(57)【要約】【課題】より高精度に検査対象の欠点を検出して検査する検査装置等を提供する。【解決手段】線状の撮影領域を有する撮影手段（２０）からの画像に基づき、搬送されているシート状の検査対象（Ｓ）を検査する検査装置１０において、搬送の方向（ｙ）と直角の方向（ｘ）に対して撮影領域を傾けて配置された撮影手段からの画像を取得し（Ｓ１）、撮影手段の撮影領域の傾きの角度（θ）に応じて、画像から検査対象の欠点を検出する（Ｓ５）。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
線状の撮影領域を有する撮影手段からの画像に基づき、搬送されているシート状の検査対象を検査する検査装置において、
前記搬送の方向と直角の方向に対して前記撮影領域を傾けて配置された前記撮影手段からの画像を取得する画像取得手段と、
前記撮影手段の前記撮影領域の傾きの角度に応じて、前記画像から前記検査対象の欠点を検出する検出手段と、
を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
前記撮影手段から取得した画像を、前記撮影手段の前記撮影領域の傾きの角度に応じた剪断変形する剪断変形手段を更に備え、
前記検出手段が、前記剪断変形された画像から前記検査対象の欠点を検出することを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の検査装置において、
前記検出手段において前記検査対象の欠点を検出する前の画像に、平均化フィルタ処理を行う平均化フィルタ手段を更に備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記検査対象の表面の垂直方向に対して、前記撮影手段の撮影の向きと、前記検査対象の表面を照明する照明手段との向きとが、入射角および反射角の関係で同じになるように、前記撮影手段および照明手段が配置されたことを特徴とする検査装置。
【請求項５】
線状の撮影領域を有する撮影手段からの画像に基づき、搬送されているシート状の検査対象を検査する検査方法において、
画像取得手段が、前記搬送の方向と直角の方向に対して前記撮影領域を傾けて配置された前記撮影手段からの画像を取得する画像取得ステップと、
検出手段が、前記撮影手段の前記撮影領域の傾きの角度に応じて、前記画像から前記検査対象の欠点を検出する検出ステップと、
を含むことを特徴とする検査方法。
【請求項６】
線状の撮影領域を有する撮影手段からの画像に基づき、搬送されているシート状の検査対象を検査する検査装置用のプログラムにおいて、
コンピュータを、
前記搬送の方向と直角の方向に対して前記撮影領域を傾けて配置された前記撮影手段からの画像を取得する画像取得手段、および、
前記撮影手段の前記撮影領域の傾きの角度に応じて、前記画像から前記検査対象の欠点を検出する検出手段として機能させることを特徴とする検査装置用のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、検査方法、および、検査装置用のプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
光学フィルム等の製造においては、基材となるフィルムに光学的な特性を付与するために、ノズルを用いてインクが塗布される。その際にインクをノズルに送り出すために使用しているポンプの振動等により、フィルムの搬送方向に、塗布したインクの膜厚のムラが生じることがある。一方、光学フィルム等のシート状の製品は一般的に巻き返し機上で、Roll-to-Rollの状態で欠点検査を行うが、その搬送のときの振動や、シート状の製品のばたつきにより、ムラ等の検出の精度に影響がでる。このような振動等によるノイズの影響をなくす方法として、例えば、特許文献１には、被検査物に一定の明度で光を照射する第１の照明部と第２の照明部とを一定速度で交互にオン／オフさせ、第１の照明部及び第２の照明部が照らす被検査物の第１の画像及び第２の画像を取得し、被検査物に振動ノイズが発生した場合、第１の画像を第２の画像に差し替える光学検査システム用振動ノイズ補正装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１０８９７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来技術では、２個の光源のオン／オフを切り替えて撮像する方法では、２個の光源を使い分けることで、検査するフィルムを照らす照明の角度がそれぞれで異なる状態となる。そのため、同一の欠点であっても、画像に写る欠点の明暗の濃さに違いが出る可能性があり、どちらの照明を使用したかで欠点の検出能力に差が出る可能性があった。
【０００５】
そこで、本発明は上記の問題点等に鑑みて為されたもので、その課題の一例は、より高精度に検査対象の欠点を検出して検査する検査装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、線状の撮影領域を有する撮影手段からの画像に基づき、搬送されているシート状の検査対象を検査する検査装置において、前記搬送の方向と直角の方向に対して前記撮影領域を傾けて配置された前記撮影手段からの画像を取得する画像取得手段と、前記撮影手段の前記撮影領域の傾きの角度に応じて、前記画像から前記検査対象の欠点を検出する検出手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の検査装置において、前記撮影手段から取得した画像を、前記撮影手段の前記撮影領域の傾きの角度に応じた剪断変形する剪断変形手段を更に備え、前記検出手段が、前記剪断変形された画像から前記検査対象の欠点を検出することを特徴とする。
【０００８】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の検査装置において、前記検出手段において前記検査対象の欠点を検出する前の画像に、平均化フィルタ処理を行う平均化フィルタ手段を更に備えたことを特徴とする。
【０００９】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の検査装置において、前記検査対象の表面の垂直方向に対して、前記撮影手段の撮影の向きと、前記検査対象の表面を照明する照明手段との向きとが同じになるように、前記撮影手段および照明手段が配置されたことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項５に記載の発明は、線状の撮影領域を有する撮影手段からの画像に基づき、搬送されているシート状の検査対象を検査する検査方法において、画像取得手段が、前記搬送の方向と直角の方向に対して前記撮影領域を傾けて配置された前記撮影手段からの画像を取得する画像取得ステップと、検出手段が、前記撮影手段の前記撮影領域の傾きの角度に応じて、前記画像から前記検査対象の欠点を検出する検出ステップと、を含むことを特徴とする。
【００１１】
また、請求項６に記載の発明は、線状の撮影領域を有する撮影手段からの画像に基づき、搬送されているシート状の検査対象を検査する検査装置用のプログラムにおいて、コンピュータを、前記搬送の方向と直角の方向に対して前記撮影領域を傾けて配置された前記撮影手段からの画像を取得する画像取得手段、および、前記撮影手段の前記撮影領域の傾きの角度に応じて、前記画像から前記検査対象の欠点を検出する検出手段として機能させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、搬送の方向と直角の方向に対して撮影領域を傾けて配置された撮影手段からの画像を取得し、撮影手段の撮影領域の傾きの角度に応じて、画像から検査対象の欠点を検出することにより、振動やばたつき等によるノイズと、検査対象の欠点とが峻別できるので、より高精度に検査対象の欠点を検出できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る検査システムの概要構成例を示す模式図である。
【図２】検査対象のシートに対する照明装置と撮影装置との配置関係の一例を示す模式図である。
【図３】検査対象のシートに対する撮影装置の配置方向の一例を示す模式図である。
【図４】図１の検査装置の概要構成の一例を示すブロック図である。
【図５】検査装置の動作例を示すフローチャートである。
【図６Ａ】画像の一例を示す模式図である。
【図６Ｂ】画像の一例を示す模式図である。
【図７Ａ】剪断変形後の画像の一例を示す模式図である。
【図７Ｂ】剪断変形後の画像の一例を示す模式図である。
【図８】平滑化フィルタの一例を示す模式図である。
【図９Ａ】角度の異なる様々な線の一例を示す模式図である。
【図９Ｂ】図９Ａの画像の平滑化処理後の画像の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、検査システムに対して本発明を適用した場合の実施形態である。
【００１５】
［１．検査システム１の構成および機能概要］
（１．１  検査システム１の構成および機能）
まず、本発明の一実施形態に係る検査システムの構成および概要機能について、図１から図３を用いて説明する。
【００１６】
図１は、本発明の実施形態に係る検査システムの概要構成例を示す模式図である。図２は、検査対象のシートに対する照明装置と撮影装置との配置関係の一例を示す模式図である。図３は、検査対象のシートに対する撮影装置の配置方向の一例を示す模式図である。
【００１７】
図１に示すように、検査システム１は、ロールから巻き出されたシートＳを搬送する搬送装置３と、シート状の検査対象の一例であるシートＳを検査する検査装置１０と、シートＳの表面を撮影する撮影装置２０と、撮影のためシートＳを照明する照明装置３０と、を備えている。ここで、基材となるフィルムのシートＳの表面には、光学的な特性を付与するために、前工程でノズルを用いてインクが塗布されている。なお、巻き出されたシートＳにノズル（図示せず）によりインクを塗布した後に、検査装置１０が検査を行ってもよい。
【００１８】
搬送装置３は、図２に示すように、シートＳを巻き出すロール３ａ、検査されたシートＳを巻き取るロール３ｂと、巻き出されたシートＳをガイドするガイドロール３ｃとを有する。シートＳは、ｙ軸方向に搬送される。
【００１９】
検査装置１０は、図２に示すように、搬送装置３、撮影装置２０、照明装置３０等に接続している。検査装置１０は、巻き出されたシートＳの位置情報を搬送装置３から取得する。検査装置１０は、撮影装置２０から画像データを取得する。検査装置１０は、照明装置３０の照明を制御する。
【００２０】
撮影装置２０は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）センサやＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）センサ等の撮影素子を有するカラーまたは白黒のラインセンサである。撮影装置２０は、被写体に対して線状の撮影領域を有する撮影手段の一例である。線状の撮影領域は、線状の方向と直角方向に１画素でもよいし、複数の画素を有してもよい。図３に示すように、搬送の方向（ｙ軸方向）と直角の方向であるシートＳの幅方向（ｘ軸方向）に対して、角度θ傾けて配置されている。例えば、角度θ１５°〜４５°が好ましい。なお、撮影装置２０は、シートＳの幅方向（ｘ軸方向）をカバーできればよく、１台でも複数台でもよい。なお、撮影装置２０の台数が少ないと、ラインの方向が長いラインセンサが必要になる。
【００２１】
撮影装置２０は、１次元の撮像素子をもつラインセンサの代わりに、２次元の撮像素子をもつエリアセンサでもよく、この場合、線状の撮影領域を有する撮影手段の一例として、撮影領域が１次元となるように制限することでラインセンサと同様に撮影することが可能となる。エリアセンサの撮影領域のｘ軸およびｙ軸のエリアをｘ軸に対して角度θ傾けてエリアセンサを配置し、ｘ軸に平行な画素に撮影領域が１次元となるように制限してもよい。エリアセンサを傾けず、すなわち、エリアセンサの撮影領域のｘ軸とシートＳの幅方向とを平行になるように配置し、エリアセンサの撮影領域のｘ軸およびｙ軸のエリアから、ｘ軸に対して角度θの直線に平行な画素に撮影領域が１次元となるように制限してもよい。
【００２２】
検査対象の表面を照明する照明手段の一例である照明装置３０は、例えば、蛍光灯、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）素子等の線状の発光体である。図１に示すように、照明装置３０は、撮影装置２０に対して平行に配置される。さらに、図２に示すように、撮影装置２０が照明装置３０による反射光を受光しやすいように、照明装置３０は、シートＳに対して、入射角φと反射角φとが同じになるように配置されることが好ましい。
【００２３】
このように、撮影装置２０および照明装置３０は、前記検査対象の表面の垂直方向に対して、前記撮影手段の撮影の向きと、前記検査対象の表面を照明する照明手段との向きとが、入射角および反射角の関係で同じになるように配置された撮影手段および照明手段の一例である。
【００２４】
（１．２  検査装置１０の構成および機能）
次に、検査装置１０の構成および機能について、図４を用いて説明する。
【００２５】
図４は、検査装置１０の概要構成の一例を示すブロック図である。
【００２６】
図２に示すように、コンピュータである検査装置１０は、検査装置１０を制御する制御部１１と、データを記憶する記憶部１２と、撮影装置２０等と通信する通信部１３と、情報を画面表示する出力部１４と、入力を受け付ける操作部１５と、を備えている。
【００２７】
制御部１１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、ＲＯＭ（Read Only Memory）と、ＲＡＭ（Random Access Memory）とを有する。制御部１１は、ＣＰＵが、ＲＯＭや、ＲＡＭに記憶された各種制御プログラムを読み出して、各種の画像処理を実行する。制御部１１が、検査装置１０の記憶部１２等の各部を制御する。なお、これらのプログラムを記憶した記録媒体等を制御部１１が読み出し実行してもよい。
【００２８】
記憶部１２は、例えば、ハードディスクドライブ、シリコンディスク等により構成されている。記憶部１２には、撮影した画像データ、画像処理用のフィルタ等が記憶されている。
【００２９】
また、記憶部１２には、オペレーティングシステムおよびサーバプログラム等の各種プログラムが記憶されていてもよい。なお、各種プログラムは、例えば、他のサーバ等からネットワークを介して取得されるようにしてもよいし、記録媒体に記録されてドライブ装置を介して読み込まれるようにしてもよい。
【００３０】
通信部１３は、搬送装置３、撮影装置２０、照明装置３０等との通信を制御する。
【００３１】
出力部１４は、例えば、液晶表示素子またはＥＬ（Electro Luminescence）素子等によって構成されている。
【００３２】
操作部１５は、例えばキーボードおよびマウス等によって構成されている。
【００３３】
［２．検査システムの動作］
次に、本発明の１実施形態に係る検査システムの動作について図２から図８を用いて説明する。
【００３４】
（２．１  検査システムの動作例）
まず、検査システム１の動作例について、図５から図９Ｂを用いて説明する。
【００３５】
図５は、検査装置の動作例を示すフローチャートである。図６Ａおよび図６Ｂは、画像の一例を示す模式図である。図７Ａおよび図７Ｂは、剪断変形後の画像の一例を示す模式図である。図８は、平滑化フィルタの一例を示す模式図である。図９Ａは、角度の異なる様々な線の一例を示す模式図である。図９Ｂは、図９Ａの画像の平滑化処理後の画像の一例を示す模式図である。
【００３６】
検査システム１の搬送装置３は、ロール３ａからシートＳを所定の量を巻き出す。ロール３ａから巻き出されたシートＳは、ガイドロール３ｃを、所定の速度で通過して、ロール３ｂに巻き取られる。
【００３７】
検査装置１０は、搬送装置３からロール３ａのエンコーダのデータを取得する。
【００３８】
撮影装置２０は、ガイドロール３ｃ間で所定の速度で、搬送されている、照明装置３０に照明されたシートＳを撮影する。
【００３９】
図５に示すように、検査装置１０は、画像を取得する（ステップＳ１）。具体的には、検査装置１０の制御部１１は、撮影装置２０から、所定の速度で搬送されているシートＳの画像データを取得する。制御部１１は、撮影装置２０の線状の撮影領域を、所定の時間、通過したシートＳの画像データを取得し、２次元画像として取得する。なお、制御部１１は、撮影装置２０にバッファされている画像データを、所定の時間間隔で取得して、２次元画像になるように画像データを取得してもよい。
【００４０】
インクの塗布ムラが生じていなく、撮影装置２０の振動やシートＳのばたつきがある場合、図６Ａに示すように、ｘ軸方向に明暗のラインＬ１が黒い帯状に現れる。一方、インクの塗布ムラが生じている場合、図６Ｂに示すように、ｘ軸に対して、撮影領域の傾きの角度θの明暗のラインＬ２が黒い帯状に現れる。ラインＬ２は、ムラ欠点であり、検査対象の欠点の一例である。
【００４１】
このように、検査装置１０は、前記搬送の方向と直角の方向に対して前記撮影領域を傾けて配置された前記撮影手段からの画像を取得する画像取得手段の一例として機能する。
【００４２】
次に、検査装置１０は、画像を剪断変形する（ステップＳ２）。具体的には、制御部１１は、シートＳの幅方向に角度θ傾けて撮影領域が配置された撮影装置２０が撮像した画像に対して、角度θ分戻すように、ｘ軸を角度θ傾ける変換の剪断変形の画像処理を行う。すなわち、制御部１１は、ｘ’軸の値に応じて、ｙ方向に画素をずらす処理を行う。
【００４３】
図７Ａに示すように、角度θの剪断変形の画像処理後、明暗のラインＬ１は、ｘ軸の変換後のｘ’軸に対して、撮影領域の傾きの角度θ傾く。一方、図７Ｂに示すように、角度θの剪断変形の画像処理後、明暗のラインＬ２は、ｘ軸の変換後のｘ’軸に対して平行になる。
【００４４】
このように、検査装置１０は、前記撮影手段から取得した画像を、前記撮影手段の前記撮影領域の傾きの角度に応じた剪断変形する剪断変形手段の一例として機能する。
【００４５】
次に、検査装置１０は、平均化フィルタの処理を行う（ステップＳ３）。図８に示すように、制御部１１は、ｘ’軸方向に対して高いアスペクト比を有するフィルタ（例えば、ｘ’：ｙ＝５１２：１５、８：１、１６：１、 ３２：１等）を用いて処理を行う。フィルタで処理を行うと、例えば、図７Ａおよび図７Ｂにおいて、ｘ’軸方向に画像が積算されるため、角度のついたムラが消え、ｘ’軸に平行なムラ欠点のみが画像に残ることになる。
【００４６】
剪断変形後の画像ではないが、図９Ａに示すように、ｘ軸に対して様々な角度の明暗のラインに対して、平均化フィルタの処理を行うと、図９Ｂに示すように、ｘ軸に対して平行に近い明暗のラインは、画像中に残るが、ｘ軸の方向から離れる明暗のラインほど、平均化されてぼやける傾向にある。
【００４７】
図９Ｂに示すように、角度θが小さ過ぎる場合（０〜１０°）は、振動等によるノイズを消しきれないため、角度θは１５度以上が好ましい。
【００４８】
また、角度θを大きくすればするほど、検査範囲はθ=０°のときよりもcosθ倍だけ狭くなり、θ=４５°の場合は、約０．７１倍となる。検査範囲が狭くなるほど、検査に必要な撮影装置２０台数が増加するため、その分装置にかかる費用がかさんでしまうことから、角度θは４５度以下が好ましい。
【００４９】
剪断変形後の画像に対して、平均化フィルタを掛けると、ｘ’軸に対して平行のムラ欠点の明暗のラインＬは残るが、ｘ’軸に対して角度θ傾いている明暗のラインＬ１は、ぼやけてｙ軸方向に薄く広がった帯状になる。
【００５０】
このように、検査装置１０は、前記検出手段において前記検査対象の欠点を検出する前の画像に、平均化フィルタ処理を行う平均化フィルタ手段の一例として機能する。
【００５１】
次に、検査装置１０は、ムラ欠点の候補を抽出する（ステップＳ４）。具体的には、制御部１１は、ｘ軸の変換後のｘ’軸に対して平行である線分、すなわち、ムラ欠点の候補を抽出する。制御部１１が、ムラ欠点の候補として、明暗のラインの暗い部分を抽出する。例えば、平均化処理された画像をネガ画像に変換して、ｙ軸方向に微分処理して、ｘ’軸方向に平行の線分を抽出する。
【００５２】
次に、検査装置１０は、検査対象を判定する（ステップＳ５）。具体的には、制御部１１は、抽出したｘ’軸方向に平行の線分が、所定の長さ（画像の幅に対して、１／３、２／３等の長さ）以上の線分か否かを判定する。
【００５３】
このように、検査装置１０は、前記撮影手段の前記撮影領域の傾きの角度に応じて、前記画像から前記検査対象の欠点を検出する検出手段の一例として機能する。また、検査装置１０は、前記剪断変形された画像から前記検査対象の欠点を検出する検出手段の一例として機能する。
【００５４】
所定の長さ以上の場合、制御部１１は、ｙ成分の位置の情報はシートＳの位置に対応するので、搬送装置３からの巻き出し情報とｙ成分の位置情報とを組み合わせて、欠点を特定するＩＤに関連付けて、記憶部１２に記憶する。
【００５５】
次に、検査装置１０は、終了か否かを判定する（ステップＳ６）。例えば、制御部１１は、搬送装置３からのデータに基づき、搬送装置３によるシートＳの搬送が終了したか否かを判定する。また、制御部１１は、検査装置１０の電源や、プログラムの終了を判定してもよい。
【００５６】
終了でない場合（ステップＳ６；ＮＯ）、検査装置１０は、ステップＳ１に戻り、搬送されているシートＳの画像を取得する。
【００５７】
終了でない場合（ステップＳ６；ＹＥＳ）、検査装置１０は、検査装置１０は、検査を終了する。
【００５８】
なお、ステップＳ２の剪断変形の処理をせず、制御部１１が、ステップＳ４で、ｘ軸に対して角度θ傾いた線分を抽出し、ステップＳ５で、検査対象を判定してもよい。
【００５９】
また、ステップＳ２の剪断変形の処理をしていない画像に対して、ステップＳ３の平滑化フィルタ処理を行ってもよい。この場合、撮影装置２０の撮影領域の傾きの角度θに合わせて、図６Ｂにおいて、ラインＬ２が残り、ラインＬ１が消えるように、平滑化フィルタ処理が設定される。例えば、ステップＳ３の平滑化フィルタが剪断変形したようなフィルタである。このように、検査装置１０は、前記検出手段において前記検査対象の欠点を検出する前の画像に、平均化フィルタ処理を行う平均化フィルタ手段の一例として機能する。
【００６０】
以上、本実施形態によれば、搬送の方向と直角の方向（ｘ軸方向）に対して撮影領域を傾けて配置された撮影装置２０からの画像を取得し、撮影装置２０の撮影領域の傾きの角度に応じて、シートＳ等の検査対象の欠点を画像から検出することにより、撮影装置２０や照明装置３０の振動やシートＳのばたつき等によるノイズと、検査対象の欠点とが、撮影装置２０の撮影領域の角度に応じて出現し、峻別できるので、より高精度に検査対象の欠点を検出できる。
【００６１】
撮影装置２０が、搬送の方向と直角の方向（ｘ軸方向）に対して撮影領域を傾けて配置されているため、撮影装置２０等の振動やシートＳのばたつきによるムラを誤検出が防止されている。
【００６２】
撮影装置２０から取得した画像を、撮影装置２０の撮影領域の傾きの角度に応じて剪断変形し、剪断変形された画像からシートＳの欠点を検出する場合、所望の方向に、シートＳの欠点が現れるようにすることができる。特に、搬送方向に垂直な方向に、シートＳの欠点が現れるようにできて、シートＳの欠点を検出しやすくなる。
【００６３】
検査対象の欠点を検出する前の画像に、平均化フィルタ処理を行う場合、撮影装置２０や照明装置３０の振動やシートＳのばたつき等によるノイズと検査対象の欠点との一方が平均化されて消えるようになるため、より峻別しやすくなる。
【００６４】
検査対象の一例であるシートＳの表面の垂直方向（z軸方向）に対して、撮影装置２０の撮影の向きと、検査対象の表面を照明する照明装置３０との向きとが同じになるように、撮影装置２０および照明装置３０が配置された場合、検査対象の正常な表面で反射した光が、撮影装置２０に入射しやすくなり、ノイズと欠点の部分との区別が明確になりやすくなり、高精度に欠点を検出しやすくなる。
【符号の説明】
【００６５】
１：検査システム
１０：検査装置
２０：撮影装置（撮影手段）
３０：照明装置（照明手段）
Ｓ：シート（検査対象）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
2019066314.tif 000008
【図６Ｂ】
2019066314.tif 000009
【図７Ａ】
2019066314.tif 000010
【図７Ｂ】
2019066314.tif 000011
【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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