(57)【要約】【課題】適切なデータ送信の点で有利なデータ処理装置を提供することができる。【解決手段】リソグラフィ装置と通信可能に接続され、リソグラフィ装置からのデータをネットワークを介して送信するデータ処理装置であって、リソグラフィ装置の稼働状態とリソグラフィ装置からデータを受信する目的に基づいて送信データを決定する決定部を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リソグラフィ装置と通信可能に接続され、前記リソグラフィ装置からのデータをネットワークを介して送信するデータ処理装置であって、
前記リソグラフィ装置の稼働状態と前記リソグラフィ装置からデータを受信する目的に基づいて送信データを決定する決定部を備える、ことを特徴とするデータ処理装置。
【請求項２】
前記リソグラフィ装置の稼動状態は、設置動作を実施している状態、メンテナンス動作を実施している状態、デバイスの製造を実施している状態を含む、ことを特徴とする請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項３】
前記リソグラフィ装置の稼動状態を判断する判断部をさらに備える、ことを特徴とする請求項１または２に記載のデータ処理装置。
【請求項４】
前記判断部は、前記リソグラフィ装置のエラー状態を判断し、
前記決定部は、前記リソグラフィ装置のエラー状態に基づき、前記送信するデータを決定する、ことを特徴とする請求項３に記載のデータ処理装置。
【請求項５】
前記リソグラフィ装置のエラー状態は、前記リソグラフィ装置のプロセス精度にばらつきが生じている状態、前記リソグラフィ装置の光学系が劣化している状態、および、前記リソグラフィ装置の消耗部品が消耗している状態を含む、ことを特徴とする請求項４に記載のデータ処理装置。
【請求項６】
前記決定部は、前記ネットワークの通信速度に基づき、前記送信するデータを決定する、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のデータ処理装置。
【請求項７】
前記リソグラフィ装置の稼働状態、前記リソグラフィ装置のエラー状態、前記ネットワークの通信速度、または、前記受信する目的に対応し、前記送信データを決定するための優先度に関する情報を格納する格納部をさらに備える、ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のデータ処理装置。
【請求項８】
前記決定部は、前記リソグラフィ装置の稼動状態または前記リソグラフィ装置のエラー状態と、前記受信する目的と、前記優先度に関する情報と、に基づき、前記受信する目的に対応する必要なデータと、前記必要なデータに対応する前記優先度を含む情報を生成する、ことを特徴とすることを特徴とする請求項７に記載のデータ処理装置。
【請求項９】
リソグラフィ装置からのデータをネットワークを介して送信するデータ処理方法であって、
前記リソグラフィ装置の稼動状態と前記リソグラフィ装置からデータを受信する目的に基づいて送信データを決定する、ことを特徴とするデータ処理方法。
【請求項１０】
リソグラフィ装置からのデータをネットワークを介して送信させるためのプログラムであって、
前記リソグラフィ装置の稼動状態と前記リソグラフィ装置からデータを受信する目的に基づいて送信するデータを決定する、ことを特徴とするプログラム。
【請求項１１】
リソグラフィ装置と、前記リソグラフィ装置と通信可能に通信可能に接続されるデータ処理装置とを備え、前記リソグラフィ装置からのデータをネットワークを介して送信するデータ処理システムであって、
前記データ処理装置は、前記リソグラフィ装置の稼動状態と前記リソグラフィ装置からデータを受信する目的に基づいて送信データを決定する決定部を備える、ことを特徴とするデータ処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
データ処理装置、データ処理方法、プログラム、およびデータ処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、企業がインターネットなどのネットワーク通信により、遠隔から自社製品である装置のサポートサービスを提供することが行われている。遠隔から複数の装置をサポートするためには、サポートサービス実施拠点へサポートに必要な装置データを送信する必要がある。サポートに必要なデータは、サポートの目的によって異なるため、目的に応じて優先的に送信すべきデータが存在することとなる。
【０００３】
特許文献１の設備保全計画支援システムでは、各設備の過去の運行状況を運行データとして収集し、その設備が運行の際に環境に与える影響を環境負荷性能として診断した結果に基づき、保全すべき設備の優先順位を提示している。特許文献２の通信制御装置は、優先度が低い順にサービスを特定可能な情報を並べた廃棄リストを生成し、通信データの流量を制御している。これにより、通信ネットワークにより接続された複数の拠点間を接続するネットワークの通信品質が低下した際にサービスの品質を安定的に保っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１８１２６９号公報
【特許文献２】特許第５９１５８２０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１および特許文献２の発明では、サポートの目的と現在の装置等の稼動状態の両方を考慮していないため、サポートに必要な適切なデータが送信されない場合がありうる。
【０００６】
本発明は、例えば、適切なデータ送信の点で有利なデータ処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、リソグラフィ装置と通信可能に接続され、リソグラフィ装置からのデータをネットワークを介して送信するデータ処理装置であって、リソグラフィ装置の稼働状態とリソグラフィ装置からデータを受信する目的に基づいて送信データを決定する決定部を備える、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、例えば、適切なデータ送信の点で有利なデータ処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態に係るデータ処理装置を含むデータ処理システムの概略構成の一例を示す図である。
【図２】第１実施形態に係る判断部により把握された各装置の稼動状態を示す基準表の一例を示す図である。
【図３】第１実施形態に係る目的別優先度基準表の一例を示す図である。
【図４】第１実施形態に係る通信速度による優先度基準表の一例を示す図である。
【図５】第１実施形態に係る優先度を含む全送信データリストの一例を示す図である。
【図６】第１実施形態に係る装置データの送信処理を示すフローチャートである。
【図７】第２実施形態に係る目的別優先度基準表の一例を示す図である。
【図８】第２実施形態に係る優先度が示された全送信データリストの一例を示す図である。
【図９】第３実施形態に係る判断部により把握された各装置の稼動状態およびエラー状態を示す基準表の一例を示す図である。
【図１０】第３実施形態に係る目的別優先度基準表の一例を示す図である。
【図１１】第３実施形態に係る優先度が示された全送信データリストの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳しく説明する。
〔第１実施形態〕
【００１１】
図１は、第１実施形態に係るデータ処理装置を含むデータ処理システムの概略構成の一例を示す図である。図１では、サポートサービス実施拠点から、サポートサービス実施拠点とは異なる拠点Ｐに設置されている複数のリソグラフィ装置のリモートサポートを行うためのデータ処理システム１を示している。本実施形態に係るデータ処理方法は、プログラムとしてコンピュータに実行されうる。データ処理システム１は、装置１００と、データ処理装置としてのサーバ１０１と、を含みうる。複数の装置１００は、基板上にパターンを形成する露光装置やインプリント装置等のリソグラフィ装置である。なお、基板上に平坦化層を形成する平坦化層形成装置であっても良い。複数の装置１００は、拠点Ｐに設置されている。複数の装置１００は、サーバ１０１とＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）などの専用回線を用いたネットワーク、一般回線を用いたネットワークまたは、無線通信によるネットワーク等で接続されている。装置１００とサーバ１０１とは、通信可能に接続される。
【００１２】
サーバ１０１は、バーチャル・プライベート・ネットワーク（以下、「ＶＰＮ」と称する場合がある）などのインターネット回線を介し、サポートサービス実施拠点にある受信クライアント１０９と接続されている。サーバ１０１は、予め設定された、受信クライアント１０９が装置１００からデータを受信の目的（受信の目的）に応じた装置１００のデータ（装置データ１１０）を受信クライアント１０９へ送信する。以降、単に「データ」という場合、装置データ１１０を指すものとする。なお、サーバ１０１は、受信クライアント１０９からの要求に応じ、受信の目的を設定しても良い。この場合、受信クライアント１０９は、各装置１００に対して実施するサポートサービスに応じて、受信の目的を決定し、サーバ１０１へ送信する。サーバ１０１は、受信クライアント１０９から、受信の目的に関する情報を受信し、データを受信の目的に応じた装置１００のデータを受信クライアント１０９へ送信する。
【００１３】
サーバ１０１は、判断部１０２、通信速度取得部１０３、格納部１０８、および、送信データ決定部１０７を備えうる。判断部１０２は、各装置１００が設置動作を実施している状態であるか、メンテナンス動作を実施している状態であるか、または、デバイスの製造を実施している状態であるかなどの稼動状態を判断し、基準表を生成し、送信データ決定部１０７へ提供する。なお、以降、設置動作を実施している状態を「設置中」、メンテナンス動作を実施している状態を「メンテナンス中」、デバイスの製造を実施している状態を「生産中」という。図２は、第１実施形態に係る判断部１０２により判断された各装置１００の稼動状態を示す基準表の一例を示す図である。判断部１０２により生成される基準表では、例えば、装置＃１の状態は「生産中」、装置＃２も「生産中」、装置＃３は「メンテナンス中」、装置＃４は「生産中」、装置＃５は「設置中」のように、装置１００それぞれの現在の稼動状態が示されている。以降、図２に示す基準表を基準表Ａという。判断部１０２は、例えば、装置１００のデバイスの製造速度や、操作状況などから稼動状態を判断する。なお、判断部１０２は、例えば、装置１００または受信クライアント１０９に入力された稼動状態に関する情報から装置１００の稼動状態を判断しても良い。
【００１４】
通信速度取得部１０３は、サーバ１０１、受信クライアント１０９間のデータ転送時間から通信速度を取得し、送信データ決定部１０７へ提供する。
【００１５】
格納部１０８には、目的別優先度基準表１０４、通信速度による優先度基準表１０５、および、全送信データリスト１０６などの受信クライアント１０９へ送信するデータを決定するための優先度に関する情報が格納される。目的別優先度基準表１０４は、装置１００の稼働状態および受信の目的に対応した、データそれぞれの送信優先度を示す。図３は、第１実施形態に係る目的別優先度基準表１０４の一例を示す図である。図３（Ａ）は、装置１００の稼動状態が「生産中」で、データを受信する目的が「トラブルシューティング」である場合の目的別優先度基準表１０４の一例である。本図において、各データ種類の横に示される数字は、受信クライアント１０９へのデータ送信の優先度を示している。例えば、トラブルシューティングのように、緊急対応としてスポット的に装置データが要求される場面においては、すべてのデータ種類が高優先度に設定される。
【００１６】
一方、図３（Ｂ）乃至（Ｄ）は、データを受信する目的が「稼働率モニタリング」である場合の目的別優先度基準表１０４の一例である。ここで、稼働率モニタリングのためのデータ受信は、一定サイクルで定常的に装置データを受信する形式を想定している。なお、以降、図３（Ａ）乃至（Ｄ）のに示す基準表を総称して基準表Ｂという。図３（Ｂ）では、装置１００の稼動状態が「生産中」の場合の送信優先度を示している。同様に図３（Ｃ）は、装置１００の稼動状態が「メンテナンス中」の場合、図３（Ｄ）は装置１００の稼動状態が「設置中」の場合の送信優先度を示している。受信の目的が「稼働率モニタリング」であるため、設置中は各装置データの優先度が低く、生産中は各装置データの優先度がより高くなるように設定されている。基準表Ｂにおいて、装置１００の稼動状態によって各装置データの優先度は個別に設定される。なお、ここでは、受信の目的の一例として、「トラブルシューティング」と「稼働率モニタリング」例示したが、これらに限られず、例えば、新たな受信の目的が受信クライアント１０９から入力されても良い。
【００１７】
図４は、第１実施形態に係る通信速度による優先度基準表１０５の一例を示す図である。通信速度による優先度基準表１０５は、サーバ１０１、受信クライアント１０９間における通信速度と装置データの優先度とを対応させた基準表である。なお、以降、図４に示す基準表Ｃという。図４に示す例では、通信速度取得部１０３により取得された通信速度が３００ＫＢ／ｓｅｃ未満であった場合は、優先度が「８」以上の装置データを送信対象とすることを示している。同様に３００〜５００ＫＢ／ｓｅｃは優先度「５」以上、５００〜８００ＫＢ／ｓｅｃは優先度「３」以上、８００ＫＢ／ｓｅｃ以上の通信速度の場合は、すべての装置データを送信対象とすることを示している。全送信データリスト１０６は、受信クライアント１０９が各装置１００に対して実施するサポートサービスに必要な装置データをすべて列挙したものである。即ち、受信の目的に対応する必要な装置データの情報である。
【００１８】
送信データ決定部１０７は、受信クライアント１０９が各装置１００に対して実施するサポートサービスに必要な全ての装置データ（全送信データリスト１０６）から、各基準表の情報に基づき、受信クライアント１０９へ送信する装置データを決定する。送信データ決定部１０７は、インターネットを介して、受信クライアント１０９へ送信対象の装置データを送信する。
【００１９】
具体的には、送信データ決定部１０７は、基準表Ａから対象となる装置１００の稼動状態を把握し、対象となる装置１００の稼動状態に対応する基準表Ｂを選択する。送信データ決定部１０７は、対応する基準表Ｂに基づいて各装置データの送信優先度を決定し、優先度を含む、全送信データリスト１０６を生成する。図５は、第１実施形態に係る優先度を含む全送信データリスト１０６の一例を示す図である。図５（Ａ）に示す全送信データリスト１０６には、受信クライアント１０９が各装置１００に対して実施するサポートサービスに必要な装置データがすべて列挙され、各装置データに対応する優先度が含まれている。送信データ決定部１０７は、必要な装置データのデータ種類が決定したら、さらに基準表Ｃに基づき、通信速度に応じて送信対象とする装置データを決定する。例えば、この時、通信速度が２９０ＫＢ／ｓｅｃだったとする。図４に示す基準表Ｃによれば、優先度「８」以上の装置データが送信対象となる。よって、送信データ決定部１０７は、図５（Ｂ）に示すように、優先度が「８」以上の装置データのみの送信を決定する。送信対象として選択されなかった装置データに関しては削除されても良いし、次の送信タイミングにて、再び優先度判断されても良い。
【００２０】
図６は、第１実施形態に係る装置データの送信処理を示すフローチャートである。このフローチャートで示す各動作（ステップ）は、送信データ決定部１０７よって実行されうる。ステップＳ２０１では、設定された受信の目的に応じて、各装置１００に対して実施するサポートサービスに必要なデータをすべて列挙し、送信すべきデータを確定する。即ち、全送信データリスト１０６を生成して、格納部１０８に格納する。ステップＳ２０２では、判断部１０２は、各装置１００の稼動状態を判断し、基準表Ａを生成して、送信データ決定部１０７に各装置１００の稼動状態を提供する。ステップＳ２０３では、通信速度取得部１０３は、サーバ１０１と受信クライアント１０９間のデータ転送時間から通信速度を取得し、送信データ決定部１０７へ提供する。
【００２１】
ステップＳ２０４では、送信データ決定部１０７は、予め設定された目的別優先度基準表１０４（基準表Ｂ）に基づき、全送信データの優先度を決定する。ステップＳ２０５では、ステップＳ２０３にて通信速度の提供を受けた送信データ決定部１０７が、予め設定された通信速度による優先度基準表１０５に基づき、送信対象とする優先度を決定する。ステップＳ２０６では、送信データ決定部１０７は、優先度が示された全送信データリスト１０６の中から、ステップＳ２０５で決定した、送信対象となる優先度に応じて、装置データを選択し、送信すべき装置データを決定する。ステップＳ２０７では、送信データ決定部１０７は、決定した装置データを各装置１００から取得し、受信クライアント１０９へ装置データを送信する。
【００２２】
このデータ処理装置によれば、通信速度が不十分な状態になった場合でも、装置１００の稼動状態に応じ、受信の目的に沿った、適切な装置データが送信対象として選択される。これにより、サポートサービス実施拠点において、その時実施し得る最大限のサポートサービスを実施することが可能となる。
【００２３】
なお、本実施形態に示した各基準表は、受信クライアント１０９からの要求に応じ、更新されても良い。例えば、受信クライアント１０９が備える入力部から、各基準表が更新されても良い。
【００２４】
（第２実施形態）
以下、本発明の第２実施形態に係るデータ処理装置について説明する。第２実施形態として言及しない事項は、第１実施形態に従う。第２実施形態では、一つの目的別優先度基準表１０４で、複数の受信の目的を示す。
【００２５】
図７は、第２実施形態に係る目的別優先度基準表１０４の一例を示す図である。図７（Ａ）は、装置の稼動状態が「生産中」であって、受信の目的が「トラブルシューティング」、「稼動率モニタリング」、「精度検討」、「光学劣化診断」、「ゴミ検知」および「故障診断」などの複数の目的を示している。本実施形態に係る目的別優先度基準表１０４では、複数の受信の目的のそれぞれにデータ種類の優先度を設定している。同様に図７（Ｂ）は、装置１００の稼動状態が「メンテナンス中」の場合、図７（Ｃ）は、装置１００の稼動状態が「設置中」の場合の目的別優先度基準表１０４である。装置１００の稼動状態と受信の目的によりデータ種類の優先度が異なっている。なお、以降、図７（Ａ）乃至（Ｃ）のに示す基準表を総称して基準表Ｄという。
【００２６】
送信データ決定部１０７は、基準表Ａから対象となる装置の装置１００の稼動状態を把握する。そして、送信データ決定部１０７は、対象となる装置１００の稼動状態に対応する基準表Ｄを選択し、データ種類別の優先度を決定する。図８は、第２実施形態に係る優先度が示された全送信データリスト１０６の一例を示す図である。図８（Ａ）に示す全送信データリスト１０６には、受信クライアント１０９が各装置１００に対して実施するサポートサービスに必要な装置データがすべて列挙され、各装置データに対応する優先度が示されている。
【００２７】
次に、送信データ決定部１０７は、基準表Ｃに基づき、通信速度に応じて、送信対象とする優先度を決定し、送信すべきデータを決定する。例えば、この時、通信速度が３５０ＫＢ／ｓｅｃだった場合、基準表Ｃによれば優先度「５」以上の装置データが送信対象となり、図８（Ｂ）に示すように、優先度が「５」以上の装置データのみの送信を決定する。本実施形態では、例えば、装置＃３では、同じデータ種類であるリアルタイムログを、異なる受信の目的である「稼働率モニタリング」と「精度検討」でそれぞれ送信対象としている。ここでは、送信する優先度は通信速度から「５」以上と決定しているため、リアルタイムログは、「稼働率モニタリング」の目的では送信されない。しかし、「精度検討」という受信の目的の観点では送信対象となるため、結果としてリアルタイムログは送信されることとなる。このように複数の受信の目的に基づき、送信対象となる装置データを決定しても良い。
【００２８】
本実施形態によれば、複数の受信の目的に応じて送信データを決定すること可能となり、より適切な装置データを送信することが可能となる。
【００２９】
（第３実施形態）
以下、本発明の第３実施形態に係るデータ処理装置について説明する。第３実施形態として言及しない事項は、第１実施形態、および、第２実施形態に従う。本実施形態では、さらに、装置１００のエラー状態に基づき、送信する装置データを決定する。
【００３０】
図９は、第３実施形態に係る判断部１０２により判断された各装置１００の稼動状態およびエラー状態を示す基準表の一例を示す図である。以降、図９に示す基準表を基準表Ｅという。図９において、装置＃１の稼動状態は「生産中」を、エラー状態は「プロセス精度ばらつき」を示している。ここで、「プロセス精度ばらつき」とは、生産プロセスの精度にばらつきが生じている状態を示している。装置＃３の稼動状態は「メンテナンス中」を、エラー状態は「消耗部品消耗」を示している。ここで、「消耗部品消耗」とは、対象となる装置内の消耗部品が消耗している状態、即ち、消耗部品の交換時期が近づいている状態を示している。装置＃４の稼動状態は「生産中」を、エラー状態は「光学系劣化」を示している。ここで、「光学系劣化」とは、対象となる装置内の光学系が劣化している状態、即ち、光学系の交換時期が近づいている状態を示している。
【００３１】
エラー状態とは、例えば、装置１００のプロセス精度にばらつきが生じている状態などの装置１００に異常が生じている状態、または、装置１００の光学系が劣化している状態、もしくは、消耗部品が消耗している状態などの部品の交換が必要な状態である。判断部１０２は、例えば、製造されたデバイスの状態や、装置の総稼働時間などから、エラー状態を判断しても良い。なお、前述のエラー状態は一例であって、これらに限られない。また、以降、「装置の状態」という場合、装置の稼働状態およびエラー状態を含むものとする。
【００３２】
図１０は、第３実施形態に係る目的別優先度基準表１０４の一例を示す図である。本図では、第２実施形態の基準表Ｄ（図７）と同様、複数の受信の目的別にデータ種類の優先度を示している。図１０（Ａ）は、装置１００の稼動状態が「生産中」の場合の目的別優先度基準表１０４の一例を示している。図１０（Ｂ）は、装置１００のエラー状態が「プロセス精度ばらつき」の場合の目的別優先度基準表１０４の一例を示している。以降、図１０（Ａ）および図１０（Ｂ）の基準表を総称して基準表Ｆという。
【００３３】
送信データ決定部１０７は、基準表Ｅから対象となる装置１００の状態を把握する。送信データ決定部１０７は、対象となる装置１００の稼動状態およびエラー状態に対応する基準表Ｆを選択し、データ種類別の優先度を決定する。図１１は、第３実施形態に係る優先度が示された全送信データリスト１０６の一例を示す図である。図１１（Ａ）に示す全送信データリスト１０６には、受信クライアント１０９が各装置１００に対して実施するサポートサービスに必要な装置データがすべて列挙され、各装置データに対応する優先度が示されている。
【００３４】
次に、送信データ決定部１０７は、基準表Ｃに基づき、通信速度に応じて、送信対象とする優先度を決定し、送信するデータを決定する。例えば、この時通信速度が７００ＫＢ／ｓｅｃだった場合、基準表Ｃによれば優先度「３」以上の装置データが送信対象となる。よって送信データ決定部１０７は、図１１（Ｂ）に示すように、優先度が「３」以上の装置データの送信を決定する。
【００３５】
また、例えば、この時、通信速度が２５０ＫＢ／ｓｅｃであり、基準表Ｃによる優先度が「９」であった場合、送信データ決定部１０７は、優先度が「９」以上の装置データのみの送信を決定する。本実施形態では、例えば、装置＃１では、同じデータ種類であるリアルタイムログを、異なる装置の状態である「生産中」と「プロセス精度ばらつき」、異なる受信の目的である「稼働率モニタリング」と「精度検討」、のそれぞれで送信対象としている。ここでは、送信する優先度は通信速度から「９」以上と決定しているため、リアルタイムログは、「生産中」の装置状態、かつ、「稼働率モニタリング」の目的では送信されない。しかし、「プロセス精度ばらつき」の装置状態、かつ、「精度検討」という受信の目的の観点では送信対象となるため、結果としてリアルタイムログは送信されることとなる。
【００３６】
このように、複数の装置の状態に基づき、送信する装置データを決定しても良い。これにより、より適切な装置データが送信対象として選択されることとなり、適切なサポートサービスを実施することが可能となる。
【００３７】
なお、同一の装置において、同一のデータ種類が選択された場合は、優先度の高いデータのみの送信を決定しても良い。これにより、重複するデータの送信を回避することができるため、データ送信負荷が軽減されることとなる。
【００３８】
（その他の実施形態）
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
【符号の説明】
【００３９】
１      データ処理システム
１００  装置
１０１  サーバ
１０２  判断部
１０３  通信速度取得部
１０７  送信データ決定部
１０８  格納部
【図１】
2019200377.tif 000003
【図２】
2019200377.tif 000004
【図３】
2019200377.tif 000005
【図４】
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【図５】
2019200377.tif 000007
【図６】
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【図７】
2019200377.tif 000009
【図８】
2019200377.tif 000010
【図９】
2019200377.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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