(57)【要約】    【課題】大型基板に有機薄膜を形成できる有機薄膜製造装置を提供する。    【解決手段】蒸発槽１３の内部に配置された蒸発台１４1を回転させながら、蒸発槽１３の内部に位置する落下孔２０から蒸発台１４1の蒸発面１６1上に粉体の有機蒸着材料を落下させる。蒸発台１４1の回転によって粉体の山は崩され、また、有機蒸着材料の落下場所に到着した蒸発面１６1の表面に有機蒸着材料が乗せられるから、有機蒸着材料は蒸発面１６1と接触し、熱伝導と輻射によって加熱されるため、大量の蒸着材料を蒸発させることができる。【選択図】    図１
2019116646.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜槽と、
前記成膜槽に配置された蒸気放出装置と、
前記蒸気放出装置に有機材料蒸気を供給する蒸発源と、を有し、
前記蒸気放出装置から前記有機材料蒸気を放出させ、前記成膜槽の内部に配置された成膜対象物の表面に前記有機材料蒸気を到達させ、有機薄膜を形成する有機薄膜製造装置であって、
前記蒸発源は、蒸発槽と、
前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、
前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、
前記蒸発台を加熱する台用ヒータ装置と、を有し、
前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であり、
前記蒸発源には、前記蒸発面の所定位置を回転中心にして前記蒸発台を回転させる台回転装置が設けられた有機薄膜製造装置。
【請求項２】
前記蒸発面は、平面である請求項１記載の有機薄膜製造装置。
【請求項３】
前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも低いコーン形形状の側面である請求項１記載の有機薄膜製造装置。
【請求項４】
前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも高いすり鉢形形状の内周面である請求項１記載の有機薄膜製造装置。
【請求項５】
成膜槽と、
前記成膜槽に配置された蒸気放出装置と、
前記蒸気放出装置に有機材料蒸気を供給する蒸発源と、を有し、
前記蒸気放出装置から前記有機材料蒸気を放出させ、前記成膜槽の内部に配置された成膜対象物の表面に前記有機材料蒸気を到達させ、有機薄膜を形成する有機薄膜製造装置であって、
前記蒸発源は、蒸発槽と、
前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、
前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、
前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、
前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であり、
前記蒸発面の上には、前記蒸発面との間に隙間を開けて平坦化部材が配置され、
前記蒸発台と前記平坦化部材とのいずれか一方又は両方が台回転装置によって相対的に回転されて、前記蒸発台と前記平坦化部材とが相対的に回転するようにされた有機薄膜製造装置。
【請求項６】
前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、
前記落下孔からは、前記母材の粉体と前記添加材の粉体とが落下される請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の有機薄膜製造装置。
【請求項７】
前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、
前記落下孔は、前記母材の粉体を落下させる母材用落下孔と、前記添加材の粉体を落下させる添加材用落下孔とを有する請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の有機薄膜製造装置。
【請求項８】
蒸発槽と、
前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、
前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、
前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、
前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であって、
前記蒸発源には、前記蒸発面の所定位置を回転中心にして前記蒸発台を回転させる台回転装置が設けられた蒸発源。
【請求項９】
前記蒸発面は平面である請求項８記載の蒸発源。
【請求項１０】
前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも低いコーン形形状の側面である請求項８記載の蒸発源。
【請求項１１】
前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも高いすり鉢形形状の内周面である請求項８記載の蒸発源。
【請求項１２】
蒸発槽と、
前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、
前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、
前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、
前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であって、
前記蒸発面の上には、前記蒸発面との間に隙間を開けて平坦化部材が配置され、
前記蒸発台と前記平坦化部材とのいずれか一方又は両方が台回転装置によって相対的に回転されて、前記蒸発台と前記平坦化部材とが相対的に回転するようにされた蒸発源。
【請求項１３】
前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、
前記落下孔からは、前記母材の粉体と前記添加材の粉体とが落下される請求項８乃至請求項１２のいずれか１項記載の蒸発源。
【請求項１４】
前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、
前記落下孔は、前記母材の粉体を落下させる母材用落下孔と、前記添加材の粉体を落下させる添加材用落下孔とを有する請求項８乃至請求項１２のいずれか１項記載の蒸発源。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機薄膜を形成する技術に関し、特に、有機薄膜を形成するための有機材料蒸気を生成する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機薄膜に電流を流すと発光し、表示装置として適していることから、粉体の有機薄膜材料を蒸発させ、ガラス基板から成る成膜対象物の表面に、表示装置用の有機薄膜を形成する技術が用いられている。
【０００３】
近年では、大型のガラス基板に均一に有機薄膜を形成する技術が求められているが、粉体を容器に配置して容器を加熱し、有機薄膜材料の蒸気を生成する技術では、ガラス基板の大型化に伴って容器を大型化しても、粉体を均一に加熱することは困難であり、均一な蒸気を発生させることができなかった。
【０００４】
加熱された蒸発台上に粉体を少量ずつ落下させて蒸発させる有機薄膜形成方法もあるが、大型のガラス基板に成膜するために、落下させる粉体の量が多くなると蒸発台上で粉体が重なり合って均一に加熱されなくなり、均一な蒸気の発生が困難になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−８４６７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作された発明であり、その課題は、多量の有機蒸着材料の粉体を均一に加熱することができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明は、成膜槽と、前記成膜槽に配置された蒸気放出装置と、前記蒸気放出装置に有機材料蒸気を供給する蒸発源と、を有し、前記蒸気放出装置から前記有機材料蒸気を放出させ、前記成膜槽の内部に配置された成膜対象物の表面に前記有機材料蒸気を到達させ、有機薄膜を形成する有機薄膜製造装置であって、前記蒸発源は、蒸発槽と、前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、前記蒸発台を加熱する台用ヒータ装置と、を有し、前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であり、前記蒸発源には、前記蒸発面の所定位置を回転中心にして前記蒸発台を回転させる台回転装置が設けられた有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記蒸発面は、平面である有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも低いコーン形形状の側面である有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも高いすり鉢形形状の内周面である有機薄膜製造装置である。
本発明は、成膜槽と、前記成膜槽に配置された蒸気放出装置と、前記蒸気放出装置に有機材料蒸気を供給する蒸発源と、を有し、前記蒸気放出装置から前記有機材料蒸気を放出させ、前記成膜槽の内部に配置された成膜対象物の表面に前記有機材料蒸気を到達させ、有機薄膜を形成する有機薄膜製造装置であって、前記蒸発源は、蒸発槽と、前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であり、前記蒸発面の上には、前記蒸発面との間に隙間を開けて平坦化部材が配置され、前記蒸発台と前記平坦化部材とのいずれか一方又は両方が台回転装置によって相対的に回転されて、前記蒸発台と前記平坦化部材とが相対的に回転するようにされた有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、前記落下孔からは、前記母材の粉体と前記添加材の粉体とが落下される有機薄膜製造装置である。
本発明は、前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、前記落下孔は、前記母材の粉体を落下させる母材用落下孔と、前記添加材の粉体を落下させる添加材用落下孔とを有する有機薄膜製造装置である。
本発明は、蒸発槽と、前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であって、前記蒸発源には、前記蒸発面の所定位置を回転中心にして前記蒸発台を回転させる台回転装置が設けられた蒸発源である。
本発明は、前記蒸発面は平面である蒸発源である。
本発明は、前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも低いコーン形形状の側面である蒸発源である。
本発明は、前記蒸発面は、周辺が前記回転中心の場所よりも高いすり鉢形形状の内周面である蒸発源である。
本発明は、蒸発槽と、前記蒸発槽内に配置された落下孔から粉体の有機蒸着材料を落下させる材料供給装置と、前記蒸発槽内に配置され、前記落下孔から落下した前記有機蒸着材料が配置される蒸発面を有する蒸発台と、前記蒸発台を加熱する加熱装置と、を有し、前記蒸発台によって加熱された前記有機蒸着材料から有機蒸着材料蒸気が生成される蒸発源であって、前記蒸発面の上には、前記蒸発面との間に隙間を開けて平坦化部材が配置され、前記蒸発台と前記平坦化部材とのいずれか一方又は両方が台回転装置によって相対的に回転されて、前記蒸発台と前記平坦化部材とが相対的に回転するようにされた蒸発源である。
本発明は、前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、前記落下孔からは、前記母材の粉体と前記添加材の粉体とが落下される蒸発源である。
本発明は、前記有機蒸着材料には、母材と添加材とが含まれ、前記落下孔は、前記母材の粉体を落下させる母材用落下孔と、前記添加材の粉体を落下させる添加材用落下孔とを有する蒸発源である。
【発明の効果】
【０００８】
蒸発台に落下する有機蒸着材料の粉体を構成する粒子それぞれを蒸発台と接触させることができるので、各粒子は蒸発台からの熱伝導によって均一に加熱される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】(ａ)、(ｂ)：第一例の有機薄膜製造装置を説明するための図面
【図２】(ａ)、(ｂ)：第二例の有機薄膜製造装置を説明するための図面
【図３】(ａ)、(ｂ)：第三例の有機薄膜製造装置を説明するための図面
【図４】(ａ)、(ｂ)：第四例の有機薄膜製造装置を説明するための図面
【図５】(ａ)、(ｂ)：第五例の有機薄膜製造装置を説明するための図面
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１の符号２1は、本発明の第一例の有機薄膜製造装置であり、真空槽５と、蒸発源６1と、蒸気輸送装置７と、蒸気放出装置２９とを有している。
【００１１】
蒸発源６1は、有機材料供給装置１５ａと蒸気生成装置１０1とを有しており、有機材料供給装置１５ａは真空槽５の内部に配置された材料容器１１と、下端が真空槽５の内部に配置され、上部が真空槽５の外部に気密に導出された供給ロッド３０とを有している。蒸気輸送装置７と蒸気放出装置２９とは真空槽５の内部に配置されている。
【００１２】
真空槽５の外部にはモータ等のロッド回転装置２３が配置されており、供給ロッド３０の上端はロッド回転装置２３に接続されている。ロッド回転装置２３は制御装置４３に取り付けられており、制御装置４３から入力される制御信号によってロッド回転装置２３が動作すると、供給ロッド３０は中心軸線を中心として回転するようにされている。
【００１３】
蒸気生成装置１０1は蒸発槽１３を有している。材料容器１１の底面は中心が下方に位置する傾斜面に形成されており、底面の中心には管状の供給管４５に形成されている。従って、材料容器１１の底面は漏斗形形状にされている。
【００１４】
材料容器１１は、上部が真空槽５の内部であって蒸発槽１３の上部の位置に配置されている。供給管４５は蒸発槽１３の天井を通って蒸発槽１３の内部に挿入されており、供給管４５の下端の開口である落下孔２０は蒸発槽１３の内部に配置されている。
蒸発槽１３の内部には、蒸発台１４1が配置されており、落下孔２０は蒸発台１４1の上方に位置されている。
【００１５】
真空槽５の外部にはモータ等の台回転装置４２が配置されている。蒸発台１４1の表面である蒸発面１６1は平坦に形成され、水平に配置されており、蒸発台１４1の下方には回転軸３５が配置されている。回転軸３５の上端は蒸発台１４1の裏面に固定されており、回転軸３５の下部は真空槽５の外部に気密に導出され、台回転装置４２に接続されている。
【００１６】
台回転装置４２は制御装置４３に接続されており、台回転装置４２は制御装置４３から入力される制御信号によって動作する。回転動作を開始すると、回転軸３５は回転軸３５の中心軸線を中心として蒸発台１４1と共に回転される。蒸発面１６1は水平に配置されており、蒸発面１６1は水平面内で回転する。
【００１７】
供給ロッド３０の下部には螺旋３３が形成されており、供給ロッド３０の下部は、供給管４５に挿入されている。
【００１８】
材料容器１１の内部には、有機蒸着材料の微少な多数の粒子から成る粉体が材料容器１１の上方から投入されており、投入された粉体の有機蒸着材料は材料容器１１の傾斜された底面を滑落し、供給管４５の内部に落下する。落下した粉体は供給管４５に挿入された螺旋３３によって落下が停止される。
【００１９】
その結果、材料容器１１の内部に有機蒸着材料が蓄積される。図１(ａ)の符号３１は材料容器１１の内部に蓄積された有機蒸着材料を示している。
【００２０】
供給ロッド３０の回転は制御装置４３によって制御されており、回転数に応じた体積の粉体が落下孔２０から落下するので、蒸発面１６1に落下する量は、制御装置４３によって制御される。
【００２１】
落下孔２０の鉛直下方の位置には蒸発面１６1の一部分が位置しており、有機蒸着材料３１は、落下孔２０から落下孔２０の真下位置に向けて落下し、蒸発面１６1上に乗せられる。
【００２２】
図１(ｂ)では、蒸発面１６1の落下孔２０の真下位置の部分を、同じ符号２０を付して示してある。
【００２３】
なお、第一例の有機薄膜製造装置２1では、有機蒸着材料３１は、有機薄膜の母材の粒子と発色の色を決定する添加剤の粒子とが混合された粉体である。
【００２４】
図１(ｂ)の符号４７1は、蒸発面１６1の回転中心であり、この有機薄膜製造装置２1の落下孔２０及び後述する各有機薄膜製造装置２2〜２5の落下孔２０は、回転中心４７1〜４７3の真上位置から離間した場所に配置されており、落下孔２０から落下する有機蒸着材料は、回転中心４７1に近い場所であって、且つ回転中心４７1を含まない場所に配置される。各有機薄膜製造装置２1〜２5の回転中心４７1〜４７3は蒸発面１６1〜１６3の所定の位置に配置されており、例えば、蒸発面１６1〜１６3の中央位置に回転中心４７1〜４７3を配置することができる。
【００２５】
有機蒸着材料３１が落下孔２０から落下する際には、蒸発台１４1は回転され、落下した有機蒸着材料の粉体は蒸発面１６1によって転がされるから、粉体同士は重ならずに広がるようになっている。また、落下孔２０の真下位置には、表面が露出され、移動中の蒸発面１６1が到着しており、広がった各粉体は、それぞれ蒸発面１６1と直接接触して蒸発面１６1上に配置される。
【００２６】
真空槽５には、真空排気装置１８が接続されており、このように蒸発面１６1に有機蒸着材料が配置される前に、真空排気装置１８によって真空槽５の内部は真空排気され、真空槽５が真空排気されると蒸発槽１３の内部も真空排気される。その結果、真空槽５の内部と蒸発槽１３の内部とは真空雰囲気に置かれている。
【００２７】
蒸発台１４1の内部には台用ヒータ２５が配置されており、蒸発槽１３の周囲には補助用ヒータ１７が配置されている。
【００２８】
真空槽５の外部には加熱電源が配置されており、加熱電源の動作によって台用ヒータ２５と補助用ヒータ１７とに電力が供給され、台用ヒータ２５と補助用ヒータ１７とは発熱する。
【００２９】
台用ヒータ２５と補助用ヒータ１７とが蒸発台１４1を加熱する加熱装置となり、蒸発面１６1上に落下した有機蒸着材料の粉体は加熱装置によって加熱される。蒸発槽１３は補助用ヒータ１７によって加熱されている。
【００３０】
蒸発台１４1と蒸発槽１３は、有機蒸着材料の気体が凝集する温度よりも高い温度、つまり、有機蒸着材料の昇華温度又は液化した場合の有機蒸着材料の沸点よりも高い温度に昇温されている。
【００３１】
蒸発面１６1上に落下し、蒸発面１６1と接触した有機蒸着材料の粉体は蒸発面１６1からの輻射と熱伝導によって加熱され、その結果、均一に昇華し、蒸発する。粉体が重なっていた場合も蒸発面１６1の回転によって粉体の重なりは崩れるため、各粉体は蒸発面１６1と接触しやすく、均一に加熱される。
【００３２】
蒸発槽１３には供給孔１９が設けられており、供給孔１９には蒸気輸送装置７が接続されている。
【００３３】
蒸気放出装置２９は、放出容器４と、放出容器４の開口を塞ぐ放出板３６と、放出板３６に形成された放出孔３９とを有している。蒸気輸送装置７は蒸気放出装置２９の放出容器４に接続され、蒸発槽１３の内部で生成された有機蒸着材料の気体は、蒸気輸送装置７を通って蒸気放出装置２９に供給され、放出容器４から放出孔３９を通って放出容器４の外部であって真空槽５の内部に放出される。
【００３４】
放出孔３９から放出された有機蒸着材料の気体の進行方向には、ホルダ８が配置されており、ホルダ８の蒸気放出装置２９に対面する位置には、成膜対象物３が配置されている。
【００３５】
放出孔３９から放出された有機蒸着材料の気体は成膜対象物３の表面に到達し、到達した気体によって有機蒸着材料の薄膜が成長する。
【００３６】
ここでは、成膜対象物３は、蒸気放出装置２９に対面する位置で静止されていたが、成膜対象物３は、蒸気放出装置２９に対面する位置を通過するように構成されていてもよい。
【００３７】
薄膜が所定膜厚に形成された成膜対象物３は真空槽５の外部に搬出され、未成膜の成膜対象物３が真空槽５の内部に搬入され、薄膜が形成される。
【００３８】
なお、放出容器４と蒸気輸送装置７とには凝縮防止用ヒータ４１が巻回されており、通電によって凝縮防止用ヒータ４１が発熱すると、放出容器４と蒸気輸送装置７とは有機蒸着材料が析出しない温度に昇温される。
【００３９】
蒸気輸送装置７には三方弁２８が設けられており、成膜対象物３に薄膜を形成しないときには、供給孔１９から蒸気輸送装置７に流入した有機蒸着材料の気体を蒸気放出装置２９に供給せず、蒸気回収容器４４に回収する。
【００４０】
上記の有機薄膜製造装置２1の蒸気生成装置１０1は、水平配置された平面形形状の蒸発面１６1が設けられた蒸発台１４1を有していたが、図２(ａ)、(ｂ)に示す第二例の有機薄膜製造装置２2のように、蒸発源６2の蒸気生成装置１０2は、回転中心４７2の位置が最も高く、周辺が回転中心４７2よりも低くなる「コーン形」形状の蒸発面１６2が設けられた蒸発台１４2を有していても良い。
【００４１】
この蒸気生成装置１０2では、蒸発面１６2上に落下した有機蒸着材料の粉体は、蒸発面１６2の傾斜と回転とによって、蒸発面１６2の周辺方向に転がりやすく、粉体の積層物が生成されにくくなっている。
【００４２】
また、図３(ａ)、(ｂ)に示す第三例の有機薄膜製造装置２3のように、蒸発源６3の蒸気生成装置１０3は、回転中心４７3の位置が最も低く、周辺が回転中心４７3よりも高い「すり鉢形」形状の蒸発面１６3が設けられた蒸発台１４3を有していてもよい。
【００４３】
この蒸気生成装置２3では、蒸発面１６3上に落下した有機蒸着材料の粉体は、蒸発面１６3の傾斜によって、蒸発面１６3の回転中心４７3方向に転がりやすく、特に、粉体又は粉体の熔融物が蒸発面１６3上から落下しないようになっている。
【００４４】
以上説明した有機薄膜製造装置２1〜２3では、材料容器１１に配置された有機蒸着材料３１は、有機薄膜の母材となる母材化合物と、放射光の色を決定する添加化合物とが混合されているが、図４(ａ)、(ｂ)に示す第四例の有機薄膜製造装置２4の蒸着源６4のように、蒸気生成装置１０4に、母材を配置する母材容器１１1と添加材を配置する添加材容器１１2とを有する有機材料供給装置１５ｂを設け、供給ロッド３０1、３０2に接続されたロッド回転装置２３、２４を動作させ、供給ロッド３０1、３０2と共に螺旋３３1、３３2を回転させる。母材容器１１1の供給管４５1の開口を母材落下孔２２1として母材落下孔２２1から蒸発面１６1に母材の有機蒸着材料３２1を落下させ、添加材容器１１2の供給管４５2の開口を添加材用落下孔２２2として添加材用落下孔２２2から添加材の有機蒸着材料３２2を蒸発面１６1に落下させるようにすることができる。
【００４５】
この場合、母材落下孔２２1と添加材用落下孔２２2とは回転中心４７1の真上位置から離間した場所に配置されており、回転中心４７1よりも周辺に近い位置に母材と添加材とは落下し、母材と添加材とは加熱装置によって加熱された蒸発台１４1からの熱伝導によって加熱され、有機化合物の蒸気が生成され、蒸発槽１３の内部で混合されて母材の蒸気と添加剤の蒸気とから成る有機蒸着材料の蒸気が生成される。
【００４６】
従って、母材落下孔２２1と添加材用落下孔２２2とによって蒸発台１４1に有機蒸着材料を供給する落下孔２１が構成されており、この例でも、台用ヒータ２５と補助用ヒータ１７とが、蒸発台１４1を加熱して有機蒸着材料の蒸気を発生させる加熱装置になっている。
【００４７】
蒸発槽１３の内部で混合された母材の蒸気と添加材の蒸気とは、供給孔１９から蒸気放出装置２９に供給され、有機蒸着材料の薄膜が形成される。
【００４８】
次に、図５の第五例の有機薄膜製造装置２5では、蒸発源６5の蒸気生成装置１０5は回転軸３５とは別個に回転される副回転軸４８を有している。
【００４９】
副回転軸４８の中心軸線は、回転軸３５の中心軸線と一致するように配置されており、副回転軸４８の蒸発台１４1の上方に突き出された部分には、平坦化部材４６が取り付けられている。
【００５０】
副回転軸４８は台回転装置４２に取り付けられており、副回転軸４８と蒸発台１４1とは、同一の中心軸線を回転軸線として相対的に回転するようにされており、蒸発台１４1と副回転軸４８とのうち、いずれか一方が静止し、他方が回転するようにされていてもよいし、相対的に回転する限り、両方が同方向又は逆方向に回転してもよい。この例では、平坦化部材４６は、副回転軸４８の回転によって副回転軸４８と同じ方向であって同じ回転速度で回転するようにされている。
【００５１】
平坦化部材４６は棒形状にされ、互いに非接触にされた状態で平坦化部材４６は蒸発面１６1上で水平に横設されており、平坦化部材４６と蒸発面１６1との間には、有機蒸着材料３１の粉体の大きさよりも大きな隙間が形成されている。
【００５２】
蒸発面１６1上に有機蒸着材料の粉体が配置され、平坦化部材４６と蒸発台１４1とが相対的に回転すると蒸発面１６1上の有機蒸着材料は回転移動し、有機蒸着材料のうち、蒸発台１４1上で山となった部分が平坦化部材４６とが接触し、有機蒸着材料の山が崩される。
【００５３】
このように、蒸発面１６1上に有機蒸着材料の山ができる場合には、有機蒸着材料の粒子が重なって配置されており重なった粒子は平坦化部材４６と接触して粉体の山が崩され、重なっていた粉体中の粒子が蒸発面１６1と接触する。
【００５４】
従って、短時間で多量の粉体を落下孔２０から供給することができるので、蒸気の生成速度が大きくなり、大型の成膜対象物３に薄膜を形成することができる。「コーン形」形状の蒸発面１６2が設けられた蒸発台１４2や「すり鉢形」形状の蒸発面１６3が設けられた蒸発台１４3に、蒸発面１６2、１６3と非接触に平坦化部材４６を設け、相対回転させてもよい。
【００５５】
なお、図１〜５中で、符号３７は膜厚センサであり、膜厚測定装置３８によって有機薄膜の膜厚が測定され、三方弁２８が制御される。
【符号の説明】
【００５６】
２1〜２5……有機薄膜製造装置
５……真空槽
６1〜６5……蒸発源
４６……平坦化部材
１３……蒸発槽
１４1〜１４3……蒸発台
１６1〜１６3……蒸発面
２２1……母材落下孔
２２2……添加材用落下孔
２９……蒸気放出装置
３１、３２1、３２2……有機蒸着材料
４２……台回転装置
４７1〜４７3……回転中心 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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