(57)【要約】【課題】原器プリズムを用いることなく、より簡易な方法により高精度でプリズムを検査する。【解決手段】光学素子の検査方法は、第１ないし第３の面を有するプリズムを用意し、平行光を第３の面に垂直に照射し、第３の面で反射された第１の光と、プリズムの内部で反射されて第３の面を介して出射する第２の光と、を用いて第１の光と第２の光とのなす角Ａの角度を測定し、第１の面と第２の面とのなす第１の角の角度の仕様角度に対するずれ量を算出し、平行光を第１の面に垂直に照射し、第１の面で反射された第３の光と、プリズムの内部で反射されて第１の面を介して出射する第４の光と、を用いて第３の光と第４の光とのなす角Ｂの角度を測定し、第１の角の角度の仕様角度に対するずれ量の算出値および角Ｂの角度の測定値から第２の面と第３の面とのなす第２の角の角度の仕様角度に対するずれ量を算出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面と、前記第１の面に対して傾斜する第２の面と、前記第１の面および前記第２の面のそれぞれに対して傾斜する第３の面と、を有するプリズムを用意するステップと、
平行光を前記第３の面に垂直に照射し、前記第３の面で反射された第１の光と、前記プリズムの内部で反射されて前記第３の面を介して出射する第２の光と、を用いて前記第１の光と前記第２の光とのなす角Ａの角度を測定し、前記第１の面と前記第２の面とのなす第１の角の角度の仕様角度に対するずれ量を算出するステップと、
平行光を前記第１の面に垂直に照射し、前記第１の面で反射された第３の光と、前記プリズムの内部で反射されて前記第１の面を介して出射する第４の光と、を用いて前記第３の光と前記第４の光とのなす角Ｂの角度を測定し、前記第１の角の角度の仕様角度に対するずれ量の算出値および前記角Ｂの角度の測定値から前記第２の面と前記第３の面とのなす第２の角の角度の仕様角度に対するずれ量を算出するステップと、
を具備する、光学素子の検査方法。
【請求項２】
前記第２の光は、前記プリズムの内部で５回反射されて前記第３の面を介して出射する、請求項１に記載の光学素子の検査方法。
【請求項３】
前記第１の角のずれ量を算出するステップにおいて、前記平行光を前記第３の面に垂直に照射し、前記プリズムの内部を２回反射して前記第３の面を介して出射する光を遮る、請求項１または請求項２に記載の光学素子の検査方法。
【請求項４】
前記第１の角の仕様角度は、９０度である、請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の光学素子の検査方法。
【請求項５】
前記第２の角の仕様角度は、４５度である、請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の光学素子の検査方法。
【請求項６】
前記プリズムは、前記第１の面ないし前記第３の面に沿って長尺である、請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の光学素子の検査方法。
【請求項７】
前記プリズムは、前記第１の面および前記第２の面に反射防止膜を有する、請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の光学素子の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
実施形態の発明は、光学素子の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光学機器の高精度化に伴いプリズム等の光学素子の高精度化が求められている。例えば角柱状のプリズムは、隣接する側面のなす角の角度が仕様角度に製造されることが好ましい。このため、隣接する側面のなす角の角度を測定して測定値と仕様角度とのずれ量を算出することにより製造されたプリズムが良品であるか否かを検査する。
【０００３】
従来のプリズムの検査方法としては、例えば第１のオートコリメータからステージ上に設けられた原器プリズムに光を照射してその反射光を第２のオートコリメータにより受光して原器プリズムの隣接する側面のなす角の角度を測定した後、原器プリズムに代えて測定対象プリズムの隣接する側面のなす角の角度を測定し、測定値同士を比較することによりずれ量を算出する方法が知られている。また、ステージ上に原器プリズムと測定対象プリズムとを並べオートコリメータを用いてそれぞれのプリズムの隣接する側面のなす角の角度を測定して比較することによりずれ量を算出する方法が知られている。さらに、平面ミラーを用いて任意の形状のプリズムの隣接する側面のなす角の角度を測定してずれ量を算出する方法も知られている。
【０００４】
しかしながら、従来のプリズムの検査方法では、原器プリズムを用いる必要があり、これの管理や取扱いが煩雑であるといった問題があった。また、２つのオートコリメータを用いた検査方法では、必要なオートコリメータの数が多く、かつ測定の度に角度を校正する必要がある。さらに、平面ミラーを用いた検査方法では、装置が大型で部品点数が多いため、測定誤差が生じやすい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６１−１８４４３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
実施形態の発明が解決しようとする課題は、原器プリズムを用いることなく、より簡易な方法により高精度でプリズムを検査することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の光学素子の検査方法は、第１の面と、第１の面に対して傾斜する第２の面と、第１の面および第２の面のそれぞれに対して傾斜する第３の面と、を有するプリズムを用意するステップと、平行光を第３の面に垂直に照射し、第３の面で反射された第１の光と、プリズムの内部で反射されて第３の面を介して出射する第２の光と、を用いて第１の光と第２の光とのなす角Ａの角度を測定し、第１の面と第２の面とのなす第１の角の角度の仕様角度に対するずれ量を算出するステップと、平行光を第１の面に垂直に照射し、第１の面で反射された第３の光と、プリズムの内部で反射されて第１の面を介して出射する第４の光と、を用いて第３の光と第４の光とのなす角Ｂの角度を測定し、第１の角の角度の仕様角度に対するずれ量の算出値および角Ｂの角度の測定値から第２の面と第３の面とのなす第２の角の角度の仕様角度に対するずれ量を算出するステップと、を具備する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】プリズムの検査方法例を説明するためのフローチャートである。
【図２】プリズム配置ステップを説明するための図である。
【図３】プリズムの構造例を示す図である。
【図４】プリズムの他の構造例を示す図である。
【図５】プリズムの他の構造例を示す図である。
【図６】角度検査ステップＳ２を説明するための図である。
【図７】角度座標上の表面反射光Ｌ１のスポット像および内部反射光Ｌ２のスポット像の例を示す図である。
【図８】角度検査ステップＳ４を説明するための図である。
【図９】角度検査ステップＳ６を説明するための図である。
【図１０】比較例のプリズムの検査方法を説明するための上面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、実施形態について、図面を参照して説明する。なお、図面は模式的なものであり、例えば厚さと平面寸法との関係、各層の厚さの比率等は現実のものとは異なる場合がある。また、実施形態において、実質的に同一の構成要素には同一の符号を付し説明を省略する。
【００１０】
実施形態のプリズムの検査方法例として略直角をなす２つの側面を有する三角柱状のプリズムの検査方法例について説明する。なお、多角柱状のプリズムであれば同様の方法で検査することができる。
【００１１】
図１はプリズムの検査方法例を説明するためのフローチャートである。プリズムの検査方法例は、プリズム配置ステップＳ１と、角度検査ステップＳ２と、プリズム向き変更ステップＳ３と、角度検査ステップＳ４と、プリズム向き変更ステップＳ５と、角度検査ステップＳ６と、を具備する。
【００１２】
図２は、プリズム配置ステップＳ１を説明するための図である。図２は、ステージ部１１と光入出部１２とを備えるコリメータ１と、ステージ部１１に配置された治具２と、治具２に配置されたプリズム３と、を図示する。
【００１３】
コリメータ１は、対象物に平行光Ｌを照射して、その反射光を用いて対象物の角度やその角度ずれを測定または算出する。コリメータ１としては、例えばレーザオートコリメータが挙げられる。
【００１４】
ステージ部１１は、Ｘ軸（コリメータ１の幅方向）、Ｘ軸に垂直なＹ軸（コリメータ１の奥行方向）、Ｘ軸およびＹ軸に垂直なＺ軸（コリメータ１の高さ方向）に沿って移動可能であり、Ｘ軸およびＹ軸に対するＺ軸の角度の調節が可能なステージを有する。
【００１５】
光入出部１２は、光を照射する光源と、光源からの光から平行光Ｌを形成するための光学系と、対象物で反射された光を検知する光学センサアレイと、を有する。
【００１６】
治具２は、溝２１と、溝２２と、を有する。溝２１および溝２２は、プリズム３を所定の向きに配置できるように異なる形状を有する。溝２１および溝２２の形状は、プリズム３の構造に応じて異なる。
【００１７】
図３は、プリズム３の構造例を示す図である。プリズム３は、側面３１ａと、側面３１ａに対して略垂直な側面３１ｂと、側面３１ａおよび側面３１ｂのそれぞれに対して傾斜する側面３１ｃと、を有する。
【００１８】
側面３１ａおよび側面３１ｂのなす角３２ａの仕様角度は９０度であるが、実際の製造において角度ずれが生じる場合があるため、ここでは略直角とする。略直角（略垂直）とは、例えば９０度±０．１度の範囲を含む。側面３１ｂおよび側面３１ｃのなす角３２ｂ、ならびに側面３１ｃおよび側面３１ａのなす角３２ｃのそれぞれは鋭角であり、仕様角度は４５度であるが、実際の製造において角度ずれが生じる場合があるため、ここでは略４５度とする。略４５度とは、例えば４５度±０．１度の範囲を含む。
【００１９】
プリズム３は、例えばガラスまたは樹脂等の光を透過する材料を用いて形成される。プリズム３は、側面３１ａの表面および側面３１ｂの表面の少なくとも一つの表面に反射防止膜を有していてもよい。図４は、プリズム３の他の構造例を示す図である。図４に示すプリズム３は、側面３１ａの表面および側面３１ｂの表面に反射防止膜４を有する。反射防止膜４は、光の反射を防止する機能を有する。反射防止膜４は、例えばＴｉＯ２膜とＳｉＯ２膜との交互多層膜、ＳｉＯ２膜やＭｇＦ２膜等の単層膜、または中空酸化シリコン（シリカ）膜等、モスアイ構造膜が挙げられる。
【００２０】
プリズム３は、加工途中の製品であってもよい。図５は、プリズム３の他の構造例を示す図である。図５に示すプリズム３は、図３に示すプリズム３の形状に加工する前の状態であって、側面３１ａないし側面３１ｃに沿って長尺である。換言すると、プリズム３の厚さ（２つの底面の一方から他方までの長さ）は、側面３１ａないし側面３１ｃのそれぞれの幅（底面の各辺の長さ）よりも長い。このように、実施形態のプリズムの検査方法では、加工途中のプリズムについても検査することができるため、規格を満たさない製品を製造工程途中で排除することができる。
【００２１】
プリズム配置ステップＳ１では、プリズム３を用意し、プリズム３の側面３１ｃが光入出部１２に対向するように側面３１ｃを上に向けてプリズム３を溝２１に配置する。このとき、側面３１ｃにおいて角３２ｃと角３２ｂとの中央付近または角３２ｂ付近以外の位置に平行光Ｌが照射されるように、ステージ部１１のステージの位置を調整してもよい。これにより、反射光をコリメータ１の光入出部１２に入射させやすくすることができる。
【００２２】
図６は、角度検査ステップＳ２を説明するための図である。角度検査ステップＳ２では、コリメータ１から平行光Ｌをプリズム３に照射する。プリズム３の側面３１ｃに垂直な方向に沿って側面３１ｃに照射される。このとき、平行光Ｌの一部は、側面３１ｃで正反射され、表面反射光Ｌ１としてコリメータ１に入射する。平行光Ｌの他の一部は、側面３１ｃを介してプリズム３を透過し、プリズム３の内部で５回反射されて側面３１ｃを介して出射し、内部反射光Ｌ２としてコリメータ１に入射する。図６において、平行光Ｌの他の一部は、側面３１ｂ→側面３１ａ→側面３１ｃ→側面３１ａ→側面３１ｂの順で反射される。側面３１ｃを介して出射する内部反射光Ｌ２は、プリズム３の屈折率に応じた角度に屈折する。
【００２３】
側面３１ａおよび側面３１ｂでは入射角が臨界角（プリズム３の屈折率によるが、例えば４５度以下）よりも大きいため光が全反射するが、側面３１ｃでは入射角が臨界角よりも小さいため光が全反射せずに一部が側面３１ｃを介して出射する。この出射光は例えば遮光板５により遮ってコリメータ１に入射させないことが好ましい。遮光板５の位置は、上記出射光がコリメータ１に入射しないように調整される。これにより、測定のノイズとなる出射光（非測定光）がカットされて高い精度でプリズムを検査することができる。遮光板５としては、例えば黒色アルマイト処理された金属板や樹脂板等が挙げられ、特に、光の反射を抑制することが可能な材料であることが好ましい。
【００２４】
コリメータ１に入射された表面反射光Ｌ１および内部反射光Ｌ２は光学センサアレイにより検知され、結像される表面反射光Ｌ１のスポット像および内部反射光Ｌ２のスポット像は２次元の角度座標上に表示される。図７は、角度座標上の表面反射光Ｌ１のスポット像および内部反射光Ｌ２のスポット像の例を示す図である。角度座標は、例えば表示装置を用いて表示されてもよい。表示装置は、コリメータ１に設けられていてもよく、また外部からコリメータ１に接続されていてもよい。
【００２５】
表面反射光Ｌ１は、角度座標の原点に位置するようにステージ部１１のステージを移動させることにより調整される。
【００２６】
表面反射光Ｌ１のスポット像の位置と内部反射光Ｌ２のスポット像の位置とから得られる表面反射光Ｌ１と内部反射光Ｌ２とのなす角Ａの角度をθとした場合、角度θおよび角３２ａの角度の９０度（仕様角度）に対するずれ量Δθは、式：θ＝４ｎΔθを満足する。ｎはプリズム３の屈折率を表す。よって、角３２ａの角度の９０度に対するずれ量Δθは、式：Δθ＝θ／４ｎにより求められる。このように、角度検査ステップＳ２では、表面反射光Ｌ１のスポット像の位置と内部反射光Ｌ２のスポット像の位置とのずれから、表面反射光Ｌ１と内部反射光Ｌ２とのなす角Ａの角度θを測定し、角３２ａの角度の９０度に対するずれ量（度）を算出することにより、角３２ａの角度を高い精度で検査することができる。
【００２７】
前述の角度検査ステップＳ２では、プリズム３の２つの側面のなす角の角度（仕様角度）が９０度であることを前提に、９０度に対するずれ量を算出することにより、高い精度で角度を測定している。ここで、角度検査ステップＳ２において、側面のなす角の角度は９０度に限定されない。角度検査ステップＳ２において、プリズム３に入射する平行光Ｌが、プリズム３の内部で５回反射されて平行光Ｌを入射した側面と同一の側面を介して出射するのであれば、９０度以外の角度であっても測定が可能である。
【００２８】
プリズム向き変更ステップＳ３では、プリズム３の側面３１ａがコリメータ１の光入出部１２に対向するように側面３１ａを上向きにしてプリズム３を溝２１から溝２２に移動させて配置しプリズム３の向きを変更する。このとき、側面３１ａにおいて角３２ａ付近または角３２ｂ付近以外の位置に平行光Ｌが照射されるように、ステージ部１１のステージの位置を調整してもよい。これにより、反射光をコリメータ１の光入出部１２に入射させやすくすることができる。
【００２９】
図８は、角度検査ステップＳ４を説明するための図である。角度検査ステップＳ４では、コリメータ１から平行光Ｌをプリズム３に照射する。平行光Ｌは、プリズム３の側面３１ａに垂直な方向に沿って側面３１ａに照射される。このとき、平行光Ｌの一部は、側面３１ａで正反射され、表面反射光Ｌ３としてコリメータ１に入射する。平行光Ｌの他の一部は、側面３１ａを介してプリズム３を透過し、プリズム３の内部で３回反射されて側面３１ａを介して出射し、内部反射光Ｌ４としてコリメータ１に入射する。図８において、平行光Ｌの他の一部は、側面３１ｃ→側面３１ｂ→側面３１ｃの順で反射される。側面３１ａを介して出射する内部反射光Ｌ４は、プリズム３の屈折率に応じた角度に屈折する。
【００３０】
側面３１ｃでは入射角が臨界角（プリズム３の屈折率によるが、例えば４５度以下）よりも大きいため光が全反射するが、側面３１ｂでは入射角が臨界角よりも小さいため光が全反射せずに一部が側面３１ｂを介して出射する。この出射光はコリメータ１の光入出部１２と異なる向きに出射するためコリメータ１に入射されない。
【００３１】
コリメータ１に入射された表面反射光Ｌ３および内部反射光Ｌ４は光学センサアレイにより検知され、コリメータ１により結像される表面反射光Ｌ３のスポットの位置および内部反射光Ｌ４のスポットの位置は２次元の角度座標上に表示される。表面反射光Ｌ３は、角度座標の原点に位置するようにステージ部１１のステージを移動させることにより調整される。
【００３２】
角３２ｂの角度の仕様角度（４５度）に対するずれは、角３２ａの角度の９０度に対するずれを考慮して算出する必要がある。表面反射光Ｌ３のスポット像の位置と内部反射光Ｌ４のスポット像の位置とから得られる表面反射光Ｌ３と内部反射光Ｌ４とのなす角Ｂの角度をθ２とした場合、角度θ２、実際の角３２ａの角度の仕様角度（９０度）に対するずれ量Δθ、および実際の角３２ｂの角度の仕様角度（４５度）に対するずれ量Δθ’は、式：θ２＝ｎ×（４×Δθ’＋２×Δθ）を満足する。よって、ずれ量Δθ’は、式：Δθ’＝（θ２／ｎ−２Δθ）／４により求められる。このように、表面反射光Ｌ３のスポット像の位置と内部反射光Ｌ４のスポット像の位置とのずれから、表面反射光Ｌ３と内部反射光Ｌ４とのなす角Ｂの角度θ２を測定し、さらに角３２ａのずれ量を考慮して角３２ｂの仕様角度（４５度）に対するずれ量を算出することにより角３２ｂの角度を高い精度で検査することができる。
【００３３】
プリズム向き変更ステップＳ５では、プリズム３の側面３１ｂがコリメータ１の光入出部１２に対向するようにプリズム３を側面３１ｂを上向きにしてプリズム３を溝２２に配置してプリズム３の向きを変更する。このとき、側面３１ａにおいて角３２ａ付近または角３２ｂ付近以外の位置に平行光Ｌが照射されるように、ステージ部１１のステージの位置を調整してもよい。
【００３４】
図９は、角度検査ステップＳ６を説明するための図である。角度検査ステップＳ６では、コリメータ１から平行光Ｌをプリズム３に照射する。平行光Ｌは、プリズム３の側面３１ｂに垂直な方向に沿って側面３１ｂに照射される。このとき、平行光Ｌの一部は、側面３１ｂで正反射され、表面反射光Ｌ５としてコリメータ１に入射する。平行光Ｌの他の一部は、側面３１ｂを介してプリズム３を透過し、プリズム３の内部で３回反射されて側面３１ｂを介して出射し、内部反射光Ｌ６としてコリメータ１に入射する。図９において、平行光Ｌの他の一部は、側面３１ｃ→側面３１ａ→側面３１ｃの順で反射される。側面３１ｂを介して出射する内部反射光Ｌ２は、プリズム３の屈折率に応じた角度に屈折する。
【００３５】
側面３１ｃでは入射角が臨界角（プリズム３の屈折率によるが、例えば４５度以下）よりも大きいため光が全反射するが、側面３１ａでは入射角が臨界角よりも小さいため光が全反射せずに一部が側面３１ａを介して出射する。この出射光はコリメータ１の光入出部１２と異なる向きに出射するためコリメータ１に入射されない。
【００３６】
コリメータ１に入射された表面反射光Ｌ５および内部反射光Ｌ６は光学センサアレイにより検知され、コリメータ１により結像される表面反射光Ｌ５のスポットの位置および内部反射光Ｌ６のスポットの位置は２次元の角度座標上に表示される。表面反射光Ｌ５は、角度座標の原点に位置するようにステージ部１１のステージを移動させることにより調整される。
【００３７】
内部反射光Ｌ６は、前述のとおり、反射の過程で一部がコリメータ１に入射されないため、表面反射光Ｌ５よりも光量が少ない。よって、表面反射光Ｌ５および内部反射光Ｌ６は、光量の違いから互いに区別することができる。
【００３８】
角３２ｃの角度の仕様角度（４５度）に対するずれは、角３２ａの角度の９０度に対するずれを考慮して算出する必要がある。表面反射光Ｌ５のスポット像の位置と内部反射光Ｌ６のスポット像の位置とから得られる表面反射光Ｌ５と内部反射光Ｌ６とのなす角Ｃの角度をθ３とした場合、角度θ３、実際の角３２ａの角度の仕様角度（９０度）に対するずれ量Δθ、および実際の角３２ｃの角度の仕様角度（４５度）に対するずれ量Δθ’は、式：θ３＝ｎ×（４×Δθ’＋２×Δθ）を満足する。よって、ずれ量Δθ’は、式：Δθ’＝（θ３／ｎ−２Δθ）／４により求められる。このように、表面反射光Ｌ５のスポット像の位置と内部反射光Ｌ６のスポット像の位置とのずれから、表面反射光Ｌ５と内部反射光Ｌ６とのなす角Ｃの角度θ３を測定し、さらに角３２ａのずれ量を考慮して角３２ｃの仕様角度（４５度）に対するずれ量を算出することにより角３２ｃの角度を高い精度で検査することができる。
【００３９】
前述の角度検査ステップＳ４、Ｓ６では、プリズム３の２つの側面のなす角の角度が４５度であることを前提に、４５度に対するずれ量を算出することにより、高い精度で角度を測定している。ここで、角度検査ステップＳ４、Ｓ６において、側面のなす角の角度は４５度に限定されない。角度検査ステップＳ４、Ｓ６において、プリズム３に入射する平行光Ｌが、プリズム３の内部で３回反射されて平行光Ｌを入射した側面と同一の側面を介して出射するのであれば、４５度以外の角度であっても測定が可能である。
【００４０】
角度検査ステップＳ４を例にして説明すると、角３２ｂの角度（θｏ）は、角３２ａの角度の９０度に対するずれを考慮して算出する必要がある。表面反射光Ｌ３のスポット像の位置と内部反射光Ｌ４のスポット像の位置とから得られる表面反射光Ｌ３と内部反射光Ｌ４とのなす角Ｂの角度をθ４とした場合、角度θ４、実際の角３２ａの角度の仕様角度（９０度）に対するずれ量Δθ、および実際の角３２ｂの角度（θｏ）は、
式：θ４＝ａｒｃｓｉｎ（ｎ×ｓｉｎ（４×θｏ＋２×Δθ−１８０°））
を満足する。よって、この式を変形し、ｓｉｎθ４＝ｎ×ｓｉｎ（４×θｏ＋２×Δθ−１８０°）により求められる。このように、表面反射光Ｌ３のスポット像の位置と内部反射光Ｌ４のスポット像の位置とのずれから、表面反射光Ｌ３と内部反射光Ｌ４とのなす角Ｂの角度θ４を測定し、角３２ｂの角度を高い精度で検査することができる。
【００４１】
以上のように、実施形態のプリズムの検査方法では、１つのコリメータのみを用いてプリズムの隣接する側面の角度を検査することができる。また、複数のコリメータや原器プリズムを用いることがないためより簡易な方法により高い精度でプリズムを検査することができる。
【実施例】
【００４２】
（実施例１）
反射防止膜を有しない５つの直角プリズムを用意した。直角プリズムは、ガラス製であり、底面は一辺が６ｍｍの直角二等辺三角形状であり、厚さが６ｍｍである。それぞれの直角プリズムについて角３２ａに相当する第１の角、角３２ｂに相当する第２の角の角度を駿河精機社製レーザオートコリメータＨ４００−Ｃ０５０（光源波長６５０ｎｍ）を用いて実施形態のプリズムの検査方法と同様に直角プリズムを検査した。各角度の測定値を表１に示す。なお、第２の角の角度の測定では、２回反射して出射する光を遮光板で遮った。
【００４３】
（比較例１）
図１０は、比較例１の検査方法を説明するための上面図である。オプティカルフラットからなるステージ１０３上にプリズム１００として原器プリズムを配置し、オートコリメータ１０１から平行光を原器プリズムに照射し、反射光をオートコリメータ１０２で受光しての角３２ａに相当する第１の角の角度を測定した。同様の方法で角３２ｂに相当する第２の角の角度についても測定した。このとき、上面視においてオートコリメータ１０１およびオートコリメータ１０２が互いに垂直、すなわち９０度になるように配置した。次に、原器プリズムの代わりにプリズム１００として実施例１の直角プリズムを配置して直角プリズムの角３２ａに相当する第１の角の角度を測定した。同様の方法で角３２ｂに相当する第２の角の角度についても測定して直角プリズムの検査を行った。直角プリズム毎の各角度の測定値を表１に示す。
【００４４】
【表１】
2019109060.tif 000003
【００４５】
表１に示すように、実施例１の各角度の測定値と比較例１の各角度の測定値とを比較しても大きな差異がないことがわかる。このことから、複数のコリメータと原器プリズムを用いない場合であっても高い精度でプリズムを検査することができることがわかる。
【００４６】
なお、実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施し得るものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４７】
１…コリメータ、２…治具、３…プリズム、４…反射防止膜、５…遮光板、１１…ステージ部、１２…光入出部、２１…溝、２２…溝、３１ａ…側面、３１ｂ…側面、３１ｃ…側面、３２ａ…角、３２ｂ…角、３２ｃ…角、１００…プリズム、１０１…オートコリメータ、１０２…オートコリメータ、１０３…ステージ。
【図１】
2019109060.tif 000004
【図２】
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【図３】
2019109060.tif 000006
【図４】
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【図５】
2019109060.tif 000008
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2019109060.tif 000012
【図１０】
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