(57)【要約】【課題】基板に配置された電極や配線がダメージを受け難く、特性劣化が生じ難い物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】本発明の物理量センサーは、基板と、前記基板と重なるように配置されている素子部と、前記基板に、前記素子部と対向するように配置されている導体パターンと、前記基板と前記素子部とが重なる方向からの平面視で、前記導体パターンの前記素子部から露出する露出部の少なくとも一部を覆う保護膜と、を含んでいる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板と重なるように配置されている素子部と、
前記基板に、前記素子部と対向するように配置されている導体パターンと、
前記基板と前記素子部とが重なる方向からの平面視で、前記導体パターンの前記素子部から露出する露出部の少なくとも一部を覆う保護膜と、を含むことを特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
請求項１において、
前記素子部は、第１質量部および第２質量部を含む可動部と、
前記基板に取り付けられている固定部と、
前記可動部と前記固定部とを接続している梁部と、を含み、
前記導体パターンは、
前記第１質量部と対向して配置されている第１固定電極と、
前記第２質量部と対向して配置されている第２固定電極と、を含む物理量センサー。
【請求項３】
請求項２において、
前記可動部は、貫通孔が形成されている物理量センサー。
【請求項４】
請求項２または３において、
前記第１固定電極の前記第１質量部と対向している部分の少なくとも一部は、前記保護膜から露出し、
前記第２固定電極の前記第２質量部と対向している部分の少なくとも一部は、前記保護膜から露出している物理量センサー。
【請求項５】
請求項２ないし４のいずれか一項において、
前記導体パターンは、配線を含み、
前記配線に設けられている前記保護膜の厚さは、前記第１固定電極および前記第２固定電極のそれぞれに配置されている前記保護膜の厚さよりも厚い物理量センサー。
【請求項６】
請求項１において、
前記素子部は、
前記基板に固定されている固定電極指と、
前記基板に対して変位可能であり前記固定電極指とギャップを介して対向配置されている可動電極指と、を含み、
前記導体パターンは、
前記固定電極指と電気的に接続されている第１配線と、
前記可動電極指と電気的に接続されている第２配線と、を含む物理量センサー。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか一項において、
前記導体パターンは、並んで配置されている第１部分および第２部分を有し、
前記第１部分および前記第２部分の少なくとも一方は、他方の側の外縁部に前記露出部を有し、
前記第１部分および前記第２部分の離間距離が５０μｍ以下であり、
前記露出部の少なくとも一部は、前記保護膜で覆われている物理量センサー。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか一項において、
前記導体パターンは、並んで配置されている第１部分および第２部分を含み、
前記第１部分および前記第２部分の少なくとも一方は、他方の側の外縁部に前記露出部を有し、
前記第１部分および前記第２部分の離間距離が５０μｍより大きく、
前記露出部の少なくとも一部は、前記保護膜で覆われていない物理量センサー。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか一項において、
前記保護膜は、構成材料として酸化シリコンを含んでいる物理量センサー。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか一項において、
前記保護膜は、複数の層が積層されてなる積層体で構成されている物理量センサー。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーの駆動を制御する制御回路、または、前記物理量センサーの出力信号を処理する処理回路と、を含むことを特徴とする慣性計測装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の慣性計測装置と、
測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信する受信部と、
受信した前記衛星信号に基づいて、前記受信部の位置情報を取得する取得部と、
前記慣性計測装置から出力された慣性データに基づいて、移動体の姿勢を演算する演算部と、
算出された前記姿勢に基づいて前記位置情報を補正することにより、前記移動体の位置を算出する算出部と、を含むことを特徴とする移動体測位装置。
【請求項１３】
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、を含むことを特徴とする携帯型電子機器。
【請求項１４】
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする電子機器。
【請求項１５】
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基板と、基板に固定されている固定櫛歯電極と、基板に対して変位可能であり固定電極指と対向して配置されている可動櫛歯電極と、を有し、固定櫛歯電極と可動櫛歯電極との間の静電容量の変化に基づいて加速度を検出する加速度センサーが記載されている。なお、固定櫛歯電極および可動櫛歯電極は、例えば、基板に接合されているシリコン基板をドライエッチングによってパターニングすることで形成することができる。
【０００３】
また、特許文献２には、基板と、基板に対してシーソー揺動可能な可動電極と、基板に設けられ、可動電極と対向して配置されている固定電極と、を有し、可動電極と固定電極との間の静電容量の変化に基づいて加速度を検出する加速度センサーが記載されている。可動電極には、複数の貫通孔が形成されており、可動電極がシーソー揺動する際の空気抵抗が低減されている。なお、可動電極は、例えば、基板に接合されているシリコン基板をドライエッチングによってパターニングすることで形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２８６４３０号公報
【特許文献２】米国特許出願公開第２００５／０１０９１０９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されているような加速度センサーにおいて、基板に配置されている電極や配線が、平面視で、固定櫛歯電極と可動櫛歯電極との間と重なっている場合や、特許文献２に記載されているような加速度センサーにおいて、基板に配置された電極や配線が、平面視で、可動電極の周囲や貫通孔と重なっている場合には、前述したドライエッチング時に電極や配線がダメージを受け、特性劣化の原因となるという問題があった。
【０００６】
本発明の目的は、基板に配置された導体パターン（電極、配線等）がダメージを受け難く、特性劣化が生じ難い物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
【０００８】
本発明の物理量センサーは、基板と、
前記基板と重なるように配置されている素子部と、
前記基板に、前記素子部と対向するように配置されている導体パターンと、
前記基板と前記素子部とが重なる方向からの平面視で、前記導体パターンの前記素子部から露出する露出部の少なくとも一部を覆う保護膜と、を含むことを特徴とする。
これにより、基板に配置された導体パターン（電極、配線等）がダメージを受け難く、特性劣化が生じ難い物理量センサーとなる。
【０００９】
本発明の物理量センサーでは、前記素子部は、
第１質量部および第２質量部を含む可動部と、
前記基板に取り付けられている固定部と、
前記可動部と前記固定部とを接続している梁部と、を含み、
前記導体パターンは、
前記第１質量部と対向して配置されている第１固定電極と、
前記第２質量部と対向して配置されている第２固定電極と、を含むことが好ましい。
これにより、基板と素子部とが重なる方向の加速度を検出することのできる物理量センサーとなる。
【００１０】
本発明の物理量センサーでは、前記可動部は、貫通孔が形成されていることが好ましい。
これにより、可動部が変位する際の空気抵抗が低減され、物理量の検出感度が向上する。
【００１１】
本発明の物理量センサーでは、前記第１固定電極の前記第１質量部と対向している部分の少なくとも一部は、前記保護膜から露出し、
前記第２固定電極の前記第２質量部と対向している部分の少なくとも一部は、前記保護膜から露出していることが好ましい。
これにより、第１固定電極と第１質量部との間の静電容量の変動および第２固定電極と第２質量部との間の静電容量の変動を抑制することができる。
【００１２】
本発明の物理量センサーでは、前記導体パターンは、配線を含み、
前記配線に設けられている前記保護膜の厚さは、前記第１固定電極および前記第２固定電極のそれぞれに配置されている前記保護膜の厚さよりも厚いことが好ましい。
これにより、第１固定電極と第１質量部との間の静電容量の変動および第２固定電極と第２質量部との間の静電容量の変動を抑制することができると共に、配線がダメージを受け難くなる。
【００１３】
本発明の物理量センサーでは、前記素子部は、
前記基板に固定されている固定電極指と、
前記基板に対して変位可能であり前記固定電極指とギャップを介して対向配置されている可動電極指と、を含み、
前記導体パターンは、
前記固定電極指と電気的に接続されている第１配線と、
前記可動電極指と電気的に接続されている第２配線と、を含むことが好ましい。
これにより、固定電極指と可動電極指とが向き合う方向の加速度を検出することのできる物理量センサーとなる。
【００１４】
本発明の物理量センサーでは、前記導体パターンは、並んで配置されている第１部分および第２部分を有し、
前記第１部分および前記第２部分の少なくとも一方は、他方の側の外縁部に前記露出部を有し、
前記第１部分および前記第２部分の離間距離が５０μｍ以下であり、
前記露出部の少なくとも一部は、前記保護膜で覆われていることが好ましい。
これにより、第１部分と第２部分との短絡を効果的に抑制することができる。
【００１５】
本発明の物理量センサーでは、前記導体パターンは、並んで配置されている第１部分および第２部分を含み、
前記第１部分および前記第２部分の少なくとも一方は、他方の側の外縁部に前記露出部を有し、
前記第１部分および前記第２部分の離間距離が５０μｍよりも大きく、
前記露出部の少なくとも一部は、前記保護膜で覆われていないことが好ましい。
これにより、保護膜を減らすことができ、保護膜の帯電による影響（例えば、第１固定電極と第１質量部との間の静電容量の変動および第２固定電極と第２質量部との間の静電容量の変動）を小さく抑えることができる。
【００１６】
本発明の物理量センサーでは、前記保護膜は、構成材料として酸化シリコンを含んでいることが好ましい。
これにより、保護膜の構成が簡単なものとなる。
【００１７】
本発明の物理量センサーでは、前記保護膜は、複数の層が積層されてなる積層体で構成されていることが好ましい。
これにより、容易に、保護膜に種々の機能（例えば、導体パターンの保護機能、基板や配線への密着機能等）を持たせることができる。
【００１８】
本実施形態の慣性計測装置は、本発明の物理量センサーと、
前記物理量センサーの駆動を制御する制御回路、または、前記物理量センサーの出力信号を処理する処理回路と、を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する慣性計測装置が得られる。
【００１９】
本発明の移動体測位装置は、本発明の慣性計測装置と、
測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信する受信部と、
受信した前記衛星信号に基づいて、前記受信部の位置情報を取得する取得部と、
前記慣性計測装置から出力された慣性データに基づいて、移動体の姿勢を演算する演算部と、
算出された前記姿勢に基づいて前記位置情報を補正することにより、前記移動体の位置を算出する算出部と、を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の慣性計測装置の効果を享受でき、高い信頼性を有する移動体測位装置が得られる。
【００２０】
本発明の携帯型電子機器は、本発明の物理量センサーと、
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する携帯型電子機器が得られる。
【００２１】
本発明の電子機器は、本発明の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する電子機器が得られる。
【００２２】
本発明の移動体は、本発明の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する移動体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１に示す物理量センサーに印加する電圧パターンを示す図である。
【図４】素子部の形成方法を説明する断面図である。
【図５】素子部の形成方法を説明する断面図である。
【図６】素子部の形成方法を説明する断面図である。
【図７】図１に示す物理量センサーが有する導体パターンを示す平面図である。
【図８】図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図９】図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１０】図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１１】保護膜の断面図である。
【図１２】保護膜の断面図である。
【図１３】図１中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１４】図１中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１５】図１に示す物理量センサーの断面図である。
【図１６】図１に示す物理量センサーの断面図である。
【図１７】図１に示す物理量センサーの断面図である。
【図１８】図１中のＤ−Ｄ線断面図である。
【図１９】本発明の第２実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
【図２０】図１９中のＥ−Ｅ線断面図である。
【図２１】図１９に示す物理量センサーが有する導体パターンを示す平面図である。
【図２２】図１９に示す物理量センサーが有する素子部の斜視図である。
【図２３】図１９に示す物理量センサーに印加する電圧パターンを示す図である。
【図２４】図１９に示す物理量センサーが有する導体パターンを示す平面図である。
【図２５】図２４中のＦ−Ｆ線断面図である。
【図２６】本発明の第３実施形態に係る慣性計測装置の分解斜視図である。
【図２７】図２６に示す慣性計測装置が有する基板の斜視図である。
【図２８】本発明の第４実施形態に係る移動体測位装置の全体システムを示すブロック図である。
【図２９】図２８に示す移動体測位装置の作用を示す図である。
【図３０】本発明の第５実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【図３１】本発明の第６実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【図３２】本発明の第７実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【図３３】本発明の第８実施形態に係る携帯型電子機器を示す平面図である。
【図３４】図３３に示す携帯型電子機器の概略構成を示す機能ブロック図である。
【図３５】本発明の第９実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２５】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。図３は、図１に示す物理量センサーに印加する電圧パターンを示す図である。図４ないし図６は、それぞれ、素子部の形成方法を説明する断面図である。図７は、図１に示す物理量センサーが有する導体パターンを示す平面図である。図８ないし図１０は、それぞれ、図１中のＢ−Ｂ線断面図である。図１１および図１２は、それぞれ、保護膜の断面図である。図１３および図１４は、それぞれ、図１中のＣ−Ｃ線断面図である。図１５ないし図１７は、それぞれ、図１に示す物理量センサーの断面図である。図１８は、図１中のＤ−Ｄ線断面図である。
【００２６】
なお、説明の便宜上、各図には互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」とも言う。また、各軸方向の矢印先端側を「プラス側」、基端側を「マイナス側」とも言う。また、Ｚ軸方向プラス側を「上」、Ｚ軸方向マイナス側を「下」とも言う。また、説明の便宜上、図１、図２、図４ないし図８では保護膜８の図示を省略している。
【００２７】
図１に示す物理量センサー１は、Ｚ軸方向の加速度Ａｚを測定することのできる加速度センサーである。この物理量センサー１は、基板２と、基板２に配置された素子部３およびシールド部４と、素子部３およびシールド部４を覆うように基板２に接合された蓋体５と、基板２に配置された導体パターン６と、保護膜８（図１では図示せず）と、を有している。
【００２８】
図１に示すように、基板２は、上面側に開放する凹部２１および溝部２５、２６、２７、２８を有している。凹部２１は、Ｚ軸方向からの平面視で、素子部３を内側に内包するように素子部３よりも大きく形成されている。凹部２１は、素子部３と基板２との接触を防止するための逃げ部として機能する。また、図２に示すように、基板２は、凹部２１の底面から突出するマウント部２２を有している。そして、マウント部２２の上面に素子部３が接合されている。これにより、素子部３は、凹部２１の底面と離間した状態で基板２に支持される。
【００２９】
本実施形態では、基板２として、アルカリ金属イオンを含むガラス材料、例えば、テンパックスガラス（登録商標）、パイレックスガラス（登録商標）のような硼珪酸ガラスで構成されたガラス基板を用いている。ただし、基板２としては、ガラス基板に限定されず、例えば、シリコン基板、ＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板、セラミックス基板等を用いてもよい。
【００３０】
このような基板２には導体パターン６が設けられている。導体パターン６は、図１に示すように、凹部２１の底面に配置された第１固定電極６１、第２固定電極６２およびダミー電極６３と、溝部２５、２６、２７、２８に配置された配線６５、６６、６７、６８と、を有している。配線６５、６６、６７、６８の一端部は、それぞれ、蓋体５の外側に露出しており、外部装置との電気的な接続を行うための電極パッドＰとして機能する。また、配線６５は、第１固定電極６１と電気的に接続されている。また、配線６６は、第２固定電極６２と電気的に接続されている。また、配線６７は、マウント部２２上において素子部３と電気的に接続されていると共に、ダミー電極６３と電気的に接続されている。また、配線６８は、シールド部４と電気的に接続されている。
【００３１】
導体パターン６の構成材料としては、特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、Ｔｉ（チタン）、タングステン（Ｗ）等の金属材料、これら金属材料を含む合金（ＴｉＮ、ＡｌＣｕ、ＡｌＳｉＣｕ等）、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、ＺｎＯ、ＩＧＺＯ等の酸化物系の透明導電性材料が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（例えば２層以上の積層体として）用いることができる。また、例えば、第１固定電極６１、第２固定電極６２およびダミー電極６３と、配線６５、６６、６７、６８と、で材料や構成が異なっていてもよい。
【００３２】
図２に示すように、蓋体５は、下面側に開放する凹部５１を有している。蓋体５は、凹部５１内に素子部３およびシールド部４を収納するようにして、基板２の上面に接合されている。そして、蓋体５および基板２の内側に、素子部３およびシールド部４を収納する収納空間Ｓが形成されている。
【００３３】
収納空間Ｓは、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されて、使用温度（例えば、−４０℃〜＋１２０℃程度）で、ほぼ大気圧となっていることが好ましい。収納空間Ｓを大気圧とすることで、粘性抵抗が増してダンピング効果が発揮され、素子部３の振動を速やかに収束させることができる。そのため、物理量センサー１の加速度Ａｚの検出精度が向上する。
【００３４】
本実施形態では、蓋体５として、シリコン基板を用いている。ただし、蓋体５としては、シリコン基板に限定されず、例えば、ガラス基板やセラミックス基板を用いてもよい。また、基板２と蓋体５との接合方法としては、特に限定されず、基板２や蓋体５の材料によって適宜選択すればよいが、本実施形態では、ガラスフリット１９（低融点ガラス）を介して接合されている。なお、基板２と蓋体５とのその他の接合方法としては、接着剤接合、陽極接合、常温接合、直接接合やシロキサン結合を用いてもよい。
【００３５】
素子部３は、図１および図２に示すように、マウント部２２の上面に固定された固定部３１と、可動部３２と、可動部３２が固定部３１に対して揺動可能となるように固定部３１と可動部３２とを接続するねじりばねとしての梁部３３と、を有している。このような素子部３では、加速度Ａｚを受けると、可動部３２が、梁部３３により形成される揺動軸Ｊまわりにシーソーのように揺動（回動）する。可動部３２は、Ｘ方向に延びる長手形状をなし、揺動軸Ｊに対してＸ軸方向プラス側の部分が第１可動部３２１を構成し、揺動軸Ｊに対してＸ軸方向マイナス側の部分が第２可動部３２２を構成する。第１可動部３２１は、第２可動部３２２よりもＸ軸方向に長く、加速度Ａｚが加わったときの回転モーメントが第２可動部３２２よりも大きくなっている。この回転モーメントの差により、加速度Ａｚが加わると、その加速度Ａｚの方向および大きさに応じて可動部３２が揺動軸Ｊまわりに揺動する。
【００３６】
ここで、導体パターン６の説明に戻ると、図１に示すように、第１固定電極６１は、第１可動部３２１と対向するように凹部２１の底面に配置され、第２固定電極６２は、第２可動部３２２と対向するように凹部２１の底面に配置されている。これら第１、第２固定電極６１、６２は、Ｚ軸方向から見た平面視で、揺動軸Ｊに対して対称的に配置されている。また、ダミー電極６３は、凹部２１の底面であって、第１、第２固定電極６１、６２が配置されていない領域を覆うように配置されている。本実施形態では、ダミー電極６３は、第１可動部３２１の先端側（揺動軸Ｊから遠い側）の部分と対向するように凹部２１の底面に配置されている。
【００３７】
なお、ダミー電極６３は、次のような機能を有している。例えば、基板２の表面が凹部２１の底面（特に素子部３と重なる領域）から露出している場合、凹部２１の底面が帯電（アルカリ金属イオンの移動に起因した帯電）することで、凹部２１の底面と可動部３２との間に静電引力が生じ、当該静電引力すなわち検出対象である加速度Ａｚ以外の力によって可動部３２が揺動してしまい、加速度Ａｚの検出精度が低下するおそれがある。そこで、本実施形態では、基板２の表面が凹部２１の底面からなるべく露出しないようにダミー電極６３を配置して、上述の問題を低減している。また、ダミー電極６３は、素子部３と共に配線６７と電気的に接続されているため、素子部３と同電位である。そのため、ダミー電極６３と素子部３との間に実質的に静電引力が作用せず、当該静電引力による可動部３２の揺動が抑制され、加速度Ａｚの検出精度の低下を低減することができる。
【００３８】
再び可動部３２の説明に戻ると、第１可動部３２１は、図１に示すように、第１固定電極６１と対向している部分と、ダミー電極６３と対向している部分との間にＹ軸方向に延在する貫通孔３２１ａ（スリット）を有している。このような貫通孔３２１ａを設けることにより、可動部３２が揺動軸Ｊまわりに揺動する際の空気抵抗（ダンピング）が低減されたり、基板２（ガラス面）の帯電によるドリフト減少が低減されたり、合わせズレによる面積バランスの崩れが低減されたりするので、加速度Ａｚの検出感度が向上する。なお、貫通孔３２１ａの形状や数は、特に限定されない。また、例えば、同様の目的で、可動部３２の他の部分にも、貫通孔を形成してもよい。
【００３９】
物理量センサー１の作動時には、例えば、素子部３に図３中の電圧Ｖ１が印加され、第１、第２固定電極６１、６２に、図３中の電圧Ｖ２が印加される。その結果、第１可動部３２１と第１固定電極６１との間に静電容量Ｃ１が形成され、第２可動部３２２と第２固定電極６２との間に静電容量Ｃ２が形成される。この状態で、物理量センサー１に加速度Ａｚが加わると、可動部３２が揺動軸Ｊまわりに揺動し、当該揺動に応じて静電容量Ｃ１、Ｃ２の大きさが変化する。物理量センサー１では、このような静電容量Ｃ１、Ｃ２の変化に基づいて加速度Ａｚを検出することができる。
【００４０】
シールド部４は、図１に示すように、基板２の上面に接合されている。また、シールド部４は、Ｚ軸方向から見た平面視で、枠状をなし、素子部３を囲んで配置されている。そして、物理量センサー１の作動時には、シールド部４は、グランド（０Ｖ）に接続される。これにより、シールド部４によって素子部３に影響を与える外乱（ノイズ）を遮断することができ、加速度Ａｚの検出精度が向上する。なお、シールド部４の構成は、特に限定されず、素子部３の周囲の少なくとも一部を囲むように配置されていれば、枠状の一部が欠損していてもよい。また、このようなシールド部４は、省略してもよい。
【００４１】
以上、素子部３およびシールド部４について説明した。これら素子部３およびシールド部４は、例えば、次のようにして形成することができる。まず、図４に示すように、基板２の上面に接合され、リン（Ｐ）、ボロン（Ｂ）、砒素（Ａｓ）等の不純物がドープされたシリコン基板３０を準備する。次に、図５に示すように、シリコン基板３０の上面に素子部３およびシールド部４の形状に対応した開口を有するハードマスクＨＭを成膜する。次に、図６に示すように、ハードマスクＨＭを介してシリコン基板３０をドライエッチング（特にボッシュ法）する。以上により、シリコン基板３０から、素子部３およびシールド部４が一括して形成される。
【００４２】
保護膜８は、素子部３およびシールド部４を形成する際のドライエッチングから導体パターン６を保護する機能を有している。図７に示すように、導体パターン６は、Ｚ軸方向からの平面視で、素子部３およびシールド部４と重なっておらず、これらから露出する露出部６Ａと、素子部３およびシールド部４と重なっておりこれらから露出しない非露出部６Ｂ（重なり部）を、を有している。本実施形態では、露出部６Ａは、第１固定電極６１の外縁部、第２固定電極６２の外縁部、ダミー電極６３の外縁部、配線６５、６６、６７、６８に存在している。なお、図７では、分かり易いように、露出部６Ａを薄いグレースケールで、非露出部６Ｂを濃いグレースケールで図示している。
【００４３】
ここで、前述した素子部３の形成方法において、シリコン基板３０から素子部３およびシールド部４を確実に形成するために、一般的には、シリコン基板３０をオーバーエッチングする。すなわち、シリコン基板３０に素子部３およびシールド部４を分離する貫通孔３００が形成された後も、しばらくはドライエッチングが続けられる。そのため、図８に示すように、導体パターン６のうち、貫通孔３００の直下に位置する部分すなわち露出部６Ａが反応性ガスＧのアタックによりダメージを受けるおそれがある。これにより、例えば、第１固定電極６１や第２固定電極６２の一部が除去され、静電容量Ｃ１、Ｃ２にずれが生じたり、ダミー電極６３の一部が除去され、そこから基板２の表面が露出して素子部３との間に不本意な静電引力が生じたり、除去された導体パターン６の飛沫Ｈが基板２に再付着し、絶縁抵抗値が低下することにより物理量センサー１の精度が低下したり、配線６５、６６、６７、６８が断線して故障を招いたりするおそれがある。
【００４４】
そこで、図９に示すように、物理量センサー１では、露出部６Ａを反応性ガスＧのアタックから保護するために、露出部６Ａを覆う保護膜８を配置している。これにより、導体パターン６への反応性ガスＧのアタックが抑制され、導体パターン６がダメージを受け難くなる。そのため、前述した問題（静電容量Ｃ１、Ｃ２にずれが生じたり、不本意な静電引力が生じたり、飛沫Ｈの再付着によって絶縁抵抗値が低下したり、配線６５、６６、６７、６８に断線が生じたりし、物理量センサー１の特性劣化、故障を招いてしまうという問題）が生じ難くなる。
【００４５】
反応性ガスＧは、図８に示すように、シリコン基板３０に対して直交する方向に移動するため、理論的には、保護膜８は、露出部６Ａのみを覆ってさえいれば、その目的（露出部６Ａの保護）を達成することができる。しかしながら、エッチング装置やエッチング装置内でのシリコン基板３０の配置によっては、図９中の鎖線で示すように、反応性ガスＧが若干斜めに移動する場合がある。また、保護膜８の成膜時に位置ずれが生じ、露出部６Ａの一部が保護膜８から露出してしまう場合もある。そこで、本実施形態では、保護膜８を、露出部６Ａと非露出部６Ｂとの境界６Ｃを越えて、非露出部６Ｂにもわずかに重なるように配置している。すなわち、保護膜８は、Ｚ軸方向からの平面視で、素子部３と重なる重なり部８１を有している。
【００４６】
図１０に示すように、導体パターン６の全域を保護膜８で覆っても露出部６Ａを反応性ガスＧのアタックから保護するという目的を達成できる。しかしながら、このような構成だと、重なり部８１の面積が大きく、保護膜８の帯電によって、加速度Ａｚが加わっていないにも関わらず静電容量Ｃ１、Ｃ２が変動するおそれがある。また、保護膜８の帯電によって反応性ガスＧに斥力が作用し、反応性ガスＧがシリコン基板３０を下面側からアタックして素子部３にダメージを与えるおそれもある。
【００４７】
これらが原因となって、素子部３の機械的強度の滴下や、物理量センサー１の検出特性の悪化を招いてしまう。そこで、第１固定電極６１、第２固定電極６２およびダミー電極６３の素子部３と対向している部分は、なるべく広く保護膜８から露出していることが好ましい。言い換えると、重なり部８１は、その目的を達成することができる限り小さいことが好ましい。重なり部８１の幅Ｗ（図９参照）としては、特に限定されず、凹部２１の深さによっても異なるが、例えば、凹部２１の深さが０．１μｍ以上１０μｍ以下であれば、１μｍ以上１０μｍ以下とすることが好ましい。これにより、重なり部８１の目的を十分に達成することができると共に、重なり部８１の面積を十分に小さくすることができ、物理量センサー１の検出特性の悪化を効果的に低減することができる。
【００４８】
なお、反応性ガスＧのアタックは、反射作用によって非露出部６Ｂにも生じる場合がある。そのため、非露出部６Ｂであっても、飛沫Ｈの再付着が起って絶縁抵抗値が低下することも考えられるため、この場合は、露出部６Ａと同様に、保護膜８でカバーすることが好ましい（例えば、Ｚ軸Ｙ軸方向の側の補正用容量の電極部）。
【００４９】
以上のような保護膜８の構成としては、特に限定されないが、本実施形態では、図１１および図１２に示すように、第１層８Ａと、第２層８Ｂと、第３層８Ｃと、がこの順で積層した構成となっている。このうち、第１層８Ａが、基板２および導体パターン６との密着性を向上させるためのプライマー層として機能し、第２層８Ｂおよび第３層８Ｃが、導体パターン６を反応性ガスＧから保護する保護層として機能する。
【００５０】
第１層８Ａの構成材料としては、特に限定されず、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｔｉ（チタン）、Ｗ（タングステン）等の金属材料、これら金属材料を含む合金等を用いることができる。なお、本実施形態では、第１層８Ａは、ＴｉＷで構成されている。また、第２層８Ｂおよび第３層８Ｃの構成材料としては、特に限定されず、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ２）、窒化シリコン（ＳｉＮ）等のシリコン材料、ＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）、各種樹脂材料等の反応性ガスＧに対する耐久性の高い材料を用いることができる。なお、本実施形態では、第２層８Ｂは、酸化シリコンで構成され、第３層８Ｃは、ＤＬＣで構成されている。このような構成によれば、密着性に優れ、反応性ガスＧに対する耐性に優れた保護膜８となると共に、半導体プロセスを用いて保護膜８を容易に形成することができる。ただし、保護膜８の構成としては、特に限定されず、例えば、第１層８Ａを省略してもよいし、第２層８Ｂおよび第３層８Ｃの一方を省略してもよいし、さらに別の層を有していてもよい。
【００５１】
ここで、保護膜８は、露出部６Ａの全域に設けられていてもよいし、露出部６Ａの一部にだけ設けられていてもよい。以下では、保護膜８を設けるべき露出部６Ａと、保護膜８を設けなくてもよい露出部６Ａと、について説明する。
【００５２】
例えば、本実施形態の導体パターン６では、図１３に示すように、第１固定電極６１（第１部分）とダミー電極６３（第２部分）とが並んで配置されている。また、第１固定電極６１のダミー電極６３側の端部が露出部６Ａとなっており、ダミー電極６３の第１固定電極６１側の端部も露出部６Ａとなっている。すなわち、第１固定電極６１とダミー電極６３の露出部６Ａ同士が隣り合って配置されている。
【００５３】
そして、図１３に示すように、第１固定電極６１とダミー電極６３との離間距離Ｄ１が５０μｍ以下である場合（本実施形態）には、第１固定電極６１の露出部６Ａとダミー電極６３の露出部６Ａとに保護膜８を配置する。その理由は、第１固定電極６１とダミー電極６３の露出部６Ａ同士が近いため、仮に、保護膜８を配置しないと、導体パターン６から飛散した飛沫Ｈの再付着により、第１固定電極６１とダミー電極６３との間にリークパスＬＰが形成され易く、これらの間に絶縁抵抗の低下が生じる可能性が高いためである。
【００５４】
これに対して、図１４に示すように、第１固定電極６１とダミー電極６３との離間距離Ｄ１が５０μｍより大きい場合（本実施形態の変形例）には、第１固定電極６１の露出部６Ａとダミー電極６３の露出部６Ａとに保護膜８を配置しない。その理由は、第１固定電極６１とダミー電極６３の露出部６Ａ同士が十分に離れているため、飛沫Ｈの再付着によって第１固定電極６１とダミー電極６３との短絡が生じる可能性が低いためである。さらに、前述したように、保護膜８を配置すると、重なり部８１の帯電によって微小ではあるが静電容量Ｃ１の変動が生じるおそれがあるため、保護膜８を省略することで、このような問題の発生を防止でき、より高精度な物理量センサー１を提供することができる。
【００５５】
なお、物理量センサー１の構成は、上述の構成に限定されず、第１固定電極６１とダミー電極６３との離間距離Ｄ１が５０μｍ以下であっても、第１固定電極６１の露出部６Ａとダミー電極６３の露出部６Ａとに保護膜８を配置しなくてもよいし、第１固定電極６１とダミー電極６３との離間距離Ｄ１が５０μｍより大きくても、第１固定電極６１の露出部６Ａとダミー電極６３の露出部６Ａとに保護膜８を配置してもよい。
【００５６】
また、物理量センサー１では、図７に示すように、第１固定電極６１、第２固定電極６２およびダミー電極６３がそれぞれ凹部２１の外縁（側壁）の近傍まで広がって配置されており、第１固定電極６１、第２固定電極６２およびダミー電極６３の凹部２１の外縁と対向する端部がそれぞれ露出部６Ａとなっている。
【００５７】
そして、図１５に示すように、露出部６Ａと凹部２１の外縁との離間距離Ｄ２が５０μｍ以下である場合（本実施形態）には、露出部６Ａに保護膜８を配置する。その理由は、各露出部６Ａと凹部２１の外縁とが近いため、仮に、保護膜８を配置しないと、図１６に示すように、導体パターン６から飛散した飛沫Ｈの再付着により形成されたリークパスＬＰにより、第１固定電極６１、第２固定電極６２およびダミー電極６３の少なくとも１つとシールド部４との短絡が生じる可能性が高いためである。
【００５８】
これに対して、図１７に示すように、露出部６Ａと凹部２１の外縁との離間距離Ｄ２が５０μｍより大きい場合（本実施形態の変形例）には、露出部６Ａに保護膜８を配置しない。その理由は、各露出部６Ａと凹部２１の外縁とが十分に離れているため、飛沫Ｈの再付着によってもリークパスＬＰが形成され難く、第１固定電極６１、第２固定電極６２およびダミー電極６３の少なくとも１つとシールド部４との短絡が生じる可能性が低いためである。さらに、前述したように、保護膜８を配置すると、重なり部８１の帯電によって微小ではあるが静電容量Ｃ１、Ｃ２の変動が生じるおそれがあるため、保護膜８を省略することで、このような問題の発生を防止でき、より高精度な物理量センサー１を提供することができる。
【００５９】
以上、第１固定電極６１、第２固定電極６２およびダミー電極６３に設けられている保護膜８について説明した。配線６５、６６、６７、６８も、それぞれ露出部６Ａを有しているため、図１８に示すように、配線６５、６６、６７、６８にも、その露出部６Ａを覆うように保護膜８が設けられている。これにより、配線６５、６６、６７、６８を反応性ガスＧのアタックから保護することができ、特に、配線６５、６６、６７、６８の断線を効果的に低減することができる。なお、導通を確保するために電極パッドＰの表面は、必ずしも保護膜８で覆われていなくてもよい。
【００６０】
ここで、本実施形態では、配線６５、６６、６７、６８に設けられた保護膜８の厚さＴ１（平均厚さ）は、第１固定電極６１、第２固定電極６２およびダミー電極６３に設けられた保護膜８の厚さＴ２（平面厚さ）よりも厚くなっている。前述したように、第１固定電極６１、第２固定電極６２およびダミー電極６３に設けられた保護膜８は、素子部３と重なる重なり部８１を有している。そのため、重なり部８１の帯電による静電容量Ｃ１、Ｃ２の変動を小さく抑えるために、保護膜８を薄くし、重なり部８１と素子部３との離間距離を大きくすることが好ましい。これに対して、配線６５、６６、６７、６８は、重なり部８１を有していないため、上述のような問題を気にする必要がなく、保護膜８を厚くすることができる。このようなことから、Ｔ１＞Ｔ２とすることで、物理量センサー１の特性劣化を効果的に低減することができる。また、保護膜８の厚さＴ２が厚いと、可動部３２の可動阻害の原因となるおそれがあるため、凹部２１の深さ＞（電極６１、６２、６３の厚さ＋保護膜８の厚さ）、および、凹部２１の深さ＞（配線６５、６６、６７、６８の厚さ＋保護膜８の厚さ）の関係を満たすことが好ましい。
【００６１】
なお、厚さＴ１としては、特に限定されないが、例えば、０．１μｍ以上１０μｍ以下とすることが好ましい。また、厚さＴ２としては、特に限定されないが、例えば、０．１μｍ以上１０μｍ以下とすることが好ましい。これにより、上述した効果をより確実に発揮することができる。
【００６２】
以上、物理量センサー１について説明した。このような物理量センサー１は、前述したように、基板２と、基板２と重なるように配置されている素子部３と、基板２に、素子部３と対向するように配置されている導体パターン６と、基板２と素子部３とが重なる方向（Ｚ軸方向）からの平面視で、導体パターン６の素子部３から露出する露出部６Ａの少なくとも一部を覆う保護膜８と、を含んでいる。そのため、ドライエッチング時に、保護膜８によって導体パターン６が保護され、導体パターン６がダメージを受け難くなる。その結果、物理量センサー１の特性劣化や故障を効果的に抑制することができる。
【００６３】
また、前述したように、素子部３は、第１可動部３２１（第１質量部）および第２可動部３２２（第２質量部）を含む可動部３２と、基板２に取り付けられている固定部３１と、可動部３２と固定部３１とを接続している梁部３３と、を含んでいる。また、導体パターン６は、第１可動部３２１と対向して配置されている第１固定電極６１と、第２可動部３２２と対向して配置されている第２固定電極６２と、を含んでいる。これにより、基板２と素子部３とが重なる方向（Ｚ軸方向）の加速度Ａｚを検出することのできる物理量センサー１となる。
【００６４】
また、前述したように、可動部３２は、貫通孔３２１ａが形成されている。これにより、可動部３２が揺動軸Ｊまわりに揺動する際の空気抵抗が低減されたり、基板２（ガラス面）の帯電によるドリフト減少が低減されたり、合わせズレによる面積バランスの崩れが低減されたりするので、加速度Ａｚの検出感度が向上する。
【００６５】
また、前述したように、第１固定電極６１の第１可動部３２１と対向している部分の少なくとも一部は、保護膜８から露出し、第２固定電極６２の第２可動部３２２と対向している部分の少なくとも一部は、保護膜８から露出している。これにより、保護膜８の帯電によって、加速度Ａｚが加わっていないにも関わらず静電容量Ｃ１、Ｃ２が変動したり、反応性ガスＧに斥力が作用し、反応性ガスＧがシリコン基板３０を下面側からアタックして素子部３にダメージを与えたりするおそれが小さくなる。そのため、素子部３の機械的強度の低下や、物理量センサー１の検出特性の悪化を効果的に低減することができる。
【００６６】
また、前述したように、導体パターン６は、配線６５、６６、６７、６８を含んでいる。そして、配線６５、６６、６７、６８に設けられている保護膜８の厚さＴ１は、第１固定電極６１、第２固定電極６２およびダミー電極６３のそれぞれに配置されている保護膜８の厚さＴ２よりも厚くなっている。第１固定電極６１、第２固定電極６２およびダミー電極６３に設けられた保護膜８は、素子部３と重なる重なり部８１を有している。そのため、重なり部８１の帯電による静電容量Ｃ１、Ｃ２の変動を小さく抑えるために、保護膜８を薄くし、重なり部８１と素子部３との離間距離を大きくすることが好ましい。これに対して、配線６５、６６、６７、６８は、重なり部８１を有していないため、上述のような問題を気にする必要がなく、保護膜８を厚くすることができる。このようなことから、Ｔ１＞Ｔ２とすることで、物理量センサー１の特性劣化を効果的に抑制することができる。
【００６７】
また、前述したように、導体パターン６は、並んで配置されている第１固定電極６１（第１部分）およびダミー電極６３（第２部分）を有している。そして、第１固定電極６１およびダミー電極６３の少なくとも一方は、他方の側の外縁部に露出部６Ａを有し（本実施形態では両方）、第１固定電極６１およびダミー電極６３の離間距離Ｄ１が５０μｍ以下であり、露出部６Ａの少なくとも一部（本実施形態では全部）は、保護膜８で覆われている。これにより、飛沫Ｈの発生を抑制でき、第１固定電極６１とダミー電極６３との絶縁抵抗の低下を効果的に低減することができる。
【００６８】
また、前述したように、導体パターン６は、並んで配置されている第１固定電極６１（第１部分）およびダミー電極６３（第２部分）を含んでいる。そして、第１固定電極６１およびダミー電極６３の少なくとも一方は、他方の側の外縁部に露出部６Ａを有し（本実施形態では両方）、第１固定電極６１およびダミー電極６３の離間距離Ｄ１が５０μｍより大きく、露出部６Ａの少なくとも一部（本実施形態では全部）は、保護膜８で覆われていない。これにより、保護膜８の帯電による特性劣化を抑制することができ、より高精度な物理量センサー１を提供することができる。
【００６９】
また、前述したように、保護膜８は、構成材料として酸化シリコンを含んでいる。これにより、ドライエッチング耐性に優れ、かつ、半導体プロセスで形成し易い保護膜８となる。
【００７０】
また、前述したように、保護膜８は、複数の層（第１層８Ａ、第２層８Ｂおよび第３層８Ｃ）が積層されてなる積層体で構成されている。これにより、容易に、保護膜８に種々の機能（例えば、導体パターン６の保護機能、基板２への密着機能等）を持たせることができる。
【００７１】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
【００７２】
図１９は、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。図２０は、図１９中のＥ−Ｅ線断面図である。図２１は、図１９に示す物理量センサーが有する導体パターンを示す平面図である。図２２は、図１９に示す物理量センサーが有する素子部の斜視図である。図２３は、図１９に示す物理量センサーに印加する電圧パターンを示す図である。図２４は、図１９に示す物理量センサーが有する導体パターンを示す平面図である。図２５は、図２４中のＦ−Ｆ線断面図である。
【００７３】
本実施形態にかかる物理量センサーでは、素子部の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の物理量センサーと同様である。
【００７４】
なお、以下の説明では、第２実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１９ないし図２４では、それぞれ、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。また、図１９から図２２、図２４では、説明の便宜上、保護膜８の図示を省略している。
【００７５】
図１９に示す物理量センサー１は、Ｘ軸方向の加速度Ａｘを測定することのできる加速度センサーである。また、図２０に示すように、基板２は、凹部２１の底面に設けられた突起状のマウント部２２を有している。そして、マウント部２２の上面に素子部９が接合されている。これにより、素子部９が基板２と離間した状態で支持される。また、図１９に示すように、基板２は、上面側に開放する溝部２５、２６、２７を有している。なお、凹部２１の深さは、前述した第１実施形態の物理量センサー１の凹部２１の深さと異なり、それよりも深い。
【００７６】
また、導体パターン６は、図１９に示すように、溝部２５、２６、２７に配置された配線６５、６６、６７を有している。また、図２０および図２１に示すように、配線６５、６６、６７は、それぞれ、凹部２１の底面を伝ってマウント部２２上まで引き回されている。また、配線６７は、配線６５、６６と絶縁された状態を保ちつつ、凹部２１の底面のほぼ全域に広がって配置されている。
【００７７】
図１９および図２２に示すように、素子部９は、基板２に固定された固定電極部９０および固定部９３と、固定部９３に対してＸ軸方向に変位可能な可動部９４と、固定部９３と可動部９４とを連結するばね部９５、９６と、可動部９４に設けられた可動電極部９７と、を有している。また、固定電極部９０は、第１固定電極部９１および第２固定電極部９２を有し、可動電極部９７は、第１可動電極部９８および第２可動電極部９９を有している。このような素子部９は、前述した第１実施形態の素子部３と同様に、例えば、リン（Ｐ）、ボロン（Ｂ）、砒素（Ａｓ）等の不純物がドープされたシリコン基板をドライエッチング（ボッシュ法）によってパターニングすることで形成することができる。
【００７８】
図１９に示すように、固定部９３は、Ｘ軸方向に延在する長手形状をなしている。そして、固定部９３は、Ｘ軸方向マイナス側の端部にマウント部２２と接合している接合部９３１を有している。そして、接合部９３１において、配線６７と電気的に接続されている。なお、固定部９３の形状としては、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。
【００７９】
可動部９４は、Ｚ軸方向からの平面視で、枠状をなし、固定部９３、ばね部９５、９６および第１、第２固定電極部９１、９２を囲んでいる。このように、可動部９４を枠状とすることで、可動部９４の質量を大きくすることができる。そのため、感度が向上し、精度よく加速度Ａｘを検出することができる。また、可動部９４は、内側に第１固定電極部９１を配置するための第１開口部９４８と、内側に第２固定電極部９２を配置するための第２開口部９４９と、を有している。
【００８０】
ばね部９５、９６は、弾性変形可能であり、ばね部９５、９６が弾性変形することにより、可動部９４が固定部９３に対してＸ軸方向に変位する。ばね部９５は、可動部９４のＸ軸方向プラス側の端部と固定部９３のＸ軸方向プラス側の端部とを連結し、ばね部９６は、可動部９４のＸ軸方向マイナス側の端部と固定部９３のＸ軸方向マイナス側の端部とを連結している。これにより、可動部９４をＸ軸方向の両側で支持することができ、可動部９４の姿勢および挙動が安定する。そのため、Ｘ軸方向以外への不要な変位が低減し、より高い精度で加速度Ａｘを検出することができる。
【００８１】
第１固定電極部９１は、マウント部２２に接合された接合部９１３ａを有する第１固定部９１３と、第１固定部９１３に支持された第１幹部９１１と、第１幹部９１１からＹ軸方向両側に延出した複数の第１固定電極指９１２と、を有している。また、第１幹部９１１は、Ｚ軸方向からの平面視で、Ｘ軸およびＹ軸のそれぞれに対して傾斜した方向に延在している。
【００８２】
また、第２固定電極部９２は、マウント部２２に接合された接合部９２３ａを有する第２固定部９２３と、第２固定部９２３に支持された第２幹部９２１と、第２幹部９２１からＹ軸方向両側に延出した複数の第２固定電極指９２２と、を有している。また、第２幹部９２１は、Ｚ軸方向からの平面視で、Ｘ軸およびＹ軸のそれぞれに対して傾斜した方向に延在している。
【００８３】
第１可動電極部９８は、第１開口部９４８内に向けて突出し、Ｙ軸方向に延在する複数の第１可動電極指９８１を有している。各第１可動電極指９８１は、対応する第１固定電極指９１２に対してＸ軸方向プラス側に位置し、この第１固定電極指９１２とギャップを介して対向している。
【００８４】
第２可動電極部９９は、第２開口部９４９内に向けて突出し、Ｙ軸方向に延在する複数の第２可動電極指９９１を有している。各第２可動電極指９９１は、対応する第２固定電極指９２２に対してＸ軸方向マイナス側に位置し、この第２固定電極指９２２とギャップを介して対向している。
【００８５】
物理量センサー１の作動時には、例えば、可動電極部９７に図２３中の電圧Ｖ４が印加され、第１固定電極部９１および第２固定電極部９２に、それぞれ、図２３中の電圧Ｖ５が印加される。そのため、第１可動電極指９８１と第１固定電極指９１２との間および第２可動電極指９９１と第２固定電極指９２２との間に、それぞれ、静電容量が形成される。
【００８６】
物理量センサー１に加速度Ａｘが加わると、その加速度Ａｘの大きさに基づいて、可動部９４がばね部９５、９６を弾性変形させながらＸ軸方向に変位する。すると、第１可動電極指９８１と第１固定電極指９１２とのギャップおよび第２可動電極指９９１と第２固定電極指９２２とのギャップがそれぞれ変化し、それに伴って、第１可動電極指９８１と第１固定電極指９１２との間の静電容量および第２可動電極指９９１と第２固定電極指９２２との間の静電容量の大きさがそれぞれ変化する。そのため、これら静電容量の変化に基づいて加速度Ａｘを検出することができる。
【００８７】
図２４に示すように、導体パターン６は、Ｚ軸方向からの平面視で、素子部９から露出する露出部６Ａを有している。そして、図２５に示すように、露出部６Ａを覆うように保護膜８が設けられている。なお、保護膜８は、露出部６Ａの全部を覆ってもよいし、一部を覆っていてもよい。
【００８８】
以上、本実施形態の物理量センサー１について説明した。このような物理量センサー１は、前述したように、素子部９は、基板２に固定されている第１、第２固定電極指９１２、９２２（固定電極指）と、基板２に対して変位可能であり第１、第２固定電極指９１２、９２２とギャップを介して対向配置されている第１、第２可動電極指９８１、９９１（可動電極指）と、を含んでいる。また、導体パターン６は、第１、第２固定電極指９１２、９２２と電気的に接続されている配線６５、６６（第１配線）と、第１、第２可動電極指９８１、９９１と電気的に接続されている配線６７（第２配線）と、を含んでいる。これにより、第１、第２固定電極指９１２、９２２と第１、第２可動電極指９８１、９９１とが対向する方向（Ｘ軸方向）の加速度Ａｘを検出することのできる物理量センサー１となる。
【００８９】
このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００９０】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る慣性計測装置について説明する。
図２６は、本発明の第３実施形態に係る慣性計測装置の分解斜視図である。図２７は、図２６に示す慣性計測装置が有する基板の斜視図である。
【００９１】
図２６に示す慣性計測装置２０００（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）は、自動車や、ロボットなどの運動体（被装着装置）の姿勢や、挙動（慣性運動量）を検出する装置である。慣性計測装置２０００は、３軸の加速度センサーと、３軸の角速度センサーと、を備えた、いわゆる６軸モーションセンサーとして機能する。
【００９２】
慣性計測装置２０００は、平面形状が略正方形の直方体である。また、正方形の対角線方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に、固定部としてのネジ穴２１１０が形成されている。この２ヶ所のネジ穴２１１０に２本のネジを通して、自動車などの被装着体の被装着面に慣性計測装置２０００を固定することができる。なお、部品の選定や設計変更により、例えば、スマートフォンや、デジタルカメラに搭載可能なサイズに小型化することも可能である。
【００９３】
慣性計測装置２０００は、アウターケース２１００と、接合部材２２００と、センサーモジュール２３００と、を有し、アウターケース２１００の内部に、接合部材２２００を介在させて、センサーモジュール２３００を挿入した構成となっている。また、センサーモジュール２３００は、インナーケース２３１０と、基板２３２０と、を有している。
【００９４】
アウターケース２１００の外形は、慣性計測装置２０００の全体形状と同様に、平面形状が略正方形の直方体であり、正方形の対角線方向に位置する２ヶ所の頂点近傍に、それぞれネジ穴２１１０が形成されている。また、アウターケース２１００は、箱状であり、その内部にセンサーモジュール２３００が収納されている。
【００９５】
インナーケース２３１０は、基板２３２０を支持する部材であり、アウターケース２１００の内部に収まる形状となっている。また、インナーケース２３１０には、基板２３２０との接触を防止するための凹部２３１１や後述するコネクター２３３０を露出させるための開口２３１２が形成されている。このようなインナーケース２３１０は、接合部材２２００（例えば、接着剤を含浸させたパッキン）を介してアウターケース２１００に接合されている。また、インナーケース２３１０の下面には接着剤を介して基板２３２０が接合されている。
【００９６】
図２７に示すように、基板２３２０の上面には、コネクター２３３０、Ｚ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー２３４０ｚ、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸方向の加速度を検出する加速度センサー２３５０などが実装されている。また、基板２３２０の側面には、Ｘ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー２３４０ｘおよびＹ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー２３４０ｙが実装されている。なお、角速度センサー２３４０ｚ、２３４０ｘ、２３４０ｙとしては、特に限定されず、例えば、コリオリの力を利用した振動ジャイロセンサーを用いることができる。また、加速度センサー２３５０としては、特に限定されず、例えば、静電容量型の加速度センサーを用いることができる。
【００９７】
また、基板２３２０の下面には、制御ＩＣ２３６０が実装されている。制御ＩＣ２３６０は、ＭＣＵ（Micro Controller Unit）であり、不揮発性メモリーを含む記憶部や、Ａ／Ｄコンバーターなどを内蔵しており、慣性計測装置２０００の各部を制御する。記憶部には、加速度、および角速度を検出するための順序と内容を規定したプログラムや、検出データをデジタル化してパケットデータに組込むプログラム、付随するデータなどが記憶されている。なお、基板２３２０には、その他にも複数の電子部品が実装されている。
【００９８】
以上、慣性計測装置２０００（慣性計測装置）について説明した。このような慣性計測装置２０００は、物理量センサーとしての角速度センサー２３４０ｚ、２３４０ｘ、２３４０ｙおよび加速度センサー２３５０と、各角速度センサーセンサー２３４０ｚ、２３４０ｘ、２３４０ｙの駆動を制御する制御回路および加速度センサー２３５０の出力信号を処理する処理回路を含む制御ＩＣ２３６０（制御回路）と、を含んでいる。これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い慣性計測装置２０００が得られる。
【００９９】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係る移動体測位装置について説明する。
【０１００】
図２８は、本発明の第４実施形態に係る移動体測位装置の全体システムを示すブロック図である。図２９は、図２８に示す移動体測位装置の作用を示す図である。
【０１０１】
図２８に示す移動体測位装置３０００は、移動体に装着して用い、当該移動体の測位を行うための装置である。移動体としては、特に限定されず、自転車、自動車（四輪自動車およびバイクを含む）、電車、飛行機、船等のいずれでもよいが、本実施形態では四輪自動車として説明する。移動体測位装置３０００は、慣性計測装置３１００（ＩＭＵ）と、演算処理部３２００と、ＧＰＳ受信部３３００と、受信アンテナ３４００と、位置情報取得部３５００と、位置合成部３６００と、処理部３７００と、通信部３８００と、表示部３９００と、を有している。なお、慣性計測装置３１００としては、例えば、前述した第３実施形態の慣性計測装置２０００を用いることができる。
【０１０２】
また、慣性計測装置３１００は、３軸の加速度センサー３１１０と、３軸の角速度センサー３１２０と、を有している。演算処理部３２００は、加速度センサー３１１０からの加速度データおよび角速度センサー３１２０からの角速度データを受け、これらデータに対して慣性航法演算処理を行い、慣性航法測位データ（移動体の加速度および姿勢を含むデータ）を出力する。
【０１０３】
また、ＧＰＳ受信部３３００は、受信アンテナ３４００を介してＧＰＳ衛星からの信号（ＧＰＳ搬送波。位置情報が重畳された衛星信号）を受信する。また、位置情報取得部３５００は、ＧＰＳ受信部３３００が受信した信号に基づいて、移動体測位装置３０００（移動体）の位置（緯度、経度、高度）、速度、方位を表すＧＰＳ測位データを出力する。このＧＰＳ測位データには、受信状態や受信時刻等を示すステータスデータも含まれている。
【０１０４】
位置合成部３６００は、演算処理部３２００から出力された慣性航法測位データおよび位置情報取得部３５００から出力されたＧＰＳ測位データに基づいて、移動体の位置、具体的には移動体が地面のどの位置を走行しているかを算出する。例えば、ＧＰＳ測位データに含まれている移動体の位置が同じであっても、図２９に示すように、地面の傾斜等の影響によって移動体の姿勢が異なっていれば、地面の異なる位置を移動体が走行していることになる。そのため、ＧＰＳ測位データだけでは移動体の正確な位置を算出することができない。そこで、位置合成部３６００は、慣性航法測位データ（特に、移動体の姿勢に関するデータ）を用いて、移動体が地面のどの位置を走行しているのかを算出する。なお、当該判定は、三角関数（鉛直方向に対する傾きθ）を用いた演算によって比較的簡単に行うことができる。
【０１０５】
位置合成部３６００から出力された位置データは、処理部３７００によって所定の処理が行われ、測位結果として、表示部３９００に表示されるようになっている。また、位置データは、通信部３８００によって外部装置に送信されるようになっていてもよい。
【０１０６】
以上、移動体測位装置３０００について説明した。このような移動体測位装置３０００は、前述したように、慣性計測装置３１００と、測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信するＧＰＳ受信部３３００（受信部）と、受信した衛星信号に基づいて、ＧＰＳ受信部３３００の位置情報を取得する位置情報取得部３５００（取得部）と、慣性計測装置３１００から出力された慣性航法測位データ（慣性データ）に基づいて、移動体の姿勢を演算する演算処理部３２００（演算部）と、算出された姿勢に基づいて位置情報を補正することにより、移動体の位置を算出する位置合成部３６００（算出部）と、を含んでいる。これにより、本発明の慣性計測装置の効果を享受でき、信頼性の高い移動体測位装置３０００が得られる。
【０１０７】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態に係る電子機器について説明する。
図３０は、本発明の第５実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【０１０８】
図３０に示すモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００は、本発明の電子機器を適用したものである。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６と、により構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。また、パーソナルコンピューター１１００には、物理量センサー１と、物理量センサー１から出力された検出信号に基づいて制御を行う制御回路１１１０（制御部）と、が内蔵されている。
【０１０９】
このようなパーソナルコンピューター１１００（電子機器）は、物理量センサー１と、物理量センサー１と、物理量センサー１から出力された検出信号に基づいて制御を行う制御回路１１１０（制御部）と、を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１１０】
＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態に係る電子機器について説明する。
【０１１１】
図３１は、本発明の第６実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
図３１に示す携帯電話機１２００（ＰＨＳも含む）は、本発明の電子機器を適用したものである。この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ（図示せず）、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。また、携帯電話機１２００には、物理量センサー１と、物理量センサー１から出力された検出信号に基づいて制御を行う制御回路１２１０（制御部）と、が内蔵されている。
【０１１２】
このような携帯電話機１２００（電子機器）は、物理量センサー１と、物理量センサー１から出力された検出信号に基づいて制御を行う制御回路１２１０（制御部）と、を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１１３】
＜第７実施形態＞
次に、本発明の第７実施形態に係る電子機器について説明する。
【０１１４】
図３２は、本発明の第７実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
図３２に示すデジタルスチールカメラ１３００は、本発明の電子機器を適用したものである。この図において、ケース１３０２の背面には表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。そして、撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押すと、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、デジタルスチールカメラ１３００には、物理量センサー１と、物理量センサー１から出力された検出信号に基づいて制御を行う制御回路１３２０（制御部）と、が内蔵されている。
【０１１５】
このようなデジタルスチールカメラ１３００（電子機器）は、物理量センサー１と、物理量センサー１から出力された検出信号に基づいて制御を行う制御回路１３２０（制御部）と、を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１１６】
なお、本発明の電子機器は、前述した実施形態のパーソナルコンピューターおよび携帯電話機、本実施形態のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計（スマートウォッチを含む）、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）等のウェアラブル端末、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、移動体端末基地局用機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ネットワークサーバー等に適用することができる。
【０１１７】
＜第８実施形態＞
次に、本発明の第８実施形態に係る携帯型電子機器について説明する。
【０１１８】
図３３は、本発明の第８実施形態に係る携帯型電子機器を示す平面図である。図３４は、図３３に示す携帯型電子機器の概略構成を示す機能ブロック図である。
【０１１９】
図３３に示す腕時計型の活動計１４００（アクティブトラッカー）は、本発明の携帯型電子機器を適用したリスト機器である。活動計１４００は、バンド１４０１によってユーザーの手首等の部位（被検体）に装着される。また、活動計１４００は、デジタル表示の表示部１４０２を備えると共に、無線通信が可能である。上述した本発明に係る物理量センサー１は、加速度を測定するセンサーや角速度を計測するセンサーとして活動計１４００に組込まれている。
【０１２０】
活動計１４００は、物理量センサー１が収容されているケース１４０３と、ケース１４０３に収容され、物理量センサー１からの出力データを処理する処理部１４１０と、ケース１４０３に収容されている表示部１４０２と、ケース１４０３の開口部を塞いでいる透光性カバー１４０４と、を備えている。また、透光性カバー１４０４の外側にはベゼル１４０５が設けられている。また、ケース１４０３の側面には複数の操作ボタン１４０６、１４０７が設けられている。
【０１２１】
図３４に示すように、物理量センサー１としての加速度センサー１４０８は、互いに交差する（理想的には直交する）３軸方向の各々の加速度を検出し、検出した３軸加速度の大きさおよび向きに応じた信号（加速度信号）を出力する。また、角速度センサー１４０９は、互いに交差する（理想的には直交する）３軸方向の各々の角速度を検出し、検出した３軸角速度の大きさおよび向きに応じた信号（角速度信号）を出力する。
【０１２２】
表示部１４０２を構成する液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）では、種々の検出モードに応じて、例えば、ＧＰＳセンサー１４１１や地磁気センサー１４１２を用いた位置情報、移動量や物理量センサー１に含まれる加速度センサー１４０８や角速度センサー１４０９などを用いた運動量などの運動情報、脈拍センサー１４１３などを用いた脈拍数などの生体情報、もしくは現在時刻などの時刻情報などが表示される。なお、温度センサー１４１４を用いた環境温度を表示することもできる。
【０１２３】
通信部１４１５は、ユーザー端末と図示しない情報端末との間の通信を成立させるための各種制御を行う。通信部１４１５は、例えば、Bluetooth（登録商標）（BTLE：Bluetooth Low Energyを含む）、Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）（Wireless Fidelity）、Ｚｉｇｂｅｅ（登録商標）、ＮＦＣ（Near field communication）、ＡＮＴ＋（登録商標）等の近距離無線通信規格に対応した送受信機や、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）等の通信バス規格に対応したコネクターを含んで構成される。
【０１２４】
処理部１４１０（プロセッサー）は、例えば、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等により構成される。処理部１４１０は、記憶部１４１６に格納されたプログラムと、操作部１４１７（例えば操作ボタン１４０６、１４０７）から入力された信号とに基づき、各種の処理を実行する。処理部１４１０による処理には、ＧＰＳセンサー１４１１、地磁気センサー１４１２、圧力センサー１４１８、加速度センサー１４０８、角速度センサー１４０９、脈拍センサー１４１３、温度センサー１４１４、計時部１４１９の各出力信号に対するデータ処理、表示部１４０２に画像を表示させる表示処理、音出力部１４２０に音を出力させる音出力処理、通信部１４１５を介して情報端末と通信を行う通信処理、バッテリー１４２１からの電力を各部へ供給する電力制御処理などが含まれる。
【０１２５】
このような活動計１４００では、少なくとも以下のような機能を有することができる。
１．距離：高精度のＧＰＳ機能により計測開始からの合計距離を計測する。
２．ペース：ペース距離計測から、現在の走行ペースを表示する。
３．平均スピード：平均スピード走行開始から現在までの平均スピードを算出し表示する。
４．標高：ＧＰＳ機能により、標高を計測し表示する。
５．ストライド：ＧＰＳ電波が届かないトンネル内などでも歩幅を計測し表示する。
６．ピッチ：１分あたりの歩数を計測し表示する。
７．心拍数：脈拍センサーにより心拍数を計測し表示する。
８．勾配：山間部でのトレーニングやトレイルランにおいて、地面の勾配を計測し表示する。
９．オートラップ：事前に設定した一定距離や一定時間を走った時に、自動でラップ計
測を行う。
１０．運動消費カロリー：消費カロリーを表示する。
１１．歩数：運動開始からの歩数の合計を表示する。
【０１２６】
このような活動計１４００（携帯型電子機器）は、物理量センサー１と、物理量センサー１が収容されているケース１４０３と、ケース１４０３に収容され、物理量センサー１からの出力データを処理する処理部１４１０と、ケース１４０３に収容されている表示部１４０２と、ケース１４０３の開口部を塞いでいる透光性カバー１４０４と、を含んでいる。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１２７】
なお、活動計１４００は、ランニングウォッチ、ランナーズウォッチ、デュアスロンやトライアスロン等マルチスポーツ対応のランナーズウォッチ、アウトドアウォッチ、および衛星測位システム、例えばＧＰＳを搭載したＧＰＳウォッチ、等に広く適用できる。
【０１２８】
また、上述では、衛星測位システムとしてＧＰＳ（Global Positioning System）を用いて説明したが、他の全地球航法衛星システム（ＧＮＳＳ：Global Navigation Satellite System）を利用してもよい。例えば、ＥＧＮＯＳ(European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service)、ＱＺＳＳ（Quasi Zenith Satellite System）、ＧＬＯＮＡＳＳ（GLObal NAvigation Satellite System）、ＧＡＬＩＬＥＯ、ＢｅｉＤｏｕ（BeiDou Navigation Satellite System）、等の衛星測位システムのうち１または２以上を利用してもよい。また、衛星測位システムの少なくとも１つにＷＡＡＳ（Wide Area Augmentation System）、ＥＧＮＯＳ（European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service）等の静止衛星型衛星航法補強システム（ＳＢＡＳ：Satellite-based Augmentation System）を利用してもよい。
【０１２９】
＜第９実施形態＞
次に、本発明の第９実施形態に係る移動体について説明する。
【０１３０】
図３５は、本発明の第９実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
図３５に示す自動車１５００は、本発明の移動体を適用した自動車である。この図において、自動車１５００には、物理量センサー１が内蔵されており、物理量センサー１によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。物理量センサー１の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２（姿勢制御部）に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。
【０１３１】
このような自動車１５００（移動体）は、物理量センサー１と、物理量センサー１から出力された検出信号に基づいて制御を行う車体姿勢制御装置１５０２（制御部）と、を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１３２】
なお、物理量センサー１は、他にも、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【０１３３】
また、移動体としては、自動車１５００に限定されず、例えば、飛行機、ロケット、人工衛星、船舶、ＡＧＶ（無人搬送車）、二足歩行ロボット、ドローン等の無人飛行機等にも適用することができる。
【０１３４】
以上、本発明の物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【０１３５】
また、前述した実施形態では、物理量センサーが加速度を検出する構成について説明したが、物理量センサーが検出する物理量としては、特に限定されず、例えば、角速度、圧力等であってもよい。また、物理量センサーが複数の物理量を検出できるようになっていてもよい。なお、複数の物理量とは、検出軸が異なる同種の物理量（例えば、Ｘ軸方向の加速度、Ｙ軸方向の加速度およびＺ軸方向の加速度や、Ｘ軸まわりの角速度、Ｙ軸まわりの角速度およびＺ軸まわりの角速度）であってもよいし、異なる物理量（例えば、Ｘ軸まわりの角速度およびＸ軸方向の加速度）であってもよい。
【符号の説明】
【０１３６】
１…物理量センサー、１９…ガラスフリット、２…基板、２１…凹部、２２…マウント部、２５、２６、２７、２８…溝部、３…素子部、３０…シリコン基板、３００…貫通孔、３１…固定部、３２…可動部、３２１…第１可動部、３２１ａ…貫通孔、３２２…第２可動部、３３…梁部、４…シールド部、５…蓋体、５１…凹部、６…導体パターン、６Ａ…露出部、６Ｂ…非露出部、６Ｃ…境界、６１…第１固定電極、６２…第２固定電極、６３…ダミー電極、６５、６６、６７、６８…配線、８…保護膜、８Ａ…第１層、８Ｂ…第２層、８Ｃ…第３層、８１…重なり部、９…素子部、９０…固定電極部、９１…第１固定電極部、９１１…第１幹部、９１２…第１固定電極指、９１３…第１固定部、９１３ａ…接合部、９２…第２固定電極部、９２１…第２幹部、９２２…第２固定電極指、９２３…第２固定部、９２３ａ…接合部、９３…固定部、９３１…接合部、９４…可動部、９４８…第１開口部、９４９…第２開口部、９５、９６…ばね部、９７…可動電極部、９８…第１可動電極部、９８１…第１可動電極指、９９…第２可動電極部、９９１…第２可動電極指、１１００…パーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１１０８…表示部、１１１０…制御回路、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１２０８…表示部、１２１０…制御回路、１３００…デジタルスチールカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１３２０…制御回路、１４００…活動計、１４０１…バンド、１４０２…表示部、１４０３…ケース、１４０４…透光性カバー、１４０５…ベゼル、１４０６…操作ボタン、１４０７…操作ボタン、１４０８…加速度センサー、１４０９…角速度センサー、１４１０…処理部、１４１１…ＧＰＳセンサー、１４１２…地磁気センサー、１４１３…脈拍センサー、１４１４…温度センサー、１４１５…通信部、１４１６…記憶部、１４１７…操作部、１４１８…圧力センサー、１４１９…計時部、１４２０…音出力部、１４２１…バッテリー、１５００…自動車、１５０１…車体、１５０２…車体姿勢制御装置、１５０３…車輪、２０００…慣性計測装置、２１００…アウターケース、２１１０…ネジ穴、２２００…接合部材、２３００…センサーモジュール、２３１０…インナーケース、２３１１…凹部、２３１２…開口、２３２０…基板、２３３０…コネクター、２３４０ｘ…角速度センサー、２３４０ｙ…角速度センサー、２３４０ｚ…角速度センサー、２３５０…加速度センサー、２３６０…制御ＩＣ、３０００…移動体測位装置、３１００…慣性計測装置、３１１０…加速度センサー、３１２０…角速度センサー、３２００…演算処理部、３３００…ＧＰＳ受信部、３４００…受信アンテナ、３５００…位置情報取得部、３６００…位置合成部、３７００…処理部、３８００…通信部、３９００…表示部、Ａｘ、Ａｚ…加速度、Ｄ１、Ｄ２…離間距離、Ｇ…反応性ガス、Ｈ…飛沫、ＨＭ…ハードマスク、Ｊ…揺動軸、ＬＰ…リークパス、Ｐ…電極パッド、Ｓ…収納空間、Ｔ１、Ｔ２…厚さ、Ｖ１、Ｖ２、Ｖ４、Ｖ５…電圧、θ…傾き
【図１】
2019066256.tif 000003
【図２】
2019066256.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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