(57)【要約】      （修正有）【課題】フレキシブルディスプレイを利用するために展開する際の良好な視認性及びハンドリング性を担保しつつ、アクチュエータの駆動によって表示機能を妨げない表示装置を提供する。【解決手段】それぞれに表示素子を有する複数の画素を備えた、可撓性を有する基板と、基板の裏側に添うよう設けられ、基板を変形させるアクチュエータ２０１と、を有し、アクチュエータ２０１は、電気的に駆動されることで、柔軟な状態と所定形状の状態の一方から他方に状態を変える層を備え、アクチュエータ２０１は、表示素子と平面視で重畳しない位置に設けられる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれに表示素子を有する複数の画素を備えた、可撓性を有する基板と、
前記基板の裏側に添うよう設けられ、前記基板を変形させるアクチュエータと、を有し、
前記アクチュエータは、電気的に駆動されることで、柔軟な状態と所定形状の状態の一方から他方に状態を変える層を備え、
前記アクチュエータは、前記表示素子と平面視で重畳しない位置に設けられる、
ことを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記基板は、
前記複数の画素が配置された領域である表示領域と、
前記表示領域の周囲に設けられた周辺領域と、をさらに有し、
前記アクチュエータは、前記周辺領域と平面視で重畳する位置に設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記基板は、
前記複数の画素がマトリクス状に配置された領域である表示領域をさらに有し、
前記アクチュエータは、前記表示領域と平面視で重畳する位置であって、
前記複数の画素の一が有する前記表示素子と、前記複数の画素の一に隣り合う他の一が有する表示素子との間に設けられる、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記アクチュエータは、ライン状に設けられ、かつ前記表示領域における長辺方向と平行な方向に１以上設けられる、
ことを特徴とする請求項３に記載の表示装置。
【請求項５】
前記アクチュエータは、前記表示領域における長辺方向の長さよりも短い長さで設けられる、
ことを特徴とする請求項４に記載の表示装置。
【請求項６】
前記アクチュエータは、ライン状に設けられ、かつ前記表示領域における短辺方向と平行な方向に１以上設けられる、
ことを特徴とする請求項３に記載の表示装置。
【請求項７】
前記アクチュエータは、前記表示領域における短辺方向の長さよりも短い長さで設けられる、
ことを特徴とする請求項６に記載の表示装置。
【請求項８】
前記基板と前記アクチュエータを巻き取って格納する筐体をさらに有し、
前記筐体は、前記アクチュエータが設けられたラインと平行な方向に、前記基板と前記アクチュエータを巻き取って格納し、
前記基板と前記アクチュエータは、前記筐体に格納された状態において、巻き取られた状態を維持する、
ことを特徴とする請求項４乃至７の何れか１項に記載の表示装置。
【請求項９】
前記表示領域と平面視で重畳するように、前記基板と前記アクチュエータを固定する筐体をさらに有し、
前記筐体は、円弧状の断面を有する端部を有し、
前記アクチュエータが駆動していない場合、前記基板と前記アクチュエータは、前記円弧状の断面を有する端部に沿って曲げられた状態を維持する、
ことを特徴する請求項１乃至３の何れか１項に記載の表示装置。
【請求項１０】
前記アクチュエータは、少なくとも前記円弧状の断面を有する端部に沿って曲げられる領域と重畳する位置に設けられる、
ことを特徴する請求項９に記載の表示装置。
【請求項１１】
前記アクチュエータは、ライン状に設けられる、
ことを特徴する請求項１０に記載の表示装置。
【請求項１２】
ライン状の前記アクチュエータは、前記円弧状の断面を有する端部に沿って曲げられる方向と平行な方向に設けられる、
ことを特徴する請求項１１に記載の表示装置。
【請求項１３】
前記アクチュエータは、前記電気的に駆動されることで、柔軟な状態と所定形状の状態の一方から他方に状態を変える層を隔てて、互いに対向する第１電極及び第２電極を備える、
ことを特徴とする請求項１乃至１２の何れか１項に記載の表示装置。
【請求項１４】
前記アクチュエータが備える、前記電気的に駆動されることで、柔軟な状態と所定形状の状態の一方から他方に状態を変える層は、柔軟性を有する形状記憶合金層又は高分子材料層である、
ことを特徴とする請求項１乃至１３の何れか１項に記載の表示装置。
【請求項１５】
電気的に駆動された前記前記形状記憶合金層又は前記高分子材料層の前記所定形状の状態は、前記柔軟な状態よりも高い剛性の状態である、
ことを特徴とする請求項１４に記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置に関する。特に、可撓性を有する基板上に表示素子が形成されたフレキシブル表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置として、可撓性を有する基板上に表示素子が形成されたフレキシブルディスプレイが開発されている。例えば、表示素子として有機発光ダイオード（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ：ＯＬＥＤ）が形成されたフレキシブルディスプレイが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−２２７３６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
フレキシブルディスプレイは、基板の可撓性を活かして、折り畳み、巻き取り等、収納性や携帯性の向上に寄与する。しかし、可撓性を有するが故に、当該フレキシブルディスプレイを利用する際に収納時の変形が残ってしまうため、歪んだ表示となりやすい。
【０００５】
これに対して、当該フレキシブルディスプレイの裏面全体にアクチュエータを配置して剛性を制御しようとすると、当該アクチュエータからの熱的又は電気的影響により、当該フレキシブルディスプレイの表示素子の表示機能が妨げられる可能性がある。
【０００６】
そのため、本発明の課題の一つは、当該フレキシブルディスプレイを利用するために展開する際の良好な視認性及びハンドリング性を担保しつつ、当該アクチュエータの駆動によって表示機能を妨げない表示装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態における表示装置は、それぞれに表示素子を有する複数の画素を備えた、可撓性を有する基板と、前記基板の裏側に添うよう設けられ、前記基板を変形させるアクチュエータと、を有し、前記アクチュエータは、電気的に駆動されることで、柔軟な状態と所定形状の状態の一方から他方に状態を変える層を備え、前記アクチュエータは、前記表示素子と平面視で重畳しない位置に設けられる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態の表示装置の外観及び収納時の断面構造を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態の表示装置におけるアクチュエータ配置及び動作を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態の表示装置におけるアクチュエータ配置を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態の表示装置におけるアクチュエータ配置を示す図である。
【図５】本発明の一実施形態の表示装置における表示装置の外観及びアクチュエータ配置を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態の表示装置の断面構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
【００１０】
さらに、本発明の詳細な説明において、ある構成物と他の構成物との位置関係を規定する際、「上に」「下に」とは、ある構成物の直上又は直下に位置する場合のみでなく、特に断りの無い限りは、間にさらに他の構成物を介在する場合を含むものとする。
［第１の構成］
【００１１】
図１に、本発明の表示装置の一実施形態を示す。図１（Ａ）において、表示装置１００は、フレキシブルディスプレイ１０１、筐体１０２、引き出し用タブ１０３を有する。シートディスプレイ１０１は、可撓性を有する基板上に、表示領域ＤＡと、表示領域ＤＡの外側の周辺領域ＰＡとを有する。表示領域ＤＡは、複数の画素がマトリクス状に配置され、各画素にはそれぞれ輝度情報に応じて制御される表示素子（例えばＯＬＥＤ）が設けられる。周辺領域ＰＡには、例えば複数の画素を駆動するための駆動回路が設けられる。
【００１２】
図１（Ｂ）に示すように、フレキシブルディスプレイ１０１は、基板を筐体１０２内に収納することができる。このとき、筐体１０２内では、図１（Ｃ）に示すように、軸体１０４にフレキシブルディスプレイが巻き取られて収納される。フレキシブルディスプレイ１０１を展開する際は、引き出しタブ１０３を引く。この引き出しタブ１０３は、筐体１０２内にフレキシブルディスプレイ１０１を巻き取る際に、フレキシブルディスプレイ１０１の端部を筐体１０２内に引き込んでしまわないようにするためのストッパとしても機能する。
【００１３】
図１（Ａ）〜（Ｃ）において、筐体１０２は単にフレキシブルディスプレイ１０１の収納部としてのみ記載しているが、筐体１０２には他に操作パネル、キーボード等を有していても良く、筐体１０２が他の電子機器の一部として設けられても良い。
【００１４】
フレキシブルディスプレイ１０１は、基板に可撓性を有する。そのため、筐体１０２からフレキシブルディスプレイ１０１を展開した時、筐体１０２に収納されていた際の変形が残っていると撓みを生じてしまう。
【００１５】
そこで図２（Ａ）に示すように、フレキシブルディスプレイ１０１を展開した時に、表示領域ＤＡの平面を保つためのアクチュエータ２０１を設ける。アクチュエータ２０１は、駆動されていない通常時（即ち、エネルギーが入力されていない状態）、柔軟な状態である。アクチュエータ２０１は、エネルギーが入力されることで柔軟な状態から高剛性な状態に変化し、エネルギーの入力が終了すると高剛性な状態から柔軟な状態に戻る機能を有する。当該エネルギーが入力される方法としては、電圧又は電流印加の他、熱印加、磁場印加、光照射、化学反応等、さまざまなものが考えられるが、適宜選択されて良い。
【００１６】
図２（Ａ）においては、例として、電気的に駆動されるアクチュエータ２０１を選択する。このアクチュエータ２０１は、例えば形状記憶合金層や高分子材料層を有している。フレキシブルディスプレイ１０１の展開後、又は展開に応じてアクチュエータ２０１に電圧又は電流を印加する。これにより、アクチュエータ２０１は、電圧又は電流を印加する前の柔軟な状態から高剛性な状態へと遷移する。高剛性な状態となったアクチュエータ２０１は、平面視及び断面視で直線状態となり、図２（Ｂ）に示すように、フレキシブルディスプレイ１０１を平面状態に保つ。そして、フレキシブルディスプレイ１０１を筐体１０２内に収納する際には、アクチュエータ２０１への電圧又は電流の印加を終了する。これにより、アクチュエータ２０１は、高剛性な状態から電圧又は電流を印加する前の柔軟な状態へと遷移する。その後、図２（Ｃ）に示すように、フレキシブルディスプレイ１０１は、筐体１０２での巻き取り収納が可能となる。
【００１７】
アクチュエータ２０１への電圧又は電流の印加としては、例えば前述の形状記憶合金層や高分子材料層を一対の電極で挟持し、当該一対の電極間に電圧又は電流を印加する等が挙げられるが、これに限定しない。また、電圧又は電流の印加に伴う発熱によってアクチュエータ２０１を制御しても良い。
【００１８】
ここで、アクチュエータ２０１の配置について説明する。表示素子としてＯＬＥＤを用いる場合、ＯＬＥＤの抵抗値は温度によって変化するため、アクチュエータ２０１からの発熱の影響が局所的に生じないように配慮するのが好ましい。しかし、アクチュエータ２０１は、熱印加により機能させる以外にも、前述のように、電圧又は電流の印加に伴い発熱することが多い。そのため、表示素子とアクチュエータ２０１は重畳しないよう配置される必要がある。
【００１９】
一例としては、図２（Ａ）に示したように、表示領域ＤＡを避けて、周辺領域ＰＡに重畳するようにアクチュエータ２０１を配置する構成が挙げられる。図２（Ａ）では、アクチュエータ２０１は、フレキシブルディスプレイ１０１の長辺に沿って、ライン状に設けられている。また、図２（Ａ）には図示しないが、さらに周辺領域ＰＡにおいて、フレキシブルディスプレイ１０１の短辺に沿うようにアクチュエータ２０１が設けられても良い。即ち、アクチュエータ２０１は、巻き取りの円弧方向と平行に、巻き取り時の応力に逆らう方向に設けられていれば良い。
【００２０】
図２（Ａ）とは異なる例として、図３に示すように、アクチュエータ２０１が表示領域ＤＡに重畳するように設けられても良い。この際、個々のアクチュエータ２０１は、表示素子の表示領域（例えばＯＬＥＤの発光領域）３０１とは平面的に重畳しないよう、ライン状に設けられることが好ましい。また、図３において、アクチュエータ２０１は表示領域ＤＡの長辺に平行な方向にのみ延在しているが、表示領域ＤＡの短辺に平行な方向にも延在させ、メッシュ形状としても良い。
【００２１】
図２や図３に示した構成では、アクチュエータ２０１は表示領域ＤＡの一端から他端（図２、図３においては短辺の一が一端、短辺の他の一が他端に該当）に亘って延在している。この場合、アクチュエータの制御によって、表示領域ＤＡの全体が一括して柔軟な状態になったり、高剛性な状態になったりする。
【００２２】
変形例として、ユーザが用途に応じてフレキシブルディスプレイ１０１を適当な長さ分だけ筐体１０２から引き出して使用することが可能な表示装置について説明する。このようなユーザの利用形態を想定する場合、図４（Ａ）に示すように、アクチュエータ２０１は複数の要素に分割されて設けられる。図４（Ａ）の例では、アクチュエータ２０１はそれぞれ表示領域ＤＡの長辺に平行な方向で、４０１ａ〜４０１ｆに分割されて設けられる。
【００２３】
また、アクチュエータ４０１ａ〜４０１ｆは、それぞれ独立した制御を行っても良い。図４（Ｂ）は、フレキシブルディスプレイ１０１を筐体１０２から途中まで引き出した状態を示している。フレキシブルディスプレイ１０１の一部を筐体１０２から引き出し、引き出されたフレキシブルディスプレイ１０１については、アクチュエータ４０１ａ〜４０１ｃを高剛性な状態に制御する。この場合は、露出している部分に設けられたアクチュエータ４０１ａ〜４０１ｃが高剛性状態となり、筐体１０２内に収納されたままのフレキシブルディスプレイ１０１に設けられたアクチュエータ４０１ｄ〜４０１ｆは柔軟な状態となっている。
【００２４】
また、アクチュエータ４０１ａ〜４０１ｆは、それぞれ独立した制御を行っても良く、例えばフレキシブルディスプレイ１０１を筐体１０２から引き出し、アクチュエータ４０１ｃを柔軟な状態、その他を高剛性な状態に制御することで、図４（Ｃ）に示すようにアクチュエータ４０１ｃが設けられた領域で二つ折りとして使用するといったことも可能となる。このとき、表示領域ＤＡは、全面を有効表示領域として、二つ折りの一方と他方とで両面から表示を視認可能とするように使用しても良いし、ユーザから見て背面側となる方を非表示として使用しても良い。このときの表示領域ＤＡの有効領域をどの範囲にするかの制御と、アクチュエータの制御とをリンクさせても良い。
［第２の構成］
【００２５】
次に、第１の構成に記載した一実施形態とは異なる、本発明の表示装置の実施形態について説明する。本実施形態は、筐体５０２の端部に沿ってフレキシブルディスプレイ５０１を折りたたんで収納可能な表示装置である。なお、第１の実施例と説明が重複する箇所については、その説明を省略する。図５（Ａ）に示すように、表示装置５００は、筐体５０２上にフレキシブルディスプレイ５０１が設けられた形状であり、筐体５０２の幅よりもフレキシブルディスプレイの幅が大きい。筐体５０２の両端は、断面視で円弧状又はそれに準ずる形状を有している。フレキシブルディスプレイ５０１には、平面視で筐体５０２の両端と重なる領域に、アクチュエータ５１１ａ、５１１ｂが設けられている。フレキシブルディスプレイ５０１上の表示領域ＤＡは、筐体５０２の幅を越えて延在する。
【００２６】
フレキシブルディスプレイ５０１が図５（Ａ）に示すように展開状態にあるとき、アクチュエータ５１１ａ、５１１ｂは共に高剛性状態となっており、表示領域ＤＡが全体に亘って平面となるように制御される。表示領域ＤＡは、筐体５０２の平面部分と重畳する領域５１０、筐体５０２と重畳せず、平面的に見て左右に突出する領域５２０、及び平面視で筐体５０２の両端と重なる領域を含む領域５３０とを含み、これらが全て有効表示領域として機能することができる。
【００２７】
領域５２０は、図５（Ｂ）に示すように、筐体５０２に沿うように収納することができる。このとき、領域５３０に設けられたアクチュエータ５１１ａ、５１１ｂは共に柔軟な状態となり、フレキシブルディスプレイ５０１の可撓性を阻害しない。このような場合、有効表示領域として領域５１０のみを使用し、裏面側となる領域５２０や、筐体の両端に面する領域５３０については表示を停止しても良い。また、フレキシブルディスプレイ５０１がタッチ検出機能を有する物である場合は、例えば図５（Ｂ）の状態で、領域５３０部分に操作キー画面等を表示して、領域５１０の表示を見ながらタッチセンサによって機器の制御が行えるようにしても良い。特に図示していないが、図５（Ｂ）の状態で、例えば領域５１０部分が露出するように開口が設けられたケースに収納することもできる。
［フレキシブルディスプレイ１０１の構造］
【００２８】
続いて、アクチュエータを含むフレキシブルディスプレイ１０１の詳細構造の例について説明する。
【００２９】
図６は、図１における表示装置１００のＡ−Ａ’断面構造を模式的に表したものである。主に、画素を構成するＮｃｈＴＦＴ（Ｎチャネル型薄膜トランジスタ）を含む表示領域及び端子部について示している。Ａ−Ａ’断面は、フレキシブルディスプレイ１０１が筐体１０２に引き込まれる箇所について示している。
【００３０】
本実施形態においては、可撓性を有する基板６００の内部にアクチュエータ６１０を形成した例を示す。図６において、アクチュエータ６１０は、第１樹脂層６０１ａ、及び第２樹脂層６０１ｂとの間に設けられている。アクチュエータ６１０の形成層については特にこれに限定せず、例えば基板６００を第１樹脂層６０１ａの単層とし、その下層にアクチュエータ６１０を設けても良い。
【００３１】
第２樹脂層６０１ｂ上には、アンダーコート６５１としてシリコン酸化膜６５１ａ、シリコン窒化膜６５１ｂ、シリコン酸化膜６５１ｃの三層積層構造が設けてられる。最下層のシリコン酸化膜６５１ａは、第２樹脂層６０１ｂとの密着性向上のために設けられる。中層のシリコン窒化膜６５１ｂは、外部からの水分及び不純物のブロック膜として設けられる。最上層のシリコン酸化膜６５１ｃは、シリコン窒化膜６５１ｂ中に含有する水素原子が後述する半導体層側に拡散しないようにするブロック膜として設けられる。但し、特に前述の三層積層構造に限定するものではなく、さらに積層があっても良いし、単層又は二層積層としても良い。
【００３２】
また、アンダーコート６５１形成時に、後にＴＦＴを形成する箇所に合わせて遮光膜（Ｌｉｇｈｔ  Ｓｈｉｅｌｄ膜：ＬＳ膜）６５２を形成しても良い。ＬＳ膜６５２は、ＴＦＴのチャネル裏面からの光の侵入等によるＴＦＴ特性の変化を抑制することができる。また、ＬＳ膜６５２を導電層で形成して所定の電位を与えることで、ＴＦＴにバックゲート効果を与えたりすることができる。ここでは、シリコン酸化膜６５１ａを形成した後、駆動トランジスタ（ＤＲＴ）が形成される箇所に合わせてＬＳ膜６５２を島状に形成する。その後シリコン窒化膜６５１ｂ、シリコン酸化膜６５１ｃを積層して、アンダーコート層６５１にＬＳ膜６５２を封入するように形成している。但し、本構造もこの限りではなく、第２樹脂層６０１ｂ上にまずＬＳ膜６５２を形成し、その後にアンダーコート層６５１を形成しても良い。
【００３３】
アンダーコート６５１上に、ＴＦＴ６５３が形成される。ＴＦＴ６５３としてはポリシリコンＴＦＴを例とし、ここではＮｃｈＴＦＴのみ示しているが、ＰｃｈＴＦＴ（Ｐチャネル型薄膜トランジスタ）を同時に形成しても良い。ＮｃｈＴＦＴは、チャネル領域とソース・ドレイン領域との間に、低濃度不純物領域を設けた構造を取る。本実施例では、ゲート絶縁膜６５４にシリコン酸化膜を用い、ゲート電極６５５はＭｏＷ（１ｓｔ配線）としている。１ｓｔ配線は、ＴＦＴのゲート電極に加え、保持容量線を形成し、ポリシリコン６５６との間で、保持容量（Ｃｓ）６５７の形成にも用いられる。
【００３４】
ＴＦＴ上に、層間絶縁膜６５８となるシリコン窒化膜又はシリコン酸化膜をそれぞれ積層し、その後パターニングを行って、ポリシリコン６５６等に達するコンタクトホールを形成する。さらにソース・ドレイン電極及び引き回し配線となる導電層（２ｎｄ配線）６５９を形成する。ここでは、Ｔｉ、Ａｌ、Ｔｉの三層積層構造を採用した。層間絶縁膜６５８、ＴＦＴのゲート電極と同層の導電層で形成される電極、及びＴＦＴのソース・ドレイン配線と同層の導電層で形成される電極とで、保持容量（Ｃｓ）６５７の一部が形成される。引き回し配線は、基板周縁の端部まで延在され、後にフレキシブルプリント基板６９５や駆動ＩＣを接続する端子６９０を形成する。端子１０６は、ゲート電極７０５を形成する１ｓｔ配線と同層で形成されてもよい。
【００３５】
その後、ＴＦＴ及び引き回し配線を覆うように平坦化膜６６０を形成する。平坦化膜６６０としては感光性アクリルやポリイミド等の有機材料が多く用いられ、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等により形成される無機絶縁材料に比べ、表面の平坦性に優れる。
【００３６】
平坦化膜６６０は、画素コンタクト部及び周辺領域ＰＡの一部では除去される。平坦化膜６６０の除去により導電層６５９が露出した箇所は、一旦ＩＴＯ６６１にて被覆される。ＩＴＯ６６１上は一旦シリコン窒化膜６６２で被覆され、画素コンタクト部を再び開口して、画素電極となる導電層６６３を形成する。ここでは、画素電極は反射電極として形成され、ＩＺＯ、Ａｇ、ＩＺＯの三層積層構造としている。画素部においては、ＩＴＯ６６１、シリコン窒化膜６６２、導電層６６３によって付加容量（Ｃａｄ）６６４が形成される。一方、ＩＴＯ６６１は端子６９０の表面にも形成される。配線上のＩＴＯは、以後の工程で配線露出部がダメージを負わないようにバリア膜として設けることを目的の一としている。
【００３７】
ここで、画素電極（導電層６６３）のパターニング時、一部においてＩＴＯ６６１がエッチング環境にさらされるが、ＩＴＯ６６１形成から導電層６６３形成までの間に行われるアニール処理によって、ＩＴＯ６６１は導電層６６３のエッチングに対し十分な耐性を有する。
【００３８】
画素電極形成後、バンク（リブ）６６５と呼ばれる、画素領域の隔壁となる絶縁層を形成する。バンク６６５としては平坦化膜６６０と同じく感光性アクリルやポリイミド等の有機材料が用いられる。バンク６６５は、画素電極表面を発光領域として露出するように開口され、その開口端はなだらかなテーパー形状となるのが好ましい。
【００３９】
ここで、平坦化膜６６０とバンク６６５は、両者の間のシリコン窒化膜６６２に設けた開口６６６を通じて接触させている部位を有する。これは、バンク形成後の熱処理等を通じて、平坦化膜６６０から脱離する水分やガスを、バンク６６５を通じて引き抜くための開口部である。開口６６６を通じて平坦化膜６６０からバンク６６５に引き抜くことで、平坦化膜６６０とシリコン窒化膜６６２との界面の剥離を抑制することができる。
【００４０】
バンク６６５形成後、有機ＥＬ層を形成する有機層６６７を積層形成する。図７では単層様に記載しているが、画素電極側から順に、正孔輸送層、発光層、電子輸送層を積層形成する。有機層６６７は、各層を順次蒸着にて形成しても良いし、有機層６６７を構成する材料を溶媒分散させた上で塗布形成を行っても良い。また、図６に示すように、各画素に対して選択的に形成しても良いし、表示領域を覆う全面にベタ形成されても良い。ベタ形成の場合は、全画素において白色光を得て、カラーフィルタ（図示せず）によって所望の色波長部分を取り出す構成とすることができる。
【００４１】
有機層６６７の形成後、対向電極６６８を形成する。トップエミッション構造としている本実施形態では、対向電極６６８は光透過性とする必要がある。この場合、ＭｇＡｇを有機ＥＬ層からの出射光が透過する程度の薄膜として形成する。なお、前述の有機層６６７の形成順序に従うと、画素電極側が陽極となり、対向電極側が陰極となる。対向電極６６８は、表示領域ＤＡ上と、周辺領域ＰＡ内であって、表示領域ＤＡ近傍に設けられた陰極コンタクト部６８０に亘って形成され、陰極コンタクト部６８０で下層の導電層６５９と接続され、最終的には端子６９０に引き出される。
【００４２】
対向電極６６８の形成後、封止膜６６９を形成する。先に形成した有機層を、外部からの水分侵入を防止することを機能の一としており、封止膜としてはガスバリア性の高いものが要求される。ここでは、シリコン窒化膜を含む積層構造として、シリコン窒化膜６６９ａ、有機樹脂６６９ｂ、シリコン窒化膜６６９ｃの積層構造とした。ここでは特に図示しないが、シリコン窒化膜６６９ａと有機樹脂６６９ｂとの間には、密着性向上を目的の一として、アモルファスシリコン層を設けても良い。
【００４３】
以上の工程により、フレキシブルディスプレイ１０１が作製される。フレキシブルディスプレイ１０１への信号、電源供給を行うフレキシブルプリント基板６９５は、筐体１０２内で制御用基板（図示せず）に接続される。前述した巻き取り用の軸体に制御用基板が含まれていても良い。
【００４４】
なお、表示装置は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置には限定されず、量子ドット発光素子（Ｑｕａｎｔｕｍ―Ｄｏｔ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ：ＱＬＥＤ）のような発光素子を各画素に備えた表示装置であってもよい。
【００４５】
本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除もしくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略もしくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
【００４６】
また、本実施形態において述べた態様よりもたらされる他の作用効果について本明細書記載から明らかなもの、もしくは当業者において適宜想到し得るものについては、当然に本発明によりもたらされるものと解される。
【符号の説明】
【００４７】
１００  表示装置、１０１  フレキシブルディスプレイ、１０２  筐体、１０３  引き出し用タブ、１０４  軸体、２０１  アクチュエータ、２０１ａ〜２０１ｆ  アクチュエータ、３０１  発光領域、４０１ａ〜４０１ｆ  アクチュエータ、５００  表示装置、５０１、フレキシブルディスプレイ、５０２  筐体、６００  基板、６０１ａ  第１樹脂層、６０２ｂ  第２樹脂層、６１０  アクチュエータ、６５１  アンダーコート、６５２  ＬＳ膜、６５３  ＴＦＴ、６５４  ゲート絶縁膜、６５５  ゲート電極、６５６  ポリシリコン、６５７  保持容量、６５８  層間絶縁膜、６５９  導電層、６６０  平坦化膜、６６１  ＩＴＯ、６６２  シリコン窒化膜、６６３  導電層、６６４  付加容量、６６５  バンク、６６６  開口、６６７  有機層、６６８  対向電極、６６９  封止膜、ＤＡ  表示領域、ＰＡ  周辺領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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