(57)【要約】【課題】被処理物の除電除塵を少ないランニングコストで、短時間で効率的に行うことができ、被処理物から取り除かれた塵埃が外部に飛び出して作業環境を汚染することのない除電除塵装置を提供する。【解決手段】開口部１６を有する処理室１１と、処理室１１にイオンを発生させる無風型イオナイザー２０と、処理室１１に清浄空気を圧送する送風部２５と、処理室１１から送風部２５に空気を循環させる循環機構３０とを備え、処理室に入れられた被処理物Ｗに向けて清浄空気を送風部２５から圧送して、当該清浄空気とともに無風型イオナイザー２０で発生させたイオンを被処理物Ｗに到達させることにより、被処理物Ｗの除塵除電を行とともに、循環機構３０によって処理室１１から送風部２５に空気を循環させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物の除電除塵を行う除電除塵装置であって、
前記被処理物を出し入れするための開口部を有する処理室と、
前記処理室の天井部に設けられて、前記処理室にイオンを発生させる無風型イオナイザーと、
前記処理室の天井部に設けられて、前記処理室に清浄空気を圧送する送風部と、
前記処理室から前記送風部に空気を循環させる循環機構と、を備え
前記開口部から前記処理室に入れられた前記被処理物に向けて清浄空気を前記送風部から圧送して、当該清浄空気とともに前記無風型イオナイザーで発生させたイオンを前記被処理物に吹き付けることにより、前記被処理物の除塵除電を行とともに、前記循環機構によって前記処理室から前記送風部に空気を循環させることを特徴とする除電除塵装置。
【請求項２】
前記開口部と前記無風型イオナイザーとの間に前記送風部が設けられ、
前記送風部から圧送される清浄空気によって形成されるエアーカーテンによって、前記処理室に前記イオンを閉じ込めることを特徴とする請求項１に記載の除電除塵装置。
【請求項３】
前記循環機構は、
前記処理室の開口部と対向する奥側の奥側壁部に設けられた吸気口と、
この吸気口に設けられた第１フィルタと、
前記吸気口に接続された流路と、
この流路に前記吸気口と逆側において接続されたファンと、
前記ファンより下流側に設けられた第２フィルタとを備え、
前記ファンによって前記吸気口から吸い込まれた前記処理室の空気が前記第１フィルタを通ったうえで、前記流路を流れ、さらに、前記第２フィルタを通ることで、清浄空気となったうえで、当該清浄空気が前記送風部に循環されることを特徴とする請求項１または２に記載の除電除塵装置。
【請求項４】
前記送風部の入口または入口近傍に設けられ、前記送風部から圧送される清浄空気の風圧を常時監視する風圧センサと、
この風圧センサによって、前記第２フィルタの目詰まりによる前記風圧の低下を検出して、この低下量を表示する表示部と、を備えたことを特徴とする請求項３に記載の除電除塵装置。
【請求項５】
前記処理室の前記開口部の開口率が変更可能であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の除電除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電気の除去および付着塵埃の除去を必要とする部品、例えば電子デバイスや光学レンズ、フィルム、樹脂製品などの被処理物にイオン化エアーを噴き付けて被処理物に付着した塵埃や静電気を取り除くための除電除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の除電除塵装置においては、被処理物へのイオン化エアーの噴き付けによって、被処理物から除去した塵埃が被処理物を出し入れする開口部から周囲に飛散、浮遊し、作業環境を汚染し、あるいは、被処理物へ再付着するという問題点が発生してきている。
これを防止するために、従来、例えばイオン化エアーの噴出手段とは別に被処理物を出し入れする開口部に、空気噴出パイプから下方に向けてエアーを噴出させて、処理空間と外部を遮蔽するエアーカーテンを形成したり、イオン化エアーを開口部の下部から処理空間の中央部に向かって噴出したりすることで被処理物から除去した塵埃が外部に漏出することを防止する提案がなされている（特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−７０１２号公報
【特許文献２】実用新案登録第３１１７３７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら特許文献１，２に記載のものは、エアーカーテンを形成させる空気噴出パイプやイオンエアーを噴出させるノズルの配設やその清浄度を維持する仕組みやこれらのパイプやノズルへの圧縮空気の供給手段など別エネルギーを必要とする手段を設置しなければならず、設備導入後のランニングコストの面でも余分に費用がかかる問題があるばかりか、装置を運転しない状態であっても常時圧力がかかる可能性があり、清浄度を維持する仕組みをパイプによって連結する構造上、装置を設置する周辺環境に対して微量なエアー漏れとともに清浄でない空気が漏れ出すことおよびそれらの仕組みを清浄な空気を長距離にわたってパイプで供給することによる清浄度の低下の可能性という、相反する要件について留意する必要がある。
【０００５】
また、特許文献１，２に記載のものは、装置の下流にダクトホースなどを接続して集塵機を設置する必要があり、この集塵機内のフィルタを通して清浄空気が常に外部へ排出されるので、騒音や排気圧による床面の塵埃の吹き上げ、集塵機のフィルタ保守時の粉塵の飛散が運用に支障とならないような設置場所を検討しなければならない不便さがある。
さらに集塵機内に形成されたフィルタの目詰まりによって、このフィルタからの清浄空気の排出量が減少すると装置内が陽圧に変化し、被処理物から除去した塵塵埃が開口部から外部に漏出する問題がある。
【０００６】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、被処理物の除電除塵を少ないランニングコストで、短時間で効率的に行うことができ、被処理物から取り除かれた塵埃が外部に飛び出して作業環境を汚染することのない除電除塵装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明の除電除塵装置は、被処理物の除電除塵を行う除電除塵装置であって、
前記被処理物を出し入れするための開口部を有する処理室と、
前記処理室の天井部に設けられて、前記処理室にイオンを発生させる無風型イオナイザーと、
前記処理室の天井部に設けられて、前記処理室に清浄空気を圧送する送風部と、
前記処理室から前記送風部に空気を循環させる循環機構と、を備え
前記開口部から前記処理室に入れられた前記被処理物に向けて清浄空気を前記送風部から圧送して、当該清浄空気とともに前記無風型イオナイザーで発生させたイオンを前記被処理物に吹き付けることにより、前記被処理物の除塵除電を行とともに、前記循環機構によって前記処理室から前記送風部に空気を循環させることを特徴とする。
【０００８】
本発明においては、被処理物を出し入れするための開口部から処理室に入れられた被処理物に向けて清浄空気を送風部から圧送して、当該清浄空気とともに無風型イオナイザーで発生させたイオンを被処理物に吹き付けることにより、被処理物の除塵除電を行うとともに、循環機構によって処理室から送風部に空気を循環させるので、被処理物の除電除塵を少ないランニングコストで、短時間で効率的に行うことができ、被処理物から取り除かれた塵埃が外部に飛び出して作業環境を汚染するのを防止できる。
【０００９】
また、本発明の前記構成において、前記開口部と前記無風型イオナイザーとの間に前記送風部が設けられ、
前記送風部から圧送される清浄空気によって形成されるエアーカーテンによって、前記処理室に前記イオンを閉じ込めてもよい。
【００１０】
このような構成によれば、無風型イオナイザーによって処理室に発生したイオンが、送風部から圧送される清浄空気によって形成されるエアーカーテンによって、処理室に閉じ込められるので、イオンが周囲の帯電物に誘導されることなく、被処理物に作用して確実に除電できる。
【００１１】
また、本発明の前記構成において、前記循環機構は、前記処理室の開口部と対向する奥側の奥側壁部に設けられた吸気口と、この吸気口に設けられた第１フィルタと、前記吸気口に接続された流路と、この流路に前記吸気口と逆側において接続されたファンと、前記ファンより下流側に設けられた第２フィルタとを備え、
前記ファンによって前記吸気口から吸い込まれた前記処理室の空気が前記第１フィルタを通ったうえで、前記流路を流れ、さらに、前記第２フィルタを通ることで、清浄空気となったうえで、当該清浄空気が前記送風部に循環されてもよい。
【００１２】
ここで、第１フィルタとしては、第２フィルタより低効率の中効率フィルタが使用され、第２フィルタとしては、ＨＥＰＡフィルタ等の高効率フィルタが使用される。高効率フィルタの通過時圧力損失は、中効率フィルタの通過時圧力損失より大きいので、送風部からの吐出圧（送風圧）は、吸気口からの引き込み圧よりも常に低くなるため、処理室は陰圧に設定され、空気の循環は陰圧循環となる。
【００１３】
このような構成によれば、ファンによって吸気口から吸い込まれた処理室の空気が第１フィルタを通ることで、当該第１フィルタによって比較的粒径の大きい塵埃が捕集されたうえで、流路を流れ、さらに、第２フィルタを通ることで、当該第２フィルタによって粒径の小さい殆どの塵埃が捕集されて清浄空気となったうえで、当該清浄空気が送風部に循環される。そして、この清浄空気を送風部から圧送して、当該清浄空気ととともに無風型イオナイザーで発生させたイオンを被処理物に吹き付けることにより、被処理物の除塵除電をより効率的に行うことができる。
【００１４】
また、本発明の前記構成において、前記送風部の入口または入口近傍に設けられ、前記送風部から圧送される清浄空気の風圧を常時監視する風圧センサと、
この風圧センサによって、前記第２フィルタの目詰まりによる前記風圧の低下を検出して、この低下量を表示する表示部とを備えてもよい。
【００１５】
このような構成によれば、第２フィルタが目詰まりすると、送風部から圧送される清浄空気の風圧も低下するので、この風圧低下を風圧センサによって検出し、風圧の低下量を表示部に表示することによって、第２フィルタの交換目安を容易に判別できる。
【００１６】
また、本発明の前記構成において、前記処理室の前記開口部の開口率が変更可能であってもよい。
【００１７】
このような構成によれば、本除電除塵装置全体を内包できるベンチレーター内に本除電除塵装置を設置する場合などは、送風部から圧送される清浄空気を積極的に処理室の外部へ開口部を通して排出させることができ、本除電除塵装置の第１フィルタおよび第２フィルタの交換およびメンテナンス間隔を延長さすことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、被処理物の除電除塵を少ないランニングコストで、短時間で効率的に行うことができ、被処理物から取り除かれた塵埃が外部に飛び出して作業環境を汚染するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態の除電除塵装置の一例を示すもので、一部を破断した側面図である。
【図２】同、正面図である。
【図３】同、図２におけるＡ矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本実施の形態に係る除電除塵装置の一部を破断した側面図、図２は同正面図、図３は図２におけるＡ矢視図である。
【００２１】
図１および図２に示すように、本実施の形態に係る除塵除電装置は、矩形箱状の筐体１０を備えている。筐体１０の左右両面にはそれぞれ取手１０ａが設けられており、この取手１０ａ，１０ａによって筐体１０、つまり本除塵除電装置は持ち運びが容易となっている。
この筐体１０の略下半分は処理室１１となっている。この処理室１１は、天井部１２、左右の側壁部１３，１４および奥側壁部１５によって形成され、前面が開口した略矩形箱状の内部空間となっている。
また、処理室１１は、筐体１０の正面側に、正面視矩形状の開口部１６を有しており、この開口部１６を通して、被処理物Ｗを処理室１１に出し入れするようになっている。被処理物Ｗとしては、工業製品用の電子部品や光学部品、樹脂製品、薬品、包装トレイなど静電気が原因となって素子を破壊したり塵埃が付着したりする事象が問題となる部品が挙げられ、このような部品を被処理物Ｗとして除電除塵の処理を行う。
【００２２】
開口部１６の開口率は変更可能となっている。すなわち、図２に示すように、開口部１６の左右側縁部には、断面コ字形の支持レール１７，１７が左右に対向して設けられている。支持レール１７，１７は開口部１６の下端から開口部１６の上下の中央より若干下側まで延在しており、これら支持レール１７，１７に矩形板状の塞ぎ板１８の両側部が挿入されている。
したがって、塞ぎ板１８を支持レール１７，１７から取り外すことによって、開口部１６の開口率は１００％となり、塞ぎ板１８を取り付けることによって、開口率は約６０％となる。また、高さの異なる塞ぎ板１８を複数用意しておき、これら塞ぎ板１８を選択的に取り付けることによって、開口率は変更可能となる。
【００２３】
また、処理室１１の天井部１２には、処理室１１にイオンを発生させる無風型イオナイザー（イオン発生装置）２０が設けられている。無風型イオナイザー２０は断面Ｌ形のブラケット１９によって天井部１２に吊持されている。
無風型イオナイザー２０は、間隔を開けて配置されたプラス、マイナスのそれぞれ対を成す電極２０ａ，２０ａを有しており、両電極２０ａ，２０ａ間に電圧が印加され、針電極２０ｂ，２０ｂ間に発生するコロナ放電により絶縁気体がイオンに乖離される。
なお、電極２０ａ，２０ａは２対設けられており、合計４個の電極２０ａがブラケット１９に、開口部１６の幅方向（図１において左右方向、図２において紙面と直交する方向）に所定間隔で取り付けられている。また、無風型イオナイザー２０にはケーブル２０ｃの一端部が接続されており、他端部は図示しない電源に接続されている。
【００２４】
一般的に、イオン発生装置は、１本の針電極に交流電源からの電圧が印加されるものと、プラス、マイナスのそれぞれの針電極に直流電源からの電圧が印加されるものとに分類される。
交流電源から１本の針電極に対してプラスまたはマイナスの電圧が交互に印加される方式にあっては、同一の場所から発生するプラス、マイナスのイオンが互いに打ち消し合う可能性について印加電圧を上げる等の考慮が必要である。
また、除電対象物はプラスまたはマイナスのうちの一方に帯電しているが、除電の過程においては除電対象物の除電に必要のないイオンが衝突する。直流電源からプラス、マイナスのそれぞれの針電極に電圧を印加してイオンを発生する方式では、グランドベースを基準とした各電極の電位設定により、プラス、マイナスそれぞれの発生量を制御することが可能である。さらに、本無風型イオナイザー２０のように針電極２０ｂから除電対象物（被処理物Ｗ）の距離が一定である場合にはプラス、マイナスのイオンが互いに打ち消し合う可能性について考慮する必要がなく、これらの点において、本実施の形態のような固定された作業空間（処理室１１）を有する除電除塵装置においては直流電源にてイオンを発生させるイオン発生装置の方が実用的である。
【００２５】
また、図２に示すように、筐体１０には、無風型イオナイザー２０が接続された基板２１が内蔵されており、この基板２１に設けられた半固定抵抗ボリュームにてマイナスイオンの電圧を可変制御することでイオンの発生バランスを調整できるようになっている。
また、筐体１０の正面にはイオンバランス調整ボリューム２２が設けられており、このイオンバランス調整ボリューム２２を操作することによって、前記半固定抵抗ボリュームを操作できるようになっている。したがって、イオンバランス調整ボリューム２２を操作することによってイオンの発生バランスを調整できるようになっている。
また、筐体１０には、イオンバランス調整ボリューム２２の近傍において、高圧異常警告ランプ２３が設けられており、無風型イオナイザー２０に発生する圧力が異常高圧になった場合に高圧異常警告ランプ２３が点灯または点滅するようになっている。
【００２６】
また、無風型イオナイザー２０は、プラスとマイナスのイオンの打ち消しロスが少ないため、比較的低い電圧でイオンが生成できる。そのため電極の酸化や劣化が生じにくく、被洗浄物（被処理物）に不純物が付着しにくくなる。このため清浄空気環境での除電除塵装置としての特性を生かすことができるものとなり、例えば半導体デバイスやレンズ部品の洗浄などに最適なものとなる。
【００２７】
また、処理室１１の天井部１２には、処理室１１に清浄空気を圧送する送風部２５が設けられている。図１に示すように、この送風部２５は開口部１６と無風型イオナイザー２０との間において、天井部１２の下面に当該下面から下方に突出するようにして設けられている。送風部２５は開口部１６の幅方向（、図１において紙面と直交する方向、図２において左右方向）に延在して設けられている。また、送風部２５は上面（基端面）と下面（先端面）が開口しており、上面から流入した清浄空気が下面から吹出すようになっている。
【００２８】
また、送風部２５は、その断面積が基端面から先端面に向かうしたがって漸次減少するように形成されている。つまり、送風部２５は、開口部１６の幅方向に延在し、かつ処理室１１の奥行方向において対向する内側面が、送風部２５の基端面から先端面に向かうにしたがって漸次近づくように形成されている。
このように送風部２５はスリットノズル状に形成されているので、送風部２５の上面から流入した清浄空気は下面（先端面）から処理室１１に向けて下方に吹き出す、つまり圧送されるようになっている。
また、天井部１２には、照明２６が設けられている。この照明２６はＬＥＤ照明であり、天井部１２の下面の略中央部に設けられ、処理室１１を明るく照らすようになっている。
【００２９】
また、図１に示すように、筐体１０には、処理室１１から送風部２５に空気を循環させる循環機構３０が設けられている。
循環機構３０は、処理室１１の開口部１６と対向する奥側の壁部、つまり処理室１１の奥側壁部１５に設けられた吸気口３１と、この吸気口３１に設けられた中効率フィルタ（第１フィルタ）３２と、吸気口３１に接続された流路３３と、流路３３に吸気口３１と逆側において接続されたファン３４と、ファン３４より下流側に設けられた高効率フィルタ（第２フィルタ）３５とを備えている。
【００３０】
吸気口３１は、左右に向けられた長辺と上下に向けられた短辺とを有する矩形状に形成され、その左右の長さ（長辺の長さ）は送風部２５の左右の長さとほぼ等しくなっている。また、吸気口３１は正面視において開口部１６の略下半分に配置されており、その上辺は塞ぎ板１８の上辺より高くなっている。
中効率フィルタ３２は、正面視において吸気口３１とほぼ等しい形状および大きさに形成され、吸気口３１を塞ぐようにして当該吸気口３１の周縁部に取り付けられている。
【００３１】
流路３３は、筐体１０の背面壁の内面に沿って上下に延在する延びる空間であり、当該流路３３の左右方向の幅は、筐体１０の左右方向の幅とほぼ等しくなっている。筐体１０の背面壁と処理室１１の奥側壁部１５との間には空間が形成され、この空間が流路３３の略下半分を構成している。また、流路３３の略上半分は筐体１０の上壁の下面まで延在しており、この流路３３の上端部がファン３４に連通している、つまり、流路３３の上端部がファン３４に接続されている。
【００３２】
また、処理室１１の天井部１２の上方には、当該天井部１２と所定間隔を隔てて内壁３６が水平に設けられ、この内壁３６にファンフィルタユニット３７が設置されている。
このファンフィルタユニット３７は、前記ファン（ブロアファン）３４と前記高効率フィルタ（第２フィルタ）３５とを備えており、ファン３４の下側、つまりファン３４より下流側に高効率フィルタ３５が設けられている。
ファン３４はファンケース３４ａに設けられ、高効率フィルタ３５はフィルタケース３５ａに設けられている。ファンケース３４ａとフィルタケース３５ａとが一体的に結合されることで、ファンフィルタユニット３７が構成されている。そして、このファンフィルタユニット３７が筐体１０に取出可能に内蔵されている。なお、高効率フィルタ３５として例えばＨＥＰＡフィルタを使用することができる。
【００３３】
また、ファンフィルタユニット３７が設置されている内壁３６には、矩形状の孔が形成されており、この孔に高効率フィルタ３５が面している。したがって、ファン３４によって形成される空気流は高効率フィルタ３５を通ったうえで前記孔から、内壁３６と天井部１２との間の空気溜り空間３８に清浄空気として流入するようになっている。そして、空気溜り空間３８に流入した清浄空気は、前記送風部２５から処理室１１に圧送されるようになっている。
【００３４】
また、前記空気溜り空間３８には、送風部２５の入口近傍に風圧センサ４０が設けられている。この風圧センサ４０は、送風部２５から圧送される清浄空気の風圧を常時監視することにより、ファンフィルタユニット３７の作動状況を常時監視することができる。
また、図３に示すように、処理室１１の側壁部１４には、開口部１６の近傍において、表示部４１が設けられている。この表示部４１は、風圧センサ４０に接続されており、当該風圧センサ４０によって、高効率フィルタ３５の目詰まりによる清浄空気の風圧の低下（変化）を検出した際に、この低下量（変化量）を表示するものである。
表示部４１としては、例えば風圧変化を多段階で表示可能な多段階ＬＥＤインジケーターが用いられている。このような表示部４１を目視確認することによって、送風部２５から圧送される清浄空気の風圧低下を判別できるので、高効率フィルタ３５の交換目安を判別できる。
【００３５】
また、図２に示すように、筐体１０には、ファンフィルタユニット３７が接続された基板４２が内蔵されており、この基板４２に接続された風量調整ボリューム４３を操作することによって、ファン３４の回転速度を調整して、風量を調整できるようになっている。また、風量調整ボリューム４３の近傍には、電源スイッチ４５が設けられ、この電源スイッチ４５をＯＮすることによって、ファン３４が回転するとともに無風型イオナイザー２０が起動し、ＯＦＦすることによってファン３４の回転が停止するとともに無風型イオナイザー２０が停止するようになっている。
【００３６】
次にこのような構成の除電除塵装置によって被処理物Ｗを除電除塵する方法について説明する。
まず、電源スイッチ４５をＯＮとすることで、ファン３４を回転させたうえで、被処理物Ｗを開口部１６から処理室１１に挿入する。また、電源スイッチ４５をＯＮとすることで、無風型イオナイザー２０が起動し、処理室１１内の上部においてイオンが発生する。
【００３７】
ファン３４が回転すると、流路３３の空気が吸引されて当該流路３３が陰圧となるので、処理室１１内の空気Ｋ１が吸気口３１から流路３３に吸い込まれる。吸気口３１から吸い込まれた空気Ｋ１は中効率フィルタ３２を通ることで、当該中効率フィルタ３２によって、空気中の比較的粒径の大きい塵埃が捕集されたうえで、当該空気Ｋ１が流路３３を上方に向けて流れる。この空気Ｋ１は流路３３の上部からファン３４の吸入口に吸い込まれ、さらにファン３４の排出口から排出される。
ファン３４の排出口から排出された空気Ｋ１はファン３４の下流側に設けられた高効率フィルタ３５を通ることで、当該高効率フィルタ３５によって粒径の小さい殆どの塵埃が捕集されて清浄空気Ｋ２となる。
この清浄空気Ｋ２は、空気溜り空間３８に流入したうえで、スリットノズル状に形成された送風部２５に供給され、この送風部２５の先端面から処理室１１に下方に向けて圧送される。
【００３８】
圧送された清浄空気Ｋ２は高速化され、この高速化された清浄空気Ｋ２とともに無風型イオナイザーで発生させたイオンが被処理物Ｗに吹き付けられる。つまり、高速化された清浄空気Ｋ２は、無風型イオナイザー２０によって発生したイオンを引き込んで被処理物Ｗに吹き付けられる。これによって、清浄空気Ｋ２およびイオンが被処理物Ｗに到達するので、被処理物Ｗの除塵除電が行われる。
また、無風型イオナイザー２０によって発生したイオンは、送風部２５から吹き出される清浄空気Ｋ２によって形成されるエアーカーテンＡＫにより処理室１１に閉じ込められ、周囲の帯電物に誘導されることなく、イオン化空気、つまりイオンを含む清浄空気Ｋ２となって被処理物Ｗに吹き付けられる。
【００３９】
そして、被処理物Ｗの表面から吹き飛ばされた塵埃は、送風部２５から吹き出される空気流に乗って処理室１１の奥側壁部１５に設けられた吸気口３１に取り付けられた中効率フィルタ３２によって、比較的粒径の大きい塵埃が捕集され、当該塵埃が捕集された空気が流路３３を流れ、さらに高効率フィルタ３５によって粒径の小さい殆どの塵埃が捕集される。高効率フィルタ３５は、例えばＨＥＰＡフィルタを用いた場合、０．３μｍ以上の粒子を９９．９７％以上除去することが可能である。
このように、処理室１１内の空気は、中効率フィルタ３２によって比較的粒径の大きい塵埃が捕集されたうえで、流路３３を流れ、さらに、高効率フィルタ３５によって粒径の小さい殆どの塵埃が捕集されたうえで、送風部２５から清浄空気として再び処理室１１に圧送される。つまり、処理室１１内の空気は循環して再び清浄空気として処理室１１に戻ってくる。
【００４０】
また、送風部２５から圧送された高速の清浄空気Ｋ２は、処理室１１の開口部１６から外気Ｋ３を引き込みながら被処理物Ｗに吹き付けられることで、塵埃を含んだ空気Ｋ１となり、処理室１１の奥側壁部１５に設けられた吸気口３１に吸入されるとともに中効率フィルタ３２を通り、さらに高効率フィルタ３５を通る。高効率フィルタ３５の通過時圧力損失は、中効率フィルタ３２の通過時圧力損失より大きいので、送風部２５からの吐出圧（送風圧）は、吸気口３１からの引き込み圧よりも常に低くなるため、処理室１１は陰圧に設定され、空気の循環は陰圧循環となる。また、除電除塵装置の運転に伴って発生する高効率フィルタ３５の目詰まりは通過時圧力損失を増加させるため、処理室１１内では常に陰圧が維持される。このため、被処理物Ｗから取り除いた塵埃の漏出を防止できる。
【００４１】
以上のように、本実施の形態によれば、被処理物Ｗを出し入れするための開口部１６から処理室１１に入れられた被処理物Ｗに向けて清浄空気Ｋ２を送風部２５から圧送して、当該清浄空気Ｋ２とともに無風型イオナイザーで発生させたイオンを被処理物Ｗに吹き付けることにより、被処理物Ｗの除塵除電を行とともに、循環機構３０によって処理室１１から送風部２５に空気を循環させるので、被処理物Ｗの除電除塵を少ないランニングコストで、短時間で効率的に行うことができ、被処理物Ｗから取り除かれた塵埃が外部に飛び出して作業環境を汚染するのを防止できる。
【００４２】
また、ファン３４によって吸気口３１から吸い込まれた処理室１１の空気Ｋ１が中効率フィルタ３２を通ることで、当該中効率フィルタ３２によって比較的粒径の大きい塵埃が捕集されたうえで、流路３３を流れ、さらに、高効率フィルタ３５を通ることで、当該高効率フィルタ３５によって粒径の小さい殆どの塵埃が捕集されて清浄空気Ｋ２となったうえで、当該清浄空気が送風部２５に循環される。そして、この清浄空気Ｋ２を送風部２５から圧送して、当該清浄空気Ｋ２とともに無風型イオナイザー２０で発生させたイオンを被処理物Ｗに吹き付けることにより、被処理物Ｗの除塵除電をより効率的に行うことができる。
さらに、無風型イオナイザー２０によって処理室１１に発生したイオンが、送風部２５から圧送される清浄空気Ｋ２によって形成されるエアーカーテンＡＫによって、処理室１１に閉じ込められるので、イオンが周囲の帯電物に誘導されることなく、被処理物Ｗに作用して確実に除電できる。
【００４３】
また、高効率フィルタ３５が目詰まりすると、空気溜り空間３８に高効率フィルタ３５を通して供給される清浄空気Ｋ２の風圧が低下するので、送風部２５に流入する清浄空気Ｋ２の風圧変化（風圧低下）を多段階ＬＥＤインジケーターで構成された表示部４１で目視確認することが可能である。この風圧変化により高効率フィルタの交換目安も判別できる。
【００４４】
また、処理室１１の開口部１６の開口率が塞ぎ板１８によって変更可能であるので、開口率を上げることによって、送風部２５から圧送された清浄空気Ｋ２が外気Ｋ３を引き込もうとする力を弱くすることができるとともに、処理室１１の内壁面に衝突した圧送された清浄空気Ｋ２が処理室１１の開口部１６から外へ向かおうとする速度が処理室１１の奥側壁部１５に設けられた吸気口３１に取り付けられた中効率フィルタ３２へ吸入されようとする速度を超えるため、処理室１１は雰囲気に対して陽圧となり、陰圧を要求しない設置条件たとえば本除電除塵装置全体を内包できるベンチレーター内に本除電除塵装置を設置する場合などは送風部２５から送風される清浄空気Ｋ２を積極的に処理室１１の外部へ排出させることができる。したがって、中効率フィルタ３２および高効率フィルタ３５の交換およびメンテナンス間隔を延長さすことができる。
【符号の説明】
【００４５】
Ｗ  被処理物
Ｋ１  空気
Ｋ２  清浄空気
ＡＫ  エアーカーテン
１１  処理室
１２  天井部
１５  奥側壁部
１６  開口部
１８  塞ぎ板
２０  無風型イオナイザー
２５  送風部
３０  循環機構
３１  吸気口
３２  中効率フィルタ（第１フィルタ）
３３  流路
３４  ファン
３５  高効率フィルタ（第２フィルタ）
４０  風圧センサ
４１  表示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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