(57)【要約】【課題】光学系に光変調を可能とする光学ユニットの組み込みにあって、光学系の偏光方向と光学ユニットが有する光学素子カセットの光変調方向を合わせる調整に工数のかかる問題があった。【解決手段】光学ユニットは、所定の光学系に対して第１の方向に着脱可能な筐体と、前記光学系の偏光に対して光変調を行い、所定の変調方向を有し、前記変調方向が前記光学系の光軸に対して一義的な方向に保持されるように前記筐体に対して着脱可能に取り付けられた光学素子カセットと、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の光学系に対して第一の方向に着脱可能な筐体と、
前記光学系の偏光に対して光変調を行い、所定の変調方向を有し、前記変調方向が前記光学系の光軸に対して一義的な方向に保持されるように前記筐体に対して着脱可能に取り付けられた光学素子カセットと、を備える
ことを特徴とする光学ユニット。
【請求項２】
前記光学素子カセットは、前記筐体に対して第二の方向に着脱可能である
ことを特徴とする請求項１に記載の光学ユニット。
【請求項３】
前記光学素子カセットの前記変調方向は、前記第二の方向に平行又は垂直である
ことを特徴とする請求項２に記載の光学ユニット。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の光学ユニットと、
前記光学系と、を備え、
前記光学系の偏光方向と前記光学素子カセットの前記変調方向とが一致する
ことを特徴とする光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学ユニット及び光学ユニットを備える顕微鏡等の光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、レーザ顕微鏡、光ピックアップ装置、レーザ加工機など、光を対象物に照射することにより、その対象物の形状などの情報を検出したり、その対象物に何らかの変化を生じさせる光学装置が利用されている。このような光学系に、例えば、液晶素子からなる光学素子カセットを有する光学ユニットを組み込み、超解像度を可能にしたり、波面収差を補正したりする光変調の技術が提案されている。
【０００３】
上記の、この特性を得るには、光学素子カセットの液晶素子の配向方向、すなわち、光学素子カセットの光変調方向と、光学系のレーザ光源の直線偏光の偏光方向を一致させることである。そのため、光学素子カセットの光変調方向の向きを光学系の光軸回りに回転可能な機構を有する光学ユニットが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１２／１２４６３４号（第９−１１頁、図２−３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に示した従来技術において、光学系に光学ユニットを最初に組み込む場合や、光学ユニットを別の光学系に組み込む場合など、レーザ光源の偏光方向と光学素子カセットの光変調方向を合わせる調整を、その都度、光学ユニットを回転して合わせねばならず、工数のかかる問題があった。
【０００６】
本発明は、光変調方向の調整が容易な光学ユニット及び光学装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の光学ユニットは、所定の光学系に対して第一の方向に着脱可能な筐体と、光学系の偏光に対して光変調を行い、所定の変調方向を有し、変調方向が光学系の光軸に対して一義的な方向に保持されるように筐体に対して着脱可能に取り付けられた光学素子カセットと、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の光学装置は、光学ユニットと、光学系と、を備え、光学系の偏光方向と光学素子カセットの変調方向とが一致することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、光変調方向の調整が容易な光学ユニット及び光学装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の光学ユニットの実施例が組み込まれた光学系を説明するための斜視図である。
【図２】本発明の光学ユニットの実施例と光学系を説明するための分解斜視図である。
【図３】本発明の光学ユニットの実施例を説明するための分解斜視図である。
【図４】本発明の光学ユニットの実施例の製造工程を説明するためのプロセスフロー図である。
【図５】本発明の光学ユニットの実施例の製造工程を説明するための斜視図である。
【図６】本発明の光学ユニットの実施例の製造工程で光学素子カセットの光変調方向を説明するための平面図である。
【図７】本発明の光学ユニットの実施例の製造工程で光学素子カセットを組み込む工程を説明するための斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の光学ユニットに内蔵される光学素子カセットは、光学系本体に対し所定の方向に着脱可能であり、光変調方向が異なる光学素子カセットを複数種類準備し、光学系のレーザ光の偏光方向に対し、光変調方向が一致する光学素子カセットをその中から選択して、光学ユニットに組み込む点が特徴的な部分である。
【００１２】
以下、図面を用いて光学ユニットを詳述し、そして、光学系に組み込む光学ユニットの製造方法を詳述する。
図１から図３を用いて光学系に組み込む光学ユニットの実施例を説明する。次に、図４から図７を用いて光学系に組み込む光学ユニットの製造方法を説明する。
【００１３】
［光学ユニットの構成の説明：図１〜図３］
まず、図１〜図３を用いて光学ユニットの構成を説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る光学ユニットが対物レンズを有する光学系内に組み込まれた光学系の部分的な斜視図である。図２は、光学ユニットと光学系の構成を説明するための分解斜視図であり、図３は、光学ユニットの構成を説明するための分解斜視図である。なお、各図において同一の構成部材には同一の番号を付して、重複する説明は省略する。
【００１４】
図１と図２は、光学系本体と対物レンズとの間に光学ユニットが装着された光学系１００を説明するための斜視図である。ここで光学系本体２は、光源やレンズなどの光学素子が組み込まれた光学系であって、一般に複雑な大型の構成であるが、この図にあっては、簡易的に模式的に示してある。
【００１５】
図１と図２に示すように、光学ユニット１は、上蓋２０と下蓋４０からなる筐体４と、前蓋開口部６１を有する前蓋６０と、そして、アリガタ２４及び連結部材２５からなる着脱機構２３で形成されている。光学ユニット１は、その着脱機構２３と光学系本体２に形成されたアリミゾ２６により所定の方向、例えば、矢印Ａ方向から挿入して位置決めをすることによって、光学ユニット１の着脱が容易で正確な配置が可能となっている。そして、対物レンズ３が下方の矢印Ｂ方向から下蓋４０に形成された後述する雌ネジ部に対物レンズ３の雄ネジ部３１１が螺合して取り付けられる構成となっている。
なお、光学ユニット１への対物レンズ３の取付けを先にして、次に、光学系本体２へ光学ユニット１を装着する順序であっても良い。
【００１６】
そして、このアリミゾ２６を有する光学系本体２からなる光学系１００について、種々の製品を検討した結果、光学系１００のレーザ光の直線偏光の偏光方向は、その光学系１００で予め決められた方向、すなわち、アリミゾ方向と平行、又は、直交する方向で形成されていることが明らかとなった。
【００１７】
次に、図３を用いて、光学ユニット１の全体構成を詳細に説明する。
ここで、三次元のＸＹＺ軸は、Ｚ軸方向が光学ユニット１にレーザ光が透過する光軸８０方向であり、この光軸に垂直な方向のＹ軸方向が光学素子カセット３０を光学ユニット１から出し入れ交換する方向で、Ｘ軸方向がこのＹ軸に直交する方向である。
【００１８】
図３に示すように、上蓋２０は、矩形の板状の上面にＺ軸方向に突出した円筒部２１と同心円の上蓋開口部２１１が形成され、そして、上蓋２０の上部に連結部材２５を固着するための複数の接続部２０１及び上蓋２０の下部に下蓋４０を固着するための複数の接続部２０２が形成されている。上蓋開口部２１１は、光軸８０と同軸であって、レーザ光が透過する光路を形成している。そして、上蓋２０の上部に光学系本体２と着脱可能とする着脱機構２３を形成するアリガタ２４と連結部材２５が形成されている。
【００１９】
連結部材２５は、円筒形状であって、その中空部である連結部材開口部２５２は、上蓋２０の円筒部２１との嵌合によって位置決めされ、光軸８０を通る光路を形成し、複数の接続部２５１と上蓋２０の接続部２０１によって、例えば、ネジ止めや、一方に凸部を他方に凹部を形成して圧入する接続方法などで固着される。なお、連結部材２５の形状は、円筒形状に限らず角柱形状でもよく、レーザ光が透過可能な中空部が形成されておれば良い。
【００２０】
着脱機構２３を構成するアリガタ２４は、光学系本体２に形成されたアリミゾ２６に嵌合する形状であって、レーザ光が透過する貫通孔２４２と複数の接続部２４１が形成されている。そして、光学系本体２との着脱方向と、光学ユニット１の筐体４への光学素子カセット３０の着脱方向は光軸に垂直で、Ｙ軸方向と一致するように、連結部材２５の接続部２５１とアリガタ２４の接続部２４１でネジ止めされる。なお、本発明の光学ユニットの実施例にあっては光学系本体２との着脱方向と光学素子カセット３０の着脱方向が一致する方向、Ｙ軸方向で説明しているが、光学素子カセット３０の着脱方向が直交するＸ軸方向にあっても良い。
【００２１】
光学素子カセット３０は、光変調素子３１と光変調素子ホルダ３２とコネクタ３３から構成される。
光変調素子３１は、例えば、駆動信号によって入射光を光変調する液晶素子を使用することができる。光変調素子３１は、コネクタ３３を介して外部から駆動信号を得るために、ＦＰＣといったケーブルでコネクタ３３と電気的に接続しておくのが好ましい。また、光変調素子３１は所望の光変調にあわせて単数または複数枚重ねて使用してもよい。光変調素子ホルダ３２は、光変調素子３１を保持し、光変調素子３１の光変調領域に対応する部分に開口を有している。
【００２２】
そして、光学素子カセット３０は、光変調方向が矢印Ｃ（Ｙ軸方向）で示す光変調素子３１で形成されているが、例えば、矢印ＣのＹ軸方向と直交するＸ軸方向が光変調方向となる光変調素子３１といった少なくとも２種類の光学素子カセット３０を準備することが好ましい。
【００２３】
コネクタ３３は、光変調素子ホルダ３２の一端に固定され、外部ケーブル７０と接続して図示しない制御装置からの駆動信号を受け取る。これによって光変調素子３１の波面収差補正や超解像といった光変調を電気的にコントロールすることが可能となっている。
【００２４】
下蓋４０は、コの字形状の側壁である左側壁４２、右側壁４３、奥側壁４４、そして、底部４１で光学素子カセット３０を内蔵可能とする凹部が形成され、開放端側の前蓋取付部４５にコの字形状の開口部が光学素子カセット３０を出し入れ自由とする入り口を形成している。この入り口が上蓋２０と形成する筐体４の筐体開口部を形成する。そして、右側壁４３に形成されたネジ部材５２は、光学素子カセット３０を左側壁４２と奥側壁４４に設けられた凸部に当接して固定し、光軸中心の位置決めするものである。なお、上述の凸部の代わりにそれぞれ所定の弾性力をもつばねなどの弾性部材を設け、光学素子カセットを押し込みすぎた場合に戻すようにしてもよい。
【００２５】
底部４１から下方に形成された円筒形状の下蓋開口部４６は、雌ネジ部４１１が内側に形成され、その中心軸は、上蓋２０を貫通する光軸８０と同軸であって、対物レンズ３が螺合可能に形成されている。なお、上述した下蓋開口部４６は下方に突出した角柱形状に中空部を有するものであってもよい。
【００２６】
ここで、下蓋４０と対物レンズ３を螺合で取り付けるときに、対物レンズ３の雄ネジ部が光学素子カセット３０に干渉しないように、雌ネジ部４１１の長さを対物レンズの雄ネジ部よりも長くするか、または底部４１と下蓋開口部４６の間に仕切りを設けておいてもよい。
【００２７】
また、下蓋４０は、複数の接続部４０１が上蓋２０の接続部２０２と結合する位置に対応し、複数の接続部４０２が前蓋６１の接続部６０１と結合する位置に対応するようにそれぞれ形成されている。これらの接続部４０１、２０２、４０２、６０１との接続方法は、前述したと同様にネジ止め等の方法であり、上蓋２０が下蓋４０に固着されることで光学素子カセット３０を内蔵可能な筐体４が形成される。
【００２８】
前蓋６０は、光学素子カセット３０を筐体４に挿入し内蔵した後、上述した前蓋取付部４５の複数の接続部４０２と前蓋６０の接続部６０１のネジ止めにより筐体４に固着され、光学素子カセット３０を固定する。
【００２９】
これにより、上蓋２０と下蓋４０で形成した筐体４と着脱機構２３からなる光学ユニット１は、上部にはアリミゾ２６とアリガタ２４による嵌合結合、下部には雌ネジ部４１１と雄ネジ部３１１の螺合によって、図１に示したように光学系本体２と対物レンズ３の間に配置され組み込まれる。そして、光学系のレーザ光の直線偏光の光は、光軸８０に沿って形成された開口部及び貫通孔によって、内蔵された光学素子カセット３０の光変調素子３１の光変調方向と一致して透過可能に形成されている。
【００３０】
そして、外部ケーブル７０が前蓋６０の前蓋開口部６１を挿通して光学素子カセット３０のコネクタ３３に接続されて光学素子カセット３０を電気的に制御することが可能となる。
これによって光学ユニット１による波面収差補正や超解像といった光変調を電気的にコントロールすることが可能となる。
【００３１】
上述の説明において、着脱機構はアリミゾ２６に嵌合するアリガタ２４として説明を行ったが、この構成に限定されることはなく、光学系本体２に対して一方向に着脱が可能であるならば、種々の構成をとることができる。たとえば、光学系本体２がアリガタを有するのであれば、着脱機構にアリミゾを形成すればよく、また磁石やチャックなどによって取り付ける機構を有していても良い。また、光学系本体２が螺合によって着脱する機構しか備えていない場合には、光学系本体２と螺合することによって、着脱機構との着脱が可能となる中間部材を設けても良い。
【００３２】
また、上述の説明において、筐体４は上蓋２０と下蓋４０からなるとして説明したが、これに限定することはなく、光学素子カセット３０を保持できる構成であればよい。たとえば、上述の連結部材２５に光学素子カセット３０が保持できるような開口部を設けてもよい。この場合、着脱機構がアリガタ２６であり、連結部材２５を筐体４とみなすことが
できる。
【００３３】
また、光学素子カセット３０はＹ方向に着脱するとして説明したが、方向はこれに限定されず、光軸に対して光学素子カセット３０が一義的な方向に保持できればよい。たとえば、上述のようにＸ軸方向であってもよいし、Ｚ軸方向であってもよい。さらに、筐体４が光軸に対して一義的な方向に取り付け、取り外しができるようにしてもよい。
【００３４】
［光学ユニットの製造方法の説明：図４〜図７］
ここで、本発明に係る光学ユニットの製造方法について、図４〜図７を用いて説明する。
図４は、光学ユニットの製造方法を説明するプロセスフロー図である。図５から図７は、その製造方法を説明する図である。すなわち、図５は、光学ユニットが光学系に取付けられる工程を説明するための斜視図である。図６は、光変調方向の異なる光学素子カセットを説明するための平面図で、ＸＹ座標は、光学素子カセットの光学ユニットへの挿入方向をＹ軸方向、その直交方向をＸ軸方向としている。図７は、光学ユニットに光学素子カセットを装着する工程を説明するための斜視図である。
【００３５】
図４に示すように、光学ユニットの製造方法の製造工程は、主に３段階であって、少なくとも２方向以上の光変調方向のそれぞれ異なる複数の光学素子カセットを準備する光学素子カセット準備工程（ステップＳＴ０１）、光学系の偏光方向を見定めて少なくとも２方向準備した光学素子カセットの内、一方を選択する光学素子カセット選択工程（ステップＳＴ０２）、そして、選択した光学素子カセットを筐体に取り付ける光学素子カセット取付工程（ステップＳＴ０３）で構成されている。
またステップＳＴ０３の後に、必要に応じて、外部ケーブルを光学素子カセットのコネクタに接続し光変調が可能かを確認する光変調検査工程（ステップＳＴ０４）を追加してもよい。以下の説明ではステップＳＴ０１〜ＳＴ０３に加えてＳＴ０４を行う例として順に説明を行う。なお、各図において同一の構成部材には同一の番号を付して、重複する説明は省略する。
【００３６】
また、光学ユニット１は、ステップＳＴ０１の前からステップＳＴ０３の後までの間の任意のタイミングで光学系本体２及び対物レンズ３に組み込めばよいが、説明を容易にするために組み込んだ状態で各ステップを行う例として説明をする。
図５に示すように、光学ユニット１は光学系本体２と対物レンズ３の間に所定の方向で光学系に組み込まれる。しかし、後述のステップＳＴ０３の工程で光学素子カセット３０を装着するため、前蓋６０は取り外されており、筐体４の筐体開口部４７と、前蓋取付部４５が露出した状態にある。
【００３７】
［光学素子カセット準備工程の説明：図４、図６］
はじめに、図４に示す光学素子カセット準備工程（ステップＳＴ０１）を説明する。
この工程では、光変調方向が異なる光変調素子を光変調の種類に応じて少なくとも２方向ずつ準備する。例えば、図６（ａ）、（ｂ）の平面図で示す光学素子カセット３０は、図３で説明したように、光変調素子３１と光変調素子ホルダ３２とコネクタ３３で形成されている。両者の異なる点は、光変調素子３１の光変調方向であって、第一方向である図６（ａ）の光変調素子３１ａの光変調方向は、Ｙ軸方向の矢印Ｃ方向であり、第二方向である図６（ｂ）の光学変調素子３１ｂの光変調方向は、Ｘ軸方向の矢印Ｄ方向である。前述のように必ずしもアリミゾの方向と同一方向及び直交方向の組み合わせにする必要はなく、所定の方向に対する光変調素子と、その所定の方向から任意の角度に回転した方向の光変調素子とをそれぞれ複数ずつ用意すればよいが、通常、光学系のレーザ光の偏光方向は、アリミゾ２６の方向に対し平行又は直交が多い。従って、光学素子カセット３０の光変調方向も主として上記ＸＹ軸の２方向を少なくとも準備することが望ましい。
【００３８】
［光学素子カセット選択工程の説明：図４、図６］
次に、図４に示す光学素子カセット選択工程（ステップＳＴ０２）を説明する。
この工程では、ステップＳＴ０１で準備した光学素子カセット３０の中から、使用する光学素子カセット３０を選択する。選択の仕方については、光学系本体２の偏光方向が既知である場合は、ステップＳＴ０１で準備された複数の光学素子カセット３０から、偏光方向と光変調方向とが一致又は方向が近い光変調素子を選択する。もし既知でない場合には、ステップＳＴ０１で準備された複数の光学素子カセット３０から任意の一つを選択する。例えば、図６（ａ）に示す、光変調方向がＣ方向の光学素子カセット３０を選択する。
【００３９】
［光学素子カセット取付工程の説明：図４、図７］
次に、図４に示す光学素子カセット取付工程（ステップＳＴ０３）を説明する。
この工程では、ステップＳＴ０２で選択された光学素子カセット３０を筐体４に取り付ける。図７に示すように、ステップＳＴ０２で選択された光変調方向が矢印Ｃ方向の光学素子カセット３０ａは、光学ユニット１の筐体４の筐体開口部４７に矢印Ｅ方向から挿入される。この矢印Ｅ方向は、光学系本体２と光学ユニット１との着脱方向（図２の矢印Ａ方向）が同じ方向となっている。
【００４０】
そして、筐体４に光学素子カセット３０を内蔵したあと、ネジ部材５２でクランプし、前蓋６０で蓋をして筐体４内に固定配置する。なお、前蓋６０の接続部６０１と下蓋４０の接続部４０１は、上述したと同様ネジ止め等の方法で固着する。内蔵された光学素子カセット３０の電気的な接続は、光学素子カセット３０のコネクタ３３に、前蓋６０の前蓋開口部６１から外部ケーブルを挿通することで可能となる。
【００４１】
［光変調検査工程の説明：図４、図１］
次に、図４に示す光変調検査工程（ステップＳＴ０４）を説明する。
この工程では、ステップＳＴ０２で選択された光学素子カセット３０が適切であるかどうかを判断する。ここで、光学系の偏光方向が既知であり、選択された光学素子カセット３０の光変調方向とが一致していることが明らかである場合には、この工程を省略して製造工程を終了する。以下では光学系の偏光方向が既知でない場合を例として説明する。
【００４２】
図１に示すように、光学素子カセット３０が取付けられた光学ユニット１は、外部ケーブル７０で電気的に接続して、光変調の制御が可能か否かを検査することが可能となる。
光変調の制御が可能であれば、光学系のレーザ光の偏光方向と光学ユニット１の光変調方向が一致していることを示すため、ＯＫと判定して製造工程を終了する。もし、光変調が起きない、又は充分な光変調の効果が生じなければ、光学ユニット１の光変調方向が不一致であるからＮＧと判定して、ステップＳＴ０２に戻り、光変調方向がＤ方向の光学素子カセット３０を選択して、組み込み直すこととなる。
【００４３】
すなわち、ステップＳＴ０４の光変調検査工程からフィードバックして、ステップＳＴ０２の光学素子カセット選択工程から光学素子カセット取付工程（ステップＳＴ０３）、光変調検査工程（ステップＳＴ０４）と製造工程を繰り返すことで、容易に偏光方向を一致させることが可能となる。そして、以上の製造工程によって光学系に光学ユニットを組み込む製造工程が完成する。
なお、他の種類の光変調を行う光変調素子に交換する場合は、上述の工程によってレーザ光の偏光方向が既知となっているため、交換前の光変調素子の光変調方向と同一の光変調方向をもつ光変調素子を選択すればよく、ステップＳＴ０４の工程は省略することができる。
【００４４】
以上のような製造工程によって、本発明の光学ユニット１は、異なる光変調方向の光学素子カセット３０を準備し、その中から光変調方向を選択して光学ユニット１に組み込むだけで、容易に確実に光学系の偏光方向に光変調方向を合わせることが可能で、波面収差を補正したり、超解像を可能にする特性を光学系に付与することが可能となる。
【００４５】
更に、光学ユニットを別の光学系に組み込む場合などにあっても、少なくとも、２方向の光変調方向を有する光学ユニット１を準備して、選択して、組み込むことで、容易に確実に光学系の偏光方向に光学素子カセット３０の光変調方向を合わせることが可能となり、光変調特性を有する光学系を形成することが可能である。また、本実施形態では、Ｘ軸方向とＹ軸方向の２方向の光変調方向の光学ユニットを準備したが、組み込む光学系本体の偏光方向が、Ｘ軸方向やＹ軸方向ではなく、例えばＸ軸方向に対して何度か傾いているなど、あらかじめ光変調方向が分かっている場合には、先の２方向とは異なる光変調方向を持つ光変調素子を作成し、用意しておけばよい。
【００４６】
上記で説明した光学ユニットの製造方法は、所定の光学系に対して所定の方向に着脱可能な筐体と、光学系の偏光に対して光変調を行う光学素子カセットと、を備える光学ユニットの製造方法であって、光変調を行うときの光変調方向が互いに異なる複数の光学素子カセットを準備する光学素子カセット準備工程と、光学系の偏光方向に応じた光変調方向を有する光学素子カセットを選択する光学素子カセット選択工程と、光学素子カセット選択工程で選択された光学素子カセットを筐体に取り付ける光学素子カセット取付工程と、を有する。
【００４７】
このような製造方法を用いれば、光学系の光の偏光方向と光変調方向の一致する光学素子カセットを選択して取り付けるから、容易に確実に光変調による超高解像度や波面収差補正等を可能とする光学ユニットを製造することができる。
【００４８】
また、光学素子カセット準備工程において、光学素子カセットの光変調方向について、光学系の光軸に対して垂直な第３の方向のものと、光軸及び第３の方向に対してそれぞれ垂直な第４の方向のものとを用意してもよい。
【００４９】
このような製造方法を用いれば、光学装置の偏光方向が不明であっても、この２つの方向の光変調方向を用意して、どちらか適したほうを選ぶことで、容易に確実に偏光方向と光変調方向を合わせることが可能で、光学系に光変調を可能とする光学ユニットを製造することができる。
【００５０】
また、光学素子カセット取付工程において、光学素子カセットを筐体に取り付ける方向は第一方向であってもよい。
【００５１】
このような製造方法を用いれば、より容易に確実に偏光方向と光変調方向を合わせることが可能で、光学系に光変調を可能とする光学ユニットを製造することができる。
【００５２】
上記で説明した光学ユニットの製造方法によれば、光学系の光の偏光方向と光学素子カセットの光変調方向を容易に確実に一致することが可能であるから、光変調による超高解像度や波面収差補正等が可能である。そして、その光変調の特性を変更する場合や別の光学系に組み込む場合も、光学素子カセットの光変調方向を選択して取り付けることで、容易に確実に光変調を可能とする光学ユニットが提供可能である。
【００５３】
以上、本発明の好ましい実施形態の光学装置として、光軸調整の厳しい顕微鏡用の光学装置で説明してきたが、その他、光ピックアップ、眼底検査装置（ＯＣＴ）、プロジェクタ等の光学系を有する光学装置に応用可能である。
【００５４】
なお、本発明は、上述した光学装置の実施例に限定されることはなく、それらの全てを行う必要もなく、特許請求の範囲の各請求項に記載した内容の範囲で種々に変更や省略をすることが出来ることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５５】
１  光学ユニット
２  光学系本体
３  対物レンズ
４  筐体
２０  上蓋
２１  円筒部
２３  着脱機構
２４  アリガタ
２５  連結部材
２６  アリミゾ
３０  光学素子カセット
３１  光変調素子
３２  光変調素子ホルダ
３３  コネクタ
４０  下蓋
４１  底部
４２  左側壁
４３  右側壁
４４  奥側壁
４５  前蓋取付部
４６  下蓋開口部
４７  筐体開口部
５２  ネジ部材
６０  前蓋
６１  前蓋開口部
７０  外部ケーブル
８０  光軸
１００  光学系
２０１、２０２、２４１、２５１、４０１、４０２、６０１  接続部
２１１  上蓋開口部
２４２  貫通孔
２５２  連結部材開口部
３１１  雄ネジ部
４１１  雌ネジ部
【図１】
2019061257.tif 000003
【図２】
2019061257.tif 000004
【図３】
2019061257.tif 000005
【図４】
2019061257.tif 000006
【図５】
2019061257.tif 000007
【図６】
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【図７】
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