(57)【要約】【課題】可動子に推力を与えるための複数のコイルを用いて可動子の位置を特定することができる平面モータを提供する。【解決手段】平面モータ１０は、第一磁性体２２及び第二磁性体２３を有する可動子２０と、可動子２０と対向する主面３１ａ、及び、主面３１ａに沿って配置される複数のコイル３３を有する固定子３０と、複数のコイル３３に供給される電流を制御する制御部５０とを備える。制御部５０は、複数のコイル３３の少なくとも一部のコイルに可動子２０の位置検出用の電流を供給し、少なくとも一部のコイルに第二磁性体２３が近づくことによって生じる位置検出用の電流の変化を検出することにより、可動子２０の位置を特定する。【選択図】図１
2019193458.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一磁性体及び第二磁性体を有する可動子と、
前記可動子と対向する主面、及び、前記主面に沿って配置される複数のコイルを有する固定子と、
前記複数のコイルに供給される電流を制御する制御部とを備え、
前記第一磁性体は、前記可動子が前記複数のコイルから推力を得るための磁性体であり、
前記第二磁性体は、前記可動子の位置を検出するための磁性体であり、
前記制御部は、前記複数のコイルの少なくとも一部のコイルに前記可動子の位置検出用の電流を供給し、前記少なくとも一部のコイルに前記第二磁性体が近づくことによって生じる前記位置検出用の電流の変化を検出することにより、前記可動子の位置を特定する
平面モータ。
【請求項２】
前記位置検出用の電流の変化は、前記少なくとも一部のコイルに前記第二磁性体が近づくことによって前記第二磁性体に発生する渦電流に起因する
請求項１に記載の平面モータ。
【請求項３】
平面視における前記第二磁性体の大きさは、前記複数のコイルの２つ分以上の大きさである
請求項１または２に記載の平面モータ。
【請求項４】
前記制御部は、前記位置検出用の電流が変化したコイルの並び方向に基づいて前記可動子の向きを検出する
請求項３に記載の平面モータ。
【請求項５】
前記可動子は、シールド用の第三磁性体を有し、
前記第三磁性体の少なくとも一部は、前記第一磁性体、及び、前記第二磁性体の間に位置する
請求項１〜４のいずれか１項に記載の平面モータ。
【請求項６】
平面視において、前記第三磁性体は、前記第一磁性体を囲む環状である
請求項５に記載の平面モータ。
【請求項７】
前記第三磁性体の透磁率は、前記第一磁性体の透磁率、及び、前記第二磁性体の透磁率のいずれよりも小さい
請求項５または６に記載の平面モータ。
【請求項８】
前記第二磁性体の透磁率は、前記第一磁性体の透磁率よりも大きい
請求項１〜７のいずれか１項に記載の平面モータ。
【請求項９】
前記可動子は、複数の前記第二磁性体を有する
請求項１〜８のいずれか１項に記載の平面モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動子を平面に沿って二次元的に移動させる平面モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
可動子を平面に沿って二次元的に移動させる平面モータが知られている。このような平面モータとして、特許文献１には、電動アクチュエータが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１１７０５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
平面モータは、固定子に設けられた複数のコイルにより可動子に推力を与える。
【０００５】
本発明は、可動子に推力を与えるための複数のコイルを用いて可動子の位置を特定することができる平面モータを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る平面モータは、第一磁性体及び第二磁性体を有する可動子と、前記可動子と対向する主面、及び、前記主面に沿って配置される複数のコイルを有する固定子と、前記複数のコイルに供給される電流を制御する制御部とを備え、前記第一磁性体は、前記可動子が前記複数のコイルから推力を得るための磁性体であり、前記第二磁性体は、前記可動子の位置を検出するための磁性体であり、前記制御部は、前記複数のコイルの少なくとも一部のコイルに前記可動子の位置検出用の電流を供給し、前記少なくとも一部のコイルに前記第二磁性体が近づくことによって生じる前記位置検出用の電流の変化を検出することにより、前記可動子の位置を特定する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の平面モータは、可動子に推力を与えるための複数のコイルを用いて可動子の位置を特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、実施の形態に係る平面モータの概略構成を示す図である。
【図２】図２は、実施の形態に係る平面モータの断面図である。
【図３】図３は、実施の形態に係る平面モータの動作のフローチャートである。
【図４】図４は、位置検出用の電流の変化を示す図である。
【図５】図５は、第三磁性体を有する可動子の斜視図である。
【図６】図６は、複数の第二磁性体を有する可動子の斜視図である。
【図７】図７は、複数の第二磁性体、及び、環状の第三磁性体を有する可動子の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００１０】
なお、各図は模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化される場合がある。
【００１１】
また、以下の実施の形態において、「平面視」とは、固定子の主面に垂直な方向から見ることを意味する。図面において、磁性体のＮ極は、「Ｎ」と記載され、磁性体のＳ極は、「Ｓ」と記載される。
【００１２】
（実施の形態）
［全体構成］
以下、実施の形態に係る平面モータの構成について図面を用いて説明する。図１は、実施の形態に係る平面モータの概略構成を示す図である。図２は、実施の形態に係る平面モータの断面図である。図１において、可動子２０及び固定子３０については平面図が示されている。図１においては、複数のコイル３３の配置を示すために、カバー部材３１は図示が省略されている。図２において、電力供給回路４０及び制御部５０は図示が省略されている。
【００１３】
図１及び図２に示されるように、実施の形態１に係る平面モータ１０は、可動子２０と、固定子３０と、電力供給回路４０と、制御部５０とを備える。平面モータ１０は、固定子３０が有する主面３１ａに沿って可動子２０を２次元的に移動させるリニアモータ（言い換えれば、電磁アクチュエータ）システムである。平面モータ１０は、例えば、物流倉庫内で荷物の運搬に用いられる。以下、このような平面モータ１０の各構成要素について詳細に説明する。
【００１４】
［可動子］
まず、可動子２０について説明する。可動子２０は、平面モータ１０における移動対象物である。図２に示されるように、可動子２０は、可動子本体２１と、第一磁性体２２と、第二磁性体２３と、ボールキャスタ２４とを備える。
【００１５】
可動子本体２１は、略矩形板状の部材である。可動子本体２１は、例えば、樹脂材料によって形成される。
【００１６】
第一磁性体２２は、可動子２０が固定子３０から推力を得るための永久磁石であり、可動子本体２１に取り付けられる。第一磁性体２２は、例えば、平たい板状のネオジム磁石である。第一磁性体２２の形状及び材料は特に限定されない。第一磁性体２２は、例えば、フェライト磁石、または、アルニコ磁石などであってもよい。可動子２０は、例えば、複数の第一磁性体２２を備えるが、少なくとも１つの第一磁性体２２を備えればよい。図２では、第一磁性体２２は、可動子本体２１内に埋め込まれているが、第一磁性体２２は、可動子本体２１の上面に取り付けられてもよいし、可動子本体２１の下面に取り付けられてもよい。
【００１７】
図２の例では、第一磁性体２２は、Ｓ極及びＮ極の並び方向が主面３１ａに交差し、Ｓ極がＮ極よりも主面３１ａ寄りに位置するように配置されている。しかしながら、第一磁性体２２は、Ｎ極がＳ極よりも主面３１ａ寄りに位置するように配置されてもよい。また、第一磁性体２２は、Ｓ極及びＮ極の並び方向が主面３１ａに沿うように配置されてもよい。
【００１８】
第二磁性体２３は、制御部５０が可動子２０の位置を検出するための永久磁石であり、可動子本体２１に取り付けられる。第一磁性体２２と同様に、第二磁性体２３の形状及び材料は特に限定されないが、平面モータ１０においては、第二磁性体２３の透磁率は、第一磁性体２２の透磁率よりも大きい。第二磁性体２３は、例えば、第一磁性体２２と異なる磁性材料によって形成されるが、透磁率が異なる同種の磁性材料によって形成されてもよい。また、第二磁性体２３の磁束密度は、第一磁性体２２の磁束密度よりも小さい。
【００１９】
図２では、第二磁性体２３は、可動子本体２１に埋め込まれているが、第二磁性体２３は、可動子本体２１の上面に取り付けられてもよいし、可動子本体２１の下面に取り付けられてもよい。
【００２０】
図２の例では、第二磁性体２３は、Ｓ極及びＮ極の並び方向が主面３１ａに交差し、Ｓ極がＮ極よりも主面３１ａ寄りに位置するように配置されている。しかしながら、第二磁性体２３は、Ｎ極がＳ極よりも主面３１ａ寄りに位置するように配置されてもよい。また、第二磁性体２３は、Ｓ極及びＮ極の並び方向が主面３１ａに沿うように配置されてもよい。
【００２１】
ボールキャスタ２４は、可動子本体２１を固定子３０の主面３１ａに沿って移動させるための移動機構である。ボールキャスタ２４は、可動子本体２１の下面に取り付けられ、固定子３０の主面３１ａに当接する。なお、可動子２０は、自在キャスタまたは車輪など、ボールキャスタ２４以外の移動機構を備えてもよい。
【００２２】
［固定子］
次に、固定子３０について説明する。固定子３０は、可動子２０を移動させるための構造体である。実施の形態では、固定子３０は、シート状の部材である。図２に示されるように、固定子３０は、カバー部材３１と、回路基板３２とを有する。
【００２３】
カバー部材３１は、回路基板３２の摩耗等を抑制し、かつ、固定子３０の表面を平滑化するためのシート状の保護部材である。カバー部材３１は、回路基板３２の上面の全部を覆う。カバー部材３１の平面視形状は、矩形であるが、円形等その他の形状であってもよい。カバー部材３１の上面は、固定子３０が有する主面３１ａとなる。主面３１ａは、可動子２０と対向する。
【００２４】
カバー部材３１は、例えば、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、または、アクリル樹脂などの有機材料によって形成される。カバー部材３１は、シラン化合物または金属酸化物によって形成されてもよい。このような有機材料、シラン化合物、または金属酸化物は、摩耗耐性の点でカバー部材３１に適している。カバー部材３１に有機材料が採用されれば、カバー部材３１が低温の製造プロセスで形成できる。また、カバー部材３１に有機材料が採用されれば、カバー部材３１の大面積化が容易である。
【００２５】
回路基板３２は、上面に薄膜状のコイル３３が複数形成される薄膜状（言い換えれば、シート状）の基板である。回路基板３２の平面視形状は、矩形であるが、円形等その他の形状であってもよい。回路基板３２の基材は、例えば、ガラエポなどの樹脂材料によって形成される。
【００２６】
回路基板３２の上面には、複数のコイル３３が形成される。図１に示されるように、平面視において、複数のコイル３３は、マトリクス状に敷き詰められている。図１においては、マトリクス状の配置の複数の行及び複数の列を区別するために、複数の行には数字が付与され、複数の列にはアルファベットが付与されている。なお、複数のコイル３３の数は、特に限定されない。
【００２７】
複数のコイル３３は、可動子２０に推力を与えるためのコイルである。複数のコイル３３は、電力供給回路４０によって電力が供給されることによって磁化する。複数のコイル３３のそれぞれは、回路基板３２の上面にパターン形成されたパターンコイルである。また、複数のコイル３３は、電力供給回路４０から位置検出用の電力が供給されることにより、位置検出用のコイルとしても機能する。
【００２８】
複数のコイル３３のそれぞれは、巻回軸が主面３１ａに垂直な方向に沿う矩形巻回状の配線であるが、円形巻回状等、他の巻回状であってもよい。複数のコイル３３のそれぞれは、例えば、三角形、または、六角形等の多角形に沿う巻回形状であってもよい。複数のコイル３３の巻回方向は、同一であるが、異なってもよい。コイル３３は、例えば、銅などの金属材料によって形成される。コイル３３は、例えば、エッチングによって形成される。
【００２９】
［電力供給回路］
次に、電力供給回路４０について説明する。電力供給回路４０は、制御部５０から出力される制御信号に基づいて、複数のコイル３３への電力供給を行う。言い換えれば、電力供給回路４０は、制御部５０から出力される制御信号に基づいて、複数のコイル３３へ電流を供給する。図１に示されるように、電力供給回路４０は、具体的には、複数のコイル３３に１対１で対応する複数の制御回路を含む。例えば、マトリクス状に配置された複数のコイル３３のうち１行に属し、かつ、列Ａに属するコイル３３に対応する制御回路は、制御回路１Ａである。
【００３０】
複数の制御回路のそれぞれは、例えば、フルブリッジインバータ回路である。複数の制御回路は、制御部５０から出力される制御信号に基づいて動作する。複数の制御回路のそれぞれは、当該制御回路に対応するコイル３３に対して、（ａ）電力を供給しない、（ｂ）第一の極性（例えば、正極性）の直流電圧を供給する、及び、（ｃ）第一の極性の逆の第二の極性（例えば、負極性）の直流電圧を供給する、のいずれかを行う。第一の極性の直流電圧が供給されたコイル３３は、例えば、主面３１ａ側がＳ極の電磁石として機能し、第二の極性の直流電圧が供給されたコイル３３は、例えば、主面３１ａ側がＮ極の電磁石として機能する。
【００３１】
このように、電力供給回路４０は、複数のコイル３３のそれぞれに直流電圧を供給し、当該直流電圧の極性をコイル３３ごとに切り替えることができる。直流電圧の極性を切り替えることは必須ではなく、電力供給回路４０は、少なくとも直流電圧の供給をオン及びオフできればよい。
【００３２】
［制御部］
制御部５０は、複数のコイル３３に供給される電流を制御する。制御部５０は、具体的には、電力供給回路４０を制御する。制御部５０は、例えば、電力供給回路４０を制御することにより、複数のコイル３３の一部に直流電圧を供給する。この結果、複数のコイル３３の一部には、可動子２０に推力を与えるための第一電流が流れ、これにより可動子２０が主面３１ａに沿って移動する。第一電流は、直流電流である。
【００３３】
また、制御部５０は、電力供給回路４０を制御することにより、複数のコイル３３の少なくとも一部に位置検出用の直流電圧を供給する。この結果、複数のコイル３３の少なくとも一部には、位置検出用の第二電流が流れる。第二電流は、例えば、第一電流よりも小さい微小な直流電流である。後述のように、制御部５０は、第二電流の変化に基づいて可動子２０の位置を特定することができる。
【００３４】
制御部５０は、具体的には、マイクロコンピュータなどによって実現されるが、専用回路、または、プロセッサなどによって実現されてもよい。なお、図示されないが、制御部５０は、制御部５０が備える半導体メモリなどの記憶部（図示せず）に記憶された制御プログラムを実行する。制御部５０は、電力供給回路４０の一部として構成されてもよい。
【００３５】
［平面モータの動作］
以下、平面モータ１０の動作について説明する。図３は、平面モータ１０の動作のフローチャートである。
【００３６】
まず、制御部５０は、可動子２０の位置を特定する（Ｓ１１）。制御部５０は、可動子２０の周辺に位置するコイル３３に位置検出用の第二電流を供給し、第二電流の変化をモニタする。制御部５０は、複数のコイル３３の全てに位置検出用の第二電流を供給してもよい。
【００３７】
図２に示されるように、位置検出用の第二電流が供給されているコイル３３ａの上方に第二磁性体２３が位置すると、第二磁性体２３に渦電流が発生し、当該渦電流に起因してコイル３３ａに流れる第二電流に変化が生じる。図４は、位置検出用の第二電流の変化を示す図であり、コイル３３ａに第二磁性体２３が近づいている期間Ｔにおいて、第二電流が低下することを示す。制御部５０は、このような第二電流の低下を検出することにより、可動子２０の位置を特定することができる。なお、第二電流は、例えば、抵抗を介して電圧としてモニタされる。
【００３８】
次に、制御部５０は、ステップＳ１１において特定された位置に基づいて、複数のコイル３３への電力供給を制御する（Ｓ１２）。制御部５０は、具体的には、電力供給回路４０に制御信号を出力する。制御部５０から出力される制御信号は、例えば、電力供給回路４０の一部である制御回路をオン及びオフするための信号である。
【００３９】
図２に示されるように、制御部５０は、コイル３３ａに流れる第二電流に変化が生じると、コイル３３ａの上方付近に可動子２０の第二磁性体２３が位置すると判定し、制御信号を出力する。制御部５０は、制御信号の出力により、（ａ）第一磁性体２２の移動先側に位置するコイル３３ｂから生じる磁力によって可動子２０を吸引する、及び、（ｂ）第一磁性体２２の移動先と反対側に位置するコイル３３ｃから生じる磁力によって可動子２０を反発させる、の少なくとも一方を行う。これにより、制御部５０は、可動子２０を固定子３０が有する主面３１ａに沿って移動させることができる。
【００４０】
なお、可動子２０の移動方向があらかじめ定められているような場合、第一磁性体２２及び第二磁性体２３は、例えば、可動子２０の移動方向に並んで配置される。図２に示されるように第二磁性体２３が第一磁性体２２よりも移動先側に位置する場合、制御部５０は、コイル３３ａにおいて電圧の変化が生じると、コイル３３ａよりも移動先と反対側に位置するコイル３３（具体的には、コイル３３ｂ、及び、コイル３３ｃなど）を電力供給の対象とすることができる。つまり、制御アルゴリズムの簡素化が可能となる。なお、第一磁性体２２が第二磁性体２３よりも移動先側に位置してもよい。
【００４１】
ところで、平面視における第二磁性体２３の大きさは、複数のコイル３３の２つ分の大きさである。第二磁性体２３が短手方向及び長手方向を有する形状であり、長手方向における長さが複数のコイル３３の２つ分以上の長さであれば、制御部５０は、可動子２０の向きを検出することができる。
【００４２】
例えば、図１に示されるように、可動子本体２１の長手方向が横方向（言い換えれば、列方向）に沿う場合、第二磁性体２３の長手方向は、縦方向（言い換えれば、列方向）に沿う。したがって、位置検出用の第二電流が変化するコイル３３は、縦方向に並ぶ。
【００４３】
一方、図示されないが、可動子本体２１の長手方向が縦方向に沿う場合、第二磁性体２３の長手方向は、横方向に沿う。したがって、第二電流が変化するコイル３３は、横方向に並ぶ。
【００４４】
このように、可動子２０の向きによって第二電流が変化するコイル３３の並び方向は異なる。したがって、制御部５０は、第二電流が変化したコイル３３の並び方向に基づいて可動子２０の向きを検出することができる。
【００４５】
［変形例］
可動子２０は、磁気シールド用の第三磁性体を有していてもよい。図５は、第三磁性体を有する可動子の斜視図である。図５において、可動子本体２１は破線で図示されている。図５に示される可動子２０ａは、第一磁性体２２及び第二磁性体２３に加えて、第三磁性体２５を有する。第三磁性体２５は、磁気シールド用の磁性体であり、第一磁性体２２及び第二磁性体２３の間に位置し、第一磁性体２２が発する磁束と、第二磁性体２３が発する磁束との干渉を抑制する。第三磁性体２５は、少なくとも一部が第一磁性体２２及び第二磁性体２３の間に位置すればよい。
【００４６】
第三磁性体２５は、比較的透磁率の小さい磁性体である。第三磁性体２５の透磁率は、例えば、第一磁性体２２の透磁率、及び、第二磁性体２３の透磁率のいずれよりも小さい。第三磁性体２５は、例えば、第一磁性体２２及び第二磁性体２３と異なる磁性材料によって形成されるが、第一磁性体２２及び第二磁性体２３と同種の磁性材料であって、透磁率が異なる磁性材料によって形成されてもよい。また、第三磁性体２５の磁束密度は、第一磁性体２２の磁束密度よりも小さい。
【００４７】
また、可動子２０は、複数の第二磁性体２３を有していてもよい。図６は、複数の第二磁性体２３を有する可動子の斜視図である。図６において、可動子本体２１は破線で図示されている。図６に示される可動子２０ｂは、第一磁性体２２及び２つの第二磁性体２３を備える。２つの第二磁性体２３の一方は、可動子本体２１の長手方向の一方の端部に位置し、２つの第二磁性体２３の他方は、可動子本体２１の長手方向の他方の端部に位置する。可動子２０ｂは、３つ以上の第二磁性体２３を備えてもよい。
【００４８】
このように、可動子２０ｂが複数の第二磁性体２３を備えれば、制御部５０は、可動子２０ｂ内の複数箇所の位置を検出することができる。そうすると、制御部５０は、可動子２０ｂの位置を高い精度で特定することができる。
【００４９】
また、可動子２０は、複数の第二磁性体２３、及び、環状の第三磁性体を有していてもよい。図７は、複数の第二磁性体２３、及び、環状の第三磁性体を有する可動子の斜視図である。図７において、可動子本体２１は破線で図示されている。
【００５０】
図７に示される可動子２０ｃは、第一磁性体２２、２つの第二磁性体２３、及び、第三磁性体２６を備える。
【００５１】
第三磁性体２６は、第一磁性体２２を囲む環状（より具体的には、矩形環状）であり、２つの第二磁性体２３は、第三磁性体２６の外側に位置する。第三磁性体２６は、シールド用の磁性体であり、第三磁性体２６の一部は、第一磁性体２２及び第二磁性体２３の間に位置する。
【００５２】
第三磁性体２６の透磁率は、比較的小さい。第三磁性体２６の透磁率は、例えば、第一磁性体２２の透磁率、及び、第二磁性体２３の透磁率のいずれよりも小さい。第三磁性体２６は、例えば、第一磁性体２２及び第二磁性体２３と異なる磁性材料によって形成されるが、第一磁性体２２及び第二磁性体２３と同種の磁性材料であって、透磁率が異なる磁性材料によって形成されてもよい。また、第三磁性体２６の磁束密度は、第一磁性体２２の磁束密度よりも小さい。
【００５３】
第三磁性体２５と同様に、第三磁性体２６は、第一磁性体２２が発する磁束と、第二磁性体２３が発する磁束との干渉を抑制することができる。また、可動子２０ｃによれば、制御部５０は、可動子２０ｂの位置を高い精度で特定することができる。
【００５４】
なお、上記実施の形態で説明した第一磁性体２２、第二磁性体２３、第三磁性体２５、及び、第三磁性体２６のそれぞれの形状、大きさ、及び、配置は一例である。第一磁性体２２、第二磁性体２３、第三磁性体２５、及び、第三磁性体２６のそれぞれの形状、大きさ、及び、配置はどのように定められてもよい。
【００５５】
［効果等］
以上説明したように、平面モータ１０は、第一磁性体２２及び第二磁性体２３を有する可動子２０と、可動子２０と対向する主面３１ａ、及び、主面３１ａに沿って配置される複数のコイル３３を有する固定子３０と、複数のコイル３３に供給される電流を制御する制御部５０とを備える。第一磁性体２２は、可動子２０が固定子３０から推力を得るための磁性体であり、第二磁性体２３は、可動子２０の位置を検出するための磁性体である。制御部５０は、複数のコイル３３の少なくとも一部のコイルに可動子２０の位置検出用の電流を供給し、少なくとも一部のコイルに第二磁性体２３が近づくことによって生じる位置検出用の電流の変化を検出することにより、可動子２０の位置を特定する。
【００５６】
このような平面モータ１０は、可動子２０に推力を与えるためのコイル３３を利用して可動子２０の位置を検出することができる。
【００５７】
また、例えば、位置検出用の電流の変化は、少なくとも一部のコイル３３に第二磁性体２３が近づくことによって第二磁性体２３に発生する渦電流に起因する。
【００５８】
このような平面モータ１０は、渦電流に起因する位置検出用の電流の変化に基づいて、可動子２０の位置を検出することができる。
【００５９】
また、例えば、平面視における第二磁性体２３の大きさは、複数のコイル３３の２つ分以上の大きさである。
【００６０】
このような第二磁性体２３は、２つ以上のコイル３３のそれぞれに流れる位置検出用の電流を並行して変化させることができる。
【００６１】
また、例えば、制御部５０は、位置検出用の電流が変化したコイル３３の並び方向に基づいて可動子２０の向きを検出する。
【００６２】
このような平面モータ１０は、可動子２０の向きを検出することができる。
【００６３】
また、例えば、可動子２０は、シールド用の第三磁性体２５を有する。第三磁性体２５の少なくとも一部は、第一磁性体２２、及び、第二磁性体２３の間に位置する。
【００６４】
このような第三磁性体２５は、第一磁性体２２が発する磁束と第二磁性体２３が発する磁束との干渉を抑制することができる。
【００６５】
また、例えば、平面視において、第三磁性体２６は、第一磁性体２２を囲む環状である。
【００６６】
このような第三磁性体２６は、第一磁性体２２が発する磁束と第二磁性体２３が発する磁束との干渉を抑制することができる。
【００６７】
また、例えば、第三磁性体２５（または第三磁性体２６）の透磁率は、第一磁性体２２の透磁率、及び、第二磁性体２３の透磁率のいずれよりも小さい。
【００６８】
このような第三磁性体２５は、第一磁性体２２が発する磁束と第二磁性体２３が発する磁束との干渉を効果的に抑制することができる。
【００６９】
また、例えば、第二磁性体２３の透磁率は、第一磁性体２２の透磁率よりも大きい。
【００７０】
このような第二磁性体２３は、位置検出用の電流を比較的大きく変化させることができる。
【００７１】
また、例えば、可動子２０ｂ（または可動子２０ｃ）は、複数の第二磁性体２３を有する。
【００７２】
このような可動子２０ｂによれば、制御部５０は、可動子２０ｂの位置を高い精度で特定することができる。
【００７３】
（その他の実施の形態）
以上、実施の形態に係る平面モータについて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
【００７４】
例えば、上記実施の形態では、平面モータは、物流倉庫における荷物の搬送システムとして使用されたが、荷物の搬送システム以外の用途で使用されてもよい。
【００７５】
また、上記実施の形態では、コイルは薄膜状のパターンコイルであったが、コイルは巻線コイルであってもよい。また、上記実施の形態では、複数のコイルは、マトリクス状に配置されたが、マトリクス状以外のレイアウトで配置されてもよい。例えば、コイルが六角形に沿う巻回形状を有する場合には、複数のパターンコイルは、ハニカム状に配置されてもよい。
【００７６】
また、上記実施の形態の固定子の模式断面図に示される積層構造は一例である。平面モータは、本発明の特徴的な機能を実現できる他の積層構造を有する固定子を備えてもよい。平面モータは、例えば、上記実施の形態で説明された積層構造と同様の機能を実現できる範囲で、上記実施の形態の積層構造の層間に別の層が設けられた固定子を備えてもよい。
【００７７】
また、上記実施の形態では、固定子が有する積層構造の各層を構成する主たる材料について例示しているが、固定子が有する積層構造の各層には、上記実施の形態の積層構造と同様の機能を実現できる範囲で他の材料が含まれてもよい。
【００７８】
また、上記実施の形態において、特定の処理部が実行する処理を別の処理部が実行してもよい。また、複数の処理の順序が変更されてもよいし、複数の処理が並行して実行されてもよい。
【００７９】
また、上記実施の形態において、制御部などの構成要素は、当該構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。制御部などの構成要素は、ＣＰＵまたはプロセッサなどのプログラム実行部が、ハードディスクまたは半導体メモリなどの記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。
【００８０】
また、制御部などの構成要素は、ハードウェアによって実現されてもよい。例えば、制御部などの構成要素は、回路（または集積回路）でもよい。これらの回路は、全体として１つの回路を構成してもよいし、それぞれ別々の回路でもよい。また、これらの回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。
【００８１】
また、本発明の全般的または具体的な態様は、システム、装置、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体で実現されてもよい。また、システム、装置、方法、集積回路、コンピュータプログラム及び記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。例えば、本発明は、平面モータに含まれる制御部を備える制御装置として実現されてもよいし、上記実施の形態の可動子の位置特定方法として実現されてもよい。本発明は、位置特定方法をコンピュータに実行させるためのプログラムとして実現されてもよい。本発明は、当該プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な非一時的な記録媒体として実現されてもよい。
【００８２】
その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態、または、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
【符号の説明】
【００８３】
１０  平面モータ
２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ  可動子
２２  第一磁性体
２３  第二磁性体
２５、２６  第三磁性体
３０  固定子
３３、３３ａ、３３ｂ、３３ｃ  コイル
５０  制御部
【図１】
2019193458.tif 000003
【図２】
2019193458.tif 000004
【図３】
2019193458.tif 000005
【図４】
2019193458.tif 000006
【図５】
2019193458.tif 000007
【図６】
2019193458.tif 000008
【図７】
2019193458.tif 000009