(57)【要約】      （修正有）【課題】市販のテスターを用いて、表面処理鋼板の実際の表面抵抗値を正確に測定する治具およびこの治具を用いた表面抵抗値を測定する方法を提供する。【解決手段】表面抵抗測定治具は、被測定部材の表面抵抗を測定するための接触点２０を保持するためのフレーム１２と、フレーム１２の底部に配置され、被測定部材に対して一定の押圧の付与下に接触する、曲率を持った一対の接触点２０と、一対の接触点２０に一定の圧力を付与するための押圧手段とを有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定部材の表面抵抗を測定するための接触点を保持するためのフレームと、
該フレームの底部に配置され、該被測定部材に対して一定の押圧の付与下に接触する、曲率を持った一対の接触点と、
該一対の接触点に一定の圧力を付与するための押圧手段と
を有することを特徴とする表面抵抗測定治具。
【請求項２】
前記一対の接触点は、円筒状に形成されており、該接触点は、板バネの円弧と同等の曲率を有することを特徴とする請求項１に記載の表面抵抗測定治具。
【請求項３】
前記一対の接触点は、被測定部材の表面に密着するフレームの下面に直行するように設けられた接合部穴に嵌め込まれ、該接合部穴内を上下に往復可能に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の表面抵抗測定治具。
【請求項４】
前記フレームに、一対の接触点の接触圧力に抗しうる重量の重りが取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の表面抵抗測定治具。
【請求項５】
前記接触点が被測定部材に圧力の付与下に押しつけられる際の押圧手段として、圧縮バネが、該圧縮バネの中央部に寸切りボルトが案内部材として設けられており、該圧縮バネの上端部には、寸切りボルトにねじ込まれて、該圧縮バネを押さえ込む第１のナットと、該第１のナットを固定する第２のナットとが配置されていることを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の表面抵抗測定治具。
【請求項６】
前記一対の接合部の中心にネジ穴が形成されており、該ネジ穴にリード線の一端部がネジ止めされているとともに、該リード線の他端部が、テスターのプローブを固定する金具部材に固定されていることを特徴とする請求項２に記載の表面抵抗測定治具。
【請求項７】
前記テスターのプローブが、該プローブの棒状部分を２枚の平板で挟み込んで二個のネジでプローブを締め付けるように固定されていることを特徴とする請求項６に記載の表面抵抗測定治具。
【請求項８】
前記テスターのプローブが、前記圧縮バネと平行に配置できるように前記金具部分を配置されていることを特徴とする請求項７に記載の表面抵抗測定治具。
【請求項９】
前記一対の円筒状の接触点が、ステンレス、鋼材、アルミニウム、黄銅および銅よりなる群から選ばれる少なくとも一種類の金属で形成されていることを特徴とする請求項２に記載の表面抵抗測定治具。
【請求項１０】
表面抵抗測定治具の一方の円筒状の接触点に対応する位置に押圧に対応して上下に可動して押圧を表示する押圧測定用突起が突出する突出穴を有し、もう一方の円筒状の接触点に対応する位置に円筒状の接触点を収納する凹部が形成された接触点圧調整フレームにプッシュプルゲージを装着して突出穴から押圧測定用突起を突出させ、該プッシュプルゲージに標準重りを載置し、この標準重りによって、該押圧測定用突起が押し下げられることにより表示されるプッシュプルゲージの表示目盛りを記録し、
次いで標準重りの代わりに、表面抵抗測定治具を載置して、該プッシュプルゲージに記録した表示目盛りにより、該押圧測定用突起に接触している一方の円筒状の接触点にかかる押圧を設定し、次いで、表面抵抗測定治具を１８０度回転させて接触点圧調整フレームに載置して、同様に操作してもう一方の円筒状の接触点にかかる押圧を調整して表面抵抗の測定を行うことを特徴とする表面抵抗測定治具の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面処理された金属板などの表面抵抗値を測定するための治具およびこの治具を使用する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像形成装置などは、図１８に示すように、上フレーム１０１と下フレーム１０２が別々に形成されており、この上フレーム１０１と下フレーム１０２とが樹脂などの絶縁体１０４で接合されているという構成を採ることがある。この上フレーム１０１と下フレーム１０２は、表面処理鋼板１０３などで形成されており、アースを取るために、板バネ１０５を表面処理鋼板の表面に接触させる方法が採られている。
【０００３】
しかしながら、表面処理板の表面は鋼板メーカー毎に違いがあり、また、表面鋼板の種類によって表面の処理方法が異なり、表面抵抗が異なってしまう。
また、同じ表面処理鋼板でもロット毎に表面の導通性能がばらつき、画像形成装置などを量産する工程で導通確認が取れずに不合格となってしまうことがある。
すなわち、図１８に示すように、上フレーム１０１と下フレーム１０２のアースを取る場合、板バネ１０５でアースを取った後、上フレーム１０１と下フレーム１０２との間の導通確認を行うが、ロットの違いなどで導通が取れないことがある（特許文献１参照）。
上記問題を未然に防ぐために、表面処理鋼板を上フレーム１０１あるいは下フレーム１０２として組み上げる前に表面抵抗値を確認する必要がある。
表面処理鋼板の表面抵抗を測定するには、例えば、図１９に示すように、テスターを用いて、測定しようとする表面処理鋼板の表面にプローブを接触することで測定が可能であるが、この方法では、プローブの接触圧力などにより表面抵抗が一定しないという問題がある。
【０００４】
このような表面処理鋼板などの表面抵抗を測定する表面抵抗測定方法として、図２０に示されるように、端子の数が２個である二端子法と、端子の数が４個である四端子法がある。
表面処理鋼板の表面抵抗を正確に測定するためには、四端子法の方が有利であるとされている。すなわち、二端子法では、図２１に示されるように、被測定物の表面と２接点が接触して接続されるものであるが、被測定点にもRLの接触抵抗がかかるので、測定される表面抵抗Rxに、この接触抵抗RLが加えられてしまい接触抵抗RLが測定誤差要因になる。
一方、四端子法は図２２に示すように、被測定物の表面抵抗Rxを有する接点とは別に電圧を印加する２接点が設けられており、合計４接点で接続する。電圧計の内部抵抗は極めて高いため、電流は電圧計（V）に分流せずRxを流れるので、結果として接触点の接触抵抗値RLは無視でき、表面抵抗値Rxを精度良く測定することができる。
一般的に、上記のように表面抵抗自体の測定は、四端子法による方がより正確に行えるとされている。
【０００５】
しかし、今回発生した問題は、上フレーム１０１と下フレーム１０２の間の板バネ１０５が表面処理鋼板１０３に接触したときの表面処理鋼板１０３自体の正確な表面抵抗のばらつきではなく、板バネ１０５が表面処理鋼板１０３に接触したときの板バネの接触抵抗を含めた抵抗値のばらつきである。
従って、表面処理鋼鈑の表面抵抗は、四端子法で測定した正確な表面抵抗ではなく、二端子法で測定した接点部の接触抵抗を含んだ表面抵抗の値が実際にばらつく抵抗値に近いことがわかった。
ところが市販されている二端子の接点は図２０に示すように、細い棒状の接点が精度良く表面処理鋼板に接触するように配置され、接触抵抗を可能な限り小さくなるようにして抵抗値を測定するものである。
また、上述のように、簡易的に表面抵抗を測定する場合には、図１９に示すように、テスターのプローブを直接人間が押し当てて測定することもある。
しかしながら、上記の方法は実際の接点である板バネ１０５が接触する際の接触状態とは状況が大きく異なるため、板バネを用いたときの接触抵抗込みの表面処理鋼鈑の表面抵抗のばらつきを正確に測定することはできないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開2009-220511号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記のような状況に鑑みてなされたものであり、上記課題を解決する技術を提供することを目的としている。
すなわち、本発明は、市販のテスターを用いて実際のバネ板の接触条件に近い状態で表面抵抗を測定できる表面抵抗測定治具およびその使用方法を提供することを目的としている。
すなわち、本発明は、実際に使われているバネ接触点と同じ材質、形状、接触点圧を測定できるように構成し、安定して実際と同じ条件で表面処理鋼板の接触抵抗のばらつきを測定でき、組み立て毎に表面処理鋼板の表面抵抗の変化を検査することができ、ロット違いのばらつき度合いを知ることができる表面抵抗測定冶具を提供することおよびその使用方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の表面抵抗測定治具は、被測定部材の表面抵抗を測定するための接触点を保持するためのフレームと、該フレームの底部に配置され、該測定部材に対して一定の押圧の付与下に接触する、曲率を持った一対の接触点と、該一対の接触点に一定の圧力を付与するための押圧手段とを有することを特徴としている。
また、前記一対の接触点は、円筒状に形成されており、接触点は、円弧状の板バネの円弧の曲率と同等の曲率を有するとよい。
また、前記一対の接触点は、被測定部材の表面に密着するフレームの下面に直行するように設けられた接合部穴に嵌め込まれ、該接合部穴内を上下に往復可能に形成するとよい。
また、前記フレームに、一対の接触点の接触圧力に抗しうる重量の重りが取り付けられているとよい。
また、前記接触点が被測定部に圧力の付与下に押しつけられる際の押圧手段として、圧縮バネが、該圧縮バネの中央部に寸切りボルトを案内部材として設けられており、該圧縮バネの上端部には、寸切りボルトにねじ込まれて、該圧縮ボルトを押さえ込む第１のナットと、該第１のナットを固定する第２のナットとを配置するとよい。
上記第１のナットおよび第２のナットはローレット付きナットであることが好ましい。
また、前記一対の円筒状の接合部の中心にネジ穴が形成されており、該ネジ穴にリード線の一端部がネジ止めされているとともに、該リード線の他端部が、テスターのプローブを固定する金具部分に固定されているとよい。
また、前記テスターのプローブは、該プローブの棒状部分を２枚の平板で挟み込むように、締め付けるように形成するとよい。
また、前記テスターのプローブは、前記圧縮バネと平行に配置できるように前記金具部分が配置されているとよい。
また、前記一対の円筒状の接触点は、ステンレス、鋼材、アルミニウム、黄銅および銅よりなる群から選ばれる少なくとも一種類の金属で形成されているとよい。
本発明では、表面抵抗測定治具の一方の円筒状の接触点に対応する位置に押圧に対応して上下に可動して押圧を表示する押圧測定用突起が突出する突出穴を有し、もう一方の円筒状の接触点に対応する位置に円筒状の接触点を収納する凹部が形成された接触点圧調整フレームにプッシュプルゲージを装着して突出穴から押圧測定用突起を突出させ、該プッシュプルゲージに標準重りを載置し、この標準重りによって、押圧測定用突起が押し下げられることにより表示されるプッシュプルゲージの表示目盛りを記録し、次いで標準重りの代わりに、表面抵抗測定治具を載置して、プッシュプルゲージに記録した表示目盛りにより、押圧測定用突起に接触している一方の円筒状の接触点にかかる押圧を設定し、次いで、表面抵抗測定治具を１８０度回転させて接触点圧調整フレームに載置して、同様に操作してもう一方の円筒状の接触点にかかる押圧を調整して表面抵抗の測定を行う。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、実際の接触点の接触状体に近い構成で接触点の接触抵抗を含めた表面抵抗値を測定することができる。また、２つの接触点のピッチは一定であるので、治具を移動させても、常に一定の条件で表面抵抗を測定することができる。本発明の治具には接触点の押圧より重い重りが組み込まれているので、治具を置くだけで一定の圧力をかけた条件で表面抵抗を測定することができる。
テスターのプローブを２枚の金属プレートで挟みボルトとナットで締め付けるようにしているので安定的にテスターを接続することができる。また、治具の高さ方向にテスターのプローブを配置したので、測定時にプローブが邪魔になることがない。
プッシュプルゲージで実際の接触圧に自由に設定できるので、実際に対応した測定を安定的に行うことができる。
さらに、治具を移動させるだけで、測定点数を簡単に増やせるので、データの統計処理が可能になり、ばらつき具合を含めて表面抵抗の大小を判断できる。
また、本発明の治具を使用することにより、市販のテスターで簡単に測定ができるので、高価な市販の測定装置を購入する必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の表面抵抗測定治具の一例を示す斜視図である。
【図２】板バネの一例を示す斜視図である。
【図３】本発明の表面抵抗測定治具の一例を示す正面図、底面図、A-A断面図、B-B断面図である。
【図４】本発明の表面抵抗測定治具の裏面の一例を示す斜視図である。
【図５】プローブが配置された本発明の表面抵抗測定治具の裏面の一例を示す斜視図である。
【図６】本発明の表面抵抗測定治具におけるリード線の結線状態の一例を示す斜視図である。
【図７】押圧測定用突起の一例を示す斜視図である。
【図８】プッシュプルゲージを接触点圧調整フレームに固定した状態を示す斜視図である。
【図９】プッシュプルゲージに重りを載置してゲージを調整する状態を示した斜視図である。
【図１０】本発明の表面抵抗測定治具の左側の円筒状の接触点に接触圧を設定する際の表面抵抗測定治具とプッシュプルゲージの配置を示す斜視図である。
【図１１】本発明の表面抵抗測定治具の左側の円筒状の接触点に押圧を設定する方法を示す斜視図である。
【図１２】本発明の表面抵抗測定治具の左側の円筒状の接触点の押圧を設定した状態を示す斜視図である。
【図１３】本発明の表面抵抗測定治具を１８０度回転させてセットした例を示す斜視図である。
【図１４】本発明の表面抵抗測定治具の右側の円筒状の接触点の押圧を設定している状態を示す斜視図である。
【図１５】本発明の表面抵抗測定治具の右側の円筒状の接触点の押圧を設定した状態を示す斜視図である。
【図１６】本発明の表面抵抗測定治具を用いて０Ωを確認している斜視図である。
【図１７】本発明の表面抵抗測定治具を用いて表面処理鋼板の表面抵抗を測定する状態を示す斜視図である。
【図１８】従来技術において、上フレームと下フレームとを樹脂で接合して板バネで導通をとっている状態を模式的に示した模式図である。
【図１９】人がテスターを使って表明抵抗を測定する状態を示す図である。
【図２０】市販の二端子の表面抵抗測定装置の端子部分と、四端子の表面抵抗測定装置の端子部分を示す図である。
【図２１】二端子法における回路図である。
【図２２】四端子法における回路図ある。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に本発明を実施するための形態(以下、「実施形態」ともいう)について図面を参照して説明する。なお、本発明の説明において、同一の部材には同一の付番を付してある。
【００１２】
本発明において、被測定材料は、表面処理鋼板などである。
本実施態様の表面抵抗測定治具は、図１に示すように、被測定部材の表面抵抗を測定するための円筒状の接触点２０を保持するために、前面が開放された矩形の形状のフレーム１２を有する。このフレーム１２は通常は絶縁部材で形成された絶縁フレームである。
このフレーム１２の両脇には、通常は、このフレーム１２を測定しようとする表面処理鋼板の表面に載置したときに、円筒状の接触点２０がフレーム１２の底面を形成する基準面１１と面一になるように荷重を付加する重り１３が取り付けられている。この重り１３は、本発明の表面抵抗測定治具１０が、測定面に載置されたとき、基準面１１に設けられた貫通穴内を上方向に移動して基準面１１と面一になるのに抗しうる荷重がかかるような重さである。従って、測定の際に治具を手で押さえるといった不安定な状態で測定を行う必要がなくなる。
【００１３】
フレーム１２の底面は、絶縁性物質で形成された基準面１１を構成しており、この基準面１１には、一定の間隔で一対の円筒状の接触点２０が挿入される２個の貫通穴（電極穴）が形成されている。
円筒状の接触点２０は、通常は図２に示す板バネ１０５の円弧状の部分と同等の曲率を有する円筒体で形成されている。このようにすることにより、板バネと表面処理鋼鈑とが圧力の付与下に接触した状態を再現できる。
この円筒状の接触点２０は、実際の板バネに使われるステンレス、鋼材、アルミニウム、黄銅および銅よりなる群から選ばれる少なくとも一種類の金属で形成されていることが好ましい。一対の円筒状の接触点２０は通常は同一の金属で形成されている。
【００１４】
フレーム１２の上端部には、下方に向かって寸切りボルト１５が備え付けられている。寸切りボルトは、上端部が固定され、下端部が開放されたボルトである。この寸切りボルトには、下部に位置する圧縮バネ１８を押さえ込む第１のナット（調整ネジ）１６と、この第１のナット１６を固定する第２のナット（ロックネジ）１７がねじ込まれている。この調整ネジおよびロックネジはローレット付きナットであることが好ましい。
この寸切りボルト１５をガイドにして、圧縮バネ１８のような押圧手段が配置されており、調整ネジ１６を回転させて押し下げることにより、円筒状の接触点２０に所望の押圧をかけることができる。ロックネジ１７は、調整ネジ１６の位置を固定するために用いる。このように寸切りボルト１５を案内部材として圧縮バネ１８を用いることにより、圧縮バネ１８が座屈することがない。なお、円筒状の接触点２０は、図１および図３に示すように、接触点ホルダー２１により上下に移動可能にフレーム１２の底部に保持されている。
この接触点ホルダー２１により、円筒状の接触点２０は、フレーム１２の底面に設けられた基準面１１から数ミリ、好ましくは０．５〜５mm程度突出して配置されるのが一般的である。
【００１５】
円筒状の接触点２０の中心部には、図３に示すように、ネジ穴が設けられており、このネジ穴を使ってリード線が円筒状の接触点２０に丸端子を介して固定されている。
このリード線のもう一方の端部は、図４に示すように、表面抵抗測定治具１０の背面部に設けられた２枚の金属プレート２３がフレーム１２に固定されるときにナット２５と一緒に丸端子を介して固定される。
円筒状の接触点２０に固定されるリード線は、円筒状の接触点２０の上下動を妨げないように配線される。
上記の金属プレート２３は、テスターのプローブ３０を挟み込むようにボルト２４にナット２５で固定される。
すなわち、図５および図６に示されるように、一端部が円筒状の接触点２０のネジに固定されたリード線は、ゆとりを持ってフレーム１２の裏側にまわされ、他端部が金属プレート２３を固定するボルト２４にナット２５に丸端子２６を介して挟み込まれて配置される。
【００１６】
図４、図５および図６に示されるように、本発明の表面抵抗測定治具１０のフレーム１２の裏面には、テスターのプローブ３０が、金属プレート２３を用いてボルト２４にナット２５をねじ込んで固定することで装着される。プローブ３０は、前面に配置される圧縮バネ１８と平行に取り付けられているので、余分な場所を取ることもなく、すっきり収納されている。
【００１７】
次に、本実施態様の表面抵抗測定治具を測定面に密着させたときの円筒状の接触点にかかる接点圧をセットする方法を説明する。
本発明において表面抵抗測定治具を用いる際には、図８に示すように接触点圧調整フレームに収容されたプッシュプルゲージを用いて円筒状の接触点の接触圧を予め設定する。
プッシュプルゲージ４０は、接触点圧調整フレーム４１内に収容されて使用され、このとき接触点圧調整フレーム４１の上部の測定基準面には、表面抵抗測定治具１０の一方の円筒状の接触点２０に対応する位置に押圧測定用突起が突出する突出穴が設けられている。この突出穴から押圧測定用突起５０が突出するようにプッシュプルゲージ４０を配置する。また、このとき、接触点圧調整フレーム４１の表面抵抗測定治具の他方の円筒状の接触点２０に対応する位置には逃がし穴４４である凹部が設けられており、一方の円筒状の接触点の押圧を設定する際に他方の円筒状の接触点に押圧がかからないようにされている。
【００１８】
プッシュプルゲージは、押圧測定用突起５０が、図７、図８および図９に示すように、測定の基準面４２からHmmだけ突出するように接触点圧調整フレーム４１に配置され、荷重をかけることにより、下方に押し込まれて、プッシュプルゲージの目盛り４５に荷重の重さが表示されるように構成されていることが好ましい。このHmmは図８に示すように上面の接触点圧調整フレームの基準面４２に標準重り４６を図９に示すように密着させ、Hmm移動させたときに狙いの荷重になるようにプッシュプルゲージを固定する。この実施態様では設定値を２００ｇにしている。この重さは、板バネによって付与される押圧に対応している。
【００１９】
次に、調整されていない表面抵抗測定治具１０を設定圧調整フレーム４１に載置する。このとき調整できるのは図１０に示す表面抵抗測定治具１０の左側の円筒状に接触点だけである。調整できない右側の円筒状の接触点は、逃がし穴４４である凹部にはまり込んで、不要なバネ圧がかからないように構成している。
図１１では、左側の調整ネジ１６をプッシュプルゲージ４０の針が２００ｇの位置に達するまでねじ込んで行く。その後、図１２に示すようにロックネジ１７を調整ネジ１６に密着するまでねじ込み、ロックする。このようにロックネジ１７を調整ネジ１６に密着するまで押し下げることにより、調整ネジ１６が緩むことがなくなる。
【００２０】
次いで、図１３に示すように、表面抵抗測定治具１０を１８０度回転させて測定の基準面４２に載置して、未調整の右側の円筒状の接触点の接触圧を設定する。
１８０度回転させることで、調整されていない側の右側の円筒状の接触点がプッシュプルゲージ４０の押圧測定用突起５０側にセットされる。
次の手順は、図面の裏面側になるが、図１０〜図１２で説明した手順を繰り返して、図１４〜図１５に示すように右側の円筒状の接触点のバネ圧を２００ｇに設定する。
以上の設定で基準面から数ｍｍ（この場合は１．５ｍｍ）突出している接触点が測定面に密着したときに数ｍｍへこみ２００ｇの設定圧が測定面にかかることになる。
【００２１】
この設定により、実際の板バネの接触点と同じ条件で正確に管理された治具で表面処理鋼板の接触抵抗を含めた表面抵抗を測定できるようになる。なお、荷重は実際の使用に合わせて例えば１００〜３００ｇ等のように適宜設定することができる。すなわち、板バネによって付与される圧力に対応して荷重を変えることにより、実際の使用に合った条件で表面処理鋼鈑の表面抵抗を測定することができる。
【００２２】
次にこの表面抵抗測定治具を用いた表面抵抗の実際の測定方法を説明する。
まず、図１６に示すように、表面抵抗測定治具が正常に作動するかどうかを確認するために、導電性の良い金属、例えばアルミニウム板、鋼板等の導電性の高い金属板の表面に本発明の表面抵抗測定治具を載置して、テスターの値が０Ωを示すかどうかを確認する。
次いで、図１７に示すように、測定対象の表面処理鋼板の表面に、本発明の表面抵抗測定治具を載置してテスターに表示される表面処理鋼板の表面抵抗値を記録する。
測定は、一点ではなく、図１７に示されるように、多点のデータを取り、ばらつきの統計を取りながら判断することが好ましい。図１７では、１０点の測定値を設定して表面抵抗のばらつきを測定しているが、測定点を増やすことも減らすこともできる。
【００２３】
本発明の測定方法によれば、表面処理鋼板を実際の配置状況に近い状態で接触抵抗も含めた表面抵抗値を測定することができる。
しかも接触点間距離、接触点圧などの測定条件が一定であるので、正確な表面抵抗値を測定することができる。
このように正確な表面抵抗値を測定できるにも拘らず、本発明によれば通常使用されているテスターを用いることができる。
このように測定条件が一定しているので、表面処理鋼板の表面抵抗値を多点で測定して統計的に処理した統計値として認識することができる。
本発明は上記のような構成を有するが、本発明の趣旨に反しない範囲で種々改変することができる。
【符号の説明】
【００２４】
１０・・・表面抵抗測定治具
１１・・・基準面
１２・・・フレーム
１３・・・重り
１５・・・寸切りボルト
１６・・・第１のナット（調整ネジ）
１７・・・第２のナット（ロックネジ）
１８・・・圧縮バネ
２０・・・円筒状の接触点
２１・・・接触点ホルダー
２３・・・金属プレート
２４・・・ボルト
２５・・・ナット
２６・・・丸端子
３０・・・プローブ
４０・・・プッシュプルゲージ
４１・・・接触点圧調整フレーム
４２・・・基準面
４４・・・逃がし穴
４５・・・目盛り
４６・・・標準重り
５０・・・押圧測定用突起
１０１・・・上フレーム
１０２・・・下フレーム
１０３・・・表面処理鋼板
１０４・・・絶縁体
１０５・・・板バネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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