径より小さい。
【００１９】
第２プレート１０Ｂは、エッチング孔１１に対応する位置に、エッチング孔よりも外径が大きい係合孔１１Ａを備える。
【００２０】
エッチング孔１１はエッチング用のイオンビームが通過する孔であり、係合孔１１Ａはイオンビームを放出するビームノズルが嵌まり込む孔である。
【００２１】
ロック１２は底面側に舌部１２Ｃを備える。
【００２２】
蓋部１０は、各ロック孔２２に対応する位置にロック挿通孔１２Ａを有する。
【００２３】
図５は、本体部２０の斜視図、図６は載置部２１付近の本体部２０の拡大斜視図である。
【００２４】
図５及び図６に示すように、本体部２０は、複数のプレートを有する。最下層のプレートは、載置部２１に対応する位置に、それぞれ二つの検査孔２１Ａを備える。検査孔２１Ａの外径は検査対象の水晶振動子３０の外径より小さく、検査用の電極を挿通するのに十分な大きさの外径を有する。
【００２５】
最下層のプレートに積層される複数のプレートは、検査対象の水晶振動子３０を収納するのに十分な大きさを備える収納孔２１Ｂを、載置部２１に対応する位置に備える。
【００２６】
図７はロックを解除した状態の図２におけるパレット１のＡ−Ａ断面図、図８はロックした状態の図２におけるパレット１のＡ−Ａ断面図である。
【００２７】
図７及び図８に示すように、ロック１２は蓋部１０とロック１２とを離間する方向に付勢する板バネ１２Ｄをロック１２の裏面側に有する。また、ロック１２はロック１２の裏面側にロック１２の幅よりも幅が狭く、パレット１の厚さより高さが長い柱部１２Ｂと、柱部１２Ｂの端部に配置される舌部１２Ｃと、を備える。
【００２８】
舌部１２Ｃの外径は、ロック孔２２及びロック挿通孔１２Ａの外径よりも小さい。
【００２９】
従って、図７に示すように、ロック１２が外れた状態において本体部２０に蓋部１０を合体させると、舌部１２Ｃはロック孔２２を通ってパレット１の裏面に突出する。この状態において、ロック１２を矢印の方向に移動させると、図８の状態になる。
【００３０】
図８に示すように、ロック１２を閉じた状態においては、舌部１２Ｃがパレット１の底部に被さり、蓋部１０が本体部２０から離脱することを規制する。
【００３１】
次に、パレット１の使用方法について説明する。
【００３２】
まず、蓋部１０を本体部２０から外し、本体部２０にマウンターによって載置部２１に加工対象の水晶振動子３０を一つずつ載置する。載置部２１は検査孔２１Ａが水晶振動子３０よりも外径が小さいため、水晶振動子３０を載置部２１に載置しても下方に落下しない。
【００３３】
次に、蓋部１０を本体部２０に装着せずに、アニール装置にパレット１を装着する。
【００３４】
この状態において、アニール工程、つまり加熱して焼きなましを行う工程を実施する。
【００３５】
次に、蓋部１０を本体部２０に装着し、ロック１２を閉じる。そして、パレット１の上下を反転させ、本体部２０を上に、蓋部１０を下にする。このようにしても、エッチング孔１１は外径が水晶振動子３０の外径より小さいため、水晶振動子３０は落下しない。
【００３６】
この状態のパレット１をエッチング装置に装着し、周波数検査とエッチングによる周波数の適正化を行う。
【００３７】
最後に、再度パレット１の上下を反転させ、本体部２０を下に、蓋部１０を上にする。そして、ロック１２を開け、パレット１から蓋部１０を取り除く。その後、水晶振動子３０を載せたままシーリング装置にパレット１を装着し、シーリング工程を実施する。
【００３８】
以上述べたように、本実施形態のパレット１は、検査対象の水晶振動子３０の外径より小さく、検査用の電極を挿通するのに十分な大きさを有する検査孔２１Ａ及び水晶振動子３０を収容するのに十分な大きさを有する収納孔２１Ｂを有する載置部２１を備える本体部２０と、載置部２１に対応する位置に配置され、水晶振動子３０の外径より小さく、エッチング用のイオンビームを通過させるのに十分な大きさを有するエッチング孔１１を備える蓋部１０と、を備える。そして、本実施形態のパレット１は、アニール装置、エッチング装置、及びシーリング装置に対して共通に使用できる形状および大きさを有する。
【００３９】
従って、本発明のパレット１は、マウンターによる水晶振動子３０のパレット1へのマウンティング工程をはじめとし、アニール工程からエッチング工程を経てシーリング工程に至る過程において、パレット１を裏返したり蓋部１０を着脱したりするだけでよく、水晶振動子３０の載せ替え作業を行わずに済むという効果がある。また、従来アニール工程、エッチング工程、及びシーリング工程においてそれぞれ専用のパレットを使用する必要があったが、本発明のパレット１によれば一つのパレットによってマウンティング工程とアニール工程とエッチング工程とシーリング工程とを実施することが可能となるという効果がある。
【符号の説明】
【００４０】
１  パレット
１０  蓋部
１０Ａ  第１プレート
１０Ｂ  第２プレート
１１  エッチング孔
１１Ａ  係合孔
１２  ロック
１２Ａ  ロック挿通孔
１２Ｂ  柱部
１２Ｃ  舌部
１２Ｄ  板バネ
２０  本体部
２１  載置部
２１Ａ  検査孔
２１Ｂ  収納孔
２２  ロック孔
３０  水晶振動子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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