(57)【要約】      （修正有）【課題】制御フローの処理方法、装置、電子設備、及び記憶媒体を提供する。【解決手段】制御フローの処理方法、装置、電子設備及び記憶媒体を提供する。前記方法は、事前に確立された制御フローと二分木との間の1対1の対応関係に従って、制御フローに対応する二分木を確定し、二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは制御エンティティであり、1つの制御エンティティは1つの制御サブフローを記憶し、制御サブフローは制御フローを分割して得られる、二分木のマッチングと、取得した制御フローに対応する操作データを二分木に入力し、操作データが条件を満たすと判定されると、制御エンティティに対応する制御サブフローを出力する、ことを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
事前に確立された制御フローと二分木との間の1対1の対応関係に従って、制御フローに対応する二分木を確定し、
前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは制御エンティティであり、1つの前記制御エンティティは1つの制御サブフローを記憶し、前記制御サブフローは前記制御フローを分割して得られる、二分木のマッチングと、
取得した制御フローに対応する操作データを前記二分木に入力し、前記操作データが前記条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力する、出力と、を含む、
ことを特徴とする制御フローの処理方法。
【請求項２】
前記二分木は、前記論理エンティティと前記制御エンティティとを接続するためのルーティングノードを更に含み、前記制御エンティティは前記論理ノード又は前記ルーティングノードに接続される、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項３】
前記制御フローを、2つの段階の制御サブフローに分割し、1段階制御サブフローは1つ又は複数の2段階制御サブフローを含み、それに対応して、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
1つ又は複数の前記1段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは2段階制御サブフローであり、 
前記操作データが前記1段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、1つ又は複数の前記2段階制御サブフローを出力する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
【請求項４】
前記制御フローを3つの段階の制御サブフローに分割し、2段階制御サブフローは1つ又は複数の3段階制御サブフローを含み、前記3段階制御サブフローは最小制御フローであり、それに対応して、1つ又は複数の前記2段階制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
1つ又は複数の2段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは3段階制御サブフローであり、
前記操作データが前記2段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、1つ又は複数の前記3段階制御サブフローを出力する、
ことを特徴とする請求項3に記載の方法。
【請求項５】
前記3段階制御サブフローは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類に関し、
それに対応して、1つ又は複数の前記3段階制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
1つ又は複数の3段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは、前記離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージであり、
前記操作データが前記3段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、前記離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を出力する、
ことを特徴とする請求項4に記載の方法。
【請求項６】
前記制御エンティティは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を更に含み、それに対応して、出力するステップは、具体的に、取得した制御フローに対応する操作データを前記二分木に入力し、前記操作データが別の1つ又は複数の論理ノードの条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を出力する、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項７】
前記論理エンティティは、制御サブフローの並行性に関する判定の条件を記憶し、前記制御サブフローは、制御フローを並行性に従って分割して得られ、
前記制御サブフローが同期の制御フローであると判定されると、前記同期の制御フローを出力し、前記制御サブフローが非同期の制御フローであると判定されると、前記非同期の制御フローを出力する、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項８】
前記同期の制御フローは、第1の制御サブフローと第2の制御サブフローとを含み、前記第1の制御サブフローと第2の制御サブフローは、前記同期の制御フローに従って分割して得られ、前記第1の制御サブフローは、第1の制御サブフローの終了時刻を含み、前記第2の制御サブフローは第2の制御サブフローの開始時刻を含み、前記第2の制御サブフローの開始時刻は、前記第1の制御サブフローの終了時刻と等しく、又はそれより遅い、
ことを特徴とする請求項7に記載の方法。
【請求項９】
前記同期の制御フローは1段階制御サブフローであり、前記第1の制御サブフローと第2の制御サブフローは2段階制御サブフローであり、前記2段階制御サブフローは前記1段階制御サブフローに従って分割して得られた制御サブフローであり、
又は、
前記同期の制御フローは2段階制御サブフローであり、前記第1の制御サブフローと第2の制御サブフローは3段階制御サブフローであり、前記3段階制御サブフローは、前記2段階制御サブフローに従って分割して得られた最小制御フローである、
ことを特徴とする請求項8に記載の方法。
【請求項１０】
前記非同期の制御フローは、複数の第3の制御サブフローを含み、前記第3の制御サブフローは、前記非同期の制御フローに従って分割して得られる、
ことを特徴とする請求項7に記載の方法。
【請求項１１】
前記非同期の制御フローは1段階制御サブフローであり、前記第3の制御サブフローは2段階制御サブフローであり、
又は、
前記非同期の制御フローは2段階制御サブフローであり、前記第3の制御サブフローは3段階制御サブフローであり、前記3段階制御サブフローは最小制御フローである、
ことを特徴とする請求項10に記載の方法。
【請求項１２】
前記3段階制御サブフローは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類に関わる、
ことを特徴とする請求項9又は11に記載の方法。
【請求項１３】
前記論理エンティティは、制御エンティティの並行性に関する判定の条件を記憶し、
2つの前記制御エンティティが同期であると判定されると、同期の制御エンティティを出力し、複数の前記制御エンティティが非同期であると判定されると、非同期の制御エンティティを出力する、
ことを特徴とする請求項6に記載の方法。
【請求項１４】
前記方法は、半導体設備の制御フローに応用される、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項１５】
マッチングモジュールと、出力モジュールとを含み、
前記マッチングモジュールは、二分木をマッチングするためのものであり、事前に確立された制御フローと二分木との間の1対1の対応関係に従って、前記制御フローに対応する二分木を確定し、
前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは制御エンティティであり、1つの前記制御エンティティは1つの制御サブフローを記憶し、前記制御サブフローは、前記制御フローを分割して得られ、
前記出力モジュールは、取得した制御フローに対応する操作データを前記二分木に入力し、前記操作データが前記条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するためのものである、
ことを特徴とする制御フローの処理装置。
【請求項１６】
メモリ、プロセッサ、バス、及びメモリに記憶されプロセッサ上で実行可能なコンピュータプログラムを含み、前記プロセッサが前記プログラムを実行する時、請求項1-14のいずれか一項のステップが実現されること、
を特徴とする電子設備。
【請求項１７】
コンピュータプログラムが記憶されている記憶媒体であって、前記プログラムがプロセッサに実行される時、請求項1-14のいずれか一項のステップが実現される、
ことを特徴とする記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施例は、通信技術分野に関し、特に制御フローの処理方法、装置、電子設備及び記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気システムは給電組合せ部材からなるシステムである。例えば、発電機、昇降圧変圧器、送電線、及びパワーユーザー設備からなるシステムが挙げられる。
【０００３】
電気システムは、3種類の制御論理（順次構造、選択構造、サイクル構造）で設備に対する制御フローを実現する。
【０００４】
制御論理は、実行ユニットがどのようにアクションを実行するか、例えば、どのような条件を満たすと開始するか、及びどれくらい続くかを指示するためのものである。
【０００５】
従来技術では、通常、直接に実行ユニットに制御コマンドが送信され、実行ユニットに制御コマンドを実行させ、ほぼフラット化管理である。そのうち、制御論理は行おうとすること（設備制御フロー）と混在され、電気システムの管理制御は混乱で、システム全体の効率が低下する。
【０００６】
現在、従来技術では、上記の問題を解決するための方法は存在しない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来技術の欠陥に対して、本発明の実施例は、制御フローの処理方法、装置、電子設備、及び記憶媒体を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
一態様では、本発明の実施例は制御フローの処理方法を提供し、前記方法は、
事前に確立された制御フローと二分木との間の1対1の対応関係に従って、前記制御フローに対応する二分木を確定し、
前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは制御エンティティであり、1つの前記制御エンティティは1つの制御サブフローを記憶し、前記制御サブフローは前記制御フローを分割して得られる、二分木のマッチングと、
取得した制御フローに対応する操作データを前記二分木に入力し、前記操作データが前記条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力する、出力とを含む。
【０００９】
別の態様では、本発明の実施例は制御フローの処理装置を提供し、前記装置は、マッチングモジュールと、出力モジュールとを含み、
前記マッチングモジュールは、二分木をマッチングするためのものであり、即ち、事前に確立された制御フローと二分木との間の1対1の対応関係に従って、前記制御フローに対応する二分木を確定し、
前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは制御エンティティであり、1つの前記制御エンティティは1つの制御サブフローを記憶し、前記制御サブフローは、前記制御フローを分割して得られ、
前記出力モジュールは、取得した制御フローに対応する操作データを前記二分木に入力し、前記操作データが前記条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するためのものである。
【００１０】
別の態様では、本発明の実施例は電子設備を更に提供し、前記電子設備は、メモリ、プロセッサ、バス、及びメモリに記憶され、プロセッサ上で実行可能なコンピュータプログラムを含み、前記プロセッサが前記プログラムを実行する時、上記方法のステップが実現される。
【００１１】
別の態様では、本発明の実施例は記憶媒体を更に提供し、前記記憶媒体にコンピュータプログラムが記憶されており、前記プログラムがプロセッサに実行される時、上記方法のステップが実現される。
【発明の効果】
【００１２】
上記技術案から分かるように、本発明の実施例に係る制御フローの処理方法、装置、電子設備、及び記憶媒体については、前記方法は、事前に構築された二分木を検索することにより制御フローの処理を実現し、本発明の事前に構築された二分木は論理エンティティと制御エンティティとの分離を実現するので、電気システムへの効率的な制御を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施例に係る制御フローの処理方法のフローチャートである。
【図２】本発明の実施例に係る制御フローの処理方法の二分木の模式図である。
【図３】本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法の二分木の模式図である。
【図４】本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法の二分木の模式図である。
【図５】本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法の二分木の模式図である。
【図６】本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法の二分木の模式図である。
【図７】本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法のActionの二分木の模式図である。
【図８】本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法のOperationの二分木の模式図である。
【図９】本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法のFlowの二分木の模式図である。
【図１０】本発明の別の実施例に係る制御フローの処理装置の構造の模式図である。
【図１１】本発明の別の実施例に係る電子設備の構造の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施例の目的、技術案及び利点をより明らかにするために、以下、本発明の実施例における図面を参照しながら、本発明の実施例における技術案を明確に記載する。勿論、記載された実施例は、すべての実施例ではなく、本発明の実施例の一部である。
【００１５】
本発明の実施例の用語の説明は以下の通りである。
【００１６】
制御フローは、電気システムが実行する一連のフローであり、制御フローは複数のアクションからなり、アクションは実行ユニット及びアクションを含み、実行ユニットは、制御論理の指示に従って、対応するアクションを実行し、これにより、システムは順調に実行する。
【００１７】
前記方法は、半導体設備の制御フローに応用され、例を挙げて説明すると、半導体設備は、MOCVD（Metal-organic Chemical Vapor Deposition、有機金属化学気相成長）設備、PVD (Physical Vapor Deposition、物理的気相成長)設備、ELO（Epitaxial Lift Off、エピタキシャルリフトオフ）設備、研磨（Polisher）設備、インクジェット印刷設備又は洗浄設備等を含む。
【００１８】
本発明の実施例は、電気システムがMOCVD（Metal-organic Chemical Vapor Deposition、有機金属化学気相成長)設備であることを例として説明する。
【００１９】
MOCVD設備の製造において、基板のローディング/アンローディング、基板ローディングツールの選択、基板又は基板ローディングツールの搬送、圧力制御、温度制御、加熱、冷却、気体制御、バルブ制御等の一連の制御フローに関わる。
実施例1
【００２０】
図1は本発明の実施例に係る制御フローの処理方法のフローチャートを示す。
【００２１】
図2は本発明の実施例に係る制御フローの処理方法の二分木の模式図を示す。
【００２２】
図1及び図2に示すように、本発明の実施例に係る方法は具体的に以下のステップ11〜12を含む。
【００２３】
ステップ11：事前に確立された制御フローと二分木との間の1対1の対応関係に従って、前記制御フローに対応する二分木を確定する、二分木のマッチングであり、
前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは制御エンティティであり、1つの前記制御エンティティは1つの制御サブフローを記憶し、前記制御サブフローは、前記制御フローを分割して得られる。
必要に応じて、複数の二分木を事前に確立し、1つの二分木は1つの制御フローに対応する。
【００２４】
必要に応じて、前記論理ノードは、本発明に新たに設定された判定の条件を記憶するための論理エンティティである。
【００２５】
必要に応じて、前記論理エンティティは、電気システムにおける制御論理を示すためのものであり、どのような複雑な制御であっても、順次、選択、サイクルの3種類の基本的な制御構造により構築される。順次構造は、順次に実行するものであり、例えば、ifが挙げられ、記憶された条件を満たすと、子ノードを実行し、選択構造は一方又は他方を実行するものであり、例えば、else if、else及びcaseが挙げられ、記憶された条件を満たすと、1つの子ノードを実行し、記憶された他の条件を満たすと、他の子ノードを実行し、サイクル構造は、繰り返して実行し、又は記憶された条件を満たす時に実行を終了させるものであり、例えば、loop、whileが挙げられる。
【００２６】
必要に応じて、前記葉ノードは、子ノードのない終点であって、二分木の検索結果を出力するためのものである。
【００２７】
必要に応じて、前記葉ノードは、本発明の設定される制御エンティティであって、制御サブフローを記憶するためのものであり、制御エンティティは制御対象である。
【００２８】
必要に応じて、予め設定された規則に従って前記制御フローを分割し、 1つ又は複数の制御サブフローを得る。
【００２９】
必要に応じて、二分木のマッチングを行い、前記制御フローに対応する1本の二分木を確定する。
【００３０】
ステップ12：取得した制御フローに対応する操作データを前記二分木に入力し、前記操作データが前記条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力する、出力であり、
【００３１】
必要に応じて、前記操作データは、圧力パラメータ、温度パラメータ、気体パラメータ、速度、流量又は制御信号（例えば、バルブスイッチ）等を含み、制御フローに対応する。
【００３２】
必要に応じて、取得した制御フローに対応する操作データを前記二分木に入力して検索する。
【００３３】
必要に応じて、二分木の検索パスは、論理ノード→葉ノードであり、即ち、操作データを入力した後、まず、論理エンティティを読み取り、論理エンティティの条件に従って、前記操作データが前記条件を満たすと判定されると、論理エンティティに対応する子ノード、つまり、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを読み取る。
【００３４】
本実施例に係る制御フローの処理方法は、事前に構築された二分木を検索することにより制御フローの処理を実現し、事前に構築された二分木は論理エンティティと制御エンティティとの分離を実現するので、電気システムへの効率的な制御を実現することができる。
実施例2
【００３５】
図3は本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法の二分木の模式図である。
【００３６】
図3に示すように、上記実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る制御フローの処理方法では、
前記二分木は、前記論理エンティティと前記制御エンティティとを接続するためのルーティングノードを更に含み、前記制御エンティティは前記論理ノード又は前記ルーティングノードに接続される。
【００３７】
必要に応じて、ルーティングノードは本発明に新たに追加されるノードであり、図3に示すように、前記ルーティングノードは、前記論理エンティティと前記制御エンティティとを接続することができる。
【００３８】
本実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本実施例では説明しない。
【００３９】
本実施例に係る制御フローの処理方法は、ルーティングノードを設置することにより、二分木をよりスムーズに検索することができる。
実施例3
【００４０】
図4は本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法の二分木の模式図である。
【００４１】
図4に示すように、上記実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る制御フローの処理方法では、前記制御フローを、2つの段階の制御サブフローに分割し、1段階制御サブフローは1つ又は複数の2段階制御サブフローを含み、それに対応して
前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
1つ又は複数の1段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは2段階制御サブフローである。
【００４２】
前記操作データが前記1段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、1つ又は複数の2段階制御サブフローを出力する。
【００４３】
必要に応じて、本発明の実施例では、予め設定された分割標準に従って前記制御フローを、2つの段階の制御サブフローに分割し、1段階制御サブフローは1つ又は複数の2段階制御サブフローを含む。
【００４４】
必要に応じて、前記制御フローは1つ又は複数の1段階制御サブフローを含み、1つの1段階制御サブフローは1つ又は複数の2段階制御サブフローを含む。
【００４５】
必要に応じて、1つ又は複数の前記1段階制御サブフローに対応する二分木を事前に確立し、前記操作データが制御フローの論理エンティティの条件を満たした後、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力することは、具体的に、1つ又は複数の前記1段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、対応する1つ又は複数の二分木を得て、
マッチングして1つの前記1段階制御サブフローに対応する二分木を得ると、二分木の論理エンティティの判定を経て、1つ又は複数の前記2段階制御サブフローを出力することができる。
【００４６】
マッチングして複数の前記1段階制御サブフローに対応する二分木を得ると、それぞれの二分木に対して、いずれも1つ又は複数の前記2段階制御サブフローを出力することができる。
【００４７】
必要に応じて、前記操作データは、圧力パラメータ、温度パラメータ、気体パラメータ、速度、流量又は制御信号（例えば、バルブスイッチ）等を含み、制御フローに対応して、各段階の制御サブフローの関する操作データを更に含む。
【００４８】
本実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本実施例では説明しない。
【００４９】
本実施例に係る制御フローの処理方法は、前記制御フローを2つの段階に分割することにより、前記操作データが制御フローの論理エンティティの条件を満たした後、前記1段階制御サブフローに対応する二分木を更に検索して、前記2段階制御サブフローを得る。
実施例4
【００５０】
図5は本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法の二分木の模式図である。
【００５１】
図5に示すように、上記実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る制御フローの処理方法では、前記制御フローを3つの段階の制御サブフローに分割し、2段階制御サブフローは1つ又は複数の3段階制御サブフローを含み、前記3段階制御サブフローは最小制御フローであり、それに対応して
1つ又は複数の前記2段階制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
1つ又は複数の2段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは3段階制御サブフローであり、
前記操作データが前記2段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、1つ又は複数の3段階制御サブフローを出力する。
【００５２】
必要に応じて、本発明の実施例では、予め設定された分割標準に従って、前記制御フローを3つの段階の制御サブフロー、即ち、1段階制御サブフロー、2段階制御サブフロー、及び3段階制御サブフローに分割する。
【００５３】
必要に応じて、1つ又は複数の前記2段階制御サブフローに対応する二分木を事前に確立し、前記操作データが1段階制御サブフローの論理エンティティの条件を満たした後、1つ又は複数の2段階制御サブフローを出力することは、具体的に、1つ又は複数の前記2段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、対応する1つ又は複数の二分木を得て、
それぞれの前記2段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの判定を経て、前記操作データがそれぞれの前記2段階制御サブフローの論理エンティティの条件を満たすと、1つ又は複数の前記3段階制御サブフローを出力する。
【００５４】
ただし、前記3段階制御サブフローは最小制御フローである。
【００５５】
マッチングして1つの前記2段階制御サブフローに対応する二分木を得ると、二分木の論理エンティティの判定を経て、1つ又は複数の前記3段階制御サブフローを出力することができる。
【００５６】
マッチングして複数の前記2段階制御サブフローに対応する二分木を得ると、それぞれの二分木に対して、いずれも1つ又は複数の前記3段階制御サブフローを出力することができる。
【００５７】
必要に応じて、前記操作データは、圧力パラメータ、温度パラメータ、気体パラメータ、速度、流量又は制御信号（例えば、バルブスイッチ）等を含み、制御フローに対応して、各段階の制御サブフローの関する操作データを更に含む。
【００５８】
本実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本実施例では説明しない。
【００５９】
本実施例に係る制御フローの処理方法は、前記制御フローを3つの段階に分割することにより、前記操作データが1段階制御サブフローの論理エンティティの条件を満たした後、前記2段階制御サブフローに対応する二分木を更に検索し、 1つ又は複数の最小制御フロー、即ち前記3段階制御サブフローを得る。
実施例5
【００６０】
上記実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る制御フローの処理方法では、前記3段階制御サブフローは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類に関し、
それに対応して、1つ又は複数の前記3段階制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
1つ又は複数の3段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは、前記離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージであり、
前記操作データが前記3段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、前記離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を出力する。
【００６１】
必要に応じて、本発明の実施例では、前記3段階制御サブフローは、具体的に、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類に関わる。
【００６２】
必要に応じて、事前に1つ又は複数の前記3段階制御サブフローに対応する二分木を確立し、前記操作データが2段階制御サブフローの論理エンティティの条件を満たした後、1つ又は複数の3段階制御サブフローを出力することは、具体的に、1つ又は複数の前記3段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングして、対応する1つ又は複数の二分木を得て、
それぞれの前記3段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの判定を経て、前記操作データがそれぞれの前記3段階制御サブフローの論理エンティティの条件を満たすと、当該論理エンティティに対応する葉ノードを出力して、前記3段階制御サブフローで対応する葉ノード（前記離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージ）を実行する。
【００６３】
必要に応じて、離散データは、送信された制御コマンドが比較的簡単であることを示す。例を挙げて説明すると、前記制御エンティティは、モータ電源投入の操作であり、モータ電源投入の操作は、2進法の1をモータに送信することであり、モータは1回の電源投入アクションを実行すると、モータ電源投入の操作を実現することができる。
【００６４】
必要に応じて、クラスタデータは、送信された制御コマンドが比較的複雑であることを示す。クラスタデータは一連の制御文字であり、いくつかの複雑で0/1で示すことができない制御コマンド、例えば、モータ回転について、操舵、回転速度等のパラメータを指示する必要がある場合、クラスタデータを含む制御コマンドをモータに送信する。
【００６５】
必要に応じて、アラームは、システムの操作データの指標が閾値を超えたこと、又は設備が故障したことを示す特殊なメッセージボディである。
【００６６】
必要に応じて、メッセージは通常のメッセージである。
【００６７】
マッチングして1つの前記3段階制御サブフローに対応する二分木を得ると、二分木の論理エンティティの判定を経て、前記離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を出力することができる。
【００６８】
マッチングして複数の前記3段階制御サブフローに対応する二分木を得ると、それぞれの二分木に対して、いずれも前記離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を出力することができる。
【００６９】
本実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本実施例では説明しない。
【００７０】
本実施例に係る制御フローの処理方法は、3段階制御サブフローで対応する葉ノード（前記離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージ）を実行することにより、細かい作業を実現する。 
実施例6
【００７１】
上記実施例1-5に基づいて、本発明の他の実施例に係る制御フローの処理方法では、前記制御エンティティは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類であり、それに対応して、出力するステップは、具体的に、取得した制御フローに対応する操作データを前記二分木に入力し、前記操作データが別の1つ又は複数の論理ノードの条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を出力する。
【００７２】
必要に応じて、前記二分木は、複数の制御エンティティを含み、そのうち、制御エンティティは、制御サブフローを記憶することができ、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を記憶することもできる。
【００７３】
理解できるように、前記操作データが制御サブフローの論理ノードの条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力する。
【００７４】
同様に、前記操作データが他の1つ又は複数の論理ノード（即ち、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージの論理ノード）の条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を出力する。
【００７５】
必要に応じて、離散データは、送信された制御コマンドが比較的簡単であることを示す。例を挙げて説明すると、前記制御エンティティは、モータ電源投入の操作であり、モータ電源投入の操作は、2進法の1をモータに送信することであり、モータは1回の電源投入アクションを実行すると、モータ電源投入の操作を実現することができる。
【００７６】
必要に応じて、クラスタデータは、送信された制御コマンドが比較的複雑であることを示す。クラスタデータは一連の制御文字であり、いくつかの複雑で0/1で示すことができない制御コマンド、例えば、モータ回転について、操舵、回転速度等のパラメータを指示する必要がある場合、クラスタデータを含む制御コマンドをモータに送信する。
【００７７】
必要に応じて、アラームは、システムの操作データの指標が閾値を超えたこと、又は設備が故障したことを示す特殊なメッセージボディである。
【００７８】
必要に応じて、メッセージは通常のメッセージである。
【００７９】
本実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本実施例では説明しない。
【００８０】
本実施例に係る制御フローの処理方法は、制御エンティティを離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージに分けることにより、細かい作業を実現する。
実施例7
【００８１】
図6は本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法の二分木の模式図である。
【００８２】
図6に示すように、上記実施例1-6に基づいて、本発明の他の実施例に係る制御フローの処理方法では、前記論理エンティティは制御サブフローの並行性に関する判定の条件を記憶し、前記制御サブフローは、制御フローを並行性に従って分割して得られ、
前記制御サブフローが同期の制御フローであると判定されると、前記同期の制御フローを出力し、前記制御サブフローが非同期の制御フローであると判定されると、前記非同期の制御フローを出力する。
【００８３】
必要に応じて、同期の制御フローと非同期の制御フローは、電気システムにおける制御フローのそれぞれのサブフロー又はアクションに対して、並行性に従って予め分割して得られる。
【００８４】
必要に応じて、並行性は、2つ又は2つ以上のサブフロー及び/又はアクションが同期であるか、非同期であるかを示し、同期の制御フローは、実行ユニットが必ずある制御サブフロー又はアクションを実行し終わってから、他のサブフロー又はアクションを実行することができることを示し、これは同期と言われ、非同期の制御フローは、実行ユニットがある制御サブフロー又はアクションを実行し終わるのを待たずに、ほかのことを行うことができることを示し、これは非同期と言われる。
【００８５】
例えば、バルブスイッチという制御フローについて、第1バルブを開いた後で、第2バルブを開く場合、第1バルブ、第2バルブの開弁フローは同期と言われる。第2バルブは、開弁時間が第1バルブに合わせる必要がなく、自身の必要に応じて開く場合、第1バルブ、第2バルブの開弁フローは非同期と言われる。
【００８６】
従来技術では、同期制御処理と非同期制御処理とが区別されず、同期制御と非同期制御が混乱する。本発明の実施例では、同期と非同期の制御フローを十分に区別するので、効率的な検索を達成した。
【００８７】
本実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本実施例では説明しない。
【００８８】
本実施例に係る制御フローの処理方法は、前記制御サブフローが同期の制御フローであるか、非同期の制御フローであるかを判定することにより、同期と非同期の制御フローを確実に区別することができる。
実施例8
【００８９】
上記実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る制御フローの処理方法では、前記同期の制御フローは、第1の制御サブフローと第2の制御サブフローとを含み、前記第1の制御サブフローと第2の制御サブフローは、前記同期の制御フローに従って分割して得られ、前記第1の制御サブフローは、第1の制御サブフローの終了時刻を含み、前記第2の制御サブフローは第2の制御サブフローの開始時刻を含み、前記第2の制御サブフローの開始時刻は、前記第1の制御サブフローの終了時刻と等しく、又はそれより遅い。
【００９０】
必要に応じて、同期の制御フローは、2つの御フローを含み、後の制御フローの開始時刻は、前の制御フローの実行完了の時刻であり、又は前の制御フローの実行完了の時刻より遅く、このように、同期の制御フローを、前の制御フローである第1の制御サブフロー、及び後の制御フローである第2の制御サブフローに分割することができる。
【００９１】
必要に応じて、前記論理エンティティに記憶されている判定の条件は、前の制御フローの終了時刻と後の時刻との時間差であり、前記同期の制御フローにおける時間差が前記条件を満たすと判定されると、第1の制御サブフローと第2の制御サブフローを直接に出力する。
【００９２】
本実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本実施例では説明しない。
【００９３】
本実施例に係る制御フローの処理方法は、制御フローにおける同期の制御フローの複雑性を考慮して、同期の制御フローを更に分割して、第1の制御サブフローと第2の制御サブフローを出力することができるので、制御フローの同期を保証する。
実施例9
【００９４】
上記実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る制御フローの処理方法では、前記同期の制御フローは1段階制御サブフローであり、前記第1の制御サブフローと第2の制御サブフローは2段階制御サブフローであり、前記2段階制御サブフローは前記1段階制御サブフローに従って分割して得られた制御サブフローであり、
又は、
前記同期の制御フローは2段階制御サブフローであり、前記第1の制御サブフローと第2の制御サブフローは3段階制御サブフローであり、前記3段階制御サブフローは、前記2段階制御サブフローに従って分割して得られた最小制御フローである。
【００９５】
一実施形態では、同期の制御フローは、1段階制御サブフローであり、第1の制御サブフローと第2の制御サブフローと2つの2段階制御サブフローを含み、それに対応して
前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
2つの1段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは2段階制御サブフローである。
【００９６】
前記操作データが前記1段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、まず1つの2段階制御サブフローを出力し、さらに他の2段階制御サブフローを出力する。
【００９７】
他の実施方式では、同期の制御フローは、2段階制御サブフローであり、第1の制御サブフローと第2の制御サブフローと2つの3段階制御サブフローを含み、3段階制御サブフローは最小制御フローであり、それに対応して
前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
2つの2段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは3段階制御サブフローである。
【００９８】
前記操作データが前記2段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、まず1つの3段階制御サブフローを出力し、さらに他の3段階制御サブフローを出力する。
【００９９】
本実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本実施例では説明しない。
【０１００】
本実施例に係る制御フローの処理方法は、制御フローにおける同期の制御フローの複雑性を考慮して、同期の制御フローを更に分割して、対応する制御サブフローを出力することができるので、細かい作業を実現する。
実施例10
【０１０１】
上記実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る制御フローの処理方法では、前記非同期の制御フローは、複数の第3の制御サブフローを含み、前記第3の制御サブフローは、前記非同期の制御フローに従って分割して得られる。
【０１０２】
必要に応じて、非同期の制御フローは、複数の制御フローが非同期であることを示し、非同期の制御フローをより小さい制御サブフローである第3の制御サブフローに分割する。
【０１０３】
必要に応じて、非同期の制御フローの分割方法は多種類であり、本発明の実施例では、そのうちの2種類を例として説明する。
【０１０４】
前記非同期の制御フローは1段階制御サブフローであり、前記第3の制御サブフローは2段階制御サブフローであり、
又は、
前記非同期の制御フローは2段階制御サブフローであり、前記第3の制御サブフローは3段階制御サブフローであり、前記3段階制御サブフローは最小制御フローである。
【０１０５】
一実施形態では、非同期の制御フローは、1段階制御サブフローであり、複数の第3の制御サブフローを含み、前記第3の制御サブフローは2段階制御サブフローであり、それに対応して
前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
複数の1段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは2段階制御サブフローである。
【０１０６】
前記操作データが前記1段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、複数の2段階制御サブフローを出力する。
【０１０７】
他の実施方式では、非同期の制御フローは、2段階制御サブフローであり、複数の第3の制御サブフローを含み、前記第3の制御サブフローは3段階制御サブフローであり、3段階制御サブフローは最小制御フローであり、それに対応して
前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
複数の2段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは3段階制御サブフローである。
【０１０８】
前記操作データが前記2段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、複数の3段階制御サブフローを出力する。
【０１０９】
本実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本実施例では説明しない。
【０１１０】
本実施例に係る制御フローの処理方法は、制御フローにおける非同期の制御フローの複雑性を考慮して、非同期の制御フローを更に分割して、第3の制御サブフローを出力することができる。
実施例11
【０１１１】
上記実施例に基づいて、本発明の他の実施例に係る制御フローの処理方法では、前記3段階制御サブフローは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類に関わる。
【０１１２】
必要に応じて、前記同期の制御フローを分割して前記3段階制御サブフローが得られ、前記3段階制御サブフローは、まず1つの離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージを実行し、更に他の離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージを実行する。
【０１１３】
同様に、前記非同期の制御フローを分割して前記3段階制御サブフローが得られ、前記3段階制御サブフローは1つ又は複数の離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージを実行することができる。
【０１１４】
離散データは、送信された制御コマンドが比較的簡単であることを示す。例を挙げて説明すると、前記第一子制御エンティティは、モータ電源投入の操作であり、モータ電源投入の操作は、2進法の1をモータに送信することであり、モータは1回の電源投入アクションを実行すると、モータ電源投入の操作を実現することができる。
【０１１５】
必要に応じて、クラスタデータは、送信された制御コマンドが比較的複雑であることを示す。クラスタデータは一連の制御文字であり、いくつかの複雑で0/1で示すことができない制御コマンド、例えば、モータ回転について、操舵、回転速度等のパラメータを指示する必要がある場合、クラスタデータを含む制御コマンドをモータに送信する。
【０１１６】
必要に応じて、アラームは、システムの操作データの指標が閾値を超えたこと、又は設備が故障したことを示す特殊なメッセージボディである。
【０１１７】
必要に応じて、メッセージは通常のメッセージである。
【０１１８】
本実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本実施例では説明しない。
【０１１９】
本実施例に係る制御フローの処理方法は、制御エンティティを離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージに分けることにより、細かい作業を実現する。
実施例12
【０１２０】
上記実施例に基づいて、前記論理エンティティは、制御エンティティの並行性に関する判定の条件を記憶し、
2つの前記制御エンティティが同期であると判定されると、同期の制御エンティティを出力し、複数の前記制御エンティティが非同期であると判定されると、非同期の制御エンティティを出力する。
【０１２１】
前記制御エンティティは、制御サブフロー又は離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージを記憶する。
【０１２２】
前記制御エンティティは、1段階制御サブフロー、2段階制御サブフロー又は3段階制御サブフローのうちのある段階の制御サブフロー、及び離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージを記憶する。
【０１２３】
一実施形態では、ある事前に確立された二分木でのある2つの制御エンティティは同期であり、それに対応して、前記出力は、具体的に、
まず1つの論理ノードの1つの制御サブフロー（1段階制御サブフロー、2段階制御サブフロー又は3段階制御サブフローのうちのある段階の制御サブフロー）を出力し、当該論理ノード又は他の論理ノードの、当該制御サブフローと同期する制御エンティティを更に出力し、当該制御エンティティは、他の制御サブフロー（1段階制御サブフロー、2段階制御サブフロー又は3段階制御サブフローのうちのある段階の制御サブフロー）であってもよく、離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージであってもよい。
【０１２４】
他の実施方式では、前記出力は、具体的に、
まず1つの論理ノードの離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージを出力し、当該論理ノード又は他の論理ノードの、離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージと同期する制御エンティティを更に出力し、当該制御エンティティは、他の制御サブフロー（1段階制御サブフロー、2段階制御サブフロー又は3段階制御サブフローのうちのある段階の制御サブフロー）であってもよく、離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージであってもよい。
【０１２５】
他の実施方式では、ある事前に確立された二分木での複数の制御エンティティは非同期であり、それに対応して、前記出力は、具体的に、 1つ又は複数の制御サブフロー、離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージを同時に出力する。
【０１２６】
本実施例の他のステップは、前述の実施例のステップと類似し、本実施例では説明しない。
【０１２７】
本実施例に係る制御フローの処理方法は、事前に構築された二分木に対するトラバーサル規則を提供し、当該トラバーサル規則は、制御フロー、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージの間の同期、非同期関係を考慮し、検索しやすく、効率的な制御を実現する。
【０１２８】
本発明の技術内容をより十分に理解させるために、上記実施例に基づいて、本願に係る制御フローの処理方法を詳細に説明する。
【０１２９】
従来技術でのMOCVDの設備制御は、実際には、3種類の制御論理（順次構造、選択構造、サイクル構造）を使用することにより設備への制御を実現する。制御論理は行おうとすること（設備制御フロー）と混在する。前記問題に対して、本発明は、3種類の基本的な制御論理及び設備制御フロー（行おうとすること、制御エンティティ）を二分木のノードとして、一定の規則により一本の二分木を構成させ、設備制御フローを二分木の葉ノードとして記憶し、制御論理を中間ノードとして記憶し、一定のトラバーサル規則により、毎回、二分木から1つ又は複数の設備制御フロー（行おうとすること、制御エンティティ）を得て実行する。これにより、論理制御と設備制御フロー（行おうとすること、制御エンティティ）の分離を実現するので、効率的な設備制御を実現することができる。
【０１３０】
光起電半導体製造プロセスにおいて、設備制御フローは、すなわち、同期的に実行される制御フロー（すなわち、必ずある制御フローを実行し終わった後、他のことを実行し始める）と、非同期的に実行される制御フロー（すなわち、制御フローを実行し終わるのを待たずに他のことを行うことができる）と2つのタイプに分けられる。これらの設備制御フローを効率的に検索して実行する方法は、本発明によって解決されるべき問題である。
【０１３１】
本発明の実施例の技術案は以下の通りである。
【０１３２】
1、3種類の制御論理（順次構造、選択構造、サイクル構造）は、オブジェクト指向の方式に従って、if、elseif、else、case、loop、while等の制御論理を含む対応する論理エンティティを構築する。
【０１３３】
2、MOCVD設備制御フローから、一定の規則に従って、共通性を抽出し、制御エンティティを抽出し、制御エンティティがFlow、Operation、Action、Discrete Data（離散データ）、Cluster Data（クラスタデータ）、Message（メッセージ）、Alarm（アラーム）を記憶する。
【０１３４】
そのうち、Actionは、最小の制御フローであり、上記実施例における3段階制御サブフローに相当する。
【０１３５】
Actionは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類に関わる。
【０１３６】
Operationは、複数のActionによって共に1つの複雑なアクションを完成させ、上記実施例における2段階制御サブフローに相当する。
【０１３７】
Flowは、複数のOperationからなり、より複雑な設備制御フローを完成させ、上記実施例における1段階制御サブフローに相当する。
【０１３８】
3、二分木構築規則の設定：
（1）論理エンティティと制御エンティティを接続して、木を構築しやすくするために、ルーティングノードを増やす。
【０１３９】
（2）制御エンティティが、必ず二分木の葉ノードとされる。
【０１４０】
（3）論理エンティティが、必ず二分木の中間ノードとして、葉における制御エンティティを検索することに用いられる。
【０１４１】
（4）制御エンティティがルーティングノード又は論理ノードに接続される。
【０１４２】
（5）Flow、Operation、Actionは、いずれも自分の1本の二分木を有し、Actionの二分木の葉子には、Action、Operation、及びFlowの制御エンティティを持つことができず、Operationの二分木の葉には、Operation及びFlowの制御エンティティを持つことができず、Flowの二分木の葉には、Flowの制御エンティティを持つことができない。
【０１４３】
本発明の実施例では、二分木構造及び検索方式は、様々であるが、本発明の実施例は、そのうちのいくつかを例として説明する。
【０１４４】
事前に確立された制御フローと二分木との間の1対1の対応関係に従って、制御フローに対応する二分木がFlowの二分木であると確定されると、 Flowの二分木は、論理ノード及び葉ノードを含み、葉ノードは、Operation、離散データ、クラスタデータ、アラーム、及びメッセージを含んでもよく、それぞれの葉ノードは論理ノードに直接接続し、又はルーティングノードを介して論理ノードに接続する。
【０１４５】
取得された制御フローに対応する操作データをマッチングのFlowの二分木に入力し、前記操作データがFlowの論理ノードに記憶された判定条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応するOperation、離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージのうちの1つ又は複数を出力する。
【０１４６】
1つ又は複数のOperationを出力する時、1つ又は複数のOperationを出力する前記ステップは、具体的に、1つ又は複数のOperationに対応する二分木をマッチングし、Operationの二分木は、論理ノードと葉ノードとを含み、葉ノードは、Action、離散データ、クラスタデータ、アラーム、及びメッセージを含んでもよく、それぞれの葉ノードは、論理ノードに直接接続し、又はルーティングノードを介して論理ノードに接続する。
【０１４７】
前記操作データがOperationに対応する二分木の論理ノードに記憶された判定条件を満たすと判定されると、 Action、離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージのうちの1つ又は複数を出力する。
【０１４８】
1つ又は複数のActionを出力する時、1つ又は複数のActionを出力する前記ステップは、具体的に、1つ又は複数のActionに対応する二分木をマッチングし、Actionの二分木は、論理ノードと葉ノードとを含み、葉ノードは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、及びメッセージを含んでもよく、それぞれの葉ノードは、論理ノードに直接接続し、又はルーティングノードを介して論理ノードに接続する。
【０１４９】
前記操作データがActionに対応する二分木の論理ノードに記憶された判定条件を満たすと判定されると、対応する離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージのうちの1つ又は複数を出力する。
【０１５０】
4、木の構築の例示：
図7は本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法のActionの二分木の模式図である。
【０１５１】
図7に示すように、Actionの二分木が例示される。 
【０１５２】
二分木には、3種類のノードのみがあり、葉ノードには制御エンティティが記憶され、ルーティングノード（Route）はノードを接続することのみに使用され、論理ノード（例えば、if）には論理エンティティが記憶され、 Actionの二分木であるため、葉ノードには、Action、Operation、Flowの制御エンティティがなく、葉ノードにはDiscrete Data（離散データ）、Cluster Data（クラスタデータ）、Message（メッセージ）又はAlarm（アラーム）が記憶される。
【０１５３】
図8は本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法のOperationの二分木の模式図である。
【０１５４】
図8に示すように、Operationの二分木が例示される。Operationの二分木葉ノードにはOperation及びFlowの制御エンティティがなく、葉ノードにはOperation、Discrete Data（離散データ）、Cluster Data（クラスタデータ）、Message（メッセージ）又はAlarm（アラーム）が記憶される。
【０１５５】
図9は本発明の別の実施例に係る制御フローの処理方法のFlowの二分木の模式図である。
【０１５６】
図9に示すように、Flowの二分木が例示される。Flowの二分木葉ノードにはFlow制御エンティティがなく、葉ノードには、Discrete Data（離散データ）、Cluster Data（クラスタデータ）、Message（メッセージ）又はAlarm（アラーム）が記憶される。
【０１５７】
論理木のトラバーサルに対して、自分のルールを定義することができ、本発明の実施例に定義されたトラバーサル規則は、制御エンティティが同期であると、すぐにフィードバックし、一度のトラバーサルにより1つの同期の制御エンティティのみが得られ、制御エンティティが非同期であると、同期の制御エンティティに会ってフィードバックするまで、論理木に沿って検索し続き、一度のトラバーサルにより1つ又は複数の非同期の制御エンティティをフィードバックし、空をフィードバックすると、論理木のすべてのトラバーサルが完了する。
【０１５８】
一実施形態では、Flowに対応する二分木の論理エンティティは、Operationの並行性に関する判断の条件を記憶し、同期の制御フローFlowは、Operation1とOperation2とを含み、前記Operation1はOperation1の終了時刻を含み、前記Operation2はOperation2の開始時刻を含み、前記Operation2の開始時刻は前記Operation1の終了時刻と等しく、又はそれより遅く、それに対応して
前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
Operation1及びOperation2に対応する二分木をそれぞれマッチングし、前記Operation1及びOperation2に対応する二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判断の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードはActionである。
【０１５９】
前記操作データが前記Flowに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判断されると、まずOperation1を出力し、更にOperation2を出力する。
【０１６０】
他の実施方式では、Flowに対応する二分木の論理エンティティはOperationの並行性に関する判定の条件を記憶し、非同期の制御フローFlowは複数のOperationを含み、それに対応して、
前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
複数のOperationに対応する二分木をマッチングし、前記複数のOperationに対応する二分木はそれぞれ少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードはActionである。
【０１６１】
前記操作データが前記Flowに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、複数のOperationを出力する。
【０１６２】
本発明の実施例は、制御フローを同期及び非同期の制御フローに分けて、論理エンティティ及び制御エンティティの木状の記憶及び組織方式を採用することにより、効率的な検索を実現してこれらの設備制御フローを実行する。
【０１６３】
図10は本発明の別の実施例に係る制御フローの処理装置の構造の模式図を示す。
【０１６４】
図10に示すように、上記実施例に基づいて、本実施例に係る制御フローの処理装置は、マッチングモジュール101と出力モジュール102とを含み、そのうち、
マッチングモジュール101は二分木をマッチングするためのものであり、事前に確立された制御フローと二分木との間の1対1の対応関係に従って、前記制御フローに対応する二分木を確定し、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは制御エンティティであり、1つの前記制御エンティティは1つの制御サブフローを記憶し、前記制御サブフローは、前記制御フローを分割して得られ、
出力モジュール102は、取得した制御フローに対応する操作データを前記二分木に入力し、前記操作データが前記条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するためのものである。
【０１６５】
本実施例に係る制御フローの処理装置は、上記方法の実施例の方法を実行することに用いることができるので、本実施には説明しない。
【０１６６】
本実施例に係る制御フローの処理装置は、事前に構築された二分木を検索することにより制御フローの処理を実現し、本発明の事前に構築された二分木は論理エンティティと制御エンティティとの分離を実現するので、電気システムへの効率的な制御を実現することができる。
【０１６７】
図11は本発明の別の実施例に係る電子設備の構造の模式図を示す。
【０１６８】
図11に示すように、本発明の実施例に係る電子設備は、メモリ(memory)111、プロセッサ(processor)112、バス113、及びメモリ111に記憶されプロセッサで実行可能なコンピュータプログラムを含む。そのうち、前記メモリ111、プロセッサ112は、前記バス113を介して互いに通信を実現する。
【０１６９】
前記プロセッサ112は、前記プログラムを実行する時に図1に示す方法を実現するように、前記メモリ111内のプログラム指令を呼び出すためのものである。
【０１７０】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１７１】
前記二分木は、前記論理エンティティと前記制御エンティティとを接続するためのルーティングノードを更に含み、前記制御エンティティは前記論理ノード又は前記ルーティングノードに接続する。
【０１７２】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。前記制御フローを、2つの段階の制御サブフローに分割し、1段階制御サブフローは1つ又は複数の2段階制御サブフローを含み、それに対応して、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
1つ又は複数の前記1段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは2段階制御サブフローであり、 
前記操作データが前記1段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、1つ又は複数の前記2段階制御サブフローを出力する。
【０１７３】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。前記制御フローを3つの段階の制御サブフローに分割し、2段階制御サブフローは1つ又は複数の3段階制御サブフローを含み、前記3段階制御サブフローは最小制御フローであり、それに対応して、1つ又は複数の前記2段階制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
1つ又は複数の2段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは3段階制御サブフローであり、
前記操作データが前記2段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、1つ又は複数の前記3段階制御サブフローを出力する。
【０１７４】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１７５】
前記3段階制御サブフローは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を含み、
それに対応して、1つ又は複数の前記3段階制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
1つ又は複数の3段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは、前記離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージであり、
前記操作データが前記3段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、前記離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を出力する。
【０１７６】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１７７】
前記制御エンティティは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種又は複数種を更に含み、それに対応して、出力するステップは、具体的に、取得した、制御フローに対応する操作データを前記二分木に入力し、前記操作データが別の1つ又は複数の論理ノードの条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を出力する。
【０１７８】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１７９】
前記論理エンティティは、制御サブフローの並行性に関する判定の条件を記憶し、前記制御サブフローは、制御フローを並行性に従って分割して得られ、
前記制御サブフローが同期の制御フローであると判定されると、前記同期の制御フローを出力し、前記制御サブフローが非同期の制御フローであると判定されると、前記非同期の制御フローを出力する。
【０１８０】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１８１】
前記同期の制御フローは、第1の制御サブフローと第2の制御サブフローとを含み、前記第1の制御サブフローと第2の制御サブフローは、前記同期の制御フローに従って分割して得られ、前記第1の制御サブフローは、第1の制御サブフローの終了時刻を含み、前記第2の制御サブフローは第2の制御サブフローの開始時刻を含み、前記第2の制御サブフローの開始時刻は、前記第1の制御サブフローの終了時刻と等しく、又はそれより遅い。
【０１８２】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１８３】
前記同期の制御フローは1段階制御サブフローであり、前記第1の制御サブフローと第2の制御サブフローは2段階制御サブフローであり、前記2段階制御サブフローは前記1段階制御サブフローに従って分割して得られた制御サブフローであり、
又は、
前記同期の制御フローは2段階制御サブフローであり、前記第1の制御サブフローと第2の制御サブフローは3段階制御サブフローであり、前記3段階制御サブフローは、前記2段階制御サブフローに従って分割して得られた最小制御フローである。
【０１８４】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１８５】
前記非同期の制御フローは、複数の第3の制御サブフローを含み、前記第3の制御サブフローは、前記非同期の制御フローに従って分割して得られる。
【０１８６】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１８７】
前記非同期の制御フローは1段階制御サブフローであり、前記第3の制御サブフローは2段階制御サブフローであり、
又は、
前記非同期の制御フローは2段階制御サブフローであり、前記第3の制御サブフローは3段階制御サブフローであり、前記3段階制御サブフローは最小制御フローである。
【０１８８】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１８９】
前記3段階制御サブフローは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類に関わる。
【０１９０】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
【０１９１】
前記論理エンティティは、制御エンティティの並行性に関する判定の条件を記憶し、
2つの前記制御エンティティが同期であると判定されると、同期の制御エンティティを出力し、複数の前記制御エンティティが非同期であると判定されると、非同期の制御エンティティを出力する。
【０１９２】
他の実施方式では、前記プロセッサは、前記プログラムを実行する時、下記の方法が実現される。
前記方法は、半導体設備の制御フローに応用される。
【０１９３】
本実施例に係る電子設備、上記方法の実施例の方法に対応するプログラムを実行することに用いることができるので、本実施には説明しない。
【０１９４】
本実施例に係る電子設備は、少なくとも以下の技術効果を有する。
【０１９５】
事前に構築された二分木を検索することにより制御フローの処理を実現し、本発明の事前に構築された二分木は論理エンティティと制御エンティティとの分離を実現するので、電気システムへの効率的な制御を実現することができる。
【０１９６】
本発明の別の実施例に係る記憶媒体には、コンピュータプログラムが記憶され、前記プログラムがプロセッサに実行される時、図1のステップを実現する。
【０１９７】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。
【０１９８】
前記二分木は、前記論理エンティティと前記制御エンティティとを接続するためのルーティングノードを更に含み、前記制御エンティティは前記論理ノード又は前記ルーティングノードに接続される。
【０１９９】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。前記制御フローを、2つの段階の制御サブフローに分割し、1段階制御サブフローは1つ又は複数の2段階制御サブフローを含み、それに対応して、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
1つ又は複数の前記1段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは2段階制御サブフローであり、 
前記操作データが前記1段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、1つ又は複数の前記2段階制御サブフローを出力する。
【０２００】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。前記制御フローを3つの段階の制御サブフローに分割し、2段階制御サブフローは1つ又は複数の3段階制御サブフローを含み、前記3段階制御サブフローは最小制御フローであり、それに対応して、1つ又は複数の前記2段階制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
1つ又は複数の2段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは3段階制御サブフローであり、
前記操作データが前記2段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、1つ又は複数の前記3段階制御サブフローを出力する。
【０２０１】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。前記3段階制御サブフローは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を含み、
それに対応して、1つ又は複数の前記3段階制御サブフローを出力するステップは、具体的に、
1つ又は複数の3段階制御サブフローに対応する二分木をマッチングし、前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは、前記離散データ、クラスタデータ、アラーム又はメッセージであり、
前記操作データが前記3段階制御サブフローに対応する二分木の論理エンティティの条件を満たすと判定されると、前記離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を出力する。
【０２０２】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。前記制御エンティティは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を更に含み、それに対応して、出力するステップは、具体的に、取得した制御フローに対応する操作データを前記二分木に入力し、前記操作データが別の1つ又は複数の論理ノードの条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類を出力する。
【０２０３】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。前記論理エンティティは、制御サブフローの並行性に関する判定の条件を記憶し、前記制御サブフローは、制御フローを並行性に従って分割して得られ、
前記制御サブフローが同期の制御フローであると判定されると、前記同期の制御フローを出力し、前記制御サブフローが非同期の制御フローであると判定されると、前記非同期の制御フローを出力する。
【０２０４】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。前記同期の制御フローは、第1の制御サブフローと第2の制御サブフローとを含み、前記第1の制御サブフローと第2の制御サブフローは、前記同期の制御フローに従って分割して得られ、前記第1の制御サブフローは、第1の制御サブフローの終了時刻を含み、前記第2の制御サブフローは第2の制御サブフローの開始時刻を含み、前記第2の制御サブフローの開始時刻は、前記第1の制御サブフローの終了時刻と等しく、又はそれより遅い。
【０２０５】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。前記同期の制御フローは1段階制御サブフローであり、前記第1の制御サブフローと第2の制御サブフローは2段階制御サブフローであり、前記2段階制御サブフローは前記1段階制御サブフローに従って分割して得られた制御サブフローであり、
又は、
前記同期の制御フローは2段階制御サブフローであり、前記第1の制御サブフローと第2の制御サブフローは3段階制御サブフローであり、前記3段階制御サブフローは、前記2段階制御サブフローに従って分割して得られた最小制御フローである。
【０２０６】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。前記非同期の制御フローは、複数の第3の制御サブフローを含み、前記第3の制御サブフローは、前記非同期の制御フローに従って分割して得られる。
【０２０７】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。前記非同期の制御フローは1段階制御サブフローであり、前記第3の制御サブフローは2段階制御サブフローであり、
又は、
前記非同期の制御フローは2段階制御サブフローであり、前記第3の制御サブフローは3段階制御サブフローであり、前記3段階制御サブフローは最小制御フローである。
【０２０８】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。前記3段階制御サブフローは、離散データ、クラスタデータ、アラーム、メッセージのうちの1種類又は複数種類に関わる。
【０２０９】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。前記論理エンティティは、制御エンティティの並行性に関する判定の条件を記憶し、
2つの前記制御エンティティが同期であると判定されると、同期の制御エンティティを出力し、複数の前記制御エンティティが非同期であると判定されると、非同期の制御エンティティを出力する。
【０２１０】
他の実施方式では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、下記の方法が実現される。前記方法は、半導体設備の制御フローに応用される。
【０２１１】
本実施例に係る記憶媒体では、前記プログラムは、プロセッサに実行される時、上記方法の実施例の方法が実現されるので、本実施には説明しない。
【０２１２】
本実施例に係る記憶媒体では、事前に構築された二分木を検索することにより制御フローの処理を実現し、本発明の事前に構築された二分木は論理エンティティと制御エンティティとの分離を実現するので、電気システムへの効率的な制御を実現することができる。
【０２１３】
本発明の更なる他の実施例には、コンピュータプログラム製品が開示され、前記コンピュータプログラム製品は、不揮発性のコンピュータの読み取り可能な記憶媒体に記憶されているコンピュータプログラムを含み、前記コンピュータプログラムはプログラム指令を含み、前記プログラム指令がコンピュータに実行される時、コンピュータは上記各方法の実施例に係る方法を実行することができ、当該方法は、例えば、
事前に確立された制御フローと二分木との間の1対1の対応関係に基づいて、制御フローに対応する二分木を確定し、
前記二分木は少なくとも1つの論理ノードと少なくとも1つの葉ノードとを含み、前記論理ノードは判定の条件を記憶する論理エンティティであり、前記葉ノードは制御エンティティであり、1つの前記制御エンティティは1つの制御サブフローを記憶し、前記制御サブフローは、前記制御フローを分割して得られる、ことと、
取得した制御フローに対応する操作データを前記二分木に入力し、前記操作データが前記条件を満たすと判定されると、前記制御エンティティに対応する制御サブフローを出力する、出力とを、含む。
【０２１４】
更に、例えば、上記実施方式に基づいて、前記論理エンティティは、制御サブフローの並行性に関する判定の条件を記憶し、前記制御サブフローは、制御フローを並行性に従って分割して得られ、
前記制御サブフローが同期の制御フローであると判定されると、前記同期の制御フローを出力し、前記制御サブフローが非同期の制御フローであると判定されると、前記非同期の制御フローを出力する。
【０２１５】
当業者であれば、ここで説明されたいくつかの実施例は、他の特徴よりむしろ他の実施例に含まれる特定の特徴を含むが、異なる実施例の特徴の組み合わせは、本発明の範囲内にあり、異なる実施形態が形成されることを意味することを理解することができる。
【０２１６】
当業者であれば、実施例における各ステップをハードウェアで実施することができ、又は、1つ又は複数のプロセッサ上で実行するソフトウェアモジュールで実施することができ、又はそれらの組み合わせで実施することができることを理解することができる。当業者は、実際には、本発明の実施例による部材の一部又は全部の機能の一部又は全部を実現するために、マイクロプロセッサ又はデジタル信号プロセッサ（DSP）を使用することができることを理解するべきである。本発明は、ここで説明された方法の一部又は全部を実行するための設備又は装置プログラム（例えば、コンピュータプログラムおよびコンピュータプログラム製品）として実施することもできる。
【０２１７】
図面と併せて本発明の実施形態を説明したが、当業者は、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく様々な変更および変形を行うことができ、そのような変更及び変形は、本発明の請求の範囲によって限定される範囲内にある。
【符号の説明】
【０２１８】
１０１  マッチングモジュール
１０２  出力モジュール
１１１  メモリ
１１２  プロセッサ
１１３  バス
【図１】
2019114233.tif 000003
【図２】
2019114233.tif 000004
【図３】
2019114233.tif 000005
【図４】
2019114233.tif 000006
【図５】
2019114233.tif 000007
【図６】
2019114233.tif 000008
【図７】
2019114233.tif 000009
【図８】
2019114233.tif 000010
【図９】
2019114233.tif 000011
【図１０】
2019114233.tif 000012
【図１１】
2019114233.tif 000013