(57)【要約】【課題】可変インピーダンス変換器を用いなくても、一定でない加熱対象のインピーダンスに対処できるようにする。【解決手段】高周波加熱器１０は、加熱対象Ｔに高周波を照射する第１アンテナ２５ａと、前記第１アンテナ２５ａから照射される高周波を出力する第１増幅器１９ａと、前記第１アンテナ２５ａと前記第１増幅器１９ａとの間に設けられ、前記第１増幅器１９ａの出力インピーダンスを、第１インピーダンスに変換する第１非可変インピーダンス変換器２３ａと、前記加熱対象Ｔに高周波を照射する第２アンテナ２５ｂと、前記第２アンテナ２５ｂから照射される高周波を出力する第２増幅器１９ｂと、前記第２アンテナ２５ｂと前記第２増幅器１９ｂとの間に設けられ、前記第２増幅器１９ｂの出力インピーダンスを、前記第１インピーダンスとは異なる第２インピーダンスに変換する第２非可変インピーダンス変換器２３ｂと、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱対象に高周波を照射する第１アンテナと、
前記第１アンテナから照射される高周波を出力する第１増幅器と、
前記第１アンテナと前記第１増幅器との間に設けられ、前記第１増幅器の出力インピーダンスを、第１インピーダンスに変換する第１非可変インピーダンス変換器と、
前記加熱対象に高周波を照射する第２アンテナと、
前記第２アンテナから照射される高周波を出力する第２増幅器と、
前記第２アンテナと前記第２増幅器との間に設けられ、前記第２増幅器の出力インピーダンスを、前記第１インピーダンスとは異なる第２インピーダンスに変換する第２非可変インピーダンス変換器と、
を備える高周波加熱器。
【請求項２】
前記第１増幅器の出力の反射波及び前記第２増幅器の出力の反射波のモニタ結果に基づいて、前記第１増幅器及び前記第２増幅器を含む複数の増幅器の中から、高周波を出力する動作増幅器を選択するコントローラを更に備える
請求項１に記載の高周波加熱器。
【請求項３】
前記加熱対象に照射される高周波の周波数を変化させる周波数可変器を更に備える
請求項１又は２に記載の高周波加熱器。
【請求項４】
前記第１増幅器及び前記第２増幅器のうちの少なくともいずれか一方は、増幅器の出力の大きさに応じて電源電圧が変化する
請求項１〜３のいずれか１項に記載の高周波加熱器。
【請求項５】
前記第１アンテナ及び前記第２アンテナは、同心円状に配置されている
請求項１〜４のいずれか１項に記載の高周波加熱器。
【請求項６】
加熱対象に高周波を照射する第１アンテナから照射される高周波を出力する第１増幅器と、
前記第１増幅器の出力インピーダンスを、第１インピーダンスに変換する第１非可変インピーダンス変換器と、
前記加熱対象に高周波を照射する第２アンテナから照射される高周波を出力する第２増幅器と、
前記第２増幅器の出力インピーダンスを、前記第１インピーダンスとは異なる第２インピーダンスに変換する第２非可変インピーダンス変換器と、
を備える高周波出力回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波加熱器及び高周波出力回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、冷凍物を誘導加熱によって解凍する高周波解凍装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１３４９５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
加熱対象を加熱するには、アンテナから照射される高周波エネルギが、効率よく加熱対象に供給される必要がある。そのためには、加熱対象の高周波インピーダンスと同じインピーダンス条件で、高周波電磁界を形成する必要がある。しかし、高周波を出力する増幅器の出力インピーダンスは一定であるのに対して、加熱対象の高周波インピーダンスは、加熱対象によって異なり、一定ではない。したがって、加熱対象の高周波インピーダンスと増幅器の出力インピーダンスとの整合をとるためには、可変インピーダンス変換器が必要となる。
【０００５】
例えば、前述の特許文献１は、負荷インピーダンスの被解凍物の負荷インピーダンスの変動に応じて、負荷インピーダンスと高周波増幅回路の出力インピーダンスとの整合の調整が必要であることを開示している。
【０００６】
しかし、高周波加熱器のように大電力を扱う回路に用いられる可変インピーダンス変換器は、高電圧に耐えつつインピーダンスの調整が可能であることが求められるため、大型化し、構造も複雑になり、高コストである。
【０００７】
したがって、可変インピーダンス変換器を用いなくても、一定でない加熱対象のインピーダンスに対処できることが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
ある側面からみた本発明は、高周波加熱器である。高周波加熱器は、加熱対象に高周波を照射する第１アンテナと、前記第１アンテナから照射される高周波を出力する第１増幅器と、前記第１アンテナと前記第１増幅器との間に設けられ、前記第１増幅器の出力インピーダンスを、第１インピーダンスに変換する第１非可変インピーダンス変換器と、前記加熱対象に高周波を照射する第２アンテナと、前記第２アンテナから照射される高周波を出力する第２増幅器と、前記第２アンテナと前記第２増幅器との間に設けられ、前記第２増幅器の出力インピーダンスを、前記第１インピーダンスとは異なる第２インピーダンスに変換する第２非可変インピーダンス変換器と、を備えることができる。
【０００９】
他の側面からみた本発明は、高周波出力回路である。高周波出力回路は、例えば、加熱対象に高周波を照射する第１アンテナから照射される高周波を出力する第１増幅器と、前記第１増幅器の出力インピーダンスを、第１インピーダンスに変換する第１非可変インピーダンス変換器と、前記加熱対象に高周波を照射する第２アンテナから照射される高周波を出力する第２増幅器と、前記第２増幅器の出力インピーダンスを、前記第１インピーダンスとは異なる第２インピーダンスに変換する第２非可変インピーダンス変換器と、を備えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は高周波加熱器の回路図である。
【図２】図２は高周波加熱器の回路図である。
【図３Ａ】図３Ａは複数のアンテナの配置を示す斜視図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは図３ＡのＡ−Ａ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
［１．高周波加熱器及び高周波出力回路］
【００１２】
（１）実施形態に係る高周波加熱器は、加熱対象に高周波を照射する第１アンテナを備える。加熱対象は、例えば、食品であるが、特に、限定されない。加熱は、解凍のための加熱を含む。高周波加熱器は、前記第１アンテナから照射される高周波を出力する第１増幅器を含む。高周波加熱器は、第１非可変インピーダンス変換器を備える。非可変インピーダンス変換器は、固定値のインピーダンスを持ち、インピーダンスが可変でない。非可変インピーダンス変換器は、可変インピーダンス変換器に比べてコスト安である。
【００１３】
高周波加熱器は、前記加熱対象に高周波を照射する第２アンテナと、前記第２アンテナから照射される高周波を出力する第２増幅器と、前記第２アンテナと前記第２増幅器との間に設けられ、前記第２増幅器の出力インピーダンスを、前記第１インピーダンスとは異なる第２インピーダンスに変換する第２非可変インピーダンス変換器と、を備える。
【００１４】
第１非可変インピーダンス変換器と第２非可変インピーダンス変換器とは、それぞれ異なるインピーダンスへの変換をするため、第１増幅器及び第２増幅器の出力インピーダンスが同じであっても、異なるインピーダンス条件での高周波照射が可能である。したがって、可変インピーダンス変換器を用いなくても、一定でない加熱対象のインピーダンスに対処できる。
【００１５】
（２）高周波加熱器は、コントローラを更に備えることができる。コントローラは、前記第１増幅器及び前記第２増幅器を含む複数の増幅器の中から、高周波を出力する動作増幅器を選択することができる。動作増幅器とは、複数の増幅器のうち、照射される高周波を出力する増幅器をいう。動作増幅器は、１つでもよいし、複数でもよい。コントローラは、そのような選択を、前記第１増幅器の出力の反射波及び前記第２増幅器の出力の反射波のモニタ結果に基づいて行うことができる。コントローラは、例えば、反射波が少ない増幅器を動作増幅器として選択することができる。
【００１６】
（３）高周波加熱器は、前記加熱対象に照射される高周波の周波数を変化させる周波数可変器を更に備えることができる。この場合、周波数の変更が可能となる。
【００１７】
（４）前記第１増幅器及び前記第２増幅器のうちの少なくともいずれか一方は、増幅器の出力の大きさに応じて電源電圧が変化することができる。増幅器の出力の大きさに応じて電源電圧が変化することで、増幅器の効率的動作が可能である。
【００１８】
（５）前記第１アンテナ及び前記第２アンテナは、同心円状に配置されている。この場合、複数のアンテナにとっての適切な配置が得られる。
【００１９】
（６）実施形態に係る高周波出力回路は、加熱対象に高周波を照射する第１アンテナから照射される高周波を出力する第１増幅器と、前記第１増幅器の出力インピーダンスを、第１インピーダンスに変換する第１非可変インピーダンス変換器と、前記加熱対象に高周波を照射する第２アンテナから照射される高周波を出力する第２増幅器と、前記第２増幅器の出力インピーダンスを、前記第１インピーダンスとは異なる第２インピーダンスに変換する第２非可変インピーダンス変換器と、を備える。
【００２０】
［２．高周波加熱器の例］
【００２１】
図１に示す高周波加熱器１０は、高周波出力回路５０と、高周波出力回路５０から出力された高周波を加熱対象Ｔに照射する複数のアンテナ２５と、を備える。高周波出力回路５０は、複数の増幅器１９を備える。増幅器１９の数は、２以上であれば特に限定されない。図１に示す複数の増幅器１９は、第１増幅器１９ａ、第２増幅器１９ｂ、第３増幅器１９ｃ、及び第４増幅器１９ｄという４つの増幅器を含む。複数の増幅器１９は、並列に配置されている。複数の増幅器１９は、同じ出力インピーダンスを持つことができる。
【００２２】
高周波出力回路５０は、高周波を発生する発振器１１を備える。高周波出力回路５０は、発振器１１から出力された高周波の周波数を変更する周波数可変器１３を備える。周波数可変器１３の出力は、前置増幅器１５によって増幅される。
【００２３】
高周波出力回路５０は、高周波が供給される増幅器を切り替えるための増幅器切替器１７を備える。切替器１７は、例えば、前置増幅器１５と複数の増幅器１９との間に配置される。切替器１７は、一入力複数出力の回路であり、入力された高周波を、複数の出力端の何れかから出力する。
【００２４】
複数のアンテナ２５は、第１アンテナ２５ａ、第２アンテナ２５ｂ、第３アンテナ２５ｃ、第４アンテナ２５ｄを含む。第１アンテナ２５ａは、第１増幅器１９ａから出力された高周波を対象Ｔに照射する。第２アンテナ２５ｂは、第２増幅器１９ｂから出力された高周波を対象Ｔに照射する。第３アンテナ２５ｃは、第３増幅器１９ｃから出力された高周波を対象Ｔに照射する。
【００２５】
高周波出力回路５０は、複数のインピーダンス変換器２３を備える。複数のインピーダンス変換器２３それぞれは、インピーダンスが固定値である非可変インピーダンス変換器である。インピーダンス変換器２３として、非可変型を採用することで、インピーダンス変換器２３の大型化・複雑化を防止でき、コスト上昇も抑制できる。複数のインピーダンス変換器２３は、増幅器１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄの出力インピーダンスを、互いに異なるインピーダンスに変換する。図１に示す複数のインピーダンス変換器２３は、第１インピーダンス変換器２３ａ、第２インピーダンス変換器２３ｂ、第３インピーダンス変換器２３ｃ、第４インピーダンス変換器２３ｄを含む。
【００２６】
第１インピーダンス変換器（第１非可変インピーダンス変換器）２３ａは、第１増幅器１９ａの出力インピーダンスを、第１インピーダンスに変換する。第１インピーダンスは、例えば、５Ωである。この場合、第１インピーダンス変換器２３ａに接続された第１アンテナ２５ａから放射される高周波エネルギは、対象Ｔの高周波インピーダンスが５Ω近傍である場合に、効率よく対象Ｔに供給される。
【００２７】
第２インピーダンス変換器（第２非可変インピーダンス変換器）２３ｂは、第２増幅器１９ｂの出力インピーダンスを、第２インピーダンスに変換する。第２インピーダンスは、例えば、１０Ωである。この場合、第２インピーダンス変換器２３ｂに接続された第２アンテナ２５ｂから放射される高周波エネルギは、対象Ｔの高周波インピーダンスが１０Ω近傍である場合に、効率よく対象Ｔに供給される。
【００２８】
第３インピーダンス変換器（第３非可変インピーダンス変換器）２３ｃは、第３増幅器１９ｃの出力インピーダンスを、第３インピーダンスに変換する。第３インピーダンスは、例えば、２０Ωである。この場合、第３インピーダンス変換器２３ｃに接続された第３アンテナ２５ｃから放射される高周波エネルギは、対象Ｔの高周波インピーダンスが２０Ω近傍である場合に、効率よく対象Ｔに供給される。
【００２９】
第４インピーダンス変換器（第４非可変インピーダンス変換器）２３ｄは、第４増幅器１９ｄの出力インピーダンスを、第４インピーダンスに変換する。第４インピーダンスは、例えば、５０Ωである。この場合、第４インピーダンス変換器２３ｄに接続された第４アンテナ２５ｄから放射される高周波エネルギは、対象Ｔの高周波インピーダンスが５０Ω近傍である場合に、効率よく対象Ｔに供給される。
【００３０】
以下では、第１増幅器１９ａ及び第１アンテナ２５ａを有する経路を第１経路といい、第２増幅器１９ｂ及び第２アンテナ２５ｂを有する経路を第２経路といい、第３増幅器１９ｃ及び第３アンテナ２５ｃを有する経路を第３経路といい、第４増幅器１９ｄ及び第４アンテナ２５ｄを有する経路を第４経路という。
【００３１】
高周波出力回路５０は、複数の増幅器１９それぞれの出力の反射波をモニタする複数のモニタ回路２１を備える。例えば、図１の複数のモニタ回路２１は、第１モニタ回路２１ａ、第２モニタ回路２１ｂ、第３モニタ回路２１ｃ、第４モニタ回路２１ｄを含む。
【００３２】
第１モニタ回路２１ａは、第１経路に設けられており、より具体的には、第１増幅器１９ａの出力側に接続されており、第１増幅器１９ａから出力された高周波の反射波をモニタする。第２モニタ回路２１ｂは、第２経路に設けられており、より具体的には、第２増幅器１９ｂの出力側に接続されており、第２増幅器１９ｂから出力された高周波の反射波をモニタする。第３モニタ回路２１ｃは、第３経路に設けられており、第３増幅器１９ｃの出力側に接続されており、第３増幅器１９ｃから出力された高周波の反射波をモニタする。第４モニタ回路２１ｄは、第４経路に設けられており、第４増幅器１９ｄの出力側に接続されており、第４増幅器１９ｄから出力された高周波の反射波をモニタする。
【００３３】
対象Ｔの高周波インピーダンスとは異なるインピーダンス条件で高周波が照射されると、高周波エネルギが効率良く対象Ｔに供給されなくなり、高周波の反射が大きくなる。したがって、反射波をモニタすることで、複数の増幅器１９のうちのいずれの増幅器からの出力が、効率良く対象Ｔに供給されているかを把握することができる。
【００３４】
複数のモニタ回路２１によるモニタ結果は、コントローラ３１に与えられる。モニタ結果は、反射波だけを示すものであってもよいし、反射波による影響を受けた増幅器出力を示すものであってもよい。コントローラ３１は、モニタ結果に基づいて、高周波出力回路５０を制御する。コントローラ３１による制御は、切替器１７の制御を含む。コントローラ３１は、複数のモニタ回路２１のうち、反射波が最も小さく観測されたモニタ回路に接続された増幅器を動作増幅器として選択する。コントローラ３１は、切替器１７に入力された高周波が、動作増幅器に入力されるように、高周波が入力される経路を切り替える。
【００３５】
例えば、対象Ｔの高周波インピーダンスが５Ω程度である場合には、第１モニタ回路２１ａによって観測される反射波が最も小さくなる。この場合、第１増幅器１９ａが動作増幅器として選択される。コントローラ３１は、切替器１７に入力された高周波が、動作増幅器である第１増幅器１９ａに与えられるように、切替器１７の経路を切り替える。これにより、第１増幅器１９ａから出力された高周波が、第１アンテナ２５ａから対象Ｔへ照射される。第１増幅器１９ａから高周波を出力することで、対象Ｔの高周波インピーダンスと概ね整合がとれた状態となり、高周波エネルギが効率的に対象Ｔに供給される。
【００３６】
コントローラ３１による動作増幅器の選択は、第１経路、第２経路、第３経路、及び第４経路のうちのいずれか一つの経路の選択でもある。各経路は、高周波照射のインピーダンス条件が異なるため、対象Ｔの高周波インピーダンスに応じて、適切な経路を選択することで、高周波エネルギが効率的に対象Ｔに供給される。
【００３７】
切替器１７は、図１に示すように、動作増幅器を択一的に選択する切替方式であってもよいし、図２に示すように、複数の増幅器を同時に動作増幅器として選択可能な切替方式であってもよい。図２の切替器１７の場合、コントローラ３１は、動作増幅器として、一つの増幅器を選択することができるし、動作増幅器として、複数の増幅器１９の一部又は全部の増幅器、すなわち、２個、３個、又は４個の増幅器を同時に選択することができる。なお、図２において、切替器１７以外の構成は、図１と同様である。
【００３８】
コントローラ３１は、複数の動作増幅器として、反射波が少ない増幅器を選択することができる。例えば、第２モニタ回路２１ｂによってモニタされる反射波が最も小さく、第３モニタ回路２１ｃによってモニタされる反射波がその次に小さい場合、コントローラ３１は、第２増幅器１９ｂ及び第３増幅器１９ｃを、動作増幅器として選択することができる。
【００３９】
複数の動作増幅器が選択される場合、コントローラ３１は、反射波が小さい動作増幅器ほど大きなパワーの高周波を出力するように制御することができる。例えば、第２モニタ回路２１ｂによってモニタされる反射波が最も小さく、第３モニタ回路２１ｃによってモニタされる反射波がその次に小さい場合、コントローラ３１は、第２増幅器１９ｂ及び第３増幅器１９ｃを動作増幅器として選択し、第２増幅器１９ｂの出力パワーを、第３増幅器１９ｃよりも大きくすることができる。これにより、複数の増幅器による大きな高周波エネルギの供給を行いつつも、反射波の少ない増幅器からの比較的大きなパワー供給により、エネルギ供給の効率化の低下を抑制できる。なお、増幅器の出力のパワーは、例えば、増幅器の増幅率の調整、又は、増幅器に入力される信号の大きさの調整によって行うことができる。
【００４０】
コントローラ３１は、高周波加熱器１０による加熱動作の開始直後に、１又は複数の動作増幅器を選択することができる。加熱動作の開始直後においては、複数の増幅器１９を動作させ、反射波のモニタ結果に基づいて、適切な動作増幅器を選択することで、加熱動作の大部分において、高周波エネルギを効率的に供給できる。
【００４１】
コントローラ３１は、加熱動作中に、動作増幅器を切り替えてもよい。加熱動作中の動作増幅器の切り替えにより、加熱によって対象Ｔの高周波インピーダンスが変動した場合にも対処できる。例えば、コントローラ３１は、加熱動作中において、動作増幅器及び動作増幅器以外の増幅器を動作させて、複数の増幅器１９それぞれのモニタ結果を取得し、反射波の少ない増幅器を新たな動作増幅器として選択することができる。これにより、高周波加熱器１０は、加熱中に加熱対象Ｔのインピーダンスが変動しても、その変動に追従して、適切なインピーダンス条件で高周波を照射することができる。
【００４２】
コントローラ３１による制御は、周波数可変器１３の制御を含む。コントローラ３１は、対象Ｔに与えられる高周波の周波数を最適化するため、発振器１１から与えられた高周波の周波数を変更すべく、周波数可変器１３を制御する。例えば、コントローラ３１は、ユーザなどの外部からの指示又は設定値に基づいて、周波数可変器１３を制御する。また、コントローラ３１は、最適周波数のサーチのため、周波数を変化させつつ高周波を対象Ｔに照射させ、反射波のモニタ結果に基づいて、周波数可変器１３を制御してもよい。
【００４３】
コントローラ３１は、複数の増幅器１９から動作増幅器を選択した後に、周波数を設定する処理を行うことができる。また、コントローラ３１は、選択された動作増幅器、すなわち、選択された経路に応じて、周波数を設定することができる。コントローラ３１は、動作増幅器が含まれる複数の経路を選択した場合、選択された経路に応じて、適した周波数を設定することができる。コントローラ３１は、複数の経路毎に異なる周波数に調整することができる。なお、経路毎に異なる周波数に調整する場合には、各経路が、周波数発振器を備えているのが好ましい。
【００４４】
コントローラ３１による制御は、複数の増幅器１９の制御を含む。コントローラ３１は、例えば、複数の増幅器それぞれの電源電圧を制御する。増幅器の出力電圧に応じて、増幅器の電源電圧を変化させることで、増幅器を高効率動作させることができる。例えば、増幅器の出力電圧が小さいときには、増幅器の電源電圧も小さくし、増幅器の出力電圧が大きいときは、増幅器の電源電圧も大きくすればよい。増幅器の出力電圧が小さいのに、増幅器の電源電圧が大きいと、高周波信号に変換されなかった電力が熱になって放熱され、非効率であるが、増幅器の出力電圧に応じて、増幅器の電源電圧を変化させることで、効率化が図られる。なお、コントローラ３１は、複数の増幅器１９のうち、動作増幅器として選択されたものの電源電圧を制御すればよい。
【００４５】
コントローラ３１は、増幅器の出力電圧を、ユーザなどの外部からの指示又は設定値に基づいて決定することができる。また、コントローラ３１は、増幅器の出力電圧を、モニタ回路のモニタ結果に基づいて把握してもよい。増幅器の出力電圧は、増幅器の入力電圧をモニタすることで間接的に把握してもよいし、増幅器の出力電圧をモニタすることで直接把握してもよい。
【００４６】
図３Ａ及び図３Ｂは、複数のアンテナ２５の配置の例を示している。図３Ａは、調理用の高周波加熱器（いわゆる電子レンジ）１０を示している。図３Ａに示すように、複数のアンテナ２５は、高周波加熱器１０の調理室の天井面１００ａに配置される。複数のアンテナ２５は、調理室の底面１００ｂ又は左右側面１００ｃ，１００ｄに配置されていてもよい。複数のアンテナ２５は、調理室を各面１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，１００ｄのいずれか一つの面に、集中的に配置されていてもよい。例えば、図３Ａでは、複数のアンテナ２５全てが、天井面１００ａに集中的に配置されている。複数のアンテナ２５は、調理室を区画する複数の面１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，１００ｄのうちの２以上の面に分散配置されていてもよい。例えば、第１アンテナ２５ａ及び第３アンテナ２５ｃは、面１００ｃに配置され、第２アンテナ２５ｂ及び第４アンテナ２５ｄは、面１００ｄに配置されていてもよい。
【００４７】
図３Ａ及び図３Ｂに示す複数のアンテナ２５は、それぞれ、リング状であって、径方向の大きさが異なり、同心円状に配置される。複数のアンテナ２５が同心円状に配置されることで、調理室底面１００ｂのほぼ中央に設置される加熱対象Ｔに対して、複数のアンテナ２５のいずれも対向配置となり、均一な高周波の照射が可能となり有利である。
【００４８】
図３Ｂに示すように、複数のアンテナ２５は、多層構造であるのが好ましい。各アンテナ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄが異なる層に形成されていることで、各アンテナ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄが無端リング状であっても、各アンテナ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄにつながる給電線２９ａ，２９ｂ，２９，２９ｄの配置が可能となる。
【００４９】
例えば、図３Ｂにおいては、第１アンテナ２５ａ及び第１アンテナ２５ａに接続される給電線２９ａは、基板２８ａの上面に形成されている。第２アンテナ２５ｂ及び第２アンテナ２５ｂに接続される給電線２９ｂは、基板２８ａ及び基板２８ｂの間に形成されている。第３アンテナ２５ｃ及び第３アンテナ２５ｃに接続される給電線２９ｃは、基板２８ｂと基板２８ｃとの間に形成されている。第４アンテナ２５ｄ及び第４アンテナ２５ｄに接続される給電線２９ｄは、基板２８ｃの下面に形成されている。各給電線２９ａ，２９ｂ，２９ｄ，２９ｃは、接続されるアンテナ以外のアンテナとの接触が回避された配置となっている。なお、給電線２９ａ，２９ｂ，２９ｃ，２９ｄは、高周波出力回路５０に接続されており、増幅器１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄから出力された高周波をアンテナに供給する。
【００５０】
［３．変形］
【００５１】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１０  高周波加熱器
１１  発振器
１３  周波数可変器
１７  増幅器切替器
１９  複数の増幅器
１９ａ  第１増幅器
１９ｂ  第２増幅器
１９ｃ  第３増幅器
１９ｄ  第４増幅器
２１  複数のモニタ回路
２１ａ  第１モニタ回路
２１ｂ  第２モニタ回路
２１ｃ  第３モニタ回路
２１ｄ  第４モニタ回路
２３  複数のインピーダンス変換器
２３ａ  第１インピーダンス変換器
２３ｂ  第２インピーダンス変換器
２３ｃ  第３インピーダンス変換器
２３ｄ  第３インピーダンス変換器
２５  複数のアンテナ
２５ａ  第１アンテナ
２５ｂ  第２アンテナ
２５ｃ  第３アンテナ
２５ｄ  第４アンテナ
２８ａ  基板
２８ｂ  基板
２８ｃ  基板
２９ａ  第１給電線
２９ｂ  第２給電線
２９ｃ  第３給電線
２９ｄ  第４給電線
３１  コントローラ
【図１】
2019067729.tif 000003
【図２】
2019067729.tif 000004
【図３Ａ】
2019067729.tif 000005
【図３Ｂ】
2019067729.tif 000006