(57)【要約】      （修正有）【課題】液体供給流路内にフィルターを設けた場合でも、液体供給流路に液体を適正に充填できる液体噴射装置、液体噴射装置の充填方法を提供する。【解決手段】ノズル開口４４を有する液体噴射部４１と、液体供給源１０１からノズル開口４４に液体を供給可能な液体供給流路と、第１フィルター２１１を有する第１フィルター部２１０と、を備え、液体が充填されていない状態の液体供給流路内に液体を充填する充填動作において、第１上流側フィルター室２１２と第１下流側フィルター室２１３との間に発生する最大圧力差は、第１フィルター２１１の上流側が液体で第１フィルター２１１の下流側が気体である第１気液界面を破壊する第１圧力差より大きく、かつ第１フィルター２１１の上流側が気体で第１フィルター２１１の下流側が液体である第２気液界面を破壊する第２圧力差より小さい。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口を有する液体噴射部と、
液体供給源から前記液体噴射部の前記ノズル開口に前記液体を供給可能な液体供給流路と、
流体が通過可能な複数の孔が設けられて異物を捕集するフィルターを有し、前記液体供給流路の一部を構成するフィルター部と、
を備え、
前記液体供給流路において、前記液体供給源側を上流側、前記ノズル開口側を下流側とした場合、前記下流側の圧力が前記上流側の圧力より低くなるように圧力を作用させて、前記液体が充填されていない状態の前記液体供給流路内に前記液体供給源内の前記液体を充填する充填動作において、前記フィルター部における前記フィルターの上流側となる上流側フィルター室と前記フィルターの下流側となる下流側フィルター室との間に発生する最大圧力差は、前記フィルターの上流側が前記液体で該フィルターの下流側が気体である場合に前記孔に形成される気液界面を破壊する圧力差より大きく、かつ前記フィルターの上流側が前記気体で該フィルターの下流側が前記液体である場合に前記孔に形成される気液界面を破壊する圧力差より小さいことを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
前記フィルターが捕集可能な異物の大きさは、前記ノズル開口の最小寸法より小さいことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記フィルターを第１フィルターとし、前記フィルター部を第１フィルター部としたとき、
前記第１フィルター部よりも上流側に位置し、前記液体供給流路の一部を構成する第２フィルター部をさらに備え、
前記第２フィルター部は、前記流体が通過可能な複数の孔が設けられて異物を捕集する第２フィルターを有し、
前記第２フィルターが捕集可能な異物の大きさは、前記第１フィルターが捕集可能な異物の大きさよりも大きく、かつ前記ノズル開口の最小寸法より小さいことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記上流側フィルター室内の流体を前記下流側フィルター室を経由せずに前記上流側フィルター室の外部へ排出可能な流体流路を備えることを特徴とする請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項５】
前記上流側フィルター室内の前記流体を該上流側フィルター室の外部へ排出する排出動作において、
前記フィルター部よりも前記ノズル開口側の前記液体供給流路に作用する圧力が、前記ノズル開口が開口する空間の圧力より低くなる場合、
前記ノズル開口に形成される気液界面の上流側と前記空間側との間に発生する最大圧力差は、前記ノズル開口に形成される前記気液界面を破壊する圧力差より小さいことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射装置。
【請求項６】
前記フィルター部とは異なる第３フィルター部と、
前記第３フィルター部に接続される排出流路と、
をさらに備え、
前記流体流路は、一端が前記上流側フィルター室と接続され、他端が前記液体供給流路において前記上流側フィルター室より上流側に接続され、前記液体供給流路と共に前記液体が循環する循環流路を形成し、
前記第３フィルター部は、異物を捕集するフィルターを有し、前記循環流路の一部を構成して交換可能であり、
前記排出流路は、前記流体を前記循環流路の外部へ排出可能であることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の液体噴射装置。
【請求項７】
液体を噴射するノズル開口を有する液体噴射部と、
液体供給源から前記液体噴射部の前記ノズル開口に前記液体を供給可能な液体供給流路と、
流体が通過可能な複数の孔が設けられて異物を捕集するフィルターを有し、前記液体供給流路の一部を構成するフィルター部と、
を備える液体噴射装置において、
前記液体供給流路における前記液体供給源側を上流側、前記ノズル開口側を下流側とした場合、前記下流側の圧力が前記上流側の圧力より低くなるように圧力を作用させて、前記液体が充填されていない状態の前記液体供給流路内に前記液体供給源内の前記液体を充填する充填方法であって、
前記フィルター部における前記フィルターの上流側となる上流側フィルター室と前記フィルターの下流側となる下流側フィルター室との間に発生する最大圧力差は、前記フィルターの上流側が前記液体で該フィルターの下流側が気体である場合に前記孔に形成される気液界面を破壊する圧力差より大きく、かつ前記フィルターの上流側が前記気体で該フィルターの下流側が前記液体である場合に前記孔に形成される気液界面を破壊する圧力差より小さいことを特徴とする液体噴射装置の充填方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリンターなどの液体噴射装置、液体噴射装置の充填方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置の一例として、インクカートリッジ（液体供給源）からインク流路（液体供給流路）を介して供給されたインク（液体）を記録ヘッド（液体噴射部）から記録用紙に吐出（噴射）して印刷するインクジェット式の記録装置がある（例えば特許文献１）。記録装置は、記録ヘッドをキャッピングするキャップ部材と、キャップ部材の内部空間に負圧を与えて記録ヘッドからインクを吸引する吸引ポンプと、を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１２７４５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
インク流路はテーパ状空間部を有し、このテーパ状空間部には、フィルター部材（フィルター）が設けられている。このようなインク流路にインクを充填すると、フィルター部材よりも上流側のテーパ状空間部（上流側フィルター室）には、気泡（気体）が残留することがある。
【０００５】
そのため、記録装置は、吸引ポンプを駆動して気泡がフィルター部材に接する程度の低流速でインクを吸引した後、気泡がフィルター部材を通過する高流速でインクを吸引し、気泡を記録ヘッドから排出していた。しかし、記録ヘッドから気泡を排出させると、気泡の一部が排出されずに記録ヘッド内に残り、インクの吐出が不安定になることがある。
【０００６】
こうした課題は、インク流路に設けられたフィルター部材を備える記録装置に限らず、液体供給流路に設けられたフィルターを備える液体噴射装置、液体噴射装置の充填方法においては、概ね共通している。
【０００７】
本発明の目的は、液体供給流路内にフィルターを設けた場合でも、液体供給流路に液体を適正に充填できる液体噴射装置、液体噴射装置の充填方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決する液体噴射装置は、液体を噴射するノズル開口を有する液体噴射部と、液体供給源から前記液体噴射部の前記ノズル開口に前記液体を供給可能な液体供給流路と、流体が通過可能な複数の孔が設けられて異物を捕集するフィルターを有し、前記液体供給流路の一部を構成するフィルター部と、を備え、前記液体供給流路において、前記液体供給源側を上流側、前記ノズル開口側を下流側とした場合、前記下流側の圧力が前記上流側の圧力より低くなるように圧力を作用させて、前記液体が充填されていない状態の前記液体供給流路内に前記液体供給源内の前記液体を充填する充填動作において、前記フィルター部における前記フィルターの上流側となる上流側フィルター室と前記フィルターの下流側となる下流側フィルター室との間に発生する最大圧力差は、前記フィルターの上流側が前記液体で該フィルターの下流側が気体である場合に前記孔に形成される気液界面を破壊する圧力差より大きく、かつ前記フィルターの上流側が前記気体で該フィルターの下流側が前記液体である場合に前記孔に形成される気液界面を破壊する圧力差より小さい。
【０００９】
この構成によれば、充填動作において上流側フィルター室と下流側フィルター室との間に発生する最大圧力差は、フィルターの上流側が液体で下流側が気体である場合にフィルターの孔に形成される気液界面を破壊する圧力差より大きい。そのため、液体供給源から供給された液体は、フィルターを通過する。さらに、充填動作において上流側フィルター室と下流側フィルター室との間に発生する最大圧力差は、フィルターの上流側が気体で下流側が液体である場合にフィルターの孔に形成される気液界面を破壊する圧力差より小さい。そのため、上流側フィルター室に気体が滞留する場合でも、その気体が気泡となってフィルターを通過し、下流側に移動する虞を低減できる。したがって、液体供給流路内にフィルターを設けた場合でも、液体供給流路に液体を適正に充填できる。
【００１０】
上記液体噴射装置において、前記フィルターが捕集可能な異物の大きさは、前記ノズル開口の最小寸法より小さいことが好ましい。
この構成によれば、ノズル開口の寸法よりも大きな異物は、フィルターにより捕集できる。したがって、ノズル開口を通過できない異物がノズル開口側に流れる虞を低減できる。
【００１１】
上記液体噴射装置は、前記フィルターを第１フィルターとし、前記フィルター部を第１フィルター部としたとき、前記第１フィルター部よりも上流側に位置し、前記液体供給流路の一部を構成する第２フィルター部をさらに備え、前記第２フィルター部は、前記流体が通過可能な複数の孔が設けられて異物を捕集する第２フィルターを有し、前記第２フィルターが捕集可能な異物の大きさは、前記第１フィルターが捕集可能な異物の大きさよりも大きく、かつ前記ノズル開口の最小寸法より小さいことが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、ノズル開口の寸法よりも大きな異物は、第２フィルターにより捕集される。したがって、ノズル開口を通過できない異物がノズル開口側に流れる虞を低減できる。さらに、第１フィルターよりも捕集可能な異物の大きさが大きい第２フィルターを、第１フィルターよりも上流側に設けるため、第１フィルターに捕集される異物を低減させ、第１フィルターが目詰まりする虞を低減できる。
【００１３】
上記液体噴射装置は、前記上流側フィルター室内の流体を前記下流側フィルター室を経由せずに前記上流側フィルター室の外部へ排出可能な流体流路を備えることが好ましい。
この構成によれば、液体が充填される上流側フィルター室に気体が滞留している場合に、気体を含む流体を流体流路により上流側フィルター室の外部に排出できる。したがって、フィルターを通過しないように上流側フィルター室に滞留させた気体（気泡）を液体噴射部内を通過させることなく外部に排出できる。
【００１４】
上記液体噴射装置は、前記上流側フィルター室内の前記流体を該上流側フィルター室の外部へ排出する排出動作において、前記フィルター部よりも前記ノズル開口側の前記液体供給流路に作用する圧力が、前記ノズル開口が開口する空間の圧力より低くなる場合、前記ノズル開口に形成される気液界面の上流側と前記空間側との間に発生する最大圧力差は、前記ノズル開口に形成される前記気液界面を破壊する圧力差より小さいことが好ましい。
【００１５】
例えば、流体流路側から流体を吸引して上流側フィルター室の外部へ排出すると、液体供給流路に作用する圧力は、ノズル開口が開口する空間の圧力よりも低くなる。その点、この構成によれば、ノズル開口に形成される気液界面の上流側と、ノズル開口が開口する空間側と、の間に発生する最大圧力差が、ノズル開口に形成される気液界面を破壊する圧力差より小さい。そのため、ノズル開口に形成された気液界面が排出動作により破壊される虞を低減でき、ノズル開口から気体が流入する虞を低減できる。
【００１６】
上記液体噴射装置は、前記フィルター部とは異なる第３フィルター部と、前記第３フィルター部に接続される排出流路と、をさらに備え、前記流体流路は、一端が前記上流側フィルター室と接続され、他端が前記液体供給流路において前記上流側フィルター室より上流側に接続され、前記液体供給流路と共に前記液体が循環する循環流路を形成し、前記第３フィルター部は、異物を捕集するフィルターを有し、前記循環流路の一部を構成して交換可能であり、前記排出流路は、前記流体を前記循環流路の外部へ排出可能であることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、上流側フィルター室内の流体を上流側フィルター室の外部へ排出可能な流体流路により循環流路を形成し、循環流路の一部を構成する第３フィルター部に排出流路を接続する。したがって、上流側フィルター室から排出した気体を液体供給流路及び流体流路の外部に排出する構成として好適に採用できる。
【００１８】
上記課題を解決する液体噴射装置の充填方法は、液体を噴射するノズル開口を有する液体噴射部と、液体供給源から前記液体噴射部の前記ノズル開口に前記液体を供給可能な液体供給流路と、流体が通過可能な複数の孔が設けられて異物を捕集するフィルターを有し、前記液体供給流路の一部を構成するフィルター部と、を備える液体噴射装置において、前記液体供給流路における前記液体供給源側を上流側、前記ノズル開口側を下流側とした場合、前記下流側の圧力が前記上流側の圧力より低くなるように圧力を作用させて、前記液体が充填されていない状態の前記液体供給流路内に前記液体供給源内の前記液体を充填する充填方法であって、前記フィルター部における前記フィルターの上流側となる上流側フィルター室と前記フィルターの下流側となる下流側フィルター室との間に発生する最大圧力差は、前記フィルターの上流側が前記液体で該フィルターの下流側が気体である場合に前記孔に形成される気液界面を破壊する圧力差より大きく、かつ前記フィルターの上流側が前記気体で該フィルターの下流側が前記液体である場合に前記孔に形成される気液界面を破壊する圧力差より小さい。
【００１９】
この構成によれば、上記液体噴射装置と同様の効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】一実施形態に係る液体噴射装置の斜視図。
【図２】上記液体噴射装置の概略構成を示す側面図。
【図３】上記液体噴射装置が備える液体供給装置を示す模式図。
【図４】第３フィルターと脱気機構の模式図。
【図５】メッシュフィルターの模式図。
【図６】メッシュフィルターの模式断面図。
【図７】多孔板のフィルターの模式断面図。
【図８】第１フィルターの孔に形成される第１気液界面の模式図。
【図９】第１フィルターの孔に形成される第２気液界面の模式図。
【図１０】ノズル開口に形成される第３気液界面の模式図。
【図１１】第２気液界面が破壊される圧力を示す表。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、一実施形態に係る液体噴射装置について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の液体噴射装置は、用紙などの媒体に液体の一例としてのインクを噴射することで文字及び画像を印刷するインクジェットプリンターである。また、本実施形態の液体噴射装置は、長尺の媒体に印刷を行うラージフォーマットプリンターでもある。
【００２２】
図１に示すように、液体噴射装置１０は、一対の脚部１１と、脚部１１上に組み付けられる筐体１２と、ロール体に巻き重ねた媒体Ｍを筐体１２内に向けて繰り出す繰出部１３と、筐体１２から排出される媒体Ｍを案内する案内部１４と、案内部１４に案内される媒体Ｍをロール体に巻き取る巻取部１５と、を備えている。また、液体噴射装置１０は、巻取部１５に巻き取られる媒体Ｍにテンションを付与するテンション付与機構１６と、ユーザーによって操作される操作パネル１７と、を備えている。
【００２３】
なお、本実施形態では、液体噴射装置１０の長手方向を「幅方向」とし、液体噴射装置１０の奥行方向を「前後方向」とし、脚部１１の長手方向でもある液体噴射装置１０の上下方向を「鉛直方向」とする。図面では、幅方向をＸ軸で示し、前後方向をＹ軸で示し、鉛直方向をＺ軸で示す。ここで、幅方向、前後方向及び鉛直方向は、互いに直交する方向である。
【００２４】
図２に示すように、液体噴射装置１０は、媒体Ｍを支持する支持台２０と、媒体Ｍを搬送する搬送部３０と、媒体Ｍに印刷を行う印刷部４０と、印刷部４０のメンテナンスを行うメンテナンス部５０（図３参照）と、液体噴射装置１０の動作を制御する制御部６０と、を備えている。また、図１及び図２に示すように、液体噴射装置１０は、印刷部４０に液体を供給する液体供給装置１００を備えている。
【００２５】
図２に示すように、支持台２０は、媒体Ｍの搬送方向と直交（交差）する媒体Ｍの幅方向に延在している。搬送部３０は、搬送方向における支持台２０の両側に配置された搬送ローラー対３１，３２を備えている。そして、搬送ローラー対３１，３２が搬送モーター（図示略）に駆動されることで、搬送ローラー対３１，３２に挟持された媒体Ｍが支持台２０の表面に沿って搬送方向に搬送される。
【００２６】
印刷部４０は、液体を噴射する液体噴射部４１と、幅方向に延設されたガイド軸４２と、そのガイド軸４２に案内されて幅方向に往復移動可能なキャリッジ４３と、を備えている。キャリッジ４３は、キャリッジモーター（図示略）の駆動に伴い移動する。
【００２７】
図３に示すように、液体噴射部４１は、液体を噴射するノズル開口４４を有する。液体噴射部４１は、ノズル開口４４に連通する個別液室４１１と、個別液室４１１と振動板４１２により区画された収容部４１３と、収容部４１３に収容されたアクチュエーター４１４と、を備える。液体噴射部４１は、供給された液体を一時貯留して複数の個別液室４１１に液体を供給する共通液室４１５を備える。
【００２８】
アクチュエーター４１４は、例えば、駆動電圧が印加された場合に収縮する圧電素子である。アクチュエーター４１４の収縮に伴って振動板４１２を変形させた後、駆動電圧の印加を解除すると、容積が変化した個別液室４１１内の液体がノズル開口４４から液滴として噴射される。
【００２９】
メンテナンス部５０は、液体噴射部４１のノズル開口４４を覆うことが可能なキャップ５１を備える。キャップ５１は、ノズル開口４４が開口する空間を閉空間とすることで液体噴射部４１をキャッピングする。キャッピングは、ノズル開口４４の乾燥を抑制するためなどに行われる。メンテナンス部５０は、キャップ５１内を吸引する吸引ポンプ５２と、廃液を回収するための廃液タンク５３と、キャップ５１内の圧力を調整するレギュレーター５４と、を備える。
【００３０】
液体噴射部４１をキャッピングした状態で吸引ポンプ５２を駆動すると、ノズル開口４４に負圧が作用し、ノズル開口４４から液体が強制的に排出される所謂吸引クリーニングとなる。レギュレーター５４は、キャップ５１内の圧力が所定の圧力（例えば−２０ｋＰａ）よりも低くなった場合にキャップ５１内と大気とを連通させる。すなわち、レギュレーター５４は、キャップ５１内に空気を取り入れることにより、キャップ５１内の圧力が所定の圧力となるように調整する。
【００３１】
次に、液体供給装置１００の一実施形態について説明する。
液体噴射装置１０は、液体噴射部４１から噴射する液体の種類ごとに液体供給装置１００を備える。例えば、プリンターであれば、インクの色ごとに液体供給装置１００を備える。
【００３２】
図３に示すように、液体供給装置１００は、液体噴射部４１に対する液体の供給源となる液体供給源１０１を保持する液体供給源保持部１０２を備えている。液体供給源１０１は、液体を収容可能な構成であればよく、例えば、交換可能なカートリッジタイプとしてもよいし、液体を補充可能なタンクタイプとしてもよい。なお、液体供給源１０１をカートリッジタイプとする場合には、液体供給源保持部１０２は、液体供給源１０１を着脱可能に保持することが好ましく、液体供給源１０１をタンクタイプとする場合には、液体供給源保持部１０２は、液体供給源１０１を着脱不能に保持することが好ましい。
【００３３】
液体供給装置１００は、液体供給源１０１よりも下流側において、液体供給源１０１から供給される液体を貯留する第１中間貯留体１２１（１２０）及び第２中間貯留体１２２（１２０）を備えている。また、液体供給装置１００は、第１中間貯留体１２１を保持する第１中間貯留体保持部１３１と、第２中間貯留体１２２を保持する第２中間貯留体保持部１３２と、中間貯留体１２０内の圧力を調整する圧力調整機構１４０と、を備えている。
【００３４】
図２に示すように、中間貯留体１２０（１２１，１２２）は液体供給源１０１より鉛直方向上方に位置し、液体噴射部４１（ノズル開口４４の開口位置）より鉛直方向下方に位置している。
【００３５】
図３に示すように、液体供給装置１００は、液体供給源１０１から液体噴射部４１のノズル開口４４に液体を供給可能な液体供給流路１５０を備える。液体供給流路１５０は、第１液体流路１５１〜第６液体流路１５６を有し、さらに個別液室４１１及び共通液室４１５が液体供給流路１５０の一部として機能する。液体供給装置１００は、液体供給流路１５０と共に液体が循環する循環流路１５７を形成する流体流路１５８と、流体を循環流路１５７の外部へ排出可能である排出流路１５９と、を備える。以降の説明では、液体供給流路１５０において、液体供給源１０１側を上流側、ノズル開口４４側を下流側という。
【００３６】
液体供給装置１００は、液体供給流路１５０、流体流路１５８、及び排出流路１５９に設けられた第１開閉弁１６１〜第３開閉弁１６３、第１流量センサー１７１、第２流量センサー１７２、第１逆止弁１８１〜第６逆止弁１８６を備える。液体供給装置１００は、循環流路１５７に設けられた循環ポンプ１９０、第１フィルター部２１０〜第４フィルター部２４０、スタティックミキサー２５０、液体貯留部２６０、脱気機構２７０、液圧調整機構２８０を備える。
【００３７】
第１液体流路１５１は、第１中間貯留体１２１と第６液体流路１５６とを接続する。第１液体流路１５１の上流端は、第１中間貯留体１２１（第１中間貯留体保持部１３１）に接続され、第１液体流路１５１の下流端は、第２液体流路１５２の下流端及び第６液体流路１５６の上流端に接続される。第１液体流路１５１には、上流側から順に第１開閉弁１６１、第１流量センサー１７１、及び第１逆止弁１８１が設けられる。
【００３８】
第２液体流路１５２は、第２中間貯留体１２２と第６液体流路１５６とを接続する。第２液体流路１５２の上流端は、第２中間貯留体１２２（第２中間貯留体保持部１３２）に接続され、第２液体流路１５２の下流端は、第１液体流路１５１の下流端及び第６液体流路１５６の上流端に接続される。第２液体流路１５２には、上流側から順に第２開閉弁１６２、第２流量センサー１７２、及び第２逆止弁１８２が設けられる。
【００３９】
第３液体流路１５３は、第１液体流路１５１と第５液体流路１５５とを接続する。第３液体流路１５３の上流端は、第５液体流路１５５の下流端及び第４液体流路１５４の上流端に接続され、第３液体流路１５３の下流端は、第１液体流路１５１における第１流量センサー１７１と第１逆止弁１８１との間の位置に接続される。第３液体流路１５３には、第３逆止弁１８３が設けられる。
【００４０】
第４液体流路１５４は、第２液体流路１５２と第５液体流路１５５とを接続する。第４液体流路１５４の上流端は、第５液体流路１５５の下流端及び第３液体流路１５３の上流端に接続され、第４液体流路１５４の下流端は、第２液体流路１５２における第２流量センサー１７２と第２逆止弁１８２との間の位置に接続される。第４液体流路１５４には、第４逆止弁１８４が設けられる。
【００４１】
第５液体流路１５５は、第３液体流路１５３及び第４液体流路１５４と、液体供給源１０１と、を接続する。第５液体流路１５５の上流端は、液体供給源１０１（液体供給源保持部１０２）に接続され、第５液体流路１５５の下流端は、第３液体流路１５３の上流端及び第４液体流路１５４の上流端に接続される。
【００４２】
第６液体流路１５６は、第１液体流路１５１及び第２液体流路１５２と、液体噴射部４１と、を接続する。第６液体流路１５６の上流端は、第１液体流路１５１の下流端及び第２液体流路１５２の下流端に接続され、第６液体流路１５６の下流端は、共通液室４１５に接続される。第６液体流路１５６には、上流側から順に第３開閉弁１６３、第４フィルター部２４０、スタティックミキサー２５０、液体貯留部２６０、脱気機構２７０、第２フィルター部２２０、液圧調整機構２８０、及び第１フィルター部２１０が設けられる。
【００４３】
流体流路１５８は、両端が第６液体流路１５６に接続される。流体流路１５８の一端は、第６液体流路１５６を構成する第１フィルター部２１０に接続され、流体流路１５８の他端は、第６液体流路１５６における第３開閉弁１６３よりも上流側に位置する接続部１６０に接続される。具体的には、流体流路１５８の一端は、第１フィルター部２１０が有する第１上流側フィルター室２１２と接続される。流体流路１５８の他端は、液体供給流路１５０において第１上流側フィルター室２１２より上流側に接続される。そのため、流体流路１５８は、第１上流側フィルター室２１２内の流体を第１下流側フィルター室２１３を経由せずに第１上流側フィルター室２１２の外部へ排出可能である。流体流路１５８には、第１フィルター部２１０側から順に第３フィルター部２３０、循環ポンプ１９０、第５逆止弁１８５が設けられる。
【００４４】
排出流路１５９は、第３フィルター部２３０に接続される。排出流路１５９には、上流側となる第３フィルター部２３０側から順に第６逆止弁１８６と、脱気機構２７０と、が設けられる。すなわち、本実施形態の液体供給装置１００は、第６液体流路１５６と排出流路１５９に設けられた複数（２つ）の脱気機構２７０を備える。排出流路１５９に脱気機構２７０を設けることにより、排出流路１５９は、流体を循環流路１５７の外部へ排出可能である。
【００４５】
液体供給流路１５０、流体流路１５８、排出流路１５９といった流路は、液体を流すことのできる流路であればよい。例えば、流路は、弾性変形可能なチューブ内に形成されるものであってもよいし、硬質の樹脂材料からなる流路形成部材の内部に形成されるものであってもよいし、溝が形成された流路形成部材にフィルム部材を貼り付けることで形成されるものであってもよい。
【００４６】
次に、中間貯留体１２０の一実施形態について説明する。
図３に示すように、第１中間貯留体１２１及び第２中間貯留体１２２は、１つの液体供給源１０１に対応して設けられている。すなわち、本実施形態では、１つの液体供給源１０１から供給される液体が２つの中間貯留体１２０に貯留される。また、第１中間貯留体１２１は第１液体流路１５１に設けられ、第２中間貯留体１２２は第２液体流路１５２に設けられているとも言える。
【００４７】
第１中間貯留体１２１及び第２中間貯留体１２２は、液体を収容可能に可撓性部材で袋状に形成される液体収容部１２３と、液体収容部１２３を収容する収容空間１２４が形成されるケース１２５と、を有している。液体収容部１２３には、該液体収容部１２３の内部と第１液体流路１５１もしくは第２液体流路１５２とを連通させる液体接続口１２６が設けられている。また、ケース１２５には、収容空間１２４と圧力調整機構１４０とを連通可能な圧力調整口１２７が設けられている。なお、ケース１２５の収容空間１２４は、閉空間とすることが好ましく、圧力調整口１２７を除いて気体の流出入が起きないことが好ましい。
【００４８】
第１中間貯留体保持部１３１には、第１液体流路１５１の上流端が接続され、第２中間貯留体保持部１３２には、第２液体流路１５２の上流端が接続されている。なお、第１中間貯留体保持部１３１及び第２中間貯留体保持部１３２は、中間貯留体１２０を着脱可能に保持する。このため、第１中間貯留体１２１を第１中間貯留体保持部１３１から取り外すことで、第１中間貯留体１２１を第１液体流路１５１から切離でき、第２中間貯留体１２２を第２中間貯留体保持部１３２から取り外すことで、第２中間貯留体１２２を第２液体流路１５２から切離できる。
【００４９】
次に、圧力調整機構１４０の一実施形態について説明する。
圧力調整機構１４０は、第１中間貯留体１２１内の圧力を調整する第１圧力調整機構１４１と、第２中間貯留体１２２内の圧力を調整する第２圧力調整機構１４２と、を有している。第１圧力調整機構１４１及び第２圧力調整機構１４２は、中間貯留体１２０の圧力調整口１２７に隙間なく接続される圧力調整流路１４３と、圧力調整流路１４３に設けられる圧力調整ポンプ１４４と、を有している。そして、圧力調整機構１４０は、圧力調整ポンプ１４４の駆動により、ケース１２５の収容空間１２４に気体を送出することで中間貯留体１２０内を加圧したり、ケース１２５の収容空間１２４から気体を排出することで中間貯留体１２０内を減圧したりする。
【００５０】
また、圧力調整機構１４０は、中間貯留体１２０ごとに設けられている。そのため、圧力調整機構１４０は、第１中間貯留体１２１及び第２中間貯留体１２２のうち、一方の中間貯留体１２０の収容空間１２４を加圧しつつ、他方の中間貯留体１２０の収容空間１２４を減圧できる。また、以降の説明では、中間貯留体１２０の収容空間１２４を加圧することを単に「中間貯留体１２０内を加圧する」とも言い、中間貯留体１２０の収容空間１２４を減圧することを単に「中間貯留体１２０内を減圧する」とも言う。
【００５１】
次に、第１開閉弁１６１〜第３開閉弁１６３、第１流量センサー１７１、第２流量センサー１７２、第１逆止弁１８１〜第６逆止弁１８６について説明する。
第１開閉弁１６１は、第１液体流路１５１内の液体の流れを許容する開弁状態と、第１液体流路１５１内の液体の流れを遮断する閉弁状態と、を切り替え可能な弁である。第１開閉弁１６１は、第１中間貯留体１２１を第１中間貯留体保持部１３１から取り外す際に、閉弁状態とすることで、第１液体流路１５１の上流端から液体が漏出することを抑制する。
【００５２】
第２開閉弁１６２は、第２液体流路１５２内の液体の流れを許容する開弁状態と、第２液体流路１５２内の液体の流れを遮断する閉弁状態と、を切り替え可能な弁である。第２開閉弁１６２は、第２中間貯留体１２２を第２中間貯留体保持部１３２から取り外す際に、閉弁状態とすることで、第２液体流路１５２の上流端から液体が漏出することを抑制する。
【００５３】
第３開閉弁１６３は、第６液体流路１５６内の液体の流れを許容する開弁状態と、第６液体流路１５６内の液体の流れを遮断する閉弁状態と、を切り替え可能な弁である。第３開閉弁１６３は、メンテナンス部５０が液体噴射部４１のメンテナンスをする際に、閉弁状態とすることで、メンテナンス部５０がノズル開口４４に作用させる負圧を蓄圧できる。すなわち、負圧を蓄圧した状態で第３開閉弁１６３を開弁すると、ノズル開口４４から勢いよく液体が排出される所謂チョーククリーニングとなる。
【００５４】
第１開閉弁１６１〜第３開閉弁１６３は、例えば、ソレノイドによってバルブを開閉させる電磁弁（ソレノイドバルブ）であってもよいし、電動モーターによってバルブを開閉させる電動弁であってもよいし、流体圧シリンダーによってバルブを開閉させる流体圧弁であってもよいし、その他の制御弁であってもよい。
【００５５】
第１流量センサー１７１は、第１液体流路１５１を流れる液体の流量を検出し、第２流量センサー１７２は、第２液体流路１５２を流れる液体の流量を検出する。なお、第１流量センサー１７１及び第２流量センサー１７２は、電磁式の流量計であってもよいし、コリオリ式の流量計であってもよいし、超音波式の流量計であってもよいし、その他の流量計であってもよい。
【００５６】
第１逆止弁１８１〜第６逆止弁１８６は、上流側から下流側に向かう流体の流れを許容する一方、下流側から上流側に向かう流体の流れを規制する。
第１逆止弁１８１は、第１液体流路１５１において、第１中間貯留体１２１から第６液体流路１５６に向かう流体の流れを許容する。第１逆止弁１８１は、第６液体流路１５６及び第２液体流路１５２から第１中間貯留体１２１に向かう流体の流れを規制する。
【００５７】
第２逆止弁１８２は、第２液体流路１５２において、第２中間貯留体１２２から第６液体流路１５６に向かう流体の流れを許容する。第２逆止弁１８２は、第６液体流路１５６及び第１液体流路１５１から第２中間貯留体１２２に向かう流体の流れを規制する。
【００５８】
第３逆止弁１８３は、第３液体流路１５３において、液体供給源１０１から第１中間貯留体１２１に向かう流体の流れを許容する一方、第１中間貯留体１２１から液体供給源１０１に向かう流体の流れを規制する。すなわち、第３逆止弁１８３は、第５液体流路１５５から第１液体流路１５１に向かう流体の流れを許容し、第１液体流路１５１から第５液体流路１５５に向かう流体の流れを規制する。
【００５９】
第４逆止弁１８４は、第４液体流路１５４において、液体供給源１０１から第２中間貯留体１２２に向かう流体の流れを許容する一方、第２中間貯留体１２２から液体供給源１０１に向かう流体の流れを規制する。すなわち、第４逆止弁１８４は、第５液体流路１５５から第２液体流路１５２に向かう流体の流れを許容し、第２液体流路１５２から第５液体流路１５５に向かう流体の流れを規制する。
【００６０】
したがって、第１圧力調整機構１４１が第１中間貯留体１２１内を減圧すると、液体供給源１０１に収容された液体は、第５液体流路１５５、第３液体流路１５３、及び第１液体流路１５１を介して第１中間貯留体１２１に流入する。第１圧力調整機構１４１が第１中間貯留体１２１内を加圧し、液体噴射部４１において液体が消費されると、第１中間貯留体１２１に貯留された液体は、第１液体流路１５１、第６液体流路１５６を介して液体噴射部４１に供給される。
【００６１】
第２圧力調整機構１４２が第２中間貯留体１２２内を減圧すると、液体供給源１０１に収容された液体は、第５液体流路１５５、第４液体流路１５４、及び第２液体流路１５２を介して第２中間貯留体１２２に流入する。第２圧力調整機構１４２が第２中間貯留体１２２内を加圧し、液体噴射部４１において液体が消費されると、第２中間貯留体１２２に貯留された液体は、第２液体流路１５２、第６液体流路１５６を介して液体噴射部４１に供給される。
【００６２】
第５逆止弁１８５は、第１フィルター部２１０から接続部１６０に向かう流体の流れを許容する一方、接続部１６０から第１フィルター部２１０に向かう流体の流れを規制する。したがって、流体流路１５８では、第１フィルター部２１０から接続部１６０に向かって流体が流れる。そのため、流体流路１５８において、第１フィルター部２１０側を上流側、接続部１６０側を下流側ともいう。
【００６３】
第６逆止弁１８６は、第３フィルター部２３０から脱気機構２７０に向かう流体の流れを許容する一方、脱気機構２７０から第３フィルター部２３０に向かう流体の流れを規制する。
【００６４】
次に、第１フィルター部２１０〜第４フィルター部２４０の一実施形態について説明する。
第１フィルター部２１０〜第４フィルター部２４０は、使用時間が増大するに連れて異物の捕集能力が低下する。そのため、液体噴射装置１０は、第１フィルター部２１０〜第４フィルター部２４０のうち、少なくとも１つのフィルター部を交換可能としてもよい。この場合、図２に示すように、筐体１２にカバー１８を設け、カバー１８を開いたときに筐体１２から露出する位置に交換可能なフィルター部を設けることが好ましい。
【００６５】
図３に示すように、第１フィルター部２１０、第２フィルター部２２０、第４フィルター部２４０は、液体供給流路１５０及び循環流路１５７の一部を構成する。第３フィルター部２３０は、流体流路１５８及び循環流路１５７の一部を構成する。
【００６６】
第１フィルター部２１０は、異物を捕集する第１フィルター２１１と、第１フィルター２１１よりも上流側となる第１上流側フィルター室２１２と、第１フィルター２１１よりも下流側となる第１下流側フィルター室２１３と、を有する。第１上流側フィルター室２１２は、第１下流側フィルター室２１３よりも鉛直上方に配置されている。第１上流側フィルター室２１２は、略円錐形もしくは略円錐台形をなし、第１フィルター２１１は、第１上流側フィルター室２１２の底面を構成して略円盤状に形成されている。第１上流側フィルター室２１２の高さは、第１フィルター２１１の直径よりも小さいことが好ましい。
【００６７】
第２フィルター部２２０は、第１フィルター部２１０よりも上流側に位置する。第２フィルター部２２０は、異物を捕集する第２フィルター２２１と、第２フィルター２２１よりも上流側となる第２上流側フィルター室２２２と、第２フィルター２２１よりも下流側となる第２下流側フィルター室２２３と、を有する。
【００６８】
第３フィルター部２３０は、異物を捕集する第３フィルター２３１と、第３フィルター２３１よりも上流側となる第３上流側フィルター室２３２と、第３フィルター２３１よりも下流側となる第３下流側フィルター室２３３と、を有する。
【００６９】
第４フィルター部２４０は、第２フィルター部２２０よりも上流側に位置する。第４フィルター部２４０は、異物を捕集する第４フィルター２４１と、第４フィルター２４１よりも上流側となる第４上流側フィルター室２４２と、第４フィルター２４１よりも下流側となる第４下流側フィルター室２４３と、を有する。
【００７０】
上流側とは、第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１を通過する前の一時側であり、下流側とは、第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１を通過した後の二次側である。第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１は、流体が通過可能な濾過面積が液体供給流路１５０及び流体流路１５８の流路断面積よりも大きいことが好ましい。
【００７１】
次に、第６液体流路１５６、流体流路１５８、排出流路１５９に設けられるその他の構成について説明する。
スタティックミキサー２５０は、液体の流れる方向に該液体の流れを分割する構成を複数備えている。そして、スタティックミキサー２５０は、該スタティックミキサー２５０を流れる液体を分割したり転換したり反転したりすることで、液体中の濃度の偏りを低減させる。
【００７２】
液体貯留部２６０は、液体を貯留する加圧室２６１と、加圧室２６１の壁面の一部を構成する弾性膜２６２と、加圧室２６１の容積を減少させる方向に弾性膜２６２を付勢する第１付勢部材２６３と、を有している。こうして、液体貯留部２６０において、加圧室２６１は、該加圧室２６１に貯留する液体を加圧する。
【００７３】
ここで、加圧室２６１は、該加圧室２６１に貯留する液体を、液体噴射部４１に液体を供給する際に中間貯留体１２０が加圧される圧力（例えば、３０ｋＰａ）より低い圧力（例えば、１０ｋＰａ）で加圧する。詳しくは、第１付勢部材２６３に付勢された弾性膜２６２によって加圧室２６１に貯留される液体に作用する圧力は、中間貯留体１２０から液体噴射部４１に向けて液体を供給するために圧力調整機構１４０が中間貯留体１２０に作用させる圧力よりも低くなっている。このため、中間貯留体１２０からの液体の供給圧力が液体貯留部２６０まで低下していない場合には、第１付勢部材２６３の付勢力に抗して、加圧室２６１の容積が大きくなる方向に弾性膜２６２が変位することとなる。
【００７４】
図３，図４に示すように、脱気機構２７０は、液体を一時貯留する脱気室２７１と、脱気室２７１と脱気膜２７２で区画された排気室２７３と、排気室２７３を外部に連通させる排気路２７４と、を備える。
【００７５】
第６液体流路１５６に設けられる脱気機構２７０と、排出流路１５９に設けられる脱気機構２７０は、構成が略同じであるため、同一の構成については同一の符合を付すことにより、重複した説明を省略する。第６液体流路１５６に設けられる脱気機構２７０の脱気室２７１は、第６液体流路１５６の一部を構成し、排出流路１５９に設けられる脱気機構２７０の脱気室２７１は、排出流路１５９の下流端を構成する。
【００７６】
脱気膜２７２は、気体を通過させるが液体を通過させない性質を有する。脱気膜２７２としては、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）を特殊延伸加工して作られるフィルムに、０．２ミクロン程度の微細な孔を多数形成したものを採用することができる。脱気室２７１に気体を含む液体が流入すると、気体のみが脱気膜２７２を通過して排気室２７３に入り、排気路２７４を通じて外部に排出される。これにより、排出流路１５９からの液体の排出を抑制しつつ、脱気室２７１に貯留された液体に混入した気泡や溶存ガスが除去される。
【００７７】
脱気機構２７０において、排気室２７３は脱気室２７１よりも鉛直上方に配置されている。脱気機構２７０は、排気室２７３を減圧する減圧ポンプ２７５を備えてもよい。減圧ポンプ２７５は、排気路２７４を通じて排気室２７３を減圧することにより、脱気室２７１に貯留された液体に混入した気泡や溶存ガスを除去する。例えば、ばねなどの付勢部材を用いることで、脱気室２７１の圧力よりも排気室２７３の圧力を低くできる場合には、減圧ポンプ２７５を設けなくてもよい。
【００７８】
図３に示すように、液圧調整機構２８０は、第２フィルター部２２０よりも下流側の位置に、第２フィルター部２２０と一体で設けられている。液圧調整機構２８０は、第２下流側フィルター室２２３と連通孔２８１を介して連通可能な圧力室２８２と、連通孔２８１を開閉可能な弁体２８３と、基端側が第２下流側フィルター室２２３に収容されるとともに先端側が圧力室２８２に収容される受圧部材２８４と、を備えている。
【００７９】
圧力室２８２は、液体を貯留可能とされる。圧力室２８２の壁面の一部は、撓み変位可能な可撓壁２８５により形成されている。弁体２８３は、例えば、第２下流側フィルター室２２３内に位置する受圧部材２８４の基端部分に取り付けられたゴム又は樹脂などの弾性体であればよい。
【００８０】
液圧調整機構２８０は、第２下流側フィルター室２２３に収容される第２付勢部材２８６と、圧力室２８２に収容される第３付勢部材２８７と、を備えている。第２付勢部材２８６は、受圧部材２８４を介して連通孔２８１を閉塞する方向に弁体２８３を付勢している。第３付勢部材２８７は、可撓壁２８５が圧力室２８２の容積を小さくする方向に撓み変位することで、該可撓壁２８５が受圧部材２８４を押したときに受圧部材２８４を押し返す。
【００８１】
そのため、圧力室２８２の内圧が低下して、可撓壁２８５が受圧部材２８４を押す力が第２付勢部材２８６及び第３付勢部材２８７の付勢力を上回った場合に、弁体２８３は連通孔２８１を開放する。連通孔２８１が開放されて第２下流側フィルター室２２３から圧力室２８２に液体が流入すると、圧力室２８２の内圧が上昇する。その結果、圧力室２８２の内圧が正圧まで上昇する前に、第３付勢部材２８７の付勢力によって弁体２８３が連通孔２８１を閉塞する。こうして、圧力室２８２の内圧は、第３付勢部材２８７の付勢力に応じた負圧の範囲に保持される。また、圧力室２８２の内圧は、液体噴射部４１からの液体の排出に伴って低下する。そして、弁体２８３は、圧力室２８２の外圧（大気圧）と圧力室２８２の内圧との差圧に応じて自律的に連通孔２８１を開閉する。そのため、液圧調整機構２８０は差圧弁（減圧弁あるいは自己封止弁）ともいう。
【００８２】
液圧調整機構２８０には、強制的に連通孔２８１を開いて液体を液体噴射部４１に供給する開弁機構２９０を付加してもよい。例えば、開弁機構２９０は、可撓壁２８５により圧力室２８２と区画された収容室２９１に収容された加圧袋２９２と、加圧袋２９２内に気体を流入させる加圧流路２９３と、を備えている。
【００８３】
開弁機構２９０は、加圧流路２９３を通じて流入する気体により加圧袋２９２が膨張し、可撓壁２８５を圧力室２８２の容積を小さくする方向に撓み変位させることによって、強制的に連通孔２８１を開放する。液体供給装置１００は、連通孔２８１が開放された状態で液体供給源１０１から液体噴射部４１に液体を加圧供給することで、液体噴射部４１から液体を流出させる加圧クリーニングができる。
【００８４】
この場合、加圧流路２９３は排気路２７４に接続するとともに、減圧ポンプ２７５を加圧と減圧の両方の駆動が可能な構成にしてもよい。すなわち、排気路２７４に第７逆止弁１８７を設けて、減圧ポンプ２７５が加圧駆動することによって加圧袋２９２に気体を送出し、減圧ポンプ２７５が減圧駆動することによって排気室２７３を減圧してもよい。
【００８５】
循環ポンプ１９０は、第１上流側フィルター室２１２から接続部１６０に向けて液体を流動させる。循環ポンプ１９０が駆動すると、液体は循環流路１５７を循環し、液体中に含まれる気泡等の異物が第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１に捕集される。また、液体が顔料等の沈降成分を含んでいる場合には、液体を循環させたりスタティックミキサー２５０を通過させたりすることによって、液体を攪拌して濃度の不均一化が抑制される。
【００８６】
次に第３フィルター部２３０の一実施形態について説明する。
図４に示すように、第３フィルター部２３０は、円筒状のフィルターケース２３４を備え、円筒状の第３フィルター２３１がフィルターケース２３４と中心軸が重なるようにフィルターケース２３４内に配置される。第３フィルター２３１の底面部分と上面部分は円盤状の支持板２３５によって閉塞される。
【００８７】
第３上流側フィルター室２３２は、フィルターケース２３４と第３フィルター２３１の間に囲み形成される空間であり、第３下流側フィルター室２３３は、第３フィルター２３１の内側に、支持板２３５と第３フィルター２３１に囲み形成される空間である。
【００８８】
流体流路１５８は、円筒状をなすフィルターケース２３４の円形状の上面から第３上流側フィルター室２３２に接続されると共に、底面及び底面側の支持板２３５を貫通して第３下流側フィルター室２３３に接続される。
【００８９】
第３フィルター部２３０は、一次側（上流側）が二次側（下流側）よりも高くなるように傾斜して配置するとよい。また、排出流路１５９は、第３上流側フィルター室２３２における鉛直方向の上端部に接続するとよい。こうすると、第３上流側フィルター室２３２に入った気体が、第３上流側フィルター室２３２における最も高い位置となるコーナー部に溜まるので、排出流路１５９には液体よりも気体が入りやすくなる。
【００９０】
第３フィルター部２３０に流体が入ると、その流体は一時的に第３上流側フィルター室２３２に貯留された後、第３フィルター２３１の外周面から第３フィルター２３１内に進入して第３下流側フィルター室２３３に至る。このとき、気泡を含む異物は第３フィルター２３１に捕集される。また、第３フィルター２３１に捕集された気泡は、第３上流側フィルター室２３２の上部に溜まって、排出流路１５９から外部に流出する。そして、第３フィルター２３１により異物が濾過された液体は、第３下流側フィルター室２３３に移動する。なお、図４に示す構成中において、流体が流れる方向を矢印で示す。
【００９１】
次に、第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１の一実施形態、及び第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１が捕集可能な異物の大きさについて説明する。
第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１には、例えば、網目状体、多孔質体、微細な貫通孔を形成した多孔板などを用いることができる。第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１は、それぞれ異なる種類、及び異なる形状のフィルターを用いてもよい。
【００９２】
網目状体のフィルターとしては、金網、樹脂性の網、メッシュフィルター、金属繊維などがある。金属繊維のフィルターとしては、ステンレスの細線をフェルト状にしたフェルトフィルター、ステンレスの細線を圧縮焼結させた金属焼結フィルターなどがある。多孔板のフィルターとしては、エレクトロフォーミング金属フィルター、電子線加工金属フィルター、レーザービーム加工金属フィルターなどがある。
【００９３】
図５〜図７に示すように、第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１は、流体が通過可能な複数の孔３０２が設けられて異物を捕集する。本実施形態ではフィルターの異物を捕集する能力は濾過粒度で表す。この濾過粒度は、ある確率で捕集できる粒径を表す公称濾過粒度であり、ＩＳＯ４５７２標準に従って測定された値である。例えば、濾過粒度が５μｍとは、５μｍの平均径を有する粒子の９８．５％を捕集可能であることを示す。
【００９４】
第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１の捕集可能な異物の大きさを示す濾過粒度は、ノズル開口４４の最小寸法（例えば、２０μｍ（０．０２０ｍｍ））より小さいことが好ましい。これにより、液体中の異物がノズル開口４４に到達し難くできる。ノズル開口４４の最小寸法とは、ノズル開口４４が円形の場合には、ノズル開口４４の直径である。ノズル開口４４は、円形に限らず、多角形、楕円形、扇形、これらの形状を組み合わせた形としてもよい。
【００９５】
第２フィルター２２１が捕集可能な異物の大きさは、第１フィルター２１１が捕集可能な異物の大きさよりも大きいことが好ましい。すなわち、例えば、第１フィルター２１１の濾過粒度が５μｍの場合、第２フィルター２２１は、第１フィルター２１１よりも大きい１０μｍの濾過粒度とすることが好ましい。
【００９６】
図５，図６に示すように、第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１として、メッシュフィルターを採用する場合、綾畳織のフィルターとすることができる。ステンレスの針金３０１を織り込んで形成されるメッシュフィルターは、図５における針金３０１同士の隙間（不図示）および図６における針金３０１同士の隙間である網目が設けられている。すなわち、本実施形態では、上流側フィルター室と下流側フィルター室とを連通させ、フィルターを貫通するように連続する針金３０１同士の隙間である網目を孔３０２という。
【００９７】
図７に示すように、第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１として、多孔板のフィルターを採用する場合、孔３０２の最小寸法がノズル開口４４の最小寸法よりも小さいことが好ましい。多孔板のフィルターには、ステンレスの板を貫通する多数（例えば、１ｃｍ２に数万穴）の孔３０２が形成されている。孔３０２の最小寸法とは、孔３０２が円形の場合には、孔３０２の直径（内径）である。孔３０２の形状は、円形に限らず、正方形、六角形などの多角形、楕円形などとしてもよい。
【００９８】
次に、液体噴射装置１０の電気的構成について説明する。
制御部６０の入力側インターフェースには、第１流量センサー１７１及び第２流量センサー１７２が接続されている。また、制御部６０の出力側インターフェースには、搬送部３０、アクチュエーター４１４、メンテナンス部５０、圧力調整ポンプ１４４、第１開閉弁１６１〜第３開閉弁１６３、減圧ポンプ２７５、及び循環ポンプ１９０が接続されている。
【００９９】
制御部６０は、流量センサー１７１，１７２の検出結果に基づいて、中間貯留体１２０に貯留されている液量を演算する。詳しくは、制御部６０は、流量センサー１７１，１７２の検出結果に基づいて、中間貯留体１２０に液体が流入している場合には、液体が流入している時間とその流量に応じた液量を中間貯留体１２０に貯留されている液量に加算する。一方、制御部６０は、流量センサー１７１，１７２の検出結果に基づいて、中間貯留体１２０から液体が流出している場合には、液体が流出している時間とその流量に応じた液量を中間貯留体１２０に貯留されている液量から減算する。こうして、制御部６０は、中間貯留体１２０に貯留される液量を把握する。なお、流量センサー１７１，１７２が液体の流れる方向を区別することができない場合には、制御部６０は、圧力調整機構１４０の駆動態様に応じて、液体の流れる方向を判断すればよい。
【０１００】
次に、液体噴射装置１０の充填方法について説明する。
液体噴射装置１０の使用開始前には、液体が充填されていない状態の液体供給流路１５０内に液体供給源１０１内の液体を充填する充填動作を行う。すなわち、液体供給源１０１につながる液体供給流路１５０からノズル開口４４までの領域には気体が入っているため、充填動作ではその気体を排出して液体を充填する。
【０１０１】
図３に示すように、制御部６０は、第１中間貯留体１２１内を減圧し、液体供給源１０１に収容された液体を第１中間貯留体１２１に向けて供給させる。これにより、第１液体流路１５１、第３液体流路１５３、第５液体流路１５５内の流体（主に気体）が第１中間貯留体１２１に流入する。
【０１０２】
第１中間貯留体１２１が備える液体収容部１２３の容積が最大になると、制御部６０は、第１中間貯留体１２１内を加圧し、第２中間貯留体１２２内を減圧する。第１中間貯留体１２１内を加圧すると、第１中間貯留体１２１に収容された流体が第６液体流路１５６に向けて供給され、第６液体流路１５６に設けられた脱気機構２７０により気体が排出される。第２中間貯留体１２２内を減圧すると、第２液体流路１５２、第４液体流路１５４、第５液体流路１５５内の流体（主に気体）が第２中間貯留体１２２に流入する。
【０１０３】
第１中間貯留体１２１が備える液体収容部１２３の容積が最小になり、第２中間貯留体１２２が備える液体収容部１２３の容積が最大になると、制御部６０は、第１中間貯留体１２１内を減圧し、第２中間貯留体１２２内を加圧する。第２中間貯留体１２２内を加圧すると、第２中間貯留体１２２に収容された流体が第６液体流路１５６に向けて供給され、第６液体流路１５６に設けられた脱気機構２７０により気体が排出される。
【０１０４】
このように制御部６０は、第１中間貯留体１２１内の加圧と第２中間貯留体１２２内の減圧、及び第１中間貯留体１２１内の減圧と第２中間貯留体１２２内の加圧を交互に繰り返し行う。これにより、第１中間貯留体１２１、第２中間貯留体１２２、第１液体流路１５１〜第５液体流路１５５、及び第６液体流路１５６の一部に液体が充填される。
【０１０５】
その後、制御部６０は、液体噴射部４１をキャッピングをした状態で吸引ポンプ５２を所定時間駆動し、第１中間貯留体１２１と第２中間貯留体１２２のうち少なくとも一方の中間貯留体１２０内を加圧する。すなわち、制御部６０は、液体供給流路１５０において下流側の圧力が上流側の圧力より低くなるように圧力を作用させる。すると、加圧されている中間貯留体１２０から液体が供給され、液体供給流路１５０内の流体（主に気体）が液体噴射部４１のノズル開口４４から排出される。
【０１０６】
図８に示すように、具体的には、第１フィルター部２１０まで液体が供給されると、第１フィルター２１１の上流側が液体、第１フィルター２１１の下流側が気体となり、第１フィルター２１１の孔３０２には、第１気液界面３１１ができる。第１気液界面３１１は、第１上流側フィルター室２１２と第１下流側フィルター室２１３との間の圧力差が第１圧力差ΔＰＡ以上になると破壊され、液体供給流路１５０に液体が充填される。
【０１０７】
図９に示すように、液体中に気体（気泡）が含まれる場合、気体が第１フィルター２１１により捕集される。このとき、第１フィルター２１１の上流側が気体で第１フィルター２１１の下流側が液体となり、第１フィルター２１１の孔３０２には、第２気液界面３１２ができる。第２気液界面３１２は、第１上流側フィルター室２１２と第１下流側フィルター室２１３との間の圧力差が第２圧力差ΔＰＢ以上になると破壊される。第２圧力差ΔＰＢは、第１圧力差ΔＰＡよりも大きい（ΔＰＡ＜ΔＰＢ）。
【０１０８】
制御部６０は、充填動作において第１上流側フィルター室２１２と第１下流側フィルター室２１３との間に発生する最大圧力差が、第１圧力差ΔＰＡより大きく、第２圧力差ΔＰＢより小さくなるように吸引ポンプ５２及び圧力調整機構１４０を駆動する。そのため、液体は第１フィルター２１１を通過するのに対し、孔３０２よりも大きな異物（気体）は第１フィルター２１１を通過せずに捕集される。液体供給流路１５０に液体が充填されると、制御部６０は、吸引ポンプ５２の駆動を停止する。
【０１０９】
この段階で、流体流路１５８にはまだ気体が残っている。次に、制御部６０は、第１上流側フィルター室２１２内の流体を第１上流側フィルター室２１２の外部へ排出する排出動作を行う。すなわち、制御部６０は、キャッピングを解除した状態で循環ポンプ１９０を所定時間駆動させ、第１上流側フィルター室２１２から流体流路１５８に流体を移動させる。流体流路１５８内の流体（主に気体）は、一部が排出流路１５９を通じて排出され、一部が接続部１６０から液体供給流路１５０に移動する。流体は、循環流路１５７を移動するうち、２つの脱気機構２７０により気体が排出され、流体流路１５８にも液体が充填される。
【０１１０】
排出動作において、第１上流側フィルター室２１２に作用する圧力は、液体供給流路１５０において第１上流側フィルター室２１２よりも下流側にも作用する。そのため、第１フィルター部２１０よりもノズル開口４４側の液体供給流路１５０に作用する圧力は、ノズル開口４４が開口する空間の圧力より低くなる。
【０１１１】
図１０に示すように、ノズル開口４４には、第３気液界面３１３が形成される。排出動作において制御部６０は、第３気液界面３１３の上流側と空間側との間に発生する最大圧力差が第３気液界面３１３を破壊する第３圧力差ΔＰＣより小さくなるように循環ポンプ１９０を駆動する。
【０１１２】
次に、第３気液界面３１３を破壊する第３圧力差ΔＰＣについて説明する。
図１０に示すように、液体の表面張力をγ、濡れ角をΘ、第３気液界面３１３が生じるノズル開口４４の直径をＤとする。
【０１１３】
ノズル開口４４が円形である場合、液面とノズル開口４４との界面張力によって発生する圧力Ｐγは、Ｐγ＝４γｃｏｓΘＤπ／（πＤ２）＝４γｃｏｓΘ／Ｄである。
液体の密度をρ、深さをｈとし、重力加速度がｇの場合の液体の水頭圧力Ｐｈは、Ｐｈ＝ρｈｇである。
【０１１４】
気液界面を破壊する圧力差ΔＰは、圧力Ｐγ、水頭圧力Ｐｈと均衡し、ΔＰ＝Ｐγ＋Ｐｈとなる。Ｐｈは略０であるため、ΔＰ＝Ｐγ＝４γｃｏｓΘ／Ｄとなる。
例えば、ノズル開口４４の直径Ｄ＝２０μｍ、液体の表面張力γ＝２３．６ｍＮ／ｍの場合、濡れ角Θ≒０とすると、ΔＰＣ≒４．７ｋＰａとなる。すなわち、ノズル開口４４に形成される第３気液界面３１３は、第３気液界面３１３の上流側と空間側との間の圧力差が約４．７ｋＰａ以上となると、壊れる蓋然性が高い。したがって、制御部６０は、第３気液界面３１３の上流側と空間側との間の圧力差が約４．７ｋＰａ以下になるように、循環ポンプ１９０を駆動する。
【０１１５】
第１圧力差ΔＰＡ及び第２圧力差ΔＰＢは、第１フィルター２１１の種類、材質、濾過粒度などにより変化する。また、第１圧力差ΔＰＡ及び第２圧力差ΔＰＢは、液体の表面張力によっても変化する。
【０１１６】
図１１は、第２気液界面３１２が破壊される第２圧力差ΔＰＢを、ステンレスメッシュフィルターと液体の組み合わせを変えて測定し、第２気液界面３１２が破壊されなかった場合を○、第２気液界面３１２が破壊された場合を×で示す。尚、図１１のメッシュとはメッシュフィルターの網目の目開きを表す単位で、メッシュ２３００であれば、1インチあたりの網目（針金３０１同士の隙間）の数が２３００個あるメッシュフィルターということになる。
【０１１７】
ＮＯ．１は、綾畳織のステンレスメッシュフィルター（メッシュ２３００）と、表面張力が２３．６ｍＮ／ｍの液体の組み合わせである。この組み合わせでは、第１上流側フィルター室２１２と第１下流側フィルター室２１３との間の圧力差が１０ｋＰａのときには第２気液界面３１２が破壊されず、２０ｋＰａのときには第２気液界面３１２が破壊された。すなわち、第２圧力差ΔＰＢは、１０ｋＰａよりも大きく、２０ｋＰａ以下（１０ｋＰａ＜ΔＰＢ≦２０ｋＰａ）である。そのため、充填動作において制御部６０は、第１上流側フィルター室２１２と第２下流側フィルター室２２３との間に発生する最大圧力差を１０ｋＰａよりも大きく２０ｋＰａ以下と推測される第２圧力差ΔＰＢより小さくするように吸引ポンプ５２及び圧力調整機構１４０を駆動することが好ましい。また評価結果から充填動作において第１上流側フィルター室２１２と第２下流側フィルター室２２３との間に発生する最大圧力差を１０ｋＰａ以下とするのがより好ましい。
【０１１８】
また、綾畳織のステンレスメッシュフィルターの孔３０２としての針金３０１同士の隙間である網目は複雑な形状である。そのため、その仕様から計算式を使用して第２圧力差ΔＰＢを求めることは難しいが、綾畳織のステンレスメッシュフィルター（メッシュ２３００）を公称濾過粒度１０μｍを直径とする孔３０２が形成された多孔板のフィルターと仮定する。第２圧力差ΔＰＢを前述した気液界面を破壊する圧力差ΔＰを求める計算式から求めると、ΔＰＢ≒９．４ｋＰａとなり、評価結果から推測される第２圧力差ΔＰＢより小さい値となった。
【０１１９】
ＮＯ．２は、綾畳織のステンレスメッシュフィルター（メッシュ２８００）と、表面張力が２３．６ｍＮ／ｍの液体の組み合わせである。この組み合わせでは、第１上流側フィルター室２１２と第２下流側フィルター室２２３との間の圧力差が２０ｋＰａのときには第２気液界面３１２が破壊されず、３０ｋＰａのときには第２気液界面３１２が破壊された。すなわち、第２圧力差ΔＰＢは、２０ｋＰａよりも大きく、３０ｋＰａ以下（２０ｋＰａ＜ΔＰＢ≦３０ｋＰａ）である。そのため、充填動作において制御部６０は、第１上流側フィルター室２１２と第２下流側フィルター室２２３との間に発生する最大圧力差を２０ｋＰａよりも大きく３０ｋＰａ以下と推測される第２圧力差ΔＰＢより小さくするように吸引ポンプ５２及び圧力調整機構１４０を駆動することが好ましい。また評価結果から充填動作において第１上流側フィルター室２１２と第２下流側フィルター室２２３との間に発生する最大圧力差を２０ｋＰａ以下とするのがより好ましい。
【０１２０】
また、綾畳織のステンレスメッシュフィルター（メッシュ２８００）を公称濾過粒度５μｍを直径とする孔３０２が形成された多孔板のフィルターと仮定し、第２圧力差ΔＰＢを前述した気液界面を破壊する圧力差ΔＰを求める計算式から求めると、ΔＰＢ≒１８．９ｋＰａとなり、評価結果から推測される第２圧力差ΔＰＢより小さい値となった。
【０１２１】
ＮＯ．３は、綾畳織のステンレスメッシュフィルター（メッシュ３６００）と、表面張力が２３．６ｍＮ／ｍの液体の組み合わせである。この組み合わせでは、第１上流側フィルター室２１２と第２下流側フィルター室２２３との間の圧力差が３０ｋＰａのときには第２気液界面３１２が破壊されず、４０ｋＰａのときには第２気液界面３１２が破壊された。すなわち、第２圧力差ΔＰＢは、３０ｋＰａよりも大きく、４０ｋＰａ以下（３０ｋＰａ＜ΔＰＢ≦４０ｋＰａ）である。そのため、充填動作において制御部６０は、第１上流側フィルター室２１２と第２下流側フィルター室２２３との間に発生する最大圧力差を３０ｋＰａよりも大きく４０ｋＰａ以下と推測される第２圧力差ΔＰＢより小さくするように吸引ポンプ５２及び圧力調整機構１４０を駆動することが好ましい。また評価結果から充填動作において第１上流側フィルター室２１２と第２下流側フィルター室２２３との間に発生する最大圧力差を３０ｋＰａ以下とするのがより好ましい。
【０１２２】
また、綾畳織のステンレスメッシュフィルター（メッシュ３６００）を公称濾過粒度４μｍを直径とする孔３０２が形成された多孔板のフィルターと仮定する。第２圧力差ΔＰＢを前述した気液界面を破壊する圧力差ΔＰを求める計算式から第２圧力差ΔＰＢを求めると、ΔＰＢ≒２３．６ｋＰａとなり、評価結果から推測される第２圧力差ΔＰＢより小さい値となった。
【０１２３】
ＮＯ．４は、綾畳織のステンレスメッシュフィルター（メッシュ２８００）と、表面張力が５８．６ｍＮ／ｍの液体の組み合わせである。この組み合わせでは、第１上流側フィルター室２１２と第２下流側フィルター室２２３との間の圧力差が５０ｋＰａのときには第２気液界面３１２が破壊されず、６０ｋＰａのときには第２気液界面３１２が破壊された。すなわち、第２圧力差ΔＰＢは、５０ｋＰａよりも大きく、６０ｋＰａ以下（５０ｋＰａ＜ΔＰＢ≦６０ｋＰａ）である。そのため、充填動作において制御部６０は、第１上流側フィルター室２１２と第２下流側フィルター室２２３との間に発生する最大圧力差を５０ｋＰａよりも大きく６０ｋＰａ以下と推測される第２圧力差ΔＰＢより小さくするように吸引ポンプ５２及び圧力調整機構１４０を駆動することが好ましい。また評価結果から充填動作において第１上流側フィルター室２１２と第２下流側フィルター室２２３との間に発生する最大圧力差を５０ｋＰａ以下とするのがより好ましい。
【０１２４】
また、綾畳織のステンレスメッシュフィルター（メッシュ２８００）を公称濾過粒度５μｍを直径とする孔３０２が形成された多孔板のフィルターと仮定し、第２圧力差ΔＰＢを前述した気液界面を破壊する圧力差ΔＰを求める計算式から求めると、ΔＰＢ≒４６．９ｋＰａとなり、評価結果から推測される第２圧力差ΔＰＢより小さい値となった。
【０１２５】
次に、以上のように構成された液体噴射装置１０の作用について説明する。
液体噴射部４１が液体を消費すると、液体供給源１０１に収容された液体が、第４フィルター部２４０、第２フィルター部２２０、第１フィルター部２１０を通過して液体噴射部４１に供給される。液体中に含まれる気泡などの異物は、第４フィルター２４１、第２フィルター２２１、第１フィルター２１１に捕集される。
【０１２６】
第２フィルター２２１により捕集された気体は、第６液体流路１５６に設けられた脱気機構２７０により外部に排出される。脱気機構２７０は、第２上流側フィルター室２２２よりも鉛直上方に位置することが好ましい。これにより、第２上流側フィルター室２２２内の気泡を脱気機構２７０に移動させて脱気できる。
【０１２７】
第１フィルター２１１により捕集された気体は、循環ポンプ１９０の駆動により第１上流側フィルター室２１２から流体流路１５８に排出される。気体は、第３フィルター部２３０により捕集されたのち、脱気機構２７０により外部に排出される。
【０１２８】
メンテナンス部５０は、定期的に液体噴射部４１をメンテナンスする。吸引クリーニング及び加圧クリーニングでは、制御部６０は、第１上流側フィルター室２１２と第２上流側フィルター室２２２の圧力差が第１圧力差ΔＰＡ以上、第２圧力差ΔＰＢ未満となるように吸引ポンプ５２もしくは圧力調整機構１４０を駆動する。チョーククリーニングでは、制御部６０は、第３開閉弁１６３を開弁した後の第１上流側フィルター室２１２と第２上流側フィルター室２２２の圧力差が第１圧力差ΔＰＡ以上、第２圧力差ΔＰＢ未満となるように吸引ポンプ５２を駆動する。
【０１２９】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）充填動作において第１上流側フィルター室２１２と第１下流側フィルター室２１３との間に発生する最大圧力差は、第１フィルター２１１の上流側が液体で下流側が気体である場合に第１フィルター２１１の孔３０２に形成される第１気液界面３１１を破壊する圧力差より大きい。そのため、液体供給源１０１から供給された液体は、第１フィルター２１１を通過する。さらに、充填動作において第１上流側フィルター室２１２と第１下流側フィルター室２１３との間に発生する最大圧力差は、第１フィルター２１１の上流側が気体で下流側が液体である場合に第１フィルター２１１の孔３０２に形成される第２気液界面３１２を破壊する圧力差より小さい。そのため、第１上流側フィルター室２１２に気体が滞留する場合でも、その気体が気泡となって第１フィルター２１１を通過し、下流側に移動する虞を低減できる。したがって、液体供給流路１５０内に第１フィルター２１１を設けた場合でも、液体供給流路１５０に液体を適正に充填できる。
【０１３０】
（２）ノズル開口４４の寸法よりも大きな異物は、第１フィルター２１１により捕集できる。したがって、ノズル開口４４を通過できない異物がノズル開口４４側に流れる虞を低減できる。
【０１３１】
（３）ノズル開口４４の寸法よりも大きな異物は、第２フィルター２２１により捕集される。したがって、ノズル開口４４を通過できない異物がノズル開口４４側に流れる虞を低減できる。さらに、第１フィルター２１１よりも捕集可能な異物の大きさが大きい第２フィルター２２１を、第１フィルター２１１よりも上流側に設けるため、第１フィルター２１１に捕集される異物を低減させ、第１フィルター２１１が目詰まりする虞を低減できる。
【０１３２】
（４）液体が充填される第１上流側フィルター室２１２に気体が滞留している場合に、気体を含む流体を流体流路１５８により第１上流側フィルター室２１２の外部に排出できる。したがって、第１フィルター２１１を通過しないように第１上流側フィルター室２１２に滞留させた気体（気泡）を液体噴射部４１内を通過させることなく外部に排出できる。
【０１３３】
（５）例えば、流体流路１５８側から流体を吸引して第１上流側フィルター室２１２の外部へ排出すると、液体供給流路１５０に作用する圧力は、ノズル開口４４が開口する空間の気圧よりも低くなる。その点、ノズル開口４４に形成される第３気液界面３１３の上流側と、ノズル開口４４が開口する空間側と、の間に発生する最大圧力差が、ノズル開口４４に形成される第３気液界面３１３を破壊する第３圧力差ΔＰＣより小さい。そのため、ノズル開口４４に形成された第３気液界面３１３が排出動作により破壊される虞を低減でき、ノズル開口４４から気体が流入する虞を低減できる。
【０１３４】
（６）第１上流側フィルター室２１２内の流体を第１上流側フィルター室２１２の外部へ排出可能な流体流路１５８により循環流路１５７を形成し、循環流路１５７の一部を構成する第３フィルター部２３０に排出流路１５９を接続する。したがって、第１上流側フィルター室２１２から排出した気体を液体供給流路１５０及び流体流路１５８の外部に排出する構成として好適に採用できる。
【０１３５】
上記実施形態は以下に示す変更例のように変更してもよい。上記実施形態と下記変更例とは、任意に組み合わせてもよい。
・液体供給装置１００は、第１中間貯留体１２１と第２中間貯留体１２２のうち、少なくとも一方を備えない構成としてもよい。
【０１３６】
・充填動作において、制御部６０は、吸引ポンプ５２による減圧と、圧力調整機構１４０による中間貯留体１２０の加圧と、のうち何れか一方を行い、液体供給流路１５０に液体を充填してもよい。
【０１３７】
・液体噴射装置１０は、第１フィルター部２１０〜第４フィルター部２４０のうち少なくとも１つのフィルター部を備える構成としてもよい。すなわち、例えば、液体噴射装置１０は、第３フィルター部２３０を備えない構成としてもよい。液体噴射装置１０は、第２フィルター部２２０を備えない構成としてもよい。液体噴射装置１０が第１フィルター部２１０を備えない構成とする場合、例えば第２フィルター部２２０が第１フィルター部として機能し、第４フィルター部２４０が第２フィルター部として機能する。
【０１３８】
・第３フィルター部２３０は、第６液体流路１５６に設けてもよい。第２フィルター部２２０、もしくは第４フィルター部２４０に排出流路１５９を接続し、第３フィルター部として機能させてもよい。
【０１３９】
・第１フィルター部２１０に排出流路１５９を接続してもよい。すなわち、第１上流側フィルター室２１２に排出流路１５９を接続し、第１上流側フィルター室２１２内の流体を排出流路１５９を介して第１上流側フィルター室２１２の外部へ排出してもよい。
【０１４０】
・第１フィルター部２１０〜第４フィルター部２４０は、交換できない構成としてもよい。
・循環ポンプ１９０を駆動する排出動作は、メンテナンス部５０が液体噴射部４１をキャッピングした状態で行ってもよい。
【０１４１】
・排出動作においてノズル開口４４に形成される第３気液界面３１３の上流側と空間側との間に発生する最大圧力差は、第３圧力差ΔＰＣよりも大きくてもよい。最大圧力差が第３圧力差ΔＰＣよりも大きい場合には、排出動作後に吸引クリーニングもしくは、加圧クリーニングをすることが好ましい。
【０１４２】
・充填動作は、開弁機構２９０が連通孔２８１を開放した状態で第１中間貯留体１２１と第２中間貯留体１２２を交互に加圧及び減圧し、中間貯留体１２０から加圧供給された液体を液体供給流路１５０に充填してもよい。
【０１４３】
・第１中間貯留体１２１および第２中間貯留体１２２のうち一方の中間貯留体１２０内に貯留される液体で液体供給流路１５０内を充填できる場合、一方の中間貯留体１２０を加圧した状態で、開弁機構２９０が連通孔２８１を開放し、中間貯留体１２０から加圧供給された液体を液体供給流路１５０に充填してもよい。
【０１４４】
・液体供給装置１００は、中間貯留体１２０として、第１中間貯留体１２１および第２中間貯留体１２２のうちいずれか一方だけを備えてもよい。
・第６液体流路１５６の第３開閉弁１６３と接続部１６０との間に送りポンプを設け、第６液体流路１５６の送りポンプより下流側となる液体供給流路１５０内に液体を加圧供給可能としてもよい。
【０１４５】
・中間貯留体１２０（１２１，１２２）および液体供給源１０１のうち少なくとも一方を液体噴射部４１（ノズル開口４４の開口位置）より鉛直方向上方に配置し、水頭差を利用して液体供給流路１５０内に液体を加圧供給可能としてもよい。
【０１４６】
・流体流路１５８は循環流路１５７を形成しなくてもよい。この場合、第１フィルター部２１０が有する第１上流側フィルター室２１２と接続される流体流路１５８の一端と反対側となる他端から流体（液体）を液体流路外となる別途設けられた廃液収集部へ排出することができる。
【０１４７】
・流体流路１５８が第１上流側フィルター室２１２と接続される一端と反対側となる他端から流体（液体）を液体流路外へ排出可能な態様である場合、第１中間貯留体１２１と第２中間貯留体１２２のうち少なくとも一方の中間貯留体１２０内を加圧した状態で流体流路１５８に設けられた循環ポンプ１９０を所定時間駆動してもよい。液体供給流路１５０内の流体（主に気体）を流体流路１５８の他端から排出することにより液体供給流路１５０の第１フィルター部２１０の第１上流側フィルター室２１２まで液体を充填してもよい。そして液体噴射部４１をキャッピングをした状態で吸引ポンプ５２を所定時間駆動し、第１フィルター部２１０の第１上流側フィルター室２１２より下流側の液体供給流路１５０内の流体（主に気体）を液体噴射部４１のノズル開口４４から排出することに液体を充填してもよい。尚、循環ポンプ１９０を所定時間駆動して第１フィルター部２１０の第１上流側フィルター室２１２まで液体を充填する際には液体噴射部４１をキャッピングすることにより密閉状態とし、ノズル開口４４から空気が流入し難くしておくことが好ましい。
【０１４８】
液体供給流路１５０内に液体供給源１０１内の液体を充填する充填動作において脱気機構２７０による気体の排出は行わなくてもよい。そして、充填動作が終了後、脱気機構２７０による気体の排出を行ってもよい。
【０１４９】
・液体噴射装置１０は、循環流路１５７、及び流体流路１５８を備えない構成としてもよい。
・第２フィルター２２１が捕集可能な異物の大きさは、第１フィルター２１１が捕集可能な異物の大きさよりも小さくてもよい。第２フィルター２２１が捕集可能な異物の大きさは、第１フィルター２１１が捕集可能な異物の大きさと同じでもよい。すなわち、第２フィルター２２１の濾過粒度は、第１フィルター２１１の濾過粒度以下であってもよい。
【０１５０】
・第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１が捕集可能な異物の大きさは、ノズル開口４４の最小寸法よりも大きくてもよい。第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１が捕集可能な異物の大きさは、ノズル開口４４の最小寸法と同じでもよい。すなわち、第１フィルター２１１〜第４フィルター２４１の濾過粒度は、ノズル開口４４の最小寸法以上でもよい。
【０１５１】
・液体噴射装置は、インク以外の他の液体を噴射したり吐出したりする液体噴射装置であってもよい。液体噴射装置から微小量の液滴となって吐出される液体の状態としては、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。ここでいう液体は、液体噴射装置から噴射させることができるような材料であればよい。例えば、物質が液相であるときの状態のものであればよく、粘性の高い又は低い液状体、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような流状体を含むものとする。物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散又は混合されたものなども含むものとする。液体の代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インク及び油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種液体組成物を包含するものとする。液体噴射装置の具体例としては、例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、面発光ディスプレイ、カラーフィルターの製造等に用いられる電極材や色材等の材料を分散又は溶解のかたちで含む液体を噴射する液体噴射装置がある。バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置、捺染装置やマイクロディスペンサー等であってもよい。時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置であってもよい。基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置であってもよい。
【符号の説明】
【０１５２】
１０…液体噴射装置、１１…脚部、１２…筐体、１３…繰出部、１４…案内部、１５…巻取部、１６…テンション付与機構、１７…操作パネル、１８…カバー、２０…支持台、３０…搬送部、３１…搬送ローラー対、３２…搬送ローラー対、４０…印刷部、４１…液体噴射部、４２…ガイド軸、４３…キャリッジ、４４…ノズル開口、５０…メンテナンス部、５１…キャップ、５２…吸引ポンプ、５３…廃液タンク、５４…レギュレーター、６０…制御部、１００…液体供給装置、１０１…液体供給源、１０２…液体供給源保持部、１２０…中間貯留体、１２１…第１中間貯留体、１２２…第２中間貯留体、１２３…液体収容部、１２４…収容空間、１２５…ケース、１２６…液体接続口、１２７…圧力調整口、１３１…第１中間貯留体保持部、１３２…第２中間貯留体保持部、１４０…圧力調整機構、１４１…第１圧力調整機構、１４２…第２圧力調整機構、１４３…圧力調整流路、１４４…圧力調整ポンプ、１５０…液体供給流路、１５１…第１液体流路、１５２…第２液体流路、１５３…第３液体流路、１５４…第４液体流路、１５５…第５液体流路、１５６…第６液体流路、１５７…循環流路、１５８…流体流路、１５９…排出流路、１６０…接続部、１６１…第１開閉弁、１６２…第２開閉弁、１６３…第３開閉弁、１７１…第１流量センサー、１７２…第２流量センサー、１８１…第１逆止弁、１８２…第２逆止弁、１８３…第３逆止弁、１８４…第４逆止弁、１８５…第５逆止弁、１８６…第６逆止弁、１８７…第７逆止弁、１９０…循環ポンプ、２１０…第１フィルター部、２１１…第１フィルター、２１２…第１上流側フィルター室、２１３…第１下流側フィルター室、２２０…第２フィルター部、２２１…第２フィルター、２２２…第２上流側フィルター室、２２３…第２下流側フィルター室、２３０…第３フィルター部、２３１…第３フィルター、２３２…第３上流側フィルター室、２３３…第３下流側フィルター室、２３４…フィルターケース、２３５…支持板、２４０…第４フィルター部、２４１…第４フィルター、２４２…第４上流側フィルター室、２４３…第４下流側フィルター室、２５０…スタティックミキサー、２６０…液体貯留部、２６１…加圧室、２６２…弾性膜、２６３…第１付勢部材、２７０…脱気機構、２７１…脱気室、２７２…脱気膜、２７３…排気室、２７４…排気路、２７５…減圧ポンプ、２８０…液圧調整機構、２８１…連通孔、２８２…圧力室、２８３…弁体、２８４…受圧部材、２８５…可撓壁、２８６…第２付勢部材、２８７…第３付勢部材、２９０…開弁機構、２９１…収容室、２９２…加圧袋、２９３…加圧流路、３０１…針金、３０２…孔、３１１…第１気液界面、３１２…第２気液界面、３１３…第３気液界面、４１１…個別液室、４１２…振動板、４１３…収容部、４１４…アクチュエーター、４１５…共通液室、Ｄ…直径、Ｍ…媒体、Θ…濡れ角。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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