(57)【要約】【課題】棒状種結晶への加工時のダメージが小さく、保持具から種結晶が落下し難く、育成された単結晶にクラックが入り難い棒状種結晶保持具を提供すること。【解決手段】保持具本体１が、基端側に雄螺子部がそれぞれ設けられた第一半筒体10a並びに第二半筒体10bと、雄螺子部と螺合する雌螺子部が設けられ上記半筒体を一体化する固定具20とで構成されると共に、一体化された第一と第二半筒体の先端側内壁面に４本の凸條12が設けられ、棒状種結晶外周面の先端側から基端側近傍までの領域で上記凸條形成部に対応した部位に切欠き部が形成されており、種結晶における切欠き部終端側の段差面が第一と第二半筒体の内壁面に設けられた凸條の基端側端面に係合して棒状種結晶が保持されるようになっていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の保持具本体内に棒状種結晶を収容し、該棒状種結晶の先端側を原料融液に接触させ、かつ、その中心軸を回転軸にして棒状種結晶を回転させながら単結晶を育成する回転引き上げ法に使用される棒状種結晶保持具において、
上記保持具本体が、その中心軸を通る平面で二分割されかつ基端側における各半外周面に雄螺子部が設けられた第一半筒体並びに第二半筒体と、これ等半筒体の上記雄螺子部と螺合する雌螺子部が内壁面に設けられかつ上記第一半筒体と第二半筒体を接合させてこれ等半筒体を連結一体化する固定具とで構成され、該固定具により連結一体化された第一半筒体と第二半筒体の先端側における内壁面の軸対称位置となる部位には少なくとも２本の凸條が設けられていると共に、第一半筒体と第二半筒体が一体化される前に組み込まれる棒状種結晶外周面の先端側から基端側近傍までの領域でかつ第一半筒体と第二半筒体内壁面の上記凸條形成部に対応した部位には上記凸條との接触を防止する切欠き部が形成されており、上記棒状種結晶における切欠き部終端側の段差面が第一半筒体と第二半筒体内壁面における上記凸條の基端側端面に係合して連結一体化された第一半筒体と第二半筒体内に棒状種結晶が保持されるようになっていることを特徴とする棒状種結晶保持具。
【請求項２】
上記棒状種結晶が横断面矩形状を有しており、該棒状種結晶の外周面における４箇所の長尺角部に上記切欠き部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の棒状種結晶保持具。
【請求項３】
上記棒状種結晶が横断面略円形状を有しており、該棒状種結晶の円周面における中心角が９０度となる４箇所に上記切欠き部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の棒状種結晶保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、坩堝内の原料融液に棒状種結晶を接触させ、該種結晶を回転させながらタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3；以下、ＬＴと略称する）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3；以下、ＬＮと略称する）等の単結晶を育成する回転引き上げ法に係り、特に、加工時における棒状種結晶へのダメージが小さく、かつ、単結晶育成中に保持具から棒状種結晶が落下し難いと共に、育成された単結晶を保持具から取り出すときに単結晶にクラックが入り難い棒状種結晶保持具の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＴやＬＮ等の単結晶は、主に移動体通信機器において電気信号ノイズを除去する表面弾性波素子（ＳＡＷフィルター）の材料として用いられている。
【０００３】
また、ＬＴ、ＬＮ等の単結晶は、産業的には主にチョクラルスキー法（以下、Ｃｚ法と略称する）等の回転引き上げ法により育成されており、この種の回転引き上げ法は、例えば図１０に示す単結晶育成装置を用いて行われている。
【０００４】
この育成装置ａは、外側が保温材ｂにより覆われ内部に単結晶用原料ｃが投入される坩堝ｄと、保温材ｂの外側に配置され坩堝ｄ内の単結晶用原料ｃを加熱する高周波加熱コイルｅと、先端に棒状種結晶ｆが保持される棒状種結晶保持具ｇと、棒状種結晶保持具ｇが連結され該棒状種結晶保持具ｇを回転させながら昇降する引き上げ軸（図示せず）とでその主要部が構成されており、これ等構成部材は図示外の密封された圧力容器（育成炉）内に組込まれている。
【０００５】
そして、この育成装置ａを用いてＬＴ等の単結晶を育成するには、まず、坩堝ｄ内に単結晶用原料ｃを投入し充填した後、高周波加熱コイルｅに通電して上記坩堝ｄを発熱させ、坩堝ｄ内の単結晶用原料ｃをその融点以上の温度に加熱して融解させ、かつ、引き上げ軸を降下させて融解した原料融液の中心部にＬＴ等の棒状種結晶ｆを接触させる。そして、高周波加熱コイルｅに通電する高周波電力を調節して原料融液を徐々に固化させると同時に、上記棒状種結晶ｆを回転させながら上昇させるという操作を連続的に行うことにより種結晶と同一方位の大型単結晶ｈが製造される。
【０００６】
尚、棒状種結晶の回転速度や引上速度は、育成する結晶の種類、育成時の温度環境に依存し、それら条件に応じて適切に選定する必要がある。また、上述したように棒状種結晶ｆは棒状種結晶保持具ｇによって保持され、更に、棒状種結晶保持具ｇは図示外の引き上げ軸（ロッド）下端に吊り下げられた構造になっている。そして、棒状種結晶保持具は、耐熱性や強度の面からイリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）等金属製のものを使用することが多い。
【０００７】
また、近年のスマートホン等の普及により移動体通信機器用のＳＡＷフィルター市場は拡大を続けており、これに伴ってＳＡＷフィルターの材料となるＬＴ、ＬＮ等の単結晶基板の需要も伸びている。そして、ＳＡＷフィルター製造プロセスのコストダウンを図るため、ＬＴ、ＬＮ等の単結晶基板のサイズも、従来のφ３インチから、φ４インチ、φ６インチへと大面積化が進み、育成結晶が大型化している。更に、結晶の大型に伴って、結晶育成の成功率（すなわち、単結晶化率）向上が望まれている。
【０００８】
ところで、上記単結晶化率を向上させるには、単結晶育成中における棒状種結晶の落下率を減少させる必要があり、従来、各種の棒状種結晶保持具が開発されている。
【０００９】
例えば、特許文献１においては図１１に示す棒状種結晶保持具が提案されている。
【００１０】
この棒状種結晶保持具ｇは、棒状種結晶ｆを収容する種結晶挿入孔ｉと、種結晶保持ピンｋが嵌入されるピン孔ｊを有しており、切欠き部ｌが形成された棒状種結晶ｆを種結晶挿入孔ｉに収容し、該棒状種結晶ｆの切欠き部ｌに位置整合された種結晶保持ピンｋをピン孔ｊから嵌入して棒状種結晶ｆが保持される構造になっている。但し、特許文献１の棒状種結晶保持具ｇにおいては、種結晶保持ピンｋに係合させる切欠き部ｌを棒状種結晶ｆの外周面全体に形成する必要があることから種結晶の断面積が減少し、かつ、切欠き部ｌの加工量が多いことから種結晶に微細なクラックが入り易い欠点があった。このため、結晶育成中にクラックに起因する種結晶の折れが発生し、棒状種結晶が落下して上記単結晶化率を低下させてしまう問題を有していた。
【００１１】
また、特許文献２においては図１２に示す棒状種結晶保持具が提案されている。
【００１２】
この棒状種結晶保持具ｇは、基端側に較べ貫通孔の先端側が小径に加工されたテーパ部ｍを有しており、貫通孔の基端側から挿入される棒状種結晶ｆが貫通孔のテーパ部ｍを利用して保持されるようにするため、棒状種結晶ｆ外周面が上記テーパ部ｍ形状に対応した形状に加工された構造になっている。このため、特許文献１と同様、棒状種結晶ｆ外周面をテーパ形状に加工する際、種結晶に与えるダメージが大きく、かつ、テーパ形状に加工する手間と費用も必要となる問題を有していた。更に、育成された単結晶（図示せず）を保持具ｇから取り出す際、単結晶は、棒状種結晶ｆの先端から下方へ向けて成長しているため、棒状種結晶ｆと単結晶との界面で棒状種結晶ｆを折って取り出す必要があり、そのストレスにより単結晶にクラックが入り易い問題を有していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００１−０８０９９０号公報
【特許文献２】特開２００５−０２９４３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、加工時における棒状種結晶へのダメージが小さく、かつ、単結晶育成中に保持具から棒状種結晶が落下し難いと共に、育成された単結晶を保持具から取り出すときに単結晶にクラックが入り難い棒状種結晶保持具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
すなわち、本発明に係る第１の発明は、
筒状の保持具本体内に棒状種結晶を収容し、該棒状種結晶の先端側を原料融液に接触させ、かつ、その中心軸を回転軸にして棒状種結晶を回転させながら単結晶を育成する回転引き上げ法に使用される棒状種結晶保持具において、
上記保持具本体が、その中心軸を通る平面で二分割されかつ基端側における各半外周面に雄螺子部が設けられた第一半筒体並びに第二半筒体と、これ等半筒体の上記雄螺子部と螺合する雌螺子部が内壁面に設けられかつ上記第一半筒体と第二半筒体を接合させてこれ等半筒体を連結一体化する固定具とで構成され、該固定具により連結一体化された第一半筒体と第二半筒体の先端側における内壁面の軸対称位置となる部位には少なくとも２本の凸條が設けられていると共に、第一半筒体と第二半筒体が一体化される前に組み込まれる棒状種結晶外周面の先端側から基端側近傍までの領域でかつ第一半筒体と第二半筒体内壁面の上記凸條形成部に対応した部位には上記凸條との接触を防止する切欠き部が形成されており、上記棒状種結晶における切欠き部終端側の段差面が第一半筒体と第二半筒体内壁面における上記凸條の基端側端面に係合して連結一体化された第一半筒体と第二半筒体内に棒状種結晶が保持されるようになっていることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明に係る第２の発明は、
第１の発明に記載の棒状種結晶保持具において、
上記棒状種結晶が横断面矩形状を有しており、該棒状種結晶の外周面における４箇所の長尺角部に上記切欠き部が形成されていることを特徴とし、
第３の発明は、
第１の発明に記載の棒状種結晶保持具において、
上記棒状種結晶が横断面略円形状を有しており、該棒状種結晶の円周面における中心角が９０度となる４箇所に上記切欠き部が形成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る棒状種結晶保持具によれば、
保持具本体が、その中心軸を通る平面で二分割されかつ基端側における各半外周面に雄螺子部が設けられた第一半筒体並びに第二半筒体と、これ等半筒体の上記雄螺子部と螺合する雌螺子部が内壁面に設けられかつ上記第一半筒体と第二半筒体を接合させてこれ等半筒体を連結一体化する固定具とで構成され、該固定具により連結一体化された第一半筒体と第二半筒体の先端側における内壁面の軸対称位置となる部位には少なくとも２本の凸條が設けられていると共に、第一半筒体と第二半筒体が一体化される前に組み込まれる棒状種結晶外周面の先端側から基端側近傍までの領域でかつ第一半筒体と第二半筒体内壁面の上記凸條形成部に対応した部位には上記凸條との接触を防止する切欠き部が形成されており、上記棒状種結晶における切欠き部終端側の段差面が第一半筒体と第二半筒体内壁面における上記凸條の基端側端面に係合して連結一体化された第一半筒体と第二半筒体内に棒状種結晶が保持されるようになっていることを特徴としている。
【００１８】
そして、棒状種結晶の外周面に形成する切欠き部の加工箇所が、先端側から基端側近傍までの領域でかつ固定具により連結一体化された第一半筒体と第二半筒体内壁面の凸條形成部に対応した部位に限定されるため、特許文献１〜２の棒状種結晶保持具と比較して加工時における種結晶のダメージを低減させることができると共に単結晶育成中における棒状種結晶の落下を低減することが可能となる。
【００１９】
更に、第一半筒体と第二半筒体における基端側の各半外周面に設けられた雄螺子部と固定具内壁面に設けられた雌螺子部との螺合を解いて上記固定具を取り外すことで一体化された第一半筒体と第二半筒体が分離され、これにより第一半筒体と第二半筒体内に組み込まれた棒状種結晶を取り出すことが可能となる。
【００２０】
従って、育成された単結晶を保持具から取り出す際、棒状種結晶と単結晶との界面で棒状種結晶を折る必要がないため、ストレスに起因した単結晶のクラック発生を回避することが可能となる。
【００２１】
このため、結晶育成の成功率（単結晶化率）を向上でき、種結晶の加工時間、加工費用も低減できると共に、単結晶の生産性向上とコストダウンが図れる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態に係る棒状種結晶保持具を示し、図１（Ａ）その上面図、図１（Ｂ）はその側面図、図１（Ｃ）はその底面図。
【図２】実施の形態に係る棒状種結晶保持具の斜め上方側から観た概略斜視図。
【図３】実施の形態に係る棒状種結晶保持具の斜め下方側から観た概略斜視図。
【図４】上記棒状種結晶保持具の一部を構成する固定具を示し、図４（Ａ）はその上面図、図４（Ｂ）はその側面図、図４（Ｃ）はその底面図。
【図５】上記棒状種結晶保持具の一部を構成する第一半筒体並びに第二半筒体を示し、図５（Ａ）はその上面図、図５（Ｂ）はその側面図、図５（Ｃ）はその底面図。
【図６】図６（Ａ）は加工前における棒状種結晶の斜視図、図６（Ｂ）は外周面における４箇所の長尺角部に切欠き部が形成されかつ実施の形態に係る棒状種結晶保持具に収納される棒状種結晶の斜視図。
【図７】実施の形態に係る棒状種結晶保持具の第一半筒体と第二半筒体内に棒状種結晶が保持された状態を示す説明図。
【図８】実施の形態に係る棒状種結晶保持具の変形例を示し、図８（Ａ）は変形例に係る棒状種結晶保持具の上面図、図８（Ｂ）はその側面図、図８（Ｃ）はその底面図。
【図９】図９（Ａ）は固定具の変形例に係る側面図、図９（Ｂ）は第一半筒体と第二半筒体の変形例に係る側面図。
【図１０】回転引き上げ法に適用される単結晶育成装置の概略構成を示す説明図。
【図１１】特許文献１に係る種結晶保持具の説明図。
【図１２】特許文献２に係る種結晶保持具の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２４】
尚、図１は実施の形態に係る棒状種結晶保持具を示し、図１（Ａ）はその上面図、図１（Ｂ）はその側面図、図１（Ｃ）はその底面図、図２は上記棒状種結晶保持具の斜め上方側から観た概略斜視図、図３は上記棒状種結晶保持具の斜め下方側から観た概略斜視図であり、図４は実施の形態に係る棒状種結晶保持具の一部を構成する固定具を示し、図４（Ａ）はその上面図、図４（Ｂ）はその側面図、図４（Ｃ）はその底面図、図５は実施の形態に係る棒状種結晶保持具の一部を構成する第一半筒体並びに第二半筒体を示し、図５（Ａ）はその上面図、図５（Ｂ）はその側面図、図５（Ｃ）はその底面図であり、また、図６（Ａ）は加工前における棒状種結晶の斜視図、図６（Ｂ）は外周面における４箇所の長尺角部に切欠き部が形成されかつ実施の形態に係る棒状種結晶保持具に収納される棒状種結晶の斜視図を示す。
【００２５】
すなわち、この実施の形態に係る棒状種結晶保持具は、図１〜図５に示すように保持具本体１が、その中心軸を通る平面で二分割されかつ基端側における各半外周面に雄螺子部１１が設けられた第一半筒体１０ａ並びに第二半筒体１０ｂと、これ等半筒体１０ａ、１０ｂの雄螺子部１１と螺合する雌螺子部２１が内壁面に設けられかつ上記第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂを接合させてこれ等半筒体１０ａ、１０ｂを連結一体化する固定具２０とで構成され、該固定具２０により連結一体化された第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂの先端側における内壁面の軸対称位置（上記中心軸を中央にして互いに向かい合う位置）となる部位（本実施の形態では内壁面の互いに向かい合う４箇所の隅部）に凸條１２が形成された構造になっている。尚、図１〜図４の符号２２は、図示外の引き上げ軸（ロッド）に棒状種結晶保持具が連結される際に使用される連結孔を示している。
【００２６】
また、第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂが一体化される前に組み込まれる棒状種結晶３は、図６（Ａ）に示すように直方体形状（すなわち、横断面矩形状）を有しており、かつ、図６（Ｂ）に示すように棒状種結晶３外周面の先端側から基端側近傍までの領域でかつ固定具２０により連結一体化された第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂ内壁面の凸條１２形成部に対応した部位（すなわち、棒状種結晶３の外周面における４箇所の長尺角部３０）に、凸條１２との接触を防止する切欠き部３１が形成されている。
【００２７】
そして、第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂが一体化される前に第一半筒体１０ａまたは第二半筒体１０ｂの半筒内に棒状種結晶３を収容し、第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂを接合させた後、図７に示すように第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂの基端側から固定具２０を嵌め込み、かつ、第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂの雄螺子部１１に上記固定具２０の雌螺子部２１を螺合させて第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂを連結一体化することにより、棒状種結晶３の切欠き部３１終端側における段差面３１ａ（図６Ｂ参照）が、第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂの内壁面に形成された凸條１２の基端側端面に係合し固定されるため、連結一体化された第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂの筒部１３内に棒状種結晶３を保持させることが可能となる。
【００２８】
実施の形態に係る棒状種結晶保持具を用いた場合、棒状種結晶３の外周面に形成する切欠き部３１の加工箇所が、先端側から基端側近傍までの領域でかつ固定具２０により連結一体化された第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂ内壁面の凸條１２形成部に対応した部位（図６Ｂに示すように棒状種結晶３における４箇所の長尺角部）に限定されるため、特許文献１〜２で提案された従来の棒状種結晶保持具と比較して加工時における種結晶のダメージを低減させることが可能となり、この結果、上記クラックに起因した種結晶の折れ等が防止されることから単結晶育成中における棒状種結晶の落下を低減（単結晶化率を向上）させることが可能となる。
【００２９】
更に、第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂにおける基端側の各半外周面に設けられた雄螺子部１１と固定具２０の内壁面に設けられた雌螺子部２１との螺合を解いて上記固定具２０を取り外すことで一体化された第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂが分離され、これにより第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂ内に組み込まれた棒状種結晶３を取り出すことが可能となる。このため、棒状種結晶３の下端側に育成された単結晶を保持具から取り出す際、棒状種結晶３と単結晶との界面で棒状種結晶３を折る必要がなくなり、この結果、ストレスに起因した単結晶のクラック発生も回避することが可能となる。
【００３０】
ところで、この実施の形態に係る棒状種結晶保持具においては、固定具２０により連結一体化された第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂの先端側における内壁面の軸対称位置となる部位（互いに向かい合う４箇所の隅部）に凸條１２が形成された構造になっているが、図８（Ｃ）に示すように連結一体化された第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂの先端側における内壁面の軸対称位置となる部位（互いに向かい合う２箇所の隅部）に凸條１２を形成する構造に変更してもよい。この場合、棒状種結晶３の切欠き部３１終端側における段差面３１ａと係合する凸條１２基端側の端面数が、図１に示す「４箇所」から図８に示す「２箇所」に変更される関係上、棒状種結晶３に対する棒状種結晶保持具の保持力は若干低下する。このため、棒状種結晶３下端側に育成する結晶の目的重量に対応させて、図１に示す棒状種結晶保持具とするか、あるいは図８に示す棒状種結晶保持具とするかについて適宜選択することが望ましい。尚、図８に示す棒状種結晶保持具が選択された場合、第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂの筒部１３内に収容される棒状種結晶３については、図６（Ｂ）に示した「４箇所」の長尺角部に切欠き部３１が形成された棒状種結晶であってもよいし、あるいは、図８に示す凸條１２の個数に対応させて「２箇所」の長尺角部に切欠き部３１が形成された棒状種結晶であってもよい。
【００３１】
また、本実施の形態に係る棒状種結晶保持具においては、第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂを一体化して形成される筒部１３と雄螺子部１１を形成する基端側の半外周面が、図５（Ｂ）に示すように内壁面１００で仕切られる構造になっているが、図９（Ｂ）に示すように上記内壁面１００を設けない構造に変更してもよい。この場合、上記雄螺子部１１が形成される半外周内側を筒部１３の一部として利用できるため、その分、棒状種結晶保持具の長さ寸法を低減することが可能となる。
【００３２】
更に、本実施の形態に係る棒状種結晶保持具においては、一体化された第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂにおける筒部１３の横断面形状が矩形状（図１Ｃ参照）となっているが、筒部１３の横断面形状を円形状に変更しかつ第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂの先端側における内壁面の軸対称位置となる部位に４個若しくは２個の凸條１２を形成した構造に変更してもよい。この場合、上記筒部１３内に収容される棒状種結晶３の横断面形状も円形状であることを要し、かつ、第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂの内壁面に形成される凸條１２が４個に設定される場合には、棒状種結晶３の円周面における中心角が９０度となる４箇所に切欠き部３１が形成されることを要する。
【実施例】
【００３３】
以下、本発明の実施例について比較例を挙げて具体的に説明するが、本発明の技術的範囲が下記実施例の内容に限定されるものではない。
【００３４】
［実施例１］
図１〜図５に示した実施の形態に係る棒状種結晶保持具と同一構造を有する棒状種結晶保持具を作製した。尚、棒状種結晶保持具の材質はイリジウム（Ｉｒ）とした。
【００３５】
他方、図６（Ｂ）に示す構造のタンタル酸リチウム種結晶（１０ｍｍ角×８ｃｍ）を用意した。また、タンタル酸リチウム種結晶における４箇所の長尺角部３０に形成した切欠き部３１の深さ寸法は、連結一体化した第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂの内壁面における４箇所の隅部に設けられた凸條１２の高さ寸法より深くし、更に、無加工部分を２ｃｍ残した（すなわち、タンタル酸リチウム種結晶の先端側から６ｃｍまでの長尺角部に切欠き部を形成した）。切欠き部の加工時間は「作業者平均１０分/人」以内に終了した。
【００３６】
そして、実施例１に係る棒状種結晶保持具と切欠き部が形成されたタンタル酸リチウム種結晶を用いてチョクラルスキー法によるタンタル酸リチウム単結晶の育成を行ったところ、種結晶の落下率は１％（１００回の育成間に１回落下した）であった。
【００３７】
また、上記種結晶の下端側に育成された単結晶を取り出す際、固定具２０による一体化を解いて第一半筒体１０ａと第二半筒体１０ｂを分離し、その後、種結晶と共に単結晶を取り出した。
【００３８】
そして、育成された単結晶の外観について目視による確認を行ったが、クラックの発生は確認できなかった（１００個中０個）。
【００３９】
また、次工程以降において、クラックに起因した不具合は発生しなかった。
【００４０】
［比較例１］
特許文献１の種結晶保持ピンを用いた従来のイリジウム（Ｉｒ）製棒状種結晶保持具を用いてチョクラルスキー法によるタンタル酸リチウム単結晶の育成を行った。
【００４１】
そして、図１１に示す種結晶の加工時間は「作業者平均４０分/人」を要した。また、種結晶の落下率は４％（１００回の育成間に４回落下した）であった。
【００４２】
また、棒状種結晶の下端側に育成された単結晶については、棒状種結晶と単結晶の界面付近を折って取り出したところ、１００個中５個の単結晶において上記界面付近に小さなクラックが確認され、かつ、５個の内、２個は次工程以降でクラックに起因した不具合が生じた。
【００４３】
［確  認］
実施例１と比較例１の結果から、種結晶の加工時間を「３０分／回」削減でき、かつ、結晶育成時における落下率を４％から１％に向上できることが確認された。
【００４４】
更に、実施例１においては、育成された単結晶にダメージを与えることなく取り出すことが可能となり、次工程以降の結晶生存率も向上できることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明に係る棒状種結晶保持具によれば、加工時における棒状種結晶へのダメージが小さく、単結晶育成中に保持具から棒状種結晶が落下し難く、かつ、育成された単結晶を保持具から取り出すときに単結晶にクラックが入り難いため、例えば、チョクラルスキー法によりタンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム単結晶を育成する際の種結晶保持具に適用される産業上の利用可能性を有している。
【符号の説明】
【００４６】
１  保持具本体
３  棒状種結晶
１１  雄螺子部
１２  凸條
１３  筒部
２０  固定具
２１  雌螺子部
２２  連結孔
３０  長尺角部
３１  切欠き部
１０ａ  第一半筒体
１０ｂ  第二半筒体
３１ａ  切欠き部終端側の段差面
１００  内壁面
【図１】
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【図２】
2019001693.tif 000004
【図３】
2019001693.tif 000005
【図４】
2019001693.tif 000006
【図５】
2019001693.tif 000007
【図６】
2019001693.tif 000008
【図７】
2019001693.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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