(57)【要約】【課題】本発明の実施例は、設備制御方法、装置、電子設備及び記憶媒体を提供する。【解決手段】前記方法は、制御すべき設備の制御フローに関係する1つ又は複数の設備制御サブフロー、及び各設備制御サブフロー間の実行論理を確定することと、前記設備制御サブフローに対応するコードを取得することと、各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード、各設備制御サブフロー間の実行論理に従って、前記制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを生成することと、前記エンコーディングプロファイルに従って前記制御すべき設備を制御することと、を含む。本発明の実施例に係る方案を応用することにより、重複してハードコードすることを避けて、後期のデバッグと開発作業を簡素化し、開発効率を向上させる。【選択図】図1
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御すべき設備の制御フローに関係する1つ又は複数の設備制御サブフロー、及び各設備制御サブフロー間の実行論理を確定することと、
それぞれの前記設備制御サブフローに対して、前記設備制御サブフローに対応するコードを取得することと、
各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード、各設備制御サブフロー間の実行論理に従って、前記制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを生成することと、
前記エンコーディングプロファイルに従って、前記制御すべき設備を制御することと、を含むことを特徴とする設備制御方法。
【請求項２】
前記設備制御サブフローに対応するコードを取得することは、
前記設備制御サブフローを分割して1つ又は複数の1段階制御サブフローを得て、各1段階制御サブフロー間の実行論理を記録することと、
それぞれの前記1段階制御サブフローに対して、前記1段階制御サブフローに対応するコードを取得することと、
各1段階制御サブフローのそれぞれ対応するコード、各1段階制御サブフロー間の実行論理に従って、前記設備制御サブフローに対応するコードを生成することと、を含むことを特徴とする請求項1に記載の設備制御方法。
【請求項３】
前記1段階制御サブフローに対応するコードを取得することは、
前記1段階制御サブフローを分割して1つ又は複数の2段階制御サブフローを得て、各2段階制御サブフロー間の実行論理を記録することと、
複数の構成アイテムに対応するコードと、各構成アイテムの関係するサブアイテムと、各サブアイテム間の実行論理とを含むフローコードライブラリから、前記2段階制御サブフロー、2段階制御サブフロー間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出すことと、
前記フローコードライブラリの中の、当該構成アイテムに対応するコードを、前記1段階制御サブフローに対応するコードとして確定することと、を含むことを特徴とする請求項2に記載の設備制御方法。
【請求項４】
前記1段階制御サブフローに対応するコードを取得することは、
前記フローコードライブラリから前記2段階制御サブフロー、2段階制御サブフロー間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出せなかった場合に、
それぞれの前記2段階制御サブフローに対して、前記2段階制御サブフローに対応するコードを取得することと、
各2段階制御サブフローのそれぞれ対応するコード及び各2段階制御サブフロー間の実行論理に従って、前記1段階制御サブフローに対応するコードを生成することと、を更に含むことを特徴とする請求項3に記載の設備制御方法。
【請求項５】
前記2段階制御サブフローに対応するコードを取得することは、
前記2段階制御サブフローを分割して1つ又は複数の3段階制御サブフローを得て、各3段階制御サブフロー間の実行論理を記録することと、
前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフロー、3段階制御サブフロー間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出すことと、
前記フローコードライブラリの中の、当該構成アイテムに対応するコードを、前記2段階制御サブフローに対応するコードとして確定することと、を含むことを特徴とする請求項4に記載の設備制御方法。
【請求項６】
前記2段階制御サブフローに対応するコードを取得することは、
前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフロー、3段階制御サブフロー間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出せなかった場合に、
それぞれの前記3段階制御サブフローに対して、前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフローに対応するコードを探すことと、
各3段階制御サブフローのそれぞれ対応するコード及び各3段階制御サブフロー間の実行論理に従って、前記2段階制御サブフローに対応するコードを生成することと、
を更に含み、
前記3段階制御サブフローに対応するコードは、前記3段階制御サブフローの関係する1つ又は複数の制御すべきエンティティ及び各制御すべきエンティティ間の実行論理に従って予め設定して記憶されたものであり、
前記制御すべきエンティティは、離散データ、クラスタデータ、メッセージ、及び、アラームのうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項5に記載の設備制御方法。
【請求項７】
前記制御すべき設備は、有機金属化学気相成長（MOCVD）設備、物理的気相成長（PVD）設備、エピタキシャルリフトオフ（ELO）設備、研磨設備、インクジェット印刷設備、又は洗浄設備であり、
前記設備制御サブフローは、基板のローディング/アンローディング、基板ローディングツールの選択、基板又は基板ローディングツールの移送、圧力制御、温度制御、加熱、冷却、エピタキシャルリフトオフ、気体制御、バルブ制御、研磨、洗浄および乾燥、インクジェット印刷、及び、エッチングのうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の設備制御方法。
【請求項８】
制御すべき設備の制御フローに関係する1つ又は複数の設備制御サブフロー、及び各設備制御サブフロー間の実行論理を確定するための制御分解モジュールと、
それぞれの前記設備制御サブフローに対して、前記設備制御サブフローに対応するコードを取得するためのコード取得モジュールと、
各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード、各設備制御サブフロー間の実行論理に従って、前記制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを生成するための設定生成モジュールと、
前記エンコーディングプロファイルに従って前記制御すべき設備を制御するための設備制御モジュールと、を備えることを特徴とする設備制御装置。
【請求項９】
メモリ、プロセッサ、バス、及びメモリに記憶されプロセッサ上で実行可能なコンピュータプログラムを備え、前記プロセッサが前記プログラムを実行する時、請求項1〜7のいずれか一項の設備制御方法のステップが実現されることを特徴とする電子設備。
【請求項１０】
コンピュータプログラムが記憶されている記憶媒体であって、前記プログラムがプロセッサに実行される時、請求項1-7のいずれか一項の設備制御方法のステップが実現されることを特徴とする記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施例は、半導体技術分野に関し、特に、設備制御方法、装置、電子設備及び記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
光起電力半導体製造プロセスでは、異なるタイプ又は機種の設備について、設備制御サブフローが類似又は同一であっても、制御コードを書く時、それぞれのタイプ又は機種の設備が個別的に1セットの制御プログラムに対応する必要があり、且つ各セットの制御プログラムでは、これらの設備制御サブフローに対して、いずれもハードコードで実現される。
【０００３】
しかしながら、従来のこのようなハードコード制御方式は、例えば同一のプロセスに対する複数回の開発のような、重複したタスクとなることを引き起こす場合がある。例えば、半導体製造プロセスでは、MOCVD（Metal-organic Chemical Vapor Deposition、有機金属化学気相成長）及びPVD（Physical Vapor Deposition、物理的気相成長）設備の制御フローは、一部の同一又は類似の設備制御サブフローが存在し、例えば、基板のローディング/アンローディングが挙げられる。MOCVD設備の制御フローに対応する制御プログラムの作成のために、基板のローディング/アンローディングという設備制御サブフローに対してエンコードする必要があり、同時に、PVD設備の制御フローに対応する制御プログラムの作成中にも、基板のローディング/アンローディングという設備制御サブフローに対してエンコードする必要がある。このように、同一の設備制御サブフローに対して、MOCVD設備及びPVD設備のそれぞれ対応する制御プログラムはいずれもエンコードされ、即ち、重複してエンコードすることが存在する。
【０００４】
そして、ある設備制御サブフローは、設計上に欠陥があり、又は後期に新な要件が発生して拡張又は変更が必要である場合、既存の、当該設備制御サブフローに関係する設備のすべての制御プログラムに対して、コードを変更する必要があり、作業の負荷が重くなる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来技術の欠陥に対して、本発明の実施例は、重複してハードコードすることを避けて、後期のデバッグと開発作業を簡素化し、開発効率を向上させる設備制御方法、装置、電子設備及び記憶媒体を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一態様では、本発明の実施例は、
制御すべき設備の制御フローに関係する1つ又は複数の設備制御サブフロー、及び各設備制御サブフローの間の実行論理を確定することと、
それぞれの前記設備制御サブフローに対して、前記設備制御サブフローに対応するコードを取得することと、
各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード、各設備制御サブフローの間の実行論理に従って、前記制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを生成することと、
前記エンコーディングプロファイルに従って、前記制御すべき設備を制御することと、を含む設備制御方法を提供する。
【０００７】
他の態様では、本発明の実施例は、
制御すべき設備の制御フローに関係する1つ又は複数の設備制御サブフロー、及び各設備制御サブフローの間の実行論理を確定するための制御分解モジュールと、
それぞれの前記設備制御サブフローに対して、前記設備制御サブフローに対応するコードを取得するためのコード取得モジュールと、
各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード、各設備制御サブフローの間の実行論理に従って、前記制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを生成するための設定生成モジュールと、
前記エンコーディングプロファイルに従って、前記制御すべき設備を制御するための設備制御モジュールと、を備える設備制御装置を提供する。
【０００８】
他の態様では、本発明の実施例は、メモリ、プロセッサ、バス、及びメモリに記憶されプロセッサ上で実行可能なコンピュータプログラムを備え、前記プロセッサが前記プログラムを実行する時、上記の方法のステップが実現される電子設備を更に提供する。
【０００９】
他の態様では、本発明の実施例は、コンピュータプログラムが記憶され、前記プログラムがプロセッサに実行される時、上記の方法のステップが実現される記憶媒体を更に提供する。
【発明の効果】
【００１０】
上記の技術的構成から分かるように、本発明の実施例に係る設備制御方法、装置、電子設備及び記憶媒体は、制御すべき設備の制御フローに関係する1つ又は複数の設備制御サブフローを確定した後、まず各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコードを取得して、次に、各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード及び各設備制御サブフローの間の実行論理に従って、制御すべき設備を制御するためのエンコーディングプロファイルを生成することができる。このように、設備制御サブフローのみに対して個別的にエンコードする必要があり、異なる制御すべき設備に対して、その制御フローにそれぞれ関係する、異なる設備制御サブフローに従って、異なる設備制御サブフローに対応するコードを取得して個別のエンコーディングプロファイルを形成することができ、同一設備制御サブフローに対して重複してエンコードすることが避けられ、適用範囲が広がり、且つ開発効率が向上する。また、設備制御サブフローが拡張又は変更される場合、設備制御サブフローに対応するコードを補正すればよく、複数回の重複する補正を避けて、デバッグと開発作業を簡素化し、開発効率を向上させる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
本発明の実施例又は従来技術における技術的構成をより明確に説明するために、以下、実施例又は従来技術の説明に使用される図面を簡単に説明する。明らかなように、以下の説明における図面は、本発明のいくつかの実施例であり、本分野の当業者にとって、これらの図面に基づいて、創造的な作業を行うことなく他の図面を得ることもできる。
【図１】本発明の一実施例に係る設備制御方法の例示的なフローチャートである。
【図２】本発明の一実施例の設備制御サブフローの細分化カテゴリの模式図である
【図３】本発明の一実施例の2段階制御サブフローOperation実行論理の模式図である。
【図４】本発明の一実施例に係る1段階制御サブフローFlow実行論理の模式図である。
【図５】本発明の一実施例に係る1段階制御サブフローFlowの論理二分木構造の模式図である。
【図６】本発明の一実施例に係る2段階制御サブフローOperationの論理二分木構造の模式図である。
【図７】本発明の一実施例に係る3段階制御サブフローActionの論理二分木構造の模式図である。
【図８】本発明の一実施例に係る設備制御装置の構造の模式図である。
【図９】本発明の一実施例に係る電子設備のエンティティ構造の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながら本発明の技術的構成を明確かつ完全に説明し、明らかに、説明する実施例は、すべての実施例ではなく、本発明の実施例の一部に過ぎない。本発明における実施例に基づいて、当業者が創造的な作業を行うことなく得るすべての他の実施例は、本発明の保護範囲に属する。
【００１３】
本明細書で使用する「モジュール」、「装置」等の用語は、コンピュータに関連するエンティティを含むことを意味し、例えば、ハードウェア、ファームウェア、ソフトウェアとハードウェアとの組み合わせ、ソフトウェア又は実行中のソフトウェアが挙げられるが、これらに限定されない。例えば、モジュールは、プロセッサ上で実行されるプロセス、プロセッサ、オブジェクト、実行可能プログラム、実行スレッド、プログラム及び/又はコンピュータであってもよいが、これらに限定されない。例を挙げて説明すると、コンピューティング設備上で実行されるアプリケーションとそのコンピューティング設備とはいずれもモジュールであってもよい。1つ又は複数のモジュールは実行中の1つのプロセス及び/又はスレッド内にあってもよく、1つのモジュールは1台のコンピュータにあってもよく、及び/又は2台以上のコンピュータ間に分布してもよい。
【００１４】
以下、図面を参照しながら本発明の技術的構成を詳細に説明する。
【００１５】
図1を参照して、本発明の一実施例に係る設備制御方法の例示的なフローチャートを示す。
【００１６】
図1に示すように、本発明の実施例に係る設備制御方法は下記のステップを含んでもよい。
【００１７】
ステップS110において、制御すべき設備の制御フローに関係する1つ又は複数の設備制御サブフロー、及び各設備制御サブフローの間の実行論理を確定する。
【００１８】
本発明の実施例は光起電力半導体製造プロセスにおける異なるタイプ又は機種の設備に適用される。制御すべき設備は、具体的にMOCVD（Metal-organic Chemical Vapor Deposition、有機金属化学気相成長）設備、PVD (Physical Vapor Deposition、物理的気相成長)設備、ELO（Epitaxial Lift Off、エピタキシャルリフトオフ）設備、研磨(Polisher)設備、インクジェット印刷設備、又は洗浄設備等であってもよい。
【００１９】
前記設備制御サブフローは、
基板のローディング/アンローディング、基板ローディングツールの選択、基板又は基板ローディングツールの移送、圧力制御、温度制御、加熱、冷却、エピタキシャルリフトオフ、気体制御、バルブ制御、研磨、洗浄および乾燥、インクジェット印刷、及び、エッチングのうちの少なくとも1つを含む。
【００２０】
MOCVD設備を例として、MOCVD設備の制御フローに関係する設備制御サブフローは、
基板のローディング/アンローディング、基板ローディングツールの選択、基板又は基板ローディングツールの移送、圧力制御、温度制御、加熱、冷却、気体制御、及びバルブ制御等のうちの少なくとも1つを含んでもよい。
【００２１】
本発明の実施例では、制御すべき設備の制御フローに関係する各設備制御サブフローを確定するとともに、各設備制御サブフローの間の実行論理を更に確定する必要がある。そのような構成において、各設備制御サブフロー間の実行論理は、順次構造、選択構造、及び、サイクル構造を含んでもよいが、これらに限定されない。
【００２２】
ステップS120において、それぞれの設備制御サブフローに対して、設備制御サブフローに対応するコードを取得する。
【００２３】
具体的には、ステップS110により制御すべき設備の制御フローに関係する1つ又は複数の設備制御サブフローを確定した後、それぞれの設備制御サブフローに対して、当該設備制御サブフローに対応するコードを取得することができる。
【００２４】
本発明の実施例では、光起電力半導体製造プロセスに関係する設備制御サブフローに対して予め個別的にエンコードし、予め設定されたフローコードライブラリに記憶することができる。
【００２５】
例えば、設備制御サブフローである「基板のローディング/アンローディング」に対して個別的に開発を行って、設備制御サブフローである「基板のローディング/アンローディング」に対応するコードを得ることができる。設備制御サブフローである「基板ローディングツールの移送」に対して個別的に開発を行って、設備制御サブフローである「基板ローディングツールの移送」に対応するコードを得る。
このように、制御すべき設備に関連する設備制御サブフローを確定した後、それぞれの設備制御サブフローに対して、予め設定されたフローコードライブラリから当該設備制御サブフローに対応するコードを探すことができる。実際の応用では、他の方式（後に実施例により説明する）により設備制御サブフローに対応するコードを取得することもできる。
【００２６】
ステップS130において、設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード、各設備制御サブフローの間の実行論理に従って、制御すべき設備の制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを生成する。
【００２７】
具体的には、ステップS120により制御すべき設備の制御フローに関係する各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコードを取得した後、各設備制御サブフローの間の実行論理に従って、制御すべき設備の制御フローに対応する論理コードを生成し、そして、制御すべき設備の制御フローに対応する論理コード、各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコードに従って、制御すべき設備に対応するエンコーディングプロファイルを生成することができる。
【００２８】
必要に応じて、本発明の実施例では、ステップS120により各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコードを取得した後、論理コードライブラリから制御フローに対応する論理コードを探し出し、そして、各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード及び制御すべき設備の制御フローに対応する論理コードに従って、制御すべき設備の制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを生成する。
【００２９】
実際の応用では、各設備制御サブフローの間の実行論理を予め確定し、各設備制御サブフローの間の実行論理に従って、制御すべき設備の制御フローに対応する論理コードを生成し、予め設定された論理コードライブラリに記憶することができる。制御すべき設備の制御フローに対して、論理コードライブラリには当該制御フローの一意の識別子、及び当該制御フローに対応する論理コードが記憶されている。
【００３０】
そのうち、各設備制御サブフローの間の実行論理は、順次構造、選択構造、及びサイクル構造を含んでもよいが、これらに限定されない。
【００３１】
ステップS140において、エンコーディングプロファイルに従って制御すべき設備を制御する。
【００３２】
具体的には、ステップS130により制御すべき設備の制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを取得した後、制御すべき設備では制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを実行して、制御すべき設備に対する制御を実現する。
【００３３】
例えば、MOCVD設備に対して、設備制御サブフローが開発されたため、 MOCVD設備に関係する設備制御サブフローを個別的に開発する必要がなく、MOCVD設備に必要な1つのエンコーディングプロファイルを直接設定し、設定し完成した後、MOCVD設備に対する制御を実現することができる。同様に、PVD設備に対して、その設備制御サブフローがMOCVD設備と類似又は同じであるため、開発された設備制御サブフローを重複してエンコードする必要もなく、PVD設備に関係する各設備制御サブフローに従って、PVD設備に対する1つのエンコーディングプロファイルを個別的に設定するだけで、PVD設備に対する制御を実現することができる。そのような構成により、MOCVD設備及びPVD設備に対する制御は、同一設備制御サブフローを重複してエンコードする必要がなく、異なる設備制御サブフローのコードに対して、それぞれのエンコーディングプロファイルを設定し、研究開発効率を大幅に改善する。
【００３４】
以上の説明から明らかなように、本発明の実施例に係る設備制御方法では、制御すべき設備の制御フローに関係する各設備制御サブフローを確定した後、まず各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコードを取得して、次に、各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード及び各設備制御サブフローの間の実行論理に従って、制御すべき設備を制御するためのエンコーディングプロファイルを生成することができる。このように、設備制御サブフローのみに対して個別的にハードコードする必要があり、異なる制御すべき設備に対して、その制御フローにそれぞれ関係する、異なる設備制御サブフローに従って、異なる設備制御サブフローに対応するコードを取得して個別のエンコーディングプロファイルを形成することができ、同一設備制御サブフローに対して重複してエンコードすることが避けられ、適用範囲が広がり、開発効率が向上することができる。また、設備制御サブフローが拡張又は変更される場合、設備制御サブフローに対応するコードを補正すればよく、複数回の重複する補正を避けて、デバッグと開発作業を簡素化し、開発効率を向上させることができる。
【００３５】
上記実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る設備制御方法では、設備制御サブフローに対応するコードを取得することは、具体的に
設備制御サブフローを分割して1つ又は複数の1段階制御サブフローFlow（プロセス）を得て、各1段階制御サブフローFlow間の実行論理を記録することと、それぞれの1段階制御サブフローFlowに対して、1段階制御サブフローFlowに対応するコードを取得することと、各1段階制御サブフローFlowのそれぞれ対応するコード、各1段階制御サブフローFlow間の実行論理に従って、設備制御サブフローに対応するコードを生成することと、を含む。
【００３６】
本発明の実施例では、各設備制御サブフローを層ごとに分割し、細かく分類し、共通性を抽出することができる。例えば、2層、3層、4層又はより多くの段階に分割することができる。
【００３７】
以下、3層を例として本発明の実施例を説明する。
【００３８】
図2に示すように、例えば、制御すべき設備に関係するそれぞれの設備制御サブフローに対して、当該設備制御サブフローを、1段階制御サブフローFlow、2段階制御サブフローOperation（操作）、及び3段階制御サブフローAction（アトミックアクション）の3種類の分類に細分化することができる。図2は本発明の一実施例に係る設備制御サブフローの細分化カテゴリの模式図である。
【００３９】
そのうち、3段階制御サブフローActionは最小の分類であり、アトミックアクションであり、更に分割することができない。また、2段階制御サブフローOperationは、複数の3段階制御サブフローActionによって共に1つの複雑な操作を完成させるものであり、1段階制御サブフローFlowは複数の2段階制御サブフローOperationからなり、より複雑なプロセスを完了させる。
【００４０】
本発明の実施例では、3段階制御サブフローActionを実行した後の異なる結果を制御すべきエンティティとすることができる。
【００４１】
もちろん、実際の応用では、2段階制御サブフローOperationには、各3段階制御サブフローActionを含む以外、 1つ又は複数の制御すべきエンティティを更に含んでもよい。1段階制御サブフローFlowには、各2段階制御サブフローOperationを含む以外、1つ又は複数の制御すべきエンティティを更に含んでもよい。
【００４２】
制御すべきエンティティは、離散データ（Discrete Data）、クラスタデータ（Cluster Data）、メッセージ（Message）、及びアラーム（Alarm）のうちの少なくとも1つを含んでもよい。
【００４３】
実際の応用では、異なる2段階制御サブフローOperationに対して、当該2段階制御サブフローOperationに関係する3段階制御サブフローActionは異なり、関係する複数の3段階制御サブフローAction間の実行論理も異なる。図3は本発明の一実施例の2段階制御サブフローOperationの実行論理の模式図である。
【００４４】
更に、異なる1段階制御サブフローFlowに対して、当該1段階制御サブフローFlowに関係する2段階制御サブフローOperationは異なり、且つ、関係する複数の2段階制御サブフローOperation間の実行論理も異なる。図4は本発明の一実施例に係る1段階制御サブフローFlowの実行論理の模式図である。
【００４５】
異なる設備制御サブフローに対して、同じ又は類似の1段階制御サブフローFlowが存在する可能性があることを考慮したため、本発明の実施例では、異なる1段階制御サブフローFlowに対して予め個別的にエンコードし、予め設定されたフローコードライブラリに記憶することができる。
【００４６】
このように、設備制御サブフローを分割して1つ又は複数の1段階制御サブフローFlowを取得した後、それぞれの1段階制御サブフローFlowに対して、予め設定されたフローコードライブラリから当該1段階制御サブフローFlowに対応するコードを探し出すことができる。
【００４７】
実際の応用では、異なる1段階制御サブフローFlowに対して一意に対応する識別子を設定することができ、それにより、1段階制御サブフローFlowに一意に対応する識別子に従って、予め設定されたフローコードライブラリから当該識別子に対応するコードを探して、当該1段階制御サブフローFlowに対応するコードとする。
【００４８】
そして、各1段階制御サブフローFlowのそれぞれ対応するコード、各1段階制御サブフローFlow間の実行論理に従って、設備制御サブフローに対応するコードを生成することができる。
【００４９】
本発明の実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本発明の実施例では説明しない。
【００５０】
本発明の実施例に係る設備制御方法は、設備制御サブフローのプロセスを細分化することにより、個別的にエンコードされた1段階制御サブフローFlowに従って設備制御サブフローのエンコードを実現し、細かい作業を行うとともに、設備制御サブフローの複数回の開発、及びニーズ又は設計の欠陥による複数回の重複補正の問題を解決することができる。
【００５１】
上記各実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る設備制御方法では、1段階制御サブフローFlowに対応するコードを取得することは、
前記1段階制御サブフローFlowを分割して1つ又は複数の2段階制御サブフローOperationを得て、各2段階制御サブフローOperation間の実行論理を記録することと、フローコードライブラリから前記2段階制御サブフローOperation、2段階制御サブフローOperation間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出すこと、前記フローコードライブラリの中の、当該構成アイテムに対応するコードを、前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードとして確定することと、を含む。
【００５２】
本発明の実施例では、1段階制御サブフローFlowの識別子に従って対応するコードを直接に取得することができない場合、制御すべき設備の制御フローに関係する設備制御サブフローを分割して1つ又は複数の1段階制御サブフローFlowを取得した後、更に各1段階制御サブフローFlowを分割して、当該1段階制御サブフローFlowに関係する1つ又は複数の2段階制御サブフローOperation、及び各2段階制御サブフローOperation間の実行論理を得ることができる。
【００５３】
本発明の実施例では、図5に示すように、二分木の形により各2段階制御サブフローOperation間の実行論理を示すことができる。図5は本発明の一実施例に係る1段階制御サブフローFlowの論理二分木構造の模式図である。
【００５４】
本発明の実施例では、フローコードライブラリには、複数の段階の構成アイテムが設定され、 1段階制御サブフローFlow層の構成アイテム、2段階制御サブフローOperation層の構成アイテム、3段階制御サブフローAction層の構成アイテムを含む。
【００５５】
フローコードライブラリには、複数の構成アイテムに対応するコードを含む。
【００５６】
それぞれの構成アイテムに対して、フローコードライブラリには、当該構成アイテムに対応するコードが記憶されている以外、当該構成アイテムに関係するサブアイテム、及び各サブアイテム間の実行論理も更に記憶されている。
【００５７】
そのうち、異なる段階の構成アイテムに対して、当該構成アイテムが含むサブアイテムの段階は異なる。例えば、1段階制御サブフローFlow層の構成アイテムに対して、当該構成アイテムが含むサブアイテムの段階は2段階制御サブフローOperation層であり、例えば、1段階制御サブフローFlow層の1つの構成アイテムに対して、フローコードライブラリには、当該構成アイテムに関係するサブアイテムが具体的に1つ又は複数の2段階制御サブフローOperationであることが記憶され、 2段階制御サブフローOperation層の構成アイテムに対して、当該構成アイテムが含むサブアイテムの段階は3段階制御サブフローAction層であり、例えば、2段階制御サブフローOperation層の1つの構成アイテムに対して、フローコードライブラリには、当該構成アイテムに関係するサブアイテムが具体的に1つ又は複数の3段階制御サブフローActionであることが記憶されている。
【００５８】
このように、1段階制御サブフローFlowに関係する各2段階制御サブフローOperation、及び各2段階制御サブフローOperation間の実行論理に従って、フローコードライブラリからマッチングする構成アイテムを探し出して、当該構成アイテムに対応するコードを、1段階制御サブフローFlowに対応するコードとして確定する。
【００５９】
具体的には、各1段階制御サブフローFlowを分割して当該1段階制御サブフローFlowに関係する各2段階制御サブフローOperation及び各2段階制御サブフローOperation間の実行論理を得た後、1段階制御サブフローFlowに関係する各2段階制御サブフローOperation及び各2段階制御サブフローOperation間の実行論理をフローコードライブラリにおける1段階制御サブフローFlow層の構成アイテムとマッチングすることができ、フローコードライブラリには当該1段階制御サブフローFlowに関係する2段階制御サブフローOperationとマッチングするサブアイテムが存在し、マッチングする各サブアイテム間の実行論理が各2段階制御サブフローOperation間の実行論理とマッチングすると、当該構成アイテムに対応するコードを、当該1段階制御サブフローFlowに対応するコードとして確定することができる。
【００６０】
本発明の実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本発明の実施例では説明しない。
本発明の実施例に係る設備制御方法は、設備制御サブフローに関係する各1段階制御サブフローFlowプロセスを細分化することにより、個別的にエンコードされた構成アイテムに従って1段階制御サブフローFlowのエンコードを実現し、これにより設備制御サブフローのエンコードを実現し、細かい作業を行うとともに、設備制御サブフローにおける各1段階制御サブフローFlowの複数回の開発、及びニーズ又は設計の欠陥による複数回の重複補正の問題を解決することができる。
【００６１】
上記の各実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る設備制御方法では、前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードを取得することは、
フローコードライブラリから2段階制御サブフローOperation、2段階制御サブフローOperation間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出せなかった場合に、それぞれの2段階制御サブフローOperationに対して、2段階制御サブフローOperationに対応するコードを取得することと、2段階制御サブフローOperationのそれぞれ対応するコード及び各2段階制御サブフローOperation間の実行論理に従って、1段階制御サブフローFlowに対応するコードを生成することと、を更に含む。
【００６２】
異なる1段階制御サブフローFlowに対して、同じ又は類似の2段階制御サブフローOperationが存在する可能性があることを考慮したため、本発明の実施例では、異なる2段階制御サブフローOperationに対して予め個別的にエンコードし、予め設定されたフローコードライブラリに記憶することができる。
【００６３】
このように、フローコードライブラリから2段階制御サブフローOperation、2段階制御サブフローOperation間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出せなかった場合に、1段階制御サブフローFlowに関係するそれぞれの2段階制御サブフローOperationに対して、予め設定されたフローコードライブラリから当該2段階制御サブフローOperationに対応するコードを探し出すことができる。
【００６４】
実際の応用では、異なる2段階制御サブフローOperationに対して一意に対応する識別子を設置することができ、それに対応して、2段階制御サブフローOperationに一意に対応する識別子に従って、予め設定されたフローコードライブラリから当該識別子に対応するコードを探して当該2段階制御サブフローOperationに対応するコードをとする。
【００６５】
そして、各2段階制御サブフローOperationのそれぞれ対応するコード、各2段階制御サブフローOperation間の実行論理に従って、1段階制御サブフローFlowに対応するコードを生成することができる。もちろん、実際の応用では、1段階制御サブフローFlowには、各2段階制御サブフローOperationを含む以外、1つ又は複数の制御すべきエンティティを更に含む場合、各2段階制御サブフローOperationのそれぞれ対応するコード、各2段階制御サブフローOperation間の実行論理、制御すべきエンティティ間の実行論理、及び制御すべきエンティティと2段階制御サブフローOperationとの間の実行論理に従って、1段階制御サブフローFlowに対応するコードを生成することができる。
【００６６】
本発明の実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本発明の実施例では説明しない。
【００６７】
本発明の実施例に係る設備制御方法は、設備制御サブフローに関係する各1段階制御サブフローFlowプロセスを細分化することにより、個別的にエンコードされた2段階制御サブフローOperationに従って1段階制御サブフローFlowのエンコードを実現し、これにより設備制御サブフローのエンコードを実現し、細かい作業を行うとともに、設備制御サブフローにおける各1段階制御サブフローFlowの複数回の開発、及びニーズ又は設計の欠陥による複数回の重複補正の問題を解決することができる。
【００６８】
上記の各実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る設備制御方法では、2段階制御サブフローOperationに対応するコードを取得することは、
前記2段階制御サブフローOperationを分割して1つ又は複数の3段階制御サブフローActionを得て、各3段階制御サブフローAction間の実行論理を記録することと、前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフローAction、3段階制御サブフローAction間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出すことと、前記フローコードライブラリの中の、当該構成アイテムに対応するコードを、前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードとして確定することと、を含む。
【００６９】
本発明の実施例では、2段階制御サブフローOperationの識別子に従って対応するコードを直接に取得することができない場合、1段階制御サブフローFlowを分割して1つ又は複数の2段階制御サブフローOperationを得た後、更に各2段階制御サブフローOperationを分割して、当該2段階制御サブフローOperationに関係する1つ又は複数の3段階制御サブフローAction、及び各3段階制御サブフローAction間の実行論理を得ることができる。
【００７０】
本発明の実施例では、図6に示すように、二分木の形により各3段階制御サブフローAction間の実行論理を示すことができる。図6は本発明の一実施例に係る2段階制御サブフローOperationの論理二分木構造の模式図である。
【００７１】
本発明の実施例では、フローコードライブラリには、複数の段階の構成アイテムが設定され、1段階制御サブフローFlow層の構成アイテム、2段階制御サブフローOperation層の構成アイテム、3段階制御サブフローAction層の構成アイテムを含む。
【００７２】
それぞれの構成アイテムに対して、フローコードライブラリには、対応するコードが記憶されている以外、当該構成アイテムに関係するサブアイテム、及び各サブアイテム間の実行論理が更に記憶されている。
【００７３】
そのうち、異なる段階の構成アイテムに対して、当該構成アイテムが含むサブアイテムの段階は異なる。例えば、1段階制御サブフローFlow層の構成アイテムに対して、当該構成アイテムが含むサブアイテムの段階は2段階制御サブフローOperation層であり、 2段階制御サブフローOperation層の構成アイテムに対して、当該構成アイテムが含むサブアイテムの段階はAction層である。
【００７４】
このように、2段階制御サブフローOperationに関係する各3段階制御サブフローAction、及び各3段階制御サブフローAction間の実行論理に従って、フローコードライブラリからマッチングする構成アイテムを探し出して、当該構成アイテムに対応するコードを、2段階制御サブフローOperationに対応するコードとして確定する。
【００７５】
具体的には、各2段階制御サブフローOperationを分割して当該2段階制御サブフローOperationに関係する各3段階制御サブフローAction及び各3段階制御サブフローAction間の実行論理を得た後、2段階制御サブフローOperationに関係する各3段階制御サブフローAction及び各3段階制御サブフローAction間の実行論理をフローコードライブラリにおける2段階制御サブフローOperation層の構成アイテムとマッチングすることができ、フローコードライブラリには当該2段階制御サブフローOperationに関係する3段階制御サブフローActionとマッチングするサブアイテムが存在し、且つマッチングする各サブアイテム間の実行論理が各3段階制御サブフローAction間の実行論理とマッチングすると、当該構成アイテムに対応するコードを、当該2段階制御サブフローOperationに対応するコードとして確定することができる。
【００７６】
本発明の実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本発明の実施例では説明しない。
本発明の実施例に係る設備制御方法は、1段階制御サブフローFlowに関係する各2段階制御サブフローOperationプロセスを細分化することにより、個別的にエンコードされた構成アイテムに従って2段階制御サブフローOperationのエンコードを実現し、これにより1段階制御サブフローFlowと設備制御サブフローのエンコードを実現し、細かい作業を行うとともに、設備制御サブフローにおける各2段階制御サブフローOperationの複数回の開発、及びニーズ又は設計の欠陥による複数回の重複補正の問題を解決することができる。
【００７７】
上記の各実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る設備制御方法では、前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードを取得することは、
前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフローAction、3段階制御サブフローAction間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出せなかった場合に、それぞれの前記3段階制御サブフローActionに対して、前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフローActionに対応するコードを探すことと、各3段階制御サブフローActionのそれぞれの対応するコード及び各3段階制御サブフローAction間の実行論理に従って、前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードを生成することと、を更に含む。
【００７８】
そのうち、前記3段階制御サブフローActionに対応するコードは、前記3段階制御サブフローActionの関係する1つ又は複数の制御すべきエンティティ及び各制御すべきエンティティ間の実行論理に従って予め設定して記憶されたものであり、前記制御すべきエンティティは、離散データ（Discrete Data）、クラスタデータ（Cluster Data）、メッセージ（Message）、及びアラーム（Alarm）のうちの少なくとも1つを含む。
異なる2段階制御サブフローOperationに対して、同じ又は類似の3段階制御サブフローActionが存在する可能性があることを考慮したため、本発明の実施例では、異なる3段階制御サブフローActionに対して予め個別的にエンコードし、予め設定されたフローコードライブラリに記憶することができる。
【００７９】
このように、フローコードライブラリから3段階制御サブフローAction、3段階制御サブフローAction間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出せなかった場合に、2段階制御サブフローOperationに関係するそれぞれの3段階制御サブフローActionに対して、予め設定されたフローコードライブラリから当該3段階制御サブフローActionに対応するコードを探し出すことができる。
【００８０】
実際の応用では、異なる3段階制御サブフローActionに対して一意に対応する識別子を設定することができ、それにより、3段階制御サブフローActionと一意に対応する識別子に従って、予め設定されたフローコードライブラリから当該識別子に対応するコードを探して当該3段階制御サブフローActionに対応するコードとする。
【００８１】
そして、各3段階制御サブフローActionのそれぞれ対応するコード及び各3段階制御サブフローAction間の実行論理に従って、2段階制御サブフローOperationに対応するコードを生成する。もちろん、実際の応用では、2段階制御サブフローOperationには、各3段階制御サブフローActionを含む以外、1つ又は複数の制御すべきエンティティを更に含む場合、各3段階制御サブフローActionのそれぞれ対応するコード、各3段階制御サブフローAction間の実行論理、制御すべきエンティティ間の実行論理、及び制御すべきエンティティと3段階制御サブフローActionとの間の実行論理に従って、2段階制御サブフローOperationに対応するコードを生成することができる。
【００８２】
本発明の実施例では、3段階制御サブフローActionは設備制御サブフローの分割における最小の分類であり、アトミックアクションであり、更に分割することができない。従って、3段階制御サブフローActionに対応するコードは、3段階制御サブフローActionが関係する1つ又は複数の制御すべきエンティティ（Discrete Data、Cluster Data、Alarm、Message）及び各制御すべきエンティティ間の実行論理に従って予め設定して記憶されたものである。
【００８３】
本発明の実施例では、図7に示すように、二分木の形により各制御すべきエンティティ間の実行論理を示すことができる。図7は本発明の一実施例に係るActionの論理二分木構造の模式図である。
【００８４】
本発明の実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本発明の実施例では説明しない。
【００８５】
本発明の実施例に係る設備制御方法は、個別的にエンコードされた3段階制御サブフローActionに従って2段階制御サブフローOperationのエンコードを実現し、これにより1段階制御サブフローFlowと設備制御サブフローのエンコードを実現し、細かい作業を行うとともに、設備制御サブフローにおける各3段階制御サブフローActionの複数回の開発、及びニーズ又は設計の欠陥による複数回の重複補正の問題を解決することができる。
【００８６】
上記の各実施例に基づいて、本発明の他の実施例は設備制御装置を提供する。
【００８７】
図8は本発明の一実施例に係る設備制御装置の構造の模式図である。
【００８８】
図8に示すように、本発明の実施例に係る設備制御装置800は、制御分解モジュール801、コード取得モジュール802、設定生成モジュール803及び設備制御モジュール804を含んでもよい。
【００８９】
そのうち、制御分解モジュール801は、制御すべき設備の制御フローが関係する設備制御サブフロー、及び各設備制御サブフロー間の実行論理を確定するためのものである。
【００９０】
コード取得モジュール802は、それぞれの前記設備制御サブフローに対して、前記設備制御サブフローに対応するコードを取得するためのものである。
【００９１】
設定生成モジュール803は、各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード、各設備制御サブフロー間の実行論理に従って、前記制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを生成するためのものである。
【００９２】
設備制御モジュール804は、前記エンコーディングプロファイルに従って前記制御すべき設備を制御するためのものである。
【００９３】
必要に応じて、制御すべき設備は、具体的に、有機金属化学気相成長（MOCVD）設備、物理的気相成長（PVD）設備、エピタキシャルリフトオフ（ELO）設備、研磨設備、インクジェット印刷設備又は洗浄設備等である。
【００９４】
前記設備制御サブフローは、
基板のローディング/アンローディング、基板ローディングツールの選択、基板又は基板ローディングツールの移送、圧力制御、温度制御、加熱、冷却、エピタキシャルリフトオフ、気体制御、バルブ制御、研磨、洗浄および乾燥、インクジェット印刷、及びエッチング等のうちの少なくとも1つを含む。
【００９５】
必要に応じて、コード取得モジュール802は、前記設備制御サブフローを分割して1つ又は複数の1段階制御サブフローFlowを得て、各1段階制御サブフローFlow間の実行論理を記録し、それぞれの前記1段階制御サブフローFlowに対して、前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードを取得し、各1段階制御サブフローFlowのそれぞれ対応するコード、各1段階制御サブフローFlow間の実行論理に従って、前記設備制御サブフローに対応するコードを生成する。
【００９６】
必要に応じて、コード取得モジュール802は、前記1段階制御サブフローFlowを分割して1つ又は複数の2段階制御サブフローOperationを得て、各2段階制御サブフローOperation間の実行論理を記録し、複数の構成アイテムと対応するコードと、各構成アイテムの関係するサブアイテムと、各サブアイテム間の実行論理とを含むプロセスコードライブラリから、前記2段階制御サブフローOperation、2段階制御サブフローOperation間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出し、前記フローコードライブラリの中の、当該構成アイテムに対応するコードを、前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードとして確定することができる。
【００９７】
必要に応じて、前記フローコードライブラリから前記2段階制御サブフローOperation、2段階制御サブフローOperation間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出せなかった場合に、コード取得モジュール802は、それぞれの前記2段階制御サブフローOperationに対して、前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードを取得し、各2段階制御サブフローOperationのそれぞれ対応するコード及び各2段階制御サブフローOperation間の実行論理に従って、前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードを生成することができる。
【００９８】
必要に応じて、コード取得モジュール802は、前記2段階制御サブフローOperationを分割して1つ又は複数の3段階制御サブフローActionを得て、各3段階制御サブフローAction間の実行論理を記録し、前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフローAction、3段階制御サブフローAction間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出し、前記フローコードライブラリの中の、当該構成アイテムに対応するコードを、前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードとして確定することができる。
【００９９】
必要に応じて、コード取得モジュール802は、前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフローAction、3段階制御サブフローAction間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出せなかった場合に、コード取得モジュール802は、それぞれの前記3段階制御サブフローActionに対して、前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフローActionに対応するコードを探し、各3段階制御サブフローActionのそれぞれ対応するコード及び各3段階制御サブフローAction間の実行論理に従って、前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードを生成してもよい。
【０１００】
そのうち、前記3段階制御サブフローActionに対応するコードは、前記3段階制御サブフローActionの関係する1つ又は複数の制御すべきエンティティ及び各制御すべきエンティティ間の実行論理に従って予め設定して記憶されたものである。
【０１０１】
前記制御すべきエンティティは、離散データ、クラスタデータ、メッセージ、及び、アラームのうちの少なくとも1つを含む。
【０１０２】
本発明の実施例に係る制御フローの処理装置は、上記方法の実施例の方法を実行することに用いることができ、本実施例では繰り返し説明しない。
【０１０３】
本発明の実施例に係る設備制御装置では、制御すべき設備の制御フローが関係する1つ又は複数の設備制御サブフローを確定した後、まず各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコードを取得して、次に、各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード及び各設備制御サブフロー間の実行論理に従って、制御すべき設備を制御するためのエンコーディングプロファイルを生成することができる。このように、設備制御サブフローのみに対して個別的にエンコードする必要があり、異なる制御すべき設備に対して、その制御フローにそれぞれ関係する、異なる設備制御サブフローに従って、異なる設備制御サブフローに対応するコードを取得して個別のエンコーディングプロファイルを形成することができ、同一設備制御サブフローに対して重複してエンコードすることが避けられ、適用範囲が広がり、開発効率が向上する。また、設備制御サブフローが拡張又は変更される場合、設備制御サブフローに対応するコードを補正すればよく、複数回の重複補正を避けて、デバッグと開発作業を簡素化し、開発効率を向上させる。
【０１０４】
図9は本発明の一実施例に係る電子設備的エンティティ構造の模式図である。図9に示すように、当該電子設備900は、メモリ(memory)901、プロセッサ(processor)902、バス903及びメモリ901に記憶されプロセッサ上で実行可能なコンピュータプログラムを含んでもよい。そのうち、前記メモリ901、プロセッサ902は、前記バス903を介して互いに通信を実行する。
【０１０５】
前記プロセッサ902は、前記プログラムを実行する時に図1に示す方法を実現するように、前記メモリ901内のプログラム指令を呼び出すためのものである。当該方法は、
制御すべき設備の制御フローに関係する1つ又は複数の設備制御サブフロー、及び各設備制御サブフロー間の実行論理を確定することと、
それぞれの前記設備制御サブフローに対して、前記設備制御サブフローに対応するコードを取得することと、
各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード、各設備制御サブフロー間の実行論理に従って、前記制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを生成することと、
前記エンコーディングプロファイルに従って前記制御すべき設備を制御することと、を含む。
【０１０６】
他の実施方式では、前記制御すべき設備は、具体的に、有機金属化学気相成長（MOCVD）設備、物理的気相成長（PVD）設備、エピタキシャルリフトオフ（ELO）設備、研磨設備、インクジェット印刷設備又は洗浄設備であり、
前記設備制御サブフローは、
基板のローディング/アンローディング、基板ローディングツールの選択、基板又は基板ローディングツールの移送、圧力制御、温度制御、加熱、冷却、エピタキシャルリフトオフ、気体制御、バルブ制御、研磨、洗浄および乾燥、インクジェット印刷、及びエッチングのうちの少なくとも1つを含む。
【０１０７】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１０８】
前記設備制御サブフローに対応するコードを取得することは、
前記設備制御サブフローを分割して1つ又は複数の1段階制御サブフローFlowを得て、各1段階制御サブフローFlow間の実行論理を記録することと、
それぞれの前記1段階制御サブフローFlowに対して、前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードを取得することと、
各1段階制御サブフローFlowのそれぞれ対応するコード、各1段階制御サブフローFlow間の実行論理に従って、前記設備制御サブフローに対応するコードを生成することと、を含む。
【０１０９】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１１０】
前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードを取得することは、
前記1段階制御サブフローFlowを分割して1つ又は複数の2段階制御サブフローOperationを得て、各2段階制御サブフローOperation間の実行論理を記録することと、
複数の構成アイテムに対応するコードと、各構成アイテムに関係するサブアイテムと、各サブアイテム間の実行論理とを含むフローコードライブラリから、前記2段階制御サブフローOperation、2段階制御サブフローOperation間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出すことと、
前記フローコードライブラリの中の、当該構成アイテムに対応するコードを、前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードとして確定することと、を含む。
【０１１１】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１１２】
前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードを取得することは、
前記フローコードライブラリから前記2段階制御サブフローOperation、2段階制御サブフローOperation間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出せなかった場合に、
それぞれの前記2段階制御サブフローOperationに対して、前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードを取得することと、
各2段階制御サブフローOperationのそれぞれ対応するコード及び各2段階制御サブフローOperation間の実行論理に従って、前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードを生成することと、を更に含む。
【０１１３】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１１４】
前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードを取得することは、
前記2段階制御サブフローOperationを分割して1つ又は複数の3段階制御サブフローActionを得て、各3段階制御サブフローAction間の実行論理を記録することと、
前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフローAction、3段階制御サブフローAction間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出すことと、
前記フローコードライブラリの中の、当該構成アイテムに対応するコードを、前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードとして確定することと、を含む。
【０１１５】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１１６】
前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードを取得することは、
前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフローAction、3段階制御サブフローAction間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出せなかった場合に、
それぞれの前記3段階制御サブフローActionに対して、前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフローActionに対応するコードを探すことと、
各3段階制御サブフローActionのそれぞれ対応するコード及び各3段階制御サブフローAction間の実行論理に従って、前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードを生成することと、を更に含み、
前記3段階制御サブフローActionに対応するコードは、前記3段階制御サブフローActionに関係する1つ又は複数の制御すべきエンティティ及び各制御すべきエンティティ間の実行論理に従って予め設定して記憶されたものであり、
前記制御すべきエンティティは、離散データ、クラスタデータ、メッセージ、及びアラームのうちの少なくとも1つを含む。
【０１１７】
本発明の実施例に係る電子設備、上記方法の実施例の方法に対応するプログラムを実行することに用いることができ、本実施例では説明しない。
【０１１８】
本発明の実施例に係る電子設備は、少なくとも下記の技術効果を有する。設備制御サブフローに対して個別的にハードコードし、異なる制御すべき設備に対して、それぞれ関係する設備制御サブフローの相違に従って、異なる設備制御サブフローに対応するコードを取得して個別のエンコーディングプロファイルを形成することができ、同一設備制御サブフローに対して重複してエンコードすることが避けられ、適用範囲が広がり、且つ開発効率が向上する。また、設備制御サブフローが拡張又は変更される場合、設備制御サブフローに対応するコードを補正すればよく、複数回の重複する補正を避けて、デバッグと開発作業を簡素化し、開発効率を向上させる。
【０１１９】
本発明の他の実施例に係る記憶媒体には、コンピュータプログラムが記憶され、前記プログラムがプロセッサに実行される時、図1に示す方法が実現される。当該方法は、
制御すべき設備の制御フローに関係する1つ又は複数の設備制御サブフロー、及び各設備制御サブフロー間の実行論理を確定することと、
それぞれの前記設備制御サブフローに対して、前記設備制御サブフローに対応するコードを取得することと、
各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード、各設備制御サブフロー間の実行論理に従って、前記制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを生成することと、
前記エンコーディングプロファイルに従って前記制御すべき設備を制御することと、を含む。
【０１２０】
他の実施方式では、前記制御すべき設備は、具体的に、有機金属化学気相成長（MOCVD）設備、物理的気相成長（PVD）設備、エピタキシャルリフトオフ（ELO）設備、研磨設備、インクジェット印刷設備又は洗浄設備であり、
前記設備制御サブフローは、
基板のローディング/アンローディング、基板ローディングツールの選択、基板又は基板ローディングツールの移送、圧力制御、温度制御、加熱、冷却、エピタキシャルリフトオフ、気体制御、バルブ制御、研磨、洗浄および乾燥、インクジェット印刷、及びエッチングのうちの少なくとも1つを含む。
【０１２１】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。
【０１２２】
前記設備制御サブフローに対応するコードを取得することは、
前記設備制御サブフローを分割して1つ又は複数の1段階制御サブフローFlowを得て、各1段階制御サブフローFlow間の実行論理を記録することと、
それぞれの前記1段階制御サブフローFlowに対して、前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードを取得することと、
各1段階制御サブフローFlowのそれぞれ対応するコード、各1段階制御サブフローFlow間の実行論理に従って、前記設備制御サブフローに対応するコードを生成することと、を含む。
【０１２３】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。
【０１２４】
前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードを取得することは、
前記1段階制御サブフローFlowを分割して1つ又は複数の2段階制御サブフローOperationを得て、各2段階制御サブフローOperation間の実行論理を記録することと、
複数の構成アイテムに対応するコードと、各構成アイテムに関係するサブアイテムと、各サブアイテム間の実行論理とを含むフローコードライブラリから、前記2段階制御サブフローOperation、2段階制御サブフローOperation間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出すことと、
前記フローコードライブラリの中の、当該構成アイテムに対応するコードを、前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードとして確定することと、を含む。
【０１２５】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。
【０１２６】
前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードを取得することは、
前記フローコードライブラリから前記2段階制御サブフローOperation、2段階制御サブフローOperation間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出せなかった場合に、
それぞれの前記2段階制御サブフローOperationに対して、前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードを取得することと、
各2段階制御サブフローOperationのそれぞれ対応するコード及び各2段階制御サブフローOperation間の実行論理に従って、前記1段階制御サブフローFlowに対応するコードを生成することと、を更に含む。
【０１２７】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。
【０１２８】
前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードを取得することは、
前記2段階制御サブフローOperationを分割して1つ又は複数の3段階制御サブフローActionを得て、各3段階制御サブフローAction間の実行論理を記録することと、
前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフローAction、3段階制御サブフローAction間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出すことと、
前記フローコードライブラリの中の、当該構成アイテムに対応するコードを、前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードとして確定することと、を含む。
【０１２９】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。
【０１３０】
前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードを取得することは、
前記フローコードライブラリから前記3段階制御サブフローAction、3段階制御サブフローAction間の実行論理とマッチングする構成アイテムを探し出せなかった場合に、
それぞれの前記3段階制御サブフローActionに対して、前記フローコードライブラリから前記Actionに対応するコードを探すことと、
各3段階制御サブフローActionのそれぞれ対応するコード及び各3段階制御サブフローAction間の実行論理に従って、前記2段階制御サブフローOperationに対応するコードを生成することと、を更に含み、
前記3段階制御サブフローActionに対応するコードは、前記3段階制御サブフローActionの関係する1つ又は複数の制御すべきエンティティ及び各制御すべきエンティティ間の実行論理に従って予め設定して記憶されたものであり、
前記制御すべきエンティティは、離散データ、クラスタデータ、メッセージ、及びアラームのうちの少なくとも1つを含む。
【０１３１】
本発明の実施例に係る記憶媒体は、前記プログラムがプロセッサに実行される時、上記方法の実施例の方法が実現され、本実施例では説明しない。
【０１３２】
本発明の実施例に係る記憶媒体は、前記プログラムがプロセッサに実行される時、設備制御サブフローに対して個別的にハードコードし、異なる制御すべき設備に対して、それぞれ関係する設備制御サブフローの相違に従って、異なる設備制御サブフローに対応するコードを取得して個別のエンコーディングプロファイルを形成することができ、同一設備制御サブフローに対する重複なエンコードが避けられ、適用範囲が広がり、開発効率が向上する。また、設備制御サブフローが拡張又は変更される場合、設備制御サブフローに対応するコードを補正すればよく、複数回の重複補正を避けて、デバッグと開発作業を簡素化し、開発効率を向上させる。
【０１３３】
本発明の他の実施例はコンピュータプログラム製品を開示し、前記コンピュータプログラム製品は、不揮発性のコンピュータの読み取り可能な記憶媒体に記憶されているコンピュータプログラムを含み、前記コンピュータプログラムはプログラム指令を含み、前記プログラム指令がコンピュータに実行される時、コンピュータは上記各方法の実施例に係る方法を実行することができ、当該方法は、例えば、制御すべき設備の制御フローに関係する1つ又は複数の設備制御サブフロー、及び各設備制御サブフロー間の実行論理を確定することと、それぞれの前記設備制御サブフローに対して、前記設備制御サブフローに対応するコードを取得することと、各設備制御サブフローのそれぞれ対応するコード、各設備制御サブフロー間の実行論理に従って、前記制御フローに対応するエンコーディングプロファイルを生成することと、前記エンコーディングプロファイルに従って前記制御すべき設備を制御することと、を含む。
【０１３４】
当業者であれば、ここで説明したいくつかの実施例は、他の特徴よりむしろ他の実施例に含まれる特定の特徴を含むが、異なる実施例の特徴の組み合わせは、本発明の範囲内にあり、異なる実施形態が形成されることを意味すると理解することができる。
【０１３５】
当業者であれば、実施例における各ステップをハードウェアで実施することができ、又は、1つ又は複数のプロセッサ上で実行するソフトウェアモジュールで実施することができ、又はそれらの組み合わせで実施することができることを理解することができる。当業者は、実際には、本発明の実施例による部材の一部又は全部の機能の一部又は全部を実現するために、マイクロプロセッサ又はデジタル信号プロセッサ（DSP）を使用することができることを理解するべきである。本発明は、ここで説明した方法の一部又は全部を実行するための設備又は装置プログラム（例えば、コンピュータプログラムおよびコンピュータプログラム製品）として実施することもできる。
【０１３６】
図面と併せて本発明の実施形態を説明したが、当業者は、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく様々な変更および変形を行うことができ、そのような変更及び変形は、本発明の請求の範囲によって限定される範囲内にある。
【図１】
2019114771.tif 000003
【図２】
2019114771.tif 000004
【図３】
2019114771.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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