(57)【要約】【課題】複数の液晶パネルが形成されたガラス母材から液晶パネルの端面を傷つけることなく切断することが可能な液晶パネル製造方法を提供する。【解決手段】液晶パネル製造方法は、改質ライン形成ステップ、補助ライン形成ステップ、エッチングステップ、第１の切断ステップおよび第２の切断ステップを少なくとも含む。第１の切断ステップは、液晶パネル１０の周縁部において額縁部４０を残すように矩形状液晶パネル１０１に切断する。第２の切断ステップは、改質ライン形成ステップおよび補助ライン形成ステップにおいて形成された改質ライン２０および補助ライン２２に沿って押圧器具６０を押し当てることで矩形状液晶パネル１０１を切断する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アレイ基板およびカラーフィルタ基板を貼り合せてなる液晶パネルを多面取りするための多面取り用ガラス母材から所定形状の液晶パネルを複数得るための液晶パネル製造方法であって、
前記アレイ基板および前記カラーフィルタ基板に対して、液晶パネルの形状に対応する形状切断予定線に沿って形成される改質ラインであって、他の箇所よりもエッチングされ易い性質を有する改質ラインを形成する改質ライン形成ステップと、
前記形状切断予定線から外側に向かって延在するように形成される補助ラインであって、他の箇所よりもエッチングされ易い性質を有する補助ラインを形成する補助ライン形成ステップと、
前記アレイ基板および前記カラーフィルタ基板において切断されないようにしつつ、エッチング処理を行うエッチングステップと、
前記液晶パネルの周縁部において額縁部を残すように前記多面取り用ガラス母材を矩形状液晶パネルに切断する第１の切断ステップと、
前記補助ラインおよび前記改質ラインに沿って前記矩形状液晶パネルを押圧する第２の切断ステップと、
を少なくとも含む液晶パネル製造方法。
【請求項２】
前記第１の切断ステップは、前記補助ラインが前記矩形状液晶パネルの端面に接するように切断することを特徴とする請求項１に記載の液晶パネル製造方法。
【請求項３】
前記補助ラインは、前記液晶パネルに対して２つ以上形成されることを特徴とする請求項１または２に記載の液晶パネル製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アレイ基板およびカラーフィルタ基板を貼り合せてなる液晶パネルを多面取りするための多面取り用ガラス母材から所定形状の液晶パネルを複数得るための液晶パネル製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、液晶パネルの製造時には、１組のガラス母材で同時に複数の液晶パネルを製造し、その後にガラス母材を単個の液晶パネルに分断するという手法（いわゆる多面取り）が広く採用されてきた。そして、ガラス母材を分断する際には、スクライブブレーク、レーザアブレーション加工、エッチング処理といった手法が用いられることが多かった。
【０００３】
ところが、スクライブブレークを採用した場合には、丸みを持った輪郭を有するガラスパネルや切欠き部を備えたガラスパネル等の矩形形状以外の液晶パネルを加工することが困難であった。また、レーザアブレーション加工では、加工速度が遅かったり、アブレーションデブリによる汚損が生じたりするといった不具合が発生し易かった。また、このような機械加工や熱加工は、端面に傷やカケが発生しやすく、液晶パネルの強度低下の要因となっていた。
【０００４】
一方、エッチング処理は、複雑な形状に対応することが可能であり、液晶パネルの強度低下といった問題も発生しない。しかし、液晶パネルの電極端子部に何ら保護を施さないまま処理を行うと、分断後に電極端子部がエッチング液に曝されて汚損してしまう。このため、電極端子部を保護するための処理を行わなくてはならず、生産効率が低下していた。
【０００５】
そこで、従来、多面取り用ガラス母材をエッチング処理やレーザ処理の組み合わせにより分断することによって複数のガラスパネルを得る技術が注目されるようになってきた（例えば、特許文献１参照）。この方法では、レーザによりガラス母材の内部に改質領域を形成した後に、エッチング処理を行うことで改質領域に溝状の切断予定領域を形成している。その後、切断予定領域に外力を加えることで、液晶パネルを分断していた。複数の処理を組み合わせることで、強度を維持しつつ、複雑な形状の液晶パネルにも対応することが可能であるとされていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−０２３０５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述の切断処理では、エッチング処理後に外力を加えることで液晶パネルを分断しているが、分断処理の際に、液晶パネルの端面がガラス母材に引っかかってしまうことがあり、作業効率が低下することがある。また、液晶パネルの端面がガラス母材の端部と接触することによって傷やカケが発生してしまうと、液晶パネルの強度低下の要因となってしまうといった問題があった。
【０００８】
本発明の目的は、液晶パネルの端面を傷つけることなくガラス母材からスムーズに取り外すことが可能な液晶パネル製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る液晶パネル製造方法は、アレイ基板およびカラーフィルタ基板を貼り合せてなる液晶パネルを多面取りするための多面取り用ガラス母材から所定形状の液晶パネルを複数得るための液晶パネル製造方法であって、少なくとも改質ライン形成ステップ、補助ライン形成ステップ、エッチングステップ、第１の切断ステップおよび第２の切断ステップを含んでいる。
【００１０】
改質ライン形成ステップでは、アレイ基板およびカラーフィルタ基板に対して、液晶パネルの形状に対応する形状切断予定線に沿って形成される改質ラインであって、他の箇所よりもエッチングされ易い性質を有する改質ラインを形成する。改質ラインを形成する手法の代表例としては、ピコ秒レーザまたはフェムト秒レーザによるフィラメント加工が挙げられる。改質ラインの幅は、概ね１０μｍ以下に設定することが好ましい。
【００１１】
補助ライン形成ステップでは、形状切断予定線から外側に向かって延在するように形成される補助ラインを形成する。補助ラインは、改質ラインと同様に他の箇所よりもエッチングされ易い性質を有する。補助ラインを形成する手法の例としては、改質ラインの形成と同様にレーザを用いたフィラメント加工が挙げられる。
【００１２】
エッチングステップでは、アレイ基板およびカラーフィルタ基板に対して、形状切断予定線において切断されないようにしつつ、エッチング処理を行う。改質ラインおよび補助ラインにおいては、その他の領域よりもエッチングが進行しやすいため、溝部が形成される。エッチング処理が進行するにつれて、形状切断予定線において溝部等が厚み方向に貫通してしまうことがあるため、１０μｍ／分以下の遅いエッチングレートにて形状切断予定線および補助ラインを形成した領域の状態を確認しつつエッチング処理を行うことが好ましい。
【００１３】
第１の切断ステップでは、液晶パネルの周縁部において額縁部を残すように多面取り用ガラス母材を矩形状液晶パネルに切断する。第１の切断ステップでは、液晶パネルの輪郭がどのような形状であっても、矩形状に切断すれば良いので、スクライブ装置等を利用して容易に行うことが可能である。
【００１４】
第２の切断ステップでは、補助ラインおよび改質ラインに沿って矩形状液晶パネルを押圧する。エッチング処理後には、改質ラインおよび補助ラインにおいて実質的にほぼ切断された状態になっている。このため、押圧力を加えることでエッチング処理によって改質ラインおよび補助ラインにおいて形成された溝の底部から液晶パネルの厚み方向に亀裂が進行し、液晶パネルの形状切断予定線に沿って分断処理を行うことが可能になる。この際、最初に補助ラインにおいて押圧力を加えることで、矩形状液晶パネルに対してスムーズに亀裂を形成させることができるので、液晶パネルの端面が額縁部に対して接触することなく切断することが可能になる。
【００１５】
本発明においては、形状切断予定線を予めエッチングされ易いように改質した後にエッチング処理で溝部の形成を行うため、溝部に対して押圧力を加えることで複雑な形状の液晶パネルであっても、容易に母材から切断することができる。さらに、いきなり形状切断予定線に沿って液晶パネルを分断するのではなく、補助ラインにおいて形成された亀裂から形状切断予定線に対して亀裂を繋げることで、形状切断予定線に沿った亀裂の形成が容易になる。
【００１６】
また、第１の切断ステップは、矩形状液晶パネルの端面に補助ラインが接するように切断することが好ましい。このように切断することによって、第２の切断ステップにおいて、矩形状液晶パネルの端面から亀裂を進行させることができるので、切断処理の起点となる亀裂の形成がさらに容易になる。
【００１７】
また、補助ラインは、液晶パネルに対して２つ以上形成されることが好ましい。液晶パネルの輪郭形状が複雑な形状である場合、形状切断予定線において亀裂が適切に形成されずに完全に分断できないことがある。補助ラインが液晶パネルに対して複数形成されていると、分断されていない領域に対しても、他の補助ラインから亀裂を進行させることで、切断処理が容易になる。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、液晶パネルの製造において、端面を傷つけることなくガラス母材から液晶パネルをスムーズに取り外すことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る液晶パネルの概略構成を示す図である。
【図２】複数の液晶パネルを含む多面取り用ガラス母材の概略構成を示す図である。
【図３】多面取り用ガラス母材に対するレーザ加工の概略を示す図である。
【図４】本発明に適用されるエッチング装置の一例を示す図である。
【図５】本発明に適用されるエッチング処理のバリエーションを示す図である。
【図６】多面取り用ガラス母材に対するエッチング処理の概略を示す図である。
【図７】多面取り用ガラス母材を矩形状液晶パネルに分断する処理の概略を示す図である。
【図８】矩形状液晶パネルから液晶パネルを切断する処理の概略を示す図である。
【図９】複数の液晶パネルを備えた矩形状液晶パネルの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１（Ａ）は、本発明の一実施形態に係る液晶パネル１０の概略構成を示している。同図に示すように、液晶パネル１０は、略八角形状を呈しており、アレイ基板１２およびカラーフィルタ基板１４が液晶層を挟んで貼り合わされるように構成されている。アレイ基板１２およびカラーフィルタ基板１４の構成は、公知の構成と同様の構成が採用可能であるため、ここでは説明を省略する。
【００２１】
アレイ基板１２は、カラーフィルタ基板１４と貼り合わされる領域から延び出すように設けられた電極端子部１２２を有している。電極端子部１２２には、複数の電気回路が接続され、液晶パネル１０と、それらの電気回路とが筐体に収納されることによって、例えば、図１（Ｂ）に示すような腕時計型デバイス１００が構成される。このような腕時計型デバイス１００は、デザイン性の向上のために、従来の矩形型の液晶パネルではなく、意匠性の高い液晶パネルが使用されることが多い。
【００２２】
続いて、液晶パネル１０を製造する方法の一例について説明する。図２（Ａ）および図２（Ｂ）に示すように、一般的に、液晶パネル１０は、これを複数含んだ多面取り用ガラス母材５０として製造され、多面取り用ガラス母材５０を分断することによって、単個の液晶パネル１０が得られる。この実施形態では、便宜上、９つの液晶パネル１０が３行３列のマトリクス状に配置された多面取り用ガラス母材５０に対する処理について説明するが、多面取り用ガラス母材５０に含まれる液晶パネル１０の数は適宜増減することが可能である。各液晶パネル１０は、それぞれ一定の間隔を空けて配置されており、液晶パネル１０が配置されている領域以外は、最終製品としては使用されない領域である。
【００２３】
多面取り用ガラス母材５０は、図３（Ａ）〜図３（Ｃ）に示すように、液晶パネル１０の形状に対応する形状切断予定線に沿って改質ライン２０が形成される。この改質ライン２０は、例えば、ピコ秒レーザまたはフェムト秒レーザ等のパルスレーザから照射される光ビームパルス（ビーム径は１〜５μｍ程度）によって形成される複数のフィラメント層を配列したフィラメントアレイである。ピコレーザからの光ビームは、少なくともアレイ基板１２およびカラーフィルタ基板１４の両方の基板を含む範囲よりも深い焦点深度を備えている。このため、アレイ基板１２およびカラーフィルタ基板１４の両方の基板において液晶パネル１０を分断するための改質ライン２０が同時に形成される。改質ライン２０は、液晶層やアレイ基板１２とカラーフィルタ基板１４を貼り合わせているシール材等に熱影響を与えない範囲で、アレイ基板１２およびカラーフィルタ基板１４の板厚方向の全域にわたって形成される。本実施形態では、液晶パネル１０の外形が略八角形を呈しているが、液晶パネルの形状は特に限定されず、切欠き部等の複雑な形状や丸みを帯びた形状を有していても良い。
【００２４】
原則として、アレイ基板１２およびカラーフィルタ基板１４の両方の基板を同時に１つのレーザによって処理することが可能であるが、これによって液晶層に不具合が生じる場合には、アレイ基板１２側からアレイ基板１２のみに改質ライン２０を形成し、カラーフィルタ基板１４側からカラーフィルタ基板１４のみに改質ライン２０を形成するようにすることで、液晶層における不具合の発生を抑制し易くなる。
【００２５】
この実施形態では、改質ライン２０は、図３（Ｃ）に示すような、複数の貫通孔または改質層を有するミシン目状を呈している。改質ライン２０は、多面取り用ガラス母材５０における他の箇所よりもエッチングされ易い性質を有している。もちろん、改質ライン２０の形状は、図３（Ｃ）に示すような形状には限定されるものではなく、これ以外の形状を呈するものであっても良い。
【００２６】
続いて、その一端が形状切断予定線から延在するような補助ライン２２を形成する。補助ライン２２は、改質ライン２０と同様に光ビームパルスによって形成されるフィラメントアレイである。補助ライン２２の形成方法や性質は、上述の改質ライン２０と同様であるため、詳細な説明は省略する。補助ライン２２は、改質ライン２０と同様に、アレイ基板１２およびカラーフィルタ基板１４に対して形成される。
【００２７】
補助ライン２２は、図３（Ａ）に示すように、その一端が形状切断予定線から延在するように形成される。補助ライン２０は、少なくとも形状切断予定線の外側の非製品領域に形成される。補助ライン２２を形成することで、後述の第２の切断ステップにおいて液晶パネル１０を多面取り用ガラス母材５０から分離する際に切断の起点となり、液晶パネル１０の切断処理が容易になる。補助ライン２２は、１つの液晶パネル１０に対して２つ以上形成されることが好ましい。本実施形態では、１つの液晶パネル１０に対して、２つの補助ライン２２が液晶パネル１０の対角線上に形成されている。なお、補助ライン２２は、改質ライン２０と同時に形成しても、改質ライン２０とは別に形成しても良い。
【００２８】
また、補助ライン２２から、他の形状切断予定線に対して延出する補助ライン２２１を形成する。この補助ライン２２１は、補助ライン２２から他の形状切断予定に沿った方向に向かって形成される。補助ライン２２１の他端は、形状切断予定線に接続される必要はないが、多面取り用ガラス母材５０の板厚以上に離間させることは好ましくない。板厚以上に離間させると、後述する第２の切断ステップにおける切断処理における液晶パネル１０の切断処理において、亀裂の形成に支障をきたすおそれがある。
【００２９】
改質ライン２０、補助ライン２２および補助ライン２２１が形成された多面取り用ガラス母材５０は、図４に示すエッチング装置３００に導入され、フッ酸および塩酸等を含むエッチング液によってエッチング処理が施される。エッチング装置３００では、搬送ローラによって多面取り用ガラス母材５０を搬送しつつ、エッチングチャンバ内で多面取り用ガラス母材５０の片面または両面にエッチング液を接触させることによって、多面取り用ガラス母材５０に対するエッチング処理が行われる。なお、エッチング装置３００におけるエッチングチャンバの後段には、多面取り用ガラス母材５０に付着したエッチング液を洗い流すための洗浄チャンバが設けられているため、多面取り用ガラス母材５０はエッチング液が取り除かれた状態でエッチング装置３００から排出される。
【００３０】
多面取り用ガラス母材５０にエッチング液を接触させる手法の一例として、図５（Ａ）に示すように、エッチング装置３００の各エッチングチャンバ３０２において、多面取り用ガラス母材５０に対してエッチング液をスプレイするスプレイエッチングが挙げられる。また、スプレイエッチングに代えて、図５（Ｂ）に示すように、オーバーフロー型のエッチングチャンバ３０４において、オーバーフローしたエッチング液に接触しながら多面取り用ガラス母材５０が搬送される構成を採用することも可能である。
【００３１】
さらには、図５（Ｃ）に示すように、エッチング液が収納されたエッチング槽３０６に、キャリアに収納された単数または複数の多面取り用ガラス母材５０を浸漬されるディップ式のエッチングを採用することも可能である。
【００３２】
いずれの場合であっても、エッチング処理中に、形状切断予定線（改質ライン２０に対応）が厚み方向に貫通して、多面取り用ガラス母材５０が分断してしまわないようにすることが重要である。特に、電極端子部１２２は、切断予定線において改質ライン２０が貫通してしまうと、エッチング液によって汚損してしまうため、エッチング液の浸入を防止することが重要になる。このため、エッチング処理中（特にエッチング処理の後半部分）においては、エッチングレートを遅くして、エッチング量を正確に制御する必要がある。この実施形態では、２重量％以下の薄いフッ酸によって、１０μｍ／分以下の遅い速度にてエッチング処理が進行するようにしているが、この手法に限定されるものではない。
【００３３】
エッチング処理の全体においてエッチングレートを遅くするのではなく、当初は速めのエッチングレートを採用しつつ段階的に遅くしていくようにすれば、エッチング処理の時間を短縮することが可能である。例えば、エッチング装置３００の後段に進むにつれてエッチング液におけるフッ酸濃度を１〜１０重量％程度の範囲内で順次低下させるような構成を採用すると良い。
【００３４】
多面取り用ガラス母材５０がエッチング装置３００を通過すると、多面取り用ガラス母材５０の板厚が所望の厚さまで薄型化される。改質ライン２０および補助ライン２２では、他の箇所よりも速くエッチング液が浸透し、このラインに沿ってガラスが溶解されることによって、切断予定溝２６が形成される。切断予定溝２６は、通常のエッチング処理で形成された溝とは異なり、板厚方向においてエッチング量が多くなるため、液晶パネル１０の配置間隔が狭い場合も、切断予定溝２６を形成し易い。また、レーザ照射時においてアレイ基板１２およびカラーフィルタ基板１４の内部にキズ等が発生していた場合であっても、このキズが消失し易くなる。なお、図６に示すように、アレイ基板１２およびカラーフィルタ基板１４における切断予定溝２６の下部には、レーザによる改質領域（改質ライン２０または補助ライン２２）が存在している。この改質領域の厚さは、少なくとも１００μｍ以下であることが好ましく、１００μｍよりも厚くなるなと、液晶パネルの切断処理が困難になる。
【００３５】
多面取り用ガラス母材５０において、エッチングにより切断予定溝２６を形成することにより、改質ライン２０においてわずかな機械的圧力のみで液晶パネル１０を分割することができる。しかしながら、液晶パネル１０を多面取り用ガラス母材５０から取り外す際に、液晶パネル１０の端面が多面取り用ガラス母材５０に引っかかってしまい、好適に取り外すことができないことがあった。また、無理に取り外そうとすると、液晶パネル１０の端面に傷やカケが発生するおそれもあった。このため、第１の切断ステップと第２の切断ステップによって、多面取り用液晶パネル５０から液晶パネル１０を切断する。
【００３６】
ここから、図７および図８を用いて液晶パネル１０の切断工程について説明する。まず、多面取り用ガラス母材５０を矩形状液晶パネル１０１に切断する第１の切断ステップについて説明する。第１の切断ステップは、各液晶パネル１０の間の非製品領域を切断することによって多面取り用ガラス母材５０を矩形状液晶パネル１０１に切断する。矩形状液晶パネル１０１は、液晶パネル１０の周縁部に非製品領域である額縁部４０を有している。多面取り用ガラス母材５０の切断は、例えば、公知のスクライブ装置を使用して行うことができる。この第１の切断ステップにおける切断領域は、非製品領域であるため、液晶パネル１０が破損することはない。また、矩形状液晶パネル１０１に切断する際は、液晶パネル１０の外形形状に沿った形状にする必要はなく、直線状に切断すれば良い。矩形状液晶パネル１０１に切断する際は、補助ライン２２が矩形状液晶パネル１０１の端面に接続するように切断する。矩形状液晶パネル１０１の端面に補助ライン２２の一端が接続されることによって、後述する第２の切断ステップにおける切断処理が容易になる。
【００３７】
第２の切断ステップは、矩形状液晶パネル１０１の改質ライン２０に対して押圧力を加えることによって液晶パネル１０を取り出す工程である。第２の切断ステップの一例としては、図８（Ａ）および図８（Ｂ）に示すように、矩形状液晶パネル１０１に対して、押圧器具６０を押し当てることにより行うことができる。押圧器具６０は、棒状を呈しており、その先端部に回転治具６２を有している。回転治具６２は、押圧器具６０の先端部において回転自在に支持されており、押圧器具６０を矩形状液晶パネル１０１に押し当てた状態で補助ライン２２および改質ライン２０に沿って移動させることで、回転治具６２が回転するように構成される。
【００３８】
第２の切断ステップでは、矩形状液晶パネル１０１に形成された補助ライン２２に沿って形成された切断予定溝２６の端部に押圧器具６０を押し当てる。切断予定溝２６の下部には、レーザ加工によって脆くなっている改質領域が存在するため、アレイ基板１２側に形成された切断予定溝２６とカラーフィルタ基板１４側に形成された切断予定溝２６の間で亀裂が形成される。さらに、補助ライン２２は、矩形状液晶パネル１０１の端面に接しているため、端面から押圧器具６０を押し当てることで、亀裂の形成が容易になる。
【００３９】
押圧器具６０は、補助ライン２２から改質ライン２０に沿って連続的に移動させられる。補助ライン２２は改質ライン２０から直線的に延出しているため、補助ライン２２において形成された亀裂が他の領域に逸れることなく、形状切断予定線に沿って液晶パネル１０を分割することが可能になる。また、第２の切断ステップにおいて、液晶パネル１０の端面が額縁部４０を接触することにより傷つくおそれがある場合は、亀裂を形成し始めた補助ライン２２の対角線上に形成された補助ライン２２１を利用して、額縁部４０を矩形状液晶パネル１０１から除去すれば良い（図８（Ｂ）参照）。そして、再び改質ライン２０に沿って押圧器具６０を移動させて矩形状液晶パネル１０１を切断すれば、液晶パネル１０の端面が傷つくことを防止することが可能になる。
【００４０】
液晶パネル１０を外形形状に沿って切断した後は、液晶パネル１０と搭載する機器と電気的に接続するための電極端子部を露出させるために、カラーフィルタ基板１４の一部を除去する等の後処理が行われる。なお、この電極端子部の加工は、多面取り用ガラス母材５０の状態で行っても良い。
【００４１】
また、本実施形態においては、矩形状液晶パネル１０１は１つの液晶パネル１０ごとに切断していたが、図９に示すように、複数の液晶パネル１０が含まれるような矩形状液晶パネル１０２に分断しても良い。このような矩形状液晶パネル１０２においても、各液晶パネル１０にから延出するように形成された補助ライン２２が矩形状液晶パネル１０２の端面に接するように切断されている。このため、第２の切断処理において、好適に亀裂を進行させ、液晶パネル１０を分断することが可能になる。
【００４２】
また、多面取り用ガラス母材５０の薄型化を行わない場合は、アレイ基板１２およびカラーフィルタ基板１４の少なくとも一方にエッチング液への耐性を有する保護材等で被覆すれば良い。その後、改質ライン２０および補助ライン２２を形成する領域はパターニング処理等で除去した後に、上述のようなレーザ処理で改質領域を形成することができる。
【００４３】
あえて、エッチング処理によって完全には切断してしまわないため、エッチング中に分離された液晶パネル１０端面どうしが衝突して破損するといった不具合の発生が防止される。また、エッチング処理後の不完全に切断された状態の多面取り用ガラス母材５０のまま（大判の状態のまま）、運搬することも可能になる。さらに、エッチング液が電極端子部に到達することがないため、耐エッチング性を備えたマスキング剤によって電極端子部を保護することが不要になる。
【００４４】
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００４５】
１０−液晶パネル
１２−アレイ基板
１４−カラーフィルタ基板
２０−改質ライン
２２，２２１−補助ライン
４０−額縁部
５０−多面取り用ガラス母材
６０−押圧器具
１００−腕時計型デバイス
１０１，１０２−矩形状液晶パネル
１２２−電極端子部
３００−エッチング装置
３０２，３０４−エッチングチャンバ
３０６−エッチング槽
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2019095570.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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