(57)【要約】【課題】吐出の安定性や、ヘッドの耐久性を向上させることが可能な噴射孔プレートの製造方法を提供する。【解決手段】本開示の一実施の形態に係る噴射孔プレートの製造方法は、金属基板の第１主面をパンチで押圧することにより、第１主面に凹部を形成するとともに、金属基板の第２主面のうち、凹部と対向する位置に凸部を形成するパンチ加工工程と、凸部を機械研磨によって削り、凹部を貫通させることにより、噴射孔を形成する第１研磨工程と、金属基板のうち、第１主面および第２主面の少なくとも一方の面を、化学研磨、電解研磨、または、化学機械研磨によって研磨する第２研磨工程とを含む。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属基板の第１主面をパンチで押圧することにより、前記第１主面に凹部を形成するとともに、前記金属基板の第２主面のうち、前記凹部と対向する位置に凸部を形成するパンチ加工工程と、
前記凸部を機械研磨によって削り、前記凹部を貫通させることにより、噴射孔を形成する第１研磨工程と、
前記金属基板のうち、前記第１主面および前記第２主面の少なくとも一方の面を、化学研磨、電解研磨、または、化学機械研磨によって研磨する第２研磨工程と
を含む噴射孔プレートの製造方法。
【請求項２】
前記第２研磨工程において、前記第１主面および前記第２主面に加えて、前記噴射孔の内壁も、前記化学研磨、前記電解研磨、または、前記化学機械研磨によって研磨する
請求項１に記載の噴射孔プレートの製造方法。
【請求項３】
前記金属基板は、ステンレス鋼によって形成されている
請求項１または請求項２に記載の噴射孔プレートの製造方法。
【請求項４】
前記第１研磨工程において、機械研磨によって、前記凸部を削ることに加えて、前記第１主面をより平坦にする
請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の噴射孔プレートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、噴射孔プレートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置が、様々な分野に利用されている。液体噴射ヘッドは、多数の噴射孔が形成された噴射孔プレートを含む複数のプレートの積層体を備えており、各噴射孔から被記録媒体に対して液体であるインクを吐出するように構成されている。このような噴射孔プレートは、例えば、金属基板に対してプレス加工を行うことにより形成される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４９３５５３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような噴射孔プレートでは、一般に、吐出の安定性や、ヘッドの耐久性を向上させることが求められている。吐出の安定性や、ヘッドの耐久性を向上させることが可能な噴射孔プレートの製造方法を提供することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一実施の形態に係る噴射孔プレートの製造方法は、以下の工程を含むものである。
（Ａ）金属基板の第１主面をパンチで押圧することにより、第１主面に凹部を形成するとともに、金属基板の第２主面のうち、凹部と対向する位置に凸部を形成するパンチ加工工程
（Ｂ）凸部を機械研磨によって削り、凹部を貫通させることにより、噴射孔を形成する第１研磨工程
（Ｃ）金属基板のうち、第１主面および第２主面の少なくとも一方の面を、化学研磨、電解研磨、または、化学機械研磨によって研磨する第２研磨工程
【発明の効果】
【０００６】
本開示の一実施の形態に係る噴射孔プレートの製造方法によれば、吐出の安定性や、ヘッドの耐久性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。
【図２】図１に示した循環機構等の詳細構成例を表す模式図である。
【図３】図２に示した液体噴射ヘッドの詳細構成例を表す分解斜視図である。
【図４】図３に示したノズルプレートを取り外した状態における液体噴射ヘッドの構成例を表す模式底面図である。
【図５】図３に示した液体噴射ヘッドの、図４に示したＶ−Ｖ線に対応する箇所での断面の一部の構成例を表す模式図である。
【図６】図５のノズルプレートの一部の断面構成例を表す模式図である。
【図７】図５のノズルプレートの一部の断面構成例を表す模式図である。
【図８】実施の形態に係るノズルプレートの製造手順の一例を表す流れ図である。
【図９Ａ】実施の形態に係るノズルプレートの製造工程の一例を表す断面図である。
【図９Ｂ】図９Ａに続く製造工程の一例を表す断面図である。
【図９Ｃ】図９Ｂに続く製造工程の一例を表す断面図である。
【図９Ｄ】図９Ｃに続く製造工程の一例を表す断面図である。
【図９Ｅ】図９Ｃまたは図９Ｄでの研磨後の金属基板の一例を表す断面図である。
【図９Ｆ】図９Ｃまたは図９Ｄに続く製造工程の一例を表す断面図である。
【図９Ｇ】図９Ｃまたは図９Ｄに続く製造工程の一例を表す断面図である。
【図９Ｈ】図９Ｃまたは図９Ｄに続く製造工程の一例を表す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（ノズルプレートの製造方法）
２．変形例
【０００９】
＜１．実施の形態＞
［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。プリンタ１は、後述するインク９を利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。このプリンタ１はまた、詳細は後述するが、インク９を所定の流路に循環させて利用する、インク循環式のインクジェットプリンタである。
【００１０】
プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、循環機構５と、走査機構６とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１１】
（搬送機構２ａ，２ｂ）
搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２はそれぞれ、Ｙ軸方向（記録紙Ｐの幅方向）に沿って延設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ−Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等を用いて構成されている。
【００１２】
（インクタンク３）
インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｂ）の４色のインク９を個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインク９を収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインク９を収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインク９を収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインク９を収容するインクタンク３Ｂとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂはそれぞれ、収容するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクタンク３と総称して説明する。
【００１３】
（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル孔（ノズル孔Ｈ１，Ｈ２）から記録紙Ｐに対して液滴状のインク９を噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂにそれぞれ収容されている４色のインク９を個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｂとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００１４】
なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂはそれぞれ、利用するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成については、後述する（図３〜図５）。
【００１５】
（循環機構５）
循環機構５は、インクタンク３内とインクジェットヘッド４内との間でインク９を循環させるための機構である。図２は、循環機構５の構成例を、前述したインクタンク３およびインクジェットヘッド４と共に、模式的に表したものである。なお、図２中に示した実線の矢印は、インク９の循環方向を示している。循環機構５は、図２に示したように、インク９を循環させるための所定の流路（循環流路５０）と、一対の送液ポンプ５２ａ，５２ｂとを備えている。
【００１６】
循環流路５０は、インクジェットヘッド４内とインクジェットヘッド４の外部（インクタンク３内）との間を循環する流路であり、インク９がこの循環流路５０を循環して流れるようになっている。循環流路５０は、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと至る部分である流路５０ａと、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと至る部分である流路５０ｂとを有している。言い換えると、流路５０ａは、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと向かって、インク９が流れる流路である。また、流路５０ｂは、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと向かって、インク９が流れる流路である。
【００１７】
送液ポンプ５２ａは、流路５０ａ上において、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間に配置されている。送液ポンプ５２ａは、インクタンク３内に収容されているインク９を、流路５０ａを介してインクジェットヘッド４内へと送液するためのポンプである。送液ポンプ５２ｂは、流路５０ｂ上において、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間に配置されている。送液ポンプ５２ｂは、インクジェットヘッド４内に収容されているインク９を、流路５０ｂを介してインクタンク３内へと送液するためのポンプである。
【００１８】
（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、これらのガイドレール６１ａ，６１ｂに移動可能に支持されたキャリッジ６２と、このキャリッジ６２をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構６３とを有している。また、駆動機構６３は、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置された一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、これらのプーリ６３１ａ，６３１ｂ間に巻回された無端ベルト６３２と、プーリ６３１ａを回転駆動させる駆動モータ６３３とを有している。
【００１９】
プーリ６３１ａ，６３１ｂはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って、各ガイドレール６１ａ，６１ｂにおける両端付近に対応する領域に配置されている。無端ベルト６３２には、キャリッジ６２が連結されている。このキャリッジ６２上には、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂが、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成される。
【００２０】
［インクジェットヘッド４の詳細構成］
次に、図１および図２に加えて図３〜図５を参照して、インクジェットヘッド４の詳細構成例について説明する。図３は、インクジェットヘッド４の詳細構成例を、分解斜視図で表したものである。図４は、図３に示したノズルプレート４１（後出）を取り外した状態におけるインクジェットヘッド４の構成例を、模式的に底面図（Ｘ−Ｙ底面図）で表したものである。図５は、インクジェットヘッド４の、図４に示したＶ−Ｖ線に対応する箇所での断面（Ｚ−Ｘ断面）の一部の構成例を、模式的に表したものである。図６、図７は、ノズルプレート４１の一部の断面構成例（Ｙ−Ｚ断面構成例）を、模式的に表したものである。
【００２１】
本実施の形態のインクジェットヘッド４は、後述する複数のチャネル（チャネルＣ１，Ｃ２）における延在方向（Ｙ軸方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。また、このインクジェットヘッド４は、前述した循環機構５（循環流路５０）を用いることで、インクタンク３との間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドである。
【００２２】
図３に示したように、インクジェットヘッド４は、ノズルプレート（噴射孔プレート）４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３を主に備えている。これらのノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３は、例えば接着剤等を用いて互いに貼り合わされており、Ｚ軸方向に沿ってこの順に積層されている。なお、以下では、Ｚ軸方向に沿ってカバープレート４３側を上方と称すると共に、ノズルプレート４１側を下方と称して説明する。
【００２３】
（ノズルプレート４１）
ノズルプレート４１は、インクジェットヘッド４に用いられるプレートである。ノズルプレート４１は、例えば５０μｍ程度の厚みを有する金属基板を有し、図３に示したように、アクチュエータプレート４２の下面に接着されている。ノズルプレート４１として用いられる金属基板としては、ＳＵＳ３１６やＳＵＳ３０４をはじめとするステンレス鋼が挙げられる。また、図３および図４に示したように、このノズルプレート４１には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のノズル列（ノズル列４１１，４１２）が設けられている。これらのノズル列４１１，４１２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。このように、本実施の形態のインクジェットヘッド４は、２列タイプのインクジェットヘッドとなっている。本開示の一実施の形態に係る噴射孔プレートとしてのノズルプレート４１の製造方法については、後に詳述する。
【００２４】
ノズル列４１１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔（噴射孔）Ｈ１を有している。これらのノズル孔Ｈ１はそれぞれ、ノズルプレート４１をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通しており、例えば図５に示したように、後述するアクチュエータプレート４２における吐出チャネルＣ１ｅ内に連通している。具体的には図４に示したように、各ノズル孔Ｈ１は、列状に形成されており、かつ、吐出チャネルＣ１ｅ上においてＹ軸方向に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ１におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ１ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一（同一ピッチ）となっている。このようなノズル列４１１内のノズル孔Ｈ１からは、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ１ｅ内から供給されるインク９が吐出（噴射）される。
【００２５】
ノズル列４１２も同様に、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔（噴射孔）Ｈ２を有している。これらのノズル孔Ｈ２もそれぞれ、ノズルプレート４１をその厚み方向に沿って貫通しており、後述するアクチュエータプレート４２における吐出チャネルＣ２ｅ内に連通している。具体的には図４に示したように、各ノズル孔Ｈ２は、列状に形成されており、かつ、吐出チャネルＣ２ｅ上においてＹ軸方向に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ２におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ２ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一となっている。このようなノズル列４１２内のノズル孔Ｈ２からも、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ２ｅ内から供給されるインク９が吐出される。
【００２６】
ノズルプレート４１は、複数のノズル孔Ｈ１および複数のノズル孔Ｈ２が設けられた金属基板を有している。金属基板は、各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の噴出口Ｈｏｕｔが設けられた噴出側主面４１０Ｂと、噴出口Ｈｏｕｔよりも大きな、各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の流入口Ｈｉｎが設けられた流入側主面４１０Ａとを有している。これらのノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、例えば、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパー状のテーバー孔部４１０Ｃからなる貫通孔となっている。なお、例えば、図７に示したように、これらのノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパー状のテーバー孔部４１０Ｃと、テーバー孔部４１０Ｃに連通する円柱孔部４１０Ｄとを有する貫通孔となっていてもよい。
【００２７】
（アクチュエータプレート４２）
アクチュエータプレート４２は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。このアクチュエータプレート４２は、分極方向がＺ方向で異なる２つの圧電基板を積層して形成された、いわゆるシェブロンタイプのアクチュエータである。なお、アクチュエータプレート４２は、分極方向が厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って一方向に設定されている１つの圧電基板から形成された、いわゆるカンチレバータイプのアクチュエータであってもよい。また、図３および図４に示したように、アクチュエータプレート４２には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のチャネル列（チャネル列４２１，４２２）が設けられている。これらのチャネル列４２１，４２２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。
【００２８】
このようなアクチュエータプレート４２では、図４に示したように、Ｘ軸方向に沿った中央部（チャネル列４２１，４２２の形成領域）に、インク９の吐出領域（噴射領域）Ａ１が設けられている。一方、アクチュエータプレート４２において、Ｘ軸方向に沿った両端部（チャネル列４２１，４２２の非形成領域）には、インク９の非吐出領域（非噴射領域）Ａ２が設けられている。この非吐出領域Ａ２は、吐出領域Ａ１に対して、Ｘ軸方向に沿った外側に位置している。なお、アクチュエータプレート４２におけるＹ軸方向に沿った両端部はそれぞれ、尾部４２０を構成している。
【００２９】
上記したチャネル列４２１は、図３および図４に示したように、Ｙ軸方向に沿って延在する複数のチャネルＣ１を有している。これらのチャネルＣ１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ１は、圧電体（アクチュエータプレート４２）からなる駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている（図３参照）。
【００３０】
チャネル列４２２も同様に、Ｙ軸方向に沿って延在する複数のチャネルＣ２を有している。これらのチャネルＣ２は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ２もまた、上記した駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている。
【００３１】
ここで、図３および図４に示したように、チャネルＣ１には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ１ｅと、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ１ｄとが存在している。チャネル列４２１において、これらの吐出チャネルＣ１ｅとダミーチャネルＣ１ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１におけるノズル孔Ｈ１と連通している一方、各ダミーチャネルＣ１ｄはノズル孔Ｈ１には連通しておらず、ノズルプレート４１の上面によって下方から覆われている。
【００３２】
同様に、チャネルＣ２には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ２ｅと、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ２ｄとが存在している。チャネル列４２２において、これらの吐出チャネルＣ２ｅとダミーチャネルＣ２ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１におけるノズル孔Ｈ２と連通している一方、各ダミーチャネルＣ２ｄはノズル孔Ｈ２には連通しておらず、ノズルプレート４１の上面によって下方から覆われている。
【００３３】
また、図４に示したように、チャネルＣ１における吐出チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄは、チャネルＣ２における吐出チャネルＣ２ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄに対し、互い違いとなるように配置されている。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、チャネルＣ１における吐出チャネルＣ１ｅと、チャネルＣ２における吐出チャネルＣ２ｅとが、千鳥状に配置されている。図３に示したように、アクチュエータプレート４２において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに対応する部分には、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおけるＹ軸方向に沿った外側端部に連通する、浅溝部Ｄｄが形成されている。
【００３４】
ここで、図３および図５に示したように、上記した駆動壁Ｗｄにおける対向する内側面にはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って延在する駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄには、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに面する内側面に設けられたコモン電極Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに面する内側面に設けられたアクティブ電極Ｅｄａとが存在している。このような駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）は、図５に示したように、駆動壁Ｗｄの内側面上において、駆動壁Ｗｄと同じ深さ（Ｚ軸方向において同じ深さ）まで形成されている。また、アクチュエータプレート４２において、ノズルプレート４１側の面には、駆動電極Ｅｄとノズルプレート４１とが互いに電気的に短絡するのを防止する絶縁膜４２Ａが形成されている。なお、アクチュエータプレート４２が上述のカンチレバータイプとなっている場合には、駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）は、駆動壁Ｗｄの内側面内において、深さ方向（Ｚ軸方向）の中間位置までしか形成されていない。
【００３５】
同一の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）内で対向する一対のコモン電極Ｅｄｃ同士は、コモン端子（不図示）において互いに電気的に接続されている。また、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａ同士は、互いに電気的に分離されている。一方、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａ同士は、アクティブ端子（不図示）において互いに電気的に接続されている。
【００３６】
ここで、前述した尾部４２０においては、図３に示したように、駆動電極Ｅｄと制御部（インクジェットヘッド４における後述する制御部４０）との間を電気的に接続する、フレキシブルプリント基板４４が実装されている。このフレキシブルプリント基板４４に形成された配線パターン（不図示）は、上記したコモン端子およびアクティブ端子に対して電気的に接続されている。これにより、フレキシブルプリント基板４４を介して、後述する制御部４０から各駆動電極Ｅｄに対して、駆動電圧が印加されるようになっている。
【００３７】
（カバープレート４３）
カバープレート４３は、図３に示したように、アクチュエータプレート４２における各チャネルＣ１，Ｃ２（各チャネル列４２１，４２２）を閉塞するように配置されている。具体的には、このカバープレート４３は、アクチュエータプレート４２の上面に接着されており、板状構造となっている。
【００３８】
カバープレート４３には、図３に示したように、一対の入口側共通インク室４３１ａ，４３２ａと、一対の出口側共通インク室４３１ｂ，４３２ｂとが、それぞれ形成されている。具体的には、入口側共通インク室４３１ａおよび出口側共通インク室４３１ｂはそれぞれ、アクチュエータプレート４２におけるチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に形成されている。また、入口側共通インク室４３２ａおよび出口側共通インク室４３２ｂはそれぞれ、アクチュエータプレート４２におけるチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に形成されている。
【００３９】
入口側共通インク室４３１ａは、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。この入口側共通インク室４３１ａにおいて、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４３をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通する、供給スリットＳａが形成されている。同様に、入口側共通インク室４３２ａは、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。この入口側共通インク室４３２ａにおいて、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、上記した供給スリットＳａが形成されている。なお、これらの入口側共通インク室４３１ａ，４３２ａはそれぞれ、インクジェットヘッド４における前述した入口部Ｔｉｎを構成する部分である。
【００４０】
出口側共通インク室４３１ｂは、図３に示したように、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。この出口側共通インク室４３１ｂにおいて、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳｂが形成されている。同様に、出口側共通インク室４３２ｂは、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。この出口側共通インク室４３２ｂにおいて、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、上記した排出スリットＳｂが形成されている。なお、これらの出口側共通インク室４３１ｂ，４３２ｂはそれぞれ、インクジェットヘッド４における前述した出口部Ｔｏｕｔを構成する部分である。
【００４１】
このようにして、入口側共通インク室４３１ａおよび出口側共通インク室４３１ｂはそれぞれ、供給スリットＳａおよび排出スリットＳｂを介して各吐出チャネルＣ１ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ１ｄには連通していない。すなわち、各ダミーチャネルＣ１ｄは、これら入口側共通インク室４３１ａおよび出口側共通インク室４３１ｂにおける底部によって、閉塞されている。
【００４２】
同様に、入口側共通インク室４３２ａおよび出口側共通インク室４３２ｂはそれぞれ、供給スリットＳａおよび排出スリットＳｂを介して各吐出チャネルＣ２ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ２ｄには連通していない。すなわち、各ダミーチャネルＣ２ｄは、これら入口側共通インク室４３２ａおよび出口側共通インク室４３２ｂにおける底部によって、閉塞されている。
【００４３】
（制御部４０）
ここで、本実施の形態のインクジェットヘッド４にはまた、図２に示したように、プリンタ１における各種動作の制御を行う、制御部４０が設けられている。この制御部４０は、例えば、プリンタ１における画像や文字等の記録動作（インクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作）の他、前述した送液ポンプ５２ａ，５２ｂ等における各動作を制御するようになっている。このような制御部４０は、例えば、演算処理部と各種メモリからなる記憶部とを有する、マイクロコンピュータにより構成されている。
【００４４】
［プリンタ１の基本動作］
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインク９が十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインク９は、循環機構５を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。
【００４５】
このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に、記録紙Ｐが搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構６３における駆動モータ６３３が、プーリ６３１ａ，６３１ｂをそれぞれ回転させることで、無端ベルト６３２を動作させる。これにより、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂにガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）によって、４色のインク９を記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。
【００４６】
［インクジェットヘッド４における詳細動作］
続いて、図１〜図７を参照して、インクジェットヘッド４における詳細動作（インク９の噴射動作）について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド４（サイドシュートタイプ，循環式のインクジェットヘッド）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。
【００４７】
まず、上記したキャリッジ６２（図１参照）の往復移動が開始されると、制御部４０は、フレキシブルプリント基板４４を介して、インクジェットヘッド４内の駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）に対し、駆動電圧を印加する。具体的には、制御部４０は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを画成する一対の駆動壁Ｗｄに配置された各駆動電極Ｅｄに対し、駆動電圧を印加する。これにより、これら一対の駆動壁Ｗｄがそれぞれ、その吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに隣接するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ側へ、突出するように変形する（図５参照）。
【００４８】
このように、一対の駆動壁Ｗｄによる屈曲変形によって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大する。そして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大することにより、入口側共通インク室４３１ａ，４３２ａ内に貯留されたインク９が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されることになる（図３参照）。
【００４９】
次いで、このようにして吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に伝播する。そして、ノズルプレート４１のノズル孔Ｈ１，Ｈ２にこの圧力波が到達したタイミングで、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧が、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁Ｗｄが復元する結果、一旦増大した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が、再び元に戻ることになる（図５参照）。
【００５０】
このようにして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が元に戻ると、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内部の圧力が増加し、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２を通って外部へと（記録紙Ｐへ向けて）吐出される（図５参照）。このようにしてインクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作が行われることになる。特に、本実施の形態のノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、前述したように、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパー状のテーバー孔部４１０Ｃを有しているので（図６、図７参照）、インク９を高速度で真っ直ぐに（直進性良く）吐出することができる。よって、高画質な記録を行うことが可能となる。
【００５１】
［ノズルプレート４１の製造方法］
次に、本開示の一実施の形態に係る噴射孔プレートとしてのノズルプレート４１の製造方法について説明する。図８は、ノズルプレート４１の製造手順の一例を表す流れ図である。図９Ａ〜図９Ｈは、ノズルプレート４１の製造工程の一例を表す断面図である。
【００５２】
まず、金属基板１００を用意する（図９Ａ）。金属基板１００は、ＳＵＳ３１６やＳＵＳ３０４をはじめとするステンレス鋼によって形成されている。金属基板１００の一方の面が第１主面１００Ａとなっており、金属基板の１００の他方の面が第２主面１００Ｂとなっている。なお、金属基板１００を加工することによりノズルプレート４１となる。また、金属基板１００の第１主面１００Ａがノズルプレート４１の流入側主面４１０Ａとなる面であり、金属基板１００の第２主面１００Ｂがノズルプレート４１の噴出側主面４１０Ｂとなる面である。
【００５３】
次に、パンチ加工を行う（ステップＳ１０１）。まず、ノズルプレート４１のノズル孔Ｈ１におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一ピッチの複数の貫通孔３００Ｈを有するダイ３００上に、第１主面１００Ａを上にして、金属基板１００を固定する。各貫通孔３００Ｈの径は、後述のパンチ２００の円柱部２２０の径よりも大きくなっている。続いて、金属基板１００の第１主面１００Ａを１または複数のパンチ２００で押圧する。具体的には、金属基板１００の第１主面１００Ａのうち、各貫通孔３００Ｈと対向する箇所を１または複数のパンチ２００で押圧する。これにより、第１主面１００Ａに複数の凹部１００Ｃを形成するとともに、第２主面１００Ｂのうち、各凹部１００Ｃと対向する位置に凸部１００Ｄを形成する（図９Ｂ）。
【００５４】
ここで、パンチ２００は、円錐台形状のテーパー部２１０と、テーパー部２１０の先端に接して形成された円柱部２２０とを有している。そのため、パンチ２００の押圧により形成された凹部１００Ｃは、パンチ２００の形状を反転させた形状となっており、具体的には、円錐台形状のテーパー孔部と、テーパー孔部と連通する円柱孔部とを有している。このとき、凹部１００Ｃは、金属基板１００の厚さ（第１主面１００Ａと第２主面１００Ｂとの距離）よりも深くなっている。
【００５５】
次に、１回目の研磨を行う（ステップＳ１０２）。具体的には、各凸部１００Ｄを機械研磨によって削り、各凹部１００Ｃを貫通させることにより、複数のノズル孔Ｈ１を形成する（図９Ｃ）。ここで、機械研磨としては、例えば、テープ４００による研磨（テープ研磨）などが挙げられる。テープ４００は、例えば、厚さ７５μｍ程度の長尺なポリエステルフィルムの一方の面に、複数の砥粒が接着剤によりほぼ全面に亘って固定されたものである。
【００５６】
なお、ノズル孔Ｈ１の流入端部（流入口Ｈｉｎ）近傍に、パンチ２００の押圧に伴って突起が生じることがある。その場合には、機械研磨により、各凸部１００Ｄを削ることに加えて、第１主面１００Ａをより平坦にしてもよい。その結果、第１主面１００Ａは概ね平坦となる。ここで、機械研磨としては、例えば、図９Ｄに示したように、テープ４００による研磨（テープ研磨）などが挙げられる。
【００５７】
ところで、例えば、図９Ｅに示したように、上記の機械研磨に伴って、ノズル孔Ｈ１の吐出端部（噴出口Ｈｏｕｔ）にバリ１００Ｆが生じることがある。本実施の形態では、そのようなバリ１００Ｆの発生を考慮して、２回目の研磨を行う（ステップＳ１０３）。具体的には、金属基板１００のうち、第１主面１００Ａおよび第２主面１００Ｂの少なくとも一方の面を、化学研磨、電解研磨、または、化学機械研磨によって研磨する。
【００５８】
（化学研磨）
化学研磨とは、化学研磨液５１０と呼ばれる酸性液体にワークを投入し、ワーク表面を溶かす技術を指している。例えば、図９Ｆに示したように、容器５００に、化学研磨液５１０を充填し、その化学研磨液５１０の中にワークとしての金属基板１００を浸すことにより、化学研磨を行う。化学研磨液５１０としては、例えば、日本表面化学株式会社のＵ−２４１３などが挙げられる。なお、金属基板１００の双方の主面のうちいずれか一方の主面（第１主面１００Ａまたは第２主面１００Ｂ）だけを研磨したい場合には、金属基板１００の双方の主面（第１主面１００Ａおよび第２主面１００Ｂ）のうち、研磨しない方の主面を化学研磨液５１０に対して耐性を有する皮膜で覆うか、または、研磨しない方の主面を何らかの基板に接触させておいてもよい。
【００５９】
（電解研磨）
電解研磨とは、電解研磨液と呼ばれる酸性液体にワークおよび金属板を漬け込み、ワークを陽極とし、金属板を陰極とし電流を流すと、陰極側に面したワーク表面のＦｅ（鉄）やＮｉ（ニッケル）等の原子が酸性液体に溶けだし、ワーク表面がエッチングされる技術を指している。例えば、図９Ｇに示したように、容器５００に、電解研磨液５２０を充填し、その電解研磨液５２０の中にワークとしての金属基板１００と、金属板５３０を浸した上で、金属基板１００を陽極とし、金属板５３０を陰極として電流を流すことにより、電解研磨を行う。電解研磨液５２０としては、例えば、日本表面化学株式会社の６Ｃ０１６などが挙げられる。
【００６０】
電解研磨により、金属基板１００の表面では、溶解が進行する一方で、酸化皮膜（不動態皮膜）１１０の生成が同時に進行する。ステンレスの主要な成分であるＦｅおよびＣｒ（クロム）は、通電に伴って溶け出し、Ｃｒは直ちにＯ（酸素）と結合してステンレス表面に新たな酸化皮膜１１０を生成する。通電が進行するに伴い、ステンレス表面のＣｒが濃縮され、Ｃｒ濃度の高い酸化皮膜１１０を生成する。なお、金属基板１００の双方の主面のうちいずれか一方の主面（第１主面１００Ａまたは第２主面１００Ｂ）だけを研磨したい場合には、例えば、金属基板１００の双方の主面（第１主面１００Ａおよび第２主面１００Ｂ）のうち、研磨したくない方の主面と対向する位置には金属板５３０を設置せず、研磨したい方の主面と対向する位置にだけ金属板５３０を設置してもよい。
【００６１】
（化学機械研磨）
化学機械研磨とは、研磨剤（砥粒）自体が有する表面化学作用または研磨液に含まれる化学成分の作用によって、研磨剤とワークとの相対運動による機械的研磨（表面除去）効果を増大させ、高速かつ平滑な研磨面を得る技術を指している。例えば、図９Ｈに示したように、吐出器５４０から、研磨剤を含む研磨液５５０を研磨パッド５６０上に吐出した上で、ワークである金属基板１００を回転させると同時に研磨パッド５６０を回転させることにより、化学機械研磨を行う。例えば、第１主面１００Ａを上にして金属基板１００を研磨パッド５６０上に置いて化学機械研磨を行った後に、第２主面１００Ｂを上にして金属基板１００を研磨パッド５６０上に置いて化学機械研磨を行う。
【００６２】
化学機械研磨により、金属基板１００の表面では、研磨液５５０に含まれる研磨剤（砥粒）自体が有する表面化学作用または研磨液５５０に含まれる化学成分の作用によって、研磨液５５０とワークである金属基板１００との相対運動による機械的研磨（表面除去）が促進され、金属基板１００の表面が平滑となる。なお、金属基板１００の双方の主面のうちいずれか一方の主面（第１主面１００Ａまたは第２主面１００Ｂ）だけを研磨したい場合には、金属基板１００の双方の主面（第１主面１００Ａおよび第２主面１００Ｂ）のうち、研磨したい方の主面を研磨パッド５６０に接触させて、化学機械研磨を行ってもよい。
【００６３】
なお、２回目の研磨工程（ステップＳ１０３）において、第１主面１００Ａおよび第２主面１００Ｂに加えて、各ノズル孔Ｈ１の内壁も、上記化学研磨、上記電解研磨、または、上記化学機械研磨によって研磨してもよい。例えば、図９Ｆに示したような方法で上記化学研磨を行うことにより、各ノズル孔Ｈ１の内壁にも化学研磨液５１０が接触する。その結果、第１主面１００Ａおよび第２主面１００Ｂに加えて、各ノズル孔Ｈ１の内壁も、上記化学研磨によって研磨することができる。また、例えば、図９Ｇに示したような方法で上記電解研磨を行うことにより、各ノズル孔Ｈ１の内壁にも電解研磨液５２０が接触する。その結果、第１主面１００Ａおよび第２主面１００Ｂに加えて、各ノズル孔Ｈ１の内壁も、上記電解研磨によって研磨することができる。また、例えば、図９Ｈに示したような方法で上記化学機械研磨を行うことにより、各ノズル孔Ｈ１の内壁にも研磨液５５０が接触する。その結果、第１主面１００Ａおよび第２主面１００Ｂに加えて、各ノズル孔Ｈ１の内壁も、上記化学機械研磨によって研磨することができる。このようにして、ノズルプレート４１が製造される。
【００６４】
[作用・効果］
次に、本開示の一実施の形態に係る噴射孔プレートとしてのノズルプレート４１の作用・効果について説明する。
【００６５】
インクジェットヘッドを備えたプリンタが、様々な分野に利用されている。インクジェットヘッドは、多数のノズル孔が形成されたノズルプレートを含む複数のプレートの積層体を備えており、各ノズル孔から被記録媒体に対して液体であるインクを吐出するように構成されている。このようなノズルプレートは、例えば、金属基板に対してプレス加工を行うことにより形成される。このようなノズルプレートでは、一般に、耐久性を向上させることが求められている。
【００６６】
しかし、ノズル孔を形成する際に、プレス加工後に凸部に対して機械研磨のみを行った場合、ノズル孔にバリが残る可能性がある。その場合には、飛翔液滴の偏向が誘発され、印字品質が落ちる可能性がある。また、プレス加工後の凸部除去を電解研磨のみで行った場合、ノズル孔にダレ（sag）が発生し、吐出安定性が損なわれる可能性がある。また、パンチによるプレス加工にてノズル孔を形成した場合、その内壁にはパンチの表面粗さに依存して凹凸が出来、気泡付着によるノズル抜け（液滴が吐出されない現象）が誘発される可能性がある。ノズル抜けが発生した場合、吐出安定性やインクの充填性が損なわれ、また、液体抵抗が高くなることによる吐出の高電圧化も懸念される。また、パンチによるプレス加工時に第１主面１００Ａ側に突起が発生した場合に、そのような突起が残っているときには、ノズルプレートとアクチュエータプレートとの接着性が低下し、ヘッドの耐久性を損なう可能性がある。また、アクチュエータプレートの絶縁膜４２Ａが突起によって破れ、駆動電極Ｅｄとノズルプレート４１との間に電流リークが生じたり、駆動電極Ｅｄとノズルプレート４１とが互いに電気的に短絡したりする可能性がある。第１主面１００Ａ側にそのような突起が残っていない場合であっても、第１主面１００Ａ側の表面組成が不均一となっているときには、ノズルプレートとアクチュエータプレートとの密着性が低下し、ヘッドの耐久性が低下する可能性がある。また、ノズルプレートに表面腐食が発生した場合、表面腐食に起因する吐出異常やノズルプレートがアクチュエータプレートから剥離する可能性がある。また、ノズルプレートの材料によっては、使用できるインクの種類が限定される可能性がある。
【００６７】
一方、本実施の形態に係るノズルプレート４１では、パンチ加工により形成された各凸部１００Ｄが機械研磨によって削られ、パンチ加工により形成された各凹部１００Ｃが貫通することにより、ノズル孔Ｈ１が金属基板１００に形成される。その後、金属基板１００のうち、第１主面１００Ａおよび第２主面１００Ｂの少なくとも一方の面が、化学研磨、電解研磨、または、化学機械研磨によって研磨される。
【００６８】
これにより、例えば、最初の機械研磨によってノズル孔Ｈ１の噴出口Ｈｏｕｔに発生したバリなどが、その後の化学研磨、電解研磨、または、化学機械研磨によって小さくなるか、またはなくなる。これにより、噴射される液滴の直進性が向上するので、吐出安定性を確保することが可能となる。また、例えば、最初の機械研磨を省略し、化学研磨、電解研磨、または、化学機械研磨によって各凸部１００Ｄを研磨した場合と比べて、ノズル孔Ｈ１にダレ（sag）が生じ難い。これにより、吐出安定性を確保することが可能となる。さらに、また、例えば、第１主面１００Ａおよび第２主面１００Ｂの両面に対して化学研磨、電解研磨、または、化学機械研磨を行った場合、最初の機械研磨のみによって各凸部１００Ｄを研磨した場合と比べて、第１主面１００Ａの表面組成が均一になる。これにより、ノズル孔Ｈ１へのインクの供給を制御するアクチュエータプレート４２の、第１主面１００Ａへの密着性を向上させることが可能となる。その結果、ノズルプレート４１の接着力不足に伴うヘッドの耐久性低下を抑制することができる。
【００６９】
また、本実施の形態に係るノズルプレート４１では、２回目の研磨工程（ステップＳ１０３）において、第１主面１００Ａおよび第２主面１００Ｂに加えて、各ノズル孔Ｈ１の内壁も、化学研磨、電解研磨、または、化学機械研磨によって研磨される。これにより、最初のパンチ加工によってノズル孔Ｈ１の内壁に発生した表面荒れが、その後の化学研磨、電解研磨、または、化学機械研磨によって小さくなるか、またはなくなる。その結果、気泡付着によるノズル抜け（液滴が吐出されない現象）が生じ難くなるので、吐出安定性を確保することが可能となり、また、インクの充填性が向上する。また、液体抵抗が小さくなるので、低電圧での吐出が可能となる。
【００７０】
また、本実施の形態に係るノズルプレート４１では、用いられる金属基板１００が、ステンレス鋼によって形成されている。これにより、化学研磨、電解研磨、または、化学機械研磨によって、金属基板１００の表面のＣｒ濃度が高くなるので、金属基板１００の表面腐食が抑制される。これにより、表面腐食に起因する吐出異常や金属基板剥離が抑制されるので、吐出安定性およびヘッドの耐久性が向上する。また、使用できるインクの種類が限定されることがなくなるので、ヘッドの汎用性が向上する。
【００７１】
また、本実施の形態に係るノズルプレート４１において、１回目の研磨工程（ステップＳ１０２）において、機械研磨によって、各凸部１００Ｄを削ることに加えて、第１主面１００Ａをより平坦にした場合には、例えば、パンチ２００によって生じた、第１主面１００Ａ上の突起が原因で、ノズル孔Ｈ１へのインクの供給を制御するアクチュエータプレート４２の、第１主面１００Ａへの密着性が低下するのを防止することができる。その結果、ヘッドの耐久性を保つことができる。さらに、例えば、第１主面１００Ａ上の突起が原因で絶縁膜４２Ａの絶縁性が破れる可能性がなくなる。その結果、駆動電極Ｅｄとノズルプレート４１との間に電流リークが生じたり、駆動電極Ｅｄとノズルプレート４１とが互いに電気的に短絡したりするのを防止することができる。
【００７２】
＜２．変形例＞
以上、実施の形態を挙げて本開示を説明したが、本開示はこの実施の形態に限定されず、種々の変形が可能である。
【００７３】
例えば、上記実施の形態では、プリンタ１およびインクジェットヘッド４における各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。また、上記実施の形態で説明した各種パラメータの値や範囲、大小関係等についても、上記実施の形態で説明したものには限られず、他の値や範囲、大小関係等であってもよい。
【００７４】
具体的には、例えば、上記実施の形態では、２列タイプの（２列のノズル列４１１，４１２を有する）インクジェットヘッド４を挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、１列タイプ（１列のノズル列を有する）のインクジェットヘッドや、３列以上の複数例タイプ（３列以上のノズル列を有する）インクジェットヘッドであってもよい。
【００７５】
また、例えば、上記実施の形態では、ノズル列４１１，４１２がそれぞれＸ軸方向に沿って直線状に延在している場合について説明したが、この例には限らず、例えば、ノズル列４１１，４１２がそれぞれ、斜め方向に延在するようにしてもよい。更に、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の形状についても、上記実施の形態で説明したような円形状には限られず、例えば、三角形状等の多角形状や、楕円形状や星型形状などであってもよい。
【００７６】
また、例えば、上記実施の形態では、インクジェットヘッド４がサイドシュートタイプとなっている場合について説明したが、この例には限らず、例えば、インクジェットヘッド４が他のタイプとなっていてもよい。また、例えば、上記実施の形態では、インクジェットヘッド４が循環式となっている場合について説明したが、この例には限らず、例えば、インクジェットヘッド４が循環しない他の方式となっていてもよい。
【００７７】
また、例えば、上記実施の形態およびその変形例において、１つのパンチ２００を用いてパンチ加工を行う場合には、単一の貫通孔３００Ｈが設けられたダイ３００を用いてもよい。このとき、１つのパンチ２００および単一の貫通孔３００Ｈは、一対になっており、両者が金属基板１００に対して相対的に移動することにより、金属基板１００に複数の凸部１００Ｄを列状に形成することができる。
【００７８】
また、例えば、上記実施の形態およびその変形例において、ノズルプレート４１に設けられたノズル孔Ｈ１の数が１つであってもよい。また、例えば、上記実施の形態およびその変形例において、ノズルプレート４１に設けられたノズル孔Ｈ２の数が１つであってもよい。また、例えば、上記実施の形態およびその変形例において、ノズルプレート４１に対して、ノズル孔Ｈ１およびノズル孔Ｈ２のいずれか一方だけが設けられていてもよく、さらに、ノズルプレート４１に設けられた、インク９吐出用の孔の数が１つであってもよい。
【００７９】
加えて、上記実施の形態で説明した一連の処理は、ハードウェア（回路）で行われるようにしてもよいし、ソフトウェア（プログラム）で行われるようにしてもよい。ソフトウェアで行われるようにした場合、そのソフトウェアは、各機能をコンピュータにより実行させるためのプログラム群で構成される。各プログラムは、例えば、上記コンピュータに予め組み込まれて用いられてもよいし、ネットワークや記録媒体から上記コンピュータにインストールして用いられてもよい。
【００８０】
また、上記実施の形態では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド４）や「噴射孔プレート」（ノズルプレート４１）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「液体噴射ヘッド」や「噴射孔プレート」を適用するようにしてもよい。
【００８１】
また、上記実施の形態およびその変形例では、プリンタ１の記録対象物は記録紙Ｐであったが、本開示の「液体噴射記録装置」の記録対象物はこれに限られない。例えば、ボール紙、布、プラスチック、金属など、様々な材料にインクを噴射することによって、文字や模様を形成することができる。また、記録対象物は平面形状である必要もなく、食品、タイル等の建材、家具、自動車など様々な立体物の塗装や装飾を行うこともできる。さらに、本開示の「液体噴射記録装置」によって、繊維を捺染することができ、あるいは噴射後にインクを固化させることによって立体造形を行うこともできる（いわゆる３Ｄプリンタ）。
【００８２】
更に、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。
【００８３】
なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
【００８４】
また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
金属基板の第１主面をパンチで押圧することにより、前記第１主面に凹部を形成するとともに、前記金属基板の第２主面のうち、前記凹部と対向する位置に凸部を形成するパンチ加工工程と、
前記凸部を機械研磨によって削り、前記凹部を貫通させることにより、噴射孔を形成する第１研磨工程と、
前記金属基板のうち、前記第１主面および前記第２主面の少なくとも一方の面を、化学研磨、電解研磨、または、化学機械研磨によって研磨する第２研磨工程と
を含む噴射孔プレートの製造方法。
（２）
前記第２研磨工程において、前記第１主面および前記第２主面に加えて、前記噴射孔の内壁も、前記化学研磨、前記電解研磨、または、前記化学機械研磨によって研磨する
（１）に記載の噴射孔プレートの製造方法。
（３）
前記金属基板は、ステンレス鋼によって形成されている
（１）または（２）に記載の噴射孔プレートの製造方法。
（４）
前記第１研磨工程において、機械研磨によって、前記凸部を削ることに加えて、前記第１主面をより平坦にする
（１）ないし（３）のいずれか１つに記載の噴射孔プレートの製造方法。
【符号の説明】
【００８５】
１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）…インクジェットヘッド、４０…制御部、４１…ノズルプレート、４１１，４１２…ノズル列、４２…アクチュエータプレート、４２Ａ…絶縁膜、４２０…尾部、４２１，４２２…チャネル列、４３…カバープレート、４３１ａ，４３２ａ…入口側共通インク室、４３１ｂ，４３２ｂ…出口側共通インク室、４４…フレキシブルプリント基板、５…循環機構、５０…循環流路、５０ａ，５０ｂ…流路、５２ａ，５２ｂ…送液ポンプ、６…走査機構、６１ａ，６１ｂ…ガイドレール、６２…キャリッジ、６３…駆動機構、６３１ａ，６３１ｂ…プーリ、６３２…無端ベルト、６３３…駆動モータ、９…インク、１００…金属基板、１００Ａ…第１主面、１００Ｂ…第２主面、１００Ｃ…凹部、１００Ｄ…凸部、１００Ｆ…バリ、１１０…酸化皮膜、２００…パンチ、２１０…テーパー部、２２０…円柱部、３００…ダイ、３００Ｈ…貫通孔、４００…テープ、４１０Ａ…流入側主面、４１０Ｂ…噴出側主面、５００…容器、５１０…化学研磨液、５２０…電解研磨液、５３０…金属板、５４０…吐出器、５５０…研磨液、５６０…研磨パッド、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向、Ｔｉｎ…入口部、Ｔｏｕｔ…出口部、Ｈ１，Ｈ２…ノズル孔、Ａ１…吐出領域（噴射領域）、Ａ２…非吐出領域（非噴射領域）、Ｃ１，Ｃ２…チャネル、Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅ…吐出チャネル、Ｃ１ｄ，Ｃ２ｄ…ダミーチャネル、Ｗｄ…駆動壁、Ｅｄ…駆動電極、Ｅｄｃ…コモン電極、Ｅｄａ…アクティブ電極、Ｄｄ…浅溝部、Ｓａ…供給スリット、Ｓｂ…排出スリット、Ｈｉｎ…流入口、Ｈｏｕｔ…噴出口。
【図１】
2019089233.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
2019089233.tif 000013
【図９Ｄ】
2019089233.tif 000014
【図９Ｅ】
2019089233.tif 000015
【図９Ｆ】
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【図９Ｇ】
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【図９Ｈ】
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