(57)【要約】【課題】磁気検出プローブが交換可能であり、かつその交換作業を容易に行うことができる硬さ測定装置を得ること。【解決手段】測定対象の磁気ヒステリシス特性を求めるべく測定対象の磁束量を検出する磁気検出プローブ３０は、ヨーク４０と、励磁コイル８１、検出コイル８２及びボビン５０を備えている。ボビン５０は、第１端子ピン７４ａと第２端子ピン７４ｂとを有している。プローブホルダ９０には、磁気検出プローブ３０が着脱可能な状態で収容されている。プローブホルダ９０は、第１ソケット１１２ａと第２ソケット１１２ｂとを有している。第１端子ピン７４ａが第１ソケット１１２ａに差し込まれることにより、励磁コイル８１と励磁用ケーブル１１３とが電気的に接続され、第２端子ピン７４ｂが第２ソケット１１２ｂに差し込まれることにより、検出コイル８２と検出用ケーブル１１４とが電気的に接続される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象に当接させる一対の端面を有するヨークと、
励磁電流の供給を受けて前記ヨークを励磁する励磁コイルと、
励磁された前記ヨークと前記測定対象とで形成された閉磁路の磁束量を検出する検出コイルと、
前記ヨークを保持した状態で前記励磁コイル及び前記検出コイルが巻回されるボビンと、
を有する磁気検出プローブを備え、前記検出コイルによる検出値に基づいて前記測定対象の硬さを測定する硬さ測定装置であって、
前記磁気検出プローブは、
前記ボビンに設けられ、前記励磁コイルの両端部がそれぞれ接続される一対の第１端子ピンと、
前記ボビンに設けられ、前記検出コイルの両端部がそれぞれ接続される一対の第２端子ピンと、
を備えており、さらに、
前記磁気検出プローブを着脱可能な状態で収容するプローブホルダと、
前記プローブホルダに設けられ、前記励磁コイルに前記励磁電流を供給する電源経路が接続されるとともに、前記一対の第１端子ピンがそれぞれ差し込まれて電気的に接続される一対の第１被差込部と、
前記プローブホルダに設けられ、前記検出コイルの検出値を出力する検出経路が接続されるとともに、前記一対の第２端子ピンがそれぞれ差し込まれて電気的に接続される一対の第２被差込部と、
を備えていることを特徴とする硬さ測定装置。
【請求項２】
前記磁気検出プローブにおいて、
前記ボビンは前記励磁コイル及び前記検出コイルを収容する収容空間を形成する一対の鍔部を有し、
前記一対の鍔部のうちの一方に、前記一対の第１端子ピン及び前記一対の第２端子ピンが一列に並んで設けられるとともに、
前記一対の第１被差込部及び前記一対の第２被差込部も前記各端子ピンの並びに合わせて一列に並んで設けられていることを特徴とする請求項１に記載の硬さ測定装置。
【請求項３】
前記磁気検出プローブにおいて、
前記ボビンは、前記一対の端面と平行をなす組み合わせ面同士を重ね合わせて第１部品と第２部品とが組み合わされてなり、
前記一対の第１端子ピン及び前記一対の第２端子ピンは、その並び方向に沿ってピン同士の間が等間隔となるように前記第２部品に設けられ、
前記一対の第１端子ピン及び前記一対の第２端子ピンのうち一方は前記並び方向の中央側に隣り合って配置され、他方は前記一方の両外側に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の硬さ測定装置。
【請求項４】
前記プローブホルダに設けられ、前記磁気検出プローブの周囲を取り囲む枠部材と、
前記磁気検出プローブに設けられ、前記枠部材と係合する突起部と、
を備え、
前記突起部が前記枠部材に係合することにより、前記磁気検出プローブが前記プローブホルダから外れることが規制されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の硬さ測定装置。
【請求項５】
前記磁気検出プローブにおいて前記ヨークは、
前記励磁コイル及び前記検出コイルが巻回される鉄心部と、
前記鉄心部の両端部に設けられ、前記一対の端面を有するとともに前記一対の端面に対して垂直をなす方向に沿って延びる一対の腕部と、
を備えて全体としてＵ字形状をなし、
前記一対の腕部の延長上において、前記一対の端面とは反対側に、前記鉄心部の前記両端部と当接するように弾性部材が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の硬さ測定装置。
【請求項６】
前記一対の第１被差込部及び前記一対の第２被差込部を有するコネクタと、
前記一対の第１被差込部にそれぞれ接続されて前記電源経路を形成し、前記コネクタから引き出される一対の励磁用ケーブルと、
前記一対の第２被差込部にそれぞれ接続されて前記検出経路を形成し、前記コネクタから引き出される一対の検出用ケーブルと、
前記プローブホルダに設けられ、前記各ケーブルのうち前記コネクタ寄りの部分をカバーするケーブルカバーと、
を備えたことを特徴とする請求項４又は５に記載の硬さ測定装置。
【請求項７】
前記コネクタと前記ケーブルカバーとの間には隙間が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の硬さ測定装置。
【請求項８】
前記プローブホルダが取り付けられ、前記磁気検出プローブを、前記一対の端面が前記測定対象に当接して硬さ測定する当接位置と、前記一対の端面が前記当接位置から後退した後退位置とに移動させる移動手段としてエアシリンダを備え、
前記ケーブルカバーには、前記プローブホルダに対する取付け位置を変更して前記隙間の寸法を調整可能とする取付け位置調整手段が設けられていることを特徴とする請求項７に記載の硬さ測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気検出プローブを備えた硬さ測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
自動車用骨格部品等の金属製部品に関し、その硬さを評価する方法としては、例えばビッカース硬さ試験のように、評価対象となる金属製部品それ自体に傷をつけて硬さを測定する破壊検査方法が知られている。ただ、このような破壊検査方法は、検査に必要な工数が多くて手間がかかること、検査対象となった金属製部品は検査結果が良好であっても廃棄しなければならず、その分だけ製品ロスが生じることなどの問題があった。そこで、金属製部品を破壊することなくその硬さを検査する非破壊検査方法として、金属製部品の磁束量を測定して磁気ヒステリシス特性を求め、その特性から硬さの推定値を算出する方法が提案されている（例えば特許文献１、２参照）。
【０００３】
この方法を用いて硬さを測定する硬さ測定装置は、磁気検出プローブを備えている。磁気検出プローブは、一対の端面を有するＵ字状のヨークと、励磁コイルと、検出コイルとを備えている。評価対象となる金属製部品にヨークの両端面を当接させて閉磁路を形成し、励磁コイルによって励磁されたヨークの磁束量を検出コイルによって検出する。磁束量の検出値に基づいて、測定対象の磁気ヒステリシス特性が求められる。
【０００４】
従来の硬さ測定装置において、磁気検出プローブは、当該検出プローブを収容するプローブホルダと一体化された状態で設けられていた。プローブホルダには、励磁コイルに励磁電流を供給する電源につながる第１導線と、検出コイルの検出値を取り出す第２導線とがホルダ外部から導入され、それぞれの端部がプローブホルダの内部に設けられている。第１導線及び第２導線のそれぞれの端部と、励磁コイル及び検出コイルのそれぞれの両端部とは、プローブホルダの内部で、圧着スリーブを用いて接続されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−１４２２０３号公報
【特許文献２】特開２０１７−１５６０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
磁気検出プローブにおいて、ヨークは純鉄によって形成されている。純鉄は炭素や不純物の含有量が低く、鋼等に比較して柔らかい素材である。硬さ測定時には、そのヨークが有する一対の端面を測定対象に当接させるため、柔らかい素材であるという素材の特性上、繰り返しの使用によって端面には摩耗や欠けが生じやすい。ヨーク端面の摩耗や欠けが生じた場合には、検出精度の悪化を避けるため、磁気検出プローブを交換しなければならない。
【０００７】
ところが、上記のような磁気検出プローブの構成では、磁気検出プローブを交換するには、プローブホルダや導線等も合わせて交換しなければならず、無駄が生じていた。また、プローブホルダや導線等も合わせた全体を交換しなければならないとなると、交換作業も煩雑であった。
【０００８】
そこで、本発明は、磁気検出プローブが交換可能であり、かつその交換作業を容易に行うことができる硬さ測定装置を得ることを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決すべく、第１の発明の硬さ測定装置は、測定対象に当接させる一対の端面を有するヨークと、励磁電流の供給を受けて前記ヨークを励磁する励磁コイルと、励磁された前記ヨークと前記測定対象とで形成された閉磁路の磁束量を検出する検出コイルと、前記ヨークを保持した状態で前記励磁コイル及び前記検出コイルが巻回されるボビンと、を有する磁気検出プローブを備え、前記検出コイルによる検出値に基づいて前記測定対象の硬さを測定する硬さ測定装置であって、
前記磁気検出プローブは、前記ボビンに設けられ、前記励磁コイルの両端部がそれぞれ接続される一対の第１端子ピンと、前記ボビンに設けられ、前記検出コイルの両端部がそれぞれ接続される一対の第２端子ピンと、を備えており、さらに、前記磁気検出プローブを着脱可能な状態で収容するプローブホルダと、前記プローブホルダに設けられ、前記励磁コイルに前記励磁電流を供給する電源経路が接続されるとともに、前記一対の第１端子ピンがそれぞれ差し込まれて電気的に接続される一対の第１被差込部と、前記プローブホルダに設けられ、前記検出コイルの検出値を出力する検出経路が接続されるとともに、前記一対の第２端子ピンがそれぞれ差し込まれて電気的に接続される一対の第２被差込部と、を備えていることを特徴とする。
【００１０】
第２の発明の硬さ測定装置は、前記磁気検出プローブにおいて、前記ボビンは前記励磁コイル及び前記検出コイルを収容する収容空間を形成する一対の鍔部を有し、前記一対の鍔部のうちの一方に、前記一対の第１端子ピン及び前記一対の第２端子ピンが一列に並んで設けられるとともに、前記一対の第１被差込部及び前記一対の第２被差込部も前記各端子ピンの並びに合わせて一列に並んで設けられていることを特徴とする。
【００１１】
第３の発明の硬さ測定装置は、前記磁気検出プローブにおいて、前記ボビンは、前記一対の端面と平行をなす組み合わせ面同士を重ね合わせて第１部品と第２部品とが組み合わされてなり、前記一対の第１端子ピン及び前記一対の第２端子ピンは、その並び方向に沿ってピン同士の間が等間隔となるように前記第２部品に設けられ、前記一対の第１端子ピン及び前記一対の第２端子ピンのうち一方は前記並び方向の中央側に隣り合って配置され、他方は前記一方の両外側に配置されていることを特徴とする。
【００１２】
第４の発明の硬さ測定装置は、前記プローブホルダに設けられ、前記磁気検出プローブの周囲を取り囲む枠部材と、前記磁気検出プローブに設けられ、前記枠部材と係合する突起部と、を備え、前記突起部が前記枠部材に係合することにより、前記磁気検出プローブが前記プローブホルダから外れることが規制されることを特徴とする。
【００１３】
第５の発明の硬さ測定装置は、前記磁気検出プローブにおいて前記ヨークは、前記励磁コイル及び前記検出コイルが巻回される鉄心部と、前記鉄心部の両端部に設けられ、前記一対の端面を有するとともに前記一対の端面に対して垂直をなす方向に沿って延びる一対の腕部と、を備えて全体としてＵ字形状をなし、前記一対の腕部の延長上において、前記一対の端面とは反対側に、前記鉄心部の前記両端部と当接するように弾性部材が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
第６の発明の硬さ測定装置は、前記一対の第１被差込部及び前記一対の第２被差込部を有するコネクタと、前記一対の第１被差込部にそれぞれ接続されて前記電源経路を形成し、前記コネクタから引き出される一対の励磁用ケーブルと、前記一対の第２被差込部にそれぞれ接続されて前記検出経路を形成し、前記コネクタから引き出される一対の検出用ケーブルと、前記プローブホルダに設けられ、前記各ケーブルのうち前記コネクタ寄りの部分をカバーするケーブルカバーと、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
第７の発明の硬さ測定装置は、前記コネクタと前記ケーブルカバーとの間には隙間が設けられていることを特徴とする。
【００１６】
第８の発明の硬さ測定装置は、前記プローブホルダが取り付けられ、前記磁気検出プローブを、前記一対の端面が前記測定対象に当接して硬さ測定する当接位置と、前記一対の端面が前記当接位置から後退した後退位置とに移動させる移動手段としてエアシリンダを備え、前記ケーブルカバーには、前記プローブホルダに対する取付け位置を変更して前記隙間の寸法を調整可能とする取付け位置調整手段が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
第１の発明によれば、磁気検出プローブは、プローブホルダにおいて着脱可能な状態で収容されているため、各端子ピンをそれぞれ被差込部から引き抜くことにより、磁気検出プローブをプローブホルダから取り外すことができる。新しい磁気検出プローブの各端子ピンをそれぞれ被差込部に差し込むことにより、その新しい磁気検出プローブがプローブホルダに取り付けられる。このため、磁気検出プローブのみを取り外して新しいものに交換することできる。また、磁気検出プローブの各端子ピンを被差込部に抜き差しすれば交換可能なため、交換作業を容易に行うことができる。
【００１８】
第２の発明によれば、一列に並んだ各端子ピンをそれらに合わせて一列に並んだ各被差込部に差し込むようにすれば、励磁コイル及び検出コイルと電源経路及び検出経路とが電気的に接続される。この場合、端子ピンとソケットとの位置合わせが不要となり、交換作業を容易に行うことができる。
【００１９】
第３の発明によれば、磁気検出プローブの製造時において、第２部品が１８０度反転して第１部品と組み合わされたとしても、第１端子ピン及び第２端子ピンの配置は変わらない。そのため、第１部品に対して第２部品を組み合わせる向きを考慮することが不要となり、磁気検出プローブの製造を容易に行うことができる。
【００２０】
第４の発明によれば、磁気検出プローブはプローブホルダから抜け出ないように保持される。そのため、磁気検出プローブの一対の端面を測定対象に当接させて硬さ測定をする際に、磁気検出プローブが意図せず外れてしまって測定不良が生じることを抑制できる。
【００２１】
第５の発明によれば、硬さ測定時において、ヨークが有する一対の端面が測定対象の被当接面に当接した際に、その衝撃が弾性部材によって緩和される。また、一対の端面に対して測定対象の被当接面が傾斜している場合に、弾性部材の弾性力によってヨークが傾斜に追従し、傾斜する被当接面に両端面を当接させることができる。これにより、接触不良によって異常検出状態となることが抑制される。
【００２２】
第６の発明によれば、各ケーブルのコネクタ寄りの部分がカバーされるため、磁気検出プローブを用いた硬さ測定時に、これらケーブルが測定の邪魔になることを抑制できる。
【００２３】
第７の発明によれば、ヨークの端面が測定対象の被当接面に当接した際に、端子ピンが被差込部に差し込まれて磁気検出プローブと一体化されたコネクタが、反当接側へ移動するためのスペースが確保される。これにより、ヨークの端面が測定対象の被当接面と当接する際にかかる衝撃を緩和できる。
【００２４】
第８の発明によれば、コネクタとケーブルカバーとの間の隙間寸法を調整して、状況に応じた最適な隙間寸法を設定することができる。磁気検出プローブを移動させる移動手段としてエアシリンダを用いた場合、ヨークの端面が測定対象の被当接面に当接した際の磁気検出プローブ及びコネクタの反当接側への移動量には、用いられるエアシリンダの特性によって若干の誤差がある。また、測定対象の製造ラインの空気中に舞っている鉄等の粉塵が隙間から入り込むと、端子ピンと被差込部との接続部分を短絡させる等の悪影響を及ぼす原因となる。そのため、エアシリンダの特性に合わせながらできるだけ狭い隙間を設定する等、状況に応じた隙間を設定できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】硬さ測定装置を示す斜視図。
【図２】硬さ測定装置の動作を説明する動作説明図であり、（ａ）は測定部が後退位置にある状態を示し、（ｂ）は測定部が当接位置にある状態を示している。
【図３】測定部を示す分解斜視図。
【図４】図３の一部を拡大した拡大図。
【図５】コイルが省略された状態の磁気検出プローブを示す分解斜視図。
【図６】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図７】測定部を示す平面図。
【図８】被当接面の傾斜に追従してヨークが傾斜する様子を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明を具体化した一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２７】
本実施形態の硬さ測定装置は、金属製部品等の測定対象について、それを破壊することなく硬さを検査するために用いられる。例えば、自動車骨格部品などの金属製部品を製造する製造ラインに設置され、熱間プレス加工された金属製部品の一部又は全部について硬さが測定される。
【００２８】
初めに、図１及び図２を参照しながら、硬さ測定装置１０の概要と測定時の動作について説明する。
【００２９】
図１に示すように、硬さ測定装置１０は、測定部２０を備えている。測定部２０は、磁気検出プローブ３０を備えている。磁気検出プローブ３０は、ヨーク４０、励磁コイル８１、検出コイル８２を備えている。ヨーク４０は、測定対象Ｔ（図２参照）に当接させる一対の端面４３を有している。励磁コイル８１及び検出コイル８２はヨーク４０に巻回されている。
【００３０】
硬さ測定装置１０は、前記測定部２０を移動させる移動手段としてのエアシリンダ１３０を備えている。エアシリンダ１３０は、偏平な形状をなすシリンダ部１３１を有している。シリンダ部１３１は、隣り合う２本のロッド１３２（図２では１本のみ示されている。）と、給排用のポート１３３とを備えている。ポート１３３に加圧エアを給排することにより、２本のロッド１３２が同時に突出したり、没入したりするようになっている。シリンダ部１３１には、偏平な形状をなすスライドテーブル１３４がシリンダ部１３１と重なり合うようにして設けられている。
【００３１】
なお、以下では、スライドテーブル１３４にシリンダ部１３１が重なり合う側を正面側とし、左右（横）方向とはその正面側からみた場合の左右（横）方向を示し、前後方向とは正面側からみた場合の前後方向を示すものとして説明する。
【００３２】
スライドテーブル１３４はロッド１３２の出没方向に沿って移動可能に設けられており、その移動は案内レール１３５（図２参照）によって案内される。また、スライドテーブル１３４はロッド１３２の先端部と連結されている。そのため、ロッド１３２の出没により、スライドテーブル１３４はロッド１３２の出没方向に沿って移動するようになっている。スライドテーブル１３４のテーブル面１３４ａには、前記測定部２０がボルトＢを用いて固定されている。
【００３３】
図２（ａ）に示すように、硬さ測定装置１０により硬さ測定を行う場合は、まず、測定部２０が有する磁気検出プローブ３０の一対の端面４３を、測定対象Ｔの測定部位と対峙する位置に配置する。ここでは、エアシリンダ１３０のロッド１３２は没入した状態が維持されており、スライドテーブル１３４もシリンダ部１３１と重なり合った状態で保持されている。
【００３４】
次いで、図２（ｂ）に示すように、エアシリンダ１３０のロッド１３２を突出させてスライドテーブル１３４を移動させる。すると、測定部２０が測定対象Ｔに向けて移動し、ヨーク４０の一対の端面４３が測定部位の被当接面Ｓに当接する。以下では、この位置を当接位置として説明する。ヨーク４０の一対の端面４３が測定部位の被当接面Ｓに当接することにより、ヨーク４０と測定対象Ｔとで閉磁路が形成される。この状態で、励磁コイル８１に交流電源から交流電流が供給されると、ヨーク４０は励磁される。検出コイル８２により前記閉磁路の磁束量の変化を検出し、その検出値に基づいて検出コイル８２と電気的に接続された演算装置（図示略）を用いて測定対象Ｔの磁気ヒステリシス特性が求められる。
【００３５】
その後、磁束量の検出を止める場合には、交流電源の供給を止めた後、エアシリンダ１３０のロッド１３２を没入させてスライドテーブル１３４を元の位置に後退させる。そして、磁気検出プローブ３０の一対の端面４３を、測定対象Ｔの別の測定部位と対峙する位置に配置し、再度、当該端面４３を測定部位の被当接面Ｓに当接させて磁束量を検出する。このような検出を繰り返した後に、演算装置は、得られた磁気ヒステリシス特性に基づいて、測定対象Ｔの硬さを算出する。
【００３６】
なお、以下では、エアシリンダ１３０のロッド１３２が没入して測定部２０が測定対象Ｔの測定部位から後退した位置を後退位置とし、ヨーク４０の一対の端面４３が測定部位の被当接面Ｓに当接した位置を当接位置として説明する。後退位置と当接位置との間の移動方向（ロッド１３２の出没方向でもある。）について、以下では測定移動方向として説明する。また、測定移動方向のうち、後退位置から当接位置へ向かう側を当接側とし、当接位置から後退位置へ向かう側を反当接側として説明する。
【００３７】
次に、前記測定部２０の構成について、図３乃至図７を参照しながらより詳しく説明する。
【００３８】
図３に示すように、測定部２０は、磁気検出プローブ３０と、プローブホルダ９０と、プローブ保持枠１００と、ソケットハウジング１１０と、ケーブルカバー１２０とを備えている。これら各構成部材の構成は次のとおりである。
【００３９】
磁気検出プローブ３０は、ヨーク４０を備えている。図５に示すように、ヨーク４０は、純鉄により全体としてＵ字状をなすように形成されている。ヨーク４０は、鉄心部４１を有している。鉄心部４１は測定移動方向に対して直交する方向に延び、励磁コイル８１及び検出コイル８２が巻回される場合の巻き軸となる。鉄心部４１の軸方向両端部には、測定移動方向に沿って延びる一対の腕部４２が設けられている。一対の腕部４２の当接側の先端部には、それぞれ、測定移動方向に対して垂直をなす平坦な端面４３が形成されている。これら一対の端面４３同士は、同一平面を形成している。
【００４０】
図３〜図５に示すように、ヨーク４０はボビン５０と一体化されている。ボビン５０は、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）樹脂等の合成樹脂により形成され、図４に示すように、鉄心被覆部５１を備えている。鉄心被覆部５１は、ヨーク４０が有する鉄心部４１の外周を被覆するように設けられている。励磁コイル８１及び検出コイル８２は、鉄心被覆部５１に被覆された鉄心部４１に巻回される。鉄心被覆部５１の軸方向両端部には、それぞれ鍔部５２が設けられている。両鍔部５２はいずれも一辺が１０〜２０ｍｍ程度の寸法を有する略正方形状をなすように形成されている。励磁コイル８１及び検出コイル８２は、鍔部５２同士の間に形成された収容空間５３内で巻回される。
【００４１】
図５に示すように、ボビン５０は、第１部品５４と第２部品５５とが一体化されることによって形成されている。第１部品５４は測定移動方向のうちの当接側に設けられ、第２部品５５はその逆の反当接側に設けられ、ヨーク４０が有する一対の端面４３と平行をなす組み合わせ面５４ａ，５５ａ同士を合わせることによって一体化されている。
【００４２】
第１部品５４は、第１半被覆部６１と、一対の第１半鍔部６２とを備えている。第１半被覆部６１は、ボビン５０の鉄心被覆部５１を当接側と反当接側とで分割した場合の当接側となる部位である。一対の第１半鍔部６２は、ボビン５０が有する一対の鍔部５２を当接側と反当接側とで分割した場合の当接側となる部位である。各第１半鍔部６２の外側には、左右方向の中心部に、測定移動方向に沿った凹溝６３が形成されている。各凹溝６３の底面同士の間の寸法は、ヨーク４０における一対の腕部４２同士の間の寸法と略同じに設定されている。
【００４３】
第２部品５５は、第２半被覆部７１と、一対の第２半鍔部７２とを備えている。第２半被覆部７１は、ボビン５０の鉄心被覆部５１を当接側と反当接側とで分割した場合の反当接側となる部位である。一対の第２半鍔部７２は、ボビン５０が有する一対の鍔部５２を当接側と反当接側とで分割した場合の反当接側となる部位である。一対の第２半鍔部７２のうち、正面側に配置された第２半鍔部７２には、その反当接側寄りの部位にピン設置部７３が設けられている。
【００４４】
ピン設置部７３は、左右方向の全域にわたる長さを有し、他の部位よりも厚肉に形成されている。ピン設置部７３には、棒状をなす端子ピン７４がそれぞれ設けられている。４本の端子ピン７４は測定移動方向に沿って延び、かつ左右方向に沿って一列に並んで設けられている。４本の端子ピン７４のうち、左右方向の中央側に配置された２本を第１端子ピン７４ａとし、その両外側に配置された２本を第２端子ピン７４ｂとして区別する。
【００４５】
一対の第２半鍔部７２には、それぞれ、左右方向の両端部に突起部７５が設けられている。そのため、突起部７５は全部で４つ設けられている。突起部７５は、第２半鍔部７２と同じ厚みを有して、前記両端部から左右方向に沿って突出するように設けられている。
【００４６】
図５に示すように、ヨーク４０とボビン５０とは、ボビン５０の第１部品５４が有する第１半被覆部６１と、第２部品５５が有する第２半被覆部７１とでヨーク４０の鉄心部４１を包み込むようにして組み付けられている。このようにして組付けられると、第１半被覆部６１と第２半被覆部７１とで鉄心被覆部５１が形成され、ヨーク４０の鉄心部４１の外周部が被覆される。第１部品５４の第１半鍔部６２と第２部品５５の第２半鍔部７２とが組み合わされて、ボビン５０の鍔部５２が形成される。各第１半鍔部６２の外側にヨーク４０の腕部４２がそれぞれ配置され、それら腕部４２の一部が凹溝６３に嵌め込まれる。ヨーク４０が有する一対の端面４３は、ボビン５０よりも当接側に突出している。鉄心被覆部５１に被覆された鉄心部４１に励磁コイル８１及び検出コイル８２が巻回されることにより、ヨーク４０とボビン５０とが一体化された状態で保持され、磁気検出プローブ３０が形成される。
【００４７】
図３に戻り、これまで述べてきたように、励磁コイル８１はボビン５０の鉄心被覆部５１に被覆されたヨーク４０の鉄心部４１に巻回されている。励磁コイル８１の巻数としては、例えば１５０巻程度に設定されている。励磁コイル８１の両端部は、一対の第１端子ピン７４ａの基端部にそれぞれ巻き付けられ、さらにはんだ付けされることにより電気的に接続されている。ここで、励磁コイル８１を巻回するにあたっては、はじめにワイヤの一端部を１つの第１端子ピン７４ａの基端部に巻き付け、そこからワイヤをボビン５０の鍔部５２の内側を這わせた後、ヨーク４０の鉄心部４１に巻回している。鍔部５２の内側には、当該内側を這わせたワイヤを収容するためのワイヤ収容溝５２ａが形成されている。そのため、内側に這わせたワイヤが鉄心部４１に巻回されるワイヤと干渉することが抑制されて、励磁コイル８１が整列した状態で巻回されている。
【００４８】
検出コイル８２も励磁コイル８１と同じく、ボビン５０の鉄心被覆部５１に被覆されたヨーク４０の鉄心部４１に巻回されている。検出コイル８２の巻き数としては、例えば５０巻程度に設定されている。検出コイル８２の両端部は、一対の第２端子ピン７４ｂの基端部にそれぞれ巻き付けられ、さらにはんだ付けされることにより電気的に接続されている。
【００４９】
図３及び図４に示すように、プローブホルダ９０は磁気検出プローブ３０を収容した状態で保持する。プローブホルダ９０はアルミニウム合金等の金属製であり、エアシリンダ１３０のスライドテーブル１３４にボルトＢを用いて固定される。プローブホルダ９０は、プローブ収容部９１と、緩衝ゴム収容部９２とを有している。
【００５０】
プローブ収容部９１は、プローブホルダ９０の当接側端面９３に凹状をなすように設けられている。緩衝ゴム収容部９２は、前後両側にプローブ収容部９１が拡張されて設けられている。図６に示すように、緩衝ゴム収容部９２は収容底面９２ａを有しており、その収容底面９２ａに弾性部材としての緩衝ゴム９４が設けられている。緩衝ゴム９４は四角柱状をなすように形成されている。プローブ収容部９１に収容された磁気検出プローブ３０は、そのヨーク４０の両肩部、つまり一対の腕部４２の反当接側の部位にそれぞれ緩衝ゴム９４が当接している。この当接により、磁気検出プローブ３０はその反当接側がプローブ収容部９１に収容され、ヨーク４０はブローブ収容部の外に設けられた状態となっている。この状態の磁気検出プローブ３０は、プローブホルダ９０に対して非固定状態となっている。
【００５１】
磁気検出プローブ３０がプローブ収容部９１に収容された状態では、当該磁気検出プローブ３０はむき出しの状態で設けられている。そこで、磁気検出プローブ３０がプローブホルダ９０から外れないようにそれを保持すべく、プローブ保持枠１００がプローブホルダ９０に設けられている。図３及び図７に示すように、プローブ保持枠１００は枠部材に相当し、プローブホルダ９０よりも当接側に設けられてプローブホルダ９０に収容された状態の磁気検出プローブ３０を保持する。プローブ保持枠１００はアルミニウム合金等の金属製であり、プローブホルダ９０の当接側端面９３にボルトＢを用いて固定されている。プローブ保持枠１００は、プローブ挿通孔１０１を有している。
【００５２】
プローブ挿通孔１０１は、測定移動方向に沿って同一の孔断面を有し、当該孔断面は、図７に示すように略十字形状をなしている。プローブ挿通孔１０１には、プローブホルダ９０に収容された状態の磁気検出プローブ３０が挿通されている。プローブ保持枠１００がプローブホルダ９０に固定された状態では、磁気検出プローブ３０のヨーク４０及びボビン５０の当接側端部がプローブ挿通孔１０１よりも突出している。
【００５３】
磁気検出プローブ３０の周囲は、プローブ保持枠１００によって取り囲まれている。左右方向におけるプローブ挿通孔１０１の寸法は、ボビン５０の鍔部５２の寸法よりも長く、鍔部５２から左右方向の外方へ突出する突起部７５の両端間の寸法よりも短く形成されている。そのため、図７に示すように、プローブ保持枠１００がプローブホルダ９０に固定されると、プローブ挿通孔１０１の反当接側の開口縁部がボビン５０の突起部７５に係合する。これにより、磁気検出プローブ３０がプローブホルダ９０から抜けて外れることが規制され、その状態で保持される。
【００５４】
図３に示すように、ソケットハウジング１１０はコネクタに相当し、磁気検出プローブ３０よりも反当接側において、プローブホルダ９０の正面側に設けられた正面凹部９５に設けられている。ただ、ソケットハウジング１１０は、プローブホルダ９０に直接固定されておらず、また、他の部材に対しても固定されていない。ソケットハウジング１１０はポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）樹脂等の合成樹脂により形成され、ソケット収容部１１１を備えている。
【００５５】
図４に示すように、ソケット収容部１１１には、磁気検出プローブ３０が有する４本の端子ピン７４がそれぞれ差し込まれ、当該端子ピン７４と電気的に接続される４つのソケット１１２が収容されている。各ソケット１１２は、左右方向に沿ってソケット１１２同士の間が端子ピン７４同士と同じ間隔で等間隔となるように一列に並んで設けられている。４個のソケット１１２のうち、左右方向の中央側に配置された２個を第１ソケット１１２ａとし、その両外側に配置された２個を第２ソケット１１２ｂとして区別する。ソケット１１２は端子ピン７４が差し込まれる被差込部であり、第１ソケット１１２ａが第１被差込部に、第２ソケット１１２ｂが第２被差込部にそれぞれ相当する。
【００５６】
各ソケット１１２はそれぞれケーブル１１３，１１４と接続され、各ケーブル１１３，１１４は測定移動方向の反当接側へ向けてソケットハウジング１１０から引き出されている。各ケーブル１１３，１１４のうち、一対の第１ソケット１１２ａに接続されたものは、励磁コイル８１に励磁電流を供給する電源経路を形成する励磁用ケーブル１１３である。他方、一対の第２ソケット１１２ｂに接続されたものは、検出コイル８２の検出値を出力する検出経路を形成する検出用ケーブル１１４である。
【００５７】
ソケット収容部１１１は測定移動方向の当接側に向けて開口しており、その開口を介して各ソケット１１２にそれぞれ端子ピン７４が差し込まれている。前述したように端子ピン７４の基端部にはコイルの端部が巻き付けられ、さらにはんだ付けされた状態にあるため、端子ピン７４のすべてがソケット１１２に入りきらない。そのため、図６に示すように、磁気検出プローブ３０とソケットハウジング１１０との間には隙間１１５が形成されている。磁気検出プローブ３０の端子ピン７４がソケット１１２に差し込まれることにより、ソケットハウジング１１０は磁気検出プローブ３０と一体化され、かつその状態で保持されている。各端子ピン７４を各ソケット１１２から引き抜くことが可能であり、その引き抜きにより、磁気検出プローブ３０はソケットハウジング１１０から取り外される。
【００５８】
磁気検出プローブ３０の各端子ピン７４がそれぞれソケット１１２に差し込まれることにより、両者は電気的に接続されている。その結果、一対の第１端子ピン７４ａが一対の第１ソケット１１２ａに接続されて、励磁コイル８１が励磁用ケーブル１１３と電気的に接続されている。また、一対の第２端子ピン７４ｂが一対の第２ソケット１１２ｂに接続されて、検出コイル８２が検出用ケーブル１１４と電気的に接続されている。
【００５９】
図６に示すように、ケーブルカバー１２０は、ソケットハウジング１１０よりも反当接側に当該ソケットハウジング１１０との間に数ミリ程度の隙間１２１を空けて設けられ、プローブハウジングにボルトＢによって固定されている。ケーブルカバー１２０はアルミニウム合金等の金属製であり、横長の板状をなすように形成されている。ケーブルカバー１２０の板厚は、ケーブルカバー１２０の外面が、プローブホルダ９０の外面のうち最も外側に配置された外面よりも外側に突出しないように設定されている。
【００６０】
ケーブルカバー１２０の内側には、測定移動方向に沿って延びる凹状部１２２が形成されている。凹状部１２２は、測定移動方向の両端部において開口し、ソケットハウジング１１０よりも短い横幅を有している。凹状部１２２により、各ケーブルのソケットハウジング１１０寄りの部分が外側からカバーされている。また、凹状部１２２により、測定移動方向の反当接側へ各ケーブルが引き出されるように各ケーブルの延びる方向が案内されている。なお、仮に、磁気検出プローブ３０がソケットハウジング１１０から取り外された場合でも、各ケーブルはカバーされた状態が維持され、かつソケットハウジング１１０がプローブホルダ９０から外れないようになっている。
【００６１】
凹状部１２２の横隣りには、ボルト挿通孔１２３が設けられている。ボルト挿通孔１２３はケーブルカバー１２０をプローブホルダ９０に固定する際に、ボルトＢを挿通する。ボルト挿通孔１２３は、測定移動方向に沿った長孔として形成されている。そのため、ケーブルカバー１２０をプローブホルダ９０に取付ける取付け位置を、測定移動方向に沿って調整することが可能となっている。ケーブルカバー１２０の取付け位置を調整することで、ソケットハウジング１１０とケーブルカバー１２０との間の隙間１２１の寸法が調整される。なお、ボルト挿通孔１２３は位置調整手段に相当する。
【００６２】
本実施形態の硬さ測定装置１０に設けられた測定部２０は上記の構成を有しており、この測定部２０を用いた場合には次のような機能が得られる。
【００６３】
（１）プローブ保持枠１００をプローブホルダ９０から外すと、磁気検出プローブ３０は、プローブ保持枠１００による抜け止めされた状態から解放されてむき出しの状態となる。この状態の磁気検出プローブ３０は、各端子ピン７４が各ソケット１１２に差し込まれた状態でプローブホルダ９０のプローブ収容部９１に収容され、プローブホルダ９０に対して非固定状態にある。そのため、磁気検出プローブ３０はプローブホルダ９０に対して着脱可能な状態となっている。
【００６４】
この状態で、磁気検出プローブ３０を持って、それを測定移動方向の当接側へ引っ張る。すると、磁気検出プローブ３０の各端子ピン７４がソケットハウジング１１０の各ソケット１１２から引き抜かれ、磁気検出プローブ３０はソケットハウジング１１０及びプローブホルダ９０から取り外される。
【００６５】
次いで、新しい磁気検出プローブ３０の各端子ピン７４をソケットハウジング１１０の各ソケット１１２に差し込み、プローブ保持枠１００をプローブホルダ９０に固定することで、新しい磁気検出プローブ３０がソケットハウジング１１０及びプローブホルダ９０に取り付けられる。このため、本実施の形態の測定部２０では、磁気検出プローブ３０のみを取り外して新しいものに交換することができる。また、磁気検出プローブ３０の各端子ピン７４を各ソケット１１２に抜き差しすれば交換可能なため、交換作業を容易に行うことができる。
【００６６】
（２）磁気検出プローブ３０を交換する場合、新しい磁気検出プローブ３０の各端子ピン７４をそれぞれに対応するソケット１１２に差し込む必要がある。この点、各端子ピン７４は、ボビン５０が有する一対の鍔部５２のうちの一方において、左右方向に沿って一列に並んで設けられている。また、ソケットハウジング１１０の各ソケット１１２も同じく左右方向に沿って一列に並んで設けられ、かつ第１端子ピン７４ａ及び第２端子ピン７４ｂの並びに合わせて第１ソケット１１２ａ及び第２ソケット１１２ｂが設けられている。そのため、磁気検出プローブ３０の端子ピン７４をソケットハウジング１１０に差し込めば、励磁コイル８１が励磁用ケーブル１１３と電気的に接続され、検出コイル８２が検出用ケーブル１１４と電気的に接続される。この場合、端子ピン７４とソケット１１２との位置合わせが不要となり、交換作業を容易に行うことができる。
【００６７】
（３）磁気検出プローブ３０のボビン５０は、第１部品５４と第２部品５５とが組み合わされて構成され、端子ピン７４は第２部品５５に設けられている。第２部品５５において、４本の端子ピン７４は並び方向に沿ってピン同士の間が等間隔となるように設けられ、第１端子ピン７４ａは並び方向の中央側に、第２端子ピン７４ｂは第１端子ピン７４ａの両外側に配置されている。そのため、磁気検出プローブ３０の製造時において、第２部品５５が１８０度反転して第１部品５４と組み合わされたとしても、第１端子ピン７４ａ及び第２端子ピン７４ｂの配置は変わらない。そのため、第１部品５４に対して第２部品５５を組み合わせる向きを考慮することが不要となり、磁気検出プローブ３０の製造を容易に行うことができる。
【００６８】
（４）磁気検出プローブ３０のボビン５０には突起部７５が設けられ、突起部７５は、磁気検出プローブ３０の周囲を取り囲むように設けられたプローブ保持枠１００と係合している。これにより、磁気検出プローブ３０はプローブホルダ９０から抜け出ないように保持される。そのため、磁気検出プローブ３０の一対の端面４３を測定対象Ｔに当接させて硬さ測定をする際に、磁気検出プローブ３０が意図せず外れてしまって測定不良が生じることを抑制できる。
【００６９】
（５）磁気検出プローブ３０は、ヨーク４０の肩部に緩衝ゴム９４が設けられ、緩衝ゴム９４を介してプローブホルダ９０に設けられている。そのため、硬さ測定時において、一対の端面４３が測定対象Ｔの被当接面Ｓに当接した際に、その衝撃が緩衝ゴム９４によって緩和される。また、図８に示すように、一対の端面４３に対して測定対象Ｔの被当接面Ｓが傾斜している場合、当接当初は片当たりとなる。それでも、緩衝ゴム９４の弾性力により、一方の緩衝ゴム９４を押しつぶしながらヨーク４０は傾斜に追従する。そのため、一対の端面４３の片当たりが解消されて、図８に二点鎖線で示すように、傾斜する被当接面Ｓに一対の端面４３が当接した状態でヨーク４０と測定対象Ｔとで閉磁路を形成することができる。これにより、接触不良によって異常検出状態となることが抑制される。なお、図８では、説明をわかりやすくするために、被当接面Ｓの傾きが強調して図示されている。
【００７０】
（６）ソケットハウジング１１０から測定移動方向の反当接側へ向けて導出される４本のケーブルは、そのソケットハウジング１１０寄りの部分がケーブルカバー１２０によってカバーされている。これにより、各ケーブルは測定移動方向の反当接側に引き出されるように案内されており、４本のケーブルのソケットハウジング１１０寄りの部分をまとめることができ、測定部２０が当接位置と後退位置との間を移動する際にケーブルが測定の邪魔になることを抑制できる。
【００７１】
（７）ソケットハウジング１１０は、その有するソケット１１２に磁気検出プローブ３０の端子ピン７４が差し込まれ、磁気検出プローブ３０と一体化されている。そして、ソケットハウジング１１０それ自体は、プローブホルダ９０等の他の部材に対して固定されていない。そのため、硬さ測定時において、一対の端面４３が測定対象Ｔの被当接面Ｓに当接すると、磁気検出プローブ３０及びそれと一体化されたソケットハウジング１１０は測定移動方向の反当接側へ若干移動しようとする。
【００７２】
この場合において、ソケットハウジング１１０とケーブルカバー１２０との間には隙間１２１が設けられているため、ソケットハウジング１１０が測定移動方向の反当接側へ移動するためのスペースが確保されている。これにより、磁気検出プローブ３０が緩衝ゴム９４による緩衝を受けながら反当接側へ移動することが許容され、測定対象Ｔの被当接面Ｓとの当接時に一対の端面４３にかかる衝撃を緩和できる。
【００７３】
（８）硬さ測定時において、測定部２０はエアシリンダ１３０の駆動により後退位置から当接位置に移動する。このように移動手段としてエアシリンダ１３０を用いた場合、ヨーク４０の端面４３が測定対象Ｔの被当接面Ｓに当接した際の磁気検出プローブ３０及びコネクタの反当接側への移動量には、用いられるエアシリンダ１３０の特性によって若干の誤差がある。また、製造ラインの空気中に舞っている鉄等の粉塵がソケットハウジング１１０とケーブルカバー１２０との隙間１２１から入り込むと、磁気検出プローブ３０の端子ピン７４とソケット１１２との接続部分を短絡させる等の悪影響を及ぼす原因となる。そのため、隙間１２１は広げ過ぎない方が好ましい。
【００７４】
そこで、ケーブルカバー１２０には長孔となるボルト挿通孔１２３が設けられ、このボルト挿通孔１２３にボルトＢが挿通されてケーブルカバー１２０がプローブホルダ９０に固定されている。そのため、ケーブルカバー１２０をプローブホルダ９０に取付ける取付け位置を、測定移動方向に沿って調整し、ソケットハウジング１１０とケーブルカバー１２０との間の隙間１２１の寸法を調整することが可能となっている。これにより、測定部２０が取り付けられるエアシリンダ１３０の特性に合わせながらできるだけ狭い隙間１２１となるように最適な寸法を設定する等、状況に応じた隙間１２１を設定できる。
【００７５】
次に、硬さ測定装置１０及び測定部２０は、上記実施の形態で説明した構成に限定されるものではなく、例えば以下のように実施してもよい。
【００７６】
（ａ）硬さ測定装置１０において、上記実施の形態では、測定部２０を移動させる移動手段としてエアシリンダ１３０が用いられている。この構成に代えて、スライドテーブル式でのものではない一般のエアシリンダ、ロッドレスシリンダ、ラックアンドピニオン機構等の駆動機構を用いてもよい。
【００７７】
（ｂ）硬さ測定装置１０において、上記実施の形態では、測定部２０を有するエアシリンダ１３０の設置数について特に説明していないが、測定部２０を有するエアシリンダ１３０を一つだけ備えていてもよいし、複数備えていてもよい。複数の測定部２０を備えていることにより、一つの測定対象Ｔに対して同時に複数の測定部位で磁束量を検出することが可能となり、硬さ測定の測定効率を向上させることができる。
【００７８】
（ｃ）測定部２０の磁気検出プローブ３０において、上記実施の形態では、ボビン５０が有する一対の鍔部５２のうちの一方に４本の各端子ピン７４が一列に並んで設けられている。この構成に代えて、一対の鍔部５２のそれぞれに、第１端子ピン７４ａ及び第２端子ピン７４ｂのいずれか一方が設けられるようにしてもよい。
【００７９】
また、上記実施の形態では、４本の各端子ピン７４はその並び方向に沿ってピン同士の間が等間隔となるように設けられている。この構成に代えて、例えば、第１端子ピン７４ａ同士の間隔を他のピン同士の間隔と異ならせるなど、各端子ピン７４の間隔を不均等に設定してもよい。さらに、上記実施の形態では、一対の第１端子ピン７４ａ及び一対の第２端子ピン７４ｂのうち一方は並び方向の中央側に隣り合って配置され、他方はその一方の両外側に配置されている。この構成に代えて、例えば、左右方向の一方側に一対の第１端子ピン７４ａが配置され、他方側に第２端子ピン７４ｂが配置されるなど、第１端子ピン７４ａ及び第２端子ピン７４ｂの配置を異ならせるようにしてもよい。
【００８０】
（ｄ）測定部２０において、上記実施の形態では、磁気検出プローブ３０が有するボビン５０の鍔部５２にその左右方向に突出する突起部７５が設けられ、突起部７５がプローブ保持枠１００に係合することにより磁気検出プローブ３０の抜け止めが図られている。この構成に代えて、突起部７５は鍔部５２の正面側に突出するように設けられてもよい。また、磁気検出プローブ３０の突起部７５に代えて被係止部が設けられ、プローブホルダ９０には先端に鉤状部を有する係止レバーが設けられ、鉤状部を被係止部に係止させることにより、磁気検出プローブ３０をプローブホルダ９０に固定するようにしてもよい。
【００８１】
（ｅ）測定部２０において、上記実施の形態では、ヨーク４０の肩部とプローブホルダ９０との間に緩衝ゴム９４が介在された状態で磁気検出プローブ３０が設けられている。この構成に代えて、緩衝ゴム９４を省略してもよい。もっとも、硬さ測定時においてヨーク４０にかかる衝撃の緩和や測定対象Ｔの被当接面Ｓへの追従という効果が得られる緩衝ゴム９４を設置することが好ましい。
【００８２】
（ｆ）測定部２０において、上記実施の形態では、ケーブルカバー１２０が設けられている。このケーブルカバー１２０は省略してもよい。もっとも、測定部２０が当接位置と後退位置との間を移動する際に、ソケットハウジング１１０から引き出されたケーブルが測定の邪魔になったり、鉄等の粉塵が磁気検出プローブ３０の端子ピン７４とソケット１１２との接続部分に悪影響を及ぼしたりすることを抑制するには、ケーブルカバー１２０が設けられた構成を採用することが好ましい。
【００８３】
ケーブルカバー１２０が設けられた場合において、ソケットハウジング１１０に当接するようにケーブルカバー１２０が設けられ、両者に間に隙間１２１が形成されないようにしてもよい。もっとも、緩衝ゴム９４を設置したことの効果を得るためには磁気検出プローブ３０及びソケットハウジング１１０が反当接側へ移動可能とすることが好ましく、そのためには所定の隙間１２１が形成されている構成を採用することが好ましい。
【００８４】
また、ケーブルカバー１２０が設けられた場合において、上記実施の形態では、ケーブルカバー１２０に長孔のボルト挿通孔１２３が設けられ、ケーブルカバー１２０の取付け位置を変更して隙間１２１の寸法を調整する位置調整手段を有している。この構成に代えて、プローブホルダ９０に複数のボルト孔が設けられ、ボルト締めするボルト孔を変更することによってケーブルカバー１２０の取付け位置を変更するようにしてもよい。また、位置調整手段を省略してもよいが、エアシリンダ１３０の特性に合わせた隙間１２１を調整可能とした上記実施の形態の構成を採用することが好ましい。
【００８５】
（ｇ）測定部２０において、上記実施の形態では、プローブホルダ９０とは別にソケットハウジング１１０が設けられ、磁気検出プローブ３０の端子ピン７４が挿入されるソケット１１２がそのソケットハウジング１１０に設けられている。この構成に代えて、ソケット１１２をプローブホルダ９０に設置するようにしてもよい。この場合、プローブホルダ９０を樹脂により形成してもよいし、プローブホルダ９０を金属製とした場合には、ソケット１１２の周囲に絶縁対策が施される。
【符号の説明】
【００８６】
１０…堅さ測定装置、３０…磁気検出プローブ、４０…ヨーク、４１…鉄心部、４２…腕部、４３…端面、５０…ボビン、５２…鍔部、５４…第１部品、５５…第２部品、５４ａ，５５ａ…組み合わせ面、７４ａ…第１端子ピン、７４ｂ…第２端子ピン、７５…突起部、８１…励磁コイル、８２…検出コイル、９０…プローブホルダ、９４…緩衝ゴム（弾性部材）、１００…プローブ保持枠（枠部材）、１１０…ソケットハウジング（コネクタ）、１１２ａ…第１ソケット（第１被差込部）、１１２ｂ…第２ソケット（第２被差込部）、１１３…励磁用ケーブル、１１４…検出用ケーブル、１２０…ケーブルカバー、１２１…隙間、１２３…ボルト挿通孔（位置調整手段）、１３０…エアシリンダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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