(57)【要約】【課題】簡便な構成で支障なく走査角範囲や走査方向を較正できる光走査装置を提供する。【解決手段】光走査装置は、光源１５からの光を反射する走査ミラー１７と、駆動信号に基づいて走査ミラー１７を垂直軸線２２及び水平軸線２５の周りで往復回転させるミラー駆動部１８と、走査ミラー１７からの走査光の走査角範囲の範囲内における両側に設定された第１、第２検出領域１１、１２に入射する走査光を検出する走査光検出部７と、走査光検出部７が走査光を検出した時点に基づいて水平駆動信号の強度等を較正する較正部２６とを備える。第１、第２検出領域１１、１２それぞれの水平方向Ｈ両側の端縁のうちの少なくとも１つは、変曲点を有して曲折した形状を有する。【選択図】図３
2019128386.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
前記光源から出力される光を反射する走査ミラーと、
付与される水平駆動信号及び垂直駆動信号に基づいて前記走査ミラーをそれぞれ垂直軸線の周りで回転的な単振動をさせ及び水平軸線の周りで往復回転させることにより前記光源からの光を水平方向及び垂直方向に走査するミラー駆動部と、
前記走査ミラーからの走査光の前記水平方向における走査角範囲の一端に該走査光が横切るように設定された第１検出領域に入射する該走査光を検出する走査光検出部と、
前記走査光検出部による検出結果に基づいて、前記垂直駆動信号の強度又は該走査光の前記垂直方向における走査角範囲の中心方向のずれを較正する較正部とを備え、
前記第１検出領域の前記水平方向両側の端縁のうちの少なくとも１つは、変曲点を有して曲折した形状を有する曲折端縁であり、
前記較正部は、前記走査光検出部による検出結果に基づいて、前記走査光が、前記垂直方向における前記変曲点を含む範囲の複数の走査位置において前記曲折端縁を横切った時点を取得し、該複数の時点に基づいて前記垂直駆動信号の強度又は前記垂直方向における走査角範囲の中心方向のずれを較正することを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
前記較正部は、前記走査光検出部の検出結果に基づいて、前記走査光が前記第１検出領域に前記水平方向の走査角範囲の中心側から入射してから再度該第１検出領域に入射するまでに経過した時間ｔ４を、前記垂直方向に異なる複数の走査位置（ＶＰａ、ＶＰｂ、ＶＰｃ）において取得し、取得した複数の時間ｔ４に基づいて前記走査光の前記垂直方向における走査角範囲の中心方向のずれを較正し、又は該取得した複数の時間ｔ４と、該時間ｔ４を取得した時点での前記水平方向の走査角範囲とに基づいて前記垂直駆動信号の強度を較正することを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項３】
前記走査光検出部は、前記水平方向における走査角範囲の他端に前記走査光が横切るように設定された第２検出領域に入射する該走査光を検出するものであり、
前記較正部は、前記第１検出領域及び前記第２検出領域それぞれの前記水平方向両端縁のうちから選択された３つの端縁について、前記走査光検出部の検出結果に基づいて、前記走査光が、該３つの端縁を順次横切って最初に横切った端縁を再度横切る際に該３つの端縁を横切った４つの時点を取得し、該取得した４つの時点に基づいて前記水平駆動信号の強度又は前記水平方向における走査角範囲の中心方向のずれを較正することを特徴とする請求項１又は２に記載の光走査装置。
【請求項４】
前記第２検出領域の前記水平方向両側の端縁は、前記垂直方向に平行であり、
前記第１検出領域の前記第２検出領域側の端縁は前記垂直方向に平行であり、反対側の端縁は前記曲折端縁であり、
前記較正部は、前記走査光検出部の検出結果に基づいて、前記垂直方向におけるいずれかの走査位置において、前記走査光が前記第２検出領域に、前記水平方向の走査角範囲の中心側から入射してから再度該第２検出領域に入射するまでに経過した時間ｔ１と、その後に前記第１検出領域に入射するまでに経過した時間ｔ２と、前記走査光が前記走査角範囲を１度走査するのに要する時間ｔ３とを取得し、該時間ｔ１〜ｔ３に基づいて、前記水平駆動信号の強度又は前記走査光の前記水平方向における走査角範囲の中心方向のずれを較正することを特徴とする請求項３に記載の光走査装置。
【請求項５】
前記水平駆動信号の強度又は前記垂直駆動信号の強度の較正は、前記走査光検出部による走査光の検出結果に基づいて得られる前記水平方向の走査角範囲又は前記垂直方向の走査角範囲と、予め得られている該水平方向の走査角範囲又は該垂直方向の走査角範囲と該水平駆動信号又は該垂直駆動信号の強度との関係とに基づいて行われることを特徴とする請求項３又は４に記載の光走査装置。
【請求項６】
前記垂直方向の走査範囲における中心方向のずれの較正は、前記垂直駆動信号のオフセットを調整することによって行われることを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項に記載の光走査装置。
【請求項７】
前記水平方向の走査範囲における中心方向のずれの較正は、前記光源からの光の出力タイミングを変更することにより行われることを特徴とする請求項３〜６のいずれか１項に記載の光走査装置。
【請求項８】
光源と、
前記光源から出力される光を反射する走査ミラーと、
付与される水平駆動信号及び垂直駆動信号に基づいて前記走査ミラーをそれぞれ垂直軸線の周りで回転的な単振動をさせ及び水平軸線の周りで往復回転させることにより前記光源からの光を水平方向及び垂直方向に走査するミラー駆動部と、
前記走査ミラーからの走査光の前記水平方向における走査角範囲の両端に該走査光が横切るように設定された第１検出領域及び第２検出領域に入射する該走査光を検出する走査光検出部と、
前記走査光検出部による前記走査光の検出結果に基づいて、前記走査光の走査方向の回転ずれを較正する較正部とを備え、
前記第１検出領域及び前記第２検出領域は、いずれも、前記水平方向両側の端縁のうちの少なくとも１つが、変曲点を有して曲折した形状を有する曲折端縁であり、
前記較正部は、前記走査光検出部の検出結果に基づいて、前記走査光が、前記垂直方向における各変曲点を含む範囲の複数の走査位置において各曲折端縁を横切った時点を取得し、該複数の時点に基づいて、前記走査光の走査方向の回転ずれを較正することを特徴とする光走査装置。
【請求項９】
前記光源は、前記走査光による走査位置と、該走査光の照射により表示すべき画素とのマッピングデータに基づいてオン・オフが制御されるものであり、
前記回転ずれの較正は、前記マッピングデータを変更することにより行うことを特徴とする請求項８に記載の光走査装置。
【請求項１０】
前記走査光検出部は、
光センサと、
前記第１検出領域及び前記第２検出領域に入射する前記走査光を前記光センサに導く導光部とを備えることを特徴とする請求項３〜８のいずれか１項に記載の光走査装置。
【請求項１１】
前記走査ミラーからの前記走査光を反射する走査光反射ミラーを備え、
前記導光部は、
前記走査光反射ミラーに前記第１検出領域及び前記第２検出領域としてそれぞれ設けられた２つのスリットと、
各スリットに入射する前記走査ミラーからの前記走査光を前記光センサに導く拡散板とで構成されることを特徴とする請求項１０に記載の光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動信号の強度、走査方向のずれなどを較正する機能を有する光走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光源からのレーザ光を反射する走査ミラーと、この走査ミラーを往復回転するように駆動する駆動機構とを備え、レーザ光により走査を行う光走査装置が知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
この光走査装置は、走査ミラーの回動に伴って回動する背面ミラーと、サーボ光を発光するサーボ用光源とを備える。この光走査装置では、サーボ光を背面ミラーに照射し、その反射光をＰＳＤ（position sensitive detector）等の光スポット位置センサで検出することによって、レーザ光による走査範囲をモニタしている。
【０００４】
また、水平面内で走査するレーザ光の垂直方向の位置を検出する装置として、少なくとも３辺を有する光電変換素子の受光面を光ビームが横切るときの電気信号の立上り又は立下り時点を利用して当該位置を検出する光ビーム位置検出装置が知られている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２９８６８６号公報
【特許文献２】特開昭６０−１６９７８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１の光走査装置によれば、レーザ光による走査範囲をモニタするためには、走査用光源とは別にサーボ用光源や背面ミラーを要するので、装置構成が複雑化する。
【０００７】
また、走査ミラーをＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイスとしてのデジタル・マイクロミラー・デバイスを用いて光走査装置を構成する場合には、走査ミラーが、背面ミラーを有する両面ミラーとして構成される。このため、走査ミラーの質量が増大し、走査ミラーを駆動する電力の増大や走査性能の低下を招くことになる。
【０００８】
さらに、サーボ用光源などを有しない通常の光走査装置に比べて、複雑化した装置構成を有するので、防塵、防湿対策のためのパッケージ構造としても、かかる装置構成に適合した特殊なものを用いる必要がある。
【０００９】
したがって、特許文献１の光走査装置における走査範囲のモニタ機能を利用して光走査装置における走査範囲や走査方向のずれを較正しようとする場合には、装置構成の複雑化や、性能低下、消費電力の増大が不可避的に伴うことになる。
【００１０】
一方、上記特許文献２の光ビーム位置検出装置によれば、光ビームの走査方向に垂直な方向における位置は検出できるが、走査範囲をモニタすることはできない。したがって、この装置を、光ビームの走査角範囲や走査方向のずれを較正するために利用するのは困難である。
【００１１】
本発明の目的は、かかる従来技術の課題に鑑み、簡便な構成で支障なく走査角範囲や走査方向のずれを較正できる光走査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
第１発明に係る光走査装置は、
光源と、
前記光源から出力される光を反射する走査ミラーと、
付与される水平駆動信号及び垂直駆動信号に基づいて前記走査ミラーをそれぞれ垂直軸線の周りで回転的な単振動をさせ及び水平軸線の周りで往復回転させることにより前記光源からの光を水平方向及び垂直方向に走査するミラー駆動部と、
前記走査ミラーからの走査光の前記水平方向における走査角範囲の一端に該走査光が横切るように設定された第１検出領域に入射する該走査光を検出する走査光検出部と、
前記走査光検出部による検出結果に基づいて、前記垂直駆動信号の強度又は該走査光の前記垂直方向における走査角範囲の中心方向のずれを較正する較正部とを備え、
前記第１検出領域の前記水平方向両側の端縁のうちの少なくとも１つは、変曲点を有して曲折した形状を有する曲折端縁であり、
前記較正部は、前記走査光検出部による検出結果に基づいて、前記走査光が、前記垂直方向における前記変曲点を含む範囲の複数の走査位置において前記曲折端縁を横切った時点を取得し、該複数の時点に基づいて前記垂直駆動信号の強度又は前記垂直方向における走査角範囲の中心方向のずれを較正することを特徴とする。
【００１３】
このような光走査装置において、走査ミラーを長期間駆動すると、駆動時間の経過に応じて水平方向及び垂直方向の走査角範囲が減少する。このため、走査角範囲を一定に維持するには、駆動時間の経過に応じて駆動信号の強度を漸次増大するように較正することが求められる。また、走査ミラーの長期間の駆動により、水平方向又は垂直方向における走査光の走査範囲の中心方向がずれた場合には、これを較正する必要もある。
【００１４】
第１発明において、較正の対象とされる垂直駆動信号の強度又は走査光の垂直方向における走査角範囲の中心方向のずれと、上記の第１検出領域の曲折端縁を走査光が垂直方向の複数の走査位置において横切る複数の時点との間には一定の関係がある。
【００１５】
第１発明では、走査光検出部による検出結果に基づいて該複数の時点を取得し、該複数の時点と上記の関係とに基づいて、垂直駆動信号の強度又は垂直方向における走査範囲の中心方向のずれが較正される。
【００１６】
そして、第１発明によれば、主なハード構成として、従来のようにサーボ用光源や背面ミラーを要することは無く、第１検出領域を横切る走査光を検出する走査光検出部を設けるだけで、上記の較正を行うことができる。したがって、装置の複雑化や性能低下、消費電力の増大を回避しつつ、簡便な構成で上記の較正を行うことができる光走査装置を提供することができる。
【００１７】
第２発明に係る光走査装置は、第１発明において、
前記較正部は、前記走査光検出部の検出結果に基づいて、前記走査光が前記第１検出領域に前記水平方向の走査角範囲の中心側から入射してから再度該第１検出領域に入射するまでに経過した時間ｔ４を、前記垂直方向に異なる複数の走査位置（ＶＰａ、ＶＰｂ、ＶＰｃ）において取得し、取得した複数の時間ｔ４に基づいて前記走査光の前記垂直方向における走査角範囲の中心方向のずれを較正し、又は該取得した複数の時間ｔ４と、該時間ｔ４を取得した時点での前記水平方向の走査角範囲とに基づいて前記垂直駆動信号の強度を較正することを特徴とする。
【００１８】
第２発明によれば、取得した時間ｔ４と、垂直方向の走査光の走査範囲の中心方向にずれがない正常時の時間ｔ４とを比較することにより、該中心方向のずれを把握し、これを較正することができる。
【００１９】
また、取得した複数の時間ｔ４と、該時間ｔ４を取得した時点での水平方向の走査角範囲に基づき、正常時における同じ走査角範囲を有するときの時間ｔ４と、該取得した時間ｔ４とを比較することにより、垂直方向の走査角範囲を把握し、これに基づいて垂直駆動信号の強度を較正することができる。
【００２０】
第３発明に係る光走査装置は、第１又は第２発明において、
前記走査光検出部は、前記水平方向における走査角範囲の他端に前記走査光が横切るように設定された第２検出領域に入射する該走査光を検出するものであり、
前記較正部は、前記第１検出領域及び前記第２検出領域それぞれの前記水平方向両端縁のうちから選択された３つの端縁について、前記走査光検出部の検出結果に基づいて、前記走査光が、該３つの端縁を順次横切って最初に横切った端縁を再度横切る際に該３つの端縁を横切った４つの時点を取得し、該取得した４つの時点に基づいて前記水平駆動信号の強度又は前記水平方向における走査角範囲の中心方向のずれを較正することを特徴とする。
【００２１】
第３発明によれば、第２検出領域を追加的に設定するだけで、装置の複雑化や性能低下、消費電力の増大を回避しつつ、簡便な構成で水平駆動信号の強度又は水平方向における走査角範囲の中心方向のずれを較正することができる。
【００２２】
第４発明に係る光走査装置は、第３発明において、
前記第２検出領域の前記水平方向両側の端縁は、前記垂直方向に平行であり、
前記第１検出領域の前記第２検出領域側の端縁は前記垂直方向に平行であり、反対側の端縁は前記曲折端縁であり、
前記較正部は、前記走査光検出部の検出結果に基づいて、前記垂直方向におけるいずれかの走査位置において、前記走査光が前記第２検出領域に、前記水平方向の走査角範囲の中心側から入射してから再度該第２検出領域に入射するまでに経過した時間ｔ１と、その後に前記第１検出領域に入射するまでに経過した時間ｔ２と、前記走査光が前記走査角範囲を１度走査するのに要する時間ｔ３とを取得し、該時間ｔ１〜ｔ３に基づいて、前記水平駆動信号の強度又は前記走査光の前記水平方向における走査角範囲の中心方向のずれを較正することを特徴とする。
【００２３】
第４発明によれば、時間ｔ１、時間ｔ２、時間ｔ３を取得し、これらの値に基づいた計算処理などを行うだけで、水平駆動信号の強度若しくは水平方向における走査角範囲の中心方向のずれを較正することができる。
【００２４】
第５発明に係る光走査装置は、第３又は第４発明において、前記水平駆動信号の強度又は前記垂直駆動信号の強度の較正は、前記走査光検出部による走査光の検出結果に基づいて得られる前記水平方向の走査角範囲又は前記垂直方向の走査角範囲と、予め得られている該水平方向の走査角範囲又は該垂直方向の走査角範囲と該水平駆動信号又は該垂直駆動信号の強度との関係とに基づいて行われることを特徴とする。
【００２５】
第５発明によれば、走査光検出部が走査光を検出すると同時に、水平駆動信号又は垂直駆動信号の強度をリアルタイムで較正することができる。
【００２６】
第６発明に係る光走査装置は、第１〜第５のいずれかの発明において、前記垂直方向の走査範囲における中心方向のずれの較正は、前記垂直駆動信号のオフセットを調整することによって行われることを特徴とする。
【００２７】
第６発明によれば、垂直方向における走査範囲の中心の方向にずれがあることが判明した時点でリアルタイムに該ずれを較正することができる。
【００２８】
第７発明に係る光走査装置は、第３〜第６のいずれかの発明において、前記水平方向の走査範囲における中心方向のずれの較正は、前記光源からの光の出力タイミングを変更することにより行われることを特徴とする。
【００２９】
第７発明によれば、走査光の水平方向における走査範囲の中心の方向のずれがあることが判明した時点で直ちに、このずれを較正することができる。
【００３０】
第８発明に係る光走査装置は、
光源と、
前記光源から出力される光を反射する走査ミラーと、
付与される水平駆動信号及び垂直駆動信号に基づいて前記走査ミラーをそれぞれ垂直軸線の周りで回転的な単振動をさせ及び水平軸線の周りで往復回転させることにより前記光源からの光を水平方向及び垂直方向に走査するミラー駆動部と、
前記走査ミラーからの走査光の前記水平方向における走査角範囲の両端に該走査光が横切るように設定された第１検出領域及び第２検出領域に入射する該走査光を検出する走査光検出部と、
前記走査光検出部による前記走査光の検出結果に基づいて、前記走査光の走査方向の回転ずれを較正する較正部とを備え、
前記第１検出領域及び前記第２検出領域は、いずれも、前記水平方向両側の端縁のうちの少なくとも１つが、変曲点を有して曲折した形状を有する曲折端縁であり、
前記較正部は、前記走査光検出部の検出結果に基づいて、前記走査光が、前記垂直方向における各変曲点を含む範囲の複数の走査位置において各曲折端縁を横切った時点を取得し、該複数の時点に基づいて、前記走査光の走査方向の回転ずれを較正することを特徴とする。
【００３１】
第８発明によれば、主なハード構成として、第１検出領域及び第２検出領域を横切る走査光を検出する走査光検出部を設けるだけで、上記の回転ずれを較正することができる。したがって、装置の複雑化や性能低下、消費電力の増大を回避しつつ、簡便な構成で上記の回転ずれを較正できる光走査装置を提供することができる。
【００３２】
第９発明に係る光走査装置は、第８発明において、
前記光源は、前記走査光による走査位置と、該走査光の照射により表示すべき画素とのマッピングデータに基づいてオン・オフが制御されるものであり、
前記回転ずれの較正は、前記マッピングデータを変更させることにより行うことを特徴とする。
【００３３】
第９発明によれば、上記の回転ずれがあることが判明した時点で、データ変更のみで直ちに回転ずれを較正することができる。
【００３４】
第１０発明に係る光走査装置は、第３〜第８のいずれかの発明において、
前記走査光検出部は、
光センサと、
前記第１検出領域及び前記第２検出領域に入射する前記走査光を前記光センサに導く導光部とを備えることを特徴とする。
【００３５】
第１０発明によれば、１つの光センサを用いるだけで、第１検出領域及び第２検出領域に入射する走査光を検出することができる。
【００３６】
第１１発明に係る光走査装置は、第１０発明において、
前記走査ミラーからの前記走査光を反射する走査光反射ミラーを備え、
前記導光部は、
前記走査光反射ミラーに前記第１検出領域及び前記第２検出領域としてそれぞれ設けられた２つのスリットと、
各スリットに入射する前記走査ミラーからの前記走査光を前記光センサに導く拡散板とで構成されることを特徴とする。
【００３７】
第１１発明によれば、走査光反射ミラーの後ろ側のスペースを活用して、第１検出領域及び第２検出領域に入射する走査光を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る光走査装置を備えた車両用前照灯の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の車両用前照灯の蛍光体パネルにおける走査軌跡を示す図である。
【図３】図１の車両用前照灯において、各２次元走査光源からの走査光を蛍光体パネル３に照射する様子を例示する側面図である。
【図４】図１の車両用前照灯における偏向装置の一例を示す斜視図である。
【図５】図１の車両用前照灯における較正部の構成を示すブロック図である。
【図６】図１の車両用前照灯における第１検出領域及び第２検出領域を走査光が横切る垂直方向の走査位置を例示する図である。
【図７】図６の垂直方向の走査位置において第１検出領域及び第２検出領域に走査光が入射したことにより走査光検出部の光センサが出力するパルスを例示する波形図である。
【図８】図５の較正部における水平駆動信号較正部及び水平走査光軸較正部での較正の原理を説明するための説明図である。
【図９】図５の較正部の垂直駆動信号較正部における較正の原理を示す説明図であり、図９Ａは、時間ｔ４の計測値と正常時の値とが一致している場合を示しており、図９Ｂは、時間ｔ４の計測値が正常値よりも大きい場合を示しており、図９Ｃは、時間ｔ４の計測値が正常値よりも小さい場合を示している。
【図１０】図５の較正部の垂直走査光軸較正部において垂直方向の走査光軸の方向を較正する原理を説明するための説明図である。
【図１１】本発明の別の実施形態に係る車両用前照灯において走査光の入射時点が検出される第１検出領域及び第２検出領域の形状を例示する図である。
【図１２】図１１の第１検出領域及び第２検出領域に走査光が入射したことにより走査光検出部の光センサが出力するパルスを例示する波形図である。
【図１３】図１１の光走査装置において走査光の回転ずれを較正する原理を説明するための説明図であり、図１３Ａ及び図１３Ｂでは、回転ずれのない正常時において計測した時間ｔ１及びｔ４の値を例示するグラフ曲線を示しており、図１３Ｃ及び図１３Ｄでは、回転ずれがある場合において計測した時間ｔ１及びｔ４の値を例示するグラフ曲線を示している。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、図面を用いて本発明の実施形態を説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る光走査装置を備えた車両用前照灯の構成を示すブロック図である。
【００４０】
図１に示すように、車両用前照灯１は、４つの２次元走査光源２と、各２次元走査光源２からの走査光が照射されて可視光を出射する蛍光体を有する蛍光体パネル３と、蛍光体パネル３からの可視光を結像して道路４に照射する結像光学系５とを備える。
【００４１】
２次元走査光源２と蛍光体パネル３との間に、各２次元走査光源２からの走査光を蛍光体パネル３に向けて反射する２次元走査光源２毎の走査光反射ミラー６を設けてもよい。走査光反射ミラー６としては、平坦面のミラーでよいが、曲面で構成された曲面ミラーや、走査光の歪を補正する補正ミラーであってもよい。
【００４２】
蛍光体パネル３や走査光反射ミラー６の近傍には、２次元走査光源２毎に、２次元走査光源２からの走査光が横切るように、後述する第１検出領域及び第２検出領域が設定される。また、該第１、第２検出領域に入射する走査光を検出し、検出信号パルスを出力する走査光検出部７が設けられる。
【００４３】
後述するように、走査光検出部７からの出力に基づき、各２次元走査光源２に供給される水平駆動信号及び垂直駆動信号の強度、並びに各２次元走査光源２からの走査光についての水平方向及び垂直方向における走査角範囲の中心方向のずれが、制御部８によって較正される。以下、「走査角範囲の中心」のことを、「走査光軸」という。
【００４４】
各２次元走査光源２は、制御部８から供給される水平駆動信号及び垂直駆動信号に基づいて走査光を出力する。また、制御部８は、蛍光体パネル３における走査光の各照射位置と画素とをマッピングしたマッピングデータに基づいて、走査光がその走査速度に同期して変調されるように、２次元走査光源２を制御する。
【００４５】
なお、本発明に従った光走査装置は、この車両用前照灯１における２次元走査光源２、走査光検出部７及び制御部８（後述する較正部）により構成される。走査光反射ミラー６は、光走査装置の任意的な構成要素である。
【００４６】
図２は、各２次元走査光源２からの走査光の蛍光体パネル３に対する走査軌跡９を示す。２次元走査光源２は、図２に示すように、走査光を、走査軌跡９に沿って水平方向Ｈ及び垂直方向Ｖに照射する。これにより走査光は、蛍光体パネル３上の画像形成領域１０上に２次元走査画像を形成する。
【００４７】
画像形成領域１０は、水平方向Ｈ及び垂直方向Ｖそれぞれの走査角範囲の範囲内に含まれる。上述の第１検出領域１１及び第２検出領域１２は、水平方向Ｈにおける走査角範囲の両端に設定される。
【００４８】
本明細書において、走査角範囲とは、走査光が水平方向Ｈ又は垂直方向Ｖに一方の端から他方の端まで振れる際の該一方の端の走査光と該他方の端の走査光がなす角度（走査角の範囲）を意味する。したがって、水平駆動信号又は垂直駆動信号の強度に応じて、水平方向Ｈ又は垂直方向Ｖの走査角範囲は変化する。
【００４９】
第１検出領域１１及び第２検出領域１２は、それぞれ垂直方向Ｖに延びた領域である。第２検出領域１２は長方形状を有し、その水平方向Ｈ両側の端縁Ａ及びＢは、垂直方向Ｖに平行である。第１検出領域１１の蛍光体パネル３側の端縁Ｃは垂直方向Ｖに平行である。
【００５０】
第１検出領域１１の蛍光体パネル３と反対側の端縁Ｄは、中間で変曲点ＰＩを有して「Ｖ」字状に折れ曲がった形状を有する曲折端縁である。このため、端縁Ｄの水平方向Ｈの位置は、垂直方向Ｖにおける両端側から変曲点ＰＩに向かうに従って端縁Ｃに近づくように変化する。
【００５１】
なお、各２次元走査光源２からの走査光は、垂直方向Ｖに平行な垂直軸線及び水平方向Ｈに平行で垂直軸線に直交する水平軸線の周りに往復回転される走査ミラーにより水平方向Ｈ及び垂直方向Ｖに走査されたものである。したがって、上記の第１検出領域１１及び第２検出領域１２は、走査光の原点から見て、これらの領域が蛍光体パネル３の面を含む面上に位置すると仮定した場合に、上記の形状を有していればよい。
【００５２】
図３は、各２次元走査光源２からの走査光を、走査光反射ミラー６を介して蛍光体パネル３に照射する様子を例示する。この例では、第１検出領域１１及び第２検出領域１２を、走査光反射ミラー６に設けたスリット１３及び１４によりそれぞれ構成している。２次元走査光源２は、光源１５と、光源１５からの光を走査する偏向装置１６とで構成される。
【００５３】
光源１５としては、例えばレーザ光のようなコヒーレント性を有する光を出力するものが好ましく用いられる。光源１５は、出力する光のオン・オフなどの変調のタイミングと走査速度との兼ね合いで蛍光体パネル３に所望のパターンが投影されるように、オン・オフのタイミングなどが制御部８により制御される。図１のように、４つの２次元走査光源２からの走査光が蛍光体パネル３上に照射され、１つのパターンが形成される。
【００５４】
このため、走査ミラーの長期間の駆動に拘わらず、４つの２次元走査光源２は、いずれにおいても、水平方向Ｈ及び垂直方向Ｖの走査角範囲が一定で、かつ、水平方向Ｈ及び垂直方向Ｖにおける走査光軸（走査範囲の中心）の方向が一定であることが求められる。
【００５５】
偏向装置１６は、光源１５からの光を反射する走査ミラー１７と、走査ミラー１７を駆動するミラー駆動部１８とを備える。ミラー駆動部１８は、制御部８から付与される水平駆動信号及び垂直駆動信号に基づいて走査ミラー１７をそれぞれ垂直軸線の周りで回転的な単振動をさせ及び水平軸線の周りで往復回転させることにより光源１５からの光を水平方向Ｈ及び垂直方向Ｖに走査する機能を有する。
【００５６】
図４は、偏向装置１６の一例を示す。走査ミラー１７は、搖動反射面１９を有し、図４におけるその他の部分としてのミラー駆動部１８により駆動される。
【００５７】
ミラー駆動部１８は、走査ミラー１７を支持する第１支持部２０と、一端が走査ミラー１７に、他端が第１支持部２０にそれぞれ連結された第１圧電アクチュエータ２１ａ、２１ｂを備える。第１圧電アクチュエータ２１ａ、２１ｂを圧電駆動することにより、第１支持部２０に対して走査ミラー１７を、垂直軸線２２の周りに回転させる。
【００５８】
また、ミラー駆動部１８は、第１支持部２０を支持する第２支持部２３と、一端が第１支持部２０、他端が第２支持部２３にそれぞれ連結された第２圧電アクチュエータ２４とを備える。第２圧電アクチュエータ２４を圧電駆動することにより、第１支持部２０を第２支持部２３に対して水平軸線２５の周りに揺動させることができる。
【００５９】
この偏向装置１６は、特開２０１３−７７７９号公報に記載されたものと同様のものであるが、偏向装置１６としては、これに限らず、他のＭＥＭＳミラーなどを用いてもよい。
【００６０】
走査ミラー１７は、ミラー駆動部１８の第１圧電アクチュエータ２１ａ、２１ｂに印加される所定周波数、例えば３０ｋＨｚの水平駆動信号により回転的な単振動を呈して往復回転する。この周波数としては、極力大きな走査角範囲で走査できるように共振周波数が選択される。
【００６１】
また、走査ミラー１７は、ミラー駆動部１８の第２圧電アクチュエータ２４に印加される所定周波数、例えば６０Ｈｚの垂直駆動信号により往復回転する。これにより、走査ミラー１７は、光源１５からの光を、水平方向Ｈに３０ｋＨｚ、垂直方向Ｖに６０Ｈｚで走査する。
【００６２】
ただし、一定強度の水平駆動信号及び垂直駆動信号で駆動していると、走査ミラー１７による走査光の水平方向Ｈ及び垂直方向Ｖの走査角範囲は、走査ミラー１７の駆動時間の経過とともに減少する。
【００６３】
例えば、初期値が±７．５°程度であった水平方向Ｈの走査角範囲が、３００時間の駆動後には、６．８°程度に減少する。したがって、蛍光体パネル３上に所望のパターンを正確な寸法で投影するために、走査角範囲が減少しないように、駆動信号の強度が適宜較正される。
【００６４】
また、水平方向Ｈ及び垂直方向Ｖにおける走査光軸の方向が変位したことが判明した場合には、該方向が較正される。
【００６５】
これらの較正を行うために、光走査装置は、上述の第１検出領域１１及び第２検出領域１２に入射する走査光を検出する走査光検出部７と、水平駆動信号及び垂直駆動信号の強度、並びに水平方向Ｈ及び垂直方向Ｖの走査光軸の方向のずれを較正する較正部２６（図５参照）とを備える。これらの較正を、較正部２６は、走査光検出部７による走査光の検出結果に基づいて行う。
【００６６】
走査光検出部７は、図３のように、光センサ２７と、第１検出領域１１及び第２検出領域１２に入射する２点鎖線で示される走査光を光センサ２７に導く導光部２８とを備える。導光部２８は、上述の第１検出領域１１及び第２検出領域１２をそれぞれ構成するスリット１３及び１４と、スリット１３及び１４に入射する走査光を拡散して光センサ２７に導く拡散板２９とで構成される。
【００６７】
図５は較正部２６の構成を示す。較正部２６は、図５に示すように、水平駆動信号の強度を較正する水平駆動信号較正部３０及び垂直駆動信号の強度を較正する垂直駆動信号較正部３１を備える。また、較正部２６は、水平方向Ｈの走査光軸の方向のずれを構成する水平走査光軸較正部３２及び垂直方向Ｖの走査光軸の方向のずれを構成する垂直走査光軸較正部３３を備える。較正部２６は、制御部８により構成することができる。
【００６８】
図６及び図７は、走査光検出部７が出力する検出信号パルスの一例を示す。較正部２６は、このパルスが出力される時点を利用して上記の各較正を行う。図７では、図６のように第１検出領域１１及び第２検出領域１２を走査光が垂直方向Ｖの各走査位置ＶＰａ、ＶＰｂ、ＶＰｃにおいて横切るときに走査光検出部７の光センサ２７が出力するパルスが示されている。
【００６９】
較正部２６は、第１検出領域１１及び第２検出領域１２の端縁Ａ〜Ｄを横切った時点を、光センサ２７が出力するパルスの立上り時点又は立下り時点として取得することができる。
【００７０】
なお、垂直方向Ｖの走査位置ＶＰａ、ＶＰｂ、ＶＰｃは、実際の位置ではなく、走査線を基準とする位置であり、走査線番号に対応する位置である。したがって、走査線の間隔が変化した場合、これに応じて、実際に走査光が照射される位置は変化するが、走査位置は変化しない。
【００７１】
図７において、図６の第２検出領域１２の端縁Ａ及び端縁Ｂ、第１検出領域１１の端縁Ｃ及び端縁Ｄをそれぞれ走査光が横切るときの時点を、端縁Ａ〜Ｄに対応させて、同じ符号Ａ〜Ｄで示している。第１検出領域１１及び第２検出領域１２に走査光が入射している期間ではパルスが立ち下がった状態（低信号レベル状態）であり、他の期間では立ち上がった状態（高信号レベル状態）となっている。
【００７２】
水平駆動信号較正部３０及び水平走査光軸較正部３２は、図７中の時間ｔ１〜ｔ３に基づいて、水平駆動信号の強度及び水平方向Ｈの走査光軸の方向のずれを較正する。時間ｔ１は、走査光が端縁Ｂを水平方向Ｈに走査角範囲の端の方向に横切った後、端縁Ａを走査範囲の端の方から横切るまでに経過した時間である。
【００７３】
時間ｔ２は、該時間ｔ１が経過した後、端縁Ｃを横切るまでに経過した時間である。時間ｔ３は、上記のように走査光が端縁Ｂを走査範囲の端の方向に横切ってから端縁Ｂを同じ方向に横切るまでに経過した時間、すなわち一周期である。
【００７４】
図８は、水平駆動信号較正部３０及び水平走査光軸較正部３２における較正の原理を示す。この較正を行う時点としては、例えば、車両用前照灯１の動作開始時や、動作中における１フレームの描画毎のタイミングが該当する。ただし、ミラー駆動部１８の駆動開始時には、走査角範囲が例えば２．８％程度瞬間的に大きくなるので、かかる時点を避けて較正を行うのが好ましい。
【００７５】
走査ミラー１７に入射する走査光と反射する走査光とがなす角度を偏向角θと定義し、走査ミラー１７が中立位置にあるときの走査光の偏向角θを０°とする。そして、駆動されている走査ミラー１７からの走査光の水平方向Ｈにおける１走査周期Ｔ毎に偏向角が０°となる時点を基準時点Ｓとする。走査ミラー１７が、周波数ωの水平駆動信号によって振幅Φで単振動し、基準時点Ｓからの経過時間をｔとすると、走査光の偏向角θ（ビーム方向）は、
θ＝Φｓｉｎωｔ
で表わされる。なお、上述の時間ｔ３は１周期であるから、ω＝２π／ｔ３［Ｈｚ］である。
【００７６】
基準時点Ｓから第２検出領域１２の略中心の偏向角θｐａまで走査光が振れるのに要する時間ｔｐａは、
tpa=(1/2)×{(t3-t1)-t3/2}=(1/4)×(t3-2×t1)
よって、
θｐａ／Φ＝ｓｉｎ（ω×１／４×（ｔ３−２×ｔ１））＝Ｒａ
また、走査原点（図４の水平軸線２５と垂直軸線２２との交点）Ｏから見た場合の第２検出領域１２の略中心と端縁Ｂとの角度差をΔθとすると、基準時点Ｓから、第１検出領域１１の端縁Ｃよりも端縁Ｄ側にΔθだけ異なる偏向角θｐｂまで走査光が振れるのに要する時間ｔｐｂは、
tpb=(1/2)×[{t3-(t3-t1-2×t2)}-t3/2]=(1/4)×(2×t1+4×t2-t3)
よって、
θｐｂ／Φ＝ｓｉｎ（ω×１／４×（２×ｔ１＋４×ｔ２−ｔ３））＝Ｒｂ
θｐａ＋θｐｂは、第２検出領域１２及び第１検出領域１１の配置で決まる規定値であるから、θｐａ＋θｐｂ＝Ｅとおくと、
θｐａ＝Ｅ×Ｒａ／（Ｒａ＋Ｒｂ）
θｐｂ＝Ｅ×Ｒｂ／（Ｒａ＋Ｒｂ）
走査角範囲２Φは、
２Φ＝θｐａ／Ｒａ＋θｐｂ／Ｒｂ
Φ＝Ｅ／（Ｒａ＋Ｒｂ）
＝(θpa+θpb)/{sin(ω×1/4×(t3-2×t1))+sin(ω×1/4×(2×t1+4×t2-t3))}
また、水平方向Ｈの走査光軸の方向が水平方向Ｖにずれると、偏向角θｐａ及びθｐｂが、それぞれ例えば、Δθｐａ及びΔθｐｂだけ変化するので、この偏向角θｐａ及びθｐｂの基準値と計測値とを比較することにより、そのずれ量Δθｐａ及びΔθｐｂを把握することができる。
【００７７】
したがって、水平駆動信号較正部３０及び水平走査光軸較正部３２は、このようにして得られる走査角範囲２Φ及び偏向角θｐａ及びθｐｂの計測値が基準値に一致するように、水平駆動信号の強度及び水平方向Ｈの走査光軸の方向のずれを較正する。
【００７８】
水平駆動信号の強度の較正は、例えば、計測された水平方向Ｈの走査角範囲２Φと、予め得られている水平方向Ｈの走査角範囲と水平駆動信号の強度との関係とに基づいて行うことができる。すなわち、水平駆動信号の強度及び走査角範囲２Φの種々の値に対応する水平駆動信号の強度の較正値を、予め、強度−走査角範囲対応テーブルとして取得しておく。
【００７９】
そして、較正時には、このテーブルを参照して、計測された走査角範囲２Φに対応する水平駆動信号の較正値を取得する。この較正値を、制御部８の水平駆動信号供給部３５に伝えることにより、水平駆動信号の強度の較正を行うことができる。
【００８０】
水平方向Ｈにおける走査光軸の方向のずれの較正は、例えば、上記の偏向角θｐａ及びθｐｂの計測値の基準値に対するずれが解消されるように光源１５からの光の出力タイミングを変更することによって行うことができる。すなわち、走査光による走査位置と蛍光体パネル３に表示すべき画素とをマッピングしたマッピングデータを変更（表示位置を変更）するように、制御部８の画素マッピング部３６に指示することによって行うができる。
【００８１】
垂直駆動信号較正部３１は、図７中の時間ｔ４と、該時間ｔ４の計測時における上記の水平方向Ｈの走査角範囲２Φとに基づいて垂直方向Ｖの走査角範囲の過不足を判定し、垂直駆動信号の強度を較正する。時間ｔ４は、走査光が端縁Ｃを走査範囲の端の方向に横切ってから端縁Ｄを該端の方向から横切るまでに経過した時間である。
【００８２】
図９Ａ〜図９Ｃは、この垂直駆動信号較正部３１における較正の原理を示す。図９Ａ〜図９Ｃにおいては、図６の垂直方向Ｖの位置ＶＰａ、ＶＰｂ、ＶＰｃ及びこれらの間の位置における上記の時間ｔ４を計測した結果（実線）と、正常時の時間ｔ４（破線）とを比較した例が示されている。
【００８３】
図９Ａでは、時間ｔ４の計測値と正常時の値とが一致している。図９Ｂでは、時間ｔ４の実線で示される計測値が破線で示される正常値よりも大きい。これは、垂直方向Ｖの走査角範囲が基準値よりも小さいことを意味する。
【００８４】
このことは、該走査角範囲が基準値よりも小さい場合には、走査線の間隔が狭くなるので、真ん中の走査線番号を除けば、同じ走査線番号（垂直走査位置）において端縁Ｃを横切ってから端縁Ｄを横切るまでの時間ｔ４が正常時の場合よりも短くなり、図９Ｂの状態となることから理解される。
【００８５】
図９Ｃでは、時間ｔ４の実線で示される計測値が破線で示される正常値よりも小さい。これは、同様の理由により、垂直方向Ｖの走査角範囲が基準値よりも大きいことを意味する。
【００８６】
このような時間ｔ４の計測値と正常値との比較結果に基づき、計測値を正常値に一致させる垂直駆動信号の強度の較正値を取得し、制御部８の垂直駆動信号供給部３７に伝えることにより、垂直駆動信号の強度の較正を行うことができる。
【００８７】
較正値の取得は、例えば、垂直方向Ｖの各走査位置（走査線番号）における時間ｔ４の計測値と正常値との差と、対応する較正値とを含む対応テーブルを予め取得しておき、この対応テーブルを参照することにより、直ちに行うことができる。
【００８８】
ただし、水平方向Ｈの走査角範囲の変動に応じて、時間ｔ４の測定値も変動する。したがって、上記対応テーブルにおいては、変動し得る水平方向Ｈの走査角範囲の値毎に、時間ｔ４の正常値が準備される。したがって、時間ｔ４の測定時における水平方向Ｈの走査角範囲２Φを、上述の図８を用いて説明した原理により求め、この走査角範囲２Φを用いて上記対応テーブルが参照される。
【００８９】
あるいは、直前に得られた走査角範囲２Φによって水平駆動信号の強度を上述のように較正し、あるいは走査角範囲２Φが基準値に適合することを確認してから、これに対応する正常値としての時間ｔ４の値を参照して、垂直駆動信号の強度の較正を行ってもよい。いずれにしても、この較正は、直前に得られた走査角範囲２Φを参照して行われる。
【００９０】
図１０は、垂直走査光軸較正部３３における構成原理を示す。図１０では、上述の図９Ａの場合と同様に、図６の垂直方向Ｖの走査位置ＶＰａ、ＶＰｂ、ＶＰｃ及びこれらの間の位置における上記の時間ｔ４を計測した結果（実線）と、正常時の時間ｔ４（破線）とを比較した例が示されている。上述の図９Ａにおいては、垂直方向Ｖの走査光軸の方向がずれていない正常の場合が示されている。
【００９１】
図１０では、該走査光軸がずれているため、破線で示される正常時の時間ｔ４の値を示すグラフ曲線に対し、実線で示される計測された時間ｔ４を示すグラフ曲線が垂直方向Ｖにずれている。このずれ量は、上述の端縁Ｄの変曲点ＰＩに対応するこれらグラフ曲線の変曲点ｐｉの垂直方向Ｖにおけるずれ量Δｐとして把握することができる。
【００９２】
垂直走査光軸較正部３３は、このようにして把握した垂直方向Ｖの走査光軸方向のずれ量を相殺できる垂直駆動信号のオフセットの修正量を制御部８の垂直駆動信号供給部３７に通知することにより、該ずれ量を較正することができる。
【００９３】
すなわち、垂直方向Ｖについては、上述の走査ミラー１７は非共振駆動で駆動され、走査光は垂直駆動信号の強度に対応した角度で照射される。したがって、該強度を修正して走査光の照射角度を全体的にずらし、該強度のオフセットを調整すことにより、走査光軸のずれが較正される。
【００９４】
以上のように、本実施形態によれば、主なハード構成として、従来のようにサーボ用光源や背面ミラーを要することは無く、第１、第２検出領域１１及び１２を横切る走査光を検出する走査光検出部７を設けるだけで、上記の較正を行うことができる。したがって、装置の複雑化や性能低下、消費電力の増大を回避しつつ、簡便な構成で上記の較正を行うことができる光走査装置を提供することができる。
【００９５】
図１１は、本発明の第２実施形態に係る車両用前照灯における第１検出領域１１ｂ及び第２検出領域１２ｂの形状を示す。図１２は、第１検出領域１１ｂ及び第２検出領域１２ｂを垂直方向Ｖの位置ＶＰａ、ＶＰｂ、ＶＰｃにおいて水平方向Ｈに走査光が横切るときに走査光検出部７の光センサ２７が出力するパルスの例を示す。
【００９６】
図１１に示すように、第１検出領域１１ｂ及び第２検出領域１２ｂは、いずれも中間部が画像形成領域１０に近接する方向に曲折している。すなわち、端縁Ａ〜端縁Ｄのいずれも、中間部の変曲点ＰＩを有して「Ｖ」字状に曲折した形状を有する。端縁Ａ〜端縁Ｄの変曲点ＰＩの垂直方向Ｖの位置は同一である。この場合、図１２からわかるように、時間ｔ４に加え、時間ｔ１、ｔ２も垂直方向Ｖの位置ＶＰａ、ＶＰｂ、ＶＰｃ・・・に応じて変化する。
【００９７】
図１３Ａ〜図１３Ｄは、この点を利用して走査光の走査方向の回転ずれを較正する原理を示す。図１３Ａ及び図１３Ｂでは、回転ずれのない正常時において、垂直方向Ｖの各位置（ＶＰａ、ＶＰｂ、ＶＰｃなど）について計測した時間ｔ１及びｔ４の値を例示するグラフ曲線３８及びグラフ曲線３９が示されている。
【００９８】
図１３Ｃ及び図１３Ｄでは、回転ずれがある場合において、垂直方向Ｖの各位置ＶＰａ、ＶＰｂ、ＶＰｃなど）で計測した時間ｔ１及びｔ４の値をそれぞれ例示するグラフ曲線４０及びグラフ曲線４１が示されている。
【００９９】
図１３Ａ及び図１３Ｂのように、回転ずれがない正常時には、グラフ曲線３８及びグラフ曲線３９の変曲点ｐｉの垂直方向Ｖの位置が一致する。また、図１３Ｃ及び図１３Ｄに示されるように、回転ずれがある場合には、グラフ曲線４０及びグラフ曲線４１の変曲点ｐｉの位置が垂直方向Ｖにずれる。このずれ量Δｖ１＋Δｖ２が、走査光の回転ずれの量に対応する。
【０１００】
車両用前照灯の較正部は、この点を利用して、回転ずれ量を把握し、上述の制御部８の画素マッピング部３６におけるマッピングデータを、このずれ量を相殺するように変更させることによって該回転ずれを較正することができる。
【０１０１】
なお、本実施形態では、上記の規定値θｐａ＋θｐｂの値は、垂直方向Ｖに応じて変化する。したがって、上述の図８の原理を用いる際には、例えば、第１検出領域１１ｂや第２検出領域１２ｂの変曲点ＰＩに対応する垂直方向Ｖの位置（走査線番号）において計測を行い、水平方向Ｈの走査角範囲が取得される。また、その際に計測されたθｐａ、θｐｂを同位置における規定値としてのθｐａ、θｐｂの値と比較することによって、水平方向Ｈの走査光軸方向のずれ量を把握することができる。
【０１０２】
本実施形態によれば、走査光の回転ずれの較正に加え、それぞれが変曲点ＰＩを有する端縁Ａ〜Ｄを活用することにより、水平駆動信号及び垂直駆動信号の強度、水平方向Ｈ及び垂直方向Ｖにおける走査光軸の方向のずれをより正確に較正することができる。
【０１０３】
なお、本実施形態において、言及しなかった点については、図１〜図１０の第１実施形態の場合と同様である。
【０１０４】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、本発明の光走査装置は、上記した車両用前照灯に限らず、ＡＤＢ（Adaptive Driving Beam）システムを備えた配光可変ヘッドランプ、マーキングランプなどの車両用の灯具や、プロジェクタなどにも適用することができる。
【０１０５】
また、水平駆動信号の強度又は水平方向Ｈにおける走査角範囲の中心方向のずれを較正する際に、端縁Ｂ、Ａ、Ｃを順次横切って最初に横切った端縁Ｂを再度横切る際に該３つの端縁Ｂ、Ｃ、Ｄを横切った４つの時点を取得し、較正を行っている。しかし、この代わりに、他の３つの端縁、例えば端縁Ｃ、Ｄ、Ｂを順次横切って最初に横切った端縁を再度横切る際に該３つの端縁を横切った４つの時点を取得し、該取得した４つの時点に基づいて較正を行ってもよい。
【符号の説明】
【０１０６】
１…車両用前照灯、２…２次元走査光源、３…蛍光体パネル、４…道路、５…結像光学系、６…走査光反射ミラー、７…走査光検出部、８…制御部、９…走査軌跡、１０…画像形成領域、１１、１１ｂ…第１検出領域、１２、１２ｂ…第２検出領域、１３、１４…スリット、１５…光源、１６…偏向装置、１７…走査ミラー、１８…ミラー駆動部、１９…搖動反射面、２０…第１支持部、２１ａ、２１ｂ…第１圧電アクチュエータ、２２…垂直軸線、２３…第２支持部、２４…第２圧電アクチュエータ、２５…水平軸線、２６…較正部、２７…光センサ、２８…導光部、２９…拡散板、３０…水平駆動信号較正部、３１…垂直駆動信号較正部、３２…水平走査光軸較正部、３３…垂直走査光軸較正部、３５…水平駆動信号供給部、３６…画素マッピング部、３７…垂直駆動信号供給部、３８〜４１…グラフ曲線、ＰＩ、ｐｉ…変曲点。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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