(57)【要約】【課題】ラインセンサカメラ（またはエリアカメラ）により取得した画像データのうち特定の残渣異物を顕微鏡にて観察・分析する場合に、その残渣異物を顕微鏡の視野内に持ち込むことを容易にする。【解決手段】採取液を透過させ残渣異物が捕集されたろ紙２が裁置されたステージ３を、ラインセンサカメラ４（またはエリアカメラ）に対し走査させながらラインセンサカメラ４によって撮影し、ろ紙２にて捕集された複数の残渣異物を画像処理により各前記残渣異物に番号付けをする。ラインセンサカメラ４に隣接して顕微鏡カメラ５が配置され、前記残渣異物のうち指定された番号のものが顕微鏡カメラ５のカメラ中心になるようにステージ３を、ラインセンサカメラ４の下方位置と顕微鏡カメラ５の下方位置との間で移動させる。顕微鏡カメラ５は、一端に対物レンズ５ａが取り付けられた顕微鏡鏡筒５ｂの他端にカメラ本体５ｃが取り付けられたものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
採取液を透過させ残渣異物が捕集されステージ上に裁置されたろ紙を、ラインセンサカメラまたはエリアカメラによって撮影し、前記ろ紙にて捕集された複数の残渣異物を画像処理により各前記残渣異物に、位置情報を有する番号を付ける残渣異物測定装置であって、
前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラに隣接して一定の位置関係で配置される顕微鏡カメラと、
前記顕微鏡カメラを昇降させるカメラ昇降手段と、
前記ステージを、前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラの下方位置と前記顕微鏡カメラの下方位置との間で移動させるステージ移動手段と、
前記ステージ移動手段を制御して、前記残渣異物のうち指定された番号のものが前記顕微鏡カメラのカメラ中心になるように前記ステージを移動させる移動制御手段とを備え、
前記顕微鏡カメラは、一端に対物レンズが取り付けられた顕微鏡鏡筒の他端にカメラ本体が取り付けられたものである
ことを特徴とする残渣異物測定装置。
【請求項２】
さらに、
前記カメラ昇降手段に連係され、観察・分析しようとする前記残渣異物に対し前記顕微鏡カメラを上昇あるいは下降しながら、一定距離移動毎に前記カメラ本体で撮影させる撮影制御手段と、
前記顕微鏡カメラよりの信号を受け、前記撮影された複数の画像データに基づき、前記残渣異物について焦点の合った部分どうしを細かくつなぎ合わせて合成する合焦点処理を行い残渣異物の立体画像を得る残渣異物分析手段と
を備える、請求項１に記載の残渣異物測定装置。
【請求項３】
前記ステージ移動手段は、予め設定された原点を基準にして、前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラと前記顕微鏡カメラとが並ぶ方向である第１の方向及び前記第１の方向に直交する第２の方向に前記ステージを移動させるものである、請求項１または２に記載の残渣異物測定装置。
【請求項４】
前記移動制御手段には条件入力手段が連係され、
前記条件入力手段は、観察・分析しようとする前記残渣異物の番号、前記第２の方向における前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラのカメラ中心と前記顕微鏡カメラのカメラ中心とのオフセット量及び前記第１の方向における前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラのカメラ中心と前記顕微鏡カメラのカメラ中心との間の距離を入力するものであり、
前記移動制御手段は、さらに、
前記条件入力手段よりの信号を受け、観察・分析しようとする前記残渣異物の番号、前記第２の方向における前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラのカメラ中心と前記顕微鏡カメラのカメラ中心とのオフセット量及び前記第１の方向における前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラのカメラ中心と前記顕微鏡カメラのカメラ中心との間の距離に基づき、前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラによる撮影後に、前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラの下方位置から、前記第１及び第２方向における前記ステージの移動距離を演算する距離演算手段を有し、前記ステージの移動距離に基づき、前記ステージ移動手段を制御するものである、請求項３または４に記載の残渣異物測定装置。
【請求項５】
前記条件入力手段は、観察・分析しようとする前記残渣異物が複数ある場合には、
前記距離演算手段は、さらに、観察・分析が終了した前記残渣異物に代えて、次に観察・分析しようとする前記残渣異物を前記顕微鏡カメラのカメラ中心に移動させるための前記第１及び第２方向における移動距離を演算するものである、請求項５記載の残渣異物測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、残渣異物測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば機械加工部品や機械加工製品（金属製、樹脂製など）の表面に付着する金属屑片や樹脂屑片、ガラス粉などの残渣異物（いわゆるコンタミ）を洗浄液で洗い流し、その採取液から捕集される各残渣異物を測定することにより、主として各製品の清浄度を判定する目的で、各製品に付着した各残渣異物の材質や大きさ・質量などを測定することが行われている。
【０００３】
そのような測定を行う装置として、採取液をろ紙（フィルタ）に透過させ、ろ紙上に捕集された各残渣異物をラインセンサカメラにより走査し画像データとして取り込んだ後、前記ろ紙にて捕集された複数の残渣異物を画像処理により各前記残渣異物に番号付けをし、各残渣異物の色素データをあらかじめ設定した材質ごとの異物片サンプル色データとパターンマッチングすることにより、各残渣異物の材質判別をするものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
前記特許文献１に記載されたようなものでは、材質判別をすることができるが、近年、洗浄性能の要求が厳しく、より高度化し、洗浄後の清浄度品質向上が望まれることから、残渣異物を分析したいという要求がある。
【０００５】
そのような分析をするものとして、顕微鏡を用いて、異物検査装置にて求めた試料表面の異物位置座標に基づき、試料表面の異物を検出し，その結果を表示するものが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
そこで、特許文献１記載のもので得られた画像データから特定した残渣異物を、特許文献２に記載のように、顕微鏡を用いて分析することが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−１９８４１４号公報
【特許文献２】特開平６−４３１２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、前記特定した残渣異物を顕微鏡を用いて分析する場合、前述した顕微鏡は、視野が非常に狭いため、前記特定した残渣異物を視野内に入れることが困難で、面倒な作業となる。
【０００９】
そこで、発明者は、ラインセンサカメラ（またはエリアカメラ）と顕微鏡カメラとの位置関係を固定しておけば、前記特定した残渣異物をラインセンサカメラの下方位置から顕微鏡カメラのカメラ中心に移動させる距離や方向（例えば、Ｘ方向及びＹ方向の移動距離）を演算できることから、それを利用して移動させれば顕微鏡の視野内に簡単に持ち込むことができることに着想し，本発明をなしたものである。
【００１０】
本発明は、ラインセンサカメラ（またはエリアカメラ）により取得した画像データのうち特定した残渣異物を顕微鏡にて観察・分析する場合に、その残渣異物を顕微鏡の視野内に持ち込むことが容易にできる残渣異物測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１の発明は、採取液を透過させ残渣異物が捕集されステージ上に裁置されたろ紙を、ラインセンサカメラまたはエリアカメラによって撮影し、前記ろ紙にて捕集された複数の残渣異物を画像処理により各前記残渣異物に、位置情報を有する番号を付ける残渣異物測定装置であって、前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラに隣接して一定の位置関係で配置される顕微鏡カメラと、前記顕微鏡カメラを昇降させるカメラ昇降手段と、前記ステージを、前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラの下方位置と前記顕微鏡カメラの下方位置との間で移動させるステージ移動手段と、前記ステージ移動手段を制御して、前記残渣異物のうち指定された番号のものが前記顕微鏡カメラのカメラ中心になるように前記ステージを移動させる移動制御手段とを備え、前記顕微鏡カメラは、一端に対物レンズが取り付けられた顕微鏡鏡筒の他端にカメラ本体が取り付けられたものである、ことを特徴とする。
【００１２】
このようにすれば、ラインセンサカメラまたはエリアカメラにて得られた画像データの、複数の残渣異物のうち特定のものを観察・分析する場合、各前記残渣異物は番号付けされているので、前記特定のものの番号（位置情報を有する番号）を指定することで、ステージ移動手段を制御して、残渣異物のうち特定のものを前記顕微鏡カメラのカメラ中心に移動させることができる。よって、特定した残渣異物を顕微鏡の視野内に持ち込むことができるので、顕微鏡で観察・分析するための位置合わせの必要がなくなり、残渣異物のうち特定のものの観察・分析を容易に行うことができる。
【００１３】
請求項２に記載のように、さらに、前記カメラ昇降手段に連係され、観察・分析しようとする前記残渣異物に対し前記顕微鏡カメラを上昇あるいは下降しながら、一定距離移動毎に前記カメラ本体で撮影させる撮影制御手段と、前記顕微鏡カメラよりの信号を受け、前記撮影された複数の画像データに基づき、前記残渣異物について焦点の合った部分どうしを細かくつなぎ合わせて合成する合焦点処理を行い残渣異物の立体画像を得る残渣異物分析手段とを備える、ことが望ましい。
【００１４】
このようにすれば、一定距離移動毎に撮影された複数の画像データに基づき、焦点の合った部分を細かくつなぎ合わせて合成することで、残渣異物の立体画像を得ることが可能となる。
【００１５】
請求項３に記載のように、前記ステージ移動手段は、予め設定された原点を基準にして、前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラと前記顕微鏡カメラとが並ぶ方向である第１の方向及び前記第１の方向に直交する第２の方向に前記ステージを移動させるものである、ことが望ましい。
【００１６】
このようにすれば、ステージの第１及び第２の方向の移動によって、ラインセンサカメラまたはエリアカメラの下方位置から顕微鏡カメラの下方位置（カメラ中心）にステージを精度よく移動させることができる。
【００１７】
請求項４に記載のように、前記移動制御手段には条件入力手段が連係され、前記条件入力手段は、観察・分析しようとする前記残渣異物の番号、前記第２の方向における前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラのカメラ中心と前記顕微鏡カメラのカメラ中心とのオフセット量及び前記第１の方向における前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラのカメラ中心と前記顕微鏡カメラのカメラ中心との間の距離を入力するものであり、前記移動制御手段は、さらに、前記条件入力手段よりの信号を受け、観察・分析しようとする前記残渣異物の番号、前記第２の方向における前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラのカメラ中心と前記顕微鏡カメラのカメラ中心とのオフセット量及び前記第１の方向における前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラのカメラ中心と顕微鏡カメラのカメラ中心との間の距離に基づき、前記ラインセンサカメラによる撮影後に、前記ラインセンサカメラまたはエリアカメラの下方位置から、前記第１及び第２方向における前記ステージの移動距離を演算する距離演算手段を有し、前記ステージの移動距離に基づき、前記ステージ移動手段を制御するものである、ことが望ましい。
【００１８】
このようにすれば、観察・分析しようとする前記残渣異物の番号（位置情報）、前記第２の方向におけるラインセンサカメラまたはエリアカメラのカメラ中心と顕微鏡カメラのカメラ中心とのオフセット量及び第１の方向におけるラインセンサカメラまたはエリアカメラのカメラ中心と顕微鏡カメラのカメラ中心との間の距離を入力することにより、前記第１及び第２方向における、ステージの移動距離が演算される。
【００１９】
請求項５に記載のように、前記条件入力手段は、観察・分析しようとする前記残渣異物が複数ある場合には、前記距離演算手段は、さらに、観察・分析が終了した前記残渣異物に代えて、次に観察・分析しようとする前記残渣異物を前記顕微鏡カメラのカメラ中心に移動させるための前記第１及び第２方向における移動距離を演算するものである、ことが望ましい。
【００２０】
このようにすれば、ステージの移動距離を少なくして、残渣異物の観察・分析を連続して行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、ラインセンサカメラまたはエリアカメラにより取得した画像データのうち特定の残渣異物を顕微鏡にて観察・分析する場合に、各前記残渣異物は番号付けされているので、前記特定のものの番号（位置情報を有する番号）を指定することで、ステージ移動手段を制御して、残渣異物のうち特定のものを前記顕微鏡カメラのカメラ中心に移動させることができる。よって、顕微鏡で観察・分析するための位置合わせの必要がなくなり、残渣異物のうち特定のものの観察・分析を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る残渣異物測定装置の一実施の形態の概略構成を示す図である。
【図２】前記残渣異物測定装置に設けられる制御装置の説明図である。
【図３】ステージ移動距離の演算の説明図である。
【図４】（ａ）（ｂ）はそれぞれ顕微鏡カメラの画像取得の説明図である。
【図５】処理の流れを示す流れ図である。
【図６】ラインセンサカメラの操作の説明図である。
【図７】ラインセンサカメラによる測定結果の一例を示す図である。
【図８】顕微鏡カメラによって取得した画像データの一例を示す図である。
【図９】合焦点処理した立体画像の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。
【００２４】
図１は本発明に係る残渣異物測定装置の一実施の形態の概略構成を示す図、図２は前記残渣異物測定装置に設けられる制御装置である。
【００２５】
図１に示すように、本発明に係る残渣異物測定装置１は、採取液を透過させ残渣異物が捕集された円形状のろ紙２が裁置された矩形状のステージ３を、３ＣＣＤカラー映像素子を有するラインセンサカメラ４（ライン・センサ・カラーカメラ）に対しＸ軸方向（第２の方向）に走査させながら撮影し、ろ紙２上の残渣異物を画像データとして取り込むという機能を有するものである（例えば、特開２００９−１９８４１４号公報参照）。また、この装置１は、ラインセンサカメラ４（対物レンズ４ａ）に隣接して顕微鏡カメラ５（対物レンズ５ａ）が配置され、ファイルタ２上の残渣異物のうち必要なものを顕微鏡カメラ５にて撮影して、前記残渣異物の立体画像を得るという機能を併せ持つものである。ここで、顕微鏡カメラ５は、一端に対物レンズ５ａが取り付けられた顕微鏡鏡筒５ｂの他端にカメラ本体５ｃが取り付けられたものである
ラインセンサカメラ４と顕微鏡カメラ５との間には、それらの下方位置の間でステージ３を精度よく低速で移動させるステージ移動手段（例えば、ＴＨＫ株式会社製のＳＫＲ）が設けられている。ラインセンサカメラ４および顕微鏡カメラ５は、ステージ３の上方に配置される支持部材１１に固定され、一定の位置関係で配置されている。顕微鏡カメラ５は、後述するように支持部材１１に対し昇降可能に取り付けられている。なお、支持部材１１を回転可能とすることもできる。
【００２６】
顕微鏡カメラ５は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向（第３の方向）に、移動（上昇あるいは下降）させられるものである。
【００２７】
ラインセンサカメラ４や顕微鏡カメラ５にて撮影された画像信号は、図２に示すように、制御装置２１（例えば、ＰＣ）の画像処理手段２１ａに送られる。
【００２８】
前記ステージ移動手段は、ステッピングモータ、サーボモータなどにて回転されるボールねじ機構を利用して、ステージを移動させるもので、ラインセンサカメラ４と顕微鏡カメラ５とが並ぶ方向であるＹ軸方向（第１の方向）にステージ３を移動させる第１駆動モータ６および、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向にステージ３を移動させる第２駆動モータ７を有する。また、顕微鏡カメラ５は、第３駆動モータ８によって昇降せしめられる。
【００２９】
第１〜第３駆動モータ６〜８は、制御装置２１（例えば、ＰＣ）の移動制御手段２１ｂに連係され、駆動制御されるようになっている。
【００３０】
また、制御装置２１には、ディスプレイ２２が接続され，測定結果などが表示されるようになっている。さらに、制御装置２１には、キーボード、マウスあるいはジョイスティックコントローラなどからなる条件入力手段は２３が接続され、ステージ３の移動や画像処理などの各種条件が入力できるようになっている。
【００３１】
そして、制御装置２１は、図２に示すように、画像処理手段２１ａのほか、第１〜第３駆動モータ６〜８を駆動制御する移動制御手段２１ｂや、後述する距離演算手段２１ｃ、撮影制御手段２１ｄ、残渣異物分析手段２１ｅを備える。
【００３２】
画像処理手段２１ａは、ラインセンサカメラ４よりの画像信号を受け、画像処理により前記残渣異物の位置及び形状を検出して、ディスプレイ２２に表示させると共に、各前記残渣異物に番号付けをするものである。ここで、番号付けは、各残渣異物についての位置情報を有する番号を付することであり、番号付けをすることで、各残渣異物を識別しそれの位置を特定できるようになる。そして、前記ステージ移動手段は、前記残渣異物のうち条件入力手段２３により指定された番号のものを、顕微鏡カメラ５のカメラ中心に移動させる。
【００３３】
条件入力手段２３によって、予め設定された原点（Ｘ軸とＹ軸とが交わる点）を基準にして、ステージ３を移動させるのに必要な条件、つまり、(i)観察・分析しようとする前記残渣異物の位置情報、(ii)Ｘ軸方向におけるラインセンサカメラ４のカメラ中心と顕微鏡カメラ５のカメラ中心とのオフセット量、(iii)Ｙ軸方向における前記両カメラ４，５間の距離、(iv)ラインセンサカメラ４，顕微鏡カメラ５の撮影指示、などを入力することができる。
【００３４】
制御装置２１の距離演算手段２１ｃは、観察・分析しようとする前記残渣異物の位置情報、Ｘ軸方向におけるラインセンサカメラ４のカメラ中心と顕微鏡カメラ５のカメラ中心とのオフセット量及びＹ軸方向における両カメラ４，５間の距離に基づき、前記ラインセンサカメラによる撮影後に、ラインセンサカメラ４の下方位置から、ステージ３の移動距離（Ｘ軸方向及びＹ軸方向の移動距離）を演算するもので、この距離演算手段２１ｃからの信号に基づき、移動制御手段２１ｂが第１及び第２駆動モータ６，７を制御して、ラインセンサカメラ４の下方位置から顕微鏡カメラ５の下方位置であるカメラ中心に移動させることができる。
【００３５】
また、条件入力手段２３は、観察・分析しようとする前記残渣異物が複数ある場合には、観察・分析しようとする前記残渣異物すべての番号を入力しておくことができるので、顕微鏡カメラ５側でそれらを順に観察・分析できる。この場合、距離演算手段２１ｃは、前記条件入力手段にて入力される番号に基づき、観察・分析が終了した前記残渣異物から、次に観察・分析しようとする前記残渣異物を顕微鏡カメラ５のカメラ中心に移動させるための、ステージ３のＸ軸方向及びＹ軸方向における移動距離を演算するものである。よって、観察・分析しようとする前記残渣異物が順に、顕微鏡カメラ５のカメラ中心に移動して、観察・分析されることになり、効率のよい分析作業が実現できる。
【００３６】
続いて、この移動距離の演算を、図３に沿って説明する。ここで、ラインセンサカメラ４で撮像測定された所望の残渣異物がラインセンサカメラ４のカメラ中心を原点とした位置からどこになるかを、演算で得られた位置の座標を（ｘ１，ｙ１）とする。仮に、（ｘ１，ｙ１）を（＋２．３，−８．７）とする。また、顕微鏡カメラ５のカメラ中心は、ラインセンサカメラ４のカメラ中心からＸ軸方向においてＸoffset量分ずれている。仮にずれ量を＋５．０５（ｍｍ）と仮定する。ステージ３は、Ｘ軸とＹ軸とが交差する原点に戻っていて、この原点位置から顕微鏡カメラのカメラ中心に対応する位置まで移動させる。
・原点からの移動距離
Ｘ軸方向移動距離＝+(Xoffset)−(x1）＝+(5.05)-(+2.3)＝-2.75(mm)
Ｙ軸方向移動距離＝+(Yorigin+Yk)-(y1)＝+(30+125.9)-(-8.7)=164.6(mm)
なお、符号の＋，−には意味があり、所望の残渣異物の座標ｘｙは右や上が＋で、左や下が−になる。
【００３７】
所望の１番目の残渣異物に続けて２番目の残渣異物（座標(x2,y2)以降）については、
ΔＸ軸方向移動量＝((x1)-(x2))＝((+2.3)-(x2))(mm)
ΔＹ軸方向移動量＝((y1)-(y2))＝((+8.7)-(y2))(mm)
移動制御手段２１ｂは、第３駆動モータ８によって顕微鏡カメラ５を、図４（ａ）に示すように観察・分析しようとする、ろ紙３上のコンタミＵ（残渣異物）に対しＺ軸方向において移動（上昇あるいは下降）させながら、一定距離移動毎に顕微鏡カメラ５で撮影させる（撮影制御手段２１ｄ）。つまり、例えば１〜２ｍｍの距離を０．１ｍｍピッチで顕微鏡カメラ５を上方向に移動させながら、各ピッチごとに撮像する。これにより、撮像の画像枚数は１０〜２０枚得られる。
【００３８】
それから，図４（ｂ）に示すように、上記１０〜２０枚の画像ｐ１〜ｐ２０を合焦点処理（つまり、焦点の合った箇所を細かくつなぎ合わせて合成する）を行いコンタミＵの立体画像ｐ０を得ることができる（残渣異物分析手段２１ｅ）。
【００３９】
続いて，コンタミ測定の処理の流れを、図５に沿って説明する。
【００４０】
まず、コンタミを採取したろ紙２をステージ３上に裁置し（ステップＳ１）、測定を開始する（ステップＳ２）。
【００４１】
画像を取り込む（ステップＳ３）。このとき、ラインセンサカメラ４に対しステージ３をＸ軸方向に走査させながらラインセンサカメラ４によって撮影するが、図６に示すように、ステージ３はＸ軸方向の原点から、所定の距離ｘ１１移動したときに画像取り込みを開始し、所定の画像取り込み距離ｘ１２を移動した後、画像取り込みを完了する。このようなＸ軸方向におけるステージ３の移動により、ラインセンサカメラ４がろ紙上を走査することになり、コンタミの画像（画像データ）を取得し，取り込む。
【００４２】
取り込んだコンタミ画像を画像処理する（ステップＳ４）。例えば、ラベリング、二値化処理、材質判別、個数分布など。
【００４３】
それから、コンタミ測定結果（図７参照）をディスプレイ２２に表示する（ステップＳ６）。つまり、コンタミの大きさ、面積、幅、材質判別、個数分布、簡易拡大画像表示などである。これにより、測定結果を確認する。
【００４４】
顕微鏡カメラ５で観察・分析する場合には、前記測定結果から、顕微鏡観察・分析のコンタミを選定する（ステップＳ７）。例えば、図７において，破線で囲まれたものを選択する。
【００４５】
この選定に基づき、ステージ３を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において、前述した演算により得られた距離だけ移動させ、最終的に対象となるコンタミを顕微鏡カメラ５の直下であるカメラ中心に位置させる（ステップＳ８）。
【００４６】
Ｚ軸方向において、顕微鏡カメラ５を一定のピッチで間欠送りし、顕微鏡カメラ５のカメラ本体５ｃで複数の画像を順次取り込む（ステップＳ９）。
【００４７】
つまり、例えば図８に示すように２０枚の画像データが得られ、焦点の合った箇所を細かくつなぎ合わせて合成し（ステップＳ１０）、図９に示すように、合焦点処理がなされた拡大画像が得られる（ステップＳ１１）。
【００４８】
必要であれば、複数の画像の合焦点画像処理などの画像処理を行い、選定されたコンタミについて光学顕微鏡観察拡大画像（３Ｄ表示、高さ分布、色情報等）を表示する。
【００４９】
画像保存して、終了する（ステップＳ１２）。
【００５０】
前記実施の形態では、ろ紙に捕集された残渣異物をラインセンサカメラにて撮影して画像データを得て、番号付けをしているが、ラインセンサカメラに代えてエリアカメラを用いて撮影し、画像データを得て番号付けすることも可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１  残渣異物測定装置
２  ろ紙
３  ステージ
４  ラインセンサカメラ
４ａ  対物レンズ
５  顕微鏡カメラ
５ａ  対物レンズ
５ｂ  顕微鏡鏡筒
５ｃ  カメラ本体
６  第１駆動モータ
７  第２駆動モータ
８  第３駆動モータ
２１  制御装置
２１ａ  画像処理手段
２１ｂ  移動制御手段
２１ｃ  距離演算手段
２１ｄ  撮影制御手段
２１ｅ  残渣異物分析手段
２２  ディスプレイ
２３  条件入力手段
【図１】
2019135453.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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