(57)【要約】【課題】  内部の陽圧に対するシール性を確保しつつ、蓋体の開閉に伴う摩擦によるパーティクルの発生を低減する。【解決手段】  基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体とを備え、前記容器本体における前記開口まわりの第１部位、及び、前記蓋体における前記第１部位に対向する第２部位の一方の部位は、他方の部位とは異なる材料により形成され、かつ、他方の部位に向けて突出する突起部であって端面が前記他方の部位に当接する突起部を有する、基板収納容器が開示される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体とを備え、
前記容器本体における前記開口まわりの第１部位、及び、前記蓋体における前記第１部位に対向する第２部位の一方の部位は、他方の部位とは異なる材料により形成され、かつ、他方の部位に向けて突出する突起部であって端面が前記他方の部位に当接する突起部を有する、基板収納容器。
【請求項２】
前記突起部は、前記開口まわりの全周にわたり形成される、請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記第１部位及び前記第２部位は、前記容器本体に収納されるときの基板の表面に略平行な第１方向で、対向し合う第１表面を有し、
前記突起部は、前記第１部位の前記第１表面及び前記第２部位の前記第１表面により形成される、請求項１又は２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記突起部は、２本以上の突条の形態である、請求項１〜３のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記突起部は、高低差が１０ｍｍ以内である、請求項４に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記一方の部位は、弾性体により形成される、請求項１〜５のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記一方の部位は、前記第２部位である、請求項１〜６のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記一方の部位は、前記第２部位であり、
前記第２部位は、前記蓋体の本体とは別体であり、弾性体を介して前記蓋体の本体に取り付けられる、請求項１〜５のうちのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板収納容器は、基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体と蓋体との間に設けられる環状のパッキンと、を備えたものであり、基板を気密状態で収納している。
【０００３】
この種のパッキンとして、延出片がその延長線とシール面との間に略鋭角を形成するように形成されたもの、シール面に接触して基板収納容器の外側に湾曲したもの及び開口正面外方に向けて屈曲しているものなどが知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００４】
これらのパッキンは、基板収納容器の内部が陰圧の場合、言い換えると、外部の圧力が高い場合に、延出片がシール面に押し付けられる方向に変形するため、良好なシール性を奏するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−０６８３６４号公報
【特許文献２】特開２００８−０６２９７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のような従来技術では、内部の陽圧に対するシール性を確保しつつ、蓋体の開閉に伴う摩擦によるパーティクルの発生を低減することが難しい。パッキンは、エラストマー等により形成されており、摩擦によりパーティクルが比較的発生しやすい。また、不活性ガスなどのパージガスを基板収納容器の内部に供給した場合、つまり、基板収納容器の内部が陽圧になる場合は、延出片はシール面から剥がされる方向に変形するため、シール性が低下することがある。
【０００７】
そこで、１つの側面では、本発明は、内部の陽圧に対するシール性を確保しつつ、蓋体の開閉に伴う摩擦によるパーティクルの発生を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
１つの側面では、基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体とを備え、
前記容器本体における前記開口まわりの第１部位、及び、前記蓋体における前記第１部位に対向する第２部位の一方の部位は、他方の部位とは異なる材料により形成され、かつ、他方の部位に向けて突出する突起部であって端面が前記他方の部位に当接する突起部を有する、基板収納容器が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
１つの側面では、本発明によれば、内部の陽圧に対するシール性を確保しつつ、蓋体の開閉に伴う摩擦によるパーティクルの発生を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】一実施例の基板収納容器の一部を示す分解概略斜視図である。
【図２】一例による基板収納容器を示す概略的な断面図である。
【図３】ラビリンスシール構造によるシール効果の説明図である。
【図４】他の一例による基板収納容器の一部を示す概略的な断面図である。
【図５】他の一例による基板収納容器の一部を示す概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照しながら各実施例について詳細に説明する。
【００１２】
図１は、一実施例の基板収納容器１を示す分解概略斜視図である。
【００１３】
図１に示すように、基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、を備えている。
【００１４】
容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面がシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口１１が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。
【００１５】
容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、耐熱性や、洗浄性、摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。
【００１６】
また、容器本体１０の内部の後方（奥側）には、リアリテーナ（図示せず）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合に、後述するフロントリテーナ３０と対となって、基板Ｗを保持する。ただし、変形例では、リアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状をした基板保持部を有することで、フロントリテーナ３０と基板保持部とで基板Ｗを保持するようなものであってもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられている。
【００１７】
基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハ、ガラスウェーハ、樹脂ウェーハなどであってもよい。
【００１８】
容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Ｗを収容した基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４を把持されて、基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。
【００１９】
また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。
【００２０】
容器本体１０の底面には、例えば、チェックバルブ機能を有する給気弁１８と排気弁１９とが設けられている。これらは、蓋体２０によって閉止された基板収納容器１の内部に、給気弁１８から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、排気弁１９から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、気密状態を維持したりする。なお、給気弁１８及び排気弁１９は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気弁１８及び排気弁１９の数量や位置は、図示したものに限らない。また、給気弁１８及び排気弁１９は、気体を濾過するフィルタを有している。
【００２１】
内部の気体の置換は、収納した基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたり、内部の湿度を低くしたりするなどの目的で行われ、搬送中の基板収納容器１の内部の清浄性を保つ。気体の置換は、排気弁１９側においてガスを検知することで、確実に行われているか確認することができる。そして、内部の気体を置換する時や、蓋体２０を容器本体１０に取り付けて、閉止する時に、基板収納容器１の内部は陽圧になり、逆に、蓋体２０を容器本体１０から取り外す時に、基板収納容器１の内部は陰圧となる。
【００２２】
蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図１に示すように、蓋部本体２１（蓋部の本体の一例）と、この蓋部本体２１に設置されて施錠する一対の施錠機構２６と、各施錠機構２６を着脱自在に覆う一対のプレート２７とを備え、容器本体１０の開口正面部に着脱自在に嵌合される。蓋体２０は、施錠機構２６によって、容器本体１０に形成された係止穴（図示せず）に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。なお、蓋体２０の蓋部本体２１、一対の施錠機構２６、及び一対のプレート２７は、容器本体１０と同様の成形材料を使用して成形される。
【００２３】
また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ３０が着脱自在に装着又は一体形成されている。
【００２４】
このフロントリテーナ３０は、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。フロントリテーナ３０も、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けることができる。
【００２５】
これらの容器本体１０及び蓋体２０（蓋部本体２１）の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。
【００２６】
図２は、一例によるシール構造を示す概略的な断面図である。図２（後出の図３以降も同様）は、図１の容器本体１０のラインＡ−Ａに沿った部分の断面図（蓋体２０が閉じられた容器本体１０の状態での断面図）である。図２は、直交する２方向として、Ｘ，Ｙ方向が定義されている。Ｘ方向において、Ｘ１側が内側に対応し、Ｘ２側が外側に対応する。Ｘ方向は、開口１１まわりの径方向に対応する。また、Ｙ方向において、Ｙ１側が内側に対応し、Ｙ２側が外側に対応する。なお、Ｙ方向（第１方向の一例）は、容器本体１０に収納されるときの基板Ｗ（図１参照）の表面に略平行な方向である。
【００２７】
図２に示すように、容器本体１０は、開口１１まわりの第１部位１１０を有し、蓋体２０は、第１部位１１０に対向する第２部位２１０を有する。第１部位１１０は、第２部位２１０とＹ方向に対向する表面１０１（第１表面の一例）と、第２部位２１０とＸ方向に対向する表面１０２とを有する。なお、表面１０１は、シール面１２（図１参照）を形成する。同様に、第２部位２１０は、第１部位１１０とＹ方向に対向する表面２１１（第１表面の一例）と、第１部位１１０とＸ方向に対向する表面２１２とを有する。このように、第１部位１１０及び第２部位２１０は、Ｙ方向に対向し合うとともに、Ｘ方向に対向し合う。
【００２８】
なお、図２では、表面１０１と表面２１１との間の最小の隙間は、０（設計値）であり、表面１０２と表面２１２との間の隙間δ１（最小の隙間）は、０よりも大きい。隙間δ１は、公差等に起因して、表面１０２と表面２１２との間の接触が生じないように設定される。隙間δ１は、０ｍｍより大きく、１．０ｍｍ以下が好ましく、０．５ｍｍ以下が更に好ましい。１．０ｍｍより大きいとシール性が効果的に得られなくなるためである。
【００２９】
第２部位２１０は、蓋部本体２１とは別体である。すなわち、蓋体２０は、蓋部本体２１と、第２部位２１０とを含む。第２部位２１０は、蓋部本体２１に取り付けられる。
【００３０】
第２部位２１０は、例えば、蓋部本体２１に嵌合により一体化される。あるいは、第２部位２１０は、蓋部本体２１に接着により一体化されてもよい。あるいは、第２部位２１０は、材料に依存するが、蓋部本体２１と一体成形（例えば二色成形）されてもよい。
【００３１】
第２部位２１０は、蓋部本体２１とは別体であるので、蓋部本体２１とは別に成形できる。従って、第２部位２１０は、蓋部本体２１の成形性を考慮せずに設計することも可能である。例えば、第２部位２１０は、アンダーカットとなる形状を部分的に含み、かかる形状を利用して蓋部本体２１に嵌合されてもよい。
【００３２】
第２部位２１０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性体を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。また、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤などが適宜添加されてもよい。なお、第２部位２１０の硬度は、ショアＡ硬度で４０度から９０度が好ましく、６０度から９０度がより好ましい。以下、このような第２部位２１０の好適な材料を、単に「弾性材料」と称する。
【００３３】
第２部位２１０は、第１部位１１０に向かって突出するリブ群７１０を有する。図２では、リブ群７１０は、突条の形態である３本のリブ７１０−１、７１０−２、７１０−３（突起部の一例）を有するが、リブの本数は任意である。例えば、３つのリブ７１０−１、７１０−２、７１０−３のうちの任意の１つ又は２つが省略されてもよいし、更なる追加のリブが設定されてもよい。
【００３４】
リブ７１０−１、７１０−２、７１０−３は、開口１１まわりの全周にわたり形成される。例えば、リブ７１０−１、７１０−２、７１０−３は、開口まわりの全周にわたり、等断面で形成されてもよい。なお、変形例では、リブ７１０−１、７１０−２、７１０−３は、開口１１まわりの周方向の一部で断面が変化してもよいし、開口１１まわりの周方向の一部で不連続となってもよい。
【００３５】
リブ７１０−１、７１０−２、７１０−３は、図２に示すように、Ｙ方向の端面（Ｙ１側の端面）が第１部位１１０に当接する。この際、リブ７１０−１、７１０−２、７１０−３のＹ方向の端面は、第１部位１１０の表面１０１と面接触する。リブ７１０−１、７１０−２、７１０−３のＹ方向の端面は、例えば平面状であってよい。なお、リブ７１０−１、７１０−２、７１０−３は、弾性を有し、第１部位１１０に押圧されてもよい。
【００３６】
リブ７１０−２、７１０−３は、任意の形態で形成されてよい。例えば、図２に示す例では、リブ７１０−２、７１０−３は、外側の周面が、Ｙ１側に向かうほど内側に向かう向きに傾斜している。この場合、内側の周面が、Ｙ１側に向かうほど外側に向かう向きに傾斜している場合よりも、後述する公差等による非接触状態において、内部の陽圧に対するシール性を高めることができる（原理については後述する）。ただし、変形例では、リブ７１０−２、７１０−３は、内側の周面が、Ｙ１側に向かうほど外側に向かう向きに傾斜してもよいし、傾斜していなくてもよい。あるいは、リブ７１０−２、７１０−３は、傾斜しない態様で形成されてもよい。
【００３７】
リブ７１０−１、７１０−２、７１０−３は、好ましくは、高低差（図２の高さＨ参照）が１０ｍｍ以内であり、例えば、１ｍｍ〜１０ｍｍの範囲内であってよい。高低差（図２の高さＨ参照）は、隙間δ１の５倍以上、好ましくは１０倍以上あれば大きなシール効果が期待できる。
【００３８】
ここで、基板収納容器１は、何度も使用されるものであり、蓋体２０の開閉が何度も行われる。この点、エラストマー等により形成されるパッキンを用いてシール性を確保する比較例の場合、摩擦によりパーティクルが発生しやすい。すなわち、蓋体の開閉に伴うパッキンのシール面に対する摺動によって、パーティクルの発生が起こり易い。かかるパーティクルが発生した状態において、蓋体の開時に容器本体の内部が陰圧であると、パーティクルが容器本体の内部に入り、基板を汚染するおそれがある。
【００３９】
また、エラストマー等により形成されるパッキンを用いてシール性を確保する比較例（図示せず）の場合、パッキンが容器本体のシール面に貼りつき、蓋体の開閉トルクが過大となり、製造工程におけるエラー等の発生要因となる。
【００４０】
この点、図２に示す例によれば、第２部位２１０は、リブ群７１０を有するので、第１部位１１０と第２部位２１０との間の接触面積が比較的小さく、摩擦による第１部位１１０と第２部位２１０からのパーティクルの発生の可能性が低い。また、第１部位１１０と第２部位２１０との間の接触面積が比較的小さいため、第２部位２１０が容器本体１０のシール面１２に貼りつく可能性も低くなる。従って、図２に示す例によれば、従来のパッキンを用いることに起因して生じる上述の不都合（すなわち比較例による問題点）を回避できる。
【００４１】
なお、図２に示す例において、基板収納容器１に蓋体２０が完全に閉められた状態（施錠機構２６が作動した状態）では、第２部位２１０は、弾性変形した状態であってもよい。この場合、基板収納容器１に蓋体２０が完全に閉められた状態において、基板収納容器１のシール面１２に対する蓋部本体２１のＹ方向の位置が、各種公差等に起因して、設計上の位置から、Ｙ方向の隙間が広がる方向にずれたとしても、第２部位２１０のリブ群７１０の端面（Ｙ１側の端面）が第１部位１１０に当接した状態を維持できる可能性が高くなる。
【００４２】
また、本実施例では、基板収納容器１に蓋体２０が完全に閉められた状態において、各種公差等に起因して、基板収納容器１のシール面１２（表面１０１）と蓋部本体２１の第２部位２１０との間の隙間が設計値である０（すなわち隙間なし）よりも大きくなったとしても、ラビリンスシール構造に起因して高いシール性を維持できる（図３を参照して後述）。
【００４３】
ここで、図３を参照して、ラビリンスシール構造によるシール効果について説明する。以下、基板収納容器１のシール面１２（表面１０１）と蓋部本体２１の第２部位２１０との間の隙間が設計値である０よりも大きい状態を、「公差等による非接触状態」と称する。
【００４４】
図３は、公差等による非接触状態で形成されるラビリンスシール構造７０Ａによるシール効果の説明図である。なお、図３では、説明用に、表面１０１と表面２１１の間のＹ方向の最小の隙間は比較的大きく示されている。
【００４５】
図３では、公差等による非接触状態が示されている。公差等による非接触状態では、容器本体１０と蓋体２０との間にラビリンスシール構造７０Ａが形成される。
【００４６】
ラビリンスシール構造７０Ａは、図３に示すように、Ｘ方向に沿って狭小部７０１と拡大部７０２とを繰り返す。従って、例えば容器本体１０の内部が陽圧であるとき、容器本体１０の内部Ｐ０から外部Ｐ１までの流れにおいては、図３で矢印にて模式的に示すように、狭小部７０１から拡大部７０２への移行の際の流路面積の急拡大と、拡大部７０２から狭小部７０１への移行の際の流路面積の急縮小とが繰り返すことで、圧力損失が生じる。また、容器本体１０の内部Ｐ０から１つ目の狭小部７０１への移行の際も、流路面積が急縮小するので、圧力損失が生じる。また、容器本体１０の外部Ｐ１への移行の際も、流路面積が急拡大するので、圧力損失が生じる。このようにして、ラビリンスシール構造７０Ａにおいては内部Ｐ０と外部Ｐ１との間で圧力が徐々に変化する。この結果、ラビリンスシール構造７０Ａを介した内部Ｐ０と外部Ｐ１との間の気体の流動が低減又は無くなり、シール機能が発揮される。すなわち、内部の陽圧に対するシール性が確保される。
【００４７】
また、容器本体１０の内部が陰圧であるときも、同様に、シール機能が発揮される。これは、容器本体１０の外部Ｐ１から内部Ｐ０までの流れにおいても、狭小部７０１から拡大部７０２への移行の際の流路面積の急拡大と、拡大部７０２から狭小部７０１への移行の際の流路面積の急縮小とが繰り返すことで、圧力損失が生じるためである。
【００４８】
なお、急拡大と急縮小との繰り返しの数は、容器本体１０の内部Ｐ０からの急縮小と、容器本体１０の外部Ｐ１への急拡大を含めて、少なくとも２回あればよい。すなわち、上述のように、リブの本数は１本以上あればよい。ただし、シール性を高めるためには、リブの本数は２本以上が望ましい。
【００４９】
このようにして、本実施例によれば、公差等による非接触状態においても、第１部位１１０と第２部位２１０との間が非接触であるにもかかわらず、ラビリンスシール構造７０Ａにより高いシール性を確保できる。従って、図２に示す例によれば、容器本体１０の内部の陽圧及び陰圧に対するシール性を確保しつつ、蓋体２０の開閉に伴う摩擦によるパーティクルの発生を低減できる。
【００５０】
なお、図２に示す例では、リブ７１０−１、７１０−２、７１０−３は、第１部位１１０の表面１０１と第２部位２１０の表面２１１との間に形成されるが、これに代えて又は加えて、第１部位１１０の表面１０２と第２部位２１０の表面２１２との間に、同様のリブ７１０−１、７１０−２、７１０−３が形成されてもよい。
【００５１】
また、図２に示す例では、第２部位２１０が蓋部本体２１とは別体であり、リブ群７１０が第２部位２１０に形成されるが、これに代えて、第１部位１１０が容器本体１０の本体部とは別体であってもよい。この場合、第１部位１１０に、同様のリブ群７１０が形成される。この場合、第１部位１１０は弾性材料により形成される。
【００５２】
また、図２に示す例では、第２部位２１０の全体が弾性材料により形成されるが、リブ群７１０だけが弾性材料により形成されてもよいし、リブ群７１０のＹ１側の端部だけが弾性材料により形成されてもよい。
【００５３】
図４は、他の一例によるシール構造を示す概略的な断面図である。なお、図４に示す例では、上述した図２に示した例と同じ構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略する場合がある。
【００５４】
図４に示す例は、図２に示した例に対して、蓋体２０が蓋体２０Ｂで置換された点が異なる。蓋体２０Ｂは、蓋体２０に対して、蓋部本体２１Ｂに第２部位２１０Ｂが弾性体６０を介して取り付けられた点が異なる。すなわち、図２に示した蓋体２０では、第２部位２１０は蓋部本体２１に直接取り付けられるのに対して、図４に示す蓋体２０Ｂでは、第２部位２１０Ｂは蓋部本体２１Ｂに弾性体６０を介して取り付けられることで一体化される。
【００５５】
蓋部本体２１Ｂは、ポリカーボネートや、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリプロピレン等のような樹脂材料により形成される。他方、第２部位２１０Ｂは、好ましくは、ポリプロピレンの他、ポリエーテルケトンや、ポリブチレンテレフタレートやポリアセタール等のような、摺動性が高い樹脂材料により形成される。なお、蓋体２０Ｂに低吸湿性が求められる場合であっても、第２部位２１０Ｂは、蓋体２０Ｂの比較的小さい部位であることから、低吸湿性でない材料により形成されてもよい。
【００５６】
弾性体６０は、例えば、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴム等を用いることもできる。
【００５７】
第２部位２１０Ｂは、例えば、弾性体６０と一体化された状態で、蓋部本体２１Ｂに嵌合により一体化される。あるいは、第２部位２１０Ｂは、弾性体６０と一体化された状態で、蓋部本体２１Ｂに接着により一体化されてもよい。あるいは、第２部位２１０Ｂは、蓋部本体２１Ｂと一体成形された弾性体６０に対して、接着により一体化されてもよい。
【００５８】
図４では、容器本体１０は、開口１１まわりの第１部位１１０を有し、蓋体２０Ｂは、第１部位１１０に対向する第２部位２１０Ｂを有する。第２部位２１０Ｂは、第１部位１１０に向かって突出するリブ群７１０を有する。
【００５９】
図４に示す例によっても、図２に示した例と同様の効果が得られる。すなわち、図４に示す例によっても、公差等による非接触状態でラビリンスシール構造（図示せず）が形成されるので、容器本体１０の内部の陽圧及び陰圧に対するシール性を確保しつつ、蓋体２０の開閉に伴う摩擦によるパーティクルの発生を低減できる。
【００６０】
また、図４に示す例によれば、第２部位２１０Ｂは、蓋部本体２１Ｂとは別体であるので、蓋部本体２１Ｂとは異なる材料により形成できる。従って、第２部位２１０Ｂは、摺動性が高い樹脂材料により形成できる。この場合、第２部位２１０Ｂがゴム材料により形成される場合に比べて、パーティクルの発生の可能性を低減できる。
【００６１】
また、図４に示す例によれば、第２部位２１０Ｂは、弾性体６０を介して蓋部本体２１Ｂに取り付けられるので、弾性体６０の弾性変形によって公差を吸収できる。すなわち、容器本体１０に対して蓋体２０Ｂが完全に閉められた状態において、容器本体１０のシール面１２に対する蓋部本体２１ＢのＹ方向の位置が、各種公差等に起因して、設計上の位置から、Ｙ方向の隙間が狭まる方向にずれたとしても、弾性体６０が弾性変形するので、第２部位２１０Ｂのリブ群７１０の端面（Ｙ１側の端面）が第１部位１１０に比較的高い圧力で当接する可能性を低減できる。この結果、第１部位１１０と第２部位２１０Ｂとの間の当接範囲からのパーティクルの発生の可能性を低減できる。
【００６２】
なお、図４に示す例では、第２部位２１０Ｂは、Ｘ１側の側面が蓋部本体２１Ｂから離間しているが、Ｘ１側の側面が蓋部本体２１Ｂに接触する態様で、蓋部本体２１Ｂに取り付けられもよい。
【００６３】
図５は、他の一例によるシール構造を示す概略的な断面図である。なお、図５に示す例では、上述した図２に示した例と同じ構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略する場合がある。
【００６４】
図５に示す例は、図２に示した例に対して、容器本体１０が容器本体１０Ｃで置換され、かつ、蓋体２０が蓋体２０Ｃで置換された点が異なる。
【００６５】
容器本体１０Ｃは、図２に示した容器本体１０に対して、第１部位１１０が第１部位１１０Ｃで置換された点が異なる。蓋体２０Ｃは、図２に示した蓋体２０に対して、蓋部本体２１が蓋部本体２１Ｃで置換され、かつ、第２部位２１０が第２部位２１０Ｃで置換された点が異なる。
【００６６】
図５に示すように、容器本体１０Ｃは、開口１１まわりの第１部位１１０Ｃを有し、蓋体２０Ｃは、第１部位１１０Ｃに対向する第２部位２１０Ｃを有する。
【００６７】
第１部位１１０Ｃは、第２部位２１０ＣとＹ方向に対向する表面１０１Ｃ（第１表面の一例）と、第２部位２１０ＣとＸ方向に対向する表面１０２Ｃとを有する。なお、表面１０１Ｃは、シール面１２（図１参照）を形成する。同様に、第２部位２１０Ｃは、第１部位１１０ＣとＹ方向に対向する表面２１１Ｃ（第１表面の一例）と、第１部位１１０ＣとＸ方向に対向する表面２１２Ｃとを有する。このように、第１部位１１０Ｃ及び第２部位２１０Ｃは、Ｙ方向に対向し合うとともに、Ｘ方向に対向し合う。
【００６８】
なお、図５では、表面１０１Ｃと表面２１１Ｃとの間の最小の隙間は、０（設計値）であり、表面１０２Ｃと表面２１２Ｃとの間の隙間δ１（最小の隙間）は、０よりも大きい。隙間δ１は、公差等に起因して、表面１０２Ｃと表面２１２Ｃとの間の接触が生じないように設定される。隙間δ１は、０ｍｍより大きく、１．０ｍｍ以下が好ましく、０．５ｍｍ以下が更に好ましい。１．０ｍｍより大きいとシール性が効果的に得られなくなるためである。
【００６９】
第１部位１１０Ｃは、第２部位２１０Ｃに向かって突出するリブ群１２０Ｃを有する。図５では、リブ群１２０Ｃは、２本のリブ１２０Ｃ−１、１２０Ｃ−２（突起部の一例）を有するが、リブの本数は任意である。例えば、２本のリブ１２０Ｃ−１、１２０Ｃ−２のうちの任意の１本が省略されてもよいし、更なる追加のリブが設定されてもよい。
【００７０】
第２部位２１０Ｃは、蓋部本体２１Ｃとは別体である。第２部位２１０Ｃは、蓋部本体２１Ｃに取り付けられる。
【００７１】
第２部位２１０Ｃは、例えば、蓋部本体２１Ｃに嵌合により一体化される。あるいは、第２部位２１０Ｃは、蓋部本体２１Ｃに接着により一体化されてもよい。あるいは、第２部位２１０Ｃは、材料に依存するが、蓋部本体２１Ｃと一体成形（例えば二色成形）されてもよい。
【００７２】
第２部位２１０Ｃは、蓋部本体２１Ｃとは別体であるので、蓋部本体２１Ｃとは別に成形できる。従って、第２部位２１０Ｃは、蓋部本体２１の成形性を考慮せずに設計することも可能である。例えば、第２部位２１０Ｃは、アンダーカットとなる形状を部分的に含み、かかる形状を利用して蓋部本体２１Ｃに嵌合されてもよい。
【００７３】
第２部位２１０Ｃは、上述した弾性材料により形成される。第２部位２１０Ｃは、第１部位１１０Ｃに向かって突出するリブ群７１０Ｃを有する。図５では、リブ群７１０Ｃは、２本のリブ７１０Ｃ−１、７１０Ｃ−２を有するが、リブの本数は任意である。例えば、２本のリブ７１０Ｃ−１、７１０Ｃ−２のうちの任意の１本が省略されてもよいし、更なる追加のリブが設定されてもよい。
【００７４】
リブ１２０Ｃ−１、１２０Ｃ−２及びリブ７１０Ｃ−１、７１０Ｃ−２は、開口１１まわりの全周にわたり形成される。例えば、リブ１２０Ｃ−１、１２０Ｃ−２及びリブ７１０Ｃ−１、７１０Ｃ−２は、開口まわりの全周にわたり、等断面で形成されてもよい。なお、変形例では、リブ１２０Ｃ−１、１２０Ｃ−２及びリブ７１０Ｃ−１、７１０Ｃ−２の少なくともいずれかは、開口１１まわりの周方向の一部で断面が変化してもよいし、開口１１まわりの周方向の一部で不連続となってもよい。
【００７５】
リブ１２０Ｃ−１、１２０Ｃ−２は、好ましくは、容器本体１０Ｃの成形性を考慮した形態、すなわち金型から抜ける形態を有する。なお、リブ１２０Ｃ−１、１２０Ｃ−２は、図５に示すように、外側の周面が、Ｙ２側に向かうほど内側に向かう向きに傾斜している。ただし、変形例では、リブ１２０Ｃ−１、１２０Ｃ−２は、内側の周面が、Ｙ２側に向かうほど外側に向かう向きに傾斜してもよい。
【００７６】
リブ７１０Ｃ−１、７１０Ｃ−２は、任意の形態で形成されてよい。例えば、リブ７１０Ｃ−２は、図５に示すように、外側の周面が、Ｙ１側に向かうほど内側に向かう向きに傾斜している。ただし、変形例では、リブ７１０Ｃ−２は、内側の周面が、Ｙ１側に向かうほど外側に向かう向きに傾斜してもよい。あるいは、リブ７１０Ｃ−１、７１０Ｃ−２は、傾斜しない態様で形成されてよい。
【００７７】
リブ１２０Ｃ−１、１２０Ｃ−２及びリブ７１０Ｃ−１、７１０Ｃ−２は、好ましくは、高低差が１０ｍｍ以内であり、例えば、１ｍｍ〜１０ｍｍの範囲内であってよい。高低差は、隙間δ１の５倍以上、好ましくは１０倍以上あれば大きなシール効果が期待できる。
【００７８】
図５に示す例によっても、図２に示した例と同様の効果が得られる。すなわち、図５に示す例によっても、公差等による非接触状態でラビリンスシール構造（図示せず）が形成されるので、容器本体１０の内部の陽圧及び陰圧に対するシール性を確保しつつ、蓋体２０の開閉に伴う摩擦によるパーティクルの発生を低減できる。また、図５に示す例では、ラビリンスシール構造における気体の流れの経路がカギ状になることから、より高いシール効果を期待できる。
【００７９】
なお、図５に示す例では、リブ群７１０Ｃは、第１部位１１０Ｃの表面１０１Ｃと第２部位２１０Ｃの表面２１１Ｃとの間に形成されるが、これに代えて又は加えて、第１部位１１０Ｃの表面１０２Ｃと第２部位２１０Ｃの表面２１２Ｃとの間に、同様のリブ群７１０Ｃが形成されてもよい。
【００８０】
また、図５に示す例では、第２部位２１０Ｃが蓋部本体２１Ｃとは別体であり、リブ群７１０Ｃが第２部位２１０Ｃに形成されるが、これに代えて、第１部位１１０Ｃが容器本体１０Ｃの本体部とは別体であってもよい。この場合、第１部位１１０Ｃは弾性材料により形成される。
【００８１】
また、図５に示す例では、第２部位２１０Ｃの全体が弾性材料により形成されるが、リブ群７１０Ｃだけが弾性材料により形成されてもよいし、リブ群７１０ＣのＹ１側の端部だけが弾性材料により形成されてもよい。
【００８２】
なお、図５に示す例においても、図２に示した例に対する図４に示した例のような変形が可能である。すなわち、第２部位２１０Ｃは、ポリプロピレンの他、ポリエーテルケトンや、ポリブチレンテレフタレートやポリアセタール等のような、摺動性が高い樹脂材料により形成されてもよい。この場合、第２部位２１０Ｃは、蓋部本体２１Ｃに、弾性体６０（図４参照）のような弾性体を介して取り付けられてよい。
【００８３】
以上、各実施例について詳述したが、特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。また、前述した実施例の構成要素を全部又は複数を組み合わせることも可能である。
【符号の説明】
【００８４】
１  基板収納容器
１０  容器本体
１０Ｃ  容器本体
１１  開口
１２  シール面
１３  支持体
１４  ロボティックフランジ
１５  マニュアルハンドル
１８  給気弁
１９  排気弁
２０  蓋体
２０Ｂ  蓋体
２０Ｃ  蓋体
２１  蓋部本体
２１Ｂ  蓋部本体
２１Ｃ  蓋部本体
２６  施錠機構
２７  プレート
３０  フロントリテーナ
６０  弾性体
７０Ａ  ラビリンスシール構造
１０１  表面
１０１Ｃ  表面
１０２  表面
１０２Ｃ  表面
１１０  第１部位
１１０Ｃ  第１部位
１２０Ｃ  リブ群
１２０Ｃ−１  リブ
１２０Ｃ−２  リブ
２１０  第２部位
２１０Ｂ  第２部位
２１０Ｃ  第２部位
２１１  表面
２１１Ｃ  表面
２１２  表面
２１２Ｃ  表面
７０１  狭小部
７０２  拡大部
７１０  リブ群
７１０−１  リブ
７１０−２  リブ
７１０−３  リブ
７１０Ｃ  リブ群
７１０Ｃ−１  リブ
７１０Ｃ−２  リブ
Ｐ０  内部
Ｐ１  外部
Ｗ  基板
δ１  隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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