(57)【要約】【課題】半導体基板などの極めて小さい位置決め対象物を自動的に位置決めすることが可能な、従来よりもはるかに小さい位置決め装置を提供すること。【解決手段】ピストン８が基端側へロック移動されることで、入力部（キャップ１４）が押圧部材（テーパスリーブ１５）を心柱３先端部の外傾斜面４ａに沿って基端側へ移動させると共に、テーパスリーブ１５が半径方向の外方へ拡径する。ピストン８が先端側へリリース移動されることで、テーパスリーブ１５の半径方向の内方への弾性復元力により当該テーパスリーブ１５が外傾斜面４ａに沿って先端側へ移動すると共に、半径方向の内方へ縮径する。【選択図】図１
2019193955.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部材（２）に設けられた孔（２ａ）に挿入可能となるように基準部材（１）から先端側へ突設された筒状の心柱（３）であって、先端側に向かうにつれてすぼまるように先端部（４）の外周壁に形成された外傾斜面（４ａ）を有する心柱（３）と、
前記基準部材（１）の内部に、軸方向へ移動可能で保密状に挿入されたピストン（８）と、
前記ピストン（８）に連結されると共に、前記心柱（３）の筒孔（３ａ）に挿入された出力ロッド（１３）と、
前記出力ロッド（１３）の先端部（１３ａ）の外周壁から半径方向に突設された入力部（１４、２１）と、
前記外傾斜面（４ａ）に先端側から楔係合する押圧部材（１５、２２）であって、半径方向へ拡径及び縮径可能な押圧部材（１５、２２）と、を備え、
前記ピストン（８）が基端側へロック移動されることで、前記入力部（１４、２１）が前記押圧部材（１５、２２）を前記外傾斜面（４ａ）に沿って基端側へ移動させると共に、前記押圧部材（１５、２２）が半径方向の外方へ拡径し、
前記ピストン（８）が先端側へリリース移動されることで、前記押圧部材（１５、２２）の半径方向の内方への弾性復元力により当該押圧部材（１５、２２）が前記外傾斜面（４ａ）に沿って先端側へ移動すると共に、半径方向の内方へ縮径する、
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
請求項１の位置決め装置において、
前記押圧部材（１５、２２）の材料が、樹脂、またはゴムである、
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項３】
請求項１または２の位置決め装置において、
前記入力部（２１）は、前記押圧部材（２２）と軸方向で当接する外周面（２１ａ）が先端側に向かって広がるように形成される、
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかの位置決め装置において、
前記ピストン（８）は、
ピストン本体（９）と、
前記ピストン本体（９）に設けられた孔（９ｂ）の雌ネジ部（９ｃ）に螺合される拡径量調整部材（１１）であって、前記出力ロッド（１３）の基端部が連結される拡径量調整部材（１１）と、
前記ピストン本体（９）の先端側内面（９ｄ）と、前記拡径量調整部材（１１）の先端面（１１ａ）との間に挟み込まれるリング状の回り止め部材（１２）であって、弾性材料で形成された回り止め部材（１２）と、を有する、
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかの位置決め装置において、
前記出力ロッド（１３）と前記入力部（１４、２１）とが、軸方向において螺合された状態で接合される、
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかの位置決め装置において、
前記基準部材（１）の内部に設けられたロック室（１７）のガスを、前記心柱（３）が突出する側の空間とは異なる空間へ排出する排気機構を備える、
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項７】
請求項６の位置決め装置において、
前記排気機構は、
前記ピストン（８）に装着される環状の封止部材（１０）であって、前記ロック室（１７）とリリース室（２３）との間を保密状に封止する封止部材（１０）と、
前記ピストン（８）の基端側の鍔部（９ｅ）に設けられた孔（９ｆ）と、で構成され、
前記ロック室（１７）のガスが、前記ピストン（８）と前記封止部材（１０）との間の隙間、および前記孔（９ｆ）を通って排出される、
ことを特徴とする位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板などの例えば電子部品を、その組み立て装置等の基準部材に自動的に位置決めする装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の位置決め装置として、従来では、下記の特許文献１に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
ピストンロッドの上部にネジ止めされたプルボルトの頭部と、この頭部によってピストンロッドの上端面に押圧されるリングとの間に中間部材の上フランジが嵌入される。これにより、ピストン、ピストンロッド、プルボルト、およびリングで構成されるプル部材は、その先端部で中間部材に常に連結した状態とされる。そして、ロック状態からリリース状態へ切り換えるときには、プル部材と中間部材とが上記上フランジ部分で連結した状態で、プル部材を介して中間部材を強制的に上昇させることで、中間部材を縮径させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４１１８１４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の位置決め装置には、次の問題がある。
位置決め対象が半導体基板などの極めて小さい電子部品の場合、位置決め装置も同様に、極めて小さい装置とされなければならない。ここで、基準部材に対して半導体基板を位置決めする際には、例えば、半導体基板をパレットに収容し、半導体基板を収容したパレットを基準部材に対して位置決めすることになる。このパレットに設けられる位置決め用の孔の径は、例えば１．５ｍｍ未満とされるので、この場合、上記孔に挿入される中間部材の外径も、１．５ｍｍ未満となる。そのため、中間部材が小さすぎて、中間部材に上フランジを形成することは困難である。また、前記リングも極めて小さいものとされなければならず、その製作は困難である。
【０００５】
本発明の目的は、半導体基板などの極めて小さい位置決め対象物を自動的に位置決めすることが可能な、従来よりもはるかに小さい位置決め装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図１から図５に示すように、位置決め装置を次のように構成した。
【０００７】
本発明の位置決め装置は、可動部材２に設けられた孔２ａに挿入可能となるように基準部材１から先端側へ突設された筒状の心柱３であって、先端側に向かうにつれてすぼまるように先端部４の外周壁に形成された外傾斜面４ａを有する心柱３と、前記基準部材１の内部に、軸方向へ移動可能で保密状に挿入されたピストン８と、前記ピストン８に連結されると共に、前記心柱３の筒孔３ａに挿入された出力ロッド１３と、前記出力ロッド１３の先端部１３ａの外周壁から半径方向に突設された入力部１４、２１と、前記外傾斜面４ａに先端側から楔係合する押圧部材１５、２２であって、半径方向へ拡径及び縮径可能な押圧部材１５、２２と、を備える。前記ピストン８が基端側へロック移動されることで、前記入力部１４、２１が前記押圧部材１５、２２を前記外傾斜面４ａに沿って基端側へ移動させると共に、前記押圧部材１５、２２を半径方向の外方へ拡径させる。前記ピストン８が先端側へリリース移動されることで、前記押圧部材１５、２２の半径方向の内方への弾性復元力により当該押圧部材１５、２２が前記外傾斜面４ａに沿って先端側へ移動すると共に、半径方向の内方へ縮径する。
【０００８】
本発明の位置決め装置は、次のような作用効果を奏する。
本発明の位置決め装置によると、ロック状態からリリース状態へ切り換えるときは、押圧部材の半径方向の内方への自己の弾性復元力によって、心柱先端部の外傾斜面に沿って押圧部材が先端側へ移動すると共に、半径方向の内方へ縮径する。また、リリース状態からロック状態へ切り換えるときは、出力ロッド先端部に突設された入力部が押圧部材を基端側に押すことで、心柱先端部の外傾斜面に沿って押圧部材が基端側へ移動すると共に、半径方向の外方へ拡径する。すなわち、本発明の位置決め装置によると、特許文献１に記載のような上フランジを中間部材に形成したり、特許文献１に記載のようなリングを用いたりすることなく、極めて小さくても製作容易な部材で位置決め装置を構成することができる。その結果、従来よりもはるかに小さい位置決め装置を提供することが可能となる。
【０００９】
本発明の位置決め装置は、前記押圧部材１５、２２の材料が、樹脂、またはゴムであることが好ましい。
この構成によると、押圧部材を金属で形成する場合に比べて、押圧部材の形成が容易となると共に、小さなロック駆動力で押圧部材を拡径させることができる。
【００１０】
また、本発明の位置決め装置において、前記入力部２１は、前記押圧部材２２と軸方向で当接する外周面２１ａが先端側に向かって広がるように形成されることが好ましい。
この構成によると、リリース状態からロック状態へ切り換えるとき、押圧部材を半径方向の外方へスムーズに拡径させることができる。
【００１１】
また、本発明の位置決め装置において、前記ピストン８は、ピストン本体９と、前記ピストン本体９に設けられた孔９ｂの雌ネジ部９ｃに螺合される拡径量調整部材１１であって、前記出力ロッド１３の基端部が連結される拡径量調整部材１１と、前記ピストン本体９の先端側内面９ｄと、前記拡径量調整部材１１の先端面１１ａとの間に挟み込まれるリング状の回り止め部材１２であって、弾性材料で形成された回り止め部材１２と、を有することが好ましい。
この構成によると、押圧部材の拡径量の調整を容易に行うことができる。
【００１２】
また、本発明の位置決め装置において、前記出力ロッド１３と前記入力部１４、２１とが、軸方向において螺合された状態で接合されることが好ましい。
この構成によると、押圧部材の拡径量の調整を容易に行うことができる。
【００１３】
また、本発明の位置決め装置において、前記基準部材１の内部に設けられたロック室１７のガスを、前記心柱３が突出する側の空間とは異なる空間へ排出する排気機構を備えることが好ましい。
この構成によると、心柱が突出する側の空間、すなわち可動部材側の空間への、ロック室内のガスの放出を防止することができる。
【００１４】
また、本発明の位置決め装置において、前記排気機構は、前記ピストン８に装着される環状の封止部材１０であって、前記ロック室１７とリリース室２３との間を保密状に封止する封止部材１０と、前記ピストン８の基端側の鍔部９ｅに設けられた孔９ｆと、で構成され、前記ロック室１７のガスが、前記ピストン８と前記封止部材１０との間の隙間、および前記孔９ｆを通って排出されることが好ましい。
この構成によると、ピストンおよびそれに装着される封止部材を利用して排気機構を構成することができるので、前記排気機構用に新たな部品を追加せずにすむ。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によると、半導体基板などの極めて小さい位置決め対象物を自動的に位置決めすることが可能な、従来よりもはるかに小さい位置決め装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の一実施形態を示し、位置決め装置のリリース状態における側断面図である。
【図２】図２は、図１に示す位置決め装置のロック状態における側断面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、図１に示す位置決め装置の出力ロッド先端部の拡大図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、図３Ａの３Ｂ−３Ｂ断面図である。
【図３Ｃ】図３Ｂに示す位置決め装置の出力ロッド先端部の変形例を示している。
【図４】図４は、位置決め装置のロック状態を示す図であって、ロック室の圧縮空気が空気通路を経由して外部へ排出されることを説明するための図である。
【図５】図５は、入力部としてのキャップの他の実施形態を示す、図３Ａに相当する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態を図１から図４によって説明する。なお、以下の実施形態では、半導体基板を位置決め対象物としているが、位置決め対象物は、半導体基板に限られることはない。様々な小さな電子部品、さらには、電子部品以外の様々な小さな部品を位置決め対象物とすることができる。まず、本実施形態に係る位置決め装置の構成を説明する。
【００１８】
この位置決め装置は、基準部材であるベースプレート１に対して、位置決め対象物である半導体基板を収容したパレット２（可動部材）を位置決めするように構成されている。
【００１９】
上記パレット２に設けられた位置決め用の孔２ａに挿入可能となるように、ベースプレート１から先端側へ筒状の心柱３が突設される。心柱３の先端部４の外周壁には、先端側に向かうにつれてすぼまる形状の外傾斜面４ａが形成される。
【００２０】
上記ベースプレート１には、雌ネジ部５ａを有する装着穴５が形成され、この装着穴５に、外周壁に雄ネジ部６ａを有するハウジング６が精密に捩じ込まれて固定される。なお、ハウジング６の雄ネジ部６ａの上の凹部６ｂにはＯリング７が入れられる。また、上記心柱３は、このハウジング６と一体とされている。
【００２１】
心柱３の外径は、例えばφ１．４５ｍｍである。また、ハウジング６から心柱３の先端までの長さ、すなわちハウジング６からの心柱３の突出長さは、例えば２．５ｍｍである。このように、位置決め装置を構成する各部品は、極めて小さい。
【００２２】
ハウジング６の内部、すなわちベースプレート１の内部には、軸方向へ移動可能で保密状にピストン８が挿入される。ハウジング６の基端部には、リング状の止め輪１６が内側から嵌め込まれており、これにより、ハウジング６からのピストン８の抜け止めがなされている。
【００２３】
上記ピストン８は、断面Ｕ型のパッキン１０が外周の凹部９ａに装着されるピストン本体９と、ピストン本体９に設けられた孔９ｂの雌ネジ部９ｃに螺合される拡径量調整部材１１と、を備える。このピストン本体９の孔９ｂの先端側内面９ｄと、拡径量調整部材１１の先端面１１ａとの間には、弾性材料で形成されたリング状の回り止め部材１２（拡径量調整部材１１の回り止めであり、例えば、Ｏリング）が挟み込まれる。なお、ピストン本体９と拡径量調整部材１１とが、一体に形成されてもよい。また、ピストン本体９（ピストン８）に装着される上記パッキン１０は、ロック室１７とリリース室２３との間を保密状に封止する環状の封止部材である。
【００２４】
この拡径量調整部材１１の基端側の端面には、六角レンチなどの工具を挿入するための多角形の穴１１ｂが設けられ、図４に示すように、上記ピストン本体９（ピストン８）の基端側の鍔部９ｅには、その半径方向の内方部分に、組立用兼排気用の孔９ｆが設けられる。
【００２５】
上記拡径量調整部材１１の先端面１１ａの中央部には、雌ネジ穴１１ｃが設けられており、この雌ネジ穴１１ｃに出力ロッド１３の基端部が捩じ込まれることで、拡径量調整部材１１（ピストン８）に出力ロッド１３が連結される。
【００２６】
出力ロッド１３は、上記心柱３の筒孔３ａに挿入され、その先端部１３ａには、外周壁から半径方向に、入力部としてのキャップ１４が突設される。本実施形態では、出力ロッド１３とキャップ１４とは、軸方向において螺合された状態で接着剤などにより接合される。
【００２７】
上記キャップ１４の基端側には、半径方向へ拡径及び縮径可能な押圧部材としてのテーパスリーブ１５が配置される。このテーパスリーブ１５は、心柱３の前記外傾斜面４ａ（先端部４）に先端側から楔係合する部材であって、図３Ｂに示すように、軸方向へ延びるスリット１５ａが設けられている。
【００２８】
また、図３Ｃに示す本実施形態の変形例では、心柱３の先端部４に凸形状の外傾斜面４ａが相互に対向するように設けられ、その外傾斜面４ａにテーパスリーブ１５が楔係合するようにされている。その２つの外傾斜面４ａの間に一組の逃がし溝４ｂが相互に対向するように形成される。その一組の外傾斜面４ａが対向する一方向で、ベースプレート１に対してパレット２を位置決めすることができる。また、その一組の逃がし溝４ｂが対向する方向では、パレット２がベースプレート１に対して移動可能となっている。また、テーパスリーブ１５の材料は、樹脂、またはゴムであり、心柱３への組付け前のテーパスリーブ１５の外径は、例えばφ１．４ｍｍである。上記樹脂としては、ポリアセタール樹脂、ポリクロロトリフルオロエチレン樹脂、ポリフッ化ビニリデン樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ＭＣナイロン、ポリテトラフルオロチレンなどが挙げられる。また、テーパスリーブ１５の材質は、樹脂にガラスまたはカーボン等の繊維を配合したものであってもよい。
【００２９】
ここで、ピストン本体９に設けられた孔９ｂの雌ネジ部９ｃ、これに螺合される拡径量調整部材１１、および弾性部材（例えば、Ｏリング）等の回り止め部材１２は、テーパスリーブ１５の拡径量を調整する拡径量調整機構を構成する。ピストン本体９と拡径量調整部材１１との軸方向における螺合長さを微調整することで、心柱３からの出力ロッド１３の突出量を微調整することができ、これにより、リリース状態、およびロック状態における、心柱３に対するキャップ１４の軸方向の位置を微調整することができる。キャップ１４の位置が低くされると、ロック状態でのテーパスリーブ１５の拡径量（キャップ１４の下側外周面に対して半径方向の外方へ突出される量）は大きくなる。反対に、キャップ１４の位置が高くされると、テーパスリーブ１５の拡径量は小さくなる。また、キャップ１４の上側外周面はテーパー状に形成されると共に、キャップ１４の下側外周面は、円柱状に形成されている。リリース状態では、テーパスリーブ１５の外周面が、前記の下側外周面よりも半径方向の内方位置へ縮径移動されている。これにより、パレット２の孔２ａが出力ロッド１３等に外嵌めされるときに、孔２ａの周縁部がテーパスリーブ１５に当接して、破損するのを防止できる。
【００３０】
ピストン本体９と拡径量調整部材１１との螺合は、この螺合部に上記回り止め部材１２からの反力（弾性力）が作用することで緩むことはない。なお、ピストン本体９の雌ネジ部９ｃへの拡径量調整部材１１の螺合接続は、例えば、次のようにして行われる。ピストン本体９の鍔部９ｅに設けられた前記孔９ｆに工具を差し込んで、ピストン本体９が回らないようにする。この状態で、拡径量調整部材１１の穴１１ｂに例えば六角レンチを差し込み、六角レンチを回すことで、ピストン本体９の孔９ｂに拡径量調整部材１１を捩じ込んでいく。
【００３１】
また、本実施形態では、前記の通り、出力ロッド１３とキャップ１４とは、軸方向において螺合された状態で接合される。出力ロッド１３とキャップ１４とのこの螺合接合構造も、拡径量調整機構を構成する。出力ロッド１３とキャップ１４との軸方向における螺合長さを微調整することで、心柱３に対するキャップ１４の軸方向の位置を微調整することができる。これにより、テーパスリーブ１５の拡径量を微調整することができる。
【００３２】
図１、２に示すように、ハウジング６内、すなわちベースプレート１内に設けられたロック室１７には、ピストン８を基端側へ付勢する付勢手段としてのバネ１８が収容されている。バネ１８とハウジング６の内面との間には、後述するＯリング２０の抜け止め部材１９が配置されている。また、ロック室１７内で圧縮された空気が、出力ロッド１３と心柱３との隙間からパレット２側の空間に漏れ出ないように、ロック室１７内の先端側には、軸封部材としてのＯリング２０が嵌め込まれている。
【００３３】
上記の位置決め装置は次のように作動する。図１のリリース状態では、パッキン１０よりも基端側のリリース室２３に、ベースプレート１に形成された空気通路１ａから圧縮空気を供給している。これにより、ロック室１７内のバネ１８の付勢力に抗してピストン８が出力ロッド１３を上昇させ、出力ロッド１３先端部のキャップ１４が上昇して、テーパスリーブ１５の半径方向の内方への弾性復元力により、テーパスリーブ１５が心柱３の外傾斜面４ａに沿って先端側へ移動すると共に、半径方向の内方へ縮径している。
【００３４】
ベースプレート１に対してパレット２を位置決めするときは（ロック状態にするときは）、まず、上記リリース状態でパレット２を下降させて、その位置決め用の孔２ａをキャップ１４の下側外周面（円柱状の外周面）に嵌合させる。
【００３５】
次いで、上記リリース室２３から空気通路１ａを介して圧縮空気を外部へ排出する。すると、上記バネ１８の付勢力によってピストン８が出力ロッド１３を下降させ、出力ロッド１３先端部のキャップ１４が心柱３の外傾斜面４ａに沿ってテーパスリーブ１５を基端側へ移動させると共に、テーパスリーブ１５が半径方向の外方へ拡径する。これにより、テーパスリーブ１５が上記孔２ａに密着すると共に、パレット２の下面２ｂがハウジング６の上面６ｃに押圧され、ベースプレート１に対するパレット２の位置決めがなされる（図２参照）。その結果、パレット２に収容されている半導体基板の位置決めがなされる。
【００３６】
図２の位置決め状態、すなわちロック状態から、リリース状態へ切り換えるときは、リリース室２３に圧縮空気を供給すればよい。これにより、ロック室１７内のバネ１８の付勢力に抗してピストン８が出力ロッド１３を上昇させ、テーパスリーブ１５の半径方向の内方への弾性復元力により、テーパスリーブ１５が心柱３の外傾斜面４ａに沿って先端側へ移動すると共に、半径方向の内方へ縮径する。その結果、ロック状態が解除される。
【００３７】
ここで、ロック状態からリリース状態へ出力ロッド１３が上昇すると、ロック室１７の容積が減少してロック室１７内の空気は圧縮される。一方、リリース状態からロック状態へ出力ロッド１３が下降すると、ロック室１７の容積が増加してロック室１７内の空気の圧力は、圧縮前の圧力程度まで戻る。
【００３８】
しかしながら、リリース状態からロック状態へ切り換えたときに、何らかの原因により、ロック室１７内の空気の圧力が大気圧よりも高くなる場合があり得る。この場合（ロック室１７内の空気の圧力が大気圧よりも高くなった場合）、ピストン本体９の基端側の鍔部９ｅに排気用の孔９ｆが設けられていることで、図４に示すように、ピストン８の凹部９ａに装着されたパッキン１０が、凹部９ａ内で下降すると共に、パッキン１０の内側のリップが半径方向の外方へ押されて、このリップとピストン８（ピストン本体９）の外周面との間に隙間が形成される。これにより、ロック室１７内の空気は、上記隙間（ピストン８とパッキン１０との間の隙間）、および上記孔９ｆを通って、空気通路１ａを介して外部へ排出される。これにより、ロック室１７内の空気が、出力ロッド１３と心柱３との隙間からパレット２側の空間に漏れ出ることをより防止することができる。特に、ハウジング６の上面より上方の雰囲気がクリーンルームなどの清浄雰囲気である場合には、ロック室１７内の摩耗粉等の塵埃を含む空気が空気通路１ａを通って外部に排出されるので、上記清浄雰囲気の空間に塵埃を放出するのを防止できる。
【００３９】
すなわち、上記パッキン１０と、上記孔９ｆとで、ベースプレート１の内部に設けられたロック室１７の空気（ガス）を、心柱３が突出する側の空間とは異なる空間へ排出する排気機構を構成する。
【００４０】
図５は、前記キャップ１４の他の実施形態を示す。この実施形態に係るキャップ２１は、押圧部材としてのテーパスリーブ２２と軸方向で当接する外周面２１ａが先端側に向かって広がるように形成されている。この構成によると、ピストン８が基端側へロック移動されたとき、キャップ２１からテーパスリーブ２２へ作用する力の成分のうち、テーパスリーブ２２が拡径する方向への成分を増大させることができる。その結果、リリース状態からロック状態へ切り換えるときに、テーパスリーブ２２を半径方向の外方へスムーズに拡径させることができる。
【００４１】
上記の実施形態は次のように変更可能である。
ハウジング６とベースプレート１とが、一体に形成されていてもよい。
【００４２】
上記実施形態では、ハウジング６の上面６ｃが、ベースプレート１の上面１ｂよりも上方に位置されている。これに代えて、ハウジング６の上面６ｃとベースプレート１の上面１ｂとが面一とされてもよい。また、ベースプレート１の上面１ｂが、ハウジング６の上面６ｃよりも上方に位置されてもよい。
【００４３】
ピストン８を駆動する流体として、圧縮空気（空気）ではなく、窒素ガスなどの不活性ガスが用いられてもよい。
【００４４】
また、出力ロッド１３の駆動源は、ピストン８等に代えて、電動モータや電磁ソレノイド等であってもよい。
【００４５】
テーパスリーブ１５、２２の材料として、樹脂、またはゴムに代えて、ステンレスなどの金属が用いられてもよい。
【００４６】
ロック室１７のガスを排出する排気機構として、ロック室１７に直接繋がるガス通路を、ベースプレート１などに設け、このガス通路に逆止弁を配置してもよい。上記ガス通路と、上記逆止弁とで、ロック室１７のガスを排出する排気機構が構成される。なお、上記ガス通路の、ロック室１７に直接繋がる側とは反対側の端は、心柱が突出する側の空間とは異なる空間に連通させられる。また、上記逆止弁は、ロック室１７から外部へ向かう方向においてガスの流れを許容する逆止弁である。
【００４７】
出力ロッド１３とキャップ１４、２１とが、一体に形成されていてもよい。また、出力ロッド１３と拡径量調整部材１１とが、一体に形成されてもよい。
【００４８】
以上、本発明の実施形態について説明した。なお、その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行うことは勿論可能である。
【符号の説明】
【００４９】
１：ベースプレート（基準部材）、２：パレット（可動部材）、２ａ：孔、３：心柱、３ａ：筒孔、４：先端部、４ａ：外傾斜面、８：ピストン、９：ピストン本体、９ｂ：孔、９ｃ：雌ネジ部、９ｄ：先端側内面、９ｅ：鍔部、９ｆ：孔、１０：パッキン（封止部材）、１１：拡径量調整部材、１１ａ：先端面、１２：回り止め部材、１３：出力ロッド、１３ａ：先端部、１４・２１：キャップ（入力部）、１７：ロック室、２１ａ：外周面、１５・２２：テーパスリーブ（押圧部材）、２３：リリース室
【図１】
2019193955.tif 000003
【図２】
2019193955.tif 000004
【図３Ａ】
2019193955.tif 000005
【図３Ｂ】
2019193955.tif 000006
【図３Ｃ】
2019193955.tif 000007
【図４】
2019193955.tif 000008
【図５】
2019193955.tif 000009