(57)【要約】      （修正有）【課題】ステージの写り込みに起因するチップ欠陥の誤検出を抑制できるチップ検査装置を提供する。【解決手段】チップ検出装置１００は、ステージ１２０と、カメラ１５０と、欠陥検出部１７６とを備えている。ステージは、チップＣＰを載置可能に構成された上面１２２を有し、上面に載置されたチップを吸着によって保持する。カメラは、上面の上方に位置し、上面に載置されたチップを撮影する。欠陥検査部は、カメラによって撮影されたチップの画像に基づいて、チップの欠陥を検出する。ステージの上面は、チップの外縁の内側に収まる形状を有している。カメラで撮影される画像にステージの上面が写り込むことを回避できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップを検査するチップ検査装置であって、
前記チップを載置可能に構成された上面を有し、前記上面に載置された前記チップを吸着によって保持するステージと、
前記上面の上方に位置し、前記上面に載置された前記チップを撮影するカメラと、
前記カメラによって撮影された前記チップの画像に基づいて、前記チップの欠陥を検出する欠陥検出部と
を備えており、
前記上面は、前記チップの外縁の内側に収まる形状を有している、チップ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書は、チップ検査装置に関する技術を開示する。
【背景技術】
【０００２】
チップ検査装置としては、カメラによって撮影されたチップの画像に基づいて、チップの欠陥を検査するものが知られている。このようなチップ検査装置は、チップを載置するステージと、ステージの上方からチップを撮影するカメラとを備える（特許文献１を参照）。特許文献１におけるチップ検査装置のステージは、チップより大きな上面を有し、その上面に載置されたチップを吸着によって保持可能に構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３０８４８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のチップ検査装置では、カメラで撮影される画像にステージの上面が写り込むことによって、その上面に存在する傷や汚れをチップの欠陥として誤って検出するおそれがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本明細書が開示するチップ検出装置は、ステージと、カメラと、欠陥検出部とを備えている。ステージは、チップを載置可能に構成された上面を有しており、上面に載置されたチップを吸着によって保持する。カメラは、上面の上方に位置し、上面に載置されたチップを撮影する。欠陥検査部は、カメラによって撮影されたチップの画像に基づいて、チップの欠陥を検出する。ステージの上面は、チップの外縁の内側に収まる形状を有していることを特徴とする。
【０００６】
上記形態のチップ検査装置によれば、ステージの上面がチップの外縁の内側に位置する状態で、ステージにチップを保持できる。それゆえ、カメラで撮影される画像にステージの上面が写り込むことを回避できる。その結果、ステージの写り込みに起因するチップ欠陥の誤検出を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】チップ検査装置の構成を示す説明図である。
【図２】ステージの詳細構成を示す説明図である。
【図３】制御部が実行するチップ検査処理を示すフローチャートである。
【図４】第２実施形態におけるステージの詳細構成を示す説明図である。
【図５】第３実施形態におけるステージの詳細構成を示す説明図である。
【図６】第４実施形態におけるステージの詳細構成を示す説明図である。
【図７】第５実施形態におけるステージの詳細構成を示す上面図である。
【図８】第６実施形態におけるステージの詳細構成を示す上面図である。
【図９】第７実施形態におけるステージの詳細構成を示す上面図である。
【図１０】第８実施形態におけるステージの詳細構成を示す上面図である。
【図１１】第９実施形態におけるステージの詳細構成を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
（第１実施形態）図１は、チップ検査装置１００の構成を示す説明図である。チップ検査装置１００は、チップＣＰの欠陥を検査する装置である。チップ検査装置１００は、ステージ１２０と、ステージ移動部１３０と、カメラ１５０と、制御部１７０とを備える。図１のＸＹＺ軸は、ステージ１２０、カメラ１５０およびチップＣＰの位置関係を示す。図１のＸＹＺ軸は、他の図におけるＸＹＺ軸に対応する。−Ｚ軸方向は、重力方向である。
【０００９】
チップ検査装置１００のステージ１２０は、検査対象であるチップＣＰを保持する台である。ステージ１２０は、チップＣＰを載置可能に構成された上面１２２を有する。ステージ１２０の上面１２２は、ＸＹ平面に平行であるとともに＋Ｚ軸を向いた平面である。チップＣＰは、搬送装置２００によって上面１２２の＋Ｚ軸側に載置される。ステージ１２０は、上面１２２に載置されたチップＣＰを吸着によって保持する。
【００１０】
図２は、ステージ１２０の詳細構成を示す説明図である。図２（ａ）は、＋Ｚ軸方向から見たステージ１２０の上面図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）における矢視Ｆ２ｂ−Ｆ２ｂで切断したステージ１２０の断面図である。ステージ１２０は、上面１２２の他、側面１２４と、吸着穴１２６と、負圧流路１２８とを有する。
【００１１】
ステージ１２０の側面１２４は、上面１２２から−Ｚ軸方向に広がっている面である。側面１２４は、−Ｚ軸方向に向かうに従って上面１２２より外側へ広がっている。
【００１２】
ステージ１２０の吸着穴１２６は、上面１２２の中央に位置する穴である。吸着穴１２６は、負圧流路１２８に通じている。吸着穴１２６は、負圧流路１２８を通じて供給される負圧によって、上面１２２に載置されているチップＣＰを上面１２２へと吸着する。
【００１３】
ステージ１２０の負圧流路１２８は、ステージ１２０の内部に形成された流路である。負圧流路１２８は、チップ検査装置１００の外部から供給される負圧を吸着穴１２６へと中継する。
【００１４】
図２（ａ）の一点鎖線は、ステージ１２０に載置されたチップＣＰの外縁を示す。図２（ａ）に示すように、ステージ１２０の上面１２２は、チップＣＰの外縁の内側に収まる形状を有している。言い換えると、Ｚ軸方向から見た場合、上面１２２の形状は、チップＣＰの形状より小さい。本実施例では、チップＣＰの形状は、正方形であり、上面１２２の形状は、チップＣＰの外縁より小さい正方形である。なお、チップの形状は、円でも多角形でもよい。
【００１５】
図１の説明に戻る。チップ検査装置１００のステージ移動部１３０は、制御部１７０からの制御信号に基づいて、ステージ１２０を移動可能に構成されている。ステージ移動部１３０は、ステージ１２０の−Ｚ軸側に設けられている。
【００１６】
チップ検査装置１００のカメラ１５０は、ステージ１２０の上面１２２の上方（＋Ｚ軸方向）に位置している。カメラ１５０は、制御部１７０からの制御信号に基づいて、上面１２２に載置されたチップＣＰを撮影する。カメラ１５０は、光学系、撮像素子、照明機器などを備えている。
【００１７】
チップ検査装置１００の制御部１７０は、チップ検査装置１００の各部を制御する。制御部１７０は、カメラ制御部１７２と、ステージ制御部１７４と、欠陥検出部１７６とを備えている。制御部１７０の各部による機能は、コンピュータプログラムに基づいてソフトウェアによって実現される。制御部１７０の各部による機能の少なくとも一部は、回路構成に基づいてハードウェアで実現されてもよい。
【００１８】
制御部１７０のカメラ制御部１７２は、カメラ１５０を制御する。カメラ制御部１７２は、カメラ１５０によって撮影されたチップＣＰの画像を取得する。
【００１９】
制御部１７０のステージ制御部１７４は、ステージ移動部１３０を制御する。ステージ制御部１７４は、ステージ移動部１３０を制御することによってステージ１２０の位置を調整する。ステージ制御部１７４は、ステージ１２０の位置調整に加え、ステージ１２０におけるチップＣＰの吸着を制御する。
【００２０】
制御部１７０の欠陥検出部１７６は、カメラ１５０によって撮影されたチップＣＰの画像に基づいて、チップＣＰの欠陥を検出する。欠陥検出部１７６は、予め用意された登録画像との差分比較によって、チップＣＰの表面における異物および傷の有無を判定する。欠陥検出部１７６は、チップＣＰの画像を輝度に応じて２値化することによって、チップＣＰの表面におけるチッピング（欠損）の有無を判定する。欠陥検出部１７６は、チップＣＰの表面における異物、傷およびチッピングの程度に応じて、そのチップＣＰが良品か否かを示す検査結果を判断する。欠陥検出部１７６は、検査結果に応じてチップＣＰの搬送先を搬送装置２００に指示する。
【００２１】
図３は、制御部１７０が実行するチップ検査処理を示すフローチャートである。制御部１７０は、検査対象であるチップＣＰが所定の位置に準備されたのち、図３のチップ検査処理を開始する。
【００２２】
図３のチップ検査処理を開始した後、制御部１７０は、ステージ制御部１７４として動作することによって、搬送装置２００を介してチップＣＰをステージ１２０の上面１２２に載置する（ステップＳ１１０）。その後、制御部１７０は、ステージ制御部１７４として動作することによって、ステージ移動部１３０を介してチップＣＰをステージ１２０の上面１２２に吸着させる（ステップＳ１２０）。
【００２３】
チップＣＰをステージ１２０の上面１２２に吸着させた後（ステップＳ１２０）、制御部１７０は、カメラ制御部１７２として動作することによって、カメラ１５０を介してチップＣＰを撮影する（ステップＳ１３０）。チップＣＰを撮影する際、制御部１７０は、ステージ制御部１７４としても動作することによって、ステージ移動部１３０を介してチップＣＰの位置を調整する。
【００２４】
カメラ１５０によってチップＣＰを撮影した後（ステップＳ１３０）、制御部１７０は、欠陥検出部１７６として動作することによって、チップＣＰを撮影した撮影画像に基づいてチップＣＰの欠陥を検出する（ステップＳ１４０）。その後、制御部１７０は、撮影画像から検出されたチップＣＰの欠陥の程度（種類、大きさ、数量、形状など）に応じて、そのチップＣＰが良品か否かを示す検査結果を判断する（ステップＳ１５０）。
【００２５】
検査結果を判断した後（ステップＳ１５０）、検査結果が良好である場合（ステップＳ１６０：「ＹＥＳ」）、制御部１７０は、検査対象であるチップＣＰを良品トレイへと搬送する旨を搬送装置２００に指示する（ステップＳ１７０）。検査結果が良好でない場合（ステップＳ１６０：「ＮＯ」）、制御部１７０は、検査対象であるチップＣＰを不良品トレイへと搬送する旨を搬送装置２００に指示する（ステップＳ１８０）。チップＣＰの搬送を搬送装置２００に指示した後（ステップＳ１７０，Ｓ１８０）、制御部１７０は、図３のチップ検査処理を終了する。
【００２６】
以上説明した第１実施形態によれば、ステージ１２０の上面１２２がチップＣＰの外縁の内側に位置する状態で、ステージ１２０にチップＣＰを保持できるため、カメラ１５０で撮影される画像にステージ１２０の上面１２２が写り込むことを回避できる。その結果、ステージ１２０の写り込みに起因するチップ欠陥の誤検出を抑制できる。
【００２７】
（第２実施形態）図４は、第２実施形態におけるステージ１２０Ｂの詳細構成を示す説明図である。図４（ａ）は、＋Ｚ軸方向から見たステージ１２０Ｂの上面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）における矢視Ｆ４ｂ−Ｆ４ｂで切断したステージ１２０Ｂの断面図である。図４（ａ）の一点鎖線は、ステージ１２０Ｂに載置されたチップＣＰの外縁を示す。
【００２８】
第２実施形態のチップ検査装置１００は、ステージ１２０に代えてステージ１２０Ｂを備える点を除き、第１実施形態と同様である。第２実施形態のステージ１２０Ｂは、側面１２４に代えて側面１２４Ｂを備える点を除き、第１実施形態のステージ１２０と同様である。ステージ１２０Ｂの側面１２４Ｂは、上面１２２から−Ｚ軸方向に広がっている面である。側面１２４Ｂは、−Ｚ軸方向に向かうに従って上面１２２の外縁より内側へ広がっている。ステージ１２０Ｂの上面１２２は、チップＣＰの外縁の内側に収まる形状を有している。
【００２９】
以上説明した第２実施形態によれば、ステージ１２０Ｂの上面１２２および側面１２４ＢがチップＣＰの外縁の内側に位置する状態で、ステージ１２０ＢにチップＣＰを保持できるため、カメラ１５０で撮影される画像にステージ１２０Ｂの上面１２２および側面１２４Ｂが写り込むことを回避できる。その結果、ステージ１２０Ｂの写り込みに起因するチップ欠陥の誤検出をいっそう抑制できる。
【００３０】
（第３実施形態）図５は、第３実施形態におけるステージ１２０Ｃの詳細構成を示す説明図である。図５（ａ）は、＋Ｚ軸方向から見たステージ１２０Ｃの上面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）における矢視Ｆ５ｂ−Ｆ５ｂで切断したステージ１２０Ｃの断面図である。図５（ａ）の一点鎖線は、ステージ１２０Ｃに載置されたチップＣＰの外縁を示す。
【００３１】
第３実施形態のチップ検査装置１００は、ステージ１２０に代えてステージ１２０Ｃを備える点を除き、第１実施形態と同様である。第３実施形態のステージ１２０Ｃは、側面１２４に代えて側面１２４Ｃを備える点を除き、第１実施形態のステージ１２０と同様である。ステージ１２０Ｃの側面１２４Ｃは、上面１２２から−Ｚ軸方向に広がっている面である。側面１２４Ｃは、Ｚ軸に平行な面である。ステージ１２０Ｃの上面１２２は、チップＣＰの外縁の内側に収まる形状を有している。
【００３２】
以上説明した第３実施形態によれば、ステージ１２０Ｃの上面１２２および側面１２４ＣがチップＣＰの外縁の内側に位置する状態で、ステージ１２０ＣにチップＣＰを保持できるため、カメラ１５０で撮影される画像にステージ１２０Ｃの上面１２２および側面１２４Ｃが写り込むことを回避できる。その結果、ステージ１２０Ｃの写り込みに起因するチップ欠陥の誤検出をいっそう抑制できる。
【００３３】
（第４実施形態）図６は、第４実施形態におけるステージ１２０Ｄの詳細構成を示す説明図である。図６（ａ）は、＋Ｚ軸方向から見たステージ１２０Ｄの上面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）における矢視Ｆ６ｂ−Ｆ６ｂで切断したステージ１２０Ｄの断面図である。図６（ａ）の一点鎖線は、ステージ１２０Ｄに載置されたチップＣＰの外縁を示す。
【００３４】
第４実施形態のチップ検査装置１００は、ステージ１２０に代えてステージ１２０Ｄを備える点を除き、第１実施形態と同様である。第４実施形態のステージ１２０Ｄは、上面１２２に代えて上面１２２Ｄを備える点、吸着穴１２６に変えて吸着穴１２６Ｄを備える点、ならびに、吸着溝１２８Ｄを備える点を除き、第１実施形態のステージ１２０と同様である。ステージ１２０Ｄの上面１２２Ｄは、チップＣＰの外縁の内側に収まる形状を有している。
【００３５】
第４実施形態の上面１２２Ｄは、中央に吸着穴１２６Ｄが形成されている点、ならびに、吸着溝１２８Ｄが形成されている点を除き、第１実施形態の上面１２２と同様である。第４実施形態の吸着穴１２６Ｄは、吸着溝１２８Ｄに繋がっている点を除き、第１実施形態の吸着穴１２６と同様である。第４実施形態の吸着溝１２８Ｄは、上面１２２Ｄに形成された溝である。吸着溝１２８Ｄは、角が丸められた１つの四角形と、その四角形における対向する２つの辺の中央からそれぞれ吸着穴１２６Ｄに延びた２本の直線と、を組み合わせた形状を成す。
【００３６】
以上説明した第４実施形態によれば、第１実施形態と同様に、ステージ１２０Ｄの写り込みに起因するチップ欠陥の誤検出を抑制できる。また、吸着穴１２６Ｄから上面１２２Ｄの外縁に向けて広がる吸着溝１２８Ｄが上面１２２Ｄに形成されているため、上面１２２Ｄへの吸着に伴ってチップＣＰの外縁が＋Ｚ軸方向へと反ることを抑制できる。
【００３７】
（第５実施形態）図７は、第５実施形態におけるステージ１２０Ｅの詳細構成を示す上面図である。第５実施形態のチップ検査装置１００は、ステージ１２０Ｄに代えてステージ１２０Ｅを備える点を除き、第４実施形態と同様である。第５実施形態のステージ１２０Ｅは、上面１２２Ｄ、吸着穴１２６Ｄおよび吸着溝１２８Ｄに代えて、上面１２２Ｅ、吸着穴１２６Ｅおよび吸着溝１２８Ｅを備える点を除き、第４実施形態のステージ１２０Ｄと同様である。ステージ１２０Ｅの上面１２２Ｅも、チップＣＰの外縁の内側に収まる形状を有している。
【００３８】
第５実施形態の吸着溝１２８Ｅは、吸着穴１２６Ｅから上面１２２Ｅの四隅に向けて延びた４本の直線を成す点を除き、第４実施形態の吸着溝１２８Ｄと同様である。第５実施形態の上面１２２Ｅおよび吸着穴１２６Ｅは、吸着溝１２８Ｄに応じて形状が異なる点を除き、第４実施形態の上面１２２Ｄおよび吸着穴１２６Ｄと同様である。
【００３９】
以上説明した第５実施形態によれば、第１実施形態と同様に、ステージ１２０Ｅの写り込みに起因するチップ欠陥の誤検出を抑制できる。また、吸着穴１２６Ｅから上面１２２Ｅの外縁に向けて広がる吸着溝１２８Ｅが上面１２２Ｅに形成されているため、上面１２２Ｅへの吸着に伴ってチップＣＰの外縁が＋Ｚ軸方向へと反ることを抑制できる。
【００４０】
（第６実施形態）図８は、第６実施形態におけるステージ１２０Ｆの詳細構成を示す上面図である。第６実施形態のチップ検査装置１００は、ステージ１２０Ｄに代えてステージ１２０Ｆを備える点を除き、第４実施形態と同様である。第６実施形態のステージ１２０Ｅは、上面１２２Ｄ、吸着穴１２６Ｄおよび吸着溝１２８Ｄに代えて、上面１２２Ｆ、吸着穴１２６Ｆおよび吸着溝１２８Ｆを備える点を除き、第４実施形態のステージ１２０Ｄと同様である。ステージ１２０Ｆの上面１２２Ｆも、チップＣＰの外縁の内側に収まる形状を有している。
【００４１】
第６実施形態の吸着溝１２８Ｆは、吸着穴１２６Ｆの周囲に配置されるとともに吸着穴１２６Ｆと１つの角でそれぞれ繋がる４つの正方形を成す点を除き、第４実施形態の吸着溝１２８Ｄと同様である。第６実施形態の上面１２２Ｆおよび吸着穴１２６Ｆは、吸着溝１２８Ｆに応じて形状が異なる点を除き、第４実施形態の上面１２２Ｄおよび吸着穴１２６Ｄと同様である。ステージ１２０Ｆの上面１２２Ｄも、チップＣＰの外縁の内側に収まる形状を有している。
【００４２】
以上説明した第６実施形態によれば、第１実施形態と同様に、ステージ１２０Ｆの写り込みに起因するチップ欠陥の誤検出を抑制できる。また、吸着穴１２６Ｆから上面１２２Ｆの外縁に向けて広がる吸着溝１２８Ｆが上面１２２Ｆに形成されているため、上面１２２Ｆへの吸着に伴ってチップＣＰの外縁が＋Ｚ軸方向へと反ることを抑制できる。
【００４３】
（第７実施形態）図９は、第７実施形態におけるステージ１２０Ｇの詳細構成を示す上面図である。第７実施形態のチップ検査装置１００は、ステージ１２０Ｄに代えてステージ１２０Ｇを備える点を除き、第４実施形態と同様である。第７実施形態のステージ１２０Ｇは、上面１２２Ｄ、吸着穴１２６Ｄおよび吸着溝１２８Ｄに代えて、上面１２２Ｇ、吸着穴１２６Ｇおよび吸着溝１２８Ｇを備える点を除き、第４実施形態のステージ１２０Ｄと同様である。ステージ１２０Ｇの上面１２２Ｇも、チップＣＰの外縁の内側に収まる形状を有している。
【００４４】
第７実施形態の吸着溝１２８Ｇは、吸着穴１２６Ｇを間に挟むとともに吸着穴１２６Ｆと１つの長辺の中央でそれぞれ繋がる２つの長方形を成す点を除き、第４実施形態の吸着溝１２８Ｄと同様である。第７実施形態の上面１２２Ｇおよび吸着穴１２６Ｇは、吸着溝１２８Ｇに応じて形状が異なる点を除き、第４実施形態の上面１２２Ｄおよび吸着穴１２６Ｄと同様である。
【００４５】
以上説明した第７実施形態によれば、第１実施形態と同様に、ステージ１２０Ｇの写り込みに起因するチップ欠陥の誤検出を抑制できる。また、吸着穴１２６Ｇから上面１２２Ｇの外縁に向けて広がる吸着溝１２８Ｇが上面１２２Ｇに形成されているため、上面１２２Ｇへの吸着に伴ってチップＣＰの外縁が＋Ｚ軸方向へと反ることを抑制できる。
【００４６】
（第８実施形態）図１０は、第８実施形態におけるステージ１２０Ｈの詳細構成を示す上面図である。第８実施形態のチップ検査装置１００は、ステージ１２０Ｄに代えてステージ１２０Ｈを備える点を除き、第４実施形態と同様である。第８実施形態のステージ１２０Ｈは、上面１２２Ｄ、吸着穴１２６Ｄおよび吸着溝１２８Ｄに代えて、上面１２２Ｈ、吸着穴１２６Ｈおよび吸着溝１２８Ｈを備える点を除き、第４実施形態のステージ１２０Ｄと同様である。ステージ１２０Ｈの上面１２２Ｈも、チップＣＰの外縁の内側に収まる形状を有している。
【００４７】
第８実施形態の吸着溝１２８Ｈは、角が丸められた１つの四角形と、その四角形の４つの辺に向けて吸着穴１２６Ｈからそれぞれ延びた４本の直線と、を組み合わせた形状を成す点を除き、第４実施形態の吸着溝１２８Ｄと同様である。第８実施形態の上面１２２Ｈおよび吸着穴１２６Ｈは、吸着溝１２８Ｈに応じて形状が異なる点を除き、第４実施形態の上面１２２Ｄおよび吸着穴１２６Ｄと同様である。
【００４８】
以上説明した第８実施形態によれば、第１実施形態と同様に、ステージ１２０Ｈの写り込みに起因するチップ欠陥の誤検出を抑制できる。また、吸着穴１２６Ｈから上面１２２Ｈの外縁に向けて広がる吸着溝１２８Ｈが上面１２２Ｈに形成されているため、上面１２２Ｈへの吸着に伴ってチップＣＰの外縁が＋Ｚ軸方向へと反ることを抑制できる。
【００４９】
（第９実施形態）図１１は、第９実施形態におけるステージ１２０Ｉの詳細構成を示す上面図である。第９実施形態のチップ検査装置１００は、ステージ１２０Ｄに代えてステージ１２０Ｉを備える点を除き、第４実施形態と同様である。第９実施形態のステージ１２０Ｉは、上面１２２Ｄ、吸着穴１２６Ｄおよび吸着溝１２８Ｄに代えて、上面１２２Ｉ、吸着穴１２６Ｉおよび吸着溝１２８Ｉを備える点を除き、第４実施形態のステージ１２０Ｄと同様である。ステージ１２０Ｉの上面１２２Ｉも、チップＣＰの外縁の内側に収まる形状を有している。
【００５０】
第９実施形態の吸着溝１２８Ｉは、吸着穴１２６Ｉを二重に取り囲む大小２つの円と、吸着穴１２６Ｉから４方向にそれぞれ２つの円へと延びた４本の直線と、を組み合わせた形状を成す点を除き、第４実施形態の吸着溝１２８Ｄと同様である。第９実施形態の上面１２２Ｉおよび吸着穴１２６Ｉは、吸着溝１２８Ｉに応じて形状が異なる点を除き、第４実施形態の上面１２２Ｄおよび吸着穴１２６Ｄと同様である。
【００５１】
以上説明した第９実施形態によれば、第１実施形態と同様に、ステージ１２０Ｉの写り込みに起因するチップ欠陥の誤検出を抑制できる。また、吸着穴１２６Ｉから上面１２２Ｉの外縁に向けて広がる吸着溝１２８Ｉが上面１２２Ｉに形成されているため、上面１２２Ｉへの吸着に伴ってチップＣＰの外縁が＋Ｚ軸方向へと反ることを抑制できる。
【００５２】
以上、実施形態を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、上述した実施形態を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面において説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載した組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面において説明した技術は、複数の目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００５３】
１００：チップ検査装置
１２０、１２０Ｂ〜１２０Ｉ：ステージ
１２２、１２２Ｄ〜１２２Ｉ：上面
１２４、１２４Ｂ，１２４Ｃ：側面
１２６、１２６Ｄ〜１２６Ｉ：吸着穴
１２８：負圧流路
１２８Ｄ〜１２８Ｉ：吸着溝
１３０：ステージ移動部
１５０：カメラ
１７０：制御部
１７２：カメラ制御部
１７４：ステージ制御部
１７６：欠陥検出部
２００：搬送装置
６５０：制御装置
ＣＰ：チップ
【図１】
2019128208.tif 000003
【図２】
2019128208.tif 000004
【図３】
2019128208.tif 000005
【図４】
2019128208.tif 000006
【図５】
2019128208.tif 000007
【図６】
2019128208.tif 000008
【図７】
2019128208.tif 000009
【図８】
2019128208.tif 000010
【図９】
2019128208.tif 000011
【図１０】
2019128208.tif 000012
【図１１】
2019128208.tif 000013