(57)【要約】【課題】凹部にビーズを収容しやすく、凹部にビーズを安定して収容できる分析チップの提供。【解決手段】第１の表面１２に複数の平底の凹部２０が形成され、第１の表面１２の凹部２０を除く平坦部１６が撥水性を有し、凹部２０の上端の開口部２２の径Ａと、凹部２０の底部２４の径Ｂとが、０．４＜Ａ／Ｂ＜３の関係を満足する、分析チップ１０。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の表面に複数の平底の凹部が形成され、
前記第１の表面の前記凹部を除く平坦部が撥水性を有し、
前記凹部の上端の開口部の径Ａと、前記凹部の底部の径Ｂとが、０．４＜Ａ／Ｂ＜３の関係を満足する、分析チップ。
【請求項２】
前記径Ａと前記凹部の深さＣとが、１＜Ｃ／Ａの関係を満足する、請求項１に記載の分析チップ。
【請求項３】
前記凹部の底部の表面張力Ｄと、前記第１の表面の前記凹部を除く平坦部の表面張力Ｅとが、２＜Ｄ／Ｅの関係を満足する、請求項１又は２に記載の分析チップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析チップに関する。
【背景技術】
【０００２】
バイオ分子（ＤＮＡ、蛋白質、糖鎖等）、標的化合物等のターゲット分子を基板の上に固定して検出するための部材としては、バイオチップ、マイクロアレイ等と呼ばれる分析チップが用いられる。分析チップとしては、ターゲット分子を捕捉したビーズが収容される複数の凹部（ウェル）が規則的に形成されたものが知られている（特許文献１、２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３０９４０５号公報
【特許文献２】特表２０１４−５０３８３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、分析チップの凹部の形状によっては、凹部にビーズを収容しにくかったり、いったん凹部に収容されたビーズが凹部からこぼれてしまい凹部にビーズを安定して収容できなかったりする。
本発明は、凹部にビーズを収容しやすく、凹部にビーズを安定して収容できる分析チップを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、下記の態様を有する。
＜１＞第１の表面に複数の平底の凹部が形成され、前記第１の表面の前記凹部を除く平坦部が撥水性を有し、前記凹部の上端の開口部の径Ａと、前記凹部の底部の径Ｂとが、０．４＜Ａ／Ｂ＜３の関係を満足する、分析チップ。
＜２＞前記径Ａと前記凹部の深さＣとが、１＜Ｃ／Ａの関係を満足する、前記＜１＞の分析チップ。
＜３＞前記凹部の底部の表面張力Ｄと、前記第１の表面の前記凹部を除く平坦部の表面張力Ｅとが、２＜Ｄ／Ｅの関係を満足する、前記＜１＞又は＜２＞の分析チップ。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の分析チップは、凹部にビーズを収容しやすく、凹部にビーズを安定して収容できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の分析チップの一例を示す断面図である。
【図２】本発明の分析チップにおける凹部の配列の一例を示す上面図である。
【図３】本発明の分析チップにおける凹部の配列の他の例を示す上面図である。
【図４】本発明の分析チップの第１の実施形態例を示す断面図である。
【図５】本発明の分析チップの第２の実施形態例を示す断面図である。
【図６】本発明の分析チップの第３の実施形態例を示す断面図である。
【図７】本発明の分析チップの第４の実施形態例を示す断面図である。
【図８】実施例の評価用分析チップの組み立て手順を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下の用語の定義は、本明細書及び特許請求の範囲にわたって適用される。
「撥水性」とは、表面張力が３５ｍＮ／ｍ以下であることを意味する。
「親水性」とは、表面張力が７０ｍＮ／ｍ以上であることを意味する。
固体の「表面張力」は、Ｏｗｅｎｓ−Ｗｅｎｄｔの方法によって求める。すなわち、表面張力γＬが既知の２種類の液体を用いて、固体の表面におけるそれぞれの接触角θを測定し、下式の連立方程式を解くことによって固体の表面張力γＳを求める。
γＬ（１＋ｃｏｓθ）＝２（γＳｄ×γＬｄ）１／２＋２（γＳｈ×γＬｈ）１／２
ただし、γＳｄは固体の表面張力における非極性の分散力成分であり、γＳｈは固体の表面張力における極性の水素結合性の成分であり、γＳ＝γＳｄ＋γＳｈである。また、γＬｄは液体の表面張力における非極性の分散力成分であり、γＬｈは液体の表面張力における極性の水素結合性の成分であり、γＬ＝γＬｄ＋γＬｈである。例えば、水の場合γＬｄ＝２１．８ｍＮ／ｍ、γＬｈ＝５１ｍＮ／ｍ、γＬ＝７２．８ｍＮ／ｍであり、ヨウ化メチレンの場合γＬｄ＝４９．５ｍＮ／ｍ、γＬｈ＝１．３ｍＮ／ｍ、γＬ＝５０．８ｍＮ／ｍである。
円形の開口部及び底部における「径」は、円の直径であり、円形以外の形状（楕円、多角形等）の開口部及び底部における「径」は、開口部又は底部の中心を通る径のうち最も小さい径（最小径）である。
数値範囲を示す「〜」は、その前後に記載された数値を下限値及び上限値として含むことを意味する。
図１〜図８における寸法比は、説明の便宜上、実際のものとは異なったものである。
【０００９】
＜分析チップ＞
図１は、本発明の分析チップの一例を示す断面図である。
分析チップ１０は、第１の表面１２及びこの反対側の第２の表面１４を有する。第１の表面１２には、複数の凹部２０が形成されている。
凹部２０には、ビーズ１００が収容される。
【００１０】
凹部２０の底部２４は、平底である。凹部２０の底部２４が平底であることによって、凹部２０からビーズ１００がこぼれにくく、凹部２０にビーズ１００を安定して収容できる。前記平底は、真っ平らだけでなく、底部２４の中心が最下部となる微かなくぼんだ状態のものを含んでもよい。
凹部の形状としては、第１の表面から見た場合、円錐台形、逆円錐台形、角錐台形、逆角錐台形等が挙げられる。
【００１１】
凹部２０の上端の開口部２２の径Ａと、凹部２０の底部２４の径Ｂとは、０．４＜Ａ／Ｂ＜３の関係を満足し、０．５＜Ａ／Ｂ＜２の関係を満足することが好ましく、０．７＜Ａ／Ｂ＜１．３の関係を満足することがより好ましい。Ａ／Ｂが前記範囲の下限値超であれば、凹部２０にビーズ１００を収容しやすい。Ａ／Ｂが前記範囲の上限値未満であれば、凹部２０からビーズ１００がこぼれにくく、凹部２０にビーズ１００をさらに安定して収容できる。
【００１２】
凹部２０の上端の開口部２２の径Ａと、凹部２０の深さＣとは、１＜Ｃ／Ａの関係を満足し、１＜Ｃ／Ａ＜２の関係を満足することが好ましく、１＜Ｃ／Ａ＜１．７の関係を満足することがより好ましく、１＜Ｃ／Ａ＜１．５の関係を満足することがさらに好ましい。Ｃ／Ａが前記範囲の下限値超であれば、凹部２０からビーズ１００がこぼれにくく、凹部２０にビーズ１００をさらに安定して収容できる。Ｃ／Ａ前記範囲の上限値未満であれば、凹部を形成しやすい。また、１つの凹部２０に１つのビーズ１００を収納できる。深さＣは、底部２４の中心点から開口部２２までの長さである。
【００１３】
凹部２０の上端の開口部２２の径Ａは、ビーズ１００の大きさに応じて適宜決定される。径Ａとビーズ１００の平均粒子径Ｘとが、１＜Ａ／Ｘ＜２の関係を満足することが好ましく、１．２＜Ａ／Ｘ＜１．８の関係を満足することがより好ましく、１．５＜Ａ／Ｘ＜１．８の関係を満足することがさらに好ましい。Ａ／Ｘが前記範囲の下限値超であれば、凹部２０にビーズ１００をさらに収容しやすい。Ａ／Ｘが前記範囲の上限値未満であれば、凹部２０からビーズ１００がこぼれにくく、凹部２０にビーズ１００をさらに安定して収容できる。また、１つの凹部２０に１つのビーズ１００を収納できる。
【００１４】
凹部２０の上端の開口部２２の形状が円形以外の形状の場合、開口部２２の最小径である径Ａと、最大径である径Ａｍａｘとは、１＜Ａｍａｘ／Ａ＜２の関係を満足することが好ましく、１＜Ａｍａｘ／Ａ＜１．７の関係を満足することがより好ましく、１＜Ａｍａｘ／Ａ＜１．５の関係を満足することがさらに好ましい。Ａｍａｘ／Ａが前記範囲の上限値未満であれば、凹部２０からビーズ１００がこぼれにくく、凹部２０にビーズ１００をさらに安定して収容できる。また、１つの凹部２０に１つのビーズ１００を収納できる。
【００１５】
凹部２０の底部２４の径Ｂは、ビーズ１００の大きさに応じて適宜決定される。径Ｂとビーズ１００の平均粒子径Ｘとが、１＜Ｂ／Ｘ＜１．５の関係を満足することが好ましく、１．１＜Ｂ／Ｘ＜１．３の関係を満足することがより好ましく、１．２＜Ｂ／Ｘ＜１．３の関係を満足することがさらに好ましい。Ｂ／Ｘが前記範囲内であれば、凹部２０からビーズ１００がこぼれにくく、凹部２０にビーズ１００をさらに安定して収容できる。
【００１６】
凹部２０の深さＣは、ビーズ１００の大きさに応じて適宜決定される。深さＣとビーズ１００の平均粒子径Ｘとは、１＜Ｃ／Ｘ＜２の関係を満足することが好ましく、１．２＜Ｃ／Ｘ＜１．８の関係を満足することがより好ましく、１．５＜Ｃ／Ｘ＜１．８の関係を満足することがさらに好ましい。Ｃ／Ｘが前記範囲の下限値超であれば、凹部２０からビーズ１００がこぼれにくく、凹部２０にビーズ１００をさらに安定して収容できる。Ｃ／Ｘが前記範囲の上限値未満であれば、凹部を形成しやすい。また、１つの凹部２０に１つのビーズ１００を収納できる。
【００１７】
１つの凹部２０に１つのビーズ１００を収納することによって、下記の利点がある。
・無駄なビーズ１００が減るため、試薬の使用量を低減できる。
・ビーズ１００の重なりによるターゲット分子を補足しないビーズ１００の発生が抑えられるため、ビーズ１００の重なりによる検出阻害を抑制できる。そのため、ビーズ１００に捕捉されたターゲット分子を高感度で検出できる。
・１つの凹部２０に１つのビーズ１００が入ることにより、画像取り込みによるデジタル処理が可能となるため、ターゲット分子の検出密度を高くできる。
【００１８】
凹部２０の底部２４は、親水性を有することが好ましい。凹部２０の底部２４の表面張力Ｄは、７０ｍＮ／ｍ以上が好ましく、７５ｍＮ／ｍ以上がより好ましく、８０ｍＮ／ｍ以上がさらに好ましい。凹部２０の底部２４が親水性を有すれば、凹部２０に親水性のビーズ１００をさらに安定して収容できる。凹部２０の底部２４の表面張力Ｄの上限値は、現実的には、１００ｍＮ／ｍである。
親水性を有する底部２４は、親水性を有する材料によって形成される。親水性を有する底部２４としては、後述する基材の表面、後述する親水性膜の表面等が挙げられる。
【００１９】
第１の表面１２の凹部２０を除く平坦部１６は、撥水性を有する。第１の表面１２の凹部２０を除く平坦部１６の表面張力Ｅは、３５ｍＮ／ｍ以下が好ましく、３０ｍＮ／ｍ以下がより好ましく、２５ｍＮ／ｍ以下がさらに好ましい。第１の表面１２の凹部２０を除く平坦部１６が撥水性を有することによって、平坦部１６ではじかれた親水性のビーズ１００が凹部２０に落下しやすく、凹部２０にビーズ１００を収容しやすい。また、凹部２０のまわりが撥水性の平坦部１６で囲まれているため、凹部２０からビーズ１００がこぼれにくく、凹部２０にビーズ１００を安定して収容できる。第１の表面１２の凹部２０を除く平坦部１６の表面張力Ｅの下限値は、現実的には、１８ｍＮ／ｍである。
撥水性を有する平坦部１６は、撥水性を有する材料によって形成される。撥水性を有する平坦部１６としては、後述する撥水性膜等が挙げられる。
【００２０】
凹部２０の底部２４の表面張力Ｄと、第１の表面１２の凹部２０を除く平坦部１６の表面張力Ｅとは、２＜Ｄ／Ｅの関係を満足することが好ましく、２．５＜Ｄ／Ｅの関係を満足することがより好ましく、３＜Ｄ／Ｅの関係を満足することがさらに好ましい。Ｄ／Ｅが前記範囲の下限値超であれば、凹部２０にビーズ１００をさらに収容しやすく、また、凹部２０にビーズ１００をさらに安定して収容できる。Ｄ／Ｅは大きければ大きいほどよく、上限値は限定されない。
【００２１】
凹部２０の壁面の傾斜角θは、４５°以上１３５°未満が好ましく、５０〜１３０°がより好ましく、６０〜１２０°がさらに好ましい。傾斜角θが前記範囲の下限値以上であれば、凹部２０からビーズ１００がこぼれにくく、凹部２０にビーズ１００をさらに安定して収容できる。傾斜角θが前記範囲の上限値以下であれば、凹部２０にビーズ１００をさらに収容しやすい。
【００２２】
複数の凹部２０の配列としては、例えば、図２に示すような六方配列、または図３に示すような正方配列が挙げられる。
凹部２０と、これに隣接した凹部２０との間隔Ｓは、０超１０μｍ以下が好ましく、２〜８μｍがより好ましく、３〜５μｍ以下がさらに好ましい。間隔Ｓが前記範囲内であれば、凹部２０にビーズ１００をさらに収容しやすい。
【００２３】
ビーズ１００としては、バイオチップ等に用いられる公知のビーズが挙げられる。ビーズ１００の材質としては、ガラス、セラミックス、金属、プラスチック等が挙げられる。
ビーズ１００の表面には、ターゲット分子を特異的に捕捉するための分子が結合している。ターゲット分子を特異的に捕捉するための分子としては、抗体、蛋白質、核酸等が挙げられる。
ビーズ１００の平均粒子径Ｘは、通常、１〜２０μｍである。
【００２４】
以下、本発明の分析チップの実施形態例について、図面を用いて詳細に説明する。
【００２５】
（第１の実施形態例）
図４は、本発明の分析チップの第１の実施形態例を示す断面図である。
分析チップ１０は、基材３０と、基材３０の表面に設けられ、厚さ方向に貫通した複数の孔が形成された撥水性膜３２とを有する。
第１の実施形態例の分析チップ１０においては、撥水性膜３２に形成された孔が、凹部２０となり、撥水性膜３２の孔によって露出した基材３０の表面が、凹部２０の底部２４となり、撥水性膜３２の表面が、第１の表面１２の凹部２０を除く平坦部１６となる。
【００２６】
基材３０としては、各種ガラス板、熱可塑性プラスチックシート（ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン等）、シリコンウェハ、金属基板（ステンレス鋼、アルミニウム等）、銅箔等の金属箔を表面に貼りつけた樹脂基板等が挙げられる。
基材３０としては、蛍光強度が小さいものが好ましい。基材３０としては、耐熱性が高く、また、凹部２０の底部２４に親水性を付与できる点から、ガラス板が好ましく、石英ガラス板が特に好ましい。
【００２７】
ガラス板としては、旭硝子社製のアルミノケイ酸ガラスＤｒａｇｏｎｔｒａｉｌ（登録商標）シリーズ、旭硝子社製の無アルカリガラスＡＮ１００、ＡＮ  Ｗｉｚｕｓ、旭硝子社製のホウケイ酸ガラスＦＰ０１ｅｃｏ、ショット社製のホウケイ酸ガラスＴＥＭＰＡＸ  Ｆｌｏａｔ（登録商標）（ＢＯＲＯＦＬＯＡＴ（登録商標））、ショット社製の無アルカリガラスＡＦ３２（登録商標）、ショット社製のホウケイ酸ガラスＤ２６３（登録商標）シリーズ、コーニング社製の無アルカリガラスＥＡＧＬＥ  ＸＧ（登録商標）、コーニング社製の無アルカリガラスＬｏｔｕｓ（登録商標）ＮＸＴ等が挙げられる。
石英ガラス板としては、旭硝子社製の合成石英ガラスＡＱシリーズ等が挙げられる。
【００２８】
撥水性膜３２としては、蛍光強度が小さいものが好ましい。撥水性膜３２としては、例えば、フッ素樹脂及びその硬化物のいずれか一方又は両方を含む膜が挙げられる。
フッ素樹脂及びその硬化物のいずれか一方又は両方を含む膜を形成し得る材料としては、旭硝子社製のサイトップ（登録商標）シリーズ、ソルベイ社製のＦｌｕｏｒｏｌｉｎｋ（登録商標）ＭＤ７００等が挙げられる。
【００２９】
第１の実施形態例の分析チップ１０は、例えば、基材３０の表面に撥水性膜３２を形成し、フォトリソグラフィ、ナノインプリント等の公知の微細加工法によって撥水性膜３２に孔を形成することによって製造できる。
【００３０】
（第２の実施形態例）
図５は、本発明の分析チップの第２の実施形態例を示す断面図である。
分析チップ１０は、基材３０と、基材３０の表面に設けられ、厚さ方向に貫通した複数の孔が形成された撥水性膜３２と、撥水性膜３２の孔によって露出した基材３０の表面に設けられた親水性膜３４とを有する。
第２の実施形態例の分析チップ１０においては、撥水性膜３２に形成された孔が、凹部２０となり、撥水性膜３２の孔によって露出した基材３０の表面に設けられた撥水性膜３２が、凹部２０の底部２４となり、撥水性膜３２の孔を除く平坦部が、第１の表面１２の凹部２０を除く平坦部１６となる。
【００３１】
基材３０としては、第１の実施形態例における基材３０と同様のものが挙げられ、好ましい形態も同様である。
撥水性膜３２としては、第１の実施形態例における撥水性膜３２と同様のものが挙げられ、好ましい形態も同様である。
【００３２】
親水性膜３４としては、蛍光強度が小さいものが好ましい。親水性膜３４としては、例えば、親水性基及び加水分解性シリル基（アルコキシシリル基等）を有する化合物を含む材料を塗布し、硬化して形成された膜が挙げられる。
親水性基及び加水分解性シリル基を有する化合物としては、特許第４８２４１５１号公報に記載の末端官能性ホスホリルコリン類似基含有重合体、特許第６１５００７１号公報に記載のベタインとメルカプトシランとの反応生成物である有機ケイ素化合物、特許第２６２２２２２号公報に記載のアミノ基含有シランとプロパンスルトンとの反応生成物である含けい素スルホベタイン化合物、特開２０１５−１１０５３４号公報に記載のシリル基含有ホスホリルコリン化合物、特開２０１５−１１０５３４号公報に記載のホスホリルコリン基含有化合物、国際公開第２００９／１１９６９０号に記載のシランカップリング基を有する親水性ポリマー等が挙げられる。
【００３３】
第２の実施形態例の分析チップ１０は、例えば、基材３０の表面に撥水性膜３２を形成し、フォトリソグラフィ、ナノインプリント等の公知の微細加工法によって撥水性膜３２に孔を形成し、撥水性膜３２の孔によって露出した基材３０の表面に親水性膜３４を形成することによって製造できる。
【００３４】
（第３の実施形態例）
図６は、本発明の分析チップの第３の実施形態例を示す断面図である。
分析チップ１０は、基材３０と、基材３０の表面に設けられ、厚さ方向に窪んだ複数の凹部２０が形成された親水性膜３４と、親水性膜３４の凹部２０を除く平坦部に設けられた撥水性膜３２とを有する。
第３の実施形態例の分析チップ１０においては、親水性膜３４に形成された窪みが、凹部２０となり、親水性膜３４の窪みの底部が、凹部２０の底部２４となり、撥水性膜３２の表面が、第１の表面１２の凹部２０を除く平坦部１６となる。
【００３５】
基材３０としては、第１の実施形態例における基材３０と同様のものが挙げられ、好ましい形態も同様である。
【００３６】
撥水性膜３２としては、蛍光強度が小さいものが好ましい。撥水性膜３２としては、例えば、フッ素樹脂及びその硬化物のいずれか一方又は両方を含む膜、フッ素系防汚コーティング剤を用いて形成された膜が挙げられる。
フッ素樹脂及びその硬化物のいずれか一方又は両方を含む膜を形成し得る材料としては、第１の実施形態例における材料と同様のものが挙げられ、好ましい形態も同様である。
フッ素系防汚コーティング剤としては、ダイキン工業社製のオプツールＤＳＸ、信越化学工業社製のＫＹシリーズ、旭硝子社製のＡｆｌｕｉｄ（登録商標）等が挙げられる。
【００３７】
親水性膜３４としては、蛍光強度が小さいものが好ましい。親水性膜３４としては、例えば、親水性基及び重合性炭素−炭素二重結合含有基（アクリロイル基等）を有する化合物を含む材料を塗布し、硬化して形成された膜が挙げられる。
親水性基及び重合性炭素−炭素二重結合含有基を有する化合物としては、特許第５９５６３２５号公報に記載の式（１−３）で表されるオキシアルキレン基及びアクリロイルアミノ基を有する化合物、米国特許出願公開第２０１１／０２０５２９１号明細書に記載の式（Ｉ）で表されるオキシアルキレン基及びアクリロイルアミノ基を有する化合物等が挙げられる。
【００３８】
第３の実施形態例の分析チップ１０は、例えば、基材３０の表面に親水性膜３４を形成し、フォトリソグラフィ、ナノインプリント等の公知の微細加工法によって親水性膜３４に凹部２０を形成し、親水性膜３４の凹部２０を除く平坦部に撥水性膜３２を形成することによって製造できる。
【００３９】
（第４の実施形態例）
図７は、本発明の分析チップの第４の実施形態例を示す断面図である。
分析チップ１０は、一方の表面に厚さ方向に窪んだ複数の凹部２０が形成された基材３０と、基材３０の一方の表面の凹部２０を除く平坦部に設けられた撥水性膜３２とを有する。
第４の実施形態例の分析チップ１０においては、基材３０に形成された窪みが、凹部２０となり、基材３０の窪みの底部が、凹部２０の底部２４となり、撥水性膜３２の表面が、第１の表面１２の凹部２０を除く平坦部１６となる。
【００４０】
基材３０としては、第１の実施形態例における基材３０と同様のものが挙げられ、好ましい形態も同様である。
撥水性膜３２としては、第３の実施形態例における撥水性膜３２と同様のものが挙げられ、好ましい形態も同様である。
【００４１】
第４の実施形態例の分析チップ１０は、例えば、フォトリソグラフィ等の公知の微細加工法によって基材３０に凹部２０を形成し、基材３０の一方の表面の凹部２０を除く平坦部に撥水性膜３２を形成することによって製造できる。
【００４２】
（作用機序）
以上説明した分析チップ１０にあっては、第１の表面１２の凹部２０を除く平坦部１６が撥水性を有するため、平坦部１６ではじかれた親水性のビーズ１００が凹部２０に落下しやすい。また、凹部２０の上端の開口部２２の径Ａと、凹部２０の底部２４の径Ｂとが０．４＜Ａ／Ｂ＜３の関係を満足するため、凹部２０にビーズ１００が入り込みやすい。以上の結果、凹部２０にビーズ１００を収容しやすい。
【００４３】
また、以上説明した分析チップ１０にあっては、凹部２０の底部２４が平底であるため、凹部２０からビーズ１００がこぼれにくい。また、第１の表面１２の凹部２０を除く平坦部１６が撥水性を有するため、凹部２０のまわりが撥水性の平坦部１６で囲まれ、凹部２０から親水性のビーズ１００がこぼれにくい。以上の結果、凹部２０にビーズ１００を安定して収容できる。
【００４４】
（他の実施形態例）
なお、本発明の分析チップは、第１の表面に複数の平底の凹部が形成され、第１の表面の凹部を除く平坦部が撥水性を有し、凹部の上端の開口部の径Ａと凹部の底部の径Ｂとが０．４＜Ａ／Ｂ＜３の関係を満足するものであればよく、図示した第１〜４の実施形態例に限定はされない。
【実施例】
【００４５】
以下、実施例によって本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。
例１および２は実施例であり、例３は比較例である。
【００４６】
＜分析チップの作製＞
（例１）
石英ガラス基板（２５ｍｍ×７５ｍｍ）の表面にシランカップリング剤（信越化学工業社製、ＫＢＥ−９０３）の０．１質量％イソプロパノール溶液を１５００ｒｐｍで３０秒間スピンコートし、８０℃で１分間加熱した。この基板の表面にフッ素樹脂（旭硝子社製、サイトップ（登録商標）−Ｍ）の溶液をスピンコーターで塗布し、１８０℃で１０分間加熱し、厚さ３μｍの撥水性膜を形成した。平行平板型反応性イオンエッチング装置（ＳＡＭＣＯ社製、ＲＩＥ−１０ＮＲ）を用い、酸素流量１０ｃｃ／ｍiｎ、１０Ｐａ、１００Ｗ、９０秒の条件で撥水性膜の表面を酸素プラズマ処理した。撥水性膜の表面にフォトレジスト（東京応化工業社製、ＯＦＰＲ（登録商標）−８００ＬＢ）を塗布し、９０℃で２０分加熱し、厚さ１μｍのレジスト膜を形成した。直径４μｍの円形パターンが複数形成されたフォトマスクを通してレジスト膜にｉ線を１５０ｍＪ／ｃｍ２照射し、レジスト膜をアルカリ水溶液で現像して、レジスト膜に直径４μｍφの円形の孔を複数形成した。平行平板型反応性イオンエッチング装置を用い、酸素流量５０ｃｃ／ｍiｎ、１０Ｐａ、３００Ｗ、２分の条件で撥水性膜をエッチングし、剥離液（東京応化工業社製、剥離液１０６）３分、イソプロパノール３分、超純水１分の順でレジスト膜を剥離して、図４に示すような、厚さ方向に貫通した複数の孔（凹部）が形成された撥水性膜を有する分析チップを得た。凹部の上端の開口部の径Ａ、凹部の底部の径Ｂ、凹部の深さＣ、凹部の間隔Ｓ、凹部の壁面の傾斜角θを表１に示す。
【００４７】
（例２）
レジスト膜の厚さを２μｍとした以外は、例１と同様にして分析チップを得た。凹部の上端の開口部の径Ａ、凹部の底部の径Ｂ、凹部の深さＣ、凹部の間隔Ｓ、凹部の壁面の傾斜角θを表１に示す。
【００４８】
（例３）
直径４μｍの円形パターンが複数形成されたフォトマスクの代わりに、直径８μｍの円形パターンが複数形成されたフォトマスクを用い、円形の孔が複数形成されたレジスト膜を１５０℃で１０分間追加加熱した以外は、例１と同様にして分析チップを得た。凹部の上端の開口部の径Ａ、凹部の底部の径Ｂ、凹部の深さＣ、凹部の間隔Ｓ、凹部の壁面の傾斜角θを表１に示す。レジスト膜の追加加熱によって凹部の壁面の傾斜角は３０°となった。
【００４９】
＜評価用分析チップの作製＞
図８に示すように、例１〜３で得られた分析チップ１０の凹部が形成された側の表面の周縁部に、２ｍｍ幅で厚さ１００μｍの両面テープ４０を貼った。分析チップ１０と、直径２ｍｍの貫通孔４４を長辺方向の両端に有する石英ガラス基板４２とを両面テープ４０を介して貼り合わせて評価用分析チップを作製した。
【００５０】
＜ビーズ封入＞
粒子径３μｍの樹脂ビーズの水分散液を石英ガラス基板４２の一方の貫通孔４４から流入し、その後フッ素系溶剤（３Ｍ社製、ＦＣ４０）を流入した。樹脂ビーズの分析チップ１０の凹部への封入の有無を顕微鏡で観察し、樹脂ビーズの分析チップ１０の凹部への封入率を計算した。
【００５１】
【表１】
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【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明の分析チップは、バイオチップ等として有用である。
【符号の説明】
【００５３】
１０  分析チップ、
１２  第１の表面、
１４  第２の表面、
１６  平坦部、
２０  凹部、
２２  開口部、
２４  底部、
３０  基材、
３２  撥水性膜、
３４  親水性膜、
４０  両面テープ、
４２  石英ガラス基板、
４４  貫通孔、
１００  ビーズ、
Ａ  開口部の径、
Ｂ  底部の径、
Ｃ  凹部の深さ、
Ｓ  間隔、
Ｘ  ビーズの平均粒子径、
θ  傾斜角。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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