(57)【要約】【課題】基板処理不良の発生を抑えることができる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。【解決手段】実施形態に係る基板処理装置１０は、基板Ｗに対して、撥水化剤（例えば、シランカップリング剤）を含まない有機溶媒である第１の有機溶媒を供給するための第１の溶媒配管６４と、第１の溶媒配管６４の途中の直線部分に接続され、基板Ｗに対して、第１の溶媒配管６４を介し、撥水化剤（例えば、シランカップリング剤）を含む有機溶媒である第２の有機溶媒を供給するための第２の溶媒配管６５と、基板Ｗに対して、第２の溶媒配管６５から第１の溶媒配管６４を介し、第２の有機溶媒を供給し、第２の有機溶媒が供給された基板Ｗに対して、第１の溶媒配管６４から第１の有機溶媒を供給する制御を行う制御部７０とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して、撥水化剤を含まない有機溶媒である第１の有機溶媒を供給するための第１の溶媒配管と、
前記第１の溶媒配管の途中の直線部分に接続され、前記基板に対して、前記第１の溶媒配管を介し、撥水化剤を含む有機溶媒である第２の有機溶媒を供給するための第２の溶媒配管と、
前記基板に対して、前記第２の溶媒配管から前記第１の溶媒配管を介し、前記第２の有機溶媒を供給し、前記第２の有機溶媒が供給された前記基板に対して、前記第１の溶媒配管から前記第１の有機溶媒を供給する制御を行う制御部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記第２の溶媒配管の太さは、前記第１の溶媒配管の太さよりも細いことを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記第１の溶媒配管の一部は、他の部分よりも細くなっており、
前記第２の溶媒配管は、前記第１の溶媒配管における細い部分に接続されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記第１の溶媒配管を流れる前記第１の有機溶媒の流量は、前記第２の溶媒配管を流れる前記第２の有機溶媒の流量より多くなるように設定されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記第１の溶媒配管における前記第２の溶媒配管との接続位置よりも上流側の途中に設けられ、前記第１の溶媒配管を開閉する第１の開閉弁と、
前記第２の溶媒配管の途中に設けられ、前記第２の溶媒配管を開閉する第２の開閉弁と、
を備え、
前記第２の溶媒配管における前記第２の開閉弁から前記接続位置までの長さは、前記第１の溶媒配管における前記第１の開閉弁から前記接続位置までの長さよりも短いことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項６】
基板に対して、撥水化剤を含まない有機溶媒である第１の有機溶媒を供給するための第１の溶媒配管と、前記第１の溶媒配管の途中に接続され、前記基板に対して、前記第１の溶媒配管を介し、撥水化剤を含む有機溶媒である第２の有機溶媒を供給するための第２の溶媒配管とを備える基板処理装置を用いて、前記基板を処理する基板処理方法であって、
前記基板に対して、前記第２の溶媒配管から前記第１の溶媒配管を介し、前記第２の有機溶媒を供給する工程と、
前記第２の有機溶媒が供給された前記基板に対して、前記第１の溶媒配管から前記第１の有機溶媒を供給する工程と、
を有することを特徴とする基板処理方法。
【請求項７】
前記第１の有機溶媒を供給する工程では、前記第２の溶媒配管内に残留する前記第２の有機溶媒を前記第１の溶媒配管に引き込み、前記第１の溶媒配管を流れる前記第１の有機溶媒と一緒に流すことを特徴とする請求項６に記載の基板処理方法。
【請求項８】
前記第１の溶媒配管を流れる前記第１の有機溶媒の流量は、前記第２の溶媒配管を流れる前記第２の有機溶媒の流量より多くなるように設定されていることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の基板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、基板処理装置及び基板処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置は、半導体や液晶パネルなどの製造工程において、ウェーハや液晶基板などの基板の被処理面を薬液により処理し、薬液処理後に基板の被処理面をリンス用の処理液により洗い流し、リンス後に基板を乾燥する装置である。
【０００３】
近年、基板に形成されるパターンの微細化は進んでおり、パターン同士の隙間が狭くなっている。このため、基板の乾燥処理時にパターンが倒壊し、パターン同士がくっついてしまうことがある。これは、パターン同士の隙間に入り込んだ処理液の表面張力によってパターンが引っ張られることが原因となっている。この表面張力を少しでも下げる方法として、処理液自体の表面張力を下げること、すなわち、低表面張力の処理液（例えば、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール））を使用することが行われている。
【０００４】
ところが、低表面張力の処理液を使用しても、表面張力によってパターンが引っ張られる力は０（ゼロ）にならないため、パターンの倒壊を阻止するのには限度がある。そこで、基板の表面に供給された処理液を弾くように撥水化剤（例えば、シランカップリング剤（シリル化剤））により基板の表面を覆い、パターン同士の隙間において処理液の表面張力によってパターンが引っ張られる力をほぼ０にする処理が行われている。これにより、処理液の表面張力によってパターンが引っ張られることが抑えられるので、パターンの倒壊を阻止することができる。
【０００５】
しかしながら、撥水化剤は、空気中の水分や処理中に使用されている処理液中の水分と接触すると、加水分解反応を起こし、析出物が発生する。このため、撥水化剤を供給するための供給管では、撥水化剤の供給後、吐出口付近に残留する撥水化剤が水分と接触して加水分解反応を起こし、析出物が生成されることがある。この生成された析出物が供給管から基板上に落下したり、あるいは、供給管を詰まらせたりすると、基板処理不良が発生してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−１１４４６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、基板処理不良の発生を抑えることができる基板処理装置及び基板処理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の実施形態に係る基板処理装置は、基板に対して、撥水化剤を含まない有機溶媒である第１の有機溶媒を供給するための第１の溶媒配管と、第１の溶媒配管の途中の直線部分に接続され、基板に対して、第１の溶媒配管を介し、撥水化剤を含む有機溶媒である第２の有機溶媒を供給するための第２の溶媒配管と、基板に対して、第２の溶媒配管から第１の溶媒配管を介し、第２の有機溶媒を供給し、第２の有機溶媒が供給された基板に対して、第１の溶媒配管から第１の有機溶媒を供給する制御を行う制御部とを備える。
【０００９】
本発明の実施形態に係る基板処理方法は、基板に対して、撥水化剤を含まない有機溶媒である第１の有機溶媒を供給するための第１の溶媒配管と、第１の溶媒配管の途中に接続され、基板に対して、第１の溶媒配管を介し、撥水化剤を含む有機溶媒である第２の有機溶媒を供給するための第２の溶媒配管とを備える基板処理装置を用いて、基板を処理する基板処理方法であって、基板に対して、第２の溶媒配管から第１の溶媒配管を介し、第２の有機溶媒を供給する工程と、第２の有機溶媒が供給された基板に対して、第１の溶媒配管から第１の有機溶媒を供給する工程とを有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の実施形態によれば、基板処理不良の発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図２】第１の実施形態に係る第１の溶媒配管及び第２の溶媒配管の接続部分を示す図である。
【図３】第１の実施形態に係る基板処理工程の流れを示すフローチャートである。
【図４】第２の実施形態に係る基板処理工程の流れを示すフローチャートである。
【図５】第３の実施形態に係る第１の溶媒配管及び第２の溶媒配管の接続部分を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜第１の実施形態＞
第１の実施形態について図１から図３を参照して説明する。
【００１３】
（基本構成）
図１に示すように、第１の実施形態に係る基板処理装置１０は、処理室２０と、カップ３０と、支持部４０と、回転機構５０と、処理液供給部６０と、制御部７０とを備えている。
【００１４】
処理室２０は、被処理面Ｗａを有する基板Ｗを処理するための処理ボックスである。基板Ｗとしては、例えば、ウェーハや液晶基板などが挙げられる。処理室２０は、例えば箱状に形成されており、カップ３０や支持部４０、回転機構５０などを収容する。この処理室２０の底面には、排出配管２１が接続されている。この排出配管２１は、基板Ｗの被処理面Ｗａから流れ落ちてカップ３０内の底面を流れる処理液を排出するための配管である。
【００１５】
カップ３０は、円筒状に形成されており、処理室２０内の略中央に位置付けられ、その内部に支持部４０及び回転機構５０を収容するように設けられている。カップ３０の周壁の上部は、内側に向かって傾斜しており、また、支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａが露出するように開口している。このカップ３０は、回転する基板Ｗから流れ落ちる処理液や飛散する処理液をカップ３０内の底面に導く部材である。
【００１６】
支持部４０は、カップ３０内のほぼ中央に位置付けられ、水平面内で回転可能に回転機構５０上に設けられている。この支持部４０は、例えばスピンテーブルと呼ばれる。支持部４０は、複数の支持部材４１を有しており、それらの支持部材４１により基板Ｗを水平状態に支持する。なお、基板Ｗは、その被処理面Ｗａの中心が支持部４０の回転軸上に位置付けられて支持部４０により支持される。
【００１７】
回転機構５０は、支持部４０を保持するように設けられ、その支持部４０を水平面内で回転させるように構成されている。例えば、回転機構５０は、支持部４０の中央に連結された回転軸やその回転軸を回転させるモータ（いずれも図示せず）などを有しており、モータの駆動により回転軸を介して支持部４０を回転させる。この回転機構５０は制御部７０に電気的に接続されており、その駆動は制御部７０により制御される。
【００１８】
処理液供給部６０は、薬液配管６１と、純水配管６２と、ＩＰＡ配管６３と、第１の溶媒配管６４と、第２の溶媒配管６５とを具備している。
【００１９】
薬液配管６１は、支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対して吐出口６１ａから薬液を供給するように設けられている。この薬液配管６１は、吐出口６１ａを有する先端部が支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに沿って移動機構（不図示）により移動するように構成されている。薬液配管６１の先端部は、吐出口６１ａが支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対向しない所定の待機位置（基板Ｗの周縁よりも外側の位置）から、吐出口６１ａが支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対向する所定の供給位置（基板Ｗの中央付近）に移動し、その供給位置において支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに薬液を供給する。薬液供給開始から所定の処理時間が経過すると、薬液配管６１は薬液の供給を停止し、所定のタイミングで待機位置に戻る。
【００２０】
薬液配管６１には、薬液バルブ６１ｂが設けられている。この薬液バルブ６１ｂとしては、例えば、電磁弁が挙げられる。薬液バルブ６１ｂは、薬液配管６１を開閉する開閉弁であり、薬液の流量を調整する調整弁としても機能する。薬液の流量は、例えば、所定値で一定に設定されている。薬液バルブ６１ｂは、電気的に制御部７０に接続されており、その駆動は制御部７０により制御される。なお、薬液配管６１の一端は、薬液を貯留するタンク（不図示）に接続されており、そのタンク内の薬液がポンプ（不図示）などによる送液力によって薬液配管６１を流れ、薬液配管６１の吐出口６１ａから吐出される。
【００２１】
ここで、薬液の供給が停止された状態で、薬液配管６１内は薬液により満たされている。このとき、薬液配管６１の吐出口６１ａから支持部４０や支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに薬液が落下すること（液だれ）を防止するため、薬液配管６１内の薬液に対して負圧が与えられている。なお、他の配管６２〜６５内も同様に液供給後、処理液により満たされている。このため、他の配管６２〜６５にも前述の負圧の付与が行われ、液だれが防止されている。
【００２２】
薬液としては、例えば、塩酸、硫酸、アンモニア水、過酸化水素水、オゾン水などの単独薬液、あるいは、複数の単独薬液が混合された混合液などを用いることが可能である。この混合液としては、ＳＣ２（ＨＰＭとも表記：塩酸、過酸化水素水及び水の混合液）やＳＣ１（ＡＰＭとも表記：アンモニア水、過酸化水素水及び水の混合液）、ＳＰＭ（硫酸及び過酸化水素水の混合液）、塩酸及びオゾン水の混合液などが挙げられる。なお、単独薬液を複数の配管から同時に吐出して基板Ｗの被処理面Ｗａ上で混合することも可能である。また、薬液は一種類に限るものではなく、薬液配管６１を複数本設け、各薬液配管６１から順次薬液を吐出しても良い。この数種類の薬液を用いる場合には、例えば、酸性の薬液、純水、アルカリ性の薬液、純水と交互に液供給を実行するようにしても良い。
【００２３】
純水配管６２は、支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対して吐出口６２ａから純水を供給するように設けられている。この純水配管６２は、吐出口６２ａを有する先端部が支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに沿って移動機構（不図示）により移動するように構成されている。純水配管６２の先端部は、吐出口６２ａが支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対向しない所定の待機位置（基板Ｗの周縁よりも外側の位置）から、吐出口６２ａが支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対向する所定の供給位置（基板Ｗの中央付近）に移動し、その供給位置において支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに純水を供給する。純水供給開始から所定の処理時間が経過すると、純水配管６２は純水の供給を停止し、所定のタイミングで待機位置に戻る。
【００２４】
純水配管６２には、純水バルブ６２ｂが設けられている。この純水バルブ６２ｂとしては、例えば、電磁弁が挙げられる。純水バルブ６２ｂは、純水配管６２を開閉する開閉弁であり、純水の流量を調整する調整弁としても機能する。純水の流量は、例えば、所定値で一定に設定されている。純水バルブ６２ｂは、電気的に制御部７０に接続されており、その駆動は制御部７０により制御される。なお、純水配管６２の一端は、純水を貯留するタンク（不図示）に接続されており、そのタンク内の純水がポンプ（不図示）などによる送液力によって純水配管６２を流れ、純水配管６２の吐出口６２ａから吐出される。
【００２５】
ＩＰＡ配管６３は、支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対して吐出口６３ａからＩＰＡを供給するように設けられている。このＩＰＡ配管６３は、吐出口６３ａを有する先端部が支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに沿って移動機構（不図示）により移動するように構成されている。ＩＰＡ配管６３の先端部は、吐出口６３ａが支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対向しない所定の待機位置（基板Ｗの周縁よりも外側の位置）から、吐出口６３ａが支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対向する所定の供給位置（基板Ｗの中央付近）に移動し、その供給位置において支持部４０上の基板Ｗの被処理面ＷａにＩＰＡを供給する。ＩＰＡ供給開始から所定の処理時間が経過すると、ＩＰＡ配管６３はＩＰＡの供給を停止し、所定のタイミングで待機位置に戻る。
【００２６】
ＩＰＡ配管６３には、ＩＰＡバルブ６３ｂが設けられている。このＩＰＡバルブ６３ｂとしては、例えば、電磁弁が挙げられる。ＩＰＡバルブ６３ｂは、ＩＰＡ配管６３を開閉する開閉弁であり、ＩＰＡの流量を調整する調整弁としても機能する。ＩＰＡの流量は、例えば、所定値で一定に設定されている。ＩＰＡバルブ６３ｂは、電気的に制御部７０に接続されており、その駆動は制御部７０により制御される。なお、ＩＰＡ配管６３の一端は、ＩＰＡを貯留するタンク（不図示）に接続されており、そのタンク内のＩＰＡがポンプ（不図示）などによる送液力によってＩＰＡ配管６３を流れ、ＩＰＡ配管６３の吐出口６３ａから吐出される。
【００２７】
第１の溶媒配管６４は、支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対して吐出口６４ａから第１の有機溶媒を供給するように設けられている。この第１の溶媒配管６４は、吐出口６４ａを有する先端部が支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに沿って移動機構（不図示）により移動するように構成されている。第１の溶媒配管６４の先端部は、吐出口６４ａが支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対向しない所定の待機位置（基板Ｗの周縁よりも外側の位置）から、吐出口６４ａが支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対向する所定の供給位置（基板Ｗの中央付近）に移動し、その供給位置において支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに第１の有機溶媒を供給する。第１の有機溶媒の供給開始から所定の処理時間が経過すると、第１の溶媒配管６４は第１の有機溶媒の供給を停止し、所定のタイミングで待機位置に戻る。
【００２８】
第１の溶媒配管６４には、第１の溶媒バルブ（第１の開閉弁）６４ｂが設けられている。この第１の溶媒バルブ６４ｂとしては、例えば、電磁弁が挙げられる。第１の溶媒バルブ６４ｂは、第１の溶媒配管６４を開閉する開閉弁であり、第１の有機溶媒の流量を調整する調整弁としても機能する。第１の有機溶媒の流量は、例えば、所定値で一定に設定されている。第１の溶媒バルブ６４ｂは、電気的に制御部７０に接続されており、その駆動は制御部７０により制御される。なお、第１の溶媒配管６４の一端は、第１の有機溶媒を貯留するタンク（不図示）に接続されており、そのタンク内の第１の有機溶媒がポンプ（不図示）などによる送液力によって第１の溶媒配管６４を流れ、第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから吐出される。
【００２９】
ここで、第１の有機溶媒は、撥水化剤（例えば、シランカップリング剤（シリル化剤））を含まない有機溶媒である。この第１の有機溶媒としては、例えば、シンナー、ＰＥＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）、アルコール又はアセトンなどを用いることが可能である。
【００３０】
第２の溶媒配管６５は、前述の第１の溶媒配管６４における第１の溶媒バルブ６４ｂより下流側（溶媒の流れにおける下流側）の途中の直線部分に接続され、支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに対し、第１の溶媒配管６４を介して第２の有機溶媒を供給するように構成されている。この第２の溶媒配管６５は、第１の溶媒配管６４の先端部が所定の供給位置（基板Ｗの中央付近）に移動した状態で、その第１の溶媒配管６４の一部を介し、第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに第２の有機溶媒を供給する。第２の有機溶媒の供給開始から所定の処理時間が経過すると、第２の溶媒配管６５は第２の有機溶媒の供給を停止する。
【００３１】
第２の溶媒配管６５には、第２の溶媒バルブ（第２の開閉弁）６５ｂが設けられている。この第２の溶媒バルブ６５ｂとしては、例えば、電磁弁が挙げられる。第２の溶媒バルブ６５ｂは、第２の溶媒配管６５を開閉する開閉弁であり、第２の有機溶媒の流量を調整する調整弁としても機能する。第２の有機溶媒の流量は、例えば、所定値で一定に設定されている。第２の溶媒バルブ６５ｂは、電気的に制御部７０に接続されており、その駆動は制御部７０により制御される。なお、第２の溶媒配管６５の一端は、第２の有機溶媒を貯留するタンク（不図示）に接続されており、そのタンク内の第２の有機溶媒がポンプ（不図示）などによる送液力によって第２の溶媒配管６５を流れて第１の溶媒配管６４に流入し、第１の溶媒配管６４を流れて第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから吐出される。
【００３２】
ここで、第２の有機溶媒は、撥水化剤を含む有機溶媒である。この第２の有機溶媒としては、例えば、シンナー、ＰＥＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）、アルコール又はアセトンなどに、撥水化剤を数％含ませたものを用いることが可能である。撥水化剤は、基板Ｗの被処理面Ｗａを撥水化するためのものであり、基板Ｗの被処理面Ｗａは撥水化剤によって覆われることで撥水化され、基板Ｗの被処理面Ｗａにおける処理液の表面張力によってパターンが引っ張られる力がほぼ０になる。また、撥水化剤は、空気中の水分や処理中に使用されている液中の水分と反応し、析出物が発生するものである。このような撥水化剤としては、例えば、シランカップリング剤（シリル化剤）が挙げられる。シランカップリング剤は加水分解性基及び有機官能基を有するものである。このシランカップリング剤としては、例えば、ＨＭＤＳ（ヘキサメチルジシラザン）やＴＭＳＤＥＡ（トリメチルシリルジエチルアミン）などを用いることが可能である。
【００３３】
第２の溶媒配管６５の太さは、第１の溶媒配管６４も含め他の配管６１〜６３よりも細い。また、第１の溶媒バルブ６４ｂ及び第２の溶媒バルブ６５ｂは、第１の溶媒配管６４における接続位置Ａ１よりも上流側に位置しており、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置（接続部分）Ａ１までの長さは、第１の溶媒配管６４における第１の溶媒バルブ６４ｂから接続位置Ａ１までの長さよりも短い。これにより、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの内部空間は、第１の溶媒配管６４における第１の溶媒バルブ６４ｂから接続位置Ａ１までの内部空間より狭くなるので、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの内部空間に残留する第２の有機溶媒、すなわち撥水化剤の残留量をできるだけ少なくすることができる。
【００３４】
また、第１の溶媒配管６４の流量（第１の溶媒配管６４を流れる第１の有機溶媒の流量）は、第２の溶媒配管６５の流量（第２の溶媒配管６５を流れる第２の有機溶媒の流量）より多くなるように予め設定されている。ここで、流量と流速は比例関係にある（流量＝配管の断面積×流速）。このため、配管の断面積が一定であり、第１の溶媒配管６４を流れる第１の有機溶媒の流量が増えると、その流速は上がり、圧力が低下する（ベルヌーイの定理）。図２に示すように、第１の有機溶媒が第１の溶媒配管６４を流れている状態で（第１の溶媒バルブ６４ｂが開状態であり、第２の溶媒バルブ６５ｂが閉状態である場合）、前述の圧力低下が生じるため、第２の溶媒配管６５に残留した第２の有機溶媒、すなわち撥水化剤が第１の溶媒配管６４に引き込まれ、第１の溶媒配管６４を流れる第１の有機溶媒と共に第１の溶媒配管６４を流れ、第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから排出される。これにより、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの内部空間に残留する第２の有機溶媒、すなわち撥水化剤の残留量をできるだけ少なくすることができる。
【００３５】
図１に戻り、制御部７０は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータと、基板処理に関する基板処理情報や各種プログラムなどを記憶する記憶部（いずれも不図示）を具備している。この制御部７０は、基板処理情報や各種プログラムに基づいて、回転機構５０による支持部４０の回転動作や処理液供給部６０による処理液の供給動作（例えば、バルブ６１ｂ〜６５ｂの開閉）などの制御を行う。
【００３６】
（基板処理工程）
次に、前述の基板処理装置１０が行う基板処理工程の流れについて図３を参照して説明する。
【００３７】
図３に示すように、第１の実施形態に係る基板処理工程は、ステップＳ１〜Ｓ９の複数工程を有している。各配管６１〜６４の先端部は待機位置にあり、各配管６１〜６５のバルブ６１ｂ〜６５ｂは閉状態にあり、各配管６１〜６５内は、吐出口６１ａ〜６４ａからの液だれが防止されつつ、処理液により満たされている状態である。また、支持部４０の回転数や液供給タイミング、液供給時間などの処理条件は制御部７０に予め設定されているが、作業者などにより任意に変更可能である。
【００３８】
ステップＳ１（基板搬送）において、基板Ｗがロボットなどの搬送機構（不図示）により搬送され、支持部４０の各支持部材４１上に載置される。その載置後、薬液配管６１の先端部及び純水配管６２の先端部は、それぞれ待機位置から供給位置に移動する。なお、各配管６１〜６４は、それぞれが独立又は同期して互いに邪魔することなく移動することが可能に構成されている。
【００３９】
ステップＳ２（基板回転）において、基板Ｗが支持部４０の各支持部材４１に載置された状態で、支持部４０が回転機構５０により所定の回転数（例えば、５００ｒｐｍ）で回転し、支持部４０上の基板Ｗが回転する。この所定の回転数はステップＳ２〜Ｓ８まで維持される。
【００４０】
ステップＳ３（薬液処理）において、薬液配管６１の先端部が供給位置にある状態で、薬液バルブ６１ｂが開状態にされ、薬液配管６１の吐出口６１ａから支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに薬液が吐出される。薬液配管６１の吐出口６１ａから吐出された薬液は、回転する支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａの中央付近に供給され、基板Ｗの回転による遠心力によって基板Ｗの被処理面Ｗａの全体に広がる。これにより、基板Ｗの被処理面Ｗａ上には薬液の液膜が形成され、基板Ｗの被処理面Ｗａは薬液によって処理される。
【００４１】
ステップＳ４（純水リンス処理）において、薬液の吐出開始から所定時間（例えば３０〜６０秒）経過後、薬液バルブ６１ｂが閉状態にされ、薬液の吐出が停止される。そして、純水配管６２の先端部が供給位置にある状態で、純水バルブ６２ｂが開状態にされて、純水配管６２の吐出口６２ａから支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに純水が吐出される。純水配管６２の吐出口６２ａから吐出された純水は、回転する支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａの中央付近に供給され、基板Ｗの回転による遠心力によって基板Ｗの被処理面Ｗａの全体に広がる。この純水の広がりに応じ、先に供給された基板Ｗの被処理面Ｗａ上の薬液は、その被処理面Ｗａの外周から排出される。これにより、支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａは薬液から純水に置換され、純水の液膜によって覆われる。前述の薬液吐出の停止後、薬液配管６１の先端部は供給位置から待機位置に戻り、ＩＰＡ配管６３の先端部は待機位置から供給位置に移動する。
【００４２】
ステップＳ５（ＩＰＡリンス処理）において、純水の吐出開始から所定時間（例えば３０〜６０秒）経過後、純水バルブ６２ｂが閉状態にされ、純水の吐出が停止される。そして、ＩＰＡ配管６３の先端部が供給位置にある状態で、ＩＰＡバルブ６３ｂが開状態にされて、ＩＰＡ配管６３の吐出口６３ａから支持部４０上の基板Ｗの被処理面ＷａにＩＰＡが吐出される。ＩＰＡ配管６３の吐出口６３ａから吐出されたＩＰＡは、回転する支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａの中央付近に供給され、基板Ｗの回転による遠心力によって基板Ｗの被処理面Ｗａの全体に広がる。このＩＰＡの広がりに応じ、先に供給された基板Ｗの被処理面Ｗａ上の純水は、その被処理面Ｗａの外周から排出される。これにより、支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａは純水からＩＰＡに置換され、ＩＰＡの液膜によって覆われる。前述の純水吐出の停止後、純水配管６２の先端部は供給位置から待機位置に戻り、第１の溶媒配管６４の先端部は待機位置から供給位置に移動する。なお、ステップＳ５では、ＩＰＡが用いられているが、これに限るものではなく、少なくとも水と可溶な有機溶媒（例えば、アルコール）が用いられれば良い。
【００４３】
ステップＳ６（撥水化処理）において、ＩＰＡの吐出開始から所定時間（例えば１０〜３０秒）経過後、ＩＰＡバルブ６３ｂが閉状態にされ、ＩＰＡの吐出が停止される。そして、第１の溶媒配管６４の先端部が供給位置にある状態で、第２の溶媒バルブ６５ｂが開状態にされて、第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに第２の有機溶媒が吐出される。第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから吐出された第２の有機溶媒は、回転する支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａの中央付近に供給され、基板Ｗの回転による遠心力によって基板Ｗの被処理面Ｗａの全体に広がる。この第２の有機溶媒の広がりに応じ、先に供給された基板Ｗの被処理面Ｗａ上のＩＰＡは、その被処理面Ｗａの外周から排出される。これにより、支持部４０上の基板Ｗの被処理面ＷａはＩＰＡから第２の有機溶媒に置換され、第２の有機溶媒の液膜により覆われ、撥水化剤によって撥水化される。なお、撥水化剤によって少なくとも基板Ｗの被処理面Ｗａだけを撥水化することができれば良いため、撥水化剤の供給量、すなわち第２の有機溶媒の供給量は、他の液供給量に比べて少ない。
【００４４】
ステップＳ７（溶媒リンス処理）において、第２の有機溶媒の吐出開始から所定時間（例えば５〜３０秒）経過後、第２の溶媒バルブ６５ｂが閉状態にされ、第２の有機溶媒の吐出が停止される。そして、第１の溶媒配管６４の先端部が供給位置にある状態で、第１の溶媒バルブ６４ｂが開状態にされて、第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに第１の有機溶媒が吐出される。第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから吐出された第１の有機溶媒は、回転する支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａの中央付近に供給され、基板Ｗの回転による遠心力によって基板Ｗの被処理面Ｗａの全体に広がる。この第１の有機溶媒の広がりに応じ、先に供給された基板Ｗの被処理面Ｗａ上の第２の有機溶媒は、その被処理面Ｗａの外周から排出される。これにより、支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａは第２の有機溶媒から第１の有機溶媒に置換され、第１の有機溶媒の液膜によって覆われ、基板Ｗの被処理面Ｗａ上から余剰の撥水化剤が排出される。また、第１の溶媒配管６４や第２溶媒配管６５の一部の管（第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの間）内に残留した撥水化剤も第１の有機溶媒と共に第１の溶媒配管６４内から排出される。なお、基板Ｗの被処理面Ｗａから流れ落ちた第１の有機溶媒は、カップ３０内の底面から排出配管２１に流入して排出配管２１を流れるため、排出配管２１内に残留した撥水化剤も取り除かれる。
【００４５】
ステップＳ８（ＩＰＡリンス処理）において、第１の有機溶媒の吐出開始から所定時間（例えば５〜３０秒）経過後、前述のステップＳ５と同様、第１の溶媒バルブ６４ｂが閉状態にされ、第１の有機溶媒の吐出が停止される。そして、ＩＰＡ配管６３の先端部が供給位置にある状態で、ＩＰＡバルブ６３ｂが開状態にされて、ＩＰＡ配管６３の吐出口６３ａから支持部４０上の基板Ｗの被処理面ＷａにＩＰＡが吐出される。ＩＰＡ配管６３の吐出口６３ａから吐出されたＩＰＡは、回転する支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａの中央付近に供給され、基板Ｗの回転による遠心力によって基板Ｗの被処理面Ｗａの全体に広がる。このＩＰＡの広がりに応じ、先に供給された基板Ｗの被処理面Ｗａ上の第１の有機溶媒は、その被処理面Ｗａの外周から排出される。これにより、支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａは第１の有機溶媒からＩＰＡに置換され、ＩＰＡの液膜によって覆われる。なお、ステップＳ８では、ＩＰＡが用いられているが、第１の有機溶媒が可溶性である場合、前述のステップＳ４のように純水が用いられても良い。
【００４６】
ステップＳ９（スピンドライ処理）において、前述のステップＳ８でのＩＰＡの吐出開始から所定時間（例えば３０〜６０秒）経過後、ＩＰＡバルブ６３ｂが閉状態にされて、ＩＰＡの吐出が停止され、さらに、基板Ｗの回転数が所定の回転数（例えば、１２００ｒｐｍ）に上げられ、液の振り切りが所定時間（例えば３０〜６０秒）継続される。液の振り切り開始から所定時間経過後、基板Ｗの回転が停止し、この振り切り乾燥によって基板Ｗの被処理面Ｗａは乾燥する。その後、乾燥した基板Ｗは、支持部４０の各支持部材４１上からロボットなどの搬送機構（不図示）によって処理室２０の外に搬送される。なお、前述のステップＳ８でのＩＰＡの吐出停止後、第１の溶媒配管６４の先端部及びＩＰＡ配管６３の先端部は、それぞれ供給位置から待機位置に戻る。
【００４７】
前述の基板処理工程によれば、ステップＳ９のスピンドライ処理（基板Ｗの乾燥処理）前に、基板Ｗの被処理面Ｗａは撥水化されており、基板Ｗの被処理面Ｗａに形成されている微細なパターンは撥水膜によって覆われている。このため、基板Ｗの被処理面Ｗａ上のパターン間の隙間に入り込んだ処理液の表面張力によってパターンが引っ張られる力はほぼ０となる。これにより、基板Ｗの乾燥処理において、パターン同士の隙間に入り込んだ処理液の表面張力によってパターンが引っ張られることが抑制されるので、パターン倒壊を抑えることができる。また、工程間における処理液の切り替えに関して、処理液が切り替えられる時間は非常に短く、また、基板Ｗの回転数はスピンドライ処理時に比べて低いため、パターン間の隙間に入り込んだ処理液は残留しており、基板Ｗの被処理面Ｗａ上の液膜は保持されている状態である。このため、基板Ｗの被処理面Ｗａ上の液膜が途切れることは無く、一連の液処理中に基板Ｗの被処理面Ｗａが露出することは抑えられるので、処理ムラや乾燥ムラなどの基板処理不良の発生を抑えることができる。
【００４８】
また、第１の有機溶媒を供給するための第１の溶媒配管６４の途中の直線部分に、第２の有機溶媒を供給するための第２の溶媒配管６５を接続した構成が採用されており、第２の有機溶媒、すなわち撥水化剤は第１の溶媒配管６４を経由して基板Ｗの被処理面Ｗａに供給される。このとき、第１の溶媒配管６４内に撥水化剤が残留しても、第１の有機溶媒が第１の溶媒配管６４から基板Ｗに供給されると、第１の溶媒配管６４内に残留した撥水化剤は、第１の溶媒配管６４を流れる第１の有機溶媒と一緒に第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから排出されるので、第１の溶媒配管６４内に撥水化剤が残留することを抑制し、撥水化剤の加水分解反応により析出物が発生することを抑えることが可能となる。さらに、前述の基板処理工程において、最後に第１の溶媒配管６４を流れる液体は第１の有機溶媒であり、第１の溶媒配管６４内には第１の有機溶媒が存在することになるので、第１の溶媒配管６４内に撥水化剤が残留することを確実に抑制し、撥水化剤の加水分解反応により析出物が発生することを確実に抑えることが可能となる。このようにして、第１の溶媒配管６４内の析出物が第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから基板Ｗ上に落下したり、あるいは、第１の溶媒配管６４を詰まらせたりすることによって、基板処理不良が発生することを抑えることができる。
【００４９】
また、第２の溶媒配管６５の太さは、第１の溶媒配管６４も含め他の配管６１〜６３よりも細くなっている。これにより、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの管内に残留する第２の有機溶媒、すなわち撥水化剤の残留量が少なくなる。つまり、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの内部空間が狭いほど、撥水化剤の残留量が少なくなる。このため、第２の溶媒配管６５内に残留した撥水化剤が加水分解反応を起こし、第２の溶媒配管６５内に析出物が発生する発生量が抑えられるので、第２の溶媒配管６５内の析出物が第１の溶媒配管６４に移動して第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから基板Ｗ上に落下することや、第２の溶媒配管６５内の析出物が第２の溶媒配管６５を詰まらすことを抑制することが可能になるので、基板処理不良の発生を抑えることができる。
【００５０】
また、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの長さは、第１の溶媒配管６４における第１の溶媒バルブ６４ｂから接続位置Ａ１までの長さよりも短い。これにより、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの管内に残留する第２の有機溶媒、すなわち撥水化剤の残留量が少なくなる。つまり、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの内部空間が狭いほど、撥水化剤の残留量が少なくなる。このため、第２の溶媒配管６５内に残留した撥水化剤が加水分解反応を起こし、第２の溶媒配管６５内に析出物が発生する発生量が抑えられるので、第２の溶媒配管６５内の析出物が第１の溶媒配管６４に移動して第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから基板Ｗ上に落下することや、第２の溶媒配管６５内の析出物が第２の溶媒配管６５を詰まらすことを抑制することが可能になるので、基板処理不良の発生を抑えることができる。
【００５１】
また、第１の溶媒配管６４の流量を第２の溶媒配管６５の流量よりも多くなるように設定することによって、第１の溶媒配管６４の流量を増やし、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの管内に残留する第２の有機溶媒を第１の溶媒配管６４に引き込んで、第１の溶媒配管６４を流れる第１の有機溶媒と一緒に流し、第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから流出させることが可能となる。これにより、第２の溶媒配管６５内に残留した撥水化剤が加水分解反応を起こし、第２の溶媒配管６５内に析出物が発生することが抑えられるので、第２の溶媒配管６５内の析出物が第１の溶媒配管６４に移動して第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから基板Ｗ上に落下することや、第２の溶媒配管６５内の析出物が第２の溶媒配管６５を詰まらすことを抑制することが可能となり、基板処理不良の発生を抑えることができる。
【００５２】
以上説明したように、第１の実施形態によれば、基板Ｗに対して、撥水化剤を含まない有機溶媒である第１の有機溶媒を供給するための第１の溶媒配管６４と、その第１の溶媒配管６４の途中の直線部分に接続され、基板Ｗに対して、第１の溶媒配管６４を介し、撥水化剤を含む有機溶媒である第２の有機溶媒を供給するための第２の溶媒配管６５とが設けられている。第２の有機溶媒が第２の溶媒配管６５から第１の溶媒配管６４を介して基板Ｗに供給されたときに、第１の溶媒配管６４内に撥水化剤が残留しても、第２の溶媒配管６５が第１の溶媒配管６４の途中の直線部分に接続されているため、第１の有機溶媒が第１の溶媒配管６４から基板Ｗに供給されると、第１の溶媒配管６４内に残留した撥水化剤は、第１の溶媒配管６４を流れる第１の有機溶媒と一緒に第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから排出される。これにより、第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａ付近や第１の溶媒配管６４内に、撥水化剤の加水分解反応によって析出物が発生することを抑制することが可能となるので、第１の溶媒配管６４内の析出物が第１の溶媒配管６４から基板Ｗ上に落下したり、あるいは、第１の溶媒配管６４を詰まらせたりすることによって、基板処理不良が発生することを抑えることができる。
【００５３】
＜第２の実施形態＞
第２の実施形態について図４を参照して説明する。なお、第２の実施形態では、第１の実施形態との相違点（基板処理工程の流れ）について説明し、その他の説明は省略する。
【００５４】
図４に示すように、第２の実施形態に係る基板処理工程は、前述のステップＳ１〜Ｓ９の複数工程に加え、ステップＳ５とステップＳ６との間にステップＳ７ａを有している。なお、第２の実施形態に係るステップＳ１〜Ｓ９は、第１の実施形態に係るステップＳ１〜Ｓ９と基本的に同じであるが、ステップＳ５からステップＳ７ａ、ステップＳ７ａからステップＳ６における処理液の切り替え動作が異なるので、ステップＳ７ａ及びステップＳ６の処理について説明する。
【００５５】
ステップＳ７ａ（溶媒リンス処理）において、ＩＰＡの吐出開始から所定時間（例えば１０〜３０秒）経過後、ＩＰＡバルブ６３ｂが閉状態にされ、ＩＰＡの吐出が停止される。そして、第１の溶媒配管６４の先端部が供給位置にある状態で、第１の溶媒バルブ６４ｂが開状態にされて、第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに第１の有機溶媒が吐出される。第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから吐出された第１の有機溶媒は、回転する支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａの中央付近に供給され、基板Ｗの回転による遠心力によって基板Ｗの被処理面Ｗａの全体に広がる。この第１の有機溶媒の広がりに応じ、先に供給された基板Ｗの被処理面Ｗａ上のＩＰＡは、その被処理面Ｗａの外周から排出される。これにより、支持部４０上の基板Ｗの被処理面ＷａはＩＰＡから第１の有機溶媒に置換され、第１の有機溶媒の液膜によって覆われ、第１の溶媒配管６４や第２溶媒配管６５の一部の管（第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの間）内に残留した撥水化剤が第１の有機溶媒と共に第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから排出される。
【００５６】
前述のステップＳ７ａの次のステップＳ６（撥水化処理）において、第１の有機溶媒の吐出開始から所定時間（例えば５〜３０秒）経過後、第１の溶媒バルブ６４ｂが閉状態にされ、第１の有機溶媒の吐出が停止される。そして、第１の溶媒配管６４の先端部が供給位置にある状態で、第２の溶媒バルブ６５ｂが開状態にされて、第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに第２の有機溶媒が吐出される。第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから吐出された第２の有機溶媒は、回転する支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａの中央付近に供給され、基板Ｗの回転による遠心力によって基板Ｗの被処理面Ｗａの全体に広がる。この第２の有機溶媒の広がりに応じ、先に供給された基板Ｗの被処理面Ｗａ上の第１の有機溶媒は、その被処理面Ｗａの外周から排出される。これにより、支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａは第１の有機溶媒から第２の有機溶媒に置換され、第２の有機溶媒の液膜により覆われ、撥水化剤によって撥水化される。
【００５７】
前述の基板処理工程によれば、ステップＳ６の撥水化処理（第２の有機溶媒吐出）後だけではなく、ステップＳ６の撥水化処理前にも溶媒リンス処理（第１の有機溶媒吐出）が実行される。このため、第１の溶媒配管６４や第２溶媒配管６５の一部の管（第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの管）内に撥水化剤が残留していても、その残留した撥水化剤は、第１の溶媒配管６４を流れる第１の有機溶媒と一緒に第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから排出される。これにより、第１の溶媒配管６４や第２の溶媒配管６５内に残留した撥水化剤が加水分解反応を起こし、第１の溶媒配管６４や第２の溶媒配管６５内に析出物が発生することを確実に抑制することが可能となるので、第１の溶媒配管６４や第２の溶媒配管６５内の析出物が第１の溶媒配管６４から基板Ｗ上に落下したり、あるいは、第１の溶媒配管６４や第２の溶媒配管６５を詰まらせたりすることによって、基板処理不良が発生することを確実に抑えることができる。
【００５８】
以上説明したように、第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第２の有機溶媒の供給後だけではなく、第２の有機溶媒の供給前にも第１の有機溶媒を供給することによって、第１の溶媒配管６４や第２の溶媒配管６５内に撥水化剤が残留していても、その残留した撥水化剤を確実に取り除き、撥水化剤の加水分解反応により第１の溶媒配管６４や第２の溶媒配管６５内に析出物が発生することを抑制することが可能となる。これにより、析出物が原因となり、基板処理不良が発生することを確実に抑えることができる。
【００５９】
＜第３の実施形態＞
第３の実施形態について図５を参照して説明する。なお、第３の実施形態では、第１の実施形態との相違点（第１の溶媒配管６４と第２の溶媒配管６５との接続部分）について説明し、その他の説明は省略する。
【００６０】
図５に示すように、第３の実施形態では、第１の溶媒配管６４の一部は、他の部分よりも細くなっており、第２の溶媒配管６５は、第１の溶媒配管６４における細い部分６４ｃに接続されている。この細い部分６４ｃは、ベンチュリー管として機能する。このため、第１の溶媒配管６４の細い部分６４ｃでは、第１の溶媒配管６４を流れる第１の有機溶媒の流速が上がり、圧力が低下する。第１の有機溶媒が第１の溶媒配管６４を流れている状態で（第１の溶媒バルブ６４ｂが開状態であり、第２の溶媒バルブ６５ｂが閉状態である場合）、前述の圧力低下が生じるため、第２の溶媒配管６５に残留した第２の有機溶媒、すなわち撥水化剤が第１の溶媒配管６４に引き込まれ、第１の溶媒配管６４を流れる第１の有機溶媒と共に第１の溶媒配管６４を流れ、第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから排出される。これにより、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの内部空間に残留する第２の有機溶媒、すなわち撥水化剤の残留量をできるだけ少なくすることができる。
【００６１】
以上説明したように、第３の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第１の溶媒配管６４の一部をベンチュリー管とし、そのベンチュリー管に第２の溶媒配管６５を接続することによって、第２の溶媒配管６５に残留した第２の有機溶媒、すなわち撥水化剤を第１の溶媒配管６４に引き込み、第１の溶媒配管６４を流れる第１の有機溶媒と共に流して第１の溶媒配管６４の吐出口６４ａから流出させることが可能となる。これにより、第２の溶媒配管６５に残留した撥水化剤が加水分解反応を起こし、第２の溶媒配管６５内に析出物が発生することが確実に抑えられるので、第２の溶媒配管６５内の析出物が第１の溶媒配管６４に移動して第１の溶媒配管６４から基板Ｗ上に落下することや、第２の溶媒配管６５内の析出物が第２の溶媒配管６５を詰まらすことを抑制することが可能となり、基板処理不良の発生を確実に抑えることができる。
【００６２】
＜他の実施形態＞
前述の説明においては、配管６１〜６４の先端部（配管６１〜６４における支持部４０側の先端部）の吐出口６１ａ〜６４ａから液を吐出させているが、これに限るものではなく、例えば、配管６１〜６４の先端にノズルを取り付けて、ノズルの開口である吐出口から液を吐出させることも可能である。この場合にはノズルも配管６１〜６４の一部となる。
【００６３】
また、前述の説明においては、第２の溶媒配管６５の太さは一定であるが、これに限るものではなく、例えば、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの太さを他の部分に比べて細くするようにしても良く、また、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの間の一部を他の部分に比べて細くするようにしても良い。これにより、第２の溶媒配管６５における第２の溶媒バルブ６５ｂから接続位置Ａ１までの第２の内部空間は、第２の溶媒配管６５の太さが一定である場合に比べて狭くなるので、第２の内部空間に残留する第２の有機溶媒、すなわち撥水化剤の残留量をより少なくすることができる。
【００６４】
また、前述の説明においては、配管６１〜６５の途中にバルブ６１ｂ〜６５ｂだけを設けているが、これに限るものではなく、例えば、配管６１〜６５におけるバルブ６１ｂ〜６５ｂより下流側に、吸引ユニット（例えば、アスピレータやエジェクターなど）を設けて液抜き機構を構成し、配管６１〜６５内に溜まった液体が支持部４０上の基板Ｗの被処理面Ｗａに落下する液だれを抑えるようにしても良い。
【００６５】
また、前述の説明においては、配管６１〜６４の先端部が待機位置から供給位置に移動する前に液吐出を行っていないが、これに限るものではなく、待機位置で事前に配管６１〜６４から液を吐出するプリディスペンスを行い、このプリディスペンス後に、配管６１〜６４の先端部を待機位置から供給位置に移動させるようにしても良い。
【００６６】
また、前述の説明においては、基板処理工程で、処理液の供給を停止してから次の処理液を供給しているが、これに限るものではなく、処理液の供給中に次の処理液の供給を開始し（先の処理液に次の処理液をオーバーラップさせて供給し）、その後、先の処理液の供給を停止するようにしても良い。
【００６７】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６８】
１０    基板処理装置
６４    第１の溶媒配管
６４ｂ  第１の溶媒バルブ
６５    第２の溶媒配管
６５ｂ  第２の溶媒バルブ
７０    制御部
Ｗ      基板
【図１】
2019046856.tif 000003
【図２】
2019046856.tif 000004
【図３】
2019046856.tif 000005
【図４】
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【図５】
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