(57)【要約】【課題】ベース部に載置された枚葉状の基材を蓋部によって覆うことにより基材が平坦となるよう当該基材の反り等を矯正することができるとともに、ベース部および蓋部にそれぞれ設けられた開口を介して基材の検査や加工を行うことができる矯正装置、検査システムおよび検査方法を提供する。【解決手段】枚葉状の基材が平坦となるよう当該基材の反りを矯正するための矯正装置１は、第１の開口１０ａが設けられており、基材が載置されるベース部１０と、第２の開口２０ａが設けられており、ベース部１０に載置される基材を覆うための蓋部２０とを備えており、ベース部１０に載置されている基材が蓋部２０に覆われたときに当該基材の反りが矯正されるようになっている。また、第１の開口１０ａや第２の開口２０ｂを介して、平坦となるよう矯正された基材の検査や加工等を行うことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
枚葉状の基材が平坦となるよう当該基材の反りを矯正するための矯正装置であって、
第１の開口が設けられており、基材が載置されるベース部と、
第２の開口が設けられており、前記ベース部に載置される基材を覆うための蓋部と、
を備え、
前記ベース部に載置されている基材が前記蓋部に覆われたときに当該基材の反りが矯正される、矯正装置。
【請求項２】
前記ベース部に設けられた前記第１の開口と、前記蓋部に設けられた前記第２の開口とが略同一の大きさである、請求項１記載の矯正装置。
【請求項３】
前記第１の開口および前記第２の開口は、前記蓋部が前記ベース部に重ねられたときに対向するような位置にそれぞれ設けられている、請求項１または２記載の矯正装置。
【請求項４】
前記ベース部には複数の位置決め部材が設けられており、当該位置決め部材により前記ベース部に載置される基材の位置決めが行われる、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の矯正装置。
【請求項５】
前記ベース部には、基材を収容する凹部が前記第１の開口の周縁に設けられている、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の矯正装置。
【請求項６】
前記ベース部には、基材を当該ベース部から持ち上げるための切り欠きが設けられている、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の矯正装置。
【請求項７】
前記ベース部は、前記第１の開口を複数の開口部分に区画するよう配置され、前記ベース部に載置される基材の一部が接触する補助部材を更に有している、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の矯正装置。
【請求項８】
前記補助部材には、微粘着性の粘着剤が取り付けられており、当該粘着剤により基材が前記ベース部に着脱自在に接着されるようになっている、請求項７記載の矯正装置。
【請求項９】
前記ベース部に対して前記蓋部を軸を中心として揺動可能とする蝶番を更に備えた、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の矯正装置。
【請求項１０】
第１の開口が設けられており、枚葉状の基材が載置されるベース部と、第２の開口が設けられており、前記ベース部に載置される基材を覆うための蓋部と、を備え、前記ベース部に載置されている基材が前記蓋部に覆われたときに当該基材の反りが矯正される矯正装置と、
前記第１の開口または前記第２の開口を介して前記蓋部により覆われている基材の検査を行う検査装置と、
を備えた、検査システム。
【請求項１１】
第１の開口が設けられたベース部に枚葉状の基材を載置する工程と、
第２の開口が設けられた蓋部により前記ベース部に載置されている基材を覆うことにより基材の反りを矯正する工程と、
前記第１の開口または前記第２の開口を介して前記蓋部により覆われている基材の検査を行う工程と、
を備えた、検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材の反り等を矯正するための矯正装置、反り等が矯正された基材の検査を行うための検査システムおよび検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、金属等の板材の反りを矯正するための矯正装置や矯正方法として、例えば特許文献１に開示されている矯正装置や特許文献２に開示されている矯正方法が存在する。特許文献１に開示されている矯正装置は、多数の貫通孔を形成する際の加工によって反りが発生してしまった金属板材を加圧塑性変形させることにより反りを矯正するための装置である。より詳細には、この矯正装置は、外周面に所定の形状の凹凸が連続的に形成された矯正ローラと、この矯正ローラを受けるための凹凸が形成された受けローラとを有している。また、互いに圧接するよう配置された矯正ローラと受けローラとの間を金属板材が通過する際に当該金属板材が各ローラによって押圧されることにより、矯正ローラの凹凸の形状が金属板材に転写されるようになっている。すなわち、特許文献１に開示される矯正装置は、金属板材を矯正ローラの凹凸により押圧し、当該矯正ローラの凹凸の形状に沿うよう金属板材を塑性変形させることによって反りを矯正するようになっている。
【０００３】
また、特許文献２に開示される矯正方法は、歪みが矯正されるべき目的金属板を他の平坦な金属板等で挟み込み、目的金属板が所定の温度よりも高い温度となるまで加熱した後に冷却することによって目的金属板の歪みを矯正する方法である。より詳細には、目的金属板は、鋼からなる一対の薄板に上下方向から挟まれるようになっている。また、目的金属板および一対の薄板は、一対の銅板および一対の黒鉛板に上下方向からそれぞれ挟まれるようになっている。このように目的金属板を配置した状態において、所定の温度よりも高い温度となるよう均一に目的金属板を加熱した後に冷却することにより、当該目的金属板の歪みを矯正するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１７２６１３号公報
【特許文献２】特開平２−５５６１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示される矯正装置においては、所定の形状を有する一対のローラによって金属板材を塑性変形させることにより当該金属板材の反りを矯正するようになっているため、各ローラを駆動するための動力が必要となる。また、金属板材をローラの形状に沿って塑性変形させる必要があり、平坦な金属板材を得ることができないという問題がある。また、金属板材の表面に構造物等が形成されている場合には、このような構造物がローラにより押圧されて破損してしまう可能性があるため、表面に構造物の形成された金属板材には使用することができないという問題がある。
【０００６】
また、特許文献２に開示される矯正方法では、歪みが矯正されるべき目的金属板を例えば１０００℃まで加熱した後に冷却する必要があり、非常に高い温度まで加熱することのできる加熱装置が必要となる。また、このような高温まで加熱するための設備は概して高価なものであり、このような矯正方法を実行するには高いコストがかかってしまうという問題がある。また、目的金属板を均一に加熱するために目的金属板を他の平坦な金属板で挟み込む必要があるため、表面に構造物が形成されている金属板にはこのような矯正方法を適用することができないという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、ベース部に載置された枚葉状の基材を蓋部によって覆うことにより基材が平坦となるよう当該基材の反り等を矯正することができるとともに、ベース部および蓋部にそれぞれ設けられた開口を介して基材の検査や加工を行うことのできる、コンパクトな構成であり、かつモータ等の駆動源や加熱設備を必要としない矯正装置、検査システムおよび検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の矯正装置は、枚葉状の基材が平坦となるよう当該基材の反りを矯正するための矯正装置であって、第１の開口が設けられており、基材が載置されるベース部と、第２の開口が設けられており、前記ベース部に載置される基材を覆うための蓋部と、を備え、前記ベース部に載置されている基材が前記蓋部に覆われたときに当該基材の反りが矯正されるようになっていることを特徴とする。
【０００９】
このような矯正装置によれば、ベース部に載置された枚葉状の基材を蓋部によって覆うことにより基材が平坦となるよう当該基材の反り等を矯正することができるとともに、ベース部および蓋部にそれぞれ設けられた開口を介して基材の検査や加工等を行うことができる。
【００１０】
本発明の矯正装置においては、前記ベース部に設けられた前記第１の開口と、前記蓋部に設けられた前記第２の開口とが略同一の大きさであってもよい。
【００１１】
また、前記第１の開口および前記第２の開口は、前記蓋部が前記ベース部に重ねられたときに対向するような位置にそれぞれ設けられていてもよい。
【００１２】
本発明の矯正装置においては、前記ベース部には複数の位置決め部材が設けられており、当該位置決め部材により前記ベース部に載置される基材の位置決めが行われるようになっていてもよい。
【００１３】
また、前記ベース部には、基材を収容する凹部が前記第１の開口の周縁に設けられていてもよい。
【００１４】
また、前記ベース部には、基材を当該ベース部から持ち上げるための切り欠きが設けられていてもよい。
【００１５】
本発明の矯正装置においては、前記ベース部は、前記第１の開口を複数の開口部分に区画するよう配置され、前記ベース部に載置される基材の一部が接触する補助部材を更に有していてもよい。
【００１６】
この場合、前記補助部材には、微粘着性の粘着剤が取り付けられており、当該粘着剤により基材が前記ベース部に着脱自在に接着されるようになっていてもよい。
【００１７】
また、本発明の矯正装置は、前記ベース部に対して前記蓋部を軸を中心として揺動可能とする蝶番を更に備えていてもよい。
【００１８】
本発明の検査システムは、第１の開口が設けられており、枚葉状の基材が載置されるベース部と、第２の開口が設けられており、前記ベース部に載置される基材を覆うための蓋部と、を備え、前記ベース部に載置されている基材が前記蓋部に覆われたときに当該基材の反りが矯正される矯正装置と、前記第１の開口または前記第２の開口を介して前記蓋部により覆われている基材の検査を行う検査装置と、を備えたことを特徴とする。
【００１９】
本発明の検査方法は、第１の開口が設けられたベース部に枚葉状の基材を載置する工程と、第２の開口が設けられた蓋部により前記ベース部に載置されている基材を覆うことにより基材の反りを矯正する工程と、前記第１の開口または前記第２の開口を介して前記蓋部により覆われている基材の検査を行う工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
このような検査システムおよび検査方法によれば、ベース部に載置された枚葉状の基材を蓋部によって覆うことにより基材が平坦となるよう当該基材の反り等を矯正することができるとともに、ベース部および蓋部にそれぞれ設けられた開口を介して基材の検査や加工等を行うことができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の矯正装置、検査システムおよび検査方法によれば、ベース部に載置された枚葉状の基材を蓋部によって覆うことにより基材が平坦となるよう当該基材の反り等を矯正することができるとともに、ベース部および蓋部にそれぞれ設けられた開口を介して基材の検査や加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態による矯正装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図１に示す矯正装置の蓋部を持ち上げた状態におけるベース部の構成を示す上面図である。
【図３】図１に示す矯正装置のベース部に反り癖を有する枚葉状の基材を載置した状態を示す側面図である。
【図４】図３に示す状態に引き続く、ベース部に載置されている基材が蓋部により覆われたときの状態を示す側面図である。
【図５】本実施の検査システムの構成の一例を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図５は、本実施の形態による矯正装置、矯正方法および検査システムを示す図である。このうち、図１は、本実施の形態による矯正装置の外観を示す斜視図であり、図２は、図１に示す矯正装置の蓋部を持ち上げた状態におけるベース部の構成を示す上面図である。また、図３は、図１に示す矯正装置のベース部に反り癖を有する枚葉状の基材を載置した状態を示す側面図であり、図４は、図３に示す状態に引き続く、ベース部に載置されている基材が蓋部により覆われたときの状態を示す側面図である。また、図５は、本実施の検査システムの構成の一例を示す構成図である。なお、図３および図４において、枚葉状の基材を参照符号Ｗで示している。
【００２４】
図１に示すように、本実施の形態による矯正装置１は、枚葉状の基材が載置されるベース部１０と、ベース部１０に載置される基材を覆うための蓋部２０と、ベース部１０に対して蓋部２０を軸を中心として揺動可能とする蝶番３０とを有している。また、ベース部１０および蓋部２０は、略同一の大きさを有する板状の部材から構成されている。また、ベース部１０および蓋部２０を板状の軽量の金属（例えば、アルミ板）から形成することにより、矯正装置１を軽量なものとすることが可能となっている。また、矯正装置１が軽量であるため、例えば矯正装置１を持ち上げるときの操作者への負担や、矯正装置１を搬送装置（例えば、コンベア）で搬送する際の搬送装置への負担等を軽減することができるようになっている。
【００２５】
また、ベース部１０には第１の開口１０ａが設けられているとともに、蓋部２０には第２の開口２０ａが設けられている。より詳細には、第１の開口１０ａおよび第２の開口２０ａは、蓋部２０がベース部１０に載置される基材に重ねられたときに（すなわち、蓋部２０が図４に示す箇所に位置したときに）互いに対向するような箇所にそれぞれ設けられている。また、第１の開口１０ａおよび第２の開口２０ａは、それぞれが略同一の大きさとなるよう構成されている。このことにより、第１の開口１０ａや第２の開口２０ａを介して、基材の両面に対して略均一に検査および加工等を行うことができるようになっている。
【００２６】
また、第１の開口１０ａの周縁には、基材を収容するための凹部１２が設けられている（図２乃至図４参照）。より詳細には、凹部１２は、その深さ（すなわち、図４における上下方向の高さ）が基材の厚さと略同一となるような深さに形成されている。このため、凹部１２に基材を収容した状態において蓋部２０によって基材を覆うことにより、基材の反り等（すなわち、反りやねじれ等）を矯正することができるようになっている。言い換えると、本実施の形態の矯正装置１においては、ベース部１０の凹部１２に載置されている基材が蓋部２０により覆われたときに当該基材の反り等が矯正されるようになっている。より具体的には、ベース部１０の凹部１２の上面と、蓋部２０の下面との間で基材を挟み込むことにより、当該基材の反り等を矯正するようになっている。このため、反り等の矯正された基材に対して、第１の開口１０ａおよび第２の開口２０ａを介した加工および検査等を行うことができるようになっている。
【００２７】
また、ベース部１０には、当該ベース部１０に設けられた第１の開口１０ａを複数の開口部分（図１等参照）に区画するよう配置され、ベース部１０に載置される基材の一部（具体的には、底面）が接触する補助部材として複数（具体的には、３つ）の第１の補助部材１８が設けられている。このことにより、ベース部１０に載置された基材が蓋部２０により覆われたときに当該基材の反り等を容易に矯正することができるようになるとともに、ベース部１０の強度を向上させることができるようになる。
【００２８】
また、蓋部２０には、当該蓋部２０に設けられた第２の開口２０ａを複数の開口部分（図１等参照）に区画するよう配置され、蓋部２０がベース部１０に載置される基材に重ねられたときに基材の一部（具体的には、上面）が接触する補助部材として複数（具体的には、３つ）の第２の補助部材２８が設けられている。より詳細には、各第２の補助部材２８は、蓋部２０がベース部１０に載置される基材に重ねられたときに、各第１の補助部材１８に対向するような位置にそれぞれ設けられている。このことにより、基材の反り等をより容易に矯正することができるようになるとともに、蓋部２０の強度を向上させることができるようになる。
【００２９】
また、ベース部１０に設けられた３つの第１の補助部材１８のうち、図２の左右方向における中央近傍に位置する第１の補助部材１８には、微粘着性の粘着剤１８ａが取り付けられている（図２等参照）。より詳細には、粘着剤１８ａは例えば微粘着性を有するゲル状の物質から構成されており、当該粘着剤１８ａによって基材をベース部１０に対して着脱自在に取り付けること（すなわち、基材の仮止め）ができるようになっている。また、粘着剤１８ａは上述したようにゲル状の物質から構成されているため、基材をベース部１０から取り出す際に粘着剤１８ａが基材に付着してしまうことがないようになっている。
【００３０】
また、各第１の補助部材１８は、当該第１の補助部材１８の上面の高さレベルが、凹部１２の上面の高さレベルと略同一となるよう構成されている。このため、凹部１２に収容される基材は、凹部１２の上面および各第１の補助部材１８の上面により下方から支持されるようになっている。また、ベース部１０に設けられた３つの第１の補助部材１８のうち、図２の左右方向における中央近傍に位置する第１の補助部材１８の粘着剤１８ａは、その上面が、当該第１の補助部材１８の上面よりもわずかに上方に突出するような位置に設けられている（図４参照）。言い換えると、粘着剤１８ａは、第１の補助部材１８に埋め込まれるよう配置されるようになっている。
【００３１】
また、ベース部１０における凹部１２の周縁には複数（具体的には、２つ）の第１の切り欠き１６が設けられている。より詳細には、図２に示すように、各第１の切り欠き１６は、上方から見て略長方形系状の凹部１２の各短辺の中央近傍にそれぞれ設けられている。このことにより、操作者は、ベース部１０に基材を載置するときやベース部１０から基材を取り出すときに、各第１の切り欠き１６の内側の領域（図２において参照符号Ｃで示す領域）に手を位置させることができるようになる。このため、例えばベース部１０から基材を取り出すときに当該基材の両端部をしっかりと把持することができ、よって基材を粘着剤１８ａから容易に外すことができるようになる。
【００３２】
また、ベース部１０の外側縁には第２の切り欠き１７が設けられている。より詳細には、第２の切り欠き１７は、略長方形形状のベース部１０における２つの長辺のうち、蝶番３０から離れた箇所に位置する長辺（すなわち、図２における下側に位置する長辺）の中央近傍に設けられている。このことにより、操作者は、ベース部１０と蓋部２０が重ねられた状態（すなわち、図４に示す状態）において、蓋部２０における第２の切り欠き１７に対向している箇所を把持することにより、蓋部２０を容易に持ち上げることができるようになる。
【００３３】
また、ベース部１０の凹部１２の周縁近傍には複数（具体的には、６つ）の位置決めピン１４（すなわち、位置決め部材）が設けられており、当該位置決めピン１４により凹部１２に収容される基材の位置決めを行うことができるようになっている。より詳細には、図３等に示すように、各位置決めピン１４はベース部１０の上面よりも上方に向かって突出するようになっている。このため、基材の側端縁を複数の位置決めピン１４に当接させたまま当該基材を下方に移動させることにより、当該基材を凹部１２にスムーズに収容することができるようになっている。また、各位置決めピン１４は耐摩耗性を有する材料（例えば、ステンレス）から構成されている。このため、各位置決めピン１４と他の部材とが接触してしまった場合にも、当該位置決めピン１４から異物等が発生しないようになっている。また、上述のように各位置決めピン１４がステンレスから構成されているため、当該位置決めピン１４には、異物の発生源となるサビ等が発生しないようになっている。
【００３４】
なお、位置決めピン１４の数は６つに限定されることはない。例えば、図２における粘着剤１８ａよりも右方にある３つの位置決めピン１４の設置が省略されるようになっていてもよい。また、図２における粘着剤１８ａよりも左方にある位置決めピン１４のうち、略長方形系状の凹部１２の短辺に接する２つの位置決めピン１４のうちの１つが更に省略されていてもよい。
【００３５】
また、ベース部１０に設けられた第１の開口１０ａの内側面１０ｂは、凹部１２の底面から、ベース部１０の下面に向かって下方に傾斜するよう形成されている（図４参照）。より詳細には、第１の開口１０ａの内側面１０ｂは、第１の開口１０ａを凹部１２側から（すなわち、図４における上方から）見たときの開口の大きさよりも、当該第１の開口１０ａをベース部１０の底面側から（すなわち、図４における下方から）見たときの開口の大きさが大きくなるように傾斜している。一方、蓋部２０に設けられた第２の開口２０ａの内側面２０ｂは、蓋部２０の下面から、当該蓋部２０の上面に向かって上方に傾斜するよう形成されている（図４参照）。より詳細には、第２の開口２０ａの内側面２０ｂは、第２の開口２０ａを蓋部２０の上面側から（すなわち、図４における上方から）見たときの開口の大きさよりも、当該第２の開口２０ａを蓋部２０の底面側から（すなわち、図４における下方から）見たときの開口の大きさが小さくなるように傾斜している。このことにより、矯正装置１により矯正された基材に対する検査性や加工性を向上させることができるようになっている。より具体的には、第１の開口１０ａの内側面１０ｂおよび第２の開口２０ａの内側面２０ｂが上述のように傾斜していることにより、矯正装置１により矯正された基材を、当該基材の面に垂直な方向に対して傾斜した方向（例えば、図４における矢印Ａ方向や矢印Ｂ方向）から検査や加工等を行うことができるようになっている。また、内側面１０ｂ、２０ｂが上述のように傾斜していることにより、基材の面に垂直な方向に対して傾斜した方向（例えば、図４における矢印Ａ方向や矢印Ｂ方向）からくる光が当該内側面１０ｂ、２０ｂの端部により遮られることによって基材上に影が形成されてしまうことを防止することができるようになっている。
【００３６】
次に、このような構成からなる矯正装置１により基材の反り等を矯正する動作および第１の開口１０ａや第２の開口２０ａを介して基材の検査を行う際の動作について、図２乃至図４を用いて説明する。
【００３７】
まず、操作者は、テーブル等の載置台の上に矯正装置１を載置し、蓋部２０を持ち上げることにより基材をベース部１０の凹部１２に収容できるようにする。次に、反り等が矯正されるべき枚葉状の基材を持ち上げ、複数の位置決めピン１４（図２参照）に基材の側端縁を当接させることによって基材の位置決めを行う。そして、位置決めをした後の基材をそのまま下方に（すなわち、凹部１２側に）移動させ、基材を凹部１２に収容する（図３参照）。上述したように、凹部１２に基材が収容されたとき、ベース部１０の第１の補助部材１８に設けられた微粘着性の粘着剤１８ａにより、基材がベース部１０に着脱自在に固定される（すなわち、仮固定される）ようになっている。
【００３８】
次に、蓋部２０をベース部１０に対して蝶番３０を中心として揺動させることにより、ベース部１０に載置された（すなわち、凹部１２に収容された）基材を蓋部２０により覆うようにする（図４参照）。このとき、基材の反り等がベース部１０および蓋部２０の形状や蓋部２０の重さによって矯正されるようになる。このようにして、矯正装置１を用いた基材の反り等を矯正する動作が完了する。
【００３９】
そして、矯正装置１により反り等が矯正された状態の基材の両面を目視あるいは顕微鏡等により検査するようにする。具体的には、例えば蓋部２０に設けられた第２の開口２０ａを介して基材の一方の面を検査した後に、矯正装置１を持ち上げひっくり返すことにより、ベース部１０に設けられた第１の開口１０ａを介して基材のもう一方の面を検査するようにする。このようにして、矯正装置１により反り等が矯正された基材を目視等により検査する動作が完了する。
【００４０】
ここで、従来の矯正装置では、所定の形状を有する一対のローラによって基材を塑性変形させることにより当該基材の反りを矯正するようになっているため、各ローラを駆動するための動力が必要となるとともに、基材を塑性変形させる必要があるため平坦な基材を得ることができないという問題があった。また、従来の矯正方法では、歪みが矯正されるべき基材を例えば１０００℃まで加熱した後に冷却する必要があるため非常に高い温度まで加熱することのできる加熱装置が必要となり、高いコストがかかってしまうという問題があった。また、従来の矯正装置および矯正方法は、表面に構造物が形成されている基材には適用することができないという問題があった。これに対し、本実施の形態による矯正装置１は、上述したように、ベース部１０に載置された枚葉状の基材を、蓋部２０によって覆うことにより基材が平坦となるよう当該基材の反り等を矯正するようになっているため、ローラを駆動する動力や加熱装置等を用いずに基材の反り等を矯正することができるようになっている。また、ベース部１０には第１の開口１０ａが設けられており、蓋部２０には第２の開口２０ａが設けられているため、各開口を介して反り等が矯正された基材に対して検査や加工等を行うことができるようになる。また、第１の開口１０ａや第２の開口２０ａが設けられているため、表面に構造物が形成されている基材であっても、矯正装置１により反り等を矯正することができるようになっている。
【００４１】
なお、本実施の形態による矯正装置１において、基材の一方の面を検査した後に当該矯正装置１自体を反転させてもう一方の面を検査する代わりに、基材の一方の面を検査した後、蓋部２０を持ち上げ、凹部１２に収容された基材のみを反転させ、この反転させた基材を再度矯正装置１により矯正した後にもう一方の面の検査を行うようにしてもよい。このような場合には、矯正装置１を反転させることなく、装置の両面を検査することができるようになる。
【００４２】
次に、上述した矯正装置１と、検査装置５０とを組み合わせた本実施の形態の検査システムの一例について、図５を参照して説明する。図５に示すように、検査システム１００は、矯正装置１と、矯正装置１により反り等が矯正された基材を検査するための検査装置５０とを有している。より詳細には、検査装置５０は、例えば光学的な方法により基材の両面を検査することができるようになっている。また、検査装置５０は、載置台５２に載置された矯正装置１の第１の開口１０ａおよび第２の開口２０ａを介して基材の検査を行うようになっている。なお、基材の一方の面のみを一度に検査することができる検査装置５０が用いられてもよいし、基材の両方の面を一度に検査することができる検査装置５０が用いられてもよい。
【００４３】
また、図５に示す本実施の形態による検査システム１００の一例においては、操作者が矯正装置１を検査装置５０まで運搬し、検査装置５０を用いて基材の検査を行うようになっているが、このような態様に限定されることはない。例えば、載置台（図示せず）等が設けられており、操作者により当該載置台に矯正装置１が載置されたときに、当該矯正装置１に保持されている基材の検査が自動的に行われる検査装置５０が用いられていてもよい。あるいは、矯正装置１と検査装置５０を一体的に構成するようにしてもよい。
【００４４】
以上のような構成からなる、枚葉状の基材が平坦となるよう当該基材の反りを矯正するための矯正装置１は、第１の開口１０ａが設けられており、基材が載置されるベース部１０と、第２の開口２０ａが設けられており、ベース部１０に載置される基材を覆うための蓋部２０と、を備え、ベース部１０に載置されている基材が蓋部２０に覆われたときに当該基材の反りが矯正されるようになっている。このため、ベース部１０に載置された枚葉状の基材を蓋部２０によって覆うことにより基材が平坦となるよう当該基材の反り等を矯正することができるとともに、ベース部１０および蓋部２０にそれぞれ設けられた開口（具体的には、第１の開口１０ａおよび第２の開口２０ａ）を介して基材の検査や加工を行うことができる。
【００４５】
また、本実施の形態による矯正装置１においては、上述したように、ベース部１０に設けられた第１の開口１０ａと、蓋部２０に設けられた第２の開口２０ａとが略同一の大きさであり、第１の開口１０ａおよび第２の開口２０ａは、蓋部２０がベース部１０に重ねられたときに対向するような位置にそれぞれ設けられているため、第１の開口１０ａや第２の開口２０ａを介して、基材の両面を略均一に検査および加工等を行うことができるようになっている。また、ベース部１０には複数の位置決め部材（具体的には、６つの位置決めピン１４）が設けられており、当該位置決め部材によりベース部１０に載置される基材の位置決めが行われるようになっているため、基材を容易に位置決めすることができるようになっている。
【００４６】
また、本実施の形態による矯正装置１においては、上述したように、ベース部１０には、基材を収容する凹部１２が第１の開口１０ａの周縁に設けられているため、ベース部１０に載置された基材が蓋部２０により覆われたときに、ベース部１０の上面の高さレベルと、基材の上面の高さレベルとが略同一となるよう基材を矯正することができるようになる。また、ベース部１０には、基材を当該ベース部１０から持ち上げるための切り欠き（具体的には、第１の切り欠き１６）が設けられているため、基材をベース部１０に載置するときおよび基材をベース部１０から取り出すときの利便性を向上させることができるようになる。
【００４７】
また、本実施の形態による矯正装置１においては、上述したように、ベース部１０は、第１の開口１０ａを複数の開口部分に区画するよう配置され、ベース部１０に載置される基材の一部が接触する補助部材（具体的には、第１の補助部材１８）を更に有しているため、基材の反り等を矯正装置１によって容易に矯正することができるようになるとともに、ベース部１０および蓋部２０の強度を向上させることができるようになっている。また、補助部材には、微粘着性の粘着剤１８ａが取り付けられており、当該粘着剤１８ａにより基材がベース部１０に着脱自在に接着されるようになっているため、ベース部１０に載置された基材を蓋部２０により覆う前に、基材を仮固定することができるようになる。また、ベース部１０に対して蓋部２０を軸を中心として揺動可能とする蝶番３０を更に備えているため、ベース部１０に載置された基材を蓋部２０により容易に覆うことができるようになる。
【００４８】
また、以上のような構成からなる検査システム１００によれば、第１の開口１０ａが設けられており、枚葉状の基材が載置されるベース部１０と、第２の開口２０ａが設けられており、ベース部１０に載置される基材を覆うための蓋部２０と、を備え、ベース部１０に載置されている基材が蓋部２０に覆われたときに当該基材の反りが矯正される矯正装置１と、第１の開口１０ａまたは第２の開口２０ａを介して蓋部２０により覆われている基材の検査を行う検査装置５０と、を備えている。また、上述した検査方法は、第１の開口１０ａが設けられたベース部１０に枚葉状の基材を載置する工程と、第２の開口２０ａが設けられた蓋部２０によりベース部１０に載置されている基材を覆うことにより基材の反りを矯正する工程と、第１の開口１０ａまたは第２の開口２０ａを介して蓋部２０により覆われている基材の検査を行う工程と、を備えている。これらの検査システム１００および検査方法によれば、ベース部１０に載置された枚葉状の基材を蓋部２０によって覆うことにより基材が平坦となるよう当該基材の反り等を矯正することができるとともに、ベース部１０および蓋部２０にそれぞれ設けられた開口（すなわち、第１の開口１０ａおよび第２の開口２０ａ）を介して基材の検査や加工等を行うことができる。
【００４９】
なお、本実施の形態による矯正装置１、検査システム１００および検査方法は、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００５０】
例えば、上述した矯正装置１において、ベース部１０および蓋部２０は、アルミ以外の金属（たとえば、ステンレス）や樹脂から構成されていてもよい。より詳細には、ベース部１０および蓋部２０を構成する部材が、基材の反り等を矯正するために必要な質量や剛性を備えている場合には、ベース部１０に載置された基材を蓋部２０で覆うことにより当該基材の反り等を矯正することができるようになる。
【００５１】
また、ベース部１０に第１の補助部材１８が設けられていなくてもよく、また蓋部２０に第２の補助部材２８が設けられていなくてもよい。この場合には、基材の周縁部分（具体的には、凹部１２の上面およびこの面と対向する面）以外の領域において当該基材の検査および加工等を行うことができるようになる。
【００５２】
また、ベース部１０の例えば中央に回転軸が設けられており、矯正装置１自体を回転軸を中心として回転させることができるようになっていてもよい。この場合には、矯正装置１をより容易に反転させることができるようになるため、当該矯正装置１により反り等が矯正された基材の検査や加工等を行う際の利便性を向上させることができるようになる。
【００５３】
また、蓋部２０をベース部１０に重ね合わせた状態において、蓋部２０がベース部１０に対して揺動してしまうことを防止するロック機構が設けられていてもよい。この場合には、矯正装置１を反転させる際に、ベース部１０と蓋部２０とを接触させ続けるための力を矯正装置１に加える作業を省略することができるようになる。
【符号の説明】
【００５４】
１      矯正装置
１０    ベース部
１０ａ  第１の開口
１０ｂ  内側面
１２    凹部
１４    位置決めピン
１６    第１の切り欠き
１７    第２の切り欠き
１８    第１の補助部材
１８ａ  粘着剤
２０    蓋部
２０ａ  第２の開口
２０ｂ  内側面
２８    第２の補助部材
３０    蝶番
５０    検査装置
５２    載置台
１００  検査システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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