(57)【要約】【課題】基板搬送ロボットで基板載置部の回転軸の位置を探索する。【解決手段】基板載置部の複数の回転位置において、物体検出センサで基板載置部に設けられたターゲットを検出して、ロボット基準軸からターゲットまでの軸心方向と直交する方向の距離である指標長さ又はそれに相関する情報を求め、求めた指標長さ又はそれに相関する情報に基づいて、ロボット基準軸と回転軸とを結ぶ直線上に位置するターゲットを検出したときの、検出ラインのロボット基準軸を回転中心とする回転位置及び基板載置部の回転軸を中心とする回転位置の少なくとも一方の回転位置を求め、求めた回転位置に基づいて、ロボット基準軸から見た回転軸のある方向を特定する。【選択図】図４
2019067909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボット基準軸が規定され、検出ラインを遮る物体を検出する物体検出センサ、及び、前記ロボット基準軸の軸心方向と直交する平面内で前記物体検出センサを移動させるロボットアームを有する基板搬送ロボットを用いて、前記軸心方向と平行に延びる回転軸を中心として回転する基板載置部の前記回転軸を探索する方法であって、
前記基板載置部の複数の回転位置において、前記物体検出センサで前記基板載置部に設けられたターゲットを検出して、前記ロボット基準軸から前記ターゲットまでの前記軸心方向と直交する方向の距離である指標長さ又はそれに相関する情報を求め、
求めた前記指標長さ又はそれに相関する情報に基づいて、前記ロボット基準軸と前記回転軸とを結ぶ直線上に位置する前記ターゲットを検出したときの、前記検出ラインの前記ロボット基準軸を回転中心とする回転位置及び前記基板載置部の前記回転軸を中心とする回転位置の少なくとも一方の回転位置を求め、
求めた前記回転位置に基づいて、前記ロボット基準軸から見た前記回転軸のある方向を特定する、
基板載置部の回転軸の探索方法。
【請求項２】
前記ロボット基準軸と前記回転軸とを結ぶ直線上に位置する前記ターゲットを検出したときの前記指標長さと、前記回転軸から前記ターゲットまでの既知の距離とに基づいて、前記ロボット基準軸から前記回転軸までの距離を求める、
請求項１に記載の基板載置部の回転軸の探索方法。
【請求項３】
前記軸心方向と直交し、且つ、前記物体検出センサが接続された前記ロボットアームの遠位端部と前記ロボット基準軸とを通る直線がアーム基準線と規定され、前記軸心方向と直交し、且つ、前記回転軸と前記ターゲットとを通る直線が載置部基準線と規定され、
前記載置部基準線と前記アーム基準線とが平行となる、前記載置部基準線の前記回転軸を回転中心とする第１載置部回転位置、及び、前記アーム基準線の前記ロボット基準軸を回転中心とする第１アーム回転位置を求めるステップと、
前記第１載置部回転位置にある前記載置部基準線と前記第１アーム回転位置にある前記アーム基準線とが同じ方向へ同じ回転角度だけ回転することにより、前記載置部基準線の延伸方向と前記アーム基準線の延伸方向とが一致する、前記載置部基準線の第２載置部回転位置及び前記アーム基準線の第２アーム回転位置を求めるステップとを含む、
請求項１に記載の基板載置部の回転軸の探索方法。
【請求項４】
前記載置部基準線を前記第１載置部回転位置にする共に、前記アーム基準線を前記第１アーム回転位置にするステップと、
前記載置部基準線を前記第１載置部回転位置から前記第２載置部回転位置にすると共に、前記アーム基準線を前記第１アーム回転位置から前記第２アーム回転位置にするステップとを、更に含む、
請求項３に記載の基板載置部の回転軸の探索方法。
【請求項５】
前記第１載置部回転位置を求めるステップが、前記アーム基準線を前記第１アーム回転位置に保持しつつ、前記指標長さの等しい前記載置部基準線の２つの回転位置を探索し、当該２つの回転位置の中央の回転位置を前記第１載置部回転位置とすることを含む、
請求項３に記載の基板載置部の回転軸の探索方法。
【請求項６】
前記第１載置部回転位置を求めるステップが、前記アーム基準線を前記第１アーム回転位置に保持しつつ、前記指標長さの最も小さい前記載置部基準線の回転位置を探索し、その回転位置を前記第１載置部回転位置とすることを含む、
請求項３に記載の基板載置部の回転軸の探索方法。
【請求項７】
前記第２載置部回転位置を求めるステップが、前記第１アーム回転位置にある前記アーム基準線を前記ロボット基準軸を中心として、前記第１載置部回転位置にある前記基板載置部を前記回転軸を中心として、それぞれ同一回転方向へ同一回転角度だけ回転させて、前記指標長さの等しい２つの回転位置を探索し、当該２つの回転位置の中央の回転位置を前記第２載置部回転位置とすることを含む、
請求項３に記載の基板載置部の回転軸の探索方法。
【請求項８】
前記第２載置部回転位置を求めるステップが、前記第１アーム回転位置にある前記アーム基準線を前記ロボット基準軸を中心として、前記第１載置部回転位置にある前記基板載置部を前記回転軸を中心として、それぞれ同一回転方向へ同一回転角度だけ回転させて、前記指標長さの最も大きい回転位置を探索し、その回転位置を前記第２載置部回転位置とすることを含む、
請求項３に記載の基板載置部の回転軸の探索方法。
【請求項９】
ロボット基準軸が規定され、検出ラインを遮る物体を検出する物体検出センサ、及び、前記ロボット基準軸の軸心方向と直交する平面内で前記物体検出センサを移動させるロボットアームを有する基板搬送ロボットと、
前記物体検出センサで検出されるターゲットを有し、前記軸心方向と平行に延びる回転軸を中心として回転する基板載置部と、
前記基板搬送ロボット及び前記基板載置部の動作を制御するコントローラとを備え、
前記コントローラが、
前記基板載置部の複数の回転位置において、前記物体検出センサで前記ターゲットを検出して、前記ロボット基準軸から前記ターゲットまでの前記軸心方向と直交する方向の距離である指標長さ又はそれに相関する情報を求め、
求めた前記指標長さ又はそれに相関する情報に基づいて、前記ロボット基準軸と前記回転軸とを結ぶ直線上に位置する前記ターゲットを検出したときの、前記検出ラインの前記ロボット基準軸を回転中心とする回転位置及び前記基板載置部の前記回転軸を中心とする回転位置の少なくとも一方の回転位置を求め、
求めた前記回転位置に基づいて、前記ロボット基準軸から見た前記回転軸のある方向を特定する、
基板搬送装置。
【請求項１０】
前記コントローラが、
前記ロボット基準軸と前記回転軸とを結ぶ直線上に位置する前記ターゲットを検出したときの前記指標長さと、前記回転軸から前記ターゲットまでの既知の距離とに基づいて、前記ロボット基準軸から前記回転軸までの距離を求める、
請求項９に記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
前記軸心方向と直交し、且つ、前記物体検出センサが接続された前記ロボットアームの遠位端部と前記ロボット基準軸とを通る直線がアーム基準線と規定され、前記軸心方向と直交し、且つ、前記回転軸と前記ターゲットとを通る直線が載置部基準線と規定され、
前記コントローラが、
前記載置部基準線と前記アーム基準線とが平行となる、前記載置部基準線の前記回転軸を回転中心とする第１載置部回転位置、及び、前記アーム基準線の前記ロボット基準軸を回転中心とする第１アーム回転位置を求め、
前記第１載置部回転位置にある前記載置部基準線と前記第１アーム回転位置にある前記アーム基準線とが同じ方向へ同じ回転角度だけ回転することにより、前記載置部基準線の延伸方向と前記アーム基準線の延伸方向とが一致する、前記載置部基準線の第２載置部回転位置及び前記アーム基準線の第２アーム回転位置を求める、
請求項９に記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
前記コントローラが、
前記載置部基準線を前記第１載置部回転位置にする共に、前記アーム基準線を前記第１アーム回転位置にし、
前記載置部基準線を前記第１載置部回転位置から前記第２載置部回転位置にすると共に、前記アーム基準線を前記第１アーム回転位置から前記第２アーム回転位置にし、
前記アーム基準線が前記第２アーム回転位置にあるときの前記ロボットアームの関節の回転位置を記憶する、
請求項１１に記載の基板搬送装置。
【請求項１３】
前記コントローラが、前記アーム基準線を前記第１アーム回転位置に保持しつつ、前記指標長さの等しい前記載置部基準線の２つの回転位置を探索するように前記基板搬送ロボット及び前記基板載置部を動作させて、当該２つの回転位置の中央の回転位置を前記第１載置部回転位置とする、
請求項１１に記載の基板搬送装置。
【請求項１４】
前記コントローラが、前記アーム基準線を前記第１アーム回転位置に保持しつつ、前記指標長さの最も小さい前記載置部基準線の回転位置を探索するように前記基板搬送ロボット及び前記基板載置部を動作させて、その回転位置を前記第１載置部回転位置とする、
請求項１１に記載の基板搬送装置。
【請求項１５】
前記コントローラが、前記第１アーム回転位置にある前記アーム基準線を前記ロボット基準軸を中心として、前記第１載置部回転位置にある前記基板載置部を前記回転軸を中心として、それぞれ同一回転方向へ同一回転角度だけ回転させて、前記指標長さの等しい２つの回転位置を探索するように前記基板搬送ロボット及び前記基板載置部を動作させて、当該２つの回転位置の中央の回転位置を前記第２載置部回転位置とする、
請求項１１に記載の基板搬送装置。
【請求項１６】
前記コントローラが、前記第１アーム回転位置にある前記アーム基準線を前記ロボット基準軸を中心として、前記第１載置部回転位置にある前記基板載置部を前記回転軸を中心として、それぞれ同一回転方向へ同一回転角度だけ回転させて、前記指標長さの最も大きい回転位置を探索するように前記基板搬送ロボット及び前記基板載置部を動作させて、その回転位置を前記第２載置部回転位置とする、
請求項１１に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板やガラス基板などの基板を搬送する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体のプロセスにおいて、複数の半導体基板に対して一括して処理を行うために、複数の半導体基板を整列された状態で積載することのできる基板載置部が用いられている。このような基板載置部は、一般に、離間された一対の板部材と、一対の板部材間に架け渡された複数の支柱とからなる。支柱には、複数の支持溝が当該支柱の軸線方向に一定ピッチで形成されており、支持溝に基板の周縁部が嵌め込まれることで、基板が支柱に支持される。
【０００３】
上記のような基板載置部に対し基板を搬入及び搬出するために、基板搬送ロボットが用いられる。基板搬送ロボットは、一般に、ロボットアームと、ロボットのアームの手先に装着された基板搬送ハンドと、コントローラとを備えている。基板搬送ハンドは基板を保持するための基板保持部を備えており、その基板保持方式には吸着や把持などがある。特許文献１では、Ｙ字形に先の分かれた板状のブレードを備え、ブレードに基板を載せて搬送する基板搬送ハンドが例示されている。
【０００４】
特許文献１に記載された基板搬送ロボットでは、基板搬送ハンドのＹ字に分かれた両先端部の一方に発光部が取り付けられ、他方に発光部と対向するように受光部が取り付けられている。これらの発光部と受光部は透過型光センサを構成しており、この透過型光センサでは光軸を遮る物体を検出することができる。そして、基板処理装置の前面外壁に取り付けられた外部教示治具を透過型光センサで検出することにより、既知の基板処理装置内部の教示位置の中心と外部教示位置の中心との相対位置関係を用いて、基板搬送装置と教示位置の中心との相対的位置関係を推定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３１０８５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
基板載置部には、回転台の上に載置固定されて、当該回転台と一体的に回転するものがある。このような基板載置部には、基板載置部の回転軸と基板の中心とが一致するように基板が積載される。そのために、オペレータが基板搬送ロボットと基板載置部とを目視で確認しながらティーチングペンダントを操作することにより、基板載置部の回転軸と基板の中心とが一致するように基板の積載位置を基板搬送ロボットに教示することが行われている。しかしながら、このような教示作業は極めて煩雑な作業であり、自動で且つ精確に基板搬送ロボットへ基板載置部の積載位置を教示することのできる技術が望まれている。
【０００７】
基板は円形の所定形状であることから、基板載置部の回転軸の位置に基づいて当該基板ボードの基板の積載位置を容易に導き出すことができる。そこで本発明では、基板搬送ロボットで基板載置部の回転の中心となる回転軸の位置を探索する技術を提案する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様に係る基板載置部の回転軸の探索方法は、ロボット基準軸が規定され、検出ラインを遮る物体を検出する物体検出センサ、及び、前記ロボット基準軸の軸心方向と直交する平面内で前記物体検出センサを移動させるロボットアームを有する基板搬送ロボットを用いて、前記軸心方向と平行に延びる回転軸を中心として回転する基板載置部の前記回転軸を探索する方法であって、
前記基板載置部の複数の回転位置において、前記物体検出センサで前記基板載置部に設けられたターゲットを検出して、前記ロボット基準軸から前記ターゲットまでの前記軸心方向と直交する方向の距離である指標長さ又はそれに相関する情報を求め、
求めた前記指標長さ又はそれに相関する情報に基づいて、前記ロボット基準軸と前記回転軸とを結ぶ直線上に位置する前記ターゲットを検出したときの、前記検出ラインの前記ロボット基準軸を回転中心とする回転位置及び前記基板載置部の前記回転軸を中心とする回転位置の少なくとも一方の回転位置を求め、
求めた前記回転位置に基づいて、前記ロボット基準軸から見た前記回転軸のある方向を特定することを特徴としている。
【０００９】
また、本発明の一態様に係る基板搬送装置は、ロボット基準軸が規定され、検出ラインを遮る物体を検出する物体検出センサ、及び、前記ロボット基準軸の軸心方向と直交する平面内で前記物体検出センサを移動させるロボットアームを有する基板搬送ロボットと、前記物体検出センサで検出されるターゲットを有し、前記軸心方向と平行に延びる回転軸を中心として回転する基板載置部と、前記基板搬送ロボット及び前記基板載置部の動作を制御するコントローラとを備えている。
そして、前記コントローラが、
前記基板載置部の複数の回転位置において、前記物体検出センサで前記ターゲットを検出して、前記ロボット基準軸から前記ターゲットまでの前記軸心方向と直交する方向の距離である指標長さ又はそれに相関する情報を求め、
求めた前記指標長さ又はそれに相関する情報に基づいて、前記ロボット基準軸と前記回転軸とを結ぶ直線上に位置する前記ターゲットを検出したときの、前記検出ラインの前記ロボット基準軸を回転中心とする回転位置及び前記基板載置部の前記回転軸を中心とする回転位置の少なくとも一方の回転位置を求め、
求めた前記回転位置に基づいて、前記ロボット基準軸から見た前記回転軸のある方向を特定することを特徴としている。
【００１０】
上記の基板載置部の回転軸の探索方法及び基板搬送装置によれば、ロボット基準軸と回転軸とを結ぶ直線上に位置するターゲットを検出したときの、検出ラインのロボット基準軸を回転中心とする回転位置に基づいて、ロボット基準軸から見た回転軸のある方向を特定することができる。なお、ロボット基準軸と回転軸とを結ぶ直線上に位置するターゲットを検出したときの回転軸の回転位置がわかれば、それを利用して、検出ラインのロボット基準軸を回転中心とする回転位置を探索によって求めることができる。そして、この作業を基板搬送ロボットが自動的に行うことにより、基板搬送ロボットにロボット基準軸を基準とする回転軸の方向を自動教示することが可能となる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、基板搬送ロボットで、基板載置部の回転の中心となる回転軸を探索する技術を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る基板搬送装置の概略側面図である。
【図２】図２は、基板搬送装置の概略平面図である。
【図３】図３は、基板搬送装置の制御系統の構成を示す図である。
【図４】図４は、回転軸の探索方法を説明する、基板載置部と基板搬送ロボットの概略図である。
【図５】図５は、回転軸の探索プロセスの流れ示すフローチャートである。
【図６】図６は、第１の方法に係る平行化処理の流れを示すフローチャートである。
【図７】図７は、第１の方法に係る方向合わせ処理の流れを示すフローチャートである。
【図８】図８は、平行化処理を説明する基板載置部と基板搬送ロボットの概略図である。
【図９】図９は、平行化処理を説明する基板載置部と基板搬送ロボットの概略図である。
【図１０】図１０は、平行化処理を説明する基板載置部と基板搬送ロボットの概略図である。
【図１１】図１１は、平行化処理を説明する基板載置部と基板搬送ロボットの概略図である。
【図１２】図１２は、平行化処理を説明する基板載置部と基板搬送ロボットの概略図である。
【図１３】図１３は、方向合わせ処理を説明する基板載置部と基板搬送ロボットの概略図である。
【図１４】図１４は、方向合わせ処理を説明する基板載置部と基板搬送ロボットの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
〔基板搬送装置１０の概略構成〕
次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１０の概略側面図、図２は基板搬送装置１０の概略平面図である。図１及び図２に示す基板搬送装置１０は、基板Ｗが積載される基板載置部９と、基板載置部９に対し基板Ｗの搬入（積載）及び搬出を行う基板搬送ロボット１と、基板搬送ロボット１及び基板載置部９の動作を制御するコントローラ１５とを備えている。基板搬送装置１０は、例えば、ＥＦＥＭ（Equipment  Front  End  Module）、ソータ、基板処理システムなどの、各種の基板Ｗを搬送するシステムに適用されてよい。
【００１４】
〔基板載置部９の構成〕
本実施形態に係る基板載置部９は、同一円周上に配置された３以上の複数の支柱９２を備えている。各支柱９２には、１又は複数の支持部９１が形成されている。複数の支柱９２は、実質的に同一平面上に配置された対応する支持部９１を有している。そして、対応する複数の支持部９１によって１の基板Ｗの縁が支持される。各支持部９１、例えば、支柱９２に形成された溝や、支柱９２から水平方向へ突出する突起など、基板Ｗの縁を下方から支持する上向きの面を形成するものであればよい。
【００１５】
基板載置部９は、回転台９０に支持されており、回転軸Ｏを中心として回転する。回転軸Ｏの延長線上には、基板載置部９に載置される基板Ｗの中心、及び、複数の支柱９２（又は、複数の支持部９１）が形成する円周の中心が位置する。なお、基板載置部９は回転台９０に対し着脱可能に支持されているが、基板載置部９と回転台９０とが一体的に構成されていてもよい。回転台９０には、例えばサーボモータなどからなる回転台駆動装置９４と、回転台９０の回転位置を検出する回転位置検出器９５とが設けられている。
【００１６】
〔基板搬送ロボット１の構成〕
基板搬送ロボット１は、基台１１と、基台１１に支持されたロボットアーム（以下、「アーム１２」と称する）と、アーム１２の遠位端部に連結された基板搬送ハンド（以下、「ハンド１３」と称する）と、ハンド１３に設けられた物体検出センサ４１とを備えている。
【００１７】
本実施形態に係るアーム１２は、水平方向に延びる第１リンク２１と、第１リンク２１に並進関節を介して接続された第２リンク２２とから成る。第１リンク２１には並進装置６３が設けられており、並進装置６３の動作により第２リンク２２は第１リンク２１に対して当該第１リンク２１の長手方向と平行に並進移動する。並進装置６３は、例えば、レール＆スライダ、ラック＆ピニオン、ボールねじ、又は、シリンダなどの直動機構（図示略）と、駆動部としてのサーボモータＭ３（図３、参照）とを備えてなる。但し、並進装置６３の構成は上記に限定されない。
【００１８】
アーム１２の近位端部は、昇降及び旋回可能に基台１１に支持されている。昇降装置６１の動作により、アーム１２の近位端部と連結された昇降軸２３が伸縮して、アーム１２は基台１１に対し昇降移動する。昇降装置６１は、例えば、昇降軸２３を基台１１から伸縮させる直動機構（図示略）と、駆動部としてのサーボモータＭ１（図３、参照）とを備えてなる。
【００１９】
また、旋回装置６２の動作により、アーム１２は基台１１に対し旋回軸を中心として旋回する。アーム１２の旋回軸は昇降軸２３の軸心と実質的に一致する。旋回装置６２は、例えば、第１リンク２１を旋回軸の周りに回転させるギア機構（図示略）と、駆動部としてのサーボモータＭ２（図３、参照）とを備えてなる。但し、昇降装置６１及び旋回装置６２の構成は上記に限定されない。
【００２０】
ハンド１３は、アーム１２の遠位端部に連結されたベース部３１と、ベース部３１に固定されたブレード３２とを備えている。ブレード３２は、先端部が二股に分かれたＹ字状（又は、Ｕ字状）を呈する薄板部材である。
【００２１】
ブレード３２の主面は水平であって、基板Ｗを支持する複数の支持パッド３３がブレード３２の上面に設けられている。複数の支持パッド３３は、ブレード３２に載置された基板Ｗの周縁部と接触するように、配置されている。更に、ハンド１３においてブレード３２の基端側には、プッシャ３４が設けられている。このプッシャ３４とブレード３２の先端部に配置された支持パッド３３との間で、ブレード３２に載置された基板Ｗが把持される。
【００２２】
なお、本実施形態に係るハンド１３は、基板Ｗを水平な姿勢で保持しながら、搬送するものであるが、ハンド１３は基板Ｗを垂直な姿勢で保持可能なものであってもよい。また、本実施形態に係るハンド１３の基板Ｗの保持方式は、エッジ把持式であるが、エッジ把持式に代えて、吸着式、落とし込み式、載置式などの公知の基板Ｗの保持方式が採用されてもよい。
【００２３】
ハンド１３には、少なくとも１組の物体検出センサ４１が設けられている。本実施形態に係る物体検出センサ４１は透過型光センサであるが、物体検出センサ４１は、これに限定されず、直線状又は帯状の検出領域を有する接触式又は非接触式の物体検出センサであればよい。
【００２４】
物体検出センサ４１は、ブレード３２の二股に分かれた先端部の裏面に設けられている。図８を参照して、物体検出センサ４１は、ブレード３２の二股に分かれた先端部の一方に設けられた投光器４１ａと他方に設けられた受光器４１ｂとの組み合わせによって構成されている。投光器４１ａと受光器４１ｂとは、ブレード３２の主面と平行な方向（即ち、水平方向）に離れている。
【００２５】
投光器４１ａは、検出媒体となる光を投射する光源を備えている。受光器４１ｂは、投光器４１ａの投射光を受けて電気信号に変換する受光素子を備えている。投光器４１ａと受光器４１ｂは対向配置されており投光器４１ａを出た光は、直線状に進んで、受光器４１ｂの受光器の入光窓に入射する。図８において、投光器４１ａを出た光の光軸４１ｃが鎖線で示されている。物体検出センサ４１は透過型光センサであって、光軸４１ｃを遮る物体を検出することができる。物体検出センサ４１は、光軸４１ｃ上を物体が通過して、受光器４１ｂに入射する光量が減少したことを検出すると、物体検出信号をコントローラ１５へ出力する。
【００２６】
〔コントローラ１５の構成〕
図３は、基板搬送装置１０の制御系統の構成を示す図である。図３に示すように、基板搬送ロボット１及び基板載置部９の動作は、コントローラ１５により制御される。但し、基板搬送ロボット１と基板載置部９のそれぞれに独立した制御手段が設けられており、それらの制御手段が相互に通信しながら基板搬送装置１０の動作を制御するように構成されていてもよい。
【００２７】
コントローラ１５は、いわゆるコンピュータであって、例えば、マイクロコントローラ、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＰＬＣ、ＤＳＰ、ＡＳＩＣ又はＦＰＧＡ等の演算処理装置（プロセッサ）と、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の記憶装置とを有する（いずれも図示せず）。記憶装置には、演算処理装置が実行するプログラム、各種固定データ等が記憶されている。記憶装置に記憶されたプログラムには、本実施形態に係る回転軸探索プログラムが含まれている。また、記憶装置には、アーム１２の動作を制御するための教示データ、アーム１２やハンド１３の形状・寸法に関するデータ、ハンド１３に保持された基板Ｗの形状・寸法に関するデータ、回転台駆動装置９４の動作を制御するためのデータなどが格納されている。
【００２８】
コントローラ１５では、記憶装置に記憶されたプログラム等のソフトウェアを演算処理装置が読み出して実行することにより、基板搬送ロボット１及び基板載置部９の動作を制御するための処理が行われる。なお、コントローラ１５は単一のコンピュータによる集中制御により各処理を実行してもよいし、複数のコンピュータの協働による分散制御により各処理を実行してもよい。
【００２９】
コントローラ１５には、アーム１２の昇降装置６１のサーボモータＭ１、旋回装置６２のサーボモータＭ２、及び、並進装置６３のサーボモータＭ３が接続されている。各サーボモータＭ１〜３には、その出力軸の回転角を検出する位置検出器Ｅ１〜３が設けられており、各位置検出器Ｅ１〜３の検出信号はコントローラ１５へ出力される。更に、コントローラ１５には、ハンド１３のプッシャ３４も接続されている。そして、コントローラ１５は、位置検出器Ｅ１〜３の各々で検出された回転位置と対応するハンド１３のポーズ（即ち、空間における位置及び姿勢）と記憶部に記憶された教示データとに基づいて、所定の制御時間後の目標ポーズを演算する。コントローラ１５は、所定の制御時間後にハンド１３が目標ポーズとなるように、各サーボモータＭ１〜３を動作させる。
【００３０】
更に、コントローラ１５には、回転台９０の回転台駆動装置９４及び回転位置検出器９５が接続されている。コントローラ１５は、予め記憶されたプログラムと、回転位置検出器９５で検出された回転位置とに基づいて、回転台駆動装置９４を動作させる。これにより、基板載置部９を所望の回転位置へ回転させることができる。
【００３１】
〔基板載置部９の回転軸Ｏの探索方法〕
ここで、基板搬送ロボット１による基板載置部９の回転軸Ｏを探索する方法について説明する。なお、以下では特に明記しないが、コントローラ１５が、予め記憶された所定のプログラムを読み出して実行することにより、基板載置部９の回転軸Ｏの探索に係る各処理が行われる。
【００３２】
基板搬送ロボット１には、「ロボット基準軸Ｒ」が与えられている。ロボット基準軸Ｒは、基板載置部９の回転軸Ｏと平行に延びる仮想軸である。本実施形態では、アーム１２の旋回軸と同軸上にロボット基準軸Ｒが規定され、このロボット基準軸Ｒを基準として基板搬送ロボット１の制御に利用するロボット座標系が構築されている。但し、ロボット基準軸Ｒは、基板搬送ロボット１の任意の位置に規定することができる。以下では、ロボット基準軸Ｒを基準とした基板載置部９の回転軸Ｏの位置、即ち、ロボット基準軸Ｒから見た回転軸Ｏの方向を探索する方法を説明する。
【００３３】
図４に示すように、物体検出センサ４１は帯又は直線状の検出領域である検出ラインＤを有している。本実施形態では、光軸４２ｃが検出ラインＤに相当する。物体検出センサ４１はアーム１２に支持されており、アーム１２の旋回動作及び／又は伸縮動作によって検出ラインＤのポーズ（即ち、空間における位置及び姿勢）を変化させることができる。換言すれば、アーム１２の旋回動作により、検出ラインＤはロボット基準軸Ｒを中心として回転し、アーム１２の伸縮動作により、検出ラインＤはロボット基準軸Ｒから近接・離反する。コントローラ１５は、検出ラインＤのポーズ、即ち、ロボット基準軸Ｒを基準とする位置及び姿勢を、基板搬送ロボット１の各位置検出器Ｅ１〜Ｅ３で検出されるモータＭ１〜Ｍ３の回転位置などから演算によって求めることができる。特に、コントローラ１５は、検出ラインＤの所与の基準回転位置からの回転角度である回転位置φを旋回装置６２の位置検出器Ｅ２で検出される旋回用のモータＭ２の回転位置から演算することができる。
【００３４】
また、基板載置部９は、回転軸Ｏを中心として回転し、基板載置部９の所与の基準回転位置からの回転角度である回転位置θを変化させることができる。コントローラ１５は、基板載置部９の回転位置θを、基板載置部９に設けられた回転位置検出器９５の検出値から求めることができる。
【００３５】
コントローラ１５は、基板載置部９の複数の回転位置θにおいて基板搬送ロボット１でターゲットＴを探索する処理を行い、各回転位置θの指標長さＬを求める。指標長さＬは、ロボット基準軸ＲからターゲットＴ（又は検出ラインＤ）のまでの距離を表す。本実施形態では、基板載置部９が備える複数の支柱９２のうち一つを、ターゲットＴとして利用する。このターゲットＴは、断面形状が円形の柱状であって、円の半径と、円の中心から回転軸Ｏまでの距離が既知である。但し、ターゲットＴは本実施形態に限定されない。
【００３６】
基板搬送ロボット１がターゲットＴを探り出したことは、ターゲットＴが物体検出センサ４１の光軸４１ｃを遮ることにより、受光器４１ｂでの受光がオンからオフに切り替わったことで、検出される。或いは、基板搬送ロボット１がターゲットＴを探り出したことは、物体検出センサ４１の光軸４１ｃをターゲットＴが遮らなくなることにより、受光器４１ｂでの受光がオフからオンに切り替わったことで、検出される。
【００３７】
コントローラ１５は、上述のように複数の基板載置部９の回転位置θで得た複数の指標長さＬに基づいて、ロボット基準軸Ｒと回転軸Ｏとを結ぶ直線上にターゲットＴが位置するときの基板載置部９の回転位置θｓ、及び／又は、検出ラインＤの回転位置φｓを求める。ロボット基準軸Ｒと回転軸Ｏとを結ぶ直線上にあるターゲットＴを検出したときの指標長さＬは、最大となる。なお、指標長さＬを用いれば演算が単純となるが、指標長さＬに代えて、指標長さＬに相関する情報を用いても、ロボット基準軸Ｒと回転軸Ｏとを結ぶ直線上にターゲットＴが位置するときの基板載置部９の回転位置θｓ、及び／又は、検出ラインＤの回転位置φｓを求めることができる。指標長さＬに相関する情報は、例えば、ハンド１３に規定された任意の基準点のポーズや、検出ラインＤを変位させるモータＭ２，Ｍ３の回転位置などである。
【００３８】
そして、コントローラ１５は、基板載置部９の回転位置θｓ及び検出ラインＤの回転位置φｓの少なくとも一方に基づいて、ロボット基準軸Ｒと回転軸Ｏとを結ぶ直線の延伸方向、換言すれば、ロボット基準軸Ｒから見た回転軸Ｏの方向を求める。なお、基板載置部９の回転位置θｓからは、基板載置部９を回転位置θｓとしてターゲットＴを基板搬送ロボット１で探索することにより、検出ラインＤの回転位置φｓを求めることができる。検出ラインＤの回転位置φｓからは、直接的にロボット基準軸Ｒから見た回転軸Ｏの方向を求めることができる。
【００３９】
コントローラ１５は、このようにして求めたロボット基準軸Ｒから見た回転軸Ｏの方向を、検出ラインＤ（アーム１２）の０°の旋回角度として記憶装置に教示（記憶）してよい。ここで、コントローラ１５は、旋回角度の教示にあたり、旋回装置６２の位置検出器Ｅ２の検出値を記憶装置に記憶させる。
【００４０】
コントローラ１５は、また、基板載置部９の回転位置θｓに基づいて、ロボット基準軸Ｒから回転軸Ｏまでの距離を求めることもできる。ロボット基準軸Ｒから回転軸Ｏまでの距離は、指標長さＬの最大値と、既知の回転軸ＯからターゲットＴまでの距離との和である。
【００４１】
コントローラ１５は、このようにして求めたロボット基準軸Ｒから回転軸Ｏまでの距離を、記憶装置に記憶（教示）してよい。
【００４２】
以下、基板載置部９の回転軸Ｏの探索プロセスについて、具体的な例を挙げて説明する。この説明において、検出ラインＤが設けられたアーム１２の遠位端部とロボット基準軸Ｒとを結ぶ、ロボット基準軸Ｒの軸線方向と直交する線分を「アーム基準線Ａ」と規定する。アーム基準線Ａの任意の基準回転位置からの回転角度を「回転位置φ」で表す。アーム基準線Ａの回転位置φは、検出ラインＤの回転位置と同じ又は相関している。本実施形態においてアーム基準線Ａの延伸方向と検出ラインＤの延伸方向とは直交しているが、アーム基準線Ａの延伸方向と検出ラインＤの延伸方向は相対角度が既知であれば直交してなくてもよい。また、ターゲットＴの任意の基準点と回転軸Ｏとを結ぶ、ロボット基準軸Ｒの軸線方向と直交する線分を「載置部基準線Ｂ」と規定する。載置部基準線Ｂの任意の基準回転位置からの回転角度を「回転位置θ」で表す。載置部基準線Ｂの回転位置θは、基板載置部９の回転位置と同じ又は相関している。
【００４３】
図５は、基板載置部９の回転軸Ｏの探索プロセスの流れ示すフローチャートである。図５に示すように、基板載置部９の回転軸Ｏの探索プロセスは、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとを平行とする平行化処理（ステップＳ１）と、載置部基準線Ｂの延伸方向とアーム基準線Ａの延伸方向とを一致させる方向合わせ処理（ステップＳ２）と、回転軸Ｏのロボット基準軸Ｒに対する相対的方向の教示処理（ステップＳ３）とが、この順番で行われる。
【００４４】
更に、基板載置部９の回転軸Ｏの探索プロセスでは、ロボット基準軸Ｒから回転軸Ｏまでの距離を求めるための距離算出処理（ステップＳ４）と、ロボット基準軸Ｒから回転軸Ｏの距離の教示処理（ステップＳ５）とが、上記ステップＳ３に続けて行われる。以下、平行化処理、方向合わせ処理、及び距離算出処理について詳細に説明する。
【００４５】
〔平行化処理〕
平行化処理（ステップＳ１）は、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとが平行となる、基板載置部９の第１回転位置θｆ及び検出ラインＤの第１回転位置φｆを求める工程と、基板載置部９を第１回転位置θｆにすると共に、検出ラインＤを第１回転位置φｆにする工程とを含む。これら２つの工程は、同時に進行してもよい。
【００４６】
（平行化処理の第１の方法）
図６は、第１の方法に係る平行化処理の流れを示すフローチャートであり、図８〜１２は平行化処理を説明する基板載置部９と基板搬送ロボット１の概略図である。第１の方法に係る平行化処理では、アーム基準線Ａの回転位置φ（即ち、検出ラインＤの回転位置φ）を第１回転位置φｆに保持しながら、指標長さＬの等しい２つの載置部基準線Ｂの回転位置θ０，θ１（即ち、基板載置部９の回転位置θ０，θ１）を探索し、当該２つの回転位置θ０，θ１の中央の回転位置を第１回転位置θｆとして求める。
【００４７】
第１の方法に係る平行化処理を開始するにあたり、コントローラ１５は、基板載置部９が備える複数の支柱９２のうち一つを、ターゲットＴに指定する。ターゲットＴは、例えば、複数の支柱９２のうちロボット基準軸Ｒから最も距離の近いものが選択されてよい。或いは、作業者からの入力を受けて、複数の支柱９２からターゲットＴを指定してもよい。また、ターゲットＴは支柱９２に限定されず、支柱９２とは別のターゲットＴが基板載置部９に設けられてもよい。
【００４８】
図６及び図８に示すように、まず、コントローラ１５は、アーム基準線Ａの回転位置φ求め（ステップＳ１１）、これを第１回転位置φｆとして記憶する。また、コントローラ１５は、載置部基準線Ｂの回転位置θを求め（ステップＳ１２）、これを初期回転位置θ０として記憶する。
【００４９】
次に、コントローラ１５は、載置部基準線Ｂが初期回転位置θ０にあるときのターゲットＴを、基板搬送ロボット１に探索させる（ステップＳ１３）。そして、コントローラ１５は、ターゲットＴが検出されたときの指標長さＬ（θ０）を求める（ステップＳ１４）。
【００５０】
続いて、コントローラ１５は、図９Ａに示すように、載置部基準線Ｂを初期回転位置θ０から任意の角度αだけ正回転させて、基板搬送ロボット１にターゲットＴを探索させる（ステップＳ１５）。そして、コントローラ１５は、ターゲットＴが検出されたときの指標長さＬ（θ０＋α）を求める（ステップＳ１６）。
【００５１】
続いて、コントローラ１５は、図９Ｂに示すように、載置部基準線Ｂを初期回転位置θ０からαだけ逆回転させて、基板搬送ロボット１にターゲットＴを探索させる（ステップＳ１７）。そして、コントローラ１５は、ターゲットＴが検出されたときの指標長さＬ（θ０−α）を求める（ステップＳ１８）。なお、上記のステップＳ１３，１５，１７において、コントローラ１５は、アーム基準線Ａを第１回転位置φｆに保持しながら、検出ラインＤをターゲットＴを検出する位置へ移動させるように、アーム１２を伸縮動作させる。
【００５２】
更に、コントローラ１５は、指標長さＬ（θ０＋α）と指標長さＬ（θ０−α）とを比較し、そのうちの小さい方の値が得られた回転位置の初期回転位置θ０からの回転方向を「探索方向」と決定する（ステップＳ１９）。図９Ａ、図９Ｂに示す例では、指標長さＬ（θ０＋α）の方が指標長さＬ（θ０−α）よりも小さいので、探索方向は正回転方向と決定される。
【００５３】
続いて、コントローラ１５は、図１０に示すように、アーム基準線Ａを第１回転位置φｆに保持したまま、基板載置部９を探索方向へ回転させて、基板搬送ロボット１でターゲットＴを探索することを繰り返して、指標長さＬ（θ１）が初期指標長さＬ（θ０）と等しくなるような回転位置θ１を探し出す（ステップＳ２０）。
【００５４】
そして、コントローラ１５は、図１１に示すように、載置部基準線Ｂの初期回転位置θ０と回転位置θ１との中間の回転位置（θｆ＝（θ０＋θ１）／２）を、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとが平行となる第１回転位置θｆとして算出する（ステップＳ２１）。
【００５５】
最後に、コントローラ１５は、載置部基準線Ｂを第１回転位置θｆまで回転させる（ステップＳ２２）。以上の平行化処理により、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとが平行となる。
【００５６】
（平行化処理の第２の方法）
平行化処理は、前述の第１の方法に代えて、次に示す第２の方法で行ってもよい。第２の方法に係る平行化処理では、第１の方法に係る平行化処理と同様に、アーム基準線Ａの回転位置φを第１回転位置φｆに保持しながら、指標長さＬの等しい２つの載置部基準線Ｂの回転位置θ０，θ１を探索し、当該２つの回転位置θ０，θ１の中央の回転位置を載置部基準線Ｂの第１回転位置θｆとして求める。但し、第１の方法では、載置部基準線Ｂを少しずつ回転させて指標長さＬを演算するのに対し、第２の方法では、物体検出センサ４１によるターゲットＴの検出・非検出の変化点を特定することで、指標長さＬを演算することなく上記の２つの回転位置θ０，θ１を探索する。
【００５７】
第２の方法に係る平行化処理では、前述の第１の方法のステップＳ１１〜ステップＳ１４、ステップＳ２１〜ステップＳ２２までの処理の流れは同じであり、これらのステップの説明は省略する。
【００５８】
第２の方法では、ステップＳ１４のあと、コントローラ１５は、物体検出センサ４１でターゲットＴが検出されなくなるまで、載置部基準線Ｂを初期回転位置θ０から正方向及び逆方向の一方へ回転させる。続いて、コントローラ１５は、物体検出センサ４１でターゲットＴが再び検出されなくなるまで、載置部基準線Ｂを正方向及び逆方向の他方へ回転させる。更に、コントローラ１５は、物体検出センサ４１でターゲットＴが検出されるまで載置部基準線Ｂを正方向及び逆方向の一方へ僅かに回転させ、ターゲットＴを再び検出されたときの回転角度（θ１）を検出する（図１０、参照）。最後に、コントローラ１５は、初期回転位置θ０と回転位置θ１とを利用して、前述のステップＳ２１〜ステップＳ２２の処理を行う。以上の第２の方法に係る平行化処理により、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとが平行となる。
【００５９】
（平行化処理の第３の方法）
平行化処理は、前述の第１の方法に代えて、次に示す第３の方法で行ってもよい。第３の方法に係る平行化処理では、アーム基準線Ａの回転位置φを第１回転位置φｆに維持しながら、指標長さＬが最小となる載置部基準線Ｂの回転位置θを探索し、その回転位置θを第１回転位置θｆとして求める。
【００６０】
第３の方法に係る平行化処理では、前述の第１の方法のステップＳ１１〜ステップＳ１の処理の流れは同じであり、これらのステップの説明は省略する。
【００６１】
第３の方法では、ステップＳ１９のあと、コントローラ１５は、検出ラインＤを第１回転位置φｆに保持したまま、載置部基準線Ｂを探索方向へ回転させて、基板搬送ロボット１でターゲットＴを探索することを繰り返して、指標長さＬ（θｆ）が最小となる第１回転位置θｆを探し出す。最後に、コントローラ１５は、前述のステップＳ２２の処理を行う。以上の第３の方法に係る平行化処理により、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとが平行となる。
【００６２】
なお、以上に説明した第１〜３の方法に係る平行化処理では、アーム基準線Ａを第１回転位置φｆに保持したまま、載置部基準線Ｂの回転位置θを変化させるが、載置部基準線Ｂの回転位置θを第１回転位置θｆに保持したまま、アーム基準線Ａの回転位置φを変化させる、或いは、載置部基準線Ｂの回転位置θ及びアーム基準線Ａの回転位置φを変化させることによって、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとを平行とするための処理が行われてもよい。
【００６３】
〔方向合わせ処理〕
平行化処理（ステップＳ１）を終えた状態では、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとが平行であるので、回転軸Ｏとロボット基準軸Ｒと回転軸Ｏとを結ぶ直線と、載置部基準線Ｂ及びアーム基準線Ａとの間に形成される錯角は等しい。方向合わせ処理（ステップＳ２）は、載置部基準線Ｂの延伸方向とアーム基準線Ａの延伸方向とが一致する載置部基準線Ｂの回転位置（第２回転位置θｓ）を求める工程と、載置部基準線Ｂを第２回転位置θｓにすると共に、アーム基準線Ａを第２回転位置φｓにする工程とを含む。これら２つの工程は、同時に進行してもよい。
【００６４】
（方向合わせ処理の第１の方法）
図７は、第１の方法に係る方向合わせ処理の流れを示すフローチャートであり、図１３及び図１４は方向合わせ処理を説明する載置部基準線Ｂと基板搬送ロボット１の概略図である。図７及び図１２に示すように、第１の方法に係る方向合わせ処理において、コントローラ１５は、載置部基準線Ｂが第１回転位置θｆでありアーム基準線Ａが第１回転位置φｆである状態を維持しつつ、基板搬送ロボット１にターゲットＴを探索させて（ステップＳ３１）、ターゲットＴが検出されたときの指標長さＬ（θｆ）を求める（ステップＳ３２）。
【００６５】
次に、コントローラ１５は、載置部基準線Ｂを第１回転位置θｆから任意の角度βだけ正回転させ、同様に、アーム基準線Ａを第１回転位置φｆから角度βだけ正回転方向に回転させる。そして、コントローラ１５は、載置部基準線Ｂが回転位置（θｆ＋β）にあるときのターゲットＴを、基板搬送ロボット１に探索させ（ステップＳ３３）、ターゲットＴが検出されたときの指標長さＬ（θｆ＋β）を求める（ステップＳ３４）。
【００６６】
続いて、コントローラ１５は、載置部基準線Ｂを第１回転位置θｆから任意の角度βだけ逆回転させ、同様に、アーム基準線Ａを第１回転位置φｆから角度βだけ逆回転方向に回転させる。そして、コントローラ１５は、載置部基準線Ｂが回転位置（θｆ−β）にあるときのターゲットＴを、基板搬送ロボット１に探索させる（ステップＳ３５）、ターゲットＴが検出されたときの指標長さＬ（θｆ−β）を求める（ステップＳ３６）。
【００６７】
更に、コントローラ１５は、指標長さＬ（θｆ＋β）と指標長さＬ（θｆ−β）とを比較し、そのうちの大きい方の値が得られた回転方向を「探索方向」と決定する（ステップＳ３７）。図１２に示す例では、指標長さＬ（θｆ＋β）の方が指標長さＬ（θｆ−β）よりも大きいので、探索方向は正回転方向と決定される。
【００６８】
続いて、コントローラ１５は、図１３に示すように、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとを探索方向へ同一回転角度ずつ回転させて、基板搬送ロボット１でターゲットＴを探索することを繰り返して、指標長さＬ（θ２）が指標長さＬ（θｆ）と等しくなるような載置部基準線Ｂの回転位置θ２を探し出す（ステップＳ３８）。
【００６９】
そして、コントローラ１５は、図１４に示すように、第１回転位置θｆと回転位置θ２との中間の回転位置（θｓ＝（θｆ＋θ２）／２）を、載置部基準線Ｂの延伸方向とアーム基準線Ａの延伸方向とが一致する載置部基準線Ｂの第２回転位置θｓとして算出する（ステップＳ３９）。
【００７０】
コントローラ１５は、載置部基準線Ｂを回転位置θ２から第２回転位置θｓへ回転させ、アーム基準線Ａを載置部基準線Ｂと同じ回転方向且つ同じ回転角度で回転させる（ステップＳ４０）。以上の方向合わせ処理により、載置部基準線Ｂの延伸方向とアーム基準線Ａの延伸方向とが一致する。
【００７１】
（方向合わせ処理の第２の方法）
方法合わせ処理は、前述の第１の方法に代えて、次に示す第２の方法で行ってもよい。第２の方法に係る平行化処理では、第１の方法に係る方法合わせ処理と同様に、載置部基準線Ｂを回転軸Ｏを中心として、アーム基準線Ａをロボット基準軸Ｒを中心として、それぞれ同一回転方向へ同一回転角度だけ回転させて、指標長さＬの等しい２つの回転位置θｆ，θ２を探索し、当該２つの回転位置θｆ，θ２の中央の回転位置を第２回転位置θｓとして求める。但し、第１の方法では、載置部基準線Ｂを少しずつ回転させて指標長さＬを演算するのに対し、第２の方法では、物体検出センサ４１によるターゲットＴの検出・非検出の変化点を特定することで、指標長さＬを演算することなく上記の２つの回転位置θｆ，θ２を探索する。
【００７２】
第２の方法に係る方法合わせ処理では、前述の第１の方法のステップＳ３１からステップＳ３２までの処理の流れは同じであり、これらのステップの説明は省略する。
【００７３】
第２の方法では、ステップＳ３２のあと、コントローラ１５は、物体検出センサ４１でターゲットＴが検出されなくなるまで、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとを同一回転方向へ同一回転角度だけ回転させる。ここで、回転方向は、正方向及び逆方向のうち一方である。続いて、コントローラ１５は、物体検出センサ４１でターゲットＴが再び検出されるまで、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとを正方向及び逆方向の他方へ同一回転角度だけ回転させる。更に、コントローラ１５は、ターゲットＴが再び検出されたときの載置部基準線Ｂの回転角度（θ２）を検出する（図１３、参照）。最後に、コントローラ１５は、第１回転位置θｆと回転位置θ２とを利用して、前述のステップＳ３９〜ステップＳ４０の処理を行う。以上の第２の方法に係る方向合わせ処理により、載置部基準線Ｂの延伸方向とアーム基準線Ａの延伸方向とが一致する。
【００７４】
（方向合わせ処理の第３の方法）
方向合わせ処理は、前述の第１の方法に代えて、次に示す第３の方法で行ってもよい。第３の方法に係る方向合わせ処理では、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとを同一回転方向へ同一回転角度だけ回転させて、指標長さＬが最大となる載置部基準線Ｂの回転位置を探索し、その回転位置を第２回転位置θｓとして求める。
【００７５】
第３の方法に係る方向合わせ処理では、前述の第１の方法のステップＳ３１からステップＳ３７までの処理の流れは同じであり、これらのステップの説明は省略する。
【００７６】
第２の方法では、ステップＳ３７のあと、コントローラ１５は、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとを探索方向へ同一回転角度ずつ回転させて、物体検出センサ４１でターゲットＴの検出を行い、指標長さＬが最大となる、載置部基準線Ｂの回転位置θｓを探索する。探索された回転位置θｓでは、載置部基準線Ｂの延伸方向とアーム基準線Ａの延伸方向とが一致する。
【００７７】
〔距離算出処理〕
距離算出処理（ステップＳ４）では、コントローラ１５は、載置部基準線Ｂが第２回転位置θｓにあるときのターゲットＴを基板搬送ロボット１に探索させ、ターゲットＴが検出されたときの指標長さＬ（θｓ）を求める。更に、コントローラ１５は、この指標長さＬ（θｓ）と、回転軸ＯからターゲットＴまでの既知の距離と、ターゲットＴの既知の形状とに基づいて、回転軸Ｏとロボット基準軸Ｒとの距離を求め、これを教示データとして記憶する。
【００７８】
指標長さＬ（θｓ）は、方向合わせ処理の第３の方法において求めた、指標長さＬの最大値と同じである。よって、方向合わせ処理で第３の方法を採用する場合には、上記の距離算出処理における探索処理を省略することができる。
【００７９】
以上に説明したように、本実施形態の基板搬送装置１０は、ロボット基準軸Ｒが規定され、検出ラインＤを遮る物体を検出する物体検出センサ４１、及び、ロボット基準軸Ｒの軸心方向と直交する平面内で物体検出センサ４１を移動させるアーム１２を有する基板搬送ロボット１と、物体検出センサ４１で検出されるターゲットＴを有し、軸心方向と平行に延びる回転軸Ｏを中心として回転する基板載置部９と、基板搬送ロボット１及び基板載置部９の動作を制御するコントローラとを備えている。
【００８０】
そして、本実施形態の基板搬送装置１０は、コントローラ１５が、基板載置部９の複数の回転位置θにおいて、物体検出センサ４１でターゲットＴを検出して、ロボット基準軸ＲからターゲットＴまでの軸心方向と直交する方向の距離である指標長さＬ又はそれに相関する情報を求め、求めた指標長さＬ又はそれに相関する情報に基づいて、ロボット基準軸Ｒと回転軸Ｏとを結ぶ直線上に位置するターゲットＴを検出したときの、検出ラインＤのロボット基準軸Ｒを回転中心とする回転位置φｓ及び基板載置部９の回転軸Ｏを中心とする回転位置θｓの少なくとも一方の回転位置を求め、求めた回転位置に基づいて、ロボット基準軸Ｒから見た回転軸Ｏのある方向を特定するように構成されている。
【００８１】
同様に、本実施形態の基板載置部９の回転軸Ｏの探索方法では、基板載置部９の複数の回転位置θにおいて、物体検出センサ４１で基板載置部９に設けられたターゲットＴを検出して、ロボット基準軸ＲからターゲットＴまでの軸心方向と直交する方向の距離である指標長さＬ又はそれに相関する情報を求め、求めた指標長さＬ又はそれに相関する情報に基づいて、ロボット基準軸Ｒと回転軸Ｏとを結ぶ直線上に位置するターゲットＴを検出したときの、検出ラインＤのロボット基準軸Ｒを回転中心とする回転位置φｓ及び基板載置部９の回転軸Ｏを中心とする回転位置θｓの少なくとも一方の回転位置を求め、求めた回転位置に基づいて、ロボット基準軸Ｒから見た回転軸Ｏのある方向を特定する。
【００８２】
上記の基板搬送装置１０及び基板載置部９の回転軸Ｏの探索方法によれば、ロボット基準軸Ｒと回転軸Ｏとを結ぶ直線上に位置するターゲットＴを検出したときの、検出ラインＤのロボット基準軸Ｒを回転中心とする回転位置φｓに基づいて、ロボット基準軸Ｒから見た回転軸Ｏのある方向を特定することができる。なお、ロボット基準軸Ｒと回転軸Ｏとを結ぶ直線上に位置するターゲットＴを検出したときの回転軸Ｏの回転位置θｓがわかれば、それを利用して、検出ラインＤのロボット基準軸Ｒを回転中心とする回転位置を探索によって求めることができる。そして、この作業を基板搬送ロボット１が自動的に行うことにより、基板搬送ロボット１にロボット基準軸Ｒを基準とする回転軸Ｏの方向を自動教示することが可能となる。
【００８３】
また、上記実施形態に係る基板搬送装置１０では、コントローラ１５が、ロボット基準軸Ｒと回転軸Ｏとを結ぶ直線上に位置するターゲットＴを検出したときの指標長さＬと、回転軸ＯからターゲットＴまでの既知の距離とに基づいて、ロボット基準軸Ｒから回転軸Ｏまでの距離を求めるように構成されている。
【００８４】
同様に、上記実施形態に係る基板載置部９の回転軸Ｏの探索方法では、ロボット基準軸と回転軸とを結ぶ直線上に位置するターゲットを検出したときの指標長さと、回転軸からターゲットまでの既知の距離とに基づいて、ロボット基準軸から回転軸までの距離を求める。
【００８５】
上記の基板搬送装置１０及び基板載置部９の回転軸Ｏの探索方法によれば、基板搬送ロボット１にロボット基準軸Ｒから回転軸Ｏまでの距離を自動教示することが可能となる。
【００８６】
また、上記実施形態に係る基板搬送装置１０では、コントローラ１５が、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとが平行となる、載置部基準線Ｂの回転軸Ｏを回転中心とする第１載置部回転位置θｆ、及び、アーム基準線Ａのロボット基準軸Ｒを回転中心とする第１アーム回転位置φｆを求め、第１載置部回転位置θｆにある載置部基準線Ｂと第１アーム回転位置φｆにあるアーム基準線Ａとが同じ方向へ同じ回転角度だけ回転することにより、載置部基準線Ｂの延伸方向とアーム基準線Ａの延伸方向とが一致する、載置部基準線Ｂの第２載置部回転位置θｓ及びアーム基準線Ａの第２アーム回転位置φｓを求めるように構成されている。ここで、ロボット基準軸Ｒの軸心方向と直交し、且つ、物体検出センサ４１が接続されたアーム１２の遠位端部とロボット基準軸Ｒとを通る直線がアーム基準線Ａと規定され、ロボット基準軸Ｒの軸心方向と直交し、且つ、回転軸ＯとターゲットＴとを通る直線が載置部基準線Ｂと規定されている。
【００８７】
加えて、コントローラ１５は、載置部基準線Ｂを第１載置部回転位置θｆにする共に、アーム基準線Ａを第１アーム回転位置φｆにし、載置部基準線Ｂを第１載置部回転位置θｆから第２載置部回転位置θｓにすると共に、アーム基準線Ａを第１アーム回転位置φｆから第２アーム回転位置φｓにし、アーム基準線Ａが第２アーム回転位置φｓにあるときのアーム１２の関節の回転位置（即ち、位置検出器Ｅ１〜３で検出された回転位置）を記憶するように構成されている。
【００８８】
同様に、上記実施形態に係る基板載置部９の回転軸Ｏの探索方法は、載置部基準線Ｂとアーム基準線Ａとが平行となる、載置部基準線Ｂの回転軸Ｏを回転中心とする第１載置部回転位置θｆ、及び、アーム基準線Ａのロボット基準軸Ｒを回転中心とする第１アーム回転位置φｆを求めるステップと、第１載置部回転位置θｆにある載置部基準線Ｂと第１アーム回転位置φｆにあるアーム基準線Ａとが同じ方向へ同じ回転角度だけ回転することにより、載置部基準線Ｂの延伸方向とアーム基準線Ａの延伸方向とが一致する、載置部基準線Ｂの第２載置部回転位置θｓ及びアーム基準線Ａの第２アーム回転位置φｓを求めるステップとを含んでいる。
【００８９】
加えて、上記実施形態に係る基板載置部９の回転軸Ｏの探索方法は、載置部基準線Ｂを第１載置部回転位置θｆにする共に、アーム基準線Ａを第１アーム回転位置φｆにするステップと、載置部基準線Ｂを第１載置部回転位置θｆから第２載置部回転位置θｓにすると共に、アーム基準線Ａを第１アーム回転位置φｆから第２アーム回転位置φｓにするステップとを、含んでいる。
【００９０】
上記の基板搬送装置１０及び基板載置部９の回転軸Ｏの探索方法によれば、載置部基準線Ｂの複数の回転位置θでターゲットＴを検出したときに求めた指標長さＬ又はそれに相関する情報を利用した、ロボット基準軸Ｒから見た回転軸Ｏのある方向を特定する処理を、複雑な演算等を行うことなく実現することができる。
【００９１】
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明の精神を逸脱しない範囲で、上記実施形態の具体的な構造及び／又は機能の詳細を変更したものも本発明に含まれ得る。
【符号の説明】
【００９２】
１      ：基板搬送ロボット
９      ：基板載置部
１０    ：基板搬送装置
１１    ：基台
１２    ：アーム
１３    ：ハンド
１５    ：コントローラ
２１，２２    ：リンク
２３    ：昇降軸
３１    ：ベース部
３２    ：ブレード
３３    ：支持パッド
３４    ：プッシャ
４１    ：物体検出センサ
４１ａ  ：投光器
４１ｂ  ：受光器
４１ｃ  ：光軸
６１    ：昇降装置
６２    ：旋回装置
６３    ：並進装置
９０    ：回転台
９１    ：載置部
９２    ：支柱
９４    ：回転台駆動装置
９５    ：回転位置検出器
Ａ      ：アーム基準線
Ｂ      ：載置部基準線
Ｄ      ：検出ライン
Ｅ１〜３    ：位置検出器
Ｌ      ：指標長さ
Ｍ１〜３    ：サーボモータ
Ｏ      ：回転軸
Ｒ      ：ロボット基準軸
Ｔ      ：ターゲット
Ｗ      ：基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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