(57)【要約】【課題】レーザ割断によってガラスフィルムを切断した場合における端面不良の発生を防止する。【解決手段】ガラスフィルムの製造方法は、所定の搬送方向Ｘに搬送される帯状のガラスフィルムＧ１にレーザ光Ｌを照射することによりガラスフィルムＧ１を割断する割断工程Ｓ５を備える。割断工程Ｓ５は、開口部２５ａを有する定盤２２によってガラスフィルムＧ１の下面を支持するとともに開口部２５ａによってガラスフィルムＧ１を吸引する工程と、開口部２５ａに吸引されるガラスフィルムＧ１にレーザ光Ｌを照射する工程と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の搬送方向に搬送される帯状のガラスフィルムにレーザ光を照射することにより前記ガラスフィルムを割断する割断工程を備えるガラスフィルムの製造方法において、
前記割断工程は、開口部を有する定盤によって前記ガラスフィルムの下面を支持するとともに前記開口部によって前記ガラスフィルムを吸引する工程と、前記開口部に吸引される前記ガラスフィルムに前記レーザ光を照射する工程と、を備えることを特徴とする、ガラスフィルムの製造方法。
【請求項２】
前記割断工程は、所定のパスラインを有する搬送装置によって前記ガラスフィルムを搬送する工程を備え、
前記定盤は、前記ガラスフィルムを支持する支持部を備え、
前記支持部の上面は、前記パスラインよりも上方に位置する、請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項３】
前記支持部は、前記開口部よりも前記搬送方向の下流側で前記ガラスフィルムを支持するように構成されており、
前記割断工程は、前記開口部よりも下流側で前記支持部に支持される前記ガラスフィルムに向かって冷媒を放出する冷却工程を備える、請求項２に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項４】
前記割断工程は、前記開口部における前記ガラスフィルムの吸引力を調整する工程を備える、請求項１から３のいずれか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項５】
前記割断工程において、前記ガラスフィルムが前記開口部を通過する場合における前記ガラスフィルムの上下動の振幅が５０μｍ以下である、請求項１から４のいずれか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項６】
前記開口部の吸引による前記ガラスフィルムの変形量が０．３ｍｍ以下である、請求項１から５のいずれか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項７】
前記定盤の前記開口部は、一定の幅を有しており、
前記開口部の前記幅は、３ｍｍ以上３０ｍｍ以下である、請求項１から６のいずれか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば帯状のガラスフィルムを製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられる板ガラス、有機ＥＬ照明に用いられる板ガラス、タッチパネルの構成要素である強化ガラス等の製造に用いられるガラス板、更には太陽電池のパネル等に用いられるガラス板は、薄肉化が推進されているのが実情である。
【０００３】
例えば特許文献１には、厚みが数百μｍ以下のガラスフィルム（薄板ガラス）が開示されている。この種のガラスフィルムは、同文献にも記載されるように、いわゆるオーバーフローダウンドロー法を採用した成形装置によって連続成形されるのが一般的である。
【０００４】
特許文献１に開示されるガラスフィルムの製造方法において、オーバーフローダウンドロー法により連続成形された長尺のガラスフィルムは、その搬送方向が鉛直方向から水平方向に変換された後、搬送装置の横搬送部（水平搬送部）によって継続して下流側に搬送される。この搬送途中で、ガラスフィルムは、その幅方向両端部（耳部）が切断除去される。その後、ガラスフィルムは、巻取りローラによってロール状に巻き取られることで、ガラスロールとして構成される。
【０００５】
ガラスフィルムの幅方向両端部を切断する技術として、特許文献１では、レーザ割断が開示されている。このレーザ割断方法では、ガラスフィルムを搬送しつつ、ダイヤモンドカッタ等のクラック形成手段によりガラスフィルムに初期クラックを形成した後、この部分にレーザ光を照射して加熱し、その後、加熱された部分を冷却手段により冷却する。これにより、ガラスフィルムに熱応力が生じ、この熱応力によって初期クラックが進展することで、当該ガラスフィルムの幅方向端部が割断される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−２４０８８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
厚みが２００μｍ以下となる超薄型のガラスフィルムを搬送しながら上記のレーザ割断方法によって切断する場合、ガラスフィルムの搬送中に当該ガラスフィルムに無数の皺が生じ得る。従来のレーザ割断方法において、この皺がレーザ光の照射位置に重なった状態でガラスフィルムの割断が行われると、割断後のガラスフィルムの端面（断面）に、皺に起因する不良部分が残存するという問題があった。
【０００８】
本発明は上記の事情に鑑みて為されたものであり、レーザ割断によってガラスフィルムを切断した場合における端面不良の発生を防止することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記の課題を解決するためのものであり、所定の搬送方向に搬送される帯状のガラスフィルムにレーザ光を照射することにより前記ガラスフィルムを割断する割断工程を備えるガラスフィルムの製造方法において、前記割断工程は、開口部を有する定盤によって前記ガラスフィルムの下面を支持するとともに前記開口部によって前記ガラスフィルムを吸引する工程と、前記開口部に吸引される前記ガラスフィルムに前記レーザ光を照射する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
かかる構成によれば、割断工程において、搬送方向に沿って搬送される帯状のガラスフィルムの一部を定盤の開口部によって吸引することで、吸引されたガラスフィルムの部分おける皺の発生を防止でき、或いはガラスフィルムに発生していた皺を消滅させることが可能になる。ガラスフィルムの吸引部分にレーザ光を照射して割断を行うことで、割断面（端面）における不良の発生を確実に防止できる。
【００１１】
また、前記割断工程は、所定のパスラインを有する搬送装置によって前記ガラスフィルムを搬送する工程を備え、前記定盤は、前記ガラスフィルムを支持する支持部を備え、前記支持部の上面は、前記パスラインよりも上方に位置することが望ましい。このように、定盤における支持部の上面をパスラインよりも上方に配置することで、搬送装置によって搬送されるガラスフィルムは、定盤を通過する際に支持部によって押上られる。これにより、定盤を通過する際におけるガラスフィルムの皺の発生を効果的に防止できる。
【００１２】
上記の方法では、前記支持部は、前記開口部よりも前記搬送方向の下流側で前記ガラスフィルムを支持するように構成されており、前記割断工程は、前記開口部よりも下流側で前記支持部に支持される前記ガラスフィルムに向かって冷媒を放出する冷却工程を備えることが望ましい。
【００１３】
開口部に吸引されるガラスフィルムは、レーザ光の照射により局部的に加熱された後に、その下流の位置で冷媒によって冷却される。レーザ光の加熱による膨張と、冷媒の冷却による収縮とによって、ガラスフィルムに熱応力が発生する。この熱応力によるクラックの進展により、ガラスフィルムは精度良く割断される。この場合において、冷媒は開口部の下流側でガラスフィルムに接触する。この位置では、支持部は、冷媒の圧力で変形しないようにガラスフィルムを支持する。これにより、ガラスフィルムの変形による端面不良の発生を防止できる。
【００１４】
前記割断工程は、前記開口部における前記ガラスフィルムの吸引力を調整する工程を備えることが望ましい。開口部によってガラスフィルムを吸引する場合、その吸引力が強すぎると、ガラスフィルムの搬送を阻害するおそれがある。割断工程において、開口部の吸引力を調整することにより、ガラスフィルムを好適に搬送しながらその割断を行うことができる。
【００１５】
前記割断工程において、前記ガラスフィルムが前記開口部を通過する場合における前記ガラスフィルムの上下動の振幅が５０μｍ以下であることが望ましい。このように、ガラスフィルムの上下動の振幅を可及的に小さくすることで、ガラスフィルムの割断面の端面不良の発生を抑止できる。
【００１６】
開口部の吸引が過剰になると、ガラスフィルムの変形量が過大となり、割断後のガラスフィルムの端面不良の原因となる。このような端面不良の発生を防止するために、前記開口部の吸引による前記ガラスフィルムの変形量が０．３ｍｍ以下であることが望ましい。
【００１７】
上記の製造方法において、前記定盤の前記開口部は、一定の幅を有しており、前記開口部の前記幅は、３ｍｍ以上３０ｍｍ以下であることが望ましい。これにより、開口部は、好適な力でガラスフィルムを吸引できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、レーザ割断によってガラスフィルムを切断した場合における端面不良の発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】ガラスフィルムの製造装置を示す側面図である。
【図２】ガラスフィルムの製造装置の一部を示す平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】定盤の平面図である。
【図５】図２のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】ガラスフィルムの製造方法を示すフローチャートである。
【図７】割断工程におけるガラスフィルムの態様を示す断面図である。
【図８】割断工程におけるガラスフィルムの態様を示す断面図である。
【図９】割断工程におけるガラスフィルムの挙動を示す断面図である。
【図１０】吸引装置の他の例を示す平面図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。図１乃至図９は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法及び製造装置の一実施形態を示す。
【００２１】
図１に示すように、製造装置１は、帯状の母材ガラスフィルムＧを成形する成形部２と、母材ガラスフィルムＧの進行方向を縦方向下方から横方向に変換する方向変換部３と、方向変換後に母材ガラスフィルムＧを横方向に搬送する第一搬送部４と、母材ガラスフィルムＧにおける幅方向端部（耳部）を切断する第一切断部５と、耳部が除去されたガラスフィルム（以下「第一ガラスフィルム」という）Ｇ１をロール状に巻き取って第一ガラスロールＧＲＬ１を構成する第一巻取部６とを備える。
【００２２】
さらに製造装置１は、第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を取り出す取出部７と、取出部７から取り出された第一ガラスフィルムＧ１を横方向に搬送する第二搬送部８と、第一ガラスフィルムＧ１の一部を切断する第二切断部９と、第二切断部９により切断されてなるガラスフィルム（以下「第二ガラスフィルム」という）Ｇ２をロール状に巻き取って第二ガラスロールＧＲＬ２を構成する第二巻取部１０とを備える。
【００２３】
成形部２は、上端部にオーバーフロー溝１１ａが形成された断面視略楔形の成形体１１と、成形体１１の直下に配置されて、成形体１１から溢出した溶融ガラスＧＭを表裏両側から挟むエッジローラ１２と、エッジローラ１２の直下に配備されるアニーラ１３とを備える。
【００２４】
成形部２は、成形体１１のオーバーフロー溝１１ａから溢流した溶融ガラスＧＭを、両側面に沿ってそれぞれ流下させ、その下端部で合流させてフィルム状に成形する。エッジローラ１２は、この溶融ガラスＧＭの幅方向収縮を規制して所定幅の母材ガラスフィルムＧとする。アニーラ１３は、母材ガラスフィルムＧに対して除歪処理を施すためのものである。アニーラ１３は、上下方向複数段に配設されたアニーラローラ１４を有する。
【００２５】
アニーラ１３の下方には、母材ガラスフィルムＧを表裏両側から挟持する支持ローラ１５が配設されている。支持ローラ１５とエッジローラ１２との間、または支持ローラ１５と何れか一箇所のアニーラローラ１４との間では、母材ガラスフィルムＧを薄肉にすることを助長するための張力が付与されている。
【００２６】
方向変換部３は、支持ローラ１５の下方位置に設けられている。方向変換部３には、母材ガラスフィルムＧを案内する複数のガイドローラ１６が湾曲状に配列されている。これらのガイドローラ１６は、鉛直方向に搬送される母材ガラスフィルムＧを横方向へと案内する。
【００２７】
第一搬送部４は、方向変換部３の進行方向前方（下流側）に配置される。第一搬送部４は、ベルトコンベアにより構成されるが、この構成に限定されず、ローラコンベアその他の各種搬送装置を使用できる。第一搬送部４は、無端帯状のベルト４ａを駆動することにより、方向変換部３を通過した母材ガラスフィルムＧを下流側へと連続的に搬送する。
【００２８】
第一切断部５は、第一搬送部４の上方に配置される。本実施形態では、第一切断部５は、レーザ割断により母材ガラスフィルムＧを切断する。第一切断部５は、一対のレーザ照射装置１７ａと、当該レーザ照射装置１７ａの下流側に配置される一対の冷却装置１７ｂを含む。第一切断部５は、搬送される母材ガラスフィルムＧの所定部位に各レーザ照射装置１７ａからレーザ光Ｌを照射して加熱した後、冷却装置１７ｂから冷媒Ｒを放出して当該加熱部位を冷却する。
【００２９】
第一巻取部６は、第一搬送部４及び第一切断部５の下流側に設置されている。第一巻取部６は、巻芯１８を回転させることで、第一ガラスフィルムＧ１をロール状に巻き取る。このようにして構成される第一ガラスロールＧＲＬ１は、取出部７の位置まで搬送される。取出部７は、第一巻取部６によって構成された第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出して、第二切断部９に供給する。
【００３０】
第二搬送部８は、取出部７において第一ガラスロールＧＲＬ１から取り出された第一ガラスフィルムＧ１を横方向（以下「搬送方向」という）Ｘに沿って搬送する。第二搬送部８はベルトコンベアにより構成されるが、この構成に限定されず、ローラコンベアその他の各種搬送装置を使用できる。第二搬送部８は、無端帯状の複数のベルト８ａを駆動することにより、第一ガラスフィルムＧ１を下流側の第二巻取部１０へと搬送する。
【００３１】
複数のベルト８ａは、第一ガラスフィルムＧ１を略水平姿勢に維持するように、上下方向の位置が設定される。すなわち、複数のベルト８ａは、第一ガラスフィルムＧ１との接触部８ｂの上下方向位置（高さ）が一致するように設置される。これにより、水平方向に沿うパスラインＰＬが構成される。
【００３２】
第二切断部９は、第二搬送部８の中途部に位置する。第二切断部９は、第一ガラスフィルムＧ１を吸引する吸引装置１９と、第二搬送部８の上方に配置される一対のレーザ照射装置２０と、一対の冷却装置２１とを備える。
【００３３】
吸引装置１９は、第一ガラスフィルムＧ１の下面に接触する一対の定盤２２と、定盤２２の支持部材２３と、定盤２２に接続される吸引ポンプ２４とを備える。
【００３４】
定盤２２は、図２及び図３に示すように、第二搬送部８における複数のベルト８ａの間に配置される。定盤２２は、金属製の板部材により構成される。定盤２２は、所定の長さＬＰ及び幅Ｗを有する長方形状に構成されるが、この形状に限定されるものではない。定盤２２の長さＬＰは、８０ｍｍ以上２６０ｍｍ以下とされるが、この範囲に限定されない。定盤２２の幅Ｗは、３０ｍｍ以上６０ｍｍ以下とされるが、この範囲に限定されない。
【００３５】
定盤２２は、厚さ方向に貫通する孔２５と、第一ガラスフィルムＧ１と接触する支持部２６ａ〜２６ｃとを有する。
【００３６】
孔２５は、図４に示すように、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘに沿う直線状の長孔として構成される。定盤２２は、この孔２５の上部における開口部２５ａを通じて第一ガラスフィルムＧ１の下面を吸引する。開口部２５ａは、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘに沿う所定の長さＬＡ、及び搬送方向Ｘに直交する方向における一定の幅ＷＡを有する。開口部２５ａの長さＬＡは、４０ｍｍ以上８０ｍｍ以下に設定されることが望ましい。開口部２５ａの幅ＷＡは、３ｍｍ以上３０ｍｍ以下に設定されることが好ましく、より好ましくは、３ｍｍ以上２０ｍｍ以下である。
【００３７】
支持部２６ａ〜２６ｃは、樹脂製のシート部材により構成されるが、この材質に限定されるものではない。図５に示すように、支持部２６ａ〜２６ｃは、その上面が第二搬送部８のパスラインＰＬよりも、上方に位置する。支持部２６ａ〜２６ｃの上面と、パスラインＰＬ（ベルト８ａの上部）との高さの差Ｈは、０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下とされることが望ましく、０．５ｍｍ以上３．０ｍｍ以下とされることがさらに望ましい。
【００３８】
支持部２６ａ〜２６ｃは、第一支持部２６ａと、第一支持部２６ａの下流側に位置する第二支持部２６ｂと、第二支持部２６ｂの下流側に位置する第三支持部２６ｃとを有する。第一支持部２６ａは、定盤２２の上流側端部から開口部２５ａまでの範囲に設けられる。第一支持部２６ａの長さＬ１は、１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下に設定されることが望ましい。第一支持部２６ａの幅Ｗ１は、定盤２２の幅Ｗと等しい。
【００３９】
第二支持部２６ｂは、定盤２２の孔２５の幅方向外側（両側）に位置する。第二支持部２６ｂの長さＬ２は、孔２５（開口部２５ａ）の長さＬＡと等しい。第二支持部２６ｂの幅Ｗ２は、１ｍｍ以上１５ｍｍ以下とされるが、この範囲に限定されない。
【００４０】
第三支持部２６ｃは、開口部２５ａよりも下流側に位置する。第三支持部２６ｃは、冷却装置２１から放出される冷媒Ｒにより冷却される第一ガラスフィルムＧ１の一部を支持する。第三支持部２６ｃの長さＬ３は、１０ｍｍ以上１６０ｍｍ以下とされるが、この範囲に限定されない。第三支持部２６ｃの幅Ｗ３は、定盤２２の幅Ｗと等しい。
【００４１】
支持部材２３は、定盤２２の下部を支持する。支持部材２３は、例えば金属によりブロック状に構成される。この支持部材２３と定盤２２との間には、支持部材２３の外部の空気を吸引する開口部（隙間）２３ａが形成されている。支持部材２３は、定盤２２の孔２５に連通する内部空間Ｓを有する。支持部材２３の下部には、吸引装置１９の一部が接続されている。
【００４２】
吸引ポンプ２４は、第二搬送部８の近傍位置に設けられる。吸引ポンプ２４は、接続配管２７を介して支持部材２３に接続される。これにより、吸引ポンプ２４は、接続配管２７、及び支持部材２３の内部空間Ｓを通じて、支持部材２３の開口部２３ａ及び定盤２２の開口部２５ａから空気を吸引する。
【００４３】
レーザ照射装置２０は、搬送方向Ｘに沿って移動する第一ガラスフィルムＧ１の所定部位にレーザ光Ｌを照射することにより、当該部位を局部加熱する。レーザ照射装置２０は、図３に示すように、複数のレーザ照射部２０ａを有する。各レーザ照射部２０ａは、定盤２２の開口部２５ａの上方に配置される。これによりレーザ照射部２０ａは、開口部２５ａを通過する第一ガラスフィルムＧ１の複数箇所にレーザ光Ｌを照射する。各レーザ照射部２０ａからのレーザ光Ｌの照射位置Ｏは、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘにほぼ平行な直線上に位置するように設定される。
【００４４】
冷却装置２１は、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘにおいて、レーザ照射装置２０の下流側に配置される。冷却装置２１は、第一ガラスフィルムＧ１において局部加熱された部位に冷媒Ｒを放出して当該部位を冷却する。
【００４５】
第二巻取部１０は、第二搬送部８及び第二切断部９の下流側に配置される。第二巻取部１０は、第二搬送部８から搬送される第二ガラスフィルムＧ２を巻芯２８によって巻き取ることで第二ガラスロールＧＲＬ２を構成する。
【００４６】
上記の製造装置１により製造される第二ガラスフィルムＧ２（第一ガラスフィルムＧ１）の材質としては、ケイ酸塩ガラス、シリカガラスが用いられ、好ましくはホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラス、アルミノ珪酸塩ガラス、化学強化ガラスが用いられ、最も好ましくは無アルカリガラスが用いられる。ここで、無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分の重量比が３０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。本発明におけるアルカリ成分の重量比は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、最も好ましくは３００ｐｐｍ以下である。
【００４７】
また、第二ガラスフィルムＧ２（第一ガラスフィルムＧ１）の厚みは、１０μｍ以上３００μｍ以下とされ、好ましくは３０μｍ以上２００μｍ以下であり、最も好ましくは３０μｍ以上１００μｍ以下である。
【００４８】
以下、上記構成の製造装置１を使用して第二ガラスフィルムＧ２（第二ガラスロールＧＲＬ２）を製造する方法について説明する。図６に示すように、本方法は、成形工程Ｓ１と、耳部除去工程Ｓ２と、第一巻取工程Ｓ３と、取出工程Ｓ４と、割断工程Ｓ５と、第二巻取工程Ｓ６とを備える。
【００４９】
成形工程Ｓ１では、成形部２における成形体１１のオーバーフロー溝１１ａから溢流した溶融ガラスＧＭを当該成形体１１の両側面に沿ってそれぞれ流下させ、その下端で合流させてフィルム状に成形する。この際、溶融ガラスＧＭの幅方向収縮をエッジローラ１２により規制して所定幅の母材ガラスフィルムＧとする。その後、母材ガラスフィルムＧに対してアニーラ１３により除歪処理を施す（徐冷工程）。支持ローラ１５の張力により、母材ガラスフィルムＧは所定の厚みに形成される。
【００５０】
耳部除去工程Ｓ２では、方向変換部３及び第一搬送部４によって母材ガラスフィルムＧを下流側に送りつつ、第一切断部５において、レーザ照射装置１７ａからレーザ光Ｌを母材ガラスフィルムＧの一部に照射して加熱する。その後、加熱した部位に冷却装置１７ｂによって冷媒Ｒを吹き付ける。これにより、母材ガラスフィルムＧに熱応力が生じる。母材ガラスフィルムＧには、予め初期クラックが形成されており、このクラックを熱応力によって進展させる。これにより、母材ガラスフィルムＧから耳部が除去され、第一ガラスフィルムＧ１が形成される。
【００５１】
続く第一巻取工程Ｓ３では、第一ガラスフィルムＧ１を巻芯１８に巻き取ることにより、第一ガラスロールＧＲＬ１を構成する。その後、第一ガラスロールＧＲＬ１は、取出部７に移送される。取出工程Ｓ４では、取出部７に移送された第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出し、第二搬送部８によって第二切断部９へと搬送する。
【００５２】
割断工程Ｓ５では、第一ガラスフィルムＧ１の一部は、第二搬送部８によって搬送されることにより、定盤２２の支持部２６ａ〜２６ｃ上を通過する（搬送工程）。吸引装置１９は、吸引ポンプ２４を常時作動させており、定盤２２の開口部２５ａによって当該定盤２２上の第一ガラスフィルムＧ１を吸引する（吸引工程）。図７及び図８に示すように、第一ガラスフィルムＧ１は、定盤２２の第二支持部２６ｂにより支持されるとともに、開口部２５ａに吸引されることで当該開口部２５ａの範囲内において凹状に変形する。
【００５３】
割断工程Ｓ５では、第一ガラスフィルムＧ１を移動させつつ、開口部２５ａにより吸引させて、開口部２５ａの範囲内で当該第一ガラスフィルムＧ１を変形させる。この場合における第一ガラスフィルムＧ１の変形量Ｄは、０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下とされることが望ましい。上記の変形量Ｄは、第一ガラスフィルムＧ１を１０ｍ搬送した場合において、連続的に０．１秒毎に測定した値の平均値である。変形量Ｄの測定は、レーザ光Ｌによる熱膨張の影響を排除するために、レーザ光Ｌを照射していない状態で測定する。割断工程Ｓ５では、第一ガラスフィルムＧ１の変形量Ｄを可及的に小さくすべく、吸引装置１９の吸引力が調整される。すなわち、吸引ポンプ２４における吸気量を調整する他、支持部材２３に形成される開口部２３ａを通じて吸気が行われることにより、開口部２５ａの吸引力が調整される（吸引力調整工程）。開口部２３ａは、閉塞部材を使用することにより、その開口面積が調整される。
【００５４】
第一ガラスフィルムＧ１は、第二搬送部８によって搬送されながら開口部２５ａに吸引されるが、その吸引力が調整される（吸引力が弱められる）ことで、微小な上下動（振動）を生じ得る（図９参照）。開口部２５ａの吸引力を調整することにより、第一ガラスフィルムＧ１の上下動幅（振幅）Ａを可及的に低減できる。具合的には、第一ガラスフィルムＧ１の上下動幅Ａは、１０μｍ以上５０μｍ以下とすることが可能である。すなわち、第一ガラスフィルムＧ１を１０ｍ搬送した場合において、連続的に０．１秒毎に測定した上下動幅Ａの値の最小値が１０μｍ以上、最大値が５０μｍ以下とされることが望ましい。なお、上下動幅Ａは、公知のレーザ変位センサを用いて測定する。上下動幅Ａの測定は、レーザ光Ｌによる熱膨張の影響を排除するために、レーザ光Ｌを照射していない状態で測定する。
【００５５】
吸引力の調整において、吸引量を大きくすると、上述の変形量Ｄが大きくなるが、上述の上下動幅Ａは小さくなる傾向にある。逆に、吸引量を小さくすると、上述の変形量Ｄは小さくなるが、上述の上下動幅Ａは大きくなる傾向にある。従って、許容可能な上下動幅Ａの範囲内で変形量Ｄを可及的に小さくすることが好ましく、吸引力は、開口部２５ａにおける風速が１ｍ／ｓ〜６ｍ／ｓの範囲であることが好ましい。上記風速は、公知の風速計を用いて測定する。
【００５６】
割断工程Ｓ５では、上記のように第二搬送部８によって第一ガラスフィルムＧ１を搬送するとともに、レーザ照射装置２０のレーザ照射部２０ａから複数のレーザ光Ｌを第一ガラスフィルムＧ１に照射する（レーザ照射工程）。レーザ光Ｌは、定盤２２の開口部２５ａの範囲内を通過する第一ガラスフィルムＧ１の一部に照射される。
【００５７】
上記のようなレーザ光Ｌの照射により、その照射位置Ｏにおいて第一ガラスフィルムＧ１が加熱される。その後、第一ガラスフィルムＧ１において加熱された部分は、開口部２５ａを通過し、冷却装置２１によって冷却される（冷却工程）。すなわち、定盤２２における第三支持部２６ｃの上方に位置する冷却装置２１から、下方に冷媒Ｒが噴射される。レーザ照射装置２０の局部加熱による膨張と冷却装置２１の冷却による収縮とにより第一ガラスフィルムＧ１に熱応力が生じる。第一ガラスフィルムＧ１には、予め初期クラックが形成されており、この熱応力によって当該クラックを進展させることで、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向端部が連続的に割断される。これにより、第二ガラスフィルムＧ２が形成される。第二ガラスフィルムＧ２は引き続き第二搬送部８によって下流側の第二巻取部１０へと搬送される。
【００５８】
第二巻取工程Ｓ６では、巻芯２８によって第二ガラスフィルムＧ２が巻き取られる。所定長さの第二ガラスフィルムＧ２が巻き取られることで、第二ガラスロールＧＲＬ２（ガラス物品）が構成される。
【００５９】
以上説明した本実施形態に係るガラスフィルム（第二ガラスフィルムＧ２）の製造方法によれば、吸引装置１９における定盤２２の開口部２５ａから第一ガラスフィルムＧ１を吸引することにより、開口部２５ａを通過する第一ガラスフィルムＧ１における皺の発生を防止できる。加えて、定盤２２を通過する前に第一ガラスフィルムＧ１に皺が生じていたとしても、開口部２５ａによる吸引によって当該皺を消失させることができる。したがって、開口部２５ａを通過する第一ガラスフィルムＧ１にレーザ光Ｌを照射し、その下流側で冷却装置２１による冷媒Ｒを接触させることで、第二ガラスフィルムＧ２の割断面に不良を発生させることなく、第一ガラスフィルムＧ１を精度良く割断できる。
【００６０】
また、定盤２２の開口部２５ａとは異なる位置に存在する開口部２３ａから空気を吸引することにより、定盤２２の開口部２５ａにおける第一ガラスフィルムＧ１の吸引力を調整できる。これにより、定盤２２の開口部２５ａが第一ガラスフィルムＧ１を強く吸引することによる当該第一ガラスフィルムＧ１の搬送不良の発生を防止できる。
【００６１】
図１０及び図１１は、吸引装置の他の例を示す。図１０、図１１に示すように、定盤２２は、複数の孔２５を有しており、各孔２５は、レーザ光Ｌがその範囲内に照射される第一開口部２５ａ１、および第一開口部２５ａ１から定盤２２の幅方向に離れて配置される一対の第二開口部２５ａ２を備える。
【００６２】
第一開口部２５ａ１は、図３および図４に示す定盤２２の開口部２５ａと同じ機能を有する。第一開口部２５ａ１は、一対の第二開口部２５ａ２の間に配置される。定盤２２に第二開口部２５ａ２が形成される場合、第一開口部２５ａ１の長さＬＡ１は、４０ｍｍ以上８０ｍｍ以下とされることが望ましい。また、第一開口部２５ａ１の幅ＷＡ１は、３ｍｍ以上５ｍｍ以下とされることが望ましい。
【００６３】
第一開口部２５ａ１の下流側端部ＤＥは、第二開口部２５ａ２の下流側端部ＤＥよりも下流側に突出する。第一開口部２５ａ１の下流側端部ＤＥにおける突出量Ｐ１は、５ｍｍ以上２０ｍｍ以下とされることが望ましい。
【００６４】
一対の第二開口部２５ａ２は、第一開口部２５ａ１よりも長く、かつ幅広に形成されるが、この構成に限定されない。第二開口部２５ａ２の長さＬＡ２は、４０ｍｍ以上８０ｍｍ以下とされることが望ましい。第二開口部２５ａ２の幅ＷＡ２は、８ｍｍ以上１０ｍｍ以下とされることが望ましい。第二開口部２５ａ２の上流側端部ＵＥは、第一開口部２５ａ１の上流側端部ＵＥよりも上流側に突出している。第二開口部２５ａ２の上流側端部ＵＥにおける突出量Ｐ２は、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下とされることが望ましい。
【００６５】
定盤２２の第二支持部２６ｂは、第一開口部２５ａ１と第二開口部２５ａ２とを定盤２２の幅方向に離間する。定盤２２の幅方向における第一開口部２５ａ１と第二開口部２５ａ２との離間距離、すなわち、第二支持部２６ｂの幅Ｗ２は、１ｍｍ以上３ｍｍ以下とされることが望ましい。
【００６６】
定盤２２は、第一支持部２６ａ乃至第三支持部２６ｃに加え、第四支持部２６ｄを有する。第四支持部２６ｄは、第二開口部２５ａ２よりも幅方向外方側に位置する。第四支持部２６ｄの長さＬ４は、４０ｍｍ以上８０ｍｍ以下とされることが望ましい。第四支持部２６ｄの幅Ｗ４は、３ｍｍ以上５ｍｍ以下とされることが望ましい。
【００６７】
図１１に示すように、第一開口部２５ａ１及び第二開口部２５ａ２は、支持部材２３の内部空間Ｓに連通している。これにより、第一開口部２５ａ１及び第二開口部２５ａ２は、同一の吸引ポンプ２４を介して第一ガラスフィルムＧ１の下面を吸引する。吸引ポンプ２４の吸引量が少なければ、レーザ光Ｌを第一ガラスフィルムＧ１に照射していない状態において、第一開口部２５ａ１での第１ガラスフィルムＧ１の変形量Ｄ１が、第二開口部２５ａ２でのガラスフィルムＧ１の変形量Ｄ２よりも大きくなる傾向にある。逆に、吸引ポンプ２４の吸引量が多ければ、レーザ光Ｌを第一ガラスフィルムＧ１に照射していない状態において、図１１に示す通り、第一開口部２５ａ１でのガラスフィルムＧ１の変形量Ｄ１よりも、第二開口部２５ａ２でのガラスフィルムＧ１の変形量Ｄ２のほうが大きくなる傾向にある。図１１に示す通り、第一開口部２５ａ１でのガラスフィルムＧ１の変形量Ｄ１よりも、第二開口部２５ａ２でのガラスフィルムＧ１の変形量Ｄ２のほうが大きくなるほうが、レーザ光Ｌ１による第一ガラスフィルムＧ１の切断の安定性が増すために、好ましい。尚、レーザ光Ｌ１をガラスフィルムＧ１に照射すると、レーザ光Ｌ１による熱の影響により、吸引ポンプ２４の吸引量が多い場合であったとしても、第一開口部２５ａ１でのガラスフィルムＧ１の変形量Ｄ１のほうが、第二開口部２５ａ２でのガラスフィルムＧ１の変形量Ｄ２よりも大きくなる傾向にある。
【００６８】
本例では、定盤２２の第一開口部２５ａ１及び第二開口部２５ａ２から第一ガラスフィルムＧ１を吸引することにより、第一開口部２５ａ１を通過する第一ガラスフィルムＧ１における皺の発生を防止できる。加えて、定盤２２を通過する前に第一ガラスフィルムＧ１に皺が生じていたとしても、第一開口部２５ａ１及び第二開口部２５ａ２の吸引によって当該皺を消失させることができる。また、第二開口部２５ａ２を定盤２２に設けることにより、第一開口部２５ａ１の開口面積（特に幅ＷＡ１）を可及的に小さくできる。これにより、第一開口部２５ａ１を通過する第一ガラスフィルムＧ１の変形量Ｄ及び上下動幅Ａを低減でき、第一ガラスフィルムＧ１を精度良く割断できる。
【００６９】
なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００７０】
上記の実施形態では、オーバーフローダウンドロー法により、母材ガラスフィルムＧを成形する例を示したが、これに限らず、母材ガラスフィルムＧを他の成形法により成形してもよい。
【００７１】
上記の実施形態における第二切断部９において、吸引装置１９により第一ガラスフィルムＧ１を吸引しながら割断を行う例を示したが、これに限らず、第一切断部５において母材ガラスフィルムＧを吸引装置により吸引してもよい。吸引装置１９は、第一切断部５及び第二切断部９の一方又は両方に設けられる。
【符号の説明】
【００７２】
２２          定盤
２３          支持部材
２５ａ        開口部
２５ａ１      第一開口部
２６ａ        第一支持部
２６ｂ        第二支持部
２６ｃ        第三支持部
Ｇ１        第一ガラスフィルム
Ｌ          レーザ光
Ｘ          搬送方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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