(57)【要約】【課題】スライス加工用線材の破断を抑制しつつカーフロスを低減できるマルチワイヤソー装置を提供する。【解決手段】マルチワイヤソー装置１０は、溝付ローラ１２Ａ，１２Ｂの間に繰り返しかけ渡されてソーワイヤ列３０Ｌを構成するソーワイヤ３０を含み、ソーワイヤ３０は、溝付ローラ１２Ａに第１主面３０Ａが接するとともに、溝付ローラ１２Ｂに第２主面３０Ｂが接するよう捻じられた状態で両ローラ３０Ａ，３０Ｂに架け渡されることにより、シリコンインゴット２０に砥粒３４Ａ〜３４Ｃが固定された端面３２Ａが押し当てられる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１送りローラと第２送りローラの間に厚みよりも幅が大きいスライス加工用線材を繰り返し架け渡してなる加工用線材列を両送りローラの回転に伴って所定方向に走行させつつシリコンインゴットに押し当てることにより当該シリコンインゴットをスライスするマルチワイヤソー装置であって、
前記スライス加工用線材は、前記第１送りローラに第１主面が接するとともに、当該第１主面と反対側の第２主面が前記第２送りローラに接するよう前記両送りローラ間に架け渡されることにより幅方向端部が前記シリコンインゴットに押し当てられるよう捻じられていることを特徴とする、
マルチワイヤソー装置。
【請求項２】
前記第１送りローラと第２送りローラの少なくとも一方に長さの異なる第１傾斜面と第２傾斜面からなる溝部を備えた請求項１に記載のマルチワイヤソー装置。
【請求項３】
前記スライス加工用線材の前記幅方向端部が前記シリコンインゴットに押し当てられる状態を保持するようガイドするガイド部材を備える、請求項１または２に記載のマルチワイヤソー装置。
【請求項４】
前記ガイド部材が前記スライス加工用線材の進行方向に対して傾斜している、請求項３に記載のマルチワイヤソー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インゴットをスライスするマルチワイヤソー装置、特に、送りローラ間にスライス加工用線材が架け渡されたマルチワイヤソー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
単結晶または多結晶シリコン等のインゴットはマルチワイヤソー装置を用いてウェハに加工される。このマルチワイヤソー装置は、複数の送りローラと、当該ローラ間に繰り返し架け渡されたスライス加工用線材とを備える。そして、マルチワイヤソー装置は、送りローラの回転により、スライス加工用線材を所定方向に走行させつつインゴットに押し当てることで当該インゴットをウェハに加工する。
【０００３】
ところで、マルチワイヤソー装置を用いてインゴットをウェハに加工するとカーフロス（切削屑）が発生するが、生産性を向上させるためにはスライス加工用線材を細線化することで当該カーフロスの発生量を低減する必要がある。
【０００４】
このため、スライス加工用線材を細線化することが考えられるが、同線材を細線化するのに伴って断面積が減少するため引張強度の低下を招き、スライス加工用線材が破断しやすくなるという問題がある。
【０００５】
特許文献１には、スライス加工用線材の断面形状を略長方形状とすることにより引張強度を確保し、この線材端面によりインゴットをスライスすることでカーフロスの発生量を低減させたマルチワイヤソー装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３９４３５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１に記載のマルチワイヤソー装置では、加工用線材をインゴット近傍に設置されたガイドにより９０°捻じりつつ走行させるため、当該線材とガイドとの間の摩擦力が大きく当該線材が破断しやすくなるという問題がある。
【０００８】
本発明は、スライス加工用線材の破断を抑制しつつカーフロスを低減できるマルチワイヤソー装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のマルチワイヤソー装置は、第１送りローラと第２送りローラの間に厚みよりも幅が大きいスライス加工用線材を繰り返し架け渡してなる加工用線材列を両送りローラの回転に伴って所定方向に走行させつつシリコンインゴットに押し当てることによりシリコンインゴットをスライスするマルチワイヤソー装置であって、スライス加工用線材は、第１送りローラに第１主面が接するとともに、第１主面と反対側の第２主面が第２送りローラに接するよう両送りローラ間に架け渡されることにより幅方向端部がシリコンインゴットに押し当てられるよう捻じられていることを特徴とする。
【００１０】
また、第１送りローラと第２送りローラの少なくとも一方に長さの異なる第１傾斜面と第２傾斜面からなる溝部を備えてもよい。
【００１１】
本発明のマルチワイヤソー装置において、スライス加工用線材の幅方向端部がシリコンインゴットに押し当てられる状態を保持するようガイドするガイド部材を備えてもよい。
【００１２】
さらに、ガイド部材が前記スライス加工用線材の進行方向に対して傾斜していてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のマルチワイヤソー装置によれば、第１送りローラに第１主面が接するとともに、第１主面と反対側の第２主面が第２送りローラに接するよう両送りローラ間にスライス加工用線材が架け渡される。これにより、スライス加工用線材の幅方向端部をシリコンインゴットに押し当てつつシリコンインゴットをスライスすることができる。このため、スライス加工時に発生するカーフロスの発生量を低減することができる。また、スライス加工用線材は、幅が厚みよりも大きいため幅が厚みと同等の大きさしかない場合よりも断面積を大きくすることができ、スライス加工時におけるスライス加工用線材の破断を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係るマルチワイヤソー装置の全体構成図である。
【図２】図１に含まれる加工領域周辺の構成をより具体的に示す斜視図である。
【図３】変形例１のマルチワイヤソー装置を示す図である。
【図４】変形例２のマルチワイヤソー装置を示す図である。
【図５】変形例３のマルチワイヤソー装置を示す図である。
【図６】変形例４の溝付きローラを示す図であり、（ａ）は溝付きローラの全体図、（ｂ）は本願の溝付きローラによるソーワイヤの傾倒を示す図、（ｃ）は本願以外の溝付きローラによるソーワイヤの傾倒例を示す図である。
【図７】変形例５のマルチワイヤソー装置を示す図であり、（ａ）はガイド部材を加工領域Ｐを中心にして対照になるようにし傾斜させた図であり、（ｂ）はガイド部材を同じ角度で傾けた図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態であるマルチワイヤソー装置について、図面を参照しながら説明する。以下の説明において、図中に示す走行方向「Ｘ」は、水平方向を示すものとする。図１は、マルチワイヤソー装置の全体構成を示す概略構成図である。
【００１６】
図１に示すように、マルチワイヤソー装置１０は、回転軸心が平行な２つの溝付ローラ（第１送りローラ）１２Ａと，溝付ローラ（第２送りローラ）１２Ｂと、を備える。溝付ローラ１２Ａ，１２Ｂ各々の外周面には、それぞれ、ガイド溝（不図示）が等ピッチで多数設けられている。また、マルチワイヤソー装置１０は、ソーワイヤ（スライス加工用線材）３０を巻回収容する機能を有する供給リール１４Ａおよび巻取リール１４Ｂを備える。
【００１７】
また、マルチワイヤソー装置１０は、供給リール１４Ａから巻き出されたソーワイヤ３０が溝付ローラ１２Ａ，１２Ｂのガイド溝に順に繰り返し架け渡されて構成されたソーワイヤ列（加工用線材列）３０Ｌを含む。
【００１８】
溝付ローラ１２Ａ、供給リール１４Ａ、及び巻取リール１４Ｂは、それぞれ、対応するモータ（何れも不図示）等の動力によって回転駆動し、当該回転駆動に伴って、ソーワイヤ３０が走行する。この際、ソーワイヤ３０の走行速度が、例えば、１０００ｍ／ｍｉｎ程度となるように溝付ローラ１２Ａ、供給リール１４Ａ、及び、巻取リール１４Ｂはソーワイヤ３０を回転駆動する。一方、溝付ローラ１２Ｂは、走行するソーワイヤ３０との間に生じる摩擦力によって従動回転する。そして、マルチワイヤソー装置１０は、ソーワイヤ３０の走行距離が予め設定した距離に達するごとに、溝付ローラ１２Ａ等を逆回転させてソーワイヤ３０の走行方向を走行方向Ｘまたはその反対方向に切り替えるよう構成される。
【００１９】
溝付ローラ１２Ａ、１２Ｂのガイド溝の幅は後述するソーワイヤ３０の芯線３２の幅と同じか、端面３２Ａに固定された砥粒の粒径を考慮して決定される。また、ガイド溝の深さはガイドされるソーワイヤ３０が蛇行しないような深さとされ、たとえば芯線３２の厚みに対して０．１〜１．０ｔに決定される。
【００２０】
また、マルチワイヤソー装置１０は、冷却液であるクーラントの供給口（不図示）を有する一対の給液ノズル１８Ａ，１８Ｂを備える。給液ノズル１８Ａ，１８Ｂの各々は、溝付ローラ１２Ａと溝付ローラ１２Ｂとの間に張架されたソーワイヤ列３０Ｌの上側にシリコンインゴット２０を間に挟んで対向するように配置されている。
【００２１】
また、シリコンインゴット２０は、両ローラ１２Ａ，１２Ｂ間の距離の２等分線上に設けられた可動ベース２２に捨板２２Ａを介して接着固定されている。この可動ベース２２は、ソーワイヤ列３０Ｌに対して平行にかつ相対的に上下動する機能を有する。そして、シリコンインゴット２０は、可動ベース２２の下降に伴いソーワイヤ列３０Ｌに押し当てられて切削され、ウェハに加工される。以下の説明において、ソーワイヤ列３０Ｌにシリコンインゴット２０が押し当てられる領域を加工領域Ｐと表現する。
【００２２】
次に、図２を用いて加工領域Ｐ周辺の構成について説明する。図２は、加工領域Ｐ周辺の構成を示す斜視図である。図２に示すように、ソーワイヤ３０は、幅ｗが厚みｔよりも大きくなるよう構成された芯線３２と、芯線３２の一方の端面３２Ａに固着された砥粒３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃとから構成される。本実施形態では、一例として、厚みｔが５０μｍ、幅ｗが７０μｍである。
【００２３】
この芯線３２の横断面、すなわち長手方向と直交する平面の断面は、両端面３２Ａ，３２Ｂが略半円状の丸みを帯びた、いわゆる角丸長方形状に形成されている。このように砥粒３４Ａ〜３４Ｃが固定された端面３２Ａの形状が丸みを帯びているためスライス加工時にソーワイヤ３０とシリコンインゴット２０の接触角が多少変化しても安定してスライス加工を行うことができる。
【００２４】
また、芯線３２はピアノ線等の高炭素鋼線により構成されるが、炭素繊維素材やフェノール樹脂等の樹脂素材により構成してもよい。
【００２５】
なお、ソーワイヤ３０の代わりに、例えば、図２に示すソーワイヤ４０を用いてもよい。このソーワイヤ４０は、砥粒４４Ａ〜４４Ｃが固定された端面４２Ａ側の厚みｔ１と端面４２Ｂ側の厚みｔ２とが異なる芯線４２により構成される。端面４２Ｂ側の厚みｔ２は、端面４２Ａに砥粒４４Ａ〜４４Ｃを含む厚みｔ３と同じか若干厚くなるようにする。砥粒４４Ａ〜４４Ｃがガイド部材５２、５６の櫛歯５４Ａ〜５４Ｃに当たりにくくなり、櫛歯５４Ａ〜５４Ｃを保護できる。
【００２６】
また、砥粒３４Ａ〜３４Ｃは、弾性ウレタン樹脂等の樹脂被膜（不図示）や、ニッケル等を用いた金属メッキ（不図示）により芯線３２の端面３２Ａに固定されるが、芯線３２の他方の端面３２Ｂにも砥粒を固定してもよいし、芯線３２の全周に砥粒を固定してもよい。
【００２７】
続いて、溝付ローラ１２Ａ，１２Ｂに対するソーワイヤ３０の架け渡し方法について説明する。図２に示すように、ソーワイヤ３０は、溝付ローラ１２Ａに第１主面３０Ａが接するように巻き掛けられる。ガイド部材５２、５６の間で端面３２Ａがシリコンインゴット２０を向き、ソーワイヤ３０の幅ｗ方向がシリコンインゴット２０に対して垂直になるように捻じられる。さらに、溝付ローラ１２Ｂに第２主面３０Ｂが接するように捻じられる。再び溝付ローラ１２Ａに第１主面３０Ａが接するように、ソーワイヤ３０が捻じられる。このように両ローラ１２Ａ，１２Ｂの外周に沿ってソーワイヤ３０を１周巻き掛ける間に３６０°捻じるようにして両ローラ１２Ａ，１２Ｂ間に繰り返し架け渡すことによりソーワイヤ列３０Ｌが構成される。
【００２８】
なお、溝付ローラ１２Ｂに第１主面３０Ａが接するようにしても良い。すなわち、ガイド部材５２を通過するときにソーワイヤ３０を捻じるが、ガイド部材５６を通過した後にソーワイヤ３０を元の状態になるように捻じって戻す。溝付ローラ１２Ｂから１２Ａをソーワイヤ３０が走行する間は捻じらない。また、両溝付ローラ１２Ａ、１２Ｂに第２主面３０Ｂが接するようにしても良い。ソーワイヤ３０の捻じる方向を上記説明とは逆にする。
【００２９】
また、ソーワイヤ３０を両ローラ１２Ａ，１２Ｂ間に架け渡す際、同ワイヤ３０が加工領域Ｐを通るときには上記第１方向に１８０°捻じることとし、同ワイヤ３０が加工領域Ｐの下方を通るときには上記第1方向と反対方向に１８０°捻じるものとしてもよい。このように、半周ごとに異なる方向にソーワイヤ３０を捻じることにより、１周当たりのソーワイヤ３０の捻じり角の大きさをほぼ０°に保つことができる。
【００３０】
また、図２に示すように、一方の端面３２Ａにのみ砥粒３４Ａ〜３４Ｃが固定されたソーワイヤ３０に代えて、両端面に砥粒がそれぞれ固定されたソーワイヤ１３０を用いてもよい。このソーワイヤ１３０は、ソーワイヤ３０の芯線３２と同一構成を有する芯線１３２と、この芯線１３２の両端面１３２Ａ，１３２Ｂに各々固定された砥粒１３４Ａ〜１３４Ｃ，１３４Ｄ〜１３４Ｆとから構成される。この場合には、最初に、加工領域Ｐにおいて、一方の端面１３２Ａに固定された砥粒１３４Ａ〜１３４Ｃがシリコンインゴット２０に向き合うようにソーワイヤ１３０を両ローラ１２Ａ，１２Ｂに架け渡した状態でスライス加工を行う。そして、一方の端面１３２Ａに固定された砥粒１３４Ａ〜１３４Ｃがスライス加工時の摩擦により脱落して減少してくると、他方の端面１３２Ｂに固定された砥粒１３４Ｄ〜１３４Ｆがシリコンインゴット２０に加工領域Ｐで向き合うようソーワイヤ３０を両ローラ１２Ａ，１２Ｂ間に再設置する。このようにしてソーワイヤ１３０の使用回数を増加させることができる。
【００３１】
ソーワイヤ１３０を溝付ローラ１２Ａから１８０°捻じって溝付ローラ１２Ｂにかけ渡した後、溝付ローラ１２Ｂから溝付ローラ１２Ａに捻じらないでかけ渡すと、シリコンインゴット２０に向き合う端面が符号１３２Ａから１３２Ｂに反転する。その結果、端面１３２Ａ側の砥粒１３４Ａ〜１３４Ｃでスライス加工した後、続いて端面１３２Ｂ側の砥粒１３４Ｄ〜１３４Ｆでスライス加工することになる。したがって、砥粒１３４Ａ〜１３４Ｃと砥粒１３４Ｄ〜１３４Ｆで交互にスライス加工でき、通常の２倍加工できる。
【００３２】
また、マルチワイヤソー装置１０は、溝付ローラ１２Ａ、１２Ｂと加工領域Ｐの間にガイド部材５２，５６を各々備えてもよい。ガイド部材５２，５６は、同一構成を備えるため、以下の説明では、ガイド部材５２についてのみ説明する。
【００３３】
ガイド部材５２は、ソーワイヤ列３０Ｌの直下方に同列３０Ｌを横断するよう配置された略直方体状の基部５３と、この基部５３上面に立設する多数の櫛歯５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃとから構成される。各櫛歯５４Ａ〜５４Ｃは、等ピッチで配置されており、その間隔ｈは、上述したソーワイヤ３０（芯線３２）の厚みｔよりも大きく、幅ｗよりも小さく形成される。これにより、ソーワイヤ３０は、櫛歯５４Ａ〜５４Ｃの間に砥粒３４Ａ〜３４Ｃが固定された端面３２Ａ側をシリコンインゴット２０に向けた状態でより確実に保持することができる。
【００３４】
また、上述したように、ソーワイヤ３０は、１８０°捻じられた状態で両ローラ１２Ａ，１２Ｂ間に架け渡されているため、シリコンインゴット２０から少し離れた位置でも端面３２Ａの方が同インゴット２０の方を向くように捻じれた状態に保持される。このため、ソーワイヤ３０が捻じられていない状態で両ローラ１２Ａ，１２Ｂに架け渡される場合と比較して、ソーワイヤ３０がガイド部材５２，５６を通過する際に各櫛歯５４Ａ〜５４Ｃと擦れることにより生じる摩擦力を低減できるというメリットもある。
【００３５】
本発明のマルチワイヤソー装置１０によれば、第１送りローラ１２Ａに第１主面３０Ａが接するとともに、第１主面３０Ａと反対側の第２主面３０Ｂが第２送りローラ１２Ｂに接するよう両ローラ１２Ａ，１２Ｂ間にソーワイヤ３０が架け渡される。このため、ソーワイヤ３０の端面３２Ａをシリコンインゴット２０に押し当てることができる。この結果、ソーワイヤ３０の砥粒３４Ａ〜３４Ｃが固定された端面３２Ａを用いてシリコンインゴット２０をスライスすることができる。また、ソーワイヤ３０の端面３２Ａを用いてシリコンインゴット２０をスライスすることにより、スライス加工時に発生するカーフロスの発生量を低減することもできる。さらに、ソーワイヤ３０は、幅ｗが厚みｔよりも大きいため幅が厚みと同等の大きさしかない場合よりも断面積を大きくすることができ、スライス加工時におけるソーワイヤ３０の破断を抑制できる。
【００３６】
続いて、図３〜図５を参照しつつ、本実施形態の変形例について説明する。以下の説明において、本実施形態のマルチワイヤソー装置１０と構成が共通する部分については同一の符号を付して適宜説明を省略し、構成の異なる部分についてのみ説明するものとする。
【００３７】
＜変形例１＞
図３は、マルチワイヤソー装置１００の構成を示す斜視図である。図３に示すように、マルチワイヤソー装置１００は、溝付ローラ１２Ａ，１２Ｂに加え、溝付ローラ１２Ｂと同一構成の溝付ローラ１２Ｃを備える点でマルチワイヤソー装置１０と構成が相異する。この構成では、ソーワイヤ３０に代えてソーワイヤ１０２が用いられる。このソーワイヤ１０２は、芯線３２の両端面に砥粒１０４Ａ，１０４Ｂ，１０４Ｃ，１０４Ｄが各々固定されている点でソーワイヤ３０と相異する。そして、ソーワイヤ１０２は、溝付ローラ１２Ａ〜１２Ｃの外周に沿って等ピッチで繰り返し架け渡され、ソーワイヤ列１０２Ｌを構成する。この際、ソーワイヤ１０２は、上記実施形態と同様に、溝付ローラ１２Ａに第１主面３０Ａが接するとともに、溝付ローラ１２Ｂに第２主面３０Ｂが接するよう捻じられた状態で両ローラ１２Ａ，１２Ｂに架け渡される。一方、ソーワイヤ１０２は、溝付ローラ１２Ｂから溝付ローラ１２Ｃを経て溝付ローラ１２Ａに架け渡すときには捻じらずに架け渡される。この場合にも、上記実施形態におけるマルチワイヤソー装置１０と同様の効果を得ることができる。
【００３８】
＜変形例２＞
図４は、マルチワイヤソー装置１４０の構成を示す図である。図４に示すように、マルチワイヤソー装置１４０は、ガイド部材５２，５６に代えてガイド部材１２０を備える点でマルチワイヤソー装置１０と構成が相異する。ガイド部材１２０は、シリコンインゴット２０の底面２０Ｐに接着固定される基部１２２と、基部１２２に立設する多数の櫛歯１２４Ａ，１２４Ｂ，１２４Ｃとを備える。各櫛歯１２４Ａ〜１２４Ｃの間には、各々走行可能な状態でソーワイヤ３０が配置される。ガイド部材１２０は、ソーワイヤ３０によりスライス可能な素材により構成されており、シリコンインゴット２０とともにソーワイヤ３０によりスライスされる。
【００３９】
ここで、ソーワイヤ３０は、両ローラ１２Ａ，１２Ｂ間で１８０°捻じられている。このため、両ローラ１２Ａ，１２Ｂ間の距離を２等分する位置を含むように設けられた加工領域Ｐにおいて、ソーワイヤ３０は９０°前後捻じられた状態であり、ソーワイヤ３０の端面３２Ａがシリコンインゴット２０の底面２０Ｐと正対に近い状態で向き合うこととなる。このため、両ローラ１２Ａ，１２Ｂとシリコンインゴット２０との間に配置されたガイド部材５２，５６を用いる場合よりも上記底面２０Ｐに固定されたガイド部材１２０を用いる方がソーワイヤ３０とガイド部材１２０の各櫛歯１２４Ａ〜１２４Ｃとの間に生じる摩擦力を低減できる。
【００４０】
＜変形例３＞
図５は、マルチワイヤソー装置１７０の構成を示す図である。図５に示すように、マルチワイヤソー装置１７０は、ガイド部材５２，５６に代えてガイド部材１５０，１６０を備える点でマルチワイヤソー装置１０と構成が相異する。
【００４１】
ガイド部材１５０，１６０は、シリコンインゴット２０の両側面に各々接着固定されており、同一の構成を備える。以下の説明では、ガイド部材１５０についてのみ説明を行う。ガイド部材１５０は、シリコンインゴット２０の側面２０Ｓに固定された基部１５２と、基部１５２の下端部に設けられた多数の櫛歯１５４Ａ〜１５４Ｃを備える。各櫛歯１５４Ａ〜１５４Ｃの間にはそれぞれ走行可能な状態でソーワイヤ３０が配置される。ガイド部材１５０は、ソーワイヤ３０によりスライス可能な素材により構成されており、シリコンインゴット２０とともにソーワイヤ３０によりスライスされる。この場合にも変形例２のガイド部材１２０のようにソーワイヤ３０とガイド部材１５０，１６０との間の摩擦力を低減できる。なお、ガイド部材１５０，１６０のうちいずれか一方だけシリコンインゴット２０に固定して用いてもよい。
【００４２】
＜変形例４＞
図６（ａ）に示す２つの傾斜面６２、６４を有する複数の溝部６０を溝付ローラ１２Ｂに設けても良い。図６（ｂ）に示すように、２つの傾斜面６２、６４は長さが異なっている。ソーワイヤ３０の並び方向に対し、第１傾斜面６２は第２傾斜面６４よりも傾斜が大きくなっている。第１傾斜面６２は、ソーワイヤ３０の並び方向に対して垂直またはそれに近い傾斜になっている。そのため、第１傾斜面６２よりも第２傾斜面６４は長くなっている。
【００４３】
ソーワイヤ３０はテンションがかかるように２つの溝付ローラ１２Ａ、１２Ｂにかけ渡されているため、ソーワイヤ３０が溝部６０を通過するとき、ソーワイヤ３０は第１傾斜面６２または第２傾斜面６４のいずれかに倒れようとする。このとき、ソーワイヤ３０の並び方向に対して第２傾斜面６４の傾斜が小さく、第１傾斜面６２がほぼ垂直になっているため、ソーワイヤ３０は第２平面６４に向けて倒れやすい。すべてのソーワイヤ３０が同じ方向に倒れるため、すべてのソーワイヤ３０が同じ方向にねじれた状態でローラ１２Ｂに巻きまわされて進行する。
【００４４】
図６（ｃ）に示すように、第１傾斜面６７と第２傾斜面６８の長さが同じ溝部６６の場合、いずれの傾斜面６７、６８の角度も同じになる。そのため、ソーワイヤ３０が倒れる方向が定まらない。隣り合うソーワイヤ３０が異なる方向にねじれると、ソーワイヤ３０同士が接触し、断線するおそれがあるため、ソーワイヤ３０同士の間隔を広げる必要がある。本構成は上記原因によるソーワイヤ３０の断線を回避でき、ソーワイヤ３０同士の間隔を短くすることができる。ソーワイヤ３０同士の間隔が短いとシリコンインゴットを薄くスライスすることができる。
【００４５】
なお、上記説明では溝付ローラ１２Ｂから溝付ローラ１２Ａにソーワイヤ３０が移送される間に、ソーワイヤ３０が１８０°ねじれる。しかし、第２傾斜面６４の角度がソーワイヤ３０の並び方向に対して０°になっていないため、第２の送りローラ１２Ｂから第１の送りローラ１２Ａにソーワイヤ３０が移送される間に、ソーワイヤ３０は１８０°以上ねじれることになる。
【００４６】
また、溝付ローラ１２Ａにも上記溝部６０を設けても良い。溝付ローラ１２Ａでソーワイヤ３０の並び方向に対してソーワイヤ３０に角度をつけることにより、ガイド部材５２を通過するときに、ガイド部材５２の櫛歯５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃの方向に合わせてソーワイヤ３０の主面３０Ａ、３０Ｂが立ちやすくなっている。さらに、溝付ローラ１２Ａのみに溝部６０を設けても良い。
【００４７】
＜変形例５＞
図７（ａ）に示すように、ガイド部材５２をソーワイヤ３０の進行方向に対して垂直方向以外の方向に傾けても良い。進行方向に対して傾斜させることで、ソーワイヤ列３０Ｌの幅が点線から実線のように狭くなる。ガイド部材５２を通過した後のソーワイヤ３０同士の間隔が狭くなっており、シリコンインゴット２０を薄くスライスすることができる。ガイド部材５２と５６の傾斜させる角度は、加工領域Ｐを中心にして対照になるようにしても良いし（図７（ａ））、同じ角度で傾けても良い（図７（ｂ））。また、ガイド部材５２、５６を傾斜させるとともに、櫛歯５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃ同士の間隔を変更してソーワイヤ３０同士の間隔を調整しても良い。
【００４８】
本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づいて種々なる改良、修正、又は変形を加えた態様でも実施できる。また、同一の作用又は効果が生じる範囲内で、何れかの発明特定事項を他の技術に置換した形態で実施しても良い。
【符号の説明】
【００４９】
１０，１００，１４０，１７０：マルチワイヤソー装置
１２Ａ：溝付ローラ（第１送りローラ）
１２Ｂ：溝付ローラ（第２送りローラ）
１２Ｃ：溝付ローラ
２０：シリコンインゴット
３０，１０２：ソーワイヤ（加工用線材）
３０Ａ：第１主面
３０Ｂ：第２主面
３０Ｌ，１０２Ｌ：ソーワイヤ列（加工用線材列）
３２：芯線
３２Ａ：端面（幅方向端部）
３２Ｂ：端面
３４Ａ〜３４Ｃ，１３４Ａ〜１３４Ｆ：砥粒
５２，５６，１２０，１５０，１６０：ガイド部材
溝部：６０
傾斜面：６２、６４
【図１】
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【図２】
2019075531.tif 000004
【図３】
2019075531.tif 000005
【図４】
2019075531.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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