(57)【要約】【課題】ケース体のコンパクト化が可能となるロータリジョイントを提供する。【解決手段】ロータリジョイント１は、複数の第一流路１１が形成されている円筒状のケース体２と、複数の第二流路１２が形成されている軸体３と、ケース体２と軸体３との間に形成される環状空間７に設けられている転がり軸受５，６と、環状空間７に設けられ第一流路１１と第二流路１２との繋ぐための第三流路１３が形成されている複数の筒状部材３０と、第一流路１１と第三流路１３とを流れる流体が漏れるのを防ぐ第一シール４１と、第三流路１３と第二流路１２とを流れる流体が漏れるのを防ぐ第二シール４２とを備えている。ケース体２は、環状空間７に軸方向に並んで設けられている転がり軸受５，６及び筒状部材３０を含む内部構造体１０の軸方向寸法Ｌ１よりも軸方向に長い一体不可分の筒部材からなる。【選択図】      図１
2019207031.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周面において軸方向異なる位置で開口する複数の第一流路が形成されている円筒状のケース体と、
前記ケース体の内側に設けられ外周面において軸方向異なる位置で開口する複数の第二流路が形成されている軸体と、
前記ケース体と前記軸体との間に形成される環状空間に設けられ当該ケース体と当該軸体とを相対回転可能として支持する軸受部と、
前記環状空間に設けられ前記第一流路と前記第二流路とを繋ぐための第三流路が形成されている複数の筒状部材と、
前記第一流路と前記第三流路とを流れる流体が前記ケース体と前記筒状部材との間から漏れるのを防ぐ第一シールと、
前記第三流路と前記第二流路とを流れる流体が前記筒状部材と前記軸体との間から漏れるのを防ぐ第二シールと、
を備え、
前記ケース体は、前記環状空間に軸方向に並んで設けられている前記軸受部及び前記筒状部材を含む内部構造体の軸方向寸法よりも軸方向に長い一体不可分の筒部材からなり、
前記第一シールはＯリングであり、
前記筒状部材には、前記ケース体の内周面に対して傾斜している傾斜面が形成されており、
前記傾斜面と前記ケース体の内周面の一部と前記筒状部材の軸方向隣に設けられている部材の側面の一部との間に形成される断面三角形空間に、前記Ｏリングが装着されていて、
前記筒状部材は、前記ケース体に対して回転せず一体であり、前記軸体と相対回転する部材である、ロータリジョイント。
【請求項２】
前記環状空間に着脱可能として設けられているストッパを更に備え、
前記ストッパが装着されている状態では、前記軸受部及び前記筒状部材を間に挟む前記軸体と前記ケース体との軸方向の相対移動が規制され、前記ストッパが外れている状態では、当該相対移動を可能とする、請求項１に記載のロータリジョイント。
【請求項３】
前記第二シールは、前記筒状部材に形成されている凹部に装着されている、請求項１又は２に記載のロータリジョイント。
【請求項４】
前記第二シールは、環状の本体部と、当該本体部の径方向内側部及び径方向外側部それぞれから軸方向に延びている内側円筒リップ部及び外側円筒リップ部と、を有している、請求項１〜３のいずれか一項に記載のロータリジョイント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロータリジョイントに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ロータリジョイントは、半導体製造装置、医療用機器、食品用機器等の各種回転機器の相対回転部に用いられている。このロータリジョイントは、相対回転する第一部材と第二部材とを有しており、これら二つの部材間で種類の異なる複数の流体を別々の経路で流動させる必要がある。このために、第一部材に複数の第一流路が形成されており、第二部材に複数の第二流路が形成されており、一つの第一流路と一つの第二流路とを一対一で繋いで流体を流動させるための構成を備えている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図４は、従来のロータリジョイントの断面図である。このロータリジョイント９０は、円筒状のケース体９１（前記第一部材）と、このケース体９１の内側に設けられている軸体９２（前記第二部材）とを備えている。ケース体９１に、上下二つの第一流路９５が形成され、軸体９２に上下二つの第二流路９６が形成されている。そして、上側の第一流路９５の開口部と上側の第二流路９６の開口部とが軸方向について同じ位置に配置されており、これら流路９５，９６が繋がって一つの流路９７を構成している。また、下側の第一流路９５の開口部と下側の第二流路９６の開口部とが軸方向について同じ位置に配置されており、これら流路９５，９６が繋がって一つの流路９７を構成している。そして、上下の流路９７，９７それぞれを流れる流体が外部へ漏れるのを防ぐために、ケース体９１と軸体９２との間に複数のシールリング９３が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２２０７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図４に示すように、ケース体９１は、複数のリング体９９が軸方向に並べられて構成されている。これは、複数のシールリング９３をケース体９１と軸体９２との間に組み込むためである。すなわち、ケース体９１は、径方向内側の領域に、第一流路９５の一部が形成されている凸部９８を有していることから、この凸部９８の軸方向隣りにシールリング９３を設けるためには、シールリング９３を凸部９８の隣りに取り付ける毎に、別のリング体９９をこれに重ねて組み立てる必要があるためである。
そして、このロータリジョイント９０では、複数のリング体９９をボルト９４によって一体化させている。
【０００６】
このように、従来のロータリジョイント９０では、組み立てのためにケース体９１を複数のリング体９９に分割する必要があり、そして、複数のリング体９９を一体化させるための（第一の）ボルト９４が必要となる。そして、ケース体９１（各リング体９９）の径方向内側の領域にはシールリング９３が配置されることから、ボルト９４を挿通させるボルト孔（図示せず）は、ケース体９１（各リング体９９）の径方向外側の領域に形成される。
【０００７】
更に、ケース体９１と軸体９２とを相対回転可能とするために、これらの間に一対の転がり軸受８９が設けられており、この転がり軸受８９の脱落を防止するために軸方向両側に環状部材８８が設置される。この環状部材８８は第二のボルト８７によってリング体９９に固定されており、環状部材８８が転がり軸受８９のストッパとして機能する。
以上のように、ケース体９１（各リング体９９）の径方向外側の領域には、第二のボルト８７用のボルト孔も形成する必要があり、この第二のボルト８７、及び前記第一のボルト９４を設けるために、ケース体９１は径方向に大きくなってしまう。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、ケース体のコンパクト化が可能となるロータリジョイントを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のロータリジョイントは、内周面において軸方向異なる位置で開口する複数の第一流路が形成されている円筒状のケース体と、前記ケース体の内側に設けられ外周面において軸方向異なる位置で開口する複数の第二流路が形成されている軸体と、前記ケース体と前記軸体との間に形成される環状空間に設けられ当該ケース体と当該軸体とを相対回転可能として支持する軸受部と、前記環状空間に設けられ前記第一流路と前記第二流路との繋ぐための第三流路が形成されている複数の筒状部材と、前記第一流路と前記第三流路とを流れる流体が前記ケース体と前記筒状部材との間から漏れるのを防ぐ第一シールと、前記第三流路と前記第二流路とを流れる流体が前記筒状部材と前記軸体との間から漏れるのを防ぐ第二シールと、を備え、前記ケース体は、前記環状空間に軸方向に並んで設けられている前記軸受部及び前記筒状部材を含む内部構造体の軸方向寸法よりも軸方向に長い一体不可分の筒部材からなる。
【００１０】
本発明によれば、ケース体側の第一流路と軸体側の第二流路とを繋ぐ流路（第三流路）が、ケース体と別体である筒状部材に形成されていることから、従来のようにケース体を分割構造としなくても、つまり、ケース体が一体不可分の筒部材であっても、ロータリジョイントの組み立てが可能となる。したがって、従来のようにケース体を一体化させるためのボルトが不要であり、ケース体をコンパクト化することが可能となる。
【００１１】
また、前記ロータリジョイントは、前記環状空間に着脱可能として設けられているストッパを更に備え、前記ストッパが装着されている状態では、前記軸受部及び前記筒状部材を間に挟む前記軸体と前記ケース体との軸方向の相対移動が規制され、前記ストッパが外れている状態では、当該移動を可能とする構成とするのが好ましい。
この構成によれば、ストッパが外れている状態で、軸受部及び筒状部材を間に挟んだ状態で軸体とケース体とを軸方向の相対移動させて取り付けることができる。
【００１２】
また、前記第二シールは、前記筒状部材に形成されている凹部に装着されているのが好ましい。この構成によれば、第二シールを筒状部材と一体化させて取り付ける作業を行うことが可能となる。
【００１３】
また、前記第一シールはＯリングであり、前記筒状部材には、前記ケース体の内周面に対して傾斜している傾斜面が形成されており、前記傾斜面と前記ケース体の内周面の一部と前記筒状部材の軸方向隣に設けられている部材の側面の一部との間に形成される断面三角形空間に、前記Ｏリングが装着されているのが好ましい。
この構成によれば、Ｏリングによって、ケース体に対する筒状部材の回り止めの機能を高めることが可能となる。
【００１４】
また、前記第二シールは、環状の本体部と、当該本体部の径方向内側部及び径方向外側部それぞれから軸方向に延びている内側円筒リップ部及び外側円筒リップ部と、を有している構成とするのが好ましい。
この弾性シールリングによれば、軸体の外周面に沿って軸方向に移動させて取り付けやすく、また、取り付け完了状態で、ケース体と一体となる筒状部材と、軸体とが相対回転するが、これらの間の密封性も確保することが可能である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ケース体は一体不可分の筒部材からなることから、従来のようにケース体を一体化させるためのボルトが不要であり、ケース体をコンパクト化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】ロータリジョイントの縦断面図である。
【図２】上側の筒状部材及びその周囲を示す拡大図である。
【図３】三つの内壁面を有する断面凹形の凹溝がＯリング（第一シール）の装着部位である場合の説明図である。
【図４】従来のロータリジョイントの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
〔全体構成について〕
図１は、ロータリジョイント１の縦断面図である。このロータリジョイント１（以下、ジョイント１ともいう。）は、円筒状のケース体２と、このケース体２の内側に設けられている軸体３とを備えている。ジョイント１の姿勢は、図１に示す姿勢以外であってもよいが、以下の説明では、図１に示す上側をジョイント１の「上」と呼び、下側をジョイント１の「下」と呼ぶことがある。また、本実施形態において、軸方向とは、ロータリジョイント１の中心線Ｃに沿った方向（この中心線Ｃに平行な方向も含む）であり、ケース体２及び軸体３それぞれの中心線は、この中心線Ｃと一致する。
【００１８】
ケース体２と軸体３との間には環状空間７が形成されており、この環状空間７に軸受部が設けられている。本実施形態の軸受部は、転がり軸受５，６であり、特に深溝玉軸受である。転がり軸受５，６はケース体２と軸体３とを相対回転可能として支持する。
【００１９】
ジョイント１には、Ｎ個（Ｎ＝２以上の整数であり、図例ではＮ＝２）の流体通路４が形成されている。各流体通路４は、ケース体２に設けられている一つの第一流路１１と、軸体３に設けられている一つの第二流路１２とが、後述する第三流路１３を介して繋がることにより構成される。一つの流体通路４は、他の流体通路４と独立して設けられており、一つの流体通路４を流れる流体は、他の流体通路４を流れる流体と混ざることがないように構成されている。
【００２０】
〔軸体３及びケース体２について〕
軸体３は、上下方向に長い直線状の部材からなり、断面（横断面）が円形である。軸体３には、二つの第二流路１２が形成されている。第二流路１２それぞれは、一方が軸方向の端面３ａで開口しており、他方が外周面３ｂで開口している。そして、これら第二流路１２は、外周面３ｂにおいて軸方向について異なる位置で開口している。つまり、一方の第二流路１２は上位置で開口しており、他方の第二流路１２は下位置で開口している。また、本実施形態の第二流路１２は、周方向についても異なる位置（１８０°離れた位置）で開口している。また、外周面３ｂには、周方向に連続している凹溝１６が、第二流路１２と同数について形成されており、第二流路１２はこの凹溝１６の一部において開口している。軸体３の上側の端部には、第二流路１２を閉じる蓋部材１７が取り付けられている。
【００２１】
軸体３の外周面３ｂは、前記凹溝１６と、後述するスナップリング４７の取り付け用の溝４８が形成されているが、その他の部分は、軸方向に沿ってストレートである円筒面からなる。特に、外周面３ｂは、機械加工された平滑な機械加工面となっている。
【００２２】
ケース体２は、円筒状の部材からなり、内周面２ｂの輪郭形状は円形である。ケース体２には、二つの第一流路１１が形成されている。第一流路１１それぞれは、一方が外周面２ａで開口しており、他方が内周面２ｂで開口している。そして、これら第一流路１１は、内周面２ｂにおいて軸方向異なる位置で開口している。つまり、一方の第一流路１１は上位置で開口しており、他方の第一流路１１は下位置で開口している。また、本実施形態の第一流路１１は、周方向についても異なる位置（１８０°離れた位置）で開口している。第一流路１１は、図外の外部配管を繋ぐためのポートとなっている。
【００２３】
ケース体２は、軸方向一方側の端部（上側の端部）の内周側に、径方向内側へ向かって突出している突起部２１が設けられている。ケース体２の内周面２ｂは、この突起部２１と、後述するスナップリング４５の取り付け用の溝４６が形成されているが、その他の部分は、軸方向に沿ってストレートである円筒面からなる。特に、内周面２ｂは、機械加工された平滑な機械加工面となっている。そして、このケース体２は、軸方向に長い一体不可分の筒部材からなる。
【００２４】
以上より、ケース体２と軸体３との間には、前記凹溝１６、溝４８、突起部２１、及び溝４６の形成部位を除いて、軸方向に沿って断面形状が変化しない環状空間７が形成されている。そして、この環状空間７に、前記転がり軸受５，６の他に、後述する筒状部材３０、スペーサ３１，３２，３３、第一シール４１、及び第二シール４２が設けられている。環状空間７に設けられているこれら部材を合わせて内部構造体１０と呼ぶ。
【００２５】
〔内部構造体１０について〕
上側の転がり軸受５は、内輪５ａ、外輪５ｂ、これら内輪５ａと外輪５ｂとの間に介在している玉（転動体）５ｃ、及び、これら玉５ｃを保持している図外の保持器を有している。内輪５ａは、軸体３の外周面３ｂに嵌合して取り付けられており、外輪５ｂは、ケース体２の内周面２ｂに嵌合して取り付けられている。外輪５ｂが突起部２１に軸方向から接触することで、転がり軸受５は軸方向の（軸方向上側への）移動が規制される。
【００２６】
下側の転がり軸受６は、内輪６ａ、外輪６ｂ、これら内輪６ａと外輪６ｂとの間に介在している玉６ｃ、及び、これら玉６ｃを保持している図外の保持器を有している。内輪６ａは、軸体３の外周面３ｂに嵌合して取り付けられており、外輪６ｂは、ケース体２の内周面２ｂに嵌合して取り付けられている。外輪６ｂがスナップリング４５に軸方向から接触することで、転がり軸受５は軸方向の（軸方向下側への）移動が規制される。
【００２７】
筒状部材３０は円筒形状の部材であり、内径は軸体３の外径よりも（僅かに）大きく、外径はケース体２の内径よりも（僅かに）小さい。筒状部材３０は、環状空間７において流体通路４と同数設けられている。つまり、二つの筒状部材３０が設けられている。上側の筒状部材３０は、軸方向で同じ位置において開口している上側の第一流路１１と第二流路１２との間に設けられており、この筒状部材３０には、これら第一流路１１と第二流路１２との繋ぐための第三流路１３が形成されている。これと同様に、下側の筒状部材３０は、軸方向で同じ位置において開口している下側の第一流路１１と第二流路１２との間に設けられており、この筒状部材３０には、これら第一流路１１と第二流路１２との繋ぐための第三流路１３が形成されている。
【００２８】
図２は、上側の筒状部材３０及びその周囲を示す拡大図である。なお、筒状部材３０は全て同じ形状である。筒状部材３０は、円筒状の本体部３５と、この本体部３５の中央部から径方向内側に突出している環状の隆起部３６とを有しており、これら本体部３５及び隆起部３６を貫通するようにして第三流路１３が形成されている。本体部３５の外周側には、周方向に連続している溝３７が形成されており、第三流路１３はこの溝３７の一部において開口している。また、第三流路１３は、径方向内側において、軸体３に形成されている前記凹溝１６に向かって開口している。これにより、第一流路１１は第三流路１３を介して第二流路１２と連続し繋がる。
【００２９】
そして、筒状部材３０の軸方向両側の外周部には、第一シール４１，４１が設けられており、これらシール４１，４１によって、第一流路１１と第三流路１３とを流れる流体が、ケース体２と筒状部材３０との間から漏れるのを防ぐ。
また、筒状部材３０の軸方向両側の内周部には、第二シール４２，４２が設けられており、これらシール４２，４２によって、第三流路１３と第二流路１２とを流れる流体が、筒状部材３０と軸体３との間から漏れるのを防ぐ。
【００３０】
筒状部材３０の本体部３５の軸方向両側には、第一シール４１を取り付けるための傾斜面３９が形成されている。傾斜面３９は、ケース体２の内周面２ｂに対して傾斜しているテーパ面からなる。第一シール４１はＯリングであり、傾斜面３９と、ケース体２の内周面２ｂの一部と、筒状部材３０の軸方向隣に設けられている部材（上側においては第一スペーサ３１、下側においては第二スペーサ３２）の側面３４の一部との間に形成される断面三角形空間４３に、第一シール（Ｏリング）４１が装着されている。
【００３１】
筒状部材３０の隆起部３６の軸方向両側には、第二シール４２を取り付けるための環状の凹部３８が形成されている。凹部３８は、径方向内側及び軸方向外側の二つの方向に開口した形状を有している。
第二シール４２は、環状の本体部５０と、内側円筒リップ部５１と、外側円筒リップ部５２とを有している弾性シールリングである。内側円筒リップ部５１及び外側円筒リップ部５２は、円筒形状を有しており、本体部５０の径方向内側部及び径方向外側部それぞれから軸方向に延びている。この第二シール４２では、本体部５０、内側円筒リップ部５１、及び外側円筒リップ部５２はＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製であるが、内側円筒リップ部５１及び外側円筒リップ部５２に沿って金属製のバネが設けられており、第二シール４２は自封性を有している。なお、第二シール４２の本体部５０、内側円筒リップ部５１、及び外側円筒リップ部５２の材質は、他のフッ素樹脂、又はゴム材料等のフッ素樹脂以外の材質であってもよい。
【００３２】
このように、筒状部材３０の外周側には一対の第一シール４１，４１が設けられており、内周側には一対の第二シール４２，４２が設けられており、これら筒状部材３０、一対の第一シール４１，４１、及び一対の第二シール４２，４２によって、一つのユニットが構成されている。そして、このユニットが、第一流路１１と第二流路１２との間毎に配置されている。
【００３３】
図１において、第一スペーサ３１、第二スペーサ３２、及び第三スペーサ３３は、環状の部材であり、筒状部材３０を所望の軸方向位置に配置させるための間座として機能すると共に、第一シール４１及び第二シール４２を筒状部材３０との間に配置させて保持するための機能も備えている。第一スペーサ３１、第二スペーサ３２、及び第三スペーサ３３それぞれは、内径が軸体３の外径よりも（僅かに）大きく、外径はケース体２の内径よりも（僅かに）小さい。
【００３４】
そして、環状空間７において、上側から順に、転がり軸受５、第一スペーサ３１、第一及び第二シール４１，４２と共に設けられている上側の筒状部材３０、第二スペーサ３２、第一及び第二シール４１，４２と共に設けられている下側の筒状部材３０、第三スペーサ３３、及び転がり軸受６が、配置されている。
このように、環状空間７に、転がり軸受５，６及び筒状部材３０等が軸方向に並んで設けられている。そして、ケース体２は、これら転がり軸受５，６及び筒状部材３０等を含む内部構造体１０の軸方向寸法Ｌ１よりも軸方向に長い一体不可分の筒部材からなる。つまり、ケース体２は、上側の転がり軸受５から下側の転がり軸受６までの軸方向寸法よりも長く構成されており、しかも、このケース体２は分割されておらず一体ものの筒部材からなる。
【００３５】
そして、転がり軸受６は、軸体３の溝４８に取り付けられているスナップリング４７と、軸体３の一部である大径部２５とにより軸方向に挟まれた状態となることで、軸体３に対する軸方向の移動が規制されている。そして、この転がり軸受６を含む内部構造体１０が、ケース体２の溝４６に取り付けられているスナップリング４５とケース体２の一部である突起部２１とにより軸方向に挟まれた状態となることで、ケース体２は、軸体３に固定されている転がり軸受６に対して軸方向に移動不能となる。つまり、これらスナップリング４５，４７によれば、内部構造体１０を間に介在させた状態で、ケース体２と軸体３とを軸方向に移動不能とする。なお、スナップリング４５，４７は、Ｃ形止め輪である。
【００３６】
このように、ケース体２側のスナップリング４５は、ケース体２の溝４６に着脱可能として取り付けられている。そして、スナップリング４５は、ケース体２（溝４６）に装着されている状態で、転がり軸受部５，６及び筒状部材３０を含む内部構造体１０を間に挟む軸体３とケース体２との軸方向の相対移動を規制するストッパとなっている。
このように移動が規制された状態が、組み立て完了状態であり、ケース体２と軸体３とは相対回転可能となり、しかも、これらケース体２と軸体３との間で種類の異なる複数（二種類）の流体を別々の経路（別々の流体通路４）で流動させることができる。
なお、ケース体２を静止部材とし、軸体３がこのケース体２に対して回転する場合、軸体３の他に、蓋部材１７、内輪５ａ，６ａ、玉５ｃ，６ｃ、及びスナップリング４７が回転部材に含まれ、ケース体２の他に、外輪５ｂ，６ｂ、第一スペーサ３１、第二スペーサ３２、第三スペーサ３３、上下の筒状部材３０、及び第一及び第二シール４１，４２が静止部材に含まれる。
【００３７】
ここで、ジョイント１の組み立てについて説明すると、ケース体２の内側に、転がり軸受５、二つの筒状部材３０、スペーサ３１，３２，３３、第一シール４１、及び第二シール４２を挿入する。また、軸体３の外側に、スナップリング４５、転がり軸受６、スナップリング４７を装着する。内側のスナップリング４７は溝４８に嵌めるが、外側のスナップリング４５は（溝４６に嵌まらずに）軸体３のフランジ３ｃ上に載っている状態とし、自由に動かすことができる。そして、ケース体２に対して軸体３を挿通し、ケース体２の溝４６にスナップリング４５を嵌める。その後、軸体３の端部に蓋部材１７を装着する。
以上のように、スナップリング（ストッパ）４５が溝４６に取り付けられることで、内部構造体１０を間に挟んでケース体２と軸体３とは軸方向に相対移動不能となるのに対して、スナップリング４５が溝４６から外れている状態では、軸体３とケース体２との軸方向の相対移動が可能となっている。
【００３８】
以上の構成を備えているロータリジョイント１では、従来のロータリジョイント９０（図４参照）と異なり、ケース体２側の第一流路１１と軸体３側の第二流路１２とを繋ぐ第三流路１３が、ケース体２と別体である筒状部材３０に形成されている。このため、従来のように（図４参照）ケース体９１を分割構造としなくてもよく、つまり、ケース体２が一体不可分の筒部材であっても、ロータリジョイント１の組み立てが可能となる。
具体的に説明すると、スナップリング４５がケース体２から外れている状態で、転がり軸受５，６及び筒状部材３０等を間に介在させて軸体３とケース体２とを軸方向に相対移動させ、これにより、ロータリジョイント１の組み立てが可能となる。
【００３９】
そして、このようにケース体２は一体不可分の筒部材からなることから、従来のようにケース体２を一体化させるためのボルト（図４のボルト９４，８７）が不要であり、ケース体２をコンパクト化することが可能となる。
【００４０】
なお、このようにしてロータリジョイント１を組み立て可能とするために、ケース体２のストレート状である内周面２ｂの内径は、内部構造体１０の各部（転がり軸受５，６、筒状部材３０、及びスペーサ３１，３２，３３）の外径とほぼ同じに（同じ又は僅かに大きく）設定されている。なお、第一シール（Ｏリング）４１は、ケース体２の内周面２ｂに接触することで、その外径は内周面２ｂの内径と同じとなる。これにより、ケース体２を、内部構造体１０の外周に沿って滑らせて、軸体３に組み立てることができる。
【００４１】
また、本実施形態では（図２参照）、第二シール４２は、筒状部材３０に形成されている凹部３８に装着されていることで、第二シール４２を筒状部材３０と一体化させてケース体２の内周側に取り付ける作業を行うことが可能となる。
また、この第二シール４２は、前記のとおり、本体部５０から延びている内側円筒リップ部５１及び外側円筒リップ部５２を有している構成である。この構成によれば、第二シール４２と軸体３とを軸方向に相対移動させやすく、また、取り付け完了状態で、ケース体２と一体となる筒状部材３０と、軸体３とが相対回転するが、これらの間の密封性も確保することが可能である。
【００４２】
また、本実施形態によれば、Ｏリングからなる第一シール４１の装着も容易となる（以下、第一シール４１をＯリング４１と呼ぶこともある）。すなわち、仮に図３に示すように、筒状部材３０の外周面に、三つの内壁面ａ，ｂ，ｃを有する断面矩形凹形の溝８０が形成されており、この溝８０がＯリング（第一シール）４１の装着部位である場合、このＯリング４１を所定位置に配置するためには、筒状部材３０の溝８０にＯリング４１を嵌めた状態とし、これに対してケース体２を軸方向に移動させることで、Ｏリング４１がケース体２の内周面２ｂに沿って軸方向に移動することとなる。しかし、この場合、Ｏリング４１がケース体２と筒状部材３０との間に噛み込みやすく、傷が発生する場合がある。しかし、本実施形態（図２参照）のように、筒状部材３０に傾斜面３９を形成し、Ｏリング（第一シール）４１の装着部位が断面三角形空間４３となることで、組み立ての際にＯリング（第一シール）４１が周囲の部材間に噛み込み難くなり、Ｏリング４１の損傷を防ぐことが可能となる。
【００４３】
更に、Ｏリング４１の装着部位が断面三角形空間４３となることで、Ｏリング４１は、ケース体２を径方向について押圧すると共に、軸方向について筒状部材３０を押圧しかつスペーサ３１（３２，３３）も押圧する構成となる。このため、Ｏリング４１によって、ケース体２に対して、筒状部材３０（及びスペーサ３１，３２，３３）の回り止めの機能を高めることが可能となる。つまり、ケース体２に対して軸体３が回転すると、第二シール４２が軸体３の外周面３ｂに摺接することから、第二シール４２及びこの第二シール４２を取り付けている筒状部材３０には軸体３から回転力が付与される。しかし、Ｏリング４１の前記押圧に起因する摩擦力が、この回転力に抗することができ、筒状部材３０は回り止めされる。
【００４４】
以上のとおり開示した実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。つまり、本発明のロータリジョイントは、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。
前記実施形態では、流体通路４の数（Ｎ）を「２」としたが、これ以外であってもよく、この場合、流体通路４と同数の筒状部材３０が環状空間７に設けられる。流体通路４の数が増加しても、筒状部材３０は全て同じ形状であり、従来のように複雑な形状のリング体９９を製造する必要はない。また、ケース体２が長くなるが、その内周面２ｂは、ストレートの円筒面であればよく、各部品の（機械加工等を含む）製造が、従来と比較して容易となり、コストダウンに貢献することができる。
【００４５】
また、本実施形態のロータリジョイント１は、例えば、半導体製造装置、医療用機器、食品用機器等の各種回転機器の相対回転部に用いることができる他、他の産業機械の相対回転部にも用いることができる。
【符号の説明】
【００４６】
１：ロータリジョイント        ２：ケース体        ２ｂ：内周面
３：軸体                      ３ｂ：外周面        ５，６：転がり軸受（軸受部）
７：環状空間                  １０：内部構造体    １１：第一流路
１２：第二流路                １３：第三流路      ３０：筒状部材
３１，３２，３３：スペーサ    ３４：側面          ３８：凹部
３９：傾斜面                  ４１：第一シール（Ｏリング）
４２：第二シール              ４３：断面三角形空間
４５：スナップリング（ストッパ）                  ５０：本体部
５１：内側円筒リップ部        ５２：外側円筒リップ部      Ｌ１：軸方向寸法
【図１】
2019207031.tif 000003
【図２】
2019207031.tif 000004
【図３】
2019207031.tif 000005
【図４】
2019207031.tif 000006