(57)【要約】【課題】小型化と高分解能化の両方を実現できる回転エンコーダを提供する。【解決手段】回転エンコーダは、シャフトと、シャフトを回転可能に挿通状態で保持するとともに、シャフトの回転方向および回転角度を検知するエンコーダ機構とを備え、エンコーダ機構は、シャフトを回転可能に保持する基板と、基板の一面に設けられ、シャフトの回転方向に間欠的に配列された複数の抵抗体部と、シャフトと一体的に回転可能にシャフトに取り付けられたロータと、該ロータに取り付けられ、シャフトの回転により、複数の抵抗体部に摺接する摺動子とを有し、抵抗体部は、樹脂を含まず金属からなる。【選択図】図３
2019066297.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャフトと、
前記シャフトを回転可能に挿通状態で保持するとともに、前記シャフトの回転方向および回転角度を検知するエンコーダ機構と
を備え、
前記エンコーダ機構は、
前記シャフトを回転可能に保持する基板と、
前記基板の一面に設けられ、前記シャフトの回転方向に間欠的に配列された複数の抵抗体部と、
前記シャフトと一体的に回転可能に前記シャフトに取り付けられたロータと、
該ロータに取り付けられ、前記シャフトの回転により、前記複数の抵抗体部に摺接する摺動子と
を有し、
前記抵抗体部は、樹脂を含まず金属からなる、回転エンコーダ。
【請求項２】
前記抵抗体部の幅寸法は、５０μｍ以下である、請求項１に記載の回転エンコーダ。
【請求項３】
前記シャフトの回転方向に隣接する抵抗体部の隙間は、５０μｍ以下である、請求項１または２に記載の回転エンコーダ。
【請求項４】
前記抵抗体部の幅方向に沿った断面において、前記抵抗体部は、前記基板の一面に対向する第１面と、前記第１面の反対側の第２面とを有し、前記抵抗体部の第１面と第２面の幅寸法の差の絶対値は、２μｍ以下である、請求項１から３の何れか一つに記載の回転エンコーダ。
【請求項５】
シャフトと、
前記シャフトを回転可能に挿通状態で保持するとともに、前記シャフトの回転方向および回転角度を検知するエンコーダ機構と
を備え、
前記エンコーダ機構は、
前記シャフトを回転可能に保持する基板と、
前記基板の一面に設けられ、前記シャフトの回転方向に間欠的に配列された複数の抵抗体部と、
前記シャフトと一体的に回転可能に前記シャフトに取り付けられたロータと、
前記ロータに取り付けられ、前記シャフトの回転により、前記複数の抵抗体部に摺接する摺動子と
を有し、
前記抵抗体部の幅方向に沿った断面において、前記抵抗体部は、前記基板の一面に対向する第１面と、前記第１面の反対側の第２面とを有し、前記抵抗体部の第１面と第２面の幅寸法の差の絶対値は、２μｍ以下である、回転エンコーダ。
【請求項６】
前記抵抗体部の幅寸法は、隣接する前記抵抗体部の隙間より小さい、請求項１から５の何れか一つに記載の回転エンコーダ。
【請求項７】
請求項１から６の何れか一つに記載の回転エンコーダのエンコーダ機構を製造する方法であって、
前記抵抗体部をフォトリソグラフィーにより製造する、回転エンコーダのエンコーダ機構を製造する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転エンコーダおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回転エンコーダとしては、特開２００３−２１７９１０号公報（特許文献１）に記載されたものがある。この回転エンコーダは、位置情報パターンを設けたコード板と、コード板に対して相対的に摺動する第１と第２の摺動子とを有する。位置情報パターンは、抵抗値が異なり、周期的な順序に配設された３個以上の位置パターンと、位置パターンの内方に配設され、各位置パターンがそれぞれ電気的に接続された円環状の共通パターンとからなる。第１の摺動子が位置パターン上を順次摺動すると共に、第２の摺動子が共通パターン上を摺動する。これにより、第１と第２の摺動子と位置情報パターンとの摺接位置関係にて変化された出力信号を、第１、第２の摺動子から出力する。位置パターンは、印刷により形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２１７９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年、回転エンコーダとして、小型で、高い分解能を有するものが要求されるようになってきた。しかしながら、従来のような回転エンコーダでは、位置パターンが、印刷により形成されているため、小型化と高分解能化の要求に対応できないことがわかった。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、小型化と高分解能化の両方を実現できる回転エンコーダおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本発明の回転エンコーダは、
シャフトと、
前記シャフトを回転可能に挿通状態で保持するとともに、前記シャフトの回転方向および回転角度を検知するエンコーダ機構と
を備え、
前記エンコーダ機構は、
前記シャフトを回転可能に保持する基板と、
前記基板の一面に設けられ、前記シャフトの回転方向に間欠的に配列された複数の抵抗体部と、
前記シャフトと一体的に回転可能に前記シャフトに取り付けられたロータと、
該ロータに取り付けられ、前記シャフトの回転により、前記複数の抵抗体部に摺接する摺動子と
を有し、
前記抵抗体部は、樹脂を含まず金属からなる。
【０００７】
本発明の回転エンコーダによれば、抵抗体部は、樹脂を含まず金属からなるので、摺動子が、抵抗体部に摺動する際、抵抗体部の磨耗を低減できる。したがって、回転エンコーダを小型にし、抵抗体部の本数を増やすことで、シャフトの回転方向に隣接する抵抗体部の隙間が狭くなるが、隣接する抵抗体部の摩耗粉を介した電気的接続を回避できる。したがって、小型化と高分解能化の両方を実現できる。
【０００８】
また、回転エンコーダの一実施形態では、前記抵抗体部の幅寸法は、５０μｍ以下である。
【０００９】
前記実施形態によれば、抵抗体部の幅寸法は、５０μｍ以下であるので、抵抗体部を高精細にすることができる。したがって、回転エンコーダを小型にしても、抵抗体部の本数を増やすことができる。
【００１０】
また、回転エンコーダの一実施形態では、前記シャフトの回転方向に隣接する抵抗体部の隙間は、５０μｍ以下である。
【００１１】
前記実施形態によれば、隣接する抵抗体部の隙間は、５０μｍ以下であるので、抵抗体部を高精細にすることができる。したがって、回転エンコーダを小型にしても、抵抗体部の本数を増やすことができる。
【００１２】
また、回転エンコーダの一実施形態では、前記抵抗体部の幅方向に沿った断面において、前記抵抗体部は、前記基板の一面に対向する第１面と、前記第１面の反対側の第２面とを有し、前記抵抗体部の第１面と第２面の幅寸法の差の絶対値は、２μｍ以下である。
【００１３】
ここで、抵抗体部の幅方向とは、シャフトの回転方向をいう。
【００１４】
前記実施形態によれば、抵抗体部の第１面と第２面の幅寸法の差の絶対値は、２μｍ以下であるので、抵抗体部の第１面と第２面の幅寸法のずれを低減できて、抵抗体部を高精細にすることができる。したがって、回転エンコーダを小型にし、抵抗体部の本数を増やすことで、シャフトの回転方向に隣接する抵抗体部の隙間が狭くなるが、高精細な抵抗体部により隣接する抵抗体部の電気的接続を回避できる。したがって、小型化と高分解能化の両方を実現できる。
【００１５】
また、回転エンコーダの一実施形態では、
シャフトと、
前記シャフトを回転可能に挿通状態で保持するとともに、前記シャフトの回転方向および回転角度を検知するエンコーダ機構と
を備え、
前記エンコーダ機構は、
前記シャフトを回転可能に保持する基板と、
前記基板の一面に設けられ、前記シャフトの回転方向に間欠的に配列された複数の抵抗体部と、
前記シャフトと一体的に回転可能に前記シャフトに取り付けられたロータと、
前記ロータに取り付けられ、前記シャフトの回転により、前記複数の抵抗体部に摺接する摺動子と
を有し、
前記抵抗体部の幅方向に沿った断面において、前記抵抗体部は、前記基板の一面に対向する第１面と、前記第１面の反対側の第２面とを有し、前記抵抗体部の第１面と第２面の幅寸法の差の絶対値は、２μｍ以下である。
【００１６】
ここで、抵抗体部の幅方向とは、シャフトの回転方向をいう。
【００１７】
前記実施形態によれば、抵抗体部の第１面と第２面の幅寸法の差の絶対値は、２μｍ以下であるので、抵抗体部の第１面と第２面の幅寸法のずれを低減できて、抵抗体部を高精細にすることができる。したがって、回転エンコーダを小型にし、抵抗体部の本数を増やすことで、シャフトの回転方向に隣接する抵抗体部の隙間が狭くなるが、高精細な抵抗体部により隣接する抵抗体部の電気的接続を回避できる。したがって、小型化と高分解能化の両方を実現できる。
【００１８】
また、回転エンコーダの一実施形態では、前記抵抗体部の幅寸法は、隣接する前記抵抗体部の隙間より小さい。
【００１９】
前記実施形態によれば、摺動子の接点によって、隣接する抵抗体部同士が短絡することを防げる。
【００２０】
また、回転エンコーダのエンコーダ機構を製造する方法の一実施形態では、前記抵抗体部をフォトリソグラフィーにより製造する。
【００２１】
前記実施形態によれば、抵抗体部を高精細にすることができ、小型化と高分解能化の両方を実現できる回転エンコーダを製造できる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の回転エンコーダおよびその製造方法によれば、小型化と高分解能化の両方を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態の回転エンコーダの断面図である。
【図２】エンコーダ機構の下方からみた斜視図である。
【図３】エンコーダ機構の下方からみた平面図である。
【図４】エンコーダ機構の等価回路を示す回路図である。
【図５】エンコーダ機構の出力波形を示す波形図である。
【図６】第１抵抗体部の拡大平面図である。
【図７】第１抵抗体部の幅方向に沿った断面図である。
【図８Ａ】第１抵抗体部の製造方法を説明する説明図である。
【図８Ｂ】第１抵抗体部の製造方法を説明する説明図である。
【図８Ｃ】第１抵抗体部の製造方法を説明する説明図である。
【図８Ｄ】第１抵抗体部の製造方法を説明する説明図である。
【図８Ｅ】第１抵抗体部の製造方法を説明する説明図である。
【図８Ｆ】第１抵抗体部の製造方法を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００２５】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態の回転エンコーダを示す断面図である。回転エンコーダの幅方向をＸ方向とし、回転エンコーダの長さ方向をＹ方向とする。回転エンコーダの高さ方向をＺ方向とする。Ｚ方向の正方向を上側とし、Ｚ方向の負方向を下側とする。
【００２６】
図１に示すように、回転エンコーダ１は、ケーシング２と、回転軸を有するシャフト３と、シャフト３の回転方向および回転角度（回転量）を検知するエンコーダ機構６と、エンコーダ機構６の出力に基づいてシャフト３の回転方向および回転角度を判断する制御装置７とを有する。
【００２７】
ケーシング２は、例えば、金属から構成される。ケーシング２は、シャフト３とエンコーダ機構６と制御装置７とを一体に組み付ける。ケーシング２は、底壁２１と、底壁２１に取り付けられる箱形の蓋体２２とを有する。
【００２８】
シャフト３は、例えば、樹脂から構成される。シャフト３は、操作部３５と軸部３６とを有する。操作部３５と軸部３６とは、軸に沿って、上側から下側に順に配置されている。操作部３５は、ケーシング２の蓋体２２を貫通しており、使用者は、ケーシング２の外側から操作部３５を操作することができる。
【００２９】
図２は、エンコーダ機構６の下方からみた斜視図である。図３は、エンコーダ機構６の下方からみた平面図である。図１と図２と図３に示すように、エンコーダ機構６は、シャフト３を回転可能に挿通状態で保持する。
【００３０】
エンコーダ機構６は、基板６０と、基板６０に設けられた抵抗体部６１，６２，６３と、基板６０に設けられ、抵抗体部６１，６２，６３に電気的に接続されるエンコーダ端子６０１，６０２，６０３と、シャフト３と一体的に回転可能にシャフト３に取り付けられたロータ６５と、ロータ６５に取り付けられ抵抗体部６１，６２，６３と摺接する摺動子６６とを有する。
【００３１】
基板６０は、例えば、樹脂から構成される。基板６０は、ケーシング２内に配置され、ケーシング２の蓋体２２に固定されている。基板６０は、シャフト３を回転可能に保持する。
【００３２】
抵抗体部６１，６２，６３は、基板６０の下側の一面６０ａに設けられている。抵抗体部６１，６２，６３は、シャフト３の回転方向および回転角度を検知するためのものである。基板６０の一面６０ａは、絶縁体であり、抵抗体部６１，６２，６３の短絡を防止する。
【００３３】
複数の第１抵抗体部６１は、シャフト３の回転方向に間欠的に配列されている。具体的に述べると、複数の第１抵抗体部６１は、第１環状部６１１の内周面に、櫛歯状に設けられている。第１環状部６１１の外周面には、第１引出部６１２が径方向外側に延在するように設けられている。第１抵抗体部６１と第１環状部６１１と第１引出部６１２は、一体に連続的に設けられている。
【００３４】
複数の第２抵抗体部６２は、シャフト３の回転方向に間欠的に配列されている。具体的に述べると、複数の第２抵抗体部６２は、第２環状部６２１の内周面に、櫛歯状に設けられている。第２環状部６２１の外周面には、第２引出部６２２が径方向外側に延在するように設けられている。第２抵抗体部６２と第２環状部６２１と第２引出部６２２は、一体に連続的に設けられている。
【００３５】
第３抵抗体部６３は、シャフト３の回転方向に環状に形成されている。第１抵抗体部６１（第１環状部６１１）と第２抵抗体部６２（第２環状部６２１）と第３抵抗体部６３とは、径方向の外側から内側に順に同心状に配置されている。
【００３６】
エンコーダ端子６０１，６０２，６０３は、基板６０にインサート成形されている。第１エンコーダ端子６０１は、第１抵抗体部６１に電気的に接続されている。具体的に述べると、第１エンコーダ端子６０１の端部６０１ａは、第１引出部６１２に接触し、第１環状部６１１を介して第１抵抗体部６１に電気的に接続されている。
【００３７】
第２エンコーダ端子６０２は、第２抵抗体部６２に電気的に接続されている。具体的に述べると、第２エンコーダ端子６０２の端部６０２ａは、第２引出部６２２に接触し、第２環状部６２１を介して第２抵抗体部６２に電気的に接続されている。
【００３８】
第３エンコーダ端子６０３は、第３抵抗体部６３に電気的に接続されている。具体的に述べると、第３エンコーダ端子６０３の端部６０３ａは、第３抵抗体部６３に接触している。
【００３９】
ロータ６５は、シャフト３に固定されている。ロータ６５は、基板６０の下側に配置されている。ロータ６５の上面には、２つの突部６５ｂが設けられ、摺動子６６は、ロータ６５の上面の２つの突部６５ｂに固定される。摺動子６６は、例えば、金属から構成される。摺動子６６は、環状に形成される。摺動子６６は、第１接点部６６１と第２接点部６６２と第３接点部６６３とを有する。第１接点部６６１と第２接点部６６２と第３接点部６６３とは、径方向の外側から内側に順に配置されている。第１接点部６６１と第２接点部６６２と第３接点部６６３とは、導通している。
【００４０】
第１接点部６６１は、第１抵抗体部６１に対応した位置にあり、第２接点部６６２は、第２抵抗体部６２に対応した位置にあり、第３接点部６６３は、第３抵抗体部６３に対応した位置にある。そして、摺動子６６の回転により、第１接点部６６１は、第１抵抗体部６１に断続的に接触し、第２接点部６６２は、第２抵抗体部６２に断続的に接触する。第３接点部６６３は、常時、第３抵抗体部６３に接触している。つまり、摺動子６６の回転により、第１エンコーダ端子６０１と第３エンコーダ端子６０３とが、間欠的に電気的に接続され、第２エンコーダ端子６０２と第３エンコーダ端子６０３とが、間欠的に電気的に接続される。
【００４１】
図４は、エンコーダ機構６の等価回路を示す回路図である。図５は、エンコーダ機構６の出力波形を示す波形図である。図４と図５に示すように、第１エンコーダ端子６０１と第３エンコーダ端子６０３とが、電気的に接続されると、Ａ点とＣ点の間に電流が流れて、Ａ信号がオンとなる。第２エンコーダ端子６０２と第３エンコーダ端子６０３とが、電気的に接続されると、Ｂ点とＣ点の間に電流が流れて、Ｂ信号がオンとなる。
【００４２】
摺動子６６の回転方向（時計回り・反時計回り）は、Ａ信号とＢ信号の比較により、判断できる。本実施形態では、時計回りの場合、Ａ信号が０（オフ）から１（オン）に反転するとき、Ｂ信号は０で静定し、Ａ信号が１から０に反転するとき、Ｂ信号は１で静定する。一方、反時計回りの場合、Ａ信号が０から１に反転するとき、Ｂ信号は１で静定し、Ａ信号が１から０に反転するとき、Ｂ信号は０で静定する。このようにして、制御装置７により摺動子６６の回転方向が判別される。
【００４３】
摺動子６６の回転角度に関しては、Ａ信号とＢ信号の０と１の数をカウントアップし、角度に換算する。例えば、２００分解能／３６０°であれば、Ａ信号には５０本の第１抵抗体部（櫛電極）が必要となり、Ｂ信号には５０本の第２抵抗体部（櫛電極）が必要となり、第１、第２抵抗体部をそれぞれ７．２°ピッチで配置する。７．２°のうち５０％ずつをそれぞれ、抵抗体部の幅寸法と隣接する抵抗体部の隙間とした場合、幅寸法は３．６°に相当する。実際、抵抗体部の幅寸法は、３．６°からさらに摺動子の接点の周方向の寸法を考慮して小さくする必要がある。つまり、隣接する抵抗体部の隙間が摺動子の接点の寸法以下であると、隣接する抵抗体部が短絡するおそれがあるため、隣接する抵抗体部の隙間を広げるために、抵抗体部の幅寸法を小さくする必要がある。
【００４４】
また、第１抵抗体部（Ａ信号）と第２抵抗体部（Ｂ信号）の配置は０と１の位相を反転させるために、隣接する第１抵抗体部の隙間の部分に第２抵抗体部が配置されるようにパターニングする。なお、Ａ信号とＢ信号の何れか一方の波形の反転時、他方の波形は０か１で静定している必要があるので、第１、第２抵抗体部は、一部分（例えば１．８°）オーバーラップさせておく必要がある。このようにして、制御装置７により摺動子６６の回転角度が判別される。
【００４５】
図６は、第１抵抗体部６１の拡大平面図である。図６に示すように、第１抵抗体部６１は、樹脂を含まず金属からなる。金属は、例えば、アルミニウム、金、銀または銅などの金属元素の少なくとも１つからなる。
【００４６】
これによれば、摺動子６６が、第１抵抗体部６１の表面上を摺動する際、第１抵抗体部６１の磨耗を低減できる。そして、回転エンコーダ１を小型にし、第１抵抗体部６１の本数を増やすことで、シャフト３の回転方向に隣接する第１抵抗体部６１の隙間Ｐが狭くなるが、隣接する第１抵抗体部６１の摩耗粉を介した電気的接続を回避できる。したがって、小型化と高分解能化の両方を実現できる。なお、第２抵抗体部６２についても同様であり、第３抵抗体部６３については同様であってもよい。
【００４７】
これに対して、従来のように、抵抗体部（位置パターン）を印刷法で形成した場合、摺動子が摺動し続けると、抵抗体部が磨耗し隣接する抵抗体部と繋がるおそれがある。つまり、印刷で使用するインクには、樹脂成分が添加されており、金属製の摺動子の接点が摺動する際、抵抗体部の樹脂を磨耗させる。この磨耗の際、樹脂成分だけが磨耗するわけではなく、印刷インクの主成分である導電性の粒子も巻き込んで磨耗させるので、磨耗粉が摺動軌跡上に広がり、隣接する抵抗体部同士が短絡するおそれがある。したがって、小型化と高分解能化を実現できない。
【００４８】
図６に示すように、第１抵抗体部６１の幅寸法Ｗは、５０μｍ以下であり、好ましくは、５μｍ以上５０μｍ以下であり、さらに好ましくは、５μｍ以上１５μｍ以下である。第１抵抗体部６１の幅寸法Ｗは、シャフト３の回転方向の寸法である。これによれば、第１抵抗体部６１を高精細にすることができる。したがって、回転エンコーダ１を小型にしても、第１抵抗体部６１の本数を増やすことができる。なお、第２抵抗体部６２についても同様である。
【００４９】
図６に示すように、シャフト３の回転方向に隣接する第１抵抗体部６１の隙間Ｐは、５０μｍ以下であり、好ましくは、５μｍ以上５０μｍ以下であり、さらに好ましくは、５μｍ以上１５μｍ以下である。これによれば、第１抵抗体部６１を高精細にすることができる。したがって、回転エンコーダ１を小型にしても、第１抵抗体部６１の本数を増やすことができる。なお、第２抵抗体部６２についても同様である。
【００５０】
図７は、第１抵抗体部６１の幅方向に沿った断面図である。図７に示すように、幅方向断面において、第１抵抗体部６１は、基板６０の一面６０ａに対向する第１面６１ａと、第１面６１ａの反対側の第２面６１ｂとを有する。第１面６１ａと第２面６１ｂの幅寸法の差の絶対値は、２μｍ以下である。
【００５１】
具体的に述べると、第１抵抗体部６１は、幅方向断面において、四角形であり、第１面６１ａと第２面６１ｂを接続する側面６１ｃを有する。第１面６１ａと第２面６１ｂは、平行である。側面６１ｃは、実線に示すように、第１面６１ａと第２面６１ｂに直交する。このとき、第１面６１ａと第２面６１ｂの幅寸法の差の絶対値は、０μｍである。なお、側面６１ｃが、テーパ状（一点鎖線に示す）または逆テーパ状（二点鎖線）に形成されているとき、第１面６１ａと第２面６１ｂの幅寸法の差の絶対値は、最大２μｍである。
【００５２】
このように、第１面６１ａと第２面６１ｂの幅寸法の差の絶対値は、２μｍ以下であるので、第１面６１ａと第２面６１ｂの幅寸法のずれを低減できて、第１抵抗体部６１を高精細にすることができる。したがって、回転エンコーダ１を小型にし、第１抵抗体部６１の本数を増やすことで、シャフト３の回転方向に隣接する第１抵抗体部６１の隙間Ｐが狭くなるが、高精細な抵抗体部により隣接する抵抗体部の電気的接続を回避できる。したがって、小型化と高分解能化の両方を実現できる。なお、第２抵抗体部６２についても同様である。
【００５３】
これに対して、従来のように、抵抗体部（位置パターン）を印刷法で形成した場合、印刷のにじみや位置ずれにより、抵抗体部の第１面と第２面の幅寸法の差の絶対値は、２０μｍ以上となる。このため、抵抗体部を高精細にすることができず、小型化と高分解能化を実現できない。
【００５４】
前記回転エンコーダ１のエンコーダ機構６を製造する方法について説明する。図８Ａに示すように、基板６０の一面６０ａに金属膜６１０を形成する。金属膜６１０は、例えば、スパッタリング、無電解めっき、または、フィルムラミネートにより形成される。図８Ｂに示すように、金属膜６１０上にレジスト膜７００を形成する。レジスト膜７００は、例えば、スリットコーター、スピンコーター、または、ドライフィルムラミネートにより形成される。
【００５５】
図８Ｃに示すように、レジスト膜７００上に所定パターンの露光マスク８００を設置して露光を行う。図８Ｄに示すように、レジスト膜７００の現像を行い、図８Ｅに示すように、金属膜６１０のエッチングを行って、金属膜６１０をパターニングする。図８Ｆに示すように、レジスト膜７００を洗浄により剥離して、第１抵抗体部６１を形成する。
【００５６】
したがって、第１抵抗体部６１をフォトリソグラフィーにより製造するので、第１抵抗体部６１を高精細にすることができ、小型化と高分解能化の両方を実現できる回転エンコーダ１を製造できる。なお、第２抵抗体部６２についても同様であり、第３抵抗体部６３については同様であってもよい。
【００５７】
（第２実施形態）
本発明の回転エンコーダの第２実施形態について説明する。第２実施形態では、少なくとも、第１実施形態の「抗体部の第１面と第２面の幅寸法の差の絶対値は、２μｍ以下である」の構成を有する。
【００５８】
図７に示すように、第１抵抗体部６１の幅方向に沿った断面図において。第１抵抗体部６１の第１面６１ａと第２面６１ｂの幅寸法の差の絶対値は、２μｍ以下である。これによれば、第１面６１ａと第２面６１ｂの幅寸法のずれを低減できて、第１抵抗体部６１を高精細にすることができる。したがって、回転エンコーダ１を小型にし、第１抵抗体部６１の本数を増やすことで、シャフト３の回転方向に隣接する第１抵抗体部６１の隙間Ｐが狭くなるが、高精細な抵抗体部により隣接する抵抗体部の電気的接続を回避できる。したがって、小型化と高分解能を実現できる。なお、第２抵抗体部６２についても同様である。
【００５９】
好ましくは、第１抵抗体部６１をフォトリソグラフィーにより製造することで、第１抵抗体部６１を高精細にすることができる。なお、第２抵抗体部６２についても同様である。
【００６０】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で設計変更可能である。例えば、第１と第２実施形態のそれぞれの特徴点を様々に組み合わせてもよい。
【００６１】
前記実施形態では、抵抗体部を直接に基板の一面に設けているが、抵抗体部を下地層を介して基板の一面に設けてもよい。前記実施形態では、エンコーダ端子を基板にインサート成形しているが、エンコーダ端子を基板にプリント成形してもよい。
【００６２】
前記実施形態では、摺動子と抵抗体部を直接に摺動しているが、摺動子または抵抗体部の何れかの表面にめっき等の表面処理を施すようにしてもよく、耐磨耗性を向上できる。また、摺動子と抵抗体部の間に潤滑剤を設けるようにしてもよく、耐磨耗性を向上できる。
【符号の説明】
【００６３】
１  回転エンコーダ
２  ケーシング
３  シャフト
６  エンコーダ機構
６０  基板
６０ａ  一面
６１，６２，６３  抵抗体部
６１ａ  第１面
６１ｂ  第２面
６０１，６０２，６０３  エンコーダ端子
６５  ロータ
６６  摺動子
７  制御装置
Ｐ  隙間
Ｗ  幅寸法
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図８Ｅ】
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【図８Ｆ】
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