(57)【要約】【課題】  反りの大きな基板を搬送する場合においても、基板を適正に搬送することが可能な基板搬送装置および基板処理装置を提供する。【解決手段】  基板搬送装置は、基板の下面に当接した状態で回転することにより基板１００を搬送する複数の下側ローラ１１と、基板の両端より外側の位置に各々固定された一対の鍔型ローラ１２とを備える。また、この基板搬送装置は、基板の両端付近の上方であり下側ローラ１１の上方となる位置に各々固定された複数の上側ローラ２１を備える。下側ローラ１１の上端と上側ローラ２１の下端との距離は、基板の厚さ以上の距離となっている。【選択図】        図５
2019067848.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の基板を水平方向に搬送する基板搬送装置において、
前記基板の下面に当接した状態で回転することにより前記基板を搬送する複数の下側ローラと、
前記下側ローラにより搬送される基板の搬送方向と直交する方向の両端付近の上方に配設され、前記下側ローラと同期して回転する上側ローラと、
を備え、
前記下側ローラの上端と前記上側ローラの下端との距離を前記基板の厚さ以上の距離としたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記下側ローラにより搬送される基板の搬送方向と直交する方向の両端より外側の位置に配設され、前記下側ローラより大きな外径を有する鍔型ローラをさらに備える基板搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板搬送装置において、
前記上側ローラと前記鍔型ローラとは、前記下側ローラにより搬送される基板の搬送方向に対して同一位置に配置される基板搬送装置。
【請求項４】
請求項２に記載の基板搬送装置において、
前記下側ローラと前記鍔型ローラとは、同一の駆動軸に固定されて互いに同期して回転する基板搬送装置。
【請求項５】
請求項２に記載の基板搬送装置において、
前記上側ローラは、前記下側ローラの上方に配置されるとともに、
前記上側ローラの下端と前記鍔型ローラの上端とは、略同一高さ位置に配置される基板搬送装置。
【請求項６】
矩形状の基板を水平方向に搬送する基板搬送装置において、
前記基板の搬送方向に沿って一定ピッチで配設され、互いに同期して回転する複数の下側駆動軸と、
前記複数の下側駆動軸に各々固定され、前記基板の下面に当接した状態で回転することにより、前記基板を搬送する複数の下側ローラと、
前記複数の下側駆動軸における前記基板の搬送方向に対して一本おきの下側駆動軸に対して、前記基板の搬送方向と直交する方向の両端より外側の位置に各々固定され、前記複数の下側ローラより大きな外径を有する鍔型ローラと、
前記鍔型ローラが固定された下側駆動軸の上方に配設され、前記複数の下側駆動軸と同期して回転する複数の上側駆動軸と、
前記複数の上側駆動軸における前記基板の搬送方向と直交する方向の両端付近の上方に各々固定された複数の上側ローラと、
を備え、
前記複数の下側ローラの上端と前記複数の上側ローラの下端との距離を前記基板の厚さ以上の距離としたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項７】
基板に処理液を供給する処理液供給機構と、
請求項１から請求項６のいずれかに記載の基板搬送装置と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数のローラにより基板を搬送する基板搬送装置、および、この基板搬送装置を備えた基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を複数のローラにより搬送する搬送装置において、被搬送基板の厚みが０．３ｍｍ〜０．７ｍｍと薄型の場合には、基板は自重で複数のローラに沿う形状となり、基板の搬送に必要なグリップ力を得ることができる。また、より確実にグリップ力を得る必要がある場合においては、基板を上下から挟持して搬送する搬送機構が採用されている。特許文献１においては、基板を端部支持ローラと上載せローラとにより挟持して搬送する基板の搬送装置が開示されている。また、特許文献２には、基板を一対の挟みローラにより挟持して薬液中を搬送する薬液処理装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１１６５２３号公報
【特許文献２】特開２００８−８５１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
最新のパッケージ技術を適用した半導体パッケージ（Ｐａｎｅｌ Ｌｅｖｅｌ Ｐａｃｋａｇｅ）で使用される基板は、その厚みが２ｍｍ程度であり、最大の反り量は１５ｍｍ程度となっている。このため、このような基板を上下から挟持した場合には、基板が損傷してしまう。また、このような基板は、反りそのものを矯正することが困難であり、このような基板を複数のローラ上に載置して搬送した場合には、ローラによるグリップ力が不足して適正な搬送を実行することが不可能となる。
【０００５】
図１１は、反りの大きな基板１００を、複数のローラ９１を有する搬送装置により搬送する状態を示す正面図である。なお、この図においては、基板１００等を、その正面側から見た状態を示している。
【０００６】
この搬送装置は、駆動軸９０に一定のピッチで固定された複数のローラ９１と、これらのローラ９１により搬送される基板１００の搬送方向と直交する方向（図１１における左右方向）の両端より外側の位置に配設され、ローラ９１より大きな外形を有する鍔型ローラ９２とを備える。ここで、鍔型ローラ９２は、基板１００の搬送方向と直交する方向の基板１００の両側の端縁と当接することにより、基板１００における搬送方向と直交する方向の位置を規制するためのものである。
【０００７】
この図に示すように、下側が凸となる大きな反りが発生した基板１００をローラ９１上に載置して搬送したときには、基板１００とローラ９１との接触面積が小さくなることから、ローラによるグリップ力が不足し、基板１００を適正に搬送することが困難となる。また、このように反りの大きい基板１００をローラ９１上に載置して搬送したときには、図１１において破線で示すように、基板１００の傾動により基板１００の搬送方向と直交する方向の端縁が鍔型ローラ９２の上端より上部に配置されることになり、基板１００における搬送方向と直交する方向の位置を規制することが不可能となる。
【０００８】
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、反りの大きな基板を搬送する場合においても、基板を適正に搬送することが可能な基板搬送装置および基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、矩形状の基板を水平方向に搬送する基板搬送装置において、前記基板の下面に当接した状態で回転することにより前記基板を搬送する複数の下側ローラと、前記下側ローラにより搬送される基板の搬送方向と直交する方向の両端付近の上方に配設され、前記下側ローラと同期して回転する上側ローラと、を備え、前記下側ローラの上端と前記上側ローラの下端との距離を前記基板の厚さ以上の距離としたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記下側ローラにより搬送される基板の搬送方向と直交する方向の両端より外側の位置に配設され、前記下側ローラより大きな外径を有する鍔型ローラをさらに備える。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記上側ローラと前記鍔型ローラとは、前記下側ローラにより搬送される基板の搬送方向に対して同一位置に配置される。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記下側ローラと前記鍔型ローラとは、同一の駆動軸に固定されて互いに同期して回転する。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記上側ローラは、前記下側ローラの上方に配置されるとともに、前記上側ローラの下端と前記鍔型ローラの上端とは、略同一高さ位置に配置される。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、矩形状の基板を水平方向に搬送する基板搬送装置において、前記基板の搬送方向に沿って一定ピッチで配設され、互いに同期して回転する複数の下側駆動軸と、前記複数の下側駆動軸に各々固定され、前記基板の下面に当接した状態で回転することにより、前記基板を搬送する複数の下側ローラと、前記複数の下側駆動軸における前記基板の搬送方向に対して一本おきの下側駆動軸に対して、前記基板の搬送方向と直交する方向の両端より外側の位置に各々固定され、前記複数の下側ローラより大きな外径を有する鍔型ローラと、前記鍔型ローラが固定された下側駆動軸の上方に配設され、前記複数の下側駆動軸と同期して回転する複数の上側駆動軸と、前記複数の上側駆動軸における前記基板の搬送方向と直交する方向の両端付近の上方に各々固定された複数の上側ローラと、を備え、前記複数の下側ローラの上端と前記複数の上側ローラの下端との距離を前記基板の厚さ以上の距離としたことを特徴とする。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、基板に処理液を供給する処理液供給機構と、請求項１から請求項６のいずれかに記載の基板搬送装置とを備えた基板処理装置である。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１から請求項７に記載の発明によれば、上側ローラの作用によって、基板を下側ローラと確実に当接させることにより、基板を適正に搬送することが可能となる。
【００１７】
請求項２および請求項５に記載の発明によれば、上側ローラの作用により、基板の搬送方向と直交する方向の端縁が上昇することを防止することができ、基板における搬送方向と直交する方向の位置を鍔型ローラにより規制することによって、基板を適切に搬送することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】この発明に係る基板搬送装置を適用した基板処理装置の部分側面概要図である。
【図２】この発明に係る基板搬送装置を適用した基板処理装置の部分正面概要図である。
【図３】下側ローラ１１および鍔型ローラ１２等を示す平面図である。
【図４】上側ローラ２１等を示す平面図である。
【図５】下側ローラ１１、鍔型ローラ１２および上側ローラ２１の配置を示す斜視図である。
【図６】この発明に係る基板搬送装置により反りのない基板１００を搬送する状態を示す斜視図である。
【図７】この発明に係る基板搬送装置により下が凸となる反りが生じた基板１００を搬送する状態を示す斜視図である。
【図８】この発明に係る基板搬送装置により下が凸となる反りが生じた基板１００を搬送する状態を示す正面図である。
【図９】この発明に係る基板搬送装置により上が凸となる反りが生じた基板１００を搬送する状態を示す斜視図である。
【図１０】この発明に係る基板搬送装置により上が凸となる反りが生じた基板１００を搬送する状態を示す正面図である。
【図１１】反りの大きな基板１００を、複数のローラ９１を有する搬送装置により搬送する状態を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明に係る基板搬送装置を適用した基板処理装置の部分側面概要図であり、図２は、その部分正面概要図である。図３は、下側ローラ１１および鍔型ローラ１２等を示す平面図である。図４は、上側ローラ２１等を示す平面図である。図５は、下側ローラ１１、鍔型ローラ１２および上側ローラ２１の配置を示す斜視図である。なお、図１から図４においては、駆動ギア１３、２３の図示を省略している。
【００２０】
この基板搬送装置は、処理槽４１内に貯留された処理液４２内において、矩形状の基板１００を水平方向に搬送することにより、基板１００に処理液を供給して、この基板１００を処理するための基板処理装置に適用されるものである。
【００２１】
この基板搬送装置は、基板１００の搬送方向（図１における左右方向であり、図２における紙面に垂直な方向であり、図３における上下方向）に沿って一定ピッチで配設され、側板３１に軸支された状態で互いに同期して回転する複数の下側駆動軸１０と、これらの複数の下側駆動軸１０に各々一定ピッチとなる位置に固定され、基板１００の下面に当接した状態で回転することにより基板１００を搬送する複数の下側ローラ１１と、複数の下側駆動軸１０における基板１００の搬送方向に対して一本おきの下側駆動軸１０に対して、基板１００の搬送方向と直交する方向（図１における紙面に垂直な方向であり、図２における左右方向であり、図３における左右方向）の両端より外側の位置に各々固定された一対の鍔型ローラ１２と、各下側駆動軸１０における左右両端の位置に配設された駆動ギア１３とを備える。
【００２２】
また、この基板搬送装置は、鍔型ローラ１２が固定された下側駆動軸１０の上方に配設され、側板３１に軸支された状態で複数の下側駆動軸１０と同期して回転する複数の上側駆動軸２０と、これらの複数の上側駆動軸２０における基板１００の搬送方向と直交する方向の両端付近の上方であり、下側ローラ１１の上方となる位置、および、それらの間の位置に各々固定された複数の上側ローラ２１と、各上側駆動軸２０における左右両端の位置に配設された駆動ギア２３とを備える。
【００２３】
複数の上側ローラ２１のうち、上側駆動軸２０の両端付近に配設された一対の上側ローラ２１は、下側駆動軸１０の両端部付近に固定されるとともに、基板１００の搬送方向並ぶ下側ローラ１１のうちの、一つおきの下側ローラ１１の上方に配置されていることになる。また、複数の上側ローラ２１のうち、上側駆動軸２０の両端付近に配設された一対の上側ローラ２１は、基板１００の搬送方向に対して、鍔型ローラ１２と同一位置に配置されていることになる。
【００２４】
駆動ギア１３および駆動ギア２３は、図示しない駆動モータを備えた歯車駆動機構と連結されており、互いに同期して回転する。これにより、下側駆動軸１０と上側駆動軸２０とが互いに同期して回転する。
【００２５】
各下側駆動軸１０は、各下側ローラ１１が基板１００の搬送方向に対して互いに近接する位置となるように配置されている。これにより、基板１００に対して間隔をあけることなく下方から支持することが可能となり、基板１００を好適に搬送することができる。そして、下側ローラ１１より大きな外径（下側ローラ１１の倍程度の外径）を有する鍔型ローラ１２を、一本おきの下側駆動軸１０に配設することから、下側駆動軸１０の駆動により下側ローラ１１と鍔型ローラ１２とを同期して駆動することができるとともに、下側ローラ１１どうし、また、鍔型ローラ１２どうしを、互いに近接して配置することが可能となる。
【００２６】
下側ローラ１１は、処理槽４１内に貯留された処理液４２中にその全体が浸漬されている。このため、下側ローラ１１の上端は、処理液４２の液面より下方に配置される。一方、上側ローラ２１は、その下方の約半分の領域が処理液中に浸漬される。このため、下側ローラ１１の下端は、処理液４２の液面より下方に配置される。そして、下側ローラ１１の上端と上側ローラ２１の下端との距離が、基板１００の厚さ以上の距離となるように、下側ローラ１１および上側ローラ２１の外径と、下側駆動軸１０および上側駆動軸２０の配置とが決定されている。
【００２７】
下側ローラ１１の上端と上側ローラ２１の下端との距離が、基板１００の厚さ以上の距離とされていることから、基板１００が下側ローラ１１の上端と上側ローラ２１とにより挟持されることはない。この下側ローラ１１の上端と上側ローラ２１の下端との距離は、後述するように、基板１００に対して下が凸となる方向の反りが生じた場合に、下側ローラ１１上に載置されて搬送される基板１００における搬送方向と直交する方向の両端部に対して、上側ローラ２１の下端部が当接し、上側ローラ２１により基板１００の両端部が押圧されるような距離とすることが好ましい。
【００２８】
すなわち、下側ローラ１１の上端と上側ローラ２１の下端との距離は、基板１００の厚さ以上であり、かつ、下が凸となる方向の反りが生じた基板１００の両端部と当接して，当該基板１００の両端部を押圧する距離である。
【００２９】
また、図１および図２に示すように、上側ローラ２１の下端と鍔型ローラ１２の上端とは、略同一高さ位置に配置されるように、上側ローラ２１および鍔型ローラ１２の外径と、下側駆動軸１０および上側駆動軸２０の配置とが決定されている。
【００３０】
図６は、この発明に係る基板搬送装置により反りのない基板１００を搬送する状態を示す斜視図である。
【００３１】
図６に示すように、基板１００に反りが生じていない場合においては、基板１００は、その下面全体を、複数の下側ローラ１１に支持された状態で搬送される。そして、基板１００における搬送方向と直交する方向については、基板１００の端縁が鍔型ローラ１２と当接することにより、その位置が規制される。このため、基板１００に蛇行を生じることなく、基板１００を処理液４２中において搬送することが可能となる。
【００３２】
図７は、この発明に係る基板搬送装置により下が凸となる反りが生じた基板１００を搬送する状態を示す斜視図であり、図８は、その正面図である。なお、図８においては、駆動ギア１３、２３の図示を省略している。
【００３３】
図７および図８に示すように、基板１００に下が凸となる反りが生じている場合においては、基板１００は、搬送方向と直交する方向の両端部において下側ローラ１１から離隔する状態となる。このため、基板１００と下側ローラ１１との接触面積が小さくなることから、下側ローラ１１によるグリップ力が不足し、基板１００を適正に搬送することが困難となる。また、このように反りの大きい基板１００を下側ローラ１１上に載置して搬送したときには、図１１において破線で示したように、基板１００の傾動により基板１００の搬送方向と直交する方向の端縁が鍔型ローラ１２の上端より上部に配置されることになることから、基板１００における搬送方向と直交する方向の位置を規制することが不可能となる。
【００３４】
しかしながら、この発明に係る基板搬送装置においては、基板１００の端縁の位置となる鍔型ローラ１２の内側の位置で、かつ、下側ローラ１１の上方となる位置には、上側ローラ２１が配置されていることから、基板１００の端縁が上側ローラ２１と当接する。これにより、基板１００全体が下側ローラ１１に向けて押しつけられ、下側ローラ１１によるグリップ力が増加し、基板１００を適正に搬送することが可能となる。このとき、図1に示すように、上側ローラ２１の下端部は処理液４２中に浸漬していることから、基板１００の全体を処理液４２中浸漬した状態で搬送することが可能となる。
【００３５】
また、図１１において破線で示したように、基板１００の傾動により基板１００の搬送方向と直交する方向の端縁が鍔型ローラ１２の上端より上部に移動しようとしても、この基板１００の移動が上側ローラ２１により規制される。このため、基板１００における搬送方向と直交する方向の位置が適正に規制されることになる。
【００３６】
このとき、下側ローラ１１の上端と上側ローラ２１の下端との距離が、基板１００の厚さ以上の距離となるように、下側ローラ１１および上側ローラ２１の外径と下側駆動軸１０および上側駆動軸２０の配置とが決定されていることから、基板１００の端縁が下側ローラ１１の上端と上側ローラ２１の下端との間に挟持されることがない。このため、反りを生じた基板１００を搬送する場合においても、基板１００が損傷することを防止することが可能となる。
【００３７】
図９は、この発明に係る基板搬送装置により上が凸となる反りが生じた基板１００を搬送する状態を示す斜視図であり、図１０は、その正面図である。なお、図１０においては、駆動ギア１３、２３の図示を省略している。
【００３８】
図９および図１０に示すように、基板１００に上が凸となる反りが生じている場合においては、基板１００は、搬送方向と直交する方向の中央部において下側ローラ１１から離隔する状態となる。この場合においても、基板１００と下側ローラ１１との接触面積が小さくなることから、下側ローラ１１によるグリップ力が不足し、基板１００を適正に搬送することが困難となる。
【００３９】
しかしながら、この発明に係る基板搬送装置においては、基板１００の中央部の上方にも、上側ローラ２１が配置されていることから、基板１００の中央部が上側ローラ２１に当接する。これにより、基板１００の両端が下側ローラ１１に向けて押しつけられ、下側ローラ１１によるグリップ力が増加し、基板１００を適正に搬送することが可能となる。このときにも、図１に示すように、上側ローラ２１の下端部は処理液４２中に浸漬していることから、基板１００の全体を処理液４２中浸漬した状態で搬送することが可能となる。
【００４０】
なお、このように基板１００に上が凸となる反りが生じたときに、半導体パッケージで使用される基板１００を搬送する場合においては、基板１００の上方に形成されたデバイス領域が上側ローラ２１と当接することになる。このため、上側ローラ２１が基板１００の上面におけるデバイス部分の間の領域と当接するように、上側ローラ２１を上側駆動軸２０の軸線方向に移動可能とすることが好ましい。
【００４１】
以上のように、この発明に係る基板搬送装置によれば、上側ローラ２１の作用によって、基板１００を下側ローラ１１と確実に当接させることにより、基板１００を適正に搬送することが可能となる。また、上側ローラ２１の作用により、基板１００の搬送方向と直交する方向の端縁が上昇することを防止することができ、基板１００における搬送方向と直交する方向の位置を鍔型ローラ１２により規制することによって、基板１００を適切に搬送することが可能となる。
【符号の説明】
【００４２】
１０    下側駆動軸
１１    下側ローラ
１２    鍔型ローラ
１３    駆動ギア
２０    上側駆動軸
２１    上側ローラ
２３    駆動ギア
４１    処理槽
４２    処理液
１００  基板
【図１】
2019067848.tif 000003
【図２】
2019067848.tif 000004
【図３】
2019067848.tif 000005
【図４】
2019067848.tif 000006
【図５】
2019067848.tif 000007
【図６】
2019067848.tif 000008
【図７】
2019067848.tif 000009
【図８】
2019067848.tif 000010
【図９】
2019067848.tif 000011
【図１０】
2019067848.tif 000012
【図１１】
2019067848.tif 000013