(57)【要約】      （修正有）【課題】対象物の粉末ベースの積層造形のための装置を提供する。【解決手段】本装置２００は、粉末送達機構と、粉末リコーティング機構２０４と、照射ビーム指向機構２０６と、対象物２３０の成長部分のリアルタイム温度を測定する温度制御機構２０８と、を含む。本装置２００は、構築ユニットと、位置決め機構２２５と、回転機構と、を含む。構築ユニットは、少なくとも２つの次元で独立した動きを構築ユニットに提供する位置決め機構２２５に取り付けられる。構築ユニットはまた、回転機構に取り付けられ、製造中に構築プラットフォーム２１０の周りおよびその上で回転する。本装置２００を使用して対象物２３０を製造する方法は、構築プラットフォーム２１０上に粉末を堆積させるステップと、粉末の選択された部分に照射して融着層を形成するステップと、融着層の選択された部分のリアルタイム温度を測定するステップと、の反復するサイクルを含む。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物（２３０、３３０）を構築するための積層造形装置（２００、３００、５００）であって、
粉末ディスペンサ（４１２）と、
照射源（２０６）と、
前記対象物（２３０、３３０）が粉末ベッド（２１４、３１４）内で構築されるプラットフォーム（２１０、３１０、５０２）と、
前記プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）の上に粉末層（４５４、４５６）を提供するリコータと、
前記対象物（２３０、３３０）が構築される際に前記対象物（２３０、３３０）の成長部分のリアルタイム温度を測定するように構成されたコントローラと、
を含む積層造形装置（２００、３００、５００）。
【請求項２】
前記コントローラは、前記粉末ベッド（２１４、３１４）の熱状態を測定するように構成される、請求項１に記載の装置（２００、３００、５００）。
【請求項３】
前記成長部分の前記温度を測定するための温度センサをさらに含む、請求項１または２に記載の装置（２００、３００、５００）。
【請求項４】
前記コントローラは、前記成長部分の前記温度に基づいて、前記照射源（２０６）によって放射されるビーム出力の増加または減少を制御するように構成される、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の装置（２００、３００、５００）。
【請求項５】
前記コントローラは、前記リアルタイム温度測定に基づいて、所与の構築層における前記成長部分の幾何学的形状のサイズを調整するように構成される、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の装置（２００、３００、５００）。
【請求項６】
前記コントローラは、前記リアルタイム温度測定値に基づいて、所与の構築層を調整するように構成される、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の装置（２００、３００、５００）。
【請求項７】
対象物（２３０、３３０）を構築するための積層造形装置（２００、３００、５００）であって、
粉末送達機構（２１４、５１４）と、リコータと、照射源（２０６）と、前記対象物（２３０、３３０）が構築される際に前記対象物（２３０、３３０）の成長部分のリアルタイム温度を測定するように構成された温度制御機構（２０８、５２５）と、を含む構築ユニット（２０２、３０２、５０８）と、
構築プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）と、
前記構築ユニット（２０２、３０２、５０８）に取り付けられ、前記構築ユニット（２０２、３０２、５０８）に対して中心軸の周りで回転可能な回転機構（５０４）と、
を含む積層造形装置（２００、３００、５００）。
【請求項８】
前記温度制御機構（２０８）は温度センサを含む、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記温度制御機構（２０８、５２５）は、前記成長部分の前記温度に基づいて、前記照射源（２０６）によって放射されるビーム出力の増加または減少を制御するように構成される、請求項７または８に記載の装置（２００、３００、５００）。
【請求項１０】
前記構築プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）は、前記構築プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）の中心軸の周りで回転可能である、請求項７乃至９のいずれか１項に記載の装置（２００、３００、５００）。
【請求項１１】
対象物（２３０、３３０）を製造する方法（６００）であって、
（ａ）所与の粉末層（４５４、４５６）を粉末ベッド（２１４、３１４）内の構築プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）上に堆積させるステップと、
（ｂ）所与の融着領域を形成するために前記粉末ベッド（２１４、３１４）内の前記所与の粉末層（４５４、４５６）を融着させるステップと、
（ｃ）前記融着された粉末層（４５４、４５６）のリアルタイム温度を測定するステップと、
（ｄ）次の粉末層（４５４、４５６）を堆積させるステップと、
（ｅ）前記対象物（２３０、３３０）が前記粉末ベッド（２１４、３１４）内に形成されるまで、ステップ（ａ）〜ステップ（ｄ）を繰り返すステップと、
を含む方法（６００）。
【請求項１２】
前記融着された層の前記リアルタイム温度を所定の基準温度と比較するステップをさらに含む、請求項１１に記載の方法（６００）。
【請求項１３】
前記リアルタイム温度比較に基づいて、前記所与の層の前記融着を制御するステップをさらに含む、請求項１１または１２に記載の方法（６００）。
【請求項１４】
前記リアルタイム温度測定に基づいて、所与の構築層における前記成長部分の幾何学的形状のサイズを調整するステップをさらに含む、請求項１１乃至１３のいずれか１項に記載の方法（６００）。
【請求項１５】
前記リアルタイム温度測定に基づいて所与の構築層を調整するステップをさらに含む、請求項１１乃至１４のいずれか１項に記載の方法（６００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、一般的には積層造形装置および方法に関する。より具体的には、本開示は、部品が冷却されて正確なまたは所望のサイズに凝固するように、構築対象物の成長部分の実温度を測定し、決定し、それに応じて調整することを可能にする装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層造形（ＡＭ）は、付加的な層状に構成要素を製造するための様々な技術を包含する。最も普及しているＡＭ技術の１つである粉末ベッド融着では、集束エネルギービームを使用して、粉末粒子を層ごとに互いに融着させる。エネルギービームは、電子ビームまたはレーザーのいずれであってもよい。レーザー粉末ベッド融着プロセスは、業界では多くの異なる名称で呼ばれており、そのうちの最も一般的なものは、選択的レーザー焼結（ＳＬＳ）および選択的レーザー溶融（ＳＬＭ）であり、粉末融着プロセスの性質に依存する。融着される粉末が金属である場合には、直接金属レーザー焼結（ＤＭＬＳ）および直接金属レーザー溶融（ＤＭＬＭ）という用語が一般に使用される。
【０００３】
図１を参照すると、システム１００などのレーザー粉末ベッド融着システムは、固定された囲まれた構築チャンバ１０１を含む。構築チャンバ１０１の内部には、構築プレート１０２と、一端に隣接する供給粉末リザーバ１０３と、他端に余剰粉末容器１０４と、がある。製造中に、供給粉末リザーバ１０３内のエレベータ１０５は、リコータブレード１０６を使用して構築プレート１０２によって画定された構築面を横切って広がるように、所定量の粉末を持ち上げる。粉末オーバーフローは、粉末容器１０４に集められ、必要に応じて再使用前に粗い粒子をふるい落とすように処理される。
【０００４】
粉末層の選択された部分１０７は、例えばレーザービーム１０８を使用して各層に照射され、それにより溶融プールを形成する。照射後に、構築プレート１０２は、構築対象物１０９の１つの層の厚さに等しい距離だけ降下される。次いで、次の層の粉末が最後の層の上にコーティングされ、プロセスは、対象物１０９が完成するまで繰り返される。レーザービーム１０８の移動は、ガルボスキャナ１１０を用いて制御される。選択的照射は、コンピュータ支援設計（ＣＡＤ）データに従って対象物１０９を構築するように行われる。
【０００５】
粉末ベッド技術は、すべての公知の金属ＡＭ技術の中で最高の解像度能力を示す。しかしながら、特に大きな対象物では、様々なサイズ、幾何学的形状または構成の複数の部分を有するこのような大きな対象物を生成するために、製造プロセスのパラメータ、例えば、照射ビームの強度、速度または継続時間を効率的に制御する必要がある。
【０００６】
いくつかの例では、照射ビームパラメータの制御を超えてまたはそれに代えて、粉末ベッド中の溶融プールの温度を制御することができる。例えば、米国特許出願公開第２０１７／００５１３８６号（Ｇｅｎｅｒａｌ  Ｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｃｏｍｐａｎｙに譲渡）には、ベースプレート上に配置された基板を第１のヒーターを用いて所定の温度に加熱した後に、レーザーを用いて基板の表面上に溶融プールを形成する製造方法が記載されている。超合金粉末を溶融プールに導入し、溶融プールの温度を測定し、それに応じて調整する。
【０００７】
しかし、構築プロセスの間に粉末ベッド内の溶融プールの熱状態を変化させると、構築対象物の「ベースライン」、すなわち、基準ベースライン位置に対して、構築される部品の断面の熱による偏差が生じる。補償されない場合には、構築対象物と装置との間のこの熱的作用により、最も望ましいものと比較してサイズおよび位置の小さな寸法誤差が生じる可能性がある。
【０００８】
上記を考慮して、対象物、特に様々なサイズ、幾何学的形状または構成の複数の部分を有する対象物の製造を、改良された精度で、かつ原料の無駄を最小限に抑えて時間および費用の両方で効率的な方法で処理することができる製造装置および方法の必要性が依然として存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１７／００５１３８６号
【発明の概要】
【００１０】
このような態様の基本的な理解を提供するために、以下に１つまたは複数の態様の簡略化した概要を提示する。本概要は、すべての熟考された態様の広範囲の概要ではなく、すべての態様のキーまたは重要な要素を特定するものでもなく、また一部またはすべての態様の範囲を詳しく説明するものでもない。その目的は、後に提示されるより詳細な説明の前置きとして、簡略化された形で１つまたは複数の態様のうちのいくつかの概念を提示することである。
【００１１】
本発明の上記および／または態様は、対象物を構築するための積層造形装置によって達成することができる。一態様では、装置は、粉末ディスペンサと、照射源と、対象物が粉末ベッド内で構築されるプラットフォームと、プラットフォームの上に粉末層を提供するリコータと、対象物が構築される際に対象物の成長部分のリアルタイム温度を測定するように構成されたコントローラと、を含む。
【００１２】
本発明の上記および／または態様は、対象物を構築するための積層造形装置によって達成することができる。一態様では、装置は、粉末送達機構と、リコータと、照射源と、対象物が構築される際に対象物の成長部分のリアルタイム温度を測定するように構成された温度制御機構と、を含む構築ユニットを含む。装置はまた、構築プラットフォームと、構築ユニットに取り付けられ、構築ユニットに対して中心軸の周りで回転可能な回転機構と、を含む。
【００１３】
本発明の上記および／または態様は、積層造形によって対象物を製造する方法によって達成することができる。一態様では、本方法は、（ａ）所与の粉末層を粉末ベッド内の構築プラットフォーム上に堆積させるステップと、（ｂ）所与の融着領域を形成するために粉末ベッド内の所与の粉末層を融着させるステップと、（ｃ）融着された粉末層のリアルタイム温度を測定するステップと、（ｄ）次の粉末層を堆積させるステップと、（ｅ）対象物が粉末ベッド内に形成されるまで、ステップ（ａ）〜ステップ（ｄ）を繰り返すステップと、を含む。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】積層造形のための例示的な従来技術の粉末ベッドベースのシステムを示す図である。
【図２】本発明の一実施形態による積層造形装置の断面を示す正面図を示す模式図である。
【図３】本発明の別の実施形態による積層造形装置の斜視図である。
【図４】図２の積層造形装置の構築ユニットおよび回転構築プラットフォームの一部の拡大断面図である。
【図５Ａ】環状粉末ベッドと構築ユニットを回転させる機構とを有する、本発明のさらに別の実施形態による積層造形装置の概略正面断面図である。
【図５Ｂ】図５Ａの大規模積層造形装置のＡ−Ａ’側面断面図である。
【図５Ｃ】図５Ａの大規模積層造形装置の概略上面図である。
【図６】一実施形態による温度制御機構のためのアルゴリズムのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
添付図面に関連して以下に記載する詳細な説明は、様々な構成の説明として意図されたものであって、本明細書で説明される概念を実施することができる唯一の構成を提示するものではない。詳細な説明は、様々な概念の徹底的な理解を提供する目的で特定の詳細を含んでいる。しかし、これらの具体的な詳細がなくてもこれらの概念を実施することができることは、当業者には明らかであろう。例えば、本発明は、金属部品または対象物を積層造形するための好ましい方法を提供し、好ましくは、これらの部品または対象物は、ジェット航空機エンジンの製造に使用される。特に、本発明に従って、様々な直径を有する環状部品を含むジェット航空機エンジンの大きな部品を有利に製造することができる。しかしながら、航空機の他の部品および他の非航空機部品は、本明細書に記載の装置および方法を使用して準備することができる。
【００１６】
本発明は、粉末ベッドベースの積層造形を行うのに使用することができる積層造形装置およびその装置の実施形態を提供し、それには、選択的レーザー焼結（ＳＬＳ）、選択的レーザー溶融（ＳＬＭ）、直接金属レーザー焼結（ＤＭＬＳ）、直接金属レーザー溶融（ＤＭＬＭ）および電子ビーム溶融（ＥＢＭ）プロセスが含まれるが、これらに限定されない。本発明はまた、対象物を積層造形するための装置またはその実施形態を利用する方法を含む。本発明の装置は、成長部分の実際的な領域バルク温度を決定するために、構築対象物の成長部分のリアルタイム温度を測定することを可能にする温度制御機構を含む。この局所的なバルク温度は、照射が完了したときに、成長した部分が冷却して正しいサイズになるように測定され決定される。現在、構築対象物の個々の部分を、計算されたコンピュータ支援設計（ＣＡＤ）データに基づいたサイズに成長させることができ、成長部分の温度の影響は、製造試行および検査を通じてのみ学習することができる。本発明の装置および方法は、全体のおよび局所的な部品の歪みが製造試行および製造後の解析によって未だ決定されていない、変化する断面の厚さまたは直径の大きな環状の対象物の積層造形に特に有用であり得る。これらの実質的に環状または円筒状の対象物の例は、航空機エンジンまたは航空機の環状または円筒状の構成要素であってもよい。このような航空機の構成要素の例は、タービンまたはベーンシュラウディング、中央エンジンシャフト、ケーシング、圧縮機ライナー、燃焼器ライナー、ダクトなどであってもよい。いくつかの例では、これらの構成要素の半径は２メートルまでとすることができる。さらに、複数のより小さい対象物を、同時に構築される構築プラットフォーム上に適切に配置することができる。基本的に、本明細書で説明される装置および方法は、代替マシンプロセスと、アプリケーションに正確にマッチする最終仕様を有する構築された構成要素のスポーンニングとの間のドットを接続するステップを示す。
【００１７】
一態様によれば、本発明は、成長部分のリアルタイム温度を測定し、次に測定したリアルタイム温度を使用して現在のリアルタイムの部分サイズを計算することができる。このように、本装置は、現在のリアルタイムの部分サイズに基づいて調整可能な成長部分の成長パラメータを提供するプロセッサと、それに応じてその部分のリアルタイムサイズを成長させるように指示されたレーザースキャナと、を用いて構成することができる。
【００１８】
さらに別の態様では、本発明は、その部分が熱的に駆動される構築補償を提供するように構築される粉末ベッドのリアルタイムの熱的特徴付けが可能であり得る。同様に、本発明は、ベースラインモデル寸法に対する粉末ベッドの熱状態の影響を評価し、機械コントローラおよびシステムフィードバックを使用してパラメータリアルタイム補償を構築するための機械解析を用いて構成することができる。
【００１９】
好ましくは、本明細書で提供される積層造形装置は、高精度の対象物を積層造形するのに不可欠ないくつかの構成要素を含むように構成することができる移動構築ユニットアセンブリを含む。これらの構成要素は、例えば、粉末送達機構、粉末リコーティング機構、照射ビーム指向機構および温度センサを含む。特定の実施形態では、構築ユニットは、構築環境全体にわたる（ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸に沿って）二次元または三次元の移動、ならびに、所望の任意の方向への粉末の平坦化を可能にするように構築ユニットを回転させることを可能にする位置決め機構に有利に取り付けることができる。位置決め機構は、ガントリ、デルタロボット、ケーブルロボット、ロボットアーム、またはベルト駆動装置などであってもよい。代替的な実施形態では、構築ユニットは、中心回転の周りで構築ユニットの回転運動を可能にする回転機構に有利に取り付けられる。
【００２０】
本明細書で提供される積層造形装置はまた、構成およびサイズが変化し得る構築プラットフォームまたは粉末ベッドを含む。例えば、構築プラットフォームは、従来の矩形形状をとることができる。あるいは、構築プラットフォームは環状であってもよい。本発明による構築プラットフォームは、垂直に固定されてもよいし、垂直に移動可能であってもよい。本発明の構築プラットフォームはまた、回転してもよいし、回転しなくてもよい。特定の実施形態では、回転機構は、好ましくは、環状構築プラットフォームと同心であり、構築ユニットを構築プラットフォームの上に、適切にはそれに実質的に平行に配置する。回転機構は、構築ユニットを構築プラットフォームの上に、適切には構築プラットフォームに実質的に平行に回転移動させて、同時に粉末を平坦化し、粉末を溶融して、構築プラットフォーム内の１つまたは複数の構築領域に構築対象物の融着された層を形成する。いくつかの実施形態では、回転機構は、回転しない環状構築プラットフォームと同心であることが好ましい中央の直立タワーに取り付けられ、支持されてもよい。
【００２１】
本明細書で使用される「機構」という用語は、単一の装置または機器、複数の構成要素を有する単一の装置または機器、あるいは複数の異なる装置または機器のシステムである構造エンティティを指す。「機構」という用語は、前述の文で説明したのと同じ定義を有する「ユニット」という用語と交換可能に使用される。
【００２２】
図２は、本発明の一実施形態による積層造形装置２００の概略図を示す。装置２００は、装置２００全体と構築される対象物２３０とを収容する構築エンクロージャ２０１を含むことができる。装置２００は、構築ユニット２０２と構築プラットフォーム２１０とを含む。動作中に、装置は、外側構築エンベロープ２２４と、多くの場合、内側構築エンベロープ２２６との間に形成された粉末ベッド２１４内に対象物２３０を構築する。しかし、対象物は、内側構築エンベロープまたは外側構築エンベロープなしで構築することができることに留意されたい。このような構築エンベロープの目的は、融着されない粉末を保持して、溢れ出しまたは浪費を避けることである。
【００２３】
構築ユニット２０２は、高精度で大規模な対象物または複数のより小さい対象物を積層造形するためのいくつかの構成要素を含むように構成することができる。移動構築ユニット２０２は、例えば、粉末送達およびリコーティング機構２０４と、照射ビーム指向機構２０６と、を含むことができる。本発明の実施形態に従って使用される例示的なモバイル構築ユニットのさらなる詳細を、図４を参照して以下で説明する。
【００２４】
図２に示すように、位置決め機構２２５は、構築ユニット２０２をｘ軸に沿って（すなわち、左または右に）独立して移動させる１つまたは複数のｘクロスビーム２２５Ｘ（図２に示す）と、構築ユニット２０２をｙ軸に沿って（すなわち、内側または外側に）それぞれ移動させる１つまたは複数のｙクロスビーム２２５Ｙ（図２に示す）と、を有するＸＹＺガントリであってもよい。ｘ−ｙ平面を横切るこのような２次元移動は、構築プラットフォーム２１０またはその内部の構築領域に実質的に平行であってもよい。さらに、位置決め機構２２５は、構築ユニット２０２をｚ軸に沿って（すなわち、構築プラットフォーム２１０またはその内部の構築領域に対して上方および下方に、または実質的に垂直に）移動させる１つまたは複数のｚクロスビーム２２５Ｚ（２つを図２に示す）を有する。位置決め機構２２５は、構築ユニット２０２をｃ軸およびｂ軸の周りに回転させるようにさらに動作可能であってもよい。
【００２５】
図３は、本発明の別の態様による積層造形装置３００を示し、装置３００は、回転構築プラットフォーム３１０を有する。構築ユニット３０２は、「ｚ」クロスビーム３２５Ｚ、「ｘ」クロスビーム３２５Ｘおよび「ｙ」クロスビーム３２５Ｙ（部分的に図示する）を有するガントリに取り付けられる。構築ユニット２０２は、図３の曲線矢印「ｒ」で示すように、ｘ−ｙ平面内およびｚ−平面内で回転することができる。回転構築プラットフォーム３１０上に構築される対象物３３０は、外側構築壁３２４および内側構築壁３２６によって制約された粉末ベッド３１４内に示されている。回転構築プラットフォーム３１０は、固定支持構造体３２８にさらに固定されてもよい。
【００２６】
図４は、本発明の一実施形態による積層造形装置３００の側面図を示す。図２および図３の符号のいくつかは、図４の様々な要素を説明するために使用されることに留意されたい。すなわち、図４は、回転構築プラットフォーム３１０の右側に構築ユニット２０２と共に構成された装置３００を示す。構築ユニット２０２は、照射ビーム指向機構２０６、ガス流ゾーン４３８へガス流を供給するガス入口４３４とガス出口４３６を有するガス流機構４３２、粉末送達およびリコーティング機構２０４、ならびに温度制御機構２０８を含む。ガス流ゾーン４３８の上に配置された、不活性環境４４２を収容するエンクロージャ４４０を設けることができる。リコータプレート４４４上に装着された粉末送達およびリコーティング機構４０４は、バックプレート４４６およびフロントプレート４４８を含む粉末ディスペンサ４１２を備えていてもよい。粉末送達およびリコーティング機構２０４はまた、少なくとも１つの作動要素４５２と、少なくとも１つのゲートプレート４１６と、リコータブレード４５０と、アクチュエータ４１８と、リコータアーム４０８と、を含む。この実施形態では、アクチュエータ４１８は、図４に示すように、作動要素４５２を作動させて、ゲートプレート４１６をフロントプレート４４８から引き離す。フロントプレート４４８とゲートプレート４１６との間にはギャップ４６４があり、ゲートプレート４１６が作動要素４５２によってフロントプレート４４８から引き離されたときに粉末を回転構築プラットフォーム３１０上に流すことを可能にする。
【００２７】
図４は、開位置にあるゲートプレート４１６を有する構築ユニット２０２を示す。粉末ディスペンサ４１２内の粉末４１５を堆積させて、新鮮な粉末層４５４を作製することができ、新鮮な粉末層４５４は、リコータブレード４５０によって回転構築プラットフォーム３１０の上面（すなわち、構築面または作業面）の一部にわたって平滑化され、実質的に均一な粉末層４５６を形成し、次いで照射ビーム４５８によって印刷対象物３３０の一部である溶融層に照射される。あるいは、構築ユニット２０２が移動するのと同時に、実質的に均一な粉末層４５６が照射され、構築ユニット２０２の連続的な動作、ひいては印刷されたまたは成長した対象物３３０のより時間効率の良い製造が可能になる。図４に示すように、粉末ベッド３１４内の回転構築プラットフォーム３１０上に構築される対象物３３０は、外側構築壁３２４および内側構築壁３２６によって制約することができる。
【００２８】
図３および図４に示すように、回転構築プラットフォーム３１０は、回転中心Ｗの周りで３６０°回転するように構成された剛性およびリング形状または環状の（すなわち、内側中心穴を有する）構造体であってもよい。回転構築プラットフォーム３１０は、構築プラットフォーム３１０が円形経路で移動するように、回転構築プラットフォーム３１０を回転中心Ｗの周りで選択的に回転させるように動作可能なモータ３１６の端部マウントに固定される。モータ３１６は、固定支持構造体３２８にさらに固定されてもよい。あるいは、モータは、装置の近くの他の場所に配置されてもよく、モータを構築プラットフォームに対して平行移動させるために、ベルトを介して構築プラットフォームと機械的に接続されてもよい。
【００２９】
図４に示すように、温度制御機構２０８は、粉末送達およびリコーティング機構２０４に取り付けられ、照射ビーム指向機構２０６から離れるように取り付けられてもよい。一態様によれば、本発明は、例えば、有利にかつ戦略的に、照射ビーム指向機構２０６と温度制御機構２０８との間にいくらかの距離を課して、温度制御機構２０８は、溶融プールの代わりに、構築対象物の成長部分のリアルタイム温度を（すなわち、融着層を形成するための照射ビーム指向機構による照射後、および融着層の冷却および固化の前に）測定することを確実にする。例えば、照射ビーム指向機構２０６と温度制御機構２０８は、互いに少なくとも１５ｃｍ離れていることが望ましく、例えば１５〜６０ｃｍ、好ましくは２０〜６０ｃｍおよび３０〜６０ｃｍ、より好ましくは３０〜５０ｃｍ、３０〜４５ｃｍ、３０〜４０ｃｍ、１５〜４０ｃｍ、１５〜３０ｃｍ、２０〜３０ｃｍ、１５〜２０ｃｍ離れていることが望ましい。
【００３０】
他の例示的な実施形態では、装置２００、３００は、本出願人の同時係属中の米国特許出願第１５／６１０，１７７号（Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ａｎｄ  ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  ａｎｇｕｌａｒ  ａｎｄ  ｒｏｔａｔｉｏｎａｌ  ａｄｄｉｔｉｖｅ  ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）、第１５／６０９，９０９号（Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ａｎｄ  ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  ｒｅａｌ−ｔｉｍｅ  ｓｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓ  ａｄｄｉｔｉｖｅ  ａｎｄ  ｓｕｂｔｒａｃｔｉｖｅ  ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）、第１５／６１０，１１３号（Ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  ｒｅａｌ−ｔｉｍｅ  ｓｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓ  ａｄｄｉｔｉｖｅ  ａｎｄ  ｓｕｂｔｒａｃｔｉｖｅ  ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  ｗｉｔｈ  ａ  ｄｙｎａｍｉｃａｌｌｙ  ｇｒｏｗｎ  ｂｕｉｌｄ  ｗａｌｌ）、第１５／６１０，２１４号（Ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  ｒｅａｌ−ｔｉｍｅ  ｓｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓ  ａｎｄ  ｃａｌｉｂｒａｔｅｄ  ａｄｄｉｔｉｖｅ  ａｎｄ  ｓｕｂｔｒａｃｔｉｖｅ  ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）、および第１５／６０９，７４７号（Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ａｎｄ  ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  ｒｅａｌ−ｔｉｍｅ  ｓｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓ  ａｄｄｉｔｉｖｅ  ａｎｄ  ｓｕｂｔｒａｃｔｉｖｅ  ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  ｗｉｔｈ  ｍｅｃｈａｎｉｓｍ  ｔｏ  ｒｅｃｏｖｅｒ  ｕｎｕｓｅｄ  ｒａｗ  ｍａｔｅｒｉａｌ）のうちの１つまたは複数に開示した特徴および要素を組み込むことができる。これらの出願の各々は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
【００３１】
本発明の積層造形プロセスで使用することができる適切な粉末材料の代表例は、金属合金、ポリマー、またはセラミック粉末を含むことができる。例示的な金属粉末材料は、ステンレス鋼合金、コバルト−クロム、アルミニウム合金、チタン合金、ニッケル基超合金、およびコバルト基超合金であってもよい。さらに、適切な合金には、良好な耐酸化性を有するように加工されたものであって、ガスタービンエンジンにおける高温の動作で許容される強度を有する公知の「超合金」、例えばＨａｓｔｅｌｌｏｙ、Ｉｎｃｏｎｅｌ合金（例えばＩＮ  ７３８、ＩＮ  ７９２、ＩＮ  ９３９）、Ｒｅｎｅ合金（例えば、Ｒｅｎｅ  Ｎ４、Ｒｅｎｅ  Ｎ５、Ｒｅｎｅ  ８０、Ｒｅｎｅ  １４２、Ｒｅｎｅ  １９５）、Ｈａｙｎｅｓ合金、Ｍａｒ  Ｍ、ＣＭ  ２４７、ＣＭ  ２４７  ＬＣ、Ｃ  ２６３，７１８、Ｘ−７５０、ＥＣＹ  ７６８，２８２、Ｘ  ４５、ＰＷＡ  １４８３、およびＣＭＳＸ（例えば、ＣＭＳＸ−４）単結晶合金が含まれる。本発明の製造された対象物は、方向性固化（「ＤＳ」）または単結晶（「ＳＸ」）などの１つまたは複数の選択された結晶性微細構造で形成されてもよい。
【００３２】
図５Ａ〜図５Ｃは、本発明の一実施形態によるさらに別の積層造形装置５００を示す。図５Ａ〜図５Ｃでは、構築ユニット５０８は、回転機構５０４に取り付けられてもよい。図５Ａは、積層造形装置５００の概略正面断面図である。装置５００は、環状構築プラットフォーム５０２および構築ユニット５０８を含む。環状構築プラットフォーム５０２は、非回転構築プレート５２８と、円形内壁５２４と、内壁５２４の直径よりも大きな直径を有する円形外壁５２２と、を有する。粉末ベースの積層造形プロセスの開始時に、原料粉末を構築面５４２、すなわち構築プラットフォーム５０２の上面に堆積させることができる。図５Ａに示す例示的な実施形態では、環状構築プラットフォーム５０２の内壁５２４および外壁５２２のそれぞれは、製造中に未融着粉末の溢れ出しを捕捉するための容器５２６を含む。装置５００は、限定はしないが、選択的レーザー溶融（ＳＬＭ）、直接金属レーザー溶融（ＤＭＬＭ）および電子ビーム溶融（ＥＢＭ）などの粉末ベースの積層造形プロセスにおいてそれぞれ異なる機能を果たすいくつかの構成要素を有する構築ユニット５０８を含む。構築ユニット５０８の構成要素は、例えば、粉末送達機構５１４（例えば、ホッパー）、照射ビーム指向機構５１２、リコーティング機構５１６および温度制御機構５２５（図５Ｂおよび図５Ｃ参照）であってもよい。リコーティング機構５１６は、スクレーパ、ブレード、スキージ、ローラーなどであってもよい。装置５００は、支持構造体５３２に取り付けられてもよい。
【００３３】
装置５００の積層造形プロセス中に、粉末送達機構５１４は、原料粉末５２０を送達して、構築プラットフォーム５０２の粉末ベッド上に堆積させる。粉末リコーティング機構５１６は、堆積した粉末５２０を広げて平坦化し、実質的に均一な粉末層にする。次いで、実質的に均一な粉末層の一部（すなわち、構築領域）は、照射ビーム指向機構５１２によって放射されたレーザーまたは電子ビームによって溶融され、構築対象物５３０の融着された付加層を形成することができる。照射ビームは、添付図面全体にわたって破線で示されている。上記の製造サイクルが繰り返されて、複数の層が積み重ねられて、構築対象物５３０を形成することができる。図５Ｃは、単一の構築対象物５３０を示しているが、大規模積層造形装置５００を使用して、環状構築プラットフォーム５０２内に複数の小さな対象物を同時に積層造形することができることを理解されたい。
【００３４】
構築ユニット５０８は、構築ユニット５０８を回転軸５１０の周りに３６０°回転させるように構成された回転機構５０４に取り付けることができる。１つの例示的な実施形態では、構築ユニット５０８は、回転機構５０４の円周５３８上の領域に直接取り付けられてもよい。代替的な実施形態では、支持アーム５１８が回転機構５０４の周囲から出て、その上に粉末送達機構５１４、照射ビーム指向機構５１２、粉末リコーティング機構５１６および温度制御機構５２５のうちの少なくとも１つを装着することができる。
【００３５】
図５Ｂでは、粉末送達機構５１４および照射ビーム指向機構５１２は、支持アーム５１８に固定されてもよく、粉末リコーティング機構５１６は、粉末５２０を分配するための粉末送達機構５１４に、特に粉末送達機構５１４の底部に取り付けられる。温度制御機構５２５は、粉末送達機構５１４に取り付けられ、照射ビーム指向機構５１２から離れるように取り付けられてもよい。一態様によれば、本発明は、例えば、有利にかつ戦略的に、照射ビーム指向機構５１２と温度制御機構５２５との間にいくらかの距離を課して、温度制御機構５２５は、溶融プールの代わりに、構築対象物の成長部分のリアルタイム温度を（すなわち、融着層を形成するための照射ビーム指向機構による照射後、および融着層の冷却および固化の前に）測定することを確実にする。例えば、照射ビーム指向機構５１２と温度制御機構５２５は、互いに少なくとも１５ｃｍ離れていることが望ましく、例えば１５〜６０ｃｍ、好ましくは２０〜６０ｃｍおよび３０〜６０ｃｍ、より好ましくは３０〜５０ｃｍ、３０〜４５ｃｍ、３０〜４０ｃｍ、１５〜４０ｃｍ、１５〜３０ｃｍ、２０〜３０ｃｍ、１５〜２０ｃｍ離れていることが望ましい。構築ユニット５０８は、粉末５２０をこの特定の順序で堆積させ、平坦化し、溶融させるので、例えば、回転機構５０４の矢印５３６で示す回転方向に対して、粉末送達機構５１４が粉末リコーティング機構５１６に先行し、その後に照射ビーム指向機構５１２が追随することができるような、これらの機能を付与する関連する３つの構成要素を配置することが有利であり得る。
【００３６】
本発明の例示的な実施形態によれば、回転機構５０４は、添付図面に具体化されるような円筒状構成を有する剛性構造体であってもよい。あるいは、回転機構は、環状、リング状またはドーナツ状の構成であってもよい。
【００３７】
構築ユニット５０８は、例えば図５Ａに示すように、回転機構５０４に取り付けられてもよい。回転機構５０４は、コネクタ５３４を介してタワー５０６に取り付けられ、支持されてもよい。コネクタ５３４は、上側レースと下側レースとの間に配置されたボール軸受として図５Ａに記載されているが、他のタイプの適切なコネクタを使用できることは当業者には容易に理解されよう。
【００３８】
タワー５０６は、環状構築プラットフォーム５０２の上に延在する垂直に細長い構造体であってもよい。タワー５０６、回転機構５０４および環状構築プラットフォーム５０２は同心であってもよく、図５Ｃに示すように共通の中心点Ｘを有してもよい。好ましくは、様々なサイズの環状構築プラットフォームを任意の所与のタワーおよび回転機構の周りに同心状に配置することができる。一般に、例えば、粉末ベッドの直径は、回転機構の直径およびタワーの幅もしくは直径より大きくてもよい。
【００３９】
特定の実施形態では、装置５００は、本出願人の同時係属中の米国特許出願第１５／６０９，９６５号（Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ａｎｄ  ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ  ａｄｄｉｔｉｖｅ  ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）および第１５／６１０，０５５号（Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ｗｉｔｈ  ｌａｒｇｅ，ｓｔａｔｉｏｎａｒｙ  ｒａｗ  ｍａｔｅｒｉａｌ  ｓｕｐｐｌｙ  ｍｅｃｈａｎｉｓｍ  ａｎｄ  ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ  ａｄｄｉｔｉｖｅ  ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）の一方または両方に開示した特徴および要素を組み込むことができる。これらの出願の各々は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。例えば、装置５００は、中央の大きな固定粉末供給機構をさらに含むことができる。粉末供給機構は、例えば、好ましくは回転機構５０４と共に同じ方向（例えば、矢印５３６で示す方向）に回転する供給シュートを介して粉末送達機構に接続されてもよい。好ましくは、粉末供給機構、供給シュート、タワー５０６、回転機構５０４および環状構築プラットフォーム５０２は、例えば図５Ｃに示すように点Ｘに同心であってもよい。粉末送達機構５１４に接続された大きな固定粉末供給機構の使用は、製造中に回転する粉末送達機構および支持アーム５１８によって運ばれる粉末５２０の重量が低減されることにより特に有利であり得る。
【００４０】
一態様によれば、本発明の装置は、構築チャンバ内に収容されてもよい。構築チャンバ内の雰囲気環境（すなわち、構築環境または収容ゾーン）は、周囲空気に対して酸素含有量の減少および環境中の減圧を有するように制御することができる。いくつかの実施形態では、構築環境は、不活性雰囲気（例えば、アルゴン雰囲気）を画定する。他の実施形態では、構築環境は、酸化を最小限に抑えるための還元雰囲気を画定する。さらに他の実施形態では、構築環境は真空を画定する。
【００４１】
本発明によれば、温度制御機構は、構築対象物の成長部分のリアルタイム温度を測定し、決定し、制御するように構成することができる。温度制御機構は、温度センサ、または限定はしないがパイロメータもしくは熱撮像装置などの、同じことを実行することができる同様の装置を含むことができる。一態様によれば、熱撮像装置は、成長部分の温度を単一の点で測定するだけでなく、複数の点で基板の温度を測定して成長部分に沿った温度勾配を決定するために利用されてもよい。
【００４２】
温度制御機構は、測定された成長部分の温度をアナログ信号またはデジタル信号として受け取り、信号を処理し、測定された温度を所定の基準温度と比較するコントローラ、すなわちプロセッサまたはコンピュータ装置をさらに含むことができる。次に、コントローラは、成長パラメータ（例えば、照射ビームの強度、持続時間および／または速度）のその場調整が必要かどうかを決定することができる。
【００４３】
一態様によれば、例えば、所与の構築層における成長部分の幾何学的形状のサイズは、その部分の第１の予想成長形状と比較してリアルタイム測定温度を補償するように、より大きくまたはより小さく調整することができる。さらに、また別の態様では、その部分が構築される構築層を調整することもできる。構築層を調整することは、成長方向に高く、望ましくない温度で成長する傾向のある部分に有用であり得る。
【００４４】
図６は、コントローラにより用いるための例示的な方法６００を示す。ステップ６０２で、溶融プールの温度を決定するために、パイロメータの入力が読み取られる。ステップ６０４で、粉末堆積プロセスが開始される。ステップ６０６で、成長部分の温度を所定の基準温度と比較することができる。成長部分の温度が基準温度よりも高い場合には、信号を照射ビーム指向機構コントローラに送って、ステップ６０８でレーザーまたは電子ビーム出力を減少させ、熱の蓄積を減少させるように走査パラメータを変更し、かつ／または補助熱源コントローラ（例えば、補助レーザーまたは電子ビーム出力コントローラ）に信号を送って、ステップ６１０で補助熱源（例えば、補助レーザーまたは電子ビーム）の出力を減少させることができる。逆に、成長点の温度が基準温度よりも低い場合には、信号を照射ビーム指向機構コントローラに送って、ステップ６１２でレーザーまたは電子ビーム出力を増加させ、熱の蓄積を増加させるように走査パラメータを変更し、かつ／または補助熱源コントローラ（例えば、補助レーザーまたは電子ビーム出力コントローラ）に信号を送って、ステップ６１４で補助熱源（例えば、補助レーザーまたは電子ビーム）の出力を増加させることができる。ステップ６１６で、成長部分の温度が測定され、プロセスが繰り返されてその部分が構築される。このように、成長部分の温度を堆積中にリアルタイムで制御することができる。
【００４５】
この明細書は、本発明を開示するために実施例を用いており、好ましい実施形態を含んでいる。また、いかなる当業者も本発明を実施することができるように実施例を用いており、任意のデバイスまたはシステムを製作し使用し、任意の組み込まれた方法を実行することを含んでいる。本発明の特許可能な範囲は、特許請求の範囲によって定義され、当業者が想到する他の実施例を含むことができる。そのような他の実施例は、特許請求の範囲の文言から相違しない構造要素を有しており、あるいは特許請求の範囲の文言から実質的に相違しない同等な構造要素を含む場合には、特許請求の範囲の技術的範囲に包含される。記載した様々な実施形態、ならびにこのような各態様の他の公知の均等物は、本出願の原理に従ってさらなる実施形態および技術を構築するように、当業者によって混合し適合することができる。
［実施態様１］
対象物（２３０、３３０）を構築するための積層造形装置（２００、３００、５００）であって、
粉末ディスペンサ（４１２）と、
照射源（２０６）と、
前記対象物（２３０、３３０）が粉末ベッド（２１４、３１４）内で構築されるプラットフォーム（２１０、３１０、５０２）と、
前記プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）の上に粉末層（４５４、４５６）を提供するリコータと、
前記対象物（２３０、３３０）が構築される際に前記対象物（２３０、３３０）の成長部分のリアルタイム温度を測定するように構成されたコントローラと、
を含む積層造形装置（２００、３００、５００）。
［実施態様２］
前記コントローラは、前記粉末ベッド（２１４、３１４）の熱状態を測定するように構成される、実施態様１に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様３］
前記成長部分の前記温度を測定するための温度センサをさらに含む、実施態様１に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様４］
前記コントローラは、前記成長部分の前記温度に基づいて、前記照射源（２０６）によって放射されるビーム出力の増加または減少を制御するように構成される、実施態様１に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様５］
前記コントローラは、前記リアルタイム温度測定に基づいて、所与の構築層における前記成長部分の幾何学的形状のサイズを調整するように構成される、実施態様１に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様６］
前記コントローラは、前記リアルタイム温度測定値に基づいて、所与の構築層を調整するように構成される、実施態様１に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様７］
対象物（２３０、３３０）を構築するための積層造形装置（２００、３００、５００）であって、
粉末送達機構（２１４、５１４）と、リコータと、照射源（２０６）と、前記対象物（２３０、３３０）が構築される際に前記対象物（２３０、３３０）の成長部分のリアルタイム温度を測定するように構成された温度制御機構（２０８、５２５）と、を含む構築ユニット（２０２、３０２、５０８）と、
構築プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）と、
前記構築ユニット（２０２、３０２、５０８）に取り付けられ、前記構築ユニット（２０２、３０２、５０８）に対して中心軸の周りで回転可能な回転機構（５０４）と、
を含む積層造形装置（２００、３００、５００）。
［実施態様８］
前記構築プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）は環状である、実施態様７に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様９］
前記回転機構（５０４）を支持するためのタワー（５０６）をさらに含む、実施態様７に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様１０］
前記構築プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）、前記回転機構（５０４）および前記タワー（５０６）は同心である、実施態様９に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様１１］
前記温度制御機構（２０８、５２５）は温度センサを含む、実施態様７に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様１２］
前記温度制御機構（２０８、５２５）は、前記成長部分の前記温度に基づいて、前記照射源（２０６）によって放射されるビーム出力の増加または減少を制御するように構成される、実施態様７に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様１３］
前記構築ユニット（２０２、３０２、５０８）は、前記回転機構（５０４）の前記中心軸の周りを円形経路で移動する、実施態様７に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様１４］
前記構築プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）は、前記構築プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）の中心軸の周りで回転可能である、実施態様７に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様１５］
前記構築プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）に実質的に平行な少なくとも２つの方向で前記構築ユニット（２０２、３０２、５０８）の独立した動きを提供するように構成された位置決め機構（２２５）をさらに含む、実施態様７に記載の装置（２００、３００、５００）。
［実施態様１６］
対象物（２３０、３３０）を製造する方法（６００）であって、
（ａ）所与の粉末層（４５４、４５６）を粉末ベッド（２１４、３１４）内の構築プラットフォーム（２１０、３１０、５０２）上に堆積させるステップと、
（ｂ）所与の融着領域を形成するために前記粉末ベッド（２１４、３１４）内の前記所与の粉末層（４５４、４５６）を融着させるステップと、
（ｃ）前記融着された粉末層（４５４、４５６）のリアルタイム温度を測定するステップと、
（ｄ）次の粉末層（４５４、４５６）を堆積させるステップと、
（ｅ）前記対象物（２３０、３３０）が前記粉末ベッド（２１４、３１４）内に形成されるまで、ステップ（ａ）〜ステップ（ｄ）を繰り返すステップと、
を含む方法（６００）。
［実施態様１７］
前記融着された層の前記リアルタイム温度を所定の基準温度と比較するステップをさらに含む、実施態様１６に記載の方法（６００）。
［実施態様１８］
前記リアルタイム温度比較に基づいて、前記所与の層の前記融着を制御するステップをさらに含む、実施態様１７に記載の方法（６００）。
［実施態様１９］
前記リアルタイム温度測定に基づいて、所与の構築層における前記成長部分の幾何学的形状のサイズを調整するステップをさらに含む、実施態様１６に記載の方法（６００）。
［実施態様２０］
前記リアルタイム温度測定に基づいて所与の構築層を調整するステップをさらに含む、実施態様１６に記載の方法（６００）。
【符号の説明】
【００４６】
１００  システム
１０１  構築チャンバ
１０２  構築プレート
１０３  供給粉末リザーバ
１０４  余剰粉末容器
１０５  エレベータ
１０６  リコータブレード
１０７  選択された部分
１０８  レーザービーム
１０９  構築対象物
１１０  ガルボスキャナ
２００  積層造形装置
２０１  構築エンクロージャ
２０２  移動構築ユニット
２０４  リコーティング機構
２０６  照射ビーム指向機構
２０８  温度制御機構
２１０  構築プラットフォーム
２１４  粉末ベッド
２２４  外側構築エンベロープ
２２５  位置決め機構
２２５Ｘ  ｘクロスビーム
２２５Ｙ  ｙクロスビーム
２２５Ｚ  ｚクロスビーム
２２６  内側構築エンベロープ
２３０  対象物
３００  積層造形装置
３０２  構築ユニット
３１０  回転構築プラットフォーム
３１４  粉末ベッド
３１６  モータ
３２４  外側構築壁
３２５Ｘ  「ｘ」クロスビーム
３２５Ｙ  「ｙ」クロスビーム
３２５Ｚ  「ｚ」クロスビーム
３２６  内側構築壁
３２８  固定支持構造体
３３０  印刷対象物
４０４  リコーティング機構
４０８  リコータアーム
４１２  粉末ディスペンサ
４１５  粉末
４１６  ゲートプレート
４１８  アクチュエータ
４３２  ガス流機構
４３４  ガス入口
４３６  ガス出口
４３８  ガス流ゾーン
４４０  エンクロージャ
４４２  不活性環境
４４４  リコータプレート
４４６  バックプレート
４４８  フロントプレート
４５０  リコータブレード
４５２  作動要素
４５４  粉末層
４５６  粉末層
４５８  照射ビーム
４６４  ギャップ
５００  大規模積層造形装置
５０２  環状構築プラットフォーム
５０４  回転機構
５０６  タワー
５０８  構築ユニット
５１０  回転軸
５１２  照射ビーム指向機構
５１４  粉末送達機構
５１６  粉末リコーティング機構
５１８  支持アーム
５２０  原料粉末
５２２  円形外壁
５２４  円形内壁
５２５  温度制御機構
５２６  容器
５２８  非回転構築プレート
５３０  構築対象物
５３２  支持構造体
５３４  コネクタ
５３６  回転方向
５３８  円周
５４２  構築面
６００  方法
【図１】
2019073796.tif 000003
【図２】
2019073796.tif 000004
【図３】
2019073796.tif 000005
【図４】
2019073796.tif 000006
【図５Ａ】
2019073796.tif 000007
【図５Ｂ】
2019073796.tif 000008
【図５Ｃ】
2019073796.tif 000009
【図６】
2019073796.tif 000010
【外国語明細書】
2019073796000001.pdf