(57)【要約】【課題】冶具上の製品をロボットで加工する等の３次元位置も補正するロボット軌跡の位置補正システム及びそれを用いたロボット軌跡の補正方法を提供する。【解決手段】互いに垂直になるように配置された複数の治具平面の位置を計測した面計測の結果（Ｐ１）から、前記治具平面の位置情報（Ｉ）を算出する位置情報算出手段と、前記位置情報算出手段で算出した位置情報（Ｉ）を、シミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準として補正したロボット軌跡を作成するロボット軌跡作成手段と、を有する、ロボット軌跡の補正システム。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに垂直になるように配置された複数の治具平面の位置を計測した面計測の結果（Ｐ１）から、前記治具平面の位置情報（Ｉ）を算出する位置情報算出手段と、
前記位置情報算出手段で算出した位置情報（Ｉ）を、シミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準として補正したロボット軌跡を作成するロボット軌跡作成手段と、
を有する、ロボット軌跡の補正システム。
【請求項２】
互いに垂直になるように配置された複数の治具平面の位置を計測した面計測の結果（Ｐ１）から、前記治具平面の位置情報（Ｉ）を算出する位置情報算出手段と、
前記位置情報算出手段で算出した位置情報（Ｉ）をシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準として補正したロボット軌跡を作成するロボット軌跡作成手段と、
前記ロボット軌跡作成手段で作成したロボット軌跡による治具平面の位置の測定値（Ｐ３）と、前記位置情報算出手段で算出した位置情報（Ｉ）を反映したシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）との差分値（Ｄ＝Ｐ３−Ｐ２）から、補正値（Ｃ）を算出する補正値算出手段と、
この補正値算出手段で算出された補正値（Ｃ）を、前記位置情報算出手段が算出した位置情報（Ｉ）を反映したシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準としてロボット軌跡を補正する位置補正手段と、
を有する、請求項１に記載のロボット軌跡の補正システム。
【請求項３】
前記位置情報算出手段が、前記距離測定器によって面計測された治具平面の位置情報（Ｉ）として、距離情報（Ｉｄ）又は角度情報（Ｉａ）を算出する、
請求項１又は請求項２に記載のロボット軌跡の補正システム。
【請求項４】
前記位置情報算出手段が、前記距離測定器により治具平面を３点以上計測した面計測の結果（Ｐ１）から、前記治具平面上の距離情報（Ｉｄ）を算出し、これらの距離情報（Ｉｄ）から前記治具平面の角度情報（Ｉａ）を算出する、
請求項１から３の何れか一項に記載のロボット軌跡の補正システム。
【請求項５】
前記位置情報算出手段が、前記距離測定器により治具平面を計測した面計測の結果（Ｐ１）から、法線ベクトルを求めることで前記治具平面の角度情報（Ｉａ）を算出する、
請求項１から４の何れか一項に記載のロボット軌跡の補正システム。
【請求項６】
治具平面を有する複数の治具と、これらの治具平面との距離を測定する距離測定器と、この距離測定器を備えるロボットとを、さらに備える、
請求項１から５の何れか一項に記載のロボット軌跡の補正システム。
【請求項７】
互いに垂直になるように配置された複数の治具平面の位置を計測した面計測の結果（Ｐ１）から、前記治具平面の位置情報（Ｉ）を算出する位置情報算出工程と、
前記位置情報算出工程で算出した位置情報（Ｉ）をシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準として補正したロボット軌跡を作成するロボット軌跡作成工程と、
を有する、請求項１から６のロボット軌跡の補正システムを用いたロボット軌跡の補正方法。
【請求項８】
互いに垂直になるように配置された複数の治具平面の位置を計測した面計測の結果（Ｐ１）から、前記治具平面の位置情報（Ｉ）を算出する位置情報算出工程と、
前記位置情報算出工程で算出した位置情報（Ｉ）をシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準として補正したロボット軌跡を作成するロボット軌跡作成工程と、
前記ロボット軌跡作成工程で作成したロボット軌跡による治具平面の位置の測定値（Ｐ３）と、前記位置情報算出工程で算出した位置情報（Ｉ）を反映したシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）との差分値（Ｄ＝Ｐ３−Ｐ２）から、補正値（Ｃ）を算出する補正値算出工程と、
この補正値算出工程で算出された補正値（Ｃ）を、前記位置情報算出工程で算出した位置情報（Ｉ）を反映したシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準としてロボット軌跡を補正する位置補正工程と、
を有する、請求項７に記載のロボット軌跡の補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボット軌跡の位置補正システム及びそれを用いたロボット軌跡の補正方法であり、ロボットの３次元軌跡も補正するシステムである。
【背景技術】
【０００２】
従来の軌跡補正技術では、加工対象ワークのバリ取り箇所を画像処理で捉えることで、ロボット教示位置を補正している（特許文献１参照）。また、溶接ロボットの溶接線位置をセンサで検出しながら溶接トーチ位置を補正している（特許文献２参照）。さらに、センサで部品嵌合いズレによる力を計測し、力を抜く方向にハンド位置を補正している（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１８２２１０号公報
【特許文献２】特開２００８−２７２８１４号公報
【特許文献３】特開平０６−１２６６６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、バリ取り箇所を画像処理で捉える補正技術は、単眼カメラで２次元空間を捉えるため、２次元以下の位置補正しかできない。また、溶接線位置をセンサで検出する補正技術も、線検出であるため、２次元以下の位置補正しかできない。さらに、部品嵌合いズレをセンサで検出する補正技術も、２次元以下の位置補正しかできない。ロボット教示座標は３次元であるため、２次元以下の位置補正では、補正不足である場合があった。
【０００５】
本発明は、上記の課題を解決しようとするものであり、冶具上の製品をロボットで加工する等の３次元位置も補正するロボット軌跡の位置補正システム及びそれを用いたロボット軌跡の補正方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、平面を有する治具に対して、ロボットに設けた距離計測器で面計測することで、治具の角度と距離を算出する。シミュレーション上に配置した治具に、治具の角度と距離を反映することで、治具を基準としたロボット軌跡３次元位置補正も行うシステムである。
本発明は、以下に関する。
［１］  互いに垂直になるように配置された複数の治具平面の位置を計測した面計測の結果（Ｐ１）から、前記治具平面の位置情報（Ｉ）を算出する位置情報算出手段と、前記位置情報算出手段で算出した位置情報（Ｉ）を、シミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準として補正したロボット軌跡を作成するロボット軌跡作成手段と、を有する、ロボット軌跡の補正システム。
［２］  互いに垂直になるように配置された複数の治具平面の位置を計測した面計測の結果（Ｐ１）から、前記治具平面の位置情報（Ｉ）を算出する位置情報算出手段と、前記位置情報算出手段で算出した位置情報（Ｉ）をシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準として補正したロボット軌跡を作成するロボット軌跡作成手段と、前記ロボット軌跡作成手段で作成したロボット軌跡による治具平面の位置の測定値（Ｐ３）と、前記位置情報算出手段で算出した位置情報（Ｉ）を反映したシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）との差分値（Ｄ＝Ｐ３−Ｐ２）から、補正値（Ｃ）を算出する補正値算出手段と、この補正値算出手段で算出された補正値（Ｃ）を、前記位置情報算出手段が算出した位置情報（Ｉ）を反映したシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準としてロボット軌跡を補正する位置補正手段と、を有する、上記［１］に記載のロボット軌跡の補正システム。
［３］  前記位置情報算出手段が、前記距離測定器によって面計測された治具平面の位置情報（Ｉ）として、距離情報（Ｉｄ）又は角度情報（Ｉａ）を算出する、上記［１］又は［２］に記載のロボット軌跡の補正システム。
［４］  前記位置情報算出手段が、前記距離測定器により治具平面を３点以上計測した面計測の結果（Ｐ１）から、前記治具平面上の距離情報（Ｉｄ）を算出し、これらの距離情報（Ｉｄ）から前記治具平面の角度情報（Ｉａ）を算出する、上記［１］から［３］の何れか一項に記載のロボット軌跡の補正システム。
［５］  前記位置情報算出手段が、前記距離測定器により治具平面を計測した面計測の結果（Ｐ１）から、法線ベクトルを求めることで前記治具平面の角度情報（Ｉａ）を算出する、上記［１］から［４］の何れか一項に記載のロボット軌跡の補正システム。
［６］  治具平面を有する複数の治具と、これらの治具平面との距離を測定する距離測定器と、この距離測定器を備えるロボットとを、さらに備える、上記［１］から［５］の何れか一項に記載のロボット軌跡の補正システム。
［７］  互いに垂直になるように配置された複数の治具平面の位置を計測した面計測の結果（Ｐ１）から、前記治具平面の位置情報（Ｉ）を算出する位置情報算出工程と、前記位置情報算出工程で算出した位置情報（Ｉ）をシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準として補正したロボット軌跡を作成するロボット軌跡作成工程と、を有する、上記［１］から［６］のロボット軌跡の補正システムを用いたロボット軌跡の補正方法。
［８］  互いに垂直になるように配置された複数の治具平面の位置を計測した面計測の結果（Ｐ１）から、前記治具平面の位置情報（Ｉ）を算出する位置情報算出工程と、前記位置情報算出工程で算出した位置情報（Ｉ）をシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準として補正したロボット軌跡を作成するロボット軌跡作成工程と、前記ロボット軌跡作成工程で作成したロボット軌跡による治具平面の位置の測定値（Ｐ３）と、前記位置情報算出工程で算出した位置情報（Ｉ）を反映したシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）との差分値（Ｄ＝Ｐ３−Ｐ２）から、補正値（Ｃ）を算出する補正値算出工程と、この補正値算出工程で算出された補正値（Ｃ）を、前記位置情報算出工程で算出した位置情報（Ｉ）を反映したシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、前記治具平面の位置（Ｐ１）を基準としてロボット軌跡を補正する位置補正工程と、を有する、上記［７］に記載のロボット軌跡の補正方法。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の補正技術は、ロボットの３次元位置も補正することができ、冶具平面上の製品をロボットを用いて精度よく加工することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施態様を示す治具と付帯設備の配置を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施態様に用いた６軸多関節ロボットの外観図である。
【図３】本発明の実施態様の治具の面計測方法の概要図とロボット台の座標である。
【図４】本発明の実施態様の冶具測定面１の法線ベクトル算出方法の概要図である。
【図５】本発明の実施態様のロボット軌跡測定方法の概要図である。
【図６】補正有無での変位センサから治具測定面１までの距離グラフである。
【図７】補正有無での変位センサから治具測定面２までの距離グラフである。
【図８】本発明の実施態様の２５度傾斜治具と付帯設備の配置図である。
【図９】本発明の実施態様の２５度傾斜治具使用時の変位センサから治具測定面１及び治具測定面２までの距離グラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の位置補正システム及び補正方法の一形態は、ロボットに設けた距離計測器で、治具平面の面計測をした結果から、治具の角度と距離を算出し、シミュレーション上の治具に、治具角度と距離を反映することで、ロボット軌跡補正を行うシステムである。以下、それぞれの構成について説明する。
【００１０】
距離計測器には、接触式と非接触式が存在する。接触式では、治具平面を傷つけ、治具角度・距離算出結果に誤差が生じる可能性があるため、非接触式を使用することが好ましい。
【００１１】
距離計測器には、３次元計測器、２次元計測器、１次元計測器が存在する。本発明では計測器の次元数に制限はないが、１次元計測器は安価であり、治具の面計測ができるため、１次元計測器を使用することが好ましい。
【００１２】
距離計測器の測定精度は、位置補正精度に影響するため、高精度にロボット軌跡を補正したい場合（０．５ｍｍ以内）、距離計測器の測定精度が０．０５ｍｍ以下であるものを使用することが好ましい。
【００１３】
治具の形状について、治具を構成する平面の枚数は、補正したい次元数の値以上にする。また、必要最低限の平面枚数で治具を構成するために、互いが垂直になるよう平面を配置することが好ましい。
【００１４】
治具平面の大きさにおいて、面計測幅を広くすることで、精度よく治具の角度を算出できるため、高精度な位置補正をしたい場合（０．５ｍｍ以内）、１平面１５０ｍｍ以上あることが好ましい。
【００１５】
また、上記の治具の材質としては、例えば、機械構造用炭素鋼材、一般構造用圧延鋼材、クロムモリブデン鋼材、合金工具鋼、オーステナイト系ステンレス鋼材、フェライト系ステンレス鋼、マルテンサイト系ステンレス鋼、アルミ合金−２０００系、アルミ合金−５０００系、アルミ合金−６０００系が挙げられるが、治具の材質に制限はない。
【００１６】
また、上記の治具の表面加工精度が、補正精度に影響するため、高精度（０．５ｍｍ以下）で軌跡補正したい場合、表面粗さはＲａ（算術平均粗さ）１２．５μｍ、Ｒｚ（最大高さ粗さ）２５μｍ以下であることが好ましい。
【００１７】
治具平面を面計測する方法として、例えば、１次元計測器で治具平面を３点以上計測することで、治具平面を面計測する方法や、３次元計測器で治具平面を面計測する方法があるが、面測定方法に制限はない。
【００１８】
治具の角度を算出する方法として、例えば、面計測結果から法線ベクトルを求めることで、ロボット座標を基準とした治具の角度を算出する方法や、面計測結果から３Ｄ−Ｈｏｕｇｈ法（ハフ変換を３次元空間に拡張した手法）で平面を認識し、治具角度を算出する方法があるが、治具の角度算出方法に制限はない。
【００１９】
治具の距離を算出する方法として、例えば、治具角度を補正した後、治具平面と変位センサが平行になるよう、ロボット軌跡を作成し、変位センサから治具平面までの距離を測定することで、距離補正値を算出する方法や、面計測結果から３Ｄ−Ｈｏｕｇｈ法（ハフ変換を３次元空間に拡張した手法）で、平面を認識し、治具位置を算出する方法があるが、治具距離の算出方法に制限はない。
【実施例】
【００２０】
以下、本発明の実施例を説明する。
当社では、ロボットを用いて自社製品Ａを加工している。加工寸法公差は±１ｍｍであるため、ロボットの位置補正精度は、０．５ｍｍを目標値とした。また、本加工では平面加工を行うため、ロボット軌跡の２次元補正を実施した。なお、本実施例では、本発明を２次元補正に適用した例について詳細に説明するが、３次元補正にも拡張可能であり、その実施例についても示した。
【００２１】
（２次元補正の方法）
距離計測器は、非接触式１次元変位センサを使用し、繰り返し精度４μｍ、直進性は±２１μｍ、レーザクラス２とした。なお、変位センサで距離を測るために、変位センサのゼロ点設定時の距離を測定した。この距離測定では、分解能０．０１ｍｍのデジタルノギスを使用した。
【００２２】
ロボットの２次元補正を行うため、互いが垂直になる２平面で治具を構成した。また治具材質はアルミニウム合金（Ａ５０５２Ｐ）を採用した。また治具の表面粗さは、Ｒａ（算術平均粗さ）１２．５μｍ、Ｒｚ（最大高さ粗さ）２５μｍとした。さらに、治具測定面1の大きさは１３０ｍｍ×３５０ｍｍ、治具測定面２の大きさは２００ｍｍ×３５０ｍｍとした。この治具は、図1のように、付帯設備と面合わせで取り付けた。
【００２３】
ロボットは、図２のように、６軸多関節ロボットを使用した。図３のように、変位センサ４のレーザ光軸が、ロボット座標に対して垂直になるよう、シミュレーション上でロボット軌跡を作成し、治具平面上の３点を平面ごとに測定した。これにより、互いに垂直になるように配置された複数の治具平面の位置を計測した面計測の結果（Ｐ１）を得た。図４のように、各平面での３点をＡ、Ｂ、Ｃ点とする。３点の座標値は、各点を測定した時のロボットフランジ部座標（Ｘｐ，Ｙｐ，Ｚｐ）と、変位センサの距離値（ｄ）から求めることができる。
【００２４】
【数１】
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この３点より、Ａ点を基準としたベクトルＡＢとベクトルＡＣを算出する。
【００２５】
【数２】
2019042827.tif 000004
【００２６】
【数３】
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算出した２本のベクトルより、Ａ点を基準とした治具平面に垂直な法線ベクトルｎを算出する。
【００２７】
【数４】
2019042827.tif 000006
法線ベクトルの各成分より、ロボット座標を基準とした治具の角度（θｘ,θｙ,θｚ）を算出できる。これにより、治具平面の位置情報（Ｉ）の１つである角度情報（Ｉａ）を算出した（位置情報算出工程）。
【００２８】
【数５】
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この角度をシミュレーション上に配置した治具の角度に反映した。これにより、算出した位置情報（Ｉ）をシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、治具平面の位置（Ｐ１）を基準として補正したロボット軌跡を作成した（ロボット軌跡作成工程）。
【００２９】
このように、治具角度（角度情報：Ｉａ）を反映したシミュレーション上で、治具測定面１と２に対して変位センサが平行になるロボット軌跡を作成し、変位センサから各治具平面までの距離を測定する。測定結果と、シミュレーション上の変位センサから各治具平面までの距離値の差分値から、各治具平面ごとに距離補正値を算出する。これにより、ロボット軌跡作成手段又は工程で作成したロボット軌跡による治具平面の位置の測定値（Ｐ３）と、位置情報算出手段又は工程で算出した位置情報（Ｉ）を反映したシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）との差分値（Ｄ＝Ｐ３−Ｐ２）から、補正値（Ｃ）を算出した（補正値算出工程）。
【００３０】
この補正値をシミュレーション上に配置した治具位置に反映することで、治具を基準としてロボット軌跡を補正した。これにより、補正値算出手段又は工程で算出された補正値（Ｃ）を、位置情報算出手段が算出した位置情報（Ｉ）を反映したシミュレーション上に配置した治具平面の位置（Ｐ２）に反映することで、治具平面の位置（Ｐ１）を基準としてロボット軌跡を補正した（位置補正工程）。
【００３１】
（３次元補正の方法）
ここまで、２次元補正の実施例について述べたが、この方法は３次元補正にも適用できる。そこで、ロボットの３次元補正を行うため、まず、互いが垂直になる３平面で治具を構成し、２次元補正と同じ位置情報算出工程を実施した。次に、治具角度（角度情報：Ｉａ）を反映したシミュレーション上で、治具測定面１と２と３に対して変位センサが平行になるロボット軌跡を作成し（ロボット軌跡作成工程）、変位センサから各治具平面までの距離を測定した。次に、この測定結果と、シミュレーション上の変位センサから各治具平面までの距離値との差分値から、各治具平面ごとに距離補正値を算出した（補正値算出工程）。次に、これらの補正値をシミュレーション上に配置した治具位置に反映することで、ロボット軌跡を補正した（位置補正工程）。
【００３２】
（２次元補正の結果）
図６、７に、ロボットの２次元補正における治具角度補正なし、治具角度補正あり、治具角度と距離補正ありでのロボット軌跡を示す。これらの軌跡は、図５のように、シミュレーション上に配置した変位センサと各治具平面が、一定の距離を保ちつつ平行になるよう、ロボット軌跡を作成し、実際に治具平面までの距離を測定した結果となっている。この距離測定では、測定開始地点、測定中間地点、測定終了地点の３点で測定し、変位センサの移動量は３００ｍｍとした。
【００３３】
図６には、変位センサから治具測定面１までの距離測定の結果、図７には、変位センサから治具測定面２までの距離測定の結果を示す。なお、変位センサから治具測定面１までの距離が設定値１００ｍｍに、変位センサから治具測定面２までの距離が設定値９０ｍｍになるよう、シミュレーション上でロボット軌跡を作成した。治具測定面２までの距離を１００ｍｍに設定した場合、６軸ロボットが他設備に干渉したため、設定値を９０ｍｍとした。図６において、治具角度補正なしでのロボット軌跡では、距離測定最大値が９９．１７７ｍｍ、最小値が９７．６８１ｍｍ、差分値（最大値−最小値）が１．４９６ｍｍとなっており、変位センサと治具平面は平行になっていない。治具角度補正ありでの軌跡では、距離測定最大値が９８．０４１ｍｍ、最小値が９７．９２３ｍｍ、差分値（最大値−最小値）が０．１１８ｍｍとなっており、変位センサと治具平面が平行になっている。また、治具角度と距離補正ありでの軌跡は、距離測定最大値が１００．１６７ｍｍ、最小値が１００．０１３ｍｍ、差分値（最大値−最小値）が０．１５４ｍｍであるため、変位センサと治具平面が平行となっている。各測定点と設定値（１００ｍｍ）の最大差分値は０．１６７ｍｍであり、位置補正精度の目標値０．５ｍｍよりも小さいため、高精度にロボット軌跡が補正できていることが分かる。
【００３４】
図７においても、治具角度と距離補正ありでの軌跡では、距離測定最大値が８９．９６９ｍｍ、最小値が８９．９０９ｍｍ、差分値（最大値−最小値）が０．０６０ｍｍであるため、変位センサと治具平面が平行となっている。また、各測定点と設定値（９０ｍｍ）の最大差分値は０．０９１ｍｍであり、位置補正精度の目標値０．５ｍｍよりも小さいため、高精度にロボット軌跡が補正できていることが分かる。
【００３５】
上記の治具を使用して算出した治具角度と治具距離の補正値は、ロボット軌跡を変更しても有効か検証した。当社では、２５度傾斜部を有する自社製品Ａをロボットで加工しており、ロボットハンドを２５度傾けている。上記で算出した補正値は、本加工でのロボット軌跡にも有効か検証した。ロボット軌跡を変位センサで測定するため、図８のように、２５度傾斜面を有している治具を付帯設備に面合わせで設置した。また、シミュレーション上に配置した２５度傾斜を有する治具には、上記で算出した治具角度と治具距離を反映した。図９に示すロボット軌跡は、シミュレーション上に配置した変位センサと各治具測定面が、一定の距離を保ちつつ平行になるよう、ロボット軌跡を作成し、実際に治具平面までの距離を測定した結果となっている。この距離測定は、測定開始地点、測定中間地点、測定終了地点の３点で測定した。なお、変位センサと各治具測定面の距離が設定値１００ｍｍになるよう、シミュレーション上でロボット軌跡を作成した。図９において、治具測定面１に対するロボット軌跡は、距離測定最大値が１００．０４０ｍｍ、最小値が９９．９２５ｍｍ、差分値（最大値−最小値）が０．１１５ｍｍであるため、変位センサと治具測定面１が平行となっている。各測定点と設定値（１００ｍｍ）の最大差分値は０．０７５ｍｍであり、位置補正精度の目標値０．５ｍｍよりも小さいため、高精度にロボット軌跡が補正できていることが分かる。また、治具測定面２に対するロボット軌跡は、距離測定最大値が１００．２６２ｍｍ、最小値が１００．２３６ｍｍ、差分値（最大値−最小値）が０．０２６ｍｍであるため、変位センサと治具測定面２が平行となっている。各測定点と設定値（１００ｍｍ）の最大差分値は０．２６２ｍｍであり、位置補正精度の目標値０．５ｍｍよりも小さいため、高精度にロボット軌跡が補正できていることが分かる。上記で算出した治具角度と治具距離は、ロボット軌跡を変更しても有効であることが言える。
【符号の説明】
【００３６】
１  治具測定面１
２  治具測定面２
３  付帯設備
４  変位センサ
５  レーザ光
６  ロボット台
７  治具面３
８  治具面４
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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