(57)【要約】      （修正有）【課題】引出配線層の電気的抵抗値の増大を抑制し、網目状電極層と引出配線層との間の断線を抑制する。【解決手段】配線体２は、接着層と、接着層上に設けられ、網目状に配置された複数の第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂを有する網目状電極層２２と、接着層上に設けられ、網目状電極層を外部に引き出す引出配線層２３と、を備える。引出配線層は、網目状に配置された複数の第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂを有し、網目状電極層の平面視における外縁の少なくとも一部に接続された網目部２４１を含む。第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂと接着層との間の第１の接着面は、断面視において、第１の導体線第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂ側に向かって凸状に湾曲しており、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂと接着層との間の第２の接着面は、断面視において、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂ側に向かって凸状に湾曲している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂層と、
前記樹脂層上に設けられ、網目状に配置された複数の第１の導体線を有する網目状電極層と、
前記樹脂層上に設けられ、前記網目状電極層を外部に引き出す引出配線層と、を備え、
前記引出配線層は、網目状に配置された複数の第２の導体線を有し、前記網目状電極層の平面視における外縁の少なくとも一部に接続された網目部を含み、
前記第１の導体線と前記樹脂層との間の第１の接着面は、断面視において、前記第１の導体線側に向かって凸状に湾曲しており、
前記第２の導体線と前記樹脂層との間の第２の接着面は、断面視において、前記第２の導体線側に向かって凸状に湾曲しており、
下記（１）及び（２）式を満たす配線体。
Ｗ１＜Ｗ２・・・（１）
Ｒ１＜Ｒ２・・・（２）
ただし、上記（１）式において、Ｗ１は、前記第１の導体線の幅であり、Ｗ２は、前記第２の導体線の前記網目部における幅であり、上記（２）式において、Ｒ１は前記第１の接着面の湾曲率であり、Ｒ２は前記第２の接着面の湾曲率である。
【請求項２】
樹脂層と、
前記樹脂層上に設けられ、網目状に配置された複数の第１の導体線を有する網目状電極層と、
前記樹脂層上に設けられ、前記網目状電極層を外部に引き出す引出配線層と、を備え、
前記引出配線層は、網目状に配置された複数の第２の導体線を有し、前記網目状電極層の平面視における外縁の少なくとも一部に接続された網目部を含み、
下記（１）及び（３）式を満たす配線体。
Ｗ１＜Ｗ２・・・（１）
Ｓ１＜Ｓ２・・・（３）
ただし、上記（１）式において、Ｗ１は、前記第１の導体線の幅であり、Ｗ２は、前記第２の導体線の前記網目部における幅であり、上記（３）式において、Ｓ１は前記第１の導体線との接着部分における前記樹脂層の厚さであり、Ｓ２は前記第２の導体線との接着部分における前記樹脂層の厚さである。
【請求項３】
樹脂層と、
前記樹脂層上に設けられ、網目状に配置された複数の第１の導体線を有する網目状電極層と、
前記樹脂層上に設けられ、前記網目状電極層を外部に引き出す引出配線層と、を備え、
前記引出配線層は、網目状に配置された複数の第２の導体線を有し、前記網目状電極層の平面視における外縁の少なくとも一部に接続された網目部を含み、
前記第２の導体線は、前記網目状電極層を構成する単位網目の縁から設けられており、
前記網目状電極層と前記網目部との間の平面視における境界は、非直線状であり、
下記（１）式を満たす配線体。
Ｗ１＜Ｗ２・・・（１）
ただし、上記（１）式において、Ｗ１は、前記第１の導体線の幅であり、Ｗ２は、前記第２の導体線の前記網目部における幅である。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の配線体であって、
前記網目状電極層の開口率は８５％以上であり、
前記網目部の開口率は５０％以下である配線体。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載の配線体であって、
下記（４）式を満たす配線体。
２×Ｗ１＜Ｗ２・・・（４）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
金属細線で構成された電極パターンの端部と電気的に接続された電極端子が、金属細線で構成された格子からなるメッシュ形状を含んでいる導電シートが知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１２７６５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記技術において、電極端子を構成する金属細線の幅が小さい場合には、当該電極端子の電気的抵抗値が増大してしまう一方、電極端子を面状（いわゆるベタパターン）にした際は、電極端子と電極パターンとの剛性の差から当該電極端子と電極パターンとの間の境界に応力が集中し、電極端子と電極パターンとが断線してしまう場合があるという問題がある。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、引出配線層の電気的抵抗値の増大を抑制しつつ、網目状電極層と引出配線層との間の断線を抑制することができる配線体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］本発明に係る配線体は、樹脂層と、前記樹脂層上に設けられ、網目状に配置された複数の第１の導体線を有する網目状電極層と、前記樹脂層上に設けられ、前記網目状電極層を外部に引き出す引出配線層と、を備え、前記引出配線層は、網目状に配置された複数の第２の導体線を有し、前記網目状電極層の平面視における外縁の少なくとも一部に接続された網目部を含み、前記第１の導体線と前記樹脂層との間の第１の接着面は、断面視において、前記第１の導体線側に向かって凸状に湾曲しており、前記第２の導体線と前記樹脂層との間の第２の接着面は、断面視において、前記第２の導体線側に向かって凸状に湾曲しており、下記（１）及び（２）式を満たす。
Ｗ１＜Ｗ２・・・（１）
Ｒ１＜Ｒ２・・・（２）
ただし、上記（１）式において、Ｗ１は、前記第１の導体線の幅であり、Ｗ２は、前記第２の導体線の前記網目部における幅であり、上記（２）式において、Ｒ１は前記第１の接着面の湾曲率であり、Ｒ２は前記第２の接着面の湾曲率である。
【０００７】
［２］本発明に係る配線体は、樹脂層と、前記樹脂層上に設けられ、網目状に配置された複数の第１の導体線を有する網目状電極層と、前記樹脂層上に設けられ、前記網目状電極層を外部に引き出す引出配線層と、を備え、前記引出配線層は、網目状に配置された複数の第２の導体線を有し、前記網目状電極層の平面視における外縁の少なくとも一部に接続された網目部を含み、下記（１）及び（３）式を満たす。
Ｗ１＜Ｗ２・・・（１）
Ｓ１＜Ｓ２・・・（３）
ただし、上記（１）式において、Ｗ１は、前記第１の導体線の幅であり、Ｗ２は、前記第２の導体線の前記網目部における幅であり、上記（３）式において、Ｓ１は前記第１の導体線との接着部分における前記樹脂層の厚さであり、Ｓ２は前記第２の導体線との接着部分における前記樹脂層の厚さである。
【０００８】
［３］本発明に係る配線体は、樹脂層と、前記樹脂層上に設けられ、網目状に配置された複数の第１の導体線を有する網目状電極層と、前記樹脂層上に設けられ、前記網目状電極層を外部に引き出す引出配線層と、を備え、前記引出配線層は、網目状に配置された複数の第２の導体線を有し、前記網目状電極層の平面視における外縁の少なくとも一部に接続された網目部を含み、前記第２の導体線は、前記網目状電極層を構成する単位網目の縁から設けられており、前記網目状電極層と前記網目部との間の平面視における境界は、非直線状であり、下記（１）式を満たす。
Ｗ１＜Ｗ２・・・（１）
ただし、上記（１）式において、Ｗ１は、前記第１の導体線の幅であり、Ｗ２は、前記第２の導体線の前記網目部における幅である。
【０００９】
［４］上記発明において、前記網目状電極層の開口率は８５％以上であり、前記網目部の開口率は５０％以下であってもよい。
【００１０】
［５］上記発明において、下記（４）式を満たしてもよい。
２×Ｗ１＜Ｗ２・・・（４）
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、引出配線層に含まれる網目部が網目状電極層の平面視における外縁の少なくとも一部に接続されており、網目状電極層が有する第１の導体線の幅と、網目部が有する第２の導体線の幅が、上記（１）式を満たしている。これにより、引出配線層の電気的抵抗値の増大を抑制しつつ、網目状電極層と引出配線層との間の断線を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態における配線体を備えたタッチセンサを示す平面図である。
【図２】図２は、図１のＩＩ部の拡大図である。
【図３】図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図４】図４は、図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】図５は、開口率を説明するための説明図である。
【図６】図６は、本発明の第１実施形態における配線体の変形例を示す平面図である。
【図７】図７（Ａ）〜図７（Ｅ）は、本実施形態における配線体の製造方法を説明するための断面図（簡略図）である。
【図８】図８は、本発明の第２実施形態における配線体を備えたタッチセンサを示す平面図である。
【図９】図９は、図８のＩＸ部の拡大図である。
【図１０】図１０は、本発明の第３実施形態における配線体を示す平面図である。
【図１１】図１１は、本発明の第４実施形態における配線体を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】
<<第１実施形態>>
図１は第１実施形態における配線体を備えたタッチセンサを示す平面図であり、図２は図１のＩＩ部の拡大図であり、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図であり、図４は図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【００１５】
本実施形態における配線体２を備えたタッチセンサ１は、例えば、静電容量方式等のタッチパネルやタッチパッドに用いられるタッチ入力装置である。タッチセンサ１は、配線基板１０と、当該配線基板１０に含まれる網目状電極層２２上に樹脂層を介して設けられる第２の網目状電極層と、を備えている。図１において、樹脂層及び第２の網目状電極層は、その図示を省略している。本実施形態における配線基板１０は、基板２１と、配線体２と、を備えている。
【００１６】
基板２１は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド（ＰＩ）等の透明なフィルムや、ガラス等から構成される絶縁性の透明基板である。また、基板２１としては、表示装置やカバーパネルであってもよい。このため、配線基板１０の下方にＬＥＤ等のバックライトやディスプレイ（不図示）を配置した際に、当該バックライトやディスプレイの光が配線体２を透過するようになっている。
【００１７】
配線体２は、接着層２５と、当該接着層２５上に形成された複数（本例において６つ）の網目状電極層２２と、引出配線層２３と、を備えている。
【００１８】
接着層２５は、基板２１と、網目状電極層２２及び引出配線層２３と、をそれぞれ相互に接着して固定するための層であり、図３に示すように、基板２１における一方主面の全体に設けられている。接着層２５を構成する接着材料としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ビニル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等のＵＶ硬化性樹脂、熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂やセラミクス等を例示することができる。この接着層２５は、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂを支持する支持部２５１と、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂを支持する支持部２５１Ｂと、当該支持部２５１、２５１Ｂと基板２１の主面との間に設けられ、当該主面を覆う平状部２５２と、を有しており、それら支持部２５１、２５１Ｂ及び平状部２５２は一体的に形成されている。
【００１９】
本実施形態における支持部２５１の断面形状（第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの延在方向に対する断面形状）は、図３に示すように、基板２１から離れる方向（図３中の上方向）に向かって幅狭となる形状となっている。平状部２５２は、略均一な高さ（厚さ）で基板２１の一方主面全体に設けられている。支持部２５１が平状部２５２上に設けられていることにより、支持部２５１において接着層２５は突出しており、当該支持部２５１において第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの剛性が向上している。
【００２０】
なお、接着層２５から平状部２５２を省略し、支持部２５１、２５１Ｂのみで接着層２５を構成してもよい。この場合には、配線基板１０全体の光透過性が向上するため、タッチセンサ１の視認性を向上することができる。本実施形態における接着層２５が本発明の樹脂層の一例に相当する。
【００２１】
網目状電極層２２は、銀や銅、ニッケル、スズ、ビスマス、亜鉛、インジウム、パラジウム、グラファイト等を含有する導電性材料と、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ビニル樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等を含有するバインダ樹脂等から構成されている。なお、網目状電極層２２を構成する材料からバインダ樹脂を省略してもよい。この網目状電極層２２は、図２に示すように、平行に配置された複数の第１の導体線２２１Ａと、平行に配置された複数の第１の導体線２２１Ｂとが略直角に互いに交差して形成された網目形状を有している。なお、網目状電極層２２の網目形状は特に限定されない。例えば、正方形や長方形、菱形等の網目形状であってもよく、六角形（ハニカム形状）の網目形状であってもよい。
【００２２】
本実施形態において第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂは、網目状電極層２２の延在方向（図１中のＹ軸方向）に対してそれぞれ４５度傾斜して配置されているが、それらが他の角度（例えば３０度）でそれぞれ傾斜して配置されていてもよい。また、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの一方が網目状電極層２２の延在方向（図１中のＹ軸方向）に対して９０度傾斜して配置されていてもよい。なお、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂが曲線状に延在していてもよく、直線状の部分と曲線状の部分とが混在していてもよい。
【００２３】
図３に示すように、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの側部２２３と接着層２５における支持部２５１の側部とは、滑らかに連続することにより１つの平面を形成している。第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂは、基板２１から離れる側（図３中の上側）に向かって幅狭となるテーパー形状を有しており、これにより第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの外面の断面形状（第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの延在方向に対する断面形状）は略台形形状となっている。なお、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの外面の断面形状は、特にこれに限定されない。例えば、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの断面形状が正方形状、長方形状、三角形状等であってもよい。
【００２４】
また、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの下面２２５は凹凸形状となっており、接着層２５の支持部２５１の上面も当該下面の凹凸形状に対応した凹凸形状となっている。
本実施形態における第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂにおける図３中の下面２２５の面粗さは、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂと接着層２５との接触面積を増加し、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂと接着層２５とを強固に固定する観点から、当該第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂにおける図３中の上面２２６の面粗さよりも粗いことが好ましい。
【００２５】
具体的には、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの下面２２５の面粗さがＲａが０．１〜３μｍ程度であるのに対し、上面２２６の面粗さＲａは０．００１〜１．０μｍ程度となっていることが好ましく、上面２２６の面粗さはＲａが０．００１〜０．３μｍであることがさらにより好ましい。なお、このような面粗さは、ＪＩＳ法（ＪＩＳ  Ｂ０６０１（２０１３年３月２１日改正））により測定することができる。
【００２６】
本実施形態では、図２又は図３に示すように、網目状電極層２２を構成する第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂは互いに略等しい幅（第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの延在方向に対する断面視における平均最大幅）Ｗ１を有している。第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの幅Ｗ１は、１００ｎｍ〜１００μｍであることが好ましく、タッチセンサ１の視認性向上の観点から、５００ｎｍ〜１０μｍであることさらに好ましく、５００ｎｍ〜５μｍであることがより好ましい。
【００２７】
引出配線層２３は、外縁部２４１と、配線部２４２と、を含んでいる。この引出配線層２３は、上述した網目状電極層２２と同様の材料によって一体的に形成されている。また、引出配線層２３を構成する外縁部２４１及び配線部２４２も一体的に形成されている。なお、この「一体的に」とは、部材同士が分離しておらず、且つ、同一材料（同一粒径の導電性粒子、バインダ樹脂等）により一体の構造体として形成されていることを意味する。網目状電極層２２の外縁において、外縁部２４１が設けられる位置は特に限定されない。例えば、網目状電極層２２の外縁全てに外縁部２４１が設けられていてもよい。
【００２８】
なお、引出配線層２３と網目状電極層２２とをそれぞれ個別に形成することとしてもよい。この場合において、引出配線層２３と網目状電極層２２とをそれぞれ異なる方法で形成してもよい。また、同様に、引出配線層２３を構成する外縁部２４１と配線部２４２とをそれぞれ個別に形成することとしてもよい。この場合においても、外縁部２４１と配線部２４２とをそれぞれ異なる方法で形成してもよい。
【００２９】
外縁部２４１は、図１に示すように、網目状電極層２２における図中の上辺に沿って延在するように形成されている。また、図２に示すように、外縁部２４１は網目状電極層２２に直接接続されており、平行に配置された複数の第２の導体線２３１Ａと、平行に配置された複数の第２の導体線２３１Ｂとが略直角に互いに交差して形成された網目形状を有している。外縁部２４１の網目形状は特に限定されない。例えば、正方形や長方形、菱形等の網目形状であってもよく、六角形（ハニカム形状）の網目形状であってもよい。本実施形態における外縁部２４１が、本発明の網目部の一例に相当する。
【００３０】
本実施形態において第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂは、図１中のＹ軸方向に対してそれぞれ４５度傾斜して配置されているが、それらが他の角度（例えば３０度）でそれぞれ傾斜して配置されていてもよい。また、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの一方が図１中のＹ軸方向に対して９０度傾斜して配置されていてもよい。なお、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂが曲線状に延在していてもよく、直線状の部分と曲線状の部分とが混在していてもよい。
【００３１】
本実施形態において第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂを支持する支持部２５１Ｂの断面形状（第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの延在方向に対する断面形状）は、図４に示すように、基板２１から離れる方向（図４中の上方向）に向かって幅狭となる形状となっている。支持部２５１Ｂが平状部２５２上に設けられていることにより、支持部２５１Ｂにおいて接着層２５は突出しており、当該支持部２５１Ｂにおいて第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの剛性が向上している。
【００３２】
図４に示すように、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの側部２３３と接着層２５における支持部２５１Ｂの側部とは、滑らかに連続することにより１つの平面を形成している。第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂは、基板２１から離れる側（図４中の上側）に向かって幅狭となるテーパー形状を有しており、これにより第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの外面の断面形状（第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの延在方向に対する断面形状）は略台形形状となっている。なお、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの外面の断面形状は、特にこれに限定されない。例えば、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの断面形状が正方形状、長方形状、三角形状等であってもよい。
【００３３】
また、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの下面２３４は凹凸形状となっており、接着層２５の支持部２５１Ｂの上面も当該下面２３４の凹凸形状に対応した凹凸形状となっている。本実施形態における第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂにおける図４中の下面２３４の面粗さは、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂと接着層２５との接触面積を増加し、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂと接着層２５とを強固に固定する観点から、当該第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂにおける図４中の上面２３５の面粗さよりも粗いことが好ましい。
【００３４】
具体的には、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの下面２３４の面粗さがＲａが０．１〜３μｍ程度であるのに対し、上面２３５の面粗さＲａは０．００１〜１．０μｍ程度となっていることが好ましく、上面２３５の面粗さはＲａが０．００１〜０．３μｍであることがさらにより好ましい。なお、このような面粗さは、ＪＩＳ法（ＪＩＳ  Ｂ０６０１（２０１３年３月２１日改正））により測定することができる。
【００３５】
本実施形態における第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂにおける下面２３４の凹凸形状を均した面は、図４に示すように、第１の導体線２２１Ａ（２２１Ｂ）における下面２２５の凹凸形状を均した面（図３参照）に比べ、基板２１から離れる方向に向かって緩やかに湾曲している。
【００３６】
このため本実施形態では、下記（５）式及び（６）式が成立している。
Ｓ１＜Ｓ２・・・（５）
Ｒ１＜Ｒ２・・・（６）
ただし、上記（５）式において、Ｓ１は第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの下面２２５との接着部分（接着面）における樹脂層２５の厚さ（面内全体の断面視における平均最大厚さ）であり、Ｓ２は第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの下面２３４との接着部分（接着面）における樹脂層２５の厚さ（面内全体の断面視における平均最大厚さ）である。また、上記（６）式において、Ｒ１は第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂにおいて下面２２５を均した面（第１の接着面）における湾曲率であり、Ｒ２は第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂにおいて下面２３４を均した面（第２の接着面）における湾曲率である。上記（５）式及び（６）式が成立することにより、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂと接着層２５の支持部２５１Ｂとの接触面積を相対的に増大させ、当該第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂと支持部２５１Ｂとの密着性を向上することができる。
【００３７】
なお、「面内全体の断面視における平均最大厚さ」とは、それぞれの導体線の幅方向に沿った断面を、当該導体線の延在方向全体に亘って複数採取し、それぞれの断面ごとに求められる最大厚さを平均したものである。因みに、上記導体線には、第１の導体線２２１Ａ，２２１Ｂ及び第２の導体線２３１Ａ，２３１Ｂが含まれる。求めるパラメータに応じて、上記導体線は、適宜選択される。
【００３８】
外縁部２４１を構成する第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂは、図２又は図４に示すように、互いに略等しい幅（第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの延在方向に対する断面視における平均最大幅）Ｗ２を有している。第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの幅Ｗ２は、１μｍ〜５００μｍが好ましく、電気的抵抗値の増大を抑制しつつ、配線体２の耐久性を向上させる観点から３μｍ〜１００μｍであることがより好ましく、５〜２０μｍであることがさらにより好ましい。本実施形態において、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの断面視におけるアスペクト比（厚さ／幅）は、１以下となっている。すなわち、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂは、断面視において、基材２の主面に沿って横長の形状となっている。
【００３９】
また、本実施形態において、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの幅Ｗ１と第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの幅Ｗ２とは、下記（７）式の関係を満たしている。
Ｗ１＜Ｗ２・・・（７）
【００４０】
なお、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの幅Ｗ１と第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの幅Ｗ２とは、下記（８）式を満たすことが好ましい。
２×Ｗ１＜Ｗ２・・・（８）
【００４１】
本実施形態では、第１の導体線２２１Ａと第２の導体線２３１Ａとは略平行となっていると共に、第１の導体線２２１Ｂと第２の導体線２３１Ｂとは略平行となっている。また、第２の導体線２３１Ａ同士の間のピッチ及び第２の導体線２３１Ｂ同士の間のピッチは、第１の導体線２２１Ａ同士の間のピッチ及び第１の導体線２２１Ｂ同士の間のピッチよりもそれぞれ小さくなっている。
【００４２】
また、本実施形態において、網目状電極層２２の開口率は８５％以上、１００％未満となっている。一方、外縁部２４１の開口率は５０％以下となっている。網目状電極層２２の開口率は、配線体２の下方に設置するバックライト等の光透過性を向上させる観点から、９０％以上、１００％未満であることが好ましい。また、外縁部２４１の開口率は、網目状電極層２２と外縁部２４１との剛性の差を縮小する観点や、外縁部２４１の耐久性を向上させる観点から１０％以上であることが好ましい。
【００４３】
なお、この「開口率」とは、下記（９）式で表される比率を言う（図５参照）。
（開口率）＝ｂ×ｂ／（ａ×ａ）・・・（９）
但し、上記（９）式において、ａは任意の導体線２２１と、当該導体線２２１と隣り合う他の導体線２２１との間のピッチ（中心線ＣＬ間の距離）であり、ｂは任意の導体線２２１と、当該導体線２２１と隣り合う他の導体線２２１との間の距離を表す。
【００４４】
なお、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの構成は特に上記に限定されず、図６に示すような構成であってもよい。具体的には、図６の形態では、外縁部２４１に近づくに従って漸次的に幅広となる幅広部２２２が第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの端部に設けられている。なお、この幅広部２２２の傾斜角度θ１、θ２は、それぞれ１５°以上であることが好ましい（θ１≧１５°、θ２≧１５°）。また、図６に示す形態では、外縁部２４１に接続する部分における第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの両側側部に幅広部２２２が設けられているが、特にこれに限定されない。例えば、外縁部２４１に接続する部分における第１の導体線の２２１Ａ、２２１Ｂの一方側部のみに当該幅広部２２２を設けてもよい。
【００４５】
配線部２４２は、図１に示すように、外縁部２４１を介して網目状電極層２２を配線基板１０の外部に引き出すための端子２６に接続されている。この端子２６は、駆動回路３に繋がる不図示の相手方端子と接続される。このように、本実施形態の引出配線層２３における外縁部２４１及び配線部２４２は何れも端子としての機能は有しておらず、網目状電極層２２は引出配線層２３及び端子２６を介して駆動回路３に接続される。
【００４６】
本実施形態における配線部２４２はベタパターンとして形成されているが、配線部２４２の構成は特にこれに限定されない。例えば、特に図示しないが、外縁部２４１が網目形状を有することに加え、配線部２４２も外縁部２４１と同様の網目形状を有することとしてもよい。なお、本実施形態のように、外縁部２４１と配線部２４２とを一体的に形成する場合には、配線部２４２も網目状とすることが好ましい。因みに、端子２６を外縁部２４１及び配線部２４２と一体的に形成してもよく、この場合には端子２６が網目形状を有することが好ましい。
【００４７】
本実施形態におけるタッチセンサ１では、網目状電極層２２の延在する方向が交差するように配置される第２の網目状電極層（不図示）を、網目状電極層２２との絶縁を確保するための樹脂層を介して配線基板１０上に設ける。そして、網目状電極層２２及び第２の網目状電極層を、駆動回路３にそれぞれ接続する。この駆動回路３は、網目状電極層２２と第２の網目状電極層との間に所定電圧を周期的に印加し、２つの網目状電極層の交点毎の静電容量の変化に基づいてタッチセンサ１における操作者の指の接触位置を判別する。なお、網目状電極層２２の延在方向が互いに直交するように２枚の配線基板１０を重ねることによりタッチセンサを構成してもよい。
【００４８】
次に、本実施形態における配線体２の製造方法について説明する。図７（Ａ）〜図７（Ｅ）は、本実施形態における配線体２の製造方法を説明するための断面図（簡略図）である。
【００４９】
まず、図７（Ａ）に示すように、網目状電極層２２の形状に対応する形状の第１の凹部４１及び引出配線層２３の形状に対応する形状の第２の凹部４２が形成された凹版４を準備する。
【００５０】
凹版４を構成する材料としては、ニッケル、シリコン、二酸化珪素などガラス類、有機シリカ類、グラッシーカーボン、熱可塑性樹脂、光硬化性樹脂等を例示することができる。第１の凹部４１の幅は、１００ｎｍ〜１００μｍであることが好ましく、５００ｎｍ〜１０μｍであることがより好ましく、５００ｎｍ〜５μｍであることがさらに好ましい。
【００５１】
一方、第２の凹部４２の幅は、１μｍ〜５００μｍであることが好ましく、３μｍ〜１００μｍであることがより好ましく、５〜２０μｍであることがさらに好ましい。また、第１の凹部４１及び第２の凹部４２の深さは、１００ｎｍ〜３００μｍであることが好ましく、１μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。本実施形態において第１及び第２の凹部４１、４２の断面形状は、底部に向かうにつれて幅狭となるテーパー形状が形成されている。
【００５２】
なお、第１及び第２の凹部４１、４２の表面には、離型性を向上するために、黒鉛系材料、シリコーン系材料、フッ素系材料、セラミック系材料、アルミニウム系材料等からなる離型層（不図示）を予め設けることが好ましい。
【００５３】
上記の凹版４の第１及び第２の凹部４１、４２に対し、導電性材料５を充填する。このような導電性材料５としては、導電性粉末若しくは金属塩、バインダ樹脂、水若しくは溶剤及び各種の添加剤を混合して構成される導電性ペーストや導電性インクを例示することができる。上記の導電性粉末としては、銀や銅、ニッケル、スズ、ビスマス、亜鉛、インジウム、パラジウム等の金属や、グラファイト等を例示することができる。金属塩としては、上記金属の塩を挙げることができる。導電性材料５に含まれる導電性粒子としては、形成する導体パターンの幅に応じて、例えば、０．５μｍ以上２μｍ以下の直径φ（０．５μｍ≦φ≦２μｍ）を有する導電性粒子を用いることができる。なお、形成する導体パターンの幅の半分以下の平均直径φを有する導電性粒子を用いることが好ましい。
【００５４】
導電性材料５に含まれるバインダ樹脂としては、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ビニル樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等を挙げることができる。
【００５５】
導電性材料５に含まれる溶剤としては、α-テルピネオール、ブチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトール、１−デカノール、ブチルセルソルブ、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、テトラデカン等を例示することができる。
【００５６】
導電性材料５を凹版４の第１及び第２の凹部４１、４２に充填する方法としては、例えばディスペンス法、インクジェット法、スクリーン印刷法を挙げることができる。もしくはスリットコート法、バーコート法、ブレードコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スピンコート法での塗工の後に第１及び第２の凹部４１、４２以外に塗工された導電性材料をふき取るもしくは掻き取る、吸い取る、貼り取る、洗い流す、吹き飛ばす方法を挙げることができる。導電性材料の組成等、凹版の形状等に応じて適宜使い分けることができる。
【００５７】
なお、幅広部２２２を第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの端部に設けた場合には（図６参照）、導電性材料５を第１及び第２の凹部４１、４２に充填する際の充填不良の発生を抑制できると共に、完成した配線体２における網目状電極層２２と外縁部２４１との間の接続信頼性を向上することができる。
【００５８】
次に、図７（Ｂ）に示すように、凹版４の第１及び第２の凹部４１、４２に充填された導電性材料５を加熱することにより網目状電極層２２及び引出配線層２３を形成する。導電性材料５の加熱条件は、導電性材料の組成等に応じて適宜設定することができる。この加熱処理により、導電性材料５が体積収縮し、当該導電性材料５の上面は凹凸形状５１となると共に、第２の凹部４２に充填された導電性材料５の上面は当該第２の凹部４２の底部に向かって湾曲する（図７（Ｂ）の引出図参照）。なお、第１の凹部４１に充填された導電性材料５の上面もＷ１の幅の大きさにより第１の凹部４１の底部に向かって僅かに湾曲する場合もあるが、当該湾曲の度合は第２の凹部４２に充填された導電性材料５に比べて相対的に小さくなる。導電性材料５の上面を除く外面は、第１及び第２の凹部４１、４２に沿った形状に形成される。
【００５９】
なお、導電性材料５の処理方法は加熱に限定されない。赤外線、紫外線、レーザー光等のエネルギー線を照射しても良いし、乾燥のみでもよい。また、これらの２種以上の処理方法を組合せても良い。凹凸形状５１の存在により、網目状電極層２２及び引出配線層２３と接着層２５との接触面積が増大し、網目状電極層２２及び引出配線層２３をより強固に接着層２５に固定することができる。
【００６０】
続いて、図７（Ｃ）に示すように、接着層２５を形成するための接着材料６が基板２１上に略均一に塗布されたものを用意する。このような接着材料６としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ビニル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等のＵＶ硬化性樹脂、熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂やセラミクス等を例示することができる。接着材料６を基板２１上に塗布する方法としては、スクリーン印刷法、スプレーコート法、バーコート法、ディップ法、インクジェット法等を例示することができる。
【００６１】
次いで、図７（Ｄ）に示すように、当該接着材料６が凹版４の第１及び第２の凹部４１、４２に入り込むよう基板２１及び接着材料６を凹版４上に配置して基板２１を凹版４に押し付け、接着材料６を硬化させる。接着材料６を硬化させる方法としては、紫外線、赤外線レーザー光等のエネルギー線照射、加熱、加熱冷却、乾燥等を例示することができる。これにより、接着層２５が形成されると共に、当該接着層２５を介して基板２１と網目状電極層２２及び引出配線層２３とが相互に接着され固定される。
【００６２】
なお、接着層２５の形成方法は特に上記に限定されない。例えば、網目状電極層２２及び引出配線層２３が形成された凹版４（図７（Ｂ）に示す状態の凹版４）上に接着材料６を塗布し、当該接着材料６上に基板２１を配置した後に、当該基板２１を凹版４に配置して押し付けた状態で接着材料６を硬化させることにより接着層２５を形成してもよい。
【００６３】
続いて、図７（Ｅ）に示すように、基板２１、接着層２５、網目状電極層２２及び引出配線層２３を凹版４から離型させ、配線体２を得ることができる。
【００６４】
次に、本実施形態における配線体の作用について説明する。
【００６５】
本実施形態の配線体２では、網目状電極層２２が第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂで構成されていると共に、引出配線層２３に含まれる外縁部２４１は第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂで構成されている。これにより、網目状電極層２２と外縁部２４１との剛性の差を縮小することができるため、網目状電極層２２と外縁部２４１との間の境界に応力が集中することを抑制し、当該網目状電極層２２と引出配線層２３との間の断線を抑制することができる。配線部２４２は網目状電極層２２を構成する第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂよりも大きい幅を有するため、外縁部２４１と配線部２４２との間の境界における応力の集中よりも、網目状電極層２２と外縁部２４１との間の境界における応力の集中の方が、網目状電極層２２と引出配線層２３との間の断線を抑制する上でより重要となる。
【００６６】
また、本実施形態の配線体２では上記（７）式を満たしており、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの線幅は第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの線幅よりも大きくなっている。このため、外縁部２４１の形状を網目状にすることによる引出配線層２３の電気的抵抗値の増大を抑制することができる。本実施形態では、上記（８）式を満たすことにより、この効果をより向上することができる。
【００６７】
また、本実施形態における配線体２では、網目状電極層２２の開口率は８５％以上であると共に、外縁部２４１の開口率は５０％以下となっている。このため、配線体２の下方に設置するバックライト等の光透過性を向上させつつ、引出配線層２３の電気的抵抗値の増大抑制を図ることができる。
【００６８】
<<第２実施形態>>
図８は第２実施形態における配線体を備えたタッチセンサを示す平面図であり、図９は図８のＩＸ部の拡大図である。第２実施形態における配線体２Ｂは、引出配線層の構成が第１実施形態と異なる以外は、上述した第１実施形態と同様であるので、第１実施形態と相違する部分についてのみ説明し、第１実施形態と同一である部分については、第１実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。
【００６９】
本実施形態における引出配線層２３Ｂは、図８に示すように、第１実施形態で説明した外縁部２４１を含んでおらず、配線部２４２Ｂのみから構成されている。網目状電極層２２と引出配線層２３Ｂは一体的に形成されている。
【００７０】
本実施形態の配線部２４２Ｂは、第１実施形態で説明した引出配線層２３の外縁部２４１と同様の構成となっている。すなわち配線部２４２Ｂは、図９に示すように、平行に配置された複数の第２の導体線２３１Ａと、平行に配置された複数の第２の導体線２３１Ｂとが略直角に互いに交差して形成された網目形状を有している。配線部２４２Ｂの網目形状は特に限定されない。例えば、正方形や長方形、菱形等の網目形状であってもよく、六角形（ハニカム形状）の網目形状であってもよい。本実施形態における配線部２４２Ｂが、本発明の網目部の一例に相当する。
【００７１】
本実施形態では、網目状電極層２２と端子２６との間の全体において、配線部２４２Ｂは網目状となっているが、少なくとも網目状電極層２２との接続部分が網目形状であればよく、特にこれに限定されない。
【００７２】
本実施形態における配線部２４２Ｂの幅Ｌは、当該配線部２４２Ｂの網目形状を構成する単位網目の端部により規定されており、単位網目を構成しない第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂが外側に向かって突き出した状態とはなっていない。このため、配線部２４２Ｂの側端部は、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂによって構成される波形状となっている。
【００７３】
また、本実施形態における網目状電極層２２において、配線部２４２に接続される端部には、網目状電極層２２と一体的に形成された縁部２２４が設けられている。縁部２２４の幅Ｗ３は、網目状電極層２２を構成する第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの幅Ｗ１と略等しくなっているが（Ｗ３≒Ｗ１）、縁部２２４の幅Ｗ３が、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの幅Ｗ１とよりも大きいこと（（Ｗ３＞Ｗ１））が電気的抵抗値の増大をより抑制しつつ、網目状電極層と引出配線層との間の断線をより抑制することができるため好ましい。また、縁部２２４の幅Ｗ３は、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの幅Ｗ２よりも小さくても（Ｗ３＜Ｗ２）、大きくてもよく（Ｗ３＞Ｗ２）、縁部２２４の幅Ｗ３は特に限定されない。また、本実施形態における縁部２２４は直線状であるが、曲線状であってもよく、直線状の部分と曲線状の部分とが混在していてもよい。
【００７４】
本実施形態においても、引出配線層２３Ｂの配線部２４２Ｂと網目状電極層２２との間の境界に応力が集中することを抑制し、当該網目状電極層２２Ｂと引出配線層２３Ｂとの間の断線抑制効果を奏することができる。
【００７５】
また、本実施形態の配線体２Ｂにおいても、上述の（７）式を満たしており、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの線幅は第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの線幅よりも大きくなっている。このため、配線部２４２Ｂの形状を網目状にすることによる当該引出配線層２３Ｂの電気的抵抗値の増大を抑制することができる。
【００７６】
また、本実施形態の引出配線層２３Ｂでは、外縁部２４１が設けられていないことにより、配線基板１０を小型化することができる。さらに、当該外縁部２４１が設けられていないことにより、引出配線層２３Ｂと接続される網目状電極層２２の縁部において、外縁部２４１による光の遮断が無くなるため、タッチセンサ１の画面の縁部における輝度の低下を抑制することができる。
【００７７】
<<第３実施形態>>
図１０は、本発明の第３実施形態における配線体を示す平面図である。第３実施形態における配線体２Ｃは、網目状電極層の構成が第１実施形態と異なる以外は、上述した第１実施形態と同様であるので、第１実施形態と相違する部分についてのみ説明し、第１実施形態と同一である部分については、第１実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。
【００７８】
本実施形態における配線体２Ｃは、接着層２５と、当該接着層２５上に形成された複数の網目状電極層２２Ｂと、当該網目状電極層２２Ｂの外縁に設けられた外縁部２４１を含む引出配線層２３と、を備えている。網目状電極層２２Ｂは、第１実施形態で説明した網目状電極層２２と同様の材料及び製造方法によって設けることができる。
【００７９】
網目状電極層２２Ｂは、第１実施形態の網目状電極層２２と同様に、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂにより構成されている。本実施形態では、図１０に示すように、第１の導体線２２１Ａが引出配線層２３を構成する外縁部２４１の第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂとは非平行となっていると共に、第１の導体線２２１Ｂも第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂとは非平行となっている。
【００８０】
このため、本実施形態における配線体２Ｂでは、当該配線体２Ｂに加わる外力を受けて網目状電極層２２Ｂが湾曲（屈曲）し易い方向と、外縁部２４１が湾曲（屈曲）し易い方向と、を相互に異なる方向とすることができる。これに従い、網目状電極層２２Ｂと外縁部２４１との間の境界に応力が集中することを抑制し、当該網目状電極層２２Ｂと引出配線層２３との間の断線抑制効果をより向上することができる。
【００８１】
また、本実施形態の配線体２Ｂにおいても、上述の（７）式を満たしており、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの線幅は第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの線幅よりも大きくなっている。このため、外縁部２４１の形状を網目状にすることによる当該引出配線層２３の電気的抵抗値の増大を抑制することができる。
【００８２】
なお、特に図示しないが、第１実施形態で説明した網目状電極層２２と、第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂとはそれぞれ互いに非平行である第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂから構成される外縁部を含む引出配線層と、を備える配線体においても、上記と同様の効果を奏することができる。
【００８３】
<<第４実施形態>>
図１１は、本発明の第４実施形態における配線体を示す平面図である。第４実施形態における配線体２Ｄは、網目状電極層及び外縁部の境界の形状が第１実施形態と異なる以外は、上述した第１実施形態と同様であるので、第１実施形態と相違する部分についてのみ説明し、第１実施形態と同一である部分については、第１実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。
【００８４】
配線体２Ｄは、接着層２５と、当該接着層２５上に形成された複数の網目状電極層２２と、引出配線層２３と、を備えている。
【００８５】
本実施形態における配線体２Ｄでは、図１１に示すように、引出配線層２３の外縁部２４１を構成する第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂが、網目状電極層２２を構成する単位網目の縁から設けられている。すなわち、網目状電極層２２と外縁部２４１との間の境界は、当該網目状電極層２２を構成する網目の単位（単位網目）で仕切られて形成される波型形状となっている。本実施形態では、図１１中のＸ軸方向に沿って隣り合う単位網目が、網目状電極層２２と外縁部２４１との間の境界を形成しており、当該境界の波型形状を構成する複数の直線部分の長さは、単位網目の一辺の長さとそれぞれ略等しくなっている。
【００８６】
なお、網目状電極層２２と外縁部２４１との間の境界の形状は特に上記に限定されない。例えば、当該境界の波型形状を構成する直線部分の長さが、網目状電極層２２を構成する単位網目の一辺の長さの複数倍の長さと略等しくてもよい。また、当該境界の波型形状を構成する特定の直線部分の長さが、他の直線部分の長さと相互に異なっていてもよい。
【００８７】
本実施形態における配線体２Ｄでは、上記のように、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂが、網目状電極層２２を構成する単位網目の縁から設けられているため、網目状電極層２２と外縁部２４１との境界が波型状となり、当該境界は全体に亘って非直線状となる。これにより、網目状電極層２２と外縁部２４１との間の境界において配線体２Ｄが湾曲（屈曲）し難くなり、網目状電極層２２と外縁部２４１との間の境界に応力が集中することを抑制できるため、当該網目状電極層２２と引出配線層２３との間の断線抑制効果をより一層向上することができる。
【００８８】
また、本実施形態の配線体２Ｄにおいても、上述の（７）式を満たしており、第２の導体線２３１Ａ、２３１Ｂの線幅は第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの線幅よりも大きくなっている。このため、外縁部２４１の形状を網目状にすることによる当該引出配線層２３の電気的抵抗値の増大を抑制することができる。
【００８９】
なお、以上に説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００９０】
例えば、特に図示しないが、上述の第１実施形態で説明した幅広部２２２（図６参照）を、第２〜第４実施形態で説明した配線体２Ｂ〜２Ｄにおける第１の導体線２２１Ａ、２２１Ｂの端部に設けてもよい。この場合には、配線体２Ｂ〜２Ｄの製造時において、導電性材料５を凹版４の凹部に充填する際（図７（Ａ）参照）における充填不良の発生を抑制できると共に、完成した配線体２Ｂ〜２Ｄにおける網目状電極層２２、２２Ｂと引出配線層２３、２３Ｂとの間の接続信頼性を向上することができる。
【００９１】
また、例えば、第３実施形態及び第４実施形態で説明した構成を第２実施形態で説明した構成に応用してもよい。すなわち、第３実施形態及び第４実施形態において引出配線層の外縁部の形状と網目状電極層の形状との関係を、第２実施形態において引出配線層の配線部の形状と網目状電極層の形状との関係に適用してもよい。
【００９２】
また、上述の実施形態では、配線体は、タッチセンサに用いられるとして説明したが、配線体の用途は特にこれに限定されない。たとえば、配線体に通電して抵抗加熱等で発熱させることにより当該配線体をヒーターとして用いてもよい。また、配線体の導体部の一部を接地することにより当該配線体を電磁遮蔽シールドとして用いてもよい。また、配線体をアンテナとして用いてもよい。
【００９３】
なお、上述の実施形態から接着層２５を省略し、網目状電極層２２、２２Ｂ及び引出配線層２３、２３Ｂを直接基板２１上に設けることとしてもよい。また、上述の実施形態から基板２１を省略し、接着層２５として説明した樹脂層を基材として用いることとしてもよい。
【符号の説明】
【００９４】
１・・・タッチセンサ
１０・・・配線基板
２、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ・・・配線体
２１・・・基板
２２、２２Ｂ・・・網目状電極層
２２１Ａ、２２１Ｂ・・・第１の導体線
２２３・・・側部
２２５・・・底面
２２６・・・上面
２３、２３Ｂ・・・引出配線層
２４１・・・外縁部
２４２、２４２Ｂ・・・配線部
２３１Ａ、２３１Ｂ・・・第２の導体線
２３３・・・側部
２３４・・・下面
２３５・・・上面
２５・・・接着層（樹脂層）
２５１、２５１Ｂ・・・支持部
２５２・・・平状部
２６・・・端子
３・・・駆動回路
４・・・凹版
４１・・・第１の凹部
４２・・・第２の凹部
５・・・導電性材料
５１・・・凹凸形状
６・・・接着材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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