(57)【要約】【課題】測定対象物に対するセンサ部の位置を変えることなく、測定対象物の接続ポートに対する本体の取付姿勢が可変なトランスデューサ型真空計を提供する。【解決手段】真空チャンバＶｃの接続ポートＣｐに装着可能な本体Ｂ１を備える本発明のトランスデューサ型真空計ＩＧ１は、本体内に、センサ部２と、真空チャンバＶｃ内の圧力に応じたセンサ部の出力変化を検出する検出部３と、センサ部と検出部とを制御する制御部品４とを設け、本体は、第１筐体Ｂ１１と第２筐体Ｂ１２とに分けて構成され、真空チャンバに装着される第１筐体が少なくともセンサ部を内蔵し、第１筐体に対する第２筐体の姿勢を変更する姿勢変更手段としての接続部１４ａ，１４ｂを更に備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物に装着可能な本体を備えるトランスデューサ型真空計であって、
本体内に、センサ部と、測定対象物の圧力に応じたセンサ部の出力変化を検出する検出部と、センサ部と検出部とを制御する制御部品とを設けたものにおいて、
本体は、第１筐体と第２筐体とに分けて構成され、
測定対象物に装着される第１筐体が少なくともセンサ部を内蔵し、第１筐体に対する第２筐体の姿勢を変更する姿勢変更手段を更に備えることを特徴とするトランスデューサ型真空計。
【請求項２】
前記姿勢変更手段は、前記第２筐体の面積の異なる少なくとも２面に設けられる、第１筐体内の前記センサ部とのコネクタ接続を可能とする接続部であり、
各接続部に検出部が夫々直付けされ、いずれかの接続部を選択して前記第１筐体のセンサ部と接続部とをコネクタ接続すると、前記第１筐体に対する前記第２筐体の姿勢が変更されるように構成したことを特徴とする請求項１記載のトランスデューサ型真空計。
【請求項３】
前記第１筐体に前記検出部を更に備え、
前記姿勢変更手段は、前記第１筐体の少なくとも２面に設けられる、前記第２筐体との連結を可能とする連結部であり、いずれかの連結部を選択して前記第１筐体に前記第２筐体を連結すると、前記第１筐体に対する前記第２筐体の姿勢が変更されるように構成したことを特徴とする請求項１記載のトランスデューサ型真空計。
【請求項４】
前記第１筐体に検出部を更に備え、
前記姿勢変更手段は、前記第１筐体と前記第２筐体との間に介設される、第１筐体に対する第２筐体の揺動を可能とするヒンジで構成されることを特徴とする請求項１記載のトランスデューサ型真空計。
【請求項５】
前記第１筐体に検出部を更に備え、
前記姿勢変更手段は、前記第１筐体と前記第２筐体との間に介設される、第１筐体を支点にした屈曲動作が可能な蛇腹管で構成されることを特徴とする請求項１記載のトランスデューサ型真空計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバ等の測定対象物内の圧力を測定するトランスデューサ型真空計に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のトランスデューサ型真空計は例えば特許文献１で知られている。このものは、真空チャンバ等の測定対象物に装着可能な本体（筐体）内に、センサ部と、測定対象物の圧力に応じたセンサ部の出力変化（例えば、微小電流）を検出する検出部と、センサ部と検出部とを制御する制御部品とを一体に組み付けて構成され、センサ部を内蔵する本体の部分を介して測定対象物に予め設けられた接続ポートに取り付けられて、気密保持された測定対象物内の圧力（真空度）を測定する。これにより、検出部にて、微小電流などのセンサ部の出力変化を検出するときにノイズの影響を受け難くでき、この種のトランスデューサ型真空計は、より正確な圧力測定ができるといった利点がある。
【０００３】
ここで、この種のトランスデューサ型真空計は、一般に、センサ部に電力を供給するための電源及び、電源の作動や検出部からの出力を圧力に換算する処理などを統括制御する制御部などの制御部品が検出部と共に１枚の回路基板に実装され、この状態で本体内に格納されている。このため、本体は一方向に長手の直方体状とならざるを得ず、測定対象物に装着すると、本体の長さだけ、測定対象物から一方向に延出した状態となる。
【０００４】
一方、測定対象物が種々の真空プロセスを実施する真空チャンバであるような場合、真空チャンバの外壁面には、電力供給用の配線、冷却水等の供給管、ガス供給管や排気管といった種々の構成部品が設けられている。このため、真空チャンバに予め設けられる接続ポートの位置によっては、構成部品に干渉して本体を取り付けできない場合が生じる。このような場合、接続ポートにＬ字官などの継手を追加し、この継手に本体の部分を取り付けることで、本体が延出する方向を変える（即ち、本体の取付姿勢を変える）ことが一般に行われている（例えば、特許文献２参照）。然し、接続ポート周辺における構成部品の配置に応じて、適切な形状、長さの継手を準備して本体を取り付けるのでは、その作業が煩雑である。また、継手を介在させると、測定対象物に対するセンサ部の位置が変化し、場合によっては、トランスデューサ型真空計で検出した圧力は、必ずしも測定対象物の圧力を指示しているとは限らないという問題が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２０１１／０９９２３８号
【特許文献２】特開２０１７−１７２３８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、以上の点に鑑み、測定対象物に対するセンサ部の位置を変えることなく、測定対象物の接続ポートに対する本体の取付姿勢が可変なトランスデューサ型真空計を提供することをその課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、測定対象物に装着可能な本体を備える本発明のトランスデューサ型真空計は、本体内に、センサ部と、測定対象物の圧力に応じたセンサ部の出力変化を検出する検出部と、センサ部と検出部とを制御する制御部品とを設け、本体は、第１筐体と第２筐体とに分けて構成され、測定対象物に装着される第１筐体が少なくともセンサ部を内蔵し、第１筐体に対する第２筐体の姿勢を変更する姿勢変更手段を更に備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、少なくともセンサ部を内蔵するだけで比較的にサイズを小さくできる第１筐体と、制御部品を格納するために比較的にサイズを大きくせざるを得ない第２筐体とに分け、姿勢変更手段を備える構成を採用することで、接続ポート周辺における構成部品の配置に応じて本体の取付姿勢を変えることができる。このとき、比較的サイズの小さい第１筐体は、継手の利用せずに接続ポートに取り付けられるため、接続ポートに対するセンサ部自体の位置が常時一定になり、トランスデューサ型真空計で検出した圧力が、必ずしも測定対象物の圧力を指示しているとは限らないといった不具合も生じない。
【０００９】
本発明において、測定対象物に対するセンサ部の位置を変えることなく、接続ポートに対する本体の取付姿勢が可変な構成を実現するために、本発明の第１の形態では、前記姿勢変更手段は、前記第２筐体の面積の異なる少なくとも２面に設けられる、第１筐体内の前記センサ部とのコネクタ接続を可能とする接続部であり、各接続部に検出部が夫々直付けされ、いずれかの接続部を選択して前記第１筐体のセンサ部と接続部とをコネクタ接続すると、前記第１筐体に対する前記第２筐体の姿勢が変更される。また、本発明の第２の形態では、前記第１筐体に前記検出部を更に備え、前記姿勢変更手段は、前記第１筐体の少なくとも２面に設けられる、前記第２筐体との連結を可能とする連結部であり、いずれかの連結部を選択して前記第１筐体に前記第２筐体を連結すると、前記第１筐体に対する前記第２筐体の姿勢が変更される。
【００１０】
本発明の第３の形態では、前記第１筐体に検出部を更に備え、前記姿勢変更手段は、前記第１筐体と前記第２筐体との間に介設される、第１筐体に対する第２筐体の揺動を可能とするヒンジで構成される。また、本発明の第４の形態では、前記第１筐体に検出部を更に備え、前記姿勢変更手段は、前記第１筐体と前記第２筐体との間に介設される、第１筐体を支点にした屈曲動作が可能な蛇腹管で構成される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態のトランスデューサ型真空計を模式的に示す図。
【図２】本発明の第２実施形態のトランスデューサ型真空計を模式的に示す図。
【図３】本発明の第３実施形態のトランスデューサ型真空計を模式的に示す図。
【図４】本発明の第４実施形態のトランスデューサ型真空計を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、測定対象物を真空チャンバＶｃとし、この真空チャンバＶｃに予め設けられた接続ポートＣｐに取り付けられるＢＡ真空計を例に本発明のトランスデューサ型真空計の実施形態について説明する。尚、特に図示して説明しないが、、真空チャンバＶｃの外壁面には、電力供給用の配線、冷却水等の供給管、ガス供給管や排気管といった種々の構成部品が接続されている。
【００１３】
図１を参照して、ＩＧ１は、本発明の第１実施形態に係るトランスデューサ型のＢＡ真空計である。ＢＡ真空計ＩＧ１は、接続ポートＣｐに着脱自在に取り付けられる第１筐体Ｂ１１と、第１筐体Ｂ１１に取り付けられる第２筐体Ｂ１２とに分けて構成された本体Ｂ１を備える。第１筐体Ｂ１１は、取付方向先端に、接続ポートＣｐに接合可能な取付フランジ１１ａを備える円筒体で構成され、その内部にはセンサ部２のみが組み込まれている。センサ部２としては、細線で構成されるイオンコレクタ２１と、イオンコレクタ２１を囲うように配置されるグリッド２２と、グリッド２２の周囲に配置されるフィラメント２３とで構成される。この場合、第１筐体Ｂ１１内には、図示省略の絶縁性の第１支持台が設けられ、第１支持台には、接続端子兼用の支持ピン２４ａ〜２４ｅが貫設され、各支持ピン２４ａ〜２４ｅによりイオンコレクタ２１、グリッド２２及びフィラメント２３が夫々位置決め支持されるようになっている。この場合、第１筐体Ｂ１１には、センサ部２のみを設けるため、第１筐体Ｂ１１はサイズの小さいもので済む。
【００１４】
一方、第２筐体Ｂ１２は、直方体状の輪郭を持つ角筒体で構成され、その内部には、センサ部２の出力変化を検出する検出部３ａ，３ｂと、センサ部２と検出部３ａ，３ｂとを制御する制御部品４とが格納されている。検出部３ａ，３ｂは、センサ部２からの出力を増幅することができる図示省略の信号増幅回路を有することが好ましい。仮に、フラットケーブルを経た後に信号の増幅を行う構成とすると、信号が減衰したりノイズの影響を受けやすい構成となってしまい、真空計としての性能を損ねてしまう。よって、検出部３ａ，３ｂにおいて増幅や変調を行うことで、センサ部２からの微弱な信号をより正確に検出及び電送することが可能となる。制御部品４は、センサ部２と検出部３ａ，３ｂ以外の部品であって、センサ部２に電力供給し、検出部３ａ，３ｂにてセンサ部２の出力変化を検出し、この検出した出力から測定対象物の圧力を算出する一連の処理を行うために設けられるものであり、例えば、センサ部２に電力を供給するための電源４１や、マイクロコンピュータやメモリなどを持つ制御部４２などが含まれる。そして、制御部品４の各々は、回路基板４０に実装された状態で第２筐体Ｂ１２内に格納される。この場合、第２筐体Ｂ１２は、回路基板４０を格納するため、第１筐体Ｂ１１と比較してサイズの大きいものが必要となる。検出部３ａ，３ｂと回路基板４０とは、例えばフラットケーブル４３ａ，４３ｂにより電気的に接続される。なお、検出部３ａ，３ｂや制御部品４については、公知のものが利用されるため、真空チャンバＶｃ内の圧力測定の方法、手順を含め、これ以上の構成や動作に関する詳細な説明を省略する。
【００１５】
また、本体Ｂ１には、接続ポートＣｐへの取付姿勢を変更する姿勢変更手段が設けられている。第１実施形態における姿勢変更手段は、第２筐体Ｂ１２の面積の異なる少なくとも２面１２ａ，１２ｂに夫々設けられた２個の接続部１３ａ，１３ｂで構成される。各接続部１３ａ，１３ｂは、第１筐体Ｂ１１の取付方向後端が嵌着される環状の受入れ突起を備え、その内側には、受入れ突起の内部空間を第２筐体Ｂ１２内から隔絶する、図示省略の絶縁性の第２支持台が設けられている。第２支持台には、センサ部２の支持ピン２４ａ〜２４ｅが夫々差し込まれるソケット部が突設され、センサ部２と接続部１３ａ，１３ｂとがコネクタ接続できるようになっている。この場合、特に図示して説明しないが、受入れ突起に第１筐体Ｂ１１の取付方向後端が嵌着されると、Ｏリング等の真空シールにより気密保持されて真空チャンバＶｃ内の圧力測定に影響が出ないようにしている。また、各接続部１３ａ，１３ｂのソケット部には、第２筐体Ｂ１２内に位置させて検出部３ａ，３ｂが夫々直付けされ、センサ部２の出力変化を検出部３ａ，３ｂで可及的速やかに検出できるようにしている。各検出部３ａ，３ｂは、例えばフラットケーブル４３ａ，４３ｂにより回路基板４０に電気的に接続されている。
【００１６】
第１実施形態のＢＡ真空計ＩＧ１を真空チャンバＶｃの接続ポートＣｐに取り付けるのに際しては、先ず、第１筐体Ｂ１１の取付フランジ１１ａを真空チャンバＶｃの接続ポートＣｐに接合させ、この状態で、例えば公知のクランプを利用して両者を固定する。次に、真空チャンバＶｃの外壁面に設けられる各構成部品の配置を考慮して、第２筐体Ｂ１２に設けられる接続部１３ａ，１３ｂの中から、一の接続部１３ａを選択する。そして、一の接続部１３ａの受入れ突起に第１筐体Ｂ１１を嵌着する。このとき、支持ピン２４ａ〜２４ｅがソケット部に夫々差し込まれて、センサ部２と接続部１３ａ，１３ｂとがコネクタ接続される。最後に、他の接続部１３ｂに図示省略の蓋体が装着される。
【００１７】
以上によれば、センサ部２を内蔵するだけで比較的にサイズを小さくできる第１筐体Ｂ１１と、制御部品４を格納するために比較的にサイズを大きくせざるを得ない第２筐体Ｂ１２とに分け、姿勢変更手段としての接続部１３ａ，１３ｂを備える構成を採用することで、真空チャンバＶｃの外壁面に設けられる各構成部品の配置を考慮して、いずれかの接続部１３ａ，１３ｂを選択すれば、本体Ｂ１の取付姿勢を図１（ａ）に示す姿勢と図１（ｂ）に示す姿勢との間で変えることができる。このとき、比較的サイズの小さい第１筐体Ｂ１１は、継手を利用せずに接続ポートＣｐに取り付けられるため、接続ポートＣｐに対するセンサ部２自体の位置が常時一定にでき、ＢＡ真空計ＩＧ１で検出した圧力が、必ずしも真空チャンバＶｃ内の圧力を指示しているとは限らないといった不具合も生じない。
【００１８】
次に、図２を参照して、ＩＧ２は、本発明の第２実施形態に係るトランスデューサ型のＢＡ真空計である。以下においては、上記第１実施形態と同一の部材、要素については同一の符号を用いるものとし、これらの説明は省略する。ＢＡ真空計ＩＧ２は、接続ポートＣｐに着脱自在に取り付けられる第１筐体Ｂ２１と、第１筐体Ｂ２１に取り付けられる第２筐体Ｂ２２とに分けて構成された本体Ｂ２を備える。第２実施形態では、第１筐体Ｂ２１は、取付フランジ１１ａを備える円筒体１１０に箱体１１１を連接して構成されている。この場合、円筒体１１０と箱体１１１との連接箇所には図示省略の絶縁性の支持台が気密保持した状態で設けられ、円筒体１１０と箱体１１１とが互いに隔絶されるようにしている。また、支持台には、上記第１実施形態と同様に、接続端子兼用の支持ピン２４ａ〜２４ｅが貫設され、各支持ピンによりイオンコレクタ２１、グリッド２２及びフィラメント２３が夫々位置決め支持されるようになっている。そして、箱体１１１内に突出する支持ピン２４ａ〜２４ｅの部分が、箱体１１１内に設けられる検出部３に接続されている。
【００１９】
一方、第２筐体Ｂ２２は、直方体状の輪郭を持つ角筒体で構成され、その内部には制御部品４が回路基板４０に実装された状態で格納されている。また、第２実施形態における姿勢変更手段は、箱体１１１の面積の異なる少なくとも２面１１１ａ，１１１ｂに夫々設けられた２個の連結部１４ａ，１４ｂで構成される。各連結部１４ａ，１４ｂは、メス側コネクタで構成され、第２筐体Ｂ２２の取り付け方向前側の面に設けられた図示省略のオス側コネクタが接続されるようになっている。各連結部１４ａ，１４ｂは、例えばフラットケーブル４４ａ，４４ｂにより検出部３に電気的に接続され、また、上記オス側コネクタは、例えばフラットケーブル４５により回路基板４０に電気的に接続されている。
【００２０】
第２実施形態のＢＡ真空計ＩＧ２を真空チャンバＶｃの接続ポートＣｐに取り付けるのに際しては、先ず、第１筐体Ｂ２１の取付フランジ１１ａを真空チャンバＶｃの接続ポートＣｐに接合させ、この状態で、例えば公知のクランプを利用して両者を固定する。次に、真空チャンバＶｃの外壁面に設けられる各構成部品の配置を考慮して、箱体１１１に設けられる連結部１４ａ，１４ｂの中から、一の連結部１４ａを選択する。そして、一の連結部１４ａに第２筐体Ｂ２１のオス側コネクタを接続する。最後に、他の連結部１４ｂに図示省略する蓋体が装着され、連結部１４ｂに起因したノイズが発生しないようにしている。
【００２１】
以上によれば、センサ部２と検出部３を内蔵するだけで比較的にサイズを小さくできる第１筐体Ｂ２１と、制御部品４を格納するために比較的にサイズを大きくせざるを得ない第２筐体Ｂ２２とに分け、姿勢変更手段としての連結部１４ａ，１４ｂを備える構成を採用することで、真空チャンバＶｃの外壁面に設けられる各構成部品の配置を考慮して、いずれかの連結部１４ａ，１４ｂを選択すれば、本体Ｂ２の取付姿勢を図２中に実線で示す姿勢と仮想線で示す姿勢との間で変えることができる。このとき、比較的サイズの小さい第１筐体Ｂ２１は、継手の利用せずに接続ポートＣｐに取り付けられるため、接続ポートＣｐに対するセンサ部２自体の位置が常時一定にでき、ＢＡ真空計ＩＧ２で検出した圧力が、必ずしも真空チャンバＶｃ内の圧力を指示しているとは限らないといった不具合も生じない。
【００２２】
次に、図３を参照して、ＩＧ３は、本発明の第３実施形態に係るトランスデューサ型のＢＡ真空計である。以下においては、上記第１及び第２実施形態と同一の部材、要素については同一の符号を用いるものとし、これらの説明は省略する。ＢＡ真空計ＩＧ３は、接続ポートＣｐに着脱自在に取り付けられる第１筐体Ｂ３１と、第１筐体Ｂ３１に取り付けられる第２筐体Ｂ３２とに分けて構成された本体Ｂ３を備える。第３実施形態では、第１筐体Ｂ３１は、円筒体１１０に箱体１１２を連接して構成されている。円筒体１１０と箱体１１２との連接箇所には、上記第２実施形態と同様に、図示省略の絶縁性の支持台が設けられ、筒体１１０と箱体１１２とが互いに隔絶されるようにしている。この支持台には、上記第１実施形態と同様に、接続端子兼用の支持ピン２４ａ〜２４ｅが貫設され、各支持ピンによりイオンコレクタ２１、グリッド２２及びフィラメント２３が夫々位置決め支持されるようになっている。そして、箱体１１２内に突出する支持ピン２４ａ〜２４ｅの部分が、箱体１１２内に設けられる検出部３に接続されている。尚、箱体１１２の取り付け方向後方部分は面取りされており、後述する第２筐体Ｂ３２を揺動する際に接触しないようにしている。
【００２３】
一方、第２筐体Ｂ３２は、上記第２実施形態と同様に、直方体状の輪郭を持つ角筒体で構成され、その内部には、制御部品４が回路基板４０に実装された状態で格納されている。また、第３実施形態における姿勢変更手段は、第１筐体Ｂ３１と第２筐体Ｂ３２との間に介設されるヒンジ１５で構成され、第１筐体１１に対して第２筐体１２の揺動を可能としている。ヒンジ１５としては、図３に示すものに限らず、公知のものを用いることができるため、ここでは詳細な説明を省略する。尚、検出部３は、例えばフラットケーブル４６により回路基板４０に電気的に接続されている。
【００２４】
第３実施形態のＢＡ真空計ＩＧ３を真空チャンバＶｃの接続ポートＣｐに取り付けるのに際しては、先ず、第１筐体Ｂ３１の取付フランジ１１ａを真空チャンバＶｃの接続ポートＣｐに接合させ、この状態で、例えば公知のクランプを利用して両者を固定する。このとき、真空チャンバＶｃの外壁面に設けられる各構成部品の配置を考慮して、箱体１１２に対して第２筐体Ｂ３２を揺動させれば、姿勢が変わる。
【００２５】
以上によれば、センサ部２と検出部３を内蔵するだけで比較的にサイズを小さくできる第１筐体Ｂ３１と、制御部品４を格納するために比較的にサイズを大きくせざるを得ない第２筐体Ｂ３２とに分け、姿勢変更手段としてのヒンジ１５を備える構成を採用することで、真空チャンバＶｃの外壁面に設けられる構成部品の配置に応じて第１筐体Ｂ３１に対して第２筐体Ｂ３２を揺動すれば、本体Ｂ３の取付姿勢を図３中に実線で示す姿勢と仮想線で示す姿勢との間で変えることができる。このとき、比較的サイズの小さい第１筐体Ｂ３１は、継手を利用せずに接続ポートＣｐに取り付けられるため、接続ポートＣｐに対するセンサ部２自体の位置が常時一定にでき、ＢＡ真空計ＩＧ３で検出した圧力が、必ずしも真空チャンバＶｃ内の圧力を指示しているとは限らないといった不具合も生じない。
【００２６】
次に、図４を参照して、ＩＧ４は、本発明の第４実施形態に係るトランスデューサ型のＢＡ真空計である。以下においては、上記第１〜第３実施形態と同一の部材、要素については同一の符号を用いるものとし、これらの説明は省略する。ＢＡ真空計ＩＧ４は、接続ポートＣｐに着脱自在に取り付けられる第１筐体Ｂ４１と、第１筐体Ｂ４１に取り付けられる第２筐体Ｂ４２とに分けて構成された本体Ｂ４を備える。第４実施形態では、第１筐体Ｂ４１は、円筒体１１０に箱体１１３を連接して構成されている。円筒体１１０と箱体１１３との連接箇所には、上記第２実施形態と同様に、図示省略の絶縁性の支持台が設けられ、筒体１１０と箱体１１３とが互いに隔絶されるようにしている。
【００２７】
一方、第２筐体Ｂ４２は、上記第２実施形態と同様に、直方体状の輪郭を持つ角筒体で構成され、その内部には、制御部品４が回路基板４０に実装された状態で格納されている。また、第４実施形態における姿勢変更手段は、第１筐体Ｂ４１と第２筐体Ｂ４２との間に介設される、第１筐体Ｂ４１を支点にした屈曲動作が可能な蛇腹管１６で構成されている。蛇腹管１６としては、公知のものを用いることができるため、ここでは詳細な説明を省略する。尚、検出部３は、例えばフラットケーブル４７により回路基板４０に電気的に接続されている。
【００２８】
第４実施形態のＢＡ真空計ＩＧ４を真空チャンバＶｃの接続ポートＣｐに取り付けるのに際しては、先ず、第１筐体Ｂ４１の取付フランジ１１ａを真空チャンバＶｃの接続ポートＣｐに接合させ、この状態で、例えば公知のクランプを利用して両者を固定する。次に、真空チャンバＶｃの外壁面に設けられる各構成部品の配置を考慮して、第１筐体Ｂ４１を支点として蛇腹管１６を屈曲させれば、姿勢が変わる。
【００２９】
以上によれば、センサ部２と検出部３を内蔵するだけで比較的にサイズを小さくできる第１筐体Ｂ４１と、制御部品４を格納するために比較的にサイズを大きくせざるを得ない第２筐体Ｂ４２とに分け、姿勢変更手段としての蛇腹管１６を備える構成を採用することで、真空チャンバＶｃの外壁面に設けられる構成部品の配置に応じて第１筐体Ｂ４１を支点として蛇腹管１６を屈曲させれば、本体Ｂ４の取付姿勢を図４中に実線で示す姿勢と仮想線で示す姿勢との間で変えることができる。このとき、比較的サイズの小さい第１筐体Ｂ４１は、継手の利用せずに接続ポートＣｐに取り付けられるため、接続ポートＣｐに対するセンサ部２自体の位置が常時一定にでき、ＢＡ真空計ＩＧ４で検出した圧力が、必ずしも真空チャンバＶｃ内の圧力を指示しているとは限らないといった不具合も生じない。
【００３０】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術思想の範囲を逸脱しない限り、種々の変形が可能である。上記実施形態では、制御部品４として電源４１や制御部４２を例示して説明したが、制御部品４として他の部品が含まれていてもよく、制御部品４の数が多いほど回路基板４０ひいては第２筐体のサイズが大きくなるため、本発明をより好適に適用することができる。
【００３１】
また、上記実施形態では、ＢＡ真空計を例に説明したが、ＢＡ真空計以外のトランスデューサ型真空計に対しても本発明を当然に適用することができる。
【００３２】
また、上記第１実施形態では、第２筐体Ｂ１１が角筒体で構成される場合を例に説明したが、円筒体で構成することもできる。この場合、円筒体の底面と外周面とに接続部としての接続ポートを設ければよい。
【符号の説明】
【００３３】
ＩＧ１，ＩＧ２，ＩＧ３，ＩＧ４…ＢＡ真空計（トランスデューサ型真空計）、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４…本体、Ｂ１１，Ｂ２１，Ｂ３１，Ｂ４１…第１筐体、Ｂ１２，Ｂ２２，Ｂ３２，Ｂ４２…第２筐体、１３ａ，１３ｂ…接続部（姿勢変更手段）、１４ａ，１４ｂ…連結部（姿勢変更手段）、１５…ヒンジ（姿勢変更手段）、１６…蛇腹管（姿勢変更手段）、２…センサ部、３，３ａ，３ｂ…検出部、４…制御部品。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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