(57)【要約】【課題】光電変換膜におけるアルカリ金属の量の分布を均一にすることができるイメージ管、及びその製造方法を提供することである。【解決手段】実施形態に係るイメージ管は、外囲器と、前記外囲器の一方の端部側に設けられ、入射した放射線を蛍光に変換する蛍光膜と、前記蛍光を電子線に変換する光電変換膜と、を有した入力部と、前記外囲器の他方の端部側に設けられ、前記電子線を蛍光に変換する出力部と、前記入力部と、前記出力部と、の間に設けられた第１の環状電極と、前記第１の環状電極と、前記出力部と、の間に設けられ、厚み方向を貫通する複数の孔を有する第２の環状電極と、前記第２の環状電極の前記出力部側の面に設けられ、筒状の導入管が接続され、前記導入管の孔と前記複数の孔とを繋ぐ空間を内部に有する接続部と、を備えている。【選択図】図２
2019075341.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外囲器と、
前記外囲器の一方の端部側に設けられ、入射した放射線を蛍光に変換する蛍光膜と、前記蛍光を電子線に変換する光電変換膜と、を有した入力部と、
前記外囲器の他方の端部側に設けられ、前記電子線を蛍光に変換する出力部と、
前記入力部と、前記出力部と、の間に設けられた第１の環状電極と、
前記第１の環状電極と、前記出力部と、の間に設けられ、厚み方向を貫通する複数の孔を有する第２の環状電極と、
前記第２の環状電極の前記出力部側の面に設けられ、筒状の導入管が接続され、前記導入管の孔と前記複数の孔とを繋ぐ空間を内部に有する接続部と、
を備えたイメージ管。
【請求項２】
平面視において、前記複数の孔と、前記導入管の孔とは重なっていない請求項１記載のイメージ管。
【請求項３】
前記導入管の前記接続部側とは反対側の端部には、環状のフランジが設けられている請求項１または２に記載のイメージ管。
【請求項４】
筒状の支持部をさらに備え、
前記第１の環状電極の外周縁は、前記支持部の一方の端部に設けられ、
前記第２の環状電極の外周縁は、前記支持部の他方の端部に設けられている請求項１〜３のいずれか１つに記載のイメージ管。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載のイメージ管を製造する方法であって、
アルカリ金属発生器から導入管を介して接続部の内部の空間にアルカリ金属の蒸気を導入し、第２の環状電極の複数の孔から前記アルカリ金属の蒸気を放出させるイメージ管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、イメージ管、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線、γ線、中性子線などの放射線による画像情報を光学像に変換するイメージ管がある。イメージ管は、いわゆるイメージインテンシファイア（Image Intensifier）として、医療用診断装置や工業用非破壊検査装置などに広く用いられている。  
この様なイメージ管には、外囲器、入力部、電極、陽極、絶縁部および出力部などが設けられている。入力部は、外囲器の内部に設けられ、入射した放射線を蛍光に変換する蛍光膜と、変換した蛍光を電子線に変換する光電変換膜を有する。一般的に、光電変換膜は、外囲器の内部に設けられたＳｂ（アンチモン）を含む膜と、アルカリ金属であるＣｓ（セシウム）を反応させることで形成される。例えば、絶縁部に設けた導入管から外囲器の内壁と電極との間の隙間にＣｓの蒸気を導入して、Ｓｂを含む膜にＣｓの蒸気を供給するようにしている。
【０００３】
ところが、外囲器の内壁と電極との間の隙間にＣｓの蒸気を導入すると、蒸気の拡散が不充分となったり、到達経路が複雑となったりして、Ｓｂを含む膜に到達する蒸気の量の分布にムラが生じ易くなる。形成された光電変換膜におけるＣｓの量に面内分布が生じると、光感度むらが発生し出力画像にシミとして現れるおそれがある。  
そこで、絶縁部側に設けられた環状の電極の内部にＣｓの蒸気を導入し、外囲器の中心軸側の空間を介してＳｂを含む膜にＣｓの蒸気を供給する技術が提案されている。  
しかしながら、光電変換膜におけるアルカリ金属の量の分布を均一にすることに関して改善の余地があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−８９９２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、光電変換膜におけるアルカリ金属の量の分布を均一にすることができるイメージ管、及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態に係るイメージ管は、外囲器と、前記外囲器の一方の端部側に設けられ、入射した放射線を蛍光に変換する蛍光膜と、前記蛍光を電子線に変換する光電変換膜と、を有した入力部と、前記外囲器の他方の端部側に設けられ、前記電子線を蛍光に変換する出力部と、前記入力部と、前記出力部と、の間に設けられた第１の環状電極と、前記第１の環状電極と、前記出力部と、の間に設けられ、厚み方向を貫通する複数の孔を有する第２の環状電極と、前記第２の環状電極の前記出力部側の面に設けられ、筒状の導入管が接続され、前記導入管の孔と前記複数の孔とを繋ぐ空間を内部に有する接続部と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本実施の形態に係るイメージ管を例示するための模式断面図である。
【図２】蒸気案内部と第３の電極を例示するための模式斜視図である。
【図３】蒸気案内部を例示するための模式斜視図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、導入管の孔と、複数の孔との位置関係を例示するための模式図である。
【図５】光電変換膜の形成方法を例示するための模式断面図である。
【図６】蒸気案内部の作用を例示するための模式斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
また、以下においては、一例として、放射線の中の代表的なものとしてＸ線に係る場合を例にとり説明をする。  
したがって、以下の実施形態の「Ｘ線」を「他の放射線」に置き換えることにより、他の放射線にも適用させることができる。
【０００９】
（イメージ管）  
図１は、本実施の形態に係るイメージ管１を例示するための模式断面図である。  
図２は、蒸気案内部８と第３の電極４３を例示するための模式斜視図である。  
図３は、蒸気案内部８を例示するための模式斜視図である。  
図１に示すように、イメージ管１には、外囲器２、入力部３、電極４、陽極５、出力部６、絶縁部７、および蒸気案内部８が設けられている。
【００１０】
外囲器２は、筒状を呈し、内部の雰囲気を大気圧よりも減圧された状態に維持する。この場合、外囲器２の内部は、高真空（例えば、１０−４Ｐａ程度以下）とされる。  
外囲器２の一方の端部側は、入射窓２１により塞がれている。  
外囲器２の他方の端部側は、出力部６および絶縁部７により塞がれている。  
外囲器２の材料は、例えば、金属とすることができる。
【００１１】
入力部３は、外囲器２の一方の端部側に設けられ、入射したＸ線を蛍光に変換し、変換した蛍光をさらに電子線に変換する。  
入力部３は、外囲器２の内部であって、入射窓２１の近傍に設けられている。  
入力部３は、入射基板３１、蛍光膜３２、および光電変換膜３３を有する。  
入射基板３１は、入射窓２１側に設けられている。入射基板３１の入射窓２１側の面は、Ｘ線の入射面となっている。入射基板３１には、放射線であるＸ線が入射する。また、入射基板３１は、陰極として機能する。入射基板３１は、例えば、アルミニウムなどから形成することができる。入射基板３１の厚みは、例えば、１ｍｍ程度とすることができる。
【００１２】
蛍光膜３２は、入射基板３１の、入射窓２１側とは反対側に設けられている。蛍光膜３２は、入射基板３１を介して入射したＸ線を蛍光（可視光）に変換する。蛍光膜３２は、例えば、ヨウ化セシウム（ＣｓＩ）を含む。
【００１３】
光電変換膜３３は、蛍光膜３２の、入射基板３１側とは反対側に設けられている。光電変換膜３３は、外囲器２の内部に面している。光電変換膜３３には、蛍光膜３２により変換された蛍光が入射する。光電変換膜３３は、入射した蛍光を電子線に変換する。光電変換膜３３は、真空中において、アンチモン（Ｓｂ）を含む膜に、セシウム（Ｃｓ）、カリウム（Ｋ）、ナトリウム（Ｎａ）などのアルカリ金属の蒸気を反応させることで形成することができる。一般的に、光電変換膜３３は、Ｓｂ−Ｃｓ膜とすることができる。なお、光電変換膜３３の形成方法に関する詳細は後述する。
【００１４】
電極４は、外囲器２の内部であって、入力部３と出力部６の間に設けられている。  
電極４は、第１の電極４１、第２の電極４２、および第３の電極４３を有する。第１の電極４１、第２の電極４２、および第３の電極４３は、例えば、金属から形成することができる。  
第１の電極４１および第２の電極４２の形状は、筒状とすることができる。第１の電極４１、第２の電極４２、第３の電極４３、および後述する陽極５は、同軸となるように設けることができる。
【００１５】
第１の電極４１は、最も入力部３側に設けられている。第２の電極４２は、第１の電極４１と第３の電極４３との間に設けられている。  
第２の電極４２は、入力部３から放射された電子線を集束させる。  
第２の電極４２は、入力部３から放射された電子線の焦点位置を制御する。第２の電極４２は、フォーカス用の電極とすることができる。  
図１に例示をしたイメージ管１の場合には、１つの第１の電極４１と、１つの第２の電極４２とが設けられているが、第１の電極４１および第２の電極４２の数は適宜変更することができる。
なお、図示は省略したが、第１の電極４１および第２の電極４２は、絶縁部材を介して外囲器２の内壁に固定されている。
【００１６】
第３の電極４３は、最も出力部６側に設けられている。第３の電極４３は、入力部３から放射された電子線の出力部６における照射領域を制御する。第３の電極４３は、視野可変用の電極とすることができる。  
第３の電極４３は、支持部４３ａ、第１の環状電極４３ｂ、第２の環状電極４３ｃ、および固定部４３ｄを有する。
【００１７】
支持部４３ａは、筒状を呈するものとすることができる。  
第１の環状電極４３ｂは、板状を呈している。第１の環状電極４３ｂの平面形状は、例えば、円環状とすることができる。第１の環状電極４３ｂの外周縁は、支持部４３ａの入力部３側の端部に設けられている。  
第２の環状電極４３ｃは、第１の環状電極４３ｂと、出力部６との間に設けられている。
第２の環状電極４３ｃは、板状を呈している。第２の環状電極４３ｃの平面形状は、例えば、円環状とすることができる。第２の環状電極４３ｃの外周縁は、支持部４３ａの出力部６側の端部に設けられている。また、第２の環状電極４３ｃの蒸気案内部８が設けられる領域には、厚み方向を貫通する複数の孔４３ｃ１が設けられている。孔４３ｃ１の数には特に限定はなく、２つ以上の孔４３ｃ１が設けられていればよい。  
固定部４３ｄは、筒状を呈するものとすることができる。固定部４３ｄの入力部３側の端部は、第２の環状電極４３ｃの内周縁に設けられている。固定部４３ｄの出力部６側の端部の近傍は、絶縁部７の内筒部７１に融着されている。
【００１８】
陽極５は、外囲器２の内部であって、第３の電極４３と、出力部６の間に設けられている。陽極５は、第２の電極４２、と第３の電極４３により集束させた電子線を加速させる。陽極５は、漏斗状を呈し、出力部６側の開口が入力部３側の開口より大きくなっている。陽極５は、出力部６に設けられ、蛍光膜６３を囲んでいる。陽極５は、例えば、金属から形成することができる。陽極５は、固定板６２と電気的に接続することができる。
【００１９】
出力部６は、絶縁部７の、外囲器２側とは反対側の端部を塞ぐように設けられている。  出力部６は、陽極５により加速させた電子線を蛍光（可視光）に変換し、可視光像としてイメージ管１の外部に出射する。  
出力部６は、フェースプレート６１、固定板６２、蛍光膜６３、およびメタルバック膜６４を有する。  
フェースプレート６１は、板状を呈し、ガラスなどの光透過性を有する材料から形成されている。  
固定板６２は、環状を呈し、内周縁の近傍がフェースプレート６１の側部に融着されている。固定板６２の外周縁側は屈曲した形態を有し、端部の近傍が絶縁部７の内筒部７１に融着されている。固定板６２は、例えば、金属から形成することができる。
【００２０】
蛍光膜６３は、フェースプレート６１の入射窓２１側の面に設けられている。蛍光膜６３は、メタルバック膜６４を介して入射した電子線を蛍光（可視光）に変換し、可視光像として出射する。蛍光膜６３は、例えば、アルミニウム、銅を賦活物質とするＺｎＳ：Ａｌ、Ｃｕからなる緑色蛍光体などを含むものとすることができる。
【００２１】
メタルバック膜６４は、蛍光膜６３を覆っている。メタルバック膜６４は、蛍光膜６３に残る余剰な電子を固定板６２を介して放出する。すなわち、メタルバック膜６４は、蛍光膜６３における帯電を防止する。メタルバック膜６４は、例えば、アルミニウムやアルミニウム合金などから形成することができる。メタルバック膜６４の厚みは、例えば、２００ｎｍ〜３５０ｎｍ程度とすることができる。
【００２２】
絶縁部７は、絶縁性を有している。絶縁部７は、例えば、ガラスなどから形成することができる。絶縁部７は、外囲器２と出力部６との間に設けられている。  
絶縁部７は、内筒部７１、外筒部７２、支持部７３、および導入部７４を有する。  
内筒部７１は、筒状を呈している。  
外筒部７２は、筒状を呈している。  
支持部７３は、板状を呈し、厚み方向を貫通する孔を中心に有している。支持部７３の内周端は、内筒部７１の外側面に接続されている。支持部７３の外周端は、外筒部７２の内側面に接続されている。  
導入部７４は、支持部７３の出力部６側の面から外部に突出している。導入部７４は、筒状を呈している。導入部７４の一方の端部は、支持部７３に設けられた孔に接続されている。導入部７４の他方の端部は、閉鎖されている。
【００２３】
図１〜図３に示すように、蒸気案内部８は、接続部８１、導入管８２、およびフランジ８３を有する。  
接続部８１は、箱状を呈し、第２の環状電極４３ｃ側の端部が開口している。接続部８１は、第２の環状電極４３ｃの出力部６側の面に設けられ、第２の環状電極４３ｃに設けられた複数の孔４３ｃ１を覆っている。接続部８１は、第２の環状電極４３ｃの外周縁に沿って延びている。接続部８１の平面形状は、円環状とすることもできるし、図２に示すように円環の一部とすることもできる。接続部８１の平面形状は、導入管８２と、複数の孔４３ｃ１との位置関係に応じて適宜変更することができる。
また、第２の環状電極４３ｃ側の端部が開口している場合を例示したが、第２の環状電極４３ｃ側の端部が閉鎖され、複数の孔４３ｃ１に対応する位置に孔が設けられるようにすることもできる。  
すなわち、接続部８１は、筒状の導入管８２が接続され、導入管８２の孔８２ａと複数の孔４３ｃ１とを繋ぐ空間を内部に有するものであれば良い。
【００２４】
導入管８２は、筒状を呈し、接続部８１の第２の環状電極４３ｃ側とは反対側の面から突出している。導入管８２の一方の端部は、接続部８１の、第２の環状電極４３ｃ側とは反対側の面を厚み方向に貫通する孔に接続されている。すなわち、導入管８２の孔８２ａは、接続部８１の内部空間と繋がっている。  
フランジ８３は、環状を呈し、導入管８２の他方の端部に設けられている。図１に示すように、フランジ８３は、支持部７３と平行に設けられている。フランジ８３と支持部７３との間には隙間を設けることができる。絶縁部７（支持部７３）がガラスから形成される場合には、一般的な機械加工品と比較して面精度や寸法精度が悪くなる。そのため、導入管８２の端部が支持部７３と接触しないようにするために、導入管８２の端部と支持部７３との間に隙間が設けられる。しかしながら、隙間を設けるとアルカリ金属の蒸気の漏れ量が多くなるおそれがある。本実施の形態においては、導入管８２の端部にフランジ８３が設けられているので、アルカリ金属の蒸気の漏れを抑制することができる。  
この場合、隙間をＳ、フランジ８３の幅をＷとすると、「Ｗ≧３Ｓ」とする事が好ましい。この様にすれば、アルカリ金属の蒸気の漏れを効果的に抑制することができる。
【００２５】
図４（ａ）〜（ｃ）は、導入管８２の孔８２ａと、複数の孔４３ｃ１との位置関係を例示するための模式図である。  
なお、図４（ａ）〜（ｃ）においては、一例として、２つの孔４３ｃ１が設けられる場合を例示している。  
平面視において（イメージ管１の中心軸方向から見て）、複数の孔４３ｃ１は任意の位置に設けることができる。ただし、複数の孔４３ｃ１は、導入管８２の孔８２ａと重ならない位置に設けられている。複数の孔４３ｃ１が、導入管８２の孔８２ａと重なっていなければ、複数の孔４３ｃ１のそれぞれから放出されるアルカリ金属の蒸気の量を同等にするのが容易となる。その結果、十分な拡散効果を得ることが容易となるので、光電変換膜３３におけるアルカリ金属の量の分布を均一にすることが容易となる。
【００２６】
図４（ａ）〜（ｃ）に例示をしたものは、孔８２ａの両側に同じ数の孔４３ｃ１が設けられているが、一方の側に設けられる孔４３ｃ１の数が多かったり、一方の側のみに孔４３ｃ１が設けられていたりしてもよい。
【００２７】
ただし、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、孔８２ａからの距離が等しくなるように複数の孔４３ｃ１を設けることが好ましい。この様にすれば、光電変換膜３３を形成する際に、２つの孔４３ｃ１のそれぞれから放出されるアルカリ金属の蒸気の量を同等にするのが容易となる。
【００２８】
また、図４（ａ）、（ｃ）に示すように、第２の環状電極４３ｃの中心４３ｃ２を挟んで２つの孔４３ｃ１を対峙させて設けることが好ましい。この様にすれば、光電変換膜３３を形成する際に、離れた位置からアルカリ金属の蒸気を放出することができるので、外囲器２の内部におけるアルカリ金属の蒸気の拡散、ひいては光電変換膜３３におけるアルカリ金属の量の分布を均一にすることが容易となる。
【００２９】
また、複数の孔４３ｃ１の大きさや形状は同じであってもよいし、異なっていてもよい。
複数の孔４３ｃ１の数、配置、大きさ、形状などは、後述するアルカリ金属の蒸気の拡散性に基づいて適宜決定することができる。  
複数の孔４３ｃ１の数や配置などは、実験やシミュレーションを行うことで適宜決定することができる。  
なお、光電変換膜３３を形成する際のアルカリ金属の蒸気の放出などに関する詳細は後述する。
【００３０】
（イメージ管の製造方法）  
次に、イメージ管１の製造方法について説明する。  
なお、光電変換膜３３の形成方法以外には既知の技術を適用することができる。そのため、以下においては、光電変換膜３３の形成方法について説明する。  
光電変換膜３３は大気に曝されると破壊されてしまう。そのため、光電変換膜３３は、真空雰囲気とした外囲器２の内部において形成する。光電変換膜３３は、一般的に、Ｓｂと、アルカリ金属であるＣｓとを用いて形成する。Ｓｂは大気中で安定した金属状態を維持できるので、外囲器２の内部に電極４を組み付ける際に、電極４と共にＳｂ源を外囲器２の内部に組み込むことができる。しかしながら、Ｃｓなどのアルカリ金属は、大気に曝すと激しく反応して酸化してしまう。そのため、光電変換膜３３の形成においては、大気中で安定した状態を維持できるクロム酸セシウムのような六価クロムを材料として用いることも考えられる。例えば、光電変換膜３３を形成するために、外囲器２の内部にクロム酸セシウムなどを組み込むことができる。ところが、この様にすると、六価クロムであるクロム酸セシウムが外囲器２の内部に残留することになる。六価クロムは、人体や環境に与える負荷が大きいため、使用が規制されている物質である。  
そのため、本実施の形態に係る光電変換膜３３の形成方法においては、外囲器２の内部にアルカリ金属の蒸気を導入して、Ｓｂと、アルカリ金属の蒸気とを反応させるようにしている。この様にすれば、外囲器２の内部に六価クロムが残留することがない。
【００３１】
ここで、外囲器２の内部に導入されたアルカリ金属の蒸気は、真空雰囲気中を分子流として拡散していく。そのため、導入されたアルカリ金属の蒸気の大半は、外囲器２の内部において他のガス分子と当たることなく、外囲器２の内壁や電極４に一旦付着する。その後、付着したアルカリ金属の蒸気が外囲器２の内壁などから離脱して、外囲器２の内壁などに再度付着する。このようにアルカリ金属の蒸気は、外囲器２の内壁や電極４への付着と離脱を繰り返して外囲器２の内部を拡散していく。そのため、入力部３（光電変換膜３３）に到達するアルカリ金属の蒸気の分布は、電極４の形状や配置、外囲器２の内壁の形状、アルカリ金属の蒸気の導入位置などの影響を受ける。
【００３２】
ここで、入力部３に到達するアルカリ金属の蒸気の量の分布にムラがあると、光電変換特性が部分的に変化するおそれがある。また、光電変換膜３３にシミが発生すると、製品としては不良品となる。この場合、入力部３側から見た場合に、アルカリ金属の蒸気を導入する導入口が直接見える位置に設けられていると、アルカリ金属の蒸気が、導入口の直上やその近傍に過剰に到達し、アルカリ金属の蒸気の量の分布にムラが生じ易くなる。そのため、光電変換特性が部分的に変化したり、光電変換膜３３にシミが発生したりしやすくなる。
【００３３】
この場合、アルカリ金属の蒸気が電極４などに一旦付着する位置に導入口を設け、アルカリ金属の蒸気が付着と離脱を繰り返すことで外囲器２の内部を拡散するようにすることもできる。ところが、電極４の形状や配置は、電子レンズとしての機能や構造強度などの要求で決定される。また、導入口を設けることができる位置にも制限がある。そのため、アルカリ金属の蒸気の拡散に関して最適な電極４と導入口の位置関係や、電極４の形状とすることは難しい。  
例えば、外囲器２の内壁と第２の電極４２との間の隙間にアルカリ金属の蒸気が導入される位置に導入口を設けると、アルカリ金属の蒸気は第２の電極４２に一旦付着し、第２の電極４２から離脱して外囲器２の内壁に付着し、以後、離脱と付着を繰り返しながら入力部３に到達する。この様にすれば、導入口から導入されたアルカリ金属の蒸気が入力部３に直接到達することがない。しかしながら、アルカリ金属の蒸気は、拡散が不充分な状態で入力部３に到達することになる。そのため、特定の領域に到達するアルカリ金属の蒸気の量が多くなり、当該領域の光電変換特性が周囲と異なるものとなる。
【００３４】
また、第３の電極４３の内部空間（支持部４３ａ、第１の環状電極４３ｂ、および第２の環状電極４３ｃにより画された環状の空間）にアルカリ金属の蒸気を導入し、外囲器２の中心軸側の空間を介してアルカリ金属の蒸気を入力部３に到達させることもできる。この様にすれば、アルカリ金属の蒸気が外囲器２の中心軸側の空間を拡散することになる。しかしながら、単に、第３の電極４３の内部空間にアルカリ金属の蒸気を導入しても十分な拡散効果が得られない場合がある。
【００３５】
そこで、本実施の形態に係るイメージ管１には、蒸気案内部８が設けられている。  
図５は、光電変換膜３３の形成方法を例示するための模式断面図である。  
図６は、蒸気案内部８の作用を例示するための模式斜視図である。  
図５に示すように、光電変換膜３３を形成する際には、導入部７４の支持部７３側とは反対側の端部は閉鎖されておらず、蒸気発生器１００が接続されている。蒸気発生器１００は、アルカリ金属の蒸気を発生させ、発生させたアルカリ金属の蒸気を導入部７４を介して蒸気案内部８に供給する。なお、光電変換膜３３の形成が終了した際には、導入部７４の端部が封止される。例えば、導入部７４の端部を加熱して溶融し、溶融した材料で導入部７４の孔を封止することができる。
【００３６】
図６に示すように、導入管８２の孔８２ａを介して接続部８１の内部に導入されたアルカリ金属の蒸気は、接続部８１の内部を拡散し、２つの孔４３ｃ１から第３の電極４３の内部空間に導入される。すなわち、離れた位置から第３の電極４３の内部空間にアルカリ金属の蒸気を導入することができるので、第３の電極４３の離れた位置から外囲器２の内部にアルカリ金属の蒸気を導入することができる。その結果、十分な拡散効果が得られるので、光電変換膜３３におけるアルカリ金属の量の分布を均一にすることができる。
【００３７】
また、孔４３ｃ１の位置を変化させれば、第３の電極４３の内部空間にアルカリ金属の蒸気を導入する位置、ひいては、外囲器２の内部にアルカリ金属の蒸気を導入する位置を変化させることができる。  
なお、２つの孔４３ｃ１が設けられる場合を例示したが、前述したように、孔４３ｃ１の数、配置、大きさ、形状などは、蒸気の拡散を考慮して適宜変更することができる。
【００３８】
また、２つの孔４３ｃ１は、導入管８２の孔８２ａと重ならない位置に設けられている。２つの孔４３ｃ１が、導入管８２の孔８２ａと重なっていなければ、２つの孔４３ｃ１のそれぞれから放出されるアルカリ金属の蒸気の量を同等にするのが容易となる。その結果、十分な拡散効果を得ることが容易となるので、光電変換膜３３におけるアルカリ金属の量の分布を均一にすることが容易となる。
以上に説明したように、本実施の形態に係るイメージ管の製造方法においては、アルカリ金属発生器１００から導入管８２を介して接続部８１の内部の空間にアルカリ金属の蒸気を導入し、第２の環状電極４３ｃの複数の孔４３ｃ１からアルカリ金属の蒸気を放出させる。
【００３９】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００４０】
１  イメージ管、２  外囲器、３  入力部、４  電極、５  陽極、６  出力部、７  絶縁部、８  蒸気案内部、３１  入射基板、３２  蛍光膜、３３  光電変換膜、４１  第１の電極、４２  第２の電極、４３  第３の電極、４３ａ  支持部、４３ｂ  第１の環状電極、４３ｃ  第２の環状電極、４３ｃ１  孔、４３ｄ  固定部、８１  接続部、８２  導入管、８２ａ  孔、８３  フランジ、１００  蒸気発生器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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