(57)【要約】【課題】梁部の揺動体に設けられる電力消費部材に対して電力を供給する場合でも、簡素な構造で、容易に製造することが可能な振動素子を提供する。【解決手段】この振動素子１００は、第１梁部１２と、第１梁部１２の一端１２ａを支持する第１支持部１１とを含む導電性の第１フレーム１と、第２梁部２２と、第２梁部２２の一端２２ａを支持する第２支持部２１とを含み、第１フレーム１から離間して配置される導電性の第２フレーム２と、第１梁部１２の他端１２ｂおよび第２梁部２２の他端２２ｂの間に配置され、第１梁部１２および第２梁部２２を絶縁状態で接続する揺動体３と、揺動体３に取り付けられ、第１フレーム１および第２フレーム２を介して電力が供給されるＬＥＤ光源７と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１梁部と、前記第１梁部の一端を支持する第１支持部とを含む導電性の第１フレームと、
第２梁部と、前記第２梁部の一端を支持する第２支持部とを含み、前記第１フレームから離間して配置される導電性の第２フレームと、
前記第１梁部の他端および前記第２梁部の他端の間に配置され、前記第１梁部および前記第２梁部を絶縁状態で接続する揺動体と、
前記揺動体に取り付けられ、前記第１フレームおよび前記第２フレームを介して電力が供給される電力消費部材と、を備える、振動素子。
【請求項２】
前記第１支持部と前記第２支持部とに跨るように配置され、前記第１フレームおよび前記第２フレームを介して前記揺動体を振動駆動させる駆動部をさらに備える、請求項１に記載の振動素子。
【請求項３】
前記第１フレームと前記第２フレームとの間には、前記第１支持部および前記第２支持部が設けられる面内において、前記第１梁部および前記第２梁部が延びる第１方向に略直交する第２方向に延びる隙間が設けられ、
前記第１フレームおよび前記第２フレームは、前記第２方向に延びる前記隙間の中心線に対して、互いに略線対称となるように配置されている、請求項２に記載の振動素子。
【請求項４】
前記駆動部と前記第１フレームおよび前記第２フレームとの間に配置され、前記駆動部と前記第１フレームとの間を少なくとも絶縁する絶縁膜をさらに備える、請求項２または３に記載の振動素子。
【請求項５】
前記駆動部は、圧電体と、前記圧電体の上面に設けられる上部電極と、前記圧電体の下面に設けられる下部電極とを含み、
前記上部電極に接続され、前記上部電極に電力を供給する第１配線と、
前記第１フレームに接続され、前記第１フレームに電力を供給する第２配線と、
前記第２フレームに接続され、前記第２フレームを所定の電位に固定する第３配線と、
前記第２フレームと前記下部電極とを電気的に接続する導電部と、をさらに備える、請求項４に記載の振動素子。
【請求項６】
前記絶縁膜の前記下部電極と前記第２フレームとに挟まれる位置には、前記導電部を内側に配置する開口部が設けられている、請求項５に記載の振動素子。
【請求項７】
前記駆動部は、圧電体と、前記圧電体の上面に設けられる上部電極と、前記圧電体の下面に設けられる下部電極とを含み、
前記絶縁膜は、前記駆動部と、前記第１フレームおよび前記第２フレームの両方とを絶縁するように構成され、
前記上部電極に接続され、前記上部電極に電力を供給する第１配線と、
前記第１フレームに接続され、前記第１フレームに所定の第１電位の電力を供給する第４配線と、
前記第２フレームに接続され、前記第２フレームに前記第１電位とは異なる所定の第２電位の電力を供給する第５配線と、
前記下部電極に接続され、前記下部電極に電力を供給する第６配線と、をさらに備える、請求項４に記載の振動素子。
【請求項８】
前記第１フレームに接続され、前記第１フレームに電力を供給する第２配線と、
前記第２フレームに接続され、前記第２フレームを所定の電位に固定する第３配線と、をさらに備え、
前記駆動部は、圧電体と、前記第２フレームと電気的に接続された状態で、前記圧電体の上面および下面に跨るように設けられる第１電極と、前記第１フレームと電気的に接続された状態で、前記圧電体の下面に設けられる第２電極とを含む、請求項２または３に記載の振動素子。
【請求項９】
前記第１フレームと前記第２フレームとに電位差を設けることにより前記電力消費部材に電力を供給するように構成されている、請求項１〜８のいずれか１項に記載の振動素子。
【請求項１０】
前記電力消費部材は、ＬＥＤ光源、レーザ光源、加速度センサ、ヒータ、温度センサおよびコイルの少なくとも１つを含む、請求項１〜９のいずれか１項に記載の振動素子。
【請求項１１】
前記第１支持部および前記第２支持部は、それぞれ、前記第１支持部および前記第２支持部が設けられる面内において、前記第１梁部および前記第２梁部が延びる第１方向に略直交する第２方向に延びるとともに、互いに対向配置される縁部を有する第１部分と、前記第１梁部および前記第２梁部を支持し、前記第１部分から前記第２方向に突出するとともに、前記第１部分よりも前記第１方向の幅が小さい細長形状の第２部分とを有する、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の振動素子。
【請求項１２】
前記第１フレームと前記第２フレームとを離間させた状態で保持する絶縁性の保持部材と、前記第１フレームおよび前記第２フレームを介して前記揺動体を振動駆動させる駆動部とをさらに備え、
前記駆動部は、前記第１支持部および前記第２支持部の一方面側に設けられ、
前記保持部材は、前記第１支持部および前記第２支持部の前記駆動部側とは逆側の面に配置され、前記第１梁部および前記第２梁部と同じ方向に延びる縁部に沿って延びるように設けられている、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の振動素子。
【請求項１３】
前記第１フレームと前記第２フレームとを離間させた状態で保持する絶縁性の保持部材と、前記第１フレームおよび前記第２フレームを介して前記揺動体を振動駆動させる駆動部とをさらに備え、
前記第１フレームと前記第２フレームとの間には、前記第１支持部および前記第２支持部が設けられる面内において、前記第１梁部および前記第２梁部が延びる第１方向に直交する第２方向に延びる一定幅の隙間が設けられ、
前記駆動部、前記保持部材および前記揺動体は、前記第２方向に延びる前記隙間の中心線に対して略線対称となるように配置されている、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の振動素子。
【請求項１４】
前記第１フレームと前記第２フレームとに接触させることにより、前記隙間を確保する絶縁性のスペーサをさらに備える、請求項１３に記載の振動素子。
【請求項１５】
前記第１梁部および前記第２梁部は、それぞれ、前記第１支持部および前記第２支持部が設けられる面内において、前記第１梁部および前記第２梁部が延びる第１方向に交差する方向に延びるとともに、前記揺動体が取り付けられる揺動体支持部を前記第１梁部の他端および前記第２梁部の他端に有している、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の振動素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、振動素子に関し、特に、梁部により支持される揺動体を備える振動素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、梁部により支持されるミラー部を備える振動素子が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、フレームと、ミラー部（揺動体）と、ピエゾ抵抗素子（電力消費部材）と、を備える振動素子が開示されている。フレームは、ミラー部が取り付けられる梁部と、梁部を支持する支持部とを含んでいる。ピエゾ抵抗素子は、梁部上のミラー部近傍に配置されている。梁部には、ピエゾ抵抗素子に支持部側から電力を供給するための配線が設けられている。ピエゾ抵抗素子は、電力が供給されると、梁部を捻じるように、ミラー部を振動駆動させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−９０６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１の振動素子では、ピエゾ抵抗素子（電力消費部材）に電力を供給するための配線が梁部に設けられていることから、梁部の捻じれに伴って配線にも捻じれ変形が生じる。そのため、梁部の捻じれに伴う配線の断線やショートなどの導通不良を防止するために、たとえば、配線を太くしたり、梁部を太くして絶縁材を広い範囲に設けたり、梁部上で配線を他の導電部材から離間させたりする必要がある。このため、梁部上の配線構造が複雑化して、製造の難易度が高まるという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、梁部の揺動体に設けられる電力消費部材に対して電力を供給する場合でも、簡素な構造で、容易に製造することが可能な振動素子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の一の局面による振動素子は、第１梁部と、第１梁部の一端を支持する第１支持部とを含む導電性の第１フレームと、第２梁部と、第２梁部の一端を支持する第２支持部とを含み、第１フレームから離間して配置される導電性の第２フレームと、第１梁部の他端および第２梁部の他端の間に配置され、第１梁部および第２梁部を絶縁状態で接続する揺動体と、揺動体に取り付けられ、第１フレームおよび第２フレームを介して電力が供給される電力消費部材と、を備える。
【０００８】
この発明の一の局面による振動素子では、上記のように、第１梁部および第２梁部を絶縁状態で接続する揺動体に取り付けられ、導電性の第１フレームおよび導電性の第２フレームを介して電力が供給される電力消費部材と、を設ける。これにより、第１フレームの第１梁部自体および第２フレームの第２梁部自体を介して電力消費部材に電力を供給することができるので、第１梁部および第２梁部の揺動体に設けられる電力消費部材に対して電力を供給する場合に、第１梁部および第２梁部に配線を設ける必要性がなくなる。このため、揺動体に設けられる電力消費部材に対して電力を供給する場合でも、簡素な構造で、容易に製造することができる。
【０００９】
上記一の局面による振動素子において、好ましくは、第１支持部と第２支持部とに跨るように配置され、第１フレームおよび第２フレームを介して揺動体を振動駆動させる駆動部をさらに備える。このように構成すれば、駆動部が第１支持部および第２支持部の一方側のみに配置される場合と比較して、第１支持部と第２支持部とに対して、駆動部からの駆動力をバランスよく伝達することができる。その結果、第１フレームおよび第２フレームを介して、揺動体を安定して振動駆動させることができる。
【００１０】
この場合、好ましくは、第１フレームと第２フレームとの間には、第１支持部および第２支持部が設けられる面内において、第１梁部および第２梁部が延びる第１方向に略直交する第２方向に延びる隙間が設けられ、第１フレームおよび第２フレームは、第２方向に延びる隙間の中心線に対して、互いに略線対称となるように配置されている。このように構成すれば、第１支持部と第２支持部とに対して、駆動部からの駆動力をよりバランスよく伝達することができる。その結果、第１フレームおよび第２フレームを介して、揺動体をより安定して振動駆動させることができる。
【００１１】
上記駆動部が第１支持部と第２支持部とに跨る構成において、好ましくは、駆動部と第１フレームおよび第２フレームとの間に配置され、駆動部と第１フレームとの間を少なくとも絶縁する絶縁膜をさらに備える。このように構成すれば、駆動部が上部電極、下部電極および圧電体から形成される一般的な構成である場合などにおいて、駆動部（下部電極）を介して、第１フレームおよび第２フレームが導通するのを防止することができる。なお、第１フレームおよび第２フレームが導通した場合、第１フレームと第２フレームとが等電位になるため、第１フレームおよび第２フレームを電力消費部材に電力を供給する回路の導電部材として用いることができなくなる。
【００１２】
この場合、好ましくは、駆動部は、圧電体と、圧電体の上面に設けられる上部電極と、圧電体の下面に設けられる下部電極とを含み、上部電極に接続され、上部電極に電力を供給する第１配線と、第１フレームに接続され、第１フレームに電力を供給する第２配線と、第２フレームに接続され、第２フレームを所定の電位に固定する第３配線と、第２フレームと下部電極とを電気的に接続する導電部と、をさらに備える。このように構成すれば、第１配線により、圧電体を変形させて、揺動体を振動駆動させることができる。また、第２配線および第３配線により、第１フレームおよび第２フレームを電力消費部材に電力を供給する回路の導電部材として用いることができる。
【００１３】
この場合、好ましくは、絶縁膜の下部電極と第２フレームとに挟まれる位置には、導電部を内側に配置する開口部が設けられている。このように構成すれば、開口部により、下部電極が絶縁膜と面接触しない部分を設け、下部電極の表面と第２フレームとの間に空間部を確保して、下部電極の第２フレーム側の一部の表面を露出させることができるので、下部電極の表面と第２フレームとの両方に接触するように、開口部の内側に導電部を配置することができる。その結果、導電部と下部電極および導電部とを面接触させて、下部電極と導電部とを確実に電気的に接続することができる。
【００１４】
上記絶縁膜を備える構成において、好ましくは、駆動部は、圧電体と、圧電体の上面に設けられる上部電極と、圧電体の下面に設けられる下部電極とを含み、絶縁膜は、駆動部と、第１フレームおよび第２フレームの両方とを絶縁するように構成され、上部電極に接続され、上部電極に電力を供給する第１配線と、第１フレームに接続され、第１フレームに所定の第１電位の電力を供給する第４配線と、第２フレームに接続され、第２フレームに第１電位とは異なる所定の第２電位の電力を供給する第５配線と、下部電極に接続され、下部電極に電力を供給する第６配線と、をさらに備える。このように構成すれば、第１配線および第６配線により、上部電極および下部電極の両方に電力を供給することができるので、上部電極および下部電極の一方にのみ電力を供給する場合よりも圧電体を大きく変形させることができる。
【００１５】
上記駆動部が第１支持部と第２支持部とに跨る構成において、好ましくは、第１フレームに接続され、第１フレームに電力を供給する第２配線と、第２フレームに接続され、第２フレームを所定の電位に固定する第３配線と、をさらに備え、駆動部は、圧電体と、第２フレームと電気的に接続された状態で、圧電体の上面および下面に跨るように設けられる第１電極と、第１フレームと電気的に接続された状態で、圧電体の下面に設けられる第２電極とを含む。このように構成すれば、２つの配線だけにより、圧電体の変形、および、電力消費部材への電力供給を行うことができる。すなわち、第１電極および第２電極への電力供給のための配線と、電力消費部材への電力供給のための配線とを兼用することができるので、配線構成を簡素化することができる。
【００１６】
上記一の局面による振動素子において、好ましくは、第１フレームと第２フレームとに電位差を設けることにより電力消費部材に電力を供給するように構成されている。このように構成すれば、電力消費部材を介して、第１フレームから第２フレームに、または、第２フレームから第１フレームに、電流を流すことができる。すなわち、第１フレームおよび第２フレームを電力消費部材に電力を供給する回路の導電部材として用いることができる。
【００１７】
上記一の局面による振動素子において、好ましくは、電力消費部材は、ＬＥＤ光源、レーザ光源、加速度センサ、ヒータ、温度センサおよびコイルの少なくとも１つを含む。このように構成すれば、電力消費部材により揺動体に種々の機能を持たせることができる。具体的には、電力消費部材がＬＥＤ光源またはレーザ光源を含む場合、ＬＥＤ光源またはレーザ光源を振動駆動させることができるので、ＬＥＤ光源またはレーザ光源からの光により、揺動体の振れ角を視覚的に容易に把握したり、配光特性（照射範囲）を可変することができる。電力消費部材が加速度センサを含む場合、加速度センサにより、揺動体が駆動する際の加速度を取得することができる。電力消費部材がヒータを含む場合、ヒータにより、揺動体近傍に発生することがある結露を効果的に予防することができる。
【００１８】
上記一の局面による振動素子において、好ましくは、第１支持部および第２支持部は、それぞれ、第１支持部および第２支持部が設けられる面内において、第１梁部および第２梁部が延びる第１方向に略直交する第２方向に延びるとともに、互いに対向配置される縁部を有する第１部分と、第１梁部および第２梁部を支持し、第１部分から第２方向に突出するとともに、第１部分よりも第１方向の幅が小さい細長形状の第２部分とを有する。このように構成すれば、第１部分よりも揺動体側の第２部分が細長形状となるので、第１部分よりも第２部分が太く形成される場合と比較して、効果的に駆動部の駆動力を揺動体に伝えることができる。
【００１９】
上記一の局面による振動素子において、好ましくは、第１フレームと第２フレームとを離間させた状態で保持する絶縁性の保持部材と、第１フレームおよび第２フレームを介して揺動体を振動駆動させる駆動部とをさらに備え、駆動部は、第１支持部および第２支持部の一方面側に設けられ、保持部材は、第１支持部および第２支持部の駆動部側とは逆側の面に配置され、第１梁部および第２梁部と同じ方向に延びる縁部に沿って延びるように設けられている。このように構成すれば、保持部材が、駆動部と干渉しない位置で、第１フレームと第２フレームとを離間させた状態で保持することができる。
【００２０】
上記一の局面による振動素子において、好ましくは、第１フレームと第２フレームとを離間させた状態で保持する絶縁性の保持部材と、第１フレームおよび第２フレームを介して揺動体を振動駆動させる駆動部とをさらに備え、第１フレームと第２フレームとの間には、第１支持部および第２支持部が設けられる面内において、第１梁部および第２梁部が延びる第１方向に直交する第２方向に延びる一定幅の隙間が設けられ、駆動部、保持部材および揺動体は、第２方向に延びる隙間の中心線に対して略線対称となるように配置されている。このように構成すれば、駆動部、保持部材および揺動体のそれぞれに対して、駆動部からの駆動力をバランスよく伝達することができる。その結果、第１フレームおよび第２フレームを介して、揺動体をより安定して振動駆動させることができる。
【００２１】
この場合、好ましくは、第１フレームと第２フレームとに接触させることにより、隙間を確保する絶縁性のスペーサをさらに備える。このように構成すれば、スペーサによって、第１フレームと第２フレームとの間の隙間を所定の大きさにより精度よく確保することができる。また、スペーサにより、第１フレームと第２フレームとの間の所定の隙間を容易に確保することができるので、振動素子を容易に製造することができる。
【００２２】
上記一の局面による振動素子において、好ましくは、第１梁部および第２梁部は、それぞれ、第１支持部および第２支持部が設けられる面内において、第１梁部および第２梁部が延びる第１方向に交差する方向に延びるとともに、揺動体が取り付けられる揺動体支持部を第１梁部の他端および第２梁部の他端に有している。このように構成すれば、揺動体支持部により、より大きな面積で揺動体を支持することができるので、揺動体を安定して支持することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、上記のように、梁部の揺動体に設けられる電力消費部材に対して電力を供給する場合でも、簡素な構造で、容易に製造することが可能な振動素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１実施形態による振動素子を示した斜視図である。
【図２】図１の５００−５００線に沿った模式的な断面図である。
【図３】第１実施形態による振動素子を示した分解斜視図である。
【図４】第２実施形態による振動素子を示した斜視図である。
【図５】図４の６００−６００線に沿った模式的な断面図である。
【図６】第３実施形態による振動素子を示した斜視図である。
【図７】図６の７００−７００線に沿った模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２６】
［第１実施形態］
図１〜図３を参照して、第１実施形態による振動素子１００の構成について説明する。
【００２７】
本実施形態による振動素子１００は、図１に示すように、導電性を有する金属製の第１フレーム１と、導電性を有する金属製の第２フレーム２と、揺動体３と、保持部材４と、絶縁膜５と、圧電素子６と、ＬＥＤ光源７と、を備えている。また、振動素子１００は、配線８ａ、８ｂおよび８ｃを備えている。なお、圧電素子６は、特許請求の範囲の「駆動部」の一例である。ＬＥＤ光源７は、特許請求の範囲の「電力消費部材」の一例である。配線８ａ、８ｂおよび８ｃは、特許請求の範囲の「第１配線」、「第２配線」および「第３配線」の一例である。
【００２８】
第１フレーム１と、第２フレーム２とは、揺動体３を振動可能に支持している。第１フレーム１と、第２フレーム２とは、共に平坦な板状の部材である。第１フレーム１と、第２フレーム２とは、同一面内において、横並びで配置されている。ＬＥＤ光源７は、揺動体３の裏側（反射面部分とは逆側）に配置されている。振動素子１００は、金属製の第１フレーム１および金属製の第２フレーム２に直接電流を流すことにより、ＬＥＤ光源７を点灯させるように構成されている。すなわち、金属製の第１フレーム１および金属製の第２フレーム２は、ＬＥＤ光源７を点灯させる（電力を供給する）回路の導電部材としての機能を有している。
【００２９】
第１フレーム１と、第２フレーム２とは、後述するＢ方向に延びる一定幅の隙間Ｓを隔てて離間して配置されている。なお、第１フレーム１と、第２フレーム２との間には、他の構成が配置されておらず、空間部分となっている。第１フレーム１と、第２フレーム２とは、Ｂ方向に延びる隙間Ｓの中心線Ｃに対して略線対称となるように配置されている。すなわち、第１フレーム１と、第２フレーム２とは、対称な形状を有するとともに、互いに同様の構成を備えている。
【００３０】
（第１フレームの構成）
図１に示すように、第１フレーム１は、第１支持部１１と、第１梁部１２とを含んでいる。第１支持部１１、第１梁部１２および揺動体支持部１２０は、導電性を有する１つの金属製の基板から一体的に形成されている。
【００３１】
第１梁部１２は、直線状に延びる棒形状を有している。ここで、第１梁部１２の延びる方向をＡ方向とする。Ａ方向のうち、第２フレーム２から第１フレーム１に向かう方向をＡ１方向とし、その逆方向をＡ２方向とする。また、平面視において、Ａ方向に直交する方向をＢ方向とする。すなわち、第１フレーム１（第１支持部１１）および第２フレーム２（後述する第２支持部２１）の設けられる面内において、Ａ方向に直交する方向をＢ方向とする。なお、Ａ方向は、特許請求の範囲の「第１方向」の一例である。また、Ｂ方向は、特許請求の範囲の「第２方向」の一例である。また、Ａ方向およびＢ方向に直交する方向をＣ方向とする。すなわち、第１フレーム１および第２フレーム２の厚み方向をＣ方向とする。
【００３２】
第１支持部１１は、第１部分１１ａと、第２部分１１ｂと有している。第１支持部１１は、第１部分１１ａと、第２部分１１ｂとにより、概して、Ｌ字形状に形成されている。
【００３３】
第１部分１１ａは、矩形形状を有している。第１部分１１ａは、第１梁部１２に対してＢ方向の一方側に配置されている。ここで、Ｂ方向のうち、第１部分１１ａから第１梁部１２に向かう方向をＢ１方向とし、その逆方向をＢ２方向とする。なお、矩形形状の第１部分１１ａの４つの縁部は、Ａ方向またはＢ方向に延びている。
【００３４】
第２部分１１ｂは、第１部分１１ａのＡ１方向の縁部に沿ってＢ方向に突出している。第２部分１１ｂは、Ｂ方向に延びる細長形状を有している。第２部分１１ｂのＡ方向の幅Ｗ１は、第１部分１１ａのＡ方向の幅Ｗ２よりも小さい。また、第２部分１１ｂのＡ方向の幅Ｗ１（図３参照）は、第１部分１１ａのＡ方向の幅Ｗ２（図３参照）の半分よりも小さい。第２部分１１ｂは、Ａ２方向側の縁部のＢ方向における中央近傍で第１梁部１２の一端１２ａ（Ａ１方向端部）を支持している。
【００３５】
第１梁部１２は、揺動体支持部１２０を有している。揺動体支持部１２０は、Ｃ方向の一方側から揺動体３が取り付けられるように構成されている。なお、揺動体支持部１２０から揺動体３に向かう方向をＣ１方向とし、その逆方向をＣ２方向とする。揺動体支持部１２０は、第１梁部１２の他端１２ｂ（Ａ２方向端部）に設けられている。揺動体支持部１２０は、第１梁部１２の他端１２ｂから、Ｂ１方向およびＢ２方向の両側に延びる部分（分岐する部分）を２つ有している。すなわち、揺動体支持部１２０は、第１梁部１２の他端１２ｂに設けられるＨ字形状の部分である。
【００３６】
（第２フレームの構成）
図１に示すように、第２フレーム２は、第２支持部２１と、揺動体支持部２２０を有する第２梁部２２とを含んでいる。第２支持部２１は、第２梁部２２の一端２２ａ（Ａ２方向端部）を支持している。第２フレーム２は、第１部分２１ａと、第２部分２１ｂと有している。
【００３７】
図２に示すように、第２フレーム２は、第１フレーム１のＡ２方向側に配置されている。第１フレーム１の第１部分１１ａのＡ２方向側の縁部１１０と、第２フレーム２の第１部分２１ａのＡ１方向側の縁部２１０とは、共に、Ｂ方向に延びるとともに、互いに対向配置されている。このため、縁部１１０と縁部２１０との間には、Ｂ方向に延びる一定幅の隙間Ｓが形成されている。上記の通り、第２フレーム２は、第１フレーム１と対称な形状を有するとともに、同様の構成を備えているため、第２フレーム２についての詳細な説明は省略する。
【００３８】
（揺動体の構成）
図３に示すように、揺動体３は、第１フレーム１の第１梁部１２と第２フレーム２の第２梁部２２とを絶縁状態で接続するように、第１梁部１２の他端１２ｂ（揺動体支持部１２０）と第２梁部２２の他端２２ｂ（揺動体支持部２２０）とにＣ１方向側から取り付けられている。揺動体３は、絶縁性を有する基板状に形成されている。基板状の揺動体３は、第１フレーム１および第２フレーム２に接触しており、矩形状を有している。したがって、振動素子１００は、揺動体３（基板部分）を介して、第１フレーム１と第２フレーム２とが電気的に接続されることはない。なお、揺動体３は、基板部分のＣ１方向端部に設けられ、光を反射するミラー面部分（反射面部）を含んでいてもよい。ミラー面部分は、アルミ蒸着などにより形成される。
【００３９】
図１に示すように、揺動体３は、隙間Ｓの中心線Ｃに対して略線対称となるように配置されている。
【００４０】
（保持部材の構成）
図１に示すように、保持部材４は、第１フレーム１と第２フレーム２とを離間させた状態で保持している。すなわち、第１フレーム１と第２フレーム２との相対的な位置を固定している。保持部材４は、絶縁性を有している。保持部材４は、第１フレーム１の第１支持部１１および第２フレーム２の第２支持部２１の圧電素子６側とは逆側（Ｃ２方向側）の面に配置されている。なお、保持部材４を、第２部分１１ｂおよび２１ｂの駆動力の伝達を阻害しない部位に配置してもよい。
【００４１】
保持部材４は、第１フレーム１の第１梁部１２および第２フレーム２の第２梁部２２と同じ方向（Ａ方向）に延びている。保持部材４は、第１支持部１１および第２支持部２１のＢ２方向の縁部に沿って延びるように設けられている。保持部材４は、第１フレーム１および第２フレーム２との間にＣ１方向側から塗布される接着剤Ｈにより、第１フレーム１および第２フレーム２に対して固定されている。
【００４２】
保持部材４は、隙間Ｓの中心線Ｃに対して略線対称となるように配置されている。なお、隙間Ｓには、絶縁性部材が充填されてもよい。絶縁性部材により第１フレーム１と第２フレーム２とが絶縁されてもよい。
【００４３】
（絶縁膜および圧電素子の構成）
図１に示すように、絶縁膜５および圧電素子６は、第１支持部１１および第２支持部２１に跨るように配置されている。絶縁膜５は、絶縁性を有している。絶縁膜５は、Ｃ方向において、圧電素子６と、第１フレーム１（第１支持部１１）および第２フレーム２（第２支持部２１）との間に配置されている。
【００４４】
詳細には、絶縁膜５および圧電素子６は、第１支持部１１および第２支持部２１のＣ１方向側の面上に、絶縁膜５および圧電素子６の順で積層されている。このため、圧電素子６は、第１支持部１１および第２支持部２１から離間しており、絶縁膜５により、第１支持部１１および第２支持部２１と絶縁されている。絶縁膜５は、パラフィン紙などにより形成される。
【００４５】
絶縁膜５は、接着剤（図示せず）により、圧電素子６と、第１フレーム１および第２フレーム２とに対して接着されている。
【００４６】
図２に示すように、圧電素子６は、第１フレーム１および第２フレーム２を介して、揺動体３を振動駆動させるように構成されている。圧電素子６は、板状の圧電体６１と、上部電極６２と、下部電極６３とを含んでいる。上部電極６２は、圧電体６１の上面（Ｃ１方向側の面）に設けられている。下部電極６３は、圧電体６１の下面（Ｃ２方向側の面）に設けられている。
【００４７】
絶縁膜５の下部電極６３と第２フレーム２とに挟まれる位置には、導電部Ｐを内側に配置する切欠部５１が設けられている。導電部Ｐとは、銀ペーストなどにより形成される導電性の部分であり、下部電極６３の下面（Ｃ２方向側の面）と、第２フレーム２との両方に接触している。このため、下部電極６３と、第２フレーム２とは、導電部Ｐにより電気的に接続されている。導電部Ｐは、第１フレーム１と非接触で設けられている。なお、切欠部５１は、特許請求の範囲の「開口部」の一例である。
【００４８】
図１に示すように、圧電素子６は、隙間Ｓの中心線Ｃに対して略線対称となるように配置されている。
【００４９】
（ＬＥＤ光源の構成）
図３に示すように、ＬＥＤ光源７は、第１梁部１２の他端１２ｂおよび第２梁部２２の他端２２ｂの間に設けられている。詳細には、ＬＥＤ光源７は、第１梁部１２および第２梁部２２を接続するように、Ｃ２方向側から第１梁部１２および第２梁部２２に取り付けられている。
【００５０】
ＬＥＤ光源７は、第１梁部１２および第２梁部２２に接触する一対の端子７１を有している。一対の端子７１は、それぞれ、ＬＥＤ光源７の内部で配線（図示せず）を介して、ＬＥＤ（図示せず）に接続されている。ＬＥＤ光源７は、第１フレーム１を介して、電力が供給されるように構成されている。
【００５１】
（配線の構成）
図１に示すように、配線８ａは、上部電極６２に接続されている。配線８ａは、上部電極６２（図２参照）に電源（図示せず）からの交流電力を供給するように構成されている。配線８ａは、ボンディングワイヤなどにより形成される。
【００５２】
配線８ｂは、第１フレーム１の第１支持部１１に接続されている。配線８ｂは、第１フレーム１に電源（図示せず）からの交流電力を供給するように構成されている。配線８ｂは、ボンディングワイヤなどにより形成される。
【００５３】
配線８ｃは、第２フレーム２の第２支持部２１に接続されている。配線８ｃは、第２フレーム２を所定の電位に固定している。具体的には、配線８ｃは、第２フレーム２をグランドに接続している。配線８ｃは、ボンディングワイヤなどにより形成される。
【００５４】
振動素子１００は、配線８ａおよび配線８ｃにより、第１フレーム１と第２フレーム２とに電位差を設けることによって、ＬＥＤ光源７に電力を供給するように構成されている。
【００５５】
（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００５６】
第１実施形態では、上記のように、第１梁部１２および第２梁部２２を絶縁状態で接続する揺動体３に取り付けられ、導電性の第１フレーム１および導電性の第２フレーム２を介して電力が供給されるＬＥＤ光源７と、を設ける。これにより、第１フレーム１の第１梁部１２自体および第２フレーム２の第２梁部２２自体を介してＬＥＤ光源７に電力を供給することができるので、第１梁部１２および第２梁部２２の揺動体３に設けられるＬＥＤ光源７に対して電力を供給する場合に、第１梁部１２および第２梁部２２に配線を設ける必要性がなくなる。このため、揺動体３に設けられるＬＥＤ光源７に対して電力を供給する場合でも、簡素な構造で、容易に製造することができる。
【００５７】
また、第１実施形態では、上記のように、第１支持部１１と第２支持部２１とに跨るように配置され、第１フレーム１および第２フレーム２を介して揺動体３を振動駆動させる圧電素子６をさらに備える。これにより、圧電素子６が第１支持部１１および第２支持部２１の一方側のみに配置される場合と比較して、第１支持部１１と第２支持部２１とに対して、圧電素子６からの駆動力をバランスよく伝達することができる。その結果、第１フレーム１および第２フレーム２を介して、揺動体３を安定して振動駆動させることができる。
【００５８】
また、第１実施形態では、上記のように、第１フレーム１と第２フレーム２との間には、Ｂ方向に延びる隙間Ｓが設けられ、第１フレーム１および第２フレーム２は、Ｂ方向に延びる隙間Ｓの中心線Ｃに対して、互いに略線対称となるように配置されている。これにより、第１支持部１１と第２支持部２１とに対して、圧電素子６からの駆動力をよりバランスよく伝達することができる。その結果、第１フレーム１および第２フレーム２を介して、揺動体３をより安定して振動駆動させることができる。
【００５９】
また、第１実施形態では、上記のように、圧電素子６と第１フレーム１および第２フレーム２との間に配置され、圧電素子６と第１フレーム１との間を少なくとも絶縁する絶縁膜５をさらに備える。これにより、圧電素子６（下部電極６３）を介して、第１フレーム１および第２フレーム２が導通するのを防止することができる。なお、第１フレーム１および第２フレーム２が導通した場合、第１フレーム１と第２フレーム２とが等電位になるため、第１フレーム１および第２フレーム２をＬＥＤ光源７に電力を供給する回路の導電部材として用いることができなくなる。
【００６０】
また、第１実施形態では、上記のように、圧電素子６は、板状の圧電体６１と、圧電体６１の上面に設けられる上部電極６２と、圧電体６１の下面に設けられる下部電極６３とを含み、上部電極６２に接続され、上部電極６２に電力を供給する配線８ａと、第１フレーム１に接続され、第１フレーム１に電力を供給する配線８ｂと、第２フレーム２に接続され、第２フレーム２を所定の電位に固定する配線８ｃと、第２フレーム２と下部電極６３とを電気的に接続する導電部Ｐと、をさらに備える。これにより、配線８ａにより、圧電体６１を変形させて、揺動体３を振動駆動させることができる。また、配線８ｂおよび配線８ｃにより、第１フレーム１および第２フレーム２をＬＥＤ光源７に電力を供給する回路の導電部材として用いることができる。
【００６１】
また、第１実施形態では、上記のように、絶縁膜５の下部電極６３と第２フレーム２とに挟まれる位置には、導電部Ｐを内側に配置する切欠部５１が設けられている。これにより、導電部Ｐを切欠部５１の内側に配置することができるので、導電部Ｐを、導電部Ｐの縁部ではなく表面で、下部電極６３と接触させることができる。すなわち、下部電極６３と導電部Ｐとを確実に電気的に接続することができる。その結果、導電部Ｐを介して、下部電極６３と第２フレーム２とを確実に電気的に接続することができる。切欠部５１により、下部電極６３が絶縁膜５と面接触しない部分を設け、下部電極６３の表面と第２フレーム２との間に空間部を確保して、下部電極６３の第２フレーム２側の一部の表面を露出させることができるので、下部電極６３の表面と第２フレーム２との両方に接触するように、切欠部５１の内側に導電部Ｐを配置することができる。その結果、導電部Ｐと下部電極６３および導電部Ｐとを面接触させて、下部電極６３と導電部Ｐとを確実に電気的に接続することができる。
【００６２】
また、第１実施形態では、上記のように、第１フレーム１と第２フレーム２とに電位差を設けることによりＬＥＤ光源７に電力を供給するように構成されている。これにより、ＬＥＤ光源７を介して、第１フレーム１から第２フレーム２に、または、第２フレーム２から第１フレーム１に、電流を流すことができる。すなわち、第１フレーム１および第２フレーム２をＬＥＤ光源７に電力を供給する回路の導電部材として用いることができる。
【００６３】
また、第１実施形態では、上記のように、ＬＥＤ光源７を設ける。これにより、ＬＥＤ光源７を振動駆動させることができるので、ＬＥＤ光源７からの光により、揺動体３の振れ角を視覚的に容易に把握したり、配光特性（照射範囲）を可変することができる。
【００６４】
また、第１実施形態では、上記のように、第１支持部１１および第２支持部２１は、それぞれ、第１支持部１１および第２支持部２１が設けられる面内において、第１梁部１２および第２梁部２２が延びるＡ方向に略直交するＢ方向に延びるとともに、互いに対向配置される縁部１１０および２１０を有する第１部分１１ａ、２１ａと、第１梁部１２および第２梁部２２を支持し、第１部分１１ａ、２１ａからＢ方向に突出するとともに、第１部分１１ａ、２１ａよりもＡ方向の幅が小さい細長形状の第２部分１１ｂ、２１ｂとを有する。これにより、第１部分１１ａ、２１ａよりも揺動体３側の第２部分１１ｂ、２１ｂが細長形状となるので、第１部分１１ａ、２１ａよりも第２部分１１ｂ、２１ｂが太く形成される場合と比較して、効果的に圧電素子６の駆動力を揺動体３に伝えることができる。
【００６５】
また、第１実施形態では、上記のように、第１フレーム１と第２フレーム２とを離間させた状態で保持する絶縁性の保持部材４と、第１フレーム１および第２フレーム２を介して揺動体３を振動駆動させる圧電素子６とを備え、圧電素子６は、第１支持部１１および第２支持部２１の一方面側に配置され、保持部材４は、第１支持部１１および第２支持部２１の圧電素子６側とは逆側の面に配置され、第１梁部１２および第２梁部２２と同じ方向に延びる縁部に沿って延びるように設けられている。これにより、圧電素子６と干渉しない位置で、保持部材４により、第１フレーム１と第２フレーム２とを離間させた状態で保持することができる。
【００６６】
また、第１実施形態では、上記のように、第１フレーム１と第２フレーム２とを離間させた状態で保持する絶縁性の保持部材４と、第１フレーム１および第２フレーム２を介して揺動体３を振動駆動させる圧電素子６とを備え、第１フレーム１と第２フレーム２との間には、Ｂ方向に延びる一定幅の隙間Ｓが設けられ、圧電素子６、保持部材４および揺動体３は、Ｂ方向に延びる隙間Ｓの中心線Ｃに対して略線対称となるように配置されている。これにより、圧電素子６、保持部材４および揺動体３のそれぞれに対して、圧電素子６からの駆動力をバランスよく伝達することができる。その結果、第１フレーム１および第２フレーム２を介して、揺動体３をより安定して振動駆動させることができる。
【００６７】
また、第１実施形態では、上記のように、第１梁部１２および第２梁部２２は、それぞれ、Ｂ方向に延びるとともに、揺動体３が取り付けられる揺動体支持部１２０および２２０をそれぞれ第１梁部１２の他端１２ｂおよび第２梁部２２の他端２２ｂに有している。これにより、揺動体支持部１２０および２２０により、より大きな面積で揺動体３を支持することができるので、揺動体３を安定して支持することができる。
【００６８】
［第２実施形態］
次に、図４および図５を参照して、第２実施形態による振動素子２００の構成について説明する。この第２実施形態における振動素子２００は、下部電極６３と第２フレーム２とを電気的に接続した上記第１実施形態とは異なり、下部電極６３と第２フレーム２とを絶縁する例について説明する。なお、上記第１実施形態と同様の構成は、第１実施形態と同じ符号を付して図示するとともに説明を省略する。
【００６９】
第２実施形態の振動素子２００は、図４に示すように、絶縁膜２０５と、導電板６３ａと、配線２０８ａ、２０８ｂおよび２０８ｃとを備えている。なお、配線２０８ａ、２０８ｂおよび２０８ｃは、それぞれ、特許請求の範囲の「第４配線」、「第５配線」および「第６配線」の一例である。
【００７０】
絶縁膜２０５は、Ｃ方向において、導電板６３ａと、第１フレーム１および第２フレーム２との間に配置されている。絶縁膜２０５は、絶縁性を有している。絶縁膜２０５は、第１実施形態の絶縁膜５とは異なり、切欠部５１を有してはおらず、矩形形状に形成されている。すなわち、第１フレーム１および第２フレーム２は、絶縁膜２０５により、圧電素子６と絶縁されている。
【００７１】
図５に示すように、導電板６３ａは、Ｃ方向において、下部電極６３と、絶縁膜２０５との間に配置されている。導電板６３ａは、導電性を有している。導電板６３ａには、縁部に配線２０８ｃが接続されている。配線２０８ｃは、ボンディングワイヤにより形成されている。導電板６３ａは、配線２０８ｃからの電力を下部電極６３に伝える機能を有している。
【００７２】
配線２０８ａは、第１フレーム１に接続されている。配線２０８ｂは、第２フレーム２に接続されている。配線２０８ａは、第１フレーム１に所定の第１電位の電力を供給するために用いられる。配線２０８ｂは、第２フレーム２に所定の第２電位の電力を供給するために用いられる。たとえば、配線２０８ａからは、第１フレーム１に５Ｖの電位の電力が供給され、配線２０８ａからは、第２フレーム２に−５Ｖの電位の電力が供給される。
【００７３】
（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００７４】
第２実施形態では、上記のように、圧電素子６は、板状の圧電体６１と、圧電体６１の上面に設けられる上部電極６２と、圧電体６１の下面に設けられる下部電極６３とを含み、絶縁膜２０５は、圧電素子６と、第１フレーム１および第２フレーム２の両方とを絶縁するように構成され、上部電極６２に接続され、上部電極６２に電力を供給する配線８ａと、第１フレーム１に接続され、第１フレーム１に所定の第１電位の電力を供給する配線２０８ａと、第２フレーム２に接続され、第２フレーム２に第１電位とは異なる所定の第２電位の電力を供給する配線２０８ｂと、下部電極６３に接続され、下部電極６３に電力を供給する配線２０８ｃと、をさらに備える。これにより、配線８ａおよび配線２０８ｃにより、上部電極６２および下部電極６３の両方に電力を供給することができるので、上部電極６２および下部電極６３の一方にのみ電力を供給する場合よりも圧電体６１を大きく変形させることができる。
【００７５】
［第３実施形態］
次に、図６および図７を参照して、第３実施形態による振動素子３００の構成について説明する。この第３実施形態における振動素子３００は、圧電素子６の上部電極６２を第１フレーム１および第２フレーム２に対して絶縁し、下部電極６３を第２フレーム２に対して電気的に接続した上記第１実施形態とは異なり、圧電素子３０６が備える２つの電極（第１電極３６２、第２電極３６３）を、それぞれ、第１フレーム１および第２フレーム２に対して電気的に接続する例について説明する。なお、上記第１実施形態と同様の構成は、第１実施形態と同じ符号を付して図示するとともに説明を省略する。
【００７６】
第３実施形態の振動素子３００は、図６に示すように、圧電素子３０６を備えている。なお、振動素子３００は、第１実施形態のような絶縁膜５を備えていない。
【００７７】
圧電素子３０６は、第１フレーム１と第２フレーム２とに跨る円板形状を有している。圧電素子３０６は、圧電体６１と、第１電極３６２と、第２電極３６３とを含んでいる。
【００７８】
第１電極３６２は、圧電体６１の上面６１ａ（Ｃ１方向側の面）および下面６１ｂ（Ｃ２方向側の面）に跨るように設けられている。また、第１電極３６２は、圧電体６１のＡ１方向側に設けられており、第１フレーム１と直接、接触するように配置されている。すなわち、第１電極３６２は、第１フレーム１と電気的に接続されている。第１電極３６２には、直接配線が接続されておらず、配線８ｂから第１フレーム１を介して電力が供給される。
【００７９】
第２電極３６３は、圧電体６１の下面６１ｂ（Ｃ２方向側の面）に設けられている。また、第２電極３６３は、圧電体６１のＡ２方向側に設けられており、第２フレーム２と直接接触するように配置されている。すなわち、第２電極３６３は、第２フレーム２と電気的に接続されている。第２電極３６３には、直接、配線が接続されておらず、配線８ｃから第２フレーム２を介して電力が供給される。
【００８０】
（第３実施形態の効果）
第３実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００８１】
第３実施形態では、上記のように、第１フレーム１に接続され、第１フレーム１に電力を供給する配線８ｂと、第２フレーム２に接続され、第２フレーム２を所定の電位に固定する配線８ｃと、をさらに備え、圧電素子３０６は、板状の圧電体６１と、第２フレーム２と電気的に接続された状態で、圧電体６１の上面６１ａおよび下面６１ｂに跨るように設けられる第１電極３６２と、第１フレーム１と電気的に接続された状態で、圧電体６１の下面６１ｂに設けられる第２電極３６３とを含む。これにより、２つの配線だけにより、圧電体６１の変形、および、ＬＥＤ光源７への電力供給を行うことができる。すなわち、第１電極３６２および第２電極３６３への電力供給のための配線と、ＬＥＤ光源７への電力供給のための配線とを兼用することができるので、配線構成を簡素化することができる。また、圧電体６１は一般的に薄く脆いため、上部への電極設置は圧電体６１の割れなどの破損の危険が高まる。また、図７のＢ１方向より配線を取り出すことによりＣ方向を極力薄くすることでデバイスの厚みを小さくでき配置の自由度が向上する。
【００８２】
［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【００８３】
たとえば、上記第１〜３実施形態では、第１フレームと第２フレームとが空間部分を隔てて配置される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１フレームと第２フレームとの間の隙間に、絶縁性のスペーサを配置してもよい。スペーサによって、第１フレームと第２フレームとの間の絶縁性を確保することができる。また、スペーサにより、第１フレームと第２フレームとの間の隙間を埋めることができるので、振動素子を容易に製造することができ、耐久性を向上させることができる。
【００８４】
また、上記第１〜３実施形態では、圧電素子を、第１支持部と第２支持部とに跨るように配置した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、圧電素子を、第１支持部および第２支持部の一方のみの上に配置してもよい。
【００８５】
また、上記第１〜３実施形態では、第１フレームおよび第２フレームが、隙間の中心線に対して、互いに略線対称となるように配置した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１フレームおよび第２フレームが、隙間の中心線に対して、互いに略線対称となるように配置されていなくてもよい。
【００８６】
また、上記第１〜３実施形態では、本発明の電力消費部材を、ＬＥＤ光源とした例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、本発明の電力消費部材を、加速度センサ、レーザ光源、ヒータ、温度センサおよびコイル等のＬＥＤ光源以外の構成としてもよい。
【００８７】
また、上記第１〜３実施形態では、絶縁膜をパラフィン紙などにより形成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、本発明の絶縁膜を、下部電極、または、第１フレームおよび第２フレームの一部に酸化被膜を形成することにより設けてもよい。要するに、絶縁膜は、酸化被膜などのパラフィン紙以外の構成から形成してもよい。
【００８８】
また、上記第１〜３実施形態では、第１フレームの第１支持部、および、第２フレームの第２支持部を、ぞれぞれ、Ｌ字形状に形成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、第１フレームの第１支持部、および、第２フレームの第２支持部を、コの字形状などのＬ字形状以外の形状に形成してもよい。
【００８９】
また、上記第１〜３実施形態では、揺動体支持部をＨ字形状に形成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、揺動体支持部を円板状などのＨ字形状以外の形状に形成してもよい。
【００９０】
また、上記第１実施形態では、絶縁膜に開口部を設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、絶縁膜に開口部を設けなくてもよい。この場合、下部電極の縁部と第２フレームとが導通されるように、導電部が設置する必要がある。
【符号の説明】
【００９１】
１  第１フレーム
２  第２フレーム
３  揺動体
４  保持部材
５、２０５  絶縁膜
６、３０６  圧電素子（駆動部）
７  ＬＥＤ光源（電力消費部材）
８ａ  配線（第１配線）
８ｂ  配線（第２配線）
８ｃ  配線（第３配線）
１１  第１支持部
１１ａ  （第１フレームの）第１部分
１１ｂ  （第１フレームの）第２部分
１２  第１梁部
１２ａ  （第１梁部の）一端
１２ｂ  （第１梁部の）他端
２１  第２支持部
２１ａ  （第２フレームの）第１部分
２１ｂ  （第２フレームの）第２部分
２２  第２梁部
２２ａ  （第２梁部の）一端
２２ｂ  （第２梁部の）他端
５１  切欠部（開口部）
６１  圧電体
６１ａ  上面
６１ｂ  下面
６２  上部電極
６３  下部電極
１００、２００、３００  振動素子
１１０  （第２フレームの縁部と対向配置される第１フレームの）縁部
１２０  （第１フレームの）揺動体支持部
２０８ａ  配線（第４配線）
２０８ｂ  配線（第５配線）
２０８ｃ  配線（第６配線）
２１０  （第１フレームの縁部と対向配置される第２フレームの）縁部
２２０  （第２フレームの）揺動体支持部
３６２  第１電極
３６３  第２電極
Ｃ  中心線
Ｐ  導電部
Ｓ  隙間
【図１】
2019128366.tif 000003
【図２】
2019128366.tif 000004
【図３】
2019128366.tif 000005
【図４】
2019128366.tif 000006
【図５】
2019128366.tif 000007
【図６】
2019128366.tif 000008
【図７】
2019128366.tif 000009