(57)【要約】【課題】粒子分散液の体積膨張による不良の発生を抑えた電気泳動装置および電子機器を提供すること。【解決手段】本発明の電気泳動装置１００は、画素領域１０７に、第１の画素１１１と、第１の画素１１１とＸ方向において隣り合う第２の画素１１２と、白色荷電粒子１４７、黒色荷電粒子１４８および分散媒１４５を含む粒子分散液１４０と、第１の画素１１１と第２の画素１１２との間に、第１の画素１１１に沿って、Ｙ方向に延在する隔壁１２１と、第２の画素１１２に沿って、Ｙ方向に延在すると共に、隔壁１２１と離間して設けられた隔壁１２２と、を備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素領域に、
第１の画素と、
前記第１の画素と第１の方向において隣り合う第２の画素と、
複数の粒子および分散媒を含む粒子分散液と、
前記第１の画素と前記第２の画素との間に、
前記第１の画素に沿って、前記第１の方向と交差する第２の方向に延在する第１の隔壁と、
前記第２の画素に沿って、前記第２の方向に延在すると共に、前記第１の隔壁と離間して設けられた第２の隔壁と、を備える電気泳動装置。
【請求項２】
前記第２の方向において、前記第１の画素と隣り合う第３の画素と、
前記第１の画素と前記第３の画素との間に、前記第３の画素に沿って、前記第１の方向に延在する第３の隔壁と、を備え、
前記第１の隔壁と前記第３の隔壁とは、連続して設けられ、
前記第１の画素と前記第３の画素とは、前記第３の隔壁を介して隣り合う、請求項１に記載の電気泳動装置。
【請求項３】
前記第２の方向において、前記第１の画素と隣り合う第３の画素と、
前記第１の画素と前記第３の画素との間に、
前記第３の画素に沿って、前記第１の方向に延在する第３の隔壁と、
前記第１の画素に沿って、前記第１の方向に延在すると共に、前記第３の隔壁と離間して設けられた第４の隔壁と、を備えた、請求項１に記載の電気泳動装置。
【請求項４】
半導体素子が設けられた第１の基板と、
前記第１の基板と第３の方向において対向し、第１の遮光膜を有する第２の基板と、を備え、
前記第１の隔壁および前記第２の隔壁は、それぞれ前記第１の基板と前記第２の基板との間に設けられ、
前記第１の遮光膜は、前記第３の方向において、前記第１の隔壁および前記第２の隔壁ならびに前記第１の隔壁と前記第２の隔壁との間の領域と重なるように設けられた、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の電気泳動装置。
【請求項５】
前記第２の基板は、第２の遮光膜を有し、
前記第２の遮光膜は、前記第３の方向において、前記第３の隔壁および前記第４の隔壁ならびに前記第３の隔壁と前記第４の隔壁との間の領域と重なるように設けられた、請求項３に記載の電気泳動装置。
【請求項６】
前記画素領域を囲むように設けられた額縁隔壁を備えた、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の電気泳動装置。
【請求項７】
前記第２の基板は、前記第１の基板側に封止層を備え、
前記第１の隔壁および前記第２の隔壁と、前記封止層との間に、前記複数の粒子のうちの一部の粒子が配置されている、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の電気泳動装置。
【請求項８】
前記複数の粒子のうちの一部の粒子は、最も粒子径の小さい粒子である、請求項７に記載の電気泳動装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の電気泳動装置を備えた電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、粒子の電気泳動を利用して、画像などを表示する電気泳動装置が知られていた。電気泳動装置は、画面のちらつきが液晶表示装置などと比べて少ないため、電子書籍の表示装置などに用いられている。電気泳動装置の中では、対向する２つの基板と隔壁とで囲まれた領域に、複数の粒子と分散媒とを含む粒子分散液が充填されている構成（以下、「隔壁方式」という。）が、表示領域の視認性に優れている。すなわち、隔壁方式では、他の方式と比べて、表示領域の区画形成が容易であるため、例えば白黒表示の境界が明確になり、精細度が向上する。
【０００３】
このような隔壁方式の電気泳動装置として、例えば、特許文献１には、表示部用壁部と接着用壁部との間に、第１柱状部を備えた構成（表示媒体）が提案されている。また、特許文献２には、隔壁の端部と表示基板の一方の面とで、濃色帯電粒子を挟んで固定する技術が提案されている。さらに、特許文献３および特許文献４には、隔壁の頂部を、対向基板の表面に設けられた封止膜に食い込ませて、隔壁の頂部と封止膜との密着性を向上させる技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２７１５２号公報
【特許文献２】特開２００９−３１６４０号公報
【特許文献３】特開２０１５−１８０６２号公報
【特許文献４】特開２０１５−１３８２２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１から特許文献４に記載の隔壁の構成では、粒子分散液の体積膨張によって、電気泳動装置に不良が発生する場合があるという課題があった。詳しくは、電気泳動装置は、腕時計型を含む様々な電子機器（表示装置）に用いられている。特に、持ち運びが可能な電子機器では、炎天下の自動車内などの高温環境下に放置されることがある。そうすると、粒子分散液に含まれる分散媒の体積膨張によって、２つの基板と隔壁とに囲まれた、粒子分散液が充填された領域（セル）の内圧が高まり、隔壁などに破損が発生する可能性があった。その結果、隣り合うセルが連通して粒子が移動し、コントラスト低下などの不良の原因となることがあった。すなわち、粒子分散液の体積膨張による不良の発生を抑えた電気泳動装置が求められていた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例］本適用例に係る電気泳動装置は、画素領域に、第１の画素と、第１の画素と第１の方向において隣り合う第２の画素と、複数の粒子および分散媒を含む粒子分散液と、第１の画素と第２の画素との間に、第１の画素に沿って、第１の方向と交差する第２の方向に延在する第１の隔壁と、第２の画素に沿って、第２の方向に延在すると共に、第１の隔壁と離間して設けられた第２の隔壁と、を備える。
【０００８】
本適用例によれば、粒子分散液の体積膨張に起因する不良の発生を抑制することができる。詳しくは、第１の画素と第２の画素との間には、互いに離間する第１の隔壁と第２の隔壁とが設けられている。そのため、粒子分散液の体積膨張によって、どちらか一方の隔壁に破損が生じても、他方の隔壁によって、第１の画素と第２の画素とが連通しにくくなる。すなわち、第１の画素と第２の画素との間において、粒子の移動が起きにくくなり、不良の発生を抑えることができる。これにより、粒子分散液の体積膨張による不良の発生を抑えた電気泳動装置を提供することができる。
【０００９】
上記適用例に記載の電気泳動装置は、第２の方向において、第１の画素と隣り合う第３の画素と、第１の画素と第３の画素との間に、第３の画素に沿って、第１の方向に延在する第３の隔壁と、を備え、第１の隔壁と第３の隔壁とは、連続して設けられ、第１の画素と第３の画素とは、第３の隔壁を介して隣り合うことが好ましい。
【００１０】
これによれば、第１の画素と第３の画素との間に、離間した２つの隔壁を設ける場合と比べて、第１の画素と第３の画素との間の距離を小さくすることが可能となる。これにより、画素領域における画素の割合を大きくすることができる。また、第１の画素と第３の画素との間に、第３の隔壁のみを設けることから、電気泳動装置の製造工程において、隔壁の製造を容易にすることができる。また、第１の隔壁と第３の隔壁とが連続して設けられているため、粒子分散液の体積膨張の際の強度を高くすることができ、体積膨張に起因する不良の発生を抑えた電気泳動装置を提供することができる。
【００１１】
上記適用例に記載の電気泳動装置は、第２の方向において、第１の画素と隣り合う第３の画素と、第１の画素と第３の画素との間に、第３の画素に沿って、第１の方向に延在する第３の隔壁と、第１の画素に沿って、第１の方向に延在すると共に、第３の隔壁と離間して設けられた第４の隔壁と、を備えることが好ましい。
【００１２】
これによれば、第１の画素と第３の画素との間には、互いに離間する第４の隔壁と第３の隔壁とが設けられている。そのため、第１の画素と第３の画素との間においても、粒子の移動が起きにくくなって、不良の発生を抑えることができる。これにより、粒子分散液の体積膨張による不良の発生を、さらに抑えた電気泳動装置を提供することができる。
【００１３】
上記適用例に記載の電気泳動装置は、半導体素子が設けられた第１の基板と、第１の基板と第３の方向において対向し、第１の遮光膜を有する第２の基板と、を備え、第１の隔壁および第２の隔壁は、それぞれ第１の基板と第２の基板との間に設けられ、第１の遮光膜は、第３の方向において、第１の隔壁および第２の隔壁ならびに第１の隔壁と第２の隔壁との間の領域と重なるように設けられることが好ましい。
【００１４】
これによれば、電気泳動装置を表示させた場合に、第１の隔壁と第２の隔壁との間から透過または反射される光、および第１の隔壁、第２の隔壁の頂部で反射される光が低減される。そのため、第１の画素および第２の画素と、第１の隔壁、第２の隔壁、ならびにそれらの間の領域と、のコントラストを向上させることができる。
【００１５】
上記適用例に記載の電気泳動装置において、第２の基板は、第２の遮光膜を有し、第２の遮光膜は、第３の方向において、第３の隔壁および第４の隔壁ならびに第３の隔壁と第４の隔壁との間の領域と重なるように設けられることが好ましい。
【００１６】
これによれば、電気泳動装置を表示させた場合に、第３の隔壁と第４の隔壁との間から、透過または反射される光、第３の隔壁、第４の隔壁の頂部で反射される光が低減される。そのため、第１の画素および第３の画素と、第３の隔壁、第４の隔壁、およびそれらの間と、のコントラストを向上させることができる。
【００１７】
上記適用例に記載の電気泳動装置は、画素領域を囲むように設けられた額縁隔壁を備えることが好ましい。
【００１８】
これによれば、画素領域の密閉性が向上するため、水分などの外気の影響を抑えて、電気泳動装置の品質を維持しやすくすることができる。また、電気泳動装置の製造工程において、対向する２つの基板と隔壁とで囲まれた領域へ粒子分散液を充填する際に、画素領域と額縁領域との間を緩衝領域として利用することができる。詳しくは、上記緩衝領域を、対向する２つの基板と隔壁とで囲まれた領域から溢れた粒子分散液の逃げ場として用いることが可能となる。これにより、粒子分散液の充填を容易に行うことができる。
【００１９】
上記適用例に記載の電気泳動装置において、第２の基板は第１の基板側に封止層を備え、第１の隔壁および第２の隔壁と、封止層との間に、複数の粒子のうちの一部の粒子が配置されていることが好ましい。
【００２０】
これによれば、隔壁と封止層との間に、一部の粒子によって空隙が設けられる。該空隙は、粒子分散液を通すことが可能となる。そのため、粒子分散液（分散媒）が体積膨張した場合に、該空隙から第１の隔壁と第２の隔壁との間に流出する。これにより、第１の隔壁および第２の隔壁の破損を低減することが可能となり、不良の発生をさらに抑えることができる。また、第１の隔壁と第２の隔壁とは離間して設けられているため、第１の隔壁と第２の隔壁との間で、流出した分散媒を貯留することができる。
【００２１】
上記適用例に記載の電気泳動装置において、複数の粒子のうちの一部の粒子は、最も粒子径の小さい粒子であることが好ましい。
【００２２】
これによれば、隔壁と封止層との間に、最も粒子径が小さい粒子によって空隙が設けられる。該空隙は、粒子分散液の成分のうち、粒子を通さず、分散媒を通すことが可能となる。そのため、粒子分散液（分散媒）が体積膨張した場合に、分散媒が、該空隙から第１の隔壁と第２の隔壁との間に流出する。これにより、第１の隔壁および第２の隔壁の破損を低減することが可能となり、不良の発生をよりいっそう抑えることができる。
【００２３】
［適用例］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の電気泳動装置を備える。
【００２４】
本適用例によれば、不良の発生が抑制された電気泳動装置を備える電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施形態１に係る電気泳動装置の外観を示す概略図。
【図２】電気泳動装置の構成を示す平面図。
【図３】電気泳動層の構成を示す拡大平面図。
【図４】電気泳動装置の構成を示す部分分解斜視図。
【図５】図３に示すＨ−Ｈ’線に沿う電気泳動装置の側断面図。
【図６】電気泳動装置の電気的な制御機能を示すブロック図。
【図７】電気泳動装置の製造方法を示す工程フロー。
【図８Ａ】電気泳動装置の製造方法を示す模式図。
【図８Ｂ】電気泳動装置の製造方法を示す模式図。
【図８Ｃ】電気泳動装置の製造方法を示す模式図。
【図８Ｄ】電気泳動装置の製造方法を示す模式図。
【図８Ｅ】電気泳動装置の製造方法を示す模式図。
【図８Ｆ】電気泳動装置の製造方法を示す模式図。
【図８Ｇ】電気泳動装置の製造方法を示す模式図。
【図８Ｈ】電気泳動装置の製造方法を示す模式図。
【図８Ｉ】電気泳動装置の製造方法を示す模式図。
【図９】実施形態２に係る電気泳動装置の構成を示す側断面図。
【図１０Ａ】電気泳動装置の製造方法を示す模式図。
【図１０Ｂ】電気泳動装置の製造方法を示す模式図。
【図１１】実施形態３に係る電気泳動層の構成を示す拡大平面図。
【図１２】実施形態４に係る電気泳動層の構成を示す拡大平面図。
【図１３】実施形態５に係る電気泳動装置の構成を示す平面図。
【図１４】実施形態６に係る電気泳動装置の構成を示す側断面図。
【図１５】実施形態７に係る電子機器としての電子ブックの構成を示す概略図。
【図１６】腕時計の構成を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせしめている。また、以下の説明において、例えば基板に対して、「基板上に」との記載は、基板の上に接して配置される場合、基板の上に他の構造物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接して配置され、一部が他の構造物を介して配置される場合のいずれかを表すものとする。
【００２７】
（実施形態１）
本実施形態に係る電気泳動装置の外観および平面の構成について、図１および図２を参照して説明する。図１は、実施形態１に係る電気泳動装置の外観を示す概略図である。図２は、電気泳動装置の構成を示す平面図である。
【００２８】
図１に示すように、本実施形態の電気泳動装置１００は、第１の基板１０１と、第１の基板１０１と対向して、電気泳動層１０３を介して重ねられた第２の基板１０２と、を備えている。
【００２９】
第１の基板１０１および第２の基板１０２は矩形状の平板であって、第１の基板１０１の長辺は、第２の基板１０２の長辺と長さが等しく、第１の基板１０１の短辺は、第２の基板１０２の短辺よりも長さが長い。ここで、第１の基板１０１および第２の基板１０２の厚さ方向（第１の基板１０１から第２の基板１０２へ向かう方向）を正のＺ方向とし、第１の基板１０１および第２の基板１０２において、長辺に沿う方向をＸ方向とし、短辺に沿う方向をＹ方向として説明する。なお、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向は互いに直交している。
【００３０】
電気泳動装置１００を表示装置として用いる場合には、第２の基板１０２における正のＺ方向を向いた面に表示が成される。この面を画像表示面１０２ａとする。また、電気泳動装置１００において、Ｚ方向において画像表示面１０２ａ側から見ることを、以降、「平面視」ということもある。
【００３１】
電気泳動層１０３は、第１の基板１０１と第２の基板１０２とに挟まれて、それらが対向して重ねられた矩形状の領域に設けられている。電気泳動層１０３は、長辺および短辺の長さが第２の基板１０２と略等しく、負のＺ方向側で第１の基板１０１と接し、正のＺ方向側で第２の基板１０２と接している。
【００３２】
第１の基板１０１と第２の基板１０２とは、電気泳動層１０３を介して、一方の長辺と両方の短辺とを互いに合致させて重ねられている。そのため、第１の基板１０１の他方の長辺側において、第１の基板１０１の一部の面が、正のＺ方向側で露出している。この第１の基板１０１の露出している面には、信号分配部１０９が設けられると共に、フレキシブルケーブル１０４が接続されている。フレキシブルケーブル１０４は、電気泳動装置１００の駆動回路（図示せず）に電気的に接続され、駆動回路への電源や第２の基板１０２への駆動信号などが、フレキシブルケーブル１０４を介して供給される。
【００３３】
図２に示すように、電気泳動装置１００は、シール材１０５、額縁隔壁１０６、画素領域１０７を備えている。シール材１０５および額縁隔壁１０６は、第１の基板１０１と第２の基板１０２との間に設けられ、電気泳動層１０３に含まれている。シール材１０５は、電気泳動層１０３（第２の基板１０２）の４辺に沿って、額縁状に設けられている。シール材１０５の形成材料には、例えば、熱硬化性または紫外線硬化性のエポキシ樹脂などの接着剤が採用される。シール材１０５によって、電気泳動層１０３の内側は外部と隔てられるため、水分などの影響を低減することができる。
【００３４】
額縁隔壁１０６は、シール材１０５の内側の４辺に沿って、額縁状に設けられている。額縁隔壁１０６の形成材料としては、後述する粒子分散液の成分によって溶解または変質しにくいものであれば特に限定されない。具体的には、例えば、ポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂（有機高分子化合物）を用いることができる。これらの樹脂は、熱硬化性、紫外線硬化性（感光性）、またはその双方で硬化するものであってもよい。また、樹脂の分子構造中に架橋構造を導入して、粒子分散液に対する耐性を向上させてもよい。本実施形態では、額縁隔壁１０６の形成材料として、ネガ型の感光性（紫外線硬化性）エポキシ樹脂を用いている。ネガ型であることによって、額縁隔壁１０６を容易に形成することができる。
【００３５】
画素領域１０７は、額縁隔壁１０６の内側に設けられている。換言すれば、矩形状の画素領域１０７を囲むように、額縁隔壁１０６およびシール材１０５が設けられている。画素領域１０７には、後述する複数の画素（図示せず）が、Ｘ方向およびＹ方向においてマトリックス状に配置されている。
【００３６】
次に、平面視における電気泳動層１０３の構成について、図３を参照して説明する。図３は、電気泳動層の構成を示す拡大平面図である。なお、図３は、画素領域１０７における、電気泳動層１０３の一部分を平面視で拡大した図である。
【００３７】
図３に示すように、電気泳動装置１００（電気泳動層１０３）は、画素領域１０７に、第１の画素１１１、第２の画素１１２、第３の画素１１３を備えている。第２の画素１１２は、第１の画素１１１に対して、第１の方向としてのＸ方向において隣り合っている。第３の画素１１３は、第１の画素１１１に対して、Ｘ方向と交差する第２の方向としてのＹ方向において隣り合っている。さらに、第２の画素１１２に対して、Ｙ方向において隣り合うように、かつ第３の画素１１３に対して、Ｘ方向において隣り合うように、画素１１４が設けられている。このように、画素領域１０７には、第１の画素１１１、第２の画素１１２、第３の画素１１３、画素１１４を含む複数の画素が、Ｘ方向およびＹ方向にマトリックス状に配置されている。これらの画素は矩形状を成している。
【００３８】
画素領域１０７において、第１の画素１１１を囲んで、額縁状の隔壁１２１が設けられている。第２の画素１１２を囲んで、額縁状の隔壁１２２が設けられている。第３の画素１１３を囲んで、額縁状の隔壁１２３が設けられている。画素１１４を囲んで、額縁状の隔壁１２４が設けられている。ここで、第１の画素１１１、第２の画素１１２、第３の画素１１３、画素１１４などを総称して、以降単に「画素」ということもある。また、隔壁１２１、隔壁１２２、隔壁１２３、隔壁１２４などを総称して、以降単に「隔壁１２０」ということもある。
【００３９】
すなわち、電気泳動装置１００は、第１の画素１１１と第２の画素１１２との間に、第１の画素１１１に沿って、Ｙ方向に延在する第１の隔壁としての隔壁１２１と、第２の画素１１２に沿って、Ｙ方向に延在すると共に、隔壁１２１と離間して設けられた第２の隔壁としての隔壁１２２と、を備えている。ここで、上述したように、隔壁１２１は第１の画素１１１を額縁状に囲んでいる。そのため、隔壁１２１は、第１の画素１１１と第３の画素１１３との間に、Ｘ方向に延在する第４の隔壁も兼ねている。すなわち、電気泳動装置１００は、第１の画素１１１と第３の画素１１３との間に、第３の画素１１３に沿って、Ｘ方向に延在する第３の隔壁としての隔壁１２３と、第１の画素１１１に沿って、Ｘ方向に延在すると共に隔壁１２３と離間して設けられた第４の隔壁としての隔壁１２１と、を備えている。このように、Ｘ方向およびＹ方向にマトリックス状に配置された画素に対応して、隔壁１２０もマトリックス状に設けられている。
【００４０】
隔壁１２０は、第１の基板１０１の、第２の基板１０２と対向する面に設けられている。言い換えれば、隔壁１２０は、第１の基板１０１と第２の基板１０２との間に設けられ、隔壁１２０の頂部が第２の基板１０２と接している。そのため、画素領域１０７は、隔壁１２０によって複数のセルに区画されている。換言すれば、第１の画素１１１、第２の画素１１２、第３の画素１１３、画素１１４などを区画して、隔壁１２０が設けられている。複数のセルのそれぞれには、複数の粒子および分散媒を含む粒子分散液が充填されている。
【００４１】
隔壁１２０と額縁隔壁１０６（図２参照）との間、および隔壁１２０と隔壁１２０との間は空隙であって、これらの空隙には、Ｎ2やＡｒなどの不活性ガスを封入してもよい。また、電気泳動装置１００の製造を減圧下で行って、上記空隙の内圧を大気圧よりも低く設定してもよい。
【００４２】
なお、図３においては、画素を正方形で示したが、画素の形状は正方形に限定されない。また、画素ごとに設けられる、後述する画素電極の平面視での形状も、正方形に限定されない。
【００４３】
次に、電気泳動装置１００における層構成について、図４を参照して説明する。図４は、電気泳動装置の構成を示す部分分解斜視図である。図４では、電気泳動装置１００の一部分を、Ｚ方向に分解して示している。なお、以降の層構成の説明において、正のＺ方向を上方、負のＺ方向の下方ということもある。
【００４４】
図４に示すように、第１の基板１０１は、第１基材１３０、素子層１３１、絶縁膜１３５を含んでいる。第１基材１３０は、矩形状の平板であって、第１の基板１０１の基材である。第１基材１３０の形成材料としては、無機または有機ガラス、セラミック、シリコンなどが挙げられる。第１基材１３０は、画像表示面１０２ａの反対側に配置されるため、これらの形成材料は透明性（光透過性）を有していなくてもよい。本実施形態では、第１基材１３０の形成材料として無機ガラスを用いている。
【００４５】
素子層１３１は、第１基材１３０の上方に設けられている。素子層１３１には、電圧供給線１３７ａ、制御信号線１３７ｂ、貫通電極１３７ｄ、半導体素子１３７などが設けられている。半導体素子１３７は、スイッチング素子としてのトランジスター（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）である。すなわち、第１の基板１０１には、半導体素子１３７が設けられている。
【００４６】
絶縁膜１３５は、素子層１３１の上方に設けられ、有機樹脂膜１３２および窒化珪素膜１３３を含んでいる。素子層１３１から上方に向かって、有機樹脂膜１３２、窒化珪素膜１３３の順に重ねて設けられ、窒化珪素膜１３３（絶縁膜１３５）の上方には、画素電極１３４が設けられている。画素電極１３４は、画素（第１の画素１１１、第２の画素１１２、第３の画素１１３など）ごとに分割されて設けられている。
【００４７】
絶縁膜１３５は、素子層１３１と画素電極１３４とを絶縁する機能を有している。有機樹脂膜１３２は、膜の厚さを大きくすることが可能である。そのため、素子層１３１の上方の面に凹凸がある場合に、その凹凸をならして平坦化することが可能である。すなわち、有機樹脂膜１３２は、素子層１３１の凹凸を平坦化する機能を有している。
【００４８】
窒化珪素膜１３３は、緻密な膜であり、後述する粒子分散液に対して、有機樹脂膜１３２などに含まれる物質の溶出を抑える機能を有している。これにより、粒子分散液の品質の劣化を低減することができる。
【００４９】
貫通電極１３７ｄは、素子層１３１から、絶縁膜１３５を貫通して画素電極１３４と、電気的に接続されている。
【００５０】
素子層１３１の形成材料としては、半導体が形成可能であれば特に限定されず、具体的には、例えば、シリコン、ゲルマニウム、砒化ガリウム、ガリウム砒素リン、窒化ガリウム、炭化珪素などが挙げられる。本実施形態では、素子層１３１の形成材料として、シリコンを用いている。
【００５１】
有機樹脂膜１３２の形成材料としては、絶縁性を有し、形成が容易であれば特に限定されず、公知の樹脂（有機高分子化合物）が採用可能である。本実施形態では、有機樹脂膜１３２の形成材料として、ポジ型の感光性アクリル樹脂を用いている。ポジ型とすることによって、貫通電極１３７ｄを設けるための貫通孔を、容易に形成することが可能となる。
【００５２】
画素電極１３４の形成材料としては、導電性を有していれば特に限定されない。具体的には、例えば、銅、アルミニウム、モリブデン、ニッケル、金、銀、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物：Indium-Tin-Oxide）などの金属またはこれらの積層構造、アルミニウム箔または銅箔上にニッケル膜や金膜などを形成した積層膜などが採用可能である。本実施形態では、画素電極１３４の形成材料としてアルミニウム合金を用いている。
【００５３】
窒化珪素膜１３３および有機樹脂膜１３２の上方には、上述したように隔壁１２０（隔壁１２１，１２２，１２３，１２４など）が設けられている。隔壁１２０によって区画されたセルには、粒子分散液１４０が充填されている。
【００５４】
隔壁１２０の形成材料としては、強度および成形の容易さなどを具備し、粒子分散液１４０によって溶解または変質しにくいものであれば特に限定されない。具体的には、上述した額縁隔壁１０６と同様な形成材料が採用可能である。本実施形態では、隔壁１２０の形成材料として、ネガ型の感光性エポキシ樹脂を用いている。ネガ型であることによって、隔壁１２０の凸形状を容易に形成することができる。
【００５５】
粒子分散液１４０は、分散媒１４５、複数の粒子として、白色荷電粒子１４７および黒色荷電粒子１４８を含んでいる。白色荷電粒子１４７または黒色荷電粒子１４８が、セル内を移動して画像表示面１０２ａ側に集まることによって、電気泳動装置１００の表示が成される。白色荷電粒子１４７および黒色荷電粒子１４８（以降、これらを単に、「粒子」ともいう。）は、分散媒１４５に分散している。ここで、図示した粒子分散液１４０では、図示の便宜上、含まれる粒子の数を実際より少なく表示している。
【００５６】
白色荷電粒子１４７の形成材料は、白色を呈し、帯電可能であって、平均粒子径が０．０５μｍ以上、３μｍ以下の粒子に形成可能であれば、特に限定されない。白色荷電粒子１４７の形成材料として、具体的には、例えば、二酸化チタン、亜鉛華、三酸化アンチモンなどの白色顔料、高分子化合物またはそのコロイドなどが挙げられる。本実施形態では、白色荷電粒子１４７の形成材料として二酸化チタンの粒子を採用し、負に帯電させて用いている。
【００５７】
黒色荷電粒子１４８の形成材料は、黒色を呈し、帯電可能であって、平均粒子径が０．０２μｍ以上、１μｍ以下の粒子に形成可能であれば、特に限定されない。黒色荷電粒子１４８の形成材料として、具体的には、例えば、アニリンブラック、カーボンブラック、酸窒化チタンなどの黒色顔料、高分子化合物またはそのコロイドなどが挙げられる。本実施形態では、黒色荷電粒子１４８の形成材料として酸窒化チタンの粒子を採用し、正に帯電させて用いている。
【００５８】
ここで、本明細書において平均粒子径とは、特にことわりのない限り、体積基準粒度分布（５０％）を指すものとする。平均粒子径は、ＪＩＳ  Ｚ８８２５に記載の動的光散乱法やレーザー回折光法で測定される。測定装置としては、動的光散乱法を測定原理とする粒度分布計（例えば、「マイクロトラックＵＰＡ」日機装社）が採用可能である。
【００５９】
分散媒１４５は、流動性を有し、隔壁１２０などの形成材料によって変質しにくい化合物であれば、特に限定されない。分散媒１４５としては、具体的には、例えば、水、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール、メチルセロソルブなどのアルコール系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル類、ジメチルケトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類、ペンタン、ヘキサン、オクタンなどの脂肪族炭化水素類、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサンなどの脂環式炭化水素類が挙げられる。
【００６０】
分散媒１４５としては、上記の他に、ベンゼン、トルエン、キシレン、長鎖アルキル基が置換されたベンゼン類などの芳香族炭化水素類を用いてもよい。長鎖アルキル基が置換されたベンゼン類としては、ヘキシルベンゼン、ヘプチルベンゼン、オクチルベンゼン、ノニルベンゼン、デシルベンゼン、ウンデシルベンゼン、ドデシルベンゼン、トリデシルベンゼン、テトラデシルベンゼンなどが挙げられる。
【００６１】
また、分散媒１４５としては、ジクロロメタン、トリクロロメタン、テトラクロロメタン、１，２−ジクロロエタンなどのハロゲン化炭化水素類を用いてもよい。さらには、分散媒１４５として、シリコーンオイルなどの油脂類を用いてもよい。上述した分散媒１４５に適用可能な化合物は、１種単独または複数種を混合して用いてもよい。
【００６２】
粒子分散液１４０には、帯電制御剤として、電解質、界面活性剤、金属石鹸、樹脂、ゴム、油脂、ワニス、およびこれらの混合物などを含有させてもよい。また、粒子に対して、チタン系のカップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、シラン系カップリング剤などの分散剤、潤滑剤、安定化剤などを併用してもよい。
【００６３】
電気泳動層１０３の上方（正のＺ方向側）には、第２の基板１０２が配置されている。第２の基板１０２は、画像表示面１０２ａを含む第２基材１５２、共通電極１５３、封止層１５４を有している。第２基材１５２の下方（負のＺ方向側）には、共通電極１５３が設けられ、その下方の、第１の基板１０１側に封止層１５４が設けられている。封止層１５４は、隔壁１２０の頂部と接している。すなわち、封止層１５４、隔壁１２０、絶縁膜１３５で囲まれた領域がセルである。
【００６４】
共通電極１５３は、第１の画素１１１、第２の画素１１２、第３の画素１１３などの複数の画素に亘って設けられている。すなわち、共通電極１５３は、セルを挟んで、複数の画素電極１３４と対向して設けられている。封止層１５４は、セル内の粒子を画像表示面１０２ａから可視化するため、光透過性を有している。
【００６５】
第２基材１５２は、矩形状の平板であって、第２の基板１０２の基材である。第２基材１５２の形成材料としては、強度、光透過性、絶縁性を有していれば特に限定されず、具体的には、例えば、無機または有機ガラスなどが挙げられる。本実施形態では、第２基材１５２として、無機ガラスを用いている。
【００６６】
共通電極１５３は透明導電膜であって、形成材料としては、例えば、ＭｇＡｇ（銀マグネシウム）、ＩＧＯ（Indium-Gallium-Oxide）、ＩＴＯ、ＩＣＯ（Indium-Cerium-Oxide）ＩＺＯ（インジウム・亜鉛酸化物）などが挙げられる。本実施形態では、共通電極１５３の形成材料として、ＩＴＯを用いている。
【００６７】
封止層１５４の形成材料は、柔軟性、光透過性を有していれば特に限定されない。封止層１５４の形成材料としては、具体的には、例えば、アクリロニトリル・ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、ウレタン樹脂、尿素樹脂、尿素−ウレタン樹脂、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、メラミン−ホルムアルデヒド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエステル、ポリスルホンアミド、ポリカーボネート、ポリスルフィネート、エポキシ樹脂、ポリアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸エステルなどのアクリル樹脂、ポリ酢酸ビニル、ゼラチン、フェノール樹脂、ビニル樹脂などが挙げられる。本実施形態では、感光性エポキシ樹脂を用いている。
【００６８】
封止層１５４が粒子分散液１４０と接する面（封止層１５４の下方の面）には、粒子分散液１４０を変質させない、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリスチレン、ポリプロピレンなどの膜を設けてもよい。
【００６９】
次に、電気泳動装置１００における断面の構成について、図５を参照して説明する。図５は、図３に示すＨ−Ｈ’線に沿う電気泳動装置の側断面図である。なお、図５では、第１の画素１１１を含む領域を拡大して示している。
【００７０】
図５に示すように、電気泳動装置１００では、画素電極１３４と共通電極１５３との間に電圧を印加することにより、画像表示面１０２ａに表示が成される。詳しくは、図５は、画素電極１３４に対して、共通電極１５３よりも高い電位を印加した状態を示している。上述したように、画素電極１３４および共通電極１５３は、導電性を有しており、セルに充填された粒子分散液１４０に対して電気的作用を及ぼすことが可能である。そのため、負に帯電された白色荷電粒子１４７が画素電極１３４側に誘引されて集まり、正に帯電された黒色荷電粒子１４８が共通電極１５３側に誘引されて集まっている。これにより、画像表示面１０２ａには、第２の基板１０２側に集まった黒色荷電粒子１４８により、黒色の表示が成される。
【００７１】
画素電極１３４と共通電極１５３との間の電圧を切り替えて、上記とは逆に、画素電極１３４に対して、共通電極１５３よりも低い電位を印加することにより、第２の基板１０２（共通電極１５３）側に白色荷電粒子１４７を誘引して、白色の表示とすることが可能である。さらには、マトリックス状に配置された複数の画素それぞれにおいて、印加する電圧を切り替えることにより、白黒の画像などが表示可能である。
【００７２】
素子層１３１には、半導体素子１３７が設けられている。半導体素子１３７は半導体膜１３７ｅを有している。半導体膜１３７ｅには、ソース領域１３７ｈ、チャネル形成領域１３７ｋ、ドレイン領域１３７ｊが、この順番に並んで形成されている。半導体膜１３７ｅの上方には、ゲート絶縁膜１３７ｆが設けられ、ゲート絶縁膜１３７ｆの上方には、ゲート電極１３７ｇが設けられている。ソース領域１３７ｈには、ソース電極１３７ｎが電気的に接続され、ソース電極１３７ｎには、電圧供給線１３７ａが電気的に接続されている。ドレイン領域１３７ｊには、第１ドレイン電極１３７ｐが電気的に接続され、第１ドレイン電極１３７ｐには、貫通電極１３７ｄが電気的に接続されている。貫通電極１３７ｄは、画素電極１３４と電気的に接続されており、半導体素子１３７は、画素電極１３４と電気的に接続されている。ゲート電極１３７ｇには、制御信号線１３７ｂが電気的に接続されている。
【００７３】
隔壁１２１，１２２などの隔壁１２０は、下方の一部が有機樹脂膜１３２と接合している。上述したように、隔壁１２０の形成材料はエポキシ樹脂であり、有機樹脂膜１３２の形成材料はアクリル樹脂である。隔壁１２０と有機樹脂膜１３２とは樹脂同士の接合であり、どちらか一方が無機材料である場合と比べて、接合の強度を高めることができる。
【００７４】
有機樹脂膜１３２の硬化前の粘度（形成材料の粘度）は、約１５ｍＰａ・ｓ（ミリパスカル秒）であり、隔壁の硬化前の粘度（形成材料の粘度）は、約２０００ｍＰａ・ｓである。そのため、有機樹脂膜１３２は、隔壁１２０と比べて薄く成膜することが容易となる。また、有機樹脂膜１３２は、隔壁１２０と比べて粒子分散液１４０に対して溶出しやすい場合があることから、有機樹脂膜１３２と粒子分散液１４０との間に、有機樹脂膜１３２を覆うように窒化珪素膜１３３が成膜されている。窒化珪素膜１３３によって、有機樹脂膜１３２の損傷や成分の溶出、成分の溶出に起因する粒子分散液１４０の変質などの発生が抑えられる。
【００７５】
隣り合う隔壁１２０の間、例えば、隔壁１２１と隔壁１２２との間には、粒子分散液１４０は充填されていない。そのため、粒子分散液１４０（分散媒１４５）の体積膨張などによって、隔壁１２１，１２２の頂部（上方の端部）と封止層１５４との接触が弱まった場合に、分散媒１４５が隔壁１２１と隔壁１２２との間に流れ出ることができる。すなわち、隣り合う隔壁１２０の間は、分散媒が流出した場合に液溜まりとして機能する。
【００７６】
上述したように、セルとセルとの間には２つの隔壁１２０が離間して設けられている。そのため、粒子分散液１４０の体積膨張などにより一方の隔壁１２０が損傷しても、他方の隔壁１２０によってセル間（画素間）の連通が抑制される。これによって、セル間の連通による粒子分散液１４０の移動を防いで、不良の発生を抑えることができる。
【００７７】
次に、電気泳動装置１００の電気的な制御機能について、図６を参照して説明する。図６は、電気泳動装置の電気的な制御機能を示すブロック図である。
【００７８】
図６に示すように、電気泳動装置１００は、フレキシブルケーブル１０４を介して、制御装置１９０と電気的に接続されて用いられる。制御装置１９０は、入力部１９１、制御部１９３、記憶部１９５、第１波形形成部１９７、第２波形形成部１９９を備えている。
【００７９】
入力部１９１は、電気泳動装置１００に表示される画像などの画像信号を出力する装置（図示せず）と電気的に接続されている。入力部１９１は、制御部１９３と電気的に接続されている。これにより、入力部１９１から、画像信号が制御部１９３に入力される。制御部１９３は、記憶部１９５、第１波形形成部１９７、第２波形形成部１９９とも電気的に接続されている。
【００８０】
制御部１９３は、第１波形形成部１９７、第２波形形成部１９９、および電気泳動装置１００の信号分配部１０９を制御する機能を有している。記憶部１９５には、画像信号の他に、電気泳動装置１００に出力される信号を形成するための情報が記憶される。第１波形形成部１９７は、フレキシブルケーブル１０４、信号分配部１０９、制御信号線１３７ｂを介して半導体素子１３７と電気的に接続され、半導体素子１３７へ画素ごとのデータ信号を出力する。半導体素子１３７は、画素電極１３４と電気的に接続され、データ信号に対応する電圧波形を画素電極１３４に出力する。第２波形形成部１９９は、フレキシブルケーブル１０４、信号分配部１０９を介して共通電極１５３と電気的に接続され、電圧波形を共通電極１５３に出力する。
【００８１】
信号分配部１０９は、半導体素子１３７に駆動信号を分配して、画素電極１３４に出力する電圧波形を切り替える。また、信号分配部１０９は、共通電極１５３に出力する電圧波形を分配する。以上により、画素電極１３４ごとに、共通電極１５３に対して高い、あるいは低い電位をそれぞれ印加することにより、画素ごとに白色または黒色の表示が成される。これにより、画素領域１０７に画像などが形成される。
【００８２】
次に、電気泳動装置１００の製造方法について、図７、および図８Ａから図８Ｉを参照して説明する。図７は、電気泳動装置の製造方法を示す工程フロー図であり、図８Ａから図８Ｉは、電気泳動装置の製造方法を示す模式図である。
【００８３】
図７に示すように、本実施形態の電気泳動装置１００の製造方法は、上部電極設置工程としての工程Ｓ１、素子設置工程としての工程Ｓ２、有機樹脂膜設置工程としての工程Ｓ３、窒化珪素膜設置工程としての工程Ｓ４、下部電極設置工程としての工程Ｓ５、隔壁設置工程としての工程Ｓ６、分散液付与工程としての工程Ｓ７、基板組立工程としての工程Ｓ８を有している。なお、図７に示した工程フローは一例であって、これに限定されるものではない。
【００８４】
工程Ｓ１では、第２基材１５２に、共通電極１５３および封止層１５４を設けて、第２の基板１０２を作製する。まず、第２基材１５２として、無機ガラス板に研削および研磨を施して表面粗さを低減し、所望の厚さ（例えば、約０．５ｍｍ）の第２基材１５２とする。次いで、第２基材１５２の片方の面に、スパッタリング法などの成膜法を用いて、共通電極１５３を設ける。共通電極１５３は、膜厚が約１００ｎｍのＩＴＯ膜とする。成膜されたＩＴＯ膜に、フォトリソグラフィー法およびエッチング法を用い、パターニングを施して共通電極１５３を形成する。
【００８５】
その後、共通電極１５３の表面に、封止層１５４を設ける。封止層１５４の形成には、インクジェット法、オフセット印刷、スクリーン印刷、フレキソ印刷などの凸版印刷法、グラビア印刷などの凹版印刷法などの各種印刷法が採用可能である。これらの他に、スピンコート法、ロールコート法、ダイコート法、スリットコート法、カーテンコート法、スプレーコート法、ダイコート法、ディップコート法などを用いても良い。これにより、図８Ａに示す第２の基板１０２が作製される。次に、工程Ｓ２へ進む。
【００８６】
工程Ｓ２では、第１基材１３０に、素子層１３１を設ける。具体的には、第１基材１３０として、無機ガラス板に研削および研磨を施して表面粗さを低減し、所望の厚さ（例えば、約０．５ｍｍ）の第１基材１３０とする。次いで、第１基材１３０の片方の面に、複数の層を含む素子層１３１を設ける。素子層１３１の形成には、公知の方法が採用可能である。公知の方法としては特に限定されず、以下ではその一例の概略を説明する。
【００８７】
まず、第１基材１３０上に、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法を用いて、ＳｉＯ2（二酸化珪素）の下地絶縁膜１３８を形成する。次いで、下地絶縁膜１３８上に、ＣＶＤ法などを用いて、膜厚が約５０ｎｍの非晶質シリコン膜を成膜する。その後、レーザー結晶化法などを用いて該非晶質シリコン膜を結晶化して、多結晶シリコン膜を形成する。この多結晶シリコン膜を、フォトリソグラフィー法およびエッチング法を用いて島状に加工して、半導体膜１３７ｅとする。
【００８８】
半導体膜１３７ｅおよび下地絶縁膜１３８を覆うように、ＣＶＤ法などを用いて膜厚が約１００ｎｍのＳｉＯ2を成膜して、ゲート絶縁膜１３７ｆとする。ゲート絶縁膜１３７ｆ上に、スパッタリング法などを用いて、膜厚が５００ｎｍのＭｏ（モリブデン）膜を成膜する。その後、Ｍｏ膜を、フォトリソグラフィー法およびエッチング法を用いて島状に加工して、ゲート電極１３７ｇとする。次いで、ゲート電極１３７ｇをマスクとして、イオン注入法を用いて半導体膜１３７ｅへ不純物イオンを注入し、ソース領域１３７ｈ、ドレイン領域１３７ｊ、チャネル形成領域１３７ｋを形成する。そして、ゲート絶縁膜１３７ｆおよびゲート電極１３７ｇを覆うように、ＣＶＤ法などを用いて膜厚が約８００ｎｍのＳｉＯ2を成膜して、第１層間絶縁膜１３１ｍとする。
【００８９】
第１層間絶縁膜１３１ｍに、ソース領域１３７ｈへ達するコンタクトホールと、ドレイン領域１３７ｊへ達するコンタクトホールとを形成する。そして、第１層間絶縁膜１３１ｍ上と、上記コンタクトホール内とに、スパッタリング法などを用いて、膜厚が約５００ｎｍのＭｏ膜を成膜する。このＭｏ膜に、フォトリソグラフィー法およびエッチング法を用いてパターニングを施し、ソース電極１３７ｎ、第１ドレイン電極１３７ｐ、およびその他の配線（図示せず）を形成する。
【００９０】
第１層間絶縁膜１３１ｍ、ソース電極１３７ｎ、第１ドレイン電極１３７ｐ、およびその他の配線を覆うように、膜厚が約８００ｎｍのＳｉ3Ｎ4（窒化珪素）膜を成膜し、第２層間絶縁膜１３１ｒとする。次いで、第２層間絶縁膜１３１ｒに、フォトリソグラフィー法およびエッチング法を用いてパターニングを施し、コンタクトホールを形成する。この状態が、図８Ｂに示されている。次に、工程Ｓ３に進む。
【００９１】
工程Ｓ３では、素子層１３１（第２層間絶縁膜１３１ｒ）上に有機樹脂膜１３２を設ける。具体的には、アクリル樹脂を溶解した溶液を素子層１３１上に塗布し、乾燥させて固化させることにより有機樹脂膜１３２を形成する。上記溶液の塗布方法としては、インクジェット法、オフセット印刷、スクリーン印刷、フレキソ印刷などの凸版印刷法、グラビア印刷などの凹版印刷法などの各種印刷法が採用可能である。これらの他に、スピンコート法、ロールコート法、ダイコート法、スリットコート法、カーテンコート法、スプレーコート法、ダイコート法、ディップコート法などを用いても良い。これらの塗布方法を用いることにより、ＣＶＤ法などの気相法と比べて、有機樹脂膜１３２の膜厚を容易に大きくすることが可能となる。
【００９２】
次に、有機樹脂膜１３２に、フォトリソグラフィー法およびエッチング法を用いてパターニングを施す。このとき、有機樹脂膜１３２の外形を形成する。その後、有機樹脂膜１３２に、エッチング液を用いてエッチングを施し、貫通孔１３２ａを形成する。この状態が、図８Ｃに示されている。次に、工程Ｓ４に進む。
【００９３】
工程Ｓ４では、図８Ｄに示すように有機樹脂膜１３２上に窒化珪素膜１３３を設ける。具体的には、有機樹脂膜１３２上、および貫通孔１３２ａ内に、蒸着法またはＣＶＤ法などの成膜法を用いて、膜厚が約５００ｎｍの窒化珪素膜１３３を成膜する。
【００９４】
次に、窒化珪素膜１３３にパターニングおよびエッチングを施して、窒化珪素膜１３３を画素ごとに独立させて形成する。このとき、貫通孔１３２ａにおいては、第１ドレイン電極１３７ｐを露出させる。また、隔壁を形成する領域へ、開口１３３ａを設ける。エッチングの方法としては特に限定されないが、本実施形態では、ドライエッチング法を用いている。窒化珪素膜１３３の形成には、蒸着法またはＣＶＤ法などの成膜法を用いているため、これら以外の成膜法を用いた場合に比べて、窒化珪素膜１３３は緻密な膜となっている。この状態が、図８Ｅに示されている。次に、工程Ｓ５へ進む。
【００９５】
工程Ｓ５では、窒化珪素膜１３３に貫通電極１３７ｄおよび画素電極１３４などの下部電極を設けて、第１の基板１０１を作製する。具体的には、有機樹脂膜１３２および窒化珪素膜１３３の上、貫通孔１３２ａ内に、スパッタリング法などの成膜法を用いて、膜厚が約５００ｎｍのアルミニウム合金膜を成膜する。その後、該アルミニウム合金膜に、フォトリソグラフィー法およびエッチング法を用いてエッチングを施して、画素電極１３４および貫通電極１３７ｄを形成する。このとき、隔壁を形成する領域では、窒化珪素膜１３３および開口１３３ａを露出させる。上記エッチング法としては特に限定されないが、本実施形態ではドライエッチング法を用いている。この状態が、図８Ｆに示されている。次に、工程Ｓ６へ進む。
【００９６】
工程Ｓ６では、第１の基板１０１上の、開口１３３ａおよび窒化珪素膜１３３を含む領域に隔壁１２０を設ける。図８Ｇは、隔壁１２１，１２２などを含む領域を示している。まず、画素電極１３４上に、隔壁１２０の形成材料として感光性樹脂を塗布する。塗布方法としては、オフセット印刷、スクリーン印刷などの凸版印刷法が採用可能である。他の塗布方法として、スピンコート法、ロールコート法などのコート法を用いてもよい。次いで、塗布された感光性樹脂にフォトリソグラフィー法を用いて隔壁１２０となる部分を硬化させ、現像することで、隔壁１２０となる部分以外を溶解させ、隔壁１２１，１２２などの隔壁１２０を形成する。このとき、それぞれの隔壁１２０を離間させて、また、有機樹脂膜１３２と窒化珪素膜１３３とに接するように形成する。有機樹脂膜１３２から隔壁１２０の頂部までの距離（隔壁１２０の高さ）は、特に限定されないが、本実施形態では約５０μｍとする。この状態が、図８Ｇに示されている。次に、工程Ｓ７へ進む。
【００９７】
工程Ｓ７では、隔壁１２０が設けられた第１の基板１０１に粒子分散液１４０を付与（充填）する。まず、ガラス製ビーカーなどの容器に入れた分散媒１４５に、白色荷電粒子１４７、黒色荷電粒子１４８などを加えて撹拌して、粒子分散液１４０を調製する。次いで、隔壁１２０によって区画された第１の基板１０１へ、ディスペンサーやダイコーターなどの供給装置を用いて粒子分散液１４０を付与する。粒子分散液１４０の付与には、各種印刷法、インクジェット法を用いてもよい。図８Ｈは、セルに粒子分散液１４０が付与された状態を示している。
【００９８】
このとき、セル内への気泡のまき込みなどを抑えるために、粒子分散液１４０を、セルに充填され得る体積以上に付与してもよい。第１の基板１０１に付与された粒子分散液１４０の過剰分は、次工程Ｓ８においてセルから溢れて流出する。本実施形態では、画素を囲んで設けられた隔壁１２０がそれぞれ離間しているため、その離間している領域（空隙）を、流出した粒子分散液１４０の逃げ場（液溜まり）とすることが可能となる。また、隔壁１２０と額縁隔壁１０６（図示せず）との間も、流出した粒子分散液１４０の逃げ場となる。これにより、電気泳動装置１００の製造工程において、粒子分散液１４０の充填量を多めとすることができるため、充填量不足に起因する気泡のまき込みの発生を抑えて、粒子分散液１４０の充填を容易に行うことができる。次に、工程Ｓ８へ進む。
【００９９】
工程Ｓ８では、隔壁１２０の頂部と第２の基板１０２とを接触させ、第１の基板１０１と第２の基板１０２とで電気泳動層１０３を挟んで、電気泳動装置１００を組み立てる。具体的には、図８Ｈに示した状態の第１の基板１０１などを、減圧チャンパ―内に入れる。次いで、隔壁１２０の頂部と、第２の基板１０２の封止層１５４が設けられた面とが接触するように、第１の基板１０１に第２の基板１０２を載置する。その後、減圧チャンバー内を減圧して、第１の基板１０１と第２の基板１０２とを密着させる。このとき、減圧チャンバー内にＮ2やＡｒなどの不活性ガスを供給して、隔壁１２０の間、隔壁１２０と額縁隔壁１０６との間にそれらのガスを充填してもよい。
【０１００】
隔壁１２０の頂部と封止層１５４との接触を維持しながら、封止層１５４に紫外線を照射する。これにより、封止層１５４（感光性エポキシ樹脂）が固化して、隔壁１２０の頂部と封止層１５４とが固定され、電気泳動装置１００が組み立てられる。この状態が、図８Ｉに示されている。このとき、紫外線照射に加えて加熱を施し、封止層１５４の固化を促進してもよい。なお、信号分配部１０９（図１参照）は、第１の基板１０１に対して、工程Ｓ８の前に実装してもよく、工程Ｓ８の後に実装してもよい。以上の工程を経て電気泳動装置１００が製造される。
【０１０１】
以上に述べたように、上記実施形態に係る電気泳動装置１００によれば、以下の効果を得ることができる。
【０１０２】
粒子分散液１４０（分散媒１４５）の体積膨張に起因する不良の発生を抑制することができる。詳しくは、第１の画素１１１と第２の画素１１２との間には、互いに離間する隔壁１２０（隔壁１２１および隔壁１２２）が設けられている。そのため、粒子分散液１４０の体積膨張によって、どちらか一方の隔壁１２０に破損が生じても、他方の隔壁１２０によって、第１の画素１１１と第２の画素１１２とが連通しにくくなる。すなわち、第１の画素１１１と第２の画素１１２との間において、白色荷電粒子１４７および黒色荷電粒子１４８の移動が起きにくくなって、不良の発生を抑えることができる。これにより、粒子分散液１４０の体積膨張による不良の発生を抑えた電気泳動装置１００を提供することができる。
【０１０３】
第１の画素１１１と第３の画素１１３との間にも、互いに離間する隔壁１２０（隔壁１２１および隔壁１２３）が設けられている。そのため、第１の画素１１１と第３の画素１１３との間においても、白色荷電粒子１４７および黒色荷電粒子１４８の移動が起きにくくなって、不良の発生を抑えることができる。これにより、粒子分散液１４０の体積膨張による不良の発生を、さらに抑えることができる。
【０１０４】
額縁隔壁１０６によって画素領域１０７の密閉性が向上するため、水分などの外気の影響を抑えて、電気泳動装置１００の品質を維持しやすくすることができる。また、電気泳動装置１００の製造工程において、セルへ粒子分散液１４０を充填する際に、画素領域１０７と額縁隔壁１０６との間、および離間する隔壁１２０の間を、溢れた粒子分散液１４０の逃げ場（緩衝領域）として用いることが可能となる。これにより、粒子分散液１４０の充填を容易に行うことができる。
【０１０５】
（実施形態２）
本実施形態に係る電気泳動装置における断面の構成について、図９を参照して説明する。図９は、実施形態２に係る電気泳動装置の構成を示す側断面図である。なお、実施形態２の電気泳動装置は、上記実施形態の電気泳動装置１００に対して、隔壁と第２の基板の接触の仕方を異ならせたものである。したがって、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。
【０１０６】
図９に示すように、本実施形態の電気泳動装置２００は、上記実施形態の電気泳動装置１００と同様に、半導体素子１３７が設けられた第１の基板１０１と、第１の基板１０１と対向し、第１の基板１０１側に封止層１５４を有する第２の基板１０２と、第１の基板１０１および第２の基板１０２に挟持される電気泳動層１０３と、を備えている。電気泳動層１０３に含まれる、隔壁１２１，１２２などを含む隔壁１２０は、それぞれ第１の基板１０１と第２の基板１０２との間に設けられている。
【０１０７】
また、電気泳動装置２００では、隔壁１２１および隔壁１２２と、封止層１５４との間に、白色荷電粒子１４７と黒色荷電粒子１４８のうちの、最も粒子径の小さい粒子としての黒色荷電粒子１４８が配置されている。この点が、実施形態１とは異なっている。
【０１０８】
上記粒子径とは、上述した平均粒子径（体積基準粒度分布（５０％））を指す。白色荷電粒子１４７の平均粒子径は０．２μｍであり、黒色荷電粒子１４８の平均粒子径は０．０５μｍである。隔壁１２１，１２２の頂部と封止層１５４との間に、黒色荷電粒子１４８が挟み込まれて、空隙が設けられている。挟み込まれている黒色荷電粒子１４８は、封止層１５４の柔軟性に起因して封止層１５４に浅く埋まっている。そのため、上記の空隙は、黒色荷電粒子１４８の平均粒子径よりも間隔が狭くなっている。したがって、上記空隙は、白色荷電粒子１４７および黒色荷電粒子１４８の通過を抑える一方で、粒子分散液１４０に含まれる分散媒１４５などの液体成分を通過させることが可能となる。
【０１０９】
これにより、上記空隙から分散媒１４５などが隔壁１２１と隔壁１２２との間へ流出しやすくなる。従って、粒子分散液１４０の体積膨張が緩和されて、隔壁１２１，１２２などの破損の発生を低減することができる。なお、隔壁１２１，１２２以外の他の隔壁１２０と、封止層１５４との間にも、同様に黒色荷電粒子１４８が挟み込まれている。
【０１１０】
隔壁１２０と封止層１５４との間に挟み込まれる粒子は、反射率が低い粒子とすることが好ましい。これにより、隔壁１２０の頂部の反射が抑えられて、画像表示面１０２ａにおける表示のコントラストを良好に保つことができる。本実施形態では、挟み込まれる粒子を、白色荷電粒子１４７よりも反射率が低い黒色荷電粒子１４８としている。
【０１１１】
次に、電気泳動装置２００の製造方法について説明する。電気泳動装置２００の製造方法は、上記実施形態における電気泳動装置１００の製造方法に対して、工程Ｓ７（分散液付与工程）および工程Ｓ８（基板組立工程）などが異なっている。具体的には、第１の基板１０１、電気泳動層１０３、第２の基板１０２の組立は、画素電極１３４および共通電極１５３に電圧を印加しながら行う。以下、その詳細について、図１０Ａおよび図１０Ｂを参照して説明する。図１０Ａおよび図１０Ｂは、電気泳動装置の製造方法を示す模式図である。
【０１１２】
予め、第１の基板１０１に、第１電圧印加端子（図示せず）、第２電圧印加端子（図示せず）、および付随する配線などを新たに設けておく。これらの端子および付随する配線などは、封止層１５４と隔壁１２１，１２２などの隔壁１２０との間に、黒色荷電粒子１４８を挟み込ませる際に用いられる。
【０１１３】
第１電圧印加端子は、ダイオード（図示せず）を介して各画素電極１３４に電気的に接続されている。ダイオードは画素電極１３４に電圧印加が可能な向きとする。第２電圧印加端子は、上下導通端子（図示せず）に電気的に接続されている。上下導通端子は、基板組立工程において、銀ペーストを介して共通電極１５３と電気的に接続することが可能である。上記の端子および配線などを付加する他は、上記実施形態と同様にして、上部電極設置工程から隔壁設置工程までを実施する。
【０１１４】
次に、図１０Ａに示すように、分散液付与工程では、隔壁１２０（隔壁１２１，１２２など）が設けられた第１の基板１０１へ粒子分散液１４０を付与する。このとき、隔壁１２０の頂部まで粒子分散液１４０が付与されるように、粒子分散液１４０の付与する量を調節する。すなわち、表面張力によって、粒子分散液１４０の液面が盛り上がる状態まで付与することが好ましい。次に、基板組立工程へ進む。
【０１１５】
基板組立工程では、第２の基板１０２と、第１の基板１０１に付与された粒子分散液１４０の液面とを接触させた状態で、共通電極１５３に画素電極１３４よりも低い電位を印加する。このとき、隔壁１２０（隔壁１２１，１２２など）の頂部と、封止層１５４との距離（間隔）は、白色荷電粒子１４７の平均粒子径より大きくする。これにより、隔壁１２０の頂部と、封止層１５４との間から白色荷電粒子１４７が画素電極１３４（第１の基板１０１）側へ移動しやすくなる。電圧の印加には、上述した第１電圧印加端子（図示せず）および第２電圧印加端子（図示せず）などを用いる。これにより、第２の基板１０２側に黒色荷電粒子１４８が誘引され、第１の基板１０１側に白色荷電粒子１４７が誘引されて、隔壁１２０の頂部にも黒色荷電粒子１４８が誘引されてくる。この状態が、図１０Ｂに示されている。これ以降は、上記実施形態の工程Ｓ８（基板組立）と同様に行うことにより、隔壁１２０と封止層１５４との間に黒色荷電粒子１４８が配置され、電気泳動装置２００が製造される。
【０１１６】
ここで、電気泳動装置２００の使用時には、全ての画素が同電位となることを防ぐため、ダイオード（図示せず）へ逆方向の電圧が印加されるよう、第１電圧印加端子に電圧を印加する。これにより、ダイオードを介して電流がリークすることを抑えることができる。また、第１電圧印加端子、第２電圧印加端子、ダイオードなどを設けずに、基板組立工程の前に、信号分配部１０９（図６参照）などのドライバー回路を形成しておき、基板組立工程では、これらを用いて電圧を印加してもよい。
【０１１７】
以上に述べたように、上記実施形態に係る電気泳動装置２００によれば、実施形態１の効果に加えて以下の効果を得ることができる。
【０１１８】
これによれば、隔壁１２１，１２２を含む隔壁１２０と封止層１５４との間に空隙が設けられる。該空隙は、粒子分散液１４０の成分のうち、白色荷電粒子１４７および黒色荷電粒子１４８を通しにくく、分散媒１４５を通すことが可能となる。そのため、粒子分散液１４０（分散媒１４５）が体積膨張した場合に、分散媒１４５が、該空隙から隔壁１２１と隔壁１２２との間などに流出する。これにより、隔壁１２０の破損の発生を低減することが可能となり、不良の発生をさらに抑えることができる。また、複数の隔壁１２０は互いに離間して設けられているため、隣り合う隔壁１２０の間で流出した分散媒１４５を貯留することができる。
【０１１９】
（実施形態３）
本実施形態に係る電気泳動装置における平面視の構成について、図１１を参照して説明する。図１１は、実施形態３に係る電気泳動層の構成を示す拡大平面図である。なお、実施形態３の電気泳動装置は、実施形態１の電気泳動装置１００に対して隔壁の構成を異ならせたものである。したがって、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。
【０１２０】
図１１に示すように、本実施形態の電気泳動装置３００の電気泳動層３０３は、画素領域３０７に、第１の画素３１１、第２の画素３１２、第３の画素３１３を備えている。第２の画素３１２は、第１の画素３１１に対して、第１の方向としてのＸ方向において隣り合っている。第３の画素３１３は、第１の画素３１１に対して、Ｘ方向と交差する第２の方向としてのＹ方向において隣り合っている。さらに、第２の画素３１２に対して、Ｙ方向において隣り合って、かつ第３の画素３１３に対して、Ｘ方向において隣り合って、画素３１４が設けられている。このように、画素領域３０７には、第１の画素３１１、第２の画素３１２、第３の画素３１３、画素３１４を含む複数の画素が、Ｘ方向およびＹ方向にマトリックス状に配置されている。ここで、第１の画素３１１、第２の画素３１２、第３の画素３１３、画素３１４などを総称して、以降単に「画素」ということもある。
【０１２１】
電気泳動装置３００（電気泳動層３０３）は、第１の画素３１１と第２の画素３１２との間に、第１の画素３１１に沿って、Ｙ方向に延在する第１の隔壁としての隔壁３２１と、第２の画素３１２に沿って、Ｙ方向に延在すると共に、隔壁３２１と離間して設けられた第２の隔壁としての隔壁３２２と、を備えている。また、電気泳動装置３００は、第１の画素３１１と第３の画素３１３との間に、第３の画素３１３に沿って、Ｘ方向に延在する第３の隔壁としての隔壁３２３を備えている。隔壁３２１と隔壁３２３とは、連続して設けられ、第１の画素３１１と第３の画素３１３とは、隔壁３２３を介して隣り合っている。同様にして、第２の画素３１２と画素３１４との間には、画素３１４に沿って、Ｘ方向に延在する隔壁３２４が設けられている。隔壁３２４と隔壁３２２とは、連続して設けられ、第２の画素３１２と画素３１４とは、隔壁３２４を介して隣り合っている。ここで、隔壁３２１、隔壁３２２、隔壁３２３、隔壁３２４などを総称して、以降単に「隔壁３２０」ということもある。
【０１２２】
上記の構成を言い換えれば、Ｘ方向において隣り合う画素間の隔壁３２０は離間し、Ｙ方向において隣り合う画素の隔壁３２０は離間せずに、連続して一体に設けられている。本実施形態は、額縁状の隔壁１２０が画素ごとに離間して設けられていた実施形態１と、この点が異なっている。
【０１２３】
ここで、隔壁３２０が離間せずに、一体に設けられている方向は、Ｘ方向であってもよい。この場合には、Ｙ方向において隣り合う画素の隔壁３２０を、離間させて設ければよい。
【０１２４】
以上に述べたように、上記実施形態に係る電気泳動装置３００によれば、実施形態１の効果に加えて以下の効果を得ることができる。
【０１２５】
第１の画素３１１と第３の画素３１３との間に、離間した２つの隔壁を設ける場合と比べて、第１の画素３１１と第３の画素３１３と間の距離を小さくすることが可能となる。これにより、平面視における隔壁３２０の占有面積を低減して、画素領域３０７における画素の割合を大きくすることができる。また、第１の画素３１１と第３の画素３１３との間に、隔壁３２３のみを設けることから、隔壁の構造が簡略化される。そのため、電気泳動装置３００の製造工程において、隔壁の製造を容易にすることができる。
【０１２６】
（実施形態４）
本実施形態に係る電気泳動装置における平面視の構成について、図１２を参照して説明する。図１２は、実施形態４に係る電気泳動層の構成を示す拡大平面図である。なお、実施形態４の電気泳動装置は、実施形態１の電気泳動装置１００に対して、隔壁と画素の配置を異ならせたものである。したがって、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。
【０１２７】
図１２に示すように、本実施形態の電気泳動装置４００の電気泳動層４０３は、画素領域４０７に、第１の画素４１１、第２の画素４１２、第３の画素４１３などを備えている。第２の画素４１２は、第１の画素４１１に対して、第１の方向としてのＸ方向において隣り合っている。第３の画素４１３は、第１の画素４１１に対して、Ｘ方向と交差する第２の方向としてのＹ方向において隣り合っている。
【０１２８】
さらに、第１の画素４１１は、Ｙ方向で隣り合う第３の画素４１３の反対側で、画素４１５と隣り合い、Ｘ方向で隣り合う第２の画素４１２の反対側で、画素４１７と隣り合っている。また、画素４１７とＹ方向に隣り合って、かつ画素４１５とＸ方向に隣り合って画素４１６が設けられている。すなわち、画素領域４０７には、第１の画素４１１、第２の画素４１２、第３の画素４１３、画素４１５，４１６，４１７を含む複数の画素が、Ｘ方向およびＹ方向にマトリックス状に配置されている。ここで、第１の画素４１１、第２の画素４１２、第３の画素４１３、画素４１５，４１６，４１７などを総称して、以降単に「画素」ということもある。
【０１２９】
電気泳動装置４００（電気泳動層４０３）は、第１の画素４１１と第２の画素４１２との間に、第１の画素４１１に沿って、Ｙ方向に延在する第１の隔壁としての隔壁４２１と、第２の画素４１２に沿って、Ｙ方向に延在すると共に、隔壁４２１と離間して設けられた第２の隔壁としての隔壁４２２と、を備えている。隔壁４２１は、第１の画素４１１が第２の画素４１２および第３の画素４１３と隣り合う辺に沿って設けられている。そのため、隔壁４２１は、Ｙ方向に延在する第１の隔壁と、Ｘ方向に延在する第３の隔壁とを兼ねている。すなわち、電気泳動装置４００は、第１の画素４１１と第３の画素４１３との間に、第３の画素４１３に沿って、Ｘ方向にも延在する第３の隔壁としての隔壁４２３と、第１の画素４１１に沿って、Ｘ方向に延在すると共に、隔壁４２３と離間して設けられた第４の隔壁としての隔壁４２１と、を備えている。ここで、隔壁４２１、隔壁４２２、隔壁４２３などを総称して、以降単に「隔壁」ということもある。
【０１３０】
より詳しくは、Ｘ方向およびＹ方向に２個ずつの画素が配置された、第１の画素４１１、画素４１５，４１６，４１７の４個の画素に対して、これらを囲んで額縁状に隔壁４２１が設けられている。言い換えれば、１個のセルに、第１の画素４１１、画素４１５，４１６，４１７の４個の画素が含まれている。同様にして、額縁状の隔壁４２２は、第２の画素４１２を含む４個の画素を囲んで設けられ、額縁状の隔壁４２３は、第３の画素４１３を含む４個の画素を囲んで設けられている。すなわち、Ｘ方向およびＹ方向に２個ずつの４個の画素が一つの単位となり、それぞれが額縁状の隔壁に囲まれてセルが形成されている。このようなセルが、Ｘ方向およびＹ方向にマトリックス状に配置されている。この点が、実施形態１とは異なっている。また、複数の隔壁は互いに離間して設けられており、この点は実施形態１と同様である。
【０１３１】
本実施形態では、Ｘ方向およびＹ方向に２個ずつの画素が配置された、計４個の画素を１個の隔壁で囲んだ形態を示したが、これに限定されない。額縁状の隔壁に囲まれる画素の数は複数であればよく、画素領域４０７において、隔壁に囲まれる画素の数が異なっていてもよい。
【０１３２】
以上に述べたように、上記実施形態に係る電気泳動装置４００によれば、実施形態１の効果と同等の効果を得ることができる。また、平面視における隔壁の占有面積を低減して、画素領域４０７における画素の割合を大きくすることができる。また、４個の画素に対して、１個の額縁状の隔壁を設けることから、隔壁の構造が簡略化される。そのため、電気泳動装置４００の製造工程において、隔壁の製造を容易にすることができる。
【０１３３】
（実施形態５）
本実施形態に係る電気泳動装置における平面視の構成について、図１３を参照して説明する。図１３は、実施形態５に係る電気泳動層の構成を示す平面図である。なお、実施形態５の電気泳動装置は、実施形態１の電気泳動装置１００に対して、画素領域などの形状を異ならせたものである。したがって、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。また、図１３においては、信号分配部およびフレキシブルケーブルなどの図示を省略している。
【０１３４】
図１３に示すように、本実施形態の電気泳動装置５００は、シール材５０５、額縁隔壁５０６、画素領域５０７を備えている。画素領域５０７は平面視で楕円形であり、画素領域５０７の周囲に設置される額縁隔壁５０６およびシール材５０５も楕円形である。画素領域５０７などが楕円形である点が、実施形態１とは異なっている。
【０１３５】
電気泳動層５０３は、画素領域５０７に、第１の画素５１１、第２の画素５１２、第３の画素５１３を備えている。第２の画素５１２は、第１の画素５１１に対して、Ｘ方向において隣り合っている。第３の画素５１３は、第１の画素５１１に対して、Ｙ方向において隣り合っている。すなわち、画素領域５０７には、第１の画素５１１、第２の画素５１２、第３の画素５１３を含む複数の画素が、Ｘ方向およびＹ方向に配置されている。画素領域５０７に設けられた画素は、矩形状を成している。
【０１３６】
画素領域５０７において、第１の画素５１１を囲んで、額縁状の隔壁５２１が設けられている。第２の画素５１２を囲んで、額縁状の隔壁５２２が設けられている。第３の画素５１３を囲んで、額縁状の隔壁５２３が設けられている。
【０１３７】
すなわち、電気泳動装置５００は、第１の画素５１１と第２の画素５１２との間に、第１の画素５１１に沿って、Ｙ方向に延在する第１の隔壁としての隔壁５２１と、第２の画素５１２に沿って、Ｙ方向に延在すると共に、隔壁５２１と離間して設けられた第２の隔壁としての隔壁５２２と、を備えている。ここで、上述したように、隔壁５２１は第１の画素５１１を額縁状に囲んでいる。そのため、隔壁５２１は、第１の画素５１１と第３の画素５１３との間に、Ｘ方向に延在する第４の隔壁も兼ねている。すなわち、電気泳動装置５００は、第１の画素５１１と第３の画素５１３との間に、第３の画素５１３に沿って、Ｘ方向に延在する第３の隔壁としての隔壁５２３と、第１の画素５１１に沿って、Ｘ方向に延在すると共に隔壁５２３と離間して設けられた第４の隔壁としての隔壁５２１と、を備えている。
【０１３８】
なお、本実施形態では、画素領域５０７が平面視にて楕円形である形態を例示したが、これに限定されない。画素領域５０７の平面視の形状は、円形、多角形、円弧および直線を含む形状であってもよい。また、画素領域５０７の画素の数は適宜変更されてもよい。
【０１３９】
以上に述べたように、上記実施形態に係る電気泳動装置５００によれば、実施形態１の効果と同等の効果を得ることができる。また、画素領域５０７が楕円形であることから、電気泳動装置５００を電子機器に搭載する場合に、そのデザインの種類を増やすことができる。
【０１４０】
（実施形態６）
本実施形態に係る電気泳動装置における断面の構成について、図１４を参照して説明する。図１４は、実施形態６に係る電気泳動装置の構成を示す側断面図である。なお、実施形態６の電気泳動装置は、実施形態２の電気泳動装置２００に対して、第２の基板に遮光膜を設けたものである。したがって、実施形態２と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。
【０１４１】
図１４に示すように、本実施形態の電気泳動装置６００は、第１の基板１０１、第２の基板６０２、電気泳動層１０３を備えている。第２の基板６０２は、画像表示面６０２ａを含む第２基材１５２、第１の遮光膜としての遮光膜６５５、共通電極６５３、封止層１５４を有している。第２基材１５２から第１の基板２０１側に向かって、遮光膜６５５、共通電極６５３、封止層１５４の順に設けられている。
【０１４２】
遮光膜６５５は、第１の基板１０１と第２の基板６０２とが対向する第３の方向としてのＺ方向において、第１の隔壁としての隔壁１２１および第２の隔壁としての隔壁１２２ならびに隔壁１２１と隔壁１２２との間の領域と重なるように設けられている。言い換えれば、遮光膜６５５は、平面視で隔壁１２１，１２２、および隔壁１２１と隔壁１２２との間が隠れるように、隔壁１２１，１２２とＺ方向において対向して設けられている。遮光膜６５５は、隔壁１２１，１２２のみならず、他の隔壁１２０に対しても配置されている。言い換えれば、遮光膜６５５によって、ブラックマトリックスが形成されている。すなわち、図示を省略するが、Ｚ方向において、第３の隔壁としての隔壁１２３および第４の隔壁としての隔壁１２１ならびに隔壁１２３と隔壁１２１との間の領域と重なるように設けられた第２の遮光膜も遮光膜６５５に含まれる。以上の構成により、平面視で隔壁１２０、および隣り合う隔壁１２０の間を含む領域と重なるように、遮光膜６５５が設けられている。
【０１４３】
遮光膜６５５の形成材料としては、特に限定されないが、例えば、低反射クロム、カーボンブラックを含む感光性樹脂などが挙げられる。遮光膜６５５の形成には、公知の技術が採用可能である。例えば、低反射クロムでは、上述したフォトリソグラフィー法およびエッチング法を用いてもよい。遮光膜６５５以外は、実施形態２と同様にして電気泳動装置６００が製造可能である。
【０１４４】
ここで、電気泳動装置６００では、実施形態２の電気泳動装置２００と同様に、隔壁１２０と封止層１５４との間に、黒色荷電粒子１４８が配置されているが、これに限定されない。隔壁１２０と封止層１５４との間には、黒色荷電粒子１４８を配置しなくてもよい。また、白色荷電粒子１４７に代えて、黒色荷電粒子１４８よりも平均粒子径が小さい白色荷電粒子を用いて、該白色荷電粒子を配置してもよい。電気泳動装置６００は、遮光膜６５５を備えることから、黒色荷電粒子１４８を配置しなくても、隔壁１２０頂部の反射を抑えてコントラストを向上させることができる。
【０１４５】
以上に述べたように、上記実施形態に係る電気泳動装置６００によれば、実施形態２の効果に加えて以下の効果を得ることができる。電気泳動装置６００を表示させた場合に、離間して隣り合う隔壁１２０の間から透過または反射される光、および隔壁１２０の頂部で反射される光が低減される。そのため、第１の画素および第２の画素などの画素に黒表示させた時でも、隔壁１２０および隣り合う隔壁１２０の間の反射が抑えられ、コントラストを向上させることができる。
【０１４６】
（実施形態７）
本実施形態に係る電子機器について、図１５を参照して説明する。本実施形態では、電子機器として、電子ブックを例に挙げて説明する。図１５は、実施形態７に係る電子機器としての電子ブックの構成を示す概略図である。
【０１４７】
図１５に示すように、電子ブック１０４０は、板状のケース１０４１を有している。ケース１０４１には、蝶番１０４２を介して蓋部１０４３が設けられている。また、ケース１０４１には、操作ボタン１０４４と表示部１０４５とが設けられている。表示部１０４５には、上記実施形態の電気泳動装置１００（図１参照）が用いられている。すなわち、電子ブック１０４０は、上記実施形態の電気泳動装置１００を備えている。操作ボタン１０４４は、表示部１０４５の表示内容の変更、選択、切り替えなどを操作する機能を有している。
【０１４８】
ケース１０４１の内部には、制御部１０４６と、表示部１０４５を駆動する信号駆動部１０４７とが設けられている。制御部１０４６は、信号駆動部１０４７に表示データを出力すると共に、該表示データをデータ信号に変換させる際のタイミング信号も出力する。信号駆動部１０４７は、表示データからデータ信号を生成して表示部１０４５に出力する。また、制御部１０４６は、信号駆動部１０４７から出力されたデータ信号に同期させた表示制御信号を、表示部１０４５に出力する。
【０１４９】
表示部１０４５は、内部に信号部分分配回路（図示せず）を有している。表示部１０４５は、入力される表示制御信号およびデータ信号から、電気泳動装置１００の表示に必要な信号を生成する。そのため、制御部１０４６が表示部１０４５に出力した表示データに従って、表示部１０４５は表示を行うことが可能である。なお、操作ボタン１０４４による操作指示は、適時信号化されて制御部１０４６に伝達され、制御部１０４６の出力信号に反映される。
【０１５０】
以上の構成により、上記実施形態の電気泳動装置１００を備えていることから、不良の発生が抑制された電子ブック１０４０を提供することができる。
【０１５１】
上記実施形態の電気泳動装置１００は、電子ブック以外の電子機器に採用されてもよい。電子ブック以外の電子機器としては、特に限定されないが、例えば、腕時計などのウェアラブル機器を挙げることができる。以下、ウェアラブル機器の一例として、腕時計の構成について図１６を参照して説明する。図１６は、腕時計の構成を示す概略図である。
【０１５２】
図１６に示すように、腕時計１０５０は、板状のケース１０５１を有している。ケース１０５１は、バンド１０５２を備えている。バンド１０５２を腕に巻いて装着することにより、人体などへ固定することが可能である。ケース１０５１には、操作ボタン１０５３と表示部１０５４とが設けられている。表示部１０５４には、上記実施形態の電気泳動装置１００が用いられている。すなわち、腕時計１０５０は、上記実施形態の電気泳動装置１００を備えている。操作ボタン１０５３は、表示部１０５４の表示内容の変更、選択、切り替えなどを操作する機能を有している。
【０１５３】
ケース１０５１の内部には、腕時計１０５０を制御する制御部１０５５と、表示部１０５４を駆動する信号駆動部１０５６とが設けられている。制御部１０５５は、信号駆動部１０５６に表示データとタイミング信号とを出力する。該タイミング信号には、制御部１０５５から表示部１０５４に直接出力される信号が含まれていてもよい。信号駆動部１０５６は、表示に必要な信号を表示部１０５４へ出力する。これにより、表示部１０５４には、表示データに対応した表示が成される。
【０１５４】
以上の構成により、上記実施形態の電気泳動装置１００を備えていることから、不良の発生が抑制された腕時計１０５０を提供することができる。
【０１５５】
本実施形態では、ウェアラブル機器の一例として腕時計を例示したが、これに限定されない。ウェアラブル機器は、例えば、足首、頭、耳、腰などに装着されるものであってもよい。
【０１５６】
なお、上述した電子機器には、実施形態１の電気泳動装置１００に代えて、実施形態２の電気泳動装置２００や、実施形態３の電気泳動装置３００などの上記実施形態の電気泳動装置を用いてもよい。
【０１５７】
上述した実施の形態は、本発明の一例を説明するものである。また、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、請求の範囲および明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更が可能であり、そのような変更を伴う電気泳動装置、電子機器もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。以下に変形例を述べる。
【０１５８】
（変形例１）
本変形例に係る電気泳動装置は、実施形態２の電気泳動装置２００に対して、隔壁１２０と封止層１５４との間に、白色荷電粒子１４７および黒色荷電粒子１４８のうちの一部の粒子が配置されている。ここで、上記一部の粒子とは、白色荷電粒子１４７の一部であってもよく、黒色荷電粒子１４８および白色荷電粒子１４７の一部であってもよい。最も粒子径の小さい粒子（黒色荷電粒子１４８）が配置されていた電気泳動装置２００とは、この点が異なっている。本変形例の電気泳動装置は、電気泳動装置２００の基板組立工程において、共通電極１５３に印加する電位を、画素電極１３４よりも高くするか、電位を印加せずに行うことで製造することが可能である。
【０１５９】
これによれば、隔壁１２０と封止層１５４との間に、上記一部の粒子によって空隙が設けられる。該空隙は、粒子分散液１４０を通すことが可能となる。そのため、粒子分散液１４０（分散媒１４５）が体積膨張した場合に、該空隙から隣り合う隔壁１２０の間に流出する。これにより、隔壁１２０の破損を低減することが可能となり、不良の発生を抑えることができる。また、隣り合う隔壁１２０は離間して設けられているため、隣り合う隔壁１２０の間で、流出した粒子分散液１４０を貯留することができる。
【０１６０】
（変形例２）
本変形例に係る電気泳動装置は、上記実施形態の白色荷電粒子１４７および黒色荷電粒子１４８に代えて、赤色、緑色、青色などの粒子（荷電粒子）を用いる。これによれば、赤色、緑色、青色などのカラー表示を行うことができる。このような粒子を用いる場合にも、最も平均粒子径の小さい粒子を、封止層１５４と隔壁１２０との間に挟み込ませてもよい。また、粒子分散液１４０に含まれる粒子を１種類（１色）のみとしてもよく、該粒子を封止層１５４と隔壁１２０との間に挟み込ませてもよい。
【０１６１】
（変形例３）
本変形例に係る電気泳動装置では、白色荷電粒子を正に帯電させ、黒色荷電粒子を負に帯電させて用いる。これによれば、画素電極１３４および共通電極１５３に印加する電位を上記実施形態とは逆にすることができる。これにより、バックグラウンドが黒の、ネガ表示を主体とする表示が可能となる。
【０１６２】
（変形例４）
上記実施形態では、電気泳動装置の画素を矩形状としたが、画素の形状を円形、楕円形、多角形、円弧および直線を含む形状としてもよい。これによれば、電気泳動装置またはこれを搭載する電子機器において、表示や外観のデザインの種類を増やすことができる。
【符号の説明】
【０１６３】
１００，２００，３００，４００，５００，６００…電気泳動装置、１０１…第１の基板、１０２，６０２…第２の基板、１０７，３０７，４０７，５０７…画素領域、１０６，５０６…額縁隔壁、１１１，３１１，４１１，５１１…第１の画素、１１２，３１２，４１２，５１２…第２の画素、１１３，３１３，４１３，５１３…第３の画素、１２１，４２１，５２１…第１の隔壁および第４の隔壁としての隔壁、１２２，３２２，４２２，５２２…第２の隔壁としての隔壁、１２３，３２３，４２３，５２３…第３の隔壁としての隔壁、１３７…半導体素子、１４０…粒子分散液、１４５…分散媒、１４７…白色荷電粒子、１４８…黒色荷電粒子、３２１…第１の隔壁としての隔壁、６５５…第１の遮光膜および第２の遮光膜としての遮光膜、１０４０…電子機器としての電子ブック、１０５０…腕時計。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図８Ｅ】
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【図８Ｆ】
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【図８Ｇ】
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【図８Ｈ】
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【図８Ｉ】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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