(57)【要約】【課題】ウエハの一方の面に対する物理的接触を確実に回避しつつ、ウエハの他方の面に貼り付けられている粘着テープを好適に剥離できる粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置を提供する。【解決手段】可動ステージ８の上方にウエハＷを搬送した後、可動ステージ８に設けられている複数の保持部材９がウエハＷの周縁部Ｗｂに対して外側から接触させ、当該接触状態を維持しつつ上向きとなっている面から粘着テープＴを剥離する。保持部材９の接触により、ウエハＷの周縁部Ｗｂが複数方向から挟まれるように保持される。また、保持部材９を側方から接触させるので、ウエハＷの下面Ｗａは、可動ステージ８の表面などの部材が接触していない状態となっている。よって、ウエハの下面Ｗａに対する物理的接触を回避しつつ、ウエハＷを安定に保持して精度良く粘着テープＴをウエハの上面から剥離できる。【選択図】図８
2019212671.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに貼り付けられた粘着テープを剥離する粘着テープ剥離方法であって、
前記ワークを剥離位置へ搬送する搬送過程と、
前記剥離位置へ搬送された前記ワークの周縁部に保持部材が接触することによって前記ワークを剥離位置に保持する保持過程と、
剥離部材によって剥離テープを前記粘着テープに貼り付けて折り返しながら当該剥離テープを剥離することによって、前記剥離位置に保持されている前記ワークから前記粘着テープを前記剥離テープと一体にして剥離する剥離過程と、
を備えることを特徴とする粘着テープ剥離方法。  
【請求項２】
請求項１に記載の粘着テープ剥離方法であって、
前記保持過程は、
前記ワークの周縁部に接触した前記保持部材の各々が、前記ワークに対して前記ワークの周縁部から中央部に向けて力を作用させることにより前記ワークが保持される
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
【請求項３】
請求項２に記載の粘着テープ剥離方法であって、
前記保持過程は、
前記保持部材の各々が前記ワークの周縁部から中央部に向けて作用させる力の大きさを適切な大きさとなるように制御しつつ、前記ワークを前記剥離位置に保持させる
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法であって、
前記保持部材は弾性体を備えており、
前記保持過程は、
前記弾性体が前記ワークの周縁部に接触して弾性変形することによって前記ワークを保持する
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。  
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法であって、
前記保持部材は、
前記ワークの周縁部に接触する保持位置と、前記ワークから剥離される前記粘着テープとの接触を回避できる回避位置とを適宜に移動可能に構成され、
前記剥離過程は、
複数の前記保持部材の位置を前記保持位置と前記回避位置とに適宜切り換えつつ、前記粘着テープを前記ワークから剥離させる
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法であって、
前記剥離過程は、
前記剥離テープを前記粘着テープに貼り付ける際に前記粘着テープを吸着部材で吸着することにより、前記剥離テープを貼り付ける際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止する
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法であって、
前記剥離過程は、
前記剥離テープを前記粘着テープに貼り付ける際に第１気体供給機構により前記ワークに気体を吹き付け、前記剥離テープを貼り付ける際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止する
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法であって、
前記剥離過程は、
前記粘着テープを前記ワークから剥離する際に吸引機構により前記ワークを非接触の状態で吸引し、前記粘着テープを剥離する際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止する
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法であって、
前記剥離過程は、
前記粘着テープを前記ワークから剥離する際に第２気体供給機構により前記ワークに気体を吹き付け、前記粘着テープを剥離する際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止する
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
【請求項１０】
ワークに貼り付けられた粘着テープを剥離する粘着テープ剥離装置であって、
前記ワークを剥離位置へ搬送する搬送機構と、
前記剥離位置へ搬送された前記ワークの周縁部に接触することによって前記ワークを剥離位置に保持する保持部材と、
剥離部材によって剥離テープを前記粘着テープに貼り付けて折り返しながら当該剥離テープを剥離することによって、前記剥離位置に保持されている前記ワークから前記粘着テープを前記剥離テープと一体にして剥離する剥離機構と、
を備えることを特徴とする粘着テープ剥離装置。  
【請求項１１】
請求項１０に記載の粘着テープ剥離装置であって、
前記ワークの周縁部に接触した前記保持部材の各々から前記ワークに対して前記ワークの周縁部から中央部に向けて力を作用させ、前記ワークを保持させる加圧機構を備える
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の粘着テープ剥離装置であって、
前記保持部材の各々が前記ワークの周縁部から中央部に向けて作用させる力の大きさを適切な大きさとなるように制御する制御機構を備える
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
【請求項１３】
請求項１０ないし請求項１２のいずれかに記載の粘着テープ剥離装置であって、
前記保持部材は弾性体を備えており、
前記弾性体が前記ワークの周縁部に接触して弾性変形することによって前記ワークを保持する
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。  
【請求項１４】
請求項１０ないし請求項１３のいずれかに記載の粘着テープ剥離装置であって、
前記保持部材を、前記ワークの周縁部に接触する保持位置と、前記ワークから剥離される前記粘着テープとの接触を回避できる回避位置とを適宜移動させる駆動機構を備え、
前記駆動機構が複数の前記保持部材の位置を前記保持位置と前記回避位置とに適宜切り換えつつ、前記剥離機構は前記粘着テープを前記ワークから剥離させる
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
【請求項１５】
請求項１０ないし請求項１４のいずれかに記載の粘着テープ剥離装置であって、
前記剥離テープを前記粘着テープに貼り付ける際に前記粘着テープを吸着し、前記剥離機構が前記剥離テープを貼り付ける際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止する吸着部材を備える
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
【請求項１６】
請求項１０ないし請求項１５のいずれかに記載の粘着テープ剥離装置であって、
前記剥離テープを前記粘着テープに貼り付ける際に前記ワークに気体を吹き付け、前記剥離機構が前記剥離テープを貼り付ける際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止する第１気体供給機構を備える
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
【請求項１７】
請求項１０ないし請求項１６のいずれかに記載の粘着テープ剥離装置であって、
前記粘着テープを前記ワークから剥離する際に前記ワークを非接触の状態で吸引し、前記剥離機構が前記粘着テープを剥離する際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止する吸引機構を備える
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
【請求項１８】
請求項１０ないし請求項１７のいずれかに記載の粘着テープ剥離装置であって、
前記粘着テープを前記ワークから剥離する際に前記ワークに気体を吹き付け、前記剥離機構が前記粘着テープを剥離する際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止する第２気体供給機構を備える
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）に貼り付けられている、回路保護用の保護テープを例とする粘着テープを剥離するための粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハの表面に回路パターンが形成された後、回路保護用の粘着テープ（保護テープ）が回路面に貼り付けられ、バックグラインド工程によってウエハの裏面を研削する。バックグラインド工程が完了すると、保護テープをウエハから剥離させ、さらにダイシング工程によって当該ウエハを多数のチップ部品に分断する。この場合、ダイシング工程でチップ部品が飛散することを防ぐため、ダイシング工程の前に支持用の粘着テープ（支持テープ）をリングフレームとウエハの裏面とにわたって貼り付けて一体化させる。
【０００３】
保護テープや支持テープを例とする粘着テープをウエハから剥離させるための従来の方法としては、一例として次のように実施されている。すなわち、粘着テープが貼り付けられている面を上向きにしてウエハを保持テーブルに吸着保持する。次に貼付けローラを転動させながら、粘着テープ上に剥離用の粘着テープ（剥離テープ）を貼り付ける。その後、先細り板状のエッジ部材で剥離テープを反転剥離させていくことにより、剥離テープに接着された粘着テープを一体にしてウエハの上面から剥離させる（例えば、特許文献１を参照）。
【０００４】
当該方法において、ウエハの下面全体が保持テーブルに当接されて吸着保持される。一方で、ウエハの回路面を下向きにした状態でウエハの非回路面に貼り付けられている粘着テープを剥離するような場合、ウエハの上面から粘着テープを剥離する際に、下向きとなっているウエハの回路面に対して保持テーブルなどが物理的に接触する事態を避けることが好ましい。
【０００５】
ウエハの回路面に対する物理的接触を回避しつつウエハを保持する方法としては以下のような方法が挙げられる。すなわち、保持テーブルは環状の凸部からなるウエハ保持部を備え、ウエハの下面のうち外周部に対して当該ウエハ保持部を当接させて吸着する。一般的にウエハの外周部には回路が形成されていないので、ウエハ保持部を介してウエハ下面の外周部を吸着保持することにより、回路に対する影響を抑えつつウエハを安定に保持できる（例えば、特許文献２を参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１２４４９４号公報
【特許文献２】特開２０１６−４６４３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。
【０００８】
すなわち、従来の構成において環状凸部を備える保持テーブルにウエハを載置させる際に、予定の位置からずれる場合がある。この場合、ウエハの下面のうち回路が形成されている部分が予定外に保持テーブルの環状凸部と物理的に接触し、回路が損傷を受けるという事態が懸念される。このように、従来の構成ではウエハの上面から粘着テープを剥離する際に、ウエハの下面に対する物理的接触を確実に回避することが困難である。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、ウエハの一方の面に対する物理的接触を確実に回避しつつ、ウエハの他方の面に貼り付けられている粘着テープを好適に剥離できる粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、ワークに貼り付けられた粘着テープを剥離する粘着テープ剥離方法であって、
前記ワークを剥離位置へ搬送する搬送過程と、
前記剥離位置へ搬送された前記ワークの周縁部に保持部材が接触することによって前記ワークを剥離位置に保持する保持過程と、
剥離部材によって剥離テープを前記粘着テープに貼り付けて折り返しながら当該剥離テープを剥離することによって、前記剥離位置に保持されている前記ワークから前記粘着テープを前記剥離テープと一体にして剥離する剥離過程と、
を備えることを特徴とするものである。
【００１１】
（作用・効果）この構成によれば、剥離位置へワークを搬送させた後、ワークの周縁部に保持部材が接触することによってワークを剥離位置に安定な状態で保持する。このとき、ワークの上面および下面に保持部材などが物理的に直接接触することを回避できる。そしてワークの周縁部を保持部材で保持した状態で、ワークに貼り付けられている粘着テープに剥離テープを貼り付け、粘着テープを剥離テープと一体にして剥離する。
【００１２】
すなわち、粘着テープが貼り付けられていないワークの面に保持部材などが接触していなくとも、ワークを安定に保持した状態で粘着テープをワークから剥離することができる。従って、粘着テープの剥離時において、ワークの面に保持部材などが物理的に接触することに起因する不具合が発生することを確実に回避できる。
【００１３】
また、上述した発明において、前記保持過程は、前記ワークの周縁部に接触した前記保持部材の各々が、前記ワークに対して前記ワークの周縁部から中央部に向けて力を作用させることにより前記ワークが保持されることが好ましい。
【００１４】
（作用・効果）この構成によれば、保持部材の各々がワークに対して、ワークの周縁部から中央部に向けて力を作用させることによりワークが保持される。この場合、ワークの中央部に向けて作用する力の各々により、ワークはより安定に保持される。従って、ワークの面に物理的接触が行われなくとも粘着テープの剥離過程においてワークが位置ズレすることをより確実に回避できる。
【００１５】
また、上述した発明において、前記保持過程は、前記保持部材の各々が前記ワークの周縁部から中央部に向けて作用させる力の大きさを適切な大きさとなるように制御しつつ、前記ワークを前記剥離位置に保持させることが好ましい。この場合、保持部材の各々が前記ワークの周縁部から中央部に向けて作用させる力の大きさを適切な大きさとなるように制御される。そのため、過剰な力の作用によるワークの変形や、作用する力の不足に起因してワークを落とすといった、ワークの保持過程における不具合の発生をより確実に回避できる。
【００１６】
また、上述した発明において、前記保持部材は弾性体を備えており、前記保持過程は、前記弾性体が前記ワークの周縁部に接触して弾性変形することによって前記ワークを保持することが好ましい。
【００１７】
（作用・効果）この構成によれば、保持部材に設けられている弾性体がワークの周縁部に接触して弾性変形することによってワークは保持される。このとき、弾性体はワークの周縁部の形状に応じて弾性変形するので、保持部材とワークの周縁部と接触する部分はより広くなる。従って、保持部材はワークをより安定に保持することができる。
【００１８】
また、上述した発明において、前記保持部材は、前記ワークの周縁部に接触する保持位置と、前記ワークから剥離される前記粘着テープとの接触を回避できる回避位置とを適宜に移動可能に構成され、前記剥離過程は、複数の前記保持部材の位置を前記保持位置と前記回避位置とに適宜切り換えつつ、前記粘着テープを前記ワークから剥離させることが好ましい。
【００１９】
（作用・効果）この構成によれば、保持部材は保持位置と回避位置とを適宜移動できる。保持位置において保持部材はワークの周縁部に接触し、回避位置において保持部材はワークから剥離される粘着テープとの接触を回避できる。そして保持部材の位置を保持位置と回避位置とに適宜切り換えつつ粘着テープをワークから剥離させる。
【００２０】
すなわち、粘着テープがワークから剥離される位置においては保持部材を回避位置へと移動させて粘着テープと保持部材との接触を回避しつつ、粘着テープがワークから剥離される位置以外における保持部材については保持位置へと移動させることができる。よって、粘着テープをワークから剥離する際に、保持位置に移動している保持部材によってワークを安定に保持しつつ、ワークから剥離される粘着テープと保持部材との接触に起因する剥離エラーの発生を確実に防止できる。
【００２１】
また、上述した発明において、前記剥離過程は、前記剥離テープを前記粘着テープに貼り付ける際に前記粘着テープを吸着部材で吸着することにより、前記剥離テープを貼り付ける際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止することが好ましい。
【００２２】
（作用・効果）この構成によれば、剥離テープを粘着テープに貼り付ける際に、粘着テープを吸着部材で吸着する。当該吸着により、剥離テープを貼り付ける際に発生する力に起因するワークの変形が防止される。従って、ワークの品質低下や粘着テープの剥離エラーが発生することをより確実に防止できる。
【００２３】
また、上述した発明において、前記剥離過程は、前記剥離テープを前記粘着テープに貼り付ける際に第１気体供給機構により前記ワークに気体を吹き付け、前記剥離テープを貼り付ける際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止することが好ましい。
【００２４】
（作用・効果）この構成によれば、剥離テープを粘着テープに貼り付ける際に、第１気体供給機構によりワークに気体を吹き付ける。気体を吹き付けることにより、剥離テープを貼り付ける際においてワークが変形することを防止できる。従って、ワークの品質低下や粘着テープの剥離エラーが発生することをより確実に回避できる。
【００２５】
また、上述した発明において、前記剥離過程は、前記粘着テープを前記ワークから剥離する際に吸引機構により前記ワークを非接触の状態で吸引し、前記粘着テープを剥離する際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止することが好ましい。
【００２６】
（作用・効果）この構成によれば、粘着テープをワークから剥離する際に、吸引機構によりワークを非接触の状態で吸引する。当該吸引により、粘着テープをワークから剥離する際において発生する力に起因するワークの変形が防止される。従って、ワークの品質低下や粘着テープの剥離エラーが発生することをより確実に防止できる。
【００２７】
また、上述した発明において、前記剥離過程は、前記粘着テープを前記ワークから剥離する際に第２気体供給機構により前記ワークに気体を吹き付け、前記粘着テープを剥離する際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止することが好ましい。
【００２８】
（作用・効果）この構成によれば、粘着テープをワークから剥離する際に、第２気体供給機構によりワークに気体を吹き付ける。気体を吹き付けることにより、粘着テープをワークから剥離する際においてワークが変形することを防止できる。従って、ワークの品質低下や粘着テープの剥離エラーが発生することをより確実に回避できる。
【００２９】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、ワークに貼り付けられた粘着テープを剥離する粘着テープ剥離装置であって、
前記ワークを剥離位置へ搬送する搬送機構と、
前記剥離位置へ搬送された前記ワークの周縁部に接触することによって前記ワークを剥離位置に保持する保持部材と、
剥離部材によって剥離テープを前記粘着テープに貼り付けて折り返しながら当該剥離テープを剥離することによって、前記剥離位置に保持されている前記ワークから前記粘着テープを前記剥離テープと一体にして剥離する剥離機構と、
を備えることを特徴とするものである。
【００３０】
（作用・効果）この構成によれば、搬送機構が剥離位置へワークを搬送させた後、ワークの周縁部に保持部材が接触することによってワークを剥離位置に安定な状態で保持する。このとき、ワークの上面および下面に保持部材などが物理的に直接接触することを回避できる。そしてワークの周縁部を保持部材で保持した状態で、剥離機構はワークに貼り付けられている粘着テープに剥離テープを貼り付け、粘着テープを剥離テープと一体にして剥離する。
【００３１】
すなわち、粘着テープが貼り付けられていないワークの面に保持部材などが接触していなくとも、ワークを安定に保持した状態で粘着テープをワークから剥離することができる。従って、粘着テープの剥離時において、ワークの面に保持部材などが物理的に接触することに起因する不具合が発生することを確実に回避できる。
【００３２】
また、上述した発明において、前記ワークの周縁部に接触した前記保持部材の各々から前記ワークに対して前記ワークの周縁部から中央部に向けて力を作用させ、前記ワークを保持させる加圧機構を備えることが好ましい。
【００３３】
（作用・効果）この構成によれば、保持部材の各々からワークに対して、ワークの周縁部から中央部に向けて力を作用させる加圧機構を備える。この場合、ワークの中央部に向けて加圧機構が作用させる力の各々により、ワークはより安定に保持される。従って、ワークの面に物理的接触が行われなくとも粘着テープの剥離過程においてワークが位置ズレすることをより確実に回避できる。
【００３４】
また、上述した発明において、前記保持部材の各々が前記ワークの周縁部から中央部に向けて作用させる力の大きさを適切な大きさとなるように制御する制御機構を備えることが好ましい。この場合、制御機構により、保持部材の各々が前記ワークの周縁部から中央部に向けて作用させる力の大きさを適切な大きさとなるように制御される。そのため、過剰な力の作用によるワークの変形や、作用する力の不足に起因してワークを落とすといった、ワークの保持過程における不具合の発生をより確実に回避できる。
【００３５】
また、上述した発明において、前記保持部材は弾性体を備えており、前記弾性体が前記ワークの周縁部に接触して弾性変形することによって前記ワークを保持することが好ましい。
【００３６】
（作用・効果）この構成によれば、保持部材に設けられている弾性体がワークの周縁部に接触して弾性変形することによってワークは保持される。このとき、弾性体はワークの周縁部の形状に応じて弾性変形するので、保持部材とワークの周縁部と接触する部分はより広くなる。従って、保持部材はワークをより安定に保持することができる。
【００３７】
また、上述した発明において、前記保持部材を、前記ワークの周縁部に接触する保持位置と、前記ワークから剥離される前記粘着テープとの接触を回避できる回避位置とを適宜移動させる駆動機構を備え、前記駆動機構が複数の前記保持部材の位置を前記保持位置と前記回避位置とに適宜切り換えつつ、前記剥離機構は前記粘着テープを前記ワークから剥離させることが好ましい。
【００３８】
（作用・効果）この構成によれば、駆動機構によって、保持部材は保持位置と回避位置とを適宜移動できる。保持位置において保持部材はワークの周縁部に接触し、回避位置において保持部材はワークから剥離される粘着テープとの接触を回避できる。そして駆動機構によって保持部材の位置を保持位置と回避位置とに適宜切り換えつつ、粘着テープをワークから剥離させる。
【００３９】
すなわち、粘着テープがワークから剥離される位置においては保持部材を回避位置へと移動させて粘着テープと保持部材との接触を回避しつつ、粘着テープがワークから剥離される位置以外における保持部材については保持位置へと移動させることができる。よって、粘着テープをワークから剥離する際に、保持位置に移動している保持部材によってワークを安定に保持しつつ、ワークから剥離される粘着テープと保持部材との接触に起因する剥離エラーの発生を確実に防止できる。
【００４０】
また、上述した発明において、前記剥離テープを前記粘着テープに貼り付ける際に前記粘着テープを吸着し、前記剥離機構が前記剥離テープを貼り付ける際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止する吸着部材を備えることが好ましい。
【００４１】
（作用・効果）この構成によれば、剥離テープを粘着テープに貼り付ける際に、粘着テープを吸着部材で吸着する。当該吸着により、剥離テープを貼り付ける際に発生する力に起因するワークの変形が防止される。従って、ワークの品質低下や粘着テープの剥離エラーが発生することをより確実に防止できる。
【００４２】
また、上述した発明において、前記剥離テープを前記粘着テープに貼り付ける際に前記ワークに気体を吹き付け、前記剥離機構が前記剥離テープを貼り付ける際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止する第１気体供給機構を備えることが好ましい。
【００４３】
（作用・効果）この構成によれば、剥離テープを粘着テープに貼り付ける際に、第１気体供給機構によりワークに気体を吹き付ける。気体を吹き付けることにより、剥離テープを貼り付ける際においてワークが変形することを防止できる。従って、ワークの品質低下や粘着テープの剥離エラーが発生することをより確実に回避できる。
【００４４】
また、上述した発明において、前記粘着テープを前記ワークから剥離する際に前記ワークを非接触の状態で吸引し、前記剥離機構が前記粘着テープを剥離する際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止する吸引機構を備えることが好ましい。
【００４５】
（作用・効果）この構成によれば、粘着テープをワークから剥離する際に、吸引機構によりワークを非接触の状態で吸引する。当該吸引により、粘着テープをワークから剥離する際において発生する力に起因するワークの変形が防止される。従って、ワークの品質低下や粘着テープの剥離エラーが発生することをより確実に防止できる。
【００４６】
また、上述した発明において、前記粘着テープを前記ワークから剥離する際に前記ワークに気体を吹き付け、前記剥離機構が前記粘着テープを剥離する際に発生する力に起因する前記ワークの変形を防止する第２気体供給機構を備えることが好ましい。
【００４７】
（作用・効果）この構成によれば、粘着テープをワークから剥離する際に、第２気体供給機構によりワークに気体を吹き付ける。気体を吹き付けることにより、粘着テープをワークから剥離する際においてワークが変形することを防止できる。従って、ワークの品質低下や粘着テープの剥離エラーが発生することをより確実に回避できる。
【発明の効果】
【００４８】
本発明の粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置によれば、ウエハの周縁部を保持部材で保持することによりウエハは剥離位置に安定な状態で保持される。そしてウエハが当該剥離位置に保持された状態で、ウエハに貼り付けられている粘着テープを剥離する。従って、ウエハの一方の面に対する物理的接触を確実に回避しつつ、ウエハの他方の面に貼り付けられている粘着テープを好適に剥離できる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】実施例１に係る粘着テープ剥離装置の基本構成を示す平面図である。
【図２】実施例１に係る保持機構および剥離機構の基本構成を示す正面図である。
【図３】実施例１に係る保持機構および剥離機構の基本構成を示す平面図である。
【図４】実施例１に係る保持機構の構成を示す図である。（ａ）は保持部材が回避位置に移動している状態を示す縦断面図であり、（ｂ）は保持部材が保持位置に移動している状態を示す縦断面図であり、（ｃ）は回避位置に移動している保持部材と保持位置に移動している保持部材との位置関係を示す平面図である。
【図５】実施例１に係る保持部材の位置パターンを示す平面図である。（ａ）は第１のパターンを示す平面図であり、（ｂ）は第２のパターンを示す平面図であり、（ｃ）は第３のパターンを示す平面図であり、（ｄ）は第４のパターンを示す平面図である。
【図６】実施例１に係る粘着テープ剥離装置の動作を示す正面図である。（ａ）はウエハ供給部に搬送機構を移動させている状態を示す正面図であり、（ｂ）はウエハ保持部の位置合わせピンが初期位置から移動し、ウエハ保持部に保持されたウエハの位置合わせを行っている状態を示す正面図である。
【図７】実施例１に係る粘着テープ剥離装置の動作を示す図である。（ａ）はウエハをアライナに搬送した状態を示す正面図であり、（ｂ）は位置合わせピンによってウエハの位置合わせを行う状態を示す正面図である。
【図８】実施例１に係る粘着テープ剥離装置の動作を示す図である。（ａ）はウエハを保持機構に搬送した状態を示す縦断面図であり、（ｂ）は保持部材をウエハの周縁部に接触させてウエハを保持する状態を示す縦断面図であり、（ｃ）はウエハに接触した保持部材からウエハに対して、周縁部から中央部に向かう力を作用させ、ウエハをより安定に保持させる状態を示す縦断面図である。
【図９】実施例１に係る粘着テープ剥離装置の動作を示す図である。（ａ）は可動テーブルが剥離開始位置へ移動している状態における、保持部材の配置パターンを示す平面図であり、（ｂ）は剥離テープを粘着テープに貼り付ける状態を示す縦断面図であり、（ｃ）は剥離テープを粘着テープに貼り付ける状態における、保持部材および剥離ユニットの位置関係を示す平面図である。
【図１０】実施例１に係る粘着テープ剥離装置の動作を示す図である。（ａ）は剥離ユニットが剥離テープと一体として粘着テープを剥離する状態を示す縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）の状態における、保持部材の位置関係およびウエハ上で粘着テープが残っている範囲を示す平面図である。
【図１１】実施例１に係る粘着テープ剥離装置の動作を示す図である。（ａ）は剥離前の粘着テープと剥離後の粘着テープとの境界線がＦ１の近傍にある場合における、保持部材の位置関係を示す平面図であり、（ｂ）は剥離前の粘着テープと剥離後の粘着テープとの境界線がＦ１から離れた場合における、保持部材の位置関係を示す平面図であり、（ｃ）は剥離前の粘着テープと剥離後の粘着テープとの境界線がＦ２の近傍にある場合における、保持部材の位置関係を示す平面図であり、（ｄ）は剥離前の粘着テープと剥離後の粘着テープとの境界線がＦ２から離れた場合における、保持部材の位置関係を示す平面図である。
【図１２】実施例１に係る粘着テープ剥離装置の動作を示す図である。（ａ）は剥離前の粘着テープと剥離後の粘着テープとの境界線がＦ３の近傍にある場合における、保持部材の位置関係を示す平面図であり、（ｂ）は剥離前の粘着テープと剥離後の粘着テープとの境界線がウエハの左端近傍にある場合における、保持部材の位置関係を示す平面図であり、（ｃ）は粘着テープが完全にウエハから剥離された状態を示す縦断面図である。
【図１３】実施例２に係る粘着テープ剥離装置の動作を示す図である。（ａ）は剥離テープを粘着テープに貼り付ける状態における、保持部材の位置関係を示す平面図であり、（ｂ）は剥離前の粘着テープと剥離後の粘着テープとの境界線がＦ１の近傍にある場合における、保持部材の位置関係を示す平面図であり、（ｃ）は剥離前の粘着テープと剥離後の粘着テープとの境界線がＦ２の近傍にある場合における、保持部材の位置関係を示す平面図であり、（ｄ）は剥離前の粘着テープと剥離後の粘着テープとの境界線がＦ３の近傍にある場合における、保持部材の位置関係を示す平面図である。
【図１４】変形例に係る保持部材の構成を示す図である。（ａ）は一様な太さである保持部材が回避位置に配置されている状態を示す縦断面図であり、（ｂ）は一様な太さである保持部材が保持位置に移動してウエハを保持する状態を示す縦断面図であり、（ｃ）は凹部を備える保持部材が回避位置に配置されている状態を示す縦断面図であり、（ｄ）は凹部を備える保持部材が保持位置に移動してウエハを保持する状態を示す縦断面図である。
【図１５】変形例に係る保持部材の構成を示す図である。（ａ）は保持部材の斜視図であり、（ｂ）は保持部材が回避位置に配置されている状態を示す縦断面図であり、（ｃ）は保持部材の弾性体がウエハの周縁部に当接している状態を示す縦断面図であり、（ｄ）は保持部材の弾性体がウエハの周縁部に当接してさらに弾性変形している状態を示す縦断面図である。
【図１６】変形例に係る粘着テープ剥離装置を説明する図である。（ａ）は剥離テープを粘着テープに貼り付ける際に、気体流路を介してウエハの下面に気体を吹き付ける状態を示す縦断面図であり、（ｂ）は剥離テープと一体として粘着テープを剥離する際に、気体流路を介してウエハの下面を吸引する状態を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００５０】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。図１は、実施例１に係る粘着テープ剥離装置１の基本構成を示す平面図である。なお粘着テープ貼付け装置１を示す図において、各種構成を支持する支持手段、および各種構成を駆動させる駆動手段などについては適宜図示を省略している。
【００５１】
実施例１に係る粘着テープ剥離装置１は、ワークから粘着テープを剥離する構成の例として、粘着テープＴが裏面に貼り付けられている半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」と略称する）から当該粘着テープＴを剥離する構成を挙げて説明する。すなわち実施例１において、ウエハＷが本発明におけるワークに相当する。なお、ウエハＷの表面には回路パターンが形成されているものとする。
【００５２】
＜全体構成の説明＞
本実施例に係る粘着テープ剥離装置１は図１に示すように、ウエハ供給部２、ウエハ回収部３、ウエハ搬送機構４、アライナ５、保持機構６、および剥離機構７を備えている。
【００５３】
ウエハ供給部２には、カセットＣ１が装填されている。カセットＣ１には、粘着テープＴが裏面に貼り付けられている状態のウエハＷが、裏面を上向きにして多段に水平姿勢で差し込み収納されている。ウエハ収納部３には、カセットＣ２が装填されている。カセットＣ２には、粘着テープＴが裏面から剥離された状態のウエハＷが、裏面を上向きにして多段に水平姿勢で差し込み収納される。
【００５４】
ウエハ搬送機構４に備えられているロボットアーム４ａは、水平に進退移動可能に構成されるとともに、全体が旋回移動および昇降移動を可能とするように構成されている。ロボットアーム４ａの先端には、馬蹄形をしたウエハ保持部４ｂが備えられている。ウエハ保持部４ｂは、好ましい例としてベルヌーイチャックであり、ウエハＷの裏面を非接触で懸垂保持する。
【００５５】
具体的には図６に示すように、ウエハ保持部４ｂの下面には複数の気体供給パッド４ｃが設けられている。気体供給パッド４ｃは図示しない気体供給機構と連通接続されている。気体供給パッド４ｃを介して、上向きとなっているウエハＷの裏面にウエハ保持部４ｂから気体が吹き付けられることにより、ウエハＷとウエハ保持部４ｂとの間に負圧領域が形成され、ウエハ保持部４ｂはウエハＷの裏面を非接触で懸垂保持する。
【００５６】
また、ウエハ保持部４ｂの下面には位置合わせピン４ｄが所定の円周上に複数立設されている。位置合わせピン４ｄの各々は、ウエハ保持部４ｂの中心部に向けて往復移動可能に構成される。位置合わせピン４ｄは、後述する保持部材９との干渉を回避できるように、所定の円周上における配設位置が調整される。なお平面視において、位置合わせピン４ｄがウエハＷの周縁部と接触する位置の一例を、図３において点線Ｒで示している。
【００５７】
アライナ５は、水平なステージ５ａと、気体供給パッド５ｂと、位置合わせピン５ｃとを備えており、ウエハ供給部２から搬送されたウエハＷの位置合わせを行う。気体供給パッド５ｂはステージ５ａの表面に形成されており、図示しない気体供給機構と連通接続されている。アライナ５へ搬送されたウエハの下面に対して、気体供給パッド５ｂを介して気体を吹き付けることにより、ウエハＷとステージ５ａとの間に負圧領域を形成し、ベルヌーイ効果によりウエハを浮遊させてステージ５ａ上に保持する。
【００５８】
位置合わせピン５ｃはステージ５ａにおける所定の円周上に等間隔をおいて立設されている。各々の位置合わせピン５ｃは、ステージ５ａの外周部からステージ５ａの中心部に向けて往復移動可能に構成される。浮遊状態でステージ５ａ上に保持されているウエハＷは、位置合わせピン５ｃによって、点線Ｐ１で示される位置に位置合わせされる。
【００５９】
保持機構６は、可動ステージ８と、複数の保持部材９と、気体供給パッド１０とを備えている。可動ステージ８は図２に示すように、左右方向（ｘ方向）へ水平に配備されたレール１１に沿って、左右方向へスライド移動可能に支持されている。可動ステージ８は、モータ１３によって正逆駆動されるネジ軸１５によってネジ送り駆動されるようになっている。レール１１に沿ってスライド移動することにより、可動ステージ８は図１または図２において実線で示されている初期位置と、図１または図２において点線で示されている剥離開始位置との間を往復移動するように構成されている。
【００６０】
保持部材９は実施例１において棒状の構成を有しており、可動ステージ８における所定の円周上に立設されている。そして保持部材９の各々がウエハＷの周縁部Ｗｂに接触することにより、ウエハＷは可動ステージ８の上において、下面Ｗａに物理的接触が行われることなく安定に保持される。詳細な保持部材９の構成については後述する。
【００６１】
気体供給パッド１０は、図１に示すように、可動ステージ８の上面に設けられている。気体供給パッド１０の各々が配設される位置は、保持機構６へ搬送されたウエハＷの下方となるように予め調整される。気体供給パッド１０は、図示しない気体供給装置と接続されており、剥離テープＴｓとともに粘着テープＴをウエハＷから剥離する際に、ウエハＷの下面へと気体を供給するように構成される。気体供給パッド１０からの気体供給により、ウエハＷと気体供給パッド１０との間に負圧領域が形成され、ベルヌーイ効果によってウエハＷに対する下向きの力が発生する。
【００６２】
剥離機構７は、図１および図２に示すように、可動ステージ８の初期位置と可動ステージ８の剥離開始位置との間に配設されている。剥離機構７は、テープ供給部１７と、テープ回収部１９と、剥離ユニット２０とを備えている。テープ供給部１７は、原反ロールに装填されている剥離テープＴｓを繰り出す。繰り出された剥離テープＴｓは、図示しない案内ロールによって剥離ユニット２０へと案内される。テープ回収部１９は、剥離ユニット２０から送り出された剥離テープＴｓを巻き取り回収する。
【００６３】
次に、剥離ユニット２０の構成について説明する。図２に示すように、装置基台に立設された左右一対の縦フレーム２１に亘って、アルミ引き抜き材などからなる支持フレーム２２が固定されている。この支持フレーム２２の左右中央部位に箱形の基台２３が連結されている。また、基台２３に設けられた左右一対の縦レール２４を介してスライド昇降可能に支持された昇降台２５がモータ２６により連結駆動されるボール軸によって昇降される。剥離ユニット２０は、昇降台２５に装備されている。
【００６４】
昇降台２５は、上下に貫通した中抜き枠状に構成されている。剥離ユニット２０は、昇降台２５の左右に備えられた側板２７の内側下部に設けられている。両側板２７に亘って支持フレーム２８が固定されている。
【００６５】
支持フレーム２８の中央には剥離部材２９が装着されている。剥離部材２９は、ウエハＷの直径よりも短い板状であり、かつ、先端に向かって先細りのテーパ状に形成されている。当該剥離部材２９は、斜め下がり傾斜姿勢で固定されている。
【００６６】
また、剥離ユニット２０は、側板２７の後方に供給用のガイドローラ３１が遊転自在に軸支されている。また、剥離ユニット２０の上方には複数本の回収用のガイドローラ３２、ニップローラ３３およびテンションローラ３４が配備されている。
【００６７】
回収用のガイドローラ３２は、遊転自在に軸支されている。テンションローラ３４は遊転自在に支持アーム３５に設けられており、当該支持アーム３５を介して揺動可能に配備されている。したがって、テンションローラ３４は、案内巻回された剥離テープＴｓに適度の張力を与える。
【００６８】
これら回収用のガイドローラ３２およびテンションローラ３４は、ウエハＷの直径より大きい長さの幅広ローラに構成されるとともに、その外周面がフッ素樹脂コーティングされた難接着面になっている。供給用のガイドローラ３１は、剥離テープＴｓの幅よりも長く、かつ、ウエハＷの直径よりも短い幅狭ローラとなるように構成されている。
【００６９】
剥離機構７はさらに、吸着部材３７を備えている。吸着部材３７は剥離部材２９の左右すなわち粘着テープ剥離装置１の全体から見て剥離部材２９の手前側と奥側とに一対設けられている。吸着部材３７は、一例として板状の部材であり、昇降台２５と独立して昇降移動可能に構成されている。吸着部材３７は図示しない真空装置と連通接続されており、剥離ユニット２０が粘着テープＴに剥離テープＴｓを貼り付ける際に、粘着テープＴを表面側から吸着するように構成されている。
【００７０】
剥離部材２９が粘着テープＴの表面に剥離テープＴｓを押圧して貼り付ける際に、ウエハＷに対して下向きの力Ｊ１が作用する一方、吸着部材３７が粘着テープＴの表面を吸着することにより、ウエハＷに対して上向きの力Ｊ２が作用する。そのため、力Ｊ１と逆向きの力Ｊ２を吸着部材３７の吸着によって作用させることにより、剥離テープＴｓを粘着テープＴに貼り付ける際にウエハＷへ作用する力Ｊ１に起因するウエハＷの変形を防止できる。
【００７１】
なお、粘着テープ剥離装置１は、さらに制御部４０と入力部５０とを備えている。制御部４０はＣＰＵ（中央演算処理装置）などを備えており、粘着テープ剥離装置１の各種動作を統括制御する。各種動作の例としては、後述するシリンダ４３の伸縮動作や、可動テーブル８の水平移動、ウエハ搬送装置４の動作などが挙げられる。
【００７２】
入力部５０の例としてはコンソールパネルやキーボードなどが挙げられ、オペレータは入力部５０を用いて各種指示を入力できる。入力部５０に入力された指示内容は制御部４０に送信され、制御部４０は当該指示に沿って各種統括制御を行うことができる。
【００７３】
＜保持機構の構成＞
ここで、保持機構６の構成について詳細に説明する。実施例１において、１０本の保持部材９が保持機構６の可動ステージ８に立設されている。図２および図４（ａ）などに示すように、各々の保持部材９の側面には楔形の溝部４１が形成されている。溝部４１は保持部材９のうち、可動ステージ８の中央部に近い側に形成されており、溝部４１において保持部材９の各々はウエハＷの周縁部Ｗｂと接触する。ウエハＷの周縁部を介してウエハＷを安定に保持できる限りにおいて、保持部材９の数および配置は適宜変更してよい。保持部材９の構成材料としては、金属やプラスチックなどを例とする一定の堅さを有する材料が挙げられる。
【００７４】
保持部材９は図３などに示すように、可動ステージ８上において、可動ステージ８の外周部から可動ステージ８の中央部に向かう軌跡に沿って水平移動できるように構成されている。すなわち、保持部材９の各々は、図３において実線で示されている回避位置と、図３において点線で示されている保持位置との間を往復移動可能に構成されている。言い換えれば、可動ステージ８の中央部８ｘを中心とする放射線状の軌跡に沿って、保持部材９の各々は水平移動する。
【００７５】
保持部材９の保持位置は、保持機構６へ搬送されたウエハＷと保持部材９が接触して保持部材９によるウエハＷの保持が可能となる位置となるように定められる。一方、保持部材９の回避位置とは、保持機構６へ搬送されたウエハＷより外側に離れた位置であって、後述するようにウエハＷから剥離される粘着テープＴと保持部材９との接触や、剥離機構７と保持部材９との接触を回避できる位置となるように定められる。
【００７６】
保持部材９の各々が保持位置と回避位置とを相互に移動する構成について説明する。図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように、保持部材９の各々に対して、それぞれ別のシリンダ４３が接続されている。シリンダ４３の各々は図４（ｃ）に示すように、可動ステージ８の中央部８ｘを中心とする放射状の軌跡に沿って伸縮動作するよう配置されている。
【００７７】
保持部材９に接続されているシリンダ４３の伸縮動作により、保持部材９はレール４５に沿って水平移動する。当該水平移動により、保持部材９は図４（ａ）に示されるような回避位置に配置されている状態、または図４（ｂ）に示されるような保持位置に配置されている状態に適宜切り換えられる。各々のシリンダ４３の伸縮動作は、制御部４０によって適宜制御される。なお説明の便宜上、図４の各図および図８の各図を除く図面において、可動テーブル８におけるシリンダ４３およびレール４５の記載を省略している。
【００７８】
保持機構６にウエハＷが搬送されている状態で保持部材９が保持位置へ移動することにより、当該保持部材９の溝部４１にウエハＷの周縁部Ｗｂが接触する。少なくとも３以上の保持部材９が保持位置へ移動することにより、ウエハＷの周縁部Ｗｂは保持部材９の溝部４１と接触し、ウエハＷの下面Ｗａが物理的接触を受けることなく、ウエハＷは可動ステージ８上で安定に保持される。一例として、図４（ｃ）では１０本の保持部材９のうち、網点で示されている３本の保持部材９が保持位置へと移動している状態を示している。この場合、Ｐ２で示される位置へ搬送されたウエハＷは、当該３本の保持部材９によって挟まれるような状態で保持される。
【００７９】
本発明において、ウエハＷの周縁部Ｗｂとは、ウエハＷの側面における上端から下端までを含む部分とする。実施例１では図４（ｂ）に示すように、保持部材９はウエハＷの側面の上端および下端と溝部４１を介して接触することによって、ウエハＷを側方から保持している。
【００８０】
実施例１では好ましい構成として、保持部材９が保持位置へと移動してウエハＷの周縁部に接触している状態で、制御部４０は保持部材９がさらに可動テーブル８の中心部へ移動するようにシリンダ４３の動作を制御する。当該動作制御により、保持部材９からウエハＷに対して、ウエハＷの周縁部ＷｂからウエハＷの中心部Ｗｘへ向かう方向に力Ｊ３が加えられる。保持位置に移動している保持部材９の各々からウエハＷの中心部に向けて力Ｊ３が加えられることにより、ウエハＷが保持部材９から離れて落下する事態をより確実に回避できる。
【００８１】
力Ｊ３の大きさは、シリンダ４３が伸縮する距離に応じて変化する。制御部４０はシリンダ４３の伸縮距離を制御することにより、ウエハＷの厚みや大きさ、材質などを例とする各種条件に応じて力Ｊ３の大きさを適宜調整する。力Ｊ３の大きさを適宜調整することにより、保持部材９がウエハＷを保持する際に保持部材９からウエハＷに対して過剰な大きさの力Ｊ３が作用し、ウエハＷが変形するという事態を防止できる。
【００８２】
次に、保持部材９の位置を切り換える制御を行う機構について説明する。実施例１において、１０本の保持部材９は２つのグループに分けられ、グループごとに保持位置から回避位置へと切り換える制御を受けるように構成される。すなわち図５（ａ）に示すように、保持部材９は、第１のグループに属する４本の保持部材９ｐと、第２のグループに属する６本の保持部材９ｓとに分けられる。図５（ａ）以降の各図において、保持部材９ｐを斜線で塗って示し、保持部材９ｓを白塗りで示すことによって両者を区別する。
【００８３】
そして、保持部材９ｐの各々に接続されている４つのシリンダ４３の伸縮動作は、制御部４０によって同期的に制御される。また、保持部材９ｓの各々に接続されている６つのシリンダ４３の伸縮動作は、制御部４０によって同期的に制御される。また、保持部材９ｐに接続されるシリンダ４３の制御と、保持部材９ｓに接続されているシリンダ４３の制御とは制御部４０によって独立に行われる。当該同期的な制御を２グループについて独立に行うことにより、可動ステージ８上における保持部材９の配置は４つのパターンに分けられる。
【００８４】
第１のパターンでは図５（ａ）に示すように、保持部材９ｐおよび９ｓがいずれも回避位置に移動する。第２のパターンでは図５（ｂ）に示すように、保持部材９ｐおよび９ｓがいずれも保持位置に移動し、保持部材９ｐおよび９ｓによってウエハＷが保持される。
【００８５】
第３のパターンでは図５（ｃ）に示すように、保持部材９ｐの各々が保持位置へ移動する一方、保持部材９ｓの各々は回避位置に移動する。第３のパターンでは保持部材９ｐによってウエハＷが保持される。第４のパターンでは図５（ｄ）に示すように、保持部材９ｓの各々が保持位置へ移動する一方、保持部材９ｐの各々は回避位置に移動する。第４のパターンでは保持部材９ｓによってウエハＷが保持される。
【００８６】
実施例１では粘着テープＴをウエハＷから剥離する際に、保持部材９の配置パターンについて上記４つのパターンを適宜切り換える。保持部材９の位置を回避位置と保持位置との間で適宜切り換えることにより、ウエハＷの側方から接触することでウエハＷを安定に保持するとともに、ウエハＷから剥離される粘着テープＴと保持部材９とが干渉する事態を回避できる。
【００８７】
＜粘着テープ剥離工程の概要＞
ここで、粘着テープ剥離装置１を用いて粘着テープＴをウエハＷから剥離する工程について、一連の基本動作を説明する。粘着テープを剥離する工程を開始するにあたり、保持機構６の可動ステージ８は、図１に示す初期位置に移動しており、可動ステージ８上の保持部材９は、それぞれ図１に示すように回避位置に移動している。
【００８８】
剥離動作を開始する指令が出されると、まず、搬送機構４のロボットアーム４ａが作動し、ウエハ供給部２のカセットＣ１に向けて移動する。そして図６（ａ）に示すように、ロボットアーム４ａの先端に設けられているウエハ保持部４ｂが、カセットＣ１に収納されているウエハＷ同士の隙間に挿入される。ウエハ保持部４ｂの下面に設けられている気体供給パッド４ｃの各々からウエハＷに対して気体が吹きつけられ、ベルヌーイ効果によってウエハ保持部４ｂはウエハＷを非接触で保持する。
【００８９】
また、図６（ｂ）に示されるように、点線で示されている初期位置に配置されている位置合わせピン４ｄが、ウエハ保持部４ｂの中央部へ向けて移動する。位置合わせピン４ｄの移動により、ウエハＷの側面と位置合わせピン４ｄとが接触する。当該接触により、ウエハ保持部４ｂに非接触で保持されているウエハＷの位置合わせが行われる。すなわち、ウエハ保持部４ｂの保持面に対してウエハＷが水平方向に移動することが、位置合わせピン４ｄによって抑制される。
【００９０】
ウエハ保持部４ｂがウエハＷを非接触で保持するとともに位置合わせピン４ｄによるウエハＷの位置合わせが行われた後、搬送機構４はウエハＷをアライナ５へと搬送してウエハＷの位置合わせを行う。すなわち図７（ａ）に示すように、ウエハ保持部４ｂはステージ５ａの上方へとウエハＷを移動させる。このとき、ステージ５ａに設けられている気体供給パッド５ｂからウエハＷの下面に向けて気体が吹き付けられ、ベルヌーイ効果によりウエハＷはステージ５ａの上で浮遊する。
【００９１】
その後、気体供給パッド４ｃの動作を停止させるとともに、位置合わせピン４ｄをウエハ保持部４ｂの中央部から外周部に向けて移動させ、初期位置へと復帰させる。そしてウエハ保持部４ｂをアライナ５から退避させ、位置合わせピン５ｃによるウエハＷの位置合わせを行う。図７（ｂ）に示すように、位置合わせピン５ｃの各々はステージ５ａの外周部からステージ５ａの中心５ｘへ向かう方向へ移動する。
【００９２】
位置合わせピン５ｃの移動により、ウエハＷの側面と位置合わせピン５ｃの側面とが接触し、ウエハＷはステージ５ａの中心５ｘへと押されるように変位する。その結果、ウエハＷの中心Ｗｘとステージ５ａの中心５ｘが平面視で一致するようにウエハＷの位置が合わせられる。アライナ５によって位置合わせされるウエハＷの位置は図１において符号Ｐ１で示される。
【００９３】
ウエハＷの位置合わせが行われた後、ウエハＷを保持機構６の上で保持する工程を行う。ロボットアーム４ａは再度アライナ５へと移動し、ウエハ保持部４ｂによってウエハＷは非接触で保持される。すなわち、気体供給パッド４ｃが作動してウエハＷに対して気体が吹き付けられてベルヌーイ効果を発生させるとともに、位置合わせピン４ｄが初期位置からウエハ保持部４ｂの中央部へ向けて移動し、ウエハＷの側面に接触してウエハＷの位置合わせを行う。そしてウエハＷはアライナ５から保持機構６へと搬送される。すなわち図８（ａ）に示すように、ウエハＷはウエハ保持部４ｂによって可動ステージ８の上方へと搬送される。このときウエハＷが搬送される位置は、図１において符号Ｐ２で示される位置である。
【００９４】
そしてロボットアーム４ａは適宜下降し、ウエハＷの高さを保持部材９に設けられている溝部４１の高さに合わせる。このとき、保持部材９の位置は図５（ａ）に示すような第１のパターンとなっている。すなわち、保持部材９はいずれも回避位置に移動している。
【００９５】
ウエハＷの高さを溝部４１の高さに合わせた後、制御部４０は各々のシリンダ４３の伸縮動作を制御し、保持部材９の各々を回避位置から保持位置へと移動させる。制御部４０の制御により、保持部材９の各々の位置は、第１のパターンから図５（ｂ）に示すような第２のパターンへと変更される。
【００９６】
すなわち図８（ｂ）に示すように、保持部材９の各々が保持位置へと移動し、各々の溝部４１がウエハＷの周縁部Ｗｂと咬合するように接触する。当該接触によりウエハＷは保持部材９によって保持される。
【００９７】
このとき、ウエハの周縁部Ｗｂに対して物理的接触が行われているので、下向きとなっているウエハＷの回路面Ｗａに対する物理的接触がない状態で、ウエハＷを可動ステージ８の上で安定に保持できる。実施例１では保持部材９によって囲まれる領域が、本発明における剥離位置に相当する。
【００９８】
なお、ウエハ保持部４ｂにおいて水平方向におけるウエハＷの位置ズレを防止するため、ウエハＷの周縁部Ｗｂには位置合わせピン４ｄが接触した状態となっている。しかし、位置合わせピン４ｄの配設位置と保持部材９の保持位置とは周縁部Ｗｂの円周上において異なる位置となるように予め調整されている。そのため、保持位置に移動した保持部材９が位置合わせピン４ｄに干渉することを抑制できるので、保持部材９によるウエハＷの保持過程にエラーが発生することを回避できる。また説明の便宜上、図８の各図において、位置合わせピン４ｄの記載を省略している。
【００９９】
実施例１ではウエハＷをより安定に保持すべく、さらに制御部４０はシリンダ４３をウエハの中心Ｗｘへ向けて収縮するように制御する。当該制御により、図８（ｃ）に示すように、保持位置に移動している保持部材９の各々からウエハＷに対して力Ｊ３が作用する。
【０１００】
力Ｊ３の各々は、ウエハＷの周縁部Ｗｂから中心Ｗｘへ向かう方向の力であるので、力Ｊ３が作用することにより、ウエハＷの周縁部Ｗｂが保持部材９の溝部４１から離れてウエハＷが落下する事態を防止できる。よって、保持部材９から力Ｊ３を作用させることにより、下向きとなっている回路面Ｗａに物理的接触がない状態であっても、ウエハＷをより安定に保持できる。
【０１０１】
保持部材９がウエハＷの周縁部Ｗｂを保持した後、ウエハ保持部４ｂにおける気体供給パッド４ｃの動作を停止させて搬送機構４によるウエハＷの保持を解除し、ロボットアーム４ａを保持機構６から退避させる。
【０１０２】
ロボットアーム４ａを保持機構６から退避させた後、粘着テープＴを剥離する工程を開始する。まず、制御部４０はモータ１３の回転を制御することによって、可動ステージ８は初期位置から剥離開始位置へと移動する（図１および図２を参照）。
【０１０３】
可動ステージ８が剥離開始位置へ移動した後、可動テーブル８を剥離開始位置から初期位置へと移動させる。可動テーブル８を初期位置へと移動させる間に、剥離ユニット２０により、剥離テープＴｓを粘着テープＴの表面に貼り付ける工程と、剥離テープＴｓと一体として粘着テープＴをウエハＷから剥離する工程とが行われる。
【０１０４】
ここで、剥離テープＴｓは図において粘着テープＴの右端部分に貼り付けられる。そのため、保持部材９が全て保持位置に移動していると、保持部材９のうち図９（ａ）において点線Ｍ１で囲まれる保持部材９ｓが、剥離ユニット２０による剥離テープ貼付け動作の妨げとなる。
【０１０５】
そこで剥離テープＴｓを粘着テープＴに貼り付ける動作を行う前に、保持部材９のうち保持部材９ｓを回避位置へと移動させる。すなわち制御部４０は保持部材９のうち保持部材９ｓに接続されている６つのシリンダ４３を制御し、保持部材９ｓの位置を保持位置から回避位置に切り換える。
【０１０６】
保持部材９ｓの位置が切り換えられることにより、保持部材９の位置パターンは図５（ｂ）に示す第２のパターンから、図５（ｃ）に示す第３のパターンに変化する。この場合、ウエハＷは４本の保持部材９ｐによって安定に保持されている。そして、点線Ｍ１で囲まれる保持部材９ｓはウエハＷから離れて回避位置へと移動しているので、剥離ユニット２０と保持部材９ｓとが干渉して剥離過程にエラーが発生する事態を回避できる。
【０１０７】
保持部材９ｓを回避位置に退避させた後、テープ供給部１７から剥離テープＴｓが繰り出し供給され、剥離ユニット２０を用いて剥離テープＴｓを粘着テープＴに貼り付ける。すなわち図９（ｂ）に示すように、モータ２６が制御部４０によって作動して剥離ユニット２０が所定の高さまで下降する。なお説明の便宜上、図９（ｂ）において、ウエハＷを保持している保持部材９ｐの記載を省略している。
【０１０８】
そして剥離部材２９に巻き掛けられている剥離テープＴｓが、ウエハＷ上における粘着テープＴの右端部に押圧されて貼り付けられる。剥離テープＴｓを貼り付ける際における押圧により、ウエハＷに対して下向きの力Ｊ１が作用する。
【０１０９】
そこで力Ｊ１によるウエハＷの変形を防ぐべく、粘着テープＴに剥離テープＴｓを貼り付ける動作と同期的に、吸着部材３７による粘着テープＴおよびウエハＷの吸着が行われる。すなわち図９（ｂ）に示すように、剥離部材２９の下降と独立して吸着部材３７が所定の高さまで下降する。
【０１１０】
そして図示しない真空装置を作動させ、吸着部材３７は当該所定の高さにおいて粘着テープＴおよびウエハＷを吸着する。当該吸着により、ウエハＷに対して上向きの力Ｊ２が作用する。上向きの力Ｊ２によって、下向きの力Ｊ１がウエハＷに与える影響は低減される。従って、吸着部材３７による吸着を行うことにより、力Ｊ１によってウエハが変形する事態を回避できる。このとき、平面視における吸着部材３７、剥離部材２９、および剥離テープＴｓなどの位置関係は図９（ｃ）に示す通りである。
【０１１１】
剥離テープＴｓを粘着テープＴに貼り付ける動作の完了と同期して、吸着部材３７による吸着を解除させる。そして可動テーブル８はさらに初期位置に向かって、図面における右方向へと移動していく。このとき、剥離部材２９によって剥離テープＴｓを折り返しながら粘着テープＴを剥離テープＴｓと一体にしてウエハＷの裏面から剥離していく（図１０（ａ））。ウエハＷから剥離された粘着テープＴが貼り付いている剥離テープＴｓは、テープ回収部１９によって巻き取り回収されていく。なお図１０（ａ）において、ウエハＷを保持している保持部材９の記載を説明の便宜上省略している。  
【０１１２】
上向きとなっているウエハＷの裏面から粘着テープＴを剥離することにより、粘着テープＴを剥離する際に、ウエハＷには上向きの力Ｊ４が作用する。そこで力Ｊ４によるウエハＷの変形を防ぐべく、粘着テープＴを剥離する動作と同期的に、気体供給パッド１０による気体の供給が行われる。すなわち図１０（ａ）に示すように、可動ステージ８の表面に設けられている気体供給パッド１０から、ウエハＷの下面に向けて気体が吹き付けられる。
【０１１３】
気体が吹き付けられることにより可動ステージ８とウエハＷの下面との間に負圧領域が発生し、ベルヌーイ効果によりウエハＷに対して下向きの力Ｊ５が発生する。下向きの力Ｊ５によって、上向きの力Ｊ４がウエハＷに与える影響は低減される。従って、気体供給パッド１０を用いて気体を吹きつけることにより、力Ｊ４によってウエハが変形する事態を回避できる。
【０１１４】
粘着テープＴがウエハＷから剥離されるにつれて、ウエハＷに貼り付けられている粘着テープＴとウエハＷから剥離された粘着テープＴとの境界線Ｎは、ウエハＷの右端から左方向へと移動する（図１０（ｂ））。境界線ＮがウエハＷの右端から離れることにより、符号Ｍ１で囲まれる保持部材９ｓが保持位置に移動しても剥離ユニット２０や粘着テープＴと干渉する事態は回避される。
【０１１５】
そこで、境界線ＮがウエハＷの右端から符号Ｆ１までの位置にある際に、制御部４０は保持部材９ｓに接続されているシリンダ４３を制御し、保持部材９ｓの各々を保持位置へと移動させる。当該制御により、保持部材９の位置パターンは第３のパターンから第２のパターンに変更され、保持部材９ｐおよび９ｓによってウエハＷが保持される（図１０（ｂ））。
【０１１６】
剥離ユニット２０によって、さらに粘着テープＴがウエハＷから剥離されていき、境界線Ｎは図９（ａ）において符号Ｆ１で示される位置へと近づいていく。このとき、点線Ｍ２で囲まれている保持部材９ｐが保持位置に配置されていると、ウエハＷから剥離される粘着テープＴが当該保持部材９ｐに接触するなどの原因によって、剥離エラーが発生する事態が懸念される。
【０１１７】
そこで、境界線Ｎが符号Ｆ１の位置に近づくと、制御部４０は保持部材９ｐに接続されているシリンダ４３の伸縮動作を制御して、保持部材９ｐの各々を保持位置から回避位置へと移動させる。当該制御により、保持部材９の位置パターンは第２のパターンから図５（ｄ）に示されるような第４のパターンに変更される。保持部材９ｐの位置を回避位置へと切り換えることにより、境界線Ｎが位置Ｆ１を通過しても粘着テープＴの剥離エラーが発生する事態を確実に回避できる（図１１（ａ））。このとき、ウエハＷは保持部材９ｓによって保持されている。
【０１１８】
可動テーブル８をさらに初期位置に向けて移動させて粘着テープＴを剥離するにつれて、境界線Ｎはさらに左方向へと移動する。境界線Ｎが位置Ｆ１を通過すると、制御部４０はシリンダ４３を制御して保持部材９ｐの各々を回避位置から保持位置へと移動させる。その結果、保持部材９の位置パターンは第１のパターンに変更され、保持部材９ｐおよび９ｓによってウエハＷが保持される（図１１（ｂ））。
【０１１９】
さらに粘着テープＴの剥離過程が進行して境界線Ｎが位置Ｆ２に近づく。このとき、点線Ｍ３で囲まれている２本の保持部材９ｓが保持位置に移動していると、当該保持部材９ｓが粘着テープＴを剥離する動作の妨げとなる。そこで境界線Ｎが位置Ｆ２に近づくと、制御部４０はシリンダ４３を制御して保持部材９ｓの各々を回避位置へと移動させ、ウエハＷから剥離される粘着テープＴと保持部材９ｓとが干渉する事態を回避させる。このとき、保持部材９の位置パターンは第３のパターンとなっており、ウエハＷの周縁部が４本の保持部材９ｐの溝部４１に接触することによって、ウエハＷは安定に保持される（図１１（ｃ））。
【０１２０】
可動テーブル８をさらに初期位置へ向けて移動させて剥離過程を進行させる。境界線Ｎが左方向へ進行して位置Ｆ２を通過すると、再び保持部材９ｓを回避位置から保持位置へと移動させる。すなわち、保持部材９の位置パターンは第３のパターンから第１のパターンへと変更され、ウエハＷの周縁部Ｗｂが保持部材９ｐの溝部４１と保持部材９ｓの溝部４１の各々に接触することによって、回路面Ｗａが非接触の状態でウエハＷを保持する（図１１（ｄ））。  
【０１２１】
さらに粘着テープＴの剥離過程が進行すると、境界線Ｎは位置Ｆ２から位置Ｆ３に近づく。このとき、点線Ｍ４で囲まれている２本の保持部材９ｐが保持位置に移動していると、当該保持部材９ｐが粘着テープＴを剥離する動作の妨げとなる。そこで、制御部４０はシリンダ４３を制御して保持部材９ｐの位置を保持位置から回避位置へと切り換え、保持部材９の位置パターンを第４のパターンに変更させる（図１２（ａ））。境界線Ｎが位置Ｆ３を通過すると、制御部４０は保持部材９ｐを保持位置へと移動させ、保持部材９の位置パターンを第１のパターンに変更させる。
【０１２２】
境界線ＮがウエハＷの左端に近づくと、点線Ｍ５で囲まれている２本の保持部材９ｓが粘着テープＴを剥離する動作の妨げとなる。そのため、制御部４０は保持部材９ｓの位置を保持位置から回避位置へと切り換え、保持部材９の位置パターンを第３のパターンに変更させる（図１２（ｂ））。さらに剥離過程を進めることにより、上向きとなっているウエハＷの裏面から粘着テープＴが完全に剥離される（図１２（ｃ））。そして可動テーブル８は初期位置へと復帰する。粘着テープＴがウエハＷから完全に剥離されることにより、気体供給パッド１０の動作を停止させる。
【０１２３】
粘着テープＴの剥離が完了して可動テーブル８が初期位置に復帰すると、搬送機構４のロボットアーム４ａを保持機構６へと移動させる。そしてベルヌーイチャックであるウエハ保持部４ｂによって、粘着テープＴが剥離されたウエハＷを非接触で保持する。その後、搬送機構４はウエハＷを保持機構６からウエハ回収部３へと搬送し、カセットＣ２にウエハＷを差し込み収納させる。
【０１２４】
以上で実施例１に係る粘着テープ剥離装置１を用いた一巡の動作が完了し、以後、所定枚数に達するまで同じ動作が繰り返される。
【０１２５】
実施例１に係る粘着テープ剥離装置１では、剥離機構へと非接触で搬送されたウエハＷの周縁部に保持部材が接触することによってウエハＷを保持する。そして保持部材がウエハＷの周縁部を保持している状態で、ウエハの上面に貼り付けられている粘着テープＴに剥離テープＴｓを貼り付け、剥離テープＴｓと一体にして粘着テープＴをウエハＷから剥離する。
【０１２６】
このとき、ウエハＷの周縁部すなわち側面の上端から下端までの範囲に対して保持部材による物理的接触を受けている。言い換えれば、ウエハＷの下面は物理的接触を受けることなく、ウエハＷは安定に保持される。そのため、ウエハＷの下面が回路面である場合など、ウエハＷの下面に対して保持テーブルなどの部材が物理的に接触することが不適当である場合であっても、ウエハＷに不具合を起こすことなくウエハＷを安定に保持できる。よって、粘着テープＴをウエハＷの上面から精度良く剥離できる。
【０１２７】
従来の装置では、少なくともウエハの下面の一部を保持テーブルが支持する必要があるので、ウエハの位置ズレにより保持テーブルがウエハ下面のうち意図しない部分に対して接触する不具合が発生していた。一方、実施例１に係る構成では保持テーブルを例とするウエハ下面に接触する部材を省略している。そのため、剥離装置へウエハを搬送する際にウエハの位置ズレが発生した場合であっても、ウエハの下面が物理的接触を受ける事態を確実に排除できる。
【０１２８】
また実施例１では保持部材９を、保持部材９ｐと保持部材９ｓとの２つのグループに分け、各々のグループごとに回避位置と保持位置との間で適宜変位させる制御を行う。すなわち第１のグループに属する保持部材９ｐの各々の位置は、制御部４０によって同期的に回避位置と保持位置との間で切り換えられる。
【０１２９】
そして保持部材９ｐの位置制御とは独立して、第２のグループに属する保持部材９ｓの位置制御を一括して行う。すなわち、保持部材９ｐの同期的制御と独立して、保持部材９ｓの各々の位置は回避位置と保持位置との間で同期的に切り換えられる。この場合、保持部材９を多数備える構成であっても、保持部材９の位置制御は２つのラインに限定できるので、制御部４０による位置制御の演算を単純化できる。
【実施例２】
【０１３０】
次に、本発明の実施例２を説明する。なお、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置と同一構成については同一符号を付すに留め、異なる構成部分である保持部材９の制御方法について詳述する。
【０１３１】
実施例１では複数の保持部材９について２つのグループ、すなわち保持部材９ｐと保持部材９ｓとに分け、保持部材９ｐの各々について位置制御を一括して行うとともに、保持部材９ｓの各々については保持部材９ｐと独立して、位置制御を一括して行う。一方、実施例２では、保持部材９の一つ一つについて、独立して位置制御を行うように構成されている。
【０１３２】
ここで、実施例２に係る粘着テープ剥離工程において、粘着テープＴをウエハＷから剥離する際に保持部材９の位置を切り換える制御方法について説明する。実施例２において、保持部材９の本数は実施例１と同様に１０本とし、各々の保持部材９については図１３（ａ）などに示すように、符号９ａ〜９ｊを付して区別する。
【０１３３】
アライナ５で位置合わせされ、保持機構６へとウエハＷが搬送された後、制御部４０は保持部材９ａ〜９ｊの各々を回避位置から保持位置へと移動させる。保持位置へと移動することにより、保持部材９ａ〜９ｊの各々に設けられている溝部４１にウエハ周縁部Ｗｂが接触し、ウエハＷは側方から保持される。すなわち、実施例１と同様にウエハＷの下面に対する物理的接触を回避しつつ、ウエハＷを可動ステージ８の上で安定に保持できる。
【０１３４】
保持部材９の各々によってウエハＷが保持された後、可動ステージ８を初期位置から剥離開始位置へと移動させる。そして可動ステージ８を剥離開始位置から初期位置へと移動させつつ、粘着テープＴをウエハＷから剥離させる動作を行う。
【０１３５】
まず、実施例１と同様に、ウエハＷの右端部分が剥離部材２９の下方となる位置へ可動ステージ８が移動すると、剥離ユニット２０が下降されて剥離テープＴｓが粘着テープＴの右端に押圧して貼り付けられる。このとき、保持部材９ｃおよび９ｄが保持位置に配置されていると、保持部材９ｃおよび９ｄが剥離ユニット２０と干渉することによって、剥離テープＴｓを貼り付ける動作が阻害される。
【０１３６】
そこで制御部４０はシリンダ４３を制御して保持部材９ｃおよび９ｄの位置を保持位置から回避位置へと切り換え、剥離ユニット２０との干渉を回避させる（図１３（ａ））。保持部材９ｃおよび９ｄを回避位置へ移動させた後、剥離テープＴｓが粘着テープＴの右端部分に貼り付けられ、粘着テープＴは右端部分から剥離テープＴｓと一体として剥離されていく。このとき、保持部材９ｃおよび９ｄは回避位置に移動しているので、剥離されていく粘着テープＴと保持部材９ｃおよび９ｄとが接触して剥離エラーが起こる事態を防止できる。
【０１３７】
可動テーブル８をさらに初期位置へ向けて移動させつつ、剥離テープＴｓを剥離部材２９で折り返していくことにより、剥離テープＴｓと一体として粘着テープＴがウエハＷから剥離されていく。粘着テープＴの剥離が進むにつれ、剥離後の粘着テープＴと剥離前の粘着テープＴとの境界線ＮはウエハＷの右端部分から左方向へと移動していく。
【０１３８】
境界線ＮがウエハＷの右端から離れて位置Ｆ１に近づくと、制御部４０は保持部材９ｃおよび９ｄを回避位置から保持位置へと移動させつつ、保持部材９ｂおよび９ｅを保持位置から回避位置へと移動させる（図１３（ｂ））。保持部材９ｂおよび９ｅを回避位置へ退避させることにより、位置Ｆ１において粘着テープＴと保持部材９とが接触するなどの不具合に起因して粘着テープＴの剥離エラーが発生することを防止できる。
【０１３９】
剥離工程が進行し、境界線Ｎが位置Ｆ１から位置Ｆ２へと近づくと、制御部４０は保持部材９ｂおよび９ｅを回避位置から保持位置へと移動させつつ、保持部材９ａおよび９ｆを保持位置から回避位置へと移動させる（図１３（ｃ））。さらに境界線Ｎが位置Ｆ２から離れて位置Ｆ３へと近づくと、制御部４０は保持部材９ａおよび９ｆを回避位置から保持位置へと移動させつつ、保持部材９ｇおよび９ｊを保持位置から回避位置へと移動させる（図１３（ｄ））。
【０１４０】
最後に、境界線Ｎが位置Ｆ３から離れてウエハＷの左端部分に近づくと、制御部４０は保持部材９ｇおよび９ｊを回避位置から保持位置へと移動させつつ、保持部材９ｈおよび９ｉを保持位置から回避位置へと移動させる。そして保持部材９ｈおよび９ｉを保持位置から回避位置へと移動させた状態で、粘着テープＴはウエハＷの上面から完全に剥離される（図１２（ｃ）を参照）。なお、実施例２において粘着テープＴを剥離する一連の動作は、保持部材９の各々の位置を保持位置と回避位置との間で切り換える制御方法を除いて実施例１と共通している。
【０１４１】
実施例２に係る構成では、保持部材９の各々について、それぞれ独立して保持位置と回避位置との間で切り換え可能に構成される。そして、境界線Ｎの位置すなわち粘着テープＴをウエハＷから剥離する動作が実行されている位置に近い保持部材９を選択的に回避位置へと変位させ、保持位置が境界線Ｎから離れている保持部材９については保持位置へと移動させる。
【０１４２】
この場合、境界線Ｎに保持位置が近い保持部材９については回避位置へと移動させることにより、ウエハＷから剥離される粘着テープＴと当該保持部材９との接触に起因する剥離エラーの発生を確実に回避できる。そして境界線Ｎと保持位置とが離れている保持部材９は全て保持位置へと移動してウエハＷの周縁部Ｗｂを保持する。従って、ウエハＷの周縁部Ｗｂに対してより多くの保持部材９が接触するので、ウエハＷをより安定に保持することができる。  
【０１４３】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【０１４４】
（１）各実施例において、保持部材９は溝部４１を備える構成に限られない。すなわちウエハの周縁部Ｗｂに接触することによってウエハＷを安定に保持できる限りにおいて、保持部材９の形状は適宜変更してよい。その一例として、図１４（ａ）に示すように保持部材９は一様な太さの棒状であってもよい。
【０１４５】
この場合、保持部材９が回避位置から保持位置へと移動することにより、図１４（ｂ）に示すように、保持部材９の平坦な側面がウエハ周縁部Ｗｂに接触して中心方向へと押しつけられる。そしてウエハの中心部Ｗｘへ向かう方向の力Ｊ３がウエハＷに作用するので、ウエハＷは下面Ｗａが非接触の状態で安定に保持される。
【０１４６】
また図１４（ｃ）に示すように、保持部材９は溝部４１の代わりに、ウエハＷの周縁部Ｗｂに応じた形状の凹部４２を備えてもよい。少なくとも３カ所においてウエハＷの周縁部Ｗｂが保持部材９の凹部４２に当接することにより、ウエハＷは側方から挟み込まれるように保持される。また、保持部材９がウエハＷを保持する場合、図１４（ｄ）に示すように、ウエハＷの周縁部Ｗｂは保持部材９の凹部４２に嵌合している。
【０１４７】
そのため、保持部材９が溝部４１を備える場合と同様に、ウエハＷに対して上下方向の力が作用しても、ウエハＷの周縁部Ｗｂが凹部４２から外れてウエハＷが落下するという事態を防止できる。よって、保持部材９によるウエハＷの保持力をより向上させることができる。  
【０１４８】
（２）実施例および変形例の各々において、保持部材９は弾性体を備えてもよい。すなわち図１５（ａ）に示すように、保持部材９は少なくともウエハＷの周縁部Ｗｂと接触する部分に弾性体４７を備えている。弾性体４７を構成する材料の例としては、ゴムなどのエラストマーが挙げられる。なお、当該変形例において、保持部材９の全体が弾性体で構成されていてもよい。
【０１４９】
変形例（２）に係る保持部材９でウエハＷの保持を行う場合、各実施例と同様にシリンダ４３の伸縮動作を制御し、保持部材９をレール４５に沿って回避位置から保持位置へと移動させる。保持部材９の位置が回避位置である場合、保持部材９はウエハの周縁部Ｗｂから離れている（図１５（ｂ））。また、実施例２において、保持部材９の保持位置は、保持部材９がウエハＷに接する位置Ｄ１に定めてもよい。ただし、当該位置Ｄ１よりもやや内側となる位置Ｄ２を保持位置として定めることがより好ましい。
【０１５０】
保持部材９が回避位置Ｄ０から保持位置Ｄ２へ向けて移動すると、保持部材９に設けられている弾性体４７がウエハの周縁部Ｗｂに接触し（図１５（ｃ））、さらにウエハの周縁部Ｗｂの形状に応じて弾性体４７が弾性変形する（図１５（ｄ））。
【０１５１】
弾性体４７が弾性変形しながらウエハの周縁部Ｗｂと接触することにより、ウエハの周縁部Ｗｂの形状によらず保持部材９は周縁部Ｗｂの全体にわたってウエハＷと接触する。すなわちウエハＷの周縁部Ｗｂと保持部材９との接触面積がより広くなるので、ウエハの下面Ｗａに対する物理的接触を回避しつつウエハＷをより安定に保持できる。
【０１５２】
また、保持位置Ｄ２へと移動する保持部材９がウエハＷに押しつけられて弾性体４７が弾性変形することにより、保持部材９からウエハＷに対して、周縁部Ｗｂから中央部Ｗｘに向かう方向に力Ｊ３が作用する。力Ｊ３が作用することにより、ウエハＷが保持部材９から離れて落下する事態をより確実に回避できる。よって、保持位置を位置Ｄ２に定めることにより、保持位置を位置Ｄ１に定める場合と比べてウエハＷをより安定に保持できる。
【０１５３】
（３）実施例および変形例の各々において、剥離テープＴｓを貼り付ける際にウエハＷへ作用する力Ｊ１や、剥離テープＴｓとともに粘着テープＴをウエハＷから剥離する際にウエハＷへ作用する力Ｊ４の影響を低減させる構成として、吸着部材３７および気体供給パッド１０を備えているがこれに限られない。すなわち、吸着部材３７および気体供給パッド１０を省略してもよいし、力Ｊ１およびＪ４の影響を低減させる限りにおいて、吸着部材３７および気体供給パッド１０の代替となる構成を備えてもよい。
【０１５４】
吸着部材３７および気体供給パッド１０の代替となる構成の例として、変形例（３）に係る保持機構６は、図１６（ａ）に示すように、気体流路４９を備えている。気体流路４９は可動ステージ８に埋設されており、可動ステージ８の下部において纏められている。気体流路４９は、電磁バルブ５１を介して気体供給装置５３と連通接続されている。また気体流路４９は、電磁バルブ５５を介して吸引装置５７と連通接続されている。このような構成を備えることにより、気体流路４９は可動ステージ８の表面に設けられている複数の孔を介して気体の供給または吸引を行う。
【０１５５】
変形例（３）に係る構成では、剥離テープＴｓを貼り付ける際に、制御部４０は気体供給装置５３を作動させるとともに電磁バルブ５１を開放し、気体流路４９を介して気体ＶをウエハＷの下面に吹き付けさせる。気体ＶがウエハＷの下面Ｗａへ吹き付けられることにより、ウエハＷは気体Ｖによって押し上げられるので、ウエハＷに対して上向きの力Ｊ６が発生する。その結果、剥離テープＴｓを貼り付ける際にウエハＷへ作用する下向きの力Ｊ１による影響は、上向きの力Ｊ６によって低減される。
【０１５６】
一方、剥離テープＴｓとともに粘着テープＴをウエハＷから剥離する場合は図１６（ｂ）に示すように、制御部４０は吸引装置５７を作動させるとともに電磁バルブ５５を開放し、気体流路４９を介してウエハＷの下面を吸引する。ウエハＷを下方から吸引することにより、ウエハＷは孔５２が設けられている下方へ引き寄せられるので、ウエハＷに対して下向きの力Ｊ７が作用する。その結果、粘着テープＴをウエハＷから剥離する際にウエハＷへ作用する上向きの力Ｊ４による影響は、下向きの力Ｊ７によって低減される。このように、気体流路５１を介して気体の供給および吸引を行う構成によっても、力Ｊ１または力Ｊ４に起因するウエハＷの変形を回避できる。
【０１５７】
（４）実施例および変形例の各々において、粘着テープＴが貼り付けられている裏面を上向きにした状態で、下向きとなっている回路面が非接触の状態で粘着テープＴを剥離する構成を例示したが、これに限られない。本発明は、ウエハＷの一方の面に対する物理的接触を確実に回避しつつ、ウエハＷの他方の面に貼り付けられている粘着テープＴを剥離する構成について適宜用いることができる。
【０１５８】
一方の面を非接触としつつ、他方の面から粘着テープを剥離することが要求される構成の一例としては、以下のような場合が挙げられる。ウエハＷの表面に回路パターンが形成された後、回路保護用の粘着テープが表面に貼り付けられ、さらにウエハＷの裏面に対してバックグラインド処理が施されて薄型化する。ウエハＷを薄型化した後、保護用の粘着テープを表面から剥離しつつ、ウエハＷの裏面に対してコーティング処理など各種処理がなされる場合がある。
【０１５９】
この場合、ウエハの表面から粘着テープを剥離する際に保持テーブルなどがウエハの裏面に接触していると、保持テーブル上の塵埃や研磨屑などに起因して、その後のコーティング処理などに不具合が発生することが懸念される。そこで、本発明の構成を適用することにより、ウエハＷの裏面を下向きにした状態で保持部材９をウエハＷの周縁部Ｗｂに当接させつつ、上向きとなっているウエハＷの表面から保護用の粘着テープを剥離できる。その結果、ウエハＷの裏面に物理的接触が行われることなくウエハＷを安定に保持できるので、精度良く粘着テープをウエハＷの表面から剥離できるとともに、その後の裏面処理における不具合の発生を防止できる。
【０１６０】
（５）実施例および変形例の各々において、ウエハＷをワークとして当該ワークに貼り付けられている粘着テープＴを剥離する装置を例示したが、ワークはウエハＷに限られない。ワークとして用いられる構成としては、ガリウムや砒素の化合物またはシリコンなど各種材料からなるウエハＷの他に、リングフレーム、ガラス基板、セラミック基板、ＦＰＣを例とする有機材料基板など種々の物品が挙げられる。
【０１６１】
（６）実施例および変形例の各々において、剥離機構７の位置を固定とし、保持機構６がｘ方向へ水平移動することによって粘着テープＴをウエハＷから剥離する構成を例示しているが、保持機構６を移動させる構成に限られない。保持機構６を剥離機構７に対して相対的に移動させる構成であれば、保持機構６を固定として剥離機構７が水平移動する構成であってもよいし、両者が移動する構成であってもよい。
【０１６２】
（７）実施例および変形例の各々において、ウエハ保持部４ｂはベルヌーイチャックを用いる構成を例示したが、これに限ることはない。特に粘着テープＴが貼り付けられているウエハＷを保持機構６に搬送する際において、ウエハ保持部４ｂは粘着テープＴの表面を吸着保持した状態で搬送してもよい。
【符号の説明】
【０１６３】
１    …  粘着テープ剥離装置
２    …  ウエハ供給部
３    …  ウエハ回収部
４    …  搬送機構
５    …  アライナ
６    …  保持機構
７    …  剥離機構
８    …  可動ステージ
９    …  保持部材
１０    …  気体供給パッド
１７    …  テープ供給部
１９    …  テープ回収部
２０    …  剥離ユニット
２９    …  剥離部材
３１    …  ガイドローラ
４０    …  制御部
４１    …  溝部
４３    …  シリンダ
４５    …  レール
Ｔ    …  粘着テープ
Ｗ    …  半導体ウエハ
Ｗａ  …  ウエハの下面
Ｗｂ  …  ウエハの周縁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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