(57)【要約】 【課題】検査対象物の撮像回数を削減することで、検査精度を向上させつつ検査対象物の検査時間を短縮させることができる外観検査装置および外観検査方法を提供する。【解決手段】互いに異なる照射条件で検査対象物に光を選択的に照射する複数の照明部と、複数の照明部からの選択的な照射光で照明された検査対象物を撮像することで、複数の照明部のそれぞれの照射光に対応する複数の撮像画像を取得し、取得された複数の撮像画像のそれぞれを複数の色成分に分光処理することで、撮像画像毎の複数の分光画像を生成する撮像部と、生成された撮像画像毎の複数の分光画像を、検査目的に応じた分配率で合成した合成画像を生成する画像合成部と、生成された合成画像に基づいて検査対象物の外観を判定する判定部と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる照射条件で検査対象物に光を選択的に照射する複数の照明部と、
前記複数の照明部からの選択的な照射光で照明された前記検査対象物を撮像することで、前記複数の照明部のそれぞれの照射光に対応する複数の撮像画像を取得し、取得された前記複数の撮像画像のそれぞれを複数の色成分に分光処理することで、前記撮像画像毎の複数の分光画像を生成する撮像部と、
前記生成された前記撮像画像毎の複数の分光画像を、検査目的に応じた分配率で合成した合成画像を生成する画像合成部と、
前記生成された合成画像に基づいて前記検査対象物の外観を判定する判定部と、を備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記複数の照明部は、前記互いに異なる照射条件としての互いに異なる照射角度で、前記検査対象物に光を照射することを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記複数の照明部は、前記検査対象物に白色光を照射することを特徴とする請求項２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記撮像部は、前記複数の撮像画像として前記照明部毎の照射光のそれぞれに対応する複数のフルカラー画像を取得することを特徴とする請求項３に記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記撮像部は、前記複数のフルカラー画像のそれぞれを、前記複数の色成分としてのＲＧＢの三成分に分光処理することを特徴とする請求項４に記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記撮像部は、前記複数のフルカラー画像のそれぞれを、前記複数の色成分としてのＸＹＺの三成分に分光処理することを特徴とする請求項４に記載の外観検査装置。
【請求項７】
第１の記憶部と、
第２の記憶部と、を更に備え、
前記撮像部は、前記生成された前記撮像画像毎の複数の分光画像を前記第１の記憶部に記憶させ、
前記画像合成部は、前記第１の記憶部に記憶された前記撮像画像毎の複数の分光画像に基づいて前記合成画像を生成し、生成された前記合成画像を前記第２の記憶部に記憶させ、
前記判定部は、前記第２の記憶部に記憶された前記合成画像に基づいて前記検査対象物の外観を判定することを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項８】
互いに異なる照射条件で検査対象物に複数の光を選択的に照射し、
前記複数の選択的な照射光で照明された前記検査対象物を撮像することで、前記複数の照射光のそれぞれに対応する複数の撮像画像を取得し、
前記取得された複数の撮像画像のそれぞれを複数の色成分に分光処理することで、前記撮像画像毎の複数の分光画像を生成し、
前記生成された前記撮像画像毎の複数の分光画像を、検査目的に応じた分配率で合成した合成画像を生成し、
前記生成された合成画像に基づいて前記検査対象物の外観を判定することを特徴とする外観検査方法。
【請求項９】
前記検査対象物は、電子部品であることを特徴とする請求項８に記載の外観検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置および外観検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品などの検査対象物（以下、ワークとも呼ぶ）の撮像画像に基づいて、ワークの外観を検査する外観検査装置が採用されていた。また、従来から、外観検査装置においては、外乱の影響を抑制して検査精度を高めるため、ワークへの照明光の照射方向（すなわち照射角度）が異なる２つの照明装置を利用し、検査項目に合わせて２つの照明装置の照明光の光量の配分（％）を切替えることで、検査項目に適合したワークの画像を撮像していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４３９９４９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来は、検査項目に応じて照明光の光量の配分を切り替える度に、切り替えられた光量の配分でワークを撮像しなければならなかった。したがって、従来は、検査対象物の撮像回数が多いことで、検査精度を向上させつつ検査対象物の検査時間を短縮させることが困難であるといった問題が生じていた。
【０００５】
そこで、本発明は、検査対象物の撮像回数を削減することで、検査精度を向上させつつ検査対象物の検査時間を短縮させることができる外観検査装置および外観検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る外観検査装置は、
互いに異なる照射条件で検査対象物に光を選択的に照射する複数の照明部と、
前記複数の照明部からの選択的な照射光で照明された前記検査対象物を撮像することで、前記複数の照明部のそれぞれの照射光に対応する複数の撮像画像を取得し、取得された前記複数の撮像画像のそれぞれを複数の色成分に分光処理することで、前記撮像画像毎の複数の分光画像を生成する撮像部と、
前記生成された前記撮像画像毎の複数の分光画像を、検査目的に応じた分配率で合成した合成画像を生成する画像合成部と、
前記生成された合成画像に基づいて前記検査対象物の外観を判定する判定部と、を備える。
【０００７】
前記外観検査装置において、
前記複数の照明部は、前記互いに異なる照射条件としての互いに異なる照射角度で、前記検査対象物に光を照射してもよい。
【０００８】
前記外観検査装置において、
前記複数の照明部は、前記検査対象物に白色光を照射してもよい。
【０００９】
前記外観検査装置において、
前記撮像部は、前記複数の撮像画像として前記照明部毎の照射光のそれぞれに対応する複数のフルカラー画像を取得してもよい。
【００１０】
前記外観検査装置において、
前記撮像部は、前記複数のフルカラー画像のそれぞれを、前記複数の色成分としてのＲＧＢの三成分に分光してもよい。
【００１１】
前記外観検査装置において、
前記撮像部は、前記複数のフルカラー画像のそれぞれを、前記複数の色成分としてのＸＹＺの三成分に分光してもよい。
【００１２】
前記外観検査装置において、
第１の記憶部と、
第２の記憶部と、を更に備え、
前記撮像部は、前記生成された前記撮像画像毎の複数の分光画像を前記第１の記憶部に記憶させ、
前記画像合成部は、前記第１の記憶部に記憶された前記撮像画像毎の複数の分光画像に基づいて前記合成画像を生成し、生成された前記合成画像を前記第２の記憶部に記憶させ、
前記判定部は、前記第２の記憶部に記憶された前記合成画像に基づいて前記検査対象物の外観を判定してもよい。
【００１３】
本発明の一態様に係る外観検査方法は、
互いに異なる照射条件で検査対象物に複数の光を選択的に照射し、
前記複数の選択的な照射光で照明された前記検査対象物を撮像することで、前記複数の照射光のそれぞれに対応する複数の撮像画像を取得し、
前記取得された複数の撮像画像のそれぞれを複数の色成分に分光処理することで、前記撮像画像毎の複数の分光画像を生成し、
前記生成された前記撮像画像毎の複数の分光画像を、検査目的に応じた分配率で合成した合成画像を生成し、
前記生成された合成画像に基づいて前記検査対象物の外観を判定する。
【００１４】
前記外観検査方法において、
前記検査対象物は、電子部品であってもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の一態様に係る外観検査装置は、互いに異なる照射条件で検査対象物に光を選択的に照射する複数の照明部と、複数の照明部からの選択的な照射光で照明された検査対象物を撮像することで、複数の照明部のそれぞれの照射光に対応する複数の撮像画像を取得し、取得された複数の撮像画像のそれぞれを複数の色成分に分光処理することで、撮像画像毎の複数の分光画像を生成する撮像部と、生成された撮像画像毎の複数の分光画像を、検査目的に応じた分配率で合成した合成画像を生成する画像合成部と、生成された合成画像に基づいて検査対象物の外観を判定する判定部と、を備える。
このように、撮像画像の分光画像を検査目的に応じた分配率で合成した合成画像を用いて外観検査を行うことで、複数の照明部の照射期間毎に１回ずつの検査対象物の撮像を行うだけで高精度の外観検査を行うことができる。
したがって、本発明によれば、検査対象物の撮像回数を削減することで、検査精度を向上させつつ検査対象物の検査時間を短縮させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態に係る外観検査装置の一例を示す図である。
【図２】本実施形態に係る外観検査方法の一例を示す図である。
【図３】本実施形態の第１の変形例に係る外観検査装置を示す図である。
【図４】本実施形態の第２の変形例に係る外観検査装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。実施形態は、本発明を限定するものではない。
【００１８】
図１は、本実施形態に係る外観検査装置１の一例を示す図である。図１に示される本実施形態に係る外観検査装置１は、検査対象物の外観を検査する装置である。検査対象物は、例えば、半導体ワークなどの電子部品である。
【００１９】
図１に示すように、外観検査装置１は、複数の照明部の一例である第１照明部１１および第２照明部１２と、撮像部１４と、画像処理部１５とを備える。画像処理部１５は、第１記憶部１５１と、画像合成部１５２と、第２記憶部１５３と、第１〜第ｎまでの複数の判定部１５４−１〜１５４−ｎとを有する。
【００２０】
画像処理部１５は、例えば演算処理装置や記憶装置で構成されるハードウェアである。画像処理部１５は、１つの機器に搭載されていてもよく、または、一部の構成部が、他の構成部との間で外部ネットワークを通じて通信可能な装置（例えばクラウド上のサーバやデータベース）上にあってもよい。また、画像処理部１５の一部をソフトウェアで構成してもよい。
【００２１】
第１照明部１１および第２照明部１２は、互いに異なる照射条件の一例である互いに異なる照射角度θ１、θ２で、検査対象物２に光Ｌを選択的に照射する。ここで、照射角度θ１、θ２は、検査対象物２の表面に沿った面方向ｄに対して図１に一点鎖線で示される照射部１１、１２の光軸がなす角度である。図１の例において、第１照明部１１の照射角度θ１は、第２照明部１２の照射角度θ２よりも大きい。照射角度以外の照射条件は、第１照明部１１と第２照明部１２との間において互いに同一であってもよいし、または互いに異なってもよい。第１照明部１１および第２照明部１２は、例えば、ＬＥＤ照明装置であってもよい。なお、図１の例において、検査対象物２は、例えば、キャリアテープのような搬送容器に収容された状態で搬送経路上を搬送されていてもよく、または、ステージ上に載置されていてもよい。
【００２２】
また、第１照明部１１および第２照明部１２は、検査対象物２に白色光を照射してもよい。
【００２３】
撮像部１４は、第１照明部１１および第２照明部１２からの選択的な照射光で照明された検査対象物２を撮像することで、複数の撮像画像の一例として、第１照明部１１の照射光に対応する第１撮像画像ｉ１と、第２照明部１２の照射光に対応する第２撮像画像ｉ２とを取得する。撮像部１４は、第１撮像画像ｉ１および第２撮像画像ｉ２としてフルカラー画像を取得する。フルカラー画像を構成する各画素は、ＲＧＢ成分ごとの階調値（濃度値）を有する。撮像部１４は、例えば、固体撮像素子を有するカメラであってもよい。
【００２４】
撮像部１４は、取得された第１撮像画像ｉ１を複数の色成分としてのＲＧＢの三成分に分光処理すなわち分離することで、第１撮像画像ｉ１の３つの分光画像として、第１Ｒ成分画像ｉ１Ｒ、第１Ｇ成分画像ｉ１Ｇおよび第１Ｂ成分画像ｉ１Ｂを生成する。
【００２５】
また、撮像部１４は、取得された第２撮像画像ｉ２をＲＧＢの三成分に分光処理することで、第２撮像画像ｉ２の３つの分光画像として、第２Ｒ成分画像ｉ２Ｒ、第２Ｇ成分画像ｉ２Ｇおよび第２Ｂ成分画像ｉ２Ｂを生成する。
【００２６】
撮像部１４は、生成された第１Ｒ成分画像ｉ１Ｒ、第１Ｇ成分画像ｉ１Ｇおよび第１Ｂ成分画像ｉ１Ｂを、第１記憶部１５１に記憶させる。なお、撮像部４は、第１撮像画像ｉ１を第１記憶部１５１すなわちメモリに展開する処理によって分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂを生成してもよい。この場合、分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂの生成と第１記憶部１５１への記録とを同時に行うことができる。
【００２７】
また、撮像部１４は、生成された第２Ｒ成分画像ｉ２Ｒ、第２Ｇ成分画像ｉ２Ｇおよび第２Ｂ成分画像ｉ２Ｂを、第１記憶部１５１に記憶させる。なお、撮像部４は、第２撮像画像ｉ２を第１記憶部１５１に展開する処理によって分光画像ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂを生成してもよい。この場合、分光画像ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂの生成と第１記憶部１５１への記録とを同時に行うことができる。
【００２８】
画像合成部１５２は、撮像部１４で生成された撮像画像ｉ１、ｉ２毎の分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂを、検査目的に応じた分配率で合成した合成画像を生成する。分配率は、例えば、合成画像の画素の階調値の生成に用いられる各分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂの画素の階調値の割合すなわち重みである。検査項目は、例えば、検査対象物２の表面の捺印文字の検査や検査対象物２の欠け欠陥の検査などであってもよい。
【００２９】
図１の例において、画像合成部１５２は、第１記憶部１５１に記憶された分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂに基づいて、第１〜第ｎまでの複数の合成画像Ｉ１〜Ｉｎを生成する。
【００３０】
画像合成部１５２は、例えば、分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂのそれぞれの対応する画素の階調値に、分配率に応じた重み係数を積算し、積算後の階調値を対応する画素同士で合成（加算）することで合成画像Ｉ１〜Ｉｎを生成してもよい。合成画像Ｉ１〜Ｉｎの中には、ある分光画像を全く用いずに（すなわち、分配率がゼロで）生成された合成画像が含まれていてもよい。また、分配率は、分光画像の階調値より大きい（すなわち、１００％より大きい）場合があってもよい。
【００３１】
画像合成部１５２は、生成された合成画像Ｉ１〜Ｉｎを第２記憶部１５３に記憶させる。
【００３２】
判定部１５４−１〜１５４−ｎは、画像合成部１５２で生成された合成画像Ｉ１〜Ｉｎに基づいて、検査項目に応じた判定基準にしたがって検査対象物２の外観を判定する。より詳しくは、判定部１５４−１〜１５４−ｎは、第２記憶部１５３に記憶された合成画像Ｉ１〜Ｉｎに基づいて検査対象物２の外観を判定する。
【００３３】
以下、図１の外観検査装置１を適用した外観検査方法の一例について説明する。図２は、本実施形態に係る外観検査方法の一例を示す図である。
【００３４】
図２の例では、検査対象物２として、半導体素子を樹脂で封止した封止部２１と、封止部２１から露出し、半導体素子に電気的に接続された端子部２２とを有する半導体ワーク２の外観を検査する。
【００３５】
先ず、第１照明部１１によって照射角度θ１で半導体ワーク２に光を照射し、第１照明部１１の照射光によって照明された半導体ワーク２を撮像部１４で撮像することによって、第１撮像画像ｉ１を取得する（ステップＳ１）。
【００３６】
撮像部１４は、取得された第１撮像画像ｉ１をＲＧＢ成分に分光処理することで、第１Ｒ成分画像ｉ１Ｒ、第１Ｇ成分画像ｉ１Ｇおよび第１Ｂ成分画像ｉ１Ｂを生成する（ステップＳ２）。そして、撮像部１４は、生成された第１Ｒ成分画像ｉ１Ｒ、第１Ｇ成分画像ｉ１Ｇおよび第１Ｂ成分画像ｉ１Ｂを第１記憶部１５１に記憶させる。
【００３７】
第１Ｒ成分画像ｉ１Ｒ、第１Ｇ成分画像ｉ１Ｇおよび第１Ｂ成分画像ｉ１Ｂを第１記憶部１５１に記憶させた後、第２照明部１２によって照射角度θ２で半導体ワーク２に光を照射する。そして、第２照明部１２の照射光によって照明された半導体ワーク２を撮像部１４で撮像することによって、第２撮像画像ｉ２を取得する（ステップＳ３）。
【００３８】
撮像部１４は、取得された第２撮像画像ｉ２をＲＧＢ成分に分光処理することで、第２Ｒ成分画像ｉ２Ｒ、第２Ｇ成分画像ｉ２Ｇおよび第２Ｂ成分画像ｉ２Ｂを生成する（ステップＳ４）。そして、撮像部１４は、生成された第２Ｒ成分画像ｉ２Ｒ、第２Ｇ成分画像ｉ２Ｇおよび第２Ｂ成分画像ｉ２Ｂを第１記憶部１５１に記憶させる。
【００３９】
第２Ｒ成分画像ｉ２Ｒ、第２Ｇ成分画像ｉ２Ｇおよび第２Ｂ成分画像ｉ２Ｂを第１記憶部１５１に記憶させた後、画像合成部１５２は、第１記憶部１５１に記憶された分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂを検査目的に応じた分配率で合成することで、複数の合成画像Ｉ１〜Ｉｎを生成する（ステップＳ５）。画像合成部１５２は、生成された合成画像Ｉ１〜Ｉｎを第２記憶部１５３に記憶させる。
【００４０】
第２記憶部１５３に合成画像Ｉ１〜Ｉｎを記憶させた後、判定部１５４−１〜１５４−ｎは、第２記憶部１５３に記憶された合成画像Ｉ１〜Ｉｎに基づいて半導体ワーク２の外観を判定する（ステップＳ６）。外観判定の具体的な態様は特に限定されない。例えば、判定部１５４−１〜１５４−ｎは、合成画像Ｉ１〜Ｉｎのそれぞれの階調値が検査項目ごとの閾値を超える場合には、半導体ワーク２の外観が異常であると判定し、閾値を超えない場合には、半導体ワーク２の外観が正常であると判定してもよい。
【００４１】
以下、本実施形態によってもたらされる作用について説明する。
【００４２】
既述したように、本実施形態に係る外観検査装置１は、互いに異なる照射条件で検査対象物２に光を選択的に照射する複数の照明部１１、１２を備える。また、外観検査装置１は、複数の照明部１１、１２からの選択的な照射光で照明された検査対象物２を撮像することで、複数の照明部１１、１２のそれぞれの照射光に対応する複数の撮像画像ｉ１、ｉ２を取得し、取得された複数の撮像画像ｉ１、ｉ２のそれぞれを複数の色成分に分光処理することで、撮像画像ｉ１、ｉ２毎の複数の分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂを生成する撮像部１４を備える。また、外観検査装置１は、生成された撮像画像ｉ１、ｉ２毎の複数の分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂを、検査目的に応じた分配率で合成した合成画像Ｉ１〜Ｉｎを生成する画像合成部１５２を備える。また、外観検査装置１は、生成された合成画像Ｉ１〜Ｉｎに基づいて検査対象物２の外観を判定する判定部６を備える。
【００４３】
このような構成によれば、撮像画像の分光画像を検査目的に応じた分配率で合成した合成画像を用いて外観検査を行うことで、複数の照明部の照射期間毎に１回ずつの検査対象物の撮像を行うだけで高精度の外観検査を行うことができる。
【００４４】
したがって、本実施形態によれば、検査対象物の撮像回数を削減することで、検査精度を向上させつつ検査対象物の検査時間を短縮させることが可能となる。
【００４５】
また、既述したように、複数の照明部１１、１２は、互いに異なる照射条件としての互いに異なる照射角度で、検査対象物２に光を照射する。
【００４６】
このような構成によれば、欠陥が検出され易い照射角度が異なる複数種類の欠陥を、それぞれに適合した照射角度の下で高精度に検出することも可能となる。
【００４７】
また、既述したように、複数の照明部１１、１２は、検査対象物２に白色光を照射し、撮像部１４は、複数の撮像画像ｉ１、ｉ２として照明部１１、１２毎の照射光のそれぞれに対応する複数のフルカラー画像を取得し、複数のフルカラー画像のそれぞれを、複数の色成分としてのＲＧＢの三成分に分光処理する。
【００４８】
このような構成によれば、複数の撮像画像毎に３つの分光画像を得ることができるので、合成画像の種類を更に増やすことができる。これにより、更に多種多様の検査項目に対応することが可能となる。
【００４９】
また、既述したように、外観検査装置１は、第１記憶部１５１と、第２記憶部１５３とを更に備える。撮像部１４は、生成された撮像画像ｉ１、ｉ２毎の複数の分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂを第１記憶部１５１に記憶させる。画像合成部１５２は、第１記憶部１５１に記憶された撮像画像ｉ１、ｉ２毎の複数の分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂに基づいて合成画像Ｉ１〜Ｉｎを生成し、生成された合成画像Ｉ１〜Ｉｎを第２記憶部１５３に記憶させる。判定部１５４−１〜１５４−ｎは、第２記憶部１５３に記憶された合成画像Ｉ１〜Ｉｎに基づいて検査対象物２の外観を判定する。
【００５０】
このような構成によれば、簡易な構成によって検査対象物２の外観検査を適切に行うことが可能となる。
【００５１】
上述した構成以外にも、本実施形態には、以下に示される種々の変形例を適用することができる。
【００５２】
（第１の変形例）
図３は、本実施形態の第１の変形例に係る外観検査装置１を示す図である。
【００５３】
図１では、複数の照明部として第１照明部１１および第２照明部１２を備えた外観検査装置１の例について説明した。これに対して、図３の例において、外観検査装置１は、第１照明部１１および第２照明部１２に加えて、更に第３照明部１３を備える。図３の例において、第３照明部１３は、検査対象物２の裏面側（下側）から検査対象物２に光を照射するように配置されている。すなわち、第３照明部１３は、第１照明部１１および第２照明部１２に対して照射角度θ３が異なる。
【００５４】
撮像部１４は、第１照明部１１、第２照明部１２および第３照明部１３からの選択的な照射光で照明された検査対象物２を撮像することで、既述した第１撮像画像ｉ１および第２撮像画像ｉ２と、第３照明部１３の照射光に対応する第３撮像画像ｉ３とを取得する。
【００５５】
撮像部１４は、既述した撮像画像ｉ１、ｉ２毎の分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂを生成し、更に、第３撮像画像ｉ３をＲＧＢの三成分に分光処理することで、第３Ｒ成分画像ｉ３Ｒ、第３Ｇ成分画像ｉ３Ｇおよび第３Ｂ成分画像ｉ３Ｂを生成する。
【００５６】
撮像部１４は、生成された撮像画像ｉ１、ｉ２、ｉ３毎の分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂ、ｉ３Ｒ、ｉ３Ｇ、ｉ３Ｂを、第１記憶部１５１に記憶させる。
【００５７】
画像合成部１５２は、第１記憶部１５１に記憶された撮像画像ｉ１、ｉ２、ｉ３毎の分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂ、ｉ３Ｒ、ｉ３Ｇ、ｉ３Ｂを、検査目的に応じた分配率で合成した合成画像Ｉ１〜Ｉｎを生成する。画像合成部１５２は、生成された合成画像Ｉ１〜Ｉｎを第２記憶部１５３に記憶させる。判定部１５４−１〜１５４−ｎは、画像合成部１５２で生成された合成画像Ｉ１〜Ｉｎに基づいて検査対象物２の外観を判定する。
【００５８】
第１の変形例によれば、撮像画像を追加することで、さらに多種多様の検査項目に応じた外観検査を行うことが可能となる。
【００５９】
（第２の変形例）
図４は、本実施形態の第２の変形例に係る外観検査装置１を示す図である。図１では、撮像画像ｉ１、ｉ２をＲＧＢの三成分に分光処理することで撮像画像ｉ１、ｉ２毎の分光画像ｉ１Ｒ、ｉ１Ｇ、ｉ１Ｂ、ｉ２Ｒ、ｉ２Ｇ、ｉ２Ｂを生成する外観検査装置１の例について説明した。これに対して、図４の例において、撮像部１４は、取得された第１撮像画像ｉ１を複数の色成分としてのＸＹＺの三成分に分光処理することで、第１撮像画像ｉ１の３つの分光画像として、第１Ｘ成分画像ｉ１Ｘ、第１Ｙ成分画像ｉ１Ｙおよび第１Ｚ成分画像ｉ１Ｚを生成する。また、撮像部１４は、取得された第２撮像画像ｉ２をＸＹＺの三成分に分光処理することで、第２撮像画像ｉ２の３つの分光画像として、第２Ｘ成分画像ｉ２Ｘ、第２Ｙ成分画像ｉ２Ｙおよび第２Ｚ成分画像ｉ２Ｚを生成する。
【００６０】
撮像部１４は、生成された分光画像ｉ１Ｘ、ｉ１Ｙ、ｉ１Ｚ、ｉ２Ｘ、ｉ２Ｙ、ｉ２Ｚを第１記憶部１５１に記憶させる。
【００６１】
画像合成部１５２は、第１記憶部１５１に記憶された分光画像ｉ１Ｘ、ｉ１Ｙ、ｉ１Ｚ、ｉ２Ｘ、ｉ２Ｙ、ｉ２Ｚに基づいて複数の合成画像Ｉ１〜Ｉｎを生成する。
【００６２】
第２の変形例においても、図１の構成と同様に撮像画像を三成分に分光処理することで、多種多様の検査項目に応じた外観検査を行うことができる。
【００６３】
なお、撮像部４は、ＲＧＢ表色系およびＸＹＺ表色系以外の表色系で表される複数の色成分への分光処理を行うことで分光画像を生成してもよい。
【００６４】
上述した実施形態は、あくまで一例であって、発明の範囲を限定するものではない。発明の要旨を逸脱しない限度において、上述した実施形態に対して種々の変更を行うことができる。変更された実施形態は、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６５】
１  外観検査装置
１１  第１照明部
１２  第２照明部
１４  撮像部
１５２  画像合成部
１５４−１、１５４−ｎ  判定部
【図１】
2019124640.tif 000003
【図２】
2019124640.tif 000004
【図３】
2019124640.tif 000005
【図４】
2019124640.tif 000006