(57)【要約】      （修正有）【課題】熱輸送能力が高く、生産性にも優れるベーパーチャンバを提供すること。【解決手段】密閉空間に、複数の第１流路と、隣り合う複数の第１流路の間に設けられる第２流路と、が備えられ、第１流路には、その内面のうち、厚さ方向で第２流路が配置された位置に段差を有するベーパーチャンバ。【選択図】図２１
2019124446.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバであって、
前記密閉空間には、
複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、
前記第１流路には、その内面のうち、前記ベーパーチャンバの厚さ方向で前記第２流路が配置された位置に段差を有する、ベーパーチャンバ。
【請求項２】
作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバであって、
前記密閉空間には、
気体状態の前記作動流体が流れる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路間に設けられ液体状態の前記作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、
前記第１流路には、その内面のうち、前記ベーパーチャンバの厚さ方向で前記第２流路が配置された位置に段差を有する、ベーパーチャンバ。
【請求項３】
前記段差に、複数の前記第２流路の少なくとも１つが設けられている請求項１又は２に記載のベーパーチャンバ。
【請求項４】
前記第２流路のうち、前記第１流路に隣接する流路には、前記第１流路に連通する開口部を備えている請求項１乃至３のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
【請求項５】
複数のシートの積層体である請求項１乃至４のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
【請求項６】
筐体と、
前記筐体の内側に配置された電子部品と、
前記電子部品に配置された請求項１乃至５のいずれかに記載されたベーパーチャンバと、を備える、電子機器。
【請求項７】
別体である複数のシートを具備するベーパーチャンバ用の一組のシートであって、
前記複数のシートのうちの少なくとも２つのシートには、溝と壁とが交互に配列された部位を有し、
前記２つのシートの前記壁の接合面における幅が異なる、一組のベーパーチャンバ用シート。
【請求項８】
別体である複数のシートを具備するベーパーチャンバ用の一組のシートであって、
前記複数のシートのうちの少なくとも２つのシートには、溝と壁とが交互に配列された部位を有し、
前記２つのシートの前記溝の開口面における幅が異なる、一組のベーパーチャンバ用シート。
【請求項９】
請求項７又は８に記載のベーパーチャンバ用シートを製造する方法であって、
前記溝をハーフエッチングにより形成する工程を含む、ベーパーチャンバ用シートの製造方法。
【請求項１０】
複数のシートを重ね合わせてベーパーチャンバを製造する方法であって、
前記複数のシートに含まれるシートを請求項９に記載の方法により製造する工程と、
複数の前記シートを重ね合わせて接合する工程と、
前記接合により形成されたシート間に形成された中空部に作動流体を封入する工程と、を含む、ベーパーチャンバの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は密閉空間に封入された作動流体を相変化を伴いつつ還流することより熱輸送を行うベーパーチャンバに関する。
【背景技術】
【０００２】
パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に備えられているＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあり冷却技術が重要である。このような冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。
【０００３】
一方、近年においては特に携帯型端末等で薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対して例えば特許文献１に記載のようなベーパーチャンバが提案されている。
【０００４】
ベーパーチャンバはヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバには、対向して配置されて接合された平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体が相変化を伴いつつ還流することで熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。
【０００５】
より具体的には、ベーパーチャンバの対向する平板間に蒸気用流路と凝縮液用流路とが設けられ、ここに作動流体が封入された形態がある。ベーパーチャンバを熱源に配置すると、熱源の近くにおいて作動流体は熱源からの熱を受けて蒸発し、気体（蒸気）となって蒸気用流路を移動する。これにより熱源からの熱が熱源から離れた位置に円滑に輸送され、その結果熱源が冷却される。
熱源からの熱を輸送した気体状態の作動流体は熱源から離れた位置にまで移動し、周囲に熱を吸収されることで冷却されて凝縮し、液体状態に相変化する。相変化した液体状態の作動流体は凝縮液用流路を通り、熱源の位置にまで戻ってまた熱源からの熱を受けて蒸発して気体状態に変化する。
以上のような循環により熱源から発生した熱が熱源から離れた位置に輸送され熱源が冷却される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２１２０２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本開示の形態は、熱輸送能力が高く、生産性にも優れるベーパーチャンバを提供することを課題とする。また、当該ベーパーチャンバを備える電子機器、ベーパーチャンバ用シート、並びに、ベーパーチャンバ用シート及びベーパーチャンバの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の１つの態様は、作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバであって、密閉空間には、複数の第１流路と、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり第１流路には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路が配置された位置に段差を有する、ベーパーチャンバである。
【０００９】
本開示の他の態様は、作動流体が封入された密閉空間を有するベーパーチャンバであって、密閉空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の第１流路と、隣り合う第１流路間に設けられ液体状態の作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、第１流路には、その内面のうち、厚さ方向で前記第２流路が配置された位置に段差を有する、ベーパーチャンバである。
【００１０】
段差に、複数の第２流路の少なくとも１つを設けてもよい。
【００１１】
第２流路のうち、第１流路に隣接する流路には、第１流路に連通する開口部を備えてもよい。
【００１２】
上記ベーパーチャンバは複数のシートの積層体であってもよい。
【００１３】
本開示の他の態様は、筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に配置された上記ベーパーチャンバと、を備える、電子機器である。
【００１４】
本開示の他の態様は、別体である複数のシートを具備するベーパーチャンバ用の一組のシートであって、複数のシートのうちの少なくとも２つのシートには、溝と壁とが交互に配列された部位を有し、２つのシートの壁の接合面における幅が異なる、一組のベーパーチャンバ用シートである。
【００１５】
本開示の他の態様は、別体である複数のシートを具備するベーパーチャンバ用の一組のシートであって、複数のシートのうちの少なくとも２つのシートには、溝と壁とが交互に配列された部位を有し、２つのシートの溝の開口面における幅が異なる、一組のベーパーチャンバ用シートである。
【００１６】
本開示の他の態様は、溝をハーフエッチングにより形成する工程を含む、ベーパーチャンバ用シートの製造方法である。
【００１７】
本開示の他の態様は、複数のシートを重ね合わせてベーパーチャンバを製造する方法であって、複数のシートに含まれるシートを製造する工程と、複数のシートを重ね合わせて接合する工程と、接合により形成されたシート間に形成された中空部に作動流体を封入する工程と、を含む、ベーパーチャンバの製造方法である。
【発明の効果】
【００１８】
本開示の形態によれば、熱輸送能力を高めるベーパーチャンバを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１はベーパーチャンバの斜視図である。
【図２】図２はベーパーチャンバの分解斜視図である。
【図３】図３は第一シートの斜視図である。
【図４】図４は第一シートの平面図である。
【図５】図５は第一シートの切断面である。
【図６】図６は第一シート１０の他の切断面である。
【図７】図７は第一シート１０の他の切断面である。
【図８】図８は外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図９】図９は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１０】図１０は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１１】図１１は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１２】図１２は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１３】図１３は液流路溝の断面形状が半楕円である例である。
【図１４】図１４は内側液流路部に注目した切断面である。
【図１５】図１５は内側液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１６】図１６は蒸気流路溝の断面形状が半円である例である。
【図１７】図１７は第二シートの斜視図である。
【図１８】図１８は第二シートの平面図である。
【図１９】図１９は第二シートの切断面である。
【図２０】図２０は第二シートの切断面である。
【図２１】図２１はベーパーチャンバの切断面である。
【図２２】図２２は、図２１の一部を拡大した図である。
【図２３】図２３は、図２２の一部をさらに拡大した図である。
【図２４】図２４は、図２２の一部をさらに拡大した図である。
【図２５】図２５はベーパーチャンバ１の他の切断面である。
【図２６】図２６は携帯型端末（電子機器）４０を模式的に表した図である。
【図２７】図２７は作動流体の流れを説明する図である。
【図２８】図２８は他の例のベーパーチャンバの構成を説明する図である。
【図２９】図２９は他の例のベーパーチャンバを説明する図である。
【図３０】図３０は他の例のベーパーチャンバの構成を説明する図である。
【図３１】図３１は他の例のベーパーチャンバの構成を説明する図である。
【図３２】図３２は他の例のベーパーチャンバの構成を説明する図である。
【図３３】図３３は他の例のベーパーチャンバの構成を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本開示を図面に示す形態に基づき説明する。以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示や繰り返しとなる符号は省略することがある。
【００２１】
図１には１つの形態にかかるベーパーチャンバ１の外観斜視図、図２にはベーパーチャンバ１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も表した。ここでｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバ１の板面方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。
【００２２】
本形態のベーパーチャンバ１は、図１、図２からわかるように第一シート１０及び第二シート２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１０と第二シート２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成され（例えば図２１参照）、この密閉空間２に作動流体が封入されている。
【００２３】
本形態で第一シート１０は全体としてシート状の部材である。図３には第一シート１０を内面１０ａ側から見た斜視図、図４には第一シート１０を内面１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図５には図４にＶ−Ｖで切断したときの第一シート１０の切断面を示した。
第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを連結して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が還流する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２となる。
【００２４】
このような第一シート１０は本体１１及び注入部１２を備えている。本体１１は作動流体が還流する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で角に円弧（いわゆるＲ）が形成された長方形である。
ただし、第一シート１０の本体１１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
【００２５】
注入部１２は第一シート１０と第二シート２０により形成された中空部に対して作動流体を注入して密閉空間２（例えば図２１参照）とする部位であり、本形態では本体１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１０の注入部１２は内面１０ａ側も外面１０ｂ側も平坦面とされている。
【００２６】
このような第一シート１０の厚さは特に限定されることはないが、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。
【００２７】
また、第一シート１０を構成する材料も特に限定されることはないが、熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金を挙げることができる。
ただし、必ずしも金属材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４、又はＡｌ２Ｏ３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、１つシート内で２種類以上の材料を積層したものを用いてもよいし、部位によって材料が異なってもよい。
【００２８】
本体１１の内面１０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体１１の内面１０ａ側には、外周接合部１３、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７が具備されている。
【００２９】
外周接合部１３は、本体１１の内面１０ａ側に、該本体１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１３が第二シート２０の外周接合部２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２となる。
図４、図５にＡで示した外周接合部１３の幅（外周接合部１３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ａは、３ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ａが３ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ａは０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍ以上であってもよい。幅Ａが０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ａの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ａの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００３０】
また外周接合部１３のうち、本体１１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴１３ａが設けられている。この穴１３ａは第二シート２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
【００３１】
外周液流路部１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図６には図５のうち矢印ＶＩで示した部分、図７には図４にＶＩＩ−ＶＩＩで切断される部位の切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図８には図６に矢印ＶＩＩＩで示した方向から見た外周液流路部１４を平面視した拡大図を表した。
【００３２】
これら図からわかるように、外周液流路部１４は本体１１の内面１０ａのうち、外周接合部１３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って設けられている。また、外周液流路部１４には、本体１１の外周方向に沿って延びる複数の溝である液流路溝１４ａが形成され、複数の液流路溝１４ａが、該液流路溝１４ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６、図７からわかるように外周液流路部１４ではその断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１４ａと液流路溝１４ａの間である凸部１４ｂとが凹凸を繰り返している。
ここで液流路溝１４ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側の内面１０ａ側に開口を備えている。
【００３３】
また、このように複数の液流路溝１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１４ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路である凝縮液流路３（図２３参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【００３４】
さらに、外周液流路部１４では、図８からわかるように隣り合う液流路溝１４ａは、所定の間隔で連通開口部１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができ、より円滑な作動流体の還流が可能となる。
本形態では図８で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向の同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図９に示したように、１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、液流路溝１４ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１４ｂと連通開口部１４ｃとが交互に配置されてもよい。
【００３５】
その他、例えば図１０〜図１２に記載のような形態とすることもできる。図１０〜図１２には、図８と同じ視点で、１つの凝縮液流路１４ａとこれを挟む２つの凸部１４ｂ、及び各凸部１４ｂに設けられた１つの連通開口部１４ｃを示した図を表した。これらはいずれも、当該視点（平面視）で壁１４ｂの形状が図８の例とは異なる。
すなわち、図８に示した凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図１０〜図１２に示した形状の凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図１０の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１１は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１２は端部が尖るように先細りとなる例である。
【００３６】
図１０〜図１２に示したように、凸部１４ｂにおいて連通開口部１４ｃが形成される端部でその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されていることで、連通開口部１４ｃを作動流体が移動しやすくなり、隣り合う凝縮液流路３への作動流体の移動が容易となる。
【００３７】
以上のような構成を備える本形態の外周液流路部１４は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４〜図７にＢで示した外周液流路部１４の幅（液流路部１４ａが配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｂは、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｂが３．０ｍｍを超えると内側の凝縮液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｂは０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｂが０．１ｍｍより小さいと外側を還流する凝縮液の量が十分得られない虞がある。幅Ｂの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｂの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
そして当該幅Ｂは第二シートの外周液流路部２４の幅Ｓ（図１９参照）と異なることが好ましい。すなわち、第一シート１０と第二シート２０とを組み合わせたときに、第１流路である蒸気流路４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路が配置された位置に段差を有するものとなる。
これにより、第一シート１０と第二シート２０とが接合の際に若干のずれが生じても許容され、接合精度を緩やかにすることができる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
また、本形態のように幅Ｂを幅Ｓよりも大きくした場合には、後述するように、外周液流路部１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１４ａの開口が蒸気流路４の一部を形成するように含まれて配置され、ここから凝縮液が入りやすくなるため、より円滑に凝縮液を還流させることができる。
【００３８】
液流路溝１４ａについて、図６、図８にＣで示した溝幅（液流路溝１４ａが配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｃは２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。幅Ｃの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｃの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図６、図７にＤで示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤは５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。
【００３９】
凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、幅Ｃを深さＤで割った値である流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点からＣはＤより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【００４０】
本形態では液流路溝１４ａの断面形状は長方形であるがこれに限定されることなく、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円、半楕円形、又は、これらから選ばれる複数が組み合わされた形状であってもよい。図１３には液流路溝１４ａが半楕円形である例を示した。この形状によりエッチングを用いて液流路溝を作製することが可能である。
このなかでも、入隅による角部があることにより表面張力が働きやすく、毛管力によって液の還流が円滑に行われる傾向にあることから、四角形であることが好ましい。
【００４１】
また、複数の液流路溝１４ａにおける隣り合う液流路溝１４ａのピッチは１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、ピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。
【００４２】
連通開口部１４ｃについて、図８にＥで示した液流路溝１４ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、大きさＥは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。大きさＥの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＥの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００４３】
また、図８にＦで示した液流路溝１４ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１４ｃのピッチは２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００４４】
図３〜図５に戻って内側液流路部１５について説明する。内側液流路部１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路としての凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図１４には図５のうちＶＩで示した部分を示した。この図にも内側液流路部１５の断面形状が表れている。また、図１５には図１４に矢印ＸＩＩで示した方向から見た内側液流路部１５を平面視した拡大図を示した。
【００４５】
これら図からわかるように、内側液流路部１５は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１５は、図３、図４からわかるように、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが具備され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図５、図１４からわかるように内側液流路部１５ではその断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間である凸部１５ｂとが凹凸を繰り返されている。
ここで液流路溝１５ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側となる底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側で内面１０ａ側となる開口を備えている。
【００４６】
このように複数の液流路溝１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１５ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路としての凝縮液流路３（図２３参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【００４７】
さらに、図１５からわかるように隣り合う液流路溝１５ａは、所定の間隔で連通開口部１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができるため、円滑な作動流体の還流が可能となる。
この連通開口部１５ｃについても、連通開口部１４ｃと同様に、図９に示した例に倣って、液流路溝１５ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１５ｂと連通開口部１５ｃとが交互に配置されてもよい。
また、図１０〜図１２の例に倣って連通開口部１５ｃ及び壁１５ｂの形状としてもよい。
【００４８】
以上のような構成を備える本形態の内側液流路部１５は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５、図１４にＧで示した内側液流路部１５の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、３０００μｍ以下であることが好ましく１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｇは１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｇの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｇの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
そして当該幅Ｇは第二シートの内側液流路部２５の幅Ｔ（図１９参照）とは異なっていることが好ましい。これにより、第一シート１０と第二シート２０とが接合の際に若干のずれが生じても許容され、接合精度を緩やかにすることができる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
また、本形態では幅Ｇを幅Ｔよりも大きくしており、これによれば後述するように、内側液流路部１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１５ａの開口を蒸気流路４の一部を形成するように含ませて配置させることができ、ここから凝縮液が入りやすいため、より円滑な凝縮液の還流をさせることができる。
【００４９】
また、複数の内側液流路部１５のピッチは、４０００μｍ以下であることが好ましく３０００μｍ以下であってもよく、２０００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは２００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ以上であってもよく、８００μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。
【００５０】
液流路溝１５ａについて、図１４、図１５にＨで示した溝幅（液流路溝１５ａが配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｈは２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。この幅Ｈの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｈの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１４にＪで示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＪは５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＪの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＪの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛細管力を強く発揮することができる。
【００５１】
流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、幅Ｈを深さＪで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。１．５以上であってもよいし、２．０以上であってもよい。又は１．０よりも小さくてもよく、０．７５以下でもよく０．５以下でもよい。
その中でも製造の観点から幅Ｈは深さＪよりも大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【００５２】
また、本形態で液流路溝１５ａの断面形状は長方形であるが、これに限らず、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、半楕円形、又は、これらを組み合わせた形状であってもよい。図１３の例に倣って液流路溝１５ａの断面形状を半楕円形とすることもできる。この形状によりエッチングを用いて液流路溝を作製することが可能である。
この中でも入隅による角部があることにより表面張力が働きやすく、毛管力で液の還流が円滑に行われる傾向にあることから、四角形であることが好ましい。
【００５３】
また、複数の液流路溝１５ａにおける隣り合う液流路溝１５ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを防止することができる。
【００５４】
連通開口部１５ｃについて、図１５にＫで示した液流路溝１５ａが延びる方向に沿った連通開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、この大きさＫは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。この大きさＫの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＫの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１５にＬで示した、液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１５ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００５５】
上記した本形態の液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ａは等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば溝同士のピッチがばらついても良く、また溝同士が平行でなくても良い。
【００５６】
次に蒸気流路溝１６について説明する。蒸気流路溝１６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１流路である蒸気流路４の一部を構成する。図４には平面視した蒸気流路溝１６の形状、図５には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。
これら図からもわかるように、蒸気流路溝１６は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１６は、隣り合う内側液流路部１５の間、及び、外周液流路部１４と内側液流路部１５との間に形成され、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図５からわかるように第一シート１０は、ｙ方向において、外周液流路部１４及び内側液流路部１５である壁を凸とし、蒸気流路溝１６を凹とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側となる底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側で内面１０ａ側に開口を備えている。
【００５７】
このような構成を備える蒸気流路溝１６は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５にＭで示した蒸気流路溝１６の幅（内側液流路部１５と蒸気流路１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの幅Ｃ、幅Ｈより大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｍは１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｍの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｍの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。
【００５８】
一方、図５にＮで示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの深さＤ、深さＪより大きく形成され、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＮは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＮの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＮの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。
【００５９】
本形態では蒸気流路溝１６の断面形状は長方形であるが、これに限らず正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、半楕円形、又はこれらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。図１６に蒸気流路溝１６が半円形である例を表した。この形状によりエッチングを用いて蒸気流路溝を作製することが可能である。
蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより、作動流体を円滑に還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【００６０】
本形態では隣り合う内側液流路部１５の間に１つの蒸気流路溝１６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第二シート２０に蒸気流路溝が形成されていれば、第一シート１０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
【００６１】
蒸気流路連通溝１７は、複数の蒸気流路溝１６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路溝１６の蒸気の均等化が図られ、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの液流路溝１４ａ、１５ａを効率よく利用できるようになるため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
【００６２】
本形態の蒸気流路連通溝１７は、図３、図４からわかるように、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１４との間に形成されている。また、図７には蒸気流路連通溝１７の連通方向に直交する断面が表れている。図２〜図４には見易さのため、蒸気流路溝１６と蒸気流路連通溝１７との境界に点線を表している。ただしこの線は形状に基づくものではなく見易さのために設けた仮想の線である。
【００６３】
蒸気流路連通溝１７は、隣り合う蒸気流路溝１６を連通させるように形成されていればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図４、図７にＰで示した蒸気流路連通溝１７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｐは１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｐの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｐの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図７にＱで示した蒸気流路連通溝１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＱは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＱの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＱの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。その中でも蒸気流路溝１６の深さＮと同じであることが好ましい。これにより製造が容易になる。
【００６４】
本形態で蒸気流路連通溝１７の断面形状は長方形であるが、これに限らず、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、半楕円形、又は、これらのいずれか複数の組み合わせであってもよい。図１６の例に倣って半円形とすることができる。この形状によりエッチングを用いて蒸気流路連通溝を作製することが可能である。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【００６５】
次に第二シート２０について説明する。本形態で第二シート２０も全体としてシート状の部材である。図１７には第二シート２０を内面２０ａ側から見た斜視図、図１８には第二シート２０を内面２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図１９には図１８にＸＶＩ−ＸＶＩで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。また、図２０には図１８にＸＶＩＩ−ＸＶＩＩで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。
第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを連結し厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が還流するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体を封入することで密閉空間２となる。
【００６６】
第二シート２０は本体２１及び注入部２２を備えている。本体２１は作動流体が還流する部位を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角部に円弧（いわゆるＲ）が形成された長方形である。
ただし、第二シート２０は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
【００６７】
注入部２２は第一シート１０と第二シート２０とにより形成された中空部に対して作動流体を注入して封入し、密閉空間２（図２１参照）とする部位であり、本形態では本体２１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート２０の注入部２２には内面２０ａ側に注入溝２２ａが形成されており、第二シート２０の側面２０ｃから本体２１の内側（中空部となるべき部位）とが連通している。
このような第二シート２０の厚さ及び構成する材料は第一シート１０と同様に考えることができる。ただし、第一シート１０と第二シート２０とは必ずしも同じ厚さ及び材料である必要はない。
【００６８】
本体２１の内面２０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体２１の内面２０ａ側には、外周接合部２３、外周液流路部２４、内側液流路部２５、蒸気流路溝２６、及び、蒸気流路連通溝２７が具備されている。
【００６９】
外周接合部２３は、本体２１の内面２０ａ側に、該本体２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部２３が第一シート１０の外周接合部１３に重なって接合（拡散接合やろう付け）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部を形成し、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
図１８〜図２０にＲで示した外周接合部２３の幅（外周接合部２３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は上記した本体１１の外周接合部１３の幅Ａと同じであることが好ましい。ただし必ずしも同じである必要はなく、大きくても小さくてもよい。
【００７０】
また外周接合部２３のうち、本体２１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴２３ａが設けられている。この穴２３ａは第一シート１０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
【００７１】
外周液流路部２４は、液流路部であり、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。
【００７２】
外周液流路部２４は本体２１の内面２０ａのうち、外周接合部２３の内側に沿って、密閉空間２の外周に沿って形成されている。本形態において第二シート２０の外周液流路部２４は、図１９、図２０からわかるように外周接合部２３と面一である。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１４ａのうち少なくとも一部の液流路溝１４ａの開口を閉鎖して第２流路である凝縮液流路３を形成する。第一シート１０と第二シート２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
なお、このように第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図１８では点線により両者の境界を表している。
【００７３】
外周液流路部２４は、次のような構成を備えていることが好ましい。
図１８〜図２０にＳで示した外周液流路部２４の幅（外周液流路部２４が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の外周流路部１４の幅Ｂとは異なることが好ましい。すなわち、第一シート１０と第二シート２０とを組み合わせたときに、第１流路である蒸気流路４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路が配置された位置に段差を有するものとなる。
これにより、第一シート１０と第二シート２０とが接合の際に若干のずれが生じても外周液流路部１４と外周液流路部２４との重ね合せがより容易になる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
また、本形態では、幅Ｓを幅Ｂよりも小さくすることで、後述するように、外周液流路部１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１４ａが蒸気流路４の一部に含まれるようになり、この部分において液流路溝１４ａの開口が外周液流路部２４により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすいため、より円滑な凝縮液の還流をさせることができる。
かかる観点から、幅Ｓの大きさは、図６に示した、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｂとの関係で、Ｂの半分以上であることが好ましい。幅ＳがＢの半分より小さいと開口の閉鎖をすることができる液流路溝１４ａが少なくなるため、凝縮液流路３における毛細管力が不足する虞がある。一方、幅ＳはＢ１以下であることが好ましい。ここでＢ１は、外周液流路部１４に配置された液流路溝１４ａのうち、最も蒸気流路溝１６側の液流路溝１４ａの幅の半分である位置と、外周液流路部１４の外周接合部１３側端部と、の距離を意味する。幅ＳがＢ１より大きくなると本形態の観点からは、蒸気流路４に露出される液流路溝１４ａの開口が少なくなり、凝縮液の液流路溝１４ａへの流入が少なくなってしまう虞がある。
【００７４】
次に内側液流路部２５について説明する。内側液流路部２５も液流路部であり、第２流路である凝縮液流路３を構成する１つの部位である。
内側液流路部２５は、図１７〜図２０よりわかるように、本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部２５は、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部２５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が第一シート１０との接合前において平坦面により形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａのうち少なくとも一部の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。
【００７５】
図１８、図１９にＴで示した内側液流路部２５の幅（内側液流路部２５と蒸気流路溝２６が配列される方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｇと異なることが好ましい。これによれば、第一シート１０と第二シート２０とを組み合わせたときに、第１流路である蒸気流路４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路が配置された位置に段差を有するものとなる。
これにより、第一シート１０と第二シート２０とが接合の際に若干のずれが生じても内側液流路部１５と内側液流路部２５との重ね合せが容易になる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
また、本形態では、幅Ｔを幅Ｇより小さくすることで後述するように、内側液流路部１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１５ａが蒸気流路４の一部に含まれることになり、この部位において液流路溝１５ａの開口が内側液流路部２５により閉鎖されず、ここから凝縮液が入りやすいため、より円滑に凝縮液の還流をさせることができる。
本形態ではかかる観点から、幅Ｔの大きさは、図１４に示した、第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｇとの関係で、Ｇ２以上であることが好ましい。Ｇ２は、図１４に示したように、複数の液流路溝１５ａのうち、蒸気流路溝１６側から２つ目の液流路溝１５ａの蒸気流路溝１６側端部間の距離である。幅ＴがＧ２より小さいと開口の閉鎖をすることができる液流路溝１５ａが少なくなるため、凝縮液流路３における毛細管力が不足する虞がある。
一方、本形態の観点からは幅ＴはＧ１以下であることが好ましい。Ｇ１は、図１４に示したように、複数の液流路溝１５ａのうち、蒸気流路溝１６側から１つ目の液流路溝１５ａの幅の半分となる位置間の距離である。本形態の観点からは、幅ＴがＧ１より大きくなると蒸気流路４に露出される液流路溝１５ａの開口が少なくなり、凝縮液の液流路溝１５ａへの流入が少なくなる虞がある。
【００７６】
なお、本形態では各内側液流路部２５では接合前において平坦面により形成されているが、第一シートと同様に液流路溝を形成しても良い。また、その場合は、液流路溝同士は平面視で同じ位置にあってもよく、ずれていても良い。
【００７７】
次に蒸気流路溝２６について説明する。蒸気流路溝２６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位であり、第１流路である蒸気流路４の一部を構成する。図１８には平面視した蒸気流路溝２６の形状、図１９には蒸気流路溝２６の断面形状がそれぞれ表れている。
これら図からもわかるように、蒸気流路溝２６は本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝２６は、隣り合う内側液流路部２５の間、及び、外周液流路部２４と内側液流路部２５との間に形成され、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝２６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図１９からわかるように第二シート２０は、ｙ方向において、外周液流路部２４及び内側液流路部２５である壁による凸と、蒸気流路溝２６である溝による凹とにより、これらの凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、外面２０ｂ側である底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面２０ａ側となる開口を備えている。
【００７８】
蒸気流路溝２６は、第一シート１０と組み合わされた際に該第一シート１０の蒸気流路溝１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とで第２流路である蒸気流路４を形成することができる。
【００７９】
図１８、図１９にＵで示した蒸気流路溝２６の幅（内側液流路部２５と蒸気流路溝２６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は第一シート１０の蒸気流路溝１６の幅Ｍと異なっていることが好ましい。これにより、第一シート１０と第二シート２０とが接合の際に若干のずれが生じても内側液流路部１５と内側液流路部２５とを重ね易くなる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
その中でも本形態では、幅Ｕが幅Ｍより大きくされているため、後述するように、第一シート１０の内側液流路部１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１５ａが蒸気流路４の一部に含まれることなり、この部位において液流路溝１５ａの開口が蒸気流路４に露出されるため凝縮液が入りやすくなり、より円滑に凝縮液の還流をさせることができる。
一方、図１９にＶで示した蒸気流路溝２６の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＶは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＶの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＶの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路溝１６と第二シート２０の蒸気流路溝２６の深さは同じであってもよく、大きくても小さくてもよい。
【００８０】
本形態で蒸気流路溝２６の断面形状は長方形であるが、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、半楕円形、又は、これらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。図１６の例に倣って半円形にすることができる。この形状によりエッチングを用いて蒸気流路溝を作製することが可能である。
蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体を円滑に還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【００８１】
本形態では隣り合う内側液流路部２５の間に１つの蒸気流路溝２６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第一シート１０に蒸気流路溝が形成されていれば、第二シート２０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
【００８２】
蒸気流路連通溝２７は、複数の蒸気流路溝２６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路４の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれて、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
【００８３】
本形態の蒸気流路連通溝２７は、図１８、図２０からわかるように、内側液流路部２５及び蒸気流路溝２６が延びる方向の両端部と、外周液流路部２４との間に形成されている。また、図２０には蒸気流路連通溝２７の連通方向に直交する断面が表れている。
【００８４】
図１８、図２０にＷで示した蒸気流路連通溝２７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の幅Ｐと異なっていることが好ましい。さらに本形態では幅Ｗは幅Ｐよりも大きくされている。大きくされる程度は、５０μｍ以上２００μｍ以下の範囲で幅Ｐよりも大きいことがより好ましい。これにより、本形態において後述するように、第一シート１０の外周液流路部１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１４ａの開口が蒸気流路４の一部を形成するように配置されるため凝縮液が入りやすくなり、より円滑に凝縮液を還流させることができる。
【００８５】
一方、図２０にＸで示した蒸気流路連通溝２７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＸは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＸの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＸの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路連通溝１７と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の深さは同じでもよく、大きくても小さくてもよい。
【００８６】
本形態で蒸気流路連通溝２７の断面形状は長方形であるが、これに限らず正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、半楕円形、又は、これらのいずれかを組み合わせた形状であってもよい。図１６の例に倣って半円形とすることができる。この形状によりエッチングを用いて蒸気流路連通溝を作製することが可能である。
蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより円滑な還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【００８７】
次に、第一シート１０と第二シート２０とが組み合わされてベーパーチャンバ１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１０及び第二シート２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図２１には、図１にＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩで示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１０における図５に表した図と、第二シート２０における図１９に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
図２２には図２１にＸＩＸで示した部位を拡大した図、図２３には図２２のうち内側液流路部１５と内側液流路部２５とが重なった部分をさらに拡大した図、図２４には図２２のうち外周液流路部１４と外周液流路部２４とが重なった部分をさらに拡大した図をそれぞれ表した。
図２５には、図１にＸＸＩＩ−ＸＸＩＩで示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図７に表した図と、第二シート２０における図２０に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
【００８８】
図１、図２、及び図２１〜図２５よりわかるように、第一シート１０と第二シート２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ１とされている。このとき第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１０の本体１１と第二シートの本体２１とが重なり、第一シート１０の注入部１２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。本形態では、第一シート１０と第二シート２０との相対的な位置関係は、第一シート１０の穴１３ａと第二シート２０の穴２３ａと位置を合わせることで適切になるように構成されている。
【００８９】
このような第一シート１０と第二シート２０との積層体により、本体１１及び本体２１に具備される各構成が図２１〜図２５に表れるように配置される。具体的には次の通りである。
【００９０】
第一シート１０の外周接合部１３と第二シート２０の外周接合部２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２とされている。
【００９１】
第一シート１０の外周液流路部１４と第二シート２０の外周液流路部２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び外周液流路部２４により作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。この凝縮液流路３は第１流路である蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
【００９２】
ここで、図２１〜図２５よりわかるように、本形態では、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｂの方が、第二シート２０の外周液流路部２４の幅Ｓよりも大きく形成されている。従って第１流路である蒸気流路４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路が配置された位置に段差を有するものとなる。
これにより、第一シート１０と第二シート２０とが接合の際に若干のずれが生じても許容され、接合精度を緩やかにすることができる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
【００９３】
また、本形態では、外周液流路部１４に設けられた複数の液流路溝１４ａのうち蒸気流路４側となる液流路溝１４ａについては第二シート２０の外周液流路部２４が重ならないため、開口が塞がらない。従って、この部位では図２２〜図２５にαで示したように第二シート２０に対向するような開口が形成され、該開口が蒸気流路４の一部に含まれるようになり、蒸気流路４に連通している。
このように凝縮液流路の少なくとも一部が蒸気流路内に配置されることにより、凝縮液が凝縮液流路３である液流路溝１４ａ内に流入し易くなり作動流体の還流がより円滑になる。
一方、液流路溝１４ａのうちその開口が外周液流路部２４により塞がれた溝については、断面においてその四方が壁となるため毛細管力が強く働き、円滑な液の流動が行われる。
【００９４】
第一シート１０の壁である内側液流路部１５と第二シート２０の壁である内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により中空部のうち、作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
この凝縮液流路３は蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
さらには内側液流路部１５と内側液流路部２５とが重なることにより密閉空間２の内部における支柱として機能するため、製造時においてつぶれ等の不具合を抑制することができる。
【００９５】
また、図２１〜図２５よりわかるように、本形態では、第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｇの方が、第二シート２０の内側液流路部２５の幅Ｔよりも大きく形成されている。従って、第１流路である蒸気流路４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路が配置された位置に段差を有するものとなる。
これにより、第一シート１０と第二シート２０とが接合の際に若干のずれが生じても許容され、接合精度を緩やかにすることができる。従って生産時において精度管理を緩やかにすることができ、歩留まりの向上等、生産性を高めることができる。
さらに、この緩やかになった許容範囲内であれば、蒸気流路溝１６及び蒸気流路溝２６のうちの狭い方（本形態では蒸気流路溝１６）の幅の蒸気流路４を確保することができる。従って蒸気流路４の流路抵抗の観点からも該抵抗を一定に保つことができる範囲を広くすることができ、個々の製品の熱輸送能力のばらつきを抑えることができ、所望の性能の製品を安定して供給することができる。
【００９６】
また、本形態では、内側液流路部１５に設けられた複数の液流路溝１５ａのうち蒸気流路４側となる液流路溝１５ａについては第二シート２０の内側液流路部２５が重ならないため、開口が塞がらない。従って、この部位では図２２〜図２５にβで示したように蒸気流路４の段差の部位において、第二シート２０に対向するような開口が形成され、該開口が蒸気流路４の一部に含まれるようになり、蒸気流路４に連通している。
このように凝縮液流路の少なくとも一部が蒸気流路内に配置されることにより、凝縮液が凝縮液流路である液流路溝１５ａ内に流入し易くなり作動流体の還流がより円滑になる。
【００９７】
一方、液流路溝１５ａのうちその開口が内側液流路部２５により塞がれた溝については、断面においてその四方が壁となるため毛細管力が強く働き、円滑な液の流動が行われる。
【００９８】
なお、以上の各例の凝縮液流路３でも流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、流路幅を流路高さで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【００９９】
第一シート１０の蒸気流路溝１６の開口と第二シート２０の蒸気流路溝２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成し、これが蒸気が流れる第１流路である蒸気流路４となる。
上記した第２流路である凝縮液流路３の流路断面積は、当該第１流路である蒸気流路４の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路４（本形態では１つの蒸気流路溝１６及び１つの蒸気流路溝２６により形成される流路）の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う２つの蒸気流路４の間に配置される複数の凝縮液流路３（本形態では１つの内側液流路部１５、及び、１つの内側液流路溝２５により形成される複数の凝縮液流路３）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路３と蒸気流路４とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
【０１００】
図２５からわかるように、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の開口と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成する。
【０１０１】
一方、注入部１２、２２についても図１、図２に表れているように、内面１０ａと内面２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート２０の注入溝２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１０の注入部１２の内面１０ａより塞がれ、外部と本体１１及び本体２１間の中空部（凝縮液流路３及び蒸気流路４）とを連通する注入流路５が形成されている。
ただし、注入流路５から中空部に対して作動流体を注入して密封し、密閉空間２とした後は、注入流路５は閉鎖されるので、最終的な形態のベーパーチャンバ１では外部と密閉空間２とは連通していない。
【０１０２】
本形態で注入部１２、注入部２２及びこれによる注入流路５は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。
【０１０３】
ベーパーチャンバ１の密閉空間２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
【０１０４】
以上のようなベーパーチャンバは例えば次のように作製することができる。ここでは第一シート１０について説明するが、第二シート２０も同様の手法にて製造することができる。
【０１０５】
初めに、第一シート１０の外周形状を有する表裏が平坦な金属シートを準備する。
続いて、この金属シートがハーフエッチングされて、密閉空間２の一部を構成する蒸気流路溝１６が形成される。より詳しくは、金属シートのうちハーフエッチングをする側の面にレジスト膜を積層し、フォトリソグラフィー技術によりレジスト膜の一部を蒸気流路溝のパターン状に除去する。そして当該レジスト膜が除去された部分に対してハーフエッチングがなされることにより蒸気流路溝１６が形成される。これにより蒸気流路溝が形成されなかった部位において、液流路溝を備えていない内側液流路部、及び外周液流路部、並びに外周接合部が形成される。
ここでハーフエッチングとは、金属シートを貫通することなくその厚さ方向の途中までエッチングを行うことである。
【０１０６】
次に、さらに金属シートがハーフエッチングされて、密閉空間２となる中空部の一部を構成する液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａが形成される。この場合、金属シートのうち蒸気流路溝１６が形成された側の面にレジスト膜を積層し、フォトリソグラフィー技術によりレジスト膜の一部を液流路溝のパターン状に除去する。そして当該レジスト膜が除去された部分に対してハーフエッチングがなされることにより内側液流路部、及び外周液流路部に液流路溝１４ａ、液流路部１５ａが形成される。
【０１０７】
次いで、上記のように作製した第一シート１０及び第二シート２０の内面１０ａと内面２０ａを向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１３ａ、穴２３ａを用いて位置決めし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０と第二シート２０とを接合する。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密閉空間２の密閉性を維持可能な程度に、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。
本形態では内部液流路部１５と内側液流路部２５とが上記のような関係を有しているので位置決め精度を緩やかに設定することができ、生産性を高めることが可能となる。
【０１０８】
接合の後、形成された注入流路５から真空引きを行い、中空部を減圧する。その後、減圧された中空部に対して注入流路５から作動流体を注入して中空部に作動流体が入れられる。そして注入部１２、注入部２２に対してレーザによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖することで密閉空間２とする。これにより密閉空間２の内側に作動流体が保持される。
【０１０９】
本形態のベーパーチャンバでは、内部液流路部１５と内側液流路部２５との重なりによりこれが支柱として機能するため、接合時及び減圧時に密閉空間がつぶれることを抑制することができる。
【０１１０】
以上では、エッチングによるベーパーチャンバの製造について説明したが、製造方法はこれに限らず、プレス加工、切削加工、レーザ加工、及び３Ｄプリンタによる加工によりベーパーチャンバを製造することもできる。
例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。
【０１１１】
次にベーパーチャンバ１の作用について説明する。図２６には電子機器の一形態である携帯型端末４０の内側にベーパーチャンバ１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバ１は携帯型端末４０の筐体４１の内側に配置されているため、点線で表している。このような携帯型端末４０は、各種電子部品を内包する筐体４１及び筐体４１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット４２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバ１により冷却すべき電子部品３０が筐体４１内に配置されている。
【０１１２】
ベーパーチャンバ１は形態型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品３０に取り付けられる。電子部品３０はベーパーチャンバ１の外面１０ｂ又は外面２０ｂに直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等の他の部材を介して取り付けられる。外面１０ｂ、外面２０ｂのうちどの位置に冷却対象物が取り付けられるかは特に限定されることはなく、モバイル端末等において他の部材の配置との関係により適宜設定される。本形態では図１に点線で示したように、冷却すべき熱源である電子部品３０を第一シート１０の外面１０ｂのうち、本体１１のｘｙ方向中央に配置した。従って図１において電子部品３０は死角となって見えない位置なので点線で表している。
図２７には作動流体の流れを説明する図を表した。説明のし易さのため、この図では第二シート２０は省略し、第一シート１０の内面１０ａが見えるように表示している。
【０１１３】
電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発して気化する。これにより電子部品３０が冷却される。
【０１１４】
気化した作動流体は蒸気となって図２７に実線の直線矢印で示したように第１流路である蒸気流路４内を流れて移動する。この流れは電子部品３０から離隔する方向に生じるため、蒸気は電子部品３０から離れる方向に移動する。
蒸気流路４内の蒸気は熱源である電子部品３０から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１の外周部に移動し、当該移動の際に順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、外面２０ｂに接触した携帯型端末４０の筐体４１等に熱を伝え、最終的に熱が外気に放出される。
【０１１５】
蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。この凝縮液は蒸気流路４の壁面に付着する。一方で蒸気流路４には連続して蒸気が流れているので、凝縮液は図２２、図２５に矢印Ｚ２で示したように蒸気で押し込まれるように、第２流路である凝縮液流路３に移動する。本形態の凝縮液流路３は、図８、図１５に現れているように連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを通って複数の凝縮液流路３に分配される。
本形態では凝縮液流路３と蒸気流路４とを分離して構成しているので作動流体が円滑に還流する。
【０１１６】
さらに本形態のベーパーチャンバ１では、蒸気流路４に具備された段差の部位において、凝縮液流路３の一部が蒸気流路４内に設けられているので、凝縮液は図２２、図２５に矢印Ｚ３で示したように厚さ方向からも蒸気で押し込まれるように、凝縮液流路３に移動する。従って、凝縮液が凝縮液流路３に入りやすく、円滑に作動流体の還流が可能である。
【０１１７】
凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛細管現象、及び、蒸気からの押圧により、図２７に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。
特に、蒸気流路４内に配置されていない一部の凝縮液流路３については、第二シート２０により液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの開口が塞がれているので断面においてその四方が壁となり、毛細管力を高めることができる。これにより、さらに円滑な凝縮液の移動が可能とされている。
そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。
【０１１８】
以上のように、ベーパーチャンバ１によれば、第２流路である凝縮液流路３への凝縮液の入流が円滑に行われるため、作動流体の還流が良好であり、熱輸送量を高めることができる。また、蒸気流路に凝縮液が溜まり難い構造であるため、かかる観点からも熱輸送能力を高めることができる。
【０１１９】
上記の形態では、蒸気流路４に具備された段差において、一部の液流路溝の開口が閉鎖されずに、液流路溝が蒸気流路の一部に含まれる例を示したが、これに限定されることなく、全ての液流路溝の開口が閉鎖されて流路の横断面においてその四方が壁に囲まれる形態となるように凝縮液流路を設けてもよい。具体的な形状を図２８に示した。
この例では、上記形態と同様に、第一シート１０の外周液流路部１４が第二シート２０の外周液流路部２４より幅が広く、第一シート１０の内側液流路部１５が第二シート２０の内側液流路部２５より幅が広いため、第１流路である蒸気流路４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路が配置された位置に段差を有するものとなる。
しかしながら、この形態では全ての液流路溝１４ａの内面１０ａ側の開口が外周液流路部２４又は内側液流路部２５によって塞がれている。
このような形態では、図２８にＺ４で示したように蒸気流路４に具備される段差の部位に凝縮液が移動しやすく、この凝縮液はここから連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを通って第２流路である凝縮液流路３に移動する。従って、この形態においても蒸気流路から凝縮液流路への凝縮液の移動が円滑に行われ、安定した熱輸送能力を発揮することができる。
【０１２０】
上記した各形態では第一シート１０の外周液流路部１４及び内側液流路部１５の幅が、第二シート２０の液流路部２４及び内側液流路部２５の幅よりも大きい例を説明した。これに限らず、この関係が反対となるように構成してもよい。図２９に説明のための図を示した。
【０１２１】
本形態のベーパーチャンバ１では、第一シート１０の外周液流路部１４の幅と、第二シート２０の外周液流路部２４の幅との大きさの関係が上記した形態のベーパーチャンバ１とは反対である。同様に、第一シート１０の内側液流路部１５の幅と、第二シート２０の内側液流路部２５の幅との大きさの関係が上記した形態のベーパーチャンバ１とは反対である。
【０１２２】
すなわち、第一シート１０の外周液流路部１４の幅の方が、第二シート２０の外周液流路部２４の幅より小さく、第一シート１０の内側液流路部１５の幅の方が、第二シート２０の内側液流路部２５の幅より小さくされている。従って、第一シート１０と第二シート２０とを組み合わせたときに、第１流路である蒸気流路４には、その内面のうち、ベーパーチャンバの厚さ方向で第２流路である凝縮液流路が配置された位置に段差を有するものとなる。
これにより、蒸気流路と凝縮液流路とが分離し、作動流体の還流がより円滑に行われる。また第一シート１０と第二シート２０との接合の際に位置決め精度を緩やかに設定することができ、生産性を高めることが可能となる。そして、内側液流路部１５と内側液流路部２５との重なりによりこれが支柱として機能するため、接合時及び減圧時に密閉空間がつぶれることを抑制することができる。
また、図２９にＺ５で示したように蒸気流路４に具備される段差の部位に凝縮液が移動しやすく、この凝縮液はここから連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを通って第２流路である凝縮液流路３に移動するため、この形態においても蒸気流路から凝縮液流路への凝縮液の移動が円滑に行われ、安定した熱輸送能力を発揮することができる。
【０１２３】
上記の形態では、液流路溝が第一シートのみに設けられた例であるが、第二シートにも液流路溝が設けられてもよい。図３０、図３１に説明のための図を示した。図３０、及び、図３１のいずれも第二シート２０に液流路溝２４ａ及び液流路溝２５ａが設けられている。この液流路溝２４ａ及び液流路溝２５ａが第一シート１０の液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ａと重なることで第２流路である凝縮液流路３となる。
図３０の例は液流路溝１４ａと液流路溝２４、及び、液流路溝１５ａと液流路溝２５がその幅方向（ｙ方向）にて同じ位置となるように配置された例である。
図３１の例は液流路溝１４ａと液流路溝２４、及び、液流路溝１５ａと液流路溝２５がその幅方向（ｙ方向）にて異なる位置にずれるように配置された例である。
いずれの配置としても凝縮液流路における毛細管力は発揮することができるため、上記した効果を有するものとなる。
また、図３０及び図３１の例では、液流路溝１４ａと液流路溝２４、及び、液流路溝１５ａと液流路溝２５の溝幅、深さ、及び断面形状を同じとしたが、これにかぎらず、これらの少なくとも１つを異なるようにしてもよい。
【０１２４】
ここまでのベーパーチャンバ１は、第一シート１０及び第二シートの２つのシートからなる例を説明した。ただし、これに限られることはなく、図３２、及び図３３に示したように３つ以上のシートによるベーパーチャンバであってもよい。図３２は３つのシートからなるベーパーチャンバの例、図３３は４つのシートからなるベーパーチャンバの例である。
【０１２５】
図３２に示したベーパーチャンバ１は、第一シート１０、第二シート２０、及び、第三シート（中間シート）５０の積層体である。
第一シート１０と第二シート２０との間に挟まれるように第三シート５０が配置され、第一シート１０の内面１０ａが第三シート５０の一方の面５０ａに接触し、第二シート２０の内面２０ａが第三シート５０の他方の面５０ｂに接触し、それぞれ接合されている。接合の態様は上記した通りである。
【０１２６】
ここでは第一シート１０は、平坦な内面１０ａに、液流路部１４ａ、液流路部２４ａを備えており、上記した壁である外周液流路部１４、外周液流路部２４、内側液流路部１５、及び内側液流路部２５は備えていない。
同様に、第二シート２０は、内面２０ａ及び外面２０ｂのいずれも平坦面である。
この時の、第一シート１０および第二シート２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であること好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【０１２７】
第三シート５０には、壁５１、及び、蒸気流路溝５２が備えられている。
壁５１は第一シート１０と第二シート２０とを渡すように配置された壁であり、上記した第一シート１０の外周液流路部１５と第二シート２０の外周液流路部２４とを重ねた位置、及び、上記した第一シート１０の内側液流路部２５と第二シート２０の内側液流路部２５とを重ねた位置と同様の位置に配置される。
蒸気流路溝５２は、第三シート５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上述した第一シート１０の蒸気流路溝１６と第二シート２０の蒸気流路溝２６とを重ねた位置と同様の位置に配置される。
【０１２８】
そして、図３２からわかるように、第一シート１０の液流路部１４ａ及び液流路部１５ａが第三シート５０の壁５１の面５０ａに覆われるように配置され、第２流路である凝縮液流路３が形成される。このとき、壁５１の幅と液流路部１４ａ、１５ａが並べられた部位の幅とがここまで説明した上記関係を満たすように構成されている。
一方、隣り合う壁５１、第一シート１０及び第二シート２０に囲まれる流路が第１流路である蒸気流路４となる。
【０１２９】
図３３に示したベーパーチャンバ１は、４つのシートからなり、第一シート１０、第二シート２０、第三シート６０、及び第四シート７０を有している。そして、第一シート１０、第三シート６０、第四シート７０、及び第二シート２０の順に積層されており接合されている。接合の態様は上記した通りである。
【０１３０】
図３３に示したベーパーチャンバ１は、図２１に示したベーパーチャンバ１と同じ形態となるように、シートを４つに分割した態様である。すなわち、本形態では、第三シート６０が外周液流路部１４、内側液流路部１５及び蒸気流路溝１６を備えており、第一シート１０にはこれらが備えられていない。同様に第四シート７０が外側液流路部２４、内側液流路部２５及び蒸気流路溝２６を備えており、第二シート２０にはこれらが備えられていない。
このような形態でも本開示のベーパーチャンバとすることができる。
【０１３１】
本開示の上記各形態の例はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態および変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態および変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【符号の説明】
【０１３２】
１  ベーパーチャンバ
２  密閉空間
３  凝縮液流路
４  蒸気流路
１０  第一シート
１０ａ  内面
１０ｂ  外面
１０ｃ  側面
１１  本体
１２  注入部
１３  外周接合部
１４  外周液流路部
１４ａ  液流路溝
１４ｃ  連通開口部
１５  内側液流路部
１５ａ  液流路溝
１５ｃ  連通開口部
１６  蒸気流路溝
１７  蒸気流路連通溝
２０  第二シート
２０ａ  内面
２０ｂ  外面
２０ｃ  側面
２１  本体
２２  注入部
２３  外周接合部
２４  外周液流路部
２５  内側液流路部
２６  蒸気流路溝
２７  蒸気流路連通溝
３０  電子部品
４０  携帯型端末（電子機器）
４１  筐体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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