(57)【要約】【課題】本発明は、脆性材料基板の分断工程を遂行する前に、吸着とエアフローティングが可能な固定テーブルと移動テーブルを用いて脆性材料基板を搬送することにより、脆性材料基板の表面不良又は完全分断を防止し得る脆性材料基板の分断装置及び分断方法を提供する。【解決手段】本発明に係る脆性材料基板の分断装置は、複数の固定テーブル(110)と、前記固定テーブル(110)の間に位置し、移動可能な移動テーブル(120)を有する上部部材(100)と、支持プレート(310)と、前記支持プレート(310)の下部に結合される昇降部(320)を有する下部部材(300)と、前記支持プレート(310)の上部に長手方向に移動する長手方向移動部(230)を有する中間部材(200)を含む。【選択図】図１
2019042918.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の固定テーブル(110)と、前記固定テーブル(110)の間に位置し、移動可能な移動テーブル(120)を有する上部部材(100)と、
支持プレート(310)と、前記支持プレート(310)の下部に結合される昇降部(320)を有する下部部材(300)と、
前記支持プレート(310)の上部に長手方向に移動する長手方向移動部(230)を有する中間部材(200)を含む脆性材料基板の分断装置。
【請求項２】
前記長手方向移動部(230)は、
前記支持プレート(310)の両側に長手方向に沿って位置する複数の支持台(211)により支持されるレール(210)と、
前記レール(210)に沿って移動する移動部材(251)と、前記移動部材(251)に連結されるT字型ブラケット(250)と、
前記下部部材(300)の中心部位にて長手方向に沿って位置し、前記移動部材(251)を駆動する第1駆動部(221)と、
前記第1駆動部(221)の一側上部に両端が互いに反対方向に曲がったバー型ブラケット(220)を介して連結されるU字型ブラケット(240)をさらに含むが、
前記移動テーブル(120)の下部が前記T字型ブラケット(250)の上面及び前記U字型ブラケット(240)の上面にそれぞれ連結される請求項1に記載の脆性材料基板の分断装置。
【請求項３】
前記両端が互いに反対方向に曲がったバー型ブラケット(220)は、前記第1駆動部(221)により駆動する請求項2に記載の脆性材料基板の分断装置。
【請求項４】
前記固定テーブル(110)と、前記移動テーブル(120)は、空気が噴出又は吸着される複数の貫通ホールをさらに含む請求項1に記載の脆性材料基板の分断装置。
【請求項５】
前記固定テーブル(110)と、前記移動テーブル(120)は、セラミック材質の上部プレート(111、112、113、121、122)と、ストーン材質の下部ブロック(130)からなる請求項1に記載の脆性材料基板の分断装置。
【請求項６】
前記昇降部(320)は、
複数の傾斜板(322)と、
前記傾斜板(322)の傾斜面に位置する傾斜レール(323)と、
前記傾斜レール(323)に沿って移動する複数の傾斜レール移動部材(324)と、
前記傾斜板(322)の間に位置し、前記傾斜レール移動部材(324)を駆動する第2駆動部(321)と、
前記傾斜レール移動部材(324)に連結された昇降キャップ(325)をさらに含むが、
前記第2駆動部(321)の駆動時に、前記昇降キャップ(325)が、前記傾斜レール移動部材(324)により昇下降する請求項1に記載の脆性材料基板の分断装置。
【請求項７】
上部部材(100)上に脆性材料基板(400)を安着する第1段階(S100)と、
前記上部部材(100)の移動テーブル(120)が前進移動して第1脆性材料基板(410)を分断部(500)上に移動させる第2段階(S200)と、
前記上部部材(100)の移動テーブル(120)が後退移動する第3段階(S300)と、
前記分断部(500)が前記上部部材(100)から離隔移動して前記第1脆性材料基板(410)と第2脆性材料基板(420)との間のスクライブラインが分断される第4段階(S400)を含む脆性材料基板の分断方法。
【請求項８】
前記第1段階(S100)にて、
前記移動テーブル(120)の複数の貫通ホールでは空気が吸着され、前記固定テーブル(110)の複数の貫通ホールでは空気が噴出され、前記脆性材料基板(400)が、前記移動テーブル(120)に固定された状態で前記固定テーブル(110)から予め定められた間隔を置いて離隔されている請求項7に記載の脆性材料基板の分断方法。
【請求項９】
前記第2段階(S200)にて、
前記第1脆性材料基板(410)が、前記分断部(500)上へ移動されると、前記固定テーブル(110)の複数の貫通ホールにて空気噴出が終了されると共に、空気が吸着され、前記脆性材料基板(400)が、前記固定テーブル(110)に固定された状態で前記移動テーブル(120)が下降する請求項7に記載の脆性材料基板の分断方法。
【請求項１０】
第4段階(S400)にて、
前記第1脆性材料基板(410)と第2脆性材料基板(420)との間のスクライブラインが分断されると、下降した状態で後退移動した前記移動テーブル(120)が上昇する請求項7に記載の脆性材料基板の分断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、脆性材料基板の分断装置及び分断方法に関するもので、より詳細には、脆性材料基板の分断工程を遂行する前に搬送中に発生し得る脆性材料基板の表面不良又は完全分断を防止し得る脆性材料基板の分断装置及び分断方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、ガラス基板などの脆性材料基板では、基板を分断加工するために、基板上に分断予定線に沿ってスクライブラインを形成した後、分断(breaking)工程を介して基板を分断する。
【０００３】
基板にスクライブラインを形成する方法には、カッターホィールなどによる機械加工やレーザービームの照射による非接触式加工方法がある。
【０００４】
また、基板に分断予定線に沿ってスクライブラインが形成された後には、基板を完全に分断するために分断工程を進行するが、基板の分断方法には、ローラー(roller)やプッシャー(pusher)などを使用して、基板に衝撃を加える接触式方法とレーザー又はスチーム(steam)などを使用して基板を加熱した後に冷却させる非接触式方法がある。
【０００５】
ところで、接触式分断工程は、基板に物理的な衝撃を加えることで、表面不良が発生したり、誤差発生及び適用不可能な範疇が大きいという問題点がある。
【０００６】
また、従来の非接触式分断工程では、基板の熱変化による膨張収縮を用いるが、熱変化による引張力が小さい材料では効果が少ない問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】韓国公開特許公報第２０１４−００１８５０４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明は、前記のような要求を解消するために提案されたもので、その目的は、脆性材料基板の分断工程を遂行する前に、吸着とエアフローティングが可能な固定テーブルと移動テーブルを用いて脆性材料基板を搬送することにより、脆性材料基板の表面不良又は完全分断を防止し得る脆性材料基板の分断装置及び分断方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明に係る脆性材料基板の分断装置は、複数の固定テーブル(110)と、前記固定テーブル(110)の間に位置し、移動可能な移動テーブル(120)を有する上部部材(100)と、支持プレート(310)と、前記支持プレート(310)の下部に結合される昇降部(320)を有する下部部材(300)と、前記支持プレート(310)の上部に長手方向に移動する長手方向移動部(230)を有する中間部材(200)を含む。
【００１０】
また、本発明に係る脆性材料基板の分断装置にて、前記長手方向移動部(230)は、前記支持プレート(310)の両側に長手方向に沿って位置する複数の支持台(211)により支持されるレール(210)と、前記レール(210)に沿って移動する移動部材(251)と、前記移動部材(251)に連結されるT字型ブラケット(250)と、前記下部部材(300)の中心部位にて長手方向に沿って位置し、前記移動部材(251)を駆動する第1駆動部(221)と、前記第1駆動部(221)の一側上部に両端が互いに反対方向に曲がったバー型ブラケット(220)を介して連結されるU字型ブラケット(240)をさらに含むが、前記移動テーブル(120)の下部が前記T字型ブラケット(250)の上面及び前記U字型ブラケット(240)の上面にそれぞれ連結される。
【００１１】
また、本発明に係る脆性材料基板の分断装置にて、前記両端が互いに反対方向に曲がったバー型ブラケット(220)は、前記第1駆動部(221)により駆動する。
【００１２】
また、本発明に係る脆性材料基板の分断装置にて、前記固定テーブル(110)と、前記移動テーブル(120)は、空気が噴出又は吸着される複数の貫通ホールをさらに含む。
【００１３】
また、本発明に係る脆性材料基板の分断装置にて、前記固定テーブル(110)と、前記移動テーブル(120)は、セラミック材質の上部プレート(111、112、113、121、122)と、ストーン材質の下部ブロック(130)からなる。
【００１４】
また、本発明に係る脆性材料基板の分断装置にて、前記昇降部(320)は、複数の傾斜板(322)と、前記傾斜板(322)の傾斜面に位置する傾斜レール(323)と、前記傾斜レール(323)に沿って移動する複数の傾斜レール移動部材(324)と、前記傾斜板(322)の間に位置し、前記傾斜レール移動部材(324)を駆動する第2駆動部(321)と、前記傾斜レール移動部材(324)に連結された昇降キャップ(325)をさらに含むが、前記第2駆動部(321)の駆動時に、前記昇降キャップ(325)が、前記傾斜レール移動部材(324)により昇下降する。
【００１５】
また、前記目的を達成するために、本発明に係る脆性材料基板の分断方法は、上部部材(100)上に脆性材料基板(400)を安着する第1段階(S100)と、前記上部部材(100 )の移動テーブル(120)が前進移動して第1脆性材料基板(410)を分断部(500)上に移動させる第2段階(S200)と、前記上部部材(100)の移動テーブル(120)が後退移動する第3段階(S300)と、前記分断部(500)が、前記上部部材(100)から離隔移動して前記第1脆性材料基板(410)と第2脆性材料基板(420)との間のスクライブラインが分断される第4段階(S400)を含む。
【００１６】
また、本発明に係る脆性材料基板の分断方法は、前記第1段階(S100)にて、前記移動テーブル(120)の複数の貫通ホールでは空気が吸着され、前記固定テーブル(110)の複数の貫通ホールでは空気が噴出され、前記脆性材料基板(400)が、前記移動テーブル(120)に固定された状態で前記固定テーブル(110)から予め定められた間隔を置いて離隔されている。
【００１７】
また、本発明に係る脆性材料基板の分断方法は、前記第2段階(S200)において、前記第1脆性材料基板(410)が、前記分断部(500)上に移動されると、前記固定テーブル(110)の複数の貫通ホールにて空気噴出が終了されると共に、空気が吸着され、前記脆性材料基板(400)が、前記固定テーブル(110)に固定された状態で前記移動テーブル(120)が下降する。
【００１８】
また、本発明に係る脆性材料基板の分断方法は、第4段階(S400)にて、前記第1脆性材料基板(410)と第2脆性材料基板(420)との間のスクライブラインが分断されると、下降した状態で後退移動した前記移動テーブル(120)が上昇する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、脆性材料基板の分断工程を遂行する前に、吸着とエアフローティングが可能な固定テーブルと移動テーブルを用いて脆性材料基板を搬送することにより、脆性材料基板の表面不良又は完全分断を防止し得る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断装置にて上部部材の分解された様子を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の一実施例に係る本発明に係る脆性材料基板の分断装置にて中間部材を示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断装置にて下部部材の分解された様子を示す分解斜視図である。
【図５】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断方法の第1段階を示す図である。
【図６】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断方法の第2段階を示す図である。
【図７】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断方法の第3段階を示す図である。
【図８】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断方法の第4段階を示す図である。
【図９】本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断方法の第5段階を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明は、多様な変換を加えることができ、種々の実施例を有することができるところ、特定実施例を図面に例示し、詳細な説明で詳細に説明しようとする。しかし、これは、本発明を特定の実施形態について限定しようとするものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変換、均等物乃至代替物を含むものと理解されるべきである。
【００２２】
第1、第2などの用語は、多様な構成要素を説明することに使用され得るが、前記構成要素は、前記用語によって限定されてはならない。前記用語は、1つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみに使用される。
【００２３】
本明細書にて使用した用語は、単に特定の実施例を説明するために使用されたもので、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は、文脈上、明白に異なる意味ではない限り、複数の表現を含む。本明細書にて、「含む」又は「有する」などの用語は、明細書に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品又はこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとするものであって、一つ又はそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部品又はこれらを組み合わせたものの存在又は付加可能性を予め排除しないものと理解されるべきである。
【００２４】
また、本発明を説明することにおいて、関連する公知技術に対する具体的な説明が本発明の要旨を不必要に曖昧にし得ると判断される場合、その詳細な説明を省略する。
【００２５】
以下、本発明の実施例について関連図面を参照して、詳細に説明することにする。
【００２６】
図1は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断装置の全体構成を示す斜視図である。
【００２７】
図1を参照すると、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断装置(1000)は、上部部材(100)と、中間部材(200)と、下部部材(300)を含む。
【００２８】
すなわち、上部部材(100)と、中間部材(200)と、下部部材(300)が順次に結合されて脆性材料基板の分断装置(1000)を形成するようになる。
【００２９】
上部部材(100)は、複数の固定テーブル(110)と、このような固定テーブル(110)との間に位置し、移動可能な移動テーブル(120)を有する。
【００３０】
また、中間部材(200)は、支持プレート(310)の上部に長手方向に移動する長手方向移動部(230)を有する。
【００３１】
一方、下部部材(300)は、支持プレート(310)と、このような支持プレート(310)の下部に結合される昇降部(320)を有する。
【００３２】
上部部材(100)と、中間部材(200)と、下部部材(300)は、図(図2乃至図4)を参照して、より詳細に説明する。
【００３３】
図2は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断装置にて上部部材の分解された様子を示す分解斜視図である。
【００３４】
図2を参照すると、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断装置(1000)にて上部部材(100)は、中間部材(200)の上部に位置し、複数の固定テーブル(110)と、これらの固定テーブル(110)の間に位置して移動可能な移動テーブル(120)を有する。
【００３５】
例えば、第1移動テーブル(121)は、第5固定テーブル(115)と、第1固定テーブル(111)との間に位置し、第2移動テーブル(122)は、第4固定テーブル(114)と第1固定テーブル(111)との間に位置する。
【００３６】
本実施例では、脆性材料基板(400)の大きさを考慮して、2つの移動テーブル(120)と、5つの固定テーブル(110)を用いて上部部材(100)を形成するようにするが、これに限定されるものではなく、脆性材料基板(400)の大きさに合わせて適切な固定テーブル(110)と移動テーブル(120)を形成するようにする。ｖ
【００３７】
また、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断装置(1000)にて、固定テーブル(110)と、移動テーブル(120)は、空気が噴出又は吸着される複数の貫通ホール(140)をさらに含む。
【００３８】
本実施例では、空気が噴出又は吸着される複数の貫通ホールが符号140で併記されて図2に示されたが、これに限定されるものではない。すなわち、固定テーブル(110)と、移動テーブル(120)の複数の所定位置に複数の貫通ホールが形成される。これにより、固定テーブル(110)と、移動テーブル(120)は、必要に応じて、複数の貫通ホールを通じて空気の噴出又は吸着が行われる。
【００３９】
すなわち、固定テーブル(110)と、移動テーブル(120)は、内部に空気の噴出又は吸着を遂行し得る空圧部(図示せず)が形成されている。
【００４０】
一方、本発明に係る脆性材料基板の分断装置(1000)にて、固定テーブル(110)と、移動テーブル(120)は、セラミック材質の上部プレート(111、112、113、121、122)と、ストーン材質の下部ブロック(130)からなる。
【００４１】
このように、固定テーブル(110)と、移動テーブル(120)の上部プレート(111、112、113、121、122)がセラミック材料からなる理由は、脆性材料基板(400)と、固定テーブル(110)又は移動テーブル(120)との間の組織硬差などを補正するためである。
【００４２】
また、固定テーブル(110)と、移動テーブル(120)の下部ブロック(130)がストーン材質からなる理由は、脆性材料基板(400)の水平搬送時の固定テーブル(110)と、移動テーブル(120)の高さレベルが一定しなければならないので、下部ブロック(130)は、変形のないストーン材質で形成する。
【００４３】
次いで、図3は、本発明の一実施例に係る本発明による脆性材料基板の分断装置にて中間部材を示す斜視図である。
【００４４】
図3を参照すると、本発明に係る脆性材料基板の分断装置(1000)にて、中間部材(200)の長手方向移動部(230)は、支持プレート(310)の両側に長手方向に沿って位置する複数の支持台(211)により支持されるレール(210)と、レール(210)に沿って移動する移動部材(251)と、移動部材(251)に連結されるT字型ブラケット(250)と、下部部材(300)の中心部位にて長手方向に沿って位置し、移動部材(251)を駆動する第1駆動部(221)と、第1駆動部(221)の一側上部に連結されるU字型ブラケット(240)をさらに含む。
【００４５】
ここで、移動テーブル(120)の下部は、T字型ブラケット(250)の上面及びU字型ブラケット(240)の上面にそれぞれ連結される。
【００４６】
また、両端が互いに反対方向に曲がったバー型ブラケット(220)は、第1駆動部(221)により駆動する。
【００４７】
より詳細に説明すると、中間部材(200)の長手方向移動部(230)は、上部部材(100)の移動テーブル(120)を長手方向に移動させるために動作する。そのため、移動テーブル(120)は、長手方向移動部(230)のT字型ブラケット(250)の上面及びU字型ブラケット(240)の上面にそれぞれ連結される。
【００４８】
このようなT字型ブラケット(250)は、移動テーブル(120)と、長手方向を沿って形成されたレール(210)に沿って移動する移動部材(251)を連結するためのブラケットである。また、U字型ブラケット(240)は、第1駆動部(221)により駆動する両端が互いに反対方向に曲がったバー型ブラケット(220)の一端と、移動テーブル(120)を連結するためのブラケットである。
【００４９】
レール(210)は、第1移動テーブル(121)が位置する領域と、第2移動テーブル(122)が位置する領域にそれぞれ形成され、このように形成される複数のレール(210)は、所定の幅を有する。このような所定の幅は、第1固定テーブル(111)の幅により決定される。また、レール(210)は、長手方向に沿って形成され、支持プレート(310)の両側に長手方向に沿って位置する複数の支持台(211)により支持される。同様に、複数の支持プレート(310)との間の幅は、第1固定テーブル(111)の幅により決定される。
【００５０】
第1駆動部(221)は、支持プレート(310)上に位置するが、複数の支持台(211)の間に位置する。このような第1駆動部(221)は、移動部材(251)を前進及び後退させるサーボモータで構成され得る。
【００５１】
前述したように、バー型ブラケット(220)は、第1駆動部(221)により駆動される。このとき、バー型ブラケット(220)の一面に連結されるU字型ブラケット(240)が、第1駆動部(221)の駆動時にバー型ブラケット(220)と共に駆動するようになる。
【００５２】
また、第1駆動部(221)の駆動時に移動部材(251)がレール(210)に沿って長手方向に移動するようになる。このとき、移動部材(251)の上面に連結されるT字型ブラケット(250)が第1駆動部(221)の駆動時に移動部材(251)と共に駆動するようになる。
【００５３】
一方、U字型ブラケット(240)の上面とT字型ブラケット(250)の上面には、移動テーブル(120)が連結されている。
【００５４】
このような構造により、第1駆動部(221)が駆動時に移動テーブル(120)が長手方向に沿って前進及び後退動作を遂行するようになる。
【００５５】
図4は、本発明に係る脆性材料基板の分断装置にて下部部材の分解された様子を示す分解斜視図である。
【００５６】
図4を参照すると、本発明に係る脆性材料基板の分断装置(1000)にて、昇降部(320)は、支持プレート(310)の下部に結合される。
【００５７】
このような昇降部(320)は、複数の傾斜板(322)と、複数の傾斜レール(323)と、複数の傾斜レール移動部材(324)と、第2駆動部(321)と、昇降キャップ(325)を有する。
【００５８】
複数の傾斜板は(323)、互いに所定の間隔を置いてベース板(図示省略)上に形成される。
【００５９】
傾斜レール(323)は、傾斜板(322)の傾斜面に沿って位置する。
【００６０】
このとき、複数の傾斜レール移動部材(324)が傾斜レール(323)に沿って移動するようになり、このような傾斜レール移動部材(324)は、第2駆動部(321)により駆動される。
【００６１】
このような第2駆動部(321)は、傾斜板(322)の間に位置する。
【００６２】
昇降キャップ(325)は、傾斜レール移動部材(324)に連結されており、第2駆動部(321)の駆動時に昇降キャップ(325)が傾斜レール移動部材(324)により昇下降するようになる。
【００６３】
すなわち、このような昇降部(320)の昇下降動作により移動テーブル(120)が昇下降動作を遂行するようになる。
【００６４】
前述したように、移動テーブル(120)は、長手方向移動部(230)により長手方向に沿って前進又は後退動作を遂行するようになる。また、移動テーブル(120)は、昇降部(320)により高さ方向に沿って昇降又は下降動作を遂行するようになる。
【００６５】
次に、図5−図9を参照して、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断方法を説明する。
【００６６】
図5は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断方法の第1段階を示す図であり、図6は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断方法の第2段階を示す図である。
【００６７】
図5及び図6を参照すると、脆性材料基板の分断のために脆性材料基板の分断装置(1000)を準備した後、脆性材料基板の分断装置(1000)の上部部材(100)上に脆性材料基板(400)を安着する。
【００６８】
ここで、脆性材料基板(400)は、基板の間(例えば、第1脆性基板(410)と第2脆性基板(420)との間)のクラック(crack)が約80％程度できた状態の脆性材料である。分断工程を遂行する以前に脆性材料基板(400)が分断部(500)へ搬送時に、基板間の完全分断が発生し得る。このとき、脆性材料の断面が引っ掻かれるチッピング(chipping)不良が発生し得るので、脆性材料基板(400)の搬送時には完全分断が発生してはならない。
【００６９】
脆性材料基板(400)を上部部材(100)上に安着するためには、移動テーブル(120)の複数の貫通ホールでは空気が吸着され、固定テーブル(110)の複数の貫通ホールでは、空気が噴出(エアフローティングが開示)され、脆性材料基板(400)が移動テーブル(120)に固定された状態で固定テーブル(110)から予め定められた間隔を置いて離隔されなければならない。
【００７０】
この時、脆性材料基板(400)が固定テーブル(110)から離隔される距離は、例えば、1μｍ−2μｍであることが好ましい。しかし、脆性材料基板(400)と、固定テーブル(110)の離隔距離は、これに限定されるものではなく、脆性材料基板(400)が固定テーブルにより引っ掻かれない範囲内で離隔距離を有することができる。また、脆性材料基板(400)と固定テーブル(110)の離隔距離が大きい場合には、脆性材料基板(400)の完全分断が発生し得る。
【００７１】
したがって、脆性材料基板(400)が移動テーブル(120)に固定された状態で固定テーブル(110)に引っ掻かれない範囲内で固定テーブル(110)とほぼ水平を維持したまま、移動するようになる。
【００７２】
次に、図7は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断方法の第3段階を示す図である。
【００７３】
図7を参照すると、上部部材(100)の移動テーブル(120)が前進移動して第1脆性材料基板(410)を分断部(500)上へ移動させる。
【００７４】
すなわち、第1脆性材料基板(410)が分断部(500)上へ移動されると、固定テーブル(110)の複数の貫通ホールにて空気噴出が終了されると共に、空気が吸着される。
【００７５】
これにより、脆性材料基板(400)が固定テーブル(110)に固定された状態で移動テーブル(120)が下降する。
【００７６】
より詳細に説明すると、移動テーブル(120)の複数の貫通ホールから空気が吸着され、固定テーブル(110)の複数の貫通ホールにて空気が噴出された状態にて、移動テーブル(120)が長手方向移動部(230)により長手方向に沿って前進動作が完了する。すなわち、第1脆性材料基板(410)が分断部(500)上へ移動される。
【００７７】
このように、第1脆性材料基板(410)が分断部(500)上へ移動されて移動テーブル(120)の前進動作が完了すると、固定テーブル(110)の複数の貫通ホールにて空気噴出が終了されると共に空気が吸着される。
【００７８】
これにより、脆性材料基板(400)が固定テーブル(110)に固定された状態にて、昇降部(320)の下降動作により移動テーブル(120)が下降するようになる。
【００７９】
移動テーブル(120)が前進動作を完了すると、固定テーブル(110)の空気噴出(エアフローティング)が終了されると共に、空気の吸着が行われる。固定テーブル(110)の空気吸着が行われると、移動テーブル(120)の空気吸着が終了される。このとき、固定テーブル(110)又は移動テーブル(120)のいずれか一つのテーブルの空気吸着が行われてから、他の一つのテーブルの空気吸着が終了される。すなわち、脆性材料基板(400)が分断部(500)へ搬送時に、固定テーブル(110)又は移動テーブル(120)の空気吸着が同時に終了される場合は発生しない。
【００８０】
次いで、図8は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断方法の第4段階を示す図である。
【００８１】
図8を参照すると、上部部材(100)の移動テーブル(120)が後退移動するようになる。
【００８２】
すなわち、脆性材料基板(400)が固定テーブル(110)に固定された状態にて、長手方向移動部(230)により下降した移動テーブル(120)が長手方向に沿って後退動作を遂行するようになる。
【００８３】
このとき、移動テーブル(120)の後退動作時に、移動テーブル(120)の一端は、固定テーブル(110)の一端に合わせられるように後退するようになる。すなわち、移動テーブル(120)が前進した距離だけ後退するようになる。
【００８４】
最後に、図9は、本発明の一実施例に係る脆性材料基板の分断方法の第5段階を示す図である。
【００８５】
図9を参照すると、分断部(500)が上部部材(100)から離隔移動して第1脆性材料基板(410)と第2脆性材料基板(420)との間のスクライブラインが分断される。
【００８６】
ここで、第1脆性材料基板(410)と第2脆性材料基板(420)との間のスクライブラインが分断されると、下降した状態で後退移動した移動テーブル(120)が上昇する。
【００８７】
より詳細に説明すると、以前段階にて移動テーブル(120)の後退動作が完了されると、脆性材料基板の分断装置(1000)の分断部(500)は、上部部材(100)の固定テーブル(110)と、移動テーブル(120)から離隔され、第1脆性材料基板(410)と第2脆性材料基板(420)を完全分断するようになる。
【００８８】
下降した状態で後退移動した移動テーブル(120)が上昇し、脆性材料基板の分断装置(1000)の上部部材(100)上に脆性材料基板(400)を安着するための準備段階となる。以後、上述した第1段階乃至第5段階を反復遂行することにより、それぞれの脆性材料基板(400：410、420・・・)を完全分断するようになる。
【００８９】
以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したものに過ぎないもので、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者であれば、本発明の本質的な特性から外れない範囲で多様な修正及び変形が可能である。したがって、本発明に開示された実施例は、本発明の技術思想を限定するためのものではなく、説明するためのものであり、このような実施例により、本発明の技術思想の範囲が限定されるものではない。本発明の保護範囲は、下記の請求範囲により解釈されるべきであり、その同等の範囲内にある全ての技術思想は、本発明の権利範囲に含まれるものと解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００９０】
100  上部部材
110  固定テーブル
111、112、113、121、122  上部プレート
120  移動テーブル
130  下部ブロック
200  中間部材
210  レール
220  バー型ブラケット
221  第1駆動部
230  長手方向移動部
240  U字型ブラケット
250  T字型ブラケット
251  移動部材
300  下部部材  
310  支持プレート
320  昇降部
321  第2駆動部
322  複数の傾斜板
323  傾斜レール
324  傾斜レール移動部材
400  脆性材料基板
500  分断部
1000  脆性材料基板の分断装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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