(57)【要約】【課題】パーティクル除去ティップ及びそれを備えたインデックス型パーティクル除去装置に関する。【解決手段】。多数の素子が配列された素子トレイを作業位置に移送するトレイ移送ユニット、ティップトレイが置かれるトレイ安着台、粘着液を塗布する粘着液供給ユニット、多数の安着ホールが具備され、中心軸を基準に回転するインデックス部材、パーティクル除去ティップをピックアップして回転させ、インデックス部材の安着ホールに安着させるフリップユニット、パーティクル除去ティップの粘着液が硬化されるようにインデックス部材を回転させるインデックス駆動ユニット、粘着液が硬化された粘着ゲルが除去される粘着ゲル除去部材、粘着ゲルが除去されたパーティクル除去ティップをインデックス部材の安着ホールに安着させるスイングアームユニット、を含むことを特徴とする。【選択図】図３
2019220667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の素子が配列された素子トレイを作業位置に移送するトレイ移送ユニット、
多数のパーティクル除去ティップが配列されたティップトレイが置かれるトレイ安着台、
粘着液を塗布する粘着液供給ユニット、
架上の円状に一定の間隔をおいて多数の安着ホールが具備され、中心軸を基準に回転するインデックス部材、
前記トレイ安着台に置かれたティップトレイのパーティクル除去ティップをピックアップして回転させ、前記粘着液供給ユニットからパーティクル除去ティップに粘着液が塗布された後、回転させて前記インデックス部材の安着ホールに安着させるフリップユニット、
前記インデックス部材の安着ホールに安着されたパーティクル除去ティップをピックアップ位置に移動させながら、前記パーティクル除去ティップの粘着液が硬化されるようにインデックス部材を回転させるインデックス駆動ユニット、
前記パーティクル除去ティップの粘着液が硬化された粘着ゲルが除去される粘着ゲル除去部材、
前記インデックス部材のパーティクル除去ティップをピックアップ位置でピックアップして移動し、パーティクル除去ティップの粘着ゲルで作業位置に位置する素子トレイの素子に付着したパーティクルを除去し、パーティクル除去ティップのパーティクルを除去した粘着ゲルを、前記粘着ゲル除去ユニットで除去し、粘着ゲルが除去されたパーティクル除去ティップを前記インデックス部材の安着ホールに安着させるスイングアームユニット、を含むことを特徴とするインデックス型パーティクル除去装置。
【請求項２】
前記作業位置の一方の側に、作業位置に位置するトレイ移送ユニットの素子トレイを回収するトレイ回収ユニットが備えられることを特徴とする請求項１に記載のインデックス型パーティクル除去装置。
【請求項３】
前記フリップユニットは、前記パーティクル除去ティップをピックアップし、１８０度回転させてパーティクル除去ティップの一方の端に粘着液がドッティングされ、続いて前記パーティクル除去ティップを１８０度回転させて、前記インデックス部材の安着ホールに安着させることを特徴とする請求項１に記載のインデックス型パーティクル除去装置。
【請求項４】
前記粘着ゲル除去部材は、上面が平面のブロックと、前記ブロックの上面に備えられた粘着層を含むことを特徴とする請求項１に記載のインデックス型パーティクル除去装置。
【請求項５】
前記スイングアームユニットは、上下に動く本体と、前記本体に水平方向に回転可能に結合されるスイングアームと、前記スイングアームを水平方向に往復回転させるスイングアーム駆動ユニットと、前記スイングアームの一方の端部に備えられ、前記パーティクル除去ティップを吸着するティップ吸着ユニットとを含むことを特徴とする請求項１に記載のインデックス型パーティクル除去装置。
【請求項６】
ティップ本体、
前記ティップ本体の一方の端部に結合されて粘着液がドッティングされる溶液接触キャップ、を含み、
前記ティップ本体は
設定された長さと断面積を有する胴体部と、前記胴体部の一方の側面に延長形成され、前記胴体部の断面積よりも小さい断面積を有する丸棒状の丸棒部と、前記胴体部の他方の側面に延長形成される段差結合部とを含み、
前記溶液接触キャップは、設定された長さを有する丸棒状の胴筒部と、前記胴筒部の一方の端に円錐状に延長形成され、円錐の先部分が切断されて端面を有する形状のティップ部と、前記胴筒部の他方の端面に設定された深さで形成され、前記段差結合部が挿入される結合ホールとを含み、
前記ティップ本体はステンレス材質を含み、前記溶液接触キャップはシリコン材質を含むことを特徴とするパーティクル除去ティップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パーティクル除去ティップ及びそれを用いたインデックス型パーティクル除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路、メモリセルなどの半導体デバイスは、一連のウェハにパターニング、エッチングなどの半導体製造工程が施工されて製作される。一方、カメラモジュールに装着される素子は、金属基板上に製作される。このようなウェハや基板から半導体デバイスや素子を製造する工程の中でウェハのデバイスや基板の素子にパーティクルが付着した場合、デバイスや素子に不良が発生する。
【０００３】
特許文献１には、接着剤が下面に塗布されたプレスジグと、そのプレスジグを上下に動かす移送ユニットを含み、プレスジグは移送ユニットに連結されるメインボディと、そのメインボディに着脱可能に結合され、下面に接着剤が塗布された加圧ブロックから構成された半導体チップのパーティクル除去装置が開示されている。特許文献１の発明は、移送ユニットの作動によりプレスジグが上下に動きながらプレスジグの下面に塗布された接着剤がウェハのチップに付着したパーティクルを除去する。しかし、特許文献１記載の発明には、プレスジグの下面に塗布された接着剤によってパーティクルを除去する仕組みなので、広い同一面積上に位置するチップのパーティクルを除去することは容易であるが、チップの平面が均一でない場合、チップに付着したパーティクルを除去することは容易ではないという欠点があり、また、プレスジグの下面に塗布された接着剤にパーティクルが十分に付着すると、その加圧ブロックを切断されたボディから分離して、接着剤が塗布された新しい加圧ブロックを切断されたボディに装着して使用するため、部品の損失が発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】大韓民国登録特許公報第１０−１２７００２６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記の欠点を改善するためになされたものであってその目的とするところは、素子（チップ）に付着したパーティクルを効率的に除去するだけでなく、部品の損失を最小限にするパーティクル除去ティップ及びそれを用いたインデックス型パーティクル除去装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的とするところは、構成が簡単で作業効率を向上させるパーティクル除去ティップ及びそれを用いたインデックス型パーティクル除去装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するためになされた本発明のインデックス型パーティクル除去装置は、多数の素子が配列された素子トレイを作業位置に移送するトレイ移送ユニット、多数のパーティクル除去ティップが配列されたティップトレイが置かれるトレイ安着台、粘着液を塗布する粘着液供給ユニット、架上の円状に一定の間隔をおいて多数の安着ホールが具備され、中心軸を基準に回転するインデックス部材、トレイ安着台に置かれたティップトレイのパーティクル除去ティップをピックアップして回転させ、粘着液供給ユニットからパーティクル除去ティップに粘着液が塗布された後、回転させてインデックス部材の安着ホールに安着させるフリップユニット、インデックス部材の安着ホールに安着されたパーティクル除去ティップをピックアップ位置に移動させながら、パーティクル除去ティップの粘着液が硬化されるようにインデックス部材を回転させるインデックス駆動ユニット、パーティクル除去ティップの粘着液が硬化された粘着ゲルが除去される粘着ゲル除去部材、インデックス部材のパーティクル除去ティップをピックアップ位置でピックアップして移動し、パーティクル除去ティップの粘着ゲルで作業位置に位置する素子トレイの素子に付着したパーティクルを除去し、パーティクル除去ティップのパーティクルを除去した粘着ゲルを、粘着ゲル除去ユニットで除去し、粘着ゲルが除去されたパーティクル除去ティップをインデックス部材の安着ホールに安着させるスイングアームユニット、を含むことを特徴とする。
【０００７】
また、上記の目的を達成するためになされた本発明のパーティクル除去ティップは、ティップ本体、ティップ本体の一方の端部に結合されて粘着液がドッティングされる溶液接触キャップ、を含み、ティップ本体は、設定された長さと断面積を有する胴体部と、胴体部の一方の側面に延長形成され、胴体の断面積よりも小さい断面積を有する丸棒状の丸棒部と、胴体部の他方の側面に延長形成される段差結合部とを含み、溶液接触キャップは、設定された長さを有する丸棒状の胴筒部と、胴筒部の一方の端に円錐状に延長形成され、円錐の先部分が切断されて端面を有する形状のティップ部と、胴筒部の他方の端面に設定された深さで形成され、段差結合部が挿入される結合ホールとを含み、ティップ本体はステンレス材質を含み、溶液接触キャップはシリコン材質を含むことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例を示す平面図である。
【図２】本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例に適用されるティップトレイを示す平面図である。
【図３】本発明に係るパーティクル除去ティップの一実施例を示す正面図である。
【図４】本発明に係るパーティクル除去ティップの一実施例がティップトレイに安着された状態を示す正面図である。
【図５】本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例を構成する粘着ゲル供給ユニット及びフリップユニットの一部を示す正面図である。
【図６】本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例を構成するインデックス部材を示す平面図である。
【図７】本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例を構成するスイングアームユニットを示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明に係るパーティクル除去ティップ及びそれを用いたインデックス型パーティクル除去装置の実施例を添付図面を基に説明する。
図１は、本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例を示す平面図である。
図１に示したとおり、本発明に係るパーティクル除去ティップを用いたインデックス型パーティクル除去装置は、トレイ移送ユニット１００、トレイ安着台２００、粘着液供給ユニット３００、インデックス部材４００、フリップユニット５００、インデックス駆動ユニット６００、粘着ゲル除去部材７００、スイングアームユニット８００を含む。
【００１０】
トレイ移送ユニット１００は、多数の素子が配列された素子トレイ１０を作業位置Ｐに移送させる。素子トレイ１０の一例として、素子トレイ１０は、厚さが均一な四角形板状で上面に正方行列で多数のポケット１１が形成され、素子トレイ１０のポケット１１に素子が配置される。トレイ移送ユニット１００の一例として、トレイ移送ユニット１００は、ガイドレール１１０と、そのガイドレール１１０に沿って水平方向に動く垂直ガイド部材１２０と、その垂直ガイド部材１２０を動かす第１駆動ユニット１３０と、垂直ガイド部材１２０に沿って垂直方向（ガイドレールの垂直方向）に動き、素子トレイ１０を吸着するトレイ吸着ユニット１４０を含む。垂直ガイド部材１２０がガイドレール１１０に沿って水平方向に動き、その垂直ガイド部材１２０に沿ってトレイ吸着ユニット１４０が垂直方向に動きながら、トレイ吸着ユニット１４０は、Ｘ、Ｙ軸方向に動く。トレイ移送ユニット１００の一方に、トレイ移送ユニット１００に素子トレイ１０を供給するトレイ供給ユニット１５０が備えられる。
【００１１】
トレイ移送ユニット１００とトレイ供給ユニット１５０は、それぞれ２つであることが好ましい。２つのトレイ移送ユニット１００は、互いに間隔を置いて並んで位置することがよい。トレイ移送ユニット１００とトレイ供給ユニット１５０が２つある場合、交互に作業位置Ｐに素子トレイ１０を位置させるようになって作業効率を高めることができる。
作業位置Ｐの一方の側に、作業位置Ｐに位置するトレイ移送ユニット１００の素子トレイ１０を回収するトレイ回収ユニット９００が備えられる。
トレイ安着台２００は、多数のパーティクル除去ティップＴが配列されたティップトレイ２０が置かれる。ティップトレイ２０の一例として、図２に示したとおり、ティップトレイ２０は、厚さが均一な四角形板状に上面に正方行列で多数のポケット２１が形成される。
【００１２】
パーティクル除去ティップの一例として、図３に示したとおり、パーティクル除去ティップＴは、ティップ本体３０と、そのティップ本体３０の一方の端部に結合されて粘着液がドッティングされる溶液接触キャップ４０を含む。ティップ本体３０は、設定された長さと断面積を有する胴体部３１と、その胴体部３１の一方の側面に延長形成され、胴体部３１の断面積よりも小さい断面積を有する丸棒状の丸棒部３２と、胴体部３１の他方の側面に延長形成される段差結合部３３とを含む。  胴体部３１は、断面が円形の丸棒状で形成されることが好ましい。丸棒部３２の端部は、面取りされることが好ましい。段差結合部３３は、丸棒部３２の外径よりも小さい外径を有する丸棒状の両側にディカットされたカット溝３４が備えられる。
【００１３】
溶液接触キャップ４０は、設定された長さを有する丸棒状の胴筒部４１と、その胴筒部４１の一方の端に円錐状に延長形成され、円錐の先部分が切断された端面４２を有する形状のティップ部４３と、胴筒部４１の内部には設定された深さで形成され、段差結合部３３が挿入される結合ホール４４とを有する。胴筒部４１の外径は、ティップ本体３０の胴体部３１の外径よりも小さい。溶液接触キャップ４０のティップ部の端面４２に粘着液がドッティングされる。
ティップ本体３０はステンレス材質を含み、溶液接触キャップ４０はシリコン材質を含むことが好ましい。
【００１４】
溶液接触キャップ４０の胴筒部４１の外径は、ティップトレイ２０のポケット２１の内径よりも小さく、ティップ本体３０の胴体部３１の外径は、ティップトレイ２０のポケット内径より大きい。ティップトレイ２０のポケット２１にパーティクル除去ティップＴが配置される。図４に示したとおり、パーティクル除去ティップＴがティップトレイ２０のポケット２１に配置される時、溶液接触キャップ４０がポケット２１に挿入されて溶液接触キャップ４０が下方に向かってティップ本体３０が上方に向くように配置される。
【００１５】
粘着液供給ユニット３００は、パーティクル除去ティップＴに粘着液を塗布する。粘着液供給ユニット３００の一例として、図５に示したとおり、粘着液供給ユニット３００は、ヘッドユニット３１０と、そのヘッドユニット３１０に装着され、内部に粘着液が満たされたシリンジ３２０と、そのシリンジ３２０の端部に備えられて粘着液が塗布されるノズル３３０を含む。ヘッドユニット３１０は、トレイ安着台２００の上側に位置することができる。
【００１６】
インデックス部材４００は、架上の円状に一定の間隔をおいて多数の安着ホールＨが設けられ、中心軸を基準に回転する。インデックス部材４００は、トレイ安着台２００の横に位置することが好ましい。インデックス部材４００の一例として、図５に示したとおり、インデックス部材４００は、均一な厚さを有する円板部４１０と、その円板部４１０の枠側に備えられる多数の安着ホールＨと、円板部４１０の一面の中央部分付近に備えられる連結部４２０を含む。安着ホールＨは、円板部４１０を貫通するように形成され、安着ホールＨの内径は、パーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０の胴筒部４１の外径よりも大きく、ティップ本体３０の胴体部３１の外径よりも小さい。
【００１７】
フリップユニット５００は、トレイ安着台２００に置かれたティップトレイ２０のパーティクル除去ティップＴをピックアップして回転させ、粘着液供給ユニット３００からパーティクル除去ティップＴに粘着液が塗布された後、回転させてインデックス部材４００の安着ホールＨに安着させる。フリップユニット５００は、粘着液供給ユニット３００のシリンジ３２０とティップトレイ２０との間に動きが可能なように位置することが好ましい。
フリップユニット５００は、パーティクル除去ティップＴをピックアップし、１８０度回転させてパーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップの端面４２に粘着液がドッティングされ、続いてパーティクル除去ティップＴを１８０度回転させて、インデックス部材４００の安着ホールＨに安着させる。
【００１８】
フリップユニット５００の一例として、図５に示したとおり、フリップユニット５００は、水平方向と垂直方向に動くフリップヘッド５１０と、そのフリップヘッド５１０の一側に回転可能に結合され、端部に吸着部５２１が備えられたフリップバー５２０と、そのフリップバー５２０を回転させるバー回転ユニット５３０を備える。フリップバーの吸着部５２１が下に位置するようにフリップバー５２０が垂直方向に位置する状態で、フリップヘッド５１０がフリップバー５２０をティップトレイ２０の上側に移動させ、続いてフリップバー５２０を下降させて吸着部５２１がティップトレイ２０に配列されたパーティクル除去ティップＴのティップ本体３０の丸棒部３２を吸着し、続いてバー回転ユニット５３０がフリップバー５２０を１８０度回転させることによってパーティクル除去ティップＴを１８０度回転させてパーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０を上側に位置させる。
【００１９】
続いてパーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０のティップ部の端面４２に粘着液供給ユニット３００のシリンジ３２０から粘着液がドッティングされ、バー回転ユニット５３０がフリップバー５２０を１８０度回転させることによってパーティクル除去ティップＴを１８０度回転させてパーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０にドッティングされた粘着液を下側に位置させ、続いてフリップヘッド５１０が動いて粘着液がドッティングされたパーティクル除去ティップＴをインデックス部材４００の安着ホールＨに安着させる。
【００２０】
図６は、本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例を構成するインデックス部材を示す平面図である。図６に示したとおり、インデックス駆動ユニット６００は、インデックス部材４００の下面中心部に連結され、インデックス部材４００を回転させる。インデックス駆動ユニット６００が、インデックス部材４００を回転させることによって、インデックス部材４００の安着ホールＨに安着されたパーティクル除去ティップＴをピックアップ位置に移動させ、そのパーティクル除去ティップＴがピックアップの位置に移動する間、パーティクル除去ティップＴの粘着液が硬化される。
【００２１】
粘着ゲル除去部材７００は、パーティクル除去ティップＴの粘着液が硬化された粘着ゲルを除去する。粘着ゲル除去部材７００は、インデックス部材４００の横に位置することが好ましい。粘着ゲル除去部材７００の一例として、粘着ゲル除去部材７００は、上面が平面のブロックと、そのブロックの上面に備えられた粘着層を含む。粘着層は、粘着層が形成されたテープがブロックの上面に備えられてもよく、また、接着層が、ブロックの上面に層をなして形成されてもよい。
【００２２】
スイングアームユニット８００は、インデックス部材４００のピックアップ位置に位置するパーティクル除去ティップＴをピックアップして移動し、パーティクル除去ティップＴの粘着ゲルでトレイ移送ユニット１００に置かれた素子トレイ１０の素子に付着したパーティクルを除去し、パーティクル除去ティップＴのパーティクルを除去した粘着ゲルを、粘着ゲル除去部材７００で除去し、粘着ゲルが除去されたパーティクル除去ティップＴをインデックス部材４００の安着ホールＨに安着させる。スイングアームユニット８００は、トレイ移送ユニット１００を横切る支持フレームＦが具備され、その支持フレームＦに設置されることが好ましい。支持フレームＦは、互いに間隔を置いて位置する２つの垂直部材と、その垂直部材の上端を相互に連結する連結部材を含む。
【００２３】
スイングアームユニット８００の一例として、図７に示したとおり、スイングアームユニット８００は、上下に動く本体８１０と、その本体８１０に水平方向に回転可能に結合されるスイングアーム８２０と、そのスイングアーム８２０を水平方向に往復回転させるスイングアーム駆動ユニット８３０と、スイングアーム８２０の端部に備えられ、吸着力を作用させるティップ吸着ユニット８４０とを有する。スイングアーム駆動ユニット８３０の作動によりスイングアーム８２０の一方の端を基準軸にしてスイングアーム８２０が回転（角回転）しながらスイングアーム８２０の他方の端部に備えられたティップ吸着ユニット８４０によりインデックス部材４００に位置するパーティクル除去ティップＴを吸着したり、ティップ吸着ユニット８４０に吸着されたパーティクル除去ティップＴをインデックス部材４００に安着させる。
【００２４】
以下、本発明に係るパーティクル除去ティップ及びそれを用いたインデックス型パーティクル除去装置の作用と効果を説明する。
まず、トレイ安着台２００にパーティクル除去ティップＴが配列されたティップトレイ２０が置かれ、素子が配列された素子トレイ１０がトレイ移送ユニット１００のトレイ吸着ユニット１４０に吸着された状態で、素子トレイ１０の素子を検査してパーティクルが付着した素子の情報が入力される。そして、トレイ移送ユニット１００のトレイ吸着ユニット１４０が作業位置Ｐに移送され、素子トレイ１０が作業位置Ｐに位置することになる。
【００２５】
このような状態で、フリップユニット５００のフリップバー５２０がティップトレイ２０に置かれたパーティクル除去ティップＴをピックアップして回転させる。粘着液供給ユニット３００のシリンジ３２０に満たされた粘着液をパーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０に塗布し、続いてフリップユニット５００のフリップバー５２０が回転して移動し、粘着液がドッティングされたパーティクル除去ティップＴをインデックス部材４００の安着ホールＨに挿入させる。このとき、パーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０が下に位置する状態でパーティクル除去ティップＴが安着ホールＨに挿入されて安着される。
【００２６】
パーティクル除去ティップＴがインデックス部材４００の安着ホールＨに安着されると、インデックス駆動ユニット６００が、インデックス部材４００を設定された角度で回転させる。これと同時に、フリップユニット５００が移動してティップトレイ２０に配列された他のパーティクル除去ティップＴをピックアップして上記の動作で粘着液供給ユニット３００から粘着液を塗布されてインデックス部材４００の安着ホールＨに安着させる。インデックス部材４００の安着ホールＨに粘着液がドッティングされたパーティクル除去ティップＴが安着されると、インデックス駆動ユニット６００が、インデックス部材４００を設定された角度で回転させる。このような動作が繰り返され、ティップトレイ２０に配列されたパーティクル除去ティップＴに粘着液をドッティングしてインデックス部材４００の安着ホールＨに安着させる。
【００２７】
インデックス部材４００が設定された角度で角回転することを繰り返しながら、安着ホールＨに安着されたパーティクル除去ティップＴがピックアップ位置に位置すると、そのピックアップ位置に移動する間、パーティクル除去ティップＴにドッティングされた粘着液が半硬化される。スイングアームユニット８００のスイングアーム８２０がピックアップ位置に位置するパーティクル除去ティップＴをピックアップして回転し、トレイ安着台２００のティップトレイ２０に配列された素子のうちパーティクルが付着した素子に位置し、その素子に付着したパーティクルを粘着ゲルに付けて素子のパーティクルを除去する。続いて、スイングアーム８２０が回転してパーティクル除去ティップＴを粘着ゲル除去部材７００に位置させ、そのパーティクル除去ティップＴのパーティクルが付着した粘着ゲルを粘着ゲル除去部材７００により除去する。このとき、パーティクル除去ティップＴの粘着ゲルを粘着ゲル除去部材７００に粘着させることにより、パーティクルが付着した粘着ゲルをパーティクル除去ティップＴから分離して除去する。
【００２８】
続いて、スイングアーム８２０が回転し、ビジョンを介してパーティクル除去ティップＴに粘着ゲルの残留の有無を確認し、インデックス部材４００の安着ホールＨに挿入して安着させる。そして、インデックス部材４００が設定された角度で回転してピックアップ位置に他のパーティクル除去ティップＴが位置するようになり、スイングアーム８２０が、そのピックアップの位置に位置する他のパーティクル除去ティップＴをピックアップして上記のような動作で素子トレイ１０に配列された素子のうちパーティクルが付着した素子のパーティクルを除去する。
【００２９】
このような動作が繰り返され、スイングアームユニット８００のスイングアーム８２０が、インデックス部材４００のピックアップ位置に安着されたパーティクル除去ティップＴをピックアップして素子トレイ１０に配列された素子のパーティクルを除去する。一方、インデックス部材４００に安着された、粘着ゲルが除去されたパーティクル除去ティップＴは、フリップユニット５００がピックアップしてトレイ安着台２００に安着されたティップトレイ２０の安着ホールＨに安着させ、このときパーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０が下に位置するように安着させる。
【００３０】
本発明のパーティクル除去ティップＴは、ステンレス材質を含むティップ本体３０と、そのティップ本体３０の一方の端部に結合されるシリコン材質の溶液接触キャップ４０を含むので、粘着液が溶液接触キャップ４０によく付着していながら、その粘着液が半硬化した状態で、溶液接触キャップ４０から除去時に溶液接触キャップ４０に半硬化された粘着ゲルが残留しないようにきれいに除去される。これにより、パーティクル除去ティップＴに粘着液を付着させて硬化させパーティクルを除去した後、そのパーティクル除去ティップＴに粘着液を再び付着させて繰り返し使用することが可能になる。
【００３１】
このように、本発明は、パーティクル除去ティップＴに粘着液を付着させ、その粘着液を硬化（乾燥）させてゲル化し、パーティクル除去ティップＴに付着した粘着ゲルを素子に接触させて素子に付着したパーティクルを除去し、パーティクルが付着した粘着ゲルをパーティクル除去ティップＴから除去した後、そのパーティクル除去ティップＴに粘着液を付着させて硬化させ、そのパーティクル除去ティップＴの粘着ゲルで素子に付着されるパーティクルを除去することを繰り返しながら素子にそれぞれ付着されたパーティクルを除去する。これにより、素子に付着したパーティクルを迅速かつ正確に除去し、素子に付着したパーティクルを除去する作業が効率的に行われる。また、パーティクル除去ティップＴに付着した粘着ゲルだけを除去するので、また、本発明のパーティクル除去ティップＴに粘着液がよく付き、その粘着液が硬化した後、ゲル状態で粘着性を維持しながら、パーティクル除去ティップＴからきれいによく除去されるので、パーティクル除去ティップＴを継続的に使用が可能になって部品の損失を最小限に抑えることができる。
【００３２】
また、本発明は、トレイ移送ユニット１００、トレイ安着台２００、粘着液供給ユニット３００、インデックス部材４００、フリップユニット５００、インデックス駆動ユニット６００、粘着ゲル除去部材７００、スイングアームユニット８００を含むことになるので構成が簡単であり、インデックス部材４００を設定された角度で繰り返し角回転させながら安着位置でインデックス部材４００の安着ホールＨに粘着液がドッティングされたパーティクル除去ティップＴを継続的に安着させてインデックス部材４００の安着ホールＨにそれぞれ安着されたパーティクル除去ティップＴをピックアップ位置で順次ピックアップするので、インデックス部材４００が回転する間、パーティクル除去ティップＴにドッティングされた粘着液が硬化して作業効率を高めることができる。
【符号の説明】
【００３３】
１０：素子トレイ
１１：（素子トレイの）ポケット
２０：ティップトレイ  
２１：（ティップトレイの）ポケット
３０：ティップ本体
３１：胴体部
３２：丸棒部
３３：段差結合部
３４：カット溝
４０：溶液接触キャップ
４１：胴筒部
４２：端面
４３：ティップ部
４４：結合ホール
１００：トレイ移送ユニット
１１０：ガイドレール
１２０：垂直ガイド部材
１３０：第１駆動ユニット  
１４０：トレイ吸着ユニット
１５０：トレイ供給ユニット
２００：トレイ安着台
３００：粘着液供給ユニット
３１０：ヘッドユニット
３２０：シリンジ
３３０：ノズル
４００：インデックス部材
４１０：円板部
４２０：連結部
５００：フリップユニット
５１０：フリップヘッド
５２０：フリップバー
５２１：吸着部
５３０：バー回転ユニット
６００：インデックス駆動ユニット
７００：粘着ゲル除去部材
８００：スイングアームユニット
８１０：（スイングアームユニットの）本体
８２０：スイングアーム
８３０：スイングアーム駆動ユニット
８４０：ティップ吸着ユニット
９００：トレイ回収ユニット
Ｆ：支持フレーム
Ｈ：安着ホール
Ｐ：作業位置
Ｔ：パーティクル除去ティップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【手続補正書】
【提出日】令和1年11月7日(2019.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の素子が配列された素子トレイを作業位置に移送するトレイ移送ユニット、
多数のパーティクル除去ティップが配列されたティップトレイが置かれるトレイ安着台、
粘着液を塗布する粘着液供給ユニット、
架上の円状に一定の間隔をおいて多数の安着ホールが具備され、中心軸を基準に回転するインデックス部材、
前記トレイ安着台に置かれた前記ティップトレイの前記パーティクル除去ティップをピックアップして回転させ、前記粘着液供給ユニットから前記パーティクル除去ティップに前記粘着液が塗布された後、回転させて前記インデックス部材の前記安着ホールに安着させるフリップユニット、
前記インデックス部材の前記安着ホールに安着された前記パーティクル除去ティップをピックアップ位置に移動させながら、前記パーティクル除去ティップの前記粘着液が硬化されるように前記インデックス部材を回転させるインデックス駆動ユニット、
前記パーティクル除去ティップの前記粘着液が硬化された粘着ゲルが除去される粘着ゲル除去部材、
前記インデックス部材の前記パーティクル除去ティップを前記ピックアップ位置でピックアップして移動し、前記パーティクル除去ティップの前記粘着ゲルで前記作業位置に位置する前記素子トレイの素子に付着したパーティクルを除去し、前記パーティクル除去ティップの前記パーティクルを除去した粘着ゲルを、前記粘着ゲル除去部材で除去し、粘着ゲルが除去された前記パーティクル除去ティップを前記インデックス部材の前記安着ホールに安着させるスイングアームユニット、を含むことを特徴とするインデックス型パーティクル除去装置。
【請求項２】
前記作業位置の一方の側に、前記作業位置に位置する前記トレイ移送ユニットの前記素子トレイを回収するトレイ回収ユニットが備えられることを特徴とする請求項１に記載のインデックス型パーティクル除去装置。
【請求項３】
前記フリップユニットは、前記パーティクル除去ティップをピックアップし、１８０度回転させて前記パーティクル除去ティップの一方の端に前記粘着液がドッティングされ、続いて前記パーティクル除去ティップを１８０度回転させて、前記インデックス部材の前記安着ホールに安着させることを特徴とする請求項１に記載のインデックス型パーティクル除去装置。
【請求項４】
前記粘着ゲル除去部材は、上面が平面のブロックと、前記ブロックの上面に備えられた粘着層を含むことを特徴とする請求項１に記載のインデックス型パーティクル除去装置。
【請求項５】
前記スイングアームユニットは、上下に動く本体と、前記本体に水平方向に回転可能に結合されるスイングアームと、前記スイングアームを水平方向に往復回転させるスイングアーム駆動ユニットと、前記スイングアームの一方の端部に備えられ、前記パーティクル除去ティップを吸着するティップ吸着ユニットとを含むことを特徴とする請求項１に記載のインデックス型パーティクル除去装置。
【請求項６】
ティップ本体、
前記ティップ本体の一方の端部に結合されて粘着液がドッティングされる溶液接触キャップ、を含み、
前記ティップ本体は
設定された長さと断面積を有する胴体部と、前記胴体部の一方の側面に延長形成され、前記胴体部の断面積よりも小さい断面積を有する丸棒状の丸棒部と、前記胴体部の他方の側面に延長形成される段差結合部とを含み、
前記溶液接触キャップは、設定された長さを有する丸棒状の胴筒部と、前記胴筒部の一方の端に円錐状に延長形成され、円錐の先部分が切断されて端面を有する形状のティップ部と、前記胴筒部の他方の端面に設定された深さで形成され、前記段差結合部が挿入される結合ホールとを含み、
前記ティップ本体はステンレス材質を含み、前記溶液接触キャップはシリコン材質を含むことを特徴とするパーティクル除去ティップ。