(57)【要約】      （修正有）【課題】本発明の目的は、真空ゲートバルブの動作不良を防ぐ流体開閉装置及び流体の開閉方法を提供する。【解決手段】流体開閉装置１は、流体が通過する通路２を開閉する流体開閉装置１であって、通路２を開閉する開閉弁３と、この開閉弁３の開閉を制御する開閉弁開閉制御手段と、通路２の開口部を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブと、この真空ゲートバルブの弁板を収納する収納部と、真空ゲートバルブの開閉を制御する真空ゲートバルブ開閉制御手段と、前記通路の出口に接続された真空室と、開閉弁３と真空ゲートバルブとの間にあって、収納部の開口部を開閉する収納部開閉部材９と、この収納部開閉部材９の開閉を制御する収納部開閉部材制御手段１０と、を備え、真空ゲートバルブは、開閉弁３より前記流体流れの下流に位置し、収納部開閉部材９により収納部の開口部を開としたとき、収納部の開口部は、通路２に臨んでいる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が通過する通路を開閉する流体開閉装置であって、
前記通路を開閉する開閉弁と、
この開閉弁の開閉を制御する開閉弁開閉制御手段と、
前記通路の開口部を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブと、
この真空ゲートバルブの弁板を収納する収納部と、
前記真空ゲートバルブの開閉を制御する真空ゲートバルブ開閉制御手段と、
前記通路の出口に接続された真空室と、
前記開閉弁と前記真空ゲートバルブとの間にあって、前記収納部の開口部を開閉する収納部開閉部材と、
この収納部開閉部材の開閉を制御する収納部開閉部材制御手段と、
を備え、
前記真空ゲートバルブは、前記開閉弁より前記流体流れの下流に位置し、
前記収納部開閉部材により前記収納部の開口部を開としたとき、前記収納部の開口部は、前記通路に臨んでいる
ことを特徴とする流体開閉装置。 
【請求項２】
流体は粉体であり、 
開閉弁開閉制御手段により開閉弁を開、収納部開閉部材制御手段により収納部の開口部を閉、真空ゲートバルブ開閉制御手段により真空ゲートバルブを開として、通路内の流体の流れを許容すると共に、前記通路内の流体が前記真空ゲートバルブの弁板が収納された前記収納部へ侵入するのを阻止し、
前記開閉弁開閉制御手段により前記開閉弁を閉、前記収納部開閉部材制御手段により収納部の開口部を開、前記真空ゲートバルブ開閉制御手段により前記真空ゲートバルブを閉として、前記通路内の流体の流れを阻止すると共に、前記真空ゲートバルブの閉により、真空室の真空状態を保持する
ことを特徴とする請求項１記載の流体開閉装置。
【請求項３】
流体が通過する通路を開閉する流体の開閉方法であって、
前記通路を開閉する開閉弁と、
前記通路の開口部を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブと、
この真空ゲートバルブの弁板を収納する収納部と、
この収納部の開口部を開閉する収納部開閉部材と、
前記通路の出口に接続された真空室と、
を備え、
前記真空ゲートバルブは、前記開閉弁より前記流体流れの下流に位置し、
前記開閉弁及び前記真空ゲートバルブの開により、前記通路内の流体の流れを許容すると共に、前記収納部開閉部材により前記収納部の開口部を閉じて、前記通路内の流体が前記真空ゲートバルブの弁板が収納された前記収納部へ侵入するのを阻止し、
前記開閉弁の閉により、前記通路内への流体の流れを阻止すると共に、前記開閉部材により前記収納部の開口部を開として、前記収納部の開口部より前記真空ゲートバルブの弁板を前記通路を横断するように移動させて前記通路を閉とする
ことを特徴とする流体の開閉方法。 
【請求項４】
流体は粉体であり、 
開閉弁開閉制御手段により開閉弁を開、収納部開閉部材制御手段により収納部の開口部を閉、真空ゲートバルブ開閉制御手段により真空ゲートバルブを開として、通路内の流体の流れを許容すると共に、前記通路内の流体が前記真空ゲートバルブの弁板が収納された前記収納部へ侵入するのを阻止し、
前記開閉弁開閉制御手段により前記開閉弁を閉、前記収納部開閉部材制御手段により収納部の開口部を開、前記真空ゲートバルブ開閉制御手段により前記真空ゲートバルブを閉として、前記通路内の流体の流れを阻止すると共に、前記真空ゲートバルブの閉により、真空室の真空状態を保持する
ことを特徴とする請求項３記載の流体の開閉方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体開閉装置及び流体の開閉方法に係り、特に、真空ゲートバルブの動作不良を防ぐことができる流体開閉装置及び流体の開閉方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
通路内を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブがある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記真空ゲートバルブを通路内で開閉すると、例えば、通路を流れる流体、例えば、粉体の場合、真空ゲートバルブの摺動部に粉体が付着し、動作不良を起こすという問題点が生じた。
【０００４】
本発明は、上記の問題点を考慮してなされたもので、真空ゲートバルブの動作不良を防ぐことができる流体開閉装置及び流体の開閉方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の流体開閉装置は、流体が通過する通路を開閉する流体開閉装置であって、前記通路を開閉する開閉弁と、この開閉弁の開閉を制御する開閉弁開閉制御手段と、前記通路の開口部を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブと、この真空ゲートバルブの弁板を収納する収納部と、前記真空ゲートバルブの開閉を制御する真空ゲートバルブ開閉制御手段と、前記通路の出口に接続された真空室と、前記開閉弁と前記真空ゲートバルブとの間にあって、前記収納部の開口部を開閉する収納部開閉部材と、この収納部開閉部材の開閉を制御する収納部開閉部材制御手段と、を備え、前記真空ゲートバルブは、前記開閉弁より前記流体流れの下流に位置し、前記収納部開閉部材により前記収納部の開口部を開としたとき、前記収納部の開口部は、前記通路に臨んでいるものである。
【０００６】
また、請求項２記載の流体開閉装置は、請求項１記載の流体開閉装置において、流体は粉体であり、開閉弁開閉制御手段により開閉弁を開、収納部開閉部材制御手段により収納部の開口部を閉、真空ゲートバルブ開閉制御手段により真空ゲートバルブを開として、通路内の流体の流れを許容すると共に、前記通路内の流体が前記真空ゲートバルブの弁板が収納された前記収納部へ侵入するのを阻止し、前記開閉弁開閉制御手段により前記開閉弁を閉、前記収納部開閉部材制御手段により収納部の開口部を開、前記真空ゲートバルブ開閉制御手段により前記真空ゲートバルブを閉として、前記通路内の流体の流れを阻止すると共に、前記真空ゲートバルブの閉により、真空室の真空状態を保持するものである。
【０００７】
また、請求項３記載の流体の開閉方法は、流体が通過する通路を開閉する流体の開閉方法であって、前記通路を開閉する開閉弁と、前記通路の開口部を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブと、この真空ゲートバルブの弁板を収納する収納部と、この収納部の開口部を開閉する収納部開閉部材と、前記通路の出口に接続された真空室と、を備え、前記真空ゲートバルブは、前記開閉弁より前記流体流れの下流に位置し、前記開閉弁及び前記真空ゲートバルブの開により、前記通路内の流体の流れを許容すると共に、前記収納部開閉部材により前記収納部の開口部を閉じて、前記通路内の流体が前記真空ゲートバルブの弁板が収納された前記収納部へ侵入するのを阻止し、前記開閉弁の閉により、前記通路内への流体の流れを阻止すると共に、前記開閉部材により前記収納部の開口部を開として、前記収納部の開口部より前記真空ゲートバルブの弁板を前記通路を横断するように移動させて前記通路を閉とするものである。
【０００８】
また、請求項４記載の流体の開閉方法は、請求項３記載の流体の開閉方法において、流体は粉体であり、開閉弁開閉制御手段により開閉弁を開、収納部開閉部材制御手段により収納部の開口部を閉、真空ゲートバルブ開閉制御手段により真空ゲートバルブを開として、通路内の流体の流れを許容すると共に、前記通路内の流体が前記真空ゲートバルブの弁板が収納された前記収納部へ侵入するのを阻止し、前記開閉弁開閉制御手段により前記開閉弁を閉、前記収納部開閉部材制御手段により収納部の開口部を開、前記真空ゲートバルブ開閉制御手段により前記真空ゲートバルブを閉として、前記通路内の流体の流れを阻止すると共に、前記真空ゲートバルブの閉により、真空室の真空状態を保持するものである。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の流体開閉装置によれば、開閉弁及び真空ゲートバルブの開により、通路内の流体の流れを許容すると共に、開閉部材の閉により収納部の開口部を閉じて、通路内の流体の前記収納部への侵入を阻止して真空ゲートバルブの動作不良を防ぐことができ、しかも、開閉弁の閉により、通路内の流体の流れを阻止すると共に、真空ゲートバルブの閉により、真空室の真空状態を保持することができる。
【００１０】
また、請求項２記載の流体開閉装置によれば、上述した請求項１記載の発明の効果に加え、通路内の流体が粉体の場合、真空ゲートバルブの弁板が収納された収納部へ粉体が侵入するのを阻止して、真空ゲートバルブの動作不良を防ぐことができる。
【００１１】
また、請求項３記載の流体の開閉方法によれば、開閉弁及び真空ゲートバルブの開により、通路内の流体の流れを許容すると共に、収納部開閉部材により収納部の開口部を閉じて、通路内の流体が真空ゲートバルブの弁板が収納された収納部へ侵入するのを阻止して、真空ゲートバルブの動作不良を防ぐことができ、しかも、開閉弁の閉により、通路内の流体の流れを阻止すると共に、真空ゲートバルブの閉により、真空室の真空状態を保持することができる。
【００１２】
また、請求項４記載の流体の開閉方法によれば、上述した請求項３記載の発明の効果に加え、通路内の流体が粉体の場合、真空ゲートバルブの弁板が収納された収納部へ粉体が侵入するのを阻止して、真空ゲートバルブの動作不良を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の一実施例の流体開閉装置の概略的一部破断斜視図である。
【図２】図２は、図１の真空ゲートバルブ開閉制御手段を示す概略的断面図である。
【図３】図３は、図１の流体開閉装置の開閉弁及び真空ゲートバルブの開状態時の概略的断面図である。
【図４】図４は、図１の流体開閉装置の開閉弁及び真空ゲートバルブの閉状態時の概略的断面図である。
【図５】図５（ａ）は、図３の状態の概略的図であり、図５（ｂ）は、図４の状態の概略的図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の一実施例の流体開閉装置及び流体の開閉方法を図面（図１乃至図５）を参照して説明する。
図１に示す１は流体開閉装置で、流体開閉装置１は、流体が通過する通路２を開閉する装置である。
【００１５】
３は、通路２を開閉する開閉弁で、開閉弁３は、例えば、バタフライ弁である。この開閉弁３の開閉は、開閉弁開閉制御手段４により制御されるようになっている。
開閉弁開閉制御手段４は、例えば、開閉弁３を通路２内に進退させる手段（例えば、開閉弁３をシリンダーのロッドに機構的に接続して、ロッドを前進させて開閉弁３で通路２を塞ぎ、ロッドを後退させて通路２内の開閉弁３を開く）でも良く、
また、開閉弁開閉制御手段４は、例えば、開閉弁３を通路２内で回動させる手段（例えば、開閉弁３に軸を設け、この軸を回動して、時計回りに回動させて開閉弁３で通路２を塞ぎ、開閉弁３に設けた軸を反時計回りに回動させて通路２内の開閉弁３を開く）でも良く、また、開閉弁開閉制御手段４は、例えば、特開２０１６−１１４２２３に開示されたもの、つまり、開閉弁３に取り付けられた弁棒（図示せず）の軸を回動するもので、エアシリンダー（図示せず）で動くラック（図示せず）に弁棒（図示せず）に取り付けられた平歯車（図示せず）を噛み合わせて行うようにしても良い。
【００１６】
５は、通路２の開口部を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブで、この真空ゲートバルブ５は、開閉弁３より流体流れの下流に位置している。
６は、真空ゲートバルブ５の弁板を収納する収納部で、７は、真空ゲートバルブ５の開閉を制御する真空ゲートバルブ開閉制御手段で、
真空ゲートバルブ開閉制御手段７は、例えば、真空ゲートバルブ５の弁板を通路２内に進退させる手段（例えば、エアシリンダー（図示せず）のロッド（図示せず）に接続された真空ゲートバルブ５の弁板を前進させて、通路２の開口部を閉じ、逆に、エアシリンダー（図示せず）のロッド（図示せず）に接続された真空ゲートバルブ５の弁板を後退させて、収納部６に収納させるようにして、通路２の開口部を開）としても良いし、
また、真空ゲートバルブ開閉制御手段７は、例えば、真空ゲートバルブ５の弁板を通路２内に進退させる手段（例えば、エアシリンダー（図示せず）のロッド（図示せず）に歯切りしたラック（図示せず）に平歯車（図示せず）を係合させ、前記平歯車（図示せず）に機構的に接続した継ぎ手Ｔ（図２）を介して真空ゲートバルブ５の弁板を回動させる。例えば、ラック（図示せず）の動きに追随して平歯車（図示せず）を反時計回りに回動させて、継ぎ手Ｔを介して真空ゲートバルブ５の弁板を回動させ開閉弁３で通路２を塞ぎ、逆に、ラック（図示せず）の動きに追随して平歯車（図示せず）を時計回りに回動させて、真空ゲートバルブ５の弁板を後退させて、収納部６に収納させるようにして、通路２の開口部を開としても良い。）でも良い。
【００１７】
８は、通路２の出口に接続された大気圧より低い圧力に保持される真空室（減圧室）である。９は、開閉弁３と真空ゲートバルブ５との間にあって、収納部６の開口部を開閉する収納部開閉部材で、収納部開閉部材９は、例えば、シリンダ状部材である。
この収納部開閉部材９の開閉は、収納部開閉部材制御手段１０により開閉制御されるようになっている。
収納部開閉部材制御手段１０は、例えば、エアシリンダー１１のロッド１２を進退させて行う。１３は、収納部開閉部材９の外周に接続された接続部材で、接続部材１３の裏面にロッド１２の先端を当接して、接続部材１３は、ロッド１２の動きに追随するようになっている。
そして、収納部開閉部材９により収納部６の開口部を開としたとき、収納部６の開口部は、通路２に臨んでいる。
【００１８】
上述した流体開閉装置１にあっては、図３及び図５（ａ）に示すように、開閉弁３及び真空ゲートバルブ５の開により、通路２内の流体の流れを許容すると共に、収納部開閉部材９により収納部７の開口部を閉じて、通路２内の流体が真空ゲートバルブ５の弁板が収納された収納部７へ侵入するのを阻止しうることができる。
また、逆に、図４及び図５（ｂ）に示すように、開閉弁３の閉により、通路２内への流体の流れを阻止すると共に、収納部開閉部材９により収納部６の開口部を開として、収納部６の開口部より真空ゲートバルブ５の弁板を通路２を横断するように移動させて通路２を閉とすることができる。
【００１９】
従って、上述した流体開閉装置（流体の開閉方法）１によれば、開閉弁３及び真空ゲートバルブ５の開により、通路２内の流体の流れを許容すると共に、収納部開閉部材９の閉により収納部６の開口部を閉じて、通路２内の流体の収納部６への侵入を阻止して真空ゲートバルブ５の動作不良を防ぐことができ、しかも、収納部開閉部材９の閉により、通路２内の流体の流れを阻止すると共に、真空ゲートバルブ５の閉により、真空室（減圧室）８の真空（減圧）状態を保持することができる。
【００２０】
なお、流体は液体、気体、粉体の何れかであれば良く、収納部開閉部材９の閉により収納部６の開口部を閉じて、通路２内の流体の収納部６への侵入を阻止して真空ゲートバルブ５を液体、気体及び粉体から保護することができる。
本実施例の流体開閉装置（流体の開閉方法）１においては、例えば、通路２内の流体が粉体の場合、真空ゲートバルブ５の弁板が収納された収納部６へ粉体が侵入するのを阻止して、真空ゲートバルブ５の動作不良を防ぐことができる。
【符号の説明】
【００２１】
１      流体開閉装置
２      通路
３      開閉弁
４      開閉弁開閉制御手段
５      真空ゲートバルブ
６      収納部
７      真空ゲートバルブ開閉制御手段
８      真空室
９      収納部開閉部材
１０    納部開閉部材制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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