(57)【要約】【課題】保持部材が損傷することを防止することができるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１０は、外周に環状の凸部ＷＦＡが設けられ、当該凸部ＷＦＡの内周面ＷＦ１と頂面ＷＦ２とによって形成された角部ＷＦ３と、内周面ＷＦ１に連なる底面ＷＦ４とを備えた被着体ＷＦに接着シートＡＳを貼付する装置であって、弾性変形可能な保持部材２１で接着シートＡＳを保持するシート保持手段２０と、保持部材２１を弾性変形させ、当該保持部材２１で被着体ＷＦの底面ＷＦ４に接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段３０とを備え、保持部材２１は、弾性変形したときに被着体ＷＦの角部ＷＦ３が当接する領域に設けられ、角部ＷＦ３を受容する受容部２１Ａを備えている。【選択図】図１
2019036691.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周に環状の凸部が設けられ、当該凸部の内周面と頂面とによって形成された角部と、前記内周面に連なる底面とを備えた被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
弾性変形可能な保持部材で前記接着シートを保持するシート保持手段と、
前記保持部材を弾性変形させ、当該保持部材で前記被着体の前記底面に前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記保持部材は、弾性変形したときに前記被着体の前記角部が当接する領域に設けられ、前記角部を受容する受容部を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
外周に環状の凸部が設けられ、当該凸部の内周面と頂面とによって形成された角部と、前記内周面に連なる底面とを備えた被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
弾性変形可能な保持部材で前記接着シートを保持するシート保持手段と、
前記保持部材を弾性変形させ、当該保持部材で前記被着体の前記底面に前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記保持部材は、弾性変形したときに前記被着体の前記角部が当接する領域の厚みを他の領域よりも厚くした肉厚部を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
前記シート保持手段は、前記保持部材に静電引力を付与する電極を備え、前記電極に電圧を印加することにより前記保持部材で前記接着シートを保持することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、弾性変形可能な保持部材で接着シートを保持し、当該保持部材を弾性変形させて被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１８３１６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置で凹部と、凹部および頂面によって形成された角部とを備えた被着体に接着シートを貼付する際、保持部材が角部に押し付けられ、保持部材を貫通することで、空間内部の気圧を上げられなくなり、次の被着体に接着シートを貼付する際に保持部材を弾性変形させることができなくなるという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、被着体の角部が保持部材を貫通し、保持部材を弾性変形させることができなくなることを極力防止することができるシート貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、保持部材における被着体の角部が当接する領域に、角部を受容する受容部を設けたため、被着体の角部が保持部材を貫通し、保持部材を弾性変形させることができなくなることを極力防止することができる。
また、本発明によれば、保持部材における被着体の角部が当接する領域の厚みを他の領域よりも厚くしたため、被着体の角部が保持部材を貫通し、保持部材を弾性変形させることができなくなることを極力防止することができる。
【０００８】
また、保持部材内に静電引力を付与する電極を設けることにより、保持部材の強度を上げることができるため、被着体の角部が保持部材を貫通し、保持部材を弾性変形させることができなくなることを極力防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】本発明の変形例に係るシート貼付装置の側面図。
【図３】本発明の変形例に係るシート貼付装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１１】
図１において、シート貼付装置１０は、外周に環状の凸部ＷＦＡが設けられ、当該凸部ＷＦＡの内周面ＷＦ１と頂面ＷＦ２によって形成された角部ＷＦ３と、内周面ＷＦ１に連なる底面ＷＦ４とを備えた被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦに接着シートＡＳを貼付する装置であって、弾性変形可能な保持部材２１で接着シートＡＳを保持するシート保持手段２０と、保持部材２１を弾性変形させ、当該保持部材２１でウエハＷＦの底面ＷＦ４に接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段３０とを備えている。
【００１２】
シート保持手段２０は、接着シートＡＳを保持する保持部材２１と、保持部材２１に静電引力を付与する電極２２と、電極２２を保護する保護部材２３とを備え、電極２２に電圧を印加することにより保持部材２１で接着シートＡＳを保持可能に設けられている。
保持部材２１は、円形形状に形成されるとともに、ゴムや樹脂等の弾性部材で形成されている。保持部材２１は、弾性変形したときにウエハＷＦの角部ＷＦ３が当接する領域に設けられ、角部ＷＦ３を受容する受容部としての切込２１Ａを備えている。
電極２２は、導電性を有する弾性材料で形成されるとともに、切込２１Ａとは反対側の面に交互に設けられ、一方が正極で他方が負極となるように図示しない電圧印加装置に接続された第１電極２２Ａおよび第２電極２２Ｂを備えている。
保護部材２３は、円形形状に形成されるとともに、ゴムや樹脂等の弾性部材で形成され、電極２２を覆うように保持部材２１に支持されている。
【００１３】
押圧手段３０は、上面３１Ａが開口した箱状に形成された下ケース３１と、下面３２Ａが開口した箱状に形成され、円筒状の基台３２Ｃを介して上面部３２Ｂで保持部材２１を支持するとともに、図示しない駆動機器で昇降可能に支持された上ケース３２と、上面部３２Ｂ、基台３２Ｃ、および保持部材２１で形成される第１空間Ｖ１に配管３０Ａを介して接続された減圧ポンプや真空エジェクタ等の第１減圧手段３３および加圧ポンプやタービン等の第１加圧手段３４と、上ケース３２および下ケース３１により形成される第２空間Ｖ２に配管３０Ｂを介して接続された減圧ポンプや真空エジェクタ等の第２減圧手段３５および加圧ポンプやタービン等の第２加圧手段３６と、下ケース３１の底面部３１Ｂに設けられ、電極２２と同様の電極やメカチャック等の図示しない支持手段によってウエハＷＦを支持するテーブル３８とを備えている。
【００１４】
以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順について説明する。
先ず、図１中二点鎖線で示すように、上ケース３２が下ケース３１の上方に離れた状態で、シート貼付装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）、または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が角部ＷＦ３を上にしてウエハＷＦをテーブル３８上に載置すると、押圧手段３０が図示しない支持手段を駆動し、テーブル３８でウエハＷＦを支持する。また、使用者または、図示しない搬送手段が保持部材２１の下面に接着シートＡＳを供給すると、シート保持手段２０が図示しない電圧印加装置を駆動し、電極２２に所定の電圧を印加する。これにより、静電引力が発生し、接着シートＡＳが保持部材２１に保持される。
【００１５】
その後、押圧手段３０が図示しない駆動機器を駆動し、上ケース３２を下降させて、図１中実線で示すように、第２空間Ｖ２を形成する。次いで、押圧手段３０が第１および第２減圧手段３３、３５を駆動し、第１および第２空間Ｖ１、Ｖ２を同じ圧力となるように制御しながら減圧してゆく。そして、第１および第２空間Ｖ１、Ｖ２が所定の圧力状態、すなわち第１減圧状態にまで減圧されたことが圧力センサやロードセル等の図示しない検知手段で検知されると、押圧手段３０が第１および第２減圧手段３３、３５の駆動を停止する。その後、押圧手段３０が第２減圧手段３５および第２加圧手段３６を駆動し、第２空間Ｖ２を第１減圧状態に保ちつつ、第１加圧手段３４を駆動し、第１空間Ｖ１を所定の圧力状態、すなわち第２減圧状態にまで加圧する。これにより、保持部材２１が第１減圧状態と第２減圧状態との差圧により弾性変形し、保持部材２１の中央部がウエハＷＦに最も近付くように撓み、図１中二点鎖線で示すように、ウエハＷＦの底面ＷＦ４の中央部分から外周側に向けて徐々に接着シートＡＳを貼付してゆく。この際、保持部材２１の弾性変形に伴って切込２１ＡがＶ字状に広がるので、ウエハＷＦの角部ＷＦ３が切込２１Ａ内に受容され、保持部材２１に対する角部ＷＦ３の干渉が抑制される。
【００１６】
接着シートＡＳがウエハＷＦに貼付されると、シート保持手段２０が図示しない電圧印加装置の駆動を停止する。次に、押圧手段３０が第２加圧手段３６を駆動し、第２空間Ｖ２を第２減圧状態にまで加圧して保持部材２１の形状を図１中実線で示す形状に復帰させる。その後、押圧手段３０が第１および第２加圧手段３４、３６を駆動し、第１および第２空間Ｖ１、Ｖ２を同じ圧力となるように制御しながら加圧する。そして、第１および第２空間Ｖ１、Ｖ２が大気圧まで加圧されたことが図示しない検知手段で検知されると、押圧手段３０が図示しない駆動機器を駆動し、上ケース３２を図１中二点鎖線で示す位置に復帰させる。次いで、押圧手段３０が図示しない支持手段の駆動を停止した後、使用者または図示しない搬送手段が接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００１７】
以上のような実施形態によれば、保持部材２１におけるウエハＷＦの角部ＷＦ３が当接する領域に、角部ＷＦ３を受容する切込２１Ａを設けたため、ウエハＷＦの角部ＷＦ３が保持部材２１を貫通し、保持部材２１を弾性変形させることができなくなることを極力防止することができる。
【００１８】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００１９】
例えば、保持部材２１は、図２に示すように、弾性変形したときにウエハＷＦの角部ＷＦ３が当接する領域の厚みを他の領域よりも厚くした肉厚部２１Ｂを備えたものであってもよい。
保持部材２１の受容部は、切込２１Ａに代えて、図１中の符号ＡＡの図に示すように、溝２１Ｃで構成してもよいし、図３に示すように、角部ＷＦ３をその内部に受容可能なウレタンやスポンジ等の軟質部材２１Ｄで構成してもよい。
電極２２は、第１電極２２Ａおよび第２電極２２Ｂを少なくとも１つずつ備えていればよい。
保持部材２１や保護部材２３の形状は、三角形以上の多角形や楕円形等、どのような形状でもよい。
【００２０】
押圧手段３０は、第１空間Ｖ１のみを加圧することで、保持部材２１を弾性変形させてもよいし、液体やジェル体を第１空間Ｖ１に供給したり、駆動機器を駆動したりして保持部材２１を弾性変形させてもよい。
基台３２Ｃの形状は、三角形以上の多角形や楕円形等、どのような形状でもよい。
【００２１】
また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。
また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２２】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、押圧手段は、保持部材を弾性変形させ、当該保持部材で被着体の凹部の底面に接着シートを押圧して貼付可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、保持手段（シート保持手段２０）や保持部材等の被支持部材（接着シートＡＳ）を保持する構成のものが採用されている場合、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で被支持部材を保持する構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【００２３】
１０    シート貼付装置
２０    シート保持手段
２１    保持部材
２１Ａ  切込（受容部）
２１Ｂ  肉厚部
２１Ｃ  溝（受容部）
２１Ｄ  軟質部材（受容部）
３０    押圧手段
ＡＳ    接着シート
ＷＦ    ウエハ（被着体）
ＷＦＡ  凸部
ＷＦ１  内周面
ＷＦ２  頂面
ＷＦ３  角部
ＷＦ４  底面
【図１】
2019036691.tif 000003
【図２】
2019036691.tif 000004
【図３】
2019036691.tif 000005