(57)【要約】【課題】ガラス板表面への微粒子の付着を可及的に防止し又は抑制して、表面品位に優れたガラス板を提供する。【解決手段】本発明に係るガラス板の製造方法は、ガラス板Ｇに第一の液体１９，２０を供給して、ガラス板Ｇを洗浄する洗浄工程Ｓ２と、乾燥処理室１２内に搬入され、乾燥処理室１２内の所定の搬送経路Ｌ上を搬送されるガラス板Ｇに気体２６を吹き付けて、ガラス板Ｇから第一の液体１９，２０を除去する乾燥工程Ｓ３とを備える。乾燥処理室１２の底部に第二の液体３２が配置されている状態で、ガラス板Ｇに気体２６を吹き付けて、液切り乾燥を行う。【選択図】図２
2019089044.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板に第一の液体を供給して、前記ガラス板を洗浄する洗浄工程と、
乾燥処理室内に搬入され、前記乾燥処理室内の所定の搬送経路上を搬送されるガラス板に気体を吹き付けて、前記ガラス板から前記第一の液体を除去する乾燥工程とを備えるガラス板の製造方法であって、
前記乾燥処理室の底部に第二の液体が配置されている状態で、前記ガラス板に前記気体を吹き付けるガラス板の製造方法。
【請求項２】
前記乾燥処理室内の底部が前記第一の液体及び前記第二の液体で覆われている状態で、前記ガラス板に前記気体を吹き付ける請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記第二の液体は、純水である請求項１又は２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記第二の液体の前記乾燥処理室内への供給及び前記乾燥処理室外への排出により、前記底部に配置した前記第二の液体を入れ替える請求項１〜３の何れか一項に記載のガラス板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の製造方法に関し、特にガラス板を洗浄した後、洗浄液を除去してガラス板を乾燥させる際、ガラス板表面への微粒子の付着を防止する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶ディスプレイ用のガラス基板をはじめとするガラス板を製造するに際しては、成形したガラス原板（成形原板）から切り出されたガラス板に端面加工などの加工を施した後、当該ガラス板を洗浄すると共に、洗浄時にガラス板の表面に付着した洗浄液をエアナイフなどによるエアの吹き付けにより除去して（液切りして）、ガラス板を乾燥させることが行われている（例えば、特許文献１を参照）。また、これら一連の作業を経た後、得られたガラス板に残存（付着）する異物の有無を検査している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４-３８９１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このように、検査工程では、ガラス板の表面に付着したガラス粉などの異物の有無が検査されており、また異物の数の測定が行われることもある。ここで、測定対象となる異物は、そのサイズに応じて複数の水準に分類されており、この中でも、最小水準（１．０μｍ未満）の異物（以後、本明細書では、単に微粒子と称する。）が多く検出される傾向にある。この種の微粒子は、検査工程までの間に完全に除去することが難しく、例えば特許文献１に記載のように、ガラス板の表面を洗浄した後、エアナイフで液切り乾燥した場合であっても、乾燥後のガラス板の中には、決して無視できない数の微粒子が表面に付着しているものが存在していた。当然ながら、微粒子の付着はガラス板の表面品位を低下させる要因となるため、微粒子の付着は回避すべきである。
【０００５】
以上の事情に鑑み、本明細書では、ガラス板表面への微粒子の付着を低減して、表面品位に優れたガラス板を提供することを、本発明により解決すべき技術課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題の解決は、本発明に係るガラス板の製造方法により達成される。すなわち、この製造方法は、ガラス板に第一の液体を供給して、ガラス板を洗浄する洗浄工程と、乾燥処理室内に搬入され、乾燥処理室内の所定の搬送経路上を搬送されるガラス板に気体を吹き付けて、ガラス板から第一の液体を除去する乾燥工程とを備えるガラス板の製造方法であって、乾燥処理室の底部に第二の液体が配置されている状態で、ガラス板に気体を吹き付ける点をもって特徴付けられる。
【０００７】
本発明者が、上述した洗浄と液切り乾燥を行うに際して、乾燥処理室内における気流と微粒子の挙動との関係について調査した結果、以下の知見を得るに至った。すなわち、上述した洗浄後の乾燥を乾燥処理室内で実施する場合、乾燥処理室内に配設されたエアナイフなどの気体吹付け装置により、乾燥処理室内に搬入されたガラス板の液切り（洗浄液やリンス液等の除去）が行われる。この際、気体吹付け装置からガラス板に供給された気体が、乾燥処理室内に乱流を引き起こし、この乱流によって、第一の液体（洗浄液等）と共にガラス板の表面から除去され、乾燥処理室の底部に沈降していた微粒子が舞い上がることが判明した。以上より、ガラス板表面への微粒子の付着は、ガラス板への気体の吹き付けにより乾燥処理室内に生じた不規則な流れ（乱流）によるものと推察される。
【０００８】
本発明は、以上の知見に基づきなされたもので、第一の液体によるガラス板の洗浄と乾燥を行うに際し、乾燥処理室の底部に捕捉用の第二の液体が配置された状態でガラス板に気体を吹き付けるようにした。このように、ドライ環境に設定されるべき乾燥処理室の底部に第二の液体が配置された環境下で気体の吹き付けによる液切りを行うことによって、洗浄液等と共にガラス板から除去された微粒子が、第二の液体によって捕捉される。よって、気体の吹き付けに起因する乱流が乾燥処理室内で生じたとしても、沈降した微粒子が乱流に乗って舞い上がりにくくなる。従って、乾燥処理室内で効率よく洗浄液を除去してガラス板を乾燥しつつも、微粒子の付着を低減して、表面品位に優れたガラス板を提供することが可能となる。また、乾燥処理室の底部に第二の液体を供給しているので、ガラス板と第二の液体とが接する機会を極力排除することができる。よって、第二の液体を乾燥処理室内に配置することに起因したガラス板の表面品位の低下を可及的に防止することができる。なお、第二の液体による捕捉以外の手段として、例えば乾燥処理室内の気体を排気して、排気した気体を所定のフィルタに通して微粒子を排除した後、再び乾燥処理室内に戻す手段なども考えられるが、この方法だと、多大な排気能力が必要となり、排気設備の複雑化、高コスト化が避けられない。これに対して、本発明に係る微粒子捕捉手段によれば、乾燥処理室の底部に第二の液体を配置した状態を維持するだけで、ガラス板表面への微粒子の付着を低減できるので、簡素な設備で済む。以上より、本発明によれば、コストアップを回避しつつ、ガラス板の表面品位を向上させることが可能となる。なお、第一の液体とは、洗浄工程でガラス板に供給される液体を意味し、後述の実施形態では、洗浄液及びリンス液が第一の液体に該当する。
【０００９】
また、本発明に係るガラス板の製造方法においては、乾燥処理室内の底部が第一の液体及び第二の液体で覆われている状態で、ガラス板に気体を吹き付けてもよい。
【００１０】
このように乾燥処理室内の底部を第一の液体及び第二の液体で覆うことにより、乾燥処理室内で沈降した微粒子を漏れなくかつ確実に捕捉することができる。また、乱流等の影響により第二の液体が上昇してガラス板に触れる事態も確実に防止することができる。以上より、本構成によれば、ガラス板への微粒子の付着をさらに低減しつつ、ガラス板を乾燥させることができる。
【００１１】
また、本発明に係るガラス板の製造方法において、第二の液体は、純水であってもよい。
【００１２】
乾燥処理室は、洗浄処理室に比べて清浄度を高く管理しているのが一般的である。よって、第二の液体に純水を用いることで、乾燥処理室内雰囲気の清浄度を悪化させることなく、雰囲気中に浮遊し、沈降する微粒子を捕捉して、ガラス板表面への付着を低減することが可能となる。
【００１３】
また、本発明に係るガラス板の製造方法においては、第二の液体の乾燥処理室内への供給及び乾燥処理室外への排出により、底部に配置した第二の液体を入れ替えてもよい。
【００１４】
このように、乾燥処理室の底部に配置される液体を入れ替えることで、補足された微粒子を第二の液体と共に排出することができる。これにより、乾燥処理室の清浄度を高い状態で維持できる。
【発明の効果】
【００１５】
以上に述べたように、本発明によれば、ガラス板表面への微粒子の付着を低減して、表面品位に優れたガラス板を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法の手順を示すフローチャートである。
【図２】本発明の第一実施形態に係るガラス板の洗浄乾燥装置の側面図である。
【図３】本発明との比較に用いるガラス板の洗浄乾燥装置の側面図である。
【図４】本発明の第二実施形態に係るガラス板の洗浄乾燥装置の側面図である。
【図５】図４に示す洗浄乾燥装置のＡ−Ａ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の第一実施形態を、図１〜図３を参照して説明する。
【００１８】
本実施形態に係るガラス板の製造方法は、図１に示すように、ガラス板に所定の加工を施す加工工程Ｓ１と、所定の加工が施されたガラス板を洗浄する洗浄工程Ｓ２と、洗浄したガラス板に付着した洗浄液を除去してガラス板を乾燥させる乾燥工程Ｓ３と、乾燥後のガラス板の表面に付着した微粒子等の異物の有無を検査する検査工程Ｓ４とを備える。加工工程Ｓ１では、例えば砥石によってガラス板の端面に加工が施される。加工工程Ｓ１の前工程として、成形原板から所望のサイズのガラス板を切り出す切断工程を設けてもよい。以下、洗浄工程Ｓ２と乾燥工程Ｓ３を中心に説明する。
【００１９】
図２は、洗浄工程Ｓ２及び乾燥工程Ｓ３に使用する洗浄乾燥装置１０の全体構成を示す側面図である。図２に示すように、この洗浄乾燥装置１０は、洗浄処理室１１と乾燥処理室１２とを備え、ガラス板Ｇの搬送経路Ｌは、洗浄処理室１１及び乾燥処理室１２を横断するように設けられる。この場合、洗浄処理室１１と乾燥処理室１２内には、ガラス板Ｇを搬送経路Ｌに沿って搬送する搬送装置１３，１４が配設される。各搬送装置１３，１４は、例えばローラコンベアで構成される。
【００２０】
本実施形態では、洗浄処理室１１は、第一洗浄室１５と第二洗浄室１６とを有する。このうち第一洗浄室１５は、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａを擦って表面Ｇａ，Ｇａに付着した異物等の汚れを除去する洗浄ローラ１７を有する。本実施形態では、上下一対の洗浄ローラ１７，１７がガラス板Ｇの搬送経路Ｌを介して対向する位置に配設されている。洗浄ローラ１７は、ガラス板Ｇとの接触部をスポンジ等の弾性材料で形成したものであってもよく、ブラシで形成したものであってもよい。前者の場合、洗浄ローラ１７はスポンジローラとなり、後者の場合、洗浄ローラ１７はブラシローラとなる。
【００２１】
また、第一洗浄室１５内には、洗浄液供給装置１８が配設される。この場合、搬送経路Ｌ上を通るガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ全域に洗浄液１９（第一の液体）が供給されるように、洗浄液供給装置１８の供給口（図示は省略）の向きや幅方向寸法、供給流量などが設定されている。ここで、本明細書における「幅方向」とは、搬送経路Ｌ上を搬送されるガラス板Ｇの幅方向と一致する方向をいうものとする。なお、洗浄液１９には、例えば純水を使用することができ、必要に応じて洗剤や界面活性剤、アルカリイオン水、次亜塩素酸ソーダ等を添加してもよい。
【００２２】
第二洗浄室１６は、第一洗浄室１５よりも搬送経路Ｌの下流側に位置し、第一洗浄室１５から第二洗浄室１６内に搬入されたガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに第一の液体であるリンス液（すすぎ液）２０を供給するリンス液供給装置２１を有する。この場合も、搬送経路Ｌ上を通るガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ全域にリンス液２０が供給されるように、リンス液供給装置２１の供給口（図示は省略）の向きや幅方向寸法、供給流量などが設定されている。なお、リンス液２０には、純水など公知の種類のリンス用液体を使用することが可能である。
【００２３】
なお、第一洗浄室１５の底部１５ａには、ガラス板Ｇに供給された洗浄液１９が流れ落ちる。そのため、図示は省略するが、底部１５ａには、流れ落ちた洗浄液１９をドレインするためのドレイン口が底部１５ａに設けられている。また、第二洗浄室１６の底部１６ａには、ガラス板Ｇに供給された洗浄液１９及びリンス液２０が流れ落ちる。そのため、図示は省略するが、底部１６ａには、流れ落ちる洗浄液１９及びリンス液２０をドレインするためのドレイン口が底部１６ａに設けられている。
【００２４】
乾燥処理室１２は、液切り室２２と、液切り室２２よりも搬送経路Ｌの下流側に位置する第一乾燥室２３とを有する。本実施形態では、乾燥処理室１２は、第一乾燥室２３よりも搬送経路Ｌの下流側に第二乾燥室２４をさらに有する。液切り室２２と第一乾燥室２３との間には仕切り２５が設けられている。これにより、液切り室２２の雰囲気等が第一乾燥室２３に流入するのを制限する。なお、液切り室２２に搬入されるガラス板Ｇには、洗浄工程で供給された洗浄液１９及びリンス液２０が残留しているので、液切り室２２の底部２２ａには、リンス液２０等が流れ落ちる。このため、液切り室２２の底部２２ａはリンス液２０等で覆われ、ウェットな状態となる。この際、図示は省略するが、流れ落ちるリンス液２０等をドレインするためのドレイン口を底部２２ａに設けてもよい。
【００２５】
第一乾燥室２３には、第一乾燥室２３内に搬入されるガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて所定の気体２６（例えば、クリーンドライエアなど）を吹き付けるための気体吹付け装置２７が配設される。本実施形態では、気体吹付け装置２７は、上下一対のエアナイフ２８，２８であり、これら一対のエアナイフ２８，２８間にガラス板Ｇの搬送経路Ｌが位置している。ここで、各エアナイフ２８の供給口２８ａの幅方向寸法は、一対のエアナイフ２８，２８間を通過するガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ全域に気体２６を吹き付け得る大きさに設定されている。また、各エアナイフ２８の供給口２８ａの角度は、第一乾燥室２３側から液切り室２２側に向けて気体２６をガラス板Ｇの表面Ｇａに吹き付け得る大きさに設定されている。なお、図示例では、液切り室２２と第一乾燥室２３との境界位置（仕切り２５の位置）よりも液切り室２２に近い位置で、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに気体２６が吹き付けられるように、一対のエアナイフ２８，２８が配置されているが、液切り室２２と第一乾燥室２３との境界位置（上下の仕切り２５，２５間）で気体２６が表面Ｇａに吹き付けられるように一対のエアナイフ２８，２８を配置してもよい。
【００２６】
第一乾燥室２３と第二乾燥室２４との間には仕切り２９が設けられている。これにより、第一乾燥室２３の内部空間と、第二乾燥室２４の内部空間とが区画されるので、第一乾燥室２３の雰囲気等が第二乾燥室２４に流入するのを制限する。このため、第二乾燥室２４の清浄度を第一乾燥室２３の清浄度よりも高くできる。
【００２７】
第二乾燥室２４には、第二乾燥室２４内に搬入されるガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて所定の気体２６を吹き付けるための気体吹付け装置３０が配設される。本実施形態では、気体吹付け装置３０は、上下一対のエアナイフ３１，３１であり、これら一対のエアナイフ３１，３１間にガラス板Ｇの搬送経路Ｌが位置している。ここで、各エアナイフ３１の供給口３１ａの幅方向寸法は、一対のエアナイフ３１，３１間を通過するガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ全域に気体２６を吹き付け得る大きさに設定されている。また、各エアナイフ３１の供給口３１ａの角度は、第二乾燥室２４側から第一乾燥室２３側に向けて気体２６をガラス板Ｇの表面Ｇａに吹き付け得る大きさに設定されている。なお、各エアナイフ３１の供給口３１ａの角度は、第一乾燥室２３内の各エアナイフ２８の供給口２８ａの角度と同じでもよいし、異なっていてもよい。また、図示例では、第一乾燥室２３と第二乾燥室２４との境界位置（仕切り２９の位置）よりも第一乾燥室２３に近い位置でガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに気体２６が吹き付けられるように、一対のエアナイフ３１，３１が配置されているが、第一乾燥室２３と第二乾燥室２４との境界位置（上下の仕切り２９，２９間）で気体２６が表面Ｇａに吹き付けられるように、一対のエアナイフ３１，３１を配置してもよい。あるいは、境界位置よりも第二乾燥室２４に近い位置で気体２６が表面Ｇａに吹き付けられるように、一対のエアナイフ３１，３１を配置してもよい。
【００２８】
第一乾燥室２３の底部２３ａ及び第二乾燥室２４の底部２４ａには、微粒子捕捉用の液体３２（第二の液体）が配置されている。本実施形態では、第一乾燥室２３の底部２３ａ及び第二乾燥室２４の底部２４ａが層状の液体３２で覆われた状態にある。この液体３２は、ガラス板Ｇに残留するリンス液２０等の第一の液体が流れ落ちたものでなく、別途、第一乾燥室２３の底部２３ａ及び第二乾燥室２４の底部２４ａに供給されたものである。
【００２９】
この微粒子捕捉用の液体３２には、微粒子３３を捕捉可能な限りにおいて任意の種類の液体が使用可能であり、例えばイオン交換水、蒸留水、工業用純水など各種の純水が使用可能である。あるいは、微粒子３３の捕捉能力の更なる向上を目的として、液体３２に、界面活性剤を添加してもよい。具体的には、上述の純水に界面活性剤を添加したものを液体３２として使用してもよい。
【００３０】
次に、上記構成の洗浄乾燥装置１０を用いた洗浄工程Ｓ２と乾燥工程Ｓ３の一例を、本発明の作用効果と共に説明する。
【００３１】
（Ｓ２）洗浄工程
この工程では、加工工程Ｓ１で所定の加工（端面加工、表面処理などのうち少なくとも一つ以上）を施したガラス板Ｇが、搬送経路Ｌの最も上流側に位置する洗浄乾燥装置１０の第一洗浄室１５内に搬入されると、搬送装置１３により搬送経路Ｌ上を搬送されるガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて洗浄液供給装置１８，１８から洗浄液１９を供給する。これにより、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａは洗浄液１９で濡れた状態となる。そして、この状態のガラス板Ｇを、洗浄液供給装置１８，１８よりも下流側に位置する一対の洗浄ローラ１７，１７まで搬送し、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａを洗浄ローラ１７，１７で擦る。これにより、表面Ｇａ，Ｇａに付着した微粒子３３などの異物を擦り取る。然る後、ガラス板Ｇを搬送装置１３により第二洗浄室１６内に搬入する。第二洗浄室１６内では、搬送装置１３により搬送経路Ｌ上を搬送されるガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けてリンス液供給装置２１からリンス液２０を供給し、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ上の洗浄液１９と異物を洗い流す。然る後、ガラス板Ｇは搬送装置１３により第二洗浄室１６外へと排出される。
【００３２】
（Ｓ３）乾燥工程
搬送装置１３により第二洗浄室１６外へ排出されたガラス板Ｇは、続いて搬送装置１４により乾燥処理室１２内、正確には液切り室２２内に搬入される。そして、液切り室２２から第一乾燥室２３に搬入される直前にガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて、気体吹付け装置２７としての一対のエアナイフ２８，２８から気体２６を吹き付ける。これにより、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ上に残存していたリンス液２０（場合によっては少量の洗浄液１９も）と微粒子３３を含む異物とを吹き飛ばす。吹き飛ばされた微粒子３３は、液切り室２２の底部２２ａ、あるいは第一乾燥室２３の底部２３ａに向けて沈降する。
【００３３】
このようにして液切りがなされたガラス板Ｇは引き続き搬送装置１４により第一乾燥室２３内を搬送され、第一乾燥室２３から第二乾燥室２４に搬入される直前にガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて、気体吹付け装置３０としての一対のエアナイフ３１，３１から気体２６を吹き付ける。これにより、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ上に残存していたリンス液２０等と微粒子３３を含む異物を吹き飛ばす。吹き飛ばされた微粒子３３は、第一乾燥室２３の底部２３ａ、あるいは第二乾燥室２４の底部２４ａに向けて沈降する。以上のようにしてリンス液２０等と微粒子３３を含む異物とを除去することで、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａは乾いた状態となる。
【００３４】
ここで、例えば図３に示すように、乾燥処理室１２の第一乾燥室２３内及び第二乾燥室２４内に、液体３２が配置されていない場合、エアナイフ２８，２８よりも上流側に、ガラス板Ｇに供給されたリンス液２０等の大部分が流れ落ちるので、エアナイフ２８，２８よりも下流側にはリンス液２０等が僅かしか流れ落ちない。このため、第一乾燥室２３の底部２３ａ及び第二乾燥室２４の底部２４ａの大部分は、ドライ状態となる。
【００３５】
一対のエアナイフ２８，２８（３１，３１）でリンス液２０等と共に吹き飛ばされた微粒子３３は沈降し、液体３２と接触することなく第一乾燥室２３の底部２３ａ上、あるいは第二乾燥室２４の底部２４ａ上に堆積する。一方、一対のエアナイフ２８，２８（３１，３１）からガラス板Ｇに向けて気体２６を吹き付けることで、第一乾燥室２３内、あるいは第二乾燥室２４内に乱流３４が引き起こされることがある。この乱流３４によって、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａから吹き飛ばされ、ドライ状態の底部２３ａ，２４ａ上の微粒子３３が舞い上がり、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに再付着する。
【００３６】
これに対して、本発明に係るガラス板の製造方法では、乾燥処理室１２の底部に液体３２が配置された状態で、ガラス板Ｇに気体２６を吹き付けるようにした（図２を参照）。この場合、乾燥処理室１２の底部が液体３２によってウェットな状態となる。このため、微粒子３３がガラス板Ｇから除去されて沈降した際、液体３２によって捕捉される。よって、気体２６の吹き付けに起因する乱流３４（図３を参照）が第一乾燥室２３又は第二乾燥室２４内で生じたとしても、沈降した微粒子３３が乱流３４に乗って舞い上がりにくくなる。従って、効率よく洗浄液１９及びリンス液２０を除去してガラス板Ｇを液切り乾燥しつつも、微粒子３３の付着を低減して、表面品位に優れたガラス板Ｇを提供することが可能となる。また、乾燥処理室１２の底部に微粒子３３捕捉用の液体３２を配置しているので、ガラス板Ｇと液体３２とが接する機会を極力排除することができる。よって、液体３２を乾燥処理室１２内に配置することに起因したガラス板Ｇの表面品位の低下を可及的に防止することができる。また、この方法だと、乾燥処理室１２の底部に液体３２を配置するだけで微粒子３３の付着を低減できるので、簡素な設備で済む。以上より、本発明によれば、コストアップを回避しつつ、ガラス板Ｇの表面品位を向上させることが可能となる。
【００３７】
また、本実施形態では、液切り室２２の底部をリンス液２０等で覆うと共に、第一及び第二乾燥室２３，２４の底部２３ａ，２４ａを液体３２で覆っている（図２を参照）。このため、乾燥処理室１２の底部は、第一の液体（洗浄液１９やリンス液２０）及び第二の液体３２で覆われた状態となり、乾燥処理室１２の底部に沈降した微粒子３３を漏れなくかつ確実に捕捉することができる。以上より、ガラス板Ｇへの微粒子３３の付着をさらに低減しつつ、当該ガラス板Ｇを液切り乾燥することができる。従って、ガラス板Ｇの表面品位をばらつきなく向上させることが可能となる。
【００３８】
（Ｓ４）検査工程
上述のように洗浄乾燥を施したガラス板Ｇは検査工程へ搬送され、所定の検査装置によりガラス板Ｇの表面Ｇａに残存する異物の有無及び数を測定、評価する。異物の有無及び数の測定には、微粒子３３の数の測定も含まれる。そして、例えば測定された微粒子３３の数（単位面積当たりの数）がしきい値以下であれば、出荷基準を満たすものとして梱包、出荷工程へと搬送される。
【００３９】
以上、本発明の第一実施形態を説明したが、もちろん本発明に係るガラス板の製造方法は上記例示の形態には限定されない。当該製造方法は、本発明の範囲内で種々の形態をとることが可能である。
【００４０】
図４は、本発明の第二実施形態に係る洗浄乾燥装置４０の全体構成を示す側面図である。この洗浄乾燥装置４０は、第一及び第二乾燥室２３，２４に液体３２を入れ替えるための構成を設けた点において、図２に示す第一実施形態と相違する。具体的に、第一乾燥室２３の側部の下方には、液体３２を底部２３ａ上に供給するための供給口４１が一又は複数設けられると共に、底部２３ａには、液体３２を排出するための排出口４２が一又は複数設けられる。そして、排出口４２はろ過装置４３に接続されており、排出口４２から第一乾燥室２３外に排出された液体３２はろ過装置４３でろ過されるようになっている。そして、ろ過により微粒子３３等の異物が取り除かれた液体３２は、図５に示すように、ポンプ４４で供給口４１に向けて圧送され、再び底部２３ａ上に供給される構造となっている。第二乾燥室２４にも、第一乾燥室２３と同様、供給口４１と、排出口４２と、ろ過装置４３、及びポンプ４４とからなる液体３２の入れ替え構造が設けられている。なお、ろ過装置４３とポンプ４４の配置は入れ替えてもよく、言い換えると、ポンプ４４から吐出される液体３２をろ過装置４３に通過させた後、供給口４１を介して底部２３ａ上に供給してもよい。
【００４１】
このように、第一及び第二乾燥室２３，２４の底部に供給される液体３２を入れ替えることで、液体３２と共に捕捉された微粒子３３を排出することができる。これにより、第一及び第二乾燥室２３，２４の清浄度を高い状態で維持できる。特に、図５に示すように、液体３２を、供給口４１と排出口４２、及びろ過装置４３とポンプ４４とからなる入れ替え構造により、底部２３ａ（２４ａ）上に循環供給することにより、必要最小限の設備及び液体３２の量でもって、第一及び第二乾燥室２３，２４の清浄度を高い状態で維持できる。
【００４２】
なお、液体３２の配置形態としては、図２等で例示した層状に配置する形態に限定されない。例えば、滴状の液体３２を乾燥処理室１２の底部に散布することで斑状に液体３２を配置してもよい。また、滴状の液体３２を乾燥処理室１２の底部に散布することで層状に液体３２を配置してもよい。ガラス板Ｇへの微粒子３３の付着をさらに低減する観点では、液体３２を層状に配置することが好ましい。また、液体３２の配置領域は、乾燥処理室１２の底部のうち、ドライ状態の領域（リンス液２０等の第一の液体が流れ落ちない領域）とすればよい。
【００４３】
また、乾燥処理室１２の底部を第一の液体及び第二の液体で覆う場合、上記実施形態のような、液切り室２２の底部２２ａをリンス液２０等の第一の液体で覆い、第一乾燥室２３の底部２３ａ及び第二乾燥室２４の底部２４ａを第二の液体３２で覆う形態に限定されない。例えば、乾燥処理室１２の底部の一部又は全部が第一の液体と、第二の液体３２の混合液で覆われてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１０，４０  洗浄乾燥装置
１１    洗浄処理室
１２    乾燥処理室
１３，１４  搬送装置
１５    第一洗浄室
１６    第二洗浄室
１７，１７  洗浄ローラ
１８    洗浄液供給装置
１９    洗浄液（第一の液体）
２０    リンス液（第一の液体）
２１    リンス液供給装置
２２    液切り室
２３    第一乾燥室
２３ａ  底部
２４    第二乾燥室
２４ａ  底部
２５    仕切り
２６    気体
２７，３０  気体吹付け装置
２８，３１  エアナイフ
３２    液体（第二の液体）
３３    微粒子
３４    乱流
４１    供給口
４２    排出口
４３    ろ過装置
４４    ポンプ
Ｇ      ガラス板
Ｇａ    表面
Ｌ      搬送経路
【図１】
2019089044.tif 000003
【図２】
2019089044.tif 000004
【図３】
2019089044.tif 000005
【図４】
2019089044.tif 000006
【図５】
2019089044.tif 000007