(57)【要約】【課題】エキスパンドシートを用いることなく板状の被加工物を分割できる分割方法を提供する。【解決手段】１又は複数の分割予定ラインに沿って分割の起点となる起点領域が形成された板状の被加工物を分割予定ラインに沿って複数の小片に分割する分割方法であって、静電気の力で被加工物を吸着する複数の静電吸着部材を用いて、被加工物の下面側の各小片に対応する複数の領域をそれぞれ吸着する静電吸着ステップと、各静電吸着部材を互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与することで、各静電吸着部材を介して被加工物に力を付与し、分割予定ラインに沿って被加工物を複数の小片に分割する分割ステップと、を含む。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１又は複数の分割予定ラインに沿って分割の起点となる起点領域が形成された板状の被加工物を該分割予定ラインに沿って複数の小片に分割する分割方法であって、
静電気の力で該被加工物を吸着する複数の静電吸着部材を用いて、該被加工物の下面側の各小片に対応する複数の領域をそれぞれ吸着する静電吸着ステップと、
各静電吸着部材を互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与することで、各静電吸着部材を介して該被加工物に力を付与し、該分割予定ラインに沿って該被加工物を複数の該小片に分割する分割ステップと、を備えることを特徴とする分割方法。
【請求項２】
該被加工物には、第１方向に延びる複数の第１分割予定ラインに沿って該起点領域が形成されており、
該静電吸着ステップは、所定の方向に長い複数の該静電吸着部材を用いて、複数の該第１分割予定ラインにより区画される複数の領域をそれぞれ吸着する第１静電吸着ステップを含み、
該分割ステップは、該第１静電吸着ステップを実施した後に、各静電吸着部材を該第１方向に対して垂直、且つ互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与することで、全ての該第１分割予定ラインに沿って該被加工物を分割する第１分割ステップを含むことを特徴とする請求項１に記載の分割方法。
【請求項３】
該被加工物には、該第１方向に交差する第２方向に延びる複数の第２分割予定ラインに沿って該起点領域が形成されており、
該静電吸着ステップは、該第１分割ステップを実施した後に、所定の方向に長い複数の該静電吸着部材を用いて、複数の該第２分割予定ラインにより区画される複数の領域をそれぞれ吸着する第２静電吸着ステップを含み、
該分割ステップは、該第２静電吸着ステップを実施した後に、各静電吸着部材を該第２方向に対して垂直、且つ互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与することで、全ての該第２分割予定ラインに沿って該被加工物を分割する第２分割ステップを含むことを特徴とする請求項２に記載の分割方法。
【請求項４】
所定の方向に延びる１又は複数の分割予定ラインに沿って分割の起点となる起点領域が形成された板状の被加工物を該分割予定ラインに沿って複数の小片に分割する分割装置であって、
該被加工物の下面側の各小片に対応する領域をそれぞれ吸着する吸着面を有し、該所定の方向に対して垂直な方向に配列された複数の静電吸着部材と、
複数の該静電吸着部材のそれぞれに電圧を印加する電源ユニットと、
複数の該静電吸着部材を該所定の方向に対して垂直、且つ互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与する付与機構と、を備えることを特徴とする分割装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物を分割する分割方法、及びこの分割方法に使用される分割装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハに代表される板状の被加工物（ワーク）を複数のチップへと分割するために、透過性のあるレーザビームを被加工物の内部に集光させて、多光子吸収により改質された改質層（改質領域）を形成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。改質層は、他の領域に比べて脆いので、分割予定ライン（ストリート）に沿って改質層を形成してから被加工物に力を加えることで、この改質層を起点に被加工物を複数のチップへと分割できる。
【０００３】
改質層が形成された被加工物に力を加える際には、例えば、伸張性のあるエキスパンドシート（エキスパンドテープ）を被加工物に貼って拡張する方法が採用される（例えば、特許文献２参照）。この方法では、通常、レーザビームを照射して被加工物に改質層を形成する前に、エキスパンドシートを被加工物に貼り、その後、改質層を形成してからエキスパンドシートを拡張して被加工物を複数のチップへと分割する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１９２３７０号公報
【特許文献２】特開２０１０−２０６１３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上述のようなエキスパンドシートを拡張する方法では、使用後のエキスパンドシートを再び使用することができないので、チップの製造に要する費用も高くなり易い。特に、粘着材がチップに残留し難い高性能なエキスパンドシートは、価格も高いので、そのようなエキスパンドシートを用いると、チップの製造に要する費用も高くなる。
【０００６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、エキスパンドシートを用いることなく板状の被加工物を分割できる分割方法、及びこの分割方法に使用される分割装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、１又は複数の分割予定ラインに沿って分割の起点となる起点領域が形成された板状の被加工物を該分割予定ラインに沿って複数の小片に分割する分割方法であって、静電気の力で該被加工物を吸着する複数の静電吸着部材を用いて、該被加工物の下面側の各小片に対応する複数の領域をそれぞれ吸着する静電吸着ステップと、各静電吸着部材を互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与することで、各静電吸着部材を介して該被加工物に力を付与し、該分割予定ラインに沿って該被加工物を複数の該小片に分割する分割ステップと、を備える分割方法が提供される。
【０００８】
本発明の一態様において、該被加工物には、第１方向に延びる複数の第１分割予定ラインに沿って該起点領域が形成されており、該静電吸着ステップは、所定の方向に長い複数の該静電吸着部材を用いて、複数の該第１分割予定ラインにより区画される複数の領域をそれぞれ吸着する第１静電吸着ステップを含み、該分割ステップは、該第１静電吸着ステップを実施した後に、各静電吸着部材を該第１方向に対して垂直、且つ互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与することで、全ての該第１分割予定ラインに沿って該被加工物を分割する第１分割ステップを含んでも良い。
【０００９】
本発明の一態様において、該被加工物には、該第１方向に交差する第２方向に延びる複数の第２分割予定ラインに沿って該起点領域が形成されており、該静電吸着ステップは、該第１分割ステップを実施した後に、所定の方向に長い複数の該静電吸着部材を用いて、複数の該第２分割予定ラインにより区画される複数の領域をそれぞれ吸着する第２静電吸着ステップを含み、該分割ステップは、該第２静電吸着ステップを実施した後に、各静電吸着部材を該第２方向に対して垂直、且つ互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与することで、全ての該第２分割予定ラインに沿って該被加工物を分割する第２分割ステップを含んでも良い。
【００１０】
本発明の別の一態様によれば、所定の方向に延びる１又は複数の分割予定ラインに沿って分割の起点となる起点領域が形成された板状の被加工物を該分割予定ラインに沿って複数の小片に分割する分割装置であって、該被加工物の下面側の各小片に対応する領域をそれぞれ吸着する吸着面を有し、該所定の方向に対して垂直な方向に配列された複数の静電吸着部材と、複数の該静電吸着部材のそれぞれに電圧を印加する電源ユニットと、複数の該静電吸着部材を該所定の方向に対して垂直、且つ互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与する付与機構と、を備える分割装置が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の一態様に係る分割方法では、静電気の力で被加工物を吸着する複数の静電吸着部材を用いて、分割後の各小片に対応する被加工物の下面側の複数の領域をそれぞれ吸着し、各静電吸着部材を互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与することで、被加工物を複数の小片に分割するので、被加工物を複数の小片へと分割するためにエキスパンドシートを用いる必要がない。よって、本発明の一態様に係る分割方法によれば、エキスパンドシートを用いることなく板状の被加工物を分割できる。
【００１２】
また、本発明の別の一態様に係る分割装置は、分割後の各小片に対応する被加工物の下面側の複数の領域をそれぞれ吸着する吸着面を有し、分割予定ラインの延びる所定の方向に対して垂直な方向に配列された複数の静電吸着部材と、複数の静電吸着部材のそれぞれに電圧を印加する電源ユニットと、複数の静電吸着部材を所定の方向に対して垂直、且つ互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与する付与機構と、を備えるので、この分割装置を用いて上述した分割方法を適切に遂行できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】分割装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図２】図２（Ａ）は、分割装置の一部を模式的に示す断面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の一部を拡大して示す断面図である。
【図３】被加工物の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図４】搬入ステップについて説明するための斜視図である。
【図５】第１静電吸着ステップについて説明するための斜視図である。
【図６】図６（Ａ）は、第１静電吸着ステップについて説明するための断面図であり、図６（Ｂ）は、第１分割ステップについて説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態の分割方法に使用される分割装置２の構成例を模式的に示す斜視図である。図２（Ａ）は、分割装置２の一部を模式的に示す断面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の一部を拡大して示す断面図である。また、図３は、本実施形態の分割方法で分割される被加工物１１の構成例を模式的に示す斜視図である。
【００１５】
図３に示すように、本実施形態で分割される被加工物１１は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、ヒ化ガリウム（ＧａＡｓ）、リン化インジウム（ＩｎＰ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）等の半導体、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）、ソーダガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス等の誘電体（絶縁体）、又は、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａ３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂ３）等の強誘電体（強誘電体結晶）でなる円盤状のウェーハ（基板）である。
【００１６】
被加工物１１の表面１１ａ側は、交差する複数の分割予定ライン（ストリート）１３で複数の領域１５に区画されている。各領域１５には、必要に応じて、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）、ＬＤ（Laser Diode）、フォトダイオード（Photodiode）、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）フィルタ、ＢＡＷ（Bulk Acoustic Wave）フィルタ等のデバイスが形成されている。
【００１７】
この被加工物１１を分割予定ライン１３に沿って分割することで、複数のチップが得られる。具体的には、被加工物１１がシリコンウェーハの場合には、例えば、メモリやセンサ等として機能するチップが得られる。被加工物１１がヒ化ガリウム基板やリン化インジウム基板、窒化ガリウム基板の場合には、例えば、発光素子や受光素子等として機能するチップが得られる。
【００１８】
被加工物１１がシリコンカーバイド基板の場合には、例えば、パワーデバイス等として機能するチップが得られる。被加工物１１がサファイア基板の場合には、例えば、発光素子等として機能するチップが得られる。被加工物１１がソーダガラスやホウケイ酸ガラス、石英ガラス等でなるガラス基板の場合には、例えば、光学部品やカバー部材（カバーガラス）として機能するチップが得られる。
【００１９】
被加工物１１がタンタル酸リチウムや、ニオブ酸リチウム等の強誘電体でなる強誘電体基板（強誘電体結晶基板）の場合には、例えば、フィルタやアクチュエータ等として機能するチップが得られる。なお、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ、厚み等に制限はない。同様に、領域１５に形成されるデバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。領域１５には、デバイスが形成されていなくても良い。
【００２０】
被加工物１１の内部には、分割の際に起点となる改質層（起点領域）１７が形成されている。改質層１７は、例えば、被加工物１１に対して透過性を示す波長のレーザビームを集光する方法で分割予定ライン１３に沿って形成され、被加工物１１の他の領域に比べて脆い。なお、この改質層１７に代えて、切削ブレードやレーザビームによって被加工物１１をハーフカットする方法で、分割の際に起点となる溝（起点領域）等を形成しておいても良い。
【００２１】
本実施形態では、この被加工物１１を分割装置２で分割する。図１、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、分割装置２は、概ね等間隔に配置された複数の静電吸着部材４を含む。各静電吸着部材４は、所定の方向に長い直方体状（平板状又は棒状）に形成されており、その上面（吸着面）４ａ側で被加工物１１の下面側（例えば、裏面１１ｂ側）を吸着、保持する。
【００２２】
静電吸着部材４の上面４ａの長さ（上述した所定の方向に沿った長さ）は、例えば、被加工物１１の直径よりも長い。一方で、静電吸着部材４の上面４ａの幅（上述した所定の方向に対して垂直な方向の長さ）は、被加工物１１において隣接する２本の分割予定ライン１３の間隔よりも狭い。よって、被加工物１１の隣接する２本の分割予定ライン１３の間の領域（分割後の小片に相当する領域）を、この静電吸着部材４で吸着、保持できる。
【００２３】
各静電吸着部材４の下面４ｂには、上述した所定の方向（すなわち、各静電吸着部材４の長手方向）に対して垂直な方向に延びる帯状の２本（２枚）の弾性シート（付与機構）６ａ，６ｂが接着剤８（図２（Ｂ））によって固定されている。具体的には、各静電吸着部材４の長手方向の一端側に、一方の弾性シート６ａが固定されている。
【００２４】
また、各静電吸着部材４の長手方向の他端側に、他方の弾性シート６ｂが固定されている。各弾性シート６ａ，６ｂは、例えば、ゴム等の高弾性材料でなり、所定の伸縮性を有している。２本の弾性シート６ａ，６ｂによって、各静電吸着部材４は、その長手方向に対して垂直な方向に配列された状態で連結される。
【００２５】
ただし、弾性シート６ａ，６ｂの材質、構造、数量、配置等に特段の制限はない。例えば、伸縮性又は非伸縮性の繊維で構成される織物や編物等を弾性シート６ａ，６ｂとして用いても良い。また、本実施形態では、２本の弾性シート６ａ，６ｂによって複数の静電吸着部材４を連結しているが、１本（１枚）、又は３本（３枚）以上の弾性シートを用いて複数の静電吸着部材４を連結することもできる。
【００２６】
各弾性シート６ａ，６ｂの一端側は、静電吸着部材４の長手方向に概ね平行な回転軸を持つ円筒状（円柱状）のローラー（付与機構）１０ａに固定されている。このローラー１０ａは、モータ等の回転駆動源（付与機構）１２ａに連結されており、回転駆動源１２ａで発生する力によって回転軸の周りに回転する。
【００２７】
同様に、各弾性シート６ａ，６ｂの他端側は、各静電吸着部材４の長手方向に概ね平行な回転軸を持つ円筒状（円柱状）のローラー（付与機構）１０ｂに固定されている。このローラー１０ｂは、モータ等の回転駆動源（付与機構）１２ｂに連結されており、回転駆動源１２ｂで発生する力によって回転軸の周りに回転する。
【００２８】
回転駆動源１２ａ，１２ｂでローラー１０ａ，１０ｂを回転させることにより、弾性シート６ａ，６ｂをローラー１０ａ，１０ｂで巻き取ったり、弾性シート６ａ，６ｂをローラー１０ａ，１０ｂから繰り出したりして、この弾性シート６ａ，６ｂに掛かる張力を調整できる。
【００２９】
なお、本実施形態の分割装置２では、２組のローラー１０ａ，１０ｂと２組の回転駆動源１２ａ，１２ｂとを用いているが、例えば、１組のローラーと１組の回転駆動源とを用いて同等の機能を実現することもできる。この場合には、例えば、各弾性シート６ａ，６ｂの一端側（又は他端側）を固定し、他端側（又は一端側）に１組のローラーと１組の回転駆動源とを接続すれば良い。
【００３０】
図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、静電吸着部材４は、その長手方向に延びる柱状（棒状）の心材１４ａと、心材１４ａの周りを被覆する導電部材１６ａとを含んでいる。導電部材１６ａは、例えば、銅等の金属で構成され、静電吸着部材４の一方の電極として機能する。心材１４ａの材質、形状等に特段の制限はないが、本実施形態では、シリコンでなる角柱状の心材１４ａを用いる。
【００３１】
また、静電吸着部材４は、その長手方向に延びる柱状（棒状）の心材１４ｂと、心材１４ｂの周りを被覆する導電部材１６ｂとを含んでいる。心材１４ｂや導電部材１６ｂの材質、形状等は、心材１４ａや導電部材１６ａの材質、形状等と同じで良い。なお、この導電部材１６ｂは、静電吸着部材４の他方の電極として機能する。
【００３２】
心材１４ａ及び導電部材１６ａと、心材１４ｂ及び導電部材１６ｂとは、所定の間隔をあけて配置され、絶縁部材１８で被覆されている。これにより、互いに平行な一対の電極が実現されている。なお、この絶縁部材１８の上面が静電吸着部材４の上面４ａとなり、絶縁部材１８の下面が静電吸着部材４の下面４ｂとなる。
【００３３】
図１に示すように、各静電吸着部材４の一方の電極（導電部材１６ａ）は、配線２０やスイッチ２２等を介して、直流電源（電源ユニット）２４の正極に接続されている。また、各静電吸着部材４の他方の電極（導電部材１６ｂ）は、配線２０等を介して、直流電源２４の負極に接続されている。
【００３４】
よって、スイッチ２２を導通（ＯＮ）状態にして、直流電源２４の電圧を各静電吸着部材４の電極に加えることで、各静電吸着部材４の周りに電界を発生させることができる。複数の静電吸着部材４等の上方には、搬送ユニット２６が配置されている。搬送ユニット２６は、被加工物１１の上面側（例えば、表面１１ａ側）を吸着、保持して、この被加工物１１を搬送する。
【００３５】
上述した分割装置２を用いて行われる分割方法について説明する。図４は、被加工物１１を複数の静電吸着部材４に載せる搬入ステップについて説明するための斜視図である。図４に示すように、この搬入ステップでは、まず、被加工物１１の上面側（本実施形態では、表面１１ａ側）を搬送ユニット２６で吸着、保持する。
【００３６】
次に、搬送ユニット２６を移動させて、被加工物１１の下面側（本実施形態では、裏面１１ｂ側）を複数の静電吸着部材４の上面４ａに接触させる。この時、被加工物１１の第１方向に延びる分割予定ライン１３（第１分割予定ライン）を、隣接する２個の静電吸着部材４の隙間に合わせるように、複数の静電吸着部材４と被加工物１１との相対的な位置及び向きを搬送ユニット２６で調整する。
【００３７】
その後、搬送ユニット２６による被加工物１１の吸着、保持を解除することで、被加工物１１を複数の静電吸着部材４に載せることができる。なお、この搬入ステップでは、少なくとも静電吸着部材４に被加工物１１を載せる前に、スイッチ２２を非導通（ＯＦＦ）状態にしておく。また、回転駆動源１２ａ，１２ｂで弾性シート６ａ，６ｂに掛かる張力を調整し、静電吸着部材４の配列される周期（繰り返し周期）を第１方向に延びる分割予定ライン１３の配列される周期（繰り返し周期）に合わせておく。
【００３８】
搬入ステップの後には、複数の静電吸着部材４で被加工物１１を吸着、保持する第１静電吸着ステップを行う。図５は、第１静電吸着ステップについて説明するための斜視図であり、図６（Ａ）は、第１静電吸着ステップについて説明するための断面図である。図５に示すように、第１静電吸着ステップでは、スイッチ２２を非導通状態から導通状態に切り替えて、直流電源２４の電圧を各静電吸着部材４の電極に印加する。
【００３９】
これにより、各静電吸着部材４の周りに電界が発生し、その効果として、被加工物１１と各静電吸着部材４との間に静電気の力が作用する。この静電気の力によって、図６（Ａ）に示すように、被加工物１１は、各静電吸着部材４に吸着、保持される。なお、被加工物１１と各静電吸着部材４との間に作用する静電気の力には、クーロン力、ジョンソン・ラーベック力、グラジエント力等がある。
【００４０】
本実施形態では、搬入ステップにおいて、第１方向に延びる分割予定ライン１３の位置を、隣接する２個の静電吸着部材４の隙間に相当する位置に合わせている。そのため、各静電吸着部材４の周りに電界を発生させると、第１方向に延びる複数の分割予定ライン１３によって区画される複数の領域（分割後の小片に相当する領域）が、それぞれ、静電吸着部材４によって吸着、保持される。
【００４１】
第１静電吸着ステップの後には、第１方向に延びる複数の分割予定ライン１３に沿って被加工物１１を複数の小片に分割する第１分割ステップを行う。図６（Ｂ）は、第１分割ステップについて説明するための断面図である。この第１分割ステップでは、弾性シート６ａ，６ｂを巻き取る方向にローラー１０ａ，１０ｂを回転させて、弾性シート６ａ，６ｂに掛かる張力（所定の方向に対して垂直な方向の張力）を増大させる。
【００４２】
すなわち、所定の方向に対して垂直な方向（第１静電吸着ステップでは、第１方向に対して垂直な方向）に引っ張る力を弾性シート６ａ，６ｂに作用させる。これにより、各静電吸着部材４には、各静電吸着部材４を所定の方向に対して垂直、且つ互いに離れる方向に相対的に移動させるような力が付与される。
【００４３】
上述のように、第１方向に延びる複数の分割予定ライン１３には、それぞれ、分割の起点となる改質層１７が形成されている。この改質層１７は、被加工物１１の他の領域に比べて脆い。そのため、被加工物１１は、各静電吸着部材４を介して伝わる力によって、図６（Ｂ）に示すように、第１方向に延びる複数の分割予定ライン１３に沿って複数の小片１９に分割される。第１方向に延びる全ての分割予定ライン１３に沿って、被加工物１１が複数の小片１９に分割されると、第１分割ステップは終了する。
【００４４】
第１分割ステップの後には、複数の静電吸着部材４に対して被加工物１１を相対的に回転させる回転ステップを行う。この回転ステップは、例えば、上述した搬送ステップに類似する手順で行われる。具体的には、まず、複数の静電吸着部材４に保持されている被加工物１１の上面側（本実施形態では、表面１１ａ側）を搬送ユニット２６で吸着、保持する。併せて、スイッチ２２を非導通状態に切り替える。
【００４５】
次に、搬送ユニット２６を上昇させて、各静電吸着部材４と被加工物１１とを相対的に回転させる。具体的には、第１方向に交差する第２方向（本実施形態では、第１方向に対して垂直な方向）に延びる分割予定ライン１３（第２分割予定ライン）を、隣接する２個の静電吸着部材４の隙間に合わせるように、複数の静電吸着部材４と被加工物１１とを相対的に回転させる。そして、搬送ユニット２６を下降させ、被加工物１１の下面側（本実施形態では、裏面１１ｂ側）を再び複数の静電吸着部材４の上面４ａに接触させる。
【００４６】
その後、搬送ユニット２６による被加工物１１の吸着、保持を解除することで、被加工物１１を複数の静電吸着部材４に載せることができる。なお、この回転ステップでは、少なくとも静電吸着部材４に被加工物１１を再び載せる前に、回転駆動源１２ａ，１２ｂで弾性シート６ａ，６ｂに掛かる張力を調整し、静電吸着部材４の配列される周期（繰り返し周期）を第２方向に延びる分割予定ライン１３の配列される周期（繰り返し周期）に合わせておく。
【００４７】
回転ステップの後には、複数の静電吸着部材４で被加工物１１を吸着、保持する第２静電吸着ステップを行う。この第２静電吸着ステップは、例えば、上述した第１静電吸着ステップと同様の手順で行われる。具体的には、スイッチ２２を非導通状態から導通状態に切り替えて、直流電源２４の電圧を各静電吸着部材４の電極に印加する。
【００４８】
これにより、各静電吸着部材４の周りに電界が発生し、その効果として、被加工物１１と各静電吸着部材４との間に静電気の力が作用する。この静電気の力によって、被加工物１１は、各静電吸着部材４に吸着、保持される。
【００４９】
本実施形態では、回転ステップにおいて、第２方向に延びる分割予定ライン１３の位置を、隣接する２個の静電吸着部材４の隙間に相当する位置に合わせている。そのため、各静電吸着部材４の周りに電界を発生させると、第２方向に延びる複数の分割予定ライン１３によって区画される複数の領域（分割後の小片に対応する領域）が、それぞれ、静電吸着部材４によって吸着、保持される。
【００５０】
第２静電吸着ステップの後には、第２方向に延びる複数の分割予定ライン１３に沿って被加工物１１を複数の小片に分割する第２分割ステップを行う。この第２分割ステップは、例えば、上述した第１分割ステップと同様の手順で行われる。具体的には、弾性シート６ａ，６ｂを巻き取る方向にローラー１０ａ，１０ｂを回転させて、弾性シート６ａ，６ｂに掛かる張力（所定の方向に対して垂直な方向の張力）を増大させる。
【００５１】
すなわち、所定の方向に対して垂直な方向（第２静電吸着ステップでは、第２方向に対して垂直な方向）に引っ張る力を弾性シート６ａ，６ｂに作用させる。これにより、各静電吸着部材４には、各静電吸着部材４を所定の方向に対して垂直、且つ互いに離れる方向に相対的に移動させるような力が付与される。
【００５２】
上述のように、第２方向に延びる複数の分割予定ライン１３には、それぞれ、分割の起点となる改質層１７が形成されている。この改質層１７は、被加工物１１の他の領域に比べて脆い。そのため、被加工物１１は、各静電吸着部材４を介して伝わる力によって、第２方向に延びる複数の分割予定ライン１３に沿って複数の小片に分割される。第２方向に延びる全ての分割予定ライン１３に沿って、被加工物１１が複数の小片に分割されると、第２分割ステップは終了する。
【００５３】
以上のように、本実施形態に係る分割方法では、静電気の力で被加工物１１を吸着する複数の静電吸着部材４を用いて、分割後の各小片に対応する被加工物１１の下面側の複数の領域をそれぞれ吸着し、各静電吸着部材４を互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与することで、被加工物１１を複数の小片に分割するので、被加工物１１を複数の小片へと分割するためにエキスパンドシートを用いる必要がない。
【００５４】
また、本実施形態に係る分割装置２は、分割後の各小片に対応する被加工物１１の下面側の複数の領域をそれぞれ吸着する上面（吸着面）４ａを有し、分割予定ライン１３の延びる所定の方向に対して垂直な方向に配列された複数の静電吸着部材４と、複数の静電吸着部材４のそれぞれに電圧を印加する直流電源（電源ユニット）２４と、複数の静電吸着部材４を所定の方向に対して垂直、且つ互いに離れる方向に相対的に移動させる力を付与する弾性シート（付与機構）６ａ，６ｂ、ローラー（付与機構）１０ａ，１０ｂ、及び回転駆動源（付与機構）１２ａ，１２ｂと、を備えるので、この分割装置２を用いて被加工物１１を適切に分割できる。
【００５５】
なお、本発明は、上記実施形態等の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態の分割装置２では、弾性シート６ａ，６ｂ、ローラー１０ａ，１０ｂ、及び回転駆動源１２ａ，１２ｂを用いて、複数の静電吸着部材４に力を付与しているが、この力を付与する付与機構の構造等に特段の制限はない。
【００５６】
また、上記実施形態では、被加工物１１の裏面１１ｂ側を下方に向けて、この裏面１１ｂ側を複数の静電吸着部材４で吸着、保持しているが、被加工物１１の表面１１ａ側を下方に向けて、この表面１１ａ側を複数の静電吸着部材４で吸着、保持しても良い。
【００５７】
更に、上記実施形態では、複数の分割予定ライン１３に沿って分割の起点となる改質層（起点領域）１７が形成された被加工物１１を分割しているが、被加工物１１には、少なくとも１本の分割予定ライン１３に沿って分割の起点となる起点領域が形成されていれば良い。
【００５８】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００５９】
１１  被加工物
１１ａ  表面
１１ｂ  裏面
１３  分割予定ライン（ストリート）
１５  領域
１７  改質層（起点領域）
１９  小片
２  分割装置
４  静電吸着部材
４ａ  上面（吸着面）
４ｂ  下面
６ａ，６ｂ  弾性シート（付与機構）
８  接着剤
１０ａ，１０ｂ  ローラー（付与機構）
１２ａ，１２ｂ  回転駆動源（付与機構）
１４ａ，１４ｂ  心材
１６ａ，１６ｂ  導電部材
１８  絶縁部材
２０  配線
２２  スイッチ
２４  直流電源（電源ユニット）
２６  搬送ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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