(57)【要約】【課題】吸着対象物を安定して吸着保持可能な吸着機構、吸着ハンド、搬送機構、樹脂成形装置、搬送方法および樹脂成形品の製造方法を提供する。【解決手段】吸着機構（１）は、内部空間（４ａ）が設けられている支持部（４）と、内部空間（４ａ）に少なくとも一部が挿入され、軸方向に移動可能なピストンロッド（９）と、ピストンロッド（３）と内部空間（４）の底面（４ａ）との間の弾性部材（５）と、ピストンロッド（３）の弾性部材（５）側とは反対側の吸着パッド（２）と、を備えている。吸着パッド（２）の本体部（２ｃ）と吸着部（２ｂ）と壁部（２ｇ）とによって取り囲まれた空間（２ｆ）と、内部空間（４ａ）とを流体接続する流路（２ａ，３ａ，３ｅ）が設けられている。吸着対象物（２０）の吸着前に弾性部材（５）の復元力を利用して吸着部（２ｂ）が吸着対象物（２０）に接触可能である。【選択図】図２
2019042822.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間が設けられている支持部と、
前記内部空間に少なくとも一部が挿入され、軸方向に移動可能なピストンロッドと、
前記ピストンロッドと前記内部空間の底面との間の弾性部材と、
前記ピストンロッドの前記弾性部材側とは反対側の吸着パッドと、を備え、
前記吸着パッドは、本体部と、吸着対象物の吸着時に前記吸着対象物に接触する吸着部と、前記本体部と前記吸着部とを連結する壁部とを備え、
前記本体部と前記吸着部と前記壁部とによって取り囲まれた空間と、前記内部空間とを流体接続する流路が設けられており、
前記吸着対象物の吸着前に前記弾性部材の復元力を利用して前記吸着部が前記吸着対象物に接触可能な、吸着機構。
【請求項２】
内部空間が設けられている支持部と、
前記内部空間に少なくとも一部が挿入され、軸方向に移動可能なピストンロッドと、
前記ピストンロッドと前記内部空間の底面との間の弾性部材と、
前記ピストンロッドの前記弾性部材側とは反対側の吸着パッドと、を備え、
前記吸着パッドは、本体部と、吸着対象物の吸着時に前記吸着対象物に接触する吸着部と、前記本体部と前記吸着部とを連結する壁部とを備え、
前記本体部と前記吸着部と前記壁部とによって取り囲まれた空間と、前記内部空間とを流体接続する流路が設けられており、
前記吸着部を前記内部空間の前記底面側に投影した面積が、前記ピストンロッドの底面を前記内部空間の前記底面側に投影した面積よりも大きい、吸着機構。
【請求項３】
前記吸着対象物の吸着時に前記内部空間の前記底面側に前記ピストンロッドが移動する、請求項１または請求項２に記載の吸着機構。
【請求項４】
前記内部空間と吸引機構とを流体接続する第２流路とをさらに備える、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の吸着機構。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の吸着機構を備える、吸着ハンド。
【請求項６】
前記吸着対象物の形状に応じて前記吸着機構の配置を変更可能である、請求項５に記載の吸着ハンド。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載の吸着ハンドと、前記吸着ハンドの移動ユニットとを備える、搬送機構。
【請求項８】
請求項７に記載の搬送機構と、樹脂成形機構とを備える、樹脂成形装置。
【請求項９】
請求項５または請求項６に記載の吸着ハンドの前記吸着部を前記吸着対象物に接触させる工程と、
前記吸着対象物を吸着する工程と、
前記吸着対象物を搬送する工程と、を備える、搬送方法。
【請求項１０】
前記吸着部に前記吸着対象物を吸着する工程は、前記吸着対象物の湾曲を矯正する工程をさらに備える、請求項９に記載の搬送方法。
【請求項１１】
請求項９または請求項１０に記載の搬送方法により前記吸着対象物を搬送する工程と、前記吸着対象物を樹脂封止する工程と、を備えた、樹脂成形品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着機構、吸着ハンド、搬送機構、樹脂成形装置、搬送方法および樹脂成形品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば特許文献１には、先端と根元側の３箇所においてワークの外周を吸着可能な吸着孔とこれに連通する吸引路が形成されたロボットハンドを備えた樹脂モールド装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−４２０１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、板状部材（ウェハを含む）等の吸着対象物の表面が大面積化する傾向にあるため吸着対象物の湾曲量も増大する傾向にある。しかしながら、特許文献１に記載のロボットハンドにおいては、吸着対象物の湾曲の大きさによっては、吸着対象物を安定して吸着保持することができないことがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
ここで開示された実施形態によれば、内部空間が設けられている支持部と、内部空間に少なくとも一部が挿入され、軸方向に移動可能なピストンロッドと、ピストンロッドと内部空間の底面との間の弾性部材と、ピストンロッドの弾性部材側とは反対側の吸着パッドと、を備え、吸着パッドは、本体部と、吸着対象物の吸着時に吸着対象物に接触する吸着部と、本体部と吸着部とを連結する壁部とを備え、本体部と吸着部と壁部とによって取り囲まれた空間と、内部空間とを流体接続する流路が設けられ、吸着対象物の吸着前に弾性部材の復元力を利用して吸着部が吸着対象物に接触可能な、吸着機構を提供することができる。また、ここで開示された実施形態によれば、内部空間が設けられている支持部と、内部空間に少なくとも一部が挿入され、軸方向に移動可能なピストンロッドと、ピストンロッドと内部空間の底面との間の弾性部材と、ピストンロッドの弾性部材側とは反対側の吸着パッドと、を備え、吸着パッドは、本体部と、吸着対象物の吸着時に吸着対象物に接触する吸着部と、本体部と吸着部とを連結する壁部とを備え、本体部と吸着部と壁部とによって取り囲まれた空間と、内部空間とを流体接続する流路が設けられ、吸着部を内部空間の底面側に投影した面積が、ピストンロッドの底面を内部空間の底面側に投影した面積よりも大きい、吸着機構を提供することができる。
【０００６】
ここで開示された実施形態によれば、上記の吸着機構を備える、吸着ハンドを提供することができる。
【０００７】
ここで開示された実施形態によれば、上記の吸着機構を備える吸着ハンドと、上記の吸着ハンドの移動ユニットとを備える、搬送機構を提供することができる。
【０００８】
ここで開示された実施形態によれば、上記の搬送機構と、樹脂成形機構とを備える、樹脂成形装置を提供することができる。
【０００９】
ここで開示された実施形態によれば、上記の吸着ハンドの吸着部を吸着対象物に接触させる工程と、吸着対象物を吸着する工程と、吸着された吸着対象物を搬送する工程と、を備える、搬送方法を提供することができる。
【００１０】
ここで開示された実施形態によれば、上記の搬送方法により吸着対象物を搬送する工程と、吸着対象物を樹脂封止する工程と、を備えた、樹脂成形品の製造方法を提供することができる。
【発明の効果】
【００１１】
ここに開示された実施形態によれば、吸着対象物を安定して吸着保持することが可能な、吸着機構、吸着ハンド、搬送機構、樹脂成形装置、搬送方法および樹脂成形品の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態の吸着ハンドの模式的な平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩに沿った模式的な断面図である。
【図３】実施形態の樹脂成形装置の模式的な平面図である。
【図４】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図５】吸着ハンドの吸着部を吸着対象物に接触させる工程の一例を図解する模式的な断面図である。
【図６】図５に示す工程の段階の吸着機構の模式的な断面図である。
【図７】吸着部に吸着対象物を吸着する工程の一例を図解する模式的な断面図である。
【図８】図７に示す工程の段階の吸着機構の模式的な断面図である。
【図９】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図１０】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図１１】図１０に示す工程の段階の吸着機構の模式的な断面図である。
【図１２】図１０に示す工程の段階の吸着機構の模式的な断面図である。
【図１３】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図１４】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図１５】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図１６】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図１７】（ａ）は、実施形態の樹脂成形品の樹脂保持トレイの斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の樹脂保持トレイの断面図である。
【図１８】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図１９】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図２０】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図２１】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図２２】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図２３】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図２４】実施形態の樹脂成形品の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な側面図である。
【図２５】実施形態の吸着ハンドの変形例の模式的な平面図である。
【図２６】実施形態の吸着ハンドの変形例の模式的な平面図である。
【図２７】実施形態の樹脂成形装置の変形例の模式的な平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、実施形態について説明する。なお、実施形態の説明に用いられる図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【００１４】
＜吸着ハンド＞
図１に、本発明の吸着機構の一例である実施形態の吸着ハンド１０の模式的な平面図を示す。実施形態の吸着ハンド１０は四又状の吸着機構１を有し、四又状の吸着機構１のそれぞれは吸着パッド２を３つずつ備えている。なお、吸着ハンド１０の形状は、四又状の吸着機構１を有する形状に限定されないことは言うまでもない。また、吸着パッド２の数は３つずつに限定されないことは言うまでもない。
【００１５】
図２に、図１のＩＩ−ＩＩに沿った模式的な断面図を示す。図２に示すように、吸着機構１は、吸着パッド２と、ピストンロッド３と、支持部４と、弾性部材５とを備えている。
【００１６】
吸着パッド２は、上部が先細りとなっている略円筒形状の本体部２ｃと、吸着時に後述する吸着対象物に接触する部分である吸着部２ｂと、本体部２ｃから斜め上方に延在して本体部２ｃと吸着部２ｂとを連結する壁部２ｇとを備えている。本体部２ｃは上端２ｄと下端２ｅとを備えており、上端２ｄと下端２ｅとの間には上端２ｄと下端２ｅとの間の本体部２ｃを貫通する第１流路２ａが設けられている。第１流路２ａは、本体部２ｃと吸着部２ｂと壁部２ｇとによって取り囲まれた空間２ｆとの間でガスの連通が可能であるように空間２ｆと流体接続されている。
【００１７】
ピストンロッド３は、円筒形状の本体部３ｃと、本体部３ｃの上部から外側に延在するフランジ３ｆとを備えている。本体部３ｃは上端３ｄと下端３ｂとを備えており、上端３ｄと下端３ｂとの間には本体部３ｃを貫通する貫通孔である中間流路３ａが設けられている。本体部３ｃの上端３ｄ上には吸着パッド２が取り付けられている。中間流路３ａの本体部３ｃの下端３ｂ側には流路幅が局所的に拡大した流路拡大部３ｅが設けられている。第１流路２ａと中間流路３ａとの間、および中間流路３ａと流路拡大部３ｅとの間はそれぞれガスの連通が可能であるように、流体接続されている。
【００１８】
支持部４の内部には流路拡大部３ｅと流体接続する内部空間４ａが設けられている。内部空間４ａにはピストンロッド３の少なくとも一部が挿入されており、ピストンロッド３は軸９の方向（軸方向）に移動可能とされている。支持部４の内部にはさらに、図示しない吸引機構によって内部空間４ａのガスを吸着機構１の外部に排出することを可能とするために、内部空間４ａと流体接続する第２流路４ｃが設けられている。これにより、吸着パッド２の本体部２ｃと吸着部２ｂと壁部２ｇとによって取り囲まれた空間２ｆに存在するガスを、第１流路２ａ、中間流路３ａ、流路拡大部３ｅ、内部空間４ａおよび第２流路４ｃを通して吸引機構により吸引されて、吸着機構１の外部に排出することができる。
【００１９】
弾性部材５は、ピストンロッド３の軸方向に伸縮可能な部材であって、たとえばバネ等を用いることができる。弾性部材５の軸方向への伸縮により弾性部材５に取り付けられたピストンロッド３も軸方向に移動可能であり、ひいてはピストンロッド３上の吸着パッド２も軸方向に移動可能である。本実施形態では、弾性部材５の一端５ｂが流路拡大部３ｅに嵌め込まれ、弾性部材５の他端５ａが内部空間４ａの底面４ｂの凹部４ｄに嵌め込まれた構成とされているが、ピストンロッド３と内部空間４ａの底面４ｂとの間に配置され、吸着パッド２およびピストンロッド３を軸方向に移動させることが可能な部材であれば特に限定されない。
【００２０】
なお、ピストンロッド３の本体部３ｃの外周面と支持部４の内部空間４ａとの間にはシール部材６が設けられており、ピストンロッド３の本体部３ｃの外周面と支持部４の内部空間４ａとの間から空気が漏れるのを抑制することができる。また、ブシュ（ブッシュ）７は、ピストンロッド３を円滑に上下運動させるための円筒形部材である。
【００２１】
吸着部２を内部空間４ａの底面４ｂ側に投影した面積Ｘが、ピストンロッド３の底面３ｂを内部空間４ａの底面４ｂ側に投影した面積Ｙよりも大きくすることができる。この場合には、吸着部２ｂが吸着対象物を吸着して搬送する際にたとえば吸着対象物に反りの力が働いてピストンロッド３が上下動した場合でも、面積Ｘと面積Ｙとの関係がＸ＞Ｙとなるように構成されているため、吸着部２から吸着対象物が外れることをより効果的に抑制することができる。面積Ｘと面積Ｙとの関係について、第１方向（ピストンロッド３の移動方向）に直交する平面に対して、吸着パッド２の吸着部２ｂの外縁を第１方向に投影した場合の面積Ｘと、ピストンロッド３の底面３ｂを第１方向に投影した場合の面積Ｙとの関係がＸ＞Ｙとなると表現することもできる。
【００２２】
なお、吸着対象物としては、たとえば、リードフレーム、サブストレート、インターポーザ、半導体基板（シリコンウェハ等）、金属基板、ガラス基板、セラミック基板、樹脂基板、および配線基板等の板状部材を含む。形状としては、円形であってもよく、四角形であってもよい。なお、吸着対象物に、配線は含まれていてもよく、含まれていなくてもよい。
【００２３】
また、吸着対象物は、たとえば、ＦＯ−ＷＬＰ（Fan Out Wafer Level Package）またはＦＯ−ＰＬＰ（Fan Out Panel Level Package）に用いられる板状部材のキャリアを含む。
【００２４】
また、吸着対象物は、たとえば、液晶パネルまたは有機ＥＬ（Electroluminescence）パネル等のディスプレイパネルに用いられる板状部材のガラス基板を含み、駆動素子、電極、およびカラーフィルターなどの膜形成されたガラス基板を含む。
【００２５】
＜樹脂成形装置＞
図３に、本発明の樹脂成形装置の一例である実施形態の樹脂成形装置の模式的な平面図を示す。本実施形態においては、吸着対象物としてたとえば電子部品が搭載された板状部材２０を用い、当該板状部材２０の樹脂成形を行なって樹脂成形品を製造する樹脂成形装置の例について説明する。
【００２６】
図３に示すように、実施形態の樹脂成形装置は、搬送機構５４０と、樹脂封止機構５３０と、樹脂撒布機構５２０と、離型フィルム切断機構５１０とを備えている。実施形態の樹脂成形装置は、搬送機構５４０に配置されている。
【００２７】
搬送機構５４０は、上述の吸着ハンド１０と、吸着ハンド１０を移動させることが可能な移動ユニット５４４とを備えていれば特に限定されないが、実施形態の搬送機構５４０は、移動ユニット５４４に加えて、基板ローダ５４１と、成形後板状部材収納部５４２と、成形前板状部材収納部５４３と、を備えている。基板ローダ５４１は、吸着ハンド１０から切り離された板状部材２０を保持して、搬送機構５４０と、樹脂封止機構５３０と、樹脂撒布機構５２０と、離型フィルム切断機構５１０との間を移動することができる。
【００２８】
成形後板状部材収納部５４２は、樹脂封止後の板状部材２０を収納することができる。成形前板状部材収納部５４３は、樹脂封止前の板状部材２０を収納することができる。移動ユニット５４４は、吸着ハンド１０を移動させることができる。
【００２９】
樹脂封止機構５３０は、上型（図示せず）と、下型キャビティ５３２を含む下型５３１とを備えている。下型キャビティ５３２上には離型フィルム１１を設置することができる。樹脂封止機構５３０では、電子部品等が搭載された板状部材２０の樹脂封止を行なうことができる。
【００３０】
樹脂撒布機構５２０は、樹脂ローダ５２１と、後処理機構５２２と、フィルム固定台移動機構５２３と、リニアフィーダ１５と、樹脂供給機構１４と、枠１２とを備えている。樹脂撒布手段５２０は、樹脂ローダ５２１を用いて、たとえば四角形フレームからなる枠１２の下端面に離型フィルム１１を吸着固定した後に樹脂供給機構１４からリニアフィーダ１５を通して顆粒樹脂を離型フィルム１１上に撒布することができる。なお、枠１２は四角形フレームに特に限定されず、たとえば円形フレームであってもよい。
【００３１】
離型フィルム切断機構５１０は、ロール状離型フィルム５１２と、フィルム固定台載置機構５１１と、フィルムグリッパ５１３とを備えている。離型フィルム切断ユニット５１０においては、ロール状離型フィルム５１２から長尺の離型フィルム１１を引き出し、その一部をフィルム固定台載置機構５１１上に載置されたフィルム固定台（図示せず）上に設置し、これを四角形状に切断することによって四角形状の離型フィルム１１を得ることができる。フィルムグリッパ５１３は、ロール状離型フィルム５１２から引き出した離型フィルム１１の先端を固定することができ、離型フィルム１１をロール状離型フィルム５１２から引き出すことができる。
【００３２】
＜樹脂成形品の製造方法＞
以下、図４〜図２３を参照して、本発明の樹脂成形品の製造方法の一例である実施形態の樹脂成形品の製造方法について説明する。実施形態の樹脂成形品の製造方法においても吸着対象物としてたとえば電子部品等が搭載された板状部材２０を用いた例について説明する。
【００３３】
まず、図４に示すように、成形前板状部材収納部５４３に収容されている電子部品１３が搭載された板状部材２０の下側に吸着ハンド１０を挿入し、吸着ハンド１０の吸着パッド２に板状部材２０を吸着させる。たとえば、成形前板状部材収納部５４３に収容されている電子部品１３が搭載された板状部材２０を収容する間隔が狭く、吸着ハンド１０を板状部材２０と板状部材２０との間に挿入できない場合は、吸着ハンド１０を下から挿入すればよい。吸着パッド２への板状部材２０の吸着は、たとえば、吸着パッド２の吸着部２ｂを板状部材２０に接触させた後に板状部材２０を吸着することにより行うことができる。
【００３４】
吸着パッド２の吸着部２ｂの板状部材２０への接触は、たとえば、板状部材２０が一定の許容範囲内で湾曲している場合は、成形前板状部材収納部５４３に収容されている電子部品１３が搭載された板状部材２０の下側に吸着ハンド１０を挿入し、吸着ハンド１０を板状部材２０に向けて移動させることですべての吸着パッド２が板状部材２０に接触することにより行うことができる。
【００３５】
板状部材２０が一定の許容範囲を超えて湾曲している場合は、たとえば、板状部材２０を固定し、吸着ハンド１０を板状部材２０に押し付けることによりすべての吸着パッド２０に接触させることができる。ここで、たとえば図５および図６に示すように板状部材２０が一定の許容範囲を超えて湾曲している場合に吸着パッド２の吸着部２ｂから最も離れた板状部材２０の箇所に吸着部２ｂが接触するように吸着ハンド１０を板状部材２０に押し付けた場合には、それよりも吸着部２ｂに近いすべての箇所においては、板状部材２０がピストンロッド３を軸方向の下方向（内部空間４ａの底面４ｂ側の方向）に押し下げながら板状部材２０が吸着パッド２の吸着部２ｂに接触することになる。このとき、板状部材２０がピストンロッド３を押し下げる力の大小によって板状部材２０がピストンロッド３を軸方向の下方向に押し下げる量が決まり、その量に応じて弾性部材５の軸方向の復元力が決まる。そして、板状部材２０が吸着パッド２を押し下げる力と弾性部材５の復元力とが釣り合う位置で吸着パッド２が停止する。この吸着パッド２が停止した位置で、吸着部２ｂが板状部材２０を吸着することになる。
【００３６】
特許文献１に記載のロボットハンドにおいては、たとえば図５に示すように板状部材２０が湾曲している場合には、たとえば板状部材２０の湾曲の大きな箇所にロボットハンドの吸着孔が板状部材２０に接触できないことがある。板状部材２０に接触していない吸着孔は板状部材２０を吸着することができない。そのため、特許文献１に記載のロボットハンドにおいては、板状部材２０の湾曲が大きい場合には、板状部材２０を安定して吸着保持することができないことがあった。
【００３７】
しかしながら、本実施形態においては、吸着対象物である板状部材２０の吸着前に弾性部材５の復元力を利用してすべての吸着部２ｂを板状部材２０に接するようにすることが可能であるため、特許文献１に記載のロボットハンドと比べて吸着対象物を安定して吸着保持することが可能となる。また、本実施形態においては、弾性部材５の復元力を利用して吸着部２ｂを板状部材２０に接するようにするため、個々の吸着パッド２の移動を制御する複雑な制御機構を導入する必要もない。なお、本実施形態の吸着機構１は、弾性部材５の復元力を利用して吸着部２ｂが吸着対象物に接触するように構成されていればよく、必ずしも弾性部材５の復元力を利用して吸着部２ｂが吸着対象物に接触しなければならないことを意味するものではない。
【００３８】
次に、たとえば図７の模式的断面図に示すように、吸着機構１の吸着部２ｂに板状部材２０を吸着させる。吸着部２ｂへの板状部材２０の吸着は、たとえば図８の模式的断面図に示すように、図示しない吸引機構による吸引により、図８の矢印の方向に支持部４の内部空間４ａ内のガスを吸引することにより行われる。このとき、吸引機構による吸引により、吸着部２ｂと板状部材２０とが密着し、空間２ｆ中に存在するガスは、第１流路２ａ、中間流路３ａ、流路拡大部３ｅ、内部空間４ａ、および第２流路４ｃを通して吸着機構１の外部に排出される。これにより、空間２ｆを真空状態とすることができる。
【００３９】
その後、引き続き、吸引機構による吸引をさらに続けることにより、板状部材２０が吸着部２ｂ側にさらに押し付けられるため、吸着パッド２およびピストンロッド３を内部空間４ａの底面４ｂ側に軸方向に押し下げ、弾性部材５を軸方向に収縮させる。これにより、板状部材２０が吸着機構１に吸着保持される。
【００４０】
このとき、たとえば、吸着パッド２およびピストンロッド３が内部空間４ａの底面４ｂ側に最大限押し下げられた後には、吸着部２ｂが板状部材２０を引き寄せることによって板状部材２０の湾曲が矯正されて、板状部材２０を平坦に近付けることも可能となる。また、たとえば、板状部材２０の湾曲を矯正した後、板状部材２０に湾曲方向の力（元の湾曲した形状に近付く力）が働き、一部または全部のピストンロッド３が上動した場合でも、図２に示すように吸着部２ｂの内部空間４ａの底面４ｂ側に投影した面積Ｙよりも大きければ、吸着パッド２が板状部材２０から外れることを抑制することができる。これは、吸着パッド２の吸着力がピストンロッド３の下降する力よりも大きいため、ピストンロッド３が上動することが優先されるからである。
【００４１】
次に、図９の模式的側面図に示すように、吸着ハンド１０に吸着された板状部材２０を反転させて板状部材２０の電子部品１３の搭載側を下側とする。そして、移動ユニット５４４によって吸着ハンド１０を移動させ、図１０の模式的側面図に示すように、吸着ハンド１０に吸着された板状部材２０の電子部品１３の搭載側を下側として板状部材２０を基板ローダ５４１上に設置し、板状部材２０の吸着を解除して、板状部材２０を吸着ハンド１０から分離する。
【００４２】
このとき、たとえば図１１に示すように弾性部材５の収縮により軸方向の下方向（内部空間４ａの底面４ｂ側の方向）に押し下げられていた吸着パッド２およびピストンロッド３は、弾性部材５の収縮状態の解放によって、たとえば図１２の矢印に示すように軸方向の上方向（内部空間４ａの底面４ｂ側の方向とは反対の方向）に押し上げられて板状部材２０を分離する。
【００４３】
次に、図１３の模式的側面図に示すように、板状部材２０が設置された基板ローダ５４１を樹脂封止機構５３０の上型５５１と下型５３１との間に移動させる。その後、電子部品１３の搭載側を下側として板状部材２０を上型に設置する。下型５３１は、キャビティ５３２を構成する側面部材５３１ａと底面部材５３１ｂと弾性部材５３３と下型ベースプレート５３４とを備えている。
【００４４】
次に、図１４の模式的側面図に示すように、板状部材２０が設置された上型５５１と、下型５３１との間に、枠１２内に顆粒樹脂８１ａが収容された離型フィルム１１を搬送する。離型フィルム１１の搬送は、樹脂ローダ５２１により行なう。本実施形態では、顆粒樹脂８１ａを用いたが、顆粒樹脂８１ａの代わりに粉状樹脂または液状（流動性）樹脂を用いてもよい。
【００４５】
次に、図１５の模式的側面図に示すように、下型５３１のキャビティ５３２上に顆粒樹脂８１ａが設置された離型フィルム１１を設置する。次に、図１６の模式的側面図に示すように、側面部材５３１ａと底面部材５３１ｂとの間からキャビティ５３２内の空気を排出することによって、キャビティ５３２の内面に離型フィルム１１を密着させる。これにより、顆粒樹脂８１ａがキャビティ５３２内に供給される。キャビティ５３２への樹脂材料の供給方法は、たとえば、図１７（ａ）および図１７（ｂ）で示されるように、離形フィルム１１が配置された下型のキャビティ５３２に対して、多数の平行なスリットが形成された上トレイ５３５と下トレイ５３６で構成した樹脂保持トレイ５３７を用いて、下トレイの桟５３６ｂが上トレイのスリット５３５ａを塞いだ状態で上トレイのスリット５３５ａに樹脂材料を供給しておき、この樹脂保持トレイ５３７をキャビティ５３２の上に配置し、上トレイ５３５と下トレイ５３６とを相対的にスライドさせることにより、上トレイのスリット５３５ａ内の樹脂材料を下トレイのスリット５３６ａを通してキャビティ５３２に落下させる方法等がある。
【００４６】
次に、図１８の模式的側面図に示すように、キャビティ５３２内の顆粒樹脂８１ａを加熱部（図示せず）で昇温されている下型５３１によって加熱することで、溶融して溶融樹脂８１ｂとし、下型５３１を上昇させる。この際（下型５３１を上昇させて、上型５５１と下型５３１とが板状部材２０および離型フィルム１１を介して接触する前）、成形型内を外気遮断部材（図示せず）によって外気を遮断し、真空ポンプ等を用いて成形型内の空気を排出するようにしてもよい。次に、図１９の模式的側面図に示すように、上型５５１と下型５３１とが板状部材２０および離型フィルム１１を介して接触し、さらに下型５３１を上昇させることで、溶融樹脂８１ｂを板状部材２０上の電子部品１３に浸漬させ、一定時間経過することで、溶融樹脂８１ｂを硬化させて電子部品１３の樹脂封止を行なう。
【００４７】
次に、図２０の模式的側面図に示すように、下型５３１を下方に移動させることによって、硬化後の封止樹脂（樹脂成形体）８１から離型フィルム１１を引き離す。次に、図２１の模式的側面図に示すように、基板ローダ５４１が封止樹脂（樹脂成形体）８１による樹脂封止後の板状部材２０を上型５５１から取り外し、電子部品１３の搭載側を下側として、基板ローダ５４１上に載置する。その後、樹脂封止後の板状部材２０が設置された基板ローダ５４１は、樹脂封止ユニット５３０から搬送ユニット５４０に移動する。
【００４８】
次に、図２２の模式的側面図に示すように、樹脂封止後の板状部材２０は、電子部品１３の搭載側を下側として吸着ハンド１０の吸着パッド２に吸着される。なお、吸着ハンド１０の吸着パッド２による板状部材２０の吸着は上記と同様にして行うことができる。その後、図２３の模式的側面図に示すように、吸着パッド１０に吸着された板状部材２０を反転させて板状部材２０の電子部品１３の搭載側を上側とし、移動ユニット５４４によって吸着ハンド１０を移動させる。
【００４９】
そして、吸着ユニット１は、図２４の模式的側面図に示すように、電子部品１３の搭載側を上側とした状態で成形後板状部材収納部５４２内のカセットに板状部材２０を収容した後に吸着を解除する。以上により、実施形態の樹脂成形品の製造方法およびその後の板状部材２０の収容が完了する。
【００５０】
＜吸着ハンドの変形例＞
実施形態の吸着ハンド１０は、吸着対象物の形状に応じて吸着パッド２の配置を変更することもできる。たとえば、図２５の模式的平面図に示すように、吸着対象物である板状部材２０が中央から外側にかけて吸着ハンド１０側とは反対側に湾曲している場合には、吸着ハンド１０の中央よりも外側の吸着パッド２の数が多くなるように吸着パッド２の配置を変更することができる。また、図２６の模式的平面図に示すように、吸着対象物である板状部材２０が中央から外側にかけて吸着ハンド１０側に湾曲している場合には、吸着ハンド１０の外側よりも中央の吸着パッド２の数が多くなるように吸着パッド２の配置を変更することができる。
【００５１】
＜樹脂成形装置の変形例＞
図２７に、実施形態の樹脂成形装置の変形例の模式的な平面図を示す。図２７に示される実施形態の樹脂封止機構５３０を３つ有し、樹脂封止機構５３０の数を増減設可能に構成していることを特徴としている。それ以外は、実施形態の樹脂封止装置と同様の構成を有している。また、たとえば、吸着機構１を基板ローダ５４１に設けてもよい。また、吸着機構１を成形後の板状部材２０を成形型から取り出して搬送する搬送機構５４０に設けることで、成形後の板状部材２０の反りを抑制しながら、板状部材２０を冷却および加熱することができる。また、吸着機構１をＸＹテーブルまたは固定されたテーブル等のテーブル状ユニットに設けることで、板状部材２０の反りを抑制しながら、検査および加工等を行なうことができる。
【００５２】
以上のように実施形態および変形例について説明を行なったが、上述の各実施形態および各変形例の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。
【００５３】
今回開示された実施形態および変形例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００５４】
１  吸着機構、２  吸着パッド、２ａ  第１流路、２ｂ  吸着部、２ｃ  本体部、２ｄ  上端、２ｅ  下端、２ｆ  空間、２ｇ  壁部、３  ピストンロッド、３ａ  中間流路、３ｂ  下端（底面）、３ｃ  本体部、３ｄ  上端、３ｅ  流路拡大部、３ｆ  フランジ、４  支持部、４ａ  内部空間、４ｂ  底面、４ｃ  第２流路、４ｄ  凹部、５  弾性部材、５ａ  他端、５ｂ  一端、６  シール部材、７  ブシュ（ブッシュ）、９  軸、１０  吸着ハンド、１１  離型フィルム、１２  枠、１３  電子部品、１４  樹脂供給機構、１５  リニアフィーダ、２０  板状部材、８１  封止樹脂（樹脂成形体）、８１ａ  顆粒樹脂、８１ｂ  溶融樹脂、５１０  離型フィルム切断機構、５１１  フィルム固定台載置機構、５１２  ロール状離型フィルム、５１３  フィルムグリッパ、５２０  樹脂撒布機構、５２１  樹脂ローダ、５２２  後処理機構、５２３  フィルム固定台移動機構、５３０  樹脂封止機構、５３１  下型、５３１ａ  側面部材、５３１ｂ  底面部材、５３２  キャビティ、５３３  弾性部材、５３４  下型ベースプレート、５３５  上トレイ、５３５ａ  上トレイのスリット、５３５ｂ  上トレイの桟、５３６  下トレイ、５３６ａ  下トレイのスリット、５３６ｂ  下トレイの桟、５３７  樹脂保持トレイ、５４０  搬送機構、５４１  基板ローダ、５４２  成形後板状部材収納部、５４３  成形前板状部材収納部、５４４  移動ユニット、５５１  上型。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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