(57)【要約】【課題】電子部品やシリコンウエハなどの被着体を一時的に固定するために使用される粘着テープに使用される粘着樹脂組成物であって、光硬化前には被着体を保持するのに充分な初期粘着力を有するのに対し、光硬化を行うことにより粘着力が大幅に低下し、被着体を糊残り無く容易に剥離することが可能となる、仮固定用の光硬化性粘着樹脂組成物および粘着テープを提供する。【解決手段】被着体を一時的に固定又は保護するために使用される粘着剤であって、メチルメタクリレートとエチルアクリレートから構成される共重合体（Ａ）と、多官能（メタ）アクリレートモノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、を含むことを特徴とする光硬化性粘着樹脂組成物である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体を一時的に固定又は保護するために使用される粘着剤であって、メチルメタクリレートとエチルアクリレートから構成される共重合体（Ａ）と、多官能（メタ）アクリレートモノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、を含むことを特徴とする光硬化性粘着樹脂組成物。
【請求項２】
前記（Ａ）の全固形分に対する配合比率が、３５〜８０重量％であることを特徴とする請求項１記載の光硬化性粘着樹脂組成物。
【請求項３】
前記光硬化性粘着樹脂組成物からなる７５μｍの粘着剤層を介して、厚さ７５μｍのＰＥＴフィルムとガラスが積層されたときの光硬化後の２５℃における１８０°引き剥がし粘着力剥離強度が、剥離速度が１０００ｍｍ／ｍｉｎの条件下０．１Ｎ／２５ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項１または２いずれか記載の光硬化性粘着樹脂組成物。
【請求項４】
請求項１〜３いずれか記載の光硬化性粘着樹脂組成物を、プラスチックフィルム上に塗布した粘着テープであり、電子部品の製造工程で用いるキャリアテープもしくはダイシングテープであることを特徴とする粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体を一時的に固定又は保護するために使用される光硬化性粘着剤樹脂組成物、およびそれを用いた粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電子部品の製造工程においては、様々な分野で粘着剤付きテープが使用されており、例えばプリント配線板に電子部品を実装する際に部品を固定するキャリアテープや、シリコンウエハーからチップにカットする際にウエハーを固定するダイシングテープなどが挙げられる。これらのテープは、電子部品やウエハーを固定する際には充分な接着力を有し、更に固定の必要がなくなった際には容易に剥離できることが求められている。
【０００３】
こうした用途への粘着剤組成物として、例えば水親和性アクリル系粘着剤と活性エネルギー線硬化性化合物と光重合開始剤と架橋剤からなる再剥離型粘着剤組成物が提案されている（特許文献1）。また製造工程において高温条件下に耐え得る耐熱性を有する粘着剤として、アクリロニトリルに由来する繰り返し単位を有するアクリル系ポリマーとエネルギー線重合性オリゴマーと重合開始剤と架橋剤からなる耐熱仮着用の粘着剤なども提案されている（特許文献２）。
【０００４】
これらは、エネルギー線を照射する前は強い粘着力を示し、被着体を適切に固定、保護する一方で、エネルギー線を照射して粘着層を硬化させると粘着力が低下し、被着体の剥離を容易にすることができるというものである。しかしながら、これらの組成物ではエネルギー線照射後の粘着力がまだ高く、粘着力を安定して更に低下させたいというニーズには答えられず、改善の余地があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−３４５１３１号公報
【特許文献２】特開２０１２−１７７０８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、電子部品やシリコンウエハなどの被着体を一時的に固定するために使用される粘着テープに使用される粘着樹脂組成物であって、光硬化前には被着体を保持するのに充分な初期粘着力を有するのに対し、光硬化を行うことにより粘着力が大幅に低下し、被着体を糊残り無く容易に剥離することが可能となる仮固定用の光硬化性粘着樹脂組成物、およびそれを用いた粘着テープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明は、被着体を一時的に固定又は保護するために使用される粘着剤であって、メチルメタクリレート（以下ＭＭＡ）とエチルアクリレート（ＥＡ）から構成される共重合体（Ａ）と、多官能（メタ）アクリレートモノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、を含むことを特徴とする光硬化性粘着樹脂組成物を提供する。
【０００８】
請求項２記載の発明は、前記（Ａ）の全固形分に対する配合比率が、３５〜８０重量％であることを特徴とする請求項１記載の光硬化性粘着樹脂組成物を提供する。
【０００９】
請求項３記載の発明は、前記光硬化性粘着樹脂組成物からなる７５μｍの粘着剤層を介して、厚さ７５μｍのＰＥＴフィルムとガラスが積層されたときの光硬化後の２５℃における剥離速度が１０００ｍｍ／ｍｉｎの条件下で１８０°引き剥がし粘着力剥離強度が、０．１Ｎ／２５ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項１または２いずれか記載の光硬化性粘着樹脂組成物を提供する。
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項１〜３いずれか記載の光硬化性粘着樹脂組成物を、プラスチックフィルム上に塗布した粘着テープであり、電子部品の製造工程で用いるキャリアテープもしくはダイシングテープであることを特徴とする粘着テープを提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の光硬化性粘着樹脂組成物は、電子部品の製造工程で被着体を一時的に固定又は保護するために用いる粘着テープに使用される粘着樹脂組成物として有用である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下本発明について詳細に説明する。
【００１３】
本発明の粘着剤樹脂組成物の構成は、ＭＭＡとＥＡから構成される共重合体（Ａ）と、多官能（メタ）アクリレートモノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）である。なお、本明細書において（メタ）アクリレートは、アクリレートとメタクリレートの双方を包含する。
【００１４】
本発明で使用する共重合体（Ａ）は、粘着剤を構成する主要ポリマーであり、樹脂単独のガラス転移点（以下Ｔｇ）が１０５℃と高いＭＭＡと、Ｔｇが−２２℃で低いＥＡの共重合体である。重量平均分子量は、５００００〜３０００００が好ましく、１０００００〜２０００００が更に好ましい。５００００未満では硬化物の凝集力が低すぎて皮膜強度が弱くなる傾向があり、３０００００超では光硬化前の粘着力が低下すると共に組成物の粘度が高くなり作業性が低下する傾向がある。なお重量平均分子量（以下「Ｍｗ」と表記）はゲル透過クロマトグラフィー法により、標準ポリスチレン換算の分子量を測定、算出した。
【００１５】
前記（Ａ）のＴｇは４０〜６０℃が好ましく、４５〜５５℃が更に好ましい。４０℃未満では粘着力が強く光硬化前で剥離したときの糊残りが発生しやすくなる傾向があり、６０℃超では光硬化前の粘着力が弱くなる傾向がある。
【００１６】
全固形分に対する配合比率は、３５〜８０重量％であることが好ましく、４０〜７０重量％であることが更に好ましい。３５重量％未満では光硬化前で剥離したときの糊残りが発生しやすくなり、８０重量％超では光硬化後の剥離強度を低下させにくくなる。
【００１７】
市販のＭＭＡとＥＡの共重合体としてはＤｅｇａｌａｎ  ＭＢ３１９（商品名：Ｅｖｏｎｉｋ社製、Ｔｇ５０℃、Ｍｗ１６００００）などがある。
【００１８】
本願発明で使用する多官能（メタ）アクリレート（Ｂ）は、光照射により粘着層を硬化させ、剥離強度を低下させるために配合する。例えば２官能（メタ）アクリレートとしては、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングルコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１．４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、４．６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１．９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１．１０−デカンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡ ＥＯ変性ジアクリレートなどが挙げられる。
【００１９】
また３官能以上の（メタ）アクリレートとしては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスルトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどが挙げられ単独あるいは２種類以上を組み合わせて使用できる。これらの中では、（Ａ）との相溶性が良好で光硬化後の粘着力を充分に低下させることができるビスフェノールＡＥＯ変性ジアクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性トリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが好適である。
【００２０】
前記（Ｂ）は多官能の光重合性オリゴマーであっても良い。例えばポリウレタン（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエーテル（メタ）アクリレートなどが挙げられ単独あるいは２種類以上を組み合わせて使用できる。
【００２１】
本発明で使用される光重合開始剤（Ｃ）は、紫外線や電子線などの照射でラジカルを生じ、そのラジカルが重合反応のきっかけとなるもので、ベンジルケタール系、アセトフェノン系、フォスフィンオキサイド系等汎用の光重合開始剤が使用できる。重合開始剤の光吸収波長を任意に選択することによって、紫外線領域から可視光領域にいたる広い波長範囲にわたって硬化性を付与することができる。具体的にはベンジルケタール系として２．２-ジメトキシ-１．２-ジフェニルエタン-1-オンが、α−ヒドロキシアセトフェノン系として１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン及び１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オンが、α-アミノアセトフェノン系として２-メチル-１-(４-メチルチオフェニル)-２-モルフォリノプロパン-１-オンが、アシルフォスフィンオキサイド系として２．４．６-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-フォスフィンオキサイド及びビス（２．４．６‐トリメチルベンゾイル）‐フェニルフォスフィンオキサイド等があり、単独または２種以上を組み合わせて使用できる。
【００２２】
これらの中では、内部硬化性に優れるアシルフェスフィンオキサイド系を含むことが好ましい。また配合量はラジカル重合性成分１００重量部に対して、０．３〜１０重量部配合することが好ましく、０．５〜５重量部がさらに好ましい。この範囲で配合する事により、組成物を効率的に硬化させる事ができる。市販品としてはＩｒｇａｃｕｒｅＴＰＯ及び同８１９（商品名：ＢＡＳＦジャパン社製）、ＯｍｎｉｒａｄＴＰＯ Ｈ（ｉＧＭ社製）などがある。
【００２３】
上記に加えて、本発明の樹脂組成物は、性能を損なわない範囲で、必要に応じレベリング剤、帯電防止剤、粘着付与剤、酸化防止剤、難燃剤、充填剤、着色剤、消泡剤、シランカップリング剤などの各種添加剤を併用することができる。
【００２４】
本発明の樹脂組成物は、有機溶剤に溶解させた形態として使用する。使用する有機溶剤としてはＭＭＡとＥＡの共重合体と相溶性に優れるものでなければならず、例えばベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの酢酸エステル類、アセトン、メチルエチルケトン（以下「ＭＥＫ」と表記）、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのグリコールエーテル類を挙げることができる。これらの中では揮発のしやすさの点で酢酸エチルが好適である。有機溶剤の配合量としては、固形分で３０〜７０重量％となる量が例示されるが、この範囲を超えても良く、フィルムへの塗工に適した粘度になるよう配合すれば良い。
【００２５】
本発明の樹脂組成物を塗布する方法としては、特に制限はなく、公知のスプレーコート、ロールコート、ダイコート、エアナイフコート、ブレードコート、スピンコート、リバースコート、グラビアコート、ワイヤーバーなどの塗工法またはグラビア印刷、スクリーン印刷、オフセット印刷などの印刷法により形成できる。塗布する膜厚は、硬化膜厚として２０μm〜３００μmを例示できるが、溶剤の乾燥性及び被着物を確実に固定するため５０μm〜１００μmが好ましい。
【００２６】
本発明の樹脂組成物を塗布する基材であるプラスチックフィルムとしては種々公知なものが使用でき、例えばポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、セロファン、ジアセチルセルロースフィルム、トリアセチルセルロースフィルム、アセチルセルロースブチレートフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、エチレンビニルアルコールフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリスルフォンフィルム、ポリエーテルエーテルケトンフィルム、ポリエーテルスルフォンフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリイミドフィルム、フッソ樹脂フィルム、ナイロンフィルム、アクリルフィルム、シクロオレフィン（コ）ポリマーフィルム等を挙げることができる。また基材であるプラスチックフィルムは単層であっても、２層以上の積層体であっても良い。これらの中では、耐熱性、寸法安定性、透光性、入手性等からポリエステル系のＰＥＴフィルムが好適である。
【００２７】
本発明の樹脂組成物をプラスチックフィルム上に塗布した粘着テープは、電子部品やシリコンウエハなどの被着体に対する初期粘着力が充分に高く、光を照射し硬化させると粘着力が大幅に低下し、被着体の剥離が糊残り無く容易に出来るという特徴を有する。
【００２８】
本発明の樹脂組成物からなる７５μｍの粘着剤層を介して、厚さ７５μｍのＰＥＴフィルムとガラスが積層された際、光硬化後の２５℃における剥離速度が１０００ｍｍ／ｍｉｎの条件下で１８０°引き剥がし粘着力剥離強度は、０．１Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。また容易に剥離できる点から、０．０８Ｎ／２５ｍｍ以下であることが更に好ましく、０．０５Ｎ／２５ｍｍ以下であることが特に好ましい。０．１Ｎ／２５ｍｍ超では剥離した際に糊残りが出やすくなる。
【００２９】
以下、本発明を実施例、比較例に基づき詳細に説明するが、具体例を示すものであって特にこれらに限定するものではない。なお表記が無い場合は、室温は２３℃相対湿度６５％の条件下で測定を行った。
【００３０】
実施例１〜４
ＰＭＭＡとＥＡの共重合体（Ａ）としてＤｅｇａｌａｎ  ＭＢ３１９（商品名：Ｅｖｏｎｉｋ社製）を、多官能（メタ）アクリレート（Ｂ）としてＤＰＨＡ（商品名：日本化薬社製、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート）及びＭ−３１５（商品名：東亞合成、イソシアヌル酸ＥＯ変性トリアクリレート）及びＢＰＥ−４（商品名：第一工業製薬社製、ビスフェノールＡＥＯ変性ジアクリレート）を、光重合開始剤（Ｃ）としてＯｍｎｉｒａｄ  ＴＰＯＨ（商品名：ｉＧＭ社製、アシルフェスフィンオキサイド系）を用い、表1の配合量で固形分が６０重量％となるよう酢酸エチルで希釈し、撹拌脱泡機を用いて均一に溶解するまで攪拌して実施例１〜４の光硬化性粘着樹脂組成物を調整した。なお配合表の単位は重量部とする。
【００３１】
比較例１〜９
実施例で用いた材料の他、Ｎｅｏｃｒｙ  Ｂ−８１８（商品名：ＤＳＭ社製、エチルメタクリレートとエチルアクリレート共重合体）及びＮｅｏｃｒｙ  Ｂ−８１１（商品名：ＤＳＭ社製、ポリメチルメタクリレート）及びをＮｅｏｃｒｙ  Ｂ−７３１（商品名：ＤＳＭ社製、ポリイソブチルメタクリレート、Ｍｗ約５５０００）及びＤｅｇａｌａｎ  ＬＰ６４／１１（商品名：Ｅｖｏｎｉｋ社製、ブチルメタクリレートとＭＭＡの共重合体）及びＤｅｇａｌａｎ  Ｐ６７５（商品名：Ｅｖｏｎｉｋ社製、ポリイソブチルメタクリレート）及びＤｅｇａｌａｎ  Ｐ２６（商品名：Ｅｖｏｎｉｋ社製、ポリイソブチルメタクリレート）及びＤｅｇａｌａｎ  ＬＰ６２／０５（商品名：Ｅｖｏｎｉｋ社製、ブチルメタクリレートとＭＭＡの共重合体）及びＤｅｇａｌａｎ  Ｐ２４（商品名：Ｅｖｏｎｉｃ社製、ブチルメタクリレートとＭＭＡの共重合体）を、単官能アクリレートとしてＡＣＭＯ（商品名：ＫＪケミカルズ社製、アクリロイルモルフォリン）を用い、表1の配合量で固形分が６０重量％となるよう酢酸エチルで希釈し、撹拌脱泡機を用いて均一に溶解するまで攪拌して比較例１〜９の光硬化性粘着樹脂組成物を調整した。
【００３２】
表１
2019196454.tif 000002
【００３３】
評価方法は以下の通りとした。
【００３４】
評価用サンプルの作成
ＰＥＴフィルムであるＡ４３００（商品名：東洋紡社製、厚さ７５μｍ）上に乾燥膜厚で７５μｍとなるように光硬化性粘着樹脂組成物塗布し、１１０℃で１８０秒乾燥後、離型フィルムであるＥ７００２（商品名：東洋紡社製、厚さ５０μｍ）でラミネートして、粘着シートを作成した。その後剥離フィルムをはがし厚さ２ｍｍのガラス板に貼り合せた。
【００３５】
ＵＶ硬化前剥離強度：ＰＥＴフィルムを２５ｍｍ幅にカットした評価用サンプルを用い、２３℃の環境下、剥離スピード１０００ｍｍ／分での１８０°剥離強度を測定し、０．１Ｎ以上を○、０．１Ｎ未満を×とした。
【００３６】
ＵＶ硬化後剥離強度：フュージョンＵＶシステムズジャパン社製の無電極ＵＶ照射装置Ｆ３００Ｓ/ＬＣ−６Ｂを用い、Ｈバルブ、１３００ｍＷ／ｃｍ２、３００ｍＪ／ｃｍ２の条件で、ＰＥＴフィルムを２５ｍｍ幅にカットした評価用サンプルを照射して粘着層を光硬化させた後、上記条件で剥離強度を測定し、０．１Ｎ以下を○、０．１Ｎ超を×とした。
【００３７】
糊残り：剥離強度測定後の評価用サンプルを用い、ガラス面側に粘着剤が付着しているかを目視にて評価し、糊残り無しを○、糊残り有りを×とした。
【００３８】
評価結果 
表２
2019196454.tif 000003
【００３９】
実施例の各光硬化性粘着樹脂組成物はＵＶ硬化前後の剥離強度、糊残りいずれの評価においても良好な結果を得た。
【００４０】
一方、単官能アクリレートを使用した比較例１はＵＶ硬化後に糊残りがあり、ＭＭＡとＥＡの共重合体以外のアクリル系ポリマーを使用した比較例２〜９はＵＶ硬化前後の剥離強度あるいは糊残りのどれかで問題があり、いずれも本願発明に適さないものであった。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本願発明の光硬化性粘着樹脂組成物は、電子部品の製造工程で用いるキャリアテープもしくはダイシングテープとして有用である。