(57)【要約】【課題】エア経路へのエア供給が絶えた際に、逆止弁が確実に閉じエア駆動部に水が流れないようにする。【解決手段】エアと水との混合体を供給する供給部３００と、エアと水とを混合する混合部３２と、混合部３２と供給部３００とを連通する連通路３１と、混合部３２とエア源４０とを連通するエア経路４１と、混合部３２と水源３８とを連通する水経路３７と、エア経路４１に配設した分岐部４２とエア駆動部４７とを連通するエア供給路４６と、を備える機構１に配設され、混合部３２と分岐部４２との間で混合部３２からエア駆動部４７に水が流れるのを止める逆止弁であり、下端を混合部３２に連通させ上端をエア源４０に連通させ立設する筒５０と、下端から筒５０内に進入した水の水面に浮かび上下動する浮体５１とを備え、浮体５１が筒５０内上端に位置したらエア経路４１を遮断し浮体５１が筒５０内上端から離れたら混合部３２にエア供給を可能にする逆止弁５。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアと水とを混合させた混合流体を供給する供給部と、エアと水とを混合する混合部と、該混合部と該供給部とを連通する連通路と、該混合部とエア供給源とを連通するエア経路と、該混合部と水供給源とを連通する水経路と、該エア経路に配設した分岐部とエア供給により駆動するエア駆動部とを連通するエア供給路と、を備える機構において、該混合部と該分岐部との間に配置され該混合部から該エア駆動部に水が流れ込むのを止める逆止弁であって、
下端を該混合部に連通させ上端をエア供給源に連通させ立設する筒と、下端から該筒内に進入した水の水面に浮かび上下方向に移動する浮体とを備え、該浮体が該筒内の上端に位置づけられたら該エア経路を遮断し該浮体が該筒内の上端から離れたら該混合部にエア供給を可能にする逆止弁。
【請求項２】
前記筒内下部に前記下端から該筒内に進入する水の流速を抑える遮蔽部を備える請求項１記載の逆止弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水の逆流を防止するための逆止弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等を加工する加工装置は、装置内で加工に必要な水とエアとを混合させる場合がある。例えば、ウェーハを研削する研削装置は、ウェーハを吸引保持するチャックテーブルからウェーハを離脱させる際に、水とエアとを混合させた混合流体を保持面から噴出させている。他には、ウェーハを洗浄する際に、水とエアとを混合させてノズルからウェーハに向かって噴出させている。
【０００３】
このように加工装置においては、エアと水とを装置内の混合部で混合させている。
また、混合部とエア供給源とを連通するエア経路を装置内で分岐部を介して分岐させ、該分岐させたエア経路をエア供給により動作するエアシリンダやエアスピンドル等のエア駆動部に接続している。
【０００４】
エア供給源にトラブルが発生しエア経路に対するエアの供給が途絶えることで、エア経路の空気圧が低下してしまい、水供給源の供給する水が水圧によりエア経路に進入することがある。そして、その水がエア駆動部まで到達してエア駆動部を破損させることがある。このような破損の発生を防ぐために、エア供給源側に水が流れて行かないようにするべく、エア経路をエア駆動部に分岐させる分岐部よりも混合部側（より下流側）にバネ式の逆止弁を配設している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−００３１８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、エア経路へのエア供給が途絶えたときに、バネ式の逆止弁が適切に閉じられない場合があるという問題がある。
よって、エア経路へのエア供給が途絶えたときに、逆止弁が確実に閉じられるようにしエア駆動部に水が流れて行かないようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明は、エアと水とを混合させた混合流体を供給する供給部と、エアと水とを混合する混合部と、該混合部と該供給部とを連通する連通路と、該混合部とエア供給源とを連通するエア経路と、該混合部と水供給源とを連通する水経路と、該エア経路に配設した分岐部とエア供給により駆動するエア駆動部とを連通するエア供給路と、を備える機構において、該混合部と該分岐部との間に配置され該混合部から該エア駆動部に水が流れ込むのを止める逆止弁であって、下端を該混合部に連通させ上端をエア供給源に連通させ立設する筒と、下端から該筒内に進入した水の水面に浮かび上下方向に移動する浮体とを備え、該浮体が該筒内の上端に位置づけられたら該エア経路を遮断し該浮体が該筒内の上端から離れたら該混合部にエア供給を可能にする逆止弁である。
【０００８】
前記筒内下部に前記下端から該筒内に進入する水の流速を抑える遮蔽部を備えると好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る逆止弁は、エアと水とを混合させた混合流体を供給する供給部と、エアと水とを混合する混合部と、混合部と供給部とを連通する連通路と、混合部とエア供給源とを連通するエア経路と、混合部と水供給源とを連通する水経路と、エア経路に配設した分岐部とエア供給により駆動するエア駆動部とを連通するエア供給路と、を備える機構において、混合部と分岐部との間に配置され混合部からエア駆動部に水が流れ込むのを止めるためのものであって、下端を混合部に連通させ上端をエア供給源に連通させ立設する筒と、下端から筒内に進入した水の水面に浮かび上下方向に移動する浮体とを備えているため、エア供給源からのエア経路内へのエアの供給がトラブル等によって途絶えてしまいエア経路内のエアの圧力が水供給源が供給する水の圧力を下回った場合に、筒内に進入した水の水面に浮いた浮体がエア経路を遮断して、逆止弁よりもエア供給源側のエア経路に水が流れるのを防いでエア駆動部に水を浸入させないようにすることができる。また、該水圧が下がることで浮体が筒の上端から離れたら、混合部に対するエアの供給を可能にする。
【００１０】
筒内下部に下端から筒内に進入する水の流速を抑える遮蔽部を備えることで、逆止弁を閉状態にしなければならない際に、筒内に進入する水流が浮体を下降させる力を発生させてしまい逆止弁内に流路が形成されてしまうといった事態が生じることを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】逆止弁が配設される機構の一例を模式的に示す断面図である。
【図２】図２（Ａ）は、開状態になっている実施形態１の逆止弁を示す断面図である。図２（Ｂ）は、閉状態になっている実施形態１の逆止弁を示す断面図である。
【図３】図３（Ａ）は、開状態になっている実施形態２の逆止弁を示す断面図である。図３（Ｂ）は、閉状態になっている実施形態２の逆止弁を示す断面図である。
【図４】図４（Ａ）は、実施形態３の逆止弁の分解斜視図である。図４（Ｂ）は実施形態３の逆止弁を示す斜視図である。
【図５】ワンタッチ継手が取り付けられた状態の実施形態３の逆止弁の斜視図である。
【図６】図６（Ａ）は、開状態になっている実施形態３の逆止弁を示す断面図である。図６（Ｂ）は、閉状態になっている実施形態３の逆止弁を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す機構１は、例えば、図示しない切削ブレードで保持テーブル３０に吸引保持された被加工物を切削し切り分ける切削加工装置、又は、図示しない研削砥石で保持テーブル３０に吸引保持された被加工物を所望の厚さまで薄化する研削加工装置等に配設される機構であり、本発明に係る逆止弁５を備えている。
【００１３】
図１に示す保持テーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなり半導体ウェーハ等の板状の被加工物を吸着可能であると共にエアと水とを混合させた混合流体を保持テーブル３０上に供給することができる供給部３００と、供給部３００を支持する枠体３０１とを備える。
【００１４】
供給部３００の露出面は、板状の被加工物を吸引保持可能な保持面３００ａである。図１に示すように、例えば金属配管又は可撓性を有する樹脂チューブからなる連通路３１の一端３１ａが、保持テーブル３０の枠体３０１の底部を貫通して供給部３００に連通している。連通路３１の他端３１ｂ側は、エアと水とを混合する混合部３２に連通している。
【００１５】
連通路３１からは、分岐路３３が分岐しており、分岐路３３には、バキュームポンプやエジェクタ等の真空発生装置からなる吸引源３９が連通している。分岐路３３上には、分岐路３３を吸引源３９に連通する状態と大気に開放された状態とに切り換え可能なバキュームバルブ３３０が配設されている。
バキュームバルブ３３０が開かれた状態で、吸引源３９が作動して生み出された吸引力が分岐路３３及び連通路３１を介して供給部３００の保持面３００ａに伝達されることで、保持テーブル３０は保持面３００ａ上で被加工物を吸引保持できる。
【００１６】
混合部３２は、例えば、接続口を３つ備える室であり、接続口の１つには上記のように連通路３１の他端３１ｂが接続されており、接続口の別の１つには、水が流れる水経路３７の一端が接続されている。水経路３７の他端には、ポンプ等から構成される水供給源３８が接続されている。混合部３２と水供給源３８とを連通する水経路３７上には、例えば、水経路３７の開閉を制御する止水バルブ３７１が配設されており、水経路３７内の止水バルブ３７１よりも下流側には、混合部３２に流れ込む水の量を調整するための絞り弁３７２が接続されている。
【００１７】
混合部３２のさらに別のもう１つの接続口には、混合部３２とエア供給源４０とを連通するエア経路４１の一端４１ａが接続されている。コンプレッサー及びエア貯留タンク等からなりエア経路４１の他端４１ｂ側が接続されたエア供給源４０は、圧縮されたエアをエア経路４１に流入させることができる。エア経路４１の上流側（他端４１ｂ側）には、三方管等の分岐部４２が配設されており、分岐部４２には、エア駆動部４７に一端が連通するエア供給路４６の他端が接続されている。エア駆動部４７は、例えば、エア供給により動作するエアシリンダやエアスピンドル（ハウジングと回転軸との隙間に形成したエア層の圧力で回転軸を非接触で支持するスピンドル）等である。
【００１８】
（１）逆止弁の実施形態１
エア経路４１の分岐部４２よりも下流側、即ち、分岐部４２と混合部３２との間には本発明に係る逆止弁５（以下、実施形態１の逆止弁５とする）が配設されている。図２（Ａ）に具体的な構造を示す逆止弁５は、例えば、金属又はプラスチック等からなり内部に略円柱状の空間を備え立設する筒５０と、筒５０内に収容された浮体５１とを備えており、混合部３２からエア駆動部４７に水が流れ込むのを防ぐ役割を果たす。
【００１９】
筒５０の上端５０ａは、エア経路４１を構成する配管によって分岐部４２を介してエア供給源４０に連通しており、筒５０の下端５０ｂは、エア経路４１を構成する配管によって混合部３２に連通している。例えば、図１に示すように、エア経路４１における逆止弁５と混合部３２との間には、エア経路４１をエア供給源４０に連通する状態と大気に開放された状態とに切り換え可能なエアバルブ４４が配設されている。エアバルブ４４よりもさらに下流側には、混合部３２に流れ込むエアの流量を調整するための絞り弁４５が配設されている。
なお、図２（Ａ）、（Ｂ）、図３（Ａ）、（Ｂ）及び図６（Ａ）、（Ｂ）においては、水供給源３８から逆止弁５の下端５０ｂまでの間の構成の一部を省略して示している。
【００２０】
図２（Ａ）に示すように、浮体５１は、例えば、球状の外形を備えており、水よりも比重の小さな金属やプラスチック等からなる。図２（Ａ）に示すように、筒５０の内部は本実施形態においては円柱状の空間となっているが、角柱状の空間となっていてもよい。本実施形態のように筒５０の内部が円柱状空間となっている場合には、筒５０の内径＞浮体５１の直径となっている。筒５０の内部が角柱状空間となっている場合には、角柱の一辺の長さ≧浮体５１の直径となっている。
【００２１】
例えば、筒５０内部の上端５０ａ側には、上端５０ａへ向かうにつれ内径が浮体５１の直径以下に縮径し浮体５１が閉弁時に当接する錐状の当接面５０ｃが形成されている。筒５０内部の下端５０ｂ側の略中央の位置には、水流入口５０ｄが開口している。
【００２２】
例えば、筒５０内の下部には、水流入口５０ｄから筒５０内に進入する水の流速を抑える遮蔽部５２が配設されている。図２（Ａ）に示す遮蔽部５２は、例えば、筒５０内において−Ｘ方向側（紙面奥側）の内周面から筒５０内中央を基準とする＋Ｘ方向側（紙面手前側）の内周面に向かって、水流入口５０ｄ上を横断するように延在する板である。遮蔽部５２のＹ軸方向における幅は、筒５０の内径よりも小さくなっており、遮蔽部５２と筒５０の内周面との間には隙間が形成されている。遮蔽部５２は、例えば、筒５０内において浮体５１よりも下方に位置しており、エア供給時において浮体５１が遮蔽部５２よりも下方側に移動して下端５０ｂの水流入口５０ｄを塞ぎエア経路４１が閉じられてしまうことが無いように、浮体５１の動きを規制する役割も果たしている。
なお、板状の遮蔽部５２の形状は、図２（Ａ）に示す例に限定されず、筒５０内において下端５０ｂの水流入口５０ｄの上方を覆うように半円状に延在していてもよい。
【００２３】
図２（Ａ）に示すように、エア供給源４０からエア経路４１にエアが供給されている状態においては、浮体５１が筒５０内部の上端５０ａ側を塞いでおらず遮蔽部５２の上面に乗った状態になっている。エア供給源４０からエア経路４１に供給されたエアは、筒５０内に上端５０ａ側から流入し、遮蔽部５２の両脇の隙間を通り下端５０ｂの水流入口５０ｄからエア経路４１を構成する配管に流れていき、開かれた状態のエアバルブ４４（図１参照）を通過して混合部３２に到達する。
また、水供給源３８から水経路３７に水を供給することで、該水は開かれた状態の止水バルブ３７１を通過して混合部３２内に至り、混合部３２内でエアと水とが混合される。そして混合部３２内の混合流体は連通路３１を通り図１に示す供給部３００に到達し、保持面３００ａから混合流体を噴出させることができる。なお、バキュームバルブ３３０が閉じられていることで、分岐路３３を通り混合流体が吸引源３９に流れ込んでしまうことはない。
【００２４】
図２（Ａ）に示す状態において、例えば、エア供給源４０にトラブルが発生しエア経路４１に対するエアの供給が途絶えた場合、エア経路４１内の空気圧が低下してしまうことで、図２（Ｂ）に示す状態のように、水供給源３８が供給する水が混合部３２からエア経路４１内に流入して、開かれた状態のエアバルブ４４（図１参照）を通過して、筒５０内に下端５０ｂ側の水流入口５０ｄから進入していく。
【００２５】
ここで該水は、遮蔽部５２の下面に衝突することで筒５０内に進入する際の流速が低下しつつ、筒５０内を上昇していく。これに伴って、浮体５１が筒５０内に進入してくる水の水面に浮かび水面と共に上昇していき、筒５０内の当接面５０ｃに当接して上端５０ａに位置づけられることで逆止弁５は閉じた状態となる。したがって、エア経路４１が遮断されることで、混合部３２からエア経路４１に流入した水がエア駆動部４７に流れ込むのを止めることができる。
【００２６】
また、筒５０内下部に下端５０ｂから筒５０内に進入する水の流速を抑える遮蔽部５２を備えることで、筒５０内に進入する水が浮体５１を下降させる力を発生させてしまい流路が形成されてしまうといった事態が生じることを防ぐことができる。即ち、遮蔽部５２を設けていない場合には、筒５０内に進入した水が浮体５１に勢いよく直接ぶつかることで、筒５０内に乱流が起こり浮体５１が筒５０内の水面に浮かび上がらずに水中に引き込まれ、不規則に水内を動きつつ又は水内に沈んだ状態で筒５０内の水面が上昇してしまうことがある。この場合には、浮体５１が当接面５０ｃに当接する前に水面が上端５０ａに到達してしまい、エア経路４１が逆止弁５で閉じられていない状態が発生し得る。しかし、本実施形態のように、逆止弁５は遮蔽部５２を備えることで、筒５０内に進入する水流が浮体５１に勢いよく直接ぶつかることが無くなるため、浮体５１は筒５０内の水面に浮かび不規則な動きをせずに上昇していくため、逆止弁５が確実に閉じられた状態になる。
なお、水供給源３８から供給させる水の量によっては、逆止弁５は遮蔽部５２を備えない構成としてもよい。
【００２７】
例えば、作業者によってエア供給源４０のトラブルが解決されることで、エア供給源４０からエア経路４１にエアが再び供給されると、筒５０内に上端５０ａ側からエアが流入し、筒５０内の空気圧が高まり、相対的に筒５０内の水圧が下がることで、筒５０内の水面が下降していき浮体５１は筒５０の上端５０ａの当接面５０ｃから離れる。このように逆止弁５が開かれた状態になることで、エア経路４１を通過したエアが先に説明したのと同様に混合部３２に供給されることになる。
【００２８】
（２）逆止弁の実施形態２
エア経路４１の分岐部４２よりも下流側には、図２（Ａ）、（Ｂ）に示す実施形態１の逆止弁５に代えて、以下に説明する図３（Ａ）、（Ｂ）に示す実施形態２の逆止弁５Ａが配設されていてもよい。
実施形態２の逆止弁５Ａは、実施形態１の逆止弁５の遮蔽部５２及び水流入口５０ｄを変更したものであり、その他の構成は実施形態１の逆止弁５と同様となっている。
逆止弁５Ａの下端５０ｂ側において、水供給源３８からの水が流入する水流入口５０ｅは、筒５０の側壁内部を上方に向かって延びた後径方向内側に曲がり、筒５０の内周面下部において開口している。そして、水流入口５０ｅの上記曲折部分が、下端５０ｂから筒５０内に進入する水の流速を抑える遮蔽部５４として働き、水は筒５０内に横側から進入していく。
水流入口５０ｅの筒５０の内周面下部における開口と下端５０ｂに位置している浮体５１との間には、混合部３２に向かうエアが通り抜け可能な隙間が常に形成されている。なお、例えば、水流入口５０ｅの筒５０の内周面下部における開口の周囲に、図示しない突起を複数間隔を空けて配設して、該突起によって浮体５１が水流入口５０ｅの筒５０の内周面下部における開口を塞いでしまうことが無いようにしてもよい。
【００２９】
図３（Ａ）に示すように、エア供給源４０からエア経路４１にエアが供給されている状態においては、浮体５１が筒５０内の下端５０ｂに位置し逆止弁５Ａは開状態になっている。したがって、エアは、筒５０内に上端５０ａ側から流入し、下端５０ｂ側の水流入口５０ｅからエア経路４１を構成する配管に流れていき、開状態のエアバルブ４４（図１参照）を通過して混合部３２に到達する。また、水供給源３８から開かれた状態の水経路３７を介して混合部３２内に水が供給されエアと水とが混合される。そして、混合流体は連通路３１を通り供給部３００の保持面３００ａから噴出する。
【００３０】
図３（Ａ）に示す状態において、例えば、エア供給源４０のトラブルによりエア経路４１へのエア供給が途絶えエア経路４１内の空気圧が低下した場合、図３（Ｂ）に示すように、水供給源３８が供給する水が混合部３２からエア経路４１内に流入して、筒５０内に下端５０ｂ側の水流入口５０ｅから進入していく。該水は、水流入口５０ｅ内の遮蔽部５４に衝突することで筒５０内に進入する際の流速が低下する。そして、浮体５１が筒５０内に横側から進入してくる水の水面に浮かび水面と共に上昇していき、筒５０内の当接面５０ｃに当接して上端５０ａに位置づけられることで逆止弁５Ａは閉じてエア経路４１が遮断され、混合部３２からエア経路４１に流入した水がエア駆動部４７に流れ込むのを防ぐことができる。
【００３１】
また、筒５０内下部に下端５０ｂから筒５０内に進入する水の流速を抑える遮蔽部５４を備えることで、筒５０内に進入する水流が浮体５１を下降させる力を発生させてしまい流路が形成されてしまうといった事態が生じるのを防ぐことができる。
【００３２】
例えば、作業者によりエア供給源４０のトラブルが解消され、エア供給源４０からエア経路４１にエアが再び供給されると、筒５０内に上端５０ａ側からエアが流入し筒５０内の水圧が下がることで、筒５０内の水面が下降し浮体５１は筒５０の当接面５０ｃから離れる。逆止弁５Ａが開状態になることで、エア経路４１を通過したエアが混合部３２に供給される。
【００３３】
（３）逆止弁の実施形態３
エア経路４１の分岐部４２よりも下流側には、図２（Ａ）、（Ｂ）に示す実施形態１の逆止弁５に代えて、以下に説明する図４（Ａ）、（Ｂ）に示す実施形態３の逆止弁５Ｂが配設されていてもよい。
図４（Ａ）、（Ｂ）に示す逆止弁５Ｂは、実施形態１の逆止弁５と同様に、内部に円柱状の空間を備える立設する筒５０と、筒５０内に収容された浮体５１とを備えている。また、筒５０の上端５０ａ側の開口には短筒状の外形を備える第２のスリーブ５６が取り付けられ、下端５０ｂ側の開口には略円柱状の外形を備える第１のスリーブ５５が取り付けられる。
【００３４】
浮体５１の直径未満の流路５６０が形成された第２のスリーブ５６は、その上端側に径方向外側に延出するフランジ状の引っ掛かり部５６１を備えている。例えば、流路５６０の下端側には、逆止弁５Ｂの閉弁時に浮体５１が当接する錐状の当接面５６０ｃが形成されている。図４（Ｂ）に示すように、第２のスリーブ５６は、例えば、筒５０の上端５０ａ側の開口に嵌合され、引っ掛かり部５６１が筒５０の上端面に当接して上下方向にずれることがないようにして筒５０に取り付けられる。
【００３５】
第１のスリーブ５５は、筒５０の内径よりも僅かに小さな外径を備え筒５０に嵌合する嵌合部５５０と、嵌合部５５０よりも小径に形成され嵌合部５５０から上方に突出し下端５０ｂから筒５０内に進入する水の流速を抑える遮蔽部５５１と、嵌合部５５０の下端側において径方向外側に延出するフランジ状の引っ掛かり部５５２とを備えている。嵌合部５５０の下端側から遮蔽部５５１にかけては流路５５３が形成されており、該流路５５３の上端側は、例えば、遮蔽部５５１内において周方向に等間隔を空けて分岐しそれぞれ径方向外側に延びて遮蔽部５５１の外周面に開口している。
【００３６】
図４（Ｂ）に示すように、第１のスリーブ５５は、筒５０の下端５０ｂ側の開口に挿嵌され、引っ掛かり部５５２が筒５０の下端面に当接して上下方向にずれることがないようにして筒５０に取り付けられる。そして、浮体５１は遮蔽部５５１の上面に乗った状態となり、筒５０の内周面と遮蔽部５５１の外周面との間には隙間が形成される。
図４（Ｂ）に示すように組み立てられた逆止弁５Ｂの上端側及び下端側には、さらに、図５に示すように、ワンタッチで取り付け可能なワンタッチ継手５８Ａ、Ｂがそれぞれ取り付けられ、ワンタッチ継手５８Ａ、Ｂを介してエア経路４１を構成する配管に接続される。このように構成された逆止弁５Ｂは、例えば、工具不要又は簡単な工具を用いるだけで組み立てや分解が可能であり、使用後における筒５０内の手入れ等を容易に行うことができる。
【００３７】
図６（Ａ）に示すように、エア供給源４０からエア経路４１にエアが供給されている状態においては、浮体５１が筒５０内の下端５０ｂに位置し実施形態３の逆止弁５Ｂは開状態になっている。したがって、エアは、ワンタッチ継手５８Ａ及び第２のスリーブ５６の流路５６０を通り、筒５０内に上端５０ａ側から流入し、さらに、第１のスリーブ５５の流路５５３及びワンタッチ継手５８Ｂを通過してエア経路４１を構成する配管に流れていき混合部３２に到達する。また、水供給源３８から水経路３７を介して混合部３２内に水が供給されエアと水とが混合される。そして、混合流体は連通路３１を通り供給部３００の保持面３００ａ（図１参照）から噴出する。
【００３８】
図６（Ａ）に示す状態において、例えば、エア供給源４０のトラブルによりエア経路４１へのエア供給が途絶えエア経路４１内の空気圧が低下した場合、図６（Ｂ）に示すように、水供給源３８が供給する水が混合部３２からエア経路４１内に流入する。該水は、第１のスリーブ５５の遮蔽部５５１内を通過することで、流速が抑えられてから筒５０内に下端５０ｂ側から進入していく。そして、浮体５１に直接水流が衝突することなく、浮体５１が筒５０内に進入してくる水の水面に浮かび水面と共に上昇していき、第２のスリーブ５６の当接面５６０ｃに当接して筒５０の上端５０ａに位置づけられることで逆止弁５Ｂは閉じてエア経路４１が遮断され、混合部３２からエア経路４１に流入した水がエア駆動部４７に流れ込むのを防ぐことができる。
【００３９】
また、筒５０内下部に下端５０ｂから筒５０内に進入する水の流速を抑える遮蔽部５５１を備えることで、筒５０内に進入する水流が浮体５１を下降させる力を発生させてしまい流路が形成されてしまうといった事態が生じるのを防ぐことができる。
【００４０】
作業者によりエア供給源４０のトラブルが解消され、エア供給源４０からエア経路４１にエアが再び供給されると、筒５０内に上端５０ａ側からエアが流入し筒５０内の水圧が下がることで、筒５０内の水面が下降し浮体５１は当接面５６０ｃから離れる。逆止弁５Ｂが開状態になることで、エア経路４１を通過したエアが混合部３２に供給される。
【符号の説明】
【００４１】
１：機構
３０：保持テーブル  ３００：供給部  ３００ａ：保持面  ３０１：枠体
３１：連通路  ３２：混合部
３３：分岐路  ３３０：バキュームバルブ  ３９：吸引源
３８：水供給源  ３７：水経路  ３７１：止水バルブ  ３７２：絞り弁
４０：エア供給源  ４１：エア経路  ４２：分岐部  ４４：エアバルブ  ４５：絞り弁
４６：エア供給路  ４７：エア駆動部
５：実施形態１の逆止弁  ５０：筒  ５０ｃ：当接面  ５０ｄ：水流入口  ５１：浮体  ５２：遮蔽部
５Ａ：実施形態２の逆止弁  ５０ｅ：水流入口  ５４：遮蔽部
５Ｂ：実施形態３の逆止弁  ５５：第１のスリーブ  ５５１：遮蔽部
５６：第２のスリーブ  ５８Ａ、Ｂ：ワンタッチ継手
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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