(57)【要約】【課題】柔軟性があり高い熱伝導率を有する放熱シートを得る。【解決手段】樹脂材料３００と樹脂材料より熱伝導率の高い材料でできた面方向への広がりと所要厚みを備えた放熱部材１００とを含む放熱シート２００であって、放熱部材１００は、長尺状の平板５１の短辺側の断面を２つの平行な平面５２，５３とその間をつなぐ面５４で構成されるように折り曲げられた放熱基材５０の適数本が、一方の平面５２が形成する上面１０１と他方の平面５３が形成する下面１０２とが互いに平行となるように配列された構成であり、放熱部材１００は各放熱基材５０の２つの平行な平面５２，５３を残して全体が前記樹脂材料３００中に埋入している。【選択図】図７
2019046844.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂材料と前記樹脂材料より熱伝導率の高い材料でできた面方向への広がりと所要厚みを備えた放熱部材とを含む放熱シートであって、
前記放熱部材は、長尺状の平板の短辺側の断面を２つの平行な平面とその間をつなぐ面で構成されるように折り曲げられた放熱基材の適数本が、一方の平面が形成する上面と他方の平面が形成する下面とが互いに平行となるように配列された構成であり、
前記放熱部材は、各放熱基材の前記２つの平行な平面を残して全体が前記樹脂材料中に埋入していることを特徴とする放熱シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば発熱する電子部品からの発熱を外部に放熱するのに好適な放熱シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＰＵのような自ら発熱する電子部品は、過度に昇温すると適正に作動しなくなる恐れがある。それを回避するために、適宜の冷却デバイスが電子部品とともに用いられる。そのような冷却デバイスの一例として、特許文献１に記載される放熱シートや特許文献２に記載される熱輸送デバイス、さらには特許文献３に記載される放熱装置等が挙げられる。
【０００３】
特許文献１に記載の放熱シートは、マトリックス樹脂および熱伝導性フィラーからなる熱伝導性接着剤層とその熱伝導性接着剤層を担持する一方向に延伸したエキスパンドシートより構成されている。特許文献２に記載の熱輸送デバイスは、ハウジング内に封入された作動流体と、ハウジング内に設けられ作動流体の流路を形成するエキスパンドシートと、毛細管構造体とで構成されている。特許文献３に記載の放熱装置は、熱伝導性を有する可撓性の金属シート材で形成した支持枠と、同じシート材で形成した筒状の菱形フィンとを備え、支持枠の内部に、複数の菱形フィンを菱形フィンの稜を連結して１列に配置し、中央部の一つの菱形フィンの一つの稜を支持枠に結合するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２９１８１０号公報
【特許文献２】特開２０１１−０８６７５３号公報
【特許文献３】特開２００６−２５３６０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載される放熱シートにおいても、特許文献２に記載される熱輸送デバイスにおいても、エキスパンドシートは、姿勢保持等の構造部材としての機能と、伝熱性あるいは放熱性を確保する熱伝導パスとしての機能とを備えている。特許文献１および特許文献２にも記載されているように、従来、この種の放熱シート等で用いられるエキスパンドシート１０は、図１５（ａ）に示すように、薄板状の金属シート１に、幅Ｌの間隔で、千鳥状に多列に切り込み２・・を入れ、切り込み２の方向に直交する方向に金属シート１を延伸する（エキスパンドする）ことで形成される。図１５（ｂ）は、そのようにして形成された従来のエキスパンドシート１０の一例であり、引き延ばすことで前記切り込み２・・の箇所が切り込み２の形成方向に直交する方向に次第に拡開され、その拡開によって前記切り込み２の箇所は菱形の開口部３・・に変形する。
【０００６】
この形態のエキスパンドシート１０は、薄板状の金属シート１を延伸したものであり、図１５（ｃ）に図１５（ｂ）のＡ−Ａ線での断面図を示すように、連結部４の領域では、隣接する切り込み２、２間の距離Ｌの２倍（２Ｌ）の幅を有しているが、連結部４と連結部４との間であるストランド部５では、隣接する切り込み間の距離Ｌの幅となっている。
【０００７】
図１６（ａ）は、このエキスパンドシート１０の開口部３にマトリックスとしての樹脂材料１１を充填して形成した放熱シート２０の平面図であり、図１６（ｂ）は、図１６（ａ）のＢ−Ｂ線による断面図、図１６（ｃ）は、図１６（ａ）のＣ−Ｃ線による断面図である。図示のように、エキスパンドシート１０は全体が樹脂材料１１中に埋入しており、エキスパンドシート１０の開口部３には樹脂材料１１が充填されている。この形態の放熱シート２０において、図１６（ｂ）に示すように、放熱部材１０における前記連結部４は、放熱シート２０の厚みＳを規制していて、放熱シート２０の上面２０ａと下面２０ｂとの間の全域に亘るようにして、連結部４が位置している。そして、連結部４の上端部４ａは放熱シート２０の上面２０ａ側に露出してあるいはごく近接して位置しており、連結部４の下端部４ｂは放熱シート２０の下面２０ｂ側に露出してあるいはごく近接して位置している。
【０００８】
一方、図１６（ｃ）に示すように、前記ストランド部５では、その幅Ｌが連結部４の幅２Ｌの１／２であることから、図で上位に位置するストランド部５Ｕの上端部５ａは放熱シート２０の上面２０ａ側に露出してあるいはごく近接して位置しているが、その下端部５ｂは放熱シート２０の厚み方向のほぼ中間部に位置していて、放熱シート２０の下面２０ｂ側には達していない。また、図で下位に位置するストランド部５Ｄの下端部５ｂは放熱シート２０の下面２０ｂ側に露出してあるいはごく近接して位置しているが、その上端部５ａは放熱シート２０の厚み方向のほぼ中間部に位置していて、放熱シート２０の上面２０ａ側には達していない。
【０００９】
そのために、従来のこの形態の放熱シート２０ではエキスパンドシート１０における連結部４が位置する部位とストランド部５が位置する部位とでは、熱伝導パスとしての機能に差が出るのを避けられず、結果、放熱シート２０全体としてみた場合、放熱部材１０による熱伝導パスの形成が不十分とならざるを得ず、高熱伝導化するためには放熱部材１０の放熱シート２０に占める割合を高めることが必要とされている。このことは、樹脂材料の比率を下げることを意味しており、放熱シート２０の柔軟性を犠牲にせざるをえなくなっている。
【００１０】
特許文献３に記載される放熱装置では、直方体状の支持枠内に複数個の筒状の菱形フィンを備えた構成となっており、該菱形フィンによって放熱面あるいは受熱面である天板と底板との間に多数の等しい長さの熱伝導パスが形成される利点があるが、直方体状の支持枠は柔軟性に欠け、特に奥行き方向において十分な柔軟性が得られない不都合がある。したがって、高熱伝導性と放熱シートに必要な柔軟性との両立は困難である。
【００１１】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、所要の柔軟性を保持することができながら、より高い熱伝導性を確保することができる放熱シートを開示することを課題とする。また、前記放熱シートの製造方法を開示することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明による放熱シートは、基本的に、樹脂材料と前記樹脂材料より熱伝導率の高い材料でできた面方向への広がりと所要厚みを備えた放熱部材とを含む放熱シートであって、前記放熱部材は、長尺状の平板の短辺側の断面を２つの平行な平面とその間をつなぐ面で構成されるように折り曲げられた放熱基材の適数本が、一方の平面が形成する上面と他方の平面が形成する下面とが互いに平行となるように配列された構成であり、前記放熱部材は、各放熱基材の前記２つの平行な平面を残して全体が前記樹脂材料中に埋入していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、高い柔軟性を備え、かつ、柔軟性を犠牲にすることなく、高い熱伝導性を備えた放熱シートが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】放熱シートで用いる放熱部材の製造に用いる原シートの一例を示す平面図。
【図２】放熱部材を構成する放熱基材を製造する一例を示す図。
【図３】放熱部材を構成する放熱基材の一例を示す図。
【図４】放熱部材の一例を示す側面図。
【図５】放熱シートを製造する工程を説明する第１の図。
【図６】放熱シートを製造する工程を説明する第２の図。
【図７】製造後の放熱シートを示す斜視図。
【図８】製造後の放熱シートを示す側面図。
【図９】放熱シートの他の実施の形態を示す側面図。
【図１０】放熱シートのさらに他の実施の形態を示す側面図。
【図１１】放熱シートのさらに他の実施の形態を示す側面図。
【図１２】放熱シートのさらに他の実施の形態を示す側面図。
【図１３】放熱シートのさらに他の実施の形態を示す側面図。
【図１４】放熱部材の他の例を示す斜視図。
【図１５】従来の放熱シートで用いられている放熱部材であるエキスパンドシートを説明するための図。
【図１６】従来の放熱シートを説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図面を参照しながら、本発明による放熱シートの一実施の形態を説明する。
【００１６】
［放熱部材］
最初に、この実施の形態の放熱シートで用いる放熱部材１００の一例をその製造工程とともに説明する。
放熱部材１００は、基本的に、図３に一例を示す形状の放熱基材５０の適数本を配列させることで構成される。放熱基材５０は、任意の方法で製造することができる。一例として、図１に示すように、面方向に広がりを持つ矩形状の原シート５０ａを用いる。原シート５０ａの素材としては、金属、セラミックス、グラファイト等を挙げることができる。金属としては、銅、アルミニウム、金、銀、ニッケル、亜鉛、等を例示できる。セラミックスとしては、アルミナ、シリカ、窒化ホウ素、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、等を例示できる。セラミックスを用いる場合は、焼成前のグリーンシートの状態で成形することは、成形が容易なことから好ましい。好ましくは、熱伝導率が１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であるそれらの単一または複合材料である。また、原シート５０ａの厚みｔは、好ましくは１０μｍ〜５００μｍである。
【００１７】
最初に、原シート５０ａを幅ｗで短冊状にカットする。次に、カットされた長尺状の平板５１を、その短辺側の断面がコ字状となるように折り曲げ加工する。具体的には、図３に示すように、互いに平行な第１の平面５２と第２の平面５３とが第３の平面５４でつながれた形状となるように、折り曲げ加工する。この折り曲げ加工によって、１つの放熱基材５０が形成される。
【００１８】
この折り曲げ加工は手作業で行ってもよいが、図２に示す加工機６０を用いることで、容易かつ迅速に行うことができる。加工機６０は、周面に凹溝６１を持つ第１の回転ロール６２と、周面に凸条６３を持つ第２の回転ロール６４と、２つのロール６２と６４に回転力を付与する駆動機構（図では示されない）で構成される。第１の回転ロール６２の回転軸Ｏ１と第２の回転ロール６４の回転軸Ｏ２は平行であり、第１の回転ロール６２の凹溝６１内に第２の回転ロール６４の凸条６３が入り込んでいる。入り込んだ状態で、凹溝６１と凸条６３との間には、前記原シート５０ａの厚みｔにほぼ等しい隙間が形成されている。
【００１９】
前記カットされた長尺状の平板５１を、回転している第１の回転ロール６２と第２の回転ロール６４との間に、第１の回転ロール６の凹溝６１の幅方向の中央と長尺状の平板５１の短辺側の中央が一致するようにして差し込む。それにより、長尺状の平板５１は送られると同時に、短手方向の断面形状がコ字状に折り曲げられて、図３に示す放熱基材５０が形成される。
【００２０】
以下の説明では、図３に示すように、互いに平行な第１の平面５２と第２の平面５３の短手方向をＸ軸方向、長手方向をＹ軸方向といい、第１の平面５２と第２の平面５３とが離間している方向をＺ軸方向という。この例において、放熱基材５０での、第１の平面５２と第２の平面５３とが第３の平面５４となす角度αは共に９０度であり、第１の平面５２と第２の平面５３のＸ方向の幅は共にａであり、第３の平面５４のＺ軸方向の幅はｂである。なお、放熱基材５０のＹ軸方向の長さは任意である。
【００２１】
図３に示す放熱基材５０の適数本を、図４に示すように、所定の間隔ｃを置いて、互いに平行に同一平面内に配列することで、放熱部材１００とされる。放熱部材１００は、各放熱基材５０の第１の平面５２・・が形成する上面１０１と、第２の平面５３・・が形成する下面１０２とを有し、上面１０１と下面１０２は互いに平行であるとともに、２つの面１０１、１０２は、第３の平面５４のＺ軸方向の距離ｂだけ、離間している。
【００２２】
必須ではないが、図４に示す放熱部材１００では、適数本の放熱基材５０は、隣接する放熱基材５０、５０の間に幅ｃの隙間５５が形成されるようにして、互いに平行に配置されている。隙間５５の幅ｃは任意であるが、原シート５０ａの厚みｔよりも大きい幅であることが実際的である。また、第１の平面５２と第２の平面５３のＸ軸方向の幅ａも任意であるが、ａ＞２ｔであることは実際的である。
【００２３】
［樹脂材料３００］
前記した放熱部材１００を樹脂材料３００内に埋入することで、放熱シート２００が得られる。樹脂材料３００は、樹脂単体でもよく、機能向上のためにフィラーを充填した樹脂であってもよい。樹脂としては、湿気硬化型、常温硬化型（１液タイプ、２液混合タイプのいずれも可）のシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、等の熱硬化型樹脂、あるいは、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイト樹脂、ポリイミド樹脂、等の熱可塑性樹脂を例示できる。フィラーとしては、銅、アルミ、銀、ニッケル、亜鉛、等の金属充填材、アルミナ、シリカ、窒化ホウ素、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、グラファイト、等の無機充填材、を例示できる。さらに、前記した放熱部材１００の製造に用いる材料を粒子化して前記樹脂材料３００に混合した混合材料も用いることができる。
【００２４】
［放熱シート２００の製造］
放熱部材１００を前記の樹脂材料３００中に埋入するには任意の方法で行うことができる。図５および図６はその一例を示している。最初に、図５に示すように、底面が平坦面である金型４００内に、適数本の放熱基材５０を互いに平行にかつ幅ｃの隙間５５が形成されるようにして配置する。それにより、金型４００内に、図４に示した形状の放熱部材１００が形成される。その上から、前記した樹脂材料３００を流し込む。樹脂は、前記隙間５５を通って、放熱部材１００の内部空間に入り込む。次に、図６に示すように、金型４００に蓋４０１をして高さを整えた後、恒温槽に投入し、樹脂材料３００を加熱硬化させる。冷却後に型から取り外すことで、図７に斜視図を、図８に側面図を示す放熱シート２００が得られる。
【００２５】
［放熱シート２００の利点］
この施の形態の放熱シート２００では、上面側には放熱部材１００を構成する各放熱基材５０の第１の平面５２が広い面積で位置しており、下面側には放熱部材１００を構成する各放熱基材５０の第２の平面５３が広い面積で位置している。そして、各放熱基材５０の前記第１の平面５２と第２の平面５３は長手方向（Ｙ軸方向）の全長において第３の平面５４で接続している。そのために、被着体（発熱体等）との界面での熱伝達を効率的に行うことができ、実用時の熱抵抗を小さくできる。また、前記第３の平面５４によって、厚み方向（Ｚ軸方向）に途中で途切れることのない熱伝導パスが形成される。それにより、熱伝導率が達成される。さらに、この形態の放熱シート２００は、Ｙ軸方向に延びる前記距離ｃの隙間５５を備えており、Ｘ軸に沿う面方向で柔軟に変形することができる。
【００２６】
なお、前記した樹脂材料３００の充填性をよりすぐれたものとするために、放熱基材５０を形成する長尺状の平板５１の全体にあるいは適宜の部位に、被着体（発熱体等）との接触面積を有意に阻害しない程度に、例えば全体の１ｖｏｌ％以下程度に、直径０．０５ｍｍ程度の小孔を形成することもできる。
【００２７】
［放熱シートの他の構成］
放熱シート２００の全容積に対する放熱部材１００の占める体積分率に特に制限はないが、５％以上、８０％以下であることが望ましい。５％未満では、熱伝導率を高めることができず放熱材として有用でない。また放熱に寄与しない領域が広くなり、放熱シート内での伝熱ムラが大きくなるため製品内で想定外の高温部ができる可能性がある。８０％を超えると、高い熱伝導率の放熱シートとなるが、硬くなりすぎて製品との界面熱抵抗が大きくなり、所望の放熱性能が得られないことが起こりうる。
【００２８】
放熱基材５０を形成する原シート５０ａの厚みと放熱シート２００の厚みの比は、１：３以上、１：１０以下が好ましい。１：３未満であると、圧縮応力に対する放熱部材の厚み方向の柔軟性が低くなり、放熱シートとしての柔軟性が損なわれるため、製品との界面熱抵抗が大きくなり、所望の放熱性能が得られない恐れがある。１：１０を超えると、放熱部材の体積分率を上げることができず、高熱伝導化できない。
【００２９】
［他の実施の形態−１］
図９は、放熱シートの他の実施の形態を示している。この放熱シート２００ａは、放熱シート１００の表裏面に絶縁層１０３を設けた点で、上記した絶縁シート２００と相違する。他の構成は、放熱シート２００と同じである。絶縁層１０３の素材には、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、等の熱硬化型樹脂、あるいは、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイト樹脂、ポリイミド樹脂のような樹脂材料、あるいはアルミナ、シリカ、窒化ホウ素などのセラミックス材料、のような材料を用いることができる。絶縁層１０３を設けることで、高熱伝導率と絶縁性の双方を確保した放熱シート２００ａが得られる。
【００３０】
［他の実施の形態−２］
図１０は、放熱シートのさらに他の実施の形態を示している。この放熱シート２００ｂは、表裏面に絶縁皮膜１０４を有する放熱基材５０を用いて放熱部材１００を構成している点で、上記した絶縁シート２００と相違する。他の構成は、放熱シート２００と同じである。絶縁皮膜１０４の素材としては、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、等の熱硬化型樹脂、あるいは、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイト樹脂、ポリイミド樹脂のような樹脂材料、あるいはアルミナ、シリカ、窒化ホウ素などのセラミックス材料、のような材料を用いることができる。この絶縁シート２００ｂでも、放熱部材１００自体が絶縁性能を有することで、高熱伝導率と絶縁性の双方を確保することができる。
【００３１】
［他の実施の形態−３］
図１１は、放熱シートのさらに他の実施の形態を示している。この放熱シート２００ｃは、放熱部材１００ｃとして、図３に基づき説明した放熱基材５０を、同一方向にではなく、２個の放熱基材５０が第３の平面５４、５４同士が対面するようにして配置して放熱基材組５０ｋとし、その適数個を間隔ｃを置いて平行に配置した構成を持つ放熱部材１００ｃを用いている点で、上記した放熱シート２００と相違している。放熱基材組５０ｋにおいて、対面する２つの第３の平面５４、５４同士は、密着していてもよく、隙間ｃを有していてもよい。
【００３２】
［他の実施の形態−４］
図１２は、放熱シートのさらに他の実施の形態を示している。この放熱シート２００ｄは、放熱部材として、図３に示した断面コ字状の放熱基材５０ではなく、第１の平面５２と第２の平面５３とが、垂直な第３の平面５４を中央にして互いに反対方向に折り曲げられている放熱基材５０ｄの適数本を互いに平行に配列して形成した放熱部材１００ｄを用いている点で、上記した放熱シート２００と相違している。図示される様に、隣接する放熱基材５０ｄにおいて、一方の放熱基材５０ｄの第１の平面５２の先端と他方の放熱基材５０ｄの第３の平面５４との間、および、一方の放熱基材５０ｄの第２の平面５３の先端と他方の放熱基材５０ｄの第３の平面５４との間に、間隔ｃが形成されるように、放熱基材５０同士を平行配置することは好ましい態様である。
【００３３】
［他の実施の形態−５］
図１３は、放熱シートのさらに他の実施の形態を示している。この放熱シート２００ｅは、放熱部材５０ｅとして、前記第３の平面５４が垂直面でなく、斜面となっている放熱基材５０ｅの適数本を平行に配列した放熱部材１００ｅを用いている点で、上記した放熱シート２００と相違している。図示の例では、第１の平面５２の右端と第２の平面５３の左端とを、傾斜する第３の平面５４が接続しているが、斜面である放熱基材５０ｅの第１の平面５２と第２の平面５３との接続部位は、これに限らず、任意である。
【００３４】
［他の実施の形態−６］
図１４は、放熱部材１００のさらに他の形態を示している。ここでは、放熱基材５０ｆとして、図３に基づき説明した放熱基材５０に対して、その第１の平面５２から第３の平面５４への延びる第１のスリット５６、および第３の平面５４から第２の平面５３へ延びる第２のスリット５７の適数本が、Ｙ軸方向に直交するようにして、かつＹ軸方向に適当な間隔を置いて、それぞれ形成されている放熱基材５０ｆを用いている。
【００３５】
放熱基材５０ｆの適数本を、図１４に示すように、互いに平行に、また一定の間隔ｃを置いて配列することで、放熱部材１００ｆが形成されている。この構成の放熱部材１００ｆを用い、図５および図６に示したと同じようにして、放熱シート２００を作製した場合、製造された放熱シート２００は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の２方向において、高い柔軟性を備えたものとなる。
【００３６】
なお、この形態の放熱基材５０ｆは、原シート５０ａから幅ａの長尺状の平板５１を切り出すときに、または切り出し後の長尺状の平板５１に対して、長尺状の平板５１の左右の長辺から所定の間隔を置いて、第１のスリット５６と第２の平面５３に相当する切欠きを形成しておき、切欠き形成後の長尺状の平板５１を折り曲げ加工することで、容易に形成することができる。
【実施例】
【００３７】
以下、実施例と比較例により、本発明による放熱シート２００の優位性を説明する。
【００３８】
［実施例品］
放熱基材５０の原シート５０ａとして０．０３ｍｍ厚の純Ｃｕ箔を用いた。前記原シート５０ａを用いて、図１４に示した、幅Ｍである第１のスリット５６および第２のスリット５７を備えた形状の放熱基材５０ｆを作製した。ただし、放熱基材５０ｆとして、第１の平面５２と第２の平面５３のＸ軸方向での幅ａを変えて、３種類の放熱基材５０ｆを用意した。それぞれの放熱基材５０ｆを、図１４に示したようにして、互いに平行に配列し、図５および図６に示したと同じようにして、放熱部材１００ｆの体積分率が異なる実施例１〜３の放熱シート２００を作製した。樹脂材料３００としては、液状シリコーン樹脂を用い、樹脂中に埋入させた後、恒温槽にて加熱硬化させて、放熱シート２００とした。なお、具体的な寸法は、表１の実施例１〜３に示した。用いたシリコーン樹脂は、信越化学製ＫＥ−１８７０（付加反応型）であり、硬化条件は１５０℃×３０分、粘度４００ｍＰａ・ｓ、硬化後硬さ１５（デュロメータＡ）である。
【００３９】
［比較例品］
同じ素材を用い、先に図１５、図１６に基づき説明した従来法により、放熱部材１０を作製した。放熱部材１０の作製時に、引き延ばし量を変え、表１に示す、放熱部材（Ｃｕ）の体積分率が異なる比較例１、２の放熱シートを作製した。なお、比較例１、２の傾斜角度は、図１６（ｂ）に示す傾斜角度Ａ°である。
【００４０】
［特性試験］
実施例品１〜３、比較例品１、２について、定常法により、熱伝導率および熱抵抗を測定した。その結果を表１に示した。
【００４１】
【表１】
2019046844.tif 000003
［注１］傾斜角度αは、図１４に示した放熱基材５０ｆでの折り曲げ角度α、但し、比較例での傾斜角度αは、図１６（ｂ）での角度Ａ°、
［注２］幅ａは、図１１に示した放熱基材５０ｆでのＸ軸方向の幅ａ、
［注３］隙間ｃは、図１４に示した放熱部材１０ｆでの隙間ｃ、Ｍは図１４に示した放熱基材５０ｆでの第１のスリット５６および第２のスリット５７の幅、
［注４］熱伝導率は放熱シート単体での放熱性能であり、熱抵抗は部材に挟まれた実用時を想定した放熱性能である。作製した放熱シートを所定のサイズ（φ２０ｍｍ）にカットし、定常法で測定した。
【００４２】
［評価］
実施例品と比較例品では、仕上がり厚みがいずれも０．３ｍｍと等しく、さらに、放熱部材と樹脂との体積分率もほぼ等しいにもかかわらず、実施例品は比較例品と比較して、熱伝導率が大きく向上している。また、熱抵抗は、実施例品は、比較例品とそれぞれ比較して、小さくなっている。これは、本実施例で用いている放熱部材が、基本的に図７に示した形状であり、それにより、熱伝導パスが、比較例品と比較して、実質上、多くなった結果である。
【符号の説明】
【００４３】
５０ａ…原シート、
５０…放熱基材、
５１…長尺状の平板、
５２…第１の平面、
５３…第２の平面、
５４…第３の平面、
５５…放熱基材間の隙間、
６０…加工機、
６１…凹溝、
６２…第１の回転ロール、
６３…凸条、
６４…第２の回転ロール、
１００…放熱部材、
１０１…放熱部材の上面、
１０２…放熱部材の下面、
２００…放熱シート、
３００…樹脂材料、
４００…金型。
【図１】
2019046844.tif 000004
【図２】
2019046844.tif 000005
【図３】
2019046844.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2019046844.tif 000011
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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