(57)【要約】      （修正有）【課題】エレクトレットコーティング層の、基材フィルムに対する密着性に優れるエレクトレットフィルムおよび透明導電層付エレクトレットフィルムの提供。【解決手段】基材フィルム２と、接着層３と、エレクトレット材料の塗布物であるエレクトレットコーティング層４とを順に備えるエレクトレットフィルム１であって、好ましくは接着層３が、カルボン酸エステルを含有し、エレクトレットコーティング層４が、９２％以上の全光線透過率、および、０．５％以下のヘイズを有し、２０〜２０００Ｖの表面帯電圧の絶対値を有する１０μｍ以下の厚みのエレクトレットフィルム１。【選択図】図１
2019104156.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材フィルムと、
接着層と、
エレクトレット材料の塗布物であるエレクトレットコーティング層と
を順に備えることを特徴とする、エレクトレットフィルム。
【請求項２】
前記接着層が、カルボン酸エステルを含有することを特徴とする、請求項１に記載のエレクトレットフィルム。
【請求項３】
前記エレクトレットコーティング層が、９２％以上の全光線透過率、および、０．５％以下のヘイズを有することを特徴とする、請求項１または２に記載のエレクトレットフィルム。
【請求項４】
前記エレクトレットコーティング層が、２０Ｖ以上、２０００Ｖ以下の表面帯電圧の絶対値を有することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルム。
【請求項５】
前記エレクトレットコーティング層が、１０μｍ以下の厚みを有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルム。
【請求項６】
エレクトレット材料が、主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーを含有することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルム。
【請求項７】
前記フッ素系ポリマーが、カルボキシル基を前記主鎖の末端に含有することを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルム。
【請求項８】
前記基材フィルムの厚みが、５０μｍ未満の厚みを有することを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルム。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載のエレクトレットコーティング層と、
透明導電層とを備え、
前記透明導電層と、前記基材フィルムと、前記接着層と、前記エレクトレットコーティング層とが順に配置されていることを特徴とする、透明導電層付エレクトレットフィルム。
【請求項１０】
光学調整層をさらに備え、
前記透明導電層と、前記光学調整層と、前記基材フィルムと、前記接着層と、前記エレクトレットコーティング層とが順に配置されていることを特徴とする、請求項９に記載の透明導電層付エレクトレットフィルム。
【請求項１１】
９０％以上の全光線透過率、および、１％以下のヘイズを有することを特徴とする、請求項９または１０に記載の透明導電層付エレクトレットフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エレクトレットフィルムおよび透明導電層付エレクトレットフィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、エレクトレットフィルムは、帯電を半永久的に保持できるフィルムであって、各種素子および装置に備えられている。
【０００３】
例えば、銅基板に、コーティング用フッ素重合体組成物をスピンコートし、これによって、コーティング膜を作製したエレクトレットフィルムが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２６６５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかるに、エレクトレットフィルムでは、コーティング膜の銅基板に対する優れた密着性が要求される。
【０００６】
しかし、特許文献１に記載のエレクトレットフィルムは、コーティング膜の銅基板に対する優れた密着性を有さず、そのため、信頼性が低下するという不具合がある。
【０００７】
本発明の目的は、エレクトレットコーティング層の、基材フィルムに対する密着性に優れるエレクトレットフィルムおよび透明導電層付エレクトレットフィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明（１）は、基材フィルムと、接着層と、エレクトレット材料の塗布物であるエレクトレットコーティング層とを順に備える、エレクトレットフィルムを含む。
【０００９】
本発明（２）は、前記接着層が、カルボン酸エステルを含有する、（１）に記載のエレクトレットフィルムを含む。
【００１０】
本発明（３）は、前記エレクトレットコーティング層が、９２％以上の全光線透過率、および、０．５％以下のヘイズを有する、（１）または（２）に記載のエレクトレットフィルムを含む。
【００１１】
本発明（４）は、前記エレクトレットコーティング層が、２０Ｖ以上、２０００Ｖ以下の表面帯電圧の絶対値を有する、（１）〜（３）のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルムを含む。
【００１２】
本発明（５）は、前記エレクトレットコーティング層が、１０μｍ以下の厚みを有する、（１）〜（４）のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルムを含む。
【００１３】
本発明（６）は、エレクトレット材料が、主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーを含有する、（１）〜（５）のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルムを含む。
【００１４】
本発明（７）は、前記フッ素系ポリマーが、カルボキシル基を前記主鎖の末端に含有する、（１）〜（６）のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルムを含む。
【００１５】
本発明（８）は、前記基材フィルムの厚みが、５０μｍ未満の厚みを有する、（１）〜（７）のいずれか一項に記載のエレクトレットフィルムを含む。
【００１６】
本発明（９）は、（１）〜（８）のいずれか一項に記載のエレクトレットコーティング層と、透明導電層とを備え、前記透明導電層と、前記基材フィルムと、前記接着層と、前記エレクトレットコーティング層とが順に配置されている、透明導電層付エレクトレットフィルムを含む。
【００１７】
本発明（１０）は、光学調整層をさらに備え、前記透明導電層と、前記光学調整層と、前記基材フィルムと、前記接着層と、前記エレクトレットコーティング層とが順に配置されている、（９）に記載の透明導電層付エレクトレットフィルムを含む。
【００１８】
本発明（１１）は、９０％以上の全光線透過率、および、１％以下のヘイズを有する、請求項（９）または（１０）に記載の透明導電層付エレクトレットフィルムを含む。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のエレクトレットフィルムは、基材フィルムと、接着層と、エレクトレットコーティング層とを順に備えるので、エレクトレットコーティング層の基材フィルムに対する密着性（接着性）に優れる。
【００２０】
そのため、本発明のエレクトレットフィルムは、信頼性に優れる。
【００２１】
本発明の透明導電層付エレクトレットフィルムは、信頼性に優れるエレクトレットフィルムを備えるので、信頼性に備える。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、本発明のエレクトレットフィルムの一実施形態の断面図を示す。
【図２】図２は、本発明の透明導電層付エレクトレットフィルムの一実施形態の断面図を示す。
【図３】図３は、図２に示す透明導電層付エレクトレットフィルムの変形例の断面図を示す。
【図４】図４は、比較例１の透明導電層付エレクトレットフィルム（接着層を備えない態様）の断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明のエレクトレットフィルムの一実施形態を、図１を参照して説明する。
【００２４】
図１において、紙面上下方向は、エレクトレットフィルム１の厚み方向の一例である。紙面上側が、上側（厚み方向一方側）であり、紙面下側が、（厚み方向他方側）である。具体的には、方向は、各図の方向矢印に準拠する。この方向の定義により、エレクトレットフィルム１、透明導電層付エレクトレットフィルム９および押圧センサ２０（後述）の製造時および使用時の向きを限定する意図はない。
【００２５】
図１に示すように、このエレクトレットフィルム１は、所定の厚みを有するフィルム形状（シート形状を含む）をなし、厚み方向と直交する所定方向（面方向）に延び、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。
【００２６】
エレクトレットフィルム１は、基材フィルム２と、接着層３と、エレクトレットコーティング層４とを上側に向かって順に備える。具体的には、エレクトレットフィルム１は、基材フィルム２と、基材フィルム２の上面に配置される接着層３と、接着層３の上面に配置されるエレクトレットコーティング層４とを備える。好ましくは、エレクトレットフィルム１は、基材フィルム２と、接着層３と、エレクトレットコーティング層４とのみからなる。
【００２７】
基材フィルム２は、エレクトレットフィルム１の下面を形成する。基材フィルム２は、面方向に延びる略平板形状を有する。
【００２８】
基材フィルム２の材料は、例えば、透明材料が挙げられる。
【００２９】
透明材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル樹脂、例えば、ポリメタクリレートなどの（メタ）アクリル樹脂（アクリル樹脂および／またはメタクリル樹脂）、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマーなどのオレフィン樹脂、例えば、ポリカーボネート樹脂、例えば、ポリエーテルスルフォン樹脂、例えば、ポリアリレート樹脂、例えば、メラミン樹脂、例えば、ポリアミド樹脂、例えば、ポリイミド樹脂、例えば、セルロース樹脂、例えば、ポリスチレン樹脂、例えば、ノルボルネン樹脂などが挙げられる。これらは、単独使用または２種以上併用することができる。透明性の観点から、好ましくは、ポリエステル樹脂が挙げられ、より好ましくは、ＰＥＴが挙げられる。
【００３０】
基材フィルム２の全光線透過率は、例えば、９０％以上、好ましくは、９５％以上、より好ましくは、９９％以上である。
【００３１】
基材フィルム２の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下、より好ましくは、５０μｍ未満、さらに好ましくは、４０μｍ以下、とりわけ好ましくは、３０μｍ以下である。
【００３２】
基材フィルム２の厚みが上記した下限を上回れば、エレクトレットフィルム１を後述する押圧センサ２０に適用したときに、押圧検知特性に優れる。基材フィルム２の厚みが上記した上限を下回れば、透明性に優れる。
【００３３】
接着層３は、基材フィルム２の上面全面に配置されている。接着層３は、エレクトレットコーティング層４を基材フィルム２に接着する易接着層である。接着層３は、エレクトレットフィルム１における中間層である。接着層３は、面方向に延びる略平板形状を有する。
【００３４】
接着層３の材料は、例えば、接着組成物であり、好ましくは、透明性を有する接着組成物である。
【００３５】
接着組成物は、カルボン酸エステルを含有する。接着組成物がカルボン酸エステルを含有すれば、エレクトレットコーティング層４の基材フィルム２に対する接着力を向上させることができる。
【００３６】
カルボン酸エステルとしては、例えば、芳香族ジカルボン酸エステル、脂肪族ジカルボン酸エステルなどが挙げられ、好ましくは、芳香族ジカルボン酸エステルが挙げられる。
【００３７】
芳香族ジカルボン酸エステルは、例えば、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸と、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコールなどの脂肪族２価アルコール（脂肪族グリコール）とのエステルが挙げられる。芳香族ジカルボン酸エステルとして、好ましくは、フタル酸とエチレングリコールとのエステルが挙げられる。
【００３８】
また、接着組成物は、カルボン酸エステル以外にも、例えば、（メタ）アクリル酸、オキサゾリン化合物、メラミン化合物、グリコール化合物などの有機成分、および／または、シリカ、ジルコニア、チタニアなどの無機成分を含有することもできる。好ましくは、接着組成物は、カルボン酸エステルと、有機成分と、無機成分とを含有する。有機成分および／または無機成分の割合は、用途および目的に応じて、適宜設定される。
【００３９】
接着層３の全光線透過率は、例えば、９０％以上、好ましくは、９５％以上、より好ましくは、９９％以上である。
【００４０】
接着層３の厚みは、例えば、１０ｎｍ以上、好ましくは、２０ｎｍ以上、より好ましくは、２５ｎｍ以上であり、また、例えば、１００ｎｍ以下、好ましくは、８０ｎｍ以下、より好ましくは、７０ｎｍ以下である。
【００４１】
エレクトレットコーティング層４は、接着層３の上面全面に配置されている。エレクトレットコーティング層４は、帯電可能な誘電層である。エレクトレットコーティング層４は、エレクトレット材料の塗布物である。
【００４２】
エレクトレット材料としては、例えば、誘電性有機成分、誘電性無機成分が挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。好ましくは、誘電性有機成分の単独使用が挙げられる。
【００４３】
誘電性有機成分としては、例えば、ポリマーが挙げられる。ポリマーとしては、例えば、ポリフッ化エチレン（ＰＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリフッ化ポリプロピレン（ＦＥＰ−テフロン）、主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーなどのフッ素系ポリマー、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリプロピレン（ＰＰ）等の非フッ素系ポリマーが挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。好ましくは、フッ素系ポリマー、より好ましくは、帯電特性の観点から、主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーが挙げられる。
【００４４】
主鎖に環構造を有するフッ素系ポリマーは、例えば、式（１）で示される。
【００４５】
式（１）：
【００４６】
【化１】
2019104156.tif 000003
【００４７】
式中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３およびＹは、互いに同一または相異なっていてもよく、例えば、パーフルオロメチレン、パーフルオロエチレン、パーフルオロプロピレンなどのパーフルオロアルキレンが挙げられる。好ましくは、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３が、パーフルオロメチレン（−ＣＦ３−）であり、Ｙが、パーフルオロエチレン（−Ｃ２Ｆ６−）である。
【００４８】
ｍは、例えば、２以下の整数、好ましくは、１以下の整数、より好ましくは、０である。
【００４９】
ｎは、環状構造の重合度を示し、用途および目的に応じて、適宜設定される。
【００５０】
また、上記した説明では、すべての炭素原子に、フッ素原子のみが結合しているが、フッ素原子の一部が水素原子と置換することができる。好ましくは、すべての炭素原子に、フッ素原子のみが結合している。
【００５１】
また、フッ素系ポリマーは、主鎖の末端に、カルボキシル基などの反応性基を有することができる。反応性基としては、帯電特性をより向上させる観点から、好ましくは、カルボキシル基が挙げられる。
【００５２】
誘電性無機成分としては、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素などが挙げられる。
【００５３】
エレクトレット材料は、市販品を用いることができ、例えば、誘電性有機成分として、サイトップシリーズ（型番「ＣＴＬ−８０９Ａ」（式（２）参照、カルボキシル基末端型、旭硝子社製）などが挙げられる。
【００５４】
式（２）：
【００５５】
【化２】
2019104156.tif 000004
【００５６】
エレクトレットコーティング層４の全光線透過率は、例えば、９０％以上、好ましくは、９２％以上、より好ましくは、９５％以上であり、また、例えば、１００％以下である。エレクトレットコーティング層４の全光線透過率が上記した下限以上であれば、優れた光透過性を確保することができる。
【００５７】
エレクトレットコーティング層４のヘイズは、例えば、２．０％以下、好ましくは、１．０％以下、より好ましくは、０．５％以下、さらに好ましくは、０．３％以下であり、また、例えば、０．０％以上である。エレクトレットコーティング層４のヘイズが上記した上限以下であれば、優れた光透過性を確保することができる。
【００５８】
エレクトレットコーティング層４の表面帯電圧の絶対値は、例えば、２０Ｖ以上、好ましくは、５０Ｖ以上であり、また、例えば、２０００Ｖ以下、好ましくは、１０００Ｖ以下である。エレクトレットコーティング層４の表面帯電圧の絶対値が上記した下限以上であれば、優れた感圧特性を得ることができる。エレクトレットコーティング層４の表面帯電圧の絶対値が上記した上限以下であれば、ハンドリング時に放電が発生しないので、取扱性に優れる。表面帯電圧の測定方法は、後の実施例で記載する。
【００５９】
エレクトレットコーティング層４の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、２μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下である。エレクトレットコーティング層４の厚みが上記した下限以上であれば、所望の表面帯電圧を確保することができる。エレクトレットコーティング層４の厚みが上記した上限以下であれば、優れた透明性を確保することができる。
【００６０】
次に、エレクトレットフィルム１を製造する方法を説明する。
【００６１】
エレクトレットフィルム１を製造するには、まず、基材フィルム２を準備し、次いで、接着層３を基材フィルム２の上面に配置して、基材フィルム２および接着層３の積層体を作製する。接着層３を基材フィルム２の上面に配置するには、まず、接着組成物（必要により、接着組成物および溶媒を含有するワニス）を基材フィルム２の上面に塗布し、その後、乾燥させる。
【００６２】
なお、基材フィルム２の上面に接着層３が予め配置された積層体を準備することもできる。
【００６３】
その後、エレクトレット材料を接着層３の上面に塗布する。エレクトレット材料を接着層３の上面に塗布するには、例えば、まず、エレクトレット材料を溶媒に配合して、エレクトレット材料のワニスを調製する。
【００６４】
溶媒としては、例えば、パーフルオロカーボン（ＰＦＣ）、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）、ハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）などのフッ素系溶媒が挙げられる。好ましくは、ＰＦＣが挙げられる。
【００６５】
ワニスにおける溶媒の割合は、用途および目的に応じて、適宜設定される。
【００６６】
次いで、ワニスを、接着層３の上面に、例えば、アプリケータ、コータ、ディスペンサなどによって、塗布する。
【００６７】
続いて、溶媒を、例えば、加熱によって除去する（ワニスを乾燥する）。加熱温度は、例えば、１００℃以上、好ましくは、１２０℃以上であり、また、例えば、１７０℃以下、好ましくは、１６０℃以下である。加熱時間は、例えば、１０分以上、好ましくは、３０分以上であり、また、例えば、３００分以下、好ましくは、１００分以下である。
【００６８】
これによって、エレクトレット材料の塗布物を、エレクトレットコーティング層４として形成する。
【００６９】
なお、エレクトレットコーティング層４を、帯電装置などによって、所望の電圧（直流電圧）を印加して、帯電させる。さらには、必要により、エレクトレットコーティング層４における過剰の表面帯電を、例えば、アルミホイルなどの金属箔と接触させて、除去する。
【００７０】
これによって、基材フィルム２と、接着層３と、エレクトレットコーティング層４とを上側に向かって順に備えるエレクトレットフィルム１を得る。
【００７１】
このエレクトレットフィルム１の全光線透過率は、例えば、８０％以上、好ましくは、９０％超過、より好ましくは、９１％以上であり、また、例えば、１００％以下である。
【００７２】
エレクトレットフィルム１のヘイズは、例えば、３．０％以下、好ましくは、２．０％以下、より好ましくは、１．０％以下、さらに好ましくは、０．８％以下であり、また、例えば、０．０％以上である。
【００７３】
エレクトレットフィルム１の厚みは、基材フィルム２、接着層３およびエレクトレットコーティング層４の厚みの総和であって、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、２０μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、８０μｍ以下である。
【００７４】
なお、このエレクトレットフィルム１は、次に説明する透明導電層付エレクトレットフィルム９ではなく、透明導電層付エレクトレットフィルム９の一部品、すなわち、透明導電層付エレクトレットフィルム９を作製するための部品である。具体的には、エレクトレットフィルム１は、透明導電層５を含まず、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。
【００７５】
そして、このエレクトレットフィルム１は、基材フィルム２と、接着層３と、エレクトレットコーティング層４とを順に備えるので、エレクトレットコーティング層４の基材フィルム２に対する密着性（接着性）に優れる。
【００７６】
そのため、このエレクトレットフィルム１は、信頼性に優れる。
【００７７】
また、このエレクトレットフィルム１では、接着層３が、カルボン酸エステルを含有すれば、エレクトレットコーティング層４の基材フィルム２に対する接着力を向上させることができる。
【００７８】
また、このエレクトレットフィルム１では、エレクトレットコーティング層４が、９２％以上の全光線透過率、および、０．５％以下のヘイズを有すれば、優れた透明性を確保することができる。
【００７９】
また、このエレクトレットフィルム１では、エレクトレットコーティング層４が、２０Ｖ以上、２０００Ｖ以下の表面帯電圧の絶対値を有すれば、優れた感圧特性を得ることができとともに、取扱性に優れる。
【００８０】
また、このエレクトレットフィルム１では、エレクトレットコーティング層４が、１０μｍ以下の厚みを有すれば、上記した所望の表面帯電圧を確保することができる。
【００８１】
また、このエレクトレットフィルム１では、エレクトレット材料が、主鎖に環構造を有するフッ素系重合体であれば、優れた帯電特性を得ることができる。
【００８２】
また、フッ素系ポリマーが、カルボキシル基を主鎖の末端に含有すれば、より一層優れた帯電特性を得ることができる。
【００８３】
基材フィルム２の厚みが、５０μｍ未満の厚みを有すれば、後述する押圧センサ２０に適用したときに、押圧検知特性に優れる。
【００８４】
図２に示すように、このエレクトレットフィルム１に透明導電層５を設けて、透明導電層付エレクトレットフィルム９を構成することができる。
【００８５】
透明導電層付エレクトレットフィルム９は、所定の厚みを有するフィルム形状（シート形状を含む）をなし、面方向に延び、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。透明導電層付エレクトレットフィルム９は、透明導電層５、基材フィルム２、接着層３およびエレクトレットコーティング層４を上側に向かって順に備える。
【００８６】
透明導電層５は、エレクトレットフィルム１の下面に配置されており、具体的には、基材フィルム２の下面全面に配置されている。透明導電層５は、透明導電層付エレクトレットフィルム９における下面を形成する。
【００８７】
透明導電層５の材料としては、例えば、透明導電材料である。透明導電材料としては、例えば、インジウムスズ複合酸化物（ＩＴＯ）などのインジウム含有酸化物、例えば、アンチモンスズ複合酸化物（ＡＴＯ）などのアンチモン含有酸化物などが挙げられ、好ましくは、インジウム含有酸化物、より好ましくは、ＩＴＯが挙げられる。
【００８８】
透明導電層５の表面抵抗は、例えば、１Ω／□以上、好ましくは、１０Ω／□以上であり、また、例えば、３００Ω／□以下、好ましくは２００Ω／□以下である。
【００８９】
透明導電層５の厚みは、特に限定されず、例えば、１０ｎｍ以上であり、また、例えば、３０ｎｍ以下である。
【００９０】
この透明導電層付エレクトレットフィルム９を製造するには、まず、基材フィルム２を準備し、次いで、透明導電層５を基材フィルム２の下面に配置し、続いて、接着層３を基材フィルム２の上面に配置する。あるいは、下面に透明導電層５が予め配置された基材フィルム２を準備し、次いで、かかる基材フィルム２の上面に接着層３を配置する。さらには、透明導電層５、基材フィルム２および接着層３が上側に向かって予め配置された積層体を準備することもできる。
【００９１】
次いで、接着層３の上面に、上記と同様に、エレクトレット材料を塗布して、エレクトレットコーティング層４を形成する。
【００９２】
これにより、透明導電層５、基材フィルム２、接着層３およびエレクトレットコーティング層４が上側に向かって順に配置された透明導電層付エレクトレットフィルム９を製造する。
【００９３】
透明導電層付エレクトレットフィルム９の全光線透過率は、例えば、８０％以上、好ましくは、９０％以上、より好ましくは、９０％超過、さらに好ましくは、９１％以上であり、また、例えば、１００％以下である。透明導電層付エレクトレットフィルム９の全光線透過率が上記した下限以上であれば、優れた光透過性を確保することができる。
【００９４】
透明導電層付エレクトレットフィルム９のヘイズは、例えば、３．０％以下、好ましくは、２．０％以下、より好ましくは、１．０％以下、さらに好ましくは、０．８％以下であり、また、例えば、０．０％以上である。透明導電層付エレクトレットフィルム９のヘイズが上記した上限以下であれば、優れた光透過性を確保することができる。
【００９５】
なお、透明導電層付エレクトレットフィルム９は、次に説明する押圧センサ２０ではなく、押圧センサ２０の一部品、すなわち、押圧センサ２０を作製するための部品である。具体的には、透明導電層付エレクトレットフィルム９は、絶縁性感圧接着層１１および第２の透明電極１５を含まず、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。
【００９６】
この透明導電層付エレクトレットフィルム９は、信頼性に優れるエレクトレットフィルム１を備えるので、信頼性に備える。
【００９７】
この透明導電層付エレクトレットフィルム９は、例えば、ユーザの指などのタッチに基づく厚み方向における押圧を検知する押圧センサ２０に備えることができる。
【００９８】
図２の仮想線で示すように、押圧センサ２０は、透明導電層付エレクトレットフィルム９と、第２の透明電極１５（仮想線）と、それらの間に介在する絶縁性感圧接着層１１（仮想線）とを備える。なお、押圧センサ２０において、透明導電層５は、例えば、所定の透明電極にエッチングなどによってパターニングされた第１の透明電極７に形成される。
【００９９】
そして、この押圧センサ２０では、第１の透明電極７、基材フィルム２、接着層３、エレクトレットコーティング層４、絶縁性感圧接着層１１、および、第２の透明電極１５が、上側に向かって順に配置されている。
【０１００】
第１の透明電極７は、例えば、シグナル電極として作用する。
【０１０１】
第２の透明電極１５は、第２の透明導電層をパターニングすることにより形成される。第２の透明電極１５の材料は、第１の透明電極７と同様の材料である。第２の透明電極１５は、例えば、基準電極として作用する。
【０１０２】
絶縁性感圧接着層１１は、エレクトレットコーティング層４と第２の透明電極１５との間を絶縁する絶縁層である。また、絶縁性感圧接着層１１は、第２の透明電極１５をエレクトレットコーティング層４に対して感圧接着する感圧接着層である。絶縁性感圧接着層１１の材料としては、公知の絶縁性感圧接着組成物が挙げられる。
【０１０３】
押圧センサ２０における第１の透明電極７および第２の透明電極１５は、図示しない配線を介して、オシロスコープ（図示せず）と電気的に接続される。
【０１０４】
押圧センサ２０が厚み方向に押圧されると、エレクトレットコーティング層４において電荷が発生し、これが、第１の透明電極７および第２の透明電極１５を介してオシロスコープ（図示せず）によって検知される。
【０１０５】
図３に示すように、さらに、この透明導電層付エレクトレットフィルム９は、光学調整層６をさらに備えることもできる。つまり、透明導電層付エレクトレットフィルム９では、第１の透明電極７、光学調整層６、基材フィルム２、接着層３およびエレクトレットコーティング層４が上側に向かって順に配置されている。
【０１０６】
光学調整層６は、基材フィルム２および第１の透明電極７の間に介在する。光学調整層６は、第１の透明電極７をパターニングした後に、かかる第１の透明電極７の視認抑制性を向上させる層である。つまり、光学調整層６は、透明導電層付エレクトレットフィルム９における光学物性（例えば、屈折率）などを調製する層である。光学調整層６の材料としては、特に限定されず、例えば、特開２０１７−０６８５０９号公報に記載される光学調整組成物などが挙げられる。光学調整層６の厚みは、例えば、０．０１μｍ以上であり、また、例えば、１μｍ以下である。
【０１０７】
図３に示す透明導電層付エレクトレットフィルム９は、光学調整層６を備えるので、第１の透明電極７の視認抑制性を向上させることができる。
【実施例】
【０１０８】
以下に実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。なお、本発明は、何ら実施例および比較例に限定されない。また、以下の記載において用いられる配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなど該当記載の上限（「以下」、「未満」として定義されている数値）または下限（「以上」、「超過」として定義されている数値）に代替することができる。
【０１０９】
［実施例１］
図２に示すように、下面に透明導電層５（第１の透明電極７）が予め配置された基材フィルム２を準備した。透明導電層５の材料は、ＩＴＯであり、厚みが２３ｎｍであり、表面抵抗が１５０Ω／□である。基材フィルム２の材料は、ＰＥＴであり、厚みが２３μｍである。
【０１１０】
次いで、フタル酸エステル（フタル酸とエチレングリコールとのエステル）、メタクリル酸、オキサゾリン、エチレングリコール、メラミン、シリカを含有する接着組成物を調製した。続いて、接着組成物を、基材フィルム２の上面に塗布し、その後、乾燥することにより、厚み３５ｎｍの接着層３を形成した。
【０１１１】
その後、エレクトレット材料を含有するワニス（旭硝子社製、製品名「ＣＴＬ−８０９Ａ」、溶媒：ＰＦＣ）を、接着層３の上面にアプリケータで塗布し、続いて、８０℃で５分間、加熱した後、さらに、１５０℃で６０分間、加熱することにより、溶媒を留去した。
【０１１２】
これによって、厚み５μｍのエレクトレットコーティング層４（塗布物）を形成した。
【０１１３】
その後、エレクトレットコーティング層４に対して、帯電装置（春日電機社製、製品名「ＫＴＫ−２００２Ｎ」）で−１０ｋＶの直流電圧を５分間印加した。その後、エレクトレットコーティング層４にアルミホイルを被せて、エレクトレットコーティング層４における過剰の表面帯電を除去（除電）し、常温で１日放置した。
【０１１４】
これによって、透明導電層付エレクトレットフィルム９を得た。
【０１１５】
［実施例２］〜［比較例１］
表１に基づき、厚みを変更した以外は、実施例１と同様に処理して、図２に示すように、透明導電層５、基材フィルム２、接着層３およびエレクトレットコーティング層４を順に備える透明導電層付エレクトレットフィルム９を得た。
【０１１６】
なお、実施例３では、アルミホイルによる除電を実施しなかった。
【０１１７】
また、比較例１では、図４に示すように、透明導電層５、基材フィルム２およびエレクトレットコーティング層４を順に備える透明導電層付エレクトレットフィルム９を得た。
【０１１８】
［評価］
各実施例および比較例の透明導電層付エレクトレットフィルム９について、以下の項目を評価した。それらの結果を表１に示す。
【０１１９】
（厚み）
基材フィルム２の厚み、および、エレクトレットコーティング層４の厚みを、膜厚計（Ｐｅａｃｏｃｋ社製  デジタルダイアルゲージＤＧ−２０５）を用いて測定した。
【０１２０】
（透明性）
ヘイズメーター（スガ試験機社製、装置名「ＨＧＭ−２ＤＰ）を用いて、全光線透過率およびヘイズを測定した。そして、以下の基準に従って、透明性を評価した。
○：透明導電層付エレクトレットフィルムのヘイズが１．０％未満であった。
△：透明導電層付エレクトレットフィルムのヘイズが、２．０％未満、１．０％以上であった。
×：透明導電層付エレクトレットフィルムのヘイズが２．０％以上であった。
【０１２１】
（表面帯電圧）
静電気測定器（キーエンス社製、装置名「ＳＫ−Ｈ０５０」）を用いて、エレクトレットコーティング層４の表面帯電圧の絶対値を測定した。
【０１２２】
（密着性）
ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−６の記載に準じて、碁盤目剥離試験（各マス１ｍｍ□、合計１００マス）を実施し、下記の基準で、エレクトレットコーティング層４の基材フィルム２に対する密着性を評価した。
○：剥離が２０マス未満であった
△：剥離が２０マス以上、７０マス未満であった。
○：剥離が７０マス以上であった。
【０１２３】
（押圧検知）
透明導電層付エレクトレットフィルム９に対して、絶縁性感圧接着層１１を介して第２の透明電極１５を貼り合わせ、透明導電層５（第１の透明電極７）および第２の透明電極１５をオシロスコープ（図示せず）に接続した。
【０１２４】
その後、透明導電層付エレクトレットフィルム９を押圧し、以下の基準で押圧検知を評価した。
○：オシロスコープが信号を検出した。
△：オシロスコープが信号を検出したが、信号が微弱であった。
×：オシロスコープが信号を検出しなかった。
（取扱性）
取扱性を以下の基準で評価した。
○：取扱時、帯電したエレクトレットコーティング層４の放電に基づく音が確認されなかった。
△：取扱時、帯電したエレクトレットコーティング層４の放電に基づく音がわずかに確認された。
×：取扱時、帯電したエレクトレットコーティング層４の放電に基づく音を確認した。
【０１２５】
【表１】
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【符号の説明】
【０１２６】
１     エレクトレットフィルム
２     基材フィルム
３     接着層
４     エレクトレットコーティング層
５     透明導電層
６     光学調整層
９     透明導電層付エレクトレットフィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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