(57)【要約】      （修正有）【課題】圧力センサから独立して、レーザ光を用いて配置された半田材料堆積物に対する処理をトリガすることを可能にする。【解決手段】半田材料堆積物(１１)を半田材料タンク（１２）から塗布装置（３３）に別々に運搬する運搬装置（１９）を備え、運搬装置の搬送ホルダは、通路孔として形成され、受取位置から輸送位置Ｐ２に移動されることができる。受取位置で半田材料堆積物は、半田材料タンクから受け取られ、輸送位置において、半田材料堆積物は、圧力ガスに曝され、輸送位置Ｐ２から塗布位置Ｐ３に位置する塗布装置の塗布ノズル（３６）の塗布開口に輸送される。レーザ装置から出射されたレーザ光を用いて、塗布位置に配置された半田材料堆積物に対する処理をトリガするように機能する検出装置（６９）が設けられる。この検出装置は、塗布位置に配置された半田材料堆積物によって反射された反射光（７２）を検出する反射センサ（７０）を有する。【選択図】図２
2019107699.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半田材料堆積物（１１）、特に半田ボールを別々に塗布するための装置（１０）であって、
半田材料タンク（１２）から前記半田材料堆積物を塗布装置（３３）に別々に運搬するための運搬装置（１９）を備え、
前記運搬装置は、搬送ホルダ（１８）を含み、
前記搬送ホルダは、通路孔として形成され、受取位置Ｐ１から輸送位置Ｐ２に移動されることができ、前記受取位置Ｐ１において、前記半田材料堆積物は、前記半田材料タンクから受け取られ、前記輸送位置Ｐ２において、前記半田材料堆積物は、圧力ガスに曝され、前記輸送位置Ｐ２から塗布位置Ｐ３に位置する前記塗布装置の塗布ノズル（３６）の塗布開口に輸送され、
レーザ装置から出射されたレーザ光を用いて、塗布位置Ｐ３に配置された半田材料堆積物に対する処理をトリガするように機能する検出装置（６９）が設けられ、
前記検出装置は、前記塗布位置Ｐ３に配置された前記半田材料堆積物によって反射された反射光（７２）を検出する反射センサ（７０）を有することを特徴とする、装置。
【請求項２】
前記検出装置（６９）は、前記塗布装置（３３）と別体に実現され、カップリング装置（３８）によって前記塗布ノズル（３６）の前記塗布開口（３７）に光学的に連結されていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記カップリング装置（３８）は、前記塗布開口（３７）と前記検出装置（６９）とを光学的に連結するとともに、前記塗布開口と前記レーザ装置とを光学的に連結するように機能することを特徴とする、請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記カップリング装置（３８）は、前記装置のハウジング上部（１４）の上側（１３）に位置する、前記塗布開口（３７）と反対側の前記塗布ダクト（３５）の上端に配置されており、前記塗布開口と前記レーザ装置との間に光学連結を形成するための透明なカップリング面（３９）と、前記半田材料堆積物（１１）によって反射された前記反射光（７２）を前記検出装置に向かって偏向させるためのビーム偏向装置とを有することを特徴とする、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記カップリング面（３９）は、前記ビーム偏向装置により形成されることを特徴とする、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記ビーム偏向装置は、前記レーザ装置と前記塗布開口（３７）との間の光軸（６４）に対して４５°の角度で配置された半透明ミラー（６３）として実現されることを特徴とする、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記検出装置（６９）は、前記塗布ノズル（３６）の前記塗布開口（３７）に配置された前記半田材料堆積物（１１）によって反射された前記反射光（７２）を検出する前記反射センサ（７０）に加えて、前記半田材料堆積物から出射された赤外線を検出する光学式温度センサ（７１）を有することを特徴とする、請求項１から６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
前記温度センサ（７１）は、前記レーザ装置の制御装置に接続され、前記制御装置は、前記温度センサからの出力信号（７７）に応じて、前記レーザ装置の動作を制御することを特徴とする、請求項７に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半田材料堆積物、特に半田ボールを別々に塗布するための装置に関する。本発明の装置は、半田材料タンクから半田材料堆積物を塗布装置に別々に運搬するための運搬装置を備え、運搬装置は、搬送ホルダを含み、搬送ホルダは、通路孔として形成され、受取位置Ｐ１から輸送位置Ｐ２に移動されることができる。受取位置Ｐ１において、半田材料堆積物は、半田材料タンクから受け取られ、輸送位置Ｐ２において、半田材料堆積物は、圧力ガスに曝され、輸送位置Ｐ２から塗布位置Ｐ３に位置する塗布装置の塗布ノズルの塗布開口に輸送される。本発明の装置は、レーザ装置から出射されたレーザ光を用いて、塗布位置Ｐ３に配置された半田材料堆積物に対する処理をトリガするように機能する検出装置を備える。
【背景技術】
【０００２】
冒頭で言及した種類の装置は、ＤＥ−１９５４１９９６−Ａ１から知られている。検出装置として、この装置は、輸送位置Ｐ２に配置された搬送ホルダと塗布ノズルの塗布開口との間に位置する塗布装置内のガス圧を測定する圧力センサを有する。この目的のために、圧力センサは、装置のハウジング内に配置され、ハウジング内に形成された圧力ボアを介して、塗布装置に形成された塗布ダクトに接続され、塗布開口が塗布位置Ｐ３に配置された半田材料堆積物によって閉塞されたときに、塗布ダクト内で形成された正圧を検出する。レーザ処理は、圧力センサによって制御され、半田材料堆積物が塗布位置Ｐ３に配置され且つ塗布開口を閉塞するときの所定の切換圧力に達成するときにトリガされる。
【０００３】
圧力センサによってトリガされるレーザ処理に関する説明から分かるように、圧力センサが圧力ボアを介して塗布ダクトに接続され且つハウジングと一体化される一方、圧力センサを適切に機能させるために、ハウジングまたはハウジング内に実現された塗布装置を十分に密封するように、装置のハウジングの構造を特別に設計する必要がある。圧力センサを適切に機能させるとは、塗布開口が半田材料堆積物によって閉塞される場合、圧力が圧力センサを切換えるのに十分な正の圧力に達することを意味する。圧力センサの使用は、設計を含む広範な構造的な努力が必要され、それに応じて、ハウジングの構造も複雑になる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、圧力センサから独立して、レーザ光を用いて塗布位置に配置された半田材料堆積物に対する処理をトリガすることを可能にすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この目的を達成するために、本発明に係る装置は、請求項１の特徴を有する。
本発明によれば、検出装置は、塗布位置Ｐ３に配置された半田材料堆積物によって反射された反射光を検出する反射センサを有する。
【０００６】
圧力センサを用いてレーザ処理をトリガする公知の装置とは逆に、本発明に係る装置は、半田材料堆積物から反射されたレーザ光を検出する光学センサを使用する。したがって、本発明によれば、溶融エネルギーで半田材料堆積物を処理するためのエネルギー源として使用されるレーザ装置が光学センサの補助によって半田材料堆積物を検出するように、媒体、すなわちレーザ光を同時に提供する。
【０００７】
本発明に係る装置が動作中に、少なくとも２つのパワー設定を有するレーザ装置は、操
作され、第１のパワー設定で比較的低いエネルギー密度を有する所謂パイロットビームを出射する。パイロットビームは、塗布開口内に配置された半田材料堆積物に当たると、反射光を形成する。この反射光は、反射センサにより検出される。反射センサによる反射光の検出によって、半田材料堆積物が塗布位置Ｐ３に配置されていることが明らかになった場合、半田材料堆積物は、第２のパワー設定でレーザ装置からの十分高いパワー密度を有するレーザ光により処理される。このレーザ光は、半田材料堆積物を少なくとも部分的に溶融することができるため、圧力ガスを用いて塗布装置から半田材料堆積物を排出することができる。
【０００８】
好ましい実施形態において、検出装置は、塗布装置と別体に実現され、カップリング装置を介して塗布ノズルの塗布開口に光学的に連結される。これによって、検出装置は、必ずしも装置のハウジング内で実現される必要がなく、装置と別体にして配置することができる。したがって、比較的簡単な方法で、ハウジング、特に塗布装置を設計することができる。
【０００９】
カップリング装置は、塗布開口と検出装置とを光学的に連結するとともに、塗布開口とレーザ装置とを光学的に連結するように機能する場合、複数の機能を行うため、装置の構造をさらに簡略化することができ、特に有利である。
【００１０】
カップリング装置が装置のハウジング上部の上側に位置する塗布ダクトの塗布開口と反対側の上端に配置され、且つ、塗布開口とレーザ装置との間に光学連結を形成するための透明なカップリング面と、半田材料堆積物によって反射された反射光を検出装置に向かって偏向させるビーム偏向装置との両方を有する場合、カップリング装置の構造をコンパクトにする一方、カップリング装置がハウジングの上側に露出するように配置されているため、装置の周囲に検出装置を自由に配置することができる。
【００１１】
カップリング面がビーム偏向装置によって形成された場合、カップリング装置の構造を特に簡単化することができる。特に、ビーム偏向装置のこの二重機能によって、カップリング装置を小型化することができ、装置の重さを望ましく低減することもできる。
【００１２】
ビーム偏向装置をレーザ装置と塗布開口との間の光軸に対して４５°の角度で配置されている半透明ミラーとして実現する場合、上述した二重機能を可能にするビーム偏向装置を特にコンパクトでシンプルな設計で達成することができる。
【００１３】
塗布ノズルの塗布開口内に配置された半田材料堆積物によって反射された反射光を検出する反射センサに加えて、検出装置が、半田材料堆積物から出射された赤外線を検出する光学式温度センサを有することは、特に有利である。光学式温度センサを検出装置と一体化することにより、検出装置は、レーザ装置による半田材料堆積物のレーザ処理をトリガするように機能する上に、半田材料堆積物の温度を確認することもできる。半田材料堆積物の温度を用いて、特に半田材料堆積物の温度と半田材料堆積物の溶融状態との間に確定した実験的相関関係に基づいて、レーザ装置のパラメータを最適に調整することができる。
【００１４】
現場で、すなわち装置の動作中に、特に温度センサがレーザ装置の制御装置に接続され、制御装置が温度センサの出力信号に応じてレーザ装置の動作を制御するような場合、レーザ装置の設定を最適化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】半田材料堆積物を別々に塗布するための装置を示す等大図である。
【図２】図１に示された装置を示す断面図である。
【図３】図２に示された装置の搬送装置を示す上側図である。
【図４】図１および図２に示された装置の装置ハウジングを示す上側図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１および図２は、半田材料堆積物１１を別々に塗布するための装置１０を示している。本ケースにおいて、半田材料堆積物１１は、半田材料ボールとして実現される。半田材料ボールは、装置ハウジング１５のハウジング上部１４の上側１３に配置された半田材料タンク１２に供給のために収容される。半田材料ダクト１７は、ハウジング上部１４において接続口１６（図４）の下方に形成される。図１に示すように、半田材料ダクト１７によって、半田材料堆積物１１は、半田材料タンク１２から搬送ホルダ１８（図３）に流入することができる。搬送ホルダ１８は、運搬装置１９の通路孔として形成されている。運搬装置１９は、円形の運搬ディスクとして形成され、ハウジング上部１４とハウジング下部２０との間に形成された円形の運搬空間２１に配置されている。円形の運搬空間２１を形成するために、ハウジング環２２は、ハウジング上部分１４とハウジング下部２０との間の運搬装置１９に対して同心円状に配置される。
【００１７】
運搬シャフト２４は、ハウジング上部１４に設けられている。図３に示すように、運搬シャフト２４は、その入力端２３でモータ駆動装置（図示せず）と連結し、その出力端２５に設けられた駆動ピン２６が運搬装置１９の係合開口２７と係合することによって、運搬装置１９を回転軸２８の周りに回転駆動することができる。
【００１８】
図３に示すように、運搬装置１９の運搬環２９上に等間隔に配置された搬送ホルダ１８に加えて、運搬装置１９は、制御環３０を備える。本ケースにおいて、制御環３０は、運搬環２９の内側に同心配置され、各々の場合に搬送ホルダ１８と共通する径方向軸５０上に設けられた制御ボア３１を含む。制御ボア３１は、装置ハウジング１５内に配置された遮光装置（図示せず）と相互作用することによって、回転軸２８を中心にした運搬装置１９の円形運搬動作を以下のように時間的に制御することができ、すなわち、搬送ホルダ１８は、運搬装置１９の運搬方向３２に、毎回運搬環２９の目盛ｔで、半田材料タンク１２に接続された半田材料ダクト１７下方の受取位置Ｐ１から前方に移動され、輸送位置Ｐ２に到達する。輸送位置Ｐ２において、搬送ホルダ１８は、供給ダクト４１と同軸または同一平面に位置する。この供給ダクト４１は、ハウジング下部２０に形成され、輸送位置Ｐ２から塗布装置３３に延在し、塗布装置３３の塗布ダクト３５に終結する排出端３４を有する。
【００１９】
図２に示すように、塗布装置３３は、その下端に塗布ノズル３６を有する。塗布ノズル３６は、ハウジング下部２０に交換可能に配置され、本ケースにおいて、半田材料堆積物１１の直径よりも小さい直径を有する塗布開口３７を備える。これによって、輸送位置Ｐ２から塗布ノズル３６に輸送された半田材料堆積物１１は、塗布位置Ｐ３に位置する塗布開口３７の開口縁部に当接する。本ケースにおいて、塗布ノズル３６は、キャップナット６２によってハウジング下部２０にねじ止められている。塗布ノズル３６をハウジング下部２０に連結する時に、シール５８を用いて、塗布ノズル３６をハウジング下部２０に対して密封する。
【００２０】
カップリング装置３８は、塗布ダクト３５の上端に且つ装置ハウジング１５の上側１３に配置されている。カップリング装置３８は、透明なカップリング面３９を備える。このカップリング面３９を介して、レーザ装置（図示せず）から出射されたレーザ光４０を用いて、塗布位置Ｐ３に配置された半田材料堆積物１１を処理することができる。
【００２１】
本ケースの場合、カップリング面３９は、塗布開口３７とレーザ光４０を出射するレーザ装置（図示せず）との間に延在する光軸６４に対して４５°の角度αで配置された半透
明ミラー６３の上側によって形成される。
【００２２】
図２に示された装置の構成において、半田材料堆積物１１は、塗布位置Ｐ３に位置する塗布開口３７に配置している。半田材料堆積物１１は、塗布開口３７の内側開口縁部に当接する。
【００２３】
図２に示すように、ハウジング上部１４の上側１３に位置する、塗布開口３７と反対側の塗布ダクト３５の上端に配置されたカップリング装置３８は、光軸６４と同軸に配置された照射ダクト６５と、光軸６４と垂直に配置された反射ダクト６６とを有する。半透明ミラー６３は、反射ダクト６６と照射ダクト６５との間の交差点Ｓに配置された反射面６７を備える。本発明において、反射面６７は、ミラー６３の底面により形成される。検出装置６９は、光軸に対して９０°の反射角βで配置された反射軸６８上に設けられている。検出装置６９は、反射センサ７０と、温度センサ７１とを備え、本発明の場合、装置ハウジング１５と別体に設けられている。
【００２４】
レーザ装置から出射されたレーザ光４０を用いて塗布位置Ｐ３に配置された半田材料堆積物１１を処理する場合に、レーザ光４０は、半田材料堆積物１１の表面によって少なくとも部分的に反射される。半田材料堆積物１１により反射された反射光７２は、半透明ミラー６３の反射面６７に反射され、反射軸６８に沿って検出装置６９に進入する。検出装置６９において、反射光７２は、レーザ光分離器によって、反射センサ７０に当たる反射センサビーム７３と、温度センサ７１に当たる温度センサビーム７４とに分離される。本ケースにおいて、レーザ光分離器は、半透明ミラー７５として実現される。
【００２５】
装置の動作時に、レーザ装置は、２つのパワー設定で動作される。第１のパワー設定では、レーザ光４０は、比較的低いエネルギー密度を有するパイロットビームとして出射される。このパイロットビームは、塗布位置Ｐ３に配置された半田材料堆積物１１によって反射光７２として反射され、反射センサビーム７３として反射センサ７０に当たる。
【００２６】
反射センサ７０による反射光７２の検出によって、半田材料堆積物１１が塗布位置Ｐ３に配置されていることが明らかになった場合に、レーザ装置は、反射センサからの出力信号７６によりトリガされ、第２のパワー設定に切り替えられる。第２のパワー設定では、レーザ光４０は、増加したエネルギー密度を有する出力光として出射される。出力光は、半田材料堆積物１１を少なくとも部分的に溶融する。温度センサ７１は、反射光７２に含まれた赤外線部分を検出し、対応する出力信号７７を生成する。温度センサの出力信号７７によって、半田材料堆積物１１の温度を確認することができる。たとえば、温度センサの出力信号７７を用いて、レーザ光４０のパワーおよび／またはパルス持続時間を調整することによって、半田材料堆積物１１の所望の温度および所望の溶融状態を達成することができる。
【００２７】
レーザ処理によって少なくとも部分的に溶融された半田材料堆積物１１は、塗布ダクト３５に終結する供給ダクト４１を介して圧力ガスを適用することによって、適用口３７から噴出され、基板５２の接面５１に適用される。
【００２８】
たとえば、圧力ガスの適用は、反射センサ７０によって塗布位置Ｐ３で半田材料堆積物を検出し且つ出力光で半田材料堆積物１１を処理する所定の時間が終了したことに応じて、トリガされるという事実に応じて起こる。
【００２９】
当然ながら、圧力ガスの適用は、温度センサ７１によって半田材料堆積物１１の所定の溶融状態を検出したことに応じて、装置を動作させて行われてもよい。
【００３０】
圧力ガスを適用するために、ハウジング上部１４は、図１および４に示された圧力ガス接続部４２を備える。圧力ガス接続部４２は、圧力ガスダクト４３を介して、半田材料堆積物の収容空間５３に接続される。半田材料堆積物の収容空間５３は、輸送位置Ｐ２上方のハウジング上部１４に形成され、ハウジング下部２０に形成された供給ダクト４１の上端とは反対側に位置する。半田材料堆積物の収容空間５３に配置された半田材料堆積物１１に圧力ガスを適用することによって、半田材料堆積物１１もまた、塗布位置Ｐ３に位置する塗布ノズルの塗布開口３７に搬送される。
【図１】
2019107699.tif 000003
【図２】
2019107699.tif 000004
【図３】
2019107699.tif 000005
【図４】
2019107699.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成31年3月1日(2019.3.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半田材料堆積物（１１）を別々に塗布するための装置（１０）であって、
半田材料タンク（１２）から前記半田材料堆積物を塗布装置（３３）に別々に運搬するための運搬装置（１９）を備え、
前記運搬装置は、搬送ホルダ（１８）を含み、
前記搬送ホルダは、通路孔として形成され、受取位置Ｐ１から輸送位置Ｐ２に移動されることができ、前記受取位置Ｐ１において、前記半田材料堆積物は、前記半田材料タンクから受け取られ、前記輸送位置Ｐ２において、前記半田材料堆積物は、圧力ガスに曝され、前記輸送位置Ｐ２から塗布位置Ｐ３に位置する前記塗布装置の塗布ノズル（３６）の塗布開口に輸送され、
レーザ装置から出射されたレーザ光を用いて、塗布位置Ｐ３に配置された半田材料堆積物に対する処理をトリガするように機能する検出装置（６９）が設けられ、
前記検出装置は、前記塗布位置Ｐ３に配置された前記半田材料堆積物によって反射された反射光（７２）を検出する反射センサ（７０）を含み、
前記レーザ装置は、レーザ光をパイロットビームとして照射する第１のパワー設定と、レーザ光を前記パイロットビームよりも増加したエネルギー密度を有する出力光として照射する第２のパワー設定とで動作され、
前記第１のパワー設定において、前記反射センサ（７０）による前記パイロットビームの反射光の検出によって前記半田材料堆積物（１１）が塗布位置Ｐ３に配置されていることが明らかになった場合に、レーザ装置は、反射センサからの出力信号（７６）によりトリガされ、第２のパワー設定に切り替えられる、装置。
する、装置。
【請求項２】
前記検出装置（６９）は、前記塗布装置（３３）と別体に実現され、カップリング装置（３８）によって前記塗布ノズル（３６）の前記塗布開口（３７）に光学的に連結されていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記カップリング装置（３８）は、前記塗布開口（３７）と前記検出装置（６９）とを光学的に連結するとともに、前記塗布開口と前記レーザ装置とを光学的に連結するように機能することを特徴とする、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記カップリング装置（３８）は、前記装置のハウジング上部（１４）の上側（１３）に位置する、前記塗布開口（３７）と反対側の前記塗布ダクト（３５）の上端に配置されており、前記塗布開口と前記レーザ装置との間に光学連結を形成するための透明なカップリング面（３９）と、前記半田材料堆積物（１１）によって反射された前記反射光（７２）を前記検出装置に向かって偏向させるためのビーム偏向装置とを有することを特徴とする、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記カップリング面（３９）は、前記ビーム偏向装置により形成されることを特徴とする、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記ビーム偏向装置は、前記レーザ装置と前記塗布開口（３７）との間の光軸（６４）に対して４５°の角度で配置された半透明ミラー（６３）として実現されることを特徴とする、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記検出装置（６９）は、前記塗布ノズル（３６）の前記塗布開口（３７）に配置された前記半田材料堆積物（１１）によって反射された前記反射光（７２）を検出する前記反射センサ（７０）に加えて、前記半田材料堆積物から出射された赤外線を検出する光学式温度センサ（７１）を有することを特徴とする、請求項１から６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
前記温度センサ（７１）は、前記レーザ装置の制御装置に接続され、前記制御装置は、前記温度センサからの出力信号（７７）に応じて、前記レーザ装置の動作を制御することを特徴とする、請求項７に記載の装置。
【外国語明細書】
2019107699000001.pdf