(57)【要約】【課題】本体内に埃が入ることを抑制できる質量分析装置を提供する。【解決手段】質量分析装置１は、本体２と、区画壁２２と、シャッター機構７とを備えている。区画壁２２は、本体２の内部に設けられている。区画壁２２には、内部開口２２Ａが形成されている。すなわち、内部開口２２Ａは、本体２の内部に形成されている。内部開口２２Ａは、シャッター機構７により閉塞される。そのため、内部開口２２Ａの周辺に埃が溜まることを抑制できる。その結果、本体２内に埃が入ることを抑制できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ脱離イオン化法を用いてイオン化された試料に対して質量分析を行う質量分析装置であって、
質量分析時に真空状態となる真空室、及び、前記真空室内に対してサンプルプレートを出し入れするための開口が形成された本体と、
前記開口を開閉するための蓋部材を有するシャッター機構とを備え、
前記開口は前記本体の内部に形成され、当該開口に対して前記真空室側とは反対側の空間が常に大気開放されており、
前記シャッター機構は、前記蓋部材を前記開口の貫通方向に対して略垂直に変位させることにより、前記開口を閉塞することを特徴とする質量分析装置。
【請求項２】
前記蓋部材は、弾性体を有し、前記蓋部材の変位に伴って前記弾性体が弾性変形することにより、前記開口が閉塞されることを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項３】
前記シャッター機構は、前記蓋部材を前記開口の貫通方向に対して略垂直に変位させるときに生じる力を、当該蓋部材の変位方向に対して交差する方向の力に変換する変換機構を有し、
前記蓋部材は、前記変換機構により変換された力によって前記開口を閉塞することを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項４】
前記シャッター機構は、前記蓋部材の変位に伴って、前記開口の周縁部と前記蓋部材とを摺接させながら前記開口を閉塞することを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項５】
前記シャッター機構は、前記蓋部材を前記開口に対して略平行に変位させるための駆動機構を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の質量分析装置。
【請求項６】
前記シャッター機構は、前記本体の内部に設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ脱離イオン化法を用いてイオン化された試料に対して質量分析を行う質量分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、レーザ脱離イオン化法を用いて試料をイオン化させて質量分析を行う質量分析装置が利用されている。この種の質量分析装置では、真空状態とされたイオン化室（真空室）内で試料にレーザ光が照射されることにより、試料がイオン化される（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００３】
質量分析装置は、中空状の本体と、試料を載置するためのサンプルプレートとを備えている。本体内には、真空室が形成されている。サンプルプレートは、移動可能に構成されている。本体の壁の一部には、サンプルプレートを出し入れするための開口が形成されている。この開口は、開閉動作が可能な扉によって覆われている。
【０００４】
質量分析装置内に試料を設置する場合には、まず、扉が開けられて、開口が開放される。そして、開口を介してサンプルプレートが本体の外方に移動される。この状態で、サンプルプレート上に試料が載置される。そして、この状態のサンプルプレートが開口を介して本体内に移動されて、試料が本体内の所定の位置に設置される。その後、扉が閉じられて、開口が閉鎖される。そして、本体内が真空状態にされた後、試料の分析が行われる。
このように、質量分析装置では、サンプルプレートを出し入れするための開口が、扉によって開放され、また、閉鎖される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１９０３１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した従来の質量分析装置では、開口が本体の外部空間に対向している（面している）。そのため、開口（本体における開口の縁部分）に埃がたまりやすい。開口に埃がたまると、サンプルプレートを本体内に移動させる際などに、本体内に埃が入り込む可能性があり、分析に悪影響を及ぼす可能性がある。
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、本体内に埃が入ることを抑制できる質量分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係る質量分析装置は、レーザ脱離イオン化法を用いてイオン化された試料に対して質量分析を行う質量分析装置である。前記質量分析装置は、本体と、シャッター機構とを備える。前記本体には、質量分析時に真空状態となる真空室、及び、前記真空室内に対してサンプルプレートを出し入れするための開口が形成されている。前記シャッター機構は、前記開口を開閉するための蓋部材を有する。前記質量分析装置では、前記開口は前記本体の内部に形成され、当該開口に対して前記真空室側とは反対側の空間が常に大気開放されている。前記シャッター機構は、前記蓋部材を前記開口の貫通方向に対して略垂直に変位させることにより、前記開口を閉塞することを特徴とする質量分析装置。
【０００８】
このような構成によれば、質量分析装置では、サンプルプレートを出し入れするための開口が本体の内部に形成されている。そして、蓋部材が開口の貫通方向に対して略垂直に変位されることで開口が閉塞される。
そのため、開口周辺に埃が溜まることを抑制できる。
その結果、本体内に埃が入ることを抑制できる。
また、開口が本体の内部に形成されるため、本体をデザインする際の自由度を向上できる。
【０００９】
（２）また、前記蓋部材は、弾性体を有してもよい。前記質量分析装置では、前記蓋部材の変位に伴って前記弾性体が弾性変形することにより、前記開口が閉塞されてもよい。
【００１０】
このような構成によれば、シャッター機構を簡易な構成にすることができる。
【００１１】
（３）また、前記シャッター機構は、変換機構を有してもよい。前記変換機構は、前記蓋部材を前記開口の貫通方向に対して略垂直に変位させるときに生じる力を、当該蓋部材の変位方向に対して交差する方向の力に変換する。前記蓋部材は、前記変換機構により変換された力によって前記開口を閉塞してもよい。
【００１２】
このような構成によれば、シャッター機構によって開口を確実に閉塞できる。
【００１３】
（４）また、前記シャッター機構は、前記蓋部材の変位に伴って、前記開口の周縁部と前記蓋部材とを摺接させながら前記開口を閉塞してもよい。
【００１４】
このような構成によれば、シャッター機構を簡易な構成にすることができる。
【００１５】
（５）また、前記シャッター機構は、駆動機構を有してもよい。前記駆動機構は、前記蓋部材を前記開口に対して略平行に変位させるためのものであってもよい。
【００１６】
このような構成によれば、蓋部材を変位させて開口を閉塞する動作を自動により行うことができる。
【００１７】
（６）また、前記シャッター機構は、前記本体の内部に設けられてもよい。
【００１８】
このような構成によれば、シャッター機構に埃がたまることを抑制できる。
そのため、本体内に埃が入ることを抑制できる。
また、本体をデザインする際の自由度を向上できる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、質量分析装置では、サンプルプレートを出し入れするための開口が本体の内部に形成されている。そして、蓋部材が開口の貫通方向に対して略垂直に変位されることで開口が閉塞される。そのため、本体における開口の縁部分に埃が溜まることを抑制できる。その結果、本体内に埃が入ることを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る質量分析装置の構成を示した概略図である。
【図２Ａ】図１のシャッタ機構の構成を示した概略図であって、蓋部材が内部開口から離間している状態を示している。
【図２Ｂ】図１のシャッタ機構の構成を示した概略図であって、蓋部材が内部開口近傍に位置している状態を示している。
【図２Ｃ】図１のシャッタ機構の構成を示した概略図であって、蓋部材によって内部開口が閉塞される状態を示している。
【図３Ａ】本発明の第２実施形態に係る質量分析装置のシャッタ機構の構成を示した概略図であって、蓋部材が内部開口から離間している状態を示している。
【図３Ｂ】本発明の第２実施形態に係る質量分析装置のシャッタ機構の構成を示した概略図であって、蓋部材によって内部開口が閉塞される状態を示している。
【図４】本発明の第３実施形態に係る質量分析装置のシャッタ機構の構成を示した概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
１．質量分析装置の構成
図１は、本発明の一実施形態に係る質量分析装置１の構成を示した概略図である。
質量分析装置１は、試料にレーザ光を照射することにより、レーザ脱離イオン化（ＬＤＩ）を用いて試料をイオン化させて質量分析を行う質量分析装置である。レーザ脱離イオン化法（ＬＤＩ法）は、レーザ光を吸収する固定又は液体に試料を混合又は搭載し、適切なレーザ光を照射し、気相中に試料をイオン化する方法である。具体的には、質量分析装置１は、ＭＡＬＤＩ（マトリックス支援レーザ脱離イオン化法）を用いて試料をイオン化させて質量分析を行う質量分析装置である。質量分析装置１は、本体２と、イオン化部３と、質量分離部４と、検出器５と、真空ポンプ６と、シャッタ機構７とを備えている。
【００２２】
本体２は、ボックス状に形成されている。本体２は、外装として、底壁２５と、側壁２６と、上壁２７とを備えている。本体２内は、真空室２Ｂとして形成されている。本体２には、窓板２１と、区画壁２２とが設けられている。また、本体２には、外部開口２Ａが形成されている。
【００２３】
窓板２１は、本体２の側壁２６に設けられている。
外部開口２Ａは、本体２の側壁２６に形成されている。具体的には、外部開口２Ａは、本体２の側壁２６において下方側に形成されている。外部開口２Ａは、本体２の側壁２６を水平方向（図１の左右方向）に貫通している。
【００２４】
区画壁２２は、本体２の内部に設けられている。具体的には、区画壁２２は、外部開口２Ａが形成された本体２の側壁２６の部分の内方に設けられている。区画壁２２は、本体２の底壁２５及び側壁２６に連続している。区画壁２２には、内部開口２２Ａが形成されている。内部開口２２Ａは、水平方向において外部開口２Ａと重なっている。すなわち、内部開口２２Ａは、区画壁２２を水平方向に貫通している。内部開口２２Ａが開口の一例である。本体２の底壁２５及び側壁２６と、区画壁２２とにより区画される領域が開放空間２２Ｂである。開放空間２２Ｂは、内部開口２２Ａに対して真空室２Ｂの反対側に位置している。開放空間２２Ｂは、外部開口２Ａを介して常に大気開放されている。
【００２５】
イオン化部３は、目的試料をイオン化するためのものである。イオン化部３は、例えば、ＭＡＬＤＩ（マトリックス支援レーザ脱離イオン化）イオン源である。イオン化部３は、光源３１と、ミラー３２と、サンプルプレート３３とを備えている。
光源３１は、レーザ光源である。光源３１は、本体２の外方に設けれている。光源３１は、窓板２１と間隔を隔てて配置されている。
ミラー３２は、本体２内において、窓板２１と間隔を隔てて配置されている。
【００２６】
サンプルプレート３３は、分析対象の試料を載置するためのものである。サンプルプレート３３は、水平方向（イオンが移動する方向と略直交する方向）に移動可能なステージ（図示せず）上に設けられている。サンプルプレート３３は、ステージが移動することで、水平方向において変位する。
【００２７】
質量分離部４は、試料から発生するイオンを質量分離するためのものである。質量分離部４は、例えば、３次元四重極型のイオントラップである。なお、質量分離部４は、３次元四重極型イオントラップ以外のものであってもよい。
検出器５は、質量分離されたイオンを検出するためものである。
真空ポンプ６は、本体２に設けられている。真空ポンプ６が動作することにより、本体２内（真空室２Ｂ）が真空状態になる。
【００２８】
シャッタ機構７は、内部開口２２Ａを開閉するためのものである。シャッター機構７は、本体２の内部に設けられている。具体的には、シャッター機構７は、開放空間２２Ｂに配置されている。なお、シャッター機構７の詳細な構成については、後述する。
【００２９】
質量分析装置１を用いてサンプルの分析を行う場合には、まず、内部開口２２Ａ及び外部開口２Ａを介してサンプルプレート３３が本体２の外方に移動される。この状態で、サンプルプレート３３上に試料が載置される。そして、この状態のサンプルプレート３３が内部開口２２Ａ及び外部開口２Ａを介して本体２内に移動されて、試料が本体２内の所定の位置に設置される。
【００３０】
その後、シャッター機構７により、内部開口２２Ａが閉鎖される。そして、真空ポンプ６の動作により本体２内が真空状態にされた後、光源３１から、試料に向けてレーザ光が照射される。具体的には、光源３１からの光は、窓板２１を介して本体２内に入射する。そして、本体２内に入射した光は、ミラー３２で反射されてサンプルプレート３３上の試料を照射する。これにより、試料がイオン化される。
【００３１】
イオン化された試料は、質量分離部４に導入されて質量分離される。質量分離されたイオンは、検出器５に導入される。そして、検出器５からの検出信号に基づいて、マススペクトルが作成される。
【００３２】
２．シャッタ機構の構成
図２Ａは、シャッター機構７の構成を示した概略図であって、蓋部材７２が内部開口２２Ａから離間している状態を示している。
シャッター機構７は、開放空間２２Ｂに配置されている。シャッター機構７は、軸部７１と、蓋部材７２と、回転部７３と、モータ７４とを備えている。
軸部７１は、上下方向に延びる円柱状に形成されている。軸部７１の外周面には、ねじ山が形成されている。
【００３３】
蓋部材７２は、軸部７１の下端部に取り付けられている。蓋部材７２は、ゴムなどの弾性体からなり、棒状に形成されている。蓋部材７２の直径は、開放空間２２Ｂの内径よりもわずかに小さい。なお、蓋部材７２は、その一部に弾性体を含むものであってもよい。例えば、蓋部材７２は、ベース部と、当該ベース部に設けられる弾性体とを備える構成であってもよい。
【００３４】
回転部７３は、ナット状に形成されており、軸部７１に嵌められている。すなわち、回転部７３は、環状であって、その内周面にねじ溝が形成されている。回転部７３の内周面は、軸部７１の外周面に螺合している。回転部７３は、一定位置に位置した状態で、回転可能である。
モータ７４は、回転部７３に駆動力を付与するように構成されている。軸部７１、回転部７３及びモータ７４が駆動機構の一例を構成している。
【００３５】
３．シャッタ機構の動作
以下では、図２Ａ〜図２Ｃを用いて、シャッター機構７の動作について説明する。図２Ａ〜図２Ｃは、シャッター機構７の構成を示した概略図である。具体的には、図２Ａは、蓋部材７２が内部開口２２Ａから離間している状態を示している。図２Ｂは、蓋部材７２が内部開口２２Ａ近傍に位置している状態を示している。図２Ｃは、蓋部材７２によって内部開口２２Ａが閉塞される状態を示している。
【００３６】
図２Ａに示す状態では、軸部７１及び蓋部材７２が、内部開口２２Ａ（内部開口２２Ａ及び外部開口２Ａ）よりも上方に配置されている。このとき、水平方向（内部開口２２Ａの貫通方向）に見たときに、蓋部材７２は、内部開口２２Ａに重なっていない。
この状態で、内部開口２２Ａ及び外部開口２Ａを介してサンプルプレート３３が本体２の外方に移動される。
【００３７】
その後、試料が載置されたサンプルプレート３３が内部開口２２Ａ及び外部開口２Ａを介して本体２内に移動されると、モータ７４からの駆動力が回転部７３に付与されて、回転部７３が回転する。これにより、図２Ｂに示すように、軸部７１が下方に向かって移動される。また、軸部７１とともに蓋部材７２が下方（内部開口２２Ａの貫通方向に対して略垂直な方向）に向かって移動する。そして、蓋部材７２が内部開口２２Ａに近接（対向）した状態となる。
【００３８】
図２Ｂに示す状態からさらに回転部７３が回転すると、軸部７１とともに蓋部材７２が下方に向かってさらに移動し、蓋部材７２の下端部が底壁２５に接触する。そして、さらに回転部７３が回転すると、軸部７１とともに蓋部材７２が下方に向かってさらに移動し、蓋部材７２が底壁２５に押し付けられる。これにより、図２Ｃに示すように、蓋部材７２が水平方向に拡がるように弾性変形し、蓋部材７２の側面が区画壁２２に押し付けられる。これにより、蓋部材７２によって内部開口２２Ａが閉塞される。
【００３９】
この状態で、真空ポンプ６が動作することにより本体２内（真空室２Ｂ）が真空状態になる。そして、真空室２Ｂと開放空間２２Ｂとの差圧により、蓋部材７２がさらに区画壁２２に押し付けられる。これにより、内部開口２２Ａが蓋部材７２により密閉される。
このようにして内部開口２２Ａが蓋部材７２により密閉された状態で、試料の分析が行われる。
【００４０】
また、内部開口２２Ａを開放する場合には、まず、真空室２Ｂの真空状態が解除される。そして、モータ７４からの駆動力が回転部７３に付与されて、回転部７３が逆回転する。これにより、図２Ａに示すように、軸部７１及び蓋部材７２が上方に向かって移動される。また、蓋部材７２が底壁２５から離れるため、蓋部材７２の形状がもとの状態にもどる。
【００４１】
４．作用効果
（１）本実施形態によれば、質量分析装置１は、図１に示すように、本体２と、区画壁２２と、シャッター機構７とを備えている。区画壁２２は、本体２の内部に設けられている。区画壁２２には、内部開口２２Ａが形成されている。すなわち、内部開口２２Ａは、本体２の内部（奥まった位置）に形成されている。また、内部開口２２Ａは、シャッター機構７により閉塞される。
そのため、内部開口２２Ａの周辺（区画壁２２における内部開口２２Ａの縁部分）に埃が溜まることを抑制できる。
その結果、本体２内に埃が入ることを抑制できる。
また、内部開口２２Ａが本体の内部に形成されるため、本体２をデザインする際の自由度を向上できる。
【００４２】
（２）また、本実施形態によれば、シャッター機構７の蓋部材７２は、弾性体からなる。そして、図２Ｃに示すように、軸部７１とともに蓋部材７２が下方に移動し、蓋部材７２が底壁２５に押し付けられることで、蓋部材７２が水平方向に拡がるように弾性変形し、蓋部材７２の側面が区画壁２２に押し付けられる。そして、蓋部材７２によって内部開口２２Ａが閉塞される。
そのため、シャッター機構７を簡易な構成にすることができる。
【００４３】
（３）また、本実施形態によれば、図２Ａに示すように、シャッター機構７は、モータ７４を備えている。そして、モータ７４からの駆動力が回転部７３に付与されて回転部７３が回転することで、軸部７１及び蓋部材７２が上下方向に移動する。
そのため、蓋部材７２を変位させて内部開口２２Ａを閉塞する動作を自動により行うことができる。
【００４４】
（４）また、本実施形態によれば、図２Ａに示すように、シャッター機構７は、本体２の内部（開放空間２２Ｂ）に設けられている。
そのため、シャッター機構７に埃がたまることを抑制できる。
その結果、本体２内に埃が入ることを抑制できる。
また、本体２をデザインする際の自由度を向上できる。
【００４５】
５．第２実施形態
以下では、図３Ａ〜図４を用いて、本発明の他の実施形態について説明する。なお、第１実施形態と同様の構成については、上記と同様の符号を用いることにより説明を省略する。
【００４６】
（１）シャッタ機構の構成
図３Ａは、本発明の第２実施形態に係る質量分析装置１のシャッター機構７の構成を示した概略図であって、蓋部材８２が内部開口２２Ａから離間している状態を示している。
第２実施形態では、シャッター機構７において、上記した蓋部材７２に代えて、開閉機構８が設けられている。
開閉機構８は、機械的な動作により内部開口２２Ａを開閉するためのものである。開閉機構８は、レール部８１と、蓋部材８２とを備えている。
【００４７】
レール部８１は、上下方向に延びる棒状に形成されている。レール部８１は、軸部７１の下端部から下方に延びている。レール部８１には、第１長孔８１Ａ及び第２長孔８１Ｂが形成されている。第１長孔８１Ａは、レール部８１の中央部に形成されており、上下方向に延びる楕円形状に形成されている。第２長孔８１Ｂは、レール部８１の下端部に形成されており、上下方向に延びる楕円形状に形成されている。また、レール部８１の中央部には、水平方向に延びる棒状の保持部８１１が形成されている。保持部８１１の両端部には、ローラ８１２が回転可能に取り付けられている。
【００４８】
蓋部材８２は、１対の押圧板８２１と、Ｏリング８２２とを備えている。
１対の押圧板８２１のそれぞれは、上下方向に延びる平板状に形成されている。一方の押圧板８２１は、レール部８１に対して内側（真空室２Ｂ側）に位置している。他方の押圧板８２１は、レール部８１に対して外側（外部空間側）に位置している。１対の押圧板８２１のそれぞれには、凹部８２１Ａが形成されている。凹部８２１Ａは、押圧板８２１におけるレール部８１と対向する面に形成されている。凹部８２１Ａは、下方に向かうにつれてレール部８１側に向かうように傾斜している。各凹部８２１Ａ内には、ローラ８１２が位置している。
【００４９】
Ｏリング８２２は、一方の押圧板８２１（内側に位置する押圧板８２１）における内側の面に設けられている。
１対の押圧板８２１は、１対の第１連結棒８３、及び、１対の第２連結棒８４を介して、レール部８１に連結されている。
【００５０】
１対の第１連結棒８３のそれぞれの下端部は、１対の押圧板８２１のそれぞれの上端部に回転可能な状態で取り付けられている。１対の第１連結棒８３のそれぞれの上端部は、第１ヒンジ８５により連結されている。第１ヒンジ８５は、第１長孔８１Ａに挿入されている。
【００５１】
１対の第２連結棒８４のそれぞれの上端部は、１対の押圧板８２１のそれぞれの下端部に回転可能な状態で取り付けられている。１対の第２連結棒８４のそれぞれの上端部は、第２ヒンジ８６により連結されている。第２ヒンジ８６は、第２長孔８１Ｂに挿入されている。
【００５２】
レール部８１、第１連結棒８３、第２連結棒８４、第１ヒンジ８５、第２ヒンジ８６、保持部８１１及びローラ８１２が、変換機構の一例を構成している。
【００５３】
（２）シャッタ機構の動作
図３Ａに示す状態では、蓋部材８２が、内部開口２２Ａ（内部開口２２Ａ及び外部開口２Ａ）よりも上方に配置されている。また、蓋部材８２は、レール部８１の下端部に対してやや下方に位置している。このとき、水平方向（内部開口２２Ａの貫通方向）に見たときに、蓋部材８２は、内部開口２２Ａに重なっていない。
この状態で、内部開口２２Ａ及び外部開口２Ａを介してサンプルプレート３３が本体２の外方に移動される。
【００５４】
その後、第１実施形態の場合と同様に、モータ７４からの駆動力が回転部７３に付与されて、回転部７３が回転する。これにより、軸部７１が下方に向かって移動される。また、軸部７１とともにレール部８１及び蓋部材８２が下方（内部開口２２Ａの貫通方向に対して略垂直な方向）に向かって移動する。そして、蓋部材８２が内部開口２２Ａに近接（対向）した状態となる。
【００５５】
そして、さらに回転部７３が回転すると、軸部７１とともに蓋部材８２が下方に向かってさらに移動し、蓋部材８２（押圧板８２１）の下端部が底壁２５に接触する。さらに回転部７３が回転すると、軸部７１とともにレール部８１が下方に向かって移動する。すると、各ローラ８１２が押圧板８２１の凹部８２１Ａを押圧しながら、下方に移動する。
【００５６】
これにより、図３Ｂに示すように、押圧板８２１がレール部８１から離れる方向に移動される（１対の押圧板８２１が水平方向に拡がるように移動する）。このとき、第１ヒンジ８５が第１長孔８１Ａ内を上方に変位し、各第１連結棒８３が拡がるように移動する。また、第２ヒンジ８６が第２長孔８１Ｂ内を上方に移動し、各第２連結棒８４が拡がるように変位する。
【００５７】
そして、一方の押圧板８２１（内側の押圧板８２１）が区画壁２２に押し付けられる。具体的には、押圧板８２１に設けられたＯリング８２２が区画壁２２に押し付けられる。その結果、一方の押圧板８２１（内側の押圧板８２１）及びＯリング８２２により内部開口２２Ａが密閉される。また、内部開口２２Ａが蓋部材８２により密閉された状態で、試料の分析が行われる。
このように、第２実施形態では、蓋部材８２を下方に移動させる力が、蓋部材８２を水平方向に拡げる力に変換される。
【００５８】
（３）第２実施形態の作用効果
第２実施形態によれば、シャッター機構７は、蓋部材８２を下方（内部開口２２Ａの貫通方向に対して略垂直）に変位させるときに生じる力を、蓋部材８２の変位方向に対して交差する方向（水平方向）の力に変換する。そして、蓋部材８２は、その力によって拡がるように移動して内部開口２２Ａを閉塞する。
そのため、シャッター機構７によって内部開口２２Ａを確実に閉塞できる。
【００５９】
６．第３実施形態
図４は、本発明の第３実施形態に係る質量分析装置１のシャッター機構７の構成を示した概略図である。
第３実施形態では、シャッター機構７において、上記した蓋部材７２に代えて、蓋部材９０が設けられている。また、区画壁２２の外側の面には、Ｏリング２２１が設けられている。Ｏリング２２１は、内部開口２２Ａの周縁部に設けられている。
蓋部材９１は、上下方向に延びる平板状に形成されている。蓋部材９１は、軸部７１の下端部から下方に向かって延びている。
【００６０】
図４の実線で示す状態では、蓋部材９１が、内部開口２２Ａ（内部開口２２Ａ及び外部開口２Ａ）よりも上方に配置されている。このとき、水平方向（内部開口２２Ａの貫通方向）に見たときに、蓋部材９１は、内部開口２２Ａに重なっていない。
この状態で、内部開口２２Ａ及び外部開口２Ａを介してサンプルプレート３３が本体２の外方に移動される。
【００６１】
その後、第１実施形態の場合と同様に、モータ７４からの駆動力が回転部７３に付与されて、回転部７３が回転する。これにより、軸部７１が下方に向かって移動される。また、軸部７１とともに蓋部材９１が下方（内部開口２２Ａの貫通方向に対して略垂直な方向）に向かって移動する。このとき、蓋部材９１がＯリング２２１に摺接しながら下方に移動する。そして、蓋部材９１が内部開口２２Ａに近接（対向）した状態となる。
これにより、蓋部材９１及びＯリング２２１により内部開口２２Ａが密閉される。そして、この状態で、試料の分析が行われる。
【００６２】
このように、第３実施形態によれば、軸部７１が下方に移動されると、蓋部材９１がＯリング２２１に摺接しながら下方に移動する。そして、蓋部材９１の下方への移動のみで、蓋部材９１及びＯリング２２１により内部開口２２Ａが密閉される。
そのため、シャッター機構７を簡易な構成にすることができる。
【００６３】
なお、Ｏリング２２１は、蓋部材９１の内側の面に設けられていてもよい。この場合、蓋部材９１とともにＯリング２２１が下方に移動する。そして、その際にＯリング２２１が区画壁２２の内側の面に摺接する。
【符号の説明】
【００６４】
１        質量分析装置
２        本体
２Ｂ      真空室
７        シャッタ機構
２２Ａ    内部開口
２２Ｂ    開放空間
２５      底壁
２６      側壁
２７      上壁
７１      軸部
７２      蓋部材
７３      回転部
７４      モータ
８１      レール部
８２      蓋部材
８３      第１連結棒
８４      第２連結棒
８５      第１ヒンジ
８６      第２ヒンジ
９１      蓋部材
２２１    Ｏリング
８１１    保持部
８１２    ローラ
８２１    押圧板
８２２    Ｏリング
【図１】
2019212599.tif 000003
【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
2019212599.tif 000009