(57)【要約】【課題】把持力を向上できる把持ツールおよび把持システムを提供する。【解決手段】実施形態に係る把持ツールは、把持部と押圧部材を備える。前記把持部は、ワークに接触する第１部分と、前記第１部分と対向する第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間に設けられた粉粒体と、を有する。前記把持部は、可撓性を有する。前記押圧部材は、前記把持部に対して可動である。前記押圧部材は、前記第２部分から前記第１部分に向かう第１方向に向けて前記把持部を押す。【選択図】図１
2019058982.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに接触する第１部分と、前記第１部分と対向する第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間に設けられた粉粒体と、を有し、可撓性を有する把持部と、
前記把持部に対して可動であり、前記第２部分から前記第１部分に向かう第１方向に向けて前記把持部を押す押圧部材と、
を備えた把持ツール。
【請求項２】
前記押圧部材は、前記把持部の外部に設けられ、
前記押圧部材は、前記第２部分を介して前記第１部分を前記第１方向に向けて押す請求項１記載の把持ツール。
【請求項３】
前記押圧部材は、前記把持部に接触する押圧部を有し、
前記押圧部は、環状に設けられた請求項２記載の把持ツール。
【請求項４】
前記押圧部材は、前記把持部に接触する複数の押圧部を有し、
前記複数の押圧部は、環状に並べられた請求項２記載の把持ツール。
【請求項５】
前記第１部分は、
前記第１方向と反対の第２方向に窪んだ凹部と、
前記凹部の周りに設けられ、前記第１方向に突出した凸部と、
を有し、
前記粉粒体は、前記凸部と前記第２部分との間に設けられた請求項１または２記載の把持ツール。
【請求項６】
前記第１部分と前記第２部分との間の第１空間に連通する第１ポートと、
前記凹部および前記凸部に囲まれた第２空間に連通する第２ポートと、
をさらに備え、
前記押圧部材は、前記第１ポートおよび前記第２ポートと離間した位置において、前記把持部を押す請求項５記載の把持ツール。
【請求項７】
前記押圧部材は、前記第２ポートの周囲において前記把持部に接触する押圧部を有する請求項６記載の把持ツール。
【請求項８】
前記第１部分と前記第２部分との間の第１空間に連通する第１ポートと、
前記凹部および前記凸部に囲まれた第２空間に連通する第２ポートと、
をさらに備え、
前記押圧部材は、前記第２ポートに接続された配管を有し、前記配管を介して前記第２ポートを押す請求項５記載の把持ツール。
【請求項９】
ワークに下方から接触する第１部分と、
前記第１部分と対向し、前記第１部分の下方に位置する第２部分と、
前記第１部分と前記第２部分との間に設けられた粉粒体と、
を有し、可撓性を有する把持部と、
前記第１部分の少なくとも一部を上方に向けて変位させる変位機構と、
を備えた把持ツール。
【請求項１０】
前記変位機構は、前記第１部分と前記第２部分との間の第１空間を加圧するポンプユニットを有する請求項９記載の把持ツール。
【請求項１１】
前記変位機構は、前記把持部を上方に向けて押す押圧部材を有する請求項９記載の把持ツール。
【請求項１２】
アームを有するロボット機構と、
前記アームの先端に取り付けられた、請求項１〜１１のいずれか１つに記載の前記把持ツールと、
を備えた把持システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、把持ツールおよび把持システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
内部に粉粒体が設けられた把持部を備える把持ツールがある。この把持ツールでは、把持部をワークに接触させ、把持部の内部を減圧して固化させてワークを把持する。把持ツールにおいては、把持力が高いことが望ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１７６４７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、把持力を向上できる把持ツールおよび把持システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係る把持ツールは、把持部と押圧部材を備える。前記把持部は、ワークに接触する第１部分と、前記第１部分と対向する第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間に設けられた粉粒体と、を有する。前記把持部は、可撓性を有する。前記押圧部材は、前記把持部に対して可動である。前記押圧部材は、前記第２部分から前記第１部分に向かう第１方向に向けて前記把持部を押す。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１実施形態に係る把持ツールを表す斜視断面図である。
【図２】第１実施形態に係る把持ツールの把持部を表す斜視断面図である。
【図３】第１実施形態に係る把持ツールを模式的に表す平面図である。
【図４】第１実施形態に係る把持ツールによる把持方法を表す断面図である。
【図５】第１実施形態に係る把持ツールの把持メカニズムを表す断面図である。
【図６】第１実施形態の第１変形例に係る把持ツールを表す斜視断面図である。
【図７】第１実施形態の第２変形例に係る把持ツールを表す斜視断面図である。
【図８】第２実施形態に係る把持ツールを表す斜視断面図である。
【図９】第２実施形態に係る把持ツールによる把持方法を表す断面図である。
【図１０】参考例に係る把持ツールによる把持方法を表す断面図である。
【図１１】第２実施形態の変形例に係る把持ツールの構成を表す模式図である。
【図１２】第２実施形態の変形例に係る把持ツールによる把持方法を表す断面図である。
【図１３】第３実施形態に係る把持システムを表す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る把持ツール１を表す斜視断面図である。
実施形態に係る把持ツール１は、可撓性を有する把持部１０を備える。把持部１０の内部には、粉粒体１５が設けられている。
【０００９】
具体的には、把持部１０は、把持対象のワークに接触する第１部分１１と、第１部分１１と対向する第２部分１２と、を有する。第１部分１１および第２部分１２は、シリコーン樹脂、ゴム材料、またはアクリル樹脂などの可撓性を有する材料で構成される。粉粒体１５は、第１部分１１と第２部分１２との間の第１空間ＳＰ１に設けられている。把持部１０は、第１部分１１と第２部分１２とが、例えば、接着剤を介して接合されて構成されている。第１部分１１と第２部分１２とは、熱圧着により接合されていてもよい。
【００１０】
第１部分１１の外周および第２部分１２の外周は、保持部２０によって保持されている。これにより第１空間ＳＰ１が、外部の空間と隔てられる。保持部２０は、例えば円環状である。保持部２０によって把持部１０の外周のみが保持されることで、把持部１０は、保持部２０の内側において第１部分１１と第２部分１２とを結ぶ線方向に変形することができる。
【００１１】
第１部分１１と第２部分１２とを結ぶ線方向は、例えば、上下方向（鉛直方向）に沿う。第１部分１１と第２部分１２とを結ぶ線方向は、第２部分１２から第１部分１１に向かう第１方向（下方）と、第１部分１１から第２部分１２に向かう第２方向（上方）と、を含む。以下では、第１部分１１と第２部分１２との位置関係に基づくこれらの「上下方向」「上方」「下方」を用いて、各実施形態の説明を行う。
【００１２】
一例として、保持部２０は、第１フランジ２１および第２フランジ２２を有する。第１フランジ２１は、第１部分１１の外周下面に当接し、第２フランジ２２は、第２部分１２の外周上面に当接する。第１フランジ２１と第２フランジ２２を、ネジ等の締結具２３によって締結することで、把持部１０が保持される。
【００１３】
例えば、保持部２０は、連結部材２５を介して、駆動部９０に連結されている。駆動部９０は、アクチュエータ等を有し、後述する制御部８０から送られる信号に基づき動作する。駆動部９０と連結部材２５との間に、さらに他の部材が連結されていても良い。駆動部９０が動作することで、把持部１０が水平方向または鉛直方向に移動する。
【００１４】
図２は、第１実施形態に係る把持ツール１の把持部１０を表す斜視断面図である。
図２では、把持部１０の第１部分１１と第２部分１２が、分離して表されている。
【００１５】
図２に表すように、第１部分１１は、凹部１１ｒおよび凸部１１ｐを有する。凹部１１ｒは、上方に向けて窪んでおり、把持部１０の中心側に設けられている。凸部１１ｐは、下方に向けて突出しており、凹部１１ｒの周りに設けられている。凸部１１ｐと凹部１１ｒは、連続している。
【００１６】
凹部１１ｒの上面は第２部分１２と接し、凸部１１ｐは第２部分１２と上下方向において離間している。図１および図２に例示した把持ツール１では、第１空間ＳＰ１は、凸部１１ｐと第２部分１２との間に形成される。
【００１７】
第１部分１１の下方には、凹部１１ｒおよび凸部１１ｐによって囲まれた第２空間ＳＰ２が形成される。具体的には、第２空間ＳＰ２の上方が凹部１１ｒによって覆われており、第２空間ＳＰ２の側方が凸部１１ｐによって囲まれている。第２空間ＳＰ２の下方は開けている。後述するように、把持対象のワークが第２空間ＳＰ２の下方に位置することで、第２空間ＳＰ２が外部空間に対して塞がれる。
【００１８】
図１および図２に表すように、把持部１０は、第１ポート３１および第２ポート３２をさらに有する。第１ポート３１は、第１空間ＳＰ１と連通している。第２ポート３２は、第１部分１１の凹部１１ｒおよび第２部分１２を貫通し、第２空間ＳＰ２と連通している。第１ポート３１には、第１空間ＳＰ１を減圧するための第１配管４１が接続される。第２ポート３２には、第２空間ＳＰ２を減圧するための第２配管４２が接続される。
【００１９】
図１に表したように、把持ツール１は、押圧部材５０をさらに備える。押圧部材５０は、不図示の駆動部を含み、把持部１０に対して上下方向に可動である。押圧部材５０は、例えば、第２部分１２の上側に設けられ、第２部分１２は、第１部分１１と押圧部材５０との間に位置している。
【００２０】
押圧部材５０は、把持部１０（第２部分１２）に接触する押圧部５１を有する。押圧部材５０が把持部１０に対して下方に移動することで、押圧部５１により把持部１０が下方に向けて押圧される。押圧部５１は、第１ポート３１、第２ポート３２、および保持部２０と離間しており、これらから離れた位置において把持部１０を押す。
【００２１】
図３は、第１実施形態に係る把持ツール１を模式的に表す平面図である。
押圧部５１は、例えば、第２ポート３２の周囲において把持部１０を下方に向けて押す。
例えば図３（ａ）に表したように、押圧部５１の外形は、上方から見た場合に、環状である。図３（ｂ）に表したように、押圧部５１の外形は、上方から見た場合に多角形であっても良い。
または、押圧部材５０は、複数の押圧部５１を有していても良い。複数の押圧部５１は、凸部１１ｐや固定部材２０に沿って周方向に並べられる。例えば図３（ｃ）に表したように、複数の押圧部５１は、上方から見た場合に、環状に並べられる。図３（ｄ）に表したように、複数の押圧部５１は、上方から見た場合に、多角形状に並べられても良い。
【００２２】
図４は、第１実施形態に係る把持ツール１による把持方法を表す断面図である。
図４は、把持ツール１により、平板状のワークＷが把持される例を表している。
【００２３】
まず、図４（ａ）に表したように、把持部１０の水平方向における位置とワークＷの水平方向における位置と、を合わせる。次に、図４（ｂ）に表すように、把持部１０をワークＷに向けて下降させる。このとき、押圧部材５０は、把持部１０とともに下降しても良いし、停止していても良い。
【００２４】
把持部１０は、可撓性を有する。このため、把持部１０がワークＷに接触すると、第１部分１１の凸部１１ｐが、ワークＷの形状に沿って変形する。また、このとき、開けていた第２空間ＳＰ２が、ワークＷによって塞がれる。
【００２５】
次に、把持部１０の下降を停止させる。図４（ｃ）に表すように、押圧部材５０を下降させ、押圧部５１によって第２部分１２を下方に押し込む。第２部分１２が下方に押されることで、粉粒体１５および第１部分１１が下方に押され、第１部分１１が、ワークＷの形状に沿ってさらに変形する。
【００２６】
次に、第１ポート３１および第１配管４１を通して第１空間ＳＰ１を減圧する。第１空間ＳＰ１は、例えば０．１気圧程度に減圧される。これにより、第１空間ＳＰ１の粉粒体１５が凝集して固化し、図４（ｄ）に表したように、把持部１０の形状が固定される。
【００２７】
次に、押圧部材５０を上昇させ、把持部１０から離間させる。続いて、第２ポート３２および第２配管４２を通して第２空間ＳＰ２を減圧する。第２空間ＳＰ２は、例えば０．１気圧程度に減圧される。これにより、ワークＷが、第２空間ＳＰ２に向けて吸着され、ワークＷが把持される。
【００２８】
その後、把持ツール１を上昇させてワークＷを持ち上げ、把持ツール１を水平方向に移動させる。ワークＷを所定の位置まで搬送した後は、第１空間ＳＰ１および第２空間ＳＰ２を大気開放することで、把持力が無くなり、ワークＷが把持ツール１から放れる。
以上の方法により、把持対象のワークＷを、所定の位置まで搬送することができる。
【００２９】
図５は、第１実施形態に係る把持ツール１の把持メカニズムを表す断面図である。
図５では、把持ツール１の把持部１０が一部簡略化して表されている。
【００３０】
実施形態に係る把持ツール１では、図５（ａ）に表すように、把持部１０の外周が保持部２０によって保持されている。従って、図５（ｂ）に表すように、把持部１０をワークＷに接触させた際に、把持部１０がワークＷに対して上方に向けて変形することができる。
【００３１】
この状態で、第１ポート３１および第２ポート３２を通して吸気することで、図５（ｃ）に表すように、把持部１０がさらにワークＷに対して上方に向けて変形しつつ、把持部１０とワークＷとの接触面積が増加していく。
【００３２】
このように、把持部１０が、ワークＷに対して上方に向けて変形可能に保持されることで、把持部１０によってワークＷを把持した際の把持力を高めることができる。
【００３３】
第１実施形態の効果を説明する。
第１実施形態に係る把持ツール１によれば、把持部１０をワークＷに接触させた後、押圧部材５０によって把持部１０をワークに向けて押すことが可能である。把持部１０が押圧部材５０によって押されることで、把持部１０がワークＷの形状に沿ってより大きく変形する。これにより、把持部１０とワークＷとの接触面積を増加させることができる。また、把持部１０とワークＷとの間の隙間を低減し、第２空間ＳＰ２を減圧する際に、外部から第２空間ＳＰ２への空気の流入を抑制できる。すなわち、第１実施形態によれば、把持ツール１の把持力を向上させることが可能である。
【００３４】
押圧部材５０の押圧部５１は、図３（ａ）〜図３（ｄ）のいずれかに表した構成を有することが望ましい。これらの構成によれば、把持部１０を、第２ポート３２の周囲において、より均等に押すことができる。これにより、把持部１０とワークＷとの接触面積をさらに増加させることができ、かつ把持部１０とワークＷとの間の隙間をさらに低減できる。このため、把持ツール１の把持力をより大きくできる。
【００３５】
押圧部材５０は、把持部１０の内部に設けられていても良いが、把持部１０の外部に設けられていることが望ましい。押圧部材５０が把持部１０の内部に設けられると、粉粒体１５の流動性が低下し、把持ツール１の把持力が低下する可能性がある。押圧部材５０を把持部１０の外部に設けることで、把持ツール１の把持力をより大きくできる。
【００３６】
（第１変形例）
図６は、第１実施形態の第１変形例に係る把持ツール１ａを表す斜視断面図である。
把持ツール１ａでは、押圧部材５０が第２配管４２を有する。第２配管４２の下端は、第２ポート３２と接続されている。押圧部材５０が、把持部１０に対して下方に移動することで、第２配管４２を介して、第２ポート３２および凹部１１ｒが下方に向けて押される。すなわち、把持ツール１ａでは、押圧部材５０が第２空間ＳＰ２を排気する手段と一体に設けられ、配管４２の下部が押圧部５１として機能する。
【００３７】
押圧部材５０が排気手段と一体に設けられることで、押圧部材５０と排気手段とを別々に設ける場合に比べて、把持ツールを小型化できる。
【００３８】
（第２変形例）
図７は、第１実施形態の第２変形例に係る把持ツール１ｂを表す斜視断面図である。
図７に表した把持ツール１ｂは、把持ツール１との比較において、把持部１０の形状が異なり、第２ポート３２を有していない。把持ツール１ｂにおいても、把持ツール１と同様に、ワークを把持する際に、押圧部材５０によって把持部１０が下方に向けて押される。これにより、ワークを把持する際の把持力を高めることができる。
【００３９】
（第２実施形態）
図８は、第２実施形態に係る把持ツール２を表す斜視断面図である。
把持ツール２は、例えば、把持ツール１と同様の構成要素を含む。ただし、把持ツール１では、第２部分１２から第１部分１１に向かう方向が下方であったのに対して、把持ツール２では、第２部分１２から第１部分１１に向かう方向が上方である。
【００４０】
把持ツール２では、例えば図８に表したように、第１部分１１（凸部１１ｐ）が、自重により下方に向けて凹む。把持ツール２において、押圧部材５０は、凹んだ第１部分１１の少なくとも一部を上方に向けて変位させる変位機構として機能する。
【００４１】
図９は、第２実施形態に係る把持ツール２による把持方法を表す断面図である。
図８および図９（ａ）に表したように、把持ツール１が上方に向いているとき、第１部分１１は、自重によって下方に凹む。
【００４２】
この状態から、図９（ｂ）に表したように、押圧部材５０によって把持部１０を上方に向けて押す。これにより、第１部分１１が上方に向けて押され、第１部分１１の少なくとも一部が上方に向けて変位する。
【００４３】
押圧部材５０によって把持部１０を押した状態で、図９（ｃ）に表したように、ワークＷの下面と第１部分１１を接触させる。例えば、把持部１０の上方から、把持部１０に向けてワークを下降させることで、ワークＷの下面を第１部分１１に接触させる。または、ワークＷに向けて把持部１０を上昇させることで、第１部分１１をワークＷの下面に接触させても良い。把持部１０は可撓性を有するため、ワークＷと接触することで、把持部１０がワークの形状に沿って変形する。
【００４４】
ワークＷが接触した後は、図９（ｄ）に表したように、押圧部材５０を、把持部１０に対して下方へ移動させる。これにより、ワークＷが把持部１０に向けて沈み込むとともに、把持部１０がワークＷの形状に沿ってさらに変形し、把持部１０とワークＷの接触面積が増加する。
【００４５】
その後、第１ポート３１を通して把持部１０内の第１空間ＳＰ１を減圧する。例えば、第１空間ＳＰ１は、０．１気圧程度に減圧される。これにより、第１空間ＳＰ１の粉粒体１５が凝集して固化する。続いて、第２ポート３２を通して、把持部１０とワークＷによって囲まれた第２空間ＳＰ２を減圧する。例えば、第２空間ＳＰ２は、０．１気圧程度に減圧される。これにより、ワークＷが、第２空間ＳＰ２に向けて吸着され、保持される。
【００４６】
図１０は、参考例に係る把持ツール２ｒによる把持方法を表す断面図である。
図１０を参照しつつ、第２実施形態の効果を説明する。図１０に表した参考例に係る把持ツール２ｒは、押圧部材５０を備えていない。
【００４７】
図１０（ａ）に表したように、把持ツール２ｒが上向きに配置された状態において、第１部分１１は、重さによって下方に凹む。この状態で、第１部分１１がワークＷに接触すると、図１０（ｂ）に表したように、第１部分１１とワークＷとの間に隙間Ｇが形成される。このため、隙間Ｇが生じた分、第１部分１１とワークＷとの接触面積が小さくなる。また、図１０（ｂ）に表した状態で、把持部１０内側の第２空間ＳＰ２を減圧すると、隙間Ｇを通して外部から空気が流入し、第２空間ＳＰ２の圧力を十分に低下できない。この結果、ワークＷの保持が不安定となる可能性がある。
【００４８】
これに対して、第２実施形態に係る把持ツール２では、押圧部材５０によって把持部１０を下方から押し、第１部分１１の少なくとも一部を上方に向けて変位させることができる。把持部１０がワークＷと接触する前に、第１部分１１の少なくとも一部を上方に向けて変位させることで、把持部１０とワークＷが接触した際の隙間を少なくできる。この結果、把持部１０によってワークＷをより安定して保持することが可能となる。
【００４９】
また、第１部分１１が上方に向いていると、自重により第１部分１１が変形した際に、凹部１１ｒに囲まれた第２空間ＳＰ２の上端が塞がれてしまう可能性がある。第１部分１１が変形して第２空間ＳＰ２が塞がれると、第２空間ＳＰ２を減圧した際に、ワークが第２空間ＳＰ２に向けて吸着されず、ワークを保持する力が大きく低下する。
この課題に対しては、凹部１１ｒと押圧部材５０の押圧部５１との間の径方向における距離Ｄ１を、凸部１１ｐの外周と押圧部５１との間の径方向における距離Ｄ２よりも短くすることが好ましい。なお、径方向とは、把持部１０の内側から外側に向かい、上下方向に対して垂直な方向である。
この構成によれば、押圧部材５０によって第１部分１１のより内側が上方に向けて変位されるため、第１部分１１によって第２空間ＳＰ２が塞がれ難くなる。これにより、ワークをより安定して保持することが可能となる。
【００５０】
図８および図９では、押圧部材５０と排気手段が別々に設けられた例を表した。第２実施形態に係る把持ツールは、この例に限定されない。把持ツール２において、図６に表したように、押圧部材５０と排気手段が一体に設けられていても良い。または、把持ツール２において、図７に表したように、第２ポート３２が設けられていなくても良い。いずれの形態においても、押圧部材５０によって把持部１０を下方から押し、第１部分１１の少なくとも一部を上方に向けて変位させることで、ワークをより安定して保持することが可能となる。
【００５１】
（変形例）
図１１は、第２実施形態の変形例に係る把持ツール２ａの構成を表す模式図である。
把持ツール２ａは、凹んだ第１部分１１を上方に向けて変位させるための変位機構として、ポンプユニット７０を備える。
【００５２】
ポンプユニット７０は、例えば、第１ポンプ７１、第１流量計７２、第２ポンプ７３、第２流量計７４、圧力調整弁７５、切替バルブ７６、バルブ７７、および圧力計７８を有する。
【００５３】
バルブ７７および圧力計７８は、通気路Ｐ１に設けられている。通気路Ｐ１の少なくとも一部は、例えば第１配管４１で構成されている。圧力計７８は、第１空間ＳＰ１とバルブ７７との間に設けられている。バルブ７７は、切替バルブ７６と圧力計７８との間に設けられている。通気路Ｐ１は、例えば、切替バルブ７６によって、通気路Ｐ２と通気路Ｐ３に分岐されている。
【００５４】
第１ポンプ７１は、通気路Ｐ２と接続されている。第１流量計７２は、通気路Ｐ２上に設けられ、第１ポンプ７１と切替バルブ７６との間に設けられている。
第２ポンプ７３は、通気路Ｐ３と接続されている。第２流量計７４および圧力調整弁７５は、通気路Ｐ３上に設けられている。圧力調整弁７５は、第２ポンプ７３と切替バルブ７６との間に設けられ、第２流量計７４は、圧力調整弁７５と切替バルブ７６との間に設けられている。
【００５５】
例えば、第１ポンプ７１は、通気路Ｐ１および通気路Ｐ２を通して空気を吸引し、第１空間ＳＰ１を減圧する。第１流量計７２は、通気路Ｐ２における流量を検出し、調整する。
例えば、第２ポンプ７３は、外部から吸気して通気路Ｐ１および通気路Ｐ２に空気を送り、第１空間ＳＰ１を加圧する。第２流量計７４は、通気路Ｐ３における流量を検出し、調整する。圧力調整弁７５は、圧力計を含み、第２ポンプ７３から加えられる圧力を、第２流量計７４が測定可能な範囲に調整する。
【００５６】
第１流量計７２および第２流量計７４としては、電磁式流量計、カルマン渦式流量計、羽根車式流量計、浮き子式流量計、熱式流量計、ダイヤフラム式流量計、超音波式流量計、コリオリ式流量計などを用いることができる。
圧力計７８としては、ブルドン管圧力計、ダイヤフラム式圧力計、ベロ―圧力計、または液柱圧力計などを用いることができる。
【００５７】
切替バルブ７６は、不図示の電磁弁、電動弁、電子式流量調整弁、および定流量弁等を有する。切替バルブ７６により、通気路Ｐ１と、通気路Ｐ２およびＰ３の一方と、が接続される。切替バルブ７６により、第１空間ＳＰ１が減圧される状態と、第１空間ＳＰ１が加圧される状態と、が切り替えられる。バルブ７７の開閉により、通気路Ｐ１を気体が流れる状態と、通気路Ｐ１を気体が流れない状態と、が切り替えられる。圧力計７８は、通気路Ｐ１における圧力を検出する。
【００５８】
ポンプユニット７０の各構成要素の動作は、制御部８０により制御される。制御部８０は、ポンプユニット７０および駆動部９０と電気的に接続されている。第１流量計７２、第２流量計７４、および圧力計７８における検出結果は、制御部８０に送信される。制御部８０は、これらの検出結果に基づき、ポンプユニット７０の各構成要素の動作および駆動部９０の動作を制御する。
【００５９】
図１２は、第２実施形態の変形例に係る把持ツール２ａによる把持方法を表す断面図である。
図１２（ａ）に表した第１部分１１が凹んだ状態において、ポンプユニット７０を駆動させ、第１ポート３１を通して第１空間ＳＰ１を加圧する。これにより、図１２（ｂ）に表したように、把持部１０が膨らみ、第１部分１１の少なくとも一部が上方に向けて変位する。この状態で、図１２（ｃ）に表したように、第１部分１１とワークＷを接触させる。第１部分１１とワークＷが接触した後は、第１空間ＳＰ１を減圧する。これにより、図１２（ｄ）に表したように、ワークＷが把持部１０に向けて沈み込むとともに、把持部１０がワークＷの形状に沿ってさらに変形し、把持部１０とワークＷの接触面積が増加する。
【００６０】
その後、第１ポート３１を通して第１空間ＳＰ１を減圧し、続いて、第２ポート３２を通して第２空間ＳＰ２を減圧する。これにより、ワークＷが、第２空間ＳＰ２に向けて吸着され、保持される。
【００６１】
（第３実施形態）
図１３は、第３実施形態に係る把持システム３を表す模式図である。
第３実施形態に係る把持システム３は、把持ツール１、ポンプユニット７０、ポンプユニット７０ａ、制御部８０、および搬送ロボット（駆動部）９０を備える。
【００６２】
搬送ロボット９０は、アーム９０ａを有する。アーム９０ａは、例えば複数の関節を有し、先端に把持ツール１が取り付けられている。搬送ロボット９０は、制御部８０からの指令に従ってアーム９０ａを動作させ、ワークＷの把持および搬送を行う。
【００６３】
ポンプユニット７０は、図１に表した把持ツール１の第１配管４１と接続される。ポンプユニット７０ａは、把持ツール１の第２配管４２と接続される。制御部８０からの指令に従ってポンプユニット７０および７０ａが駆動することで、第１空間ＳＰ１および第２空間ＳＰ２が減圧されたり、大気開放されたりする。
【００６４】
制御部８０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）や、ＲＯＭ（Read Only Memory）、不揮発性のフラッシュメモリなどを有する。ＣＰＵでは、制御部８０における各種演算処理が実行される。ＲＯＭには、把持システム３の動作に必要な各種制御アリゴリズムや各種定数等が記憶される。フラッシュメモリには、ワークＷの搬送手順や、搬送状況等が適宜記憶して保存される。
【００６５】
制御部８０は、フラッシュメモリに記憶されている搬送手順に従って、押圧部材５０、ポンプユニット７０、ポンプユニット７０ａ、および搬送ロボット９０に指令を送出し、これらの動作を制御する。
【００６６】
把持システム３が、把持性能の高い把持ツール１を備えることで、ワークＷをより確実に把持し、搬送することが可能となる。なお、把持システム３は、把持ツール１に代えて、把持ツール１ａ、１ｂ、２、または２ｂを備えていても良い。把持システム３が把持ツール１ｂを備える場合、把持システム３は、ポンプユニット７０ａを備えていなくても良い。
【００６７】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００６８】
１、１ａ、１ｂ、２、２ａ、２ｒ 把持ツール、  ３ 把持システム、  １０ 把持部、  １１ 第１部分、  １１ｐ 凸部、  １１ｒ 凹部、  １２ 第２部分、  １５ 粉粒体、  ２０ 保持部、  ２３ 締結具、  ２５ 連結部材、  ３１ 第１ポート、  ３２ 第２ポート、  ４１ 第１配管、  ４２ 第２配管、  ５０ 押圧部材、  ５１ 押圧部、  ７０、７０ａ ポンプユニット、  ８０ 制御部、  ９０ 搬送ロボット（駆動部）、  Ｐ１〜Ｐ３ 通気路、  ＳＰ１ 第１空間、  ＳＰ２ 第２空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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