(57)【要約】【課題】従来に比べて、耐熱性を向上させたプラスチックレンズ及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】プラスチック基材（２）の表面に、耐熱反射防止膜（３）が形成されており、前記耐熱反射防止膜は、高屈折率膜（４）と低屈折率膜（５）とが交互に積層されており、前記耐熱反射防止膜の総厚は、８０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下であり、前記耐熱反射防止膜の応力は、−６０ＭＰａ以上６０ＭＰａ以下である、ことを特徴とするプラスチックレンズ（１）。【選択図】図２
2019066600.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチック基材の表面に、耐熱反射防止膜が形成されており、
前記耐熱反射防止膜は、高屈折率膜と低屈折率膜とが交互に積層されており、
前記耐熱反射防止膜の総厚は、８０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下であり、
前記耐熱反射防止膜の応力は、−６０ＭＰａ以上６０ＭＰａ以下である、
ことを特徴とするプラスチックレンズ。
【請求項２】
前記高屈折率膜は、ＺｒＯｘ（ｘは、１．５〜２）、ＴｉＯｘ（ｘは、１〜２）、ＴａＯｘ（ｘは、２〜２．５）、及び、ＮｂＯｘ（ｘは、２〜２．５）から選択される単層又は２種以上を含む混合層で形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラスチックレンズ。
【請求項３】
前記低屈折率膜は、ＳｉＯ２の単層又はＳｉＯ２を含む混合層で形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のプラスチックレンズ。
【請求項４】
前記高屈折率膜及び前記低屈折率膜の層数が、２層、又は３層であり、前記耐熱反射防止膜の総厚は、８０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
【請求項５】
前記高屈折率膜及び前記低屈折率膜の層数が、４層以上８層以下であり、前記耐熱反射防止膜の総厚は、１５０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
【請求項６】
前記耐熱反射防止膜の応力は、−４０ＭＰａ以上４０ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
【請求項７】
前記高屈折率膜及び前記低屈折率膜の層数が、２層、又は３層であり、４００ｎｍ〜７００ｎｍの波長域内に反射率の極小値を有し、前記極小値が１％以下であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
【請求項８】
前記高屈折率膜及び前記低屈折率膜の層数が、４層以上８層以下であり、４００ｎｍ〜７００ｎｍの波長域内での反射率が６％以下であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
【請求項９】
プラスチックレンズの表面に、耐熱反射防止膜を形成する工程、を含み、
前記耐熱反射防止膜を形成する工程では、高屈折率膜と低屈折率膜とを交互に積層し、このとき、前記耐熱反射防止膜の総厚が、８０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下、前記耐熱反射防止膜の応力が、−６０ＭＰａ以上６０ＭＰａ以下となるように調節する、
ことを特徴とするプラスチックレンズの製造方法。
【請求項１０】
前記高屈折率膜の蒸発材料として、ＺｒＯ２、Ｔｉ３Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、及び、Ｎｂ２Ｏ５から選択される単体又は２種以上を含む混合材を用いることを特徴とする請求項９に記載のプラスチックレンズの製造方法。
【請求項１１】
前記低屈折率膜の蒸発材料として、ＳｉＯ２の単体又はＳｉＯ２を含む混合材を用いることを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載のプラスチックレンズの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラスチックレンズ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、車載カメラの市場が伸びており、今後も市場の拡大が期待される。車載カメラでは、一般的なカメラ用レンズ等に比べて耐熱性が求められる。
【０００３】
特に、従来、プラスチックレンズの表面にコートされる反射防止膜（ＡＲコート）では、耐熱性が低く、車載カメラで要求される熱が加わると、クラックが生じる問題があった。
【０００４】
例えば、特許文献１に記載の発明では、合成樹脂基板上に誘電体多層膜を形成した光学素子が記載されている。特許文献１では、誘電体多層膜を構成する低屈折率層を、Ａｌ２Ｏ３とＳｉＯ２との混合物で形成している。これにより、応力を緩和でき、剥離やクラックの発生を防止することができるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２９２４６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、耐熱性に着目して、反射防止膜全体の最適化は行われていない。
【０００７】
本発明は、以上の問題意識に基づいてなされたものであり、従来に比べて、耐熱性を向上させたプラスチックレンズ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のプラスチックレンズは、プラスチック基材の表面に、耐熱反射防止膜が形成されており、前記耐熱反射防止膜は、高屈折率膜と低屈折率膜とが交互に積層されており、前記耐熱反射防止膜の総厚は、８０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下であり、前記耐熱反射防止膜の応力は、−６０ＭＰａ以上６０ＭＰａ以下である、ことを特徴とする。
【０００９】
本発明では、前記高屈折率膜は、ＺｒＯｘ（ｘは、１．５〜２）、ＴｉＯｘ（ｘは、１〜２）、ＴａＯｘ（ｘは、２〜２．５）、及び、ＮｂＯｘ（ｘは、２〜２．５）から選択される単層又は２種以上を含む混合層で形成されることが好ましい。
【００１０】
本発明では、前記低屈折率膜は、ＳｉＯ２の単層又はＳｉＯ２を含む混合層で形成されることが好ましい。
【００１１】
本発明では、前記高屈折率膜及び前記低屈折率膜の層数が、２層、又は３層であり、前記耐熱反射防止膜の総厚は、８０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００１２】
本発明では、前記高屈折率膜及び前記低屈折率膜の層数が、４層以上８層以下であり、前記耐熱反射防止膜の総厚は、１５０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下であることが好ましい。
【００１３】
本発明では、前記耐熱反射防止膜の応力は、−４０ＭＰａ以上４０ＭＰａ以下であることが好ましい。
【００１４】
本発明では、前記高屈折率膜及び前記低屈折率膜の層数が、２層、又は３層であり、４００ｎｍ〜７００ｎｍの波長域内に反射率の極小値を有し、前記極小値が１％以下であることが好ましい。
【００１５】
本発明では、前記高屈折率膜及び前記低屈折率膜の層数が、４層以上８層以下であり、４００ｎｍ〜７００ｎｍの波長域内での反射率が６％以下であることが好ましい。
【００１６】
本発明のプラスチックレンズの製造方法は、プラスチックレンズの表面に、耐熱反射防止膜を形成する工程、を含み、前記耐熱反射防止膜を形成する工程では、高屈折率膜と低屈折率膜とを交互に積層し、このとき、前記耐熱反射防止膜の総厚が、８０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下、前記耐熱反射防止膜の応力が、−６０ＭＰａ以上６０ＭＰａ以下となるように調節する、ことを特徴とする。
【００１７】
本発明では、前記高屈折率膜の蒸発材料として、ＺｒＯ２、Ｔｉ３Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、及び、Ｎｂ２Ｏ５から選択される単体又は２種以上を含む混合材を用いることが好ましい。
【００１８】
本発明では、前記低屈折率膜の蒸発材料として、ＳｉＯ２の単体又はＳｉＯ２を含む混合材を用いることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、従来に比べて、耐熱性を向上させたプラスチックレンズ及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本実施形態のプラスチックレンズの模式図である。
【図２】本実施形態のプラスチックレンズの部分拡大模式図である。
【図３】実施例１における波長と反射率との関係を示すグラフである。
【図４】実施例２における波長と反射率との関係を示すグラフである。
【図５】実施例３における波長と反射率との関係を示すグラフである。
【図６】実施例４における波長と反射率との関係を示すグラフである。
【図７】実施例５における波長と反射率との関係を示すグラフである。
【図８】実施例６における波長と反射率との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための形態（以下、単に「本実施形態」という。）について詳細に説明する。
【００２２】
＜プラスチックレンズ＞
本発明者は、プラスチック基材の表面に成膜される反射防止膜の耐熱性を鋭意研究した結果、反射防止膜の総厚、及び応力を調節することで、耐熱性に優れたプラスチックレンズを開発するに至った。すなわち、本実施形態のプラスチックレンズは、以下の特徴的部分（１）〜（４）を備えている。
（１）プラスチック基材の表面に、耐熱反射防止膜が形成される。
（２）耐熱反射防止膜は、高屈折率膜と低屈折率膜とが交互に積層される。
（３）耐熱反射防止膜の総厚は、８０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下である。
（４）耐熱反射防止膜の応力は、−６０ＭＰａ以上６０ＭＰａ以下である。
【００２３】
図１は、本実施形態のプラスチックレンズの模式図である。図１に示すプラスチックレンズ１は、基板としてのプラスチック基材２と、プラスチック基材２の表面（図１に示す第１面２ａと第２面２ｂ）に形成された耐熱反射防止膜３と、を有して構成される。
【００２４】
プラスチック基材２は、耐熱性を有するプラスチック材料である。使用用途により、必要とされる耐熱温度は変わるが、車載レンズ用の場合、例えば、１０５℃以上の耐熱温度が要求される。よって、プラスチック基材２は、１０５℃以上の耐熱性を有するプラスチック材料であることが好ましい。プラスチック基材２の材質としては、所定の耐熱性を有していれば特に問うものでないが、例えば、（メタ）アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、アリル系樹脂、ウレタン系樹脂等の樹脂を例示することができる。
【００２５】
また、耐熱反射防止膜３が成膜されるプラスチック基材２の表面は、例えば、非球面である。図１のプラスチック基材２は、例えば、負のパワーを有するメニスカスレンズであるが、正のパワーを有するメニスカスレンズであってもよいし、両凸レンズあるいは両凹レンズ等でもよい。ただし、プラスチック基材２の表面は、非球面以外であってもよい。
【００２６】
耐熱反射防止膜３は、上記（２）で示したように、高屈折率膜と低屈折率膜とが交互に積層される。
【００２７】
以下、耐熱反射防止膜３について、更に詳しく説明する。
【００２８】
＜耐熱反射防止膜＞
図２に示すように、本実施形態の耐熱反射防止膜３は、プラスチック基材２の表面から、高屈折率膜４と低屈折率膜５とが交互に積層される。耐熱反射防止膜３の最外層は、低屈折率膜５であることが好ましい。
【００２９】
耐熱反射防止膜３は、プラスチック基材２単体の場合よりも反射率が低くなるように調整される。具体的には、耐熱反射防止膜３を設けたプラスチックレンズ１全体が、所望の分光反射率を持つように各層の屈折率及び膜厚を決定する。
【００３０】
低屈折率膜５の屈折率は、高屈折率膜４及びプラスチック基材２の屈折率よりも低い。一方、高屈折率膜４は、プラスチック基材２の屈折率より高くてもよい。
【００３１】
高屈折率膜４と低屈折率膜５を合わせた総数を限定するものでないが、好ましくは、２層以上１５層程度であり、より好ましくは、２層以上１０層以下である。更に好ましくは、２層以上８層以下であり、更により好ましくは、４層以上６層以下である。層数は、次に説明する総厚や応力に応じて調節される。
【００３２】
上記の（３）で示したように、耐熱反射防止膜３の総厚は、８０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下である。総厚とは、高屈折率膜４及び低屈折率膜５を全て合わせたトータルの膜厚を指す。
【００３３】
本実施形態では、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の層数が、２層、又は３層であり、耐熱反射防止膜３の総厚は、８０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００３４】
また、本実施形態では、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の層数が、４層以上８層以下であり、耐熱反射防止膜３の総厚は、１５０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下であることが好ましい。また、耐熱反射防止膜３の総厚は、１８０ｎｍ以上２２０ｎｍ以下であることがより好ましい。
【００３５】
上記の（４）に示すように、耐熱反射防止膜３の応力は、−６０ＭＰａ以上６０ＭＰａ以下である。応力は、−４０ＭＰａ以上４０ＭＰａ以下であることが好ましく、−３０ＭＰａ以上３０ＭＰａ以下であることがより好ましく、−２０ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下であることが更に好ましい。応力のプラス値は、圧縮応力を示し、マイナス値は、引張応力を示す。
【００３６】
耐熱反射防止膜３の応力を上記の範囲内に調節するには、耐熱反射防止膜３の総厚内で、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の材質や層数を調節して、応力バランスを取ることが必要である。
【００３７】
以上により、総厚と応力を規定した耐熱反射防止膜３を有する本実施形態のプラスチックレンズ１によれば、従来に比べて、耐熱性を向上させることができる。具体的には、１０５℃の高温試験においても、耐熱反射防止膜３にクラックや剥離が生じることを防止することができる。
【００３８】
耐熱反射防止膜３の総厚と応力の双方が重要である。したがって、耐熱反射防止膜３の総厚と応力の条件を満たすように、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の膜厚や材質を適切に調節することが必要である。耐熱反射防止膜３の総厚と応力のどちらか一方が、上記（３）或いは上記（４）の条件から外れると、１０５℃の高温試験において、耐熱反射防止膜３にクラックが生じることが後述する実験によりわかっている。
【００３９】
また、本実施形態では、１０５℃の高温試験と合わせて、８５℃、８５％の高温多湿試験においても、耐熱反射防止膜３にクラックが生じるのを適切に防止することが可能である。
【００４０】
また、上記の高温試験、及び高温多湿試験では、いずれも１０００時間以上の試験時間でもクラックが生じないことが後述の実験よりわかっている。
【００４１】
また、本実施径形態の耐熱反射防止膜３を用いたプラスチックレンズ１では、所望の光学特性を得つつ、優れた耐熱性を満たすことができる。光学特性は、例えば、反射率で評価することができる。
【００４２】
本実施形態では、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の層数が、２層、又は３層であるとき、４００ｎｍ〜７００ｎｍの波長域内に反射率の極小値を備え、該反射率の極小値は１％以下であることが好ましい。
【００４３】
また、本実施形態では、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の層数が、４層以上８層以下であり、４００ｎｍ〜７００ｎｍの波長域内の反射率は、６％以下であることが好ましい。
【００４４】
また、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の層数が、４層以上８層以下であり、４００ｎｍの波長では、反射率が６％以下であり、４２０ｎｍ〜７００ｎｍの波長域では反射率が３％以下であることが好ましい。また、４００ｎｍの波長では、反射率が３％以下、４１０ｎｍ〜４３０ｎｍの波長域では、反射率が２％以下、４３１ｎｍ〜５９０ｎｍの波長域では、反射率が１％以下、５９１ｍ〜７００ｎｍの波長域では、反射率が１．５％以下であることがより好ましい。
【００４５】
反射率は、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の各層の屈折率や膜厚により調節することができる。したがって、上記（２）〜（４）の条件内にて各層の屈折率や膜厚を適正化することで、耐熱性と共に所望の光学特性を得ることが可能になる。
【００４６】
次に、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の好ましい材質について説明する。
【００４７】
本実施形態では、高屈折率膜４は、ＺｒＯｘ（ｘは、１．５〜２）、ＴｉＯｘ（ｘは、１〜２）、ＴａＯｘ（ｘは、２〜２．５）、及び、ＮｂＯｘ（ｘは、２〜２．５）から選択される単層又は２種以上を含む混合層で形成されることが好ましい。上記した金属酸化物は、化学量論組成でなくても、酸素の組成比率が上記ｘの範囲であればよい。
【００４８】
耐熱反射防止膜３内に積層される複数の高屈折率膜４の材質は、同一であっても異なっていてもよい。
【００４９】
また、低屈折率膜５は、ＳｉＯ２の単層又はＳｉＯ２を含む混合層で形成されることが好ましい。
【００５０】
耐熱反射防止膜３に積層される複数の低屈折率膜５の材質は、同一であっても異なっていてもよい。
【００５１】
上記した高屈折率膜４及び低屈折率膜５の材質を用いることで、上記（２）〜（４）の条件を適切に満たすことができ、耐熱性に優れると共に、所望の光学特性を備えたプラスチックレンズ１を適切に得ることができる。
【００５２】
＜プラスチックレンズの製造方法＞
図２に示す本実施形態のプラスチックレンズの製造方法について説明する。
【００５３】
本実施形態では、プラスチック基材２の表面に、高屈折率膜４と低屈折率膜５とを交互に積層し、耐熱反射防止膜３を形成する。
【００５４】
このとき、耐熱反射防止膜３の総厚が、８０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下、耐熱反射防止膜３の応力が、−６０ＭＰａ以上６０ＭＰａ以下となるように、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の各膜厚や材質を調節する。
【００５５】
本実施形態では、耐熱反射防止膜３を形成する前に、プラスチック基材２を、適度な温度で加熱して、残留応力を低減させることが好適である。
【００５６】
本実施形態では、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の成膜方法を限定するものではないが、高屈折率膜４及び低屈折率膜５を、蒸着法或いはスパッタ法にて成膜することが好ましい。
【００５７】
蒸着法としては、イオンビームアシスト蒸着(Ｉｏｎ−ｂｅａｍ  Ａｓｓｉｓｔｅｄ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＩＡＤ)法、或いは、電子ビーム（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｂｅａｍ：ＥＢ）法を用いることが好ましい。イオンビームアシスト蒸着法では、真空蒸着中に、イオン銃で、ガスイオンを基板であるガラスレンズの表面に照射する。また、電子ビーム法では、高真空雰囲気の中で、蒸発材料をるつぼに入れ、電子ビームをるつぼに照射し、るつぼ中の蒸発材料を加熱蒸発させる。
【００５８】
例えば、本実施形態では、高屈折率膜４を蒸着法にて成膜する際、蒸発材料として、ＺｒＯ２、Ｔｉ３Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、及び、Ｎｂ２Ｏ５から選択される単体又は２種以上を含む混合材を用いる。そして、成膜チャンバ内にて減圧下で、蒸発材料を加熱蒸発させる。蒸発した蒸発粒子は、Ｏ2と結合して、基板としてのプラスチック基材２の表面に堆積する。
【００５９】
これにより、プラスチック基材２の表面には、ＺｒＯｘ（ｘは、１．５〜２）、ＴｉＯｘ（ｘは、１〜２）、ＴａＯｘ（ｘは、２〜２．５）、及び、ＮｂＯｘ（ｘは、２〜２．５）から選択される単層又は２種以上を含む混合層からなる高屈折率膜４を成膜することができる。
【００６０】
また、本実施形態では、低屈折率膜５の蒸発材料として、ＳｉＯ２の単体又はＳｉＯ２を含む混合材を用いることが好ましい。そして、成膜チャンバ内にて減圧下で、ＳｉＯ２を加熱蒸発させる。蒸発したＳｉＯ２は、基板としてのプラスチック基材２の表面に堆積する。
【００６１】
本実施形態では、プラスチック基材２の材質を特に限定するものでないが、車載レンズ用の場合、例えば、１０５℃以上の耐熱性を有するプラスチック材料であることが好ましい。
【００６２】
また、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の層数を限定するものでないが、耐熱反射防止膜３の総厚が、８０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下、耐熱反射防止膜３の応力が、−６０ＭＰａ以上６０ＭＰａ以下となるように、層数を調節する。層数は、応力バランスを取るうえで、重要なファクターである。層数は、好ましくは、２層〜８層であり、より好ましくは、４層〜６層である。
【００６３】
以上の、本実施形態のプラスチックレンズ１の製造方法によれば、所望の光学特性と、優れた耐熱性を備えたプラスチックレンズ１を、簡単且つ適切に製造することができる。
【００６４】
本実施形態によれば、１０５℃の高温試験、及び、８５℃、８５％の高温多湿試験においても、耐熱反射防止膜３にクラックや剥離が生じることを防止することができる。
【実施例】
【００６５】
以下、本実施形態を実施例及び比較例を用いてより具体的に説明する。実験では、以下に示す実施例１から実施例６及び比較例１から比較例２を製造した。
【００６６】
［実施例１］
実施例１では、以下の表１に示す材料を用い、表１に示す膜厚及び応力を有する高屈折率膜４としてのＴｉＯｘ及び低屈折率膜５としてのＳｉＯ２を成膜し、耐熱反射防止膜３を得た。表１の１層目は、プラスチック基材２側であり、７層目は、プラスチック基材２から最も離れた外層（空気と接する層）である。実験では、（株）昭和真空製の蒸着機（ＳＧＣ−２２ＳＡ）を使用して成膜した。耐熱反射防止膜３を成膜するプラスチック基材２には、三菱ガス化学製の基材ＥＰ６０００（特殊なポリカーボネート）を用いた。なお、実施例２から実施例６及び比較例１から比較例２においても同様である。
【００６７】
なお、高屈折率膜４の蒸発材料には、Ｔｉ３Ｏ５を用い、低屈折率膜５の蒸発材料には、ＳｉＯ２を用いた。
【００６８】
表１に示すＴｉＯｘ、及び、ＳｉＯ２の応力値は、ＴｉＯｘ、及び、ＳｉＯ２を、夫々、応力測定に約３００ｎｍの単層膜で成膜した際の値である。応力は、Ｖｅｅｃｏ社製表面形状測定器Ｄｅｋｔａｋ  １５０を用いて、成膜前後でのカバーガラスの反リ量の変化を測定して、反リ量の変化より換算した。応力の計算方法は、R.  J.  Jaccodine  and  W.  A.  Schlegel,  Measurement  of  Strains  at  Si‐SiO2  Interface,  Journal  of  Applied  Physics  37,  2429  (1966)”に記載の方法とした。そして、ＴｉＯｘ、及び、ＳｉＯ２の各応力を表１に示す各層の膜厚に換算し、耐熱反射防止膜３の応力（表１の応力欄の「トータル」を参照）を算出した。
【００６９】
表１に示す膜厚は、成膜中水晶膜厚計で測定した値であって、断面ＴＥＭ写真を用いて測定することもできる。上記の応力、及び膜厚の測定方法は、実施例２から実施例５及び比較例１から比較例３においても同様に用いた。
【００７０】
【表１】
2019066600.tif 000003
【００７１】
［実施例２］
実施例２では、以下の表２に示す材料を用い、表２に示す膜厚及び応力を有する高屈折率膜４としてのＴｉＯｘ及び低屈折率膜５としてのＳｉＯ２を成膜し、耐熱反射防止膜３を得た。蒸発材料は、実施例１と同じである。
【００７２】
【表２】
2019066600.tif 000004
【００７３】
実施例１では、層数が７に対し、実施例２では、層数を６にした。その他の条件は実施例１と同じである。
【００７４】
［実施例３］
実施例３では、以下の表３に示す材料を用い、表３に示す膜厚及び応力を有する高屈折率膜４としてのＴａＯｘ及び低屈折率膜５としてのＳｉＯ２を成膜し、耐熱反射防止膜３を得た。
【００７５】
実施例３では、高屈折率膜４の蒸発材料には、Ｔａ２Ｏ５を用い、低屈折率膜５の蒸発材料には、ＳｉＯ２を用いた。
【００７６】
【表３】
2019066600.tif 000005
【００７７】
［実施例４］
実施例４では、以下の表４に示す材料を用い、表４に示す膜厚及び応力を有する高屈折率膜４としてのＴｉＯｘ及び低屈折率膜５としてのＳｉＯ２を成膜し、耐熱反射防止膜３を得た。蒸発材料は、実施例１と同じである。
【００７８】
【表４】
2019066600.tif 000006
【００７９】
実施例１では、層数が７に対し、実施例４では、層数を４にした。その他の条件は実施例１と同じである。
【００８０】
［実施例５］
実施例５では、以下の表５に示す材料を用い、表５に示す膜厚及び応力を有する高屈折率膜４としてのＴａＯｘ及び低屈折率膜５としてのＳｉＯ２を成膜し、耐熱反射防止膜３を得た。蒸発材料は、実施例３と同じである。
【００８１】
【表５】
2019066600.tif 000007
【００８２】
実施例３では、層数が６に対し、実施例５では、層数を４にした。その他の条件は実施例３と同様である。
【００８３】
［実施例６］
実施例６では、以下の表６に示す材料を用い、表６に示す膜厚及び応力を有する高屈折率膜４としてのＴｉＯｘ及び低屈折率膜５としてのＳｉＯ２を成膜し、耐熱反射防止膜３を得た。蒸発材料は、実施例１と同じである。
【００８４】
【表６】
2019066600.tif 000008
【００８５】
実施例１では、層数が７に対し、実施例６では、層数を２にした。その他の条件は実施例１と同じである。
【００８６】
［比較例１］
比較例１では、以下の表７に示す材料を用い、表７に示す膜厚及び応力を有する高屈折率膜４としてのＴｉＯｘ及び低屈折率膜５としてのＳｉＯ２を成膜し、耐熱反射防止膜３を得た。蒸発材料は、実施例１と同じである。
【００８７】
【表７】
2019066600.tif 000009
【００８８】
比較例１は、実施例４と同様に層数を４としたが、ＳｉＯ２を成膜する際の条件を変えた。これにより、ＳｉＯ２の応力は、実施例４と異なり、比較例１における耐熱反射防止膜３の応力（表７の応力欄の「トータル」参照」）は、実施例４よりも大きくなった。
【００８９】
［比較例２］
比較例２では、以下の表８に示す材料を用い、表８に示す膜厚及び応力を有する高屈折率膜４としてのＴｉＯｘ及び低屈折率膜５としてのＳｉＯ２を成膜し、耐熱反射防止膜３を得た。蒸発材料は、実施例１と同じである。
【００９０】
【表８】
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【００９１】
比較例２は、実施例２と同様に、層数を６としたが、各層の膜厚を変えた。これにより、耐熱反射防止膜３の総厚（表８の膜厚欄の「トータル」参照）は、実施例２より厚くなった。
【００９２】
［耐熱試験］
上記した各実施例及び各比較例に対して、１０５℃の温度を、１１００時間かけて、信頼試験を行った。
【００９３】
更に、各実施例及び各比較例に対して、８５℃、８５％、１１００時間の高温多湿の条件にて、信頼試験を行った。
【００９４】
信頼試験は、膜にクラックが生じているか否かで評価した。その実験結果が表９に示されている。
【００９５】
【表９】
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【００９６】
表９に示すように、実施例１から実施例６では、高温試験、及び高温多湿試験の双方において、膜にクラックが発生しなかった。
【００９７】
一方、比較例１及び比較例２では、いずれも高温試験において、１６８時間の時点でクラックが生じた。
【００９８】
各実施例と比較例１とを対比すると、比較例１では、各実施例よりも膜の応力（表９のトータル応力の欄を参照）が大きいことがわかった。
【００９９】
また、各実施例と比較例１とを対比すると、比較例２では、各実施例よりも膜の総厚が厚いことがわかった。
【０１００】
上記の実験結果に基づいて、本実施例では、耐熱反射防止膜の総厚を、８０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下とした。また、耐熱反射防止膜の応力を、−６０ＭＰａ以上６０ＭＰａ以下とした。
【０１０１】
また、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の層数を、２層、又は３層としたとき、耐熱反射防止膜３の総厚の好ましい範囲を、８０ｎｍ以上２００ｎｍ以下とした。
【０１０２】
また、高屈折率膜４及び低屈折率膜５の層数を、４層以上８層以下したとき、耐熱反射防止膜３の総厚の好ましい範囲を、１５０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下とし、より好ましい範囲を、１８０ｎｍ以上２２０ｎｍ以下とした。
【０１０３】
また、耐熱反射防止膜の応力の好ましい範囲を、−４０ＭＰａ以上４０ＭＰａ以下とした。
【０１０４】
［波長と反射率との関係］
実験では、上記の各実施例を用いて、波長と反射率との関係を調べた。反射率は、オリンパス（株）製の顕微鏡型分光測定機（ＵＳＰＭ―ＲＵＩＩＩ）により測定した。
【０１０５】
図３は、実施例１における波長と反射率との関係を示すグラフである。図４は、実施例２における波長と反射率との関係を示すグラフである。図５は、実施例３における波長と反射率との関係を示すグラフである。図６は、実施例４における波長と反射率との関係を示すグラフである。図７は、実施例５における波長と反射率との関係を示すグラフである。図８は、実施例６における波長と反射率との関係を示すグラフである。
【０１０６】
層数を２層、又は３層と、４層〜８層とに分けて考察する。実施例６は、前者に該当する。実施例６の反射率を示す図８に示すように、４００ｎｍ〜７００ｎｍの波長域内に、反射率の極小値が存在することがわかった。そして、この極小値を、１％以下に抑えることができるとわかった。
【０１０７】
また、実施例１〜実施例５は、いずれも層数が、４層〜８層である。実施例１〜実施例５の反射率を示す図３から図７に示すように、４００ｎｍ〜７００ｎｍの波長域内での反射率が６％以下であることがわかった。
【０１０８】
また、４００ｎｍの波長では、反射率を６％以下にでき、４２０ｎｍ〜７００ｎｍの波長域では反射率を３％以下にできることがわかった。また、好ましくは、４００ｎｍの波長では、反射率を３％以下、４１０ｎｍ〜４３０ｎｍの波長域では、反射率を２％以下、４３１ｎｍ〜５９０ｎｍの波長域では、反射率を１％以下、５９１ｍ〜７００ｎｍの波長域では、反射率を１．５％以下にできることがわかった。
【産業上の利用可能性】
【０１０９】
本発明のプラスチックレンズは、耐熱性に優れる。したがって、本発明のプラスチックレンズを、耐熱性が求められる車載カメラ用等のガラスレンズに好ましく適用することができる。
【符号の説明】
【０１１０】
１  ：プレスチックレンズ
２  ：プラスチック基材
３  ：耐熱反射防止膜
４  ：高屈折率膜
５  ：低屈折率膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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