(57)【要約】【課題】チャックテーブルの枠体とテーブル基台との隙間から侵入する切削液が、ポーラス板に到達する可能性を低く抑えられる切削装置を提供する。【解決手段】切削装置であって、ポーラス板が枠体の凹部に接着材で固定され、一端が凹部に接続し他端が枠体の下面に開口する第１流路を枠体の内部に有するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、切削ユニットで被加工物を切削する際に被加工物に切削液を供給する切削液供給ノズルと、上面側にチャックテーブルの枠体が載置されるテーブル基台と、エジェクタの吸気口に一端が接続するとともに、他端がテーブル基台の上面に開口し、枠体がテーブル基台に載置された状態で第１流路の他端と接続する第２流路と、を含む。第２流路には、第１逆止弁と第２逆止弁とが設けられている。【選択図】図３
2019212734.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャックテーブルに保持された被加工物に切削液を供給しながら被加工物を切削する切削装置であって、
被加工物を保持する保持面を構成するポーラス板が枠体の凹部に接着材で固定され、一端が該凹部に接続し他端が該枠体の下面に開口する第１流路を該枠体の内部に有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、
該切削ユニットで被加工物を切削する際に被加工物に切削液を供給する切削液供給ノズルと、
上面側に該チャックテーブルの該枠体が載置されるテーブル基台と、
エジェクタの供給口に対してエアーの供給を制御する第１バルブと、
該エジェクタの吸気口に一端が接続するとともに、他端が該テーブル基台の該上面に開口し、該枠体が該テーブル基台に載置された状態で該第１流路の他端と接続する第２流路と、
該第２流路の一端と他端との間に設けられた第２バルブと、
該第２流路の一端と該第２バルブとの間に設けられ、該第２流路の一端側から該第２バルブ側に流体が侵入するのを抑制する第１逆止弁と、
該第１逆止弁と該第２バルブとの間の該第２流路の第１接続点に一端が接続し、他端が該テーブル基台の該上面に開口する第３流路と、
該第３流路の一端と他端との間に設けられた第３バルブと、
該第２流路の他端と該第２バルブとの間の該第２流路の第２接続点に一端が接続し、他端がエアー供給源に接続する第４流路と、
該第４流路の一端と他端との間に設けられた第４バルブと、
該第２流路の他端と該第２バルブとの間の該第２流路の第３接続点に接続された圧力計と、
該第２流路の該第１接続点と該第２接続点との間に設けられ、該第２流路の該第１接続点側から該第２接続点側に流体が侵入するのを抑制する第２逆止弁と、
該チャックテーブルで被加工物を保持した状態で、該圧力計の示す該第２流路の圧力が第１閾値よりも高い場合に該第１バルブ及び該第２バルブを開き、該第２流路の圧力が第２閾値よりも低い場合に該第２バルブを開いたまま該第１バルブを閉じることで、該エジェクタへのエアーの供給を抑制しつつ該第２流路の圧力を維持する制御ユニットと、を備え、
該第２逆止弁により、該第３流路を通じて該第２流路の該第１接続点側に流入した該切削液が該第２接続点側に侵入するのを抑制することを特徴とする切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物を切削する際に用いられる切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハやパッケージ基板に代表される板状の被加工物は、例えば、環状の切削ブレードが装着されるスピンドルと、被加工物を保持するためのチャックテーブルと、を備える切削装置を用いて切削（切削加工）される。この切削装置は、通常、水等の切削液を供給するためのノズルを更に備えており、切削ブレードを被加工物に切り込ませる際には、ノズルから被加工物に対して切削液が供給される。
【０００３】
チャックテーブルは、例えば、上面側に凹部を有する金属製の枠体と、枠体の凹部に接着剤で固定されたポーラス板と、を備え、この枠体が、切削装置のテーブル基台に対して着脱できる態様で固定されている。テーブル基台の内部には、エジェクタ等の吸引源に接続される流路が設けられており、枠体をテーブル基台に固定すると、ポーラス板は、この流路等を介して吸引源に接続される（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
そのため、ポーラス板の上面に被加工物を載せ、吸引源の負圧をポーラス板に作用させれば、被加工物をチャックテーブルによって吸引、保持できる。なお、テーブル基台の流路には、上述した吸引源の他に、エアーの供給源等が接続されている。エアーの供給源からエアーを供給してポーラス板の上面からエアーを噴出させることで、被加工物をチャックテーブルから容易に取り外せるようになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−９３３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、テーブル基台に対する枠体の固定には、上述した吸引源の負圧が利用されている。そのため、例えば、枠体とテーブル基台との隙間から僅かにリークする負圧の影響で、枠体やテーブル基台の側面等に付着した切削液が流路に入り込むことがある。切削液が流路に入り込んだ状態で上述したエアーの供給源からエアーを供給すると、切削液は、流路を通じてポーラス板にまで到達してしまう。
【０００７】
切削液には、ポーラス板を枠体に固定している接着剤を変質させるような添加剤が含まれていることもある。そのため、ポーラス板に切削液が到達する頻度が高くなると、この切削液に含まれる添加剤によって接着剤が変質し、ポーラス板が枠体から外れたり、ポーラス板が破損したりする恐れがあった。
【０００８】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、チャックテーブルの枠体とテーブル基台との隙間から侵入する切削液が、ポーラス板に到達する可能性を低く抑えられる切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、チャックテーブルに保持された被加工物に切削液を供給しながら被加工物を切削する切削装置であって、被加工物を保持する保持面を構成するポーラス板が枠体の凹部に接着材で固定され、一端が該凹部に接続し他端が該枠体の下面に開口する第１流路を該枠体の内部に有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ユニットで被加工物を切削する際に被加工物に切削液を供給する切削液供給ノズルと、上面側に該チャックテーブルの該枠体が載置されるテーブル基台と、エジェクタの供給口に対してエアーの供給を制御する第１バルブと、該エジェクタの吸気口に一端が接続するとともに、他端が該テーブル基台の該上面に開口し、該枠体が該テーブル基台に載置された状態で該第１流路の他端と接続する第２流路と、該第２流路の一端と他端との間に設けられた第２バルブと、該第２流路の一端と該第２バルブとの間に設けられ、該第２流路の一端側から該第２バルブ側に流体が侵入するのを抑制する第１逆止弁と、該第１逆止弁と該第２バルブとの間の該第２流路の第１接続点に一端が接続し、他端が該テーブル基台の該上面に開口する第３流路と、該第３流路の一端と他端との間に設けられた第３バルブと、該第２流路の他端と該第２バルブとの間の該第２流路の第２接続点に一端が接続し、他端がエアー供給源に接続する第４流路と、該第４流路の一端と他端との間に設けられた第４バルブと、該第２流路の他端と該第２バルブとの間の該第２流路の第３接続点に接続された圧力計と、該第２流路の該第１接続点と該第２接続点との間に設けられ、該第２流路の該第１接続点側から該第２接続点側に流体が侵入するのを抑制する第２逆止弁と、該チャックテーブルで被加工物を保持した状態で、該圧力計の示す該第２流路の圧力が第１閾値よりも高い場合に該第１バルブ及び該第２バルブを開き、該第２流路の圧力が第２閾値よりも低い場合に該第２バルブを開いたまま該第１バルブを閉じることで、該エジェクタへのエアーの供給を抑制しつつ該第２流路の圧力を維持する制御ユニットと、を備え、該第２逆止弁により、該第３流路を通じて該第２流路の該第１接続点側に流入した該切削液が該第２接続点側に侵入するのを抑制する切削装置が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一態様に係る切削装置は、第２流路の第１接続点と第２接続点との間に設けられ、第２流路の第１接続点側から第２接続点側にエアーや切削液等の流体が侵入するのを抑制する第２逆止弁を備えている。そのため、この第２逆止弁によって、第３流路を通じて第２流路の第１接続点側に流入した切削液が第２接続点側に侵入するのを抑制できる。つまり、チャックテーブルの枠体とテーブル基台との隙間から侵入した切削液がポーラス板に到達する可能性を低く抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】切削装置の構成例を示す斜視図である。
【図２】テーブル基台やチャックテーブル等の構造を示す斜視図である。
【図３】テーブル基台やチャックテーブル等の構造を示す断面図である。
【図４】チャックテーブルによって被加工物が吸引、保持される第１状態を示す断面図である。
【図５】チャックテーブルによって被加工物が吸引、保持される第２状態を示す断面図である。
【図６】チャックテーブルから被加工物が取り外される様子を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置２の構成例を模式的に示す斜視図である。なお、以下の説明に用いられるＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、互いに垂直である。
【００１３】
図１に示すように、切削装置２は、各構成要素が搭載される基台４を備えている。基台４の上面には、Ｘ軸移動機構（加工送りユニット）６が設けられている。Ｘ軸移動機構６は、Ｘ軸方向（加工送り方向、前後方向）に概ね平行な一対のＸ軸ガイドレール８を備えており、Ｘ軸ガイドレール８には、Ｘ軸移動テーブル１０がスライド可能に取り付けられている。
【００１４】
Ｘ軸移動テーブル１０の下面（裏面）側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレール８に平行なＸ軸ボールねじ１２が螺合されている。Ｘ軸ボールねじ１２の一端部には、Ｘ軸パルスモータ１４が連結されている。
【００１５】
Ｘ軸パルスモータ１４でＸ軸ボールねじ１２を回転させることで、Ｘ軸移動テーブル１０は、Ｘ軸ガイドレール８に沿ってＸ軸方向に移動する。このＸ軸移動機構６には、Ｘ軸移動テーブル１０のＸ軸方向の位置を測定するＸ軸測定ユニット（不図示）が設けられている。
【００１６】
Ｘ軸移動テーブル１０の上面側（表面側）には、θテーブル１６を介して円柱状のテーブル基台１８が設けられている。テーブル基台１８の上面１８ａ（図２参照）側には、被加工物１１を保持するためのチャックテーブル２０が配置されている。なお、このチャックテーブル２０は、テーブル基台１８に対して着脱できる態様で固定される。
【００１７】
被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体でなる円盤状のウェーハであり、その表面（上面）側は、中央のデバイス領域と、デバイス領域を囲む外周余剰領域とに分けられている。デバイス領域は、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）でさらに複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成されている。
【００１８】
被加工物１１の裏面（下面）側には、被加工物１１より径の大きいダイシングテープ１３が貼付されている。ダイシングテープ１３の外周部分は、環状のフレーム１５に固定されている。すなわち、被加工物１１は、ダイシングテープ１３を介してフレーム１５に支持されている。なお、このダイシングテープ１３は、被加工物１１の表面側に貼付されても良い。
【００１９】
また、本実施形態では、シリコン等の半導体でなる円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる任意の形状の基板を被加工物１１として用いることもできる。デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイスが形成されていなくても良い。
【００２０】
θテーブル１６は、モータ等の回転駆動源（不図示）を備え、上方に配置されるテーブル基台１８及びチャックテーブル２０をＺ軸方向（切り込み送り方向、上下方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転させる。また、上述したＸ軸移動機構６でＸ軸移動テーブル１０をＸ軸方向に移動させれば、チャックテーブル２０は加工送りされる。
【００２１】
チャックテーブル２０は、上面側に凹部２２ａ（図２等参照）を有する枠体２２と、枠体２２の凹部２２ａに接着剤で固定されたポーラス板２４と、を含む。このポーラス板２４の上面２４ａが、被加工物１１を吸引、保持するための保持面になる。例えば、枠体２２は、金属等を用いて構成され、ポーラス板２４は、多孔質セラミックス等を用いて構成される。テーブル基台１８やチャックテーブル２０の詳細については後述する。
【００２２】
チャックテーブル２０の周囲には、被加工物１１を支持する環状のフレーム１５を四方から固定する４個のクランプ２６が配置されている。また、Ｘ軸移動テーブル１０を含むＸ軸移動機構６の上方は、テーブルカバー２８や蛇腹状カバー（不図示）によって覆われている。ただし、テーブル基台１８やチャックテーブル２０等は、テーブルカバー２８の上方に露出している。
【００２３】
チャックテーブル２０に近接する位置には、被加工物１１をチャックテーブル２０へと搬送する搬送機構（不図示）が設けられている。また、Ｘ軸移動テーブル１０の近傍には、被加工物１１を切削する際に使用される切削液の廃液等を一時的に貯留するウォーターケース３０が設けられている。ウォーターケース３０内に貯留された廃液は、ドレーン（不図示）等を介して切削装置２の外部に排出される。
【００２４】
基台４の上面には、Ｘ軸移動機構６を跨ぐ門型の支持構造３２が配置されている。支持構造３２の前面上部には、２組の切削ユニット移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）３４が設けられている。各切削ユニット移動機構３４は、支持構造３２の前面に配置されＹ軸方向（割り出し送り方向、左右方向）に概ね平行な一対のＹ軸ガイドレール３６を共通に備えている。Ｙ軸ガイドレール３６には、各切削ユニット移動機構３４を構成するＹ軸移動プレート３８がスライド可能に取り付けられている。
【００２５】
各Ｙ軸移動プレート３８の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール３６に概ね平行なＹ軸ボールねじ４０がそれぞれ螺合されている。各Ｙ軸ボールねじ４０の一端部には、Ｙ軸パルスモータ４２が連結されている。Ｙ軸パルスモータ４２でＹ軸ボールねじ４０を回転させれば、Ｙ軸移動プレート３８は、Ｙ軸ガイドレール３６に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００２６】
各Ｙ軸移動プレート３８の前面（表面）には、Ｚ軸方向に概ね平行な一対のＺ軸ガイドレール４４が設けられている。Ｚ軸ガイドレール４４には、Ｚ軸移動プレート４６がスライド可能に取り付けられている。
【００２７】
各Ｚ軸移動プレート４６の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール４６に平行なＺ軸ボールねじ４８がそれぞれ螺合されている。各Ｚ軸ボールねじ４８の一端部には、Ｚ軸パルスモータ５０が連結されている。Ｚ軸パルスモータ５０でＺ軸ボールねじ４８を回転させれば、Ｚ軸移動プレート４６は、Ｚ軸ガイドレール４４に沿ってＺ軸方向に移動する。
【００２８】
各切削ユニット移動機構３４には、Ｙ軸移動プレート３８のＹ軸方向の位置を測定するＹ軸測定ユニット（不図示）が設けられている。また、各切削ユニット移動機構３４には、Ｚ軸移動プレート４６のＺ軸方向の位置を測定するＺ軸測定ユニット（不図示）が設けられている。
【００２９】
各Ｚ軸移動プレート４６の下部には、被加工物１１を切削するための切削ユニット５２が固定されている。また、切削ユニット５２に隣接する位置には、被加工物１１を撮像するためのカメラ（撮像ユニット）５４が設けられている。各切削ユニット移動機構３４で、Ｙ軸移動プレート３８をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット５２及びカメラ５４は割り出し送りされ、Ｚ軸移動プレート４６をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット５２及びカメラ５４は切り込み送りされる。
【００３０】
切削ユニット５２は、Ｙ軸方向に概ね平行な回転軸となるスピンドル５６（図４等参照）を備えている。つまり、スピンドル５６の軸心は、Ｘ軸方向に対して概ね垂直であり、Ｙ軸方向に対して概ね平行である。このスピンドル５６の一端側には、環状の切削ブレード５８が装着されている。スピンドル５６の他端側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、切削ブレード５８は、スピンドル５６を介して伝達される回転駆動源のトルクによって回転する。
【００３１】
また、切削ブレード５８の近傍には、被加工物１１や切削ブレード５８等に水等の切削液を供給する切削液供給ノズル６０が設けられている。切削ブレード５８の下方には、Ｚ軸方向において切削ブレード５８の下端（先端）の位置（高さ）を検出するブレード位置検出ユニット６２が配置されている。
【００３２】
Ｘ軸移動機構６、θテーブル１６、搬送機構、切削ユニット移動機構３４、切削ユニット５２、カメラ５４、ブレード位置検出ユニット６２等の構成要素は、それぞれ、制御ユニット６４に接続されている。この制御ユニット６４は、被加工物１１の加工条件等に合わせて、上述した各構成要素を制御する。
【００３３】
図２は、テーブル基台１８やチャックテーブル２０等の構造を示す斜視図であり、図３は、テーブル基台１８やチャックテーブル２０等の構造を示す断面図である。なお、図３では、一部の構成要素を記号等で表している。図２及び図３に示すように、テーブル基台１８の上面１８ａには、上向きに突出する環状の凸部１８ｂが設けられている。
【００３４】
上面１８ａの凸部１８ｂより内側の領域には、上向きに突出し凸部１８ｂよりも径の小さい環状の凸部１８ｃが、凸部１８ｂに対して同心状に設けられている。また、上面１８ａの凸部１８ｂと凸部１８ｃとの間の領域には、上向きに突出する円筒状の位置決め凸部１８ｄが設けられている。
【００３５】
上面１８ａの凸部１８ｃより内側の領域には、凸部１８ｃよりも径の小さい環状の溝１８ｅが、凸部１８ｃに対して同心状に形成されている。更に、上面１８ａの溝１８ｅより内側の領域には、テーブル基台１８の内部に設けられた流路（第２流路）１８ｆの一端が開口している。同様に、上面１８ａの凸部１８ｂと凸部１８ｃとの間の領域であって、位置決め凸部１８ｄが設けられていない領域には、テーブル基台１８の内部に設けられた流路（第３流路）１８ｇの一端が開口している。
【００３６】
流路１８ｆの他端は、一端がエジェクタ６８の吸気口６８ａに接続された流路（第２流路）６６ａの他端に接続されている。流路６６ａの一端と他端との間には、この流路６６ａ内の流体（エアー、切削液等）の流れを制御するためのバルブ（第２バルブ）７０ａが設けられている。バルブ７０ａと流路６６ａの一端との間には、流路６６ａの一端側（エジェクタ６８側）からバルブ７０ａ側への流体の侵入を抑制するための逆止弁（第１逆止弁）７２ａが設けられている。
【００３７】
流路６６ａのバルブ７０ａと逆止弁７２ａとの間（第１接続点Ａ）には、流路（第３流路）６６ｂの一端が接続されている。流路６６ｂの他端は、上述した流路１８ｇの他端に接続されている。また、流路６６ｂの一端と他端との間には、この流路６６ｂ内の流体の流れを制御するためのバルブ（第３バルブ）７０ｂが設けられている。
【００３８】
流路６６ａの他端とバルブ７０ａとの間（第２接続点Ｂ）には、流路（第４流路）６６ｃの一端が接続されている。流路６６ｃの他端は、流路６６ｃに対してエアーを供給するためのエアー供給源７４ａに接続されている。また、流路６６ｃの一端と他端との間には、この流路６６ｃ内の流体の流れを制御するためのバルブ（第４バルブ）７０ｃが設けられている。
【００３９】
流路６６ａの他端とバルブ７０ａとの間（第３接続点Ｃ）には、流路６６ａ内の圧力を測定するための圧力計７６が接続されている。更に、流路６６ａに対して流路６６ｂの一端が接続される第１接続点Ａと、流路６６ａに対して流路６６ｃの一端が接続される第２接続点Ｂとの間には、この第１接続点Ａ側から該第２接続点Ｂ側への流体の侵入を抑制するための逆止弁（第２逆止弁）７２ｂが設けられている。
【００４０】
エジェクタ６８の供給口６８ｂには、流路６６ｄの一端が接続されている。流路６６ｄの他端は、流路６６ｄに対してエアーを供給するためのエアー供給源７４ｂに接続されている。また、流路６６ｄの一端と他端との間には、この流路６６ｄ内の流体の流れを制御するためのバルブ（第１バルブ）７０ｄが設けられている。そして、エジェクタ６８の排気口６８ｃには、排気用の流路６６ｅが接続されている。
【００４１】
バルブ７０ａ、バルブ７０ｂ、バルブ７０ｃ、バルブ７０ｄ、圧力計７６等の構成要素には、上述した制御ユニット６４が接続されている。この制御ユニット６４は、例えば、圧力計７６の示す流路６６ａの圧力が第１閾値よりも高くなるとバルブ７０ａ及びバルブ７０ｄを開き、流路６６ａの圧力が第２閾値（≦第１閾値）よりも低くなるとバルブ７０ａを開いたままバルブ７０ｄを閉じる等の制御を行う。これにより、エジェクタ６８へのエアーの供給を抑制しながら流路６６ａの他端側の圧力を所定の範囲内に維持できる。
【００４２】
チャックテーブル２０を構成する枠体２２の下面２２ｂには、テーブル基台１８の凸部１８ｂに対応する環状の凹部２２ｃが形成されている。下面２２ｂの凹部２２ｃより内側の領域には、テーブル基台１８の凸部１８ｃに対応する環状の凹部２２ｄが形成されている。すなわち、凹部２２ｃと凹部２２ｄとは、同心状に構成されている。
【００４３】
テーブル基台１８の位置決め凸部１８ｄに対応する領域（すなわち、凹部２２ｃと凹部２２ｄとの間の領域）には、位置決め凹部２２ｅが形成されている。また、環状の溝１８ｅに対応する領域（すなわち、凹部２２ｄより内側の領域）には、円形の凹部２２ｆが形成されている。この凹部２２ｆの底には、枠体２２の内部に設けられた流路（第１流路）２２ｇの一端が開口している。流路２２ｇの他端は、凹部２２ａの底に開口しており、ポーラス板２４に通じている。
【００４４】
テーブル基台１８に対してチャックテーブル２０を固定する際には、例えば、テーブル基台１８の環状の溝１８ｅに対して、この溝１８ｅに対応する形状のリング部材７８を挿入する。リング部材７８は、例えば、樹脂等で形成されており、テーブル基台１８やチャックテーブル２０に対して滑り難くなっている。また、このリング部材７８は、溝１８ｅに挿入された状態で上面１８ａから突出する厚み（高さ）に形成されている。
【００４５】
溝１８ｅに対してリング部材７８を挿入した後には、テーブル基台１８の上面１８ａと枠体２２の下面２２ｂとが対面するように、テーブル基台１８にチャックテーブル２０を載せる。この時、凹部２２ｃ、凹部２２ｄ、位置決め凹部２２ｅに対して、それぞれ、凸部１８ｂ、凸部１８ｃ、位置決め凸部１８ｄが挿入されるように、テーブル基台１８とチャックテーブル２０との位置を調整する。
【００４６】
上述のように、凹部２２ｆの形状は、リング部材７８が挿入される溝１８ｅの形状に対応している。そのため、テーブル基台１８にチャックテーブル２０を載せると、上面１８ａから突出するリング部材７８の一部は凹部２２ｆに挿入される。リング部材７８を、溝１８ｅと凹部２２ｆとに挿入することで、チャックテーブル２０に対するテーブル基台１８の位置ずれを抑制できる。
【００４７】
テーブル基台１８に対してチャックテーブル２０を載せた後には、例えば、バルブ７０ｄを開き、エアー供給源７４ｂからエジェクタ６８の供給口６８ｂにエアーを供給する。これにより、エジェクタ６８の供給口６８ｂから排気口６８ｃに向かってエアーが流れ、吸気口６８ａに負圧が発生する。
【００４８】
この状態でバルブ７０ｂを開けば、流路６６ａ、流路６６ｂ、流路１８ｇを通じて吸気口６８ａの負圧が枠体２２の下面２２ｂに作用する。これにより、テーブル基台１８に対してチャックテーブル２０を固定できる。なお、逆止弁７２ａは、エジェクタ６８側からのエアー等の流れを抑制する機能を持つが、エジェクタ６８側へのエアー等の流れは制限されない。
【００４９】
図４は、チャックテーブル２０によって被加工物１１が吸引、保持される第１状態を示す断面図であり、図５は、チャックテーブル２０によって被加工物１１が吸引、保持される第２状態を示す断面図である。被加工物１１をチャックテーブル２０で吸引、保持する際には、まず、被加工物１１に貼付されているダイシングテープ１３をポーラス板２４の上面（保持面）２４ａに接触させる。併せて、フレーム１５をクランプ２６（図４等では不図示）によって固定する。
【００５０】
次に、図４等に示すように、バルブ７０ｄを開いたまま、バルブ７０ａを開く（第１状態）。これにより、エジェクタ６８の吸気口６８ａに発生する負圧は、流路６６ａ、流路１８ｆ、流路２２ｇを通じてポーラス板２４の上面２４ａに作用し、被加工物１１は、ダイシングテープ１３を介してチャックテーブル２０に吸引、保持される。なお、逆止弁７２ｂは、エジェクタ６８側（第１接続点Ａ側）からのエアー等の流れを抑制する機能を持つが、エジェクタ６８側へのエアー等の流れは制限されない。
【００５１】
流路６６ａが十分に減圧され、例えば、圧力計７６の示す流路６６ａの圧力が第２閾値より低くなると（又は、第２閾値以下になると）、図５に示すように、バルブ７０ａを開いたまま、バルブ７０ｄを閉じる（第２状態）。その結果、逆止弁７２ａのエジェクタ６８側の圧力は上昇するが、この逆止弁７２ａによってエジェクタ６８側からのエアー等の流れは抑制され、流路６６ａの他端側及び流路６６ｂの他端側の圧力が急激に上昇することなく維持される。
【００５２】
圧力計７６の示す流路６６ａの圧力が、例えば、第１閾値よりも高くなると（又は、第１閾値以上になると）、図４に示すように、バルブ７０ａを開いたまま、再びバルブ７０ｄを開く（第１状態）。これにより、流路６６ａの他端側の圧力を再び下げることができる。このような動作を繰り返すことで、エジェクタ６８へのエアーの供給を抑制しながら流路６６ａの他端側の圧力を閾値以下に維持できる。なお、これらの動作は、上述した制御ユニット６４によって制御される。
【００５３】
図６は、チャックテーブル２０から被加工物１１が取り外される様子を示す断面図である。チャックテーブル２０から被加工物１１を取り外す際には、例えば、図６に示すように、バルブ７０ａを閉じた上で、バルブ７０ｃを開く。そうすると、エアー供給源７４ａから供給されるエアーは、流路６６ｃ、流路６６ａ、流路１８ｆ、流路２２ｇを通じてポーラス板２４の上面２４ａから噴出する。
【００５４】
その結果、被加工物１１に貼付されているダイシングテープ１３は、ポーラス板２４の上面２４ａから噴出するエアーの作用でポーラス板２４から剥離される。よって、クランプ２６（図６等では不図示）によるフレーム１５の固定を解除すれば、被加工物１１をチャックテーブル２０から容易に取り外せる。
【００５５】
ところで、図４及び図５に示すように、チャックテーブル２０によって吸引、保持された被加工物１１を切削する際には、被加工物１１や切削ブレード５８等に対して切削液供給ノズル６０から切削液１７が供給される。この切削液１７は、フレーム１５、ダイシングテープ１３、クランプ２６等を伝って、テーブル基台１８とチャックテーブル２０との境界付近に付着することがある。
【００５６】
上述のように、チャックテーブル２０は、エジェクタ６８によって発生する負圧を利用してテーブル基台１８に固定されている。そのため、テーブル基台１８とチャックテーブル２０との隙間から僅かにリークする負圧の影響で、図４に示すように、切削液１７が流路１８ｇ、流路６６ｂを通じて流路６６ａに入り込むことがあった。
【００５７】
例えば、切削液１７が流路６６ａの第２接続点Ｂに入り込んだ状態で、図６に示すように、バルブ７０ｃを開いてエアー供給源７４ａから流路６６ａ等にエアーを供給すると、切削液１７は、流路６６ａ等を通じてポーラス板２４に到達してしまう。この切削液１７には、ポーラス板２４を枠体２２に固定している接着剤を変質させるような添加剤が含まれていることもある。
【００５８】
そのため、ポーラス板２４に切削液１７が到達する頻度が高くなると、切削液１７に含まれる添加剤によって接着剤が変質し、ポーラス板２４が枠体２２から外れたり、ポーラス板２４が破損したりする恐れがあった。
【００５９】
これに対して、本実施形態に係る切削装置２では、第１接続点Ａと第２接続点Ｂとの間に、第１接続点Ａ側から該第２接続点Ｂ側への流体の侵入を抑制するための逆止弁７２ｂが設けられている。そのため、第１接続点Ａ側から該第２接続点Ｂ側への切削液１７の侵入が抑制される。
【００６０】
すなわち、上述のように、流路１８ｇ、流路６６ｂを通じて流路６６ａの第１接続点Ａ側に流入した切削液１７が第２接続点Ｂ側に侵入するのを抑制できる。つまり、被加工物１１を切削する際に使用された切削液１７が流路６６ａ等を通じてポーラス板２４に到達する可能性を低く抑えられる。
【００６１】
以上のように、本実施形態に係る切削装置２は、流路（第２流路）６６ａの第１接続点Ａと第２接続点Ｂとの間に設けられ、流路６６ａの第１接続点Ａ側から第２接続点Ｂ側にエアーや切削液１７等の流体が侵入するのを抑制する逆止弁（第２逆止弁）７２ｂを備えている。
【００６２】
そのため、この逆止弁７２ｂによって、流路（第３流路）１８ｇや流路（第３流路）６６ｂを通じて流路６６ａの第１接続点Ａ側に流入した切削液１７が第２接続点Ｂ側に侵入するのを抑制できる。つまり、チャックテーブル２０の枠体２２とテーブル基台１８との隙間から侵入した切削液１７がポーラス板２４に到達する可能性を低く抑えられる。
【００６３】
なお、本発明は、上記実施形態等の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態の切削装置２では、流路６６ｃ及び流路６６ｄに対してそれぞれ別のエアー供給源７４ａ及びエアー供給源７４ｂからエアーを供給しているが、一つのエアー供給源から流路６６ｃ及び流路６６ｄにエアーを供給しても良い。
【００６４】
また、上記実施形態では、流路、バルブ、圧力計、エアー供給源等の代表的な配置や接続関係等を示しているが、各構成要素の配置や接続関係等は、チャックテーブルに求められる機能を発揮できる範囲内で任意に変更できる。例えば、第２接続点Ｂよりも流路６６ａの他端側に第３接続点Ｃを配置しても良い。
【００６５】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００６６】
２  切削装置
４  基台
６  Ｘ軸移動機構（加工送りユニット）
８  Ｘ軸ガイドレール
１０  Ｘ軸移動テーブル
１２  Ｘ軸ボールねじ
１４  Ｘ軸パルスモータ
１６  θテーブル
１８  テーブル基台
１８ａ  上面
１８ｂ  凸部
１８ｃ  凸部
１８ｄ  位置決め凸部
１８ｅ  溝
１８ｆ  流路（第２流路）
１８ｇ  流路（第３流路）
２０  チャックテーブル
２２  枠体
２２ａ  凹部
２２ｂ  下面
２２ｃ  凹部
２２ｄ  凹部
２２ｅ  位置決め凹部
２２ｆ  凹部
２２ｇ  流路（第１流路）
２４  ポーラス板
２４ａ  上面（保持面）
２６  クランプ
２８  テーブルカバー
３０  ウォーターケース
３２  支持構造
３４  切削ユニット移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）
３６  Ｙ軸ガイドレール
３８  Ｙ軸移動プレート
４０  Ｙ軸ボールねじ
４２  Ｙ軸パルスモータ
４４  Ｚ軸ガイドレール
４６  Ｚ軸移動プレート
４８  Ｚ軸ボールねじ
５０  Ｚ軸パルスモータ
５２  切削ユニット
５４  カメラ（撮像ユニット）
５６  スピンドル
５８  切削ブレード
６０  切削液供給ノズル
６２  ブレード位置検出ユニット
６４  制御ユニット
６６ａ  流路（第２流路）
６６ｂ  流路（第３流路）
６６ｃ  流路（第４流路）
６６ｄ  流路
６８  エジェクタ
６８ａ  吸気口
６８ｂ  供給口
６８ｃ  排気口
７０ａ  バルブ（第２バルブ）
７０ｂ  バルブ（第３バルブ）
７０ｃ  バルブ（第４バルブ）
７０ｄ  バルブ（第１バルブ）
７２ａ  逆止弁（第１逆止弁）
７２ｂ  逆止弁（第２逆止弁）
７４ａ，７４ｂ  エアー供給源
７６  圧力計
７８  リング部材
Ａ  第１接続点
Ｂ  第２接続点
Ｃ  第３接続点
１１  被加工物
１３  ダイシングテープ
１５  フレーム
１７  切削液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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