(57)【要約】【課題】  振動板と圧電素子を光硬化性接着材で接着すると、光硬化樹脂に未硬化部分が残存することで、充分な接着力が得られなかった。【解決手段】  電極と圧電セラミックスとを有する圧電素子と、振動板との間に接着層を有する振動子の製造方法であって、前記振動板に接着剤を設ける工程と、前記振動板と前記圧電素子を加圧接触させながら、前記接着剤を光エネルギーにより硬化し接着層を形成する工程と、を有し、前記接着剤が光硬化性樹脂と粒子とを含有し、前記光硬化性樹脂の屈折率と前記粒子の屈折率との差が０．１０以上１．２０以下であることを特徴とする。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極と圧電セラミックスとを有する圧電素子と、振動板との間に接着層を有する振動子の製造方法であって、
前記振動板に接着剤を設ける工程と、
前記振動板と前記圧電素子を加圧接触させながら、前記接着剤を光エネルギーにより硬化し接着層を形成する工程と、を有し、
前記接着剤が光硬化性樹脂と粒子とを含有し、前記光硬化性樹脂の屈折率と前記粒子の屈折率との差が０．１０以上１．２０以下であることを特徴とする振動子の製造方法。
【請求項２】
前記粒子の屈折率が前記光硬化性樹脂の屈折率より大きい請求項１に記載の振動子の製造方法。
【請求項３】
前記粒子が有機系樹脂である請求項１または２に記載の振動子の製造方法。
【請求項４】
前記粒子の粒子径が、個数平均径で４μｍ以上１５μｍ以下である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動子の製造方法。
【請求項５】
前記粒子の量が、前記光硬化性樹脂１００質量部あたり５０質量部以上８０質量部以下である請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動子の製造方法。
【請求項６】
前記圧電セラミックスの脱分極温度が２００℃以下である請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動子の製造方法。
【請求項７】
電極と圧電セラミックスとを有する圧電素子と、振動板との間に接着層を有する振動子であって、前記接着層が樹脂と粒子とを含有し、前記樹脂の屈折率と前記粒子の屈折率との差が０．１０以上１．２０以下であることを特徴とする振動子。
【請求項８】
前記粒子の屈折率が前記光硬化性樹脂の屈折率より大きい請求項７に記載の振動子。
【請求項９】
前記粒子が有機系樹脂である請求項７または８に記載の振動子。
【請求項１０】
前記接着層の厚みが４．１μｍ以上１５μｍ以下である請求項７乃至９のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１１】
前記粒子の量が、前記樹脂１００質量部あたり５０質量部以上８０質量部以下である請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１２】
請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の振動子と、前記振動子に接した移動体と有することを特徴とする振動波モータ。
【請求項１３】
請求項１２に記載の振動波モータと力学的に接続された光学部材とを有することを特徴とする光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子の製造方法、振動子、振動波モータおよび光学機器に関するものであり、特に圧電素子と振動板との接着技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電極と圧電セラミックスとを有する圧電素子と、振動板との間に接着層を有する振動子に関する様々な提案がされている。特許文献１には、この振動子と移動体とを摩擦接触させて相体移動を行う振動波モータと、その振動波モータをレンズの駆動源とした光学機器とが開示されている。
【０００３】
ここで、圧電素子と振動板を接着する工程において、圧電素子と振動板との間の接着層の厚みは、振動子の特性を安定させるために、一定の厚みになるように制御される。
【０００４】
特許文献２には、高い精度で接着層の厚みを制御する技術として、接着層に光硬化性の接着剤（樹脂）にシリカ粒子を混合した接着剤を用いることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１２６６９２号公報
【特許文献２】特開平１０−１２１０１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献２の接着剤は、光硬化性樹脂の屈折率とシリカ粒子の屈折率との差が０．０４程度と小さいため、紫外線の粒子表面からの散乱光が少なく、光硬化性樹脂に未硬化部分が残存することがある。そのため充分な接着力が得られないという課題があった。
【０００７】
本発明は上記課題に対処するためになされたものであり、圧電素子と振動板とを充分に接着させる振動子の製造方法を提供することを目的とする。また、圧電素子と振動板の接着力が充分である振動子、振動波モータおよび光学機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための振動子の製造方法は、電極と圧電セラミックスとを有する圧電素子と、振動板との間に接着層を有する振動子の製造方法であって、前記振動板に接着剤を設ける工程と、前記振動板と前記圧電素子を加圧接触させながら、前記接着剤を光エネルギーにより硬化し接着層を形成する工程と、を有し、前記接着剤が光硬化性樹脂と粒子とを含有し、前記光硬化性樹脂の屈折率と前記粒子の屈折率との差が０．１０以上１．２０以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、振動子の性能を低下させずに、充分な接着力を有する振動子、振動波モータおよび光学機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の振動子の一実施形態を示した概略図である。
【図２】本発明の振動子を構成する圧電素子の一実施形態を示した概略図である。
【図３】本発明の振動子の製造過程の一実施形態を示した概略図である。
【図４】本発明の振動子において、接着剤を光エネルギーにより硬化し、接着層を形成する工程を示した概略図である。
【図５】本発明の振動波モータの一実施形態を示した概略図である。
【図６】本発明の光学機器の一実施形態を示した概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の具体的な実施形態を説明する。
【００１２】
（振動子）
図１は本発明の振動子の一実施形態を示した概略図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ方向の断面図である。
【００１３】
本発明の振動子は、図１（ａ）のように、圧電素子７と振動板３との間に接着層を有する。ここで、図１（ａ）は振動板が突起部を有する場合の実施形態である。また、図１（ｂ）に示す様に、接着層は樹脂１００と粒子４とを含有する。
【００１４】
図２は本発明の振動子を構成する圧電素子７の概略図であり、圧電素子７は電極と圧電セラミックス２からなる。圧電素子７は直方体形状である圧電セラミックス２の対向する面に電極６、６１、６２および６３が付されている。一方の面は図２（ａ）のような電極パターンが形成され、図中の＋は分極方向を示している。圧電セラミックス２の厚み方向に対して分極方向が同一になるよう、電極６１、６２を通じて分極処理がされていることを示している。もう一方の面は、ほぼ全面に電極６が付されている。ここで、電極６３は不図示の前記対向する面と直交する面において、電極６と導通している。また、本発明の振動子は高周波電圧が印加されると、図１（ａ）のＸ方向（長手方向）とＹ方向（短手方向）のそれぞれの方向で共振を起こすように設定されている。
【００１５】
なお、振動板３は、圧電素子７と一体化させた振動子を形成し、該振動子に電圧を印加して生じる振動を効率的に利用するために必要な部材である。ここで振動板３は、表面粗さや加工性等から鑑みて、ステンレス鋼等の金属材料であることが好ましい。
【００１６】
本発明の振動子は、前記樹脂の屈折率と前記粒子の屈折率との差が０．１０以上１．２０以下である。前記屈折率の差が０．１０以上であるため、接着層内全域に透過光及び散乱光が行きわたり、未硬化樹脂の残存がなく、充分な接着力を有する接着層となる。また、前記粒子の屈折率が前記光硬化性樹脂の屈折率より大きいことが好ましい。より充分な接着力を有する接着層となるためである。
【００１７】
また、前記樹脂がエポキシ樹脂またはアクリル樹脂であることが好ましい。粒子との屈折率差を０．１０以上にすることが容易であるためである。なお、接着層中の樹脂及び粒子の屈折率は、例えば、樹脂と粒子を分離した後に、液浸法を用いて測定することができる。
【００１８】
また、前記粒子は有機系樹脂であることが好ましい。樹脂の弾性率と粒子の弾性率差が小さくなり、弾性率差に起因した振動損失が小さくなり、結果、振動特性の効率が良くなるためである。好ましい有機系樹脂の弾性率は４．２ＧＰａ以上１０ＧＰａ以下である。
【００１９】
さらに、前記粒子の粒子径は、個数平均径で４μｍ以上１５μｍ以下であることが好ましい。粒子径が１０μｍ未満では、接着層の接着力が充分でなく、剥離しやすくなるおそれがある。接着層の接着力は１５ＭＰａ以上であれば充分であり、より好ましくは２５ＭＰａ以上である。ここで接着力は圧電素子と振動板を接着した振動子に対し、引っ張りせん断接着強さ試験等により評価することができる。一方、粒子径が１５μｍを超えると、接着層を厚く設ける必要が生じる。その結果、接着層の弾性の影響で振動損失が増え、振動子や振動波モータの特性が悪化するおそれがある。より好ましくは１２μｍ以上１５μｍ以下である。なお、粒子径は、例えば、本発明の振動子を長手方向に切断し、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の電子顕微鏡で撮影した断面画像を画像処理して測定することができる。ここで写真画像は、例えば、１５０μｍ×２００μｍ以上のサイズを撮像した画像であれば良い。
【００２０】
本発明の振動子の接着層の厚みは４．１μｍ以上１５μｍ以下であることが好ましい。より好ましくは９．８μｍ以上である。接着層の厚みが４．１μｍ未満であると、充分な接着力が得られないおそれがある。一方、１５μｍより厚くなると、接着層と振動子の弾性率差の影響で振動損失が増え、振動子の特性が悪化するおそれがある。なお、接着層の厚みは、例えば、粒子径と同様に走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の電子顕微鏡を用いて測定することができる。本発明においては、振動子を長手方向に切断し、まず、その断面の断面画像を取得した。次いで、取得した画像より接着層の断面積を求め、長手方向の長さで除した平均膜厚を接着層の厚みとした。
【００２１】
本発明の振動子の接着層に含有される粒子の量は、前記樹脂１００質量部あたり５０質量部以上８０質量部以下であることが好ましい。より好ましくは６０質量部以上７０質量部以下である。前記粒子の含有量が５０質量部未満であると、圧電素子の電極の欠損部に粒子が埋没し、接着層を均一にならないおそれがある。また、８０質量部を超えると接着層における樹脂の割合が少なくなり、剥離が生じるおそれがある。なお、粒子の量は、例えば、本発明の振動子を長手方向に切断し、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の電子顕微鏡で撮影した断面画像を画像処理して測定することができる。
【００２２】
（振動子の製造方法）
次に、本発明の振動子の製造方法を説明する。
【００２３】
図３は本発明の振動子を製造する製造フローを示した図である。
【００２４】
まず、図３（ａ）のように接着剤を振動板に塗布する。ここで、前記接着剤は光硬化性樹脂１と粒子４とを含有する。
【００２５】
この工程においては、例えば、ディスペンサーのシリンジに前記接着剤を入れ、振動板３の表面に一定量塗布する。
【００２６】
次に、図３（ｂ）のように振動板３と圧電素子７を加圧接触させながら、前記接着剤を光エネルギーにより硬化し接着層を形成する。ここで圧電素子は、図２における電極６を有する面を振動板との接着面とする。
【００２７】
この工程においては、例えば、接着剤を塗布した振動板の上に圧電素子を配置し、適当な加圧力（０．４５ＭＰａ程度）を圧電素子側からかけて、振動板と圧電素子を貼り合わせる。
【００２８】
図４は、図３（ｂ）の部分拡大図であり図４を用いて光硬化性樹脂が硬化する過程を説明する。
【００２９】
まず、光源８から照射された光（例えば、紫外線）が、接着剤を構成する光硬化性樹脂１と粒子４に照射される。ここで粒子４は透光性を有する。
【００３０】
次に、粒子４の屈折率が光硬化性樹脂１の屈折率より高いと、光硬化性樹脂１と粒子４との界面において全反射領域が発生せずに、光源８から照射された光が粒子４を透過し易くなる。図４において、破線の矢印は粒子を透過した透過光９である。
【００３１】
また、光硬化性樹脂１の屈折率と粒子４の屈折率との差が０．１０以上であるため、光硬化性樹脂１と粒子４との界面において散乱光１０が多く発生する。図４において、実線の矢印は散乱光１０である。なお、粒子４の屈折率は１．６０以上であることが好ましい。
【００３２】
ここで、光硬化性樹脂１の屈折率と粒子４の屈折率との差が大きければ大きいほど散乱効果は大きくなる。そのため、透過光９のみならず散乱光１０も光硬化性樹脂１の硬化反応に寄与する。結果、接着層に未硬化の光硬化性樹脂が残存せず、充分な接着力を有する接着層を得ることができる。図３（ｃ）に示す様に、得られた接着層は光硬化性樹脂が硬化した樹脂１００と粒子４とを有する。
【００３３】
一方、光硬化性樹脂１の屈折率と粒子４の屈折率との差が０．１０未満であると、散乱光１０の発生が少ない。そのため、散乱光１０による光硬化性樹脂１の効果が少なく、接着層の内部、特に中央部分付近に未硬化部分が残存し、充分な接着力を得ることができない。なお、光硬化性樹脂１の屈折率と粒子４の屈折率との差を１．２０より大きくするには、粒子が非常に高い屈折率を有することが必要となる。しかし、屈折率が非常に大きな粒子は透光性が悪いため、接着層に未硬化の光硬化性樹脂が残存してしまう。
【００３４】
光硬化性樹脂に光エネルギーを付与する方法は、特に限定されない。光源としては紫外線照射装置を用いることができ、例えば、ラインファイバー状ＵＶ照射ユニットを取り付けたＬＥＤスポットＵＶ照射装置等を使用することができる。接着剤に効率よく紫外線を照射するためである。また、可視光や電子線など他のエネルギー照射方法が利用できる。
【００３５】
本発明の振動子の製造方法に用いる接着剤が含有する光硬化性樹脂は、エポキシ樹脂またはアクリル樹脂であることが好ましい。粒子との屈折率差を０．１０以上にすることが容易となるためである。なお、樹脂及び粒子の屈折率は、例えば、アッベ型屈折率計を用いて測定することができる。
【００３６】
本発明の振動子の製造方法に用いる接着剤が含有する粒子は、有機系樹脂であることが好ましい。有機系樹脂は無機系樹脂に比べて弾性率が小さいため、圧電素子の電極に割れが生じにくいためである。好ましい有機系樹脂の弾性率は４．２ＧＰａ以上１０ＧＰａ以下である。なお、粒子の弾性率は、例えば、本発明の振動子を長手方向に切断し、ナノインデンターを用いて測定することができる。
【００３７】
有機系樹脂としては具体的に、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）等の熱可塑性樹脂が挙げられる。また、フルオレン誘導体のポリエステル、アクリル、エポキシ、フェノールやメラミン樹脂、ポリイミド、ベンゾグアナミン樹脂、含硫黄芳香族等の熱硬化性樹脂も用いることができる。また汎用のプラスチックにナノサイズの高屈折率微粒子を混合、分散させることで高屈折率化したナノコンポジットによる有機・無機ハイブリッド材料も用いることができる。高屈折率微粒子としてはチタニア（ｎｄ＝２．７）やジルコニア（ｎｄ＝２．１３）、インジウムスズ酸化物（ｎｄ＝１．８５）等を用いることができる。
【００３８】
本発明の振動子の製造方法に用いる接着剤が含有する粒子の粒子径は、個数平均径で４μｍ以上１５μｍ以下であることが好ましい。粒子径が４μｍ未満であると、接着剤を硬化させるために照射する光エネルギーが圧電素子と振動板との隙間から振動子の中央部付近まで充分に届かず、未硬化部分が残存するおそれがある。その結果、充分な接着力が得られず、剥離しやすくなるおそれがある。一方、粒子径が１５μｍを超えると、接着層を厚く設ける必要が生じる。その結果、接着層の弾性の影響で振動損失が増え、振動子や振動波モータの特性が悪化するおそれがある。より好ましくは１０μｍ以上１５μｍ以下である。
【００３９】
また、本発明の振動子の製造方法に用いる接着剤が含有する粒子の量は、前記光硬化性樹脂１００質量部あたり５０質量部以上８０質量部以下であることが好ましい。より好ましくは６０質量部以上７０質量部以下である。前記粒子の含有量が５０質量部未満であると、接着層を形成した際に、圧電素子の電極の欠損部（表面粗さに起因した欠損部）に粒子が埋没し、接着層の膜厚を一様にできなくなるおそれがある。また、８０質量部を超えると接着剤に占める光硬化性樹脂の割合が少なくなり、接着層を形成した際に剥離が生じるおそれがある。
【００４０】
なお、本発明の振動子の製造方法に用いる接着剤が含有する粒子の形状は、丸みを帯びた粒子や球形粒子が好ましい。ただし、真球である必要はない。
【００４１】
本発明の振動子の製造方法は、特許文献２のように１００℃以上の温度を要する工程が存在しないため、脱分極温度が低い圧電セラミックスを用いても圧電性を低下させることなく振動子を製造することができる。ここで脱分極温度が低い圧電セラミックスとは、例えば、脱分極温度が２００℃以下である圧電性を有するセラミックスのことをいう。具体的には、ニオブ酸カリウムナトリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸バリウム、チタン酸バリウムカルシウム、チタン酸ジルコン酸バリウムカルシウム等の非鉛圧電セラミックスが挙げられる。また、ランタン含有チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＬＺＴ）など添加物を含んだチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の鉛含有圧電セラミックスが挙げられる。また、チタン酸バリウムやその固溶体からなる脱分極温度が１５０℃以下の非鉛圧電セラミックスにも本発明の振動子の製造方法は適用可能である。脱分極温度が低い圧電セラミックスは非鉛圧電セラミックスの方が多いため、本発明の振動子の製造方法は非鉛圧電セラミックスを用いた振動子に好適であると換言できる。なお脱分極温度とは圧電性が消失する温度であり、圧電性の有無はｄ３３メーターなどの測定装置により確認できる。また、本明細書においてセラミックスとは、金属元素を有する原料粉末を焼成して得られる組成が均一のバルク焼結体のことであり、その厚みは０．２ｍｍ以上である。厚みは、分極処理をし易いという観点で１．０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００４２】
ここで、圧電素子が有する電極の材料は特に限定されないが、金、白金、銀および銅など金属材料を用いることができる。電極としてはコスト等から銀電極が好ましい。
【００４３】
以上、本発明の振動子の製造方法は、屈折率差の大きい光硬化性樹脂と粒子とを含有する接着剤を光照射することによって接着層を形成するため、光硬化性樹脂に未硬化部分が残存せず、充分な接着力を有する振動子を得ることができる。
【００４４】
（振動波モータ）
本発明の振動波モータは、本発明の振動子に接した移動体と有することを特徴とする。
【００４５】
図５は、本発明の振動波モータの一実施形態を示した概略図である。図５において、移動体２８は、振動子５とは振動子の突起を介して加圧接触されている。不図示の電圧入力手段により、給電部材２７を介して電圧が振動子５に加えられると、振動板３には進行波が発生する。発生する進行波は２つであり、１つは図５のＸ方向に２次の面外振動でＹ方向と平行な３本の節線を有する進行波である。もう１つはＹ方向における１次の面外振動であり、Ｘ方向と平行な２本の節線を有する進行波である。これらの２つの進行波により振動子の突起に楕円運動が生じる。
【００４６】
振動波モータの駆動特性としては、振動波モータに一定電圧を印加したときに、目標の周波数範囲で目標速度である１００ｍｍ／ｓｅｃの速度に達するか否かを評価した。
【００４７】
（光学機器）
図６は、本発明の光学機器（鏡筒装置のフォーカスレンズ部）の一実施形態を示した概略図である。本発明の光学機器は、本発明の振動波モータと力学的に接続された光学部材とを有することを特徴とする。図６で示す様に、鏡筒装置のフォーカスレンズ部において、振動波モータと光学部材であるレンズが、レンズ保持部材１５等によって力学的に接続されている。
【００４８】
具体的には、振動子５は保持部材１１と溶接などにより固定されており、不要な振動を発生させないように構成されている。保持部材１１はビス１３で移動筐体１２に固定され、振動子５と一体をなしている。
【００４９】
２本のガイド部材１４を移動筐体１２に取り付けることで、振動波モータは、ガイド部材１４上を直進移動することができる。レンズ１６は、レンズ保持部材１５に固定され、振動波モータの移動方向と平行に光軸（不図示）を有する。レンズ保持部材１５は、振動波モータと同様に、２本のガイド部材１４上を直進移動することで、焦点位置合わせを行う。２本のガイド部材１４は移動筐体１２とレンズ保持部材１５とを嵌合して、移動筐体１２とレンズ保持部材１５を直進移動可能にする部材である。このような構成で、移動筐体１２とレンズ保持部材１５はガイド部材１４上を直進移動することができる。
【００５０】
また、連結部材１７は、振動波モータで発生した駆動力をレンズ保持部材１５へ伝達する部材であり、レンズ保持部材１５に嵌合して取り付けられる。これにより、レンズ保持部材１５は、移動筐体１２と共に滑らかに２本のガイド部材１４に沿って両方向に移動可能となる。
【００５１】
また、センサ１８は、レンズ保持部材１５の側面部に貼り付けられたスケール１９の位置情報を読み取ることで、ガイド部材１４上でのレンズ保持部材１５の位置を検出する。その検出値より振動波モータの速度を演算し、不図時の制御部へ速度データをフィードバックするために設ける。
【００５２】
上記においては、光学機器として、一眼レフカメラ用の鏡筒装置について説明したが、
レンズとカメラ本体が一体となったコンパクトカメラ、電子スチルカメラ等、カメラの種類を問わず、振動波モータを備えた多様な光学機器に適用することができる。
【実施例】
【００５３】
以下に実施例を挙げて、本発明の振動子および振動波モータを説明するが、本発明は、以下の実施例により限定されるものではない。
【００５４】
（実施例１）
有機系樹脂であるポリエステル粒子（粒子径が個数平均径で１０μｍ）の量が光硬化性樹脂１００質量部あたり５０質量部である例：
まず、表１に示すように、光硬化性樹脂として屈折率が１．５０の光硬化エポキシ樹脂（協立化学産業株式会社製）を５０ｇ秤量した。また、粒子として屈折率が１．６０、粒子径が個数平均径で１０μｍ、弾性率が４．２ＧＰａのポリエステル粒子（大阪ガスケミカル株式会社製）を２５ｇ秤量した。すなわち、光硬化性樹脂の屈折率と粒子の屈折率との差は０．１０である。
【００５５】
これらの秤量した光硬化性樹脂と粒子を遊星回転方式の混合・分散装置（シンキー株式会社製、商品名：あわとり練太郎）の２５０ｍｌ専用容器中で分散させ、接着剤を得た。混合及び分散時間は５分間であった。
【００５６】
次に、得られた接着剤を振動板に設けた後、振動板に圧電素子を設け加圧した。振動板にはステンレス鋼を、圧電セラミックスにはチタン酸ジルコン酸バリウムカルシウムを、電極は銀電極を用いた。具体的な接着剤の塗布方法としては、前記接着剤をディスペンサー塗布装置の５ｃｍ３のシリンジに入れ、振動板の表面に一定量塗布した。前記接着剤１を塗布した振動板を圧電素子と加圧力０．４５ＭＰａの加圧力で貼り合わせた。
【００５７】
振動板と圧電素子を加圧した状態で、その隙間にある接着剤に対し、ＵＶ光が入りこむようにラインファイバー状ＵＶ照射ユニットを取り付けたＬＥＤスポットＵＶ照射装置（ウシオ電機株式会社製）により、前記接着剤を硬化し、本発明の振動子を得た。なお、ＵＶ照射条件は１００ｍＷで７０秒であった。
【００５８】
次に得られた振動子の接着層の接着力を、引っ張りせん断接着強さ試験によって評価した。その結果、接着力は３１．５ＭＰａと非常に良好であった。
【００５９】
また、実施例１の接着層の厚みは９．８μｍであった。
【００６０】
次に、得られた振動子に移動体を接触させ振動波モータを得た。得られた振動波モータの駆動特性を評価した結果、目標周波数で目標速度が得られ、良好な特性であった。また、駆動後も振動板と圧電素子との間に剥離は生じなかった。その結果を表２に示す。
【００６１】
なお、表２において、接着層の接着力が２５ＭＰａ以上のものを○、１５ＭＰａ以上２５ＭＰａ未満であるものを△、１５ＭＰａ未満であるものを×とした。
【００６２】
また、振動波モータの目標速度が得られ、駆動後も振動板と圧電素子との間に剥離が生じなかったものを○、目標速度に達しなかったが駆動後も振動板と圧電素子との間に剥離が生じなかったものを△とした。また、目標速度に達せず、駆動後に振動板と圧電素子との間に剥離が生じたものを×とした。
【００６３】
なお、剥離が生じたか否かは超音波映像装置を用いて評価した。振動波モータを駆動後に、超音波映像装置の水槽に入れ、超音波の反射波の強弱により、振動板と圧電素子との間の剥離の検出を行った。超音波映像装置により得られた超音波画像において、剥離個所は白色部として現れた。その接着層の白色部の割合を数値化し、白色部の割合が１０％以上のものを剥離が生じたものとした。
【００６４】
（実施例２）
有機系樹脂であるポリエステル粒子（粒子径が個数平均径で１０μｍ）の量が光硬化性樹脂１００質量部あたり８０質量部である例：
ポリエステル粒子の量が光硬化性樹脂１００質量部あたり８０質量部である点以外は、実施例１と同じ条件で、接着剤を製造した。表１に接着剤の成分を示す。
【００６５】
また、実施例１と同じ条件で振動子と振動波モータの製造および評価を行った。
【００６６】
得られた振動子の接着力は２７．９ＭＰａと非常に良好であった。
【００６７】
また、実施例２の接着層の厚みは９．８μｍであった。
【００６８】
得られた振動波モータの駆動特性は、充分な速度が得られ、良好な特性であった。また、駆動後も振動板と圧電素子との間に剥離は生じなかった。その結果を表２に示す。
【００６９】
（実施例３）
有機系樹脂である含硫黄芳香族粒子（粒子径が個数平均径で１５μｍ）の量が光硬化性樹脂１００質量部あたり５０質量部である例：
粒子として含硫黄芳香族粒子（屈折率：１．７４）を用いた点以外は、実施例１と同じ条件での接着剤を製造した。すなわち、光硬化性樹脂の屈折率と粒子の屈折率との差は０．２４である。表１に接着剤の成分を示す。
【００７０】
また、実施例１と同じ条件で振動子と振動波モータの製造および評価を行った。
【００７１】
得られた振動子の接着力は３２．６ＭＰａと非常に良好であった。
【００７２】
また、実施例３の接着層の厚みは１４．９μｍであった。
【００７３】
得られた振動波モータの駆動特性は、充分な速度が得られ、良好な特性であった。また、駆動後も振動板と圧電素子との間に剥離は生じなかった。その結果を表２に示す。
【００７４】
（実施例４）
有機系樹脂である含硫黄芳香族樹脂粒子（粒子径が個数平均径で１５μｍ）の量が光硬化性樹脂１００質量部あたり８０質量部である例：
含硫黄芳香族粒子の量が光硬化性樹脂１００質量部あたり８０質量部である点以外は実施例３と同じ条件で接着剤を製造した。表１に接着剤の成分を示す。
【００７５】
また、実施例１と同じ条件で振動子と振動波モータの製造および評価を行った。
【００７６】
得られた振動子の接着力は２９．８ＭＰａと非常に良好であった。
【００７７】
また、実施例４の接着層の厚みは１４．９μｍであった。
【００７８】
得られた振動波モータの駆動特性は、充分な速度が得られ、良好な特性であった。また、駆動後も振動板と圧電素子との間に剥離は生じなかった。その結果を表２に示す。
【００７９】
（実施例５）
無機材料であるチタン系ガラス含粒子（粒子径が個数平均径で１０μｍ）の量が光硬化性樹脂１００質量部あたり５０質量部である例：
粒子としてチタン系ガラス粒子（屈折率：１．９０）を用いた点以外は、実施例１と同じ条件での接着剤を製造した。すなわち、光硬化性樹脂の屈折率と粒子の屈折率との差は０．４０である。表１に接着剤の成分を示す。
【００８０】
また、圧電セラミックスとしてチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を電極として銅電極を用いた点以外は、実施例１と同じ条件で振動子と振動波モータの製造および評価を行った。
【００８１】
得られた振動子の接着力は３３．６ＭＰａと非常に良好であった。
【００８２】
また、実施例５の接着層の厚みは１５μｍであった。
【００８３】
得られた振動波モータの駆動特性は、充分な速度が得られ、良好な特性であった。また、駆動後も振動板と圧電素子との間に剥離は生じなかった。その結果を表２に示す。しかし、切断したサンプルにおいて、電極層に一部欠けが生じていることが確認された。
【００８４】
（実施例６）
有機系樹脂であるポリエステル粒子（粒子径が個数平均径で１０μｍ）の量が光硬化性樹脂１００質量部あたり４０質量部である例：
ポリエステル粒子の量が光硬化性樹脂１００質量部あたり４０質量部である点以外は、実施例１と同じ条件で、接着剤を製造した。表１に接着剤の成分を示す。
【００８５】
また、実施例１と同じ条件で振動子と振動波モータの製造および評価を行った。
【００８６】
得られた振動子の接着力は１８ＭＰａと良好であった。
【００８７】
また、実施例６の接着層の厚みは９．８μｍであった。
【００８８】
得られた振動波モータの駆動特性は、速度が目標速度である１００ｍｍ／ｓｅｃに達しなかった。しかし、駆動後も振動板と圧電素子との間に剥離は生じなかった。その結果を表２に示す。
【００８９】
（実施例７）
有機系樹脂であるポリエステル粒子（粒子径が個数平均径で１０μｍ）の量が光硬化性樹脂１００質量部あたり９０質量部である例：
ポリエステル粒子の量が光硬化性樹脂１００質量部あたり９０質量部である点以外は、実施例１と同じ条件で、接着剤を製造した。表１に接着剤の成分を示す。
【００９０】
また、実施例１と同じ条件で振動子と振動波モータの製造および評価を行った。
【００９１】
得られた振動子の接着力は１５ＭＰａと良好であった。
【００９２】
また、実施例７の接着層の厚みは９．８μｍであった。
【００９３】
得られた振動波モータの駆動特性は、速度が目標速度である１００ｍｍ／ｓｅｃに達しなかった。しかし、駆動後も振動板と圧電素子との間に剥離は生じなかった。その結果を表２に示す。
【００９４】
（比較例１）
有機系樹脂であるアクリル粒子（粒子径が個数平均径で１０μｍ）の量が光硬化性樹脂１００質量部あたり９０質量部である例：
粒子としてアクリル粒子（屈折率：１．４５）を用いた点以外は、実施例１と同じ条件での接着剤を製造した。すなわち、光硬化性樹脂の屈折率と粒子の屈折率との差は０．０５である。表１に接着剤の成分を示す。
【００９５】
得られた振動子の接着力は１２ＭＰａであり、１５ＭＰａに達しなかった。
【００９６】
また、実施例５の接着層の厚みは９．２μｍであった。
【００９７】
得られた振動波モータの駆動特性は、速度が目標速度である１００ｍｍ／ｓｅｃに達しなかった。また、駆動後に振動板と圧電素子との間に剥離が生じた。その結果を表２に示す。
【００９８】
【表１】
2019067999.tif 000003
【００９９】
【表２】
2019067999.tif 000004
【０１００】
表１および表２の結果をまとめる。光硬化性樹脂の屈折率と粒子の屈折率差が０．１０以上の接着剤を用いて振動子を製造した実施例１から７は、接着層の接着力が１５ＭＰａ以上であった。そのため、これらの振動子を用いた振動波モータは、駆動後も振動板と圧電素子との間に剥離は生じなかった。ただし、実施例６および７は粒子の含有量が光硬化性樹脂に１００質量部あたり４０質量部もしくは９０質量部であったため、振動波モータの速度が目標値に達しなかった。
【０１０１】
一方、光硬化性樹脂の屈折率と粒子の屈折率差が０．１０未満であった接着剤を用いて振動子を製造した比較例１は、接着層の接着力が１２ＭＰａと１５ＭＰａ未満であった。そのため、この振動子を用いた振動波モータは、駆動後に振動板と圧電素子との間に剥離が生じた。また、振動波モータの速度が目標値に達しなかった。
【産業上の利用可能性】
【０１０２】
本発明によれば、振動子の性能が低下せず、充分な接着力を有する振動子を提供できる。また、本発明の振動子を用いた振動波モータ、光学機器を提供できる。さらに、これらの機器以外でも圧電素子と振動板とを接着する振動子を有する圧電デバイス全般に適用可能である。
【符号の説明】
【０１０３】
１  光硬化性樹脂
２  圧電セラミックス
３  振動板
４  粒子
５  振動子
６  電極
６１  電極
６２  電極
６３  電極
７  圧電素子
８  光源
９  透過光
１０  散乱光
１１  保持部材
１２  移動筐体
１３  ビス
１４  ガイド部材
１５  レンズ保持部材
１６  レンズ
１７  連結部材
１８  センサ
１９  スケール
２７  給電部材
２８  移動体
１００  樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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