(57)【要約】【課題】輸送中における流路内への異物の侵入を抑制しつつ、気圧や温度の変化による流路の変形や流路部材の疲労を抑制する。【解決手段】流路が内部に形成される流路部材と、流路を外部に連通する複数の開口と、を備え、複数の開口は、蓋部材によって塞がれており、複数の開口のうち少なくとも１つの開口を塞ぐ蓋部材は、通気性を有する流路構造体。【選択図】図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路が内部に形成される流路部材と、
前記流路を外部に連通する複数の開口と、を備え、
前記複数の開口は、蓋部材によって塞がれており、
前記複数の開口のうち少なくとも１つの開口を塞ぐ蓋部材は、通気性を有する
流路構造体。
【請求項２】
前記複数の開口のすべてが、通気性を有する蓋部材で塞がれる
請求項１に記載の流路構造体。
【請求項３】
前記通気性を有する蓋部材の通気孔の径は、前記流路の断面の最小幅の１／１００〜１／１０である
請求項１または請求項２に記載の流路構造体。
【請求項４】
前記通気性を有する蓋部材の通気孔の径の平均値は、１０ｎｍ〜１００μｍである
請求項１から請求項３の何れかに記載の流路構造体。
【請求項５】
前記通気性を有する蓋部材のガーレー値は、０．５〜２０００ｓ／１００ｍｌである
請求項１から請求項４の何れかに記載の流路構造体。
【請求項６】
前記流路に連通するノズルを備え、
前記複数の開口には、前記ノズルの開口が含まれる
請求項１から請求項５の何れかに記載の流路構造体。
【請求項７】
流路が内部に形成される流路部材と、
前記流路を外部に連通する複数の開口と、を備え、
前記複数の開口は、ノズルの開口および前記ノズル以外の開口を含み、
前記複数の開口は、蓋部材によって塞がれており、
前記複数の開口のうち少なくとも１つの開口を塞ぐ蓋部材は、通気性を有する
液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクなどの液体をノズルから吐出する液体吐出ヘッドには、複数の流路が形成される。例えば特許文献１には、複数の流路が形成される流路部材が積層されて構成された液体吐出ヘッドが開示されている。流路部材の中には、例えばノズルのように、流路部材の内部の流路を外部に連通する開口が形成されている場合もある。そのため、液体吐出ヘッドや流路部材を輸送する場合には、輸送中における流路内への異物の侵入を抑制するため、外部に連通する開口を保護フィルムで塞ぐことがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１６３４４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、空輸などのように気圧や温度が大きく変化する環境下で輸送される場合には、外部に連通する開口を単に保護フィルムで塞いでいても、保護フィルムの材質や開口の塞ぎ方によっては、流路内の気圧や温度が変化して流路が変形したり、流路が変形しなくても流路部材そのものが疲労して強度が低下したりする虞がある。以上の事情を考慮して、本発明は、輸送中における流路内への異物の侵入を抑制しつつ、気圧や温度の変化による流路の変形や流路部材の疲労を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
以上の課題を解決するために、本発明の流路構造体は、流路が内部に形成される流路部材と、流路を外部に連通する複数の開口と、を備え、複数の開口は、蓋部材によって塞がれており、複数の開口のうち少なくとも１つの開口を塞ぐ蓋部材は、通気性を有する。以上の態様によれば、流路を外部に連通する複数の開口が蓋部材によって塞がれているから、輸送中に塵や埃などの異物が流路に入り込むことを抑制できる。しかも、複数の開口のうち少なくとも１つの開口を塞ぐ蓋部材は、通気性を有するから、輸送中に気圧や温度が変化することで流路内や開口内の空気の膨張や収縮があっても、蓋部材を介して流路内の空気が通過できるので、流路の変形や流路部材の疲労による強度の低下を抑制できる。したがって、本態様によれば、輸送中における流路内への異物の侵入を抑制しつつ、気圧や温度の変化による流路の変形や流路部材の疲労を抑制できる。
【０００６】
本発明の流路構造体の好適な態様において、複数の開口のすべてが、通気性を有する蓋部材で塞がれる。以上の態様によれば、複数の開口のすべてが、通気性を有する蓋部材で塞がれるから、蓋部材を介して流路内や開口内の空気が通過し易い。したがって、流路内や開口内の空気の膨張や収縮によって流路部材が受ける応力を緩和できる。
【０００７】
本発明の流路構造体の好適な態様において、通気性を有する蓋部材の通気孔の径は、流路の断面の最小幅の１／１００〜１／１０である。以上の態様によれば、通気性を有する蓋部材の通気孔の径は、流路の断面の最小幅の１／１００〜１／１０であるから、蓋部材で開口を塞いでも、異物が入り込み難く、空気を通過させ易い。
【０００８】
本発明の流路構造体の好適な態様において、通気性を有する蓋部材の通気孔の径の平均値は、１０ｎｍ〜１００μｍである。以上の態様によれば、通気性を有する蓋部材の通気孔の径の平均値は、１０ｎｍ〜１００μｍであるから、流路内の空気を通しながら、微小な異物の流路内への侵入も抑制できる。
【０００９】
本発明の流路構造体の好適な態様において、通気性を有する蓋部材のガーレー値は、０．５〜２０００ｓ／１００ｍｌである。以上の態様によれば、通気性を有する蓋部材のガーレー値は、０．５〜２０００ｓ／１００ｍｌであるから、気圧の変化によって空気を通し易いので、流路の変形や流路部材の疲労による強度の低下を効果的に抑制できる。
【００１０】
本発明の流路構造体の好適な態様において、流路に連通するノズルを備え、複数の開口には、ノズルの開口が含まれる。以上の態様によれば、流路に連通するノズルを備え、複数の開口には、ノズルの開口が含まれるから、ノズルが形成される液体吐出ヘッドや流路部材を単体で輸送する場合にも、輸送中における流路内への異物の侵入を抑制しつつ、気圧や温度の変化による流路の変形や流路部材の疲労を抑制できる。
【００１１】
以上の課題を解決するために、本発明の液体吐出ヘッドは、流路が内部に形成される流路部材と、流路を外部に連通する複数の開口と、を備え、複数の開口は、ノズルの開口およびノズル以外の開口を含み、複数の開口は、蓋部材によって塞がれており、複数の開口のうち少なくとも１つの開口を塞ぐ蓋部材は、通気性を有する。以上の態様によれば、液体吐出ヘッドを単体で輸送する場合にも、輸送中における流路内への異物の侵入を抑制しつつ、気圧や温度の変化による流路の変形や流路部材の疲労を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態に係る液体吐出装置の構成図である。
【図２】液体吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図３】液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図４】液体吐出部の断面図である。
【図５】図３に示す液体吐出ヘッドのＶ−Ｖ断面図である。
【図６】輸送前の流路構造体の状態を示す断面図である。
【図７Ａ】通気性を有しない保護フィルムで開口を塞いで輸送する場合の断面図である。
【図７Ｂ】図７Ａに示す流路構造体のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。
【図８Ａ】通気性を有しない保護フィルムで開口を塞いで輸送する場合の断面図である。
【図８Ｂ】図８Ａに示す流路構造体のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。
【図９Ａ】通気性を有する保護フィルムで開口を塞いで輸送する場合の断面図である。
【図９Ｂ】図９Ａに示す流路構造体のＩＸ−ＩＸ断面図である。
【図１０Ａ】通気性を有する保護フィルムで開口を塞いで輸送する場合の断面図である。
【図１０Ｂ】図１０Ａに示す流路構造体のＸ−Ｘ断面図である。
【図１１】液体吐出部を単体で輸送する場合の断面図である。
【図１２】液体吐出ヘッドを単体で輸送する場合の断面図である。
【図１３】変形例において流路構造体の開口を保護部材で塞いだ状態の断面図である。
【図１４】変形例において流路構造体の開口を保護部材で塞いだ状態の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置１０の部分的な構成図である。第１実施形態の液体吐出装置１０は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の媒体１１に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。図１に示す液体吐出装置１０は、制御装置１２と搬送機構１４とキャリッジ１８と液体吐出ヘッド２０とを具備する。制御装置１２は、液体吐出装置１０の各要素を統括的に制御する。
【００１４】
搬送機構１４は、制御装置１２による制御のもとで媒体１１をＹ方向（副走査方向）に搬送する。キャリッジ１８は、制御装置１２による制御のもとで、Ｘ方向（主走査方向）に往復する。媒体１１の搬送とキャリッジ１８の往復とに並行して液体吐出ヘッド２０が媒体１１にインクを吐出することで媒体１１の表面に所望の画像が形成される。なお、Ｘ−Ｙ平面（媒体１１の表面に平行な平面）に垂直な方向を以下ではＺ方向と表記する。液体吐出ヘッド２０によるインクの吐出方向（鉛直方向の下向き）がＺ方向に相当する。
【００１５】
キャリッジ１８には、複数種のインクを別々に貯留する複数の液体容器Ｃ１〜Ｃ４（カートリッジ）を収容する液体収容部１８２（カートリッジホルダー）が設けられている。インクは、顔料や染料等の色材を含有する液体であり、例えばシアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ），イエロー（Ｙ）、ブラック（Ｋ）の合計４色の液体（カラーインク）である。なお、樹脂材料をインクに含有させることも可能である。本実施形態の液体容器Ｃ１〜Ｃ４にはそれぞれ、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ），イエロー（Ｙ）、ブラック（Ｋ）のインクが収容される。キャリッジ１８の液体収容部１８２の下方に液体吐出ヘッド２０が装着される。なお、液体容器Ｃ１〜Ｃ４の構成や数は例示したものに限られない。
【００１６】
液体吐出ヘッド２０は、複数の液体吐出部７０（ヘッドチップ）を備える。各液体吐出部７０は、内部に流路が形成される流路部材を備える流路構造体である。本実施形態では、Ｘ方向に沿って並ぶように、４つの液体吐出部７０を配列した場合を例示する。液体吐出部７０の各々には、ノズル列が２つずつ配置されている。各ノズル列は、Ｙ方向に沿って直線状に配列された複数のノズルＮの集合である。なお、液体吐出部７０やノズル列の数や配列は例示したものに限られない。液体吐出ヘッド２０は、インクが流通する流路や、流路を流通するインクをろ過するフィルターを備える。
【００１７】
図２は液体吐出ヘッド２０の外観斜視図であり、図３は液体吐出ヘッド２０の分解斜視図である。図４は、任意の１つの液体吐出部７０の断面図である。図５は、図３に示す液体吐出ヘッド２０のＶ−Ｖ断面図（Ｙ−Ｚ平面に平行な断面）である。図２および図３に示すように、本実施形態における液体吐出ヘッド２０は、流路ユニット２０２とヘッド本体２０４とを備える。ヘッド本体２０４には、上述した４つの液体吐出部７０が配置される。流路ユニット２０２は、液体容器Ｃ１〜Ｃ４からのインク（Ｃ、Ｍ、Ｙ、Ｋ）をヘッド本体２０４の各液体吐出部７０に供給する。
【００１８】
図４に示すように液体吐出部７０は、流路形成基板７１の一方の表面に圧力室形成基板７２と振動板７３とを積層するとともに他方の表面にノズル板７４とコンプライアンス部７５とを設置したヘッドチップを包含する。複数のノズルＮは、ノズル板７４に形成される。なお、１つの液体吐出部７０には、ノズルＮの各列に対応する構造が略線対称に形成されるから、以下ではノズルＮの１列分に便宜的に着目して液体吐出部７０の構造を説明する。
【００１９】
流路形成基板７１は、インクの流路を構成する平板状の流路部材である。本実施形態の流路形成基板７１には、開口部７１２と供給流路７１４と連通流路７１６とが形成される。供給流路７１４および連通流路７１６はノズルＮ毎に形成され、開口部７１２は、複数のノズルＮにわたり連続する。圧力室形成基板７２は、相異なるノズルＮに対応する複数の開口部７２２が形成された平板状の流路部材である。流路形成基板７１や圧力室形成基板７２は、例えばシリコンの単結晶基板で形成される。
【００２０】
図４のコンプライアンス部７５は、液体吐出部７０の流路内の圧力変動を抑制（吸収）する機構であり、封止板７５２と支持体７５４とを含んで構成される。封止板７５２は、可撓性を有するフィルム状の部材であり、支持体７５４は、流路形成基板７１の開口部７１２および各供給流路７１４が閉塞されるように封止板７５２を流路形成基板７１に固定する。
【００２１】
図４の圧力室形成基板７２のうち流路形成基板７１とは反対側の表面に振動板７３が設置される。振動板７３は、弾性的に振動可能な平板状の部材であり、例えば酸化シリコン等の弾性材料で形成された弾性膜と、酸化ジルコニウム等の絶縁材料で形成された絶縁膜との積層で構成される。振動板７３と流路形成基板７１とは、圧力室形成基板７２に形成された各開口部７２２の内側で相互に間隔をあけて対向する。各開口部７２２の内側で流路形成基板７１と振動板７３とに挟まれた空間は、インクに圧力を付与する圧力室Ｃ（キャビティ）として機能する。本実施形態では、Ｙ方向に沿って配列された複数の圧力室Ｃの列は、Ｘ方向に沿って２列配列する。
【００２２】
振動板７３のうち圧力室形成基板７２とは反対側の表面には、相異なるノズルＮに対応する複数の圧電素子７３２が形成される。各圧電素子７３２は、相互に対向する電極間に圧電体を介在させた積層体である。駆動信号の供給により圧電素子７３２が振動板７３とともに振動することで、圧力室Ｃ内の圧力が変動して圧力室Ｃ内のインクがノズルＮから吐出される。したがって、圧電素子７３２は、ノズルＮからインクを吐出するための駆動力を発生する駆動素子として機能する。各圧電素子７３２は、振動板７３に固定された保護板７６で封止および保護される。
【００２３】
図４に示すように、流路形成基板７１および保護板７６には支持体７７が固定される。支持体７７は、例えば樹脂材料の成型で一体に形成される。本実施形態の支持体７７は、流路形成基板７１の開口部７１２とともに液体貯留室Ｒ（リザーバー）を形成する空間７７２と、液体貯留室Ｒに連通する供給口７７４とが形成される流路部材である。液体貯留室Ｒには、供給口７７４から導入されたインクが貯留される。液体貯留室Ｒに貯留されたインクは、複数の供給流路７１４により各圧力室Ｃに分配および充填され、各圧力室Ｃから連通流路７１６とノズルＮとを通過して外部（媒体１１側）に吐出される。
【００２４】
振動板７３には個別配線基板７８の端部が接合される。個別配線基板７８は、駆動信号や電源電圧を各圧電素子７３２に伝送するための配線が形成された可撓性の配線基板である。４つの液体吐出部７０の各々に、１つずつ個別配線基板７８が設けられている。各個別配線基板７８は、後述する回路基板２６に接続される。
【００２５】
図２および図３に示すように、流路ユニット２０２は、上側ケース部材２２と下側ケース部材２３とからなるケース部材内に、各構成部品を収容して形成されている。上側ケース部材２２と下側ケース部材２３は、例えば樹脂材料の射出成型で一体的に形成される。上側ケース部材２２と下側ケース部材２３は、複数のねじ２４で固定される。
【００２６】
図３および図５に示すように、上側ケース部材２２の下側には空間Ｓ１が形成されている。下側ケース部材２３の上側には空間Ｓ２が形成されており、下側ケース部材２３の下側には空間Ｓ３が形成されている。上側ケース部材２２の空間Ｓ１は、下側ケース部材２３の空間Ｓ２と連通している。
【００２７】
下側ケース部材２３の空間Ｓ２には、シール部材２５と回路基板２６と第１流路ユニットＧ１とが、上方から順次積層されている。下側ケース部材２３の空間Ｓ３には、上述した複数の液体吐出部７０が収容されており、下側ケース部材２３の空間Ｓ３は固定板２９によって下方から閉じられる。上側ケース部材２２の空間Ｓ１には、第２流路ユニットＧ２が収容されている。
【００２８】
第２流路ユニットＧ２は、積層された複数の構成部材２２１、２２２、２２３を備える流路構造体である。構成部材２２１、２２２、２２３は、内部にインクの流路（図示省略）が形成される流路部材である。構成部材２２２内の流路の途中には、上述したフィルターが設けられている。なお、図３では、構成部材２２１、２２２、２２３を省略している。
【００２９】
回路基板２６は、制御装置１２から送られる駆動信号やその他の制御信号等を中継する基板である。回路基板２６には、各液体吐出部７０の個別配線基板７８に電気的に接続される端子部２６２が形成されると共に、制御装置１２との接続のためのコネクター２６４やその他の電子部品等を実装している。端子部２６２とコネクター２６４は、電気的接合部である。本実施形態の回路基板２６には、４つの液体吐出部７０の個別配線基板７８に対応する４つの端子部２６２が回路基板２６の上面（Ｚ方向の負側の表面）に形成されている。また、コネクター２６４にはＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）等の配線部材が接続され、回路基板２６は、ＦＦＣを介して制御装置１２から駆動信号を受信するようになっている。本実施形態の回路基板２６のコネクター２６４は、下側ケース部材２３の側壁２３４のＸ方向の正側と負側の両方に、側壁２３４の開口から露出するように配置されている。
【００３０】
第１流路ユニットＧ１は、インクの流路が形成される平板状の流路構造体である。なお、第１流路ユニットＧ１は、複数の流路部材を積層したものであってもよい。下側ケース部材２３には、上方に突出した複数の流路２３２が形成され、第１流路ユニットＧ１には、上方に突出した複数の流路２７２が形成されている。各流路２３２はそれぞれ、第１流路ユニットＧ１と回路基板２６に形成された貫通孔を通り、シール部材２５の貫通孔２５２を介して構成部材２２１、２２２、２２３の流路に連通されている。各流路２７２はそれぞれ、回路基板２６に形成された貫通孔を通り、シール部材２５の貫通孔２５２を介して、構成部材２２１、２２２、２２３の流路に連通されている。各液体吐出部７０には、各流路２３２、２７２を介してインクが導入される。
【００３１】
下側ケース部材２３の下端には、各液体吐出部７０を収容する空間を形成する筒状の枠体２３６が下方（Ｚ方向の正側）に突出して形成されている。本実施形態では、４つの液体吐出部７０が、媒体１１の搬送方向とは垂直なＸ方向（主走査方向）に沿って枠体２３６内に並設されている。制御装置１２から回路基板２６と個別配線基板７８を介して供給される駆動信号に応じて、各液体吐出部７０の各圧電素子７３２が振動する。圧電素子７３２を振動させて圧力室Ｃ内の圧力を変動させることで、圧力室Ｃ内に充填されたインクがノズル板７４の各ノズルＮから吐出される。
【００３２】
固定板２９は、平板状の部材である。固定板２９には、各液体吐出部７０のノズル板７４に対応する形状（Ｙ方向に長尺な矩形状）の４つの開口部２９２が液体吐出部７０毎に形成されている。開口部２９２の内側にノズル板７４が位置する状態で、各液体吐出部７０が固定板２９の上面（Ｚ方向の負側の表面）に例えば接着剤で固定される。これにより、各ノズル列のノズルＮが、開口部２９２内にそれぞれ配置される。なお、液体吐出ヘッド２０は、固定板２９を設けなくてもよい。
【００３３】
上側ケース部材２２の上面（吐出面Ａとは反対側の面）には、液体容器Ｃ１〜Ｃ４からインクを上側ケース部材２２内の流路に中継する中継部４０が設けられている。中継部４０は、上側ケース部材２２の上面に立設される複数のインク導入針４２（中継部材）とこれらのインク導入針４２の周囲を包囲する囲繞壁４４とを具備する。本実施形態においては４色の液体容器Ｃ１〜Ｃ４に対応して合計４本のインク導入針４２が、媒体１１の搬送方向とは垂直なＸ方向（主走査方向）に沿って並設されている。
【００３４】
インク導入針４２は、液体容器Ｃ１〜Ｃ４内に挿入される中空針状の部材である。インク導入針４２の先端部には導入孔４３が開口されている。導入孔４３は、構成部材２２１、２２２、２２３内の流路に連通している。導入孔４３は、液体容器Ｃ１〜Ｃ４内のインクを、構成部材２２１、２２２、２２３内の流路を介して、下側ケース部材２３の流路２３２と第１流路ユニットＧ１の流路２７２から各液体吐出部７０に導入する。
【００３５】
中継部４０は、囲繞壁４４の内側に設けられたリブ４５により、Ｘ方向に並ぶ合計４つのカートリッジ配置領域４６に区画されており、これらのカートリッジ配置領域４６にインク導入針４２が１本ずつ立設されている。また、これらのカートリッジ配置領域４６には、液体容器Ｃ１〜Ｃ４がそれぞれ取り付けられる。
【００３６】
図３および図５に示すシール部材２５は、周縁の下方（下流側）に厚みを増した下流側環状シール部２５３と、周縁の上方（上流側）に厚みを増した上流側環状シール部２５５を有する板状の弾性部材である。シール部材２５は、ヘッド本体２０４と回路基板２６と第１流路ユニットＧ１とを含む空間と、第２流路ユニットＧ２を含む空間との間に介在し、これらの空間を気密に密閉する。
【００３７】
下流側環状シール部２５３は、回路基板２６に押しつけられることで、接着剤などで固着することなく、回路基板２６に密着する。上流側環状シール部２５５は、構成部材２２３との当接面（Ｚ方向の負側の面）が構成部材２２３に押しつけられることで、接着剤などで固着することなく、構成部材２２３に密着する。こうして、液体吐出ヘッド２０内の各インクの流路（第１流路ユニットＧ１、第２流路ユニットＧ２、上側ケース部材２２、下側ケース部材２３、液体吐出部７０などの流路）は、インク導入針４２の導入孔４３の開口からノズルＮの開口まで気密に連通する。インク導入針４２の導入口４３の開口とノズルＮの開口は、液体吐出ヘッド２０内の流路を外部に連通する開口を構成する。
【００３８】
ところで、流路部材を備える液体吐出ヘッド２０や流路構造体（例えば第１流路ユニットＧ１、第２流路ユニットＧ２、上側ケース部材２２、下側ケース部材２３、液体吐出部７０など）を単体で輸送する場合には、輸送中における流路内への異物の侵入を抑制するため、外部に連通する開口を保護フィルムで塞ぐことがある。ところが、空輸などのように気圧や温度が大きく変化する環境下で輸送される場合には、外部に連通する開口を単に保護フィルムで塞いでいても、保護フィルムの材質や開口の塞ぎ方によっては、流路内の気圧や温度が変化して流路が変形したり、流路が変形しなくても流路部材そのものが疲労して強度が低下したりする虞がある。
【００３９】
ここで、輸送中に気圧が変動した場合における流路構造体の状態変化を説明する。ここでは、説明を分かり易くするため、構成を簡略化した流路構造体５０を単体で輸送する場合を例に挙げる。図６は、輸送前の流路構造体５０の状態を示す断面図である。図６に示す流路構造体５０は、ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）などの２つの流路部材を接合してなる構造体であり、流路部材の内部には、流路５２が形成されている。流路５２には、流路構造体５０の外部に連通する２つの開口５４を有する。流路構造体５０は、互いに平行な２つの面ＦＡ、ＦＢを有しており、２つの開口５４は流路構造体５０の一方の面ＦＡを貫通して流路５２と外部とを連通する。図６に示すように、流路構造体５０を輸送する場合には、一方の面ＦＡに保護フィルム６０を貼り付けて、保護フィルム６０で２つの開口５４を閉塞することで、塵や埃などの異物が開口５４から流路５２内に侵入することを抑制する。
【００４０】
図７Ａおよび図７Ｂ、図８Ａおよび図８Ｂは、通気性を有しない保護フィルム６０’を用いた場合における流路構造体５０の状態変化を示す断面図であり、図９Ａおよび図９Ｂ、図１０Ａおよび図１０Ｂは、通気性を有する保護フィルム６０を用いた場合における流路構造体５０の状態変化を示す断面図である。図７Ａおよび図７Ｂ、図９Ａおよび図９Ｂは、輸送中に気圧が低下した場合であり、図８Ａおよび図８Ｂ、図１０Ａおよび図１０Ｂは、輸送中に低下した気圧が上昇して元に戻った場合である。図７Ｂは、図７Ａに示す流路構造体５０のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図であり、図８Ｂは、図８Ａに示す流路構造体５０のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。図９Ｂは、図９Ａに示す流路構造体５０のＩＸ−ＩＸ断面図であり、図１０Ｂは、図１０Ａに示す流路構造体５０のＸ−Ｘ断面図である。
【００４１】
図７Ａおよび図７Ｂに示す通気性を有しない保護フィルム６０’で開口５４を塞いで輸送する場合には、輸送中に気圧が低下すると、流路５２の内部や開口５４の内部の空気が膨張する。このとき、通気性を有しない保護フィルム６０’では、流路５２内の空気が保護フィルム６０’を通過できないから、流路５２の内部や開口５４の内部の空気により保護フィルム６０’が押し上げられ、保護フィルム６０’が流路構造体５０の一方の面ＦＡから剥離してしまい、その隙間から流路５２内の空気が抜け出す。その後、図８Ａおよび図８Ｂに示すように、輸送中に低下した気圧が上昇して元に戻るときには、流路５２の内部や開口５４の内部の空気が収縮する。このとき、保護フィルム６０’が通気性を有しないと、保護フィルム６０’を通過して空気が流路５２内に入り込めない。そのため、図８Ａおよび図８Ｂに示すように、保護フィルム６０’が開口５４に引き込まれ、保護フィルム６０’と開口５４が密着し、流路５２の内部や開口５４の内部に空気が引き込まれないため、流路５２の内部や開口５４の内部が負圧となり、流路５２が変形してつぶれてしまう虞がある。また、流路５２が変形しなくても、長時間圧力がかかることによって流路構造体５０を構成する流路部材そのものが疲労して強度が低下する虞もある。
【００４２】
他方、図９Ａおよび図９Ｂに示す通気性を有する保護フィルム６０で開口５４を塞いで輸送する場合にも、輸送中に気圧が低下すると、流路５２の内部や開口５４の内部の空気が膨張する。ところが、保護フィルム６０が通気性を有していると、保護フィルム６０から流路５２内の空気が通過できるから、保護フィルム６０が流路構造体５０の一方の面ＦＡから剥離することなく、その保護フィルム６０を介して流路５２内の空気が抜け出すことができる。その後、図１０Ａおよび図１０Ｂに示すように、輸送中に低下した気圧が上昇して元に戻るときに、流路５２の内部や開口５４の内部の空気が収縮しても、保護フィルム６０が通気性を有しているから、保護フィルム６０から空気が流路５２内に入り込む。そのため、図１０Ａおよび図１０Ｂに示すように、保護フィルム６０が開口５４に引き込まれることもなく、流路５２の内部や開口５４の内部に長時間圧力がかかることもないので、流路５２の変形や流路部材の疲労による強度の低下を抑制できる。それにより、流路構造体５０の強度の低下を抑制できるので、流路構造体５０の寿命の低下も抑制できる。
【００４３】
通気性を有する保護フィルム６０の通気孔の径は、流路５２の断面の最小幅の１／１００〜１／１０であることが好ましい。液体吐出ヘッド２０や流路構造体５０を構成する流路部材には、数μｍ〜数十μｍのサイズの流路が形成される場合がある。例えば図９Ｂに示す流路５２の幅Ｗ２は２μであり、幅Ｗ１は１〜４μｍである。図９Ｂの流路５２の断面は、矩形であり、流路構造体５０の面ＦＡに垂直な方向の幅Ｗ１の方が、面ＦＡに平行な方向の幅Ｗ２よりも短いので、流路５２の最小幅は、幅Ｗ１である。ただし、もし仮に幅Ｗ２の方が幅Ｗ１よりも短い流路５２であれば、流路５２の最小幅は、幅Ｗ２となる。なお、流路５２の断面形状は、矩形に限られず、真円や楕円などの円形であってもよい。流路の断面が円形の場合には、断面の最小の直径が流路５２の最小幅となる。このような保護フィルム６０によれば、異物を通過させ難く、空気を通過させ易い。また、微小なサイズの流路５２では、特に輸送中の気圧や温度の変化による空気の膨張や収縮で変形し易いので、本実施形態のように通気性のある保護フィルム６０で開口５４を塞いで輸送することで、流路５２の変形を抑制できる効果は極めて大きい。
【００４４】
また、通気性を有する保護フィルム６０の通気孔の径の平均値は、１０ｎｍ〜１００μｍであることが好ましい。これによれば、流路５２内の空気を通しながら、微小な異物の流路内への侵入も抑制できる。また、通気性を有する保護フィルム６０のガーレー値は、０．５〜２０００ｓ／１００ｍｌであることが好ましい。ガーレー値とは、ＪＩＳ  Ｐ８１１７で規格されており、１Ｉｎｃｈ２の面積を有するフィルムの一方側から他方側に、１００ｍＬの空気を１．２２ＫＰａの圧力差で通すのに必要な時間である。例えばガーレー値をｔとすると、ＩＳＯ通気性値Ｐは、１３５．３／ｔ（μｍ／（ｓ・Ｐｓ））となる。このような保護フィルム６０であれば、気圧の変化によって流路５２の内部や開口５４の内部の空気が膨張及び収縮しても、空気を通し易いので、流路５２の内部や開口５４の内部に長時間圧力がかかることが無く、流路５２の変形や流路部材の疲労による強度の低下を効果的に抑制できる。
【００４５】
また、図９Ａ乃至図１０Ｂのように、流路５２を外部に連通する開口５４を塞ぐ保護フィルム６０はすべて通気性を有するようにすることで、保護フィルム６０を介して流路５２内や開口５４内の空気が通過し易い。したがって、流路５２内や開口５４内の空気の膨張や収縮によって流路部材が受ける応力を緩和できる。なお、通気性を有する保護フィルム６０で一方の開口５４を塞いで、通気性を有しない保護フィルム６０で他方の開口５４を塞ぐようにしてもよい。これによっても、通気性を有する保護フィルム６０で流路５２内や開口５４内の空気を通過させることができるので、流路５２の変形や流路部材の強度の低下を抑制できる。
【００４６】
また、流路構造体５０を構成する流路部材の材質は、ＰＤＭＳに限られず、Ｓｉ（シリコン）やＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド樹脂）などであってもよい。さらに、流路構造体５０では、異なる材質から成る複数の部材を接合した複合部材であってもよい。
【００４７】
以上により本実施形態では、流路を外部に連通する複数の開口を保護フィルム６０によって塞いだ状態で液体吐出ヘッド２０や流路構造体を単体で輸送する場合に、複数の開口のうち少なくとも１つの開口を塞ぐ保護フィルム６０は、通気性を有するようにする。これにより、輸送中における流路内への異物の侵入を抑制しつつ、気圧や温度の変化による流路の変形や流路部材の疲労を抑制できる。
【００４８】
以下、具体的に流路構造体としての液体吐出部７０を単体で輸送する場合と、液体吐出ヘッド２０を単体で輸送する場合とを例示しながら説明する。図１１は、液体吐出部７０を単体で輸送する場合を例示する。図１１に示すように、液体吐出部７０では、液体貯留室Ｒ、開口部７１２、供給流路７１４、連通流路７１６、圧力室Ｃなどが、「流路部材の内部に形成される流路」に相当し、各供給口７７４の開口と各ノズルＮの開口が、「流路を外部と連通する開口」に相当する。したがって、液体吐出部７０を単体で輸送する場合には、各供給口７７４の開口と各ノズルＮの開口とを保護フィルム６０で塞ぐ。
【００４９】
図１１では、各供給口７７４の開口と各ノズルＮの開口とを塞ぐ保護フィルム６０のすべてを、通気性を有する保護フィルム６０で構成する場合を例示する。これにより、液体吐出部７０の輸送中における流路内への異物の侵入を抑制しつつ、気圧や温度の変化による流路の変形や流路部材の疲労を抑制できる。なお、各インクの流路に対して供給口７７４の開口とノズルＮの開口のうち、少なくとも１つの開口を、通気性を有する保護フィルム６０で塞ぎ、残りの開口は通気性のない保護フィルムで塞ぐ構成とするようにしてもよい。
【００５０】
図１２は、液体吐出ヘッド２０を単体で輸送する場合を例示する。図１２に示すように、液体吐出ヘッド２０では、液体吐出ヘッド２０内の流路が、「流路部材の内部に形成される流路」に相当し、各インク導入針４２の導入孔４３の開口と各ノズルＮの開口が「流路を外部と連通する開口」に相当する。したがって、液体吐出ヘッド２０を単体で輸送する場合には、各インク導入針４２の導入孔４３の開口と各ノズルＮの開口を保護フィルム６０で塞ぐ。
【００５１】
図１２では、各インク導入針４２の導入孔４３の開口は、通気性を有しないキャップ状の保護フィルム６０’で塞ぐ構成とし、各ノズルＮの開口は、通気性を有する保護フィルム６０で塞ぐ構成とする場合を例示する。これにより、液体吐出ヘッド２０の輸送中における流路内への異物の侵入を抑制しつつ、気圧や温度の変化による流路の変形や流路部材の疲労を抑制できる。なお、複数のインク導入針４２の導入孔４３の開口やノズルＮ列の開口がある場合、連通する１つの流路に対して少なくとも１つの開口を、通気性を有する保護フィルム６０で塞ぎ、残りの開口は通気性のない保護フィルムで塞ぐ構成とするようにしてもよい。
【００５２】
＜変形例＞
以上に例示した態様および実施形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示や上述の態様から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
【００５３】
（１）前述の実施形態では、流路構造体５０に保護フィルム６０を貼付したが、流路構造体５０の開口５４を塞ぐための部材（蓋部材）は、保護フィルム６０に限定されない。例えば、図１３に例示される通り、流路構造体５０の面ＦＡに設置される保護部材６２により複数の開口５４を塞いでもよい。保護部材６２は、例えば樹脂材料の射出成形で形成された平板状のキャップである。保護部材６２が流路構造体５０の面ＦＡに接触することで各開口５４が閉塞される。具体的には、保護部材６２の周縁に沿って側壁部６２２が形成され、側壁部６２２の内周面が流路構造体５０の側面に密着することで、保護部材６２は流路構造体５０に固定される。保護部材６２は、前述の保護フィルム６０と同様に通気性を有する。保護部材６２の通気性に関する条件は、保護フィルム６０について前述した条件と同様である。
【００５４】
また、図１４に例示される保護部材６４により流路構造体５０の各開口５４を塞いでもよい。図１４に例示された各保護部材６４は、開口５４の内側に部分的に挿入されることで当該開口５４を閉塞するキャップである。保護部材６４は、例えば樹脂材料の射出成形で形成される。なお、図１４においては開口５４毎に別個の保護部材６４を設置したが、保護部材６４を複数の開口５４にわたり連続させてもよい。図１４の保護部材６４は、前述の保護フィルム６０と同様に通気性を有する。保護部材６４の通気性に関する条件は、保護フィルム６０について前述した条件と同様である。
【００５５】
以上の例示から理解される通り、本発明の好適な態様においては、通気性を有する蓋部材により流路構造体５０の複数の開口５４が塞がれる。図６の保護フィルム６０、図１３の保護部材６２、および図１４の保護部材６４は、蓋部材の具体例である。
【００５６】
（２）上述した実施形態では、液体吐出ヘッド２０を搭載したキャリッジ１８をＸ方向に沿って反復的に往復させるシリアルヘッドを例示したが、液体吐出ヘッド２０を媒体１１の全幅にわたり配列したラインヘッドにも本発明を適用可能である。
【００５７】
（３）上述した実施形態では、圧力室に機械的な振動を付与する圧電素子を利用した圧電方式の液体吐出ヘッド２０を例示したが、加熱により圧力室の内部に気泡を発生させる発熱素子を利用した熱方式の液体吐出ヘッドを採用することも可能である。
【００５８】
（４）上述した実施形態で例示した液体吐出装置１０は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置１０の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等を形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、液体の一種として生体有機物の溶液を吐出するチップ製造装置としても利用される。
【符号の説明】
【００５９】
１０…液体吐出装置、１１…媒体、１２…制御装置、１４…搬送機構、１８…キャリッジ、１８２…液体収容部、２０…液体吐出ヘッド、２０２…流路ユニット、２０４…ヘッド本体、２２…上側ケース部材、２２１、２２２、２２３…構成部材、２３…下側ケース部材、２３２…流路、２３４…側壁、２３６…枠体、２４…ねじ、２５…シール部材、２５２…貫通孔、２５３…下流側環状シール部、２５５…上流側環状シール部、２６…回路基板、２６２…端子部、２６４…コネクター、２７２…流路、２９…固定板、２９２…開口部、４０…中継部、４２…インク導入針、４３…導入孔、４４…囲繞壁、４５…リブ、４６…カートリッジ配置領域、５０…流路構造体、５２…流路、５４…開口、６０…保護フィルム、６２，６４…保護部材、７０…液体吐出部、７１…流路形成基板、７１２…開口部、７１４…供給流路、７１６…連通流路、７２…圧力室形成基板、７２２…開口部、７３…振動板、７３２…圧電素子、７４…ノズル板、７５…コンプライアンス部、７５２…封止板、７５４…支持体、７６…保護板、７７…支持体、７７２…空間、７７４…供給口、７８…個別配線基板、Ａ…吐出面、Ｃ…圧力室、Ｃ１〜Ｃ４…液体容器、ＦＡ、ＦＢ…面、Ｇ１…第１流路ユニット、Ｇ２…第２流路ユニット、Ｎ…ノズル、Ｒ…液体貯留室、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３…空間、Ｗ１、Ｗ２…幅。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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