(57)【要約】【課題】本発明の課題は、小型にしても、移動時におけるヘッド内の圧力変動が抑えられるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することである。【解決手段】本発明のインクジェットヘッド１は、シリアルヘッド方式のインクジェット記録装置１００に搭載するインクジェットヘッド１であって、インクを射出する複数のノズル１１と、複数のノズル１１にそれぞれ連通する複数の圧力室３１１と、複数の圧力室３１１の内部の圧力変化を生じさせることにより、ノズル１１からインクを射出させる圧力発生手段（圧電素子４２）と、を有するヘッドチップ２と、複数の圧力室３１１に供給するインクを貯留するインク室３と、を備え、インクジェットヘッド１の移動方向に交差するインク室３の外周壁３ａに、圧力に応じて弾性変形してインク室３の容積を変更可能なダンパー３ｃを有することを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリアルヘッド方式のインクジェット記録装置に搭載するインクジェットヘッドであって、
インクを射出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室の内部の圧力変化を生じさせることにより、前記ノズルからインクを射出させる圧力発生手段と、を有するヘッドチップと、
前記複数の圧力室に供給するインクを貯留するインク室と、を備え、
前記インクジェットヘッドの移動方向に交差する前記インク室の外周壁に、圧力に応じて弾性変形して前記インク室の容積を変更可能なダンパーを有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記ダンパーは、前記インクジェットヘッドの移動方向に垂直な前記インク室の前記外周壁に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記インクジェットヘッドの移動方向が、前記インクジェットヘッドの主走査方向であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記インク室は、複数に分離されていることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記ヘッドチップの前記複数のノズルが形成された面と反対側の面に、前記複数の圧力室に前記インク室からインクを供給するためのインク供給孔が、前記複数の圧力室の各々に対して１つずつ設けられていることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記ダンパーは、金属又はセラミックによって形成されていることを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記ダンパーは、有機フィルムによって形成されていることを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項１から７までのいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備えることを特徴とするシリアルヘッド方式のインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットヘッドに備えられた複数のノズルからインクの液滴を射出して記録媒体に画像を形成するインクジェット記録装置が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、移動可能なキャリッジと、キャリッジに搭載されたインクを貯留するサブタンクと、当該サブタンクの下部に取り付けられたインクジェットヘッド等を備え、当該サブタンクにはダンパー室が設けられているインクジェット記録装置が開示されている。このようなインクジェット記録装置では、キャリッジが移動しながら、インクジェットヘッドのノズルからインクを射出することによって、記録用紙に印刷を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１８２４４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の従来のインクジェット記録装置では、キャリッジが移動しながらインクの射出が行われるため、インクジェットヘッドのインク流路内で圧力変動が生じやすく、それによりインクの射出安定性が低下するという問題がある。
ここで、特許文献１のインクジェット記録装置では、サブタンクにダンパー室が設けられているため、ダンパー室付近の圧力変動を抑えることは可能である。しかしながら、ダンパー室はインクジェットヘッドからは離れた位置にあり、かつキャリッジの移動方向と平行な位置に設けられているため、インクジェットヘッドのインク流路内での圧力変動を抑える効果は低い。
【０００６】
ところで、近年のインクジェット記録装置の小型化により、インクジェットヘッドも小型にすることが求められている。インクジェットヘッドを小型にすると、インクジェットヘッド内の流路が狭くなりやすいため、流路抵抗が大きくなり、ヘッド内の圧力変動が生じやくなるという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、その解決課題は、小型にしても、移動時におけるヘッド内の圧力変動が抑えられるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題の解決のために、請求項１に記載の発明は、シリアルヘッド方式のインクジェット記録装置に搭載するインクジェットヘッドであって、
インクを射出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室の内部の圧力変化を生じさせることにより、前記ノズルからインクを射出させる圧力発生手段と、を有するヘッドチップと、
前記複数の圧力室に供給するインクを貯留するインク室と、を備え、
前記インクジェットヘッドの移動方向に交差する前記インク室の外周壁に、圧力に応じて弾性変形して前記インク室の容積を変更可能なダンパーを有することを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ダンパーは、前記インクジェットヘッドの移動方向に垂直な前記インク室の前記外周壁に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記インクジェットヘッドの移動方向が、前記インクジェットヘッドの主走査方向であることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記インク室は、複数に分離されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ヘッドチップの前記複数のノズルが形成された面と反対側の面に、前記複数の圧力室に前記インク室からインクを供給するためのインク供給孔が、前記複数の圧力室の各々に対して１つずつ設けられていることを特徴とする。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ダンパーは、金属又はセラミックによって形成されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記ダンパーは、有機フィルムによって形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、
請求項１から７までのいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備えることを特徴とするシリアルヘッド方式のインクジェット記録装置である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、小型にしても、移動時におけるヘッド内の圧力変動が抑えられるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】インクジェット記録装置の概略構成を示す斜視図
【図２】ヘッドユニットの底面図
【図３Ａ】インクジェットヘッドの上方からの斜視図
【図３Ｂ】インクジェットヘッドの下方からの斜視図
【図４】図３ＡのIV-IVの断面の要部を示す断面図
【図５】図４の断面を示す斜視図
【図６】図５の要部の拡大図
【図７】ヘッドチップ上に配置された保持部の分解斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について説明する。但し、発明の範囲は図示例に限定されない。また、以下の説明において、同一の機能及び構成を有するものについては、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００１９】
［インクジェット記録装置］
本実施形態のインクジェット記録装置１００は、記録媒体を搬送しながら、その搬送方向（Ｙ方向）と直交する方向である主走査方向（Ｘ方向）にインクジェットヘッドを移動させてインクを射出し、画像を形成するシリアルヘッド方式である。
インクジェット記録装置１００は、搬送ベルト１０１と、キャリッジレール１０２と、キャリッジ１０３と、インクラック１０４等で構成されている（図１）。
【００２０】
搬送ベルト１０１は、上面に記録媒体を支持し、搬送ローラー（図示省略）の駆動により、当該記録媒体を搬送方向（Ｙ方向）に搬送する。
キャリッジ１０３には、インクを射出することができるインクジェットヘッド１が備えられたヘッドユニット１０５（図２参照）が内部に備えられており、キャリッジレール１０２に沿って、図１中矢印Ｘで示される主走査方向に往復移動するようになっている。
【００２１】
インクラック１０４には、インクジェットヘッド１に供給するためのインクを貯蔵するインクタンクが格納されており、当該インクタンクから、例えば、フレキシブルチューブ（図示省略）を介してインクジェットヘッド１にインクが供給されるようになっている。
【００２２】
［ヘッドユニット］
ヘッドユニット１０５は、キャリッジ１０３の内部に、記録媒体の搬送方向（Ｙ方向）に直交する主走査方向（Ｘ方向）に並列して設けられている（図２）。なお、図２は、ヘッドユニット１０５の１つを示した主走査方向（Ｘ方向）の端部付近の底面図であり、記録媒体と対向する面を示している。なお、以下の説明において、記録媒体の搬送方向（Ｙ方向）を副走査方向ともいう。
【００２３】
ヘッドユニット１０５には、インクジェットヘッド１が主走査方向（Ｘ方向）に１次元に複数配列されて取り付け固定されている。また、複数のインクジェットヘッド１が、副走査方向（Ｙ方向）に２列平行となるように設けられ、全体として千鳥格子状の配置となる位置関係で固定されている。ヘッドユニット１０５は、このように配置されたインクジェットヘッド１から、例えば、シアン（Ｃ），マゼンタ（Ｍ），イエロー（Ｙ），ブラック（Ｋ）のインクを記録媒体に向けて射出する。
【００２４】
また、本実施形態のヘッドユニット１０５には、例えば、２色のインクを射出することができるインクジェットヘッド１が備えられている。インクジェットヘッド１としては、例えば、シアン（Ｃ）及びマゼンタ（Ｍ）の２色、又は、イエロー（Ｙ）及びブラック（Ｋ）の２色のインクを射出できるインクジェットヘッド１が設けられている。そして、例えば、インクジェット記録装置１００には、シアン（Ｃ）及びマゼンタ（Ｍ）のインクを射出するインクジェットヘッド１が設けられたヘッドユニット１０５と、イエロー（Ｙ）及びブラック（Ｋ）のインクを射出するインクジェットヘッド１が設けられた他のヘッドユニット１０５とが、２つ並んでキャリッジ１０３に搭載されている。
【００２５】
［インクジェットヘッド］
インクジェットヘッド１の構成について、図３〜７に基づいて説明する。
なお、以下の説明において、主走査方向（Ｘ方向）及び副走査方向（Ｙ方向）にそれぞれ直交する方向をＺ方向とする。なお、図３Ａ及び図３Ｂでは、説明の便宜上、接続部材４を透かして、ダンパー３ｃの位置が見えるように図示している。
【００２６】
インクジェットヘッド１は、ヘッドチップ２、保持部９０、インク室３及び接続部材４等を備える（図３Ａ、図３Ｂ及び図４等参照）。
【００２７】
ヘッドチップ２は、Ｚ方向に複数の基板が積層されて構成されており、最下層の基板には、インクを射出する多数のノズル１１が高密度に設けられている（図２参照）。また、ヘッドチップ２の内部には、各ノズル１１に対応してインクが貯留される圧力室３１１及び圧力発生手段としての圧電素子４２が設けられている。また、これらの圧力室３１１に対応して、ヘッドチップ２の最上面（インク供給孔形成面６００）には、多数のインク供給孔６０１が高密度に設けられており（図７参照）、インク室３からインク供給孔６０１を通して圧力室３１１にインクが供給される。そして、圧電素子４２の変位によって、圧力室３１１に貯留されたインクが加圧され、ノズル１１からインクの液滴が射出される。
【００２８】
インク室３は、外周壁３ａ、分離壁３ｂ及び保持部９０によって２つに分離されており、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）及びブラック（Ｋ）のうち２色が、分離されたインク室３内に、それぞれ１色ずつ貯留されている。そして、２つに分離されたインク室３から、ヘッドチップ２の最上面に設けられたインク供給孔６０１を通って、ヘッドチップ２内部のインク射出部７，８に設けられた圧力室３１１にインクが供給される。
ここで、インク射出部７は、配線基板５０に、圧電素子４２に接続する貫通電極５５を備える形態を示している。その貫通電極５５の上端には第一配線５７が接続されており、第一配線５７は配線基板５０の上面に沿って水平方向に延在し、接続部材４に接続されている。また、インク射出部８は、貫通電極５５を備えない形態を示しており、圧電素子４２に接続する第二配線５８は配線基板５０の下面に沿って水平方向に延在し、接続部材４に接続されている。
【００２９】
また、２つに分離されたインク室３それぞれに対して、インク室３にインクを供給するインク供給部３０１と、インク室３のインクを排出するインク排出部３０２が設けられている。
【００３０】
また、インク室３の主走査方向（Ｘ方向）に垂直な外周壁３ａには、圧力に応じて弾性変形することによりインク室の容積を変更可能なダンパー３ｃが設けられている。これにより、主走査方向（Ｘ方向）にインクジェットヘッド１が移動した際に、主走査方向（Ｘ方向）にかかる圧力に応じてダンパー３ｃがわずかに弾性変形をして、インク室３内のインクの揺れを抑えることができる。したがって、インクジェットヘッド１内の圧力変動を抑え、インクの射出安定性を向上させることができる。また、流路が狭くて流路抵抗が大きくなりやすいインクジェットヘッド１でも、効果的に圧力変動を抑えることができるため、インクジェットヘッド１を小型化することができる。
ダンパー３ｃは、例えば、外周壁３ａの外側から貼り付けるようにして設けることができるが（図４及び図５等参照）、これに限られず、内側から貼り付けるように設けてもよい。また、ダンパー３ｃを外周壁３ａに貼り付ける際には、例えば、衝撃を吸収可能な弾力のあるシリコン系接着剤等を用いて貼り付けることが好ましい。
【００３１】
ダンパー３ｃの材料は特に限られないが、金属又はセラミックによって形成されることが好ましい。金属又はセラミックを用いることにより、インク室３の側面の強度を確保しつつ、ダンパー３ｃを設けた効果を得ることができる。
また、金属又はセラミックによりダンパー３ｃを形成する場合には、ダンパー３ｃの厚さは、ダンパー３ｃを設けた効果が得られれば特に限られないが、５０〜３００μｍの範囲内とすることが好ましい。
金属としては、例えば、ＳＵＳ、４２アロイ、ニッケル、コバール、インバー、銅、アルミダイカスト、アルミニウム等を用いることができる。また、これらの中でも、耐インク性に優れるという観点から、ＳＵＳを用いることが好ましい。また、インク耐性に優れない金属を用いる際には、金属表面をフッ素樹脂等の耐インク膜でコーティングして用いることとしても良い。
セラミックとしては、特に限られないが、低線膨張であり、耐インク性にも優れるという観点から、窒化アルミ、アルミナ、窒化珪素、炭化珪素等を用いることが好ましい。
【００３２】
また、ダンパー３ｃは、有機フィルムによって形成されることも好ましい。高い弾性力を有する有機フィルムを用いることにより、弾性変形による圧力変動の抑制というダンパー３ｃを設けた効果を、より効果的に得ることができる。
有機フィルムとしては、特に限られないが、例えば、ポリイミド、液晶ポリマー、アラミド、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂からなるフィルムが挙げられる。
【００３３】
また、ダンパー３ｃは、主走査方向（Ｘ方向）に垂直な外周壁３ａに設けることとしたが、インクジェットヘッド１の移動方向に交差する方向に設けられていれば本発明の効果を得ることが期待できる。
ここで、本明細書でいう「インクジェットヘッド１の移動方向に交差する方向」とは、インクジェットヘッド１が、例えば、Ｘ方向の一方向のみに移動する場合には、Ｘ方向に平行な方向以外を全て含むことを意味する。また、インクジェットヘッド１が、例えば、Ｘ方向とＹ方向の２方向に移動する場合には、そのいずれかの方向に交差していればよいため、実質的に全方向を含むことを意味する。
【００３４】
接続部材４は、例えばＦＰＣ等からなる駆動部５に接続する配線部材であり、ヘッドチップ２の配線基板５０の上面の貫通電極５５を介した第一配線５７又は配線基板５０の下面の第二配線５８に接続している。そして、駆動部５から、接続部材４と、第一配線５７又は第二配線５８とを通じて、圧電素子４２に電気が供給される。また、配線基板５０の下面に接続された接続部材４は、配線基板５０のＸ方向端部付近にあけられた保持部９０の貫通孔から保持部９０の上面に引き回されている。
【００３５】
保持部９０は、ヘッドチップ２の上側のインク供給孔６０１が形成されたインク供給孔形成面６００に接合されており、インク室３を保持している。
また、保持部９０は、インク供給孔形成面６００上に設けられたスペーサー部９１と、当該スペーサー部９１の上面に設けられた支持部９２と、を有している（図７）。これにより、スペーサー部９１をヘッドチップ２の上面に高精度に位置合わせして設けた後に、当該スペーサー部９１の上面に支持部９２を設け、当該支持部９２を目印として、インク室３の外周壁３ａと分離壁３ｂを設けることができる。このような構成とすることで、簡易な構成で高精度にインク室３を分離することができる。
【００３６】
支持部９２は、インク室３の外周壁３ａを支持する外周壁支持部９２ａと、インク室３の分離壁３ｂを支持する分離壁支持部９２ｂを有している。
スペーサー部９１は、分離壁支持部９２ｂに接合する第１スペーサー部９１ｂと、インク供給孔６０１とインク室３とを連通する連通孔６０２を有する第２スペーサー部９１ｃと、外周壁支持部９２ａに接合する第３スペーサー部９１ａと、を有している。
ここで、外周壁支持部９２ａと第３スペーサー部９１ａを合わせて外周壁保持部９０ａともいい、分離壁支持部９２ｂと第１スペーサー部９１ｂを合わせて分離壁保持部９０ｂともいう。
【００３７】
第１スペーサー部９１ｂは、分離壁支持部９２ｂに接合する面が、インク供給孔形成面６００に接合する面よりも面積が大きくなるように形成されている。これにより、インク供給孔形成面６００との接着面を小さくしつつ、分離壁支持部９２ｂとの接合面をより広くとることができため、分離壁支持部９２ｂの位置合わせをより正確に行うことができ、インク室３をより高精度に分離できる。さらに、第１スペーサー部９１ｂと分離壁支持部９２ｂの接着強度を向上させることができる。
また、第１スペーサー部９１ｂの形状としては、製造効率の観点から、インク供給孔形成面６００と接合する面から、分離壁支持部９２ｂに接合する面に向かうにつれ、階段状に広がるように形成されていることが好ましい。
また、第１スペーサー部９１ｂの形状としては、インク供給孔形成面６００と接合する面から、分離壁支持部９２ｂと接合する面に向かうにつれ、第１スペーサー部９１ｂのＸＹ平面の断面積が徐々に大きくなる形態としても良い。
【００３８】
第２スペーサー部９１ｃは、インク供給孔形成面６００上に接合され、インク供給孔６０１とインク室３とを連通する連通孔６０２を有し、第１スペーサー部９１ｂと第３スペーサー部９１ａに囲まれた位置に配置されている。第２スペーサー部９１ｃは、第１スペーサー部９１ｂよりもインクの射出方向（Ｚ方向）の厚さが薄く、かつ第１スペーサー部９１ｂの隣の連通孔６０２が、少なくとも二つのインク供給孔６０１，６０１と連通している。このような第２スペーサー部９１ｃを設けた構成とすることで、スペーサー部９１の強度を向上させ、反りを防止することができる。また、第１スペーサー部９１ｂの隣の連通孔６０２を、少なくとも二つのインク供給孔６０１，６０１と連通させることで、第１スペーサー部９１ｂの隣のインク供給孔６０１付近により広いスペースを確保できるため、第１スペーサー部９１ｂや分離壁支持部９２ｂ付近の流路抵抗の上昇を抑え、インク供給孔６０１にかかる圧力をより均等に分散することができる。
【００３９】
第３スペーサー部９１ａは、インク供給孔形成面６００上に接合され、上側が外周壁支持部９２ａに接合している。
また、スペーサー部９１は、少なくとも第１スペーサー部９１ｂ及び第３スペーサー部９１ａが一体成形されていることが好ましく、第１スペーサー部９１ｂ、第２スペーサー部９１ｃ及び第３スペーサー部９１ａが一体成形されていることがより好ましい。また、第１スペーサー部９１ｂ及び第３スペーサー部９１ａのＺ方向の高さが同一であることが好ましい。このような構成とすることで、インク供給孔形成面６００上に高精度に接合することができ、さらには、スペーサー部９１上に支持部９２をより高精度に接合することができる。
【００４０】
外周壁支持部９２ａは、第３スペーサー部９１ａ上に接合され、インク室３の外周壁３ａを支持している。
分離壁支持部９２ｂは、第１スペーサー部９１ｂ上に接合され、インク室３の分離壁３ｂを支持している。また、分離壁支持部９２ｂは、分離壁３ｂに接合する面が、第１スペーサー部９１ｂに接合する面よりも面積が大きくなるように形成されている。これにより、分離壁３ｂとの接合面をより広くとることができるため、分離壁３ｂの位置合わせをより正確に行うことができ、インク室３をより高精度に分離できる。さらに、分離壁支持部９２ｂと分離壁３ｂの接着強度を向上させることができる。
【００４１】
また、分離壁支持部９２ｂの形状としては、製造効率の観点から、第１スペーサー部９１ｂと接合する面から、分離壁３ｂに接合する面に向かうにつれ、階段状に広がるように形成されていることが好ましい。
また、分離壁支持部９２ｂの形状としては、第１スペーサー部９１ｂと接合する面から、分離壁３ｂと接合する面に向かうにつれ、分離壁支持部９２ｂのＸＹ平面の断面積が徐々に大きくなる形態としても良い。
【００４２】
また、スペーサー部９１は、位置合わせを高精度に行う観点から、支持部９２よりもＺ方向の厚さが薄いことが好ましく、具体的には、第１スペーサー部９１ｂ及び第３スペーサー部９１ａのＺ方向の厚さが０．０５〜０．５ｍｍであることが好ましく、０．１〜０．３ｍｍであることがさらに好ましい。０．５ｍｍ以下とすることによって、加工精度の高いスペーサー部９１とすることが可能であり、位置調整も高精度に行うことができる。また、０．０５ｍｍ以上とすることによって、スペーサーとして十分な強度を得ることができる。
【００４３】
また、スペーサー部９１のヘッドチップ２への接合は、高精度に位置合わせを行う観点から、スペーサー部９１とヘッドチップ２のそれぞれにアライメントマークを設けて、それぞれを位置決めして接合することが望ましい。
本発明のスペーサー部９１を有した位置合わせの方法を用いれば、±５μｍ程度の誤差レベルでの位置合わせが可能であり、１０μｍ程度の狭ピッチのインク供給孔６０１を有するインク供給孔形成面６００に対しても、高精度に位置合わせ可能である。
【００４４】
また、スペーサー部９１を形成する材料としては、特に限られないが、ヘッドチップ２を形成する材料と熱膨張係数の近い材料とすることが好ましい。具体的には、ヘッドチップ２の上面の基板をシリコンで形成した場合には、スペーサー部９１をシリコン、４２アロイ、又はガラス等によって形成することが好ましい。また、これらのうち、インク耐性、強度、及び耐熱性の観点から、４２アロイを使用することが特に好ましい。また、ヘッドチップ２上面の基板をＳＵＳで形成した場合には、スペーサー部９１をＳＵＳで形成することが好ましい。
【００４５】
また、図７に示すように、インク供給孔形成面６００には、ノズル配置に対応して、Ｘ方向に対して均等な列間隔でインク供給孔６０１が形成されている。そして、第１スペーサー部９１ｂの下面は、均等な列間隔のインク供給孔６０１の列間をＹ方向に通過するように形成されている。このような構成とすることにより、１色用のヘッドチップ２に分離壁保持部９０ｂ及び分離壁３ｂを設けることによって、インク室３を分離することができる。
【００４６】
また、保持部９０は、ＸＹ平面上において、ヘッドチップ２よりも大きな面積を有しており、ヘッドチップ２周辺の熱を好適に放熱できるようになっている。
【００４７】
［本発明における技術的効果］
以上、説明した通り、本発明のインクジェットヘッド１は、シリアルヘッド方式のインクジェット記録装置１００に搭載するインクジェットヘッド１であって、インクジェットヘッド１の移動方向に交差するインク室３の外周壁３ａに、圧力に応じて弾性変形してインク室３の容積を変更可能なダンパー３ｃを有する。これにより、インク室３内のインクの揺れを抑えることができ、インクジェットヘッド１内の圧力変動を抑え、インクの射出安定性を向上させることができる。また、流路が狭くて流路抵抗が大きくなりやすいインクジェットヘッド１でも、効果的に圧力変動を抑えることができるため、インクジェットヘッド１を小型化することができる。
【００４８】
また、本実施形態のインクジェットヘッド１は、ダンパー３ｃを、インクジェットヘッド１の移動方向に垂直なインク室３の外周壁３ａに設けることによって、移動方向にかかる圧力をダンパー３ｃが吸収しやすくなるため、インクジェットヘッド１内の圧力変動を効果的に抑えることができる。
【００４９】
また、本実施形態のインクジェットヘッド１は、ダンパー３ｃを、インクジェットヘッド１の主走査方向に垂直なインク室３の外周壁３ａに設けることによって、主走査方向にかかる圧力をダンパー３ｃが吸収しやすくなるため、インクジェットヘッド１内の圧力変動を効果的に抑えることができる。
【００５０】
また、本実施形態のインクジェットヘッド１は、インク室３を、分離壁３ｂによって複数に分離することによって、インクジェット記録装置に必要となるインクジェットヘッド１の数を減らせるため、インクジェット記録装置を小型化することができる。
【００５１】
また、本実施形態のインクジェットヘッド１は、ヘッドチップ２の複数のノズル１１が形成された面と反対側の面に、複数の圧力室３１１にインク室３からインクを供給するためのインク供給孔６０１が、複数の圧力室３１１の各々に対して１つずつ設けられている。これにより、インク室３から圧力室３１１に直接インクを供給できる構成となっており、ヘッドチップ２の構成を単純化してインクジェットヘッド１を小型化することができる。また、ヘッドチップ２上のインク室３に、大容量のインクを保有可能な構成にすることができるため、このようなインク室３の外周壁３ａにダンパー３ｃを設けることで、インクジェットヘッド１内の圧力変動を効果的に抑えることができる。
【００５２】
また、本実施形態のインクジェットヘッド１では、ダンパー３ｃを、金属又はセラミックによって形成することによって、インク室３の側面の強度を確保しつつ、ダンパーの効果を得ることができる。
【００５３】
また、本実施形態のインクジェットヘッド１では、ダンパー３ｃを、有機フィルムによって形成することによって、弾性変形による圧力変動の抑制というダンパーの効果を、より効果的に得ることができる。
【００５４】
また、本実施形態のインクジェットヘッド１において、ダンパー３ｃを少なくともインク室３の主走査方向（Ｘ方向）に垂直な外周壁３ａに設け、シリアルヘッド方式のインクジェット記録装置１００に搭載することによって、インクジェットヘッド１の移動によるインクジェットヘッド内の圧力変動を効果的に抑えることができる。特に、インクジェットヘッド１が主走査方向（Ｘ方向）に移動する場合には、その方向に向かって圧力がかかるため、少なくとも主走査方向に垂直な面にダンパー３ｃを設ける構成とすることが好ましい。
【００５５】
［その他］
本発明の今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した詳細な説明に限定されるものではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【００５６】
例えば、インク室３が分離壁３ｂによって２つに分離した実施形態について説明したが、分離壁３ｂによって分離されていない通常の１色用のインクジェットヘッド１であってもよい。
また、インク室３を分離する場合でも、分離する方向や数は適宜変更可能であり、例えば、インク室をＸ方向に４つに分離するように構成してもよい。
また、分離されたインク室３内の各部屋には、例えば、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）及び黒（Ｋ）のインクが、それぞれ１色ずつ貯留されているとしたが、同色のインクが貯留されていてもよい。
【００５７】
また、本実施形態では、ダンパー３ｃを、インク室３の外周壁３ａにおける主走査方向に垂直な面に設けた例を説明したが、インクジェットヘッド１の移動方向に交差する方向であればよく、例えば、インクジェットヘッド１のインク室３の形状によっては、主走査方向に対してわずかに傾斜する方向等に設けることとしてもよい。
【００５８】
また、スペーサー部９１は、インク供給孔６０１を避けるように構成されており、かつ外周壁支持部９２ａに接合する第３スペーサー部９１ａと、分離壁支持部９２ｂに接合する第１スペーサー部９１ｂを有する構成となっていれば、適宜変更可能である。
【００５９】
また、圧力発生手段として圧電素子４２を使用することとしたが、インクを射出できる機構を備えていれば特に限られることはなく、例えば、サーマル（電気熱変換素子）を使用することとしても良い。
【符号の説明】
【００６０】
１      インクジェットヘッド
２      ヘッドチップ
３      インク室
３ａ    外周壁
３ｂ    分離壁
３ｃ    ダンパー
１１    ノズル
４２    圧電素子
１００  インクジェット記録装置
３１１  圧力室
６０１  インク供給孔
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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