(57)【要約】【課題】非使用時に分解されて限られたスペースに収納可能であるとともに使用時にガスボックスを収納して搬送可能な気密性収納体及び気密性収納装置を提供する。【解決手段】本発明の気密性収納体１００は、ガスボックスＰを収納する収納本体４を備える。収納本体４は、ガスボックスＰを載置するベース部１と、ベース部１に対し着脱可能に立設される周壁部２と、周壁部２に対し着脱可能に設けられる頂壁部３とを有する。【選択図】図１
2019043617.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体制御装置が設けられるガスボックスを収納するための気密性収納体であって、
前記ガスボックスを収納する収納本体を備え、
前記収納本体は、
前記ガスボックスを載置するベース部と、
前記ベース部に対し着脱可能に立設される周壁部と、
前記周壁部に対し着脱可能に設けられる頂壁部と
を有する
ことを特徴とする気密性収納体。
【請求項２】
前記周壁部は、
前記ベース部に対し着脱可能に立設される金属のパネルフレームと、
前記パネルフレームに張設される透明樹脂のパネルとを有する
ことを特徴とする請求項１に記載の気密性収納体。
【請求項３】
前記ベース部には、ハンドルが設けられている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の気密性収納体。
【請求項４】
前記ベース部に対し着脱可能に立設されるとともに前記収納本体を挟持する一対の支持用フレームを備える
ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の気密性収納体。
【請求項５】
請求項４に記載の複数の気密性収納体を積み重ねることにより形成される気密性収納装置であって、
上段の前記気密性収納体における前記ベース部は、下段の前記気密性収納体における前記支持用フレームによって支持され、
上段の前記気密性収納体における前記ベース部を、下段の前記気密性収納体における前記支持用フレームに係合させる係合手段を備える
ことを特徴とする気密性収納装置。
【請求項６】
前記ベース部には、回転可能な車輪が設けられ、
上段の前記気密性収納体における前記ベース部が、下段の前記気密性収納体における前記支持用フレームによって支持されたとき、上段の前記気密性収納体における前記車輪が、下段の前記気密性収納体における前記頂壁部に当接しないように設けられている
ことを特徴とする請求項５に記載の気密性収納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気密性収納体及び気密性収納装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体基板を収納して製造ラインへ搬送する基板収納容器が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
そして、特許文献１に記載の基板収納容器は、複数の半導体基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉止する正面部と、容器本体と正面部との間に設けられる環状のパッキンとを備える。
【０００３】
ところが、半導体の製造プロセスなどに用いられ、各種製造プロセスにおいては、正確に計量したプロセスガスをプロセスチャンバに供給するために、開閉バルブ、レギュレータ、マスフローコントローラなどの各種の流体制御機器を集積化した流体制御装置が設けられるガスボックスを収納して製造元のクリーンルームから製造ラインへ搬送可能な収納容器が提案されていない。
【０００４】
そして、特許文献１のような基板収納容器を、ガスボックスを収納する容器に適用することが考えられるが、特許文献１のような基板収納容器の容器本体は、分解できないように一体成形されているため、非使用時にスペースが限られたクリーンルームに数多く収納することができないという課題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００５／１１２１０７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、非使用時に分解されて限られたスペースに収納可能であるとともに使用時にガスボックスを収納して搬送可能な気密性収納体及び気密性収納装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係る一つの態様は、流体制御装置が設けられるガスボックスを収納するための気密性収納体であって、前記ガスボックスを収納する収納本体を備え、前記収納本体は、前記ガスボックスを載置するベース部と、前記ベース部に対し着脱可能に立設される周壁部と、前記周壁部に対し着脱可能に設けられる頂壁部とを有することを特徴とする。
（２）上記（１）の態様において、前記周壁部は、前記ベース部に対し着脱可能に立設される金属のパネルフレームと、前記パネルフレームに張設される透明樹脂のパネルとを有してもよい。
（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記ベース部には、ハンドルが設けられてもよい。
（４）上記（１）から（３）までのいずれか一つの態様において、前記ベース部に対し着脱可能に立設されるとともに前記収納本体を挟持する一対の支持用フレームを備えてもよい。
（５）本発明に係る他の一つの態様は、上記（４）の態様に記載の複数の気密性収納体を積み重ねることにより形成される気密性収納装置であって、上段の前記気密性収納体における前記ベース部は、下段の前記気密性収納体における前記支持用フレームによって支持され、上段の前記気密性収納体における前記ベース部を、下段の前記気密性収納体における前記支持用フレームに係合させる係合手段を備えることを特徴とする。
（６）上記（５）の態様において、前記ベース部には、回転可能な車輪が設けられ、上段の前記気密性収納体における前記ベース部が、下段の前記気密性収納体における前記支持用フレームによって支持されたとき、上段の前記気密性収納体における前記車輪が、下段の前記気密性収納体における前記頂壁部に当接しないように設けられてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、非使用時に分解されて限られたスペースに収納可能であるとともに使用時にガスボックスを収納して搬送可能な気密性収納体及び気密性収納装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係る実施形態の気密性収納体を示す斜視図である。
【図２】気密性収納体の分解斜視図である。
【図３】収納本体の正面部を除いた斜視図である。
【図４】気密性収納体の底面図である。
【図５】複数の気密性収納体を積み重ねた気密性収納装置を示す図であり、（ａ）気密性収納装置の斜視図であり、（ｂ）気密性収納装置の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。
【００１１】
（気密性収納体）
図１は本発明に係る実施形態の気密性収納体１００を示す斜視図であり、図２は気密性収納体１００の分解斜視図であり、図３は収納本体４の正面部を除いた斜視図であり、図４は気密性収納体１００の底面図である。
以下、図１〜図４を参照して本発明に係る実施形態の気密性収納体１００を詳細に説明する。
【００１２】
（収納本体）
図１〜図３に示すように、本発明に係る実施形態の気密性収納体１００は、ガスボックスＰを収納する収納本体４を備える。
収納本体４は、箱状体であり、ガスボックスＰを載置する板状のベース部１と、ベース部１に対し着脱可能に立設される周壁部２と、周壁部２に対し着脱可能に設けられる頂壁部３とを有する。
【００１３】
収納本体４内に収納されるガスボックスＰは、例えば、寸法８０ｃｍ×４０ｃｍ×３０ｃｍ、質量１００ｋｇ〜２００ｋｇ、一種類又は多種類の流体を制御する流体制御装置が設けられるものである。
また、ガスボックスＰには、その側面側から突出し、ベース部１の上面側と当接する脚部Ｐ１が複数設けられており、これらの脚部Ｐ１には、それぞれ上下方向に貫通する貫通孔（図示なし）が設けられている。
【００１４】
（ベース部）
ベース部１は、矩形状の板部材をなすとともに剛性を有する金属によって構成されている。
また、ベース部１は、質量１００ｋｇ〜２００ｋｇのガスボックスＰを載置する観点から、一定の厚みを有するアルミ、ステレンス又はステレンス合金などによって構成されることが好ましい。
【００１５】
そして、ボルトをガスボックスＰの貫通孔に貫通させて、ガスボックスＰをベース部１に簡単かつ確実に固定することができる。
なお、ベース部１にガスボックスＰの基板を固定したまま、ガスボックスＰを組み立ててもよい。
【００１６】
ベース部１の上面側における収納本体４の短手方向（以下、短手方向という）の両端側には、搬送用のハンドル１２が複数設けられており、ベース部１の下面側には、台車部８がボルト（図示なし）により固定されている。台車部８には、収納本体４の長手方向（以下、長手方向という）に沿って回転可能な車輪１１が２列設けられている（図４参照）。
なお、台車部８は、ベース部１に対し着脱可能に設けられてもよい。
【００１７】
本実施形態では、車輪１１は、台車部８を介してベース部１に設けられているが、台車部８を介さずにベース部１に対し着脱可能に設けられてもよい。
【００１８】
さらに、ベース部１の下面側には、下方に突出する突出部１３が複数設けられており、これらの突出部１３は、短手方向の両端側に位置し、後述する係合手段７の一部を構成するものである。
【００１９】
（周壁部）
周壁部２は、一対の側面部２１と、一対の側面部２１に連結される背面部２２及び正面部５とから形成されている。
【００２０】
一対の側面部２１は、長手方向に沿って延在するように、ベース部１に対し着脱可能に立設される側面部用パネルフレーム２１１と、側面部用パネルフレーム２１１に張設される側面部用パネル２１２とを有する。
【００２１】
側面部用パネルフレーム２１１は、矩形枠状をなすとともに剛性を有する金属によって構成されている。
また、側面部用パネルフレーム２１１は、アルミ、ステレンス又はステレンス合金などによって構成されることが好ましい。
【００２２】
側面部用パネルフレーム２１１には、その側面側から突出し、ベース部１の上面側と当接する脚部２１１ａが複数設けられおり、これらの脚部２１１ａには、それぞれ上下方向に貫通する貫通孔２１１ｂが設けられている。
【００２３】
側面部用パネルフレーム２１１の外周面側には、矩形枠状の溝２１１ｃが形成され、矩形枠状のパッキン２１１ｄがこの溝２１１ｃに嵌合されている。
そして、ボルトを側面部用パネルフレーム２１１の貫通孔２１１ｂを貫通させて、矩形枠状のパッキン２１１ｄの一部を介して、隙間なく、長手方向に沿って延在するように、側面部用パネルフレーム２１１をベース部１に立設することができる。
【００２４】
側面部用パネル２１２が張設される側面部用パネルフレーム２１１の側面側には、矩形枠状の溝２１１ｅが形成されており、矩形枠状のパッキン２１１ｆがこの溝２１１ｅに嵌合されている。
【００２５】
一方、側面部用パネル２１２は、矩形状の板部材をなすとともに軽量化に適する樹脂によって構成されている。
また、側面部用パネル２１２は、収納本体４内にガスボックスＰが収納されているかを視認する観点から、透明性のポリカーボネートなどによって構成されることが好ましい。
なお、側面部用パネル２１２には、窒素などの気体を気密性収納体１００内へ供給するための継手２１２ａが設けられているが、このような継手は、後述する背面部２２の背面部用パネル２２２又は正面部５の正面部用パネル５２に設けられてもよい。
さらに、必要に応じて逆止弁や圧力計などの機器を設けてもよい。
【００２６】
そして、ボルトを用いて、矩形枠状の溝２１１ｅに嵌合される矩形枠状のパッキン２１１ｆを介して、隙間なく、側面部用パネル２１２を側面部用パネルフレーム２１１の側面側に張設することができる。
【００２７】
背面部２２は、短手方向に沿ってベース部１に対し着脱可能に立設される背面部用パネルフレーム２２１と、背面部用パネルフレーム２２１に張設される背面部用パネル２２２とを有する。
【００２８】
背面部用パネルフレーム２２１は、側面部用パネルフレーム２１１と同様に、矩形枠状をなすとともに剛性を有する金属によって構成されている。
また、背面部用パネルフレーム２２１は、アルミ、ステレンス又はステレンス合金などによって構成されることが好ましい。
【００２９】
背面部用パネルフレーム２２１には、側面部用パネルフレーム２１１と同様に、その側面側から突出し、ベース部１の上面側と当接する脚部（図示なし）が複数設けられおり、これらの脚部には、それぞれ上下方向に貫通する貫通孔（図示なし）が設けられている。
【００３０】
背面部用パネルフレーム２２１の下面には、短手方向に沿って延在する直進溝２２１ａが形成され、長尺状のパッキン２２１ｂがこの直進溝２２１ａに嵌合されている。
そして、ボルトを背面部用パネルフレーム２２１の貫通孔を貫通させて、長尺状のパッキン２２１ｂを介して、隙間なく、短手方向に沿って延在するように、背面部用パネルフレーム２２１をベース部１に立設することができる。
【００３１】
さらに、ボルトを用いて、矩形枠状のパッキン２１１ｄの一部を介して、隙間なく、背面部用パネルフレーム２２１を側面部用パネルフレーム２１１に取り付けることができる。
【００３２】
背面部用パネル２２２が張設される背面部用パネルフレーム２２１の側面側には、矩形枠状の溝（図示なし）が形成されており、矩形枠状のパッキン（図示なし）がこの溝に嵌合されている。
【００３３】
一方、背面部用パネル２２２は、側面部用パネル２１２と同様に、矩形状の板部材をなすとともに軽量化に適する樹脂によって構成されている。
また、背面部用パネル２２２は、側面部用パネル２１２と同様に、収納本体４内にガスボックスＰが収納されているかを視認する観点から、透明性のポリカーボネートなどによって構成されることが好ましい。
【００３４】
そして、ボルトを用いて、矩形枠状の溝に嵌合される矩形枠状のパッキンを介して、隙間なく、背面部用パネル２２２を背面部用パネルフレーム２２１の側面側に張設することができる。
【００３５】
正面部５は、側面部２１及び背面部２２と同様に、収納本体４に対し着脱可能に設けられる正面部用パネルフレーム５１と、正面部用パネルフレーム５１に張設される正面部用パネル５２とを有する。
【００３６】
正面部用パネルフレーム５１は、側面部用パネルフレーム２１１及び背面部用パネルフレーム２２１と同様に、矩形枠状をなすとともに剛性を有する金属によって構成されている。
また、正面部用パネルフレーム５１は、アルミ、ステレンス又はステレンス合金などによって構成されることが好ましい。
【００３７】
正面部用パネルフレーム５１には、側面部用パネルフレーム２１１及び背面部用パネルフレーム２２１と同様に、その側面側から突出し、ベース部１の上面側と当接する脚部５１１が複数設けられおり、これらの脚部５１１には、それぞれ上下方向に貫通する貫通孔５１１ａが設けられている。
【００３８】
正面部用パネルフレーム５１の下面には、短手方向に沿って延在する直進溝５１２が形成され、長尺状のパッキン５１３がこの直進溝５１２に嵌合されている。
そして、ボルトを正面部用パネルフレーム５１の貫通孔５１１ａを貫通させて、長尺状のパッキン５１３を介して、隙間なく、背面部用パネルフレーム２２１と対向するように正面部用パネルフレーム５１をベース部１に立設することができる。
【００３９】
さらに、ボルトを用いて、矩形枠状のパッキン２１１ｄの一部を介して、隙間なく、正面部用パネルフレーム５１を側面部用パネルフレーム２１１に取り付けることができる。
【００４０】
正面部用パネル５２が張設される正面部用パネルフレーム５１の側面側には、矩形枠状の溝５１４が形成されており、矩形枠状のパッキン５１５がこの溝５１４に嵌合されている。
【００４１】
一方、正面部用パネル５２は、側面部用パネル２１２及び背面部用パネル２２２と同様に、矩形状の板部材をなすとともに軽量化に適する樹脂によって構成されている。
また、正面部用パネル５２は、側面部用パネル２１２及び背面部用パネル２２２と同様に、収納本体４内にガスボックスＰが収納されているかを視認する観点から、透明性のポリカーボネートなどによって構成されることが好ましい。
なお、正面部用パネル５２には、ハンドル５２１が設けられているが、このようなハンドルは、側面部２１の側面部用パネル２１２又は背面部２２の背面部用パネル２２２に設けられてもよい。
【００４２】
そして、ボルトを用いて、矩形枠状の溝５１４に嵌合される矩形枠状のパッキン５１５を介して、隙間なく、正面部用パネル５２を正面部用パネルフレーム５１の側面側に張設することができる。
【００４３】
（頂壁部）
頂壁部３は、側面部２１、背面部２２及び正面部５と同様に、側面部２１の側面部用パネルフレーム２１１、背面部２２の背面部用パネルフレーム２２１及び正面部５の正面部用パネルフレーム５１に対し着脱可能に設けられる頂壁部用パネルフレーム３１と、頂壁部用パネルフレーム３１に張設される頂壁部用パネル３２とを有する。
【００４４】
頂壁部用パネルフレーム３１は、側面部用パネルフレーム２１１、背面部用パネルフレーム２２１及び正面部用パネルフレーム５１と同様に、矩形枠状をなすとともに剛性を有する金属によって構成されている。
また、頂壁部用パネルフレーム３１は、アルミ、ステレンス又はステレンス合金などによって構成されることが好ましい。
なお、側面部用パネルフレーム２１１、背面部用パネルフレーム２２１、正面部用パネルフレーム５１及び頂壁部用パネルフレーム３１は、同一材質の金属によって構成されることが好ましい。
【００４５】
長手方向における頂壁部用パネルフレーム３１の両端側には、短手方向に沿って延在する直進溝３１１が形成され、長尺状のパッキン３１２がこの直進溝３１１に嵌合されている。
ボルトを用いて、矩形枠状のパッキン２１１ｄの一部及び長尺状のパッキン３１２を介して、隙間なく、頂壁部用パネルフレーム３１を側面部用パネルフレーム２１１、背面部用パネルフレーム２２１及び正面部用パネルフレーム５１に取り付けることができる。
【００４６】
頂壁部用パネル３２が張設される頂壁部用パネルフレーム３１の側面側には、矩形枠状の溝３１３が形成されており、矩形枠状のパッキン３１４がこの溝３１３に嵌合されている。
【００４７】
一方、頂壁部用パネル３２は、側面部用パネル２１２、背面部用パネル２２２及び正面部用パネル５２と同様に、矩形状の板部材をなすとともに軽量化に適する樹脂によって構成されている。
また、頂壁部用パネル３２は、側面部用パネル２１２、背面部用パネル２２２及び正面部用パネル５２と同様に、収納本体４内にガスボックスＰが収納されているかを視認する観点から、透明性のポリカーボネートなどによって構成されることが好ましい。
【００４８】
なお、頂壁部用パネル３２の上面側には、ハンドル３２１が設けられている。
ハンドル３２１は、長手方向に沿って延在する回転軸を有し、回転軸回りに回転可能に設けられている。
ハンドル３２１が、搬送時に把持されて起立状態となるが、非搬送時に頂壁部用パネル３２に平行して収納状態となる。
【００４９】
そして、ボルトを用いて、矩形枠状の溝３１３に嵌合される矩形枠状のパッキン３１４を介して、隙間なく、頂壁部用パネル３２を頂壁部用パネルフレーム３１の側面側に張設することができる。
【００５０】
このように、収納本体４は、ガスボックスＰを載置する板状のベース部１と、ベース部１に対し着脱可能に立設される周壁部２と、周壁部２に対し着脱可能に設けられる頂壁部３とからなることにより、気密性収納体１００の非使用時に、収納本体４を構成する各部品であるベース部１、周壁部２及び頂壁部３を分解してスペースが限られたクリーンルームに収納することができるとともに、気密性収納体１００の使用時に、ベース部１、周壁部２及び頂壁部３を組み付けて収納本体４を実現することができる。
【００５１】
また、収納本体４が、一体成形されておらず、分解できるものであるため、収納本体４が部分的に組み付けられた場合であっても、ベース部１にガスボックスＰを載置し、ボルトにより固定することが可能である。
【００５２】
さらに、収納本体４の気密性が、周壁部２及び頂壁部３の各パッキンにより保たれるため、組み立て途中のガスボックスＰを、収納本体４に収納された状態でクリーンルーム外に一時的に保管することが可能である。
【００５３】
（支持用フレーム）
本発明に係る実施形態の気密性収納体１００は、更に、ボルトを介して、ベース部１に対し着脱可能に立設されるとともに収納本体４を挟持する一対の支持用フレーム６を備え、当該一対の支持用フレーム６は、短手方向におけるベース部１の両端側に位置するとともに長手方向に沿って延在するように、設けられている。
【００５４】
支持用フレーム６は、略矩形枠状をなすとともに剛性を有する金属によって構成されている。
また、支持用フレーム６は、アルミ、ステレンス又はステレンス合金などによって構成されることが好ましく、荷重を受け持つ観点から強度が側面部用パネルフレーム２１１、背面部用パネルフレーム２２１、頂壁部用パネルフレーム３１及び正面部用パネルフレーム５１よりも高くなることがより好ましい。
【００５５】
支持用フレーム６には、２つの窓部６１が形成されることにより、この窓部６１を介して、側面部用パネル２１２を観察することができるとともに、支持用フレーム６自身の軽量化を図ることができる。
なお、個々の窓部６１から個々の搬送用のハンドル１２を露出させてもよい。
【００５６】
さらに、支持用フレーム６の上面側には、係合手段７の一部を構成する切欠き６２が複数形成されており、これらの切欠き６２は、それぞれベース部１の突出部１３に対応して係合可能なものである。
【００５７】
支持用フレーム６の上面側は、側面部用パネルフレーム２１１、背面部用パネルフレーム２２１、頂壁部用パネルフレーム３１及び正面部用パネルフレーム５１の上面側よりも高く形成されている。
そして、支持用フレーム６の上面側と頂壁部用パネル３２の上面側との高度差は、車輪１１の底面側とベース部１の下面側との高度差よりも大きいことが好ましい。
【００５８】
このように、ガスボックスＰを収納するための気密性収納体１００は、ガスボックスＰを収納する収納本体４は、ガスボックスＰを載置するベース部１と、ベース部１に対し着脱可能に立設される周壁部２と、周壁部２に対し着脱可能に設けられる頂壁部３とを有することにより、気密性収納体１００の非使用時に収納本体４を構成するベース部１、周壁部２及び頂壁部３を分解して、スペースが限られたクリーンルームに収納することができるとともに、気密性収納体１００の使用時にベース部１、周壁部２及び頂壁部３を組み付けて収納本体４を実現して、ガスボックスＰを気密性収納体１００に収納して搬送することができる。
【００５９】
また、側面部２１、背面部２２、正面部５及び頂壁部３は、それぞれ透明樹脂のパネルを有することにより、気密性収納体１００の軽量化を図ることができるとともに、複数の方向から観察して気密性収納体１００にガスボックスＰが収納されているかを視認することができる。
【００６０】
（気密性収納装置）
図５は複数の気密性収納体１００を積み重ねた気密性収納装置２００を示す図であり、（ａ）気密性収納装置２００の斜視図であり、（ｂ）気密性収納装置２００の正面図である。
以下、図５を参照して本発明に係る実施形態の気密性収納装置２００を詳細に説明する。
【００６１】
図５に示すように、気密性収納装置２００は、気密性収納体１００を積み重ねることにより形成されるものであり、上段の気密性収納体１００におけるベース部１が、下段の気密性収納体１００における支持用フレーム６によって支持され、上段の気密性収納体１００におけるベース部１を、下段の気密性収納体１００における支持用フレーム６に係合させる係合手段７を備える。
【００６２】
なお、本実施形態では、係合手段７は、上段のベース部１に設けられる複数の突出部１３と、下段の支持用フレーム６に形成され複数の突出部１３に係合可能な複数の切欠き６２とからなるが、これに限定されるものではなく、例えば、上段のベース部１の下面側に長手方向に沿って延在するように設けられる長尺状の突出部と、下段の支持用フレーム６の上面側に長手方向に沿って延在するように形成され長尺状の突出部に係合可能な溝とからなってもよい。
【００６３】
そして、上段の気密性収納体１００におけるベース部１が、下段の気密性収納体１００における支持用フレーム６によって支持されたとき、上述のように、支持用フレーム６の上面側と頂壁部用パネル３２の上面側との高度差は、車輪１１の底面側とベース部１の下面側との高度差よりも大きいため、上段の気密性収納体１００における車輪１１が、下段の気密性収納体１００における頂壁部３に当接せず、上段の気密性収納体１００から下段の気密性収納体１００における収納本体４に荷重を加えることがない。
【００６４】
このため、車輪１１が備えられた台車部８をベース部１から外すことなく、気密性収納体１００を複数積み重ねて、気密性収納装置２００を形成することができる。
【００６５】
このように、気密性収納装置２００は、気密性収納体１００を積み重ねることにより形成され、上段の気密性収納体１００におけるベース部１が、下段の気密性収納体１００における支持用フレーム６によって支持され、上段の気密性収納体１００におけるベース部１を、下段の気密性収納体１００における支持用フレーム６に係合させる係合手段７を備えるので、複数のガスボックスＰを１台ずつ個々の気密性収納体１００に収納することができ、床スペースが限られたクリーンルームでも高さ方向のスペースを有効に利用してより多くのガスボックスＰを気密性収納装置２００に収納することができる。
【００６６】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【００６７】
１        ベース部
２        周壁部
３        頂壁部
４        収納本体
５        正面部
６        支持用フレーム
７        係合手段
８        台車部
１１      車輪
１２      ハンドル
１３      突出部
２１      側面部
２２      背面部
３１      頂壁部用パネルフレーム
３２      頂壁部用パネル
５１      正面部用パネルフレーム
５２      正面部用パネル
６１      窓部
６２      切欠き
１００    気密性収納体
２００    気密性収納装置
２１１    側面部用パネルフレーム
２１１ａ  脚部
２１１ｂ  貫通孔
２１１ｃ  溝
２１１ｄ  パッキン
２１１ｅ  溝
２１１ｆ  パッキン
２１２    側面部用パネル
２１２ａ  継手
２２１    背面部用パネルフレーム
２２１ａ  直進溝
２２１ｂ  パッキン
２２２    背面部用パネル
３１１    直進溝
３１２    パッキン
３１３    溝
３１４    パッキン
５１１    脚部
５１１ａ  貫通孔
５１２    直進溝
５１３    パッキン
５１４    溝
５１５    パッキン
５２１    ハンドル
Ｐ        ガスボックス
Ｐ１      脚部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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