(57)【要約】      （修正有）【課題】電子部品がじょうご部に当接して吸着コレットから離れたとしても、この電子部品が穴の収容部に確実に収容される電子部品用整列装置を提供する。【解決手段】電子部品用整列装置はポケット２４を有するキャリア１４と、下端で電子部品１３に吸着する第１の吸着コレット１７と、上端で電子部品１３に吸着する第２の吸着コレット１８と制御部を備える。ポケット２４は、穴２５と貫通孔２６とからなる。穴２５は、じょうご部２７と、収容部２８とを有している。制御装置は、第１の吸着コレット１７を電子部品１３が吸着されている状態で最下位置まで下降させ、第２の吸着コレット１８を、第１の吸着コレット１７に吸着されている電子部品１３に吸着させる。また、制御装置は、第１の吸着コレット１７を解放し、電子部品１３を吸着している第２の吸着コレット１８を電子部品１３が穴２５の底壁に支えられるまで下降させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に開口し、電子部品を収容する穴と、他方の面と前記穴の底面に開口する貫通孔とを有する板状のキャリアと、
電子部品に吸着する第１の吸着面が下端に形成され、前記穴の開口近傍を移動範囲の最下位置として昇降する第１の吸着コレットと、
電子部品に吸着する第２の吸着面が上端に形成され、前記穴の開口近傍を移動範囲の最上位置として前記穴および前記貫通孔内を通って昇降する第２の吸着コレットと、
前記第１の吸着コレットおよび前記第２の吸着コレットの昇降動作を制御するとともに吸着、解放の切替えを行う制御部とを備え、
前記穴は、
前記キャリアの前記一方の面に開口する部分から前記底面に向かうにしたがって開口幅が次第に狭くなるじょうご形に形成されたじょうご部と、
前記じょうご部から連続し、電子部品が嵌合する側壁および電子部品の下端を支える底壁によって規定される収容部とを有し、
前記制御部は、
前記第１の吸着コレットを、前記第１の吸着面に電子部品を吸着している状態で前記最下位置まで下降させ、
前記第２の吸着コレットを、前記第１の吸着コレットに吸着されている電子部品に吸着させるとともに前記第１の吸着コレットを解放し、
前記第２の吸着コレットを、前記電子部品を吸着した状態で、この電子部品が前記穴の底壁に支えられるまで下降させる電子部品用整列装置。
【請求項２】
請求項１記載の電子部品用整列装置において、
前記穴および前記貫通孔は、前記キャリアの複数の位置にそれぞれ設けられ、
前記第１の吸着コレットおよび前記第２の吸着コレットは、前記複数の位置と対応してそれぞれ設けられていることを特徴とする電子部品用整列装置。
【請求項３】
請求項２記載の電子部品用整列装置において、
さらに、
複数の前記第１の吸着コレットを水平方向において互いに直交する第１の方向と第２の方向とのうち第１の方向に移動させる第１の移動装置と、
複数の前記第２の吸着コレットを前記第１の方向に移動させる第２の移動装置とを備え、
前記穴と前記貫通孔とは、前記キャリアの前記第１の方向と前記第２の方向とにそれぞれ所定の間隔をおいて並ぶ位置にそれぞれ設けられ、
複数の前記第１の吸着コレットと複数の前記第２の吸着コレットとは、それぞれ前記第２の方向に所定の間隔をおいて並べて設けられ、前記第１の移動装置および前記第２の移動装置によってそれぞれ駆動されて前記第１の方向に間欠的に移動し、停止する毎に複数の前記穴に電子部品を装填することを特徴とする電子部品用整列装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を収容する穴を有するキャリアと、この穴に電子部品を装填する吸着コレットとを備えた電子部品用整列装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体デバイスやチップ部品などの電子部品の通電検査では、電子部品の接続用端子に検査装置のプローブを押し付けている。この通電検査を行うに当たっては、電子部品の接続用端子とプローブとの位置を合わせるために、電子部品を整列用の穴に収容して整列している。この「整列」とは、電子部品の縦方向および横方向の位置と、電子部品を穴に挿入する方向の軸線回りの角度などをプローブに適合する位置、角度に整えることである。
【０００３】
従来のキャリアの整列用の穴は、例えば図１０に示すように、キャリア１に形成されている。キャリア１は、複数の穴２が形成された板状の部材で、これらの穴２に電子部品３が挿入された状態で後述するローダ部（図示せず）から検査装置（図示せず）に搬送される。
【０００４】
図１０に示すキャリア１の穴２は、キャリア１の上面１ａに開口するじょうご部４と、このじょうご部４の下で電子部品３を収容する収容部５とを有している。
じょうご部４は、キャリア１の上面１ａに開口する部分から穴２の底面２ａに向かうにしたがって開口幅が次第に狭くなるじょうご形に形成されている。
収容部４は、電子部品３が嵌合する側壁６と、電子部品３を支える底壁７とを有している。底壁７には貫通孔８が開口している。
【０００５】
貫通孔８は、穴２の底面２ａとキャリア１の下面１ｂとに開口している。
電子部品３は、後述するローダ部の吸着コレット９に吸着されて保持されている。
ローダ部は、例えば特許文献１に記載されているように、多数の検査前の電子部品が載せられたトレイと、このトレイから電子部品をキャリアに移す移載装置とを備えている。
トレイには、電子部品を収容する複数の凹部が形成されている。この凹部は、電子部品の出し入れを容易に行うことができるように、電子部品の微小な移動を許容する形状に形成されている。
【０００６】
移載装置は、電子部品の上面に吸着する吸着コレット９を有している。この吸着コレット９は、電子部品３に吸着して電子部品３を保持した状態で上下方向と水平方向とに移動する。
ローダ部において、電子部品３がトレイからキャリアに移されるときは、先ず、吸着コレット９がトレイ上の電子部品３の上面に吸着し、この電子部品３を保持した状態で上昇する。そして、吸着コレット９は、トレイの上方からキャリア１の上方まで水平方向に移動した後に下降する。
【０００７】
吸着コレット９が下降すると、図１０に示すように、電子部品３が穴２のじょうご部４に上方から挿入される。このとき、電子部品３が正しい位置からずれていると、電子部品３の下端部がじょうご部４の壁面に接触して押され、ずれが解消されるように電子部品３が吸着コレット９に対して移動する。このため、電子部品３は、整列が行われながら下降し、整列が完了した状態で穴２の収容部５に収容される。
吸着コレット９は、電子部品３が穴２の収容部５に収容された後に上昇し、初期の位置に戻る。
【０００８】
キャリア１は、このように穴２に電子部品３が収容された後、図示していない搬送装置によって検査装置に搬送される。
キャリア１が検査装置に搬送されると、キャリア１の下面１ｂに開口している貫通孔８に下方からプローブ（図示せず）が挿入される。通電検査は、このプローブが電子部品３の接続用端子に接触した状態で行われる。なお、図示してはいないが、通電検査時には穴２に上方から固定用治具が挿入され、電子部品３がこの固定用治具によって押されて穴２の底壁７に押し付けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平６−１７７５８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述した穴２を有するキャリア１と、電子部品３を上方から穴２に挿入する吸着コレット９とによって構成された従来の電子部品用整列装置では、電子部品３をキャリア１の穴２に挿入する行程で電子部品３が吸着コレット９から外れ、図１１中に二点鎖線で示すように、穴２内に傾いた状態で落下してしまうことがあった。
電子部品３が吸着コレット９から外れる理由は、図１１中に実線で示すように、電子部品３の下端部がじょうご部４の壁面に当接したときに電子部品３が傾斜し、この電子部品３と吸着コレット９との間に隙間が生じて電子部品３を吸着することができなくなるからであると考えられる。
【００１１】
本発明の目的は、電子部品がじょうご部に当接して吸着コレットから離れたとしても、この電子部品が穴の収容部に確実に収容される電子部品用整列装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この目的を達成するために、本発明に係る電子部品用整列装置は、一方の面に開口し、電子部品を収容する穴と、他方の面と前記穴の底面に開口する貫通孔とを有する板状のキャリアと、電子部品に吸着する第１の吸着面が下端に形成され、前記穴の開口近傍を移動範囲の最下位置として昇降する第１の吸着コレットと、電子部品に吸着する第２の吸着面が上端に形成され、前記穴の開口近傍を移動範囲の最上位置として前記穴および前記貫通孔内を通って昇降する第２の吸着コレットと、前記第１の吸着コレットおよび前記第２の吸着コレットの昇降動作を制御するとともに吸着、解放の切替えを行う制御部とを備え、前記穴は、前記キャリアの前記一方の面に開口する部分から前記底面に向かうにしたがって開口幅が次第に狭くなるじょうご形に形成されたじょうご部と、前記じょうご部から連続し、電子部品が嵌合する側壁および電子部品の下端を支える底壁によって規定される収容部とを有し、  前記制御部は、前記第１の吸着コレットを、前記第１の吸着面に電子部品を吸着している状態で前記最下位置まで下降させ、前記第２の吸着コレットを、前記第１の吸着コレットに吸着されている電子部品に吸着させるとともに前記第１の吸着コレットを解放し、前記第２の吸着コレットを、前記電子部品を吸着した状態で、この電子部品が前記穴の底壁に支えられるまで下降させる。
【００１３】
本発明は、前記電子部品用整列装置において、前記穴および前記貫通孔は、前記キャリアの複数の位置にそれぞれ設けられ、前記第１の吸着コレットおよび前記第２の吸着コレットは、前記複数の位置と対応してそれぞれ設けられていてもよい。
【００１４】
本発明は、前記電子部品用整列装置において、さらに、複数の前記上側吸着コレットを水平方向において互いに直交する第１の方向と第２の方向とのうち第１の方向に移動させる第１の移動装置と、複数の前記第２の吸着コレットを前記第１の方向に移動させる第２の移動装置とを備え、前記穴と前記貫通孔とは、前記キャリアの前記第１の方向と前記第２の方向とにそれぞれ所定の間隔をおいて並ぶ位置にそれぞれ設けられ、複数の前記第１の吸着コレットと複数の前記第２の吸着コレットとは、それぞれ前記第２の方向に所定の間隔をおいて並べて設けられ、前記第１の移動装置および前記第２の移動装置によってそれぞれ駆動されて前記第１の方向に間欠的に移動し、停止する毎に複数の前記穴に電子部品を装填してもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る電子部品用整列装置においては、電子部品が第１の吸着コレットに吸着されて保持された状態から電子部品の整列動作が開始される。第１の吸着コレットは、電子部品を吸着した状態で下降し、電子部品をキャリアの穴の開口近傍に位置付ける。第２の吸着コレットは、キャリアの貫通孔内と穴内とを通って上昇し、第１の吸着コレットに保持されて穴の開口近傍に位置している電子部品に吸着する。この第２の吸着コレットは、第１の吸着コレットが電子部品を解放した後に下降する。
【００１６】
第２の吸着コレットが下降することにより電子部品が穴内を下降する。電子部品が穴の収容部内に嵌合可能な位置に位置していない場合は、電子部品の下端部が穴のじょうご部の壁面に接触する。じょうご部の壁面は、下方に向かうにしたがってじょうご部の開口幅が次第に狭くなるように傾斜している。このため、電子部品がじょうご部に接触することによって、電子部品が移動し、電子部品の吸着位置が修正される。
【００１７】
電子部品は、じょうご部に接触したときに傾斜して電子部品の下面の一部が第２の吸着コレットから離れることがある。このような場合は、第２の吸着コレットの吸引力と、重力とが電子部品に作用するから、電子部品がじょうご部の壁面に沿って滑り下り、第２の吸着コレットに再び吸着されるようになる。
このように電子部品を吸着した第２の吸着コレットは、電子部品が穴の収容部に嵌合し、穴の底壁に支えられるまで下降する。電子部品が収容部に嵌合することによって、電子部品が整列される。
【００１８】
したがって、本発明によれば、電子部品がじょうご部に当接して吸着コレットから離れたとしても、第２の吸着コレットに再び吸着され、この電子部品が穴の収容部に確実に収容される電子部品用整列装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る電子部品用整列装置の構成を示す側面図である。
【図２】搬送テーブルを破断して示す斜視図である。
【図３】第２の吸着コレットの駆動系の構成を示す斜視図である。
【図４】キャリアの一部を拡大して示す断面図である。
【図５】制御系の構成を示すブロック図である。
【図６】第１および第２の吸着コレットの動作を説明するための断面図である。図６（Ａ）は、電子部品の受渡し前の状態を示し、図６（Ｂ）は、電子部品の受渡し時の状態を示す。図６（Ｃ）は、受渡し後の状態を示し、図６（Ｄ）は、電子部品がじょうご部内を下降している状態を示す。図６（Ｅ）は、電子部品が第２の吸着コレットから外れた状態を示す。図６（Ｆ）は、電子部品が穴の底壁に載置された状態を示し、図６（Ｇ）は、第２の吸着コレットが電子部品から離れて下降している状態を示す。
【図７】電子部品用整列装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図８】電子部品用整列装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図９】電子部品用整列装置の動作を説明するためのタイミングチャートである。
【図１０】従来の電子部品用整列装置の構成を説明するための断面図である。
【図１１】従来の電子部品用整列装置において電子部品が吸着コレットから外れた状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る電子部品用整列装置の一実施の形態を図１〜図９を参照して詳細に説明する。
図１に示す電子部品用整列装置１１は、図１の中央部に図示されている部品供給用のトレイ１２から電子部品１３を取出し、この電子部品１３を部品搬送用のキャリア１４に装填することによって整列する装置である。なお、図１は、電子部品用整列装置１１の構成を理解し易くするために、構成部品を模式的に描いてある。
【００２１】
この電子部品用整列装置１１は、電子部品１３をトレイ１２からキャリア１４まで送る部品供給部１５と、この部品供給部１５から電子部品１３を受け取ってキャリア１４に装填する装填部１６とを備えている。部品供給部１５は、詳細は後述するが、電子部品１３の上面に吸着する第１の吸着コレット１７を備え、この第１の吸着コレット１７とともに電子部品１３を搬送する。
【００２２】
装填部１６は、電子部品１３の下面に吸着する第２の吸着コレット１８を備え、この第２の吸着コレット１８とともに電子部品１３を下降させてキャリア１４に装填する。
キャリア１４に装填された電子部品１３は、キャリア１４とともに検査装置（図示せず）に送られ、この検査装置内で通電検査が実施される。
【００２３】
トレイ１２は、板状に形成されており、支持台２１に支持されてキャリア１４と略同じ高さに配置されている。トレイ１２の上面には、電子部品１３を収容する複数の凹部２２が形成されている。電子部品１３は、外形が直方体状の部品で、接続用端子（図示せず）が下に位置する状態で凹部２２内に収容されている。凹部２２は、電子部品１３の水平方向への移動と、上下方向の軸線回りの回転とが僅かに許容される形状に形成されている。
【００２４】
この「僅かに許容される状態」とは、電子部品１３の移動を完全に規制することはない状態であって、平面視で電子部品１３の縦方向と横方向とが代わるほど電子部品１３が移動あるいは回転するようなことがない状態である。電子部品１３の縦方向とは、水平方向において互いに直交する第１の方向と第２の方向とのうち第１の方向である。横方向は、第２の方向である。この実施の形態においては、図１において左右方向を第１の方向とし、図１の紙面と直交する方向を第２の方向として説明する。
【００２５】
トレイ１２に設けられている複数の凹部２２は、第１の方向に所定の形成ピッチで並ぶ複数の位置と、第２の方向に所定の形成ピッチで並ぶ複数の位置とに、平面視においてマトリックス状に位置するように設けられている。この実施の形態で用いるトレイ１２においては、複数の凹部２２の形成ピッチが第１の方向と第２の凹部２２とで異なる。凹部２２の第１の方向の形成ピッチは、収容する電子部品１３の大きさに応じて変わる。一方、凹部２２の第２の方向の形成ピッチは、収容する電子部品１３の大きさとは無関係に一定である。
【００２６】
＜キャリアの構成＞
キャリア１４は、板状に形成されており、図２に示すように、搬送テーブル２３に支持されている。搬送テーブル２３は、第１の方向に延びる水平な搬送面２３ａと、この搬送面２３ａの両側部で第１の方向に延びるガイド壁２３ｂなどを備えている。キャリア１４は、搬送面２３ａ上に載せられた状態で第１の方向の一方（図２においては右方）から押されて水平に第１の方向の他方へ移動する。そして、このキャリア１４は、図示してない可動式のストッパーに当接して図２に示す部品装填位置に位置決めされる。このキャリア１４は、電子部品１３の装填後に搬送面２３ａ上を移動し、次工程の装置（図示せず）に送られる。
【００２７】
キャリア１４には、図２に示すように、複数のポケット２４がマトリックス状に形成されている。この実施の形態によるキャリア１４は、ポケット２４の第１の方向の形成ピッチと第２の方向の形成ピッチとが電子部品１３の大きさに依存することなく一定である。ポケット２４の第２の方向の形成ピッチは、トレイ１２の凹部２２の第２の方向の形成ピッチと等しい。
この実施の形態によるポケット２４は、第１の方向の８箇所と、第２の方向の８箇所とにそれぞれ設けられている。すなわち、このキャリア１４には、第１の方向の８箇所のそれぞれにつき、第２の方向に並ぶ８箇所のポケット２４からなる列が設けられている。この実施の形態による電子部品用整列装置１１においては、詳細は後述するが第１の方向に２列で並ぶ複数の第１の吸着コレット１７で電子部品１３を装填するために、間に１列を隔てた二つのポケット２４の列が一つのポケットグループとして規定され、便宜上、６４箇所のポケット２４が第１〜第４のポケットグループに分けられている。
【００２８】
第１のポケットグループは、図２において右から数えて第１列目の８箇所のポケット２４と第３列目の８箇所のポケット２４とによって構成される。第２のポケットグループは、第２列目の８箇所のポケット２４と第４列目の８箇所のポケット２４とによって構成される。第３のポケットグループは、第５列目の８箇所のポケット２４と第７列目の８箇所のポケット２４とによって構成される。第４のポケットグループは、第６列目の８箇所のポケット２４と第８列目の８箇所のポケット２４とによって構成される。
【００２９】
これらのポケット２４は、図４に示すように、キャリア１４の上面１４ａに開口する穴２５と、この穴の底面２８ａとキャリア１４の下面１４ｂとそれぞれ開口する貫通孔２６とによって構成されている。この実施の形態においては、キャリア１４の上面１４ａが本発明でいう「一方の面」に相当し、キャリア１４の下面１４ｂが本発明でいう「他方の面」に相当する。
穴２５は、上側に位置するじょうご部２７と、このじょうご部２７に連続して下側に位置する収容部２８とを有している。
【００３０】
じょうご部２７は、キャリア１４の上面１４ａに開口する部分から収容部２８の底面２８ａに向かうにしたがって開口幅が次第に狭くなるじょうご形に形成されている。じょうご部２７と収容部２８の開口形状は、上方から見て四角形である。この四角形の４つの辺のうち、互いに対向する２辺は第１の方向と平行で、他の２辺は、第２の方向と平行である。
収容部２８は、電子部品１３が嵌合する側壁３１と、電子部品１３の下端を支える底壁３２とによって規定される。なお、穴２５を構成するじょうご部２７および収容部２８の大きさおよび形状は、検査対象の電子部品の大きさおよび形状に合わせて適宜決定すればよい。
【００３１】
第１の方向における収容部２８の開口幅（互いに対向する一対の側壁３１どうしの間隔）と、第２の方向における収容部２８の開口幅は、側壁３１と電子部品１３との間にクリアランスｄが形成される寸法である。クリアランスｄは、電子部品１３の接続用端子が検査装置のプローブから外れることなく移動できる範囲の幅に相当する。このため、電子部品１３は、収容部２８内に嵌合することにより、接続用端子がプローブと確実に接触するように整列される。
貫通孔２６は、収容部２８の底面２８ａと、キャリア１４の下面１４ｂとに開口している。貫通孔２６の開口形状は、収容部２８の底面２８ａより小さく、かつ後述する第２の吸着コレット１８が挿通できる程度の大きさ、形状であれば、よく、四角形または円形とすることができる。
【００３２】
＜部品供給部の構成＞
部品供給部１５は、図１に示すように、トレイ１２およびキャリア１４の上方に配置された第１の移動装置４１を備えている。この第１の移動装置４１は、第１の方向の両端部において平行移動装置４２に支持されている。この実施の形態による平行移動装置４２は、上下方向に延びる支持用フレーム４３と、この支持用フレーム４３に支持されて第２の方向に延びるガイドレール４４と、このガイドレール４４に沿って第１の移動装置４１を第２の方向に駆動する平行移動用のボールねじ機構（図示せず）などを備えている。支持用フレーム４３は、後述する基台７１に支持されている。平行移動用のボールねじ機構は、平行移動用モータ４５（図５参照）の回転を、第２の方向に作用する推力に変換して第１の移動装置４１に伝達する。平行移動用モータ４５の動作は、後述する制御装置４６（図５参照）によって制御される。
【００３３】
第１の移動装置４１は、両端部が平行移動装置４２に回転自在に支持された第１のボールねじ軸４７と、この第１のボールねじ軸４７に第１のボールねじナット４８を介して接続された第１の支持部材４９と、この第１の支持部材４９に第１の昇降装置５０を介して支持された第１の吸着ユニット５１などを備えている。第１のボールねじ軸４７の一端部（図１においては左側の端部）は、第１の軸受部材５２に回転自在に支持されている。
【００３４】
第１のボールねじ軸４７の他端部は、第１の移動装置用モータ５３に接続されている。第１の軸受部材５２と第１の移動装置用モータ５３は、それぞれ平行移動装置４２のガイドレール４４に移動自在に支持され、平行移動装置４２によって駆動されて第２の方向に移動する。第１の移動装置用モータ５３は、第１のボールねじ軸４７を正転方向または逆転方向に回転させる。この第１の移動装置用モータ５３の動作は、後述する制御装置４６によって制御される。
【００３５】
第１のボールねじナット４８は、第１のボールねじ軸４７に螺合し、第１のボールねじ軸４７の回転を、第１の方向に作用する推力に変換して第１の支持部材４９に伝達する。
第１の支持部材４９は、第１の方向に延びるガイド部材（図示せず）に第１の方向へ移動自在に支持されている。第１のボールねじ軸４７が回転したときに第１のボールねじナット４８から第１の支持部材４９に伝達される回転力は、このガイド部材によって受けられる。このため、第１のボールねじ軸４７が回転することにより、第１のボールねじナット４８と第１の支持部材４９とが回転することなくガイド部材に沿って第１の方向に移動する。
【００３６】
第１の昇降装置５０は、上下方向に延びるガイドレール５４と、このガイドレール５４に昇降自在に支持されたスライダ５５と、第１の吸着ユニット５１を上下方向に駆動する昇降用駆動機構（図示せず）などを備えている。ガイドレール５４は、第１の支持部材４９に固定されている。スライダ５５は、第１の吸着ユニット５１に固定されている。昇降用駆動機構は、例えばボールねじ機構や、ラックアンドピニオン式の駆動機構などによって構成することができる。この昇降用駆動機構は、第１の昇降装置用モータ５６（図５参照）を動力源とし、この第１の昇降装置用モータ５６の回転を、上下方向に作用する推力に変換して第１の吸着ユニット５１に伝達する。
第１の昇降装置用モータ５６の動作は、後述する制御装置４６によって制御される。
【００３７】
第１の吸着ユニット５１は、上述したスライダ５５が固定された第１の昇降部材６１と、この第１の昇降部材６１に吸着コレット用昇降装置６２を介して取付けられた複数の第１の吸着コレット１７とを備えている。吸着コレット用昇降装置６２は、第１の吸着コレット１７毎に設けられており、後述する制御装置４６によって動作が制御されて第１の吸着コレット１７を個別に昇降させる。
第１の昇降部材６１には、全ての第１の吸着コレット１７に接続された通路孔６１ａが形成されている。この通路孔６１ａは、第１の吸引用パイプ６３を介して第１の吸引装置６４に接続されている。
【００３８】
第１の吸引装置６４は、第１の吸引用パイプ６３と通路孔６１ａとを介して第１の吸着コレット１７から空気を吸引する。この第１の吸引装置６４の動作は、後述する制御装置４６によって制御される。第１の吸引装置６４と第１の吸着コレット１７との間の空気通路には、第１の吸着センサ６５が接続されている。この第１の吸着センサ６５は、空気通路内の圧力を検出し、信号として制御装置４６に送る。
【００３９】
第１の吸着コレット１７は、筒状に形成されており、第１の昇降部材６１の下端部から下方に向けて突出している。この第１の吸着コレット１７の下端には、電子部品１３に吸着する第１の吸着面６６が形成されている。この実施の形態による第１の吸着コレット１７は、上述した第１の昇降装置５０と吸着コレット用昇降装置６２とが動作することによって、キャリア１４から上方に離間した上昇位置Ｐ１と、キャリア１４の穴２５の開口近傍に設定された第１の受渡し位置Ｐ２｛図６（Ｂ）参照｝との間で昇降する。このため、第１の吸着コレット１７は、穴２５の開口近傍を移動範囲の最下位置として昇降する。
この実施の形態による第１の受渡し位置Ｐ２は、図６（Ｂ）に示すように、第１の吸着コレット１７に吸着された電子部品１３の下面と、後述する第２の吸着コレット１８の上端とが同じ高さとなる位置である。この実施の形態においては、この第１の受渡し位置Ｐ２が本発明でいう「最下位置」に相当する。
【００４０】
この実施の形態による第１の昇降部材６１には、詳細には図示してはいないが、キャリア１４の複数のポケット２４の位置と対応して１６本の第１の吸着コレット１７がそれぞれ吸着コレット用昇降装置６２を介して取付けられている。詳述すると、８本の第１の吸着コレット１７が第２の方向に１列に並び、この列が第１の方向に２列となるように、合計１６本の第１の吸着コレット１７が配置されている。
【００４１】
第１の吸着コレット１７どうしの第２の方向の配置ピッチは、キャリア１４のポケット２４の第２の方向の形成ピッチと等しい。また、列どうしの間隔、すなわち第１の吸着コレット１７の第１の方向の配置ピッチは、図１に示すように、ポケット２４の第１の方向の形成ピッチとは異なっている。この実施の形態による第１の吸着コレット１７の第１の第１の方向の配置ピッチは、トレイ１２から電子部品１３を効率よく取り出すことができる配置ピッチである。このような配置ピッチは、例えば、１６本の第１の吸着コレット１７で最大の電子部品１３をトレイ１２の凹部２２から一度に吸着できる配置ピッチである。この配置ピッチは、この実施の形態においてはポケット２４の第１の方向の形成ピッチの２倍に相当する。なお、第１の吸着コレットの第１の方向の配置ピッチは、この実施の形態に示す配置ピッチに限定されることはなく適宜変更可能である。すなわち、この配置ピッチは、ポケット２４の形成ピッチと同等あるいは３倍でもよいし、ポケット２４の形成ピッチの整数倍でなくてもよい。
【００４２】
＜装填部の構成＞
装填部１６は、図１に示すように、基台７１に支持された第２の移動装置７２と、この第２の移動装置７２の最上部に取付けられた複数の第２の吸着コレット１８などを備えている。基台７１は、この電子部品用整列装置１１の全ての構成部品を支持している。
第２の移動装置７２は、図２および図３に示すように、基台７１の上であって搬送テーブル２３の下方で第１の方向に延びる第２のボールねじ軸７３と、この第２のボールねじ軸７３に第２のボールねじナット７４（図１参照）を介して接続された第２の支持部材７５と、この第２の支持部材７５に第２の昇降装置７６を介して支持された第２の吸着ユニット７７などを備えている。
【００４３】
第２のボールねじ軸７３の一端部（図３においては右側の端部）は、第２の軸受部材７８に回転自在に支持されている。第２の軸受部材７８は基台７１に固定されている。第２のボールねじ軸７３の他端部は、第３の軸受部材７９を貫通してベルト式伝動機構８１に接続されている。また、第２のボールねじ軸７３の他端部は、ベルト式伝動機構８１を介して第２の移動装置用モータ８２に接続されている。第３の軸受部材７９は、基台７１に固定され、第２のボールねじ軸７３を回転自在に支持している。
ベルト式伝動機構８１は、第２のボールねじ軸７３に固定された従動プーリ８３と、第２の移動装置用モータ８２の回転軸８４に固定された駆動プーリ８５と、これらの従動プーリ８３と駆動プーリ８５とに巻掛けられたベルト８６とを備えている。
【００４４】
このように第２の移動装置用モータ８２がベルト式伝動機構８１を介して第２のボールねじ軸７３に接続されていることにより、第２の移動装置用モータ８２の回転軸８４と第２のボールねじ軸７３とが同一方向に回転する。第２の移動装置用モータ８２は、第２のボールねじ軸７３を正転方向または逆転方向に回転させる。この第２の移動装置用モータ８２の動作は、後述する制御装置４６によって制御される。
【００４５】
第２のボールねじナット７４は、第２のボールねじ軸７３に螺合し、第２のボールねじ軸７３の回転を、第１の方向に作用する推力に変換して第２の支持部材７５に伝達する。
第２の支持部材７５は、第１の方向に延びるガイド部材（図示せず）に第１の方向へ移動自在に支持されている。第２のボールねじ軸７３が回転したときに第２のボールねじナット７４から第２の支持部材７５に伝達される回転力は、このガイド部材によって受けられる。このため、第２のボールねじ軸７３が回転することにより、第２のボールねじナット７４と第２の支持部材７５とが回転することなくガイド部材に沿って第１の方向に移動する。
【００４６】
第２の昇降装置７６は、上下方向に延びるガイドレール９１と、このガイドレール９１に昇降自在に支持されたスライダ９２と、第２の吸着ユニット７７を上下方向に駆動する昇降用駆動機構９３などを備えている。ガイドレール９１は、第２の支持部材７５の上端部となる支持板９４に固定されている。スライダ９２は、第２の吸着ユニット７７の下端部となる昇降板９５に固定されている。
【００４７】
昇降用駆動機構９３は、昇降板９５の一端部に設けられたラック９６（図１参照）と、このラック９６に噛合するピニオン９７と、このピニオン９７を駆動する第２の昇降装置用モータ９８などを備えたラックアンドピニオン式の駆動機構である。この昇降用駆動機構９３は、第２の昇降装置用モータ９８の回転を、上下方向に作用する推力に変換して第２の吸着ユニット７７に伝達する。
第２の昇降装置用モータ９８の動作は、後述する制御装置４６によって制御される。
【００４８】
第２の吸着ユニット７７は、第２の昇降装置７６のスライダ９２とラック９６とが固定された昇降板９５と、この昇降板９５の上に設けられた第２の昇降部材９９とを備えている。装填部１６の第２の吸着コレット１８は、筒状に形成されており、この第２の昇降部材９９の上端部に上方へ突出する状態で取付けられている。この第２の吸着コレット１８の上端には、電子部品１３に吸着する第２の吸着面１０１が形成されている。
【００４９】
この実施の形態による第２の吸着コレット１８は、上述した第２の昇降装置７６が動作することによって、キャリア１４の貫通孔２６および穴２５内を通って後述する第２の受渡し位置Ｐ３（図１参照）と、下限位置Ｐ４｛図６（Ｇ）参照｝との間で昇降する。第２の受渡し位置Ｐ３は、キャリア１４の穴２５の開口近傍に設定されている。このため、第２の吸着コレット１８は、穴２５の開口近傍を移動範囲の最上位置として昇降する。
【００５０】
この実施の形態による第２の受渡し位置Ｐ３は、図６（Ｂ）に示すように、第１の受渡し位置Ｐ２にある第１の吸着コレット１７に吸着された電子部品１３の下面と、第２の吸着コレット１８の上端（第２の吸着面１０１）とが同じ高さとなる位置である。この実施の形態においては、この第２の受渡し位置Ｐ３が本発明でいう「最上位置」に相当する。
下限位置Ｐ４は、第２の吸着コレット１８がキャリア１４から下方に離間した位置である。
【００５１】
この実施の形態による第２の昇降部材９９には、図３に示すように、キャリア１４の複数のポケット２４の位置と対応して１６本の第２の吸着コレット１８が取付けられている。詳述すると、８本の第２の吸着コレット１８が第２の方向に１列に並び、この列が第１の方向に２列となるように、合計１６本の第２の吸着コレット１８が配置されている。第２の吸着コレット１８の第２の方向の配置ピッチは、キャリア１４のポケット２４の第２の方向の形成ピッチと等しい。列どうしの間隔、すなわち第２の吸着コレット１８の第１の方向の配置ピッチは、図１に示すように、第１の吸着コレット１７の第１の方向の配置ピッチと等しい。この実施の形態による第２の吸着コレット１８の第２の方向の配置ピッチは、ポケット２４の第１の方向の形成ピッチの２倍のピッチである。この第２の吸着コレット１８の第１の方向の配置ピッチもポケット２４の形成ピッチの２倍に限定されることはなく、ポケット２４の形成ピッチと同一の配置ピッチとしたり、３倍の配置ピッチとすることも可能である。
【００５２】
第２の昇降部材９９には、全ての第２の吸着コレット１８に接続された通路孔１０２（図１参照）が形成されている。この通路孔１０２は、第２の吸引用パイプ１０３を介して第２の吸引装置１０４に接続されている。第２の吸引装置１０４は、第２の吸引用パイプ１０３と通路孔１０２とを介して第２の吸着コレット１８から空気を吸引する。この第２の吸引装置１０４の動作は、後述する制御装置４６によって制御される。第２の吸引装置１０４と第２の吸着コレット１８との間の空気通路には、第２の吸着センサ１０５が接続されている。この第２の吸着センサ１０５は、空気通路内の圧力を検出し、信号として制御装置４６に送る。
【００５３】
＜制御装置の構成＞
制御装置４６は、詳細には図示してはいないが、演算装置、記憶装置およびインターフェース回路等からなるコンピュータと、このコンピュータにインストールされた制御プログラムとによって構成されている。
制御装置４６は、図５に示すように、入力装置１０６と接続されており、この入力装置１０６から送られたデータや各種センサから入力される信号に基づいて各種のアクチュエータを動作させる。このデータは、トレイ１２の凹部２２やキャリア１４のポケット２４の数、位置などの情報を含む。また、入力装置１０６は、操作者（図示せず）がこの電子部品用整列装置１１を始動させたり停止させるときに操作され、この目的を達成するための信号を制御装置４６に送る。なお、本実施の形態においては、上述した第１〜第４のポケットグループを管理するためのパラメータを、「変数Ｘ」と呼ぶことにする。
【００５４】
制御装置４６に接続されたアクチュエータとは、平行移動用モータ４５と、第１の移動装置用モータ５３と、第１の昇降装置用モータ５６と、吸着コレット用昇降装置６２と、第１の吸引装置６４と、第２の移動装置用モータ８２と、第２の昇降装置用モータ９８と、第２の吸引装置１０４と、警報装置１０７である。警報装置１０７は、図示してはいないが、表示装置や警告灯あるいはスピーカーなどを用いて操作者に異常を知らせる装置である。
【００５５】
制御装置４６は、上述した各モータにそれぞれ設けられている複数のロータリーエンコーダ１０８が接続されており、これらのロータリーエンコーダ１０８の検出値に基づいて電子部品用整列装置１１の動作を制御する。すなわち、制御装置４６は、第１の吸着コレット１７および第２の吸着コレット１８が水平方向に移動する動作および昇降動作を制御するとともに、これら両吸着コレット１７，１８の吸着、解放の切替えを行う。
この実施の形態においては、この制御装置４６が本発明でいう「制御部」に相当する。
【００５６】
＜動作の説明＞
次に、制御装置４６の構成を電子部品用整列装置１１の動作説明とともに図６〜図９を用いて説明する。図９のタイミングチャート中には、図７および図８に示すフローチャートの各ステップが実施される時期に各ステップの符号が記載されている。
【００５７】
操作者が入力装置１０６に始動時の操作を行うことにより、制御装置４６が制御動作を開始する。このとき、ポケットグループを管理する変数Ｘの値は”１”に設定される。制御装置４６は、先ず、第１の移動装置４１と、平行移動装置４２と、第１の昇降装置５０および吸着コレット用昇降装置６２と、第１の吸引装置６４とを動作させ、第１の吸着コレット１７にトレイ１２上の電子部品１３を吸着させる（ステップ１）。このとき、１６本ある全ての第１の吸着コレット１７に電子部品１３が吸着される。
【００５８】
次に、制御装置４６は、第１の吸着センサ６５の検出値が部品吸着時の値であるか否かを判別する（ステップ２）。このとき、１６本の第１の吸着コレット１７のうち一つでも電子部品１３を吸着していないか、吸着していたとしても完全な吸着状態ではない場合は（ステップＳ２：ＮＯ）、第１の吸着センサ６５によって検出された圧力が正常時と較べて大きくなるので、制御装置４６が異常時の動作として警報装置１０７を動作させ、全てのアクチュエータを停止させる（ステップＳ３）。
【００５９】
第１の吸着センサ６５の検出値が正常時の値と同等である場合には（ステップＳ２：ＹＥＳ）、制御装置４６が第１の移動装置４１と平行移動装置４２とを動作させ、変数Ｘの値を参照し、図６（Ａ）に示すように、第１の吸着コレット１７を目標とするＸ番目のポケットグループの上方に移動させる。始動直後の最初の部品装填時には、第１のポケットグループの上方に第１の吸着コレット１７が移動する。なお、最初の部品装填時には、ステップＳ４あるいはそれ以前に、制御装置４６が第２の移動装置７２と第２の昇降装置７６とを動作させ、第２の吸着コレット１８を第１のポケットグループのポケット２４内に下方から挿入する。このとき、第２の吸着コレット１８は、図６（Ａ）および図９に示すように、下限位置Ｐ４から第２の受渡し位置Ｐ３に上昇する。
【００６０】
その後、制御装置４６は、第１の昇降装置５０と吸着コレット用昇降装置６２とを動作させ、図６（Ｂ）に示すように、第１の吸着コレット１７を第１の受渡し位置Ｐ２まで下降させる（ステップＳ５）。このとき電子部品１３は、ポケット２４のじょうご部２７内で第２の吸着コレット１８の上端に接触した状態で停止する。そして、制御装置４６は、第２の吸引装置１０４を動作させ、第２の吸着コレット１８を吸引状態とする（ステップＳ６）。制御装置４６は、第２の吸着コレット１８を吸引状態とした後、第１の吸引装置６４を停止させて第１の吸着コレット１７の吸着を停止させる（ステップＳ７）。このように第１の吸着コレット１７が解放状態になることにより、電子部品１３が第２の吸着コレット１８に吸着される。
【００６１】
第１の吸着コレット１７が解放状態になった後、制御装置４６は、第２の吸着センサ１０５の検出値が部品吸着時の値であるか否かを判別する（ステップＳ８）。このとき、１６本の第２の吸着コレット１８のうち一つでも電子部品１３を吸着していないか、吸着していたとしても完全な吸着状態ではない場合は（ステップＳ８：ＮＯ）、第２の吸着センサ１０５によって検出された圧力が正常時と較べて大きくなるので、制御装置４６が異常時の動作として警報装置１０７を動作させ、全てのアクチュエータを停止させる（ステップＳ９）。
【００６２】
第２の吸着センサ１０５の検出値が正常時の値と同等である場合は（ステップＳ８：ＹＥＳ）、図６（Ｃ）に示すように、制御装置４６が第１の昇降装置５０と吸着コレット用昇降装置６２とを動作させて第１の吸着コレット１７を上昇させる（ステップＳ１０）。その後、制御装置４６が第２の昇降装置７６を動作させ、図６（Ｄ）に示すように、第２の吸着コレット１８を下降させる（ステップＳ１１）。このときの第２の吸着コレット１８の下降速度は、一定としたり、電子部品１３の高さに応じて変えることができる。下降速度を電子部品１３の高さに応じて変える場合は、電子部品１３がポケット２４のじょうご部２７を通過するときは下降速度を相対的に遅くし、電子部品１３がポケット２４の収容部２８に入った後は、下降速度を相対的に速くする。
【００６３】
第２の吸着コレット１８に対する電子部品１３の水平方向の位置や、上下方向の軸線回りの角度は、電子部品１３が第１の吸着コレット１７によってトレイ１２から取り出されたときの位置、角度に依存する。このため、電子部品１３がポケット２４内で下降して収容部２８に直接入ることは希で、電子部品１３の下端がじょうご部２７の壁面に接触することが多い。
じょうご部２７の壁面は、下方に向かうにしたがってじょうご部２７の開口幅が次第に狭くなるように傾斜している。このため、電子部品１３がじょうご部２７に接触することによって、電子部品１３がじょうご部２７の壁面に押されて水平方向に移動し、電子部品１３の吸着位置が修正される。
【００６４】
電子部品１３は、第２の吸着コレット１８に対して第１の方向の一方または第２の方向の一方に偏って吸着されていることがある。このような場合には、図６（Ｅ）に示すように、電子部品１３がじょうご部２７に接触したときに傾斜し、電子部品１３の下面の一部が第２の吸着コレット１８から離れ易い。しかし、この実施の形態による電子部品用整列装置は、第２の吸着コレット１８が電子部品１３の下方に位置しているから、電子部品１３が第２の吸着コレット１８から離れたとしても、じょうご部２７に残されるようなことはない。
【００６５】
この理由は、第２の吸着コレット１８の吸引力と、重力とが電子部品１３に作用し、電子部品１３がじょうご部２７の壁面に沿って滑り下りるからである。この電子部品１３は、じょうご部２７との接触により水平方向の位置と、上下方向の軸線回りの角度とが修正された状態で第２の吸着コレット１８に再び吸着され、第２の吸着コレット１８ともに下降して収容部２８内に嵌合する。このように電子部品１３が収容部２８内に嵌合することにより、キャリア１４に対する電子部品の第１および第２の方向の位置や上下方向の軸線回りの角度が整列される。
【００６６】
制御装置４６は、ステップＳ１１で第２の吸着コレット１８の下降を開始した後、第２の吸着コレット１８の高さを常に検出する。そして、制御装置は、図６（Ｆ）に示すように、電子部品１３がポケット２４の穴２５の底壁３２に支えられる位置まで第２の吸着コレット１８が下降したときに第２の昇降装置７６を停止させる（ステップＳ１２）。
【００６７】
次に、制御装置４６は、第２の吸着センサ１０５の検出値が部品吸着時の値であるか否かを判別する（ステップＳ１３）。このとき、第２の吸着センサ１０５によって検出された圧力が正常時と較べて大きい場合は（ステップＳ１３：ＮＯ）、制御装置４６が異常時の動作として警報装置１０７を動作させ、全てのアクチュエータを停止させる（ステップＳ１４）。
【００６８】
第２の吸着センサ１０５の検出値が正常時の値と同等である場合は（ステップＳ１３：ＹＥＳ）、制御装置４６は、第２の吸引装置１０４を停止させ、第２の吸着コレット１８による吸着を停止させる（ステップＳ１５）。その後、制御装置４６は、図６（Ｇ）に示すように、第２の昇降装置７６を動作させ、第２の吸着コレット１８を下限位置Ｐ４まで下降させて停止させる（ステップＳ１６）。
【００６９】
このように第２の吸着コレット１８が下限位置Ｐ４に下降した後、制御装置４６は、部品装填の対象になるポケットグループを特定する変数Ｘに１を加え（ステップＳ１７）、変数Ｘがポケットグループの総数以下であるか否かを判別する（ステップＳ１８）。変数Ｘがポケットグループの総数を越えている場合は（ステップＳ１８：ＮＯ）、１枚のキャリア１４に対する電子部品１３の装填動作を終了する。
【００７０】
変数Ｘがポケットグループの総数以下である場合は（ステップＳ１８：ＹＥＳ）、制御装置４６は、第２の移動装置７２を動作させ、第２の吸着コレット１８をＸ+１番目のポケットグループの下方に移動させる（ステップＳ１９）。そして、制御装置４６は、第２の昇降装置７６を動作させ、第２の吸着コレット１８を第１の受渡し位置Ｐ２に上昇させる（ステップＳ２０）。その後、制御装置４６は、ステップＳ１に戻り、キャリア１４の全てのポケット２４に電子部品１３が装填されるまでステップＳ１からステップＳ２０までの動作を繰り返す。すなわち、第１の吸着コレット１７と第２の吸着コレット１８とが第１の移動装置４１および第２の移動装置７２によってそれぞれ駆動されて第１の方向に間欠的に移動し、停止する毎に電子部品１３をキャリア１４のポケット２４に装填する。
【００７１】
＜実施の形態による効果の説明＞
この実施の形態による電子部品用整列装置１１においては、電子部品１３が第２の吸着コレット１８に吸着されてキャリア１４の穴２５内で下降するときにじょうご部２７の壁面に接触し、電子部品１３の水平方向の位置と上下方向の軸線回りの角度とが修正される。このとき、電子部品１３がじょうご部２７の壁面との接触により傾斜し、第２の吸着コレット１８から外れたとしても、電子部品１３には重力と第２の吸着コレット１８による吸引力とが作用するから、この電子部品１３はじょうご部２７の壁面に沿って滑り下りる。
【００７２】
この結果、電子部品１３が第２の吸着コレット１８に再び吸着される。そして、電子部品１３が第２の吸着コレット１８とともに下降してキャリア１４の穴２５の収容部２８内に嵌合することにより、キャリア１４に対して所定の位置に整列される。
したがって、この実施の形態によれば、電子部品１３がじょうご部２７に当接して吸着コレットから離れたとしても、第２の吸着コレット１８に再び吸着され、この電子部品１３が穴２５の収容部２８に確実に収容される電子部品用整列装置を提供することができる。
【００７３】
この実施の形態によるキャリア１４の穴２５および貫通孔２６は、キャリア１４の複数の位置にそれぞれ設けられている。また、第１の吸着コレット１７および第２の吸着コレット１８は、キャリア１４の複数の位置と対応してそれぞれ設けられている。
このため、この実施の形態によれば、複数の電子部品１３の整列を一度に行うことができるから、電子部品１３の整列を効率よく行うことが可能な電子部品用整列装置を提供することができる。
【００７４】
この実施の形態による電子部品用整列装置１１においては、第２の方向に並ぶ複数の第１の吸着コレット１７が第１の移動装置４１によって駆動されて同時に移動する。また、第２の方向に並ぶ複数の第２の吸着コレット１８が第２の移動装置７２によって駆動されて同時に移動する。第１の吸着コレット１７と第２の吸着コレット１８とは、第１および第２の移動装置４１，７２によってそれぞれ駆動されて第１の方向に間欠的に移動し、停止する毎にキャリア１４の複数の穴２５に電子部品１３を装填する。
【００７５】
このため、第２の方向に並ぶ複数の電子部品１３を一度に装填する一括式の装填動作が第１の方向に位置を変えて繰り返される。したがって、この実施の形態によれば、穴２５と貫通孔２６とがマトリックス状に設けられたキャリア１４に対して電子部品１３の整列と装填とを可及的速く行うことができるから、生産性の向上を図ることができる。
【００７６】
上述した実施の形態による電子部品用整列装置は、電子部品１３が穴２５の底壁３２に支えられた時期に第２の吸着センサ１０５を使用して電子部品１３の吸着の有無を判別する構成が採られている。このため、電子部品１３をポケット２４に装填した後の良否判定が簡単にしかも高い精度で実施される。
【００７７】
上述した実施の形態による部品供給部１５は、第１の吸着コレット１７が第１の方向と第２の方向とに移動する構成が採られている。しかし、部品供給部１５は、第１の吸着コレット１７が第１の方向のみに移動する構成を採ることができる。また、部品供給部１５の第１の移動装置４１は、ボールねじ機構とは異なる駆動機構を用いて構成することができる。
【００７８】
上述した実施の形態による装填部１６は、第２の吸着コレット１８が第１の方向に移動する構成が採られている。しかし、本発明に係る電子部品用整列装置は、このような限定にとらわれることはない。装填部１６は、第２の吸着コレット１８が第１の方向と第２の方向とに移動する構成を採ることができる。この構成は、部品供給部１５と同等の平行移動装置を装備することによって実現可能である。
【００７９】
上述した実施の形態による第１の吸着ユニット５１には１６本の第１の吸着コレット１７が取付けられ、第２の吸着ユニット７７には１６本の第２の吸着コレット１８が取付けられている。しかし、第１および第２の吸着コレット１７，１８の数は、この実施の形態で示した数に限定されることはなく、適宜変更することができる。また、キャリア１４のポケット２４の数もこの実施の形態で示した数に限定されることはなく、適宜変更可能である。
【００８０】
上述した実施の形態においては、複数ずつある第１および第２の吸着コレット１７，１８の第１の方向と第２の方向の配置ピッチを一定とする例を示した。しかし、本発明は、このような限定にとらわれることはない。複数の第１の吸着コレット１７は、第１の方向の配置ピッチと、第２の方向の配置ピッチとの少なくともいずれか一方の配置ピッチを変更する第１のピッチ変更装置（図示せず）を介して第１の吸着ユニット５１に装備することができる。
【００８１】
また、複数の第２の吸着コレット１８は、第１の方向の配置ピッチと、第２の方向の配置ピッチとの少なくともいずれか一方の配置ピッチを変更する第２のピッチ変更装置（図示せず）を介して第２の吸着ユニット７７に装備することができる。これらの第１および第２のピッチ変更装置は、アクチュエータ（図示せず）の動力で各吸着コレットの配置ピッチを変更する構成の装置や、例えばスペーサやシムなどの部品が作業者によって交換されることにより配置ピッチが変わる構成の装置などを用いてッ実現可能である。
【００８２】
このように第１および第２のピッチ変更装置を装備することにより、トレイ１２の凹部２２の形成ピッチによる制約を受けることがなくなる。第１の吸着コレット１７によってトレイ１２の凹部２２から電子部品１３を取出した後に、第１の吸着コレット１７の第１および第２の方向の配置ピッチをキャリア１４のポケット２４の形成ピッチに合わせて変更することにより、全ての電子部品１３を一度に複数のポケット２４に装填することが可能になる。第２の吸着コレット１８においても、ポケット２４の第１の方向や第２の方向の形成ピッチに合わせて配置ピッチを変更することにより、複数の電子部品１３を一度にポケット２４に装填することができる。
【符号の説明】
【００８３】
１１…電子部品用整列装置、１３…電子部品、１４…キャリア、１４ａ…上面、１４ｂ…下面、１７…第１の吸着コレット、１８…第２の吸着コレット、１０１…第２の吸着面、２５…穴、２６…貫通孔、２７…じょうご部、２８…収容部、３１…側壁、３２…底壁、４１…第１の移動装置、４６…制御装置、５０…第１の昇降装置、６２…吸着コレット用昇降装置、６４…第１の吸引装置、６６…第１の吸着面、７２…第２の移動装置、７６…第２の昇降装置、１０４…第２の吸引装置、Ｐ２…第１の受渡し位置、Ｐ３…第２の受渡し位置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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