(57)【要約】【課題】ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）多孔質膜を用いたエアフィルタ濾材であって、プリーツ加工による捕集効率の低下が抑制されたエアフィルタ濾材を提供する。【解決手段】ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材との積層体を含むエアフィルタ濾材であって、前記濾材を厚さ方向に圧縮したときに当該濾材に生じる反発力が、圧縮率３０％において３０ｋＰａ以上１５０ｋＰａ以下であり、少なくとも一方の主面が通気性支持材により構成され、２４ｇｆ以下の最大摩擦係数を有するエアフィルタ濾材とする。【選択図】図１
2019058903.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）多孔質膜と、通気性支持材との積層体を含むエアフィルタ濾材であって、
前記濾材を厚さ方向に圧縮したときに当該濾材に生じる反発力が、圧縮率３０％において３０ｋＰａ以上１５０ｋＰａ以下であり、
少なくとも一方の主面が前記通気性支持材により構成され、２４ｇｆ以下の最大摩擦係数を有する、
エアフィルタ濾材。
【請求項２】
ＰＦ値が２３以上である請求項１に記載のエアフィルタ濾材。
ただし、ＰＦ値は、透過流速５．３ｃｍ／秒における前記濾材の圧力損失ＰＬ（ｍｍＨ2Ｏ）、および透過流速５．３ｃｍ／秒において粒子径０．１０〜０．２０μｍのポリアルファオレフィン粒子を用いて測定した前記濾材の捕集効率ＣＥ（％）から、以下の式（１）により求められる値である。
ＰＦ値＝｛−ｌоｇ[（１００−ＣＥ）／１００]／ＰＬ｝×１００      （１）
【請求項３】
前記ＰＦ値が３０以上である請求項２に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項４】
面密度が５５ｇ／ｍ2以上９５ｇ／ｍ2以下である請求項１〜３のいずれかに記載のエアフィルタ濾材。
【請求項５】
面密度が５５ｇ／ｍ2以上７５ｇ／ｍ2以下である請求項１〜３のいずれかに記載のエアフィルタ濾材。
【請求項６】
前記積層体が、２以上の前記通気性支持材を含み、
前記濾材の双方の主面が前記通気性支持材により構成されている請求項１〜５のいずれかに記載のエアフィルタ濾材。
【請求項７】
プリーツ状に折り畳まれたエアフィルタ濾材から構成されるフィルタプリーツパックであって、
前記エアフィルタ濾材が、請求項１〜６のいずれかに記載のエアフィルタ濾材であるフィルタプリーツパック。
【請求項８】
請求項７に記載のフィルタプリーツパックと、前記フィルタプリーツパックを支持する枠体と、を備えるエアフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜を用いたエアフィルタ濾材と、当該濾材を備えるフィルタプリーツパックおよびエアフィルタユニットとに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、エアフィルタ濾材、特に半導体工業および薬品工業等で利用されるクリーンルームのエアフィルタに使用される濾材、に、ポリテトラフルオロエチレン（以下、「ＰＴＦＥ」と記載する）多孔質膜が使用されている。ＰＴＦＥ多孔質膜を用いたエアフィルタ濾材は、ガラス繊維を用いた濾材に比べて、自己発塵性が低く、耐薬品性が高い等の特長を有する。また、ＰＴＦＥ多孔質膜を用いたエアフィルタ濾材は、ＵＬＰＡフィルタ（Ultra Low Penetration Air Filter）としたときに、ガラス繊維を用いた濾材に比べて同じ捕集効率で２／３〜１／２程度の低い圧力損失を達成できる。特許文献１，２には、ＰＴＦＥ多孔質膜を用いたエアフィルタ濾材とその製造方法とが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１７０４６１号公報
【特許文献２】特開２００２−６６２２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
エアフィルタ濾材においてＰＴＦＥ多孔質膜は、当該膜を補強して濾材としての形状を維持するために、通常、通気性を有する支持材（通気性支持材）と積層されている。また、エアフィルタ濾材は、できるだけ大きな濾過面積を確保するために、ひだ折り加工（プリーツ加工）によって、側面から見て連続したＷ字状となるように折り畳まれていることが一般的である。プリーツ加工されたエアフィルタ濾材（以下、当業者の慣用する名称に従い、「フィルタプリーツパック」と記載する）は、枠体に組み込まれた状態で、エアフィルタユニットとして使用される。
【０００５】
ＰＴＦＥ多孔質膜は、非常に薄い膜である。このため、通気性支持材と積層されていても、プリーツ加工時に当該膜に加わる圧縮力あるいはせん断力によってピンホールが発生することがある。ピンホールの発生したエアフィルタ濾材は、リークにより、所定の性能を満たさない。ピンホールを有する濾材では、典型的には、捕集効率が低下する。捕集効率が低下したエアフィルタ濾材は、クリーンルームへの使用に不適である。
【０００６】
レシプロ式のプリーツ加工機の採用により、プリーツ加工時におけるＰＴＦＥ多孔質膜へのピンホールの発生を抑制できる。しかし、当該加工機の採用によっても依然としてピンホールが発生することがある。また、本発明者らの検討によれば、ピンホールの発生にまで至らない場合においても、プリーツ加工後に濾材の捕集効率が低下する現象がみられる。特許文献１，２には、この現象およびその解決について何も示されていない。
【０００７】
本発明の目的は、ＰＴＦＥ多孔質膜を用いたエアフィルタ濾材であって、プリーツ加工による捕集効率の低下が抑制されたエアフィルタ濾材の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、
ＰＴＦＥ多孔質膜と、通気性支持材との積層体を含むエアフィルタ濾材であって、
前記濾材を厚さ方向に圧縮したときに当該濾材に生じる反発力が、圧縮率３０％において３０ｋＰａ以上１５０ｋＰａ以下であり、
少なくとも一方の主面が前記通気性支持材により構成され、２４ｇｆ以下の最大摩擦係数を有する、
エアフィルタ濾材、
を提供する。
【０００９】
別の側面において、本発明は、
プリーツ状に折り畳まれたエアフィルタ濾材から構成されるフィルタプリーツパックであって、
前記エアフィルタ濾材が本発明のエアフィルタ濾材であるフィルタプリーツパック、
を提供する。
【００１０】
また別の側面において、本発明は、
上記本発明のフィルタプリーツパックと、前記フィルタプリーツパックを支持する枠体と、を備えるエアフィルタユニット、
を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によるエアフィルタ濾材では、濾材を厚さ方向に圧縮したときに当該濾材に生じる反発力が、圧縮率（圧縮軸方向への変形率）３０％において、３０ｋＰａ以上１５０ｋＰａ以下である。従来のエアフィルタ濾材では、圧縮率３０％における上記反発力（以下、「３０％圧縮反発力」と記載する）は、より大きな値を示す。ここで、プリーツ加工においてエアフィルタ濾材は、プリーツ加工機の部材によって厚さ方向に圧縮され、その際の当該方向への圧縮率は、通常、３０％程度となる。すなわち、本発明のエアフィルタ濾材において３０％圧縮反発力が上記範囲にあることは、当該濾材が、従来のエアフィルタ濾材に比べてプリーツ加工時に厚さ方向に高いクッション性を有する（厚さ方向に柔軟である）ことを意味している。
【００１２】
これに加えて、本発明によるエアフィルタ濾材では、少なくとも一方の主面（露出面）が通気性支持材により構成されるとともに、２４ｇｆ以下の最大摩擦係数を有している。少なくとも一方の主面が通気性支持材により構成されることで、プリーツ加工機の部材をプリーツ加工時にＰＴＦＥ多孔質膜ではなく通気性支持材に接触させることができる。また、通気性支持材により構成される上記少なくとも一方の主面が２４ｇｆ以下の最大摩擦係数を有することで、例えば、上記少なくとも一方の主面に押し当てられたプリーツ加工機のブレードを、より滑らかに当該主面上を摺動させることができる。
【００１３】
エアフィルタ濾材のプリーツ加工機として、レシプロ式およびロータリ式の加工機が代表的である。レシプロ式の加工機を用いたプリーツ加工では、加工機のブレードが濾材の表面に押し当てられて当該表面上を摺動するが、その際、圧縮された濾材に強いせん断力が加わる。また、ロータリー式の加工機を用いたプリーツ加工では、ロール立ち上げ機構に濾材を送り込む際のニップによって、圧縮された濾材に強いせん断力が加わる。圧縮された濾材に強いせん断力が加わることは、他の方式の加工機においても同様である。本発明によるエアフィルタ濾材では、上述した厚さ方向の高いクッション性、および接触したプリーツ加工機の部材がより滑らかに動きうる表面の最大摩擦係数によって、プリーツ加工時に濾材に加わるせん断力が分散および緩和され、通気性支持材を構成する繊維のＰＴＦＥ多孔質膜への貫入等によるピンホールの発生、ならびに、濾材としての捕集効率を左右するＰＴＦＥ多孔質膜の空孔の形状の変化および分布の変動等を抑制できる。これにより、ＰＴＦＥ多孔質膜を用いたエアフィルタ濾材であって、プリーツ加工による捕集効率の低下が抑制されたエアフィルタ濾材が達成される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明のエアフィルタ濾材の一例を模式的に示す断面図である。
【図２】図２は、本発明のエアフィルタ濾材の別の一例を模式的に示す断面図である。
【図３】図３は、本発明のエアフィルタ濾材を製造する方法の一例を示す模式図である。
【図４】図４は、ロールに対する搬送体の抱き角θを説明するための模式図である。
【図５】図５は、本発明のエアフィルタ濾材を製造する方法の別の一例を示す模式図である。
【図６】図６は、本発明のフィルタプリーツパックの一例を模式的に示す斜視図である。
【図７】図７は、本発明のエアフィルタユニットの一例を模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。本発明は、以下に示す実施形態に限定されない。
【００１６】
[エアフィルタ濾材]
本発明のエアフィルタ濾材の一例を図１に示す。図１のエアフィルタ濾材１は、１つのＰＴＦＥ多孔質膜２と、２つの通気支持材３との積層体４を含む。２つの通気性支持材３は、ＰＴＦＥ多孔質膜２を挟持している。ＰＴＦＥ多孔質膜２と各々の通気性支持材３とは、互いに接している。エアフィルタ濾材１においてＰＴＦＥ多孔質膜２は、捕集対象物を捕集する機能を有する。捕集対象物は、例えば、空気中の塵芥である。通気性支持材３は、ＰＴＦＥ多孔質膜２を補強して、エアフィルタ濾材１としての形状を維持する機能を有する。通気性支持材３は、比較的大きなサイズの捕集対象物を捕集するプレフィルターとしての機能をさらに有していてもよい。また、通気性支持材３によって、プリーツ加工に必要なコシがエアフィルタ濾材１に与えられる。
【００１７】
エアフィルタ濾材１の３０％圧縮反発力は、３０ｋＰａ以上１５０ｋＰａ以下である。３０％圧縮反発力の上限は、１４０ｋＰａ以下、１３５ｋＰａ以下、１３０ｋＰａ以下、１２０ｋＰａ以下、１１０ｋＰａ以下、１００ｋＰａ以下、さらには９０ｋＰａ以下であってもよい。３０％圧縮反発力が過度に小さくなると、プリーツ加工に必要なコシをエアフィルタ濾材１が持つことが難しくなる。このため、３０％圧縮反発力の下限を３０ｋＰａに定める。
【００１８】
エアフィルタ濾材１の３０％圧縮反発力は、次のように測定できる。評価対象となる濾材を一辺２５ｍｍの正方形に切り出して、切り出した濾材を、各濾材の外周を揃えて１０〜２０枚重ねる。重ねる枚数は、濾材の厚さに応じて選択できる。次に、重ねた濾材の最上面に、底面を圧縮面とする重さ１２ｇの円柱状の圧縮子（直径２０ｍｍ）をゆっくりと戴置する。圧縮子は、濾材の重なりの状態が不均一となりやすく、測定値に誤差が生じやすい濾材の外周部を避けるため、重ねた濾材の最上面から圧縮面がはみ出さないように戴置する。次に、圧縮試験機（一例として島津製作所製オートグラフ）を用いて、圧縮子に対して濾材の厚さ方向に圧縮荷重を加えて濾材を圧縮しながら、当該圧縮によって圧縮子が濾材から受ける応力を、濾材の反発力として測定する。圧縮速度は０．５ｍｍ／分とする。圧縮子の質量を加味しないで０．１Ｎの荷重が濾材の最上面に加わった時点における圧縮子の位置を基準の位置として、重ねた濾材全体の厚さｄ０の３０％の距離だけ圧縮子を濾材に押し込んだ際に測定される濾材の反発力を３０％圧縮反発力とすることができる。なお、エアフィルタユニットに組み込まれた状態、あるいはフィルタプリーツパックの状態にある等、既にプリーツ加工された状態にあるエアフィルタ濾材１の３０％圧縮反発力の測定は、その端部、例えばフィルタプリーツパックの周縁部、ではなく、中央部より切り出した濾材に対して実施することが望ましい。端部より切り出した濾材では、プリーツ加工時および／またはエアフィルタユニット作製時の影響を強くうけることで、３０％圧縮反発力が変動している可能性があるためである。
【００１９】
図１に示すエアフィルタ濾材１では、双方の主面（露出面）５ａ，５ｂが通気性支持材３により構成されている。主面５ａおよび主面５ｂから選ばれる少なくとも１つ、好ましくは双方、が、２４ｇｆ以下の最大摩擦係数を有する。最大摩擦係数は、２３ｇｆ以下、さらには２０ｇｆ以下であってもよい。最大摩擦係数の下限は、例えば２ｇｆである。最大摩擦係数がこれらの範囲にあるエアフィルタ濾材１の主面では、例えば、当該主面上をプリーツ加工機のブレードが摺動する際の摩擦抵抗が小さく、このため、摺動するブレードとの摩擦に起因して通気性支持材３を介してＰＴＦＥ多孔質膜２に加わるせん断力を抑制できる。なお、本発明のエアフィルタ濾材では、少なくとも一方の主面が通気性支持材３により構成され、当該主面が２４ｇｆ以下の最大摩擦係数を有していればよい。プリーツ加工にあたり、プリーツ加工機のブレードを当該主面に押し当てることによって本発明の効果が達成される。本発明の効果をより確実に得るには、濾材の双方の主面が通気性支持材３により構成され、当該双方の主面が２４ｇｆ以下の最大摩擦係数を有することが好ましい。
【００２０】
エアフィルタ濾材１の主面の最大摩擦係数は、バウデンレーベン型摩擦試験機を用いた以下の条件に基づくバウデンレーベン摩擦試験法により測定できる。なお、最大摩擦係数とは、上記試験法により測定される摩擦係数（静摩擦係数および動摩擦係数のいずれも含む）の最大値を意味する。
・濾材（試験片）の形状：５ｃｍ×１０ｃｍの矩形
・測定子：日本工業規格（以下、「ＪＩＳ」と記載する）Ｂ１５０１：２００９に規定される直径１０ｍｍの鋼球
・測定子の摺動方向：矩形の試験片の長辺方向
・測定子の摺動速度：７００ｍｍ／分
・測定子の摺動距離：４０ｍｍ
・測定荷重：１００ｇｆ
【００２１】
エアフィルタ濾材１では、上述した厚さ方向の高いクッション性、および接触したプリーツ加工機の部材がより滑らかに動きうる表面の最大摩擦係数によって、プリーツ加工時にエアフィルタ濾材１に加わるせん断力（ニップにより濾材１に加わる力を含む）が緩和および分散される。これにより、ＰＴＦＥ多孔質膜２を用いたエアフィルタ濾材であって、プリーツ加工による捕集効率の低下が抑制されたエアフィルタ濾材が達成される。なお、エアフィルタ濾材１において抑制される捕集効率の低下には、プリーツ加工によってＰＴＦＥ多孔質膜に生じたピンホールに起因する捕集効率の低下のみならず、ピンホールの発生にまで至らない場合にも生じうる捕集効率の低下が含まれる。
【００２２】
特許文献１では、熱ロール（ヒートロール）を用いたＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材との熱ラミネートを前提として、圧力損失が小さく捕集効率が高いエアフィルタ濾材を得るために、高い面密度を有する通気性支持材が採用されている。高い面密度を有する通気性支持材を採用することにより、エアフィルタ濾材の面密度も高くなる。しかし、エアフィルタ濾材の面密度が高いからといって、プリーツ加工時に当該濾材に加わる圧力が緩和および分散されるわけではない。本発明によるエアフィルタ濾材では、当該濾材の面密度が低い場合においても、プリーツ加工による捕集効率の低下が抑制される。これは、本発明のエアフィルタ濾材において低い面密度の通気性支持材を採用できることを意味する。このため、本発明によるエアフィルタ濾材では、高い捕集効率と低い圧力損失とのより高いレベルでの両立が可能になるとともに、濾材の製造コストを低減できる。
【００２３】
エアフィルタ濾材１の面密度は、例えば５５ｇ／ｍ2以上９５ｇ／ｍ2以下である。エアフィルタ濾材１の面密度の上限は、８０ｇ／ｍ2以下、８０ｇ／ｍ2未満、７５ｇ／ｍ2以下、さらには７０ｇ／ｍ2以下であってもよい。エアフィルタ濾材１の面密度は、５５ｇ／ｍ2以上７５ｇ／ｍ2以下であってもよい。エアフィルタ濾材１では、当該濾材がこれらの面密度を有する場合においても、プリーツ加工による捕集効率の低下が抑制される。
【００２４】
エアフィルタ濾材１は、例えば、以下に示す特性を有する。
【００２５】
エアフィルタ濾材１のＰＦ（Performance Factor）値は、例えば２３以上であり、エアフィルタ濾材１の構成によっては、２５以上、２７以上、さらには３０以上であってもよい。ＰＦ値は、エアフィルタ濾材における捕集性能の指標となる数値であり、ＰＦ値が大きいほどエアフィルタ濾材１の捕集性能は高い。ＰＦ値２３以上のエアフィルタ濾材１は、半導体工業、薬品工業等のクリーンルームで使用されるエアフィルタの濾材に使用可能である。
【００２６】
ＰＦ値は、透過流速５．３ｃｍ／秒（透過気体は空気）における濾材の圧力損失ＰＬ（単位：ｍｍＨ2Ｏ）、および透過流速５．３ｃｍ／秒（透過気体は空気）において粒子径０．１０〜０．２０μｍのポリアルファオレフィン粒子を用いて測定した濾材の捕集効率ＣＥ（単位：％）から、以下の式（１）により求められる値である。
ＰＦ値＝｛−ｌоｇ[（１００−ＣＥ）／１００]／ＰＬ｝×１００      （１）
【００２７】
エアフィルタ濾材１の圧力損失ＰＬは、例えば１０〜４００Ｐａであり、エアフィルタ濾材１の構成によっては、１００〜４００Ｐａ、さらには１５０〜３５０Ｐａであってもよい。
【００２８】
エアフィルタ濾材１の圧力損失ＰＬは、次のように測定できる。通気口（円形かつ有効面積１００ｃｍ2）を有するホルダーに、評価対象物である濾材を、評価対象物が通気口を塞ぐようにセットする。次に、通気口内の評価対象物のみを空気が透過可能な状態で、ホルダーの一方の面と他方の面との間に圧力差を発生させる。そして、評価対象物を透過する空気の線流速が流量計で測定して５．３ｃｍ／秒となったときの上記圧力差を圧力計（マノメータ）により測定する。１つの評価対象物について上記圧力差を８回測定し、その平均値を、評価対象物であるエアフィルタ濾材１の圧力損失ＰＬとすることができる。
【００２９】
エアフィルタ濾材１の捕集効率ＣＥは、例えば２０〜１００％であり、エアフィルタ濾材１の構成によっては、９０〜１００％、さらには９９．９〜１００％であってもよい。エアフィルタ濾材１は、ＪＩＳ  Ｚ８１２２：２０００に規定されたＨＥＰＡフィルタ（High-Efficiency Particulate Air Filter）であってもよいし、ＵＬＰＡフィルタであってもよい。
【００３０】
エアフィルタ濾材１の捕集効率ＣＥは、次のように測定できる。通気口（円形かつ有効面積１００ｃｍ2）を有するホルダーに、評価対象物である濾材を、評価対象物が通気口を塞ぐようにセットする。次に、通気口内の評価対象物のみを空気が透過可能な状態で、ホルダーの一方の面と他方の面との間に圧力差を発生させる。次に、評価対象物を透過する空気の線流速が流量計で測定して５．３ｃｍ／秒を保持するように上記圧力差を調整した後、粒子径０．１０〜０．２０μｍ（平均粒子径０．１５μｍ）のポリアルファオレフィン粒子を、４×１０8個／Ｌ以上の濃度（上流側の粒子濃度）で、評価対象物を透過する空気に含ませる。そして、評価対象物を透過した空気に含まれるポリアルファオレフィン粒子の濃度（下流側の粒子濃度）を、評価対象物の下流に配置したパーティクルカウンタを用いて測定し、上記上流側の粒子濃度および下流側の粒子濃度から、以下の式（２）により、評価対象物であるエアフィルタ濾材１の捕集効率ＣＥを求めることができる。
捕集効率ＣＥ＝[１−（下流側の粒子濃度）／（上流側の粒子濃度）]×１００（％）  （２）
【００３１】
ＰＴＦＥ多孔質膜２は、従来のエアフィルタ濾材が有する公知のＰＴＦＥ多孔質膜であってもよい。ＰＴＦＥ多孔質膜２は、典型的には、微細な繊維状構造体である無数のＰＴＦＥフィブリルにより構成される。ＰＴＦＥ多孔質膜２は、ＰＴＦＥフィブリルに接続されたＰＴＦＥのノード（結節部）を有していてもよい。
【００３２】
ＰＴＦＥ多孔質膜２は、例えば、未焼成のＰＴＦＥ粉末と液状潤滑剤との混和物を押出および／または圧延等の手法によりフィルムに成形し、得られた未焼成フィルムから液状潤滑剤を除去した後、延伸により多孔質化して得ることができる。ただし、ＰＴＦＥ多孔質膜２の製造方法は、エアフィルタ濾材１の使用用途に応じた捕集性能が得られる限り、この例に限定されない。上記例では、未焼成フィルムを形成した後の任意のタイミングにおいて、ＰＴＦＥの融点以上の温度に当該フィルムを加熱して焼成してもよく、焼成により膜強度を高めることができる。焼成は、例えば、未焼成フィルムの延伸後に実施できる。液状潤滑剤は、例えば、ナフサ、ホワイトオイル、流動パラフィン等の炭化水素油である。ただし、液状潤滑剤は、ＰＴＦＥ粒子の表面を濡らすことができるとともに、後に除去できるものである限り、上記例に限定されない。多孔質化のための延伸の一例は、未焼成シートのＭＤ方向（長手方向）に対する延伸倍率２〜６０倍、延伸温度１５０〜３９０℃の延伸と、当該シートのＴＤ方向（幅方向）に対する延伸倍率１０〜６０倍、延伸温度４０〜１５０℃の延伸とを組み合わせた二軸延伸である。ただし、多孔質化のための延伸は、この例に限定されない。
【００３３】
ＰＴＦＥ多孔質膜２の厚さは、例えば１〜１００μｍである。ＰＴＦＥ多孔質膜２の平均孔径は、例えば０．１〜５０μｍである。
【００３４】
ＰＴＦＥ多孔質膜２の気孔率は、例えば７０〜９８％である。このような高い気孔率は、ＰＴＦＥ多孔質膜２を備えるエアフィルタ濾材１の低い圧力損失および高い捕集効率に寄与する。ＰＴＦＥ多孔質膜２の気孔率は、次のように測定できる。測定対象物であるＰＴＦＥ多孔質膜を一定の寸法（例えば、直径６ｃｍの円形）に切り出して、その体積および質量を求める。得られた体積および質量を以下の式（３）に代入して、ＰＴＦＥ多孔質膜の気孔率を算出できる。式（３）のＶ（単位：ｃｍ3）は上記体積、Ｗ（単位：ｇ）は上記質量、Ｄ（単位：ｇ／ｃｍ3）はＰＴＦＥの真密度である。
気孔率（％）＝１００×[Ｖ−（Ｗ／Ｄ）]／Ｖ      （３）
【００３５】
ＰＴＦＥ多孔質膜２の面密度は、例えば０．０５〜１０ｇ／ｍ2であり、０．１〜５ｇ／ｍ2、さらには０．３〜３ｇ／ｍ2であってもよい。
【００３６】
ＰＴＦＥ多孔質膜２のＰＦ値、圧力損失および捕集効率は、それぞれ、エアフィルタ濾材１のＰＦ値、圧力損失および捕集効率と同じ範囲をとることができる。ＰＴＦＥ多孔質膜２の圧力損失および捕集効率は、評価対象物をＰＴＦＥ多孔質膜に変更することで、エアフィルタ濾材１の圧力損失および捕集効率を測定する方法と同じ方法により測定できる。
【００３７】
通気性支持材３は、ＰＴＦＥ多孔質膜２に比べて、厚さ方向の通気性が高い層である。通気性支持材３は、例えば、短繊維および長繊維等の繊維により構成される不織布、織布またはメッシュにより構成される。ただし、通気性支持材３はこの例に限定されない。通気性、強度、柔軟性および作業性に優れるとともに、上述した３０％圧縮反発力および表面の最大摩擦係数の範囲を満たしやすいことから、不織布から構成される通気性支持材３が好ましい。
【００３８】
通気性支持材３を構成する材料は、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のポリエステル；芳香族ポリアミドを含むポリアミド；およびこれらの複合材料である。通気性支持材３は、２以上のこれらの材料を含んでいてもよい。ＰＴＦＥ多孔質膜２との接合性が高いことから、当該材料はポリオレフィンが好ましく、ＰＥがより好ましい。当該材料が複合材料である場合、ポリオレフィン、特にＰＥ、が、通気性支持材３におけるＰＴＦＥ多孔質膜２との接合面に露出していることが好ましい。なお、通気性支持材３を構成する材料は、上記例に限定されない。
【００３９】
通気性支持材３を構成しうる複合材料の一例は、互いに異なる材料から構成される芯部と鞘部とを有し、芯部が鞘部によって被覆された芯鞘構造を有する複合繊維である。この複合繊維において、芯部を構成する材料の融点よりも、鞘部を構成する材料の融点が低いことが好ましい。芯部を構成する材料は、例えば、ＰＥＴ等のポリエステルである。鞘部を構成する材料は、例えば、ＰＥ等のポリオレフィンである。
【００４０】
通気性支持材３を構成しうる繊維の平均繊維径は、例えば１〜５０μｍであり、１〜３０μｍ、さらには１０〜３０μｍであってもよい。
【００４１】
通気性支持材３の面密度は、例えば２０ｇ／ｍ2以上７０ｇ／ｍ2以下である。通気性支持材３の面密度の上限は、５０ｇ／ｍ2以下、４０ｇ／ｍ2以下、４０ｇ／ｍ2未満、さらには３５ｇ／ｍ2以下であってもよい。通気性支持材３の面密度の下限は、２５ｇ／ｍ2以上であってもよい。
【００４２】
エアフィルタ濾材１において、ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３とは互いに接合されている。ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３との接合方法は、例えば、熱ラミネート、接着剤によるラミネートである。ただし、ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３との接合方法は、この例に限定されない。接合部における圧力損失の上昇を抑制できることから、熱ラミネートによってＰＴＦＥ多孔質膜２および通気性支持材３が互いに接合されていることが好ましい。
【００４３】
図１に示すエアフィルタ濾材１は、１つのＰＴＦＥ多孔質膜２と、これを挟持する２つの通気性支持材３とを含む３層構造の濾材である。本発明のエアフィルタ濾材が含みうるＰＴＦＥ多孔質膜２および通気性支持材３の数は限定されない。例えば本発明のエアフィルタ濾材は、１つのＰＴＦＥ多孔質膜２と１つの通気性支持材３とを含む２層構造の濾材であってもよい。本発明のエアフィルタ濾材は、２以上のＰＴＦＥ多孔質膜２を含んでいてもよい。また、本発明のエアフィルタ濾材は、２以上の通気性支持材３を含んでいてもよく、この場合、エアフィルタ濾材の双方の主面が通気性支持材３により構成されていることが好ましい。本発明のエアフィルタ濾材は、３層以上の多層構造を有することが好ましい。
【００４４】
本発明のエアフィルタ濾材の別の一例を図２に示す。図２に示すエアフィルタ濾材１は、２つのＰＴＦＥ多孔質膜２ａ，２ｂと、３つの通気性支持材３ａ，３ｂ，３ｃとを含む。これらのＰＴＦＥ多孔質膜および通気性支持材は、通気性支持材３ａ、ＰＴＦＥ多孔質膜２ａ、通気性支持材３ｂ、ＰＴＦＥ多孔質膜２ｂ、および通気性支持材３ｃの順に互いに積層されている。図２に示すエアフィルタ濾材１は、双方の主面が通気性支持材３ａ，３ｃにより構成され、いずれも２４ｇｆ以下の最大摩擦係数を有する。図２に示すエアフィルタ濾材１は、５層構造の濾材である。
【００４５】
図１，２に示すエアフィルタ濾材１は、双方の最外層が、いずれも通気性支持材３である。
【００４６】
本発明のエアフィルタ濾材が２以上のＰＴＦＥ多孔質膜２を含む場合、ＰＴＦＥ多孔質膜２が連続して積層されている部分があってもよい。同様に、本発明のエアフィルタ濾材が２以上の通気性支持材３を含む場合、通気性支持材３が連続して積層されている部分があってもよい。本発明のエアフィルタ濾材が２以上のＰＴＦＥ多孔質膜２を含む場合、当該２以上のＰＴＦＥ多孔質膜２の構成は、同一であっても、互いに異なっていてもよい。本発明のエアフィルタ濾材が２以上の通気性支持材３を含む場合、当該２以上の通気性支持材３の構成は、同一であっても、互いに異なっていてもよい。
【００４７】
エアフィルタ濾材１は、本発明の効果が得られる限り、ＰＴＦＥ多孔質膜２および通気性支持材３以外の層および／または部材を含んでいてもよい。
【００４８】
本発明のエアフィルタ濾材は、従来のエアフィルタ濾材と同様の用途に使用できる。用途は、例えば、半導体工業、薬品工業等のクリーンルームで使用されるエアフィルタユニットである。ただし、本発明のエアフィルタ濾材の用途は、上記例に限定されない。
【００４９】
本発明のエアフィルタ濾材は、例えば、ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３とを、上記３０％圧縮反発力および最大摩擦係数が実現するように熱ラミネート、接着剤ラミネート等の各種のラミネート手法により積層して製造できる。より具体的には、本発明のエアフィルタ濾材は、例えば以下に示す熱ラミネート法Ａにより、ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３とを積層して製造できる。ただし、本発明のエアフィルタ濾材を製造する方法は、上記例に限定されない。
【００５０】
熱ラミネート法Ａは、例えば、以下の（１）〜（３）に示す工程を含む。
【００５１】
（１）ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３とを重ねる。重ねるＰＴＦＥ多孔質膜２および通気性支持材３の数および順序は限定されない。得たいエアフィルタ濾材１におけるＰＴＦＥ多孔質膜２および通気性支持材３の積層の数および順序に従って、ＰＴＦＥ多孔質膜２および通気性支持材３を重ねることができる。ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３とのラミネートを複数回実施してエアフィルタ濾材１を得る場合には、当該複数回の実施によってエアフィルタ濾材１が得られるように、ＰＴＦＥ多孔質膜２および通気性支持材３を重ねる数および順序を定めてもよい。
【００５２】
（２）ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３とを重ねて得た積層体を、非接触加熱する。加熱は、少なくとも通気性支持材３に対して行う。加熱温度（加熱により通気性支持材３が達する温度）は、通気性支持材３に含まれるＰＴＦＥ多孔質膜２との接合成分の軟化点以上であり、当該成分の融点以上であることが好ましい。接合成分は、通気性支持材３が単一の成分から構成される場合は当該成分であり、複数の成分から構成される場合は、得られたエアフィルタ濾材１においてＰＴＦＥ多孔質膜２と接合している成分である。通気性支持材３が繊維から構成される場合、接合成分は当該繊維に含まれる樹脂である。繊維が芯鞘構造を有する場合、接合成分は鞘部の成分であってもよい。加熱方法は、通気性支持材３を非接触加熱できる限り限定されず、例えば、赤外線加熱、熱風加熱である。通気性支持材３が積層体の両面に露出している場合、その双方を加熱しても、一方のみを加熱してもよい。双方を加熱する場合、同じタイミングで加熱しても、時間差をおいて加熱してもよい。ＰＴＦＥ多孔質膜２が露出している場合、当該膜２を加熱してもしなくてもよい。なお、接合成分の軟化点が明確でない場合（例えば、熱機械測定装置（ＴＭＡ）による軟化点の測定が難しい場合、あるいはビカット軟化点として認識できる物性の変化の評価が難しい場合）、軟化点に代わって熱変形温度（例えば、ＪＩＳ  Ｋ７１９１に規定される荷重たわみ温度）を基準とすることができる。
【００５３】
（３）加熱した通気性支持材３に対して、通気性支持材３に含まれる接合成分の軟化点以上融点未満の温度で、ＰＴＦＥ多孔質膜２と接合する方向に低い圧力を加える。工程（２）および（３）を経て、ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３とが熱ラミネートされる。
【００５４】
熱ラミネート法Ａは、本発明のエアフィルタ濾材を製造できる限り、工程（１）〜（３）以外の任意の工程を含むことができる。
【００５５】
熱ラミネート法Ａでは、帯状体（長尺体）であるエアフィルタ濾材１を安定して製造できる。すなわち、熱ラミネート法Ａは、エアフィルタ濾材１の工業的な生産に対応可能である。帯状体であるエアフィルタ濾材１を製造する場合、上記工程（１）〜（３）の実施には、帯状体であるＰＴＦＥ多孔質膜２および通気性支持材３のロールを用いた搬送を利用できる。
【００５６】
図３を参照しながら、熱ラミネート法Ａによって帯状体であるエアフィルタ濾材１を製造する一例を説明する。なお、図３に示す例はあくまでも一例であり、熱ラミネート法Ａにより帯状体である濾材１を製造する方法は、当該例に限定されない。
【００５７】
送り出しロール１０ａから帯状のＰＴＦＥ多孔質膜２を、２つの送り出しロール１０ｂから帯状の通気性支持材３を各々送り出して、ガイドロール１１ａおよび１１ｂにおいて重ね、通気性支持材３、ＰＴＦＥ多孔質膜２および通気性支持材３がこの順に重ねられた帯状の積層体６を得る（工程（１））。積層体６は、第１のニップロール１２を通過し、ガイドロール１１ｃを経て、加熱装置２１に搬送される。ガイドロール１１ａ，１１ｂ、およびニップロール１２の温度（積層体６との接触面の温度）、ならびに積層体６の温度は、通気性支持材３の接合成分の軟化点未満、典型的には常温、に維持されている。加熱装置２１の直前に位置するガイドロール１１ｃは、必要に応じて、予熱可能である。予熱温度は、例えば、通気性支持材３の接合成分の融点以下である。
【００５８】
次に、加熱装置２１によって、接合成分の軟化点以上となるように通気性支持材３が非接触加熱される（工程（２））。通気性支持材３は、接合成分の融点以上となるように加熱されてもよい。図３に示す例では、向かい合って配置された一対の赤外線源２２の間の空間に積層体６を通して、積層体６の双方の露出面である通気性支持材３を加熱している。加熱温度の上限は限定されず、例えば、融点より１０〜４０℃高い温度である。
【００５９】
次に、加熱装置２１を通過した積層体６は、接合成分の軟化点以上融点未満の温度で第１の冷却ロール１３ａを通過する。当該ロール１３ａの通過時に積層体６の厚さ方向に圧力が加わり、ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３とが熱ラミネートされてエアフィルタ濾材１が形成される（工程（３））。接合成分の融点以上の温度で積層体６が第１の冷却ロール１３ａを通過した場合、高温により柔らかくなった通気性支持材３が厚さ方向に強く圧縮され、得られたエアフィルタ濾材における厚さ方向のクッション性が低下して、１５０ｋＰａ以下の３０％圧縮反発力が得られないことがある。一方、接合成分の軟化点未満の温度で積層体６が第１の冷却ロール１３ａを通過した場合、ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３との熱ラミネートが不確実になることがある。
【００６０】
第１の冷却ロール１３ａは、積層体６との接触面の温度について、接合成分の軟化点以上融点未満の温度に制御されていてもよい。第１の冷却ロール１３ａにおける積層体６との接触面の温度が過度に高い、例えば接合成分の融点以上である、と、当該ロール１３ａを通過する際の通気性支持材３の温度が接合成分の融点以上となることがあり、通気性支持材３の表面に毛羽立ちが生じることがある。一方、第１の冷却ロール１３ａの温度が過度に低い、例えば、接合成分の軟化点未満であると、当該ロール１３ａを通過する際の通気性支持材３の温度が接合成分の軟化点未満になることがある。また、第１の冷却ロール１３ａの温度が過度に低いと、冷却ロール１３ａ近傍の空気の温度が過度に低下して、ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３との熱ラミネートが不確実になることがある。
【００６１】
第１の冷却ロール１３ａの通過時に積層体６の厚さ方向に加わる圧力を過度に大きくしないために、当該ロール１３ａにおける積層体６の抱き角θは、１０〜９０度が好ましく、１０〜４５度がより好ましい。ロールにおける、当該ロールを通過する帯状の搬送体の抱き角θは、図４に示すように、搬送体３２がロール３１と接触した点３３とロール３１の中心Ｏとを結ぶ線分３４、および搬送体３２がロール３１から離間した点３５とロール３１の中心Ｏとを結ぶ線分３６を考えたときに、線分３４と線分３６とが成す角度である。
【００６２】
図３に示す例において、積層体６は１つの第１の冷却ロール１３ａを通過する。積層体６は、複数の第１の冷却ロール１３ａを通過してもよい。複数の第１の冷却ロール１３ａの通過により、例えば、積層体６の搬送速度が大きい場合にも、ＰＴＦＥ多孔質膜２と通気性支持材３とをより確実に熱ラミネートできる。
【００６３】
次に、第１の冷却ロール１３ａを通過した積層体６は、第２のニップロール１４を通過する。第２のニップロール１４を通過する際の積層体６の温度は、接合成分の軟化点未満であることが好ましく、常温であることがより好ましい。この場合、第２のニップロール１４の通過時における通気性支持材３の圧縮が抑制され、得られたエアフィルタ濾材１における厚さ方向のクッション性をより確実に確保できる。第２のニップロール１４を通過する際の積層体６の温度を接合成分の軟化点未満とするために、第１の冷却ロール１３ａと第２のニップロール１４との間に、積層体６の温度を接合成分の軟化点未満の温度とする第２の冷却ロール１３ｂをさらに配置して、積層体６を当該第２の冷却ロール１３ｂに通してもよい（図５参照）。第２の冷却ロール１３ｂは、積層体６との接触面の温度について、接合成分の軟化点未満の温度に制御されていてもよい。また、余熱が残りうる第２の冷却ロール１３ｂの通過時に積層体６の厚さ方向に加わる圧力を過度に大きくしないために、当該ロール１３ｂにおける積層体６の抱き角θを、第１の冷却ロール１３ａにおける積層体６の抱き角θと同様に制御してもよい。
【００６４】
第２の冷却ロール１３ｂをさらに配置する場合、積層体６は複数の第２の冷却ロール１３ｂを通過してもよい。図５に示す例において、積層体６は１つの第２の冷却ロール１３ｂを通過する。
【００６５】
帯状体であるＰＴＦＥ多孔質膜２および通気性支持材３の搬送を利用した熱ラミネート法Ａにおいて、第１および第２のニップロール１２，１４は省略可能である。しかし、図３，５に示す例のように、積層体６の搬送経路において加熱装置２１および第１の冷却ロール１３ａを挟むように第１および第２のニップロール１２，１４を配置することにより、第１のニップロール１２と第２のニップロール１４との間に位置する積層体６の加熱区間（接合成分の軟化点以上の温度への加熱区間）における積層体６の搬送速度および搬送張力を制御可能となる。積層体６に対する搬送張力が大きくなるほど、熱ラミネート時に通気性支持材３に加わる厚さ方向の圧縮力が大きくなる。すなわち、第１および第２のニップロール１２，１４の配置により、熱ラミネート時に通気性支持材３に加わる厚さ方向の圧縮力を制御できる。より具体的には、例えば、第１のニップロール１２による積層体６の搬送速度ｖ１に対する第２のニップロール１４による積層体６の搬送速度ｖ２の速度比ｖ２／ｖ１を制御すればよい。速度比ｖ２／ｖ１を小さくするほど、積層体６に対する搬送張力を下げ、熱ラミネート時に通気性支持材３に加わる厚さ方向の圧縮力を小さくすることができる。
【００６６】
速度比ｖ２／ｖ１は、例えば０．９以上１．１以下に制御してもよく、０．９以上１．０以下、さらには０．９以上１．０未満に制御してもよい。なお、１．０未満の速度比は、積層体６の搬送経路において後方に位置する第２のニップロール１４による積層体６の搬送速度が、前方に位置する第１のニップロール１２による積層体６の搬送速度よりも小さいことを意味する。しかし、通気性支持材３、とりわけ不織布から構成される通気性支持材３、は、加熱により長手方向に収縮するため、速度比が１．０未満である場合に、加熱区間における積層体６に必ずしも弛みが生じるわけではない。
【００６７】
第２のニップロール１４を通過した積層体６は、エアフィルタ濾材１として巻き取りロール１５に巻回される。
【００６８】
得られたエアフィルタ濾材１は、必要に応じ、任意の加工に供することができる。加工は、例えば、プリーツ加工である。プリーツ加工によってエアフィルタ濾材１は、側面から見て連続したＷ字状となるように折り畳まれたフィルタプリーツパックとなる。
【００６９】
エアフィルタ濾材１をプリーツ加工する方法は限定されず、プリーツ加工には公知の方法を適用できる。プリーツ加工は、例えば、レシプロ式の加工機を用いて、エアフィルタ濾材１の表面に対して交互かつ平行に設定された山折り線および谷折り線で当該濾材１を連続して折り畳むことにより実施できる。ロータリー式の加工機を使用してエアフィルタ濾材１のプリーツ加工を実施してもよい。エアフィルタ濾材１によれば、プリーツ加工時における捕集効率の低下を抑制できる。
【００７０】
[フィルタプリーツパック]
本発明のフィルタプリーツパックの一例を図６に示す。図６に示すフィルタプリーツパック４１は、エアフィルタ濾材１をプリーツ加工して形成される。フィルタプリーツパック４１は、エアフィルタ濾材１を備える。フィルタプリーツパック４１におけるエアフィルタ濾材１は、側面から見て連続したＷ字状となるように折り畳まれている。エアフィルタ濾材１をフィルタプリーツパック４１とすることによって、エアフィルタユニットに組み込んだ際の当該ユニットの通気面積（枠体の開口面積）に対する濾過面積を大きくすることができる。また、エアフィルタ濾材１によればプリーツ加工時における捕集効率の低下を抑制できることから、フィルタプリーツパック４１は高い捕集効率を示しうる。
【００７１】
本発明のフィルタプリーツパックは、エアフィルタ濾材１以外の任意の部材をさらに有していてもよい。図６に示すフィルタプリーツパック４１は、ビード４２と称される樹脂の紐状体をさらに有する。ビード４２は、プリーツ加工されたエアフィルタ濾材１の形状を維持するスペーサーの一種である。ビード４２は、例えば、エアフィルタ濾材１のプリーツ線４３（山折り線および／または谷折り線）と交差する方向に沿って進むように、折り畳まれたエアフィルタ濾材１の表面に配置されている。ビード４２は、エアフィルタ濾材１の一方の面に配置されていても、双方の面に配置されていてもよい。ただし、ビード４２は、ＰＴＦＥ多孔質膜２ではなく通気性支持材３上に配置することが好ましい。フィルタプリーツパック４１は、ビード４２が配置されたエアフィルタ濾材１の面を平面視したときに、プリーツ線４３の方向に所定の間隔をあけて互いに平行に配置された複数のビード４２を有していてもよい。ただし、ビード４２の形状および配置は、上記例に限定されない。ビード４２は、例えば、樹脂を溶融して紐状に塗布することにより形成できる。樹脂は限定されず、例えば、ポリアミド、ポリオレフィンである。
【００７２】
[エアフィルタユニット]
本発明のエアフィルタユニットの一例を図７に示す。図７に示すエアフィルタユニット４４は、フィルタプリーツパック４１と、フィルタプリーツパック４１を支持する枠体（支持枠）４５とを備える。エアフィルタユニット４４では、フィルタプリーツパック４１の周縁部が枠体４５により支持されている。枠体４５は、例えば、金属、樹脂、これらの複合材料から構成される。枠体４５が樹脂から構成される場合は、枠体４５の成形と同時にフィルタプリーツパック４１を枠体４５に固定することも可能である。枠体４５の構成は、従来のエアフィルタユニットが備える枠体の構成と同様であってもよい。
【実施例】
【００７３】
以下、実施例により、本発明をさらに詳細に説明する。本発明は、以下に示す実施例に限定されない。
【００７４】
最初に、実施例および比較例として作製したエアフィルタ濾材およびフィルタプリーツパックの評価方法を示す。
【００７５】
[エアフィルタ濾材の３０％圧縮反発力]
実施例および比較例で作製した各エアフィルタ濾材を一辺２５ｍｍの正方形に切り出して、切り出した濾材を、各濾材の外周を揃えて１０枚重ねた。次に、重ねた濾材の最上面に、当該面から圧縮面がはみ出さないように、底面を圧縮面とする重さ１２ｇの円柱状の圧縮子（直径２０ｍｍ）をゆっくりと戴置した。次に、島津製作所製オートグラフを用いて、圧縮子に対して濾材の厚さ方向に圧縮荷重を加えて濾材を圧縮しながら、当該圧縮によって圧縮子が濾材から受ける応力を、濾材の反発力として測定した。圧縮速度は０．５ｍｍ／分とし、測定雰囲気の温度は２５℃、相対湿度は６０％とした。圧縮子の質量を加味しないで０．１Ｎの荷重が濾材の最上面に加わった時点における圧縮子の位置を基準の位置として、重ねた濾材全体の厚さｄ０の３０％の距離だけ圧縮子を濾材に押し込んだ際に測定された濾材の反発力を「３０％圧縮反発力」とした。なお、重ねた濾材全体の厚さｄ０は、マイクロメータ（ミツトヨ製）により測定した。
【００７６】
[エアフィルタ濾材における通気性支持材表面の最大摩擦係数]
実施例および比較例で作製した各エアフィルタ濾材における通気性支持材表面の最大摩擦係数は、バウデンレーベン型摩擦試験機（エー・アンド・デイ製、ＡＦＴ−１５Ｂ）を用いた以下の条件に基づくバウデンレーベン摩擦試験法により測定した。なお、最大摩擦係数とは、上記試験法により測定される摩擦係数（静摩擦係数および動摩擦係数のいずれも含む）の最大値を意味する。
・濾材（試験片）の形状：５ｃｍ×１０ｃｍの矩形
・測定子：ＪＩＳ  Ｂ１５０１：２００９に規定される直径１０ｍｍの鋼球
・測定子の摺動方向：矩形の試験片の長辺方向
・測定子の摺動速度：７００ｍｍ／分
・測定子の摺動距離：４０ｍｍ
・測定荷重：１００ｇｆ
【００７７】
[エアフィルタ濾材およびＰＴＦＥ多孔質膜の捕集効率ＣＥ]
実施例および比較例で作製した各エアフィルタ濾材およびＰＴＦＥ多孔質膜の捕集効率ＣＥは、次のように測定した。最初に、通気口（円形かつ有効面積１００ｃｍ2）を有するホルダーに、評価対象物であるエアフィルタ濾材またはＰＴＦＥ多孔質膜を、評価対象物が通気口を塞ぐようにセットした。次に、通気口内の評価対象物のみを空気が透過可能な状態で、ホルダーの一方の面と他方の面との間に圧力差を発生させた。次に、評価対象物を透過する空気の線流速が流量計で測定して５．３ｃｍ／秒を保持するように上記圧力差を調整した後、粒子径０．１０〜０．２０μｍ（平均粒子径０．１５μｍ）のポリアルファオレフィン粒子を、４×１０8個／Ｌ以上の濃度（上流側の粒子濃度）で、評価対象物を透過する空気に含ませた。評価対象物を透過した空気に含まれるポリアルファオレフィン粒子の濃度（下流側の粒子濃度）を、評価対象物の下流に配置したパーティクルカウンタを用いて測定し、上記上流側の粒子濃度および下流側の粒子濃度から、以下の式（２）により、評価対象物の捕集効率ＣＥを求めた。
捕集効率ＣＥ＝[１−（下流側の粒子濃度）／（上流側の粒子濃度）]×１００（％）  （２）
【００７８】
[エアフィルタ濾材およびＰＴＦＥ多孔質膜の圧力損失ＰＬ]
実施例および比較例で作製した各エアフィルタ濾材およびＰＴＦＥ多孔質膜の圧力損失ＰＬは、次のように評価した。最初に、通気口（円形かつ有効面積１００ｃｍ2）を有するホルダーに、評価対象物であるエアフィルタ濾材またはＰＴＦＥ多孔質膜を、評価対象物が通気口を塞ぐようにセットした。次に、通気口内の評価対象物のみを空気が透過可能な状態で、ホルダーの一方の面と他方の面との間に圧力差を発生させた。そして、評価対象物を透過する空気の線流速が流量計で測定して５．３ｃｍ／秒となったときの上記圧力差を圧力計（マノメータ）により測定した。１つの評価対象物について上記圧力差を８回測定し、その平均値を、評価対象物の圧力損失ＰＬとした。
【００７９】
[エアフィルタ濾材およびＰＴＦＥ多孔質膜のＰＦ値]
実施例および比較例で作製した各エアフィルタ濾材およびＰＴＦＥ多孔質膜のＰＦ値は、上述のように求めた捕集効率ＣＥおよび圧力損失ＰＬから、以下の式（１）により求めた。ただし、式（１）における圧力損失ＰＬの単位はｍｍＨ2Ｏである。
ＰＦ値＝｛−ｌоｇ[（１００−ＣＥ）／１００]／ＰＬ｝×１００      （１）
【００８０】
[通気性支持材の接合成分の軟化点]
通気性支持材の接合成分の軟化点は、熱機械測定装置（ＴＭＡ）を用いた当該支持材への針貫入試験により求めた。具体的には、ＴＭＡ（セイコーインスツルメンツ製、ＴＭＡ／ＳＳ１２０Ｃ）を針入モード（Penetration Mode）とし、測定対象物である通気性支持材が置かれた雰囲気温度を上昇させていったときにプローブ針が通気性支持材に貫入した温度を、当該支持材の接合成分の軟化点とした。プローブ針の先端径は１ｍｍφ、プローブ針に印加した荷重は４ｇ、昇温速度は５℃／分とした。
【００８１】
[プリーツ加工後におけるエアフィルタ濾材のリーク試験（スキャンテスト）および全体捕集効率]
プリーツ加工後のエアフィルタ濾材のリーク試験、および全体捕集効率（プリーツ加工により捕集効率が低下した部分を含む全体の捕集効率）の評価は、ＥＮ（欧州規格）１８２２−１：２００９に定められた方法を参照し、以下の条件にて実施した。ただし、最大透過粒子径（ＭＰＰＳ）に対する捕集効率ではなく、多分散（粒子径０．１μｍ以上）の試験粒子を使用して求めた捕集効率を、局所捕集効率及び全体捕集効率とした。
・試験粒子：ＰＡＯ（ポリアルファオレフィン）
・試験粒子径：０．１μｍ以上
・上流側粒子濃度：１．０×１０8個／Ｌ以上
・面風速：０．４±０．１ｍ／秒
・フィルタユニットサイズ：６１０ｍｍ×６１０ｍｍ
【００８２】
リーク試験においては、ＥＮ１８２２−１：２００９に定められた方法に従い、プリーツ加工後のエアフィルタ濾材を用いて作製したエアフィルタユニットの下流側の面に沿って、５０ｍｍ×１０ｍｍの測定用開口部を有するプローブを速度２２ｍｍ／秒でスキャンさせて、エアフィルタユニットの下流側に局所的に漏れ出たＰＡＯ粒子の数をカウントした。スキャンの結果、捕集効率（局所捕集効率：局所捕集効率＝[１−（下流側粒子濃度／上流側粒子濃度）]×１００％）が９９．９９００％未満に低下した領域を有するエアフィルタユニットを「リーク有り」と判断した。
【００８３】
全体捕集効率は、上記エアフィルタユニットに対してリーク試験と同じスキャンを実施し、エアフィルタユニットの全領域において下流側に漏れ出たＰＡＯ粒子の総数をカウントして当該総数から下流側粒子濃度を算出し、上記上流側粒子濃度及び算出した下流側粒子濃度から、式：全体捕集効率＝［１−（下流側粒子濃度／上流側粒子濃度）］×１００％により求めた。
【００８４】
なお、各実施例および比較例について、プリーツ加工後のエアフィルタ濾材から５０個のエアフィルタユニットを作製し、作製した各エアフィルタユニットに対してリーク試験および全体捕集効率の評価を行った。リーク試験の結果は、作製した５０個のエアフィルタユニットのなかで「リーク有」と判断されたエアフィルタユニットの個数により示す。また、各実施例および比較例の全体捕集効率は、作製した５０個のエアフィルタユニットの各々が示す全体捕集効率の平均値とした。
【００８５】
（実施例１）
ＰＴＦＥファインパウダー（ダイキン製、ポリフロンＦ−１０４）１００重量部と、液状潤滑剤としてドデカン２０重量部とを均一に混合して混合物を得た。次に、得られた混合物を押出機を用いてシート状に押出成形して、帯状のＰＴＦＥシート（厚さ１．５ｍｍ、幅２０ｃｍ）を得た。次に、形成したＰＴＦＥシートを１対の金属圧延ロールにより圧延した。圧延は、圧延の前後においてＰＴＦＥシートの幅が変化しないように、圧延ロールの下流に配置した別のロールを用いてＰＴＦＥシートを長手方向に引っ張りながら実施した。圧延後のＰＴＦＥシートの厚さは２００μｍであった。
【００８６】
次に、ＰＴＦＥシートを１５０℃の雰囲気に保持して液状潤滑剤を除去した。次に、ＰＴＦＥシートを、ロール延伸法により、長手方向に延伸温度２８０℃、延伸倍率１０倍で延伸した後、テンター延伸法により、幅方向に延伸温度１１０℃、延伸倍率３０倍で延伸して、未焼成のＰＴＦＥ多孔質膜を得た。次に、得られた多孔質膜を、熱風発生炉を用いて４００℃で焼成して、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜２Ａを得た。得られたＰＴＦＥ多孔質膜２Ａの圧力損失は２１０Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９９５％、ＰＦ値は３４であった。
【００８７】
ＰＴＦＥ多孔質膜２Ａの作製とは別に、通気性支持材として、ＰＥＴ／ＰＥ複合繊維から構成される帯状の不織布３Ａ（ユニチカ製、エルベスＳ０３０３ＷＤＯ）を準備した。このＰＥＴ／ＰＥ複合繊維は、ＰＥＴの芯部およびＰＥの鞘部からなる芯鞘構造を有する。準備した通気性支持材３Ａの接合成分は、鞘部を構成するとともに、融点がより低いＰＥである。ＰＥの融点は１２９℃、ＰＥＴの融点は２６１℃である。接合成分であるＰＥの軟化点は７４℃であった。準備した不織布３Ａの厚さは２１０μｍ、面密度（目付）は３０ｇ／ｍ2であった。
【００８８】
次に、図５に示す方法により、ＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと通気性支持材３Ａとを、ＰＴＦＥ多孔質膜２Ａを一対の通気性支持材３Ａが挟持するように熱ラミネートして、エアフィルタ濾材１Ａを得た。エアフィルタ濾材１Ａは、ＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと、ＰＴＦＥ多孔質膜２Ａを挟持する一対の通気性支持材３Ａとが積層された３層構造を有していた。加熱装置２１には、近赤外線ヒーター（へレウス製、短波長赤外線ヒーター）を使用した。近赤外線ヒーターを通過した直後における通気性支持材３Ａの温度を放射温度計により測定したところ、１４５℃であった。第１の冷却ロール１３ａ（ロール径１００ｍｍ）は一つのみの配置とした。第１の冷却ロール１３ａを通過する積層体６の抱き角θは２５度、当該ロール１３ａにおける積層体６との接触面の温度は９５℃に、それぞれ制御した。第２の冷却ロール１３ｂ（ロール径１００ｍｍ）を通過する積層体６の抱き角θは２５度、当該ロール１３ｂにおける積層体６との接触面の温度は４０℃に、それぞれ制御した。第１のニップロール１２の搬送速度ｖ１に対する第２のニップロール１４の搬送速度ｖ２の比ｖ２／ｖ１は、１．０５に制御した。
【００８９】
得られたエアフィルタ濾材１ＡにおけるＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと一対の通気性支持材３Ａとの熱ラミネートの状態は良好であった。エアフィルタ濾材１Ａの３０％圧縮反発力は１３５ｋＰａ、圧力損失は２１２Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９２３％、ＰＦ値は２８であった。エアフィルタ濾材１Ａの最外層に位置する通気性支持材３Ａの表面の最大摩擦係数は、濾材１Ａの作製時に第１の冷却ロール１３ａに接触した面について１６ｇｆ、接触しなかった面について１８ｇｆであった。
【００９０】
次に、エアフィルタ濾材１Ａを、レシプロ式プリーツ加工機（ファルテック製）を用いて、山高さ（プリーツ高さ）３０ｍｍ、プリーツ間隔８ｐｐｉ（pleats per inch）でプリーツ加工した。ビードにはポリアミド樹脂を使用した。次に、プリーツ加工により得たフィルタプリーツパックを、外寸が６１０ｍｍ×６１０ｍｍ、開口部の寸法が５８０ｍｍ×５８０ｍｍであるアルミ製の枠体に、フィルタプリーツパックの四辺が枠体に密着するように接着剤により固定して、エアフィルタユニットを得た。得られたエアフィルタユニットにおけるプリーツ加工後のエアフィルタ濾材１Ａの全体捕集効率は９９．９９９９５２％、リーク試験の結果は５０個中０個（０／５０）であった。
【００９１】
（実施例２）
第１冷却ロール１３ａにおける積層体６との接触面の温度を９５℃から８０℃に変更した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタ濾材１Ｂを得た。
【００９２】
得られたエアフィルタ濾材１ＢにおけるＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと一対の通気性支持材３Ａとの熱ラミネートの状態は良好であった。エアフィルタ濾材１Ｂの３０％圧縮反発力は１１８ｋＰａ、圧力損失は２１０Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９２８％、ＰＦ値は２９であった。エアフィルタ濾材１Ｂの最外層に位置する通気性支持材３Ａの表面の最大摩擦係数は、濾材１Ｂの作製時に第１の冷却ロール１３ａに接触した面について１８ｇｆ、接触しなかった面について１９ｇｆであった。
【００９３】
次に、エアフィルタ濾材１Ａの代わりに、上記作製したエアフィルタ濾材１Ｂを使用した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタユニットを得た。得られたエアフィルタユニットにおけるプリーツ加工後のエアフィルタ濾材１Ｂの全体捕集効率は９９．９９９９７３％、リーク試験の結果は５０個中０個（０／５０）であった。
【００９４】
（実施例３）
第１のニップロール１２の搬送速度Ｖ１に対する第２のニップロール１４の搬送速度Ｖ２の比Ｖ２／Ｖ１を１．０５から０．９８に変更した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタ濾材１Ｃを得た。
【００９５】
得られたエアフィルタ濾材１ＣにおけるＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと一対の通気性支持材３Ａとの熱ラミネートの状態は良好であった。エアフィルタ濾材１Ｃの３０％圧縮反発力は８０ｋＰａ、圧力損失は２０６Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９４７％、ＰＦ値は３０であった。エアフィルタ濾材１Ｃの最外層に位置する通気性支持材３Ａの表面の最大摩擦係数は、濾材１Ｃの作製時に第１の冷却ロール１３ａに接触した面について１８ｇｆ、接触しなかった面について２０ｇｆであった。
【００９６】
次に、エアフィルタ濾材１Ａの代わりに、作製したエアフィルタ濾材１Ｃを使用した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタユニットを得た。得られたエアフィルタユニットにおけるプリーツ加工後のエアフィルタ濾材１Ｃの全体捕集効率は９９．９９９９９３％、リーク試験の結果は５０個中０個（０／５０）であった。
【００９７】
（実施例４）
第１のニップロール１２の搬送速度Ｖ１に対する第２のニップロール１４の搬送速度Ｖ２の比Ｖ２／Ｖ１を１．０５から０．９４に変更した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタ濾材１Ｄを得た。
【００９８】
得られたエアフィルタ濾材１ＤにおけるＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと一対の通気性支持材３Ａとの熱ラミネートの状態は良好であった。エアフィルタ濾材１Ｄの３０％圧縮反発力は３８ｋＰａ、圧力損失は２０５Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９７５％、ＰＦ値は３２であった。エアフィルタ濾材１Ｄの露出面である通気性支持材３Ａの表面の最大摩擦係数は、濾材１Ｄの作製時に第１の冷却ロール１３ａに接触した面について２２ｇｆ、接触しなかった面について２３ｇｆであった。
【００９９】
次に、エアフィルタ濾材１Ａの代わりに、作製したエアフィルタ濾材１Ｄを使用した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタユニットを得た。得られたエアフィルタユニットにおけるプリーツ加工後のエアフィルタ濾材１Ｄの全体捕集効率は９９．９９９９９５％、リーク試験の結果は５０個中０個（０／５０）であった。
【０１００】
（実施例５）
通気性支持材として、不織布３Ａの代わりに、ＰＥＴ／ＰＥ複合繊維から構成される帯状の不織布３Ｂ（ユニチカ製、エルベスＳ０４０３ＷＤＯ）を使用した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタ濾材１Ｅを得た。不織布３Ｂは、面密度が４０ｇ／ｍ2であること以外は、不織布３Ａと同じ構成を有する。なお、加熱装置２１である近赤外線ヒーターを通過した直後の通気性支持材３Ｂの温度を放射温度計で測定したところ、１３６℃であった。
【０１０１】
得られたエアフィルタ濾材１ＥにおけるＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと一対の通気性支持材３Ｂとの熱ラミネートの状態は良好であった。エアフィルタ濾材１Ｅの３０％圧縮反発力は１２７ｋＰａ、圧力損失は２１３Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９７６％、ＰＦ値は３０であった。エアフィルタ濾材１Ｅの最外層に位置する通気性支持材３Ｂの表面の最大摩擦係数は、濾材１Ｅの作製時に第１の冷却ロール１３ａに接触した面について１６ｇｆ、接触しなかった面について１８ｇｆであった。
【０１０２】
次に、エアフィルタ濾材１Ａの代わりに、作製したエアフィルタ濾材１Ｅを使用した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタユニットを得た。得られたエアフィルタユニットにおけるプリーツ加工後のエアフィルタ濾材１Ｅの全体捕集効率は９９．９９９９９８％、リーク試験の結果は５０個中０個（０／５０）であった。
【０１０３】
（実施例６）
ＰＴＦＥファインパウダー（ダイキン製、ポリフロンＦ−１０４）１００重量部と、液状潤滑剤としてドデカン１９重量部とを均一に混合して混合物を得た。次に、得られた混合物を押出機を用いてシート状に押出成形して、帯状のＰＴＦＥシート（厚さ１．５ｍｍ、幅２０ｃｍ）を得た。次に、形成したＰＴＦＥシートを一対の金属圧延ロールにより圧延した。圧延は、圧延の前後においてＰＴＦＥシートの幅が変化しないように、圧延ロールの下流に配置した別のロールを用いてＰＴＦＥシートを長手方向に引っ張りながら実施した。圧延後のＰＴＦＥシートの厚さは２００μｍであった。
【０１０４】
次に、圧延後のＰＴＦＥシートを、液状潤滑剤を含んだままの状態で、テンター延伸法により幅方向に延伸温度２５℃、延伸倍率４倍で延伸した。次に、延伸したＰＴＦＥシートを１５０℃の雰囲気に保持して液状潤滑剤を除去した。次に、液状潤滑剤を除去したＰＴＦＥシートを、ロール延伸法により、長手方向に延伸温度２８０℃、延伸倍率１２倍で延伸した後、テンター延伸法により、幅方向に延伸温度１１０℃、延伸倍率３０倍で延伸して、未焼成のＰＴＦＥ多孔質膜を得た。次に、得られた多孔質膜を、熱風発生炉を用いて４００℃で焼成して、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜２Ｂを得た。得られたＰＴＦＥ多孔質膜２Ｂの圧力損失は２１０Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９９９％、ＰＦ値は３７であった。
【０１０５】
次に、ＰＴＦＥ多孔質膜２Ａの代わりに、上記作製したＰＴＦＥ多孔質膜２Ｂを使用した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタ濾材１Ｆを得た。
【０１０６】
得られたエアフィルタ濾材１ＦにおけるＰＴＦＥ多孔質膜２Ｂと一対の通気性支持材３Ａとの熱ラミネートの状態は良好であった。エアフィルタ濾材１Ｆの３０％圧縮反発力は１３２ｋＰａ、圧力損失は２１２Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９９３％、ＰＦ値は３３であった。エアフィルタ濾材１Ｆの最外層に位置する通気性支持材３Ａの表面の最大摩擦係数は、濾材１Ｆの作製時に第１の冷却ロール１３ａに接触した面について１６ｇｆ、接触しなかった面について１８ｇｆであった。
【０１０７】
次に、エアフィルタ濾材１Ａの代わりに、作製したエアフィルタ濾材１Ｆを使用した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタユニットを得た。得られたエアフィルタユニットにおけるプリーツ加工後のエアフィルタ濾材１Ｆの全体捕集効率は９９．９９９９９５％、リーク試験の結果は５０個中０個（０／５０）であった。
【０１０８】
（比較例１）
実施例１で使用したＰＴＦＥ多孔質膜２Ａおよび通気性支持材３Ａを準備した。次に、ＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと通気性支持材３Ａとを、ＰＴＦＥ多孔質膜２Ａを一対の通気性支持材３Ａが挟持するように熱ロールを用いて熱ラミネートして、エアフィルタ濾材Ｃ１を得た。エアフィルタ濾材Ｃ１は、ＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと、ＰＴＦＥ多孔質膜２Ａを挟持する一対の通気性支持材３Ａとが積層された３層構造を有する。熱ラミネートに使用した熱ロールの温度は１３５℃とした。
【０１０９】
得られたエアフィルタ濾材Ｃ１におけるＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと一対の通気性支持材３Ａとの熱ラミネートの状態は良好であった。エアフィルタ濾材Ｃ１の３０％圧縮反発力は１６５ｋＰａ、圧力損失は２１６Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９２８％、ＰＦ値は２８であった。エアフィルタ濾材Ｃ１の最外層に位置する通気性支持材３Ａの表面の最大摩擦係数は、一方の面について２８ｇｆ、他方の面について２７ｇｆであった。
【０１１０】
次に、エアフィルタ濾材１Ａの代わりに、作製したエアフィルタ濾材Ｃ１を使用した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタユニットを得た。得られたエアフィルタユニットにおけるプリーツ加工後のエアフィルタ濾材Ｃ１の全体捕集効率は９９．９９９９１５％、リーク試験の結果は５０個中２個（２／５０）であった。
【０１１１】
（比較例２）
第１のニップロール１２の搬送速度Ｖ１に対する第２のニップロール１４の搬送速度Ｖ２の比Ｖ２／Ｖ１を１．０５から１．２に変更した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタ濾材Ｃ２を得た。
【０１１２】
得られたエアフィルタ濾材Ｃ２におけるＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと一対の通気性支持材３Ａとの熱ラミネートの状態は良好であった。エアフィルタ濾材Ｃ２の３０％圧縮反発力は１６６ｋＰａ、圧力損失は２１２Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９１５％、ＰＦ値は２８であった。エアフィルタ濾材Ｃ２の最外層に位置する通気性支持材３Ａの表面の最大摩擦係数は、濾材Ｃ２の作製時に第１の冷却ロール１３ａに接触した面について１５ｇｆ、接触しなかった面について１６ｇｆであった。
【０１１３】
次に、エアフィルタ濾材１Ａの代わりに、作製したエアフィルタ濾材Ｃ２を使用した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタユニットを得た。得られたエアフィルタユニットにおけるプリーツ加工後のエアフィルタ濾材Ｃ２の全体捕集効率は９９．９９９８９０％、リーク試験の結果は５０個中２個（２／５０）であった。
【０１１４】
（比較例３）
第１のニップロール１２の搬送速度Ｖ１に対する第２のニップロール１４の搬送速度Ｖ２の比Ｖ２／Ｖ１を１．０５から０．８５に変更した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタ濾材Ｃ３の作製を試みた。しかし、第１のニップロール１２と第２のニップロール１４との間の加熱区間における積層体６の撓みにより、安定してエアフィルタ濾材Ｃ３を得ることができなかった。なお、断片的に得られたエアフィルタ濾材Ｃ３を１０枚重ねることで、当該濾材Ｃ３に対する３０％圧縮反発力の評価のみを実施した。エアフィルタ濾材Ｃ３の３０％圧縮反発力は２９ｋＰａであった。
【０１１５】
（比較例４）
第１冷却ロール１３ａにおける積層体６との接触面の温度を９５℃から２５℃に変更し、第２の冷却ロール１３ｂにおける積層体６との接触面の温度を４０℃から２５℃に変更した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタ濾材Ｃ４を得た。
【０１１６】
得られたエアフィルタ濾材Ｃ４におけるＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと一対の通気性支持材３Ａとの熱ラミネートの状態は、熱ラミネートこそなされていたものの両者の接合力は弱く、接合されていない領域が部分的に存在する状態であった。エアフィルタ濾材Ｃ４の３０％圧縮反発力は１２５ｋＰａ、圧力損失は２１０Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９３１％、ＰＦ値は２９であった。エアフィルタ濾材Ｃ４の最外層に位置する通気性支持材３Ａの表面の最大摩擦係数は、濾材Ｃ４の作製時に第１の冷却ロール１３ａに接触した面について２５ｇｆ、接触しなかった面について２７ｇｆであった。
【０１１７】
次に、エアフィルタ濾材１Ａの代わりに、作製したエアフィルタ濾材Ｃ４を使用した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタユニットを得た。得られたエアフィルタユニットにおけるプリーツ加工後のエアフィルタ濾材Ｃ４の全体捕集効率は９９．９９９９０５％、リーク試験の結果は５０個中８個（８／５０）であった。
【０１１８】
（比較例５）
通気性支持材として、不織布３Ａの代わりに、実施例５で使用した不織布３Ｂを使用した以外は比較例１と同様にして、エアフィルタ濾材Ｃ５を得た。
【０１１９】
得られたエアフィルタ濾材Ｃ５におけるＰＴＦＥ多孔質膜２Ａと一対の通気性支持材３Ｂとの熱ラミネートの状態は良好であった。エアフィルタ濾材Ｃ５の３０％圧縮反発力は１７２ｋＰａ、圧力損失は２２５Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９７８％、ＰＦ値は２９であった。エアフィルタ濾材Ｃ５の露出面である通気性支持材３Ｂの表面の最大摩擦係数は、一方の面について２８ｇｆ、他方の面について２７ｇｆであった。
【０１２０】
次に、エアフィルタ濾材１Ａの代わりに、作製したエアフィルタ濾材Ｃ５を使用した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタユニットを得た。得られたエアフィルタユニットにおけるプリーツ加工後のエアフィルタ濾材Ｃ５の全体捕集効率は９９．９９９９７３％、リーク試験の結果は５０個中１個（１／５０）であった。
【０１２１】
（比較例６）
ＰＴＦＥ多孔質膜として、多孔質膜２Ａの代わりに、実施例６で使用したＰＴＦＥ多孔質膜２Ｂを使用した以外は比較例１と同様にして、エアフィルタ濾材Ｃ６を得た。
【０１２２】
得られたエアフィルタ濾材Ｃ６におけるＰＴＦＥ多孔質膜２Ｂと一対の通気性支持材３Ａとの熱ラミネートの状態は良好であった。エアフィルタ濾材Ｃ６の３０％圧縮反発力は１６１ｋＰａ、圧力損失は２１６Ｐａ、捕集効率は９９．９９９９９３％、ＰＦ値は３２であった。エアフィルタ濾材Ｃ６の最外層に位置する通気性支持材３Ａの表面の最大摩擦係数は、一方の面について２８ｇｆ、他方の面について２７ｇｆであった。
【０１２３】
次に、エアフィルタ濾材１Ａの代わりに、作製したエアフィルタ濾材Ｃ６を使用した以外は実施例１と同様にして、エアフィルタユニットを得た。得られたエアフィルタユニットにおけるプリーツ加工後のエアフィルタ濾材Ｃ６の全体捕集効率は９９．９９９９０８％、リーク試験の結果は５０個中６個（６／５０）であった。
【０１２４】
実施例および比較例におけるエアフィルタ濾材の製造条件を表１に、実施例および比較例の結果を表２に、それぞれまとめる。なお、表２の「最大摩擦係数」の欄では、作製したエアフィルタ濾材の最外層に位置する通気性支持材の表面の最大摩擦係数について、当該濾材の作製時に第１の冷却ロールに接触した面、または熱ロールに接触した一方の面の値を「/」の左側に、当該濾材の作製時に第１の冷却ロールに接触しなかった面、または熱ロールに接触した他方の面の値を「/」の右側に、それぞれ示す。また、表２の「リーク試験結果」の欄では、プリーツ加工後のリーク試験の結果について、各実施例および比較例において作製した５０個のエアフィルタユニット中、「リーク有」と判断されたユニットの個数Ｘを「Ｘ／５０」として示す。
【０１２５】
【表１】
2019058903.tif 000003
【０１２６】
【表２】
2019058903.tif 000004
【０１２７】
表２に示すように、比較例のエアフィルタ濾材に比べて実施例のエアフィルタ濾材では、プリーツ加工による捕集効率（全体捕集効率）の低下が抑制され、プリーツ時の局所的なダメージであるリークも観察されなかった。同じＰＴＦＥ多孔質膜および通気性支持材を使用した実施例１〜４のなかでは、濾材製造時のニップロールの速度比ｖ１／ｖ２を１以下とした実施例３，４のエアフィルタ濾材において、プリーツ加工による捕集効率の低下が特に抑制された。
【０１２８】
なお、実施例６および比較例６のエアフィルタ濾材は、いずれもＰＦ値の高いＰＴＦＥ多孔質膜２Ｂを使用しているが、比較例６のエアフィルタ濾材では、プリーツ加工による捕集効率の低下が顕著となり、リークも多発した。
【産業上の利用可能性】
【０１２９】
本発明のエアフィルタ濾材は、従来のエアフィルタ濾材と同様の用途に使用できる。用途は、例えば、半導体工業、薬品工業等で利用されるクリーンルームのエアフィルタに使用されるエアフィルタ濾材、フィルタプリーツパック、およびエアフィルタユニットである。
【符号の説明】
【０１３０】
１  エアフィルタ濾材
２，２ａ，２ｂ  ＰＴＦＥ多孔質膜
３，３ａ，３ｂ，３ｃ  通気性支持材
４  積層体
５ａ，５ｂ  主面
６  積層体
１０ａ，１０ｂ  送り出しロール
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ  ガイドロール
１２  第１のニップロール
１３ａ  第１の冷却ロール
１３ｂ  第２の冷却ロール
１４  第２のニップロール
１５  巻き取りロール
２１  加熱装置
２２  赤外線源
３１  ロール
３２  搬送体
３３  点
３４  線分
３５  点
３６  線分
４１  フィルタプリーツパック
４２  ビード
４３  プリーツ線
４４  エアフィルタユニット
４５  枠体
【図１】
2019058903.tif 000005
【図２】
2019058903.tif 000006
【図３】
2019058903.tif 000007
【図４】
2019058903.tif 000008
【図５】
2019058903.tif 000009
【図６】
2019058903.tif 000010
【図７】
2019058903.tif 000011