(57)【要約】      （修正有）【課題】蒸発器の空間内の蒸気の気圧が高くなっても、空間を塞ぐ部分の金属層が変形することを防止可能なループ型ヒートパイプを提供する。【解決手段】ループ型ヒートパイプの蒸発器１０は、複数の金属層６１〜６６が積層されてなり、積層方向の両外側に位置する第１最外金属層及び第２最外金属層との間に位置する内層を備え、内層は、第１最外金属層に接する第１金属層と、第２最外金属層に接する第２金属層を含む２層以上の金属層から構成され、内層には、蒸気が流れる１つ以上の空間８１，８２が設けられ、第１金属層には、第２金属層側に開口する第１の有底溝８１ａ、８２ａが形成され、第２金属層には、第１金属層側に開口する第２の有底溝８１ｄ、８２ｄが形成され、空間の積層方向の一端側が第１の有底溝が形成された部分の第１金属層で塞がれ、他方側が第２の有底溝が形成された部分の第２金属層で塞がれている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、を有し、
前記蒸発器は、複数の金属層が積層されてなり、前記複数の金属層の積層方向の両外側に位置する第１最外金属層及び第２最外金属層と、前記第１最外金属層と前記第２最外金属層との間に位置する内層と、を備え、
前記内層は、前記第１最外金属層に接する第１金属層と、前記第２最外金属層に接する第２金属層と、を含む２層以上の金属層から構成され、
前記内層には、前記作動流体が気化して生成される蒸気が流れる１つ以上の空間と、前記空間と連通する多孔質体と、が設けられ、
前記第１金属層には、前記第２金属層側に開口する第１の有底溝が形成され、
前記第２金属層には、前記第１金属層側に開口する第２の有底溝が形成され、
前記空間の前記積層方向の一端側が前記第１の有底溝が形成された部分の前記第１金属層で塞がれ、前記空間の前記積層方向の他方側が前記第２の有底溝が形成された部分の前記第２金属層で塞がれているループ型ヒートパイプ。
【請求項２】
前記内層は、前記第１金属層と前記第２金属層との間に配置された１層以上の金属層を含み、
前記１層以上の金属層には、前記１層以上の金属層を貫通する貫通孔が設けられ、
前記第１の有底溝と、前記貫通孔と、前記第２の有底溝とが前記積層方向に連通して前記空間を形成している請求項１に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項３】
前記第１の有底溝及び前記第２の有底溝は、内壁面が湾曲面からなる凹形状である請求項１又は２に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項４】
前記第１の有底溝は、前記第１金属層内に配列され、前記第２金属層側に開口して平面方向に連通する複数の有底溝を含み、
前記第２の有底溝は、前記第２金属層内に配列され、前記第１金属層側に開口して平面方向に連通する複数の有底溝を含む請求項１又は２に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項５】
前記第１の有底溝を構成する複数の前記有底溝及び前記第２の有底溝を構成する複数の前記有底溝は、内壁面が湾曲面からなる凹形状である請求項４に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項６】
前記多孔質体は、平面視において、連結部と、一端が前記連結部と連結する複数の突起部と、を有する櫛歯状に形成され、
前記空間は、平面視において、隣接する突起部間に設けられている請求項１乃至５の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項７】
前記多孔質体は、前記内層を構成する少なくとも１層の金属層に形成され、
前記少なくとも１層の金属層の一方の面側から窪む第１の有底孔と、他方の面側から窪む第２の有底孔と、前記第１の有底孔と前記第２の有底孔とが部分的に連通して形成された細孔と、を備えている請求項１乃至６の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項８】
前記第１最外金属層及び前記第２最外金属層はべた状である請求項１乃至７の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項９】
作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、を有し、前記蒸発器は、複数の金属層が積層されてなり、前記複数の金属層の積層方向の両外側に位置する第１最外金属層及び第２最外金属層と、前記第１最外金属層と前記第２最外金属層との間に位置する内層と、を備え、前記内層は、前記第１最外金属層に接する第１金属層と、前記第２最外金属層に接する第２金属層と、を含む２層以上の金属層から構成され、前記内層に、前記作動流体が気化して生成される蒸気が流れる１つ以上の空間と、前記空間と連通する多孔質体と、が設けられたループ型ヒートパイプの製造方法であって、
前記内層に前記空間を形成する工程を有し、
前記空間を形成する工程は、
前記第１金属層となる一の金属シートをハーフエッチングして第１の有底溝を形成する工程と、
前記第２金属層となる他の金属シートをハーフエッチングして、第２の有底溝を形成する工程と、
前記空間の前記積層方向の一端側が前記第１の有底溝が形成された部分の前記一の金属シートで塞がれ、前記空間の前記積層方向の他方側が前記第２の有底溝が形成された部分の前記他の金属シートで塞がれるように、前記一の金属シートと前記他の金属シートとを積層する工程と、を含むループ型ヒートパイプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ループ型ヒートパイプ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器に搭載されるＣＰＵ（Central Processing Unit）等の発熱部品を冷却するデバイスとして、ヒートパイプが知られている。ヒートパイプは、作動流体の相変化を利用して熱を輸送するデバイスである。
【０００３】
ヒートパイプの一例として、発熱部品の熱により作動流体を気化させる蒸発器と、気化した作動流体を冷却して液化する凝縮器とを備え、蒸発器と凝縮器とがループ状の流路を形成する液管と蒸気管で接続されたループ型ヒートパイプが挙げられる。ループ型ヒートパイプでは、作動流体はループ状の流路を一方向に流れる。
【０００４】
ループ型ヒートパイプの蒸発器内には作動流体を保持する多孔質体が設けられており、蒸発器に外部から熱が加えられることで、多孔質体内の作動流体が気化して蒸気が生成される。蒸発器内の多孔質体は、例えば、平面視において櫛歯状に形成され、隣接する櫛歯の間には蒸気が流れる空間が設けられている。
【０００５】
蒸発器は、例えば、複数の金属層が積層されてなり、複数の金属層の積層方向の両外側に位置する最外金属層と、両外側に位置する最外金属層の間に位置する内層とを備えている。空間は、内層を構成する金属層に形成された貫通孔同士が連通してなり、空間において、金属層の積層方向の一端側が一方の最外金属層で塞がれ、金属層の積層方向の他端側が他方の最外金属層で塞がれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２０１５／０９７４５１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記の構造では、空間において、金属層の積層方向の一端側及び他端側が一層の金属層のみで塞がれているため、空間を塞ぐ部分の金属層の強度が十分ではない。そのため、蒸発器の表面に熱伝導接着剤等を介して搭載された発熱部品が発熱し、蒸発器の空間内に蒸気が生成されて空間内の気圧が高くなると、空間を塞ぐ部分の金属層が内部の気圧に耐え切れず、両外側に膨らむように変形する場合がある。蒸発器が変形すると、蒸発器の表面と熱伝導接着剤等との間に隙間が発生し、発熱部品から蒸発器への熱輸送効率が著しく低下する等の不具合が発生する場合がある。
【０００８】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、蒸発器の空間内の蒸気の気圧が高くなっても、空間を塞ぐ部分の金属層が変形することを防止可能なループ型ヒートパイプを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本ループ型ヒートパイプは、作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、を有し、前記蒸発器は、複数の金属層が積層されてなり、前記複数の金属層の積層方向の両外側に位置する第１最外金属層及び第２最外金属層と、前記第１最外金属層と前記第２最外金属層との間に位置する内層と、を備え、前記内層は、前記第１最外金属層に接する第１金属層と、前記第２最外金属層に接する第２金属層と、を含む２層以上の金属層から構成され、前記内層には、前記作動流体が気化して生成される蒸気が流れる１つ以上の空間と、前記空間と連通する多孔質体と、が設けられ、前記第１金属層には、前記第２金属層側に開口する第１の有底溝が形成され、前記第２金属層には、前記第１金属層側に開口する第２の有底溝が形成され、前記空間の前記積層方向の一端側が前記第１の有底溝が形成された部分の前記第１金属層で塞がれ、前記空間の前記積層方向の他方側が前記第２の有底溝が形成された部分の前記第２金属層で塞がれていることを要件とする。
【発明の効果】
【００１０】
開示の技術によれば、蒸発器の空間内の蒸気の気圧が高くなっても、空間を塞ぐ部分の金属層が変形することを防止可能なループ型ヒートパイプを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。
【図２】第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の断面図である。
【図３】第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の部分平面図である。
【図４】第１の実施の形態に係る蒸発器内に設けられる多孔質体及び空間を例示する図である。
【図５】第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その１）である。
【図６】第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その２）である。
【図７】比較例に係るループ型ヒートパイプの蒸発器の構造を例示する断面図である。
【図８】第２の実施の形態に係る蒸発器内に設けられる多孔質体及び空間を例示する図である。
【図９】厚さ方向に連通する有底孔の大きさを変える例を示す図である。
【図１０】１つの金属層に有底孔と溝を設ける例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１３】
〈第１の実施の形態〉
［第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの構造］
まず、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの構造について説明する。図１は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。
【００１４】
図１を参照するに、ループ型ヒートパイプ１は、蒸発器１０と、凝縮器２０と、蒸気管３０と、液管４０とを有する。ループ型ヒートパイプ１は、例えば、スマートフォンやタブレット端末等のモバイル型の電子機器２に収容することができる。
【００１５】
ループ型ヒートパイプ１において、蒸発器１０は、作動流体Ｃを気化させて蒸気Ｃｖを生成する機能を有する。凝縮器２０は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖを液化させる機能を有する。蒸発器１０と凝縮器２０は、蒸気管３０及び液管４０により接続されており、蒸気管３０及び液管４０によって作動流体Ｃ又は蒸気Ｃｖが流れるループである流路５０が形成されている。
【００１６】
図２は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の断面図である。図１及び図２に示すように、蒸発器１０には、例えば４つの貫通孔１０ｘが形成されている。蒸発器１０に形成された各貫通孔１０ｘと回路基板１００に形成された各貫通孔１００ｘにボルト１５０を挿入し、回路基板１００の下面側からナット１６０で止めることにより、蒸発器１０と回路基板１００とが固定される。
【００１７】
回路基板１００には、例えば、ＣＰＵ等の発熱部品１２０がバンプ１１０により実装され、発熱部品１２０の上面が熱伝導接着剤等を介して蒸発器１０の下面と密着する。蒸発器１０内の作動流体Ｃは、発熱部品１２０で発生した熱により気化し、蒸気Ｃｖが生成される。
【００１８】
図１に示すように、蒸発器１０に生成された蒸気Ｃｖは、蒸気管３０を通って凝縮器２０に導かれ、凝縮器２０において液化する。これにより、発熱部品１２０で発生した熱が凝縮器２０に移動し、発熱部品１２０の温度上昇が抑制される。凝縮器２０で液化した作動流体Ｃは、液管４０を通って蒸発器１０に導かれる。蒸気管３０の幅Ｗ１は、例えば、８ｍｍ程度とすることができる。又、液管４０の幅Ｗ２は、例えば、６ｍｍ程度とすることができる。
【００１９】
作動流体Ｃの種類は特に限定されないが、蒸発潜熱によって発熱部品１２０を効率的に冷却するために、蒸気圧が高く、かつ蒸発潜熱が大きい流体を使用することが好ましい。そのような流体としては、例えば、アンモニア、水、フロン、アルコール、及びアセトンを挙げることができる。
【００２０】
蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、及び液管４０は、例えば、金属層が複数積層された構造とすることができる。金属層は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。金属層の各々の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。
【００２１】
なお、金属層は銅層には限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。又、金属層の積層数は特に限定されない。
【００２２】
図３は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の部分平面図である。但し、図３では、蒸発器１０内の多孔質体６０の平面形状を示すため、多孔質体６０の一方の最外層となる金属層（図４に示す金属層６１）の図示が省略されている。又、図３に示すＸ方向は、液管４０の側から蒸気管３０の側へ向かう方向を示し、Ｙ方向は、液管４０の側から蒸気管３０の側へ向かう方向に直交する方向を示す。
【００２３】
図３に示す蒸発器１０内の多孔質体６０は、連結部６０Ｖと、突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３とを備えている。
【００２４】
連結部６０Ｖは、平面視において、Ｘ方向の最も液管４０側（蒸発器１０に液管４０が接続されている側）に設けられ、Ｙ方向に延びている。連結部６０Ｖの液管４０側の面の一部は、蒸発器１０の管壁に接し、残りの一部は、液管４０の流路内に設けられた多孔質体４０Ｔとつながっている。又、連結部６０Ｖの蒸気管３０側の面の一部は、突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３と連結しており、残りの一部は後述する空間８１又は８２に接している。
【００２５】
突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３は、平面視において、連結部６０Ｖから蒸気管３０側に突起している。
【００２６】
突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３は所定間隔でＹ方向に並置されており、突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３の蒸気管３０側の端部は、蒸発器１０の管壁から離間している。そして、突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３の蒸気管３０側の端部は互いに連結されていない。一方で、突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３の液管４０側の端部は、連結部６０Ｖを介して連結されている。言い換えれば、蒸発器１０内の多孔質体６０は、平面視で、連結部６０Ｖと突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３とを有する櫛歯状に形成されている。
【００２７】
蒸発器１０内において、多孔質体６０が設けられていない領域には空間８０が形成されている。空間８０は、蒸気管３０の流路とつながっている。空間８０は、隣接する突起部６０Ｗ１と突起部６０Ｗ２との間に設けられた空間８１と、隣接する突起部６０Ｗ２と突起部６０Ｗ３との間に設けられた空間８２と、空間８１及び８２とつながっている空間８３とを有している。空間８３は、平面視において、Ｘ方向の最も蒸気管３０側（蒸発器１０に蒸気管３０が接続されている側）に設けられている。
【００２８】
液管４０側から作動流体Ｃが蒸発器１０に導かれ、多孔質体６０に浸透する。蒸発器１０内で多孔質体６０に浸透した作動流体Ｃは発熱部品１２０で発生した熱により気化して蒸気Ｃｖが生成され、蒸気Ｃｖは蒸発器１０内の空間８０を通って蒸気管３０へ流れる。つまり、空間８０は、流路５０の一部を構成している。
【００２９】
なお、図３において、突起部（櫛歯）の数を３つ（突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３）としたのは一例であり、突起部（櫛歯）の数は適宜決定することができる。突起部の数が多いほど突起部と空間８０との接触面積が増えるため、作動流体Ｃが蒸発しやすくなり、圧力損失を低減できる。
【００３０】
以下に、多孔質体６０を構成する突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３、及び空間８０を構成する空間８１及び８２について詳説する。
【００３１】
図４は、第１の実施の形態に係る蒸発器内に設けられる多孔質体及び空間を例示する図であり、図４（ａ）は図３のＡ−Ａ線近傍の部分平面図、図４（ｂ）は図３（図４（ａ））のＡ−Ａ線に沿う断面を示している。但し、図４（ｂ）は、図３（図４（ａ））では図示を省略していた多孔質体６０の一方の最外層（最上層）となる金属層６１も含めた断面図である。
【００３２】
図４に示すように、蒸発器１０は、金属層６１〜６６の６層が積層された構造である。蒸発器１０において、金属層６１及び６６は複数の金属層の積層方向の両外側に位置する最外金属層であり、金属層６２〜６５は両外側の最外金属層の間に位置する内層である。但し、図４のように内層を４層とするのは一例であり、内層は一方の最外金属層に接する金属層と、他方の最外金属層に接する金属層とを含む２層以上の金属層から構成することができる。すなわち、内層は２層や３層、５層以上としても構わない。
【００３３】
金属層６１〜６６は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。金属層６１〜６６の各々の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。なお、金属層６１〜６６は銅層には限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。
【００３４】
多孔質体６０を構成する突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３、及び空間８０を構成する空間８１及び８２は、蒸発器１０の内層（金属層６２〜６５）に設けられている。突起部６０Ｗ１は、空間８１のＹ方向の一端側に設けられ、突起部６０Ｗ２は空間８１のＹ方向の他端側に設けられている。又、突起部６０Ｗ２は、空間８２のＹ方向の一端側に設けられ、突起部６０Ｗ３は空間８２のＹ方向の他端側に設けられている。言い換えれば、突起部６０Ｗ１及び６０Ｗ２は両側から空間８１を挟持するように設けられ、突起部６０Ｗ２及び６０Ｗ３は両側から空間８２を挟持するように設けられている。又、空間８１及び８２は、両側から突起部６０Ｗ２を挟持するように設けられている。
【００３５】
突起部６０Ｗ１に形成された有底孔（後述）は、空間８１と連通している。突起部６０Ｗ２に形成された有底孔は、空間８１及び８２と連通している。突起部６０Ｗ３に形成された有底孔は、空間８２と連通している。これにより、多孔質体６０内に浸透した作動流体Ｃが気化して生成される蒸気Ｃｖが、突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３から空間８１及び８２内に流出することができる。又、突起部６０Ｗ２は、蒸発器１０の略中央部に設けられているため、支柱としても機能する。これにより、例えば固相接合時の加圧により蒸発器１０が潰れることを防止できる。
【００３６】
空間８１は、有底溝８１ａと、貫通孔８１ｂと、貫通孔８１ｃと、有底溝８１ｄとが金属層の積層方向に連通して形成されている。空間８１の金属層の積層方向の一端側が有底溝８１ａが形成された部分の金属層６２で塞がれ、空間８１の金属層の積層方向の他方側が有底溝８１ｄが形成された部分の金属層６５で塞がれている。又、空間８２は、有底溝８２ａと、貫通孔８２ｂと、貫通孔８２ｃと、有底溝８２ｄとが金属層の積層方向に連通して形成されている。空間８２の金属層の積層方向の一端側が有底溝８２ａが形成された部分の金属層６２で塞がれ、空間８２の金属層の積層方向の他方側が有底溝８２ｄが形成された部分の金属層６５で塞がれている。
【００３７】
より詳しくは、空間８１及び８２において、金属層６２には、金属層６３側に開口する有底溝８１ａ及び８２ａが形成されている。又、金属層６３には、金属層６３を貫通する貫通孔８１ｂ及び８２ｂが形成されている。又、金属層６４には、金属層６４を貫通する貫通孔８１ｃ及び８２ｃが形成されている。又、金属層６５には、金属層６４側に開口する有底溝８１ｄ及び８２ｄが形成されている。
【００３８】
有底溝８１ａの最大開口部の幅と、貫通孔８１ｂの幅と、貫通孔８１ｃの幅と、有底溝８１ｄの最大開口部の幅とは略同一である。同様に、有底溝８２ａの最大開口部の幅と、貫通孔８２ｂの幅と、貫通孔８２ｃの幅と、有底溝８２ｄの最大開口部の幅とは略同一である。
【００３９】
有底溝８１ａ及び８２ａ、並びに有底溝８１ｄ及び８２ｄは、例えば、内壁面が湾曲面からなるかまぼこ型の凹形状とすることができる。
【００４０】
有底溝８１ａ及び８２ａ、並びに有底溝８１ｄ及び８２ｄのＹＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略半円形や略半楕円形とすることができる。ここで、略半円形とは、真円を二等分した半円のみでなく、例えば、半円よりも円弧が長いものや短いものも含む。又、略半楕円形とは、楕円を二等分した半楕円のみでなく、例えば、半楕円よりも円弧が長いものや短いものも含む。空間８１及び８２のＹＺ平面に平行な断面形状は、例えば、上側及び下側が凸型に湾曲した略矩形とすることができる。
【００４１】
突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３を含む多孔質体６０において、１層目の金属層６１（一方の最外金属層）及び６層目の金属層６６（他方の最外金属層）には、孔や溝は形成されていない（つまり、最外金属層はべた状である）。これに対して、金属層６２には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６２ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６２ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
【００４２】
有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６２ｚを形成している。又、Ｙ方向に交互に配置された有底孔６２ｘと有底孔６２ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６２ｚを形成している。
【００４３】
有底孔６２ｘ及び６２ｙの平面形状は、例えば、直径が１００〜３００μｍ程度の円形とすることができるが、楕円形や多角形等の任意の形状として構わない。有底孔６２ｘ及び６２ｙの深さは、例えば、金属層６２の厚さの半分程度とすることができる。Ｙ方向に隣接する有底孔６２ｘの間隔Ｌ１は、例えば、１００〜４００μｍ程度とすることができる。Ｘ方向に隣接する有底孔６２ｘの間隔についても同様である。Ｙ方向に隣接する有底孔６２ｙの間隔Ｌ２は、例えば、１００〜４００μｍ程度とすることができる。Ｘ方向に隣接する有底孔６２ｙの間隔についても同様である。
【００４４】
有底孔６２ｘ及び６２ｙのＸＺ平面に平行な断面形状及びＹＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略半円形や略半楕円形とすることができる。但し、有底孔６２ｘ及び６２ｙのＸＺ平面に平行な断面形状及びＹＺ平面に平行な断面形状は、底面側から開口側に向かって拡幅するテーパ形状や、底面に対して垂直な形状であっても構わない。
【００４５】
細孔６２ｚの短手方向の幅Ｗ３は、例えば、１０〜５０μｍ程度とすることができる。又、細孔６２ｚの長手方向の幅Ｗ４は、例えば、５０〜１５０μｍ程度とすることができる。
【００４６】
金属層６３には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６３ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６３ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
【００４７】
有底孔６３ｘと有底孔６３ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔６３ｘと有底孔６３ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔６３ｘと有底孔６３ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６３ｚを形成している。又、Ｙ方向に交互に配置された有底孔６３ｘと有底孔６３ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６３ｚを形成している。有底孔６３ｘ及び６３ｙ、細孔６３ｚの形状等は、例えば、有底孔６２ｘ及び６２ｙ、細孔６２ｚの形状等と同様とすることができる。
【００４８】
又、金属層６２の有底孔６２ｙと金属層６３の有底孔６３ｘとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６７ｚを形成している。
【００４９】
金属層６４には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６４ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６４ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
【００５０】
有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６４ｚを形成している。又、Ｙ方向に交互に配置された有底孔６４ｘと有底孔６４ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６４ｚを形成している。有底孔６４ｘ及び６４ｙ、細孔６４ｚの形状等は、例えば、有底孔６２ｘ及び６２ｙ、細孔６２ｚの形状等と同様とすることができる。
【００５１】
又、金属層６３の有底孔６３ｙと金属層６４の有底孔６４ｘとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６８ｚを形成している。
【００５２】
金属層６５には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６５ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔６５ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
【００５３】
有底孔６５ｘと有底孔６５ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔６５ｘと有底孔６５ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔６５ｘと有底孔６５ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６５ｚを形成している。又、Ｙ方向に交互に配置された有底孔６５ｘと有底孔６５ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６５ｚを形成している。有底孔６５ｘ及び６５ｙ、細孔６５ｚの形状等は、例えば、有底孔６２ｘ及び６２ｙ、細孔６２ｚの形状等と同様とすることができる。
【００５４】
又、金属層６４の有底孔６４ｙと金属層６５の有底孔６５ｘとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔６９ｚを形成している。
【００５５】
各金属層に形成された細孔同士は互いに連通しており、互いに連通する細孔は突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３を含む多孔質体６０内に三次元的に広がっている。そのため、作動流体Ｃは、毛細管力により、互いに連通する細孔内を三次元的に広がる。
【００５６】
但し、図４では、有底孔６２ｘと有底孔６３ｘと有底孔６４ｘと有底孔６５ｘ、及び有底孔６２ｙと有底孔６３ｙと有底孔６４ｙと有底孔６５ｙが平面視で重複する形態を例示しているが、これには限定されない。すなわち、互いに連通する細孔が突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３を含む多孔質体６０内に三次元的に広がる形態であれば、有底孔６２ｘと有底孔６３ｘと有底孔６４ｘと有底孔６５ｘとは必ずしも平面視で重複しなくてもよい。又、有底孔６２ｙと有底孔６３ｙと有底孔６４ｙと有底孔６５ｙとは必ずしも平面視で重複しなくてもよい。
【００５７】
このように、蒸発器１０には突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３を含む多孔質体６０が設けられている。蒸発器１０内の多孔質体６０のうち、液管４０寄りの部分には液相の作動流体Ｃが浸透する。この際、多孔質体６０から作動流体Ｃに作用する毛細管力が、ループ型ヒートパイプ１内で作動流体Ｃを循環させるポンピング力となる。
【００５８】
しかも、この毛細管力は蒸発器１０内の蒸気Ｃｖに対抗するため、蒸気Ｃｖが液管４０に逆流するのを抑制することが可能となる。
【００５９】
なお、液管４０には作動流体Ｃを注入するための注入口（図示せず）が形成されているが、注入口は封止部材により塞がれており、ループ型ヒートパイプ１内は気密に保たれる。
【００６０】
［第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法］
次に、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法について、空間及び多孔質体の製造工程を中心に説明する。図５及び図６は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図であり、図４（ｂ）に対応する断面を示している。
【００６１】
まず、図５（ａ）に示す工程では、図１の平面形状に形成された金属シート６２０を準備する。そして、金属シート６２０の上面にレジスト層３１０を形成し、金属シート６２０の下面にレジスト層３２０を形成する。金属シート６２０は、最終的に金属層６２となる部材であり、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から形成することができる。金属シート６２０の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。レジスト層３１０及び３２０としては、例えば、感光性のドライフィルムレジスト等を用いることができる。
【００６２】
次に、図５（ｂ）に示す工程では、金属シート６２０の空間８１、８２、及び８３（図５（ｂ）では図示せず）、並びに突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３を含む多孔質体６０を形成する領域において、レジスト層３１０及び３２０を露光及び現像する。これにより、金属シート６２０の上面を選択的に露出する開口部３１０ｘが形成され、金属シート６２０の下面を選択的に露出する開口部３２０ｘが形成される。開口部３１０ｘの形状及び配置は、図４に示した有底孔６２ｘの形状及び配置に対応するように形成する。又、開口部３２０ｘの形状及び配置は、図４に示した有底溝８１ａ及び８２ａ並びに有底孔６２ｙの形状及び配置に対応するように形成する。又、空間８３の一部となる部分には、レジスト層３１０の開口部３１０ｘとレジスト層３２０の開口部３２０ｘとを平面視で重複する位置に形成する。
【００６３】
次に、図５（ｃ）に示す工程では、開口部３１０ｘ内に露出する金属シート６２０を金属シート６２０の上面側からハーフエッチングすると共に、開口部３２０ｘ内に露出する金属シート６２０を金属シート６２０の下面側からハーフエッチングする。これにより、金属シート６２０の上面側に有底孔６２ｘが形成され、下面側に有底溝８１ａ及び８２ａ並びに有底孔６２ｙが形成される。又、表裏でＸ方向に交互に配置された開口部３１０ｘと開口部３２０ｘとは、平面視で部分的に重複しているため、重複する部分が連通して細孔６２ｚが形成される。又、空間８３の一部となる貫通孔が形成される。金属シート６２０のハーフエッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。
【００６４】
次に、図５（ｄ）に示す工程では、レジスト層３１０及び３２０を剥離液により剥離する。これにより、金属層６２が完成する。
【００６５】
次に、図６（ａ）に示す工程では、孔や溝が形成されていないベタ状の金属層６１及び６６を準備する。又、金属層６２と同様の方法により、金属層６３〜６５を形成する。金属層６３〜６５に形成される有底溝、貫通孔、有底孔、及び細孔の位置は、例えば、図４に示した通りとすることができる。なお、金属層６３及び６４に貫通孔８１ｂ及び８１ｃ並びに貫通孔８２ｂ及び８２ｃを形成するには、レジスト層３１０の開口部３１０ｘとレジスト層３２０の開口部３２０ｘとを平面視で重複する位置に形成してエッチングを行えばよい。又、空間８３の一部となる貫通孔を形成するには、レジスト層３１０の開口部３１０ｘとレジスト層３２０の開口部３２０ｘとを平面視で重複する位置に形成してエッチングを行えばよい。
【００６６】
次に、図６（ｂ）に示す工程では、図６（ａ）に示す順番で各金属層を積層し、加圧及び加熱により固相接合を行う。これにより、隣接する金属層同士が直接接合され、蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、及び液管４０を有するループ型ヒートパイプ１が完成する。そして、蒸発器１０には、空間８１、８２、及び８３を含む空間８０、並びに突起部６０Ｗ１、６０Ｗ２、及び６０Ｗ３を含む多孔質体６０が形成される。その後、真空ポンプ等を用いて液管４０内を排気した後、図示しない注入口から液管４０内に作動流体Ｃを注入し、その後注入口を封止する。
【００６７】
ここで、固相接合とは、接合対象物同士を溶融させることなく固相（固体）状態のまま加熱して軟化させ、更に加圧して塑性変形を与えて接合する方法である。なお、固相接合によって隣接する金属層同士を良好に接合できるように、金属層６１〜６６の全ての材料を同一にすることが好ましい。
【００６８】
このように、各金属層の両面側から形成した有底孔を部分的に連通させて各金属層内に細孔を設ける構造とすることで、貫通孔が形成された金属層同士を貫通孔が部分的に重複するように積層する従来の細孔の形成方法の問題点を解消できる。すなわち、金属層同士を積層する際の位置ずれや、金属層を複数積層する際の加熱処理の際の金属層の膨張及び収縮による位置ずれが生じることがなく、一定の大きさの細孔を金属層内に形成できる。
【００６９】
これにより、細孔の大きさがばらついて細孔により発現する毛細管力が低下することを防止可能となり、蒸発器１０から液管４０に蒸気Ｃｖが逆流することを抑制する効果を安定的に得ることができる。
【００７０】
又、金属層同士を積層する部分では、隣接する有底孔全体を重複させる構造とすることで、金属層同士が接する面積を大きくできるため、強固な接合が可能となる。
【００７１】
ここで、比較例を交えながら、蒸発器１０に形成された空間８１及び８２に有底溝を設けたことの効果について説明する。
【００７２】
図７は、比較例に係るループ型ヒートパイプの蒸発器の構造を例示する断面図である。図７（ａ）に示すように、比較例に係る蒸発器１０Ｚは、空間８１及び８２が空間９１及び９２に置換された点が、蒸発器１０と相違する。
【００７３】
空間９１は、貫通孔９１ａと、貫通孔９１ｂと、貫通孔９１ｃと、貫通孔９１ｄとが連通して形成されている。又、空間９２は、貫通孔９２ａと、貫通孔９２ｂと、貫通孔９２ｃと、貫通孔９２ｄとが連通して形成されている。そして、空間９１及び９２において、金属層の積層方向の一端側が金属層６１の下面で塞がれ、金属層の積層方向の他端側が金属層６６の上面で塞がれている。
【００７４】
より詳しくは、空間９１及び９２において、金属層６２には、金属層６２を貫通する貫通孔９１ａ及び９２ａが形成されている。又、金属層６３には、金属層６３を貫通する貫通孔９１ｂ及び９２ｂが形成されている。又、金属層６４には、金属層６４を貫通する貫通孔９１ｃ及び９２ｃが形成されている。又、金属層６５には、金属層６５を貫通する貫通孔９１ｄ及び９２ｄが形成されている。貫通孔９１ａの幅と、貫通孔９１ｂの幅と、貫通孔９１ｃの幅と、貫通孔９１ｄの幅とは略同一である。同様に、貫通孔９２ａの幅と、貫通孔９２ｂの幅と、貫通孔９２ｃの幅と、貫通孔９２ｄの幅とは略同一である。
【００７５】
このように、空間９１及び９２は、金属層６２〜６５に形成された貫通孔同士が連通してなり、金属層６２及び６５に有底溝は形成されていない。そのため、空間９１及び９２において、金属層の積層方向の一端側を塞ぐ部分の金属層６１と、金属層の積層方向の他端側を塞ぐ部分の金属層６６の強度が十分ではない。その結果、以下のような問題が生じる。
【００７６】
すなわち、蒸発器１０Ｚの表面には、発熱部品が熱伝導接着剤等を介して搭載されるが、発熱部品が発熱すると、蒸発器１０Ｚ内の作動流体Ｃが発熱部品１２０で発生した熱により気化して蒸気Ｃｖが生成される。蒸発器１０Ｚ内で蒸気Ｃｖが生成されると、蒸発器１０Ｚ内の気圧が部分的に高くなる。特に、突起部（櫛歯）の間に位置する空間９１及び９２が最も瞬間的に気圧が高くなる場所である。そのため、蒸発器１０Ｚ内で蒸気Ｃｖが生成されると、空間９１及び９２を塞ぐ部分の金属層６１及び６６が内部の気圧に耐え切れず、図７（ｂ）に示すように両外側に膨らむように変形する場合がある。蒸発器１０Ｚが変形すると、蒸発器１０Ｚの表面と熱伝導接着剤等との間に隙間が発生し、発熱部品から蒸発器１０Ｚへの熱輸送効率が著しく低下する等の不具合が発生する場合がある。
【００７７】
一方、本実施の形態では、空間８１の金属層の積層方向の一端側には有底溝８１ａが形成され、空間８１の金属層の積層方向の他端側には有底溝８１ｄが形成されている。又、空間８２の金属層の積層方向の一端側には有底溝８２ａが形成され、空間８２の金属層の積層方向の他端側には有底溝８２ｄが形成されている。すなわち、空間８１の一端側は金属層６１及び補強部となる有底溝８１ａが形成された部分の金属層６２により塞がれ、空間８１の他端側は金属層６６及び補強部となる有底溝８１ｄが形成された部分の金属層６５により塞がれている。又、空間８２の一端側は金属層６１及び補強部となる有底溝８２ａが形成された部分の金属層６２により塞がれ、空間８２の他端側は金属層６６及び補強部となる有底溝８１ｄが形成された部分の金属層６５により塞がれている。
【００７８】
これにより、空間８１及び８２の一端側及び他端側を塞ぐ部分の金属層の強度が向上するため、蒸発器１０内で蒸気Ｃｖが生成されても、空間８１及び８２を塞ぐ部分の金属層が内部の気圧に耐えることが可能となり、蒸発器１０が変形することを防止できる。その結果、蒸発器１０の表面と熱伝導接着剤等との間に隙間が発生しないため、発熱部品から蒸発器１０への熱輸送効率が低下する等の不具合が発生することを防止できる。
【００７９】
特に、補強部となる有底溝８１ａ及び８２ａ並びに有底溝８１ｄ及び８２ｄを、内壁面が湾曲面からなる凹形状とすることにより、有底溝８１ａ及び８２ａ並びに有底溝８１ｄ及び８２ｄに均一に圧力がかかるようになる。その結果、空間８１及び８２を、より変形に強い構造とすることができる。
【００８０】
又、金属層の積層数が多く空間が広いほど、気圧が高い状態で使用するので、多孔質体６０における金属層の積層数が多くなるほど補強部を設ける意義が高くなる。
【００８１】
なお、両側の最外金属層を内層を構成する金属層よりも厚くすることにより強度を向上して変形を防止する方法も考えられるが、蒸発器全体が厚くなる点で好ましくない。一方、有底溝８１ａ及び８２ａ並びに有底溝８１ｄ及び８２ｄを補強部とする方法は、両側の最外金属層を内層を構成する金属層よりも厚くしなくても（例えば、全金属層を同じ厚さにしても）、空間を塞ぐ部分の金属層の強度を向上できる点で好ましい。すなわち、蒸発器全体を厚くすることなく、空間を塞ぐ部分の金属層の強度を向上できる点で好ましい。
【００８２】
〈第２の実施の形態〉
第２の実施の形態では、第１の実施の形態とは断面形状の異なる空間を有する蒸発器の例を示す。なお、第２の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００８３】
図８は、第２の実施の形態に係る蒸発器内に設けられる多孔質体及び空間を例示する図であり、図８（ａ）は図４（ａ）に対応する部分拡大平面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面を示している。但し、図８（ｂ）は、図８（ａ）では図示を省略していた多孔質体６０の一方の最外層（最上層）となる金属層６１も含めた断面図である。なお、蒸発器１０Ａの全体図は、図３と同様であるため、図示は省略する。
【００８４】
図８に示す蒸発器１０Ａは、空間８１及び８２が空間８１Ａ及び８２Ａに置換された点が、蒸発器１０（図４等参照）と相違する。
【００８５】
空間８１Ａは、有底溝８１ａ１、８１ａ２、及び８１ａ３と、貫通孔８１ｂと、貫通孔８１ｃと、有底溝８１ｄ１、８１ｄ２、及び８１ｄ３とが連通して形成されている。又、空間８２Ａは、有底溝８２ａ１、８２ａ２、及び８２ａ３と、貫通孔８２ｂと、貫通孔８２ｃと、有底溝８２ｄ１、８２ｄ２、及び８２ｄ３とが連通して形成されている。
【００８６】
より詳しくは、金属層６２内において、有底溝８１ａ１、８１ａ２、及び８１ａ３は、長手方向をＸ方向に向けてＹ方向に配列され、金属層６３側に開口して平面方向（Ｙ方向）に連通している。又、金属層６２内において、有底溝８２ａ１、８２ａ２、及び８２ａ３は、長手方向をＸ方向に向けてＹ方向に配列され、金属層６３側に開口して平面方向（Ｙ方向）に連通している。
【００８７】
金属層６５内において、有底溝８１ｄ１、８１ｄ２、及び８１ｄ３は、長手方向をＸ方向に向けてＹ方向に配列され、金属層６４側に開口して平面方向（Ｙ方向）に連通している。又、金属層６５内において、有底溝８２ｄ１、８２ｄ２、及び８２ｄ３は、長手方向をＸ方向に向けてＹ方向に配列され、金属層６４側に開口して平面方向（Ｙ方向）に連通している。
【００８８】
Ｙ方向に連通する有底溝８１ａ１、８１ａ２、及び８１ａ３の最大開口部の幅と、貫通孔８１ｂの幅と、貫通孔８１ｃの幅と、Ｙ方向に連通する有底溝８１ｄ１、８１ｄ２、及び８１ｄ３の最大開口部の幅とは、略同一である。同様に、Ｙ方向に連通する有底溝８２ａ１、８２ａ２、及び８２ａ３の最大開口部の幅と、貫通孔８２ｂの幅と、貫通孔８２ｃの幅と、Ｙ方向に連通する有底溝８２ｄ１、８２ｄ２、及び８２ｄ３の最大開口部の幅とは、略同一である。
【００８９】
有底溝８１ａ１、８１ａ２、８１ａ３、８１ｄ１、８１ｄ２、及び８１ｄ３、並びに有底溝８２ａ１、８２ａ２、８２ａ３、８２ｄ１、８２ｄ２、及び８２ｄ３は、例えば、内壁面が湾曲面からなるかまぼこ型の凹形状とすることができる。
【００９０】
有底溝８１ａ１、８１ａ２、８１ａ３、８１ｄ１、８１ｄ２、及び８１ｄ３、並びに有底溝８２ａ１、８２ａ２、８２ａ３、８２ｄ１、８２ｄ２、及び８２ｄ３のＹＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略半円形や略半楕円形とすることができる。
【００９１】
このように、補強部となる有底溝のＹＺ平面に平行な断面形状は、１つの略円形や略楕円形としてもよいし、略円形や略楕円形が互いに連通しながらＹ方向に複数個配列された形状としてもよい。
【００９２】
但し、１つの略円形や略楕円形の流路を形成する場合には、隣接する金属層に各々１つの略半円形や略半楕円形の有底溝をハーフエッチングにより形成する必要がある。１つの略半円形や略半楕円形の有底溝をハーフエッチングにより形成する場合、深さ方向と幅方向とが同時にエッチングされるため、金属層の厚さに対して有底溝の幅が制限される。そのため、Ｙ方向に幅広の補強部を形成することは困難である。
【００９３】
これに対して、略円形や略楕円形が互いに連通しながらＹ方向に複数個配列された形状の補強部を形成する場合には、ハーフエッチングにより形成する略半円形や略半楕円形の１つの有底溝の幅が制限されたとしても問題とはならない。ハーフエッチングにより１つの有底溝の幅が制限されたとしても、複数の有底溝を互いに連通しながらＹ方向に配列することで、Ｙ方向に幅広の補強部を容易に形成できるからである。すなわち、１つの有底溝の幅が制限されたとしても、連通させる有底溝の数を変えることで、空間及び補強部のＹ方向の幅を容易に調整することができる。
【００９４】
なお、図８の例では、流路のＹＺ平面に平行な断面形状を略円形や略楕円形が互いに連通しながらＹ方向に３個配列された補強部を例示したが、これには限定されない。例えば、ＹＺ平面に平行な断面形状を略円形や略楕円形が互いに連通しながらＹ方向に２個配列された補強部としてもよいし、４個以上配列された補強部としてもよい。
【００９５】
〈変形例１〉
変形例１では、厚さ方向に連通する有底孔の大きさを変える例を示す。なお、変形例１において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００９６】
図９は、厚さ方向に連通する有底孔の大きさを変える例を示す図である。図９に示すように、例えば、金属層６２において、有底孔６２ｘの大きさを有底孔６２ｙの大きさよりも大きくし、複数の有底孔６２ｙを平面視で有底孔６２ｘの周囲に配置してもよい。
【００９７】
このように、一部の有底孔のサイズを大型化することで、空間体積が広くなるため、有底孔内を流れる作動流体Ｃの圧力損失を低減できる。
【００９８】
以上は、金属層６２を例にして説明したが、金属層６３〜６５についても図９を参照して説明した金属層６２と同様の構造とすることができる。
【００９９】
又、変形例１は、第１及び第２の実施の形態について適用することができる。
【０１００】
〈変形例２〉
変形例２では、多孔質体が有底孔に加えて溝を有する例を示す。なお、変形例２において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【０１０１】
図１０は、１つの金属層に有底孔と溝を設ける例を示す図である。図１０に示すように、例えば、金属層６２において、上面側から中央部側に窪む溝１０２ｘと、下面側から中央部側に窪む溝１０２ｙとを設けてもよい。図１０において、１つの溝１０２ｘにより隣接する有底孔６２ｘ同士が連通し、１つの溝１０２ｙにより隣接する有底孔６２ｙ同士が連通する。溝１０２ｘ及び１０２ｙは、有底孔と同様にハーフエッチングにより形成することができる。なお、溝１０２ｘと溝１０２ｙとは連通していない。
【０１０２】
このように、隣接する有底孔同士を溝を介して連通させることにより、作動流体Ｃの浸透性を補助することができる。なお、溝１０２ｘと溝１０２ｙのうち何れか一方のみを設けた場合にも、一定の効果を得ることができる。
【０１０３】
以上は、金属層６２を例にして説明したが、金属層６３〜６５についても図１０を参照して説明した金属層６２と同様の構造とすることができる。
【０１０４】
又、変形例２は、第１及び第２の実施の形態について適用することができる。  以上、好ましい実施の形態について詳説したが、上述した実施の形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形及び置換を加えることができる。
【０１０５】
例えば、有底孔の配置は、上述した実施の形態（平面図）に限定されず、様々に変形・変更することが可能である。
【０１０６】
又、例えば、多孔質体の突起部は、積層された金属層のうち最外金属層を除く、金属層の全てに形成されていなくてもよい。金属層が６層積層された構造の場合、例えば、３層目と５層目のみ突起部が形成されていてもよい。
【符号の説明】
【０１０７】
１  ループ型ヒートパイプ
１０、１０Ａ  蒸発器
１０ｘ  貫通孔
２０  凝縮器
３０  蒸気管
４０  液管
４０Ｔ、６０  多孔質体
５０  流路
６１〜６６  金属層
６２ｘ〜６６ｘ、６１ｙ〜６５ｙ  有底孔
６１ｚ〜６６ｚ  細孔
６０Ｗ１、６０Ｗ２、６０Ｗ３  突起部
６０Ｖ  連結部
８０、８１、８１Ａ、８２、８２Ａ、８３  空間
８１ａ、８１ｄ、８１ａ１、８１ａ２、８１ａ３、８１ｄ１、８１ｄ２、８１ｄ３、８２ａ、８２ｄ、８２ａ１、８２ａ２、８２ａ３、８２ｄ１、８２ｄ２、８２ｄ３  有底溝
８１ｂ、８１ｃ、８２ｂ、８２ｃ  貫通孔
１０２ｘ、１０２ｙ  溝
【図１】
2019207083.tif 000003
【図２】
2019207083.tif 000004
【図３】
2019207083.tif 000005
【図４】
2019207083.tif 000006
【図５】
2019207083.tif 000007
【図６】
2019207083.tif 000008
【図７】
2019207083.tif 000009
【図８】
2019207083.tif 000010
【図９】
2019207083.tif 000011
【図１０】
2019207083.tif 000012