(57)【要約】【課題】孔の内周面を短時間で良好に撮像する。【解決手段】撮像対象物の表面から孔形成方向に形成された孔の内周面を照明するための照明光を発光する光源と、複数の折返ミラーを有し、複数の折返ミラーがそれぞれ内周面のうち孔形成方向において互いに異なる領域に照明光を導光するとともに領域で反射される反射光を孔から取り出すように孔に挿入された状態で孔形成方向と平行な回転軸まわりに回転するヘッド部と、単位時間当たりの回転角がヘッド部の半分の回転角となるように回転軸まわりに回転しながらヘッド部から取り出された複数の反射光を撮像部に向けて導光して撮像部で撮像される像の向きを一定に維持する像回転補正部と、像回転補正部から出射される反射光毎に、像回転補正部から撮像部までの反射光の光路長をヘッド部における複数の反射光の光路長差に応じて調整しながら撮像部に導光する光路長差補正部とを備えている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像対象物の表面から孔形成方向に形成された孔の内周面を撮像部により撮像する撮像装置であって、
前記内周面を照明するための照明光を発光する光源と、
複数の折返ミラーを有し、前記複数の折返ミラーがそれぞれ前記内周面のうち前記孔形成方向において互いに異なる領域に前記照明光を導光するとともに前記領域で反射される反射光を前記孔から取り出すように前記孔に挿入された状態で前記孔形成方向と平行な回転軸まわりに回転するヘッド部と、
単位時間当たりの回転角が前記ヘッド部の半分の回転角となるように前記回転軸まわりに回転しながら前記ヘッド部から取り出された前記複数の反射光を前記撮像部に向けて導光して前記撮像部で撮像される像の向きを一定に維持する像回転補正部と、
前記像回転補正部から出射される前記反射光毎に、前記像回転補正部から前記撮像部までの前記反射光の光路長を前記ヘッド部における前記複数の反射光の光路長差に応じて調整しながら前記撮像部に導光する光路長差補正部と
を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
請求項１に記載の撮像装置であって、
前記撮像部は、撮像素子と、前記光路長差補正部から出射された前記複数の反射光を前記撮像素子に入射させて前記内周面を前記撮像素子上に結像する光学系とを有し、
前記光源から発光された前記照明光は、前記光学系、前記光路長差補正部、前記像回転補正部および前記ヘッド部を介して前記内周面に照射される撮像装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の撮像装置であって、
前記複数の折返ミラーは前記孔形成方向と直交する平面内において互いに異なる位置に配置される撮像装置。
【請求項４】
請求項３に記載の撮像装置であって、
前記複数の折返ミラーのうち前記像回転補正部から最も離れた折返ミラーを先端折返ミラーとするとともに、前記先端折返ミラーにより取り出された前記反射光を先端反射光とするとき、
前記光路長差補正部は、前記先端反射光の光路から外れて配置される光路変更ミラーを有し、前記像回転補正部から出射してくる前記複数の反射光のうち前記先端反射光以外の前記反射光を前記光路変更ミラーで反射して光路を変更して前記撮像部に導光する一方、前記先端反射光をそのまま前記撮像部に導光して光路長を調整する撮像装置。
【請求項５】
請求項４に記載の撮像装置であって、
前記複数の折返ミラーのうち前記先端折返ミラー以外の折返ミラーは前記先端折返ミラーの面法線に対して傾斜した面法線を有し、前記反射光を前記光路変更ミラーに導光する撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、撮像対象物の表面から孔形成方向に形成された孔の内周面を撮像する撮像装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
金属製部品、樹脂製部品やゴム製部品などの立体的なワークの一つとして、ワークの表面から孔（凹部や貫通孔などを含む）が設けられたものがある。例えば円盤状の金属プレートの表面に対して円筒形状の孔を切削加工により形成した場合、その孔の内周面が所望の周面状態で形成されているか否かを検査する必要がある。そこで、例えば特許文献１に記載の撮像装置を用いて孔の内周面を撮像するとともに、当該撮像装置により得られた画像に基づいてワークを検査する検査技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−４９６２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の撮像装置では、ワークの孔に挿脱自在な鏡筒が上下方向に延設されている。この鏡筒の下端側には、鏡筒の軸線に対して４５゜傾けた状態で対物ミラーが配置されており、鏡筒の軸線に沿って上方から下方に向かう照明光を水平方向に折り返して孔の内周面に照射する。また、孔の内周面で反射された反射光は対物ミラーで上方に折り返され、調光部を介してカメラユニットに受光される。これによって、孔の内周面の部分画像がカメラユニットにより撮像される。
【０００５】
この撮像装置では、孔の内周面を全周にわたって撮像するために、鏡筒および対物ミラーは軸線まわりに回転される。また、鏡筒から出射される反射光は上記回転に伴って軸線まわりに回転することから上記調光部を軸線まわりに回転させている。このような構成を採用することで、カメラユニットに入射する光が軸線まわりに回転するのを防止し、カメラユニットにより撮像される像の向きが一定に維持される。こうして、鏡筒および対物ミラーの挿入高さ位置で孔の内周面の全周画像を良好に撮像することが可能となっている。
【０００６】
ただし、上下方向における対物ミラーのサイズに比べて十分に深い孔について内周面の全周画像を撮像するためには、鏡筒および対物ミラーの挿入高さ位置を多段階に切り替えながら、各挿入高さ位置で鏡筒および対物ミラーを回転させるとともに当該回転に同期して調光部を回転させつつカメラユニットによる全周画像の撮像を繰り返して行う必要がある。したがって、孔の内周面の撮像に多大な時間を要することがある。
【０００７】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、孔の内周面を短時間で良好に撮像することができる撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係る撮像装置は、撮像対象物の表面から孔形成方向に形成された孔の内周面を撮像部により撮像する撮像装置であって、内周面を照明するための照明光を発光する光源と、複数の折返ミラーを有し、複数の折返ミラーがそれぞれ内周面のうち孔形成方向において互いに異なる領域に照明光を導光するとともに領域で反射される反射光を孔から取り出すように孔に挿入された状態で孔形成方向と平行な回転軸まわりに回転するヘッド部と、単位時間当たりの回転角がヘッド部の半分の回転角となるように回転軸まわりに回転しながらヘッド部から取り出された複数の反射光を撮像部に向けて導光して撮像部で撮像される像の向きを一定に維持する像回転補正部と、像回転補正部から出射される反射光毎に、像回転補正部から撮像部までの反射光の光路長をヘッド部における複数の反射光の光路長差に応じて調整しながら撮像部に導光する光路長差補正部とを備えることを特徴としている。
【０００９】
このように構成した発明では、孔に挿入されたヘッド部には複数の折返ミラーが設けられ、それぞれ内周面のうち孔形成方向において互いに異なる領域に照明光を導光するとともに領域で反射される反射光を孔から取り出す。そして、各反射光が撮像部に導光される。このため、一度に孔形成方向において互いに異なる複数の領域について孔の内周面を撮像することが可能となっている。
【００１０】
また、上記のように複数の折返ミラーをヘッド部に設けることでヘッド部では複数の反射光の間で光路長差が生じるが、それらの反射光が撮像部に入射されるまでに光路長差補正部が、像回転補正部から出射される反射光毎に、像回転補正部から撮像部までの反射光の光路長を調整する。このため、いずれの反射光についても内周面から撮像部までの光路長は等しくなり、各領域について孔の内周面を良好に撮像することが可能となっている。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように、ヘッド部に複数の折返ミラーを設けるとともに、それに伴って発生するヘッド部での反射光の光路長差を光路長差補正部で調整しているため、孔の内周面を短時間で良好に撮像することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】この発明に係る撮像装置の一実施形態を示す図である。
【図２】図１に示す撮像装置の主要構成であるヘッド部、像回転補正部および光路長差補正部を模式的に示す図である。
【図３】貫通孔の内周面で反射された光が撮像部に導光される光路を模式的に示す図である。
【図４】撮像部の主要構成を示す図である。
【図５】図３に示す光路長差補正部、像回転補正部およびヘッド部をＺ方向から見た平面図である。
【図６】図３に示す光路長差補正部、像回転補正部およびヘッド部をＹ方向から見た側面図である。
【図７】図３に示す光路長差補正部、像回転補正部およびヘッド部をＸ方向から見た側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１はこの発明に係る撮像装置の一実施形態を示す図である。図２は図１に示す撮像装置の主要構成であるヘッド部、像回転補正部および光路長差補正部を模式的に示す図である。図３は、貫通孔の内周面で反射された光、つまり反射光が撮像部に導光される光路を模式的に示す図である。この撮像装置１００は、円盤状の金属プレートの中央部に表面１１から裏面１２に貫通孔１３が穿設されたワーク１を撮像対象物とし、当該ワーク１の裏面１２をワーク保持テーブル２で保持した状態でワーク１の貫通孔１３の内周面１４を撮像する装置である。なお、以下の各図において、貫通孔１３が形成された孔形成方向を「Ｚ方向」としている。
【００１４】
撮像装置１００では、ワーク保持テーブル２に保持されたワーク１の貫通孔１３に対してヘッド部３が（＋Ｚ）方向から挿脱自在に設けられている。そして、ワーク１の撮像を行う際には、図１および図３に示すように、ヘッド部３がワーク１の貫通孔１３に挿入される。また、ヘッド部３の上方、つまり（＋Ｚ）方向には、像回転補正部４、光路長差補正部５および撮像部６がこの順序で設けられるとともに、撮像部６の側面には光源７が取り付けられている。
【００１５】
光源７は貫通孔１３の内周面１４を照明するための照明光を発光する。そして、図１に示すように、光源７から発光された照明光ＩＬが撮像部６に設けられたハーフミラー６１に向けて照射される。照明光ＩＬはハーフミラー６１により（−Ｚ）方向に折り返され、さらに光路長差補正部５および像回転補正部４を介してヘッド部３に入射する。このヘッド部３では、照明光ＩＬは（−Ｘ）方向に折り返され、貫通孔１３の内周面１４に照射される。
【００１６】
一方、貫通孔１３の内周面１４で反射された反射光は（＋Ｘ）方向に進み、ヘッド部３で（＋Ｚ）方向に折り返され、ワーク１の貫通孔１３から取り出される。そして、当該反射光は像回転補正部４および光路長差補正部５を介して撮像部６に入射され、ハーフミラー６１を通過して撮像素子６２で受光される。これにより撮像部６は貫通孔１３の内周面１４のうち照明光ＩＬの照射を受けた領域を撮像する。
【００１７】
本実施形態では、図２に示すように、ヘッド部３は２つの折返ミラー３１、３２を有している。折返ミラー３１、３２はＺ方向に相互にずれて配置されている。より詳しくは、折返ミラー３２は折返ミラー３１よりも（−Ｚ）方向にずれて配置され、Ｚ方向において先端側に位置している。つまり、折返ミラー３２が本発明の「先端折返ミラー」の一例に相当している。また、Ｘ方向およびＺ方向に対して直交するＹ方向においても折返ミラー３２は折返ミラー３１よりも（−Ｙ）方向にずれている。このため、図３に示すように、内周面１４のうちＺ方向において互いに異なる２つの領域Ｒ１、Ｒ２に照明光ＩＬ（図１）がそれぞれ折返ミラー３１、３２を介して照射されるとともに、領域Ｒ１、Ｒ２で反射される反射光ＲＬ１、ＲＬ２がそれぞれ折返ミラー３１、３２を介して貫通孔１３から取り出される。これらの反射光のうち反射光ＲＬ２が本発明の「先端反射光」の一例に相当している。
【００１８】
また、図３における符号Ａ１は領域Ｒ１での照明光ＩＬの反射位置を示し、符号Ａ２は領域Ｒ２での照明光ＩＬの反射位置を示している。また、図３における符号Ｂ１は折返ミラー３１のミラー面３１１で反射光ＲＬ１を折り返している折返位置であり、符号Ｂ２は折返ミラー３２のミラー面３２１で反射光ＲＬ２を折り返している折返位置である。なお、本実施形態では、ミラー面３１１の面法線がミラー面３１２の面法線に対して僅かながら傾斜するように折返ミラー３１、３２は設けられており、反射光ＲＬ２はＺ方向に出射する一方、反射光ＲＬ１はＹ方向において反射光ＲＬ２から徐々に離れながら進む（図７参照）が、その理由については後で詳述する。
【００１９】
また、このように２つの折返ミラー３１、３２を有するヘッド部３はＺ方向と平行に延びる貫通孔１３の中心軸１３ａを回転軸として折返ミラー３１、３２が一体的に回転自在となっている。また、ヘッド部３は図１および図２に示すようにヘッド回転駆動部３３と機械的に接続されている。このため、装置全体を制御する制御部９からの回転指令に応じてヘッド回転駆動部３３が作動すると、ヘッド部３が中心軸１３ａまわりに回転する。その結果、上記領域Ｒ１、Ｒ２が内周面１４の周方向に移動してヘッド部３を１回転させることで貫通孔１３の内周面１４の全周にわたって反射光ＲＬ１、ＲＬ２が取り出される。
【００２０】
このようにヘッド部３を回転させると、その回転に応じて反射光ＲＬ１、ＲＬ２も回転する。そこで、本実施形態に係る撮像装置１００においても、特許文献１の調光部と同様の構成を有する像回転補正部４が設けられている。像回転補正部４は３枚の補正用ミラー４１〜４３で構成されるとともに、貫通孔１３の中心軸１３ａを回転軸として補正用ミラー４１〜４３が一体的に回転自在となっている。また、像回転補正部４は図１および図２に示すように像回転駆動部４４と機械的に接続されている。そして、制御部９からの回転指令に応じて像回転駆動部４４が作動すると、像回転補正部４が中心軸１３ａまわりに回転する。ただし、その回転速度、つまり単位時間当たりの回転角θがヘッド部３の半分の回転角（θ／２）となるように回転制御される。その結果、反射光ＲＬ１、ＲＬ２は回転せず、そのまま光路長差補正部５を介して撮像部６に導光され、撮像部６により撮像される像の向きは一定に維持される。なお、像回転補正部４の構成および動作は、特許文献１に詳述されているため、本明細書での像回転補正部４の構成および動作の説明は省略する。
【００２１】
ここで、像回転補正部４から出射した反射光ＲＬ１、ＲＬ２の光路長を比較すると、ヘッド部３において折返ミラー３２が折返ミラー３１よりも像回転補正部４から離れている、つまり先端側に配置されているため、反射光ＲＬ２の光路長が反射光ＲＬ１の光路長よりも長くなっている。このため、像回転補正部４から出射した反射光ＲＬ１、ＲＬ２をそのまま撮像部６に入射してしまうと、領域Ｒ１、Ｒ２の間で、フォーカスのずれが生じ、画像を一括して良好に撮像することが困難である。そこで、本実施形態では、２枚の光路変更ミラー５１、５２を組み合わせた光路長差補正部５が像回転補正部４と撮像部６との間に介挿されている。
【００２２】
光路長差補正部５は、図２および図３に示すように、反射光ＲＬ２の光路からＹ方向に外れて配置されて反射光ＲＬ１のみを反射する光路変更ミラー５１と、光路変更ミラー５１で折り返された反射光ＲＬ１を撮像部６に向けて折り返す光路変更ミラー５２とを備えている。このため、光路長差補正部５では、図３に示すように、光路変更ミラー５１の反射位置Ｃ１および光路変更ミラー５２の反射位置Ｄ１で反射光ＲＬ１の折り返しを行った分だけ反射光ＲＬ１の光路長が反射光ＲＬ２の光路長よりも長くなる。つまり、本実施形態では、像回転補正部４から出射される反射光ＲＬ１、ＲＬ２毎に、像回転補正部４から撮像部６までの反射光の光路長をヘッド部３における反射光ＲＬ１、ＲＬ２の光路長差に応じて調整している。これによって、反射位置Ａ１から撮像部６への入射位置Ｅ１（図３）までの反射光ＲＬ１の光路長と、反射位置Ａ２から撮像部６への入射位置Ｅ２（図３）までの反射光ＲＬ２の光路長とをほぼ一致させることが可能となっている。なお、その解析は後で図５ないし図７を参照しつつ説明する。
【００２３】
図４は撮像部の主要構成を示す図である。撮像部６は、上記したハーフミラー６１および撮像素子６２以外に、２枚のレンズ６３１、６３２と絞り６３３とで構成される光学系６３を有しており、いわゆる物体側テレセントリックを構成するとともに反射光ＲＬ１、ＲＬ２をそれぞれ撮像素子６２の撮像面６２１に集光させて各領域Ｒ１、Ｒ２の像を撮像面６２１上に結像する。また、図４への図示を省略しているが、撮像装置１００では上記したように光源７からの照明光ＩＬを撮像部６、光路長差補正部５、像回転補正部４およびヘッド部３を介して貫通孔１３の内周面１４に照射する、いわゆる同軸落射照明系となっている。このため、次のような作用効果が得られる。
【００２４】
上記したようにワーク１は金属製であり、貫通孔１３は切削加工などにより形成され、その内周面１４については比較的高い精度が要求されることが多い。このため、内周面１４は鏡面に近い状態となっている。このような内周面１４に傷や欠けなどの欠陥部が存在すると、当該欠陥部において散乱光が発生する。逆に、欠陥部以外の部位では鏡面状態が維持されており、当該鏡面部位からの散乱光成分は少ない。したがって、本実施形態のように物体側テレセントリックであるという特徴と同軸落射照明を採用しているという特徴とを兼ね備えることで、反射光ＲＬ１、ＲＬ２は正反射光となり、仮に欠陥部が存在する場合には撮像部６により撮像される像に欠陥部が明瞭に含まれる。その結果、欠陥部が存在するか否かを容易に検査することが可能となっている。
【００２５】
以上のように、本実施形態によれば、Ｚ方向において互いに異なる位置に折返ミラー３１、３２を配置したヘッド部３をワーク１の貫通孔１３に挿入している。そして、その挿入状態のまま内周面１４のうちＺ方向において互いに異なる領域Ｒ１、Ｒ２に照明光ＩＬを導光するとともに領域Ｒ１、Ｒ２で反射される反射光ＲＬ１、ＲＬ２を貫通孔１３から取り出し、撮像部６の撮像素子６２で受光している。このため、貫通孔１３の内周面１４に含まれる２つの領域Ｒ１、Ｒ２を同時に撮像することが可能となっており、貫通孔１３の内周面１４を短時間で撮像することができる。
【００２６】
また、２つの折返ミラー３１，３２をヘッド部３に設けることでヘッド部３では反射光ＲＬ１、ＲＬ２の間で光路長差が生じるが、光路長差補正部５を設けることで図４に示すように反射光ＲＬ１、ＲＬ２のいずれについても内周面１４から撮像部６における物体側のレンズ６３１に入射するまでの光路長は、次に詳細説明するように装置仕様から数個の寸法や値を適切に決めることで、等しく設定することができ、各領域Ｒ１、Ｒ２についてフォーカスを一致させ貫通孔１３の内周面１４を良好に撮像することができる。
【００２７】
次に、内周面１４から撮像部６における物体側のレンズ６３１に入射するまでの光路長について図３、図５ないし図７を参照しつつ詳述する。図５は図３に示す光路長差補正部５、像回転補正部４およびヘッド部３をＺ方向から見た平面図、つまりＸＹ平面図である。また、図６は図３に示す光路長差補正部５、像回転補正部４およびヘッド部３をＹ方向から見た側面図、つまりＸＺ平面図である。さらに、図７は図３に示す光路長差補正部５、像回転補正部４およびヘッド部３をＸ方向から見た側面図、つまりＹＺ平面図である。なお、図５および図７においては像回転補正部４の図示を省略している。また、図５〜図７における符号ｄｘ、ｄｙ１、ｄｙ２、ｄｚ、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、ｒｗはそれぞれ以下のとおりである。
【００２８】
ｄｘ：Ｘ方向における光路変更ミラー５１、５２のミラー間距離、
ｄｙ１：Ｙ方向における折返ミラー３１、３２のミラー間距離、
ｄｙ２：Ｙ方向における折返ミラー３１と光路変更ミラー５１とのミラー間距離、
ｄｚ：Ｚ方向における折返ミラー３１、３２のミラー間距離、
Ｌ１：Ｚ方向における折返ミラー３１と光路変更ミラー５１とのミラー間距離（ただし、補正用ミラー４１〜４３による反射光の折り返しを含む）、
Ｌ２：Ｚ方向における光路変更ミラー５１、５２のミラー間距離、
Ｌ３：Ｚ方向における光路変更ミラー５２とレンズ６３１の入射面との距離、
ｒｗ：内周面１４の半径、
α１：ＹＺ平面内での折返ミラー３１の反射角、
α２ｘ：ＸＺ平面内での光路変更ミラー５１の反射角、
α２ｙ：ＹＺ平面内での光路変更ミラー５１の反射角。
【００２９】
ここでは、まず反射光ＲＬ１の光路長について検討する。反射光ＲＬ１は図６に示すように位置Ａ１−位置Ｂ１−（像回転補正部４）−位置Ｃ１−位置Ｄ１−位置Ｅ１という光路で撮像部６に入射される。このため、互いに隣接する位置間の距離は次式で示す通りである。
【数１】
2019207188.tif 000003
【００３０】
一方、反射光ＲＬ２は図６に示すように位置Ａ２−位置Ｂ２−（像回転補正部４）−位置Ｃ２−位置Ｄ２−位置Ｅ２という光路で撮像部６に入射される。このため、互いに隣接する位置間の距離は次式で示す通りである。
【数２】
2019207188.tif 000004
【００３１】
そして、反射光ＲＬ１、ＲＬ２の光路長を等しくするためには、次式を満足する必要がある。
【数３】
2019207188.tif 000005
【００３２】
これに上述の数１および数２を代入してＺ方向における光路変更ミラー５１、５２のミラー間距離Ｌ２について整理すると、次式が得られる。
【数４】
2019207188.tif 000006
【００３３】
他方、ＹＺ平面内での折返ミラー３１の反射角α１、ＸＺ平面内での光路変更ミラー５１の反射角α２ｘ、およびＹＺ平面内での光路変更ミラー５１の反射角α２ｙは図６や図７から明らかなように次式で表される。
【数５】
2019207188.tif 000007
【００３４】
よって、撮像装置１００の各部仕様から、距離ｄｘ、ｄｙ１、ｄｙ２、ｄｚ、Ｌ１、Ｌ３を決めると、反射光ＲＬ１、ＲＬ２の光路長を等しくするという条件からＺ方向における光路変更ミラー５１、５２のミラー間距離Ｌ２が求まる。しかも、上記した反射角の式から反射角α１、α２ｘ、α２ｙが一義的に決まる。こうして、光路長差補正部５、像回転補正部４およびヘッド部３の各部の具体的な構成を決定することができ、これにしたがって組み立てられた撮像装置１００では、２本の反射光ＲＬ１、ＲＬ２を撮像部６で受光することで内周面１４を短時間で撮像することができるだけでなく、貫通孔１３の内周面１４を良好に撮像することができる。
【００３５】
また、上記したようにミラー面３１１の面法線がミラー面３１２の面法線に対して僅かながら傾斜するように折返ミラー３１、３２を配置して反射角α１を設けている。これによって、光路長差補正部５に入射してくる反射光ＲＬ１、ＲＬ２はＹ方向に分離され、反射光ＲＬ２が光路変更ミラー５１の側方を通過して撮像部６に導光されるとともに反射光ＲＬ１が光路変更ミラー５１、５２で折り返された後で撮像部６に導光する。その結果、反射光ＲＬ１、ＲＬ２は物体側開口数に応じた広がりを有しているものの、上記したように反射光ＲＬ１、ＲＬ２を分離して所望の光路に沿って導光することができる。
【００３６】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、ヘッド部３に２つの折返ミラー３１、３２を設け、Ｚ方向において互いに異なる２つの領域Ｒ１、Ｒ２を同時に撮像しているが、折返ミラーの個数は３以上であってもよい。要は、複数の折返ミラーがそれぞれ内周面１４のうちＺ方向において互いに異なる領域に照明光ＩＬを導光するとともに領域で反射される反射光を貫通孔１３から取り出すように構成してもよい。この場合、折返ミラーの個数の増大に伴って光路長差補正部５に設ける光路変更ミラーの個数も増大させればよい。
【００３７】
また、上記実施形態では、貫通孔１３が形成されたワーク１を本発明の「撮像対象物」としているが、表面１１から金属プレートの厚みよりも浅い凹部が形成されたワークを撮像することも可能である。つまり、本発明の「孔」は貫通孔および凹部の両方を含む。また、ワークの材質は金属材料に限定されるものではなく、セラミック材料、樹脂材料やゴム材料であってもよく、種々のワークを撮像対象物として撮像可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
この発明は、撮像対象物の表面から孔形成方向に形成された孔の内周面を撮像する撮像装置全般に適用することができる。
【符号の説明】
【００３９】
１…ワーク（撮像対象物）
３…ヘッド部
４…像回転補正部
５…光路長差補正部
６…撮像部
７…光源
１１…（ワークの）表面
１３…貫通孔
１４…（貫通孔の）内周面
３１…折返ミラー
３２…（先端）折返ミラー
５１，５２…光路変更ミラー
６３…光学系
１００…撮像装置
ＩＬ…照明光
Ｒ１，Ｒ２…領域
ＲＬ１…反射光
ＲＬ２…（先端）反射光
Ｚ…孔形成方向
θ…回転角
【図１】
2019207188.tif 000008
【図２】
2019207188.tif 000009
【図３】
2019207188.tif 000010
【図４】
2019207188.tif 000011
【図５】
2019207188.tif 000012
【図６】
2019207188.tif 000013
【図７】
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