(57)【要約】【課題】レーザ光の散乱や遮断を低減する。【解決手段】レーザ光Ｌを発生するレーザ発振器１０と、加工物３を収容し液体２で満たされる貯留室３１及び当該貯留室３１に面しレーザ光Ｌを透過させるレーザ照射窓３２を有する加圧容器と、レーザ光Ｌを加工物３上で走査させながら照射させるレーザヘッド２０と、液体２を貯留室３１内に供給し、貯留室３１内でレーザ光Ｌが加工物３に照射された際に発生する気泡を加圧された液体２の圧力によって潰すことができる圧力値に液体２を加圧する液体供給手段８０と、液体供給手段８０と貯留室３１とを接続する供給流路３３と、貯留室３１と加圧容器３０の外部とを接続し、貯留室３１内でレーザ光Ｌが加工物３に照射された際に発生する加工片７を液体２とともに加圧容器３０の外部に排出する排出流路３４と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ加工装置であって、
レーザ光を発生するレーザ発振器と、
加圧容器であって、
加工物を収容し液体で満たされる貯留室、及び、
前記貯留室に面し前記レーザ光を透過させるレーザ照射窓
を有する加圧容器と、
前記レーザ光を前記加工物上で走査させながら照射させるレーザヘッドと、
前記液体を前記貯留室内に供給し、前記貯留室内で前記レーザ光が前記加工物に照射された際に発生する気泡を加圧された液体の圧力によって潰すことができる圧力値に前記液体を加圧する液体供給手段と、
前記液体供給手段と前記貯留室とを接続する供給流路と、
前記貯留室と前記加圧容器の外部とを接続し、前記貯留室内で前記レーザ光が前記加工物に照射された際に発生する加工片を前記液体とともに前記加圧容器の外部に排出する排出流路と、を備える、
レーザ加工装置。
【請求項２】
前記供給流路は、前記貯留室の上面に、前記レーザ照射窓に面して設けられた注入流路を持つ、
請求項１のレーザ加工装置。
【請求項３】
前記注入流路は、前記貯留室の周囲に接続し、円環状かつ板状をなす、
請求項２のレーザ加工装置。
【請求項４】
前記注入流路は、前記貯留室の中央部から半径方向に延びて、円周上均等に設けられている、
請求項２のレーザ加工装置。
【請求項５】
前記供給流路は、前記液体を前記貯留室の周縁に均等に分配する分配流路を有する、
請求項２ないし請求項４のいずれか一項のレーザ加工装置。
【請求項６】
前記分配流路は、前記貯留室を囲むように円環状に設けられた、
請求項５のレーザ加工装置。
【請求項７】
前記排出流路は、前記貯留室の底面の加工物設置面の周囲に開口する複数の内部連通排出流路と、当該内部連通排出流路と繋がるとともに前記加圧容器の外周面に開口する外部連通排出流路とを備える、
請求項１ないし請求項６のいずれか一項のレーザ加工装置。
【請求項８】
加圧容器であって、
レーザ光を透過させるレーザ照射窓と、
貯留室であって、
側壁面を構成する筒部、底面を構成する底部、及び、頂面を構成する前記レーザ照射窓で区画され、
加工物を収容し、液体で満たされ、
前記貯留室内で前記レーザ光が前記加工物に照射された際に発生する気泡を加圧された液体の圧力によって潰すことができる圧力値に耐え得る耐圧荷重を有する貯留室と、
前記液体を前記貯留室内に供給する供給流路と、
レーザ加工によって前記加工物から分離する加工片を前記貯留室から当該貯留室の外部に向けて排出する排出流路と、を備える、
加圧容器。
【請求項９】
前記排出流路は、前記貯留室の底面の加工物設置面の周囲に開口する複数の内部連通排出流路と、当該内部連通排出流路と繋がるとともに前記加圧容器の外周面に開口する外部連通排出流路とを備える、
請求項８の加圧容器。
【請求項１０】
レーザ加工方法であって、
貯留室に液体を注入し、
前記貯留室の空気を抜き、
前記貯留室内に注入された液体を、レーザ光が前記貯留室内の加工物に照射された際に発生する気泡を加圧された液体の圧力によって潰すことができる圧力値に加圧し、
レーザ光を発振し、
加圧された前記液体中で前記レーザ光を加工物表面に走査し、
前記液体と前記レーザ光が前記加工物に照射された際に発生する加工片を排出する、
レーザ加工方法。
【請求項１１】
更に、前記液体を前記貯留室から排出するとともに新たな液体を前記貯留室に注入して加圧する、
請求項１０のレーザ加工方法。
【請求項１２】
前記レーザ光の加工物表面への走査は、液体及び加工片の排出と同時に行われる、
請求項１０又は請求項１１のレーザ加工方法。
【請求項１３】
前記液体は、酸素を含まない液体である、
請求項１０ないし請求項１２のいずれか一項のレーザ加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工装置、加圧容器およびレーザ加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一定の流路を介して液の行き来が可能な入射側及び出射側のチャンバと、出射側チャンバから入射側チャンバへ液を移動させるポンプを備えたレーザ加工用容器が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２５４１７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
残念ながら特許文献１のレーザ加工用容器を用いてレーザ加工すれば、出射側のチャンバから加工屑や気泡が入射側チャンバへ流入し、レーザ光軸を妨げる。本発明は、レーザ加工により発生する気泡を収縮し、気泡や切屑を排出し、レーザ光の光路が乱されないことを課題とする。前記した従来のレーザ加工では、加工物に加工先穴を形成しなければならず、加工準備に手間がかかるとともに、加工物の形状が限定されてしまうといった問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するため、代表的な本発明は、レーザ光を発生するレーザ発振器と、加圧容器であって、加工物を収容し液体で満たされる貯留室、及び、前記貯留室に面し前記レーザ光を透過させるレーザ照射窓を有する加圧容器と、前記レーザ光を前記加工物上で走査させながら照射させるレーザヘッドと、前記液体を前記貯留室内に供給し、前記貯留室内で前記レーザ光が前記加工物に照射された際に発生する気泡を加圧された液体の圧力によって潰すことができる圧力値に前記液体を加圧する液体供給手段と、前記液体供給手段と前記貯留室とを接続する供給流路と、前記貯留室と前記加圧容器の外部とを接続し、前記貯留室内で前記レーザ光が前記加工物に照射された際に発生する加工片を前記液体とともに前記加圧容器の外部に排出する排出流路と、を備える。
【０００６】
本発明において、気泡を潰すとは、圧力によって収縮させる場合と、消滅させる場合の両方を含む。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、気泡を潰し、加工片を排出流路から外部に排出するため、レーザ光の散乱や遮断を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態１のレーザ加工装置。
【図２】（ａ）は実施形態１の加圧容器の平面図、（ｂ）はその断面図。
【図３】実施形態１の加圧容器の分解斜視図。
【図４】（ａ）は実施形態の加圧容器の貯留室の拡大断面図、（ｂ）はその拡大平面図。
【図５】実施形態１のレーザ加工方法のフローチャート。
【図６】（ａ）は実施形態２の加圧容器の貯留室の拡大断面図、（ｂ）はその拡大平面図。
【図７】実施形態３の加圧容器の断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
（実施形態１）
図１に示すように、実施形態１に係るレーザ加工装置１は、レーザ発振器１０とレーザヘッド２０と加圧液中レーザ加工用加圧容器（以下「加圧容器」という）３０と液体供給手段８０と制御装置９０とを備えている。本実施形態では、レーザヘッド２０の下方に加圧容器３０が配置された場合を例に挙げて説明する。
【００１０】
レーザ発振器１０は、レーザ光Ｌを光軸１２に沿って発振する。レーザ発振器１０が発振するレーザ光Ｌの波長は、３００〜１１００ｎｍである。液体の種類に応じて、その液体に吸収され難い波長帯のレーザ光を用いることができる。液体が水である場合は、水に対し吸収され難い３５０〜５４０ｎｍが好ましい。例えば、グリーンレーザ、ブルーレーザ、紫外線レーザを利用できる。特に、ＹＡＧやＹＶＯ４の第二次高調波（ＳＨＧ波）の５３２ｎｍや、第三次高調波（ＴＨＧ波）の３５５ｎｍが好ましい。パルス幅は０．１〜１００ｎｓであり、好適には１〜５０ｎｓである。
【００１１】
レーザ発振器１０とレーザヘッド２０の間には、ミラー１１が設けられている。ミラー１１は、半透過のミラーが利用される。ミラー１１は、レーザ光Ｌの向きを反射して、レーザヘッド２０に入光させる。そして、ミラー１１は、レーザヘッド２０から戻るレーザ光Ｌを透過する。
【００１２】
撮像装置１５は、ミラー１１で反射した光軸１２の延長線上に設けられる。撮像装置１５は、レーザヘッド２０から戻り、ミラー１１を通過した像を撮像する。ミラー１１は、加工物３の加工状態を観察する。
【００１３】
レーザヘッド２０は、レーザ光Ｌを、加工物３の表面で走査させる。レーザヘッド２０は、レーザ走査装置２１と集光レンズ２２とを含む。レーザ走査装置２１は、ガルバノミラー２３を含む。ガルバノミラー２３は、モータ２４とその回転軸に取り付けられたミラー２５とを有し、レーザ光Ｌを反射させて向きを変える。ガルバノミラー２３は、全反射のミラーを有する。本実施形態では、ガルバノミラー２３は２つ設けられており、ＸＹ２軸に沿ってそれぞれ配置されている。本実施形態ではレーザ光Ｌを偏向する光学素子としてガルバノミラーを用いたが、プリズムやポリゴンミラー、ピエゾ素子駆動ミラー、その他の光学素子を用いてもよい。
【００１４】
集光レンズ２２は、ガルバノミラー２３で反射したレーザ光Ｌを、加工物３に向かって収束させる。集光レンズ２２は、レーザ走査装置２１の下方に固定され、レーザ光Ｌを加工物３の表面に合焦する。ここで、加工物３の表面とは、表面の近傍を含む。
【００１５】
加圧容器３０は、貯留室３１、レーザ照射窓３２、供給流路３３および排出流路３４を有する。図２および図３にも示すように、加圧容器３０は、筒部３５と底部３６と蓋部３７とレーザ照射窓３２を含む。
【００１６】
貯留室３１は、側壁面を構成する筒部３５と、底面を構成する底部３６と、頂面を構成するレーザ照射窓３２とで区画された円柱形状の空間である。貯留室３１は、加工物３を収容し、加圧された液体２が充填される。貯留室３１は、加工物３の加工面とレーザ照射窓３２の下面との距離を、０．５〜１００ｍｍ（両端含む）の範囲とできる。なお、加工物３の加工面とレーザ照射窓３２の下面との距離が０．５ｍｍ未満になると、レーザ照射窓３２がレーザ光Ｌによって加工されてしまう。なお、貯留室３１は、加工物の形状に応じて矩形又は多角形状の空間としてもよい。
【００１７】
筒部３５は円筒状であり、上下に貫通する貫通孔１３を持つ。貫通孔１３は、上方の小径部１３ａと、下方の大径部１３ｂを有する段付き穴である。小径部１３ａは貯留室３１を形成する。大径部１３ｂの下端部の内周面には、雌ねじ部３８が形成される。
【００１８】
筒部３５の貫通孔１３の上端部の周縁部には、周方向に延在する凹部４０が形成されている。凹部４０と貫通孔１３との間には、円筒状の立上り壁部４１が形成されている。凹部４０は、貫通孔１３の内周面から所定長さ離れた位置から下方に窪んで形成されており、立上り壁部４１を囲い、円周状に形成されている。凹部４０の外周部には、外側凹部４３が形成されている。外側凹部４３は、凹部４０よりも深さが浅く、凹部４０を囲う円周状に形成されている。
【００１９】
底部３６は、円柱形状であり、筒部３５の大径部１３ｂに挿入される。底部３６の下端部の外周面には、雄ねじ部３９が形成されている。雄ねじ部３９は、雌ねじ部３８に螺合する。底部３６の上端面には、加工物３を設置するワーク設置面４８が形成されている。雄ねじ部３９の上方の、底部３６の外周面には、パッキンであるＯリング４９が装着されている。Ｏリング４９は、筒部３５の貫通孔の内周面と、底部３６の外周面との間を封止する。
【００２０】
レーザ照射窓３２は、貯留室３１に面して設けられ、レーザ光Ｌを透過させる。レーザ照射窓３２は、貯留室３１の上端部に配置されており、集光レンズ２２に対向している。レーザ照射窓３２は、たとえばサファイアガラスが利用される。レーザ照射窓３２は、円板形状を持つ。レーザ照射窓３２の外周径は、筒部３５の上部の凹部４０の内周径と略同等である。レーザ照射窓３２は、凹部４０内に設置される。レーザ照射窓３２は、立上り壁部４１の上に載置される。立上り壁部４１の上端面とレーザ照射窓３２の下面とに間隙を設ける。レーザ照射窓３２の下面周縁部と凹部４０の底面周縁部との間には、パッキンであるＯリング４７が設けられている。
【００２１】
蓋部３７は、筒部３５の上部に設けられ、レーザ照射窓３２を挟むように筒部３５に固定されている。蓋部３７の中央部には、レーザ照射窓３２が通過するレーザ通過孔７０が形成されている。レーザ通過孔７０の上部は、上方に向かうに連れて拡径するテーパ状に形成されている。レーザ通過孔７０の下端部の内径は、貯留室３１の内径と略同等である。蓋部３７の底面には、レーザ照射窓３２の周囲を囲う環状の凸条７１が形成されている。凸条７１は、筒部３５の上端部の外側凹部４３に嵌合する。レーザ照射窓３２は、凸条７１の内側に入り込み、その中心部が、レーザ通過孔７０を介して上方に露出する。
【００２２】
図２および図４に示すように、供給流路３３は、外部連通供給流路５０、分配流路である環状流路５１及び注入流路５２を含む。供給流路３３は、液体２を貯留室３１内に供給する。外部連通供給流路５０はＬ字状をなし、加圧容器３０の外周面（筒部３５の外周面）から凹部４０の底面（環状流路５１の底面）に接続する。
なお、図２では外部連通供給流路５０は１つ設けたが、複数設けても良い。例えば２つ設けても良い。また、３つ以上の外部連通供給流路５０を設け、環状流路５１に替えて複数の外部連通供給流路５０に分配するマニホールドを分配流路として設けても良い。
【００２３】
環状流路５１は、レーザ照射窓３２の下面周縁部に沿って立上り壁部４１を囲うように形成されている。環状流路５１は、Ｏリング４７の内周面と、凹部４０の底面と、レーザ照射窓３２の下面と、立上り壁部４１の外周面とで区画されている。
【００２４】
注入流路５２は、立上り壁部４１の上端部とレーザ照射窓３２の下面とで区画された間隙からなる。注入流路５２は、レーザ照射窓３２に面して設けられる。注入流路５２は、円環状かつ円板状をなす。例えば注入流路５２の厚みは、環状流路５１の厚みの１／３〜１／２である。注入流路５２の厚みは、例えば０．１〜０．５ｍｍとできる。注入流路５２は、環状流路５１と円周方向に連続して全周方向に連通する。注入流路５２は、貯留室３１と円周方向に連続して全周方向に連通する。液体２は、レーザ照射窓の円周方向の全周から貯留室３１内に流入する。
注入流路５２の有効断面積は、外部連通供給流路５０の有効断面積と比較して小さくできる。外部連通供給流路５０よりも注入流路５２の有効断面積が小さいため、環状流路５１内に流入した液体２は、環状流路５１内で円周方向に均等に分配される。注入流路５２は、環状流路５１の液体２を、貯留室３１に向けて流速を増加させる。液体２は、レーザ照射窓３２の下面に沿って高速で流れることで、レーザ照射窓３２の汚れを抑制できる。また、レーザ照射窓３２を中心として略均等な流量で流れる。
レーザ照射窓３２の中心部に向かって噴射された液体２は、中心部に集まった後に下向きの流れとなって、貯留室３１の下方に向かって流れる。
【００２５】
排出流路３４は、貯留室３１内の空気と貯留室３１内でレーザ光Ｌが加工物３に照射された際に発生する加工片７を加圧された液体２とともに加圧容器３０の外部に向けて排出する。排出流路３４は少なくとも１つ設けられ、内部連通排出流路６０と外部連通排出流路６１とを有する。内部連通排出流路６０は、貯留室３１の底面から筒部３５の内側面に接続する。内部連通排出流路６０は、底部３６の外周面に形成された円周溝６２と、貯留室３１の底面から円周溝６２に接続する排出路６３とを含む。円周溝６２は底部３６に設けられる。円周溝６２は外側に向かって開口し、周方向に沿って環状に延在する。排出路６３は、貯留室３１の底面（底部３６の上端面）と円周溝６２とに開口を持ち、Ｌ字形状をなす。排出路６３が複数（本実施形態では４つ）設けられる場合、ワーク設置面４８を囲むように貯留室３１に開口する。
外部連通排出流路６１は、内部連通排出流路６０と繋がるとともに、加圧容器３０の外周面（筒部３５の外周面）に開口する。
【００２６】
開閉弁６６が排出流路３４に設けられている。開閉弁６６は、貯留室３１内の液体２の圧力が所望の圧力に保持されるように、開度が調整される。開閉弁６６を開放することで、貯留室３１内の空気や、貯留室３１内でレーザ光Ｌが加工物３に照射された際に発生する加工片７を、液体２とともに加圧容器３０の外部に向けて排出することができる。
【００２７】
貯留室３１内に外部と連通する空気抜き孔（図示しない）を設けてもよい。この場合、外部に連通した空気抜き孔を通じ貯留室３１内の空気を外部に排出することができる。
【００２８】
液体供給手段８０は、貯留室３１に液体２を供給するとともに貯留室３１内の液体２を加圧する。液体供給手段８０は、液体を加圧する高圧ポンプ８１が利用できる。高圧ポンプ８１は、液体２の流量が２０ｍｌ／ｍｉｎ以上、好ましくは５０〜３００ｍｌ／ｍｉｎで、吐出圧力が０．１〜３００ＭＰａ、好ましくは１０〜１００ＭＰａのものが使用できる。圧力が高いほど気泡が潰れやすい。吐出圧力が１００ＭＰａ以下では加圧容器３０を設計しやすい。液体供給手段８０は、配管８２で供給流路３３と接続される。
【００２９】
制御装置９０は、レーザ発振器１０、各ガルバノミラー２３、液体供給手段８０及び開閉弁６６を制御する。
【００３０】
次に、図５に従って、前記構成のレーザ加工装置１および加圧容器３０を用いたレーザ加工方法を説明する。
【００３１】
まず、制御装置９０は、液体供給手段８０を起動する。液体供給手段８０は液体２を貯留室３１へ送液する（Ｓ１）。
【００３２】
次に、制御装置９０は、開閉弁６６を開弁する。液体２が貯留室３１内の空気を置き換える。貯留室３１内の空気を排出流路３４から排出する（Ｓ２）。
なお、空気抜き孔（不図示）が設けられる場合、開閉弁６６の開弁に替えて空気抜き孔から空気を抜いても良い。
【００３３】
制御装置９０は、開閉弁６６の開口を調整して、貯留室３１内の液体２の圧力を所定の圧力にする（Ｓ３）。ここで、所定の圧力とは、レーザ光Ｌが加工物３に照射された際に発生する気泡が加圧された液体２の圧力によって潰れる圧力値をいう。貯留室３１内の圧力は、液体２の流入量と、排出流路３４からの液体２の排出量により定まる。制御装置９０は、貯留室３１の圧力をフィードバックして、液体供給手段８０の吐出量又は開閉弁６６の開口量を制御しても良い。
【００３４】
制御装置９０は、レーザ発振器１０を起動し、レーザ光Ｌを発振させる（Ｓ４）。
【００３５】
レーザ走査装置２１は、レーザ光Ｌを走査して加工物に照射する（Ｓ５）。レーザ光Ｌは、加工物３の表面を走査される。加工物３から加工片７（図１参照）が発生する。レーザ加工による温度上昇によって液体２中に気泡が発生しようとするが、加圧された液体２が気泡を圧縮して消滅させる。気泡が液体２中に存在しないため、気泡がレーザ光Ｌに影響を与えることはない。
【００３６】
加工片７は、排出流路３４から加圧された液体２とともに排出される（Ｓ６）。排出流路３４の内部連通排出流路６０の排出路６３がワーク設置面４８を囲むように貯留室３１内に開口しているので、加工物３の周辺には、排出流路３４へ向かう流れが発生している。加工物３から発生した加工片７は、上方へ流されることなく、効率的に排出流路３４へと流れ込み、加圧容器３０の外部へ排出される。
なお、加圧された液体２が気泡を収縮させ、消滅まで圧縮しない場合であっても、収縮された気泡は、上昇することなく、加工片とともに排出流路３４から排出される。
ステップＳ６は、ステップＳ５と同時に行われる。
【００３７】
本実施形態のレーザ加工方法によれば、加工物３の上方にあるレーザ光Ｌの光軸上に、加工片７や気泡が流れることがなくなる。したがって、レーザ光Ｌが加工片や気泡に干渉し難くなるので、レーザ光Ｌの散乱や遮断を低減できる。
【００３８】
排出流路３４はワーク設置面４８を囲むように貯留室３１内に開口しているので、加工片７や気泡は、上方へ流されることなく、効率的に排出流路３４へと流れこみ外部へ排出される。加工片７や気泡は排出流路３４から外部に排出されて、貯留室３１へ戻らないので、レーザ光Ｌの散乱や遮断をより一層低減できる。そして、低熱影響で溶融物の付着が少ない加工を実現できる。
【００３９】
（実施形態２）
図６を参照して、実施形態２の加圧容器３０ａを説明する。加圧容器３０ａは、供給流路３３ａを持つ。供給流路３３ａは、注入流路５７の形状が供給流路３３と異なる。立上り壁部４１の上端部には凹溝５５が形成されている。立上り壁部４１の上端部は凹溝５５を除きレーザ照射窓３２の下面と当接している。注入流路５７は、立上り壁部４１の凹溝５５とレーザ照射窓３２の下面とで区画された間隙からなる。注入流路５７は、レーザ照射窓３２の下面に面して設けられている。注入流路５７は、レーザ照射窓の半径方向に対して角度を有して配置されている。注入流路５７は、複数（本実施形態では４つ）設けられている。各注入流路５７の厚みは、環状流路５１の厚みよりも小さい。注入流路５７の有効断面積が外部連通供給流路５０の有効断面積より小さい。なお、供給流路３３ａは、貯留室３１の接線方向に設けられても良い。
【００４０】
加圧容器３０ａによれば、環状流路５１内の液体２は、外部連通供給流路５０より流路断面が小さい注入流路５７を通過することで流速が増加され、貯留室３１内に高速で注入される。液体２は、レーザ照射窓３２の下面に沿って高速で流れることで、レーザ照射窓３２の汚れを抑制できる。さらに、本変形例においては、レーザ照射窓３２の中心部に向かって噴射された液体２は、中心部に集まった後に下向きの流れとなって、貯留室３１の下方に向かって流れる。貯留室３１内に噴射された液体２は、貯留室３１の内周面に沿って流れて渦流となり、効率的に下方に流れていく。このように貯留室３１内に渦流が発生することで、加工物３付近で発生する加工片や気泡が上昇しないので、レーザ光Ｌの散乱や遮断をより一層低減できる。
【００４１】
（実施形態３）
図７を参照しながら、実施形態３のレーザ加工装置１０１を説明する。レーザ加工装置１０１は、加圧容器１３０及び移動装置（不図示）を含む。その他の構成はレーザ加工装置１と同様である。
加圧容器１３０は、貯留室１３１の形状が図２の貯留室３１と異なる。貯留室１３１は、下方に向かうに連れて順次拡径するように構成されている。貯留室１３１は、円錐台形状を成す。貯留室３１の上端部のレーザ照射窓３２は、図２のレーザ照射窓３２と同等の大きさである。つまり、加圧容器１３０は、レーザ照射窓３２の大きさは変えずに、貯留室３１の内側のみを広くした形状となっている。筒部１３５の貫通孔が下方に向かうにつれて順次拡径している。貫通孔の下端部は、所定高さの範囲で、同一径で形成されており、底部１３６が挿入されている。
【００４２】
底部１３６の上端面は、図２の底部３６の上端面より広くなっており、大面積のワーク設置面１４８を確保できる。底部１３６は、下端部に鍔部１３８が形成されており、鍔部１３８は筒部１３５の底面に当接した状態で下方からボルトで締結されている。蓋部１３７には、図２の蓋部３７と同形状のレーザ通過孔７０が形成されている。レーザ通過孔７０の上部は、上方に向かうに連れて拡径するテーパ状に形成されている。
【００４３】
図示しない移動装置は、加圧容器１３０を左右方向、前後方向又は上下方向に移動し、左右方向又は前後方向を中心として揺動できる。移動装置は加圧容器１３０の姿勢を変更するとともに、加圧容器１３０を移動する。
【００４４】
移動装置が加圧容器１３０の姿勢を変え、移動することによって、レーザ光Ｌの走査範囲を拡大できる。レーザ光Ｌを、平面視で貯留室３１の中心部に位置する小径のレーザ照射窓３２を通して、大型の加工物の周縁部まで操作できる。レーザ加工装置はレーザ照射窓３２よりも大きい大型の加工物１０３の加工を行うことができる。
レーザ照射窓３２は、レーザ照射窓３２と同じ面積であるので、実施形態１，２と比較してレーザ照射窓３２への水圧による荷重が増加しない。
【００４５】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜に変更が可能である。前記実施形態では液体２として水を採用したがこれに限定されるものではなく、エタノール等の他の液体であってもよい。また、酸素を含まない液体を用いれば、加工物の酸化を抑制できるので、より一層の加工の効率化を図ることができる。分散剤としては、界面活性剤等を用いることができる。たとえば、極性溶媒である水とエタノールなどの溶媒を用いる場合は、ＰＶＰなどの水溶性ポリマー、クエン酸などが使用可能である。非極性溶媒である有機溶媒を用いる場合は、オレイン酸などのカルボン酸、オレインアミンなどのアミン類、ドデカンチオールなどのチオール類などが使用可能である。
【００４６】
なお、レーザ照射窓３２の上部に、上方に向かうにつれて縮径するテーパを設けても良い。貯留室３１が矩形又は多角形のとき、レーザ照射窓３２は、貯留室３１の形状に合わせて矩形又は多角形とする。蓋部３７の下部に、レーザ照射窓３２のテーパと当接する逆テーパを形成する。
【００４７】
なお、加圧容器を横向きあるいは傾斜させて配置してもよい。このようにすれば、気泡を収縮させた場合において、気泡が上方に上昇したとしてもレーザ光の光軸から外れるので、レーザ光と干渉しない。
【符号の説明】
【００４８】
１      レーザ加工装置
２      液体
３      加工物
７      加工片
１０    レーザ発振器
２０    レーザヘッド
３０    加圧容器
３１    貯留室
３２    レーザ照射窓
３３    供給流路
３４    排出流路
５０    外部連通供給流路
５１    環状流路
５２    注入流路
６０    内部連通排出流路
６１    外部連通排出流路
８０    液体供給手段
Ｌ      レーザ光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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