(57)【要約】【課題】より吐出不良が生じにくい液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、液体を貯留する液体貯留部と、液体貯留部に連通し、当該液体貯留部から供給された液体を吐出するノズルと、液体貯留部の壁面の一部をなす振動板と、振動板がなす壁面の外壁面側に直接又は他の部材を介して固着されている平板状の圧電素子と、を備え、圧電素子は、当該圧電素子に対して印加される電圧に応じて、振動板における圧電素子が固着されている振動板面に沿って伸縮することで振動板を撓ませ、圧電素子の振動板面に垂直な断面のうち、少なくとも、圧電素子の振動板とは反対側の第１面の外周上で距離が最大となる２点を含む断面において、圧電素子の振動板側の第２面の長さが、第１面の長さよりも小さく、かつ振動板面に沿う方向について第２面の全体が第１面の範囲と重複する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留する液体貯留部と、
前記液体貯留部に連通し、当該液体貯留部から供給された液体を吐出するノズルと、
前記液体貯留部の壁面の一部をなす振動板と、
前記振動板がなす壁面の外壁面側に直接又は他の部材を介して固着されている平板状の圧電素子と、
を備え、
前記圧電素子は、当該圧電素子に対して印加される電圧に応じて、前記振動板の前記圧電素子が固着されている振動板面に沿って伸縮することで前記振動板を撓ませ、
前記圧電素子の前記振動板面に垂直な断面のうち、少なくとも、前記圧電素子の前記振動板とは反対側の第１面の外周上で距離が最大となる２点を含む断面において、前記圧電素子における前記振動板側の第２面の長さが前記第１面の長さよりも小さく、かつ前記振動板面に沿う方向について前記第２面の全体が前記第１面の範囲と重複する
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記圧電素子の前記第１面は、長方形であり、
前記圧電素子の前記振動板面に垂直な断面のうち、少なくとも、前記長方形の一方の短辺上における任意の点及び他方の短辺上の任意の点を含む断面において、前記第２面の長さが前記第１面の長さよりも小さく、かつ前記振動板面に沿う方向について前記第２面の全体が前記第１面の範囲と重複する
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記圧電素子の前記振動板面に垂直な任意の断面において、前記第２面の長さが前記第１面の長さよりも小さく、かつ前記振動板面に沿う方向について前記第２面の全体が前記第１面の範囲と重複することを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記断面における前記第１面の一端と、前記第２面における前記第１面の前記一端と同じ側の一端とを結ぶ線が、前記振動板の前記振動板面の垂線との間でなす角度は、５度以上８０度以下であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記圧電素子は、前記振動板面に垂直な方向から見て、前記振動板がなす前記液体貯留部の内壁面に重なる第１領域から、当該内壁面に隣接する他の内壁面をなす基材に重なる第２領域にかけて設けられている
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記圧電素子の前記第１面上には、前記振動板面に沿って前記第１領域の少なくとも一部から前記第２領域の少なくとも一部にかけて、前記圧電素子に前記電圧を印加するための第１電極が設けられ、
前記第２領域内において、前記第１電極の前記圧電素子とは反対側の面の少なくとも一部が導電部材により固定されている
ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記圧電素子の前記第１面上に第１電極が設けられ、
前記振動板と前記圧電素子との間に第２電極が設けられ、
前記圧電素子には、前記第１電極及び前記第２電極により前記電圧が印加される
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記圧電素子の前記第１面上に第１電極が設けられ、
前記振動板は、導電性材料からなり、
前記圧電素子には、前記第１電極及び前記振動板により前記電圧が印加される
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記圧電素子に前記電圧を印加するための電圧印加回路と、
を備えることを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体吐出ヘッドに設けられたノズルからインクなどの液体を吐出させて所望の位置に着弾させることで画像や微小構造などを形成する液体吐出装置がある。液体吐出装置の液体吐出ヘッドは、ノズルに連通する液体貯留部（圧力室）を有し、この液体貯留部内の液体の圧力を変動させることによりノズルから液体を吐出させる。
【０００３】
このような液体吐出ヘッドとしては、振動板を撓ませることにより液体貯留部の容積を変化させて液体貯留部内の液体の圧力を変動させるものが広く用いられている。振動板を撓ませる機構の代表的な一つとして、振動板上に固着された平板状の圧電素子に対して電圧を印加することで、圧電素子を振動板の板面に沿って伸縮させ、当該伸縮により振動板を撓ませるものが知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１７６８４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような機構を有する液体吐出ヘッドでは、圧電素子の伸縮が繰り返されることで、振動板上の圧電素子が端部から剥離する場合がある。このような剥離が生じると、圧電素子の伸縮に応じて振動板が適正に変形せず、液体の吐出不良が生じるという課題がある。
【０００６】
この発明の目的は、より吐出不良が生じにくい液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの発明は、
液体を貯留する液体貯留部と、
前記液体貯留部に連通し、当該液体貯留部から供給された液体を吐出するノズルと、
前記液体貯留部の壁面の一部をなす振動板と、
前記振動板がなす壁面の外壁面側に直接又は他の部材を介して固着されている平板状の圧電素子と、
を備え、
前記圧電素子は、当該圧電素子に対して印加される電圧に応じて、前記振動板の前記圧電素子が固着されている振動板面に沿って伸縮することで前記振動板を撓ませ、
前記圧電素子の前記振動板面に垂直な断面のうち、少なくとも、前記圧電素子の前記振動板とは反対側の第１面の外周上で距離が最大となる２点を含む断面において、前記圧電素子における前記振動板側の第２面の長さが前記第１面の長さよりも小さく、かつ前記振動板面に沿う方向について前記第２面の全体が前記第１面の範囲と重複する
ことを特徴としている。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧電素子の前記第１面は、長方形であり、
前記圧電素子の前記振動板面に垂直な断面のうち、少なくとも、前記長方形の一方の短辺上における任意の点及び他方の短辺上の任意の点を含む断面において、前記第２面の長さが前記第１面の長さよりも小さく、かつ前記振動板面に沿う方向について前記第２面の全体が前記第１面の範囲と重複する
ことを特徴としている。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧電素子の前記振動板面に垂直な任意の断面において、前記第２面の長さが前記第１面の長さよりも小さく、かつ前記振動板面に沿う方向について前記第２面の全体が前記第１面の範囲と重複することを特徴としている。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記断面における前記第１面の一端と、前記第２面における前記第１面の前記一端と同じ側の一端とを結ぶ線が、前記振動板の前記振動板面の垂線との間でなす角度は、５度以上８０度以下であることを特徴としている。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧電素子は、前記振動板面に垂直な方向から見て、前記振動板がなす前記液体貯留部の内壁面に重なる第１領域から、当該内壁面に隣接する他の内壁面をなす基材に重なる第２領域にかけて設けられている
ことを特徴としている。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧電素子の前記第１面上には、前記振動板面に沿って前記第１領域の少なくとも一部から前記第２領域の少なくとも一部にかけて、前記圧電素子に前記電圧を印加するための第１電極が設けられ、
前記第２領域内において、前記第１電極の前記圧電素子とは反対側の面の少なくとも一部が導電部材により固定されている
ことを特徴としている。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、請求項１から６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧電素子の前記第１面上に第１電極が設けられ、
前記振動板と前記圧電素子との間に第２電極が設けられ、
前記圧電素子には、前記第１電極及び前記第２電極により前記電圧が印加される
ことを特徴としている。
【００１４】
請求項８に記載の発明は、請求項１から６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧電素子の前記第１面上に第１電極が設けられ、
前記振動板は、導電性材料からなり、
前記圧電素子には、前記第１電極及び前記振動板により前記電圧が印加される
ことを特徴としている。
【００１５】
また、上記目的を達成するため、請求項９に記載の液体吐出装置の発明は、
請求項１から８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記圧電素子に前記電圧を印加するための電圧印加回路と、
を備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に従うと、吐出不良をより生じにくくすることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】インクジェット記録装置の概略構成を示す図である。
【図２】記録ヘッドを側面側から見た断面図である。
【図３】ヘッドチップにおける一つのノズルに対応する部分のより詳細な断面図である。
【図４】圧電素子を上側から見た平面図である。
【図５】圧電素子の収縮時及び伸長時の形状変化を説明する模式断面図である。
【図６】実施形態の効果を確認するために行った実験の結果を示す図である。
【図７】平面形状が長方形である圧電素子の例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に係る実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
図１は、本発明の実施形態であるインクジェット記録装置１００（液体吐出装置）の概略構成を示す図である。
以下の説明では、記録媒体Ｍの搬送方向を前後方向、記録媒体Ｍの搬送面において当該搬送方向に直交する方向を左右方向とし、前後方向及び左右方向に垂直な方向を上下方向として説明する。
【００２０】
インクジェット記録装置１００は、搬送ベルト１０１、搬送ローラー１０２、ヘッドユニット１０３，１０４，１０５，１０６、制御部１０７（吐出制御手段）などを備える。このうち制御部１０７は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＲＯＭ（Read Only Memory）などを備え、ＲＯＭに記憶された各種制御プログラムを読み出して実行することでインクジェット記録装置１００の各部の動作を統括制御する。
【００２１】
搬送ローラー１０２は、図示しない搬送モーターの駆動によって回転軸を中心に回転する。搬送ベルト１０１は、一対の搬送ローラー１０２により内側が支持された輪状のベルトであり、搬送ローラー１０２が回転動作するのに従って周回移動する。インクジェット記録装置１００は、搬送ベルト１０１上に記録媒体Ｍが載置された状態で、搬送ローラー１０２の回転速度に応じた速度で搬送ベルト１０１が周回移動することで記録媒体Ｍを搬送ベルト１０１の移動方向（図の前方向）に搬送する搬送動作を行う。
【００２２】
ヘッドユニット１０３，１０４，１０５，１０６は、搬送ベルト１０１により搬送される記録媒体Ｍに対して画像データに基づいてノズルからインク（液体）を吐出して記録媒体Ｍ上に画像を記録する。本実施形態のインクジェット記録装置１００では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の４色のインクにそれぞれ対応する４つのヘッドユニット１０３，１０４，１０５，１０６が記録媒体Ｍの搬送方向上流側から順に所定の間隔で並ぶように配列されている。
【００２３】
ヘッドユニット１０３〜１０６の各々は、インクを吐出する複数のノズルが記録媒体Ｍの搬送方向と交差する方向（本実施形態では搬送方向と直交する幅方向、すなわち左右方向）に各々配列された複数（本実施形態では７つ）の記録ヘッド１（液体吐出ヘッド）を備える。各記録ヘッド１は、ノズルの開口部が設けられたインク吐出面を有し、当該インク吐出面が搬送ベルト１０１の搬送面と対向する位置に配置される。また、各記録ヘッド１では、幅方向に配列されたノズルからなるノズル列を複数（例えば、４列）有し、当該複数のノズル列は、ノズルの位置が互いに幅方向にずれる位置関係で設けられている。
【００２４】
ヘッドユニット１０３〜１０６の各々における７つの記録ヘッド１は、ノズルの幅方向についての配置範囲が、搬送ベルト１０１上の記録媒体Ｍのうち画像が記録可能な領域の幅方向についての幅をカバーするように千鳥格子状に配置されている。このように記録ヘッド１が配置されることで、インクジェット記録装置１００では、ヘッドユニット１０３〜１０６を固定した状態で記録ヘッド１から画像データに応じた適切なタイミングでインクを吐出することで、搬送される記録媒体Ｍ上に画像を記録することができる。すなわち、インクジェット記録装置１００は、シングルパス方式で画像を記録する。
【００２５】
図２は、記録ヘッド１を側面側から見た断面図であり、４つのノズル列に含まれる４つのノズルＮを含む面における断面図である。
記録ヘッド１は、ヘッドチップ２と、共通インク室７０と、保持基板８０と、配線部材４と、駆動部５（電圧印加回路）などを備える。
【００２６】
ヘッドチップ２は、ノズルＮからインクを吐出させるための構成であり、複数、ここでは、４枚の板状の基板が積層形成されている。ヘッドチップ２における最下方の基板は、ノズル基板１０である。ノズル基板１０には複数のノズルＮが設けられて、当該ノズルＮの開口部からノズル基板１０の露出面（インク吐出面）に対して略垂直にインクが吐出可能とされる。ノズル基板１０のインク吐出面とは反対側には、上方に向かって順番に圧力室基板２０（チャンバープレート）、スペーサー基板４０及び配線基板５０が接着されて積層されている。以下では、これらノズル基板１０、圧力室基板２０、スペーサー基板４０及び配線基板５０の各基板を各々又はまとめて積層基板１０、２０、４０、５０などとも記す。
【００２７】
これらの積層基板１０、２０、４０、５０には、ノズルＮに連通するインク流路が設けられており、配線基板５０の露出される側（上方側）の面で開口されている。この配線基板５０の露出面上には、全ての開口を覆うように共通インク室７０が設けられている。共通インク室７０のインク室形成部材７０ａ内に貯留されるインクは、配線基板５０の開口から各ノズルＮへ供給される。
【００２８】
インク流路の途中には、圧力室２１（液体貯留部）が設けられている。圧力室２１は、圧力室基板２０を上下方向に貫通して設けられており、圧力室２１内のインクには、スペーサー基板４０に圧力室２１と隣り合って設けられている格納部４２内の圧電素子６０の変位（変形）によって当該圧力室２１が変形して適切な圧力変化が付与されることで、圧力室２１に連通するノズルＮからインク流路内のインクが液滴として吐出される。
【００２９】
保持基板８０は、ヘッドチップ２の上面に接合されており、共通インク室７０のインク室形成部材７０ａを保持している。
【００３０】
配線部材４は、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）などであり、配線基板５０の配線５７（図３参照）に接続されている。この配線５７を介して格納部４２内の配線５２及び接続部９０（導電部材）に伝えられる駆動信号により圧電素子６０が変位動作する。配線部材４は、保持基板８０を貫通して引き出されて駆動部５に接続される。
【００３１】
駆動部５は、インクジェット記録装置の制御部からの制御信号や、電力供給部からの電力供給などを受けて、各ノズルＮからのインク吐出動作や非吐出動作に応じて、圧電素子６０の適切な駆動信号を配線部材４に出力する。駆動部５は、ＩＣ（Integrated Circuit）などで構成されている。
【００３２】
図３は、図２のヘッドチップ２における一つのノズルＮに対応する部分のより詳細な断面図である。
【００３３】
上述のように、ヘッドチップ２は、複数のノズルＮが設けられたノズル基板１０、各ノズルＮに連通する複数の圧力室２１が設けられた圧力室基板２０、スペーサー基板４０及び配線基板５０が積層されて形成されている。これらのうち、ノズル基板１０及び圧力室基板２０は、例えば、それぞれシリコン（Ｓｉ）基板を用いて形成され、スペーサー基板４０は、例えば、鉄合金（４２アロイなど）やガラスによって形成される。配線基板５０については後述する。
【００３４】
圧力室基板２０には、両面（すなわち、ノズル基板１０側の面とスペーサー基板４０側の面）間を貫通して設けられている圧力室２１のうち、スペーサー基板４０の側を覆うように可撓性を有する振動板３０が設けられている。すなわち、圧力室２１の壁面の一部は、振動板３０により構成されている。以下、圧力室２１の壁面のうち振動板３０により構成されている壁面を、振動壁面とも記す。
振動板３０には、インク流路の一部をなす開口部３１が設けられている。振動板３０は、例えば、シリコン製の薄板である。振動板３０は、圧力室基板２０と当接する部分、すなわち、圧力室２１及び開口部３１以外の部分で当該圧力室基板２０に接着（接合）されている。このように、振動板３０は、振動板３０がなす圧力室２１の内壁面（振動壁面の内面）に隣接する他の内壁面（ここでは、側壁）をなす基材２２と一体的に設けられている。
また、振動板３０の圧力室２１とは反対側、すなわち振動板３０がなす壁面の外壁面側には、第２電極６２を介して平板状の圧電素子６０が固着されている。以下では、振動板３０における圧電素子６０が積層されている面を振動板面３０ａとも記す。
【００３５】
スペーサー基板４０は、両面（すなわち、振動板３０の側の面と配線基板５０の側の面）を貫通して設けられた空間であるインク導通路４１及び格納部４２（格納空間）を有している。インク導通路４１は、共通インク室７０とノズルＮとをつなぐインク流路の一部をなし、振動板３０の開口部３１と位置を合わせて設けられる。
【００３６】
格納部４２内には、振動板３０の振動板面３０ａ上に設けられた圧電素子６０が格納される。格納部４２は、圧電素子６０の各々に対応して個別に設けられていても良いし、複数の圧電素子６０をまとめて格納可能に設けられていても良い。
圧電素子６０は、第１電極６１及び第２電極６２によって挟まれたアクチュエーターであり、第２電極６２が振動板３０に当接して設けられている。すなわち、圧電素子６０における振動板３０とは反対側の上面６０ａ（第１面）には、第１電極６１が積層されて形成されており、圧電素子６０の振動板３０側の下面６０ｂ（第２面）には、振動板３０との間に第２電極６２が形成されている。第１電極６１は、圧電素子６０の上面６０ａ上の全体に形成されている。また、第２電極６２は、振動板３０上の略全面に形成されている。
圧電素子６０及び第１電極６１は、振動板３０の振動板面３０ａに垂直な方向から見て、振動板３０がなす圧力室２１の内壁面に重なる第１領域Ｒ１から、上述の基材２２に重なる第２領域Ｒ２にかけて設けられている。
なお、第２電極６２は、振動板３０上のうち、圧電素子６０の下面６０ｂと接する範囲や図示しない配線との電気的な接続を行う部分のみに選択的に形成されていても良い。
また、振動板３０が金属などの導電性材料からなる場合には、第２電極６２を省略し、振動板３０を一方の電極（第２電極）として用いても良い。この場合には、振動板３０の振動板面３０ａ上に直接圧電素子６０が固着される。
【００３７】
第１電極６１と第２電極６２との間に印加される電圧差に応じて圧電素子６０が振動板面３０ａに沿って変位動作（伸縮）すると、これに応じて振動板３０が変形し、更に、圧力室２１内のインクに圧力変化が付与されてノズルＮからインクを吐出させる。圧電素子６０としては、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）が好適であるが、圧電特性を有する他の材料、例えば水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデンなどが用いられても良い。
【００３８】
図４は、圧電素子６０を上側から見た平面図である。図４における線分Ｌの位置での断面が、図３の断面図に相当する。
図４に示されるように、本実施形態の圧電素子６０は、第１領域Ｒ１において圧力室２１と重なる範囲に形成されている略円形の主要部６０１と、第２領域Ｒ２において基材２２と重なる範囲に形成されている略半円形状の凸部６０２とからなる。なお、図４では、圧力室２１の記載が省略されているが、圧力室２１は、上側から見て主要部６０１と略同一の直径を有する略円形状の部分を有している。このため、圧電素子６０の略円形の主要部６０１が伸縮して振動板３０が撓むことで、圧力室２１内のインクの圧力を効果的に変動させることができるようになっている。
圧電素子６０の大きさは、圧力室２１の大きさに応じて定められるが、例えば、上面６０ａの外周上の２点を結ぶ線分のうち最長となる線分Ｌの長さ（上面６０ａの最大幅）は、１０［μｍ］〜１０００［μｍ］程度とされる。また、圧電素子６０の厚さは、上面６０ａの最大幅の大きさに応じて設定され、例えば１［μｍ］〜１００［μｍ］程度とされる。本実施形態では、上面６０ａの最大幅が約５０［μｍ］、厚さが約５［μｍ］の圧電素子６０が用いられている。
【００３９】
また、図３に示されるように、圧電素子６０は、側面６０ｃが全周に亘って逆テーパー形状をなすように形成されている。すなわち、圧電素子６０の厚さ方向に、上面６０ａから下面６０ｂに向かって、振動板３０の振動板面３０ａに平行な断面の断面積が漸減するように形成されている。換言すれば、振動板面３０ａに垂直な任意の断面（例えば図３）において、圧電素子６０の下面６０ｂの長さが、上面６０ａの長さよりも小さく、かつ振動板面３０ａに沿う方向について下面６０ｂの全体が上面６０ａの範囲と重複する形状で形成されている。本実施形態では、側面６０ｃと、振動板３０の振動板面３０ａに垂直な方向とがなす角度θは、約３０度とされている。以下では、側面６０ｃが逆テーパー形状をなしている圧電素子６０を単に「逆テーパー形状の圧電素子６０」とも記す。
このような逆テーパー形状の圧電素子６０を形成する方法は、特には限られないが、例えば圧電部材からなる板材の表面に圧電素子６０の形状のマスクを形成し、外周部が順テーパー形状に削られるようにサンドブラスト加工を行って個別の圧電素子６０を形成した後、形成された圧電素子６０を上下逆にして振動板３０上に貼り合わせる方法を用いることができる。あるいは、サンドブラストによる方法に代えて、圧電素子６０外周が順テーパー形状となるようにダイシングした上で、上下逆にして振動板３０上に貼り合わせても良い。
圧電素子６０の側面６０ｃが逆テーパー形状となっていることで、圧電素子６０の下面６０ｂが、接合対象（本実施形態では、第２電極６２）から剥離する不具合の発生が抑制される。この点については、後に詳述する。
【００４０】
第１電極６１は、第２領域Ｒ２内において、接続部９０を介して配線基板５０の下面側に設けられた配線５２と電気的に接続されている。また、接続部９０は、第１電極６１の当接面（上側の面）に固着され、第１電極６１の当接面が上下方向に動かないように固定している。接続部９０は、配線基板５０に形成されたバンプ９１と、バンプ９１に塗布された導電性材料９２とを有する。バンプ９１は、配線５２上（下方側）に設けられ、格納部４２の内部へ突出する。バンプ９１は、例えば、金を材料としたワイヤーボンディングにより形成される。導電性材料９２は、例えば、導電性を有する金属粉末（銀粉など）が混入されて導電性を有する導電性接着剤である。この導電性材料９２が格納部４２内で第１電極６１とバンプ９１とを電気的に接続して、配線５２を介して送られた駆動信号を第１電極６１に伝える。
第２電極６２は、図示略の配線を介して配線部材４の共通電位（コモン電位）に係る配線に接続される。
【００４１】
配線基板５０には、圧電素子６０を駆動して変位動作させるための電気回路（配線）が設けられており、インターポーザー５３と、絶縁層５４、５５、５８、５９と、配線５２、５７などを有する。インターポーザー５３は、例えば、シリコン製の基板であり、両面が絶縁層５４及び絶縁層５５によりそれぞれ被覆されている。絶縁層５４のインターポーザー５３とは反対側には配線５７が設けられ、絶縁層５５のインターポーザー５３とは反対側には配線５２が設けられている。これらの配線５７、５２は、更にそれぞれ絶縁層５８、５９により被覆されている。
【００４２】
インターポーザー５３及び絶縁層５４、５５には、両面間を貫通して配線５２、５７の間を接続する貫通電極５６が設けられている。また、配線基板５０には、両面間（スペーサー基板４０の側の面と共通インク室７０の側の面）を貫通するインク導通路５１が設けられている。インク導通路５１は、インク流路の一部をなし、スペーサー基板４０のインク導通路４１と位置を合わせて設けられている。
【００４３】
次に、圧電素子６０の伸縮による振動板面３０ａの変形動作について詳細に説明する。
本実施形態の圧電素子６０は、振動板３０の振動板面３０ａに垂直な方向（以下、垂直方向と記す）に分極している。また、圧電素子６０は、第１電極６１と第２電極６２との間への電圧印加で生じた電界により、垂直方向と直交する方向（振動板面３０ａに沿う方向）に、印加電圧の極性に応じて伸縮（収縮及び伸長）する。すなわち、本実施形態の圧電素子６０では、分極方向の電界の印加に応じた、分極方向と直交するｄ３１方向への変形が利用される。そして、このｄ３１方向への変形により振動板３０を撓ませて、圧力室２１内におけるインクの圧力を変動させる。具体的には、圧電素子６０が収縮することにより、振動板３０が下に凸となる形状に撓み、圧力室２１内の体積が減少してインクの圧力が増大する。また、圧電素子６０が伸長することにより、振動板３０が上に凸となる形状に撓み、圧力室２１内の体積が増大してインクの圧力が減少する。このような圧力室２１内の体積の減少、増大を所定の順序で連続して行うことで、圧力室２１に連通するノズルＮからインクが吐出される。
【００４４】
上述したように、本実施形態の圧電素子６０は、側面６０ｃが逆テーパー形状をなしている。これにより、圧電素子６０が伸縮したときにおける上面６０ａの上下方向の変位量を小さく抑えることができ、この結果、下面６０ｂが接合対象から剥離する不具合の発生が抑制される。以下、この点について図５を参照して説明する。
【００４５】
図５は、側面６０ｃが逆テーパー形状を有する圧電素子６０、及び側面６０ｄが順テーパー形状を有する比較用の圧電素子６０Ｔ（以下では「順テーパー形状の圧電素子６０Ｔ」とも記す）の各々について、収縮時及び伸長時の形状変化を説明する模式断面図である。
図５の左側におけるＡ１は、振動板３０上に固着された、逆テーパー形状の圧電素子６０の断面図である。また、Ａ２は、この圧電素子６０が収縮した場合の振動板３０及び圧電素子６０の形状を示し、Ａ３は、この圧電素子６０が伸長した場合の振動板３０及び圧電素子６０の形状を示す。
図５の右側におけるＢ１は、振動板３０上に固着された、順テーパー形状の圧電素子６０Ｔの断面図である。また、Ｂ２は、この圧電素子６０Ｔが収縮した場合の振動板３０及び圧電素子６０Ｔの形状を示し、Ｂ３は、この圧電素子６０Ｔが伸長した場合の振動板３０及び圧電素子６０Ｔの形状を示す。
圧電素子６０の側面６０ｃが垂直方向となす角度θの絶対値、及び圧電素子６０Ｔの側面６０ｄが垂直方向となす角度θの絶対値は、同一であるものとする。また、圧電素子６０及び圧電素子６０Ｔの下面６０ｂは、いずれも同一面積かつ同一形状であるものとする。
【００４６】
逆テーパー形状の圧電素子６０が収縮した場合（Ａ２）における下面６０ｂの端部位置を基準とした上面６０ａの中心位置の高さと、電圧が印加されていない平常状態（Ａ２における破線、及びＡ１）の圧電素子６０における上面６０ａの中心位置の高さとの差分を、ｄａ１とする。
また、圧電素子６０Ｔが収縮した場合（Ｂ２）における下面６０ｂの端部位置を基準とした上面６０ａの中心位置の高さと、平常状態（Ｂ２における破線、及びＢ１）の圧電素子６０Ｔにおける上面６０ａの中心位置の高さとの差分を、ｄｂ１とする。
このとき、関係式ｄａ１＜ｄｂ１が成り立つ。すなわち、逆テーパー形状の圧電素子６０では、収縮時における上面６０ａの垂直方向の変動量が、順テーパー形状の圧電素子６０Ｔよりも小さくなる。
【００４７】
これは、逆テーパー形状の圧電素子６０では、下面６０ｂの面積よりも上面６０ａの面積が大きく、したがって印加電圧に応じた収縮量も上面６０ａの方が大きいため、上面６０ａが、収縮によって下面６０ｂよりも平面に近い形状に変形しようとすることに起因する。すなわち、圧電素子６０では、下面６０ｂの収縮により振動板３０が下に凸の湾曲形状となる一方で、上面６０ａは振動板の湾曲形状よりも平面に近い形状で維持され、上面６０ａの形状が、振動板３０の形状変化に追従しにくい。このため、収縮前後における中心位置の高さの差分（ｄａ１）が小さくなる。
これに対し、順テーパー形状の圧電素子６０Ｔでは、下面６０ｂよりも上面６０ａの方が面積が小さく、収縮量も小さいため、上面６０ａが収縮により平面に近い形状を維持しようとする作用が圧電素子６０と比べて小さい。よって、図５のＢ２のように下面６０ｂの収縮により振動板３０が下に凸の湾曲形状となったときに、振動板３０の形状変化に上面６０ａの形状が追従しやすく、平常時に対して上面６０ａの中心位置が下方に大きく沈降する。このため、収縮前後における中心位置の高さの差分（ｄｂ１）が大きくなり、その値は、圧電素子６０に係る差分（ｄａ１）よりも大きくなる。
【００４８】
また、圧電素子６０が伸長した場合（Ａ３）における下面６０ｂの端部位置を基準とした上面６０ａの中心位置の高さと、電圧が印加されていない平常状態（Ａ３における破線、及びＡ１）の圧電素子６０における上面６０ａの中心位置の高さとの差分を、ｄａ２とする。
また、圧電素子６０Ｔが伸長した場合（Ｂ３）における下面６０ｂの端部位置を基準とした上面６０ａの中心位置の高さと、平常状態（Ｂ３における破線、及びＢ１）の圧電素子６０Ｔにおける上面６０ａの中心位置の高さとの差分を、ｄｂ２とする。
このとき、関係式ｄａ２＜ｄｂ２が成り立つ。すなわち、側面６０ｃが逆テーパーとなっている圧電素子６０では、伸長時における上面６０ａの垂直方向の変動量が、順テーパーの圧電素子６０Ｔよりも小さくなる。
【００４９】
これは、逆テーパー形状の圧電素子６０では、下面６０ｂの面積よりも上面６０ａの面積が大きく、したがって印加電圧に応じた伸長量も上面６０ａの方が大きいため、上面６０ａが、伸長によって下面６０ｂよりも平面に近い形状に変形しようとすることに起因する。すなわち、圧電素子６０では、下面６０ｂの伸長により振動板３０が上に凸の湾曲形状となる一方で、上面６０ａは振動板の湾曲形状よりも平面に近い形状を維持しようとし、上面６０ａの形状が、振動板３０の形状変化に追従しにくい。このため、伸長前後における中心位置の高さの差分（ｄａ２）が小さくなる。
これに対し、順テーパー形状の圧電素子６０Ｔでは、下面６０ｂよりも上面６０ａの方が面積が小さく、伸長量も小さいため、上面６０ａが伸長により平面に近い形状を維持しようとする作用が圧電素子６０と比べて小さい。よって、下面６０ｂの伸長により振動板３０が上に凸の湾曲形状となったときに、振動板３０の形状変化に上面６０ａの形状が追従しやすく、平常時に対して上面６０ａの中心位置が上方に大きく浮上する。このため、伸長前後における中心位置の高さの差分（ｄｂ２）が大きくなり、その値は、圧電素子６０に係る差分（ｄａ２）よりも大きくなる。
【００５０】
このように、逆テーパー形状の側面６０ｃを有し、断面において上面６０ａが下面６０ｂよりも長い圧電素子６０では、上面６０ａの長さが下面６０ｂの長さ以下である圧電素子（すなわち、順テーパー形状の圧電素子６０Ｔや、側面がテーパーをなしていない圧電素子など）と比較して、電圧印加による収縮時及び伸長時における上面６０ａの垂直方向の変動量が小さい。よって、逆テーパー形状の圧電素子６０では、上面６０ａの垂直方向への変形により下面６０ｂが受ける、下面６０ｂの接合を引き剥がす方向の引張力が、順テーパー形状の圧電素子６０Ｔなどと比較して小さいため、下面６０ｂが接合対象から剥離する不具合の発生が抑制される。このように剥離が抑制される結果、圧電素子６０の収縮や伸長に対する振動板３０の追従変形が不十分となる不具合が抑制され、インクの吐出速度（射出速度）や吐出量（射出量）の低下といった吐出不良を生じにくくすることができる。
【００５１】
（実施例）
次に、上記実施形態の効果を確認するために行った実験について説明する。
まず、１０２４個のノズルＮが設けられた記録ヘッド１を作成した。ここでは、圧電素子６０の側面６０ｃの角度θ（側面６０ｃと上述の垂直方向とがなすテーパー角度）がそれぞれ４度、６度、３５度、６９度、８１度である５つの記録ヘッド１を実施例１〜５として作成した。また、圧電素子６０の側面が傾斜しておらず上記の角度θが０度である記録ヘッド１を比較例１として作成し、角度θが−１０度である記録ヘッド１（すなわち、圧電素子６０の側面が１０度の順テーパーをなしている記録ヘッド１）を比較例２として作成した。そして、作成直後の（すなわち、未だインク吐出がなされていない）上記各記録ヘッド１のインク流路に粘度が１０［ｃＰ］であるインクを供給し、ノズルＮからのインク吐出動作を繰り返し行わせた。そして、インク吐出動作開始直後のインクの吐出速度Ｖ０、及びインク吐出動作を１×１０＾１１回（１０００億回）繰り返した後のインクの吐出速度Ｖ１を測定し、吐出速度低下率ｒ＝（１−Ｖ１／Ｖ０）×１００を算出した。
【００５２】
図６は、上記実験の結果を示す図である。
図６では、実施例１〜実施例５、比較例１及び比較例２の各記録ヘッド１について、インクの吐出速度低下に係る評価結果が、「◎」、「○」、「×」、「××」の４段階で示されている。このうち「◎」は、上記の吐出速度低下率ｒが１％以下であることを示し、「○」は、吐出速度低下率ｒが１％より大きく３％以下であることを示し、「×」は、吐出速度低下率ｒが３％より大きく１０％以下であることを示し、「××」は、吐出速度低下率ｒが１０％より大きいことを示す。
【００５３】
図６に示されるように、テーパー角度θがそれぞれ６度、３５度、６９度である実施例２〜４の記録ヘッド１では、吐出速度低下の評価結果が「◎」となり、ほとんど吐出速度の低下が生じない良好な結果が得られた。また、これらの実施例２〜４の記録ヘッド１について、実験後の圧電素子６０の断面を観察したところ、圧電素子６０の下面６０ｂにおける剥離は確認されなかった。
また、テーパー角度θがそれぞれ４度、８１度である実施例１，５の記録ヘッド１では、吐出速度低下の評価結果が「○」となり、実施例２〜４に対して吐出速度低下が若干大きくなる結果となった。また、これらの実施例１，５の記録ヘッド１について、実験後の圧電素子６０の断面を観察したところ、圧電素子６０の下面６０ｂに僅かに剥離が生じていた。
また、テーパー角度θがそれぞれ０度、−１０度である比較例１，２の記録ヘッド１では、吐出速度低下の評価結果がそれぞれ「×」、「××」となり、インクの吐出速度が大きく低下する結果となった。また、これらの比較例１，２の記録ヘッド１について、実験後の圧電素子６０の断面を観察したところ、圧電素子６０の下面６０ｂの剥離が確認された。
【００５４】
これらの結果から、圧電素子６０の側面６０ｃにおけるテーパー角度θが５度以上８０度以下の場合に、圧電素子６０の下面６０ｂの剥離を効果的に抑えることができ、これにより、インクの吐出速度の経時的な低下を十分小さい範囲内に抑制できることが確認された。
【００５５】
（変形例）
次に、圧電素子６０に係る構造についての各種の変形例について説明する。
圧電素子６０の平面形状（上側から見た形状）は、図４に示されるような形状に限られず、各種の多角形など、圧力室２１の形状に応じて種々の形状とすることができる。
【００５６】
図７は、平面形状が長方形である圧電素子６０の例を示す平面図である。
この圧電素子６０では、一対の短辺Ｓ１のうち一方の近傍領域が、圧力室基板２０における基材２２と重なる第２領域Ｒ２に設けられており、残りの部分が、圧力室２１の振動壁面と重なる第１領域Ｒ１に設けられている。
このような圧電素子６０では、電圧印加に応じた長辺Ｓ２に平行な方向についての伸縮量（収縮量及び伸長量）が、短辺Ｓ１に平行な方向についての伸縮量よりも大きく、圧電素子６０及び当該圧電素子６０が固着されている振動板３０は、主に長辺Ｓ２が上下に撓む振動モードで振動（変形）する。
【００５７】
また、図７の圧電素子６０では、このように長辺Ｓ２に沿った伸縮量が相対的に大きいため、収縮時及び伸長時に、外周のうち短辺Ｓ１に沿う部分に対して掛かる下面６０ｂの接合を引き剥がす方向の引張力が、長辺Ｓ２に沿う部分に対して掛かる引張力よりも大きくなる。よって、外周のうち短辺Ｓ１に沿う部分において、特に剥離が生じやすくなる。
このため、図７の圧電素子６０では、側面６０ｃのうち短辺Ｓ１に沿う部分のみ逆テーパー形状としても良い。すなわち、一方の短辺Ｓ１上の任意の点と、他方の短辺Ｓ１上の任意の点とを含む圧電素子６０の断面において、下面６０ｂの長さが、上面６０ａの長さよりも小さく、かつ振動板３０の振動板面３０ａに沿う方向について下面６０ｂの全体が上面６０ａの範囲と重複するような形状としても良い。このような構成とすることで、剥離が生じやすい短辺Ｓ１における剥離を効果的に抑制しつつ、長辺Ｓ２に沿う部分の側面６０ｃを逆テーパー形状としないことで、下面６０ｂの接合面積を大きく確保することができる。
【００５８】
さらに、図７の圧電素子６０において、電圧印加に応じた伸縮量が最も大きくなるのは、上面６０ａの長方形における対頂角同士を結ぶ線分Ｌに沿った方向である。したがって、少なくとも、この線分Ｌを通る位置での断面（上面６０ａの外周上で距離が最大となる２点を含む断面）において、側面６０ｃを逆テーパー形状とすることで（すなわち、下面６０ｂを相対的に短くし、かつ振動板面３０ａに沿う方向について下面６０ｂの全体が上面６０ａの範囲と重複するようにすることで）、最も剥離しやすい部分において剥離を効果的に抑制することができる。
【００５９】
なお、図４に示される上記実施形態の圧電素子６０においても、少なくとも線分Ｌを通る断面（上面６０ａの外周上で距離が最大となる２点を含む断面）において側面６０ｃが逆テーパー形状となるように、側面６０ｃの一部のみを逆テーパー形状としても良い。これにより、最も剥離しやすい部分において剥離を効果的に抑制することができる。
【００６０】
また、圧電素子６０において逆テーパー形状をなす側面６０ｃの形状は、単一の平面をなしているものに限られず、圧電素子６０の断面における下面６０ｂの端部が、上側から見て上面６０ａの端部よりも圧電素子６０の内部側に位置している形状であればどのような形状であっても良い。例えば、側面６０ｃは、垂直方向に平行な面と、逆テーパー形状の面とが繋げられた形状であっても良いし、表面に凹凸や段差を有し、滑らかな平面をなしていない形状であっても良い。
側面６０ｃの形状に関わらず、圧電素子６０の断面における上面６０ａの一端、及び下面６０ｂにおける上面６０ａの上記一端と同じ側の一端を結ぶ線と、垂直方向とがなす角度が５度以上８０度以下となっていれば、当該断面において下面６０ｂの剥離を効果的に抑制する効果が得られる。
【００６１】
以上のように、本実施形態に係る記録ヘッド１は、インクを貯留する圧力室２１と、圧力室２１に連通し、当該圧力室２１から供給されたインクを吐出するノズルＮと、圧力室２１の壁面の一部をなす振動板３０と、振動板３０がなす壁面の外壁面側に直接又は他の部材を介して固着されている平板状の圧電素子６０と、を備え、圧電素子６０は、当該圧電素子６０に対して印加される電圧に応じて、振動板３０の圧電素子６０が固着されている振動板面３０ａに沿って伸縮することで振動板３０を撓ませ、圧電素子６０の振動板面３０ａに垂直な断面のうち、少なくとも、圧電素子６０の上面６０ａの外周上で距離が最大となる２点を含む断面において、圧電素子６０の下面６０ｂの長さが、上面６０ａの長さよりも小さく、かつ振動板面３０ａに沿う方向について下面６０ｂの全体が上面６０ａの範囲と重複する。
このような構成によれば、圧電素子６０において振動板面３０ａに沿った伸縮量が最も大きく、端部からの剥離が最も生じやすい線分Ｌの位置において、下面６０ｂの長さよりも上面６０ａの長さが大きくなるため、圧電素子６０の伸縮時（収縮時及び伸長時）における上面６０ａの垂直方向についての変動量を小さく抑えることができる。これにより、上面６０ａの垂直方向への変形により下面６０ｂが受ける、下面６０ｂの接合を引き剥がす方向の引張力を小さく抑えることができるため、圧電素子６０が端部から剥離する不具合の発生が抑制される。このように剥離が抑制される結果、圧電素子６０の収縮や伸長に対する振動板３０の追従変形が不十分となる不具合が抑制され、インクの吐出速度や吐出量の低下といった吐出不良を生じにくくすることができる。
【００６２】
また、上記変形例に係る記録ヘッド１では、圧電素子６０の上面６０ａは、長方形であり、圧電素子６０の振動板面３０ａに垂直な断面のうち、少なくとも、上記長方形の一方の短辺Ｓ１上における任意の点及び他方の短辺Ｓ１上の任意の点を含む断面において、下面６０ｂの長さが、上面６０ａの長さよりも小さく、かつ振動板面３０ａに沿う方向について下面６０ｂの全体が上面６０ａの範囲と重複する。長方形の圧電素子６０では、上記の線分Ｌａに沿う方向についての伸縮量が大きくなるところ、上記構成によれば、当該方向への圧電素子６０の伸縮による上面６０ａの垂直方向についての変動量を小さく抑えることができる。これにより、伸縮量が大きく剥離が生じやすい短辺Ｓ１に沿う部分において、下面６０ｂが受ける、下面６０ｂの接合を引き剥がす方向の引張力を小さく抑えることができるため、圧電素子６０の剥離を生じにくくすることができる。
【００６３】
また、上記実施形態の記録ヘッド１では、圧電素子６０の振動板面３０ａに垂直な任意の断面において、下面６０ｂの長さが、上面６０ａの長さよりも小さく、かつ振動板面３０ａに沿う方向について下面６０ｂの全体が上面６０ａの範囲と重複する。このような構成によれば、圧電素子６０の外周全体に亘って、下面６０ｂが受ける、下面６０ｂの接合を引き剥がす方向の引張力を小さく抑えることができるため、圧電素子６０の剥離をより生じにくくすることができる。
【００６４】
また、上記断面における上面６０ａの一端と、下面６０ｂにおける上記上面６０ａの一端と同じ側の一端とを結ぶ線が、振動板３０の振動板面３０ａの垂線との間でなす角度は、５度以上８０度以下である。圧電素子６０をこのような形状とすることより、圧電素子６０の剥離を効果的に抑制することができ、ひいては剥離に起因するインクの吐出不良の発生を抑制することができる。具体的には、インク吐出動作を１×１０＾１１回繰り返した後におけるインク吐出速度の低下率を１％以下に抑えることができる。
【００６５】
また、圧電素子６０は、振動板面３０ａに垂直な方向から見て、振動板３０がなす圧力室２１の内壁面に重なる第１領域Ｒ１から、当該内壁面に隣接する他の内壁面をなす基材２２に重なる第２領域Ｒ２にかけて設けられている。このような構成では、圧電素子６０のうち第１領域Ｒ１内の部分のみが、収縮や伸長により垂直方向に変形する。このように、垂直方向に変形する範囲が小さいほど、圧電素子６０の上面６０ａが振動板３０の垂直方向への変形に追従しやすくなるが、少なくとも一部の断面において上面６０ａの長さが下面６０ｂの長さより大きくなっている上記実施形態の構成によれば、上面６０ａの垂直方向への変形量を抑えて圧電素子６０の剥離を生じにくくすることができる。
【００６６】
また、上記実施形態の記録ヘッド１では、圧電素子６０の上面６０ａ上には、振動板面３０ａに沿って、第１領域Ｒ１の少なくとも一部から第２領域Ｒ１の少なくとも一部にかけて、圧電素子６０に電圧を印加するための第１電極６１が設けられ、第２領域Ｒ２内において、第１電極６１の圧電素子６０とは反対側の面の少なくとも一部が接続部９０により固定されている。このような構成によれば、第２領域Ｒ２内において圧電素子６０の一部が基材２２及び接続部９０に挟持されて垂直方向に振動しにくくなるため、圧電素子６０の剥離をより生じにくくすることができる。
【００６７】
また、振動板３０と圧電素子６０との間に第２電極６２が設けられ、第１電極６１及び第２電極６２により圧電素子６０に対して電圧が印加される構成とすることで、振動板３０の材質の自由度を向上させることができる。
【００６８】
また、振動板３０が導電性材料からなる場合において、圧電素子６０に、第１電極６１及び振動板３０により電圧を印加する構成とすることで、振動板３０上に別個の電極を形成する必要がなくなるため、記録ヘッド１の構成を簡素化することができる。
【００６９】
また、上記実施形態のインクジェット記録装置１００は、上記の記録ヘッド１と、圧電素子６０に電圧を印加するための駆動部５と、を備える。このような構成によれば、記録ヘッド１における圧電素子６０の剥離が生じにくいため、吐出不良の発生を抑制することができる。
【００７０】
なお、本発明は、上記実施形態及び変形例に限られるものではなく、様々な変更が可能である。
例えば、上記実施形態及び変形例では、圧電素子６０の上面６０ａ及び下面６０ｂの全体にそれぞれ第１電極６１及び第２電極６２が形成されている例を用いて説明したが、これに限られず、圧電素子６０の上面６０ａの一部において第１電極６１が形成されていない構成や、圧電素子６０の下面６０ｂの一部において第２電極６２が形成されていない構成であっても良い。
【００７１】
また、上記実施形態及び変形例では、圧電素子６０の断面において圧電素子６０の両端がテーパー形状（上側から見て下面６０ｂの端部が上面６０ａの端部よりも圧電素子６０の内部側に位置する形状）となっている例を用いて説明したが、これに限られず、圧電素子６０の一端のみが逆テーパー形状となっている構成であっても良い。
【００７２】
また、上記実施形態及び変形例では、液体吐出ヘッドとして、液体としてのインクを吐出する記録ヘッド１を例に挙げて説明したが、インク以外の他の任意の液体を吐出する液体吐出ヘッドに対して本発明を適用することができる。例えば、液体吐出ヘッドは、樹脂層形成材料を含む液体を吐出して樹脂層を形成するものや、導電層形成材料を含む液体を吐出して導電パターンを形成するものなどであっても良い。
【００７３】
また、上記実施形態及び変形例では、シングルパス形式のインクジェット記録装置１００を例に挙げて説明したが、記録ヘッド１を走査させながら画像の記録を行うインクジェット記録装置１００に本発明を適用しても良い。
【００７４】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、本発明の範囲は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲とその均等の範囲を含む。
【符号の説明】
【００７５】
１  記録ヘッド
２  ヘッドチップ
４  配線部材
５  駆動部
１０  ノズル基板
２０  圧力室基板
２１  圧力室
２２  基材
３０  振動板
３０ａ  振動板面
３１  開口部
４０  スペーサー基板
４１  インク導通路
４２  格納部
５０  配線基板
５１  インク導通路
５２，５７  配線
５３  インターポーザー
５４，５５，５８  絶縁層
５６  貫通電極
６０  圧電素子
６０ａ  上面
６０ｂ  下面
６０ｃ  側面
６１  第１電極
６２  第２電極
７０  共通インク室
８０  保持基板
９０  接続部
９１  バンプ
９２  導電性材料
１００  インクジェット記録装置
１０１  搬送ベルト
１０２  搬送ローラー
１０３，１０４，１０５，１０６  ヘッドユニット
１０７  制御部
Ｌ  線分
Ｍ  記録媒体
Ｎ  ノズル
Ｒ１  第１領域
Ｒ２  第２領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2019001114.tif 000009