(57)【要約】【課題】一方の面に所定のエネルギーの付与により接着力が低下する第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に、剥離シートが仮着された第２接着シートを貼付し、当該剥離シートを引っ張って剥離する工程を実施した際、確実に当該剥離シートと第２接着シートとの界面で分離が行われるようにすることができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１０は、一方の面に所定のエネルギーの付与により接着力が低下する第１接着シートＡＳ１が貼付された被着体ＷＦの他方の面に、剥離シートＲＬ１が仮着された第２接着シートＡＳ２を貼付する貼付手段２０と、剥離シートＲＬ１を引っ張って、被着体ＷＦに貼付された第２接着シートＡＳ２から剥離シートＲＬ１を剥離して貼合体ＷＫ１を形成する剥離手段３０と、貼合体ＷＫ１の第１接着シートＡＳ１にエネルギーを付与するエネルギー付与手段４０とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に所定のエネルギーの付与により接着力が低下する第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に、剥離シートが仮着された第２接着シートを貼付する貼付手段と、
前記剥離シートを引っ張って、前記被着体に貼付された前記第２接着シートから前記剥離シートを剥離して貼合体を形成する剥離手段と、
前記貼合体における前記第１接着シートに前記エネルギーを付与するエネルギー付与手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記貼合体における前記第２接着シートとフレーム部材とに第３接着シートを押圧して貼付する一体化手段を備え、
前記エネルギー付与手段は、前記一体化手段で前記第２接着シートと前記フレーム部材とに前記第３接着シートを貼付する前段で、前記貼合体における前記第１接着シートに前記エネルギーを付与することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
一方の面に所定のエネルギーの付与により接着力が低下する第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に、剥離シートが仮着された第２接着シートを貼付する貼付工程と、
前記剥離シートを引っ張って、前記被着体に貼付された前記第２接着シートから前記剥離シートを剥離して貼合体を形成する剥離工程と、
前記貼合体における前記第１接着シートに前記エネルギーを付与するエネルギー付与工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着体に貼付したエネルギー線硬化型の接着シートに所定のエネルギーを付与するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２６７４０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置は、半導体ウエハ（被着体）にエネルギー線硬化型の保護シート（第１接着シート）を貼付した直後に、所定のエネルギーを付与して第１接着シートを硬化させる構成となっている。ここで、このような第１接着シートに用いられる接着剤は、一般的に、硬化することによってその接着力が低下する。このような従来のシート貼付装置で被着体の一方の面に第１接着シートを貼付した後、剥離シートが仮着された第２接着シートを他方の面に貼付し、当該剥離シートを引っ張って剥離する工程を実施すると、当該剥離シートと第２接着シートとの界面で分離が行われず、被着体と第１接着シートとの界面で分離が行われるといった不都合が生じる。
【０００５】
本発明の目的は、一方の面に所定のエネルギーの付与により接着力が低下する第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に、剥離シートが仮着された第２接着シートを貼付し、当該剥離シートを引っ張って剥離する工程を実施した際、確実に当該剥離シートと第２接着シートとの界面で分離が行われるようにすることができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、剥離シートが剥離された貼合体の第１接着シートに所定のエネルギーを付与するので、一方の面に所定のエネルギーの付与により接着力が低下する第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に、剥離シートが仮着された第２接着シートを貼付し、当該剥離シートを引っ張って剥離する工程を実施した際、確実に当該剥離シートと第２接着シートとの界面で分離が行われるようにすることができる。
また、第２接着シートとフレーム部材とに第３接着シートを貼付する前段で、貼合体における第１接着シートにエネルギーを付与する構成とすれば、第１接着シートの接着力が低下した貼合体とフレーム部材とを一体化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１において、シート貼付装置１０は、一方の面に所定のエネルギーとしての紫外線の付与により接着力が低下する第１接着シートＡＳ１が貼付された被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦの他方の面に、剥離シートとしての第１剥離シートＲＬ１が仮着された第２接着シートＡＳ２を貼付する貼付手段２０と、第１剥離シートＲＬ１を引っ張って、ウエハＷＦに貼付された第２接着シートＡＳ２から第１剥離シートＲＬ１を剥離して貼合体ＷＫ１を形成する剥離手段３０と、貼合体ＷＫ１における第１接着シートＡＳ１に紫外線を付与するエネルギー付与手段４０と、貼合体ＷＫ１における第２接着シートＡＳ２とフレーム部材としてのリングフレームＲＦとに第３接着シートＡＳ３を押圧して貼付する一体化手段５０とを備え、ウエハＷＦを支持する支持手段６０の上方に設けられている。
【００１１】
貼付手段２０は、原接着シートＢＳの一方の面に第１剥離シートＲＬ１が仮着され、原接着シートＢＳの他方の面に第２剥離シートＲＬ２が仮着された原反ＲＳ１を支持する支持ローラ２１と、駆動機器としての回動モータ２２Ａによって駆動され、ピンチローラ２２Ｂとで原反ＲＳ１を挟み込む駆動ローラ２２と、原反ＲＳ１に閉ループ状の切込ＣＵを形成し、第２剥離シートＲＬ２および原接着シートＢＳにおける切込ＣＵの内側に、それぞれ所定形状の不要内側剥離シートＲＬＡと第２接着シートＡＳ２とを形成するとともに、第２剥離シートＲＬ２および原接着シートＢＳにおける切込ＣＵの外側に、それぞれ不要外側剥離シートＲＬＢと不要接着シート部分ＡＳＡとを形成する切断手段２３と、原反ＲＳ１を案内するガイドローラ２４と、不要内側剥離シートＲＬＡと不要外側剥離シートＲＬＢとに接着テープや接着剤等の接続部材ＣＭを取付ける図示しない接続部材取付手段と、切込ＣＵが形成された原反ＲＳ１から、不要内側剥離シートＲＬＡ、不要外側剥離シートＲＬＢ、不要接着シート部分ＡＳＡおよび接続部材ＣＭからなる不要原反部分ＲＳＡを剥離縁２５Ａで折り返して剥離する剥離部材としての剥離板２５と、駆動機器としての回動モータ２６Ａによって駆動され、ピンチローラ２６Ｂとで不要原反部分ＲＳＡを挟み込む駆動ローラ２６と、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ２６Ｂとの間に存在する不要原反部分ＲＳＡに常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ２７と、駆動機器としての回動モータ２８Ａによって駆動され、ピンチローラ２８Ｂとで第１剥離シートＲＬ１を挟み込む駆動ローラ２８と、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ２６Ｂとの間に存在する第１剥離シートＲＬ１に常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ２８Ｃと、駆動機器としてのリニアモータ２９によって移動され、回動モータ２８Ａ、ピンチローラ２８Ｂおよび回収ローラ２８Ｃを支持するフレーム２８Ｄとを備えている。
切断手段２３は、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動されるローラ本体２３Ｂと、ローラ本体２３Ｂの外周面に設けられた切断刃２３Ｃと、ローラ本体２３Ｂと同期回転するプラテンローラ２３Ｄとを備えている。
【００１２】
剥離手段３０は、貼付手段２０を構成する一部の部材で構成され、回動モータ２８Ａ、ピンチローラ２８Ｂ、駆動ローラ２８、回収ローラ２８Ｃ、フレーム２８Ｄおよびリニアモータ２９を備えている。
【００１３】
エネルギー付与手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、リニアモータ４１のスライダ４１Ａにブラケット４１Ｂを介して支持され、紫外線を発光可能な光源４２と、駆動機器としての直動モータ４３の出力軸４３Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持面４４Ａを有する保持手段としての保持部材４４とを備え、一体化手段５０で第２接着シートＡＳ２とリングフレームＲＦとに第３接着シートＡＳ３を貼付する前段で、貼合体ＷＫ１における第１接着シートＡＳ１に紫外線を付与する構成となっている。
【００１４】
一体化手段５０は、第３剥離シートＲＬ３の一方の面に第３接着シートＡＳ３が仮着された原反ＲＳ２を支持する支持ローラ５１と、原反ＲＳ２を案内するガイドローラ５２と、第３剥離シートＲＬ３から第３接着シートＡＳ３を剥離縁５３Ａで折り返して剥離する剥離部材としての剥離板５３と、駆動機器としての回動モータ５４Ａによって駆動され、ピンチローラ５４Ｂとで第３剥離シートＲＬ３を挟み込む駆動ローラ５４と、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ５４Ｂとの間に存在する第３剥離シートＲＬ３に常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ５５と、ウエハＷＦに貼付された第２接着シートＡＳ２およびリングフレームＲＦに第３接着シートＡＳ３を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ５６とを備えている。
【００１５】
支持手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１のスライダ６１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ６２と、直動モータ６２の出力軸６２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって、それぞれ吸着保持が可能な保持面６３Ａ、６３Ｂを有する支持部材としてのテーブル６３とを備えている。
【００１６】
以上のシート貼付装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート貼付装置１０に対し、当該シート貼付装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が原反ＲＳ１、ＲＳ２を同図のようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段２０が回動モータ２２Ａ、２３Ａ、２６Ａ、２８Ａおよび図示しない接続部材取付手段を駆動し、原反ＲＳ１を繰り出しながら当該原反ＲＳ１に切込ＣＵを形成しつつ、不要内側剥離シートＲＬＡと不要外側剥離シートＲＬＢとに接続部材ＣＭを取付ける。そして、剥離板２５の剥離縁２５Ａで原反ＲＳ１から不要原反部分ＲＳＡが剥離され、図１中実線で示すように、第１剥離シートＲＬ１に仮着された先頭の第２接着シートＡＳ２がテーブル６３の上方の所定位置に到達すると、貼付手段２０が回動モータ２２Ａ、２３Ａ、２６Ａ、２８Ａおよび図示しない接続部材取付手段の駆動を停止する。また、一体化手段５０が回動モータ５４Ａを駆動し、原反ＲＳ２を繰り出し、図１中実線で示すように、先頭の第３接着シートＡＳ３の繰出方向先端部が剥離板５３の剥離縁５３Ａで所定量剥離されると、回動モータ５４Ａの駆動を停止する。
【００１７】
次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１中実線で示すように、第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦをテーブル６３上の所定の位置に載置するとともに、リングフレームＲＦをテーブル６３上の所定の位置に載置すると、支持手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面６３Ａ、６３ＢでのウエハＷＦおよびリングフレームＲＦの吸着保持を開始する。その後、支持手段６０が直動モータ６２を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、テーブル６３を上昇させてウエハＷＦを第２接着シートＡＳ２に当接させた後、貼付手段２０および剥離手段３０が回動モータ２８Ａおよびリニアモータ２９を駆動し、第１剥離シートＲＬ１を回収ローラ２８Ｃ方向へ送りつつ、フレーム２８Ｄを左方に移動させ、駆動ローラ２８で第２接着シートＡＳ２をウエハＷＦに押圧する。これにより、ウエハＷＦの上面に第２接着シートＡＳ２が貼付されるとともに、当該第２接着シートＡＳ２から第１剥離シートＲＬ１が剥離され、貼合体ＷＫ１が形成される。第２接着シートＡＳ２から第１剥離シートＲＬ１が完全に剥離されると、貼付手段２０および剥離手段３０が回動モータ２８Ａおよびリニアモータ２９の駆動を停止する。
【００１８】
次に、支持手段６０が直動モータ６２を駆動し、テーブル６３を初期位置に復帰させると、貼付手段２０が回動モータ２８Ａの回転をロックさせた状態で、回動モータ２２Ａ、２３Ａ、２６Ａ、図示しない接続部材取付手段およびリニアモータ２９を駆動し、フレーム２８Ｄを初期位置方向に移動させる。すると、上記と同様に、原反ＲＳ１が繰り出され、当該原反ＲＳ１に切込ＣＵが形成されつつ、不要内側剥離シートＲＬＡと不要外側剥離シートＲＬＢとに接続部材ＣＭが取付けられ、次の第２接着シートＡＳ２がテーブル６３の上方の所定位置に到達すると、貼付手段２０が回動モータ２２Ａ、２３Ａ、２６Ａ、図示しない接続部材取付手段およびリニアモータ２９の駆動を停止する。そして、支持手段６０がリニアモータ６１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、テーブル６３を保持部材４４の下方の所定位置に移動させると、エネルギー付与手段４０が直動モータ４３を駆動し、保持部材４４を下降させて保持面４４Ａを第２接着シートＡＳ２に当接させる。次いで、エネルギー付与手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面４４Ａでの貼合体ＷＫ１の吸着保持を開始すると、支持手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面６３Ａでの貼合体ＷＫ１の吸着保持を解除する。その後、エネルギー付与手段４０が直動モータ４３を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、保持部材４４で吸着保持した貼合体ＷＫ１を上昇させると、リニアモータ４１および光源４２を駆動し、当該光源４２から紫外線を発光しつつ、スライダ４１Ａを右方へ移動させる。これにより、第１接着シートＡＳ１の接着剤層が硬化し、第１接着シートＡＳ１の接着力が低下する。
【００１９】
第１接着シートＡＳ１に対する紫外線の付与が完了すると、エネルギー付与手段４０が光源４２の駆動を停止した後、スライダ４１Ａを初期位置に復帰させる。次に、エネルギー付与手段４０が直動モータ４３を駆動し、保持部材４４を下降させて貼合体ＷＫ１をテーブル６３上の所定の位置に載置すると、支持手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面６３Ａでの貼合体ＷＫ１の吸着保持を開始する。そして、エネルギー付与手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面４４Ａでの貼合体ＷＫ１の吸着保持を解除した後、直動モータ４３を駆動し、保持部材４４を初期位置に復帰させる。
【００２０】
次いで、支持手段６０がリニアモータ６１を駆動し、テーブル６３を右方に移動させ、当該テーブル６３が所定の位置に到達すると、一体化手段５０が回動モータ５４Ａを駆動し、リングフレームＲＦおよび貼合体ＷＫ１の移動速度に合わせて原反ＲＳ２を繰り出す。これにより、第３接着シートＡＳ３が剥離板５３の剥離縁５３Ａで第３剥離シートＲＬ３から剥離され、当該第３接着シートＡＳ３が押圧ローラ５６によってリングフレームＲＦおよび第２接着シートＡＳ２に押圧されて貼付されて一体物ＷＫ２が形成される。その後、次の第３接着シートＡＳ３の繰出方向先端部が剥離板５３の剥離縁５３Ａで所定量剥離されると、回動モータ５４Ａの駆動を停止する。
【００２１】
テーブル６３が押圧ローラ５６の右方の所定位置に到達すると、支持手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面６３Ａ、６３ＢでのウエハＷＦおよびリングフレームＲＦの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＷＫ２を次工程に搬送すると、支持手段６０がリニアモータ６１を駆動し、テーブル６３を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２２】
以上のような実施形態によれば、第１剥離シートＲＬ１が剥離された貼合体ＷＫ１の第１接着シートＡＳ１に紫外線を付与するので、一方の面に紫外線の付与により接着力が低下する第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦの他方の面に、第１剥離シートＲＬ１が仮着された第２接着シートＡＳ２を貼付し、当該第１剥離シートＲＬ１を引っ張って剥離する工程を実施した際、確実に当該第１剥離シートＲＬ１と第２接着シートＡＳ２との界面で分離が行われるようにすることができる。
【００２３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２４】
例えば、貼付手段２０は、原接着シートＢＳをウエハＷＦの上面に貼付した後に、当該原接着シートＢＳを切断手段で所定形状に切断してもよいし、切断手段２３を採用せずに、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２に仮着された原接着シートＢＳに閉ループ状の切込ＣＵが設けられた原反を繰り出してもよいし、一体化手段５０と同様の構成とし、例えば、枚葉の第１剥離シートＲＬ１が仮着された第２接着シートＡＳ２が所定間隔を隔てて帯状の第２剥離シートＲＬ２上に仮着された原反を繰り出し、第１剥離シートＲＬ１が仮着された第２接着シートＡＳ２をウエハＷＦに貼付してもよいし、第２剥離シートＲＬ２が仮着されていない原反ＲＳ１を採用してもよいし、接続部材取付手段として、一体化手段５０と同等の構成のものを採用したり、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で接続部材ＣＭを保持し、当該保持部材で保持した接続部材ＣＭを不要内側剥離シートＲＬＡと不要外側剥離シートＲＬＢとに貼付するものを採用したりしてもよい。
【００２５】
剥離手段３０は、貼付手段２０から独立した別体の構成としてもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第１剥離シートＲＬ１を保持し、当該保持部材で保持した第１剥離シートＲＬ１を第２接着シートＡＳ２から剥離してもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段や、剥離用テープで第１剥離シートＲＬ１を保持して剥離してもよい。
【００２６】
エネルギー付与手段４０が付与するエネルギーは、Ｘ線、ガンマ線、可視光線、赤外線等どのようなエネルギーでもよいし、単波長でもよいし複波長でもよいし、冷却エネルギーや熱湯、熱風等を付与するものでもよく、第１接着シートＡＳ１の接着力を低下させるものであれば、第１接着シートＡＳ１の性質、材質、素質、組成等に応じて適宜なものを採用することができる。
光源４２は、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用してもよいし、それらを適宜に組み合わせたものを採用してもよい。
【００２７】
一体化手段５０は、第３剥離シートＲＬ３に仮着された原接着シートに閉ループ状の切込が設けられ、当該切込ＣＵの内側が第３接着シートＡＳ３とされた原反を繰り出してもよいし、第３剥離シートＲＬ３に原接着シートが仮着された原反を繰り出し、切断手段で原接着シートを所定形状に切断してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第３接着シートＡＳ３を保持し、当該保持部材で保持した第３接着シートＡＳ３を第２接着シートＡＳ２とリングフレームＲＦとに貼付してもよいし、シート貼付装置１０に備わっていなくてもよい。
【００２８】
支持手段６０は、テーブル６３を複数設けてもよいし、保持手段がなくてもよいし、他の装置で貼合体ＷＫ１を支持する場合、本願発明のシート貼付装置１０に備わっていなくてもよい。
【００２９】
フレーム部材は、リングフレームＲＦ以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
【００３０】
また、本発明における接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３が採用された場合は、当該接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３１】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、一方の面に所定のエネルギーの付与により接着力が低下する第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に、剥離シートが仮着された第２接着シートを貼付可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、当該ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、ローラの表面やローラ自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、ローラの表面やローラ自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断してもよい。
【符号の説明】
【００３２】
１０    シート貼付装置
２０    貼付手段
３０    剥離手段
４０    エネルギー付与手段
５０    一体化手段
ＡＳ１  第１接着シート
ＡＳ２  第２接着シート
ＡＳ３  第３接着シート
ＲＦ    リングフレーム（フレーム部材）
ＲＬ１  第１剥離シート（剥離シート）
ＷＦ    ウエハ（被着体）
ＷＫ１    貼合体
【図１】
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