(57)【要約】      （修正有）【課題】低不純物濃度のエピタキシャル層を低コストで形成することができる炭化珪素半導体基板の製造方法を提供する。また、低不純物濃度のエピタキシャル層を備えた安価な炭化珪素半導体基板および炭化珪素半導体装置を提供する。【解決手段】原料ガス、キャリアガス、ドーピングガス、添加ガス、およびバナジウムを含むガスからなる混合ガス雰囲気中で、ＣＶＤ法により炭化珪素基板１のおもて面上にｎ-型エピタキシャル層２を成長させる。ドーピングガスは窒素ガスであり、バナジウムを含むガスは四塩化バナジウムガスである。このとき、混合ガス雰囲気中においてバナジウムは窒素と結合して窒化バナジウムが生成されることで、混合ガス雰囲気の窒素濃度が実質的に低減される。これにより、ｎ-型エピタキシャル層２に取り込まれる窒素が低減され、ドーパントとして窒素およびバナジウムを含む低不純物濃度のｎ-型エピタキシャル層２が成長する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
珪素を含む第１ガス、炭素を含む第２ガス、窒素を含む第３ガスおよびバナジウムを含む第４ガスからなる混合ガス雰囲気中で、炭化珪素からなる半導体基板の表面に、窒素濃度が１×１０15／ｃｍ3以下で、かつバナジウム濃度が窒素濃度よりも低い、炭化珪素からなるｎ型エピタキシャル層をエピタキシャル成長させる成長工程を含むことを特徴とする炭化珪素半導体基板の製造方法。
【請求項２】
前記混合ガス雰囲気中において前記第３ガスに対する前記第４ガスの割合は、１％以上１０％以下であることを特徴とする請求項１に記載の炭化珪素半導体基板の製造方法。
【請求項３】
前記成長工程では、窒素濃度が５×１０14／ｃｍ3以下かつバナジウム濃度が窒素濃度の１／１０以下である前記ｎ型エピタキシャル層を成長させることを特徴とする請求項１または２に記載の炭化珪素半導体基板の製造方法。
【請求項４】
前記第４ガスは、四塩化バナジウムガスであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の炭化珪素半導体基板の製造方法。
【請求項５】
前記成長工程では、前記半導体基板を１５００℃以上１７００℃以下の温度で加熱した状態で、前記ｎ型エピタキシャル層をエピタキシャル成長させることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の炭化珪素半導体基板の製造方法。
【請求項６】
炭化珪素からなる半導体基板と、
前記半導体基板の表面に設けられた、窒素およびバナジウムを含む、炭化珪素からなるｎ型エピタキシャル層と、
を備え、
前記ｎ型エピタキシャル層の窒素濃度は、１×１０15／ｃｍ3以下であり、
前記ｎ型エピタキシャル層のバナジウム濃度は、前記ｎ型エピタキシャル層の窒素濃度よりも低いことを特徴とする炭化珪素半導体基板。
【請求項７】
前記ｎ型エピタキシャル層のバナジウム濃度は、前記ｎ型エピタキシャル層の窒素濃度の１／１０以下であることを特徴とする請求項６に記載の炭化珪素半導体基板。
【請求項８】
前記ｎ型エピタキシャル層の窒素濃度は、５×１０14／ｃｍ3以下であることを特徴とする請求項６または７に記載の炭化珪素半導体基板。
【請求項９】
前記ｎ型エピタキシャル層は、前記半導体基板の（０００−１）面に設けられていることを特徴とする請求項６〜８のいずれか一つに記載の炭化珪素半導体基板。
【請求項１０】
炭化珪素からなる半導体基板と、
前記半導体基板のおもて面に設けられた、窒素およびバナジウムを含むｎ型エピタキシャル層と、
前記ｎ型エピタキシャル層の、前記半導体基板側の表面層に設けられたｐ型領域と、
前記ｐ型領域からなる所定の素子構造と、
前記ｐ型領域に電気的に接続された第１電極と、
前記半導体基板の裏面に設けられた第２電極と、
を備え、
前記ｎ型エピタキシャル層の窒素濃度は、１×１０15／ｃｍ3以下であり、
前記ｎ型エピタキシャル層のバナジウム濃度は、前記ｎ型エピタキシャル層の窒素濃度よりも低いことを特徴とする炭化珪素半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、炭化珪素半導体基板、炭化珪素半導体基板の製造方法および炭化珪素半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
炭化珪素（ＳｉＣ）は、化学的に非常に安定した半導体材料であり、バンドギャップが３ｅＶと広く、高温でも半導体として極めて安定的に使用することができる。また、炭化珪素は、最大電界強度もシリコン（Ｓｉ）より１桁以上大きいため、オン抵抗を十分に小さくすることができる半導体材料として期待される。このため、炭化珪素を用いた半導体装置（以下、炭化珪素半導体装置とする）は高耐圧化が可能であり、用途に合わせて複数種類製品化されている。
【０００３】
この炭化珪素半導体装置は、炭化珪素からなる支持基板（以下、炭化珪素基板とする）上に低不純物濃度にｎ型不純物をドーピングしたｎ-型エピタキシャル層を成長させた炭化珪素エピタキシャル基板を用いて作製（製造）される。３ｋＶ以上の高耐圧を確保するには、ｎ-型エピタキシャル層を１×１０14／ｃｍ3〜１×１０15／ｃｍ3程度に低不純物濃度にし、炭化珪素半導体装置のオフ時に当該ｎ-型エピタキシャル層内に空乏層を十分に広げて、最大電界強度を下げる必要がある。
【０００４】
図５は、従来のエピタキシャル成長工程を模式的に示す断面図である。炭化珪素エピタキシャル基板１１０は、エピタキシャル成長炉（不図示）内に導入した原料ガスをキャリアガス中で熱分解し、炭化珪素基板１０１のおもて面上に炭化珪素基板１０１の結晶格子に倣って珪素（Ｓｉ）原子を連続的に堆積させることで作製される。炭化珪素基板１０１のおもて面には、ドーパントとして窒素（Ｎ）が導入（ドーピング）されたｎ-型エピタキシャル層１０２が成長する。
【０００５】
一般的に、エピタキシャル成長炉に導入する導入ガス１０３には、原料ガスとしてモノシラン（ＳｉＨ4）ガスおよびジメチルメタン（Ｃ3Ｈ8）ガスが用いられ、キャリアガスとして水素（Ｈ2）ガスが用いられる。また、ドーピングガスとして窒素（Ｎ2）ガスが用いられ、添加ガスとして塩化水素（ＨＣｌ）ガスが適宜添加される。図５には、炭化珪素基板１０１を「ｎ−ｓｕｂ」と示し、ｎ-型エピタキシャル層１０２を「ｎ-−ｅｐｉ」と示す。
【０００６】
このように炭化珪素基板上に炭化珪素エピタキシャル層を成長させる方法として、ドーパントガスとしてシラン（ＳｉＨ4）ガスおよびメタン（ＣＨ4）ガスを用いて炭化珪素エピタキシャル層を成長させる方法が提案されている（例えば、下記特許文献１（第００４３〜００４４）参照。）。下記特許文献１では、ドーパントとして、他の珪素（Ｓｉ）および炭素（Ｃ）含有前駆体や、ホスフィン（ＰＨ3）、ジボラン（Ｂ2Ｈ6）、ＴＭＡ（３．４．５−トリメトキシアンフェタミン）および種々のバナジウム（Ｖ）含有前駆体などを使用している。
【０００７】
また、低不純物濃度のｎ-型エピタキシャル層を成長させる方法として、エピタキシャル成長炉内の窒素ガスの量を低減させた条件下で、ｎ-型エピタキシャル層を成長させる方法が提案されている（例えば、下記特許文献２（第００６７〜００６９段落）参照。）。下記特許文献２では、エピタキシャル成長炉を構成する部材の窒素濃度や、エピタキシャル成長炉内に導入する窒素ガスの流量を調整し、エピタキシャル成長中にｎ-型エピタキシャル層に取り込まれる窒素を低減させることで、ｎ-型エピタキシャル層の窒素濃度を低減させている。
【０００８】
また、低不純物濃度のｎ-型エピタキシャル層を成長させる別の方法として、真空ベークにより窒素を脱離させた部材でエピタキシャル成長炉を構成し、エピタキシャル成長炉から放出される窒素ガス量を低減させる方法が提案されている（例えば、下記特許文献３（第００２８〜００２９段落）参照。）。下記特許文献３では、真空ベークによりエピタキシャル成長炉の交換部材から十分に窒素を脱離して、当該部材の大気中への取り出しを可能としている。また、専用の真空ベーク炉を用いて真空ベーク時間を短縮し、部材表面が比較的清浄な部材交換直後の期間を利用してエピタキシャル層を成長させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特表２００３−５０２８５７号公報
【特許文献２】特開２０１５−１４３１６８号公報
【特許文献３】特開２０１５−０５０４３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
炭化珪素のエピタキシャル成長では、環境中（大気中およびエピタキシャル成長炉中）に多量に存在する窒素がｎ型ドーパントになる。このため、エピタキシャル成長炉内が大気に曝されないように、エピタキシャル成長炉と大気との間に、エピタキシャル成長炉とゲートバルブで仕切られた真空室を配置したロードロック機構を用いるが、ロードロック機構を用いたとしても、ウエハ搬送時にエピタキシャル成長炉内に大気を巻き込んでしまう。
【００１１】
このウエハ搬送時にエピタキシャル成長炉内に巻き込んだ大気中に含まれる窒素や、導入ガス１０３中に含まれる窒素がエピタキシャル成長中にｎ-型エピタキシャル層１０２に取り込まれてしまう。このため、ｎ-型エピタキシャル層１０２を１×１０14／ｃｍ3〜１×１０15／ｃｍ3程度に低いｎ型不純物濃度（窒素濃度）にすることが難しい。従来方法では、ｎ-型エピタキシャル層１０２のｎ型不純物濃度を低くするために、次の２点の対策を行っている。
【００１２】
１つ目の対策は、エピタキシャル成長炉内へのウエハ搬送後、エピタキシャル成長前に行うエピタキシャル成長炉内の真空引きを、通常５分間行うところを長時間（例えば２４時間）行うことで窒素をエピタキシャル成長炉外へ排出し、ガス雰囲気中の窒素濃度を低減する方法である。２つ目の対策は、超高純度（例えば純度６Ｎ（＝９９．９９９９％）や９Ｎ（＝９９．９９９９９９９％）程度）の特殊な原料ガスを用いることで、導入ガス１０３中に含まれる窒素を低減させる方法である。
【００１３】
さらに、ｎ-型エピタキシャル層１０２のｎ型不純物濃度を５×１０14／ｃｍ3以下にする場合、ｎ-型エピタキシャル層１０２のエピタキシャル成長中に、炭化珪素基板１０１の裏面から窒素が気化してエピタキシャル成長炉内に放出される。この炭化珪素基板１０１の裏面から気化して放出された窒素がｎ-型エピタキシャル層１０２のドーパントとなり、ｎ-型エピタキシャル層１０２のｎ型不純物濃度が増加する（オートドーピング）。
【００１４】
このため、オートドーピングによってエピタキシャル成長炉内の窒素が増えることを考慮して、エピタキシャル成長炉内の窒素を低減させるための上記対策を行う必要がある。しかしながら、エピタキシャル成長炉内の真空引きを長時間行う場合、エピタキシャル成長工程のスループットが低下し、コストが増大するという問題がある。また、超高純度の特殊な原料ガスを用いる場合においても、コストが増大するという問題がある。
【００１５】
また、炭化珪素の（０００−１）面、いわゆるＣ面には窒素が取り込まれやすい。このため、炭化珪素のＣ面にｎ型不純物濃度の低いｎ-型エピタキシャル層１０２をエピタキシャル成長させる場合には、炭化珪素の（０００１）面、いわゆるＳｉ面にｎ-型エピタキシャル層１０２をエピタキシャル成長させる場合に比べて、エピタキシャル成長炉内の窒素濃度をさらに低減させる必要がある。
【００１６】
この発明は、上述した従来技術による問題点を解消するため、低不純物濃度のエピタキシャル層を低コストで形成することができる炭化珪素半導体基板の製造方法を提供することを目的とする。この発明は、上述した従来技術による問題点を解消するため、低不純物濃度のエピタキシャル層を備えた安価な炭化珪素半導体基板および炭化珪素半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上述した課題を解決し、本発明の目的を達成するため、この発明にかかる炭化珪素半導体基板の製造方法は、珪素を含む第１ガス、炭素を含む第２ガス、窒素を含む第３ガスおよびバナジウムを含む第４ガスからなる混合ガス雰囲気中で、炭化珪素からなる半導体基板の表面に、窒素濃度が１×１０15／ｃｍ3以下で、かつバナジウム濃度が窒素濃度よりも低い、炭化珪素からなるｎ型エピタキシャル層をエピタキシャル成長させる成長工程を含むことを特徴とする。
【００１８】
また、この発明にかかる炭化珪素半導体基板の製造方法は、上述した発明において、前記混合ガス雰囲気中において前記第３ガスに対する前記第４ガスの割合は、１％以上１０％以下であることを特徴とする。
【００１９】
また、この発明にかかる炭化珪素半導体基板の製造方法は、上述した発明において、前記成長工程では、窒素濃度が５×１０14／ｃｍ3以下かつバナジウム濃度が窒素濃度の１／１０以下である前記ｎ型エピタキシャル層を成長させることを特徴とする。
【００２０】
また、この発明にかかる炭化珪素半導体基板の製造方法は、上述した発明において、前記第４ガスは、四塩化バナジウムガスであることを特徴とする。
【００２１】
また、この発明にかかる炭化珪素半導体基板の製造方法は、上述した発明において、前記成長工程では、前記半導体基板を１５００℃以上１７００℃以下の温度で加熱した状態で、前記ｎ型エピタキシャル層をエピタキシャル成長させることを特徴とする。
【００２２】
また、上述した課題を解決し、本発明の目的を達成するため、この発明にかかる炭化珪素半導体基板は、次の特徴を有する。炭化珪素からなる半導体基板の表面に、窒素およびバナジウムを含む、炭化珪素からなるｎ型エピタキシャル層が設けられている。前記ｎ型エピタキシャル層の窒素濃度は、１×１０15／ｃｍ3以下である。前記ｎ型エピタキシャル層のバナジウム濃度は、前記ｎ型エピタキシャル層の窒素濃度よりも低い。
【００２３】
また、この発明にかかる炭化珪素半導体基板は、上述した発明において、前記ｎ型エピタキシャル層のバナジウム濃度は、前記ｎ型エピタキシャル層の窒素濃度の１／１０以下であることを特徴とする。
【００２４】
また、この発明にかかる炭化珪素半導体基板は、上述した発明において、前記ｎ型エピタキシャル層の窒素濃度は、５×１０14／ｃｍ3以下であることを特徴とする。
【００２５】
また、この発明にかかる炭化珪素半導体基板は、上述した発明において、前記ｎ型エピタキシャル層は、前記半導体基板の（０００−１）面に設けられていることを特徴とする。
【００２６】
また、上述した課題を解決し、本発明の目的を達成するため、この発明にかかる炭化珪素半導体装置は、次の特徴を有する。炭化珪素からなる半導体基板のおもて面に、窒素およびバナジウムを含むｎ型エピタキシャル層が設けられている。前記ｎ型エピタキシャル層の、前記半導体基板側の表面層に、ｐ型領域が設けられている。所定の素子構造は、前記ｐ型領域からなる。第１電極は、前記ｐ型領域に電気的に接続されている。第２電極は、前記半導体基板の裏面に設けられている。前記ｎ型エピタキシャル層の窒素濃度は、１×１０15／ｃｍ3以下である。前記ｎ型エピタキシャル層のバナジウム濃度は、前記ｎ型エピタキシャル層の窒素濃度よりも低い。
【００２７】
上述した発明にかかる炭化珪素半導体基板の製造方法によれば、混合ガス雰囲気中においてバナジウムと窒素とが結合して窒化バナジウムが生成されるため、混合ガス雰囲気の窒素濃度が実質的に低減され、ｎ型エピタキシャル層に取り込まれる窒素を低減することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明にかかる炭化珪素半導体基板の製造方法によれば、低不純物濃度のエピタキシャル層を低コストで容易に形成することができるという効果を奏する。また、本発明にかかる炭化珪素半導体基板および炭化珪素半導体装置によれば、低不純物濃度のエピタキシャル層を備えた安価な炭化珪素半導体基板および炭化珪素半導体装置を提供することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造方法の概要を示すフローチャートである。
【図２】実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造途中の状態を示す断面図である。
【図３】バナジウムを含むガスの流量とｎ-型エピタキシャル層の窒素濃度との関係について示す特性図である。
【図４】バナジウムを含むガスの流量とｎ-型エピタキシャル層のバナジウム濃度との関係について示す特性図である。
【図５】従来のエピタキシャル成長工程を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる炭化珪素半導体基板、炭化珪素半導体基板の製造方法および炭化珪素半導体装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。本明細書および添付図面においては、ｎまたはｐを冠記した層や領域では、それぞれ電子または正孔が多数キャリアであることを意味する。また、ｎやｐに付す＋および−は、それぞれそれが付されていない層や領域よりも高不純物濃度および低不純物濃度であることを意味する。なお、以下の実施の形態の説明および添付図面において、同様の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、本明細書では、ミラー指数の表記において、“−”はその直後の指数につくバーを意味しており、指数の前に“−”を付けることで負の指数を表している。
【００３１】
（実施の形態）
実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造方法について説明する。図１は、実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造方法の概要を示すフローチャートである。図２は、実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造途中の状態を示す断面図である。まず、炭化珪素からなる支持基板（ｎ型炭化珪素基板（半導体ウエハ））１を用意し、一般的な半導体基板の洗浄法（有機洗浄法やＲＣＡ洗浄法）により炭化珪素基板１を洗浄する（ステップＳ１）。ここでは、例えばドーパントとして窒素（Ｎ）を導入したｎ型の炭化珪素基板１を例に説明する（図２には「ｎ−ｓｕｂ」と示す）。
【００３２】
炭化珪素基板１の結晶構造は、例えば、四層周期六方晶構造（４Ｈ−ＳｉＣ）であってもよいし、六層周期六方晶構造（６Ｈ−ＳｉＣ）であってもよい。炭化珪素基板１のおもて面（後述するｎ-型エピタキシャル層２を成長させる主面）は、（０００１）面、いわゆるＳｉ面であってもよいし、（０００−１）面、いわゆるＣ面であってもよい。炭化珪素基板１は、例えばＳｉ面（またはＣ面）を結晶軸に対して例えば４°程度傾けた（オフ角を付けた）面をおもて面とする炭化珪素バルク基板であってもよい。
【００３３】
次に、エピタキシャル成長炉（チャンバー：不図示）内に、炭化珪素基板１を挿入する（ステップＳ２）。エピタキシャル成長炉は、例えば熱ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学気相成長）炉であってもよい。次に、炭化珪素基板１の温度（基板温度）がエピタキシャル成長に適した所定温度となるように、エピタキシャル成長炉内の温度を調整する。エピタキシャル成長炉内の温度を調整する前に、エピタキシャル成長炉内において、炭化珪素基板１のおもて面を例えば後述するキャリアガスでドライエッチングして清浄化してもよい。
【００３４】
次に、エピタキシャル成長炉内に、原料ガス、キャリアガス、ドーピングガスおよび添加ガスと、バナジウム（Ｖ）を含むガス（第４ガス）と、を同時に導入する（ステップＳ３）。ステップＳ３においては、原料ガスとして、珪素（Ｓｉ）を含むガス（第１ガス）および炭素（Ｃ）を含むガス（第２ガス）を導入する。珪素を含むガスは、例えばモノシラン（ＳｉＨ4）ガスであってもよい。炭素を含むガスは、例えばジメチルメタン（Ｃ3Ｈ8）ガスであってもよい。キャリアガスとして、例えば水素（Ｈ2）ガスを用いてもよい。ドーピングガスとして、例えば窒素（Ｎ2）を含むガス（第３ガス）を用いる。窒素を含むガスは、例えば窒素ガスであってもよい。添加ガスとして、塩素（Ｃｌ）を含むガスを適宜添加してもよい。塩素を含むガスは、例えば塩化水素（ＨＣｌ）ガスであってもよい。
【００３５】
バナジウムを含むガス中のバナジウムは、窒素を含むガス中の窒素と同様に、後述するｎ-型エピタキシャル層２にドーピングされる。すなわち、バナジウムを含むガスは、ドーパントガスとなる。バナジウムを含むガスには、例えば四塩化バナジウム（ＶＣｌ4）ガスを用いてもよい。具体的には、例えば、バナジウムを含むガスには、例えば、四塩化バナジウムの濃度が１００ｐｐｍとなるように水素ガスで予め希釈（ＶＣｌ4／Ｈ2）したガスを用いてもよい。バナジウムを含むガスは、原料ガス等（原料ガス、キャリアガス、ドーピングガスおよび添加ガス）と同時に、ガスボンベから例えば原料ガス等とは別の配管を通ってエピタキシャル成長炉に供給される。符号３は、エピタキシャル成長炉に導入されるガスであり、原料ガス、キャリアガス、ドーピングガスおよび添加ガスの流れをまとめて矢印で示す。
【００３６】
次に、ステップＳ３で導入した原料ガス、キャリアガス、ドーピングガス、添加ガス、およびバナジウムを含むガスからなる混合ガス雰囲気中で、ＣＶＤ法により炭化珪素基板１のおもて面上にｎ-型エピタキシャル層２を成長させる（ステップＳ４）。ステップＳ４においては、ドーパントとして窒素およびバナジウムが導入（ドーピング）されたｎ-型エピタキシャル層２が成長する（図２には「ｎ-−ｅｐｉ」と示す）。エピタキシャル成長炉内に原料ガス等とともにバナジウムを含むガスを導入することで、ｎ-型エピタキシャル層２のｎ型不純物濃度を低下させることができる。ｎ-型エピタキシャル層２中のバナジウムは、ドナーおよびアクセプタのいずれでもない。このため、ｎ-型エピタキシャル層２のｎ型不純物濃度は、ｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度に相当し、ｎ-型エピタキシャル層２のドーピング濃度からバナジウム濃度を減算した値となる。
【００３７】
ステップＳ４においてｎ-型エピタキシャル層２のｎ型不純物濃度を低下させることができる理由は、次の通りである。ｎ-型エピタキシャル層２のエピタキシャル成長中にエピタキシャル成長炉内に存在するガス種のモル比率を熱平衡計算により算出した。その結果、混合ガス雰囲気（気相）中においてバナジウムは窒素と結合して、窒化バナジウム（ＶＮ）を生成することが確認された。一般的に、エピタキシャル成長時、エピタキシャル成長炉内の温度は例えば１５００℃以上１７００℃以下程度であり、この温度において窒化バナジウムはほぼ固相の状態（パーティクル等）にあり、ドーパントとして寄与しない。すなわち、バナジウムが窒素と結合して窒化バナジウムとなることで、混合ガス雰囲気の窒素濃度が実質的に低減される。これによって、ｎ-型エピタキシャル層２に取り込まれる窒素が減少するからであると推測される。生成された窒化バナジウムは、エピタキシャル成長炉外へ排出される。
【００３８】
ｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度（ｎ型不純物濃度）は、例えば１×１０15／ｃｍ3以下程度とし、好ましくは５×１０14／ｃｍ3以下程度に低くする。これにより、炭化珪素半導体装置の耐圧を３ｋＶ以上の高耐圧（高耐電圧）とすることができる。耐圧とは、素子が誤動作や破壊を起こさない限界の電圧である。また、ｎ-型エピタキシャル層２にバナジウムが過剰に導入されると、ｎ-型エピタキシャル層２の抵抗が増加して、ｎ-型エピタキシャル層２が半絶縁性を示す。このため、ｎ-型エピタキシャル層２のバナジウム濃度を窒素濃度よりも少なくする。これにより、ｎ-型エピタキシャル層２のｎ型の極性が安定に保たれる。好ましくは、ｎ-型エピタキシャル層２のバナジウム濃度は、ｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度の１／１０以下程度であることがよい。ｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度およびバナジウム濃度をそれぞれ上記条件とするには、窒素を含むガスの流量に対するバナジウムを含むガスの流量比は、例えば１％以上１０％以下程度とすればよい（１％≦バナジウムを含むガスの流量／窒素を含むガスの流量≦１０％）。
【００３９】
特に限定しないが、例えば、ステップＳ４のエピタキシャル成長条件は次の通りである。炭化珪素基板１の温度は１６００℃である。エピタキシャル成長炉内の混合ガス雰囲気の圧力は８０Ｔｏｒｒである。エピタキシャル成長炉に導入ガス３としてモノシランガス、ジメチルメタンガス、塩化水素ガス、窒素ガスおよび四塩化バナジウムガスを用いる場合、これらのガスの各流量はそれぞれ１００ｓｃｃｍ、３３ｓｃｃｍ、１ｓｃｃｍ、０．１４ｓｃｃｍおよび１ｓｃｃｍである。窒素を含むガスの流量に対するバナジウムを含むガスの流量比は、ｎ-型エピタキシャル層２の所定の窒素濃度を得るために事前に検証して決定することが好ましい。
【００４０】
ここまでの工程により、炭化珪素基板１のおもて面上にｎ-型エピタキシャル層２を積層してなる炭化珪素エピタキシャル基板（エピタキシャルウエハ）１０が作製される。そして、この炭化珪素エピタキシャル基板１０に、炭化珪素半導体装置の所定の素子構造（不図示）を形成する（ステップＳ５）。その後、エピタキシャルウエハを切断（ダイシング）して個々のチップ状に個片化することで、炭化珪素半導体装置が完成する。
【００４１】
上述した実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造方法は、例えば、ＭＯＳＦＥＴ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｆｉｅｌｄ  Ｅｆｆｅｃｔ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：絶縁ゲート型電界効果トランジスタ）や、  ＩＧＢＴ（Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ  Ｇａｔｅ  Ｂｉｐｏｌａｒ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ）、  ｐｉｎ（ｐ−ｉｎｔｒｉｎｓｉｃ−ｎ）ダイオード、ＳＢＤ（Ｓｃｈｏｔｔｋｙ  Ｂａｒｒｉｅｒ  Ｄｉｏｄｅ：ショットキーバリアダイオード）等に適用可能である。すなわち、上記ステップＳ５において、これらの炭化珪素半導体装置の一般的な素子構造を一般的な方法により形成すればよい。
【００４２】
以上、説明したように、実施の形態によれば、エピタキシャル成長炉内に、ドーパントガスとして、窒素を含むガスに加えてバナジウムを含むガスを導入することで、ｎ-型エピタキシャル層をエピタキシャル成長させるための混合ガス雰囲気中においてバナジウムと窒素とが結合して窒化バナジウムが生成される。これにより、混合ガス雰囲気中の窒素濃度が低減されるため、ｎ-型エピタキシャル層に取り込まれる窒素が低減され、ｎ-型エピタキシャル層の窒素濃度（ｎ型不純物濃度）を低減させることができる。このため、従来のように、エピタキシャル成長炉内の真空引きを長時間行ったり、超高純度の特殊な原料ガスを用いたりする必要がなく、コストが増大することを防止することができる。したがって、低不純物濃度に窒素がドープされたｎ-型エピタキシャル層を低コストで形成することができる。また、この低不純物濃度のｎ-型エピタキシャル層を備えた安価な炭化珪素エピタキシャル基板や、当該炭化珪素エピタキシャル基板を用いた安価な炭化珪素半導体装置を提供することができる。
【００４３】
（実施例１）
次に、ステップＳ４のエピタキシャル成長時にエピタキシャル成長炉に導入されるバナジウムを含むガスの流量と、ステップＳ４のエピタキシャル成長で形成されるｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度（ｎ型不純物濃度）およびバナジウム濃度と、の関係について検証した。図３は、バナジウムを含むガスの流量とｎ-型エピタキシャル層の窒素濃度との関係について示す特性図である。図４は、バナジウムを含むガスの流量とｎ-型エピタキシャル層のバナジウム濃度との関係について示す特性図である。ドーパントガスには、バナジウムを含むガスとして四塩化バナジウムガスを用い、窒素を含むガスとして窒素ガスを用いた。
【００４４】
図３，４の横軸には、エピタキシャル成長炉に導入した窒素ガスの流量に対する四塩化バナジウムの流量比（以下、ＶＣｌ4／Ｎ2流量比（＝ＶＣｌ4ガスの流量／Ｎ2ガスの流量）とする）を示す。Ｎ2ガスの流量を０．１４ｓｃｃｍまたは０．０２ｓｃｃｍに固定して、ＶＣｌ4ガスの流量を変更している。ステップＳ４のエピタキシャル成長のＶＣｌ4ガスの流量以外の条件は、実施の形態に例示した条件とした。図３の縦軸には、ｎ-型エピタキシャル層２の空乏層容量Ｃと印加電圧Ｖとの依存性に基づいて算出したｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度を示す。図４の縦軸には、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）で測定したｎ-型エピタキシャル層２のバナジウム濃度を示す。
【００４５】
図３に示す結果より、エピタキシャル成長炉に窒素ガスに加えて、バナジウムを含むガスを導入することで、バナジウムを含むガスを導入しない場合（ＶＣｌ4／Ｎ2流量比＝０％）と比べて、ｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度を低下させることができることが確認された。また、窒素ガスの流量に対する四塩化バナジウムの流量比を１０％程度まで上げると（ＶＣｌ4／Ｎ2流量比＝１０％）、ｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度の低下が飽和してくることが確認された。このときのｎ-型エピタキシャル層２のバナジウム濃度について測定した結果を図４に示す。
【００４６】
Ｎ2ガスの流量を０．１４ｓｃｃｍとした際、バナジウムを含むガスを導入しない場合（ＶＣｌ4／Ｎ2流量比＝０％）には、ｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度は１．２×１０15／ｃｍ3程度であった。一方、Ｎ2ガスの流量を０．１４ｓｃｃｍとし、ＶＣｌ4／Ｎ2流量比を３％まで高めた場合には、ｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度は８．１×１０14／ｃｍ3程度に下がることが確認された（図３参照）。そして、図４に示す結果より、Ｎ2ガスの流量を０．１４ｓｃｃｍとし、かつＶＣｌ4／Ｎ2流量比を３％程度とした条件において、ｎ-型エピタキシャル層２のバナジウム濃度は、５．０×１０13／ｃｍ3程度であり、ｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度の１／１０以下（＝５．０×１０13／８．１×１０14）であることが確認された。
【００４７】
また、Ｎ2ガスの流量を０．０２ｓｃｃｍとした際、バナジウムを含むガスを導入しない場合（ＶＣｌ4／Ｎ2流量比＝０％）には、ｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度は６．５×１０14／ｃｍ3程度であった。一方、Ｎ2ガスの流量を０．０２ｓｃｃｍとし、ＶＣｌ4／Ｎ2流量比を５％まで高めた場合には、ｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度は３．５×１０14／ｃｍ3程度に下がることが確認された（図３参照）。そして、図４に示す結果より、Ｎ2ガスの流量を０．０２ｓｃｃｍとし、かつＶＣｌ4／Ｎ2流量比を５％程度とした条件において、ｎ-型エピタキシャル層２のバナジウム濃度は、１．３×１０13／ｃｍ3程度であり、ｎ-型エピタキシャル層２の窒素濃度の１／１０以下（＝１．３×１０13／３．５×１０14）であることが確認された。また、Ｎ2ガスの流量を減少させることで、上述した好適な窒素濃度のｎ-型エピタキシャル層２が得られることがわかる。
【００４８】
このように本発明にかかる炭化珪素半導体基板の製造方法によれば、エピタキシャル層に取りこまれるバナジウム密度をごく微量に抑えつつ、ドーピング密度を大幅に下げることが可能である。これは、エピタキシャル層に取りこんだバナジウムに依ってドーピング密度が低減しているのではなく、気相中の窒化バナジウム（ＶＮ（固相））の形成によって原料ガス中の窒素（Ｎ）を効果的に除去することができるからである。
【００４９】
以上において本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
以上のように、本発明にかかる炭化珪素半導体基板、炭化珪素半導体基板の製造方法および炭化珪素半導体装置は、３ｋＶ以上の高耐圧の炭化珪素半導体装置に有用であり、特に炭化珪素のＣ面にｎ-型エピタキシャル層を備えた炭化珪素半導体装置に適している。
【符号の説明】
【００５１】
１  炭化珪素基板
２  ｎ-型エピタキシャル層
３  エピタキシャル成長炉に導入するガス
１０  炭化珪素エピタキシャル基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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