(57)【要約】【課題】特に内部に真空チャンバーを構成する真空溶接炉を提供する。【解決手段】本発明の真空溶接炉は、本体を有し、該本体に真空装置及び、少なくとも１つの伝動機構を有し、該伝動機構によりパワーコンポーネントのリードフレームを、本体の送入端から送出端へ移動させることができ、該パワーコンポーネントのリードフレームを真空装置に対応するように移動させると、該パワーコンポーネントのリードフレームを真空装置の真空チャンバーに収納して真空状態にすることにより、半田の内部にあるガスを排出させ、これによれば、半田に残ったガスを減らして空気穴を減少し、溶接構造の強度を強化し、硬化した半田の抵抗を低下させるので、溶接品質を向上させることができる。【選択図】図１
2019089121.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と、真空装置と、少なくとも１つの伝動機構とを有し、
前記本体は、搬送台及びカバーを備え、該搬送台の一端に送入端が設けられると共に、他端に送出端が設けられ、そのうち、送入端と送出端との間の一側に第一側壁が設けられると共に、他側に第二側壁が設けられ、該送入端と送出端との間に、複数の加熱部材が順次に設置され、該各加熱部材の上面に、４本の溝部が間隔をおいて搬送台の送入端から送出端への方向に沿って平行に配列するように凹設され、該カバーは、持ち上げ可能に搬送台に取り付けられ、搬送台の方向に底板を備え、該底板における、それらの加熱部材のうちの１つに対応する箇所に穴が形成され、
前記真空装置は、カバーの底板の穴に対応するように、本体に取り付けられ、底部と、外蓋と、内蓋と、駆動機構を備え、該底部は、底板の穴に対応した加熱部材を収容するように、搬送台に取り付けられ、真空配管と連接し、該外蓋は、底板の穴に対応する箇所に固定され、底部に、穴と対応し且つ連通する開口が形成され、該内蓋は、外蓋の内面に取り付けられ、駆動機構の駆動により上下に移動可能となり、内部に真空チャンバーが形成されると共に、底部に開口が形成され、該駆動機構は、取付部と、少なくとも１つの案内チューブと、駆動モータと、少なくとも１つの移動棒と、移動座を備え、該取付部及び案内チューブは、外蓋に固定され、該駆動モータは、取付部に固定されると共に、駆動棒を備え、該駆動棒の端部に歯車が設けられ、該移動棒は、軸方向に沿って上下移動可能に案内チューブに貫設され、該各移動棒の上端は、案内チューブから突出して移動座に連接されると共に、下端は案内チューブから突出して外蓋を通過して内蓋に連接され、該移動座にラックが設けられ、該ラックは、歯車に噛合され、該駆動モータを駆動して駆動棒及び歯車を連動することにより、移動座と移動棒と内蓋とを同期に上下移動にさせ、前記カバーを搬送台に合わせて閉じると、駆動モータにより内蓋を下方に移動させて底部と密着し、
前記伝動機構は、搬送台に取り付けられ、４本の持上げ棒と、Ｘ軸駆動仕組みと、Ｚ軸駆動仕組みを備え、該４本の持上げ棒はそれぞれ、間隔をおいて４本の溝部に対応するように加熱部材に設置され、該Ｚ軸駆動仕組みは、４本の持上げ棒と連接され、該４本の持上げ棒を駆動して搬送台の送入端から送出端への方向と垂直する方向に沿って上下に移動させ、該Ｘ軸駆動仕組みは、４本の持上げ棒と連接され、該４本の持上げ棒を駆動して搬送台の送入端から送出端への方向に沿って往復運動させることを特徴とする真空溶接炉。
【請求項２】
前記搬送台に、送入端から送出端への方向に沿って延出すると共に、第一側壁と第二側壁との間の空間と連通する、気密通路が形成され、
前記本体は、窒素ガス配管を介して搬送台の気密通路と連通する窒素発生装置を備えることを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉。
【請求項３】
前記各伝動機構のＺ軸駆動仕組みは、搬送台の下方に配置され、少なくとも１つの第一台座と、第二台座と、連動棒と、Ｚ軸駆動モータを備え、該第一台座及び第二台座は、持上げ棒の長手方向に沿って間隔をおいて配置され、該各第一台座の上部に少なくとも１本の支持棒が取り付けられ、
前記４本の持上げ棒は、支持棒に載設され、
前記第一台座及び第二台座はそれぞれ、ナット及びボルトを備え、該ナットは、対応する第一台座及び第二台座に固定され、該ボルトは、第一台座及び第二台座を通過して下方に突出するように設置され、該ボルトの底端にかさ歯車が取り付けられ、
前記連動棒は、第一台座と第二台座との間に延設されると共に、複数のかさ歯車が環装され、それらのかさ歯車は、第一台座のかさ歯車及び第二台座のかさ歯車に噛合され、
前記Ｚ軸駆動モータは連動棒に連結され、連動棒を駆動して回転させることにより、第一台座及び第二台座を駆動してボルトに沿って上下に移動し、
前記Ｘ軸駆動仕組みは、Ｚ軸駆動仕組みの第二台座に取り付けられ、連動座及び少なくとも１つのＸ軸駆動装置を備え、該連動座は４本の持上げ棒と連接され、該Ｘ軸駆動装置は、連動棒を介して連動座と連接され、該Ｘ軸駆動装置の連動棒が伸縮移動する際に、連動座が４本の持上げ棒と連動して搬送台の送入端と送出端との間において長手方向に往復移動することを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉。
【請求項４】
前記各伝動機構のＺ軸駆動仕組みは、搬送台の下方に配置され、少なくとも１つの第一台座と、第二台座と、連動棒と、Ｚ軸駆動モータを備え、該第一台座及び第二台座は、持上げ棒の長手方向に沿って間隔をおいて配置され、該各第一台座の上部に少なくとも１本の支持棒が取り付けられ、
前記４本の持上げ棒は、支持棒に載設され、
前記第一台座及び第二台座はそれぞれ、ナット及びボルトを備え、該ナットは、対応する第一台座及び第二台座に固定され、該ボルトは、第一台座及び第二台座を通過して下方に突出するように設置され、該ボルトの底端にかさ歯車が取り付けられ、
前記連動棒は、第一台座と第二台座との間に延設されると共に、複数のかさ歯車が環装され、それらのかさ歯車は、第一台座のかさ歯車及び第二台座のかさ歯車に噛合され、
前記Ｚ軸駆動モータは連動棒に連結され、連動棒を駆動して回転させることにより、第一台座及び第二台座を駆動してボルトに沿って上下に移動し、
前記Ｘ軸駆動仕組みは、Ｚ軸駆動仕組みの第二台座に取り付けられ、連動座及び少なくとも１つのＸ軸駆動装置を備え、該連動座は４本の持上げ棒と連接され、該Ｘ軸駆動装置は、連動棒を介して連動座と連接され、該Ｘ軸駆動装置の連動棒が伸縮移動する際に、連動座が４本の持上げ棒と連動して搬送台の送入端と送出端との間において長手方向に往復移動することを特徴とする請求項２に記載の真空溶接炉。
【請求項５】
前記カバーは、搬送台の第一側壁に枢設され、
前記本体はさらに、少なくとも１つの持上げ機構及び少なくとも１つの押圧機構を備え、該持上げ機構は、搬送台における第一側壁の近傍に設置されると共に、カバーに連接され、該カバーを搬送台に対して枢転自在に駆動することができ、該押圧機構は、搬送台における第二側壁の近傍に設置され、カバーを搬送台に合わせて閉じると、該押圧機構がカバーを押して位置決めることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の真空溶接炉。
【請求項６】
前記持上げ機構は、固定座と、連接部材と、伸縮棒を備え、該固定座は、搬送台の第一側壁の近傍に設置され、該連接部材はカバーに固定されると共に、搬送台の第一側壁に枢設され、該伸縮棒は、伸縮可能であり、一端が固定座に連接されると共に、他端が連接部材に連接されることを特徴とする請求項５に記載の真空溶接炉。
【請求項７】
２つの伝動機構を有し、そのうち、一方の伝動機構は、搬送台の送入端と真空装置との間に設置され、他方の伝動機構は、搬送台の送出端と真空装置との間に設置されることを特徴とする請求項５に記載の真空溶接炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部に真空チャンバーを構成する真空溶接炉に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
表面実装技術(Surface Mount Technology，SMT)は、溶接手段により半田を用いてチップを銅線の表面に実装する技術である。この表面実装技術のステップは、まず半田をパワーコンポーネントのリードフレームに印刷し、チップを所定の位置にある半田に乗せ、次に、パワーコンポーネントのリードフレームと半田とチップを溶接炉に送り加熱して溶接炉の高温で半田を溶かし、これによれば、半田によりチップのピンを包むと、半田を冷却して硬化させ、チップをパワーコンポーネントのリードフレームにある銅箔回路と電気接続させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】台湾実用新案第Ｍ４９９９７４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図１４に示すように、既存の溶接技術における、前記半田５０を加熱して冷却硬化させる過程においては、半田５０に含んだフラックスが揮発してガスを発生させることから、半田５０を硬化する前にガスを排出しないと、硬化した半田５０の内に空気穴５１を生じ、溶接構造の強度が低下すると共に、溶接品質にも劣り、また、硬化した半田５０の抵抗が高くなるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る真空溶接炉は、
本体と、真空装置と、少なくとも１つの伝動機構とを有し、
前記本体は、搬送台及びカバーを備え、該搬送台の一端に送入端が設けられると共に、他端に送出端が設けられ、そのうち、送入端と送出端との間の一側に第一側壁が設けられると共に、他側に第二側壁が設けられ、該送入端と送出端との間に、複数の加熱部材が順次に設置され、該各加熱部材の上面に、４本の溝部が間隔をおいて搬送台の送入端から送出端への方向に沿って平行に配列するように凹設され、該カバーは、持ち上げ可能に搬送台に取り付けられ、搬送台の方向に底板を備え、該底板における、それらの加熱部材のうちの１つに対応する箇所に穴が形成され、
前記真空装置は、カバーの底板の穴に対応するように、本体に取り付けられ、底部と、外蓋と、内蓋と、駆動機構を備え、該底部は、底板の穴に対応した加熱部材を収容するように、搬送台に取り付けられ、真空配管と連接し、該外蓋は、底板の穴に対応する箇所に固定され、底部に、穴と対応し且つ連通する開口が形成され、該内蓋は、外蓋の内面に取り付けられ、駆動機構の駆動により上下に移動可能となり、内部に真空チャンバーが形成されると共に、底部に開口が形成され、該駆動機構は、取付部と、少なくとも１つの案内チューブと、駆動モータと、少なくとも１つの移動棒と、移動座を備え、該取付部及び案内チューブは、外蓋に固定され、該駆動モータは、取付部に固定されると共に、駆動棒を備え、該駆動棒の端部に歯車が設けられ、該移動棒は、軸方向に沿って上下移動可能に案内チューブに貫設され、該各移動棒の上端は、案内チューブから突出して移動座に連接されると共に、下端は案内チューブから突出して外蓋を通過して内蓋に連接され、該移動座にラックが設けられ、該ラックは、歯車に噛合され、該駆動モータを駆動して駆動棒及び歯車を連動することにより、移動座と移動棒と内蓋とを同期に上下移動にさせ、前記カバーを搬送台に合わせて閉じると、駆動モータにより内蓋を下方に移動させて底部と密着し、
前記伝動機構は、搬送台に取り付けられ、４本の持上げ棒と、Ｘ軸駆動仕組みと、Ｚ軸駆動仕組みを備え、該４本の持上げ棒はそれぞれ、間隔をおいて４本の溝部に対応するように加熱部材に設置され、該Ｚ軸駆動仕組みは、４本の持上げ棒と連接され、該４本の持上げ棒を駆動して搬送台の送入端から送出端への方向と垂直する方向に沿って上下に移動させ、該Ｘ軸駆動仕組みは、４本の持上げ棒と連接され、該４本の持上げ棒を駆動して搬送台の送入端から送出端への方向に沿って往復運動させるものである。
【０００６】
かかる真空溶接炉において、
前記搬送台に、送入端から送出端への方向に沿って延出すると共に、第一側壁と第二側壁との間の空間と連通する、気密通路が形成され、
前記本体は、窒素ガス配管を介して搬送台の気密通路と連通する窒素発生装置を備えることが好ましい。
【０００７】
かかる真空溶接炉において、
前記各伝動機構のＺ軸駆動仕組みは、搬送台の下方に配置され、少なくとも１つの第一台座と、第二台座と、連動棒と、Ｚ軸駆動モータを備え、該第一台座及び第二台座は、持上げ棒の長手方向に沿って間隔をおいて配置され、該各第一台座の上部に少なくとも１本の支持棒が取り付けられ、
前記４本の持上げ棒は、支持棒に載設され、
前記第一台座及び第二台座はそれぞれ、ナット及びボルトを備え、該ナットは、対応する第一台座及び第二台座に固定され、該ボルトは、第一台座及び第二台座を通過して下方に突出するように設置され、該ボルトの底端にかさ歯車が取り付けられ、
前記連動棒は、第一台座と第二台座との間に延設されると共に、複数のかさ歯車が環装され、それらのかさ歯車は、第一台座のかさ歯車及び第二台座のかさ歯車に噛合され、
前記Ｚ軸駆動モータは連動棒に連結され、連動棒を駆動して回転させることにより、第一台座及び第二台座を駆動してボルトに沿って上下に移動し、
前記Ｘ軸駆動仕組みは、Ｚ軸駆動仕組みの第二台座に取り付けられ、連動座及び少なくとも１つのＸ軸駆動装置を備え、該連動座は４本の持上げ棒と連接され、該Ｘ軸駆動装置は、連動棒を介して連動座と連接され、該Ｘ軸駆動装置の連動棒が伸縮移動する際に、連動座が４本の持上げ棒と連動して搬送台の送入端と送出端との間において長手方向に往復移動することが好ましい。
【０００８】
かかる真空溶接炉において、
前記各伝動機構のＺ軸駆動仕組みは、搬送台の下方に配置され、少なくとも１つの第一台座と、第二台座と、連動棒と、Ｚ軸駆動モータを備え、該第一台座及び第二台座は、持上げ棒の長手方向に沿って間隔をおいて配置され、該各第一台座の上部に少なくとも１本の支持棒が取り付けられ、
前記４本の持上げ棒は、支持棒に載設され、
前記第一台座及び第二台座はそれぞれ、ナット及びボルトを備え、該ナットは、対応する第一台座及び第二台座に固定され、該ボルトは、第一台座及び第二台座を通過して下方に突出するように設置され、該ボルトの底端にかさ歯車が取り付けられ、
前記連動棒は、第一台座と第二台座との間に延設されると共に、複数のかさ歯車が環装され、それらのかさ歯車は、第一台座のかさ歯車及び第二台座のかさ歯車に噛合され、
前記Ｚ軸駆動モータは連動棒に連結され、連動棒を駆動して回転させることにより、第一台座及び第二台座を駆動してボルトに沿って上下に移動し、
前記Ｘ軸駆動仕組みは、Ｚ軸駆動仕組みの第二台座に取り付けられ、連動座及び少なくとも１つのＸ軸駆動装置を備え、該連動座は４本の持上げ棒と連接され、該Ｘ軸駆動装置は、連動棒を介して連動座と連接され、該Ｘ軸駆動装置の連動棒が伸縮移動する際に、連動座が４本の持上げ棒と連動して搬送台の送入端と送出端との間において長手方向に往復移動することが好ましい。
【０００９】
かかる真空溶接炉において、
前記カバーは、搬送台の第一側壁に枢設され、
前記本体はさらに、少なくとも１つの持上げ機構及び少なくとも１つの押圧機構を備え、該持上げ機構は、搬送台における第一側壁の近傍に設置されると共に、カバーに連接され、該カバーを搬送台に対して枢転自在に駆動することができ、該押圧機構は、搬送台における第二側壁の近傍に設置され、カバーを搬送台に合わせて閉じると、該押圧機構がカバーを押して位置決めることが好ましい。
【００１０】
かかる真空溶接炉において、
前記持上げ機構は、固定座と、連接部材と、伸縮棒を備え、該固定座は、搬送台の第一側壁の近傍に設置され、該連接部材はカバーに固定されると共に、搬送台の第一側壁に枢設され、該伸縮棒は、伸縮可能であり、一端が固定座に連接されると共に、他端が連接部材に連接されることが好ましい。
【００１１】
かかる真空溶接炉において、
２つの伝動機構を有し、そのうち、一方の伝動機構は、搬送台の送入端と真空装置との間に設置され、他方の伝動機構は、搬送台の送出端と真空装置との間に設置されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る真空溶接炉においては、パワーコンポーネントのリードフレームを真空装置２０に移動させる場合、蓋を駆動して底座２１に合わせて、真空配管２２を介して真空チャンバー２４１のガスを排出させ、パワーコンポーネントのリードフレームに溶かした半田内のガスを排出して空気穴を減少させることにより、溶接構造の強度を強化し、硬化した半田４０の抵抗を低下させるので、溶接品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の斜視図である。
【図２】本発明における、本体のカバーを閉じた状態を示す側面図図である。
【図３】本発明における、本体のカバーを開けた状態を示す側面図図である。
【図４】本発明における搬送台の部分断面斜視図である。
【図５】本発明における搬送台の部分断面正面図である。
【図６】本発明における真空装置の部分分解斜視図図である。
【図７】本発明の本体における、真空装置の内蓋が底板をカバーしていない状態の部分断面斜視図である。
【図８】本発明の本体における、真空装置の内蓋が底板をカバーした状態の部分断面斜視図である。
【図９】本発明の伝動機構３０の斜視図である。
【図１０】本発明における伝動機構の連続動作を示す側面図である。
【図１１】本発明における伝動機構の他の連続動作を示す側面図である。
【図１２】本発明における伝動機構の他の連続動作を示す側面図である。
【図１３】半田にガスが残っていない状態を示す説明図である。
【図１４】半田にガスが残った状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して本発明の適切な実施の形態を詳細に説明する。
本発明に係る真空溶接炉には、図１及び図２乃至図５に示すように、以下のステップを有する。
【００１５】
図１乃至図３に示すように、本発明に係る真空溶接炉は、本体１０と、真空装置２０と、伝動機構３０とを有する。
【００１６】
図２及び図３に示すように、前記本体１０は、搬送台１１と、カバー１２と、窒素発生装置１３を備える。
【００１７】
図４乃至図６に示すように、前記搬送台１１の一端に送入端１１１が設けられると共に、他端に送出端１１２が設けられ、該送入端１１１と送出端１１２との間の一側に第一側壁１１３が設けられ、他側に第二側壁１１４が設けられ、該送入端１１１と送出端１１２との間に、複数の加熱部材１１６、１１６Ａが順次に設置され、該各加熱部材１１６、１１６Ａの上面に、４本の溝部１１７、１１７Ａが間隔をおいて搬送台１１の送入端１１１から送出端１１２への方向に沿って平行に配列するように凹設される。また、前記各加熱部材１１６、１１６Ａに、パワーコンポーネントのリードフレームが設置され、該加熱部材１１６、１１６Ａによりパワーコンポーネントのリードフレームを加熱する。
【００１８】
前記第二側壁１１４の内部に気密通路１１５が穿設され、該気密通路１１５は、搬送台１１の送入端１１１から送出端１１２への方向に沿って延出すると共に、第一側壁１１３と第二側壁１１４との間の空間と連通する。
前記カバー１２は、持ち上げ可能に搬送台１１に取り付けられると共に、搬送台１１の方向に底板１２１を備え、該底板１２１に穴１２２が形成され、該カバー１２を搬送台１１に合わせて閉じる際に、該底板１２１の穴１２２が搬送台１１の複数の加熱部材１１６のうちの１つに対応する。
【００１９】
前記窒素発生装置１３は、窒素ガス配管１３１を介して搬送台１１の気密通路１１５と連通し、この構成によれば、窒素ガスを、気密通路１１５及び第一側壁１１３と第二側壁１１４との間の空間に充填する。尚、本実施例においては、前記窒素発生装置１３がカバー１２に取り付けられ、カバー１２を搬送台１１に合わせて閉じる場合、該窒素発生装置１３の窒素ガス配管１３１が、搬送台１１の第二側壁１１４の気密通路１１５に対と連通する。
【００２０】
図１乃至図３に示すように、本実施例において、前記カバー１２は、搬送台１１の第一側壁１１３に枢設され、前記本体１０はさらに、少なくとも１つの持上げ機構１４及び少なくとも１つの押圧機構１５を有し、該持上げ機構１４は、搬送台１１における第一側壁１１３の近傍に設置されると共に、カバー１２に連接され、これにより、カバー１２を搬送台１１に対して枢転自在に駆動させることができる。尚、本実施例における持上げ機構１４は、固定座１４１と、連接部材１４２と、伸縮棒１４３を備え、該固定座１４１は、搬送台１１の第一側壁１１３の近傍に設置され、該連接部材１４２はカバー１２に固定されると共に、搬送台１１の第一側壁１１３に枢設され、該伸縮棒１４３は伸縮可能であり、一端が固定座１４１に連接されると共に、他端が連接部材１４２に連接される。この構成によれば、伸縮棒１４３を延伸出または縮退させることにより、カバー１２を搬送台１１に対して持ち上げたり閉じたりする。また、前記伸縮棒１４３は、長さを調整することができる伸縮可能なシリンダであり、例えば、空気圧シリンダまたは油圧シリンダである。
【００２１】
前記押圧機構１５は、搬送台１１における第二側壁１１４の近傍に設置され、カバー１２が搬送台１１に合わせて閉じると、該押圧機構１５がカバー１２を押して位置決めるので、カバー１２が勝手に持ち上がることはない。
図７に示すように、前記真空装置２０は、カバー１２における底板１２１の穴１２２に対応するように本体１０に取り付けられ、底部２１と、外蓋２３と、内蓋２４と、駆動機構２５を備え、そのうち底部２１は、底板１２１の穴１２２に対応する加熱部材１１６Ａを収容するように、搬送台１１に取り付けられると共に、真空配管２２と連接し、該外蓋２３は、底板１２１の穴１２２に対応する箇所に固定され、該外蓋２３の底部に、穴１２２と対応し且つ連通する開口が形成され、該内蓋２４は、外蓋２３の内面に取り付けられ、駆動機構２５の駆動により上下に移動可能となり、内部に真空チャンバー２４１が形成されると共に、底部に開口が形成される。
【００２２】
図８に示すように、前記カバー１２が搬送台１１に合わせて閉じると、駆動機構２５が内蓋２４を下方に移動して底部２１に合致すると共に、加熱部材１１６Ａ及び、該加熱部材１１６Ａに設置されたパワーコンポーネントのリードフレームが、内蓋２４の真空チャンバー２４１に位置し、その後、真空チャンバー２４１内のガスが真空配管２２を通って吸い出されて真空チャンバー２４１が真空状態になる。
【００２３】
本実施例における駆動機構２５は、取付部２５１と、少なくとも１つの案内チューブ２５２と、駆動モータ２５３と、少なくとも１つの移動棒２５６と、移動座２５７を備え、該取付部２５１及び案内チューブ２５２は、外蓋２３に固定され、該駆動モータ２５３は、取付部２５１に固定されると共に、駆動棒２５４を備え、該駆動棒２５４の端部に歯車２５５が設けられ、該移動棒２５６は、軸方向に沿って上下移動可能に案内チューブ２５２に貫設され、その上端は、案内チューブ２５２から突出して移動座２５７に連接されると共に、下端は、案内チューブ２５２から突出して外蓋２３を通過して内蓋２４に連接され、該移動座２５７にはラック２５８が設けられ、該ラック２５８は、駆動モータ２５３の歯車２５５に噛合され、該駆動モータ２５３を駆動すると、該駆動モータ２５３が駆動棒２５４及び歯車２５５を連動することにより、移動座２５７と移動棒２５６と内蓋２４とを同期に上下移動させる。
【００２４】
図９及び図１０に示すように、前記伝動機構３０は、搬送台１１に取り付けられ、４本の持上げ棒３１と、Ｚ軸駆動仕組み３２と、Ｘ軸駆動仕組み３３を備え、該４本の持上げ棒３１はそれぞれ、間隔をおいて４本の溝部１１７、１１７Ａに対応するように加熱部材１１６、１１６Ａに設置される。前記パワーコンポーネントのリードフレームは、加熱部材１１６、１１６Ａ及び４本の持上げ棒３１に設置される。該Ｚ軸駆動仕組み３２は、４本の持上げ棒３１と連接され、該４本の持上げ棒３１を駆動して搬送台１１の送入端１１１から送出端１１２への方向と垂直する方向に沿って上下移動させ、該Ｘ軸駆動仕組み３３は、４本の持上げ棒３１と連接され、該４本の持上げ棒３１を駆動して搬送台１１の送入端１１１から送出端１１２への方向に沿って往復運動させる。
【００２５】
図１０に示すように、前記伝動機構３０を稼動する時、Ｚ軸駆動仕組み３２が持上げ棒３１を持ち上げて上方に移動させると、持上げ棒３１によりパワーコンポーネントのリードフレームを加熱部材１１６、１１６Ａから離間して上方に持ち上げる。
【００２６】
図１１に示すように、前記Ｘ軸駆動仕組み３３を駆動することにより、持上げ棒３１を搬送台１１の送出端１１２に横方向に移動させると、パワーコンポーネントのリードフレームを次の加熱部材１１６、１１６Ａに対応するように移動させる。
【００２７】
図１２に示すように、前記Ｚ軸駆動仕組み３２を駆動することにより、持上げ棒３１を加熱部材１１６、加熱部材１１６の溝部１１７、１１７Ａに下方に移動させると、パワーコンポーネントのリードフレームを次の加熱部材１１６、１１６Ａに設置され、これによれば、パワーコンポーネントのリードフレームを搬送台１１の送入端１１１から送出端１１２へ搬送することができる。
【００２８】
前記Ｘ軸駆動仕組み３３を駆動することにより、持上げ棒３１を加熱部材１１６、１１６Ａの溝部１１７、１１７Ａに沿って搬送台１１の送入端１１１に横方向に移動させ、これによれば、パワーコンポーネントのリードフレームを搬送し繰り返すことができる。
【００２９】
前記Ｚ軸駆動仕組み３２は、搬送台１１の下方に配置され、少なくとも１つの第一台座３２１と、第二台座３２３と、連動棒３２５と、Ｚ軸駆動モータ３２６を備え、該第一台座３２１及び第二台座３２３は、持上げ棒３１の長手方向に沿って間隔をおいて配置され、該各第一台座３２１の上部に少なくとも１本の支持棒３２２が取り付けられ、前記４本の持上げ棒３１は、支持棒３２２に載設され、前記第一台座３２１及び第二台座３２３はそれぞれ、ナット及びボルトを備え、該ナットは、対応する第一台座３２１及び第二台座３２３に固定され、該ボルトは、第一台座３２１及び第二台座３２３を通過して下方に突出するように設置され、該ボルトの底端にかさ歯車３２４Ａ、３２４Ｂが取り付けられる。
【００３０】
前記連動棒３２５は、第一台座３２１と第二台座３２３との間に延設されると共に、該連動棒３２５に複数のかさ歯車３２４Ｃが環装され、それらのかさ歯車３２４Ｃは、第一台座３２１のかさ歯車３２４Ａ及び第二台座３２３のかさ歯車３２４Ｂに噛合される。前記Ｚ軸駆動モータ３２６は、連動棒３２５に連結され、連動棒３２５を駆動して回転させることにより、かさ歯車３２４Ａ、３１４Ｂ、３１４Ｃの回転によりボルトをナットに対して回転させると、第一台座３２１及び第二台座３２３を駆動してボルトに沿って上下に移動させる。
【００３１】
本実施例において、前記Ｘ軸駆動仕組み３３は、Ｚ軸駆動仕組み３２の第二台座３２３に取り付けられ、連動座３３１及び少なくとも１つのＸ軸駆動装置３３２を備え、該連動座３３１は、４本の持上げ棒３１と連接され、該Ｘ軸駆動装置３３２は、伝動棒３３３を介して連動座３３１と連接され、該Ｘ軸駆動装置３３２の伝動棒３３３が伸縮移動する際に、連動座３３１が４本の持上げ棒３１を連動して搬送台１１の送入端１１１と送出端１１２との間に長手方向に往復移動する。
【００３２】
本実施例において、２つの伝動機構３０を有し、そのうち、一方の伝動機構３０は、搬送台１１の送入端１１１と真空装置２０との間に設置され、これによれば、搬送台１１の送入端１１１と真空装置２０との間にあるパワーコンポーネントのリードフレームを次々に真空装置２０の加熱部材１１６、１１６Ａに対応する位置に搬送する。他方の伝動機構３０は、搬送台１１の送出端１１２と真空装置２０との間に設置され、これによれば、真空装置２０の加熱部材１１６、１１６Ａに対応する位置にあるパワーコンポーネントのリードフレーム及び、真空装置２０と搬送台１１の送出端１１２との間にあるパワーコンポーネントのリードフレームを、次々に搬送台１１の送出端１１２に搬送する。
【００３３】
本考案に係る真空溶接炉を稼動する場合は、まずカバー１２を搬送台１１に合わせて閉じ、窒素発生装置１３を駆動して窒素を搬送台１１の気密通路１１５及び第一側壁１１３と第二側壁１１４との間にある空間に注入し、そして、伝動機構３０により複数のパワーコンポーネントのリードフレームを搬送台１１の送入端１１１から送出端１１２へ移動させ、移動する過程において、加熱部材１１６、１１６Ａがパワーコンポーネントのリードフレームを加熱して、パワーコンポーネントのリードフレームの半田を溶かしてチープのピンを包み、また、窒素により半田を高温で酸化する。搬送台１１の第二側壁１１４内の気密通路１１５に充填した窒素により、本体１０の外部の空気を止める効果を提供し、外部の食うかを搬送台１１とカバー１２との間に流入することを防止できる。また、伝動機構３０は、４本の持上げ棒３１を有することから、該４本の持上げ棒３１がパワーコンポーネントのリードフレームを穏やかに持ち上げて移動させることができることから、パワーコンポーネントのリードフレームを受け皿に載せて移動する必要はない。
【００３４】
図１３に示すように、パワーコンポーネントのリードフレームを真空装置２０の加熱部材１１６Ａに対応する位置に移動すると、該加熱部材１１６Ａがパワーコンポーネントのリードフレームを加熱し、この同時、真空装置２０内の内蓋２４を駆動して底部２１に合わせ、真空配管２２を介して内蓋２４の真空チャンバー２４１内のガスが吸い出されて半田４０にあるガスを排出することができ、これによれば、半田４０に残ったガスを減らして空気穴を減少し、溶接構造の強度を強化し、硬化した半田４０の抵抗を低下させるので、溶接品質を向上させることができる。
【符号の説明】
【００３５】
１０   本体
１１   搬送台
１１１ 送入端
１１２ 送出端
１１３ 第一側壁
１１４ 第二側壁
１１５ 気密通路
１１６、１１６Ａ     加熱部材
１１７、１１７Ａ     溝部
１２   カバー
１２１ 底板
１２２ 穴
１３   窒素発生装置
１３１ 窒素ガス配管
１４   持上げ機構
１４１ 固定座
１４２ 連接部材
１４３ 伸縮棒
１５   押圧機構
２０   真空装置
２１   底部
２３   外蓋
２４   内蓋
２４１ 真空チャンバー
２５   駆動機構
２５１ 取付部
２５２ 案内チューブ
２５３ 駆動モータ
２５４ 駆動棒
２５５ 歯車
２５６ 移動棒
２５７ 移動座
２５８ ラック
３０   伝動機構
３１   持上げ棒
３２   Ｚ軸駆動仕組み
３２１ 第一台座
３２２ 支持棒
３２３ 第二台座
３２４ かさ歯車
３２５ 連動棒
３２６ Ｚ軸駆動モータ
３３   Ｘ軸駆動仕組み
３３１ 連動座
３３２ Ｘ軸駆動装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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