(57)【要約】【課題】正確な情報に基づいてカメラの位置を制御する技術の提供。【解決手段】表示面と、回路パターンとを有するフラットパネルディスプレイにおける前記回路パターンを撮影する撮影装置であって、前記フラットパネルディスプレイから前記表示面に垂直なＺ方向に離れた位置に設置され、前記回路パターンを撮影するカメラと、前記表示面のＺ方向の位置を測定する位置センサと、前記表示面のＺ方向の位置に基づいて、前記カメラのＺ方向の位置を調整するカメラ位置調整部と、を備える撮影装置を構成する。【選択図】図１
2019219357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示面と、回路パターンとを有するフラットパネルディスプレイにおける前記回路パターンを撮影する撮影装置であって、
前記フラットパネルディスプレイから前記表示面に垂直なＺ方向に離れた位置に設置され、前記回路パターンを撮影するカメラと、
前記表示面のＺ方向の位置を測定する位置センサと、
前記表示面のＺ方向の位置に基づいて、前記カメラのＺ方向の位置を調整するカメラ位置調整部と、
を備える撮影装置。
【請求項２】
前記位置センサは、
前記表示面に平行な直線方向であるＸ方向に前記フラットパネルディスプレイと前記位置センサとを相対的に移動させ、Ｘ方向における複数の測定位置で前記表示面のＺ方向の位置を測定し、
前記カメラ位置調整部は、
複数の前記測定位置のそれぞれで測定された前記表示面のＺ方向の位置に基づいて、複数の前記測定位置のそれぞれにおける前記カメラのＺ方向の位置を調整する、
請求項１に記載の撮影装置。
【請求項３】
前記位置センサは、
前記カメラが前記回路パターンに合焦している合焦状態で前記表示面のＺ方向の位置を測定し、
前記カメラ位置調整部は、
前記合焦状態における前記カメラのＺ方向の位置を取得し、
前記測定位置で測定された前記表示面のＺ方向の位置と前記合焦状態で測定された前記表示面のＺ方向の位置との差分が、前記測定位置における前記カメラのＺ方向の位置と前記合焦状態における前記カメラのＺ方向の位置との差分に一致するように、前記カメラのＺ方向の位置を調整する、
請求項２に記載の撮影装置。
【請求項４】
前記位置センサは前記カメラよりも先行して移動し、
前記カメラは前記位置センサに追従して移動し、
前記カメラ位置調整部は、
前記測定位置において前記位置センサによって先に測定された前記表示面のＺ方向の位置に基づいて、遅れて当該測定位置に到達する前記カメラのＺ方向の位置を調整する、
請求項２または請求項３のいずれかに記載の撮影装置。
【請求項５】
前記カメラは、
前記表示面に平行な方向において前記表示面と重複していない前記回路パターンを撮影する、
請求項１〜請求項３のいずれかに記載の撮影装置。
【請求項６】
表示面と、回路パターンとを有するフラットパネルディスプレイにおける前記回路パターンを撮影する撮影方法であって、
位置センサによって測定された前記表示面のＺ方向の位置に基づいて、前記フラットパネルディスプレイから前記表示面に垂直なＺ方向に離れた位置に設置され、前記回路パターンを撮影するカメラのＺ方向の位置を調整するカメラ位置調整工程を有する、
撮影方法。
【請求項７】
表示面と、回路パターンとを有するフラットパネルディスプレイにおける前記回路パターンを撮影する機能をコンピュータに実現させる撮影プログラムであって、
位置センサによって測定された前記表示面のＺ方向の位置に基づいて、前記フラットパネルディスプレイから前記表示面に垂直なＺ方向に離れた位置に設置され、前記回路パターンを撮影するカメラのＺ方向の位置を調整するカメラ位置調整部としてコンピュータを機能させる、
撮影プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ELディスプレイ等を含むフラットパネルディスプレイの検査を行うための画像を撮影する撮影装置、撮影方法および撮影プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
基板などの各種の製品を検査するために、カメラで検査対象を撮影する技術が知られている。例えば、特許文献１には、レーザ変位計等の距離センサによって測定点の高さを測定し、当該高さに基づいてカメラの合焦制御を行うことでオートフォーカスを実現する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１２１９８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
フラットパネルディスプレイに形成される回路パターンは、ガラス、プラスチックフィルム等の基板上に形成された導体配線や半導体回路であり、基板上に立体的な構造を有している。このように、立体的な構造を有している部位を対象として、レーザ変位計等の光学的手段を用いて高さを測定すると、レーザ等の光が不規則に反射して正確な測定を妨げる場合がある。そして、不正確な高さの情報に基づいてカメラを回路パターンに合焦させる制御を行っても、カメラを正確に合焦させることができない。
本発明は、前記課題に鑑みてなされたもので、正確な情報に基づいてカメラの位置を制御する技術の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記の目的を達成するため、表示面と、回路パターンとを有するフラットパネルディスプレイ（フレキシブルパネルディスプレイを含む）における回路パターンを撮影する撮影装置であって、フラットパネルディスプレイから表示面に垂直なＺ方向に離れた位置に設置され、回路パターンを撮影するカメラと、表示面のＺ方向の位置を測定する位置センサと、表示面のＺ方向の位置に基づいて、カメラのＺ方向の位置を調整するカメラ位置調整部と、を備える撮影装置を構成する。
【０００６】
すなわち、撮影装置においては、回路パターンに対してカメラを合焦させる際に、回路パターンではなく表示面のＺ方向の位置を利用してカメラのＺ方向の位置を調整する。基板上に形成された状態の回路パターンは立体的な構造を有しており回路パターンのＺ方向の位置を正確に測定することは困難であるが、表示面の表面は滑らかな平面であるため表示面のＺ方向の位置を正確に測定することは容易である。そして、一般に、フラットパネルディスプレイのＺ方向の厚さは一定であり、表示面と回路パターンとのＺ方向の距離も一定である。従って、表示面のＺ方向の位置が特定されれば、表示面のＺ方向の位置から一定の関係にある回路パターンのＺ方向の位置も容易に特定することができる。なお、前記基板には、板状の基板の他に、可撓性を備えるフィルム状のプラスチック基板等が使用される。
【０００７】
このため、正確に測定可能な表示面のＺ方向の位置を用いれば、回路パターンとカメラとの位置関係をＺ方向において正確に特定することができ、正確な情報に基づいてカメラのＺ方向の位置を調整することができる。従って、正確な情報に基づいてカメラを回路パターンに合焦させるための制御を実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】撮影装置を含む検査装置の概略ブロック図である。
【図２】図２Ａは位置センサによる回路パターンの測定結果を示す図であり、図２Ｂは位置センサによる表示面の測定結果を示す図である。
【図３】図３Ａ，図３Ｂ，図３Ｃは、撮影対象の回路パターンと、カメラおよび位置センサとの位置関係を示す図である。
【図４】検査処理のフローチャートである。
【図５】図５Ａは合焦状態におけるカメラでの撮影を説明する図であり、図５Ｂは合焦状態における位置センサでの測定を説明する図である。
【図６】図６Ａは位置センサによる測定を説明する図であり、図６ＢはカメラのＺ方向の位置の調整を説明する図である。
【図７】第２実施形態にかかる検査処理のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
ここでは、下記の順序に従って本発明の実施の形態を説明する。
（１）撮影装置の構成：
（２）検査処理：
（３）他の実施形態：
【００１０】
（１）撮影装置の構成：
図１は本発明の一実施形態にかかる撮影装置を含む検査装置の概略ブロック図である。検査装置は、制御装置１０とＸ−Ｙステージ１１とカメラ１２と位置センサ１３とを備えている。Ｘ−Ｙステージ１１とカメラ１２と位置センサ１３は、制御装置１０によって制御される。
【００１１】
Ｘ−Ｙステージ１１は、所定の平面（Ｘ−Ｙ平面と呼ぶ。Ｘ軸とＹ軸とはＸ−Ｙ平面内で互いに垂直である。）に沿ってステージを移動させる機構を備えている。Ｘ−Ｙステージ１１は、制御装置１０が備えるＸ−Ｙステージインタフェース２１（詳細は後述）が出力する制御信号に基づいてＸ−Ｙ平面内で移動する。Ｘ−Ｙステージ１１においてステージの上部には検査対象を固定することが可能であり、Ｘ−Ｙステージインタフェース２１の制御信号に基づいて、ステージ上に検査対象が固定された状態でステージがＸ方向およびＹ方向のそれぞれに移動可能である。
【００１２】
なお、本実施形態においては、Ｘ−Ｙ平面に垂直な方向がＺ方向であり、ステージの上面のＸ−Ｙ平面がＺ方向の位置を特定するための基準位置（Ｚ方向の原点）に設定されている。Ｘ方向、Ｙ方向の原点は予め決められていれば良く、例えば、Ｘ−Ｙステージ１１の初期位置等に基づいて原点が決められる構成等を採用可能である。本実施形態において、検査対象はフラットパネルディスプレイ（図１に示すＦＰＤ）であり、Ｘ−Ｙステージ１１のステージ上には検査対象のフラットパネルディスプレイＦＰＤが載置される。
【００１３】
Ｘ−Ｙステージ１１の上方（Ｚ軸正方向側）にはカメラ１２および位置センサ１３が設置される。カメラ１２は、検査装置の図示しない筐体に取り付けられている。カメラ１２は、Ｘ−Ｙステージ１１からＺ方向に離れた位置に設置される。すなわち、Ｘ−Ｙステージ１１上にフラットパネルディスプレイＦＰＤが載置された状態において、カメラ１２は当該フラットパネルディスプレイＦＰＤからＺ方向に離れた位置に配置されるように、筐体に取り付けられる。本実施形態において、カメラ１２はレンズを介して視野内の物体の像を撮影素子に結像させる機構を備えており、視野内の物体を規定の倍率（例えば４倍）に拡大した状態の像を撮影素子に結像させる。
【００１４】
本実施形態において、レンズはカメラ１２の下方（Ｚ軸負方向側）に向けられており、Ｘ−Ｙステージ１１に載置されたフラットパネルディスプレイＦＰＤの一部の像を撮影素子に結像させる。なお、本実施形態において、カメラ１２の光軸はＺ方向に平行である。カメラ１２によって、Ｘ−Ｙステージ１１に載置されたフラットパネルディスプレイＦＰＤの一部が撮影されると、撮影対象の画像がカメラ１２から出力される。制御装置１０は、カメラインタフェース２２（詳細は後述）を介して当該画像を取得する。
【００１５】
カメラ１２は、当該カメラ１２をＺ方向に直線的に往復移動させることが可能な図示しない機構を介して検査装置の筐体に取り付けられる。当該機構は、カメラインタフェース２２を介して制御装置１０から出力される制御信号に応じてカメラ１２をＺ方向に移動させることができる。この結果、Ｘ−Ｙステージ１１に載置されたフラットパネルディスプレイＦＰＤとカメラ１２とのＺ方向の距離を変化させることができる。従って、カメラ１２のＺ方向の位置を適切に変化させることにより、カメラ１２が、Ｘ−Ｙステージ１１に載置されたフラットパネルディスプレイＦＰＤの一部に合焦した状態となるように、カメラ１２のＺ方向の位置を設定することが可能である。
【００１６】
位置センサ１３は、表示面のＺ方向の位置を測定するセンサである。本実施形態において、位置センサ１３は、レーザ変位計である。すなわち、位置センサ１３は、位置センサ１３からＺ軸の負方向に存在する測定対象に向けてレーザを出力し、測定対象で反射したレーザや散乱したレーザを再び位置センサ１３で検出し、検出された位置等に基づいて位置センサ１３と測定対象との距離を取得する。制御装置１０は、位置センサインタフェース２３を介して位置センサ１３の出力信号を取得し、位置センサ１３と測定対象との距離を取得することができる。
【００１７】
制御装置１０においては、当該距離に基づいて、測定対象のＺ方向の位置（すなわち、Ｚ方向の原点を基準位置とした高さ）を計測することができる。すなわち、位置センサ１３は、撮影装置の図示しない筐体に対してＺ方向の位置が変化しないように固定され、位置センサ１３から測定対象までの距離を出力する。位置センサ１３から基準位置までの距離は予め測定された固定値であるため、当該固定値と位置センサ１３の測定値により、位置センサ１３は測定対象のＺ方向の位置を取得することができる。
【００１８】
本実施形態においては、カメラ１２によってフラットパネルディスプレイＦＰＤに形成された回路パターンが撮影され、当該回路パターンの断線やパターン異常等が検査される。従って、カメラ１２においては、フラットパネルディスプレイＦＰＤに形成された回路パターンが撮影対象となり、当該回路パターンに対して合焦するようにカメラ１２のＺ方向の位置が調整される。
【００１９】
位置センサ１３は、当該カメラ１２のＺ方向の位置を調整するために利用される。ただし、本実施形態において位置センサ１３は、回路パターンを測定対象とするのではなく、フラットパネルディスプレイＦＰＤの表示面を測定対象とする。すなわち、回路パターンは、基板上に形成された微細な金属導体や半導体であり、複雑な構造を有している。従って、位置センサ１３によって距離を測定すると、正確に測定ができない。特に、回路パターンの構造に起因して、レーザ変位計から出力されたレーザが不規則な方向に反射または散乱するため、レーザ変位計によって測定される距離の精度が位置に大きく依存してしまう。
【００２０】
フラットパネルディスプレイＦＰＤにおいては、薄い基板に回路パターンやカラーフィルタ等を含む表示面が形成されるため、一般に、基板の厚さ方向に反りが発生する。従って、フラットパネルディスプレイＦＰＤの広い範囲に渡る回路パターンを撮影対象とする場合に、位置センサ１３で回路パターンを測定しても距離を正確に測定できず、当該距離に基づいて回路パターンに合焦させるためにカメラ１２のＺ方向の位置を調整することは困難である。
【００２１】
一方、本実施形態にかかるフラットパネルディスプレイＦＰＤにおいて、その表示面と回路パターンとの厚さの差異（Ｘ−Ｙステージ１１に載置された場合のＺ方向の厚さの差異）は一定である。また、表示面はフラットパネルディスプレイＦＰＤが製品化された場合に画像が表示される画面として露出する部位であり、立体的な構造が形成されておらず、平面である。従って、位置センサ１３によって表示面までの距離を正確に測定することが可能である。
【００２２】
図２Ａは、フラットパネルディスプレイＦＰＤの縁に形成された回路パターンをＸ方向に渡って位置センサ１３で測定した測定結果を示す図であり、図２Ｂは、図２Ａに示す回路パターンの近傍に存在する表示面をＸ方向に渡って位置センサ１３で測定した測定結果を示す図である。図２Ａおよび図２Ｂにおいて、横軸はＸ方向の位置であり、縦軸は位置センサ１３が出力する距離である。
【００２３】
回路パターンを測定した場合、図２Ａに示すように、不規則に距離が急変する部位が観測される。一方、表示面を測定した場合、図２Ｂに示すように距離が急変する部位は見られない。従って、表示面を測定対象とすれば、位置センサ１３によって距離を正確に測定することができる。そこで、本実施形態においては、位置センサ１３によって表示面までの距離を計測することによって表示面のＺ方向の位置を測定し、当該表示面のＺ方向の位置に基づいて、カメラ１２のＺ方向の位置を調整する構成となっている。
【００２４】
本実施形態にかかるフラットパネルディスプレイＦＰＤにおいては、表示面の縁の基板上に回路パターンが形成されており、表示面はＺ方向において回路パターンと異なる位置に形成されている。Ｘ−Ｙ平面において、表示面を含む構造は基板よりも小さく、表示面の縁において回路パターンが露出する状態となる。図３Ａ〜図３Ｃは、撮影対象の回路パターンと、カメラ１２および位置センサ１３との位置関係を示す図である。図３ＡはＺ方向に沿ってフラットパネルディスプレイＦＰＤ等を眺めた状態を示し、図３ＢはＹ方向に沿ってフラットパネルディスプレイＦＰＤ等を眺めた状態を示し、図３ＣはＸ方向に沿ってフラットパネルディスプレイＦＰＤ等を眺めた状態を示している。なお、これらの図において、カメラ１２および位置センサ１３の位置は測定開始前の初期位置である。
【００２５】
これらの図において、表示面を含む構造の縁の外側に存在する回路パターンＰｔは破線で示された部位であり、表示面Ｓｆは、Ｚ軸正方向の最上層に存在する面である。表示面Ｓｆを含む構造Ｓｔには、図示しない透明電極、液晶層、カラーフィルタ、偏光板が含まれ、最上部の表示面Ｓｆは偏光板によって構成されている。当該表示面Ｓｆを含む構造Ｓｔは、Ｘ−Ｙ平面内でフラットパネルディスプレイＦＰＤの大部分を占めているが、基板Ｐｇの縁の一部においては当該構造Ｓｔが形成されておらず、回路パターンＰｔが露出した状態となっている。すなわち、回路パターンＰｔの一部は表示面Ｓｆに平行な方向（Ｘ−Ｙ平面に平行な方向）において表示面Ｓｆと重複しておらず、表示面Ｓｆに覆われることなく露出している。本実施形態においては、基板Ｐｇの隣接する二辺の縁付近に回路パターンＰｔが形成されており、その一辺に渡って存在する回路パターンＰｔが撮影対象である。
【００２６】
カメラ１２および位置センサ１３は、図３Ａに示すように、Ｘ方向およびＹ方向にずれた位置に配置されている。すなわち、カメラ１２は位置センサ１３よりもＹ軸正方向側に配置されている。従って、Ｘ−Ｙステージ１１上に載置されたフラットパネルディスプレイＦＰＤにおいて、Ｙ軸正方向側に位置する回路パターンＰｔをカメラ１２で撮影する一方で、撮影された部位よりもＹ軸負方向側に位置する表示面Ｓｆを位置センサ１３で測定することができる。
【００２７】
さらに、Ｘ−Ｙステージ１１上にフラットパネルディスプレイＦＰＤが載置された状態においてＸ−Ｙステージ１１をＸ軸負方向に移動させることにより、カメラ１２によってＸ方向の一辺に渡る回路パターンＰｔを撮影対象とすることができ、位置センサ１３によってＸ方向の一辺に渡る表示面Ｓｆを測定対象とすることができる。
【００２８】
本実施形態においては以上のような構成を備える検査装置を制御装置１０によって制御することにより、カメラ１２を回路パターンＰｔに合焦させ、撮影された画像に基づいて検査を行う。このために、制御装置１０は、図１においてＸ−Ｙステージインタフェース２１とカメラインタフェース２２と位置センサインタフェース２３と入力部２４と出力部２５とメモリ２６とＣＰＵ２７とを備えている。メモリ２６はデータを記憶可能な記憶媒体であり、プログラムデータ２６ａと画像データ２６ｂと合焦状態データ２６ｃとＺ方向位置データ２６ｄとが記憶される。ＣＰＵ２７は、プログラムデータ２６ａを読み出して実行することにより、後述する各種処理のための演算を実行する。なお、メモリ２６はデータを記憶することができればよく、ＲＡＭやＥＥＰＲＯＭ，ＨＤＤ等種々の記憶媒体を採用可能である。
【００２９】
Ｘ−Ｙステージインタフェース２１は、Ｘ−Ｙステージ１１を制御するためのインタフェースである。すなわち、Ｘ−Ｙステージインタフェース２１がＣＰＵ２７からカメラ１２の撮影位置や位置センサ１３の測定位置を示す座標を受け付けると、受け付けた座標が撮影位置や測定位置となるようにＸ−Ｙステージ１１を制御する。例えば、ＣＰＵ２７がＸ−Ｙステージインタフェース２１に対してフラットパネルディスプレイＦＰＤ上の撮影位置の座標（Ｐｘ，Ｐｙ）を出力すると、Ｘ−Ｙステージインタフェース２１はＸ−Ｙステージ１１を制御し、座標（Ｐｘ，Ｐｙ）がカメラ１２の撮影中心（光軸上）に位置するようにＸステージおよびＹステージを移動させる。また、ＣＰＵ２７がＸ−Ｙステージインタフェース２１に対してフラットパネルディスプレイＦＰＤ上の測定位置の座標（Ｓｘ，Ｓｙ）を出力すると、Ｘ−Ｙステージインタフェース２１はＸ−Ｙステージ１１を制御し、座標（Ｓｘ，Ｓｙ）が位置センサ１３による測定対象となるようにＸステージおよびＹステージを移動させる。
【００３０】
カメラインタフェース２２は、カメラ１２を制御し、また、カメラ１２が出力した画像を取得するためのインタフェースである。すなわち、カメラインタフェース２２がＣＰＵ２７から撮影指示を受け付けると、カメラインタフェース２２はカメラ１２を制御して画像を撮影させる。カメラインタフェース２２は、撮影された画像を取得し、ＣＰＵ２７に受け渡す。ＣＰＵ２７は、撮影された画像を画像データ２６ｂとしてメモリ２６に記憶させる。
【００３１】
さらに、カメラインタフェース２２は、カメラ１２のＺ方向の位置を調整することが可能である。すなわち、カメラインタフェース２２がＣＰＵ２７からＺ方向の位置（高さ）を指示されると、カメラインタフェース２２はカメラ１２をＺ方向に駆動し、指示された位置に移動させる。
【００３２】
位置センサインタフェース２３は、位置センサ１３を制御し、また、位置センサ１３が出力した距離を取得するためのインタフェースである。すなわち、位置センサインタフェース２３がＣＰＵ２７から測定指示を受け付けると、位置センサインタフェース２３は位置センサ１３を制御して、位置センサ１３と測定対象との距離を測定させる。位置センサインタフェース２３は、測定された距離を取得し、ＣＰＵ２７に受け渡す。ＣＰＵ２７は、測定された距離に基づいて、測定対象のＺ方向の位置（高さ）を測定する。すなわち、位置センサ１３のＺ方向の位置がＺｓであり、測定された距離がＤである場合、ＣＰＵ２７は、Ｚｓ−Ｄが測定対象のＺ方向の位置（高さ）であると見なす。ＣＰＵ２７は、測定結果をＺ方向位置データ２６ｄとしてメモリ２６に記憶させる。
【００３３】
出力部２５は回路パターンＰｔの検査結果等を表示するディスプレイであり、入力部２４は利用者の入力を受け付ける操作入力機器である。ＣＰＵ２７は、プログラムデータ２６ａが示すプログラムを実行することにより、カメラ１２による撮影と、撮影された画像に基づく回路パターンＰｔの検査を行う。
【００３４】
（２）検査処理：
ＣＰＵ２７が、撮影のためのプログラムを実行すると、ＣＰＵ２７は、合焦状態登録部２７ａ、測定部２７ｂ、カメラ位置調整部２７ｃ、撮影部２７ｄとして機能する。以下、図４に示す検査処理のフローチャートを参照しながらＣＰＵ２７における各機能を説明する。なお、検査処理は、検査対象のフラットパネルディスプレイＦＰＤがＸ−Ｙステージ１１にセットされた場合に開始される。
【００３５】
合焦状態登録部２７ａは、カメラ１２が回路パターンＰｔに合焦している状態における位置センサ１３の出力値を合焦状態データ２６ｃとして登録するための機能をＣＰＵ２７に実行させる。すなわち、本実施形態においては、カメラ１２をフラットパネルディスプレイＦＰＤ上の回路パターンＰｔの一カ所（参照位置と呼ぶ）に合焦させ、当該合焦状態において位置センサ１３で測定された距離に基づいて、Ｘ方向の任意の位置においてカメラ１２を合焦させる構成が採用されている。
【００３６】
このために、ＣＰＵ２７は、合焦状態登録部２７ａの機能により、合焦のためのインタフェース画面を表示する（ステップＳ１００）。インタフェース画面には、参照位置をカメラ１２で撮影した画像が含まれる。そこで、ＣＰＵ２７は、合焦状態登録部２７ａの機能により、Ｘ−Ｙステージインタフェース２１に対して参照位置の座標（Ｘｒ，Ｙｒ）をカメラ１２による撮影位置として指示する。この結果、参照位置として予め決められた座標（Ｘｒ，Ｙｒ）の回路パターンＰｔがカメラ１２の視野に含まれるようにＸ−Ｙステージ１１がフラットパネルディスプレイＦＰＤを移動させる。図５Ａにおいては、図３Ａに示す構成からカメラ１２およびフラットパネルディスプレイＦＰＤを抜き出し、移動後のカメラ１２の位置を示している。この状態において、ＣＰＵ２７は、カメラインタフェース２２を介してカメラ１２が撮影した画像を取得する。
【００３７】
さらに、ＣＰＵ２７は、出力部２５を制御し、カメラ１２を回路パターンＰｔに合焦させるためのインタフェース画面を表示させる。インタフェース画面は、カメラ１２によって撮影された画像を表示する部分を含み、さらに、カメラ１２のＺ方向の位置を調整するためのボタンを含んでいる。利用者は入力部２４によって当該ボタンを操作することにより、カメラ１２のＺ方向の位置を上方または下方に変化させる指示を行うことができる。
【００３８】
そこで、ＣＰＵ２７は、入力部２４の出力信号に基づいて、合焦状態登録部２７ａの機能により、カメラ１２のＺ方向の位置調整を受け付ける（ステップＳ１０５）。すなわち、インタフェース画面上のボタンが利用者によって操作されると、ＣＰＵ２７は、ボタン操作に応じて変化させた後のカメラ１２のＺ方向の位置をカメラインタフェース２２に対して出力する。この結果、カメラインタフェース２２はカメラ１２のＺ方向の位置を、指示された位置に調整する。
【００３９】
合焦状態が実現されると、利用者は、入力部２４を操作して合焦したことを指示する。ＣＰＵ２７が当該指示を受け付けると、ＣＰＵ２７は合焦状態登録部２７ａの機能により、カメラ１２および表示面のＺ方向の位置を合焦状態データ２６ｃとして記録する（ステップＳ１１０）。すなわち、ＣＰＵ２７は、Ｘ−Ｙステージインタフェース２１に対して参照位置のＸ座標（Ｘｒ）を、位置センサ１３の測定位置として指示する。
【００４０】
この結果、参照位置として予め決められた座標（Ｘｒ）の表示面Ｓｆが位置センサ１３の測定対象となるようにＸ−Ｙステージ１１がフラットパネルディスプレイＦＰＤをＸ方向に移動させる。図５Ｂにおいては、図３Ａに示す構成から位置センサ１３およびフラットパネルディスプレイＦＰＤを抜き出し、移動後の位置センサ１３の位置を示している。この状態において、ＣＰＵ２７は、位置センサインタフェース２３を介して位置センサ１３が測定した表示面Ｓｆとの距離を取得する。
【００４１】
この結果、ＣＰＵ２７は、ステップＳ１００で撮影された撮影位置のＸ座標と同じＸ座標を有する位置において、位置センサ１３と表示面Ｓｆとの距離を取得した状態となる。ＣＰＵ２７は、当該距離に基づいて、参照位置のＸ座標における表示面ＳｆのＺ方向の位置を取得する。ＣＰＵ２７は、このようにして取得された参照位置のＸ座標（Ｘｒ）における表示面ＳｆのＺ方向の位置と、ステップＳ１０５において最後に調整された後におけるカメラ１２のＺ方向の位置と、を参照位置のＸ座標に対応付け、合焦状態データ２６ｃとしてメモリ２６に記録する。この結果、合焦状態におけるカメラ１２のＺ方向の位置と、合焦状態における表示面ＳｆのＺ方向の位置とが対応づけられて合焦状態データ２６ｃとして記録される。なお、合焦状態データ２６ｃは同一設計のフラットパネルディスプレイＦＰＤの複数の個体についての検査に流用されても良く、この場合、ステップＳ１００〜Ｓ１１０は省略されても良い。
【００４２】
合焦状態データ２６ｃが記録されると、ＣＰＵ２７は、測定部２７ｂの機能により、表示面をＸ方向にスキャンし、Ｚ方向の位置を取得する（ステップＳ１１５）。すなわち、ＣＰＵ２７は、Ｘ−Ｙステージインタフェース２１に対して、ステップＳ１０５におけるＸ−Ｙステージ１１の状態からＹ座標Ｙｒを変化させず、複数のＸ座標を出力する。本実施形態において、複数のＸ座標のピッチは予め決められたピッチであり、フラットパネルディスプレイＦＰＤがＸ方向の端から端まで位置センサ１３の測定対象となるように複数のＸ座標が決められる。
【００４３】
ＣＰＵ２７は、複数のＸ座標をＸ−Ｙステージインタフェース２１に対して昇順または降順に順次出力し、各Ｘ座標を順次位置センサ１３の測定対象とさせる。各々の座標にＸ−Ｙステージ１１が移動したタイミングにおいてＣＰＵ２７は、位置センサインタフェース２３に制御信号を出力し、位置センサ１３に表示面Ｓｆまでの距離を取得させる。図６Ａは、参照位置のＸ座標Ｘｒと他の３カ所のＸ座標Ｘａ，Ｘｂ，Ｘｃを抜き出し、位置センサ１３が出力した距離Ｄｒ，Ｄａ，Ｄｂ，Ｄｃを合わせて示している。このように、複数のＸ座標について位置センサ１３が出力する距離が取得されると、ＣＰＵ２７は、当該距離に基づいて、表示面ＳｆのＺ方向の位置を取得する。以上の処理により、ＣＰＵ２７は、複数のＸ座標のそれぞれにおける表示面ＳｆのＺ方向の位置を取得した状態となる。
【００４４】
次に、ＣＰＵ２７は、測定部２７ｂの機能により、ステップＳ１１５で取得された複数のＸ座標のそれぞれにおける表示面のＺ方向の位置に基づいて、異常値を除去し、平滑化を行い、補完を行う（ステップＳ１２０）。すなわち、位置センサ１３による測定結果には、ノイズや測定誤差に起因して回路パターンＰｔの撮影に利用できない部分が生じ得る。そこで、ＣＰＵ２７は、測定結果を修正することによって回路パターンＰｔの撮影に利用できるデータを生成する。
【００４５】
具体的には、フラットパネルディスプレイＦＰＤの表示面Ｓｆは偏光板によって形成された滑らかな平面であり、位置センサ１３の測定値が周辺の測定値と大きく異なることはない。従って、測定値が周辺の測定値から閾値以上離れている場合、その測定値は異常値として除去される。除去された後には、周囲の測定値の統計値（例えば、平均値）で測定値が代替される。
【００４６】
さらに、位置センサ１３の測定値には測定誤差が含まれるため、Ｘ方向の測定値の変化は必ずしも滑らかではない。すなわち、位置センサ１３が出力する測定値には誤差が含まれるため、図２Ｂに示すようにＸ方向の変化に伴って測定値に微小な変化が現れる。しかし、フラットパネルディスプレイＦＰＤの表示面Ｓｆは偏光板によって形成された滑らかな平面であるため、Ｘ方向の表示面Ｓｆの高さの変化は滑らかである。また、本実施形態における位置センサ１３の測定値の微小な変化は小さく、当該微小な変化に合わせてカメラ１２のＺ方向の位置を変化させたとしても合焦状態に影響はない（微小な変化は被写界深度以内の変化である）。そこで、ＣＰＵ２７は、平滑化を行う。平滑化は種々の手法で行われて良く、公知の平滑化フィルタ等で実施されても良いし、各種の統計処理（平均化等）が行われてもよい。
【００４７】
さらに、本実施形態にかかるフラットパネルディスプレイＦＰＤにおいては、位置センサ１３によって表示面Ｓｆまでの距離を測定可能なＸ方向の範囲がカメラ１２で撮影される回路パターンＰｔのＸ方向の範囲と異なっている。すなわち、図３Ａに示すようにフラットパネルディスプレイＦＰＤにおいて、カメラ１２で撮影される回路パターンＰｔはＸ方向の全範囲に渡って存在する。一方、Ｘ軸負方向側の端において回路パターンＰｔはＹ方向に渡って存在するため、位置センサ１３で測定される表示面ＳｆはＸ軸負方向側の端に存在していない。従って、Ｘ軸負方向側の端において表示面ＳｆのＺ方向の位置を測定することができない。そこで、ＣＰＵ２７は、この領域のデータを補完する。当該補完は、種々の手法で行われて良く、外挿補間によって実施されても良いし、補完される領域のデータは周囲のデータの統計値と同一であると見なされても良い。
【００４８】
以上のようにして、異常値の除去、平滑化、補完の処理が行われると、ＣＰＵ２７は、処理後のデータ、すなわち、複数のＸ座標に対応づけられた表示面ＳｆのＺ方向の位置を示すデータをＺ方向位置データ２６ｄとしてメモリ２６に記録する。
【００４９】
次に、ＣＰＵ２７は、カメラ位置調整部２７ｃおよび撮影部２７ｄの機能により、Ｚ方向位置データ２６ｄに基づいてカメラ１２のＺ方向の位置を調整しながら回路パターンＰｔをＸ方向にスキャンする（ステップＳ１３０）。すなわち、ＣＰＵ２７は、カメラ位置調整部２７ｃの機能により、ステップＳ１０５におけるＸ−Ｙステージ１１の状態からＹ座標Ｙｒを変化させず、ステップＳ１１５で定義した複数のＸ座標をＸ−Ｙステージインタフェース２１に対して昇順または降順に順次出力する。また、各々の座標にＸ−Ｙステージ１１が移動したタイミングにおいてＣＰＵ２７は、カメラ位置調整部２７ｃの機能により、カメラインタフェース２２に制御信号を出力し、合焦状態データ２６ｃと、各Ｘ座標におけるＺ方向位置データ２６ｄとに基づいてカメラ１２のＺ方向の位置を調整させる。
【００５０】
具体的には、ＣＰＵ２７は、合焦状態データ２６ｃに基づいて、合焦状態における表示面ＳｆのＺ方向の位置を取得する。図６Ａであれば、ＣＰＵ２７は、位置Ｚｓｒを、合焦状態における表示面ＳｆのＺ方向の位置として取得する。また、各Ｘ座標においてカメラ１２の調整を行う際に、ＣＰＵ２７は、Ｚ方向位置データ２６ｄを参照し、各Ｘ座標における表示面ＳｆのＺ方向の位置を取得する。例えば、図６Ａに示すＸ座標Ｘｃについて処理を行うのであれば、ＣＰＵ２７は、表示面ＳｆのＺ方向の位置Ｚｓｃを取得する。
【００５１】
さらに、各Ｘ座標においてカメラ１２の調整を行う際に、ＣＰＵ２７は、表示面ＳｆのＺ方向の位置と合焦状態で測定された表示面ＳｆのＺ方向の位置との差分を取得する。例えば、Ｘ座標ＸｃであればＣＰＵ２７は、表示面ＳｆのＺ方向の位置Ｚｓｃと合焦状態におけるカメラ１２のＺ方向の位置Ｚｓｒとの差分Δｃ（＝Ｚｓｃ−Ｚｓｒ）を取得する。
【００５２】
さらに、ＣＰＵ２７は、カメラ１２のＺ方向の位置と合焦状態におけるカメラのＺ方向の位置との差分が差分Δｃに一致するように、カメラのＺ方向の位置を調整する。このために、ＣＰＵ２７は、合焦状態データ２６ｃに基づいて、合焦状態におけるカメラ１２のＺ方向の位置を取得する。図６Ｂは、図６Ａに示す例と同一の例においてカメラ１２のＺ方向の位置を調整する様子を説明する図である。図６Ｂに示す例であれば、ＣＰＵ２７は、合焦状態におけるカメラ１２のＺ方向の位置Ｚｃｒを取得する。
【００５３】
Ｘ座標Ｘｃにおいては、図６Ａに示すように、参照位置と比較して表示面ＳｆのＺ方向の位置が差分Δｃだけ変位しているため、回路パターンＰｔのＺ方向の位置も差分Δｃと同様に変位しているはずである。そこで、ＣＰＵ２７は、Ｘ座標Ｘｃにおいて、合焦状態におけるカメラのＺ方向の位置Ｚｃｒに対して差分Δｃを加えた位置をカメラ１２の位置と見なす。このような処理によれば、カメラ１２のＺ方向の位置Ｚｃｃと合焦状態におけるカメラのＺ方向の位置Ｚｃｒとの差分を差分Δｃに一致させることができる。
【００５４】
カメラ１２の位置が決まると、ＣＰＵ２７は、カメラ位置調整部２７ｃの機能により、カメラインタフェース２２に当該位置を出力する。この結果、カメラインタフェース２２は、カメラ１２をＺ方向の位置Ｚｃｃに移動させる。カメラ１２の移動が完了すると、ＣＰＵ２７は、撮影部２７ｄの機能により、カメラインタフェース２２に制御信号を出力し、カメラ１２に画像を撮影させる。ＣＰＵ２７は、Ｘ方向の複数の座標のそれぞれについて以上の処理を行うことによりＸ方向の全域に渡ってカメラ１２の調整を行う。また、Ｘ方向の複数の座標のそれぞれにおいてカメラ１２に画像を撮影させる。撮影された画像には、撮影されたＸ座標が対応づけられて画像データ２６ｂとしてメモリ２６に記録される。
【００５５】
カメラ１２によるスキャンが行われると、ＣＰＵ２７は、画像データ２６ｂに基づいて検査処理を行う（ステップＳ１３５）。すなわち、画像データ２６ｂは回路パターンＰｔが撮影された画像であるため、ＣＰＵ２７は、当該回路パターンＰｔの画像に基づいて断線やパターン異常等の有無を検査する。検査は、種々の手法で行われて良く、例えば、ＣＰＵ２７が、断線の特徴を画像データ２６ｂから抽出する処理を行って断線を検出する構成を採用可能である。また、ＣＰＵ２７が、画像データ２６ｂから回路パターンＰｔの形状を特定し、設計上の形状と異なる部位を検出する処理を行ってパターン異常を検出する構成を採用可能である。断線やパターン異常等が検出された場合、ＣＰＵ２７は、出力部２５を制御して不良の検出を示す情報を出力する。断線やパターン異常等が検出されない場合、ＣＰＵ２７は、出力部２５を制御して良品であることを示す情報を出力する。
【００５６】
以上のような本実施形態においては、回路パターンＰｔに対してカメラ１２を合焦させる際に、回路パターンＰｔではなく表示面ＳｆのＺ方向の位置を利用してカメラ１２のＺ方向の位置を調整する。すなわち、本実施形態においては、不規則な構造を有する回路パターンＰｔではなく、滑らかな平面である表示面Ｓｆに基づいてフラットパネルディスプレイＦＰＤのＺ方向の位置変化を特定する。従って、フラットパネルディスプレイＦＰＤのＺ方向の位置変化を正確に特定することができる。
【００５７】
フラットパネルディスプレイＦＰＤの表示面Ｓｆの厚さは一定であるため、表示面ＳｆのＺ方向の位置を利用すればフラットパネルディスプレイＦＰＤの反りに応じてカメラ１２のＺ方向の位置を変化させ、カメラ１２を回路パターンＰｔに合焦させることができる。従って、表示面ＳｆのＺ方向の位置を利用してカメラ１２のＺ方向の位置を調整する本実施形態によれば、正確な情報に基づいてカメラ１２のＺ方向の位置を調整することができる。この結果、正確な情報に基づいてカメラ１２を回路パターンＰｔに合焦させることができる。
【００５８】
（３）他の実施形態：
以上の実施形態は本発明を実施するための一例であり、カメラを回路パターンに合焦させるために回路パターン以外の部位の位置を測定する限りにおいて、他にも種々の実施形態を採用可能である。例えば、撮影装置は、図１に示す検査装置以外の装置に備えられていても良く、撮影装置が検査装置と別の独立した装置であっても良い。
【００５９】
また、Ｚ方向位置データ２６ｄは、カメラ１２のＺ方向の位置を調整するために参照されるデータであるため、カメラ１２の制御に着目した加工が行われてもよい。例えば、Ｚ方向位置データ２６ｄのＸ方向における変化が既定範囲内である場合にはＺ方向の位置を一定の値（例えば、平均値）とし、規定範囲を超えて変化した場合にＺ方向の位置を変化させることにより、Ｚ方向の位置が段階的に変化するようにＺ方向位置データ２６ｄを加工しても良い。この構成によれば、カメラ１２の制御を単純化し、測定を高速化することができる。
【００６０】
撮影装置は、フラットパネルディスプレイが備える回路パターンを検査するための画像として、回路パターンを含む画像を取得することができればよい。なお、表示面が常にフラットパネルディスプレイの最上部に形成される必要はなく、表示面が回路パターンと同位または下位に形成される場合にも各部位の位置が既定される限りにおいて上記実施形態の撮影方法が適用される。
【００６１】
また、液晶ディスプレイ以外のフラットパネルディスプレイが撮影されても良く、例えば、有機ＥＬディスプレイ、マイクロＬＥＤディスプレイ、量子ドットディスプレイ等が撮影対象となっても良い。すなわち、回路パターンと表示面とが形成されたフラットパネルディスプレイであれば、撮影装置における撮影対象となり得る。
【００６２】
フラットパネルディスプレイの表示面は、滑らかな平面で構成されれば良い。例えば、ガラス基板を用いた液晶ディスプレイであれば、カラーフィルタの上位の層にガラス基板、ガラス基板の上位の層に偏光板が形成されており、偏光板の表面は平面である。このため、光学的手段等を利用してＺ方向の位置を非常に正確に測定することができる。また、表示面は滑らかな平面であるため、表示面上の測定位置が変化しても正確に測定を行うことができる。なお、表示面は透明電極やカラーフィルタ等でもよい。
【００６３】
カメラは、フラットパネルディスプレイから表示面に垂直なＺ方向に離れた位置に設置され、回路パターンを撮影することができればよい。すなわち、カメラとフラットパネルディスプレイとがＺ方向に離間し、カメラの視野にフラットパネルディスプレイ上の回路パターンが含まれるようにカメラが設置される。カメラは、レンズを介して回路パターンの像を撮影センサに結像させることができればよく、少なくとも、カメラのＺ方向の位置を調整することによってカメラと回路パターンとの距離を変動させ、カメラを回路パターンに合焦させることができればよい。なお、カメラにおいて、カメラ自体のＺ方向の位置に調整して合焦させることが可能でもよいし、レンズのＺ方向の位置を調整して合焦させることが可能であってもよい。
【００６４】
カメラは、フラットパネルディスプレイから離間した位置に設置されていればよく、Ｚ方向の位置を変化させることができるように設置されれば良い。この限りにおいて、カメラを設置する手法は種々の手法が採用されてよい。カメラは、少なくとも回路パターンを撮影することができればよい。すなわち、カメラによって撮影された画像に基づいて回路パターンの断線やパターン異常等が検査される。しかし、カメラの画像は、回路パターン以外の構成要素の検査に適用されても良く、例えば、回路パターンの周辺に存在する基板Ｐｇで生じた傷、欠け、割れ等が検査対象となっても良い。
【００６５】
位置センサは、表示面のＺ方向の位置を測定することができればよい。すなわち、位置センサは、予め決められた基準位置と表示面との距離をＺ方向において測定するなどにより、表示面のＺ方向の位置（すなわち高さ）を取得することができればよい。基準位置は、表示面のＺ方向の位置を測定するための基準となる位置であれば良い。従って、上述の実施形態のように、Ｘ−Ｙステージの上面が基準位置（Ｚ＝０）となる構成以外にも種々の構成であって良い。
【００６６】
例えば、Ｚ方向の位置が変化しないように撮影装置に固定されたレーザ変位計内の位置が基準位置であっても良いし、カメラ内の位置が基準位置であっても良い。前者であれば、Ｚ方向の位置と、位置センサから表示面までの距離は等価である。後者であれば、カメラの基準位置と表示面との距離が測定されるなどの構成によって表示面のＺ方向の位置が測定される。
【００６７】
カメラ位置調整部は、表示面のＺ方向の位置に基づいて、カメラのＺ方向の位置を調整することができればよい。すなわち、フラットパネルディスプレイにおいては、表示面と回路パターンとがパネル面にともに形成されているため、表示面および回路パターンのＺ方向の位置は共通の特性を有している。例えば、フラットパネルディスプレイの基板にＺ方向の反りが生じているなど、個々のフラットパネルディスプレイに特有の特徴が生じている場合、当該Ｚ方向の特性は、表示面および回路パターンにおいても共通して現れる。従って、基準位置と表示面との距離を特定すれば、カメラ位置調整部は、表示面のＺ方向の位置の特性に合わせてカメラのＺ方向の位置を調整することができる。
【００６８】
フラットパネルディスプレイと位置センサとを相対的に移動させる方向は、少なくとも１方向であれば良く、２以上の方向であっても良い。このような構成としては、Ｘ方向と異なる方向、例えば、Ｙ方向にも相対的な移動が行われる構成等が挙げられる。この構成は、例えば、フラットパネルディスプレイの隣接する２辺の縁に沿って回路パターンが形成されている場合に、これらの回路パターンを撮影する撮影装置として構成される例が挙げられる。むろん、フラットパネルディスプレイの縁に限らず、任意の位置の回路パターンが撮影可能であっても良い。
【００６９】
合焦状態は、カメラによって撮影される回路パターンの画像において、回路パターンにピントが合っており、回路パターンの検査を実行可能な画質で画像を撮影可能な状態であれば良い。従って、回路パターンのＺ方向の位置が被写界深度内であることが好ましいが、検査可能な画質であればよいため、人為的に合焦状態であることが確認されても良いし、回路パターンのエッジの強度等に基づいて合焦状態であることが確認されても良い。
【００７０】
表示面のＺ方向の位置に基づいてカメラのＺ方向の位置を調整する手法は、他にも種々の手法が採用されてよい。すなわち、表示面のＺ方向の位置を位置センサによって測定することにより、表示面のＺ方向の変化に連動する回路パターンのＺ方向の変化に応じて、カメラを合焦させるために必要なカメラと回路パターンとの距離を変化させることができればよい。例えば、カメラが回路パターンに合焦するために必要なカメラと回路パターンとの距離が予め特定されており、測定位置において測定された表示面のＺ方向の位置が基準の位置から変化している場合、カメラの位置を当該変化と同様に変化させることでカメラと回路パターンとの距離が合焦する距離になるように制御する構成等が挙げられる。
【００７１】
さらに、上述の実施形態においては、位置センサ１３によるスキャンを行った後にカメラ１２によるスキャンを行う構成であったが、これらのスキャンが並行して実施されても良い。例えば、位置センサがカメラよりも先行して移動し、カメラが位置センサに追従して移動するように構成し、カメラ位置調整部２７ｃが、測定位置において位置センサによって先に測定された表示面のＺ方向の位置に基づいて、遅れて当該測定位置に到達するカメラのＺ方向の位置を調整する構成が採用されてもよい。
【００７２】
このような構成は、図１に示す構成において、図７に示す検査処理を実行することによって実現可能である。すなわち、図１に示す構成において、位置センサ１３とカメラ１２とのＸ方向の相対的な位置は異なっている。そこで、位置センサ１３がカメラ１２よりも先行するようにＸ−Ｙステージ１１を移動させれば、スキャンを並行させることができる。
【００７３】
図７に示す検査処理において、図４と同一の処理は図４と同一の符号を付して示している。図７に示す検査処理において、ステップＳ１００〜Ｓ１１０は図４と同様であり、この処理によって合焦状態データ２６ｃがメモリ２６に記録される。この状態でＣＰＵ２７は、Ｘ−Ｙステージインタフェース２１に制御信号を出力してスキャンを開始させる（ステップＳ１１２）。当該スキャンは例えば、図２Ａに示す状態からフラットパネルディスプレイＦＰＤをＸ軸負方向に移動させることによって開始される。さらに、ＣＰＵ２７は、Ｘ−Ｙステージインタフェース２１に対して既定ステップずつ変化するＸ座標を順次指示する。このスキャンによれば、位置センサ１３による測定をカメラ１２に先行させることができる。
【００７４】
スキャンが開始されると、ＣＰＵ２７は、位置センサインタフェース２３に制御信号を出力し、各ステップにおいて表示面のＺ方向の位置を取得させる（ステップＳ１１４）。この結果、位置センサ１３から既定ステップ毎に表示面までの距離が出力される。ＣＰＵ２７は、当該距離に基づいて既定ステップ毎に表示面ＳｆのＺ方向の位置を取得する。
【００７５】
次に、ＣＰＵ２７は、既定区間の測定結果に基づいて異常値除去、平滑化を行う（ステップＳ１１６）。すなわち、本例においては、位置センサ１３がカメラ１２よりも先行しているため、先行して測定された既定区間のデータに基づいてカメラ１２のＺ方向の位置を調整するように構成されている。既定区間は、カメラ１２のＺ方向の位置を調整することでカメラ１２を回路パターンＰｔに合焦させることが可能な区間であれば良く、本実施形態においては、位置センサ１３がカメラ１２に先行している距離分の区間（図３Ａに示すＲ）が既定区間である。そこで、ＣＰＵ２７は、Ｚ方向の位置の測定結果が既定区間分得られると、これらの測定結果に基づいて、異常値除去および平滑化を行う。異常値除去および平滑化は上述のステップＳ１２０と同様の処理である。
【００７６】
異常値除去および平滑化が行われると、ＣＰＵ２７は、処理後のデータをＺ方向位置データ２６ｄとしてメモリ２６に記録する（ステップＳ１２２）。既定区間分のＺ方向位置データ２６ｄが記録されると、ＣＰＵ２７は、既定区間のＺ方向位置データ２６ｄに基づいてカメラのＺ方向の位置を調整して回路パターンを撮影する（ステップＳ１２４）。すなわち、ＣＰＵ２７は、既定区間分のＺ方向位置データ２６ｄに基づいて、現在のＸ座標（カメラ１２が存在するＸ座標）における表示面ＳｆのＺ方向の位置を取得し、合焦状態データ２６ｃが示す合焦状態のカメラ１２のＺ方向の位置および表示面ＳｆのＺ方向の位置に基づいて、現在のＺ座標におけるカメラ１２のＺ方向の位置を調整する。当該調整は上述のステップＳ１３０における調整と同様の処理である。
【００７７】
次に、ＣＰＵ２７は、カメラ１２がフラットパネルディスプレイＦＰＤの端部に到達したか否か判定し（ステップＳ１２６）、フラットパネルディスプレイＦＰＤの端部に到達したと判定されるまでステップＳ１１４を繰り返す。なお、ステップＳ１１４〜Ｓ１２６において、初期に既定区間分のＺ方向位置データ２６ｄが蓄積されるまでカメラ１２の撮影は行われないが、既定区間分のＺ方向位置データ２６ｄが一旦蓄積すると、以後においては、１ステップ毎に既定区間分のＺ方向位置データ２６ｄが蓄積されるため、ステップ毎にカメラ１２のＺ方向の位置の調整は行われる。
【００７８】
また、フラットパネルディスプレイＦＰＤの両端において、既定区間分のＺ方向位置データ２６ｄを蓄積できない場合、他の区間の測定値から推定したり、検査を省略したりするなどの例外処理が採用されてよい。ステップＳ１２６においてフラットパネルディスプレイＦＰＤの端部に到達したと判定された場合、ＣＰＵ２７は、ステップＳ１３５において検査処理を実行する。以上の構成によれば、位置センサ１３によるスキャンとカメラ１２によるスキャンを並行させることができ、フラットパネルディスプレイＦＰＤの一辺に渡る回路パターンＰｔの撮影を高速に実行することができる。
【００７９】
本発明の適用対象は装置に限定されず、方法やプログラムとして実現されることも想定される。また、本発明の一実施形態としての撮影装置は単独で実現される場合もあるし、ある方法に適用され、あるいは同方法が他の機器に組み込まれた状態で利用されることもあるなど、発明の思想としてはこれに限らず、各種の態様を含むものである。むろん、発明の実施態様がソフトウェアであったりハードウェアであったりするなど、適宜、変更可能である。また、ソフトウェアの記録媒体は、磁気記録媒体であってもよいし半導体メモリであってもよいし、今後開発されるいかなる記録媒体においても全く同様に考えることができる。一次複製品、二次複製品などの複製段階についても同等である。さらに、一部がソフトウェアであって、一部がハードウェアで実現されている場合においても発明の思想において全く異なるものではなく、一部を記録媒体上に記憶しておいて必要に応じて適宜読み込まれるような形態であってもよい。
【符号の説明】
【００８０】
１０…制御装置、１１…Ｘ−Ｙステージ、１２…カメラ、１３…位置センサ、２１…Ｘ−Ｙステージインタフェース、２２…カメラインタフェース、２３…位置センサインタフェース、２４…入力部、２５…出力部、２６…メモリ、２６ａ…プログラムデータ、２６ｂ…画像データ、２６ｃ…合焦状態データ、２６ｄ…Ｚ方向位置データ、２７…ＣＰＵ、２７ａ…合焦状態登録部、２７ｂ…測定部、２７ｃ…カメラ位置調整部、２７ｄ…撮影部、ＦＰＤ…フラットパネルディスプレイ、Ｐｔ…回路パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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