(57)【要約】【課題】振動子と保持部材とが十分な強度で接合された小型の振動型アクチュエータを提供する。【解決手段】振動板２に圧電素子３が接着されてなる振動子１を保持する保持部材５は、振動板２を固定する固定部５ａを有する。固定部５ａは、振動子１に励起される振動の腹よりも節に近い位置に形成されている。固定部５ａには、振動板２において圧電素子３が接着された面の法線方向において互いに反対の向きに第１の面５ａ１と第２の面５ａ２が形成されており、振動板２が第１の面５ａ１と第２の面５ａ２に挟持され、第１の面５ａ１又は第２の面５ａ２に隣接した部分に接着剤が固着されることで、振動子１が保持部材５に固定される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
突起が設けられた振動板と圧電素子とを有する振動子と、前記振動子を保持する保持部材と、前記突起と接触する摩擦部材とを有し、前記振動子に振動を励起することによって前記振動子と前記摩擦部材とが相対移動する振動型アクチュエータであって、
前記保持部材には前記振動子を固定する固定部が前記振動子に励起される振動の腹よりも節に近い位置に形成され、
前記固定部は、前記振動子において前記圧電素子が設けられた面の法線方向であって互いに反対の向きを位置決めする第１の面と第２の面を有し、
前記第１の面または前記第２の面に隣接した部分に接着剤が固着されていることを特徴とする振動型アクチュエータ。
【請求項２】
前記保持部材には、弾性変形が可能で前記固定部と連続する変形部が、前記振動板において前記圧電素子が設けられた面の法線方向に延在するように設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項３】
前記固定部は、前記振動子に対して前記相対移動の方向に突出していないことを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項４】
前記固定部は、前記振動子において前記突起が設けられた側であって、前記突起のない領域に形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項５】
前記固定部は、前記振動子において前記圧電素子が設けられた側であって、前記圧電素子のない領域に形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータにより駆動される光学部品と、を有することを特徴とする光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型アクチュエータ及び光学機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
撮像装置のレンズ鏡筒等では、小型軽量であり、静音性に優れる振動型アクチュエータ（超音波モータ又は振動型アクチュエータとも言われる）がレンズ群の駆動に用いられている。振動型アクチュエータとして、圧電素子を備える振動子を被駆動体と接触させ、振動子に所定の振動を励起することにより、振動子と被駆動体とを相対移動させるものが知られている。このような振動型アクチュエータには、小型で高い駆動力を得ることができると共に広い速度レンジに対応することができ、低振動で静音であるという特徴がある。また、振動型アクチュエータでは、非駆動時（無通電時）には振動子と被駆動体との間に摩擦力（保持力）が生じる。よって、非駆動時にはこの摩擦力を用いて被駆動体を停止位置で保持することができる。このような振動型アクチュエータの例が特許文献１乃至３に記載されている。
【０００３】
図１２は、公知の振動型アクチュエータの概略構成を示す図である。説明の便宜上、図１２の各図に示すように、互いに直交するＸ方向とＺ方向を規定する。図１２（ａ），（ｂ）は、特許文献１に記載されている振動子４１と保持部材５１の斜視図であり、図１２（ａ）と図１２（ｂ）とでは振動子４１と保持部材５１を見る方向が異なっている。図１２（ｃ），（ｄ）は、特許文献２に記載されている振動子４２と保持部材５２の斜視図であり、図１２（ｃ）と図１２（ｄ）とでは振動子４１と保持部材５２を見る方向が異なっている。図１２（ｅ）は、図１２（ｃ），（ｄ）に示す振動子４２と保持部材５２のＺＸ面での断面図である。
【０００４】
振動子４１と振動子４２は実質的に同じ構造を有している。振動子４１，４２は、Ｘ方向に並んだ２つの突起を有する振動板と、振動板において突起が突出している面の反対側の面に接着された矩形板状の圧電素子を備える。圧電素子を所定周波数で駆動することにより、突起の先端にＺＸ面内での楕円運動を生じさせることができる。振動子４１，４２は２つの突起を有するが、特許文献３には、振動子の小型化を目的として１つの突起を有する振動子が開示されている。
【０００５】
図１２（ａ），（ｂ）に示す保持部材５１は、薄い金属板で構成されており、Ｚ方向の剛性は小さいがＸ方向の剛性は大きい。また、保持部材５１には金属が用いられているために、保持部材５１を振動子４１に溶接することによって、高い強度で振動子４１を保持部材５１に固定することができる。
【０００６】
図１２（ｃ），（ｄ）に示す枠状の保持部材５２は、樹脂で成形されている。図１２（ｅ）に示されるように、保持部材５２に設けられた突起５２ａが振動子４２に設けられた孔部に挿入されている。そして、振動子４２が保持部材５２から外れないように突起５２ａの周囲に樹脂接着剤５５を固着させることにより、振動子４２は保持部材５２に固定されている。樹脂は、減衰効果が大きいために不要振動が発生し難く、振動漏れによる速度低下や騒音発生を抑制することができることから、保持部材５２では形状選択の自由度が大きい。
【０００７】
なお、図１２（ｃ）に示す２つの転動ローラ５３は、振動子４２の突起を不図示の被駆動体と接触させるための加圧力を振動子４２に付与する不図示の部材に対して保持部材５２をＺ方向に移動可能とし、その不図示の部材との摩擦を軽減するための部品である。また、ばね５４は、不図示の部材と転動ローラ５３との間でＸ方向に隙間が生じないように、転動ローラ５３をＸ方向に付勢している。
【０００８】
保持部材５１は、振動子４２の突起の先端を不図示の被駆動体に接触させるために、振動子４２を加圧する方向であるＺ方向に弾性変形可能に支持される。また、保持部材５２は、振動子４２の突起の先端を加圧力が損なわれることなく不図示の被駆動体に接触させるために、振動子４２を加圧する方向であるＺ方向に移動可能に支持される。一方、保持部材５１，５２は、機械的応答遅れが駆動時に生じないように、被駆動体に対して推力（摩擦駆動力）を与える方向であるＸ方向では拘束される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１４−７２９８６号公報
【特許文献２】特開２０１５−１２６６９２号公報
【特許文献３】特開２０１７−１７９８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
振動型アクチュエータを小型化するために振動子の小型化を図った場合、振動子の小型化に伴って振動子と保持部材の接合部の面積が小さくなる。振動子と保持部材の接合部の面積が小さくなっても、特許文献１に記載された技術では、保持部材が金属製であるため、振動子を溶接により保持部材に固定することができ、よって、必要な接合強度を得ることが可能と考えられる。しかし、金属製の保持部材では、減衰効果が小さいために、不要振動が発生しやすい。よって、振動漏れによる速度低下や騒音発生を回避するために、振動子と保持部材の共振周波数に配慮した形状設計が必要となる。つまり、特許文献１に記載された振動子と保持部材の構成には、形状選択の自由度が小さいという課題がある。
【００１１】
特許文献２に記載された技術では、保持部材が樹脂製であるため、形状選択の自由度が大きいという利点がある一方で、保持部材と振動子の接合に溶接を用いることができないため、接合強度を確保することは容易ではない。つまり、保持部材に対して樹脂接着剤だけで十分に高い接合強度で振動子を接合するための工夫が必要となる。また、特許文献２に記載された技術では、転動ローラやばね等の部品が別途必要になってしまうため、小型化は容易ではなく、部品点数の増大によるコスト増も懸念される。
【００１２】
特許文献３に記載された振動型アクチュエータでも、振動子の小型化を図った場合に振動子と保持部材の接合部の面積が小さくなることは避けられず、よって、特許文献１，２に記載された振動型アクチュエータと同様の課題を抱える。
【００１３】
本発明は、振動子と保持部材とが十分な強度で接合された小型の振動型アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る振動型アクチュエータは、突起が設けられた振動板と圧電素子とを有する振動子と、前記振動子を保持する保持部材と、前記突起と接触する摩擦部材とを有し、前記振動子に振動を励起することによって前記振動子と前記摩擦部材とが相対移動する振動型アクチュエータであって、前記保持部材には前記振動子を固定する固定部が前記振動子に励起される振動の腹よりも節に近い位置に形成され、前記固定部は、前記振動子において前記圧電素子が設けられた面の法線方向であって互いに反対の向きを位置決めする第１の面と第２の面を有し、前記第１の面または前記第２の面に隣接した部分に接着剤が固着されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、振動子と保持部材とが十分な強度で接合された小型の振動型アクチュエータを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】振動型アクチュエータを備える撮像装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】第１実施形態に係る振動型アクチュエータの振動子の構成を示す図である。
【図３】第１実施形態に係る振動型アクチュエータの保持部材の構成を示す図である。
【図４】図２の振動子を図３の保持部材に保持させた状態を示す図である。
【図５】振動子が保持部材に樹脂接着剤により固定された状態を示す断面図である。
【図６】図３の保持部材の変形例を説明する斜視図である。
【図７】第２実施形態に係る振動型アクチュエータの振動子の構成を示す図である。
【図８】第２実施形態に係る振動型アクチュエータの保持部材の構成を示す図である。
【図９】図７の振動子を図８の保持部材に保持させた状態を示す図である。
【図１０】振動子が保持部材に樹脂接着剤により固定された状態を示す断面図である。
【図１１】図８の保持部材の変形例を説明する斜視図である。
【図１２】従来の振動型アクチュエータの振動子と保持部材の構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動型アクチュエータ１００を備える撮像装置２００の概略構成を示す断面図である。撮像装置２００は、撮像装置本体（カメラボディ）２００Ｂと、撮像装置本体２００Ｂに対して着脱可能なレンズ鏡筒２００Ａとを備える。なお、図１には、レンズ鏡筒２００Ａの光軸Ｏを水平方向と略平行とした状態での、光軸Ｏから鉛直方向上側の部分を示しており、光軸Ｏから鉛直方向下側の部分の図示を省略している。また、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を定めることとする。Ｘ軸は光軸Ｏと平行であり、Ｘ軸が水平方向と平行であるときに、Ｚ軸は鉛直方向と平行となり、Ｙ軸は水平面内でＸ軸と直交する。
【００１９】
撮像装置本体２００Ｂの内部には、ＣＭＯＳセンサ等の撮像素子２０１が配設されている。レンズ鏡筒２００Ａを通過した光は撮像素子２０１に結像し、撮像素子２０１は結像した光学像を電気信号に変換する。なお、公知の技術を用いて、撮像素子２０１から出力される電気信号から画像データが生成される。撮像装置本体２００Ｂの前面に設けられたマウント２０２は、レンズ鏡筒２００Ａを撮像装置本体２００Ｂに着脱するためのバヨネット機構等の結合手段を有する。
【００２０】
レンズ鏡筒２００Ａは固定筒２１２を有しており、固定筒２１２の一端はマウント２０２のフランジ部に当接している。固定筒２１２には、第１レンズＧ１を保持する前鏡筒２１３と第３レンズＧ３を保持する後鏡筒２１４が固定されている。また、レンズ鏡筒２００Ａはフォーカスレンズ保持枠２１５を備え、フォーカスレンズ保持枠２１５はフォーカスレンズである第２レンズＧ２を保持している。フォーカスレンズ保持枠２１５は、光軸方向（Ｘ方向）に直進移動することができるように、前鏡筒２１３と後鏡筒２１４に保持されたガイドバー２１６に案内されている。
【００２１】
レンズ鏡筒２００Ａは、振動型アクチュエータ１００を備える。振動型アクチュエータ１００は、振動ユニットと摩擦部材７を有する。振動ユニットは、振動子１と、振動子１を保持する保持部材（不図示）を有する。摩擦部材７は、振動子１から推力（摩擦駆動力）を受ける被駆動体であり、フォーカスレンズ保持枠２１５に固定されている。不図示の保持部材は、光軸Ｏと略平行に配置されて前鏡筒２１３と後鏡筒２１４に保持された棒状部材２１１に保持されている。つまり、振動子１は、不図示の保持部材等によって、前鏡筒２１３と後鏡筒２１４によりＸ方向において位置が拘束されている。なお、後述するように、不図示の保持部材の弾性変形により、振動子１を摩擦部材７に対して加圧するＺ方向では、振動子１は拘束されてない。
【００２２】
振動子１の構成の詳細については後述するが、振動子１に所定の振動を励起すると、摩擦部材７が振動子１からＸ方向の推力を受けることにより摩擦部材７と一体的にフォーカスレンズ保持枠２１５がガイドバー２１６によってＸ方向に案内されて直進移動する。つまり、振動型アクチュエータ１００は、振動子１を駆動すると、振動ユニットと摩擦部材７とがＸ方向において相対移動する機械装置である。なお、レンズ鏡筒２００Ａでは、Ｘ方向において振動子１（振動ユニット）が固定されて摩擦部材７が移動する構成としているが、Ｘ方向において摩擦部材７が固定され、振動子１が移動する構成とすることもできる。
【００２３】
次に、振動型アクチュエータ１００の構成について詳細に説明する。図２は、振動子１の構成を示す図である。図２（ａ）は下面図（圧電素子３側から見た平面図）であり、図２（ｂ）は側面図である。図２（ｃ）は上面図（突起２ａ側から見た平面図）であり、図２（ｄ）は図２（ｃ）に示す破断線Ａ−Ａでの断面図である。
【００２４】
振動子１は、金属からなる薄板状の振動板２と、振動板２の一方の面に接着された薄板状の圧電素子３とを有する。振動板２において圧電素子３が接着されている面の反対側の面には、振動板２の一部を変形させることにより２カ所に突起２ａが形成されている。なお、突起２ａは、別途に準備された突起状部品を接着や溶接等により振動板２に固定することにより設けられていてもよい。振動板２には、その幅方向（Ｙ方向）の両側において、保持部材５（図３参照）に対して振動子１を固定するための腕部２ｂが形成されている。
【００２５】
振動子１を駆動する場合、圧電素子３に不図示の給電手段（駆動制御装置）から所定の周波数の交流電圧を印加することにより、突起２ａの先端にＺＸ面内での楕円運動が生じるように振動子１に振動を励起する。これにより、突起２ａと接触する摩擦部材７は、突起２ａに励起された楕円運動によって摩擦駆動され（突起２ａから推力を受けて）、Ｘ方向に移動する。なお、図２（ａ）において、黒丸ｋは振動子１に励起された振動の腹を示しており、白丸ｍは振動子１に励起された振動の節を示している。圧電素子３の構成と前述の振動子１の駆動原理は公知であり、例えば、特許文献１等に記載されている通りであるため、ここでのより詳細な説明は省略する。
【００２６】
図３は、振動子１を保持する保持部材５の構成を示す図である。図３（ａ）は下面図であり、図３（ｂ）は側面図である。図３（ｃ）は上面図であり、図３（ｄ）は図３（ｃ）に示す破断線Ｂ−Ｂでの断面図である。
【００２７】
保持部材５は、樹脂を成形した部品である。保持部材５は、不図示の支持部材に取り付けられる孔部が設けられた基体部５ｃと、基体部５ｃの中央領域と連続してＸＹ面において延在する弾性変形が可能な４つの変形部５ｂと、それぞれの変形部５ｂの先端部に設けられた固定部５ａとを有する。固定部５ａは、振動子１を構成する振動板２の腕部２ｂの角部２ｃと係合する（適宜、図５参照）。そのため、固定部５ａは、振動子１が固定されたときに振動子１に励起される振動の腹よりも節に近い位置に設けられている。また、固定部５ａには、振動板２の腕部２ｂをＺ方向において位置決めするための第１の面５ａ１と第２の面５ａ２が振動子１において圧電素子３が設けられている面の法線方向（Ｚ方向）において互いに反対の向きに設けられている。
【００２８】
保持部材５は樹脂製であるため、変形部５ｂはＺ方向に弾性変形することが可能であり、このような変形部５ｂの作用によって、振動子１を摩擦部材７に加圧するＺ方向において振動子１は移動（変位）が可能となっている。また、保持部材５を弾性変形させることによって、容易に振動子１を保持部材５に取り付けることができる。
【００２９】
保持部材５では、振動子１に対して固定部５ａが振動子１と摩擦部材７との相対移動方向であるＸ方向に突出していないため、Ｘ方向での小型化が図られている。
【００３０】
図４は、振動子１を保持部材５に組み付けた状態を示す図である。図４（ａ）は下面図であり、図４（ｂ）は側面図である。図４（ｃ）は上面図であり、図４（ｄ）は図４（ｃ）に示す破断線Ｃ−Ｃでの断面図である。図４（ｅ）は上面側から見た斜視図であり、図４（ｆ）は下面側から見た斜視図である。振動子１は、後述するように、保持部材５に対して固定部５ａにおいて樹脂接着剤を用いて固定されるが、図４（ａ）〜（ｆ）には樹脂接着剤による固定前の状態が示されている。図５は、図４（ｄ）と同等の断面図であって、固定部５ａにおいて樹脂接着剤Ｎにより振動子１が保持部材５に固定された状態を示している。固定部５ａは、振動子１の突起２ａが設けられた側であって突起２ａのない領域に形成されている。更に、固定部５ａは、振動子１の圧電素子３が設けられた側であって圧電素子３のない領域に形成されている。これにより、図４のＹ方向から見て、保持部材５が振動子１からＺ方向にはみ出ていないので、全体としてＺ方向に大型化することがない。
【００３１】
振動子１は、腕部２ｂが保持部材５の固定部５ａに形成されている第１の面５ａ１と第２の面５ａ２にＺ方向で挟持されることにより位置決めされると共に保持される。そして、図５に示されるように、第１の面５ａ１又は第２の面５ａ２に隣接した部分に樹脂接着剤Ｎが固着されることで、振動子１は保持部材５に固定されている。なお、図５には、樹脂接着剤Ｎが固着した状態（硬化が完了した状態）が示されており、固定部５ａへの液状の樹脂接着剤の塗布は突起２ａが位置している面の側から行われる。
【００３２】
樹脂接着剤Ｎが固着した後に保持部材５から振動子１を外そうとすると、保持部材５を破損させるか又は塑性変形させなければならない。そして、固定部５ａにおける樹脂接着剤Ｎの固着部周辺は、第１の面５ａ１及び第２の面５ａ２と直交するように固定部５ａに形成されている面（壁面）によって囲まれている。換言すれば、樹脂接着剤Ｎは、第１の面５ａ１及び第２の面５ａ２と直交するように固定部５ａに形成されている面（壁面）によって囲まれた孔部に充填されて固着している。そのため、樹脂接着剤Ｎの固定部５ａに対する接触面積を増大させると共に、硬化（固着）する前の液状の樹脂接着剤Ｎが周囲に広がるのを抑制することができる。その結果、樹脂接着剤Ｎの固着状態を安定させて接着強度を向上させることができると共に、接着強度にばらつきが生じるのを抑えることができる。
【００３３】
また、振動子１と保持部材５の固定強度には、樹脂接着剤Ｎによる接着強度に加えて保持部材５の部品強度も寄与する。よって、振動型アクチュエータ１００では、振動子１の小型化と振動子１の小型化に伴って樹脂接着剤Ｎによる接着面積が小さくなっても、振動子１を十分な強度で保持部材５に固定することができる。
【００３４】
図６は、保持部材５の変形例の１つである保持部材５´に振動子１を取り付けた状態を示す斜視図である。保持部材５では、図３乃至５に示したように、固定部５ａにおいて樹脂接着剤Ｎが固着する部分（樹脂接着剤Ｎが充填される部分）は、ＸＹ面と直交する面によって囲まれている。これに対して、保持部材５´の固定部５ａ´には、樹脂接着剤Ｎを固着させる部分を形成するＸＹ面との直交面の一部に欠落部Ｄが存在する。このように欠落部Ｄを有する構造であっても、振動子１を固定するために必要な固定強度が得られる限り、採用が可能である。
【００３５】
＜第２実施形態＞
図７は、本発明の第２実施形態に係る振動型アクチュエータを構成する振動子１１の構成を示す図である。図７（ａ）は下面図であり、図７（ｂ）は側面図である。図７（ｃ）は上面図であり、図７（ｄ）は図７（ｃ）に示す破断線Ｄ−Ｄでの断面図である。振動子１１は、金属からなる薄板状の振動板１２と、振動板１２の一方の面に接着された薄板状の２枚の圧電素子１３とを有する。振動板１２において圧電素子１３が接着されている面の反対側の面には、振動板１２の一部を変形させることにより１カ所に突起１２ａが形成されている。振動板１２において突起１２ａが形成されている位置のＹ方向側面には、凸部１２ｂが形成されている。
【００３６】
２枚の圧電素子１３に不図示の給電手段から所定の周波数の交流電圧を印加することにより、突起１２ａの先端にＺＸ面内での楕円運動が生じるように、振動子１１に振動を励起することができる。なお、図７（ａ）において、黒丸ｋは振動子１１に励起された振動の腹を示しており、白丸ｍは振動子１１に励起された振動の節を示している。圧電素子１３の構成と振動子１１の駆動原理は公知であり、例えば、特許文献３等に記載されている通りであるため、ここでのより詳細な説明は省略する。
【００３７】
図８は、振動子１１を保持する保持部材１５の構成を示す図である。図８（ａ）は下面図であり、図８（ｂ）は側面図である。図８（ｃ）は上面図であり、図８（ｄ）は図８（ｃ）に示す破断線Ｅ−Ｅでの断面図である。保持部材１５は、樹脂を成形した部品である。保持部材１５は、弾性変形が可能な環状部１５ｂと、環状部１５ｂと連続してＸＹ面において延在する弾性変形が可能な４本の変形部１５ｃと、変形部１５ｃと連続し、不図示の支持部材に取り付けられる取り付け部１５ｄとを有する。環状部１５ｂのＹ方向側面の２カ所に、孔部と、＋Ｚ方向に突出する立壁部とを有する固定部１５ａが設けられている。固定部１５ａには、振動子１１（振動板１２）をＺ方向において位置決めするための第１の面１５ａ１と第２の面１５ａ２（図１０参照）が、振動子１において圧電素子３が設けられている面の法線方向（Ｚ方向）において互いに反対の向きに設けられている。
【００３８】
図９は、振動子１１を保持部材１５に組み付けた状態を示す図である。図９（ａ）は下面図であり、図９（ｂ）は側面図である。図９（ｃ）は上面図であり、図９（ｄ）は図９（ｃ）に示す破断線Ｆ−Ｆでの断面図である。図９（ｅ）は上面側から見た斜視図であり、図９（ｆ）は下面側から見た斜視図である。振動子１１は、後述するように、保持部材１５に対して固定部１５ａにおいて樹脂接着剤を用いて固定されるが、図９（ａ）〜（ｆ）には樹脂接着剤による固定前の状態が示されている。図１０は、図９（ｄ）と同等の断面図であって、固定部１５ａにおいて樹脂接着剤Ｎにより振動子１１が保持部材１５に固定された状態を示している。固定部１５ａは、振動子１１の突起１２ａが設けられた側であって突起１２ａのない領域に形成されている。更に、固定部１５ａは、振動子１１の圧電素子１３が設けられた側であって圧電素子１３のない領域に形成されている。これにより、図９のＸ方向から見て、保持部材１５が振動子１１からＺ方向にはみ出ていないので、全体としてＺ方向に大型化することがない。
【００３９】
振動子１１の振動板１２は、固定部１５ａの第１の面１５ａ１と第２の面１５ａ２によってＺ方向において位置決めされて挟持される。また、振動板１２に形成されている凸部１２ｂが、固定部１５ａの立壁部（Ｙ方向外側の第２の面１５ａ２が形成されている２カ所の立壁部のそれぞれ）にＹ方向で互いに反対の向きに、且つ、凸部１２ｂと係合するように形成されている凹部と係合する。これにより、振動板１２は、Ｘ方向で位置決めされると共に、固定部１５ａのこれら２カ所の立壁部によってＹ方向において挟持される。更に、固定部１５ａに設けられている孔部に樹脂接着剤Ｎが充填されて固着（硬化）することで、第１の面１５ａ１と第２の面１５ａ２の近傍において振動子１１が保持部材１５に固定される。
【００４０】
本実施形態でも、第１実施形態と同様に、固定部１５ａにおいて樹脂接着剤Ｎを固着させた後に保持部材１５から振動子１１を外そうとすると、保持部材１５を破損させるか又は塑性変形させなければならない。また、固定部１５ａにおいて樹脂接着剤Ｎによる固着部（孔部）の周囲は、第１の面１５ａ１及び第２の面１５ａ２と直交するように固定部１５ａに形成されている面によって囲まれている。そのため、樹脂接着剤Ｎの固定部１５ａに対する接触面積を増大させると共に、固着する前の樹脂接着剤Ｎが周囲に広がることを抑制することができる。その結果、樹脂接着剤Ｎの固着状態が安定することで、接着強度を向上させることができると共に接着強度のばらつきを抑えることができる。よって、振動子１１の小型化と振動子１１の小型化に伴って樹脂接着剤Ｎによる接着面積が小さくなっても、振動子１１が十分な強度で保持部材１５に固定された振動型アクチュエータを実現することができる。
【００４１】
図１１は、保持部材１５の変形例の１つである保持部材１５´に振動子１１を取り付けた状態を示す斜視図である。保持部材１５では、図８乃至１０に示したように、固定部１５ａにおいて樹脂接着剤Ｎが固着する部分（樹脂接着剤Ｎが充填される部分）は、ＸＹ面と直交する面によって囲まれている。これに対して、保持部材１５´の固定部１５ａ´には、樹脂接着剤Ｎを固着させる部分を形成するＸＹ面との直交面の一部に欠落部Ｄ´が存在する。このように欠落部Ｄ´を有する構造であっても、振動子１１を固定するために必要な固定強度が得られる限り、採用が可能である。
【００４２】
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。さらに、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。例えば、上記実施形態では、第２レンズＧ２を保持したフォーカスレンズ保持枠２１５を光軸方向に駆動する駆動手段として振動型アクチュエータ１００を用いた構成について説明した。これに限らず、振動型アクチュエータ１００は、ズームレンズを光軸方向に駆動する駆動手段や、像ぶれ補正レンズを光軸と直交する面内で駆動する駆動手段として用いることも可能である。また、振動型アクチュエータ１００は、撮像装置のレンズ鏡筒に限って適用が可能なものではなく、光軸方向又は光軸と直交する方向に光学部品を駆動する機能を有する各種の光学機器に適用することができる。
【符号の説明】
【００４３】
１，１１    振動子
２，１２    振動板
２ａ，１２ａ    突起
２ｂ    腕部
３，１３    圧電素子
５，１５    保持部材
５ａ，１５ａ    固定部
５ａ１，１５ａ１    第１の面
５ａ２，１５ａ２    第２の面
５ｂ，１５ｃ    変形部
Ｎ  樹脂接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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