(57)【要約】【課題】波長可変干渉フィルターの可動部の形状の自由度を高め、かつ、精度低下を抑制可能な波長可変干渉フィルター及び光学モジュールを提供する。【解決手段】波長可変干渉フィルターは、第一方向において第一ミラーに対向するミラー領域を有する可動部と、前記第一方向から見た平面視で、前記ミラー領域の外側に配置され、前記ミラー領域を周方向に沿って囲み、電圧印加により前記可動部を前記第一方向に変位させる電極と、を有し、前記平面視における前記電極の幅は、前記周方向において異なる。【選択図】図１
2019095567.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一ミラーと、
前記第一ミラーに対向する第二ミラーが設けられた可動部と、
前記可動部の前記第二ミラーが設けられた面の垂直方向を第一方向として、前記第一方向から見た平面視で、前記第二ミラーの外側で前記第二ミラーを周方向に沿って囲むように設けられ、電圧印加により前記可動部を前記第一方向に変位させる電極と、を有し、
前記平面視における前記電極の幅は、前記周方向において異なる
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項２】
請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記第一方向から見た平面視で、前記可動部は長手方向を有する形状であり、
前記第一方向に直交し、かつ前記長手方向に直交する第二方向の前記可動部の幅をＭａとし、前記第一方向に直交し、かつ前記長手方向と平行な第三方向の前記可動部の幅をＭｂとすると、
Ｍａ＜Ｍｂであり、
前記電極のうち前記第三方向に対応する部分の第三電極幅をＬａとし、前記電極のうち前記第二方向に対応する部分の第二電極幅をＬｂとすると、
Ｌａ＜Ｌｂである
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項３】
請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記第一方向から見た際の前記電極の外周形状は多角形であり、
前記可動部の中心から前記多角形の角部に向かう放射直線と前記多角形の辺との為す角をαとし、前記電極のうち前記角部に位置するコーナー電極部の前記放射直線に沿う幅をＷｃとし、前記電極のうち前記辺に沿うサイド電極部の前記辺に直交する方向の幅をＷｓとすると、
Ｗｃ＞Ｗｓ／ｓｉｎαである
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項４】
請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記可動部は、前記平面視における第四方向に沿う第四縁と、前記第四方向に交差する第五方向に沿う第五縁と、前記第四縁及び第五縁が交差する角部と、を含み、
前記電極は、
前記第四方向に沿い、前記第一方向から見た平面視で前記第一ミラーと前記第二ミラーとが重なり合うミラー領域に近接する側に配置される第四内側辺、及び前記ミラー領域とは反対側に配置される第四外側辺を有する第四電極部と、
前記第五方向に沿い、前記ミラー領域側に配置される第五内側辺及び前記ミラー領域とは反対側に配置される第五外側辺を有する第五電極部と、
前記第四電極部の前記第四方向における一端部と、前記第五電極部の前記第五方向における一端部とに連続するコーナー電極部と、を備え、
前記コーナー電極部は、前記第四外側辺又は前記第五外側辺よりも前記ミラー領域から離れる方向に突出する外側突出部、及び、前記第四内側辺又は前記第五内側辺よりも前記ミラー領域側に突出する内側突出部の少なくともいずれかを含む
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記可動部及び前記第二ミラーは、矩形状である
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記電極の幅は、前記可動部の中心から距離に応じて大きくなる
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記可動部は、前記第一方向の寸法が均一であり、
前記可動部の外周を囲って前記可動部に連結され、前記可動部を前記第一方向に対して移動可能に保持する保持部を備える
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記電極は、閉じた環形状である
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項９】
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記電極は、複数の部分電極を備え、複数の前記部分電極が前記周方向に沿って、所定寸法の隙間をあけて配置されている
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の波長可変干渉フィルターと、
前記波長可変干渉フィルターを収納する筐体と、
を備えることを特徴とする光学デバイス。
【請求項１１】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の波長可変干渉フィルターと、
前記第一ミラー及び前記第二ミラーを通過した光を受光する受光部と、
を備えることを特徴とする光学モジュール。
【請求項１２】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の波長可変干渉フィルターと、
前記波長可変干渉フィルターの駆動を制御する制御部と
を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長可変干渉フィルター、光学デバイス、光学モジュール、及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一対の反射膜を有する波長可変干渉フィルターが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の波長可変干渉フィルターでは、一方の反射膜が設けられる固定基板と、他方の反射膜が設けられる可動基板とを備える。可動基板には、前記他方の反射膜が設けられる可動部と、可動部の外周を囲んで可動部を固定基板側に変位可能に保持する保持部とが設けられている。そして、可動部が変位することで、一対の反射膜間のギャップ量が変化し、これにより、透過する光の波長が変化する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１３９５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に示すように、従来の波長可変干渉フィルターでは、反射膜を撓ませないために、反射膜を設ける可動部は真円であることが一般的であった。
従来技術の下で、可動部を真円以外の形状にすると、可動部の厚み方向から見た平面視において、中心部分に対して、そこから距離が長い位置ほど変位量は小さくなる。すなわち、可動部において撓み易い部位と撓み難い部位が生じる。このため、反射膜の面内でギャップ量が不均一となる。
上記のようなギャップ量の不均一が生じると、波長可変干渉フィルターから出力される光の波長が面内でばらつき、波長可変干渉フィルターの波長精度が低下するという問題がある。よって、従来技術では、可動部の形状は制限されていた。
【０００５】
本発明は、波長可変干渉フィルターの可動部の形状の自由度を高め、かつ、精度低下を抑制可能な波長可変干渉フィルター、光学デバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一適用例に係る波長可変干渉フィルターは、第一ミラーと、前記第一ミラーに対向する第二ミラーが設けられた可動部と、前記可動部の前記第二ミラーが設けられた面の垂直方向を第一方向として、前記第一方向から見た平面視で、前記第二ミラーの外側で前記第二ミラーを周方向に沿って囲むように設けられ、電圧印加により前記可動部を前記第一方向に変位させる電極と、を有し、前記平面視における前記電極の幅は、前記周方向において異なることを特徴とする。
【０００７】
波長可変干渉フィルターにおいて、光を多重反射して干渉させるミラー領域は、第一ミラーと第二ミラーとが第一方向において重なり合う領域となる。
ここで、本適用例における電極は、上記のようなミラー領域を構成する第二ミラーを周方向に沿って囲って配置されるものであり、この電極の幅とは、前記周方向に交差する方向の線幅を指す。例えば、ミラー領域を囲う環状の電極の場合では、電極は、ミラー領域に近接する側の縁（内側縁）と、ミラー領域から離れる側の縁（外側縁）とを含む枠状となる。この場合、電極の幅とは、ミラー領域から離れる放射方向における内側縁から外側縁までの間の距離を指す。
【０００８】
本適用例では、第二ミラー（ミラー領域）を囲う電極の幅が周方向において異なる。このため、可動部が変位した際の撓みを抑制でき、可動部の第二ミラーにおける撓みが抑制される。
つまり、上述したように、可動部の中心を第一方向に変位させる場合、可動部の形状によって、可動部の外周縁のうち、可動部の中心との変位量の差が小さくなる部分（撓みにくい部分）と、可動部の中心との変位量の差が大きくなる部分（撓み易い部分）とが生じ、これにより、可動部に撓みが生じる。これに対して、本適用例では、撓み易い部分と撓みにくい部分とで電極の幅を異ならせれば、各部分の変位量を略均一にすることができる。
例えば、可動部の中心との変位量の差が大きくなる撓み易い部分に対応した電極の幅を大きくし、可動部の中心との変位量の差が小さくなる撓みにくい部分の電極の幅を小さくする。これにより、可動部の中心と、可動部の外周縁近傍の部分との変位量の差が略均一となり、可動部の撓みを抑制できる。また、可動部の撓みが抑制されるので、ミラー領域の第二ミラーの撓みも抑制できる。よって、波長可変干渉フィルターから出力される光の面内の波長ばらつきが抑制され、波長可変干渉フィルターから所望波長の光を均一に出射させることができる（波長可変干渉フィルターの波長精度が向上する）。
【０００９】
本適用例の波長可変干渉フィルターにおいて、前記第一方向から見た平面視で、前記可動部は長手方向を有する形状であり、前記第一方向に直交し、かつ前記長手方向に直交する第二方向の前記可動部の幅をＭａとし、前記第一方向に直交し、かつ前記長手方向と平行な第三方向の前記可動部の幅をＭｂとすると、Ｍａ＜Ｍｂであり、前記電極のうち前記第三方向に対応する部分の第三電極幅をＬａとし、前記電極のうち前記第二方向に対応する部分の第二電極幅をＬｂとすると、Ｌａ＜Ｌｂであることが好ましい。
【００１０】
ここで、電極のうち第二方向に対応する部分とは、ミラー領域を周方向で囲う電極のうち、第二方向に略平行に配置される部分であり、電極の第三方向に対応する部分とは、ミラー領域を周方向で囲う電極のうち、第三方向に略平行に配置される部分である。
例えば可動部が長方形状である場合、第二方向は短辺に平行な方向（短辺方向）、第三方向は長辺に平行な方向（長辺方向）となる。また、電極がミラー領域を囲う矩形枠状である場合、電極の第二方向に対応する部分とは、可動部の短辺に平行な一対の電極部分（短辺電極部）であり、電極の第三方向に対応する部分とは、可動部の長辺に平行な一対の電極部分（長辺電極部）である。この場合、第二電極幅（Ｌｂ）とは、短辺電極部の長辺方向の長さ、第三電極幅（Ｌａ）とは、長辺電極部の短辺方向の長さを指す。
また、例えば、可動部が楕円形状や長円形状である場合、第二方向は短軸方向、第三方向は長軸方向となる。この際、電極が、ミラー領域を囲う楕円矩形枠状や長円枠形状である場合、電極の第二方向に対応する部分とは、接線方向が短軸方向と略平行となる電極部分となり、電極の第三方向に対応する部分とは、接線方向が長軸方向と略平行となる電極部分となる。この場合、第二電極幅（Ｌｂ）とは、接線方向が短軸方向と略平行となる電極部分の長軸方向の長さ、第三電極幅（Ｌａ）とは、接線方向が長軸方向と平行となる電極部分の短軸方向の長さを指す。
【００１１】
可動部を第一方向に変位させる際、可動部は、幅が小さい第二方向に対して撓みにくく、幅の大きい第三方向に対して撓み易くなる。
これに対して、本適用では、ミラー領域を囲う電極のうち、第二方向に対応する部分の第二電極幅（Ｌｂ）が、第三方向に対応する部分の第三電極幅（Ｌａ）よりも大きくなる。よって、電極に電圧を印加した際に、第二方向に対応する部分に、第三方向に対応する部分に比べて、より大きい応力が付与されることになる。つまり、可動部を変位させた際に、可動部の中心との変位量の差が大きくなる第三方向の両端部に対して、可動部の中心の変位量に近づくように応力を付与することができる。これにより、可動部の撓みの発生を抑制することができる。
【００１２】
本適用例の波長可変干渉フィルターにおいて、前記第一方向から見た際の前記電極の外周形状は多角形であり、前記可動部の中心から前記多角形の角部に向かう放射直線と前記多角形の辺との為す角をαとし、前記電極のうち前記角部に位置するコーナー電極部の前記放射直線に沿う幅をＷｃとし、前記電極のうち前記辺に沿うサイド電極部の前記辺に直交する方向の幅をＷｓとすると、Ｗｃ＞Ｗｓ／ｓｉｎαであることが好ましい。
【００１３】
ここで、可動部の中心とは可動部の重心位置を指す。
多角形状の可動部では、可動部を第一方向に変位させた際、可動部の角部の変位量と、可動部の中心の変位量との差は、可動部の辺部の変位量と可動部の中心の変位量との差よりも大きくなる。これに対して、本適用例では、コーナー電極部の電極の幅Ｗｓと、サイド電極部の電極の幅Ｗｃとが、Ｗｃ＞Ｗｓ／ｓｉｎαの関係を満たす。つまり、角部を挟む２辺に沿った２つのサイド電極部を当該角部まで延長してサイド電極部同士を接続した場合、放射方向に沿った電極の幅はＷｓ／ｓｉｎαとなるが、本適用例のコーナー電極部の幅Ｗｃはこれよりも大きく形成される。これにより、撓み易い可動部の角部により大きい力を作用させることができ、可動部の撓みを抑制できる。
【００１４】
本適用例の波長可変干渉フィルターにおいて、前記可動部は、前記平面視における第四方向に沿う第四縁と、前記第四方向に交差する第五方向に沿う第五縁と、前記第四縁及び第五縁が交差する角部と、を含み、前記電極は、前記第四方向に沿い、前記第一方向から見た平面視で前記第一ミラーと前記第二ミラーとが重なり合うミラー領域に近接する側に配置される第四内側辺、及び前記ミラー領域とは反対側に配置される第四外側辺を有する第四電極部と、前記第五方向に沿い、前記ミラー領域側に配置される第五内側辺及び前記ミラー領域とは反対側に配置される第五外側辺を有する第五電極部と、前記第四電極部の前記第四方向における一端部と、前記第五電極部の前記第五方向における一端部とに連続するコーナー電極部と、を備え、前記コーナー電極部は、前記第四外側辺又は前記第五外側辺よりも前記ミラー領域から離れる方向に突出する外側突出部、及び、前記第四内側辺又は前記第五内側辺よりも前記ミラー領域側に突出する内側突出部の少なくともいずれかを含むことが好ましい。
【００１５】
本適用例では、可動部が第四縁及び第五縁により形成される角部を含んでおり、電極は、第四方向に平行な第四電極部と、第五方向に平行な第五電極部と、第四電極部と第五電極部とに連続する（第四電極部と第五電極部との接続部分に位置する）コーナー電極部とを有する。そして、コーナー電極部は、ミラー領域とは反対側に突出する外側突出部及び、ミラー領域側に突出する内側突出部のいずれかを含んで構成されている。
可動部が、多角形状であって角部を含んでいる場合、可動部を第一方向に変位させた際、可動部の角部の変位量と、可動部の中心の変位量との差は、可動部の他の部分の変位量と可動部の中心の変位量との差よりも大きくなる。これに対して、本適用例では、上記のような角部に対応する部分にコーナー電極部が設けられ、このコーナー電極部には、外側突出部及び内側突出部のいずれかが設けられる。すなわち、コーナー電極部では、第四電極部や第五電極部に比べて、外側突出部や内側突出部の突出寸法分だけ電極の幅（面積）が大きくなる。これにより、撓み易い可動部の角部に大きい力を作用させることができ、可動部の撓みを抑制できる。
【００１６】
本適用例の波長可変干渉フィルターにおいて、前記可動部及び前記第二ミラーは、矩形状であることが好ましい。ここで、本発明で述べる矩形とは、長方形と正方形とを含むものである。
つまり、可動部及びミラー領域が長方形となる場合、上述した適用例において説明した第二方向が短辺方向、第三方向が長辺方向となり、第二方向と第三方向が直交する。或いは、第四方向及び第五方向のいずれか一方が短辺方向、他方が長辺方向となり、第四方向及び第五方向が直交する。また、可動部及びミラー領域が正方形である場合、上記適用例における第四方向及び第五方向が直交する。
【００１７】
波長可変干渉フィルターを透過した光を、イメージセンサー等の受光部により受光して分光画像を撮像する場合、ミラー領域の形状を受光部の受光領域の形状に合わせることが好ましい。このような受光部の受光領域は、一般的に、水平方向及び垂直方向に配列された複数の画素が矩形領域内に配置された矩形状を有する。ここで、波長可変干渉フィルターでは、ミラー領域において、所定波長の光が通過される。したがって、受光領域の全体で波長可変干渉フィルターを通過した所定波長の光を受光するためには、ミラー領域を受光部に射影した際に、ミラー領域内に受光領域が含まれていればよい。
ところで、ミラー領域が円形や楕円形である場合、波長可変干渉フィルターの平面サイズを最小限の大きさにするためには、受光部に射影されたミラー領域内に対して受光領域が内接されるようにミラー領域を形成する。しかしながら、ミラー領域が円形であるのに対して、受光領域が矩形状であるため、ミラー領域のうち受光対象領域からはみ出た領域は、受光部で受光されない領域（不要領域）となってしまう。
一方、本適用例では、可動部及びミラー領域が矩形状となる。この場合、当該ミラー領域を受光部に射影した際に、ミラー領域と受光領域とを略一致させることができ、上述したような不要領域を減少させることができる。すなわち、受光部に対応して、波長可変干渉フィルターの可動部やミラー領域を最小の大きさに形成することができる。
【００１８】
本適用例の波長可変干渉フィルターにおいて、前記電極の幅は、前記可動部の中心から距離に応じて大きくなることが好ましい。
上述したように、可動部を第一方向に変位させる場合、可動部の中心から距離が長い位置程、可動部の中心との変位量の差が大きくなる。
これに対して、本適用例では、可動部の中心から離れるにしたがって電極の幅が大きくなる。これにより、可動部の中心から離れた位置（変位量が小さくなる位置）程、可動部を第一方向に変位させる応力を強くできる。つまり、可動部の変位量を可動部の中心からの距離によらず略一様にでき、可動部の撓みを抑制することができる。
【００１９】
本適用例の波長可変干渉フィルターにおいて、前記可動部は、前記第一方向の寸法が均一であり、前記可動部の外周を囲って前記可動部に連結され、前記可動部を前記第一方向に対して移動可能に保持する保持部を備えることが好ましい。
本適用例では、可動部の外周に保持部が連結されている。このような波長可変干渉フィルターでは、保持部を撓ませることで可動部を第一方向に変位させることが可能となる。一方、保持部が可動部の外周を囲って設けられる構成では、可動部を第一方向に変位させた際に、保持部の復元力によって可動部が撓む。これに対して、本適用例では、上述したように、電極の幅が周方向に異なることで、可動部の撓みを減少させることができる。
【００２０】
本適用例の波長可変干渉フィルターにおいて、前記電極は、閉じた環形状であることが好ましい。
本適用例では、電極が閉じた環状となるので、ミラー領域を囲う環状領域に亘って、可動部を第一方向に変位させる応力を作用させることができる。これにより、可動部の傾斜を抑制しつつ、可動部を第一方向に変位させることが可能となる。
【００２１】
本適用例の波長可変干渉フィルターにおいて、前記電極は、複数の部分電極を備え、複数の前記部分電極が前記周方向に沿って、所定寸法の隙間をあけて配置されている構成としてもよい。
本適用例では、電極は、複数の部分電極を備え、所定寸法の隙間をあけて配置されている。この場合、部分電極間の隙間で、各部分電極に導通されない他の配線電極等を配置することもできる。例えば、ミラー領域にミラー電極を設け、当該ミラー電極に接続されるミラー配線電極を基板外周まで延設させる場合がある。このような場合、ミラー配線電極を、部分電極間の隙間に配置させることで、波長可変干渉フィルターにおける配線構造の最適化を図ることができる。
【００２２】
本発明の一適用例に係る光学デバイスは、上述したような波長可変干渉フィルターと、前記波長可変干渉フィルターを収納する筐体と、を備えることを特徴とする。
本適用例では、上述のように、可動部の撓みが抑制されることで、可動部に設けられるミラー領域の撓みも抑制され、波長可変干渉フィルターの波長精度を向上させることができる。また、干渉フィルターが筐体内に収納されているため、例えば反射膜への異物の付着等を抑制でき、衝撃等から干渉フィルターを保護することもできる。
【００２３】
本発明の一適用例に係る光学モジュールは、上述したような波長可変干渉フィルターと、前記第一ミラー及び前記第二ミラーを通過した光を受光する受光部と、を備えることを特徴とする。
本適用例では、上述した適用例と同様、可動部の撓みが抑制されることで、可動部に設けられるミラー領域の撓みも抑制され、波長可変干渉フィルターの波長精度を向上させることができる。したがって、光学モジュールの受光部において、当該波長可変干渉フィルターを通過した光を受光することで、所望波長の光を精度よく測定することができる。
また、上述したように、波長可変干渉フィルターは、電極の幅を周方向で異ならせることで、可動部の形状によらず、可動部の撓みを抑制することができる。したがって、波長可変干渉フィルターにおけるミラー領域を、受光部の受光領域に対応した最小の形状とすることができ、当該ミラー領域の形状に応じた最小の可動部の形状をすることができる。すなわち、波長可変干渉フィルターの波長精度を高く維持したまま、波長可変干渉フィルターの大きさを小さくすることができ、これにより、光学モジュールの小型化をも実現できる。
【００２４】
本発明の一適用例に係る電子機器は、上述したような波長可変干渉フィルターと、前記波長可変干渉フィルターの駆動を制御する制御部とを備えることを特徴とする。
本適用例では、上述した適用例と同様、可動部の撓みが抑制されることで、可動部に設けられるミラー領域の撓みも抑制され、波長可変干渉フィルターの波長精度を向上させることができる。したがって、電子機器において、上記波長可変干渉フィルターを通過した光を用いた各種処理を実施する際に、精度の高い処理を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】第一実施形態に係る波長可変干渉フィルターの概略構成を示す平面図。
【図２】図１における波長可変干渉フィルターをＡ−Ａ線で切断した際の断面図。
【図３】第一実施形態の第一基板を第二基板側から見た際の平面図。
【図４】第一実施形態の第二基板を第一基板側から見た際の平面図。
【図５】第一ミラー及び第二ミラーの形状を円形とした従来の波長可変干渉フィルターと、受光部との関係を示す図。
【図６】第一実施形態における波長可変干渉フィルターの第一ミラー及び第二ミラーと、受光部との関係を示す図。
【図７】第一実施形態の可動部を変位させた際の、Ｘ方向及びＹ方向における可動部の撓み形状を示す図。
【図８】第一実施形態において、静電アクチュエーターに電圧を印加した際の可動部の撓み形状を示す図。
【図９】第二実施形態の波長可変干渉フィルターにおける第二基板の可動部を第一基板側から見た際の平面図。
【図１０】図９において、可動部の１つの角部の近傍を拡大した平面図。
【図１１】第三実施形態の波長可変干渉フィルターにおける第二基板の可動部を第一基板側から見た際の平面図。
【図１２】図１１において、可動部の１つの角部の近傍を拡大した平面図。
【図１３】第四実施形態の波長可変干渉フィルターにおける第二基板を第一基板側から見た際の平面図。
【図１４】第五実施形態の波長可変干渉フィルターにおける第二基板を第一基板側から見た際の平面図。
【図１５】第六実施形態に係る光学デバイスの概略構成を示す断面図。
【図１６】第七実施形態における分光カメラの概略構成を示す図。
【図１７】第八実施形態のプリンターの外観の構成例を示す図。
【図１８】第八実施形態のプリンターの概略構成を示すブロック図。
【図１９】第八実施形態の分光器の概略構成を示す図。
【図２０】第八実施形態のプリンターにおける測定方法を示すフローチャート。
【図２１】第八実施形態において、テストパターンと測定位置との関係を示す図。
【図２２】変形例１に係る可動部を第一基板側から見た際の平面図。
【図２３】変形例２に係る第二基板における可動部の角部近傍の一部を拡大した平面図。
【図２４】変形例３に係る第二基板を第一基板側から見た際の平面図。
【図２５】変形例４に係る第二基板を第一基板側から見た際の平面図。
【図２６】変形例６に係る第二基板を第一基板５１側から見た際の平面図。
【図２７】変形例８に係る可動部と当該可動部に設けられる第二電極の概略構成を示す図。
【図２８】変形例８に係る可動部と当該可動部に設けられる第二電極の概略構成の他の例を示す図。
【図２９】変形例９に係る第二基板を第一基板側から見た際の平面図。
【図３０】変形例９に係る第二基板の一部を第一基板側から見た際の平面図。
【図３１】変形例１０に係る波長可変干渉フィルターの概略構成を示す断面図。
【図３２】変形例１２に係る波長可変干渉フィルターの概略構成を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
［第一実施形態］
以下、本発明に係る第一実施形態の波長可変干渉フィルターについて説明する。
［波長可変干渉フィルターの構成］
図１は、第一実施形態に係る波長可変干渉フィルター５の概略構成を示す平面図である。図２は、図１における波長可変干渉フィルター５をＡ−Ａ線で切断した際の断面図である。
波長可変干渉フィルター５は、図１及び図２に示すように、透光性の第一基板５１及び第二基板５２を備えている。これらの第一基板５１及び第二基板５２は、例えばシロキサンを主成分とするプラズマ重合膜等により構成された接合膜５３により接合されることで、一体的に構成されている。
【００２７】
第一基板５１の第二基板５２に対向する対向面には第一ミラー５４が設けられ、第二基板５２の第一基板５１に対向する対向面には第二ミラー５５が設けられている。これらの第一ミラー５４及び第二ミラー５５は、ギャップＧを介して対向配置されている。
また、波長可変干渉フィルター５には、静電アクチュエーター５６が設けられている。この静電アクチュエーター５６は、第一基板５１に設けられた第一電極５６１と、第二基板５２に設けられた第二電極５６２とにより構成される。なお、本実施形態の第二電極５６２は、本発明における、電圧印加により可動部５２１（後述）を前記第一方向に変位させる電極に相当する。
【００２８】
なお、第一基板５１又は第二基板５２の基板厚み方向は、本発明の第一方向に相当し、以降の説明にあたりＺ方向と称する。また、Ｚ方向から波長可変干渉フィルター５を見た際のフィルター平面視を、単に平面視と称する。さらに、Ｚ方向に対して直交する方向をＸ方向（本発明の第三方向）とし、Ｚ方向及びＸ方向に直交する方向をＹ方向 （本発明の第二方向）とする。
本実施形態では、平面視において、第一ミラー５４の中心点及び第二ミラー５５の中心点は一致し、第一ミラー５４及び第二ミラー５５の中心点を通る軸をフィルター中心軸Ｏとする。
【００２９】
（第一基板５１の構成）
図３は、第一基板５１を、第二基板５２側から見た際の平面図である。
第一基板５１は、図２及び図３に示すように、例えばエッチング等により形成された電極配置溝５１１及びミラー設置部５１２を備える。また、第一基板５１の−Ｘ側の端部（図１における辺Ｃ１−Ｃ２）は、第二基板５２の−Ｘ側の端部（図１における辺Ｃ５−Ｃ６）よりも外側に突出する。
【００３０】
電極配置溝５１１は、平面視でミラー設置部５１２の周りを囲って設けられる溝である。本実施形態では、ミラー設置部５１２が、平面視においてＸ方向及びＹ方向に平行な縁を有し、Ｘ方向に平行な縁が長辺、Ｙ方向に平行な縁が短辺となる長方形状となる。電極配置溝５１１は、矩形状のミラー設置部５１２を囲う四角環状に形成されている。
電極配置溝５１１の溝底面には、静電アクチュエーター５６を構成する第一電極５６１が設けられている。また、第一基板５１には、電極配置溝５１１から辺Ｃ３−Ｃ４に向かって、電極配置溝５１１と同一深さ寸法の引出溝５１１Ａが延設されている。
【００３１】
第一電極５６１は、後述する第二電極５６２に対向する領域に設けられ、例えば矩形環状（閉じた環状）に形成されている。なお、本実施形態では、図１及び図２に示すように、第一電極５６１と第二電極５６２とが同一形状であり、平面視において重なり合う構成となる。
具体的には、第一電極５６１は、Ｘ方向に平行な一対の第一長辺電極部５６１Ａと、Ｙ方向に平行な一対の第一短辺電極部５６１Ｂと、第一長辺電極部５６１Ａ及び第一短辺電極部５６１Ｂに連続する第一コーナー電極部５６１Ｃと、を含む。
第一長辺電極部５６１Ａは、それぞれ、ミラー設置部５１２側（ミラー領域Ｍ側）の第一内側長辺５６１Ａ１、ミラー設置部５１２とは反対側の第一外側長辺５６１Ａ２を有する。ここで、第一長辺電極部５６１Ａの幅、つまり、第一内側長辺５６１Ａ１から第一外側長辺５６１Ａ２までのＹ方向の寸法を、長辺幅Ｌａとする。
また、第一短辺電極部５６１Ｂは、それぞれ、ミラー設置部５１２側の第一内側短辺５６１Ｂ１、ミラー設置部５１２とは反対側の第一外側短辺５６１Ｂ２を有する。ここで、第一短辺電極部５６１Ｂの幅、つまり、第一内側短辺５６１Ｂ１から第一外側短辺５６１Ｂ２までのＸ方向の寸法を、短辺幅Ｌｂとする。
本実施形態では、図３に示すように、長辺幅Ｌａが、短辺幅Ｌｂよりも小さくなる。
第一コーナー電極部５６１Ｃは、第一長辺電極部５６１Ａの一端部と第一短辺電極部５６１Ｂの一端部とに連続し、第一外側長辺５６１Ａ２と、第一外側短辺５６１Ｂ２と、第一内側長辺５６１Ａ１及び第一内側短辺５６１Ｂ１の交点とを含んで構成されている。
【００３２】
また、第一電極５６１には、引出溝５１１Ａに沿って辺Ｃ３−Ｃ４側に延設される第一引出電極５６３（図１、図３参照）が接続されている。また、引出溝５１１Ａには、第二基板５２側に突出するバンプ部５１１Ｂが設けられており、第一引出電極５６３の一部が、当該バンプ部５１１Ｂの第二基板５２に対向する面まで延設されている。なお、バンプ部５１１Ｂは、第一基板５１と一体構成とされていてもよく、第一基板５１に対して例えば樹脂等の弾性部材を接合して形成されていてもよい。バンプ部５１１Ｂ上に延設された第一引出電極５６３は、第二基板５２側に設けられた第一接続電極５６５（図１参照）に接し、第一接続電極５６５に導通される。
なお、第一電極５６１上に、第二電極５６２との間の絶縁性を確保するための絶縁膜が積層される構成としてもよい。
【００３３】
ミラー設置部５１２は、上述したように、平面視において長方形状に形成され、電極配置溝５１１の内側に設けられて、第二基板５２側に向かって突出する。
また、ミラー設置部５１２の突出先端面は平面であり、当該突出先端面には、平面視において長方形状の第一ミラー５４が設けられる。具体的には、第一ミラー５４は、Ｘ方向の幅がＬｍｘ、Ｙ方向の幅がＬｍｙであり、Ｌｍｘ＞Ｌｍｙとなる長方形状に形成される。
なお、第一ミラー５４としては、例えばＡｇ等の金属膜や、Ａｇ合金等の合金膜、高屈折層（例えばＴｉＯ２）及び低屈折層（例えばＳｉＯ２）を積層した誘電体多層膜等を用いることができる。
【００３４】
（第二基板５２の構成）
第二基板５２は、フィルター中心軸Ｏを中心とした可動部５２１と、可動部５２１と同軸であり可動部５２１を保持する保持部５２２と、保持部５２２の外側に設けられた基板外周部５２３と、を備えている。また、第二基板５２の＋Ｘ側の端部（辺Ｃ３−Ｃ４）は、第一基板５１の＋Ｘ側の端部（辺Ｃ７−Ｃ８）よりも外側に突出し、接続端子部５２４を構成する。
【００３５】
図４は、第二基板５２を第一基板５１側から見た際の構成を示す平面図である。
可動部５２１は、図１及び図４に示すように、平面視において、フィルター中心軸Ｏを中心とした長方形状に形成されている。より具体的には、可動部５２１は、Ｘ方向（本発明の第三方向）の幅Ｍｂが、Ｙ方向（本発明の第二方向）の幅Ｍａより大きくなる長方形状に形成されており（Ｍａ＜Ｍｂ）、Ｘ方向に平行な一対の長辺５２１ａと、Ｙ方向に平行な一対の短辺５２１ｂとを有する。また、長辺５２１ａと短辺５２１ｂとは平面視において直角となる（角部５２１ｃ）。なお、ここで述べる可動部５２１とは、図２に示すように、Ｚ方向の寸法（厚み）がｔとなる部分（均一な厚み寸法ｔとなる部分）を指す。
そして、可動部５２１は、外周縁が周方向に亘って（全周が）保持部５２２に連結されている。すなわち、平面視において、可動部５２１の各辺がそれぞれ保持部５２２に連結されている。
【００３６】
保持部５２２は、可動部５２１の周囲を囲うダイアフラムであり、可動部５２１よりも厚み寸法が小さく形成されている。また、図２に示すように、保持部５２２の厚み寸法は均一となる。この保持部５２２は、内周縁が可動部５２１に連結される矩形枠状に形成され、保持部５２２の外周縁は、可動部５２１の縁から寸法Ｌｃの位置に設けられている。
基板外周部５２３は、平面視において保持部５２２の外側に設けられている。この基板外周部５２３は、第一基板５１の第一接合部５１３と対向する領域において接合膜５３を介して第一基板５１に接合されている。
【００３７】
そして、第二基板５２において、可動部５２１の第一基板５１に対向する面には、第二ミラー５５及び第二電極５６２が設けられている。
第二ミラー５５は、フィルター中心軸Ｏを中心とし、Ｘ方向の幅がＹ方向の幅よりも大きい長方形状に形成されており、可動部５２１とは相似形状、第一ミラー５４とは同一形状となる。そして、第二ミラー５５は、平面視において、第一ミラー５４と重なり合う。
つまり、第二ミラー５５は、Ｘ方向の幅（第三ミラー幅）がＬｍｘ、Ｙ方向の幅（第二ミラー幅）がＬｍｙ（Ｌｍｘ＞Ｌｍｙ）となる長方形状に形成される。
本実施形態では、平面視で第一ミラー５４及び第二ミラー５５が重なり合う領域は、本発明のミラー領域Ｍとなる。つまり、平面視において、可動部５２１の内側にミラー領域Ｍが含まれる構成となる。波長可変干渉フィルター５に入射した光は、このミラー領域Ｍにおいて、第一ミラー５４及び第二ミラー５５の間で多重干渉する。そして、ギャップＧのギャップ寸法に応じた所定波長の光が強め合って波長可変干渉フィルター５から出射（透過）される。
この第二ミラー５５としては、第一ミラー５４と同様に、例えばＡｇ等の金属膜や、Ａｇ合金等の合金膜、高屈折層（例えばＴｉＯ２）及び低屈折層（例えばＳｉＯ２）を積層した誘電体多層膜等を用いることができる。
【００３８】
第二電極５６２は、平面視において、第二ミラー５５の外側で、第二ミラー５５を囲う矩形環状（閉じた環状）に形成されている。本実施形態では、上述したように、第二電極５６２は第一電極５６１と同一形状となり、平面視において、第一電極５６１と重なり合って静電アクチュエーター５６を構成する。
より具体的には、第二電極５６２は、図４に示すように、Ｘ方向に平行な一対の第二長辺電極部５６２Ａと、Ｙ方向に平行な一対の第二短辺電極部５６２Ｂと、第二コーナー電極部５６２Ｃと、を含む。
第二長辺電極部５６２Ａは、それぞれ、第二ミラー５５側（ミラー領域Ｍ側）の第二内側長辺５６２Ａ１、第二ミラー５５とは反対側の第二外側長辺５６２Ａ２を有する。そして、第二長辺電極部５６２Ａの幅、つまり、第二内側長辺５６２Ａ１から第二外側長辺５６２Ａ２までのＹ方向の寸法は、本発明の第三電極幅に相当し、第一電極５６１の第一長辺電極部５６１Ａと同様、長辺幅Ｌａとなる。
また、第二短辺電極部５６２Ｂは、それぞれ、第二ミラー５５側の第二内側短辺５６２Ｂ１、第二ミラー５５とは反対側の第二外側短辺５６２Ｂ２を有する。そして、第二短辺電極部５６２Ｂの幅、つまり、第二内側短辺５６２Ｂ１から第二外側短辺５６２Ｂ２までのＸ方向の寸法は、本発明の第二電極幅に相当し、第一短辺電極部５６１Ｂと同様、短辺幅Ｌｂとなる。
つまり、第二電極５６２において、第二短辺電極部５６２Ｂの短辺幅Ｌｂは、第二長辺電極部５６２Ａの長辺幅Ｌａよりも大きい（Ｌａ＜Ｌｂ）。
第二コーナー電極部５６２Ｃは、第二長辺電極部５６２Ａの一端部と第二短辺電極部５６２Ｂの一端部とに連続し、第二外側長辺５６２Ａ２と、第二外側短辺５６２Ｂ２と、第二内側長辺５６２Ａ１及び第二内側短辺５６２Ｂ１の交点とを含んで構成されている。
【００３９】
また、図１及び図４に示すように、第二電極５６２には、接続端子部５２４に向かって延出する第二引出電極５６４が設けられている。この第二引出電極５６４は、第一基板５１に設けられた引出溝５１１Ａに対向する位置に沿って配置される。
さらに、第二基板５２には、第二電極５６２及び第二引出電極５６４とは接続されない（独立した）第一接続電極５６５が、引出溝５１１Ａのバンプ部５１１Ｂに対向する位置から接続端子部５２４に亘って設けられる。この第一接続電極５６５は、引出溝５１１Ａに対向する位置において、バンプ部５１１Ｂの突出先端に配置される第一引出電極５６３に接続される。
【００４０】
［波長可変干渉フィルターの平面サイズ］
図５は、第一ミラー５４Ｐ及び第二ミラー５５Ｐの形状を円形とした従来の波長可変干渉フィルター５Ｐと、受光部３０との関係を示す図である。また、図６は、本実施形態における波長可変干渉フィルター５と、受光部３０との関係を示す図である。なお、図５及び図６では説明の簡略化のため、波長可変干渉フィルター５，５Ｐと受光部３０との間に他の光学部材が配置されない例であるが、例えば、レンズ等の光学部材が介在してもよい。
波長可変干渉フィルター５は、ミラー領域Ｍに入射した入射光から、所定波長の光を透過させる光学フィルターであり、図５や図６に示される受光部３０と組み合わせて用いられることがある。
受光部３０は、波長可変干渉フィルター５を透過した光をＣＣＤ等のイメージセンサーにより構成される受光部３０で受光し、分光画像を取得する。このような受光部３０は、一般に、図５や図６に示すように、矩形状の受光領域３１を有し、当該矩形状の受光領域３１に２次元アレイ配置されたフォトダイオードで光を受光して、水平方向及び垂直方向に並ぶ矩形状の画像データを生成する。
したがって、受光領域３１の全体において、波長可変干渉フィルター５を透過したミラーギャップＧに応じた波長の光を受光させる場合、波長可変干渉フィルター５を透過した光の出力領域の内側に受光領域３１が含まれるよう、平面視におけるミラー領域Ｍ（第二ミラー５５）の形状や大きさ（平面サイズ）が設定されている必要がある。
【００４１】
ここで、図５に示すような従来の波長可変干渉フィルター５Ｐでは、第一ミラー５４Ｐ及び第二ミラー５５Ｐが円形となる。よって、波長可変干渉フィルター５Ｐを通過した光は、光軸に対して直交する断面が円形となり、受光部３０において円形領域Ａｒ１に照射される。この場合、受光部３０の受光領域３１の全体において、波長可変干渉フィルター５Ｐを透過した目標波長の光を受光させ、かつ、第一ミラー５４Ｐ及び第二ミラー５５Ｐの平面サイズを最小とするには、円形領域Ａｒ１に受光領域３１が内接するように第一ミラー５４Ｐ及び第二ミラー５５Ｐの径寸法を設定する。
【００４２】
しかしながら、図５に示すように、受光領域３１が矩形である場合、円形領域Ａｒ１のうち受光領域３１と重ならない領域は、受光部３０における受光に寄与しない不要領域Ａｒｚとなる。すなわち、従来の円形の第一ミラー５４Ｐ及び第二ミラー５５Ｐには、不要領域Ａｒｚに対応した、不要部５４Ｚ，５５Ｚが含まれるものとなる。
【００４３】
これに対して、本実施形態では、図６に示すように、第一ミラー５４及び第二ミラー５５が矩形状となる。このため、波長可変干渉フィルター５を通過した光も、光軸に対して直交する断面が矩形状となり、受光部３０において矩形領域Ａｒ３に照射される。この場合、図６に示すように、矩形領域Ａｒ３と、受光部３０の受光領域３１とを一致させることで、不要領域Ａｒｚの発生が抑制される。すなわち、本実施形態の波長可変干渉フィルター５では、第一ミラー５４及び第二ミラー５５に、不要部５４Ｚ，５５Ｚとなる部分が生じない、若しくは極めて小さくすることができ、第一ミラー５４及び第二ミラー５５を受光領域３１に対して最小サイズにすることができる。したがって、第二ミラー５５を設ける可動部５２１や第二基板５２の平面サイズも小さくでき、波長可変干渉フィルター５を小型化することができる。
【００４４】
［可動部５２１が変位した際の撓み形状］
上述したような波長可変干渉フィルター５では、第一電極５６１と第二電極５６２との間に電圧を印加して静電アクチュエーター５６を駆動させることができ、可動部５２１が静電引力により第一基板５１側に引っ張られて＋Ｚ側に変位する。
ところで、図５に示すような従来の円形の第一ミラー５４Ｐ及び第二ミラー５５Ｐを有する波長可変干渉フィルター５Ｐでは、可動部も第二ミラー５５Ｐの平面形状に合わせて、平面視円形に形成される。このような可動部では、可動部が保持部に均等に引っ張られるため、可動部の外周部の変位量も均一となり、可動部全体における撓み形状も均一となる。この場合、可動部に設けられる第二ミラー５５Ｐの撓みも生じにくい。
【００４５】
これに対して、長方形状の第二ミラー５５を用いて、波長可変干渉フィルター５の平面サイズを小さくする場合、可動部５２１も第二ミラー５５の形状に応じて長方形状とする。この場合、可動部５２１をＺ方向に変位させた際に、可動部５２１の位置によって変位量が変動し、可動部全体における撓み形状も不均一となって、可動部５２１に撓みが発生しやすい。
【００４６】
図７は、フィルター中心軸Ｏに応力を付与して可動部５２１をｄだけ変位させた際の、Ｘ方向及びＹ方向における可動部５２１の撓み形状を示す図である。
具体的に説明すると、図７に示すように、可動部５２１の中心をＺ方向に変位させた際、可動部５２１の中心（フィルター中心軸Ｏ上）のＺ方向への変位量と、可動部５２１の外周縁におけるＺ方向への変位量とに差が生じる。つまり、可動部５２１の外周縁が周方向に亘って保持部５２２に連結されて保持される構成では、可動部５２１がＺ方向に変位すると、可動部５２１と保持部５２２との連結部において、可動部５２１を元の位置に戻そうとする復元力（保持部５２２のばね力）が作用する。
この際、可動部５２１が長手方向を有する形状（例えば長方形状）であると、長辺方向（Ｘ方向）と短辺方向（Ｙ方向）とにおいて、撓み易さに差が生じ、可動部５２１の中心からの距離が長い程、変位量の差が大きくなる。例えば、可動部５２１の中心と可動部５２１の±Ｘ両端部とにおける変位量の差Δｄｘ０は、可動部５２１の中心と可動部５２１の±Ｙ両端部とにおける変位量の差Δｄｙ０に比べて大きくなり、Ｘ方向に沿って可動部５２１が撓む。このような撓みが生じると、ミラー領域Ｍに設けられた第二ミラー５５にも撓みが生じてしまう。
【００４７】
これに対して、本実施形態では、可動部５２１の±Ｘ側の両端部に、±Ｙ側の両端部よりも大きい力を付与して、撓みを抑制している。
図８は、本実施形態において、静電アクチュエーター５６に電圧を印加した際の可動部５２１の撓み形状を示す図である。
具体的には、本実施形態では、第一短辺電極部５６１Ｂ及び第二短辺電極部５６２Ｂの幅（短辺幅Ｌｂ）は、第一長辺電極部５６１Ａ及び第二長辺電極部５６２Ａの幅（長辺幅Ｌａ）よりも大きい。このため、静電アクチュエーター５６に電圧を印加すると、可動部５２１の±Ｘ側の両端部に、±Ｙ側の両端部よりも大きい静電引力が付与されることになる。
これにより、図８に示すように、可動部５２１の±Ｘ両端側の変位量Δｄｘ１が、±Ｙ両端側の変位量Δｄｙ１と略同一となり、可動部５２１の長辺方向（Ｘ方向）の撓みが抑制され、可動部５２１に設けられた第二ミラー５５の撓みも抑制される。
【００４８】
［第一実施形態の作用効果］
本実施形態では、ミラー領域Ｍ（第二ミラー５５）が長方形状となり、第二ミラー幅であるＹ方向の幅Ｌｍｙが、第三ミラー幅であるＸ方向の幅Ｌｍｘよりも小さい。
一般に、イメージセンサー等の受光部３０は、矩形状の受光領域３１を有する。したがって、波長可変干渉フィルター５を透過した光を、受光部３０により受光して分光画像を撮像する場合、ミラー領域Ｍの形状を受光領域３１の形状に合わせることで、ミラー領域Ｍ（第二ミラー５５）の平面サイズを小さくできる。
また、本実施形態では、第二ミラー５５が設けられる可動部５２１は、Ｙ方向の幅に比べてＸ方向の幅が大きい長方形状となる。よって、可動部５２１を第二ミラー５５の形状に合わせて小型化することができ、波長可変干渉フィルター５の平面サイズを小型にできる。
【００４９】
本実施形態の波長可変干渉フィルター５では、第二ミラー５５が設けられてＺ方向に対して変位可能な可動部５２１と、可動部５２１の外周を囲い、可動部５２１に連結されて可動部５２１をＺ方向に変位可能に保持する保持部５２２とを備える。そして、可動部５２１には、平面視において第二ミラー５５の周方向を囲う第二電極５６２が設けられ、この第二電極５６２の幅が周方向において異なっている。
このような構成では、可動部５２１をＺ方向に変位させると、保持部５２２により可動部５２１を元の位置に戻そうとする復元力が作用する。したがって、可動部５２１の撓み易い部分では、可動部５２１を変位させた際に、保持部５２２により引っ張られることで撓みが大きくなる（可動部５２１の中心の変位量と、撓み易い部分との変位量とに大きい差が生じる）。これに対して、本実施形態では、可動部５２１の撓み易い部分において電極幅を大きくし、撓みにくい部分において電極幅を小さくすることで、可動部５２１の変位時の当該可動部５２１の撓みを抑制できる。したがって、可動部５２１に設けられる第二ミラー５５の撓みも抑制されることになる。これにより、波長可変干渉フィルター５から出力（透過）される光の波長の面内のばらつきが抑制され、波長可変干渉フィルターから所望波長の光を均一に出射させることができ、波長精度を向上できる。
【００５０】
本実施形態では、可動部５２１が、平面視において、Ｙ方向の幅よりも、Ｙ方向に直交するＸ方向の幅が大きい形状となる。また、第二電極５６２は、Ｙ方向に対応する第二短辺電極部５６２Ｂの幅（短辺幅Ｌｂ）が、Ｘ方向に対応する第二長辺電極部５６２Ａの幅（長辺幅Ｌａ）よりも大きい形状となる。
Ｘ方向が長辺方向、Ｙ方向が短辺方向となる矩形状の可動部５２１では、当該可動部５２１をＺ方向に変位させた際に、長辺方向であるＸ方向に撓み易く、短辺方向であるＹ方向に撓みにくくなる。つまり、可動部５２１の中心を変位量ｄだけ変位させた際に、可動部５２１のＸ方向の両端部が保持部５２２により引っ張られることで大きく撓み、中心との変位量の差が大きくなる（Ｚ方向への変位が小さくなる）。
これに対して、本実施形態では、Ｘ方向の両端部に配置される第二短辺電極部５６２Ｂの短辺幅Ｌｂが、Ｙ方向の両端部に配置される第二長辺電極部５６２Ａの長辺幅Ｌａよりも大きい。このため、静電アクチュエーター５６に駆動電圧を印加した際に、Ｘ方向の両端部により大きい静電引力が作用し、可動部５２１のＸ方向の撓みが抑制される。これにより、可動部５２１に設けられる第二ミラー５５の撓みも抑制されることになり、波長可変干渉フィルター５の波長精度が向上する。
【００５１】
本実施形態では、第二電極５６２は、第二ミラー５５を囲う閉じた環形状に形成されている。
このため、第二ミラー５５を囲う環状領域に亘って静電引力を作用させることができ、第二ミラー５５の傾斜を抑制することができる。
【００５２】
［第二実施形態］
次に、第二実施形態の波長可変干渉フィルター５について説明する。
第一実施形態において説明したような外周形状が多角形状（矩形状）となる可動部５２１では、矩形の角部５２１ｃ、即ち、可動部５２１の外周縁を構成する長辺５２１ａ及び短辺５２１ｂの交差位置は、他の部分に比べて撓み易くなる。すなわち、可動部５２１をＺ方向に所定寸法変位させる際、可動部５２１の角部５２１ｃでは、長辺５２１ａや短辺５２１ｂの中央部に比べて、可動部５２１の中心との変位量の差が大きくなる。これに対して、第二実施形態では、この角部５２１ｃを第一基板５１側により大きく変位させて、可動部５２１の撓みをより低減する点で、上記第一実施形態と相違する。
【００５３】
図９は、第二実施形態の波長可変干渉フィルター５における第二基板５２Ａの可動部５２１を第一基板５１側から見た際の平面図である。図１０は、図９の１つの角部５２１ｃの近傍を拡大した平面図である。
なお、以降の説明において、既に説明した構成については同符号を付し、その説明を省略、又は簡略化する。
【００５４】
第二実施形態では、図９及び１０に示すように、第二電極５６６Ａは、可動部５２１の角部５２１ｃに対して、電極の幅がより大きくなるように形成されている。
具体的には、第二電極５６６Ａは、Ｘ方向に平行な一対の第二長辺電極部５６２Ａと、Ｙ方向に平行な一対の第二短辺電極部５６２Ｂと、これらの第二長辺電極部５６２Ａ及び第二短辺電極部５６２Ｂに連続する第二コーナー電極部５６２Ｄとを備える。
第二長辺電極部５６２Ａ及び第二短辺電極部５６２Ｂについては、第一実施形態と同様であり、ここでの説明は省略する。
ここで、本実施形態において、可動部５２１の短辺５２１ｂは、本発明の第四縁を構成し、長辺５２１ａは、本発明の第五縁を構成し、これらの短辺５２１ｂ及び長辺５２１ａは多角形状の可動部５２１の辺部に相当する。また、第二電極５６２のうち、第二長辺電極部５６２Ａは本発明の第四電極部及びサイド電極部に相当し、第二内側長辺５６２Ａ１は本発明の第四内側辺に相当し、第二外側長辺５６２Ａ２は本発明の第四外側辺に相当し、Ｘ方向は第四方向に相当する（本実施形態では、第四方向と第三方向とが一致する）。さらに、第二電極５６２のうち、第二短辺電極部５６２Ｂは本発明の第五電極部及びサイド電極部に相当し、第二内側短辺５６２Ｂ１は本発明の第五内側辺に相当し、第二外側短辺５６２Ｂ２は、本発明の第五外側辺に相当し、Ｙ方向は第五方向に相当する（本実施形態では、第五方向と第二方向とが一致する）。
【００５５】
本実施形態において、第二コーナー電極部５６２Ｄは、図９及び図１０に示すように、外周縁が第二外側長辺５６２Ａ２及び第二外側短辺５６２Ｂ２よりも外側（第二ミラー５５から離れる側）に突出する外側突出部５６２Ｄ１を備える。
なお、図９及び図１０に示す例では、平面視において、外側突出部５６２Ｄ１が、可動部５２１内に設けられる例を示すが、例えば、外側突出部５６２Ｄ１が、可動部５２１から保持部５２２に亘って設けられていてもよい。この場合、第二長辺電極部５６２Ａの第二外側長辺５６２Ａ２を可動部５２１の長辺５２１ａ側に寄せて配置することができ、第二短辺電極部５６２Ｂの第二外側短辺５６２Ｂ２を可動部５２１の短辺５２１ｂ側に寄せて配置することができる。
ここで、図１０に示すように、第二長辺電極部５６２Ａの長辺５２１Ａに直交するＹ方向の幅は、第１のサイド電極部の幅Ｗｓａとなり、第二短辺電極部５６２Ｂの短辺５２１ｂに直交するＸ方向の幅は、第２のサイド電極部の幅Ｗｓｂ（本実施形態では、Ｗｓｂ＞Ｗｓａ）となる。また、可動部５２１の中心（重心）であるフィルター中心軸Ｏから、可動部５２１の角部５２１ｃに向かう直線を放射直線Ｓとし、第二コーナー電極部５６２Ｄの放射直線Ｓに沿った電極の幅をＷｃとする。また、放射直線Ｓと長辺５２１ａとの為す角をαａとし、放射直線Ｓと短辺５２１ｂとの為す角とαｂとする。
本実施形態では、第二コーナー電極部５６２Ｄは、上述のように、第二外側長辺５６２Ａ２や第二外側短辺５６２Ｂ２よりも、外側（角部５２１ｃ側）に突出する外側突出部５６２Ｄ１が設けられている。したがって、第二コーナー電極部５６２Ｄの幅Ｗｃは、Ｗｃ＞Ｗｓａ／ｓｉｎαａを満たし、かつ、Ｗｃ＞Ｗｓｂ／ｓｉｎαｂを満たす。
【００５６】
また、図示は省略するが、第一電極５６１は、第一実施形態と同様、平面視において第二電極５６６Ａと重なる位置で同一形状に形成されている。つまり、第一電極５６１の第一コーナー電極部５６１Ｃにおいても、第二コーナー電極部５６２Ｄと同様に、外周縁が第一外側長辺５６１Ａ２及び第一外側短辺５６１Ｂ２よりも外側（第一ミラー５４から離れる側）に突出する外側突出部が設けられている。
【００５７】
［第二実施形態の作用効果］
本実施形態において、可動部５２１は、長辺５２１ａ及び短辺５２１ｂが角部５２１ｃで接続される矩形状となる。また、第二電極５６６Ａは、長辺５２１ａに沿った第二長辺電極部５６２Ａと、短辺５２１ｂに沿った第二短辺電極部５６２Ｂと、第二長辺電極部５６２Ａ及び第二短辺電極部５６２Ｂに接続されて角部５２１ｃに対応する位置に設けられる第二コーナー電極部５６２Ｄとを備える。そして、第二コーナー電極部５６２Ｄは、ミラー領域Ｍ（第二ミラー５５）から離れる方向に突出する外側突出部５６２Ｄ１を備えている。すなわち、第二コーナー電極部５６２Ｄの電極の幅Ｗｃは、サイド電極部である第二長辺電極部５６２Ａの電極の幅Ｗｓａに対して、Ｗｃ＞Ｗｓａ／ｓｉｎαａを満たし、第二短辺電極部５６２Ｂの電極の幅Ｗｓｂに対して、Ｗｃ＞Ｗｓｂ／ｓｉｎαｂを満たす。
可動部５２１の角部５２１ｃは、他の部分に比べて撓み易いため、可動部５２１をＺ方向に変位させた際に、可動部５２１の中心との変位量の差が大きくなる。これに対して、本実施形態では、外側突出部５６２Ｄ１が設けられ、第二コーナー電極部５６２Ｄの幅Ｗｃが上記条件を満たしていることで、より大きい静電引力を、角部５２１ｃに作用させることができ、可動部５２１の撓みを抑制できる。これにより、可動部５２１のミラー領域Ｍに設けられる第二ミラー５５の撓みを抑制できる。
【００５８】
［第三実施形態］
次に、第三実施形態の波長可変干渉フィルター５について説明する。
第二実施形態では、第二コーナー電極部５６２Ｄが外側突出部５６２Ｄ１を備える構成を示した。これに対して、第三実施形態では、第二コーナー電極部から第二ミラー側に突出する部分を有する点で、第二実施形態と相違する。
【００５９】
図１１は、第三実施形態の波長可変干渉フィルター５における第二基板５２Ｂの可動部５２１を第一基板５１側から見た際の平面図である。図１２は、図１１において、可動部５２１の１つの角部５２１ｃの近傍を拡大した平面図である。
図１１及び図１２に示すように、第三実施形態の第二電極５６６Ｂでは、第二コーナー電極部５６２Ｅは、外周縁が第二内側長辺５６２Ａ１及び第二内側短辺５６２Ｂ１よりも内側（第二ミラー５５に近接する側）に突出する内側突出部５６２Ｅ１を備える。
具体的には、内側突出部５６２Ｅ１は、第二内側長辺５６２Ａ１の延長線及び第二内側短辺５６２Ｂ１の延長線の交点（内側交点Ｑ０）から第二ミラー５５に向かって拡開する形状となり、第二長辺電極部５６２Ａ及び第二短辺電極部５６２Ｂに連続する。つまり、内側突出部５６２Ｅ１は、第二内側長辺５６２Ａ１上において内側交点Ｑ０から所定距離の第一点Ｑ１と、第二内側短辺５６２Ｂ１上において内側交点Ｑ０から所定距離の第二点Ｑ２と、内側交点Ｑ０とに囲われる三角形状の内側突出部５６２Ｅ１が設けられる。
言い換えると、図１２に示すように、放射直線Ｓと長辺５２１ａとの為す角度をαａ、放射直線Ｓと短辺５２１ｂとの為す角度をαｂ、第二長辺電極部５６２Ａ（サイド電極部）のＹ方向の幅をＷｓａ、第二短辺電極部５６２Ｂ（サイド電極部）のＸ方向の幅をＷｓｂとした際に、第二コーナー電極部５６２Ｅの放射直線Ｓに沿う方向の電極の幅Ｗｃは、Ｗｃ＞Ｗｓａ／ｓｉｎαａ、かつ、Ｗｃ＞Ｗｓｂ／ｓｉｎαｂを満たす。
【００６０】
なお、内側突出部５６２Ｅ１の形状としては、内側交点Ｑ０からミラー領域Ｍに向かって拡開する形状を例示したがこれに限定されない。例えば、第一点Ｑ１及び第二点Ｑ２からミラー領域Ｍに向かう形状としてもよく、この際ミラー領域Ｍに向かうにしたがって幅が小さくなる形状としてもよく、第一点Ｑ１及び第二点Ｑ２の幅寸法でミラー領域Ｍに突出する形状としてもよい。
また、第三実施形態では、内側突出部５６２Ｅ１のみが設けられる構成を例示するが、これに限定されず、第二実施形態において説明した外側突出部５６２Ｄ１がさらに設けられる構成としてもよい。
【００６１】
また、図示は省略するが、第一電極５６１は、第一実施形態と同様、平面視において第二電極５６６Ｂと重なる位置で同一形状に形成されている。つまり、第一電極５６１の第一コーナー電極部５６１Ｃにおいても、第二コーナー電極部５６２Ｅと同様に、外周縁が第一内側長辺５６１Ａ１及び第一内側短辺５６１Ｂ１よりも内側（第一ミラー５４から離れる側）に突出する内側突出部が設けられている。
【００６２】
［第三実施形態の作用効果］
本実施形態では、第二実施形態と同様に、可動部５２１は、長辺５２１ａ及び短辺５２１ｂが角部５２１ｃで接続される矩形状となり、角部５２１ｃに対応して、第二コーナー電極部５６２Ｅが設けられる。そして、第二コーナー電極部５６２Ｅは、ミラー領域Ｍ（第二ミラー５５）側に突出する内側突出部５６２Ｅ１を備えている。
このような構成でも、第二実施形態と同様の作用効果を奏することができ、可動部５２１の角部５２１ｃにより大きい静電引力を作用させることで、可動部５２１の撓みを抑制できる。
【００６３】
［第四実施形態］
次に、第四実施形態について説明する。
第二実施形態及び第三実施形態では、可動部５２１をＺ方向に変位させる際に、最も変位量が小さく撓みにくい可動部５２１の角部５２１ｃに対して、第二コーナー電極部５６２Ｄ（５６２Ｅ）を設ける構成である。一方、可動部５２１をＺ方向に変位させる際、可動部５２１の撓み易さは、可動部５２１の中心からの距離に応じて変化する。
第四実施形態では、可動部５２１の中心からの距離に応じて電極の幅を変える点で、上記実施形態と相違する。
【００６４】
図１３は、第四実施形態の波長可変干渉フィルター５における第二基板５２Ｃを第一基板５１側から見た際の平面図である。
図１３に示すように、本実施形態の第二電極５６６Ｃでは、第二長辺電極部５６２Ａの第二外側長辺５６２Ａ２は、Ｘ方向と平行な直線となる。一方、第二長辺電極部５６２Ａの第二内側長辺５６２Ａ１は、±Ｘ側端部の第二コーナー電極部５６２Ｃから、Ｘ方向の中心に向かうにしたがって、第二ミラー５５から離れる方向に傾斜（湾曲）する。したがって、第二長辺電極部５６２Ａは、第二コーナー電極部５６２Ｃから、Ｘ方向の中心に向かうにしたがって、長辺幅Ｌａが小さくなる。
【００６５】
同様に、第二短辺電極部５６２Ｂの第二外側短辺５６２Ｂ２は、Ｙ方向と平行な直線となる。一方、第二短辺電極部５６２Ｂの第二内側短辺５６２Ｂ１は、±Ｙ側端部の第二コーナー電極部５６２Ｃから、Ｙ方向の中心に向かうにしたがって、第二ミラー５５から離れる方向に傾斜（湾曲）する。したがって、第二短辺電極部５６２Ｂは、第二コーナー電極部５６２Ｃから、Ｙ方向の中心に向かうにしたがって、短辺幅Ｌｂが小さくなる。
【００６６】
また、図示は省略するが、第一電極５６１は、第一実施形態と同様、平面視において第二電極５６６Ｃと重なる位置で同一形状に形成されている。つまり、第一電極５６１においても、第一長辺電極部５６１Ａが、±Ｘ側端部から、Ｘ方向の中心に向かって長辺幅Ｌａが漸減し、第一短辺電極部５６１Ｂが、±Ｙ側端部から、Ｙ方向の中心に向かって短辺幅Ｌｂが漸減する。
【００６７】
［第四実施形態の作用効果］
本実施形態の波長可変干渉フィルター５では、第二電極５６６Ｃは、可動部５２１の中心からの距離に応じて大きくなる。
このため、可動部５２１において、撓み易い部分（可動部５２１を変位させた際に、可動部５２１の中心との変位量の差が大きくなる部分）程、強い静電引力を可動部５２１に作用させることができ、可動部５２１の撓みを抑制することができる。
【００６８】
［第五実施形態］
次に、第五実施形態について説明する。
上述した第一実施形態から第四実施形態では、第二電極５６２（５６６Ａ，５６６Ｂ，５６６Ｃ）が、閉じた環形状となる構成を例示した。これに対して、第五実施形態では、第二電極が、複数の部分電極により構成される点で、相違する。
【００６９】
図１４は、第五実施形態の波長可変干渉フィルター５における第二基板５２Ｄを第一基板５１側から見た際の平面図である。
図１４に示すように、本実施形態の第二基板５２Ｄでは、第二電極５６６Ｄは、第一部分電極５６６Ｄ１と、第二部分電極５６６Ｄ２とを含んで構成されている。
第一部分電極５６６Ｄ１は、平面視において、可動部５２１の−Ｘ側において、−Ｙ側から＋Ｙ側に亘って設けられる第一短辺電極部５６６Ｄ３と、第一短辺電極部５６６Ｄ３の±Ｙ側端部から＋Ｘ側に突出する第一長辺突出部５６６Ｄ４とを備える。同様に、第二部分電極５６６Ｄ２は、可動部５２１の＋Ｘ側において、−Ｙ側から＋Ｙ側に亘って設けられる第二短辺電極部５６６Ｄ５と、第二短辺電極部５６６Ｄ５の±Ｙ側端部から−Ｘ側に突出する第二長辺突出部５６６Ｄ６とを備える。そして、第一長辺突出部５６６Ｄ４と、第二長辺突出部５６６Ｄ６との間には、所定の電極隙間５６６Ｄ７が設けられている。
第一短辺電極部５６６Ｄ３及び第二短辺電極部５６６Ｄ５の幅Ｌｂは、第一実施形態と同様、第一長辺突出部５６６Ｄ４及び第二長辺突出部５６６Ｄ６の幅Ｌａよりも大きくなる。
【００７０】
また、本実施形態では、これらの第一部分電極５６６Ｄ１及び第二部分電極５６６Ｄ２のそれぞれに対して、第二引出電極５６４が接続されており、各第二引出電極５６４が、接続端子部５２４の近傍において接続される。したがって、静電アクチュエーター５６に電圧が印加されると、第一部分電極５６６Ｄ１及び第二部分電極５６６Ｄ２は、同一電位となる。
なお、第一部分電極５６６Ｄ１及び第二部分電極５６６Ｄ２がそれぞれ独立していてもよい。つまり、第一部分電極５６６Ｄ１に接続される第二引出電極５６４と、第二部分電極５６６Ｄ２に接続される第二引出電極５６４とがそれぞれ設けられ、それぞれ接続端子部５２４まで延設されていてもよい。
【００７１】
また、図示は省略するが、第一電極５６１は、上記各実施形態と同様、平面視において第二電極５６６Ｄと重なる位置で同一形状に形成されている。つまり、第一電極５６１においても、−Ｘ側に配置される部分電極と、＋Ｘ側に配置される部分電極とを備える。
【００７２】
［第五実施形態の作用効果］
本実施形態では、第二電極５６６Ｄは、第一部分電極５６６Ｄ１及び第二部分電極５６６Ｄ２を備え、所定寸法の電極隙間５６６Ｄ７をあけて配置されている。
このような形状では、撓みにくい部分に電極隙間５６６Ｄ７を設けることで、撓み易い部分を中心に静電引力を作用させることができ、可動部５２１の撓みを抑制することができる。
また、図１４においては省略するが、第一部分電極５６６Ｄ１及び第二部分電極５６６Ｄ２の間に、他の電極を設けることもできる。例えば、第一ミラー５４や第二ミラー５５（ミラー領域Ｍと重なる領域）にミラー電極を設ける構成とし、当該ミラー電極に接続される配線電極を、第一部分電極５６６Ｄ１及び第二部分電極５６６Ｄ２の電極隙間５６６Ｄ７を通して、接続端子部５２４まで延設させることができる。
【００７３】
［第六実施形態］
次に、第六実施形態として、上記第一実施形態から第五実施形態において示したような波長可変干渉フィルター５を備えた光学デバイスについて説明する。
図１５は、第六実施形態に係る光学デバイス６００の概略構成を示す断面図である。
図１５に示すように、光学デバイス６００は、筐体６１０と、筐体６１０の内部に収納される波長可変干渉フィルター５を備えている。
【００７４】
筐体６１０は、図１５に示すように、ベース６２０と、リッド６３０と、を備えている。これらのベース６２０及びリッド６３０が接合されることで、内部に収容空間が形成され、この収容空間内に波長可変干渉フィルター５が収納される。
【００７５】
（ベースの構成）
ベース６２０は、例えばセラミック等により構成されている。このベース６２０は、台座部６２１と、側壁部６２２と、を備える。
台座部６２１は、フィルター平面視において例えば矩形状の外形を有する平板状に構成されており、この台座部６２１の外周部から筒状の側壁部６２２がリッド６３０に向かって立ち上がる。
【００７６】
台座部６２１は、厚み方向に貫通する開口部６２３を備えている。この開口部６２３は、台座部６２１に波長可変干渉フィルター５を収容した状態で、台座部６２１を厚み方向から見た平面視において、第一ミラー５４及び第二ミラー５５と重なる領域を含むように設けられている。
また、台座部６２１のリッド６３０とは反対側の面（ベース外側面６２１Ｂ）には、開口部６２３を覆うガラス部材６２７が接合されている。台座部６２１とガラス部材６２７との接合は、例えば、ガラス原料を高温で熔解し、急冷したガラスのかけらであるガラスフリット（低融点ガラス）を用いた低融点ガラス接合、エポキシ樹脂等による接着などを利用できる。本実施形態では、収容空間内が減圧下に維持された状態で気密に維持する。したがって、台座部６２１及びガラス部材６２７は、低融点ガラス接合を用いて接合されることが好ましい。
【００７７】
また、台座部６２１のリッド６３０に対向する内面（ベース内側面６２１Ａ）には、波長可変干渉フィルター５の第一接続電極５６５や第二引出電極５６４に接続される内側端子部６２４が設けられている。内側端子部６２４と、第一接続電極５６５及び第二引出電極５６４とは、例えばＡｕ等のワイヤーを用いたワイヤーボンディングにより接続される。なお、本実施形態では、ワイヤーボンディングを例示するが、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）等を用いてもよい。
また、台座部６２１は、内側端子部６２４が設けられる位置に、貫通孔６２５が形成されている。内側端子部６２４は、貫通孔６２５を介して、台座部６２１のベース外側面６２１Ｂに設けられた外側端子部６２６に接続されている。
【００７８】
側壁部６２２は、台座部６２１の縁部から立ち上がり、ベース内側面６２１Ａの周囲を囲って設けられる側壁部６２２のリッド６３０に対向する面（端面６２２Ａ）は、例えばベース内側面６２１Ａに平行な平坦面となる。
【００７９】
そして、ベース６２０には、例えば接着剤等の固定材６４を用いて、波長可変干渉フィルター５が固定される。この際、波長可変干渉フィルター５は、台座部６２１に対して固定されていてもよく、側壁部６２２に対して固定されていてもよい。固定材６４を設ける位置としては、複数個所であってもよいが、固定材６４の応力が波長可変干渉フィルター５に伝達するのを抑制するために、１か所で波長可変干渉フィルター５を固定することが好ましい。
【００８０】
（リッドの構成）
リッド６３０は、平面視において矩形状の外形を有する透明部材であり、例えばガラス等により構成される。
リッド６３０は、図１５に示すように、ベース６２０の側壁部６２２に接合されている。この接合方法としては、例えば、低融点ガラスを用いた接合等が例示できる。
【００８１】
［第六実施形態の作用効果］
上述したような本実施形態の光学デバイス６００では、筐体６１０により波長可変干渉フィルター５が保護されているため、外的要因による波長可変干渉フィルター５の破損を防止できる。
また、上述したように、波長可変干渉フィルター５は、静電アクチュエーター５６を印加した際の可動部５２１の撓みが抑制される。したがって、波長可変干渉フィルター５から所望波長の光を精度良く透過させることができる。
【００８２】
［第七実施形態］
次に、第七実施形態として、上記第一実施形態から第五実施形態の波長可変干渉フィルター５又は第六実施形態の光学デバイス６００を備えた電子機器の一例として、分光カメラについて説明する。
【００８３】
図１６は、第七実施形態における分光カメラ７００の概略構成を示す図である。
図１６に示すように、分光カメラ７００は、カメラ本体部７０１と、鏡筒部７０２とを備え、カメラ本体部７０１には、波長可変干渉フィルター５、受光部３０、駆動回路７０３、及び制御部７０４等が収納されている。
ここで、波長可変干渉フィルター５と、受光部３０とにより、本発明の光学モジュールが構成されている。なお、波長可変干渉フィルター５の代わりに、第六実施形態に示す光学デバイス６００が設けられてもよい。
また、鏡筒部７０２は、複数のレンズにより構成された入射光学系を収納し、所定の画角の光を、波長可変干渉フィルター５を介して受光部３０に導く。
【００８４】
受光部３０は、図６に示すように、矩形状の受光領域３１を有し、この受光領域３１内に複数のフォトダイオードが例えば水平方向及び垂直方向に配列されている。したがって、受光部３０は、矩形状の受光領域３１で受光した光に基づいて、矩形状の画像データを生成する。
【００８５】
駆動回路７０３は、波長可変干渉フィルター５を駆動するための回路である。具体的には、駆動回路７０３は、制御部７０４の制御の下、波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６に対して駆動電圧を印加し、可動部５２１をＺ方向に変位させる。
【００８６】
制御部７０４は、分光カメラ７００の動作を制御し、例えばユーザーの操作に基づいて、所定の目標波長の分光画像を取得する旨の操作信号が入力された際に、駆動回路７０３に、目標波長に応じた指令信号を出力する。これにより、駆動回路７０３は、目標波長に応じた駆動電圧を波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６に印加する。
また、制御部７０４は、受光部３０を制御して、受光処理を実施させ、受光部３０の各フォトダイオードから出力された受光信号に基づいて、分光画像を生成する。
【００８７】
また、制御部７０４は、所定の波長域の分光画像を所定波長間隔で取得する旨の操作信号が入力された場合、駆動回路７０３に駆動電圧を順次変化させる旨の指令信号を出力してもよい。これにより、駆動回路７０３は、例えば静電アクチュエーター５６に印加する駆動電圧を段階的に増大させ、ギャップＧの寸法を徐々に小さくする。
この場合、制御部７０４は、受光部３０を制御して、各波長に対する受光信号に基づいて、各波長のそれぞれにおける分光画像を生成する。
【００８８】
また、波長可変干渉フィルター５は、第一実施形態等と同様に、可動部５２１及びミラー領域Ｍ（第一ミラー５４及び第二ミラー５５）が長方形状となる。本実施形態では、図６に示すように、第一ミラー５４及び第二ミラー５５を通過した光が受光部３０に照射される領域、つまりミラー領域Ｍを受光部３０に射影した出力領域（図６に示す矩形領域Ａｒ３）が、受光領域３１と一致する。つまり、波長可変干渉フィルター５のミラー領域Ｍは、受光部３０に対して最小限の大きさに形成されている。したがって、図５に示すような不要部５４Ｚ，５５Ｚが設けられていない。このため、可動部５２１の平面サイズも最小にでき、波長可変干渉フィルター５が小型化されている。
【００８９】
［第七実施形態の作用効果］
本実施形態では、波長可変干渉フィルター５の第一ミラー５４及び第二ミラー５５が矩形状に形成されており、当該矩形は受光領域３１に対応した形状となる。すなわち、平面視における第一ミラー５４及び第二ミラー５５の大きさを、受光部３０の受光領域３１に対応した最小サイズとすることができる。これにより可動部５２１や波長可変干渉フィルター５を小型化することができる。さらに、波長可変干渉フィルター５を配置するスペースが小さくなる分、分光カメラ７００の小型化をも促進できる。
【００９０】
また、第一実施形態と同様、第二電極５６２が、可動部５２１の撓み易さに応じた幅に形成されており、撓み易い部分の幅が撓みにくい部分に比べて幅が大きくなる。したがって、矩形状の第二ミラー５５及び可動部５２１を有する波長可変干渉フィルター５においても、可動部５２１を変位させた際の当該可動部５２１の撓みが抑制されることになる。これにより、波長可変干渉フィルター５から目標波長の光を精度良く透過させることができる。したがって、受光部３０の受光領域３１において、どの位置においても同じ波長の光を受光することができ、分光カメラ７００において、精度の高い分光画像を撮像することができる。
【００９１】
［第八実施形態］
次に、第八実施形態として、上記第一実施形態から第五実施形態の波長可変干渉フィルター５又は第六実施形態の光学デバイス６００を備えた電子機器の一例として、印刷装置（プリンター）について説明する。
【００９２】
［プリンターの概略構成］
図１７は、第八実施形態のプリンター１０の外観の構成例を示す図である。図１８は、本実施形態のプリンター１０の概略構成を示すブロック図である。
図１７に示すように、プリンター１０は、供給ユニット１１、搬送ユニット１２と、キャリッジ１３と、キャリッジ移動ユニット１４と、制御ユニット１５（図１８参照）と、を備えている。このプリンター１０は、例えばパーソナルコンピューター等の外部機器２０から入力された印刷データに基づいて、各ユニット１１，１２，１４及びキャリッジ１３を制御し、媒体Ａ上に画像を印刷する。また、本実施形態のプリンター１０は、予め設定された較正用印刷データに基づいて媒体Ａ上の所定位置に測色用のテストパターンを形成し、かつ当該テストパターンに対する分光測定を行う。これにより、プリンター１０は、テストパターンに対する実測値と、較正用印刷データとを比較して、印刷されたカラーに色ずれがあるか否か判定し、色ずれがある場合は、実測値に基づいて色補正を行う。
以下、プリンター１０の各構成について具体的に説明する。
【００９３】
供給ユニット１１は、画像形成対象となる媒体Ａを、画像形成位置に供給するユニットである。この供給ユニット１１は、例えば媒体Ａが巻装されたロール体１１１（図１７参照）、ロール駆動モーター（図示略）、及びロール駆動輪列（図示略）等を備える。そして、制御ユニット１５からの指令に基づいて、ロール駆動モーターが回転駆動され、ロール駆動モーターの回転力がロール駆動輪列を介してロール体１１１に伝達される。これにより、ロール体１１１が回転し、ロール体１１１に巻装された紙面が副走査方向（Ｙ方向）における下流側（＋Ｙ側）に供給される。
なお、本実施形態では、ロール体１１１に巻装された紙面を供給する例を示すがこれに限定されない。例えば、トレイ等に積載された紙面等の媒体Ａをローラー等によって例えば１枚ずつ供給する等、如何なる供給方法によって媒体Ａが供給されてもよい。
【００９４】
搬送ユニット１２は、供給ユニット１１から供給された媒体Ａを、Ｙ方向に沿って搬送する。この搬送ユニット１２は、搬送ローラー１２１と、搬送ローラー１２１と媒体Ａを挟んで配置され、搬送ローラー１２１に従動する従動ローラー（図示略）と、プラテン１２２と、を含んで構成されている。
搬送ローラー１２１は、図示略の搬送モーターからの駆動力が伝達され、制御ユニット１５の制御により搬送モーターが駆動されると、その回転力により回転駆動されて、従動ローラーとの間に媒体Ａを挟み込んだ状態でＹ方向に沿って搬送する。また、搬送ローラー１２１の＋Ｙ側には、キャリッジ１３に対向するプラテン１２２が設けられている。
【００９５】
キャリッジ１３は、媒体Ａに対して画像を印刷する印刷部１６と、媒体Ａ上の所定の測定位置ＴＡ，ＴＢ（図１８参照）の分光測定を行う分光器１７と、を備えている。
このキャリッジ１３は、キャリッジ移動ユニット１４によって、Ｙ方向と交差する主走査方向（Ｘ方向）に沿って移動可能に設けられている。
また、キャリッジ１３は、フレキシブル回路１３１により制御ユニット１５に接続され、制御ユニット１５からの指令に基づいて、印刷部１６による印刷処理及び、分光器１７による分光測定処理を実施する。
なお、キャリッジ１３の詳細な構成については後述する。
【００９６】
キャリッジ移動ユニット１４は、本発明における移動機構を構成し、制御ユニット１５からの指令に基づいて、キャリッジ１３をＸ方向に沿って往復移動させる。
このキャリッジ移動ユニット１４は、例えば、キャリッジガイド軸１４１と、キャリッジモーター１４２と、タイミングベルト１４３と、を含んで構成されている。
キャリッジガイド軸１４１は、Ｘ方向に沿って配置され、両端部がプリンター１０の例えば筐体に固定されている。キャリッジモーター１４２は、タイミングベルト１４３を駆動させる。タイミングベルト１４３は、キャリッジガイド軸１４１と略平行に支持され、キャリッジ１３の一部が固定されている。そして、制御ユニット１５の指令に基づいてキャリッジモーター１４２が駆動されると、タイミングベルト１４３が正逆走行され、タイミングベルト１４３に固定されたキャリッジ１３がキャリッジガイド軸１４１にガイドされて往復移動する。
【００９７】
次に、キャリッジ１３に設けられる印刷部１６及び分光器１７の構成について、図面に基づいて説明する。
［印刷部１６の構成］
印刷部１６は、媒体Ａと対向する部分に、インクを個別に媒体Ａ上に吐出して、媒体Ａ上に画像を形成する。
この印刷部１６は、複数色のインクに対応したインクカートリッジ１６１が着脱自在に装着されており、各インクカートリッジ１６１からインクタンク（図示略）にチューブ（図示略）を介してインクが供給される。また、印刷部１６の下面（媒体Ａに対向する位置）には、インク滴を吐出するノズル（図示略）が、各色に対応して設けられている。これらのノズルには、例えばピエゾ素子が配置されており、ピエゾ素子を駆動させることで、インクタンクから供給されたインク滴が吐出されて媒体Ａに着弾し、ドットが形成される。
【００９８】
［分光器１７の構成］
図１９は、分光器１７の概略構成を示す図である。
分光器１７は、本発明における光学モジュールであり、図１９に示すように、第一光源１７１Ａと、第二光源１７１Ｂと、光学デバイス６００と、第一検出部１７２Ａと、第二検出部１７２Ｂと、駆動回路部１７３と、を備えている。
【００９９】
第一光源１７１Ａは、媒体Ａの第一測定位置ＴＡに対して、例えば４５°の角度で光を照射する。また、第二光源１７１Ｂは、第一測定位置ＴＡよりも＋Ｘ側に位置する第二測定位置ＴＢに対して、例えば４５°の角度で光を照射する。
【０１００】
第一検出部１７２Ａ及び第二検出部１７２Ｂは、本発明の受光部に相当する。
第一検出部１７２Ａは、第一測定位置ＴＡで反射され、光学デバイス６００に収納された波長可変干渉フィルター５（図１９では図示を省略する）のミラー領域Ｍの−Ｘ側の所定位置（第一通過位置ＭＡ）を通過した光を受光する。
第二検出部１７２Ｂは、第二測定位置ＴＢで反射され、ミラー領域Ｍの＋Ｘ側の所定位置（第一通過位置ＭＡより＋Ｘ側の第二通過位置ＭＢ）を通過した光を受光する。
【０１０１】
駆動回路部１７３は、制御ユニット１５に電気的に接続されており、制御ユニット１５からの指令に基づいて波長可変干渉フィルター５を駆動させる回路を含む。
すなわち、第七実施形態における駆動回路７０３と同様、制御ユニット１５からの指令に基づいて、波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６に対して駆動電圧を印加し、可動部５２１をＺ方向に変位させる。
また、駆動回路部１７３は、第一検出部１７２Ａ及び第二検出部１７２Ｂに接続され、第一検出部１７２Ａ及び第二検出部１７２Ｂから出力された検出信号を制御ユニット１５に出力する。
さらに、駆動回路部１７３は、第一光源１７１Ａ及び第二光源１７１Ｂに接続され、第一光源１７１Ａ及び第二光源１７１Ｂの点灯及び消灯を切り替える。
なお、駆動回路部１７３として、その他、ギャップＧの容量を検出する容量検出回路、静電アクチュエーター５６への駆動電圧をフィードバック制御するフィードバック回路等が設けられていてよい。
【０１０２】
このような分光器１７では、第一光源１７１Ａから媒体Ａ上の第一測定位置ＴＡに照明光を照射し、第二光源１７１Ｂから媒体Ａ上の第二測定位置ＴＢに照明光を照射する。
第一測定位置ＴＡで反射された光は、光学デバイス６００のミラー領域Ｍの第一通過位置ＭＡに入射され、そのうち、ギャップＧに応じた所定波長の光が透過されて第一検出部１７２Ａで受光される。また、第二測定位置ＴＢで反射された光は、光学デバイス６００のミラー領域Ｍの第二通過位置ＭＢに入射され、そのうち、ギャップＧに応じた所定波長の光が透過されて第二検出部１７２Ｂで受光される。
そして、第一検出部１７２Ａ及び第二検出部１７２Ｂにおいて光が受光されると、受光量に応じた受光信号が駆動回路部１７３に出力される。駆動回路部１７３は、例えば増幅回路やＡＤ変換回路等の受信回路を有し、受信回路で信号処理された受光信号が制御ユニット１５に出力される。
【０１０３】
［制御ユニットの構成］
制御ユニット１５は、本発明の制御部であり、図１８に示すように、Ｉ／Ｆ１５１と、ユニット制御回路１５２と、メモリー１５３と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１５４と、を含んで構成されている。
Ｉ／Ｆ１５１は、外部機器２０から入力される印刷データをＣＰＵ１５４に入力する。
ユニット制御回路１５２は、供給ユニット１１、搬送ユニット１２、印刷部１６、分光器１７、及びキャリッジ移動ユニット１４をそれぞれ制御する制御回路を備えており、ＣＰＵ１５４からの指令信号に基づいて、各ユニットの動作を制御する。なお、各ユニットの制御回路が、制御ユニット１５とは別体に設けられ、制御ユニット１５に接続されていてもよい。
【０１０４】
メモリー１５３は、プリンター１０の動作を制御する各種プログラムや各種データが記憶されている。
各種データとしては、例えば、波長可変干渉フィルター５を制御する際の、静電アクチュエーター５６への印加電圧に対する、波長可変干渉フィルター５を透過する光の波長を示したＶ−λデータ、印刷データとして含まれる色データに対する各インクの吐出量を記憶した印刷プロファイルデータ等が挙げられる。また、第一光源１７１Ａや第二光源１７１Ｂの各波長に対する発光特性（発光スペクトル）や、第一検出部１７２Ａや第二検出部１７２Ｂの各波長に対する受光特性（受光感度特性）等が記憶されていてもよい。
【０１０５】
ＣＰＵ１５４は、メモリー１５３に記憶された各種プログラムを読み出し実行することで、各ユニット１１，１２，１４の駆動制御、印刷部１６の印刷制御、分光器１７による測定制御（波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６の駆動制御等）、分光器１７の分光測定結果に基づく測色処理や、印刷プロファイルデータの補正（更新）処理等を実施する。
【０１０６】
［測定処理］
次に、上述したようなプリンター１０における動作、特に、印刷部１６により印刷されたテストパターンに対する測定処理について説明する。
図２０は、本実施形態における測定方法を示すフローチャートである。
本実施形態における測定処理では、プリンター１０は、例えばユーザー操作や外部機器２０からの入力により、印刷プロファイルデータの更新処理を実施する旨の指令を受け付けると、制御ユニット１５は、印刷部１６を制御し、媒体Ａに対してテストパターンを印刷する（ステップＳ１）。
【０１０７】
図２１は、媒体Ａに印刷されるテストパターンと、測定位置との関係を示す図である。
ステップＳ１では、媒体Ａに対して図２１に示すようなテストパターン８００が印刷される。このテストパターン８００は、それぞれ異なる色により形成される複数のカラーパッチ８０１を有する。これらのカラーパッチ８０１は、Ｘ方向に沿って配置されて１つのパッチ群８０２を形成し、複数のパッチ群８０２がＹ方向に沿って複数配置される。
【０１０８】
この後、制御ユニット１５は、分光器１７により測定される第一測定位置ＴＡ及び第二測定位置ＴＢが、初期測定対象のカラーパッチ８０１上に位置するように、キャリッジ１３を初期位置に移動させる（ステップＳ２）。具体的には、第一測定位置ＴＡが、Ｘ方向及びＹ方向に配置される複数のカラーパッチ８０１のうち最も左上（−Ｘ側端部かつ−Ｙ側端部）に位置し、第二測定位置ＴＢが、第一測定位置ＴＡに対応するカラーパッチ８０１の右隣（＋Ｘ側に隣り合うカラーパッチ８０１）に位置するように、移動させる。
【０１０９】
そして、制御ユニット１５は、分光器１７の光源を点灯させ、分光器１７による分光測定処理を実施させる（ステップＳ３）。すなわち、制御ユニット１５は、波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６に印加する駆動電圧を順次変化させ、例えば初期波長から２０ｎｍ間隔となる複数の波長の光を波長可変干渉フィルター５から順次透過させる。そして、各波長の光を第一検出部１７２Ａ及び第二検出部１７２Ｂのそれぞれで検出する。
これにより、第一測定位置ＴＡが位置するカラーパッチ８０１に対する分光測定結果と、当該カラーパッチ８０１の＋Ｘ側に隣り合う第二測定位置ＴＢが位置するカラーパッチ８０１に対する分光測定結果とが同時に得られる。
【０１１０】
この後、制御ユニット１５は、パッチ群８０２の全てのカラーパッチ８０１に対する分光測定が完了したか否かを判定する（ステップＳ４）。例えばパッチ群８０２に含まれるカラーパッチ８０１が１６個（或いは１５個）である場合、８回の分光測定処理が実施された場合にＹｅｓと判定する。
ここで、Ｎｏと判定された場合、つまり、パッチ群８０２に未測定のカラーパッチ８０１がある場合、キャリッジ１３を＋Ｘ側に距離ＸＣ（図２１参照）だけ移動させる（ステップＳ５）。つまり、第一測定位置ＴＡ及び第二測定位置ＴＢを＋Ｘ側に２つ分のカラーパッチ８０１の距離ＸＣだけ移動させる。
そして、ステップＳ３の処理に戻り、分光測定処理を実施する。
【０１１１】
また、ステップＳ４でＹｅｓと判定された場合、制御ユニット１５は、テストパターン８００の全てのカラーパッチ８０１（全てのパッチ群８０２）に対する分光測定が完了したか否かを判定する（ステップＳ６）。
ステップＳ６において、Ｎｏと判定された場合、制御ユニット１５は、分光器１７により測定される第一測定位置ＴＡ及び第二測定位置ＴＢが、次のパッチ群８０２の−Ｘ側端部に位置するように、媒体ＡをＹ方向に搬送するとともにキャリッジ１３を初期位置に移動させる（ステップＳ７）。この後、ステップＳ３の処理に戻り、分光測定処理を実施する。
【０１１２】
ステップＳ６において、Ｙｅｓと判定された場合は、制御ユニット１５は、テストパターン８００の各カラーパッチ８０１の分光測定処理を終了させる。この場合、例えば、制御ユニット１５は、得られた分光測定結果に基づいて、例えば印刷部１６の各種補正処理（例えばインクの吐出量の補正等）を実施する。
【０１１３】
［第八実施形態の作用効果］
本実施形態のプリンター１０は、光学モジュールである分光器１７を備え、この分光器１７は、光学デバイス６００（波長可変干渉フィルター５）と、第一検出部１７２Ａと第二検出部１７２Ｂとを備えている。
このような構成では、波長可変干渉フィルター５から面内で均一な波長の光を透過させることができ、第一検出部１７２Ａ及び第二検出部１７２Ｂにおいて、同じ波長の光を精度良く検出することができる。
【０１１４】
また、本実施形態では、第一測定位置ＴＡに光を照射する第一光源１７１Ａと、第一測定位置ＴＡより＋Ｘ側に離れた位置に光を照射する第二光源１７１Ｂと、を備える。そして、第一測定位置ＴＡで反射された光は、波長可変干渉フィルター５のミラー領域Ｍの第一通過位置ＭＡを通過して第一検出部１７２Ａで受光され、第二測定位置ＴＢで反射された光は、ミラー領域Ｍの第二通過位置ＭＢを通過して第二検出部１７２Ｂで受光される。
したがって、第一測定位置ＴＡと第二測定位置ＴＢとにそれぞれ異なる測定対象を配置することで、それぞれの分光測定を同時に実施することができる。例えば、本実施形態のように、第一測定位置ＴＡに第１のカラーパッチ８０１を配置し、第二測定位置ＴＢに第１のカラーパッチ８０１に隣り合う第２のカラーパッチ８０１を配置する。これにより、第１のカラーパッチ８０１と、第２のカラーパッチ８０１との双方に対する分光測定を同時に実施することが可能となる。この場合、パッチ群８０２に配置された複数のカラーパッチ８０１を１つずつに分光測定を実施する場合に比べて、迅速に分光測定を実施することができる。
【０１１５】
また、上記のように、Ｘ方向に離れた第一測定位置ＴＡ及び第二測定位置ＴＢに対する分光測定処理を同時に実施するためには、これらの測定位置で反射された光を、波長可変干渉フィルター５のミラー領域Ｍ内に通過させる必要がある。
ここで、波長可変干渉フィルター５のミラー領域Ｍの形状、つまり、第一ミラー５４や第二ミラー５５の形状を、従来のように円形状とする場合では、測定対象ではないＹ方向に第一ミラー５４や第二ミラー５５が広がる形状となる。つまり、第一ミラー５４や第二ミラー５５の平面サイズが大きくなることで、波長可変干渉フィルター５の平面サイズが大きくなる。
これに対して、本実施形態では、第一ミラー５４や第二ミラー５５、第二ミラー５５が設けられる可動部５２１が、Ｘ方向を長辺方向、Ｙ方向を短辺方向とした矩形状となる。すなわち、第一測定位置ＴＡ及び第二測定位置ＴＢに対応したＸ方向に長手となる形状であって、測定に必要な範囲に必要な大きさのミラー領域Ｍを設定することができ、従来に比べて、波長可変干渉フィルター５の小型化を実現できる。また、波長可変干渉フィルター５を小型化できることで、これを収納する分光器１７や、プリンター１０の小型化をも促進できる。
【０１１６】
［変形例］
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【０１１７】
（変形例１）
上記第一実施形態において、ミラー領域Ｍ（第一ミラー５４及び第二ミラー５５）が矩形状であり、可動部５２１もこれに応じて矩形状に形成される例を示したが、これに限定されない。
図２２は、変形例１に係る第二基板を第一基板側から見た際の平面図である。
図２２に示す例では、第二基板５２Ｅは、Ｘ方向（第三方向）が長軸となり、Ｙ軸方向（第二方向）が短軸となる楕円形の可動部５２１Ｅ及び第二ミラー５５Ｅ（ミラー領域Ｍ）を備えている。つまり、可動部５２１Ｅ及び第二ミラー５５Ｅは、Ｙ方向の幅よりもＸ方向の幅が大きい形状となる。
【０１１８】
そして、図２２に示すように、第二電極５６６Ｅは、第二ミラー５５Ｅを囲う略楕円形状となり、周方向において、電極の幅が異なる。
具体的には、第二電極５６６Ｅは、接線方向がＹ方向と平行に近くなるほど幅が大きくなり、接線方向がＸ方向に平行に近くなる程幅が小さくなる。言い換えれば、長軸方向（Ｘ方向；第三方向）に対応する部分の電極の幅より、短軸方向（Ｙ方向；第二方向）に対応する部分の電極の幅が大きい形状となる。さらに言い換えれば、可動部５２１Ｅの中心からの距離が離れるにしたがって電極の幅が大きい形状となる。
したがって、第一実施形態や第四実施形態と同様に、図２２に示す形状においても、可動部５２１ＥをＺ方向に変位させた際の当該可動部５２１Ｅの撓みを抑制することができ、波長可変干渉フィルター５の波長精度を向上することができる。
また、図示は省略するが、第一電極５６１は、上記各実施形態と同様、平面視において第二電極５６６Ｅと重なる位置で同一形状に形成されていればよい。
【０１１９】
なお、図２２の例は、可動部５２１Ｅ及び第二ミラー５５Ｅが楕円形となる例であるが、これに限定されない。すなわち、例えば、可動部及びミラー領域（第二ミラー）の形状としては、Ｘ方向（第三方向）の幅が、Ｙ方向（第二方向）の幅よりも大きくなる形状であれば、多角形状であってもよく、オーバル形状であってもよい。いずれの形状であっても、第二電極がミラー領域を囲う形状であって、短軸方向に沿った電極部の幅が長軸方向に沿った電極部の幅よりも大きくなる形状とする、或いは、可動部の中心からの距離に応じで電極の幅を大きくすることで、可動部の撓みを抑制することができる。
【０１２０】
（変形例２）
第二実施形態及び第三実施形態において、可動部５２１及びミラー領域Ｍ（第二ミラー５５）が長方形状に形成される例を示したが、これに限定されない。
図２３は、六角形状の可動部５２１Ｆを有する第二基板５２Ｆにおける可動部５２１Ｆの角部５２１ｄ近傍の一部を拡大した平面図である。
図２３の例では、可動部５２１Ｆの角部５２１ｄを挟む２辺（第一辺５２１ｅ及び第二辺５２１ｆ）が、本発明の第四縁及び第五縁を構成し、第一辺５２１ｅと平行な方向が本発明の第四方向、第二辺５２１ｆと平行な方向が本発明の第五方向となる。
【０１２１】
また、第二電極５６６Ｆは、ミラー領域Ｍに設けられた第二ミラー５５を囲って設けられており、各辺に対応した辺電極部（サイド電極部）と、隣り合う２つの辺電極部に接続されるコーナー電極部とを備える。例えば、図２３に示す可動部５２１Ｆの１つの角部５２１ｄにおいて、第二電極５６６Ｆは、第一辺５２１ｅと平行な第一辺電極部５６７Ｅ、第二辺５２１ｆに平行な第二辺電極部５６７Ｆ、及び、角部５２１ｄに対応して設けられ第一辺電極部５６７Ｅと第二辺電極部５６７Ｆとに接続されるコーナー電極部５６７Ｄを備える。
そして、コーナー電極部５６７Ｄは、第三実施形態と同様に、ミラー領域Ｍ側に突出する内側突出部５６７Ｄ１を備えている。言い換えると、フィルター中心軸Ｏから角部５２１ｄに向かう直線を放射直線Ｓ、放射直線Ｓと第一辺５２１ｅとの為す角をαｅ、放射直線Ｓと第二辺５２１ｆとの為す角をαｆ、第一辺電極部５６７Ｅの第一辺５２１ｅに直交する直線方向に沿った幅をＷｓｅ、第二辺電極部５６７Ｆの第二辺５２１ｆに直交する直線方向に沿った幅をＷｓｆとして、コーナー電極部５６７Ｄの放射直線Ｓに沿う電極の幅Ｗｃは、Ｗｃ＞Ｗｓｅ／ｓｉｎαｅ、かつ、Ｗｃ＞Ｗｓｆ／ｓｉｎαｆを満たす。すなわち、コーナー電極部５６２Ｄの電極の幅は、他の辺電極部（第一辺電極部５６７Ｅや第二辺電極部５６７Ｆ等）よりも電極の幅が広く形成されている。
【０１２２】
なお、図２３では、六角形状の可動部５２１Ｆにおける１つの角部５２１ｄの近傍の電極構成を示したが、他の角部においても同様であり、各辺電極部よりも内側に突出する内側突出部５６７Ｄ１が設けられている。図２３の例では、各角部に対応して内側突出部が設けられる例を示したが、第二実施形態と同様に、外側突出部が設けられる構成としてもよく、内側突出部及び外側突出部の双方が設けられる構成としてもよい。
また、図示は省略するが、第一電極５６１は、上記各実施形態と同様、平面視において第二電極５６６Ｆと重なる位置で同一形状に形成されていればよい。
【０１２３】
図２３に示すような六角形状の可動部５２１Ｆ等、多角形状の可動部等では、第二実施形態や第三実施形態で説明したように、各角部が他の部分に対して撓み易くなる。これに対して、第二電極のうち、各角部に対応して設けられるコーナー電極部に、内側突出部や外側突出部を設け、電極の幅を各辺に対応した辺電極部の幅よりも大きくすることで、可動部の撓みを抑制することができる。
この際、可動部が多角形状であり、長軸方向と短軸方向とを有する場合、さらに、長軸方向に沿って配置される電極部の幅を小さく、短軸方向に沿って配置される電極部の幅を大きくすることが好ましい。また、可動部が正方形状である場合等、正多角形状である場合では、可動部の角部に対応するコーナー電極部の幅を拡げるのみでよく、その他、各辺に沿った辺電極部の幅は均一幅であってもよい。
なお、上記において、可動部が多角形状である例を説明したが、平面視において、一部に角部が設ける形状の角部であれば、上記構成を適用できる。例えば、可動部の外縁形状が、−Ｘ側において半円の円弧形状となり、円弧の両端部から＋Ｘ側に向かうにしたがって互いに近接する直線部が設けられる形状（滴型の形状）としてもよい。このような構成では、２つの直線部の交点が角部となるため、撓みが生じやすい部分となる。この場合、当該直線部の交点に対して、コーナー電極部を設け、内側突出部や外側突出部を形成すればよい。
【０１２４】
（変形例３）
上記各実施形態において、可動部５２１に設けられるミラー領域Ｍは、可動部５２１と相似関係となる例を示したが、これに限定されない。
図２４は、変形例３に係る第二基板５２Ｇを第一基板５１側から見た平面図である。
上述した第四実施形態では、第二電極５６６Ｃは、第二内側長辺５６２Ａ１が第二コーナー電極部５６２ＣからＸ方向における可動部５２１の中心に向かうにしたがって、ミラー領域Ｍから離れ、第二内側短辺５６２Ｂ１が第二コーナー電極部５６２ＣからＹ方向における可動部５２１の中心に向かうにしたがって、ミラー領域Ｍから離れる。
したがって、第四実施形態では、第一実施形態から第三実施形態に比べて、平面視における第二電極５６６Ｃの内側の領域が広くなる。そこで、この第二電極５６６Ｃの内側に、図２４に示すように、例えば楕円形のミラー領域Ｍが設け、当該ミラー領域Ｍと重なる第二ミラー５５Ｇを設ける構成としてもよい。
【０１２５】
この場合、矩形状の受光領域３１を有する受光部３０で、波長可変干渉フィルター５を透過された光を受光する場合、図５に示すような不要領域Ａｒｚが発生するが、従来の円形のミラーを用いる場合に比べて不要領域Ａｒｚは小さくなる。また、第一実施形態から第三実施形態に示す波長可変干渉フィルター５と比べて、可動部５２１や波長可変干渉フィルター５の平面サイズは同一となる。
また、可動部５２１がＺ方向に変位した場合でも、可動部５２１の撓みが抑制されるので、不要領域Ａｒｚにおいても、ギャップＧに応じた目標波長の光が照射されることになる。したがって、例えば、波長可変干渉フィルター５と受光部３０とのアライメント調整においてずれが生じた場合でも、当該ずれ量が不要領域Ａｒｚの範囲内であれば、受光領域３１において、目標波長の光を好適に受光することができる。
【０１２６】
（変形例４）
第四実施形態では、第二外側長辺５６２Ａ２がＸ方向に平行となり、第二外側短辺５６２Ｂ２がＹ方向と平行となり、第二内側長辺５６２Ａ１及び第二内側短辺５６２Ｂ１が傾斜（湾曲）する形状とした。
これに対して、第二内側長辺５６２Ａ１がＸ方向に平行となり、第二内側短辺５６２Ｂ１がＹ方向と平行となり、第二外側長辺５６２Ａ２及び第二外側短辺５６２Ｂ２が傾斜（湾曲）する構成としてもよい。この場合、第二外側長辺５６２Ａ２が第二コーナー電極部５６２ＣからＸ方向における可動部５２１の中心に向かうにしたがって、ミラー領域Ｍに近接し、第二外側短辺５６２Ｂ２が第二コーナー電極部５６２ＣからＹ方向における可動部５２１の中心に向かうにしたがって、ミラー領域Ｍに近接するように、第二電極５６６Ｃが形成される。
【０１２７】
さらに、第二内側長辺５６２Ａ１が第二コーナー電極部５６２ＣからＸ方向における可動部５２１の中心に向かうにしたがってミラー領域Ｍから離れ、第二外側長辺５６２Ａ２が第二コーナー電極部５６２ＣからＸ方向における可動部５２１の中心に向かうにしたがってミラー領域Ｍに近接するように傾斜（湾曲）してもよい。同様に、第二内側短辺５６２Ｂ１が第二コーナー電極部５６２ＣからＹ方向における可動部５２１の中心に向かうにしたがってミラー領域Ｍから離れ、第二外側短辺５６２Ｂ２が第二コーナー電極部５６２ＣからＹ方向における可動部５２１の中心に向かうにしたがってミラー領域Ｍに近接するように傾斜（湾曲）してもよい。
【０１２８】
更に、図２５に示すような構成としてもよい。図２５は、変形例４の１つの例における第二基板５２Ｇを第一基板５１側から見た平面図である。
図２５に示す態様では、第二電極５６６Ｇは、第二長辺電極部５６２Ａにおいて、第二内側長辺５６２Ａ１がＸ方向に平行となり、第二外側長辺５６２Ａ２が第二コーナー電極部５６２ＣからＸ方向における可動部５２１の中心に向かうにしたがってミラー領域Ｍに近接するように傾斜（湾曲）する。
一方、第二短辺電極部５６２Ｂにおいて、第二外側短辺５６２Ｂ２がＹ方向に平行となり、第二内側短辺５６２Ｂ１が第二コーナー電極部５６２ＣからＹ方向における可動部５２１の中心に向かうにしたがってミラー領域Ｍから離れるように傾斜（湾曲）する。
【０１２９】
また、図示は省略するが、上記のいずれの態様であっても、第一電極５６１は、上記各実施形態と同様、平面視において第二電極と重なる位置で同一形状に形成されていればよい。
上記の各態様においても、第四実施形態と同様の効果を奏することができ、可動部５２１の撓み易さに応じた静電引力を作用させることで、可動部５２１の撓みをより効果的に抑制することができる。
【０１３０】
（変形例５）
第二実施形態において、電極の外周縁が第二外側長辺５６２Ａ２及び第二外側短辺５６２Ｂ２の双方より外側に突出する構成の外側突出部５６２Ｄ１を例示したが、これに限定されない。
第二外側長辺５６２Ａ２及び第二外側短辺５６２Ｂ２の一方より外側に突出する構成としてもよい。
【０１３１】
（変形例６）
第五実施形態において、第一部分電極５６６Ｄ１が第一長辺突出部５６６Ｄ４を備え、第二部分電極５６６Ｄ２が第二長辺突出部５６６Ｄ６を備える構成を例示したが、これに限定されない。
図２６は、変形例６に係る第二基板５２Ｈを第一基板５１側から見た平面図である。
この第二基板５２Ｈでは、第二電極５６６Ｈは、ミラー領域Ｍ（第二ミラー５５）より−Ｘ側に設けられる第一部分電極５６６Ｈ１と、ミラー領域Ｍ（第二ミラー５５）より＋Ｘ側に設けられる第二部分電極５６６Ｈ２とを備える。そして、これらの第一部分電極５６６Ｈ１及び第二部分電極５６６Ｈ２は、±Ｙ側端部において、電極隙間５６６Ｈ３を介して離れて配置されている。
【０１３２】
つまり、変形例６に示す第二基板５２Ｈでは、可動部５２１のミラー領域Ｍ（第二ミラー５５）を周方向に囲う領域のうち、可動部５２１が撓み易い長辺方向（オーバル形状等では長軸方向）の両端側に電極が配置され、可動部５２１の撓みが生じにくい短辺方向（オーバル形状等では短軸方向）の両端側には電極が配置されない構成となる。
言い換えると、第二電極５６６Ｈは、Ｙ方向に対応する部分の幅がＬｂとなり、Ｘ方向に対応する部分の幅が０となり、Ｙ方向に対応する部分の幅がＸ方向に対応する部分の幅より大きい。したがって、上記第五実施形態と同様に、可動部５２１の撓みを抑制することができる。
また、図示は省略するが、第一電極５６１は、上記各実施形態と同様、平面視において第二電極５６６Ｈと重なる位置で同一形状に形成されていればよい。
【０１３３】
（変形例７）
第五実施形態や上記変形例６において、ミラー領域Ｍと重なる第二ミラー５５や当該第二ミラー５５に対向する第一ミラー５４の上に、さらに、ミラー電極を設ける構成としてもよい。
例えば第二ミラー５５にミラー電極を設ける場合、当該ミラー電極に接続される配線電極を、電極隙間５６６Ｄ７又は電極隙間５６６Ｈ３から接続端子部５２４まで延設させることができる。
【０１３４】
（変形例８）
図２７は、変形例８に係る可動部５２１と当該可動部５２１に設けられる第二電極５６６Ｉの概略構成を示す図である。
上記第一実施形態では、第二電極５６２の第二長辺電極部５６２Ａ及び第二短辺電極部５６２Ｂがそれぞれ単一の電極により構成される例を示した。これに対して、図２７に示すように、第二長辺電極部５６６Ｉ１及び第二短辺電極部５６６Ｉ２が、それぞれ、複数の線状電極により構成されていてもよい。
具体的には、第二電極５６６Ｉは、可動部５２１の±Ｙ側端部のそれぞれにＸ方向に沿って配置される第二長辺電極部５６６Ｉ１を備える。各第二長辺電極部５６６Ｉ１は、Ｘ方向に長手となり、Ｙ方向の幅がＬＤとなる長辺線状電極５６７Ｉ１がＹ方向に２つ並列配置されることで構成される。
また、第二電極５６６Ｉは、可動部５２１の±Ｘ側端部のそれぞれにＹ方向に沿って配置される第二短辺電極部５６６Ｉ２を備える。各第二短辺電極部５６６Ｉ２は、Ｙ方向に長手となり、Ｘ方向の幅がＬＤとなる短辺線状電極５６７Ｉ２がＸ方向に４つ並列配置されて構成されている。
なお、図２７では、説明の簡略化のため、第二電極５６６Ｉに接続される第二引出電極を省略しているが、各長辺線状電極５６７Ｉ１及び第二短辺電極部５６６Ｉ２に、それぞれ引出電極が接続されており、これらの引出電極が、例えば保持部５２２、又は基板外周部５２３、或いは接続端子部５２４において、結線されており、第二電極５６６Ｉが同電位に維持される。
【０１３５】
このような構成では、第二長辺電極部５６６Ｉ１の幅は、長辺線状電極５６７Ｉ１の幅の合計となり２ＬＤとなる。同様に、第二短辺電極部５６６Ｉ２の幅は、短辺線状電極５６７Ｉ２の幅の合計となり４ＬＤとなる。したがって、第一実施形態と同様に、長辺方向に対応して配置される第二長辺電極部５６６Ｉ１の幅に比べて、短辺方向に対応して配置される第二短辺電極部５６６Ｉ２の幅の方が大きくなり、可動部５２１がＺ方向に変位した際の当該可動部５２１の撓みを抑制することができる。
なお、ここでは、各長辺線状電極５６７Ｉ１や各短辺線状電極５６７Ｉ２の線幅ＬＰが同一となる例を示すが、それぞれ異なる幅であってもよい。
【０１３６】
また、第五実施形態や変形例６，７のように、電極隙間をあけて複数の部分電極が配置される構成としてもよく、さらに、第四実施形態のように、可動部５２１の中心からの距離に応じて幅を大きくする構成などとしてもよい。
図２８は、変形例８に係る可動部と当該可動部に設けられる第二電極の概略構成の他の例を示す図である。
図２８の例では、第二電極５６６Ｊは、変形例６と同様に、ミラー領域Ｍ（第二ミラー５５）より−Ｘ側に設けられる第一部分電極５６６Ｊ１と、ミラー領域Ｍ（第二ミラー５５）より＋Ｘ側に設けられる第二部分電極５６６Ｊ２とを備える。そして、これらの第一部分電極５６６Ｊ１及び第二部分電極５６６Ｊ２は、±Ｙ側端部において、電極隙間５６６Ｊ３を介して離れて配置されている。
そして、第一部分電極５６６Ｊ１及び第二部分電極５６６Ｊ２は、幅ＬＤを有する複数の線状電極５６７Ｊにより構成されている。
【０１３７】
さらに、本例では、各線状電極５６７Ｊの幅に直交する長さ（Ｙ方向の長さ）がそれぞれ異なる。
具体的には、第一部分電極５６６Ｊ１の−Ｘ側端部に配置される線状電極５６７Ｊ、及び第二部分電極５６６Ｊ２の＋Ｘ側端部に配置される線状電極５６７Ｊは、可動部５２１の−Ｙ側端部から＋Ｙ側端部に亘って形成されている。一方、±Ｘ側端部に配置された線状電極５６７Ｊ以外の他の線状電極５６７Ｊは、Ｙ方向の長さが、可動部５２１のＹ方向の長さの半値以下に形成され、かつ、可動部５２１のＸ方向の中心側に配置される線状電極５６７Ｊ程、Ｙ方向の長さが短くなる。また、これらの長さが短い線状電極５６７Ｊは、可動部５２１の±Ｙ側両端側のそれぞれに配置されている。これに加え、＋Ｙ側に配置される各線状電極５６７Ｊは、可動部５２１の＋Ｙ側の縁から所定距離の位置に配置され、−Ｙ側に配置される各線状電極５６７Ｊは、可動部５２１の−Ｙ側の縁から所定距離の位置に配置される。
この場合、第四実施形態と同様に、可動部５２１の中心からの距離に応じて、第一部分電極５６６Ｊ１及び第二部分電極５６６Ｊ２の電極の幅（各線状電極５６７Ｊの幅の合計）が大きくなる。よって、第四実施形態と同様に、可動部５２１の撓みを効果的に抑制することができる。
【０１３８】
（変形例９）
上記各実施形態及び変形例では、第二電極を可動部上に設ける構成を例示した。これに対して、第二電極の全部又は一部を保持部５２２に設けてもよい。
また、保持部５２２として、可動部５２１から基板外周部５２３までの幅ＬＣが均一となる構成を例示したが、これに限定されない。例えば、保持部５２２のうち、可動部５２１の撓みが生じやすい部分（例えば、Ｘ方向に長手となる可動部では±Ｘ側両端部）に連結される保持部の幅を大きくする構成としてもよい。また、保持部５２２の幅が、可動部５２１の中心からの距離に応じて広くなる構成などとしてもよい。
【０１３９】
図２９及び図３０は、保持部の幅を可動部の撓み易さに応じて変更し、かつ、保持部５２２上に（或いは可動部から保持部に亘って）第二電極を設けた構成を示す図である。
図２９では、第二基板５２Ｋは、Ｘ方向が長辺方向、Ｙ方向が短辺方向となる可動部５２１を備え、可動部５２１の外周を囲う保持部５２２は、長辺５２１ａに連続する長辺保持部５２２Ａ、短辺５２１ｂに連続する短辺保持部５２２Ｂ、及び長辺保持部５２２Ａと短辺保持部５２２Ｂとを接続するコーナー部５２２Ｃとを有する。
そして、短辺保持部５２２Ｂの幅Ｗｂ（Ｘ方向の長さ）は、長辺保持部５２２Ａの幅Ｗａ（Ｙ方向の長さ）より大きい。つまり、短辺保持部５２２Ｂは、可動部５２１がＺ方向に変位した際にＺ方向に撓み易く、可動部５２１を元の位置に戻そうとする復元力（ばね力）が小さい。これにより、可動部５２１の撓みを抑制することが可能となる。
【０１４０】
加えて、可動部５２１のうち、Ｚ方向に変位した際に最も撓み易い角部５２１ｃに連結される保持部５２２のコーナー部５２２Ｃには、可動部５２１に設けられた第二電極５６２から延設された保持電極部５６８が設けられている。
また、保持部５２２のコーナー部５２２Ｃでは、基板外周部５２３との境界近傍が最も撓みにくくなり、特に、Ｘ方向に沿った外周縁５２２１と、Ｙ方向に沿った外周縁５２２２とにより挟まれる角部５２２３の近傍が最も撓みにくい。したがって、保持電極部５６８は、保持部５２２の角部５２２３を頂点とし、外周縁５２２１及び外周縁５２２２に沿って拡がる三角形状に形成されることが好ましい。
このような形状とすることで、可動部５２１をＺ方向に変位させた際の可動部５２１の撓みをより効果的に低減することが可能となる。
【０１４１】
また、図３０に示す例は、保持部上に第二電極を設ける構成例を示している。
第二実施形態や第三実施形態等において説明したように、可動部５２１の角部５２１ｃは、可動部５２１をＺ方向に変位させた際に他の部分よりも撓み易い。
したがって、図３０では、撓み易い可動部５２１の角部に連結される保持部５２２のコーナー部５２２Ｃには、可動部５２１の辺５２１ｇ，５２１ｈの延長線よりもミラー領域Ｍ側に突出するコーナー突出部５２２Ｃ１が設けられている。
また、本例では、第二電極５６６Ｋは、保持部５２２上に設けられている。そして、この第二電極５６６Ｋは、第三実施形態と同様に、可動部５２１の角部に対応して、内側突出部５６６Ｋ１を備えている。
なお、図３０に示す例は、可動部５２１が長軸方向及び短軸方向を有さない形状（例えば正方形状）に形成されているため、第二電極５６６Ｋの各辺５２１ｇ、５２１ｈに対応する電極部分の幅が同一幅となっている。可動部５２１が長軸（長辺）方向及び短軸（短辺）方向を有する場合（例えば矩形状等の場合）では、上記第三実施形態に示すように、長辺方向に対応する電極部分の幅を小さく、短辺方向に対応する電極部分の幅を大きくすればよい。
このような形状でも、可動部５２１をＺ方向に変位させた際の可動部５２１の撓みをより効果的に低減することが可能となる。
【０１４２】
（変形例１０）
上記各実施形態及び各変形例において、ミラー領域Ｍと第二ミラー５５とが同一形状、同一平面サイズであり、ミラー領域Ｍに第二ミラー５５が形成される例を示した。
これに対して、第二ミラーとミラー領域との大きさや形状が異なっていてもよい。
図３１は、変形例１０に係る波長可変干渉フィルター５Ａの概略構成を示す断面図である。
図３１に示す波長可変干渉フィルター５Ａでは、第一基板５１の第二基板５２に対向する面の全面に第一ミラー５４Ａが設けられている。また、第二基板５２の第一基板５１に対向する面の全面に第二ミラー５５Ａが設けられている。このような第一ミラー５４Ａ及び第二ミラー５５Ａとしては、例えば低屈折層と高屈折層とを交互に積層した誘電体多層膜等により構成することができる。
【０１４３】
そして、この波長可変干渉フィルター５Ａには、上述した第一実施形態の波長可変干渉フィルターと同様に、フィルター中心軸Ｏを中心とし、平面視において矩形状となるミラー領域Ｍが設けられている。すなわち、平面視で可動部５２１の内側にミラー領域Ｍが設けられる。
また、第二電極５６６Ｌは、第二ミラー５５Ａ上で、かつ、ミラー領域Ｍを囲って設けられている。なお、第二電極５６６Ｌの形状は、上記第一実施形態から第五実施形態（或いは各変形例）と同様の形状に形成することができ、ミラー領域Ｍを囲う周方向において異なる幅に形成されている。したがって、上述した各実施形態と同様の作用効果を奏することができ、可動部５２１の撓みを抑制することができる。
【０１４４】
（変形例１１）
上述した各実施形態や各変形例において、第一電極５６１は、平面視において、第二電極５６２（５６６Ａ〜５６６Ｌ）と同一形状に形成されて第二電極と重なる位置に設けられるとしたが、これに限定されない。
第一電極５６１は、平面視において少なくとも第二電極５６２（５６６Ａ〜５６６Ｌ）と重なり合う領域に設けられていればよく、例えば第二電極５６２（５６６Ａ〜５６６Ｌ）よりも電極の幅が広く形成されていてもよい。この場合でも、実際に静電アクチュエーター５６として可動部５２１に静電引力を付与する領域は、第二電極５６２（５６６Ａ〜５６６Ｌ）の部分となり、上記各実施形態と同様の効果を奏することができる。
【０１４５】
（変形例１２）
上記各実施形態や変形例において、第二電極の幅が本発明の電極の幅に相当する例を示したが、これに限定されない。すなわち、本発明の電極の幅は、静電アクチュエーター５６として機能する領域の幅を意味しており、当該静電アクチュエーター５６として機能する領域の幅がミラー領域Ｍの周方向において異なる幅であればよい。
図３２は、変形例１２に係る波長可変干渉フィルター５Ｂの断面図である。
図３２の波長可変干渉フィルター５Ｂにおいて、第一基板５１の構成は、例えば図３に示す第一実施形態と同様の構成である。すなわち、第一電極５６１は、長辺幅Ｌａを有する第一長辺電極部５６１Ａ、短辺幅Ｌｂ（Ｌｂ＞Ｌａ）を有する第一短辺電極部５６１Ｂを備える。
一方、この波長可変干渉フィルター５Ｂでは、第二電極５６６Ｍは、第一電極５６１よりも広い幅で形成されている。例えば図３２に示す波長可変干渉フィルター５Ｂでは、第二電極５６６Ｍが、ミラー領域Ｍの外側において、可動部５２１から保持部５２２に亘って形成されている。
このような場合でも、第二基板５２のうち、静電アクチュエーター５６として機能して可動部５２１を第一基板５１側（＋Ｚ側）に引っ張る領域は、平面視において第一電極５６１と重なり合う領域（図３２におけるアクチュエーター領域Ｎ）となって、第一実施形態と同じ領域となる。したがって、上記第一実施形態等と同様の作用効果を奏し、可動部５２１の撓みを抑制することが可能となる。
つまり、本発明における「電極の幅が周方向で異なる」とは、電圧が印加された際に可動部５２１を第一基板５１側に変位させる応力が付与される部分（領域）の幅が周方向で異なることを意味する。したがって、平面視において、ミラー領域Ｍを囲う第一電極５６１の幅が周方向において異なるものをも含む。
（変形例１３）
第八実施形態において、ミラー領域Ｍの±Ｘ側に対応した２つの測定位置ＴＡ，ＴＢを例示したが、例えば±Ｘ側と中央部とに対応した３つの測定位置を設ける等、複数の測定位置を設けてもよい。
また、可動部５２１の長辺（長軸）方向がＸ方向である例を示したが、Ｙ方向を長辺方向としてもよい。この場合、Ｙ方向に並ぶ２つのカラーパッチ８０１を同時に測定することができる。この場合のキャリッジ１３の移動距離は１つ分のカラーパッチ８０１の寸法（＝ＸＣ／２）であるが、Ｙ方向に並ぶ２つのパッチ群８０２を同時に測定できるため、第八実施形態と同様、テストパターン８００の各カラーパッチの分光測定を迅速に行うことができる。
また、第八実施形態における分光器１７では、Ｘ方向において、所定距離を空けて配置される第一検出部１７２Ａと第二検出部１７２Ｂを例示した。これに代えて、例えば、第一通過位置ＭＡ及び第二通過位置ＭＢを通過した光を受光可能で、Ｘ方向の幅がＹ方向の幅が大きい受光領域を有する受光部（イメージセンサー等）を設けてもよい。
【０１４６】
（その他の変形例）
波長可変干渉フィルターとして、入射光から所定波長の光を分光して透過させる光透過型の波長可変干渉フィルターを例示したが、これに限定されない。例えば、波長可変干渉フィルターとして、入射光から所定波長の光を分光して反射させる光反射型の波長可変干渉フィルターを用いてもよい。
【０１４７】
本発明の電極として、第二電極５６２（５６６Ａ〜５６６Ｌ）を例示し、第一電極５６１とともに静電アクチュエーター５６を構成して、可動部を静電引力により変位させる構成を例示したが、これに限定されない。例えば、第二電極に電圧を印加することで、可動部に斥力を作用させるアクチュエーター等であってもよい。
【０１４８】
保持部５２２が、可動部５２１よりも厚み寸法が小さく形成され、可動部５２１をＺ方向に変位可能に保持するダイアフラム形状となる例を示したが、これに限定されない。
例えば、保持部５２２が可動部５２１を同一の厚み寸法に形成されており、例えば、可動部５２１とは異なる素材により構成されて、可動部５２１よりもＺ方向に対する剛性が小さい構成などとしてもよい。
【０１４９】
第七及び第八実施形態において、電子機器の一例として分光カメラ７００及びプリンター１０を例示したが、これに限られない。波長可変干渉フィルター５を備えた電子機器としては、例えば、所望の波長の光を出力する光源装置（例えばレーザー光源装置）や、被測定物の含有成分を分析する分光分析装置等であってもよい。また、マルチプロジェクションシステム等において形成された画像の色度を測定する色度測定装置として用いることもできる。
【０１５０】
その他、本発明の実施の際の具体的な構造は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造等に適宜変更できる。
【符号の説明】
【０１５１】
５，５Ａ，５Ｂ…波長可変干渉フィルター、１０…プリンター（電子機器）、１５…制御ユニット（制御部）、１７…分光器（光学モジュール）３０…受光部、３１…受光領域、５１…第一基板、５２，５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄ，５２Ｅ，５２Ｆ，５２Ｇ，５２Ｈ，５２Ｋ…第二基板、５４，５４Ａ…第一ミラー、５５，５５Ａ，５５Ｅ，５５Ｇ…第二ミラー、５６…静電アクチュエーター、１７１Ａ…第一光源、１７１Ｂ…第二光源、１７２Ａ…第一検出部、１７２Ｂ…第二検出部、１７３…駆動回路部、５２１，５２１Ｅ，５２１Ｆ…可動部、５２１ａ…長辺、５２１ｂ…短辺、５２１ｃ，５２１ｄ…角部、５２１ｅ…第一辺、５２１ｆ…第二辺、５２１ｇ，５２１ｈ…辺、５２２…保持部、５２２Ａ…長辺保持部、５２２Ｂ…短辺保持部、５２２Ｃ…コーナー部、５２２Ｃ１…コーナー突出部、５２３…基板外周部、５２４…接続端子部、５６１…第一電極、５６１Ａ…第一長辺電極部、５６１Ｂ…第一短辺電極部、５６１Ｃ…第一コーナー電極部、５６２，５６６Ａ，５６６Ｂ，５６６Ｃ，５６６Ｄ，５６６Ｅ，５６６Ｆ，５６６Ｇ，５６６Ｈ，５６６Ｉ，５６６Ｊ，５６６Ｋ，５６６Ｌ，５６６Ｍ…第二電極、５６２Ａ…第二長辺電極部、５６２Ａ１…第二内側長辺、５６２Ａ２…第二外側長辺、５６２Ｂ…第二短辺電極部、５６２Ｂ１…第二内側短辺、５６２Ｂ２…第二外側短辺、５６２Ｃ，５６２Ｄ、５６２Ｅ…第二コーナー電極部、５６２Ｄ１…外側突出部、５６２Ｅ１，５６６Ｋ１，５６７Ｄ１…内側突出部、５６３…第一引出電極、５６４…第二引出電極、５６５…第一接続電極、５６６Ｄ１，５６６Ｈ１，５６６Ｊ１…第一部分電極、５６６Ｄ２，５６６Ｈ２、５６６Ｊ２…第二部分電極、５６６Ｄ７，５６６Ｈ３，５６６Ｊ３…電極隙間、
５６７Ｄ…コーナー電極部、５６７Ｅ…第一辺電極部、５６７Ｆ…第二辺電極部、５６７Ｉ１…長辺線状電極、５６７Ｉ２…短辺線状電極、５６７Ｊ…線状電極、５６８…保持電極部、６００…光学デバイス、６１０…筐体、７００…分光カメラ（電子機器）、７０３…駆動回路、７０４…制御部、８００…テストパターン、８０１…カラーパッチ、８０２…パッチ群、Ａ…媒体、Ａｒ１…円形領域、Ａｒ３…矩形領域、Ａｒｚ…不要領域、Ｇ…ギャップ、Ｌａ…長辺幅、Ｌｂ…短辺幅、Ｍ…ミラー領域、ＭＡ…第一通過位置、ＭＢ…第二通過位置、Ｎ…アクチュエーター領域、Ｏ…フィルター中心軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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