(57)【要約】  【課題】加熱されたクリーンな流体を放出することができ、かつヒータの交換が容易な流体加熱装置を提供する。  【解決手段】流体加熱装置１は、流体供給口２３および流体放出口２４を有し、一端部２００ａが開口した筒状のシェル２と、一端部が開口した底付き筒状を有し、底側からシェル２の一端部の開口に挿入され、シェル２の内部に配置されたヒータカバー３と、ヒータカバー３に挿入されたシーズヒータ４と、を備えている。ヒータカバー３の側面には、シェル２の一端部２００ａの開口を密閉するフランジ３３が形成されている。ヒータカバー３には、側面を囲む環状のフィン３４が軸方向に沿って複数形成されていてもよい。【選択図】図１
2019046752.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を加熱する流体加熱装置であって、
流体の供給口および放出口を有し、一端が開口した筒状のシェルと、
一端が閉塞し、他端が開口した底付筒状を有し、閉塞端側から前記シェルに挿入された場合に前記シェルの開口を密閉するフランジが開口端側の側面に形成されたヒータカバーと、
前記ヒータカバーの内部に挿入されたヒータと、を備える
ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項２】
請求項１に記載の流体加熱装置であって、
前記ヒータカバーの前記フランジは、
溶接またはロウ付けにより前記シェルの開口と接合している
ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の流体加熱装置であって、
前記ヒータは、
一端が閉塞し、他端が開口した底付き筒状のシースと、
前記シースに挿入されたヒータ線と、
前記シースに充填されて前記ヒータ線と前記シースの内周面とを絶縁する絶縁材料と、を有する
ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項４】
請求項３に記載の流体加熱装置であって、
前記ヒータは、
前記シースが接着剤により前記ヒータカバーの内周面と取外し可能に接着している
ことを特徴する流体加熱装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の流体加熱装置であって、
前記ヒータカバーまたは前記シェルは、
前記供給口と前記放出口との間に前記ヒータカバーの軸方向に沿って複数形成され、前記ヒータカバーの側面を囲む環状のフィンと、をさらに備える
ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の流体加熱装置であって、
前記供給口および前記放出口は、
一方が前記シェルの開口端側の側面に形成され、
他方が前記シェルの開口端とは反対側の端面に形成されている
ことを特徴とする流体加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を加熱する流体加熱装置に関し、特に、半導体、液晶等の製造プロセスにおいて、加熱されたクリーンな気体を処理対象に吹き付けて処理対象を乾燥させるのに好適な流体加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体を加熱する流体加熱装置が知られている。例えば、特許文献１には、流体流入口、流体流出口、およびヒータ挿入口を有する筒状のシェルと、先端に底部を有するとともに後端に開口部を有し、シェルのヒータ挿入口からシェル内部に挿入された筒状のヒータ外殻と、ヒータ外殻の開口部からヒータ外殻内部に挿入されたヒータ線と、ヒータ外殻に充填されてヒータ線とヒータ外殻とを絶縁する絶縁材料と、ヒータ外殻外周に嵌着されて溶接またはロウ付けにより接合され、シェルのヒータ挿入口に溶接またはロウ付けにより接合されてシェルのヒータ挿入口を密閉する筒状蓋体と、を備える流体加熱装置が開示されている。この流体加熱装置において、ヒータ線から発せられた熱は、絶縁材料を介してヒータ外殻に移動する。一方、シェルの流体流入口からシェル内部に供給された流体は、ヒータ外殻の表面（外周面）からの熱伝達により熱せられながら、ヒータ外殻の表面に沿ってシェル内を軸方向に移動して、シェルの流体流出口から放出される。これにより、流体加熱装置は、供給された流体を加熱して放出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１１０７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、筒状のヒータ外殻（シース）とヒータ線と絶縁材料とは、筒状のヒータ外殻内にヒータ線が絶縁材料とともにあらかじめ封入された直管型のいわゆるカートリッジタイプのシーズヒータ（カートリッジヒータ）としてすでに市販されている。市販されているシーズヒータの汎用品をそのまま組み込んで流体加熱装置を製造することができれば、ヒータ外殻、ヒータ線、および絶縁材料を個別に調達して流体加熱装置を製造する場合に比べて、製造コストを下げて流体加熱装置をより安価にすることができる。しかしながら、シーズヒータの汎用品を用いて上記従来の流体加熱装置を製造する場合、つぎの問題が生じる。
【０００５】
すなわち、シーズヒータの汎用品は、生産、輸送、販売等の各工程において厳格にクリーン管理が行われることは稀である。このため、ヒータ外殻の表面にパーティクル（微細なごみ）が付着していることがある。このようなシーズヒータを用いた上記従来の流体加熱装置では、シーズヒータを発熱させてシェル内の流体を加熱した際に、ヒータ外殻の表面からパーティクルが放出されて流体に混入する可能性がある。したがって、半導体、液晶等の製造プロセスに用いられるような、加熱されたクリーンな気体を処理対象に吹き付けて処理対象を乾燥させる流体加熱装置には適さない。
【０００６】
また、上記従来の流体加熱装置は、シェルのヒータ挿入口を密閉するために、筒状蓋体をヒータ外殻外周に嵌着して溶接またはロウ付けにより接合するとともに、この筒状蓋体をシェルのヒータ挿入口に溶接またはロウ付けにより接合している。このため、ヒータ線が断線等しても、シーズヒータを交換することが困難である。
【０００７】
さらに、上記従来の流体加熱装置において、シェル外周に設けられた流体流入口に供給される流体は、ヒータ外殻の表面に沿ってシェル内を軸方向に移動して、シェルの底部に設けられた流体流出口から放出される。このため、シェルの流体流入口に供給された流体のシェル内の滞留時間がシェルの長さと流体の流速とに依存し、短いシェルでは、流体のシェル内の滞留時間が短くなり、流体を十分に加熱することができず熱効率が低いという問題もある。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、加熱されたクリーンな流体を放出することができ、かつヒータの交換が容易な流体加熱装置を提供することにある。さらに、他の目的は、このような流体加熱装置の熱効率を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明では、一端が閉塞し、他端が開口した底付筒状のヒータカバーの開口側に、流体の供給口および放出口を有し、一端が開口した筒状のシェルの蓋として機能するフランジを形成する。そして、シェルにヒータカバーを閉塞端側から挿入し、シェルの開口をヒータカバーのフランジで密閉する。また、ヒータカバーにヒータを挿入する。ここで、ヒータは、シーズヒータであることが好ましい。
【００１０】
例えば、本発明は、
流体を加熱する流体加熱装置であって、
流体の供給口および放出口を有し、一端が開口した筒状のシェルと、
一端が閉塞し、他端が開口した底付筒状を有し、閉塞端側から前記シェルに挿入された場合に、前記シェルの開口を密閉するフランジが、開口端側の側面に形成されたヒータカバーと、
前記ヒータカバーに挿入されたヒータと、を備える。
【００１１】
ここで、前記ヒータカバーの外周面を囲む環状のフィンを、当該ヒータカバーの軸方向に沿って複数形成してもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、シェルの内部がヒータカバーによりヒータから隔離されているので、ヒータとして厳密なクリーン管理がなされていないシーズヒータの汎用品を用いた場合でも、ヒータを発熱させてシェル内の流体を加熱した際に、ヒータから放出されるパーティクルがシェル内の流体に混入することがない。また、ヒータカバーの開口端側の外周面に形成されたフランジによりシェルの開口を密閉して、シェルの内部をヒータから隔離するので、ヒータが挿入されたヒータカバーの開口を密閉する必要がない。したがって、本発明によれば、加熱されたクリーンな流体を放出することができ、かつヒータの交換が容易な流体加熱装置を提供することができる。
【００１３】
また、本発明において、ヒータカバーの外周面を囲む環状のフィンを、当該ヒータカバーの軸方向に沿って複数形成した場合、これらのフィンが放熱板として機能するとともに、シェル内の流体の移動距離が長くなって滞留時間が延びる。したがって、流体を十分に加熱することができ、流体加熱装置の熱効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１（Ａ）、図１（Ｂ）および図１（Ｃ）は、本実施の形態に係る流体加熱装置１の正面図、左側面図および右側面図であり、図１（Ｄ）は、図１（Ａ）に示す流体加熱装置１のＡ−Ａ断面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る流体加熱装置１の部品展開図である。
【図３】図３（Ａ）、図３（Ｂ）および図３（Ｃ）は、シェル２の正面図、左側面図および右側面図であり、図３（Ｄ）は、図３（Ａ）に示すシェル２のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】図４（Ａ）、図４（Ｂ）および図４（Ｃ）は、ヒータカバー３の正面図、左側面図および右側面図であり、図４（Ｄ）は、図４（Ａ）に示すヒータカバー３のＣ−Ｃ断面図である。
【図５】図５（Ａ）および図５（Ｂ）は、シーズヒータ４の正面図および右側面図であり、図５（Ｃ）は、図５（Ａ）に示すシーズヒータ４のＤ−Ｄ断面図である。
【図６】図６（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係る流体加熱装置１において、流体供給口２３に供給された流体Ｆが流体放出口２４から放出されるまでの流れを模式的に表した図であり、図６（Ｂ）は、比較例に係るフィン無し流体加熱装置５において、流体供給口２３に供給された流体Ｆが放出口２４から放出されるまでの流れを模式的に表した図である。
【図７】図７は、表１に示す条件において、流体加熱装置１および比較例５それぞれの放出口２４から放出された流体の温度を測定する試験の結果（グラフ）を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態について説明する。
【００１６】
図１（Ａ）、図１（Ｂ）および図１（Ｃ）は、本実施の形態に係る流体加熱装置１の正面図、左側面図および右側面図であり、図１（Ｄ）は、図１（Ａ）に示す流体加熱装置１のＡ−Ａ断面図である。また、図２は、本実施の形態に係る流体加熱装置１の部品展開図である。
【００１７】
図示するように、本実施の形態に係る流体加熱装置１は、二重構造のケーシング６を構成する筒状のシェル２およびシェル２内に収容された筒状のヒータカバー３と、ヒータカバー３内に収容されたシーズヒータ４と、を備えており、例えば、配管ラインを流れる流体を加熱するインラインヒータとして配管ラインに組み込まれる。
【００１８】
図３（Ａ）、図３（Ｂ）および図３（Ｃ）は、シェル２の正面図、左側面図および右側面図であり、図３（Ｄ）は、図３（Ａ）に示すシェル２のＢ−Ｂ断面図である。
【００１９】
シェル２は、ステンレス鋼等の金属で形成されており、図示するように、一端部２００ａが開口してヒータカバー挿入口２１が形成された底付き筒状のシェル本体２０と、シェル本体２０内に流体を供給するための流体供給口２３と、シェル本体２０内から流体を放出させるための流体放出口２４と、を有する。
【００２０】
シェル本体２０の一端部２００ａ側からシェル本体２０内に流体が流入するように、流体供給口２３は、シェル本体２０の側面２５の一端部２００ａ側に配置されている。また、この流体供給口２３から供給された流体がシェル本体２０の内部を通過してシェル本体２０の他端部２００ｂ側に放出されるように、流体放出口２４は、シェル本体２０の他端部２００ｂ側の底部２２に配置されている。なお、流体供給口２３および流体放出口２４の先端部には、それぞれ、配管ラインの配管に接続するための継ぎ手が設けられていてもよい。
【００２１】
図４（Ａ）、図４（Ｂ）および図４（Ｃ）は、ヒータカバー３の正面図、左側面図および右側面図であり、図４（Ｄ）は、図４（Ａ）に示すヒータカバー３のＣ−Ｃ断面図である。
【００２２】
ヒータカバー３は、ステンレス鋼等の金属で形成されており、図示するように、シェル本体２０の奥行きよりも全長（一端部３００ａから他端部３００ｂまでの距離）が短く、一端部３００ａが開口してヒータ挿入口３１が形成された底付き筒状のヒータカバー本体３０と、ヒータカバー本体３０の側面３５の一端部３００ａ側に形成されたフランジ３３と、ヒータカバー本体３０の軸方向に沿って複数形成され、ヒータカバー本体３０の側面３５を囲む環状のフィン３４と、を有する。なお、図では、一部のフィン３４にのみ符号を付している。
【００２３】
ヒータカバー本体３０の内部には、ヒータ挿入口３１から挿入されたシーズヒータ４が配置される。
【００２４】
フランジ３３は、シェル本体２０のヒータカバー挿入口２１の内径よりも小径の環形状を有しており、ヒータカバー３をヒータカバー本体３０の他端部３００ｂの底部３２側からシェル２のシェル本体２０のヒータカバー挿入口２１に挿入した場合にシェル本体２０のヒータカバー挿入口２１を塞ぐ蓋として機能する。
【００２５】
フィン３４は、ヒータカバー本体３０の内部に収容されたシーズヒータ４の熱をシェル本体２０内に放熱する放熱板として機能するとともに、シェル２の流体供給口２３からシェル本体２０内に供給された流体がシェル２の流体放出口２４から放出されるまでの流路（移動距離）を長くして、シェル本体２０内における流体の滞留時間を延ばす機能を有する。ここで、ヒータカバー３をヒータカバー本体３０の他端部３００ｂの底部３２側からシェル２のシェル本体２０のヒータカバー挿入口２１に挿入し、ヒータカバー挿入口２１の内周にフランジ３３の外周が接触している状態において、シェル本体２０の内壁２６とフィン３４の外周全域との間に例えば０．２５〜０．５ｍｍ程度の僅かな隙間ｔ（図１参照）が流路として形成されるように、各フィン３４の外径Ｒ２は、フランジ３３の外径Ｒ３およびシェル本体２０の内径Ｒ１より小さい値（Ｒ２＝Ｒ１−２ｔ）に設定される。
【００２６】
図５（Ａ）および図５（Ｂ）は、シーズヒータ４の正面図および右側面図であり、図５（Ｃ）は、図５（Ａ）に示すシーズヒータ４のＤ−Ｄ断面図である。
【００２７】
シーズヒータ４は、直管型のいわゆるカートリッジタイプのシーズヒータであり、図示するように、ステンレス鋼等の金属で形成され、一端部４００ａが開口してヒータ線挿入口４１が形成された底付き筒状のシース４０と、ヒータ線挿入口４１からシース４０内に挿入されたニクロム線等のヒータ線４３と、シース４０内に充填されてヒータ線４３とシース４０の内周面４５とを絶縁する酸化マグネシウム等の絶縁粉末４４と、を有する。シーズヒータ４には、筒状のシース内にヒータ線が絶縁粉末とともにあらかじめ封入された市販の汎用品を用いることができる。
【００２８】
つぎに、上記構成を有する流体加熱装置１の製造方法について説明する。
【００２９】
まず、シェル２およびヒータカバー３を清掃し、それらの内外周面に付着した不純物を除去する。そして、両者のクリーンな状態を維持したまま、ヒータカバー３を、ヒータカバー本体３０の他端部３００ｂの底部３２側からシェル２のシェル本体２０のヒータカバー挿入口２１に挿入し、ヒータカバー３のフランジ３３をシェル２のシェル本体２０のヒータカバー挿入口２１に位置付ける。これにより、ヒータカバー３をシェル２内に収容する。
【００３０】
つぎに、外側のシェル２のシェル本体２０のヒータカバー挿入口２１の内周とシェル２内に収容された内側のヒータカバー３のフランジ３３の外周とを溶接またはロウ付けにより接合して、シェル２のシェル本体２０のヒータカバー挿入口２１を密閉する。これにより、外側のシェル２と内側のヒータカバー３との二重構造を有するケーシング６が組み立てられる。
【００３１】
つぎに、シェル２内に収容されたヒータカバー３のヒータカバー本体３０の内部にヒータ挿入口３１から耐熱セメント等の接着剤を適量投入し、それから、シーズヒータ４をシース４０の他端部４００ｂ側の底部４２からヒータカバー３のヒータカバー本体３０のヒータ挿入口３１に挿入する。これにより、シーズヒータ４をシェル２内側のヒータカバー３内に収容する。ここで、ヒータカバー３内のシーズヒータ４を交換可能とするため、ヒータカバー本体３０のヒータ挿入口３１から投入する接着剤は、シーズヒータ４を引き剥がし可能な種類および量に設定する。
【００３２】
上記構成を有する流体加熱装置１において、シーズヒータ４のヒータ線４３から発せられた熱は、絶縁粉末４４を介してシース４０に伝達して、シース４０の表面（外周面）から放熱される。そして、シース４０の表面から発せられた熱は、ヒータカバー３のヒータカバー本体３０に伝達して、ヒータカバー本体３０の側面３５およびフィン３４からシェル２のシェル本体２０内に放熱される。
【００３３】
一方、シェル２の流体供給口２３に供給された流体は、ヒータカバー３のヒータカバー本体３０の側面３５およびフィン３４からの放熱により熱せられながら、シェル２のシェル本体２０の一端部２００ａ側から他端部２００ｂ側へ移動し、シェル２の流体放出口２４から放出される。これにより、流体加熱装置１は、供給された流体を加熱して放出する。
【００３４】
以上、本発明の一実施の形態について説明した。
【００３５】
本実施の形態では、シェル２のシェル本体２０の内部の流体流路がヒータカバー３によりシーズヒータ４から隔離されているため、シーズヒータ４として、厳密なクリーン管理がなされていない市販の汎用品を用いた場合でも、シーズヒータ４を発熱させてシェル２のシェル本体２０内の流体を加熱した際に、シーズヒータ４から放出されるパーティクルがシェル２のシェル本体２０内の流体に混入することがない。
【００３６】
また、ヒータカバー３のヒータカバー本体３０のヒータ挿入口３１側の側面３５に形成されたフランジ３３により、シェル２のシェル本体２０のヒータカバー挿入口２１を塞いで、シェル本体２０の内部の流体流路をシーズヒータ４から隔離するので、ヒータカバー３のヒータカバー本体３０のヒータ挿入口３１を密閉する必要がない。このため、シーズヒータ４が挿入されたヒータ挿入口３１に蓋をして、この蓋を溶接またはロウ付けによりヒータ挿入口３１に接合する必要がないため、ヒータカバー３内のシーズヒータ４を容易に交換することができる。
【００３７】
したがって、本実施の形態によれば、加熱されたクリーンな流体を放出することができ、かつシーズヒータ４の交換が容易な流体加熱装置１を提供することができる。
【００３８】
また、本実施の形態では、シーズヒータ４として、直管型のいわゆるカートリッジタイプを用いているので、流体加熱装置１をコンパクトにすることができる。
【００３９】
また、本実施の形態では、シーズヒータ４のヒータカバー３への固定に、引き剥がし可能な種類および量に設定された接着剤（耐熱セメント等）を用いているので、シーズヒータ４の交換をさらに容易にすることができる。
【００４０】
また、本実施の形態では、ヒータカバー３のヒータカバー本体３０の側面３５を囲む環状のフィン３４を、ヒータカバー本体３０の軸方向に沿って複数形成しているので、これらのフィン３４が放熱板として機能するとともに、シェル２のシェル本体２０内の流体の移動距離を延ばすことができる。このため、シェル２のシェル本体２０に供給された流体を効率的に加熱することができる。
【００４１】
図６（Ａ）は、本実施の形態に係る流体加熱装置１において、シェル２の流体供給口２３に供給された流体Ｆがシェル２の流体放出口２４から放出されるまでの流れを模式的に表した図であり、図６（Ｂ）は、比較例に係るフィン無し流体加熱装置５において、流体供給口２３に供給された流体Ｆが放出口２４から放出されるまでの流れを模式的に表した図である。
【００４２】
図６（Ｂ）に示す比較例に係るフィン無し流体加熱装置５のように、本実施の形態に係る流体加熱装置１からフィン３４を省略した場合、シェル２の流体供給口２３に供給された流体Ｆは、ヒータカバー３のヒータカバー本体３０の側面３５からの放熱により熱せられながら、ヒータカバー本体３０の側面３５に沿って、シェル２のシェル本体２０の一端部２００ａ側から他端部２００ｂ側へ軸方向に移動し、シェル２の流体放出口２４から放出される。
【００４３】
一方、本実施の形態に係る流体加熱装置１では、図６（Ａ）に示すように、シェル２の流体供給口２３に供給された流体Ｆは、ヒータカバー３のヒータカバー本体３０の側面３５およびフィン３４からの放熱により熱せられながら、隣り合うフィン３４により区切られる室内で流れを妨げられながら、シェル２のシェル本体２０の一端部２００ａ側の室から他端部２００ｂ側の室へと順次軸方向に移動して、最終的に、シェル２の流体放出口２４から放出される。したがって、比較例に係るフィン無し流体加熱装置５と比べて、シェル２のシェル本体２０内における流体Ｆの流路長が飛躍的に延びるとともに、流体Ｆが、ヒータカバー本体３０の側面３５により多く接触し、より効率的に過熱される。また、ヒータカバー３のヒータカバー本体３０の側面３５からの放熱に加えて、フィン３４からも放熱する。このため、比較例に係るフィン無し流体加熱装置５に比べて、流体Ｆを十分に加熱することができ、流体加熱装置１の熱効率が向上する。
【００４４】
本発明者は、つぎの表１に示す条件において、流体加熱装置１および比較例フィン無し流体加熱装置５それぞれのシェル２の流体放出口２４から放出される流体Ｆの温度を測定する試験を行った。
【００４５】
【表１】
2019046752.tif 000003
【００４６】
なお、表１に示す条件は、フィン３４の有無を除き、本実施形態に係る流体加熱装置１および比較例に係るフィン無し流体加熱装置５において共通である。
【００４７】
図７は、表１に示す条件において、本実施形態に係る流体加熱装置１および比較例に係るフィン無し流体加熱装置５それぞれの放出口２４から放出された流体の温度Ｆを測定する試験の結果（グラフ）を示す図である。
【００４８】
ここで、縦軸は流体Ｆの温度を示しており、横軸は、シェル２の流体供給口２３に流体Ｆの供給を開始してからの経過時間を示している。また、符号６０は、本実施形態に係る流体加熱装置１のシェル２の流体放出口２４における流体Ｆの温度を示すグラフであり、符号６１は、比較例に係るフィン無し流体加熱装置５のシェル２の流体放出口２４における流体Ｆの温度を示すグラフである。
【００４９】
図示するように、比較例に係るフィン無し流体加熱装置５のシェル２の流体放出口２４における流体Ｆの温度は、約９６℃で安定したのに対して（グラフ６１）、本実施形態に係る流体加熱装置１の流体放出口２４における流体Ｆの温度は、約１４２℃で安定しており（グラフ６０）、本実施形態に係る流体加熱装置１は、比較例に係るフィン無し流体加熱装置５に対して温度が約４８％上昇しており、熱効率が大きく向上した。
【００５０】
なお、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形は可能である。
【００５１】
例えば、上記の実施の形態では、ヒータカバー３に収容するヒータとして直管型のいわゆるカートリッジタイプを用いているが、本発明はこれに限定されない。カートリッジタイプ以外のシーズヒータを用いてもよい。あるいは、セラミックヒータ、カーボンヒータ、ハロゲンヒータ等のシーズヒータ以外のヒータを用いてもよい。
【００５２】
また、上記の実施の形態では、流体供給口２３を、シェル２のシェル本体２０の側面２５の一端部２００ａ側に配置し、放出口２４を、シェル２のシェル本体２０の他端部２００ｂ側に形成された底部２２に配置しているが、本発明はこれに限定されない。例えば、流体供給口２３を、シェル２のシェル本体２０の他端部２００ｂ側に形成された底部２２に配置し、放出口２４を、シェル２のシェル本体２０の側面２５の一端部２００ａ側に配置してもよい。
【００５３】
また、上記の実施の形態では、環状のフィン３４を、ヒータカバー３のヒータカバー本体３０の側面３５に形成しているが、本発明は、これに限定されない。フィン３４を、シェル２のシェル本体２０の内壁２６に形成してもよい。この場合、ヒータカバー本体３０の側面３５とフィン３４との間に、例えば０．２５〜０．５ｍｍ程度の僅かな隙間ｔが流路として形成されるようにする。
【００５４】
本発明は、気体、液体等の流体を加熱する様々な流体加熱装置に適用可能であり、特に、半導体、液晶等の製造プロセスにおいて、加熱されたクリーンな気体を処理対象に吹き付けて、処理対象を乾燥させる流体加熱装置に好適である。
【符号の説明】
【００５５】
１：流体加熱装置、  ２：シェル、  ３：ヒータカバー、  ４：シーズヒータ、  ６：ケーシング、  ２０：シェル本体、  ２１：ヒータカバー挿入口、  ２２：シェル本体２０の底部、  ２３：流体供給口、  ２４：流体放出口、  ２５：シェル本体２０の側面、  ２６：シェル本体２０の内壁、  ３０：ヒータカバー本体、  ３１：ヒータ挿入口、  ３２：ヒータカバー本体３０の底部、  ３３：フランジ、  ３４：フィン、  ３５：ヒータカバー本体３０の側面、  ４０：シース、  ４１：ヒータ線挿入口、  ４２：シース４０の底部、  ４３：ヒータ線、  ４４：絶縁粉末、  ４５：シース４０の内周面、  ２００ａ、２００ｂ：シェル本体２０の端部、  ３００ａ、３００ｂ：ヒータカバー本体３０の端部、  ４００ａ、４００ｂ：シース４０の端部
【図１】
2019046752.tif 000004
【図２】
2019046752.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
2019046752.tif 000008
【図６】
2019046752.tif 000009
【図７】
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