(57)【要約】【課題】振動発生装置等への試験室内環境の影響を低減することができる環境試験装置を提供することを課題とする。【解決手段】試験室１１と、被試験物を固定する取り付け部（試料テーブル）と、駆動部と、駆動部設置部１６を有する環境試験装置である。取り付け部は試験室１１内にあり、駆動部は前記駆動部設置部１６にある。試験室１１と駆動部設置部１６の間を仕切る仕切り部材７を有している。仕切り部材７は、少なくとも試験室側薄膜５２と駆動部側薄膜５３を有する多層構造であり、試験室側薄膜５２と駆動部側薄膜５３の間に膜間空間８０があり、膜間空間８０内に気体が存在する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に所望の環境を作ることが可能な試験室と、被試験物を固定する取り付け部と、前記取り付け部を動かす駆動部と、駆動部設置部を有する環境試験装置において、
前記取り付け部は前記試験室内にあり、前記駆動部は前記駆動部設置部にあり、
前記試験室と前記駆動部設置部の間を仕切る仕切り部材を有し、
前記駆動部によって前記取り付け部を動かし、前記被試験物に運動を与えつつ試験を行うことが可能であり、
前記仕切り部材は、少なくとも試験室側薄膜と駆動部側薄膜を有する多層構造であり、前記試験室側薄膜と前記駆動部側薄膜の間に膜間空間があり、当該膜間空間内に気体が存在することを特徴とする環境試験装置。
【請求項２】
前記試験室側薄膜は、ソリッド層と発泡層を有し、前記発泡層が前記膜間空間側に配されていることを特徴とする請求項１に記載の環境試験装置。
【請求項３】
前記駆動部側薄膜は、ソリッド層と発泡層を有し、前記発泡層が前記膜間空間側に配されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の環境試験装置。
【請求項４】
前記膜間空間内に乾燥気体が存在することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の環境試験装置。
【請求項５】
前記膜間空間内を乾燥気体が通過することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の環境試験装置。
【請求項６】
前記乾燥気体は、前記試験室の外側から前記膜間空間に導入され、前記試験室内に抜けることを特徴とする請求項５に記載の環境試験装置。
【請求項７】
前記試験室側薄膜及び前記駆動部側薄膜はいずれも複数のシート片が結合されたものであり、前記仕切り部材の少なくとも一部に外観が凹凸状の蛇腹部があり、当該蛇腹部であって外側に凸向きの部位は、前記試験室側薄膜と前記駆動部側薄膜が共に凸向きであり、凹向きの部位は、前記試験室側薄膜と前記駆動部側薄膜が共に凹向きであり、
前記試験室側薄膜及び前記駆動部側薄膜の凸部の突端部及び凹部の突端部分は、前記シート片が面同士を重ねて接合されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の環境試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験物を所定の環境にさらすことができる環境試験装置に関するものである。特に本発明は、被試験物に振動等の動きを与える機能を備えた環境試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
製品の性能を評価する方法の一つとして、環境試験がある。環境試験は、製品を特定の環境下に置き、性能等の変化を試験するものである。環境試験は、環境試験装置と称される装置を使用して実施される場合がある。
環境試験装置は、被試験物を設置する試験室を有している。環境試験装置は、試験室内に、高温環境、低温環境、高湿度や低湿度等の所望の環境を人工的に作り出す装置である。
環境試験装置の一つとして振動複合環境試験装置と称される装置がある。振動複合環境試験装置は、所望の温度等の環境を作る機能に加えて、被試験物を振動させる機能を備えている。
振動複合環境試験装置は、例えば自動車に搭載される部材の耐久性等を試験するものであり、例えば走行中の自動車のボンネット内の環境を再現するため、被試験物を揺らしながら高温環境下や低温環境下にさらし、性能や耐久性を試験する。
【０００３】
振動複合環境試験装置は、所望の環境を創出する試験室と、特許文献１に記載される様な被試験物を振動させる振動発生装置を備えている。
振動発生装置は、外形が大きい場合があり、試験室の外に設置される場合がある。
例えば試験室の底部に、仕切り部材があり、仕切り部材の外に振動発生装置が設置される場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３６９４８２９号公報
【特許文献２】実用新案登録第２５７８９９９号公報（実開平６−５３９５８号公報）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
振動発生装置は駆動部分が多いので、錆を嫌う。そのため錆の原因となる水分が付着することは禁忌である。
一方、試験室内には高温環境や低温環境が創出される。試験室内が低温環境である場合には、仕切り部材の外表面（振動発生装置側）の温度が低下し、仕切り部材の外表面に結露が生じて振動発生装置に滴下されてしまう場合がある。
また特許文献２に開示された環境試験装置では、振動テーブルが試験室外に設置されているので被試験物が置かれた環境が試験室内の環境と同一であることを保証できない場合がある。
【０００６】
本発明は、従来技術の上記した懸念を払拭するものであり、振動発生装置等への槽内環境の影響を低減できる環境試験装置を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記した課題を解決するための態様は、内部に所望の環境を作ることが可能な試験室と、被試験物を固定する取り付け部と、前記取り付け部を動かす駆動部と、駆動部設置部を有する環境試験装置において、前記取り付け部は前記試験室内にあり、前記駆動部は前記駆動部設置部にあり、前記試験室と前記駆動部設置部の間を仕切る仕切り部材を有し、前記駆動部によって前記取り付け部を動かし、前記被試験物に運動を与えつつ試験を行うことが可能であり、前記仕切り部材は、少なくとも試験室側薄膜と駆動部側薄膜を有する多層構造であり、前記試験室側薄膜と前記駆動部側薄膜の間に膜間空間があり、当該膜間空間内に気体が存在することを特徴とする環境試験装置である。
【０００８】
本態様の環境試験装置では、取り付け部に被試験物を取り付け、被試験物に振動等の動きを与えることができる。
本態様の環境試験装置では、取り付け部が試験室内にあるので、被試験物は、試験室内に創出された環境下に置かれる。
本態様の環境試験装置では、試験室と駆動部設置空間の間が仕切り部材で仕切られており、当該仕切り部材は、内部に膜間空間があって気体層がある。
そのため仕切り部材は断熱性が高く、試験室内が低温であっても駆動部側薄膜の外面の温度はさほど低くはならない。そのため仕切り部材の駆動部設置部側に結露が生じにくい。
【０００９】
上記した態様において、前記試験室側薄膜は、ソリッド層と発泡層を有し、前記発泡層が前記膜間空間側に配されていることが望ましい。
【００１０】
本態様の環境試験装置では、試験室側薄膜が発泡層を有している。発泡層は、断熱性が高いので、仕切り部材の駆動部設置部側に結露が生じにくい。
【００１１】
上記した各態様において、前記駆動部側薄膜は、ソリッド層と発泡層を有し、前記発泡層が前記膜間空間側に配されていることが望ましい。
【００１２】
本態様の環境試験装置では、駆動部側薄膜が発泡層を有している。発泡層は、断熱性が高いので、仕切り部材の駆動部設置部側に結露が生じにくい。
【００１３】
上記した各態様において、前記膜間空間内に乾燥気体が存在することが望ましい。
【００１４】
乾燥気体とは、露点が試験室内の温度よりも低い気体であり、例えば除湿処理された空気や、ボンベから供給される窒素である。
【００１５】
上記した各態様において、前記膜間空間内を乾燥気体が通過することが望ましい。
【００１６】
本態様の環境試験装置では、試験室側薄膜と駆動部側薄膜の間の膜間空間を、乾燥気体が通過する。そのため膜間空間内の気体が入れ代わり、低温の気体が滞らない。そのため試験室内が低温であっても駆動部側薄膜の表面温度はさほど低くはならない。
【００１７】
上記した態様において、前記乾燥気体は、前記試験室の外側から前記膜間空間に導入され、前記試験室内に抜けることが望ましい。
【００１８】
本態様に環境試験装置では、乾燥気体は、試験室の外側から試験室側薄膜と駆動部側薄膜の間に導入される。そのため乾燥気体は、試験室内の冷気によって冷却されていない状態で膜間空間内に導入される。
また通過する乾燥気体は、試験室の冷気の影響を受けて温度が低下している場合があるが、試験室内に放出されるので、駆動部設置部側に結露が生じにくい。
【００１９】
上記した態様において、前記試験室側薄膜及び前記駆動部側薄膜はいずれも複数のシート片が結合されたものであり、前記仕切り部材の少なくとも一部に外観が凹凸状の蛇腹部があり、当該蛇腹部であって外側に凸向きの部位は、前記試験室側薄膜と前記駆動部側薄膜が共に凸向きであり、凹向きの部位は、前記試験室側薄膜と前記駆動部側薄膜が共に凹向きであり、前記試験室側薄膜及び前記駆動部側薄膜の凸部の突端部及び凹部の突端部分は、前記シート片が面同士を重ねて接合されていることが望ましい。
【００２０】
本態様では、仕切り部材は蛇腹状の部分を有している。本態様では、仕切り部材は試験室側薄膜と駆動部側薄膜によって構成される二重構造であり、かつ両者の間に膜間空間があるが、試験室側薄膜の凸部の位置と、駆動部側薄膜の凸部の位置が対応する位置関係にあり、試験室側薄膜の凹部の位置と、駆動部側薄膜の凹部の位置も対応する位置関係にある。そのため蛇腹状の部分が伸縮する際に、試験室側薄膜と駆動部側薄膜の引っ掛かりを起こしにくい。
また凸部及び凹部の突端部分は、シート片の面同士を重ねて接合されて構成されたものであるから、蛇腹部分の復元性が高い。そのため仕切り部材は変形能と、形態復元性が共に高く、取り付け部の動きに対応して変形し、且つ元の形状に復帰する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の環境試験装置によると、振動発生装置等への試験室内環境の影響を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態の環境試験装置の斜視図である。
【図２】図１の環境試験装置の断面斜視図である。
【図３】図１の環境試験装置の本体装置の側面断面図である。
【図４】図１の環境試験装置の仕切り部材近傍の正面図である。
【図５】試料テーブルと、仕切り部材の分解斜視図である。
【図６】図４の断面図である。
【図７】図６の拡大図及び各部の拡大図である。
【図８】本発明の他の実施形態の環境試験装置の断面斜視図である。
【図９】図８の環境試験装置の仕切り部材近傍の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下さらに本発明の実施形態について説明する。
本実施形態の環境試験装置１は、振動複合環境試験装置であり、本体装置２と振動発生装置３及び仕切り部材７を有している。図１の様に本体装置２は、架台３８に設置されている。架台３８の下部に駆動部設置部１６があり、前記した振動発生装置３の大部分が設置されている。
【００２４】
振動発生装置３は、６軸駆動であり、単に振動を与えるだけではなく、被試験物に複雑な動きをさせることができる。例えば、被試験物を縦揺れ、横揺れ、旋回等させることが可能であり、さらに被試験物を傾けた状態で振動させたり旋回させることもできる。
振動発生装置３は、図２の様に、駆動部５と、駆動軸６を有している。実際には駆動軸６は、複数の関節部分を有し、複数の軸に分かれている。本実施形態では、図３、図６の様に駆動軸６の先端に取り付けフランジ８が設けられている。そして取り付けフランジ８を介して試料テーブル１０が取り付けられている。試料テーブル１０は、被試験物を固定する物品取り付け部として機能する。
試料テーブル１０は、相当の剛性を有する金属板であり、正方形に近い四角形である。  試料テーブル１０の下面側には図６の様にフランジ部材１５が設けられている。
【００２５】
振動発生装置３の駆動部５は、図２の様に防振動ゴム１２を介してピット１３の床面１８に設置されている。
【００２６】
次に本体装置２について説明する。本体装置２は、図３の様に試験室１１と、空気調和機器設置部１７を有している。
即ち本体装置２は、公知の環境試験装置と同様に、断熱壁２０によって覆われた断熱槽２２を有している。断熱槽２２の内部には、図３の様に内部仕切り壁２３があり、試験室１１と空気調和機器設置部１７に区画されている。
【００２７】
本実施形態では、空気調和機器設置部１７内に、加湿装置２５、冷却装置２６、加熱装置２７、及び送風機２８が配されている。
空気調和機器設置部１７は、内部仕切り壁２３によって試験室１１から区画されているが、内部仕切り壁２３は、上端部と下端部に開口３０，３１がある。そのため空気調和機器設置部１７は、前記した開口３０，３１を通じて試験室１１と連通している。
本実施形態では、空気調和機器設置部１７は一連の空気流路３２を形成しており、当該空気流路３２に前記した加湿装置２５、冷却装置２６、加熱装置２７、及び送風機２８が置かれている。
また空気流路３２の出口側（開口３０側）に、温度センサー３３と湿度センサー３４が設けられている。環境試験装置１では、前記した空気調和機器設置部１７内の部材と、温度センサー３３及び湿度センサー３４によって試験室１１内に所定の環境を作り、この環境を維持することができる。
【００２８】
本体装置２の試験室１１は、断熱槽２２の一部に形成された空間であり、被試験物を設置して試験を行うための部材である。
本実施形態で採用する試験室１１は、正面壁３５、天面壁３６、底面壁３７、左右側面壁４０，４１及び奥面壁（内部仕切り壁２３）を有している。
正面壁３５、天面壁３６、底面壁３７、左右側面壁４０，４１は、いずれも断熱壁である。
本実施形態では、試験室１１は、図１, 図３の様に正面側に扉２１が設けられており、正面側を開放することができ、正面の扉２１を開いて被試験物を試験室１１に出し入れすることができる。
【００２９】
また本実施形態では、試験室１１の底面に大きな開口４５がある。
即ち試験室１１には、図２、図３の様に底面壁３７に大きな円形の開口４５が設けられ、当該開口４５から振動発生装置３に固定された試料テーブル１０が試験室１１内に突出している。
本実施形態の環境試験装置１では、本体装置２は、図１、図２の様に架台３８に載置されていてピット１３に中空位置に支持されており、本体装置２の下に前記した振動発生装置３が配置されている。即ち振動発生装置３の大部分はピット１３内に設置されている。本実施形態では、ピット１３が、駆動部設置部１６となっている。
振動発生装置３に取り付けられた試料テーブル１０は試験室１１内にあり、駆動軸６が駆動部設置部１６内の駆動部５と試験室１１内の試料テーブル１０の間を繋いでいる。
即ち駆動軸６等が試験室１１の開口４５を経て試験室１１の内外を繋いでいる。
【００３０】
本実施形態では、試料テーブル１０が設置された試験室１１内と、駆動部５が設置された駆動部設置部１６が、仕切り部材７で仕切られている。
即ち試験室１１の底面壁３７の開口４５の内縁と、試料テーブル１０のフランジ部材１５外縁との間には仕切り部材７がある。
仕切り部材７は、図５、図７の様に二重壁構造の蛇腹である。
以下、二重壁を一体として観察し、蛇腹全体の外側を蛇腹の外面或いは蛇腹の外側と称し、蛇腹の内側を蛇腹の内面或いは蛇腹の内側と称する。
また蛇腹の二重壁に注目し、二重壁の内側を二重壁の内面或いは内側と称し、外側を二重壁の外面或いは外側と称する。従って、二重壁の外側には、蛇腹の外側に相当するものと、蛇腹の内側に相当するものがある。
【００３１】
仕切り部材７の外観形状は、図４の様に略円錐形の蛇腹であり、複数の節部５０がある。図６の様に蛇腹には小径側開口４３と、大径側開口４６があり、円錐形に近似される形状であって複数の節部５０がある。
仕切り部材７を巨視的に観察すると、図６の様に大径側開口４６から小径側開口４３に連通する連通孔５１がある。即ち蛇腹の内面は空洞であり、設置姿勢を基準として円錐形に近似される連通孔５１がある。
前記した様に仕切り部材７は、二重壁構造となっており、図５、図６、図７の様に試験室側薄膜５２と、駆動部側薄膜５３が組み合わされたものである。
試験室側薄膜５２及び駆動部側薄膜５３は、図５の様にいずれも積層シートを蛇腹状に成形したものである。
【００３２】
試験室側薄膜５２は、仕切り部材７の外郭（蛇腹の外面）を構成するものである。試験室側薄膜５２を巨視的に観察すると、略円錐形の蛇腹であり、複数の節部がある。
駆動部側薄膜５３は、仕切り部材７の内面（蛇腹の内面）を構成するものであり、巨視的に観察すると、略円錐形の蛇腹であり、複数の節部がある。
試験室側薄膜５２と駆動部側薄膜５３は相似形であり、試験室側薄膜５２の外側に突出部分に相当する凸部（図７Ｃ）の位置では、駆動部側薄膜５３も突出する凸部（図７Ｆ）となっている。同様に、試験室側薄膜５２の内側に凹んだ凹部  （図７Ｄ）に相当する位置では、駆動部側薄膜５３も凹んだ凹部（図７Ｅ）となっている。
駆動部側薄膜５３は、試験室側薄膜５２に比べてやや小さい。
【００３３】
試験室側薄膜５２は、図７のＡの様にソリッド層６２の内面に発泡層６３が積層されたものである。
試験室側薄膜５２のソリッド層６２は、例えばシリコンゴム等の耐熱、耐寒性の高い弾性を有するゴムである。
内側の発泡層６３は、例えば独立気泡の発泡層であり、内部に気体を包含している。発泡層６３は、ソリッド層６２との接着性が良好であれば素材に限定されるものではない。例えばソリッド層６２の素材に近いものを素材とする発泡層である。本実施形態では、シリコンスポンジが採用されている。
【００３４】
本実施形態では、試験室側薄膜５２は、複数の積層シート片６５を縫製し、繋ぎ合わせて作られたものである。
即ち試験室側薄膜５２は、図７のＣ、Ｄ内の様に、平面状且つ環状の積層シート片６５の発泡層６３側の面同士を重ね、当該部分を縫製して繋ぎ合わせたものである。
【００３５】
駆動部側薄膜５３も同様であり、駆動部側薄膜５３は、図７のＢの様にソリッド層７２に発泡層７３が積層されたものである。
駆動部側薄膜５３のソリッド層７２は、例えばネオプレンゴム等の合成ゴムや天然ゴム等の弾性を有する公知のゴムである。
発泡層７３は、例えば独立気泡の発泡層であり、内部に気体を包含している。発泡層７３は、ソリッド層７２との接着性が良好であれば素材に限定されるものではない。例えばソリッド層７２の素材に近いものを素材とする発泡層であり、ネオプレンスポンジ等が採用可能である。
【００３６】
駆動部側薄膜５３においても、複数の積層シート片７５を縫製し、繋ぎ合わせて作られたものである。
即ち駆動部側薄膜５３は、図７のＥ、Ｆの様に、平面状且つ環状の積層シート片７５の発泡層７３側の面同士を重ね、当該部分を縫製して繋ぎ合わせたものである。
【００３７】
駆動部側薄膜５３は、試験室側薄膜５２に比べてやや小さく、試験室側薄膜５２と、駆動部側薄膜５３の間には膜間空間８０がある。
【００３８】
試験室側薄膜５２の発泡層６３と、駆動部側薄膜５３の発泡層７３は、共に膜間空間８０側に面している。
試験室側薄膜５２と駆動部側薄膜５３は相似形であり、図６、図７の様に試験室側薄膜５２の外側に突出部分に相当する位置では、駆動部側薄膜５３も突出し、試験室側薄膜５２の内側に凹んだ凹部に相当する位置では、駆動部側薄膜５３も凹んでいる。
また両者はいずれも平面状の積層シート片６５、７５の辺部を縫合して作られており、積層シート片６５、７５の弾性によって撓み、高さ方向に伸縮する。
その一方、平面状の積層シート片６５、７５は、平面形状に戻ろうとするので、形状の復元性が高い。
そのため試験室側薄膜５２と駆動部側薄膜５３は型崩れしにくく、仕切り部材７に外力を加えて変形させても、試験室側薄膜５２と駆動部側薄膜５３の間に膜間空間８０が確保される。
【００３９】
試験室側薄膜５２には、二重壁の内側（膜間空間８０）と、二重壁の外側を連通する口金８１が取り付けられている。また駆動部側薄膜５３にも二重壁の内側（膜間空間８０）と、二重壁の外側を連通する口金８２が設けられている。
試験室側薄膜５２と駆動部側薄膜５３の上端側（小径側開口４３側）と下端側（大径側開口４６側）は、他の部材と接合されており、前記した口金８１、８２を除いて膜間空間８０は閉塞されている。即ち口金８１、８２を除いて二重壁の内外は遮蔽されている。
【００４０】
仕切り部材７の二重壁の内面（膜間空間８０）は、蛇腹の裾部側から頂き部側に掛けて連通している。そして仕切り部材７の裾部側の端部が、試験室１１の底面壁３７の開口４５の内縁に図示しないネジで取り付けられている。底面壁３７の開口４５の内縁と、仕切り部材７の裾部側との間には、図示しないパッキンが設けられており、底面壁３７と仕切り部材７の間は気密性が確保されている。
また仕切り部材７の頂き部側の端部は、試料テーブル１０の下面側のフランジ部材１５に図示しないネジによって固定されている。仕切り部材７の頂き部と、フランジ部材１５の間には、図示しないパッキンがあり、仕切り部材７とフランジ部材１５の間の間は気密性が確保されている。
【００４１】
試験室１１の底面側は、仕切り部材７によって外部と区画されている。即ち仕切り部材７を境としてその上の領域が、試験室１１であり、下の領域は試験室外である。本実施形態では、仕切り部材７の下部が駆動部設置部１６となっている。駆動部設置部１６の大部分は、ピット１３である。試験室１１内と下部の駆動部設置部１６の間は、前記した口金８１、８２の部分を除いて気密性が確保されている。
本実施形態では、振動発生装置３の駆動部５は、ピット１３で構成される駆動部設置部１６に設置されており、試験室１１とは仕切り部材７で遮蔽されている。
【００４２】
試料テーブル１０は、試験室１１内にあり、下部が駆動部設置部１６内に設置された駆動部５と接続されている。
試料テーブル１０に被試験物を固定し、駆動部５を駆動することによって、試験室１１内の被試験物に振動等の動きを与えることができる。
【００４３】
本実施形態の環境試験装置１は、空気調和機器設置部１７内に冷却装置２６を有しており、試験室１１内に低温環境を創出することができる。
本実施形態の環境試験装置１は、試験室１１内を低温環境としても、仕切り部材７の断熱性が高いので、仕切り部材７の駆動部設置部１６側に結露が生じにくい。
以下、説明する。
【００４４】
試験室１１内に低温環境を創出する際には、膜間空間８０に窒素ガス等の乾燥気体を通過させる。
具体的には、駆動部側薄膜５３の口金８２に窒素ガスボンベ１００を接続し、駆動部側薄膜５３側から膜間空間８０に乾燥気体を導入する。即ち試験室１１外から膜間空間８０に乾燥気体を導入する。
乾燥気体は、膜間空間８０を通過して試験室側薄膜５２の口金８１から試験室１１内に放出される。
【００４５】
本実施形態では、試験室１１と駆動部設置部１６との間が仕切り部材７で仕切られている。
仕切り部材７は、試験室側薄膜５２と駆動部側薄膜５３によって構成されており、両者の間に膜間空間８０がある。
また試験室側薄膜５２と駆動部側薄膜５３は、いずれもソリッド層６２、７２と発泡層６３、７３が積層された二層構造である。
試験室１１と駆動部設置部１６の間には、試験室側薄膜５２のソリッド層６２、試験室側薄膜５２の発泡層６３、乾燥気体層（膜間空間８０）、駆動部側薄膜５３の発泡層７３、駆動部側薄膜５３のソリッド層７２がある。
従って、駆動部側薄膜５３の外面には冷気が伝わりにくく、試験室１１内が極低温であったとしても、駆動部側薄膜５３の外面の温度は、常温の域を出ない。試験室１１内が極低温となり、蛇腹の外面が低温に晒されても、駆動部側となる蛇腹の内面側の表面温度は、常温の域を出ない。
特に本実施形態では、試験室側薄膜５２と駆動部側薄膜５３の間に厚い乾燥気体層があるので、熱伝導が乾燥気体層で阻まれ、駆動部側薄膜５３の外面（蛇腹の内面側）の温度は、過度に低くはならない。
【００４６】
また本実施形態では、膜間空間８０内の乾燥気体が入れ代わるので、乾燥空気を介しての冷熱伝導は小さい。
【００４７】
熱伝導系統を説明すると、仕切り部材７の試験室側薄膜５２のソリッド層６２が試験室１１内に面しているので、仕切り部材７のソリッド層６２は低温環境にさらされる。
ソリッド層６２の冷熱は、試験室側薄膜５２のソリッド層６２から発泡層６３に伝わるが、発泡層６３は内部に気泡を含んでいる。発泡層６３は、熱伝導率が低く、試験室１１内の冷熱を伝えにくい。そのため発泡層６３の表面（膜間空間８０側）の温度は、試験室１１内の温度に比べて相当に高い。
【００４８】
試験室側薄膜５２の発泡層６３の表面の冷熱は、膜間空間８０内で対向する駆動部側薄膜５３の発泡層７３に伝導される。
ここで試験室側薄膜５２の発泡層６３と駆動部側薄膜５３の発泡層７３の間には、膜間空間８０があり、内部に乾燥気体が存在する。この間の熱移動には、気体間の拡散によるものと、対流によるものと、輻射によるものがある。
ここで気体間の拡散は、気体分子の接触による熱移動である。拡散による熱移動は、そもそも時間がかかるものである。即ち拡散による熱移動は、気体が低温部材と接触して温度が下がり、それが周囲の気体に伝播し、全体の温度を低下させる。そして気体が高温側部材（本実施形態では駆動部側薄膜５３の発泡層７３）と接触して冷熱を移動させるものである。
【００４９】
これに対して本実施形態では、乾燥気体は膜間空間８０内を通過し、膜間空間８０内に止まらない。
そのため気体間の拡散によって膜間空間８０内の乾燥空気の温度が低下傾向となっても、冷却された乾燥空気は外部（試験室１１側）に排出される。そのため、膜間空間８０内の乾燥気体は過度に温度低下することはない。即ち膜間空間８０内の乾燥気体は入れ代わるので、乾燥気体は過度に温度低下することはない。
また仮に膜間空間８０内の乾燥空気の温度が低下しても、乾燥空気は露点が低いので、膜間空間８０内で結露することはない。
温度低下した乾燥気体は試験室１１側に放出されるが、試験室１１内はそもそも低温環境であるから、試験室１１の環境に与える影響は小さい。
【００５０】
また前記した様に膜間空間８０内の乾燥空気が入れ代わるので、対流による熱移動も少ない。
輻射による冷熱の移動はそもそも少ない。
そのため、試験室側薄膜５２の発泡層６３の表面の冷熱は、駆動部側薄膜５３の発泡層７３には伝わりにくく、駆動部側薄膜５３の発泡層７３の温度は、試験室側薄膜５２の発泡層６３の表面温度よりも高い。
さらに駆動部側薄膜５３の発泡層７３は、気泡を含んでいて熱伝導率が低いので、駆動部側薄膜５３のソリッド層７２の表面温度は、膜間空間８０内の温度よりも高く、外気温度に近い。
そのため駆動部側薄膜５３の表面温度は外温度と大差なく、結露は生じにくい。従って振動発生装置３に結露水が落下したり、振動発生装置３自体の表面に結露が生じる懸念は低い。
【００５１】
以上説明した実施形態では、膜間空間８０内に乾燥空気を通過させたが、膜間空間８０内に乾燥空気を封入してもよい。また膜間空間８０内に封入する気体は、必ずしも乾燥空気でなくてもよい。また膜間空間８０と、外部とを連通する孔があり、露点が試験室１１内の温度よりも低い空気が当該孔から出入りするものであってもよい。
膜間空間８０に導入される気体を試験室１１以外の場所に排出してもよい。
膜間空間８０に乾燥気体を通過させることが望ましいが、本発明はこれに限定されるものではなく、口金８１、８２を開放状態としてもよい。また口金８１、８２自体を無くし、膜間空間８０を密閉空間としてもよい。
【００５２】
仕切り部材７は必ずしも蛇腹でなくてもよく、例えばダイヤフラム状であってもよい。
【００５３】
上記した実施形態では、試験室側薄膜５２及び駆動部側薄膜５３を共にソリッド層６２、７２に発泡層６３、７３が積層されたものを採用した。
この構成は、ソリッド層６２、７２によって気密性と、強度を確保し、発泡層６３、７３によって断熱性の向上を図ることができ、推奨される。
しかしながら、いずれか一方だけが積層体であり、他方が単層であってもよい。さらに試験室側薄膜５２及び駆動部側薄膜５３は、共に単層であってもよい。逆に試験室側薄膜５２及び駆動部側薄膜５３が、３層以上の積層体であってもよい。
【００５４】
以上説明した実施形態では、膜間空間８０内には何も挿入されていないが、グラスウール等の柔らかい断熱材を挿入してもよい。
【００５５】
駆動部５は、単に上下振動だけを発生するものであってもよい。
試験室側薄膜５２及び駆動部側薄膜５３の成形方法は任意であり、縫製に限定されるものではない。
【００５６】
上記した実施形態では、試料テーブル１０と駆動部５が、一本の駆動軸６で結合されており、当該一本の駆動軸６の周囲を一つの仕切り部材７が取り巻いている。
これに対して、試料テーブル１０により複雑な動きをさせることを目的として、図８の様に駆動部５に複数の駆動軸６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ、６ｆを設け、各駆動軸６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ、６ｆを試料テーブル１０に接続する場合がある。
【００５７】
この様な構成を採用する場合には、各駆動軸６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ、６ｆに個別に仕切り部材７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、７ｅ、７ｆを設置することが推奨される。
図８、図９に示す環境試験装置９０では、底面壁３７等に複数の開口９１を設け、当該開口９１から駆動軸６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ、６ｆを突出させて試料テーブル１０を支持している。
そして試料テーブル１０と開口９１の間に、前記した実施形態と同様の層構成を持つ仕切り部材７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、７ｅ、７ｆが取り付けられている。
【符号の説明】
【００５８】
１  環境試験装置
２  本体装置
３  振動発生装置
５  駆動部
７  仕切り部材
１０  試料テーブル（取り付け部）
１１  試験室
１６  駆動部設置部
２６  冷却装置
５２  試験室側薄膜
５３  駆動部側薄膜
６２  ソリッド層
６３  発泡層
６５  積層シート片
７２  ソリッド層
７３  発泡層
７５  積層シート片
８０  膜間空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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