(57)【要約】【課題】検出精度を向上する。【解決手段】センサモジュール１００は、検体中の特定物質を検出可能なセンサ部１１２と、センサ部１１２に接続される流路１１４と、検体を流路１１４に導入する導入部１１３と、導入部１１３に対向し、導入部１１３に検体を送風可能な送風部１２１を有する送風機１２０と、を備え、導入部１１３は、第１開口１１３ａと、第１開口１１３ａよりも送風機１２０側に配され且つ開口面積が大きい第２開口１１３ｂと、第１開口１１３ａおよび第２開口１１３ｂを接続する導入面１１３ｃと、を有し、送風部１２１は第１開口１１３ａよりも大きい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検体中の特定物質を検出可能なセンサ部と、
前記センサ部に接続される流路と、
検体を前記流路に導入する導入部と、
前記導入部に対向し、前記導入部に検体を送風可能な送風部を有する送風機と、
を備え、
前記導入部は、第１開口と、前記第１開口よりも前記送風機側に配され且つ開口面積が大きい第２開口と、前記第１開口および前記第２開口を接続する導入面と、を有し、
前記送風部は前記第１開口よりも大きい、
センサモジュール。
【請求項２】
前記センサ部を収容するとともに、貫通孔を有する筐体をさらに備え、
前記貫通孔の少なくとも一部は、前記導入部を形成する、請求項１に記載のセンサモジュール。
【請求項３】
前記導入面は、前記第２開口から前記第１開口に向かって縮径する、請求項１または請求項２に記載のセンサモジュール。
【請求項４】
前記送風部は前記第２開口よりも小さい、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のセンサモジュール
【請求項５】
前記送風機は、前記送風部の周囲に配された、前記導入面に対向する壁部をさらに備える、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のセンサモジュール。
【請求項６】
前記壁部は前記第２開口よりも小さい、請求項５に記載のセンサモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサモジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体中の特定の物質を検出するセンサが知られている。例えば、特許文献１には、ダイアフラム部と、ダイアフラム部の表面に複数の感応膜とを備えたガスセンサが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１５３１３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなセンサでは、検出精度を向上させることが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一実施形態に係るセンサモジュールは、検体中の特定物質を検出可能なセンサ部と、前記センサ部に接続される流路と、検体を前記流路に導入する導入部と、前記導入部に対向し、前記導入部に検体を送風可能な送風部を有する送風機と、を備える。前記導入部は、第１開口と、前記第１開口よりも前記送風機側に配され且つ開口面積が大きい第２開口と、前記第１開口および前記第２開口を接続する導入面と、を有する。前記送風部は前記第１開口よりも大きい。
【発明の効果】
【０００６】
本開示の一実施形態に係るセンサモジュールは、検出精度を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】センサモジュールの一例を模式的に示す断面図である。
【図２】循環流の一例を模式的に示す図である。
【図３】循環流距離の検討を行ったセンサモジュールを模式的に示す断面図である。
【図４】シミュレーション結果を示す表である。
【図５】シミュレーション結果を示すグラフである。
【図６】シミュレーション結果を示すグラフである。
【図７】センサモジュールの他の一例を模式的に示す断面図である。
【図８】循環流の一例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、いくつかの実施形態について、図面を参照して説明する。
【０００９】
図１は、センサモジュール１００の一例を模式的に示す断面図である。センサモジュール１００は、本体１１０と、送風機１２０とを備える。
【００１０】
本体１１０は、筐体１１１を備える。筐体１１１は、外観が、例えば概略円柱形状または角柱形状で構成されていてよい。すなわち、筐体１１１は、第１面１１１ａおよび第２面１１１ｂを底面とする柱形状で構成されていてよい。ただし、筐体１１１は、柱形状に限られず、下記説明するセンサ部を収容可能な任意の形状であってよい。本明細書では、筐体１１１が円柱形状であるとして、以下説明する。円柱形状の筐体１１１の中心軸をＡとする。本明細書では、以下、本体１１０における、第１面１１１ａ側を前面ともいう。一実施形態において、送風機１２０は、図１に示すように、筐体１１１の第１面１１１ａ側、つまり前面側に配置されてよい。
【００１１】
筐体１１１は、第１面１１１ａにおいて、筐体１１１内に検体（被検流体）を取り込むことが可能な貫通孔１１１ｃを有する。すなわち、筐体１１１の外部と内部とは、貫通孔１１１ｃを介して連通する。貫通孔１１１ｃは、例えば図１に示すように、中心が軸Ａと一致する位置に設けられてよい。
【００１２】
筐体１１１は、内部にセンサ部１１２を収容する。センサ部１１２は、特定の物質を検出可能なセンサ素子を備える。センサ素子は、例えば基板と、感応膜と、検出部とを備える。
【００１３】
基板は、例えば変形可能な部材であればよい。基板は、例えばダイアフラムとして機能する薄い基板であればよい。具体的には、基板は、例えばｎ型のＳｉ基板等であればよい。
【００１４】
感応膜は、特定の物質に反応することができる。感応膜は、基板上に配置される。基板上には、１枚または複数枚の感応膜が配されてよい。感応膜は、例えば膜状の部材であればよい。感応膜は、特定の物質を吸着することによって変形する材料で構成されればよい。感応膜は、例えば、ポリスチレン、クロロプレンゴム、ポリメチルメタクリレートまたはニトロセルロース等の材料で形成されることができる。
【００１５】
検出部は、感応膜が特定の物質に反応したことを検出することができる。検出部は、例えばピエゾ抵抗素子であり、基板に配されていればよい。センサ素子は、例えば検出部を４つ備えていてよい。４つの検出部は、例えばホイートストーンブリッジ回路を構成していればよい。検出部は、基板に、例えばボロン（Ｂ）を拡散させて形成することができる。
【００１６】
センサ素子に検査対象である検体が吹きかけられるとする。検体中に、特定の物質が含まれる場合、感応膜が特定の物質に反応して変形し、感応膜の変形に応じて基板が変形する。基板の変形によって検出部に応力が印加され、検出部の電気抵抗値が変化する。その結果、検出部の出力が変動し、センサ素子は特定の物質を検出することができる。このようにして、センサ素子は、被検流体中に特定の物質が含まれることを検出できる。
【００１７】
筐体１１１は、第１面１１１ａに、導入部１１３を有する。導入部１１３は、第１開口１１３ａと、第２開口１１３ｂと、導入面１１３ｃとを有する。第１開口１１３ａと第２開口１１３ｂとは、例えば外縁が円形状であってよい。円形状の第１開口１１３ａと第２開口１１３ｂとの中心は、軸Ａ上にあってよい。第２開口１１３ｂは、第１開口１１３ａよりも開口面積が大きい。第２開口１１３ｂは、第１開口１１３ａよりも前面側、つまり送風機１２０側に配される。導入部１１３は、後述する流路１１４に検体を導入する。
【００１８】
第１開口１１３ａと第２開口１１３ｂとは、導入面１１３ｃで接続されている。導入面１１３ｃは、第２開口１１３ｂから第１開口１１３ａに向かって縮径していてよい。導入面１１３ｃは、例えば図１に示すように、軸Ａに垂直な面に対して、前面側に向かって角度θ傾斜していてよい。導入面１１３ｃが第２開口１１３ｂから第１開口１１３ａに向かって縮径していることにより、本体１１０の前面側から流れ込む検体が、流路１１４に導入されやすくなる。導入面１１３ｃは、軸Ａを中心として、全方位について形状が等しくなるように構成されていてよい。言い換えると、導入面１１３ｃは、本体１１０の軸Ａに沿った任意の断面について、同一の形状を有していてよい。これにより、全方位について、より均一な循環流を発生させやすくなる。なお、循環流については後述する。
【００１９】
上述した筐体１１１の貫通孔１１１ｃは、少なくとも一部が導入部１１３を形成していてよい。図１に示す例では、貫通孔１１１ｃの一部である前面側が、導入部１１３の第１開口１１３ａを形成している。
【００２０】
流路１１４は、センサ部１１２に接続される。流路１１４は、筐体１１１の内部に配される。流路１１４は、貫通孔１１１ｃに接続され、貫通孔１１１ｃから流入する検体を、センサ部１１２に導入する。流路１１４は、例えば円筒形状等の筒形状であってよい。図１に示す例では、流路１１４は、直線状に形成されており、流路１１４の中心軸が軸Ａと一致する位置に配置されている。ただし、流路１１４は少なくとも一部が曲がっていてもよい。
【００２１】
図１に示す例では、筐体１１１が内部にセンサ部１１２を収容すると説明したが、センサ部１１２は、必ずしも筐体１１１の内部に収容されていなくてもよい。センサ部１１２は、流路１１４を介して導入部１１３と接続されていればよい。
【００２２】
送風機１２０は、送風部１２１を備える。送風機１２０は、導入部１１３に対向する位置、つまり本体１１０の前面側に配される。送風機１２０は、本体１１０から送風機１２０までの距離を変更可能に構成されていてよい。
【００２３】
送風部１２１は、導入部１１３に検体を送風する。送風部１２１は、例えば円形の多翼のファンである。なお、送風機１２０は、送風部１２１を機能させる種々の構成を備えている。例えば、送風部１２１がファンの場合、ファンを回転させるモータと、ファンを保護するケーシングと、ファンの回転の中心となる回転軸とを備えていてもよい。送風機１２０は、モータにより、ファンが回転軸を中心に回転することにより、前面側の検体を本体側に送風することができる。より具体的には、送風機１２０は、送風部１２１の外形と同等の送風領域を有した風を送る事ができる。
【００２４】
送風部１２１は、本体１１０の前面視において、ファンの回転軸が第１開口１１３ａの中心と一致する位置に配されてよい。すなわち、送風領域の中央と第１開口１１３ａの中心とが一致するように、送風部１２１が配されてもよい。図１に示す例では、ファンの回転軸が軸Ａと一致するように、送風部１２１が配置される。これにより、送風部１２１により送風された検体が導入部１１３の第１開口１１３ａから流路１１４に導入されやすくなる。
【００２５】
送風部１２１は、第１開口１１３ａよりも大きくてもよい。すなわち、送風領域は、第１開口１１３ａよりも大きくてもよい。言い換えると、前面視において送風部１２１が占める面積は、第１開口１１３ａが占める面積よりも大きくてもよい。これにより、送風部１２１により送風された検体は、少なくとも一部が導入部１１３に吹き付けられ、導入部１１３から流路１１４に導入されやすくなる。また、送風部１２１は、周辺の空気も同時に吸い込むため、送風部１２１の外側ほど検体の濃度が低くなるが、本開示では、送風部１２１を第１開口１１３ａよりも大きくすることにより、中心部の高濃度の検体を効果的に導入させることができる。このように、本実施形態に係るセンサモジュール１００では、中心部の高濃度の検体が、優先的に導入部１１３に導入されやすくなる。
【００２６】
送風部１２１は、第２開口１１３ｂよりも小さくてもよい。言い換えると、前面視において送風部１２１が占める面積は、第２開口１１３ｂが占める面積よりも小さくてもよい。
【００２７】
センサモジュール１００は、センサモジュール１００の前面側に配置されたにおい源から発生するにおいを検出できる。具体的には、センサモジュール１００の送風部１２１を起動することにより、センサモジュール１００の前面側に配置されたにおい源から発生する検体が、本体１１０に吹きつけられる。本体１１０に吹きつけられた検体は、その一部が導入面１１３ｃに沿って軸Ａ側に流れて、流路１１４に導入される。流路１１４に導入された検体がセンサ部１１２に吹きつけられると、センサ部１１２は、検体に含まれる特定の物質（つまりにおいの原因となる物質）を検出することにより、においを検出することができる。
【００２８】
ここで、従来の構造では、本体１１０に導入面１１３ｃが存在しなかったため、流路１１４に導入されなかった検体は、本体１１０の後方側（第２面１１１ｂの側）に流れ去ってしまっていた。これに対して、本開示では、本体１１０に導入面１１３ｃを配置することで、本体１１０に吹きつけられた検体のうち、導入面１１３ｃに沿って軸Ａ側に流れる上記一部以外の検体は、導入面１１３ｃに沿って、軸Ａから遠ざかる方向に流れる。そして、導入面１１３ｃが角度θ分、前面側に傾斜しているため、検体は、軸Ａから遠ざかる方向で、かつ前面側の方向に流れる。このように流れた検体は、再び送風部１２１に吸い込まれて、本体１１０に吹きつけられる。これにより、循環流が発生する。
【００２９】
図２は、循環流の一例を模式的に示す図である。図２では、説明のため、センサモジュール１００の一部のみを図示している。具体的には、図２では、センサモジュール１００のうち、図１に示す軸Ａの上半分のみを図示している。図２では、検体を含む流体の流れの方向が、矢印で示されている。
【００３０】
図２に示されるように、送風部１２１は、センサモジュール１００の前面側の気体を吸引して、本体１１０側に送風する。本体１１０に送風された気体の一部は、導入面１１３ｃに沿って、軸Ａから遠ざかる方向に流れる。そして、気体は、弧を描くようにして、センサモジュール１００の前面側に流れた後、軸Ａに近づくように流れる。軸Ａに近づくと、気体は送風部１２１により吸引される。このようにして、循環流が発生する。
【００３１】
このように、一実施形態に係るセンサモジュール１００によれば、導入部１１３により循環流を発生させることができる。そのため、におい源から発生する検体のうち、流路１１４に導入されなかったものについては、循環流により、再度、送風機１２０から本体１１０に送風することができる。このようにして、センサモジュール１００によれば、検体を、センサモジュール１００の外部に逃がさずにセンサ部１１２に送り込みやすくなる。また、循環流が発生するため、その空間内の風速は、循環流が発生していない場合と比較して速くなり、検体がセンサに到達する時間を短縮することもできる。したがって、センサモジュール１００によれば、検体を効率的にセンサ部１１２に送り込みやすくなる。これにより、センサモジュール１００によれば、検体の検出精度を向上させることができる。
【００３２】
ここで、循環流の大きさは、送風部１２１の吸引量、本体１１０と送風機１２０との軸Ａ上における距離、および導入面１１３ｃの角度θ等に応じて定まる。本体１１０と送風機１２０との軸Ａ上における距離は、例えば第１開口１１３ａから送風機１２０の吸引口（前面側の端部）までの距離である。本体１１０と送風機１２０との軸Ａ上における距離を、以下、単に「送風機との距離」ともいう。循環流の大きさは、例えば、図２に示すように、第１開口１１３ａから、循環流を軸Ａに投影した場合における最も前面側の位置Ｐ１までの距離（以下「循環流距離」ともいう）Ｄ１により表すことができる。
【００３３】
本体１１０の第１開口１１３ａからにおい源までの距離に対して、循環流距離Ｄ１が短いと、送風部１２１がにおい源からの検体の吸引効率が低減するため、検体が本体１１０に送風されない。一方、本体１１０の第１開口１１３ａからにおい源までの距離に対して、循環流距離Ｄ１が長いと、におい源からの検体は本体１１０に向けて送風されるが、送風部１２１から本体１１０に向けて送風される検体以外の気体（例えば空気）の量も増える。この場合、センサ部１１２が検出する検体の濃度が低下しやすくなる。そこで、センサ部１１２に吹きつけられる検体の濃度を、より高くするためには、循環流距離Ｄ１を、本体１１０の第１開口１１３ａからにおい源までの距離に近づけるとよい。
【００３４】
発明者らは、送風部１２１の吸引量、送風機１２０との距離、および導入面１１３ｃの角度θと、循環流距離Ｄ１との関係について、検討を行った。発明者が行った循環流距離Ｄ１に関する検討内容と、その結果について説明する。
【００３５】
図３は、循環流距離Ｄ１に関する検討を行ったセンサモジュールを模式的に示す断面図である。図３では、説明のため、センサモジュール２００の断面の一部のみを図示している。
【００３６】
センサモジュール２００は、本体２１０と、送風機２２０とを備える。センサモジュール２００において、本体２１０と、送風機２２０とは、軸Ａについて回転させた立体として構成される。例えば、本体２１０は、円柱の前面側を、円錐形状でくり抜いたような立体として構成される。
【００３７】
本体２１０は、筐体２１１と、センサ部２１２と、導入部２１３と、流路２１４とを備える。導入部２１３は、第１開口２１３ａと、第２開口２１３ｂと、導入面２１３ｃとを有する。筐体２１１、センサ部２１２、導入部２１３、および流路２１４の配置および機能は、それぞれ本体１１０の筐体１１１、センサ部１１２、導入部１１３、および流路１１４と同様であってよいため、その詳細については説明を省略する。ただし、本体２１０では、第２開口２１３ｂが、円柱形状の筐体２１１の側面に達している。すなわち、本体２１０では、筐体２１１の前面側の底面（筐体１１１の第１面１１１ａに相当する）全体が、導入面２１３ｃとして形成されている。
【００３８】
送風機２２０は、送風部２２１を備える。送風部２２１の機能は、送風部１２１と同様であってよいため、その詳細については説明を省略する。
【００３９】
循環流距離Ｄ１に関する検討において、筐体２１１の半径Ｒが２５ｍｍ、筐体２１１の第２面２１１ｂから送風機２２０の前面側までの距離Ｈが５０ｍｍのセンサモジュール２００について検討を行った。
【００４０】
発明者らは、送風部２２１の吸引量Ｖ［L/min］、送風機２２０との距離Ｄ２［mm］、および導入面２１３ｃの角度θ［deg］という３つの条件を変更させた場合の循環流距離Ｄ１［mm］について、シミュレーションを行った。具体的には、送風部２２１の吸引量Ｖ［L/min］については、２［L/min］と５［L/min］とのいずれかを選択することにより条件を変更させた。送風機２２０との距離Ｄ２［mm］については、５［mm］と、９［mm］と、１５［mm］とのいずれかを選択することにより条件を変更させた。導入面２１３ｃの角度θ［deg］については、２［deg］から１０［deg］の間で条件を変更させた。
【００４１】
図４は、シミュレーション結果を示す表である。図４に示すように、上述の内容で条件を変更させた場合、循環流距離Ｄ１は、ほぼ５０［mm］から５００［mm］の間で変動した。
【００４２】
図５および図６は、シミュレーション結果を示すグラフである。図５は、送風機２２０との距離Ｄ２が９［mm］である場合における、導入面２１３ｃの角度θ［deg］と、循環流距離Ｄ１［mm］との関係を示すグラフである。図６は、導入面２１３ｃの角度θ［deg］が５［deg］である場合における、送風機２２０との距離Ｄ２［mm］と、循環流距離Ｄ１［mm］との関係を示すグラフである。
【００４３】
図４ないし図６に示すように、シミュレーションの結果から、導入面２１３ｃの角度θ［deg］が、２≦θ≦１０である場合に、循環流距離Ｄ１［mm］が、概ね５０≦Ｄ１≦５００の範囲で変動することが理解される。また、シミュレーションの結果から、送風機との距離Ｄ２［mm］が、５≦Ｄ２≦１５である場合に、循環流距離Ｄ１［mm］が、概ね５０≦Ｄ１≦５００の範囲で変動することが理解される。
【００４４】
従って、例えばセンサモジュール２００のユーザは、センサモジュール２００と、においを測定しようとする対象のにおい源との距離に応じて、送風部２２１の吸引量Ｖ［L/min］、送風機２２０との距離Ｄ２［mm］、および導入面２１３ｃの角度θ［deg］という３つの条件を適宜変更できる。これにより、ユーザは、循環流距離Ｄ１を、本体２１０の第１開口２１３ａからにおい源までの距離に近づけることができる。例えば、第１開口２１３ａからにおい源までの距離が２００［mm］である場合、ユーザは、送風部２２１の吸引量Ｖを５［L/min］、送風機２２０との距離Ｄ２を９［mm］、導入面２１３ｃの角度θを５［deg］にすることにより、図４に示すように循環流距離Ｄ１を２１０［mm］に設定することができる。循環流距離Ｄ１を、本体１１０の第１開口１１３ａからにおい源までの距離に近づけることにより、より高濃度の検体を含む気体がセンサ部２１２に吹きかけられるため、センサモジュール１００による検体の検出精度を向上させることができる。
【００４５】
また、仮にセンサモジュール１００と、におい源との距離が分からない場合であっても、送風部２２１の吸引量Ｖ［L/min］、送風機２２０との距離Ｄ２［mm］、および導入面２１３ｃの角度θ［deg］という３つの条件を変更して循環流距離Ｄ１［mm］を変えることにより、におい源との距離を推定することもできる。つまり、循環流距離Ｄ１［mm］を変えて、センサ部２１２に検体を検出させた場合に、センサ部２１２からの出力が最も高くなる距離が、におい源との距離であると推定することができる。
【００４６】
図７は、センサモジュールの他の一例を模式的に示す断面図である。図７に示すセンサモジュール３００は、本体１１０と、送風機３２０とを備える。本体１１０の構成は、図１に示す本体１１０と同様であるため、ここでは詳細な説明を省略する。
【００４７】
送風機３２０は、図７に示すように、筐体１１１の第１面１１１ａ側、つまり前面側に配置される。送風機３２０は、送風部３２１と、壁部３２２とを備える。送風部３２１の構成は、図１を参照して説明した送風部１２１と同様であるため、ここでは詳細な説明を省略する。
【００４８】
壁部３２２は、送風部３２１の周囲に配される。壁部３２２は、導入面１１３ｃに対向する面を形成する。壁部３２２は、例えば軸Ａに対して垂直な面を形成してよい。この場合、第１開口１１３ａよりも第２開口１１３ｂが前面側に位置するため、導入面１１３ｃと、壁部３２２との距離は、第１開口１１３ａから第２開口１１３ｂに向かうに従って小さくなる。壁部３２２は、軸Ａを中心にして、全方位に対して対称に形成されていてよい。壁部３２２は、第２開口１１３ｂよりも小さくてもよい。言い換えると、前面視において壁部３２２の外縁により形成される領域の面積は、第２開口１１３ｂが占める面積よりも小さくてよい。すなわち、前面視において、壁部３２２の外縁は、第２開口１１３ｂよりも小さくてよい。
【００４９】
図８は、循環流の一例を模式的に示す図である。図８（Ａ）は、例えば図１に示したような、送風機１２０が壁部を有さないセンサモジュール１００により発生する循環流を示し、図８（Ｂ）は、例えば図７で示したような、送風機３２０が壁部３２２を有するセンサモジュール３００により発生する循環流を示す。図８において、点Ｐ２は、第１開口の位置を軸Ａ上に投影した位置を示す。図８（Ａ）と図８（Ｂ）とに示す循環流は、送風部の吸引量Ｖ、送風機との距離Ｄ２、および導入面の角度θについて、同一の条件で再現したものである。
【００５０】
図８に示されるように、センサモジュール３００が壁部３２２を有する場合には、導入面１１３ｃに沿って軸Ａから遠ざかる方向に流れる検体が、センサモジュール１００のように壁部を有しない場合と比較して、より軸Ａから離れた位置まで流れる。これにより、壁部３２２を有するセンサモジュール３００により発生する循環流は、壁部を有さないセンサモジュール１００と比較して、より大きくなる。つまり、循環流距離Ｄ１がより大きくなる。このようにして、壁部３２２を有するセンサモジュール３００によれば、本体１１０からより離れた位置に配されたにおい源のにおいを検出し得る。
【００５１】
本開示を諸図面および実施例に基づき説明してきたが、当業者であれば本開示に基づき種々の変形または修正を行うことが容易であることに注意されたい。従って、これらの変形および修正は本発明の範囲に含まれることに留意されたい。すなわち、各構成部等に含まれる機能等は論理的に矛盾しないように再配置可能であり、複数の構成部を１つに組み合わせたり、或いは分割したりすることが可能である。例えば、本開示では、センサ部１１２が筐体１１１の内部に収容されている構成を例に説明したが、センサ部１１２が導入部１１３および流路１１４に接続されていれば、上記構成に限定されない。
【符号の説明】
【００５２】
１００，２００，３００  センサモジュール
１１０，２１０  本体
１１１，２１１  筐体
１１１ａ  第１面
１１１ｂ  第２面
１１１ｃ  貫通孔
１１２，２１２  センサ部
１１３，２１３  導入部
１１３ａ，２１３ａ  第１開口
１１３ｂ，２１３ｂ  第２開口
１１３ｃ，２１３ｃ  導入面
１１４，２１４  流路
１２０，２２０，３２０  送風機
１２１，２２１，３２１  送風部
３２２  壁部
【図１】
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【図２】
2019066234.tif 000004
【図３】
2019066234.tif 000005
【図４】
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【図５】
2019066234.tif 000007
【図６】
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【図７】
2019066234.tif 000009
【図８】
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