(57)【要約】【課題】研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による反り、たわみ及び研磨時の損傷を抑制することができる板加工用キャリア及び研磨方法を提供する。【解決手段】板加工用キャリアは、樹脂製のキャリア本体と、キャリア本体の内部にあり、かつリング形状を有する金属製の第１部材とを備える。キャリア本体には、キャリア本体を厚さ方向に貫通し、かつ加工対象物を保持するワークポケットが設けられる。ワークポケットは、平面視において、前記キャリア本体に対して偏心している。第１部材は、ワークポケットの内壁面とキャリア本体の外周面との距離が最小となる部分を通過するように配置される。【選択図】図１
2019034349.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂製のキャリア本体と、
前記キャリア本体の内部にあり、かつリング形状を有する金属製の第１部材とを備え、
前記キャリア本体には、前記キャリア本体を厚さ方向に貫通し、かつ加工対象物を保持するワークポケットが設けられ、
前記ワークポケットは、平面視において、前記キャリア本体に対して偏心しており、
前記第１部材は、前記ワークポケットの内壁面と前記キャリア本体の外周面との距離が最小となる部分を通過するように配置される、板加工用キャリア。
【請求項２】
曲げ強度が２５ＭＰａ以上５０ＭＰａ以下であり、
前記キャリア本体の外周面と前記第１部材の外周面との距離が０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下である、請求項１に記載の板加工用キャリア。
【請求項３】
前記第１部材は、ステンレス鋼線、ピアノ線又はチタン合金線である、請求項１又は請求項２に記載の板加工用キャリア。
【請求項４】
前記キャリア本体の厚さが０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以上である、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の板加工用キャリア。
【請求項５】
前記第１部材の幅が１ｍｍ以上３ｍｍ以下である、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の板加工用キャリア。
【請求項６】
前記キャリア本体の内部にあり、かつ厚さ方向に沿って六角形形状の貫通穴が設けられたハニカム形状を有する金属製の第２部材をさらに備える、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の板加工用キャリア。
【請求項７】
加工対象物を板加工用キャリアに保持させる工程と、
前記板加工用キャリアをラップ盤に保持させる工程と、
前記板加工用キャリアを前記ラップ盤が自転及び公転させた状態で前記加工対象物を研磨する工程とを備え、
前記板加工用キャリアは、
樹脂製のキャリア本体と、
前記キャリア本体の内部にあり、かつリング形状を有する金属製の第１部材とを備え、
前記キャリア本体には、前記キャリア本体を厚さ方向に貫通し、かつ前記加工対象物を保持するワークポケットが設けられ、
前記ワークポケットは、平面視において、前記キャリア本体に対して偏心しており、
前記第１部材は、前記ワークポケットの内壁面と前記キャリア本体の外周面との距離が最小となる部分を通過するように配置され、
前記ラップ盤は、
前記板加工用キャリアが載置される定盤を備え、
前記研磨する工程は、前記定盤と前記板加工用キャリアとの間に研削液を供給することによって行われる、研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板加工用キャリア及び研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、板加工用キャリアとして、特開２００４−５８２５７号公報（特許文献１）に記載の研磨キャリアが知られている。特許文献１の研磨キャリアは、カーボンナノチューブを含有する鋼製の基材により構成されている。
【０００３】
その他の板加工用キャリアとしては、例えば特開２０００−１２７０３０号公報（特許文献２）に記載のキャリア材及び特開平１１−１０５３０号公報（特許文献３）に記載の両面研磨用キャリアが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−５８２５７号公報
【特許文献２】特開２０００−１２７０３０号公報
【特許文献３】特開平１１−１０５３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のとおり、特許文献１に記載の研磨キャリアは、鋼製の基材により構成されている。そのため、特許文献１に記載の研磨キャリアにおいては、研磨時に砥石と接触して発生する熱に起因した熱応力により、反り、たわみが生じるおそれがある。
【０００６】
板加工用キャリアにおいては、よりまんべんなく研磨を行う観点から、加工対象物を保持するワークポケットを偏心させて形成する場合がある。このようにワークポケットを偏心して形成する場合、ワークポケットと板加工用キャリアの外周面との間に肉厚が薄い部分が生じるため、当該部分に損傷が発生してしまうおそれがある。
【０００７】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたものである。より具体的には、本発明は、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による反り、たわみ及び研磨時の損傷を抑制することができる板加工用キャリア及び研磨方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様に係る板加工用キャリアは、樹脂製のキャリア本体と、キャリア本体の内部にあり、かつリング形状を有する金属製の第１部材とを備える。キャリア本体には、キャリア本体を厚さ方向に貫通し、かつ加工対象物を保持するワークポケットが設けられる。ワークポケットは、平面視において、前記キャリア本体に対して偏心している。第１部材は、ワークポケットの内壁面とキャリア本体の外周面との距離が最小となる部分を通過するように配置される。
【０００９】
本発明の一態様に係る研磨方法は、加工対象物を板加工用キャリアに保持させる工程と、板加工用キャリアをラップ盤に保持させる工程と、板加工用キャリアをラップ盤が自転及び公転させた状態で加工対象物を研磨する工程とを備える。
【００１０】
板加工用キャリアは、樹脂製のキャリア本体と、キャリア本体の内部にあり、かつリング形状を有する金属製の第１部材とを備える。キャリア本体には、キャリア本体を厚さ方向に貫通し、かつ加工対象物を保持するワークポケットが設けられる。ワークポケットは、平面視において、キャリア本体に対して偏心している。第１部材は、ワークポケットの内壁面とキャリア本体の外周面との距離が最小となる部分を通過するように配置される。ラップ盤は、板加工用キャリアが載置される定盤を備える。研磨する工程は、定盤と板加工用キャリアとの間に研削液を供給することにより行われる。
【発明の効果】
【００１１】
上記によれば、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による板加工用キャリアの反り、たわみ及び研磨時の板加工用キャリアの損傷を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態に係る板加工用キャリア１の上面図である。
【図２】第１実施形態に係る板加工用キャリア１の側面図である。
【図３】第１実施形態に係る研磨方法を示す工程図である。
【図４】第１実施形態に係る研磨方法に用いられるラップ盤３０の構成を示す模式図である。
【図５】第２実施形態に係る板加工用キャリア１の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
［本発明の実施形態の説明］
まず、本発明の実施態様を列記して説明する。
【００１４】
（１）本発明の一態様に係る板加工用キャリアは、樹脂製のキャリア本体と、キャリア本体の内部にあり、かつ、リング形状を有する金属製の第１部材とを備える。キャリア本体には、キャリア本体を厚さ方向に貫通し、かつ加工対象物を保持するワークポケットが設けられる。ワークポケットは、平面視において、前記キャリア本体に対して偏心している。第１部材は、ワークポケットの内壁面とキャリア本体の外周面との距離が最小となる部分を通過するように配置される。
【００１５】
上記（１）の板加工用キャリアによると、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による板加工用キャリアの反り、たわみ及び研磨時の板加工用キャリアの損傷を抑制することができる。
【００１６】
（２）上記（１）の板加工用キャリアは、曲げ強度が２５ＭＰａ以上５０ＭＰａ以下であり、キャリア本体の外周面と第１部材の外周面との距離が０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下であってもよい。
【００１７】
上記（２）の板加工用キャリアによると、加工対象物の研磨後における厚みのばらつきを抑制することができる。
【００１８】
（３）上記（１）又は上記（２）の板加工用キャリアにおいて、第１部材は、ステンレス鋼線、ピアノ線又はチタン合金線であってもよい。
【００１９】
上記（３）の板加工用キャリアによると、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による板加工用キャリアの反り、たわみ及び研磨時の板加工用キャリアの損傷を抑制することができる。
【００２０】
（４）上記（１）〜上記（３）の板加工用キャリアにおいて、キャリア本体の厚さが０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以上であってもよい。
【００２１】
上記（４）の板加工用キャリアによると、加工対象物の研磨後における厚みのばらつきを抑制することができる。
【００２２】
（５）上記（１）〜上記（４）の板加工用キャリアにおいて、第１部材の幅が１ｍｍ以上３ｍｍ以下であってもよい。
【００２３】
上記（５）の板加工用キャリアによると、加工対象物の研磨後における厚みのばらつきを抑制することができる。
【００２４】
（６）上記（１）〜上記（５）の板加工用キャリアは、キャリア本体の内部にあり、かつ厚さ方向に沿って六角形形状の貫通穴が設けられたハニカム形状を有する金属製の第２部材をさらに備えていてもよい。
【００２５】
上記（６）の板加工用キャリアによると、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による板加工用キャリアの反り、たわみをさらに抑制することができる。
【００２６】
（７）本発明の一態様に係る研磨方法は、加工対象物を板加工用キャリアに保持させる工程と、板加工用キャリアをラップ盤に保持させる工程と、板加工用キャリアをラップ盤が自転及び公転させた状態で加工対象物を研磨する工程とを備える。板加工用キャリアは、樹脂製のキャリア本体と、キャリア本体の内部にあり、かつリング形状を有する金属製の第１部材とを備える。キャリア本体には、キャリア本体を厚さ方向に貫通し、かつ加工対象物を保持するワークポケットが設けられる。ワークポケットは、平面視において、キャリア本体に対して偏心して設けられる。第１部材は、ワークポケットの内壁面とキャリア本体の外周面との距離が最小となる部分を通過するように配置される。ラップ盤は、板加工用キャリアが載置される定盤を備える。研磨する工程は、定盤と板加工用キャリアとの間に研削液を供給することにより行われる。
【００２７】
上記（７）の研磨方法によると、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による板加工用キャリアの反り、たわみ及び研磨時の板加工用キャリアの損傷を抑制することができる。
【００２８】
［本発明の実施形態の詳細］
次に、本発明の実施形態の詳細を、図面を参照して説明する。なお、各図中同一又は相当部分には同一符号を付している。また、以下に記載する実施形態の少なくとも一部を任意に組み合わせてもよい。
【００２９】
（第１実施形態）
以下に、第１実施形態に係る板加工用キャリア１の構成について説明する。図１は、第１実施形態に係る板加工用キャリア１の上面図である。図２は、第１実施形態に係る板加工用キャリア１の側面図である。図１及び図２に示すように、第１実施形態に係る板加工用キャリア１は、キャリア本体１０と、第１部材２０とを有している。
【００３０】
キャリア本体１０は、上面１０ａと、底面１０ｂと、外周面１０ｃとを有している。底面１０ｂは、上面１０ａの反対側の面である。外周面１０ｃは、上面１０ａ及び底面１０ｂに連なっている。外周面１０ｃには、歯車１０ｄが設けられている。すなわち、外周面１０ｃには、凹凸形状が形成されている。
【００３１】
キャリア本体１０は、厚さＴ１を有している。厚さＴ１は、上面１０ａと底面１０ｂとの間の距離である。厚さＴ１は、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることが好ましい。なお、厚さＴ１は、第１実施形態に係る板加工用キャリア１の厚さに相当する。
【００３２】
キャリア本体１０は、樹脂製である。キャリア本体１０を構成する樹脂は、例えば熱硬化性樹脂である。キャリア本体１０を構成する熱硬化性樹脂は、例えばエポキシ樹脂である。キャリア本体１０を構成する樹脂は、熱可塑性樹脂であってもよい。キャリア本体１０を構成する樹脂は、ガラス繊維、炭素繊維等の強化繊維を含有していてもよい。キャリア本体１０を構成する樹脂に含有されている強化繊維は、織物（クロス）となっていてもよい。
【００３３】
キャリア本体１０は、平面視において（上面１０ａ及び底面１０ｂに直交する方向からみて）円形形状を有していることが好ましい。キャリア本体１０には、ワークポケット１１が設けられている。ワークポケット１１は、厚さ方向にキャリア本体１０を貫通している。ワークポケット１１は、平面視において、円形形状を有していることが好ましい。ワークポケット１１は、平面視において、キャリア本体１０の中心から偏心して設けられている。すなわち、ワークポケット１１の平面視における中心とキャリア本体１０の平面視における中心とは、互いに一致していない。
【００３４】
第１部材２０は、キャリア本体１０の内部にある。別の観点からいえば、第１部材２０は、キャリア本体１０により覆われている。第１部材２０は、平面視において、リング形状（円環形状）を有している。
【００３５】
第１部材２０は、上面２０ａと、底面２０ｂと、内周面２０ｃと、外周面２０ｄとを有している。底面２０ｂは、上面２０ａの反対面である。内周面２０ｃ及び外周面２０ｄは、上面２０ａ及び底面２０ｂに連なっている。なお、第１部材２０は、上面２０ａが上面１０ａと対向し、底面２０ｂが底面１０ｂと対向し、かつ外周面２０ｄが外周面１０ｃと対向するように、キャリア本体１０の内部に配置される。
【００３６】
第１部材２０は、幅Ｗ１を有している。なお、幅Ｗ１は、内周面２０ｃと外周面２０ｄとの間の距離である。幅Ｗ１は、１ｍｍ以上３ｍｍ以下であることが好ましい。第１部材２０は、厚さＴ２を有している。厚さＴ２は、厚さＴ１よりも小さい。厚さＴ２は、例えば０．０５ｍｍ以上０．３ｍｍ以下である。
【００３７】
第１部材２０は、ワークポケット１１とキャリア本体１０の外周面１０ｃとの間を通過するように、キャリア本体１０の内部に配置されている。より具体的には、第１部材２０は、ワークポケット１１の内壁面とキャリア本体１０の外周面１０ｃとの距離が最小となる部分を通過するように、キャリア本体１０の内部に配置されている。
【００３８】
第１部材２０は、キャリア本体１０の外周面１０ｃから離間して配置されている。第１部材２０の外周面２０ｄとキャリア本体１０の外周面１０ｃとの距離Ｌは、好ましくは、０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下である。なお、距離Ｌは、キャリア本体１０の外周面１０ｃのうち第１部材２０の外周面２０ｄから最も離れた部分（すなわち外周面１０ｃに形成された歯車１０ｄの凸部）において測定される。
【００３９】
第１部材２０は、金属製である。第１部材２０は、例えば、ステンレス鋼線、ピアノ線又はチタン合金線である。
【００４０】
第１実施形態に係る板加工用キャリア１の曲げ強度は、２５ＭＰａ以上５０ＭＰａ以下であることが好ましい。なお、板加工用キャリア１の曲げ強度は、卓上型精密万能試験機ＡＧＳ−Ｘ（島津製作所製）を用いた３点曲げ試験により測定される。
【００４１】
以下に、第１実施形態に係る板加工用キャリア１の製造方法を説明する。第１実施形態に係る板加工用キャリア１の製造方法は、素板作製工程と、打ち抜き工程とを有している。素板作製工程においては、第１に、第１部材２０を強化繊維に熱硬化性樹脂が含浸されたプリプレグで挟み込む。素板作製工程においては、第２に、プリプレグにより挟み込まれた第１部材２０に対して加熱及び加圧を行う。これにより、熱硬化性樹脂が硬化し、板加工用キャリア１の素板が作製される。
【００４２】
打ち抜き工程においては、素板作製工程において作成された板加工用キャリア１の素板に対して打ち抜き加工が行われる。これにより、上記の第１実施形態に係る板加工用キャリア１の形状が得られる。以上により、第１実施形態に係る板加工用キャリア１の製造が行われる。
【００４３】
以下に、第１実施形態に係る研磨方法を説明する。図３は、第１実施形態に係る研磨方法を示す工程図である。図３に示すように、第１実施形態に係る研磨方法は、準備工程Ｓ１と、研磨工程Ｓ２とを有している。
【００４４】
準備工程Ｓ１においては、第１に、第１実施形態に係る板加工用キャリア１に加工対象物Ｗを保持させる工程が行われる。より具体的には、ワークポケット１１に加工対象物Ｗが挿入されることにより、加工対象物Ｗが第１実施形態に係る板加工用キャリア１に保持される。
【００４５】
準備工程Ｓ１においては、第２に、加工対象物Ｗが保持された第１実施形態に係る板加工用キャリア１が、ラップ盤３０に保持される。図４は、第１実施形態に係る研磨方法に用いられるラップ盤３０の構成を示す模式図である。図４に示すように、ラップ盤３０は、下定盤３１と、上定盤３２と、中心ギア３３と、外周ギア３４とを有している。中心ギア３３は、下定盤３１の中心に設けられている。外周ギア３４は、下定盤３１の外周に設けられている。外周ギア３４は、下定盤３１の中心側に向いている。加工対象物Ｗを保持している第１実施形態に係る板加工用キャリア１は、歯車１０ｄが中心ギア３３及び外周ギア３４と噛み合い、かつ底面１０ｂが下定盤３１と対向するように下定盤３１上に載置される。上定盤３２は、下定盤３１との間で、加工対象物Ｗを保持している第１実施形態に係る板加工用キャリア１を挟持している。以上により、加工対象物Ｗを保持している第１実施形態に係る板加工用キャリア１が、ラップ盤３０に保持される。
【００４６】
研磨工程Ｓ２においては、加工対象物Ｗの研磨が行われる。具体的には、研磨工程Ｓ２においては、中心ギア３３を回転させることにより、加工対象物Ｗを保持している第１実施形態に係る板加工用キャリア１を下定盤３１及び上定盤３２の間で自転及び公転させる。また、研磨工程Ｓ２においては、研削液が下定盤３１及び上定盤３２の間に供給される。以上により、研磨工程Ｓ２において、加工対象物Ｗの研磨が行われる。
【００４７】
以下に、第１実施形態に係る板加工用キャリア１及び第１実施形態に係る研磨方法の効果について説明する。上記のとおり、第１実施形態に係る板加工用キャリア１においては、キャリア本体１０が樹脂により構成されているため、キャリア本体１０が鋼等の金属材料で構成されている場合と異なり、研磨加工時に砥石と接触して発生する熱に伴う熱応力に起因した反り、たわみ等が生じにくい。
【００４８】
また、上記のとおり、第１実施形態に係る板加工用キャリア１においては、第１部材２０が、ワークポケット１１と外周面１０ｃとの間を通過するように、キャリア本体１０の内部に配置されている。より具体的には、第１実施形態に係る板加工用キャリア１においては、第１部材２０が、ワークポケット１１の内壁面と外周面１０ｃとが距離が最小となる部分において、ワークポケット１１と外周面１０ｃとの間を通過するようにキャリア本体１０の内部に配置されている。
【００４９】
ワークポケット１１の内壁面と外周面１０ｃとの距離が最小となる部分において、キャリア本体１０の肉厚が最も薄くなっているため、当該部分において研磨加工時にキャリア本体１０の損傷が生じやすい。しかしながら、第１実施形態に係る板加工用キャリア１においては、当該部分を第１部材２０が通過しているために、キャリア本体１０が第１部材２０によって補強されている。したがって、第１実施形態に係る板加工用キャリア１によると、研磨加工時に当該部分の損傷が抑制される。以上のように、第１実施形態に係る板加工用キャリア１及び第１実施形態に係る研磨方法によると、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による板加工用キャリア１の反り、たわみ及び研磨時の板加工用キャリア１の損傷を抑制することができる。
【００５０】
第１実施形態に係る板加工用キャリア１において、曲げ強度が２５ＭＰａ以上５０ＭＰａ以上である場合、距離Ｌが０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下である場合、厚さＴ１が０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である場合及び幅Ｗ１が１ｍｍ以上３ｍｍ以下である場合には、加工対象物Ｗの研磨後における厚みのばらつきを抑制することができる。また、これらの場合には、加工対象物Ｗの研磨後における表面粗さを改善することができる。これらの点について、研磨試験を行って評価した結果を、以下に説明する。
【００５１】
この研磨試験には、表１に示すサンプルを供した。表１に示すように、サンプル１〜サンプル５及びサンプル９〜サンプル１０においては、第１部材２０はステンレス鋼線とした。サンプル６においては、第１部材２０はピアノ線とした。サンプル７においては、第１部材２０はチタン合金線とした。なお、サンプル８及びサンプル１０においては、第１部材２０を用いなかった。
【００５２】
サンプル１及びサンプル２においては、幅Ｗ１は１．５ｍｍとした。サンプル３〜サンプル５においては、幅Ｗ１を３ｍｍとし、サンプル６、サンプル７、サンプル９及びサンプル１０においては、幅Ｗ１は１ｍｍとした。サンプル１、サンプル３、サンプル６及びサンプル７においては、距離Ｌを０．５ｍｍとし、サンプル２、サンプル４及びサンプル５においては、距離Ｌを２ｍｍとし、サンプル９においては、距離Ｌを０ｍｍとし、サンプル１０においては、距離Ｌを１０ｍｍとした。
【００５３】
サンプル１〜サンプル４及びサンプル１０においては、厚さＴ１を０．５ｍｍとし、サンプル５〜サンプル９及びサンプル１１においては、厚さＴ１を０．１ｍｍとした。
【００５４】
【表１】
2019034349.tif 000003
【００５５】
サンプル１〜サンプル１１に対して、曲げ強度の測定が行われた。また、サンプル１〜サンプル１１を用いた研磨試験を行うとともに、当該研磨試験後に加工対象物Ｗの厚さのばらつきの測定及び加工対象物Ｗの表面粗さの測定を行った。なお、加工対象物Ｗとしては、厚さが１ｍｍ、直径８インチ（約２００ｍｍ）の窒化アルミニウム（ＡｌＮ）板が用いられた。また、研磨は、浜井産業製ラップ盤１６ＢＦ及びナノテム製砥石（＃６００のダイヤモンド、多孔質砥石を含む）を用いて、面圧２００ｇ／ｃｍ２、水圧１０ｋＰａの条件で、３０分間行った。
【００５６】
また、加工対象物Ｗの厚さのばらつきは、マイクロメータにより、加工対象物Ｗの厚さを中央及び端部４点（合計５点）において測定し、その最小値と最大値の差から算出した。加工対象物Ｗの表面粗さは、光学干渉計（キヤノン製Ｚｙｇｏ  Ｎｅｗ  Ｖｉｅｗ  ７１００）を用いて算術平均粗さ（Ｒａ）、断面曲線の最大谷深さ（Ｐｖ）として測定した。
【００５７】
曲げ強度の測定結果、研磨後における加工対象物Ｗの厚さのばらつき及び表面粗さを表２に示す。
【００５８】
【表２】
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【００５９】
表２に示すように、サンプル１〜サンプル７においては、曲げ強度が２５ＭＰａ以上５０ＭＰａの範囲内にあった。サンプル１〜サンプル７においては、研磨後における加工対象物Ｗの厚さのばらつきが１０μｍ以下の範囲にあった。さらに、サンプル１〜サンプル７においては、研磨後における加工対象物Ｗの算術平均粗さが４１１ｎｍ以下の範囲にあり、断面曲線の最大谷深さが３．５μｍ以下の範囲にあった。
【００６０】
他方、サンプル８〜サンプル１１においては、研磨後における加工対象物Ｗの厚さのばらつきが７６μｍ以上の範囲にあった。サンプル８〜サンプル１１においては、研磨後における加工対象物Ｗの算術平均粗さが７３４ｎｍ以上の範囲にあり、断面曲線の最大谷深さが６．２μｍ以上の範囲にあった。
【００６１】
以上の結果から、第１実施形態に係る板加工用キャリア１において、曲げ強度が２５ＭＰａ以上５０ＭＰａ以上である場合、距離Ｌが０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下である場合、厚さＴ１が０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である場合及び幅Ｗ１が１ｍｍ以上３ｍｍ以下である場合には、加工対象物Ｗの研磨後における厚みのばらつきを抑制することができ、加工対象物Ｗの研磨後における表面粗さを改善することができることが明らかとされた。
【００６２】
（第２実施形態）
以下に、第２実施形態に係る板加工用キャリア１の構成を説明する。なお、以下においては、第１実施形態に係る板加工用キャリア１と異なる点について主に説明し、重複する説明については繰り返さないものとする。
【００６３】
図５は、第２実施形態に係る板加工用キャリア１の上面図である。図５に示すように、第２実施形態に係る板加工用キャリア１は、キャリア本体１０と、第１部材２０とを有している。この点において、第２実施形態に係る板加工用キャリア１の構成は、第１実施形態に係る板加工用キャリア１の構成と共通している。
【００６４】
第２実施形態に係る板加工用キャリア１は、さらに、第２部材４０を有している。この点において、第２実施形態に係る板加工用キャリア１の構成は、第１実施形態に係る板加工用キャリア１の構成と異なっている。
【００６５】
第２部材４０は、キャリア本体１０の内部に配置されている。すなわち、第２部材４０は、キャリア本体１０により覆われている。好ましくは、第２部材４０は、平面視において、第１部材２０の内側に配置されている。第２部材４０は、金属製である。第２部材４０には、例えばステンレス鋼、ピアノ線、チタン合金等が用いられる。
【００６６】
第２部材４０は、ハニカム形状を有している。すなわち、第２部材４０には、複数の貫通穴４１が設けられている。貫通穴４１の各々は、平面視において、六角形形状を有している。貫通穴４１は、平面視において、正六角形形状を有していることが好ましい。貫通穴４１は、キャリア本体１０の厚み方向に沿って第２部材４０を貫通している。貫通穴４１は、平面視において、行列状に配置されている。ある貫通穴４１の行（列）は、当該行（列）に隣接して配置されている貫通穴４１の行（列）と貫通穴の幅の１／２だけ行（列）方向にずれている。
【００６７】
なお、複数の貫通穴４１の一部は、平面視において六角形形状を有している必要はない。例えば、ワークポケット１１及び第１部材２０の近傍に位置する貫通穴４１は、平面視において六角形形状を有していなくてもよい。
【００６８】
以下に、第２実施形態に係る板加工用キャリア１の製造方法を説明する。以下においては、第１実施形態に係る板加工用キャリア１の製造方法と異なる点について主に説明し、重複する説明は繰り返さない。第２実施形態に係る板加工用キャリア１の製造方法は、素板作製工程と、打ち抜き工程とを有している点において、第１実施形態に係る板加工用キャリア１の製造方法と共通している。
【００６９】
但し、第２実施形態に係る板加工用キャリア１の製造方法は、素板作製工程において、強化繊維に熱硬化性樹脂が含浸されたプリプレグで、第１部材２０及び第２部材４０の双方を挟み込む点において、第１実施形態に係る板加工用キャリア１の製造方法と異なっている。
【００７０】
以下に、第２実施形態に係る研磨方法を説明する。以下においては、第１実施形態に係る研磨方法と異なる点について主に説明し、重複する説明については繰り返さない。第２実施形態に係る研磨方法は、準備工程Ｓ１と、研磨工程Ｓ２とを有している。この点において、第２実施形態に係る研磨方法は、第１実施形態に係る研磨方法と共通している。
【００７１】
但し、第１実施形態に係る板加工用キャリア１に代えて第２実施形態に係る板加工用キャリア１が用いられる点において、第２実施形態に係る研磨方法は、第１実施形態に係る研磨方法と異なっている。
【００７２】
以下に、第２実施形態に係る板加工用キャリア１及び第２実施形態に係る研磨方法の効果について説明する。第２実施形態に係る板加工用キャリア１は、ハニカム形状を有する第２部材４０を有している。研磨加工時に発生した熱による第２部材４０の膨張は、ハニカム形状を構成する貫通穴４１により緩和される。そのため、第２実施形態に係る板加工用キャリア１によると、研磨加工時に砥石と接触して発生した熱に起因した熱応力による板加工用キャリア１の反り、たわみを緩和しつつ、板加工用キャリア１の強度、耐久性を向上させることができる。
【００７３】
第２実施形態に係る板加工用キャリア１について、曲げ強度の測定並びに研磨試験後の加工対象物Ｗの厚さのばらつき及び表面粗さの測定を行った。これらの試験に供したサンプル１２の詳細を表３に示す。表３に示すように、サンプル１２においては、貫通穴４１の口径を２０ｍｍとし、第２部材４０の幅を１．５ｍｍとし、第２部材４０の厚さを０．０５ｍｍとし、第２部材４０を構成する材料をステンレス鋼とした。サンプル１２においては、幅Ｗ１は１ｍｍとし、厚さＴ１を０．１ｍｍとした。なお、曲げ試験の方法、研磨条件並びに研磨後の加工対象物Ｗの厚さのばらつきの測定及び表面粗さの測定方法は、サンプル１〜サンプル１１と同様の方法と同一である。
【００７４】
【表３】
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【００７５】
表４に、第２実施形態に係る板加工用キャリア１において曲げ強度並びに研磨後の加工対象物Ｗの厚さのばらつき及び表面粗さを測定した結果を示す。表４に示すように、サンプル１２においても、サンプル１〜サンプル７と同様、曲げ強度が２５ＭＰａ以上５０ＭＰａ以上、研磨後における加工対象物Ｗの厚さのばらつきが１０μｍ以下の範囲内にあり、研磨後における加工対象物Ｗの算術平均粗さが４１１ｎｍ以下の範囲内にあり、断面曲線の最大谷深さが３．５μｍ以下の範囲内にあった。このことから、第２実施形態に係る板加工用キャリア１において、距離Ｌが０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下である場合、厚さＴ１が０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である場合及び幅Ｗ１が１ｍｍ以上３ｍｍ以下である場合には、加工対象物Ｗの研磨後における厚みのばらつきを抑制することができ、加工対象物Ｗの研磨後における表面粗さを改善することができることが明らかとされた。
【００７６】
【表４】
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【００７７】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００７８】
１  板加工用キャリア
１０  キャリア本体
１０ａ  上面
１０ｂ  底面
１０ｃ  外周面
１０ｄ  歯車
１１  ワークポケット
２０  第１部材
２０ａ  上面
２０ｂ  底面
２０ｃ  内周面
２０ｄ  外周面
３０  ラップ盤
３１  定盤
３２  上定盤
３３  中心ギア
３４  外周ギア
４０  第２部材
４１  貫通穴
Ｌ  距離
Ｓ１  準備工程
Ｓ２  研磨工程
Ｔ１，Ｔ２  厚さ
Ｗ  加工対象物
Ｗ１  幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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