(57)【要約】【課題】簡易な構造を有するにもかかわらず、押圧位置と押圧力の両方を検出することができる感圧装置に用いられる感圧部品を提供すること。【解決手段】第１面１０１および該第１面と反対側の第２面１０２とを有する誘電体１０と、前記誘電体の前記第１面の側に配置された第１の電極１１と、前記誘電体の前記第２面の側に配置された第２の電極１２と、を有する感圧部２と、前記第１の電極の少なくとも１ヵ所に接続された少なくとも１つの第１の端子２１と、前記第２の電極の少なくとも１ヵ所に接続された少なくとも１つの第２の端子２２と、を備えた感圧部品であって、前記第１の電極２１は所定の体積抵抗率を有し、前記感圧部２は外部から加えられた押圧力の大きさに応じて変形し、前記変形に伴い、前記第１の電極１１と前記第２の電極１２との間の静電容量が変化する感圧部品。【選択図】図１
2019196904.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面および該第１面と反対側の第２面とを有する誘電体と、
前記誘電体の前記第１面の側に配置された第１の電極と、
前記誘電体の前記第２面の側に配置された第２の電極と、を有する感圧部と、
前記第１の電極の少なくとも１ヵ所に接続された少なくとも１つの第１の端子と、
前記第２の電極の少なくとも１ヵ所に接続された少なくとも１つの第２の端子と、
を備えた感圧部品であって、
前記第１の電極は所定の体積抵抗率を有し、
前記感圧部は外部から加えられた押圧力の大きさに応じて変形し、
前記変形に伴い、前記第１の電極と前記第２の電極との間の静電容量が変化する感圧部品。
【請求項２】
前記第１の電極が有する体積抵抗率に起因して、前記押圧力が加えられた押圧位置と前記第１の端子との距離に応じて、前記第１の電極における前記押圧位置と前記第１の端子との間の電気抵抗が変化し、
前記電気抵抗の変化に伴い、前記電気抵抗と前記静電容量との積により決定される遅延時間（時定数）および前記感圧部品のインピーダンスが変化し、
前記遅延時間または前記インピーダンスを、押圧変形時において、前記第１の端子を介して測定することにより、前記押圧位置および前記押圧力を検出する、請求項１に記載の感圧部品。
【請求項３】
請求項２に記載の感圧部品と、
遅延時間を測定するための測定器と、
を備えた感圧装置であって、
前記遅延時間を、前記押圧変形時において、以下の方法で測定し、該測定値に基づいて押圧位置および押圧力を検出する、感圧装置：
（ＲＣ遅延時間法１）前記第１の電極において接続位置が異なる少なくとも２つの第１の端子のうち、いずれか１つの第１の端子を介した測定を少なくとも２回、該第１の端子を変えて行う；または
（ＲＣ遅延時間法２）前記第１の電極に接続された１つの第１の端子を介した測定を少なくとも２回、負荷抵抗を変えて行う。
【請求項４】
前記感圧部は線状に構成され、
前記感圧部品は前記第１の端子を少なくとも２つ備え、
前記第１の端子のうち２つの第１の端子はそれぞれ、前記感圧部における前記第１の電極の一端および他端に接続されており、
前記第１の電極における一端側の第１の端子および他端側の第１の端子それぞれを介して、前記押圧変形時において、少なくとも１回ずつ前記遅延時間を測定する、請求項２に記載の感圧部品。
【請求項５】
請求項２または４に記載の感圧部品と、
前記遅延時間を測定するための測定器と、
を備えた感圧装置であって、
前記測定器は、
前記２つの第１の端子のうちの一方と前記第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第１の測定器、および
前記２つの第１の端子のうちの他方と前記第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第２の測定器を含み、
前記第１の測定器および前記第２の測定器のそれぞれにより、前記押圧変形時において、少なくとも１回ずつ前記遅延時間を測定する、感圧装置。
【請求項６】
前記第１の測定器および第２の測定器がそれぞれ、前記押圧変形時において、少なくとも１回ずつ動作するタイミングを制御する制御部と、
前記第１の測定器および第２の測定器による測定値を用いて、押圧位置と押圧力の両方を算出する演算部と、を更に備えている、請求項５に記載の感圧装置。
【請求項７】
前記第１の測定器および前記第２の測定器として共通の１つの測定器を用い、
前記感圧装置が、
該１つの測定器と前記２つの第１の端子との間に介在し、かつ前記２つの第１の端子への接続を切り替える切り換え器を更に備え、
前記演算部において、前記切り換え器の切り替え情報と前記１つの測定器による測定値を用いて、押圧位置と押圧力の両方を算出する、請求項６に記載の感圧装置。
【請求項８】
前記感圧部は互いに交わる第１の方向と第２の方向に広がる平面状に構成され、
前記感圧部品は前記第１の端子を少なくとも４つ備え、
前記第１の端子のうち４つの第１の端子はそれぞれ、前記感圧部の第１の方向における前記第１の電極の両端および第２の方向における前記第１の電極の両端に接続されている、請求項２に記載の感圧部品。
【請求項９】
請求項８に記載の感圧部品と、
前記遅延時間を測定するための測定器と、
を備えた感圧装置であって、
前記測定器は、
前記第１の方向における前記第１の電極の一端と接続されている１つの第１の端子と前記第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第１の測定器、
前記第１の方向における前記第１の電極の他端と接続されている１つの第１の端子と前記第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第２の測定器、
前記第２の方向における前記第１の電極の一端と接続されている１つの第１の端子と前記第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第３の測定器、および
前記第２の方向における前記第１の電極の他端と接続されている１つの第１の端子と前記第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第４の測定器を含み、
前記第１の測定器および前記第２の測定器のそれぞれにより、前記押圧変形時において、
前記第１の方向における第１の電極の一端側の第１の端子および他端側の第１の端子それぞれを介して、少なくとも１回ずつ前記遅延時間を測定し、
前記第３の測定器および前記第４の測定器のそれぞれにより、前記押圧変形時において、
前記第２の方向における第１の電極の一端側の第１の端子および他端側の第１の端子それぞれを介して、少なくとも１回ずつ前記遅延時間を測定する、感圧装置。
【請求項１０】
前記感圧部は線状に構成され、
前記感圧部品は前記第１の端子を少なくとも１つ備え、
前記第１の端子のうち１つの第１の端子は、前記感圧部における前記第１の電極の一端に接続されており、
前記１つの第１の端子を介して、前記押圧変形時において、前記負荷抵抗を変えて少なくとも２回前記遅延時間を測定する、請求項２に記載の感圧部品。
【請求項１１】
請求項１０に記載の感圧部品と、
前記遅延時間を測定するための少なくとも１つの測定器と、
を備えた感圧装置であって、
前記測定器は、前記１つの第１の端子と前記第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている１つの測定器を含み、
該１つの測定器により、前記押圧変形時において、前記負荷抵抗を変えて少なくとも２回前記遅延時間を測定する、感圧装置。
【請求項１２】
前記感圧部は互いに交わる第１の方向と第２の方向に広がる平面状に構成され、
前記感圧部品は前記第１の端子を少なくとも２つ備え、
前記第１の端子のうち２つの第１の端子はそれぞれ、前記感圧部の第１の方向における前記第１の電極の一端および第２の方向における前記第１の電極の一端に接続されており、
前記第１の方向における一端側の第１の端子を介して、前記押圧変形時において、前記負荷抵抗を変えて少なくとも２回前記遅延時間を測定し、
前記第２の方向における一端側の第１の端子を介して、前記押圧変形時において、前記負荷抵抗を変えて少なくとも２回前記遅延時間を測定する、請求項２に記載の感圧部品。
【請求項１３】
請求項１２に記載の感圧部品と、
前記遅延時間を測定するための測定器と、
を備えた感圧装置であって、
前記測定器は、
前記第１の方向における前記第１の電極の一端と接続されている１つの第１の端子と前記第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第１の測定器、および
前記第２の方向における前記第１の電極の一端と接続されている１つの第１の端子と前記第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第２の測定器を含み、
前記第１の測定器により、前記押圧変形時において、前記負荷抵抗を変えて少なくとも２回前記遅延時間を測定し、
前記第２の測定器により、前記押圧変形時において、前記負荷抵抗を変えて少なくとも２回前記遅延時間を測定する、感圧装置。
【請求項１４】
請求項２に記載の感圧部品と、
前記インピーダンスを測定するための少なくとも１つの測定器と、
を備えた感圧装置であって、
前記感圧部品において、
前記感圧部は線状に構成され、
前記感圧部品は前記第１の端子を少なくとも１つ備え、
前記第１の端子のうち１つの第１の端子は、前記感圧部における前記第１の電極の一端に接続されており、
前記測定器は、前記１つの第１の端子と前記第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている測定器を含み、
前記測定器により、前記押圧変形時において、前記インピーダンスを測定し、該測定値に基づいて押圧位置および押圧力を検出する、感圧装置。
【請求項１５】
請求項２に記載の感圧部品と、
前記インピーダンスを測定するための測定器と、
を備えた感圧装置であって、
前記感圧部品において、
前記感圧部は互いに交わる第１の方向と第２の方向に広がる平面状に構成され、
前記感圧部品は前記第１の端子を少なくとも２つ備え、
前記第１の端子のうち２つの第１の端子はそれぞれ、前記感圧部の第１の方向における前記第１の電極の一端および第２の方向における前記第１の電極の一端に接続されており、
前記測定器は、
前記第１の方向における前記第１の電極の一端と接続されている１つの第１の端子と前記第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第１の測定器、および
前記第２の方向における前記第１の電極の一端と接続されている１つの第１の端子と前記第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第２の測定器を含み、
前記第１の測定器により、前記押圧変形時において、前記インピーダンスを少なくとも１回測定し、
前記第２の測定器により、前記押圧変形時において、前記インピーダンスを少なくとも１回測定する、感圧装置。
【請求項１６】
前記感圧部はミアンダ形状を有する、請求項１、２、４または１０に記載の感圧部品。
【請求項１７】
前記第１の電極または第２の電極の一方は前記誘電体に対向する面に複数の突起部を有する、請求項１、２、４、８、１０または１２に記載の感圧部品。
【請求項１８】
前記第１の電極は前記誘電体に対向する面に複数の突起部を有し、導電性ゴムからなる、請求項１、２、４、８、１０または１２に記載の感圧部品。
【請求項１９】
前記第１の電極は導電性ゴムからなり、前記第２の電極は前記誘電体に対向する面に複数の突起部を有し、前記誘電体は弾性を有する、請求項１、２、４、８、１０または１２に記載の感圧部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、押圧位置と押圧力の両方を検出できる感圧装置およびこれに用いられる感圧部品に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、スマートフォン等の携帯機器の普及に伴い、指などの接触を検知する操作機器が広く使用されるようになっている。しかしながら、これらの機器の静電容量型タッチパネルおよび静電容量型スイッチなどにおいては、誤動作に関する課題があった。詳しくは、操作者本人がタッチもしくは押すつもりがないにもかかわらず、指が近づいただけ、もしくは、軽く接触しただけで、タッチまたは押下動作として認識して接触を検知し、操作者本人が意図しない機器の動作を引き起こすという課題があった。
【０００３】
そこで、押圧位置と押圧力の両方を検出する装置として、種々の感圧装置が開示されている（特許文献１，２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−８８０７９号公報
【特許文献２】特開２０１４−１４２９１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本願発明者らは、鋭意検討の末、従来の感圧装置は以下の点で改善点があることを見出した。
従来の感圧装置において、押圧位置と押圧力の両方を検出するためには、マトリックス型回路を用いたり、複数のセンサを配置したりする等、配線および当該配線を接続するための端子の数を多くする必要があり、配線回路の構造が複雑であった。
【０００６】
本開示は、かかる事情に鑑みて為されたものであり、その課題は、簡易な構造を有するにもかかわらず、押圧位置と押圧力の両方を検出することができる感圧装置およびこれに用いられる感圧部品を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一態様では、
第１面および該第１面と反対側の第２面とを有する誘電体と、
前記誘電体の前記第１面の側に配置された第１の電極と、
前記誘電体の前記第２面の側に配置された第２の電極と、を有する感圧部と、
前記第１の電極の少なくとも１ヵ所に接続された少なくとも１つの第１の端子と、
前記第２の電極の少なくとも１ヵ所に接続された少なくとも１つの第２の端子と、
を備えた感圧部品であって、
前記第１の電極は所定の体積抵抗率を有し、
前記感圧部は外部から加えられた押圧力の大きさに応じて変形し、
前記変形に伴い、前記第１の電極と前記第２の電極との間の静電容量が変化する感圧部品が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の感圧装置および感圧部品によれば、簡易な構造を有するにもかかわらず、押圧位置と押圧力の両方を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本開示の感圧装置により押圧位置と押圧力を検出する検出原理を説明するための感圧装置の模式的断面図である。
【図２】ＲＣ遅延時間法により押圧位置と押圧力を検出する検出原理を説明するための押圧位置のＸ座標−ＲＣ遅延時間のグラフである。
【図３】ＲＣ遅延時間法により押圧位置と押圧力を検出する検出原理を説明するための押圧位置のＸ座標−ＲＣ遅延時間のグラフである。
【図４】ＲＣ遅延時間法により押圧位置と押圧力を検出する検出原理を説明するための押圧位置のＸ座標−圧力（押圧力）のグラフである。
【図５】実施態様Ａ１およびＡ２に係る感圧装置の一例の模式的断面図である。
【図６Ａ】実施態様Ａ１に係る感圧装置の一例における押圧時の突起部近傍の挙動を示す一部拡大図である。
【図６Ｂ】実施態様Ａ１に係る感圧装置の一例における押圧時の突起部近傍の挙動を示す一部拡大図である。
【図６Ｃ】実施態様Ａ１に係る感圧装置の一例における押圧時の突起部近傍の挙動を示す一部拡大図である。
【図７Ａ】実施態様Ａ１に係る感圧装置における第１コンデンサ部分の押圧時の容量変化特性を示す模式図である。
【図７Ｂ】実施態様Ａ１に係る感圧装置における第２コンデンサ部分の押圧時の容量変化特性を示す模式図である。
【図７Ｃ】実施態様Ａ１に係る感圧装置全体における押圧時の容量変化特性を示す模式図である。
【図８】実施態様Ａ１に係る感圧装置の別の一例における押圧時の導電性部材近傍の挙動を示す一部拡大図である。
【図９Ａ】実施態様Ａ１に係る感圧装置の更に別の一例における押圧時の導電性部材近傍の挙動を示す一部拡大図である。
【図９Ｂ】実施態様Ａ１に係る感圧装置の更に別の一例における押圧時の導電性部材近傍の挙動を示す一部拡大図である。
【図９Ｃ】実施態様Ａ１に係る感圧装置の更に別の一例における押圧時の導電性部材近傍の挙動を示す一部拡大図である。
【図１０】実施態様Ａ１およびＡ２に係る感圧装置の別の一例の模式的断面図である。
【図１１】実施態様Ａ１およびＡ２に係る感圧装置の更に別の一例の模式的断面図である。
【図１２Ａ】実施態様Ａ１、Ａ３およびＢ１に係る感圧装置において感圧部が有し得る平面視形状の一例（ミアンダ状）を示す。
【図１２Ｂ】実施態様Ａ１、Ａ３およびＢ１に係る感圧装置において感圧部が有し得る平面視形状の一例（ミアンダ状）を示す。
【図１３】実施態様Ａ２に係る感圧装置の一例の模式的斜視図および当該感圧装置において感圧部が有し得る平面視形状の一例（平面状）を示す。
【図１４】実施態様Ａ３およびＡ４に係る感圧装置の一例の模式的断面図である。
【図１５】実施態様Ａ３およびＡ４に係る感圧装置の別の一例の模式的断面図である。
【図１６】実施態様Ａ４およびＢ２に係る感圧装置の一例の模式的斜視図および当該感圧装置において感圧部が有し得る平面視形状の一例（平面状）を示す。
【図１７】実施態様Ａ４およびＢ２に係る感圧装置の別の一例の模式的斜視図および当該感圧装置において感圧部が有し得る平面視形状の一例（平面状）を示す。
【図１８】実施態様Ｂ１およびＢ２に係る感圧装置の一例の模式的断面図である。
【図１９】実施態様Ｂ１およびＢ２に係る感圧装置の別の一例の模式的断面図である。
【図２０】本開示の感圧装置の形状の一例を示す見取り図である。
【図２１】本開示の感圧装置の形状の一例を示す見取り図である。
【図２２Ａ】本開示の感圧装置の形状の一例を示す見取り図である。
【図２２Ｂ】本開示の感圧装置の形状の一例を示す見取り図である。
【図２３】本開示の感圧装置の形状の一例を示す見取り図である。
【図２４】実施態様Ａ１、Ａ３およびＢ１に係る感圧装置において感圧部が有し得る平面視形状の一例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［検出メカニズム］
本開示の感圧部品は、電極が体積抵抗率を有することに起因して、圧力変化に対する感度が、押圧位置から近い場合と、遠い場合とで異なることを利用する。これにより、比較的簡易な構造であっても、押圧位置と押圧力の両方を同時に検出することができる。
【００１１】
以下、本開示の感圧部品およびこれを用いた感圧装置について、幾つかの実施態様により、図面を用いて詳しく説明するが、図面における各種の要素は、本開示の理解のために模式的かつ例示的に示したにすぎず、外観および寸法比などは実物と異なり得る。尚、本明細書で直接的または間接的に用いる“上下方向”、“左右方向”および“表裏方向”はそれぞれ、図面紙上における、上下方向、左右方向および表裏方向に対応した方向に相当する。また特記しない限り、同じ符号または記号は、同じ部材または同じ意味内容を示すものとする。
【００１２】
本開示の感圧部品１は、例えば図１に示すように、感圧部２および端子２１（例えば２１ａ、２１ｂ）および２２（例えば２２ａ、２２ｂ）を含み、感圧装置５０を構成する。図１は、本開示の感圧部品の検出原理を説明するための感圧部品の一例の模式的断面図である。
【００１３】
感圧部２は、第１面１０１および該第１面と反対側の第２面１０２とを有する誘電体１０と、当該誘電体１０の第１面１０１の側に配置された第１の電極１１と、当該誘電体１０の第２面１０２の側に配置された第２の電極１２と、を有する。
【００１４】
端子は、第１の電極１１の少なくとも１ヵ所に電気的に接続された少なくとも１つの第１の端子２１（例えば２１ａ、２１ｂ）と、第２の電極１２の少なくとも１ヵ所に電気的に接続された少なくとも１つの第２の端子２２（例えば２２ａ、２２ｂ）とを含む。第１の端子２１は通常、第１の電極１１の端部に電気的に接続され、第１の電極１１が後述のように線状を有する場合であっても、または平面状を有する場合であっても、第１の端子２１は第１の電極１１の一端および／または他端に電気的に接続されることが望ましい。第２の端子２２は、図１において、第２の電極１２の両端に電気的に接続されているが、これに限定されるものではなく、第２の電極１２の一端のみに電気的に接続されていてもよいし、または任意の位置に電気的に接続されていてもよい。第２の端子２２は、例えば、第２の電極１２の中央部で１カ所に電気的に接続されていてもよい。第１の端子２１と第２の端子２２のとの間には通常、測定器３０（例えば３０ａ、３０ｂ）が電気的に接続されている。
【００１５】
本開示においては、第１の電極１１は所定の体積抵抗率を有する。このため、図１に示すように押圧力Ｆが外部から加えられると、当該押圧力Ｆが加えられた押圧位置と第１の端子２１との距離に応じて、第１の電極１１における押圧位置と第１の端子２１との間の抵抗値が変化する。これに伴い、押圧位置および押圧力を示唆し得る所定のパラメータが変化するため、押圧位置および押圧力（特に押圧位置）を検出することができる。図１において、押圧力Ｆは第１の電極１１側から加えられているが、これに限定されず、第２の電極１２側から加えられてもよい。
【００１６】
第１の電極１１が有する所定の体積抵抗率は、後で詳述するように、押圧変形時において、測定器により、後述するＲＣ遅延時間またはインピーダンスおよびそれらの変化を測定できる程度の体積抵抗率という意味である。第１の電極１１の端子間（例えば端子２１ａと２１ｂ間）の抵抗率は例えば、１００Ω〜１０ＭΩ、特に１ｋΩ〜５００ｋΩである。
【００１７】
押圧位置および押圧力を示唆し得る所定のパラメータとしては、例えば、抵抗値と静電容量との積により決定される遅延時間（時定数）（本明細書中、「ＲＣ遅延時間」という）および感圧部品のインピーダンスが挙げられる。本開示において、ＲＣ遅延時間を測定することにより、押圧位置と押圧力の両方を検出する方法は、以下、「ＲＣ遅延時間法」と称することがあり、後述する具体例としての実施態様Ａ１〜Ａ４を包含する。インピーダンスを測定することにより、押圧位置と押圧力の両方を検出する態様は、以下、「インピーダンス法」と称することがあり、後述する具体例としての実施態様Ｂ１〜Ｂ２を包含する。
【００１８】
ＲＣ遅延時間法において、ＲＣ遅延時間は、押圧位置および押圧力と相関関係を有するパラメータである。例えば、図１に示すように第１の電極１１における第１の端子２１ａからのＸ座標において、押圧位置が測定器３０ｂに近いほど、かつ、押圧力が大きいほどＲＣ遅延時間は大きく変化する（図２参照）。一方、押圧位置が測定器３０ｂに遠いほど、押圧力が大きくてもＲＣ遅延時間は小さな変化しか示さない（図２参照）。従って、ＲＣ遅延時間を測定することにより、押圧位置および押圧力（特に押圧位置）を検出することができる。図２は、ＲＣ遅延時間法により押圧位置と押圧力を検出するための検出原理を説明するための押圧位置のＸ座標−ＲＣ遅延時間のグラフである。図２において、右側測定結果とは、図１の右側の測定器３０ｂにより測定された結果のことである。
【００１９】
詳しくは、ＲＣ遅延時間を、押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、少なくとも２回測定することにより、当該測定値に基づいて押圧位置と押圧力の両方を検出することができる。ＲＣ遅延時間の測定に要する時間は特に限定されず、例えば、０．０１〜１０００ミリ秒、特に１〜１００ミリ秒である。
【００２０】
ＲＣ遅延時間を少なくとも２回測定する方法として、例えば、測定経路が異なる以下の方法が挙げられる：
ＲＣ遅延時間法１：第１の電極１１において接続位置が異なる少なくとも２つの第１の端子２１のうち、いずれか１つの第１の端子２１を介した測定を少なくとも２回、当該第１の端子を変えて行う。この方法においては、少なくとも２つの測定経路を要する。
ＲＣ遅延時間法２：第１の電極１１に接続された１つの第１の端子２１を介した測定を少なくとも２回、負荷抵抗の抵抗値を変えて行う。この方法においては、少なくとも１つの測定経路があればよい。測定に使用される抵抗値が異なる少なくとも２つの負荷抵抗のうち、１つの負荷抵抗は通常、測定器に内蔵される負荷抵抗を使用してもよいし、または測定器の内部または外部に別途、設けたものを使用してもよい。残りの少なくとも１つの負荷抵抗は電極１１に由来する抵抗値であり、押圧位置により異なる値を取る。
【００２１】
上記ＲＣ遅延時間法１は後述する実施態様Ａ１〜Ａ２を包含するものである。ＲＣ遅延時間法１においては、ＲＣ遅延時間を、押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、第１の電極１１において接続位置が異なる２つの第１の端子２１（２１ａ、２１ｂ）のうち、一方の第１の端子２１を介して測定し（例えば、第１の測定器３０ａによる測定）、次いで、他方の第１の端子を介して測定する（例えば、第２の測定器３０ｂによる測定）。例えば、図１に示すように、押圧位置をＸ座標上で変えて、左側測定器３０ａによりＲＣ遅延時間（ｔＲＣｌ）を測定すると、ＲＣ遅延時間（ｔＲＣｌ）と押圧力ｐ（＝Ｆ）と押圧位置ｘとの間に図３の破線で示すような相関関係が得られる。右側測定器３０ｂによりＲＣ遅延時間（ｔＲＣｒ）を測定すると、ＲＣ遅延時間（ｔＲＣｒ）と押圧力ｐ（＝Ｆ）と押圧位置（Ｌ−ｘ）との間に図３の実線で示すような相関関係が得られる。ある特定の位置で特定の圧力を加えたとき、これらの相関関係より、ｔＲＣｌおよびｔＲＣｒは同じ押圧位置を示し、押圧力ｐ（＝Ｆ）と押圧位置ｘが求められる。
【００２２】
換言すると、上記左側測定器３０ａに基づく相関関係と、上記右側測定器３０ｂに基づく相関関係とを、押圧位置（Ｘ座標）−圧力（押圧力ｐ（＝Ｆ））のグラフに表すと、図４に示すようなグラフが得られる。これらの交点を算出することによっても、押圧力ｐ（＝Ｆ）と押圧位置ｘが求められる。
【００２３】
上記ＲＣ遅延時間法２は後述する実施態様Ａ３〜Ａ４を包含するものである。ＲＣ遅延時間法２においては、ＲＣ遅延時間を、第１の電極１１に接続された１つの第１の端子２１（例えば２１ａ）を介して測定するに際し、押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、負荷抵抗の抵抗値を変えて少なくとも２回行う。例えば、図１に示すように、第１の測定器３０ａのみにより、１つの第１の端子２１ａを介して、１回の押圧変形時において、負荷抵抗の抵抗値を変えて少なくとも２回ＲＣ遅延時間を測定する。図１において、負荷抵抗は示されていないが、第１の測定器３０ａ内に異なる抵抗値を有する少なくとも２種類の負荷抵抗が内蔵されているものとする。このように１つの測定経路において負荷抵抗の抵抗値を変えて測定されたＲＣ遅延時間（例えば、ｔＲＣ１１およびｔＲＣ１２）はいずれも、上記ＲＣ遅延時間法１のように、押圧力ｐ（＝Ｆ）および押圧位置ｘとの相関関係で得られる。これらの相関関係を、上記ＲＣ遅延時間法１のように、押圧位置（Ｘ座標）−圧力（押圧力ｐ（＝Ｆ））のグラフに表すことにより、これらの交点として、押圧力ｐ（＝Ｆ）と押圧位置ｘが求められる。ＲＣ遅延時間法２においては、最小で１つの測定器の使用で足り、例えば図１中の測定器３０ｂの使用は要しない。
【００２４】
インピーダンス法において、インピーダンスは「Ｒ＋ｊＸ」で表される複素数であり、ここでＲはインピーダンスの実数部、Ｘはインピーダンスの虚数部である。このようなインピーダンスもまた、押圧位置および押圧力と相関関係を有するパラメータである。すなわち、実数部ＲはＲ＝ρｘ／（ｗｔ）で表され、虚数部ＸはＸ＝１／（ωＣ）で表される。ρは第１の電極１１の体積抵抗率であり、ｘは測定器を接続する第１の端子からの距離であり、ｗは第１の電極１１の幅であり、ｔは第１の電極１１の厚みであり、ωは２×π×ｆであり、πは円周率、ｆは周波数であり、Ｃは静電容量である。従って、ｘ＝Ｒｗｔ／ρ、Ｆ＝ｆ−１（１／（ωＸ））を求めることにより、押圧力ｐ（＝Ｆ）と押圧位置ｘが求められる。
【００２５】
詳しくは、感圧部品のインピーダンスを、押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、少なくとも１回測定することにより、当該測定値に基づいて押圧位置と押圧力の両方を検出することができる。インピーダンスの測定に要する時間は特に限定されず、例えば、０．０１〜１０００ミリ秒、特に１〜１００ミリ秒である。
【００２６】
本開示の感圧部品および当該感圧部品を用いた感圧装置について、以下の実施態様を用いて詳しく説明する。
【００２７】
［実施態様Ａ］（ＲＣ遅延時間法）
（感圧部品および感圧装置）
実施態様Ａは、ＲＣ遅延時間を測定することにより、押圧位置および押圧力を検出する
態様である。実施態様Ａに係る感圧部品および感圧装置は、第１の電極１１の平面視形状および／またはＲＣ遅延時間の測定経路が互いに異なる実施態様Ａ１〜Ａ４を包含する。本明細書中、平面視形状とは、上面から見たときの形状という意味であり、例えば、図１の感圧部品を、第１の電極側（図１中、上方向）から見たときの透視形状も包含する。
【００２８】
＜実施態様Ａ１＞（ＲＣ遅延時間法１）
本実施態様においては、第１の電極１１が線状を有し、かつＲＣ遅延時間の測定経路が第１の電極１１の一端から測定する経路と他端から測定する経路を含む。
【００２９】
本実施態様の感圧部品１Ａ１は、例えば図５に示すように、感圧部２Ａ１および複数の端子（例えば２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ）を備えている。図５は実施態様Ａ１に係る感圧装置の一例の模式的断面図である。
【００３０】
感圧部２Ａ１は、
第１面１０１および該第１面と反対側の第２面１０２とを有する誘電体１０と、
誘電体１０の第１面１０１の側に配置された第１の電極１１と、
誘電体の第２面１０２の側に配置された第２の電極１２と、を有する。
【００３１】
本実施態様において感圧部２Ａ１は上面平面視において線状に構成されている。感圧部を線状に構成することにより、押圧位置から第１の端子までの導通距離が電気抵抗として反映されるため、押圧位置が効果的に端子間（電極間）の電気抵抗に反映され、感圧装置を構成したときに感圧位置を精度よく検出できる。感圧部は線状に構成されているとは、感圧部２Ａ１を構成する少なくとも第１の電極１１もしくは第２の電極１２が線状を有するという意味である。線状は、直線状、曲線状、ミアンダ状、およびこれらの複合形状等のあらゆる線状を包含し、全ての線状は連続して形成されている。線状は、筆を紙面から離さず、かつ同じ線を2回たどらずに書くことができる形状であってもよい。感圧部２Ａ１は、押圧位置および押圧力の検出精度の向上の観点から、上面平面視においてミアンダ形状で構成されていることが望ましい。上面平面視とは、上面から見たときの平面図という意味であり、例えば、図５の感圧部品を、第１の電極側（図１中、上方向）から見たときの透視図も包含する。
【００３２】
感圧部２Ａ１を構成する第２の電極１２および誘電体１０の平面視形状は特に限定されず、第１の電極１１と第２の電極１２との間に誘電体１０が存在する限り、それぞれ独立して、例えば、第１の電極１１と同一の線状を有していてもよいし、または第１の電極の線状よりも広い領域で形成されていてもよい。第１の電極の線状よりも広い領域とは、例えば、感圧部品の上面平面視において第１の電極の線状よりも広い領域という意味であり、感圧部品の全面にわたる領域であってもよい。本実施態様においては、感圧部品の製造コストおよび感圧部品の簡便な構造の観点から、第２の電極および誘電体の両方は、感圧装置の上面平面視において感圧部品の全面にわたる領域に形成されていることが望ましい。本実施態様においては、好ましい態様として、第１の電極１１が線状を有し、かつ第２の電極１２が第１の電極の線状よりも広い領域で形成される場合について説明するが、本実施態様は、第２の電極１２が線状を有し、かつ第１の電極１２が第２の電極の線状よりも広い領域で形成される場合も好ましく包含する。第１の電極１２の材料の方が第２の電極１２の材料よりも安価なことがあるためである。第２の電極の線状よりも広い領域とは、例えば、感圧部品の上面平面視において第２の電極の線状よりも広い領域という意味であり、感圧部品の全面にわたる領域であってもよい。
【００３３】
本実施態様において端子は、第１の電極２１の少なくとも２ヵ所に電気的に接続された少なくとも２つの第１の端子（例えば、２１ａ、２１ｂ）と、第２の電極２２の少なくとも１ヵ所に電気的に接続された少なくとも１つの第２の端子２２（例えば、２２ａ、２２ｂ）と、を含む。本実施態様において第１の端子２１のうち２つの第１の端子２１ａ、２１ｂはそれぞれ、図５に示すように、感圧部２Ａ１における第１の電極１１の一端および他端に電気的に接続されている。詳しくは第１の端子のうち１つの第１の端子２１ａは感圧部２Ａ１における第１の電極１１の左側の一端に接続されており、別の１つの第１の端子２１ｂは感圧部２Ａ１における第１の電極１１の右側の他端に接続されている。
【００３４】
第２の端子２２は、図５において、２２ａおよび２２ｂとして第２の電極１２の両端に電気的に接続されて、後述の各測定器と感圧部との間に介在しているが、これに限定されるものではない。例えば、第２の端子２２ａおよび２２ｂはそれぞれ、第２の電極１２の任意の位置に電気的に接続されていてもよいし、または第２の端子２２ａおよび２２ｂは共通化されて第２の電極１２のいずれか１カ所のみに電気的に接続されてもよい。
【００３５】
本実施態様の感圧装置５０Ａ１は通常、上記した本実施態様の感圧部品１Ａ１と、ＲＣ遅延時間を測定するための少なくとも２つの測定器と、を備えている。測定器は、前記２つの第１の端子２１ａ、２１ｂのうちの一方と第２の端子２２のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第１の測定器（例えば、３０ａ）、および前記２つの第１の端子２１ａ、２１ｂのうちの他方と第２の端子２２のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第２の測定器（例えば、３０ｂ）を含む。本実施態様においては、第１の端子２１ａ、２１ｂと第２の端子２２ａ、２２ｂのとの間にはそれぞれ、第１の測定器３０ａおよび第２の測定器３０ｂが電気的に接続されていてもよい。
【００３６】
本実施態様においては、押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、第１の電極１１における一端側の第１の端子２１ａおよび他端側の第１の端子２１ｂそれぞれを介して、少なくとも１回ずつ、ＲＣ遅延時間を測定する。詳しくは、第１の測定器３０ａおよび第２の測定器３０ｂのそれぞれにより、少なくとも１回ずつ、押圧変形時において、ＲＣ遅延時間を測定する。その結果、上記したＲＣ遅延時間法１に基づいて、押圧位置と押圧力が求められる。少なくとも２回のＲＣ遅延時間の測定、例えば、第１の測定器３０ａによる測定および第２の測定器３０ｂによる測定は、相互に測定値に影響を与えない範囲内で連続的に行われる。
【００３７】
ＲＣ遅延時間の測定に際して付与または測定される電圧は、例えば、以下の通りである。Ｖｅは第１および第２の測定器３０ａ、３０ｂにおいて付与される電圧、例えば測定装置の接地端子と励起端子の間の電圧である。Ｖｌは第１の測定器３０ａにおいて測定される電圧（接地端子と測定端子の間において測定される電圧）であり、Ｖｒは第２の測定器３０ｂにおいて測定される電圧（接地端子と測定端子の間において測定される電圧）である。付与される電圧Ｖｅと、測定される電圧ＶｌおよびＶｒとの関係は下式で示される。
【００３８】
【数１】
2019196904.tif 000003
【００３９】
Ｒａ，Ｒｂは図５に記載のようにｘの関数であり、押圧位置が決まればｘは決まるので、電圧は確定し、Ｖｒ，Ｖｌは時間ｔに応じた関数になる。Ｖｅは通常、０．１Ｖ〜１０Ｖ、特に１Ｖ〜５Ｖである。
【００４０】
第１の測定器３０ａおよび第２の測定器３０ｂそれぞれにより測定されたＲＣ遅延時間ｔＲＣｌおよびｔＲＣｒ、および既知数を以下の式に代入して、未知数Ｃ、ｘ、ＲａおよびＲｂを算出することができる。その結果、Ｃおよびｘより、押圧力と押圧位置が求められる。
【００４１】
【数２】
2019196904.tif 000004
【００４２】
Ａｌは第１の測定器３０ａにより負荷抵抗Ｒｌを用いてＲＣ遅延時間を測定したときの、第１の端子２１ａの電圧の励起端子の電圧に対する比率であり、０＜Ａｌ＜１の値である。当該励起端子は、第１の測定器３０ａ内部において、負荷抵抗Ｒｌが接続される端子である。
Ａｒは第２の測定器３０ｂにより負荷抵抗Ｒｒを用いてＲＣ遅延時間を測定したときの、第１の端子２１ｂの電圧の励起端子の電圧に対する比率であり、０＜Ａｒ＜１の値である。当該励起端子は、第２の測定器３０ｂ内部において、負荷抵抗Ｒｒが接続される端子である。
Ｒｌは第１の測定器３０ａに内蔵される負荷抵抗である。
Ｒｒは第２の測定器３０ｂに内蔵される負荷抵抗である。
Ｃは静電容量である。
ρは第１の電極１１の体積抵抗率である。
ｘは第１の測定器３０ａを接続する第１の端子２１ａからの距離である。
ｗは第１の電極１１の幅である。
ｔは第１の電極１１の厚み（特に突起部を有する部分の厚み）である。
【００４３】
本実施態様の感圧装置５０Ａ１は、図５には示されていないが、通常は制御部および演算部を更に備えている。
【００４４】
制御部は、複数の測定器（例えば、第１の測定器３０ａおよび第２の測定器３０ｂ）が動作するタイミングを制御する。詳しくは、各測定器による測定が、相互に測定値に影響を与えないように、制御部により、これらの測定の間に時間差を設ける。時間差は通常、０．０１〜１０００ミリ秒であってよい。制御部は、測定器同士の動作時の干渉を抑制し、精度の高いＲＣ遅延時間の測定を可能にする。図５においては、制御部により、第１の測定器３０ｂによる測定を行っているところを示している。詳しくは図５では、測定に負荷抵抗Ｒｒを用いるために、当該負荷抵抗に並列する配線のスイッチは閉じられている。測定に負荷抵抗Ｒｌを用いる場合には、当該負荷抵抗に並列する配線のスイッチが閉じられ、負荷抵抗Ｒｒに並列する配線のスイッチは開かれる。
【００４５】
演算部は、複数の測定器（例えば、第１の測定器３０ａおよび第２の測定器３０ｂ）による測定値を用いて、上記したＲＣ遅延時間法１および上記式に基づいて押圧位置と押圧力の両方を算出する。
【００４６】
感圧装置５０Ａ１は、線状の第１の電極の１１の両端から電気特性を測定できるため、一端のみから測定する方法に比べて、高い精度での押圧位置の検出が可能になる。また、測定器に用いる負荷抵抗Ｒｒ、Ｒｌも第１の電極１１の形状に応じて最適化できるため精度の高い測定が可能になる。
【００４７】
（構成要素）
本開示の感圧装置を構成する各種要素について詳しく説明する。
【００４８】
第１の電極１１は第１の面１１０を誘電体１０の側に対向させて配置されている。第１の電極１１は、誘導体１０と対向する第１の面１１０に複数の突起部１１１を有してもよい。突起部１１１は、例えば図５に示すように、第１の電極１１のベース部分から誘電体１０に向かって突出する形態を有している。換言すれば、第１の電極１１は、そのベース部分から誘電体１０の設置方向に向かって局所的に隆起した凹凸形態を有している。第１の電極１１の突起部１１１の個数は通常、少なくとも１つである。突起部１１１が２つ以上設けられており、それゆえ、第１の電極１１は複数の突起部１１１を有していてもよい。複数の突起部１１１が設けられている態様に起因して、第１の電極１１が全体として凹凸形態を有することになり、その凹凸形態における凸部が突起部１１１に相当する。
【００４９】
第１の電極１１の突起部１１１はテーパ形状を有していてもよい。具体的には、第１の電極１１の突起部１１１は、その幅寸法が誘電体１０に向かって漸次減じられたテーパ形状を有していてもよい（図５参照）。図５に示すように、例えば突起部１１１は、全体として円錐台、四角錐台などの錐台形態を有していてもよい。
【００５０】
突起部１１１の高さ寸法は、外部からの押圧力により第１の電極１１と第２の電極１２との間の静電容量が変化する限り、いずれの寸法であってよい。また、複数の突起部１１１は規則正しく配列されていてもよい。複数の突起部１１１のピッチ寸法もまた、外部からの押圧力により第１の電極１１と第２の電極１２との間の静電容量が変化する限り、特に制限はない。
【００５１】
第１の電極１１（特にベース部分）の厚みは、外部からの押圧力により第１の電極１と第２の電極１２との間の静電容量が変化する限り特に限定されず、通常は１〜１０００μｍ、望ましくは１０〜２００μｍであり、例えば１つ例示すると１００μｍがより望ましい。第１の電極１１のベース部分とは、突起部を有しない部分のことである。
【００５２】
第１の電極１１は、図５において、線状に形成されている。線状の第１の電極１１の幅寸法は、第１の電極１と第２の電極１２との間の静電容量が変化する限り特に限定されず、通常は１μｍ〜２０ｃｍ、望ましくは１００μｍ〜２ｃｍであり、例えば１つ例示すると３００μｍがより望ましい。第１の電極１１の幅寸法は一定であっても、または局所的に変化してもよいが、押圧位置および押圧力の検出精度の観点から、一定であることが望ましい。
【００５３】
第１の電極１１（特に突起部１１１）は、弾性特性を有するものであってよく、あるいは、剛性特性を有するものであってもよい。本明細書中、弾性特性とは、外力によって局所的に変形し、除力すると元の形状へと戻る特性をいう。剛性特性とは、外力による変形に対して抵抗する特性をいう。感圧装置のフレキシブル特性の観点から、第１の電極１１（特に突起部１１１）は弾性特性を有することが望ましい。フレキシブル特性は、感圧部品および感圧部品の全体特性としての軟質性と湾曲性とを包含する概念で用いるものとする。なお、第１の電極１１が弾性特性を有する場合であっても、剛性特性を有する場合であっても、上記した所定の体積抵抗率を有している。
【００５４】
第１の電極１１は、押圧位置と押圧力の検出精度のさらなる向上および後述する容量変化のリニアリティ特性の観点から、誘電体１０に対向する面１１０に複数の突起部１１１を有し、導電性ゴムからなることが望ましい。
【００５５】
第１の電極１１（特に突起部１１１）が弾性特性を有する場合、当該第１の電極１１（特に突起部１１１）は弾性電極部材に相当する。弾性型第１の電極１１は、「弾性特性（特に「突起部１１１における弾性特性）」と「導電特性」との双方の性質を有していれば、いずれの材質から成るものであってよい。例えば、弾性型第１の電極１１（特に突起部１１１）は、樹脂材料（特にゴム材料）およびその樹脂材料内に分散した導電性フィラーからなる導電性樹脂から構成されたものであってよい。望ましい弾性型第１の電極１１（特に突起部１１１）は、ゴム材料およびそのゴム材料内に分散した導電性フィラーからなる導電性ゴムから構成される。弾性型第１の電極１１が導電性ゴムから構成されることにより、押圧力を効果的に検出でき、また押圧時の押圧感を演出できる。樹脂材料としては、例えば、スチレン系樹脂、シリコーン系樹脂（例えば、ポリジメチルポリシロキサン（ＰＤＭＳ））、アクリル系樹脂、ロタキサン系樹脂およびウレタン系樹脂等から成る群から選択される少なくとも１種の樹脂材料であってよい。ゴム材料としては、例えば、シリコーンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、ポリイソブチレン、エチレンプロピレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、アクリルゴム、フッ素ゴム、エピクロルヒドリンゴム、ウレタンゴム等から成る群から選択される少なくとも１種のゴム材料であってよい。導電性フィラーは、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）、Ｃ（カーボン）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、Ｉｎ２Ｏ３（酸化インジウム（III））およびＳｎＯ２（酸化スズ（IV））から成る群から選択される少なくとも１種の材料を含んで成るものであってよい。また、尚、導電性フィラーに代えて又はそれに加えて、導電層を用いてもよい。具体的には、樹脂構造体（特にゴム構造材）の表面に導電性インクの塗布などによって導電層が設けられて成る第１の電極１１であってもよい。第１の電極１１が突起部１１１を有する場合、第１の電極１１は突起部１１１を包含する概念で用いるものとする。
【００５６】
弾性型第１の電極１１の弾性率、特に、弾性を有する突起部１１１の弾性率は、感圧素子に対して加えられる通常の押圧力（例えば約１Ｎ〜１０Ｎの押圧力）によって、突起部１１１が徐々に変形することになるように、約１０４〜１０８Ｐａであってもよい。かかる弾性率は導電性フィラーと樹脂材料（ゴム材料）との相対的割合を変更することによって調整できる。また、第１の電極１１の抵抗率は、所望の周波数帯域において容量のインピーダンスよりも適度に小さくてもよい。かかる抵抗率もまた導電性フィラーと樹脂材料（ゴム材料）との相対的割合を変更することによって調整できる。
【００５７】
弾性を有する突起部１１１がテーパ形状を有することによって、突起部１１１が好適に弾性変形することになり、それゆえ、突起部１１１と誘電体１０との接触領域の増加が好適にもたらされ、結果として後で詳述するように、第１の電極１１と第２の電極１２との間の静電容量がより一層十分に変化する。
【００５８】
第１の電極１１（特に突起部１１１）が剛性特性を有する場合、当該第１の電極１１（特に突起部１１１）は剛性電極部材に相当し得る。剛性型第１の電極１１は、「剛性特性（特に「突起部１１１における剛性特性）」と「導電特性」との双方の性質を有していれば、いずれの材質から成るものであってよい。剛性型第１の電極１１（特に突起部１１１）は、例えば、感圧素子に対して加えられる通常の押圧力（例えば約１Ｎ〜１０Ｎの押圧力）によっても変形しないような、約１０８Ｐａ超、特に１０８Ｐａ超１０９Ｐａ以下の弾性率、例えば１つ例示すると約５×１０８Ｐａの弾性率、を有していればよい。剛性型第１の電極１１の「導電特性」は、弾性型第１の電極１１（特に突起部１１１）の「導電特性」と同様であってよい。
【００５９】
剛性型第１の電極１１（特に突起部１１１）は、例えば、金属体から構成されたものであってもよいし、ガラス体およびその表面に形成された導電層および／またはその中に分散された導電性フィラーから構成されたものであってもよいし、または樹脂体およびその表面に形成された導電層および／またはその樹脂体内に分散された導電性フィラーから構成されたものであってよい。金属体は、金属からなる電極部材であり、すなわち第１の電極１１（特に突起部１１１）は実質的に金属からなるものでよい。金属体は、例えば、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）、Ｃ（カーボン）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、Ｉｎ２Ｏ３（酸化インジウム（III））およびＳｎＯ２（酸化スズ（IV））から成る群から選択される少なくとも１種の金属を含んで成る。ガラス体は、酸化ケイ素の網目状構造を有するものであれば特に限定されず、例えば、石英ガラス、ソーダ石灰ガラス、ホウケイ酸ガラス、鉛ガラス等から成る群から選択される少なくとも１種のガラス材料を含んで成るものであってよい。樹脂体は、スチレン系樹脂、シリコーン系樹脂（例えば、ポリジメチルポリシロキサン（ＰＤＭＳ））、アクリル系樹脂、ロタキサン系樹脂およびウレタン系樹脂等から成る群から選択される少なくとも１種の樹脂材料を含んで成るものであってよい。ガラス体および樹脂体の導電層は、金属体を構成し得る金属と同様の金属の群から選択される少なくとも１種の金属を蒸着させてなる層であってもよいし、または導電性インクの塗布などによって形成されてなる層であってもよい。ガラス体および樹脂体の導電性フィラーは、金属体を構成し得る金属と同様の金属の群から選択される少なくとも１種の金属を含んで成るものであってよい。
【００６０】
例えば、剛性型第１の電極１１（特に突起部１１１）が金属体から構成される場合、またはガラス体および導電層および／または導電性フィラーから構成される場合、その弾性率は通常、上記範囲内である。また例えば、剛性型第１の電極１１（特に突起部１１１）が樹脂体および導電層および／または導電性フィラーから構成される場合、その弾性率は、樹脂体を構成する樹脂材料の重合度および化学構造の設計、当該樹脂材料と導電性フィラーの相対的割合を変更することによって調整できる。
【００６１】
また例えば、剛性型第１の電極１１（特に突起部１１１）が金属体から構成される場合、またはガラス体または樹脂体および導電層から構成される場合、その抵抗率は通常、所望の周波数帯域において容量のインピーダンスよりも適度に小さい抵抗率を有している。また例えば、剛性型第１の電極１１（特に突起部１１１）がガラス体または樹脂体および導電性フィラーから構成される場合、その抵抗率は、ガラス体を構成するガラス材料または樹脂体を構成する樹脂材料と導電性フィラーとの相対的割合を変更することによって調整できる。
【００６２】
第１の電極１１は感圧装置のフレキシブル特性の観点から導電性ゴムから構成されることが望ましい。
【００６３】
誘電体１０は、第１の電極１１の形状に対応した形状（線状）に対応した平面視形状で形成されてもよいし、または第１の電極１１の線状よりも広い領域で形成されていてもよい。誘電体１０は通常、層形態を有していてもよい。
【００６４】
誘電体１０は、少なくとも「誘電体」としての性質を有していれば、いずれの材質から成るものであってよい。例えば、誘電体１０は、樹脂材、セラミック材および／または酸化金属材などを含んで成るものであってよい。あくまでも例示にすぎないが、誘電体１０は、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレンテレフテレート樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、Ａｌ２Ｏ３、およびＴａ２Ｏ５などから成る群から選択される少なくとも１種の材料を含んで成るものであってよい。
【００６５】
誘電体１０は、剛性特性を有するものであってよく、あるいは、弾性特性を有するものであってもよい。誘電体１０は感圧装置のフレキシブル特性の観点からポリイミド樹脂から構成されることが望ましい。
【００６６】
誘電体１０は、押圧時にて第１の電極１１（特に突起部１１１）よりも変形しないように、第１の電極１１（特に突起部１１１）よりも高い弾性率を有していてもよい。例えば、第１の電極１１（特に突起部１１１）の弾性率が約１０４Ｐａ〜１０８Ｐａである場合、それよりも高い弾性率を誘電体１０が有していてもよい。同様にして、誘電体１０は、押圧時に第１の電極１１（特に突起部１１１）よりも変形しないように、第１の電極１１（特に突起部１１１）の変形量よりも薄膜であってもよい。誘電体１０は、押圧時にて弾性を有していてもよく、例えば、約１０４Ｐａ〜１０８Ｐａの弾性率を有していてもよい。誘電体１０は、所望の周波数帯域において、容量のインピーダンスよりも高い抵抗値を有する材料を含んでいてもよい。
【００６７】
誘電体１０の厚みは、外部からの押圧力により第１の電極１１と第２の電極１２との間の静電容量が変化する限り特に限定されず、通常は０．１〜５０μｍ、望ましくは１〜２０μｍであり、例えば１つ例示すると７．５μｍがより望ましい。
【００６８】
第２の電極１２は、「導電特性」の性質を少なくとも有するのであれば、いずれの材質から成るものであってよい。例えば、第２の電極１２は、導電層、樹脂構造体、またはその樹脂構造体内に分散した導電性フィラーから構成されたものであってよい。導電層は、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）、Ｃ（カーボン）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、Ｉｎ２Ｏ３（酸化インジウム（III））およびＳｎＯ２（酸化スズ（IV））から成る群から選択される少なくとも１種の材料を含んで成るものであってよい。樹脂構造体は、スチレン系樹脂、シリコーン系樹脂（例えば、ポリジメチルポリシロキサン（ＰＤＭＳ））、アクリル系樹脂、ロタキサン系樹脂およびウレタン系樹脂等から成る群から選択される少なくとも１種の樹脂材料を含んで成るものであってよい。導電性フィラーは、導電層を構成し得る材料として例示した同様の上記材料から成る群から選択される少なくとも１種の材料を含んで成るものであってよい。第２の電極１２はまた、樹脂構造体の表面に導電性インクの塗布などによって導電層が設けられて成る電極であってもよい。第２の電極１２の材質は、例えば１０８Ｐａ以上の弾性率を有している。「導電特性」について、第２の電極１２の抵抗値は第１の電極１１に比較して極端に大きな値を示さなければよい。しかしながら、通常の回路基板等に使用される電極（例えば銅箔）等から構成することにより経済的に構成することができる。
【００６９】
第２の電極１２は感圧装置のフレキシブル特性の観点から銅箔から構成されることが望ましい。
【００７０】
第２の電極１２の厚みは、外部からの押圧力により第１の電極１１と第２の電極１２との間の静電容量が変化する限り特に限定されず、通常は１〜１００μｍ、望ましくは１〜２０μｍであり、例えば１つ例示すると６μｍがより望ましい。
【００７１】
ＲＣ遅延時間を測定するための測定器３０（３０ａおよび３０ｂ等を包含する）は、ＲＣ遅延時間を測定できる限り、電子部品の分野で従来から使用されているあらゆる測定器が使用可能であり、市販品として入手可能である。ＲＣ遅延時間を測定するための測定器は、後述するインピーダンスを測定するための装置よりも、安価に入手可能であり、感圧装置の製造コストの観点から有利である。
【００７２】
第１の端子２１（２１ａおよび２１ｂ等を包含する）および第２の端子２２（２２ａおよび２２ｂ等を包含する）は、従来から電子部品の分野で使用されているあらゆる端子が使用可能である。第１の端子２１および第２の端子２２は、例えば、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）、Ｃ（カーボン）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、Ｉｎ２Ｏ３（酸化インジウム（III））およびＳｎＯ２（酸化スズ（IV））から成る群から選択される少なくとも１種の材料を含んで成るものであってよい。
【００７３】
本実施態様の感圧装置は、第１の電極１１の誘電体１０側とは反対側の面１１２および／または第２の電極１２の誘電体１０側とは反対側の面（第２の面）１２２に支持層を有していてもよい。感圧装置が支持層を有することにより、押圧位置および押圧力をより十分な精度で検出できる。本実施態様の感圧装置は通常、当該感圧装置の上面平面視における全範囲にわたって、支持層を有してもよい。
【００７４】
支持層は、第１の電極１１および第２の電極１２を支持できる限りあらゆる材料から構成されていてもよい。あくまでも例示にすぎないが、支持層は、ポリイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂（例えば、ポリプロピレン樹脂）、ポリエステル樹脂（例えば、ポリエチレンテレフテレート樹脂）、ポリカーボネート樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、金属（鋼、ＳＵＳ、銅、アルミ）等から成る群から選択される少なくとも１種の材料を含んで成るものであってよい。支持層は感圧装置のフレキシブル特性の観点からポリイミド樹脂から構成されることが望ましい。
【００７５】
支持層の厚みは特に限定されず、感圧装置のフレキシブル特性の観点から望ましくは１０〜１００μｍであり、例えば１つ例示すると４０μｍがより望ましい。
【００７６】
本実施態様の感圧装置は、図５示されていないが、最表面（上面および／または下面）にベース部材を更に備えていてもよい。
【００７７】
ベース部材は、感圧装置において直接的に押圧され得る部材である。ベース部材は、外部からの押圧力を第１の電極１１と第２の電極１２との間に伝達できる材料から構成されていればよい。そのような材料として、例えば、ポリイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂（例えば、ポリプロピレン樹脂）、ポリエステル樹脂（例えば、ポリエチレンテレフテレート樹脂）、ポリカーボネート樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂等が挙げられる。ベース部材は感圧装置のフレキシブル特性の観点からポリイミド樹脂から構成されることが望ましい。
【００７８】
ベース部材の厚みは、外部からの押圧力を第１の電極１１と第２の電極１２との間に伝達できる限り特に限定されず、通常は１０〜１００μｍであり、感圧装置のフレキシブル特性の観点から望ましくは３０〜５０μｍであり、例えば１つ例示すると４０μｍがより望ましい。
【００７９】
本実施態様の感圧装置は、望ましくは図５に示すように、第１の電極１１と誘電体１０との間に空隙部を有しているが、必ずしも空隙部を有さなければならないというわけではない。すなわち、第１の電極１１の突起部１１１の最頂部分が誘電体１０と接触していてもよい。感圧装置が当該空隙部を有することにより、押圧位置および押圧力の検出精度が向上する。空隙部はスペーサー（図示せず）により確保することができる。
【００８０】
（容量変化特性）
本実施態様の感圧装置を用いたときの容量変化特性について詳しく説明する。本実施態様においては、感圧部２Ａ１は外部から加えられた押圧力Ｆの大きさに応じて変形し、当該変形に伴い、第１の電極１１と第２の電極１２との間の静電容量が変化する。このような容量変化を測定することにより、押圧位置と押圧力（特に押圧力）を検出することができる。本実施態様では、第１の電極１１側が感圧装置の押圧側となっているが、第２の電極１２側が感圧装置の押圧側となってもよい。
【００８１】
例えば、第１の電極１１（特に突起部１１１）が弾性特性を有し、かつ誘電体１０が剛性特性を有する場合、押圧側から押圧されると、図６Ａ〜図６Ｃに示すように弾性を有する突起部１１１はその高さ寸法を減じつつも幅寸法を徐々に大きくして変形することになる。その結果、弾性を有する突起部１１１と誘電体１０との接触面積Ｓが増加すると共に、空隙部３１はその厚みｄを減じるように変形する。
【００８２】
一方、コンデンサの容量Ｃ〔ｐＦ〕および感圧部品に加えられる荷重Ｆ〔Ｎ〕は、それぞれ以下の式で表される。
【数３】
2019196904.tif 000005
【数４】
2019196904.tif 000006
［式中、ε〔ｐＦ／ｍ〕は誘電体１０の誘電率、Ｓ〔ｍ２〕は突起部１１１と誘電体１０との接触面積、ｄ〔ｍ〕は空隙部３１の厚み、Ｅ〔Ｐａ〕はヤング率、ｅはひずみである。］
【００８３】
他方、第１の電極１１、誘電体１０および第２の電極１２を含む部分はコンデンサと見なすことができる。このようなコンデンサにおいて、突起部１１１と誘電体１０との接触領域を含む部分を第１コンデンサ部、当該接触領域を含まない部分を第２コンデンサ部と呼ぶとき、第１コンデンサ部の静電容量および第２コンデンサ部の静電容量はそれぞれ図７Ａおよび図７Ｂに示すような挙動を示す。詳しくは、第１コンデンサ部の静電容量は、図７Ａに示すように、加えられる荷重Ｆが大きくなるにつれて、容量Ｃの増加率が小さくなる。第２コンデンサ部の静電容量は、図７Ｂに示すように、加えられる荷重Ｆが大きくなるにつれて、容量Ｃの増加率が大きくなる。それゆえ、感圧装置は、図７Ｃに示すように、低荷重領域および高荷重領域において高いリニアリティ特性を呈することができる。具体的には、「第１コンデンサ部」と「第２コンデンサ部」との割合が調整されることにより、低荷重領域および高荷重領域での感度が調整され、感圧素子の高いリニアリティ特性が実現される。
【００８４】
また例えば、第１の電極１１（特に突起部１１１）が弾性特性を有し、かつ誘電体１０が弾性特性を有する場合、押圧側から押圧されると、図８に示すように、弾性を有する突起部１１１の少なくとも一部が誘電体１０に食い込むように誘電体１０が変形すると共に、弾性を有する突起部も変形する。その結果、弾性を有する突起部１１１と誘電体１０との接触面積Ｓが増加すると共に、空隙部３１はその厚みｄを減じるように変形する。そのため、このような場合においても、上記と同様に、当該感圧装置は低荷重領域および高荷重領域において高いリニアリティ特性を呈することができる。
【００８５】
また例えば、第１の電極１１（特に突起部１１１）が剛性特性を有し、かつ誘電体１０が弾性特性を有する場合、押圧側から押圧されると、図９Ａ〜図９Ｂに示すように、突起部１１１の一部が少なくとも誘電体１０に食い込むように誘電体１０が弾性変形する。その結果、突起部１１１と誘電体１０との接触面積Ｓが増加すると共に、空隙部３１はその厚みｄを減じるように変形する。そのため、このような場合においても、上記と同様に、当該感圧装置は低荷重領域および高荷重領域において高いリニアリティ特性を呈することができる。このとき、第２の電極１２は弾性特性または剛性特性のいずれの特性を有していてもよいが、リニアリティ特性の向上の観点から、第２の電極１２も「弾性特性」を有し、感圧部品への荷重付加により、図９Ｃに示すように、誘電体１０および第２の電極１２が弾性変形してもよい。
【００８６】
また例えば、第１の電極１１（特に突起部１１１）が剛性特性を有し、誘電体１０が剛性特性を有する場合においても、当該感圧装置は本開示の範囲内である。但し、この場合においては、突起部１１１と誘電体１０との接触領域の面積Ｓが増加し難いため、容量変化特性についてリニアリティはあまり向上するものではないが、厚みｄの減少に起因する容量変化は認められるため、押圧位置および押圧力はより十分に検出できる。
【００８７】
（実施態様Ａ１の一例）
本実施態様においては、第１の電極１１または第２の電極１２の一方は誘電体１０に対向する面（１１０または１２１）に複数の突起部（１１１または１２３）を有することが望ましい。押圧力を効果的に精度よく検出できるためである。従って、本実施態様においては、第１の電極１１が誘導体１０と対向する第１の面１１０に複数の突起部１１１を有する代わりに（図５参照）、図１０に示すように、第２の電極１２が誘導体１０と対向する第１の面１２１に複数の突起部１２３を有してもよい。図１０は実施態様Ａ１に係る感圧装置の一例の模式的断面図である。
【００８８】
図１０に示す感圧装置５０Ａ１は、第１の電極１１が突起部１１１を有さないこと、第２の電極１２が誘導体１０と対向する第１の面１２１に複数の突起部１２３を有すること以外、図５に示す感圧装置５０Ａ１と同様である。
【００８９】
図１０における感圧装置５０Ａ１の第１の電極１１は、突起部１１１を有さないこと以外、図５における感圧装置５０Ａ１の第１の電極１１と同様であり、例えば、所定の体積抵抗率を有する。このため、図１０における感圧装置５０Ａ１においても、上記した図５における感圧装置５０Ａ１と同様の方法により、ＲＣ遅延時間の測定が可能であり、また上記したＲＣ遅延時間法１により当該測定値に基づく押圧位置と押圧力の検出も可能である。
【００９０】
第１の電極１１に突起部１１１を設けず、第２の電極１２に突起部１２３を設けた場合、第１の電極１１の体積抵抗率および弾性率などの物性と第２の電極１２の突起部１２３の形状および機械的強度を、感圧装置５０Ａ１の用途に応じて別個に最適設計することができ、特性の向上あるいは製造コストの低減を図ることができる。例えば、第１の電極１１として、印刷電極を用い、第２の電極１２として、銅箔上にインクジェットで導電性樹脂を噴き付けてピラーを形成してもよい。
【００９１】
図１０の感圧装置５０Ａ１においては、押圧位置と押圧力の検出精度のさらなる向上および後述する容量変化のリニアリティ特性の観点から、第１の電極１１は導電性ゴムからなり、第２の電極１２は誘電体１０に対向する面１２１に複数の突起部１２３を有し、誘電体１０は弾性を有することが望ましい。
【００９２】
（実施態様Ａ１の別の一例）
本実施態様においては、複数の測定器（例えば、第１の測定器３０ａおよび第２の測定器３０ａ）を用いて、線状感圧部２Ａ１の複数の第１の端子（例えば、両端の第１の端子（２１ａ、２１ｂ）を介してＲＣ遅延時間を測定しているが、当該複数の測定器を共通化してもよい。例えば、図１１に示すように、複数の測定器（例えば、第１の測定器３０ａおよび第２の測定器３０ａ）として共通の１つの測定器３０ｃを用いてもよい。このとき、図１１の感圧装置５０Ａ１は切り換え器４０を更に備えている。当該切り替え器４０は、当該該１つの測定器３０ｃと複数の第１の端子（例えば、第１の端子２１ａ、２１ｂ）との間に介在し、かつ当該複数の第１の端子（例えば、第１の端子２１ａ、２１ｂ）への接続を切り替える機能を有する。このとき、演算部（図示せず）は、切り換え器４０の切り替え情報と１つの測定器３０ｃによる測定値を用いて、押圧位置と押圧力の両方を算出する。このように感圧装置５０Ａ１が切り替え器４０を備えることにより、少ない数の測定器で多数の位置からのＲＣ遅延時間の測定が可能になり、押圧位置と押圧力の大きさの両方を検出できるため、経済的である。図１１は実施態様Ａ１に係る感圧装置の更に別の一例の模式的断面図である。
【００９３】
図１１に示す感圧装置５０Ａ１においては、切り替え器４０は複数の第１の端子（例えば、第１の端子２１ａ、２１ｂ）を介して第１の電極１１に電気的に接続されているとともに、第２の端子２２ｃを介して第２の電極１２に電気的に接続されている。第２の端子２２ｃは、図１１において、第２の電極１２の中央部で１カ所に電気的に接続されているが、これに限定されるものではなく、第２の電極１２の任意の位置に電気的に接続されていてもよい。
【００９４】
図１１に示す感圧装置５０Ａ１は、複数の測定器（例えば、第１の測定器３０ａおよび第２の測定器３０ａ）を１つの測定器３０ｃに共通化され、新たに切り替え器４０が備わったこと、および当該切り替え器４０が第２の端子２２ｃを介して第２の電極１２に接続されていること以外、図５に示す感圧装置５０Ａ１と同様である。このため、図１１における感圧装置５０Ａ１においても、上記した図５における感圧装置５０Ａ１と同様の方法により、ＲＣ遅延時間の測定が可能であり、また上記したＲＣ遅延時間法１により当該測定値に基づく押圧位置と押圧力の検出も可能である。
【００９５】
（実施態様Ａ１の更に別の一例）
本実施態様においては、感圧部２Ａ１が上面平面視においてミアンダ状に構成された感圧装置５０Ａ１を２つ用い、かつこれらを上下方向に重ねて使用することにより、押圧位置と押圧力の検出精度を更に向上させることができる。例えば、下部の感圧装置５０Ａ１の感圧部２Ａ１が、図１２Ａに示すように、主方向がＸ軸方向のミアンダ状に構成されている場合、上部の感圧装置５０Ａ１の感圧部２Ａ１が、図１２Ｂに示すように、主方向がＹ軸方向のミアンダ状に構成されていればよい。このとき、下部の感圧装置５０Ａ１では押圧位置についてのＹ軸方向の位置および押圧力がより一層、精度よく検出され、上部の感圧装置５０Ａ１では押圧位置についてのＸ軸方向の位置および押圧力がより一層、精度よく検出される。
【００９６】
＜実施態様Ａ２＞（ＲＣ遅延時間法１）
本実施態様においては、感圧部が互いに交わる第１の方向と第２の方向に広がる平面状を有し、かつＲＣ遅延時間の測定経路が感圧部における第１の電極１１の第１方向の一端から測定する経路と他端から測定する経路、ならびに当該第１の電極１１の第２方向の一端から測定する経路と他端から測定する経路を含む。
【００９７】
本実施態様の感圧部品１Ａ２は、図１３に示すように、感圧部２Ａ２が互いに交わる第１の方向（例えばＸ軸方向）と第２の方向（例えばＹ軸方向）に広がる平面状に構成されていること、これに伴い、感圧部品は第１の端子２１（例えば、２１ａ、２１ｂ、２１ｄ、２１ｅ）を少なくとも４つ備えること、および当該第１の端子２１のうち４つの第１の端子はそれぞれ、感圧部２Ａ２の第１の方向における第１の電極１１の両端および第２の方向における第１の電極１１の両端に接続されていること以外、実施態様Ａ１の感圧部品１Ａ１と同様であるため、共通部分の説明は省略する。図１３は、実施態様Ａ２に係る感圧装置５０Ａ２の一例の模式的斜視図である。
【００９８】
本実施態様の感圧部２Ａ２を有する感圧装置５０Ａ２は、図１３におけるＲ-Ｒ断面において、図５に示す実施態様Ａ１の感圧装置５０Ａ１の模式図断面図と同様の断面構造を有する。
【００９９】
本実施態様の感圧部品１Ａ２は、例えば図１３に示すように、感圧部２Ａ２および端子を備えている。
【０１００】
感圧部２Ａ２は互いに交わる第１の方向と第２の方向に広がる平面状に構成されており、すなわち上面平面視において矩形形状を有している。感圧部は平面状に構成されているとは、感圧部２Ａ２を構成する少なくとも第１の電極１１が平面状を有するという意味である。感圧部２Ａ２の第１の電極１１は、平面状に構成されること以外、実施態様Ａ１の感圧部２Ａ１の第１の電極１１と同様であり、例えば構成材料もまた同様である。
【０１０１】
感圧部２Ａ２を構成する第２の電極１２および誘電体１０の平面視形状は特に限定されず、例えば、それぞれ独立して、線状に構成されてもよいし、または第１の電極１１と同様に平面状に構成されていてもよい。本実施態様においては、感圧部品の製造コストおよび感圧部品の簡便な構造の観点から、第２の電極および誘電体の両方は、平面状に形成されることが望ましく、例えば、感圧装置の上面平面視において感圧部品の全面にわたる領域に形成されていることが望ましい。
【０１０２】
本実施態様において端子は第１の端子および第２の端子を含む。第１の端子は少なくとも４つの第１の端子（例えば２１ａ、２１ｂ、２１ｄ、２１ｅ）を含み、当該４つの第１の端子はそれぞれ、感圧部２Ａ２の第１の方向における第１の電極１１の両端および第２の方向における第１の電極１１の両端に電気的に接続されている。
【０１０３】
本実施態様において第２の端子２２は少なくとも４つの第２の端子（図示せず）を含み、後述の各測定器と感圧部との間に介在しているが、これに限定されるものではない。例えば、少なくとも４つの第２の端子はそれぞれ、第２の電極１２の任意の位置に電気的に接続されていてもよいし、または少なくとも４つの第２の端子は共通化されて第２の電極１２のいずれか１カ所のみに電気的に接続されてもよい。
【０１０４】
本実施態様の感圧装置５０Ａ２は通常、上記した本実施態様の感圧部品１Ａ２と、ＲＣ遅延時間を測定するための少なくとも４つの測定器と、を備えている。測定器は、第１の方向における第１の電極１１の一端と接続されている１つの第１の端子（例えば、２１ａ）と第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第１の測定器（例えば、３０ａ）、第１の方向における第１の電極１１の他端と接続されている１つの第１の端子（例えば、２１ｂ）と第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第２の測定器（例えば、３０ｂ）、第２の方向における第１の電極１１の一端と接続されている１つの第１の端子（例えば、２１ｄ）と第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第３の測定器（例えば、３０ｄ）、および第２の方向における第１の電極１１の他端と接続されている１つの第１の端子（例えば、２１ｅ）と第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている第４の測定器（例えば、３０ｅ）を含む。本実施態様においては、第１の端子２１ａ、２１ｂ、２１ｄ、２２ｅと第２の端子（図示せず）との間にはそれぞれ、第１の測定器３０ａ、第２の測定器３０ｂ、第３の測定器３０ｄ、第４の測定器３０ｅが電気的に接続されていてもよい。
【０１０５】
本実施態様においては、押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、第１の方向における第１の電極１１の一端側の第１の端子２１ａおよび他端側の第１の端子２１ｂそれぞれを介して、少なくとも１回ずつ、ＲＣ遅延時間を測定し、第１の方向における押圧位置および押圧力が検出される。次いで、同じ押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、第２の方向における第１の電極１１の一端側の第１の端子２１ｄおよび他端側の第１の端子２１ｅそれぞれを介して、少なくとも１回ずつ、ＲＣ遅延時間を測定し、第２の方向における押圧位置および押圧力が検出される。詳しくは、第１の測定器３０ａおよび第２の測定器３０ｂのそれぞれにより、少なくとも１回ずつ、押圧変形時において、ＲＣ遅延時間を測定し、上記したＲＣ遅延時間法１に基づいて第１の方向における押圧位置および押圧力が検出される。次いで、同じ押圧変形時において、第３の測定器３０ｄおよび第４の測定器３０ｅのそれぞれにより、少なくとも１回ずつ、ＲＣ遅延時間を測定し、上記したＲＣ遅延時間法１に基づいて第２の方向における押圧位置および押圧力が検出される。これにより、実施態様Ａ１に示す感圧装置５０Ａ１を２組準備して、第１電極１１の敷設方向を異ならせて、上下方向に重ね合わせて使用しなくても、単一の感圧装置５０Ａ２を用いて平面上の精密な押圧位置と押圧力（特に押圧位置）を、精度よく検出できるため経済的である。合計少なくとも４回のＲＣ遅延時間の測定、例えば、第１の測定器〜第４の測定器による測定は、相互に測定値に影響を与えない範囲内で連続的に行われる。なお、第１の測定器〜第４の測定器による測定の順序は特に限定されるものではない。
【０１０６】
また、感圧装置５０Ａ２は、平面状の第１の電極の１１の第１の方向における両端と第２の方向における両端から電気特性を測定できるため、各方向の一端のみから測定する方法に比べて、高い精度での押圧位置の検出が可能になる。また、測定器に用いる負荷抵抗も第１の電極１１の形状に応じて最適化できるため精度の高い測定が可能になる。
【０１０７】
本実施態様の感圧装置５０Ａ２は、図５には示されていないが、通常は制御部および演算部を更に備えている。
【０１０８】
制御部は、複数の測定器（例えば第１の測定器〜第４の測定器３０ａ、３０ｂ、３０ｄ、３０ｅ）が動作するタイミングを制御する。詳しくは、複数の測定器による測定が、相互に測定値に影響を与えないように、制御部により、これらの測定の間に時間差を設ける。時間差は通常、実施態様Ａ１と同様の時間差であってよい。制御部は、測定器同士の動作時の干渉を抑制し、精度の高いＲＣ遅延時間の測定を可能にする。
【０１０９】
演算部は、複数の測定器（第１の測定器〜第４の測定器）による測定値を用いて、上記したＲＣ遅延時間法１および実施態様Ａ１で説明した式に基づいて押圧位置と押圧力の両方を算出する。
【０１１０】
（実施態様Ａ２の一例）
本実施態様においても、実施態様Ａ１においてと同様に、第１の電極１１または第２の電極１２の一方は誘電体１０に対向する面（１１０または１２１）に複数の突起部（１１１または１２３）を有することが望ましい。押圧力を効果的に精度よく検出できるためである。従って、本実施態様においては、第１の電極１１が誘導体１０と対向する第１の面１１０に複数の突起部１１１を有する代わりに（図５参照）、図１０に示すように、第２の電極１２が誘導体１０と対向する第１の面１２１に複数の突起部１２３を有してもよい。このときの感圧部２Ａ２を有する感圧装置５０Ａ２は、図１３におけるＲ-Ｒ断面において、図１０に示す実施態様Ａ１の感圧装置５０Ａ１の模式図断面図と同様の断面構造を有する。
【０１１１】
図１０に示す感圧装置５０Ａ２は、第１の電極１１が突起部１１１を有さないこと、第２の電極１２が誘導体１０と対向する第１の面１２１に複数の突起部１２３を有すること以外、図５に示す感圧装置５０Ａ２と同様である。
【０１１２】
図１０における感圧装置５０Ａ２の第１の電極１１は、突起部１１１を有さないこと以外、図５における感圧装置５０Ａ２の第１の電極１１と同様であり、所定の体積抵抗率を有する。このため、図１０における感圧装置５０Ａ２においても、上記した図５における感圧装置５０Ａ２と同様の方法により、ＲＣ遅延時間の測定が可能であり、また上記したＲＣ遅延時間法１により当該測定値に基づく押圧位置と押圧力の検出も可能である。
【０１１３】
図１０の感圧装置５０Ａ２においては、押圧位置と押圧力の検出精度のさらなる向上および後述する容量変化のリニアリティ特性の観点から、第１の電極１１は導電性ゴムからなり、第２の電極１２は誘電体１０に対向する面１２１に複数の突起部１２１１２３を有し、誘電体１０は弾性を有することが望ましい。
【０１１４】
（実施態様Ａ２の別の一例）
本実施態様においては、複数の測定器（例えば、第１の測定器〜第４の測定器）を用いて、平面状感圧部２Ａ２の複数の第１の端子（例えば、第１の方向で両端の第１の端子２１ａ、２１ｂおよび第２の方向で両端の第１の端子２１ｄ、２１ｅ）を介してＲＣ遅延時間を測定しているが、当該複数の測定器を共通化してもよい。例えば、図１１に示すように、複数の測定器（例えば、第１の測定器〜第４の測定器）として共通の１つの測定器３０ｃを用いてもよい。このときの感圧部２Ａ２を有する感圧装置５０Ａ２は、図１３におけるＲ-Ｒ断面において、図１１に示す実施態様Ａ１の感圧装置５０Ａ１の模式図断面図と同様の断面構造を有する。このとき、図１１の感圧装置５０Ａ２は切り換え器４０を更に備えている。当該切り替え器４０は、当該該１つの測定器３０ｃと複数の第１の端子との間に介在し、かつ当該複数の第１の端子への接続を切り替える機能を有する。このとき、演算部（図示せず）は、切り換え器４０の切り替え情報と１つの測定器３０ｃによる測定値を用いて、押圧位置と押圧力の両方を算出する。このように感圧装置５０Ａ２が切り替え器４０を備えることにより、少ない数の測定器で多数の位置からのＲＣ遅延時間の測定が可能になり、押圧位置と押圧力の大きさの両方を検出できるため、経済的である。
【０１１５】
図１１に示す感圧装置５０Ａ２においては、切り替え器４０は複数の第１の端子を介して第１の電極１１に電気的に接続されているとともに、第２の端子２２ｃを介して第２の電極１２に電気的に接続されている。第２の端子２２ｃは、図１１において、第２の電極１２の中央部で１カ所に電気的に接続されているが、これに限定されるものではなく、第２の電極１２の任意の位置に電気的に接続されていてもよい。
【０１１６】
図１１に示す感圧装置５０Ａ２は、複数の測定器が１つの測定器３０ｃに共通化され、新たに切り替え器４０が備わったこと、および当該切り替え器４０が第２の端子２２ｃを介して第２の電極１２に接続されていること以外、図５に示す感圧装置５０Ａ２と同様である。このため、図１１における感圧装置５０Ａ２においても、上記した図５における感圧装置５０Ａ２と同様の方法により、ＲＣ遅延時間の測定が可能であり、また上記したＲＣ遅延時間法１により当該測定値に基づく押圧位置と押圧力の検出も可能である。
【０１１７】
＜実施態様Ａ３＞（ＲＣ遅延時間法２）
本実施態様においては、第１の電極１１が線状を有し、かつＲＣ遅延時間の測定経路が第１の電極１１の一端から測定する経路を含む。
【０１１８】
本実施態様の感圧部品１Ａ３は、図１４に示すように、当該感圧部品が第１の端子２１（例えば、２１ａ）を少なくとも１つ備えること、および当該第１の端子２１のうち１つの第１の端子は、感圧部２Ａ３における第１の電極１１の一端に接続されていること以外、実施態様Ａ１の感圧部品１Ａ１と同様であるため、共通部分の説明は省略する。図１４は、実施態様Ａ３に係る感圧装置５０Ａ３の一例の模式的断面図である。
【０１１９】
本実施態様の感圧部品１Ａ３は、例えば図１４に示すように、感圧部２Ａ３および端子を備えている。
【０１２０】
感圧部２Ａ３ならびに当該感圧部２Ａ３を構成する第１の電極１１、誘導体１０および第２の電極１２はそれぞれ、実施態様Ａ１の感圧部２Ａ１ならびに当該感圧部２Ａ１を構成する第１の電極１１、誘導体１０および第２の電極１２と同様であり、例えばこれらの部材の構成材料も形状もまた同様である。
【０１２１】
本実施態様において端子は第１の端子２１および第２の端子２２を含む。第１の端子２１は少なくとも１つの第１の端子（例えば２１ａ）を含み、当該１つの第１の端子（例えば２１ａ）は感圧部２Ａ３における第１の電極１１の一端に電気的に接続されている。
【０１２２】
本実施態様において第２の端子２２は、少なくとも１つの第２の端子（例えば２２ａ）を含み、感圧部２Ａ３における第２の電極１２の一端に電気的に接続されて、後述の各測定器と感圧部との間に介在しているが、これに限定されるものではない。例えば、第２の端子は第２の電極１２の任意の位置に電気的に接続されていてもよい。
【０１２３】
本実施態様の感圧装置５０Ａ３は通常、上記した本実施態様の感圧部品１Ａ３と、ＲＣ遅延時間を測定するための少なくとも１つの測定器と、を備えている。測定器は、第１の電極１１の一端と接続されている１つの第１の端子（例えば、２１ａ）と第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている測定器（例えば、３０ｆ）を含む。本実施態様においては、第１の端子２１ａと第２の端子２２ａとの間には測定器３０ｆが電気的に接続されていてもよい。
【０１２４】
本実施態様においては、押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、第１の電極１１の一端と接続されている第１の端子２１ａを介して、負荷抵抗の抵抗値を変えて少なくとも２回ＲＣ遅延時間を測定する。詳しくは、測定器３０ｆにより、押圧変形時において、負荷抵抗の抵抗値を変えて少なくとも２回ＲＣ遅延時間を測定する。これにより、上記したＲＣ遅延時間法２に基づいて、押圧位置と押圧力を検出できる。少なくとも２回のＲＣ遅延時間の測定、例えば、測定器３０ｆによる少なくとも２回の測定は、相互に測定値に影響を与えない範囲内で連続的に行われる。
【０１２５】
測定器３０ｆには、図１４中に示した負荷抵抗Ｒ１が内蔵されている。測定器３０ｆにおいて、負荷抵抗Ｒ１は、負荷抵抗Ｒ１１と負荷抵抗Ｒ１２との間で切り替え可能になっている。このため、測定器３０ｆを用いて、押圧変形時において、負荷抵抗の抵抗値を変えて少なくとも２回ＲＣ遅延時間を測定することができる。
【０１２６】
本実施態様においてＲＣ遅延時間の測定に際して付与される電圧は、少なくとも２回の測定に共通して、例えば、以下の電圧Ｖｅである。また、測定端子において測定される電圧をＶｏとするとＶｏとＶｅの関係は下式で示される。
【０１２７】
【数５】
2019196904.tif 000007
【０１２８】
測定器３０ｆより負荷抵抗Ｒ１をＲ１１およびＲ１２それぞれに変えて測定されたＲＣ遅延時間ｔＲＣ１１およびｔＲＣ１２、および既知数を以下の式に代入して、未知数Ｃ、ｘおよびＲ２を算出することができる。その結果、Ｃおよびｘより、押圧力と押圧位置が求められる。
【０１２９】
【数６】
2019196904.tif 000008
【０１３０】
Ａ１１は測定器３０ｆにより負荷抵抗Ｒ１１を用いてＲＣ遅延時間を測定したときの、第１の端子２１ａの電圧の励起端子の電圧に対する比率であり、０＜Ａ１１＜１の値である。当該励起端子は測定器３０ｆ内部において、負荷抵抗Ｒ１１が接続される端子である。
Ａ１２は測定器３０ｆにより負荷抵抗Ｒ１２を用いてＲＣ遅延時間を測定したときの、第１の端子２１ａの電圧の励起端子の電圧に対する比率であり、０＜Ａ１２＜１の値である。当該励起端子は測定器３０ｆ内部において、負荷抵抗Ｒ１２が接続される端子である。
Ｒ１１は測定器３０ｆに内蔵される負荷抵抗である。
Ｒ１２は測定器３０ｆに内蔵される負荷抵抗である。
Ｃは静電容量である。
ρは第１の電極１１の体積抵抗率である。
ｘは測定器３０ｆを接続する第１の端子２１ａからの距離である。
ｗは第１の電極１１の幅である。
ｔは第１の電極１１の厚みである。
【０１３１】
本実施態様の感圧装置５０Ａ３は、図１４には示されていないが、通常は制御部および演算部を更に備えている。
【０１３２】
制御部は、測定器（例えば、測定器３０ｆ）が負荷抵抗を変えて動作するタイミング、例えば負荷抵抗をＲ１１またはＲ１２に変えて動作するタイミングを制御する。詳しくは、当該測定器による少なくとも２回の測定が、相互に測定値に影響を与えないように、制御部により、これらの測定の間に時間差を設ける。時間差は通常、実施態様Ａ１と同様の時間差であってよい。制御部は、少なくとも２回の測定動作時の干渉を抑制し、精度の高いＲＣ遅延時間の測定を可能にする。詳しくは図１４では、測定に負荷抵抗Ｒ１（Ｒ１１またはＲ１２）を用いるために、当該負荷抵抗に並列する配線のスイッチは開かれている。
【０１３３】
演算部は、測定器（例えば、測定器３０ｆ）による測定値を用いて、上記したＲＣ遅延時間法２および上記式に基づいて押圧位置と押圧力の両方を算出する。
【０１３４】
感圧装置５０Ａ３は、感圧部２Ａ３からの測定器に導出する第１の端子および第２の端子が一対でよいため、感圧部２Ａ３が長大な場合にも測定器に導出する配線が少なくすることができ、容易に設置できるとともに経済的である。
【０１３５】
（実施態様Ａ３の一例）
本実施態様においても、実施態様Ａ１においてと同様に、第１の電極１１または第２の電極１２の一方は誘電体１０に対向する面（１１０または１２１）に複数の突起部（１１１または１２３）を有することが望ましい。押圧力を効果的に精度よく検出できるためである。従って、本実施態様においては、第１の電極１１が誘導体１０と対向する第１の面１１０に複数の突起部１１１を有する代わりに（図１４参照）、図１５に示すように、第２の電極１２が誘導体１０と対向する第１の面１２１に複数の突起部１２３を有してもよい。図１５は実施態様Ａ３に係る感圧装置の一例の模式的断面図である。
【０１３６】
図１５に示す感圧装置５０Ａ３は、第１の電極１１が突起部１１１を有さないこと、第２の電極１２が誘導体１０と対向する第１の面１２１に複数の突起部１２３を有すること以外、図１４に示す感圧装置５０Ａ３と同様である。
【０１３７】
図１５における感圧装置５０Ａ３の第１の電極１１は、突起部１１１を有さないこと以外、図１４における感圧装置５０Ａ３の第１の電極１１と同様であり、例えば、所定の体積抵抗率を有する。このため、図１５における感圧装置５０Ａ３においても、上記した図１４における感圧装置５０Ａ３と同様の方法により、ＲＣ遅延時間の測定が可能であり、また上記したＲＣ遅延時間法２により当該測定値に基づく押圧位置と押圧力の検出も可能である。
【０１３８】
図１５の感圧装置５０Ａ３においては、押圧位置と押圧力の検出精度のさらなる向上および後述する容量変化のリニアリティ特性の観点から、第１の電極１１は導電性ゴムからなり、第２の電極１２は誘電体１０に対向する面１２１に複数の突起部１２１１２３を有し、誘電体１０は弾性を有することが望ましい。
【０１３９】
（実施態様Ａ３の別の一例）
本実施態様においては、感圧部２Ａ３が上面平面視においてミアンダ状に構成された感圧装置５０Ａ３を２つ用い、かつこれらを上下方向に重ねて使用することにより、押圧位置と押圧力の検出精度を更に向上させることができる。例えば、下部の感圧装置５０Ａ３の感圧部２Ａ３が、図１２Ａに示すように、主方向がＸ軸方向のミアンダ状に構成されている場合、上部の感圧装置５０Ａ３の感圧部２Ａ３が、図１２Ｂに示すように、主方向がＹ軸方向のミアンダ状に構成されていればよい。このとき、下部の感圧装置５０Ａ３では押圧位置についてのＹ軸方向の位置および押圧力がより一層、精度よく検出され、上部の感圧装置５０Ａ３では押圧位置についてのＸ軸方向の位置および押圧力がより一層、精度よく検出される。
【０１４０】
＜実施態様Ａ４＞（ＲＣ遅延時間法２）
本実施態様においては、感圧部が互いに交わる第１の方向と第２の方向に広がる平面状を有し、かつＲＣ遅延時間の測定経路が感圧部における第１の電極１１の第１方向の一端から測定する経路、および当該第１の電極１１の第２方向の一端から測定する経路を含む。
【０１４１】
本実施態様の感圧部品１Ａ４は、図１６に示すように、感圧部２Ａ４が互いに交わる第１の方向（例えばＸ軸方向）と第２の方向（例えばＹ軸方向）に広がる平面状に構成されていること、これに伴い、感圧部品は第１の端子２１（例えば、２１ａ、２１ｄ）を少なくとも２つ備えること、および当該第１の端子２１のうち２つの第１の端子はそれぞれ、感圧部２Ａ４の第１の方向における第１の電極１１の一端および第２の方向における第１の電極１１の一端に接続されていること以外、実施態様Ａ３の感圧部品１Ａ３と同様であるため、共通部分の説明は省略する。図１６は、実施態様Ａ４に係る感圧装置５０Ａ４の一例の模式的斜視図である。
【０１４２】
本実施態様の感圧部２Ａ４を有する感圧装置５０Ａ４は、図１６におけるＲ-Ｒ断面において、図１４に示す実施態様Ａ３の感圧装置５０Ａ３の模式図断面図と同様の断面構造を有する。
【０１４３】
本実施態様の感圧部品１Ａ４は、例えば図１６に示すように、感圧部２Ａ４および端子を備えている。
【０１４４】
感圧部２Ａ４は互いに交わる第１の方向と第２の方向に広がる平面状に構成されており、すなわち上面平面視において矩形形状を有している。感圧部は平面状に構成されているとは、感圧部２Ａ４を構成する少なくとも第１の電極１１が平面状を有するという意味である。感圧部２Ａ４の第１の電極１１は、平面状に構成されること以外、実施態様Ａ３の感圧部２Ａ３の第１の電極１１と同様であり、例えば構成材料もまた同様である。
【０１４５】
感圧部２Ａ４を構成する第２の電極１２および誘電体１０の平面視形状は特に限定されず、例えば、それぞれ独立して、線状に構成されてもよいし、または第１の電極１１と同様に平面状に構成されていてもよい。本実施態様においては、感圧部品の製造コストおよび感圧部品の簡便な構造の観点から、第２の電極および誘電体の両方は、平面状に形成されることが望ましく、例えば、感圧装置の上面平面視において感圧部品の全面にわたる領域に形成されていることが望ましい。
【０１４６】
本実施態様において端子は第１の端子および第２の端子を含む。第１の端子は少なくとも２つの第１の端子（例えば２１ａ、２１ｄ）を含み、当該２つの第１の端子はそれぞれ、感圧部２Ａ４の第１の方向における第１の電極１１の一端および第２の方向における第１の電極１１の一端に電気的に接続されている。
【０１４７】
本実施態様において第２の端子２２は少なくとも２つの第２の端子（図示せず）を含み、後述の各測定器と感圧部との間に介在しているが、これに限定されるものではない。例えば、少なくとも２つの第２の端子はそれぞれ、第２の電極１２の任意の位置に電気的に接続されていてもよいし、または少なくとも２つの第２の端子は共通化されて第２の電極１２のいずれか１カ所のみに電気的に接続されてもよい。
【０１４８】
本実施態様の感圧装置５０Ａ４は通常、上記した本実施態様の感圧部品１Ａ４と、ＲＣ遅延時間を測定するための少なくとも２つの測定器と、を備えている。測定器は、第１の方向における第１の電極１１の一端と接続されている１つの第１の端子（例えば、２１ａ）と第２の端子のいずれか１つ（図示せず）との間に電気的に接続されている第１の測定器（例えば、３０ａ）、および第２の方向における第１の電極１１の一端と接続されている１つの第１の端子（例えば、２１ｄ）と第２の端子のいずれか１つ（図示せず）との間に電気的に接続されている第２の測定器（例えば、３０ｄ）を含む。本実施態様においては、第１の端子２１ａ、２１ｄと第２の端子（図示せず）との間にはそれぞれ、第１の測定器３０ａ、第２の測定器３０ｄが電気的に接続されていてもよい。
【０１４９】
本実施態様においては、押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、第１の方向における第１の電極１１の一端側の第１の端子２１ａを介して、少なくとも２回負荷抵抗を変えて、ＲＣ遅延時間を測定し、第１の方向における押圧位置および押圧力が検出される。次いで、同じ押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、第２の方向における第１の電極１１の一端側の第１の端子２１ｄを介して、少なくとも２回負荷抵抗を変えて、ＲＣ遅延時間を測定し、第２の方向における押圧位置および押圧力が検出される。詳しくは、第１の測定器３０ａにより、押圧変形時において、少なくとも２回負荷抵抗を変えてＲＣ遅延時間を測定し、上記したＲＣ遅延時間法２に基づいて第１の方向における押圧位置および押圧力が検出される。次いで、同じ押圧変形時において、第２の測定器３０ｄにより、少なくとも２回負荷抵抗を変えてＲＣ遅延時間を測定し、上記したＲＣ遅延時間法２に基づいて第２の方向における押圧位置および押圧力が検出される。これにより、実施態様Ａ３のように２つの感圧部を上下方向に重ね合わせて使用しなくても、押圧位置と押圧力（特に押圧位置）をより一層、精度よく検出できる。合計少なくとも４回のＲＣ遅延時間の測定、例えば、第１の測定器による少なくとも２回の測定および第２の測定器による少なくとも２回の測定は、相互に測定値に影響を与えない範囲内で連続的に行われる。なお、これらの測定の順序は特に限定されるものではない。
【０１５０】
本実施態様の感圧装置５０Ａ４は、図１４には示されていないが、通常は制御部および演算部を更に備えている。
【０１５１】
制御部は、複数の測定器（例えば第１の測定器〜第２の測定器３０ａ、３０ｄ）が負荷抵抗を変えて少なくとも４回動作するタイミングを制御する。詳しくは、複数の測定器による少なくとも４回の測定が、相互に測定値に影響を与えないように、制御部により、これらの測定の間に時間差を設ける。時間差は通常、実施態様Ａ１と同様の時間差であってよい。制御部は、測定器同士の動作時の干渉を抑制し、精度の高いＲＣ遅延時間の測定を可能にする。
【０１５２】
演算部は、複数の測定器（第１の測定器〜第２の測定器）による測定値を用いて、上記したＲＣ遅延時間法２および実施態様Ａ３で説明した式に基づいて押圧位置と押圧力の両方を算出する。
【０１５３】
（実施態様Ａ４の一例）
本実施態様においても、実施態様Ａ１においてと同様に、第１の電極１１または第２の電極１２の一方は誘電体１０に対向する面（１１０または１２１）に複数の突起部（１１１または１２３）を有することが望ましい。押圧力を効果的に精度よく検出できるためである。従って、本実施態様においては、第１の電極１１が誘導体１０と対向する第１の面１１０に複数の突起部１１１を有する代わりに（図１４参照）、図１５に示すように、第２の電極１２が誘導体１０と対向する第１の面１２１に複数の突起部１２３を有してもよい。このときの感圧部２Ａ４を有する感圧装置５０Ａ４は、図１６におけるＲ-Ｒ断面において、図１５に示す実施態様Ａ３の感圧装置５０Ａ３の模式図断面図と同様の断面構造を有する。
【０１５４】
図１５に示す感圧装置５０Ａ４は、第１の電極１１が突起部１１１を有さないこと、第２の電極１２が誘導体１０と対向する第１の面１２１に複数の突起部１２３を有すること以外、図１４に示す感圧装置５０Ａ４と同様である。
【０１５５】
図１５における感圧装置５０Ａ４の第１の電極１１は、突起部１１１を有さないこと以外、図１４における感圧装置５０Ａ４の第１の電極１１と同様であり、所定の体積抵抗率を有する。このため、図１５における感圧装置５０Ａ４においても、上記した図１４における感圧装置５０Ａ４と同様の方法により、ＲＣ遅延時間の測定が可能であり、また上記したＲＣ遅延時間法２により当該測定値に基づく押圧位置と押圧力の検出も可能である。
【０１５６】
図１５の感圧装置５０Ａ４においては、押圧位置と押圧力の検出精度のさらなる向上および後述する容量変化のリニアリティ特性の観点から、第１の電極１１は導電性ゴムからなり、第２の電極１２は誘電体１０に対向する面１２１に複数の突起部１２１１２３を有し、誘電体１０は弾性を有することが望ましい。
【０１５７】
（実施態様Ａ４の別の一例）
本実施態様においては、複数の測定器（例えば、第１の測定器〜第２の測定器）を用いて、平面状感圧部２Ａ４の複数の第１の端子（例えば、第１の方向で一端の第１の端子２１ａおよび第２の方向で一端の第１の端子２１ｄ）を介してＲＣ遅延時間を測定しているが、当該複数の測定器を共通化してもよい。例えば、図１７に示すように、複数の測定器（例えば、第１の測定器〜第２の測定器）として共通の１つの測定器３０ｇを用いてもよい。このとき、図１７の感圧装置５０Ａ４は切り換え器４５を更に備えている。当該切り替え器４５は、当該該１つの測定器３０ｇと複数の第１の端子との間に介在し、かつ当該複数の第１の端子への接続を切り替える機能を有する。このとき、演算部（図示せず）は、切り換え器４５の切り替え情報と１つの測定器３０ｇによる測定値を用いて、押圧位置と押圧力の両方を算出する。このように感圧装置５０Ａ４が切り替え器４５を備えることにより、少ない数の測定器で多数の位置からのＲＣ遅延時間の測定が可能になり、押圧位置と押圧力の大きさの両方を検出できるため、経済的である。
【０１５８】
図１７に示す感圧装置５０Ａ４においては、切り替え器４５は複数の第１の端子を介して第１の電極１１に電気的に接続されているとともに、第２の端子（図示せず）を介して第２の電極（図示せず）に電気的に接続されている。第２の端子（図示せず）は、第２の電極１２の任意の位置に電気的に接続されていてもよい。
【０１５９】
図１７に示す感圧装置５０Ａ４は、複数の測定器が１つの測定器３０ｇに共通化され、新たに切り替え器４５が備わったこと、および当該切り替え器４５が第２の端子を介して第２の電極に接続されていること以外、図１４に示す感圧装置５０Ａ４と同様である。このため、図１７における感圧装置５０Ａ４においても、上記した図１４における感圧装置５０Ａ４と同様の方法により、ＲＣ遅延時間の測定が可能であり、また上記したＲＣ遅延時間法２により当該測定値に基づく押圧位置と押圧力の検出も可能である。
【０１６０】
［実施態様Ｂ］
（感圧部品および感圧装置）
実施態様Ｂは、感圧部品のインピーダンスを測定することにより、押圧位置および押圧力を検出する態様である。実施態様Ｂに係る感圧部品および感圧装置は、第１の電極１１の平面視形状およびインピーダンスの測定経路が互いに異なる実施態様Ｂ１〜Ｂ２を包含する。
【０１６１】
＜実施態様Ｂ１＞（インピーダンス法）
本実施態様においては、第１の電極１１が線状を有し、かつインピーダンスの測定経路が第１の電極１１の一端から測定する経路と他端から測定する経路を含む。
【０１６２】
本実施態様の感圧部品１Ｂ１は、図１８に示すように、当該感圧部品が第１の端子２１（例えば、２１ａ）を少なくとも１つ備えること、および当該第１の端子２１のうち１つの第１の端子（例えば、２１ａ）は、感圧部２Ｂ１における第１の電極１１の一端に接続されていること以外、実施態様Ａ１の感圧部品１Ａ１と同様であるため、共通部分の説明は省略する。なお、本実施態様の感圧装置５０Ｂ１を構成する後述の測定器はインピーダンスを測定するためのものであり、実施態様Ａ１におけるＲＣ遅延時間を測定するための測定器とは目的および機能が異なる。図１８は、実施態様Ｂ１に係る感圧装置５０Ｂ１の一例の模式的断面図である。
【０１６３】
本実施態様の感圧部品１Ｂ１は、例えば図１８に示すように、感圧部２Ｂ１および端子を備えている。
【０１６４】
感圧部２Ｂ１ならびに当該感圧部２Ｂ１を構成する第１の電極１１、誘導体１０および第２の電極１２はそれぞれ、実施態様Ａ１の感圧部２Ａ１ならびに当該感圧部２Ａ１を構成する第１の電極１１、誘導体１０および第２の電極１２と同様であり、例えばこれらの部材の構成材料も形状もまた同様である。
【０１６５】
本実施態様において端子は第１の端子２１および第２の端子２２を含む。第１の端子２１は少なくとも１つの第１の端子（例えば２１ａ）を含み、当該１つの第１の端子（例えば２１ａ）は感圧部２Ｂ１における第１の電極１１の一端に電気的に接続されている。
【０１６６】
本実施態様において第２の端子２２は、少なくとも１つの第２の端子（例えば２２ａ）を含み、感圧部２Ｂ１における第２の電極１２の一端に電気的に接続されて、後述の各測定器と感圧部との間に介在しているが、これに限定されるものではない。例えば、第２の端子は第２の電極１２の任意の位置に電気的に接続されていてもよい。
【０１６７】
本実施態様の感圧装置５０Ｂ１は通常、上記した本実施態様の感圧部品１Ｂ１と、インピーダンスを測定するための少なくとも１つの測定器と、を備えている。測定器は、第１の電極１１の一端と接続されている１つの第１の端子（例えば、２１ａ）と第２の端子のいずれか１つとの間に電気的に接続されている測定器（例えば、３５ａ）を含む。本実施態様においては、第１の端子２１ａと第２の端子２２ａとの間には測定器３５ａが電気的に接続されていてもよい。
【０１６８】
インピーダンスを測定するための測定器は、インピーダンスを測定できる限り、電子部品の分野で従来から使用されているあらゆる測定器が使用可能であり、市販品として入手可能である。
【０１６９】
本実施態様においては、押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、第１の電極１１の一端と接続されている第１の端子２１ａを介して、少なくとも１回インピーダンスを測定する。詳しくは、測定器３５ａにより、押圧変形時において、少なくとも１回インピーダンスを測定する。これにより、上記したインピーダンス法に基づいて、押圧位置と押圧力を検出できる。感圧装置５０Ｂ１は、１回の測定で押圧位置と押圧力の両方を算出できるため、極めて短時間で測定を行なうことができ、応答速度の速い押圧条件において精度の高い測定を行なうことができる。
【０１７０】
本実施態様においてインピーダンスの測定に際して付与される電圧は、例えば、以下の電圧ＶＩである。電圧ＶＩは通常、０．０１Ｖ〜２０Ｖの範囲であり、望ましくは０．１Ｖ〜５Ｖの範囲である。
【０１７１】
本実施態様の感圧装置５０Ｂ１は、図１８には示されていないが、通常は制御部および演算部を更に備えている。
【０１７２】
制御部は、測定器（例えば、測定器３５ａ）が１回の押圧変形時において少なくとも１回動作するタイミングを制御する。
【０１７３】
演算部は、測定器（例えば、測定器３５ａ）による測定値を用いて、上記したインピーダンス法および上記式に基づいて押圧位置と押圧力の両方を算出する。
【０１７４】
（実施態様Ｂ１の一例）
本実施態様においても、実施態様Ａ１においてと同様に、第１の電極１１または第２の電極１２の一方は誘電体１０に対向する面（１１０または１２１）に複数の突起部（１１１または１２３）を有することが望ましい。押圧力を効果的に精度よく検出できるためである。従って、本実施態様においては、第１の電極１１が誘導体１０と対向する第１の面１１０に複数の突起部１１１を有する代わりに（図１８参照）、図１９に示すように、第２の電極１２が誘導体１０と対向する第１の面１２１に複数の突起部１２３を有してもよい。図１９は実施態様Ｂ１に係る感圧装置の一例の模式的断面図である。
【０１７５】
図１９に示す感圧装置５０Ｂ１は、第１の電極１１が突起部１１１を有さないこと、第２の電極１２が誘導体１０と対向する第１の面１２１に複数の突起部１２３を有すること以外、図１８に示す感圧装置５０Ｂ１と同様である。
【０１７６】
図１９における感圧装置５０Ｂ１の第１の電極１１は、突起部１１１を有さないこと以外、図１８における感圧装置５０Ｂ１の第１の電極１１と同様であり、例えば、所定の体積抵抗率を有する。このため、図１９における感圧装置５０Ｂ１においても、上記した図１８における感圧装置５０Ｂ１と同様の方法により、インピーダンスの測定が可能であり、また上記したインピーダンス法により当該測定値に基づく押圧位置と押圧力の検出も可能である。
【０１７７】
図１９の感圧装置５０Ｂ１においては、押圧位置と押圧力の検出精度のさらなる向上および後述する容量変化のリニアリティ特性の観点から、第１の電極１１は導電性ゴムからなり、第２の電極１２は誘電体１０に対向する面１２１に複数の突起部１２１１２３を有し、誘電体１０は弾性を有することが望ましい。
【０１７８】
（実施態様Ｂ１の別の一例）
本実施態様においては、感圧部２Ｂ１が上面平面視においてミアンダ状に構成された感圧装置５０Ｂ１を２つ用い、かつこれらを上下方向に重ねて使用することにより、押圧位置と押圧力の検出精度を更に向上させることができる。例えば、下部の感圧装置５０Ｂ１の感圧部２Ｂ１が、図１２Ａに示すように、主方向がＸ軸方向のミアンダ状に構成されている場合、上部の感圧装置５０Ｂ１の感圧部２Ｂ１が、図１２Ｂに示すように、主方向がＹ軸方向のミアンダ状に構成されていればよい。このとき、下部の感圧装置５０Ｂ１では押圧位置についてのＹ軸方向の位置および押圧力がより一層、精度よく検出され、上部の感圧装置５０Ｂ１では押圧位置についてのＸ軸方向の位置および押圧力がより一層、精度よく検出される。
【０１７９】
＜実施態様Ｂ２＞（インピーダンス法）
本実施態様においては、感圧部が互いに交わる第１の方向と第２の方向に広がる平面状を有し、かつインピーダンス法の測定経路が感圧部における第１の電極１１の第１方向の一端から測定する経路、および当該第１の電極１１の第２方向の一端から測定する経路を含む。
【０１８０】
本実施態様の感圧部品１Ｂ２は、図１６に示すように、感圧部２Ｂ２が互いに交わる第１の方向（例えばＸ軸方向）と第２の方向（例えばＹ軸方向）に広がる平面状に構成されていること、これに伴い、感圧部品は第１の端子２１（例えば、２１ａ、２１ｄ）を少なくとも２つ備えること、および当該第１の端子２１のうち２つの第１の端子はそれぞれ、感圧部２Ｂ２の第１の方向における第１の電極１１の一端および第２の方向における第１の電極１１の一端に接続されていること以外、実施態様Ｂ１の感圧部品１Ｂ１と同様であるため、共通部分の説明は省略する。図１６は、実施態様Ａ４に係る感圧装置５０Ａ４の一例の模式的斜視図だけでなく、実施態様Ｂ２に係る感圧装置５０Ｂ２の一例の模式的斜視図も示す。
【０１８１】
本実施態様の感圧部２Ｂ２を有する感圧装置５０Ｂ２は、図１６におけるＲ-Ｒ断面において、図１８に示す実施態様Ｂ１の感圧装置５０Ｂ１の模式図断面図と同様の断面構造を有する。
【０１８２】
本実施態様の感圧部品１Ｂ２は、例えば図１６に示すように、感圧部２Ｂ２および端子を備えている。
【０１８３】
感圧部２Ｂ２は互いに交わる第１の方向と第２の方向に広がる平面状に構成されており、すなわち上面平面視において矩形形状を有している。感圧部は平面状に構成されているとは、感圧部２Ｂ２を構成する少なくとも第１の電極１１が平面状を有するという意味である。感圧部２Ｂ２の第１の電極１１は、平面状に構成されること以外、実施態様Ｂ１の感圧部２Ｂ１の第１の電極１１と同様であり、例えば構成材料もまた同様である。
【０１８４】
感圧部２Ｂ２を構成する第２の電極１２および誘電体１０の平面視形状は特に限定されず、例えば、それぞれ独立して、線状に構成されてもよいし、または第１の電極１１と同様に平面状に構成されていてもよい。本実施態様においては、感圧部品の製造コストおよび感圧部品の簡便な構造の観点から、第２の電極および誘電体の両方は、平面状に形成されることが望ましく、例えば、感圧装置の上面平面視において感圧部品の全面にわたる領域に形成されていることが望ましい。
【０１８５】
本実施態様において端子は第１の端子および第２の端子を含む。第１の端子は少なくとも２つの第１の端子（例えば２１ａ、２１ｄ）を含み、当該２つの第１の端子はそれぞれ、感圧部２Ｂ２の第１の方向における第１の電極１１の一端および第２の方向における第１の電極１１の一端に電気的に接続されている。
【０１８６】
本実施態様において第２の端子２２は少なくとも２つの第２の端子（図示せず）を含み、後述の各測定器と感圧部との間に介在しているが、これに限定されるものではない。例えば、少なくとも２つの第２の端子はそれぞれ、第２の電極１２の任意の位置に電気的に接続されていてもよいし、または少なくとも２つの第２の端子は共通化されて第２の電極１２のいずれか１カ所のみに電気的に接続されてもよい。
【０１８７】
本実施態様の感圧装置５０Ｂ２は通常、上記した本実施態様の感圧部品１Ｂ２と、インピーダンスを測定するための少なくとも２つの測定器と、を備えている。測定器は、第１の方向における第１の電極１１の一端と接続されている１つの第１の端子（例えば、２１ａ）と第２の端子のいずれか１つ（図示せず）との間に電気的に接続されている第１の測定器（例えば、３５ａ）、および第２の方向における第１の電極１１の一端と接続されている１つの第１の端子（例えば、２１ｄ）と第２の端子のいずれか１つ（図示せず）との間に電気的に接続されている第２の測定器（例えば、３５ｄ）を含む。本実施態様においては、第１の端子２１ａ、２１ｄと第２の端子（図示せず）との間にはそれぞれ、第１の測定器３５ａ、第２の測定器３５ｄが電気的に接続されていてもよい。
【０１８８】
本実施態様においては、押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、第１の方向における第１の電極１１の一端側の第１の端子２１ａを介して、少なくとも１回インピーダンスを測定し、第１の方向における押圧位置および押圧力が検出される。次いで、同じ押圧変形時（特に１回の押圧変形時）において、第２の方向における第１の電極１１の一端側の第１の端子２１ｄを介して、少なくとも１回インピーダンスを測定し、第２の方向における押圧位置および押圧力が検出される。詳しくは、第１の測定器３５ａにより、押圧変形時において、少なくとも１回インピーダンスを測定し、上記したインピーダンス法に基づいて第１の方向における押圧位置および押圧力が検出される。次いで、同じ押圧変形時において、第２の測定器３０ｄにより、少なくとも１回インピーダンスを測定し、上記したインピーダンス法に基づいて第２の方向における押圧位置および押圧力が検出される。これにより、実施態様Ｂ１のように２つの感圧部を上下方向に重ね合わせて使用しなくても、押圧位置と押圧力（特に押圧位置）をより一層、精度よく検出できる。合計少なくとも２回のインピーダンスの測定、例えば、第１の測定器による少なくとも１回の測定および第２の測定器による少なくとも１回の測定は、相互に測定値に影響を与えない範囲内で連続的に行われる。なお、これらの測定の順序は特に限定されるものではない。
【０１８９】
本実施態様の感圧装置５０Ｂ２は、図１６には示されていないが、通常は制御部および演算部を更に備えている。
【０１９０】
制御部は、複数の測定器（例えば第１の測定器〜第２の測定器３５ａ、３５ｄ）がそれぞれ少なくとも１回ずつ動作するタイミングを制御する。詳しくは、複数の測定器による合計少なくとも２回の測定が、相互に測定値に影響を与えないように、制御部により、これらの測定の間に時間差を設ける。時間差は通常、実施態様Ａ１と同様の時間差であってよい。制御部は、測定器同士の動作時の干渉を抑制し、精度の高いインピーダンスの測定を可能にする。
【０１９１】
演算部は、複数の測定器（第１の測定器〜第２の測定器）による測定値を用いて、上記したインピーダンス法および実施態様Ｂ１で説明した式に基づいて押圧位置と押圧力の両方を算出する。
【０１９２】
（実施態様Ｂ２の一例）
本実施態様においても、実施態様Ａ１においてと同様に、第１の電極１１または第２の電極１２の一方は誘電体１０に対向する面（１１０または１２１）に複数の突起部（１１１または１２３）を有することが望ましい。押圧力を効果的に精度よく検出できるためである。従って、本実施態様においては、第１の電極１１が誘導体１０と対向する第１の面１１０に複数の突起部１１１を有する代わりに（図１８参照）、図１９に示すように、第２の電極１２が誘導体１０と対向する第１の面１２１に複数の突起部１２３を有してもよい。このときの感圧部２Ｂ２を有する感圧装置５０Ｂ２は、図１６におけるＲ-Ｒ断面において、図１９に示す実施態様Ｂ１の感圧装置５０Ｂ１の模式図断面図と同様の断面構造を有する。
【０１９３】
図１９に示す感圧装置５０Ｂ２は、第１の電極１１が突起部１１１を有さないこと、第２の電極１２が誘導体１０と対向する第１の面１２１に複数の突起部１２３を有すること以外、図１８に示す感圧装置５０Ｂ１と同様である。
【０１９４】
図１９における感圧装置５０Ｂ２の第１の電極１１は、突起部１１１を有さないこと以外、図１８における感圧装置５０Ｂ２の第１の電極１１と同様であり、所定の体積抵抗率を有する。このため、図１９における感圧装置５０Ｂ２においても、上記した図１８における感圧装置５０Ｂ２と同様の方法により、インピーダンスの測定が可能であり、また上記したインピーダンス法により当該測定値に基づく押圧位置と押圧力の検出も可能である。
【０１９５】
図１９の感圧装置５０Ｂ２においては、押圧位置と押圧力の検出精度のさらなる向上および後述する容量変化のリニアリティ特性の観点から、第１の電極１１は導電性ゴムからなり、第２の電極１２は誘電体１０に対向する面１２１に複数の突起部１２３を有し、誘電体１０は弾性を有することが望ましい。
【０１９６】
（実施態様Ｂ２の別の一例）
本実施態様においては、複数の測定器（例えば、第１の測定器〜第２の測定器）を用いて、平面状感圧部２Ｂ２の複数の第１の端子（例えば、第１の方向で一端の第１の端子２１ａおよび第２の方向で一端の第１の端子２１ｄ）を介してインピーダンスを測定しているが、当該複数の測定器を共通化してもよい。例えば、図１７に示すように、複数の測定器（例えば、第１の測定器〜第２の測定器）として共通の１つの測定器３５ｇを用いてもよい。このとき、図１７の感圧装置５０Ｂ２は切り換え器４５を更に備えている。当該切り替え器４５は、当該該１つの測定器３５ｇと複数の第１の端子との間に介在し、かつ当該複数の第１の端子への接続を切り替える機能を有する。このとき、演算部（図示せず）は、切り換え器４５の切り替え情報と１つの測定器３５ｇによる測定値を用いて、押圧位置と押圧力の両方を算出する。このように感圧装置５０Ｂ２が切り替え器４５を備えることにより、少ない数の測定器で多数の位置からのインピーダンスの測定が可能になり、押圧位置と押圧力の大きさの両方を検出できるため、経済的である。
【０１９７】
図１７に示す感圧装置５０Ｂ２においては、切り替え器４５は複数の第１の端子を介して第１の電極１１に電気的に接続されているとともに、第２の端子（図示せず）を介して第２の電極（図示せず）に電気的に接続されている。第２の端子（図示せず）は、第２の電極１２の任意の位置に電気的に接続されていてもよい。
【０１９８】
図１７に示す感圧装置５０Ｂ２は、複数の測定器が１つの測定器３５ｇに共通化され、新たに切り替え器４５が備わったこと、および当該切り替え器４５が第２の端子を介して第２の電極に接続されていること以外、図１８に示す感圧装置５０Ｂ２と同様である。このため、図１７における感圧装置５０Ｂ２においても、上記した図１８における感圧装置５０Ｂ２と同様の方法により、インピーダンスの測定が可能であり、また上記したインピーダンス法により当該測定値に基づく押圧位置と押圧力の検出も可能である。
【０１９９】
［感圧装置の製造方法］
例えば図１に示す感圧装置５０（５０Ａ１〜５０Ａ４および５０Ｂ１〜５０Ｂ２を包含する）の一例は以下の方法により製造することができる。
【０２００】
まず、支持層上に積層された第２の電極１２層を準備し、例えばウェットエッチング法により所望形状の第２の電極１２を形成する。詳しくは、第２の電極１２層表面にレジスト層を形成し、露出部分をエッチング液により溶解および除去する。所望形状は線状であってもよいし、平面状であってもよい。
【０２０１】
次いで、第２の電極１２の上に誘電体１０を層形態で形成する。詳しくは、樹脂フィルムの貼り付けや、樹脂材料の塗布と硬化を用いて形成する。
【０２０２】
一方、第１の電極１１は例えば、ナノインプリント技術、フォトリソエッチング技術または現像・剥離技術により製造することができる。このような技術によれば、第１の電極１１を線状または平面状に形成することができる。望ましくはナノインプリント技術が使用される。ナノインプリント技術とは、凹凸パターンを有したモールドを被転写材料の樹脂体に押し付け、ナノオーダーでモールドに形成されたパターンを樹脂体に転写する技術である。
【０２０３】
そして、第２の電極１２上に形成された誘電体１０の上に、第１の電極１１を重ね合わせることにより、感圧部２を得る。
【０２０４】
次いで、感圧部２における所定の位置に第１の端子２１（２１ａ〜２１ｅを包含する）および第２の端子２２（２２ａ〜２２ｂ等を包含する）を設置することにより、感圧部品１（１Ａ１〜１Ａ４および１Ｂ１〜１Ｂ２を包含する）を得ることができる。端子の設置方法としては、端子を第１の電極１１または第２の電極１２に電気的に接続できる限り、特に限定されず、例えば、各種コネクタや配線の半田付け、もしくは、圧着端子や圧接端子を圧着・圧接すればよい。
【０２０５】
最後に、感圧部品１の第１の端子２１および第２の端子２２に、測定器、切り替え器等の各種部材を電気的に接続することにより、本開示の感圧装置５０（５０Ａ１〜５０Ａ４および５０Ｂ１〜５０Ｂ２を包含する）を得ることができる。
【０２０６】
なお、感圧装置５０（５０Ａ１〜５０Ａ４および５０Ｂ１〜５０Ｂ２を包含する）において、複数のあるいは単一の測定器と制御部と演算部は、単一の集積回路の内部に構成することが可能であり、そうすることにより、感圧装置５０は、取り扱いおよび設置が容易になる。また、感圧装置５０が切り換え器（４０または４５）を有する場合には、切り換え器（４０または４５）をこの集積回路の内部に構成することも可能である。
【０２０７】
［感圧装置の用途］
本開示の感圧部品１および当該感圧部品を備えた感圧装置５０は、それ自体が可撓性を有し得る平板状であり、かつ配線が１次元状または２次元状であり、端子（引き出し配線）が少ないという特徴を有する。この特徴を活かして、本開示の感圧部品１自体を様々な形状に屈曲および湾曲させ、感圧装置に加工することができる。本開示の感圧部品１を可撓性支持体に貼り付けて、得られた可撓性材料を様々な形状に屈曲および湾曲させた後、端子に、測定器、切り替え器等の各種部材を電気的に接続することにより、感圧装置を得ることもできる。このため、本開示の感圧部品および感圧装置はそれぞれ、フレキシブル感圧部品およびフレキシブル感圧装置としても有用である。可撓性とは、平板状の感圧部品が外力によって全体として撓み変形し、除力すると元の形状へと戻る特性をいう。
【０２０８】
本開示の感圧部品および感圧装置が有し得る形状として、例えば、図２０に示すような半球形状、図２１に示すような球形状、図２２Ａおよび図２２Ｂに示すような円錐形状、図２３に示すような手袋形状およびこれらの複合形状が挙げられる。
【０２０９】
図２０、図２１、図２２Ａおよび２２Ｂ、および図２３に示す形状は、本開示の感圧部品を含む可撓性材料に適切な切れ目を入れることにより、形成することができる。例えば、図２２Ａは、切れ目１３１を有する円形の可撓性材料１３０を示す。図２２Ｂは、図２２Ａに示す可撓性材料の中心部分をつまみ上げたときに形成される立体的円錐形状の見取り図である。また例えば、図２３は、本開示の感圧部品を含む可撓性材料が更に柔軟性を有する場合に当該可撓性材料を縫製してなる手袋の外観形状を示す。
【０２１０】
本開示の感圧部品１および感圧装置５０において、感圧部２（２Ａ１〜２Ａ４および２Ｂ１〜２Ｂ２を包含する）が線状を有する場合、当該線状として、図２４に示すように、感圧部２の密集領域が局所的に存在する粗密形状を採用することもできる。このような密集領域をタッチパネルなどの判別エリア（ボタン領域）として利用することにより、押圧されたボタンの位置およびその押圧力を検出することができる。
【０２１１】
また、上記図に示した形状に限らず、様々な形状での圧力分布測定が可能であることは、その構成上、明らかである。
【０２１２】
以上、本開示の実施態様について説明してきたが、本開示はこれに限定されず、種々の改変がなされ得ることを当業者は容易に理解されよう。例えば、上述した本開示は、第１の電極が有する体積抵抗率に起因して、押圧位置と第１の端子との距離に応じて変化するＲＣ遅延時間およびインピーダンスを測定する方法、および当該測定方法を用いて押圧位置および押圧力を検出する方法も包含している。
【産業上の利用可能性】
【０２１３】
本開示の感圧部品および感圧装置は各種電子機器のセンサ素子として好適に利用できる。具体的にいえば、本開示の感圧部品および感圧装置は、携帯機器（スマートフォン）、コンピュータ機器（電子ペーパー、電子ブックリーダー）、ロボット機器（介護ロボット、工業用ロボット）、車載機器（カーナビゲーション・システム、音響機器など）、家電機器（電気ポット、電子レンジ、ＩＨクッキングヒーターなど）などの種々の電子機器に適用され、これまで以上にユーザーの利便性が図られたタッチセンサ素子（操作パネル・操作スイッチ）として利用できる。
【符号の説明】
【０２１４】
１：１Ａ１：１Ａ２：１Ａ３：１Ａ４：１Ｂ１：１Ｂ２１：感圧部品
２：２Ａ１：２Ａ２：２Ａ３：２Ａ４：２Ｂ１：２Ｂ２１：感圧部
１０：誘電体層
１１：第１の電極
１２：第２の電極
２１：２１ａ：２１ｂ：２１ｃ：２１ｄ：２１ｅ：第１の端子
２２：２２ａ：２２ｂ：第２の端子
３０：３０ａ：３０ｂ：３０ｃ：３０ｄ：３０ｅ：３０ｆ：ＲＣ遅延時間の測定器
３５ａ：３５ｄ：インピーダンスの測定器
５０：５０Ａ１：５０Ａ２：５０Ａ３：５０Ａ４：５０Ｂ１：５０Ｂ２：感圧装置
１０１：誘電体の第１面
１０２：誘電体の第２面
１１０：第１の電極の第１面
１１１：第１の電極の突起部
１１２：第１の電極の第２面
１２１：第２の電極の第１面
１２２：第２の電極の第２面
１２３：第２の電極の突起部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２Ａ】
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【図２２Ｂ】
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【図２３】
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【図２４】
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