(57)【要約】【課題】  回転速度が高速な場合や作動流体が高圧な場合でも、シール内における漏れ流れを効果的に抑制しつつ、ロータの不安定振動を抑制して安定した運転が可能なターボ機械を提供する。【解決手段】  ターボ機械は、ロータ８と、内部に流路が設けられ、ロータ８が回転可能に設置されてステータとなるケーシング２と、ロータ８とステータとの隙間に設けられ、複数の環状フィン２０１で構成されたラビリンスシールとを備える。シール内の円周方向圧力分布に不平衡が発生する状態のときに、ステータ側を変形させて不安定流体力の発生を抑制する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータと、内部に流路が設けられ、前記ロータが回転可能に設置されてステータとなるケーシングと、前記ロータと前記ステータとの隙間に設けられ、複数の環状フィンで構成されたラビリンスシールとを備えたターボ機械であって、
前記環状フィン間に形成された環状溝の前記ステータ側に、前記環状溝内の流体圧力の変動により径方向に変形する変形部と、前記変形部を支持する支持部と、前記変形部により前記環状溝の空間と隔てられ前記変形部の変形を許容する内部隙間とが設けられ、前記変形部は前記環状溝の外周に環状に設けられているターボ機械。
【請求項２】
請求項１に記載のターボ機械において、
前記変形部は、複数のプレートから構成されているターボ機械。
【請求項３】
請求項２に記載のターボ機械において、
前記支持部は、前記複数のプレートに対応して複数設けられ、前記内部隙間は、前記支持部により円周方向に分割されているターボ機械。
【請求項４】
請求項３に記載のターボ機械において、
前記変形部は、一端が前記支持部に固定され、他端が自由端であり、前記支持部を起点として径方向に変形するターボ機械。
【請求項５】
請求項４に記載のターボ機械において、
前記支持部は、前記変形部のロータ回転方向下流側に設けられているターボ機械。
【請求項６】
請求項４に記載のターボ機械において、
前記内部隙間の空間と前記環状溝の空間とを連通する貫通孔が設けられているターボ機械。
【請求項７】
請求項６に記載のターボ機械において、
前記変形部は、一端が前記支持部に固定され、他端が自由端であり、前記支持部を起点として径方向に変形し、
前記貫通孔は、前記変形部の自由端と隣接する他の前記変形部の支持部との間に設けられているターボ機械。
【請求項８】
請求項７に記載のターボ機械において、
前記貫通孔は、前記変形部のロータ回転方向上流側に設けられているターボ機械。
【請求項９】
請求項１に記載のターボ機械において、
前記環状溝は、ロータ軸方向に複数形成されており、
前記変形部、前記支持部、前記内部隙間は、複数の前記環状溝の前記ステータ側に設けられており、
前記ステータ側に、前記ロータ軸方向の複数の前記内部隙間を連通しないように分離する環状の壁部が設けられているターボ機械。
【請求項１０】
請求項９に記載のターボ機械において、
前記ラビリンスシールは、前記ロータ側に前記環状フィンを設けたロータフィン構造であり、
前記環状フィンは、前記変形部と対向しないように前記ロータ側に設けられているターボ機械。
【請求項１１】
請求項９に記載のターボ機械において、
前記ラビリンスシールは、前記ステータ側に前記環状フィンを設けたステータフィン構造であり、
前記環状フィンは、最上流側と最下流側を除いて、前記壁部の内径側に一体化して形成されているターボ機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮機やタービン等のターボ機械に係り、特に、ターボ機械において用いられるラビリンスシール構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ターボ機械は、回転する動翼を有するロータと、当該ロータを回転自由に保持するとともにその内部に流路を形成するケーシングとにより構成されている。ロータとケーシングには隙間が有るため、ロータに沿って作動流体が漏れることを防止する必要がある。このためロータとケーシングとの間に非接触シールであるラビリンスシールが設けられることが多い。
【０００３】
ラビリンスシールにおいて、シールの漏れ流速が円周方向成分を持った状態でロータがシールに対して径方向に変位すると、シール内の円周方向圧力分布に不平衡が生じ、ロータの不安定振動を引き起こす流体力（以降、不安定流体力と称す）が発生する。特に、ロータが高速回転する場合やシール入口と出口との差圧が大きい場合に、不安定流体力はより大きなものとなる。
【０００４】
不安定流体力はシールに流入する漏れ流れの円周方向流れによって引き起こされる。不安定流体力を低減する方法として、例えば特許文献１に開示されているように、放射状溝が形成された抵抗板をシール入口に設け、漏れ流れの円周方向成分を抑制する方法が提案されている。また、例えば特許文献２に開示されているように、シールの途中に高圧の流体を噴きこみ、流れの円周方向成分を相殺する方法が提案されている。また、例えば特許文献３に開示されているように、シールリングのチャンバーの外周側に、回転軸の周方向に延伸し、チャンバーと周方向に間隔を空けて連通し、チャンバー内の漏れ流れを周方向に一時的に逃す空隙部を設けることにより、シール内の非対称圧力分布の発生を抑制し、回転軸の不安定振動を抑制すると共に、シール性を確保するラビリンスシール装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平３−２８８０６８号公報
【特許文献２】特開２００８−１９０４８７号公報
【特許文献３】特開２０１２−１０２８３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の不安定流体力を低減する方法ではシール入口における静圧が上昇し漏れ流量が増加する可能性がある。また、特許文献２に記載の不安定流体力を低減する方法では、シールの途中で高圧の流体を噴きこむため、同様に漏れ流量が増加しターボ機械の効率が低下する可能性がある。特許文献３に記載の不安定流体力を低減する方法では、特許文献１や特許文献２のような課題が生じにくいが、チャンバー内の漏れ流れが、空隙部を形成するプレートに設けられた貫通孔を介して空隙部へ流れ込むようになっているため、貫通孔を流れる際の流体抵抗によって非対称圧力分布発生の抑制が十分でない可能性がある。これは、回転速度が高速な場合や作動流体が高圧な場合に特に重要な課題となる。
【０００７】
本発明の目的は、回転速度が高速な場合や作動流体が高圧な場合でも、シール内における漏れ流れを効果的に抑制しつつ、ロータの不安定振動を抑制して安定した運転が可能なターボ機械を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、ターボ機械のシール内の円周方向圧力分布に不平衡が発生する状態のときに、ステータ側を変形させて不安定流体力の発生を抑制するようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ターボ機械の回転速度が高速な場合や作動流体が高圧な場合でも、シール内における漏れ流れを効果的に抑制しつつ、ロータの不安定振動を抑制して安定した運転が可能となる。  
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施例のターボ機械の全体構造を表す図である。
【図２】本発明の実施例のターボ機械におけるロータフィン構造のラビリンスシールを示す図であり、ロータの回転軸に平行な断面を示す図である。
【図３】本発明の実施例のターボ機械におけるロータフィン構造のラビリンスシールを示す図であり、ロータの回転軸に垂直な断面を示す図である。
【図４】本発明の実施例のターボ機械におけるロータフィン構造のラビリンスシールの変形部周辺構造を示す図であり、径方向内側から見た場合の部分的な展開図である。
【図５】本発明の実施例のターボ機械におけるステータフィン構造のラビリンスシールを示すであり、ロータの回転軸に平行な断面を示す図である。
【図６】本発明の実施例のターボ機械の部分的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。以下の実施例では、代表的なターボ機械の１つである遠心圧縮機を例にとり説明する。
【００１２】
図１は、本実施例のターボ機械（遠心圧縮機）の全体構造を示す縦断面図である。  
図１において、遠心圧縮機１は、円筒状などに形成され静止部（ステータ）となるケーシング２と、このケーシング２内にラジアル軸受３、４及びスラスト軸受５により支持されて回転可能に設けられた回転軸６と、この回転軸６に装着された複数段（図１では５段）の羽根車７とを備えている。回転軸６と羽根車７によりロータ（回転体）８を構成している。なお、本実施例では、１本の回転軸６に羽根車７を多段に設けた一軸多段遠心圧縮機を例に説明するが、羽根車７が１段のみの単段遠心圧縮機にも本発明は同様に適用できるものである。
【００１３】
ケーシング２には、１段目の羽根車７に作動流体である気体を導入する吸込流路９と、各段の羽根車７から出た気体の運動エネルギーを圧力エネルギーに変換するディフューザ１０と、このディフューザ１０からの圧縮された気体を次段の羽根車７に導入する戻り流路１１と、最終段の羽根車７から出た気体をケーシング２外に吐出するための吐出流路１２などが設けられている。
【００１４】
ロータ８の回転軸６は、ケーシング２の吸込側（図１中の左側）端部及び吐出側（図１中の右側）端部に設けられたラジアル軸受３、４を介し回転可能に支持されている。また、回転軸６の吸込側端部にはスラスト荷重を受けるスラスト軸受５が設けられ、回転軸６における最終段羽根車７の吐出側にはスラスト荷重を相殺するバランスピストン１３が設けられている。
【００１５】
回転軸６の吐出側端部には、モータ等の駆動機（図示省略）が連結されており、この駆動機によってロータ８を回転駆動する。また、ロータ８が回転することにより、気体が吸込流路９から吸い込まれて、複数段の羽根車７で順次圧縮され、最終的に吐出流路１２から吐出されるようになっている。
【００１６】
各段の羽根車７の口金とケーシング２との隙間には、羽根車口金ラビリンスシールが設けられており、羽根車７から出た気体がその隙間を通って羽根車７の入口側に戻ることを抑制するようになっている。また、前段の羽根車７と後段の羽根車７との間におけるロータ８とケーシング２との隙間には、中間段ラビリンスシールが設けられており、戻り流路１１の気体がその隙間を通って前段の羽根車７の出口側に戻ることを抑制するようになっている。また、ロータ８のバランスピストン１３とケーシング２との隙間には、バランスピストン部ラビリンスシール２００が設けられており、最終段の羽根車７から出た高圧の気体が低圧部に漏れることを抑制するようになっている。
【００１７】
図２は、本実施例の遠心圧縮機１におけるバランスピストン部ラビリンスシール２００の構成例を示す図であり、ロータの回転軸に平行な断面を示す図である。なお、図２において、下方のケーシング側の図示を省略しているが、上側のケーシング側と同様な構成である。  
図２に示すピストン部ラビリンスシール２００はロータに多数の環状フィン２０１を設けたロータフィン構造のラビリンスシールである。ロータの外周面に設けた多数の環状フィン２０１は平行環状フィンである。一般にロータフィン構造のラビリンスシールは、万が一、ロータの環状フィン２０１がステータ（本実施例ではケーシング２に装着したシールリング２０６）と接触した場合にロータを傷つけないために柔らかい材質（例えばアルミニウム合金や樹脂材料）が用いられる。隣接する環状フィン２０１間には環状溝（平行環状溝）２０２が形成され、複数の環状溝２０２がロータ８のバランスピストン１３の外周に沿って形成されている。環状溝２０２は圧損用空隙として機能し、ピストン部ラビリンスシール２００は、環状溝２０２により、シール内を流下する漏れ流れに圧力損失を生じさせ、この圧力損失により漏れ流れを抑制することでシール機能を発揮する。
【００１８】
次に、本実施例における、不安定流体力の原因となる円周方向の不均一な圧力分布を緩和するための構成について説明する。本実施例では、シール内の円周方向圧力分布に不平衡が発生する状態のときに、環状溝２０２の局所的な圧力上昇が発生した箇所のステータ側を変形させて局所的な圧力上昇が発生した箇所の空間を拡げることにより、円周方向の不均一な圧力分布を緩和させて不安定流体力の発生を抑制するものである。具体的には、ロータの外周面と対向するステータの内周面（本実施例ではシールリング２０６の内周面）に、変形部２０３と内部隙間２０４が設けられている。内部隙間２０４は、ステータの内周面に形成された円弧形状の凹部を変形部２０３により環状溝２０２の空間と隔てることによりステータ内に形成された空間（内部隙間）である。変形部２０３はプレートなどで形成され、環状溝２０２内の流体圧力の変化により径方向に変形する。内部隙間２０４は、変形部２０３が径方向外側に変形するのを許容する空間を形成している。
【００１９】
図２において、軸方向の複数の内部隙間２０４が接続すると、遠心圧縮機の高圧ガスが内部隙間２０４を通って漏洩する可能性がある。このため、隣接する内部隙間２０４が連通しないように環状の壁部２０５がステータ側（シールリング２０６）に形成され、この壁部２０５によって内部隙間２０４は軸方向には接続しない。内部隙間２０４間の壁部２０５には、環状フィン２０１の漏れ流れ上下流面と同じ圧力差が作用することになる。この点を考慮し、内部隙間２０４を軸方向に確実に隔離するため、各内部隙間２０４の軸方向長さは、隣接する環状フィン２０１間の距離と等しくする、または、短くする（図２は等しい場合を示している。）。また、環状フィン２０１と対向するステータ側の箇所は、漏れ流れの防止の観点から変形しないように構成される。たとえば、環状フィン２０１と対向するステータ側の箇所に変形部２０３が位置すると、環状フィン２０１とステータ側との間の隙間が遠心圧縮機の稼働中に拡大する懸念がある。また、後述のように、変形部２０３の周方向の端部側に貫通孔３０３が形成される場合には、貫通孔３０３の箇所において環状フィン２０１とステータ側との間の隙間が拡大する。したがって、環状フィン２０１に対向するステータ側の部分には、環状の壁部２０５かシールリング２０６を構成する部材が位置するようにするのが望ましい。この点からすると、内部隙間２０４の軸方向長さは環状フィン２０１間の距離よりも短くし、壁部２０５の厚さを大きくした方が望ましい。
【００２０】
図３及び図４に基づき、本実施例における変形部２０３及び内部隙間２０４の構成を詳述する。図３は本実施例のバランスピストン部ラビリンスシール２００の回転軸に垂直な断面（図２における断面III−III）を示す図であり、環状フィン２０１同士の間、すなわち、環状溝２０２における断面である。図４はバランスピストン部ラビリンスシール２００の変形部２０３の周辺構造を示す図であり、径方向内側から見た場合の部分的な展開図である。
【００２１】
図３に示すように、ラビリンスシールのステータ側（シールリング２０６）は円筒形状を半分に分割した半割れ構造であり、半割れシールリング２０６ａ，２０６ｂの２つの部品により構成されている。ステータ側の内周面には、環状溝２０２の外周に変形部２０３が環状に設けられている。本実施例では、環状溝２０２に対向する部分に、周方向に複数の変形部２０３が設けられる。なお、本実施例では４つの変形部２０３を設けているがこれに限らない。変形部２０３は、円弧形状のプレートで構成され、例えばアルミニウム合金やＰＥＥＫ樹脂などの樹脂材料で形成される。
【００２２】
ステータ側（シールリング２０６）の内周面には、変形部２０３を固定し支持する支持部３０１が形成されている。支持部３０１の上流側及び下流側には内部隙間２０４を形成するための円弧形状の凹部が形成されている。円弧形状の凹部を変形部２０３で覆うことにより内部隙間２０４が形成されている。例えば本実施例のように変形部２０３を４つとした場合、支持部３０１も４つ設けられる。この場合、半割れシールリング２０６ａ，２０６ｂのそれぞれの一方の端部に支持部３０１が位置するように支持部３０１を設けることにより製造性が向上する。
【００２３】
本実施例では、変形部２０３と半割れシールリング２０６ａ，２０６ｂとはそれぞれ異なる部品として加工されている。変形部２０３は支持部３０１に溶接もしくは接着により接合され固定される。これにより、半割れシールリング２０６ａ，２０６ｂは、支持部３０１を残して内部隙間２０４部分を切削することで簡便に作成することが可能である。
【００２４】
本実施例では、変形部２０３は、変形部２０３の回転方向下流側に設けられた支持部３０１によって片持ち支持されている。さらに、支持部３０１よりも回転方向上流側に、内部隙間２０４の空間と環状溝２０２の空間とを接続する貫通孔３０３が設けられている。また、貫通孔３０３によって、内部隙間２０４がロータとステータに挟まれたシール隙間３０２にも接続している。そして、貫通孔３０３は、本実施例では、変形部２０３の自由端（反支持部側）と回転方向上流側の他の変形部２０３を支持する支持部３０１との間に形成されている。
【００２５】
また、図４に示すように、本実施例では、貫通孔３０３から支持部３０１まで連続した切れ目部３０４が変形部２０３の両側に形成されている。切れ目部３０４も内部隙間２０４を環状溝２０２やシール隙間３０２に接続するので貫通孔の機能を有する。切れ目部３０４も一つの貫通孔と見た場合には、本実施例では複数の貫通孔が形成されていることになる。変形部２０３を半割れシールリング２０６ａ，２０６ｂを取り付ける際に、接合箇所が支持部３０１のみで良く、変形部２０３の取り付けが簡便となる。
【００２６】
このように変形部２０３の回転方向下流側を片持ち支持し、回転方向上流側に貫通孔３０３を形成することにより、変形部２０３において、支持部３０１と比べて貫通孔３０３を有する反支持部側の剛性が小さくなり、相対的に変形部２０３の反支持部側が変形しやすくなる。これにより、平均圧力を中心とした不均一な圧力分布の変動がロータの周りに発生し局所的な圧力上昇が生じた場合に、変形部２０３の反支持部側が径方向外側に変形することで、局所的な圧力上昇が発生した箇所の空間が拡がり、局所的な圧力上昇を緩和することができる。ロータの偏心方向に対して回転方向上流に圧力上昇が生じるため、支持部３０１よりも回転方向上流側に貫通孔３０３を設けることでより効果的に不均一圧力分布を緩和でき不安定流体力を抑制できる。また、本実施例では、貫通孔３０３に加えて切れ目部３０４を設けているので、変形部２０３が効果的に変形し、不安定流体力を抑制することができる。
【００２７】
また、貫通孔３０３を通して、内部隙間２０４の空間と環状溝２０２の空間の定常的な平均圧力は等しく保たれ、内部隙間２０４の空間と環状溝２０２の空間の圧力差によって変形部２０３に過度な荷重が作用することを防止できる。例えば、環状フィン２０１間の環状溝２０２の幅が５ｍｍ程度なのでの、貫通孔３０３の幅（変形部２０３の自由端と回転方向上流側の他の変形部２０３を支持する支持部３０１との間の距離）は１〜２ｍｍ程度である。ただし、貫通孔３０３は、大きすぎると、局所的な圧力上昇が生じたときにも、環状溝２０２の空間と内部隙間２０４の空間の圧力が等しくなる、すなわち、内部隙間２０４も局所的な圧力上昇が生じる空間になる可能性があるので、内部隙間２０４の空間と環状溝２０２の空間の定常的な平均圧力を等しく保ち、かつ、内部隙間２０４が局所的な圧力上昇が生じる空間にならないように、予め実験などを行うことにより適宜大きさを決める。
【００２８】
本実施例によれば、ロータ８の周りに、ロータ８の振動を助長するような不均一な圧力分布が発生すると、変形部２０３が径方向に変形することで不均一な圧力分布を緩和し、不均一な圧力分布によってロータ８に不安定流体力が作用することを効果的に抑制することができる。これにより、シールの漏れを抑制しつつ不安定流体力を低減できる。また、本実施例では、変形部２０３が径方向に変形することで不均一な圧力分布を緩和するようにしており、環状溝２０２の空間から内部隙間２０４に作動流体が流れることにより不均一な圧力分布を緩和するようにしたものではないので、作動流体が貫通孔を通過する際の流体抵抗を無視できない高速・高圧条件下においても安定した運転が可能なターボ機械を実現できる。
【００２９】
さらに、貫通孔３０３が設けられていない場合、変形部２０３が径方向に変形することにより内部隙間２０４の圧力が上昇し変形部２０３の変形が妨げられる可能性があるが、本実施例では環状溝２０２の空間と内部隙間２０４の空間とを貫通孔３０３で連通しているので、変形部２０３が径方向に変形した場合の内部隙間２０４の圧力上昇を抑制し変形部２０３の変形を妨げない。また、貫通孔３０３が設けられていない場合、高速・高圧条件下では、変形部２０３および支持部３０１に過大な圧力差による荷重が定常的に作用する可能性があるが、本実施例では、貫通孔３０３を設けているので、環状溝２０２の空間と内部隙間２０４の定常的な圧力を釣り合わせることができ、これによりターボ機械の運転条件に依らず、変形部２０３および支持部３０１に過大な圧力差による荷重が作用することを防止することができる。
【００３０】
さらに、支持部３０１を変形部２０３のロータ回転方向下流側に設けるとともに、貫通孔３０３を変形部２０３のロータ回転方向の上流側に設けることで、支持部３０１と貫通孔３０３が離れ、変形部２０３の変形がより容易となり、効果的に不安定流体力を低減できる。
【００３１】
上述の実施例では、ロータに環状フィンを有するロータフィン構造のラビリンスシールを対象としたが、図５に示すようなステータに環状フィンを有するステータフィン構造のラビリンスシールでも同様の効果が得られる。
【００３２】
図５に示すステータフィン構造のラビリンスシールでは、環状シールフィン２０１がステータ側（シールリング２０６）に設けられている。これ以外の構成は、基本的には、図２に示すロータフィン構造のラビリンスシールと同様である。本実施例では、環状シールフィン２０１は、最上流側と最下流側を除いて、シールリング２０６に形成された環状の壁部２０５の内径側に一体化して形成されている。隣接する環状フィン２０１間には環状溝２０２が形成され、環状溝２０２の外周側に内部隙間２０４側に形成されている。そして、内部隙間２０４と環状溝２０２を隔てる変形部２０３が設けられている。変形部２０３はロータフィン構造のラビリンスシールと同様に支持部３０１に固定されている。本実施例でもロータフィン構造のラビリンスシールと同様に、平均圧力を中心とした不均一な圧力分布の変動がロータの周りに発生し局所的な圧力上昇が生じた場合に、変形部２０３の反支持部側が径方向外側に変形することで、局所的な圧力上昇が発生した箇所の空間が拡がり、局所的な圧力上昇を緩和することができる。
【００３３】
上述の実施例では、遠心圧縮機のバランスピストン部ラビリンスシール２００に本発明を適用した場合を例として説明したが、羽根車口金ラビリンスシールや中間段ラビリンスシールに適用しても同様の効果が得られる。図６に、バランスピストン部ラビリンスシール２００に加えて、羽根車口金ラビリンスシール４００と中間段ラビリンスシール５００に本発明を適用した場合の遠心圧縮機の部分的な断面図を示すものである。
【００３４】
図６に示す遠心圧縮機では、ステータに環状フィンを有するステータフィン構造のラビリンスシールが用いられているが、これに限定されるものではなく、ロータに環状フィンを有するロータフィン構造のラビリンスシールを適用しても良い。また、バランスピストン部ラビリンスシール２００では、環状溝２０２の全てに変形部２０３と内部隙間２０４を設けるのではなく、圧力が高い上流側に変形部２０３と内部隙間２０４を設けるようにしている。上述したように、不安定流体力の課題は、回転速度が高速な場合や作動流体が高圧な場合に特に重要となる。したがって、ラビリンスシールの高圧側にのみ変形部２０３と内部隙間２０４と設けるようにしても効果が期待できる（最初の環状溝２０２の箇所にのみ変形部２０３と内部隙間２０４を設ける場合を含む）。この場合、ステータ側の加工が容易となる。
【００３５】
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加，削除，置換をすることが可能である。
【００３６】
例えば、上述の実施例では、図２や図５に示すように、内部隙間２０４の断面を矩形としたが、これに限らない。例えば、楕円形や台形でも変形部２０３の変形を妨げなければ同様の効果が得られる。  
また、上述の実施例では、図３に示すように、変形部２０３を円弧形状としたが、これに限らない。例えば、直線形状としても同様の効果が得られる。この場合は変形部２０３の分割数を多くするのが望ましい。  
また、上述の実施例では、変形部２０３として、支持部３０１に一端が固定された円弧形状のプレートを用いているが、支持部３０１を中心として両側に円弧形状のプレートが延びるよう形成された変形部を用いるようにしても良い。  
また、上述の実施例では、変形部２０３として、支持部３０１に一端が固定された円弧形状のプレートを用いているが、両端が支持部に固定された弾性部材を用いることも考えられる。
【００３７】
また、請求項の記載は引用関係を明確化するために、単項引用形式で記載しているが、多項引用形式の請求項の組み合わせ、さらには、多項引用形式の請求項を多項引用する請求項の組み合わせも本発明の対象である。
【符号の説明】
【００３８】
１・・・遠心圧縮機、２・・・ケーシング、３・・・ラジアル軸受、４・・・ラジアル軸受、５・・・スラスト軸受、６・・・回転軸、７・・・羽根車、８・・・ロータ、９・・・吸込流路、１０・・・ディフューザ、１１・・・戻り流路、１２・・・吐出流路、１３・・・バランスピストン、２００・・・バランスピストン部ラビリンスシール、２０１・・・環状フィン、２０２・・・環状溝、２０３・・・変形部（プレート）、２０４・・・内部隙間、２０５・・・壁部、２０６・・・シールリング、２０６ａ・・・半割れシールリング、２０６ｂ・・・半割れシールリング、３０１・・・支持部、３０２・・・シール隙間、３０３・・・貫通孔、３０４・・・切れ目部、４００・・・羽根車口金ラビリンスシール、５００・・・中間段ラビリンスシール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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