(57)【要約】      （修正有）【課題】熱輸送能力を高めることができるベーパーチャンバを提供すること。また、このベーパーチャンバを備える電子機器、及び、ベーパーチャンバのためのシートを提供すること。【解決手段】第１流路と、第２流路と、が備えられ、第２流路はその内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ。【選択図】図２５
2019128143.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
前記密閉空間には、
複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、
前記第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ。
【請求項２】
内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
前記密閉空間には、
気体状態の前記作動流体が流れる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路の間に設けられ、液体状態の前記作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、
前記第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ。
【請求項３】
複数のシートが積層されてなる請求項１又は２に記載のベーパーチャンバ。
【請求項４】
前記溝は前記複数のシートの境界に配置されている請求項３に記載のベーパーチャンバ。
【請求項５】
前記溝は前記複数のシートの境界でない部位に配置されている請求項３に記載のベーパーチャンバ。
【請求項６】
前記溝は、前記第２流路が延びる方向に平行な方向の成分を有して延びている、請求項１乃至５のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
【請求項７】
前記第２流路に形成された突起による段差が前記溝となる請求項１乃至６のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
【請求項８】
前記突起が結晶粒界に沿って形成されている請求項７に記載のベーパーチャンバ。
【請求項９】
前記溝が結晶粒界に沿って形成されている請求項１乃至８のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
【請求項１０】
筐体と、
前記筐体の内側に配置された電子部品と、
前記電子部品に配置された請求項１乃至９のいずれかに記載されたベーパーチャンバと、を備える、電子機器。
【請求項１１】
中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
前記中空部には、
複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、
前記第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ用シート。
【請求項１２】
中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
前記中空部には、
気体状態の作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路の間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、
前記第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ用シート。
【請求項１３】
複数のシートが積層されてなる請求項１１又は１２に記載のベーパーチャンバ用シート。
【請求項１４】
前記溝は前記複数のシートの境界に配置されている請求項１３に記載のベーパーチャンバ用シート。
【請求項１５】
前記溝は前記複数のシートの境界でない部位に配置されている請求項１４に記載のベーパーチャンバ用シート。
【請求項１６】
前記溝は、前記第２流路が延びる方向に平行な方向の成分を有して延びている、請求項１１乃至１５のいずれかに記載のベーパーチャンバ用シート。
【請求項１７】
前記第２流路に形成された突起による段差が前記溝となる請求項１１乃至１６のいずれかに記載のベーパーチャンバ用シート。
【請求項１８】
前記突起が結晶粒界に沿って形成されている請求項１７に記載のベーパーチャンバ用シート。
【請求項１９】
前記溝が結晶粒界に沿って形成されている請求項１１乃至１８のいずれかに記載のベーパーチャンバ用シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は密閉空間に封入された作動流体を相変化を伴いつつ還流することより熱輸送を行うベーパーチャンバに関する。
【背景技術】
【０００２】
パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に備えられているＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあり冷却技術が重要である。このような冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。
【０００３】
一方、近年においては特に携帯型端末等で薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対して例えば特許文献１に記載のようなベーパーチャンバが提案されている。
【０００４】
ベーパーチャンバはヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバには、対向する平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体が相変化を伴いつつ還流することで熱輸送を行い、熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。
【０００５】
より具体的には、ベーパーチャンバの対向する平板間には蒸気用流路と凝縮液用流路とが設けられ、ここに作動流体が封入されている。ベーパーチャンバを熱源に配置すると、熱源の近くにおいて作動流体は熱源からの熱を受けて蒸発し、気体（蒸気）となって蒸気用流路を移動する。これにより熱源からの熱が熱源から離れた位置に円滑に輸送され、その結果熱源が冷却される。
熱源からの熱を輸送した気体状態の作動流体は熱源から離れた位置にまで移動し、周囲に熱を吸収されることで冷却されて凝縮し、液体状態に相変化する。相変化した液体状態の作動流体は凝縮液用流路を通り、熱源の位置にまで戻ってまた熱源からの熱を受けて蒸発して気体状態に変化する。
以上のような循環により熱源から発生した熱が熱源から離れた位置に輸送され熱源が冷却される。
【０００６】
特許文献１には、蒸気用流路と凝縮液用流路とを形成するために、上記したように２つの平板を接合してなるベーパーチャンバが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−０７６６５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本開示は、熱輸送能力を高めることができるベーパーチャンバを提供することを課題とする。また、このベーパーチャンバを備える電子機器、及び、ベーパーチャンバのためのシートを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
発明者は鋭意検討の結果、作動流体がより活発に循環することが熱輸送能力を高めるために重要であると考え、特に凝縮液流路の毛細管力を高めることで凝縮液が移動しやすくなることに注目し、そのための構造を具体化した。
【００１０】
本開示の１つの態様は、内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバである。
【００１１】
本開示の他の態様は、内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバである。
【００１２】
上記ベーパーチャンバーを複数のシートが積層からなるものにしてもよい。
【００１３】
溝は複数のシートの境界に配置されもよい。
【００１４】
溝は複数のシートの境界でない部位に配置されてもよい。
【００１５】
溝は、第２流路が延びる方向に平行な方向の成分を有して延びるように構成してもよい。
【００１６】
第２流路には突起による段差が設けられ、これが溝となってもよい。
【００１７】
この突起は結晶粒界に沿って形成されてもよい。
【００１８】
溝が結晶粒界に沿って形成されてもよい。
【００１９】
本開示の他の態様は、筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に配置された上記ベーパーチャンバと、を備える、電子機器である。
【００２０】
本開示の他の態様は、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ用シートである。
【００２１】
本開示の他の態様は、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、気体状態の作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、第２流路は、その内面に溝を具備している、ベーパーチャンバ用シートである。
【００２２】
上記ベーパーチャンバ用シートは複数のシートが積層されてなるように構成してもよい。
【００２３】
ベーパーチャンバ用シートの溝は複数のシートの境界に配置されてもよい。
【００２４】
ベーパーチャンバ用シートの溝は複数のシートの境界でない部位に配置されてもよい。
【００２５】
ベーパーチャンバ用シートの溝は、第２流路が延びる方向に平行な方向の成分を有して延びていてもよい。
【００２６】
ベーパーチャンバ用シートの溝は、第２流路に形成された突起による段差が溝となるように構成してもよい。
【００２７】
ベーパーチャンバ用シートの突起が結晶粒界に沿って形成されてもよい。
【００２８】
ベーパーチャンバ用シートの溝が結晶粒界に沿って形成されてもよい。
【発明の効果】
【００２９】
本開示によれば、熱輸送能力を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】図１はベーパーチャンバの斜視図である。
【図２】図２はベーパーチャンバの分解斜視図である。
【図３】図３は第一シートの斜視図である。
【図４】図４は第一シートの平面図である。
【図５】図５は第一シートの切断面である。
【図６】図６は第一シートの他の切断面である。
【図７】図７は第一シートの他の切断面である。
【図８】図８は外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図９】図９は１つの液流路溝の断面を拡大した図である。
【図１０】図１０は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１１】図１１は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１２】図１２は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１３】図１３は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１４】図１４は内側液流路部に注目した切断面である。
【図１５】図１５は１つの液流路溝の断面を拡大した図である。
【図１６】図１６は内側液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１７】図１７は第二シートの斜視図である。
【図１８】図１８は第二シートの平面図である。
【図１９】図１９は第二シートの切断面である。
【図２０】図２０は第二シートの切断面である。
【図２１】図２１はベーパーチャンバの切断面である。
【図２２】図２２は、図２１の一部を拡大した図である。
【図２３】図２３はベーパーチャンバの他の切断面である。
【図２４】図２４は内面溝の形態例を説明する図である。
【図２５】図２５は内面溝の形態例を説明する図である。
【図２６】図２６は内面溝の他の形態例を説明する図である。
【図２７】図２７は内面溝の他の形態例を説明する図である。
【図２８】図２８は内面溝の他の形態例を説明する図である。
【図２９】図２９は内面溝の他の形態例を説明する図である。
【図３０】図３０は内面溝の他の形態例を説明する図である。
【図３１】図３１は内面溝の他の形態例を説明する図である。
【図３２】図３２は電子機器を説明する図である。
【図３３】図３３は作動流体の流れを説明する図である。
【図３４】図３４は他の形態にかかるベーパーチャンバを説明する図である。
【図３５】図３５は他の形態にかかるベーパーチャンバを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本開示を図面に示す形態に基づき説明する。以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示や繰り返しとなる符号は省略することがある。
【００３２】
図１には１つの形態にかかるベーパーチャンバ１の外観斜視図、図２にはベーパーチャンバ１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も合わせて表示した。ここでｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバ１の板面方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。
【００３３】
ベーパーチャンバ１は、図１、図２からわかるように第一シート１０及び第二シート２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１０と第二シート２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２（例えば図２１参照）とされている。
【００３４】
本形態で第一シート１０は全体としてシート状の部材である。図３には第一シート１０を内面１０ａ側から見た斜視図、図４には第一シート１０を内面１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図５には図４にＩＩＩ−ＩＩＩで切断したときの第一シート１０の切断面を示した。
第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを連結して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が還流する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされ中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
【００３５】
このような第一シート１０は本体１１及び注入部１２を備えている。本体１１は作動流体が還流する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で角が円弧状（いわゆるＲ）に形成された長方形である。
ただし、第一シート１０の本体１１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
【００３６】
注入部１２は第一シート１０と第二シート２０により形成された中空部に対して作動流体を注入する部位である。本形態では本体１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１０の注入部１２は内面１０ａ側も外面１０ｂ側も平坦面とされている。
【００３７】
このような第一シート１０の厚さは特に限定されることはないが、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることが可能である。
また、第一シート１０を構成する材料も特に限定されることはないが、熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金を挙げることができる。
ただし、必ずしも金属材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４、又はＡｌ２Ｏ３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、１つシート内で２種類以上の材料を積層したものを用いてもよいし、部位によって材料が異なってもよい。
【００３８】
本体１１の内面１０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体１１の内面１０ａ側には、外周接合部１３、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７が具備されて構成されている。
【００３９】
外周接合部１３は、本体１１の内面１０ａ側に、該本体１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１３が第二シート２０の外周接合部２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることにより密閉空間とされる。
図４、図５にＡで示した外周接合部１３の幅（外周接合部１３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ａは、３ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ａが３ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ａは０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍ以上であってもよい。幅Ａが０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ａの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ａの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００４０】
また外周接合部１３のうち、本体１１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴１３ａが設けられている。この穴１３ａは第二シート２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
【００４１】
外周液流路部１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図６には図５のうち矢印ＩＶａで示した部分、図７には図４にＩＶｂ−ＩＶｂで切断される部位の切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図８には図６に矢印Ｖで示した方向から見た外周液流路部１４を平面視した拡大図を表した。
【００４２】
これら図からわかるように、外周液流路部１４は本体１１の内面１０ａのうち、外周接合部１３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って設けられている。また、外周液流路部１４には、本体１１の外周方向に平行に延びる複数の溝である液流路溝１４ａが形成され、複数の液流路溝１４ａが、該液流路溝１４ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６、図７からわかるように外周液流路部１４ではその断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１４ａと液流路溝１４ａの間である凸部１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
【００４３】
このように複数の液流路溝１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１４ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路である凝縮液流路３（図２２等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。また、後で説明するように、凝縮液流路３にはその内面にさらに微小な溝が形成され、これによりさらに大きな毛細管力を得ることができる。一方、液流路溝１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【００４４】
ここで液流路溝１４ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に具備される底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の内面１０ａ側に具備される開口を備えている。図９には図６のうち１つの液流路溝１４ａの部分を拡大して表した。
本形態で液流路溝１４ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、及び、これらのいずれか複数を組み合せた形状であってもよい。
【００４５】
さらに、本形態では、外周液流路部１４では、図８からわかるように隣り合う液流路溝１４ａは、所定の間隔で連通開口部１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができ、円滑な作動流体の還流が可能となる。
本形態では図８で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向の同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図１０に示したように、１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、液流路溝が延びる方向と直交する方向に沿って凸部１４ｂと連通開口部１４ｃとが交互に配置されてもよい。
【００４６】
その他、例えば図１１〜図１３に記載のような形態とすることもできる。図１１〜図１３には、図８と同じ視点で、１つの凝縮液流路１４ａとこれを挟む２つの凸部１４ｂ、及び各凸部１４ｂに設けられた１つの連通開口部１４ｃを示した図を表した。これらはいずれも、当該視点（平面視）で凸部１４ｂの形状が図８の例とは異なる。
すなわち、図８に示した凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図１１〜図１３に示した形状の凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図１１の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１２は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１３は端部が尖るように先細りとなる例である。
【００４７】
図１１〜図１３に示したように、凸部１４ｂにおいて連通開口部１４ｃが形成される端部でその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されていることで、連通開口部１４ｃを作動流体が移動しやすくなり、隣り合う凝縮液流路３への作動流体の移動が容易となる。
【００４８】
以上のような構成を備える外周液流路部１４は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４〜図７にＢで示した外周液流路部１４の幅（液流路部１４ａが配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｂは、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｂが３．０ｍｍを超えると内側の液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｂは０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｂが０．１ｍｍより小さいと外側を還流する液の量が十分得られない虞がある。幅Ｂの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｂの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
そして当該幅Ｂは第二シート２０の外周液流路部２４の幅Ｓ（図１９参照）と同じであっても良いし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
【００４９】
液流路溝１４ａについて、図６、図８、図９にＣで示した溝幅（液流路溝１４ａが配列される方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｃは２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。幅Ｃの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｃの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図６、図７、図９にＤで示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤは５μｍ以上であること好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。
【００５０】
凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、溝幅Ｃを深さＤで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点からＣはＤより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【００５１】
また、複数の液流路溝１４ａにおける隣り合う液流路溝１４ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、ピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して凝縮液流路が潰れることを抑制することができる。
【００５２】
連通開口部１４ｃについて、図８にＥで示した液流路溝１４ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、大きさＥは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。大きさＥの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＥの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００５３】
また、図８にＦで示した液流路溝１４ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１４ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＦは６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＦの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＦの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００５４】
図１〜図５に戻って内側液流路部１５について説明する。内側液流路部１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図１４には図５のうちＶＩＩＩａで示した部分を示した。この図にも内側液流路部１５の断面形状が表れている。また、図１６には図１４に矢印ＩＸで示した方向から見た内側液流路部１５を平面視した拡大図を示した。
【００５５】
これら図からわかるように、内側液流路部１５は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成された壁である。本形態の内側液流路部１５は、図３、図４からわかるように、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図５、図１４からわかるように内側液流路部１５では、その断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間の凸部１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
【００５６】
このように複数の液流路溝１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１５ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路としての凝縮液流路３（図２２等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。また、後で説明するように、凝縮液流路３にはその内面にさらに微小な溝が形成され、これによりさらに大きな毛細管力を得ることができる。一方、液流路溝１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【００５７】
ここで液流路溝１５ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に具備される底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面１０ａ側に具備される開口を備えている。図１５には図１４のうち１つの液流路溝１５ａの部分を拡大して表した。
本形態で液流路溝１５ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、及び、これらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。
【００５８】
さらに、図１６からわかるように隣り合う液流路溝１５ａは、所定の間隔で連通開口部１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができるため、円滑な作動流体の還流が可能となる。
この連通開口部１５ｃについても、連通開口部１４ｃと同様に、図１０に示した例に倣って、液流路溝１５ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１５ｂと連通開口部１５ｃとが交互に配置されてもよい。また、図１１〜図１３の例に倣って連通開口部１５ｃ及び凸部１５ｂの形状としてもよい。
【００５９】
以上のような構成を備える内側液流路部１５は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５、図１４にＧで示した内側液流路部１５の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、３０００μｍ以下であることが好ましく１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｇは１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｇの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｇの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
当該幅Ｇは第二シートの内側液流路部２５の幅Ｔ（図１９参照）と同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
【００６０】
また、複数の内側液流路部１５のピッチは４０００μｍ以下であることが好ましく３０００μｍ以下であってもよく、２０００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは２００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ以上であってもよく、８００μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。
【００６１】
液流路溝１５ａについて、図１５、図１６にＨで示した溝幅（液流路溝１５ａが配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｈは２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。この幅Ｈの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｈの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１４、図１５にＪで示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＪは５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＪの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＪの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛細管力を強く発揮することができる。
【００６２】
流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、溝幅Ｈを深さＪで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。１．５以上であってもよいし、２．０以上であってもよい。又は１．０よりも小さくてもよく、０．７５以下でもよく０．５以下でもよい。
その中でも製造の観点から溝幅Ｈは深さＪよりも大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【００６３】
また、複数の液流路溝１５ａにおける隣り合う液流路溝１５ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。
【００６４】
さらに、連通開口部１５ｃについて、図１６にＫで示した液流路溝１５ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、この大きさＫは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。この大きさＫの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＫの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１６にＬで示した、液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１５ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬは６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチＬの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００６５】
上記した本形態の液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ａは等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば溝同士のピッチがばらついても良く、また溝同士が平行でなくても良い。
【００６６】
次に蒸気流路溝１６について説明する。蒸気流路溝１６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１流路である蒸気流路４（図２１等参照）の一部を構成する。図４には平面視した蒸気流路溝１６の形状、図５には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。
【００６７】
これら図からもわかるように、蒸気流路溝１６は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１６は、隣り合う内側液流路部１５の間、及び、外周液流路部１４と内側液流路部１５との間に形成され、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図５からわかるように第一シート１０は、ｙ方向において、外周液流路部１４及び内側液流路部１５である壁を凸とし、蒸気流路溝１６を凹とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側となる底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側で内面１０ａ側に開口を備えている。
【００６８】
このような構成を備える蒸気流路溝１６は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５にＭで示した蒸気流路溝１６の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、１５ａの幅Ｃ、幅Ｈより大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｍは１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｍの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｍの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。
一方、図５にＮで示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、１５ａの深さＤ、深さＪより大きく形成され、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＮは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＮの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＮの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝の流路断面積よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。
【００６９】
本形態では蒸気流路溝１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより、作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【００７０】
本形態では隣り合う内側液流路部１５の間に１つの蒸気流路溝１６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第二シート２０に蒸気流路溝が形成されていれば、第一シート１０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
【００７１】
蒸気流路連通溝１７は、複数の蒸気流路溝１６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路溝１６の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
【００７２】
本形態の蒸気流路連通溝１７は、図３、図４からわかるように、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１４との間に形成されている。また、図７には図４にＩＶｂ−ＩＶｂで示した線に沿って切断面で、蒸気流路連通溝１７の連通方向に直交する断面が表れている。
図２〜図４では、わかり易さのため蒸気流路溝１６と蒸気流路連通溝１７との境界となるべき部分に点線を付した。ただしこの線は必ずしも形状により表れる線ではなくわかり易さのために付した仮想の線である。
【００７３】
蒸気流路連通溝１７は、隣り合う蒸気流路溝１６を連通させるように形成されていればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図４、図７にＰで示した蒸気流路連通溝１７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｐは１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｐの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｐの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図７にＱで示した蒸気流路連通溝１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＱは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＱの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＱの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００７４】
本形態で蒸気流路連通溝１７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形又は、これらのいずれか複数の組み合わせであってもよい。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【００７５】
次に第二シート２０について説明する。本形態で第二シート２０も全体としてシート状の部材である。図１７には第二シート２０を内面２０ａ側から見た斜視図、図１８には第二シート２０を内面２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図１９には図１８にＸＩａ−ＸＩａで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。また、図２０には図１８にＸＩｂ−ＸＩｂで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。
第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを連結し厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が還流するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体を封入することで密閉空間２となる。
【００７６】
このような第二シート２０は本体２１及び注入部２２を備えている。本体２１は作動流体が還流する部位を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角に円弧（いわゆるＲ）が形成された長方形である。
ただし、第一シート１０の本体２１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
【００７７】
注入部２２は第一シート１０と第二シート２０とにより形成された中空部に対して作動流体を注入して密閉空間２（図２１参照）とする部位であり、本形態では本体２１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート２０の注入部２２には内面２０ａ側に注入溝２２ａが形成されており、第二シート２０の側面２０ｃから本体２１の内側（中空部、密閉空間２となるべき部位）とが連通している。
このような第二シート２０の厚さ及び構成する材料は第一シート１０と同様に考えることができる。ただし、第一シート１０と第二シート２０とは同じ厚さ及び材料である必要はない。
【００７８】
本体２１の内面２０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体２１の内面２０ａ側には、外周接合部２３、外周液流路部２４、内側液流路部２５、蒸気流路溝２６、及び、蒸気流路連通溝２７が具備されている。
【００７９】
外周接合部２３は、本体２１の内面２０ａ側に、該本体２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部２３が第一シート１０の外周接合部１３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部を形成し、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
図１８〜図２０にＲで示した外周接合部２３の幅（外周接合部２３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は上記した本体１１の外周接合部１３の幅Ａと同じであることが好ましい。ただしこれに限らず大きくてもよく、小さくてもよい。
【００８０】
また外周接合部２３のうち、本体２１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴２３ａが設けられている。この穴２３ａは第一シート１０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
【００８１】
外周液流路部２４は、液流路部であり、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。
【００８２】
外周液流路部２４は本体２１の内面２０ａのうち、外周接合部２３の内側に沿って形成されている。本形態において第二シート２０の外周液流路部２４は、図１９、図２０からわかるように、第一シート１０との接合前において平坦面であり外周接合部２３と面一である。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１４ａの開口を閉鎖して第２流路である凝縮液流路３を形成する。第一シート１０と第二シート２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
なお、このように本形態の第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図１７、図１８では点線により両者の境界を表している。
【００８３】
外周液流路部２４は、次のような構成を備えていることが好ましい。
図１８〜図２０にＳで示した外周液流路部２４の幅（外周液流路部２４が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｂと同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。
【００８４】
次に内側液流路部２５について説明する。内側液流路部２５も液流路部であり、第２流路である凝縮液流路３を構成する１つの部位である。
【００８５】
内側液流路部２５は、図１７〜図２０からわかるように、本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部２５は、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁で、複数（本形態では３つ）の内側液流路部２５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が、第一シート１０との接合前において平坦面により形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。
【００８６】
図１８、図１９にＴで示した内側液流路部２５の幅（内側液流路部２５と蒸気流路溝２６が配列される方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｇと同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
【００８７】
なお、本形態では各内側液流路部２５では接合前において平坦面により形成されているが、第一シートと同様に液流路溝を形成しても良い。また、その場合は、液流路溝同士は平面視で同じ位置にあってもよく、ずれていても良い。
【００８８】
次に蒸気流路溝２６について説明する。蒸気流路溝２６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位であり、第１流路である蒸気流路４の一部を構成する。図１８には平面視した蒸気流路溝２６の形状、図１９には蒸気流路溝２６の断面形状がそれぞれ表れている。
【００８９】
これら図からもわかるように、蒸気流路溝２６は本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝２６は、隣り合う内側液流路部２５の間、及び、外周液流路部２４と内側液流路部２５との間に形成され、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝２６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図１９からわかるように第二シート２０は、ｙ方向において、外周液流路部２４及び内側液流路部２５である壁による凸と、蒸気流路溝２６である溝による凹とにより、凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、外面２０ｂ側である底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面２０ａ側となる開口を備えている。
【００９０】
蒸気流路溝２６は、第一シート１０と組み合わされた際に該第一シート１０の蒸気流路溝１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とで第１流路である蒸気流路４を形成することができる。
【００９１】
図１８、図１９にＵで示した蒸気流路溝２６の幅（内側液流路部２５と蒸気流路溝２６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路溝１６の幅Ｍと同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。
また、図１９にＶで示した蒸気流路溝２６の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＶは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＶの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＶの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路溝１６と第二シート２０の蒸気流路溝２６の深さは同じであってもよく、大きくても小さくてもよい。
【００９２】
本形態で蒸気流路溝２６の断面形状は半楕円形であるが、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体を円滑に還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【００９３】
本形態では隣り合う内側液流路部２５の間に１つの蒸気流路溝２６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第一シート１０に蒸気流路溝が形成されていれば、第二シート２０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
【００９４】
蒸気流路連通溝２７は、複数の蒸気流路溝２６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路４の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
【００９５】
本形態の蒸気流路連通溝２７は、図１７、図１８、図２０からわかるように、内側液流路部２５、及び蒸気流路溝２６が延びる方向の端部と、外周液流路部２４との間に形成されている。また、図２０には蒸気流路連通溝２７の連通方向に直交する断面が表れている。
【００９６】
図１８、図２０にＷで示した蒸気流路連通溝２７の幅（連通方向に直交する方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の幅Ｐと同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。また、図２０にＸで示した蒸気流路連通溝２７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＸは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＸの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＸの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路連通溝１７と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の深さは同じでもよく、大きくても小さくてもよい。
【００９７】
本形態で蒸気流路連通溝２７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又は、これらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより円滑な還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【００９８】
次に、第一シート１０と第二シート２０とが組み合わされてベーパーチャンバ１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１０及び第二シート２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図２１には、図１にＸＩＩ−ＸＩＩで示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１０における図５に表した図と、第二シート２０における図１９に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
図２２には図２１にＸＩＩＩで示した部位を拡大した図、図２３には、図１にＸＩＶ−ＸＩＶで示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図７に表した図と、第二シート２０における図２０に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
【００９９】
図１、図２、及び図２１〜図２３よりわかるように、第一シート１０と第二シート２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ１とされている。このとき第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１０の本体１１と第二シート２０の本体２１とが重なり、第一シート１０の注入部１２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。本形態では、第一シート１０と第二シート２０との相対的な位置関係は、第一シート１０の穴１３ａと第二シート２０の穴２３ａと位置を合わせることで適切になるように構成されている。
【０１００】
このような第一シート１０と第二シート２０との積層体により、本体１１及び本体２１に具備される各構成が図２１〜図２３に表れるように配置される。具体的には次の通りである。
【０１０１】
第一シート１０の外周接合部１３と第二シート２０の外周接合部２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２とされている。
【０１０２】
第一シート１０の外周液流路部１４と第二シート２０の外周液流路部２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び外周液流路部２４により中空部のうち、作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
同様に、第一シート１０の内側液流路部１５と第二シート２０の内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により中空部のうち、凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
このように断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。すなわち、凝縮液が流れることを想定した流路を考えたとき、該流路の１つの面が連続的に開放されているようないわゆる溝による流路に比べて、上記凝縮液流路３によれば高い毛細管力を得ることができる。
また、凝縮液流路３は第１流路である蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
【０１０３】
さらに、本形態では、凝縮液流路３が次のような断面形状を備えて構成されている。図２４には、１つの凝縮液流路３の断面を拡大して表した。ここでは内側液流路部１５の液流路溝１５ａと内側液流路部２５とによる凝縮液流路３を用いて説明するが、外周液流路部１４と外周液流路部２４とによる凝縮液流路３も同様に考えることができる。
また、図２５には、図２４にＸＶｂで示した部位を拡大した図を表した。
【０１０４】
本形態で凝縮液流路３は、流路断面（凝縮液流路が延びる方向に直交する断面）における内面形状において、その内壁面に微小な溝である内面溝３ａが形成されている。すなわち、このように微細な凝縮液流路３の内面に、さらに微細な溝が形成されている。これにより内面溝３ａに凝縮液が入り、さらに毛細管力を高めることができ、凝縮液の還流を促進することが可能となるため、ベーパーチャンバ１の熱輸送能力が高まる。
すなわち、内面溝３ａにより凝縮液流路３の内表面積が増え、凝縮液流路３の表面張力が高まるため毛細管力が高まる。これにより、凝縮液流路自体の凝縮液を移動させる機能が高まり凝縮液の還流を促進し、熱輸送能力も高めることができる。
【０１０５】
この内面溝の断面形状、断面積は特に限定されることはなく、凝縮液流路３の内面に設けられた溝であればよい。ただし、内面溝はその長手方向は、凝縮液流路３が延びる方向に平行な方向成分を含み、少なくとも該内面溝３ａの開口幅αの２倍よりも長く延在していることが好ましい。これにより毛細管力を高める溝としてより効果を有するものとなる。
【０１０６】
本形態では、第一シート１０と第二シート２０との境界部分で内面溝３ａが形成されている。このような内面溝３ａは例えば液流路溝１５ａの開口の縁の面取りや、第一シート１０と第二シート２０とを拡散接合させるために両シートを押し付けたときにおける、接合界面の結晶粒界に沿って形成することができる。
【０１０７】
ただし内面溝はこれに限定されることはなく、凝縮液流路３の内面のいずれかに微小な溝が形成されていればよいが、例えば次のように構成することにより、さらに効果を有するものになる。
図２５にαで示した開口幅は、１０μｍ未満であることが好ましい。これにより高い毛細管力を確保することができる。
また図２５にβで示した内面溝の深さは２μｍ以上１０μｍ未満であることが好ましい。ここで溝の深さは、内面溝の開口部と最深部との直線距離を意味する。内面溝は深い方が毛管力を高めることができるが、深さが１０μｍ以上であるとベーパーチャンバの強度が低下する傾向にあり、作動時に内部圧力による膨れによる変形や、第一シートと第二シートとの剥がれの原因になる虞がある。
また、内面溝の最深部は鋭角であることが好ましい。すなわち、内面溝３ａはその最深部を挟む両内壁面間のなす角度が９０°未満であることが好ましい。これにより毛細管力をさらに高めることができる。
そして凝縮液流路内にはこのような内面溝が複数形成されていることが好ましい。これにより毛細管力を高めることができる。
【０１０８】
図２６〜図３１には内面溝３ａの他の形態を例示して表した。
図２６は１つの凝縮液流路３の断面を拡大して表した図、図２７は図２６にＸＶＩｂで示した部位を拡大した図である。この形態の内面溝３ａは第一シート１０の液流路溝１５ａの開口端部において突起３ｂがあり、この突起３ｂに基づく段差が内面溝３ａを形成している。このような内面溝３ａによっても毛細管力を高めることができる。
この形態の内面溝３ａは例えば第一シート１０と第二シート２０とを拡散接合させるために両シートを押し付けたときに第一シート１０の変形により形成させることができる。
【０１０９】
図２８は１つの凝縮液流路３の断面を拡大して表した図、図２９は図２８にＸＶＩＩｂで示した部位を拡大した図である。この形態の内面溝３ａは第一シート１０の液流路溝１５ａのうち最深部に近い部位に形成されている。このように、内面溝３ａは第一シート１０と第二シート２０との接合部以外の部位に形成されてもよく、このような内面溝３ａによっても毛細管力を高めることができる。
この形態の内面溝３ａは例えば第一シート１０の液流路溝１５ａをエッチングにより形成する際の該エッチング、又は、第一シート１０と第二シート２０とを拡散接合させるために両シートを押し付けたときに、再結晶時の結晶粒界に沿って形成することができる。
【０１１０】
図３０は１つの凝縮液流路３の断面を拡大して表した図、図３１にＸＶＩＩＩｂで示した部位を拡大した図である。この形態では、第二シートの内側液流路部２５にも液流路溝２９が設けられており、第一シートの内側液流路部１５の液流路溝１５ａに重ねられることで凝縮液流路３を形成している。そして、第一シート１０と第二シート２０との境界部分で内面溝３ａが形成された形態である。このような内面溝３ａによっても毛細管力を高めることができる。
このような内面溝３ａは例えば、第二シートにも液流路溝を形成するとともに、液流路溝１５ａの開口の縁を面取りする等して形成することができる。
【０１１１】
以上説明した例の凝縮液流路３についても流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、流路幅を流路高さで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【０１１２】
図２１〜図２３に戻って他の部位について説明する。図２１、図２２からわかるように、第一シート１０の蒸気流路溝１６の開口と第二シート２０の蒸気流路溝２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成し、これが蒸気が流れる第１流路である蒸気流路４となる。
上記した第２流路である凝縮液流路３の流路断面積は、当該第１流路である蒸気流路４の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路４（本形態では１つの蒸気流路溝１６及び１つの蒸気流路溝２６により形成される流路）の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う２つの蒸気流路４の間に配置される複数の凝縮液流路３（本形態では１つの内側液流路部１５、及び、１つの内側液流路溝２５により形成される複数の凝縮液流路３）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路３と蒸気流路４とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
【０１１３】
図２３からわかるように、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の開口と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成する。
【０１１４】
一方、注入部１２、２２についても図１、図２に表れているように、その内面１０ａ、２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート２０の注入溝２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１０の注入部１２の内面１０ａより塞がれ、外部と本体１１、２１間の中空部（凝縮液流路３及び蒸気流路４）とを連通する注入流路５が形成されている。
ただし、注入流路５から中空部に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されて密閉空間２となるので、最終的な形態のベーパーチャンバ１では外部と中空部とは連通していない。
本形態で注入部１２、２２は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。
【０１１５】
ベーパーチャンバ１の密閉空間２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
【０１１６】
以上のようなベーパーチャンバは例えば次のように作製することができる。
第一シート１０及び第二シート２０の外周形状を有するシートに対して、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、蒸気流路溝２６、及び蒸気流路連通溝１７、蒸気流路連通溝２７をハーフエッチングにより形成する。ハーフエッチングとは厚さ方向に貫通することなくその途中までエッチングを行うことである。
次いで、第一シート１０の内面１０ａ及び第二シート２０の内面２０ａを向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１３ａ、穴２３ａを用いて位置決めをし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０と第二シート２０とを接合する。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密閉空間２の密閉性を維持可能な程度に、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。
【０１１７】
接合の後、形成された注入流路５から真空引きを行い、中空部を減圧する。その後、減圧された中空部に対して注入流路５から作動流体を注入して中空部に作動流体が入れられる。そして注入部１２、注入部２２に対してレーザーによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖して密閉空間とする。これにより密閉空間２の内側に作動流体が安定的に保持される。
【０１１８】
本形態のベーパーチャンバでは、内部液流路部１５と内側液流路部２５との重なりによりこれが支柱として機能するため、接合時及び減圧時に密閉空間がつぶれることを抑制することができる。
【０１１９】
以上では、エッチングによるベーパーチャンバの製造について説明したが、製造方法はこれに限らず、プレス加工、切削加工、レーザ加工、及び３Ｄプリンタによる加工によりベーパーチャンバを製造することもできる。
例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。
【０１２０】
次にベーパーチャンバ１の作用について説明する。図３２には電子機器の一形態である携帯型端末４０の内側にベーパーチャンバ１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバ１は携帯型端末４０の筐体４１の内側に配置されているため点線で表している。このような携帯型端末４０は、各種電子部品を内包する筐体４１及び筐体４１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット４２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバ１により冷却すべき電子部品３０が筐体４１内に配置されている。
【０１２１】
ベーパーチャンバ１は携帯型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品３０に取り付けられる。電子部品はベーパーチャンバ１の外面１０ｂ又は外面２０ｂに直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等を介して取り付けられる。外面１０ｂ、外面２０ｂのうちどの位置に電子部品が取り付けられるかは特に限定されることはなく、携帯型端末等において他の部材の配置との関係により適宜設定される。本形態では図１に点線で示したように、冷却すべき熱源である電子部品３０を第一シート１０の外面１０ｂのうち、本体１１のｘｙ方向中央に配置した。従って図１において電子部品３０は死角となって見えない位置なので点線で表している。
図３３には作動流体の流れを説明する図を表した。説明のし易さのため、この図では第二シート２０は省略し、第一シート１０の内面１０ａが見えるように表示している。
【０１２２】
電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。
【０１２３】
気化した作動流体は蒸気となって図２３に実線の直線矢印で示したように蒸気流路４内を流れて移動する。この流れは電子部品３０から離隔する方向に生じるため、蒸気は電子部品３０から離れる方向に移動する。
蒸気流路４内の蒸気は熱源である電子部品３０から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１の外周部に移動し、当該移動の際に順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、外面２０ｂに接触した電子機器４０の筐体４１等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。
【０１２４】
蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。この凝縮液は蒸気流路４の壁面に付着する。一方で蒸気流路４には連続して蒸気が流れているので、凝縮液は図２２、図２３に矢印Ｚで示したように蒸気で押し込まれるように、凝縮液流路３に移動する。本形態の凝縮液流路３は、図８、図１６に現れているように連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを通って複数の凝縮液流路３に分配される。
【０１２５】
凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛細管力、及び、蒸気からの押圧により、図３３に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。
このとき、凝縮液流路３は第二シート２０により液流路溝１４ａ、１５ａの開口が塞がれているので断面においてその四方が壁となり、毛管力を高めることができる。これにより円滑な凝縮液の移動が可能とされている。
さらに本形態では凝縮液流路３の内面に上記した内面溝を有しているのでより高い毛細管力を得ることができ、さらに円滑な凝縮液の移動が可能である。
そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。
【０１２６】
以上のように、ベーパーチャンバ１によれば、凝縮液流路において高い毛管力で凝縮液の還流が良好となり、熱輸送量を高めることができる。
【０１２７】
ここまでのベーパーチャンバ１は、第一シート１０及び第二シート２０の２つのシートからなる例を説明した。ただし、これに限られることはなく、図３４に示したように３つのシート、及び、図３５に示したように４つのシートによるベーパーチャンバであってもよい。
【０１２８】
図３４に示したベーパーチャンバは、第一シート１０、第二シート２０、及び、中間シートである第三シート５０の積層体である。第一シート１０と第二シート２０との間に挟まれるように第三シート５０が配置され、それぞれが接合されている。
【０１２９】
この例では第一シート１０は内面１０ａ及び外面１０ｂのいずれも平坦である。同様に、第二シート２０も内面２０ａ及び外面２０ｂのいずれも平坦である。
この時の、第一シート１０および第二シート２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であること好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【０１３０】
第三シート５０には、蒸気流路溝５１、壁５２、液流路溝５３、及び、凸部５４が備えられている。
蒸気流路溝５１は、第三シート５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とを重ねて第１流路である蒸気流路４を構成すると同様の溝であり、これに相当する形態を有している。
壁５２は、隣り合う蒸気流路溝５１の間に具備される壁であり、上記した外周液流路部１４と外周液流路部２４、及び、内側液流路部１５と内側液流路部２５を重ねた壁に相当する形態を有している。
液流路溝５３は、壁５２のうち第一シート１０に対向する面に配置される溝であり、上記した液流路溝１４ａ、１５ａに相当する形態を有している。液流路溝５３により第２流路である凝縮液流路３が形成される。
凸部５４は、隣り合う液流路溝５３の間に配置される凸部であり、上記した凸部１４ｂ、１５ｂに相当する形態で配置される。
【０１３１】
そして、第１シート１０、第二シート２０、及び第三シート５０が接合された際には、第２流路である凝縮液流路３に上記したような内面溝３ｂが具備されている。
【０１３２】
図３５に示したベーパーチャンバは、第一シート１０、第二シート２０、並びに、２つの中間シートである第三シート６０及び第四シート７０の積層体である。これらシートが第一シート１０側から、第一シート１０、第三シート６０、第四シート７０、及び、第二シート２０の順に積層され接合されている。
【０１３３】
本形態では、第一シート１０及び第二シート２０は内面１０ａ、２０a、及び外面１０ｂ、２０ｂはいずれも平坦である。
【０１３４】
第三シート６０には、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６が備えられている。
本形態における液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６は、第三シート６０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６と同様の形態とすることができる。
【０１３５】
第四シート７０には蒸気流路溝２６が備えられている。
本形態における蒸気流路溝２６は、第四シート７０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した蒸気流路溝２６と同様の形態とすることができる。
【０１３６】
このようなシートが積層されることにより、第一シート１０、凝縮液流路１４ａ、及び、第四シート７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路３、及び、第一シート１０、凝縮液流路１５ａ、及び、第四シート７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路３となる。
同様に、蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とが重なり、第一シート１０と第二シート２０との間に配置されることで第１流路である蒸気流路４となる。
そして、第２流路である凝縮液流路３に上記したような内面溝３ａが具備されている。
【０１３７】
本開示の上記各形態はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【符号の説明】
【０１３８】
１  ベーパーチャンバ
２  密閉空間
３  凝縮液流路
３ａ  内面溝
４  蒸気流路
１０  第一シート
１０ａ  内面
１０ｂ  外面
１０ｃ  側面
１１  本体
１２  注入部
１３  外周接合部
１４  外周液流路部
１４ａ  液流路溝
１４ｃ  連通開口部
１５  内側液流路部
１５ａ  液流路溝
１５ｃ  連通開口部
１６  蒸気流路溝
１７  蒸気流路連通溝
２０  第二シート
２０ａ  内面
２０ｂ  外面
２０ｃ  側面
２１  本体
２２  注入部
２３  外周接合部
２４  外周液流路部
２５  内側液流路部
２６  蒸気流路溝
２７  蒸気流路連通溝
３０  電子部品
４０  電子機器
４１  筐体
【図１】
2019128143.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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