(57)【要約】【課題】測定装置に表面弾性波センサが挿入された際に、挿入された表面弾性波センサの検査の種類を識別することができる表面弾性波センサを提供する。【解決手段】本発明の表面弾性波センサは、表面弾性波を基板上に励起し、当該表面弾性波の特性変化により前記基板上の検出部に載置あるいは接触させた被検出物の物性を測定する表面弾性波センサであって、前記測定における測定周波数とは異なる周波数である識別周波数の識別表面弾性波を反射する識別用反射電極を有し、当該識別用反射電極からの前記識別表面弾性波の反射の情報を、個々の表面弾性波センサが行う検査の種類を識別する識別情報とする。【選択図】図１
2019066199.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面弾性波を基板上に励起し、当該表面弾性波の特性変化により前記基板上の検出部に載置あるいは接触させた被検出物の物性を測定する表面弾性波センサであって、
前記測定における測定周波数とは異なる周波数である識別周波数の識別表面弾性波を反射する識別用反射電極を有し、
当該識別用反射電極からの前記識別表面弾性波の反射の情報を、個々の表面弾性波センサが行う検査の種類を識別する識別情報とする
ことを特徴とする表面弾性波センサ。
【請求項２】
前記識別用反射電極が、記表面弾性波の伝搬経路上に設けられ、複数の互いに異なる周波数の前記識別周波数毎に設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載の表面弾性波センサ。
【請求項３】
前記表面弾性波の前記伝搬経路の伝搬方向において、前記識別反射電極を前記検出反射電極に対して、前記反応領域と異なる側に配置する
ことを特徴とする請求項２に記載の表面弾性波センサ。
【請求項４】
前記表面弾性波の前記伝搬経路の伝搬方向において、前記識別反射電極を前記電極部に対して、前記反応領域と異なる側に配置する
ことを特徴とする請求項２に記載の表面弾性波センサ。
【請求項５】
前記伝搬経路上における前記識別反射電極の位置を、前記伝搬経路の前記表面弾性波の伝搬方向において異ならせることにより、前記識別表面弾性波の前記所定遅延時間を複数種類で制御し、前記識別周波数と組合せて、個々の表面弾性波センサが行う検査の種類を識別する識別情報とする
ことを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか一項に記載の表面弾性波センサ。
【請求項６】
前記識別反射電極の反射係数を複数段階で制御することにより、前記識別表面弾性波の反射される信号強度を複数種類で制御し、前記識別周波数と組合せて、個々の表面弾性波センサが行う検査の種類を識別する前記識別情報とする
ことを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか一項に記載の表面弾性波センサ。
【請求項７】
前記伝搬経路上における前記識別反射電極の位置を、前記伝搬経路の前記表面弾性波の伝搬方向において異ならせることにより、前記識別表面弾性波の前記所定遅延時間を複数種類で制御し、かつ前記識別反射電極の反射係数を複数段階で制御することにより、前記識別表面弾性波の反射される信号強度を複数種類で制御し、前記識別用の前記識別周波数と組合せて、個々の表面弾性波センサが行う検査の種類を識別する
ことを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか一項に記載の表面弾性波センサ。
【請求項８】
前記入力信号により励振され、圧電基板上に表面弾性波を発生させる第１電極部と、
前記圧電基板上において、前記表面弾性波の伝搬方向に設けられ所定周波数の前記表面弾性波を受信し、前記出力信号とする第２電極部と、
前記第１電極部と前記第２電極部との各々の間における前記表面弾性波の伝搬経路上に設けられ、被測定物が配置される反応場と
を備え、
前記識別反射電極が、前記電極部の前記表面弾性波の伝搬経路上に設けられ、前記検出表面弾性波と異なる周波数であり、複数の互いに異なる周波数の前記識別周波数毎に設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載の表面弾性波センサ。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか一項に記載された表面弾性波センサを備え、前記出力信号と前記識別情報とを比較し、前記表面弾性波センサから入力される当該出力信号が、当該表面弾性波センサを用いて行う検査の種類を示す前記識別情報と一致しているか否かを判定する検出部を有する
ことを特徴とする測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面弾性波構成素子を有する表面弾性波センサ及び測定システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、表面弾性波素子は、圧電基板と、この圧電基板上に設けられた櫛歯状電極指からなる入力電極及び出力電極を備えている。表面弾性波素子では、表面弾性波のうち、伝搬方向と直交する方向に変位するすべり表面弾性波（SH-SAW:Shear horizontal Surface Acoustic Wave、以下、単に表面弾性波）を利用する表面弾性波素子を用いた各種物質の検出や物性値等の測定を行うための弾性波センサが研究されている（特許文献１参照）。
【０００３】
上記表面弾性波素子を備える表面弾性波センサは、例えば、インフルエンザ検査キットなどの種類の検査を行うバイオセンサとして検討されている。その反応検出部分に検体が直接触れるため、基本的に使い捨てを前提として用いられている。このため、測定システムは、一般的に、表面弾性波センサと測定装置とに分けて構成される。測定装置は、いずれの種類の検査を行う表面弾性波センサに対しても対応可能に汎用的な構成であり、入力端子に対して表面弾性波センサの入出力端子が挿入されることで、この表面弾性波センサの検出する検体の特性データを入力する。
そして、検出装置は、供給される特性データを解析して検査結果を求め、表示装置などの出力装置から検査結果を通知する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３４８１２９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、表面弾性波センサがどの種類の検査に対応しているかは、表面弾性波センサの包装や箱に印刷やシールなどで示されているが、一旦包装や箱から取り出した後には、表面弾性波センサが対応する検査の種類の区別が付き難くなる。
このため、第１の種類の検査を行う際、異なる第２の種類の検査の表面弾性波センサを、第１の種類の検査の表面弾性波センサと取り違えて検出装置に挿入した場合、第１の種類の検査が行われず、第２の種類の検査が行われてしまう。
【０００６】
本発明は、上記の課題を考慮してなされたものであって、測定装置に表面弾性波センサが挿入された際に、表面弾性波センサの検査の種類を識別することができる表面弾性波センサ及び測定システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の表面弾性波センサは、表面弾性波を基板上に励起し、当該表面弾性波の特性変化により前記基板上の検出部に載置あるいは接触させた被検出物の物性を測定する表面弾性波センサであって、前記測定における測定周波数とは異なる周波数である識別周波数の識別表面弾性波を反射する識別用反射電極を有し、当該識別用反射電極からの前記識別表面弾性波の反射の情報を、個々の表面弾性波センサが行う検査の種類を識別する識別情報とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
この本発明によれば、測定装置に挿入された際に、表面弾性波センサの検査の種類を識別することができる表面弾性波センサ及び測定システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態によるＩＤ情報を搭載した表面弾性波センサを用いた測定システムの一例を示す図である。
【図２】第１の実施形態による表面弾性波センサを用いた測定システムの一例を示す図である。
【図３】本発明の第１の実施形態による検出装置２の構成例を示す図である。
【図４】図２のＩＤ反射電極の配置に対応するビットテーブルを示す図である。
【図５】第２の実施形態の表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。
【図６】図５のＩＤ反射電極の配置に対応するビットテーブルを示す図である。
【図７】図５のＩＤ反射電極の配置に対応する他のビットテーブルを示す図である。
【図８】本発明の第３の実施形態のさらに他の構成例による表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。
【図９】図２のＩＤ反射電極の反射信号の信号強度に対応するビットテーブルを示す図である。
【図１０】図５のＩＤ反射電極の配置に対応するビットテーブルを示す図である。
【図１１】図５のＩＤ反射電極の配置に対応するビットテーブルを示す図である。
【図１２】本発明の第７の実施形態の表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。
【図１３】第８の実施形態の表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。
【図１４】第９の実施形態の表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。
【図１５】第９の実施形態の他の構成の表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明は、表面弾性波センサ素子が備えられた表面弾性波センサにおいて、この表面弾性波素子における表面弾性波の周波数、表面弾性波の遅延時間または表面弾性波の信号強度の各々を、表面弾性波センサ素子が搭載された表面弾性波センサのＩＤ（Identification）情報（以下、識別情報とも言う）として用いることを特徴としている。
【００１１】
＜第１の実施形態＞
第１の実施形態による表面弾性波センサを説明する。図１は、第１の実施形態による表面弾性波センサを用いた測定システムの一例を示す図である。測定システムは、表面弾性波センサ１、検出装置２、評価サーバ３とから構成されている。この表面弾性波センサ１としては、検体（被検出物）の特性を測定するバイオセンサ、ガスの種類を測定するガスセンサ、溶液の電気特性（導電率及び比誘電率など）に基づき溶液の種類を測定する溶液検出センサなどである。表面弾性波センサ１の端子１ａを検出装置２の端子２ａに挿入することで、検出装置２は表面弾性波センサ１とのデータの送受信を行う。検出装置２と評価サーバ３とは、有線あるいは無線で接続され、有線であれば例えばＵＳＢ（Universal Serial Bus）のケーブルを用いて接続される。検出装置２は、表面弾性波センサ１から識別情報を取得し、表面弾性波センサ１の行う検査の種類を識別する。
評価サーバ３は、検出装置２に対する測定の制御、測定結果の表示及び測定結果の蓄積などを行う。また、評価サーバ３は、表面弾性波センサ１の識別情報と表面弾性波センサ１の検査の種類とが対応付けられた種類テーブルを有し、識別情報に対応する表面弾性波センサ１の検査の種類を種類テーブルから読み出して表示（出力）する。
ただし、検出装置２と評価サーバ３の役割は上記形態に関わらず、検出装置２に評価サーバ３の機能を持たせることも可能であり、例えば、測定結果の表示や測定結果の蓄積を行っても良い。
【００１２】
図２は、第１の実施形態の表面弾性波センサを上面から見た上面視における概略図を示している。図２に示す表面弾性波センサは、反射型の表面弾性波センサ素子が用いられている。基板１０１は、材料を特に限定しないが、表面弾性波を伝搬させることが可能な材料、例えば水晶あるいはＬiＴaＯ３（Lithium Tantalate）単結晶などの圧電基板で構成されている。この基板１０１の表面１０１Ｓには、入出力電極１０２および反射電極１０３とＩＤ反射電極１０４とが表面弾性波を反射する反射器として形成されている。入出力電極１０２、反射電極１０３、ＩＤ反射電極１０４の各々は、例えばアルミニウムなどの金属薄膜をパターニングして形成している。入出力電極１０２は、対向した一対の櫛歯状電極指により構成される櫛形電極であるが、反射電極は電気的にすべてが接続されたストリップ群か、電気的に接続されていないストリップ群である。反応領域薄膜１０５は、金属薄膜であり、例えば金が蒸着されて薄膜を形成し、検出する抗原に対応する抗体が金の薄膜の表面に固定される。この反応領域薄膜１０５が検出領域（センサの検出面となる領域）となる。この検出領域には検体が導入される。入出力電極１０２に電気信号が供給されることにより、電極指間に電界が発生し、圧電効果により励振された表面弾性波が基板１０１の表面１０１Ｓを伝搬する。
【００１３】
反応領域薄膜１０５は、基板１０１の表面１０１Ｓにおいて、入出力電極１０２と反射電極１０３との間における表面弾性波の伝搬路上に配置される。この入出力電極１０２は、表面弾性波を、図２の矢印の示す方向Ｈ（入出力電極１０２から反射電極１０３に向かう方向）に伝搬させるように設計される。
反射電極１０３は、測定に用いる検出周波数の表面弾性波（検出表面弾性波）を反射し、検出周波数以外の周波数の表面弾性波を透過させる特性を有する反射器である。
【００１４】
ＩＤ反射電極１０４は、検出周波数と異なる周波数であり、識別情報の設定に用いる識別周波数の表面弾性波（識別表面弾性波）を反射し、識別周波数以外の周波数の表面弾性波を透過させる特性を有する反射器である。また、ＩＤ反射電極１０４は、表面弾性波の伝搬方向において、検出を行う表面弾性波を反射させる反射電極１０３より後ろ側に配置することが望ましい。すなわち、表面弾性波の伝搬経路の方向Ｈにおいて、反射電極１０３に対して、反応領域薄膜１０５が配置された側と異なる側にＩＤ反射電極１０４を配置する。これにより、ＩＤ反射電極１０４は、反射電極１０３の表面弾性波の反射に影響を与えず、検出精度を維持して識別情報を与えることができる。
【００１５】
上述したように、入出力電極１０２は、検査周波数に対応して櫛歯状電極における電極指の間隔が設定され、検査周波数の電気信号を、検査周波数の表面弾性波に変換する。この入出力電極１０２は、識別周波数の電気信号を得た場合、電気信号から表面弾性波への変換の効率が低く、検査周波数と同等の信号レベルで、識別周波数の電気信号から所定の強度の表面弾性波を得られない場合がある。このため、識別周波数の電気信号を得た際、検査周波数の反射の検出と同等に検出可能な信号レベルとなるように、入出力電極１０２の電極指を間引きし、入出力電極１０２の周波数特性を調整することが望ましい。
【００１６】
すなわち、通常の正規型櫛歯状電極の周波数特性は中心周波数から離れるに従ってＳｉｎ(x)/(x)の関数に対応して信号レベルの減衰が大きくなる。しかしながら、本実施形態のように、電極指を間引いた間引き電極を利用することにより、信号レベルの減衰に対する周波数特性を調整することができる。この間引き電極の構成を用いることにより、中心周波数から離れた特定の周波数における減衰を比較的小さくし、信号レベルが大きくなる入出力電極１０２を設計することができる。このように、入出力電極１０２において、減衰の比較的小さな周波数を識別周波数ｆ１及び識別周波数ｆ２に設定すると効果的である。
【００１７】
図３は、第１の実施形態による検出装置２の構成例を示す図である。検出装置２は、入出力制御部２１、信号制御部２２、判定部２３及び記憶部２４の各々を備えている。ここで、検出装置２は、例えば、マイクロコンピュータ及びメモリ（記憶部２４）により構成された装置であり、表面弾性波センサ１の検査項目の種類に対応した検査処理を行うアプリケーションプログラムがインストールされている。そして、検出装置２において、上記信号制御部２２及び判定部２３の各々の機能がプログラムにより検査処理を行う手段として実行される。また、記憶部２４には、上記アプリケーションプログラムと、後述する識別情報とが記憶されている。本実施形態においては、識別情報が反射の有無情報である場合について説明する。
【００１８】
入出力制御部２１は、表面弾性波センサ１が検出装置２に挿入された際、表面弾性波センサ１との間で、検出周波数信号及び識別周波数信号の送受信を行う。信号制御部２２は、入出力制御部２１を介して、表面弾性波センサ１に対して、検出周波数及び識別周波数の電気信号を送信し、また、表面弾性波センサ１から反射電極により反射された表面弾性波に対応する電気信号を得る。また、信号制御部２２は、反射された表面弾性波に対応する電気信号が得られたか否かを判定部２３に対して、周波数を示す数値とともに出力する。ここで、信号制御部２２は、送信した電気信号が反射されたか否かを、送信した時間から予め設定された所定の遅延時間の間に反射された電気信号が得られるか否かにより検出する。
【００１９】
信号制御部２２は、上記所定の遅延時間内に、信号制御部２２において反射された電気信号が得られない場合、反射を行うべきＩＤ反射電極が存在しないと判定する。判定部２３は、得られた周波数が予め設定された識別周波数である場合、記憶部２４における反射の有無情報を参照する。本実施形態においては、１個のＩＤ反射電極１０４を配置するか否かによる識別表面弾性波の反射の有無の状態が識別情報であるため、２つの検査の種類の表面弾性波センサ１を識別することができる。例えば、検査の種類が種類Ａである場合、識別情報としては反射が有ることを示し、検査の種類が種類Ｂである場合、識別情報としては反射が無いことを示す有無情報が設定される。
【００２０】
判定部２３は、上述した識別情報の設定に基づいて、識別表面弾性波の反射の検出の有無が、記憶部２４の反射の有無を示す有無情報と比較する。そして、判定部２３は、反射の有無が記憶部の有無情報と一致した場合、表面弾性波センサ１の検査の種類がアプリケーションプログラムの検査の種類と一致したことを検出する。そして、判定部２３は、検査対象の種類に応じた表面弾性波センサ１に対する検査の処理を検出装置２に対して実行させる。
一方、判定部２３は、識別表面弾性波の反射の有無が、記憶部２４の有無情報と異なる場合、表面弾性波センサ１の検査の種類がアプリケーションプログラムの検査の種類と異なることを検出する。そして、判定部２３は、検査対象の種類に応じた表面弾性波センサ１に対する検査を検出装置２に対して行わせず、表面弾性波センサ１が間違って使用されることを評価サーバ３を介して検査担当者に対して通知する。
【００２１】
上述したように、本実施形態によれば、ＩＤ反射電極１０４が入出力電極１０２と反射電極１０３の間に設けられていないため、反応領域薄膜１０５における検出動作に影響を与えずに、識別情報を表面弾性波センサ１の表面弾性波素子に備えることができる。
また、本実施形態によれば、表面弾性波センサ１の検査の種類に応じたＩＤ反射電極１０４を配置するか否かにより、検出装置２に表面弾性波センサ１が挿入された際に、表面弾性波センサ１の各々の検査の識別情報を、識別表面弾性波の反射の有無を検出することで簡易に設定できる。
【００２２】
また、第１の実施形態の他の構成として、識別表面弾性波の反射の有無を識別情報として用いるのではなく、識別表面弾性波の反射の有無を信号制御部２２がビット値に変換し、識別情報として用いても良い。すなわち、判定部２３は、検出された識別表面弾性波の反射の有無について信号制御部２から供給された際、記憶部２４のビットテーブルから識別情報を読み出す構成としても良い。このビットテーブルには、検出される識別表面弾性波の反射の有無と、この識別表面弾性波の反射の有無に対応するビット値とが対応付けられている。
【００２３】
図４は、図２のＩＤ反射電極の配置に対応するビットテーブルを示す図である。ＩＤ反射電極１０４が識別周波数ｆ１の表面弾性波を反射するように設計されている場合、識別周波数ｆ１の電気信号を入出力電極１０２に入力すると、ＩＤ反射電極１０４から所定の遅延時間内に反射された識別周波数の表面弾性波が戻る。この構成の場合、ビットテーブルにおいては、識別周波数ｆ１の表面弾性波の反射が戻った場合に対応して、ビット値が「１」として設定され、所定の遅延時間内に戻らないに対応して、ビット値が「０」として設定されている。
ここで、判定部２３は、識別表面弾性波の反射の有無を変換したビット値がビットテーブルのビット値と一致した場合、表面弾性波センサ１の検査の種類がアプリケーションプログラムの検査の種類と一致したことを検出する。一方、判定部２３は、変換したビット値がビットテーブルのビット値と一致しない場合、表面弾性波センサ１の検査の種類がアプリケーションプログラムの検査の種類と異なることを検出する。
【００２４】
上述したように、本実施形態の他の構成例によれば、１ビットの識別情報により２種類の表面弾性波センサを識別する、すなわち検出装置２に表面弾性波センサ１が挿入された際に、挿入された表面弾性波センサ１の検査の種類を識別することができる。
【００２５】
また、図２においては、表面弾性波センサ１が１個の表面弾性波センサ素子、すなわち１チャンネルで形成されている。しかしながら、複数の表面弾性波センサ素子が並列に配列された表面弾性波センサの場合、各チャンネルの表面弾性波センサ素子の入出力電極１０２に対して、識別情報を形成するＩＤ反射電極を配置することで、識別情報の数に対してチャンネル数を乗算した数（以下、チャンネル数倍）の種類の表面弾性波センサの検査を識別する情報量を、表面弾性波センサ１に持たせることができる。
【００２６】
また、全てのチャンネルに識別情報のためのＩＤ反射電極を設ける構成ではなく、表面弾性波センサ１の識別する検査の種類の数を満足させる数の表面弾性波素子を選択し、ＩＤ反射電極を配置する構成としても良い。
また、複数チャンネルの反応領域薄膜１０５を有する表面弾性波素子に識別情報のＩＤ反射電極１０４を設けた構成において、いずれかのチャンネルを検査用とせずに反応領域薄膜１０５を設けないで識別専用として用いても良い。
【００２７】
＜第２の実施形態＞
第２の実施形態による識別情報を搭載した表面弾性波センサを説明する。図５は、第２の実施形態の表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。図２と同一の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。ＩＤ反射電極１０６は、反射電極１０３及びＩＤ反射電極１０４の各々の周波数帯と異なる識別周波数ｆ２の周波数帯の表面弾性波を反射する。また、ＩＤ反射電極１０６は、ＩＤ反射電極１０４と同様に、表面弾性波の伝搬方向において、検出を行う表面弾性波を反射させる反射電極１０３より後ろ側に配置する。
【００２８】
第２の実施形態の場合、検出装置２の各部は以下の動作を行う。信号制御部２２は、入出力制御部２１を介して、表面弾性波センサ１に対して、検出周波数及び識別周波数の電気信号を送受信する。また、信号制御部２２は、反射された表面弾性波に対応する電気信号が得られたか否かを判定部２３に対して、周波数及び遅延時間とともに出力する。信号制御部２２は、出力した識別周波数ｆ１及びｆ２の各々の周波数に対応する表面弾性波がそれぞれ反射されたか否かを検出する。判定部２３は、得られた周波数が識別周波数の場合、遅延時間と反射の有無を識別情報としている。本実施形態においては、複数個のＩＤ反射電極を配置するか否かによる識別表面弾性波の反射の有無を識別情報とする。
【００２９】
すなわち、識別周波数として識別周波数ｆ１及びｆ２の２種類を用いた場合、識別周波数と識別表面弾性波の反射の有無とによる次の４つの組合せに基づいて、４種類の異なる検査の種類の表面弾性波センサ１の識別が行える。すなわち、識別周波数ｆ１及びｆ２双方の表面弾性波が所定の範囲内の遅延時間に戻った場合（組合せＡ）、識別周波数ｆ１の表面弾性波が戻って、識別周波数ｆ２の表面弾性波が戻らない場合（組合せＢ）、識別周波数ｆ１の表面弾性波が戻らず、識別周波数ｆ２の表面弾性波が戻った場合（組合せＣ）、識別周波数ｆ１及びｆ２双方の表面弾性波が戻らない場合（組合せＤ）の４個の組合せである。
【００３０】
入出力制御部２１は、表面弾性波センサ１が検出装置２に挿入された際、表面弾性波センサ１とのデータの送受信を行う。信号制御部２２は、入出力制御部２１を介して、表面弾性波センサ１に対して、検出周波数及び識別周波数の電気信号を所定の間隔を置いて時系列に送信する。また、入出力制御部２１は、表面弾性波センサ１から反射電極により反射された表面弾性波に対応する電気信号が供給される。信号制御部２２は、反射された表面弾性波に対応する電気信号が得られたか否かを示す情報を、周波数（検出周波数及び識別周波数）を示す数値とともに判定部２３に対して出力する。
【００３１】
判定部２３は、得られた周波数が識別周波数である場合、記憶部２４に記憶された組合せ（組合せＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄのいずれか）における反射の有無情報を参照する。そして、判定部２３は、得られる識別周波数ｆ１及びｆ２の各々の反射の有無の組合せと、記憶部２４の組合せ（識別情報）とが一致しているか否かの判定を行う。判定部２３は、この得られた反射の有無の組合せが、参照した記憶部２４の反射の有無の組合せと一致した場合（例えば、得られた反射の有無の組合せが組合せＡと同一である場合）、表面弾性波センサ１の検査の種類がアプリケーションの検査の種類（組合せＡに対応する検査の種類）と一致したことを検出する。そして、判定部２３は、検査対象の種類に応じた表面弾性波センサ１に対する検査の処理を検出装置２に対して実行させる。
一方、判定部２３は、得た組合せが、記憶部２４の組合せと一致していない場合、表面弾性波センサ１の検査の種類がアプリケーションプログラムの検査の種類と異なることを検出する。
【００３２】
また、第２の実施形態の他の構成として、識別周波数の各々の識別表面弾性波の反射の有無の組合せを一旦ビット値に変換し、このビット値を識別情報として用いる構成を用いても良い。
【００３３】
図６は、図５のＩＤ反射電極の配置に対応するビットテーブルを示す図である。ＩＤ反射電極１０４が識別周波数ｆ１の表面弾性波を反射する設計である場合、識別周波数ｆ１の電気信号を入出力電極１０２に入力すると、入出力電極１０２が識別周波数ｆ１の表面弾性波を伝搬経路に伝搬させる。そして、所定の遅延時間後に反射された識別周波数ｆ１の表面弾性波が入出力電極１０２に戻る。また、ＩＤ反射電極１０６は、識別周波数ｆ２の表面弾性波を反射するように設計されている。
【００３４】
図６に示すように、第２の実施形態の他の構成例におけるビットテーブルにおいては、識別周波数ｆ１の表面弾性波の反射が所定の遅延時間内に戻った場合（識別表面弾性波の反射が有る場合）に対応して、１ビット目のビット値が「１」に設定され、一方、所定の遅延時間内に戻らない場合（識別表面弾性波の反射が無い場合）に対応して、１ビット目のビット値が「０」に設定されている。また、識別周波数ｆ２の表面弾性波の反射の有無は、２ビット目に設定されている。これにより、本実施形態においては、２ビットの識別情報により４種類の表面弾性波センサを識別する。本実施形態においては、識別周波数をｆ１及びｆ２の２種類として説明したが、識別する表面弾性波センサの数に対応させ、必要に応じた数のそれぞれが異なる値の識別周波数を設定しても良い。
【００３５】
判定部２３は、入力された周波数が予め設定された識別周波数である場合、記憶部２４に予め書き込まれて記憶されている組合せ（組合せＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄのいずれか）に対応するビット値を記憶部２４のビットテーブルから読み出す。そして、判定部２３は、記憶部２４に記憶されている表面弾性波センサ１の検査の種類を示すビット値を参照する。
判定部２３は、識別表面弾性波の有無をビット値に変換し、この変換結果のビット値が、参照した記憶部２４のビット値と一致するか否かの判定を行う。
【００３６】
＜第３の実施形態＞
以下、図面を参照して、第３の実施形態による識別情報が設定された表面弾性波センサを説明する。第３の実施形態の表面弾性波センサは、図５と同様の構成をしているが、ＩＤ反射電極１０４及び１０６の各々の方向Ｈにおいて前後に配置される位置を入れ替えて（すなわち、遅延時間を入れ替えて）、識別周波数ｆ１とｆ２の遅延時間を制御している。したがって、ＩＤ反射電極１０４からの識別周波数ｆ１の識別表面弾性波の反射が遅延時間ｔ１及びｔ２のいずれかで検出され、ＩＤ反射電極１０６からの識別周波数ｆ２の識別表面弾性波の反射が遅延時間ｔ１及びｔ２とのいずれかで検出される。
【００３７】
本発明の第３の実施形態の場合、信号制御部２２は、第２の実施形態と同様に、入出力制御部２１を介し、表面弾性波センサ１に対して、検出周波数及び識別周波数の電気信号を送信し、反射電極で反射された表面弾性波に応じた電気信号を得る。
信号制御部２２は、入出力制御部２１を介して、表面弾性波センサ１に対して、識別周波数ｆ１及びｆ２の電気信号を順次、時系列に送信する。
本実施施形態においては、複数個のＩＤ反射電極を配置するか否か、複数個のＩＤ反射電極の配置位置の順番（遅延時間）、及び識別表面弾性波の反射の有無を識別情報とすることによって、複数のＩＤ反射電極の配置数に対応する数の検査の種類の表面弾性波センサ１を識別する。
【００３８】
すなわち、識別周波数が識別周波数ｆ１及びｆ２の２種類である場合、識別周波数と識別表面弾性波の反射の有無に加え、ＩＤ反射電極の配置位置の順番（すなわち遅延時間）を含めることで、７種類の異なる検査の種類の表面弾性波センサ１の識別を行うことができる。すなわち、識別周波数ｆ１及びｆ２の双方の表面弾性波がそれぞれ遅延時間ｔ１、遅延時間ｔ２で戻った場合（組合せＥ）、識別周波数ｆ１及びｆ２の双方の表面弾性波がそれぞれ遅延時間ｔ２、遅延時間ｔ１で戻った場合（組合せＦ）、識別周波数ｆ１の表面弾性波の反射が遅延時間ｔ１で戻って、識別周波数ｆ２の表面弾性波が戻らない場合（組合せＧ）、識別周波数ｆ１の表面弾性波の反射が遅延時間ｔ２で戻って、識別周波数ｆ２の表面弾性波が戻らない場合（組合せＨ）、識別周波数ｆ２の表面弾性波の反射が遅延時間ｔ１で戻って、識別周波数ｆ１の表面弾性波が戻らない場合（組合せＩ）、識別周波数ｆ２の表面弾性波が遅延時間ｔ２で戻って、識別周波数ｆ１の表面弾性波が戻らない場合（組合せＭ）、識別周波数ｆ１及びｆ２の双方の表面弾性波が戻らない場合（組合せＮ）の７個の組合せである。
【００３９】
ここで、信号制御部２２は、入出力制御部２１を介して、順次、時系列に識別周波数ｆ１及び識別周波数ｆ２の電気信号を表面弾性波センサ１に対して送信する。
そして、信号制御部２２は、上記所定の範囲内の遅延時間に、ＩＤ反射電極１０４及びＩＤ反射電極１０６の各々から、識別周波数ｆ１、ｆ２それぞれの識別表面弾性波の反射された電気信号の有無を判定する。そして、信号制御部２２は、識別周波数ｆ１の電気信号及びｆ２の電気信号に対する反射の電気信号の有無を検出する。信号制御部２２は、判定部２３に対して、識別周波数と、その反射された電気信号の有無と、反射された電気信号の遅延時間との組合せを出力する。
【００４０】
判定部２３は、得られた周波数が予め設定された識別周波数である場合、記憶部２４に記憶された組合せ（組合せＥ、Ｆ、Ｇ、Ｈ、Ｉ、Ｍ、Ｎのいずれか）における反射の有無情報を参照する。例えば、アプリケーションプログラムの組合せが組合せＥである場合、判定部２３は、得られた識別周波数ｆ１及びｆ２の各々の反射の有無と、反射の遅延時間との組合せと、参照される記憶部２４の組合せＥとが一致しているか否かの判定を行う。
【００４１】
また、第３の実施形態の他の構成例として、識別周波数の各々の識別表面弾性波の反射の有無と遅延時間との組合せをビット値に変換し、このビット値を識別情報として用いる構成を用いても良い。
図７は、図５のＩＤ反射電極の配置に対応する他のビットテーブルを示す図である。識別周波数ｆ１の表面弾性波を反射するＩＤ反射電極１０４が遅延時間ｔ１の位置に配置されている場合、識別周波数ｆ１の電気信号を入出力電極１０２に入力すると、遅延時間ｔ１後に反射された識別周波数ｆ１の表面弾性波が戻る。このＩＤ反射電極１０４が遅延時間ｔ２の位置に配置されている場合、遅延時間ｔ２後に反射された識別周波数ｆ１の表面弾性波が戻る。一方、識別周波数ｆ２の表面弾性波を反射するＩＤ反射電極１０６が遅延時間ｔ１の位置に配置されている場合、遅延時間ｔ１後に識別周波数ｆ２の表面弾性波が入出力電極１０２に戻る。また、このＩＤ反射電極１０６が遅延時間ｔ２の位置に配置されている場合、遅延時間ｔ２後に反射された識別周波数ｆ２の表面弾性波が戻る。
【００４２】
第３の実施形態におけるビットテーブルは、識別周波数ｆ１の表面弾性波が遅延時間ｔ１で戻った場合に対応して、１ビット目のビット値が「１」に設定され、一方、戻らない場合に対応して、１ビット目のビット値が「０」に設定されている。また、識別周波数ｆ１の表面弾性波が遅延時間ｔ２で戻った場合及び戻らない場合に対応して、２ビット目におけるビット値が設定されている。同様に、識別周波数ｆ２の表面弾性波が遅延時間ｔ１で戻った場合に対応して、３ビット目のビット値が「１」に設定され、一方、所定の遅延時間内に戻らない場合に対応して、３ビット目のビット値が「０」に設定されている。また、識別周波数ｆ２の表面弾性波が遅延時間ｔ２で戻った場合及び戻らない場合に対応して、４ビット目にビット値が設定されている。これにより、図７に示すように、本実施形態においては、４ビットの識別情報により、７種類の表面弾性波センサを識別する。
【００４３】
判定部２３は、得られた周波数が予め設定された識別周波数である場合、識別周波数の各々反射の有無と遅延時間との組合せ（組合せＥ、Ｆ、Ｇ、Ｈ、Ｉ、Ｍ、Ｎのいずれか）に対応するビット値を記憶部２４のビットテーブルから読み出す。そして、判定部２３は、記憶部２４の検査の種類を示すビット値と、表面弾性波センサ１の検査が検出装置２におけるアプリケーションの検査の種類とが一致するか否かの判定を行う。
【００４４】
図８は、第３の実施形態のさらに他の構成例による表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。表面弾性波の進行方向に直行する方向である伝搬経路の幅に対し、ＩＤ反射電極１０４Ａ及び１０６Ｂの各々は、伝搬経路の幅が半分の長さで形成されている。また、ＩＤ反射電極１０４Ａ及び１０６Ｂの各々は、表面弾性波の進行方向に対して重ならない位置に配置されている。
すなわち、識別周波数が識別周波数ｆ１及びｆ２の２種類である場合、識別周波数と識別表面弾性波の反射の有無に加え、ＩＤ反射電極の配置位置の順番（すなわち遅延時間）を含めることで、９種類の異なる検査の種類の表面弾性波センサ１の識別を行うことができる。すなわち、識別周波数ｆ１及びｆ２の双方の表面弾性波がそれぞれ遅延時間ｔ１、遅延時間ｔ２で戻った場合（組合せＥ）、識別周波数ｆ１及びｆ２の双方の表面弾性波がそれぞれ遅延時間ｔ２、遅延時間ｔ１で戻った場合（組合せＦ）、識別周波数ｆ１の表面弾性波の反射が遅延時間ｔ１で戻って、識別周波数ｆ２の表面弾性波が戻らない場合（組合せＧ）、識別周波数ｆ１の表面弾性波の反射が遅延時間ｔ２で戻って、識別周波数ｆ２の表面弾性波が戻らない場合（組合せＨ）、識別周波数ｆ２の表面弾性波の反射が遅延時間ｔ１で戻って、識別周波数ｆ１の表面弾性波が戻らない場合（組合せＩ）、識別周波数ｆ２の表面弾性波が遅延時間ｔ２で戻って、識別周波数ｆ１の表面弾性波が戻らない場合（組合せＭ）、識別周波数ｆ１及びｆ２の双方の表面弾性波が戻らない場合（組合せＮ）、識別周波数ｆ１及びｆ２の双方の表面弾性波がそれぞれ遅延時間ｔ１で戻った場合（組合せＯ）、識別周波数ｆ１及びｆ２の双方の表面弾性波がそれぞれ遅延時間ｔ２で戻った場合（組合せＰ）の９個の組合せである。このため、合計で９通りの組合せが可能であるため、９種類の表面弾性波センサを識別することができる。
【００４５】
また、本実施形態の説明においては、識別周波数をｆ１及びｆ２の２種類、遅延時間をｔ１及びｔ２の２種類として説明したが、識別する表面弾性波センサの数に対応させ、必要に応じた数であって、それぞれが異なる値の識別周波数、及び遅延時間を設定しても良い。また、ＩＤ反射電極１０４Ａ及び１０６Ｂの各々が表面弾性波の伝搬方向において重ならないように配置されるため、同一の識別周波数を１個のみ用い、伝搬方向における配置位置を制御する（入出電極からの距離を調整する）ことにより、識別周波数の表面弾性波の遅延時間のみでも識別情報として用いることができる。
【００４６】
＜第４の実施形態＞
第１の実施形態においては、識別周波数ｆ１の表面弾性波の反射の有無のみで検査の種類を識別する場合について説明したが、第４の実施形態においては、識別周波数ｆ１の表面弾性波のＩＤ反射電極１０４により反射される強度を複数の段階に分割する。例えば、本実施形態においては０（最低値）から最大値（例えば、入射される表面弾性波を、入射された強度の８０％の強度、設計により任意に設定）を８段階に分割する。
【００４７】
これにより、表面弾性波の強度を識別情報として用いることで、８種類の表面弾性波センサ１を識別する。ここで、ＩＤ反射電極１０４で反射される表面弾性波の強度の制御は、ＩＤ反射電極１０４の反射係数を調整することにより行う。すなわち、ＩＤ反射電極１０４の反射係数が、８段階のいずれかの強度となるように、ＩＤ反射電極１０４のＩＤ反射電極のストリップの本数、ストリップの幅、ストリップの開口長（ストリップ間の距離）、ストリップの厚さ（ストリップを形成する膜の厚さ）、ストリップの材料（膜の材料）などを調整する。
【００４８】
また、第４の実施形態の他の構成として、識別周波数の各々の識別表面弾性波の反射の反射強度を一旦ビット値に変換し、このビット値を識別情報として用いる構成を用いても良い。
図９は、図２のＩＤ反射電極の反射信号の信号強度に対応するビットテーブルを示す図である。ここで、表面弾性波センサ毎にＩＤ反射電極１０４の反射係数が異なるため、反射される表面弾性波の強度が表面弾性波センサ毎に異なる。これにより、図９（ａ）に示すように、信号強度が最低値から最大値までを８段階に分割し、３ビットの識別情報としている。図９（ｂ）に示すように、最低値の場合「０００」とし、最大値の場合「１１１」とする。これにより、３ビットの識別情報により、８種類の表面弾性波センサを識別できる。本実施形態の説明においては、反射係数を８段階に分類したが、識別する表面弾性波センサの数に対応させ、必要に応じた数の複数段階に反射係数を設定しても良い。
【００４９】
＜第５の実施形態＞
第２の実施形態においては、識別周波数ｆ１及びｆ２の表面弾性波の反射の有無のみで検査の種類を識別する場合について説明したが、第５の実施形態においては、識別周波数ｆ１及びｆ２の各々の表面弾性波の反射強度をＩＤ反射電極１０４、１０６それぞれにより複数の段階として８段階に分割することで説明する。識別周波数ｆ１及びｆ２の反射強度がそれぞれ８種類であるため、合計で１６種類の識別情報として用いることができる。表面弾性波センサ毎にＩＤ反射電極１０４及び１０６の各々の反射係数を、８段階のいずれかの強度となるように、識別周波数ｆ１、ｆ２それぞれのインピーダンスが調整される。
【００５０】
上述したように、本実施形態によれば、複数の異なる識別周波数の識別表面弾性波の各々のＩＤ反射電極からの反射波の反射強度の組合せにより簡易に識別情報が設定できる。
また、第５の実施形態の他の構成として、複数の異なる識別周波数の識別表面弾性波の各々のＩＤ反射電極からの反射波の反射強度の組合せをビット値に変換し、このビット値を識別情報として用いる構成を用いても良い。
【００５１】
図１０は、図５のＩＤ反射電極の配置に対応するビットテーブルを示す図である。図１０（ａ）に示すように、信号強度の最低値から最大値までを複数段階に分割する。例えば、信号強度が最低値から最大値までを８段階に分割され、弾性波周波数毎に３ビットの識別情報とされている。
【００５２】
図１０（ｂ）に示すように、例えば、下位３ビット（１から３ビット目を識別周波数ｆ１に対応させ、上位３ビット（４から６ビット目）を識別周波数ｆ２に対応させる。そして、下位３ビットと上位３ビットとにおいて、最低値の場合「０００」とし、５段階目の場合「１０１」とし、最大値の場合「１１１」とする。これにより、ＩＤ反射電極１０４及び１０６各々の反射係数を８段階に分類することにより、下位３ビット及び上位３ビットの６ビットの識別情報により、６４種類の表面弾性波センサを識別できる。
【００５３】
＜第６の実施形態＞
第３の実施形態においては、識別周波数ｆ１及びｆ２各々の表面弾性波の反射の有無と、遅延時間とを用いて検査の種類を識別する場合について説明したが第６の実施形態においては、識別周波数ｆ１及びｆ２の各々の表面弾性波の遅延時間と、ＩＤ反射電極１０４及び１０６の反射強度との組合せによって、検査の種類の識別を行う。
【００５４】
すなわち、表面弾性波の反射強度を８段階に分類する。さらに、遅延時間がｔ１或いはｔ２のそれぞれの信号の有無によって、識別周波数毎に４種類に分類する。これら８段階を４種類の組合せによって、合計３２種類の識別情報として用いることができる。信号制御部２２は、反射された表面弾性波に対応する電気信号の周波数、遅延時間及び信号強度を測定し、判定部２３に対して出力する。判定部２３は、得た周波数が識別周波数の場合、それぞれの遅延時間及び信号強度の組合せが、記憶部２４の反射強度及び遅延時間の組合せと一致するか否かの判定を行い、表面弾性波センサ１の検査の種類が、検出装置２にインストールされているアプリケーションの検査の種類と一致しているか否かを判定する。
【００５５】
また、第６の実施形態の他の構成例として、識別周波数の各々の識別表面弾性波の反射強度及び遅延時間の組合せをビット値に変換し、このビット値を識別情報として用いる構成を用いても良い。
図１１は、図５のＩＤ反射電極の配置に対応するビットテーブルを示す図である。ここで、ＩＤ反射電極１０４が識別周波数ｆ１の表面弾性波を反射するように設計され、ＩＤ反射電極１０６が識別周波数ｆ２の表面弾性波を反射するように設計されている。
【００５６】
また、ＩＤ反射電極１０４及び１０６の各々は、遅延時間の変更に対応して、配置される配置位置が任意に変更される。また、ＩＤ反射電極１０４及び１０６の各々は、それぞれの反射係数の組合せが他の表面弾性波センサと異なるように設計されている。ここで、表面弾性波センサ毎にＩＤ反射電極１０４及び１０６の反射係数の組合せが異なる。このため、表面弾性波センサ毎にＩＤ反射電極１０４及びＩＤ反射電極１０６の各々から反射されて戻って来る、識別周波数ｆ１及びｆ２それぞれで表面弾性波の強度が異なる。
【００５７】
これにより、図１１（ａ）のビットテーブルは、周波数と遅延時間と信号強度との組み合わせを、それぞれ周波数毎に８ビット、すなわち周波数ｆ１と周波数ｆ２とを合わせた１６ビットの識別情報を示している。ここで、遅延時間ｔ１の場合は、ビット値「０」で表し、遅延時間ｔ２の場合は、ビット値「１」で表している。 
【００５８】
そして、図１１（ｂ）に示すように、例えば、１ビット目から４ビット目を識別周波数ｆ１と遅延時間ｔ１との組合せに対応させ、５ビット目から８ビット目を識別周波数ｆ１と遅延時間ｔ２との組合せに対応させ、９ビット目から１２ビット目を識別周波数ｆ２と遅延時間ｔ１との組合せに対応させ、１３ビット目から１６ビット目を識別周波数ｆ２と遅延時間ｔ２との組合せに対応させる。これにより、識別情報は、反射される表面弾性波の強度を遅延時間毎に８段階に分類する３ビット、この強度に対応する遅延時間毎に４ビットとが用いられ、遅延時間がｔ１、ｔ２の２通り、識別周波数がｆ１、ｆ２の２通りであり、計１６ビットで構成されている。
【００５９】
＜第７の実施形態＞
以下、図面を参照して、第７の実施形態による識別情報を搭載した表面弾性波センサを説明する。図１２は、第７の実施形態の表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。図１２（ａ）において、図２と同一の構成については、同一の符号を付してある。ＩＤ符号化反射器１０７は、ＩＤ反射電極１０４及び１０６などと反射電極自体の構成が異なっている。すなわち、ＩＤ符号化反射器１０７は、反射電極における電極（電極指）の配置において、所定の間隔で配置された電極（電極指）が、識別情報のビット値に対応して形成された符号化反射器である。
【００６０】
図１２（ｂ）は、比較のため、所定の間隔で配置された電極から形成される反射電極、例えば、すでに説明した反射電極１０３、１０４、１０６の構成を示している。一方、図１２（ｃ）は、図１２（ａ）のＩＤ符号化反射器１０７として用いる反射電極の構成を示している。ＩＤ符号化反射器１０７は、図１２（ｂ）に示す電極指の少なくとも一つがビット値のデータに対応して間引きされて形成されている。
【００６１】
このＩＤ符号化反射器１０７は、識別情報のビット値に対応した電極の配置領域（電極配置領域）を有し、この電極配置領域のそれぞれが１ビットのデータに対応している。この電極配置領域に電極が配置されていると、この電極配置領域に対応するビットのデータは「１」を表す。一方、電極配置領域に電極が配置されていないと、この電極配置領域に対応するビットのデータは「０」を表す。このような、電極配置領域が表面弾性波の進行方向から順に複数設定されている。
【００６２】
すなわち、インパルスの電気信号を入出力電極１０２に与えると、このインパルスの電気信号に対応する表面弾性波が、入出力電極１０２からＩＤ符号化反射器１０７に対して供給される。このとき、ＩＤ符号化反射器１０７において、配置領域に電極が有る場合に識別表面弾性波が反射され所定の遅延時間で入出力電極１０２に反射のパルスは戻る。一方、配置領域に電極が無い場合に識別表面弾性波が反射されずに入出力電極１０２に反射のパルスは戻らない。
【００６３】
そして、信号制御部２２は、入出力電極１０２に対して供給したインパルスの電気信号に対応して、所定の時間経過後に入出力電極１０２からの電気信号のパルス列におけるパルス毎の遅延時間をサンプリングし、反射波の有無と順序に基づいてビット列を抽出する。信号制御部２２は、この抽出したビット列を判定部２３に対して出力する。
【００６４】
＜第８の実施形態＞
以下、図面を参照して、第８の実施形態による識別情報を搭載した表面弾性波センサを説明する。図１３は、第８の実施形態の表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。図１３において、図５と同様な構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。ＩＤ反射電極１０４及び１０６の各々は、入出力電極１０２に対して、表面弾性波の進行方向（方向Ｈ）に対して逆側（入出力電極１０２よりも手前側）に配置されている。この場合、入出力電極１０２は、方向Ｈのみでなく、方向Ｈに対して反対方向にも表面弾性波を送信し、かつＩＤ反射電極１０４及び１０６の各々から反射された表面弾性波を受信する。識別情報については、すでに説明した第１の実施形態から第７の実施形態と同様である。
【００６５】
＜第９の実施形態＞
以下、図面を参照して、第９の実施形態による識別情報を搭載した表面弾性波センサを説明する。図１４は、第９の実施形態の表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。図１４において、図５と同様な構成については、同一の符号を付してある。図１４は、入出力型の表面弾性波センサ素子を用いた表面弾性波センサである。すなわち、表面弾性波センサは、第１の実施形態から第８の実施形態において説明した反射型ではなく、入力電極１０２から方向Ｈに向かって伝搬する表面弾性波を、出力電極１０８により受信して電気信号として出力する構成である。
【００６６】
第９の実施形態は、識別情報の取得については第８の実施形態と同様であり、表面弾性波センサの識別処理を行う際、所定の識別周波数の入力信号を入出力電極１０８に対して与える構成である。入出力電極１０８は、表面弾性波をＩＤ反射電極１０４及び１０６の方向に伝搬させ、反射される表面弾性波を電気信号に変換する。また、第９の実施形態においても、ＩＤ反射電極１０４及び１０６の各々を、入出力電極１０２に対して、表面弾性波の方向Ｈと逆側に配置しても良い。この場合、所定の識別周波数の入力信号が入出力電極１０２に対して与えられる。
【００６７】
図１５は、本発明の第９の実施形態の他の構成の表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。図１５において、図１２と同様な構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。この図１５の表面弾性波センサは、図１４と同様に、入出力型の表面弾性波センサ素子を用いている。すなわち、図１５の表面弾性波センサは、図１４におけるＩＤ反射電極１０４及び１０６を、第７の実施形態におけるＩＤ符号化反射器１０７と換えた構成である。また、図１５の構成においても、ＩＤ符号化反射器１０７を、入出力電極１０２に対して、表面弾性波の方向Ｈと逆側に配置しても良い。
上述した第１の実施形態から第９の実施形態においては、表面弾性波センサ１に１個の表面弾性波素子が設けられている例を説明した。しかしながら、複数個の表面弾性波素子が設けられてる表面弾性波センサの場合、それぞれの表面弾性波素子において、第１の実施形態から第９の実施形態のいずれかに示した構成により識別情報を付与することで、表面弾性波センサを識別するために用いるビット数を増加させることができる。
【００６８】
上述した第１から第９の実施形態によれば、検出装置２に表面弾性波センサ１が挿入された際、挿入された表面弾性波センサ１の検査の種類が、検出装置２にインストールされているアプリケーションの検査の種類と異なる場合、アプリケーションの検査と異なる表面弾性波センサ１に対する無駄な検査の解析処理の実行を中止させ、検査担当者に対して通知することで、アプリケーションが対象とする検査と異なる検査による間違った検査結果の出力を防止することができる。
以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
【符号の説明】
【００６９】
１…表面弾性波センサ  １ａ，２ａ…端子  ２…検出装置  ３…評価サーバ  ２１…入出力制御部  ２２…信号制御部  ２３…判定部  ２４…記憶部  １０１…基板  １０１Ｓ…表面  １０２，１０８…入出力電極  １０３…反射電極  １０４，１０４Ａ，１０６，１０６Ｂ…ＩＤ反射電極  １０５…反応領域薄膜  １０７…ＩＤ符号化反射器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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