(57)【要約】【課題】設計の自由度に優れたロボットシステムを提供する。【解決手段】ワークを載置するための第１載置部及び第２載置部と、前記第１載置部と前記第２載置部との間に配置されている移載装置と、を備えており、前記移載装置は、前記第１載置部側に設けられる第１壁と前記第１壁に対向して前記第２載置部側に設けられる第２壁とによりその周縁の一部が画定されている移載装置内部空間と、前記第１載置部と前記第２載置部との間で前記ワークを移載するためのロボットと、を備えており、前記第１載置部は、前記第１壁と前記第２壁とを結ぶ第１方向において、前記第１壁から第１距離だけ離間して配置されており、前記第２載置部は、前記第１方向において、前記第２壁から前記第１距離よりも遠い第２距離だけ離間して配置されており、前記ロボットは、前記第２壁に寄せて配置されていることを特徴とする。【選択図】図１
2019207930.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを載置するための第１載置部及び第２載置部と、
前記第１載置部と前記第２載置部との間に配置されている移載装置と、を備えており、
前記移載装置は、
前記第１載置部側に設けられる第１壁と前記第１壁に対向して前記第２載置部側に設けられる第２壁とによりその周縁の一部が画定されている移載装置内部空間と、
前記第１載置部と前記第２載置部との間で前記ワークを移載するためのロボットと、を備えており、
前記第１載置部は、前記第１壁と前記第２壁とを結ぶ第１方向において、前記第１壁から第１距離だけ離間して配置されており、
前記第２載置部は、前記第１方向において、前記第２壁から前記第１距離よりも遠い第２距離だけ離間して配置されており、
前記ロボットは、前記第２壁に寄せて配置されていることを特徴とする、ロボットシステム。
【請求項２】
前記ロボットは、ロボットアームを有しており、前記ロボットアームの基端に設けられる関節軸が前記第２壁の内面に寄せて配置されている、請求項１に記載のロボットシステム。
【請求項３】
前記第２載置部を複数備えており、
前記第２距離は、前記第１方向において、前記第２壁から前記複数の第２載置部のうちで前記第２壁に対して最も遠い第２載置部までの距離である、請求項１又は２に記載のロボットシステム。
【請求項４】
前記ロボットは、前記第２壁が延在する第２方向において、前記第２壁に対して最も遠い第２載置部と前記第２壁に対して２番目に遠い第２載置部との間に配置されている、請求項３に記載のロボットシステム。
【請求項５】
前記ロボットは、最も遠い第２載置部からの距離と２番目に遠い第２載置部からの距離とが等しくなるように配置されている、請求項３又は４に記載のロボットシステム。
【請求項６】
前記第１載置部を複数備えており、
前記第１距離は、前記第１方向において、前記第１壁から前記複数の第１載置部のうちで前記第１壁に対して最も遠い第１載置部までの距離である、請求項１乃至５のいずれかに記載のロボットシステム。
【請求項７】
前記複数の第１載置部は、それぞれ、前記第１壁の外面に寄せて配置されている、請求項６に記載のロボットシステム。
【請求項８】
前記ワークは、半導体ウェハであり、
前記第１載置部は、前記半導体ウェハを収容するための収容装置の一部として構成されており、
前記第２載置部は、前記半導体ウェハに対して処理を施すための処理装置の一部として構成されており、且つ、
前記ロボットは、前記収容装置と前記処理装置との間で前記半導体ウェハを移載するための半導体ウェハ移載用ロボットとして構成されている、請求項１乃至７のいずれかに記載のロボットシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボットシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ロボットシステムが知られている。このようなロボットシステムとして、例えば、特開２０１３−１９８９８１号公報（特許文献１）で提案されているような基板搬送装置が知られている。
【０００３】
特許文献１の基板搬送装置は、準備空間に配置される基板搬送ロボットと、フープを開閉する開閉装置であるフープオープナと、準備空間に配置され、基板の向きを調整するアライナと、準備空間に満たされる気体を調整する準備空間調整装置とを含む。また、基板処理装置は、処理空間内で基板を処理する処理装置本体と、処理空間に満たされる気体を調整する処理空間調整装置とを含む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１９８９８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１では、フープ及び処理装置それぞれが、準備空間の外面に寄せて配置されているが、フープ及び処理装置それぞれの配置の自由度、ひいては装置全体の設計の自由度が考慮されていない。
【０００６】
そこで、本発明は、設計の自由度に優れたロボットシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、本発明に係るロボットシステムは、ワークを載置するための第１載置部及び第２載置部と、前記第１載置部と前記第２載置部との間に配置されている移載装置と、を備えており、前記移載装置は、前記第１載置部側に設けられる第１壁と前記第１壁に対向して前記第２載置部側に設けられる第２壁とによりその周縁の一部が画定されている移載装置内部空間と、前記第１載置部と前記第２載置部との間で前記ワークを移載するためのロボットと、を備えており、前記第１載置部は、前記第１壁と前記第２壁とを結ぶ第１方向において、前記第１壁から第１距離だけ離間して配置されており、前記第２載置部は、前記第１方向において、前記第２壁から前記第１距離よりも遠い第２距離だけ離間して配置されており、前記ロボットは、前記第２壁に寄せて配置されていることを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、第２載置部は、第１壁と第２壁とを結ぶ第１方向において、第２壁から第１距離よりも遠い第２距離だけ離間して配置されており、ロボットは、第２壁に寄せて配置されている。その結果、設計の自由度に優れたロボットシステムを提供することが可能となる。
【０００９】
前記ロボットは、ロボットアームを有しており、前記ロボットアームの基端に設けられる関節軸が前記第２壁の内面に寄せて配置されていてもよい。
【００１０】
上記構成によれば、本発明に係るロボットシステムの効果を顕著にすることが可能となる。
【００１１】
例えば、前記第２載置部を複数備えており、前記第２距離は、前記第１方向において、前記第２壁から前記複数の第２載置部のうちで前記第２壁に対して最も遠い第２載置部までの距離であってもよい。
【００１２】
前記ロボットは、前記第２壁が延在する第２方向において、前記第２壁に対して最も遠い第２載置部と前記第２壁に対して２番目に遠い第２載置部との間に配置されていてもよい。
【００１３】
上記構成によれば、ロボットが複数の第２載置部それぞれにアクセスし易くなる。
【００１４】
前記ロボットは、最も遠い第２載置部からの距離と２番目に遠い第２載置部からの距離とが等しくなるように配置されていてもよい。
【００１５】
上記構成によれば、ロボットが複数の第２載置部それぞれにアクセスし易くなる。
【００１６】
例えば、前記第１載置部を複数備えており、前記第１距離は、前記第１方向において、前記第１壁から前記複数の第１載置部のうちで前記第１壁に対して最も遠い第１載置部までの距離であってもよい。
【００１７】
前記複数の第１載置部は、それぞれ、前記第１壁の外面に寄せて配置されていてもよい。
【００１８】
上記構成によれば、ロボットが複数の第１載置部それぞれにアクセスし易くなる。
【００１９】
前記ワークは、半導体ウェハであり、前記第１載置部は、前記半導体ウェハを収容するための収容装置の一部として構成されており、前記第２載置部は、前記半導体ウェハに対して処理を施すための処理装置の一部として構成されており、且つ、前記ロボットは、前記収容装置と前記処理装置との間で前記半導体ウェハを移載するための半導体ウェハ移載用ロボットとして構成されていてもよい。
【００２０】
上記構成によれば、本発明に係るロボットシステムを半導体ウェハ製造現場に適用することが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、設計の自由度に優れたロボットシステムを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に係るロボットシステムの全体構成を示す概略図である。
【図２】本発明の実施形態に係るロボットシステムの変形例についての全体構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。なお、以下では、全ての図を通じて同一又は相当する要素には同一の参照符号を付して、その重複する説明を省略する。
【００２４】
（ロボットシステム１０）
図１は、本発明の実施形態に係るロボットシステムの全体構成を示す概略図である。図１に示すように、本実施形態に係るロボットシステム１０は、半導体ウェハＷ（ワーク）を収容するための４つの収容装置２０ａ〜２０ｄと、半導体ウェハＷに対して処理を施すための３つの処理装置３０ａ〜３０ｃと、収容装置２０ａ〜２０ｄと処理装置３０ａ〜３０ｃとの間に配置されている移載装置４０と、を備えている。
【００２５】
（収容装置２０）
収容装置２０ａ〜２０ｄは、それぞれ、複数枚の半導体ウェハＷを上下方向に積層して収容することが可能ないわゆるフープ（ＦＯＵＰ:Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）として構成されていてもよい。すなわち、収容装置２０ａ〜２０ｄは、それぞれ、直方体状に形成される中空の容器本体と、当該容器本体の一側面に形成された開口を開閉することが可能な容器側ドアとを有しており、クリーン環境に適した密閉された構造であってもよい。
【００２６】
収容装置２０ａ〜２０ｄは、それぞれ、半導体ウェハＷを載置するための第１載置部２２ａ〜２２ｄを有している。換言すれば、第１載置部２２ａ〜２２ｄは、それぞれ、収容装置２０ａ〜２０ｄの一部として構成されている。
【００２７】
（処理装置３０）
処理装置３０ａ〜３０ｃが半導体ウェハＷに対して施す処理は、例えば、熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理及びエッチング処理などであってもよい。また、処理装置３０ａ〜３０ｃは、それぞれ、半導体ウェハＷに対して一つの処理を行うための入口又は出口として構成されていてもよい。例えば、処理装置３０ａが半導体ウェハＷに対して熱処理を行うための入口として構成されており、処理装置３０ｂがその出口として構成されていてもよい。
【００２８】
処理装置３０ａ〜３０ｃは、それぞれ、半導体ウェハＷを載置するための第２載置部３２ａ〜３２ｃを有している。換言すれば、第２載置部３２ａ〜３２ｃは、それぞれ、処理装置３０ａ〜３０ｃの一部として構成されている。
【００２９】
（移載装置４０）
移載装置４０は、移載装置内部空間４１と、収容装置２０ａ〜２０ｄと処理装置３０ａ〜３０ｃとの間で半導体ウェハＷを移載するための半導体ウェハ移載用ロボット５０（以下単に「ロボット５０」という）と、を有している。
【００３０】
（移載装置内部空間４１）
移載装置内部空間４１は、空気洗浄度が確保された公知の構造を有している。移載装置内部空間４１は、収容装置２０ａ〜２０ｄ側に設けられる第１壁４２と、第１壁４２に対向して処理装置３０ａ〜３０ｃ側に設けられる第２壁４４とによりその周縁の一部が画定されている。なお、第１壁４２と第２壁４４とは平面視において互いに平行に延在している。以下の説明において、第１壁４２と第２壁４４とを結ぶ方向を第１方向と称する。また、第１壁４２及び第２壁４４それぞれが延在する方向（すなわち、後述する第３壁４６と第４壁４８とを結ぶ方向）を第２方向と称する。
【００３１】
第１壁４２には、ロボット５０の一部が通り抜け可能な第１開口４３ａ〜４３ｄが穿設されている。第１開口４３ａ〜４３ｄは、それぞれ、収容装置２０ａ〜２０ｄに対応した位置に穿設されている。第１開口４３ａ〜４３ｄは、それぞれ、図示しない第１ルーム側ドアが設けられることで開閉可能に構成されていてもよい。これにより、移載装置内部空間４１内の空気洗浄度が確保されてもよい。
【００３２】
第２壁４４には、ロボット５０の一部が通り抜け可能な第２開口４５が穿設されている。第２開口４５は、第２壁４４の第２方向における一方側端縁（図１において左側端縁）の近傍から同方向における他方側端縁（図１において右側端縁）の近傍まで穿設されている。第２開口４５は、図示しない第２ルーム側ドアが設けられることで開閉可能に構成されていてもよい。これにより、移載装置内部空間４１内の空気洗浄度が確保されてもよい。
【００３３】
移載装置内部空間４１は、第１壁４２の第２方向における一方側端縁（図１において左側端縁）と第２壁４４の第２方向における一方側端縁（同前）とを互いに接続するように第１方向に沿って延在する第３壁４６と、第１壁４２の第２方向における他方側端縁（図１において右側端縁）と第２壁４４の第２方向における他方側端縁（同前）とを互いに接続するように第１方向に沿って延在する第４壁４８と、によりその周縁の一部がさらに画定されている。
【００３４】
（ロボット５０）
本実施形態に係るロボット５０は、いわゆる水平多関節型の３軸ロボットであって、３つの関節軸（関節軸ＡＸ１、関節軸ＡＸ２、及び関節軸ＡＸ３）を備えている。ロボット５０は、基台５２と、基台５２の上面に設けられる上下方向に伸縮可能な昇降軸（図示せず）と、を備えている。
【００３５】
また、ロボット５０は、前記昇降軸の上端部に取り付けられるロボットアーム５４と、ロボットアーム５４の先端部に取り付けられるハンド５６（エンドエフェクタ）と、ロボットアーム５４及びハンド５６を制御するロボット制御部５８と、をさらに備えている。
【００３６】
基台５２の上面に設けられる昇降軸は、図示しないエアシリンダなどで伸縮可能に構成されている。ロボットアーム５４は、水平方向に延びる長尺状の部材で構成されている第１リンク５４ａ及び第２リンク５４ｂを含む。
【００３７】
第１リンク５４ａは、その長手方向の一端部が図示しないサーボモータで駆動する関節軸ＡＸ１（ロボットアームの基端に設けられる関節軸）を介して昇降軸の上端部に取り付けられている。これにより、第１リンク５４ａは鉛直方向に延びる軸線回りに回動可能な状態で昇降軸に取り付けられている。
【００３８】
第２リンク５４ｂは、その長手方向の一端部が図示しないサーボモータで駆動する関節軸ＡＸ２を介して第１リンク５４ａの他端部に取り付けられている。これにより、第２リンク５４ｂは鉛直方向に延びる軸線回りに回動可能な状態で第１リンク５４ａに取り付けられている。
【００３９】
ハンド５６は、その長手方向の一端部が図示しないサーボモータで駆動する関節軸ＡＸ３を介して第２リンク５４ｂの他端部に取り付けられている。これにより、ハンド５６は鉛直方向に延びる軸線回りに回動可能な状態で第２リンク５４ｂに取り付けられている。
【００４０】
ハンド５６は、関節軸ＡＸ３を含む基部５６ａと、当該基部５６ａの先端部に取り付けられる保持部５６ｂと、を有している。保持部５６ｂは、その先端側が２股に分かれており、平面視においてＹ字状に構成されている。
【００４１】
（ロボット制御部５８）
ロボット制御部５８の具体的な構成は特に限定されないが、例えば、公知のプロセッサ（ＣＰＵ等）が記憶部（メモリ）に格納されるプログラムに従って動作することにより実現される構成であってもよい。
【００４２】
（各構成要素の配置）
ここで、上記した各構成要素の配置について詳細に説明する。収容装置２０ａ〜２０ｄは、それぞれ、移載装置内部空間４１の第１壁４２の外面に寄せて配置されており、互いに横並びで隣接して配置されている。すなわち、第１載置部２２ａ〜２２ｄは、それぞれ、第１方向において、第１壁４２から同じ第１距離Ｄ１だけ離間して設けられている。
【００４３】
ここで、第１距離Ｄ１は、第１壁４２の外面と平面視において円板状に形成される半導体ウェハＷの中心との距離である。なお、収容装置２０ａ〜２０ｄそれぞれが第１壁４２の外面に寄せて配置されているので、第１載置部２２ａ〜２２ｂに載置されている半導体ウェハＷそれぞれの第１壁４２側の端部と第１壁４２の外面との距離は０又はほぼ０となっている。
【００４４】
処理装置３０ａ〜３０ｂは、それぞれ、第１方向において、第２壁４４から互いに異なる距離だけ離間して設けられている。第２壁４４に対して、最も遠くに処理装置３０ａが配置されており、２番目に遠くに処理装置３０ｂが配置されており、且つ、最も近くに処理装置３０ｃが配置されている。
【００４５】
ここで、上記した第１壁４２から第１載置部２２ａ〜２２ｄまでの第１距離Ｄ１に対応した第２壁４４から第２載置部３２ａ〜３２ｃまでの第２距離Ｄ２は、第１方向において、第２載置部３２ａ〜３２ｃのうちで第２壁４４に対して最も遠い第２載置部３２ａまでの距離である。図示するように、第２距離Ｄ２は、第１距離Ｄ１よりも大きい。すなわち、第２載置部３２ａは、第２壁４４から第１距離Ｄ１よりも遠い第２距離Ｄ２だけ離間して配置されている。
【００４６】
ロボット５０は、第２壁４４の内面に寄せて配置されている。具体的には、本実施形態では、ロボット５０の基台５２及び当該基台５２の上面の第１方向における第２壁４４側の端部に配されている関節軸ＡＸ１が、第２壁４４の内面に寄せて配置されている。
【００４７】
また、ロボット５０は、第２方向において、第２壁４４に対して最も遠い第２載置部３２ａと第２壁４４に対して２番目に遠い第２載置部３２ｂとの間に配置されている。本実施形態では、特に、ロボット５０は、前記最も遠い第２載置部３２ａと前記２番目に遠い第２載置部３２ｂとの中央に配置されている。すなわち、図示する距離ｄ１と距離ｄ２は互いに等しい。
【００４８】
具体的には、本実施形態では、ロボット５０の基台５２及び当該基台５２の上面の第１方向における第２壁４４側の端部に配されている関節軸ＡＸ１が、第２壁４４に対して最も遠い第２載置部３２ａと第２壁４４に対して２番目に遠い第２載置部３２ｂとの中央に配置されている。
【００４９】
（半導体ウェハＷに対する処理工程の一例及び効果）
ここで、上記施形態に係るロボットシステム１０を用いて、半導体ウェハＷに対して行われる熱処理工程の一例について説明する。また、上記実施形態に係るロボットシステム１０により奏する効果についてもあわせて説明する。
【００５０】
まず、ロボットアーム５４を、初期状態から収容装置２０ａの第１載置部２２ａに載置されている半導体ウェハＷを保持することが可能な姿勢にする。なお、第１壁４２に穿設された第１開口４３ａをハンド５６が通り抜けることで、ロボット５０を前記姿勢にすることができる。
【００５１】
次に、ハンド５６の保持部５６ｂにより第１載置部２２ａに載置されている半導体ウェハＷを保持する。
【００５２】
さらに、ロボットアーム５４を、保持部５６ｂにより保持している半導体ウェハＷを処理装置３０ａの第２載置部３２ａに載置することが可能な姿勢にする。
【００５３】
このとき、ロボット５０は、第２壁４４の内面に寄せて配置されているので、第２壁４４に対して比較的遠くに配置される第２載置部３２ａであっても余裕をもってリーチを届かせることができる。また、第２壁４４に対して比較的遠くに第２載置部３２ａを配置しているので、例えば、第２壁４４と前記第２載置部３２ａとの間に他の第２載置部３２ａを多様な配置で設けることが可能となる。さらに、保持部５６ｂにより保持している半導体ウェハＷを処理装置３０ａの第２載置部３２ａに載置することが可能な姿勢とする際に、妨げとなり得る処理装置３０ｂ、３０ｃを適切に避けてリーチを届かせることができる。
【００５４】
上記の通りであるため、第２載置部３２の配置の自由度に優れたロボットシステム１０、ひいては設計の自由度に優れたロボットシステム１０を提供することが可能となる。
【００５５】
そして、保持部５６ｂにより保持している半導体ウェハＷを第２載置部３２ａに載置する。
【００５６】
次に、半導体ウェハＷに対して熱処理を行う。熱処理を行った後の半導体ウェハＷは処理装置３０ｂの第２載置部３２ｂに載置される。すなわち、ここでは、処理装置３０ａが半導体ウェハＷに対して熱処理を行うための入口として構成されており、処理装置３０ｂがその出口として構成されている。
【００５７】
さらに、ロボットアーム５４を、第２載置部３２ｂに載置されている処理済みの半導体ウェハＷを保持することが可能な姿勢にする。
【００５８】
このとき、ロボット５０は、第２方向において、第２壁４４に対して最も遠い第２載置部３２ａと第２壁４４に対して２番目に遠い第２載置部３２ｂとの中央に配置されているので、ロボット５０が第２載置部３２ａ〜３２ｃそれぞれにアクセスし易くなる。
【００５９】
なお、ロボット５０は、第２壁４４から遠くに配置されるほど第２載置部３２にリーチが届きにくくなる。したがって、ロボット５０を前記のように配置することで、ロボット５０が第２載置部３２ａ〜３２ｃ全体に対してアクセスし易くなる。
【００６０】
そして、保持部５６ｂにより第２載置部３２ｂに載置されている処理済みの半導体ウェハＷを保持する。
【００６１】
次に、ロボットアーム５４を、保持部５６ｂにより保持している処理済みの半導体ウェハＷを収容装置２０ｂの第１載置部２２ｂに載置することが可能な姿勢にする。
【００６２】
さらに、保持部５６ｂにより保持している処理済みの半導体ウェハＷを第１載置部２２ｂに載置する。
【００６３】
以上のように、上記施形態に係るロボットシステム１０を用いて、半導体ウェハＷに対して熱処理を行うことができる。なお、ロボットシステム１０は、同様にして、収容装置２０ａ〜２０ｄのいずれかに載置されている半導体ウェハＷに対して、処理装置３０ａ〜３０ｃのいずれかで不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理及び平坦化処理などを行うことができる。
【００６４】
（変形例）
上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施形態が明らかである。したがって、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び／又は機能の詳細を実質的に変更できる。
【００６５】
図２は、本発明の実施形態に係るロボットシステムの変形例についての全体構成を示す概略図である。なお、本変形例に係るロボットシステム１０´は、ロボット５０の配置を除いて、上記実施形態に係るロボットシステム１０と同じ構造である。したがって、同一部分には同じ参照番号を付し、同様となる説明は繰り返さない。
【００６６】
図２に示すように、本変形例では、ロボット５０は、第２壁４４に寄せて配置されており、且つ、最も遠い第２載置部３２ａからの距離ｄ１と２番目に遠い第２載置部３２ｂからの距離ｄ２とが等しくなるように配置されている。このようにロボット５０を配置しても、上記実施形態の場合と同様に、第２載置部３２の配置の自由度に優れたロボットシステム１０´、ひいては設計の自由度に優れたロボットシステム１０´を提供することが可能となる。
【００６７】
上記実施形態及びその変形例では、ロボット５０の基台５２及び関節軸ＡＸ１が、第２壁４４の内面に寄せて配置されている場合について説明したが、この場合に限定されない。すなわち、ロボット５０は、第２壁４４に寄せて配置されていればよい。具体的には、例えば、関節軸ＡＸ１（ロボットアームの基端に設けられる関節軸）のみが第２壁４４の内面に寄せて配置されており、基台５２の一部が第２壁４４を跨いで移載装置内部空間４１の外部に配置されていてもよい。
【００６８】
上記実施形態及びその変形例では、第１載置部２２（及び収容装置２０）が第１壁４２の外面に寄せて横並びに４つ設けられている場合について説明したが、これに限定されない。すなわち、第１載置部２２は、１つ以上３つ以下設けられていてもよいし、５つ以上設けられていてもよい。
【００６９】
なお、第１載置部２２が複数設けられている場合、複数の第１載置部２２は、それぞれ、第１方向において、第１壁４２から互いに異なる距離だけ離間して設けられていてもよい。このとき、第１距離Ｄ１は、第１方向において、第１壁４２から複数の第１載置部２２のうちで第１壁４２に対して最も遠い第１載置部２２までの距離である。
【００７０】
上記実施形態及びその変形例では、第２開口４５は、第２壁４４の第２方向における一方側端縁の近傍から同方向における他方側端縁の近傍まで穿設されている場合について説明したが、これに限定されない。例えば、第２開口４５は、第２壁４４の第２方向における処理装置３０ａ〜３０ｃに対応した位置それぞれに穿設されていてもよい。また、第２開口４５は、第２壁４４に２つ又は４つ以上穿設されていてもよい。このとき、複数の第２開口４５は、それぞれ、第２ルーム側ドアが設けられることで開閉可能に構成されていてもよい。
【００７１】
上記実施形態及びその変形例では、第２載置部３２（及び処理装置３０）が第２壁４４から互いに異なる距離だけ離間して３つ設けられている場合について説明したが、これに限定されない。すなわち、第２載置部３２は、１つ又は２つ設けられていてもよいし、４つ以上設けられていてもよい。
【００７２】
なお、第２載置部３２が複数設けられている場合、複数の第２載置部３２は、それぞれ、第１方向において、第２壁４４から同じ距離だけ離間して設けられていてもよい。さらに、複数の第２載置部３２のうちの一部の第２載置部３２のみ第２壁４４から同じ距離だけ離間して設けられ、残りの第２載置部３２は第２壁４４から互いに異なる距離だけ離間して設けられていてもよい。このとき、第２方向において、第２壁４４に対して最も遠い第２載置部３２と第２壁４４に対して２番目に遠い第２載置部３２とは、互いに同じ距離だけ第２壁４４から離間していてもよい。
【００７３】
また、第２載置部３２が複数設けられている場合、複数の第２載置部３２は、それぞれ、高低差があってもよい。これにより、第２載置部３２の設計の自由度をさらに向上させることが可能となる。なお、複数の第１載置部２２についても同様であるため、ここではその説明を繰り返さない。
【００７４】
上記実施形態及びその変形例では、ロボット５０は、第２方向において、第２壁４４に対して最も遠い第２載置部３２ａと第２壁４４に対して２番目に遠い第２載置部３２ｂとの中央に配置される場合について説明したが、これに限定されない。
【００７５】
例えば、ロボット５０は、第２方向において、第２壁４４に対して最も遠い第２載置部３２ａと第２壁４４に対して２番目に遠い第２載置部３２ｂとの中央以外の間に配置されていてもよい。また、例えば、ロボット５０は、第２方向において、第２壁４４から最も遠い処理装置３０と同じ位置に配置されていてもよいし、第２壁４４の内面に寄せて配置されてさえいれば他の位置に配置されていてもよい。
【００７６】
上記実施形態及びその変形例では、ロボットアーム５４が２つのリンク５４ａ、５４ｂを有している場合について説明したが、これに限定されない。例えば、ロボットアーム５４は、３つのリンクを有していてもよい。また、ロボットアーム５４は、１つ又は４つ以上のリンクを有していてもよい。
【００７７】
なお、ロボットアーム５４のリンクの数を多くすることで、例えば、ハンド５６の保持部５６ｂにより保持している半導体ウェハＷを処理装置３０の第２載置部３２に載置することが可能な姿勢とする際に、妨げとなり得る処理装置３０を適切に避けてリーチを届かせることが容易となる。
【００７８】
また、第１リンク５４ａの一端部に設けられるサーボモータ、第２リンク５４ｂの一端部に設けられるサーボモータ、及びハンド５６の一端部に設けられるサーボモータを、それぞれ、独立して回動可能な構成とすることで、前記効果をいっそう顕著にすることが可能となる。
【００７９】
上記実施形態及びその変形例では、第１載置部２２が収容装置２０の一部として構成されており、且つ、第２載置部３２が処理装置３０の一部として構成されている場合について説明したが、これに限定されない。例えば、第１載置部が処理装置の一部として構成されており、第２載置部が収容装置の一部として構成されていてもよい。
【００８０】
上記実施形態及びその変形例では、ロボットシステム１０が半導体ウェハ製造現場に適用される場合について説明したが、これに限定されず、第１載置部と第２載置部との間でワークの移載を要する他の現場に適用されてもよい。このような場合、第１載置部及び第２載置部は収容装置や処理装置以外の装置の一部として構成されていてもよい。
【００８１】
さらに、例えば、ロボット５０は、第１方向において並んでいる載置部（第１載置部２２又は第２載置部３２）の数が多い壁（第１壁４２又は第２壁４４）に寄せて配置されていてもよい。このとき、第１方向において互いに同じ位置に配置されている載置部の数はカウントしない。このように、載置部との距離が多様な壁に寄せてロボット５０を配置することで、ロボットシステム１０の設計の自由度を向上させることが可能となる。
【符号の説明】
【００８２】
１０  ロボットシステム
２０  収容装置
２２  第１載置部
３０  処理装置
３２  第２載置部
４０  移載装置
４１  移載装置内部空間
４２  第１壁
４３  第１開口
４４  第２壁
４５  第２開口
５０  ロボット
５２  基台
５４  ロボットアーム
５６  ハンド
５８  ロボット制御部
ＡＸ  関節軸
Ｗ  半導体ウェハ
【図１】
2019207930.tif 000003
【図２】
2019207930.tif 000004