(57)【要約】【課題】同軸ケーブル同士を連結する小型のコネクタおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】シグナル線の周囲にグランド線が設けられた同軸ケーブルのコネクタであって、樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの表面上に形成され、電気的に分離されたシグナル領域とグランド領域とを有する金属膜と、前記金属膜におけるシグナル領域上に硬質高弾性金属体で形成され、前記シグナル線に接続された際に前記シグナル線の延長方向に突出した突起形状のシグナル端子と、前記金属膜におけるグランド領域上に硬質高弾性金属体で形成され、前記シグナル端子に対し略平行に形成された端子部と前記グランド線に接続された際に前記グランド線を両側から挟み接続する接続部とを有し、前記シグナル端子に関して対称に配置された１対のグランド端子と、を備えることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シグナル線の周囲にグランド線が設けられた同軸ケーブルのコネクタであって、
樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムの表面上に形成され、電気的に分離されたシグナル領域とグランド領域とを有する金属膜と、
前記金属膜におけるシグナル領域上に硬質高弾性金属体で形成され、前記シグナル線に接続された際に前記シグナル線の延長方向に突出した突起形状のシグナル端子と、
前記金属膜におけるグランド領域上に硬質高弾性金属体で形成され、前記シグナル端子に対し略平行に形成された端子部と前記グランド線に接続された際に前記グランド線を両側から挟み接続する接続部とを有し、前記シグナル端子に関して対称に配置された１対のグランド端子と、
を備えることを特徴とする同軸ケーブルコネクタ。
【請求項２】
シグナル線の周囲にグランド線が設けられた同軸ケーブルのコネクタであって、
樹脂フィルムと、
前記樹脂フィルムの表面上に形成され、電気的に分離されたシグナル領域とグランド領域とを有する金属膜と、
前記金属膜におけるシグナル領域上に硬質高弾性金属体で形成され、前記シグナル線に接続された際に前記シグナル線に向かって嵌合溝が設けられたシグナル端子と、
前記金属膜におけるグランド領域上に硬質高弾性金属体で形成され、前記シグナル端子に対し略平行に形成された端子部と前記グランド線に接続された際に前記グランド線を両側から挟み接続する接続部とを有し、前記シグナル端子に関して対称に構成された１対のグランド端子と、
を備えることを特徴とする同軸ケーブルコネクタ。
【請求項３】
前記硬質高弾性金属体は、電鋳されたニッケルであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の同軸ケーブルコネクタ。
【請求項４】
前記樹脂フィルムは、ポリイミドで形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の同軸ケーブルコネクタ。
【請求項５】
前記金属膜は、銅箔であることを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の同軸ケーブルコネクタ。
【請求項６】
樹脂フィルム上に形成された金属膜をシグナル領域とグランド領域とに電気的に分離するエッチング工程と、
前記樹脂フィルム上にドライフィルムレジストを積層し、前記ドライフィルムレジストからシグナル端子およびグランド端子の形状をフォトリソグラフィ技術で除去するフォトリソグラフィ工程と、
前記シグナル端子およびグランド端子の形状が除去された前記ドライフィルムレジストの型を用いて硬質高弾性金属体を電鋳する電鋳工程と、
を有することを特徴とする同軸ケーブルコネクタの製造方法。
【請求項７】
同軸ケーブルのシグナル線を前記シグナル端子に接続し、前記シグナル端子の周囲に設けられたグランド線を前記グランド端子に接続する組立工程をさらに有することを特徴とする請求項６に記載の同軸ケーブルコネクタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、同軸ケーブル同士を連結するコネクタおよびその製造方法に関するものであり、特に直径が細い同軸ケーブル同士を連結するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
同軸ケーブルは、中心にシグナル線を備え、当該シグナル線の周囲を低損失の誘電体で被覆し、さらに当該誘電体の周囲を網目状の金属線で包んだグランド線を備える同心円構造を有する。この構造は、グランド線がシールドの役割を果たすので、外界からの電磁ノイズの影響を受けにくく、また、ケーブルから外界へ放射される電磁ノイズも少ない。
【０００３】
このように、同軸ケーブルは、良好な伝送特性を有するので、半導体試験装置分野や電磁気計測試験装置、高周波伝送試験機、医療機器分野で広く用いられている。また、近年では、スマートフォンやノート型パソコンなどの小型電子機器においても、例えばアンテナから受信した高周波シグナルの伝送媒体ケーブルなどでは、直径が１．０ｍｍから０．５ｍｍ程度の細径の同軸ケーブルも利用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３１１８０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、細径の同軸ケーブルに対する需要が高まるにつれて、コネクタも小型化することが求められている。そこで、基板に実装されるコネクタに関しては、基板の製造工程中に、フォトリソグラフィ技術を用いて小型のコネクタを形成する技術も知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
しかしながら、ロボットのシグナル伝送系や各種の測定機械装置の場合、同軸ケーブル同士を狭い領域で繋ぐコネクタが必要とされるケースも多い。そこで、同軸ケーブル同士を繋ぐための小型のコネクタが求められていた。
【０００７】
本発明は、前記した課題を解決するためになされたものであり、同軸ケーブル同士を連結する小型の同軸ケーブルコネクタおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するためになされた本発明に係る同軸ケーブルコネクタは、シグナル線の周囲にグランド線が設けられた同軸ケーブルのコネクタであって、樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの表面上に形成され、電気的に分離されたシグナル領域とグランド領域とを有する金属膜と、前記金属膜におけるシグナル領域上に硬質高弾性金属体で形成され、前記シグナル線に接続された際に前記シグナル線の延長方向に突出した突起形状のシグナル端子と、前記金属膜におけるグランド領域上に硬質高弾性金属体で形成され、前記シグナル端子に対し略平行に形成された端子部と前記グランド線に接続された際に前記グランド線を両側から挟み接続する接続部とを有し、前記シグナル端子に関して対称に配置された１対のグランド端子と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る同軸ケーブルコネクタは、シグナル線の周囲にグランド線が設けられた同軸ケーブルのコネクタであって、樹脂フィルムと、前記樹脂フィルムの表面上に形成され、電気的に分離されたシグナル領域とグランド領域とを有する金属膜と、前記金属膜におけるシグナル領域上に硬質高弾性金属体で形成され、前記シグナル線に接続された際に前記シグナル線に向かって嵌合溝が設けられたシグナル端子と、前記金属膜におけるグランド領域上に硬質高弾性金属体で形成され、前記シグナル端子に対し略平行に形成された端子部と前記グランド線に接続された際に前記グランド線を両側から挟み接続する接続部とを有し、前記シグナル端子に関して対称に構成された１対のグランド端子と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る同軸ケーブルコネクタは、前記硬質高弾性金属体は、電鋳されたニッケルであることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る同軸ケーブルコネクタは、前記樹脂フィルムは、ポリイミドで形成されていることが望ましい。
【００１２】
また、本発明に係る同軸ケーブルコネクタは、前記金属膜は、銅箔であることが望ましい。
【００１３】
また、本発明に係る同軸ケーブルコネクタの製造方法は、樹脂フィルム上に形成された金属膜をシグナル領域とグランド領域とに電気的に分離するエッチング工程と、前記樹脂フィルム上にドライフィルムレジストを積層し、前記ドライフィルムレジストからシグナル端子およびグランド端子の形状をフォトリソグラフィ技術で除去するフォトリソグラフィ工程と、前記シグナル端子およびグランド端子の形状が除去された前記ドライフィルムレジストの型を用いて硬質高弾性金属体を電鋳する電鋳工程と、を有することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係る同軸ケーブルコネクタの製造方法は、同軸ケーブルのシグナル線を前記シグナル端子に接続し、前記シグナル端子の周囲に設けられたグランド線を前記グランド端子に接続する組立工程をさらに有することが望ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、同軸ケーブル同士を連結する小型の同軸ケーブルコネクタおよびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る凸型の同軸ケーブルコネクタの構成例を示す図である。
【図２】図２は、本発明の実施形態に係る凹型の同軸ケーブルコネクタの構成例を示す図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態に係る凸型の同軸ケーブルコネクタの製造方法例を示す図である。
【図４】図４は、本発明の実施形態に係る凹型の同軸ケーブルコネクタの製造方法例を示す図である。
【図５】図５は、本発明の実施形態に係る同軸ケーブルコネクタの高周波伝送特性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態に係る同軸ケーブルコネクタおよびその製造方法につき、図面に基づいて説明する。ただし、本発明の実施形態に係る同軸ケーブルコネクタおよびその製造方法が以下で説明する実施形態に限定されるものではない。添付の図面は模式的なものであり、各要素の寸法や比率などが実際と異なる場合がある。
【００１８】
（凸型の同軸ケーブルコネクタの構成例）
図１は、本発明の実施形態に係る凸型の同軸ケーブルコネクタの構成例を示す図である。図１に示される凸型の同軸ケーブルコネクタ１０は、後に図２を参照しながら説明する凹型の同軸ケーブルコネクタ２０と組み合わせて用いられる。
【００１９】
図１に示されるように、本発明の実施形態に係る凸型の同軸ケーブルコネクタ１０は、直径が１ｍｍ以下の同軸ケーブル３０の先端に取り付けて利用されることが想定されるものである。同軸ケーブル３０は、シグナル線３１の周囲にグランド線３３が設けられた構成のケーブルであり、より具体的には、中心にシグナル線３１を備え、シグナル線３１の周囲を低損失の誘電体３２で被覆し、さらに誘電体３２の周囲を網目状の金属線で包んだグランド線３３を備える同心円構造を有している。さらに、通常、グランド線３３の周囲は、樹脂製の外部被覆３４によって保護がされている。同軸ケーブル３０の直径とは、外部被覆３４を含めたケーブルの直径を表す。
【００２０】
また、同軸ケーブル３０は、先端に同軸ケーブルコネクタ１０を取り付ける際には、図１に示されるように、樹脂製の外部被覆３４を剥離しグランド線３３を外部被覆３４の外側に露出させ、さらに誘電体３２を剥離してシグナル線３１を露出させた状態で用いられる。
【００２１】
図１に示されるように、本発明の実施形態に係る凸型の同軸ケーブルコネクタ１０は、樹脂フィルム１１と、樹脂フィルム１１の表面上に形成された金属膜１２と、シグナル線３１の延長方向に突出した突起形状のシグナル端子１３と、シグナル端子１３に関して対称に配置された１対のグランド端子１４ａ，１４ｂとを備えている。
【００２２】
樹脂フィルム１１は、フレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ）におけるベースフィルムであり、典型的にはポリイミドで形成されたフィルムである。一方、金属膜１２は、フレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ）における導電体層であり、典型的には銅箔で形成されている。
【００２３】
なお、図１に示される樹脂フィルム１１の領域は、フレキシブルプリント回路基板の表面から金属膜１２が除去された領域であり、また図１に示される金属膜１２の領域は、フレキシブルプリント回路基板の表面から金属膜１２が除去されていない領域である。後に図３に基づいて詳細に説明するが、金属膜１２の領域は、電気的に分離されたシグナル領域とグランド領域とを有しており、シグナル端子１３はシグナル領域上に形成され、グランド端子１４ａ，１４ｂはグランド領域上に形成されている。これにより、シグナル端子１３とグランド端子１４ａ，１４ｂとが電気的に離隔されている。
【００２４】
シグナル端子１３は、シグナル線３１に接続された際にシグナル線３１の延長方向に突出した突起形状を有している。これは、図２に示される凹型の同軸ケーブルコネクタ２０と接続した際に、シグナル端子１３が凹型の同軸ケーブルコネクタ２０のシグナル端子２３の嵌合溝２３ｂに嵌合するためである。シグナル端子１３は、凹型の同軸ケーブルコネクタ２０のシグナル端子２３の嵌合溝２３ｂにより滑らかに嵌合するために、先端部が面取り加工されていることが好ましい。また、凹型の同軸ケーブルコネクタ２０のシグナル端子２３とより確実に接触するために、シグナル端子１３の側面には、緩やかな凸部または湾曲部を形成することが好ましい。
【００２５】
さらに、シグナル端子１３におけるシグナル線３１が接続される部分には、シグナル端子１３とシグナル線３１とをより確実に接続するために、溝１３ａが設けられていることが好ましい。なお、シグナル端子１３とシグナル線３１とは半田で接続することが好ましいが、図１では図の見やすさを優先して半田の記載を省略している。また、シグナル端子１３とシグナル線３１とを半田付けする溝１３ａの領域では、樹脂フィルム１１上の金属膜１２を除去せず、残しておくことが好ましい。溝１３ａの領域に金属膜１２を残しておけば、この金属膜１２部分をランドとして用いることによって、シグナル端子１３とシグナル線３１とをより確実に接続することができる。
【００２６】
グランド端子１４ａ，１４ｂは、それぞれ、シグナル端子１３に対し略平行に形成された端子部１４ａａ，１４ｂａと、グランド線３３に接続された際にグランド線３３を両側から挟み接続する接続部１４ａｂ，１４ｂｂとを有している。グランド端子１４ａとグランド端子１４ｂとは、シグナル端子１３に関して対称に配置されており、互いに鏡像の形状を有している。
【００２７】
グランド端子１４ａ，１４ｂの端子部１４ａａ，１４ｂａは、図２に示される凹型の同軸ケーブルコネクタ２０と接続した際に、凹型の同軸ケーブルコネクタ２０のグランド端子２４ａ，２４ｂと接触するためのものである。したがって、グランド端子１４ａ，１４ｂの端子部１４ａａ，１４ｂａの先端部は、凹型の同軸ケーブルコネクタ２０のグランド端子２４ａ，２４ｂにより滑らかに接触するために、先端部が面取り加工されていることが好ましい。
【００２８】
グランド端子１４ａ，１４ｂの接続部１４ａｂ，１４ｂｂは、互いに対向して配置されることによって、同軸ケーブル３０のグランド線３３および誘電体３２を挿入するための溝を形成する。したがって、接続部１４ａｂと接続部１４ｂｂとの間の間隔は、同軸ケーブル３０の直径および誘電体３２の直径に整合したものであることが好ましい。したがって、直径１ｍｍ以下の同軸ケーブル３０の先端に取り付ける場合には、接続部１４ａｂと接続部１４ｂｂとの間の間隔もこれと同程度にすることが好ましい。
【００２９】
接続部１４ａｂと接続部１４ｂｂとの間の領域では、樹脂フィルム１１上の金属膜１２を除去せず、残しておくことが好ましい。接続部１４ａｂと接続部１４ｂｂとの間の領域に金属膜１２を残しておけば、この金属膜１２部分をランドとして用いることによって、グランド端子１４ａ，１４ｂとグランド線３３とをより確実に接続することができる。
【００３０】
シグナル端子１３およびグランド端子１４ａ，１４ｂは、硬質高弾性金属体で形成されている。シグナル端子１３およびグランド端子１４ａ，１４ｂは、適度な高弾力性と高強度を兼ね備えることによって、シグナル端子１３とグランド端子１４ａ，１４ｂとが接触する際に、相互に押圧を加えることになり、電気的接続を安定させることが可能になる。適度な高弾力性と高強度を兼ね備える硬質高弾性金属体の例は、例えばニッケル（Ｎｉ）であり、後に製造方法の一部として説明するように、電鋳されたニッケルであることが好ましい。
【００３１】
（凹型の同軸ケーブルコネクタの構成例）
図２は、本発明の実施形態に係る凹型の同軸ケーブルコネクタの構成例を示す図である。図２に示される凹型の同軸ケーブルコネクタ２０は、図１を参照しながら説明した凸型の同軸ケーブルコネクタ１０と組み合わせて用いられる。凹型の同軸ケーブルコネクタ２０は、凸型の同軸ケーブルコネクタ１０と共通する構成が多いので、以下の説明では共通構成に関しては適宜省略するものとする。
【００３２】
本発明の実施形態に係る凹型の同軸ケーブルコネクタ２０は、直径が１ｍｍ以下の同軸ケーブル３０の先端に取り付けて利用されることが想定されるものである。同軸ケーブル３０は、シグナル線３１の周囲にグランド線３３が設けられた構成のケーブルであり、図１を参照しながら説明したものと同一種類のものである。
【００３３】
図２に示されるように、本発明の実施形態に係る凹型の同軸ケーブルコネクタ２０は、樹脂フィルム２１と、樹脂フィルム２１の表面上に形成された金属膜２２と、シグナル線３１に向かって嵌合溝２３ｂが設けられたシグナル端子２３と、シグナル端子２３に関して対称に配置された１対のグランド端子２４ａ，２４ｂとを備えている。また、凹型の同軸ケーブルコネクタ２０は、上部を樹脂膜２５にて覆われているが、構成を見やすくするために図２では記載を省略している。
【００３４】
図２に示される樹脂フィルム２１の領域は、フレキシブルプリント回路基板の表面から金属膜２２が除去された領域であり、また図２に示される金属膜２２の領域は、フレキシブルプリント回路基板の表面から金属膜２２が除去されていない領域である。
後に図４に基づいて詳細に説明するが、金属膜２２の領域は、電気的に分離されたシグナル領域とグランド領域とを有しており、シグナル端子２３はシグナル領域上に形成され、グランド端子２４ａ，２４ｂはグランド領域上に形成されている。これにより、シグナル端子２３とグランド端子２４ａ，２４ｂとが電気的に離隔されている。
【００３５】
シグナル端子２３は、シグナル線３１に接続された際にシグナル線３１に向かって嵌合溝が設けられた形状を有している。これは、図１に示される凸型の同軸ケーブルコネクタ１０と接続した際に、シグナル端子２３の嵌合溝２３ｂに凸型の同軸ケーブルコネクタ１０のシグナル端子１３が嵌合するためである。
【００３６】
シグナル端子２３におけるシグナル線３１が接続される部分には、シグナル端子２３とシグナル線３１とをより確実に接続するために、溝２３ａが設けられていることが好ましい。また、シグナル端子２３とシグナル線３１とを半田付けする溝２３ａの領域では、樹脂フィルム１２１上の金属膜２２を除去せず、残しておくことが好ましい。
【００３７】
グランド端子２４ａ，２４ｂは、それぞれ、シグナル端子２３に対し略平行に形成された端子部２４ａａ，２４ｂａと、グランド線３３に接続された際にグランド線３３を両側から挟み接続する接続部２４ａｂ，２４ｂｂとを有している。グランド端子２４ａとグランド端子２４ｂとは、シグナル端子２３に関して対称に配置されており、互いに鏡像の形状を有している。グランド端子２４ａ，２４ｂの端子部２４ａａ，２４ｂａは、図１に示される凸型の同軸ケーブルコネクタ１０と接続した際に、凸型の同軸ケーブルコネクタ１０のグランド端子１４ａ，１４ｂと接触するためのものである。
【００３８】
シグナル端子１３およびグランド端子２４ａ，２４ｂは、硬質高弾性金属体で形成されている。シグナル端子２３およびグランド端子２４ａ，２４ｂは、適度な高弾力性と高強度を兼ね備えることによって、シグナル端子２３とグランド端子２４ａ，２４ｂとが接触する際に、相互に押圧を加えることになり、電気的接続を安定させることが可能になる。適度な高弾力性と高強度を兼ね備える硬質高弾性金属体の例は、例えばニッケル（Ｎｉ）であり、後に製造方法の一部として説明するように、電鋳されたニッケルであることが好ましい。
尚、凹型の同軸ケーブルコネクタ２０にあっては、上部を樹脂膜２５によって覆われるため、樹脂膜２５と樹脂フィルム２１によって、凸型の同軸ケーブルコネクタ１０のシグナル端子１３グランド端子１４ａ，１４ｂが挿入される密閉空間が形成される。
【００３９】
（凸型の同軸ケーブルコネクタの製造方法例）
図３は、本発明の実施形態に係る凸型の同軸ケーブルコネクタの製造方法例を示す図である。以下、図３を参照しながら凸型の同軸ケーブルコネクタ１０の製造方法の例を説明する。
【００４０】
図３（ａ）に示すように、本製造方法例は、樹脂フィルム１１の両面に接着剤を用いずに金属膜１２を積層した２層型のフレキシブルプリント回路基板を開始部材として用いる。既に説明したように、樹脂フィルム１１の素材の典型例はポリイミドであり、金属膜１２の素材の典型例は銅箔である。
【００４１】
そして、図３（ｂ）に示すように、樹脂フィルム１１および金属膜１２にドリルやレーザを用いてビア１１ａを形成する。ビア１１ａの側面には金属メッキが施されており、フレキシブルプリント回路基板の表裏の金属膜１２が導通される。
【００４２】
次に、図３（ｃ）に示すように、樹脂フィルム１１上に形成された表側の金属膜１２をエッチングし、所定の回路パターンを形成する。表側の金属膜１２は、少なくともシグナル領域１２ａとグランド領域１２ｂとを有する。シグナル領域１２ａは、後にシグナル端子１３が形成される領域であり、グランド領域１２ｂは、後にグランド端子１４ａ，１４ｂが形成される領域である。
樹脂フィルム１１に形成された裏側の金属膜１２は図示しないが、ビア１１ａと電気的に接続されたグランド領域のみが形成される。
【００４３】
次に、図３（ｄ）に示すように、樹脂フィルム１１の表側にドライフィルムレジスト１６を例えば１００〜３００μｍの厚さで積層し、フォトリソグラフィ技術を用いて、シグナル端子１３およびグランド端子１４ａ，１４ｂの形状の型を形成する。
【００４４】
そして、図３（ｅ）に示すように、ドライフィルムレジスト１６の型を用いて、硬質高弾性金属体の例であるニッケルの電鋳を行う。ニッケルの電鋳は、ニッケルの電気メッキと同じ化学反応を利用しながら、ニッケルの鋳造を行う工程であり、この場合、ドライフィルムレジスト１６が鋳型に相当する役割を担っている。
【００４５】
その後、図３（ｆ）に示すように、ニッケルの電鋳で形成されたシグナル端子１３およびグランド端子１４ａ，１４ｂを所定の厚さに研磨加工し、ドライフィルムレジスト１６を除去する。そして、図３（ｇ）に示すように、ＣＯ２レーザあるいはＹＡＧレーザ等を用いて、余分な樹脂フィルム１１（先端部分の樹脂フィルム）を除去し、凸型の同軸ケーブルコネクタ１０が完成する。
尚、樹脂フィルム１１に形成された裏側の金属膜１２は、ビア１１ａを介して、グランド領域１２ｂと電気的に接続されている。
【００４６】
凸型の同軸ケーブルコネクタ１０は、図３（ｈ）に示すように、同軸ケーブル３０の先端に取り付けられて用いられる。具体的には、同軸ケーブル３０のシグナル線３１をシグナル端子１３に接続し、シグナル端子１３の周囲に設けられたグランド線３３をグランド端子１４ａ，１４ｂに半田で接続する。半田付けは、例えばクリーム半田を接続部に塗布し加熱する方法を用いることができる。
【００４７】
（凹型の同軸ケーブルコネクタの製造方法例）
図４は、本発明の実施形態に係る凹型の同軸ケーブルコネクタの製造方法例を示す図である。以下、図４を参照しながら凹型の同軸ケーブルコネクタ２０の製造方法の例を説明する。凹型の同軸ケーブルコネクタ２０の製造方法は、凸型の同軸ケーブルコネクタ１０と共通する工程が多いので、以下の説明では共通工程に関しては適宜省略するものとする。
【００４８】
図４（ａ）に示すように、本製造方法例は、樹脂フィルム２１の両面に接着剤を用いずに金属膜２２を積層した２層型フレキシブルプリント回路基板を開始部材として用いる。そして、図４（ｂ）に示すように、樹脂フィルム２１および金属膜２２にドリルやレーザを用いてビア２１ａを形成する。
【００４９】
次に、図４（ｃ）に示すように、樹脂フィルム２１上に形成された金属膜２２をエッチングし、所定の回路パターンを形成する。金属膜２２は、少なくともシグナル領域２２ａとグランド領域２２ｂとを有する。シグナル領域２２ａは、後にシグナル端子２３が形成される領域であり、グランド領域２２ｂは、後にグランド端子２４ａ，２４ｂが形成される領域である。
樹脂フィルム２１に形成された裏側の金属膜２２は図示しないが、ビア２１ａと電気的に接続されたグランド領域のみが形成される。
【００５０】
次に、図４（ｄ）に示すように、樹脂フィルム２１の表側にドライフィルムレジスト２６を例えば１００〜３００μｍの厚さで積層し、フォトリソグラフィ技術を用いて、シグナル端子２３およびグランド端子２４ａ，２４ｂの形状の型を形成する。
【００５１】
そして、図４（ｅ）に示すように、ドライフィルムレジスト２６の型を用いて、硬質高弾性金属体の例であるニッケルの電鋳を行う。その後、図４（ｆ）に示すように、シグナル端子２３およびグランド端子２４ａ，２４ｂを所定の厚さに研磨加工し、ドライフィルムレジスト２６を除去する。尚、凹型の同軸ケーブルコネクタ２０にあっては、凸型の同軸ケーブルコネクタ１０の外周囲の余分な樹脂フィルムの除去を行う。
【００５２】
その後、図４（ｇ）に示すように、シグナル端子２３およびグランド端子２４ａ，２４ｂの上に、上面を覆うように樹脂膜２５を形成し、凹型の同軸ケーブルコネクタ２０が完成する。尚、樹脂フィルム２１に形成された裏側の金属膜２２は、ビア２１ａを介して、グランド領域２２ｂと電気的に接続されている。
そして、凹型の同軸ケーブルコネクタ２０は、図４（ｈ）に示すように、同軸ケーブル３０の先端に取り付けられて用いられる。
【００５３】
（同軸ケーブルコネクタの特性）
図５は、本発明の実施形態に係る同軸ケーブルコネクタの高周波伝送特性を示すグラフである。図５のグラフに示される高周波伝送特性は、凸部と凹型との同軸ケーブルコネクタを接続した場合の挿入損失を示している。具体的には、２つの同軸ケーブルコネクタを接続した状態のシグナル線とグランド線の対を２端子対回路としたときのＳパラメータ（ｓ２１）を挿入損失としてグラフ化している。
【００５４】
実施例として、図１、図２に示す構成の同軸ケーブルコネクタ（実施例）を用いた。
端子幅０．８ｍｍ、端子長さ０．５ｍｍの凹凸コネクタに、各々Φ０．５ｍｍの同軸ケーブルを１０ｍｍ接続し、ケーブル付きの凹凸コネクタを勘合させて、両端のケーブルから高周波信号を印加して挿入損失を、２回測定した。
また、比較例として、既に市販されているコネクタ中で最も小さいΦ１０ｍｍの凹凸の同軸コネクタに、各々Φ１．５ｍｍの同軸ケーブルを１０ｍｍ接続し、ケーブル付きの凹凸を勘合させて、両端のケーブルから高周波信号を印加して挿入損失を、２回測定した。
【００５５】
図５に示されるグラフは、横軸に示された周波数（ＭＨｚ）に関するＳパラメータ（ｓ２１）を縦軸にｄＢ表示するものである。
実施例および比較例との挿入損失を比較すると分かるように、本発明の実施形態に係る同軸ケーブルコネクタは、既存のものと比較して、高周波伝送特性が良好である。
【００５６】
以上説明してきたように、本発明の実施形態に係る同軸ケーブルコネクタの製造方法によれば、直径が１．０ｍｍ以下の同軸ケーブル同士を接続するための同軸ケーブルを製造することができる。そして、本発明の実施形態に係る同軸ケーブルコネクタは、１ｍｍ角以下の大きさとなり、既存の同軸ケーブルコネクタと比べて堆積が約１／１０００以下に小型化されている。
【００５７】
また、本発明の実施形態に係る同軸ケーブルコネクタの耐久性は、挿抜を１００回繰り返しても電気抵抗の変化が１０％以内に抑えられ、嵌合保持力の変化も３０％以下に抑えられている。
【００５８】
以上、本発明を実施形態に基づいて説明してきたが、本発明は上記の実施形態よって限定されるものではない。例えば、本発明の実施形態に係る同軸ケーブルコネクタの嵌合保持力は、端子の形状や大きさや材料の選択によって適切に設計変更可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１０，２０  同軸ケーブルコネクタ
１１，２１  樹脂フィルム
１１ａ，２１ａ  ビア
１２，２２  金属膜
１２ａ，２２ａ  シグナル領域
１２ｂ，２２ｂ  グランド領域
１３，２３  シグナル端子
１３ａ，２３ａ  溝
２３ｂ  嵌合溝
１４ａ，１４ｂ，２４ａ，２４ｂ  グランド端子
１４ａａ，１４ｂａ，２４ａａ，２４ｂａ  端子部
１４ａｂ，１４ｂｂ，２４ａｂ，２４ｂｂ  接続部
２５  樹脂膜
１６，２６  ドライフィルムレジスト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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