(57)【要約】      （修正有）【課題】十分な偏波消光比を有し、受信器の小型化を実現できる、偏波クリーナ及び光モジュールを提供する。【解決手段】偏波クリーナ１０は、光を伝搬するコア１３と、コア１３の周囲に形成され当該コア１３よりも屈折率が低いクラッドとを備え、コア１３及びクラッドからなる導波路の少なくとも一部は、コア１３が湾曲して延設された曲り導波路であり、少なくとも曲り導波路において、コア１３の厚さである導波路厚ｈと、コア１３の幅である導波路幅ｗとの比率であるアスペクト比ｗ／ｈが５以上であり、曲り導波路と接続される他の導波路のコア２３から曲り導波路のコア１３へと延設されるテーパ状のコアであるテーパ構造１３Ａをさらに備える。【選択図】図１
2019219484.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を伝搬するコアと、前記コアの周囲に形成され前記コアよりも屈折率が低いクラッドとを備え、
前記コア及び前記クラッドからなる導波路の少なくとも一部は、当該コアが湾曲して延設された曲り導波路であり、
少なくとも前記曲り導波路において、前記コアの厚さである導波路厚ｈと、前記コアの幅である導波路幅ｗとの比率であるアスペクト比ｗ／ｈが５以上であり、
前記曲り導波路と接続される他の前記導波路の前記コアから前記曲り導波路の前記コアへと延設されるテーパ状の前記コアであるテーパ構造をさらに備える、偏波クリーナ。
【請求項２】
前記テーパ構造の前記コアの幅は、前記他の導波路の前記コアの幅から前記曲り導波路の前記コアの幅まで、徐々に広くなっている、請求項１に記載の偏波クリーナ。
【請求項３】
前記テーパ構造の前記コアの厚さは、前記他の導波路の前記コアの厚さから前記曲り導波路の前記コアの厚さまで、徐々に薄くなっている、請求項１に記載の偏波クリーナ。
【請求項４】
前記曲り導波路の前記コアの曲率半径は、ＴＭモードの光の伝搬損失がＴＥモードの光の伝搬損失より大きくなる半径である、請求項１乃至３の何れか一項に記載の偏波クリーナ。
【請求項５】
偏波クリーナを備える光モジュールであって、
前記偏波クリーナは、
光を伝搬するコアと、前記コアの周囲に形成され前記コアよりも屈折率が低いクラッドとを備え、
前記コア及び前記クラッドからなる導波路の少なくとも一部は、当該コアが湾曲して延設された曲り導波路であり、
少なくとも前記曲り導波路において、前記コアの厚さである導波路厚ｈと、前記コアの幅である導波路幅ｗとの比率であるアスペクト比ｗ／ｈが５以上であり、
前記曲り導波路と接続される他の前記導波路の前記コアから前記曲り導波路の前記コアへと延設されるテーパ状の前記コアであるテーパ構造をさらに備える、光モジュール。
【請求項６】
前記テーパ構造の前記コアの幅は、前記他の導波路の前記コアの幅から前記曲り導波路の前記コアの幅まで、徐々に広くなっている、請求項５に記載の光モジュール。
【請求項７】
前記テーパ構造の前記コアの厚さは、前記他の導波路の前記コアの厚さから前記曲り導波路の前記コアの厚さまで、徐々に薄くなっている、請求項５に記載の光モジュール。
【請求項８】
前記曲り導波路の前記コアの曲率半径は、ＴＭモードの光の伝搬損失がＴＥモードの光の伝搬損失より大きくなる半径である、請求項５乃至７の何れか一項に記載の光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、偏波クリーナ及び光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、１００Ｇビット／秒を超える超高速通信において、デジタルコヒーレント通信の検討が活発に行われている。デジタルコヒーレント通信の１つに、偏波多重４値位相変調（ＤＰ−ＱＰＳＫ：Ｄｕａｌ  Ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ−Ｑｕａｄｒａｔｕｒｅ  Ｐｈａｓｅ  Ｓｈｉｆｔ  Ｋｅｙｉｎｇ）方式が知られている。ＤＰ−ＱＰＳＫ方式では、受信器において偏波分離する機能と、分離した光信号から位相情報を取り出すための９０°光ハイブリッド機能とが必要とされる。このような機能を有する受信器（ＩＣＲ：Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｏｈｅｒｅｎｔ  Ｒｅｃｅｉｖｅｒ）は、現在、石英を基本とした光導波路技術を用いた平面光回路（ＰＬＣ：Ｐｌａｎｅｒ  Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）により実現されている。今後、ＣＦＰ２−ＡＣＯ（ｃ  ｆｏｒｍ−ｆａｃｔｏｒ  ｐｌｕｇｇａｂｌｅ  ２  −  Ａｎａｌｏｇ  Ｃｏｈｅｒｅｎｔ  Ｏｐｔｉｃｓ）やＣＦＰ４−ＡＣＯといったトランシーバの小型化が望まれている。そのため、受信器（ＩＣＲ）の小型化も強く望まれている。そして、受信器（ＩＣＲ）に用いられるＰＬＣで構成される９０°ハイブリッドミキサ自体の小型化も強く望まれている。
【０００３】
ＰＬＣで構成される９０°ハイブリッドミキサの小型化を実現する技術では、より屈折率が高い半導体材料、特にＳｉを用いたＳｉフォトニクスが有望である。Ｓｉフォトニクスでは、Ｓｉを光導波路のコアに用い、ＳｉＯ２を光導波路のクラッドに用いることにより、コアとクラッドとの間の屈折率差を非常に高くすることができる。これにより、光導波路内に光を強く閉じ込めることができる。また、当該光導波路の曲げ半径を石英導波路に比べて小さくすることができる。チャネル型の光導波路は、断面が矩形形状のＳｉ導波路（コア）をＳｉＯ２（クラッド）で囲んだ構造を有する。そして、チャネル型の光導波路では、数μｍオーダの急峻な曲げ半径を実現することができる。そのため、チャネル型の光導波路を用いることにより、回路全体を小型化することができる。また、チャネル型の光導波路の単位長さ当たりの伝搬損失は大きいが、チャネル型の光導波路を用いたチップ全体の損失は、ＰＬＣと同等の損失とすることができる。
【０００４】
特許文献１には、曲り導波路を有するリブ型の光導波路において、偏光変換を抑制する技術が記載されている。具体的には、特許文献１のリブ型の光導波路のコアは、スラブ部と、当該スラブ部より突出するリブ部とを有し、曲り導波路における湾曲の外側のスラブの厚みを内側のスラブの厚みよりも薄くしている。
【０００５】
受信器（ＩＣＲ）の小型化のため、受信器に用いられる偏光分離素子（ＰＢＳ：Ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ  Ｂｅａｍ  Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）の小型化も強く期待されている。偏光分離素子（ＰＢＳ）は、信号光のＴＥモード（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  ｍｏｄｅ）とＴＭモード（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  ｍｏｄｅ）とを分離する素子であり、受信器（ＩＣＲ）の伝送性能を決める重要なコンポーネントである。マッハツェンダー干渉計型の偏光分離素子（ＰＢＳ）及び方向性結合器型の偏光分離素子（ＰＢＳ）の偏波消光比は、これらの偏光分離素子（ＰＢＳ）がトランシーバに搭載される場合には十分とはいえない。そのため、同じ偏光分離素子（ＰＢＳ）をシリアルに接続することにより偏波消光比を向上する場合がある。しかし、偏光分離素子（ＰＢＳ）をシリアルに接続すると、導波路の伝搬損失が過剰となってしまうという問題がある。また、偏光分離素子（ＰＢＳ）を多段に接続すると、受信器が大型化してしまうという問題もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１７−２１５５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１は、曲り導波路における偏光変換を抑制するものであるため、当該曲り導波路における偏波消光を抑制する。そのため、受信器に必要な偏波消光比を得ることはできない。
【０００８】
本開示の目的は、十分な偏波消光比を有し、受信器の小型化を実現できる、偏波クリーナ及び光モジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の態様に係る偏波クリーナは、光を伝搬するコアと、前記コアの周囲に形成され前記コアよりも屈折率が低いクラッドとを備え、前記コア及び前記クラッドからなる導波路の少なくとも一部は、当該コアが湾曲して延設された曲り導波路であり、少なくとも前記曲り導波路において、前記コアの厚さである導波路厚ｈと、前記コアの幅である導波路幅ｗとの比率であるアスペクト比ｗ／ｈが５以上であり、前記曲り導波路と接続される他の前記導波路の前記コアから前記曲り導波路の前記コアへと延設されるテーパ状の前記コアであるテーパ構造をさらに備える。
【００１０】
本発明の第２の態様に係る光モジュールは、偏波クリーナを備え、前記偏波クリーナは、光を伝搬するコアと、前記コアの周囲に形成され前記コアよりも屈折率が低いクラッドとを備え、前記コア及び前記クラッドからなる導波路の少なくとも一部は、当該コアが湾曲して延設された曲り導波路であり、少なくとも前記曲り導波路において、前記コアの厚さである導波路厚ｈと、前記コアの幅である導波路幅ｗとの比率であるアスペクト比ｗ／ｈが５以上であり、前記曲り導波路と接続される他の前記導波路の前記コアから前記曲り導波路の前記コアへと延設されるテーパ状の前記コアであるテーパ構造をさらに備える。
【発明の効果】
【００１１】
十分な偏波消光比を有し、受信器の小型化を実現できる、偏波クリーナ及び光モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態１に係る偏波クリーナの一例を示す上面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る偏波クリーナの一例を示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る他の導波路の一例を示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る偏波クリーナのアスペクト比を説明する断面図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係る偏波クリーナの曲り導波路の曲率半径を説明するグラフである。
【図６】本発明の実施の形態２に係る偏波クリーナの一例を示す上面図である。
【図７】本発明の実施の形態２に係る偏波クリーナの一例を示す断面図である。
【図８】本発明の実施の形態２に係る偏波クリーナの一例を示す断面図である。
【図９】本発明の実施の形態２に係る偏波クリーナの一例を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施例１に係る偏波クリーナの曲り導波路によって伝搬される、ＴＥモードの光の伝搬損失及びＴＭモードの光の伝搬損失を示すグラフである。
【図１１】本発明の実施の形態３に係る光ハイブリッドミキサの一例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
実施の形態１
以下、本発明の実施の形態１に係る偏波クリーナ１０について説明する。図１は、実施の形態１に係る偏波クリーナ１０の一例を示す上面図である。また、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ矢視方向の断面図である。また、図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視方向の断面図である。図１及び図２に示すように、偏波クリーナ１０は、基板１１、下層クラッド１２、コア１３，１３Ａ、上層クラッド１４を備える。また、図１及び図２に示す偏波クリーナ１０は、コア１３，１３Ａの周囲がクラッド１２、１４に囲まれた、チャネル型の導波路である。また、図１に示すように、偏波クリーナ１０は、コア１３が湾曲して延設された曲り導波路を備える。さらに、偏波クリーナ１０は、他の導波路２０のコア２３と曲り導波路のコア１３とを接続するテーパ形状を有するコア（以下、テーパ構造とも称する。）１３Ａを備える。
【００１４】
基板１１は、例えばシリコン基板であり、そのシリコン基板の上層に下層クラッド１２が設けられる。下層クラッド１２は、例えばＳｉＯ２膜であり、例えば埋め込み酸化膜（ＢＯＸ：  Ｂｕｒｉｅｄ  Ｏｘｉｄｅ）で形成される。コア１３，１３Ａは、下層クラッド１２の上層側に設けられる。コア１３は、例えばＳｉ膜から成る。
【００１５】
コア１３，１３Ａの上層には、コア１３，１３Ａを覆うように上層クラッド１４が設けられる。上層クラッド１４は、例えばＳｉＯ２膜である。ＳｉＯ２膜を上層クラッド１４として用いるのに代えて、空気層を上層クラッドとして用いることとしてもよい。コア１３，１３Ａの屈折率は、下層クラッド１２及び上層クラッド１４よりも高く、コア１３，１３Ａに入射した光は、コア１３，１３Ａ内に閉じ込められる。また、図１乃至図３に示すように、偏波クリーナ１０の曲り導波路のコア１３の幅は、他の導波路２０のコア２３の幅より大きい。また、曲り導波路のコア１３は、Ｓ字状に湾曲している。なお、曲り導波路のコア１３の湾曲形状は、Ｓ字状に限定されるものではない。曲り導波路のコア１３の湾曲形状は湾曲した形状であればよく、例えば、曲げ角が４５度や９０度の曲り形状であってもよい。ここで、曲げ角とは、曲り導波路の前後の直線状の導波路のなす角（内角）である。曲り導波路のコア１３の湾曲形状がＳ字状である場合、曲り導波路の前後の直線状の導波路における伝搬方向を実質的に同じ方向にすることができる。
【００１６】
他の導波路２０は、図３に示すように、基板１１、下層クラッド１２、コア２３、上層クラッド１４を備える。基板１１、下層クラッド１２、上層クラッド１４については、偏波クリーナ１０の基板１１、下層クラッド１２、上層クラッド１４と同様であるため、その説明を省略する。
【００１７】
コア２３は、コア１３，１３Ａと同様に、下層クラッド１２の上層側に設けられる。また、コア２３は、例えばＳｉ膜から成る。コア２３は、直線状に形成されている。なお、本発明において、直線状とは、例えば、コア２３が所定の方向に１ｍｍ延設された際に、当該方向に直交する方向に１０μｍ程度変位している場合も含む。また、図１乃至図３に示すように、他の導波路２０のコア２３の幅は、偏波クリーナ１０のコア１３の幅より小さい。
【００１８】
そして、テーパ構造であるコア１３Ａの幅は、他の導波路２０のコア２３の幅から曲り導波路のコア１３の幅まで、徐々に広くなっている。これにより、テーパ構造１３Ａは、他の導波路２０のコア２３によって伝搬された光のＴＭモードの光を漏れモードに結合させることができる。なお、漏れモードとは、導波路によって伝搬される光の伝搬モードの１つである。すなわち、テーパ構造１３Ａによって、他の導波路２０のコア２３によって伝搬された光のＴＭモードの光は、曲り導波路のコア１３において放射される伝搬モードへ結合される。
【００１９】
また、図４に示すように、本実施の形態において、コア１３の厚さである導波路厚をｈとし、コア１３の幅である導波路幅をｗとし、導波路厚ｈと導波路幅Ｗとの比率をアスペクト比ｗ／ｈとすると、偏波クリーナ１０の曲り導波路において、アスペクト比ｗ／ｈが５以上となっている。アスペクト比を５以上にすることにより、コア１３によるＴＭモードの光の閉じ込めが弱くなるため、コア１３におけるＴＭモードの光の伝搬損失を飛躍的に大きくすることができる。これにより、偏波クリーナ１０の曲り導波路においてＴＭモードの光を放射させながらＴＥモードの光を伝搬することができ、偏波消光比を向上することができる。
【００２０】
さらに、図５に示すように、曲り導波路のコア１３コアの曲率半径が小さくなるにつれて、コア１３によって伝搬される光の伝搬損失が大きくなる。具体的には、図５に示すように、ＴＭモードの光の伝搬損失が大きくなる際の曲り導波路のコア１３の曲率半径は、ＴＥモードの光の伝搬損失が大きくなる際の曲り導波路のコア１３の曲率半径よりも、大きい。より具体的には、図５に示すように、コア１３の曲率半径がＣである場合に、ＴＭモードの光の伝搬損失は非常に大きくなっている。これに対して、コア１３の曲率半径がＣである場合に、ＴＥモードの光の伝搬損失はほぼ生じていない。
【００２１】
そこで、曲り導波路のコア１３コアの曲率半径を、ＴＭモードの光の伝搬損失がＴＥモードの光の伝搬損失より大きくなる半径とすることにより、偏波クリーナ１０の曲り導波路において、ＴＭモードの光を放射させながらＴＥモードの光を伝搬することができ、偏波消光比を向上することができる。具体的には、曲り導波路のコア１３の湾曲する曲率半径を図５に示すＣの値とすることにより、ＴＭモードの光を放射させながらＴＥモードの光を伝搬することができ、偏波消光比を格段に向上することができる。
【００２２】
以上に説明した実施の形態１に係る偏波クリーナ１０によれば、曲り導波路において、コア１３のアスペクト比ｗ／ｈが５以上であるため、当該曲り導波路においてＴＭモードの光を放射させながらＴＥモードの光を伝搬することができ、偏波消光比を向上することができる。また、他の導波路２０のコア２３から曲り導波路のコア１３へと延設されるテーパ状のコアであるテーパ構造１３Ａを備えるため、他の導波路２０のコア２３によって伝搬された光のＴＭモードの光を漏れモードに結合させることができる。これにより、偏波クリーナ１０の曲り導波路の偏波消光比をさらに向上することができる。また、偏波クリーナ１０の偏波消光比が向上されるため、偏光分離素子（ＰＢＳ）をシリアルにつなげる必要もなくなり、受信器（ＩＣＲ）の小型化を実現できる。よって、十分な偏波消光比を有し、受信器の小型化を実現できる、偏波クリーナ１０を提供することができる。
【００２３】
また、曲り導波路のコア１３コアの曲率半径は、ＴＭモードの光の伝搬損失がＴＥモードの光の伝搬損失より大きくなる半径となっている。そのため、偏波クリーナ１０の曲り導波路において、ＴＭモードの光を放射させながらＴＥモードの光を伝搬することができ、偏波消光比を向上することができる。
【００２４】
実施の形態２
次に、図６乃至図９を参照しながら、本発明の実施の形態２に係る偏波クリーナ３０について説明する。図６は、実施の形態２に係る偏波クリーナ３０の一例を示す上面図である。図７は、図６のＶＩＩ−ＶＩＩ矢視方向の断面図である。また、図８は、図６のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ矢視方向の断面図である。また、図９は、図６のＩＸ−ＩＸ矢視方向の断面図である。
【００２５】
図６、図７、及び、図９に示すように、実施の形態２に係る偏波クリーナ３０において、テーパ構造であるコア３３Ａが実施の形態１に係る偏波クリーナ１０のコア１３Ａと異なる。また、実施の形態２の他の導波路４０において、コア４３が実施の形態１の他の導波路２０と異なる。そのため、実施の形態２に係る偏波クリーナ３０のその他の構成及び実施の形態２の他の導波路４０のその他の構成については、実施の形態１と同様であるため同一の符号を付すとともに、その説明を省略する。
【００２６】
図６乃至図８に示すように、他の導波路４０のコア４３の幅は、偏波クリーナ３０の曲り導波路のコア１３の幅と実質的に同じとなっている。一方、図７乃至図９に示すように、他の導波路４０のコア４３の厚さは、偏波クリーナ３０の曲り導波路のコア１３の厚さよりも厚くなっている。
【００２７】
そして、図９に示すように、テーパ構造であるコア３３Ａの厚さは、他の導波路４０のコア４３の厚さから曲り導波路のコア１３の厚さまで、徐々に薄くなっている。これにより、テーパ構造３３Ａは、他の導波路４０のコア４３によって伝搬された光のＴＭモードの光を漏れモードに結合させることができる。
【００２８】
以上に説明した実施の形態２に係る偏波クリーナ３０によれば、実施の形態１に係る偏波クリーナ１０と同様の効果を奏することができる。具体的には、テーパ構造であるコア３３Ａの厚さが、他の導波路４０のコア４３の厚さから曲り導波路のコア１３の厚さまで、徐々に薄くなっていることにより、他の導波路４０のコア４３によって伝搬された光のＴＭモードの光を漏れモードに結合させることができる。そのため、偏波クリーナ３０の曲り導波路の偏波消光比を向上することができる。また、偏波クリーナ３０の偏波消光比が向上されるため、偏光分離素子（ＰＢＳ）をシリアルにつなげる必要もなくなり、受信器（ＩＣＲ）の小型化を実現できる。よって、十分な偏波消光比を有し、受信器の小型化を実現できる、偏波クリーナ３０を提供することができる。
【００２９】
実施例１
図１０を参照しながら、本発明の実施例１に係る偏波クリーナの偏波消光比について説明する。図１０は、本発明の実施例１に係る偏波クリーナの曲り導波路によって伝搬される、ＴＥモードの光の伝搬損失及びＴＭモードの光の伝搬損失を示すグラフである。図１０に示すグラフにおいて、横軸は波長（ｎｍ）を示し、縦軸は伝搬損失（ｄＢ）を示す。
【００３０】
本発明の実施例１に係る偏波クリーナは、実施の形態１に係る偏波クリーナ１０において、テーパ構造１３Ａが省略された構造を有している。すなわち、実施例１に係る偏波クリーナは、Ｓ字状に湾曲して延設された曲り導波路を有している。また、実施例１に係る偏波クリーナの曲り導波路のコアの幅は約１μｍであり、当該コアの厚さは約５０ｎｍである。また、当該コアのアスペクト比は、約２０である。
【００３１】
また、実施例１に係る偏波クリーナは、当該偏波クリーナの入口側と出口側とに、他の導波路としての直線導波路が接続されている。この直線導波路は、実質的に直線状に延設されたコアを有する。また、当該直線導波路のコアの幅は約１μｍであり、当該コアの厚さは約５０ｎｍである。また、当該コアのアスペクト比は、約２０である。
【００３２】
図１０に示すように、本発明の実施例１に係る偏波クリーナは、Ｃバンド（Ｃｏｎｖｅｎｔｉｏｎａｌ−ｂａｎｄ）全域に亘って、２０ｄＢ以上の偏波消光比を確保することができている。すなわち、本発明の実施例１に係る偏波クリーナは、受信器に搭載されるのに十分な偏波消光比を達成できている。
【００３３】
実施の形態３
次に、本発明の実施の形態３に係る光モジュールとしての光ハイブリッドミキサ１００について説明する。図１１は、実施の形態３に係る光ハイブリッドミキサ１００の構成を示すブロック図である。
図１１に示すように、光ハイブリッドミキサ１００は、ＯＰＲ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｐｏｗｅｒ  Ｒａｔｉｏ）１０１、可変光減衰器（Ｖａｒｉａｂｌｅ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ａｔｔｅｎｕａｔｏｒ）１０２、偏光分離素子（Ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ  Ｂｅａｍ  Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）１０３、偏光回転子（Ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ  Ｒｏｔａｔｏｒ）１０４、偏光クリーナ（Ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ  Ｃｌｅａｎｅｒ）１０５、光カプラ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｃｏｕｐｌｅｒ）１０６、９０度光ハイブリッド（９０°  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｈｙｂｒｉｄ）１０７を備える。
【００３４】
入力された信号光は、ＯＰＲ１０１に入力され、ＯＰＲ１０１から可変光減衰器１０２に入力される。可変光減衰器１０２は、例えば、波長毎に、入力された信号光の強さを調整する。可変光減衰器１０２は、強度を調整した信号光を偏光分離素子１０３に入力する。
【００３５】
偏光分離素子１０３は、可変光減衰器１０２から入力された信号光のＴＥ成分とＴＭ成分とを分離する。そして、偏光分離素子１０３は、偏光分離した信号光（ＴＭモードの光）を偏光回転子１０４に入力し、偏光分離した信号光（ＴＥモードの光）を偏波クリーナ１０５に入力する。
【００３６】
偏光回転子１０４は、偏光分離素子１０３から入力された信号光（ＴＭモードの光）の偏光面を回転させる。偏光回転子１０４は、変換した信号光（ＴＥモードの光）を偏波クリーナ１０５に入力する。
【００３７】
偏波クリーナ１０５は、実施の形態１に係る偏波クリーナ１０又は実施の形態２に係る偏波クリーナ３０である。偏光分離素子１０３から信号光が入力された偏波クリーナ１０５は、当該信号光に含まれるＴＭモードの光を消光させる。また、偏光回転子１０４から信号光が入力された偏波クリーナ１０５は、当該信号光に含まれるＴＭモードの光を消光させる。これにより、偏光分離素子１０３をシリアルに複数接続しなくても、十分な偏波消光比を得ることができる。偏波クリーナ１０５は、偏波消光した信号光（ＴＥモードの光）を９０度光ハイブリッド１０７に入力する。
【００３８】
一方、光カプラ１０６は、分岐比が１：１である光カプラであり、入力された局部発振光を２つに分岐させる。そして、光カプラ１０６は、分岐させた２つの局部発振光をそれぞれの９０度光ハイブリッド１０７に入射させる。
【００３９】
９０度光ハイブリッドは、偏波クリーナ１０５から入力された信号光（ＴＥモードの光）と、光カプラ１０６から入力された局部発振光とを干渉させて生成した干渉光を出力する。
【００４０】
以上に説明した実施の形態３に係る光ハイブリッドミキサ１００によれば、偏波クリーナ１０５によって偏波消光比が向上されるため、偏光分離素子１０３をシリアルに複数接続せずに済む。そのため、十分な偏波消光比を有し、受信器の小型化を実現できる、光ハイブリッドミキサ１００を提供することができる。
【００４１】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、本発明は、シリコン導波路に限定されるものではなく、ＩｎＰ系化合物等によって形成される半導体導波路にも適用されてもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１０、３０、１０５  偏波クリーナ
１１  基板
１２  下層クラッド
１３  コア（曲り導波路）
１３Ａ、３３Ａ  コア（テーパ構造）
１４  上層クラッド
２０、４０  他の導波路
２３、４３  コア
１００  光ハイブリッドミキサ
１０１  ＯＰＲ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｐｏｗｅｒ  Ｒａｔｉｏ）
１０２  可変光減衰器（Ｖａｒｉａｂｌｅ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ａｔｔｅｎｕａｔｏｒ）
１０３  偏光分離素子（Ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ  Ｂｅａｍ  Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）
１０４  偏光回転子（Ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ  Ｒｏｔａｔｏｒ）
１０５  偏光クリーナ（Ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ  Ｃｌｅａｎｅｒ）
１０６  光カプラ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｃｏｕｐｌｅｒ）
１０７  ９０度光ハイブリッド（９０°  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｈｙｂｒｉｄ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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