(57)【要約】【課題】切断後のワークのワイヤ走行方向ワープを制御し、任意のワープ形状を有するウェーハの製造が可能なワイヤソー装置およびウェーハの製造方法を提供する。【解決手段】複数のワイヤガイドと、前記複数のワイヤガイドに巻回され軸方向に往復走行するワイヤによって形成されたワイヤ列と、前記ワイヤにクーラント又はスラリを供給するノズルと、ビームを介してワークが接着されたワークプレートを吊り下げ保持するワーク保持部と、前記ワークを前記ワイヤ列に押圧するワーク送り機構を具備するワイヤソー装置であって、前記ワイヤ列を形成する前記複数のワイヤガイドの軸の平行度を調整する機構を具備するものであることを特徴とするワイヤソー装置。【選択図】図１
2019114690.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のワイヤガイドと、前記複数のワイヤガイドに巻回され軸方向に往復走行するワイヤによって形成されたワイヤ列と、前記ワイヤにクーラント又はスラリを供給するノズルと、ビームを介してワークが接着されたワークプレートを吊り下げ保持するワーク保持部と、前記ワークを前記ワイヤ列に押圧するワーク送り機構を具備するワイヤソー装置であって、
前記ワイヤ列を形成する前記複数のワイヤガイドの軸の平行度を調整する機構を具備するものであることを特徴とするワイヤソー装置。
【請求項２】
請求項１に記載のワイヤソー装置を用いて、前記ワイヤ列を形成する前記複数のワイヤガイドの軸の平行度を調整して、ワークを切断することで、切断後のワークのワイヤ走行方向のワープを制御することを特徴とするウェーハの製造方法。
【請求項３】
複数のワイヤガイドに巻回された軸方向に往復走行するワイヤによってワイヤ列を形成し、前記ワイヤにクーラント又はスラリをノズルから供給しつつ、ワーク送り機構によりワーク保持部に保持されたワークを前記ワイヤ列に押圧することで、前記ワークを切断してウェーハを製造する方法であって、
前記ワイヤ列を形成する前記複数のワイヤガイドの軸の平行度を調整して、前記ワークを切断することで、切断後のワークのワイヤ走行方向のワープを制御することを特徴とするウェーハの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤソー装置およびウェーハの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェーハなどの半導体ウェーハは、図８に示すようなワイヤソー装置１０１などの切断装置によって、シリコンインゴットなどのワークから切り出される。一般的に、ワイヤソー装置１０１は複数のワイヤガイド１０３に巻回され、軸方向に往復走行するワイヤ１０２によって形成されたワイヤ列１０４を具備している。さらに、ワイヤソー装置１０１は、ワイヤ１０２にスラリ１０９を供給するノズル１０８と、ビーム１０５を介してワークＷが接着されたワークプレート１０６を吊り下げ保持するワーク保持部１０７と、ワークＷを相対的に押し下げてワイヤ列１０４に押圧するワーク送り機構１１０とを具備する。このようなワイヤソー装置１０１によって、ワイヤ列１０４にワークＷを押圧して、ワークＷをウェーハ状にスライスすることができる。
【０００３】
また、切断後のワークには、ワイヤソーによるスライス起因でワープが発生する。このワイヤソースライス起因で発生するワープは、切断中のワーク（インゴット）とワイヤの相対位置の経時変化により決定される。一般的に切り初めから、切り終わりまでの切断中のインゴットおよび、ワイヤが巻きつけてあるメインローラーの熱膨張、装置筐体の熱変形の影響により、切断方向のワープが形成されると考えられている。そのため、メインローラースピンドル冷却水、スラリ温度を制御する事で、切断方向のワープを改善できる事が開示されている（特許文献１〜３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１４４２号公報
【特許文献２】特開２００９−２９０７８号公報
【特許文献３】特開２０１６−１３５５２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
最先端品デバイスでは、低抵抗ベースウェーハにエピ成長を施したエピタキシャルウェーハが使用されているが、ベースウェーハとエピ層の抵抗率の違いから、エピ成長後にウェーハが凸形状に変化し、ワープが悪化してしまう。図９に示すようにベースウェーハのＢｏｗの値とエピ後のワープには相関があり、Ｂｏｗがマイナスのウェーハほど、エピ後のワープが良くなる傾向が見られる。そのため、ワイヤソー切断時の切断方向、走行方向ワープを凹み方向に制御できれば、エピ後のワープが改善されるが、特許文献１〜３では、切断開始から終了までの切断方向ワープの制御に関するものであり、ワイヤ走行方向ワープに関しては、制御する方法が確立されていない。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ワイヤソー装置による切断後のワークのワイヤ走行方向ワープを制御し、任意のワープ形状を有するウェーハの製造が可能なワイヤソー装置およびウェーハの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を達成するために、本発明では、複数のワイヤガイドと、前記複数のワイヤガイドに巻回され軸方向に往復走行するワイヤによって形成されたワイヤ列と、前記ワイヤにクーラント又はスラリを供給するノズルと、ビームを介してワークが接着されたワークプレートを吊り下げ保持するワーク保持部と、前記ワークを前記ワイヤ列に押圧するワーク送り機構を具備するワイヤソー装置であって、前記ワイヤ列を形成する前記複数のワイヤガイドの軸の平行度を調整する機構を具備するワイヤソー装置を提供する。
【０００８】
このようなワイヤソー装置であれば、切断後のワークのワイヤ走行方向ワープを制御し、任意のワープ形状を有するウェーハの製造が可能なものとなる。
【０００９】
また、本発明は、上記ワイヤソー装置を用いて、前記ワイヤ列を形成する前記複数のワイヤガイドの軸の平行度を調整して、切断後のワークのワイヤ走行方向のワープを制御することを特徴とするウェーハの製造方法を提供する。
【００１０】
このように、本発明のワイヤソー装置は、切断後のワークのワイヤ走行方向ワープの凹凸を制御するウェーハの製造方法に好適に用いることができる。
【００１１】
また、本発明は、複数のワイヤガイドに巻回された軸方向に往復走行するワイヤによってワイヤ列を形成し、前記ワイヤにクーラント又はスラリをノズルから供給しつつ、ワーク送り機構によりワーク保持部に保持されたワークを前記ワイヤ列に押圧することで、前記ワークを切断してウェーハを製造する方法であって、前記ワイヤ列を形成する前記複数のワイヤガイドの軸の平行度を調整して、前記ワークを切断することで、切断後のワークのワイヤ走行方向のワープを制御することを特徴とするウェーハの製造方法を提供する。
【００１２】
このようなウェーハの製造方法であれば、切断後のワークのワイヤの走行方向ワープを制御でき、任意のワープ形状を有するウェーハを製造することができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、本発明のワイヤソー装置およびウェーハの製造方法によれば、ワイヤの走行方向ワープを制御することができ、任意のワープ形状を有するウェーハを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明のワイヤソー装置の一例を示す概略図である。
【図２】本発明のワイヤソー装置における、ワイヤガイドの表面に形成された溝の一例を示す概略図である。
【図３】本発明のワイヤソー装置における、複数のワイヤガイドの軸が平行であるときの、ワイヤガイド表面の溝とワイヤを上部からみた概略図である。
【図４】本発明のワイヤソー装置における、複数のワイヤガイドの軸を調整する機構の一例を示す概略図である。
【図５】本発明のワイヤソー装置における、複数のワイヤガイドの軸の平行度を調整したときの、ワイヤガイド表面の溝とワイヤを上部からみた概略図である。
【図６】実施例における、複数のワイヤガイドの軸の平行度を調整したときの、切断後のワークのワイヤの走行方向ワープ形状を示すグラフである。
【図７】複数のワイヤガイドの軸の平行度調整量とワイヤの走行方向ワープのＰＶ値の相関を示すグラフである。
【図８】従来のワイヤソー装置の一例を示す概略図である。
【図９】ベースウェーハのＢｏｗの値とエピ後のワープの相関を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
上述のように、従来では、ワイヤソー装置における切断後のワークのワイヤ走行方向ワープを制御する方法が確立されていなかった。
【００１６】
本発明者らは、上記課題について鋭意検討を重ねた結果、ワイヤガイドの軸の平行度を調整することで、ワーク切断中のワイヤをワイヤソー装置の前後方向に撓ませることができることを見出した。また、これにより、切断後のワークのワイヤ走行方向ワープを制御できることを見出し、本発明を完成させた。
【００１７】
以下、本発明のワイヤソー装置及びウェーハの製造方法について、図を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。なお、本願において、「平行度（平行度調整量）」とは水平方向の軸の傾斜量を意味する。ここで、傾斜量について図３及び５を用いてより詳細に説明する。傾斜量は、図３の左側に示したような複数のワイヤガイド３の軸が平行であるべき位置から、図５の左側のように複数のワイヤガイド３の軸を水平方向に傾けた場合の、軸同士のひらき量をいう。
【００１８】
図１に示すように、本発明のワイヤソー装置１は、複数のワイヤガイド３と、複数のワイヤガイド３に巻回されワイヤ軸方向に往復走行するワイヤ２によって形成されたワイヤ列４と、ワイヤ２にクーラント又はスラリ９を供給するノズル８とを具備する。スラリ９としては、炭化ケイ素などの遊離砥粒を含むスラリを用いることができる。
【００１９】
また、本発明のワイヤソー装置１は、ビーム５を介してワークＷが接着されたワークプレート６を吊り下げ保持するワーク保持部７と、ワークＷを相対的に押し下げてワイヤ列４に押圧するワーク送り機構１０とを具備する。即ち、ワークＷはビーム５を介してワークプレート６にエポキシ接着材などにより接着されており、ワークプレート６はワーク保持部７に保持され、これによりワークＷがワーク保持部７に保持されている。切断開始後、ワークＷはワイヤ列４に対して切り込み送りされ切断される。
【００２０】
図２に示すように、ワイヤソー装置１のワイヤガイド３の表面には、ワイヤ２を巻きつける為の溝が多数ある。左右のワイヤガイド３に平行にワイヤ２を巻きつけることで、平行なワイヤ列４を形成している。本発明において、溝のピッチや深さなどは特に限定されず、適宜設定することができる。
【００２１】
図３のワイヤガイドの上面視に示すように、通常ワイヤ２は、左右のワイヤガイド３表面の溝の中で平行に張られている。切断後のワークのワイヤ走行方向ワープは、ワークＷに対するワイヤガイド３により形成されたワイヤ列４の相対位置で決定されるため、ワイヤ列４がワイヤの走行方向に対して平行な場合、切断後のワークのワイヤ走行方向ワープは、真っ直ぐになる。走行方向ワープを制御するためには、ワイヤ列４のワークＷに対する相対位置を変化させる、つまり、ワイヤガイドの軸の平行度を調整することで、ワイヤをワイヤソー装置の前後方向に撓ませる必要がある。
【００２２】
本発明のワイヤソー装置１は、更に、後述するワイヤ列を形成する複数のワイヤガイド３の軸の平行度を調整する機構（以下、平行度調整機構という）を具備している。
【００２３】
図４は、本発明のワイヤソー装置における平行度調整機構１１の一例を示す概略図である。ワイヤガイド３は、ワイヤソー装置１の前面部の前面ブロック１２により保持されている。外輪リング１３は前面ブロック１２に、内輪リング１４は、ワイヤガイド３にそれぞれ固定されている。本発明のワイヤソー装置では、左右のスピンドル軸（ワイヤガイドの軸）を調整ボルト１５を用いて、任意にワイヤガイドの軸の平行度を調整できる。これにより、切断後のワークのワイヤの走行方向ワープを制御でき、任意のワープ形状を有するウェーハを製造することができる。
【００２４】
なお、軸の調整範囲としては、左右のスピンドル軸をそれぞれ±２ｍｍまでの範囲で調整することが好ましい。この範囲であれば、ワイヤソー装置の構造上の制限を受けずに、スピンドル軸の平行度を調整することができる。
【００２５】
図５は、ワイヤソー装置の手前側のワイヤガイド３を広げたとき（つまり、ワイヤガイド３の軸の平行度を大きくしたとき）のワイヤガイド３の溝とワイヤ２を上部からみた概略図である。図５に示したように、ワイヤガイド３の溝の中心部までは、ワイヤ２は溝に対して平行であるが、溝の内側では、ワイヤソー装置奥側に押し上げられるように変形する。ワイヤソー装置奥側に変形したワイヤ２により、切断後のワークのワイヤ走行方向ワープが凸方向に作りこまれる。
【００２６】
一方、ワイヤソー装置手前側のワイヤガイド３を狭めたとき（つまり、ワイヤガイド３の軸の平行度を反対側に大きくしたとき）は、ワイヤ２は装置手前側に押し下げられるように変形するため、切断後のワークのワイヤ走行方向ワープが凹方向に作りこまれる。
【００２７】
また、本発明は、ウェーハの製造方法を提供する。この方法は、上記のようなワイヤソー装置１を用いて行うことができる。すなわち、複数のワイヤガイド３に巻回された軸方向に往復走行するワイヤ２によってワイヤ列４を形成し、前記ワイヤ２にクーラント又はスラリをノズル８から供給しつつ、ワーク送り機構１０によりワーク保持部７に保持されたワークＷを前記ワイヤ列に押圧することで、前記ワークを切断してウェーハを製造する方法であって、前記ワイヤ列４を形成する前記複数のワイヤガイドの軸３の平行度を調整して、前記ワークＷを切断することで、切断後のワークのワイヤ走行方向のワープを制御するウェーハの製造方法である。
【００２８】
上記のように、本発明では、ワイヤガイド３の軸の平行度を調整する。これにより、ワイヤの走行方向ワープを制御することができ、任意のワープ形状を有するウェーハを製造することができる。
【実施例】
【００２９】
以下、実施例を用いて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００３０】
図１及び図４に示したような、平行度調整機構１１を具備するワイヤソー装置１を用いて、直径３００ｍｍのシリコンインゴット（ワーク）を、ワイヤガイドの軸の平行度を−４００μｍから２００μｍまで調整して切断した。切断後のワークのワイヤ走行方向ワープの形状比較を行った。結果を図６に示す。
【００３１】
図６に示したように、ワイヤガイドの軸を、ワイヤソー装置の手前側について２００μｍ、４００μｍと狭くすると、切断後のワークのワイヤ走行方向ワープは、凹み形状に変化していく事が確認された。また、２００μｍ広くすると切断後のワークの走行方向ワープは、凸形状に変化した。
【００３２】
図７にワイヤガイドの軸の平行度調整量と図６に示した走行方向ワープのＰＶ値（Ｐｅａｋ  ｔｏ  Ｖａｌｌｅｙ）との相関を示した。ワープのデータは、インゴットの装置奥側、ブロック中心、装置手前側３枚のウェーハのデータを用いた。図７に示すように、ワイヤガイド３の軸の平行度調整量とワイヤ走行方向ワープの凹凸量には相関が見られ、装置手前側のワイヤガイド３を狭くするとワイヤ走行方向ワープは、凹み方向に変化し、広くすると凸方向に変化した。以上より、ワイヤガイド３の軸の平行度を調整する事で、ワイヤ走行方向のワープの凹凸量を制御できる事が明らかになった。
【００３３】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００３４】
１…ワイヤソー装置、  ２…ワイヤ、  ３…ワイヤガイド、  ４…ワイヤ列、
５…ビーム、  ６…ワークプレート、  ７…ワーク保持部、  ８…ノズル
９…スラリ、  １０…ワーク送り機構、  １１…平行度調整機構、
１２…前面ブロック、  １３…外輪リング、  １４…内輪リング
１５…調整ボルト、  Ｗ…ワーク。
【図１】
2019114690.tif 000003
【図２】
2019114690.tif 000004
【図３】
2019114690.tif 000005
【図４】
2019114690.tif 000006
【図５】
2019114690.tif 000007
【図６】
2019114690.tif 000008
【図７】
2019114690.tif 000009
【図８】
2019114690.tif 000010
【図９】
2019114690.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成30年11月1日(2018.11.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明は、上記ワイヤソー装置を用いて、前記ワイヤ列を形成する前記複数のワイヤガイドの軸の平行度を調整して、ワークを切断することで、切断後のワークのワイヤ走行方向のワープを制御することを特徴とするウェーハの製造方法を提供する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、本発明は、ウェーハの製造方法を提供する。この方法は、上記のようなワイヤソー装置１を用いて行うことができる。すなわち、複数のワイヤガイド３に巻回された軸方向に往復走行するワイヤ２によってワイヤ列４を形成し、前記ワイヤ２にクーラント又はスラリをノズル８から供給しつつ、ワーク送り機構１０によりワーク保持部７に保持されたワークＷを前記ワイヤ列に押圧することで、前記ワークを切断してウェーハを製造する方法であって、前記ワイヤ列４を形成する前記複数のワイヤガイド３の軸の平行度を調整して、前記ワークＷを切断することで、切断後のワークのワイヤ走行方向のワープを制御するウェーハの製造方法である。