(57)【要約】 【課題】  接合作業における適正な作業状態を簡易な構成によって実現する。【解決手段】  被接合体が接合材によって接合体に接合される接合ワークを保持し、内部空間に接合ワークが配置される配置ケースと、封止部材を介して配置ケースと結合されるカバーとを備え、配置ケース又はカバーの少なくとも一方に、弾性変形可能又は伸縮可能にされた連結部と、連結部の一端部が連結された支持部と、連結部の他端部が連結され連結部の変形又は伸縮に伴って支持部に対して上下方向へ移動可能な可動部とが設けられ、配置ケースとカバーが結合された状態において内部空間が密閉空間として形成される。【選択図】図２
2019089114.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被接合体が接合材によって接合体に接合される接合ワークを保持する部品保持装置であって、
内部空間に前記接合ワークが配置される配置ケースと、
封止部材を介して前記配置ケースと結合されるカバーとを備え、
前記配置ケース又は前記カバーの少なくとも一方に、弾性変形可能又は伸縮可能にされた連結部と、前記連結部の一端部が連結された支持部と、前記連結部の他端部が連結され前記連結部の変形又は伸縮に伴って前記支持部に対して上下方向へ移動可能な可動部とが設けられ、
前記配置ケースと前記カバーが結合された状態において前記内部空間が密閉空間として形成される
部品保持装置。
【請求項２】
前記支持部と前記可動部と前記連結部が前記カバーに設けられた
請求項１に記載の部品保持装置。
【請求項３】
前記配置ケースと前記カバーが結合された状態において前記被接合体が前記可動部に押さえられる
請求項２に記載の部品保持装置。
【請求項４】
前記連結部として金属材料によって形成された蛇腹部材が用いられた
請求項１、請求項２又は請求項３に記載の部品保持装置。
【請求項５】
前記可動部が熱伝導性を有する材料によって形成された
請求項１、請求項２、請求項３又は請求項４に記載の部品保持装置。
【請求項６】
前記可動部にヒーターを有する加圧ヘッドが押し付けられることにより前記可動部を介して前記接合ワークに前記加圧ヘッドの圧力が付与され、
前記接合ワークに前記ヒーターの熱が前記可動部を介して伝達される
請求項５に記載の部品保持装置。
【請求項７】
前記配置ケースが熱伝導性を有する材料によって形成され、
前記可動部に前記加圧ヘッドが押し付けられた状態において前記配置ケースがヒーターを有する加熱ステージに載置される
請求項６に記載の部品保持装置。
【請求項８】
前記内部空間が真空にされる
請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６又は請求項７に記載の部品保持装置。
【請求項９】
前記内部空間に還元作用を有するガスが充填される
請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６又は請求項７に記載の部品保持装置。
【請求項１０】
前記内部空間に不活性ガスが充填される
請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６又は請求項７に記載の部品保持装置。
【請求項１１】
被接合体が接合材によって接合体に接合される接合ワークを保持する部品保持装置と、前記部品保持装置に対して加圧ヘッドによって加熱及び加圧を行う加熱加圧装置とを備えた部品接合システムであって、
前記部品保持装置は、
内部空間に前記接合ワークが配置される配置ケースと、
封止部材を介して前記配置ケースと結合されるカバーとを備え、
前記配置ケース又は前記カバーの少なくとも一方に、弾性変形可能又は伸縮可能にされた連結部と、前記連結部の一端部が連結された支持部と、前記連結部の他端部が連結され前記連結部の変形又は伸縮に伴って前記支持部に対して上下方向へ移動可能な可動部とが設けられ、
前記配置ケースと前記カバーが結合された状態において前記内部空間が密閉空間として形成され、
前記加圧ヘッドが押し付けられることにより移動される前記可動部によって前記接合ワークが押さえられた状態で加圧及び加熱が行われる
部品接合システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被接合体が接合材によって接合体に接合される接合ワークを保持する部品保持装置についての技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子等の被接合体、例えば、電子部品を接合体、例えば、基板に接合する方法として、はんだを用いた接合方法がある。はんだを用いた接合方法は、電子部品を短時間で接合可能である点、はんだが温度変化に伴って生じる熱歪みに高い信頼性がある点、複数の電子部品をリフローによって一度に接合することが可能である点等において利点を有している。
【０００３】
しかしながら、はんだを用いた接合方法にあっては、電子部品の複数の電極端子を微細な間隔で接合することが困難である点、はんだが銀等と比較して電気導電性や熱伝導性が低いと言う点等において欠点を有している。
【０００４】
一方、電子部品等の被接合体を基板等の接合体に接合する方法として、加熱や加圧を行ったり超音波振動を付与して接合を行う固相拡散接合による方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
固相拡散接合による方法は、一定の条件における加熱や加圧によっては溶融しない金属（電極）間に生じる原子の拡散現象を利用した接合方法であり、一般に、その金属の融点より低い数百度の温度条件下において行われ、はんだを用いた接合方法よりも接合作業における温度を下げることが可能である。
【０００６】
このような固相拡散接合による方法には、例えば、電子部品の電極端子と基板の電極との間に金属ペーストを塗布し金属ペーストを焼結して接合する方法がある。
【０００７】
固相拡散接合による方法は、良好な耐熱性を有すると共に高い電気導電性や熱伝導性を確保することが可能であると言う利点を有している。従って、固相拡散接合は、特に、良好な熱特性及び電気特性を必要とするＳｉＣ（シリコン・カーバイド）やＧａＮ（ガリウム・ナイトライド）等の次世代パワー半導体の他に、高輝度ＬＥＤ（Light Emitting Diode）の接続やＬＳＩ（Large Scale Integration）における接合等の広範囲の分野で使用可能な接合方法である。
【０００８】
一方、固相拡散接合は、高い圧力を必要とすると共に十分な拡散反応を生じさせるために、はんだによる接合時間よりも多くの時間を必要とすると言う欠点も有している。
【０００９】
また、電子部品等の被接合体を基板等の接合体に接合する方法として、表面被膜を破る液相拡散による方法もある。液相拡散による方法は、複数の種類の金属を含む金属ペースト等を接合材として低融点の金属を溶融させて拡散させることにより接合を行う方法であり、再溶融温度を低融点の金属及びはんだの融点より高くすることが可能である。
【００１０】
接合材や接合体や被接合体の表面に酸化被膜が存在する場合には、固相拡散接合では接合体と被接合体を接合させることが難しくなるが、液相拡散による方法においては接合材の表面被膜を破り新生面を生じさせることにより接合が可能となる。接合材に新生面を生じさせる方法としては、超音波振動を加える方法及び加熱や加圧により金属を変形させて被膜を破る方法等がある。
【００１１】
液相拡散接合においては、接合材に含まれる低融点の金属を溶融させ、高融点の接合材と接合体の金属同士を急速に拡散させると共に高融点の接合材と被接合体の金属同士を急速に拡散させ、合金(金属間化合物)を生じさせることにより接合する。生成した合金は、冷却されて固化した後に高融点のはんだとなり、低融点の金属の温度では再溶融することはなく、液相拡散接合は遷移的液相(ＴＬＰ：Transient Liquid Phase)焼結と呼ばれるものもある。
【００１２】
また、拡散接合による方法として、被接合体と接合体を挟んで位置させた状態で加圧し真空オーブン等に投入して加熱し接合を行う方法もある（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２０１０−１１８５３４号公報
【特許文献２】特開２０１４−１７９４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
ところで、上記のようなはんだや拡散による接合方法においては、接合体と被接合体の接合部分（電極端子や電極）や接合材に対して加熱及び加圧を行う必要があり、加熱及び加圧が行われるときに被接合体が接合体に対して適正な位置に保持されている必要がある。また、被接合体の接合体に対する接合は、接合材や接合体や被接合体の表面に酸化膜が存在しない状態で行われることが望ましいため、接合作業が行われる環境として真空や不活性ガスや還元性ガスの雰囲気内において行われる。
【００１５】
このように、はんだや拡散による接合作業は、被接合体の接合体に対する適正な位置や適正な環境が確保された状態で行われる必要があり、このような位置や環境の確保が簡易な構成によって行われることが望ましい。
【００１６】
そこで、本発明は、上記した問題点を克服し、接合作業における適正な作業状態を簡易な構成によって実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
第１に、本発明に係る部品保持装置は、被接合体が接合材によって接合体に接合される接合ワークを保持する部品保持装置であって、内部空間に前記接合ワークが配置される配置ケースと、封止部材を介して前記配置ケースと結合されるカバーとを備え、前記配置ケース又は前記カバーの少なくとも一方に、弾性変形可能又は伸縮可能にされた連結部と、前記連結部の一端部が連結された支持部と、前記連結部の他端部が連結され前記連結部の変形又は伸縮に伴って前記支持部に対して上下方向へ移動可能な可動部とが設けられ、前記配置ケースと前記カバーが結合された状態において前記内部空間が密閉空間として形成されるものである。
【００１８】
これにより、可動部が上下方向へ移動可能な状態において、配置ケースとカバーが結合されて密閉空間として形成された内部空間に接合ワークが配置される。
【００１９】
第２に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記支持部と前記可動部と前記連結部が前記カバーに設けられることが望ましい。
【００２０】
これにより、可動部の移動時に接合ワークが移動されない。
【００２１】
第３に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記配置ケースと前記カバーが結合された状態において前記被接合体が前記可動部に押さえられることが望ましい。
【００２２】
これにより、被接合体が接合体に接合される前に被接合体が接合体に対して変位して位置ずれが生じることがない。
【００２３】
第４に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記連結部として金属材料によって形成された蛇腹部材が用いられることが望ましい。
【００２４】
これにより、支持部と可動部が金属材料によって連結される。
【００２５】
第５に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記可動部が熱伝導性を有する材料によって形成されることが望ましい。
【００２６】
これにより、可動部が接合ワークに接した状態において可動部を介して接合ワークに熱を伝達することが可能になる。
【００２７】
第６に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記可動部にヒーターを有する加圧ヘッドが押し付けられることにより前記可動部を介して前記接合ワークに前記加圧ヘッドの圧力が付与され、前記接合ワークに前記ヒーターの熱が前記可動部を介して伝達されることが望ましい。
【００２８】
これにより、可動部が接合ワークに接した状態において接合ワークが加圧及び加熱される。
【００２９】
第７に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記配置ケースが熱伝導性を有する材料によって形成され、前記可動部に前記加圧ヘッドが押し付けられた状態において前記配置ケースがヒーターを有する加熱ステージに載置されることが望ましい。
【００３０】
これにより、接合ワークが加圧ヘッドと加熱ステージによって加熱される。
【００３１】
第８に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記内部空間が真空にされることが望ましい。
【００３２】
これにより、内部空間が真空にされた状態で被接合体の接合体に対する接合作業が行われるため、被接合体の接合部分と接合体の接合部分と接合材の表面への酸化膜の発生を抑制することが可能になる。
【００３３】
第９に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記内部空間に還元作用を有するガスが充填されることが望ましい。
【００３４】
これにより、内部空間に還元作用を有するガスが充填された状態で被接合体の接合体に対する接合作業が行われるため、被接合体の接合部分と接合体の接合部分と接合材の表面に生じる酸化膜を除去することが可能になる。
【００３５】
第１０に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記内部空間に不活性ガスが充填されることが望ましい。
【００３６】
これにより、内部空間に不活性ガスが充填された状態で被接合体の接合体に対する接合作業が行われるため、被接合体の接合部分と接合体の接合部分と接合材の表面への酸化膜の発生を抑制することが可能になる。
【００３７】
第１１に、本発明に係る部品接合システムは、被接合体が接合材によって接合体に接合される接合ワークを保持する部品保持装置と、前記部品保持装置に対して加圧ヘッドによって加熱及び加圧を行う加熱加圧装置とを備えた部品接合システムであって、前記部品保持装置は、内部空間に前記接合ワークが配置される配置ケースと、封止部材を介して前記配置ケースと結合されるカバーとを備え、前記配置ケース又は前記カバーの少なくとも一方に、弾性変形可能又は伸縮可能にされた連結部と、前記連結部の一端部が連結された支持部と、前記連結部の他端部が連結され前記連結部の変形又は伸縮に伴って前記支持部に対して上下方向へ移動可能な可動部とが設けられ、前記配置ケースと前記カバーが結合された状態において前記内部空間が密閉空間として形成され、前記加圧ヘッドが押し付けられることにより移動される前記可動部によって前記接合ワークが押さえられた状態で加圧及び加熱が行われるものである。
【００３８】
これにより、部品保持装置において、可動部が上下方向へ移動可能な状態において、配置ケースとカバーが結合されて密閉空間として形成された内部空間に接合ワークが配置される。
【発明の効果】
【００３９】
本発明部品保持装置及び部品接合システムによれば、可動部が上下方向へ移動可能な状態において、配置ケースとカバーが結合されて密閉空間として形成された内部空間に接合ワークが配置されるため、接合作業における適正な作業状態を簡易な構成によって実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】図２乃至図２０と共に本発明に係る部品保持装置及び部品接合システムを示すものであり、本図は、部品保持装置の分解斜視図である。
【図２】配置ケースとカバーが分離された状態で示す部品保持装置の断面図である。
【図３】カバーが配置ケースに結合された状態で示す部品保持装置の断面図である。
【図４】カバーが配置ケースに結合されカバーによって被接合体が押さえられた状態を示す部品保持装置の断面図である。
【図５】第１の変形例に係る部品保持装置をカバーが開かれた状態で示す断面図である。
【図６】第１の変形例に係る部品保持装置をカバーが閉じられた状態で示す断面図である。
【図７】第２の変形例に係る部品保持装置を示す断面図である。
【図８】第３の変形例に係る部品保持装置を示す断面図である。
【図９】第４の変形例に係る部品保持装置を示す断面図である。
【図１０】第５の変形例に係る部品保持装置を示す断面図である。
【図１１】接合システムを示す斜視図である。
【図１２】加熱加圧装置の一部を部品保持装置が載置される前の状態で示す拡大斜視図である。
【図１３】加熱加圧装置の一部を部品保持装置が載置された状態で示す拡大斜視図である。
【図１４】搬送部の動作が開始される前の状態を示す平面図である。
【図１５】図１４に引き続き、搬送部が動作され一方の部品保持装置が前方に移動された状態を示す平面図である。
【図１６】図１５に引き続き、搬送部等が回転されている途中の状態を示す平面図である。
【図１７】図１６に引き続き、搬送部等が１８０度回転された状態を示す平面図である。
【図１８】図１７に引き続き、他方の部品保持装置が後方に移動された状態を示す平面図である。
【図１９】図１８に引き続き、加圧ヘッドによって可動部が押圧され接合ワークが加圧された状態を示す断面図である。
【図２０】別の加熱加圧装置の例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
以下に、本発明部品保持装置及び部品接合システムを実施するための形態について添付図面を参照して説明する。
【００４２】
＜部品保持装置の構成＞
先ず、部品保持装置１の構成について説明する（図１乃至図４参照）。
【００４３】
部品保持装置１は配置ケース２とカバー３と封止部材４を有している（図１及び図２参照）。
【００４４】
配置ケース２は熱伝導性の高い金属材料によって上方に開口された浅い箱状に形成され、上下方向を向く底壁部５と底壁部５の外周部から上方に突出された周壁部６とを有している。
【００４５】
底壁部５は下側に位置された底面板部５ａと底面板部５ａの上面に取り付けられた下ツール５ｂとを有している。下ツール５ｂは平板状に形成されている。尚、下ツール５ｂは底面板部５ａに対して着脱可能にされていてもよく、底面板部５ａと一体に形成されていてもよい。
【００４６】
カバー３は、枠状に形成された支持部７と、上下方向を向く平板状に形成された可動部８と、支持部７と可動部８を連結する連結部９とを有している。
【００４７】
可動部８は熱伝導性の高い金属材料によって形成され、支持部７の外形状より小さく支持部７の内形状より大きくされている。
【００４８】
可動部８は上側に位置されたベース板部８ａとベース板部８ａの下面に取り付けられた上ツール８ｂ、８ｂ、・・・とを有し、上ツール８ｂ、８ｂ、・・・は前後左右に並んでベース板部８ａに取り付けられている。上ツール８ｂ、８ｂ、・・・は平板状に形成されている。尚、上ツール８ｂ、８ｂ、・・・はベース板部８ａに対して着脱可能にされていてもよく、ベース板部８ａと一体に形成されていてもよい。
【００４９】
連結部９は上下方向において弾性変形可能又は伸縮可能な構成にされている。連結部９としては、例えば、ベローズと称される金属材料によって形成された蛇腹部材が用いられている。連結部９は全体として枠状に形成され、上端部が支持部７の内周部における下面に結合され、下端部が可動部８のベース板部８ａの外周部における上面に結合されている。従って、連結部９が伸縮することにより、可動部８が支持部７に対して上下方向へ移動可能にされている。
【００５０】
上記のように、連結部９として金属材料によって形成された蛇腹部材が用いられているため、支持部７と可動部８が金属材料によって連結され、支持部７と可動部８の安定した連結状態を確保することができる。また、連結部９が金属材料によって形成されることにより、連結部９の高い耐久性及び耐熱性を確保することができる。
【００５１】
尚、連結部９は弾性変形可能又は伸縮可能な構成にされていれば金属材料によって形成された蛇腹部材に限られることはなく、ゴム材料や樹脂材料によって形成された蛇腹部材でもよく、ゴム等によって形成された環状（枠状）の弾性部材であってもよい。
【００５２】
封止部材４は、例えば、ゴム材料によって環状（枠状）に形成され、配置ケース２の周壁部６と略同じ大きさに形成されている。封止部材４は支持部７の下面に取り付けられている。尚、封止部材４は周壁部６の上面に取り付けられていてもよい。また、封止部材４は断面が中空状に形成された弾性を有する金属材料によって形成されていてもよい。
【００５３】
部品保持装置１には連通管１０が設けられている。連通管１０は、例えば、配置ケース２の周壁部６に取り付けられている。周壁部６には連通管１０に連通された図示しない流動孔が形成され、連通管１０が流動孔を介して配置ケース２の内部空間２ａに連通されている。尚、連通管１０がカバー３に取り付けられ、カバー３に流動孔が形成されていてもよい。この場合にはカバー３が配置ケース２に結合された状態において、連通管１０がカバー３の流動孔を介して内部空間２ａに連通される。
【００５４】
連通管１０にはピンチコック１１が連結されており、ピンチコック１１が操作されることにより連通管１０の開閉が行われる。
【００５５】
上記のように構成された部品保持装置１の配置ケース２には接合ワーク１００、１００、・・・が配置される。接合ワーク１００、１００、・・・は配置ケース２の内部空間２ａに配置され下ツール５ｂに載置されることにより部品保持装置１に保持される。尚、内部空間２ａに配置される接合ワーク１００の数は任意であり、一つでもよく複数であってもよい。
【００５６】
接合ワーク１００は基板等の接合体１０１と電子部品等の被接合体１０２、１０２、・・・とを有し、被接合体１０２、１０２、・・・が接合体１０１に接合される前の状態で内部空間２ａに配置される。被接合体１０２、１０２、・・・は接合体１０１に後述する接合作業により図示しない接合材によって接合される。尚、接合体１０１に接合される被接合体１０２の数は任意であり、一つでもよく複数であってもよい。
【００５７】
接合体１０１は、例えば、基板や放熱板等であり、被接合体１０２は、例えば、電子部品等であり、具体的には、例えば、良好な熱特性及び電気特性を必要とするＳｉＣ（シリコン・カーバイド）やＧａＮ（ガリウム・ナイトライド）等の次世代パワー半導体等である。接合材としては、例えば、はんだや金属ペースト等が用いられる。
【００５８】
被接合体１０２は、例えば、下面側に設けられた電極端子（バンプ）が接合体１０１の上面側に設けられた電極に接合材によって接合され、接合がはんだ付けや固相拡散や液相拡散による方法によって行われる。
【００５９】
被接合体１０２の電極端子と接合体１０１の電極とは、例えば、銅又は銅を主成分とした合金等によって形成されている。接合材は、はんだや金属ペーストであるが、はんだは錫、鉛、銅、銀、金、亜鉛、アンチモン、ニッケル等の合金であり、金属ペーストは銀、銅、鉛、金、錫、白金又はニッケル等の一つ又は複数の金属を含み一定の流動性を有する。従って、被接合体１０２の電極端子、接合体１０１の電極及び接合材は、何れも酸素に触れることにより表面に酸化膜を生じるおそれがあるが、酸化膜は接合性を低下させると言う不具合がある。
【００６０】
部品保持装置１においては、カバー３が配置ケース２に対して着脱可能にされている（図２及び図３参照）。
【００６１】
カバー３は封止部材４を介して配置ケース２に結合され、カバー３が配置ケース２に結合された状態においては、図示しないロック機構によってカバー３の配置ケース２に対する結合状態が保持される。カバー３が配置ケース２に結合された状態においては、配置ケース２の周壁部６とカバー３の支持部７との間に封止部材４が位置され、支持部７の下面が封止部材４に上方から押し付けられると共に封止部材４が周壁部６の上面に押し付けられる（図３参照）。
【００６２】
従って、封止部材４は弾性変形された状態で周壁部６と支持部７の間に位置され、封止部材４によって配置ケース２とカバー３の間の空間が封止される。封止部材４によって配置ケース２とカバー３の間の空間が封止されることにより、内部空間２ａが密閉空間とされる。
【００６３】
このときカバー３は可動部８が周壁部６の内側に位置され、上ツール８ｂ、８ｂ、・・・がそれぞれ接合ワーク１００、１００、・・・の真上に位置される。可動部８は上ツール８ｂ、８ｂ、・・・の下面が、例えば、被接合体１０２、１０２、・・・の上面から上方に離隔した状態にされる。可動部８が支持部７に対して下方へ移動されると、連結部９が伸長され、上ツール８ｂ、８ｂ、・・・が被接合体１０２、１０２、・・・に上方から押し付けられる。
【００６４】
尚、カバー３が配置ケース２に結合された状態において、可動部８は上ツール８ｂ、８ｂ、・・・の下面が被接合体１０２、１０２、・・・の上面に接し、被接合体１０２、１０２、・・・が可動部８に押さえられた状態にされていてもよい（図４参照）。このとき、可動部８から被接合体１０２、１０２、・・・に対して下方への押圧力が付与されていない状態又は極めて小さい力で付与されている状態にされている。
【００６５】
このように配置ケース２とカバー３が結合された状態において、被接合体１０２、１０２、・・・が可動部８に押さえられた状態にされることにより、被接合体１０２、１０２、・・・が接合体１０１に接合される前に被接合体１０２、１０２、・・・が接合体１０１に対して変位して位置ずれが生じることがなく、接合作業によって被接合体１０２、１０２、・・・の接合体１０１に対する良好な接合状態を確保することができる。
【００６６】
尚、被接合体１０２、１０２、・・・の平面度が低い場合には可動部８によって被接合体１０２、１０２、・・・が押さえられたときに被接合体１０２、１０２、・・・が接合体１０１、１０１、・・・に対して傾いてしまったり被接合体１０２、１０２、・・・に部分的に高い圧力が付与されてしまうおそれがある。
【００６７】
従って、このようなおそれがある場合には、カバー３が配置ケース２に結合された状態において、可動部８が被接合体１０２、１０２、・・・から離隔して位置されるようにしてもよい（図３参照）。
【００６８】
また、上ツール８ｂ、８ｂ、・・・と被接合体１０２、１０２、・・・の間には、高い伝熱性を有する図示しないシートが配置されてもよい。この場合には上ツール８ｂ、８ｂ、・・・がシートを介して被接合体１０２、１０２、・・・に上方から押し付けられる。シートは伝熱性の他に、耐熱性及び弾性（クッション性）を有することが望ましい。
【００６９】
上ツール８ｂ、８ｂ、・・・がシートを介して被接合体１０２、１０２、・・・に押し付けられることにより、被接合体１０２、１０２、・・・の上面の平面度が低い場合においても、シートを介しての上ツール８ｂ、８ｂ、・・・と被接合体１０２、１０２、・・・の良好な接触状態が確保される。従って、接合ワーク１００、１００、・・・に後述する加熱及び加圧が行われるときに、高い伝熱性を確保することができると共に均一な圧力の付与を行うことができる。
【００７０】
＜別の部品保持装置の構成＞
次に、部品保持装置１とは構成が異なる第１の変形例に係る部品保持装置１Ａの構成について説明する（図５及び図６参照）。
【００７１】
尚、以下に示す部品保持装置１Ａは、上記した部品保持装置１と比較して、カバーが回動されることにより配置ケースに着脱されることのみが相違するため、部品保持装置１と比較して異なる部分についてのみ詳細に説明をし、その他の部分については部品保持装置１における同様の部分に付した符号と同じ符号を付して説明は省略する。
【００７２】
部品保持装置１Ａは配置ケース２Ａとカバー３と封止部材４を有している。
【００７３】
配置ケース２Ａは底壁部５と周壁部６Ａを有している。周壁部６Ａは内周側の部分が押さえ部６ａとして設けられ外周側の部分が立壁部６ｂとして設けられている。押さえ部６ａは立壁部６ｂより高さが低くされている。
【００７４】
カバー３は一端部が立壁部６ｂに支持され、この一端部を支点として配置ケース２Ａに回動可能に支持されている。
【００７５】
封止部材４は押さえ部６ａの上面に取り付けられている。尚、封止部材４はカバー３における支持部７の下面に取り付けられていてもよい。
【００７６】
部品保持装置１Ａにおいては、カバー３が配置ケース２Ａに対して内部空間２ａを閉塞する方向へ回動されることにより封止部材４を介して配置ケース２Ａに結合される（図６参照）。カバー３が配置ケース２Ａに結合された状態においては、図示しないロック機構によってカバー３の配置ケース２Ａに対する結合状態が保持される。カバー３が配置ケース２Ａに結合された状態においては、配置ケース２Ａの押さえ部６ａとカバー３の支持部７との間に封止部材４が位置され、支持部７の下面が封止部材４に上方から押し付けられると共に封止部材４が押さえ部６ａの上面に押し付けられる。
【００７７】
従って、封止部材４は弾性変形された状態で押さえ部６ａと支持部７の間に位置され、封止部材４によって配置ケース２Ａとカバー３の間の空間が封止される。封止部材４によって配置ケース２Ａとカバー３の間の空間が封止されることにより、内部空間２ａが密閉空間とされる。
【００７８】
部品保持装置１Ａにおいては、カバー３が配置ケース２Ａに支持され、カバー３が配置ケース２Ａから分離されないため、カバー３の紛失を防止することができる。
【００７９】
続いて、部品保持装置１とは構成が異なる第２の変形例に係る部品保持装置１Ｂの構成について説明する（図７参照）。
【００８０】
尚、以下に示す部品保持装置１Ｂは、上記した部品保持装置１と比較して、配置ケースに支持部と可動部と連結部が設けられていることが相違するため、部品保持装置１と比較して異なる部分についてのみ詳細に説明をし、その他の部分については部品保持装置１における同様の部分に付した符号と同じ符号を付して説明は省略する。
【００８１】
部品保持装置１Ｂは配置ケース２Ｂとカバー３Ｂと封止部材４を有している。
【００８２】
配置ケース２Ｂは、枠状に形成された支持部７Ｂと、上下方向を向く平板状に形成された可動部８Ｂと、支持部７Ｂと可動部８Ｂを連結する連結部９とを有している。
【００８３】
支持部７Ｂは平板の枠状に形成された底壁部７ａと底壁部７ａの外周部から上方に突出された周壁部７ｂとを有している。
【００８４】
可動部８Ｂは周壁部７ｂの内形状より小さく底壁部７ａの内形状より大きくされている。可動部８Ｂは下側に位置されたベース板部８ａとベース板部８ａの上面に取り付けられた下ツール８ｂとを有している。下ツール８ｂは平板状に形成されている。尚、下ツール８ｂはベース板部８ａに対して着脱可能にされていてもよく、ベース板部８ａと一体に形成されていてもよい。
【００８５】
連結部９は上端部が可動部８Ｂのベース板部８ａの外周部における下面に結合され下端部が支持部７Ｂの内周部における上面に結合されている。従って、連結部９が伸縮することにより、可動部８Ｂが支持部７Ｂに対して上下方向へ移動可能にされている。
【００８６】
カバー３Ｂは上側に位置された平板状の天壁部３ａと天壁部３ａの下面に取り付けられた上ツール３ｂ、３ｂ、・・・とを有している。上ツール３ｂ、３ｂ、・・・は平板状に形成されている。尚、上ツール３ｂ、３ｂ、・・・は天壁部３ａに対して着脱可能にされていてもよく、天壁部３ａと一体に形成されていてもよい。
【００８７】
封止部材４は天壁部３ａの外周部における下面に取り付けられている。尚、封止部材４は周壁部７ｂの上面に取り付けられていてもよい。
【００８８】
部品保持装置１Ｂにおいては、カバー３Ｂが配置ケース２Ｂに対して着脱可能にされている。
【００８９】
カバー３Ｂは封止部材４を介して配置ケース２Ｂに結合され、カバー３Ｂが配置ケース２Ｂに結合された状態においては、図示しないロック機構によってカバー３Ｂの配置ケース２Ｂに対する結合状態が保持される。カバー３Ｂが配置ケース２Ｂに結合された状態においては、配置ケース２Ｂにおける支持部７Ｂの周壁部７ｂとカバー３Ｂの天壁部３ａとの間に封止部材４が位置され、天壁部３ａの下面が封止部材４に上方から押し付けられると共に封止部材４が周壁部７ｂの上面に押し付けられる。
【００９０】
従って、封止部材４は弾性変形された状態で天壁部３ａと周壁部７ｂの間に位置され、封止部材４によって配置ケース２Ｂとカバー３Ｂの間の空間が封止される。封止部材４によって配置ケース２Ｂとカバー３Ｂの間の空間が封止されることにより、内部空間２ａが密閉空間とされる。
【００９１】
このとき上ツール３ｂ、３ｂ、・・・がそれぞれ接合ワーク１００、１００、・・・の真上に位置される。可動部８Ｂが支持部７Ｂに対して上方へ移動されると、連結部９が伸長され、上ツール３ｂ、３ｂ、・・・に被接合体１０２、１０２、・・・が下方から押し付けられる。
【００９２】
続いて、部品保持装置１とは構成が異なる第３の変形例に係る部品保持装置１Ｃの構成について説明する（図８参照）。
【００９３】
尚、以下に示す部品保持装置１Ｃは、上記した部品保持装置１と比較して、配置ケースに支持部と可動部と連結部が設けられていることが相違するため、部品保持装置１と比較して異なる部分についてのみ詳細に説明をし、その他の部分については部品保持装置１における同様の部分に付した符号と同じ符号を付して説明は省略する。
【００９４】
部品保持装置１Ｃは配置ケース２Ｃとカバー３Ｃと封止部材４を有している。
【００９５】
配置ケース２Ｃは、下側に位置された支持部７Ｃと、支持部７Ｃの上側に位置され枠状に形成された可動部８Ｃと、支持部７Ｃと可動部８Ｃを連結する連結部９とを有している。
【００９６】
支持部７Ｃは下側に位置されたベース板部７ｃとベース板部７ｃの上面に取り付けられた下ツール７ｄとを有している。下ツール７ｄは平板状に形成されている。尚、下ツール７ｄはベース板部７ｃに対して着脱可能にされていてもよく、ベース板部７ｃと一体に形成されていてもよい。
【００９７】
可動部８Ｃは外形状が支持部７Ｃにおけるベース板部７ｃの外形状と略同じにされている。
【００９８】
連結部９は上端部が可動部８Ｃの下面に結合され下端部が支持部７Ｃにおけるベース板部７ｃの外周部における上面に結合されている。従って、連結部９が伸縮することにより、可動部８Ｃが支持部７Ｃに対して上下方向へ移動可能にされている。
【００９９】
カバー３Ｃは上側に位置された平板状の天壁部３ａと天壁部３ａの下面に取り付けられた上ツール３ｂ、３ｂ、・・・とを有している。上ツール３ｂ、３ｂ、・・・は平板状に形成されている。尚、上ツール３ｂ、３ｂ、・・・は天壁部３ａに対して着脱可能にされていてもよく、天壁部３ａと一体に形成されていてもよい。
【０１００】
封止部材４は天壁部３ａの外周部における下面に取り付けられている。尚、封止部材４は可動部８Ｃの上面に取り付けられていてもよい。
【０１０１】
部品保持装置１Ｃにおいては、カバー３Ｃが配置ケース２Ｃに対して着脱可能にされている。
【０１０２】
カバー３Ｃは封止部材４を介して配置ケース２Ｃに結合され、カバー３Ｃが配置ケース２Ｃに結合された状態においては、図示しないロック機構によってカバー３Ｃの配置ケース２Ｃに対する結合状態が保持される。カバー３Ｃが配置ケース２Ｃに結合された状態においては、配置ケース２Ｃの可動部８Ｃとカバー３Ｃの天壁部３ａとの間に封止部材４が位置され、天壁部３ａの下面が封止部材４に上方から押し付けられると共に封止部材４が可動部８Ｃの上面に押し付けられる。
【０１０３】
従って、封止部材４は弾性変形された状態で天壁部３ａと可動部８Ｃの間に位置され、封止部材４によって配置ケース２Ｃとカバー３Ｃの間の空間が封止される。封止部材４によって配置ケース２Ｃとカバー３Ｃの間の空間が封止されることにより、内部空間２ａが密閉空間とされる。
【０１０４】
このとき上ツール３ｂ、３ｂ、・・・がそれぞれ接合ワーク１００、１００、・・・の真上に位置される。可動部８Ｃが支持部７Ｃに対して下方へ移動されると、連結部９が圧縮され、カバー３Ｃが可動部８Ｃと一体になって下方へ移動され、上ツール３ｂ、３ｂ、・・・が被接合体１０２、１０２、・・・に上方から押し付けられる。
【０１０５】
尚、上記には、配置ケース又はカバーの一方に支持部と可動部と連結部が設けられた部品保持装置１、１Ａ、１Ｂを例として示したが、例えば、配置ケースとカバーの双方にそれぞれ支持部と可動部と連結部が設けられた構成の第４の変形例に係る部品保持装置１Ｄが用いられてもよい（図９参照）。
【０１０６】
部品保持装置１Ｄは、配置ケース２Ｄが部品保持装置１Ｂの配置ケース２Ｂと同様の構成にされ、カバー３Ｄが部品保持装置１の配置ケース２と同様の構成にされている。従って、配置ケース２Ｄには支持部７Ｂと可動部８Ｂと連結部９が設けられ、カバー３Ｄには支持部７と可動部８と連結部９が設けられている。
【０１０７】
部品保持装置１Ｄにおいては、可動部８Ｂと可動部８の何れか又は双方を移動させても上ツール８ｂ、８ｂ、・・・を被接合体１０２、１０２、・・・に押し付けることが可能になり、接合作業における作業性の自由度の向上を図ることができる。また、後述する加熱加圧装置によって接合作業を行う際に構造の異なる各種の加熱加圧装置において接合作業を行うことが可能になり、汎用性の向上を図ることができる。
【０１０８】
尚、上記した部品保持装置１Ｂ、１Ｃ、１Ｄにおいても部品保持装置１Ａと同様に、カバーが配置ケースに対して回動され内部空間２ａがカバーによって開閉される構成にすることも可能である。
【０１０９】
次に、部品保持装置１とは構成が異なる第５の変形例に係る部品保持装置１Ｅの構成について説明する（図１０参照）。
【０１１０】
尚、以下に示す部品保持装置１Ｅは、上記した部品保持装置１と比較して、カバーの形状が異なること及び連結部と封止部材の配置位置が異なることが相違するため、部品保持装置１と比較して異なる部分についてのみ詳細に説明をし、その他の部分については部品保持装置１における同様の部分に付した符号と同じ符号を付して説明は省略する。
【０１１１】
部品保持装置１Ｅは配置ケース２Ｅとカバー３Ｅと封止部材４を有している。
【０１１２】
配置ケース２Ｅは底壁部５と周壁部６Ｅを有している。周壁部６Ｅには内方に開口された環状の配置用凹部６ａが形成されている。周壁部６Ｅは支持部としても機能する。
【０１１３】
カバー３Ｅは可動部８Ｅと連結部９を有している。尚、連結部９は配置ケース２Ｅの構成の一部として設けられていてもよい。
【０１１４】
可動部８Ｅは上下方向を向くベース板部８ａとベース板部８ａの下面に取り付けられた上ツール８ｂ、８ｂ、・・・とベース板部８ａの外周部から上方に突出された周板部８ｃと周板部８ｃの上端部から外方に張り出された枠状板部８ｄとを有している。
【０１１５】
連結部９は上端部が枠状板部８ｄの下面に結合され下端部が配置ケース２Ｅにおける周壁部６Ｅの上面に結合されている。従って、連結部９が伸縮することにより、可動部８Ｅが配置ケース２Ｅに対して上下方向へ移動可能にされている。
【０１１６】
封止部材４は一部を除いて配置用凹部６ａに挿入された状態で周壁部６Ｅに配置されている。封止部材４は内周側の部分が配置用凹部６ａから内方に突出された状態にされている。
【０１１７】
カバー３Ｅは周板部８ｃの外周面の一部が周壁部６Ｅの内周面の一部に対向した状態で位置され、封止部材４を介して配置ケース２Ｅに結合され周板部８ｃが封止部材４に摺動可能な状態にされている。カバー３Ｅが配置ケース２Ｅに結合された状態においては、封止部材４が弾性変形された状態で周板部８ｃに押し付けられ、封止部材４によって配置ケース２Ｅとカバー３Ｅの間の空間が封止される。封止部材４によって配置ケース２Ｅとカバー３Ｅの間の空間が封止されることにより、内部空間２ａが密閉空間とされる。
【０１１８】
このとき上ツール８ｂ、８ｂ、・・・がそれぞれ接合ワーク１００、１００、・・・の真上に位置される。可動部８Ｅが配置ケース２Ｅに対して下方へ移動されると、連結部９が圧縮され、上ツール８ｂ、８ｂ、・・・が被接合体１０２、１０２、・・・に上方から押し付けられる。可動部８Ｅが配置ケース２Ｅに対して移動されるときには、可動部８Ｅの周板部８ｃが封止部材４に摺動される。
【０１１９】
尚、上記には、カバー３Ｅに上下方向へ移動される可動部８Ｅが設けられた例を示したが、逆に、配置ケース２Ｅが可動部として設けられカバー３Ｅに対して上下方向へ移動される構成であってもよい。また、上記には、配置ケース２Ｅの周壁部６Ｅに封止部材４が配置される配置用凹部６ａが形成された例を示したが、逆に、カバー３Ｅの周板部８ｃに封止部材４が配置される配置用凹部が形成されていてもよい。
【０１２０】
＜加熱加圧装置の構成＞
次に、加熱加圧装置の構成について説明する（図１１乃至図１３参照）。
【０１２１】
加熱加圧装置２０は基台２１と筐体２２と受け台２３と接合機構２４を有している。加熱加圧装置２０と上記した部品保持装置１、部品保持装置１Ａ、部品保持装置１Ｂ、部品保持装置１Ｃ又は部品保持装置１Ｄの何れか一つ又は複数とによって接合システム２００が構成される。
【０１２２】
基台２１上には支持柱２５、２５、・・・が前後左右に離隔して設けられている。支持柱２５、２５、・・・の上端部にはルーフ２６が取り付けられている。
【０１２３】
筐体２２は基台２上に位置され、前方に開口された作業空間２２ａを有している。支持柱２５、２５、・・・とルーフ２６は筐体２２の内部に配置されている。
【０１２４】
受け台２３は基台２１の上端部から前方に突出された状態で設けられている。
【０１２５】
接合機構２４は前側ベース台２７と後側ベース台２８と機構ケース２９と搬送部３０と加圧ヘッド３１を有している。
【０１２６】
前側ベース台２７は受け台２３の上方に取付脚３２を介して配置されている。後側ベース台２８は基台２１上に配置され、作業空間２２ａに位置されている。後側ベース台２８上にはヒーターを有する加熱ステージ３３が取り付けられている。
【０１２７】
機構ケース２９は前側ベース台２７と後側ベース台２８の間において受け台２３上に配置されている。機構ケース２９上には回転台３４が回転可能に支持されている。機構ケース２９には吸気用ホース３５が接続される吸気管２９ａと排気用ホース３６が接続される排気管２９ｂとが設けられている。回転台３４は前側ベース台２７と後側ベース台２８の中央より前側ベース台２７側に位置されている。
【０１２８】
機構ケース２９の内部には図示しない駆動機構と制御機構が設けられている。駆動機構によって搬送部３０の搬送動作や回転台３４の回転動作が行われ、制御機構によって吸気管２９ａから吸気される空気やガスの流動制御と排気管２９ｂから排気される空気やガスの流動制御が行われる。
【０１２９】
搬送部３０は前後に延びる形状に形成された支持フレーム３７と支持フレーム３７に取り付けられたガイド軸３８、３８とガイド軸３８、３８に支持された被ガイドベース３９、３９と被ガイドベース３９、３９に連結された保持パイプ４０、４０、・・・とを有している。
【０１３０】
支持フレーム３７は前後に長い基面部３７ａと基面部３７ａの前後両端部からそれぞれ上方に突出された取付面部３７ｂ、３７ｂとを有している。支持フレーム３７は基面部３７ａの前後方向における中央部が回転台３４の上面に取り付けられている。
【０１３１】
ガイド軸３８、３８は軸方向が前後方向にされ、左右に離隔して位置されている。ガイド軸３８、３８は軸方向における両端部がそれぞれ取付面部３７ｂ、３７ｂに取り付けられている。
【０１３２】
被ガイドベース３９、３９はガイド軸３８、３８に前後方向へ移動可能に支持され、前後に離隔して位置されている。被ガイドベース３９、３９は駆動機構によって各別に前後方向へ移動される。
【０１３３】
保持パイプ４０は、例えば、被ガイドベース３９、３９にそれぞれ三つずつが取り付けられている。保持パイプ４０、４０、４０は左右に離隔して位置され被ガイドベース３９から前方又は後方に突出された状態で設けられている。保持パイプ４０、４０、４０には負圧のエアーが供給され、保持パイプ４０、４０、４０によって部品保持装置１が吸引されて保持される。保持パイプ４０、４０、４０は被ガイドベース３９の移動に伴って前後方向へ移動される。
【０１３４】
搬送部３０は支持フレーム３７が回転台３４の上面に取り付けられているため、回転台３４の回転に伴って回転される。
【０１３５】
加圧ヘッド３１は上下方向に延びる軸部４１と軸部４１の下端に連結されたヘッド部４２とを有し、ヘッド部４２の下端部がヒーターを有する加熱加圧部４２ａとして設けられている。加圧ヘッド３１は軸部４１がルーフ２６を貫通されヘッド部４２が加熱ステージ３３の真上に位置されている。軸部４１の上端部には駆動源４３が連結されている。加圧ヘッド３１は駆動源４３の駆動力によって昇降される。
【０１３６】
前側ベース台２７と加熱ステージ３３にはそれぞれ部品保持装置１、１が載置される。部品保持装置１、１はそれぞれ前側ベース台２７と加熱ステージ３３に載置された状態において、保持パイプ４０、４０、・・・によって吸引されて保持される。
【０１３７】
尚、前側ベース台２７と加熱ステージ３３にはそれぞれ部品保持装置１Ａ、１Ａ、部品保持装置１Ｂ、１Ｂ、部品保持装置１Ｃ、１Ｃ又は部品保持装置１Ｄ、１Ｄが載置されてもよい。
【０１３８】
＜加熱加圧装置の動作及び接合作業＞
次いで、加熱加圧装置２０の動作及び加熱加圧装置２０において行われる接合作業について説明する（図１３乃至図１９参照）。以下には、例として、部品保持装置１が用いられた場合の動作及び接合作業について説明する。但し、接合作業においては部品保持装置１に代えて部品保持装置１、部品保持装置１Ａ、部品保持装置１Ｂ、部品保持装置１Ｃ又は部品保持装置１Ｄの何れが用いられてもよい。
【０１３９】
尚、加熱加圧装置２０の前側ベース台２７と加熱ステージ３３にはそれぞれ部品保持装置１、１が載置されるが、以下には、接合作業の開始前において、前側ベース台２７に載置される部品保持装置１を部品保持装置１Ｘとし、加熱ステージ３３に載置される部品保持装置１を部品保持装置１Ｙとして説明する。
【０１４０】
接合作業に際しては、先ず、前側ベース台２７に部品保持装置１Ｘが載置され、加熱ステージ３３に部品保持装置１Ｙが載置される（図１３及び図１４参照）。このとき部品保持装置１Ｘが載置された位置は装着位置とされ、部品保持装置１Ｙが載置された位置は加熱加圧位置とされる。
【０１４１】
部品保持装置１Ｘと部品保持装置１Ｙは何れもカバー３、３によって内部空間２ａ、２ａが閉塞され、内部空間２ａ、２ａが密閉空間にされている。部品保持装置１Ｘの内部空間２ａと部品保持装置１Ｙの内部空間２ａとにはそれぞれ接合ワーク１００、１００、・・・が配置されている。
【０１４２】
装着位置にある部品保持装置１Ｘの連通管１０にはチューブ４４の一端部が接続され、チューブ４４の他端部は加熱加圧装置２０の機構ケース２９に接続されている。また、加熱加圧位置にある部品保持装置１Ｙの連通管１０にも機構ケース２９に接続された別のチューブ４４が接続されていてもよい。
【０１４３】
続いて、ピンチコック１１が操作されて連通管１０が開放される。連通管１０が開放されると、チューブ４４と排気用ホース３６を介して内部空間２ａから空気が吸引され、部品保持装置１Ｘの内部空間２ａが真空にされる。
【０１４４】
部品保持装置１Ｘの内部空間２ａが真空にされると、吸気用ホース３５とチューブ４４を介して内部空間２ａにガスが充填される。充填されるガスは還元性を有するガスや不活性ガスが用いられる。また、充填されるガスは還元性を有するガスと不活性ガスの混合ガスであってもよい。
【０１４５】
還元性を有するガスとしては、例えば、ギ酸ガスや水素ガス等又はこれらの混合ガスが用いられ、不活性ガスとしては、例えば、アルゴンガスや窒素ガス等又はこれらの混合ガスが用いられる。
【０１４６】
尚、部品保持装置１Ｘの内部空間２ａは、ガスの充填が行われず真空にされた状態が保持されてもよい。
【０１４７】
このように内部空間２ａが真空にされることにより、内部空間２ａが真空にされた状態で被接合体１０２の接合体１０１に対する接合作業が行われるため、被接合体１０２の電極端子と接合体１０１の電極と接合材の表面への酸化膜の発生を抑制することが可能になり、被接合体１０２の接合体１０１への良好な接合状態を確保することができる。
【０１４８】
また、内部空間２ａが真空にされることにより、接合材におけるボイド（気泡）の発生を防止することができる。
【０１４９】
さらに、内部空間２ａに還元作用を有するガスが充填されることにより、内部空間に還元作用を有するガスが充填された状態で被接合体１０２の接合体１０１に対する接合作業が行われる。従って、被接合体１０２の電極端子と接合体１０１の電極と接合材の表面に生じる酸化膜を除去することが可能になり、被接合体１０２の接合体１０１への一層良好な接合状態を確保することができる。
【０１５０】
さらにまた、内部空間２ａに不活性ガスが充填されることにより、内部空間２ａに不活性ガスが充填された状態で被接合体１０２の接合体１０１に対する接合作業が行われる。従って、被接合体１０２の電極端子と接合体１０１の電極と接合材の表面への酸化膜の発生を抑制することが可能になり、被接合体１０２の接合体１０１への一層良好な接合状態を確保することができる。
【０１５１】
続いて、ピンチコック１１が操作されて連通管１０が閉塞され、内部空間２ａに充填されたガスが封止される。ピンチコック１１が操作されて内部空間２ａにガスが封止されると、チューブ４４が部品保持装置１Ｘの連通管１０から取り外される。
【０１５２】
次に、後側の被ガイドベース３９が前方へ移動され、被ガイドベース３９の移動に伴って部品保持装置１Ｙが前方へ移動される（図１５参照）。被ガイドベース３９と部品保持装置１Ｙが前方へ移動されると、回転台３４が回転されて搬送部３０と部品保持装置１Ｘと部品保持装置１Ｙが回転台３４の回転に伴って回転される（図１６参照）。
【０１５３】
搬送部３０と部品保持装置１Ｘと部品保持装置１Ｙは回転台３４の回転に伴って１８０度回転され、部品保持装置１Ｘが部品保持装置１Ｙの後方に位置される（図１７参照）。回転台３４が１８０度回転され部品保持装置１Ｘが部品保持装置１Ｙの後方に位置された状態においては、部品保持装置１Ｘは後側ベース台２８より前側に位置され、部品保持装置１Ｙは前側ベース台２７上に位置される。従って、部品保持装置１Ｙは装着位置に位置される。
【０１５４】
尚、部品保持装置１Ｘの連通管１０に接続されたチューブ４４の長さが上記した回転台３４の回転時に部品保持装置１Ｘの連通管１０から外れない長さにされていれば、チューブ４４を部品保持装置１Ｘの連通管１０から取り外すことなく、搬送部３０と部品保持装置１Ｘと部品保持装置１Ｙの上記した回転動作が行われてもよい。
【０１５５】
また、部品保持装置１Ｙの連通管１０にチューブ４４が接続されている場合に、このチューブ４４の長さが上記した回転台３４の回転時に部品保持装置１Ｙの連通管１０から外れない長さにされていれば、チューブ４４を部品保持装置１Ｙの連通管１０から取り外すことなく、搬送部３０と部品保持装置１Ｘと部品保持装置１Ｙの上記した回転動作が行われてもよい。
【０１５６】
次に、後側の被ガイドベース３９が後方へ移動され、被ガイドベース３９の移動に伴って部品保持装置１Ｘが後方へ移動され（図１８参照）、部品保持装置１Ｘは配置ケース２の下面が加熱ステージ３３に接した状態にされ加熱加圧位置に位置される。
【０１５７】
加熱加圧位置においては、加熱ステージ３３による部品保持装置１Ｘに対する加熱が行われ、加熱ステージ３３から熱が配置ケース２の底壁部５を介して接合ワーク１００、１００、・・・に伝達される。
【０１５８】
同時に、加圧ヘッド３１が下降され、ヘッド部４２によって部品保持装置１Ｘの可動部８が下方に押圧され、連結部９が伸長されて可動部８が支持部７に対して下方へ移動される（図１９参照）。可動部８が下方へ移動されることにより、可動部８の上ツール８ｂ、８ｂ、・・・によって被接合体１０２、１０２、・・・が加圧され接合体１０１、１０１、・・・に被接合体１０２、１０２、・・・が押し付けられる。
【０１５９】
このとき加圧ヘッド３１による部品保持装置１Ｘに対する加熱が行われ、ヘッド部４２の加熱加圧部４２ａから熱が可動部８を介して接合ワーク１００、１００、・・・に伝達される。従って、接合ワーク１００、１００、・・・は加熱ステージ３３と加圧ヘッド３１の双方によって加熱されると共に加圧ヘッド３１によって加圧される。
【０１６０】
接合ワーク１００、１００、・・・に対して加熱及び加圧が行われることにより、接合体１０１、１０１、・・・に被接合体１０２、１０２、・・・が接合材によって接合される。
【０１６１】
上記した部品保持装置１Ｘに対する加熱及び加圧が行われているときには、チューブ４４と排気用ホース３６を介して装着位置にある部品保持装置１Ｙの内部空間２ａから空気が吸引され、部品保持装置１Ｙの内部空間２ａが真空にされる。また、部品保持装置１Ｙの内部空間２ａが真空にされると、吸気用ホース３５とチューブ４４を介して内部空間２ａにガスが充填される。
【０１６２】
尚、このとき部品保持装置１Ｙの内部空間２ａへのガスの充填が行われず、部品保持装置１Ｙの内部空間２ａの真空状態が保持されてもよい。
【０１６３】
部品保持装置１Ｘに配置された接合ワーク１００、１００、・・・に対する加熱及び加圧が行われ接合作業が終了すると、加圧ヘッド３１が上昇される。加圧ヘッド３１が上昇されると、ヘッド部４２による部品保持装置１Ｘの可動部８に対する押圧が解除され、連結部９が圧縮されて可動部８が支持部７に対して上方へ移動される。可動部８が上方へ移動されることにより、可動部８の上ツール８ｂ、８ｂ、・・・による被接合体１０２、１０２、・・・に対する加圧状態が解除される。
【０１６４】
次に、後側の被ガイドベース３９が前方へ移動され、被ガイドベース３９の移動に伴って部品保持装置１Ｘが前方へ移動される。被ガイドベース３９と部品保持装置１Ｘが前方へ移動されると、回転台３４が回転されて搬送部３０と部品保持装置１Ｘと部品保持装置１Ｙが回転台３４の回転に伴って回転される。
【０１６５】
搬送部３０と部品保持装置１Ｘと部品保持装置１Ｙは回転台３４の回転に伴って１８０度回転され、部品保持装置１Ｙが部品保持装置１Ｘの後方に位置される。回転台３４が１８０度回転され部品保持装置１Ｘが部品保持装置１Ｙの後方に位置された状態においては、部品保持装置１Ｙは後側ベース台２８より前側に位置され、部品保持装置１Ｘは前側ベース台２７上に位置される。従って、部品保持装置１Ｘは装着位置に位置される。
【０１６６】
次に、後側の被ガイドベース３９が後方へ移動され、被ガイドベース３９の移動に伴って部品保持装置１Ｙが後方へ移動され、部品保持装置１Ｙは配置ケース２の下面が加熱ステージ３３に接した状態にされ加熱加圧位置に位置される。
【０１６７】
装着位置に位置された部品保持装置１Ｘは、カバー３が配置ケース２から取り外されて内部空間２ａから接合が完了した接合ワーク１００、１００、・・・が取り出される。部品保持装置１Ｘの内部空間２ａには接合される前の新たな接合ワーク１００、１００、・・・が配置され、再びカバー３によって内部空間２ａが閉塞され、内部空間２ａが密閉空間とされる。
【０１６８】
加熱加圧位置においては、加熱ステージ３３による部品保持装置１Ｙに対する加熱が行われ、加熱ステージ３３から熱が配置ケース２の底壁部５を介して接合ワーク１００、１００、・・・に伝達される。
【０１６９】
同時に、加圧ヘッド３１が下降され、ヘッド部４２によって部品保持装置１Ｙの可動部８が下方に押圧され、連結部９が伸長されて可動部８が支持部７に対して下方へ移動され、上ツール８ｂ、８ｂ、・・・によって被接合体１０２、１０２、・・・が加圧され接合体１０１、１０１、・・・に被接合体１０２、１０２、・・・が押し付けられ、加圧ヘッド３１による部品保持装置１Ｙに対する加熱が行われる。
【０１７０】
接合ワーク１００、１００、・・・に対して加熱及び加圧が行われることにより、接合体１０１、１０１、・・・に被接合体１０２、１０２、・・・が接合材によって接合される。
【０１７１】
部品保持装置１Ｙに配置された接合ワーク１００、１００、・・・に対する加熱及び加圧が行われ接合作業が終了すると、加圧ヘッド３１が上昇される。加圧ヘッド３１が上昇されると、後側の被ガイドベース３９が前方へ移動され、被ガイドベース３９の移動に伴って部品保持装置１Ｙが前方へ移動され、その後再び部品保持装置１Ｘが加熱加圧位置に位置されて部品保持装置１Ｘに配置された新たな接合ワーク１００、１００、・・・に対する接合作業が行われる。
【０１７２】
上記したように、接合作業においては、可動部８にヒーターを有する加圧ヘッド３１が押し付けられることにより可動部８を介して接合ワーク１００、１００、・・・に加圧ヘッド３１の圧力が付与され、接合ワーク１００、１００、・・・にヒーターの熱が可動部８を介して伝達される。
【０１７３】
従って、可動部８が接合ワーク１００、１００、・・・に接した状態において接合ワーク１００、１００、・・・が加圧及び加熱されるため、加圧ヘッド３１によって被接合体１０２、１０２、・・・の接合体１０１、１０１、・・・に対する良好な接合状態を確保することができる。
【０１７４】
また、配置ケース２が熱伝導性を有する材料によって形成され、可動部８に加圧ヘッド３１が押し付けられた状態において配置ケース２がヒーターを有する加熱ステージ３３に載置される。
【０１７５】
従って、接合ワーク１００、１００、・・・が可動部８を介して加圧ヘッド３１によって加熱されると共に配置ケース２を介して加熱ステージ３３によって加熱されるため、接合ワーク１００、１００、・・・に対する加熱量が増加し、被接合体１０２、１０２、・・・の接合体１０１、１０１、・・・に対する接合を短時間で行うことができる。
【０１７６】
尚、上記には、加圧ヘッド３１と加熱ステージ３３の双方によって上下から接合ワーク１００、１００、・・・に加熱が行われる例を示したが、加圧ヘッド３１又は加熱ステージ３３の一方から接合ワーク１００、１００、・・・に加熱が行われる構成にされていてもよい。
【０１７７】
また、上記には、加熱加圧装置２０による接合作業において部品保持装置１が用いられた例を示したが、部品保持装置１に代えて、加圧ヘッド３１の下方への移動により被接合体１０２、１０２、・・・に対する加圧が可能な部品保持装置１Ａ、部品保持装置１Ｃ又は部品保持装置１Ｄが用いられてもよい。
【０１７８】
さらに、部品保持装置１に代えて、部品保持装置１Ｂが用いられてもよい。但し、部品保持装置１Ｂが用いられる場合には、例えば、加熱ステージ３３が昇降可能にされ加熱ステージ３３の上方への移動により被接合体１０２、１０２、・・・に対する加圧が可能な構成にされるか、加圧ヘッド３１が部品保持装置１Ｂの下方において昇降可能にされ加圧ヘッド３１の上方への移動により被接合体１０２、１０２、・・・に対する加圧が可能な構成にされる必要がある。尚、このような構成にされている場合には、部品保持装置１Ｃ又は部品保持装置１Ｄを用いることも可能である。
【０１７９】
また、上記には、装着位置において内部空間２ａを真空にする作業と内部空間２ａにガスを充填する作業とが行われ、加熱加圧位置において加熱加圧作業が行われる例を示したが、例えば、装着位置において内部空間２ａを真空にする作業が行われ、加熱加圧位置において内部空間２ａにガスを充填する作業と加熱加圧作業が行われる構成にすることも可能である。また、例えば、加熱加圧位置において内部空間２ａを真空にする作業と内部空間２ａにガスを充填する作業と加熱加圧作業が行われる構成にすることも可能である。
【０１８０】
＜加熱加圧装置の別の構成＞
上記には、搬送部３０を有する加熱加圧装置２０を例として示したが、例えば、加熱加圧装置２０に代えて搬送部３０を有しない加熱加圧装置２０Ａを用いることも可能である（図２０参照）。
【０１８１】
加熱加圧装置２０Ａは筐体２２の作業空間２２ａにベース台４５が配置され、ベース台４５上に加熱ステージ３３が取り付けられている。加熱ステージ３３の上方には昇降可能な加圧ヘッド３１が配置されている。
【０１８２】
加熱加圧装置２０Ａにおいては、作業者によって部品保持装置１（部品保持装置１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ）が加熱ステージ３３に載置されて接合作業が行われる。
【０１８３】
尚、部品保持装置１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄは密閉された加熱加圧空間を有するヒーター等の加熱加圧装置に用いることも可能である。このようなヒーター等の加熱加圧装置には加熱ステージ３３や加圧ヘッド３１は設けられておらず、部品保持装置１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄが加熱加圧空間に挿入された状態において加熱加圧空間が高温高圧にされ、接合ワーク１００、１００、・・・が加熱されると共に圧力によって可動部８、８Ｂ、８Ｃが移動されて接合ワーク１００、１００、・・・に圧力が付与される。
【０１８４】
＜まとめ＞
以上に記載した通り、部品保持装置１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄにあっては、配置ケース２、２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄとカバー３、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄが結合された状態において内部空間２ａが密閉空間として形成される。
【０１８５】
従って、可動部８、８Ｂ、８Ｃが上下方向へ移動可能な状態において、配置ケース２、２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄとカバー３、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄが結合されて密閉空間として形成された内部空間２ａに接合ワーク１００が配置されるため、接合作業における適正な作業状態を簡易な構成によって実現することができる。
【０１８６】
また、大型の接合機構に接合ワーク１００を装着して被接合体１０２の接合体１０１への接合を行う必要がなく、特に、内部空間２ａに接合ワーク１００を配置した状態で持ち運ぶことが可能であり、接合ワーク１００の運搬性の向上を図ることができると共に取扱性の自由度の向上を図ることができる。
【０１８７】
また、部品保持装置１、１Ａ、１Ｄにあっては、支持部７と可動部８と連結部９がカバー３、３Ｄに設けられている。
【０１８８】
従って、可動部８の移動時に接合ワーク１００、１００、・・・が移動されないため、接合ワーク１００、１００、・・・の配置ケース２、２Ａ、２Ｄに対する位置ずれを防止して接合ワーク１００、１００、・・・の配置ケース２、２Ａ、２Ｄに対する良好な配置状態を確保することができる。
【０１８９】
さらに、部品保持装置１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄにおいて、可動部８、８Ｂ、８Ｃが熱伝導性を有する材料によって形成されることにより、可動部８、８Ｂ、８Ｃが接合ワーク１００、１００、・・・に接した状態において可動部８、８Ｂ、８Ｃを介して接合ワーク１００、１００、・・・に熱を伝達することが可能になる。従って、接合材による被接合体１０２、１０２、・・・の接合体１０１、１０１、・・・への良好な接合状態を確保することができる。
【符号の説明】
【０１９０】
１…部品保持装置
２…配置ケース
２ａ…内部空間
３…カバー
４…封止部材
７…支持部
８…可動部
９…連結部
１Ａ…部品保持装置
２Ａ…配置ケース
１Ｂ…部品保持装置
２Ｂ…配置ケース
３Ｂ…カバー
７Ｂ…支持部
８Ｂ…可動部
１Ｃ…部品保持装置
２Ｃ…配置ケース
３Ｃ…カバー
７Ｃ…支持部
８Ｃ…可動部
１Ｄ…部品保持装置
２Ｄ…配置ケース
３Ｄ…カバー
２０…加熱加圧装置
３１…加圧ヘッド
３３…加熱ステージ
１００…接合ワーク
１０１…接合体
１０２…被接合体
２００…接合システム
１Ｘ…部品保持装置
１Ｙ…部品保持装置
２０Ａ…加熱加圧装置
【図１】
2019089114.tif 000003
【図２】
2019089114.tif 000004
【図３】
2019089114.tif 000005
【図４】
2019089114.tif 000006
【図５】
2019089114.tif 000007
【図６】
2019089114.tif 000008
【図７】
2019089114.tif 000009
【図８】
2019089114.tif 000010
【図９】
2019089114.tif 000011
【図１０】
2019089114.tif 000012
【図１１】
2019089114.tif 000013
【図１２】
2019089114.tif 000014
【図１３】
2019089114.tif 000015
【図１４】
2019089114.tif 000016
【図１５】
2019089114.tif 000017
【図１６】
2019089114.tif 000018
【図１７】
2019089114.tif 000019
【図１８】
2019089114.tif 000020
【図１９】
2019089114.tif 000021
【図２０】
2019089114.tif 000022
【手続補正書】
【提出日】平成30年4月20日(2018.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被接合体が接合材によって接合体に接合される接合ワークを保持する部品保持装置であって、
内部空間に前記接合ワークが配置される配置ケースと、
封止部材を介して前記配置ケースと結合されるカバーとを備え、
前記配置ケース又は前記カバーの少なくとも一方に、弾性変形可能又は伸縮可能にされた連結部と、前記連結部の一端部が連結された支持部と、前記連結部の他端部が連結され前記連結部の変形又は伸縮に伴って前記支持部に対して上下方向へ移動可能な可動部とが設けられ、
前記配置ケースと前記カバーが結合された状態において前記内部空間が密閉空間として形成され、
前記可動部が熱伝導性を有する材料によって形成され、
前記可動部にヒーターを有する加圧ヘッドが押し付けられることにより前記可動部を介して前記接合ワークに前記加圧ヘッドの圧力が付与され、
前記接合ワークに前記ヒーターの熱が前記可動部を介して伝達される
部品保持装置。
【請求項２】
前記支持部と前記可動部と前記連結部が前記カバーに設けられた
請求項１に記載の部品保持装置。
【請求項３】
前記配置ケースと前記カバーが結合された状態において前記被接合体が前記可動部に押さえられる
請求項２に記載の部品保持装置。
【請求項４】
前記連結部として金属材料によって形成された蛇腹部材が用いられた
請求項１、請求項２又は請求項３に記載の部品保持装置。
【請求項５】
前記配置ケースが熱伝導性を有する材料によって形成され、
前記可動部に前記加圧ヘッドが押し付けられた状態において前記配置ケースがヒーターを有する加熱ステージに載置される
請求項１、請求項２、請求項３又は請求項４に記載の部品保持装置。
【請求項６】
前記内部空間が真空にされる
請求項１、請求項２、請求項３、請求項４又は請求項５に記載の部品保持装置。
【請求項７】
前記内部空間に還元作用を有するガスが充填される
請求項１、請求項２、請求項３、請求項４又は請求項５に記載の部品保持装置。
【請求項８】
前記内部空間に不活性ガスが充填される
請求項１、請求項２、請求項３、請求項４又は請求項５に記載の部品保持装置。
【請求項９】
被接合体が接合材によって接合体に接合される接合ワークを保持する部品保持装置と、前記部品保持装置に対して加圧ヘッドによって加熱及び加圧を行う加熱加圧装置とを備えた部品接合システムであって、
前記部品保持装置は、
内部空間に前記接合ワークが配置される配置ケースと、
封止部材を介して前記配置ケースと結合されるカバーとを備え、
前記配置ケース又は前記カバーの少なくとも一方に、弾性変形可能又は伸縮可能にされた連結部と、前記連結部の一端部が連結された支持部と、前記連結部の他端部が連結され前記連結部の変形又は伸縮に伴って前記支持部に対して上下方向へ移動可能な可動部とが設けられ、
前記配置ケースと前記カバーが結合された状態において前記内部空間が密閉空間として形成され、
前記加圧ヘッドが押し付けられることにより移動される前記可動部によって前記接合ワークが押さえられた状態で加圧及び加熱が行われる
部品接合システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
第１に、本発明に係る部品保持装置は、被接合体が接合材によって接合体に接合される接合ワークを保持する部品保持装置であって、内部空間に前記接合ワークが配置される配置ケースと、封止部材を介して前記配置ケースと結合されるカバーとを備え、前記配置ケース又は前記カバーの少なくとも一方に、弾性変形可能又は伸縮可能にされた連結部と、前記連結部の一端部が連結された支持部と、前記連結部の他端部が連結され前記連結部の変形又は伸縮に伴って前記支持部に対して上下方向へ移動可能な可動部とが設けられ、前記配置ケースと前記カバーが結合された状態において前記内部空間が密閉空間として形成され、前記可動部が熱伝導性を有する材料によって形成され、前記可動部にヒーターを有する加圧ヘッドが押し付けられることにより前記可動部を介して前記接合ワークに前記加圧ヘッドの圧力が付与され、前記接合ワークに前記ヒーターの熱が前記可動部を介して伝達されるものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
これにより、可動部が上下方向へ移動可能な状態において、配置ケースとカバーが結合されて密閉空間として形成された内部空間に接合ワークが配置されると共に、可動部が接合ワークに接した状態において可動部を介して接合ワークに熱を伝達することが可能になり、可動部が接合ワークに接した状態において接合ワークが加圧及び加熱される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
第５に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記配置ケースが熱伝導性を有する材料によって形成され、前記可動部に前記加圧ヘッドが押し付けられた状態において前記配置ケースがヒーターを有する加熱ステージに載置されることが望ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
第６に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記内部空間が真空にされることが望ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
第７に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記内部空間に還元作用を有するガスが充填されることが望ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
第８に、上記した本発明に係る部品保持装置においては、前記内部空間に不活性ガスが充填されることが望ましい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
第９に、本発明に係る部品接合システムは、被接合体が接合材によって接合体に接合される接合ワークを保持する部品保持装置と、前記部品保持装置に対して加圧ヘッドによって加熱及び加圧を行う加熱加圧装置とを備えた部品接合システムであって、前記部品保持装置は、内部空間に前記接合ワークが配置される配置ケースと、封止部材を介して前記配置ケースと結合されるカバーとを備え、前記配置ケース又は前記カバーの少なくとも一方に、弾性変形可能又は伸縮可能にされた連結部と、前記連結部の一端部が連結された支持部と、前記連結部の他端部が連結され前記連結部の変形又は伸縮に伴って前記支持部に対して上下方向へ移動可能な可動部とが設けられ、前記配置ケースと前記カバーが結合された状態において前記内部空間が密閉空間として形成され、前記加圧ヘッドが押し付けられることにより移動される前記可動部によって前記接合ワークが押さえられた状態で加圧及び加熱が行われるものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
本発明部品保持装置及び部品接合システムによれば、可動部が上下方向へ移動可能な状態において、配置ケースとカバーが結合されて密閉空間として形成された内部空間に接合ワークが配置されると共に、可動部が接合ワークに接した状態において可動部を介して接合ワークに熱を伝達することが可能になり、可動部が接合ワークに接した状態において接合ワークが加圧及び加熱されるため、接合作業における適正な作業状態を簡易な構成によって実現することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
部品保持装置１Ｄは、配置ケース２Ｄが部品保持装置１Ｂの配置ケース２Ｂと同様の構成にされ、カバー３Ｄが部品保持装置１のカバー３と同様の構成にされている。従って、配置ケース２Ｄには支持部７Ｂと可動部８Ｂと連結部９が設けられ、カバー３Ｄには支持部７と可動部８と連結部９が設けられている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２３】
筐体２２は基台２１上に位置され、前方に開口された作業空間２２ａを有している。支持柱２５、２５、・・・とルーフ２６は筐体２２の内部に配置されている。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３８】
＜加熱加圧装置の動作及び接合作業＞
次いで、加熱加圧装置２０の動作及び加熱加圧装置２０において行われる接合作業について説明する（図１３乃至図１９参照）。以下には、例として、部品保持装置１が用いられた場合の動作及び接合作業について説明する。但し、接合作業においては部品保持装置１に代えて部品保持装置１Ａ、部品保持装置１Ｂ、部品保持装置１Ｃ又は部品保持装置１Ｄの何れが用いられてもよい。