(57)【要約】【課題】信頼性を向上させることが可能な液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、液体が充填される複数の吐出溝を有するアクチュエータプレートと、複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有し、外形がアクチュエータプレートの外形よりも小さく形成され、複数の吐出溝を覆うようにアクチュエータプレートに接合されるノズルプレートとを備え、アクチュエータプレートのノズルプレートとの接合面における、ノズルプレートの外周に対応する部分よりも外側の領域に、アクチュエータプレートに対するノズルプレートの位置を確認可能な所定のマークが形成されている。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、
前記液体が充填される複数の吐出溝を有するアクチュエータプレートと、
前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有し、外形が前記アクチュエータプレートの外形よりも小さく形成され、前記複数の吐出溝を覆うように前記アクチュエータプレートに接合されるノズルプレートと
を備え、
前記アクチュエータプレートの前記ノズルプレートとの接合面における、前記ノズルプレートの外周に対応する部分よりも外側の領域に、前記アクチュエータプレートに対する前記ノズルプレートの位置を確認可能な所定のマークが形成されている
液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記アクチュエータプレートの前記ノズルプレートとの接合面における、少なくとも前記ノズルプレートの内側に対応する領域に、前記アクチュエータプレートに対する前記ノズルプレートの位置決めを行うアライメントマークが形成されている
請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記所定のマークは、前記アクチュエータプレートの前記ノズルプレートとの接合面において、前記アライメントマークとは間隔を空けて、前記アライメントマークの延長線上に形成されている
請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記所定のマークは、前記アクチュエータプレートの前記ノズルプレートとの接合面において、前記アライメントマークから延在した前記アライメントマークの一部分として形成されている
請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記アライメントマークは、４つの方向に延在する部分を有するＸ字形状であり、前記所定のマークは、前記アライメントマークが延在する４つの方向のうち、少なくとも１つの方向の延長線上に形成されている
請求項２ないし請求項４のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記所定のマークは、溝形状である
請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記所定のマークの前記溝形状の少なくとも一部は、前記複数の吐出溝と平行に形成されている
請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記アクチュエータプレートを、前記ノズルプレートとの接合面側から覆うカバー部材、をさらに備え、
前記所定のマークは、前記カバー部材によって覆われている
請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射記録装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出（噴射）して画像や文字等の記録を行う、インクジェット方式の記録装置が提供されている（例えば特許文献１参照）。この方式の液体噴射記録装置では、インクタンクからインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）へインクを供給し、このインクジェットヘッドのノズル孔から被記録媒体に対してインクを吐出することで、画像や文字等の記録が行われるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−１０９３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような液体噴射ヘッド等では一般に、信頼性を向上させることが求められている。信頼性を向上させることが可能な液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、液体が充填される複数の吐出溝を有するアクチュエータプレートと、複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有し、外形がアクチュエータプレートの外形よりも小さく形成され、複数の吐出溝を覆うようにアクチュエータプレートに接合されるノズルプレートとを備え、アクチュエータプレートのノズルプレートとの接合面における、ノズルプレートの外周に対応する部分よりも外側の領域に、アクチュエータプレートに対するノズルプレートの位置を確認可能な所定のマークが形成されているものである。
【０００６】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドと、液体を収容する収容部とを備えたものである。
【発明の効果】
【０００７】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、信頼性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。
【図２】図１に示したインクジェットヘッドの要部構成例を表す模式底面図である。
【図３】図２に示したインクジェットヘッドにおけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面構成例を表す模式図である。
【図４】図２に示したＩＶ−ＩＶ線に沿ったインクジェットヘッドの断面構成例を表す模式図である。
【図５】図２に示したＶ−Ｖ線に沿ったインクジェットヘッドの断面構成例を表す模式図である。
【図６】図２に示したヘッドチップにおけるアクチュエータプレートの要部構成例を表す上面図である。
【図７】図２に示したヘッドチップにおけるカバープレートの要部構成例を表す底面図である。
【図８】図２に示したアクチュエータプレートにおける所定のマークの形成位置についての説明図である。
【図９】図１に示したインクジェットヘッドの要部構成例を表す分解斜視図である。
【図１０】比較例に係るインクジェットヘッドの要部構成例を表す模式底面図である。
【図１１】変形例１に係るインクジェットヘッドの要部構成例を表す模式底面図である。
【図１２】変形例２に係るインクジェットヘッドの要部構成例を表す分解斜視図である。
【図１３】変形例３に係るインクジェットヘッドの要部構成例を表す模式底面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（アクチュエータプレートにおけるノズルプレートの外周に対応する部分よりも外側の領域に、所定のマークを形成した例）
２．変形例
変形例１（所定のマークを、アライメントマークの一部分で形成した例）
変形例２（カバー部材の変形例）
変形例３（ノズルプレートが分割されている場合の所定のマークの形成例）
３．その他の変形例
【００１０】
＜１．実施の形態＞
［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。このプリンタ１は、後述するインク９を利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。
【００１１】
プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、循環機構５と、走査機構６とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１２】
ここで、プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応し、インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。また、インク９は、本開示における「液体」の一具体例に対応している。
【００１３】
搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２はそれぞれ、Ｙ軸方向（記録紙Ｐの幅方向）に沿って延設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ−Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等によって構成されている。
【００１４】
（インクタンク３）
インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｂ）の４色のインク９を個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインク９を収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインク９を収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインク９を収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインク９を収容するインクタンク３Ｂとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００１５】
なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂはそれぞれ、収容するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクタンク３と総称して説明する。また、このインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）は、本開示における「収容部」の一具体例に対応している。
【００１６】
（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル（ノズル孔Ｈ１，Ｈ２）から記録紙Ｐに対して液滴状のインク９を噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂにそれぞれ収容されている４色のインク９を個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｂとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００１７】
なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂはそれぞれ、利用するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成については、後述する（図２〜図９）。
【００１８】
（循環機構５）
循環機構５は、インクタンク３内とインクジェットヘッド４内との間でインク９を循環させるための機構である。この循環機構５は、例えば、インク９を循環させるための流路である循環流路５０と、一対の送液ポンプ５２ａ，５２ｂとを含んで構成されている。
【００１９】
循環流路５０は、図１に示したように、インクタンク３から送液ポンプ５２ａを介してインクジェットヘッド４へと至る部分である流路５０ａと、インクジェットヘッド４から送液ポンプ５２ｂを介してインクタンク３へと至る部分である流路５０ｂとを有している。言い換えると、流路５０ａは、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと向かって、インク９が流れる流路である。また、流路５０ｂは、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと向かって、インク９が流れる流路である。なお、これらの流路５０ａ，５０ｂ（インク９の供給チューブ）はそれぞれ、可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。
【００２０】
（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、これらのガイドレール６１ａ，６１ｂに移動可能に支持されたキャリッジ６２と、このキャリッジ６２をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構６３と、を有している。また、駆動機構６３は、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置された一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、これらのプーリ６３１ａ，６３１ｂ間に巻回された無端ベルト６３２と、プーリ６３１ａを回転駆動させる駆動モータ６３３と、を有している。
【００２１】
プーリ６３１ａ，６３１ｂはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って、各ガイドレール６１ａ，６１ｂにおける両端付近に対応する領域に配置されている。無端ベルト６３２には、キャリッジ６２が連結されている。このキャリッジ６２上には、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂが、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００２２】
なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成されるようになっている。
【００２３】
［インクジェットヘッド４の詳細構成］
次に、図１に加えて図２〜図９を参照して、インクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）の詳細構成例について説明する。
【００２４】
図２は、ノズルプレート４１１（後出）を取り外した状態におけるインクジェットヘッド４の要部構成例を、模式的に底面図（Ｘ−Ｙ底面図）で表したものである。図３は、図２に示したＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例（Ｚ−Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。同様に、図４は、図２に示したＩＶ−ＩＶ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例を模式的に表したものであり、後述するヘッドチップ４１における吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ（吐出溝）付近の断面構成例に対応している。また、図５は、図２に示したＶ−Ｖ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例を模式的に表したものであり、後述するヘッドチップ４１におけるダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ（非吐出溝）付近の断面構成例に対応している。図６は、後述するヘッドチップ４１におけるアクチュエータプレート４１２の要部構成例を、模式的に上面図で表したものである。図７は、後述するヘッドチップ４１におけるカバープレート４１３の要部構成例を、模式的に底面図で表したものである。図８は、図２に示したアクチュエータプレートにおける、後述する所定のマークの形成位置についての説明図である。図９は、図１に示したインクジェットヘッド４の要部構成例を表す分解斜視図である。
【００２５】
本実施の形態のインクジェットヘッド４は、後述するヘッドチップ４１における複数のチャネル（複数のチャネルＣ１および複数のチャネルＣ２）のうち、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（後述する斜め方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。また、このインクジェットヘッド４は、前述した循環機構５（循環流路５０）を用いることで、インクタンク３との間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドである。
【００２６】
図３に示したように、インクジェットヘッド４は、ヘッドチップ４１および流路プレート４０を備えている。また、このインクジェットヘッド４には、制御機構（ヘッドチップ４１の動作を制御する機構）として、回路基板（不図示）と、フレキシブルプリント基板（Flexible Printed Circuits：ＦＰＣ）４４１，４４２（図４，図５参照）とが設けられている。なお、制御機構（例えばドライバＩＣ）がＦＰＣに搭載されている構造（ＣＯＦ（Chip on FPC））であってもよい。
【００２７】
回路基板は、ヘッドチップ４１を駆動するための駆動回路（電気回路）を搭載する基板である。フレキシブルプリント基板４４１，４４２はそれぞれ、回路基板上の駆動回路と、ヘッドチップ４１における後述する駆動電極Ｅｄとの間を、電気的に接続するための基板である。なお、このようなフレキシブルプリント基板４４１，４４２にはそれぞれ、後述する複数の引き出し電極がプリント配線されるようになっている。
【００２８】
ヘッドチップ４１は、図３に示したように、インク９をＺ軸方向に沿って噴射する部材であり、各種のプレートを用いて構成されている。具体的には図３に示したように、ヘッドチップ４１は、ノズルプレート（噴射孔プレート）４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３を、主に備えている。これらのノズルプレート４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３と、上記した流路プレート４０とはそれぞれ、例えば接着剤等を用いて互いに貼り合わされており、Ｚ軸方向に沿ってこの順に積層されている。なお、以下では、Ｚ軸方向に沿って流路プレート４０側（カバープレート４１３側）を上方と称すると共に、ノズルプレート４１１側を下方と称して説明する。
【００２９】
（ノズルプレート４１１）
ノズルプレート４１１は、ステンレス鋼等の金属フィルム材から形成され、例えば５０μｍ程度の厚みを有する。ただし、ノズルプレート４１１は、ポリイミド等のフィルム材で形成されていてもよい。また、ノズルプレート４１１の材料は、ガラスやシリコンであってもよい。ノズルプレート４１１は、図３〜図４に示したように、アクチュエータプレート４１２の下面（接合面４７１）に接着されている。また、図２に示したように、このノズルプレート４１１には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のノズル列（ノズル列Ａｎ１，Ａｎ２）が設けられている。これらのノズル列Ａｎ１，Ａｎ２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。このように、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）は、２列タイプのインクジェットヘッド（ヘッドチップ）となっている。
【００３０】
ノズル列Ａｎ１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ１を有している。これらのノズル孔Ｈ１はそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通しており、例えば図３および図４に示したように、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ１ｅ内に個別に連通している。具体的には図２に示したように、各ノズル孔Ｈ１は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（後述する斜め方向）に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ１におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ１ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一（同一ピッチ）となっている。このようなノズル列Ａｎ１内のノズル孔Ｈ１からは、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ１ｅ内から供給されるインク９が吐出（噴射）されるようになっている。
【００３１】
ノズル列Ａｎ２も同様に、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ２を有している。これらのノズル孔Ｈ２もそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向に沿って貫通しており、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ２ｅ内に個別に連通している。具体的には図２に示したように、各ノズル孔Ｈ２は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（後述する斜め方向）に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ２におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ２ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一となっている。このようなノズル列Ａｎ２内のノズル孔Ｈ２からも、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ２ｅ内から供給されるインク９が吐出されるようになっている。
【００３２】
また、図２に示したように、ノズル列Ａｎ１における各ノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２における各ノズル孔Ｈ２とは、Ｘ軸方向に沿って互い違いとなるように配置されている。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、ノズル列Ａｎ１におけるノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２におけるノズル孔Ｈ２とが、千鳥状に配置されている。なお、このようなノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の貫通孔となっている。
【００３３】
（アクチュエータプレート４１２）
アクチュエータプレート４１２は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。このアクチュエータプレート４１２は、図３に示したように、分極方向が互いに異なる２つの圧電基板を、厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って積層して構成されている（いわゆる、シェブロンタイプ）。ただし、アクチュエータプレート４１２の構成としては、このシェブロンタイプには限られない。すなわち、例えば、分極方向が厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って一方向に設定されている１つ（単一）の圧電基板によって、アクチュエータプレート４１２を構成するようにしてもよい（いわゆる、カンチレバータイプ）。
【００３４】
また、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のチャネル列（チャネル列４２１，４２２）が設けられている。これらのチャネル列４２１，４２２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。
【００３５】
このようなアクチュエータプレート４１２では、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿った中央部（チャネル列４２１，４２２の形成領域）に、インク９の吐出領域（噴射領域）が設けられている。一方、アクチュエータプレート４１２において、Ｘ軸方向に沿った両端部（チャネル列４２１，４２２の非形成領域）には、インク９の非吐出領域（非噴射領域）が設けられている。この非吐出領域は、上記した吐出領域に対して、Ｘ軸方向に沿った外側に位置している。なお、アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った両端部はそれぞれ、図２に示したように、尾部４２０を構成している。
【００３６】
上記したチャネル列４２１は、図２および図３に示したように、複数のチャネルＣ１を有している。これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２内においてＹ軸方向から所定の角度（鋭角）を成す、斜め方向に沿って延在している。また、これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ１は、圧電体（アクチュエータプレート４１２）からなる駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている（図３参照）。
【００３７】
チャネル列４２２も同様に、図２に示したように、上記した斜め方向に沿って延在する複数のチャネルＣ２を有している。これらのチャネルＣ２は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ２もまた、上記した駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている。
【００３８】
ここで、図２〜図５に示したように、チャネルＣ１には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ１ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ１ｄ（非吐出溝）とが存在している。図２および図３に示したように、チャネル列４２１において、これらの吐出チャネルＣ１ｅとダミーチャネルＣ１ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ１と連通している一方、各ダミーチャネルＣ１ｄはノズル孔Ｈ１には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている（図３〜図５参照）。
【００３９】
同様に、図２，図４，図５に示したように、チャネルＣ２には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ２ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ２ｄ（非吐出溝）とが存在している。図２に示したように、チャネル列４２２において、これらの吐出チャネルＣ２ｅとダミーチャネルＣ２ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ２と連通している一方、各ダミーチャネルＣ２ｄはノズル孔Ｈ２には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている（図４，図５参照）。
【００４０】
なお、このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、本開示における「吐出溝」の一具体例に対応している。
【００４１】
また、図２中のＩＶ−ＩＶ線で示したように、チャネル列４２１における吐出チャネルＣ１ｅと、チャネル列４２２における吐出チャネルＣ２ｅとは、これら吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（前述した斜め方向）に沿って、一直線上に配置されている（図４参照）。同様に、図２中のＶ−Ｖ線で示したように、チャネル列４２１におけるダミーチャネルＣ１ｄと、チャネル列４２２におけるダミーチャネルＣ２ｄとは、これらダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの延在方向（上記斜め方向）に沿って、一直線上に配置されている（図５参照）。
【００４２】
ここで、図３に示したように、上記した駆動壁Ｗｄにおける対向する内側面にはそれぞれ、上記した斜め方向に沿って延在する、駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄには、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに面する内側面に設けられた共通電極（コモン電極）Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに面する内側面に設けられた個別電極（アクティブ電極）Ｅｄａとが存在している。なお、このような駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）は、図３に示したように、駆動壁Ｗｄの内側面上において、深さ方向（Ｚ軸方向）の全体に亘って形成されている。
【００４３】
同一の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）内で対向する一対の共通電極Ｅｄｃ同士は、互いに電気的に接続されている（図６参照）。また、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、後述するように電極分割溝４６０（図５参照）によって、互いに電気的に分離されている。一方、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、後述するカバープレート４１３に形成された個別端子（個別配線Ｗｄａ）において互いに電気的に接続されている（図７参照）。
【００４４】
ここで、前述した尾部４２０においては、駆動電極Ｅｄと前述した回路基板との間を電気的に接続するための、前述したフレキシブルプリント基板４４１，４４２（図４，図５参照）が実装されている。これらのフレキシブルプリント基板４４１，４４２に形成された配線パターン（不図示）は、後述するカバープレート４１３に形成された共通配線Ｗｄｃおよび個別配線Ｗｄａ（図７参照）に対して電気的に接続されている。これにより、これらのフレキシブルプリント基板４４１，４４２を介して、上記した回路基板上の駆動回路から各駆動電極Ｅｄに対して、駆動電圧が印加されるようになっている。
【００４５】
アクチュエータプレート４１２は、Ｘ軸方向に延在する溝部Ｓ０を有している（図６参照）。溝部Ｓ０は、吐出チャネルＣ１ｅと吐出チャネルＣ２ｅとの間と、ダミーチャネルＣ１ｄとダミーチャネルＣ２ｄとの間とに形成されている（図４〜図６参照）。
【００４６】
ヘッドチップ４１では、複数の吐出チャネルＣ１ｅ内の共通電極Ｅｄｃ同士が溝部Ｓ０付近（カバープレート４１３の底面上）や入口側共通インク室Ｒin１の側面において、互いに電気的に接続され、共通電極Ｅｄｃ２として引き出されている。この共通電極Ｅｄｃ２は、溝部Ｓ０付近から、入口側共通インク室Ｒin１内に引き出されている。
【００４７】
同様に、このヘッドチップ４１では、複数の吐出チャネルＣ２ｅ内の共通電極Ｅｄｃ同士が、上記した溝部Ｓ０付近（カバープレート４１３の底面上）や入口側共通インク室Ｒin２の側面において、互いに電気的に接続され、共通電極Ｅｄｃ２として引き出されている。この共通電極Ｅｄｃ２は、溝部Ｓ０付近から、入口側共通インク室Ｒin２内に引き出されている。
【００４８】
アクチュエータプレート４１２は、ノズルプレート４１１との接合面４７１と、カバープレート４１３との接合面４７２とを有している（図４，図５参照）。
【００４９】
吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅは、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、部分的に開口し、開口４８１が形成されている（図４参照）。吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内において、開口４８１は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向の略中央に形成されている。アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１では、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向において、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの一部が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの底部によって遮蔽されているとともに、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの他の部分が、部分的に開口している。
【００５０】
ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、部分的に開口し、開口４８２が形成されている（図５参照）。ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内において、開口４８２は、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの延在方向の略中央に形成されている。アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの延在方向において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの一部が、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの底部によって遮蔽されているとともに、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの他の部分が、部分的に開口している。
【００５１】
なお、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、図４に示したように、カバープレート４１３側（上方）からノズルプレート４１１側（下方）へ向けて吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有している。このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける円弧状の側面はそれぞれ、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成されるようになっている。
【００５２】
同様に、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄはそれぞれ、図５に示したように、カバープレート４１３側（上方）からノズルプレート４１１側（下方）へ向けてダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有している。これにより、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの延在方向において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内の溝深さｈｄは、中央では深く、側面方向に行くに従い浅くなっている。このようなダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける円弧状の側面はそれぞれ、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成されるようになっている。
【００５３】
アクチュエータプレート４１２は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの延在方向において、所定の端面として、第１の端面４５１と、第１の端面４５１とは逆側を向く（第１の端面４５１に対向する）第２の端面４５２とを有している。
【００５４】
なお、アクチュエータプレート４１２において、駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）を形成する方法としては、例えばめっきによって形成する方法と蒸着によって形成する方法とスパッタリングによって形成する方法とがある。本実施の形態のインクジェットヘッド４では、前述したように、駆動電極Ｅｄが、図３に示したように、駆動壁Ｗｄの内側面上において、深さ方向（Ｚ軸方向）の全体に亘って形成されている。この場合、駆動電極Ｅｄは例えばめっきによって形成される。この場合、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士が、チャネル内の底面側にまで延在し、一対の個別電極Ｅｄａ同士が、電気的に接続されるおそれがある。このため、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士を、電極分割溝４６０（図５参照）等の加工により、チャネル内の底面側において、互いに電気的に分離する必要があり得る。電極分割溝４６０は、一対の個別電極Ｅｄａのそれぞれを、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれにおける一方の側面側と他方の側面側とに電気的に分離するように、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれの底面に形成されている。
【００５５】
一方、本実施の形態のインクジェットヘッド４に対する一変形例として、駆動壁Ｗｄの内側面上において、駆動電極Ｅｄを、深さ方向の中間位置までしか形成しない構成であってもよい。この場合、駆動電極Ｅｄは例えば斜め蒸着によって形成される。この場合、アクチュエータプレート４１２は、単一の圧電基板によって構成されたカンチレバータイプであってもよい。この場合、構造によっては、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士が電気的に接続されずに済むことがあるため、追加工による電極分割は不要となる場合がある。このため、必ずしも、電極分割溝４６０は形成しなくてもよい。
【００５６】
アクチュエータプレート４１２において、ノズルプレート４１１との接合面４７１には、図２に示したように、アライメントマーク５０１，５０２と、所定のマーク（第１ないし第３の位置確認用マーク５１１，５１２，５１３、および他の第１ないし第３の位置確認用マーク５２１，５２２，５２３）とが形成されている。これらアライメントマーク５０１，５０２および所定のマークの形成位置等の構成の詳細については、後に図８および図９を参照して詳述する。
【００５７】
（カバープレート４１３）
カバープレート４１３は、図２〜図５に示したように、アクチュエータプレート４１２における各チャネルＣ１，Ｃ２（各チャネル列４２１，４２２）を閉塞するように配置されている。具体的には、このカバープレート４１３は、アクチュエータプレート４１２の上面（接合面４７２）に接着されており、板状構造となっている。
【００５８】
カバープレート４１３には、図５に示したように、一対の入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２と、一対の出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２とが、それぞれ形成されている。これらの入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２はそれぞれ、Ｘ軸方向に沿って延在していると共に、所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。また、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に形成されている。一方、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に形成されている。
【００５９】
入口側共通インク室Ｒin１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この入口側共通インク室Ｒin１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通する、供給スリットＳin１が形成されている（図４参照）。同様に、入口側共通インク室Ｒin２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この入口側共通インク室Ｒin２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、供給スリットＳin２が形成されている（図４参照）。
【００６０】
出口側共通インク室Ｒout１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この出口側共通インク室Ｒout１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳout１が形成されている（図４参照）。同様に、出口側共通インク室Ｒout２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この出口側共通インク室Ｒout２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳout２が形成されている（図４参照）。
【００６１】
このようにして、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１はそれぞれ、供給スリットＳin１および排出スリットＳout１を介して各吐出チャネルＣ１ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ１ｄには連通していない（図４，図５参照）。すなわち、各ダミーチャネルＣ１ｄは、これら入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１における底部によって、閉塞されるようになっている（図５参照）。
【００６２】
同様に、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２はそれぞれ、供給スリットＳin２および排出スリットＳout２を介して各吐出チャネルＣ２ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ２ｄには連通していない（図４，図５参照）。すなわち、各ダミーチャネルＣ２ｄは、これら入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２における底部によって、閉塞されるようになっている（図５参照）。
【００６３】
（流路プレート４０）
流路プレート４０は、図３に示したように、カバープレート４１３の上面に配置されており、インク９が流れる所定の流路（不図示）を有している。また、このような流路プレート４０内の流路には、前述した循環機構５における流路５０ａ，５０ｂが接続されており、この流路に対するインク９の流入と、この流路からのインク９の流出とが、それぞれなされるようになっている。なお、上述したように、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄはカバープレート４１３の底部によって閉塞されるようになっているので、インク９は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのみに供給され、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄには流入しない。
【００６４】
［吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の流路構造］
次に、前述した図４（吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の断面構成例）を参照して、前述した供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分のインク９の流路構造について、詳細に説明する。
【００６５】
この図４に示したように、本実施の形態のヘッドチップ４１では、カバープレート４１３に、供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と、壁部Ｗ１，Ｗ２とが設けられている。具体的には、供給スリットＳin１および排出スリットＳout１はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅとの間でインク９が流れる貫通孔であり、供給スリットＳin２および排出スリットＳout２はそれぞれ、吐出チャネルＣ２ｅとの間でインク９が流れる貫通孔である。詳細には図４中の破線の矢印で示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内にインク９を流入させるための貫通孔であり、排出スリットＳout１，Ｓout２はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内からインク９を流出させるための貫通孔である。
【００６６】
また、上記した壁部Ｗ１は、吐出チャネルＣ１ｅの上方を覆うようにして、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１の間に配置されている。同様に、上記した壁部Ｗ２は、吐出チャネルＣ２ｅの上方を覆うようにして、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２の間に配置されている。
【００６７】
［個別配線Ｗｄａ、共通配線Ｗｄｃ、共通電極Ｅｄｃ２の構成］
次に、図４〜図７を参照して、カバープレート４１３側の配線（個別配線Ｗｄａ、共通配線Ｗｄｃ、共通電極Ｅｄｃ２）について説明する。
【００６８】
図４および図７に示したように、カバープレート４１３の底面における、アクチュエータプレート４１２の溝部Ｓ０の周囲に対応する領域には、アクチュエータプレート４１２側の、同一のチャネル列４２１（またはチャネル列４２２）にある複数の共通電極Ｅｄｃ同士を電気的に接続するための共通電極Ｅｄｃ２が、Ｘ軸方向に延在して形成されている。これにより、カバープレート４１３側において、複数の共通電極Ｅｄｃ同士がＸ軸方向で電気的に接続され、共通化される。
【００６９】
共通電極Ｅｄｃ２は、図４および図７に示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２内にも形成されている。また、共通電極Ｅｄｃ２は、図５に示したように、出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２内と、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２内ととにも形成されている。
【００７０】
また、図７に示したように、カバープレート４１３の底面のＸ方向の両端部には、共通配線Ｗｄｃが形成されている。また、図７に示したように、カバープレート４１３の底面のＹ方向の両端部には、個別配線Ｗｄａが形成されている。なお、図７では、共通配線Ｗｄｃとして、Ｘ方向の１つの端部側の共通配線Ｗｄｃのみを図示している。共通配線Ｗｄｃは、２つのチャネル列４２１，４２２（図６参照）に対応するそれぞれの領域に形成されている。チャネル列４２１に対応する領域にある共通配線Ｗｄｃは、共通電極Ｅｄｃ２を介して、チャネル列４２１にある複数の共通電極Ｅｄｃとチャネル列４２１側のＦＰＣ４４１とを電気的に接続する。同様に、チャネル列４２２に対応する領域にある共通配線Ｗｄｃは、共通電極Ｅｄｃ２を介して、チャネル列４２２にある複数の共通電極Ｅｄｃとチャネル列４２２側のＦＰＣ４４２とを電気的に接続する。個別配線Ｗｄａは、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士を、ＦＰＣ４４１（またはＦＰＣ４４２）に電気的に接続する。
【００７１】
［アライメントマーク５０１，５０２および所定のマークの構成］
次に、主に図８および図９を参照して、アクチュエータプレート４１２において、ノズルプレート４１１との接合面４７１に形成されたアライメントマーク５０１，５０２および所定のマークの形成位置等の構成の詳細について説明する。アライメントマーク５０１，５０２は、アクチュエータプレート４１２とノズルプレート４１１との位置合わせ用のマークである。
【００７２】
アクチュエータプレート４１２において、ノズルプレート４１１との接合面４７１には、アクチュエータプレート４１２に対するノズルプレート４１１の位置を確認可能な所定のマークが形成されている。図２および図８では、所定のマークとして、第１ないし第３の位置確認用マーク５１１，５１２，５１３と、他の第１ないし第３の位置確認用マーク５２１，５２２，５２３とが形成されている。
【００７３】
アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１における外形は、ノズルプレート４１１の外形に比べて大きくなっている。所定のマークは、図８に示したように、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１における、ノズルプレート４１１の外周に対応する部分よりも外側の領域に形成されている。なお、図８において、点による塗り潰しパターン（ドットパターン）を付した領域が「ノズルプレート４１１の内側に対応する領域」の一例であり、ドットパターンを付した領域の外側の領域が、「ノズルプレート４１１の外周に対応する部分よりも外側の領域」の一例である。
【００７４】
アライメントマーク５０１，５０２は、図８に示したように、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１における、ノズルプレート４１１の内側に対応する領域に形成されている。なお、図２および図８では、アクチュエータプレート４１２に２つのアライメントマーク５０１，５０２を形成した例を示しているが、アライメントマークは１つのみであってもよい。また、３つ以上のアライメントマークを形成してもよい。
【００７５】
所定のマークは、図８に示したように、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、アライメントマーク５０１，５０２とは間隔を空けて、アライメントマーク５０１，５０２の延長線上に形成されていることが好ましい。
【００７６】
また、アライメントマーク５０１，５０２はそれぞれ、例えば４つの方向に延在する部分を有するＸ字形状となっている。所定のマークは、アライメントマーク５０１，５０２が延在する４つの方向のうち、少なくとも１つの方向の延長線上に形成されていることが好ましい。なお、図２および図８の例では、Ｘ軸方向に平行な第１の直線状部分と、Ｘ軸に交差する斜め方向（吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向）に平行な第２の直線状部分とによりアライメントマーク５０１，５０２がＸ字形状となっている。ただし、第２の直線状部分をＹ軸方向に平行とし、第１の直線状部分と第２の直線状部分とが直交するようなＸ字形状（十字形状）であってもよい。ただし、アライメントマーク５０１，５０２の形状は、Ｘ字形状に限らず、他の形状であってもよい。
【００７７】
例えば図８に示したように、アライメントマーク５０１が延在する４つの方向のうち、アライメントマーク５０１の３つの延長線上にそれぞれに、位置確認用マーク（第１ないし第３の位置確認用マーク５１１，５１２，５１３）が形成されていることが好ましい。また、他のアライメントマーク５０２が延在する４つの方向のうち、他のアライメントマーク５０２の３つの延長線上にそれぞれに、他の位置確認用マーク（他の第１ないし第３の位置確認用マーク５２１，５２２，５２３）が形成されていることが好ましい。
【００７８】
アライメントマーク５０１，５０２と所定のマークは、溝形状に形成されていることが好ましい。
【００７９】
インクジェットヘッド４は、少なくともアクチュエータプレート４１２を、ノズルプレート４１１におけるアクチュエータプレート４１２との接合面４７１とは反対面側から覆うカバー部材、をさらに備えていてもよい。例えば、図９に示したように、カバー部材として、ノズルプレート４１１とアクチュエータプレート４１２とを覆うノズルガード５３０を備えていてもよい。ノズルガード５３０等のカバー部材によって、所定のマークを覆うようにしてもよい。ノズルガード５３０には、前述のノズル列Ａｎ１，Ａｎ２に対応する開口５４１，５４２が設けられている。
【００８０】
［アクチュエータプレート４１２とノズルプレート４１１との貼り合わせ工程］
次に、上記したアライメントマーク５０１，５０２を用いて、アクチュエータプレート４１２とノズルプレート４１１とを位置合わせしつつ、貼り合わせる工程について説明する。
【００８１】
まず、アクチュエータプレート４１２の接合面４７１に接着剤を塗布する。次に、ノズルプレート４１１の複数のノズル孔Ｈ１，Ｈ２のうち、いずれか１つの任意のノズル孔を基準ノズル孔とし、アクチュエータプレート４１２のアライメントマーク５０１，５０２の、基準ノズル孔に対するＸ−Ｙ平面での位置を認識する。ただし、以上の工程を逆にすることも可能である。すなわち、アライメントマーク５０１，５０２の位置を認識する工程を行った後、接着剤を塗布する工程を行ってもよい。
【００８２】
次に、基準ノズル孔とアライメントマーク５０１，５０２とが所定の相対位置（正しい貼り合わせ位置）になるように、ノズルプレート４１１を平行移動させる。次に、ノズルプレート４１１をＺ軸方向に垂直移動させて、アクチュエータプレート４１２の接合面４７１にノズルプレート４１１を貼り合わせる。
【００８３】
［動作および作用・効果］
（Ａ．プリンタ１の基本動作）
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインク９が十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインク９は、循環機構５を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。
【００８４】
このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に、記録紙Ｐが搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構６３における駆動モータ６３３が、プーリ６３１ａ，６３１ｂをそれぞれ回転させることで、無端ベルト６３２を動作させる。これにより、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂにガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）によって、４色のインク９を記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。
【００８５】
（Ｂ．インクジェットヘッド４における詳細動作）
次いで、図１〜図５を参照して、インクジェットヘッド４における詳細動作（インク９の噴射動作）について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド４（サイドシュートタイプ）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。
【００８６】
まず、上記したキャリッジ６２（図１参照）の往復移動が開始されると、前述した回路基板上の駆動回路は、前述したフレキシブルプリント基板を介して、インクジェットヘッド４内の駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）に対し、駆動電圧を印加する。具体的には、この駆動回路は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを画成する一対の駆動壁Ｗｄに配置された各個別電極Ｅｄａに対し、駆動電圧を印加する。これにより、これら一対の駆動壁Ｗｄがそれぞれ、その吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに隣接するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ側へ、突出するように変形する（図３参照）。
【００８７】
ここで、前述したように、アクチュエータプレート４１２では、分極方向が厚み方向に沿って異なっている（前述した２つの圧電基板が積層されている）と共に、駆動電極Ｅｄが、駆動壁Ｗｄにおける内側面上の深さ方向の全体に亘って形成されている。このため、上記した駆動回路によって駆動電圧を印加することで、駆動壁Ｗｄにおける深さ方向の中間位置を中心として、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形することになる。そして、このような駆動壁Ｗｄの屈曲変形により、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形する。ちなみに、アクチュエータプレート４１２の構成が、このようなシェブロンタイプではなく、前述したカンチレバータイプである場合には、以下のようにして、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形する。すなわち、このカンチレバータイプの場合、駆動電極Ｅｄが深さ方向の上半分まで斜め蒸着によって取り付けられることになるため、この駆動電極Ｅｄが形成されている部分のみに駆動力が及ぶことによって、駆動壁Ｗｄが（駆動電極Ｅｄの深さ方向端部において）屈曲変形する。その結果、この場合においても、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形するため、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形することになる。
【００８８】
このように、一対の駆動壁Ｗｄでの圧電厚み滑り効果による屈曲変形によって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大する。そして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大することにより、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２内に貯留されたインク９が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されることになる（図４参照）。
【００８９】
次いで、このようにして吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に伝播する。そして、ノズルプレート４１１のノズル孔Ｈ１，Ｈ２にこの圧力波が到達したタイミングで、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧が、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁Ｗｄが復元する結果、一旦増大した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が、再び元に戻ることになる（図３参照）。
【００９０】
このようにして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が元に戻ると、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内部の圧力が増加し、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２を通って外部へと（記録紙Ｐへ向けて）吐出される（図３，図４参照）。このようにしてインクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作が行われることになる。
【００９１】
特に、本実施の形態のノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、前述したように、出口に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の断面となっているため（図３，図４参照）、インク９を高速度で真っ直ぐに（直進性良く）吐出することができる。よって、高画質な記録を行うことが可能となる。
【００９２】
（Ｃ．インク９の循環動作）
続いて、図１，図４を参照して、循環機構５によるインク９の循環動作について、詳細に説明する。
【００９３】
図１に示したように、このプリンタ１では、送液ポンプ５２ａによって、インクタンク３内から流路５０ａ内へと、インク９が送液される。また、送液ポンプ５２ｂによって、流路５０ｂ内を流れるインク９が、インクタンク３内へと送液される。
【００９４】
この際に、インクジェットヘッド４内では、インクタンク３内から流路５０ａを介して流れるインク９が、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２へと流入する。これらの入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２へと供給されたインク９は、図４に示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２を介して、アクチュエータプレート４１２における各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へと供給される。
【００９５】
また、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９は、図４に示したように、排出スリットＳout１，Ｓout２を介して、各出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２内へと流入する。これらの出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２へ供給されたインク９は、流路５０ｂへと排出されることで、インクジェットヘッド４内から流出される。そして、流路５０ｂへと排出されたインク９は、インクタンク３内へと戻されることになる。このようにして、循環機構５によるインク９の循環動作がなされる。
【００９６】
ここで、循環式ではないインクジェットヘッドでは、乾燥性の高いインクを使用した場合、ノズル孔の近傍でのインクの乾燥に起因して、インクの局所的な高粘度化や固化が生じる結果、インク不吐出の不良が発生するおそれがある。これに対して、本実施の形態のインクジェットヘッド４（循環式のインクジェットヘッド）では、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の近傍に常に新鮮なインク９が供給されることから、上記したようなインク不吐出の不良が回避されることになる。
【００９７】
（Ｄ．作用・効果）
次に、本実施の形態のヘッドチップ４１、インクジェットヘッド４およびプリンタ１における作用および効果について、比較例と比較しつつ詳細に説明する。
【００９８】
（比較例）
図１０は、比較例に係るインクジェットヘッドの要部構成例を、模式的に底面図で表したものである。この比較例のインクジェットヘッドは、図２および図８に示した本実施の形態のインクジェットヘッド４におけるノズルプレート４１１とアクチュエータプレート４１２とに代えて、ノズルプレート１０１とアクチュエータプレート１０２とを備えている。本実施の形態のインクジェットヘッド４におけるアクチュエータプレート４１２には、図２および図８に示したように、アライメントマーク５０１，５０２と前述の所定のマーク（第１ないし第３の位置確認用マーク５１１，５１２，５１３、および他の第１ないし第３の位置確認用マーク５２１，５２２，５２３）とが形成されている。これに対して、比較例のインクジェットヘッドにおけるアクチュエータプレート１０２では、アライメントマーク５０１，５０２は形成されているものの、所定のマークは形成されていない。また、比較例のインクジェットヘッドにおけるアクチュエータプレート１０２では、ノズルプレート１０１において、アライメントマーク５０１，５０２に対応する位置に、ノズルプレート１０１とアクチュエータプレート１０２との貼り合わせ位置を確認するための確認用窓５０３，５０４が設けられている。なお、本実施の形態のインクジェットヘッド４におけるアクチュエータプレート４１２には、このような確認用窓５０３，５０４は設けられていない。
【００９９】
このように比較例のインクジェットヘッドでは、ノズルプレート１０１とアクチュエータプレート１０２との貼り合わせ位置を確認するための確認用窓５０３，５０４が設けられている。しかしながら、ノズルプレート１０１自体に確認用窓５０３，５０４が設けられていると、使用中に確認用窓５０３，５０４にインクが溜まってきて、被記録媒体に滴る懸念がある。このため、比較例のインクジェットヘッドでは、信頼性が損なわれてしまうことになる。
【０１００】
（本実施の形態）
これに対して本実施の形態のインクジェットヘッド４では、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、図８に示したように、ノズルプレート４１１の外周に対応する部分よりも外側の領域に所定のマーク（第１ないし第３の位置確認用マーク５１１，５１２，５１３、および他の第１ないし第３の位置確認用マーク５２１，５２２，５２３）が形成されている。これにより、ノズルプレート４１１をアクチュエータプレート４１２に貼り合わせした後でも、ノズルプレート４１１の貼り合わせ位置の確認ができるようになる。例えば、ノズルプレート４１１が透明ではない材料から構成されている場合においても、図１０に示した比較例のようにノズルプレート４１１自体に確認用の窓（確認用窓５０３，５０４）を設けることなく、貼り合わせ位置の確認ができるようになる。これにより、ノズルプレート４１１をアクチュエータプレート４１２に貼り合わせる際の位置決め精度が良くなり、製造上の歩留まりを向上させることができる。ノズルプレート４１１自体に確認用の窓が開いていると、使用中に窓部にインクが溜まってきて、被記録媒体に滴る懸念がある。本実施の形態では、上記比較例のようにノズルプレート４１１自体に確認用の窓を設ける場合に比べて、インクが溜まる部分が少ないので、インクジェットヘッド４の信頼性を向上させることができる。
【０１０１】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、アライメントマーク５０１，５０２が、図８に示したように、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１における、ノズルプレート４１１の内側に対応する領域に形成されている。これにより、アライメントマーク５０１，５０２によって、アクチュエータプレート４１２に対するノズルプレート４１１の位置決めを行った後、所定のマークによって、アクチュエータプレート４１２に対するノズルプレート４１１の位置を確認することができる。例えば、所定のマークによる位置の確認は、上述の貼り合わせ工程で説明したノズルプレート４１１の基準ノズル孔との相対位置で確認することができる。また、別の例として、ノズルプレート４１１に別のマークを形成して、その別のマークとアクチュエータプレート４１２における所定のマークとの相対位置によって、アクチュエータプレート４１２に対するノズルプレート４１１の位置を確認するようにしてもよい。これにより、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１における、ノズルプレート４１１の外周に対応する部分よりも外側の領域にアライメントマーク５０１，５０２を形成するスペースが無い場合でも、アライメントマーク５０１，５０２による位置決めと、その位置決め後の位置の確認を実施することができる。アクチュエータプレート４１２における、上記外側の領域に、アライメントマーク５０１，５０２を形成する必要がないので、アライメントマーク５０１，５０２を設置する面積を小さくできる。これにより、アクチュエータプレート４１２、ひいてはヘッドチップ４１を小型化することができる。ただし、アクチュエータプレート４１２に余分なスペースがあれば、アライメントマーク５０１，５０２を、上記外側の領域に形成してもよい。
【０１０２】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、図８に示したように、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、所定のマークを、アライメントマーク５０１，５０２の延長線上に形成することで、アライメントマーク５０１，５０２による位置決めの確認をしやすくなる。また、製造上、所定のマークとアライメントマーク５０１，５０２とを、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの位置に対して精度良く形成しやすくなる。
【０１０３】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、アライメントマーク５０１，５０２を、４つの方向に延在する部分を有するＸ字形状とし、所定のマークを、Ｘ字形状のアライメントマーク５０１，５０２の４つの方向のうち、少なくとも１つの方向の延長線上に形成することで、アライメントマーク５０１，５０２による位置決めの確認をしやすくなる。また、製造上、所定のマークとアライメントマーク５０１，５０２とを、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの位置に対して精度良く形成しやすくなる。
【０１０４】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、アライメントマーク５０１，５０２と所定のマークとを溝形状に形成することで、アクチュエータプレート４１２において、アライメントマーク５０１，５０２と所定のマークとを、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの溝と一緒に形成することができる。これにより、製造上、アライメントマーク５０１，５０２と所定のマークとを容易に形成することができる。
【０１０５】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、所定のマークの溝形状の少なくとも一部が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅと平行に形成されている。これにより、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを切削加工する際にダイサー等の切削工具をする場合において、所定のマークを吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅと一緒に、工具の切削方向を固定したままで形成することができるので、所定のマークを精度よく形成することができる。
【０１０６】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、図９に示したように、ノズルプレート４１１とアクチュエータプレート４１２とを覆うノズルガード５３０をカバー部材として備えるようにしたので、所定のマークをカバー部材としてのノズルガード５３０によって隠すことができる。これにより、使用中に液体が所定のマークに溜まることを防止し、液体が被記録媒体上に滴るおそれが少なくなる。また、ユーザからは所定のマークが見えないので、インクジェットヘッド４の外観もよくなる。
【０１０７】
＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１〜３）について説明する。なお、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【０１０８】
［変形例１］
図１１は、変形例１に係るインクジェットヘッド（アクチュエータプレート４１２Ａ）の要部構成例を、模式的に底面図で表したものである。この変形例１のインクジェットヘッド（アクチュエータプレート４１２Ａ）は、図２および図８に示した実施の形態のインクジェットヘッド４（アクチュエータプレート４１２）において、アライメントマーク５０１，５０２付近の構造を変更したものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。
【０１０９】
具体的には、実施の形態のインクジェットヘッド４では、図２および図８に示したように、アライメントマーク５０１，５０２と所定のマーク（第１ないし第３の位置確認用マーク５１１，５１２，５１３、および他の第１ないし第３の位置確認用マーク５２１，５２２，５２３）とが間隔を空けて形成され、アライメントマーク５０１，５０２とすべての所定のマークとが互いに分離された構成とされている。これに対し、変形例１のインクジェットヘッド（図１１）では、一部の所定のマークが、アライメントマーク５０１，５０２から延在したアライメントマークの一部分５０１Ａ，５０２Ａによって形成されている。具体的には、アライメントマーク５０１から部分的に延在したアライメントマークの一部分５０１Ａによって、第３の位置確認用マーク５１３が形成されている。また、他のアライメントマーク５０２から部分的に延在したアライメントマークの一部分５０２Ａによって、他の第３の位置確認用マーク５２３が形成されている。なお、すべての所定のマークを、アライメントマーク５０１，５０２から部分的に延在したアライメントマークの一部分によって形成してもよい。
【０１１０】
このように、変形例１のインクジェットヘッドでは、少なくとも一部の所定のマークを、アライメントマーク５０１，５０２から延在した一部分５０１Ａ，５０２Ａとして形成することで、アライメントマーク５０１，５０２による位置決めの確認をしやすくなる。また、製造上、所定のマークとアライメントマーク５０１，５０２とを形成しやすくなる。
【０１１１】
このような構成の変形例１のインクジェットヘッドにおいても、基本的には実施の形態のインクジェットヘッド４と同様の作用により、略同様の効果を得ることが可能である。
【０１１２】
［変形例２］
図１２は、変形例２に係るインクジェットヘッドの要部構成例を表す分解斜視図である。この変形例２のインクジェットヘッドは、図９に示した実施の形態のインクジェットヘッド４において、ノズルガード５３０の構造を変更したものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。
【０１１３】
具体的には、実施の形態のインクジェットヘッド４では、ノズルプレート４１１とアクチュエータプレート４１２とを覆うノズルガード５３０をカバー部材として備え、ノズルガード５３０によって所定のマークを覆う。これに対し、変形例２のインクジェットヘッド（図１２）では、ノズルガード５３０に代えて、カバー部材５３１を備えている。カバー部材５３１は、アクチュエータプレート４１２におけるノズルプレート４１１の外周に対応する部分よりも外側の領域を、ノズルプレート４１１におけるアクチュエータプレート４１２との接合面４７１とは反対面側から覆うようになっている。カバー部材５３１には、ノズルプレート４１１の内側に対応する領域に開口５５１が設けられている。
【０１１４】
このようなカバー部材５３１によっても、所定のマークを隠すことができる。これにより、使用中に液体が所定のマークに溜まることを防止し、液体が被記録媒体上に滴るおそれが少なくなる。また、ユーザからは所定のマークが見えないので、インクジェットヘッド４の外観もよくなる。
【０１１５】
このような構成の変形例２のインクジェットヘッドにおいても、基本的には実施の形態のインクジェットヘッド４と同様の作用により、略同様の効果を得ることが可能である。
【０１１６】
［変形例３］
図１３は、変形例３に係るインクジェットヘッド（ノズルプレート４１１Ａ，４１１Ｂ、アクチュエータプレート４１２Ｃ）の要部構成例を、模式的に底面図で表したものである。この変形例３のインクジェットヘッドは、図２および図８に示した実施の形態のインクジェットヘッド４（ノズルプレート４１１、アクチュエータプレート４１２）において、ノズルプレート４１１の構造と、アクチュエータプレート４１２におけるアライメントマーク５０１，５０２および所定のマーク付近の構造とを変更したものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。
【０１１７】
変形例３のインクジェットヘッドは、実施の形態のインクジェットヘッド４におけるノズルプレート４１１に代えて、２つに分割されたノズルプレート４１１Ａ，４１１Ｂを備えている。一方のノズルプレート４１１Ａには、Ｘ軸方向に沿って延在する一方のノズル列Ａｎ１が設けられている。他方のノズルプレート４１１Ｂには、Ｘ軸方向に沿って延在する他方のノズル列Ａｎ２が設けられている。
【０１１８】
一方のノズルプレート４１１Ａと他方のノズルプレート４１１Ｂは、アクチュエータプレート４１２Ｃの下面（接合面４７１）において、Ｙ軸方向に並列配置されている。一方のノズルプレート４１１Ａと他方のノズルプレート４１１Ｂは、Ｙ軸方向において、略中央部に所定の間隔を空けて並列配置されている。
【０１１９】
このように２つに分割されたノズルプレート４１１Ａ，４１１Ｂのそれぞれにおいて、実施の形態のインクジェットヘッド４と同様にして、アライメントマークと所定のマークとを形成してもよい。この場合、Ｙ軸方向における、一方のノズルプレート４１１Ａと他方のノズルプレート４１１Ｂとの間の略中央部の領域に、所定のマークを形成してもよい。
【０１２０】
例えば、図１３に示したように、アクチュエータプレート４１２Ｃのノズルプレート４１１Ａとの接合面４７１における、ノズルプレート４１１Ａの外周に対応する部分よりも外側の領域に、所定のマーク（第１の位置確認用マーク５１１および第３の位置確認用マーク５１４と、他の第１の位置確認用マーク５２１および他の第３の位置確認用マーク５２４）を形成してもよい。また、アクチュエータプレート４１２Ｃのノズルプレート４１１Ｂとの接合面４７１における、ノズルプレート４１１Ｂの外周に対応する部分よりも外側の領域に、所定のマーク（第２の位置確認用マーク５１２および第３の位置確認用マーク５１４と、他の第２の位置確認用マーク５２２および他の第３の位置確認用マーク５２４）を形成してもよい。
【０１２１】
また、例えば、図１３に示したように、ノズルプレート４１１Ａ，４１１Ｂのそれぞれの内側に対応する領域に、アライメントマーク５０１，５０２を形成してもよい。
【０１２２】
なお、図１３において、ドットパターンを付した領域が「ノズルプレート４１１Ａ，４１１Ｂの内側に対応する領域」の一例であり、ドットパターンを付した領域の外側の領域が、「ノズルプレート４１１Ａ，４１１Ｂの外周に対応する部分よりも外側の領域」の一例である。
【０１２３】
このような構成の変形例３のインクジェットヘッドにおいても、基本的には実施の形態のインクジェットヘッド４と同様の作用により、略同様の効果を得ることが可能である。
【０１２４】
＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態および変形例をいくつか挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。
【０１２５】
例えば、上記実施の形態等では、プリンタ、インクジェットヘッドおよびヘッドチップにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。また、上記実施の形態等で説明した各種パラメータの値や範囲、大小関係等についても、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の値や範囲、大小関係等であってもよい。
【０１２６】
具体的には、例えば、上記実施の形態等では、２列タイプの（２列のノズル列Ａｎ１，Ａｎ２を有する）インクジェットヘッド４を挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、１列タイプ（１列のノズル列を有する）のインクジェットヘッドや、３列以上（例えば３列や４列など）の複数例タイプ（３列以上のノズル列を有する）インクジェットヘッドであってもよい。
【０１２７】
また、例えば、上記実施の形態等では、各吐出チャネル（吐出溝）および各ダミーチャネル（非吐出溝）がそれぞれ、アクチュエータプレート４１２内で斜め方向に沿って延在している場合について説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、各吐出チャネルおよび各ダミーチャネルがそれぞれ、アクチュエータプレート４１２内でＹ軸方向に沿って延在するようにしてもよい。
【０１２８】
さらに、例えば、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の断面形状については、上記実施の形態等で説明したような円形状には限られず、例えば、楕円形状や、三角形状等の多角形状、星型形状などであってもよい。
【０１２９】
加えて、上記実施の形態等では、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（上記斜め方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドの例について説明したが、この例には限られない。すなわち、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向に沿ってインク９を吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドにおいて、本開示を適用するようにしてもよい。
【０１３０】
また、上記実施の形態等では、主に、インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドを例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、インク９を循環させずに利用する、非循環式のインクジェットヘッドにおいて、本開示を適用するようにしてもよい。
【０１３１】
さらに、上記実施の形態等で説明した一連の処理は、ハードウェア（回路）で行われるようにしてもよいし、ソフトウェア（プログラム）で行われるようにしてもよい。ソフトウェアで行われるようにした場合、そのソフトウェアは、各機能をコンピュータにより実行させるためのプログラム群で構成される。各プログラムは、例えば、上記コンピュータに予め組み込まれて用いられてもよいし、ネットワークや記録媒体から上記コンピュータにインストールして用いられてもよい。
【０１３２】
加えて、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「ヘッドチップ」および「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「ヘッドチップ」および「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。
【０１３３】
加えて、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。
【０１３４】
なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
【０１３５】
また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、
前記液体が充填される複数の吐出溝を有するアクチュエータプレートと、
前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有し、外形が前記アクチュエータプレートの外形よりも小さく形成され、前記複数の吐出溝を覆うように前記アクチュエータプレートに接合されるノズルプレートと
を備え、
前記アクチュエータプレートの前記ノズルプレートとの接合面における、前記ノズルプレートの外周に対応する部分よりも外側の領域に、前記アクチュエータプレートに対する前記ノズルプレートの位置を確認可能な所定のマークが形成されている
液体噴射ヘッド。
（２）
前記アクチュエータプレートの前記ノズルプレートとの接合面における、少なくとも前記ノズルプレートの内側に対応する領域に、前記アクチュエータプレートに対する前記ノズルプレートの位置決めを行うアライメントマークが形成されている
上記（１）に記載の液体噴射ヘッド。
（３）
前記所定のマークは、前記アクチュエータプレートの前記ノズルプレートとの接合面において、前記アライメントマークとは間隔を空けて、前記アライメントマークの延長線上に形成されている
上記（１）または（２）に記載の液体噴射ヘッド。
（４）
前記所定のマークは、前記アクチュエータプレートの前記ノズルプレートとの接合面において、前記アライメントマークから延在した前記アライメントマークの一部分として形成されている
上記（２）に記載の液体噴射ヘッド。
（５）
前記アライメントマークは、４つの方向に延在する部分を有するＸ字形状であり、前記所定のマークは、前記アライメントマークが延在する４つの方向のうち、少なくとも１つの方向の延長線上に形成されている
上記（２）ないし（４）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（６）
前記所定のマークは、溝形状である
上記（１）ないし（５）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（７）
前記所定のマークの前記溝形状の少なくとも一部は、前記複数の吐出溝と平行に形成されている
上記（６）に記載の液体噴射ヘッド。
（８）
前記アクチュエータプレートを、前記ノズルプレートとの接合面側から覆うカバー部材、をさらに備え、
前記所定のマークは、前記カバー部材によって覆われている
上記（１）ないし（７）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（９）
上記（１）ないし（８）のいずれか１つに記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。
【符号の説明】
【０１３６】
１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）…インクジェットヘッド、４０…流路プレート、１…ヘッドチップ、１０１…ノズルプレート、１０２…アクチュエータプレート、４１１…ノズルプレート、４１２…アクチュエータプレート、４１２Ａ，４１２Ｃ…アクチュエータプレート、４１３…カバープレート、４２０…尾部、４２１，４２２…チャネル列、４４１，４４２…フレキシブルプリント基板、４５１…第１の端面、４５２…第２の端面、４６０…電極分割溝、４７１…接合面、４７２…接合面、４８１…開口、４８２…開口、５０１，５０２…アライメントマーク、５０１Ａ，５０２Ａ…アライメントマークの一部分、５０３，５０４…確認用窓、５１１…第１の位置確認用マーク（所定のマーク）、５１２…第２の位置確認用マーク（所定のマーク）、５１３…第３の位置確認用マーク（所定のマーク）、５１４…第３の位置確認用マーク（所定のマーク）、５２１…他の第１の位置確認用マーク（所定のマーク）、５２２…他の第２の位置確認用マーク（所定のマーク）、５２３…他の第３の位置確認用マーク（所定のマーク）、５２４…他の第３の位置確認用マーク（所定のマーク）、５３０…ノズルガード（カバー部材）、５３１…カバー部材、５４１，５４２…開口、５５１…開口、５…循環機構、５０…循環流路、５０ａ，５０ｂ…流路（供給チューブ）、５２ａ，５２ｂ…送液ポンプ、６…走査機構、６１ａ，６１ｂ…ガイドレール、６２…キャリッジ、６３…駆動機構、６３１ａ，６３１ｂ…プーリ、６３２…無端ベルト、６３３…駆動モータ、９…インク、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向、Ｈ１，Ｈ２…ノズル孔、Ａｎ１，Ａｎ２…ノズル列、Ｃ１，Ｃ２…チャネル、Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅ…吐出チャネル（吐出溝）、Ｃ１ｄ，Ｃ２ｄ…ダミーチャネル（非吐出溝）、Ｗｄ…駆動壁、Ｅｄ…駆動電極、Ｅｄｃ…共通電極（コモン電極）、Ｅｄｃ２…共通電極（コモン電極）、Ｅｄａ…個別電極（アクティブ電極）、Ｗｄａ…個別配線、Ｗｄｃ…共通配線、Ｒin１，Ｒin２…入口側共通インク室、Ｒout１，Ｒout２…出口側共通インク室、Ｓin１，Ｓin２…供給スリット、Ｓout１，Ｓout２…排出スリット、Ｗ１，Ｗ２…壁部、ｈｄ…溝深さ、Ｓ０…溝部。
【図１】
2019089223.tif 000003
【図２】
2019089223.tif 000004
【図３】
2019089223.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2019089223.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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