(57)【要約】【課題】シューの素材にかかわらず、ワークの外周面にシュー傷が生じるのを抑制することができる手段を提供する。【解決手段】ワークピース支持装置（６）は、基台（１０）と、回転駆動装置（４）を用いて回転駆動されるワークピース（１ａ）の円周方向に関する少なくとも１箇所に配置され、前記ワークピース（１ａ）の周面に摺接させるシュー（１１）と、シュー（１１）を基台（１０）に対して支持する支持体（１２）とを備える。支持体（１２）は、基台（１０）に対するワークピース（１ａ）の傾きに合わせて、シュー（１１）を傾かせるための追従構造部（板ばね（１４））を有している。【選択図】図２
2019089194.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
回転駆動装置を用いて回転駆動されるワークピースの円周方向に関する少なくとも１箇所に配置され、前記ワークピースの周面に摺接させるシューと、
前記シューを前記基台に対して支持する支持体と、を備え、
前記支持体は、前記基台に対する前記ワークピースの傾きに合わせて、前記シューを傾かせるための追従構造部を有している、
ワークピース支持装置。
【請求項２】
前記追従構造部は、前記ワークピースの円周方向に関する撓み剛性よりも、前記ワークピースの軸方向に関する撓み剛性が小さい異方性弾性部により構成されている、
請求項１に記載のワークピース支持装置。
【請求項３】
前記異方性弾性部は、板ばねにより構成されている、
請求項２に記載のワークピース支持装置。
【請求項４】
前記追従構造部は、前記ワークピースの円周方向を向いた揺動支持軸を中心として、前記シューを前記基台に対して揺動可能に支持する揺動支持構造部により構成されている、
請求項１に記載のワークピース支持装置。
【請求項５】
ベースと、
回転駆動されるワークピースの位置決めのために、第１方向に平行なラインに沿って前記ワークピースの周面に当接される当接面を有するシューと、
前記ベースに対して前記シューを支持するとともに、前記第１方向に対する前記ワークピースの前記周面の傾きの変化に応じた、前記シューの姿勢の変化を許容する、追従フレームと、
を備える、ワークピース支持装置。
【請求項６】
前記追従フレームは、前記第１方向に交差する平面に平行に配されるとともに、前記第１方向において前記シューの前記当接面の中央位置又は前記ワークピースの前記周面の中央位置に配される、ブレードを有する、請求項５に記載のワークピース支持装置。
【請求項７】
前記平面は、前記ワークピースの径方向に沿った第２方向と、前記第１及び第２方向と交差する第３方向とを含み、
前記ブレードは、前記第２方向及び前記第３方向において比較的に剛な支持を提供し、前記第１方向において比較的に柔軟な支持を提供する、請求項６に記載のワークピース支持装置。
【請求項８】
前記平面は、前記ワークピースの径方向に沿った第２方向と、前記第１及び第２方向と交差する第３方向とを含み、
前記第１方向において、前記ブレードの厚みは、前記シューの前記当接面の１／２の長さ又は前記ワークピースの周面の１／２の長さより小さい、請求項６又は７に記載のワークピース支持装置。
【請求項９】
前記追従フレームは、前記ワークピースの径方向に沿った第２方向と前記第１及び第２方向と交差する第３方向とにおいて比較的に剛な支持を提供し、前記第３方向に沿った軸周りにおいて比較的に柔軟な支持を提供する、請求項５〜８のうちの何れか１項に記載のワークピース支持装置。
【請求項１０】
ワークピースを回転駆動するための回転駆動装置と、
前記ワークピースに加工を施すための工具と、
請求項１〜９のうちの何れか１項に記載のワークピース支持装置と、を備えた、
加工装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の加工装置を使用する加工方法であって、
前記回転駆動装置を用いてワークピースを回転駆動し、かつ、前記ワークピース支持装置を構成するシューを前記ワークピースの周面に摺接させることにより、前記ワークピースの径方向に関する位置決めを図りながら、前記工具を用いて前記ワークピースに加工を施す、
加工方法。
【請求項１２】
軌道輪を備えた軸受の製造方法であって、
請求項１１に記載の加工方法により前記軌道輪に加工を施す、
軸受の製造方法。
【請求項１３】
軸受を備えた車両の製造方法であって、
請求項１２に記載の軸受の製造方法により前記軸受を製造する、
車両の製造方法。
【請求項１４】
軸受を備えた機械装置の製造方法であって、
請求項１２に記載の軸受の製造方法により前記軸受を製造する、
機械装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転駆動装置を用いて回転駆動されるワークピース（被加工物）の径方向の位置決めを図る技術に関する。
本願は、２０１７年１１月１６日に出願された特願２０１７−２２０６４７号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、シュータイプのワークピース支持装置が知られている。こうした支持装置は、例えばワークピースに研削加工や超仕上加工を施すのに用いられる。シュータイプのワークピース支持装置は、たとえば図５に示すように、回転駆動装置を用いて回転駆動されるワークピース１の外周面にシュー２を摺接させることによって、ワークピース１の径方向の位置決めを図るものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１６７９９６号公報
【特許文献２】特開２０１１−９８４０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
シュータイプのワークピース支持装置を含んで構成される加工装置においては、構成部材の製造誤差や組立誤差などに起因して、ワークピース１とシュー２とのアライメントがずれる場合がある。すなわち、ワークピース１とシュー２との互いの位置関係が正規の位置関係に対して傾く場合がある。アライメントのずれは、たとえば、図６（ａ）に示すような、基準軸に対するワークピース１の回転中心軸αの傾斜や、図６（ｂ）に示すような、ワークピース１の回転中心軸αに対するワークピース１の幾何中心軸βの傾斜（回転振れの原因となるもの）などがある。例えば、図６（ａ）に示すアライメントのずれは、ワークピース１を回転駆動する主軸とシュー２とのセット精度が悪い場合などに生じる。また、例えば、図６（ｂ）に示すアライメントのずれは、ワークピース１の軸方向側面に磁気吸着する主軸（バッキングプレート）の先端面が、主軸の回転中心軸に直交する仮想平面に対して傾斜している場合などに生じる。
【０００５】
ワークピース１とシュー２とのアライメントがずれていると、ワークピース１の外周面とシュー２との接触が、面接触ではなく、線接触や点接触となる。この際に、ワークピース１に対するシュー２の押し付け力によっては、ワークピース１の外周面とシュー２との接触面圧が許容値を超え、ワークピース１の外周面に、シュー傷（シューマーク）と呼ばれるシュー２の接触傷が生じる場合がある。
【０００６】
シュー傷は、製品の機能を阻害するものではないが、製品の外見が損なわれるため、通常、ラッピングなどの追加工で除去される。
【０００７】
一方、シュー傷の発生を抑制する手段として、シューの素材を軟化する手段が提案されている（例えば、特開２００７−１６７９９６号公報、特開２０１１−９８４０８号公報参照）。しかしながら、このような手段を採用するだけでは、シュー傷の発生を抑制できるとしても、シューの摩耗量が多くなって、シューの寿命が短くなるなどの懸念がある。
【０００８】
本発明の目的は、シューの素材にかかわらず、ワークピースの外周面にシュー傷が生じるのを抑制することができる手段を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のワークピース支持装置の一態様は、基台と、回転駆動装置を用いて回転駆動されるワークピースの円周方向に関する少なくとも１箇所に配置され、前記ワークピースの周面に摺接させるシューと、前記シューを前記基台に対して支持する支持体とを備える。前記支持体は、前記基台に対する前記ワークピースの傾きに合わせて、前記シューを傾かせるための追従構造部を有している。
【００１０】
本態様のワークピース支持装置を実施する場合には、たとえば、次のような構成を採用することができる。すなわち、一例において、前記追従構造部は、前記ワークピースの円周方向に関する撓み剛性よりも、前記ワークピースの軸方向に関する撓み剛性が小さい異方性弾性部により構成されている。前記異方性弾性部は、たとえば、板ばねにより構成されている。
【００１１】
別の例において、前記追従構造部は、前記ワークピースの円周方向を向いた揺動支持軸を中心として、前記シューを前記基台に対して揺動可能に支持する揺動支持構造部により構成されている。
【００１２】
別の態様において、ワークピース支持装置は、ベースと、回転駆動されるワークピースの位置決めのために、第１方向に平行なラインに沿って前記ワークピースの周面に当接される当接面を有するシューと、前記ベースに対して前記シューを支持するとともに、前記第１方向に対する前記ワークピースの前記周面の傾きの変化に応じた、前記シューの姿勢の変化を許容する、追従フレーム（compliant frame）と、を備える。
【００１３】
一例において、前記追従フレームは、前記第１方向に交差する平面に平行に配されるとともに、前記第１方向において前記シューの前記当接面の中央位置又は前記ワークピースの前記周面の中央位置に配される、ブレードを有する。
【００１４】
この場合、例えば、前記平面は、前記ワークピースの径方向に沿った第２方向と、前記第１及び第２方向と交差する第３方向とを含み、前記ブレードは、前記第２方向及び前記第３方向において比較的に剛な支持を提供し、前記第１方向において比較的に柔軟な支持を提供する。
【００１５】
代替的及び／又は追加的に、例えば、前記平面は、前記ワークピースの径方向に沿った第２方向と、前記第１及び第２方向と交差する第３方向とを含み、前記第１方向において、前記ブレードの厚みは、前記シューの前記当接面の１／２の長さ又は前記ワークピースの前記外周面の１／２の長さより小さい。
【００１６】
代替的及び／又は追加的に、前記追従フレームは、前記ワークピースの径方向に沿った第２方向と前記第１及び第２方向と交差する第３方向とにおいて比較的に剛な支持を提供し、前記第３方向に沿った軸周りにおいて比較的に柔軟な支持を提供する。
【００１７】
本発明の加工装置の一態様は、ワークピースを回転駆動するための回転駆動装置と、前記ワークピースに加工を施すための工具と、上記態様のワークピース支持装置とを備える。
【００１８】
本発明の加工方法の一態様は、上記態様の加工装置を使用する加工方法であって、前記回転駆動装置を用いてワークピースを回転駆動し、かつ、前記ワークピース支持装置を構成するシューを前記ワークピースの外周面に摺接させることにより、前記ワークピースの径方向に関する位置決めを図りながら、前記工具を用いて前記ワークピースに加工を施す。
【００１９】
本発明の軸受の製造方法の一態様は、軌道輪を備えた軸受を製造対象とするもので、上記態様の加工方法により前記軌道輪に加工を施す。
【００２０】
本発明の車両の製造方法の一態様は、軸受を備えた車両を製造対象とするもので、上記態様の軸受の製造方法により前記軸受を製造する。
【００２１】
本発明の機械装置の製造方法の一態様は、軸受を備えた機械装置を製造対象とするもので、上記態様の軸受の製造方法により前記軸受を製造する。なお、製造対象となる機械装置は、動力の種類を問わない（動力が人力以外のものであっても良いし、動力が人力であっても良い）。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の態様によれば、シューの素材にかかわらず、ワークピースの外周面にシュー傷が生じるのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態を示す略側面図である。
【図２】図２は、図１のＡ矢視図である。
【図３】図３は、アライメントにずれが生じている場合の挙動を示す、図２の部分拡大図である。
【図４】図４は、本発明の第２の実施形態を示す図である。
【図５】図５は、従来のワークピース支持装置を用いてワークピースを支持する状態を示す図である。
【図６】図６（ａ）および図６（ｂ）は、アライメントにずれが生じている場合の例を示す図である。
【図７】転がり軸受の１例を示す、部分切断斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の第１の実施形態について、図１〜３を用いて説明する。本実施形態において、加工装置３は、ワークピース１ａの外周面に研削加工を施すためのもので、回転駆動装置４と、工具である砥石５と、ワークピース支持装置６とを備えている。ワークピース１ａは、たとえば、車両や各種の機械装置に組み込まれるラジアル転がり軸受を構成する軌道輪（内輪、外輪）などの、金属製のリング状部材である。
【００２５】
回転駆動装置４は、電動モータなどの駆動源により回転駆動可能な主軸７を備えている。主軸７は、先端部にバッキングプレート８を有している。ワークピース１ａは、軸方向側面をバッキングプレート８の先端面に磁気吸着することにより、主軸７に支持されている。
【００２６】
砥石５は、外周面を研削面９とし、かつ、自身の中心軸を中心として回転駆動可能となっている。また、砥石５は、ワークピース１ａの外周面に対する径方向の遠近動が可能となっている。すなわち、砥石５は、研削面９を、主軸７に支持されたワークピース１ａの外周面に対して押し付け可能となっている。
【００２７】
ワークピース支持装置６は、基台（ベース）１０と、２つのシュー１１と、これらのシュー１１ごとに設けられた支持体（追従フレーム）１２とを備えている。別の例において、シュー１１の個数は１又は３以上にできる。
【００２８】
２つのシュー１１は、ワークピース１ａの円周方向に離隔して配置されている。それぞれの先端面１３がワークピース１ａの外周面に対して摺接するようにシュー１１が配されている。シュー１１は、少なくともワークピース１ａの径方向に関する位置決めを図るためのものである。シュー１１の各々は、回転駆動されるワークピース１ａの位置決めのために、基準軸に沿った第１方向（例えば基準回転軸に沿った第１方向）に平行なラインに沿ってワークピース１ａの外周面に当接される先端面（当接面）１３を有する。２つのシュー１１はそれぞれ、たとえば鋼、超硬合金などの金属製で、略矩形ブロック状に構成されている。シュー１１の一例において、ワークピース１ａの外周面と対向する側の端面である先端面（当接面）１３が、ワークピース１ａの外周面に面接触可能な部分円筒状の凹面になっている。すなわち、シュー１１は、凹面形状を有する先端面１３を有する。シュー１１の他の例において、他の形状を有する先端面１３を有することができる。また、シュー１１は、様々な材質を適用できる。
【００２９】
なお、一例において、ワークピース１ａの外周面に２つのシュー１１の先端面１３を摺接させる円周方向位置は、ワークピース１ａの外周面に砥石５（研削面９）を押し付ける円周方向位置から外れた位置で、かつ、砥石５からワークピース１ａに負荷される荷重を効率良く支承できる位置であれば良い。他の例において、図示の位置とは別の位置にシュー１１を配置できる。また、シュー１１の先端面１３は、上述のような円筒状の凹面以外の形状、たとえば、Ｖ字形凹面などの、従来から知られている各種の形状を採用することもできる。
【００３０】
２つのシュー１１はそれぞれ、基台１０に、支持体（追従フレーム）１２を介して支持されている。支持体１２は、異方性弾性部である板ばね（追従構造部、ブレード、スプリングブレード）１４と、ホルダ１５とを有する。支持体（追従フレーム）１２は、基台１０に対してシュー１１を支持するとともに、第１方向に対するワークピース１ａの外周面の傾きの変化に応じた、シュー１１の姿勢の変化（シュー１１の向きの変化、先端面（当接面）１３の向きの変化）を許容する、ように構成されている。
【００３１】
板ばね（ブレード）１４は、自由状態での厚さ方向を、主軸７の軸方向（ワークピース１ａの軸方向、第１方向）とほぼ一致させた状態で配置されている。板ばね１４は、第１方向に交差する平面に平行に配される。板ばね１４は、第１方向においてシュー１１の先端面（当接面）１３の中央位置又はワークピース１ａの外周面の中央位置に配される。一例において、板ばね１４は、ワークピース１ａに対する遠位側の端部である基端部を、基台１０に結合されることにより、基台１０に片持ち支持されている。すなわち、板ばね１４は、ワークピース１ａの円周方向（具体的には、ワークピース１ａの外周面のうちでシュー１１の先端面１３を摺接させる部分の円周方向である、図１におけるＸ1方向）に関する撓み剛性が最も高く、ワークピース１ａの軸方向（具体的には、ワークピース１ａの外周面のうちでシュー１１の先端面１３を摺接させる部分の幅方向である、図２および図３におけるＸ2方向）に関する撓み剛性が最も低くなる方向に配置された状態で、基台１０に片持ち支持されている。
【００３２】
前述したように、シュー１１の先端面１３は、第１方向に平行なラインに沿ってワークピース１ａの外周面に当接される。板ばね（ブレード）１４は、第１方向に交差する第１平面に平行に配される。第１平面は、ワークピース１ａの径方向に沿った第２方向と、第１及び第２方向と交差する（例えば第１及び第２方向と実質的に垂直な）第３方向とを含む。第１方向は板ばね１４の厚さ方向及び／又はワークピース１ａの回転軸に沿った方向に関連し、第２方向は板ばね１４の長さ／高さ方向（基台１０からシュー１１に向かう方向）及び／又はワークピース１ａの径方向に関連し、第３方向は板ばね１４の幅方向及び／又はワークピース１ａの外周面の幅に関連する。板ばね１４は、第２方向及び第３方向において比較的に剛な支持を提供し、第１方向において比較的に柔軟な支持を提供する。代替的及び／又は追加的に、板ばね１４は、第２方向及び第３方向において比較的に剛な支持を提供し、第３方向に沿った軸周りにおいて比較的に柔軟な支持を提供する。
【００３３】
一例において、第１方向において、板ばね（ブレード）１４の厚み（第１方向における板ばねの長さ）は、シュー１１の先端面１３の１／１０、１／９、１／８、１／７、１／６、１／５、１／４、１／３、又は１／２の長さと実質的に同じかより小さくできる。あるいは、第１方向において、板ばね１４の厚みは、ワークピース１ａの外周面の１／１０、１／９、１／８、１／７、１／６、１／５、１／４、１／３、又は１／２の長さと実質的に同じかより小さくできる。板ばね（ブレード）１４が、第１方向に沿って重ねて又は並べて配された複数の板ばね（ブレード）からなる場合、総厚み（厚みの合計）について同様に設定できる。
【００３４】
一例において、第３方向において、板ばね（ブレード）１４の幅（第３方向における板ばねの長さ）は、シュー１１の先端面１３の１／２の長さと実質的に同じかより大きくできる。あるいは、第３方向において、板ばね１４の幅は、シュー１１の先端面１３の長さと実質的に同じかより大きくできる。例えば、第３方向において、板ばね１４の幅は、シュー１１の先端面１３の３／１０、４／１０、５／１０、６／１０、７／１０、８／１０、又は１０／１０の長さと実質的に同じかより大きい。あるいは、板ばね１４の幅は、板ばね１４の厚みの２、３、４、５、６、７、８、９、又は１０倍の長さと実質的に同じかより大きくできる。板ばね（ブレード）１４が、第１方向に沿って重ねて又は並べて配された複数の板ばね（ブレード）からなる場合、総長さ（幅の合計）について同様に設定できる。
【００３５】
一例において、板ばね１４は、基台１０に対して固定された実質的な固定端と、シュー１１に接続された実質的な自由端とを有する。板ばね１４は、固定端と自由端との間で、少なくとも第２方向に沿って延在する延在部を有する。例えば、板ばね１４は、第２方向及び／又は第３方向の板ばね１４の範囲にわたり、実質的に平面形状を有することができる。別の例において、板ばね１４は、少なくとも１つの曲げ部を有する形状を有することができる。板ばね１４は、均一な厚みを有する、又は不均一な厚みを有することができる。
【００３６】
一例において、板ばね１４は、ワークピース１ａに対する近位側の端部である先端部を、矩形板状のホルダ１５の後側面（ワークピース１ａと反対側の側面）の幅方向中央部に結合している。そして、このホルダ１５の前側面（ワークピース１ａ側の側面）に、シュー１１を固定している。他の例において、支持体（追従フレーム）１２は、別の形態のホルダ１４を有することができる。板ばね１４とシュー１１との接続構造について、様々な形態を採用することができる。
【００３７】
なお、一例において、基台１０に対する板ばね１４の基端部の結合位置を、ワークピース１ａの径方向に関して調節できるようになっている。そして、このような結合位置の調節によって、２つのシュー１１のそれぞれの先端面１３の径方向位置を調節することにより、サイズ（外径寸法）が異なる複数のワークピース１ａの外周面に対して、２つのシュー１１のそれぞれの先端面１３を面接触させることができるようになっている。
【００３８】
本実施形態において、このような加工装置３を用いて、ワークピース１ａの外周面に研削加工を施す際には、バッキングプレート８の先端面にワークピース１ａの軸方向側面を磁気吸着することにより、主軸７に対してワークピース１ａを回転駆動可能に支持する。また、ワークピース１ａの外周面に２つのシュー１１のそれぞれの先端面１３を接触させることにより、ワークピース１ａの径方向に関する位置決めを図る。そして、この状態で、主軸７を回転駆動することにより、ワークピース１ａを回転駆動しながら、ワークピース１ａと反対方向に回転する砥石５の研削面９を、ワークピース１ａの外周面に押し付けることにより、ワークピース１ａの外周面に研削加工を施す。
【００３９】
この際に、加工装置３では、ワークピース１ａとワークピース支持装置６とのアライメントのずれに起因して、前述の図６に示した従来の場合と同様、図３に示すように、基台１０に対してワークピース１ａが傾いて回転する場合でも、ワークピース１ａの外周面にシュー傷が生じるのを抑制すること
ができる。
【００４０】
すなわち、加工装置３では、基台１０に対してシュー１１を支持している板ばね１４が、ワークピース１ａの軸方向（Ｘ2方向）に関する撓み剛性が最も低くなる方向に配置されている。このため、一例において、図３に示すように、基台１０に対してワークピース１ａが傾いて回転する場合でも、同図に示すように、ワークピース１ａの傾きに合わせて板ばね１４がワークピース１ａの軸方向（Ｘ2方向）に撓むことにより、ワークピース１ａの外周面にシュー１１の先端面１３が追従して、ワークピース１ａの外周面にシュー１１の先端面１３を面接触させることができる。支持体（追従フレーム）１２において、第１方向に対するワークピース１ａの外周面の傾きの変化に追従して、シュー１１の姿勢が変化する。このため、ワークピース１ａの外周面にシュー傷が生じるのを抑制することができる。他の例において、板ばね１４は、図３とは異なる変形を示すことができる。
【００４１】
したがって、ワークピース１ａの外周面に研削加工を施す際の、ワークピース１ａの高速回転化を図ることができる。また、シュー傷を除去するための追加工などを省略することができる。したがって、ワークピース１ａの加工のサイクルタイムを短くすることができる。
【００４２】
また、本実施形態において、加工装置３では、板ばね１４が、ワークピース１ａの円周方向（Ｘ1方向）に関する撓み剛性が最も高くなる方向に配置されている。このため、板ばね１４がワークピース１ａの円周方向（Ｘ1方向）に撓むことを実質的に阻止することができ、シュー１１によるワークピース１ａの径方向に関する位置決めを安定して行うことができる。したがって、ワークピース１ａの外周面の研削加工を安定して行うことができる。
【００４３】
本発明の第２の実施形態について、図４を用いて説明する。本実施形態において、加工装置では、ワークピース支持装置６ａのうち、基台１０に対してシュー１１を支持する支持体１２ａの構造が、第１の実施形態と異なる。
【００４４】
本実施形態では、支持体（追従フレーム）１２ａは、シュー１１を固定したホルダ１５ａと、揺動支持軸（ピン）１６とを有する。シュー１１の先端面（当接面）１３は、第１方向（例えば基準回転軸に沿った第１方向）に平行なラインに沿ってワークピース１ａの外周面に当接される。ワークピース１ａの外周面とシュー１１の先端面１３との接触部が第１方向に平行なラインに沿って延在するように、シュー１１がワークピース１ａに当接される。あるいは、ワークピース１ａの外周面とシュー１１の先端面１３との接触部が第１方向に平行なラインを含むように、シュー１１がワークピース１ａに当接される。支持体１２ａは、基台（ベース）１０に対してシュー１１を支持するとともに、第１方向に対するワークピース１ａの外周面の傾きの変化に応じた、シュー１１の姿勢の変化（シュー１１の向きの変化、先端面（当接面）１３の向きの変化）を許容する、ように構成されている。支持体１２ａは、ワークピース１ａの径方向に沿った第２方向と第１及び第２方向と交差する（例えば第１及び第２方向に垂直な）第３方向とにおいて比較的に剛な支持を提供し、第３方向に沿った軸周りにおいて比較的に柔軟な支持を提供する、ように構成されている。
【００４５】
一例において、揺動支持軸１６は、円柱状で、基台１０に固定されており、かつ、ワークピース１ａの円周方向（具体的には、ワークピース１ａの外周面のうちでシュー１１の先端面１３を摺接させる部分の円周方向である、図４における表裏方向）を向いている。ホルダ１５ａは、円形の係合孔１７を有しており、この係合孔１７に対して揺動支持軸１６を相対回転可能に係合させている（内嵌している）。本例では、このような係合孔１７に揺動支持軸１６を係合させて成る揺動支持構造部を採用することによって、ホルダ１５ａに固定されたシュー１１を、基台１０に対して揺動支持軸１６を中心とする揺動（図４に矢印で示すような揺動）を可能に支持している。なお、他の例において、揺動支持軸１６をホルダ１５ａに固定し、係合孔１７を基台１０に設ける構成を採用することもできる。このような構成を採用する場合には、揺動支持軸１６は、シュー１１と共に揺動（回動）する。揺動構造、又は板ばね１４とシュー１１との接続構造について、様々な形態を採用することができる。
【００４６】
本実施形態では、ワークピース１ａの外周面に研削加工を施す際に、アライメントのずれに起因して、基台１０に対してワークピース１ａが傾いて回転する場合には、ワークピース１ａの傾きに合わせてシュー１１が揺動支持軸１６を中心として揺動することにより、ワークピース１ａの外周面にシュー１１の先端面１３が追従して、ワークピース１ａの外周面にシュー１１の先端面１３を面接触させることができる。このため、ワークピース１ａの外周面にシュー傷が生じるのを抑制することができる。その他の構成および作用は、第１の実施形態と同様にできる。
【００４７】
本発明の対象となるワークピースは、シューを摺接させる外周面を有するものであれば、特に種類は問わない。また、ワークピースに施す加工は、研削加工に限らず、たとえば、超仕上加工などの他の加工とすることもできる。また、ワークピースの加工部位は、外周面に限らず、たとえば、内周面や軸方向側面とすることもできる。また、ワークピース支持装置を構成するシューの数（シューおよび追従構造部の組み合わせの数）は、２つに限らず、１つ又は３つ以上とすることもできる。また、ワークピース支持装置は、加工装置に限らず、ワークピースの性状（たとえば、真円度など）を測定するための測定機に組み込んで使用することもできる。
【００４８】
図７は、転がり軸受の１例を示す、部分切断斜視図である。各種回転機器の回転支持部に、図７に示す様なラジアル玉軸受１００が組み込まれている。図７において、転がり軸受１００は、単列深溝型であって、互いに同心に配置された外輪１０２と内輪１０３との間に複数個の玉１０４、１０４が設置されている。外輪１０２の内周面の軸方向中間部に深溝型の外輪軌道１０５が全周に亙って形成されている。内輪１０３の外周面の軸方向中間部に深溝型の内輪軌道１０６が、全周に亙って形成されている。各玉１０４、１０４は、保持器１０７により保持された状態で、外輪軌道１０５と内輪軌道１０６との間で転動自在に配置されている。こうした軸受１００は、外輪１０２と内輪１０３との相対回転が自在に構成されている。軸受として、様々な種類の軸受が適用可能である。
【符号の説明】
【００４９】
１、１ａ ワークピース
２ シュー
３ 加工装置
４ 回転駆動装置
５ 砥石
６、６ａ ワークピース支持装置
７ 主軸
８ バッキングプレート
９ 研削面
１０ 基台（ベース）
１１ シュー
１２、１２ａ 支持体（追従フレーム）
１３ 先端面
１４ 板ばね（ブレード、スプリングブレード）
１５、１５ａ ホルダ
１６ 揺動支持軸
１７ 係合孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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