(57)【要約】【課題】金属ペースト焼結により製造される導電体の厚みが薄くなる角部を有しているにもかかわらず、金属ペーストの性状に寄らずに、角部において電位検出に必要な導電性を確保できる電磁流量計の電位検出用電極を提供する。【解決手段】測定管１３の中に露出する接液部２５を有し、母材４１が導電体４２によって覆われてなる本体部２１と、導電体４２に電気的に接続された端子部２２とを備える。母材４１は、測定管１３の径方向とは交差する方向に延びる第１〜第５の端面５１，５５，５７，５９，６１と、この端面の端縁から径方向に延びる第１〜第４の側面５２，５６，５８，６０とを有している。端面と側面との境界部であって、この本体部２１の外側に向けて凸になる外側境界部７２に、一端が端面に接続されるとともに他端が側面に接続される溝７１が形成されている。【選択図】  図３
2019109085.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁流量計の測定管の中に露出する接液部を有し、導電性を有する材料によって母材が覆われて形成された本体部と、
前記導電性を有する材料に電気的に接続された端子部とを備え、
前記母材は、
前記測定管の径方向とは交差する方向に延びる端面と、
前記端面の端縁から前記測定管の径方向に延びる側面とを有し、
前記端面と前記側面との境界部であって、この母材の外側に向けて凸になる外側境界部に、一端が前記端面に接続されるとともに他端が前記側面に接続される溝が形成されていることを特徴とする電磁流量計の電位検出用電極。
【請求項２】
請求項１記載の電磁流量計の電位検出用電極において、
前記端子部は、導電性を有する材料によって前記本体部とは別体に形成されているとともに、一端が接液部となる前記本体部の他端に、この本体部の導電性を有する材料を介して重ねられることによりこの材料に電気的に接続され、
前記溝は、前記母材の前記一端の端面から前記母材の外面に沿って前記母材の前記他端の端面まで延びていることを特徴とする電磁流量計の電位検出用電極。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の電磁流量計の電位検出用電極において、
前記母材は、セラミックスによって形成されていることを特徴とする電磁流量計の電位検出用電極。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接液部を含む本体部が導電性を有する材料で覆われた電磁流量計の電位検出用電極に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の電磁流量計としては、測定管内を流れる流体に発生する起電力を電位検出用電極によって取り出す構成のものがある。この電位検出用電極を形成する材料は、ステンレス鋼が一般的であるが、検出対象の腐食性に応じて種々の材料が用いられている。耐食性が高くなる電極材料は、例えば特許文献１に開示されている白金などの貴金属材料が多い。貴金属材料は、材料強度が低いために作成できない形状があるという不具合がある。このような不具合を解消するためには、貴金属ではない材料を下地金属として電極を形成し、特許文献１に記載されているように、この電極を貴金属材料で覆うことが考えられる。
【０００３】
しかし、測定管内を流れる流体に摩耗性の物体が混入している場合は、電極を覆う貴金属材料が剥がれることがある。また、測定管に衝撃が加えられたり、測定管の腐食や製造時の欠陥などによって電極を覆う貴金属材料が剥がれることがある。
この貴金属材料が剥がれると、下地金属と貴金属材料との電位差により電気化学的なノイズが発生する。このノイズは、電磁流量計の出力ノイズとなる。
【０００４】
電極を覆う金属材料が剥がれてノイズが生じるという問題は、本願の出願人が特許文献２において提案しているように、電極本体を絶縁体によって形成し、絶縁体の表面を貴金属材料で覆ってこの貴金属材料を導電経路とすることにより解消することができる。特許文献２中には、図９に示すように、絶縁体であるセラミックスによって形成された母材１が耐食性を有する金属からなる導電体２によって覆われた構造の電位検出用電極３が記載されている。この電位検出用電極３は、測定管４に形成された電極挿通用の穴５に挿入される第１の小径部３ａと、測定管４の外側に位置する大径部３ｂと、この大径部３ｂから第１の小径部３ａとは反対方向に突出する第２の小径部３ｃとを有している。第２の小径部３ｃにはリード線６が接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開平２−１６０２４号公報
【特許文献２】特願２０１７−０３８９８４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図９に示したような従来の電位検出用電極、すなわち電極の下地となる母材１を導電体２で覆って形成された電位検出用電極３では、図１０に示すように、形成された導電体２の厚みが角部７で部分的に薄くなり易く、信号検出に必要な厚みを確保することができないおそれがあった。角部７は、母材１の先端面１ａと、側面１ｂとの境界部に形成されている。この角部７で厚みが薄くなると、導通の信頼性が低くなり、信号検出に必要な導電性を確保できなくなる。
【０００７】
このように厚みが角部７で部分的に薄くなる理由は、導電体２を形成するために金属ペーストを使用する金属ペースト焼結法によって行っているからである。セラミックスからなる母材１の表面の濡れ性は、金属ペーストに対して低くなることがある。このため、高温状態になった際に角部７の一方の面上で金属ペーストが焼結されて形成された焼結体と、他方の面上で金属ペーストが焼結されて形成された焼結体との接触角が大きくなり、各々の面上で表面張力により導電体２が盛り上がるからであると考えられる。
【０００８】
本発明の目的は、金属ペースト焼結により製造される導電体の厚みが薄くなる角部を有しているにもかかわらず、金属ペーストの性状に寄らずに、角部において電位検出に必要な導電性を確保できる電磁流量計の電位検出用電極を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的を達成するために、本発明に係る電磁流量計の電位検出用電極は、電磁流量計の測定管の中に露出する接液部を有し、導電性を有する材料によって母材が覆われて形成された本体部と、前記導電性を有する材料に電気的に接続された端子部とを備え、前記母材は、前記測定管の径方向とは交差する方向に延びる端面と、前記端面の端縁から前記測定管の径方向に延びる側面とを有し、前記端面と前記側面との境界部であって、この母材の外側に向けて凸になる外側境界部に、一端が前記端面に接続されるとともに他端が前記側面に接続される溝が形成されているものである。
【００１０】
本発明は、前記電磁流量計の電位検出用電極において、前記端子部は、導電性を有する材料によって前記本体部とは別体に形成されているとともに、一端が接液部となる前記本体部の他端に、この本体部の導電性を有する材料を介して重ねられることによりこの材料に電気的に接続され、前記溝は、前記母材の前記一端の端面から前記母材の外面に沿って前記母材の前記他端の端面まで延びていてもよい。
【００１１】
本発明は、前記電磁流量計の電位検出用電極において、前記母材は、セラミックスによって形成されていてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明においては、本体部において金属ペースト焼結が行われると、溝内の導電性を有する材料からなる焼結体と、溝の両側に位置する本体部の端面側および側面側を覆う導電性を有する材料からなる焼結体との接触角は、溝が端面と側面とに跨がるように形成されているために、従来より較べて小さくなる。このため、これらの焼結体どうしが互いに接続し易くなり、溝内の焼結体に作用する表面張力と、溝の両側に位置する焼結体に作用する表面張力とが互いに相殺されるようになる。
【００１３】
この結果、金属ペースト焼結時に溝内に焼結体が溜まるようになり、外側境界部を跨ぐように溝内が焼結体で覆われる。この結果、母材の端面上に形成された焼結体からなる導電体および側面上に形成された焼結体からなる導電体が、溝内の焼結体からなる導電体を介して接続される。
したがって、本発明によれば、金属ペースト焼結により製造される導電体の厚みが薄くなる角部を有しているにもかかわらず、金属ペーストの性状に寄らずに、角部において電位検出に必要な導電性を確保することが可能な電磁流量計の電位検出用電極を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る電位検出用電極を備えた電磁流量計の断面図である。
【図２】第１の実施の形態による電位検出用電極の管路側から見た正面図である。
【図３】図２におけるIII-III線断面図である。
【図４】電位検出用電極の外側境界部を拡大して示す断面図である。
【図５】第１の実施の形態による母材の斜視図である。
【図６】第２の実施の形態による母材の側面図である。
【図７】第２の実施の形態による母材の管路側から見た正面図である。
【図８】第２の実施の形態による母材の斜視図である。
【図９】従来の電位検出用電極の断面図である。
【図１０】従来の電位検出用電極の先端部を拡大して示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（第１の実施の形態）
以下、本発明に係る電磁流量計の電位検出用電極の一実施の形態を図１〜図５を参照して詳細に説明する。この実施の形態による電位検出用電極は、請求項１および請求項３に記載された電位検出用電極の一例となるものである。
図１に示す電位検出用電極１１（以下、単に電極１１という。）は、電磁流量計１２の測定管１３に流体通路１４の外側から取付けられている。
【００１６】
測定管１３は、本体１５と、この本体１５の内面に設けられたライニング１６と、電極１１を収容する有底円筒状の電極キャップ１７などを備えている。ライニング１６には、電極用取付座１８が一体に設けられている。この電極用取付座１８には、電極１１を挿入するための電極挿入穴１９が穿設されている。
【００１７】
この実施の形態による電極１１は、ライニング１６の電極挿入穴１９に挿入された本体部２１と、この本体部２１とは別体に形成されて本体部２１に重ねられた端子部２２とを備えている。
本体部２１は、詳細は後述するが、図１〜図３に示すように、一端が測定管１３内の流体通路１４に臨む円柱状の小径部２３と、この小径部２３の他端から径方向の外側に延びる円板状の大径部２４とによって形成されている。
【００１８】
この本体部２１の一端は、測定管１３内に露出し、測定管１３内を流れる流体（図示せず）に接触する接液部２５になる。大径部２４は、小径部２３より外径が大きくなる円板状に形成されており、後述する圧縮コイルばね２６のばね力によって、電極用取付座１８に向けて付勢されている。大径部２４と電極用取付座１８との間にはガスケット２７が設けられている。
【００１９】
端子部２２は、導電性を有する材料によって円柱状に形成されており、図示していない取付構造によって本体部２１の大径部２４に取付けられている。
また、端子部２２は、図１に示すように、絶縁体からなる筒体３１で覆われており、電極キャップ１７の底壁１７ａを貫通して電極キャップ１７の外に突出している。この底壁１７ａには貫通穴３２が穿設されており、端子部２２と筒体３１は、この貫通穴３２の中に通されている。端子部２２の突出側端部には、リード線用端子（図示せず）を接続するためのねじ孔３３が形成されている。
【００２０】
電極キャップ１７は、圧縮コイルばね２６を保持する機能を有している。この電極キャップ１７は、内部に圧縮コイルばね２６を収容した状態で本体１５のねじ穴３４に螺着されている。圧縮コイルばね２６は、中心部に端子部２２が挿入された状態で圧縮されて電極キャップ１７の中に収容されている。圧縮コイルばね２６の一端は、ワッシャ３５を介して本体部２１の大径部２４を電極用取付座１８に向けて押し、他端は、環状の絶縁板３６を介して電極キャップ１７の底壁１７ａを本体部２１とは反対方向に押している。
【００２１】
電極１１の本体部２１は、図３に示すように、絶縁材料であるセラミックスによって形成された母材４１と、この母材４１を覆う導電性を有する材料とによって構成されている。この実施の形態では、便宜上、この母材４１を覆う導電性を有する材料を単に「導電体４２」という。上述した端子部２２は、本体部２１の大径部２４に重ねられることによって、導電体４２に電気的に接続されている。
母材４１のセラミックス原料としては、ＳｉＣ、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｙ2Ｏ3、Ｓｉ3Ｎ4、ＳｉＯなどを使用することができる。母材４１は、セラミックス原料を型（図示せず）によって本体部２１の形状に成形し、この成形物を焼成することによって形成されている。
【００２２】
導電体４２は、導電性を有する材料によって形成されている。この導電体４２を形成する導電性を有する材料は、例えば、Ｐｔ、Ｔｉ、Ａｕ、Ｔａ、ＷＣなどの耐食性を有する金属材料を用いることができるし、半田や、導電性を有する合成樹脂材料や、導電性インクなども使用することが可能である。この実施の形態による導電体４２は、焼成前の母材４１に塗布された金属ペースト（図示せず）を母材４１と共に焼成することによって形成されている。金属ペーストは、金属の粉体と溶剤とを混ぜて形成されている。この金属ペーストが焼成されることによって、金属の粉体が焼結され、母材４１の外表面を全域にわたって覆う導電体４２となる。
【００２３】
本体部２１の母材４１は、上述した導電体４２と協働して小径部２３を構成する円柱部４３と、上述した導電体４２と協働して大径部２４を構成する円板部４４とによって形成されている。円柱部４３と円板部４４とは、一体に形成されている。
円柱部４３は、図２および図３に示すように、本体部２１の軸線方向（図３においては上下方向）の一端となる円形の第１の端面５１と、この第１の端面５１の外端縁（外周縁）から測定管１３の径方向（本体部２１の軸線方向）に延びる周面からなる第１の側面５２とを有している。
【００２４】
円板部４４は、環状の溝部５３を有しており、後述する複数ずつの端面と、周面からなる側面とを有している。環状の溝部５３が導電体４２によって覆われることによって、大径部２４に環状溝５４が形成される。環状溝５４は、ガスケット２７を収容するための溝である。
円板部４４の環状の溝部５３は、円柱部４３および円板部４４と同一軸線上に位置しており、測定管１３内に向けて開放される形状に形成されている。このため、円板部４４は、環状の溝部５３より径方向の内側に位置する第２の端面５５と、環状の溝部５３の径方向内側の周壁面となる第２の側面５６と、環状の溝部５３の底面となる第３の端面５７と、環状の溝部５３の径方向外側の周壁面となる第３の側面５８と、環状の溝部５３より径方向の外側に位置する第４の端面５９と、円板部４４の外周面となる第４の側面６０と、本体部２１の他端となる第５の端面６１とを有している。
【００２５】
第１〜第５の端面５１，５５，５７，５９，６１は、測定管１３の径方向とは交差する方向に延びている。この実施の形態においては、これらの第１〜第５の端面５１，５５，５７，５９，６１は、測定管１３の径方向に対して垂直に形成されている。
第１〜第４の側面５２，５６，５８，６０は、外径が一定になる状態で測定管１３の径方向に延びている。
【００２６】
このように形成された本体部２１の母材４１には、図５に示すように、端面と側面との境界となる第１〜第８の境界部６２〜６９が形成されている。
第１の境界部６２は、第１の端面５１と第１の側面５２との境界で、本体部２１の外側に向けて凸になる形状に形成されている。
第２の境界部６３は、第１の側面５２と第２の端面５５との境界で、本体部２１の内側に向けて凸になる形状に形成されている。
第３の境界部６４は、第２の端面５５と第２の側面５６との境界で、本体部２１の外側に向けて凸になる形状に形成されている。
【００２７】
第４の境界部６５は、第２の側面５６と第３の端面５７との境界で、本体部２１の内側に向けて凸になる形状に形成されている。
第５の境界部６６は、第３の端面５７と第３の側面５８との境界で、本体部２１の内側に向けて凸になる形状に形成されている。
第６の境界部６７は、第３の側面５８と第４の端面５９との境界で、本体部２１の外側に向けて凸になる形状に形成されている。
【００２８】
第７の境界部６８は、第４の端面５９と第４の側面６０との境界で、本体部２１の外側に向けて凸になる形状に形成されている。
第８の境界部６９は、第４の側面６０と第５の端面６１との境界で、本体部２１の外側に向けて凸になる形状に形成されている。
【００２９】
これらの第１〜第８の境界部６２〜６９において、本体部２１の外側に向けて凸になる角部、すなわち第１の境界部６２と、第３の境界部６４と、第６〜第８の境界部６７〜６９には、図２〜図５に示すように、それぞれ溝７１が形成されている。以下においては、これらの第１、第３および第６〜第８の境界部６２，６４，６７〜６９を総じて外側境界部７２という。
【００３０】
溝７１は、本体部２１の径方向と軸線方向とに延びるように外側境界部７２を斜めに横切っている。このため、溝７１の一端は、第１、第２、第４および第５の端面５１，５５，５９，６１に接続され、溝７１の他端は、第１〜第４の側面５２，５６，５８，６０に接続されている。この実施の形態による溝７１は、図２に示すように、外側境界部７２を周方向に２等分する位置にそれぞれ設けられている。なお、溝７１の数は、周方向の２箇所に限定されることはない。溝７１は、周方向において少なくとも１箇所に設けられていればよく、溝７１の数は適宜変更することができる。また、この実施の形態による溝７１の長手方向の一端側から見た断面形状は、Ｖ字状である。この溝７１の断面形状は、半円状やＵ字状、矩形状（角溝状）など適宜変更することができる。
【００３１】
このように本体部２１の母材４１の外側境界部７２に溝７１が形成されていることにより、この母材４１に導電体４２となる金属ペーストを塗布するときに溝７１の中にも金属ペーストが充填される。この溝７１の中の金属ペーストは、母材４１の第１〜第５の端面５１，５５，５７，５９，６１および第１〜第４の側面５２，５６，５８，６０に塗布された他の金属ペーストとともに焼成される。この金属ペースト焼結時には、図４に示すように、本体部２１の端面側および側面側で金属ペーストが焼結されて導電材料４２ａが形成されるとともに、溝７１内で金属ペーストが焼結されて導電材料４２ｂが形成される。溝７１内の導電材料４２ｂと、この導電材料４２ｂの両側に位置する端面側および側面側の導電材料４２ａとの接触角は、従来より較べて小さくなる。このため、これらの導電材料４２ａ，４２ｂどうしが互いに接続し易くなり、溝７１の両側に位置する導電材料４２ａに作用する表面張力Ｆ１と、溝７１内の導電材料４２ｂに作用する表面張力Ｆ２とが互いに相殺されるようになる。この結果、金属ペースト焼結時に溝７１内に導電材料４２ｂが溜まるようになり、溝７１内の導電材料４２ｂの厚みを確保することが可能になる。
【００３２】
本体部２１の第１〜第５の端面５１，５５，５７，５９，６１上で導電材料４２ａが固化して形成された導電体４２と、第１〜第４の側面５２，５６，５８，６０上で導電材料が４２ａ固化して形成された導電体４２とは、溝７１内で導電材料４２ｂが固化して形成された導電体４２を介して接続される。通常、電磁流量計１２の電極表面に深い凹凸があると、流量計として使用する際に測定液の液だまりや乱流を招いたり、配管内異物の滞留・付着原因となる。このため、このような凹凸は好ましくはない。しかし、電極１１に設ける溝７１の深さや幅と金属ペーストの粘度・厚みの関係を調整することで、電極表面には母材４１の凹凸は残らず、最終的に形成される電極１１の表面には溝７１は残らない。
【００３３】
したがって、この実施の形態によれば、金属ペースト焼結により製造される導電体の厚みが薄くなる角部を有しているにもかかわらず、金属ペーストの性状に寄らずに、角部において電位検出に必要な導電性を確保することが可能な電磁流量計の電位検出用電極を提供することができる。
【００３４】
（第２の実施の形態）
溝は、図６〜図８に示すように構成することができる。図６〜図８において、図１〜図５によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。この実施の形態による電位検出用電極は、請求項２に記載された電位検出用電極の一例となるものである。
【００３５】
この実施の形態による溝７１は、母材４１の軸線方向の一端となる第１の端面５１から軸線方向の他端となる第５の端面６１まで、母材４１の外面に沿って途切れることなく延びている。詳述すると、溝７１は、母材４１の第１の端面５１に一端が開口する状態で第１の側面５２に沿って母材４１の軸線方向において本体部２１の他端側に延び、第２の端面５５を径方向に横切って第２の側面５６の一端に達している。そして、この溝７１は、第２の側面５６を母材４１の軸線方向に延び、第３の端面５７を径方向に横切って第３の側面５８を母材４１の軸線方向に延びている。さらに、この溝７１は、第４の端面５９を径方向に横切って第４の側面６０に達し、第４の側面を母材４１の軸線方向に延びて第５の端面６１に開口している。
また、この溝７１は、図７に示すように、母材４１を周方向に４等分する位置にそれぞれ設けられている。
【００３６】
このため、この実施の形態においては、溝７１内で形成された導電体４２からなる導電経路が母材４１の一端の第１の端面５１から他端の第５の端面６１まで形成される。このため、本体部２１の接液部２５（第１の端面５１上の導電体４２）から端子部２２まで確実に導通されるようになるから、導通の信頼性がより一層高い電磁流量計の電位検出用電極を提供することができる。
【００３７】
上述した各実施の形態による本体部２１の母材４１は、セラミックスによって形成されている。このため、セラミックス原料を本体部２１の形状に成形するための型を使用して溝７１を形成することができる。このように溝７１が型によって形成されることにより、溝７１を有する母材４１をそれほどコストアップになることなく製造することができる。
【００３８】
上述した第１および第２の実施の形態に示した本体部２１の外側境界部７２は、端面と側面とのなす角度が直角の角になるように形成されている。しかし、本発明は、このような限定にとらわれることなく、端面と側面との境界に面取りが施されていたり、端面と側面との境界が丸められていたとしても適用することができる。
【００３９】
上述した第１および第２の実施の形態は、本体部２１が円柱状の小径部２３と円板状の大径部２４とによって形成されている例を示した。しかし、本発明に係る電位検出用電極の形状は、このような形状に限定されることはなく適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１１…電位検出用電極、１２…電磁流量計、１３…測定管、２１…本体部、２２…端子部、２５…接液部、４１…母材、４２…導電体、５１…第１の端面、５２…第１の側面、５５…第２の端面、５６…第２の側面、５７…第３の端面、５８…第３の側面、５９…第４の端面、６０…第４の側面、６１…第５の端面、６２…第１の境界部、６３…第２の境界部、６４…第３の境界部、６５…第４の境界部、６６…第５の境界部、６７…第６の境界部、６８…第７の境界部、６９…第８の境界部、７１…溝、７２…外側境界部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【手続補正書】
【提出日】平成30年12月17日(2018.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁流量計の測定管の中に露出する接液部を有し、導電性を有する材料によって母材が覆われて形成された本体部と、
前記導電性を有する材料に電気的に接続された端子部とを備え、
前記母材は、
前記測定管の径方向とは交差する方向に延びる端面と、
前記端面の端縁から前記測定管の径方向に延びる側面とを有し、
前記端面と前記側面との境界部であって、この母材の外側に向けて凸になる外側境界部に、一端が前記端面に接続されるとともに他端が前記側面に接続される溝が形成されていることを特徴とする電磁流量計の電位検出用電極。
【請求項２】
請求項１記載の電磁流量計の電位検出用電極において、
前記端子部は、導電性を有する材料によって前記本体部とは別体に形成されているとともに、一端が接液部となる前記本体部の他端に、前記本体部の導電性を有する材料を介して重ねられることにより前記本体部の導電性を有する材料に電気的に接続され、
前記溝は、前記母材の前記一端の端面から前記母材の外面に沿って前記母材の前記他端の端面まで延びていることを特徴とする電磁流量計の電位検出用電極。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の電磁流量計の電位検出用電極において、
前記母材は、セラミックスによって形成されていることを特徴とする電磁流量計の電位検出用電極。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、前記電磁流量計の電位検出用電極において、前記端子部は、導電性を有する材料によって前記本体部とは別体に形成されているとともに、一端が接液部となる前記本体部の他端に、前記本体部の導電性を有する材料を介して重ねられることにより前記本体部の導電性を有する材料に電気的に接続され、前記溝は、前記母材の前記一端の端面から前記母材の外面に沿って前記母材の前記他端の端面まで延びていてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2019109085.tif 000013
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2019109085.tif 000014