(57)【要約】【課題】駆動効率を高めることができる圧電アクチュエーターを提供すること、また、この圧電アクチュエーターを備える圧電駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを提供すること。【解決手段】圧電素子を有する振動部と、前記振動部を支持する支持部と、前記振動部に設けられ、被駆動部材に駆動力を伝達する伝達部と、を備え、前記圧電素子は、圧電体と、前記圧電体の一方の面上に配置され、駆動信号が入力される第１電極と、前記圧電体の他方の面上に配置され、基準電位に接続される第２電極と、を有し、前記第１電極は、前記振動部の中心に対して前記伝達部側に位置する第１部分と、前記振動部の中心に対して前記伝達部とは反対側に位置する第２部分と、を有し、前記第１部分の面積は、前記第２部分の面積よりも大きいことを特徴とする圧電アクチュエーター。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を有する振動部と、
前記振動部を支持する支持部と、
前記振動部に設けられ、被駆動部材に駆動力を伝達する伝達部と、を備え、
前記圧電素子は、
圧電体と、
前記圧電体の一方の面上に配置され、駆動信号が入力される第１電極と、
前記圧電体の他方の面上に配置され、基準電位に接続される第２電極と、を有し、
前記第１電極は、
前記振動部の中心に対して前記伝達部側に位置する第１部分と、
前記振動部の中心に対して前記伝達部とは反対側に位置する第２部分と、を有し、
前記第１部分の面積は、前記第２部分の面積よりも大きいことを特徴とする圧電アクチュエーター。
【請求項２】
前記伝達部と前記振動部の中心とが並ぶ方向における前記第１部分の長さが前記第２部分の長さよりも長い請求項１に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項３】
前記第１部分は、前記伝達部と前記振動部の中心とが並ぶ方向に対して直交する方向における長さが拡がる部分を有する請求項１または２に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項４】
前記圧電素子は、前記圧電体の前記一方の面上に前記第１電極に対して前記伝達部とは反対側に配置され、前記圧電体の振動に伴って電荷を出力する検出用電極を有する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項５】
前記振動部の中心は、前記圧電体を屈曲させずに伸縮振動させたときの振動の節の位置に配置されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項６】
前記支持部は、１対の接続部を介して前記振動部を支持しており、
前記振動部の中心は、前記１対の接続部間に配置されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項７】
前記第１電極は、
前記圧電体を屈曲振動させる電界を前記第２電極との間に発生可能に配置されている屈曲用電極と、
前記圧電体を屈曲させずに伸縮振動させる電界を前記第２電極との間に発生可能に配置されている縦振動用電極と、を有し、
前記縦振動用電極が前記第１部分および前記第２部分を有する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターと、
前記圧電アクチュエーターにより駆動される被駆動部材と、を備えることを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項９】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とするロボット。
【請求項１０】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１１】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とするプリンター。
【請求項１２】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とするプロジェクター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電アクチュエーター、圧電駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電素子を備える圧電アクチュエーターが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の圧電アクチュエーターは、略矩形状の圧電素子を有する振動体を備え、圧電素子には、当該圧電素子の長手方向に沿って設けられる第１駆動電極と、圧電素子の幅方向両側で圧電素子の長手方向における離間位置にそれぞれ配置される一対の第２駆動電極とが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１６６８１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の圧電アクチュエーターでは、圧電素子のほぼ全面にわたって電極が配置されているため、電気容量が大きくなってしまい、その結果、消費電力が大きく、駆動効率を高くすることができないという課題がある。
【０００５】
本発明は、駆動効率を高めることができる圧電アクチュエーターを提供するもので、また、この圧電アクチュエーターを備える圧電駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の適用例または形態として実現することが可能である。
【０００７】
本適用例の圧電アクチュエーターは、圧電素子を有する振動部と、
前記振動部を支持する支持部と、
前記振動部に設けられ、被駆動部材に駆動力を伝達する伝達部と、を備え、
前記圧電素子は、
圧電体と、
前記圧電体の一方の面上に配置され、駆動信号が入力される第１電極と、
前記圧電体の他方の面上に配置され、基準電位に接続される第２電極と、を有し、
前記第１電極は、
前記振動部の中心に対して前記伝達部側に位置する第１部分と、
前記振動部の中心に対して前記伝達部とは反対側に位置する第２部分と、を有し、
前記第１部分の面積は、前記第２部分の面積よりも大きいことを特徴とする。
【０００８】
このような圧電アクチュエーターによれば、駆動信号が入力される第１電極において、振動部の中心に対して伝達部側に位置する第１部分の面積が、振動部の中心に対して伝達部とは反対側に位置する第２部分の面積よりも大きいため、圧電アクチュエーターの起動時および定常振動時の双方における駆動電圧を低減することができる。その結果、圧電アクチュエーターの駆動効率を高めることができる。
【０００９】
本適用例の圧電アクチュエーターでは、前記伝達部と前記振動部の中心とが並ぶ方向における前記第１部分の長さが前記第２部分の長さよりも長いことが好ましい。
【００１０】
これにより、比較的簡単な構成で、第１部分の面積を第２部分の面積よりも大きくすることができる。また、圧電体上の第２部分に対して第１部分とは反対側の領域を有効利用して、例えば、検出用電極（圧電体の振動に伴って電荷を出力する電極）を配置することができる。
【００１１】
本適用例の圧電アクチュエーターでは、前記第１部分は、前記伝達部と前記振動部の中心とが並ぶ方向に対して直交する方向における長さが拡がる部分を有することが好ましい。
【００１２】
これにより、比較的簡単な構成で、第１部分の面積を第２部分の面積よりも大きくすることができる。また、第１部分および第２部分が縦振動用電極（圧電体を屈曲させずに伸縮振動させる電界を第２電極との間に発生可能に配置されている電極）に設けられている場合、屈曲用電極（圧電体を屈曲振動させる電界を第２電極との間に発生可能に配置されている電極）が配置されていない領域を有効利用して、第１部分の面積を第２部分の面積よりも大きくすることができる。
【００１３】
本適用例の圧電アクチュエーターでは、前記圧電素子は、前記圧電体の前記一方の面上に前記第１電極に対して前記伝達部とは反対側に配置され、前記圧電体の振動に伴って電荷を出力する検出用電極を有することが好ましい。
【００１４】
これにより、圧電体上の第２部分に対して第１部分とは反対側の領域を有効利用して、検出用電極を配置することができる。また、検出用電極が伝達部と被駆動部材との接触・離間による衝撃波の影響を受け難くなるため、ノイズの少ない検出信号が得られるという効果もある。
【００１５】
本適用例の圧電アクチュエーターでは、前記振動部の中心は、前記圧電体を屈曲させずに伸縮振動させたときの振動の節の位置に配置されていることが好ましい。
【００１６】
これにより、圧電アクチュエーターの起動時および定常振動時の双方における駆動電圧を効果的に低減することができる。
【００１７】
本適用例の圧電アクチュエーターでは、前記支持部は、１対の接続部を介して前記振動部を支持しており、
前記振動部の中心は、前記１対の接続部間に配置されていることが好ましい。
【００１８】
これにより、圧電アクチュエーターの起動時および定常振動時の双方における駆動電圧を効果的に低減することができる。
【００１９】
本適用例の圧電アクチュエーターでは、前記第１電極は、
前記圧電体を屈曲振動させる電界を前記第２電極との間に発生可能に配置されている屈曲用電極と、
前記圧電体を屈曲させずに伸縮振動させる電界を前記第２電極との間に発生可能に配置されている縦振動用電極と、を有し、
前記縦振動用電極が前記第１部分および前記第２部分を有することが好ましい。
【００２０】
これにより、圧電アクチュエーターの起動時および定常振動時の双方における駆動電圧を効果的に低減することができる。
【００２１】
本適用例の圧電駆動装置は、本適用例の圧電アクチュエーターと、
前記圧電アクチュエーターにより駆動される被駆動部材と、を備えることを特徴とする。
【００２２】
このような圧電駆動装置によれば、圧電アクチュエーターの優れた特性を利用して、圧電駆動装置の特性を高めることができる。
【００２３】
本適用例のロボットは、本適用例の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする。
このようなロボットによれば、圧電アクチュエーターの優れた特性を利用して、ロボットの特性を高めることができる。
【００２４】
本適用例の電子部品搬送装置は、本適用例の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする。
【００２５】
このような電子部品搬送装置によれば、圧電アクチュエーターの優れた特性を利用して、電子部品搬送装置の特性を高めることができる。
【００２６】
本適用例のプリンターは、本適用例の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする。
【００２７】
このようなプリンターによれば、圧電アクチュエーターの優れた特性を利用して、プリンターの特性を高めることができる。
【００２８】
本適用例のプロジェクターは、本適用例の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする。
【００２９】
このようなプロジェクターによれば、圧電アクチュエーターの優れた特性を利用して、プロジェクターの特性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧電駆動装置（圧電モーター）の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１に示す圧電駆動装置の動作を説明するための図である。
【図３】図１に示す圧電アクチュエーターが備える振動部、支持部および接続部の斜視図である。
【図４】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図１に示す圧電アクチュエーターが備える圧電素子の平面図（第１振動板側から見た図）である。
【図６】図１に示す圧電アクチュエーターの被駆動部材に対する各状態（非接触状態、接触離間繰り返し状態、接触状態）における縦振動の周波数と振幅との関係を示すグラフである。
【図７】本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエーターが備える圧電素子の平面図（第１振動板側から見た図）である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエーターが備える圧電素子の平面図（第１振動板側から見た図）である。
【図９】本発明のロボットの実施形態を示す斜視図である。
【図１０】本発明の電子部品搬送装置の実施形態を示す斜視図である。
【図１１】図１０に示す電子部品搬送装置が備える電子部品保持部の斜視図である。
【図１２】本発明のプリンターの実施形態を示す斜視図である。
【図１３】本発明のプロジェクターの実施形態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の圧電アクチュエーター、圧電駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３２】
１．圧電駆動装置および圧電アクチュエーター
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電駆動装置（圧電モーター）の概略構成を示す平面図である。図２は、図１に示す圧電駆動装置の動作を説明するための図である。図３は、図１に示す圧電アクチュエーターが備える振動部、支持部および接続部の斜視図である。図４は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。図５は、図１に示す圧電アクチュエーターが備える圧電素子の平面図（第１振動板側から見た図）である。図６は、図１に示す圧電アクチュエーターの被駆動部材に対する各状態（非接触状態、接触離間繰り返し状態、接触状態）における縦振動の周波数と振幅との関係を示すグラフである。
【００３３】
図１に示す圧電駆動装置１００は、逆圧電効果を利用して回転力を出力する圧電モーターである。この圧電駆動装置１００は回動軸Ｏまわりに回動可能な被駆動部材（従動部）であるローター１１０と、ローター１１０の外周面１１１に当接する圧電アクチュエーター１と、を有する。この圧電駆動装置１００では、圧電アクチュエーター１がその駆動力をローター１１０に伝達することで、ローター１１０が回動軸Ｏまわりに回動（回転）する。
【００３４】
なお、圧電アクチュエーター１の配置は、圧電アクチュエーター１から被駆動部材へ所望の駆動力を伝達することができればよく、図示の位置に限定されず、例えば、ローター１１０の板面（底面）に圧電アクチュエーター１を当接させてもよい。また、圧電駆動装置１００は、１つの被駆動部材に対して複数の圧電アクチュエーター１を当接させる構成であってもよい。また、複数の圧電アクチュエーター１を積層して用いてもよい。また、圧電駆動装置１００は、図示のような被駆動部材を回転運動させる構成に限定されず、例えば、被駆動部材を直線運動させる構成であってもよい。
【００３５】
圧電アクチュエーター１は、図１に示すように、長手形状をなす振動部１１と、支持部１２と、これらを接続している１対の接続部１３と、振動部１１の長手方向での一端部（先端部）から突出している伝達部１４（凸部）と、を有する。ここで、振動部１１は、圧電素子４を有する。また、支持部１２は、振動部１１と厚さを揃えるように中間部材５を有する。
【００３６】
圧電素子４は、駆動用の圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅと、検出用の圧電素子４ｆと、を有する。図２に示すように、駆動用の圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅは、伝達部１４の先端を楕円運動させるように逆圧電効果により伸縮する。これにより、伝達部１４は、外周面１１１にその周方向での一方向の駆動力を与えて、ローター１１０を回動軸Ｏまわりに回動させる。このとき、振動部１１の振動は、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの伸縮によるＳ字状（または逆Ｓ字状）の屈曲振動（横振動）と、圧電素子４ｅの伸縮による縦振動とを複合した振動である。検出用の圧電素子４ｆは、振動部１１の振動に伴って、圧電効果により、振動部１１の駆動状態（振動状態）に応じた信号（電荷）を出力する。ここで、振動部１１は、横振動（屈曲振動）の節ＰＳａ、ＰＳｂおよび縦振動と横振動との共通の節ＰＳｃを有する。
【００３７】
伝達部１４は、例えば、セラミックス等の耐摩耗性に優れた材料で構成され、振動部１１に対して接着剤等により接合されている。なお、伝達部１４の形状は、圧電アクチュエーター１の駆動力をローター１１０（被駆動部材）に伝達可能であればよく、図示の形状に限定されない。
【００３８】
このような圧電アクチュエーター１は、図３に示すような積層構造を有して構成されている。すなわち、図３に示すように、振動部１１、支持部１２および接続部１３は、第１振動板２と、第２振動板３と、これらの間に配置されている圧電素子４および中間部材５と、を有する。そして、第１振動板２は、接着剤６１を介して圧電素子４および中間部材５に接合されている。同様に、第２振動板３は、接着剤６２を介して圧電素子４および中間部材５に接合されている。以下、圧電アクチュエーター１の各部を順次説明する。
【００３９】
（第１、第２振動板）
第１振動板２および第２振動板３は、それぞれ、前述した振動部１１、支持部１２および接続部１３に対応した平面視形状をなしている。そして、第１振動板２および第２振動板３は、圧電素子４を挟んでいる部分（振動部）を有し、当該部分および圧電素子４を含む積層体が振動部１１を構成している。また、第１振動板２および第２振動板３は、中間部材５を挟んでいる部分を有し、当該部分および中間部材５を含む積層体が支持部１２を構成している。なお、接続部１３には、圧電素子４および中間部材５がいずれも配置されておらず、第１振動板２と第２振動板３との間に圧電素子４または中間部材５の厚さに応じた隙間が形成されている。
【００４０】
このような第１振動板２および第２振動板３としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、シリコン基板、シリコンカーバイト基板等の半導体基板を用いることができる。第１振動板２または第２振動板３として半導体基板（特にシリコン基板）を用いることで、第１振動板２または第２振動板３をシリコンウエハプロセス（ＭＥＭＳプロセス）により生産性よく高精度に製造することができる。
【００４１】
第１振動板２の圧電素子４側（図４中上側）の面には、絶縁層２４が設けられている。これにより、第１振動板２を介した配線層７の短絡を低減することができる。同様に、第２振動板３の圧電素子４側（図４中下側）の面には、絶縁層３４が設けられている。これにより、第２振動板３を介した配線層８の短絡を低減することができる。絶縁層２４、３４は、それぞれ、例えば、第１振動板２および第２振動板３にそれぞれシリコン基板を用いた場合、シリコン基板の表面を熱酸化することにより形成されたシリコン酸化膜である。なお、絶縁層２４、３４は、それぞれ、熱酸化によるシリコン酸化膜に限定されず、例えば、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）を用いたＣＶＤ法等で形成したシリコン酸化膜であってもよい。また、絶縁層２４、３４は、それぞれ、絶縁性を有していればシリコン酸化膜に限定されず、例えば、シリコン窒化膜等の無機膜、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、ユリア系樹脂、メラミン系樹脂、フェノール系樹脂、エステル系樹脂、アクリル系樹脂等の各種樹脂材料で構成された有機膜であってもよい。さらに、絶縁層２４、３４は、それぞれ、異なる材料で構成された複数の層の積層膜であってもよい。
【００４２】
第１振動板２の絶縁層２４上には、配線層７が配置されている。配線層７は、振動部１１に配置されている複数の第１電極７１（配線電極）と、複数の第１電極７１から接続部１３を経由して支持部１２にわたって配置されている複数の第１配線７２と、を有する（図４参照）。これらは、例えば、公知の成膜工程により一括して形成される。
【００４３】
複数の第１電極７１は、前述した圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆに対応して設けられ、対応する圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ（より具体的には後述の第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅまたは第３電極４４）に電気的に接続されている。複数の第１配線７２は、複数の第１電極７１に対応して設けられ、それぞれ、対応する第１電極７１から支持部１２の端部まで引き回されている。また、各第１配線７２の端部には、中間部材５上の配線５３を介して、図示しない基板に電気的に接続される端子９１が接続されている（図４参照）。なお、各第１配線７２の端部に端子９１を直接設けてもよい。
【００４４】
一方、第２振動板３の絶縁層３４上には、配線層８が配置されている。配線層８は、図４に示すように、振動部１１に配置されている第２電極８１と、第２電極８１から接続部１３を経由して支持部１２にわたって配置されている第２配線８２と、を有する。これらは、例えば、公知の成膜工程により一括して形成される。
【００４５】
第２電極８１は、前述した圧電素子４（より具体的には後述の第２電極４３）に電気的に接続されている。第２配線８２は、支持部１２の端部まで引き回されている。また、第２配線８２の端部には、図示しない基板に電気的に接続される端子９２が設けられている（図４参照）。
【００４６】
配線５３、配線層７、８および端子９２、９１の構成材料としては、それぞれ、特に限定されず、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等の金属材料が挙げられる。また、端子９２は、公知の成膜法を用いて形成することができる。
【００４７】
以上のような第１振動板２および第２振動板３は、接着剤６１、６２により圧電素子４および中間部材５に接合されている。ここで、接着剤６１は、配線層７と圧電素子４との電気的接続を許容するように、第１振動板２と圧電素子４とを接合している。また、接着剤６２は、配線層８と圧電素子４との電気的接続を許容するように、第２振動板３と圧電素子４とを接合している。接着剤６１、６２としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、エポキシ系、アクリル系、シリコン系等の各種接着剤、異方導電性接着剤等を用いることができる。
【００４８】
（圧電素子）
圧電素子４は、図５に示すように、板状の圧電体４１と、圧電体４１の一方（第１振動板２側）の面上に配置されている第１電極４２（駆動用電極）および第３電極４４（検出用電極）と、圧電体４１の他方（第２振動板３側）の面上に配置されている第２電極４３（グランド電極）と、を有する。
【００４９】
圧電体４１は、平面視で長方形をなしている。この圧電体４１の構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスが挙げられる。なお、圧電体４１の構成材料としては、上述した圧電セラミックスの他にも、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。
【００５０】
また、圧電体４１は、例えば、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて形成してもよいが、バルク材料から形成することが好ましい。これにより、圧電体４１の厚さを厚くし、圧電素子４の変位量を大きくすることができる。そのため、圧電アクチュエーター１の電流効率をさらに向上させることができる。
【００５１】
第１電極４２（駆動用電極）は、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅごとに個別に設けられた個別電極である複数（５つ）の第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅで構成されている。第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅには、それぞれ、駆動信号（駆動電圧）が入力される。また、第３電極４４（検出用電極）は、圧電素子４ｆに設けられた個別電極であり、圧電素子４の駆動状態に応じた検出信号を出力する。一方、第２電極４３（グランド電極）は、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆに共通して設けられた共通電極であり、定電位（例えばグランド電位）に電気的に接続される。
【００５２】
すなわち、圧電素子４ａは、圧電体４１、第１電極４２ａおよび第２電極４３を含んで構成されている。同様に、圧電素子４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅは、圧電体４１、第１電極４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅおよび第２電極４３を含んで構成されている。圧電素子４ｆは、圧電体４１、第３電極４４および第２電極４３を含んで構成されている。このように、圧電素子４は、６つの圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆを有している。
【００５３】
ここで、駆動用電極である第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅのうち、第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄは、駆動信号の入力により圧電体４１を屈曲振動（前述した横振動）させる電界を第２電極４３との間に発生させる屈曲用電極である。これに対し、第１電極４２ｅは、駆動信号の入力により圧電体４１を屈曲させずに伸縮振動（前述した縦振動）させる電界を第２電極４３との間に発生させる縦振動用電極である。
【００５４】
本実施形態では、第１電極４２ｅは、圧電体４１の幅方向の中央部に圧電体４１の長手方向に沿って配置されている。第１電極４２ａ、４２ｂは、第１電極４２ｅに対して圧電体４１の幅方向の一方側に圧電体４１の長手方向に沿って配置されている。第１電極４２ｃ、４２ｄは、第１電極４２ｅに対して圧電体４１の幅方向の他方側に圧電体４１の長手方向に沿って配置されている。第３電極４４は、第１電極４２ｅに対して伝達部１４とは反対側に配置されている。
【００５５】
特に、第１電極４２ｅは、振動部１１の中心ＣＰに対して伝達部１４側に位置する第１部分４２１と、振動部１１の中心ＣＰに対して伝達部１４とは反対側に位置する第２部分４２２と、を有する。ここで、「振動部１１の中心ＣＰ」は、振動部１１の縦振動の振動体として見たときの中心（縦振動の節ＰＳｃ）であり、振動部１１の１対の接続部１３間に位置している。また、本実施形態では、振動部１１の中心ＣＰは、振動部１１の幾何学的な中心に一致している。
【００５６】
第１部分４２１の面積は、第２部分４２２の面積よりも大きい。これにより、圧電アクチュエーター１の起動時および定常振動時の双方における駆動電圧を低減することができる。第１部分４２１は、振動部１１の中心ＣＰから伝達部１４側に向けて一定幅で延びている部分４２１ａで構成されている。第２部分４２２は、振動部１１の中心ＣＰから伝達部１４とは反対側に向けて一定幅で延びている部分４２２ａで構成されている。ここで、第１部分４２１（部分４２１ａ）の幅Ｗ１および第２部分４２２（部分４２２ａ）の幅Ｗ２は、互いに等しい。また、第１部分４２１（部分４２１ａ）の長さＬ１は、第２部分４２２（部分４２２ａ）の長さＬ２よりも長い。これにより、第１部分４２１の面積が第２部分４２２の面積よりも大きくなっている。なお、第１部分４２１および第２部分４２２は、幅の異なる部分を有していてもよい。また、第２部分４２２の幅Ｗ２が第１部分４２１の幅Ｗ１よりも小さくてもよい。
【００５７】
第１部分４２１の面積は、第２部分４２２の面積よりも大きければよいが、第１部分４２１の面積をＳ１とし、第２部分４２２の面積をＳ２としたとき、Ｓ１／Ｓ２は、１．１以上３以下であることが好ましく、１．５以上２．５以下であることがより好ましい。これにより、圧電アクチュエーター１の駆動効率を好適に高めることができる。
【００５８】
同様の観点から、第１部分４２１の長さＬ１および第２部分４２２の長さＬ２の比Ｓ１／Ｓ２は、１．１以上３以下であることが好ましく、１．５以上２．５以下であることがより好ましい。これにより、圧電アクチュエーター１の駆動効率を好適に高めることができる。
【００５９】
なお、圧電体４１は、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆに共通して一体的に構成されているが、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆごとに個別に分割して設けられていてもよい。
【００６０】
第１電極４２、第２電極４３および第３電極４４の構成材料としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等の金属材料が挙げられる。
【００６１】
（中間部材）
中間部材５は、前述した支持部１２において、第１振動板２と第２振動板３との間に設けられ、平面視で、支持部１２と実質的に同じ形状および大きさを有している。この中間部材５は、支持部１２を補強するとともに、支持部１２における第１振動板２と第２振動板３との間の距離を振動部１１における第１振動板２と第２振動板３との間の距離と等しくするように規制する機能を有する。
【００６２】
図４に示すように、中間部材５は、本体５１と、本体５１上に設けられている絶縁層５２と、を有する。このような中間部材５は、例えば、本体５１がシリコンで構成され、絶縁層５２がシリコン酸化膜で構成されている。なお、中間部材５の構成材料としては、これに限定されず、例えば、ジルコニア、アルミナ、チタニア等の各種セラミックス、各種樹脂材料等を用いてもよい。
【００６３】
以上のように、圧電アクチュエーター１は、圧電素子４を有する振動部１１と、１対の接続部１３を介して振動部１１を支持する支持部１２と、振動部１１に設けられ、ローター１１０（被駆動部材）に駆動力を伝達する伝達部１４と、を備える。ここで、圧電素子４は、圧電体４１と、圧電体４１の一方の面上に配置され、駆動信号が入力される第１電極４２と、圧電体４１の他方の面上に配置され、基準電位に接続される第２電極４３と、を有する。そして、第１電極４２は、振動部１１の中心ＣＰに対して伝達部１４側に位置する第１部分４２１と、振動部１１の中心ＣＰに対して伝達部１４とは反対側に位置する第２部分４２２と、を有する。また、第１部分４２１の面積は、第２部分４２２の面積よりも大きい。
【００６４】
このような圧電アクチュエーター１によれば、駆動信号が入力される第１電極４２において、振動部１１の中心ＣＰに対して伝達部１４側に位置する第１部分４２１の面積が、振動部１１の中心ＣＰに対して伝達部１４とは反対側に位置する第２部分４２２の面積よりも大きいため、圧電アクチュエーター１の起動時および定常振動時の双方における駆動電圧を低減することができる。
【００６５】
より具体的に説明すると、圧電アクチュエーター１の振動部１１を共振で縦振動させたとき、振動部１１は、接続部１３付近を節として長手方向に伸縮する。伝達部１４がローター１１０（被駆動部材）に接触していない状態（以下、「非接触状態」と言う）では、振動部１１の縦振動の共振周波数（一次モード）は、図６中鎖線で示すように、周波数ｆａ（例えば３００ｋＨｚ程度）で振幅が最大となる鋭いピークを有する。また、伝達部１４がローター１１０に押し当てられて接触した状態（以下、「接触状態」と言う）では、振動部１１の先端部（伝達部１４の端部）の動きが拘束されるため、振動部１１の縦振動の共振周波数（一次モード）は、図６中実線で示すように、周波数ｆａよりも高い周波数ｆｂ（例えば３５０ｋＨｚ程度）で振幅が最大となるなだらかで低いピークを有する。伝達部１４が前述したような楕円運動によりローター１１０（被駆動部材）に接触と離間を繰り返す状態（以下、「接触離間繰り返し状態」と言う）では、振動部１１の縦振動の共振周波数（一次モード）は、図６中一点鎖線で示すように、前述した周波数ｆａと周波数ｆｂとの間の周波数ｆｃで振幅が最大となるピークを有する。また、振動部１１の縦振動の駆動周波数ｆｄｒを周波数ｆｃよりも若干高い周波数（例えば３３０ｋＨｚ程度）とすると、ローター１１０を効率的に回転させることができる。
【００６６】
ここで、前述したような図６中一点鎖線で示すような特性が得られるようにするには、駆動周波数ｆｄｒを高い側（周波数ｆｂ側）から下げる（ダウンスイープ）ことが好ましい。これは、接触状態での共振周波数に近い周波数から駆動を始めることで、振動部１１の縦振動の共振効果により振幅が大きくなり、伝達部１４とローター１１０との離間が始まることで、接触離間繰り返し状態が得られるからである。
【００６７】
これに対し、駆動周波数ｆｄｒを低い側（周波数ｆａ側）から上げる（アップスイープ）場合、よほど電圧を高くしない限り、前述したような図６中一点鎖線で示すような特性が得られず、前述したような図６中実線で示すような特性となる。これは、当接状態の共振ピークから大きく離れた周波数で駆動が始まるため、振動部１１の縦振動の共振効果による振幅の増大を行うことができず、伝達部１４とローター１１０とを離間させることが難しいからである。
【００６８】
前述したダウンスイープおよびアップスイープのいずれにおいても、圧電駆動装置１００の起動時には、伝達部１４の楕円運動が成長して伝達部１４とローター１１０との離間を開始するきっかけを如何に低電圧で与えるかが重要となる。ここで、圧電体４１の伝達部１４側の部分は、それとは反対側の部分よりも伝達部１４の縦振動に対する寄与が少ない。そこで、前述したように、第１部分４２１の面積を第２部分４２２の面積よりも大きくする。これにより、第１部分４２１の面積を大きくして、圧電体４１の伝達部１４側の部分を縦振動の変位を大きくしつつ、第２部分４２２の面積を小さくして、駆動電圧の増大を低減することができる。
【００６９】
本実施形態では、第１電極４２は、圧電体４１を屈曲振動させる電界を第２電極４３との間に発生可能に配置されている屈曲用電極である第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄと、圧電体４１を屈曲させずに伸縮振動させる電界を第２電極４３との間に発生可能に配置されている縦振動用電極である第１電極４２ｅと、を有する。そして、第１電極４２ｅが第１部分４２１および第２部分４２２を有する。これにより、圧電アクチュエーター１の起動時および定常振動時の双方における駆動電圧を効果的に低減することができる。
【００７０】
なお、第１電極４２全体として見たとき、振動部１１の中心ＣＰに対して伝達部１４側に位置する部分（第１部分）の面積が、振動部１１の中心ＣＰに対して伝達部１４とは反対側に位置する部分（第２部分）の面積よりも大きければ、圧電アクチュエーター１の起動時および定常振動時の双方における駆動電圧を低減することができる。したがって、例えば、第１電極４２ａ、４２ｃの面積を第１電極４２ｂ、４２ｄの面積よりも大きくすることによっても、同様の効果が得られる。この場合、縦振動成分を含む屈曲振動を圧電体４１に励振させる駆動信号を第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄに入力すればよい。
【００７１】
また、伝達部１４と振動部１１の中心ＣＰとが並ぶ方向（振動部１１の長手方向）における第１部分４２１の長さＬ１が第２部分４２２の長さＬ２よりも長い。これにより、比較的簡単な構成で、第１部分４２１の面積を第２部分４２２の面積よりも大きくすることができる。また、本実施形態のように、圧電体４１上の第２部分４２２に対して第１部分４２１とは反対側の領域を有効利用して、検出用電極である第３電極４４（圧電体４１の振動に伴って電荷を出力する電極）を配置することができる。
【００７２】
このように、圧電素子４は、圧電体４１の一方（第１電極４２と同じ側）の面上に第１電極４２に対して伝達部１４とは反対側に配置され、圧電体４１の振動に伴って電荷を出力する検出用電極である第３電極４４を有する。これにより、圧電体４１上の第２部分４２２に対して第１部分４２１とは反対側の領域を有効利用して、検出用電極である第３電極４４を配置することができる。また、当該領域に第３電極４４を配置することで、第３電極４４が伝達部１４とローター１１０との接触・離間による衝撃波の影響を受け難くなるため、ノイズの少ない検出信号が得られるという効果もある。なお、第３電極４４は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。この場合、第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅのいずれかを検出用電極として兼用すればよい。
【００７３】
また、振動部１１の中心ＣＰは、圧電体４１を屈曲させずに伸縮振動させたときの振動の節の位置に配置されていることが好ましい。これにより、圧電アクチュエーター１の起動時および定常振動時の双方における駆動電圧を効果的に低減することができる。
【００７４】
また、支持部１２は、１対の接続部１３を介して振動部１１を支持しており、振動部１１の中心ＣＰは、１対の接続部１３間に配置されていることが好ましい。これにより、圧電アクチュエーター１の起動時および定常振動時の双方における駆動電圧を効果的に低減することができる。
【００７５】
また、圧電駆動装置１００は、圧電アクチュエーター１と、圧電アクチュエーター１により駆動される被駆動部材であるローター１１０と、を備える。このような圧電駆動装置１００によれば、圧電アクチュエーター１の優れた特性を利用して、圧電駆動装置１００の特性を高めることができる。
【００７６】
＜第２実施形態＞
図７は、本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエーターが備える圧電素子の平面図（第１振動板側から見た図）である。なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図７において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【００７７】
本実施形態の圧電アクチュエーター１Ａが備える圧電素子４Ａは、板状の圧電体４１と、圧電体４１の一方の面上に配置されている第１電極４２Ａ（駆動用電極）および第３電極４４（検出用電極）と、圧電体４１の他方の面上に配置されている第２電極４３（グランド電極）と、を有する。
【００７８】
第１電極４２Ａは、第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｆで構成されている。第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｆには、それぞれ、駆動信号（駆動電圧）が入力される。
【００７９】
特に、第１電極４２ｆは、振動部１１の中心ＣＰに対して伝達部１４側に位置する第１部分４２１Ａと、振動部１１の中心ＣＰに対して伝達部１４とは反対側に位置する第２部分４２２と、を有する。そして、第１部分４２１Ａの面積は、第２部分４２２の面積よりも大きい。これにより、圧電アクチュエーター１Ａの起動時および定常振動時の双方における駆動電圧を低減することができる。
【００８０】
第１部分４２１Ａは、振動部１１の中心ＣＰから伝達部１４側に向けて一定幅で延びている部分４２１ａと、部分４２１ａの伝達部１４側の端部に設けられている部分４２１ｂとで構成されている。ここで、部分４２１ｂは、第１電極４２ａ、４２ｃよりも伝達部１４側に配置されており、部分４２１ａよりも幅が広い。部分４２１ｂの幅Ｗ３は、圧電体４１または第２電極４３の幅よりも小さければよく、特に限定されないが、図示では、圧電体４１または第２電極４３の幅よりも若干小さくなっている。
【００８１】
以上のような第２実施形態の圧電アクチュエーター１Ａによっても、前述した第１実施形態と同様、駆動効率を高めることができる。
【００８２】
本実施形態では、第１部分４２１Ａは、伝達部１４と振動部１１の中心ＣＰとが並ぶ方向に対して直交する方向における長さが拡がる部分４２１ｂを有する。これにより、比較的簡単な構成で、第１部分４２１Ａの面積を第２部分４２２の面積よりも大きくすることができる。また、本実施形態のように、第１部分４２１Ａおよび第２部分４２２が第１電極４２ｆ（縦振動用電極）に設けられている場合、他の第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ（屈曲用電極）が配置されていない領域を有効利用して、第１部分４２１Ａの面積を第２部分４２２の面積よりも大きくすることができる。
【００８３】
＜第３実施形態＞
図８は、本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエーターが備える圧電素子の平面図（第１振動板側から見た図）である。なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図８において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【００８４】
本実施形態の圧電アクチュエーター１Ｂが備える圧電素子４Ｂは、板状の圧電体４１と、圧電体４１の一方の面上に配置されている第１電極４２Ｂ（駆動用電極）および第３電極４４（検出用電極）と、圧電体４１の他方の面上に配置されている第２電極４３（グランド電極）と、を有する。
【００８５】
第１電極４２Ｂは、第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｇで構成されている。第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｇには、それぞれ、駆動信号（駆動電圧）が入力される。
【００８６】
特に、第１電極４２ｇは、振動部１１の中心ＣＰに対して伝達部１４側に位置する第１部分４２１Ｂと、振動部１１の中心ＣＰに対して伝達部１４とは反対側に位置する第２部分４２２Ｂと、を有する。そして、第１部分４２１Ｂの面積は、第２部分４２２Ｂの面積よりも大きい。これにより、圧電アクチュエーター１Ｂの起動時および定常振動時の双方における駆動電圧を低減することができる。
【００８７】
第１部分４２１Ｂは、振動部１１の中心ＣＰ付近に設けられている部分４２１ｃと、部分４２１ｃから伝達部１４側に向けて一定幅で延びている部分４２１ａと、部分４２１ａの伝達部１４側の端部に設けられている部分４２１ｂとで構成されている。また、第２部分４２２Ｂは、振動部１１の中心ＣＰ付近に設けられている部分４２２ｂと、部分４２２ｂから伝達部１４とは反対側に向けて一定幅で延びている部分４２２ａとで構成されている。ここで、部分４２１ｃの幅および部分４２２ｂの幅は、図示では、互いに等しいが、互いに異なっていてもよい。これらの幅Ｗ４は、図示では、部分４２１ｂの幅Ｗ３と等しいが、部分４２１ｂの幅Ｗ３と異なっていてもよい。
【００８８】
以上のような第３実施形態の圧電アクチュエーター１Ｂによっても、前述した第１実施形態または第２実施形態と同様、駆動効率を高めることができる。
【００８９】
２．ロボット
次に、本発明のロボットの実施形態について説明する。
【００９０】
図９は、本発明のロボットの実施形態を示す斜視図である。
図９に示すロボット１０００は、精密機器やこれを構成する部品（対象物）の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット１０００は、６軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース１０１０と、ベース１０１０に回動自在に連結されたアーム１０２０と、アーム１０２０に回動自在に連結されたアーム１０３０と、アーム１０３０に回動自在に連結されたアーム１０４０と、アーム１０４０に回動自在に連結されたアーム１０５０と、アーム１０５０に回動自在に連結されたアーム１０６０と、アーム１０６０に回動自在に連結されたアーム１０７０と、これらアーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０の駆動を制御する制御部１０８０と、を有している。また、アーム１０７０にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット１０００に実行させる作業に応じたエンドエフェクター１０９０が装着される。また、各関節部のうちの全部または一部には、圧電アクチュエーター１、１Ａまたは１Ｂを備える圧電駆動装置１００が搭載されており、この圧電駆動装置１００の駆動によって各アーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０が回動する。なお、各圧電駆動装置１００の駆動は、制御部１０８０によって制御される。
【００９１】
以上のようなロボット１０００は、圧電アクチュエーター１、１Ａまたは１Ｂを備える。このようなロボット１０００によれば、圧電アクチュエーター１、１Ａまたは１Ｂの優れた特性を利用して、ロボット１０００の特性を高めることができる。
【００９２】
３．電子部品搬送装置
次に、本発明の電子部品搬送装置の実施形態について説明する。
【００９３】
図１０は、本発明の電子部品搬送装置の実施形態を示す斜視図である。図１１は、図１０に示す電子部品搬送装置が備える電子部品保持部の斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。
【００９４】
図１０に示す電子部品搬送装置２０００は、電子部品検査装置に適用されており、基台２１００と、基台２１００の側方に配置された支持台２２００と、を有している。また、基台２１００には、検査対象の電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される上流側ステージ２１１０と、検査済みの電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される下流側ステージ２１２０と、上流側ステージ２１１０と下流側ステージ２１２０との間に位置し、電子部品Ｑの電気的特性を検査する検査台２１３０と、が設けられている。なお、電子部品Ｑの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、ＣＬＤやＯＬＥＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種ＭＥＭＳデバイス等が挙げられる。
【００９５】
また、支持台２２００には、支持台２２００に対してＹ軸方向に移動可能なＹステージ２２１０が設けられており、Ｙステージ２２１０には、Ｙステージ２２１０に対してＸ軸方向に移動可能なＸステージ２２２０が設けられており、Ｘステージ２２２０には、Ｘステージ２２２０に対してＺ軸方向に移動可能な電子部品保持部２２３０が設けられている。
【００９６】
また、図１１に示すように、電子部品保持部２２３０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な微調整プレート２２３１と、微調整プレート２２３１に対してＺ軸まわりに回動可能な回動部２２３２と、回動部２２３２に設けられ、電子部品Ｑを保持する保持部２２３３と、を有している。また、電子部品保持部２２３０には、微調整プレート２２３１をＸ軸方向に移動させるための圧電アクチュエーター１（１ｘ）と、微調整プレート２２３１をＹ軸方向に移動させるための圧電アクチュエーター１（１ｙ）と、回動部２２３２をＺ軸まわりに回動させるための圧電アクチュエーター１（１θ）と、が内蔵されている。なお、圧電アクチュエーター１は、圧電アクチュエーター１Ａまたは１Ｂに代えることができる。
【００９７】
以上のような電子部品搬送装置２０００は、圧電アクチュエーター１、１Ａまたは１Ｂを備える。このような電子部品搬送装置２０００によれば、圧電アクチュエーター１、１Ａまたは１Ｂの優れた特性を利用して、電子部品搬送装置２０００の特性を高めることができる。
【００９８】
４．プリンター
図１２は、本発明のプリンターの実施形態を示す斜視図である。
【００９９】
図１２に示すプリンター３０００は、インクジェット記録方式のプリンターである。このプリンター３０００は、装置本体３０１０と、装置本体３０１０の内部に設けられている印刷機構３０２０、給紙機構３０３０および制御部３０４０と、を備えている。
【０１００】
装置本体３０１０には、記録用紙Ｐを設置するトレイ３０１１と、記録用紙Ｐを排出する排紙口３０１２と、液晶ディスプレイ等の操作パネル３０１３とが設けられている。
【０１０１】
印刷機構３０２０は、ヘッドユニット３０２１と、キャリッジモーター３０２２と、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりヘッドユニット３０２１を往復動させる往復動機構３０２３と、を備えている。ヘッドユニット３０２１は、インクジェット式記録ヘッドであるヘッド３０２１ａと、ヘッド３０２１ａにインクを供給するインクカートリッジ３０２１ｂと、ヘッド３０２１ａおよびインクカートリッジ３０２１ｂを搭載したキャリッジ３０２１ｃと、を有している。往復動機構３０２３は、キャリッジ３０２１ｃを往復移動可能に支持しているキャリッジガイド軸３０２３ｂと、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりキャリッジ３０２１ｃをキャリッジガイド軸３０２３ｂ上で移動させるタイミングベルト３０２３ａと、を有している。
【０１０２】
給紙機構３０３０は、互いに圧接している従動ローラー３０３１および駆動ローラー３０３２と、駆動ローラー３０３２を駆動する給紙モーターである圧電駆動装置１００（圧電アクチュエーター１、１Ａまたは１Ｂ）と、を有している。
【０１０３】
制御部３０４０は、例えばパーソナルコンピュータ等のホストコンピュータから入力された印刷データに基づいて、印刷機構３０２０や給紙機構３０３０等を制御する。
【０１０４】
このようなプリンター３０００では、給紙機構３０３０が記録用紙Ｐを一枚ずつヘッドユニット３０２１の下部近傍へ間欠送りする。このとき、ヘッドユニット３０２１が記録用紙Ｐの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Ｐへの印刷が行なわれる。
【０１０５】
以上のようなプリンター３０００は、圧電アクチュエーター１、１Ａまたは１Ｂを備える。このようなプリンター３０００によれば、圧電アクチュエーター１、１Ａまたは１Ｂの優れた特性を利用して、プリンター３０００の特性を高めることができる。
【０１０６】
５．プロジェクター
図１３は、本発明のプロジェクターの実施形態を示す模式図である。
【０１０７】
図１３に示すプロジェクター４０００は、赤色光を出射する光源４１００Ｒと、緑色光を出射する光源４１００Ｇと、青色光を出射する光源４１００Ｂと、レンズアレイ４２００Ｒ、４２００Ｇ、４２００Ｂと、透過型の液晶ライトバルブ（光変調部）４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂと、クロスダイクロイックプリズム４４００と、投射レンズ（投射部）４５００と、圧電駆動装置４７００と、を有している。
【０１０８】
光源４１００Ｒ、４１００Ｇ、４１００Ｂから出射された光は、各レンズアレイ４２００Ｒ、４２００Ｇ、４２００Ｂを介して、液晶ライトバルブ４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂに入射する。各液晶ライトバルブ４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂは、入射した光をそれぞれ画像情報に応じて変調する。
【０１０９】
各液晶ライトバルブ４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂによって変調された３つの色光は、クロスダイクロイックプリズム４４００に入射して合成される。クロスダイクロイックプリズム４４００によって合成された光は、投射光学系である投射レンズ４５００に入射する。投射レンズ４５００は、液晶ライトバルブ４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂによって形成された像を拡大して、スクリーン（表示面）４６００に投射する。これにより、スクリーン４６００上に所望の映像が映し出される。ここで、投射レンズ４５００は、圧電アクチュエーター１、１Ａまたは１Ｂを有する圧電駆動装置４７００に支持されており、圧電駆動装置４７００の駆動により位置および姿勢の変更（位置決め）が可能となっている。これにより、スクリーン４６００に投射される映像の形状や大きさ等を調整することができる。
【０１１０】
なお、上述の例では、光変調部として透過型の液晶ライトバルブを用いたが、液晶以外のライトバルブを用いてもよいし、反射型のライトバルブを用いてもよい。このようなライトバルブとしては、例えば、反射型の液晶ライトバルブや、デジタルマイクロミラーデバイス（Digital Micromirror Device）が挙げられる。また、投射光学系の構成は、使用されるライトバルブの種類によって適宜変更される。また、プロジェクターとしては、光をスクリーン上で走査させることにより、表示面に所望の大きさの画像を表示させる走査型のプロジェクターであってもよい。
【０１１１】
以上のように、プロジェクター４０００は、圧電アクチュエーター１、１Ａまたは１Ｂを備える。このようなプロジェクター４０００によれば、圧電アクチュエーター１、１Ａまたは１Ｂの優れた特性を利用して、プロジェクター４０００の特性を高めることができる。
【０１１２】
以上、本発明の圧電アクチュエーター、圧電駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【０１１３】
また、前述した実施形態では圧電アクチュエーターを圧電駆動装置（圧電モーター）、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターに適用した構成について説明したが、圧電アクチュエーターは、これら以外の各種電子デバイスにも適用することができる。
【符号の説明】
【０１１４】
１…圧電アクチュエーター、１Ａ…圧電アクチュエーター、１Ｂ…圧電アクチュエーター、２…第１振動板、３…第２振動板、４…圧電素子、４Ａ…圧電素子、４Ｂ…圧電素子、４ａ…圧電素子、４ｂ…圧電素子、４ｃ…圧電素子、４ｄ…圧電素子、４ｅ…圧電素子、４ｆ…圧電素子、５…中間部材、７…配線層、８…配線層、１１…振動部、１２…支持部、１３…接続部、１４…伝達部、２４…絶縁層、３４…絶縁層、４１…圧電体、４２…第１電極、４２Ａ…第１電極、４２Ｂ…第１電極、４２ａ…第１電極、４２ｂ…第１電極、４２ｃ…第１電極、４２ｄ…第１電極、４２ｅ…第１電極、４２ｆ…第１電極、４２ｇ…第１電極、４３…第２電極、４４…第３電極、５１…本体、５２…絶縁層、５３…配線、６１…接着剤、６２…接着剤、７１…第１電極、７２…第１配線、８１…第２電極、８２…第２配線、９１…端子、９２…端子、１００…圧電駆動装置、１１０…ローター、１１１…外周面、４２１…第１部分、４２１Ａ…第１部分、４２１Ｂ…第１部分、４２１ａ…部分、４２１ｂ…部分、４２１ｃ…部分、４２２…第２部分、４２２Ｂ…第２部分、４２２ａ…部分、４２２ｂ…部分、１０００…ロボット、１０１０…ベース、１０２０…アーム、１０３０…アーム、１０４０…アーム、１０５０…アーム、１０６０…アーム、１０７０…アーム、１０８０…制御部、１０９０…エンドエフェクター、２０００…電子部品搬送装置、２１００…基台、２１１０…上流側ステージ、２１２０…下流側ステージ、２１３０…検査台、２２００…支持台、２２１０…Ｙステージ、２２２０…Ｘステージ、２２３０…電子部品保持部、２２３１…微調整プレート、２２３２…回動部、２２３３…保持部、３０００…プリンター、３０１０…装置本体、３０１１…トレイ、３０１２…排紙口、３０１３…操作パネル、３０２０…印刷機構、３０２１…ヘッドユニット、３０２１ａ…ヘッド、３０２１ｂ…インクカートリッジ、３０２１ｃ…キャリッジ、３０２２…キャリッジモーター、３０２３…往復動機構、３０２３ａ…タイミングベルト、３０２３ｂ…キャリッジガイド軸、３０３０…給紙機構、３０３１…従動ローラー、３０３２…駆動ローラー、３０４０…制御部、４０００…プロジェクター、４１００Ｂ…光源、４１００Ｇ…光源、４１００Ｒ…光源、４２００Ｂ…レンズアレイ、４２００Ｇ…レンズアレイ、４２００Ｒ…レンズアレイ、４３００Ｂ…液晶ライトバルブ、４３００Ｇ…液晶ライトバルブ、４３００Ｒ…液晶ライトバルブ、４４００…クロスダイクロイックプリズム、４５００…投射レンズ、４６００…スクリーン、４７００…圧電駆動装置、ＣＰ…中心、Ｏ…回動軸、Ｐ…記録用紙、Ｑ…電子部品、ｆａ…周波数、ｆｂ…周波数、ｆｃ…周波数、ｆｄｒ…駆動周波数、ＰＳａ…節、ＰＳｂ…節、ＰＳｃ…節
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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