(57)【要約】【課題】  耐屈曲性、透明性およびガスバリア性がそれぞれ良好であり、かつガスバリア性の面内ばらつきが小さいガスバリアフィルムを得るためのガスバリア積層体を提供する。【解決手段】  環状ポリオレフィンフィルムの一方の面に酸化亜鉛および酸化珪素を含有するガスバリア層を有するガスバリアフィルムと、該ガスバリアフィルムのガスバリア層とは反対面に剥離可能な保護フィルムを有するガスバリア積層体であって、前記保護フィルムの前記ガスバリアフィルムとは反対面の算術平均粗さＳａが５〜４５ｎｍの範囲である、ガスバリア積層体。【選択図】図１
2019042943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状ポリオレフィンフィルムの一方の面に酸化亜鉛および酸化珪素を含有するガスバリア層を有するガスバリアフィルムと、該ガスバリアフィルムのガスバリア層とは反対面に剥離可能な保護フィルムを有するガスバリア積層体であって、前記保護フィルムの前記ガスバリアフィルムとは反対面の算術平均粗さＳａが５〜４５ｎｍの範囲である、ガスバリア積層体。
【請求項２】
前記ガスバリア層が、酸化亜鉛、酸化珪素および酸化アルミニウムを含有する、請求項１に記載のガスバリア積層体。
【請求項３】
前記ガスバリアフィルムの水蒸気透過率が１．０×１０−３ｇ／ｍ２・ｄａｙ未満である、請求項１または２に記載のガスバリア積層体。
【請求項４】
前記保護フィルムの１５０℃、３０分における寸法変化率が長手方向および幅方向ともに１．０％以下である、請求項１〜３のいずれかに記載のガスバリア積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスバリア性の面内ばらつきが小さいガスバリアフィルムを得るためのガスバリア積層体に関し、詳細にはガスバリアフィルムに剥離可能な保護フィルムが積層されたガスバリア積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスバリアフィルムは、通常、基材フィルム上にガスバリア層が積層された構成となっている。ガスバリア層としては、無機酸化物、例えば、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウム等の蒸着膜が一般的に知られている。
【０００３】
基材フィルムとしては、各種プラスチックフィルム、例えば、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、エチレン酢酸ビニル共重合体のケン化物、ポリアクリロニトリル、ポリアセタール等の樹脂からなるプラスチックフィルムが知られている。
【０００４】
有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）や液晶等の電子デバイスのガスバリアフィルムとして、低リターデーション（複屈折率が小さい）で透明性が高い環状ポリオレフィンフィルムを基材フィルムとして使用したガスバリアフィルムが知られている（特許文献１〜３）。
【０００５】
一方、ガスバリアフィルムの基材の反対側（基材のガスバリア層を有する面とは反対面）に剥離可能な保護フィルムを積層することが知られている（例えば、特許文献４、５）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−８３６４４号公報
【特許文献２】特開２０１３-１０３３７３号公報
【特許文献３】特開２０１５−２４５３６号公報
【特許文献４】特開２００９−２８９４６号公報
【特許文献５】特開２０１５−２２４３７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
環状ポリオレフィンフィルムは、表面平滑性が比較的高いことから滑り性が悪く、搬送時に擦れ傷が発生することがあり、これを回避するために、予め剥離可能な保護フィルムを積層することが行われている。しかし、保護フィルムが積層された環状ポリオレフィンフィルムにガスバリア層を製膜すると、ガスバリア性（水蒸気透過率）の面内ばらつきが大きくなるという問題がある。この問題は、ガスバリア性が高いほど、すなわち、水蒸気透過率が小さいほど助長される傾向にある。
【０００８】
また、近年、柔軟性の高い有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）デバイスが開発されており、それに対応させるために、耐屈曲性、透明性およびガスバリア性がそれぞれ良好であるガスバリアフィルムが求められている。
【０００９】
従って、本発明の目的は、上述の課題に鑑み、耐屈曲性、透明性およびガスバリア性がそれぞれ良好であり、かつガスバリア性の面内ばらつきが小さいガスバリアフィルムを得るためのガスバリア積層体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そこで、発明者らは鋭意検討を重ね、上記課題のうち、特にガスバリア性の面内ばらつきが、ガスバリアフィルムに剥離可能に積層される保護フィルムの前記ガスバリアフィルムとは反対面（以下、「保護フィルムの反対面」ということがある）の算術平均粗さＳａを５〜４５ｎｍの範囲にすることによって解決することを見出した。
【００１１】
上記課題がかかる手段により解決する理由は以下のように推測される。すなわち、酸化亜鉛や酸化珪素などの無機金属酸化物を含有するガスバリア層は、通常、バックアップロールで支持搬送される基材フィルム（環状ポリオレフィンフィルム）に、気相製膜法、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法等によって形成される。このとき、環状ポリオレフィンフィルムは、一方の面に予め積層された保護フィルムがバックアップロールに接触しながら搬送される。
【００１２】
バックアップロールは、通常、温度調節機能が併設されている。つまり、バックアップロールは、ガスバリア層の製膜工程における基材フィルム（環状ポリオレフィンフィルム）の温度調節機能を有する。製膜工程における基材フィルムの温度は、基材フィルム上に製膜されるガスバリア層のガスバリア性に影響を与える。
【００１３】
ここで、発明者らは、保護フィルムが積層された環状ポリオレフィンフィルムをバックアップロールで支持搬送させながらガスバリア層を製膜する場合、バックアップロールと接触する保護フィルムの算術平均粗さＳａが、ガスバリア性の面内ばらつきに影響することを見出した。つまり、保護フィルムの反対面の算術平均粗さＳａが４５ｎｍを超えるとガスバリア性の面内ばらつきが大きくなることを見出した。これは、バックアップロールと接触する保護フィルムの反対面の算術平均粗さＳａが４５ｎｍを超えると、バックアップロールから環状ポリオレフィンフィルムへの熱伝導性が面内でばらつくことが起因していると推測される。
【００１４】
つまり、ガスバリアフィルムと剥離可能な保護フィルムとが積層されたガスバリア積層体において、保護フィルムのガスバリアフィルムとは反対面の算術平均粗さＳａが４５ｎｍ以下であることが重要である。一方、上記算術平均粗さＳａが小さくなり過ぎると滑り性が低下するので、５ｎｍ以上が必要である。
【００１５】
以上より、本発明の上記目的は、以下の発明によって達成される。
［１］環状ポリオレフィンフィルムの一方の面に酸化亜鉛および酸化珪素を含有するガスバリア層を有するガスバリアフィルムと、該ガスバリアフィルムのガスバリア層とは反対面に剥離可能な保護フィルムを有するガスバリア積層体であって、前記保護フィルムの前記ガスバリアフィルムとは反対面の算術平均粗さＳａが５〜４５ｎｍの範囲である、ガスバリア積層体。
［２］前記ガスバリア層が、酸化亜鉛、酸化珪素および酸化アルミニウムを含有する、［１］に記載のガスバリア積層体。
［３］前記ガスバリアフィルムの水蒸気透過率が１．０×１０−３ｇ／ｍ２・ｄａｙ未満である、［１］または［２］に記載のガスバリア積層体。
［４］前記保護フィルムの１５０℃、３０分における寸法変化率が長手方向および幅方向ともに１．０％以下である、［１］〜［３］のいずれかに記載のガスバリア積層体。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のガスバリア積層体によれば、耐屈曲性、透明性およびガスバリア性がそれぞれ良好であり、かつガスバリア性の面内ばらつきが小さいガスバリアフィルムが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明のガスバリア積層体の一態様を示した模式断面図である。
【図２】本発明のガスバリア積層体の別の態様を示した模式断面図である。
【図３】本発明のガスバリア積層体のさらに別の態様を示した模式断面図である。
【図４】本発明のガスバリア積層体の製造に用いられる真空成膜装置の一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１９】
本発明のガスバリア積層体は、ガスバリアフィルムのガスバリア層とは反対面に剥離可能な保護フィルムを有するものである。ここで、保護フィルムは、例えば、ガスバリアフィルムの生産工程、加工工程、輸送・保管工程等において、ガスバリアフィルムを保護する役目を有し、上記役目を終えた保護フィルムは、ガスバリア積層体から剥離除去される。つまり、本発明における保護フィルムは、最終的には剥離除去される、いわゆる剥離性保護フィルムである。
【００２０】
本発明のガスバリア積層体におけるガスバリアフィルムは、環状ポリオレフィンフィルムの一方の面に酸化亜鉛および酸化珪素を含有するガスバリア層を有する。環状ポリオレフィンフィルムに酸化亜鉛および酸化珪素を含有するガスバリア層を設けることにより、透明性およびガスバリア性が高く、耐屈曲性が良好となる。
【００２１】
図１は、本発明のガスバリア積層体の一態様を示す模式断面図である。ガスバリア積層体１は、ガスバリアフィルム２と保護フィルム３が積層されたものである。ガスバリアフィルム２は、環状ポリオレフィンフィルム２１の一方の面にガスバリア層２２を有する。保護フィルム３は、ガスバリアフィルム２のガスバリア層２２とは反対面に積層されている。
【００２２】
図２および図３は、本発明のガスバリア積層体の別の態様、さらに別の態様を示す模式断面図である。図２の態様は、ガスバリアフィルム２が、環状ポリオレフィンフィルム２１とガスバリア層２２との間にアンダーコート層２３を有する。図３の態様は、ガスバリアフィルム２が、環状ポリオレフィンフィルム２１とガスバリア層２２との間にアンダーコート層２３を有し、環状ポリオレフィンフィルム２１のガスバリア層２２とは反対面にバックコート層２４を有する。
【００２３】
[保護フィルム]
保護フィルムは、基材フィルムと粘着剤層を備えていることが好ましい。保護フィルムは上記粘着剤層を介してガスバリアフィルムに積層されることが好ましい。
【００２４】
前述したように、ガスバリア性の面内ばらつきを小さくし、かつ滑り性を確保するという観点から、保護フィルムの反対面の算術平均粗さＳａは５〜４５ｎｍの範囲であることが重要である。
【００２５】
保護フィルムの反対面の算術平均粗さＳａは、ガスバリア性の面内ばらつきを小さくするという観点から、さらに、４０ｎｍ以下が好ましく、３５ｎｍ以下が特に好ましい。一方、ガスバリア積層体の滑り性を確保するという観点から、保護フィルムの反対面の算術平均粗さＳａは、さらに、７ｎｍ以上が好ましく、１０ｎｍ以上がより好ましく、１３ｎｍ以上が特に好ましい。
【００２６】
保護フィルムの反対面の算術平均粗さＳａを調整する方法として、例えば、保護フィルムを構成する基材フィルムに不活性粒子を含有させる方法が挙げられる。具体的には、保護フィルムの基材フィルムとしてポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）を用いる場合、ＰＥＴフィルムの製膜時に含有させる不活性粒子の種類や数平均粒子径を調整することによって、保護フィルムの算術平均粗さＳａを制御することができる。本発明でいう、数平均粒子径は沈殿法あるいは光散乱法で測定する。
【００２７】
不活性粒子としては、（１）耐熱性ポリマー粒子（例えば、架橋シリコーン樹脂、架橋ポリスチレン樹脂、ホルムアルデヒド樹脂、芳香族ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、架橋ポリエステルなどからなる粒子）、（２）金属酸化物（例えば、酸化アルミニウム、二酸化チタン、二酸化ケイ素（シリカ）、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなど）、（３）金属の炭酸塩（例えば、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウムなど）、（４）金属の硫酸塩（例えば、硫酸カルシウム、硫酸バリウムなど）、（５）炭素（例えば、カーボンブラック、グラファイト、ダイヤモンドなど）、および（６）粘土鉱物（例えば、カオリン、クレー、ベントナイトなど）などのような無機化合物からなる粒子が挙げられる。これら不活性粒子は１種または２種以上混合して使用しても良い。
【００２８】
不活性粒子の数平均粒子径は０．０１〜４．０μｍであることが好ましく、０．１〜３．０μｍがより好ましい。
【００２９】
保護フィルムは、１５０℃、３０分における寸法変化率が長手方向および幅方向ともに１．０％以下であることが好ましい。具体的には、長手方向の上記寸法変化率は、１．０％以下が好ましく、０．８％以下がより好ましく、０．５％以下が特に好ましい。幅方向の上記寸法変化率は、１．０％以下が好ましく、０．５％以下がより好ましく、０．２％以下が特に好ましい。保護フィルムの長手方向および幅方向における上記寸法変化率が１．０％より大きくなると、ガスバリア積層体にシワやカールが発生し、ガスバリア性の面内ばらつきが大きくなることがある。
【００３０】
保護フィルムの上記寸法変化率を上記範囲に制御する方法としては、例えば、保護フィルムの延伸処理後、熱固定工程における熱固定処理条件を調整する方法や、延熱固定工程後にアニール処理を施し、分子構造のゆがみを取り除く方法が挙げられる。
【００３１】
具体的には、保護フィルムの基材フィルムとして二軸延伸されたＰＥＴフィルムを用いる場合、熱固定による構造固定が十分に行われ寸法変化率を小さくしやすくするための熱固定処理の温度は、１７０〜２６５℃の範囲が好ましく、２００〜２５５℃の範囲がより好ましく、２１０〜２５０℃の範囲が特に好ましい。熱固定処理の時間は、１〜１２０秒間の範囲が好ましく、１０〜５０秒の範囲がより好ましい。
【００３２】
また、寸法変化率を低減させるための熱固定工程後のアニール処理温度は１５０〜２００℃が好ましく、１７０〜１９０℃がより好ましい。アニール処理時間は、１〜１２０秒が好ましい。前記アニール処理時間の範囲の下限は、１秒が好ましく、５秒がより好ましく、２０秒がさらに好ましい。前記アニール処理時間の範囲の上限は、１２０秒が好ましく、９０秒がより好ましく、６０秒がさらに好ましい。
【００３３】
保護フィルムを構成する基材フィルムとしては、耐熱性が高いことが好ましく、この観点から、ガラス転移点（Ｔｇ）が５０℃以上のものが好ましく、具体的には、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドフィルム等が挙げられる。
【００３４】
保護フィルムを構成する粘着剤層は、微粘着性であることが好ましい。粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、エポキシ系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ビニル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤などが挙げられる。
【００３５】
粘着剤層の厚みは、１〜５０μｍであることが好ましく、２〜３０μｍであることがより好ましく、３〜２５μｍであることがさらに好ましい。
【００３６】
保護フィルムの厚みは１０〜１００μｍの範囲が好ましく、２０〜７５μｍの範囲がより好ましい。保護フィルムの厚みが１００μｍを超えると、ガスバリア性の面内ばらつきが大きくなることがある。
【００３７】
保護フィルムは剥離による静電気の発生、埃の付着を防止するために帯電防止層を有しても良い。帯電防止層は基材フィルムと粘着剤層の間に設けることができる。また、基材フィルムや粘着剤層に帯電防止性を付与することができる。
【００３８】
帯電防止層あるいは基材フィルムや粘着剤層に含有させることができる帯電防止剤としては、導電性金属酸化物、イオン性高分子化合物、共役系高分子化合物が挙げられる。
【００３９】
また、本発明のガスバリア積層体は、ガスバリアフィルムのガスバリア層表面に剥離可能な保護フィルムを設けることができる。かかる保護フィルムとしては、上述した保護フィルムや入手可能な一般的な保護フィルムを使用することができる。
【００４０】
[ガスバリアフィルム]
ガスバリアフィルムは、環状ポリオレフィンフィルムの一方の面に酸化亜鉛および酸化珪素を含有するガスバリア層を有する。環状ポリオレフィンフィルムに酸化亜鉛および酸化珪素を含有するガスバリア層を設けることにより、透明性およびガスバリア性が高く、耐屈曲性が良好となる。
【００４１】
ガスバリアフィルムのヘイズ値は小さいことが好ましい。具体的には、ガスバリアフィルムのヘイズ値が、０．６％未満であることが好ましく、０．５％未満であることがより好ましく、０．４％未満であることが特に好ましい。下限のヘイズ値は小さいほど好ましく、従って特に限定されない。
【００４２】
ガスバリアフィルムは高い透明性を有することが好ましい。ガスバリアフィルムの全光線透過率は８８％以上であることが好ましく、９０％以上であることが特に好ましい。
【００４３】
ガスバリアフィルムは高いガスバリア性を有することが好ましい。具体的には、ガスバリアフィルムの水蒸気透過率が、１．０×１０−３ｇ／ｍ２・ｄａｙ未満が好ましく、８．０×１０−４ｇ／ｍ２・ｄａｙ未満がより好ましく、５．０×１０−４ｇ／ｍ２・ｄａｙ未満が特に好ましい。上記ガスバリアフィルムの水蒸気透過率は、ガスバリア積層体から保護フィルムが剥離された後のガスバリアフィルムの水蒸気透過率である。
【００４４】
ガスバリアフィルムは、ガスバリア性の面内ばらつきが小さいことが好ましい。すなわち、水蒸気透過率の面内ばらつきが小さいことが好ましい。ここで、水蒸気透過率の面内ばらつきとは、ガスバリア層の製膜工程を経て製造されるガスバリアフィルムの幅方向におけるばらつきを意味し、例えば、幅方向に等間隔、例えば２００ｍｍ間隔でサンプリングした各サンプルの水蒸気透過率を測定し、下記式１で求めた値を水蒸気透過率の面内ばらつき（Ｗσ）という。尚、上記の水蒸気透過率は、ガスバリア積層体から保護フィルムが剥離された後のガスバリアフィルムの水蒸気透過率である。
【００４５】
Ｗσ（％）＝（Ｗｍａｘ−Ｗｍｉｎ）/Ｗａｖｅ×１００  ・・・式１
式中、Ｗσは水蒸気透過率の面内ばらつき、Ｗａｖｅは水蒸気透過率の平均値、Ｗｍａｘは水蒸気透過率の最大値、Ｗｍｉｎは水蒸気透過率の最小値を表す。
【００４６】
水蒸気透過率の面内ばらつき（Ｗσ）は、１５０％以下が好ましく、１００％以下がより好ましく、８０％以下が特に好ましい。
【００４７】
本発明のガスバリアフィルムは、耐屈曲性が高いことが好ましい。上記耐屈曲性の評価方法として円筒形マンドレル法（ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−１：１９９９）が挙げられる。
【００４８】
円筒形マンドレル法は、直径２ｍｍ〜十数ｍｍの円筒マンドレル（円柱棒）にガスバリアフィルムを巻き付けたときのクラック等の発生状況を観察し評価する方法である。具体的には、円筒形マンドレル法（ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−１：１９９９）に準拠し、ガスバリアフィルムを、ガスバリア層が外側となるように直径２ｍｍの円筒マンドレルに巻き付けたとき、その巻き付け部分のガスバリア層にクラックが発生しないことが好ましい。
【００４９】
[ガスバリア層]
ガスバリア層は、酸化亜鉛および酸化珪素を含有する。ガスバリア層は、さらに、酸化アルミニウムを含有することが好ましい。このガスバリア層は透明性が高く、耐屈曲性が良好である。
【００５０】
ガスバリア層の組成は、後述するようにＸ線光電子分光法（ＸＰＳ法）により測定することができる。ガスバリア層の組成は、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ法）により測定される亜鉛（Ｚｎ）原子濃度は２０.０〜４０.０atom％、珪素（Ｓｉ）原子濃度は５.０〜２０.０atom％、アルミニウム（Ａｌ）原子濃度は０．５〜５.０atom％、酸素（Ｏ）原子濃度は３５.０〜７０.０atom％であることが好ましい。
【００５１】
亜鉛（Ｚｎ）原子濃度が４０.０atom％より大きくなる、または珪素（Ｓｉ）原子濃度が５.０atom％より小さくなると、酸化亜鉛の結晶成長を抑制する酸化物が不足するため、空隙部分や欠陥部分が増加し、十分なガスバリア性が得られない場合がある。亜鉛（Ｚｎ）原子濃度が２０.０atom％より小さくなる、または珪素（Ｓｉ）原子濃度が２０.０atom％より大きくなると、層内部の酸化珪素の非晶質成分が増加して層の柔軟性が低下する場合がある。また、アルミニウム（Ａｌ）原子濃度が５.０atom％より大きくなると、酸化亜鉛と酸化珪素の親和性が過剰に高くなるため膜硬度が上昇し、熱や外部からの応力に対してクラックが生じやすくなる場合がある。アルミニウム原子濃度が０．５atom％より小さくなると、酸化亜鉛と酸化珪素の親和性が不十分となり、層を形成する粒子間の結合力が向上できないため、柔軟性が低下する場合がある。また、酸素（Ｏ）原子濃度が７０.０atom％より大きくなると、層内の欠陥量が増加するため、所定のガスバリア性が得られない場合がある。酸素（Ｏ）原子濃度が３５atom％より小さくなると、亜鉛、珪素、アルミニウムの酸化状態が不十分となり、結晶成長が抑制できず粒子径が大きくなるため、ガスバリア性が悪化する場合がある。かかる観点から、亜鉛（Ｚｎ）原子濃度が２５.０〜３５.０atom％、珪素（Ｓｉ）原子濃度が１０.０〜１５.０atom％、アルミニウム（Ａｌ）原子濃度が１.０〜３.０atom％、酸素原子濃度が５０.０〜６４.０atom％であることがより好ましい。
【００５２】
ガスバリア層は、他の金属、例えば、チタン、錫、銅、インジウム、ガリウム、ジルコニウム、ニオブ、モリブテン、タンタルなどの金属、あるいはこれらの金属の酸化物、窒化物、硫化物を、ガスバリア性、耐屈曲性および透明性を低下させない範囲で含むことができる。
【００５３】
ガスバリア層を形成する方法は特に限定されず、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法等によって形成することができる。
【００５４】
ガスバリア層の厚みは、０．０３μｍ以上が好ましい。ガスバリア層の厚みが０．０３μｍより薄くなると、ガスバリア性が十分に確保できにくい箇所が発生し、ガスバリアフィルムの面内でガスバリア性がばらつくなどの問題が生じる場合がある。また、本発明にかかるガスバリア層の厚みは、０．５μｍ以下が好ましく、０．３μｍ以下がより好ましい。ガスバリア層の厚みが０．５μｍより厚くなると、無機物層の形成後に層内に残留する応力が大きくなるため、曲げや外部からの衝撃によってガスバリア層にクラックが発生しやすくなり、使用に伴いガスバリア性が低下する場合がある。ガスバリア性、耐屈曲性を確保する観点からガスバリア層の厚みは０．０５μｍ〜０．２μｍの範囲が最も好ましい。
【００５５】
[環状ポリオレフィンフィルム]
ガスバリアフィルムの基材フィルムとしての環状ポリオレフィンフィルムは、環状ポリオレフィン樹脂（ＣＯＰ）あるいは環状ポリオレフィン共重合樹脂（ＣＯＣ）を主成分とする樹脂フィルムである。ここで、主成分とするとは、樹脂フィルムを構成する樹脂成分のうち、ＣＯＰあるいはＣＯＣの構成比率が５０質量％以上であることを意味するものであり、好ましくは６０質量％以上であり、より好ましくは８０質量％以上であり、さらに好ましくは９０質量％以上であり、特に好ましくは９５質量％以上である。
【００５６】
環状ポリオレフィンフィルムは、低リタデーション（複屈折率が小さい）で、有機ＥＬデバイス等に使用した際、色の視野角依存性が小さいという利点を備えている。
【００５７】
環状ポリオレフィン樹脂（ＣＯＰ）とは、「主鎖に環状オレフィンを含有した繰り返し単位」のみを重合させた樹脂を意味する。環状ポリオレフィン共重合樹脂（ＣＯＣ）とは、少なくとも「主鎖に環状オレフィンを含有した繰り返し単位」と「主鎖に環状オレフィンを含有しないオレフィンからなる繰り返し単位」を共重合させた樹脂を意味する。
【００５８】
ＣＯＰ、ＣＯＣを構成する環状オレフィンとしては、例えば、シクロブテン、シクロペンテン、シクロヘプテン、シクロヘキセン、シクロオクテン、シクロペンタジエン、１，３−シクロヘキサジエン、３，４−ジメチルシクロペンテン、３−メチルシクロヘキセン、２−（２−メチルブチル）−１−シクロヘキセン、３ａ，５，６，７ａ−テトラヒドロ−４，７−メタノ−１Ｈ−インデンなどの単環式オレフィン、ノルボルネン、ジシクロペンタジエン、テトラシクロドデセン、エチルテトラシクロドデセン、エチリデンテトラシクロドデセン、テトラシクロ〔７．４．０．１１０，１３．０２，７〕トリデカ−２，４，６，１１−テトラエンなどの多環式オレフィン、などが挙げられる。これらの環状オレフィンは、それぞれ単独であるいは２種以上組合せて用いることができる。
【００５９】
環状ポリオレフィン共重合樹脂（ＣＯＣ）を構成する環状オレフィン以外の他のモノマーとしては、例えば、エチレン、プロピレン、１−ブテン、１−ペンテン、１−ヘキセン、３−メチル−１−ブテン、３−メチル−１−ペンテン、３−エチル−１−ペンテン、４−メチル−１−ペンテン、４−メチル−１−ヘキセン、４，４−ジメチル−１−ヘキセン、４，４−ジメチル−１−ペンテン、４−エチル−１−ヘキセン、３−エチル−１−ヘキセン、１−オクテン、１−デセン、１−ドデセン、１−テトラデセン、１−ヘキサデセン、１−オクタデセン、１−エイコセン等が挙げられる。
【００６０】
環状ポリオレフィンフィルムは、市販品として入手することもできる。市販品としては、例えば、日本ゼオン（株）製の「ゼオネックス」、「ゼオノア」（登録商標）、積水化学工業（株）の「エッシーナ」、ＪＳＲ（株）の「アートン」（登録商標）、日立化成（株）の「オプトレッツ」、三井化学（株）の「アペル」（登録商標）などがある。  
【００６１】
環状ポリオレフィンフィルムの厚みは特に限定されないが、柔軟性を確保する観点から１００μｍ以下が好ましく、７５μｍ以下がより好ましく、５０μｍ以下が特に好ましい。引張りや衝撃に対する強度を確保する観点から５μｍ以上が好ましく、１０μｍ以上がより好ましい。
【００６２】
環状ポリオレフィンフィルムの製造方法としては、通常のインフレーション法、Ｔ−ダイ法、カレンダー法、切削法、流延法、エマルジョン法、ホットプレス法等の製造法が使用でき、フィルム製膜方法としては、従来公知の溶液流延製膜法、あるいは溶融流延製膜法が選択できる。
【００６３】
[アンダーコート層］
ガスバリアフィルムは、環状ポリオレフィンフィルムとガスバリア層との間にアンダーコート層を配置することができる。アンダーコート層は、環状ポリオレフィンフィルムとガスバリア層の密着性を強化する機能および平滑化機能を有する。前述したように、環状ポリオレフィンフィルムは、平滑性が比較的高いが、アンダーコート層を設けることによりさらに平滑化することができる。このような、アンダーコート層上にガスバリア層を積層することにより、ガスバリア性がさらに向上する。
【００６４】
上記観点から、アンダーコート層の表面の算術平均粗さＳａは、１．５ｎｍ未満であることが好ましく、１．３ｎｍ未満であることがより好ましく、１．０ｎｍ未満であることが特に好ましい。下限の算術平均粗さＳａは、特に限定されないが、現実的な下限は０．１ｎｍ程度である。
【００６５】
アンダーコート層は、樹脂成分として熱硬化性樹脂や活性エネルギー線硬化性樹脂を含むことが好ましく、特に活性エネルギー線硬化性樹脂を含むことが好ましい。
【００６６】
アンダーコート層は、ガスバリアフィルムの耐屈曲性を向上させるという観点から、伸長クラック伸度が７％以上であることが好ましく、１０％以上であることがより好ましい。また、伸長クラック伸度は２００％以下が適当であり、１００％以下が好ましい。
【００６７】
伸長クラック伸度とは、環状ポリオレフィンフィルム上にアンダーコート層が積層された状態のフィルムの片側を固定して引張速度５０ｍｍ／ｍｉｎでフィルムを引っ張ったときに、アンダーコート層にクラックが発生するときの伸び率である。
【００６８】
上記観点から、アンダーコート層は、ウレタン（メタ）アクリレートオリゴマーもしくはウレタン（メタ）アクリレートモノマーを含有することが好ましい。特にウレタン（メタ）アクリレートオリゴマーが好ましい。
【００６９】
ウレタン（メタ）アクリレートオリゴマーもしくはウレタン（メタ）アクリレートモノマーとしては、具体的には、共栄化学社製のＡＴ−６００、ＵＡ−１０１ｌ、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６ｌ、ＵＦ−８００１、ＵＦ−８００３等、日本合成化学社製のＵＶ７５５０Ｂ、ＵＶ−７６００Ｂ、ＵＶ−１７００Ｂ、ＵＶ−６３００Ｂ、ＵＶ−７６０５Ｂ、ＵＶ−７６４０Ｂ、ＵＶ−７６５０Ｂ等、新中村化学社製のＵ−４ＨＡ、Ｕ−６ＨＡ、ＵＡ−１００Ｈ、Ｕ−６ＬＰＡ、Ｕ−１５ＨＡ、ＵＡ−３２Ｐ、Ｕ−３２４Ａ、Ｕ−２ＰＰＡ、ＵＡ−ＮＤＰ等、ダイセルユーシービー社製のＥｂｅｃｒｙｌ−２７０、Ｅｂｅｃｒｙｌ−２８４、Ｅｂｅｃｒｙｌ−２６４、Ｅｂｅｃｒｙｌ−９２６０、Ｅｂｅｃｒｙｌ−１２９０、Ｅｂｅｃｒｙｌ−１２９０Ｋ、Ｅｂｅｃｒｙｌ−５１２９等、根上工業社製のＵＮ−３２２０ＨＡ、ＵＮ−３２２０ＨＢ、ＵＮ−３２２０ＨＣ、ＵＮ−３２２０ＨＳ等、三菱レイヨン社製のＲＱシリーズ、荒川化学工業社製のビームセットシリーズ等が挙げられる。
【００７０】
アンダーコート層の厚みは、０．５〜１０．０μｍの範囲が好ましく、０．７〜５．０μｍの範囲がより好ましく、１．０〜３．０μｍの範囲が特に好ましい。
【００７１】
アンダーコート層は、ウェットコーティングされることが好ましい。かかるウェットコーティングに用いられる塗布方法としては、例えばリバースコート法、スプレーコート法、バーコート法、グラビアコート法、ロッドコート法、ダイコート法、スピンコート法、エクストルージョンコート法等が挙げられる。
【００７２】
[バックコート層]
ガスバリアフィルムは、環状ポリオレフィンフィルムのガスバリア層が設けられた面とは反対面にバックコート層を設けることができる。バックコート層を設けることにより、耐擦傷性が向上し、またガスバリアフィルムのカールの発生が抑制される。
【００７３】
バックコート層の厚みは、ガスバリアフィルムのカールを抑制するという観点から、０．５〜４．０μｍの範囲が好ましく、０．７〜３．０μｍの範囲がより好ましく、１．０〜２．０μｍの範囲が特に好ましい。
【００７４】
バックコート層が積層されたガスバリアフィルムは、良好な耐屈曲性を確保するという観点から、円筒形マンドレル法（ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−１：１９９９）に準拠し、ガスバリアフィルムを、バックコート層が外側となるように直径２ｍｍの円筒マンドレルに巻き付けたとき、その巻き付け部分のバックコート層にクラックが発生しないことが好ましい。
【００７５】
上記したように、バックコート層に良好な耐屈曲性を付与するという観点から、バックコート層のナノインデンテーション法により測定される押し込み硬さは、２００〜６００Ｎ／ｍｍ２の範囲が好ましく、２５０〜５５０Ｎ／ｍｍ２の範囲がより好ましく、特に３００〜５００Ｎ／ｍｍ２の範囲が好ましい。
【００７６】
上記観点から、バックコート層の樹脂成分としては、ウレタン系樹脂を用いることが好ましい。つまり、バックコート層は、ウレタン系樹脂（ウレタン（メタ）アクリレートモノマーやオリゴマー）を含有する活性エネルギー線硬化樹脂層であることが好ましい。上記ウレタン系樹脂としては、１〜５官能のウレタン系樹脂が好ましく、１〜４官能のウレタン系樹脂がより好ましく、１〜３官能のウレタン樹脂が特に好ましい。
【００７７】
本発明にかかるバックコート層は剥離による静電気の発生、埃の付着を防止するために帯電防止剤を含有させ帯電防止性機能を持たせることができる。帯電防止剤としては、導電性金属酸化物、イオン性高分子化合物、共役系高分子化合物が挙げられる。本発明における帯電防止剤は、電子導電メカニズムが空気中の水分に依らないため湿度による帯電防止性能の変化量が非常に小さい共役系高分子化合物であることが好ましい。なかでも安定性に優れ、透明性の高いポリチオフェン系導電性高分子がより好ましい。
【００７８】
[ガスバリアフィルムの適用例]
本発明のガスバリア積層体および保護フィルムが剥離された後のガスバリアフィルムは、医薬品などの包装材、有機ＥＬ照明、有機ＥＬデバイス、太陽電池などの電子デバイスの素子の表面側あるいは裏面側に用いることができる。特に、有機ＥＬデバイスに好適である。
【実施例】
【００７９】
以下、本発明を実施例に基づき具体的に説明する。ただし、本発明は下記実施例に限定されるものではない。
【００８０】
[評価方法］
各実施例および比較例における評価方法を説明する。評価ｎ数は、特に断らない限り、ｎ＝５とし平均値を求めた。
【００８１】
（１）ガスバリア層の厚み
断面観察用サンプルをマイクロサンプリングシステム（日立製ＦＢ−２０００Ａ）を使用してＦＩＢ法により（具体的には「高分子表面加工学」（岩森暁著）ｐ．１１８〜１１９に記載の方法に基づいて）作製した。透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ、日立製Ｈ−９０００ＵＨＲII）により、加速電圧３００ｋＶとして、観察用サンプルの断面を観察し、ガスバリア層の厚みを求めた。
【００８２】
（２）ガスバリアフィルムの水蒸気透過率の測定
実施例及び比較例で作られたガスバリア積層体について、全幅方向に対して、２００ｍｍ間隔でサンプルリングし、５検体を採取した。1つのサンプルのサイズは、５０ｃｍ２である。採取した５検体のサンプルの水蒸気透過率を温度４０℃、相対湿度９０％、測定面積５０ｃｍ２の条件で、英国テクノロックス（Ｔｅｃｈｎｏｌｏｘ）社製の水蒸気透過率測定装置“ＤＥＬＴＡＰＥＲＭ”を使用して測定した。得られた５点の平均値を水蒸気透過率（ｇ／ｍ２・ｄａｙ）とした。測定は、ガスバリア積層体から保護フィルムを剥離した後のガスバリアフィルムで実施した。
【００８３】
また、上記測定で得られた水蒸気透過率の５点の平均値（Ｗａｖｅ）、最大値（Ｗｍａｘ）および最小値（Ｗｍｉｎ）から下記式１にて水蒸気透過率の面内ばらつき（Ｗσ）を算出した。
【００８４】
Ｗσ（％）＝（Ｗｍａｘ−Ｗｍｉｎ）/Ｗａｖｅ×１００  ・・・式１
（３）ヘイズ値の測定
ＪＩＳ  Ｋ７３６１（１９９７）に基づき、濁度計ＮＤＨ２０００（日本電色工業（株）製）を用いて測定した。測定は、縦５ｃｍ×横５ｃｍのサイズに切り出したガスバリアフィルム３枚について行った。測定回数は各５回とし、合計１５回測定の平均値をヘイズ値とした。
【００８５】
（４）全光線透過率
ＪＩＳ  Ｋ７３６１（１９９７）に基づき、濁度計ＮＤＨ２０００（日本電色工業（株）製）を用いて測定した。測定は、縦５ｃｍ×横５ｃｍのサイズに切り出したガスバリアフィルム３枚について行った。測定回数は各５回とし、合計１５回測定の平均値を全光線透過率とした。
【００８６】
（５）算術平均粗さ（Ｓａ）の測定
ＪＩＳ  Ｂ０６０１（２０１３）に準拠して、光干渉式非接触表面形状測定器として、非接触表面・層断面計測システム（株式会社菱化システム製「ＶｅｒｔＳｃａｎ２．０」）を用いて、ガスバリアフィルムの表面観察（観察視野：９３．９１μｍ×７０．２０μｍ）を実施し、アンダーコート層表面、および保護フィルムの反対面表面について、算術平均粗さ（Ｓａ）を測定した。
【００８７】
（６）滑り性
ガスバリア積層体を切断して２枚のシート片（２０ｃｍ×１５ｃｍ）を作製する。
この２枚のシート片の保護フィルムの面とガスバリア層の面とが向き合うように２枚のシート片を僅かにずらして重ね合わせて平滑な台上の置き、下方のシート片を指で台上に固定し、上方のシート片を手で滑らせる方法で滑り性の良否判定を行った。
Ａ：上方のシート片の滑り性が良好である。
Ｂ：上方のシート片の滑り性は劣るが比較的良好である。
Ｃ：上方のシート片が滑らない。
【００８８】
（７）１５０℃、３０分における長手方向、幅方向の寸法変化率
ＪＩＳ  Ｋ  ７１３３（１９９９）に準拠し、加熱前の寸法をＬ０、１５０℃、３０分の条件で加熱後、３０分間室温で放冷し測定した寸法をＬとし、下記式２から長手方向、幅方向の寸法変化率（％）を測定した。
（Ｌ０−Ｌ）／Ｌ０×１００・・・式２
（８）ガスバリアフィルムのガスバリア層の耐屈曲性の評価
円筒形マンドレル法（ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−１：１９９９）に準拠して、直径２ｍｍの円筒形マンドレルに、ガスバリアフィルムのガスバリア層側が外側になるように巻き付け、その巻き付け部分のガスバリア層にクラックが生じるか否かを目視で観察し、以下の基準で評価した。
Ａ：クラックが確認できない。
Ｂ：クラックが確認される。
【００８９】
（９）バックコート層のナノインデンテーション法による押し込み硬さの測定
（株）エリオニクス製のナノインデンター「ＥＮＴ−２１００」を用いて測定した。環状ポリオレフィンフィルムにバックコート層が積層されたサンプルについて、バックコート層とは反対面を、接着剤（東亞合成（株）製「“アロンアルファ”（登録商標）」を介して専用のサンプル固定台に固定し、バックコート層の押し込み硬さ（ＨＩＴ（Ｎ／ｍｍ２））を、稜間角１１５°の三角錐ダイヤモンド圧子（Ｂｅｒｋｏｖｉｃｈ圧子）を用いて下記条件にて測定した。測定データは「ＥＮＴ−２１００」の専用解析ソフト（ｖｅｒｓｉｏｎ  ６．１８）により処理した。
【００９０】
＜測定条件＞
・測定モード：負荷−除荷試験
・最大荷重：１００ｍＮ
・最大荷重に達した時の保持時間：１秒
・荷重速度、除荷速度：１０ｍＮ／ｓｅｃ
・押し込み深さ：膜厚の１／１０
（１０）ガスバリア層の組成分析
ガスバリア層の組成分析（ガスバリア層が酸化亜鉛、二酸化ケイ素、酸化アルミニウムを含むかどうか、および各元素の含有比率）は、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ法）により行った。すなわち、アルゴンイオンを用いたスパッタエッチングにより、最表層を５ｎｍ程度エッチングして除去した後、各元素の含有比率を測定した。また、検出されるピークにより酸化亜鉛、二酸化ケイ素、酸化アルミニウムの含有を確認した。
ＸＰＳ法の測定条件は下記の通りである。
・装置                      ：ＥＳＣＡ  ５８００（アルバックファイ社製）
・励起Ｘ線                  ：ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｃ  ＡｌＫα
・Ｘ線出力                  ：３００Ｗ
・Ｘ線径                    ：８００μｍ
・光電子脱出角度            ：４５°
・Ａｒイオンエッチング      ：２．０ｋＶ、１０ｍＰａ。
【００９１】
[保護フィルムの製造]
＜製造例１；保護フィルムａの製造＞
下記製造のポリエステルフィルムａの片面に、アクリル系接着剤（綜研化学社製、ＳＫダイン１４９１Ｈ）１００質量部、硬化剤（綜研化学社製、硬化剤Ｌ−４５）０．９質量部、及び希釈溶剤からなる接着剤層塗布液を塗布、乾燥し、厚み４μｍの粘着剤層を積層して、保護フィルムａを得た。
【００９２】
＜ポリエステルフィルムaの製造＞
下記チップaに不活性粒子として数平均粒径１μｍのポリスチレン粒子を０．５０質量％含有させたポリエステルaを１７０度で３時間乾燥後、溶解温度２８０〜３００℃にて溶解した。平均目開き１μｍの鋼線フィルターで高精度ろ過したのち、溶解押出して、温度２５℃のキャスティングドラム上にて急冷して、未延伸フィルムを得た。次にこのようにして得られた未延伸フィルムを予熱し、ロール延伸法にて１１０℃で３倍に縦延伸した。続いて１１０℃で幅方向に倍延伸し、２３０℃で３秒間過熱し熱固定処理した。次に得られたフィルムを温度１８０℃で３０秒間アニール処理し、厚み７５μｍのポリエステルフィルムaを得た。
【００９３】
＜チップaの製造＞
テレフタル酸ジメチル１００質量部、エチレングリコール７０質量部、酢酸カルシウム０．０９質量部を反応器に入れて１８０〜２１０℃にてエステル交換反応を施し、メタノールを留出させた。エステル交換反応が終了した時点でリン酸０．０２質量部および三酸化アンチモン０．０３質量部を添加し、引き続いて系内を徐々に減圧し、６０分で１ｍｍＨｇ以下とした。それと同時に徐々に昇温し２９０℃とした。重縮合反応を２時間実施し、その後吐出ノズルより水中に押出しカッターによって直径約５ｍｍ、長さ約７ｍｍの円柱状のチップaとした。
【００９４】
＜製造例２；保護フィルムｂの製造＞
製造例１のポリエステルフィルムａの製造において、熱固定処理条件を２３０℃、６秒間に変更し、かつアニール処理条件を１９０℃、６０秒間に変更する以外は、製造例１と同様にしてポリエステルフィルムｂを製造した。このポリエステルフィルムｂの片面に製造例１と同様にしてアクリル系粘着剤層を積層して保護フィルムｂを得た。
【００９５】
＜製造例３；保護フィルムｃの製造＞
製造例１のポリエステルフィルムａの製造において、チップaに含有させる不活性粒子を数平均粒径０．３μｍのポリスチレン粒子に変更する以外は、製造例１と同様にしてポリエステルフィルムｃを製造した。このポリエステルフィルムｃの片面に製造例１と同様にしてアクリル系粘着剤層を積層して保護フィルムｃを得た。
【００９６】
＜製造例４；保護フィルムdの製造＞
製造例１のポリエステルフィルムａの製造において、チップaに含有させる不活性粒子を数平均粒径０．１μｍのポリスチレン粒子に変更する以外は、製造例１と同様にしてポリエステルフィルムｄを製造した。このポリエステルフィルムｄの片面に製造例１と同様にしてアクリル系粘着剤層を積層して保護フィルムｄを得た。
【００９７】
＜製造例５；保護フィルムｅの製造＞
製造例１のポリエステルフィルムａの製造において、チップaに含有させる不活性粒子を数平均粒径２．８μｍのシリカ粒子のエチレングリコーススラリーに変更し、かつ添加量を０．０５質量％に変更する以外は、製造例１と同様にしてポリエステルフィルムｅを製造した。このポリエステルフィルムｅの片面に製造例１と同様にしてアクリル系粘着剤層を積層して保護フィルムｅを得た。
【００９８】
＜製造例６；保護フィルムｆの製造＞
製造例１のポリエステルフィルムａの製造において、熱固定処理条件を温度１９０℃、３秒間に変更する以外は、製造例１と同様にしてポリエステルフィルムｆを製造した。このポリエステルフィルムｆの片面に製造例１と同様にしてアクリル系粘着剤層を積層して保護フィルムｆを得た。
【００９９】
＜製造例７；保護フィルムｇの製造＞
＜ポリエステルgの製造方法＞
製造例１のポリエステルフィルムａの製造において、チップａと下記チップｇを質量比１：１で混合し、１８０℃で６時間減圧乾燥した後、押出機に供給し、２８０℃で溶解した以外は、製造例１と同様に押出、延伸してポリエステルフィルムｇを得た。このポリエステルフィルムｇの片面に製造例１と同様にしてアクリル系粘着剤層を積層して保護フィルムｇを得た。
【０１００】
＜チップｇの製造＞
チップaに、不活性粒子として粒子中の組成がジビニルベンゼン８１質量％であり、数平均粒径０．１μｍであるジビニルベンゼン粒子を１質量％含有する水スラリーを添加し、水分をベントで系外に押し出しながら該粒子を練りこみ、チップｇを得た。
【０１０１】
＜製造例８；保護フィルムｈの製造＞
製造例１のポリエステルフィルムａの製造において、チップaに含有させる不活性粒子を数平均粒径２．８μｍのシリカ粒子のエチレングリコールスラリーに変更し、かつ添加量を０．２０質量％に変更する以外は、製造例１と同様にしてポリエステルフィルムｈを製造した。このポリエステルフィルムｈの片面に製造例１と同様にしてアクリル系粘着剤層を積層して保護フィルムｈを得た。
【０１０２】
（実施例１）
＜保護フィルムの貼合＞
厚みが５０μｍの環状ポリオレフィンフィルム（日本ゼオン（株）の「ＺｅｏｎｏｒＦｉｌｍ」（登録商標）ＺＦ１４：片面に既存保護フィルムを有する）の既存保護フィルムを剥がし、その剥がした面に保護フィルムaを該保護フィルムａの粘着剤層を介して積層した。
【０１０３】
＜ガスバリア層の積層＞
環状ポリオレフィンフィルムの保護フィルムａが積層された面の反対面に、図４に示す巻き取り式スパッタリング装置を使用し、酸化亜鉛／酸化珪素／酸化アルミニウムの組成質量比が７７／２０／３である混合焼結材をスパッタターゲットとして使用し、アルゴンガスおよび酸素ガスによるスパッタリングを実施しガスバリア層を積層して、ガスバリアフィルムを得た。
【０１０４】
具体的な操作は以下の通りである。スパッタ電極７１および７２にスパッタターゲットを設置した、ロール・ツー・ロールの巻き取り式スパッタ装置４中で、巻き出し軸５に、保護フィルムが積層された環状ポリオレフィンフィルム７の保護フィルムが積層されていない面がスパッタ電極７１および７２に対向するようにセットして巻き出し、ガイドロール８０および８１を介して、スパッタリング時の環状ポリオレフィンフィルムの表面温度が１５０℃になるよう温度調整されたバックアップロール６に通した。減圧度２×１０−１Ｐａとなるようにアルゴンガスおよび酸素ガス（酸素ガスの比率は１０％）を導入し、直流電源により投入電力４０００Ｗを印加することにより、アルゴン・酸素ガスプラズマを発生させ、ガスバリア層を形成した。その後、ガイドロール８２、８３および８４を介して巻き取り軸９に巻き取った。
【０１０５】
このガスバリア層の組成は、Ｚｎ原子濃度が２７．５ａｔｏｍ％、Ｓｉ原子濃度が１３．１ａｔｏｍ％、Ａｌ原子濃度が２．３ａｔｏｍ％、Ｏ原子濃度が５７．１ａｔｏｍ％であった。ガスバリア層の厚みは０．１５μｍであった。
【０１０６】
（実施例２）
実施例１において、保護フィルムａを保護フィルムｂに変更する以外は、実施例１と同様にしてガスバリアフィルムを得た。
【０１０７】
（実施例３）
実施例１において、環状ポリオレフィンフィルムの保護フィルムが積層された面の反対面にガスバリア層積層前にアンダーコート層を積層する以外は実施例１と同様にガスバリアフィルムを得た。
【０１０８】
＜アンダーコート層の積層＞
アンダーコート層形成用の塗工液として、ＤＩＣ（株）製“ユニディック”（登録商標）ＲＣ２９−１２４（ウレタンアクリレート系ＵＶ硬化型フィルムコート剤）をメチルエチルケトン（以下、ＭＥＫという場合がある）にてＮＶ(固形分濃度)５０質量％に調製したものを用いた。この塗工液をバーコーターで塗布、１００℃で１分間乾燥後、紫外線を３００ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射して硬化させ、厚みが１．０μｍのアンダーコート層を設けた。
【０１０９】
（実施例４）
実施例３において、環状ポリオレフィンフィルムのアンダーコート層とは反対面に下記のバックコート層を積層し、バックコート層上に保護フィルムaを積層する以外は実施例３と同様にして、ガスバリアフィルムを作成した。
【０１１０】
＜バックコート層の積層＞
下記の塗工液をバーコーターで塗布、１００℃で１分間乾燥後、紫外線を３００ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射して硬化させ、厚みが１．０μｍのバックコート層を設けた。
【０１１１】
＜塗工液＞
３官能のウレタンアクリレートオリゴマーを含有する紫外線硬化性樹脂塗布液（日本合成化学（株）の「ＵＶ−７５５０Ｂ」）を有機溶剤（ＭＥＫ）で希釈して固形分濃度が２０質量％の塗布液を調製した。
【０１１２】
（実施例５）
実施例１において、保護フィルムａを保護フィルムｃに変更する以外は、実施例１と同様にしてガスバリアフィルムを得た。
【０１１３】
（実施例６）
実施例１において、保護フィルムａを保護フィルムｄに変更する以外は、実施例１と同様にしてガスバリアフィルムを得た。
【０１１４】
（実施例７）
実施例１において、保護フィルムａを保護フィルムｅに変更する以外は、実施例１と同様にしてガスバリアフィルムを得た。
【０１１５】
（実施例８）
実施例１において、保護フィルムａを保護フィルムｆに変更する以外は、実施例１と同様にしてガスバリアフィルムを得た。
【０１１６】
（比較例１）
実施例１において、保護フィルムａを保護フィルムｇに変更する以外は、実施例１と同様にしてガスバリアフィルムを得た。
【０１１７】
（比較例２）
実施例１において、保護フィルムａを保護フィルムｈに変更する以外は、実施例１と同様にしてガスバリアフィルムを得た。
【０１１８】
（比較例３）
バリア層形成時に二酸化珪素を焼結したスパッタターゲットを使用した以外は実施例１と同様にしてガスバリアフィルムを得た。
【０１１９】
＜ガスバリアフィルムの評価＞
上記で作製した実施例および比較例のガスバリア積層体およびガスバリアフィルムを評価した結果を表１、表２に示す。
【０１２０】
【表１】
2019042943.tif 000003
【０１２１】
【表２】
2019042943.tif 000004
【符号の説明】
【０１２２】
１  ガスバリア積層体
２  ガスバリアフィルム
２１  環状ポリオレフィンフィルム
２２  ガスバリア層
２３  アンダーコート層
２４  バックコート層
３  保護フィルム
４  巻き取り式スパッタ装置
５  巻き出し軸
６  バックアップロール
７  保護フィルムが積層された環状ポリオレフィンフィルム
９  巻き取り軸
７１、７２  スパッタ電極
８０、８１、８２、８３、８４  ガイドロール
【図１】
2019042943.tif 000005
【図２】
2019042943.tif 000006
【図３】
2019042943.tif 000007
【図４】
2019042943.tif 000008