(57)【要約】      （修正有）【課題】ガスセンサのガス検出精度を向上させたガスセンサを提供する。【解決手段】ガスセンサ１は、ケーシング１１，３１と基材１３と検出部３３とシール材１４とを備え、シール材１４は、第１ガス成分を第２ガス成分に変換することができる触媒粒子を含有している。基材１３は、被測定ガスが内部に導入される面１３ａと、被測定ガスが外部へ排出される面１３ｂとを備える。基材１３は、面１３ａと面１３ｂとの間で被測定ガスを内部に流通させることにより、第１ガス成分を第２ガス成分に変換するように構成される。検出部３３は、基材１３から排出された被測定ガスに含まれる第２ガス成分を検出する。シール材１４は、金属繊維を除く無機繊維で形成され、ケーシング１１のチャンバにおける内壁面の一部分と、基材１３の外面のうち面１３ａ，１３ｂを除く外面との間に配置される。【選択図】図２
2019007817.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
自身の内部に被測定ガスを導入可能な内部空間が形成されたケーシングと、
前記内部空間に導入された前記被測定ガスが自身の内部に導入される導入部と、自身の内部に導入された前記被測定ガスが自身の外部へ排出される排出部とを備え、前記導入部と前記排出部との間で前記被測定ガスを自身の内部に流通させることにより、前記被測定ガスに含まれる第１ガス成分を第２ガス成分に変換するように構成され、前記内部空間に収容される変換部と、
前記変換部から排出された前記被測定ガスに含まれる前記第２ガス成分を検出するように構成された検出部と、
金属繊維を除く無機繊維で形成され、前記ケーシングの内部空間における内壁面の少なくとも一部分と、前記変換部の外面のうち前記導入部および前記排出部を除く前記外面の少なくとも一部分との間に配置されるシール材とを備え、
前記シール材は、前記第１ガス成分を前記第２ガス成分に変換することができる触媒粒子を含有しているガスセンサ。
【請求項２】
請求項１に記載のガスセンサであって、
前記ケーシングは、前記変換部を収容するように構成された第１収容部と、前記検出部を収容するように構成された第２収容部とを備え、
前記第１収容部から排出された前記被測定ガスを、前記第２収容部の内部へ導入させるために、前記第１収容部と前記第２収容部との間で前記被測定ガスを流通させるように構成された流通部を備えるガスセンサ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のガスセンサであって、
前記ケーシングの内部に収容され、前記変換部および前記検出部を加熱する単一のヒータを備えるガスセンサ。
【請求項４】
請求項３に記載のガスセンサであって、
前記ヒータは、前記第２収容部の内部に収容され、
熱が伝導可能な材料で形成され、前記第１収容部と前記第２収容部とを区切るために前記第１収容部と前記第２収容部との間に配置される分割部材と、
前記シール材より熱伝導率が高い材料で形成され、前記分割部材と前記変換部との間に配置されることにより前記変換部が前記分割部材に接着された状態にする接着剤とを備えるガスセンサ。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか１項に記載のガスセンサであって、
前記触媒粒子は、貴金属および酸化物の少なくとも一方で構成されているガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、第１ガス成分を第２ガス成分に変換する変換部を備えるガスセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、チャンバ内に被測定ガスとしての大気が常に一定量供給されるよう構成され、チャンバ内の触媒によりＣＯ等の可燃性ガスを燃焼除去する前処理を行った後に被測定ガスをセンサ素子に接触させてＮＯｘ濃度を検出するガスセンサが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−３００７０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のガスセンサでは、チャンバ内で被測定ガスが流通する流路を横断するように触媒をチャンバ内に充填し、触媒を透過した被測定ガスをセンサ素子に接触させている。
【０００５】
このようにガス透過性の触媒をチャンバ内に配置する場合には、チャンバの内面と触媒の外面との隙間をシール材で塞ぐことにより、被測定ガスが隙間から漏れずに触媒内を優先的に透過するようにする必要がある。
【０００６】
しかし、シール材として一般的に用いられるゴムなどの弾性体は耐熱性が低い。このため、高温の被測定ガスがシール材に接触したり、触媒を十分に活性化させる温度に加熱したが故にシール材が被測定ガスの流通を遮断する性能が低下したり、シール材から雑ガスが発生したりして、ガス検出精度に影響を及ぼす恐れがあった。
【０００７】
本開示は、ガスセンサのガス検出精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の一態様は、ケーシングと、変換部と、検出部と、シール材とを備え、シール材は、第１ガス成分を第２ガス成分に変換することができる触媒粒子を含有しているガスセンサである。
【０００９】
ケーシングは、自身の内部に被測定ガスを導入可能な内部空間が形成されている。
変換部は、内部空間に導入された被測定ガスが自身の内部に導入される導入部と、自身の内部に導入された被測定ガスが自身の外部へ排出される排出部とを備える。そして変換部は、導入部と排出部との間で被測定ガスを自身の内部に流通させることにより、被測定ガスに含まれる第１ガス成分を第２ガス成分に変換するように構成され、内部空間に収容される。
【００１０】
検出部は、変換部から排出された被測定ガスに含まれる第２ガス成分を検出するように構成される。
シール材は、金属繊維を除く無機繊維で形成され、ケーシングの内部空間における内壁面の少なくとも一部分と、変換部の外面のうち導入部および排出部を除く外面の少なくとも一部分との間に配置される。
【００１１】
このように構成された本開示のガスセンサでは、ケーシングと変換部との隙間の少なくとも一部分をシール材で塞ぐことができるため、被測定ガスが変換部ではなくケーシングと変換部との隙間を通過する事態の発生を抑制することができる。これにより、本開示のガスセンサは、ガス検出精度を向上させることができる。
【００１２】
本開示のガスセンサでは、シール材は、金属繊維を除く無機繊維で形成されているため柔軟で変形し易い。このため、シール材は、ケーシングと変換部との隙間を塞ぎ易く、被測定ガスが変換部ではなくケーシングと変換部との隙間を通過する事態の発生を更に抑制することができる。また、本開示のガスセンサでは、ケーシングと変換部との隙間を塞ぐために、金属繊維で形成されたシール材とは異なり、大きな荷重を掛けてシール材を変形させる必要がない。このため、本開示のガスセンサでは、ケーシングと変換部との隙間を塞ぐために変換部が破損してしまう事態の発生を抑制することができる。
【００１３】
さらに本開示のガスセンサでは、シール材は、第１ガス成分を第２ガス成分に変換することができる触媒粒子を含有している。このため、ケーシングと変換部との隙間を通過した被測定ガスの少なくとも一部分において第１ガス成分が第２ガス成分に変換される。これにより、本開示のガスセンサは、ガス検出精度を更に向上させることができる。
【００１４】
また、本開示のガスセンサでは、具体的には、ケーシングは、第１収容部と、第２収容部とを備え、第１収容部から排出された被測定ガスを、第２収容部の内部へ導入させるために、第１収容部と第２収容部との間で被測定ガスを流通させるように構成された流通部を備えるようにしてもよい。第１収容部は、変換部を収容するように構成される。第２収容部は、検出部を収容するように構成される。
【００１５】
また、本開示のガスセンサでは、ケーシングの内部に収容され、変換部および検出部を加熱する単一のヒータを備えるようにしてもよい。これにより、本開示のガスセンサは、ガスセンサの構成を簡略化することができ、ガスセンサを小型化することができる。
【００１６】
また、本開示のガスセンサでは、ヒータは第２収容部の内部に収容され、分割部材と、接着剤とを備えるようにしてもよい。分割部材は、熱が伝導可能な材料で形成され、第１収容部と第２収容部とを区切るために第１収容部と第２収容部との間に配置される。接着剤は、シール材より熱伝導率が高い材料で形成され、分割部材と変換部との間に配置されることにより変換部が分割部材に接着された状態にする。これにより、本開示のガスセンサは、変換部を更に効率良く加熱することができる。
【００１７】
また、本開示のガスセンサでは、具体的には、触媒粒子は、貴金属および酸化物の少なくとも一方で構成されているようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１実施形態のガスセンサ１の分解斜視図である。
【図２】第１実施形態のガスセンサ１の断面図である。
【図３】第２実施形態のガスセンサ２における第１の断面図である。
【図４】第２実施形態のガスセンサ２における第２の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（第１実施形態）
以下に本開示の第１実施形態を図面とともに説明する。
本実施形態のガスセンサ１は、図１に示すように、調整ユニット２と、センサユニット３と、ガス流通管４とを備える。
【００２０】
調整ユニット２は、ケーシング１１と、パッキン１２と、基材１３と、シール材１４とを備える。
ケーシング１１は、矩形状の下面板２１と、下面板２１の矩形を構成する四辺のそれぞれから垂直に突出した４つの側面板２２，２３，２４，２５とを備え、上面に開口部２６が形成された金属製の部材である。
【００２１】
またケーシング１１は、フランジ２７を備える。フランジ２７は、４つの側面板２２，２３，２４，２５における上面側の端部から側面板２２，２３，２４，２５に対して垂直に外側へ向かって延び、開口部２６の周縁に沿って略矩形枠状に形成されている。
【００２２】
図２は、後述する流路１３ｃ内をガスが流通する流通方向に沿ってガスセンサ１を切断した断面図である。
図２に示すように、ケーシング１１の下面板２１には、２つの貫通孔２１ａ，２１ｂが形成されている。そしてケーシング１１は、インレット２８とアウトレット２９とを備える。インレット２８は、貫通孔２１ａにおける外側の開口部から下面板２１に対して垂直に外側へ向かって延びて、円筒状に形成されている。これにより、インレット２８における外側の開口部からケーシング１１の内部にガスを導入することができる。同様に、アウトレット２９は、貫通孔２１ｂにおける外側の開口部から下面板２１に対して垂直に外側へ向かって延びて、円筒状に形成されている。これにより、ケーシング１１の内部からインレット２８における外側の開口部へガスを排出することができる。
【００２３】
図１に示すように、パッキン１２は、平面視でフランジ２７と略同じ矩形枠状に形成された弾性部材である。パッキン１２は、図示しない接着剤を介してフランジ２７に接着される。
【００２４】
基材１３は、直方体形状に形成されたセラミック製の部材である。基材１３には、直方体を構成する６つの面のうち互いに対向する２つの面１３ａ，１３ｂの間で貫通する流路１３ｃが形成される。なお、面１３ａは図１に示されておらず、図２に示されている。本実施形態では、４つの流路１３ｃが形成されている。流路１３ｃの内壁面には、所定の活性化温度において、被測定ガスに含まれる第１ガス成分（本実施形態ではＮＯ）を第２ガス成分（本実施形態ではＮＯ２）に変換するための触媒（本実施形態では、Ｐｔを担持させたゼオライト）が塗布されている。
【００２５】
シール材１４は、金属繊維を除く無機繊維（本実施形態では、アルミナ繊維）で形成された部材である。シール材１４を構成する無機繊維には、触媒粒子（本実施形態では、Ｐｔ）が添加されている。無機繊維に触媒粒子を添加する方法としては、例えば、触媒粒子を含む溶液に無機繊維を浸した後に乾燥焼成する方法が挙げられる。また、触媒粒子を含む溶液に無機繊維を浸す代わりに、触媒粒子を担持したゼオライトまたはγアルミナを含むスラリーに無機繊維を浸してもよい。シール材１４は、直方体を構成する６つの面のうち流路１３ｃが形成されていない４つの面に接触して覆うように配置される。
【００２６】
基材１３は、直方体を構成する６つの面のうち流路１３ｃが形成されていない３つの面に配置されたシール材１４がそれぞれ下面板２１と側面板２３と側面板２５と接触し、残りの１つの面に配置されたシール材１４が開口部２６で露出するようにして、ケーシング１１の内部に配置される。また基材１３は、ケーシング１１の内部において、貫通孔２１ａと貫通孔２１ｂとの間に配置される。これにより、貫通孔２１ａを通ってケーシング１１の内部に導入された被測定ガスは、基材１３の流路１３ｃ内を通って、貫通孔２１ｂからケーシング１１の外部へ排出される。なお、被測定ガスが基材１３の流路１３ｃ内を通過することにより、被測定ガスに含まれる第１ガス成分が第２ガス成分に変換される。
【００２７】
センサユニット３は、ケーシング３１と、パッキン３２と、検出部３３と、セラミック配線基板３４とを備える。
ケーシング３１は、矩形状の上面板４１と、上面板４１の矩形を構成する四辺のそれぞれから垂直に突出した４つの側面板とを備え、下面に開口部４２が形成された金属製の部材である。なお、開口部４２は図１に示されておらず、図２に示されている。
【００２８】
またケーシング３１は、フランジ４３を備える。フランジ４３は、４つの側面板における下面側の端部から４つの側面板に対して垂直に外側へ向かって延び、開口部４２の周縁に沿って略矩形枠状に形成されている。
【００２９】
またケーシング３１の上面板４１には、図２に示すように、２つの貫通孔４１ａ，４１ｂが形成されている。そしてケーシング３１は、インレット４４とアウトレット４５とを備える。インレット４４は、貫通孔４１ａにおける外側の開口部から上面板４１に対して垂直に外側へ向かって延びて、円筒状に形成されている。これにより、インレット４４における外側の開口部からケーシング３１の内部にガスを導入することができる。同様に、アウトレット４５は、貫通孔４１ｂにおける外側の開口部から上面板４１に対して垂直に外側へ向かって延びて、円筒状に形成されている。これにより、ケーシング３１の内部からアウトレット４５における外側の開口部へガスを排出することができる。
【００３０】
図１に示すように、パッキン３２は、平面視でフランジ４３と略同じ矩形枠状に形成された弾性部材である。パッキン３２は、図示しない接着剤を介してフランジ４３に接着される。
【００３１】
検出部３３は、図２に示すように、基板５１と、センサ素子５２と、ヒータ５３とを備える。基板５１は、絶縁性材料で矩形板状に形成された部材である。センサ素子５２は、詳細は図示していないが、固体電解質体と、固体電解質体上に配置された一対の電極とを備えるガスセンサである。センサ素子５２は、被測定ガスに含まれる第２ガス成分の濃度に応じて変化する電気的特性に基づいて、第２ガス成分の濃度を示す電気信号を出力する。センサ素子５２は、基板５１の上面５１ａに設置される。
【００３２】
ヒータ５３は、例えば白金を主体とする材料にて形成された発熱抵抗体を備え、図示しない電源から供給される電力により、センサ素子５２を加熱する。ヒータ５３は、基板５１の下面５１ｂに設置される。
【００３３】
セラミック配線基板３４は、図１に示すように、本体部６１と狭幅部６２とを備える。本体部６１は、その外周の形状がパッキン１２，３２の外周の形状と略一致するように矩形板状に形成されている。本体部６１の上面６１ａには、検出部３３を設置するための凹部６１ｂが形成されている。
【００３４】
狭幅部６２は、本体部６１を構成する４つの辺のうちの１つの辺から外側へ向かって延びて、矩形板状に形成されている。狭幅部６２は、狭幅部６２が外側へ向かって延びる方向に対して垂直な方向に沿った長さ（すなわち、幅）が、本体部６１の辺（幅）の長さより短くなるように形成されている。狭幅部６２上には、センサ素子５２およびヒータ５３に電気的に接続される配線が表裏面に対して形成されている。
【００３５】
そして、図２に示すように、検出部３３は、基板５１の下面５１ｂを接着剤３５で凹部６１ｂの底面に接着することにより凹部６１ｂ内に設置される。
また、パッキン１２の下面１２ａとフランジ２７の上面２７ａとが接着剤により接着され、パッキン１２の上面１２ｂとセラミック配線基板３４の本体部６１における下面６１ｃの外周部分とが接着剤により接着される。これにより、ケーシング１１の開口部２６がセラミック配線基板３４の本体部６１により閉塞される。このように閉塞されたケーシング１１の内部空間がチャンバＣ１を形成する。なお、セラミック配線基板３４の本体部６１における下面６１ｃと、基材１３を覆っているシール材１４の表面のうち下面板２１、側面板２３，２５およびパッキン１２と接触していない部分とが接触する。
【００３６】
また、パッキン３２の上面３２ａとフランジ４３の下面４３ａとが接着剤により接着され、パッキン３２の下面３２ｂとセラミック配線基板３４の本体部６１における上面６１ａの外周部分とが接着剤により接着される。これにより、ケーシング３１の開口部４２がセラミック配線基板３４の本体部６１により閉塞される。このように閉塞されたケーシング３１の内部空間がチャンバＣ２を形成する。
【００３７】
これにより、基材１３、シール材１４、セラミック配線基板３４、接着剤３５、ヒータ５３、基板５１およびセンサ素子５２が順次積層された状態となる。このため、矢印Ｈ１で示すように、ヒータ５３で発生した熱は、基板５１を介してセンサ素子５２に伝わる。また、矢印Ｈ２で示すように、ヒータ５３で発生した熱は、接着剤３５、セラミック配線基板３４およびシール材１４を介して基材１３に伝わる。
【００３８】
ガス流通管４は、樹脂または金属で形成されている。そして、ガス流通管４の一端の開口部内にアウトレット２９が差し込まれ、ガス流通管４の他端の開口部内にインレット４４が差し込まれる。これにより、チャンバＣ１から排出された被測定ガスは、ガス流通管４を通ってチャンバＣ２に流入する。そして、チャンバＣ２内に設置されている検出部３３が、チャンバＣ２内に流入した被測定ガスに含まれる第２ガス成分の濃度を検出する。チャンバＣ２内に流入した被測定ガスは、アウトレット４５からガスセンサ１の外部へ排出される。
【００３９】
このように構成されたガスセンサ１は、ケーシング１１，３１と、基材１３と、検出部３３と、シール材１４とを備え、シール材１４は、第１ガス成分を第２ガス成分に変換することができる触媒粒子を含有している。
【００４０】
ケーシング１１，３１は、自身の内部に被測定ガスを導入可能なチャンバＣ１が形成されている。
基材１３は、チャンバＣ１に導入された被測定ガスが自身の内部に導入される面１３ａと、自身の内部に導入された被測定ガスが自身の外部へ排出される面１３ｂとを備える。そして、基材１３は、面１３ａと面１３ｂとの間で被測定ガスを自身の内部に流通させることにより、被測定ガスに含まれる第１ガス成分を第２ガス成分に変換するように構成され、チャンバＣ１に収容される。
【００４１】
検出部３３は、基材１３から排出された被測定ガスに含まれる第２ガス成分を検出する。シール材１４は、金属繊維を除く無機繊維で形成され、ケーシング１１のチャンバＣ１における内壁面の一部分と、基材１３の外面のうち面１３ａおよび面１３ｂを除く外面との間に配置される。
【００４２】
このようにガスセンサ１では、ケーシング１１と基材１３との隙間の少なくとも一部分をシール材１４で塞ぐことができるため、被測定ガスが基材１３ではなくケーシング１１と基材１３との隙間を通過する事態の発生を抑制することができる。これにより、ガスセンサ１は、ガス検出精度を向上させることができる。
【００４３】
ガスセンサ１では、シール材１４は、金属繊維を除く無機繊維で形成されているため柔軟で変形し易い。このため、シール材１４は、ケーシング１１と基材１３との隙間を塞ぎ易く、被測定ガスが基材１３ではなくケーシング１１と基材１３との隙間を通過する事態の発生を更に抑制することができる。またガスセンサ１では、ケーシング１１と基材１３との隙間を塞ぐために、金属繊維で形成されたシール材とは異なり、大きな荷重を掛けてシール材を変形させる必要がない。このため、ガスセンサ１では、ケーシング１１と基材１３との隙間を塞ぐために基材１３が破損してしまう事態の発生を抑制することができる。
【００４４】
さらにガスセンサ１では、シール材１４は、第１ガス成分を第２ガス成分に変換することができる触媒粒子を含有している。このため、ケーシング１１と基材１３との隙間を通過した被測定ガスの少なくとも一部分において第１ガス成分が第２ガス成分に変換される。これにより、ガスセンサ１は、ガス検出精度を更に向上させることができる。
【００４５】
またガスセンサ１は、具体的には、ケーシング１１とケーシング３１とを備え、ケーシング１１から排出された被測定ガスを、ケーシング３１の内部へ導入させるために、ケーシング１１とケーシング３１との間で被測定ガスを流通させるように構成されたガス流通管４を備える。ケーシング１１は、基材１３を収容するように構成される。ケーシング３１は、検出部３３を収容するように構成される。
【００４６】
またガスセンサ１では、ケーシング３１の内部に収容され、基材１３および検出部３３を加熱する単一のヒータ５３を備える。これにより、ガスセンサ１は、ガスセンサ１の構成を簡略化することができ、ガスセンサ１を小型化することができる。
【００４７】
またガスセンサ１では、シール材１４が含有している触媒粒子はＰｔである。これにより、ガスセンサ１は、被測定ガスに含まれる雑ガス（例えば、水素および一酸化炭素等）を酸化することにより除去することができる。
【００４８】
以上説明した実施形態において、チャンバＣ１は内部空間に相当し、面１３ａは導入部に相当し、面１３ｂは排出部に相当し、触媒が塗布された基材１３は変換部に相当する。
【００４９】
また、ケーシング１１は第１収容部に相当し、ケーシング３１は第２収容部に相当し、ガス流通管４は流通部に相当する。
（第２実施形態）
以下に本開示の第２実施形態を図面とともに説明する。なお第２実施形態では、第１実施形態と異なる部分を説明する。共通する構成については同一の符号を付す。
【００５０】
図３は、上記の流通方向に対して垂直な方向に沿って第２実施形態のガスセンサ１を切断した断面図である。図４は、上記の流通方向に沿って第２実施形態のガスセンサ１を切断した断面図である。
【００５１】
第２実施形態のガスセンサ１は、図３および図４に示すように、シール材１４により基材１３を覆う範囲が変更された点と、接着剤１７を備える点とが第１実施形態と異なる。
シール材１４は、図３に示すように、基材１３の直方体を構成する６つの面のうち、下面板２１および側面板２３，２５に対向する３つの面に接触して覆うように配置される。従って、基材１３において開口部２６で露出する面にはシール材１４は配置されない。
【００５２】
接着剤１７は、シール材１４よりも熱伝導率が高い材料で形成されており、硬化された状態でガス不透過性を有している。接着剤１７は、基材１３において開口部２６で露出する面と、セラミック配線基板３４の本体部６１の下面６１ｃとの間に配置される。すなわち、基材１３は、接着剤１７を介してセラミック配線基板３４の本体部６１に接着される。
【００５３】
このように構成されたガスセンサ１では、ヒータ５３はケーシング３１の内部に収容され、セラミック配線基板３４の本体部６１と、接着剤１７とを備える。本体部６１は、熱が伝導可能な材料で形成され、ケーシング１１とケーシング３１とを区切るためにケーシング１１とケーシング３１との間に配置される。接着剤１７は、シール材１４より熱伝導率が高い材料で形成され、本体部６１と基材１３との間に配置されることにより基材１３が本体部６１に接着された状態にする。これにより、ガスセンサ１は、基材１３の触媒を更に効率良く加熱することができる。
【００５４】
以上説明した実施形態において、本体部６１は分割部材に相当する。
以上、本開示の一実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に限定されるものではなく、種々変形して実施することができる。
【００５５】
例えば上記実施形態では、シール材１４が含有している触媒粒子はＰｔである形態を示したが、この触媒粒子は貴金属および酸化物の少なくとも一方で構成されているようにしてもよい。
【００５６】
上記実施形態では、シール材１４がアルミナ繊維で形成された形態を示したが、例えば、シリカ繊維またはガラス繊維などであってもよい。
また、上記実施形態では、ケーシング１１、パッキン１２、セラミック配線基板３４、パッキン３２、ケーシング３１を、それぞれ接着材を介して固定させる構成を採ったが、各部材１１、１２、３４、３２、３１の固定構造はこれに限定されない。例えば、接着剤を用いず、ケーシング１１、３１の外周に位置すると共にフランジ２７、４３上に位置するように、ネジ孔が四隅に形成された一対の固定プレートを配置し、一対の固定部材のネジ孔にネジを挿通させ、各固定部材からセラミック配線基板３４に向けての力（付勢力）を付与することによって、各部材１１、１２、３４、３２、３１が位置ズレしないよう固定するようにしてもよい。
また、上記実施形態における１つの構成要素が有する機能を複数の構成要素に分担させたり、複数の構成要素が有する機能を１つの構成要素に発揮させたりしてもよい。また、上記実施形態の構成の一部を省略してもよい。また、上記実施形態の構成の少なくとも一部を、他の上記実施形態の構成に対して付加、置換等してもよい。なお、特許請求の範囲に記載の文言から特定される技術思想に含まれるあらゆる態様が本開示の実施形態である。
【符号の説明】
【００５７】
１…ガスセンサ、１１…ケーシング、１３…基材、１３ａ，１３ｂ…面、１４…シール材、３１…ケーシング、３３…検出部、Ｃ１…チャンバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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