(57)【要約】【課題】小型で高性能の超音波モータを提供する。【解決手段】超音波モータ（１）は、圧電素子（１０３）と振動体（１０１）とを備えた複数の振動子（１００）と、複数の振動子と摩擦接触する摩擦部材（１０４）と、複数の振動子を摩擦部材に加圧する加圧手段（１１９）と、複数の振動子を保持する保持部材（１０５）と、複数の振動子を保持部材に付勢する付勢手段（１１８）とを有し、複数の振動子のそれぞれと摩擦部材とは、複数の振動子に発生する超音波振動により相対的に移動し、付勢手段は、複数の振動子の間に配置されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子と振動体とを備えた複数の振動子と、
前記複数の振動子と摩擦接触する摩擦部材と、
前記複数の振動子を前記摩擦部材に加圧する加圧手段と、
前記複数の振動子を保持する保持部材と、
前記複数の振動子を前記保持部材に付勢する付勢手段と、を有し、
前記複数の振動子のそれぞれと前記摩擦部材とは、前記複数の振動子に発生する超音波振動により相対的に移動し、
前記付勢手段は、前記複数の振動子の間に配置されていることを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記複数の振動子のそれぞれと前記摩擦部材とは、前記超音波振動により第１の方向に相対的に移動し、
前記複数の振動子は、前記第１の方向と直交する第２の方向に並列に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記付勢手段は、
前記複数の振動子を連結する連結部材と、
前記保持部材と前記連結部材との間に設けられた付勢ばねと、
前記複数の振動子のそれぞれと前記保持部材とを前記第１の方向に相対的に移動させるガイド部材と、を有することを特徴とする請求項２に記載の超音波モータ。
【請求項４】
前記ガイド部材は、前記加圧手段が加圧する第３の方向に前記複数の振動子のそれぞれと前記保持部材とを相対的に移動させ、
前記付勢手段は、前記ガイド部材を介して前記複数の振動子を前記保持部材に付勢することを特徴とする請求項３に記載の超音波モータ。
【請求項５】
前記連結部材および前記ガイド部材は、前記第１の方向において、前記複数の振動子にそれぞれ設けられた複数の突起部の少なくとも一つを挟むように配置されていることを特徴とする請求項３または４に記載の超音波モータ。
【請求項６】
前記連結部材は、前記複数の振動子にそれぞれ形成された複数の穴部と係合する軸部を有し、
前記複数の穴部のうち第１の穴部は、前記第３の方向に延びる長穴形状を有することを特徴とする請求項４に記載の超音波モータ。
【請求項７】
前記複数の穴部のうち第２の穴部は、丸穴形状を有することを特徴とする請求項６に記載の超音波モータ。
【請求項８】
前記第１の穴部は、前記第１の方向に関して前記連結部材と係合し、
前記第２の穴部は、前記第１の方向および前記第２の方向のそれぞれに関して前記連結部材と係合していることを特徴とする請求項７に記載の超音波モータ。
【請求項９】
前記複数の穴部のうち第２の穴部は、円弧形状を有することを特徴とする請求項６に記載の超音波モータ。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の超音波モータと、
前記超音波モータにより駆動される光学系と、を有することを特徴とするレンズ装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載のレンズ装置と、
前記レンズ装置を介して形成された光学像を光電変換する撮像素子と、を有することを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ装置などに適用可能な超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、高周波電圧の印加により周期的に振動する振動子を摺動部材に圧接することで摺動部材を相対的に駆動する超音波モータが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１２６６９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された超音波モータは、振動子、摩擦部材、および、振動子を摩擦部材に圧接するための加圧手段を備えている。また、この超音波モータは、振動子が固定された基台と振動子支持部材との間を、加圧方向には可撓性を有し且つ移動方向にはガタなく保持する機構を備えている。
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された保持部材は、薄い板バネ部材で構成されている。このため、複数の振動子を用いて重量の重い可動群を駆動させる場合、十分なガタ寄せ力を得ることが難しい。または、十分なガタ寄せ力を得ようとすると、超音波モータが大型化してしまう。
【０００６】
そこで本発明は、小型で高性能の超音波モータ、レンズ装置、および、撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面としての超音波モータは、圧電素子と振動体とを備えた複数の振動子と、前記複数の振動子と摩擦接触する摩擦部材と、前記複数の振動子を前記摩擦部材に加圧する加圧手段と、前記複数の振動子を保持する保持部材と、前記複数の振動子を前記保持部材に付勢する付勢手段とを有し、前記複数の振動子のそれぞれと前記摩擦部材とは、前記複数の振動子に発生する超音波振動により相対的に移動し、前記付勢手段は、前記複数の振動子の間に配置されている。
【０００８】
本発明の他の側面としてのレンズ装置は、前記超音波モータと、前記超音波モータにより駆動される光学系とを有する。
【０００９】
本発明の他の側面としての撮像装置は、前記レンズ装置と、前記レンズ装置を介して形成された光学像を光電変換する撮像素子とを有する。
【００１０】
本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施形態において説明される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、複数の振動子を備えた超音波モータにおいて、大型化せずに振動子の加圧方向に自由度を持たせつつ移動方向には十分なガタ寄せを実現することができる。
【００１２】
本発明によれば、小型で高性能の超音波モータ、レンズ装置、および、撮像装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施形態における超音波モータの斜視図である。
【図２】第１の実施形態における超音波モータの分解斜視図である。
【図３】第１の実施形態における超音波モータの上面図である。
【図４】第１の実施形態における超音波モータの側面断面図である。
【図５】第１の実施形態における超音波モータの側面断面図である。
【図６】第１の実施形態における超音波モータの要部側面図である。
【図７】第１の実施形態における超音波モータの正面断面図である。
【図８】第１の実施形態における超音波モータの要部正面図である。
【図９】第２の実施形態における超音波モータの要部正面図である。
【図１０】第２の実施形態における超音波モータの要部側面図である。
【図１１】第３の実施形態における超音波モータの要部正面図である。
【図１２】第４の実施形態における撮像装置の要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
まず、図１乃至図８を参照して、第１の実施形態における超音波モータ１について説明する。図１は、超音波モータ１の斜視図である。図２は、超音波モータ１の分解斜視図である。図３は、超音波モータ１の上面図である。図４は、超音波モータ１の側面断面図である。図５は、超音波モータ１の側面断面図である。図６は、超音波モータ１の要部側面図である。図７は、超音波モータ１の正面断面図である。図８は、超音波モータ１の要部正面図である。
【００１６】
１０１は振動体であり、基材１０２に対して溶接や公知の接着剤などにより固定される。振動体１０１には、圧電素子１０３が公知の接着剤などにより固着されている。振動体１０１、基材１０２、および、圧電素子１０３により振動子１００が構成される。圧電素子１０３に高周波電圧が印加されると、振動体１０１が共振を起こす。すなわち振動子１００は、高周波駆動電圧が印加されることにより超音波振動を起こすように構成されている。その結果、振動子１００に形成された突起部１００ａの先端が楕円振動を起こす。
【００１７】
圧電素子１０３に印加する高周波電圧の周波数や位相を変えることにより、振動子１００の突起部１００ａに生じる楕円振動の回転方向や楕円比を適切に変化させて所望の動きを発生させることができる。このため、振動子１００を相手部品である摩擦部材１０４の摩擦接触面１０４ａに圧接させることにより相対的に移動させる駆動力を発生させ、振動子１００を摩擦部材１０４に対して振動子１００と摩擦部材１０４との相対移動方向（Ｘ軸方向）に進退可能となる。または、振動子１００を固定部とすれば、摩擦部材１０４を振動子１００に対してＸ軸方向（第１の方向）に進退させることが可能となる。このように、振動子１００と摩擦部材１０４は、振動子１００に発生する超音波振動により相対的に移動する。
【００１８】
超音波モータ１により駆動される被駆動部の重量が重い場合、振動子１００を複数用いることが必要である。本実施形態では、振動子１００を２つ用いた構成を説明するが、これに限定されるものではなく、本実施形態は３つ以上の振動子１００を用いた構成にも適用可能である。
【００１９】
本実施形態では、２つの振動子１００が摩擦部材１０４の片面（摩擦接触面１０４ａ）で摩擦接触するように、Ｘ軸方向と直交する方向（Ｙ軸方向：第２の方向）に並列に配置する。このとき２つの振動１００のそれぞれには、２つの振動子１００（基材１０２）の互いに向かい合う面において、後述の連結部材１０６を係合して保持する穴部１００ｃが形成されている。穴部１００ｃのうち、２つの振動子１００の一方に設けられた穴部（第１の穴部）１００ｃ１は、連結部材１０６とＸ軸方向に関して係合する長穴形状を有する。穴部１００ｃのうち、２つの振動子１００の他方に設けられた穴部（第２の穴部）１００ｃ２は、連結部材１０６とＸ軸方向およびＹ軸方向の各方向に関して係合する丸穴形状を有する。
【００２０】
連結部材１０６は、２つの振動子１００の穴部１００ｃ１、１００ｃ２と係合する軸部１０６ｃを有し、穴部１００ｃ１と穴部１００ｃ２とを係合して連結する。また連結部材１０６は、付勢ばね１０７のフック部１０７ｂと連結してフック部１０７ｂを保持する保持部１０６ｂを有する。
【００２１】
付勢ばね１０７は、振動子保持部材（保持部材）１０５と連結部材１０６との間に設けられている。付勢ばね１０７のフック部１０７ｂは、振動子保持部材１０５の保持部１０５ｂと連結部材１０６の保持部１０６ｂにより保持される。付勢ばね１０７が所定の長さに引き伸ばされた状態で配置されることにより、引っ張りばね力が生じる。付勢ばね１０７の引っ張りばね力により、２つの振動子１００を振動子保持部材１０５に対してＸ軸方向に付勢することができる。振動子保持部材１０５は、連結部材１０６により連結された２つの振動子１００を略一体的に保持する。
【００２２】
付勢手段１１８は、連結部材１０６と付勢ばね１０７とガイド部材１０８とにより構成される。付勢手段１１８は、並列に配置された２つの振動子１００の間に配置される。また、連結部材１０６およびガイド部材１０８は、Ｘ軸方向において、振動子１００に設けられた突起部１００ａの少なくとも一つを挟む位置に配置される。なお本実施形態において、摩擦部材１０４は２つの振動子１００のそれぞれに対して１つずつ配置されている（すなわち、複数の摩擦部材１０４を有する）が、摩擦部材１０４は複数の振動子１００に対して共通の１つの部材として構成してもよい。
【００２３】
連結部材１０６は、前述のように、摩擦部材１０４の同一面（摩擦接触面１０４ａ）で摩擦接触するようにＹ軸方向に並列に並べられた２つの振動子１００を連結する。本実施形態において、２つの振動子１００のうちの一方に形成された穴部１００ｃ１は、後述する加圧手段１１９により、振動子１００が摩擦部材１０４に加圧される加圧方向（Ｚ軸方向：第３の方向）に延びる長穴形状を有する。一方、２つの振動子１００のうち他方の振動子１００に形成された穴部１００ｃ２は、丸穴形状を有する。図８に示されるように、２つの振動子１００をＹ軸方向に並列に並べる際に、Ｚ軸方向の高さズレ１００ｈが生じることがある。このため、高さズレ１００ｈを吸収し、駆動に影響を与えなくする必要がある。そこで本実施形態では、長穴形状の穴部１００ｃ１によりＺ軸方向のズレに自由度を持たせつつ、丸穴形状の穴部１００ｃ２により連結部材１０６が振動子１００の安定した位置に保持されることを可能としている。また連結部材１０６は、加圧手段１１９による加圧力を受けた際には同様に、長穴形状の穴部１００ｃ１よりＺ軸方向に自由度を持ちつつ、丸穴形状の穴部１００ｃ２により安定した位置に保持される。
【００２４】
１１９は振動子１００を摩擦部材１０４に対して加圧する加圧手段であり、加圧保持部材１１０、加圧ばね１１１、ボール１１２、および、加圧伝達部材１１３を備えて構成される。１０８は加圧手段１１９の加圧力を加圧方向（Ｚ軸方向）にガイドするガイド部材であり、振動子１００に形成されたＶ溝１００ｄと振動子保持部材１０５に形成されたＶ溝１０５ｄとの間に挟持される。振動子１００のＶ溝１００ｄと振動子保持部材１０５のＶ溝１０５ｄとで構成される向かい合う平面上をガイド部材１０８がＺ軸方向に転動駆動可能にすることで、振動子１００と振動子保持部材１０５とのＺ軸方向における相対移動をガイドすることができる。
【００２５】
１２０は、振動子１００と摩擦部材１０４との間の相対移動をＸ軸方向に対して直進ガイドする直進ガイド手段である。直進ガイド手段１２０は、転動ボール１１４と、転動ボール１１４を転動可能に保持する第１の直進ガイド部材１１６および第２の直進ガイド部材１１７とを有する。
【００２６】
第１の直進ガイド部材１１６は、加圧手段１１９を介して振動子１００と連結しており、加圧ばね１１１の両端を加圧保持部材１１０とともに保持してＺ軸方向に加圧力を発生させる。すなわち、加圧ばね１１１の引っ張りばね力により、加圧保持部材１１０をＺ軸方向へ引き込む。加圧保持部材１１０が引き込まれることにより、ボール１１２、加圧伝達部材１１３、および、弾性部材１０９を介して、振動子１００が摩擦部材１０４に対してＺ軸方向に加圧される。これにより、振動子１００の突起部１００ａと摩擦部材１０４の摩擦接触面１０４ａとが摩擦接触することが可能となる。振動子１００を可動部、摩擦部材１０４を固定部とする場合、第１の直進ガイド部材１１６は、振動子１００および振動子保持部材１０５と略一体的にＸ軸方向に移動する。
【００２７】
第２の直進ガイド部材１１７は、地板１１５にねじ止めなどの公知の技術により固定されている。また地板１１５には、摩擦部材１０４がねじ止めなどの公知の技術により固定されている。振動子１００を固定部、摩擦部材１０４を可動部とする場合、第２の直進ガイド部材１１７および地板１１５は、摩擦部材１０４と略一体的にＸ軸方向に移動する。
【００２８】
振動子１００の穴部１００ｃ（穴部１００ｃ１）は、Ｘ軸方向において、ガイド部材１０８と穴部１００ｃとで振動子１００の突起部１００ａの少なくとも一つを挟む位置に配置される。例えば、図６（ａ）に示されるように、Ｘ軸方向において、振動子１００の２つの突起部１００ａの外側にガイド部材１０８と穴部１００ｃとを離間して配置する。または、別の配置として、図６（ｂ）に示されるように、Ｘ軸方向において、振動子１００の２つの突起部１００ａの外側にガイド部材１０８を配置し、２つの突起部１００ａの間に穴部１００ｃ（穴部１００ｃ１）を配置する。
【００２９】
図６（ａ）に示される配置を採用すると、付勢ばね１０７のフック部１０７ｂを保持する連結部材１０６の保持部１０６ｂと、フック部１０７ｂを保持する振動子保持部材１０５の保持部１０５ｂとの間のＸ軸方向における距離を確保しやすくなる。このため、付勢ばね１０７のばね力が得やすくなる。一方、図６（ｂ）に示される配置を採用すると、Ｘ軸方向において振動子１００の略中心位置に連結軸１０６を配置することができる。このため、Ｘ軸方向における振動子１００のイコライズ性の非対称性が改善され、バランスの良い配置が可能となる。
【００３０】
２つの振動子１００は、付勢ばね１０７の付勢力により、連結部材１０６を介してＸ軸方向に付勢される。振動子保持部材１０５は、Ｘ軸方向において、振動子１００が付勢される方向とは逆方向に付勢される。その結果、ガイド部材１０８は、振動子１００と振動子保持部材１０５との間において、それぞれに設けられたＶ溝１００ｄ、１０５ｄとで挟持される。以上の構成により、振動子１００と摩擦部材１０４との相対移動方向であるＸ軸方向にはガタの発生がなく、加圧方向であるＺ軸方向には連結部材１０６およびガイド部材１０８の作用により摺動抵抗が実質的に発生しない付勢手段１１８を実現することができる。このとき、付勢ばね１０７の付勢力は、振動子保持部材１０５および被駆動部の作動開始および停止時に生じる加減速による慣性力よりも大きくなるように設定されている。この設定により、振動子１００および振動子保持部材１０５は、駆動時の慣性力によるＸ軸方向の相対変位が発生せず、安定した駆動制御を実現することができる。
【００３１】
このように本実施形態において、付勢手段１１８は、振動子１００と摩擦部材１０４との間の相対移動方向（Ｘ軸方向）に直交する方向（Ｙ軸方向）に並列配置された２つの振動子１００の間に配置されている。また、連結部材１０６およびガイド部材１０８は、振動子１００と摩擦部材１０４との間の相対移動方向（Ｘ軸方向）において、振動子１００の突起部１００ａの少なくとも１つを挟む位置に配置されている。これにより、超音波モータ１を大型化することなく、振動子１００の加圧方向に自由度を持たせつつ移動方向において十分なガタ寄せを実現することができる。
【００３２】
（第２の実施形態）
次に、図９および図１０を参照して、第２の実施形態における超音波モータ１ａについて説明する。図９は、超音波モータ１ａの要部正面図である。図１０は、超音波モータ１ａの要部側面図である。なお本実施形態において、第１の実施形態と同様の部品には同じ番号を付し、詳細な説明を省略する。
【００３３】
本実施形態の超音波モータ１ａにおいて、２つの振動子２００にはそれぞれ、連結部材１０６の軸部１０６ｃと係合する穴部２００ｃ（２００ｃ１、２００ｃ２）が形成されている。穴部２００ｃは、Ｚ軸方向に延びる長穴形状を有する。互いに向かい合う２つの振動子２００の一方に設けられた穴部（第２の穴部）２００ｃ１の断面は、略円弧形状を有する。他方の振動子２００に設けられた穴部（第１の穴部）２００ｃ２の断面は、通常の長穴形状を有する。
【００３４】
第１の実施形態の超音波モータ１において、互いに向かい合う２つの振動子１００の一方に設けられた穴部１００ｃ１はＺ軸方向に延びる長穴形状を有し、他方に設けられた穴部１００ｃ２は丸穴形状を有する。このため、加圧手段１１９による加圧力を受ける際に、Ｚ軸方向に自由度を持ちつつ、連結軸１０６をＺ軸方向において振動子１００を安定した位置に保持することができる。一方、本実施形態では、互いに向かい合う２つの振動子２００のそれぞれに設けられた穴部２００ｃ１、２００ｃ２はいずれも、Ｚ軸方向に延びる長穴形状を有し、その断面形状は互いに異なる。
【００３５】
連結部材１０６は、付勢ばね１０７により振動子２００に対してＸ軸方向に付勢されるため、穴部２００ｃ１の円弧形状の略中心位置に配置される。このため、穴部２００ｃ１、２００ｃ２は長穴形状を有し、Ｚ軸方向のズレに自由度を持たせつつ、穴部２００ｃ１の略円弧形状により振動子２００の安定した位置に連結部材１０６を保持することが可能となる。これにより、２つの振動子２００を並列に並べる際に生じる高さズレ２００ｈを吸収し、駆動に与える影響を小さくすることが可能となる。また、加圧手段１１９による加圧力を受けた際に、連結部材１０６が振動子２００に備えられた穴部２００ｃのＺ軸方向の端部に寄ることを抑制し、振動子２００に対して安定した位置で連結部材１０６を保持することが可能となる。
【００３６】
（第３の実施形態）
次に、図１１を参照して、第３の実施形態における超音波モータ１ｂについて説明する。図１１は、超音波モータ１ｂの要部正面図である。なお本実施形態において、第１の実施形態または第２の実施形態と同様の部品には同じ番号を付し、詳細な説明を省略する。
【００３７】
本実施形態は、第１の実施形態および第２の実施形態のそれぞれで説明した２つの振動子を設ける場合よりも重い被駆動部を駆動させる際を想定している。このため本実施形態の超音波モータ１ｂは、３つの振動子３００を有する。ただし、実施形態はこれに限定されるものではなく、必要に応じて４つ以上の振動子を並列に配置して超音波モータを構成することができる。
【００３８】
本実施形態において、３つの振動子３００は、Ｙ軸方向に並列に並べて配置されている。３つの振動子３００にはそれぞれ、連結部材１０６の軸部１０６ｃと係合する穴部３００ｃが形成されている。１つの振動子３００の両側面にはそれぞれ、長穴形状の穴部（第１の穴部）３００ｃ１と丸穴形状の穴部（第２の穴部）３００ｃ２とが形成されている。これにより、３つ以上の複数の振動子３００を並列に並べる際、基材３０２を同一形状の別部品で構成することができる。３つの振動子３００は、互いに向かい合う２つの振動子３００の穴部３００ｃが長穴形状の穴部３００ｃ１と丸穴形状の穴部３００ｃ２になるように配置される。穴部３００ｃ１と穴部３００ｃ２は、連結部材１０６により係合して連結される。これにより、振動子３００のＺ軸方向の高さズレ３００ｈ１、３００ｈ２が生じた際に、穴部３００ｃ１で加圧方向のズレに自由度を持たせつつ、穴部３００ｃ２で振動子３００の安定した位置に連結部材１０６を保持することが可能になる。
【００３９】
なお本実施形態において、ｎ個の振動子３００を配置する場合、付勢手段１１８はｎ−１個配置されることになる。複数の振動子３００のうち、隣り合う振動子３００の間に付勢手段１１８を配置することにより、振動子３００を振動子保持部材３０５に対してＸ軸方向に付勢することが可能となる。振動子保持部材３０５は不図示であるが、並列配置する複数の振動子３００を略一体的に保持することを可能とする。
【００４０】
本実施形態によれば、３つ以上の複数の振動子３００を配置することができる。このため、より大きな駆動力が必要な場合でも、加圧方向（Ｚ軸方向）に自由度を持たせつつ、複数の振動子３００と摩擦部材１０４との間の相対移動方向（Ｘ軸方向）に十分なガタ寄せを実現することが可能となる。
【００４１】
（第４の実施形態）
次に、図１２を参照して、本発明の第４の実施形態におけるレンズ鏡筒（レンズ装置）について説明する。本実施形態のレンズ鏡筒は、例えば前述の各実施形態のいずれかの超音波モータ１を備えている。図１２は、撮像装置１０の要部断面図である。なお、レンズ鏡筒は略回転対称であるため、図１２では撮像装置１０の上側半分（光軸ＯＡの上側）のみを示している。
【００４２】
図１２に示されるように、撮像装置１０は、カメラ本体２と、カメラ本体２に着脱可能なレンズ鏡筒（レンズ装置）３とを備えて構成される。ただし本実施形態は、これに限定されるものではなく、カメラ本体とレンズ鏡筒とが一体的に構成された撮像装置にも適用可能である。
【００４３】
カメラ本体２は、ＣＭＯＳセンサやＣＣＤセンサなどの撮像素子４を有する。撮像素子４は、レンズＧ１〜Ｇ３を含む光学系（撮像光学系）を介して形成された光学像を光電変換して画像データを出力する。レンズ鏡筒３は、カメラ本体２のマウント５に固定されている。レンズ鏡筒３は固定筒６を有する。固定筒６には、レンズＧ１を保持する前鏡筒７、および、レンズＧ３を保持する後鏡筒８が固定されている。レンズ鏡筒３は、レンズ保持枠（フォーカスレンズ保持枠）９を有する。レンズ保持枠９は、レンズ（フォーカスレンズ）Ｇ２を保持している。レンズ保持枠９は、前鏡筒７と後鏡筒８とに保持されたガイドバー１２により、光軸ＯＡに沿った方向（光軸方向）に直進移動可能に保持されている。超音波モータ１の地板１１５にはフランジ部（不図示）が形成されており、後鏡筒８にビス等で固定されている。
【００４４】
このような構成により、超音波モータ１の振動子１００を含む可動部が駆動すると、超音波モータ１の駆動力は、振動子保持部材１０５を介してレンズ保持枠９に伝達される。レンズ保持枠９は、ガイドバー１２により案内されて直進移動する。
【００４５】
各実施形態の超音波モータによれば、複数の振動子を備えた超音波モータにおいて、大型化せずに振動子の加圧方向に自由度を持たせつつ移動方向には十分なガタ寄せを実現することができる。このため各実施形態によれば、小型で高性能の超音波モータ、レンズ装置、および、撮像装置を提供することができる。
【００４６】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１  超音波モータ
１００  振動子
１０１  振動体
１０３  圧電素子
１０４  摩擦部材
１０５  振動子保持部材（保持部材）
１１８  付勢手段
１１９  加圧手段
【図１】
2019088048.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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