(57)【要約】      （修正有）【課題】自動的に整列（アライン）位置を学習し、整列を正確に行う表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】本発明の表示装置の製造装置は、チャンバと、チャンバ内に出し入れされるロボットハンドと、ロボットハンドに付着し、アラインマークが形成されたマーク組立体３１０、３２０と、視野中心が定義され、アラインマークの位置情報を取得するカメラ４１０、４２０と、視野中心とアラインマークとが一致するようにロボットハンドの位置を調整する制御部９１０と、視野中心とアラインマークとが一致した状態でロボットハンドの位置情報を保存するメモリ部９３０と、を含む。【選択図】図３
2019174795.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバと、
前記チャンバ内に対して出し入れされるロボットハンドと、
前記ロボットハンドに付着し、アラインマークが形成されたマーク組立体と、
視野中心が定義され、前記アラインマークの位置情報を取得するカメラと、
前記視野中心と前記アラインマークとが一致するように前記ロボットハンドの位置を調整する制御部と、
前記視野中心と前記アラインマークとが一致した状態で前記ロボットハンドの位置情報を保存するメモリ部と、を含む、ことを特徴とする表示装置の製造装置。
【請求項２】
前記チャンバは複数個であり、各々の前記チャンバ内には蒸着源が配置される、ことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項３】
前記ロボットハンドは、第１方向に延びた茎部と、前記第１方向とは異なる第２方向に延びた複数の枝部とを含む、ことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項４】
前記マーク組立体は前記茎部に締結される、ことを特徴とする請求項３に記載の表示装置の製造装置。
【請求項５】
前記マーク組立体は前記茎部と一体に形成される、ことを特徴とする請求項３に記載の表示装置の製造装置。
【請求項６】
前記ロボットハンドが締結されて前記ロボットハンドを移動するロボットアームをさらに含む、ことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項７】
前記マーク組立体は第１マーク組立体及び第２マーク組立体を含み、前記カメラはこれらのマーク組立体に対応するように第１カメラ及び第２カメラを含む、ことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項８】
前記マーク組立体をｘｙｚ方向の中から選択された少なくとも一つの方向へ移動する直線移動駆動部をさらに含む、ことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項９】
前記マーク組立体を時計又は反時計方向に回転する回転駆動部をさらに含む、ことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１０】
チャンバと、
前記チャンバ内に対して出し入れされるロボットハンドと、
前記ロボットハンドに装着されるダミーガラスと、
前記チャンバ内に形成されたガイド部と、
前記ダミーガラスと前記ガイド部の位置情報を取得するカメラと、
前記ダミーガラスの縁と前記ガイド部が整列されるように前記ロボットハンドの位置を調整する制御部と、
前記ダミーガラスと前記ガイド部が整列された状態で前記ロボットハンドの位置情報を保存するメモリ部と、を含む、ことを特徴とする表示装置の製造装置。
【請求項１１】
前記ロボットハンドは、第１方向に延びた茎部、及び前記第１方向とは異なる第２方向に延びた複数の枝部を含む、ことを特徴とする請求項１０に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１２】
前記ダミーガラスは、前記茎部に締結され、前記枝部上に装着される、ことを特徴とする請求項１１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１３】
チャンバと、
前記チャンバ内に対して出し入れされるロボットハンドと、
前記ロボットハンドに装着されるダミーガラスと、
前記ダミーガラスに付着し、前記チャンバ内で間隔情報を取得するセンシング部と、
前記間隔情報に基づいて前記ロボットハンドの位置を調整する制御部と、
調整された前記ロボットハンドの位置情報を保存するメモリ部と、を含む、ことを特徴とする表示装置の製造装置。
【請求項１４】
前記センシング部は複数の間隔センサを含み、前記間隔センサは前記ダミーガラスの縁に沿って配置される、ことを特徴とする請求項１３に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１５】
前記各々の間隔センサは、前記ダミーガラスの上部に配置される上部センサ、及び前記ダミーガラスの下部に配置される下部センサを含む、ことを特徴とする請求項１４に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１６】
チャンバ内でロボットハンドの整列位置を学習させる段階と、基板が配置された前記ロボットハンドを前記学習した整列位置へ移動させて前記基板を加工する段階とを含んでなり、
前記チャンバ内でロボットハンドの整列位置を学習させる段階は、
第１カメラを用いて前記ロボットハンドの位置情報を取得する段階と、
前記取得された位置情報に基づいて前記ロボットハンドの位置を調整する段階と、
前記調整されたロボットハンドの位置を保存する段階と、を含む、ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記第１カメラの視野中心が定義され、前記ロボットハンドには、第１アラインマークが形成された第１マーク組立体が締結され、
前記第１カメラを用いて前記ロボットハンドの位置情報を取得する段階は、前記第１カメラの視野中心と前記第１アラインマークの位置情報を取得する段階を含み、
前記取得された位置情報に基づいて前記ロボットハンドの位置を調整する段階は、前記第１カメラの前記視野中心と前記第１アラインマークとが一致するように前記ロボットハンドの位置を調整する段階を含む、ことを特徴とする請求項１６に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１８】
前記ロボットハンド上に前記基板と同一の大きさを有するダミーガラスが配置され、前記第１カメラを用いて前記ロボットハンドの位置情報を取得する段階は、前記チャンバ内に配置されるガイド部と前記ダミーガラスの位置情報を取得する段階を含み、前記取得された位置情報に基づいて前記ロボットハンドの位置を調整する段階は、前記ガイド部と前記ダミーガラスの縁が整列されるように前記ロボットハンドの位置を調整する段階を含む、ことを特徴とする請求項１６に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１９】
チャンバ内でロボットハンドの整列位置を学習させる段階と、基板が装着された前記ロボットハンドを前記学習された位置へ移動して前記基板を加工する段階と、を含んでなり、
前記チャンバ内で前記ロボットハンドの整列位置を学習させる段階は、
複数のセンサが取り付けられたダミーガラスを前記チャンバの内部に搬入する段階と、
前記ダミーガラスと前記チャンバの内部に配置される物体との間の間隔情報を取得する段階と、
前記間隔情報に基づいて前記ロボットハンドの位置を調整する段階と、
前記調整されたロボットハンドの位置を保存する段階と、を含む、ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２０】
前記間隔情報は前記物体と前記ダミーガラスとの間の距離情報を含み、前記間隔情報に基づいて前記ロボットハンドの位置を調整する段階は、前記ダミーガラスと前記物体との間の距離が０とならないように前記ロボットハンドの位置を調整する、ことを特徴とする請求項１９に記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置は、マルチメディアの発達に伴ってその重要性が増大しつつある。これに応えて、液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ、ＬＣＤ）や有機発光表示装置（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｓｐｌａｙ、ＯＬＥＤ）などのさまざまな種類の表示装置が使用されている。
【０００３】
表示装置の中でも、液晶表示装置は、現在最も広く使われている平板表示装置の一つであって、画素電極と共通電極などの電場生成電極が形成されている二枚の基板と、それらの間に挟まれている液晶層とからなり、電場生成電極に電圧を印加して液晶層に電場を生成し、これにより液晶層の液晶分子の配向を決定し、入射光の偏光を制御することにより映像を表示する。
【０００４】
一方、表示装置の中でも、有機発光表示装置は、電子と正孔との再結合によって光を発生する有機発光素子（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ：ＯＬＥＤ）を用いて映像を表示する。このような有機発光表示装置は、速い応答速度を有し、輝度及び視野角が大きく、且つ低い消費電力で駆動されるという利点がある。
【０００５】
様々な種類の表示装置は、大型化され且つ画質が良くなるほど、より精巧な工程を必要とする。特に工程の各段階の基本となるアラインメント過程は精密な表示装置を実現するために不可欠である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、アライン（以下、「整列」ともいう）を正確に行うことができる、表示装置の製造装置及び製造方法を提供することである。
本発明が解決しようとする課題は、アラインを正確に行うことができる、表示装置の製造方法を提供することである。
本発明が解決しようとする課題は、自動的に整列位置を学習させることができる、表示装置の製造装置を提供することである。
本発明が解決しようとする課題は、自動的に整列位置を学習させることができる、表示装置の製造方法を提供することである。
本発明の課題は上述した技術的課題に限定されず、上述していない別の技術的課題も、以降の記載から当業者には明確に理解できるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するための本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置は、チャンバと、前記チャンバ内に対して出し入れされるロボットハンドと、前記ロボットハンドに付着し、アラインマークが形成されたマーク組立体と、視野中心が定義され、前記アラインマークの位置情報を取得するカメラと、前記視野中心と前記アラインマークとが一致するように前記ロボットハンドの位置を調整する制御部と、前記視野中心と前記アラインマークとが一致した状態で前記ロボットハンドの位置情報を保存するメモリ部と、を含む。
【０００８】
また、前記チャンバの個数は複数個であり、各々の前記チャンバ内には蒸着源が配置できる。
また、前記ロボットハンドは、第１方向に延びた茎部と、前記第１方向とは異なる第２方向に延びた複数の枝部とを含むことができる。
また、前記マーク組立体は前記茎部に締結できる。
また、前記マーク組立体は前記茎部と一体に形成できる。
また、前記ロボットハンドが締結されて前記ロボットハンドを移動するロボットアームをさらに含むことができる。
また、前記マーク組立体は第１マーク組立体及び第２マーク組立体を含み、前記カメラはこれらのマーク組立体に対応するように第１カメラ及び第２カメラを含むことができる。
また、前記マーク組立体をｘｙｚ方向の中から選択された少なくとも一つの方向に移動する直線移動駆動部をさらに含むことができる。
また、前記マーク組立体を時計又は反時計方向に回転する回転駆動部をさらに含むことができる。
【０００９】
上記の課題を解決するための本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置は、チャンバと、前記チャンバ内に対して出し入れされるロボットハンドと、前記ロボットハンドに装着されるダミーガラスと、前記チャンバ内に形成されたガイド部と、前記ダミーガラスと前記ガイド部の位置情報を取得するカメラと、前記ダミーガラスの縁と前記ガイド部が整列されるように前記ロボットハンドの位置を調整する制御部と、前記ダミーガラスと前記ガイド部が整列された状態で前記ロボットハンドの位置情報を保存するメモリ部と、を含む。
【００１０】
また、前記ロボットハンドは、第１方向に延びた茎部、及び前記第１方向とは異なる第２方向に延びた複数の枝部を含むことができる。
また、前記ダミーガラスは、前記茎部に締結され、前記枝部上に装着できる。
【００１１】
上記の課題を解決するための本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置は、チャンバと、前記チャンバ内に対して出し入れされるロボットハンドと、前記ロボットハンドに装着されるダミーガラスと、前記ダミーガラスに付着し、前記チャンバ内で間隔情報を取得するセンシング部と、前記間隔情報に基づいて前記ロボットハンドの位置を調整する制御部と、調整された前記ロボットハンドの位置情報を保存するメモリ部と、を含む。
【００１２】
また、前記センシング部は複数の間隔センサを含み、前記間隔センサは前記ダミーガラスの縁に沿って配置できる。
また、前記各々の間隔センサは、前記ダミーガラスの上部に配置される上部センサ、及び前記ダミーガラスの下部に配置される下部センサを含むことができる。
【００１３】
上記の課題を解決するための本発明の一実施形態に係る表示装置の製造方法は、チャンバ内でロボットハンドの整列位置を学習させる段階と、基板が配置された前記ロボットハンドを前記学習した整列位置へ移動させて前記基板を加工する段階とを含んでなり、前記チャンバ内でロボットハンドの整列位置を学習させる段階は、第１カメラを用いて前記ロボットハンドの位置情報を取得する段階と、前記取得された位置情報に基づいて前記ロボットハンドの位置を調整する段階と、前記調整されたロボットハンドの位置を保存する段階とを含む。
【００１４】
また、前記第１カメラの視野中心が定義され、前記ロボットハンドには、第１アラインマークが形成された第１マーク組立体が締結され、
前記第１カメラを用いてロボットハンドの位置情報を取得する段階は、前記第１カメラの視野中心と前記第１アラインマークの位置情報を取得する段階を含み、
前記取得された位置情報に基づいてロボットハンドの位置を調整する段階は、前記第１カメラの前記視野中心と前記第１アラインマークとが一致するように前記ロボットハンドの位置を調整する段階を含むことができる。
また、前記ロボットハンド上に前記基板と同一の大きさを有するダミーガラスが配置され、前記第１カメラを用いてロボットハンドの位置情報を取得する段階は、前記チャンバ内に配置されるガイド部と前記ダミーガラスの位置情報を獲得する段階を含み、前記取得された位置情報に基づいてロボットハンドの位置を調整する段階は、前記ガイド部と前記ダミーガラスの縁が整列されるように前記ロボットハンドの位置を調整する段階とを含むことができる。
【００１５】
上記の課題を解決するための本発明の一実施形態に係る表示装置の製造方法は、チャンバ内でロボットハンドの整列位置を学習させる段階と、基板が装着された前記ロボットハンドを前記学習された位置へ移動させて前記基板を加工する段階とを含んでなり、前記チャンバ内でロボットハンドの整列位置を学習させる段階は、複数のセンサが取り付けられたダミーガラスを前記チャンバの内部に搬入する段階と、前記ダミーガラスと前記チャンバの内部に配置される物体との間の間隔情報を取得する段階と、前記間隔情報に基づいて前記ロボットハンドの位置を調整する段階と、前記調整されたロボットハンドの位置を保存する段階とを含む。
【００１６】
また、前記間隔情報は前記物体と前記ダミーガラスとの間の距離情報を含み、前記間隔情報に基づいて前記ロボットハンドの位置を調整する段階は、前記ダミーガラスと前記物体との間の距離が０とならないように前記ロボットハンドの位置を調整することができる。
【００１７】
その他の実施形態の具体的な事項は詳細な説明及び図面に含まれている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の実施形態によれば、アラインを正確に行うことができる。
また、工程前、工程中又は工程後に整列位置を自動的に学習させることができる。
本発明に係る効果は以上で例示された内容によって限定されず、さらに様々な効果が本明細書に含まれている。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置を説明するための概略図である。
【図２】図１の一部の構成を示す平面図である。
【図３】図１の実施形態に係る表示装置の製造装置を説明するためのブロック図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置の部分平面図である。
【図５】本発明における一部の概念を説明するための概略図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係る表示装置の製造装置の平面図である。
【図７】図６の「Ａ」部分を拡大して示す部分拡大図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係る表示装置の製造装置のブロック図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置の部分平面図である。
【図１０】図９のI−I’線に沿って切断した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の利点、特徴、及びそれらを達成する方法は、添付図面と共に詳細に後述されている実施形態を参照すると明確になるであろう。しかし、本発明は、以下で開示する実施形態に限定されず、互いに異なる多様な形態で実現され得る。但し、本実施形態は単に、本発明の開示を完全にし、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に報らせるために提供される。本発明は、請求項の範疇によってのみ定められる。
【００２１】
ある素子（ｅｌｅｍｅｎｔｓ）又は層が他の素子又は層の「上方（ａｂｏｖｅ）」にあると記載された場合は、他の素子又は層の真上に存在する場合又はそれらの間に別の層又は別の素子が介在している場合を全て含む。これに対し、素子が「直接上（ｄｉｒｅｃｔｌｙ  ａｂｏｖｅ）」又は「真上」にあると記載された場合は、それらの間に別の素子又は層が介在していないことを示す。
【００２２】
空間的に相対的な用語である「下方（ｂｅｌｏｗ、ｂｅｎｅａｔｈ、ｕｎｄｅｒ）」、「下部（ｌｏｗｅｒ）」、「上方（ａｂｏｖｅ又はｏｖｅｒ）」、「上部（ｕｐｐｅｒ）」などは、図示されているように、一つの素子又は構成要素と他の素子又は構成要素との相関関係を容易に記述するために使用できる。空間的に相対的な用語は、図示されている方向に加えて、使用の際又は動作の際に素子の互いに異なる方向を含む用語として理解されるべきである。例えば、図示されている素子を覆す場合、他の素子の「下」と記述された素子は他の素子の「上」に配置できる。また、図面を基準に、他の素子の「左側」に位置すると記述された素子は時点によっては他の素子の「右側」に位置することもできる。よって、例示的な用語である「下」は下方向と上方向を全て含む。素子は他の方向にも配向できる。この場合、空間的に相対的な用語は配向によって解釈できる。
【００２３】
たとえ「第１」、「第２」などの用語は様々な構成要素を叙述するために使用されるが、これらの構成要素はこれらの用語によって限定されないのは勿論である。これらの用語は、単に一つの構成要素を他の構成要素と区別するために使用するものである。よって、以下で言及される第１構成要素は本発明の技術的思想内で第２構成要素であることもある。単数の表現は、文脈上明白に異なる意味ではない限り、複数の表現を含む。また、「含む」又は「有する」などの用語は、明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部分品又はこれらの組み合わせが存在することを指定しようとするもので、一つ又はそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部分品又はこれらの組み合わせの存在又は付加の可能性を予め排除しない。
【００２４】
明細書全体にわたって、同一又は類似の部分については同一の図面符号を使用する。
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
【００２５】
図１は本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置を説明するための概略図である。図２は図１の一部の構成を示す平面図である。図３は図１の実施形態に係る表示装置の製造装置を説明するためのブロック図である。
図１乃至図３を参照すると、本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置は、少なくとも一つのチャンバ（本実施形態では五つのチャンバ）ＣＨ１、ＣＨ２、ＣＨ３、ＴＣ１、ＴＣ２、ロボットハンドＲＨ、第１、第２カメラ４１０、４２０、マーク組立体３１０、３２０、制御部９１０及びメモリ部９３０を含む。
【００２６】
一実施形態において、チャンバは、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、第３チャンバＣＨ３、第１搬送チャンバＴＣ１、及び第２搬送チャンバＴＣ２の中から選択された一つ以上を含む。
【００２７】
ここで、羅列した複数のチャンバは、例示的なもので、チャンバの数と種類によって表示装置の製造装置の範囲が限定されないのはもちろんである。
【００２８】
一実施形態において、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３は、対象体（例えば、基板）を加工する加工チャンバである。
【００２９】
一実施形態において、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３は、有機発光表示装置の有機層を蒸着するための蒸着チャンバである。即ち、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３は、互いに異なる色を発光する有機層を蒸着するための蒸着チャンバである。具体的に、第１チャンバＣＨ１で第１有機層が形成され、第２チャンバＣＨ２で第２有機層が形成され、第３チャンバＣＨ３で第３有機層が形成される。一実施形態において、第１有機層、第２有機層、及び第３有機層は各々、互いに異なる色を発光する有機層である。第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３の各々は、有機発光表示装置の有機層を蒸着するための蒸着チャンバである場合、蒸着のために蒸着源（図示せず）及びマスク（図示せず）を含む。
【００３０】
即ち、本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置は、有機発光表示装置を製造するための製造装置である。
【００３１】
一実施形態において、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３は密閉され、各々のチャンバの内部空間は物理的に分離される。
【００３２】
第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３は開閉できる。即ち、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３が開口した状態で、後述するロボットハンドＲＨがチャンバ内に進入する。このため、図示していないが、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３は、ロボットハンドＲＨが出し入れされる入口を含む。
【００３３】
図１は第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２及び第３チャンバＣＨ３が連続的に配置される場合を例示するが、これらに限定されるものではなく、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３が互いに離隔して配置されることも可能である。
【００３４】
一実施形態において、表示装置の製造装置は、第１搬送チャンバＴＣ１及び第２搬送チャンバＴＣ２を含む。第１搬送チャンバＴＣ１と第２搬送チャンバＴＣ２は、対象体がシステムの内部に入ってくる入口及び／又は出口の機能を行う。例えば、対象体は、第１搬送チャンバＴＣ１に搬入され、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３で行われる加工段階を経て第２搬送チャンバＴＣ２へ搬出できる。
【００３５】
各々のチャンバと隣接するようにロボットハンドＲＨが配置される。一実施形態において、ロボットハンドＲＨは、対象体を支持し、対象体を各チャンバに搬入するか、或いは加工済みの対象体をチャンバから搬出する。
【００３６】
図２を参照すると、一実施形態において、ロボットハンドＲＨは、長さ方向に延びた茎部１００と、茎部１００と交差するように延びた枝部２１０、２２０、２３０、２４０とを含む。
【００３７】
一実施形態において、茎部１００は、図２のｘ軸方向に延びたバー（ｂａｒ）形状を有する。枝部２１０、２２０、２３０、２４０は、ｙ軸方向に延びたバー（ｂａｒ）形状を有する。即ち、一実施形態において、茎部１００と枝部２１０、２２０、２３０、２４０とは互いに垂直に交差する。但し、これに限定されず、他の実施形態において、茎部１００と枝部２１０、２２０、２３０、２４０は斜めに互い違いに交差する。
【００３８】
一実施形態において、枝部２１０、２２０、２３０、２４０の個数は複数である。説明の便宜上、枝部が第１枝部２１０、第２枝部２２０、第３枝部２３０、及び第４枝部２４０を有する場合を例示して説明するが、枝部の数はこれに限定されるものではない。
【００３９】
即ち、他の実施形態において、枝部は４つ未満であってもよく、５つ以上であってもよい。
【００４０】
第１枝部２１０、第２枝部２２０、第３枝部２３０、及び第４枝部２４０は互いに離隔し、並んで配置される。第１枝部２１０、第２枝部２２０、第３枝部２３０、及び第４枝部２４０は対象体を支持する。即ち、基板などが第１枝部２１０、第２枝部２２０、第３枝部２３０、及び第４枝部２４０によって支持され、各チャンバに対して出し入れされる。
【００４１】
ロボットハンドＲＨは、ロボットアームＲＡと一緒に移送ロボットＴＲを構成する。
【００４２】
一実施形態において、ロボットハンドＲＨはロボットアームＲＡによって駆動される。即ち、少なくとも一つの関節を有するロボットアームＲＡがロボットハンドＲＨを前進／後進、上昇／下降及び回転運動する。回転運動は、ｘｙ平面、ｙｚ平面及びｘｚ平面の中から選択された何れか一つの平面上で行われる時計又は反時計方向の回転運動を含む。このために、ロボットアームＲＡの一端にロボットハンドＲＨが締結される。ロボットアームＲＡにロボットハンドＲＨが固定されると、ロボットアームＲＡは、ロボットハンドＲＨを第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３に搬入するか、或いは第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３から搬出する。
【００４３】
図２を参照すると、第１枝部２１０、第２枝部２２０、第３枝部２３０、及び第４枝部２４０と隣接するようにマーク組立体３１０、３２０が配置できる。
【００４４】
一実施形態において、表示装置の製造装置は少なくとも２つのマーク組立体３１０、３２０を含む。説明の便宜上、これを第１マーク組立体３１０及び第２マーク組立体３２０と呼ぶ。
【００４５】
一実施形態において、第１マーク組立体３１０及び第２マーク組立体３２０は、第１枝部２１０、第２枝部２２０、第３枝部２３０、及び第４枝部２４０の外側に配置される。
【００４６】
具体的には、第１マーク組立体３１０が第１枝部２１０の外側に配置され、第２マーク組立体３２０が第４枝部２４０の外側に配置される。
【００４７】
他の実施形態において、第１マーク組立体３１０及び／又は第２マーク組立体３２０は、一つの枝部とこれに隣接する枝部との間に配置されてもよい。
【００４８】
第１マーク組立体３１０は第２マーク組立体３２０と実質的に同一である。よって、以下の第１マーク組立体３１０についての説明は第２マーク組立体３２０もそのまま適用できる。
【００４９】
第１マーク組立体３１０についての具体的な説明のために図４が参照される。図４は本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置の部分平面図である。
【００５０】
図４を参照すると、第１マーク組立体３１０はロボットハンドＲＨに締結される。一実施形態において、第１マーク組立体３１０はロボットハンドＲＨの茎部１００に締結される。
【００５１】
一実施形態において、第１マーク組立体３１０とロボットハンドＲＨは着脱可能に締結される。
【００５２】
他の実施形態において、第１マーク組立体３１０とロボットハンドＲＨは一体に形成されて脱着できない。
【００５３】
一実施形態において、第１マーク組立体３１０はロボットハンドＲＨ上で移動できるように締結される。
【００５４】
一実施形態において、第１マーク組立体３１０は、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸方向から選択された少なくとも一つの方向に直線移動できる。
【００５５】
このため、第１マーク組立体３１０は直線移動駆動部を含む。直線移動駆動部は、ｘ軸駆動部ＤＸ、ｙ軸駆動部ＤＹ、及びｚ軸駆動部（図示せず）の中から選択された少なくとも一つを含む。
【００５６】
ｘ軸駆動部ＤＸは、第１マーク組立体３１０をｘ軸方向に直線移動させ、ｙ軸駆動部ＤＹは第１マーク組立体３１０をｙ軸方向に直線移動する。
【００５７】
微細な移動を可能にするために、ｘ軸駆動部ＤＸ、ｙ軸駆動部ＤＹ、及びｚ軸駆動部（図示せず）の中から選択された少なくとも一つは、スクリューを介してロボットハンドＲＨの茎部１００に締結される。
【００５８】
例えば、ｘ軸駆動部ＤＸの場合、即ち、スクリューを一方向に回転すると、ｘ軸の正の方向に移動し、スクリューを逆方向に回転すると、ｘ軸の負の方向に移動する。
【００５９】
但し、これは例示的なものであり、ｘ軸駆動部ＤＸ、ｙ軸駆動部ＤＹ、及びｚ軸駆動部（図示せず）の構造はこれに限定されない。
【００６０】
一実施形態において、第１マーク組立体３１０は回転駆動部ＲＯをさらに含む。回転駆動部ＲＯは、ｘｙ平面上で第１マーク組立体３１０を時計方向又は反時計方向に回転する。
【００６１】
第１マーク組立体３１０の駆動は自動的に行われるか、或いは手動的に行われる。
【００６２】
第１アラインマークＭ１は、ロボットハンドＲＨに基準位置を提供する。このため、第１アラインマークＭ１は、前もって基板の特定の位置と対応させておく必要がある。即ち、上述した直線移動駆動部と回転駆動部は、前もって基板と第１アラインマークＭ１を対応させる過程で（この過程を経てこそ基板なしでも整列位置を学習させる）第１アラインマークＭ１の位置を調整する役割を果たす。
【００６３】
第１マーク組立体３１０は、上面に形成された第１アラインマークＭ１を含む。第１マーク組立体３１０上に形成された第１アラインマークＭ１は、上から下を向いて見たとき、視認可能な位置に形成される。即ち、鳥瞰図上の上面に形成される。
【００６４】
第１アラインマークＭ１は例えば多角形又は円形を有するが、その形状は特に限定されない。図５などは、第１アラインマークＭ１と第１視野中心ＶＣ１とを一致させるために、第１アラインマークＭ１がリング（ｒｉｎｇ、環）形状を有する場合を例示する。本明細書において、「第１アラインマークＭ１と第１視野中心ＶＣ１とが一致する」とは、第１アラインマークＭ１の中空部に第１視野中心ＶＣ１が配置される場合と定義できる。但し、これらに限定されるものではなく、第１アラインマークＭ１が他の形状を有する場合、第１アラインマークＭ１と視野中心ＶＣ１とが少なくとも部分的に重畳する場合を意味することもできる。
【００６５】
一実施形態において、第１アラインマークＭ１は、金属又は非金属物質を用いて形成された陽刻のパターンであるか、或いは少なくとも部分的に凹んだ陰刻のパターンであり得る。
【００６６】
本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置は、各チャンバの内部に配置されるカメラ４１０、４２０を含む。即ち、各チャンバは少なくとも一つのカメラを含む。
【００６７】
説明の便宜のために、第１チャンバＣＨ１に配置される第１カメラ４１０及び第２カメラ４２０を例示して説明することにする。
【００６８】
第１チャンバＣＨ１についてのカメラに関連する説明は、第２チャンバＣＨ２、第３チャンバＣＨ３、第１搬送チャンバＴＣ１、及び第２搬送チャンバＴＣ２にもそのまま適用できることを予め明らかにしておく。
【００６９】
図３を参照すると、第１マーク組立体３１０に対応する位置に第１カメラ４１０が配置され、第２マーク組立体３２０に対応する位置に第２カメラ４２０が配置される。
【００７０】
一実施形態において、第１マーク組立体３１０の上部に第１カメラ４１０が配置され、第２マーク組立体３２０の上部に第２カメラ４２０が配置される。
【００７１】
第１カメラ４１０は、第１マーク組立体３１０上に形成された第１アラインマークＭ１の位置情報を収集する。同様に、第２カメラ４２０は、第２マーク組立体３２０上に形成された第２アラインマークＭ２の位置情報を収集する。
【００７２】
第１カメラ４１０及び第２カメラ４２０によって収集された位置情報については、図５を参照して詳細に説明する。図５は本発明における一部の概念を説明するための概略図である。
【００７３】
図５は第１カメラ４１０が撮影した第１データｄ１、及び第２カメラ４２０が撮影した第２データｄ２を示す。
【００７４】
一実施形態において、第１データｄ１は、第１カメラ４１０の第１視野中心ＶＣ１及び第１アラインマークＭ１の位置情報を含む。
【００７５】
図５を参照すると、第１データｄ１は補正前の第１アラインマークＭＰ１の位置情報を含む。
【００７６】
説明の便宜のために用語を定義する。本明細書において、視野中心とは、カメラが撮影したイメージ又は映像の幾何学的中心を意味する。
【００７７】
第１視野中心ＶＣ１は、第１カメラ４１０が撮影した第１データｄ１（ここで、第１データはイメージ又は動画像の形式を持つ。）の画面中心、即ち、第１データｄ１が撮影する画面の幾何学的中心を意味する。
【００７８】
第１データｄ１は、補正前の第１アラインマークＭＰ１の位置情報を含む。
【００７９】
これにより、第１データｄ１は、補正前の第１アラインマークＭＰ１と第１視野中心ＶＣ１との間の位置関係を含む。詳細は後述するが、制御部９１０は、この位置関係に基づいて、第１アラインマークＭ１と第１視野中心ＶＣ１とが一致するようにロボットハンドＲＨを制御する。
【００８０】
第２カメラ４１０が撮影した第２データｄ２も第１データｄ１と実質的に同様である。具体的には、第２データｄ２は第２視野中心ＶＣ２及び補正前の第２アラインマークＭＰ２の位置情報を含む。
【００８１】
このように本発明の幾つかの実施形態に係る表示装置の製造装置は、少なくとも２つのカメラを用いてアライン作業を行う場合、アライン作業の正確性を向上できる。
【００８２】
再び図３を参照すると、本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置は、データ処理部８００、制御部９１０、メモリ部９３０、及び駆動部９２０を含む。
【００８３】
データ処理部８００は、第１カメラ４１０及び／又は第２カメラ４２０が取得した情報を処理する、即ち、データ処理部８００は、第１カメラ４１０及び／又は第２カメラ４２０が取得した情報を伝送するのに適した形式に変換し、これを制御部９１０に提供する。
【００８４】
データ処理部８００は、有線又は無線通信方式で必要な情報を制御部９１０に提供する。
【００８５】
有線通信方式は、例えば、ＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ  ｓｅｒｉａｌ  ｂｕｓ）、ＨＤＭＩ（登録商標）（Ｈｉｇｈ  ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ  ｍｕｌｔｉｍｅｄｉａ  ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）、ＲＳ−２３２（ｒｅｃｏｍｍｅｎｄｅｄ  ｓｔａｎｄａｒｄ  ２３２）又はＰＯＴＳ（ｐｌａｉｎ  ｏｌｄ  ｔｅｌｅｐｈｏｎｅ  ｓｅｒｖｉｃｅ）を用いた方式であり得る。
【００８６】
無線通信方式は、例えば、ワイファイ（ｗｉ−ｆｉ）、ブルートゥース（登録商標）（ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ）、ジグビー（ｚｉｇｂｅｅ）、ＧＰＳ、セルラー通信（ＬＴＥ、ＬＴＥ−Ａ、ＣＤＭＡ、ＷＣＤＭＡ（登録商標）、ＵＭＴＳ、Ｗｉｂｒｏ、ＧｓＳＭ）及びＮＦＣ通信の何れかである。
【００８７】
但し、これは例示的なものであり、有無線通信方式がこれに限定されない。
【００８８】
制御部９１０は、データ処理部８００から提供された情報に基づいてロボットハンドＲＨの位置を調整する。提供された情報を処理し、これに基づいて後述の駆動部９２０を制御するために、制御部９１０は中央処理装置ＣＰＵを含んで構成できる。
【００８９】
制御部９１０は、具体的には、図５に示すように、補正後の第１アラインマークＭ１及び第２アラインマークＭ２が各々、第１視野中心ＶＣ１及び第２視野中心ＶＣ２と一致するように、ロボットハンドＲＨの位置を補正する。
【００９０】
一実施形態において、ロボットハンドＲＨの位置調整は前述したようにロボットアームＲＡによる。制御部９１０は駆動部９２０に制御命令を下し、それに応じて駆動部９２０はロボットアームＲＡを上述の方式で駆動する。ロボットアームＲＡを駆動するために、駆動部９２０は少なくとも一つのモータ及び／又はアクチュエータを含む。
【００９１】
ロボットハンドＲＨの位置を調整して、第１アラインマークＭ１及び第２アラインマークＭ２が各々、第１視野中心ＶＣ１及び第２視野中心ＶＣ２と一致すると、制御部９１０は、ロボットハンドＲＨの位置情報をメモリ部９３０に保存する。
【００９２】
このため、メモリ部９３０は内蔵及び／又は外付けメモリを含む。
【００９３】
内蔵メモリは、例えば、揮発性メモリ（例えば、ＤＲＡＭ（ｄｙｎａｍｉｃ  ＲＡＭ）、ＳＲＡＭ（ｓｔａｔｉｃ  ＲＡＭ）、ＳＤＲＡＭ（ｓｙｎｃｈｒｏｎｏｕｓ  ｄｙｎａｍｉｃ  ＲＡＭ）など）、又は非揮発性メモリ（ｎｏｎ−ｖｏｌａｔｉｌｅ  Ｍｅｍｏｒｙ、例えば、ＯＴＰＲＯＭ（ｏｎｅ  ｔｉｍｅ  ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  ＲＯＭ）、ＰＲＯＭ（ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  ＲＯＭ）、ＥＰＲＯＭ（ｅｒａｓａｂｌｅ  ａｎｄ  ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  ＲＯＭ）、ＥＥＰＲＯＭ（ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ  ｅｒａｓａｂｌｅ  ａｎｄ  ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  ＲＯＭ）、マスクＲＯＭ、ｆｌａｓｈ  ＲＯＭ、ＮＡＮＤ  ｆｌａｓｈ  ｍｅｍｏｒｙ、ＮＯＲ  ｆｌａｓｈ  ｍｅｍｏｒｙなど）のうちの少なくとも一つを含む。
外付けメモリは、例えば、ｆｌａｓｈ  ｄｒｉｖｅ、より具体的には、ＣＦ（ｃｏｍｐａｃｔ  ｆｌａｓｈ）、ＳＤ（ｓｅｃｕｒｅ  ｄｉｇｉｔａｌ）、Ｍｉｃｒｏ−ＳＤ（ｍｉｃｒｏ  ｓｅｃｕｒｅ  ｄｉｇｉｔａｌ）、Ｍｉｎｉ−ＳＤ（ｍｉｎｉ  ｓｅｃｕｒｅ  ｄｉｇｉｔａｌ）、ｘＤ（ｅｘｔｒｅｍｅ  ｄｉｇｉｔａｌ）又はＭｅｍｏｒｙ  Ｓｔｉｃｋを含む。
【００９４】
ロボットハンドＲＨの位置情報が保存されると、今後の工程で、ロボットハンドＲＨはその上に対象体（例えば、基板）を装着したまま保存された位置情報に基づく位置へ移動する。
【００９５】
即ち、本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置は、本格的な製造工程が開始される前に、ロボットハンドＲＨに整列位置を学習させる。そして、製造工程が開始されると、ロボットハンドＲＨが学習された整列位置に移動する。これにより、工程の精度が向上し、別途のアラインにかける時間を節約できるので、工程の効率を向上できる。
【００９６】
次に、本発明の他の実施形態に係る表示装置の製造装置について説明する。
図６は本発明の他の実施形態に係る表示装置の製造装置の平面図である。
図７は図６の「Ａ」部分を拡大して示す部分拡大図である。
【００９７】
図６及び図７を参照すると、一実施形態に係る表示装置の製造装置は、ロボットハンドＲＨ上に配置されるダミーガラスＤＧを含むことが図１の実施形態とは異なる点である。
【００９８】
一実施形態において、表示装置の製造装置はダミーガラスＤＧを含む。ダミーガラスＤＧは、後述する表示装置の製造方法の対象体である基板と実質的に同一の大きさを有する。ダミーガラスＤＧが基板と同一の大きさを有する場合、基板を投入して工程を開始する前に正確に位置情報を学習させて工程の精度を向上できる。
一実施形態において、ダミーガラスＤＧはロボットハンドＲＨに締結されて固定される。具体的には、ダミーガラスＤＧはロボットハンドＲＨの茎部１００に締結される。
【００９９】
ダミーガラスＤＧは、後述する工程で基板によって代替されるので、茎部１００と脱着可能に締結される。また、ダミーガラスＤＧは後述する工程で基板と代替されるので、基板と同様に枝部２１０、２２０、２３０、２４０上に装着できる。即ち、枝部２１０、２２０、２３０、２４０によって支持される。即ち、基板は、ダミーガラスＤＧと同一の大きさを有し、ダミーガラスＤＧと同一の位置に配置される。
【０１００】
但し、ダミーガラスＤＧは、整列位置情報を学習させる段階まではロボットハンドＲＨに確実に固定される必要があるので、少なくとも２つの固定部材（図６の第１固定部材６１０及び第２固定部材６２０）が茎部ＳＴとダミーガラスＤＧとの締結に使用される。
【０１０１】
一実施形態において、第１チャンバＣＨ１は、ダミーガラスＤＧをガイドするガイド部５１０を含む。
【０１０２】
ガイド部５１０はダミーガラスＤＧの位置をガイドする。このため、ガイド部５１０は、チャンバの内部にライン状に描かれるか、或いは陰刻又は陽刻のパターンで形成される。一実施形態において、ガイド部５１０は、ダミーガラスＤＧのコーナー部と対応する位置に配置される。
【０１０３】
図６は４つのガイド部５１０がダミーガラスＤＧの四つのコーナーに対応する位置に配置される場合を例示する。
【０１０４】
図７を参照すると、第１カメラ４１０はダミーガラスＤＧのコーナー部とガイド部５１０を撮影する。
【０１０５】
即ち、第１カメラ４１０の第１データｄ１は、ダミーガラスＤＧのコーナー部とガイド部５１０の位置情報を含む。具体的に、第１データｄ１は、ダミーガラスＤＧとガイド部５１０との間のｘ軸間隔ｘ及びｙ軸間隔ｙを含む。
【０１０６】
制御部９１０は、ダミーガラスＤＧとガイド部５１０との間のｘ軸間隔ｘ及びｙ軸間隔ｙに基づいて、ダミーガラスＤＧがガイド部５１０と整列されるようにロボットハンドＲＨの位置を調整する。
【０１０７】
図７は第１カメラ４１０がダミーガラスＤＧとガイド部５１０との位置関係を撮影する場合を例示したが、カメラの数はこれに限定されない。
【０１０８】
一実施形態において、第２カメラ４２０は、第１カメラ４１０と実質的に同一の役割を果たす。具体的には、第２カメラ４２０は、ダミーガラスＤＧにおける、第１カメラ４１０が撮影するコーナーを除いた他のコーナーでガイド部５１０とダミーガラスＤＧを撮影する。
【０１０９】
また、第２カメラ４２０によって撮影された第２データｄ２に基づいて、制御部９１０はロボットハンドＲＨの位置情報を調整する。
【０１１０】
このように第２カメラ４２０をさらに使用する場合、第１カメラ４１０のみを使用する場合に比べてアライン精度の面で有利であり得る。
【０１１１】
図８を参照すると、本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置はセンシング部７００を含む。センシング部７００は複数のセンサを含む。
【０１１２】
一実施形態において、センシング部７００は複数のセンサを含む。
【０１１３】
複数のセンサは、ダミーガラスＤＧの縁に沿って配置できる。図８はダミーガラスＤＧの縁に沿って第１センサＳＥ１、第２センサＳＥ２、第３センサＳＥ３、第４センサＳＥ４、第５センサＳＥ５、及び第６センサＳＥ６が配置される場合を例示する。
【０１１４】
但し、これは例示的なものであり、センサの位置や数はこれに限定されない。
【０１１５】
一実施形態において、第１センサＳＥ１、第２センサＳＥ２、第３センサＳＥ３、第４センサＳＥ４、第５センサＳＥ５、及び第６センサＳＥ６は間隔センサである。間隔センサとは、変位センサを含む概念であって、特定の対象体との間隔をセンシングすることが可能なセンサを意味する。
【０１１６】
一実施形態において、間隔センサはレーザセンサを含む。この場合、間隔センサは、発光部（図示せず）及び受光部（図示せず）を含む。
【０１１７】
ダミーガラスＤＧの縁に複数の間隔センサが配置される場合、ダミーガラスＤＧとチャンバ又はチャンバの内部空間に配置される物体との間の間隔情報を取得する。
【０１１８】
一実施形態において、チャンバ又はチャンバの内部空間に配置される物体は、チャンバの内壁、チャンバの入口、チャンバが蒸着チャンバである場合に配置される蒸着源、又はステージなどを含む。但し、これは例示的なものであり、チャンバ又はチャンバの内部に配置される物体の種類はこれに限定されない。
【０１１９】
一実施形態において、ダミーガラスＤＧとチャンバの内部空間に配置される物体との間の間隔情報は、ダミーガラスＤＧとチャンバの内部空間に配置される物体との間の距離情報を含む。
【０１２０】
データ処理部８００は、センシング部７００が収集した情報を制御部９１０に提供する。制御部９１０に情報を提供する方式は、上述の、本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置で説明したのと実質的に同一であり得る。即ち、有線及び／又は有線通信方式が使用できる。制御部９１０は、伝達された間隔情報に基づいてロボットハンドＲＨの位置を調整する。具体的には、ダミーガラスＤＧがチャンバ内で他の構成と接触しないようにロボットハンドＲＨの位置を制御する。
【０１２１】
一実施形態において、制御部９１０は、ダミーガラスＤＧと物体との間の距離が「０」とならないようにロボットハンドＲＨを制御する。ダミーガラスＤＧと物体との間の距離が「０」であるというのは、物体とダミーガラスＤＧとが接触することを意味する。ダミーガラスＤＧと物体との間の距離が「０」である場合、後述する基板がチャンバ内で物体と衝突するおそれがあり、これは基板の破損を誘発する可能性がある。よって、制御部は、ダミーガラスＤＧと物体との間の距離が「０」とならないようにロボットハンドＲＨの位置を制御する。
【０１２２】
また、ダミーガラスＤＧ上に複数のセンサが配置される場合、制御部９１０は、各センサで取得した間隔情報が全て０とならないように（こうしてこそ全ての方向からの衝突を防止する）、ロボットハンドＲＨの位置を制御する。
【０１２３】
他の物体と接触しない位置が定められると、制御部９１０はこの位置をメモリ部９３０に保存する。
【０１２４】
制御部９１０と駆動部９２０を制御してロボットハンドＲＨを制御する方式及びメモリ部９３０は、上述の、本発明の一実施形態に係る表示装置の製造装置で説明したのと実質的に同一であり得る。よって、これについての詳細な説明は省略する。
【０１２５】
工程過程でアラインがずれたら、基板が他の構成と接触し、これは基板の破損を誘発する怖れがある。上述したように、複数のセンサを用いて各構成間の間隔情報を抽出し、これを用いてロボットハンドＲＨの位置を学習及び記憶させると、ロボットハンドＲＨ上に配置された基板が搬入又は搬出される過程における破損を防止できる。
【０１２６】
図９は本発明の他の実施形態に係る表示装置の製造装置の平面図である。図１０は図９のI−I’線に沿って切断した断面図である。
【０１２７】
図９及び図１０を参照すると、第１センサＳＥ１、第２センサＳＥ２、第３センサＳＥ３、及び第４センサＳＥ４の何れかは、ダミーガラスＤＧの上面上に配置される上部センサと、ダミーガラスＤＧの下面上に配置される下部センサとを含む。
【０１２８】
一実施形態において、第１センサＳＥ１、第２センサＳＥ２、第３センサＳＥ３、及び第４センサＳＥ４の中から選択された少なくとも一つは、上部センサと下部センサとを含む。
【０１２９】
図１０は第１センサＳＥ１が第１上部センサＳＥ１＿１及び第１下部センサＳＥ１＿２を含み、第２センサＳＥ２が第２上部センサＳＥ２＿１及び第２下部センサＳＥ２＿２を含む場合を例示する。
【０１３０】
一実施形態において、第１センサＳＥ１は第２センサＳＥ２、第３センサＳＥ３、及び第４センサＳＥ４と実質的に同一であり得る。よって、第１センサＳＥ１についての以下の説明は、第２センサＳＥ２、第３センサＳＥ３及び第４センサＳＥ４にも同様に適用できる。
【０１３１】
第１上部センサＳＥ１＿１と第２上部センサＳＥ１＿２はダミーガラスＤＧを挟んで配置できる。これにより、第１上部センサＳＥ１＿１と第１下部センサＳＥ１＿２とは互いに重畳する。第１上部センサＳＥ１＿１と第１下部センサＳＥ１＿２は何れも間隔センサであって、各々、第１上部センサＳＥ１＿１及び第１下部センサＳＥ１＿２と周辺物体との間隔情報をセンシングする。
【０１３２】
上述したように、ダミーガラスＤＧの上下面にセンサを配置する場合、ダミーガラスＤＧとチャンバ内に配置される複数の物体との間隔情報をさらに具体的に取得する。これにより、後述する基板がチャンバ内で他の物体との衝突による破損を防止できる。
【０１３３】
以下、本発明の幾つかの実施形態に係る表示装置の製造方法について説明する。最初に、本発明の一実施形態に係る表示装置の製造方法について説明する。以下の実施形態において、既に説明した構成と同一の構成については同一の参照番号を付し、その重複説明は省略又は簡略化する。
【０１３４】
本発明の幾つかの実施形態に係る表示装置の製造方法は、上述した幾つかの実施形態に係る表示装置の製造装置によって実行できる。但し、これは様々な実施形態の何れかであり、製造方法は装置の種類に限定されない。
【０１３５】
一実施形態に係る表示装置の製造方法は、チャンバ内でロボットハンドＲＨの整列位置を学習させる段階と、基板が装着されたロボットハンドＲＨを整列位置へ移動させて基板を加工する段階とを含む。
【０１３６】
具体的には、ロボットハンドＲＨの整列位置を学習させる段階は、カメラを用いてロボットハンドＲＨの位置情報を取得する段階と、取得された位置情報に基づいてロボットハンドＲＨの位置を調整する段階と、調整されたロボットハンドＲＨの位置を保存する段階とを含む。
【０１３７】
一実施形態において、カメラを用いてロボットハンドＲＨの整列位置を学習させる段階は、図３及び図５で説明したような方式で行われ得る。ここで、カメラは、第１カメラ４１０及び／又は第２カメラ４２０であり得る。
【０１３８】
具体的に、第１視野中心ＶＣ１が定義された第１カメラ４１０が、第１マーク組立体３１０に形成された第１アラインマークＭ１の位置情報を取得する。取得された位置情報はデータ処理部８００を経て制御部９１０に提供できる。
【０１３９】
制御部９１０はロボットハンドＲＨを制御してその位置を調整する。具体的には、制御部９１０は、ロボットハンドＲＨの位置を調節して、第１アラインマークＭ１と第１視野中心ＶＣ１とを一致させる。
【０１４０】
第１アラインマークＭ１と第１視野中心ＶＣ１とが一致すると、制御部９１０はロボットハンドＲＨの位置情報をメモリ部９３０に保存する。
【０１４１】
上述した過程は、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３で各々行われる。即ち、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３は各々の整列位置を有し、ロボットハンドＲＨは各々の整列位置へ移動する。
【０１４２】
次いで、基板が装着された前記ロボットハンドＲＨを、前記整列位置へ移動させて基板を加工する段階が行われる。
【０１４３】
上述したように、ロボットハンドＲＨ上には対象体として基板が装着される。基板を装着した状態で、ロボットハンドＲＨは第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３の中から選択された何れかのチャンバへ移動する。また、各チャンバ内において、基板は定められた方式によって加工される。上述したように、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３が蒸着工程用チャンバである場合、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３内では基板上に有機層を蒸着できる。
【０１４４】
他の実施形態において、ロボットハンドＲＨの整列位置を学習させる段階は、図６で説明したような方式で行われ得る。
【０１４５】
具体的には、カメラを用いてロボットハンドＲＨの位置情報を取得する段階は、チャンバ内に区画されたガイド部５１０とダミーガラスＤＧの位置情報を取得する段階を含む。具体的には、カメラはガイド部５１０とダミーガラスＤＧの縁との間隔情報を取得する。
【０１４６】
次に、取得された位置情報に基づいてロボットハンドＲＨの位置を調整する段階が行われ得る。制御部９１０は、ガイド部５１０とダミーガラスＤＧの縁が整列されるようにロボットハンドＲＨの位置を調整する。
【０１４７】
ダミーガラスＤＧとガイド部５１０の縁が整列されると、制御部９１０は、調整されたロボットハンドＲＨの位置をメモリ部９３０に保存する。基板が装着されたロボットハンドＲＨを整列位置へ移動させて基板を加工する段階は上述の実施形態と同様であるため、これについての説明は省略する。
【０１４８】
本発明の一実施形態に係る表示装置の製造方法は、チャンバ内でロボットハンドＲＨの整列位置を学習させる段階と、基板が装着されたロボットハンドＲＨを整列位置へ移動させて基板を加工する段階とを含む。
【０１４９】
具体的には、ロボットハンドＲＨの整列位置を学習させる段階は、複数のセンサが取り付けられたダミーガラスＤＧをチャンバ内に搬入する段階、ダミーガラスＤＧとチャンバの内部に配置される物体との間の間隔情報を取得する段階、間隔情報に基づいて前記ロボットハンドＲＨの位置を調整する段階とを含む。
【０１５０】
複数のセンサが取り付けられたダミーガラスＤＧは、上記図８で説明したのと実質的に同一であり得る。複数のセンサが取り付けられたダミーガラスＤＧをチャンバ内に搬入しながら、ダミーガラスＤＧとチャンバ及び前記チャンバの内部に配置される物体との間の間隔情報を取得する。チャンバ又は前記チャンバの内部に配置される物体は、チャンバの内壁、チャンバの入口、チャンバが蒸着チャンバである場合に配置される蒸着源、又はステージを含む。但し、これは例示的であり、チャンバ又はチャンバの内部に配置される物体の種類はこれに限定されない。
【０１５１】
複数のセンサは、各位置でチャンバ又はチャンバの内部に配置される物体の種類間の間隔情報をセンシングする。センシングされた間隔情報はデータ処理部８００に提供される。データ処理部８００はこの間隔情報を制御部９１０へ伝送する。
【０１５２】
制御部９１０は、伝達された間隔情報に基づいてロボットハンドＲＨを駆動する。具体的には、制御部９１０は、間隔情報に基づいて、ダミーガラスＤＧがチャンバ又はチャンバ内の物体とぶつからないようにロボットハンドＲＨの位置又は動きを制御する。
【０１５３】
具体的には、複数のセンサとチャンバ又はチャンバ内部の物体との間の距離が０（距離が０である場合、センサ又はダミーガラスが物体と接触する。）とならない整列位置を見つける。制御部９１０が整列位置を見つけると、制御部は、これをメモリ部９３０に保存する。
【０１５４】
次いで、ダミーガラスＤＧが除去される段階が行われる。ダミーガラスＤＧは、整列位置を学習させるための構成なので、工程が開始する前に除去される。次に、ロボットハンドＲＨ上に基板を装着する段階が行われる。基板は、前述したように、表示装置用基板、特に有機発光表示装置用基板であり得る。
【０１５５】
続いて、基板が装着されたロボットハンドＲＨを整列位置へ移動させて基板を加工する段階を含む。基板が装着されたロボットハンドＲＨを整列位置へ移動させて基板を加工する段階は、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３の中から選択された少なくとも一つのチャンバで行われる。一実施形態において、基板を加工する段階は、第１チャンバＣＨ１、第２チャンバＣＨ２、及び第３チャンバＣＨ３を順次経て行われる。具体的には、第１チャンバＣＨ１で基板上に第１有機層を形成し、第２チャンバＣＨ２で基板上に第２有機層を形成し、第３チャンバＣＨ３で基板上に第３有機層を形成する。第１有機層、第２有機層、及び第３有機層は各々、互いに異なる色を発光する有機発光層を含む。
【０１５６】
以上、本発明の実施形態を中心に説明したが、これは例示に過ぎず、本発明を限定せず、本発明の属する分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の実施形態の本質的な特性を逸脱することなく、以上に例示されていない様々な変形と応用が可能であることが分かるであろう。例えば、本発明の実施形態に具体的に示された各構成要素を変形実施する場合、それらの変形と応用に係わる差異点は、添付された請求の範囲で規定する本発明の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。
【符号の説明】
【０１５７】
ＣＨ１    第１チャンバ
ＣＨ２    第２チャンバ
ＣＨ３    第３チャンバ
ｄ１    第１カメラ４１０が撮影した第１データ
ｄ２    第２カメラ４２０が撮影した第２データ
ＤＧ    ダミーガラス
ＤＸ    ｘ軸駆動部
ＤＹ    ｙ軸駆動部
Ｍ１    第１アラインマーク
Ｍ２    第２アラインマーク
ＭＰ１    補正前の第１アラインマーク
ＭＰ２    補正前の第２アラインマーク
ＲＡ    ロボットアーム
ＲＨ    ロボットハンド
ＲＯ    回転駆動部
ＳＥ１〜ＳＥ６    第１〜第６センサ
ＳＥ１＿１、ＳＥ２＿１    第１、第２上部センサ
ＳＥ１＿２、ＳＥ２＿２    第１、第２下部センサ
ＴＣ１    第１搬送チャンバ
ＴＣ２    第２搬送チャンバ
ＴＲ    移送ロボット
ＶＣ１    視野中心、第１視野中心
ＶＣ２    第２視野中心
１００    茎部
２１０、２２０、２３０、２４０    枝部
３１０    第１マーク組立体
３２０    第２マーク組立体
４１０    第１カメラ
４２０    第２カメラ
５１０    ガイド部
７００    センシング部
８００    データ処理部
９１０    制御部
９２０    駆動部
９３０    メモリ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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