(57)【要約】【課題】環境温度の変化の影響を受けにくく、撮像レンズの高精度かつ高速な位置決めが可能な撮像装置を提供する。【解決手段】撮像レンズ３０４を搭載したアクチュエータ可動部の可動範囲の両端をメカニカルに規制するための第１端部と第２端部における位置検出素子４０４の位置検出信号ＳＦＢが所定の値となるように、位置検出信号ＳＦＢのゲインおよび／またはオフセットを調整するキャリブレーションを実施する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像レンズと、
前記撮像レンズを位置決めするアクチュエータと、
前記撮像レンズの位置を示す位置検出信号を生成する位置検出素子と、
前記アクチュエータに駆動信号を供給するアクチュエータドライバと、
を備え、
前記アクチュエータは、前記撮像レンズを含む可動部の可動範囲の両端をメカニカルに規制するための第１端部と第２端部を有し、
前記アクチュエータドライバは、前記第１端部において前記位置検出信号にもとづく位置検出値が第１所定値となり、前記第２端部において前記位置検出値が第２所定値となるように、キャリブレーションを実行可能に構成されることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記アクチュエータドライバは、前記キャリブレーションにおいて、前記位置検出素子に供給する制御電流または制御電圧を調整することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記アクチュエータドライバは、前記位置検出信号を増幅するアンプを含み、前記キャリブレーションにおいて前記アンプのオフセットを調節することを特徴とする請求項１または２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記アクチュエータドライバは、前記アンプの出力をデジタルの前記位置検出値に変換するＡ／Ｄコンバータをさらに含み、
前記アクチュエータドライバは、前記第１端部において前記位置検出値が前記第１所定値となり、前記第２端部において前記位置検出値が前記第２所定値となるように、キャリブレーションを実行することを特徴とする請求項３に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記アクチュエータドライバは、前記アンプの出力をデジタルの前記位置検出値に変換するＡ／Ｄコンバータをさらに含み、
前記アクチュエータドライバは、前記第１端部において、前記Ａ／Ｄコンバータの入力電圧が、前記第１所定値に対応する第１電圧となり、前記第２端部において前記Ａ／Ｄコンバータの入力電圧が前記第２所定値に対応する第２電圧となるように、キャリブレーションを実行することを特徴とする請求項３に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記位置検出素子の近傍の温度を検出する温度検出手段を備え、検出した温度が所定の条件を満たすときにキャリブレーションを再実行することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の撮像装置。
【請求項７】
前回キャリブレーション実行時の温度からの変化が所定の値以上になったことを条件として、キャリブレーションを再実行することを特徴とする請求項６に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記位置検出素子の内部抵抗が温度によって変化することを利用して、前記温度検出手段は温度変化を検出することを特徴とする請求項６または７に記載の撮像装置。
【請求項９】
前記位置検出素子はホール素子であり、一定の制御電流を与えたときのホール素子両端の電位差の変化により温度変化を検出することを特徴とする請求項８に記載の撮像装置。
【請求項１０】
前記アクチュエータドライバは、前記位置検出信号にもとづく位置検出値が目標値に近づくように前記駆動信号を生成することを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の撮像装置。
【請求項１１】
撮像レンズを位置決めするアクチュエータを駆動するアクチュエータドライバであって、
前記アクチュエータは、前記撮像レンズを含む可動部の可動範囲の両端をメカニカルに規制するための第１端部と第２端部を有し、
前記アクチュエータドライバは、
位置検出素子からの前記撮像レンズの位置を示す位置検出信号にもとづく位置検出値が目標値に近づくように駆動信号を生成する駆動部と、
前記第１端部において前記位置検出値が第１所定値となり、前記第２端部において前記位置検出値が第２所定値となるように、キャリブレーションを実行するキャリブレーション部と、
を備えることを特徴とするアクチュエータドライバ。
【請求項１２】
前記キャリブレーション部は、前記位置検出素子に供給する制御電流または制御電圧を調整可能であることを特徴とする請求項１１に記載のアクチュエータドライバ。
【請求項１３】
前記位置検出信号を増幅するアンプをさらに備え、
前記キャリブレーション部は、前記アンプのオフセットを調節可能であることを特徴とする請求項１１または１２に記載のアクチュエータドライバ。
【請求項１４】
前記アンプの出力をデジタルの前記位置検出値に変換するＡ／Ｄコンバータをさらに備え、
前記キャリブレーション部は、前記第１端部において前記位置検出値が前記第１所定値となり、前記第２端部において前記位置検出値が前記第２所定値となるように、キャリブレーションを実行することを特徴とする請求項１３に記載のアクチュエータドライバ。
【請求項１５】
前記アンプの出力をデジタルの前記位置検出値に変換するＡ／Ｄコンバータをさらに含み、
前記キャリブレーション部は、前記第１端部において、前記Ａ／Ｄコンバータの入力電圧が、前記第１所定値に対応する第１電圧となり、前記第２端部において前記Ａ／Ｄコンバータの入力電圧が前記第２所定値に対応する第２電圧となるように、キャリブレーションを実行することを特徴とする請求項１３に記載のアクチュエータドライバ。
【請求項１６】
前記キャリブレーション部は、前記位置検出素子の近傍の温度を検出する温度検出手段を備え、検出した温度が所定の条件を満たすときにキャリブレーションを再実行することを特徴とする請求項１１から１５のいずれかに記載のアクチュエータドライバ。
【請求項１７】
前記キャリブレーション部は、前回キャリブレーション実行時の温度からの変化が所定の値以上になったことを条件として、キャリブレーションを再実行することを特徴とする請求項１６に記載のアクチュエータドライバ。
【請求項１８】
前記温度検出手段は、前記位置検出素子の内部抵抗が温度によって変化することを利用して、温度変化を検出することを特徴とする請求項１６または１７に記載のアクチュエータドライバ。
【請求項１９】
前記位置検出素子はホール素子であり、前記温度検出手段は、一定の制御電流を与えたときのホール素子両端の電位差の変化にもとづき温度変化を検出することを特徴とする請求項１８に記載のアクチュエータドライバ。
【請求項２０】
撮像レンズと、撮像レンズを位置決めするアクチュエータと、前記撮像レンズの位置を示す位置検出信号を生成する位置検出素子と、前記アクチュエータに駆動信号を与えるアクチュエータドライバと、を備えた撮像装置のキャリブレーション方法であって、
前記アクチュエータに、前記撮像レンズを含む可動部の可動範囲の両端をメカニカルに規制するための第１端部と第２端部を設けるステップと、
前記アクチュエータの前記可動部を前記第１端部まで移動させ、その位置で前記位置検出信号にもとづく第１位置検出値を得るステップと、
前記アクチュエータの前記可動部を前記第２端部まで移動させ、その位置で第２位置検出値を得るステップと、
前記第１位置検出値が第１所定値、前記第２位置検出値が第２所定値となるように、キャリブレーションを実行するステップと、
を備えることを特徴とするキャリブレーション方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータドライバ、及びこれを用いた撮像装置、及びキャリブレーション方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、スマートフォンなどに搭載されるカメラモジュールにおいては、撮像レンズの位置を検出して、この位置情報をフィードバックすることで、撮像レンズの位置を高精度かつ高速に制御する機能を取り入れるものが増加してきている。オートフォーカス動作にフィードバック制御を取り入れることで、高精度かつ高速のオートフォーカスが可能となる。また、光学手振れ補正（ＯＩＳ）としてフィードバック制御を取り入れることにより、高精度の手振れ補正が可能となる。これらのフィードバック制御を取り入れたカメラにおいては、位置検出信号が温度によって変化してしまうと制御誤差が生じる場合がある。
【０００３】
特に、オートフォーカスのための位相差検出が可能な撮像素子（イメージセンサ）を備えた撮像装置においては、位相差検出によって判断された合焦位置に相当する位置検出信号の出力値までダイレクトに撮像レンズを変位させることにより、高速のオートフォーカスを可能にしているが、ここで温度変化によって合焦位置と位置検出信号の出力値との関係がずれてしまうと、合焦位置からずれた位置にアクセスしてしまうことになり、合焦までに追加の時間を要することになる。
【０００４】
また、デュアルカメラなどと呼ばれるような複数個のカメラモジュールを備えた撮像装置においては、複数個のカメラモジュールの動きを連動させながら制御することが必要になる場合がある。このような場合においても、温度によって位置検出信号と実際の変位との関係がずれてしまうと、２個のカメラモジュールの間の連動性がくずれてしまい、生成された画像に影響を及ぼす可能性がある。
【０００５】
特許文献１には、形状記憶合金の抵抗値を基に環境温度を検出し、制御値−変位特性の間の傾き成分とオフセット成分を、環境温度と基準温度との差に応じて補正する駆動装置が開示されている。特許文献２には、基準温度と周囲温度との差に応じて検出した位置情報を補正する位置検出装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】ＷＯ２００９／０９３６４５号公報
【特許文献２】特開２０１３−２０５５５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載の技術では、予め温度特性を測定しておいて、補正のための温度係数を定めておく必要がある。また、制御値の補正量が、環境温度と基準温度の差に比例するものとして、比例定数としての温度係数を定めており、環境温度によって温度係数が異なる場合は、環境温度ごとに温度係数を定める必要があり、温度ごとの温度係数を記憶しておくためのメモリ容量も多く必要になる。
【０００８】
特許文献２に記載の技術も同様に、予め温度特性を測定しておいて、補正のための温度係数を定めておく必要がある。また、制御値の補正量が、環境温度と基準温度の差に比例するものとして、比例定数としての温度係数を定めており、環境温度によって温度係数が異なる場合は、補正誤差となってしまう。
【０００９】
本発明はかかる状況に鑑みてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、撮像レンズの高精度かつ高速な位置決めが可能な撮像装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のある態様は撮像装置に関する。撮像装置は、撮像レンズと、撮像レンズを位置決めするアクチュエータと、撮像レンズの位置を示す位置検出信号を生成する位置検出素子と、アクチュエータに駆動信号を供給するアクチュエータドライバと、を備える。アクチュエータは、撮像レンズを含む可動部の可動範囲の両端をメカニカルに規制するための第１端部と第２端部を有する。アクチュエータドライバは、第１端部において位置検出信号にもとづく位置検出値が第１所定値となり、第２端部において位置検出値が第２所定値となるように、キャリブレーションを実行可能に構成される。
【００１１】
本発明の別の態様は、撮像レンズを位置決めするアクチュエータを駆動するアクチュエータドライバに関する。アクチュエータは、撮像レンズを含む可動部の可動範囲の両端をメカニカルに規制するための第１端部と第２端部を有する。アクチュエータドライバは、位置検出素子からの撮像レンズの位置を示す位置検出信号にもとづく位置検出値が目標値に近づくように駆動信号を生成する駆動部と、第１端部において位置検出値が第１所定値となり、第２端部において位置検出値が第２所定値となるように、キャリブレーションを実行するキャリブレーション部と、を備える。
【００１２】
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや本発明の構成要素や表現を、方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【００１３】
さらに、この課題を解決するための手段の記載は、すべての欠くべからざる特徴を説明するものではなく、したがって、記載されるこれらの特徴のサブコンビネーションも、本発明たり得る。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、環境の変化などに左右されず、一定の条件で位置検出信号を利用することができ、撮像レンズの高精度かつ高速な位置決めが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】撮像装置を示す図である。
【図２】キャリブレーション機能を備えるアクチュエータドライバＩＣのブロック図である。
【図３】本発明に係る撮像装置の第１実施形態におけるアクチュエータ駆動電流と位置検出信号との関係を示す図である。
【図４】キャリブレーションによって位置検出信号を補正することを説明する図である。
【図５】補正後の位置検出信号とＡＤ値との関係を示す図である。
【図６】ターゲットコードと実際のレンズ位置の関係を示す図である。
【図７】本発明に係る撮像装置の第２実施形態におけるレンズ制御装置のシステム構成を示すブロック図である。
【図８】本発明に係る撮像装置の第２実施形態における位置検出信号のキャリブレーション処理を示すフローチャートである。
【図９】アクチュエータ駆動電流と位置検出信号との関係が温度によって変化することを示す図である。
【図１０】位置検出信号のキャリブレーションを行った後のアクチュエータ駆動電流と位置検出信号の関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００１７】
また図面に記載される各部材の寸法（厚み、長さ、幅など）は、理解の容易化のために適宜、拡大縮小されている場合がある。さらには複数の部材の寸法は、必ずしもそれらの大小関係を表しているとは限らず、図面上で、ある部材Ａが、別の部材Ｂよりも厚く描かれていても、部材Ａが部材Ｂよりも薄いこともあり得る。
【００１８】
本明細書において、「部材Ａが、部材Ｂと接続された状態」とは、部材Ａと部材Ｂが物理的に直接的に接続される場合のほか、部材Ａと部材Ｂが、それらの電気的な接続状態に実質的な影響を及ぼさない、あるいはそれらの結合により奏される機能や効果を損なわせない、その他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。
【００１９】
同様に、「部材Ｃが、部材Ａと部材Ｂの間に設けられた状態」とは、部材Ａと部材Ｃ、あるいは部材Ｂと部材Ｃが直接的に接続される場合のほか、それらの電気的な接続状態に実質的な影響を及ぼさない、あるいはそれらの結合により奏される機能や効果を損なわせない、その他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。
【００２０】
本実施の形態では、まずは、撮像レンズを動かすアクチュエータとその周辺回路等の構成について簡単に説明する。図１は、撮像装置を示す図である。撮像装置３００は、デジタルカメラやデジタルビデオカメラ、スマートフォンやタブレット端末に内蔵されるカメラモジュールである。撮像装置３００は、撮像素子３０２、レンズ３０４、プロセッサ３０６およびレンズ制御装置４００を備える。レンズ３０４は、撮像素子３０２に入射する光の光軸上に配置される。レンズ制御装置４００は、プロセッサ３０６からの位置指令値ＳＲＥＦを示す制御信号（ターゲットコードという）ＳＲＥＦにもとづいて、レンズ３０４を位置決めする。
【００２１】
たとえばレンズ３０４はＡＦ用レンズとして、光軸方向に駆動されるものとして説明する。レンズ制御装置４００は、レンズ３０４を光軸方向（Ｚ軸方向）に変位させる。プロセッサ３０６は、撮像素子３０２が撮像した画像のコントラストが高くなるように、位置指令値ＰＲＥＦを生成する（コントラストＡＦ）。あるいは撮像素子３０２の外部に設けられ、あるいは撮像面に埋め込まれたＡＦセンサからの出力にもとづいて、位置指令値ＰＲＥＦが生成されてもよい（位相差ＡＦ）。
【００２２】
なお、一実施形態において、レンズ３０４が手ぶれ補正用レンズとして、光軸に垂直な方向にも駆動されてもかまわない。
【００２３】
レンズ制御装置４００は、位置フィードバックにより、アクチュエータ４０２を制御する。具体的にはレンズ制御装置４００は、アクチュエータ４０２、位置検出素子４０４、およびアクチュエータドライバＩＣ（Integrated Circuit）５００を備える。温度検出素子４０６はキャリブレーション動作自体には必須ではないが、カメラとして動作中の温度変化を検出してキャリブレーションを実行する場合には必要となる。アクチュエータ４０２は、たとえばボイスコイルモータであり、レンズ３０４、ホルダー３０８、コイル３１０等により可動部が形成される。一方、コイル３１０に対向して永久磁石３１２が固定部に配置され、コイル３１０に電流を印加すると、コイル３１０と永久磁石３１２との磁気的相互作用により可動部が光軸方向に駆動される。ボイスコイルモータの固定部は、撮像装置３００の筐体に対して固定されている。なお、可動部は光軸方向に可動なようにバネで支持されていてもよい。あるいは、ボールなどの回転体、摺動体でガイドされていてもよい。
【００２４】
位置検出素子４０４は、たとえばホール素子などの磁気的検出手段が多く用いられており、ここではホール素子を前提に説明する。可動部となるホルダー３０８には、位置検出用の永久磁石３１４が取り付けられ、固定部にはホール素子３１６が取り付けられる。可動部と固定部が相対変位すると、ホール素子３１６に入力される永久磁石３１４からの磁気が変化する。ホール素子は、磁気変化、すなわちアクチュエータ４０２の可動部の変位、言い換えればレンズ３０４の現在の位置に応じた電気信号（以下、位置検出信号ＳＦＢともいう）を生成する。位置検出信号ＳＦＢは、アクチュエータドライバＩＣ５００にフィードバックされる。
【００２５】
温度検出素子４０６は、サーミスタなどの温度検出専用の素子を設けてもよいが、後述するようにホール素子３１６の内部抵抗値の温度による変化を利用して検出してもよい。温度情報ＴもアクチュエータドライバＩＣ５００にフィードバックされる。
【００２６】
アクチュエータドライバＩＣ５００は、ひとつの半導体基板に集積化された機能ＩＣである。ここでの「集積化」とは、回路の構成要素のすべてが半導体基板上に形成される場合や、回路の主要構成要素が一体集積化される場合が含まれ、回路定数の調節用に一部の抵抗やキャパシタなどが半導体基板の外部に設けられていてもよい。回路を１つのチップ上に集積化することにより、回路面積を削減することができるとともに、回路素子の特性を均一に保つことができる。
【００２７】
アクチュエータドライバＩＣ５００は、フィードバックされた位置検出信号ＳＦＢに応じた位置検出値ＰＦＢが、ターゲットコードＳＲＥＦにもとづく位置指令値ＰＲＥＦと一致するように、アクチュエータ４０２をフィードバック制御する。なお、たとえば位置検出値ＰＦＢは、ホール素子３１６の出力電圧を必要に応じて増幅し、それをデジタルコード化したものであってもよい。デジタルコード化された位置検出値ＰＦＢに対してキャリブレーションを実施し、同じ位置に対して同じデジタルコードが設定されるようにすることが本願の狙いである。
【００２８】
キャリブレーションはカメラ起動時などに実施される。工場出荷時にキャリブレーションを実施し、そのときのデジタルコードの設定結果をメモリに記憶しておいてカメラ使用時に利用してもかまわないが、工場出荷時とカメラ使用時でホール素子の位置検出信号は温度や経年により変化している可能性が高い。したがって、カメラ起動時などにキャリブレーションをやり直すことが望ましい。さらに、カメラ使用中に所定以上の温度変化を検出した場合には、カメラ使用中でもキャリブレーションをやり直すことが望ましい。
【００２９】
以上のようにレンズ３０４の位置を検出して、これをフィードバックして位置制御に用いることにより、ステップ応答における過渡振動を抑えて収束を速めたり、目標位置への高速アクセスを実現したりできる。
【００３０】
以上が撮像装置３００の全体構成である。続いて実施の形態に係るキャリブレーションについて説明する。図２は、キャリブレーション機能を備えるアクチュエータドライバＩＣ５００のブロック図である。アクチュエータドライバＩＣ５００は、インタフェース回路５０１、フロントエンド回路５０２、駆動部５０３、キャリブレーション部５０４を備える。
【００３１】
アクチュエータドライバＩＣ５００にはプロセッサ３０６から撮像レンズ３０４の目標位置を示す制御信号ＳＲＥＦが入力される。インタフェース回路５０１は、制御信号ＳＲＥＦを受信し、駆動部５０３が処理可能な位置指令値ＰＲＥＦを生成する。
【００３２】
またアクチュエータドライバＩＣ５００には、位置検出素子４０４から撮像レンズ３０４の位置Ｚを示す位置検出信号ＳＦＢが入力される。フロントエンド回路５０２は、位置検出信号ＳＦＢを受信し、駆動部５０３が処理可能な位置検出値ＰＦＢを生成する。たとえばフロントエンド回路５０２は、位置検出信号ＳＦＢを増幅して位置検出値ＰＦＢを生成してもよい。
【００３３】
駆動部５０３がデジタル回路である場合、位置検出値ＰＦＢはさらにデジタルコードに変換される。
【００３４】
駆動部５０３は、位置検出信号ＳＦＢにもとづく位置検出値ＰＦＢが、制御信号ＳＲＥＦに応じた位置指令値ＰＲＥＦに近づくように駆動信号ＳＯＵＴを生成し、駆動信号ＳＯＵＴをアクチュエータ４０２に供給する。
【００３５】
上述のように、アクチュエータ４０２には、撮像レンズ３０４を含む可動部の可動範囲の両端をメカニカルに規制するための第１端部Ｅ１と第２端部Ｅ２が設けられる。
【００３６】
キャリブレーション部５０４は、可動部が第１端部Ｅ１と接するときに位置検出値ＰＦＢが第１所定値となり、第２端部Ｅ２と接するときに位置検出値ＰＦＢが第２所定値となるように、キャリブレーションを実行する。
【００３７】
キャリブレーションは、レンズの実際の位置Ｚと位置検出値ＰＦＢの関係を補正することにほかならない。位置検出素子４０４、フロントエンド回路５０２の入出力特性をそれぞれ、
ＳＦＢ＝ｆ１（Ｚ）
ＰＦＢ＝ｆ２（ＳＦＢ）
とする。
【００３８】
ｆ１，ｆ２は任意の関数でありえるが、簡易的には１次関数で表すことができる。
ＳＦＢ＝ａ１×Ｚ＋ｂ１
ＰＦＢ＝ａ２×ＳＦＢ＋ｂ２
【００３９】
キャリブレーション部５０４は、位置検出素子４０４のゲイン（すなわちａ１）、フロントエンド回路５０２のゲイン（ａ２）あるいはオフセット（ｂ２）の少なくとも一つを調節することができる。
【００４０】
図３〜図６を参照してキャリブレーションを説明する。以下では、ＡＦ動作における位置検出信号のキャリブレーション方法として説明するが、光学手ぶれ補正（ＯＩＳ）動作における位置検出信号のキャリブレーションに適用してもかまわない。
【００４１】
図３は、撮像装置のアクチュエータ駆動電流と位置検出信号との関係を示す図である。図３において、横軸はアクチュエータ４０２のコイル３１０に印加する電流値を、縦軸は電流印加によって可動部が変位した場合の位置検出信号（ホール検出信号）を示している。アクチュエータ４０２には、可動部の可動範囲を規定するメカニカルなストッパー（第１端部Ｅ１と第２端部Ｅ２）が設けられており、無限遠側のストッパー位置をＩｎｆメカ端、マクロ側のストッパー位置をＭａｃｒｏメカ端と称することにする。可動部がＩｎｆメカ端とＭａｃｒｏメカ端に当たるまで電流を印加する。電流ゼロの状態では、可動部はどちらのメカ端にも接触しない状態を想定しており、Ｉｎｆメカ端に当てるためには逆向きの電流を印加することになる。
【００４２】
Ｉｎｆメカ端の位置とＭａｃｒｏメカ端の位置は変化しない。温度や湿度などの環境変化によっても、その位置の変化が無視できるような構造体とすることが望まれる。
【００４３】
それぞれのメカ端では、印加電流を変化させても位置検出信号は変化せず、電流値によらないフラットな特性となる。Ｉｎｆメカ端におけるホール検出値ＰＦＢをＶＬ、Ｍａｃｒｏメカ端におけるホール検出値ＰＦＢをＶＨとする。ＶＬとＶＨの間では、印加電流の変化にしたがってホール検出値ＰＦＢも変化し、電流とホール検出値ＰＦＢの変化の関係は、理想的には直線となる。
【００４４】
図４は、位置検出信号ＳＦＢの補正を説明する図である。図４において、横軸はレンズの位置Ｚを、縦軸は、キャリブレーション前（i）およびキャリブレーション後（ii）の位置検出値ＰＦＢを示している。図３で得られた値ＶＬ、ＶＨが、所定値ＶＩＮＦ、ＶＭＡＣとなるようにゲインとオフセットが補正される。
【００４５】
位置検出値ＰＦＢがＡ／Ｄコンバータによってデジタルコードに変換される場合を考える。この場合、ＶＩＮＦ、ＶＭＡＣの値として、Ａ／Ｄコンバータの仕様として定められた値を用いることができる。たとえば所定値ＶＩＮＦ、ＶＭＡＣは、Ａ／Ｄコンバータの出力（ＡＤ値）の最小コード（０）、最大コード（１０ビットの場合、１０２３）に対応する入力電圧を選択することができる。この場合のキャリブレーションは、Ｉｎｆメカ端においてＡ／Ｄコンバータの出力（ＡＤ値）が０，Ｍａｃｒｏメカ端においてＡ／Ｄコンバータの出力が１０２３と一致するように、位置検出素子４０４やフロントエンド回路５０２の入出力特性（ゲインやオフセット）を調節することと等価である。
【００４６】
図５は、キャリブレーション後の位置検出値ＰＦＢと、位置指令値ＰＦＢをデジタルコード化して得られるＡＤ値の関係を示す図である。横軸は位置検出値ＰＦＢを、縦軸はＡＤ値を表す。
【００４７】
図６は、キャリブレーション後のターゲットコードＳＲＥＦと実際のレンズ位置Ｚの関係を示す図である。横軸はターゲットコードＳＲＥＦを、縦軸はレンズの位置Ｚを示している。図４において、Ｉｎｆメカ端位置、Ｍａｃｒｏメカ端位置とＶＩＮＦ、ＶＭＡＣが一義的に対応付けられ、図５において、ＶＩＮＦ、ＶＭＡＣとＡＤ値０、１０２３が一義的に対応付けられるので、図６のようにターゲットコードＳＲＥＦの０、１０２３とＩｎｆメカ端位置、Ｍａｃｒｏメカ端位置も一義的に対応付けられ、その中間は両端を結ぶほぼ直線となる。
【００４８】
もちろん、アクチュエータの構造によっては、位置検出信号のリニアリティの悪いものも存在するが、このような場合には、位置検出値ＰＦＢに対して線形補正をかければよい。
【００４９】
以上により、ターゲットコードと位置を一義的に対応付けるキャリブレーションが実行される。
【００５０】
以上のように、変位しないメカ端位置におけるホール検出信号のＡＤ値を所定の値とするようにキャリブレーションすることで、常に位置とホール検出信号の関係を一定にすることができる。
【００５１】
本発明は、図２のブロック図や回路図として把握され、あるいは上述の説明から導かれるさまざまな装置、回路、方法に及ぶものであり、特定の構成に限定されるものではない。以下、本発明の範囲を狭めるためではなく、発明の本質や回路動作の理解を助け、またそれらを明確化するために、より具体的な構成例や変形例を説明する。
【００５２】
具体的な実施例について、図７ないし図１０を用いて説明する。
【００５３】
図７は、一実施例に係るレンズ制御装置のシステム構成を示すブロック図である。本実施例では、カメラ使用中に温度変化が所定値を越えた場合も想定したキャリブレーション方法について説明する。そのため、レンズ制御装置は温度検出素子を備えており、温度検出素子としてホール素子を利用する場合で説明する。
【００５４】
位置検出素子（４０４）はホール素子３１６であり、アクチュエータ４０２の可動部の変位に応じたホール電圧Ｖ＋，Ｖ−を発生し、アクチュエータドライバＩＣ５００のホール検出ピン（ＨＰ，ＨＮ）に供給する。ホール電圧Ｖ＋，Ｖ−は位置検出信号ＳＦＢに対応する。
【００５５】
位置検出部５１０は、上述のフロントエンド回路５０２に対応しており、ホール電圧Ｖ＋，Ｖ−にもとづいて、アクチュエータ４０２の可動部の位置（変位）Ｚを示す位置検出値ＰＦＢを生成し、それをデジタルコード化して出力する。位置検出部５１０は、ホール電圧を増幅するホールアンプ５１２と、ホールアンプ５１２の出力をデジタル値の位置検出値ＰＦＢに変換するＡ／Ｄコンバータ５１４を含む。
【００５６】
温度検出部５２０は、温度を示す温度検出値Ｔを生成する。位置検出素子４０４であるホール素子３１６を、温度検出素子（４０６）としても利用する。これは、ホール素子３１６の内部抵抗ｒが温度依存性を有することを利用したものである。温度検出部５２０は、ホール素子３１６の内部抵抗ｒを測定し、温度を示す情報として利用する。
【００５７】
温度検出部５２０は、定電流回路５２２とＡ／Ｄコンバータ５２４を含む。定電流回路５２２は、ホール素子３１６に所定のバイアス電流ＩＢＩＡＳを供給する。このバイアス電流ＩＢＩＡＳは、ホール素子３１６を動作させるために必要な電源信号でもあり、したがって定電流回路５２２は、ホールバイアス回路として把握することができる。バイアス電流ＩＢＩＡＳを調整することで、ホール検出信号のゲインを調整することができる。
【００５８】
ホール素子３１６の両端間には、電圧降下ＩＢＩＡＳ×ｒが発生する。この電圧降下は、ホールバイアスピン（ＨＢ）に入力される。Ａ／Ｄコンバータ５２４は、ＨＢピンの電圧ＶＨＢ（＝ＩＢＩＡＳ×ｒ）をデジタル値Ｔに変換する。具体的には、ＶＨＢをＩＢＩＡＳで割り算することで抵抗値の変化の情報が得られる。バイアス電流ＩＢＩＡＳは既知で一定であるから、デジタル値Ｔは内部抵抗ｒに比例する信号であり、したがって、ホール素子３１６の温度の情報を含んでいる。内部抵抗ｒと温度の関係を事前に測定しておくことで、ホール素子部の情報を得ることも可能であるが、本実施形態では温度の変化を検出して、それをキャリブレーション実行のトリガとするので、必ずしも温度の値に変換する必要はなく、Ｔの変化が所定の値以上になった場合にトリガとしてもかまわない。
【００５９】
キャリブレーション部５３０は、図２のキャリブレーション部５０４に対応する。キャリブレーション部５３０は、デジタルの位置検出値ＰＦＢが所定の値になるようにゲインとオフセットを調整する命令を発行し、所定値となったＰＦＢをデジタルコードＰＦＢ_ＣＭＰに変換して出力する。ゲインを調整するためには、定電流回路５２２におけるバイアス電流ＩＢＩＡＳを調整する。オフセットを調整するためには、ホール検出信号のアンプ出力にオフセットを与える。キャリブレーション部５３０からのオフセット情報は、Ｄ／Ａコンバータ５１６を経てアナログ値に変換され、アンプ５１２に供給される。キャリブレーション部５３０は、演算処理等を行うプロセッサとしてのキャリブレーションＭＰＵ５３２と、前回のキャリブレーション実施時の温度情報などを記憶するメモリ５３４を含む。
【００６０】
インタフェース回路５４０は、図２のインタフェース回路（５０１）に対応する。インタフェース回路５４０は、プロセッサ３０６から、アクチュエータ４０２の可動部の目標位置を示すターゲットコードＴＣを受信する。このターゲットコードＴＣは、図２の制御信号ＳＲＥＦである。たとえばインタフェース回路５４０は、Ｉ２Ｃ（Inter IC）などのシリアルインタフェースであってもよい。フィルタ５５０はインタフェース回路５４０が受信したターゲットコードＴＣをフィルタリングし、位置指令値ＰＲＥＦを生成する。位置指令値ＰＲＥＦが急激に変化すると、レンズ３０４の位置がリンギングするおそれがある。フィルタ５５０により、このリンギングが抑制される。
【００６１】
コントローラ５６０およびドライバ部５７０は、図２の駆動部５０３に対応する。コントローラ５６０は、位置指令値ＰＲＥＦと、補正後の位置検出値ＰＦＢ＿ＣＭＰを受ける。コントローラ５６０は、位置検出値ＰＦＢ＿ＣＭＰが位置指令値ＰＲＥＦと一致するように、制御指令値ＳＲＥＦを生成する。アクチュエータ４０２がボイスコイルモータである場合、制御指令値ＳＲＥＦはボイスコイルモータに供給すべき駆動電流の指令値である。コントローラ５６０は、たとえば誤差検出器５６２とＰＩＤ制御器５６４を含む。誤差検出器５６２は、位置検出値ＰＦＢ＿ＣＭＰと位置指令値ＰＲＥＦの差分（誤差）ΔＰを生成する。ＰＩＤ制御器５６４は、ＰＩＤ（比例・積分・微分）演算によって、制御指令値ＳＲＥＦを生成する。ＰＩＤ制御器５６４に換えて、ＰＩ制御器を用いてもよいし、非線形制御を採用してもよい。
【００６２】
コントローラ５６０を動作させているときは、スイッチ５６６は端子５６６ａ側に接続されている。ドライバ部５７０は、制御指令値ＳＲＥＦに応じた駆動電流をアクチュエータ４０２に供給する。
【００６３】
キャリブレーションを実施する場合には、スイッチ５６６は端子５６６ｂ側に接続される。キャリブレーション部５３０からの命令により、ドライバ部５７０はアクチュエータ４０２の可動部がＩｎｆメカ端とＭａｃｒｏメカ端に当たるような電流をアクチュエータ４０２に供給し、ホール素子３１６からそれぞれの検出信号ＶＬとＶＨを得る。キャリブレーション部５３２は、ＶＬとＶＨが所定のデジタル値ＶＩＮＦとＶＭＡＣになるように、ホール検出におけるゲインとオフセットを調整するような命令を出す。そして、ＶＩＮＦからＶＭＡＣの間を、たとえば１０２４分割して０から１０２３のターゲットコードを設定し、キャリブレーションを一旦終了する。キャリブレーションが終了したら、スイッチ５６６は端子５６６ａ側に接続される。
【００６４】
このようなキャリブレーション動作はカメラ起動時などに行われる。工場出荷時にキャリブレーションを実施して、そのときの温度等の条件やキャリブレーション結果をメモリ５３４に保存しておいてもよい。カメラ起動時の環境が温度を含めて工場出荷時の条件と同一とみなせるなら、あるいは温度等を検出して同一であると判断されるなら、カメラ起動時のキャリブレーションは実施しなくてもよい。カメラ起動時にキャリブレーションを必ず行うのであれば、工場出荷時からの温度変化の影響は取り除けるので、あえて温度検出を行う必要はなく、温度検出素子も不要となる。しかしながら、カメラ使用中の温度変化の影響を無視できない場合には、温度検出素子を利用して、前回キャリブレーション実施時からの温度変化が所定値を超えた場合に、再度キャリブレーションを行うことが望ましい。
【００６５】
図８は、図７のアクチュエータドライバＩＣ５００におけるキャリブレーション処理を示すフローチャートである。
【００６６】
処理１および処理２では、工場出荷時やカメラ起動時などに、少なくとも一度は強制的にキャリブレーション工程をスタートさせる。キャリブレーション工程をスタートさせるには、まずは処理３でスイッチ５６６をキャリブレーション側の端子５６６ｂに接続させる。処理４では、アクチュエータの可動部をＩｎｆメカ端からＭａｃｒｏメカ端まで変位させる（変位させるように電流を供給する）。処理５では、それぞれのメカ端でのホール検出信号ＶＬ、ＶＨを読み取る。処理６では、ＶＬ、ＶＨが所定の値ＶＩＮＦ、ＶＭＡＣとなるようにバイアス電流とオフセットを調整し、得られたＶＩＮＦ、ＶＭＡＣをデジタル値に変換する。処理７では、ＶＩＮＦとＶＭＡＣに対応して、ホール信号のデジタルコードを設定する。たとえば、０から１０２３までのターゲットコードとして設定する。以上でキャリブレーション工程を終了する（処理８）。キャリブレーションが終了したらサーボコントロールを開始する（処理９）。サーボコントロールを実行するためには、処理１０でスイッチ５６６をＰＩＤ制御側の端子５６６ａに接続させる。
【００６７】
温度モニターは常に実施しておき、前回キャリブレーションを実施したときの温度からの変化を検出する。処理１１では、前回キャリブレーション時からの温度変化が所定値以上かどうかを判断し、所定値以上になった場合はキャリブレーションをやり直す。ここで、所定値は温度変化量そのものでもよいし、温度変化に相当するホール素子の内部抵抗値の変化量を所定値としてもよい。所定の温度変化は、たとえば１℃程度に設定してもよいし、５℃程度に設定してもよい。ホール素子や位置検出用マグネットの温度特性の大きさに応じて、温度変化の影響が無視できなくなるレベルで設定すればよい。
【００６８】
温度変化が所定値未満であるなら、そのまま撮像を実行してよい（処理１２）。処理１３では、さらに撮像を継続するかどうかを判断する。そのまま継続するなら、温度変化が所定値を超えているかどうかを再度判断する。撮像を継続しないのであればサーボコントロールを終了し（処理１４）、カメラ動作を終了する（処理１５）。実際にサーボコントロールをＯＦＦし、カメラモードをＯＦＦしなくても、たとえばユーザが一定時間撮像を中断した場合に、フローチャートのスタートに戻るトリガとしてもよい。
【００６９】
動画などの撮影中に温度変化が所定の値を超えてしまった場合には、このままでは撮像を中断させてしまうことにもなりかねない。たとえば、動画モードのときだけ温度変化の所定値をもっと大きな値に設定するなど、条件を可変にしてもよい。撮像が一時的にでも中断されたタイミングでキャリブレーションをやり直せばよい。
【００７０】
キャリブレーション動作中もユーザがプレビュー画面を見ている場合には、レンズの動きによって画像が一時的におかしくなる（たとえばピンボケ）ので、キャリブレーション中であることを表示して、ユーザに知らしめた方がよい。
【００７１】
次に、実際に温度変化があった場合のホール検出信号がどのようになるかの例について、図９および図１０を用いて説明する。
【００７２】
図９は、アクチュエータ駆動電流と位置検出信号との関係の温度依存性を示す図である。横軸はアクチュエータに供給する電流のＤＡＣ値で、縦軸はキャリブレーションする前のホール検出信号のデジタル出力である。０℃、３０℃、６０℃で測定した結果、温度によって特性差が見られる。なお、測定に用いたアクチュエータは双方向駆動タイプであり、電流ＤＡＣ値が小さい領域では逆方向に電流が流れている。電流ＤＡＣ値が小さい領域では、可動部がＩｎｆメカ端に当たり、電流ＤＡＣ値が大きい領域では、可動部がＭａｃｒｏメカ端に当たっているため、ホール検出信号に変化は見られない。中間の領域では、電流ＤＡＣ値の変化にしたがってホール検出信号も変化し、その関係はほぼリニアとなっている。
【００７３】
図１０は、位置検出信号のキャリブレーションを行った後のアクチュエータ駆動電流と位置検出信号の関係を示す図である。ここでは、３０℃におけるＩｎｆメカ端、Ｍａｃｒｏメカ端でのホール検出信号の値、それぞれ１０２８と３０７１を所定のホール検出信号の値とし、０℃と６０℃でもＩｎｆメカ端とＭａｃｒｏメカ端では同じ値を示すように、ホール検出のゲインとオフセットを調整した。このキャリブレーションにより、温度の変化に影響されないホール検出信号のＡＤ値が得られる。
【００７４】
（変形例）
以上の説明では、ＡＦのキャリブレーションとして説明したが、これに限定される訳ではなく、ＯＩＳにおけるキャリブレーション方法として適用してもかまわない。ＯＩＳでは、手ぶれ角度に応じて、レンズを光軸に垂直なＸＹ方向に変位させる方式が一般的である。ＸおよびＹ方向それぞれの可動範囲は両端でメカニカルに制限されている。可動範囲の両端のメカ端位置でのホール検出信号が所定の値となるようにゲインとオフセットを調整するキャリブレーションを実施することにより、ＡＦの場合と同様、温度変化の影響を受けない位置検出が可能となる。なお、ＯＩＳの場合には、可動範囲の全体をターゲットコードの設定範囲とした場合、振りすぎになってしまうことがあるので注意する必要がある。すなわち、所定以上の手ぶれがあった場合、サーボ系はそれを補正しようと大きなレンズシフトを発生させるが、シフト量が大きいほど、光学的には画素周辺の手ぶれ補正精度が悪くなり、画素中心の残留ぶれと比較して違和感を受ける場合がある。このような現象を防ぐには、アクチュエータの可動範囲を必要最小限にとどめることが望まれる。
【００７５】
ＯＩＳ用のアクチュエータドライバＩＣ５００に対して、外部からＸ方向、Ｙ方向の目標位置を示す制御信号ＳＲＥＦが与えられる場合、図２のそれと実質的に同様に構成できる。あるいは制御信号ＳＲＥＦとして、ジャイロセンサからピッチング方向およびヨーイング方向の角速度情報を受けても良く、この場合、ピッチング方向の角速度情報を積分して角度情報に変換し、それをＹ軸方向の位置指令値ＰＲＥＦ＿Ｙとして用い、ヨーイング方向の角速度情報を積分して角度情報に変換し、それをＸ軸方向の位置指令値ＰＲＥＦ＿Ｘとして用いてもよい。
【００７６】
本明細書に開示される発明は、以下のように把握することができる。
１．  本発明のある態様は、撮像装置に関する。撮像装置は、撮像レンズと、撮像レンズを位置決めするアクチュエータと、撮像レンズの位置を検出するための位置検出素子と、アクチュエータに駆動信号を与えるアクチュエータドライバと、を備える。アクチュエータは、撮像レンズを含む可動部の可動範囲の両端をメカニカルに規制するための第１端部と第２端部を有する。アクチュエータドライバは、第１端部と第２端部における位置検出素子の位置検出信号がそれぞれ所定の値となるように、位置検出素子における位置検出信号のゲインとオフセットを調整するキャリブレーション部を有する。
【００７７】
以上の構成によれば、位置の変化がほとんどないメカニカルな可動範囲の両端における位置検出信号が常に所定の値になるようにキャリブレーションされるため、環境の変化などに左右されず、一定の条件で位置検出信号を利用することができ、撮像レンズの高精度かつ高速な位置決めが可能となる。
【００７８】
また、ある態様の撮像装置は、位置検出信号のゲインを調整するために、位置検出素子に加える制御電流を調整してもよい。
【００７９】
制御電流を調整することで位置検出信号のゲインを調整することができるため、メカニカルな可動範囲の両端における位置検出信号が常に所定の値になるようにキャリブレーションすることが容易となる。
【００８０】
またある態様において撮像装置は、第１端部と第２端部における位置検出信号の所定の値にもとづいて、位置検出信号をデジタル変換し、位置検出信号のデジタルコードを生成してもよい。
【００８１】
以上の構成によれば、環境の変化などに左右されない一定の位置検出信号のデジタルコードを得ることができる。
【００８２】
また、本発明に係る撮像装置は、位置検出素子近傍の温度を検出する温度検出手段を備え、前回キャリブレーション実行時の温度からの変化が所定の値以上になった場合、キャリブレーション部によるキャリブレーションを再度実行してもよい。
【００８３】
以上の構成によれば、所定以上の温度変化を検出した場合に位置検出信号のキャリブレーションをやり直すので、環境温度の変化の影響を受けにくい位置検出信号を得ることができる。
【００８４】
また、本発明に係る撮像装置は、位置検出素子の内部抵抗が温度によって変化することを利用して、温度検出手段は温度変化を検出してもよい。
【００８５】
以上の構成によれば、温度検出のために位置検出素子を利用することができ、特別な温度センサを用いなくても温度変化を検出することができる。
【００８６】
また、本発明に係る撮像装置は、位置検出素子がホール素子であって、一定の制御電流を与えたときのホール素子両端の電位差の変化により温度変化を検出してもよい。
【００８７】
以上の構成によれば、温度検出のためにホール素子を利用することができ、特別な温度センサを用いなくても温度変化を検出することができる。
【００８８】
また、本発明に係る撮像装置は、キャリブレーション部によりキャリブレーションを実行した結果の位置検出信号にもとづいて、撮像レンズの位置を制御してもよい。
【００８９】
以上の構成によれば、温度などの環境変化の影響を受けない位置検出信号にもとづいて撮像レンズの位置を制御するので、撮像レンズの高精度かつ高速な位置決めが可能となる。
【００９０】
本発明の別の態様は、アクチュエータドライバに関する。アクチュエータドライバは、撮像装置に用いられるアクチュエータドライバであって、撮像装置は、撮像レンズと、撮像レンズを駆動するためのアクチュエータと、撮像レンズの位置を検出するための位置検出素子と、アクチュエータに駆動信号を与えるアクチュエータドライバと、を備え、アクチュエータは、撮像レンズを含む可動部の可動範囲の両端をメカニカルに規制するための第１端部と第２端部を有し、アクチュエータドライバは、第１端部と第２端部における位置検出素子の位置検出信号が所定の値となるように、位置検出素子における位置検出信号のゲインとオフセットを調整するキャリブレーション部を有することを特徴としている。
【００９１】
この態様によれば、位置の変化がほとんどないメカニカルな可動範囲の両端における位置検出信号が常に所定の値になるようにキャリブレーションされるため、環境の変化などに左右されず、一定の条件で位置検出信号を利用することができ、撮像レンズの高精度かつ高速な位置決めが可能となる。
【００９２】
また、本発明に係るアクチュエータドライバは、位置検出信号のゲインを調整するために、位置検出素子に加える制御電流を調整してもよい。
【００９３】
また、本発明に係るアクチュエータドライバは、第１端部と第２端部における位置検出信号の所定の値にもとづいて、位置検出信号をデジタル変換し、位置検出信号のデジタルコードを生成してもよい。
【００９４】
また、本発明に係るアクチュエータドライバは、位置検出素子近傍の温度を検出する温度検出手段を備え、前回キャリブレーション実行時の温度からの変化が所定の値以上になった場合、キャリブレーション部によるキャリブレーションを再度実行してもよい。
【００９５】
また、本発明に係るアクチュエータドライバは、位置検出素子の内部抵抗が温度によって変化することを利用して、温度検出手段は温度変化を検出してもよい。
【００９６】
また、本発明に係るアクチュエータドライバは、位置検出素子がホール素子であって、一定の制御電流を与えたときのホール素子両端の電位差の変化により温度変化を検出してもよい。
【００９７】
また、本発明に係るアクチュエータドライバは、キャリブレーション部によりキャリブレーションを実行した結果の位置検出信号にもとづいて、撮像レンズの位置を制御してもよい。
【００９８】
本発明の別の態様は、キャリブレーション方法に関する。キャリブレーション方法は、撮像レンズと、撮像レンズを駆動するためのアクチュエータと、撮像レンズの位置を検出するための位置検出素子と、アクチュエータに駆動信号を与えるアクチュエータドライバと、を備えた撮像装置における位置検出のキャリブレーション方法であって、アクチュエータは、撮像レンズを含む可動部の可動範囲の両端をメカニカルに規制するための第１端部と第２端部を有しており、アクチュエータの可動部を第１端部まで移動させ、その位置で位置検出素子の第１の位置検出信号を得るプロセスと、アクチュエータの可動部を第２端部まで移動させ、その位置で位置検出素子の第２の位置検出信号を得るプロセスと、第１の位置検出信号と第２の位置検出信号が所定の値となるように、位置検出素子における位置検出信号のゲインとオフセットを調整するプロセスと、を備えることを特徴としている。
【００９９】
この態様によれば、位置の変化がほとんどないメカニカルな可動範囲の両端における位置検出信号が常に所定の値になるようにキャリブレーションされるため、環境の変化などに左右されず、一定の条件で位置検出信号を利用することができ、撮像レンズの高精度かつ高速な位置決めが可能となる。
【０１００】
また、本発明に係るキャリブレーション方法は、第１端部と第２端部における位置検出信号の所定の値にもとづいて、位置検出信号をデジタル変換し、位置検出信号のデジタルコードを生成するプロセスをさらに備えてもよい。
【０１０１】
また、本発明に係るキャリブレーション方法は、位置検出素子近傍の温度を検出し、前回キャリブレーション実行時の温度からの変化が所定の値以上になった場合、キャリブレーション部によるキャリブレーションを再度実行してもよい。
【０１０２】
以上のような撮像装置、アクチュエータドライバ、キャリブレーション方法は、携帯電話用のカメラモジュールなどに用いられる。特に、位置検出機能を備えた撮像装置に適用するのが好適である。
【符号の説明】
【０１０３】
３００  撮像装置
３０２  撮像素子
３０４  レンズ
３０６  プロセッサ
３０８  ホルダー
３１０  コイル
３１２，３１４  永久磁石
３１６  位置検出素子
４００  レンズ制御装置
４０２  アクチュエータ
４０４  位置検出素子
４０６  温度検出素子
５００  アクチュエータドライバＩＣ
５０１  インタフェース回路
５０２  フロントエンド回路
５０３  駆動部
５０４  キャリブレーション部
５１０  位置検出部
５１２  ホールアンプ
５１４  Ａ／Ｄコンバータ
５１６  ＤＡコンバータ
５２０  温度検出部
５２２  定電流回路
５２４  Ａ／Ｄコンバータ
５３０  キャリブレーション部
５３２  プロセッサ
５３４  メモリ
５４０  インタフェース回路
５５０  フィルタ
５６０  コントローラ
５６２  誤差検出器
５６４  ＰＩＤ制御器
５６６  スイッチ
５７０  ドライバ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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