(57)【要約】【課題】圧縮状態にある観察試料の非破壊三次元計測を精度よく行うのに適した観察装置を提供する。【解決手段】観察装置１０は、観察試料ＯＳを収納する凹部２４を有する本体部１６と、本体部１６の凹部２４に収納された観察試料ＯＳを圧縮する圧縮部材１８と、圧縮部材１８に圧縮力を付与する圧縮力付与機構２０とを備え、本体部１６および圧縮部材１８において少なくとも観察試料ＯＳを透過するＸ線の経路となる部分は金属材料よりもＸ線透過性が高い材料で形成されている。【選択図】図５
2019184255.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察試料を収納する凹部を有する本体部と、
前記本体部の凹部に収納された観察試料を圧縮する圧縮部材と、
前記圧縮部材に圧縮力を付与する圧縮力付与機構と、を備え、
前記本体部および前記圧縮部材において少なくとも観察試料を透過するＸ線の経路となる部分は金属材料よりもＸ線透過性が高い材料で形成されている、観察装置。
【請求項２】
前記本体部および前記圧縮部材において少なくとも観察試料を透過するＸ線の経路となる部分は樹脂材料で形成されている、請求項１に記載の観察装置。
【請求項３】
前記本体部において、前記凹部が形成された面とは反対側の表面であって前記凹部の中央に対応する位置にひずみゲージが設けられている、請求項１または２に記載の観察装置。
【請求項４】
内部に空間を有する樹脂製の取付部材を介して回転ステージに取り付けられる、請求項１〜３のいずれか一項に記載の観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮状態にある観察試料の非破壊三次元計測に用いられる観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図８（ａ），（ｂ）に示すような傾斜ＣＴ(Computed Tomography:コンピューター断層撮影、以下に同じ)法および通常ＣＴ法が知られている。図８（ｂ）に示すように、通常ＣＴ法では、回転軸Ｃを中心に平板状の観察試料ＯＳを回転させながら、回転軸Ｃと直交する方向からＸ線を照射する。この場合、Ｘ線の透過距離（すなわち観察試料ＯＳの厚さ方向と直交する方向の距離）が長くなるためＸ線が観察試料ＯＳを透過せず、スクリーンＳ上には真っ黒（又は真っ白）な像が映し出されるだけとなり、観察試料ＯＳの内部構造を観察することができない。
【０００３】
これに対し、図８（ａ）に示すように、回転軸ＣをＸ線照射方向に対して傾斜させた状態で回転させながらＸ線を照射する傾斜ＣＴ法によれば、観察試料ＯＳにおけるＸ線の透過距離が短くなるため、観察試料ＯＳを透過したＸ線によってスクリーンＳ上に像Ｉが映し出され、この像Ｉを解析することによって観察試料ＯＳの内部構造を非破壊で三次元的に観察することができる。このような傾斜ＣＴ法をＸ線ラミノグラフィＣＴともいう。
【０００４】
例えば、特許文献１には、観察装置が開示されている。この観察装置は、圧縮可能な被観察物を収納する凹部を有する本体部と、この本体部に載置されて被観察物を圧縮しながら凹部に蓋をする上蓋部とを備える。本体部に収納された被観察物は、上蓋部を通して視認可能になっている。また、上蓋部は、被観察物を圧縮する際に被観察物と接触する平板状の接触板部と、この接触板部の被観察物と接触する面の反対側の面を囲うことにより閉じた空間を形成する外周部とを有する。前記閉じた空間には、内圧調節部であるポンプが配管を介して接続されている。このポンプによって閉じた空間の内圧は、被観察物が本体部に収納されて上蓋部が本体部に載置された際の被観察物による接触板部への押圧力と略等しくなるように調節される。この観察装置では、本体部の収納された被観察部を視認可能にするため、上蓋部は透明な材料で形成される必要がある。また、本体部はアルミニウムなどの金属で形成されると記載されている。
【０００５】
また、非特許文献１には、ラミノグラフィ用のその場観察装置が記載されている。非特許文献１では、平板状の観察試料にスリットを切り込み形成し、このスリット形成部分に引張力を付与した状態でスリット先端部をラミノグラフィによって観察するものである。
【０００６】
さらに、（株）東陽テクニカの販売品として「マイクロＣＴスキャナ用材料試験ステージ」が公知である（非特許文献２参照)。この試験ステージは、Ｘ線ＣＴ用のその場観察装置において用いられ、観察試料を収納する透明な筒状の試料収納部と、この試料収納部の両端に圧縮力・引張力を付与する金属製の機構とを備えており、観察試料に付与される圧縮力・引張力は制御およびモニターすることが可能になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１７−１４４６０４号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】論文：In Situ Observation Of Strained Bands And Ductile Damage In Thin AA2139-T3 Alloy Sheets, Ante Buljac et al., 24th International Congress of Theoretical and Applied Mechanics, Procedia IUTAM 20(2017)66-72
【非特許文献２】東陽テクニカホームページ（ＵＲＬ：https://www.toyo.co.jp/microscopy/products/detail/id=8411）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記特許文献１に記載される観察装置では、剛性を確保するために本体部が金属材料で形成されている。そのため、Ｘ線が透過せず、Ｘ線ラミノグラフィＣＴによる内部観察ができない。また、閉じた空間の内圧を調節するためのポンプが配管を介して接続されているため、観察試料を収納した状態で観察装置を回転させる際に配管が支障となって回転させることができず、所望のＣＴ像を得ることができない。
【００１０】
また、上記非特許文献１に記載される観察装置では、観察試料に引張力を付与することはできるが、圧縮力を付与することができない。したがって、観察試料に圧縮力を付与した状態でＸ線ラミノグラフィＣＴによって内部構造を観察するために用いることができない。
【００１１】
さらに、（株）東陽テクニカの販売品であるマイクロＣＴスキャナ用材料試験ステージは、試料収納部の両端部に設けられた圧縮力・引張力付与機構が金属製の部材で構成されるため、Ｘ線ラミノグラフィのために試料収納部を傾斜状態で回転させてＸ線を照射すると、金属製の圧縮力・引張力付与機構がＸ線透過経路に掛かってしまい、観察試料のＣＴ像取得の妨げとなる。加えて、金属製の圧縮力・引張力付与機構は重量が大きく且つ重心位置が高くなるため、傾斜状態で回転させると重力による撓みによって回転軸のぶれが生じ、その結果、ＣＴ像が大幅に劣化する可能性がある。
【００１２】
本発明の目的は、内部に収納した観察試料の圧縮状態での非破壊三次元計測を精度よく行うのに適した観察装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る観察装置は、観察試料を収納する凹部を有する本体部と、前記本体部の凹部に収納された観察試料を圧縮する圧縮部材と、前記圧縮部材に圧縮力を付与する圧縮力付与機構と、を備え、前記本体部および前記圧縮部材において少なくとも観察試料を透過するＸ線の経路となる部分は金属材料よりもＸ線透過性が高い材料で形成されている。
【００１４】
この構成によれば、本体部および圧縮部材において少なくとも観察試料を透過するＸ線の経路となる部分が金属材料よりもＸ線透過性が高い材料で形成されているため、本体部および圧縮部材によって圧縮された状態にある観察試料にＸ線を透過させて、観察試料の非破壊三次元計測を精度よく行うことができる。
【００１５】
本発明に係る観察装置において、前記本体部および前記圧縮部材において少なくとも観察試料を透過するＸ線の経路となる部分は樹脂材料で形成されているのが好ましい。この構成によれば、観察試料を圧縮する本体部および圧縮部材の圧縮部が樹脂材料で形成されているため、圧縮部によって圧縮された状態にある観察試料にＸ線を透過させて、観察試料の非破壊三次元計測を精度よく行うことができる。
【００１６】
また、本発明に係る観察装置において、前記本体部には、前記凹部が形成された面とは反対側の表面であって前記凹部の中央に対応する位置にひずみゲージが設けられているのが好ましい。この構成によれば、本体部の凹部に収納された観察試料に対する圧縮力をひずみゲージの出力によって常時モニターすることができる。また、ひずみゲージの出力と圧縮力の関係を予め調査しておくことで、ひずみゲージの出力を確認しながら圧縮力付与機構を調節することで、観察試料に対する圧縮力を任意に設定することができる。
【００１７】
さらに、本発明に係る観察装置において、内部に空間を有する樹脂製の取付部材を介して回転ステージに取り付けられる構成としてもよい。この構成よれば、観察装置は内部に空間を有する取付部材を介して回転ステージに取り付けられるため、Ｘ線ラミノグラフィＣＴにおいて傾斜した状態で回転する観察装置を透過したＸ線の透過経路に取付部材が存在しても妨げとならず、Ｘ線ラミノグラフィＣＴによる非破壊三次元計測を精度よく行うことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る観察装置によれば、内部に収納した圧縮状態の観察試料の非破壊三次元計測を精度よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態である観察装置の斜視図である。
【図２】図１における観察装置のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図２における観察装置の拡大断面図である。
【図４】圧縮力付与ネジによる圧縮力とひずみゲージの出力との関係を示すグラフである。
【図５】Ｘ線ラミノグラフィＣＴにおいてＸ線が観察装置内の観察試料を透過する様子を示す断面図である。
【図６】図１に示す観察装置を別のＸ線計測システムで用いた例を示す図である。
【図７】図６のＸ線計測システムにおいてＸ線が観察装置内の観察試料を透過する様子を示す断面図である。
【図８】（ａ）は傾斜ＣＴ法を示す概略図であり、（ｂ）は通常ＣＴ法を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に、本発明に係る実施の形態について添付図面を参照しながら詳細に説明する。この説明において、具体的な形状、材料、数値、方向等は、本発明の理解を容易にするための例示であって、用途、目的、仕様等にあわせて適宜変更することができる。また、以下において複数の実施形態や変形例などが含まれる場合、それらの特徴部分を適宜に組み合わせて用いることは当初から想定されている。
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態である観察装置１０の斜視図である。図２は、図１における観察装置１０のＡ−Ａ線断面図である。図３は、図２における観察装置１０の拡大断面図である。
【００２２】
図１及び図２に示すように、観察装置１０は、回転軸Ｃを中心として回転されたとき回転対称となる外形状に形成されている。また、観察装置１０は、円筒状の取付部材１２を介して金属製円板からなる回転ステージ１４に取り付けられる。これにより、回転ステージ１４が図示しないモータによって回転駆動されると、観察装置１０が回転軸Ｃを中心として回転するように構成されている。
【００２３】
円筒状の取付部材１２は、樹脂材料で形成された円筒部材によって好適に構成され、その内部に空間１３を有する。このように内部に空間１３を有する取付部材１２を介して観察装置１０を回転ステージ１４に取り付けることで、Ｘ線ラミノグラフィにおいて傾斜した状態で回転する観察装置１０を透過したＸ線の透過経路に取付部材１２が存在しても妨げとならず、Ｘ線ラミノグラフィＣＴによる非破壊三次元計測を精度よく行うことができる。
【００２４】
図２及び図３に示すように、観察装置１０は、本体部１６と、圧縮部材１８と、圧縮力付与機構２０とを備える。本体部１６は、その中心部において円筒状に突出した収納部２２を有しており、収納部２２の内側に凹部２４が形成されている。
【００２５】
また、本体部１６は、収納部２２の下端部において径方向外側に突出するフランジ部２６を有する。フランジ部２６には、複数の雌ネジ孔２８が貫通して形成されている。本実施形態では、４つの雌ネジ孔２８が周方向に９０度ピッチで形成されている。
【００２６】
本実施形態における本体部１６は、収納部２２およびフランジ部２６が樹脂材料により一体に形成されている。これにより、後述するように収納部２２の凹部２４に収納された観察試料ＯＳに向けて観察装置１０の外部から照射したＸ線を透過させることができる。また、このように本体部１６の全体が樹脂材料によって形成されることで、観察装置１０の軽量化に寄与することができる。
【００２７】
なお、本実施形態では本体部１６の全体を金属材料に比べてＸ線透過性が高い樹脂材料によって一体に形成される場合について説明したが、これに限定されない。観察装置１０をＸ線ラミノグラフィＣＴで用いるとき、本体部１６において少なくともＸ線が透過する部分（収納部２２の外周壁部および凹部２４の底部）が樹脂材料で形成されていれば良く、例えば、Ｘ線透過部分とはならないフランジ部２６は金属材料で形成されてもよい。
【００２８】
本体部１６において収納部２２の凹部２４は、上方に向かって円形状に開口している。凹部２４の内周壁面には、段部３０が形成されている。段部３０は、上方からみて円環状に形成されている。この段部３０は、凹部２４の開口部から円形平板状の観察試料ＯＳが内部に収納されたとき、観察試料ＯＳの外周部下面が載置されて支持する試料支持部を構成する。段部３０の外周縁部の直径は、円形平板状をなす観察試料ＯＳの直径よりも略同等か少し大きく形成されている。これにより、観察試料ＯＳが段部３０上に載置されたとき、凹部２４の内周壁面によって観察試料ＯＳの径方向の移動が規制された状態になる。
【００２９】
また、凹部２４において、段部３０の径方向内側には円形の底部３２が形成されている。底部３２には、扁平円柱状をなす載置台３４が配置されている。載置台３４は、凹部２４の底部３２に例えば、接着剤等によって固定されている。
【００３０】
載置台３４の上面は、段部３０と同じ高さ位置となるように形成されている。これにより、凹部２４内に観察試料ＯＳが収納されたとき、段部３０によって外周部下面が支持された観察試料ＯＳの中央部下面が載置台３４上に載置された状態で支持されるようになっている。また、後述するように圧縮部材１８によって観察試料ＯＳに圧縮力が付与されたとき、載置台３４は、圧縮部材１８と協働して観察試料ＯＳを圧縮する圧縮部材の一部を構成する。
【００３１】
載置台３４もまた、金属材料に比べてＸ線透過性が高い樹脂材料によって一体に形成される。具体的には、載置台３４は、樹脂材料によって形成されている。これにより、凹部２４内に収納された観察試料ＯＳに向けて観察装置１０の外部から照射したＸ線を透過させることができる。また、このように載置台３４が樹脂材料によって形成されることで、観察装置１０の軽量化に寄与することができる。
【００３２】
扁平円柱状をなす載置台３４の直径は、段部３０の内径側端部の直径よりも小さく形成されており、載置台３４の外周面と段部３０との間には、上方から見て円環状をなす溝３６が形成されている。また、載置台３４の直径は、後述する圧縮部材１８と協働して観察試料ＯＳを圧縮する領域の直径を規定する。
【００３３】
なお、本実施形態では、載置台３４を本体部１６と別体に形成して底部３２に固定配置する例について説明したが、これに限定されるものではない。載置台は、本体部１６と一体に形成されてもよい。
【００３４】
圧縮部材１８は、本体部１６の凹部２４に収納された観察試料ＯＳを圧縮するための部材である。圧縮部材１８は、本体部１６の凹部２４内に隙間なく嵌合する扁平円柱状の基部４０と、基部４０の下面から扁平円柱状に突出した突出部４２とを有する。
【００３５】
圧縮部材１８は、金属材料に比べてＸ線透過性が高い樹脂材料によって一体に形成される。具体的には、圧縮部材１８は、樹脂材料によって形成されている。これにより、本体部１６の凹部２４内に収納された観察試料ＯＳに向けて観察装置１０の外部から照射したＸ線を透過させることができる。また、このように圧縮部材１８が樹脂材料によって形成されることで、観察装置１０の軽量化に寄与することができる。
【００３６】
圧縮部材１８の突出部４２は、本体部１６の凹部２４の底部３２に配置された載置台３４と同一直径に形成され、観察試料ＯＳの中心部の同じ領域を載置台３４との間に挟んで圧縮することができる。観察試料ＯＳに対する圧縮力は、後述する圧縮力付与機構２０によって圧縮部材１８に付与される。
【００３７】
圧縮力付与機構２０は、上蓋部材５０と、圧縮力付与ネジ５２とを備える。上蓋部材５０は、有底円筒状に形成され、円板状をなす天板部５４と、天板部５４の外周縁部から観察装置１０の軸方向に円筒状に垂下して形成された側壁部５６とを含む。
【００３８】
天板部５４には、複数（本実施形態では４つ）のボルト孔５８が周方向に等ピッチで形成されている。各ボルト孔５８に挿入されたボルト６０のネジ部先端が本体部１６のフランジ部２６の雌ネジ孔２８に締め付けられ、これにより上蓋部材５０が本体部１６に固定される。ボルト６０には、金属製ボルトを用いることができる。
【００３９】
圧縮力付与ネジ５２は、上蓋部材５０の天板部５４において径方向中心位置に形成されている雌ネジ孔６２に螺合されている。圧縮力付与ネジ５２の下端部には、半球状の凹部が形成されており、この凹部内に半球状の球面座５３が収容配置されている。そして、圧縮力付与ネジ５２の下端から僅かに突出した球面座５３の平面状の下端面が、圧縮部材１８の平面状の上面の径方向中心位置に当接して配置されている。このように圧縮力付与ネジ５２の先端に球面座５３を設けることで、球面座５３の下端面によって圧縮部材１８を均一に押圧することが可能になる。
【００４０】
圧縮力付与ネジ５２の上端部には、工具穴５５が形成されており、工具穴５５に例えば六角レンチ等の工具を挿入して圧縮力付与ネジ５２を締め込んでいくことで、球面座５３を介して圧縮部材１８に圧縮力が付与されるようになっている。
【００４１】
天板部５４および側壁部５６を含む上蓋部材５０は、金属材料に比べてＸ線透過性が高い樹脂材料によって一体に形成される。具体的には、上蓋部材５０は、樹脂材料によって形成されている。これにより、本体部１６の凹部２４内に収納された観察試料ＯＳに向けて観察装置１０の外部から照射したＸ線を透過させることができる。また、このように上蓋部材５０が樹脂材料によって形成されることで、観察装置１０の軽量化に寄与することができる。
【００４２】
球面座５３を含む圧縮力付与ネジ５２は、金属製のものを用いるのが好ましい。これにより、圧縮力付与ネジ５２の耐久性が確保できる。ただし、球面座５３を含む圧縮力付与ネジ５２は、Ｘ線透過性の高い材料、例えば樹脂材料で形成されてもよい。このようにすれば、圧縮力付与ネジ５２のＸ線透過性が向上することで、Ｘ線ラミノグラフィＣＴによる計測時において観察装置１０の傾斜角度をより大きな範囲で設定することが可能になる。
【００４３】
図２及び図３に示すように、本体部１６において、凹部２４が形成された面とは反対側の表面であって凹部２４の中央に対応する位置にひずみゲージ７０が設けられている。ひずみゲージ７０は、例えば、接着剤によって本体部１６に固定されている。ひずみゲージ７０から延出する電線７２が、取付部材１２に形成された貫通孔１３を通って導出されている。
【００４４】
本体部１６の凹部２４内に観察試料ＯＳが収納され、圧縮部材１８が凹部２４内に嵌合して配置され、そして圧縮力付与ネジ５２が締め込まれることで観察試料ＯＳに圧縮力が圧縮部材１８を介して付与されたとき、本体部１８の底部３２を構成する部分にはひずみが生じる。このひずみ量をひずみゲージ７０の出力として検出することで、観察試料ＯＳに対する圧縮力を常時モニターすることができる。
【００４５】
図４は、圧縮力付与ネジ５２による圧縮力Ｆとひずみゲージ７０の出力との関係を示すグラフである。このグラフにおいて、横軸は圧縮力Ｆ（単位Ｎ（ニュートン））を表し、縦軸はひずみゲージ７０の出力（単位μｓｔ（マイクロストレイン））を表す。図４のグラフに示すように、圧縮力付与機構２０によって付与される圧縮力Ｆと、ひずみゲージ７０によって検出されるひずみ量とは、比例関係にある。このような関係を予め調査しておくことで、ひずみゲージ７０の出力を確認しながら圧縮力付与機構２０を調節することで、観察試料ＯＳに対する圧縮力Ｆを任意に設定することができる。
【００４６】
上記のように構成される観察装置１０を用いて観察試料ＯＳに圧縮力を付与した状態で、Ｘ線ラミノグラフィＣＴにより観察試料ＯＳの内部構造を非破壊三次元計測する。図５は、Ｘ線ラミノグラフィＣＴによりＸ線が観察装置１０内の観察試料ＯＳを透過する様子を示す断面図である。
【００４７】
図５に示すように、観察装置１０において凹部２４内に観察試料ＯＳが収納され、圧縮力付与機構２０によって圧縮力が圧縮部材１８に付与され、これにより観察試料ＯＳのうち圧縮部材１８の突出部４２と載置台３４との間に挟まれた領域（以下、圧縮領域という）が圧縮された状態になっている。
【００４８】
この状態で、観察装置１０は取付部材１２を介して回転ステージ１４に取り付けられ（図１参照）、回転ステージ１４が回転駆動されることによって回転軸Ｃを中心として回転する。このとき、回転軸Ｃは鉛直方向に対して所定の角度（例えば４５度）傾斜した姿勢で設置され、このように傾斜した姿勢で観察装置１０が回転する。
【００４９】
そして、この状態で観察装置１０の外部からＸ線８０が観察装置１０内の観察試料ＯＳの圧縮領域に向けて照射される。このときＸ線８０は一定幅ｗで一方向に照射されるが、観察装置１０が回転していることから、観察装置１０の断面で見るとＸ線８０が観察試料ＯＳの圧縮領域においてＸ状に交差し、立体的に見ると円錐の外周面に沿ったようなＸ線照射領域が形成されることになる。
【００５０】
本実施形態の観察装置１０では、Ｘ線８０が透過する部分、すなわち、本体部１８、載置台３４、圧縮部材１８、および、上蓋部材５０は、Ｘ線透過性が高い樹脂材料で形成されている。したがって、本実施形態の観察装置１０によれば、Ｘ線ラミノグラフィＣＴによって、本体部１８の載置台３４および圧縮部材１８の突出部４２によって圧縮された状態にある観察試料ＯＳにＸ線を透過させ、観察試料ＯＳの非破壊三次元計測を精度よく行うことができる。
【００５１】
また、本実施形態の観察装置１０は、圧縮力付与ネジ５２およびボルト６０以外の部材が樹脂材料で形成されているため、軽量化を図ることができる。したがって、Ｘ線ラミノグラフィＣＴにおいて観察装置１０を取付部材１２で回転ステージ１４に取り付けて、回転軸Ｃを傾斜させた姿勢で観察装置１０を回転させるため、観察装置１０に対して重力が斜め下方に作用した場合でも、撓みによって回転軸Ｃがぶれるのを低減することができ、その結果、Ｘ線ラミノグラフィによるＣＴ像の劣化を抑制することができる。
【００５２】
次に、図６を参照して、上述した観察装置１０がラミノグラフィ以外の別のＸ線計測システムに用いられる例について説明する。図６は、図１に示す観察装置１０を別のＸ線計測システム９０で用いた例を示す図である。図７は、図６のＸ線計測システム９０においてＸ線が観察装置１０内の観察試料ＯＳを透過する様子を示す断面図である。図６及び図７に示す観察装置１０は、上述したものと同様であり、取付部材１２および回転ステージ１４が取り付けられている。
【００５３】
Ｘ線計測システム９０は、搬送装置９１、Ｘ線源９２、および、Ｘ線カメラ９３を備える。搬送装置９１は２つのローラ９４ａ，９４ｂに架け渡された無端状ベルト９５を含み、取付部材１２および回転ステージ１４が取り付けられた観察装置１０は無端状ベルト９５に載置されて矢印Ｂ方向に搬送される。
【００５４】
Ｘ線源９２は、搬送装置９１によって搬送される観察装置１０に向けてＸ線８０を照射する機能を有する。Ｘ線源９２は、観察装置１０の移動に同期してＸ線照射方向を変えるように向きが制御される。
【００５５】
Ｘ線カメラ９３は、観察装置１０を透過したＸ線８０を受けてＣＴ像を生成する機能を有する。Ｘ線カメラ９３は、観察装置１０の移動に同期して矢印Ｂ方向に並進移動する。これにより、観察装置１０が搬送装置９１によって搬送されている間に、観察装置１０内の観察試料ＯＳの圧縮領域にＸ線８０を透過させ、非破壊三次元計測を行うことができる。
【００５６】
ただし、この場合に観察装置１０におけるＸ線８０は、図７に示すように、例えば、鉛直方向に軸方向が沿った姿勢で搬送される観察装置１０に対して斜め下方から斜め上方へ直線状に透過するだけとなり、この点においてＸ線ラミノグラフィＣＴと相違する。
【００５７】
なお、本発明は、上述した実施形態及びその変形例に限定されるものではなく、本願の特許請求の範囲に記載された事項の範囲内において種々の変更や改良が可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【００５８】
１０  観察装置、１２  取付部材、１４  回転ステージ、１６  本体部、１８  圧縮部材、２０  圧縮力付与機構、２２  収納部、２４  凹部、２６  フランジ部、２８，６２  雌ネジ孔、３０  段部、３２  底部、３４  載置台、３６  溝、４０  基部、４２  突出部、５０  上蓋部材、５２  圧縮力付与ネジ、５３  球面座、５４  天板部、５５  工具穴、５６  側壁部、５８  ボルト孔、６０  ボルト、７０  ひずみゲージ、７２  電線、８０  Ｘ線、９０  Ｘ線計測システム、９１  搬送装置、９２  Ｘ線源、９３  Ｘ線カメラ、９４ａ，９４ｂ  ローラ、９５  無端状ベルト、Ｃ  回転軸。
【図１】
2019184255.tif 000003
【図２】
2019184255.tif 000004
【図３】
2019184255.tif 000005
【図４】
2019184255.tif 000006
【図５】
2019184255.tif 000007
【図６】
2019184255.tif 000008
【図７】
2019184255.tif 000009
【図８】
2019184255.tif 000010