(57)【要約】      （修正有）【課題】交換すべき切削ブレードを充分ストックできると共にブレード交換手段を備えた切削装置を提供する。【解決手段】切削ブレード供給装置は、複数の切削ブレードＢをストックする切削ブレードストッカーと、切削ブレードストッカーから切削ブレードＢを搬出し切削装置まで搬送する搬送手段と、搬送手段によって搬送された切削ブレードＢを切削装置のブレード交換手段に受け渡す受け渡し手段と、制御手段とを含む。切削ブレードストッカーは、中央に形成されスピンドルに装着される装着口Ｏと装着口Ｏの外周に形成された切り刃Ｋとから構成された切削ブレードＢを収容する切削ブレードケース１６と、切削ブレードケース載置手段１８とを備える。切削ブレードケース１６は、切削ブレードＢを重ねて収容する筒体２０と、装着口Ｏに挿入し切り刃Ｋと筒体２０の内壁との接触を避けるロッド２２とから少なくとも構成される。【選択図】図２
2019042909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的に加工送りする送り手段と、該切削手段に装着された切削ブレードを自動的に着脱するブレード交換手段と、を少なくとも備えた切削装置に切削ブレードを供給する切削ブレード供給装置であって、
複数の切削ブレードをストックする切削ブレードストッカーと、該切削ブレードストッカーから切削ブレードを搬出し該切削装置まで搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送された切削ブレードを該ブレード交換手段に受け渡す受け渡し手段と、制御手段と、を含み、
該切削ブレードストッカーは、中央に形成されスピンドルに装着される装着口と該装着口の外周に形成された切り刃とから構成された切削ブレードを収容する切削ブレードケースと、該切削ブレードケースが載置される切削ブレードケース載置手段とを備え、
該切削ブレードケースは、２個以上の切削ブレードを重ねて収容する筒体と、該装着口に挿入し該切り刃と該筒体の内壁との接触を避けるロッドと、から少なくとも構成され、
該制御手段は、該切削装置が必要とする切削ブレードを適宜選択して該切削装置まで該搬送手段によって搬送させる切削ブレード供給装置。
【請求項２】
該搬送手段は、該切削ブレードストッカーから切削ブレードを搬出する搬出部と、該搬出部によって搬出された切削ブレードを該切削装置まで搬送するベルトコンベアーと、から少なくとも構成される請求項１記載の切削ブレード供給装置。
【請求項３】
該受け渡し手段は、該搬送手段によって搬送された切削ブレードを保持し搬出する搬出機と、該搬出機によって搬出された切削ブレードを受け取り該ブレード交換手段まで搬送するブレードラックと、から少なくとも構成される請求項１記載の切削ブレード供給装置。
【請求項４】
表示手段を更に備え、
該制御手段は、該切削ブレードストッカーから搬出させた切削ブレードの数量を切削ブレードの種類毎に記録し、該切削ブレードストッカーに更にストック可能な切削ブレードの数量を切削ブレードの種類毎に該表示手段に表示させる請求項１記載の切削ブレード供給装置。
【請求項５】
該切削ブレードケースは、該筒体の一端部を着脱自在に閉塞する蓋壁と、該筒体の他端部を閉塞する端壁とを備え、
該端壁の中央部に該ロッドが固定される請求項１記載の切削ブレード供給装置。
【請求項６】
中央に形成されスピンドルに装着される装着口と該装着口の外周に形成された切り刃とから構成された切削ブレードを収容する切削ブレードケースであって、
２個以上の切削ブレードを重ねて収容する筒体と、該装着口に挿入し該切り刃と該筒体の内壁との接触を避けるロッドと、
から少なくとも構成される切削ブレードケース。
【請求項７】
該筒体の一端部を着脱自在に閉塞する蓋壁と、該筒体の他端部を閉塞する端壁とを備え、該端壁の中央部に該ロッドが固定される請求項６記載の切削ブレードケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置に切削ブレードを供給する切削ブレード供給装置、および切削ブレードを収容する切削ブレードケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは切削装置によって個々のデバイスに分割され、分割された各デバイスは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
また、切削装置の無人稼働を可能にするために切削ブレードを自動で交換できる切削装置が本出願人によって開発されている（たとえば特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４８３７９７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記特許文献１に開示された切削装置では、交換すべき切削ブレードのストックが不充分であり、長時間にわたる無人稼働が困難であるという問題がある。
【０００６】
上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、交換すべき切削ブレードを充分ストックできると共にブレード交換手段を備えた切削装置に切削ブレードを適宜供給できる切削ブレード供給装置、および切削ブレード供給装置への切削ブレードの補充が容易である切削ブレードケースを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明の第一の局面が提供するのは以下の切削ブレード供給装置である。すなわち、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的に加工送りする送り手段と、該切削手段に装着された切削ブレードを自動的に着脱するブレード交換手段と、を少なくとも備えた切削装置に切削ブレードを供給する切削ブレード供給装置であって、複数の切削ブレードをストックする切削ブレードストッカーと、該切削ブレードストッカーから切削ブレードを搬出し該切削装置まで搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送された切削ブレードを該ブレード交換手段に受け渡す受け渡し手段と、制御手段と、を含み、該切削ブレードストッカーは、中央に形成されスピンドルに装着される装着口と該装着口の外周に形成された切り刃とから構成された切削ブレードを収容する切削ブレードケースと、該切削ブレードケースが載置される切削ブレードケース載置手段とを備え、該切削ブレードケースは、２個以上の切削ブレードを重ねて収容する筒体と、該装着口に挿入し該切り刃と該筒体の内壁との接触を避けるロッドと、から少なくとも構成され、該制御手段は、該切削装置が必要とする切削ブレードを適宜選択して該切削装置まで該搬送手段によって搬送させる切削ブレード供給装置である。
【０００８】
好ましくは、該搬送手段は、該切削ブレードストッカーから切削ブレードを搬出する搬出部と、該搬出部によって搬出された切削ブレードを該切削装置まで搬送するベルトコンベアーと、から少なくとも構成される。該受け渡し手段は、該搬送手段によって搬送された切削ブレードを保持し搬出する搬出機と、該搬出機によって搬出された切削ブレードを受け取り該ブレード交換手段まで搬送するブレードラックと、から少なくとも構成されるのが好適である。表示手段を更に備え、該制御手段は、該切削ブレードストッカーから搬出させた切削ブレードの数量を切削ブレードの種類毎に記録し、該切削ブレードストッカーに更にストック可能な切削ブレードの数量を切削ブレードの種類毎に該表示手段に表示させるのが好都合である。該切削ブレードケースは、該筒体の一端部を着脱自在に閉塞する蓋壁と、該筒体の他端部を閉塞する端壁とを備え、該端壁の中央部に該ロッドが固定されるのが好ましい。
【０００９】
本発明の第二の局面が提供するのは以下の切削ブレードケースである。すなわち、中央に形成されスピンドルに装着される装着口と該装着口の外周に形成された切り刃とから構成された切削ブレードを収容する切削ブレードケースであって、２個以上の切削ブレードを重ねて収容する筒体と、該装着口に挿入し該切り刃と該筒体の内壁との接触を避けるロッドと、から少なくとも構成される切削ブレードケースである。
【００１０】
好ましくは、該筒体の一端部を着脱自在に閉塞する蓋壁と、該筒体の他端部を閉塞する端壁とを備え、該端壁の中央部に該ロッドが固定される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の第一の局面が提供する切削ブレード供給装置は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的に加工送りする送り手段と、該切削手段に装着された切削ブレードを自動的に着脱するブレード交換手段と、を少なくとも備えた切削装置に切削ブレードを供給する切削ブレード供給装置であって、複数の切削ブレードをストックする切削ブレードストッカーと、該切削ブレードストッカーから切削ブレードを搬出し該切削装置まで搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送された切削ブレードを該ブレード交換手段に受け渡す受け渡し手段と、制御手段と、を含み、該切削ブレードストッカーは、中央に形成されスピンドルに装着される装着口と該装着口の外周に形成された切り刃とから構成された切削ブレードを収容する切削ブレードケースと、該切削ブレードケースが載置される切削ブレードケース載置手段とを備え、該切削ブレードケースは、２個以上の切削ブレードを重ねて収容する筒体と、該装着口に挿入し該切り刃と該筒体の内壁との接触を避けるロッドと、から少なくとも構成され、該制御手段は、該切削装置が必要とする切削ブレードを適宜選択して該切削装置まで該搬送手段によって搬送させるように構成されているので、交換すべき切削ブレードを充分ストックできると共に、ブレード交換手段を備えた切削装置に切削ブレードを適宜供給でき、したがって長時間にわたる切削装置の無人稼働を可能にすることができる。
【００１２】
本発明の第二の局面が提供する切削ブレードケースは、中央に形成されスピンドルに装着される装着口と該装着口の外周に形成された切り刃とから構成された切削ブレードを収容する切削ブレードケースであって、２個以上の切削ブレードを重ねて収容する筒体と、該装着口に挿入し該切り刃と該筒体の内壁との接触を避けるロッドと、から少なくとも構成されているので、切削ブレードを複数収容した切削ブレードケースが切削ブレードストッカーの一部として用いられ得ることとなり、したがって切削ブレード供給装置への切削ブレードの補充が容易である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に従って構成された切削ブレード供給装置及び複数台の切削装置の斜視図。
【図２】図１に示す切削ブレードストッカーの内部斜視図。
【図３】（ａ）図２に示す切削ブレードケースに切削ブレードを収容している状態を示す斜視図、（ｂ）切削ブレードケースに複数の切削ブレードが収容された状態を示す斜視図、（ｃ）（ｂ）の状態から筒体及び蓋壁を省略して示す切削ブレードケースの斜視図、（ｄ）筒体の一端部が蓋壁によって閉塞された状態を示す斜視図。
【図４】（ａ）変形例の切削ブレードケースのロッドに切削ブレードを収容している状態を示す斜視図、（ｂ）変形例の切削ブレードケースのロッドに切削ブレードを収容した後に筒体を装着している状態を示す斜視図、（ｃ）（ｂ）に示す状態から切削ブレードが収容されたロッド及び端壁に筒体及び蓋壁が装着された状態を示す斜視図。
【図５】図２に示す切削ブレードストッカー及び搬送手段の斜視図。
【図６】受け渡し手段及び切削装置の要部斜視図。
【図７】図６に示すスピンドルユニットの要部分解斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に従って構成された切削ブレード供給装置及び切削ブレードケースの実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１５】
図示の実施形態では図１に示すとおり、切削ブレード供給装置２と、切削ブレード供給装置２によって切削ブレードが供給される３台の切削装置１００とが図１に矢印Ｙで示すＹ方向に沿って配置されている。切削ブレード供給装置２は、複数の切削ブレードをストックする切削ブレードストッカー４（図１参照。）と、切削ブレードストッカー４から切削ブレードを搬出し切削装置１００まで搬送する搬送手段６（図５参照。）と、搬送手段６によって搬送された切削ブレードを切削装置１００の後述のブレード交換手段１０８に受け渡す受け渡し手段８（図６参照。）と、制御手段（図示していない。）とを含む。なお、図１に矢印Ｘで示すＸ方向はＹ方向に直交する方向であり、Ｘ方向及びＹ方向が規定する平面は実質上水平である。また、本明細書では図１においてＸ方向の紙面手前側を前方とし、Ｘ方向の紙面奥側を後方として説明する。
【００１６】
図１から図４までを参照して切削ブレードストッカー４について説明する。図１に示すとおり、切削ブレードストッカー４は、複数の切削ブレードを内部にストック可能な直方体状の枠体１０を含む。枠体１０の前面には、双方に取っ手１２ａが付設された観音開き式の扉１２が装着されており、作業員によって扉１２が開放されて枠体１０の内部に切削ブレードがストックされる。枠体１０の上面には、切削ブレードストッカー４に更にストック可能な切削ブレードの数量や、切削ブレードストッカー４にストックされている切削ブレードの数量を切削ブレードの種類毎に表示する表示手段１４が搭載されている。図２に示すとおり、枠体１０の内部には、中央に形成され切削装置１００の後述のスピンドル１２８に装着される装着口Ｏと装着口Ｏの外周に形成された切り刃Ｋとから構成された環状の切削ブレードＢを収容する切削ブレードケース１６と、切削ブレードケース１６が載置される切削ブレードケース載置手段１８とが設けられている。切削ブレードケース１６は、２個以上の切削ブレードＢを重ねて収容する円筒状の筒体２０と、切削ブレードＢの装着口Ｏに挿入し切り刃Ｋの周縁と筒体２０の内壁との接触を避ける円柱状のロッド２２と、から少なくとも構成される。図示の実施形態では図３に示すとおり、切削ブレードケース１６は、筒体２０の一端部（図３における上端部）を着脱自在に閉塞する円板状の蓋壁２４と、筒体２０の他端部（図３における下端部）を閉塞する円板状の端壁２６とを備え、端壁２６の中央部にロッド２２が固定されている。図３に示すとおり、筒体２０の他端部と端壁２６の周縁部とは固定されていてもよく、あるいは、図４に示すとおり、筒体２０の他端部と端壁２６の周縁部とは着脱自在に構成されていてもよい。なお、図４に示す切削ブレードケース１６の変形例においては、筒体２０の一端部に蓋壁２４が固定されている。図示の実施形態では図３に示すとおり、ロッド２２の軸方向端面には被係合凹部２２ａが形成され、蓋壁２４の片面には被係合凹部２２ａに係合する係合突起２４ａが形成されている。係合突起２４ａが被係合凹部２２ａに係合することによって、ロッド２２に着脱自在に蓋壁２４が装着され、筒体２０の一端部が蓋壁２４によって閉塞される。図示の実施形態における切削ブレード載置手段１８は、Ｙ方向に延びる載置板２７から構成されている。載置板２７の上面には、Ｙ方向に間隔をおいて下方に没入する円形状の載置凹所２７ａが３個形成されている。載置凹所２７ａの直径は切削ブレードケース１６の筒体２０の外径に対応している。そして、切削ブレードＢの種類毎に切削ブレードＢが収容された切削ブレードケース１６が各載置凹所２７ａに載置される。また、枠体１０の後面は開放されており、開放された枠体１０の後面から各切削ブレードケース１６に収容された切削ブレードＢが搬送手段６によって搬出され得るようになっている。
【００１７】
図１及び図５を参照して搬送手段６について説明する。図示の実施形態では図５に示すとおり、搬送手段６は、切削ブレードストッカー４から切削ブレードＢを搬出する搬出部２８と、搬出部２８によって搬出された切削ブレードＢを切削装置１００まで搬送するベルトコンベアー３０と、から少なくとも構成される。搬出部２８は、切削ブレードケース１６に隣接して上下方向に延びる支柱３２と、支柱３２の下端に固定されたモータ３４とを含む。支柱３２は、モータ３４によって上下方向に延びる軸線を中心として回転される。支柱３２の上端には実質上水平に延びるアーム３５の基端部が固定されている。アーム３５の先端部には、昇降機構３６を介して環状の吸着片３７が昇降自在に接続されている。昇降機構３６は、アーム３５の先端部に固定されたハウジング３８と、ハウジング３８の内部に設けられたピニオンギア（図示していない。）と、ピニオンギアを回転させるモータ（図示していない。）と、ピニオンギアに噛み合うラックギア３９とを有する。そしてモータによってピニオンギアが回転されると上下方向に延びるラックギア３９が昇降し、これによってラックギア３９の下端に接続された吸着片３７が昇降される。下面に複数の吸引孔（図示していない。）が形成されている吸着片３７は、流路によって吸引手段（図示していない。）に接続されている。そして、搬出部２８においては、吸引手段によって吸着片３７の下面に吸引力を生成することにより、切削ブレードケース１６に収容された切削ブレードＢを吸着片３７で吸着して保持することができ、かつ、昇降機構３６及びモータ３４を駆動することにより、吸着片３７で吸着した切削ブレードＢを切削ブレードストッカー４の切削ブレードケース１６から搬出し、ベルトコンベアー３０まで搬送することができる。なお、搬出部２８の数量は、切削ブレードストッカー４の切削ブレードケース１６の数量と同じ数量でよい。あるいは、複数の切削ブレードケース１６に吸着片３７を位置づけることができる場合（たとえば、アーム３５が水平方向に伸縮自在に構成され、かつアーム３５を伸縮する伸縮手段を搬出部２８が備えている場合）には、搬出部２８の数量は切削ブレードケース１６の数量よりも少なくてもよい。図１に示すとおり、ベルトコンベアー３０は、搬出部２８の後方から、切削ブレードストッカー４から最も離間している切削装置１００の後方までＹ方向に沿って延びている。そして、ベルトコンベアー３０は、搬出部２８によって搬出された切削ブレードＢを受け取り、３台の切削装置１００の後方に選択的に切削ブレードＢを搬送する。
【００１８】
図６を参照して受け渡し手段８について説明する。図示の実施形態における受け渡し手段８は、搬送手段６によって搬送された切削ブレードＢを保持し搬出する搬出機４０と、搬出機４０によって搬出された切削ブレードＢを受け取り切削装置１００のブレード交換手段１０８まで搬送するブレードラック４２と、から少なくとも構成される。搬出機４０は、搬送手段６のベルトコンベアー３０を挟んで切削装置１００の後方に配置されたケーシング４４を含む。ケーシング４４の前面（図６における手前側の面）にはＬ字状開口４４ａが形成され、Ｌ字状開口４４ａを通ってＸ方向に突出するアーム４６がＸ方向に延びる軸線を中心として回転自在、Ｙ方向に移動自在かつ昇降自在にケーシング４４に支持されている。また、ケーシング４４には、Ｘ方向に延びる軸線を中心としてアーム４６を回転させる回転手段（図示していない。）と、Ｌ字状開口４４ａのＹ方向に延びる部分に沿ってアーム４６をＹ方向に移動させるＹ方向移動手段（図示していない。）と、Ｌ字状開口４４ａの上下方向に延びる部分に沿ってアーム４６を昇降させる昇降手段（図示していない。）とが設けられている。回転手段は、アーム４６に連結されたモータから構成され得る。Ｙ方向移動手段は、たとえば、ナット部が回転手段を介してアーム４６に接続されＹ方向に延びるボールねじと、このボールねじに連結されたモータとから構成され得る。昇降手段は、たとえば、ナット部が回転手段及びＹ方向移動手段を介してアーム４６に接続され上下方向に延びるボールねじと、このボールねじに連結されたモータとから構成され得る。また、図６に示すとおり、アーム４６の先端部には円柱状の吸着片４８が固定されている。軸方向一端面（図６における下面）に複数の吸引孔（図示していない。）が形成されている吸着片４８は、流路によって吸引手段（図示していない。）に接続されている。そして、搬出機４０においては、吸引手段によって吸着片４８の下面に吸引力を生成することにより、搬送手段６のベルトコンベアー３０によって搬送された切削ブレードＢを吸着片４８で吸着して保持することができ、かつ、昇降手段、Ｙ方向移動手段及び回転手段によってアーム４６を移動及び回転させることにより、吸着片４８で吸着した切削ブレードＢをベルトコンベアー３０から搬出することができる。
【００１９】
図６を参照して受け渡し手段８についての説明を続ける。受け渡し手段８のブレードラック４２は、搬出機４０に隣接してベルトコンベアー３０の上方から切削装置１００のブレード交換手段１０８に対向する位置までＸ方向に延びる案内部材５０と、Ｘ方向に移動自在に案内部材５０に搭載された直方体状の可動片５２と、可動片５２をＸ方向に移動させるＸ方向移動手段５４とを含む。案内部材５０の上面にはＸ方向に延びる案内開口５０ａが形成されている。Ｘ方向移動手段５４は、案内部材５０の内部においてＸ方向に延びるボールねじ（図示していない。）と、このボールねじに連結されたモータ５６とを有し、案内部材５０の案内開口５０ａに沿って可動片５２をＸ方向に移動させる。図６に示すとおり、可動片５２のＹ方向一端面には、Ｙ方向に突出する一対の円柱状の支持軸５８が付設されている。支持軸５８の直径は切削ブレードＢの内径に対応しており、搬出機４０によって切削ブレードＢの装着口Ｏが支持軸５８に嵌合されることにより、可動片５２の支持軸５８によって切削ブレードＢが支持される。そして、ブレードラック４２においては、可動片５２をＸ方向移動手段５４でＸ方向に移動させることにより、可動片５２の支持軸５８で支持した切削ブレードＢを切削装置１００のブレード交換手段１０８に受け渡し可能な位置まで搬送することができる。また、可動片５２の支持軸５８側の面には、支持軸５８に沿って環状に配置された複数の吸引孔（図示していない。）が形成され、可動片５２の吸引孔は流路によって吸引手段（図示していない。）に接続されている。そして、吸引手段によって可動片５２のＹ方向一端面に吸引力を生成することにより、支持軸５８で支持した切削ブレードＢを吸着して保持することができ、これによって可動片５２がＸ方向に移動している際に支持軸５８からの切削ブレードＢの落下を防止することができる。なお、図６には受け渡し手段８を便宜上１台だけ示しているが、後述するように図示の切削装置１００はそれぞれ一対の切削手段１０４及び一対のブレード交換手段１０８を有しており、切削手段１０４及びブレード交換手段１０８の数量に対応して各切削手段１０４の後方に一対ずつ受け渡し手段８が設けられている。すなわち図示の実施形態では、３台の切削装置１００が設けられているため、計６台の受け渡し手段８が設けられている。
【００２０】
コンピュータから構成される切削ブレード供給装置２の制御手段は、制御プログラムに従って演算処理する中央処理装置（ＣＰＵ）と、制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）と、演算結果等を格納する読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）とを有する。制御手段は、搬送手段６、受け渡し手段８及び表示手段１４に電気的に接続されており、切削装置１００が必要とする切削ブレードＢを適宜選択して切削ブレードストッカー４から切削装置１００の後方まで搬送手段６によって搬送させると共に、搬送手段６から切削装置１００のブレード交換手段１０８に受け渡し手段８によって切削ブレードＢを受け渡すように、搬送手段６及び受け渡し手段８の作動を制御する。切削ブレードＢは種類毎に各切削ブレードケース１６に収容されることから、制御手段は、搬出された切削ブレードＢの数量を切削ブレードケース１６毎に記録することによって、切削ブレードストッカー４から搬出された切削ブレードＢの数量を切削ブレードＢの種類毎に記録し、切削ブレードストッカー４に更にストック可能な切削ブレードＢの数量や、切削ブレードストッカー４にストックされている切削ブレードＢの数量を切削ブレードＢの種類毎に算出して表示手段１４に表示させる。また、切削ブレードストッカー４にストックされている切削ブレードＢの数量が所定量を下回った場合は、その旨を表示手段１４に表示させ、オペレーターに対して切削ブレードＢの補充を喚起させるようにしてもよい。
【００２１】
ここで、切削ブレード供給装置２によって切削ブレードＢが供給される切削装置１００について説明する。図示の実施形態では３台設けられている切削装置１００は、それぞれ同一の構成でよく、図６に示すとおり、被加工物を保持する保持手段１０２と、保持手段１０２に保持された被加工物を切削する切削ブレードＢを回転可能に装着した切削手段１０４と、保持手段１０２と切削手段１０４とを相対的に加工送りする送り手段１０６と、切削手段１０４に装着された切削ブレードＢを自動的に着脱するブレード交換手段１０８と、を少なくとも備える。
【００２２】
図６に示すとおり、保持手段１０２は、切削装置１００の基台１１０にＸ方向に移動自在に搭載された可動板１１２と、可動板１１２の上面に固定された支柱１１４と、支柱１１４の上端に回転自在に搭載されたチャックテーブル１１６とを含む。上面においてウエーハ等の被加工物を吸着するように構成されているチャックテーブル１１６は、支柱１１４に内蔵されたモータ（図示していない。）によって上下方向に延びる軸線を中心として回転される。
【００２３】
図６及び図７を参照して切削手段１０４について説明する。図示の実施形態では図６に示すとおり、保持手段１０２を跨って配置された門型の支持フレーム１１８に一対の切削手段１０４が装着されている。各切削手段１０４は、Ｙ方向に移動自在かつ昇降自在に支持フレーム１１８に支持されたスピンドルユニット１２０と、スピンドルユニット１２０をＹ方向に移動させる割り出し送り手段１２２と、スピンドルユニット１２０を昇降させる切り込み送り手段１２４とを備える。図７に示すとおり、スピンドルユニット１２０は、Ｙ方向に延びる軸線を中心として回転自在にスピンドルハウジング１２６に支持された円柱状のスピンドル１２８と、スピンドル１２８を回転させるモータ（図示していない。）と、スピンドル１２８の先端部に着脱自在に固定される切削ブレードＢと、スピンドル１２８の先端部に切削ブレードＢを固定するためのナット１３０とを含む。また、切削手段１０４には、切削ブレードＢの切り刃Ｋの摩耗の程度や欠けの有無を監視する切削ブレード監視手段（図示していない。）が装着されている。図６に示すとおり、支持フレーム１１８には、チャックテーブル１１６に保持された被加工物を撮像して切削加工すべき領域を検出するための撮像手段１３２がＹ方向に移動自在に支持されていると共に、撮像手段１３２をＹ方向に移動させる移動手段１３４が装着されている。
【００２４】
図６に示すとおり、送り手段１０６は、基台１１０上においてＸ方向に延びるボールねじ１３８と、ボールねじ１３８に連結されたモータ１４０とを有する。ボールねじ１３８は保持手段１０２の可動板１１２に連結されている。そして送り手段１０６は、ボールねじ１３８によりモータ１４０の回転運動を直線運動に変換して可動板１１２に伝達して、切削手段１０４に対して保持手段１０２をＸ方向に加工送りする。
【００２５】
ブレード交換手段１０８は、切削手段１０４のスピンドル１２８にナット１３０を着脱するためのナット着脱機構１４２と、スピンドル１２８に切削ブレードＢを着脱するためのブレード着脱機構１４４と、ナット着脱機構１４２及びブレード着脱機構１４４のＸ方向位置及びＹ方向位置を調整するための位置調整手段１４６とを備える。ナット着脱機構１４２においては、スピンドル１２８に固定されたナット１３０を緩めてスピンドル１２８からナット１３０を取り外すことができると共に、スピンドル１２８から取り外したナット１３０を把持することができるようになっている。ブレード着脱機構１４４は、間隔をおいて配置された一対のブレード把持手段１４８を有する。ブレード着脱機構１４４においては、一対のブレード把持手段１４８の一方によって、ナット１３０が取り外されたスピンドル１２８から切削ブレードＢを把持して引き抜くと共に、一対のブレード把持手段１４８の他方によって、スピンドル１２８に装着すべき交換用の切削ブレードＢを把持して、スピンドル１２８に装着させるようになっている。ナット着脱機構１４２及びブレード着脱機構１４４は、一対の切削手段１０４に対応して、それぞれＹ方向に間隔をおいて線対称に一対配置されている。なお、ブレード交換手段１０８の具体的な構成については、上記特許文献１に開示されている構成と実質上同一の構成でよい。
【００２６】
切削装置１００は、それぞれ自己の作業を制御すると共に、切削ブレード監視手段から出力される情報に基づいて切削ブレードＢの交換要否を判定するコントローラ（図示していない。）を更に備える。コンピュータから構成される各コントローラは、保持手段１０２、切削手段１０４、送り手段１０６、ブレード交換手段１０８及び切削ブレード監視手段、並びに切削ブレード供給装置２の制御手段に電気的に接続されている。また、図１に示すとおり、切削装置１００は、切削加工後の被加工物を洗浄する洗浄手段１５０と、被加工物を収容するカセット１５２と、洗浄手段１５０とカセット１５２とチャックテーブル１１６との間で被加工物を搬送する搬送機構１５４と、コントローラに加工条件等を入力するための入力手段１５６とが設けられている。
【００２７】
上述したとおりの切削ブレード供給装置２の作動について説明する。切削装置１００に装着されている切削ブレードＢが摩耗又は欠けによって交換が必要となった際は、切削ブレードＢの交換が必要な切削装置１００のコントローラから、交換が必要な切削ブレードＢの種類に関する情報と、交換が必要な切削ブレードＢが一対の切削手段１０４のどちらに装着されているかに関する情報と共に、切削ブレードＢの供給指示が切削ブレード供給手段２の制御手段に出力される。そうすると、切削ブレード供給装置２の制御手段は、切削装置１００のコントローラから出力された情報に基づいて、切削装置１００に供給すべき切削ブレードＢをストックしている切削ブレードストッカー４の切削ブレードケース１６を選定する。なお、切削装置１００のコントローラにおいては、ブレード交換手段１０８のナット着脱機構１４２によってスピンドル１２８からナット１３０を取り外すと共に、ブレード着脱機構１４４の一方のブレード把持手段１４８によってスピンドル１２８から切削ブレードＢを取り外すように制御する。
【００２８】
次いで制御手段は、切削手段１０４に新たに装着すべき交換用の切削ブレードＢ（以下「交換用切削ブレードＢ」という。）をストックしている切削ブレードケース１６から交換用切削ブレードＢを搬送手段６の搬出部２８によって搬出させ、ベルトコンベアー３０に載置させるように制御する。図５を参照して詳述すると、まず、搬出部２８のモータ３４で支柱３２を回転させ、交換用切削ブレードＢをストックしている切削ブレードケース１６の上方に吸着片３７を位置づける。次いで、昇降機構３６で吸着片３７を下降させ、交換用切削ブレードＢの上面に吸着片３７の下面を密着させる。次いで、吸着片３７に接続された吸引手段を作動させて吸着片３７の下面に吸引力を生成し、交換用切削ブレードＢの上面に吸着片３７の下面を吸着させる。次いで、昇降機構３６で吸着片３７を上昇させる。次いで、モータ３４で支柱３２を回転させ、吸着片３７で吸着した交換用切削ブレードＢをベルトコンベアー３０の上方に位置づける。次いで、昇降機構３６で吸着片３７を下降させ、交換用ブレードＢの下面をベルトコンベアー３０の上面に接触させる。そして、吸着片３７に接続された吸引手段の作動を停止させて吸着片３７の吸引力を解除し、ベルトコンベアー３０の上面に交換用切削ブレードＢを載置させる。このようにして制御手段は、切削ブレードケース１６から交換用切削ブレードＢを搬出部２８によって搬出させ、ベルトコンベアー３０に載置させる。
【００２９】
次いで制御手段は、切削ブレードＢの交換が必要な切削手段１０４の後方に配置された受け渡し手段８に交換用切削ブレードＢを受け渡し可能な位置まで、ベルトコンベアー３０によって切削ブレードＢを搬送させる。
【００３０】
次いで制御手段は、ベルトコンベアー３０によって搬送された交換用切削ブレードＢを受け渡し手段８の搬出機４０によって搬出させ、ブレードラック４２に受け渡すように制御する。詳述すると、まず、搬出機４０の昇降手段でアーム４６を下降させ、交換用切削ブレードＢの上面に吸着片４８の下面を密着させる。次いで、吸着片４８に接続された吸引手段を作動させて吸着片４８の下面に吸引力を生成し、交換用切削ブレードＢの上面に吸着片４８の下面を吸着させる。次いで、昇降手段でアーム４６を上昇させると共に回転手段でアーム４６を回転させ、吸着片４８で吸着した交換用切削ブレードＢをブレードラック４２の可動片５２に対面させる。このとき、可動片５２の一方の支持軸５８と交換用ブレードＢの装着口Ｏとが、Ｙ方向にみて整合するように、可動片５２の位置がＸ方向移動手段５４によって調整されている。次いで、アーム４６をＹ方向移動手段でＹ方向に移動させ、可動片５２の一方の支持軸５８に交換用ブレードＢを嵌合させる。次いで、搬出機４０の吸着片４８に接続された吸引手段の作動を停止させて搬出機４０の吸着片４８の吸引力を解除すると共に、ブレードラック４２の可動片５２に接続された吸引手段を作動させて可動片５２の支持軸５８側の端面に吸引力を生成し、可動片５２の支持軸５８側の端面に交換用切削ブレードＢを吸着させる。これによって、ベルトコンベアー３０によって搬送された交換用切削ブレードＢが受け渡し手段８の搬出機４０によって搬出され、ブレードラック４２に受け渡される。
【００３１】
次いで制御手段は、可動片５２で保持した交換用切削ブレードＢが切削装置１００のブレード交換手段１０８に対面する位置まで、ブレードラック４２のＸ方向移動手段５４で可動片５２を移動させる。次いで制御手段は、可動片５２に接続された吸引手段の作動を停止させて可動片５２の吸引力を解除する。次いで、ブレード着脱機構１４４の他方のブレード把持手段１４８（切削手段１０４から取り外した切削ブレードＢを把持していない方のブレード把持手段１４８）によって可動片５２の一方の支持軸５８から交換用切削ブレードＢが搬出されると共に、切削手段１０４に装着されていた切削ブレードＢが一方のブレード把持手段１４８から可動片５２の他方の支持軸５８に受け渡される。そして、交換用切削ブレードＢが切削手段１０４にブレード交換手段１０８によって装着される。一方、切削手段１０４から取り外された切削ブレードＢは、交換用切削ブレードＢとは反対の経路で切削ブレードストッカー４に搬送される。すなわち、取り外された切削ブレードＢは、ブレードラック４２で搬送され、次いで搬出機４０によって搬送手段６のベルトコンベアー３０に載置され、ベルトコンベアー３０で搬送された後、搬送手段６の搬出部２８によって切削ブレードストッカー４の枠体１０の内部に搬送される。そして、枠体１０に搬送された切削ブレードＢは、切削手段１０４毎に分けて所定期間保管され、切削装置１００においてトラブルが生じた場合などにトラブルの原因を追究する際に参照される。
【００３２】
以上のとおり切削ブレード供給装置２においては、交換すべき切削ブレードＢを切削ブレードストッカー４に充分ストックできると共に、ブレード交換手段１０８を備えた切削装置１００に切削ブレードＢを搬送手段６及び受け渡し手段８によって適宜供給でき、したがって長時間にわたる切削装置１００の無人稼働を可能にすることができる。
【００３３】
また、切削ブレードケース１６は切削ブレードストッカー４の一部として用いられ得ることから、切削ブレードＢを切削ブレードストッカー４に補充する際は、切削ブレードＢを一枚ずつ補充する必要はなく、切削ブレードＢを複数収容した切削ブレードケース１６ごと切削ブレードケース載置手段１８に載置すればよいので、切削ブレード供給装置２への切削ブレードＢの補充が容易である。
【符号の説明】
【００３４】
２：切削ブレード供給装置
４：切削ブレードストッカー
６：搬送手段
８：受け渡し手段
１４：表示手段
１６：切削ブレードケース
１８：切削ブレードケース載置手段
２０：筒体
２２：ロッド
２４：蓋壁
２６：端壁
２８：搬出部
３０：ベルトコンベアー
４０：搬出機
４２：ブレードラック
１００：切削装置
１０２：保持手段
１０４：切削手段
１０６：送り手段
１０８：ブレード交換手段
１２８：スピンドル
Ｂ：切削ブレード
Ｏ：装着口
Ｋ：切り刃
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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