(57)【要約】      （修正有）【課題】超音波センサ装置によって放射される超音波の到達距離が短くなるのが抑制されやすい構成を得る。【解決手段】超音波センサ装置１は、第１面と第１面の反対側に設けられた第２面とを有した壁の第１面に固定され、第１面に超音波を出力する超音波出力素子１１と、超音波出力素子と離間して第１面に設けられ、超音波出力素子から出力され壁を伝播する超音波を含み振幅が超音波の振幅より大きい合成波、を壁に生成する合成波生成部１２と、壁に固定され、第２面から放射された合成波の反射波を壁を介して受信する超音波受信素子１１と、を備えている。【選択図】図２
2019219337.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面と前記第１面の反対側に設けられた第２面とを有した壁の前記第１面に固定され、前記第１面に超音波を出力する超音波出力素子と、
前記超音波出力素子と離間して前記第１面に設けられ、前記超音波出力素子から出力され前記壁を伝播する前記超音波を含み振幅が当該超音波の振幅より大きい合成波、を前記壁に生成する合成波生成部と、
前記壁に固定され、前記第２面から放射された前記合成波の反射波を前記壁を介して受信する超音波受信素子と、
を備えた、超音波センサ装置。
【請求項２】
前記合成波生成部は、前記壁を伝播する前記超音波を反射することにより前記合成波を生成する、請求項１に記載の超音波センサ装置。
【請求項３】
前記合成波生成部は、前記第１面に超音波を出力することにより前記合成波を生成する、請求項１に記載の超音波センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波センサ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波センサ装置において、意匠性およびセンサ機能の向上が図られている（特許文献１）。従来、例えば、車両外部から見えないように車両のボディに設けられた壁の内面に固定され、壁の外面から超音波を放射し、車両の周囲の障害物等の物体の検出および当該物体と車両との間の距離を検出する超音波センサ装置が知られている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１８１１４７号公報
【特許文献２】米国特許出願公開第２０１７／００５９６９７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の超音波センサ装置では、壁を介して超音波を放射するため、壁を伝播する過程で超音波の振幅が減衰してしまい、放射される超音波の到達距離が短くなり、ひいては超音波センサ装置の検出範囲が狭くなりやすい。そこで、この種の超音波センサ装置では、例えば、当該超音波センサ装置によって放射される超音波の到達距離が短くなるのが抑制されやすい構成が得られれば好ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の超音波センサ装置は、第１面と前記第１面の反対側に設けられた第２面とを有した壁の前記第１面に固定され、前記第１面に超音波を出力する超音波出力素子と、前記超音波出力素子と離間して前記第１面に設けられ、前記超音波出力素子から出力され前記壁を伝播する前記超音波を含み振幅が当該超音波の振幅より大きい合成波、を前記壁に生成する合成波生成部と、前記壁に固定され、前記第２面から放射された前記合成波の反射波を前記壁を介して受信する超音波受信素子と、を備えている。
【０００６】
上記の構成によれば、例えば、超音波出力素子から出力された超音波の振幅よりも振幅が大きい合成波が壁の第２面から放射されるので、超音波センサ装置によって放射される超音波である合成波の到達距離が短くなるのが抑制されやすい。よって、超音波センサ装置の検出範囲が狭くなるのが抑制されやすい。上記の構成において、例えば、超音波出力素子が超音波受信素子を兼ねていてもよいし、超音波出力素子と超音波受信素子とが別個に設けられていてもよい。
【０００７】
前記超音波センサ装置では、例えば、前記合成波生成部は、前記壁を伝播する前記超音波を反射することにより前記合成波を生成する。
【０００８】
上記の構成によれば、例えば、合成波生成部は、合成波を生成するのに電力を必要としないので、超音波センサ装置の消費電力を増大させることなく合成波を生成することができる。
【０００９】
前記超音波センサ装置では、例えば、前記合成波生成部は、前記第１面に超音波を出力することにより前記合成波を生成する。
【００１０】
上記の構成によれば、例えば、合成波の振幅が小さくなるのが効果的に抑制され得る。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、第１実施形態の超音波センサ装置の模式的かつ例示的な図である。
【図２】図２は、図１のII-II断面図である。
【図３】図３は、第２実施形態の超音波センサ装置の模式的かつ例示的な図である。
【図４】図４は、図３のIV-IV断面図である。
【図５】図５は、第３実施形態の超音波センサ装置の模式的かつ例示的な図である。
【図６】図６は、第４実施形態の超音波センサ装置の模式的かつ例示的な図である。
【図７】図７は、図６のVII-VII断面図である。
【図８】図８は、第５実施形態の超音波センサ装置の模式的かつ例示的な図である。
【図９】図９は、図８のIX-IX断面図である。
【図１０】図１０は、第６実施形態の超音波センサ装置の模式的かつ例示的な図である。
【図１１】図１１は、第７実施形態の超音波センサ装置の模式的かつ例示的な断面図であって、図２に対応する断面を示す断面図である。
【図１２】図１２は、第８実施形態の超音波センサ装置の模式的かつ例示的な断面図であって、図２に対応する断面を示す断面図である。
【図１３】図１３は、第９実施形態の超音波センサ装置の模式的かつ例示的な図である。
【図１４】図１４は、図１３のXIV-XIV断面図である。
【図１５】図１５は、第１０実施形態の超音波センサ装置の模式的かつ例示的な図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の例示的な実施形態が開示される。以下に示される実施形態の構成、ならびに当該構成によってもたらされる作用および効果は、一例である。なお、本明細書において、序数は、部品や部位等を区別するために用いられており、順番や優先度を示すものではない。また、以下の複数の実施形態には、同様の構成要素が含まれている。それら同様の構成要素には共通の符号が付与されるとともに、重複する説明が省略される。
【００１３】
＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態の超音波センサ装置１の模式的かつ例示的な図である。図２は、図１のII-II断面図である。図１，２に示されるように、超音波センサ装置１は、車両のボディ１０１に設けられている。詳しくは、ボディ１０１には、壁１０２が設けられている。壁１０２は、車両の内側を向く内面１０２ａと、内面１０２ａの反対側に設けられ車両の外側を向く外面１０２ｂと、を有している。超音波センサ装置１は、壁１０２の内面１０２ａに設けられている。超音波センサ装置１は、超音波を用いて、車両の周囲の障害物等の物体の検出および当該物体と車両との間の距離を検出する。なお、図１および図２では、内面１０２ａおよび外面１０２ｂが平坦の例が示されているが、これに限られない。例えば、内面１０２ａおよび外面１０２ｂは、湾曲していてもよい。内面１０２ａは、第１面の一例であり、外面１０２ｂは、第２面の一例である。また、ボディ１０１および壁１０２は、超音波センサ装置１が設けられる対象物の一例である。
【００１４】
超音波センサ装置１は、内面１０２ａに設けられた超音波素子１１と、内面１０２ａに設けられた突出部１２と、回路基板（不図示）と、を備えている。超音波センサ装置１は、超音波素子１１から壁１０２の内面１０２ａに超音波を出力するとともに、当該超音波を突出部１２によって反射することにより壁１０２に合成波を生成する。合成波は、超音波である。
【００１５】
超音波素子１１は、中心軸Ａｘ１を中心とした円柱状に構成されている。中心軸Ａｘ１の軸方向は、壁１０２の厚さ方向に沿っている。超音波素子１１は、筐体１１ａと、筐体１１ａに収容された圧電素子（不図示）と、を有している。筐体１１ａは、中心軸Ａｘ１を中心とした中空円柱状に構成されている。図２に示されるように、筐体１１ａにおける中心軸Ａｘ１の軸方向の端面は、円形の振動面１１ｂを構成している。振動面１１ｂは、壁１０２の内面１０２ａに重ねられた状態で内面１０２ａに接着等によって固定されている。圧電素子は、振動面１１ｂの反対側の筐体１１ａの内面に重ねられた状態で、当該内面に接着等によって固定されている。圧電素子は、回路基板と電気的に接続されている。圧電素子は、電気信号と振動との変換を行なう。圧電素子は、変換素子とも称される。
【００１６】
超音波素子１１では、圧電素子に回路基板から電気信号（電圧）が印加されることにより当該圧電素子が励振されて、圧電素子とともに振動面１１ｂが振動することにより、超音波を発生させる。すなわち、超音波素子１１は、電気信号に応じた超音波を発生させる。壁１０２の内面１０２ａにおいて振動面１１ｂと重ねられた部分は、振動面１１ｂとともに振動する。また、超音波素子１１では、物体で反射された超音波の反射波を振動面１１ｂで受信することにより、振動面１１ｂとともに圧電素子が振動する。これにより、超音波素子１１は、圧電素子から電気信号（電圧）を回路基板に出力する。すなわち、超音波素子１１は、受信した反射波に応じた電気信号を回路基板に出力する。超音波素子１１は、超音波出力素子および超音波受信素子の一例である。すなわち、超音波出力素子が超音波受信素子を兼ねている。
【００１７】
図２に示されるように、突出部１２は、壁１０２の内面１０２ａと交差する方向、具体的には直交する方向に、内面１０２ａから突出している。突出部１２は、内面１０２ａに重ねられた状態で内面１０２ａに接着や溶着等によって固定されている。図１および図２に示されるように、突出部１２は、中心軸Ａｘ１を中心とした円筒状に構成され、超音波素子１１から離間した状態で超音波素子１１を囲繞している。突出部１２は、超音波素子１１に面した一側面１２ａと、一側面１２ａの反対側に設けられた他側面１２ｂと、を有している。一側面１２ａおよび他側面１２ｂは、それぞれ、壁１０２の内面１０２ａと交差する方向、具体的には直交する方向に、内面１０２ａから突出した円筒面状に構成されている。突出部１２は、例えば合成樹脂材料や金属材料によって構成されている。突出部１２は、壁１０２を補強しており、壁１０２の当該突出部１２と重ねられた部分の振動を抑制する。
【００１８】
ここで、超音波素子１１から出力され壁１０２を伝播する超音波の波長をλとした場合、図２に示されるように、一側面１２ａにおける内面１０２ａ側の端１２ｃと振動面１１ｂの中心１１ｃとの間の内面１０２ａに沿った距離Ｌ１は、λ／４のｎ倍（ｎは正の奇数）である。すなわち、端１２ｃは、中心軸Ａｘ１を中心とし半径がλ／４のｎ倍の円上に位置している。距離Ｌ１は、一例として、λ／４である。なお、距離Ｌ１は、λ／４のｎ倍以外であってもよい。例えば、距離Ｌ１は、略λ／４であってもよい。
【００１９】
突出部１２の一側面１２ａの端１２ｃは、超音波素子１１から出力され壁１０２の内面１０２ａを伝播する超音波を反射する固定端として機能する。ここで、超音波は、規定の時間の間、超音波素子１１から出力される。よって、壁１０２の少なくとも内面１０２ａにおいて、突出部１２で反射された超音波の反射波と、超音波素子１１から突出部１２側に伝播する超音波とが重なり合うことにより、端１２ｃを節とし振動面１１ｂの中心１１ｃを腹とする定在波が形成される。定在波は、合成波の一例である。すなわち、突出部１２は、壁１０２を伝播する超音波を反射することにより、超音波を含む合成波を壁１０２に生成する。生成される合成波の振幅は、超音波素子１１から出力される超音波の振幅よりも大きい。突出部１２は、合成波生成部の一例である。突出部１２は、固定部や反射部とも称される。
【００２０】
生成された合成波は、壁１０２の外面１０２ｂから空中に放射される。すなわち、外面１０２ｂは、合成波を空中に放射する放射面１０２ｂａ（図２）を構成する。具体的には、壁１０２の厚さ方向（例えば図２では下方）から、外面１０２ｂを見た場合に、放射面１０２ｂａは、外面１０２ｂにおける一側面１２ａの端１２ｃと振動面１１ｂの中心１１ｃとの間の領域を含む。本実施形態では、一側面１２ａが円筒面状であるので、壁１０２の厚さ方向から外面１０２ｂを見た場合に、放射面１０２ｂａは、外面１０２ｂにおける一側面１２ａの端１２ｃの内側の全領域を含む。
【００２１】
回路基板は、例えば、不図示のケースに収容されて超音波素子１１の筐体１１ａに固定されている。なお、回路基板は、超音波素子１１の筐体１１ａ内に収容されていてもよい。
【００２２】
以上の構成の超音波センサ装置１では、回路基板が、超音波素子１１に超音波を発生させる電気信号（電圧）を印加する。超音波素子１１は、圧電素子に電気信号が印加されると、圧電素子および振動面１１ｂの振動によって超音波を発生させ、当該超音波を振動面１１ｂから壁１０２の内面１０２ａに出力する。壁１０２の内面１０２ａに出力された超音波は、壁１０２を伝播して、突出部１２によって超音波素子１１側に反射される。これにより、壁１０２に、突出部１２で反射された超音波の反射波と、超音波素子１１から突出部１２側に伝播する超音波との合成波（定在波）が生成される。生成された合成波は、壁１０２の放射面１０２ｂａから空中に放射される。合成波が、車両の周囲の物体で反射されて、その反射波が放射面１０２ｂａに到達すると、当該反射波は、壁１０２を介して超音波素子１１の振動面１１ｂに到達する。これにより、振動面１１ｂひいては圧電素子が振動し、圧電素子が振動に応じた電気信号を回路基板に出力する。
【００２３】
回路基板は、超音波素子１１に電気信号を印加した後、超音波素子１１から電気信号が入力された場合、車両の周囲に障害物や他車両等の物体があると判定する。すなわち、回路基板は、超音波素子１１との間の電気信号の送受信に基づいて、車両の周囲の物体を検出する。回路基板は、物体を検出した旨を車両制御装置等に出力することができる。また、回路基板は、超音波素子１１に電気信号を印加してから超音波素子１１から電気信号が入力される迄の時間に基づいて、超音波素子１１すなわち車両と上記物体との間の距離を算出する。すなわち、回路基板は、超音波素子１１との間の電気信号の送受信によって、物体と車両との間の距離を検出する。回路基板は、算出した距離を車両制御装置等に出力することができる。このように、回路基板は、超音波出力素子としての超音波素子１１に送信した電気信号と、超音波受信素子としての超音波素子１１から受信した電気信号と、に基づいて処理を行なう。上記処理は、検出処理とも称される。
【００２４】
以上のように、本実施形態では、超音波センサ装置１は、超音波素子１１（超音波出力素子、超音波受信素子）と、突出部１２（合成波生成部）と、を備えている。超音波素子１１は、内面１０２ａ（第１面）と内面１０２ａの反対側に設けられた外面１０２ｂ（第２面）とを有した壁１０２の内面１０２ａに固定され、内面１０２ａに超音波を出力する。突出部１２は、超音波素子１１と離間して内面１０２ａに設けられ、超音波素子１１から出力され壁１０２を伝播する超音波を含み振幅が当該超音波の振幅より大きい合成波、を壁１０２に生成する。超音波素子１１は、外面１０２ｂから放射された合成波の反射波を壁１０２を介して受信する。よって、本実施形態によれば、例えば、超音波素子１１から出力された超音波の振幅よりも振幅が大きい合成波が壁１０２の外面１０２ｂから放射されるので、超音波センサ装置１によって放射される合成波の到達距離が短くなるのが抑制されやすい。ひいては、超音波センサ装置１の検出範囲が狭くなるのが抑制されやすい。
【００２５】
また、本実施形態では、超音波素子１１と突出部１２とは、壁１０２の内面１０２ａに設けられている。よって、本実施形態によれば、ボディ１０１の壁１０２における外面１０２ｂの意匠性が損なわれるのが抑制されやすい。
【００２６】
また、本実施形態の超音波センサ装置１では、例えば、突出部１２は、壁１０２を伝播する超音波を反射することにより合成波を生成する。よって、本実施形態によれば、突出部１２は、合成波を生成するのに電力を必要としないので、超音波センサ装置１の消費電力を増大させることなく合成波を生成することができる。
【００２７】
また、本実施形態では、超音波素子１１は、超音波出力素子と超音波受信素子とを兼ねている。よって、超音波出力素子と超音波受信素子とが別個に設けられた構成に比べて、超音波センサ装置１の簡素化がしやすい。
【００２８】
＜他の実施形態＞
次に、図３〜図１５に示される第２〜第１０実施形態について説明する。第２〜第１０実施形態の超音波センサ装置２０１，３０１，４０１，５０１，６０１，７０１，８０１，９０１，１００１は、第１実施形態の超音波センサ装置１と同様の構成を備えている。よって、第２〜第１０実施形態によっても、第１実施形態と同様の構成に基づく同様の効果が得られる。
【００２９】
＜第２実施形態＞
図３は、第２実施形態の超音波センサ装置２０１の模式的かつ例示的な図である。図４は、図３のIV-IV断面図である。図３および図４に示されるように、本実施形態は、超音波センサ装置２０１に超音波素子１１とは別個に超音波受信素子１３が設けられている点が、第１実施形態に対して主に異なる。
【００３０】
本実施形態では、超音波素子１１が超音波を出力し、超音波受信素子１３が物体で反射した合成波の反射波を受信する。超音波素子１１は、超音波出力素子の一例であり、超音波受信素子１３は、超音波受信素子の一例である。すなわち、本実施形態では、超音波出力素子と超音波受信素子とが別個に設けられている。
【００３１】
超音波受信素子１３は、突出部１２の外側に位置し、内面１０２ａに固定されている。すなわち、超音波受信素子１３は、突出部１２に対して超音波素子１１の反対側に位置している。換言すると、突出部１２が、超音波素子１１と超音波受信素子１３との間に位置している。
【００３２】
超音波受信素子１３の構成は、超音波素子１１の構成と同様である。すなわち、超音波受信素子１３は、円柱状に構成されている。超音波受信素子１３は、筐体１３ａと、筐体１３ａに収容された圧電素子（不図示）と、を有している。筐体１３ａは、中空円柱状に構成されている。筐体１３ａの端面は、円形の振動面１３ｂを構成している。振動面１３ｂは、壁１０２の内面１０２ａに重ねられた状態で内面１０２ａに接着等によって固定されている。圧電素子は、振動面１３ｂの反対側の筐体１３ａの内面に重ねられた状態で、当該内面に接着等によって固定されている。圧電素子は、回路基板と電気的に接続されている。圧電素子は、電気信号と振動との変換を行なう。圧電素子は、変換素子とも称される。
【００３３】
超音波受信素子１３では、物体で反射された合成波の反射波を振動面１３ｂで受信することにより、振動面１３ｂとともに圧電素子が振動する。これにより、超音波受信素子１３は、圧電素子から回路基板に電気信号（電圧）を出力する。すなわち、超音波受信素子１３は、受信した反射波に応じた電気信号を回路基板に出力する。
【００３４】
以上の構成の超音波センサ装置１では、第１実施形態と同様に、回路基板から電気信号が印加された超音波素子１１から超音波が発生され、当該超音波を含んだ合成波が放射面１０２ｂａから空中に放射される。合成波が、車両の周囲の物体で反射されて、その反射波が放射面１０２ｂａに到達すると、当該反射波は、壁１０２を介して超音波受信素子１３の振動面１３ｂに到達する。これにより、振動面１３ｂひいては圧電素子が振動して、圧電素子が振動に応じた電気信号を回路基板に出力する。
【００３５】
回路基板は、超音波素子１１に電気信号を印加した後、超音波受信素子１３から電気信号が入力された場合、車両の周囲に障害物や他車両等の物体があると判定する。すなわち、回路基板は、超音波素子１１および超音波受信素子１３との間の電気信号の送受信に基づいて、車両の周囲の物体を検出する。また、回路基板は、超音波素子１１に電気信号を印加してから超音波受信素子１３から電気信号が入力される迄の時間に基づいて、超音波素子１１および超音波受信素子１３すなわち車両と上記物体との間の距離を算出する。すなわち、回路基板は、超音波素子１１および超音波受信素子１３との間の電気信号の送受信によって、物体と車両との間の距離を検出する。このように、回路基板は、超音波出力素子としての超音波素子１１に送信した電気信号と、超音波受信素子１３から受信した電気信号と、に基づいて処理を行なう。上記処理は、検出処理とも称される。
【００３６】
以上のように、本実施形態では、超音波送信素子としての超音波素子１１と超音波受信素子１３とが別個に設けられ、突出部１２が超音波素子１１と超音波受信素子１３との間に設けられている。よって、本実施形態によれば、超音波素子１１と突出部１２との間の壁１０２において合成波の残響が生じても、その残響が超音波受信素子１３に及ぶことが抑制されやすい。よって、超音波センサ装置２０１の検出精度の低下が抑制されやすい。
【００３７】
＜第３実施形態＞
図５は、第３実施形態の超音波センサ装置３０１の模式的かつ例示的な図である。図５に示されるように、本実施形態は、超音波センサ装置３０１が突出部１２に替えて複数の突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃを備えている点が、第２実施形態に対して主に異なる。
【００３８】
突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃは、それぞれ、壁１０２の内面１０２ａと交差する方向、具体的には直交する方向に、内面１０２ａから突出している。突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃは、例えば、内面１０２ａに重ねられた状態で、内面１０２ａに接着や溶着等によって固定されている。突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃは、超音波素子１１から離間した状態で、中心軸Ａｘ１回りに互いに間隔を空けて並べられている。すなわち、隣り合う突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃ間には、空間３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃが設けられている。具体的には、突出部３１２Ａ，３１２Ｂ間に、空間３１Ａが設けられ、突出部３１２Ｂ，３１２Ｃ間に、空間３１Ｂが設けられ、突出部３１２Ｃ，３１２Ａ間に、空間３１Ｃが設けられている。空間３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃは、それぞれ、超音波素子１１に対して突出部３１２Ｃ，３１２Ａ，３１２Ｂの反対側に位置している。
【００３９】
突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃは、それぞれ、超音波素子１１に面した一側面１２ａと、一側面１２ａの反対側に設けられた他側面１２ｂと、を有している。一側面１２ａおよび他側面１２ｂは、それぞれ、壁１０２の内面１０２ａと交差する方向、具体的には直交する方向に、内面１０２ａから突出し、中心軸Ａｘ１を中心とした円弧面状に構成されている。突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃは、例えば合成樹脂材料や金属材料によって構成されている。突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃは、壁１０２を補強しており、壁１０２の当該突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃと重ねられた部分の振動を抑制する。
【００４０】
また、各突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃと超音波素子１１との間の距離は、互いに同じである。詳細には、第１および第２実施形態と同様に、超音波素子１１から出力され壁１０２を伝播する超音波の波長をλとした場合、一側面１２ａにおける内面１０２ａ側の端１２ｃと超音波素子１１の中心との間の内面１０２ａに沿った距離Ｌ１は、λ／４のｎ倍（ｎは正の奇数）である。一例として、距離Ｌ１はλ／４である。なお、距離Ｌ１は、λ／４のｎ倍以外であってもよい。例えば、距離Ｌ１は、略λ／４であってもよい。
【００４１】
また、第１および第２実施形態と同様に、突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃの一側面１２ａの端１２ｃは、超音波素子１１から出力され壁１０２の内面１０２ａを伝播する超音波を反射する固定端として機能する。壁１０２の少なくとも内面１０２ａにおいて、突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃで反射された超音波の反射波と、超音波素子１１から突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃ側に伝播する超音波とが重なり合うことにより、端１２ｃを節とし超音波素子１１の中心を腹とする定在波が生成される。定在波は、合成波の一例である。すなわち、突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃは、壁１０２を伝播する超音波を反射することにより、超音波を含む合成波を壁１０２に生成する。生成される合成波の振幅は、超音波素子１１から出力される超音波の振幅よりも大きい。生成された合成波は、壁１０２の放射面１０２ｂａから空中に放射される。突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃは、合成波生成部の一例である。
【００４２】
また、本実施形態では、超音波受信素子１３は、複数の突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃのうちいずれか、一例として突出部３１２Ａ、に対して、超音波素子１１の反対側に位置している。換言すると、突出部３１２Ａは、超音波素子１１と超音波受信素子１３との間に位置している。すなわち、壁１０２の内面１０２ａ上に、超音波受信素子１３、突出部３１２Ａ、超音波素子１１、および空間３１Ｂが一例に並べられている。
【００４３】
以上のように、本実施形態では、壁１０２の内面１０２ａ上において、超音波素子１１に対して突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃの反対側に空間３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃが設けられている。よって、突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃで反射された超音波の反射波は、それぞれ、超音波素子１１に対して突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃの反対側で再度反射されることなく、壁１０２を伝播する。よって、例えば第１実施形態の円筒状の突出部１２に比べて、超音波素子１１と突出部３１２Ａ，３１２Ｂ，３１２Ｃとの間の壁１０２において合成波の残響が生じている時間を短縮することができる。よって、超音波センサ装置３０１の検出精度の低下が抑制されやすい。
【００４４】
また、本実施形態では、突出部３１２Ａが、超音波素子１１と超音波受信素子１３との間に位置している。よって、超音波受信素子１３に合成波が伝播するのが抑制されやすい。したがって、超音波センサ装置３０１の検出精度の低下が抑制されやすい。
【００４５】
なお、本実施形態では、超音波素子１１の他に超音波受信素子１３が設けられた例が示されたが、これに限られない。例えば、第１実施形態と同様に超音波素子１１が超音波出力素子と超音波受信素子とを兼ねる構成として、超音波受信素子１３を設けなくてもよい。
【００４６】
＜第４実施形態＞
図６は、第４実施形態の超音波センサ装置４０１の模式的かつ例示的な図である。図７は、図６のVII-VII断面図である。図６および図７に示されるように、本実施形態は、超音波センサ装置４０１に制振材４１が設けられている点が、第１実施形態に対して主に異なる。
【００４７】
制振材４１は、超音波素子１１と突出部１２との間に配置され、壁１０２の内面１０２ａに重ねられた状態で当該内面１０２ａに接着等によって固定されている。制振材４１は、中心軸Ａｘ１を中心とした円板状に構成され、超音波素子１１を囲繞している。詳細には、制振材４１は、内面１０２ａにおける超音波素子１１と突出部１２との間の全域を覆っている。制振材４１は、例えばゴム等の弾性を有した材料によって構成されている。制振材４１は、壁１０２の振動を抑制する。すなわち、制振材４１は、超音波素子１１から出力され壁１０２を伝播する超音波や、超音波の反射波、合成波の振幅を小さくする。
【００４８】
以上のように、本実施形態では、超音波センサ装置４０１は、制振材４１を備えている。よって、本実施形態によれば、例えば、制振材４１によって、合成波の残響が生じている時間を短縮することができる。また、制振材４１の大きさや厚さなどの形状の設定によって、合成波の振幅と合成波の残響の発生時間とを調整することができる。
【００４９】
なお、制振材４１は、超音波素子１１と突出部１２との間において部分的に設けられていてもよい。また、本実施形態の制振材４１は、第２および第３実施形態に適用されてもよい。
【００５０】
＜第５実施形態＞
図８は、第５実施形態の超音波センサ装置５０１の模式的かつ例示的な図である。図９は、図８のIX-IX断面図である。図８および図９に示されるように、本実施形態は、超音波センサ装置５０１に制振材５１が設けられている点が、第２実施形態に対して主に異なる。
【００５１】
制振材５１は、突出部１２の外側に配置され、壁１０２の内面１０２ａに重ねられた状態で当該内面１０２ａに接着等によって固定されている。詳細には、制振材５１は、中心軸Ａｘ１を中心とした円板状に構成され、突出部１２を囲繞している。制振材５１の一部は、突出部１２と超音波受信素子１３との間に設けられている。制振材５１は、例えばゴム等の弾性を有した材料によって構成されている。制振材５１は、壁１０２の振動を抑制する。すなわち、制振材５１は、超音波素子１１から出力され壁１０２を伝播する超音波や、超音波の反射波、合成波の振幅を小さくする。
【００５２】
以上のように、本実施形態では、超音波素子１１と超音波受信素子１３とが別個に設けられ、突出部１２と超音波受信素子１３との間に制振材５１が設けられている。よって、超音波素子１１から出力された超音波や、合成波が、突出部１２の外側に伝播した場合でも、それら超音波や合成波の振動を制振材５１によって減衰させることができるので、それらの超音波や合成波の残響が発生している時間を短縮することができる。
【００５３】
なお、制振材５１は、突出部１２の周囲に部分的に設けられていてもよい。また、本実施形態の制振材５１は、第３実施形態に適用することができる。
【００５４】
＜第６実施形態＞
図１０は、第６実施形態の超音波センサ装置６０１の模式的かつ例示的な図である。図１０に示されるように、本実施形態は、超音波センサ装置６０１に、制振材５１に替えて制振材６１が設けられている点が、第５実施形態に対して主に異なる。
【００５５】
制振材６１は、突出部１２の外側に配置され、壁１０２の内面１０２ａに重ねられた状態で当該内面１０２ａに接着等によって固定されている。詳細には、制振材６１は、超音波受信素子１３を中心とした円板状に構成され、超音波受信素子１３を囲繞している。すなわち、制振材６１の一部は、突出部１２と超音波受信素子１３との間に設けられている。制振材６１は、例えばゴム等の弾性を有した材料によって構成されている。制振材６１は、壁１０２の振動を抑制する。すなわち、制振材６１は、超音波素子１１から出力され壁１０２を伝播する超音波や、超音波の反射波、合成波の振幅を小さくする。
【００５６】
以上のように、本実施形態では、超音波素子１１と超音波受信素子１３とが別個に設けられ、突出部１２と超音波受信素子１３との間に制振材６１が設けられている。よって、第５実施形態と同様に、超音波素子１１から出力された超音波や、合成波が、突出部１２の外側に伝播した場合でも、それら超音波や合成波の振動を制振材６１によって減衰させることができるので、それらの超音波や合成波の残響が発生している時間を短縮することができる。
【００５７】
また、本実施形態では、制振材６１は、超音波受信素子１３を囲繞している。よって、本実施形態では、超音波素子１１以外から壁１０２に伝達された振動が超音波受信素子１３に向かう場合でも、その振動を制振材６１によって減衰することができる。
【００５８】
なお、制振材６１は、超音波受信素子１３の周囲に部分的に設けられていてもよい。
【００５９】
また、本実施形態の制振材６１は、３実施形態に適用することができる。また、本実施形態の超音波センサ装置６０１に、制振材６１の他に第５実施形態の制振材５１を設けてもよい。
【００６０】
＜第７実施形態＞
図１１は、第７実施形態の超音波センサ装置７０１の模式的かつ例示的な断面図であって、図２に対応する断面を示す断面図である。図１１に示されるように、本実施形態では、壁１０２の内面１０２ａに凹部７１が設けられている点が、第１実施形態に対して主に異なる。また、本実施形態では、突出部１２は設けられていない。
【００６１】
内面１０２ａにおける凹部７１の周囲の部分は、ベース面１０２ｃを構成している。凹部７１は、ベース面１０２ｃから外面１０２ｂに向かって凹んでいる。凹部７１は、中心軸Ａｘ１を中心とした円環状に形成され、ベース面１０２ｃにおける超音波素子１１の振動面１１ｂが重ねられた部分を囲繞している。
【００６２】
また、内面１０２ａには、それぞれが凹部７１に面した、一側面１０２ｄ、他側面１０２ｅ、および底面１０２ｆが設けられている。一側面１０２ｄは、凹部７１の内周側に位置し、他側面１０２ｅは、凹部７１の外周側に位置している。すなわち、一側面１０２ｄおよび他側面１０２ｅは、互いに間隔を空けて設けられている。一側面１０２ｄおよび他側面１０２ｅは、中心軸Ａｘ１を中心とした円筒面状であり、ベース面１０２ｃから外面１０２ｂに向かって延びている。すなわち、一側面１０２ｄおよび他側面１０２ｅは、ベース面１０２ｃと交差する方向、具体的には直交する方向に、延びている。一側面１０２ｄおよび他側面１０２ｅは、壁１０２の少なくともベース面１０２ｃの振動を抑制する。底面１０２ｆは、中心軸Ａｘ１を中心とした円環状に形成され、一側面１０２ｄおよび他側面１０２ｅのそれぞれの外面１０２ｂ側の端同士を接続している。一側面１０２ｄ、他側面１０２ｅ、および底面１０２ｆは、それぞれ面とも称される。
【００６３】
また、超音波素子１１から出力され壁１０２を伝播する超音波の波長をλとした場合、一側面１０２ｄにおけるベース面１０２ｃ側の端１０２ｇと振動面１１ｂの中心１１ｃとの間の内面１０２ａに沿った距離Ｌ２は、λ／４のｎ倍（ｎは正の奇数）である。一例として、距離Ｌ２はλ／４である。なお、距離Ｌ２は、λ／４のｎ倍以外であってもよい。例えば、距離Ｌ１は、略λ／４であってもよい。
【００６４】
一側面１０２ｄの端１０２ｇは、超音波素子１１から出力され壁１０２のベース面１０２ｃを伝播する超音波を反射する固定端として機能する。壁１０２の少なくともベース面１０２ｃにおいて、一側面１０２ｄの端１０２ｇで反射された超音波の反射波と、超音波素子１１から一側面１０２ｄ側に伝播する超音波とが重なり合うことにより、端１０２ｇを節とし振動面１１ｂの中心１１ｃを腹とする定在波が生成される。定在波は、合成波の一例である。すなわち、一側面１０２ｄは、壁１０２を伝播する超音波を反射することにより、超音波を含む合成波を壁１０２に生成する。生成される合成波の振幅は、超音波素子１１から出力される超音波の振幅よりも大きい。生成された合成波は、壁１０２の放射面１０２ｂａから空中に放射される。一側面１０２ｄは、合成波生成部の一例である。一側面１０２ｄは、固定部や反射部とも称される。
【００６５】
以上のように、本実施形態では、壁１０２の内面１０２ａに凹部７１が設けられている。そして、凹部７１に面した一側面１０２ｄ（合成波生成部）が、超音波素子１１から出力され壁１０２を伝播する超音波を反射することにより合成波を生成する。よって、本実施形態によれば、一側面１０２ｄは、合成波を生成するのに電力を必要としないので、超音波センサ装置７０１の消費電力を増大させることなく合成波を生成することができる。
【００６６】
なお、本実施形態では、凹部７１が円環状に形成された例が示されたが、これに限定されない。例えば、凹部７１は、ベース面１０２ｃにおける超音波素子１１の振動面１１ｂが重ねられた部分の周囲に部分的に設けられていてもよい。
【００６７】
また、本実施形態において、超音波素子１１の他に超音波受信素子１３（図３）を設けてもよい。
【００６８】
＜第８実施形態＞
図１２は、第８実施形態の超音波センサ装置８０１の模式的かつ例示的な断面図であって、図２に対応する断面を示す断面図である。図１２に示されるように、本実施形態では、壁１０２の外面１０２ｂに突出部１０２ｋが設けられ、突出部１０２ｋの内面１０２ａに凹部８１が設けられ、凹部８１内に超音波素子１１が収容されている点が、第１実施形態に対して主に異なる。また、本実施形態では、突出部１２は設けられていない。
【００６９】
内面１０２ａにおける凹部８１の周囲の部分は、第７実施形態と同様に、ベース面１０２ｃを構成している。凹部８１は、ベース面１０２ｃから外面１０２ｂに向かって凹んでおり、円柱状に形成されている。
【００７０】
内面１０２ａには、それぞれが凹部８１に面した側面１０２ｈおよび底面１０２ｉが設けられている。側面１０２ｈは、中心軸Ａｘ１を中心とした円筒面状であり、ベース面１０２ｃから外面１０２ｂに向かって延びている。すなわち、側面１０２ｈは、ベース面１０２ｃと交差する方向、具体的には直交する方向に、延びている。側面１０２ｈは、壁１０２の少なくとも底面１０２ｉの振動を抑制する。底面１０２ｉは、中心軸Ａｘ１を中心とした円形に形成され、側面１０２ｈの外面１０２ｂ側の端に接続されている。換言すると、側面１０２ｈが、底面１０２ｉの外周縁からベース面１０２ｃに延びている。底面１０２ｉには、超音波素子１１の振動面１１ｂが重ねられ、当該振動面１１ｂが接着等によって固定されている。側面１０２ｈおよび底面１０２ｉは、それぞれ面とも称される。
【００７１】
また、超音波素子１１から出力され壁１０２を伝播する超音波の波長をλとした場合、側面１０２ｈにおける底面１０２ｉ側の端１０２ｊと振動面１１ｂの中心１１ｃとの間の内面１０２ａに沿った距離Ｌ３は、λ／４のｎ倍（ｎは正の奇数）である。一例として、距離Ｌ３はλ／４である。なお、距離Ｌ３は、λ／４のｎ倍以外であってもよい。例えば、距離Ｌ１は、略λ／４であってもよい。
【００７２】
側面１０２ｈの端１０２ｊは、超音波素子１１から出力され壁１０２の底面１０２ｉを伝播する超音波を反射する固定端として機能する。壁１０２の少なくとも底面１０２ｉにおいて、側面１０２ｈの端１０２ｊで反射された超音波の反射波と、超音波素子１１から側面１０２ｈ側に伝播する超音波とが重なり合うことにより、端１０２ｊを節とし振動面１１ｂの中心１１ｃを腹とする定在波が生成される。定在波は合成波の一例である。すなわち、側面１０２ｈは、壁１０２を伝播する超音波を反射することにより、超音波を含む合成波を壁１０２に生成する。生成される合成波の振幅は、超音波素子１１から出力される超音波の振幅よりも大きい。生成された合成波は、突出部１０２ｋの外面１０２ｂにおける放射面１０２ｂａから空中に放射される。側面１０２ｈは、合成波生成部の一例である。側面１０２ｈは、固定部や反射部とも称される。
【００７３】
以上のように、本実施形態では、壁１０２の内面１０２ａに凹部８１が設けられている。そして、凹部８１に面した側面１０２ｈ（合成波生成部）が、超音波素子１１から出力され壁１０２を伝播する超音波を反射することにより合成波を生成する。よって、本実施形態によれば、側面１０２ｈは、合成波を生成するのに電力を必要としないので、超音波センサ装置８０１の消費電力を増大させることなく合成波を生成することができる。
【００７４】
なお、本実施形態において、超音波素子１１の他に超音波受信素子１３（図３）を設けてもよい。この場合、例えば、超音波受信素子１３は、ベース面１０２ｃに設けられる。
【００７５】
＜第９実施形態＞
図１３は、第９実施形態の超音波センサ装置９０１の模式的かつ例示的な図である。図１４は、図１３のXIV-XIV断面図である。図１３および図１４に示されるように、本実施形態は、超音波センサ装置９０１が超音波素子１１の他に複数の超音波素子９１を備えている点が、第２実施形態に対して主に異なる。また、本実施形態では、突出部１２は設けられていない。
【００７６】
超音波素子９１は、超音波素子１１から離間した位置で、壁１０２の内面１０２ａに固定されている。本実施形態では、二つの超音波素子９１の間に超音波素子１１が位置している。すなわち、複数の超音波素子１１，９１が直線上に一例に並べられている。超音波素子９１は、内面１０２ａに超音波を出力することにより、超音波素子１１から出力された超音波と、当該超音波素子９１から出力された超音波とを含む合成波を生成する。詳細には、各超音波素子９１は、波長が超音波素子１１の超音波と同じであり、かつ位相が超音波素子１１の超音波の位相と１８０度ずれた超音波を出力する。すなわち、複数の超音波素子１１，９１において、隣り合う二つの超音波素子１１，９１は、互いに逆位相の超音波を出力する。以後、超音波素子１１から出力された超音波を第１超音波と称し、超音波素子９１から出力された超音波を第２超音波とも称する。
【００７７】
超音波素子９１の構成は、超音波素子１１の構成と同様である。すなわち、超音波素子９１は、中心軸Ａｘ２を中心とした円柱状に構成されている。中心軸Ａｘ２の軸方向は、中心軸Ａｘ１の軸方向と平行であり、壁１０２の厚さ方向に沿っている。超音波素子９１は、筐体９１ａと、筐体９１ａに収容された圧電素子（不図示）と、を有している。筐体９１ａは、中心軸Ａｘ２を中心とした中空円柱状に構成されている。筐体９１ａにおける中心軸Ａｘ２の軸方向の端面は、円形の振動面９１ｂを構成している。振動面９１ｂは、壁１０２の内面１０２ａに重ねられた状態で内面１０２ａに接着等によって固定されている。圧電素子は、振動面９１ｂの反対側の筐体９１ａの内面に重ねられた状態で、当該内面に接着等によって固定されている。圧電素子は、回路基板と電気的に接続されている。圧電素子は、電気信号と振動との変換を行なう。圧電素子は、変換素子とも称される。
【００７８】
超音波素子９１では、圧電素子に回路基板から電気信号（電圧）が印加されることにより当該圧電素子が励振されて、圧電素子とともに振動面９１ｂが振動することにより、第２超音波を発生させる。すなわち、超音波素子９１は、電気信号に応じた第２超音波を発生させる。壁１０２の内面１０２ａにおいて振動面９１ｂと重ねられた部分は、振動面９１ｂとともに振動する。超音波素子９１は、超音波送信素子とも称される。
【００７９】
ここで、超音波素子１１，９１から出力され壁１０２を伝播する超音波の波長をλとした場合、超音波素子９１の振動面９１ｂの中心９１ｃと、超音波素子１１の振動面１１ｂの中心１１ｃとの間の内面１０２ａに沿った距離Ｌ４は、λ／２のｍ倍（ｍは正の奇数）である。すなわち、超音波素子９１の振動面９１ｂの中心９１ｃは、中心軸Ａｘ１を中心とし半径がλ／２のｍ倍の円上に位置している。一例として、距離Ｌ４はλ／２である。なお、距離Ｌ１は、λ／２のｍ倍以外であってもよい。例えば、距離Ｌ４は、略λ／２であってもよい。また、超音波素子１１，９１のそれぞれの超音波の位相を同位相として、上記の「ｍ」を偶数としてもよい。
【００８０】
上記の構成では、超音波素子１１から出力され超音波素子９１に向かって壁１０２を伝播する第１超音波と、超音波素子９１から出力され超音波素子１１に向かって壁１０２を伝播する第２超音波とが、合成されて、壁１０２に合成波が生成される。すなわち、各超音波素子９１は、第２超音波を出力することにより、第１超音波および第２超音波を含む合成波を、各超音波素子９１と超音波素子１１とのそれぞれの間の壁１０２に生成する。生成される合成波の振幅は、超音波素子１１から出力される第１超音波の振幅よりも大きい。超音波素子９１は、合成波生成部の一例である。
【００８１】
上記の合成波の生成を別の観点で説明すると、複数の超音波素子１１，９１が、それぞれ超音波を内面１０２ａに出力することにより、超音波素子１１，９１の超音波を含む合成波を生成するとも言える。
【００８２】
生成された合成波は、壁１０２の外面１０２ｂにおける放射面１０２ｂａから空中に放射される。また、合成波が、車両の周囲の物体で反射されて、その反射波が放射面１０２ｂａに到達すると、当該反射波は、壁１０２を介して超音波素子１１の振動面１１ｂに到達する。これにより、振動面１１ｂひいては圧電素子が振動し、圧電素子が振動に応じた電気信号を回路基板に出力する。
【００８３】
以上のように、本実施形態では、例えば、超音波素子１１，９１から出力された超音波の振幅よりも振幅が大きい合成波が壁１０２の外面１０２ｂから放射されるので、超音波センサ装置９０１によって放射される合成波の到達距離が短くなるのが抑制されやすい。ひいては、超音波センサ装置９０１の検出範囲が狭くなるのが抑制されやすい。
【００８４】
また、本実施形態では、超音波素子９１（合成波生成部）は、壁１０２の内面１０２ａに第２超音波を出力することにより合成波を生成する。すなわち、合成波は、第１超音波と第２超音波との合成によって生成される。したがって、本実施形態によれば、第１超音波が出力されてから合成波が生成される迄の間の第１超音波の伝達距離が、第１超音波の反射によって合成波が生成される場合に比べて、短い。よって、第１超音波の伝播過程での減衰が抑制されるので、合成波の振幅が小さくなるのが抑制されやすい。
【００８５】
なお、本実施形態では、二つの超音波素子９１が設けられた例が示されたが、これに限定されない。すなわち、超音波素子９１は、一つや三つ以上であってもよい。
【００８６】
また、本実施形態では、超音波受信素子１３が合成波の反射波を受信する例が示されたが、これに限定されない。複数の超音波素子１１，９１いずれかが、合成波の反射波を受信してもよい。すなわち、超音波素子１１，９１のいずれかが超音波受信素子を兼ねてもよい。
【００８７】
＜第１０実施形態＞
図１５は、第１０実施形態の超音波センサ装置１００１の模式的かつ例示的な図である。図１５に示されるように、本実施形態は、超音波センサ装置１００１の超音波素子９１の数が第９実施形態に対して主に異なる。また、本実施形態では、超音波素子１１，９１のいずれかが超音波受信素子を兼ねており、超音波受信素子１３は設けられていない。なお、超音波受信素子１３が設けられていてもよい。
【００８８】
本実施形態では、一例として、六つの超音波素子９１が設けられている。六つの超音波素子１１は、壁１０２の内面１０２ａにおける中心軸Ａｘ１を中心とした円Ｃ上に等間隔に並べられている。円Ｃの半径は、距離Ｌ４と同じである。また、円Ｃ上で隣り合う超音波素子９１の振動面９１ｂの中心９１ｃ同士の距離Ｌ５は、距離Ｌ４と同様に、λ／２のｍ倍（ｍは正の奇数）である。一例として、距離Ｌ５はλ／２である。各超音波素子９１は、超音波素子１１の超音波と逆位相の超音波を出力する。なお、超音波素子１１，９１のそれぞれの超音波の位相を同位相として、上記の「ｍ」を偶数としてもよい。
【００８９】
以上の構成によっても、第９実施形態と同様に、超音波素子１１，９１から出力された超音波の振幅よりも振幅が大きい合成波が壁１０２の外面１０２ｂから放射されるので、超音波センサ装置１００１によって放射される合成波の到達距離が短くなるのが抑制されやすい。ひいては、超音波センサ装置１００１の検出範囲が狭くなるのが抑制されやすい。
【００９０】
なお、上記各実施形態は、適宜組み合わせることができる。例えば、第４〜６実施形態のいずれかの制振材４１，５１，６１を第７〜第１０実施形態の超音波センサ装置７０１，８０１，９０１，１００１に設けてもよい。
【００９１】
また、上記実施形態では、壁１０２は、ボディ１０１に設けられたものが示されたが、これに限られない。壁１０２は、ボディ１０１以外に設けられたものであってもよい。
【００９２】
上記複数の実施形態の付記を開示する。
【００９３】
（１）
超音波送信素子と超音波受信素子とは、別個に設けられ、
合成波生成部は、超音波送信素子と超音波受信素子との間に設けられた。
（２）
超音波送信素子に対して合成波生成部の反対側に空間が設けられた。
（３）
超音波センサ装置は、第１面に重ねられた制振材を備えた。
（４）
制振材は、超音波送信素子と超音波受信素子との間に設けられた。
（５）
制振材は、超音波送信素子を囲繞した。
（６）
制振材は、合成波生成部を囲繞した。
（７）
制振材は、超音波受信素子を囲繞した。
（８）
合成波生成部は、第１面に超音波を出力する超音波送信素子である。
（９）
それぞれが第１面に超音波を出力する複数の超音波送信素子を備え、
超音波送信素子が合成波生成部を構成した。
【００９４】
以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態はあくまで一例であって、発明の範囲を限定することは意図していない。上記実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、各構成や、形状、表示要素等のスペック（構造、種類、方向、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。
【符号の説明】
【００９５】
１，２０１，３０１，４０１，５０１，６０１，７０１，８０１，９０１，１００１…超音波センサ装置、１１…超音波素子（超音波出力素子、超音波受信素子）、１２…突出部（合成波生成部）、９１…超音波素子（合成波生成部）、１０２…壁、１０２ａ…内面（第１面）、１０２ｂ…外面（第２面）、１０２ｄ…一側面（合成波生成部）、１０２ｈ…側面（合成波生成部）。
【図１】
2019219337.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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