(57)【要約】【課題】従来のような特別な工程ではなく、一般的なセラミックグリーンシートの製造の際に、キャリアフィルムの剥離が容易なセラミックグリーンシートを提供すること。【解決手段】セラミックグリーンシート１は、相対密度が理論密度換算で９５％以上であり、且つ、表面粗さＳａが１７μｍ以下である。よって、通気性を有する吸着板９の表面（吸着面）９ａに載置されたセラミックグリーンシート１、詳しくは吸着面９ａの裏側の減圧面９ａ側の減圧によって吸着されて固定されたセラミックグリーンシート１からキャリアフィルム３を剥がす際に、セラミックグリーンシート１が破れたりしわが寄ったりする等の不具合の発生を抑制できる。そのため、キャリアフィルム３をセラミックグリーンシート１を損なうことなく容易に剥がすことができる。【選択図】図２
2019001094.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック成分及び樹脂成分を含む未焼成のセラミックグリーンシートにおいて、
該セラミックグリーンシートは、相対密度が理論密度換算で９５％以上であり、且つ、表面粗さＳａが１７μｍ以下である、
セラミックグリーンシート。
【請求項２】
前記セラミックグリーンシートを構成する主原料の金属酸化物粉末のＤ５０粒径が、０．３μｍ〜０．６μｍである、
請求項１に記載のセラミックグリーンシート。
【請求項３】
前記セラミックグリーンシートは、前記主原料の金属酸化物粉末に加え、少なくともバインダ、有機溶剤、分散剤を含む、
請求項１又は２に記載のセラミックグリーンシート。
【請求項４】
前記分散剤として、非イオン系分散剤を用いる、
請求項３に記載のセラミックグリーンシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、例えば電子部品のパッケージ、無線通信モジュール基板、制御回路用基板、半導体検査装置等に用いられるセラミック基板の製造などに利用できるセラミックグリーンシートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、セラミック基板の製造に用いられるセラミックグリーンシートの技術として、例えば、セラミック成分や樹脂成分を含むセラミックスラリーを用いて、キャリアフィルム上にセラミックグリーンシートを形成する技術が知られている。また、セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥がしてから、セラミックグリーンシートを焼成してセラミック基板を製造している。
【０００３】
このとき、セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥がす場合には、通気性を有する基台（即ち吸着板）の表面上に、キャリアフィルムを上にしてセラミックグリーンシートを載置している。そして、吸着板の裏面側を減圧して、吸着板の表面にセラミックグリーンシートを吸着して固定し、その吸着固定したセラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥がすようにしている。
【０００４】
ところで、キャリアフィルムはセラミックグリーンシートに密着しているので、セラミックグリーンからキャリアフィルムを剥がす場合には、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムに引っ張られて破れたりしわが発生することがある。
【０００５】
このキャリアフィルムの剥離時に発生する不具合の対策として、下記の特許文献１〜３に記載のように、各種の技術が開示されている。
例えば、特許文献１には、セラミックグリーンシートを冷却することで、前記密着性を低減して、キャリアフィルムの剥離を容易にする技術が開示されている。
【０００６】
また、特許文献２には、セラミックグリーンシートの一部に、キャリアフィルムが粘着しないパターンを形成し、そのパターンを剥離起点とすることで、キャリアフィルムの剥離を容易にする技術が開示されている。
【０００７】
さらに、特許文献３には、キャリアフィルム側から爪等で局所的に力を加えることによって、キャリアフィルムとセラミックグリーンシートとが剥離した領域を形成し、その領域を剥離起点とすることで、キャリアフィルムの剥離を容易にする技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１６−４６４７５号公報
【特許文献２】特開２０１２−６２２６号公報
【特許文献３】特開２００１−２６９９２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述した従来技術でも十分ではなく、一層の改善が求められていた。
つまり、特許文献１、２に記載の技術では、セラミックグリーンシートの冷却や局所的な加圧といった特別な工程が必要であるという問題があった。また、特許文献３に記載の技術では、事前に等間隔にて局所的に力を加える等の特殊な加工が必要であり、決まった寸法でしかセラミックグリーンシートを作製することができず、セラミックグリーンシートの作成後の自由度が低いという問題があった。
【００１０】
本開示は、上述した課題を解決するためになされたものであり、その目的は、上述した特別な工程ではなく、一般的なセラミックグリーンシートの製造の際に、キャリアフィルムの剥離が容易なセラミックグリーンシートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
（１）本開示の第１局面は、セラミック成分及び樹脂成分を含む未焼成のセラミックグリーンシートに関するものである。このセラミックグリーンシートは、相対密度が理論密度換算で９５％以上であり、且つ、表面粗さＳａが１７μｍ以下である。
【００１２】
本第１局面では、セラミックグリーンシートは、相対密度が理論密度換算で９５％以上であり、且つ、表面粗さＳａが１７μｍ以下である。よって、後述する実験例からも明らかなように、通気性を有する基台（例えば吸着板）の表面に載置されたセラミックグリーンシート、詳しくは例えば吸着板の裏面側の減圧によって吸着固定されたセラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥がす際に、セラミックグリーンシートが破れたりしわが寄ったりする等の不具合の発生を抑制して、容易にキャリアフィルムを剥がすことができる。
【００１３】
詳しくは、セラミックグリーンシートを例えば吸着板に吸着固定する場合には、例えば吸着板の裏面側を減圧するが、このとき、セラミックグリーンシートが緻密でない場合には、セラミックグリーンシート内を空気が通過するので、セラミックグリーンシートを吸着板に吸着固定することは容易ではない。
【００１４】
それに対して、本第１局面では、セラミックグリーンシートは、相対密度が理論密度換算で９５％以上であり、非常に緻密であるので、セラミックグリーンシート内を空気が通過しにくい（即ち空気の漏れが少ない）。よって、例えば吸着板の裏面側を減圧することにより、セラミックグリーンシートを強固に吸着固定できる。
【００１５】
そのため、セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを持ち上げるように剥離する際には、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムとともに持ち上げられることを抑制できる。その結果、持ち上げられることに起因するセラミックグリーンシートの破れやしわの発生を抑制できる。
【００１６】
また、通常、樹脂成分はセラミック成分に比べて、樹脂製のキャリアフィルムとの密着性が高いので、セラミックグリーンシートに含まれる樹脂成分が粒状に凝集した箇所（即ちダマのような樹脂凝集部）が存在する場合には、その部分にて樹脂成分とキャリアフィルムとが強固に密着する。
【００１７】
それに対して、本第１局面では、セラミックグリーンシートの表面粗さＳａが１７μｍ以下であり、表面が非常に滑らかである。これは、粒状の樹脂凝集部による凹凸が少ないこと、言い換えれば、セラミック成分等の粉末の分散性が良く、樹脂凝集部が少ないことを示している。
【００１８】
そのため、セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥離する際に、セラミックグリーンシートの一部（例えば密着性の高い樹脂凝集部）がキャリアフィルムとともに持ち上げられることを抑制できる。よって、キャリアフィルムの剥離の際に、樹脂凝集部に起因するセラミックグリーンシートの破れやしわの発生を抑制できる。
【００１９】
つまり、本第１局面では、従来のような特別な工程ではなく、一般的なセラミックグリーンシートの製造の際に、セラミックグリーンシートを損なうことなく、キャリアフィルムを容易に剥離することができるという顕著な効果を奏する。
（２）本発明の第２局面では、セラミックグリーンシートを構成する主原料の金属酸化物粉末のＤ５０粒径が、０．３μｍ〜０．６μｍであってもよい。
【００２０】
本第２局面では、セラミックグリーンシートの主原料の金属酸化物粉末のＤ５０粒径が、０．３μｍ〜０．６μｍであるので、上述のような高い密度（相対密度）を有し（即ち緻密であり）、且つ、金属酸化物粉末等の分散性の優れた（従って樹脂成分の凝集が少ない）セラミックグリーンシートを容易に製造することができる。
【００２１】
ここで、Ｄ５０粒径が０．３μｍ未満の場合には、金属酸化物粉末があまりに微細であるので、セラミックグリーンシートの成形性が悪く、セラミックグリーンシートを成形することは容易ではない。また、Ｄ５０粒径が０．６μｍを上回る場合には、金属酸化物粉末が粗すぎるので、上述のような緻密で且つ粉末の分散性の優れたセラミックグリーンシートを作製することは容易ではない。
（３）本発明の第３局面では、セラミックグリーンシートは、主原料の金属酸化物粉末に加え、少なくともバインダ、有機溶剤、分散剤を含んでいてもよい。
【００２２】
本第３局面では、セラミックグリーンシートの好ましい成分を例示している。
（４）本発明の第４局面では、分散剤として、非イオン系分散剤を用いてもよい。
本第４局面では、分散剤として、非イオン系分散剤を用いるので、後述する実験例からも明らかなように、粉末の分散性がよいという利点がある。
【００２３】
＜以下に、本開示の構成について説明する＞
・セラミックグリーンシートとは、固体成分の主原料（主成分）がセラミックである未焼成のシート（即ちグリーンシート）である。
【００２４】
ここで、主原料（主成分）とは、その成分が、固体成分の５０体積％を上回ることを示している。なお、主原料の割合としては、８０体積％〜９９体積％が好適である。
・主原料であるセラミック成分としては、アルミナ、窒化アルミ、シリカ等の金属酸化物が挙げられる。
【００２５】
・相対密度とは、理論密度に対する割合である。なお、相対密度は、例えばＤ５０粒径や適切な分散剤を用いることなどにより調整できる。例えばＤ５０粒径を小さく（例えば６μｍ以下）にし、且つ、分散性に優れた非イオン系分散剤を用いること等により、相対密度を高めることができる。
【００２６】
・表面粗さＳａとは、ＩＳＯ２５１７８にて規定される、三次元表面性状パラメータ（三次元の算術平均粗さ）である。表面粗さＳａは、例えば金属酸化物等の粉末（粒子）の分散性を高めることによって高めることができる。例えば粉末の分散性を好適に高めることができる非イオン系分散剤を用いることにより、粉末の分散性を高め、それによって、樹脂成分の凝集を抑制すること等により、表面粗さＳａを小さくすることができる。
【００２７】
・樹脂成分としては、バインダ等が挙げられる。このバインダは、セラミックグリーンシートの作製用のセラミックスラリーに所定の粘性を付与して、容易にシート形状とするため等に用いられるものである。このバインダとしては、例えばブチラール系バインダが挙げられる。
【００２８】
・有機溶剤は、セラミックスラリー中のバインダを溶かすため等に用いられる溶剤である。この有機溶剤としては、例えばトルエン、ケトン類、アルコール等が挙げられる。このうち、トルエン、メチルエチルケトン、エタノール等が好適である。
【００２９】
・分散剤は、セラミックスラリー中のセラミック成分等の金属酸化物などの粉末（粒子）を、効果的に分散させるために用いられるものである。この分散剤としては、例えば非イオン系分散剤であるソルビタン脂肪酸エステルなどが好適に用いられる。
【００３０】
・Ｄ５０粒径（いわゆるメジアン径）とは、粒度分布において、体積基準で積算値が５０％の場合の粒径（即ち５０％径）を意味する。
なお、ここでは、レーザー回折・散乱法によって求めた粒度分布における積算値５０％の粒子径（５０％径）を採用している。
【００３１】
なお、上述した第１〜第４局面のいずれかに記載のセラミックグリーンシートを製造する場合には、例えば下記の第１〜第４工程を有する製造方法を採用できる。
セラミック成分及び樹脂成分を含むセラミックスラリーを用いて、キャリアフィルム上に前記セラミックグリーンシートを形成する第１工程、
通気性を有する基台の載置面上に、該載置面と前記セラミックグリーンシートとが接触するように、前記キャリアフィルムが付着した前記セラミックグリーンシートを載置する第２工程と、
前記基台の載置面と異なる面側を周囲環境より低圧にして、前記基台の載置面に前記セラミックグリーンシートを吸着して固定する第３工程と、
前記基台に固定された前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥がす第４工程。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】実施形態のセラミックグリーンシートを示す斜視図である。
【図２】実施形態のセラミックグリーンシートの製造方法を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
次に、本開示のセラミックグリーンシートについて説明する。
［１．実施形態］
［１−１．構成］
まず、実施形態のセラミックグリーンシートについて、図１に基づいて説明する。
【００３４】
図１に示すように、本実施形態のセラミックグリーンシート１は、例えばアルミナを主成分とする未焼成のシートであり、焼成によってアルミナが例えば８０体積％〜９９体積％のセラミック基板（図示せず）となるものである。
【００３５】
このセラミックグリーンシート１は、相対密度が理論密度換算で９５％以上であり、且つ、表面粗さＳａが１７μｍ以下である。なお、セラミックグリーンシート１の平面形状は、例えば矩形状（例えば正方形）である。
【００３６】
また、セラミックグリーンシート１は、焼成後にセラミック基板を構成する固体成分として、主成分のセラミック成分（即ち金属酸化物）の例えばアルミナを８０体積％〜９９体積％含むとともに、例えばＳｉＯ２等の焼結助剤を１体積％〜１０体積％含んでいる。なお、アルミナや焼結助剤は粉末状態で含有されており、このうちアルミナの平均粒径（Ｄ５０粒径）は、０．３μｍ〜０．６μｍである。
【００３７】
また、セラミックグリーンシート１は、前記固体成分以外に、バインダ、可塑剤、有機溶剤、分散剤を含んでいる。
このバインダとしては、例えばブチラール系バインダが用いられる。可塑剤成分としては、例えばＤＯＰ（ジ・オクチル・フタレート）が用いられる。有機溶剤としては、例えばエステルが用いられる。分散剤としては、例えばソルビタン脂肪酸エステル等の非イオン系分散剤が用いられる。
【００３８】
なお、セラミックグリーンシート１を構成する材料としては、上述した材料に限定されるものではなく、周知の各種の物質を用いることができる。
例えば、主成分としては、アルミナ以外に、窒化アルミ、シリカなどを採用できる。また、焼結助剤としては、ＳｉＯ２、ＭｇＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＭｎＯ２、Ｎｂ２Ｏ５のうち、少なくとも１種を用いてもよい。
［１−２．製造方法］
次に、本実施形態のセラミックグリーンシート１の製造方法の概略について、図２に基づいて説明する。
【００３９】
＜セラミックスラリーの作製＞
まず、焼成後にセラミック基板となるセラミックグリーンシートの材料（原材料）を用意した。
【００４０】
例えば、セラミックグリーンシート１の固体成分として、主成分のアルミナの粉末と焼結助剤の粉末とを用意した。また、セラミックグリーンシート１の作製に使用するセラミックスラリーとする成分として、バインダ、可塑剤、有機溶剤、分散剤を用意した。
【００４１】
そして、前記アルミナの粉末、焼結助剤の粉末、バインダ、可塑剤、有機溶剤、分散剤を混合して、セラミックスラリーを作製した。
なお、セラミックグリーンシート１を作製する際に、９５％以上の相対密度とし、且つ、１７μｍ以下の表面粗さＳａとするために、Ｄ５０粒径が０．６μｍ以下のアルミナを用いるとともに、分散剤として、例えばソルビタン脂肪酸エステル等の非イオン系分散剤を用いた。ここで、前記表面粗さＳａとするためには、特に非イオン系分散剤が有効である。
【００４２】
＜セラミックグリーンシートの作製＞
次に、図２（ａ）に示すように、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）製の厚み５０μｍのキャリアフィルム３の上に、ドクターブレード法によって、前記セラミックグリーンシート１より大判のセラミックグリーンシート５を形成した。なお、このセラミックグリーンシート５は、前記矩形状のセラミックグリーンシート１の切断前の母材シートである。
【００４３】
次に、図２（ｂ）に示すように、キャリアフィルム３が密着した状態の前記セラミックグリーンシート５を、前記矩形状のセラミックグリーンシート１の形状に切断し、矩形状のキャリアフィルム３が密着した矩形状のセラミックグリーンシート１（即ちフィルム付きシート７）を作製した。
【００４４】
次に、図２（ｃ）に示すように、通気性を有する基台（即ち吸着板）９の一方の表面、即ち上面である載置面（吸着面）９ａに、フィルム付きシート７を載置する。このとき、セラミックグリーンシート１の第１表面１ａ、即ちキャリアフィルム３が密着した第２表面１ｂと反対側の第１表面１ａと吸着面９ａが接するように、フィルム付きシート７を載置する。
【００４５】
この吸着板９としては、例えば厚み方向に多数の貫通孔が形成された板材や、多孔質の板材や、メッシュ状の板材などを使用できる。
次に、図２（ｄ）に示すように、吸着板９の吸着面９ａと反対側の面、即ち吸着板９の下面（減圧面）９ｂ側を、周囲環境より減圧して、即ち空気を減圧面９ｂ側から矢印Ａ方向に吸引するようにして（いわゆる真空引きを行って）、セラミックグリーンシート１（従ってフィルム付きシート７）を吸着板９に吸着して固定する。
【００４６】
＜キャリアフィルムの剥離＞
次に、図２（ｅ）に示すように、吸着板９に吸着固定されたセラミックグリーンシート１（従ってフィルム付シート７）からキャリアフィルム３を剥離する。
【００４７】
詳しくは、キャリアフィルム３の表面（上面）の外縁部の一端（同図右端）にテープ１１を貼り、そのテープ１１とともにキャリアフィルム３を斜め上方（同図の左斜め上方：矢印Ｂ方向）に持ち上げてから、テープ１１をセラミックグリーンシート１の表面に沿って、同図の左側に引っ張ることにより、キャリアフィルム３の剥離を行った。
【００４８】
これによって、図２（ｆ）に示すように、セラミックグリーンシート１からキャリアフィルム３が除去される。そして、真空引きを中止することによって、図２（ｇ）に示すように、本実施形態のセラミックグリーンシート１を得た。
［１−３．効果］
次に、本実施形態の効果について説明する。
【００４９】
（１）本実施形態では、セラミックグリーンシート１は、相対密度が理論密度換算で９５％以上であり、且つ、表面粗さＳａが１７μｍ以下である。
よって、後述する実験例からも明らかなように、吸着板９の吸着面９ａ上に載置されたセラミックグリーンシート１、詳しくは減圧面９ｂ側の減圧によって吸着固定されたセラミックグリーンシート１からキャリアフィルム３を剥がす際に、セラミックグリーンシート１の破れやしわの発生を抑制して、容易にキャリアフィルム３を剥がすことができる。
【００５０】
つまり、従来のような特別な工程ではなく、一般的なセラミックグリーンシート１の製造の際に、セラミックグリーンシート１を損なうことなく、キャリアフィルム３を容易に剥離することができる。
（２）本実施形態では、セラミックグリーンシート１の主原料のアルミナのＤ５０粒径が、０．３μｍ〜０．６μｍであるので、高い相対密度を有し（即ち緻密であり）、且つ、粉末（粒子）の分散性の優れたセラミックグリーンシート１を容易に製造することができる。
（３）本実施形態では、分散剤として、非イオン系分散剤を用いるので、後述する実験例からも明らかなように、粉末の分散性がよいという利点がある。
［２．実験例］
次に、本開示の効果を確認するために行った実験例について説明する。
［２−１．試料の作製］
まず、本実験例に使用する試料（セラミックグリーンシートＡ〜Ｅ）の作製方法について説明する。なお、セラミックグリーンシートＤ、Ｅが本開示の範囲内の実施例であり、セラミックグリーンシートＡ〜Ｅが本開示の範囲外の比較例である。
【００５１】
＜セラミックグリーンシートＡ＞
まず、セラミックの原材料（原料粉末）として、主原料であるＤ５０粒径が２μｍのＡｌ２Ｏ３粉末と、焼結助剤である、ＳｉＯ２、ＭｇＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＭｎＯ２、Ｎｂ２Ｏ５の各粉末とを用意した。
【００５２】
次に、アルミナ製のポットに、固体成分のアルミナ粉末と焼結助剤粉末とを、アルミナが９０質量部、焼結助剤が１０質量部となるように、合計で１０００ｇ秤量して入れた。
さらに、ポットには、シート成形時の成分として、バインダ、可塑剤、有機溶剤、分散剤を、固体成分に対して外質量部として９０質量部添加した。具体的には、ブチラール系バインダ、可塑剤のＤＯＰ（ジ・オクチル・フタレート）、有機溶剤のトルエン、非イオン系分散剤のソルビタン脂肪酸エステルを添加した。なお、バインダ、可塑剤、有機溶剤、分散剤の割合は、質量部で、１０：５：７５：１である。
【００５３】
そして、前記ポットにて、上述した材料を混合して、セラミックスラリーを作製した。
次に、このセラミックスラリーを用いて、ドクターブレード法によって、ＰＥＴからなる厚さ５０μｍのキャリアフィルム上に、厚さ５０μｍの評価用のセラミックグリーンシートＡを作製した。
【００５４】
＜セラミックグリーンシートＢ＞
このセラミックグリーンシートＢの作製方法は、基本的に、前記セラミックグリーンシートＡの作製方法を同様であるので、同様な内容の説明は省略する。
【００５５】
まず、セラミックの原材料として、主原料であるＤ５０粒径が０．４μｍのＡｌ２Ｏ３粉末と、前記と同様な焼結助剤の粉末とを用意した。
次に、前記と同様にして、アルミナ粉末及び焼結助剤粉末に、バインダ、可塑剤、有機溶剤、分散剤を加えて混合し、セラミックスラリーを作製した。但し、分散剤としては、イオン系（詳しくはアニオン系）分散剤として、ポリアミン系分散剤を添加した。
【００５６】
そして、このセラミックスラリーを用いて、前記と同様にして、キャリアフィルム上に、厚さ５０μｍの評価用のセラミックグリーンシートＢを作製した。
＜セラミックグリーンシートＣ＞
このセラミックグリーンシートＣの作製方法は、基本的に、前記セラミックグリーンシートＡの作製方法を同様であるので、同様な内容の説明は省略する。
【００５７】
まず、セラミックの原材料として、主原料であるＤ５０粒径が０．４μｍのＡｌ２Ｏ３粉末と、前記と同様な焼結助剤の粉末とを用意した。
次に、前記と同様にして、アルミナ粉末及び焼結助剤粉末に、バインダ、可塑剤、有機溶剤、分散剤を加えて混合し、セラミックスラリーを作製した。但し、分散剤としては、イオン系（詳しくはカチオン系）分散剤として、カルボキシ基含有ポリマー変性物を添加した。
【００５８】
そして、このセラミックスラリーを用いて、前記と同様に、キャリアフィルム上に、厚さ５０μｍの評価用のセラミックグリーンシートＣを作製した。
＜セラミックグリーンシートＤ＞
このセラミックグリーンシートＤの作製方法は、基本的に、前記セラミックグリーンシートＡの作製方法を同様であるので、同様な内容の説明は省略する。
【００５９】
まず、セラミックの原材料として、主原料であるＤ５０粒径が０．５μｍのＡｌ２Ｏ３粉末と、前記と同様な焼結助剤の粉末とを用意した。
次に、前記と同様にして、アルミナ粉末及び焼結助剤粉末に、バインダ、可塑剤、有機溶剤、分散剤を混合して、セラミックスラリーを作製した。なお、分散剤としては、非イオン系分散剤のソルビタン脂肪酸エステルイオン系（詳しくはアニオン系）分散剤として、ポリアミン系分散剤を添加した。
【００６０】
そして、このセラミックスラリーを用いて、前記と同様に、キャリアフィルム上に、厚さ５０μｍの評価用のセラミックグリーンシートＤを作製した。
＜セラミックグリーンシートＥ＞
このセラミックグリーンシートＥの作製方法は、基本的に、前記セラミックグリーンシートＡの作製方法を同様であるので、同様な内容の説明は省略する。
【００６１】
まず、セラミックの原材料として、主原料であるＤ５０粒径が０．４μｍのＡｌ２Ｏ３粉末と、前記と同様な焼結助剤の粉末とを用意した。
次に、前記と同様にして、アルミナ粉末及び焼結助剤粉末に、バインダ、可塑剤、有機溶剤、分散剤を混合して、セラミックスラリーを作製した。なお、分散剤としては、非イオン系分散剤のソルビタン脂肪酸エステルイオン系（詳しくはアニオン系）分散剤として、ポリアミン系分散剤を添加した。
【００６２】
そして、このセラミックスラリーを用いて、前記と同様に、キャリアフィルム上に、厚さ５０μｍの評価用のセラミックグリーンシートＥを作製した。
［２−２．試料の測定］
次に、各試料の特性の測定方法について説明する。
【００６３】
＜Ｄ５０粒径の測定＞
Ｄ５０粒径は、レーザー回折・散乱法によって求めた。
具体的には、ＭｉｃｒｏｔｒａｃＢＥＬ社製のレーザー回折・散乱式粒子径分布測定器（マイクロトラックＭＴ３０００IIシリーズ）を用いて、セラミックスラリー中の粒子の粒子径の分布を求めた。そして、その分布からＤ５０粒径を求めた。その結果を下記表１に記す。
【００６４】
＜相対密度の測定＞
次に、相対密度の測定方法について説明する。
最初に、セラミックグリーンシートを５ｃｍ角の正方形に切断し、電子天秤にて重量を測定し、その後、糸で吊り下げる形で水中に入れ、水中での重量を測定した。その際に、使用した水の温度を測定し、比重を計算することで、セラミックグリーンシートの生密度を算出した。
【００６５】
そして、溶剤を除く原料の体積及び重量の投入比から理論密度を算出し、理論密度に対し生密度が占める割合を相対密度とした。その結果を下記表１に記す。
＜表面粗さＳａの測定＞
次に、表面粗さＳａの測定方法について説明する。
【００６６】
分散性を示す指標として、表面粗さＳａを測定した。具体的には、ＫＥＹＥＮＣＥ製の形状解析レーザー顕微鏡ＶＫー２５０及び２６０により、セラミックグリーンシートの表面粗さＳａを測定した。
【００６７】
その結果を下記表１に記す。なお、分散性が良好であれば、凝縮粉等が生じにくいため、表面粗さＳａは小さくなる。
＜キャリアフィルムの剥離試験＞
次に、キャリアフィルムの剥離試験について説明する。
【００６８】
前記実施形態と同様にして（図２（ｅ）参照）、吸着板の表面上にセラミックグリーンシート（即ちフィルム付シート）を載置し、真空引きしてセラミックグリーンシートを吸着固定し、その状態でキャリアフィルムの剥離を行った。
【００６９】
詳しくは、キャリフィルムが貼り付けられた各セラミックグリーンシートＡ〜Ｅ（即ち各フィルム付シート）を１５ｃｍ角に切断し、そのセラミックグリーンシートＡ〜Ｅを、キャリアフィルムを上側にして、吸着板の載置面（吸着面）上に載置し、減圧面側を減圧して各セラミックグリーンシートＡ〜Ｅを吸着して固定した。
【００７０】
そして、キャリアフィルムの表面にテープを貼り、そのテープとともにキャリアフィルムを斜め上方に持ち上げてから、テープを各セラミックグリーンシートＡ〜Ｅの表面に沿って、１０ｃｍ／ｓの速度で引っ張ることにより、キャリアフィルムの剥離を行った。
【００７１】
その結果を下記表１に記す。なお、その際に、セラミックグリーンシートが破れることなく、キャリアフィルムが完全にセラミックグリーンシートから剥離した場合のみを剥離可とした。なお、表１では、剥離可を「○」で示し、そうでない場合、例えばセラミックグリーンシートが破れた場合（剥離不可の場合）を「×」で示した。
【００７２】
【表１】
2019001094.tif 000003
［２−３．評価］
上述した表１から明らかなように、本開示の実施例であるセラミックグリーンシートＤ、Ｅは、相対密度が理論密度換算で９５％以上であり、且つ、表面粗さＳａが１７μｍ以下であるので、セラミックグリーンシートを破損することなく、好適にキャリアフィルムを剥離することができた。
【００７３】
なお、セラミックグリーンシートＤ、Ｅは、Ｄ５０粒径が０．５μｍ以下と適度であり、分散剤として、非イオン系分散剤を使用しているので、その点からも、キャリアフィルムを好適に剥離することができる。
【００７４】
それに対して、本開示の範囲外の比較例であるセラミックグリーンシートＡ〜Ｃは、相対密度が理論密度換算で９２％以下であり、しかも、表面粗さＳａは２０μｍ以上であるので、キャリアフィルムを剥離する際に、セラミックグリーンシートが破損した。
［３．その他の実施形態］
尚、本開示は、前記実施形態等に何ら限定されるものではなく、本開示の技術的範囲に属する限り種々の形態を採り得ることはいうまでもない。
【００７５】
（１）例えば、セラミックとしては、アルミナ以外に、各種のセラミックを採用できる。また、焼成助剤の種類や添加量としては、使用するセラミックの種類や量に応じて、周知の各種の種類や添加量を採用できる。
【００７６】
（２）また、上記実施形態における１つの構成要素が有する機能を複数の構成要素に分担させたり、複数の構成要素が有する機能を１つの構成要素に発揮させたりしてもよい。また、上記実施形態の構成の一部を、省略してもよい。また、上記実施形態の構成の少なくとも一部を、他の実施形態の構成に対して付加、置換等してもよい。なお、特許請求の範囲に記載の文言から特定される技術思想に含まれるあらゆる態様が本開示の実施形態である。
【符号の説明】
【００７７】
１…セラミックグリーンシート
【図１】
2019001094.tif 000004
【図２】
2019001094.tif 000005