(57)【要約】【課題】加工対象物に求められる最終形状などに左右されることなく、スクライブラインが形成され、分断加工が必要な加工対象物に対して確実に分断力を作用させることができる。【解決手段】ワークＷが上面に載置されるテーブル本体１０と、テーブル本体１０に設けられ、テーブル本体１０の上面に載置されるワークＷを、その下面側から吸着する吸着ユニット２０と、テーブル本体１０に設けられ、テーブル本体１０の上面に載置されるワークＷを、その下面側から浮上させる浮上ユニット３０とを備えるテーブル装置１を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工対象物を支持するテーブル装置であって、
前記加工対象物が上面に載置されるテーブル本体と、
前記テーブル本体に設けられ、該テーブル本体の上面に載置される前記加工対象物を、その下面側から吸着する吸着ユニットと、
前記テーブル本体に設けられ、該テーブル本体の上面に載置される前記加工対象物を、その下面側から浮上させる浮上ユニットとを備えるテーブル装置。
【請求項２】
前記テーブル本体は、その上面中央に吸気孔を備え、
前記吸着ユニットは、前記吸気孔に設けられ、前記加工対象物に当接されると共に、その内部に第一通路が形成される吸着部材と、
前記吸着部材に接続される排気ユニットとを備える、請求項１に記載のテーブル装置。
【請求項３】
前記テーブル本体は、その上表面に複数にブロック分けされた格子戸状の連通溝を備え、
前記浮上ユニットは、それぞれの前記連通溝に接続される第１給気ラインを備え、
前記テーブル装置は、更に
それぞれの前記第１給気ラインに接続される流体供給ユニットと、
前記第１給気ラインへの流体供給を制御する制御ユニットとを備える、請求項１に記載のテーブル装置。
【請求項４】
前記テーブル本体は、その上表面に丸穴を備え、
前記浮上ユニットは、前記丸穴の底面から下方に延びる細孔と、
前記丸穴に装填される加工対象物支持部材と、
前記丸穴に嵌入されると共に、前記加工対象物支持部材の少なくとも一部を露出させる開口を有する蓋部材と、
前記細孔の下端と接続される第２給気ラインとを備え、
前記テーブル装置は、更に
前記第２給気ラインに接続される流体供給ユニットと、
前記第２給気ラインへの流体供給を制御する制御ユニットとを備える、請求項１に記載のテーブル装置。
【請求項５】
前記テーブル本体は、その上表面に複数にブロック分けされた格子戸状の連通溝と、丸穴とを備え、
前記浮上ユニットは、それぞれの前記連通溝に接続される第１給気ラインと、
前記丸穴の底面から下方に延びる細孔と、
前記丸穴に装填される加工対象物支持部材と、
前記丸穴に嵌入されると共に、前記加工対象物支持部材の少なくとも一部を露出させる開口を有する蓋部材と、
前記細孔の下端と接続される第２給気ラインとを備え、
前記テーブル装置は、更に
それぞれの前記第１給気ライン及び前記第２給気ラインに接続される流体供給ユニットと、
それぞれの前記第１給気ライン及び前記第２給気ラインへの流体供給を制御する制御ユニットとを備える、請求項１に記載のテーブル装置。
【請求項６】
前記丸穴は、前記テーブル本体の上表面に放射状に複数設けられ、
前記浮上ユニットは、複数の前記丸穴の底面から下方に延びる細孔と、
それぞれの前記丸穴に装填される加工対象物支持部材と、
それぞれの前記丸穴に嵌入されると共に、前記加工対象物支持部材の少なくとも一部を露出させる開口を有する蓋部材と、
それぞれの前記細孔の下端と接続される第２給気ラインとを備える、請求項４に記載のテーブル装置。
【請求項７】
前記テーブル本体は、その上表面に放射状に延びる長溝を備え、
前記浮上ユニットは、前記長溝の底面から下方に延びる複数の細孔と、
それぞれの前記細孔に載置される加工対象物支持部材と、
前記長溝に嵌入される蓋部材と、
前記細孔の下端と接続される第２給気ラインとを備え、
前記蓋部材は、それぞれの前記細孔と対向する位置に、前記加工対象物支持部材を摺動自在に支持する貫通孔を備えると共に、それぞれの貫通孔の上端開口は下端開口よりも狭小に設けられ、
前記テーブル装置は、更に
前記第２給気ラインに接続される流体供給ユニットと、
前記第２給気ラインへの流体供給を制御する制御ユニットとを備える、請求項１に記載のテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工対象物（以下、ワークと呼ぶ）を加工する際、そのワークを支持するテーブル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学的に透明な基板、例えば大型のガラス基板や、ＬＣＤやＯＬＥＤ等のディスプレイモジュールの切断は、機械的に切削されることが多い。例えば、ダイヤモンドカッター等のダイシングソーを用いることで、ガラス基板から複数枚のガラス基板片が多面取りされる。
一方、光学的に透明な基板の切断を、機械的な切削加工ではなく、レーザ光を使って加工する方法がある（特許文献１参照）。具体的には、先ず、ガラス基板に極短パルス幅のレーザ光を照射させることで、ガラス基板にミシン目状のスクライブラインが形成される。その後、このスクライブラインに沿ってガラス基板を分断することで、ガラス基板から複数枚のガラス基板片が多面取りされる。
【０００３】
ガラス基板を分断するには、切断刃を使って剪断する方法と（特許文献２参照）、レーザビームの走査により分断する方法とがある（特許文献３参照）。切断刃を使用する場合、例えば特許文献２によれば、先ず、スクライブラインに沿って、ガラス基板の下面に第一ブレークバー（切断刃）を当接させると共に、ガラス基板の上面に第二ブレークバー（切断刃）を当接させる。そして、ガラス基板に対し第一、第二ブレークバーをさらに接近させると、ガラス基板がスクライブラインに沿って分断させる。
レーザビームを走査させる場合、例えば特許文献３によれば、ガラス基板をテーブルに吸着させた状態で、ガラス基板の表面にスクライブラインを形成し、ガラス基板をテーブルから浮上させた状態で、スクライブラインに沿ってガラス基板を分断する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２６０７４９号公報
【特許文献２】特許第５１８２３３９号公報
【特許文献３】特許第５０７０２９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年の携帯端末や情報端末の普及に伴い、これら端末の各種製品においては、ディスプレイモジュール（以下、加工対象物ともいう）を様々な形状に加工することが求められる。加工対象物の分断には超音波振動子を用いることができる。具体的には、加工対象物をテーブルの載置面から浮上させた状態で超音波振動子の先端を加工対象物に押し当てて振動させ、加工対象物に予め形成しておいたスクライブラインに沿って亀裂を進展させることで加工対象物が分断される。ところで、この分断の際、加工対象物における超音波振動付与部の位置やスクライブラインの形状（加工対象物の目的とする分断後の形状）に依っては、超音波振動子を介して加工対象物にある一定の大きさ以上の力を作用させる必要がある。しかし、加工対象物に作用させる力（加工対象物への超音波振動子の押し付け力）を大きくすると、加工対象物を浮上させた状態を維持できなくなる。すなわち、加工対象物が載置面に押し付けられてしまう。このとき、超音波振動は加工対象物をすり抜けて載置面（テーブル）に作用する。このため、加工対象物に対して確実に分断力を作用させることができなくなってしまう。
【０００６】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、加工対象物に求められる最終形状などに左右されることなく、スクライブラインが形成され、分断加工が必要な加工対象物に対して確実に分断力を作用させることができるテーブル装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るテーブル装置は、加工対象物を支持するテーブル装置であって、
前記加工対象物が上面に載置されるテーブル本体と、
前記テーブル本体に設けられ、該テーブル本体の上面に載置される前記加工対象物を、その下面側から吸着する吸着ユニットと、
前記テーブル本体に設けられ、該テーブル本体の上面に載置される前記加工対象物を、その下面側から浮上させる浮上ユニットとを備えるテーブル装置である。
【０００８】
本発明に係るテーブル装置において、前記テーブル本体は、その上面中央に吸気孔を備え、
前記吸着ユニットは、前記吸気孔に設けられ、前記加工対象物に当接されると共に、その内部に第一通路が形成される吸着部材と、
前記吸着部材に接続される排気ユニットとを備えていてもよい。
【０００９】
本発明に係るテーブル装置において、前記テーブル本体は、その上表面に複数にブロック分けされた格子戸状の連通溝を備え、
前記浮上ユニットは、それぞれの前記連通溝に接続される第１給気ラインを備え、
前記テーブル装置は、更に
それぞれの前記第１給気ラインに接続される流体供給ユニットと、
前記第１給気ラインへの流体供給を制御する制御ユニットとを備えていてもよい。
【００１０】
本発明に係るテーブル装置において、前記テーブル本体は、その上表面に丸穴を備え、
前記浮上ユニットは、前記丸穴の底面から下方に延びる細孔と、
前記丸穴に装填される加工対象物支持部材と、
前記丸穴に嵌入されると共に、前記加工対象物支持部材の少なくとも一部を露出させる開口を有する蓋部材と、
前記細孔の下端と接続される第２給気ラインとを備え、
前記テーブル装置は、更に
前記第２給気ラインに接続される流体供給ユニットと、
前記第２給気ラインへの流体供給を制御する制御ユニットとを備えていてもよい。
【００１１】
本発明に係るテーブル装置において、前記テーブル本体は、その上表面に複数にブロック分けされた格子戸状の連通溝と、丸穴とを備え、
前記浮上ユニットは、それぞれの前記連通溝に接続される第１給気ラインと、
前記丸穴の底面から下方に延びる細孔と、
前記丸穴に装填される加工対象物支持部材と、
前記丸穴に嵌入されると共に、前記加工対象物支持部材の少なくとも一部を露出させる開口を有する蓋部材と、
前記細孔の下端と接続される第２給気ラインとを備え、
前記テーブル装置は、更に
それぞれの前記第１給気ライン及び前記第２給気ラインに接続される流体供給ユニットと、
それぞれの前記第１給気ライン及び前記第２給気ラインへの流体供給を制御する制御ユニットとを備えていてもよい。
【００１２】
本発明に係るテーブル装置において、前記丸穴は、前記テーブル本体の上表面に放射状に複数設けられ、
前記浮上ユニットは、複数の前記丸穴の底面から下方に延びる細孔と、
それぞれの前記丸穴に装填される加工対象物支持部材と、
それぞれの前記丸穴に嵌入されると共に、前記加工対象物支持部材の少なくとも一部を露出させる開口を有する蓋部材と、
それぞれの前記細孔の下端と接続される第２給気ラインとを備えていてもよい。
【００１３】
本発明に係るテーブル装置において、前記テーブル本体は、その上表面に放射状に延びる長溝を備え、
前記浮上ユニットは、前記長溝の底面から下方に延びる複数の細孔と、
それぞれの前記細孔に載置される加工対象物支持部材と、
前記長溝に嵌入される蓋部材と、
前記細孔の下端と接続される第２給気ラインとを備え、
前記蓋部材は、それぞれの前記細孔と対向する位置に、前記加工対象物支持部材を摺動自在に支持する貫通孔を備えると共に、それぞれの貫通孔の上端開口は下端開口よりも狭小に設けられ、
前記テーブル装置は、更に
前記第２給気ラインに接続される流体供給ユニットと、
前記第２給気ラインへの流体供給を制御する制御ユニットとを備えていてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、加工対象物に求められる最終形状などに左右されることなく、スクライブラインが形成され、分断加工が必要な加工対象物に対して確実に分断力を作用させることができるテーブル装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係るテーブル装置１（第一の実施形態）を示す平面図である。
【図２】図１のII方向矢視断面図である。
【図３】テーブル装置１の浮上ユニットの一部分の構造を示す分解斜視図である。
【図４】テーブル装置１の浮上ユニットの別の部分の構造を示す分解斜視図である。
【図５】テーブル装置１のエアプランジャの構造を示す断面図である。
【図６】テーブル装置１を使用してワークＷの一部を分断する工程を示す模式図である。
【図７】本発明の第二の実施形態に係るテーブル装置１を示す平面図である。
【図８】第二の実施形態に係るテーブル装置１におけるエアプランジャの構造を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
（第一の実施形態）
本発明に係るテーブル装置の実施形態について以下に説明する。
図１から図６に示すように、本発明に係る第一の実施形態としてのテーブル装置１は、処理すべきワーク（光学的に透明な基板、例えば大型のガラス基板や、ＬＣＤやＯＬＥＤ等のディスプレイモジュール）Ｗが上面に載置されるテーブル本体１０と、テーブル本体１０に設けられ、テーブル本体１０の上面に載置されるワークＷを、その下面側から吸着する吸着ユニット２０と、テーブル本体１０に設けられ、テーブル本体１０の上面に載置されるワークＷをその下面側から浮上させる浮上ユニット３０と、浮上ユニット３０に流体を供給する流体供給ユニット４０と、吸着ユニット２０及び流体供給ユニット４０を制御する制御ユニット５０とを有している。
【００１７】
図１に示すように、テーブル本体１０は、その上面中央に吸気孔１１ａ〜１１ｄを有している。各吸気孔１１ａ〜１１ｄは、テーブル本体１０の上面側の大径部１１１と、該大径部１１１と段差部を介して連続する下面側の小径部１１２とを有している。小径部１１２の周面には雌ねじが形成される。吸着ユニット２０は、吸気孔１１ａ〜１１ｄのそれぞれに設けられ、テーブル本体１０上に載置されたワークＷの下面に当接される吸着部材２１〜２４と、これら吸着部材２１〜２４に接続される排気ユニット２５とを有している。吸着部材２１〜２４はそれぞれ、円筒状の基端部２１ａと、基端部２１ａに一体成形されたジャバラ状の弾性変形可能な伸縮部２１ｂと、伸縮部２１ｂの先端にあってワークＷの下面に接する吸着部２１ｃとを含み、内部には吸気路（第一通路）２１ｅが形成されている。また、基端部２１ａの下側には、円筒状のねじ込み部２１ｄが設けられている。ねじ込み部２１ｄの周面には雄ねじが形成されている。ねじ込み部２１ｄを小径部１１２に螺合させるとともに、基端部２１ａとねじ込み部２１ｄの段差部とを各吸気孔１１ａ〜１１ｄの段差部に着座させることで、吸着部材２１〜２４が吸気孔１１ａ〜１１ｄに取り付けられる。これにより、各吸着部材２１〜２４の吸気路２１ｅと吸気孔１１ａ〜１１ｄとが連通される。
【００１８】
排気ユニット２５は、テーブル本体１０の内部に形成され、吸気孔１１ａ〜１１ｄに連通する排気ライン２６と、排気ライン２６に接続され、排気ライン２６を通じて吸着部材２１〜２４の内部気体を排出する吸気装置２７とを有している。制御ユニット５０は、吸気装置２７における吸引のＯＮ／ＯＦＦと、そのタイミングを制御し、これにより、吸着部材２１〜２４にてワークＷが吸着／吸着解除される。
【００１９】
テーブル本体１０の上表面には、内側、中央、および外側の三つのブロックに区分けされた格子戸状の連通溝１２〜１４と、複数の長溝１５ａ〜１５ｆとが形成されている。複数の長溝１５ａ〜１５ｆは、吸着部材２１〜２４が配置されるテーブル本体１０の中央から周縁部に向かって放射状に設けられる。長溝１５ａ〜１５ｄは全体としてＸ字状のレイアウトで設けられ、各長溝１５ａ〜１５ｄには、長溝１５ａ〜１５ｄの形状に合致する蓋部材１６ａ〜１６ｄがそれぞれ嵌入される。また、複数の長溝１５ｅ、１５ｆは、テーブル本体１０における一対の短辺側に設けられ、直線状に（図１中では全体としてＩ字状のレイアウトで）設けられ、各長溝１５ｅ、１５ｆには、長溝１５ｅ、１５ｆの形状に合致する蓋部材１６ｅ、１６ｆがそれぞれ嵌入される。蓋部材１６ａ〜１６ｄおよび蓋部材１６ｅ、１６ｆは、いずれもネジ１７を介してテーブル本体１０に固定されている。蓋部材１６ａ〜１６ｆの厚さは長溝１５ａ〜１５ｆの深さにほぼ等しく、よってテーブル本体１０の上表面は凹凸なくフラットに形成される。
蓋部材１６ａ〜１６ｄは蓋部材１６ｅ、１６ｆよりも長く形成される。蓋部材１６ａ〜１６ｄには、その長手方向に沿って等間隔に五つの貫通孔１８ａ〜１８ｅが形成されている。また、蓋部材１６ｅ、１６ｆには、その長手方向に沿って離間して二つの貫通孔１８ｆ、１８ｇが形成されている。
【００２０】
また、図１から図４に示すように、テーブル本体１０には、三つにブロック分けされた連通溝１２（又は１３、１４）の底面から下方に延びる複数の細孔１９ａ〜１９ｃ（図１参照）と、長溝１５ａ（又は１５ｂ〜１５ｆ）の底面から下方に延びる複数の細孔１９ｄ〜１９ｊ（図２〜図４参照）が形成されている。このうち、図２、図３に示す細孔１９ｄ〜１９ｈは、蓋部材１６ａ（又は１６ｂ〜１６ｄ）に形成された貫通孔１８ａ〜１８ｅとそれぞれ対をなすように形成されている。さらに、図４に示す細孔１９ｉ、１９ｊは、蓋部材１６ｅ、１６ｆに形成された貫通孔１８ｆ、１８ｇとそれぞれ対をなすように形成されている。長溝１５ａ(又は１５ｂ〜１５ｄ)に蓋部材１６ａ（又は１６ｂ〜１６ｄ）を嵌入することで、貫通孔１８ａ〜１８ｅと細孔１９ｄ〜１９ｈとが連通される。また、長溝１５ｅ(又は１５ｆ)に蓋部材１６ｅ（又は１６ｆ）を嵌入することで、貫通孔１８ｆ、１８ｇと細孔１９ｉ〜１９ｊとが連通される。
【００２１】
図５に示すように、蓋部材１６ａ（又は１６ｂ〜１６ｆ）に形成された貫通孔１８ａ（又は１８ｂ〜１８ｇ）の内部には、貫通孔１８ａ（又は１８ｂ〜１８ｇ）の内径よりも直径の小さなアルミニウム、ステンレス鋼等からなる球体（加工対象物支持部材）３３がそれぞれ配置されている。また、テーブル本体１０の上表面に開口する貫通孔１８ａ（又は１８ｂ〜１８ｇ）の上端には、円形の狭窄部１８ｓが形成されている。言い換えると、貫通孔１８ａ（又は１８ｂ〜１８ｇ）の狭窄部１８ｓは、球体３３の飛び出しを防ぐとともにテーブル本体１０の上表面に球体３３の一部を露出させる円形開口である。貫通孔１８ａ（又は１８ｂ〜１８ｇ）における狭窄部１８ｓと孔本体部（貫通孔における狭窄部１８ｓを除く部分）との間には段差部が形成される。この段差部に球体３３が引っ掛かることで、球体３３の飛び出しが防止される。球体３３の直径は、貫通孔１８ａ〜１８ｇの内径よりもわずかに小さく、狭窄部１８ｓの内径は、球体３３の直径よりもわずかに小さい。一方、長溝１５ａ（又は１５ｂ〜１５ｆ）の底面に開口する細孔１９ａ（又は１９ｂ〜１９ｊ）の上端内径は、球体３３の直径よりも小さい。この細孔１９ａ（又は１９ｂ〜１９ｊ）の上端に球体３３が引っ掛かることで、球体３３の落下が防止される。これにより、球体３３は、貫通孔１８ａ（又は１８ｂ〜１８ｇ）の内部において、長溝１５ａ（又は１５ｂ〜１５ｆ）の底面と狭窄部１８ｓとの間で上下に変位可能に支持されている。細孔１９ａ（又は１９ｂ〜１９ｊ）、蓋部材１６ａ（又は１６ｂ〜１６ｆ）及び球体３３は、エアプランジャを構成する。制御ユニット５０が、細孔１９ａ（又は１９ｂ〜１９ｊ）から貫通孔１８ａ（又は１８ｂ〜１８ｇ）への給気のＯＮ／ＯＦＦと、そのタイミングを制御することにより、貫通孔１８ａ（又は１８ｂ〜１８ｇ）の内部で球体３３が上下動される。
【００２２】
浮上ユニット３０は、細孔１９ａ〜１９ｃを通じて連通溝１２〜１４に空気を供給する第１給気ライン３１と、細孔１９ｄ〜１９ｊを通じて球体３３（エアプランジャ）に空気を供給する第２給気ライン３２とを有している。流体供給ユニット４０は、第１給気ライン３１及び第２給気ライン３２に接続され、第１給気ライン３１を通じて細孔１９ａ〜１９ｃに給気すると共に、第２給気ライン３２を通じて細孔１９ｄ〜１９ｊに給気する給気装置４１を有している。制御ユニット５０は、給気装置４１と第１給気ライン３１及び第２給気ライン３２への空気供給のＯＮ又はＯＦＦと、そのタイミングとを制御し、連通溝１２〜１４から空気を吹き出させると共に、図５に示すように、エアプランジャを作動させて球体３３の一部が貫通孔１８ａ（又は１８ｂ〜１８ｇ）の狭窄部１８ｓから突出する。すなわち、球体３３の一部が狭窄部１８ｓを介してテーブル本体１０の上表面から露出される。
【００２３】
吸気装置２７を作動させた状態で、制御ユニット５０が排気ライン２６を介して吸着ユニット２０の排気を行うと、吸着部材２１（又は２２〜２４）の吸着部２１ｃが、テーブル本体１０の上表面に置かれたワークＷの下面に吸着する。
【００２４】
給気装置４１を作動させた状態で、制御ユニット５０が第１給気ライン３１及び細孔１９ａ〜１９ｃを介して給気を行うと、三つにブロック分けされた連通溝１２（又は１３、１４）の底面から空気が吹き出す。また、給気装置４１を作動させた状態で、制御ユニット５０が第２給気ライン３２及び細孔１９ｄ〜１９ｊを介して給気を行うと、エアプランジャに空気が供給され、貫通孔１８ａ〜１８ｇの内部に支持された球体３３が上方に押し上げられる。ただし、貫通孔１８の狭窄部１８ｓは球体３３よりも小径なので、球体３３は、その一部のみが貫通孔１８の狭窄部１８ｓを通じてテーブル本体１０の上表面に突出する。そしてこの突出時、すなわちエアプランジャへのエア供給時、球体３３は上向きに付勢された状態を維持する。
【００２５】
続いて、テーブル装置１によってワークＷを支持した状態で、そのワークＷの一部を分断する工程について説明する。
テーブル装置１は、レーザ処理装置の処理エリアに設けられたＸＹテーブルの走査台を構成し、供給ユニットから搬送されたワークＷは、テーブル本体１０の上表面に載置される。制御ユニット５０は、ワークＷが載置されると同時に排気ライン２６を介して吸着ユニット２０の排気を行う。これにより、吸着部材２１〜２４の吸着部２１ｃがワークＷの下面に吸着し、ワークＷがテーブル本体１０の上表面に接して固定される。
ワークＷがテーブル本体１０に固定されたら、レーザ処理装置のレーザ光照射ユニットからレーザ光を照射すると共に、ＸＹテーブルの走査台、すなわちテーブル装置１を任意の方向に水平移動させる。これにより、ワークＷの表面に任意のスクライブラインが形成される。
【００２６】
スクライブラインが形成された後、図６に示すように、テーブル装置１を超音波振動子５５の下方に移動させる。制御ユニット５０は、超音波振動子５５の先端を、ワークＷの分断する部分、詳細にはスクライブラインよりもワーク外側の部分（以下、分断部分という）に対向させた状態で、吸気装置２７による排気を行ったまま、給気装置４１から第１給気ライン３１及び第２給気ライン３２を介して給気を行う。これにより、吸着部材２１〜２４の吸着部２１ｃがワークＷの下面に吸着し、ワークＷがテーブル本体１０の上表面に接して固定される。また、第１給気ライン３１を通じて細孔１９ａ〜１９ｃに空気が供給され、連通溝１２〜１４から空気が吹き出し、ワークＷはテーブル本体１０の上表面から浮上する方向に付勢される。同時に、第２給気ライン３２を通じて細孔１９ｄ〜１９ｊに空気が供給され、貫通孔１８ａ〜１８ｇの内部に支持された球体３３が上方に押し上げられる。これにより、各球体３３は、その一部が狭窄部１８ｓを通じてテーブル本体１０の上表面に突出すると共に上向きに付勢された状態を維持する。
【００２７】
その後、超音波振動子５５の先端を、ワークＷの分断する部分に押し当て、ワークＷに超音波振動を付与する。このとき、超音波振動子５５の先端をワークＷに押し当て、超音波振動を作用させる際の下向きの押し付け力よりも、ワークＷを浮上させるためにワークＷの下面に作用する力のほうが弱い。このため、超音波振動子５５の先端をワークＷに押し当てることで、ワークＷは下方に湾曲して沈み込む。このとき、エアプランジャが作動されることで、球体３３の一部がテーブル本体１０の上表面から突き出し、かつ、常時上向きに付勢された状態となる。これによって、ワークＷの分断する部分は下方に沈み込むものの、スクライブラインよりもワーク内側の下面が球体３３に当接され下方から物理的に支持される。これにより、超音波振動子５５の先端は、ワークＷの分断する部分に対して反力を得る。すなわち、球体３３の支持部を支点、超音波振動子５５の当接部を力点、およびスクライブラインの箇所を作用点として、ワークＷに対して梃子の原理が作用する。その結果、スクライブラインに沿って超音波振動付与による振動エネルギーと剪断力が集中して作用するため、分断部分が、確実に、かつ、安定的にワークＷから分断される。
【００２８】
ガラス基板等のワークＷを、テーブル装置１から浮上させた状態で分断する際、スクライブラインの形状およびガラス基板における位置に依っては、ある大きさ以上の力で超音波振動子５５をガラス基板に押し付ける必要がある。しかしこの場合においても、本実施形態に係るテーブル装置１は、ガラス基板を、エア浮上させるとともに、ガラス基板の下面に球体３３を当接させて下方から物理的に支持している。このため、ある大きさ以上の力で超音波振動子５５をガラス基板に押し付けても、ガラス基板がテーブル本体１０の上表面に直接接触することは無く、常に浮上させた状態を維持できる。これによって、ワークＷに、スクライブラインに沿って分断させる力を、確実に、かつ、安定的に作用させることができる。これにより、ワークＷから分断部分を、確実に、かつ、安定的に分断させることができる。
【００２９】
また、本実施形態に係るテーブル装置１は、サイズの異なるワークＷに対応することが可能である。
小サイズ（例えば、対角長３インチ）のワークＷｓを処理する場合は、吸着部材２１〜２４に囲まれたテーブル本体１０における中央の連通溝１２から吹き出す空気が、テーブル装置１に置かれたワークＷｓの下面全体に吹き付けられ、ワークＷｓを浮上させる。さらに、蓋部材１６ａ〜１６ｄに形成された貫通孔１８ａ〜１８ｅのうち、吸着部材２１〜２４にもっとも近い貫通孔１８ａのみをエアプランジャとして作動させる。これによって、テーブル装置１に置かれたワークＷｓの下面に、貫通孔１８ａの球体３３が当接可能であり、超音波振動子５５の先端をワークＷｓに押し当てたときに、そのワークＷｓを下方から物理的に支持することができる。
【００３０】
中サイズ(例えば、対角長５インチ強)のワークＷｍを処理する場合は、先述の連通溝１２に加えて、吸着部材２１〜２４の周囲に二重に設けられた連通溝１３、１４のうち内側の連通溝１３からも空気が吹き出す。これによって、空気が、テーブル装置１に置かれたワークＷｍの下面全体に吹き付けられ、ワークＷｍを浮上させる。さらに、蓋部材１６ａ〜１６ｄに形成された貫通孔１８ａ〜１８ｅのうち、吸着部材２１〜２４に近い貫通孔１８ａ〜１８ｃをエアプランジャとして作動させる。これによって、テーブル装置１に置かれたワークＷｍの下面に、貫通孔１８ａ〜１８ｃの球体３３が当接可能であり、超音波振動子５５の先端をワークＷｍに押し当てたときに、そのワークＷｍを下方から物理的に支持することができる。
【００３１】
大サイズ(例えば、対角長８インチ)のワークＷｌを処理する場合は、すべての連通溝１２〜１４から吹き出す空気が、テーブル装置１に置かれたワークＷｌの下面全体に吹き付けられ、ワークＷｌを浮上させる。さらに、蓋部材１６ａ〜１６ｄに形成された全ての貫通孔１８ａ〜１８ｅをエアプランジャとして作動させる。これによって、テーブル装置１に置かれたワークＷｌの下面に、貫通孔１８ａ〜１８ｅの球体３３が当接可能であり、超音波振動子５５の先端をワークＷｌに押し当てたときに、そのワークＷｌを下方から物理的に支持することができる。
【００３２】
上記のように、本実施形態のテーブル装置１は、サイズの異なるワークＷに対応することが可能なので、生産ロットごとにワークＷのサイズが異なる場合でも部品の交換や機能追加のためのアタッチメント（付属部品）の設置等行わずにワークＷの加工が可能である。また、一つの生産ロットにサイズの異なるワークＷが含まれている場合、すなわち混流生産であっても、各ワークＷに対応させた加工が可能である。
【００３３】
（第二の実施形態）
本実施形態のテーブル装置１０１は、第一の実施形態のテーブル装置１と同様の構成であり、エアプランジャの部分の構成のみが異なる。以下、エアプランジャの部分の違いのみを詳述し、その他の構成の説明は省略する。
図７に示すように、本実施形態のテーブル装置１０１は、テーブル本体１０の上表面に長溝ではなく、吸着部材２１〜２４が配置されるテーブル本体１０の中央から周縁部に向かって放射状に並ぶ複数の丸穴６１〜６６が形成される。丸穴６１〜６６は、放射状に並ぶ列ごとにグループ分けされ、各グループに含まれる丸穴６１〜６６は、相互に等しく間隔を空けて配置される。このうち、対角線方向に並ぶ四つのグループにはそれぞれ五つの丸穴６１〜６４が含まれており、テーブル本体１０の長さ方向（図７中では長辺に沿った方向方向）に並ぶ二つのグループにはそれぞれ二つの丸穴６５、６６が含まれている。
【００３４】
図８に示すように、丸穴６１（又は６２〜６６）の開口周縁には全周に亘って段差を介して窪み部６７が設けられており、この窪み部６７に円板状の蓋部材６８がそれぞれ嵌入されている。蓋部材６８は、いずれもネジ１７を介してテーブル本体１０に固定されている。蓋部材６８の中央には貫通孔６９が形成されている。蓋部材６８の厚さは窪み部６７の段差の高さにほぼ等しく、よってテーブル本体１０の上表面は凹凸なくフラットに形成される。
【００３５】
テーブル本体１０に複数の細孔１９ｄ〜１９ｊのうち、細孔１９ｄ〜１９ｈは、対角線方向に並ぶ四つのグループに含まれる五つの丸穴６１〜６４とそれぞれ対をなすように形成されている。さらに、細孔１９ｉ、１９ｊは、テーブル本体１０の長さ方向に並ぶ二つのグループに含まれる二つの丸穴６５、６６とそれぞれ対をなすように形成されている。
【００３６】
テーブル本体１０の上表面に形成された丸穴６１（又は６２〜６６）の内部には、第一の実施形態と同様に球体３３がそれぞれ配置されている。蓋部材６８の中央に開口する貫通孔６９の内径は、球体３３の直径よりも小さい。これにより、球体３３は、丸穴６１（又は６２〜６６）の内部において、丸穴６１（又は６２〜６６）の底面と貫通孔６９との間で上下に変位可能に支持されている。丸穴６１〜６６、蓋部材６８及び球体３３は、細孔１９ｄ〜１９ｊから丸穴６１〜６６への給気を制御することにより丸穴６１〜６６の内部で球体３３を上下に変位させるエアプランジャを構成する。
【００３７】
本実施形態においても、テーブル装置１の操作工程は第一の実施形態と同じであり、ワークＷをテーブル本体１０の上表面から適度に浮上させた状態を維持しつつ、ワークＷにスクライブラインに沿って剪断力を作用させ、ワークＷから余剰部分を分断することができる。
【００３８】
ところで、上記第一の実施形態及び第二の実施形態においては、球体３３を含むエアプランジャを、吸着部材２１〜２４が配置されるテーブル本体１０の中央から周縁部に向かう各列に複数設けることにより、サイズの異なるワークＷに対応可能としたが、対応可能なワークＷのサイズを一つに固定したテーブル装置を提供することも可能である。この場合、エアプランジャはテーブル本体１０の中央から周縁部に向かって並ぶことはなく、対応するサイズのワークＷの周縁部に沿って吸着部材２１〜２４を囲むように複数設けられることになる。
また、第二の実施形態においては、任意の丸穴６１（又は６２〜６６）をプランジャとして作動させることができる。例えば、プランジャとして作動させる必要の無い丸穴については、貫通孔６９を形成していない蓋部材６８で完全に丸穴を塞ぐことが可能である。すなわち、ワークＷとして、小サイズおよび中サイズのワークＷｓ、Ｗｍのみを加工し、大サイズのワークＷｌの加工は行わない場合、細孔１９ｇ、１９ｈ、１９ｉ、１９ｊに対応する丸穴６１〜６６は塞いでもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、ガラス基板等のワークを加工する際、そのワークを支持するテーブル装置に関する。本発明によれば、ワークに求められる最終形状などに左右されることなく、スクライブラインが形成され、分断加工が必要なワークに対して確実に分断力を作用させることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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