(57)【要約】      （修正有）【課題】電極の変形を抑制すると共に、電気抵抗が低減する真空バルブを提供する。【解決手段】真空バルブ１は、スリットを有する固定側電極５及び可動側電極６と、固定側電極５又は可動側電極６をそれぞれ支持する補強部８と、を備える。固定側電極５及び可動側電極６が有する互いの膨出部５１、６１が接触する接触面５３、６３の背面に凹部５４、６４を有し、補強部８は、凹部５４、６４に挿入される。【選択図】図１
2019200914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定側電極と、
前記固定側電極と対向して配置され、前記固定側電極に対して接離可能な可動側電極と、
前記固定側電極及び前記可動側電極をそれぞれ支持する補強部と、
を備え、
前記固定側電極及び前記可動側電極は、
表面が膨出した膨出部と、
前記固定側電極の前記膨出部と前記可動側電極の前記膨出部が接触する接触面と、
前記接触面の背面に凹部と、
を各々有し、
前記補強部は、前記凹部に挿入されていること、
を特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
前記固定側電極を固定している固定側導体と、
前記固定側導体と対向に配置され、前記可動側電極を固定している可動側導体と、
を更に備え、
前記固定側電極及び前記可動側電極は、
スリットと、
前記スリットにより部分的に区画され、前記膨出部を基端として外側に向けて延びる腕部と、
を有し、
固定側電極及び前記可動側電極の各補強部は、前記腕部より内側で、前記固定側導体が前記固定側電極を固定している箇所又は前記可動側導体が前記可動側電極を固定している箇所よりも外側に設けられていること、
を特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項３】
前記固定側電極を支持している前記補強部は、当該固定側電極と比較して剛性が高く、かつ、電気抵抗が高い材質であり、
前記可動側電極を支持している前記補強部は、当該可動側電極と比較して剛性が高く、かつ、電気抵抗が高い材質であること、
を特徴とする請求項１又は２に記載の真空バルブ。
【請求項４】
前記固定側電極と前記可動側電極は、略同一形状であり、
前記固定側電極を支持している前記補強部と前記可動側電極を支持している前記補強部は、略同一形状であり、前記補強部の端面が電極を挟んで互いに向かい合わせに配置されていること、
を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の真空バルブ。
【請求項５】
前記腕部の電極は、前記接触面から前記凹部の底面までと比べて厚いこと、
を特徴とする請求項２乃至４の何れかに記載の真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
電気回路の開閉を行い、短絡が起こった場合などに電流を遮断する真空遮断器が知られている。真空遮断器は、真空バルブが真空中で導通、遮断を行うことで、電気回路の開閉を行っている。従来の真空バルブは、真空容器内に固定側導体に固定されている固定側電極と可動側導体に固定されている可動側電極が一対あり、可動側電極が固定側電極と接触又は離間することで、電路の導通、遮断を行っている。
【０００３】
電路の遮断を行う際に、電極間にアークが生じる。このアークは高温であるため、電極を蒸発させ、損耗させる。アークが電極の１箇所に停滞すると、電極は、アークが停滞した箇所のみ局所的に損耗する。このように、電極が局所的に損耗すると、その部分で絶縁破壊を起こし、遮断性能を低下させるおそれがある。
【０００４】
そこで、アークを駆動させ、電極の局所的な損耗を防止するため、例えば、スパイラル電極を用いることが提案されている。スパイラル電極は、円盤状の電極で外周部から延びた複数のスリットを有することで、スリットにより部分的に区画された複数の腕部を有し、渦巻き状の形状となっている電極である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−１７４４９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
真空バルブは、短絡などが起こった場合、即座に電流を遮断する必要がある。そのため、真空バルブは、可動側電極と固定側電極との接触又は離間を瞬時に行う。よって、真空バルブが電路の開閉を行う際、スパイラル電極には、相当な衝撃が加わる。しかも、スパイラル電極は、スリットが入っているため腕部の強度が弱く、電路の開閉を行う際の衝撃により変形しやすく、最悪の場合には、折れてしまうおそれもある。
【０００７】
また、この一対のスパイラル電極が接触する接触面は、ミクロレベルで見ると、凹凸があり、接触面全体が接触しているわけではない。よって、電極の接触面積が小さいため電気抵抗が高かった。
【０００８】
本実施形態は、上記課題を解決すべく、電極の変形を抑制すると共に、電極の接触部の電気抵抗を低減する真空バルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本実施形態の真空バルブは固定側電極と、前記固定側電極と対向して配置され、前記固定側電極に対して接離可能な可動側電極と、前記固定側電極及び前記可動側電極をそれぞれ支持する補強部と、を備え、前記固定側電極及び前記可動側電極は、表面が膨出した膨出部と、前記固定側電極の前記膨出部と前記可動側電極の前記膨出部が接触する接触面と、前記接触面の背面に凹部と、を各々有し、前記補強部は、前記凹部に挿入されていること、を特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の実施形態に係る真空バルブの全体構成を示す全体図である。
【図２】第１の実施形態に係る固定側電極の平面図である。
【図３】第１の実施形態に係る電極の側面からみた断面図である。
【図４】第１の実施形態に係る真空バルブにおける電流の経路を示す図である。
【図５】変形例１に係る補強部が電極を支持する側面からみた断面図である。
【図６】変形例２に係る固定側電極の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（第１の実施形態）
以下、第１の実施形態に係る真空バルブ１について図面を参照しつつ詳細に説明する。まず、第１の実施形態の真空バルブ１の全体構成について説明する。図１は、開路状態の真空バルブ１の全体構成を示す全体図である。真空バルブ１は、真空遮断器の構成部品であり、真空の中で電路の導通、遮断を行う。この真空バルブ１は、図１に示すように、真空容器２、固定側導体３、可動側導体４、固定側電極５、可動側電極６、プレート７、補強部８、ベローズ９及び駆動装置１０を備える。
【００１２】
この真空バルブ１は、概略円筒形状の真空容器２内に、一対の固定側電極５と可動側電極６とが対向に配置され、可動側電極６を円筒軸Ｘに沿って移動させることで、可動側電極６と固定側電極５とを接離させる。この可動側電極６が固定側電極５と接触している場合には、導通となり、電路は閉路状態となる。一方、可動側電極６が固定側電極５と離間すると、電流は遮断され、電路は開路状態となる。
【００１３】
真空容器２は、密閉された空間が真空である容器である。真空とは、これに限られないが、例えば、１０−２Ｐａ以下であることが望ましい。この真空容器２は、絶縁筒２１及び封着金具２２を有する。絶縁筒２１は、両端が開口した円筒形状を有する。この絶縁筒２１は、絶縁性を有する材質であり、例えば、セラミックスや硝子である。
【００１４】
封着金具２２は、絶縁筒２１の両端の開口を塞ぐ部材である。封着金具２２は、円盤形状を有し、その外径は、絶縁筒２１の両端の開口と概略同一径である。この封着金具２２が、絶縁筒２１の両端の開口を塞ぎ、銀ろう付けされることで絶縁筒２１と封着金具２２は気密接合し、真空容器２の内部が密閉される。
【００１５】
固定側導体３及び可動側導体４は、銅などの導電性を有する材質により構成された導体であり、例えば、円筒形状を有する。固定側導体３及び可動側導体４の一方端面は、中心部分が、例えば端面中心から突起した円筒形状の支持部３１、４１と、それ以外の平坦な平坦部３２、４２を有する。封着金具２２の中心は、開口しており、固定側導体３及び可動側導体４は、真空容器２外からこの開口を貫通し、固定側導体３及び可動側導体４の支持部３１、４１を有する端部が、真空容器２内に延びている。
【００１６】
固定側導体３及び可動側導体４は、絶縁筒２１の円筒軸Ｘと共通軸を有する。また、固定側導体３及び可動側導体４は、対向に配置される。即ち、支持部３１を有する固定側導体３の端部は、真空容器２の一方端部から真空容器２内に延び、支持部４１を有する可動側導体４の端部は、真空容器２の他方端部から真空容器２内に延びている。よって、固定側導体３の支持部３１と可動側導体４の支持部４１とが真空容器２内で対向している。なお、本実施形態では、固定側導体３及び可動側導体４は、絶縁筒２１の円筒軸Ｘと共通軸を有するように配置したが、これに限定するものではなく、固定側導体３と可動側導体４を対向に配置すれば、所望の位置に配置することができる。
【００１７】
固定側導体３の外径は、封着金具２２の開口の外径と概略同一径である。固定側導体３は、封着金具２２の開口と銀ろう付けされることにより、封着金具２２に固定されて支持されている。一方、可動側導体４の外径は、封着金具２２の開口よりやや小さい。やや小さいとは、可動側導体４が、封着金具２２の開口を円筒軸Ｘに沿って移動できる程度に小さければよい。即ち、可動側導体４は、封着金具２２の開口に遊貫している。
【００１８】
固定側電極５及び可動側電極６は、銅などの導電性を有する材質により構成された、例えば、スリットＳを有する円盤形状のスパイラル電極である。固定側電極５は、固定側導体３の支持部３１の端面と接触し、銀ろう付けによって固着される。一方、可動側電極６は、可動側導体４の支持部４１の端面と接触し、銀ろう付けにより固着される。即ち、固定側電極５と可動側電極６は、対向に配置される。固定側電極５及び可動側電極６の形状については後述する。
【００１９】
プレート７は、固定側導体３と固定側電極５の間、可動側導体４と可動側電極６の間にそれぞれ配置される。プレート７は、例えば、円板形状である。このプレート７は、中心に支持部３１、４１の外径と概略同一径の開口を有している。支持部３１、４１がこの開口を貫通し、プレート７は、平坦部３２、４２と接し、銀ろう付けにより固定されている。プレート７の厚みは、支持部３１、４１の高さよりも薄い。換言すれば、プレート７と固定側電極５又は可動側電極６の間には隙間がある。
【００２０】
プレート７は、アークによって蒸発した金属粒子が、絶縁筒２１などに付着し、絶縁性能を低下させることを防止する。具体的には、固定側電極５及び可動側電極６がスリットＳを有することによって、蒸発した金属粒子はスリットＳからすり抜ける可能性がある。このスリットＳをすり抜けた金属粒子をプレート７に付着させることにより、絶縁筒２１などに金属粒子が付着することを防止する。
【００２１】
補強部８は、プレート７と固定側電極５及び可動側電極６の間にそれぞれ配置される。補強部８の一方端部はプレート７に銀ろう付けにより固定され、他方端部は固定側電極５又は可動側電極６に銀ろう付けにより固定される。固定側電極５又は可動側電極６を支持する各補強部８は、例えば、概略同一径のリング形状を有する。即ち、リング形状の各補強部８は、概略同一径を有する。
【００２２】
各補強部８は、その中心が絶縁筒２１の円筒軸Ｘ上に配置される。つまり、固定側電極５を支持する補強部８と、可動側電極６を支持する補強部８とが、固定側電極５及び可動側電極６を挟んで向き合って配置される。補強部８は、支持する固定側電極５又は可動側電極６よりも剛性が高く、かつ、電気抵抗が高いものが好ましく、例えば、ステンレス鋼である。
【００２３】
ベローズ９は、伸縮可能な蛇腹状の伸縮管であり、金属等の材料から成る。このベローズ９は真空容器２内に設けられている。ベローズ９の内部は、可動側導体４が貫通している。ベローズ９の一方端部は、封着金具２２の開口を覆うように封着金具２２と銀ろう付けにより固定されている。即ち、ベローズ９の外径は、封着金具２２の開口の外径より大きい。一方、ベローズ９の他方端部は、可動側導体４と銀ろう付けにより固定されている。つまり、ベローズ９は、絶縁筒２１と可動側導体４とに固定されることで、封着金具２２の開口から流入してくる大気をベローズ９内部に留める。これにより、真空容器２内に大気が流入することを防止でき、真空容器２内の真空が保持される。
【００２４】
駆動装置１０は、真空容器２外に配置され、可動側導体４の真空容器２外に延びた端部と接続している。駆動装置１０は、可動側導体４を絶縁筒２１の円筒軸Ｘに沿って押し引きする。即ち、駆動装置１０が、可動側導体４を円筒軸Ｘ方向に移動させることで、可動側導体４の端部に固着している可動側電極６を固定側電極５に接触又は離間させる。駆動装置１０は、例えば、電動ばねである。即ち、モータでばねを引き延ばしておき、この引き延ばされたばねを離すことで可動側導体４を駆動させる。
【００２５】
次に、固定側電極５及び可動側電極６について詳述する。図２は、固定側電極５の平面図である。図３は、固定側電極５及び可動側電極６を側面から見た断面図である。なお、図２は、固定側電極５のみ図示しているが、可動側電極６も同一の形状を有している。
【００２６】
固定側電極５及び可動側電極６は、表面に膨出しているリング状の膨出部５１、６１を有する。各膨出部５１、６１は、概略同一形状及び概略同一径である。膨出部５１、６１は、支持部３１、４１が固定側電極５又は可動側電極６を支持している箇所よりも外側で、４本の各スリットＳよりも内側に設けられている。このリング状の膨出部５１、６１の中心は、円筒軸Ｘ上に配置される。前述したように、固定側電極５と可動側電極６は対向しているので、互いの膨出部５１、６１は向き合っている。この向き合った互いの膨出部５１、６１が接触又は離間する。これにより、真空バルブ１は、電路を閉路状態又は開路状態とすることができる。
【００２７】
各膨出部５１、６１は、対向する膨出部６１、５１と接触する接触面５３、６３を有する。また、固定側電極５及び可動側電極６は、各膨出部５１、６１の接触面５３、６３の背面に、リング状の凹部５４、６４を有する。換言すれば、膨出部５１、６１の厚みは、凹部５４、６４の分薄くなっている。この各凹部５４、６４には、補強部８が挿入される。即ち、補強部８は、各接触面５３、６３の背面から固定側電極５又は可動側電極６を支持する。
【００２８】
固定側電極５及び可動側電極６は、例えば、外周部から延びる概略同一形状の４本のスリットＳを有する。図２に示すように、スリットＳの切込み箇所は、円周上に等配間隔で配置される。即ち、スリットＳの切込み箇所は、９０度間隔で配置される。各スリットＳは、当該スリットＳの時計回り方向の隣のスリットＳの切込み箇所に向けて延び、隣のスリットＳの切込み箇所には未達である。スリットＳは、中心を介して相対するスリットＳに対して、平行に配置される。
【００２９】
なお、本実施形態では、スリットＳは、時計回り方向の隣のスリットＳの切込み箇所に向かって延びていたが、反時計周り方向の隣のスリットＳの切込み箇所に向かって延びていてもよい。また、本実施形態では、スリットＳを４本有していたが、スリットＳの数はこれに限られず、例えば、３本以下でもよいし、５本以上有していてもよい。この場合、スリットＳは、スリットＳの数に応じた切込み箇所が電極５、６の外周上に等配間隔に配置され、各スリットＳは、当該切込み箇所から時計回り又は反時計回り方向の隣の切込み箇所に向けて延びている。また、各スリットＳは膨出部５１、６１の外周部をかすめるように延びている。換言すると、円盤状の電極５、６に内接し、また、膨出部５１、６１に外接する正多角形を考えると、各スリットＳは、当該正多角形の各角を基端とし、時計回り又は反時計回り方向に延びる辺をなぞるように切り込まれるようにすればよい。
【００３０】
固定側電極５及び可動側電極６は、スリットＳが隣のスリットＳの切込み箇所に向けて延び、当該切込み箇所に未達であるので、スリットＳと固定側電極５又は可動側電極６の外周部の間に腕部５２、６２を有する。即ち、腕部５２、６２は、膨出部５１、６１より外周側に設けられている。腕部５２、６２は、膨出部５１、６１と繋がっており、この膨出部５１、６１を基端として電極５、６の外周部に向けて屈曲又は湾曲しながら延び、末端は外周に沿う。この腕部５２、６２の表面は、膨出部５１、６１から外周に向けて、なだらかな傾斜となっている。一方、固定側電極５及び可動側電極６は、膨出部５１、６１の背面に凹部５４、６４を有する。そのため、固定側電極５及び可動側電極６は、膨出部５１、６１の厚みが薄くなっている。つまり、図３に示すように、腕部５２、６２の電極５、６の厚みｔ２は、膨出部５１、６１の電極５、６の厚みｔ１より厚さを有する。
【００３１】
次に、本実施形態に係る真空バルブ１が電路を開路状態から閉路状態にする動作について図１及び図４を参照しつつ説明する。図４は、電路の閉路状態の電流の経路を示す図である。開路状態とは、可動側電極６が固定側電極５から離間して、電気的に接続していない状態をいう。閉路状態とは、可動側電極６が、固定側電極５に接触し、電気的に接続している状態をいう。
【００３２】
まず、図１のように、開路状態である場合は、固定側電極５と可動側電極６が離間しており、電気的に接続していない。即ち、電気を遮断している状態である。次に、駆動装置１０は、不図示の制御装置から閉路命令が送られると、可動側導体４を絶縁筒２１の円筒軸Ｘ方向に押し上げ、可動側導体４の端部に固定されている可動側電極６の膨出部６１を固定側電極５の膨出部５１に接触させる。
【００３３】
接触の際、固定側電極５及び可動側電極６には、衝撃が加わる。即ち、固定側電極５には、可動側電極６が接触した力が固定側電極５の表面から背面に向けて働く。一方、可動側電極６には、反作用により、接触した力が可動側電極６の表面から背面向けて働く。本実施形態では、固定側電極５及び可動側電極６は、支持部３１、４１だけでなく、電極５、６よりも剛性の高い補強部８によっても支持されている。つまり、電極５、６よりも強度の強い補強部８が電極５、６を背面から支持することで、この接触した力を受け止め、電極５、６が変形することを抑制している。
【００３４】
また、各補強部８は、凹部５４、６４に挿入され、同軸上に対向に配置されているので、膨出部５１、６１の接触面５３、６３を加圧する。そして、電極５、６は、膨出部５１、６１の背面に凹部５４、６４を有しているので、膨出部５１、６１の厚みが薄くなっている。これにより、補強部８が加圧する力が効率よく接触面５３、６３に伝わっている。したがって、接触面５３、６３の凹凸は押しつぶされ、接触面積が増えるので、電気抵抗が低減されている。
【００３５】
次に、電路の閉路状態から開路状態に遮断すると、固定側電極５と可動側電極６の間にアークが生じる。アークは、高温のため電極を蒸発させるので、固定側電極５及び可動側電極６は損耗する。アークが発生した時、固定側電極５と可動側電極６との間には、電極５、６に流れていた電流によって、電極５、６の半径方向に磁界（横磁界）が発生する。この磁界はアークに印加される。アークは、この磁界とアークに流れる電流によりローレンツ力が働き、円周方向に駆動する。電極５、６はスリットＳを有するので、アークを１箇所に停滞させることなく電極５、６の４つの腕部５２、６２で駆動させる。
【００３６】
ここで、補強部８の電気抵抗を高くすることで、補強部８に電流が流れることを抑制する。即ち、図４に示すように、可動側導体４に流れた電流は、可動側電極６に流れ、膨出部６１に向けて広がる。膨出部６１に向けて広がった電流は、可動側電極６の膨出部６１と接触している固定側電極５の膨出部５１に流れる。膨出部５１に流れた電流は、電気抵抗の高い補強部８には向かわず、固定側導体３の支持部３１に向けて流れ、広がっていた電流はこの支持部３１の手前で合流し、固定側導体３に流れる。即ち、補強部８を設けていない場合と同様の電流経路となる。よって、補強部８を設けた場合であっても、アークを腕部５２、６２で駆動させる。
【００３７】
アークが円周方向に回転を始めると、アークは、電極５、６の腕部５２、６２を駆動するため、腕部５２、６２の損耗は、他の部分と比較すると大きくなる。しかし、本実施形態では、腕部５２、６２の厚みｔ２は、接触面５３、６３から凹部５４、６４までの厚みｔ１よりも厚みを有している。よって、アークを腕部５２、６２に駆動させても、電路を多数回遮断することが可能となり、電極を長寿命化させることができる。
【００３８】
また、アークが発生すると、アークは高温であるので、電極５、６は蒸発し、金属粒子が発生する。この金属粒子は拡散するので、電極５、６のスリットＳをすり抜ける可能性がある。プレート７は、このスリットＳをすり抜けた金属粒子をプレート７に付着させ、金属粒子が絶縁筒２１などに付着して、絶縁性能を低下させることを防止されている。
【００３９】
そして、腕部５２、６２を駆動していたアークは、電流零点になると消弧する。
【００４０】
（第１実施形態の効果）
以上のように、本実施形態では、固定側電極５と、固定側電極５と対向して配置され、固定側電極５に対して接離可能な可動側電極６と、固定側電極５及び可動側電極６をそれぞれ支持する補強部８と、を備え、固定側電極５及び可動側電極６は、表面が膨出した膨出部５１、６１と、固定側電極５の膨出部５１と可動側電極６の膨出部６１とが接触する接触面５３、６３と、接触面５３、６３の背面に凹部５４、６４と、を各々有し、補強部８は、凹部５４、６４に挿入されるようにした。
【００４１】
これにより、電極５、６の開閉時の衝撃を補強部８が受け止めるので、電極５、６の変形を抑制することができる。また、各補強部８は、それぞれ膨出部５１、６１が接触する方向に加圧している。よって、接触面５３、６３の面圧が高まり、電極５、６の表面の凹凸は押しつぶされ、接触面積が大きくなるので、電気抵抗を低減させることができる。
【００４２】
電極５、６を支持する補強部８は、当該固定側電極５、６と比較して剛性が高く、かつ、電気抵抗が高い材質となるようにした。補強部８を電極５、６より剛性が高い材質にすることにより、補強部８は、電極５、６の接離時の衝撃で電極５、６よりも先に変形することなく、また、より強い力で電極５、６を支持することができ、電極５、６の変形を抑制することができる。
【００４３】
また、補強部８に電流が流れると、アークを駆動するローレンツ力が低下し、アークを消弧する性能が低下するおそれがあるが、電気抵抗を高い材質にすることで、補強部８に電流が流れることを抑制し、補強部８を設けていない場合と同様にアークを駆動させ、消弧できる。
【００４４】
固定側電極５及び可動側電極６は概略同一形状であり、固定側電極５を支持する補強部８と可動側電極６を支持する補強部８は概略同一形状であり、互いの補強部８の端面が向かい合わせて配置するようにした。これにより、各補強部８が加圧する力は、対向する補強部８に向けられる。即ち、各補強部８は、膨出部５１、６１を接触する方向に加圧する。よって、固定側電極５及び可動側電極６の表面の凹凸が押しつぶされ、膨出部５１、６１が接触し合う面積は増加し、電気抵抗をより低減させることができる。
【００４５】
固定側電極５及び可動側電極６の腕部５２、６２の厚みは、膨出部５１、６１の厚みよりも厚くなるようにした。これにより、アークが腕部５２、６２を周回しても、腕部５２、６２のみ早く損耗することなく、電極５、６は全体としてバランスよく損耗するので、電極５、６が長寿命化する。
【００４６】
（変形例１）
変形例１に係る真空バルブ１について図面を参照しつつ説明する。図５は、変形例１に係る補強部８が固定側電極５及び可動側電極６を支持する模式図である。図５に示すように、変形例１に係る補強部８は、各電極５、６と接する端部が先細りしているリング形状を有している。即ち、この補強部８は、固定側電極５又は可動側電極６と接する端面がプレート７と接する端面よりも面積が小さくなっている。
【００４７】
これにより、補強部８が電極を押し上げる力は集中するため、力が分散することを抑制し、接触面５３、６３に対する面圧が高まる。よって、接触面５３、６３における接触面積を増加させ、電気抵抗をより低減させることができる。
【００４８】
（変形例２）
変形例２に係る真空バルブ１について図面を参照しつつ説明する。図６は、変形例２に係る補強部８が固定側電極５を支持する模式図である。なお、図６は、固定側電極を支持する補強部８を図示したが、可動側電極６も同様の構成となっている。第１の実施形態及び変形例１では、リング状の補強部８によって、固定側電極５及び可動側電極６を支持していたが、変形例２に係る補強部８は、複数の中実な円柱形状によって電極５、６を支持している。即ち、図６に示すように、各補強部８は、例えば、中実な円柱形状のステンレス鋼を４本有している。
【００４９】
固定側電極５は、４本のスリットＳ及び４本の腕部５２を有し、この４本のステンレス鋼は、それぞれ固定側電極５の各腕部５２の付け根付近に配置される。換言すれば、スリットＳを有することにより、電極５、６の開閉によって生じる衝撃で電極が変形しやすいところを支持する。
【００５０】
このように、変形例２に係る真空バルブ１は、複数の補強部８によって電極５、６を支持した。これにより、電極５、６の変形の大きい箇所などユーザが補強したい所望の場所をピンポイントで補強することができ、電極５、６の変形をより効果的に抑制することができる。なお、変形例２では、各電極５、６を支持する補強部８は、４つであったが、これに限らない。腕部５２、６２の数に応じて４つ以上で支持してもよいし、電極５、６が変形しやすいところのみを４つ以下の補強部８によって支持してもよい。
【００５１】
（他の実施形態）
本明細書においては、本発明に係る実施形態を説明したが、この実施形態は例として提示したものであって、発明の範囲を限定することを意図していない。上記のような実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の範囲を逸脱しない範囲で、種々の省略や置き換え、変更を行うことができる。実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【００５２】
本実施形態では、補強部８とプレート７は別体として構成したが、補強部８とプレート７は一体に成形してもよい。一体に成形すれば、ろう付け等により補強部８とプレート７を固着させる必要がなく、ユーザの作業工程を削減することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１  真空バルブ
２  真空容器
２１  絶縁筒
２２  封着金具
３  固定側導体
３１  支持部
３２  平坦部
４  可動側導体
４１  支持部
４２  平坦部
５  固定側電極
５１  膨出部
５２  腕部
５３  接触面
５４  凹部
６  可動側電極
６１  膨出部
６２  腕部
６３  接触面
６４  凹部
７  プレート
８  補強部
９  ベローズ
１０  駆動装置
Ｘ  円筒軸
Ｓ  スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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