(57)【要約】【課題】スクラブ部材の変形や汚染、パーティクルの発生を抑制できるスクラブ部材の保存容器及びそのパッケージの提供。【解決手段】容器本体１０と、容器本体１０に係合する蓋体２０と、を有し、容器本体１０と蓋体２０とによって囲まれた容器内部Ｓ１にスクラブ部材２を収容するスクラブ部材２の保存容器１であって、容器本体１０と蓋体２０とが係合する係合面１０ａに、容器内部Ｓ１と容器外部Ｓ２とを連通させる通気溝３０が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体と、前記容器本体に係合する蓋体と、を有し、前記容器本体と前記蓋体とによって囲まれた容器内部にスクラブ部材を収容するスクラブ部材の保存容器であって、
前記容器本体と前記蓋体とが係合する係合面に、前記容器内部と容器外部とを連通させる通気溝が形成されている、ことを特徴とするスクラブ部材の保存容器。
【請求項２】
前記通気溝は、前記係合面に複数形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載のスクラブ部材の保存容器。
【請求項３】
前記容器本体は、前記スクラブ部材と係合可能な係合溝を有する、ことを特徴とする請求項１または２に記載のスクラブ部材の保存容器。
【請求項４】
前記容器本体は、前記係合溝の側面を内壁面で形成する環状壁を有し、
前記環状壁の外壁面に、前記通気溝が形成されている、ことを特徴とする請求項３に記載のスクラブ部材の保存容器。
【請求項５】
前記スクラブ部材は、スクラブ面を有する本体部と、前記本体部から前記スクラブ面と反対側に突出する突出部と、を有し、
前記突出部が前記係合溝に係合するとき、前記環状壁の頂面は、前記本体部と非接触である、ことを特徴とする請求項４に記載のスクラブ部材の保存容器。
【請求項６】
前記蓋体は、前記本体部の前記スクラブ面に対し前記係合溝の深さ以下の隙間をあけて、前記容器本体と係合している、ことを特徴とする請求項５に記載のスクラブ部材の保存容器。
【請求項７】
前記蓋体は、前記本体部の前記スクラブ面に向かって突出する複数の凸部を有する、ことを特徴とする請求項５または６に記載のスクラブ部材の保存容器。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載のスクラブ部材の保存容器と、
前記保存容器の容器外部に配置された酸素吸収剤と、を有する、ことを特徴とするスクラブ部材のパッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクラブ部材の保存容器及びそのパッケージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、スクラブ部材として、例えば、下記特許文献１に記載された基板洗浄装置に装着される洗浄部材が知られている。この洗浄部材は、洗浄部材保持機構に保持され、回転しながら基板の表面をスクラブ洗浄する。洗浄部材保持機構は、下方部が複数のチャック爪に分割された挟持部材（スリーブ）と、該挟持部材の外周に嵌入されるリング部材を具備し、該挟持部材の複数のチャック爪で形成された挿入穴に該洗浄部材の端部を挿入し、該リング部材を該挟持部材の外周に嵌入することにより、該複数のチャック爪で該洗浄部材を締め付け固定するコレットチャック構造を採用している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１７３９６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなスクラブ部材は、変形や汚染を防止するため、保存容器に収容されている。スクラブ部材は、乾燥してしまうと風化して発塵するため、濡れた状態で保存容器に収容することが好ましいが、そうするとスクラブ部材にバクテリアが増殖して汚染されてしまう場合がある。このため、従来では、保存容器に通気口を形成し、保存容器を覆うパッケージの中に、バクテリアの増殖を抑制する酸素吸収剤を一緒に入れてスクラブ部材を保存していた。しかしながら、この保存容器の通気口は後加工で形成していたため、通気口の周囲にバリが発生し、スクラブ部材を傷付けたり、このバリがスクラブ部材に付着し、パーティクルが発生することがあった。
【０００５】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、スクラブ部材の変形や汚染、パーティクルの発生を抑制できるスクラブ部材の保存容器及びそのパッケージの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の一態様に係るスクラブ部材の保存容器は、容器本体と、前記容器本体に係合する蓋体と、を有し、前記容器本体と前記蓋体とによって囲まれた容器内部にスクラブ部材を収容するスクラブ部材の保存容器であって、前記容器本体と前記蓋体とが係合する係合面に、前記容器内部と容器外部とを連通させる通気溝が形成されている。
【０００７】
（２）上記（１）に記載されたスクラブ部材の保存容器であって、前記通気溝は、前記係合面に複数形成されていてもよい。
（３）上記（１）または（２）に記載されたスクラブ部材の保存容器であって、前記容器本体は、前記スクラブ部材と係合可能な係合溝を有してもよい。
（４）上記（３）に記載されたスクラブ部材の保存容器であって、前記容器本体は、前記係合溝の側面を内壁面で形成する環状壁を有し、前記環状壁の外壁面に、前記通気溝が形成されていてもよい。
（５）上記（４）に記載されたスクラブ部材の保存容器であって、前記スクラブ部材は、スクラブ面を有する本体部と、前記本体部から前記スクラブ面と反対側に突出する突出部と、を有し、前記突出部が前記係合溝に係合するとき、前記環状壁の頂面は、前記本体部と非接触であってもよい。
（６）上記（５）に記載されたスクラブ部材の保存容器であって、前記蓋体は、前記本体部の前記スクラブ面に対し前記係合溝の深さ以下の隙間をあけて、前記容器本体と係合していてもよい。
（７）上記（５）または（６）に記載されたスクラブ部材の保存容器であって、前記蓋体は、前記本体部の前記スクラブ面に向かって突出する複数の凸部を有してもよい。
【０００８】
（８）本発明の一態様に係るスクラブ部材のパッケージは、上記（１）〜（７）に記載のスクラブ部材の保存容器と、前記保存容器の容器外部に配置された酸素吸収剤と、を有する。
【発明の効果】
【０００９】
上記本発明の態様によれば、スクラブ部材の変形や汚染、パーティクルの発生を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】一実施形態に係るスクラブ部材２の保存容器１の断面図である。
【図２】一実施形態に係る容器本体１０の（ａ）平面図、（ｂ）正面図である。
【図３】一実施形態に係る容器本体１０の（ａ）平面側斜視図、（ｂ）底面側斜視図である。
【図４】一実施形態に係る蓋体２０の（ａ）平面図、（ｂ）正面図である。
【図５】一実施形態に係る蓋体２０の（ａ）平面側斜視図、（ｂ）底面側斜視図である。
【図６】一実施形態に係るスクラブ部材２のパッケージ１００の断面図である。
【図７】一実施形態に係るスクラブ部材２が装着される基板洗浄装置３１の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
図１は、一実施形態に係るスクラブ部材２の保存容器１の断面図である。
図に示すように、保存容器１は、容器本体１０と、容器本体１０に係合する蓋体２０と、を有する。この保存容器１は、容器本体１０と蓋体２０とによって囲まれた容器内部Ｓ１にスクラブ部材２を収容する。なお、以下の説明では、容器内部Ｓ１を除いた容器本体１０及び蓋体２０の外部を、容器外部Ｓ２という。
【００１２】
保存容器１は、透明なプラスチック材から形成されている。保存容器１を形成するプラスチック材としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン（ＰＰ）やその他の汎用プラスチック材を用いることができる。容器本体１０及び蓋体２０は、例えば、熱により軟化させたプラスチック材を、所定の成形金型に真空引きにより密着させ、冷却することにより形成された真空成形品であることが好ましい。
【００１３】
図２は、一実施形態に係る容器本体１０の（ａ）平面図、（ｂ）正面図である。図３は、一実施形態に係る容器本体１０の（ａ）平面側斜視図、（ｂ）底面側斜視図である。
容器本体１０は、これらの図に示すように、係合溝１１と、環状壁１２と、フランジ部１３と、を有する。係合溝１１は、容器本体１０の中心部に形成されている。本実施形態の係合溝１１は、有底円筒形状を有している。
【００１４】
環状壁１２は、係合溝１１の周囲に円環状に形成された環状突起である。環状壁１２は、係合溝１１の側面を内壁面１２ａで形成している。環状壁１２の外壁面１２ｂは、蓋体２０との係合面１０ａを形成している。この係合面１０ａには、通気溝３０が形成されている。通気溝３０は、図２（ａ）に示す平面視で、係合溝１１を中心に９０°間隔で４つ形成されている。
【００１５】
フランジ部１３は、環状壁１２の外壁面１２ｂの下端から径方向外側に環状に延出している。このフランジ部１３にも、通気溝３０が形成されている。すなわち、通気溝３０は、環状壁１２の外壁面１２ｂの上端から下端まで形成されると共に、屈曲してフランジ部１３の内縁から外縁まで形成されている。このため、通気溝３０は、図１に示す断面視で、Ｌ字状に形成されている。
【００１６】
図４は、一実施形態に係る蓋体２０の（ａ）平面図、（ｂ）正面図である。図５は、一実施形態に係る蓋体２０の（ａ）平面側斜視図、（ｂ）底面側斜視図である。
蓋体２０は、これらの図に示すように、上面部２１と、側面部２２と、フランジ部２３と、を有する。上面部２１は、環状壁１２の外径と略同じ外径を有する円板状に形成されている。
【００１７】
上面部２１の表面には、図４（ａ）及び図５（ａ）に示すように、一定の深さで複数の凹部２５が形成されている。複数の凹部２５は、「UP SIDE」という、保存容器１の上面を指し示す刻印（文字）を形成している。上面部２１の裏面には、複数の凹部２５に対応して、図５（ｂ）に示すように、複数の凸部２４が形成されている。複数の凸部２４の形成面積は、上面部２１の裏面の平面部の面積よりも小さい。
【００１８】
側面部２２は、図４（ｂ）に示すように、上面部２１の外縁から下方に延在する略円筒形状を有している。この側面部２２の上端から下端までの長さは、図１に示すように、環状壁１２の外壁面１２ｂの上端（頂面１２ｃ）から下端（フランジ部１３まで）の長さよりも長い。側面部２２の下端部内面は、環状壁１２の外壁面１２ｂ（係合面１０ａ）と係合する係合面２０ａとなっている。
【００１９】
フランジ部２３は、側面部２２の下端から径方向外側に環状に延出している。このフランジ部２３は、上下方向で容器本体１０のフランジ部１３と対向する。フランジ部２３の下面がフランジ部１３の上面に当接することで、容器本体１０に対する蓋体２０の上下方向の位置決めがなされる。また、環状壁１２の外壁面１２ｂに側面部２２の下端部内面が係合することで、容器本体１０に対する蓋体２０の径方向（前後左右方向）の位置決めがなされる。
【００２０】
図１に示すように、容器本体１０と蓋体２０とが係合する係合面１０ａ，２０ａのうち環状壁１２の外壁面１２ｂ（係合面１０ａ）には、容器内部Ｓ１と容器外部Ｓ２とを連通させる通気溝３０が形成されている。すなわち、通気溝３０は、容器本体１０と蓋体２０の合せ面に形成されている。通気溝３０は、環状壁１２の外壁面１２ｂ（係合面１０ａ）に複数形成され、複数の通気流路を形成している。
【００２１】
容器本体１０に形成された係合溝１１は、スクラブ部材２と係合可能な内径を有する。スクラブ部材２は、スクラブ面３ａを有する本体部３と、本体部３からスクラブ面３ａと反対側に突出する突出部４と、を有する。本実施形態のスクラブ部材２は、基板洗浄装置に装着されるペンシル型スポンジであり、純水などの保存液によって濡れた（湿った）状態となっている。なお、スクラブ部材２は、保存液が垂れるほど湿潤した状態ではない。
【００２２】
スクラブ部材２の材料としては吸液性の多孔質体であれば、特に限定しないが、例えばＰＶＡ（ポリビニルアルコール）スポンジ（＝多孔質基気質ＰＶＦ（ポリビニルホルマール））を使用することができる。また、スクラブ部材２としては、本体部３のスクラブ面３ａにクロスを貼り付けたプラスチック材（軟質、硬質のものを含む）であってもよい。クロスの材料としては発砲ウレタン、繊維をウレタン樹脂で固めた不繊布やスエードタイプの研磨布等のように表面に微細な孔が形成されており、この孔の中にダスト等の異物が取り込める性質の材料であればよい。
【００２３】
本体部３は、係合溝１１の内径よりも大きい外径を有する円柱状に形成されている。本体部３の一端面は、円形のスクラブ面３ａとなっている。スクラブ面３ａは、スクラブ部材２が基板洗浄装置に装着されるとき下向きで使用される。突出部４は、本体部３よりも外径が小さい円柱状に形成されている。突出部４の外周面は、基板洗浄装置への装着時にチャックされる。突出部４の外径は、係合溝１１の内径と略等しく（なお、係合溝１１の内径よりも僅かに大きくてもよい）、係合溝１１に係合する。
【００２４】
図１に示すように、突出部４が係合溝１１に係合するとき、環状壁１２の頂面１２ｃは、本体部３と非接触である。すなわち、突出部４の長さをＡ１とし、係合溝１１の深さをＡ２とすると、Ａ１＞Ａ２の関係を有することが好ましい。なお、Ａ１は、本体部３のスクラブ面３ａの反対側の端面から突出部４の先端までの長さである。また、Ａ２は、係合溝１１の開口端（環状壁１２の頂面１２ｃと等しい）から係合溝１１の底面までの深さである。
【００２５】
また、蓋体２０は、本体部３のスクラブ面３ａに対し係合溝１１の深さ以下の隙間をあけて、容器本体１０と係合している。すなわち、蓋体２０とスクラブ面３ａとの隙間の大きさをＡ３とすると、Ａ２≧Ａ３の関係を有することが好ましい。なお、Ａ３は、本体部３のスクラブ面３ａから蓋体２０に形成された凸部２４の先端までの上下方向の距離である。Ａ１、Ａ２、Ａ３の関係は、Ａ１＞Ａ２≧Ａ３であることが好ましい。
【００２６】
図６は、一実施形態に係るスクラブ部材２のパッケージ１００の断面図である。
図に示すように、パッケージ１００は、上述したスクラブ部材２の保存容器１と、酸素を吸収する酸素吸収剤１０２と、さらに酸素を検知する酸素検知剤１０３と、を一緒に収容したものである。保存容器１は、通気性を有する透明な内袋１０１に包まれている。また、内袋１０１に包まれた保存容器１、酸素吸収剤１０２及び酸素検知剤１０３は、透明な外袋１０４に包まれている。外袋１０４は、内袋１０１よりも通気性が低いバリア性を有する袋である。
【００２７】
保存容器１の容器本体１０は、真空成形品であり、環状壁１２の裏側などに、ある程度の大きさの空間（裏側空間Ｓ３）が形成されている。酸素吸収剤１０２及び酸素検知剤１０３は、この裏側空間Ｓ３（容器外部Ｓ２）に配置されている。これにより、パッケージ１００の小型化、及び、通気溝３０を介した酸素吸収剤１０２及び酸素検知剤１０３の容器内部Ｓ１への侵入を防止できる。なお、外袋１０４の大きさによっては、酸素吸収剤１０２及び酸素検知剤１０３が裏側空間Ｓ３から出ないため、内袋１０１はなくてもよい。
【００２８】
図７は、一実施形態に係るスクラブ部材２が装着される基板洗浄装置３１の斜視図である。
基板洗浄装置３１は、例えば、図７に示すようなペンシル型の洗浄モジュール３１Ｂである。この洗浄モジュール３１Ｂは、基板Ｗ（例えば半導体基板）を回転させる回転機構９０と、基板Ｗにスクラブ部材２のスクラブ面３ａを接触させて回転するペンシル洗浄機構９１と、を備える。回転機構９０は、基板Ｗの外周を保持する複数のチャック９０ａ１を備え、基板Ｗを鉛直方向に延びる軸回りに回転させる回転ステージ９０ａを備える。回転ステージ９０ａは、基板Ｗの下面Ｗ２側で、モータ等の電気駆動部と接続されて水平回転する。
【００２９】
ペンシル洗浄機構９１は、スクラブ部材２と、スクラブ部材２を保持するアーム９１ｂと、を備える。スクラブ部材２は、アーム９１ｂの先端部に装着されると共に、アーム９１ｂの内部に配置されたモータ等の電気駆動部によって、鉛直方向に延びる軸回りに回転する。アーム９１ｂは、基板Ｗの上方に配置される。アーム９１ｂの基端部には旋回軸９１ｃが連結されている。旋回軸９１ｃには、アーム９１ｂを旋回させるモータ等の電気駆動部が接続されている。アーム９１ｂは、旋回軸９１ｃを中心に、基板Ｗと平行な平面内で旋回するようになっている。すなわち、アーム９１ｂの旋回によって、これに支持されたスクラブ部材２が基板Ｗの半径方向に移動し、基板Ｗの上面Ｗ１（パターン面）がスクラブ洗浄される。
【００３０】
続いて、スクラブ部材２の保存容器１の作用について説明する。
【００３１】
図１に示すように、スクラブ部材２の保存容器１は、容器本体１０と、容器本体１０に係合する蓋体２０と、を有し、容器本体１０と蓋体２０とによって囲まれた容器内部Ｓ１にスクラブ部材２を収容する。容器本体１０と蓋体２０とが係合する係合面１０ａには、通気溝３０が形成されている。通気溝３０は、容器内部Ｓ１と容器外部Ｓ２とを連通させ、容器内部Ｓ１（スクラブ部材２）のカビの発生を防止する。
【００３２】
通気溝３０は、容器本体１０と蓋体２０との合せ面に形成されたものであり、後加工（例えば、ドリル等の穿孔加工）で設けたものではないため、バリが発生しない。このため、バリによってスクラブ部材２を傷付けることがなく、また、バリがスクラブ部材２に付着してパーティクルとなることがない。よって、このようなスクラブ部材２の保存容器１によれば、スクラブ部材２の変形や汚染、パーティクルの発生を抑制できる。
【００３３】
また、本実施形態では、通気溝３０が、係合面１０ａに複数形成されている。この構成によれば、複数の通気溝３０によって、空気の入口と出口とを保存容器１に形成することができるため、保存容器１の通気性が良くなる。また、複数の通気溝３０によって、通気流路の合計の流路面積が大きくなるため、保存容器１の通気性が良くなる。
【００３４】
また、本実施形態では、容器本体１０は、スクラブ部材２と係合可能な係合溝１１を有する。この構成によれば、容器内部Ｓ１でスクラブ部材２が位置決めされ、自由に動くことがなくなるため、例えば、スクラブ部材２のエッジ部が保存容器１の内面に当たって変形してしまうといった懸念を解消することができる。
【００３５】
さらに、本実施形態では、容器本体１０は、係合溝１１の側面を内壁面１２ａで形成する環状壁１２を有し、環状壁１２の外壁面１２ｂに、通気溝３０が形成されている。この構成によれば、スクラブ部材２と係合する係合溝１１に保存液が溜まるような場合であっても、環状壁１２が堤防となるため、係合溝１１から通気溝３０を介した液漏れを防止することができる。
【００３６】
そして、本実施形態では、スクラブ部材２は、スクラブ面３ａを有する本体部３と、本体部３からスクラブ面３ａと反対側に突出する突出部４と、を有し、突出部４が係合溝１１に係合するとき、環状壁１２の頂面１２ｃは、本体部３と非接触となっている。この構成によれば、本体部３が環状壁１２の頂面１２ｃに接触して変形したり、汚染されたりすることを防止することができる。
【００３７】
加えて、本実施形態では、蓋体２０は、本体部３のスクラブ面３ａに対し係合溝１１の深さ以下の隙間をあけて、容器本体１０と係合している。この構成によれば、例えば、保存容器１が搬送中に衝撃などを受けても、スクラブ部材２が係合溝１１から寸法的に抜け出ることはないため、スクラブ部材２の変形や汚染を防止することができる。また、蓋体２０は、本体部３のスクラブ面３ａに向かって突出する複数の凸部２４を有するため、スクラブ面３ａとの接触面積を小さくして、スクラブ面３ａの変形や汚染を防止することができる。
【００３８】
以上、本発明の好ましい実施形態を記載し説明してきたが、これらは本発明の例示的なものであり、限定するものとして考慮されるべきではないことを理解すべきである。追加、省略、置換、およびその他の変更は、本発明の範囲から逸脱することなく行うことができる。従って、本発明は、前述の説明によって限定されていると見なされるべきではなく、特許請求の範囲によって制限されている。
【００３９】
例えば、上記実施形態では、通気溝３０が複数形成される構成を例示したが、通気流路の流路面積を確保できれば通気溝３０は１つであってもよい。
【００４０】
また、例えば、上記実施形態では、通気溝３０が容器本体１０の係合面１０ａに形成される構成を例示したが、通気溝３０は蓋体２０の係合面２０ａに形成されていてもよく、また、容器本体１０の係合面１０ａと蓋体２０の係合面２０ａの両方に形成されていてもよい。
【００４１】
また、例えば、上記実施形態では、スクラブ部材２の本体部３の外形が突出部４の外形よりも大きい構成を例示したが、本体部３の外形が突出部４の外形よりも小さい構成であってもよい。
【００４２】
また、例えば、上記実施形態では、容器本体１０の係合溝１１が平面視で円形に形成された構成を例示したが、係合溝１１はスクラブ部材２の形状に応じた形状であればよい。例えば、係合溝１１は、四角形、その他の多角形、若しくはそれ以外の異形であってよい。また、係合溝１１の底面に、スクラブ部材２を位置決めする位置決めピンを形成してもよい。
【００４３】
また、例えば、上記実施形態では、蓋体２０に形成された複数の凹部２５は、「UP SIDE」という文字を形成する構成を例示したが、他の文字や模様を形成してもよい。但し、スクラブ部材２のスクラブ面３ａに局所荷重を与えないように、複数の凹部２５（凸部２４）は、スクラブ面３ａとの対向領域に略均等に広がるようにレイアウトすることが好ましい。
【００４４】
また、例えば、上記実施形態では、保存容器１が基板洗浄装置３１のペンシル型スポンジを収容する構成を例示したが、例えば、保存容器１が基板をスクラブする基板研磨装置の研磨部材（スクラブ部材）を収容する構成であってもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１…保存容器、２…スクラブ部材、３…本体部、３ａ…スクラブ面、４…突出部、１０…容器本体、１０ａ…係合面、１１…係合溝、１２…環状壁、１２ａ…内壁面、１２ｂ…外壁面、１２ｃ…頂面、２０…蓋体、２０ａ…係合面、２４…凸部、１００…パッケージ、１０２…酸素吸収剤、Ｓ１…容器内部、Ｓ２…容器外部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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