(57)【要約】【課題】金属シートの外周部の全域にわたり、作動液を還流させることが可能な、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバ用金属シートを提供する。【解決手段】ベーパーチャンバは、第１金属シートと、第１金属シート上に設けられた第２金属シートと、を備えている。第１金属シートおよび第２金属シートのうち少なくとも一方に、作動液の蒸気が通る蒸気流路部が形成され、第１金属シートおよび第２金属シートのうち少なくとも一方に、液状の作動液が通る液流路部が形成されている。第１金属シートに、第１金属シートの周縁に沿って、液状の作動液が通る第１周縁液流路部が形成され、第１周縁液流路部は、第１金属シートの全周にわたって形成されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第１金属シートと、
前記第１金属シートに積層された第２金属シートと、を備え、
前記第１金属シートおよび前記第２金属シートのうち少なくとも一方に、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部が形成され、
前記第１金属シートおよび前記第２金属シートのうち少なくとも一方に、液状の前記作動液が通る液流路部が形成され、
前記第１金属シートに、前記第１金属シートの周縁に沿って、液状の前記作動液が通る第１周縁液流路部が形成され、
前記第１周縁液流路部は、前記第１金属シートの全周にわたって形成されている、ベーパーチャンバ。
【請求項２】
前記第２金属シートに、前記第２金属シートの周縁に沿って、液状の前記作動液が通る第２周縁液流路部が形成され、
前記第１周縁液流路部の少なくとも一部と前記第２周縁液流路部の少なくとも一部とが互いに重なる、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
【請求項３】
前記第１周縁液流路部の幅と、前記第２周縁液流路部の幅とが互いに異なる、請求項２に記載のベーパーチャンバ。
【請求項４】
前記第２金属シートは、導通部を介して前記蒸気流路部に連通する注入流路凹部を有し、前記第２周縁液流路部は、前記導通部を除いて前記第２金属シートの周縁全域にわたって形成されている、請求項２又は３に記載のベーパーチャンバ。
【請求項５】
前記第１周縁液流路部は、互いに平行に延びる複数の主流溝と、互いに隣接する前記主流溝同士を連絡する連絡溝とを有する、請求項１乃至４のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
【請求項６】
前記主流溝および前記連絡溝に取り囲まれるように凸部が形成され、複数の前記凸部が平面視で千鳥状に配置されている、請求項５に記載のベーパーチャンバ。
【請求項７】
前記第２金属シートは、前記第１金属シート上に設けられている、請求項１乃至６のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
【請求項８】
前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートを更に備え、
前記第２金属シートに前記蒸気流路部が形成され、
前記第１金属シートに前記液流路部が形成され、
前記第３金属シートに、前記蒸気流路部と前記液流路部とを連通する連通部が設けられている、請求項１乃至７のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。
【請求項９】
作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第１金属シートと、
前記第１金属シートに積層された第２金属シートと、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートと、備え、
前記第３金属シートは、前記第１金属シートの側に設けられた第１面と、前記第２金属シートの側に設けられた第２面と、を含み、
前記第３金属シートの前記第１面および前記第２面のうち少なくとも一方に、それぞれ前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部が形成され、
前記第３金属シートの前記第１面および前記第２面のうち少なくとも一方に、液状の前記作動液が通る液流路部が形成され、
前記第３金属シートの前記第１面に、前記第３金属シートの周縁に沿って、液状の前記作動液が通る第３周縁液流路部が形成され、
前記第３周縁液流路部は、前記第３金属シートの全周にわたって形成されている、ベーパーチャンバ。
【請求項１０】
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接触した、請求項１乃至９のいずれか一項に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。
【請求項１１】
作動液が封入されたベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
第１面と、
前記第１面とは反対側に設けられた第２面と、を備え、
前記第１面に、前記第１面の周縁に沿って、液状の前記作動液が通る第１周縁液流路部が形成され、
前記第１周縁液流路部は、前記第１面の全周にわたって形成されている、ベーパーチャンバ用金属シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用金属シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）等の発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却されている（例えば、特許文献１参照）。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められており、ヒートパイプよりも薄型化を図ることができるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバ内には、作動液が封入されており、この作動液がデバイスの熱を吸収して外部に放出することで、デバイスの冷却を行っている。
【０００３】
より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動液は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して蒸気になり、その後蒸気が、蒸発部から離れた位置に移動して冷却され、凝縮して液状になる。ベーパーチャンバ内には、液流路部としての毛細管構造（ウィック）が設けられており、液状になった作動液は、この液流路部を通過して蒸発部に輸送され、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することによりデバイスの熱を移動させ、放熱効率を高めている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−５０６８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１においては、シート体の外周に沿ってウィックが配置されている。このため、蒸気通路のどの場所で蒸気が凝縮して作動液になったとしても、その作動液をウィックの毛細管力で受熱部に戻せるようになっている。しかしながら、特許文献１では、注入口（注液ノズル）付近にはウィックを連続的に形成するようになっていないため、とりわけ注入口付近のシート体の外周部において、作動液の還流に支障をきたすおそれがある。
【０００６】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、金属シートの外周部の全域にわたり、作動液を還流させることが可能な、ベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用金属シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、
作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第１金属シートと、
前記第１金属シートに積層された第２金属シートと、を備え、
前記第１金属シートおよび前記第２金属シートのうち少なくとも一方に、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部が形成され、
前記第１金属シートおよび前記第２金属シートのうち少なくとも一方に、液状の前記作動液が通る液流路部が形成され、
前記第１金属シートに、前記第１金属シートの周縁に沿って、液状の前記作動液が通る第１周縁液流路部が形成され、
前記第１周縁液流路部は、前記第１金属シートの全周にわたって形成されている、ベーパーチャンバ、
を提供する。
【０００８】
なお、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第２金属シートに、前記第２金属シートの周縁に沿って、液状の前記作動液が通る第２周縁液流路部が形成され、
前記第１周縁液流路部の少なくとも一部と前記第２周縁液流路部の少なくとも一部とが互いに重なる、
ようにしてもよい。
【０００９】
また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第１周縁液流路部の幅と、前記第２周縁液流路部の幅とが互いに異なる、
ようにしてもよい。
【００１０】
また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第２金属シートは、導通部を介して前記蒸気流路部に連通する注入流路凹部を有し、前記第２周縁液流路部は、前記導通部を除いて前記第２金属シートの周縁全域にわたって形成されている、
ようにしてもよい。
【００１１】
また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第１周縁液流路部は、互いに平行に延びる複数の主流溝と、互いに隣接する前記主流溝同士を連絡する連絡溝とを有する、
ようにしてもよい。
【００１２】
また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記主流溝および前記連絡溝に取り囲まれるように凸部が形成され、複数の前記凸部が平面視で千鳥状に配置されている、
ようにしてもよい。
【００１３】
また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第２金属シートは、前記第１金属シート上に設けられている、
ようにしてもよい。
【００１４】
また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートを更に備え、
前記第２金属シートに前記蒸気流路部が形成され、
前記第１金属シートに前記液流路部が形成され、
前記第３金属シートに、前記蒸気流路部と前記液流路部とを連通する連通部が設けられている、
ようにしてもよい。
【００１５】
また、本発明は
作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第１金属シートと、
前記第１金属シートに積層された第２金属シートと、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートと、備え、
前記第３金属シートは、前記第１金属シートの側に設けられた第１面と、前記第２金属シートの側に設けられた第２面と、を含み、
前記第３金属シートの前記第１面および前記第２面のうち少なくとも一方に、それぞれ前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部が形成され、
前記第３金属シートの前記第１面および前記第２面のうち少なくとも一方に、液状の前記作動液が通る液流路部が形成され、
前記第３金属シートの前記第１面に、前記第３金属シートの周縁に沿って、液状の前記作動液が通る第３周縁液流路部が形成され、
前記第３周縁液流路部は、前記第３金属シートの全周にわたって形成されている、ベーパーチャンバ、
を提供する。
【００１６】
また、本発明は、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接触した、上述のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器、
を提供する。
【００１７】
また、本発明は、
作動液が封入されたベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
第１面と、
前記第１面とは反対側に設けられた第２面と、を備え、
前記第１面に、前記第１面の周縁に沿って、液状の前記作動液が通る第１周縁液流路部が形成され、
前記第１周縁液流路部は、前記第１面の全周にわたって形成されている、ベーパーチャンバ用金属シート、
を提供する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、金属シートの外周部の全域にわたり、作動液を還流させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。
【図３】図３は、図２のベーパーチャンバを示すＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図４は、図２のベーパーチャンバの下側金属シートの上面図である。
【図５】図５は、図２のベーパーチャンバの上側金属シートの下面図である。
【図６】図６は、図４のベーパーチャンバの液流路部および周縁液流路部を示す拡大上面図である。
【図７】図７は、図６のＢ−Ｂ線断面に、上側金属シートを追加して示す断面図である。
【図８】図８は、図６の液流路部および周縁液流路部の変形例を示す拡大上面図である。
【図９】図９は、図６の液流路部および周縁液流路部の他の変形例を示す拡大上面図である。
【図１０】図１０（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第１の形態によるベーパーチャンバの製造方法（前半）を示す図である。
【図１１】図１１（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第１の形態によるベーパーチャンバの製造方法（後半）を示す図である。
【図１２】図１２は、図２のベーパーチャンバの一変形例（変形例１）を示す図である。
【図１３】図１３は、図２のベーパーチャンバの他の変形例（変形例２）を示す図である。
【図１４】図１４は、図３のベーパーチャンバの他の変形例（変形例３）を示す図である。
【図１５】図１５は、図３のベーパーチャンバの他の変形例（変形例４）を示す図である。
【図１６】図１６は、図２のベーパーチャンバの他の変形例（変形例５）を示す図である。
【図１７】図１７は、図２のベーパーチャンバの他の変形例（変形例６）を示す図である。
【図１８】図１８は、図２のベーパーチャンバの他の変形例（変形例７）を示す図である。
【図１９】図１９は、本発明の第２の実施の形態におけるベーパーチャンバを示す断面図である。
【図２０】図２０は、図１９の上側金属シートの下面図である。
【図２１】図２１は、図１９の中間金属シートの上面図である。
【図２２】図２２は、図１９の中間金属シートの下面図である。
【図２３】図２３は、本発明の第３の実施の形態におけるベーパーチャンバを示す断面図である。
【図２４】図２４は、図２３の中間金属シートの上面図である。
【図２５】図２５は、図２３の中間金属シートの下面図である。
【図２６】図２６は、図２３の下側金属シートの上面図である。
【図２７】図２７は、図２３のベーパーチャンバの変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００２１】
また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件および物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。さらに、図面においては、明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載しているが、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待することができる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待することができる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。
【００２２】
（第１の実施の形態）
図１乃至図１８を用いて、本発明の第１の実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用金属シートについて説明する。本実施の形態におけるベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅに収容された発熱体としてのデバイスＤを冷却するために、電子機器Ｅに搭載される装置である。デバイスＤの例としては、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴う電子デバイス（被冷却装置）が挙げられる。
【００２３】
ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（タブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤに熱的に接触するように配置される。このことにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動液２を介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。
【００２４】
次に、本実施の形態におけるベーパーチャンバ１について説明する。ベーパーチャンバ１は、作動液２が封入された密封空間３を有しており、密封空間３内の作動液２が相変化を繰り返すことにより、上述した電子機器ＥのデバイスＤを効果的に冷却するようになっている。
【００２５】
ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形状であってもよい。この場合、ベーパーチャンバ１は、平面外輪郭をなす４つの直線状の外縁１ａ、１ｂを有する。このうち２つの外縁１ａが、後述する第１方向Ｘに沿うように形成され、残りの２つの外縁１ｂが、後述する第２方向Ｙに沿うように形成される。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよく、ベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。また、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状など、任意の形状とすることができる。
【００２６】
図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０（第１金属シートまたは第２金属シート、ベーパーチャンバ用金属シート）と、下側金属シート１０に積層された上側金属シート（第２金属シートまたは第１金属シート、ベーパーチャンバ用金属シート）と、を備えている。本実施の形態では、上側金属シート２０は、下側金属シート１０上に設けられている。下側金属シート１０は、上面１０ａ（第１面）と、上面１０ａとは反対側に設けられた下面１０ｂ（第２面）とを有している。上側金属シート２０は、下側金属シート１０の上面１０ａ（上側金属シート２０の側の面）に重ね合わされた下面２０ａ（下側金属シート１０の側の面）と、下面２０ａとは反対側に設けられた上面２０ｂと、を有している。下側金属シート１０の下面１０ｂ（とりわけ、後述する蒸発部１１の下面）に、冷却対象物であるデバイスＤが取り付けられる。
【００２７】
下側金属シート１０と上側金属シート２０との間には、作動液２が封入された密封空間３が形成されている。本実施の形態では、密封空間３は、主として作動液２の蒸気が通る蒸気流路部８０（後述する下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１）と、主として液状の作動液２が通る液流路部３０および周縁液流路部１８、２７と、を有している。作動液２の例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等が挙げられる。
【００２８】
下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、後述する拡散接合によって接合されている。図２および図３に示す形態では、下側金属シート１０および上側金属シート２０は、平面視でいずれも矩形状に形成されている例が示されているが、これに限られることはない。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（下側金属シート１０の下面１０ｂ）、および受けた熱を放出する面（上側金属シート２０の上面２０ｂ）に直交する方向から見た状態であって、例えば、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態（図２参照）、または下方から見た状態に相当している。
【００２９】
なお、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、便宜上、デバイスＤから熱を受ける金属シートを下側金属シート１０と称し、受けた熱を放出する金属シートを上側金属シート２０と称して、下側金属シート１０が下側に配置され、上側金属シート２０が上側に配置された状態で説明する。
【００３０】
図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、第１方向Ｘにおける一対の端部のうちの一方に、密封空間３に作動液２を注入する注入部４を更に備えている。この注入部４は、下側金属シート１０の端面（図２において外縁１ｂに相当する面）から突出する下側注入突出部１６と、上側金属シート２０の端面（図２において外縁１ｂに相当する面）から突出する上側注入突出部２５と、を有している。このうち下側注入突出部１６の上面（下側金属シート１０の上面１０ａに相当する面）に下側注入流路凹部１７が形成され、上側注入突出部２５の下面（上側金属シート２０の下面２０ａに相当する面）に上側注入流路凹部２６が形成されている。下側注入流路凹部１７は、下側蒸気流路凹部１２に連通しており、上側注入流路凹部２６は、上側蒸気流路凹部２１に連通している。下側注入流路凹部１７および上側注入流路凹部２６は、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが接合された際、一体となって作動液２の注入流路を形成する。作動液２は、当該注入流路を通過して密封空間３に注入される。なお、本実施の形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１の第１方向Ｘにおける一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、任意の位置に設けることができる。また、２つ以上の注入部４が設けられるようにしてもよい。
【００３１】
図４に示すように、下側金属シート１０は、作動液２が蒸発して蒸気を生成する蒸発部１１と、上面１０ａに設けられ、平面視で矩形状に形成された下側蒸気流路凹部１２（第１蒸気流路部）と、を有している。このうち下側蒸気流路凹部１２は、上述した密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通るように構成されている。
【００３２】
蒸発部１１は、この下側蒸気流路凹部１２内に配置されており、下側蒸気流路凹部１２内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。なお、蒸発部１１は、下側金属シート１０の下面１０ｂに取り付けられるデバイスＤから熱を受けて、密封空間３内の作動液２が蒸発する部分である。このため、蒸発部１１という用語は、デバイスＤに重なっている部分に限られる概念ではなく、デバイスＤに重なっていなくても作動液２が蒸発可能な部分をも含む概念として用いている。ここで蒸発部１１は、下側金属シート１０の任意の場所に設けることができるが、図２および図４においては、下側金属シート１０の中央部に設けられている例が示されている。この場合、ベーパーチャンバ１が設置されたモバイル端末の姿勢によらずに、ベーパーチャンバ１の動作の安定化を図ることができる。
【００３３】
本実施の形態では、図３および図４に示すように、下側金属シート１０の下側蒸気流路凹部１２内に、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａ（後述）から上方（底面１２ａに垂直な方向）に突出する複数の下側流路壁部１３（第１流路突出部）が設けられている。本実施の形態では、下側流路壁部１３が、ベーパーチャンバ１の第１方向Ｘ（長手方向、図４における左右方向）に沿って細長状に延びている例が示されている。この下側流路壁部１３は、後述する上側流路壁部２２の下面２２ａに当接する上面１３ａ（当接面、突出端面）を含んでいる。この上面１３ａは、後述するエッチング工程によってエッチングされない面であり、下側金属シート１０の上面１０ａと同一平面上に形成されている。また、各下側流路壁部１３は等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。
【００３４】
図３および図４に示すように、下側蒸気流路凹部１２は、下側流路壁部１３によって区画された複数の下側蒸気通路８１（第１蒸気通路）を含んでいる。下側蒸気通路８１は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、互いに平行に配置されている。各下側蒸気通路８１の両端部は、第２方向Ｙに沿って細長状に延びる下側連絡蒸気通路８２に連通しており、各下側蒸気通路８１が、下側連絡蒸気通路８２を介して連通している。このようにして、各下側流路壁部１３の周囲（下側蒸気通路８１および下側連絡蒸気通路８２）を作動液２の蒸気が流れて、下側蒸気流路凹部１２の周縁部に蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。なお、図３においては、下側蒸気流路凹部１２の下側蒸気通路８１の横断面（第２方向Ｙにおける断面）形状が、矩形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、下側蒸気通路８１の横断面形状は、例えば、湾曲状、半円状、Ｖ字状であってもよく、作動液２の蒸気を拡散することができれば任意である。下側連絡蒸気通路８２も同様である。下側蒸気通路８１の幅（第２方向Ｙの寸法）ｗ７は、後述する下側流路壁部１３同士の間隔に相当する。下側連絡蒸気通路８２の幅（第１方向Ｘの寸法）も同様である。
【００３５】
上述したように、各下側蒸気通路８１は、下側連絡蒸気通路８２を介して互いに連通している。このことにより、作動液２の蒸気は、下側蒸気通路８１同士の間で往来可能になっている。このため、作動液２の蒸気をより一層拡散させることができる。
【００３６】
下側流路壁部１３は、上側金属シート２０の対応する上側流路壁部２２（後述）に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。下側蒸気通路８１は、対応する上側蒸気通路８３（後述）に平面視で重なるように形成されている。同様に、下側連絡蒸気通路８２は、対応する上側連絡蒸気通路８４（後述）に平面視で重なるように形成されている。
【００３７】
下側流路壁部１３の幅ｗ０は、例えば、０．０５ｍｍ〜３０ｍｍ、好ましくは０．０５ｍｍ〜２．０ｍｍであり、互いに隣り合う下側流路壁部１３同士の間隔ｄは、０．０５ｍｍ〜３０ｍｍ、好ましくは０．０５ｍｍ〜２．０ｍｍである。ここで、幅ｗ０は、下側流路壁部１３の第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙにおける下側流路壁部１３の寸法であって、下側金属シート１０の上面１０ａにおける寸法を意味しており、例えば、図４における上下方向の寸法に相当する。また、下側流路壁部１３の高さ（言い換えると、下側蒸気流路凹部１２の最大深さ）ｈ０（図３参照）は、下側金属シート１０の厚さＴ１より少なくとも１０μｍ以上小さいことが好ましい。Ｔ１からｈ０を引いた残りを１０μｍ以上にすると、下側蒸気流路凹部１２が強度不足により破損することを防止できる。ベーパーチャンバ１の厚さは、０．１ｍｍ〜２．０ｍｍとしてもよく、下側金属シート１０の厚さＴ１および上側金属シート２０の厚さＴ２は等しくてもよい。例えば、ベーパーチャンバ１の厚さが０．５ｍｍでＴ１とＴ２が同じ場合、ｈ０は２００μｍが好適である。
【００３８】
図３および図４に示すように、下側金属シート１０の周縁部には、下側周縁壁１４が設けられている。下側周縁壁１４は、密封空間３、とりわけ下側蒸気流路凹部１２を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で下側周縁壁１４の四隅に、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めをするための下側アライメント孔１５がそれぞれ設けられている。
【００３９】
また、下側周縁壁１４のうち、下側蒸気流路凹部１２側の領域に、液状の作動液２が通る環形状の下側周縁液流路部１８（第１周縁液流路部又は第２周縁液流路部）が形成されている。この下側周縁液流路部１８は、平面視で、下側周縁壁１４の内側部分において、下側金属シート１０の周縁に沿って形成されている。下側周縁液流路部１８は、密封空間３、とりわけ下側蒸気流路凹部１２を囲むように形成されている。すなわち、平面視で、液流路部３０と下側周縁液流路部１８との間に、下側蒸気流路凹部１２の下側蒸気通路８１または下側連絡蒸気通路８２が介在されており、液流路部３０と下側周縁液流路部１８とは分断されている。また、下側周縁液流路部１８は、平面視で矩形の環形状を有しており、その各辺は第１方向Ｘ又は第２方向Ｙに対して平行となっている。
【００４０】
図４に示すように、下側周縁液流路部１８は、下側金属シート１０の全周にわたって形成されている。すなわち、下側周縁液流路部１８は、矩形状の下側金属シート１０を構成する４つの辺の全てに途切れることなく形成されている。また下側周縁液流路部１８は、下側注入流路凹部１７で形成される作動液２の注入流路を横切るように形成されており、この下側注入流路凹部１７の近傍においても作動液２を環流することが可能となっている。なお、図４において、下側注入流路凹部１７は、下側周縁液流路部１８の幅方向（第１方向Ｘ）途中まで進入しているが、これに限らず、下側注入流路凹部１７が下側周縁液流路部１８に進入していなくてもよい。
【００４１】
この下側周縁液流路部１８は、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａから上方（底面１２ａに垂直な方向）に突出する環状の下側周縁壁１４の一部（内側部分）に形成されている。下側周縁壁１４は、後述する上側周縁壁２３の下面２３ａに当接する上面１４ａを有している。この上面１４ａは、後述するエッチング工程によってエッチングされない面であり、下側金属シート１０の上面１０ａと同一平面上に形成されている。
【００４２】
なお、下側周縁液流路部１８の幅ｗ７は、例えば、０．０３ｍｍ〜３０ｍｍ、好ましくは０．０３ｍｍ〜２．０ｍｍである。ここで、幅ｗ７は、平面視で下側周縁液流路部１８の長手方向に垂直な方向の寸法を意味する。下側周縁液流路部１８の第１方向Ｘに平行な部分では、幅ｗ７は第２方向Ｙの寸法を意味し、第２方向Ｙに平行な部分では、幅ｗ７は第１方向Ｘの寸法を意味する。また、下側周縁壁１４の高さは、下側流路壁部１３の高さと同一であり、１０μｍ〜２００μｍであることが好適である。
【００４３】
本実施の形態では、上側金属シート２０は、後述する液流路部３０が設けられておらず、上側周縁液流路部２７の構成が異なる点で、下側金属シート１０と相違している。以下に、上側金属シート２０の構成についてより詳細に説明する。
【００４４】
図３および図５に示すように、上側金属シート２０は、下面２０ａに設けられた上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路部）を有している。この上側蒸気流路凹部２１は、密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気を拡散して冷却するように構成されている。より具体的には、上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。また、図３に示すように、上側金属シート２０の上面２０ｂには、モバイル端末等のハウジングの一部を構成するハウジング部材Ｈａが配置される。これにより、上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、上側金属シート２０およびハウジング部材Ｈａを介して外気によって冷却される。
【００４５】
本実施の形態では、図２、図３および図５に示すように、上側金属シート２０の上側蒸気流路凹部２１内に、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａから下方（底面２１ａに垂直な方向）に突出する複数の上側流路壁部２２（第２流路壁部、第２流路突出部）が設けられている。本実施の形態では、上側流路壁部２２がベーパーチャンバ１の第１方向Ｘ（図５における左右方向）に沿って細長状に延びている例が示されている。この上側流路壁部２２は、下側金属シート１０の上面１０ａ（より具体的には、上述した下側流路壁部１３の上面１３ａ）に当接する平坦状の下面２２ａ（当接面、突出端面）を含んでいる。また、各上側流路壁部２２は、等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。
【００４６】
図３および図５に示すように、上側蒸気流路凹部２１は、上側流路壁部２２によって区画された複数の上側蒸気通路８３（第２蒸気通路）を含んでいる。上側蒸気通路８３は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、互いに平行に配置されている。各上側蒸気通路８３の両端部は、第２方向Ｙに沿って細長状に延びる上側連絡蒸気通路８４に連通しており、各上側蒸気通路８３が、上側連絡蒸気通路８４を介して連通している。このようにして、各上側流路壁部２２の周囲（上側蒸気通路８３および上側連絡蒸気通路８４）を作動液２の蒸気が流れて、上側蒸気流路凹部２１の周縁部に向かって蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。なお、図３においては、上側蒸気流路凹部２１の上側蒸気通路８３の横断面（第２方向Ｙにおける断面）形状が、矩形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、上側蒸気通路８３の横断面形状は、例えば、湾曲状、半円状、Ｖ字状であってもよく、作動液２の蒸気を拡散することができれば任意である。上側連絡蒸気通路８４の横断面形状も同様である。上側蒸気通路８３の幅（第２方向Ｙの寸法）および上側連絡蒸気通路８４の幅は、図３等に示すように、下側蒸気通路８１の幅および下側連絡蒸気通路８２の幅と同様であってもよいが、異なっていてもよい。
【００４７】
上述したように、各上側蒸気通路８３は、上側連絡蒸気通路８４を介して互いに連通している。このことにより、作動液２の蒸気は、上側蒸気通路８３同士の間で往来可能になっている。このため、作動液２の蒸気をより一層拡散させることができる。
【００４８】
上側流路壁部２２は、下側金属シート１０の対応する下側流路壁部１３に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。また、上側蒸気通路８３は、対応する下側蒸気通路８１に平面視で重なるように形成されている。同様に、上側連絡蒸気通路８４は、対応する下側連絡蒸気通路８２に平面視で重なるように形成されている。
【００４９】
なお、上側流路壁部２２の幅、高さは、それぞれ上述した下側流路壁部１３の幅ｗ０、高さｈ０と同一であることが好適である。ここで、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａは、図３に示すような下側金属シート１０と上側金属シート２０との上下配置関係では、天井面と言うこともできるが、上側蒸気流路凹部２１の奥側の面に相当するため、本明細書では、底面２１ａと記す。
【００５０】
図３および図５に示すように、上側金属シート２０の周縁部には、上側周縁壁２３が設けられている。上側周縁壁２３は、密封空間３、とりわけ上側蒸気流路凹部２１を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で上側周縁壁２３の四隅に、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めをするための上側アライメント孔２４がそれぞれ設けられている。すなわち、各上側アライメント孔２４は、後述する仮止め時に、上述した各下側アライメント孔１５に重なるように配置され、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めが可能に構成されている。
【００５１】
また、図３および図５に示すように、上側周縁壁２３のうち、上側蒸気流路凹部２１側の領域に、液状の作動液２が通る環形状の上側周縁液流路部２７（第２周縁液流路部又は第１周縁液流路部）が形成されている。この上側周縁液流路部２７は、平面視で、上側周縁壁２３の内側部分において、上側金属シート２０の周縁に沿って形成されている。上側周縁液流路部２７は、密封空間３、とりわけ上側蒸気流路凹部２１を囲むように形成されている。すなわち、平面視で、液流路部３０と上側周縁液流路部２７との間に、上側蒸気流路凹部２１の上側蒸気通路８３または上側連絡蒸気通路８４が介在されており、液流路部３０と上側周縁液流路部２７とは分断されている。また、上側周縁液流路部２７は、平面視で矩形の環形状を有しており、その各辺は第１方向Ｘ又は第２方向Ｙに対して平行となっている。
【００５２】
図５に示すように、上側周縁液流路部２７は、上側金属シート２０のうち、上側注入流路凹部２６と上側蒸気流路凹部２１とを接続する導通部２８を除く周縁全域にわたって形成されている。すなわち、上側周縁液流路部２７は、上側注入流路凹部２６から作動液２を注入する導通部２８で部分的に途切れている。このため、後述する封入工程において、上側注入流路凹部２６から、導通部２８を介して上側蒸気流路凹部２１に作動液２を注入可能となっている。一方、上側周縁液流路部２７は、導通部２８を除いて上側金属シート２０の周縁全域にわたって形成されているため、上側金属シート２０の周縁の略全域で作動液２を蒸発部１１側に還流することが可能となっている。
【００５３】
この上側周縁液流路部２７は、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａから下方（底面２１ａに垂直な方向）に突出する環状の上側周縁壁２３の一部（内側部分）に形成されている。上側周縁壁２３は、下側周縁壁１４の上面１４ａに当接する下面２３ａを有している。この下面２３ａは、後述するエッチング工程によってエッチングされない面であり、上側金属シート２０の下面２０ａと同一平面上に形成されている。
【００５４】
なお、上側周縁液流路部２７の幅ｗ８は、例えば、０．０２ｍｍ〜２０ｍｍ、好ましくは０．０２ｍｍ〜１．５ｍｍである。ここで、幅ｗ８は、平面視で上側周縁液流路部２７の長手方向に垂直な方向の寸法を意味する。上側周縁液流路部２７の第１方向Ｘに平行な部分では、幅ｗ８は第２方向Ｙの寸法を意味し、第２方向Ｙに平行な部分では、幅ｗ８は第１方向Ｘの寸法を意味する。また、上側周縁壁２３の高さは、上側流路壁部２２の高さと同一であり、１０μｍ〜２００μｍであることが好適である。
【００５５】
また、図３乃至図５に示すように、下側金属シート１０の下側周縁液流路部１８の幅ｗ７は、上側金属シート２０の上側周縁液流路部２７の幅ｗ８よりも広くなっている（ｗ７＞ｗ８）。具体的には、導通部２８を除く周縁全域にわたって、下側周縁液流路部１８の幅ｗ７は、上側周縁液流路部２７の幅ｗ８よりも広くなっている。下側周縁液流路部１８の幅ｗ７と上側周縁液流路部２７の幅ｗ８との差（ｗ７−ｗ８）は、０．０１ｍｍ〜１ｍｍとしてもよい。下側周縁液流路部１８は、平面視で、上側周縁液流路部２７よりも内側に向けてはみ出しており、このはみ出した下側周縁液流路部１８の内側部分１８ａは、上側周縁液流路部２７に接触することなく、上側蒸気流路凹部２１に対向している。一方、下側周縁液流路部１８の外周縁は、上側周縁液流路部２７の外周縁と平面視で同一の位置に配置される。このように、上側蒸気流路凹部２１側にはみ出した下側周縁液流路部１８の内側部分１８ａに上側蒸気流路凹部２１内の作動液２の蒸気が直接的に凝縮することができ、作動液２の凝縮および環流を安定的に行うことができる。なお、これに限らず、上側周縁液流路部２７の幅ｗ８が下側周縁液流路部１８の幅ｗ７と同一であってもよく、上側周縁液流路部２７の幅ｗ８が下側周縁液流路部１８の幅ｗ７より広くてもよい。
【００５６】
また、本実施の形態において、下側金属シート１０の下側周縁液流路部１８の一部と、上側金属シート２０の上側周縁液流路部２７の一部とは、平面視で互いに重なっている。具体的には、下側周縁液流路部１８の内側部分１８ａおよび導通部２８を除き、下側周縁液流路部１８と上側周縁液流路部２７とが互いに重なっている。これにより、下側周縁液流路部１８と上側周縁液流路部２７とによって作動液２の還流を効率的に行うことができる。
【００５７】
このような下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、好適には拡散接合で、互いに恒久的に接合されている。より具体的には、図３に示すように、下側金属シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと、上側金属シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが当接し、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とが互いに接合されている。これにより、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に、作動液２を密封した密封空間３が形成されている。また、金属シート１０、２０の周縁において、下側周縁液流路部１８と上側周縁液流路部２７との間で作動液２の凝縮および環流を効果的に行うことができる。さらに、下側金属シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが当接し、各下側流路壁部１３と対応する上側流路壁部２２とが互いに接合されている。これにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。とりわけ、本実施の形態による下側流路壁部１３および上側流路壁部２２は等間隔に配置されているため、ベーパーチャンバ１の各位置における機械的強度を均等化させることができる。なお、下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に、下側金属シート１０の上面１０ａと上側金属シート２０の下面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する用語として用いている。
【００５８】
次に、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７の構成について、図６および図７を用いてより詳細に説明する。
【００５９】
図６は、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７の拡大平面図であり、図７は、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７の断面図である。本実施の形態において、液流路部３０、下側周縁液流路部１８および上側周縁液流路部２７の形状が互いに同一である場合を例にとって説明するが、液流路部３０、下側周縁液流路部１８および上側周縁液流路部２７の形状が互いに異なっていてもよい。
【００６０】
上述したように、下側金属シート１０の上面１０ａ（より具体的には、各下側流路壁部１３の上面１３ａ）に、液状の作動液２が通る液流路部３０が設けられている。また、金属シート１０、２０の周縁に沿って、それぞれ液状の作動液２が通る周縁液流路部１８、２７が設けられている。液流路部３０および周縁液流路部１８、２７は、上述した密封空間３の一部を構成しており、下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１に連通している。なお、液流路部３０は、全ての下側流路壁部１３に設けられていることには限られない。例えば、液流路部３０が設けられていない下側流路壁部１３が存在してもよい。
【００６１】
図６に示すように、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７はそれぞれ、互いに平行に延びる複数の主流溝３１と、互いに隣接する主流溝３１同士を連絡する連絡溝３２とを有している。液流路部３０および周縁液流路部１８、２７のうち第１方向Ｘに平行な部分では、主流溝３１は、作動液２の主流方向（この場合は第１方向Ｘ）に沿って延びている。また、連絡溝３２は、作動液２の主流方向に直交する方向（この場合は第２方向Ｙ）に沿って延びており、互いに隣接する主流溝３１同士の間で作動液２が往来可能となっている。主流溝３１および連絡溝３２にはそれぞれ、液状の作動液２が通る。主流溝３１および連絡溝３２は、主として、蒸発部１１で生成された蒸気から凝縮した作動液２を蒸発部１１に向けて輸送する役割を果たす。なお、図６において、便宜上、下側周縁液流路部１８と上側周縁液流路部２７との両方を示しているが、実際には、下側周縁液流路部１８と上側周縁液流路部２７とは上下方向に互いに重なっている。周縁液流路部１８、２７のうち第２方向Ｙに平行な部分では、作動液２の主流方向（この場合は第２方向Ｙ）に沿って延びている。連絡溝３２は、第１方向Ｘに沿って延びている。
【００６２】
また、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７には、複数の凸部３３が平面視で千鳥状に配置されている。各凸部３３は、それぞれ主流溝３１および連絡溝３２に取り囲まれるように形成されている。図６においては、複数の凸部３３は互いに同一形状を有し、各凸部３３は、平面視で第１方向Ｘが長手方向となるように矩形状に形成されている。本実施の形態において、作動液２の主流方向（この場合は第１方向Ｘ）に沿う凸部３３の配列ピッチは一定となっている。すなわち複数の凸部３３は、第１方向Ｘに互いに一定間隔で配置され、第２方向Ｙに隣接する凸部３３に対しては、凸部３３の略半分の長さだけ第１方向Ｘにずらして配置されている。
【００６３】
主流溝３１の幅（第２方向Ｙの寸法）ｗ１は、凸部３３の幅（第２方向Ｙの寸法）ｗ２よりも大きいことが好適である。この場合、下側流路壁部１３の上面１３ａ、下側周縁壁１４の上面１４ａおよび上側周縁壁２３の下面２３ａに占める主流溝３１の割合を大きくすることができる。このため、下側流路壁部１３、下側周縁壁１４および上側周縁壁２３における主流溝３１の流路密度を増大させて、液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。例えば、主流溝３１の幅ｗ１を２０μｍ〜２００μｍ、凸部３３の幅ｗ２を２０μｍ〜１８０μｍとしてもよい。
【００６４】
主流溝３１の深さｈ１は、上述した下側流路壁部１３の高さｈ０（図３参照）よりも小さいことが好適である。この場合、主流溝３１の毛細管作用を高めることができる。例えば、主流溝３１の深さｈ１は、下側流路壁部１３の高さｈ０の半分程度が好ましく、５μｍ〜２００μｍとしてもよい。
【００６５】
また、連絡溝３２の幅（第１方向Ｘの寸法）ｗ３は、主流溝３１の幅ｗ１よりも小さいことが好適である。これにより、各主流溝３１において蒸発部１１に向かって液状の作動液２が輸送されている間、作動液２が連絡溝３２に流れることを抑制でき、作動液２の輸送機能を向上させることができる。一方、主流溝３１のいずれかにドライアウトが発生した場合には、隣の主流溝３１から対応する連絡溝３２を介して作動液２を移動させることができ、ドライアウトを迅速に解消して、作動液２の輸送機能を確保することができる。すなわち、連絡溝３２は、隣り合う主流溝３１同士を連通することができれば、主流溝３１の幅ｗ１よりも小さくても、その機能を発揮することができる。このような連絡溝３２の幅ｗ３は、例えば５０μｍとしてもよい。
【００６６】
連絡溝３２の深さ（図示せず）は、その幅ｗ３に応じて、主流溝３１の深さよりも浅くしてもよい。例えば、連絡溝３２の深さは、１０μｍ〜２００μｍとしてもよい。また、主流溝３１の横断面形状は、特に限られることはなく、例えば矩形状、Ｃ字状、半円状、半楕円状、湾曲状、Ｖ字状にすることができる。連絡溝３２の横断面形状も同様である。
【００６７】
図７に示すように、液流路部３０は、下側金属シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａに形成されている。一方、本実施の形態では、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａは、平坦状に形成されている。これにより、液流路部３０の各主流溝３１は、平坦状の下面２２ａによって覆われている。この場合、図７に示すように、第１方向Ｘに延びる主流溝３１の一対の側壁３５、３６と上側流路壁部２２の下面２２ａとにより、直角状あるいは鋭角状の一対の角部３７を形成することができ、この角部３７における毛細管作用を高めることができる。
【００６８】
また、下側周縁壁１４の上面１４ａと上側周縁壁２３の下面２３ａとは、互いに接触しており、これにより、下側周縁液流路部１８の少なくとも一部と、上側周縁液流路部２７の少なくとも一部とが互いに重なっている。この場合、周縁液流路部１８、２７が重なっている領域において、下側周縁液流路部１８の主流溝３１、連絡溝３２および凸部３３は、それぞれ上側周縁液流路部２７の主流溝３１、連絡溝３２および凸部３３と重なっている。すなわち、下側周縁液流路部１８の主流溝３１、連絡溝３２および凸部３３は、それぞれ上側周縁液流路部２７の主流溝３１、連絡溝３２および凸部３３と鏡面対称に配置されている。下側周縁液流路部１８の主流溝３１と上側周縁液流路部２７の主流溝３１とが互いに対向して配置されていることにより、下側周縁壁１４および上側周縁壁２３における主流溝３１の断面積が増大し、液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。しかしながら、これに限らず、下側周縁液流路部１８の主流溝３１、連絡溝３２および凸部３３の少なくとも一部が、上側周縁液流路部２７の主流溝３１、連絡溝３２および凸部３３の少なくとも一部とずれて配置されていてもよい。
【００６９】
本実施の形態において、液流路部３０は、下側金属シート１０のみに形成されている。また、蒸気流路凹部１２、２１および周縁液流路部１８、２７は、下側金属シート１０および上側金属シート２０の両方にそれぞれ形成されている。しかしながら、これに限られるものではなく、液流路部３０、蒸気流路凹部１２、２１および周縁液流路部１８、２７は、それぞれ下側金属シート１０および上側金属シート２０のうち少なくとも一方に形成されていればよい。
【００７０】
なお、下側金属シート１０の液流路部３０および周縁液流路部１８、２７の形状は上記に限られるものではない。
【００７１】
例えば、図８に示すように、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７は、互いに平行に延びる複数の主流溝３１と、互いに隣接する主流溝３１の間に構成された細長状の凸部３３Ａとを有していてもよい。この場合、各凸部３３Ａは、作動液２の主流方向（この場合は第１方向Ｘ）に沿って、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７の長手方向の略全域にわたって延びている。これにより、各主流溝３１において蒸発部１１に向かって液状の作動液２を効率良く輸送することができる。なお、図示していないが、凸部３３Ａの一部に連絡溝を設け、この連絡溝によって、各主流溝３１を下側蒸気流路凹部１２又は上側蒸気流路凹部２１に対して連通させるようにしてもよい。
【００７２】
あるいは、図９に示すように、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７は、それぞれ金属シート１０、２０に形成された凹部３８内に充填された毛細管構造部材３９を有していてもよい。この毛細管構造部材３９は、毛細管現象によって液状の作動液２を蒸発部１１に向けて流すための部材であり、金属シート１０、２０とは別体に構成されている。このような毛細管構造部材３９としては、例えば金属メッシュ、金属粉、金属不織布等が挙げられる。
【００７３】
下側金属シート１０および上側金属シート２０に用いる材料としては、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、例えば、銅（無酸素銅）または銅合金を用いることが好適である。この場合、下側金属シート１０および上側金属シート２０の熱伝導率を高め、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高めることができる。また、ベーパーチャンバ１の厚さは、０．１ｍｍ〜２．０ｍｍとしてもよい。図３では、下側金属シート１０の厚さＴ１および上側金属シート２０の厚さＴ２が等しい場合を示しているが、これに限られることはなく、下側金属シート１０の厚さＴ１と上側金属シート２０の厚さＴ２は、等しくなくてもよい。ベーパーチャンバ１の全体の大きさ（金属シート１０、２０の全体の大きさ）は、１ｃｍ×３ｃｍ程度〜１５ｃｍ角程度である。
【００７４】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。ここでは、まず、ベーパーチャンバ１の製造方法について、図１０（ａ）〜（ｃ）および図１１（ａ）〜（ｃ）を用いて説明するが、上側金属シート２０のハーフエッチング工程の説明は簡略化する。なお、図１０（ａ）〜（ｃ）および図１１（ａ）〜（ｃ）では、図３の断面図と同様の断面を示している。
【００７５】
まず、図１０（ａ）に示すように、準備工程として、平板状の金属材料シートＭを準備する。
【００７６】
続いて、図１１（ｂ）に示すように、金属材料シートＭの上面Ｍａおよび下面Ｍｂに、それぞれフォトリソグラフィー法によりレジスト膜４１を形成する。金属材料シートＭの上面Ｍａに形成されたレジスト膜４１は、下側流路壁部１３および下側周縁壁１４に対応するパターン形状を有している。
【００７７】
次に、図１１（ｃ）に示すように、金属材料シートＭがハーフエッチングされて、密封空間３の一部を構成する下側蒸気流路凹部１２が形成される。これにより、金属材料シートＭの上面Ｍａのうち、レジスト膜４１のレジスト開口４１ａに対応する部分がハーフエッチングされる。その後、金属材料シートＭからレジスト膜４１が除去される。この結果、図１１（ｃ）に示すように、下側蒸気流路凹部１２、下側流路壁部１３および下側周縁壁１４が形成される。同時に、ハーフエッチングにより、下側流路壁部１３に液流路部３０が形成され、下側周縁壁１４に下側周縁液流路部１８が形成される。なお、レジスト開口４１ａのうち、液流路部３０および下側周縁液流路部１８の主流溝３１および連絡溝３２に対応する部分の幅は狭いため、エッチング液の回り込みが少ない。このため、主流溝３１および連絡溝３２の深さは、下側蒸気流路凹部１２の深さよりも浅く形成される。また、この際、図２および図４に示す下側注入流路凹部１７も同時に形成され、図４に示すような所定の外形輪郭形状をもつ下側金属シート１０が得られる。
【００７８】
なお、ハーフエッチングとは、被エッチング材料をその厚み方向に途中までエッチングし、被エッチング材料を貫通しない凹部を形成するためのエッチングを意味している。このため、ハーフエッチングにより形成される凹部の深さは、被エッチング材料の厚さの半分に限られない。ハーフエッチング後の被エッチング材料の厚みは、ハーフエッチング前の被エッチング材料の厚みの例えば３０％〜７０％、好ましくは４０％〜６０％となる。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。
【００７９】
なお、はじめに金属材料シートＭにハーフエッチングにより下側蒸気流路凹部１２を形成し（第１ハーフエッチング工程）、その後、別のエッチング工程（第２ハーフエッチング工程）で、金属材料シートＭに液流路部３０および周縁液流路部１８、２７を形成してもよい。
【００８０】
一方、図示しないが、下側金属シート１０と同様にして、上側金属シート２０が下面２０ａからハーフエッチングされて、上側蒸気流路凹部２１、上側流路壁部２２および上側周縁壁２３が形成される。同時に、ハーフエッチングにより、上側周縁壁２３に上側周縁液流路部２７が形成される。このようにして、上述した上側金属シート２０が得られる。
【００８１】
次に、図１１（ａ）に示すように、仮止め工程として、下側蒸気流路凹部１２を有する下側金属シート１０と、上側蒸気流路凹部２１を有する上側金属シート２０とを対向させて仮止めする。
【００８２】
この場合、まず、下側金属シート１０の下側アライメント孔１５（図２および図４参照）と上側金属シート２０の上側アライメント孔２４（図２および図５参照）とを利用して、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが位置決めされる。続いて、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが固定される。固定の方法としては、特に限られることはないが、例えば、下側金属シート１０と上側金属シート２０とに対して抵抗溶接を行うことによって下側金属シート１０と上側金属シート２０とを固定してもよい。この場合、図１１（ａ）に示すように、電極棒４０を用いてスポット的に抵抗溶接を行うことが好適である。抵抗溶接の代わりにレーザ溶接を行ってもよい。あるいは、超音波を照射して下側金属シート１０と上側金属シート２０とを超音波接合して固定してもよい。さらには、接着剤を用いてもよいが、有機成分を有しないか、若しくは有機成分が少ない接着剤を用いることが好適である。このようにして、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが、位置決めされた状態で固定される。
【００８３】
仮止めの後、図１１（ｂ）に示すように、恒久接合工程として、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、接合する下側金属シート１０と上側金属シート２０とを密着させ、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、各金属シート１０、２０を密着させる方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、下側金属シート１０および上側金属シート２０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各金属シート１０、２０が溶融して変形することを回避できる。より具体的には、下側金属シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと上側金属シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが、接合面となって拡散接合される。これにより、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とによって、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に密封空間３が形成される。また、下側注入流路凹部１７（図２および図４参照）と上側注入流路凹部２６（図２および図５参照）とによって、密封空間３に連通する作動液２の注入流路が形成される。さらに、下側金属シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが、接合面となって拡散接合され、ベーパーチャンバ１の機械的強度が向上する。下側流路壁部１３の上面１３ａに形成された液流路部３０は、液状の作動液２の流路として残存する。
【００８４】
恒久的な接合の後、図１１（ｃ）に示すように、封入工程として、注入部４（図２参照）から密封空間３に作動液２が注入される。この際、まず、密封空間３が真空引きされて減圧され（例えば、５Ｐａ以下、好ましくは１Ｐａ以下）、その後、密封空間３に作動液２が注入される。注入時、作動液２は、下側注入流路凹部１７と上側注入流路凹部２６とにより形成された注入流路および導通部２８を通過する。例えば、作動液２の封入量は、ベーパーチャンバ１内部の液流路部３０の構成にもよるが、密封空間３の全体積に対して１０％〜４０％としてもよい。
【００８５】
作動液２の注入の後、上述した注入流路が封止される。この場合、例えば、注入部４にレーザを照射し、注入部４を部分的に溶融させて注入流路を封止してもよい。あるいは、注入部４をカシメにより閉塞して密封空間３を密閉してもよい。これにより、密封空間３と外気との連通が遮断され、作動液２が密封空間３に封入される。このようにして、密封空間３内の作動液２が外部に漏洩することが防止される。
【００８６】
以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。
【００８７】
なお、本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１を、主としてエッチングによって製造する例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、３Ｄプリンタで製造してもよい。例えば、ベーパーチャンバ１をまとめて一度に３Ｄプリンタで製造してもよく、あるいは、各金属シート１０、２０を別々に３Ｄプリンタで製造して、その後に接合してもよい。
【００８８】
次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。
【００８９】
上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジング内に設置されるとともに、下側金属シート１０の下面１０ｂに、被冷却対象物であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる。密封空間３内に注入された作動液２の量は少ないため、密封空間３内の液状の作動液２は、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、下側蒸気流路凹部１２の壁面、上側蒸気流路凹部２１の壁面、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７の壁面に付着する。
【００９０】
この状態でデバイスＤが発熱すると、下側蒸気流路凹部１２のうち蒸発部１１に存在する作動液２が、デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２が蒸発（気化）し、作動液２の蒸気が生成される。生成された蒸気の多くは、密封空間３を構成する下側蒸気流路凹部１２内および上側蒸気流路凹部２１内で拡散する（図４の実線矢印参照）。上側蒸気流路凹部２１内および下側蒸気流路凹部１２内の蒸気は、蒸発部１１から離れ、蒸気の多くは、比較的温度の低いベーパーチャンバ１の周縁部に輸送される。拡散した蒸気は、下側金属シート１０および上側金属シート２０に放熱して冷却される。下側金属シート１０および上側金属シート２０が蒸気から受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。
【００９１】
蒸気は、下側金属シート１０および上側金属シート２０に放熱することにより、蒸発部１１において吸収した潜熱を失って凝縮する。凝縮して液状になった作動液２は、下側蒸気流路凹部１２の壁面または上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着する。ここで、蒸発部１１では作動液２が蒸発し続けているため、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７のうち、蒸発部１１以外の部分における作動液２は、蒸発部１１に向かって輸送される（図４の破線矢印参照）。これにより、下側蒸気流路凹部１２の壁面および上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着した液状の作動液２は、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７に向かって移動し、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７内に入り込む。このため、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７に充填された作動液２は、各主流溝３１の毛細管作用により、蒸発部１１に向かう推進力を得て、蒸発部１１に向かってスムースに輸送される。
【００９２】
ところで本実施の形態においては、金属シート１０、２０の周縁に沿ってそれぞれ周縁液流路部１８、２７が形成されている。このため、金属シート１０、２０の周縁で凝縮して液状となった作動液２は、毛細管現象により周縁液流路部１８、２７を還流し、蒸発部１１に向かって輸送される。とりわけ、下側周縁液流路部１８は、下側金属シート１０の全周にわたって途切れることなく形成されている。したがって、液状となった作動液２は、下側注入流路凹部１７の近傍で遮られることなく、下側金属シート１０の周縁全域に沿って下側周縁液流路部１８を円滑に流れ、蒸発部１１に向かって輸送される。上側周縁液流路部２７は、導通部２８によって途切れているが、下側周縁液流路部１８が、導通部２８に対向する部分にも形成されていることにより、上側周縁液流路部２７の周方向の流れを助長している。
【００９３】
蒸発部１１に達した作動液２は、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液２が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流してデバイスＤの熱を移動させて放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。
【００９４】
このように本実施の形態によれば、下側周縁液流路部１８が下側金属シート１０の周縁全域にわたって形成されているため、例えば下側注入流路凹部１７の付近で下側周縁液流路部１８が不連続になることを防止できる。このため、毛細管力が途切れることを防止できる。これにより、ベーパーチャンバ１の外周部で作動液２の還流が阻害されることを防止でき、ベーパーチャンバ１の外周部の全域にわたって、作動液２をスムースに還流させることができる。この結果、ベーパーチャンバ１の外周部における作動液２の凝縮および環流が安定化し、ベーパーチャンバ１の熱輸送能力を向上させることができる。
【００９５】
また、本実施の形態によれば、下側周縁液流路部１８が下側金属シート１０の周縁全域にわたって形成されているため、下側注入流路凹部１７と下側蒸気流路凹部１２との間に、下側周縁液流路部１８を介在させることができる。このため、導通部２８に水が溜まることを防止できる。すなわち、下側注入流路凹部１７が下側蒸気流路凹部１２に直接的に接続されている場合には、下側注入流路凹部１７（とりわけ、下側注入流路凹部１７のうち下側蒸気流路凹部１２の側の部分）および導通部２８に水が溜まり、凍結するおそれがある。この場合、下側金属シート１０または上側金属シート２０が膨張して変形したり、破れたりする可能性がある。しかしながら、本実施の形態では、導通部２８に水が溜まることを防止できるため、このような金属シート１０の変形や破れを防止することができる。このため、品質を向上させることができる。
【００９６】
また、本実施の形態によれば、上側金属シート２０の周縁に沿って上側周縁液流路部２７が形成され、下側周縁液流路部１８の少なくとも一部と上側周縁液流路部２７の少なくとも一部とが互いに重なっている。このため、上側周縁液流路部２７と下側周縁液流路部１８とが重なった部分において、作動液２を還流するための広い液流路が形成され、ベーパーチャンバ１の外周部における作動液２の環流を効率良く行うことができる。
【００９７】
また、本実施の形態によれば、下側周縁液流路部１８の幅ｗ７は、上側周縁液流路部２７の幅ｗ８よりも広くなっている。これにより、下側周縁液流路部１８のうち上側周縁液流路部２７からはみ出した内側部分１８ａが上側蒸気流路凹部２１に対向し、このはみ出した下側周縁液流路部１８の内側部分１８ａによって、作動液２の凝縮および環流が安定的に行われる。
【００９８】
さらに、本実施の形態によれば、周縁液流路部１８、２７は、互いに平行に延びる複数の主流溝３１と、互いに隣接する主流溝３１同士を連絡する連絡溝３２とを有している。これにより、互いに隣り合う主流溝３１同士で液状の作動液２が往来し、主流溝３１でドライアウトが発生することが抑制される。このため、各主流溝３１内の作動液２に毛細管作用が付与されて、作動液２は、蒸発部１１に向かってスムースに輸送される。
【００９９】
さらに、本実施の形態によれば、周縁液流路部１８、２７には、複数の凸部３３が平面視で千鳥状に配置されている。これにより、主流溝３１内の作動液２に作用する毛細管作用を、主流溝３１の幅方向に均等化させることができる。すなわち、複数の凸部３３が平面視で千鳥状に配置されているため、連絡溝３２は、主流溝３１の両側に互い違いに接続される。このため、連絡溝３２が各主流溝３１の両側の同一位置に接続される場合と異なり、連絡溝３２によって蒸発部１１に向かう方向の毛細管作用が喪失されることを抑制することができる。このため主流溝３１と連絡溝３２との交点において、毛細管作用が低減することを抑制することができ、蒸発部１１に向かう作動液２に対して連続的に毛細管作用を付与させることができる。
【０１００】
また密封空間３内は、上述したように減圧されているため、下側金属シート１０および上側金属シート２０は、外気から厚み方向内側に凹む方向への圧力を受けている。ここで、仮に連絡溝３２が各主流溝３１の長手方向両側の同一位置に接続されている場合には、連絡溝３２に平行な方向に沿って、下側金属シート１０および上側金属シート２０が厚み方向内側に凹むことが考えられる。この場合、各主流溝３１の流路断面積が小さくなり、作動液２の流路抵抗が増大し得る。これに対して本実施の形態では、液流路部３０および周縁液流路部１８、２７には、複数の凸部３３が平面視で千鳥状に配置されている。これにより、下側金属シート１０および上側金属シート２０が連絡溝３２に沿って厚み方向内側に凹んだ場合であっても、その凹みが主流溝３１を横断することを防止し、主流溝３１の流路断面積を確保することができ、作動液２の流れが妨げられることを抑制している。
【０１０１】
次に、図１２乃至図１５により、ベーパーチャンバの各変形例について説明する。図１２乃至図１５において、図１乃至図１１と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１０２】
（変形例１）
図１２は、一変形例（変形例１）によるベーパーチャンバ１Ａを示している。図１２に示すベーパーチャンバ１Ａにおいて、図１乃至図１１に示す本実施の形態とは異なり、下側金属シート１０の下側注入突出部１６には下側注入流路凹部１７が形成されていない。この場合、封入工程（図１１（ｃ）参照）で注入部４から密封空間３に作動液２を注入する際、下側周縁液流路部１８によって作動液２の注入が妨げられることを防止でき、作動液２をスムースに注入することができる。
【０１０３】
（変形例２）
図１３は、他の変形例（変形例２）によるベーパーチャンバ１Ｂを示している。図１３に示すベーパーチャンバ１Ｂにおいて、図１乃至図１１に示す本実施の形態とは異なり、下側金属シート１０の下側注入突出部１６には下側注入流路凹部１７が形成されていない。また、上側金属シート２０には上側周縁液流路部２７が形成されていない。なお、下側金属シート１０の下側周縁液流路部１８の幅を図４に示す形態の場合よりも狭くしてもよい。この場合、微細な形状の周縁液流路部１８、２７同士を向かい合わせに積層することを不要にできるため、金属シート１０、２０の位置合わせ精度を高くすることを不要にできる。
【０１０４】
（変形例３）
図１４は、他の変形例（変形例３）によるベーパーチャンバ１Ｃを示している。図１４に示すベーパーチャンバ１Ｃにおいて、図１乃至図１１に示す本実施の形態とは異なり、下側金属シート１０は下側蒸気流路凹部１２を有することなく、液流路部３０が下側金属シート１０の上面１０ａに設けられている。また、上面１０ａのうち液流路部３０が形成される領域は、上側流路壁部２２に対向する領域だけでなく、上側蒸気流路凹部２１に対向する領域にも形成されている。この場合、液流路部３０を構成する主流溝３１の個数を増やすことができ、液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。しかしながら、液流路部３０を形成する領域は、図１４に示す領域に限られることはなく、液状の作動液２の輸送機能を確保することができれば任意である。
【０１０５】
（変形例４）
図１５は、一変形例（変形例４）によるベーパーチャンバ１Ｄを示している。図１５に示すベーパーチャンバ１Ｄにおいて、図１乃至図１１に示す本実施の形態とは異なり、下側金属シート１０は下側蒸気流路凹部１２を有していない。また、下側金属シート１０の上面１０ａに液流路部３０が設けられている。さらに、上側金属シート２０には上側流路壁部２２が形成されておらず、液流路部３０の略全域に対向するように１つの上側蒸気流路凹部２１が形成されている。この場合、上側蒸気流路凹部２１の断面積が広くすることができ、作動液２の蒸気を効率良く輸送することができる。
【０１０６】
（変形例５）
図１６は、一変形例（変形例５）によるベーパーチャンバ１Ｅを示している。図１６に示すベーパーチャンバ１Ｅにおいて、図１乃至図１１に示す本実施の形態とは異なり、下側金属シート１０の下側流路壁部１３と、上側金属シート２０の上側流路壁部２２とが、それぞれ平面視で放射状に形成されている。すなわち、下側流路壁部１３は、平面視略円形の中心部１３ｂと、中心部１３ｂから放射状に延びる複数の放射状部１３ｃとを有している。同様に、上側流路壁部２２は、平面視略円形の中心部２２ｂと、中心部２２ｂから放射状に延びる複数の放射状部２２ｃとを有している。なお、液流路部３０は、下側流路壁部１３に形成され、上側流路壁部２２には形成されていない。この場合、下側流路壁部１３が放射状に形成されているため、液状の作動液２を効率良く蒸発部１１側に輸送することができる。なお、図１６において、液流路部（液流路部３０および周縁液流路部１８、２７）を斜線で示している（後述する図１７及び図１８においても同様）。
【０１０７】
（変形例６）
図１７は、一変形例（変形例６）によるベーパーチャンバ１Ｆを示している。図１７に示すベーパーチャンバ１Ｆにおいて、図１乃至図１１に示す本実施の形態とは異なり、下側金属シート１０の下側注入突出部１６には下側注入流路凹部１７が形成されていない。また、上側金属シート２０には上側周縁液流路部２７が形成されていない。さらに、下側金属シート１０の下側流路壁部１３は、平面視略三角形状又は略台形状の複数のブロック部１３ｄから構成されている。同様に、上側金属シート２０の上側流路壁部２２は、平面視略三角形状又は略台形状の複数のブロック部２２ｄから構成されている。また、下側流路壁部１３のブロック部１３ｄ、１３ｄの間に下側蒸気流路凹部１２の蒸気通路が形成され、上側流路壁部２２のブロック部２２ｄ、２２ｄの間に上側蒸気流路凹部２１の蒸気通路が形成されている。なお、液流路部３０は、下側流路壁部１３に形成され、上側流路壁部２２には形成されていない。この場合、下側流路壁部１３の液流路部３０の面積が広く確保されるため、液状の作動液２を効率良く蒸発部１１側に輸送することができる。
【０１０８】
（変形例７）
図１８は、一変形例（変形例７）によるベーパーチャンバ１Ｇを示している。図１８に示すベーパーチャンバ１Ｇにおいて、図１乃至図１１に示す本実施の形態とは異なり、下側金属シート１０の下側流路壁部１３は、平面視略櫛歯状である複数（この場合は４つ）の櫛歯状部１３ｅから構成されている。下側流路壁部１３の各櫛歯状部１３ｅは、第１方向Ｘに延びる基部１３ｆと、基部１３ｆに接続されるとともに第２方向Ｙに延びる複数の櫛部１３ｇとを有している。同様に、上側金属シート２０の上側流路壁部２２は、平面視略櫛歯状である複数（この場合は４つ）の櫛歯状部２２ｅから構成されている。上側流路壁部２２の各櫛歯状部２２ｅは、第１方向Ｘに延びる基部２２ｆと、基部２２ｆに接続されるとともに第２方向Ｙに延びる複数の櫛部２２ｇとを有している。なお、液流路部３０は、下側流路壁部１３及び上側流路壁部２２の両方に形成されている。この場合、液状の作動液２が各櫛部１３ｇ、２２ｇから基部１３ｆ、２２ｆに向けて集まり、その後、基部１３ｆ、２２ｆを介して蒸発部１１側に向かって流される。このため、液状の作動液２を効率良く蒸発部１１側に輸送することができる。
【０１０９】
（第２の実施の形態）
次に、図１９乃至図２２を用いて、本発明の第２実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用金属シートについて説明する。
【０１１０】
図１９乃至図２２に示す第２の実施の形態においては、下側金属シートと上側金属シートとの間に中間金属シートが介在され、上側金属シートに蒸気流路部が形成され、下側金属シートに液流路部が形成され、中間金属シートに、蒸気流路部と液流路部とを連通する連通部が設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図１８に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図１９乃至図２２において、図１乃至図１８に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１１１】
図１９に示すように、本実施の形態においては、下側金属シート１０（第１金属シート）と上側金属シート２０（第２金属シート）との間に、中間金属シート７０（第３金属シート）が介在されている。すなわち、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０、中間金属シート７０および上側金属シート２０がこの順番で積層されている。中間金属シート７０は、下側金属シート１０上に設けられており、上側金属シート２０は、中間金属シート７０上に設けられている。なお、図１９においては、図面を明瞭にするために、作動液２の図示を省略している。後述する図２３および図２７においても同様である。
【０１１２】
中間金属シート７０は、下側金属シート１０の側に設けられた下面７０ａ（第１面）と、下面７０ａとは反対側に設けられ、上側金属シート２０の側に設けられた上面７０ｂ（第２面）と、を含んでいる。このうち下面７０ａが、下側金属シート１０の上面１０ａに重ね合わされ、上面７０ｂが、上側金属シート２０の下面２０ａに重ね合わされている。下側金属シート１０と中間金属シート７０とは、拡散接合によって接合されており、中間金属シート７０と上側金属シート２０とは、拡散接合によって接合されている。中間金属シート７０は、下側金属シート１０および上側金属シート２０と同様な材料で形成することができる。中間金属シート７０の厚さは、例えば、１０μｍ〜３００μｍである。
【０１１３】
密封空間３は、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に形成されており、中間金属シート７０にも密封空間３の一部が形成されている。本実施の形態では、密封空間３は、主として作動液２の蒸気が通る蒸気流路部８０と、主として液状の作動液２が通る液流路部３０と、を有している。蒸気流路部８０と液流路部３０は、作動液２が還流できるように連通している。蒸気流路部８０は、下側蒸気流路凹部１２（第１蒸気流路部）および上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路部）を有している。
【０１１４】
下側蒸気流路凹部１２および液流路部３０を含む下側金属シート１０は、図１乃至図１８に示す第１の実施の形態における下側金属シート１０と同様の構成とすることができる。このため、ここでは詳細な説明は省略する。
【０１１５】
図１９および図２０に示すように、本実施の形態では、上側金属シート２０には、液流路部３０は設けられていない。また、上側金属シート２０は、第１の実施の形態と同様の上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路部）を有している。上側蒸気流路凹部２１内に、第１の実施の形態と同様の上側流路壁部２２（第２流路突出部）が設けられている。
【０１１６】
図１９、図２１および図２２に示すように、中間金属シート７０に、液流路部３０と上側蒸気流路凹部２１を連通する連通部７１が設けられている。より詳細には、連通部７１は、液流路部３０と上側蒸気流路凹部２１とを下側蒸気流路凹部１２を介して連通する。連通部７１は、中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａに延びるように形成されており、中間金属シート７０を貫通している。連通部７１は、上述した密封空間３の一部を構成している。このことにより、上側蒸気流路凹部２１において作動液２の蒸気から凝縮して生成された液状の作動液２は、連通部７１を通って、液流路部３０および下側周縁液流路部１８の主流溝３１に入り込むように構成されている。一方、蒸発部１１において蒸発した作動液２の蒸気は、下側蒸気流路凹部１２で拡散されるだけでなく、連通部７１を通って上側蒸気流路凹部２１にも拡散できるようになっている。
【０１１７】
図２１および図２２に示すように、中間金属シート７０は、平面視で矩形枠状に形成された枠体部７３と、枠体部７３内に設けられた複数のランド部７４と、を有している。枠体部７３およびランド部７４は、中間金属シート７０をエッチングする際にエッチングされることなく中間金属シート７０の材料が残る部分である。ランド部７４は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、連通部７１内に複数配置されている。ランド部７４は、図示しない支持部を介して、互いに支持されているとともに、枠体部７３に支持されている。支持部は、後述する中間連通路７７内を流れる作動液２の蒸気の流れが妨げられることを抑制するように形成されている。例えば、支持部は、平面視で、中間連通路７７内および中間連絡連通路７８内に部分的に形成されるようにしてもよい。
【０１１８】
連通部７１は、ランド部７４によって区画された複数の中間連通路７７を含んでいる。中間連通路７７は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、互いに平行に配置されている。各中間連通路７７の両端部は、第２方向Ｙに沿って細長状に延びる中間連絡連通路７８に連通しており、各中間連通路７７が、中間連絡連通路７８を介して連通している。なお、図１９においては、中間連通路７７の横断面（第２方向Ｙにおける断面）形状が、矩形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、中間連通路７７の横断面形状は、例えば、湾曲状、半円状、Ｖ字状であってもよく、作動液２の蒸気を拡散することができれば任意である。中間連絡連通路７８も同様である。
【０１１９】
ランド部７４は、対応する上側流路壁部２２および下側流路壁部１３に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。また、中間連通路７７は、対応する下側蒸気通路８１および上側蒸気通路８３に平面視で重なるように形成されている。同様に、中間連絡連通路７８は、対応する下側連絡蒸気通路８２および上側連絡蒸気通路８４に平面視で重なるように形成されている。
【０１２０】
図２１および図２２に示すように、中間金属シート７０のランド部７４の幅ｗ５（第２方向Ｙの寸法）は、上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲における最大寸法とした場合、例えば、５０μｍ〜２０００μｍとしてもよい。中間連通路７７の幅ｗ６（第２方向Ｙの寸法）は、上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲における最小寸法とした場合、例えば、５０μｍ〜２０００μｍとしてもよい。中間連絡連通路７８の幅（第１方向Ｘの寸法）も同様である。
【０１２１】
連通部７１は、中間金属シート７０の上面７０ｂからエッチングされることによって形成されてもよい。この場合、連通部７１の中間連通路７７は、下面７０ａに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。あるいは、連通部７１は、中間金属シート７０の下面７０ａからエッチングされてもよく、この場合には、中間連通路７７は、上面７０ｂに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。さらには、連通部７１は、下面７０ａからのハーフエッチングと上面７０ｂからのハーフエッチングとで形成されていてもよい。この場合には、連通部７１のうち上面７０ｂの側の部分と下面７０ａの側の部分とで、形状または大きさを異ならせてもよい。
【０１２２】
また、図２１および図２２に示すように、中間金属シート７０には、各金属シート１０、２０、７０を位置決めするための中間アライメント孔７２が設けられている。すなわち、各中間アライメント孔７２は、仮止め時に、上述した各下側アライメント孔１５および上側アライメント孔２４にそれぞれ重なるように配置され、各金属シート１０、２０、７０の位置決めが可能になっている。
【０１２３】
図２２に示すように、中間金属シート７０の下面７０ａに、液状の作動液２が通る環形状の中間周縁液流路部７９（第３周縁液流路部）が形成されている。この中間周縁液流路部７９は、平面視で、枠体部７３の内側部分において、中間金属シート７０の周縁に沿って形成されている。中間周縁液流路部７９は、密封空間３、とりわけ連通部７１を囲むように形成されている。すなわち、平面視で、ランド部７４と中間周縁液流路部７９との間に、連通部７１の中間連通路７７または中間連絡連通路７８が介在されている。また、中間周縁液流路部７９は、平面視で矩形の環形状を有しており、その各辺は第１方向Ｘ又は第２方向Ｙに対して平行となっている。
【０１２４】
図２２に示すように、中間周縁液流路部７９は、中間金属シート７０のうち、後述する中間注入流路部７６と連通部７１とを接続する導通部９０を除く周縁全域にわたって形成されている。すなわち、中間周縁液流路部７９は、中間注入流路部７６から作動液２を注入する（第１の実施の形態の導通部２８と同様の）導通部９０で部分的に途切れている。このため、封入工程において、中間注入流路部７６から、導通部９０を介して連通部７１に作動液２を注入可能となっている。一方、中間周縁液流路部７９は、導通部９０を除いて中間金属シート７０の周縁全域にわたって形成されているため、中間金属シート７０の周縁の略全域で作動液２を蒸発部１１側に還流することが可能となっている。
【０１２５】
中間周縁液流路部７９の幅ｗ９は、第１の実施の形態の上側周縁液流路部２７の幅ｗ８と同様になっていてもよい。そして、図４および図２２に示すように、第１の実施の形態と同様に、下側金属シート１０の下側周縁液流路部１８の幅ｗ７は、中間金属シート７０の中間周縁液流路部７９の幅ｗ９よりも広くなっていてもよい（ｗ７＞ｗ９）。
【０１２６】
また、本実施の形態において、下側金属シート１０の下側周縁液流路部１８の一部と、中間金属シート７０の中間周縁液流路部７９の一部とは、平面視で互いに重なっている。具体的には、下側周縁液流路部１８の内側部分１８ａおよび導通部９０を除き、下側周縁液流路部１８と中間周縁液流路部７９とが互いに重なっている。これにより、下側周縁液流路部１８と中間周縁液流路部７９とによって作動液２の還流を効率的に行うことができる。
【０１２７】
図２１に示すように、中間金属シート７０の上面７０ｂには、周縁液流路部は形成されておらず、図２０に示すように、上側金属シート２０の下面２０ａには、周縁液流路部は形成されていない。しかしながら、このことに限られることはなく、本実施の形態における下側周縁液流路部１８および中間周縁液流路部７９に加えて若しくはその代わりに、中間金属シート７０の上面７０ｂに、中間周縁液流路部７９と同様にして周縁液流路部を形成するとともに、上側金属シート２０の下面２０ａに、下側周縁液流路部１８と同様にして周縁液流路部を形成してもよい。この場合、上側金属シート２０の下面２０ａに、液流路部３０が設けられてもよい。
【０１２８】
なお、本実施の形態においては、注入部４は、図１乃至図１８に示す第１の実施の形態の注入部４と同様に形成してもよい。すなわち、図３に示すように、下側金属シート１０が下側注入突出部１６を有し、下側注入突出部１６の上面に下側注入流路凹部（注入流路凹部）１７が形成されている。しかしながら、図２０に示すように、上側金属シート２０は、上側注入突出部２５を有しているが、上側注入突出部２５の下面には凹部が形成されることなく、平坦な形状で形成されている。
【０１２９】
図２１および図２２に示すように、中間金属シート７０は、端面から側方に突出する中間注入突出部７５を有している。図２２に示すように、この中間注入突出部７５の下面に、中間注入流路部７６が凹状に形成されている。図２１に示すように、中間注入突出部７５の上面には、凹部が形成されておらず、平坦な形状で形成されている。下側注入流路凹部１７および中間注入流路部７６は、下側金属シート１０と中間金属シート７０とが接合された際、一体となって作動液２の注入流路を形成する。下側金属シート１０、上側金属シート２０および中間金属シート７０が接合されると、各注入突出部１６、２５、７５は、互いに重なり合うようになっている。中間注入突出部７５は、第１の実施の形態の上側注入突出部２５と同様に形成することができる。
【０１３０】
中間注入流路部７６は、凹状に形成されることに限られることはない。例えば、中間注入流路部７６は、中間金属シート７０の下面７０ａから上面７０ｂにわたって延びて、中間金属シート７０を貫通するように形成されていてもよい。
【０１３１】
しかしながら、このことに限られることはない。例えば、下側注入流路凹部１７に加えて若しくは下側注入流路凹部１７の代わりに、上側注入突出部２５の下面に、注入流路凹部（注入流路凹部）を形成してもよい。この場合、中間注入突出部７５の上面にも注入流路凹部を形成してもよい。あるいは、このような注入部４の代わりに、下側金属シート１０または上側金属シート２０に注入孔を設けて、この注入孔から作動液２を注入するようにしてもよい。
【０１３２】
また、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０の下側蒸気流路凹部１２および液流路部３０と、上側金属シート２０の上側蒸気流路凹部２１は、図１乃至図１８に示す第１の実施の形態と同様にして形成することができる。また、中間金属シート７０の連通部７１も、エッチングによって形成することができる。その後、下側金属シート１０と上側金属シート２０とを、中間金属シート７０を介して接合する。すなわち、下側金属シート１０と中間金属シート７０とを拡散接合するとともに、上側金属シート２０と中間金属シート７０とを拡散接合する。このことにより、密封空間３が形成される。なお、下側金属シート１０と中間金属シート７０と上側金属シート２０とを一度に拡散接合するようにしてもよい。
【０１３３】
このように本実施の形態によれば、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に中間金属シート７０が介在され、上側金属シート２０の下面２０ａに上側蒸気流路凹部２１が設けられ、下側金属シート１０の上面１０ａに液流路部３０が設けられている。そして、中間金属シート７０に、上側蒸気流路凹部２１と液流路部３０とを連通する連通部７１が設けられている。このことにより、３つの金属シート１０、２０、７０でベーパーチャンバ１を構成する場合であっても、密封空間３内で、作動液２を、相変化を繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流させて、デバイスＤの熱を移動させて放出することができる。また、上側金属シート２０の上側蒸気流路凹部２１が広く連通しているため、作動液２の蒸気の拡散をスムースに行うことができ、熱輸送効率を向上させることができる。
【０１３４】
また、本実施の形態によれば、図１乃至図１８に示す第１の実施の形態と同様に、下側周縁液流路部１８が下側金属シート１０の周縁全域にわたって形成されているため、例えば下側注入流路凹部１７の付近で下側周縁液流路部１８が不連続になることを防止できる。このため、毛細管力が途切れることを防止できる。これにより、ベーパーチャンバ１の外周部で作動液２の還流が阻害されることを防止でき、ベーパーチャンバ１の外周部の全域にわたって、作動液２をスムースに還流させることができる。この結果、ベーパーチャンバ１の外周部における作動液２の凝縮および環流が安定化し、ベーパーチャンバ１の熱輸送能力を向上させることができる。
【０１３５】
なお、図１９に示す例では、下側蒸気流路凹部１２の横断面形状および上側蒸気流路凹部２１の横断面形状が、矩形状に形成されている例を示している。しかしながら、このことに限られることはなく、蒸気流路凹部１２、２１の横断面形状は、湾曲状に形成されていてもよい。また、液流路部３０の主流溝３１および連絡溝３２についても同様である。
【０１３６】
また、上述した本実施の形態においては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に、１つの中間金属シート７０が介在されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間には、２つ以上の中間金属シート７０が介在されていてもよい。
【０１３７】
（第３の実施の形態）
次に、図２３乃至図２７を用いて、本発明の第３実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用金属シートについて説明する。
【０１３８】
図２３乃至図２７に示す第３の実施の形態においては、下側金属シートと上側金属シートとの間に中間金属シートが介在され、蒸気流路部が、中間金属シートの上面に設けられ、液流路部および中間周縁液流路部が、中間金属シートの下面に設けられて、中間周縁液流路部が、中間金属シートの全周にわたって形成されている点が主に異なり、他の構成は、図１９乃至図２２に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図２３乃至図２７において、図１９乃至図２２に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１３９】
図２に示すように、本実施の形態においては、蒸気流路部８０は、中間金属シート７０の上面７０ｂに設けられている。すなわち、本実施の形態による蒸気流路部８０は、中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａに延びるように形成されており、中間金属シート７０を貫通している。液流路部３０は、中間金属シート７０の下面７０ａに設けられている。このため、本実施の形態による中間金属シート７０は、ウィックシートと称する場合もある。蒸気流路部８０と液流路部３０は、作動液２が還流できるように連通している。
【０１４０】
図２４および図２５に示すように、中間金属シート７０は、第２の実施の形態と同様に、平面視で矩形枠状に形成された枠体部７３と、枠体部７３内に設けられた複数のランド部７４と、を有している。ランド部７４を支持する図示しない支持部は、後述する中間蒸気通路８５内を流れる作動液２の蒸気の流れが妨げられることを抑制するように形成されている。例えば、支持部は、図２３の上下方向において中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲の一部に形成されるようにしてもよい。
【０１４１】
蒸気流路部８０は、ランド部７４によって区画された複数の中間蒸気通路８５（第３蒸気通路、蒸気通路）を含んでいる。中間蒸気通路８５は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、互いに平行に配置されている。各中間蒸気通路８５の両端部は、第２方向Ｙに沿って細長状に延びる中間連絡蒸気通路８６に連通しており、各中間蒸気通路８５が、中間連絡蒸気通路８６を介して連通している。このようにして、各ランド部７４の周囲（中間蒸気通路８５および中間連絡蒸気通路８６）を作動液２の蒸気が流れて、蒸気流路部８０の周縁部に向かって蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。なお、図２３においては、中間蒸気通路８５の横断面（第２方向Ｙにおける断面）形状が、矩形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、中間蒸気通路８５の横断面形状は、例えば、湾曲状、半円状、Ｖ字状であってもよく、作動液２の蒸気を拡散することができれば任意である。中間連絡蒸気通路８６も同様である。中間蒸気通路８５および中間連絡蒸気通路８６は、図１９乃至図２２に示す第２の実施の形態における中間連通路７７および中間連絡連通路７８と同様にエッチングで形成することができ、中間連通路７７および中間連絡連通路７８と同様な横断面形状を有することができる。中間蒸気通路８５の幅および中間連絡蒸気通路８６の幅は、中間連通路７７の幅ｗ６と同様にすることができる。
【０１４２】
図２５に示すように、液流路部３０は、中間金属シート７０の下面７０ａにおいて、ランド部７４に設けられている。すなわち、ランド部７４の下面に液流路部３０が設けられている。また、枠体部７３の下面に、中間周縁液流路部７９（第３周縁液流路部）が設けられている。中間周縁液流路部７９は、第１の実施の形態の下側周縁液流路部１８と同様に形成することができる。すなわち、中間周縁液流路部７９は、中間金属シート７０の全周にわたって形成されており、中間周縁液流路部７９は、矩形状の中間金属シート７０を構成する４つの辺の全てに途切れることなく形成されている。また中間周縁液流路部７９は、中間注入流路部７６で形成される作動液２の注入流路を横切るように形成されており、この中間注入流路部７６の近傍においても作動液２を環流することが可能となっている。なお、図２５において、中間注入流路部７６は、中間周縁液流路部７９の幅方向（第１方向Ｘ）途中まで進入しているが、これに限らず、中間注入流路部７６が中間周縁液流路部７９に進入していなくてもよい。
【０１４３】
図２３および図２６に示すように、本実施の形態における下側金属シート１０の上面１０ａには、第１の実施の形態と同様な下側蒸気流路凹部１２は設けられているが、液流路部３０は設けられていない。しかしながら、上面１０ａには、下側周縁液流路部１８が設けられている。図２６に示す下側周縁液流路部１８は、第１の実施の形態の上側周縁液流路部２７と同様に形成することができる。本実施の形態による下側金属シート１０の厚さは、第１の実施の形態の下側金属シート１０の厚さと同様にすることができる。
【０１４４】
図２３に示すように、上側金属シート２０の下面２０ａには、上側蒸気流路凹部２１は設けられておらず、液流路部３０も設けられていない。当該下面２０ａは、平坦状に形成されている。本実施の形態による上側金属シート２０の厚さは、例えば、８μｍ〜１００μｍである。
【０１４５】
また、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、中間金属シート７０の蒸気流路部８０と液流路部３０とを、エッチングによって形成することができる。その後、下側金属シート１０と上側金属シート２０とを、中間金属シート７０を介して接合する。すなわち、下側金属シート１０と中間金属シート７０とを拡散接合するとともに、上側金属シート２０と中間金属シート７０とを拡散接合する。このことにより、密封空間３が形成される。なお、下側金属シート１０と中間金属シート７０と上側金属シート２０とを一度に拡散接合するようにしてもよい。
【０１４６】
なお、本実施の形態においては、注入部４を構成する中間注入突出部７５の下面に、中間注入流路部７６（注入流路部）が凹状に形成されている。なお、図２６において、中間注入流路部７６は、中間周縁液流路部７９の幅方向（第１方向Ｘ）途中まで進入しているが、これに限らず、中間注入流路部７６が中間周縁液流路部７９に進入していなくてもよい。下側注入突出部１６の上面には、下側注入流路凹部１７が形成されている。しかしながら、本実施の形態では、下側注入流路凹部１７は、下側蒸気流路凹部１２に連通している。下側注入流路凹部１７および中間注入流路部７６は、下側金属シート１０と中間金属シート７０とが接合された際、一体となって作動液２の注入流路を形成する。
【０１４７】
このように本実施の形態によれば、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に中間金属シート７０が介在され、中間金属シート７０の上面７０ｂに蒸気流路部８０が設けられ、中間金属シート７０の下面７０ａに液流路部３０が設けられている。このことにより、３つの金属シート１０、２０、７０でベーパーチャンバ１を構成する場合であっても、密封空間３内で、作動液２を、相変化を繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流させて、デバイスＤの熱を移動させて放出することができる。
【０１４８】
また、本実施の形態によれば、図１乃至図１８に示す第１の実施の形態と同様に、中間周縁液流路部７９が中間金属シート７０の周縁全域にわたって形成されているため、例えば下側注入流路凹部１７の付近で中間周縁液流路部７９が不連続になることを防止できる。このため、毛細管力が途切れることを防止できる。これにより、ベーパーチャンバ１の外周部で作動液２の還流が阻害されることを防止でき、ベーパーチャンバ１の外周部の全域にわたって、作動液２をスムースに還流させることができる。この結果、ベーパーチャンバ１の外周部における作動液２の凝縮および環流が安定化し、ベーパーチャンバ１の熱輸送能力を向上させることができる。
【０１４９】
また、本実施の形態によれば、蒸気流路部８０は、中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａに延びている。このことにより、蒸気流路部８０の流路抵抗を低減することができる。このため、蒸気流路部８０において作動液２の蒸気から凝縮して生成された液状の作動液２を、スムースに液流路部３０の主流溝３１に入り込ませることができる。一方、蒸発部１１において蒸発した作動液２の蒸気を、蒸気流路部８０にスムースに拡散することができる。
【０１５０】
なお、上述した本実施の形態においては、液流路部３０が、中間金属シート７０の下面７０ａに設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図２７に示すように、液流路部３０は、下面７０ａだけでなく、上面７０ｂにも設けられていてもよい。この場合、液状の作動液２を蒸発部１１または中間金属シート７０のうち蒸発部１１に近い部分に輸送する流路を増やすことができ、液状の作動液２の輸送効率を向上させることができる。このため、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を向上させることができる。この場合、上側金属シート２０の下面２０ａに上側周縁液流路部２７が設けられ、上側注入突出部２５の下面に、上側注入流路凹部が２６形成されてもよい。また、中間金属シート７０の上面７０ｂに、中間周縁液流路部７９が設けられ、中間注入突出部７５の上面に、中間注入流路部７６が形成されてもよい。
【０１５１】
また、上述した本実施の形態においては、蒸気流路部８０が、中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａに延びるように形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、蒸気流路部８０が、図１乃至図１８に示す下側蒸気流路凹部１２のように、あるいは、図１９および図２０に示す上側蒸気流路凹部２１のように、中間金属シート７０の上面７０ｂに凹状に形成されていてもよい。この場合、中間金属シート７０に、蒸気流路部８０を液流路部３０に連通する連通孔（図示せず）が設けられていてもよい。
【０１５２】
また、上述した本実施の形態においては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に、１つの中間金属シート７０が介在されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、下側金属シート１０と中間金属シート７０との間に、図示しない他の金属シートが介在されていてもよく、上側金属シート２０と中間金属シート７０との間に、図示しない他の金属シートが介在されていてもよい。
【０１５３】
本発明は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。また、上記各実施の形態および各変形例では、下側金属シート１０の構成と、上側金属シート２０の構成とを入れ替えてもよい。
【符号の説明】
【０１５４】
１          ベーパーチャンバ
２          作動液
１０        下側金属シート
１２        下側蒸気流路凹部
１８        下側周縁液流路部
２０        上側金属シート
２１        上側蒸気流路凹部
２７        上側周縁液流路部
２８        導通部
３０        液流路部
３１        主流溝
３２        連絡溝
３３        凸部
７０        中間金属シート
７０ａ      下面
７０ｂ      上面
７１        連通部
７９        中間周縁液流路部
９０        導通部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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