(57)【要約】【課題】レールの端部から搬送車が落下することをより確実に防止することができる、搬送車の走行設備を提供する。【解決手段】天井搬送車１の走行設備２０は、第一レール２１の端部２１ａ、第二レール２３の端部２３ａ、及び移動レール３１の両端部３１ａ，３１ｂに設けられ、天井搬送車１の走行を規制する規制位置Ｐ１と、天井搬送車１の走行を許容する退避位置Ｐ２との間で進退する、複数のストッパ４１と、ストッパ４１のそれぞれを規制位置Ｐ１と退避位置Ｐ２との間で進退させる、複数のストッパモータ４３と、移動レール３１が第一レール２１の端部２１ａに接近する第一状態と、移動レール３１が第二レール２３の端部２３ａに接近する第二状態とを検出する第一位置検出部５１と、第一位置検出部５１の検出結果に基づいて、複数のストッパモータ４３の駆動を制御するコントローラ８０と、を備える。【選択図】図１
2019214438.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一レールの端部と、前記第一レールから鉛直方向及び水平方向の少なくとも一方向に間隔をあけて配置される第二レールの端部との間を移動する移動レールと、前記移動レールを移動させる第一駆動部とを備え、前記第一レールと前記第二レールとの間の搬送車の移動を前記移動レールによって中継する搬送車の走行設備であって、
前記第一レールの端部、前記第二レールの端部、及び前記移動レールの両端部に設けられ、前記搬送車の走行を規制する規制位置と、前記搬送車の走行を許容する退避位置との間で進退する、複数のストッパと、
前記ストッパのそれぞれを前記規制位置と前記退避位置との間で進退させる、複数の第二駆動部と、
前記移動レールが前記第一レールの端部に接近する第一状態と、前記移動レールが前記第二レールの端部に接近する第二状態と、を検出する第一検出部と、
前記第一検出部の検出結果に基づいて、複数の前記第二駆動部の駆動を制御するコントローラと、を備える、搬送車の走行設備。
【請求項２】
前記コントローラは、前記第一検出部によって前記第一状態が検出されず、かつ前記第二状態が検出されないとき、全ての前記第二駆動部への給電を遮断し、全ての前記第二駆動部を駆動不能な状態とする、請求項１記載の搬送車の走行設備。
【請求項３】
前記コントローラは、
前記第一検出部によって前記第一状態が検出されたとき、少なくとも前記第一レールに設けられた前記ストッパと、前記移動レールの前記第一レール側の端部に設けられた前記ストッパとを進退させる二つの前記第二駆動部に給電し、二つの前記第二駆動部を駆動可能な第三状態とし、
前記第一検出部によって前記第二状態が検出されたとき、少なくとも前記第二レールに設けられた前記ストッパと、前記移動レールの前記第二レール側の端部に設けられた前記ストッパとを進退させる二つの前記第二駆動部に給電し、二つの前記第二駆動部を駆動可能な第四状態とする、
請求項１又は２記載の搬送車の走行設備。
【請求項４】
前記第一駆動部の駆動状態に基づいて前記移動レールの状態を検出する第二検出部を更に備え、
前記コントローラは、
前記第二検出部によって前記移動レールが前記第一レールの端部に位置することが検出されたとき、前記第三状態となった前記第二駆動部を駆動させて、前記ストッパを前記退避位置に退避させ、
前記第二検出部によって前記移動レールが前記第一レールの端部に位置することが検出されたとき、前記第四状態となった前記第二駆動部を駆動させて、前記ストッパを前記退避位置に退避させる、
請求項３記載の搬送車の走行設備。
【請求項５】
前記ストッパのそれぞれが前記規制位置に進出しているか前記退避位置で退避しているかを検出する、複数の第三検出部を更に備え、
前記コントローラは、複数の前記第三検出部の検出結果に基づいて、前記第一駆動部の駆動を制御する、請求項１〜４の何れか一項記載の搬送車の走行設備。
【請求項６】
前記コントローラは、複数の前記第三検出部によって、少なくとも一つの前記ストッパが前記規制位置に進出していないことが検出されたとき、前記第一駆動部への給電を遮断する、請求項５記載の搬送車の走行設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物を搬送する搬送車が走行する走行設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
天井等に設置されたレール等を搬送車が走行し、半導体ウエハ又はガラス基板等の被格納物が格納されたレチクルポッド又はＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）等の容器を搬送する搬送車が知られている。例えば、特許文献１には、高さ方向に搬送車を移動させることが可能なレール（以下、「移動レール」と称する。）を設け、互いに高さが異なる位置に敷設された第一レールと第二レールとの間の搬送車の移動を中継する、搬送車の走行設備（物品搬送設備）が開示されている。
【０００３】
特許文献１の走行設備では、移動レールの両端と、移動レールへ乗り継ぐための第一レール及び第二レールの端部とにおいて、搬送車が落下することを防止するストッパが設けられている。ストッパは、搬送車の走行を規制する規制位置に進出するように付勢されており、移動レールが第一レール又は第二レールに乗り継ぐ位置に移動すると操作レバーによって押圧され、搬送車の走行を規制しない退避位置に退避する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−３５９３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来の走行設備では、機械的な機構によってストッパを進退させているので、意図しない要因により、ストッパが規制位置に進出したり、退避位置に退避したりするおそれがある。例えば、搬送車が移動レールに位置しているときに、ストッパが退避位置に退避すると、移動レールから搬送車が落下するおそれがある。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、レールの端部から搬送車が落下することをより確実に防止できる、搬送車の走行設備を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の搬送車の走行設備は、第一レールの端部と、第一レールから鉛直方向及び水平方向の少なくとも一方向に間隔をあけて配置される第二レールの端部との間を移動する移動レールと、移動レールを移動させる第一駆動部とを備え、第一レールと第二レールとの間の搬送車の移動を移動レールによって中継する搬送車の走行設備であって、第一レールの端部、第二レールの端部、及び移動レールの両端部に設けられ、搬送車の走行を規制する規制位置と、搬送車の走行を許容する退避位置との間で進退する、複数のストッパと、ストッパのそれぞれを規制位置と退避位置との間で進退させる、複数の第二駆動部と、移動レールが第一レールの端部に接近する第一状態と、移動レールが第二レールの端部に接近する第二状態と、を検出する第一検出部と、第一検出部の検出結果に基づいて、複数の第二駆動部の駆動を制御するコントローラと、を備える。
【０００８】
この構成の搬送車の走行設備では、ストッパは、第二駆動部によって規制位置と退避位置との間で進退させられ、その進退は移動レールの位置に基づいて制御されるので、意図的にストッパを規制位置に進出させたり、退避位置に退避させたりすることができる。これにより、機械的な機構によってストッパが進退されることと比べて、搬送車がレールから落下するおそれがある状況のときに、より確実にストッパを規制位置に進出させることができる。この結果、レールの端部から搬送車が落下することをより確実に防止できる。
【０００９】
本発明の搬送車の走行設備では、コントローラは、第一検出部によって第一状態が検出されず、かつ第二状態が検出されないとき、全ての第二駆動部への給電を遮断し、全ての第二駆動部を駆動不能な状態としてもよい。この構成では、移動レールが第一レール又は第二レールに接続されていないときは、ストッパを進退させることができない。したがって、誤動作等の意図しない動作により、ストッパが退避位置に退避することを防止できる。
【００１０】
本発明の搬送車の走行設備では、コントローラは、第一検出部によって第一状態が検出されたとき、少なくとも第一レールに設けられたストッパと、移動レールの第一レール側の端部に設けられたストッパとを進退させる二つの第二駆動部に給電し、二つの第二駆動部を駆動可能な第三状態とし、第一検出部によって第二状態が検出されたとき、少なくとも第二レールに設けられたストッパと、移動レールの第二レール側の端部に設けられたストッパとを進退させる二つの第二駆動部に給電し、二つの第二駆動部を駆動可能な第四状態としてもよい。この構成では、移動レールが第一レールの端部又は第二レールの端部に位置するときのみ、ストッパを進退させることができる状態となる。したがって、意図しない動作により、ストッパが退避位置に退避することを最小限に留めることができる。
【００１１】
本発明の搬送車の走行設備では、第一駆動部の駆動状態に基づいて移動レールの状態を検出する第二検出部を更に備え、コントローラは、第二検出部によって移動レールが第一レールの端部に位置することが検出されたとき、第三状態となった第二駆動部を駆動させて、ストッパを退避位置に退避させ、第二検出部によって移動レールが第一レールの端部に位置することが検出されたとき、第四状態となった第二駆動部を駆動させて、ストッパを退避位置に退避させてもよい。この構成では、第二駆動部を駆動可能な状態にするステップと、実際に第二駆動部を駆動させるステップとの二つのステップを踏んで、初めてストッパを退避位置に位置させることができる。これにより、ストッパが意図しない動作をすることを、より確実に防止することができる。
【００１２】
本発明の搬送車の走行設備は、ストッパのそれぞれが規制位置に進出しているか退避位置で退避しているかを検出する、複数の第三検出部を更に備え、コントローラは、複数の第三検出部の検出結果に基づいて、第一駆動部の駆動を制御してもよい。この構成では、例えば、搬送車が進入した状態の移動レールを、全てのストッパが規制位置に位置しないかぎり動き出さないようにすることができる。したがって、移動中の移動レールから搬送車が落下することを未然に防止できる。
【００１３】
本発明の搬送車の走行設備では、コントローラは、複数の第三検出部によって、少なくとも一つのストッパが規制位置に進出していないことが検出されたとき、第一駆動部への給電を停止してもよい。この構成では、搬送車が進入した状態の移動レールは、全てのストッパが規制位置に位置しないかぎり動き出さない。したがって、移動中の移動レールから搬送車が落下することを未然に防止できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、レールの端部から搬送車が落下することをより確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】一実施形態に係る天井搬送車の走行設備を示す正面図である。
【図２】（ａ）移動レールが第一レールの端部に位置する状態を示す正面図であり、（ｂ）は、移動レールが第二レールの端部に位置する状態を示す正面図である。
【図３】（ａ）は、図１のIII-IIIから見た図であり、ストッパが退避位置に位置する状態を示す断面図である。（ｂ）は、図１のIII-IIIから見た図であり、ストッパが規制位置に位置する状態を示す断面図である。
【図４】図１の走行設備の機能構成を示す機能ブロック図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、天井搬送車が第一レールから第二レールに移動するときの走行設備の状態遷移を示す図である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は、天井搬送車が第一レールから第二レールに移動するときの走行設備の状態遷移を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１７】
図１に示される、一実施形態の走行設備２０は、クリーンルームの天井など、床面より高い位置に設けられている。走行設備２０は、第一レール２１の端部２１ａと、第一レール２１から鉛直方向及び水平方向の少なくとも一方向に間隔をあけて配置される第二レール２３の端部２３ａとの間を移動する移動レール３１を備える。走行設備２０は、第一レール２１と第二レール２３との間の天井搬送車（搬送車）１の移動を移動レール３１によって中継する。天井搬送車１は、例えば、保管設備と所定のロードポートとの間でＦＯＵＰ（Front-Opening  Unified  Pod）９０を搬送する。ＦＯＵＰ９０には、例えば、複数枚の半導体ウエハ又はレチクル等（被搬送物）が格納される。説明の便宜のため、図１〜図３には、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向を設定した。Ｘ方向は、水平方向に沿った天井搬送車１の搬送方向であり、Ｙ方向は天井搬送車１の幅方向であり、Ｚ方向は鉛直方向である。
【００１８】
このような走行設備２０を走行する天井搬送車１について説明する。図１に示されるように、天井搬送車１は、走行駆動部３と、水平駆動部４と、回転駆動部５と、昇降駆動部７と、昇降装置８と、保持装置９と、を有している。
【００１９】
走行駆動部３は、天井搬送車１を走行レール２に沿って移動させる。走行駆動部３は、走行レール２によって形成される空間Ａに配置されている。走行駆動部３は、走行レール２を走行するローラ（図示しない）を駆動させる。走行駆動部３の下部には、軸３ａを介して水平駆動部４が接続されている。水平駆動部４は、回転駆動部５、昇降駆動部７及び昇降装置８を水平面内で走行レール２の延在方向（Ｘ方向）に直交する方向（Ｙ方向）に移動させる。回転駆動部５は、水平面内で昇降駆動部７及び昇降装置８を回転させる。昇降駆動部７は、四本のベルトの巻き上げ及び繰り出しにより昇降装置８を昇降させる。昇降装置８は、昇降駆動部７によって昇降可能に設けられており、天井搬送車１における昇降台として機能している。保持装置９は、ＦＯＵＰ９０を保持する。
【００２０】
次に、天井搬送車１の走行設備２０について説明する。走行設備２０は、移動レール３１と、昇降モータ（第一駆動部）３５と、ストッパユニット４０と、第一位置検出部（第一検出部）５１と、第二位置検出部（第二検出部）８０Ａと、コントローラ８０と、を備えている。
【００２１】
ここで、第一レール２１は、天井搬送車１が走行する走行レール２の一つであり、天井から吊り下げられた状態で支持されている。第二レール２３も、第一レール２１と同様に、天井搬送車１が走行するレールの一つであり、天井から吊り下げられた状態で支持されている。第二レール２３は、第一レール２１から鉛直方向及び水平方向に間隔をあけて配置されている。第二レール２３は、第一レール２１よりも鉛直方向（Ｚ方向）に高い位置に配置されている。
【００２２】
移動レール３１は、天井搬送車１が走行する走行レール２の一つであり、第一レール２１の端部２１ａと第二レール２３の端部２３ａとの間を移動可能に設けられている。具体的には、移動レール３１は、図２（ａ）に示されるように、移動レール３１が第一レール２１に接続される位置（すなわち、第一レール２１と移動レール３１との間を天井搬送車１が往来できる位置）と、図２（ｂ）に示されるように、移動レール３１が第二レール２３に接続される位置（すなわち、第二レール２３と移動レール３１との間を天井搬送車１が往来できる位置）との間を移動可能に設けられている。移動レール３１は、昇降部３３に固定されている。昇降部３３は、リニアガイド３７を介して鉛直方向に延在する本体部３４に取り付けられており、本体部３４に対して鉛直方向に移動可能に設けられている。
【００２３】
図１に戻り、昇降モータ３５は、昇降部３３を鉛直方向に沿って移動させる。すなわち、昇降モータ３５は、移動レール３１を鉛直方向に沿って移動させる。昇降モータ３５の例は、サーボモータである。昇降モータ３５の駆動力は、タイミングベルト３９を介して、昇降部３３に伝達される。昇降モータ３５には、エンコーダ３５Ａが設けられている。エンコーダ３５Ａは、例えば、サーボモータの回転量、回転速度及び回転方向等の状態を検出することができる。昇降モータ３５は、コントローラ８０によってその駆動が制御される。
【００２４】
ストッパユニット４０は、第一レール２１の端部２１ａ、第二レールの端部２３ａ、及び移動レール３１の両端部３１ａ，３１ｂに設けられている。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示されるように、ストッパユニット４０は、ストッパ４１と、ストッパモータ（第二駆動部）４３と、ストッパ検出部（第三検出部）４５と、収容部４７と、を有している。
【００２５】
ストッパ４１は、天井搬送車１の走行を規制する規制位置Ｐ１（図３（ｂ）参照）と、天井搬送車１の走行を許容する退避位置Ｐ２（図３（ａ）参照）との間で進退可能に設けられている。なお、ここでは、第一レール２１の端部２１ａに設けられているストッパユニット４０についてのみ説明するが、第二レール２３の端部２３ａ及び移動レール３１の両端部３１ａ，３１ｂに設けられているストッパユニット４０も同様の構成を有している。
【００２６】
ストッパ４１は、第一レール２１（走行レール２）の側方に設けられている。第一レール２１は、天井搬送車１の走行駆動部３が走行する空間２Ａを形成する。走行駆動部３は、当該空間２Ａを移動する。ストッパ４１は、当該空間２Ａの一部を延在方向に沿って遮断することによって、天井搬送車１の走行を規制する。
【００２７】
ストッパモータ４３は、ストッパ４１を規制位置Ｐ１と退避位置Ｐ２との間で進退させる。ストッパ４１は、規制位置Ｐ１において、当該空間２Ａの一部を延在方向に沿って遮断する。ストッパ４１は、ストッパモータ４３の回転軸４３Ａに固定されており、ストッパモータ４３の双方向への回転によって、規制位置Ｐ１と退避位置Ｐ２との間を回転移動する。ストッパ４１及びストッパモータ４３は、収容部４７に収容されている。
【００２８】
ストッパ検出部４５は、ストッパユニット４０のそれぞれに設けられている。ストッパ検出部４５は、ストッパ４１が規制位置Ｐ１に進出しているか、又は退避位置Ｐ２退避しているかを検出する。本実施形態のストッパ検出部４５は、ストッパ４１が規制位置Ｐ１に進出していることを検出する。言い換えれば、磁気検出部４５Ａは、規制位置Ｐ１から退避方向に退避すると、磁石部４５Ｂの磁気を検出できない。ストッパ検出部４５の例は、磁気センサである。磁気センサは、安全センサの規格を満たしていることが好ましい。ストッパ検出部４５は、磁気センサに限定されず、光電センサ等を用いてもよい。磁気センサを用いることにより、外乱光などの影響を受けにくい検出が可能となる。
【００２９】
ストッパ検出部４５は、磁気検出部４５Ａと、磁石部４５Ｂと、を有している。磁気検出部４５Ａは、収容部４７に設けられており、磁石部４５Ｂはストッパ４１に設けられている。磁気検出部４５Ａ及び磁石部４５Ｂは、ストッパ４１が規制位置Ｐ１に進出したときに、磁気検出部４５Ａによってその磁気が検出されるように、適宜の位置に配置される。ストッパ検出部４５は、ストッパ４１が規制位置Ｐ１にある旨の情報をコントローラ８０に出力する（図４参照）。
【００３０】
収容部４７は、ストッパ４１、ストッパモータ４３、及びストッパ検出部４５を収容する箱状の部材であり、走行レール２の側面に固定されている。
【００３１】
図１に示されるように、第一位置検出部５１は、移動レール３１の位置を検出する。本実施形態では、第一位置検出部５１は、移動レール３１が第一レール２１の端部２１ａに接近した第一状態と、移動レール３１が第二レール２３の端部２３ａに接近した第二状態と、を検出する。第一位置検出部５１の例は、磁気センサである。磁気センサは、安全センサの規格を満たしていることが好ましい。第一位置検出部５１は、磁気センサに限定されず、光電センサなどを用いてもよい。磁気センサを用いることにより、外乱光などの影響を受けにくい検出が可能となる。第一位置検出部５１は、移動レール３１が、第一状態であるか、又は第二状態であるかという旨の情報をコントローラ８０に出力する（図４参照）。
【００３２】
第一位置検出部５１は、第一磁気検出部５１Ａと、第二磁気検出部５１Ｂと、磁石部５２と、を有している。磁石部５２は、昇降部３３の第一レール２１側の端部３３ａに設けられている。第一磁気検出部５１Ａは、本体部３４の第一レール２１側の下部に設けられており、移動レール３１が第一レール２１の端部２１ａに接近したときに、磁石部５２の磁気を検出する。すなわち、第一位置検出部５１は、第一状態（図２（ａ）に示される状態）を検出できる。第二磁気検出部５１Ｂは、本体部３４の第一レール２１側の上部に設けられており、移動レール３１が第二レール２３の端部２３ａに接近したときに、磁石部５２の磁気を検出する。すなわち、第一位置検出部５１は、第二状態（図２（ｂ）に示される状態）を検出できる。
【００３３】
第二位置検出部８０Ａは、昇降モータ３５の駆動状態に基づいて移動レール３１の状態を検出する。本実施形態では、第二位置検出部８０Ａは、後段にて詳述するコントローラ８０の一機能として構成される。第二位置検出部８０Ａは、エンコーダ３５Ａが取得するサーボモータの状態に基づいて、移動レール３１が第一レール２１に接続された状態にあること、及び移動レール３１が第二レール２３に接続された状態にあることを検出することができる。
【００３４】
コントローラ８０は、走行設備２０における各部を制御する。本実施形態では、コントローラ８０は、走行設備２０の本体部３４に設けられている。コントローラ８０は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）及びＲＯＭ（Read  Only  Memory）等を有している。コントローラ８０では、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等のハードウェアと、プログラム等のソフトウェアとが協働することによって、各種制御を実行する。図４に示されるように、例えば、コントローラ８０は、先に述べた第二位置検出部８０Ａを構成する。本実施形態のコントローラ８０は、下段にて詳述する特徴的な第一制御から第八制御を実行する。
【００３５】
コントローラ８０は、第一位置検出部５１の検出結果に基づいて、複数のストッパモータ４３の駆動を制御する第一制御を実行する。具体的には、コントローラ８０は、例えば、第一位置検出部５１によって、移動レール３１が第一レール２１の端部２１ａに接近した第一状態が検知されたとき、第一レール２１の端部２１ａに設けられたストッパ４１及び移動レール３１の第一レール２１側の端部３１ａに設けられたストッパ４１を退避位置Ｐ２に退避させる。また、第一位置検出部５１によって、移動レール３１が第二レール２３の端部２３ａに接近した第二状態が検出されたとき、第二レール２３の端部２３ａに設けられたストッパ４１及び移動レール３１の第二レール２３側の端部３１ｂに設けられたストッパ４１を退避位置Ｐ２に退避させる。
【００３６】
コントローラ８０は、第一位置検出部５１によって、第一位置検出部５１によって、移動レール３１が第一レール２１の端部２１ａに接近する第一状態が検出されず、かつ移動レール３１が第二レール２３の端部２３ａに接近する第二状態が検出されないとき、全てのストッパモータ４３への給電を遮断し、全てのストッパモータ４３を駆動不能な状態とする第二制御を実行する。ストッパモータ４３への給電の遮断は、スイッチ４４（図４参照）の切り替えによって実行される。
【００３７】
コントローラ８０は、第一位置検出部５１によって、移動レール３１が第一レール２１の端部２１ａに接近する第一状態が検出されたとき、少なくとも第一レール２１に設けられたストッパ４１と、移動レール３１の第一レール２１側の端部３１ａに設けられたストッパ４１とを進退させる二つのストッパモータ４３，４３に給電して、当該二つのストッパモータ４３，４３を駆動可能な第三状態とする第三制御を実行する。ストッパモータ４３への給電は、スイッチ４４（図４参照）の切り替えによって実行される。
【００３８】
コントローラ８０は、第二位置検出部８０Ａによって移動レール３１が第一レール２１の端部２１ａに位置することが検出されたとき、上記第三状態となったストッパモータ４３，４３を駆動させて、ストッパ４１，４１を退避位置Ｐ２に退避させる第四制御を実行する。
【００３９】
コントローラ８０は、第一位置検出部５１によって、移動レール３１が第二レール２３の端部２３ａに接近する第二状態が検出されたとき、少なくとも第二レール２３に設けられたストッパ４１と、移動レール３１の第二レール２３側の端部３１ｂに設けられたストッパ４１とを進退させる二つのストッパモータ４３，４３に給電し、当該二つのストッパモータ４３，４３を駆動可能な第四状態とする第五制御を実行する。ストッパモータ４３への給電は、スイッチ４４（図４参照）の切り替えによって実行される。
【００４０】
コントローラ８０は、第二位置検出部８０Ａによって移動レール３１が第二レール２３の端部２３ａに位置することが検出されたとき、上記第四状態となったストッパモータ４３，４３を駆動させて、ストッパ４１，４１を退避位置Ｐ２に退避させる第六制御を実行する。
【００４１】
コントローラ８０は、複数のストッパ検出部４５の検出結果に基づいて、昇降モータ３５の駆動を制御する。更に詳細には、コントローラ８０は、複数のストッパ検出部４５によって、少なくともいずれか一つのストッパ４１が規制位置Ｐ１に進出していないことが検出されたとき、昇降モータ３５への給電を遮断する第七制御を実行する。昇降モータ３５への給電の遮断は、スイッチ３６（図４参照）の切り替えによって実行される。
【００４２】
コントローラ８０は、複数のストッパ検出部４５によって、全てのストッパ４１が規制位置Ｐ１に進出していることが検出されたとき、昇降モータ３５へ給電して、昇降モータ３５を駆動可能な状態とする第八制御を実行する。昇降モータ３５への給電は、スイッチ３６（図４参照）の切り替えによって実行される。
【００４３】
次に、上記実施形態の天井搬送車１の走行設備２０が、天井搬送車１を第一レール２１から第二レール２３に移動させるときの動作について、主に図５及び図６を用いて説明しながら、走行設備２０の作用効果について説明する。なお、図５及び図６において、黒塗りで示されるストッパ４１は、規制位置Ｐ１に位置することを示し、ハッチングで示されるストッパ４１は、退避位置Ｐ２に位置することを示している。
【００４４】
図５（ａ）に示されるように、天井搬送車１を第一レール２１から第二レール２３に移動させる場合、移動レール３１を第一レール２１の端部２１ａに接続させる。コントローラ８０は、第一位置検出部５１によって、移動レール３１が第一レール２１の端部２１ａに接近した第一状態が検知されるので、第一レール２１の端部２１ａに設けられたストッパ４１及び移動レール３１の第一レール２１側の端部３１ａに設けられたストッパ４１を退避位置Ｐ２に退避させる（第一制御）。これにより、天井搬送車１が第一レール２１から移動レール３１に進入できる状態となる。
【００４５】
次に、図５（ｂ）に示されるように、コントローラ８０は、天井搬送車１が移動レール３１に進入して停止したことを確認すると、第一レール２１の端部２１ａに設けられたストッパ４１及び移動レール３１の第一レール２１側の端部３１ａに設けられたストッパ４１を規制位置Ｐ１に進出させる。コントローラ８０は、複数のストッパ検出部４５によって、全てのストッパ４１が規制位置Ｐ１に進出していることが検出されるので、昇降モータ３５へ給電して、昇降モータ３５を駆動可能な状態とする（第八制御）。
【００４６】
この第八制御により、天井搬送車１が進入した状態の移動レール３１は、全てのストッパ４１が規制位置Ｐ１に位置しないかぎり動き出さなくすることができる。したがって、移動中の移動レール３１から天井搬送車１が落下することを未然に防止できる。
【００４７】
次に、図５（ｃ）に示されるように、コントローラ８０は、昇降モータ５３を駆動させて移動レール３１を上昇させる。このとき、コントローラ８０は、第一位置検出部５１によって、移動レール３１が第一レール２１の端部２１ａに接近する第一状態が検出されず、かつ移動レール３１が第二レール２３の端部２３ａに接近する第二状態が検出されないので、全てのストッパモータ４３への給電を遮断し、全てのストッパモータ４３を駆動不能な状態とする（第二制御）。
【００４８】
この第二制御により、移動レール３１が第一レール２１又は第二レール２３に接続されていないときは、ストッパ４１を進退させることができない。したがって、意図しない動作により、ストッパ４１が退避位置Ｐ２に退避することを最小限に留めることができる。
【００４９】
なお、コントローラ８０は、昇降モータ５３の上昇中に、複数のストッパ検出部４５によって、少なくとも一つのストッパ４１が規制位置Ｐ１に進出していないことが検出されると、昇降モータ３５への給電を遮断する（第七制御）。
【００５０】
この第七制御により、天井搬送車１が進入した状態の移動レール３１は、全てのストッパ４１が規制位置Ｐ１に位置しないかぎり動き出さない。したがって、移動中の移動レール３１から天井搬送車１が落下することを未然に防止できる。
【００５１】
次に、図５（ｄ）に示されるように、移動レール３１は、第二レール２３の端部２３ａに接続される。このとき、コントローラ８０は、第一位置検出部５１によって、移動レール３１が第二レール２３の端部２３ａに接近する第二状態が検出されるので、少なくとも第二レール２３に設けられたストッパ４１と、移動レール３１の第二レール２３側の端部３１ｂに設けられたストッパ４１とを進退させる二つのストッパモータ４３，４３に給電し、当該二つのストッパモータ４３，４３を駆動可能な状態とする（第五制御）。
【００５２】
この第五制御により、移動レール３１が第一レール２１又は第二レール２３に接続されているときのみ、ストッパ４１を進退させることができる状態となる。したがって、意図しない動作により、ストッパ４１が退避位置Ｐ２に退避することを最小限に留めることができる。
【００５３】
次に、図６（ａ）に示されるように、コントローラ８０は、第二レール２３に設けられたストッパ４１と、移動レール３１の第二レール２３側の端部３１ｂに設けられたストッパ４１とを進退させる二つのストッパモータ４３，４３を駆動させて、ストッパ４１，４１を退避位置Ｐ２に退避させる（第六制御）。これにより、天井搬送車１は、移動レール３１から第二レール２３に進出できる状態となる。
【００５４】
この第六制御により、ストッパモータ４３を駆動可能な状態にするステップと、実際にストッパモータ４３を駆動させるステップとの二つのステップを踏んで、初めてストッパ４１を退避位置Ｐ２に退避させることができる。これにより、ストッパ４１が意図しない動作をすることを、より確実に防止することができる。
【００５５】
次に、図６（ｂ）に示されるように、天井搬送車１が第二レール２３に進出すると、コントローラ８０は、第二レール２３に設けられたストッパ４１と、移動レール３１の第二レール２３側の端部３１ｂに設けられたストッパ４１とを進退させる二つのストッパモータ４３，４３を駆動させて、ストッパ４１，４１を規制位置Ｐ１に進出させる。コントローラ８０は、複数のストッパ検出部４５によって、全てのストッパ４１が規制位置Ｐ１に進出していることが検出されるので、昇降モータ３５へ給電して、昇降モータ３５を駆動可能な状態とする（第八制御）。
【００５６】
次に、図６（ｃ）に示されるように、コントローラ８０は、昇降モータ５３を駆動させて移動レール３１を下降させる。このとき、コントローラ８０は、第一位置検出部５１によって、移動レール３１が第一レール２１の端部２１ａに接近する第一状態が検出されず、かつ移動レール３１が第二レール２３の端部２３ａに接近する第二状態が検出されないので、全てのストッパモータ４３への給電を遮断し、全てのストッパモータ４３を駆動不能な状態とする（第二制御）。
【００５７】
次に、図６（ｄ）に示されるように、移動レール３１は、第一レール２１の端部２１ａに接続される。このとき、コントローラ８０は、第一位置検出部５１によって、移動レール３１が第一レール２１の端部２１ａに接近する第一状態が検出されるので、少なくとも第一レール２１に設けられたストッパ４１と、移動レール３１の第一レール２１側の端部３１ａに設けられたストッパ４１とを進退させる二つのストッパモータ４３，４３に給電して、当該二つのストッパモータ４３，４３を駆動可能な状態とする（第三制御）。
【００５８】
この第三制御により、移動レール３１が第一レール２１又は第二レール２３に接続されているときのみ、ストッパ４１を進退させることができる状態となる。したがって、意図しない動作により、ストッパ４１が退避位置Ｐ２に退避することを最小限に留めることができる。
【００５９】
コントローラ８０は、第二位置検出部８０Ａによって移動レール３１が第一レール２１の端部２１ａに位置することが検出されたとき、第一レール２１に設けられたストッパ４１と、移動レール３１の第一レール２１側の端部３１ａに設けられたストッパ４１とを進退させる二つのストッパモータ４３，４３を駆動させて、ストッパ４１，４１を退避位置Ｐ２に退避させる（第四制御）。これにより、天井搬送車１は、第一レール２１から移動レール３１に進入できる状態となる。
【００６０】
この第四制御により、ストッパモータ４３を駆動可能な状態にするステップと、実際にストッパモータ４３を駆動させるステップとの二つのステップを踏んで、初めてストッパ４１を退避位置Ｐ２に退避させることができる。これにより、これにより、ストッパ４１が意図しない動作をすることを、より確実に防止することができる。
【００６１】
上記実施形態の天井搬送車１の走行設備２０では、ストッパ４１は、ストッパモータ４３によって規制位置Ｐ１と退避位置Ｐ２との間で進退させられ、その進退は移動レール３１の位置に基づいて制御されるので、意図的にストッパ４１を規制位置Ｐ１に進出させたり、退避位置Ｐ２に退避させたりすることができる。これにより、機械的な機構によってストッパ４１が進退されることと比べて、天井搬送車１が走行レール２（第一レール２１、第二レール２３、及び移動レール３１）の端部から落下するおそれが状況のときに、より確実にストッパ４１を規制位置Ｐ１に進出させることができる。この結果、走行レール２の端部から天井搬送車が落下することをより確実に防止できる。
【００６２】
なお、上記実施形態では、天井搬送車１が第一レール２１から第二レール２３に移動させるときを例に挙げて走行設備２０の動作を説明したが、天井搬送車１が第二レール２３から第一レール２１に移動する場合にも同様の動作が適用できる。
【００６３】
以上、一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００６４】
上記実施形態の走行設備２０では、コントローラ８０が本体部３４に設けられている例を挙げて説明したが、有線又は無線によって接続されることによって、走行設備２０から離れた位置に設けられてもよい。
【００６５】
上記実施形態及び変形例の走行設備２０では、移動レール３１は、上下方向にのみ移動可能に設けられている例を挙げて説明したが、上下方向に加えて、又は代えて、水平方向へ移動可能に設けられてもよい。
【００６６】
上記実施形態及び変形例の走行設備２０では、走行レール２にぶら下がった状態で走行する天井搬送車１を例に挙げて説明したが、レール上を走行する搬送車を含む搬送車システムにも適用することもできる。
【符号の説明】
【００６７】
１…天井搬送車（搬送車）、２…走行レール、３…走行駆動部、２０…走行設備、２１…第一レール、２１ａ…第一レールの端部、２３…第二レール、２３ａ…第二レールの端部、３１…移動レール、３１ａ，３１ｂ…移動レールの両端部、３５…昇降モータ（第一駆動部）、３５Ａ…エンコーダ、４０…ストッパユニット、４１…ストッパ、４３…ストッパモータ（第二駆動部）、４５…ストッパ検出部（第三検出部）、５１…第一位置検出部（第一検出部）、８０…コントローラ、８０Ａ…第二位置検出部（第二検出部）、Ｐ１…規制位置、Ｐ２…退避位置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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