(57)【要約】【課題】Ｗが主成分の発熱コイルを用いたグロープラグの耐久性を向上させる。【解決手段】Ｎｉを主成分とし、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｓｉ、及びＡｌを含有しており、先端が閉塞された金属チューブ８１０と、金属チューブ８１０内に収納され、Ｗを主成分とした発熱コイル８２０と、金属チューブ８１０内の発熱コイル８２０の周りに充填されたＭｇＯの粉末と、を備えたグロープラグ１０である。金属チューブ８１０内には、窒素、アルゴン、及びヘリウムからなる群より選ばれた1種以上のガスが充填されており、金属チューブ８１０の内壁には、金属チューブ８１０を構成する金属成分の酸化物が、０．１μｍ以上の厚みにて形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｎｉを主成分とし、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｓｉ、及びＡｌを含有しており、先端が閉塞された金属チューブと、
前記金属チューブ内に収納され、Ｗを主成分とした発熱コイルと、
前記金属チューブ内の前記発熱コイルの周りに充填されたＭｇＯの粉末と、を備え、
前記金属チューブの後端の開口は、封止部材にて封止されたグロープラグであって、
前記金属チューブ内には、窒素、アルゴン、及びヘリウムからなる群より選ばれた1種以上のガスが充填されており、
前記金属チューブの内壁の少なくとも一部には、前記金属チューブを構成する金属成分の酸化物が、０．１μｍ以上の厚みにて形成されていることを特徴とするグロープラグ。
【請求項２】
前記酸化物は、前記内壁のうち、前記発熱コイルと対向する部分に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のグロープラグ。
【請求項３】
前記酸化物の厚みは、１００μｍ未満であることを特徴とする請求項１又は２に記載のグロープラグ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はグロープラグに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年では、エミッションの更なる低減等を図るべく、燃焼室内の更なる高温化の要請がある。この要請に応えるべく、グロープラグをより高温で発熱させることが考えられている。
例えば、タングステン（Ｗ）が主成分の発熱コイルを用い、発熱コイルの周りにＭｇＯの粉末が充填されたグロープラグが開発されている。このグロープラグは、従来の、Ｆｅを主成分として、クロム（Ｃｒ）やアルミニウム（Ａｌ）等を含有した合金（以下、Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金と言う）やＮｉ合金を用いた発熱コイルのグロープラグよりも高温化が図られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金製やＮｉ合金製の発熱コイルを用いたグロープラグの長寿命化ために、金属チューブ内にアルゴンガスを封入する技術が開発されている（例えば、特許文献２参照）。この技術では、金属チューブ内にアルゴンガスを封入して、通電による発熱コイルの酸化等を抑制し、グロープラグを長寿命化している。
また、Ｎｉ合金製の発熱コイルを用いたグロープラグの耐久性向上のために、特許文献３の技術が開発されている。この技術では、グロープラグの栓体内の空間に窒素ガスを封入したり、この空間を真空にして、残存酸素による発熱コイルの高温酸化を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１１／１６２０７４号
【特許文献２】特開２００６−１５３３０６号公報
【特許文献３】実開昭５９―５５２６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、タングステン（Ｗ）は耐酸化性が相対的に低く、タングステン（Ｗ）による発熱コイルを用いたグロープラグにおいて、特許文献２、３の技術と同様に、金属チューブ内に不活性ガスを充填し、封止することにより、発熱コイルの酸化を抑制して耐久性を向上させることが必要となる。
しかし、金属チューブ内を不活性ガスで置換すると、金属チューブ内の酸素分圧が低下するため、金属チューブの内壁が酸化しなくなる。その結果、金属チューブの内壁とＭｇＯの粉末との接合性が低下してしまう。よって、通電発熱時に金属チューブの内壁と、ＭｇＯの粉末との間に熱膨張差により隙間が生じ、熱伝導が低下して内部温度が上昇し、コイル劣化や、ひいては断線に至るおそれがあった。
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、Ｗが主成分の発熱コイルを用いたグロープラグの耐久性を向上させることを目的とする。本発明は、以下の形態として実現することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）
Ｎｉを主成分とし、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｓｉ、及びＡｌを含有しており、先端が閉塞された金属チューブと、
前記金属チューブ内に収納され、Ｗを主成分とした発熱コイルと、
前記金属チューブ内の前記発熱コイルの周りに充填されたＭｇＯの粉末と、を備え、
前記金属チューブの後端の開口は、封止部材にて封止されたグロープラグであって、
前記金属チューブ内には、窒素、アルゴン、及びヘリウムからなる群より選ばれた1種以上のガスが充填されており、
前記金属チューブの内壁の少なくとも一部には、前記金属チューブを構成する金属成分の酸化物が、０．１μｍ以上の厚みにて形成されていることを特徴とするグロープラグ。
【０００７】
この構成のグロープラグでは、金属チューブ内には、窒素、アルゴン、及びヘリウムからなる群より選ばれた1種以上のガスが充填されているから、Ｗを主成分とした発熱コイルの酸化が抑制される。
さらに、金属チューブの内壁の少なくとも一部には、金属チューブを構成する金属成分の酸化物が、０．１μｍ以上の厚みにて形成されている。よって、この酸化物が介在することによって、ＭｇＯの粉末と金属チューブの内壁の接合性が向上し、耐久性が向上する。
【０００８】
（２）
前記酸化物は、前記内壁のうち、前記発熱コイルと対向する部分に形成されていることを特徴とする（１）に記載のグロープラグ。
【０００９】
内壁のうち発熱コイルと対向する部分は、通電発熱時に高温になりやすく、この部分でＭｇＯの粉末との間に、熱膨張差による隙間を生じやすい。よって、この熱膨張差による隙間を生じやすい部分に、酸化物を形成してＭｇＯの粉末との接合性を向上させることで、耐久性が効果的に向上する。
【００１０】
（３）
前記酸化物の厚みは、１００μｍ未満であることを特徴とする（１）又は（２）に記載のグロープラグ。
【００１１】
金属チューブの内壁の酸化物の厚みが１００μｍ未満であると、内壁から酸化物が剥離しにくくなり、耐久性を向上させる効果が高い。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】グロープラグを示す図である。
【図２】シースヒータの詳細な構成を示す断面図である。
【図３】グロープラグの製造方法を示すフローチャートである。
【図４】ステップＳ２０における溶接工程を示す説明図である。
【図５】他の実施形態のステップＳ２０における溶接工程を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
１．グロープラグ
図１は、グロープラグ１０を示す図である。グロープラグ１０は、熱を発生させるシースヒータ（発熱装置）８００を備え、ディーゼルエンジンを始めとする内燃機関（図示せず）の始動時における点火を補助する熱源として機能する。グロープラグ１０は、シースヒータ８００の他、中軸２００と、主体金具５００とを主に備える。これらグロープラグ１０を構成する部材は、グロープラグ１０の軸線方向ＯＤに沿って組み付けられている。図１では、軸線Ｏから紙面右側に外観構成を図示し、軸線Ｏから紙面左側に断面構成を図示した。なお、本明細書では、グロープラグ１０におけるシースヒータ８００側を「先端側」と呼び、係合部材１００側を「後端側」と呼ぶ。
【００１４】
主体金具５００は、炭素鋼を筒状に成形した部材である。主体金具５００は、先端側の端部においてシースヒータ８００を保持する。また、主体金具５００は、後端側の端部において絶縁部材４１０及びＯリング４６０を介して中軸２００を保持する。絶縁部材４１０の軸線Ｏに沿った位置は、絶縁部材４１０の後端に接するリング３００が中軸２００に加締められることで固定される。さらに、主体金具５００の軸孔５１０内には、絶縁部材４１０からシースヒータ８００に至る中軸２００の部位が配置される。軸孔５１０は、軸線Ｏに沿って形成された貫通孔であり、中軸２００よりも大きな径を有する。軸孔５１０に中軸２００が位置決めされた状態で、軸孔５１０と中軸２００との間には、両者を電気的に絶縁する空隙が形成される。また、軸孔５１０の先端側には、シースヒータ８００が圧入されて接合されている。さらに、主体金具５００は、工具係合部５２０と、雄ネジ部５４０とを備える。主体金具５００の工具係合部５２０は、グロープラグ１０の取り付け及び取り外しに用いられる工具（図示せず）に係合する。雄ネジ部５４０は、内燃機関（図示せず）に形成された雌ネジに嵌り合う。
【００１５】
中軸２００は、導電材料で円柱状（棒状）に成形された部材である。中軸２００は、主体金具５００の軸孔５１０に挿入された状態で軸線Ｏに沿って組み付けられる。中軸２００は、先端側に形成された先端部２１０と、後端側に設けられた雄ネジ部２９０とを備える。先端部２１０は、シースヒータ８００の内部に挿入される。雄ネジ部２９０は、主体金具５００から後端側に突出している。雄ネジ部２９０には、係合部材１００が嵌り合う。
【００１６】
図２は、シースヒータ８００の詳細な構成を示す断面図である。シースヒータ８００は、シースヒータ８００の内部に中軸２００の先端部２１０が挿入された状態で、主体金具５００の軸孔５１０内に圧入され接合されている。シースヒータ８００は、金属チューブ８１０と、発熱コイル８２０と、後端コイル８３０と、絶縁粉末８７０とを備える。発熱コイル８２０のことを「先端コイル」とも呼ぶ。
【００１７】
金属チューブ８１０は、軸線方向ＯＤに延び、先端が閉じられた筒状部材である。金属チューブ８１０は、発熱コイル８２０と、後端コイル８３０と、絶縁粉末８７０と、を内包する。金属チューブ８１０は、軸線方向ＯＤに延びる側面部８１４と、側面部８１４の先端側に接続し、外側に向けて丸く形成された先端部８１３と、先端部８１３とは反対側に開口した端部である後端部８１９とを備える。この後端部８１９から金属チューブ８１０の内部に中軸２００の先端部２１０が挿入されている。金属チューブ８１０は、パッキン６００及び絶縁粉末８７０によって中軸２００と電気的に絶縁される。一方、金属チューブ８１０は、主体金具５００と接触して電気的に接続されている。
金属チューブ８１０の外径は特に限定されない。
【００１８】
金属チューブ８１０の材料は、Ｎｉを主成分とし、Ｆｅ（鉄）、Ｃｒ（クロム）、Ｓｉ（ケイ素）、及びＡｌ（アルミニウム）を含有している。金属チューブ８１０の材料は、５０質量％以上のＮｉ（ニッケル）を含む、いわゆるＮｉベースの合金である。この合金として、例えば、Ｆｅが５〜１５質量％であり、Ｃｒが２１〜２５質量％であり、Ｓｉが０．７〜１質量％であり、Ａｌが０．３〜０．５質量％であり、Ｙが０〜０．２質量％であり、残部がＮｉ及び不可避不純物である合金を好適に使用できる。
【００１９】
絶縁粉末８７０は、電気絶縁性を有する。絶縁粉末８７０はＭｇＯ（マグネシア）の粉末である。なお、絶縁粉末８７０には、カルシア（ＣａＯ）の粉末が含有されていてもよい。
絶縁粉末８７０は、金属チューブ８１０が中軸２００、発熱コイル８２０、及び後端コイル８３０を内包することによって、金属チューブ８１０内に形成された隙間に充填（配置）され、その隙間を電気的に絶縁する。
【００２０】
発熱コイル８２０は、金属チューブ８１０の内側に軸線方向ＯＤに沿って配置され、通電によって発熱する。発熱コイル８２０は、先端側のコイル端部である先端部８２２と、後端側のコイル端部である後端部８２９とを備える。先端部８２２は、金属チューブ８１０の先端部８１３内に位置しており、金属チューブ８１０と電気的に接続される。後端部８２９は、発熱コイル８２０と後端コイル８３０とが溶接されることによって形成された接続部８４０を介して、後端コイル８３０と電気的に接続される。発熱コイル８２０の主成分は、タングステン（Ｗ）である。発熱コイル８２０におけるタングステン（Ｗ）の含有率は、９９質量％以上であることがより好ましい。
発熱コイル８２０の線径は特に限定されないが、好ましくは０．１ｍｍ〜０．２５ｍｍであり、より好ましくは０．１５ｍｍ〜０．２５ｍｍであり、特に好ましくは０．１８ｍｍ〜０．２５ｍｍである。発熱コイル８２０を０．１ｍｍ〜０．２５ｍｍとすることで、比抵抗が小さくなり、十分な発熱量を確保できる。
【００２１】
後端コイル８３０は、先端側のコイル端部である先端部８３１と、後端側のコイル端部である後端部８３９とを備える。先端部８３１は、発熱コイル８２０の後端部８２９に溶接されることにより発熱コイル８２０と電気的に接続される。後端部８３９は、中軸２００の先端部２１０に接合されることにより中軸２００と電気的に接続される。後端コイル８３０は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）−クロム（Ｃｒ）合金や、鉄（Ｆｅ）−クロム（Ｃｒ）−アルミニウム（Ａｌ）合金により形成されている。
【００２２】
なお、急速昇温性を確保する観点から、グロープラグ１０の２０℃における抵抗値Ｒ２０は、０．６（Ω）以下であることが好ましい。グロープラグ１０の２０℃における抵抗値Ｒ２０とは、本実施形態では、発熱コイル８２０の２０℃における抵抗値と、後端コイル８３０の２０℃における抵抗値との合計値である。本実施形態では、グロープラグ１０の２０℃における抵抗値Ｒ２０は、０．４（Ω）である。また、本実施形態では、発熱コイル８２０の２０℃での抵抗値Ｒ１２０に対する１０００℃での抵抗値Ｒ１１０００の比である抵抗比Ｒ１と、後端コイル８３０の２０℃での抵抗値Ｒ２２０に対する１０００℃での抵抗値Ｒ２１０００の比である抵抗比Ｒ２とは、Ｒ１＞Ｒ２の関係にある。
【００２３】
本実施形態では、金属チューブ８１０は、封止部材としてのパッキン６００により、封止されている。金属チューブ８１０内には、窒素、アルゴン、及びヘリウムからなる群より選ばれた１種以上のガスが充填されている。この構成を採用することで、発熱コイル８２０の酸化等が抑制され、グロープラグ１０が長寿命となる。
また、本実施形態では、金属チューブ８１０の内壁の少なくとも一部には、金属チューブ８１０を構成する金属成分の酸化物が、０．１μｍ以上の厚みにて形成されている。金属成分の酸化物としては、Ｃｒ酸化物、Ａｌ酸化物が好適に挙げられる。金属成分の酸化物は、複合酸化物であってもよい。
酸化物の厚みは、０．１μｍ以上１００μｍ未満が好ましい。この範囲では、酸化物が介在することによって、ＭｇＯの粉末と金属チューブ８１０の内壁の密着性が向上し、耐久性が上がる。
酸化物は、金属チューブ８１０の内壁のうち、発熱コイル８２０に対向する部分に形成されていることが好ましい。この対向する部分は、通電発熱時に高温になりやすく、ＭｇＯの粉末との間で熱膨張差による隙間が生じやすい。よって、この熱膨張差による隙間を生じやすい部分に、酸化物を形成してＭｇＯの粉末との接合性を向上させることで、耐久性が効果的に向上する。
なお、発熱コイル８２０の先端部８２２は、金属チューブ８１０の先端部８１３内に埋まった状態にある。よって、金属チューブ８１０の内壁に対向するのは、具体的には、発熱コイル８２０のうち先端部８２２を除いた部分である。
酸化物は、金属チューブ８１０の内壁のうち、発熱コイル８２０に対向する部分の全面に形成されていることが特に好ましい。この構成を採用することで、金属チューブ８１０の内壁とＭｇＯの粉末の接合面積が増加して、グロープラグ１０の耐久性が向上する。
なお、金属チューブ８１０の内壁全体に酸化物が形成されていてもよい。
【００２４】
２．グロープラグ１０の製造方法
図３は、グロープラグ１０の製造方法を示すフローチャートである。
グロープラグ１０の製造では、まず、金属チューブ８１０の予備酸化が行われる（ステップＳ５）。予備酸化の方法は、特に限定されない。例えば、金属チューブ８１０を、大気雰囲気の下、すなわち、酸素が存在する雰囲気の下、電気炉にて加熱することで、金属チューブ８１０の内壁に、金属チューブ８１０を構成する金属成分の酸化物が形成される。この際、雰囲気中の酸素分圧をコントロールすることで、酸化物の組成を調整することができる。なお、金属チューブ８１０の内面のみをバーナー等で加熱してもよい。また、金属チューブ８１０を予備酸化する代わりに、金属チューブ８１０の内面に金属酸化物を溶射等によりコーティングしてもよい。
【００２５】
次に、発熱コイル８２０と中軸２００と、が溶接される（ステップＳ１０）。具体的には発熱コイル８２０と後端コイル８３０とが溶接され、さらに、後端コイル８３０の後端部８３９と、中軸２００の先端部２１０と、が溶接される。次に、発熱コイル８２０の先端部８２２と、金属チューブ８１０の先端部８１３と、が溶接される（ステップＳ２０）。ステップＳ２０を「溶接工程」とも呼ぶ。
【００２６】
図４は、ステップＳ２０における溶接工程を示す説明図である。この工程では、まず、開口８１５を有する先端部８１３Ｐを備え、この開口８１５に向かって次第に縮径する形状に成形された金属チューブ８１０Ｐを用意する。用意された金属チューブ８１０Ｐの先端部８１３Ｐの内側に、発熱コイル８２０の先端部８２２の例えば２巻き目８２２Ｐを当接するようにして配置する（図４（ａ））。次に、先端部８１３Ｐの外側から、例えばアーク溶接によって先端部８１３Ｐを溶融して凝固させることにより開口８１５を閉塞させつつ、発熱コイル８２０の先端部８２２と金属チューブ８１０の先端部８１３とを溶接する（図４（ｂ））。こうすることにより、発熱コイル８２０の先端部８２２が金属チューブ８１０の先端部８１３に取り囲まれて埋め込まれる。また、溶接工程において、発熱コイル８２０の融点より低く、金属チューブ８１０の融点より高い温度で発熱コイル８２０と金属チューブ８１０とが溶接されるように、溶接機器の出力や、溶接時間などを調整する。
なお、金属チューブ８１０の先端部８１３と発熱コイル８２０の先端部８２２との間に、金属チューブ８１０を構成する金属と発熱コイル８２０を構成する金属との合金が形成された場合、その合金からなる合金部の厚さは１０（μｍ）以下である。合金部は、発熱コイル８２０の先端部８２２と金属チューブ８１０の先端部８１３との境界付近を例えばＥＰＭＡ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏ  Ａｎａｌｙｓｅｒ）などによって分析することにより検出して、厚さを算出することができる。なお、本実施形態のグロープラグ１０には、合金部は形成されていない。
【００２７】
ステップＳ２０における溶接工程が完了すると、次に、金属チューブ８１０の内に絶縁粉末８７０が充填される（ステップＳ３０）。絶縁粉末８７０が、発熱コイル８２０と、後端コイル８３０と、中軸２００とを内包することによって金属チューブ８１０内に形成された空隙に充填されて、シースヒータ８００の組み立てが完了する。
【００２８】
シースヒータ８００が組み立てられると、シースヒータ８００に対し、スウェージング加工が施される（ステップＳ４０）。スウェージング加工とは、シースヒータ８００に対して打撃力を加えてシースヒータ８００を縮径させ、金属チューブ８１０内に充填した絶縁粉末８７０を緻密化させる加工である。スウェージングに伴ってシースヒータ８００に打撃力が加えられると、打撃力がシースヒータ８００内部に伝えられることにより、絶縁粉末８７０が緻密化される。
【００２９】
シースヒータ８００にスウェージング加工が施されると、シースヒータ８００と主体金具５００とが組み付けられて、グロープラグ１０が組み立てられ（ステップＳ５０）、グロープラグ１０が完成する。具体的には、中軸２００が一体化されたシースヒータ８００を主体金具５００の軸孔５１０に圧入して固定すると共に、主体金具５００の後端部分において、Ｏリング４６０や絶縁部材４１０を中軸２００に嵌め込み、係合部材１００を主体金具５００の後端に設けられた中軸２００の雄ネジ部２９０に締め付ける。また、ステップＳ５０では、グロープラグ１０に対してエージング処理が施される。具体的には、組み立てられたグロープラグ１０に通電することによって、シースヒータ８００を発熱させて、シースヒータ８００の外表面に酸化膜を形成させる。
【実施例】
【００３０】
実施例により本発明をさらに具体的に説明する。
実験例２、３、４、５、６、８、９、１０は実施例であり、実験例１、７は比較例である。
【００３１】
１．グロープラグの作製
金属チューブは、先端から４ｍｍ以内の外径がφ３．７ｍｍのものを用意した。金属チューブの材質は、Ｃｒが２３質量％であり、Ｆｅが１０質量％であり、Ａｌが０．５質量％であり、Ｓｉが１質量％であり、Ｙが０．１質量％であり、残部がＮｉ及び不可避不純物である。実験例１、７では、金属チューブを予備酸化せずにそのまま用いた。実験例２、３、４、５、８、９は、大気雰囲気の下、金属チューブを予備酸化させた。この際に熱処理時間を適宜コントールすることで、酸化膜の厚みを調整した。実験例６、１０は、大気よりも酸素分圧の低い雰囲気の下、金属チューブを予備酸化させた。この際に熱処理時間を適宜コントールすることで、酸化膜の厚みを調整した。
発熱コイルの材質は、Ｗ（タングステン）とした。絶縁粉末には、マグネシア（ＭｇＯ）の粉末を用いた。これらの部材を用いてグロープラグを作製した。評価用のグロープラグは、各実験例ごとに、それぞれ５本用意した。
なお、酸化膜の厚みは、同じ条件で作製した金属チューブをそれぞれ５本用意して測定した。グロープラグを半断面にした後、グロープラグの先端から１０ｍｍまでの酸化膜の厚みの平均値を計測した。なお、本実施例において、「グロープラグの先端から１０ｍｍまで」を計測した理由としては、この領域に発熱コイルが配置されているからである。この平均値を５本のグロープラグのそれぞれで求めた。さらに５つの平均値を平均して求めた値が、以下の表１での厚みである。
金属チューブ内壁の酸化物は、次のようにして確認した。すなわち、グロープラグを半断面にして、ＥＰＭＡ分析のマッピングを用いて酸化物を確認した。なお、下記の表１において記載された酸化物は、ＥＰＭＡ分析でその存在が最も確認され、且つ酸化物の最も内側（発熱コイル側）に多数確認されたものを示しているが、ここに記載されていない酸化物も存在している。
【００３２】
２．通電耐久試験
グロープラグに対して、加熱（駆動）、冷却（停止）を繰り返すサイクル試験を実施した。
サイクル試験の条件の詳細は次の通りである。
金属チューブの先端から２ｍｍの位置に熱電対を取り付け、２秒で１０００℃となるようにグロープラグに通電した。
その後、１１００℃で１８０秒維持するように、グロープラグに通電した。
さらにその後、グロープラグの通電を停止し、風をグロープラグにあてて１２０秒間、冷却した。
このサイクルを連続して繰り返し行い、発熱コイルが断線するサイクル数を確認した。
判定は以下のようにした。
◎（非常に良好）：１５０００サイクル以上で断線
○（良好）：１００００サイクル以上１５０００サイクル未満で断線
×（不可）：１００００サイクル未満で断線
【００３３】
３．試験結果
表１に、試験結果を示す。
【００３４】
【表１】
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【００３５】
表１の結果から、実験例２、３、４、５、６、８、９、１０は、○（良好）以上の評価となることが確認された。すなわち、金属チューブ内に不活性ガスが充填され、さらに金属チューブの内壁に、Ｃｒ酸化物又はＡｌ酸化物が０．１μｍ以上の厚みにて形成されている場合には、耐久性が高いことが確認された。
特に、実験例２、３、６、８、１０では、Ｃｒ酸化物又はＡｌ酸化物が０．１μｍ以上１００μｍ未満の厚みにて形成されており、耐久性が極めて高いことが確認された。
【００３６】
＜他の実施形態（変形例）＞
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能である。
【００３７】
（１）上記実施形態では、グロープラグ１０は、図４（ａ）に示すように、開口８１５を有する金属チューブ８１０Ｐを用いて製造されていたが、図５（ａ）に示すように製造に用いる金属チューブ８１０Ｒに開口を設けなくてもよい。図５では、上記実施形態のグロープラグと略同じ構成部位には同符号を付けて、構造、作用及び効果の説明は省略する。
（２）上記実施形態では、金属チューブ８１０は、封止部材としてのパッキン６００により封止されていたが、封止部材の材質は、特に限定されない。例えば、封止部材として、ゴム、ガラスを用いることができる。
【符号の説明】
【００３８】
１０…グロープラグ
１００…係合部材
２００…中軸
２１０…先端部
２９０…雄ネジ部
３００…リング
４１０…絶縁部材
４６０…Ｏリング
５００…主体金具
５１０…軸孔
５２０…工具係合部
５４０…雄ネジ部
６００…パッキン（封止部材）
８００…シースヒータ
８１０…金属チューブ
８１３…先端部
８１４…側面部
８１５…開口
８１９…後端部
８２０…発熱コイル
８２２…先端部
８２９…後端部
８３０…後端コイル
８３１…先端部
８３９…後端部
８４０…接続部
８７０…絶縁粉末
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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